(57)【要約】【課題】組立性が良好で電気的性能に優れ、かつ中心軸とコンタクト位置とのオフセット量を調整可能なコンタクトプローブ及びそれを備えたソケットを提供する。【解決手段】先端側円柱部２９は、基端側円柱部２１が絞り部４０２と係合しているときに、基端側円柱部２１を基点として揺動可能である。先端側円柱部２９の振れ量Ｂは、先端側円柱部２９の長さとチューブ４の内径（開口径）によって決定される。すなわち、先端側円柱部２９の揺動範囲は、側面がチューブ４の内側端縁４０５に接するまでの範囲である。【選択図】図１
2012149962.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方が検査対象物との接続用であり、他方が検査用基板との接続用である第１及び第２プランジャーと、
前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢するように前記第１及び第２プランジャーに対して設けられたスプリングと、
前記第１及び第２プランジャーの基端側から所定長の範囲、及び前記スプリングが内側に位置する導電性チューブとを備え、
前記導電性チューブは、一部が小径部となっており、
前記第１及び第２プランジャーの少なくとも一方は、前記小径部よりも大径で且つ前記小径部と係合して抜止めとなる基端側大径部と、前記基端側大径部から前記小径部の内側を通って先端側に延びる先端側棒状部とを有し、前記先端側棒状部は、前記基端側大径部が前記小径部と係合しているときに、前記基端側大径部を基点として揺動可能である、コンタクトプローブ。
【請求項２】
請求項１に記載のコンタクトプローブにおいて、
前記小径部は、前記導電性チューブの端部から軸方向中央側に所定距離だけ離れて位置し、
前記先端側棒状部の側面が前記導電性チューブの端部に接触することで、前記先端側棒状部の揺動範囲が規制される、コンタクトプローブ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のコンタクトプローブを絶縁支持体で支持してなるソケットであって、
前記絶縁支持体は、中間空洞部と、前記中間空洞部よりも小径で、一端が前記中間空洞部と連通し他端が前記絶縁支持体の表面に開口する開口側空洞部とを有し、
前記開口側空洞部の中心軸は、前記中間空洞部の中心軸と略平行かつ当該中心軸から所定距離だけずれていて、
前記導電性チューブは、前記中間空洞部内に保持され、
前記先端側棒状部は、前記開口側空洞部を通って前記絶縁支持体の表面から外側に突出し、かつ、側面が前記開口側空洞部の前記一端の縁の一部と接触することで軸が所定角度だけ傾いている、ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体集積回路等の被測定デバイスの検査に使用するコンタクトプローブ及びソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路等の検査対象物の検査を行う場合において、検査対象物と測定器側の検査用基板とを電気的に接続するために、コンタクトプローブが一般的に使用される。以下、コンタクトプローブに関する公知技術について説明する。
【０００３】
下記特許文献１は、基板検査治具に関し、一方端部が検査点に圧接される「接触子２は、図２で示す如く、棒状部材２１とコイルばね２２を有してなる」構造である（段落［００１２］）。棒状部材２１の基端は、「コイルばね２２の密巻部２２１に所定長さ挿入して、溶接等にて接合し接合部２３が形成され」る（同段落）。そして、「複数の検査点に対応する各々の電極部４１の位置は、接触子２を傾斜させることで、横方向にずれた位置に移動させることができる」としている（段落［００１７］）。
【０００４】
下記特許文献２は、電気接触子を備えた電気部品用ソケットに関し、「電気接触子１３は、電気部品１の端子１ａに接触する端子側接触部材１４と、配線基板２に接触する基板側接触部材１５と、両方の接触部材１４，１５を互いに離間する方向に付勢するコイルバネ１６とを有し、コイルバネ１６は、端子側接触部材１４に当接する第１密着巻き部１６ａと、基板側接触部材１５に当接する通常巻き包含部１６ｍと、第１密着巻き部１６ａ及び通常巻き包含部１６ｍの間に設けられる粗巻き部１６ｂとからなり、端子１ａが端子側接触軸部１４ａと接触すると、粗巻き部１６ｂが縮まって通常巻き包含部１６ｍの軸心に対する第１密着巻き部１６ａの軸心が傾斜し、端子側接触部材１４が傾倒する構成」としている（［要約］）。
【０００５】
下記特許文献３は、ケルビン検査用治具に関し、コンタクトプローブのプランジャー先端をコンタクトプローブの中心軸からオフセットした形状にすることで、コンタクトプローブの中心軸とコンタクト位置をオフセットさせる構造である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２５６６５号公報
【特許文献２】特開２００８−７０１７８号公報
【特許文献３】特開２００８−４５９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の基板検査治具では、コイルばね２２によって棒状部材２１を傾斜可能に保持しているが、コイルばね２２の形状は容易に変形するため、組立性が悪く扱いづらい。また、棒状部材２１とコイルばね２２との溶接作業も手間がかかり、組立性が悪い。さらに、コイルばね２２及び棒状部材２１のみで電気的接続を成しており、導体抵抗が高く電気的性能が劣る。特許文献２の電気部品用ソケットも、コイルバネ１６によって端子側接触部材１４を傾斜可能に保持し、また端子側接触部材１４と基板側接触部材１５との間をコイルバネ１６のみで電気的に接続しており、組立性が悪く電気的性能が劣るという特許文献１と同様の欠点を有する。また、端子側接触部材１４とコイルバネ１６とがバラバラであると扱いづらく、溶接で接合すると特許文献１と同様に溶接作業の手間がかかり、組立性が悪い。特許文献３のケルビン検査用治具は、コンタクトプローブの中心軸とコンタクト位置とのオフセット量がプランジャーの形状で決定されてしまい、汎用性が低い。
【０００８】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、組立性が良好で電気的性能に優れ、かつ中心軸とコンタクト位置とのオフセット量を調整可能なコンタクトプローブ及びそれを備えたソケットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のある態様は、コンタクトプローブである。このコンタクトプローブは、
一方が検査対象物との接続用であり、他方が検査用基板との接続用である第１及び第２プランジャーと、
前記第１及び第２プランジャーを互いに離れる方向に付勢するように前記第１及び第２プランジャーに対して設けられたスプリングと、
前記第１及び第２プランジャーの基端側から所定長の範囲、及び前記スプリングが内側に位置する導電性チューブとを備え、
前記導電性チューブは、一部が小径部となっており、
前記第１及び第２プランジャーの少なくとも一方は、前記小径部よりも大径で且つ前記小径部と係合して抜止めとなる基端側大径部と、前記基端側大径部から前記小径部の内側を通って先端側に延びる先端側棒状部とを有し、前記先端側棒状部は、前記基端側大径部が前記小径部と係合しているときに、前記基端側大径部を基点として揺動可能である。
【００１０】
前記コンタクトプローブにおいて、
前記小径部は、前記導電性チューブの端部から軸方向中央側に所定距離だけ離れて位置し、
前記先端側棒状部の側面が前記導電性チューブの端部に接触することで、前記先端側棒状部の揺動範囲が規制されるとよい。
【００１１】
本発明の別の態様は、ソケットである。このソケットは、
前記コンタクトプローブを絶縁支持体で支持してなるソケットであって、
前記絶縁支持体は、中間空洞部と、前記中間空洞部よりも小径で、一端が前記中間空洞部と連通し他端が前記絶縁支持体の表面に開口する開口側空洞部とを有し、
前記開口側空洞部の中心軸は、前記中間空洞部の中心軸と略平行かつ当該中心軸から所定距離だけずれていて、
前記導電性チューブは、前記中間空洞部内に保持され、
前記先端側棒状部は、前記開口側空洞部を通って前記絶縁支持体の表面から外側に突出し、かつ、側面が前記開口側空洞部の前記一端の縁の一部と接触することで軸が所定角度だけ傾いている。
【００１２】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、第１及び第２プランジャーの基端側から所定長の範囲、及びスプリングが導電性チューブの内側に位置し、前記第１及び第２プランジャーの少なくとも一方の先端側棒状部は、基端側大径部が前記導電性チューブの小径部と係合しているときに、前記基端側大径部を基点として揺動可能であるため、組立性が良好で電気的性能に優れ、かつ中心軸とコンタクト位置とのオフセット量を調整可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】（Ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係るコンタクトプローブの正断面図。（Ｂ）は、同コンタクトプローブを絶縁支持体で支持したソケットのスプリング開放状態の正断面図。（Ｃ）は、同ソケットのスプリング圧縮状態（コンタクト状態）の正断面図。
【図２】（Ａ）は、図１に示す絶縁支持体の第２層を軸方向に上から見た平面図。（Ｂ）は、（Ａ）のB-B'断面図。
【図３】（Ａ）は、本発明の第２の実施の形態に係るコンタクトプローブの正断面図。（Ｂ）は、同コンタクトプローブを絶縁支持体で支持したソケットのスプリング開放状態の正断面図。（Ｃ）は、同ソケットのスプリング圧縮状態（コンタクト状態）の正断面図。
【図４】（Ａ）は、変形例に係るコンタクトプローブの正断面図。（Ｂ）は、同コンタクトプローブを絶縁支持体で支持したソケットのスプリング開放状態の正断面図。（Ｃ）は、同ソケットのスプリング圧縮状態（コンタクト状態）の正断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００１６】
（第１の実施の形態）
図１（Ａ）は、本発明の第１の実施の形態に係るコンタクトプローブ１００の正断面図である。図１（Ｂ）は、コンタクトプローブ１００を絶縁支持体３１で支持したソケット３０のスプリング開放状態の正断面図である。図１（Ｃ）は、同ソケット３０のスプリング圧縮状態（コンタクト状態）の正断面図である。なお、図１（Ａ）,（Ｂ）,（Ｃ）において、コンタクトプローブ１００の第１及び第２プランジャー１,２は、非断面で示している。また、ソケット３０においてコンタクトプローブ１００は複数個支持されるが、ここではコンタクトプローブ１００を１つのみ図示している。
【００１７】
コンタクトプローブ１００は、第１プランジャー１と、第２プランジャー２と、スプリングとしてのコイルスプリング３と、チューブ４とを備える。第１プランジャー１は、検査対象物５との接続部品である。第２プランジャー２は、検査用基板６との接続部品である。銅又は銅合金等の導電性金属体であるチューブ４は、第１及び第２プランジャー１,２を摺動自在に保持するものであり、第１及び第２プランジャー１,２の基端側とコイルスプリング３とを内部に収容する。例えばピアノ線やステンレス線等の一般的な導体金属材質で形成されたコイルスプリング３は、第１及び第２プランジャー１,２を互いに離れる方向に付勢するように第１及び第２プランジャー１,２に対して設けられ、第１及び第２プランジャー１,２に検査対象物５及び検査用基板６との接触力を与える。検査対象物５は、例えば電極が所定間隔で配列された半導体集積回路であり、図示の場合、電極バンプ５ａが所定間隔で配列されたものである。検査用基板６は、測定器側に接続される電極パッド７を電極バンプ５ａに対応して所定間隔で有するものである。
【００１８】
銅又は銅合金等の導電性金属体である第１プランジャー１は、基端側から順に、基端側円柱部１１と、第１小径部１２と、第２小径部１３と、フランジ部１４と、先端側円柱部１９とを同軸に有する。同じく銅又は銅合金等の導電性金属体である第２プランジャー２は、基端側から順に、基端側大径部としての基端側円柱部２１と、先端側棒状部としての先端側円柱部２９とを有する。コイルスプリング３は、第１及び第２プランジャー１,２の基端側円柱部１１,２１の端面間に設けられ、各端面に離間方向の付勢力を与える。円筒状のチューブ４は、軸方向の異なる２箇所の中間部側面に、リング状に内側に凹んだ小径部としての絞り部４０１,４０２を第１及び第２プランジャー１,２の抜止めのために有する。なお、軸方向とは、コンタクトプローブ１００の長手方向を意味する。
【００１９】
第１プランジャー１において、基端側円柱部１１は、絞り部４０１の内径よりも大径である。円柱状の第１小径部１２は、絞り部４０１の内径よりも小径である。軸方向について第１小径部１２の存在範囲内に絞り部４０１が位置する。したがって、基端側円柱部１１が絞り部４０１に引っ掛かり、第１プランジャー１はチューブ４からの抜けが防止される。円柱状の第２小径部１３は、絞り部４０１の内径よりも大径であり、基端側が部分的にチューブ４内部に位置する。フランジ部１４は、チューブ４の内径よりも大径の円板形状である。先端側円柱部１９は、フランジ部１４よりも小径であり、先端が検査対象物５の電極バンプ５ａと接触する接触部１９ａとなっている。接触部１９ａは、分割山形状（ここでは８分割）であり、外周に中心から等角度間隔で山の頂点が存在する。
【００２０】
第２プランジャー２において、基端側円柱部２１は、絞り部４０２の内径よりも大径である。先端側円柱部２９は、絞り部４０２の内径よりも小径で、基端側が部分的にチューブ４内部に位置する。軸方向について先端側円柱部２９の存在範囲内に絞り部４０２が位置する。したがって、基端側円柱部２１が絞り部４０２に引っ掛かり、第２プランジャー２はチューブ４からの抜けが防止される。先端側円柱部２９の先端は、検査用基板６の電極パッド７と接触する接触部２９ａとなっている。接触部２９ａは、例えば円錐形状である。
【００２１】
図１（Ａ）に示すように、先端側円柱部２９は、基端側円柱部２１が絞り部４０２と係合しているときに、基端側円柱部２１を基点として揺動可能である。揺動は、基端側円柱部２１の側面とチューブ４の内面との間に隙間が存在する（基端側円柱部２１の外径がチューブ４の内径よりも僅かに小さい）こと、及び先端側円柱部２９の径がチューブ４の内径よりも小さいことで実現される。先端側円柱部２９の振れ量Ｂは、先端側円柱部２９の長さとチューブ４の内径（開口径）と、チューブ４の絞り部４０２から端部（符号４０５で示す端部）までの長さとによって決定される。すなわち、先端側円柱部２９の揺動範囲は、先端側円柱部２９の側面が図１（Ａ）に示すチューブ４の内側端縁４０５に接するまでの範囲である。あるいは、基端側円柱部２１の上端縁もしくは下端縁がチューブ４の内面に接することで揺動範囲が規制されてもよい。先端側円柱部２９が長いほど、より小さい振れ角で振れ量Ｂを大きくできる、すなわち先端側円柱部２９のコンタクト可能エリアを拡大することができる。振れ量Ｂの最大値は、先端側円柱部２９の接触部２９ａ（テーパー状）の先端（頂点）が、軸方向から見てチューブ４の外側面を越えないことが好ましい。すなわち、振れ量Ｂは、チューブ４の外半径以内であるとよい。理由は後述する。上記の最大値の範囲内において、振れ量Ｂの設計条件としては、例えば、
Ｂ≧Ａ
とする。但し、
Ｂ：コンタクトプローブ１００の単品時（ソケット組込み前）の第２プランジャー２の振れ量（片側）。
Ａ：コンタクトプローブ１００のセンター（＝検査対象物５の電極バンプ５ａのセンター）と検査用基板６の電極パッド７のセンターとのずれ量（図１（Ｂ）参照）。
【００２２】
図１（Ｂ）,（Ｃ）に示すように、ソケット３０は、コンタクトプローブ１００を複数本平行に配置するための空洞部３２を所定間隔で有する絶縁支持体３１（空洞部３２は１つのみ図示）を備え、それらの各空洞部３２にコンタクトプローブ１００を挿入配置したものである。具体的には、第１プランジャー１、第２プランジャー２、コイルスプリング３及びチューブ４を一体的に組み立ててコンタクトプローブ１００を構成したものを、絶縁支持体３１の空洞部３２に挿入配置する。なお、絶縁支持体３１は、コンタクトプローブ１００を空洞部３２内に組み込むために、第１層３１ａ及び第２層３１ｂに分割された構造となっている。
【００２３】
空洞部３２は、中間空洞部３５と、開口側空洞部３３,３４とを含む。中間空洞部３５は、チューブ４を収納するために、第１層３１ａ及び第２層３１ｂの両者に渡って（跨って）形成される。開口側空洞部３３,３４は、中間空洞部３５の両側(上下)に位置する。開口側空洞部３３は、中間空洞部３５と同軸かつ中間空洞部３５よりも小径で、一端が中間空洞部３５と連通し他端が絶縁支持体３１の表面に開口する。開口側空洞部３４は、中間空洞部３５よりも小径で、一端が中間空洞部３５と連通し他端が絶縁支持体３１の表面に開口する。開口側空洞部３４の中心軸は、中間空洞部３５の中心軸と略平行かつ当該中心軸から所定距離だけずれている。すなわち、開口側空洞部３４は、中間空洞部３５に対して偏心している。
【００２４】
第１プランジャー１のフランジ部１４は、中間空洞部３５内に位置し、開口側空洞部３３よりも大径であるため絶縁支持体３１からの抜けが防止される。すなわち、開口側空洞部３３は、フランジ部１４に係合して第１プランジャー１の抜け出しを規制する。先端側円柱部１９は、開口側空洞部３３に摺動自在に支持される。チューブ４は、中間空洞部３５内に保持される。中間空洞部３５と開口側空洞部３４の段差部分にチューブ４の端部が当接し、チューブ４の抜けが防止される。開口側空洞部３４は、チューブ４よりも小径であり、チューブ４の一端に係合してチューブ４の抜け出しを規制する。先端側円柱部２９は、開口側空洞部３４を通って絶縁支持体３１の表面から外側に（下方に）突出し、かつ、側面が開口側空洞部３４の一端（中間空洞部３５側の端）の縁の一部（図１（Ｂ）等に符号３４５で示す）と接触することで軸が所定角度だけ傾いている。なお、設計条件としては、先端側円柱部２９が前記所定角度だけ傾いた状態で、軸方向から見て、先端側円柱部２９の先端が開口側空洞部３４からはみ出さないようにする。図１（Ｂ）のスプリング開放状態から図１（Ｃ）に示すスプリング圧縮状態に移行するときに、先端側円柱部２９の先端が開口側空洞部３４に引っ掛からないようにするためである。
【００２５】
図２（Ａ）は、図１に示す絶縁支持体３１の第２層３１ｂを軸方向に上方から見た平面図である。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のB-B'断面図である。中間空洞部３５の一部を成す大径孔部３１１に、開口側空洞部３４が連通している。加工順序としては、まず開口側空洞部３４の加工後に、大径孔部３１１を加工する。加工には一般的な汎用ドリルを使用可能である。
【００２６】
ソケット３０を使用して検査を行う場合、ソケット３０は検査用基板６上に位置決め載置され、この結果、コイルスプリング３が所定長だけ縮んで第２プランジャー２の先端側円柱部２９の接触部２９ａが検査用基板６の電極パッド７に弾接する。半導体集積回路等の検査対象物５が無い状態では、第１プランジャー１はフランジ部１４が開口側空洞部３３と中間空洞部３５との段差で規制されるまで突出方向に移動しており、先端側円柱部１９の突出量は最大となっている。検査対象物５がソケット３０の絶縁支持体３１に対して所定の間隔で対向配置されることにより、先端側円柱部１９は後退してコイルスプリング３はさらに圧縮され、その結果、先端側円柱部１９は検査対象物５の電極バンプ５ａに弾接する。この状態で検査対象物５の検査が実行される。
【００２７】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００２８】
(1) チューブ４が第１及び第２プランジャー１,２の基端側とコイルスプリング３とを内部に収容しているため、各部品を一体に扱うことができ、組立性がよい。
【００２９】
(2) チューブ４の中間部の絞り部４０２で先端側円柱部２９を係止している状態で先端側円柱部２９を基端側円柱部２１を基点として揺動可能としているため、コンタクトプローブ１００の単品状態（ソケットへの組込み前）では、チューブ４の内側端縁４０５と先端側円柱部２９の側面との当接により、先端側円柱部２９の揺動範囲（図１（Ａ）に示す振れ量Ｂ）が適度に規制される。したがって、揺動範囲に規制が無い場合と比較して、ソケットへの組込み時の組立性がよい。ここで、上述のとおり振れ量Ｂがチューブ４の外半径以内であるものとすれば、多数個のコンタクトプローブ１００を絶縁支持体３１へ組み込む時（特に、第１層３１ａに組み込んだ後、第２層３１ｂを被せる時）に、いずれの先端側円柱部２９も接触部２９ａの先端が軸方向から見てチューブ４の存在範囲内にあるため、組込み作業性が顕著に良い。すなわち、振れ量Ｂがチューブ４の外半径を超える場合、多数個のコンタクトプローブ１００を絶縁支持体３１へ組み込む際には、全ての先端側円柱部２９を同時にある程度まっすぐに保持しなければならないところ、上記の条件を満たすことで、そうした煩雑な作業をせずに組込み可能となる。
【００３０】
(3) コイルスプリング３だけでなく、チューブ４も第１及び第２プランジャー１,２間を電気的に接続する経路を成すため、特許文献１及び２の構成と比較して低抵抗であり、電気的性能が優れている。
【００３１】
(4) コンタクトプローブの中心軸とコンタクト位置とのオフセット量は、先端側円柱部２９の揺動可能範囲内において、絶縁支持体３１の第２層３１ｂの開口側空洞部３４の配置によって任意に決定できるため、特許文献３のようにオフセット量がプランジャーの形状で決定される場合と比較して汎用性が高い。つまり、検査用基板６の電極パッド７に対して所定範囲内の任意の量だけオフセットした電極を有する検査対象物の測定が可能となる。
【００３２】
（第２の実施の形態）
図３（Ａ）は、本発明の第２の実施の形態に係るコンタクトプローブ２００の正断面図である。図３（Ｂ）は、コンタクトプローブ２００を絶縁支持体３１で支持したソケット３０のスプリング開放状態の正断面図である。図３（Ｃ）は、同ソケット３０のスプリング圧縮状態（コンタクト状態）の正断面図である。なお、図３（Ａ）,（Ｂ）,（Ｃ）において、コンタクトプローブ１００の第１及び第２プランジャー１,２は、非断面で示している。以下、第１の実施の形態との相違点を中心に説明する。
【００３３】
本実施の形態のコンタクトプローブ２００は、第１の実施の形態のコンタクトプローブ１００のチューブ４の絞り部４０１,４０２を無くし、代わりにチューブ４の両端を例えばかしめ加工で小径化した小径部としてのかしめ部４０７,４０８（内径は絞り部４０１,４０２と同じ）を形成している。また、コンタクトプローブ１００の第１プランジャー１の第１小径部１２及び第２小径部１３を無くし、基端側円柱部１１及びそれより小径の先端側円柱部１９が相互に直結している。第２プランジャー２の先端側円柱部２９は、基端側円柱部２１がかしめ部４０８と係合しているときに、基端側円柱部２１を基点として揺動する。このため、コンタクトプローブ２００の単品時の先端側円柱部２９の揺動範囲は、第１の実施の形態のコンタクトプローブ１００よりも広い。
【００３４】
本実施の形態は、第１の実施の形態と比較して先端側円柱部２９の揺動範囲の規制が小さいためソケットへの組込み時の組立性はよくないものの、その他の点では第１の実施の形態と同様の効果を奏する。
【００３５】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
【００３６】
第１の実施の形態において、第２プランジャー２の先端側円柱部２９を揺動可能とすることに替えて、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように第１プランジャー１の先端側円柱部１９を同様の構成で揺動可能としてもよい。第２の実施の形態に関しても同様である。なお、図４（Ｂ）,（Ｃ）では、２つのコンタクトプローブ３００を用いたケルビン測定用のソケットを示している。ケルビン測定とは、電流供給用のコンタクトプローブ及び電圧監視用のコンタクトプローブを検査対象物５の電極５ｂに当接させて電気的特性を測定するものである。図４（Ｂ）に示すように中間空洞部３５に対して偏心した開口側空洞部３３で２つの先端側円柱部１９を先端同士が互いに近づくように傾けることで、狭ピッチのケルビン測定が実現可能である。
【００３７】
先端側円柱部１９の端面は、分割山形状に限らず、軸方向と垂直な平面であってもよいし、特許文献３の図２に示されるプランジャー２４のような先端形状であってもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１  第１プランジャー
２  第２プランジャー
３  コイルスプリング
４  チューブ
５  検査対象物
５ａ  電極バンプ
６  検査用基板
１４  フランジ部
１９,２９  先端側円柱部
３０  ソケット
３１  絶縁支持体
１００,２００,３００  コンタクトプローブ
【図１】
2012149962.tif 000003
【図２】
2012149962.tif 000004
【図３】
2012149962.tif 000005
【図４】
2012149962.tif 000006