(57)【要約】【課題】クラウン形成工程において研磨量をより正確に制御する。【解決手段】ローバー取付工程では、ローバー１を、第１の面で、凸曲面を有するキーパー１６の凸曲面に固定する。この際、ローバーとキーパー１６との間に、弾性変形可能な保持部材１７を、ローバーの第１の面が保持部材１７の外周縁部の内側に入るように介在させる。ローバー研磨工程では、キーパー１６に保持されたローバー１を、凹曲面１３ａを有する回転する研磨定盤の凹曲面１３ａに押し付けながら、ローバー１の研磨面を研磨する。この際、プローブ３２に、弾性復元力が生じるように押し付け力を加えながら、プローブの先端部３５ａを保持部材１７と凹曲面１３ａとで挟まれた空間Ｓに向け、プローブを空間に挿入して電極パッド５に当接させ、抵抗体の電気抵抗を監視しながら、ローバー１を研磨する。【選択図】図７
2012053947.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨面と、前記研磨面と対向する第１の面と、前記研磨面及び前記第１の面の双方と接する第２の面と、を有し、磁気ヘッドスライダとなるべき部分であるスライダ形成部が、間に切り代部を挟んで複数個形成され、研磨量に応じて電気抵抗が変化する抵抗体を前記切り代部の前記研磨面に備え、前記抵抗体と電気的に接続された電極パッドを前記切り代部の前記第２の面に備える帯状のローバーを研磨することを含む、磁気ヘッドスライダの製造方法であって、
前記ローバーを、前記第１の面で、凸曲面を有するキーパーの該凸曲面に固定するローバー取付工程と、
前記キーパーに保持されたローバーを、凹曲面を有する回転する研磨定盤の該凹曲面に押し付けながら揺動させ、前記ローバーの前記研磨面を研磨するローバー研磨工程と、を有し、
前記ローバー取付工程は、前記ローバーと前記キーパーとの間に、弾性変形可能な保持部材を、前記ローバーの前記第１の面が該保持部材の外周縁部の内側に入るように介在させることを含み、
前記ローバー研磨工程は、プローブに、弾性復元力が生じるように押し付け力を加えながら、前記プローブの先端部を前記保持部材と前記凹曲面とで挟まれた空間に向け、該プローブを前記空間に挿入して前記電極パッドに当接させ、前記抵抗体の前記電気抵抗を監視しながら、前記ローバーを研磨することを含む、磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項２】
前記保持部材は、前記ローバーの研磨中に、前記電極パッドの高さの半分以上を、該保持部材の変形によって遮蔽されることなく露出させることが可能な変形特性を有している、請求項１に記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項３】
研磨面と、前記研磨面と対向する第１の面と、前記研磨面及び前記第１の面の双方と接する第２の面と、を有し、磁気ヘッドスライダとなるべき部分であるスライダ形成部が、間に切り代部を挟んで複数個形成され、研磨量に応じて電気抵抗が変化する抵抗体を前記切り代部の前記研磨面に備え、前記抵抗体と電気的に接続された電極パッドを前記切り代部の前記第２の面に備える帯状のローバーを、保持部材を介して前記第１の面でキーパーに保持させた状態で、回転する研磨定盤に押し付けながら揺動させ研磨する工程に用いられ、前記研磨定盤と前記保持部材とで形成される空間の内部に位置する前記電極パッドと電気的に接続可能なプローブ装置であって
固定部と、前記固定部に連結され、前記固定部との連結部を支点として先端部が上下方向に変位するように弾性変形が可能な可動部と、を有するプローブと、
前記可動部の前記連結部と前記先端部との間の位置で前記可動部に下向きの力を掛けることで、前記可動部を前記空間に挿入可能な姿勢に弾性変形させ、前記姿勢を保持することができるストッパと、を有するプローブ装置。
【請求項４】
前記ストッパは、前記可動部と当接する位置に、前記可動部を受け入れる凹部を有している、請求項３に記載のプローブ装置。
【請求項５】
前記電極パッドは複数個の切り代部に設けられ、
前記プローブは、複数の前記電極パッドに同時に当接できるように複数個が並置され、
前記ストッパの前記プローブとの当接面は中央の前記プローブに当接する位置を最下点とする円弧状に形成されている、請求項３または４に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドスライダの製造方法及びプローブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドスライダを製造するためには、スライダとなるべき素子を研磨し、読込素子（ＭＲ素子）の高さを正確に形成することが重要である。スライダとなるべき素子（スライダ形成部）はローバーの状態で研磨されることが一般的である。ローバーの研磨は通常、荒削り工程とクラウン形成工程とに分けられる。
【０００３】
荒削り工程は読込素子のハイト（媒体対向面から垂直に測った長さ）を粗い精度で形成することを目的としており、研磨量は比較的大きい。特許文献１には、荒削り工程の例が開示されている。研磨量を制御するために、あらかじめウエハ工程で、ローバーの切り代となる部分に抵抗体を形成しておき、研磨時にこの抵抗体を同時に研磨する。抵抗体の電気抵抗は研磨量に従い増加し、電気抵抗と研磨量の関係はあらかじめ測定されている。従って、研磨中に抵抗体の電気抵抗を測定すればローバーの大体の研磨量を推定することができる。電気抵抗を測定するには、抵抗体と電気的に接続された電極パッドをあらかじめウエハ工程で形成しておき、研磨中にこの電極パッドが露出するようにしておく。そして、針型の端子であるプローブを電極パッドに押当て、電極パッドから抵抗体に電圧を掛けることで、電気抵抗が測定される。
【０００４】
クラウン形成工程の例は特許文献２に開示されている。クラウン形成工程は、仕上げラッピングとしての役割も有しており、読込素子の高さが高精度で形成される。クラウン形成工程の他の重要な目的は磁気ヘッドスライダの媒体対向面にクラウンと呼ばれる曲面を形成することである。クラウンは、磁気ヘッドスライダの媒体対向面に形成される、記録媒体側に凸状に張り出した曲面で、このような曲面を形成することによって、磁気ヘッドスライダが記録媒体に接触したときの吸着を防止することができる。
【０００５】
クラウンを形成するには、ローバーをキーパーの凸曲面に、吸着パッド等の保持部材を介して取り付け、この状態でローバーを、キーパーの凸曲面に対応した形状を有する研磨定盤の凹曲面に押し付ける。保持部材はローバーをキーパーに固定するための治具であり、キーパーの凸曲面に追随して変形できるように、ウレタンなどの柔らかい材料で作成される。また、保持部材はローバーを確実にキーパーに固定するために、ローバーよりも大きな平面積を有している。このため、ローバーは保持部材と研磨定盤の間の隙間に、内側に引きこんだ状態で保持される。ローバーを研磨定盤に押し付けると、ローバーは長手方向には概ね研磨定盤の凹曲面に沿って変形するが、短辺方向には変形しにくいため、ローバーの長手方向両側縁部だけが研磨定盤の凹曲面に当接し研磨される。この結果、ローバーは全体的に蒲鉾状に研磨される。その後ローバーを切り代に沿って切断することで、媒体対向面にクラウンが形成された磁気ヘッドスライダが形成される。クラウン形成工程では抵抗体を用いた研磨量の管理は行われていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００-１６３７１９号公報
【特許文献２】特開２０００-１５５９２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
クラウン形成工程においても荒削り工程と同様にプローブを用いて研磨量の管理を行おうとすると、プローブを保持部材と研磨定盤との間の隙間に挿入する必要がある。しかし、上述のように、保持部材はキーパーの凸曲面に追随して変形できるように柔らかい材料を用いているため、研磨の際にキーパーから研磨定盤に下向きの押し付け力がかかると、保持部材が変形し、ローバーが保持部材にめり込みことがある。ローバーが保持部材にめり込むと、隙間自体が縮小し、あるいは電極パッドが保持部材に覆われてしまう。プローブは細い探針を用いているため、変形しやすく、プローブを挿入しあるいは電極パッドに当接させることは困難である。一例では、ラバーからなる保持部材に厚さ０．２ｍｍ程度のローバーを取り付けた場合、ローバーが０．１３ｍｍ程度、保持部材にめり込むことが確認された。この結果、ローバーの装着時には０．２ｍｍあった隙間が研磨時には０．０７ｍｍしか確保できない。以上の理由から、クラウン形成工程は、荒削り工程と異なり、研磨量を監視しながら行うことが困難であり、時間管理、すなわち一定時間の研磨を行うことで研磨量を管理していた。このため、クラウン形成工程では荒削り工程と同程度の精度で研磨量を制御することができなかった。
【０００８】
本発明はクラウン形成工程において研磨量をより正確に制御することができるスライダの製造方法、及びこれに用いられるプローブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の磁気ヘッドスライダの製造方法は、研磨面と、研磨面と対向する第１の面と、研磨面及び第１の面の双方と接する第２の面と、を有し、磁気ヘッドスライダとなるべき部分であるスライダ形成部が、間に切り代部を挟んで複数個形成され、研磨量に応じて電気抵抗が変化する抵抗体を切り代部の研磨面に備え、抵抗体と電気的に接続された電極パッドを切り代部の第２の面に備える帯状のローバーを研磨することを含んでいる。本製造方法は、ローバーを、第１の面で、凸曲面を有するキーパーの凸曲面に固定するローバー取付工程と、キーパーに保持されたローバーを、凹曲面を有する回転する研磨定盤の凹曲面に押し付けながら揺動させ、ローバーの研磨面を研磨するローバー研磨工程と、を有している。ローバー取付工程は、ローバーとキーパーとの間に、弾性変形可能な保持部材を、ローバーの第１の面が保持部材の外周縁部の内側に入るように介在させることを含んでいる。ローバー研磨工程は、プローブに、弾性復元力が生じるように押し付け力を加えながら、プローブの先端部を保持部材と凹曲面とで挟まれた空間に向け、プローブを空間に挿入して電極パッドに当接させ、抵抗体の電気抵抗を監視しながら、ローバーを研磨することを含んでいる。
【００１０】
ローバーは第１の面が保持部材の外周縁部の内側に入るようにキーパーの凸曲面に固定され、研磨定盤の凹曲面に押し付けられる。このため、研磨中には電極パッドは、保持部材と研磨定盤の凹曲面とで挟まれた空間の内部に引きこんだ状態となっている。プローブには、弾性復元力が生じるように押し付け力が加えられ、プローブの先端部は保持部材と凹曲面とで挟まれた空間に向けられる。プローブはこの状態で空間に挿入されるため、プローブの動きが安定化され、衝撃などの外乱によって方向が乱れることがない。従って、狭い空間であってもプローブを正確に空間内に挿入し、電極パッドに当接させることができる。
【００１１】
本発明の他の実施態様によれば、研磨面と、研磨面と対向する第１の面と、研磨面及び第１の面の双方と接する第２の面と、を有し、磁気ヘッドスライダとなるべき部分であるスライダ形成部が、間に切り代部を挟んで複数個形成され、研磨量に応じて電気抵抗が変化する抵抗体を切り代部の研磨面に備え、抵抗体と電気的に接続された電極パッドを切り代部の第２の面に備える帯状のローバーを、保持部材を介して第１の面でキーパーに保持させた状態で、回転する研磨定盤に押し付けながら揺動させ研磨する工程に用いられ、研磨定盤と保持部材とで形成される空間の内部に位置する電極パッドと電気的に接続可能なプローブ装置が提供される。プローブ装置は、固定部と、固定部に連結され、固定部との連結部を支点として先端部が上下方向に変位するように弾性変形が可能な可動部と、を有するプローブと、可動部の連結部と先端部との間の位置で可動部に下向きの力を掛けることで、可動部を空間に挿入可能な姿勢に弾性変形させ、姿勢を保持することができるストッパと、を有している。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、クラウン形成工程において研磨量をより正確に制御することができるスライダの製造方法、及びこれに用いられるプローブ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明が適用されるローバーの斜視図である。
【図２】クラウン形成工程で使用される研磨装置の概略図である。
【図３】ローバーをキーパーの凸曲面に固定された状態を示す斜視図である。
【図４】研磨定盤及びキーパーと研磨中のローバーを示す断面図である。
【図５】図４の拡大図である。
【図６】クラウンが形成されたローバー及び磁気ヘッドスライダの斜視である。
【図７】プローブ装置の側面図である。
【図８】ストッパの斜視図である。
【図９】ストッパの正面図である。
【図１０】ローバーの保持部材へのめり込みを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
まず、本発明の磁気ヘッドスライダの製造方法が適用されるローバーについて説明する。図１は、ローバーの斜視図である。同図（ａ）はウエハ工程における積層方向上側を上面としたローバーの斜視図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のローバーを矢印に示す方向に倒した時の状態を示している。ローバー１はウエハ工程で縦横に格子状に形成されたスライダ形成部を、ウエハから１列だけ切り出したものをいう。スライダ形成部２は、磁気ヘッドスライダとなるべき部分をいう。ローバー１は、スライダ形成部２同士の間に各スライダに分離するための切り代部３が設けられており、複数のスライダ形成部２が間に切り代部３を挟んで一方向に配列した構成となっている。
【００１５】
一部の切り代部３には抵抗体４が形成されている。この抵抗体４は、ＲＬＧ(Resistance Lapping Guide)またはＥＬＧ(Electric Lapping Guide)と呼ばれる。抵抗体４は、予めウエハ工程で作成され、抵抗体４と接続された切り代部３の内部配線（図示せず）によって、ローバー１上の電極パッド５と接続されている。図では、電極パッド５を切り代部３に１つだけ設けているが、２つ設ける構成であってもよい。電極パッド５を介して抵抗体４に電圧を印加することによって、抵抗体４の電気抵抗値を検出することができる。抵抗体４の電気抵抗はローバー１の研磨量に応じて変化し、抵抗体４の電気抵抗値と抵抗体４のハイトとの関係は予め求められている。このため、抵抗体４の電気抵抗値を知れば、抵抗体４のハイトが分かり、これによって荒削り工程中及びクラウン形成工程中の研磨量を管理することができる。抵抗体４及び電極パッド５は必ずしもすべての切り代部３に設ける必要はないが、ローバー１の長手方向に沿った複数の切り代部３に設けることが望ましい。これによって、ローバー１の長手方向におけるＭＲハイトの分布を推定することができる。
【００１６】
ローバー１は帯状の直方体形状をなしており、ウエハからローバー１を切り出したときに現われる一つの面が、研磨によって媒体対向面となる研磨面ＳＬとなっている。抵抗体４は切り代部３の研磨面ＳＬに形成されている。以下の説明では、研磨面ＳＬと対向するローバー１の面を第１の面Ｓ１という。第１の面Ｓ１もウエハからローバー１を切り出したときに現われる面であり、研磨の際は、後述するキーパー１６がローバー１を保持する面となる。ウエハ工程における上面は前述の電極パッド５が設けられる面となっており、この面を第２の面Ｓ２という。第２の面Ｓ２は研磨面ＳＬと第１の面Ｓ１の双方と接している。
【００１７】
図２（ａ）は、クラウン形成工程で使用される研磨装置の概略構成を示す斜視図である。研磨装置１１は、テーブル１２と、テーブル１２上に設けられた回転する研磨定盤１３と、研磨定盤１３の側方に設けられたアーム支持部１４と、アーム支持部１４から研磨定盤１３の上方に張り出したアーム１５と、アーム１５に取り付けられたキーパー１６と、を備えている。アーム１５はアーム支持部１４に対して図中の方向Ｄに往復移動することができる。また、図示は省略するが、研磨装置１１はキーパー１６を研磨定盤１３に押し付けるためのアクチュエータと、押し付け力を制御する制御部とを備えている。
【００１８】
図２（ｂ）は図２（ａ）の２ｂ−２ｂ線に沿ったキーパーと研磨定盤の断面図である。キーパー１６と研磨定盤１３はともに球面の一部に相当する表面形状を有しており、キーパー１６は研磨定盤１３に向けて突き出した凸曲面１６ａを有している。研磨定盤１３は下向きに凹んだ椀状の凹曲面１３ａを有している。凸曲面１６ａの曲率Ｒ１は凹曲面１３ａの曲率Ｒ２より大きくされている。
【００１９】
次に、磁気ヘッドスライダの製造方法について説明する。本発明はクラウン形成工程に特徴を有しているため、それ以外の工程については従来技術をそのまま適用できる。従って、クラウン形成工程以外の工程については概略の説明にとどめる。
【００２０】
まず、磁気ヘッドスライダとなるべきスライダ形成部２が形成されたウエハを、ウエハ工程で製作する。具体的には、Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣからなる基板の上に、ＭＲ素子と記録素子とを備えたスライダ形成部２を格子状に形成する。この際、切り代部３となる領域には、研磨面ＳＬに沿って抵抗体４を形成する。その後ウエハを切り代部３に沿って切断し、ローバー１を作成する。
【００２１】
次に、ローバー１に対し荒削り工程を行う。具体的にはローバー１を適宜の方法で支持し、研磨面ＳＬを荒削り工程用の研磨定盤に押し付け、抵抗体４の電気抵抗を監視しながら、所定の研磨量となるまで研磨面ＳＬを研磨する。その後、ローバー１を上述の研磨装置１１に装着し、クラウン形成工程を行い、媒体対向面にクラウンを形成する。次に、ローバー１を切り代部３に沿って切断し、洗浄、検査などの工程を経て、磁気ヘッドスライダを得る。
【００２２】
ここで、クラウン形成工程について、図面を参照して詳細に説明する。クラウン形成工程は大きく分けて、ローバー取付工程とローバー研磨工程とからなる。
【００２３】
（ローバー取付工程）図３に示すように、ローバー１を、第１の面Ｓ１で、キーパー１６の凸曲面１６ａに固定する。この際、ローバー１をキーパー１６に保持させる目的で、ローバー１とキーパー１６との間に弾性変形可能な保持部材１７を介在させる。保持部材１７はローバー１より広い平面積を有しており、ローバー１が確実にキーパー１６に保持されるように、ローバー１の第１の面Ｓ１が保持部材１７の外側周縁部１７ａの内側に入るように保持部材１７に取り付けられる。
【００２４】
（ローバー研磨工程）キーパー１６に保持されたローバー１を、凹曲面１３ａを有する回転する研磨定盤１３の凹曲面１３ａに押し付けながら揺動させ、ローバー１の研磨面ＳＬを研磨する。キーパー１６の凸曲面１６ａは研磨の際に研磨定盤１３の凹曲面１３ａに沿って摺動する。図４はこのときの状態を示す側方図であり、同図（ａ）がローバー１の長辺側から見た側方図、同図（ｂ）がローバー１の短辺側から見た側方図である。図５は図４のローバー付近の拡大図を示しており、同図（ａ），（ｂ）がそれぞれ図４（ａ），（ｂ）に対応している。
【００２５】
ローバー１の長手方向における挙動は以下の通りとなる。キーパー１６を研磨定盤１３に近づけていくと、凸曲面１６ａの曲率Ｒ１＞凹曲面１３ａの曲率Ｒ２であるから、ローバー１の長手方向両端１ａ，１ｂがまず凹曲面１３ａに当接し、さらに押し付けると保持部材１７及びローバー１が変形する。これは、ローバー１の長手方向両端１ａ，１ｂを支点としてローバー１に曲げモーメントが掛るためである。長手方向では曲げモーメントのアームが長いため大きな曲げモーメントが掛り、最終的にローバー１の長手方向全体が凹曲面１３ａの形状に沿って変形する。この結果、図５（ａ）に示すように、ローバー１は凹曲面１３ａに均等に接触し、研磨定盤１３の凹曲面１３ａの形状に従って（全体が曲率半径Ｒ２となるように）研磨される。ローバー１は長手方向と直交するどの断面においても、同じように研磨される。従って、ローバー１をキーパー１６から取り外して平坦な状態に戻したときに、研磨面ＳＬは長手方向と直交するどの断面でも同じ状態となっている。
【００２６】
これに対して、ローバー１は短手方向には、容易に変形しない。すなわち、短手方向においても、ローバー１の短手方向両端１ｃ，１ｄがまず凹曲面１３ａに当接し、さらに押し付けると保持部材１７及びローバー１が変形していくのであるが、曲げモーメントのアームが短いため、同じ押し付け力を掛けても保持部材１７及びローバー１が変形しにくいのである。このため、図５（ｂ）に示すように、両側端部１ｃ，１ｄだけが研磨定盤１３に当接して研磨され、その後中央部も徐々に研磨されていくが（研磨される部分をＬで示す）、中央部は両側端部１ｃ，１ｄほど研磨されない。従って、ローバー１をキーパー１６から取り外して平坦な状態に戻すと、図６（ａ）に示すような蒲鉾状の形状となる。このローバー１を切り代部３で切断すると、図６（ｂ）に示すようなクラウン２１が各スライダの媒体対向面２２に形成される。
【００２７】
以上の研磨工程において、本発明においては研磨量を監視するためプローブ装置が使用される。ローバー１は、研磨定盤１３に押し付けられたときには、図４，５に示すように、保持部材１７と研磨定盤１３の凹曲面１３ａとで挟まれた空間Ｓ内に、内側に引きこんだ状態で位置することになる。従って、プローブ装置は空間Ｓの内部に位置する電極パッド５と電気的に接続できるように構成されている。
【００２８】
図７はプローブ装置の構成を示す概念図であり、同図（ａ）は装置全体の断面図、同図（ｂ）はローバー付近の部分図である。図７（ａ）では、研磨定盤１３の凹曲面１３ａは直線で表示している。プローブ装置３１はプローブ３２と、ストッパ３３と、を有している。プローブ３２は複数の電極パッド５に同時に当接できるように、ローバー１の長手方向に沿って、複数個が並置されている（図８参照）。このため、プローブ装置３１はローバー１の研磨量を複数個所で検知することができる。各プローブ３２は、プローブ装置３１の本体（不図示）に固定された固定部３４と、連結部３６によって固定部３４に連結された可動部３５からなり、可動部３５の先端部３５ａが電極パッド５に当接するようにされている。ストッパ３３はプローブ装置３１の本体に取り付けられ、上下方向に移動可能に構成されている。
【００２９】
プローブ装置３１を用いる際には、ストッパ３３によって可動部３５に下向きの力を掛けて、可動部３５が水平方向を向くように可動部３５の姿勢を制御する。可動部３５は、図７（ａ）に破線で示すように、ストッパ３３からの力を受けないときは、先端部３５ａが斜め上方を向く姿勢にされている。この状態で、可動部３５の連結部３６と先端部３５ａとの間の位置に、ストッパ３３によって、研磨定盤１３側に向かう下向きの押し付け力Ｆ１を加える。固定部３４は本体に固定されており、その姿勢は不変であるため、可動部３５だけが連結部３６を支点として下向きに弾性変形する。プローブ３２には、キーパー１６側に復元しようとする弾性復元力Ｆ２が生じる。ストッパ３３の当接面３７の上下方向位置を調整することで、可動部３５は水平方向を向いた姿勢に調整される。
【００３０】
この状態を維持したままプローブ３２を保持部材１７と凹曲面１３ａとで挟まれた空間Ｓに挿入して、可動部３５の先端部３５ａを電極パッド５に当接させる。空間Ｓの高さはローバー１の厚みにも依存するが、一例では０．２〜０．３ｍｍ程度である。プローブ３２は一般に剛性が低く変形しやすいため、挿入時あるいは電極パッド５にプローブ３２の先端部３５ａを押し当てる際、プローブ装置３１の動きや衝撃力によって容易に揺れることがある。しかし、本発明によれば、可動部３５は押し付け力Ｆ１と弾性復元力Ｆ２とを受けており、これらの力によって拘束された状態で挿入されるため、プローブ３２に衝撃が加わっても揺れが抑えられ、容易に静止状態を保つことができる。プローブ３２の先端部３５ａの位置が容易に変化せず、かつ先端部３５ａの位置を固定させることができるので、狭い空間であってもプローブ３２を容易に挿入することができる。以上により、プローブ３２を電極パッド５に確実に当接させ、抵抗体４の電気抵抗を監視しながら、ローバー１を研磨することができる。このためクラウン形成工程においても、研磨量を正確に制御することができる。
【００３１】
ストッパ３３を可動部３５に押し当てる位置に制約はないが、できるだけ先端部３５ａに近い位置で可動部３５に押し当てるのが、姿勢の制御が容易であり、可動部３５も安定するため好ましい。ストッパ３３の当接面３７の可動部３５と当接する位置に、図８に示すような可動部３５を受け入れる凹部３７ａを有していると、可動部３５が横方向（ローバー１の長手方向）にも拘束されるためさらに好ましい。
【００３２】
上述のように、ローバー１はキーパー１６に保持され、長手方向においては研磨定盤１３の凹曲面１３ａに沿って弧状に変形する。従って、図８の９−９線から見たストッパ３３の正面図に示すように、ストッパ３３の当接面３７を中央のプローブ３２に当接する位置を最下点とする円弧状に形成することが望ましい。これによって、全てのプローブ３２を最適な高さで空間Ｓに挿入し、電極パッド５に当接させることが可能となる。
【００３３】
保持部材１７は変形しやすいため、図１０に示すように、ローバー１を研磨定盤１３に押し付けたときにローバー１が保持部材１７にめり込むことがある。めり込みが生じると、空間Ｓの高さが小さくなり、プローブ３２の挿入が難しくなるだけでなく、電極パッド５の一部が保持部材１７に遮蔽され、電極パッド５へのプロープの当接が困難になることがある。本発明はそのような場合であってもプローブ３２を空間Ｓに挿入し電極パッド５に当接させることができるが、この操作をより確実に行うため、保持部材１７を硬めの材料で作成し、ローバー１の保持部材１７へのめり込みを抑制することが望ましい。具体的には、保持部材１７はローバー１の研磨中に、電極パッド５の高さＨの半分以上の高さＨ１が、保持部材１７の変形によって遮蔽されることなく露出する程度の変形特性を有していることが望ましい。高さＨ１は電極パッド５の下辺と保持部材１７のローバー１から離れた位置での下面（すなわちローバーのめり込みの影響を受けない領域での下面高さ）との間の鉛直方向に測った高さである。キーパー１６の凸曲面１６ａ及び研磨定盤１３の凹曲面１３ａは曲率半径が非常に大きく、実質的には平面に近いため、ある程度硬い材料であっても保持部材１７がこの曲率半径に合わせて変形することは容易である。保持部材１７を変形の容易な材料で作成することは好ましくなく、ある程度変形の抑えられた材料で作成する方が望ましい。保持部材１７は例えば、ウレタンゴム等で形成され、Ｈｓ硬度が５５±１０程度の材料で形成することが望ましい。
【符号の説明】
【００３４】
１  ローバー
２  スライダ形成部
３  切り代部
５  電極パッド
ＳＬ  研磨面
Ｓ１  第１の面
Ｓ２  第２の面
１１  研磨装置
１３  研磨定盤
１３ａ  研磨定盤の凹曲面
１６  キーパー
１６ａ  キーパーの凸曲面
１７  保持部材
３１  プローブ装置
３２  プローブ
３３  ストッパ
３４  固定部
３５  可動部
３５ａ  先端部
３６  連結部
３７  当接面
【図１】
2012053947.tif 000003
【図２】
2012053947.tif 000004
【図３】
2012053947.tif 000005
【図４】
2012053947.tif 000006
【図５】
2012053947.tif 000007
【図６】
2012053947.tif 000008
【図７】
2012053947.tif 000009
【図８】
2012053947.tif 000010
【図９】
2012053947.tif 000011
【図１０】
2012053947.tif 000012