(57)【要約】【課題】複数のキャビティによる高い生産性を保持しつつ、成形樹脂の品質のばらつきの発生を回避することが可能となる。【解決手段】上型１０８Ａ、１０８Ｂと下型１１２Ａ、１１２Ｂと対をなす金型を２対有し、且つ上型１０８Ａ、１０８Ｂと下型１１２Ａ、１１２Ｂを相対的に接近・離反させるエアシリンダ１４４を有する打錠プレス１００において、エアシリンダ１４４は互いの移動方向が逆方向とされ移動することにより互いに反力を受けるシリンダ本体１４６及びロッド１５０を備え、シリンダ本体１４６が一方の対の下型１１２Ｂに連結され、ロッド１５０が他方の対の下型１１２Ａに連結され、シリンダ本体１４６及びロッド１５０の移動により上型１０８Ａ、１０８Ｂに対する下型１１２Ａ、１１２Ｂの相対的な接近・離反が２対の金型で行われる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１金型と第２金型とで対をなす金型を複数対有し、且つ該第１金型と第２金型を相対的に接近・離反させる駆動部を有する樹脂成形装置において、
前記駆動部は互いの移動方向が逆方向とされ移動することにより互いに反力を受ける第１移動体及び第２移動体を備え、
前記第１移動体が一方の対の前記第１金型若しくは前記第２金型に連結され、前記第２移動体が他方の対の前記第１金型若しくは前記第２金型に連結され、
前記第１移動体及び第２移動体の移動により前記第１金型に対する前記第２金型の相対的な接近・離反が前記複数対の金型で行われる
ことを特徴とする樹脂成形装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記複数対の金型が並列に配置され、且つ前記第１移動体及び第２移動体の移動する方向が前記第１金型に対する前記第２金型の接近・離反する方向と直交する方向とされ、
前記駆動部と前記第１金型若しくは前記第２金型との間に設けられるとともに、前記第１移動体及び第２移動体にかかる力の方向を該第１金型に対する該第２金型の接近・離反する方向に変換する変換機構を備える
ことを特徴とする樹脂成形装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記変換機構はＬ字型形状のレバー部と該レバー部の屈曲位置を支点として該レバー部を回転可能に支持する支点軸とを有し、
前記レバー部の一方の端部に前記第１金型若しくは前記第２金型が係合され、且つもう一方の端部に前記第１移動体若しくは前記第２移動体が係合される
ことを特徴とする樹脂成形装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記第１移動体は内側に１つの壁が移動可能とされた部屋を備えたシリンダ本体で構成され、且つ前記第２移動体は該１つの壁に設けられたロッドで構成され、
前記部屋に流体が導入されることにより前記第１移動体及び第２移動体の移動がなされる
ことを特徴とする樹脂成形装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記駆動部はエアシリンダとされ、前記流体は気体とされる
ことを特徴とする樹脂成形装置。
【請求項６】
第１金型と第２金型とで対をなす金型を複数対用い、且つ該第１金型と第２金型を相対的に接近・離反させる駆動部を用いて行われる樹脂成形方法において、
互いの移動方向が逆方向とされ移動することにより互いに反力を受ける第１移動体及び第２移動体を備える前記駆動部を用いることで、前記第１移動体及び第２移動体の移動により前記第１金型に対する前記第２金型の相対的な接近・離反を前記複数対の金型で行う工程を含む
ことを特徴とする樹脂成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂成形装置及び樹脂成形方法の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、２つのキャビティを用いる圧縮成形装置が記載されている。ここでは２つのキャビティが下型に平面的に並べて設けられている。このため、特許文献１では、複数の被成形品（基板を含む）をほぼ同時に樹脂で圧縮封止することが可能となる。すなわち、特許文献１では、１つのキャビティを備える圧縮成形装置に比べて、高い生産性を実現することができる。
【０００３】
なお、被成形品を圧縮封止する際に用いられる樹脂には粉末状や板状のものがある。板状の樹脂は、プリフォーム樹脂と呼ばれ、例えば粉末状の樹脂を加熱加圧して成形される。このプリフォーム樹脂に対して上述した２つのキャビティを用いる手法を使うことができれば、複数のプリフォーム樹脂をほぼ同時に成形でき、同様にプリフォーム樹脂の生産性を向上させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１２４０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、各キャビティで圧縮封止する際に一体の加圧部材で各キャビティに対して圧力を加えている。このため、キャビティ内の樹脂の量が大きく異なる場合には、キャビティ内の樹脂に作用する圧力（樹脂圧と称する）を各キャビティで均等にかけることが困難となり、圧縮封止された成形品における成形された樹脂（成形樹脂と称する）の品質にばらつき（圧縮封止時に生じる不具合を含む）を発生させるおそれがある。これは、プリフォーム樹脂を成形する場合であっても同様である。即ち、各キャビティで樹脂圧が異なることで樹脂の密度の違いなどを発生させ、プリフォーム樹脂の成形樹脂の品質にばらつき（不均一）を生じさせるおそれがある。
【０００６】
本発明は、これらの問題点を解消するべくなされたものであって、複数のキャビティによる高い生産性を保持しつつ、成形樹脂の品質のばらつきの発生を回避することが可能な樹脂成形装置（圧縮成形装置とプリフォーム樹脂を成形する装置とを含む）及び樹脂成形方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、第１金型と第２金型とで対をなす金型を複数対有し、且つ該第１金型と第２金型を相対的に接近・離反させる駆動部を有する樹脂成形装置において、前記駆動部は互いの移動方向が逆方向とされ移動することにより互いに反力を受ける第１移動体及び第２移動体を備え、前記第１移動体が一方の対の前記第１金型若しくは前記第２金型に連結され、前記第２移動体が他方の対の前記第１金型若しくは前記第２金型に連結され、前記第１移動体及び第２移動体の移動により前記第１金型に対する前記第２金型の相対的な接近・離反が前記複数対の金型で行われることで、上記課題を解決するものである。
【０００８】
本発明では、互いの移動方向が逆方向とされ（互いが）移動することにより互いに反力を受ける第１移動体及び第２移動体を備える駆動部を有している。そして、第１移動体及び第２移動体の移動により、第１金型に対する第２金型の相対的な接近・離反を複数対の金型で行うようにしている。つまり、第１移動体及び第２移動体にかかる力は向きが逆で等しい（作用反作用の原理に基づく）力であることから、複数対の金型における第１金型と第２金型とで構成される各キャビティでの樹脂圧を等しくすることができる。例えば、駆動部がシリンダとされ、第１移動体が内側に１つの壁が移動可能とされた部屋を備えたシリンダ本体で構成され、且つ第２移動体が該１つの壁に設けられたロッドで構成され、前記部屋に流体が導入されることにより前記第１移動体及び第２移動体の移動がなされる場合（請求項４）には、流体が導入されることでシリンダ本体及びロッドに同じ圧力を付与することができる。また、駆動部がリニアモータ類の場合には、磁石とコイルとの間に電磁気力が作用することで磁石若しくはコイルに連結された第１移動体及び第２移動体に同じ力を付与することができる。また、駆動部がボールねじを用いた機構の場合には、互いに螺旋状に噛み合ったねじ軸若しくはナットに連結された第１移動体と第２移動体とが相対的に回転することで互いを反対方向に押し出し、同じ力を付与することができる。
【０００９】
即ち、本発明をプリフォーム樹脂の成形に適用すると、樹脂の量が各キャビティで異なっても各キャビティでかかる力が等しくなりプリフォーム樹脂の密度を等しくすることができる。このため、例えば圧縮封止の際の樹脂の温度上昇特性を等しくでき、樹脂の硬化条件を複数のプリフォーム樹脂で等しくすることができる。即ち、品質が均一なプリフォーム樹脂を成形することができる。また、本発明を被成形品の圧縮封止に適用すると、樹脂の量が各キャビティで異なっても樹脂漏れや圧縮封止不良の発生を回避することができる。即ち、圧縮封止により成形される成形品の歩留まりを向上させることができる。
【００１０】
なお、前記複数対の金型が並列に配置され、且つ前記第１移動体と第２移動体の移動する方向が前記第１金型に対する前記第２金型の接近・離反する方向と直交する方向とされ、前記駆動部と前記第１金型若しくは前記第２金型との間に設けられるとともに、前記第１移動体及び第２移動体にかかる力の方向を該第１金型に対する該第２金型の接近・離反する方向に変換する変換機構を備える場合には、複数のキャビティが平面的に配置されるので、各キャビティへの樹脂の配置若しくは樹脂と被成形品の配置が容易となる。同時に、キャビティ毎の樹脂圧をより容易に且つ安定的に均一化することができる。
【００１１】
なお、上述した変換機構に特に制限はない。しかし、前記変換機構がＬ字型形状のレバー部と該レバー部の屈曲位置を支点として該レバー部を回転可能に支持する支点軸とを有し、前記レバー部の一方の端部に前記第１金型若しくは前記第２金型が係合され、且つもう一方の端部に前記第１移動体若しくは前記第２移動体が係合される場合には、変換機構を単純な構成とすることができ、低コストで変換機構を実現することができる。同時に、キャビティ毎の樹脂圧を更に容易に且つ安定的に均一化することができる。
【００１２】
なお、前記駆動部がエアシリンダとされ、前記流体が気体とされる場合には、駆動部を単純な構成で実現でき、且つ、使用する気体が樹脂成形装置及びその周辺装置に圧縮空気として配管されている場合が多いため樹脂成形装置を導入するための設備工事を低減することができる。結果的に、樹脂成形装置の低コスト化を促進することが可能となる。
【００１３】
なお、本発明は、第１金型と第２金型とで対をなす金型を複数対用い、且つ該第１金型と第２金型を相対的に接近・離反させる駆動部を用いて行われる樹脂成形方法において、互いの移動方向が逆方向とされ移動することにより互いに反力を受ける第１移動体及び第２移動体を備える前記駆動部を用いることで、前記第１移動体及び第２移動体の移動により前記第１金型に対する前記第２金型の相対的な接近・離反を前記複数対の金型で行う工程を含むことを特徴とする樹脂成形方法と捉えることもできる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明を適用することにより、複数のキャビティによる高い生産性を保持しつつ、成形樹脂の品質のばらつきの発生を回避することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る打錠プレスの一例を示す側面図
【図２】樹脂からプリフォーム樹脂を成形する手順を示す模式図
【図３】圧縮成形装置の一例を示す模式図
【図４】本発明の第２実施形態に係る打錠プレスの一例を示す側面図
【図５】本発明に対する比較例を示す側面図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態の一例について詳細に説明する。
【００１７】
最初に、本発明の第１実施形態に係る打錠プレス（樹脂成形装置）で成形されるプリフォーム樹脂が適用可能な圧縮成形装置について図３を用いて以下に説明する。なお、ここでは１つのキャビティを有する圧縮成形装置を例にして説明する。
【００１８】
圧縮成形装置１８０は、圧縮成形用金型として、上型１８２と下型１８４とを有する。下型１８４にはプレス機構（図示しない）が連結されており、所定のタイミングで下型１８４を上型１８２に対して接近、離反することが可能とされている。下型１８４は、貫通孔を備えた枠状金型１８８と当該貫通孔に嵌合して配置される圧縮金型１８６とを有した構成とされている。また、上型１８２に対する下型１８４の対向面には、離型フィルム１７８が供給されている。この離型フィルム１７８は図示せぬ供給機構によって案内され、所定のタイミングで順次送られて使用される。被成形品１９０（半導体チップ１９２を搭載した基板）は、上型１８２に備わる吸着機構（図示しない）によって吸着保持される。そして、被成形品１９０は、下型１８４の対向面（上型１８２側表面）の一部に形成されるキャビティにおいて、打錠プレス１００で所定の大きさに成形されたプリフォーム樹脂１０３で圧縮封止される。圧縮封止が終了すると、上型１８２と下型１８４とはプレス機構によって離反（型開き）される。封止された被成形品１９０（成形品）は、離型フィルム１７８の存在によって下型１８４から容易に取り外すことが可能なため、上型１８２に吸着保持された態様で取り出される。成形品が図示せぬ搬送機構によって運びだされた後、次の圧縮封止が行なわれる（樹脂封止工程）。なお、圧縮成形装置１８０には、いくつかの可動部分の駆動をするために圧縮空気が配管されている。
【００１９】
次に、打錠プレス１００を含むプリフォーム成形機構について、図２（Ｂ）を用いて説明する。なお、打錠プレス１００については詳細に後述する。
【００２０】
プリフォーム成形機構は、樹脂１０２を圧縮成形装置１８０のキャビティの形状に合わせて予め所定の大きさに成形（プリフォーム成形）することを目的としている。プリフォーム成形機構は、シュータ１７０と、ヒータ（図示しない）が備わった打錠プレス１００と、打錠プレス１００に隣接して配置される冷却部１７２とから構成される。シュータ１７０は、所定の樹脂量を所定の場所に導く円筒部材である。本実施形態では、シュータ１７０が２台用意され、図２（Ｂ）の図面奥行き方向に２か所同時に樹脂１０２を導くようにされている。打錠プレス１００と冷却部１７２とは、それぞれ上下２つの型から構成されており、それぞれ図示せぬプレス機構（駆動部）によって所定のタイミングで開閉可能とされている。本実施形態では、図２（Ｂ）の図面奥行き方向で、打錠プレス１００は２枚同時にプリフォーム樹脂１０３を成形可能とされ、冷却部１７２は２枚同時にプリフォーム樹脂１０３を冷却可能とされている。
【００２１】
打錠プレス１００及び冷却部１７２の下型１１２、１７６の位置と略同じ高さの位置に、第１支持ローラ１６０が設けられている。また、打錠プレス１００及び冷却部１７２の上型１０８、１７４の位置と略同じ高さの位置に第２支持ローラ１６２が設けられている。さらにこの第１支持ローラ１６０および第２支持ローラ１６２は水平方向（図２において左右方向）に位置が異なるように配置されている。その上で、第１支持ローラ１６０より上側且つ第２支持ローラ１６２より下側の位置に可動ローラ１６４が設けられている。この可動ローラ１６４は、自身が水平方向（図２において左右方向）に移動することが可能とされており、開いた状態の打錠プレス１００と冷却部１７２の間に進入することが可能とされている。
【００２２】
第１支持ローラ１６０、第２支持ローラ１６２および可動ローラ１６４には（離型フィルム１７８とは異なる）離型フィルム１５８が係合している。この離型フィルム１５８には、例えば、ポリプロピレンフイルムが使用される。この離型フィルム１５８は、プリフォーム成形機構における樹脂１０２とプリフォーム樹脂１０３とを搬送する機能および当該樹脂１０２がプリフォーム成形機構に付着すること等を防止する機能を有する。なお、プリフォーム成形機構にも、いくつかの可動部分の駆動をするために圧縮空気が配管されている。
【００２３】
次に、プリフォーム成形機構におけるプリフォーム成形工程について図２を用いて簡単に説明する。
【００２４】
まず、可動ローラ１６４が第２支持ローラ１６２の近傍に位置され、シュータ１７０から樹脂１０２が離型フィルム１５８上に供給される（図２（Ａ））。
【００２５】
次に、離型フィルム１５８上に供給された樹脂１０２を、打錠プレス１００の位置にまで移動するように、可動ローラ１６４を移動させる（図２において右側）。このとき樹脂１０２は、離型フィルム１５８によって上下が包まれた状態で移動する。樹脂１０２が打錠プレス１００の位置まで運ばれると（図２（Ｂ））、打錠プレス１００がプレス機構（駆動部）によって型閉じされ、目的とする形状（例えば、圧縮成形装置１８０のキャビティの形状と相似する形状）の樹脂（プリフォーム樹脂１０３）へと成形される。
【００２６】
次に、打錠プレス１００によって成形されたプリフォーム樹脂１０３を冷却部１７２の位置へと移動させるように、可動ローラ１６４が移動する（図２において右側）。プリフォーム樹脂１０３が冷却部１７２の位置まで運ばれると（図２（Ｃ））、冷却部１７２が閉じられ、プリフォーム樹脂１０３が必要な程度にまで冷却される。
【００２７】
次に、冷却が終った段階で可動ローラ１６４が第２支持ローラ１６２の近傍に戻り、冷却後のプリフォーム樹脂１０３を図示せぬ搬送機構によって搬送することが可能な位置にまで運び出す（図２（Ｄ））。
【００２８】
そして、シュータ１７０から次の樹脂１０２が離型フィルム１５８上に供給される（図２（Ｅ））。
【００２９】
以下、打錠プレス１００（樹脂成形装置）について、図１を用いて説明する。
【００３０】
打錠プレス１００は、上述の如く、上型１０８（１０８Ａ、１０８Ｂ）（第１金型）と下型１１２（１１２Ａ、１１２Ｂ）（第２金型）とで対をなす金型を２対有する。また、打錠プレス１００は、上型１０８と下型１１２を相対的に接近・離反させるエアシリンダ１４４（駆動部）を有する。エアシリンダ１４４は互いの移動方向が逆方向とされ（互いが）移動することにより互いに反力を受けるシリンダ本体（第１移動体）１４６及びロッド（第２移動体）１５０を備えている。そして、シリンダ本体１４６が一方の対の下型１１２Ｂに連結され、ロッド１５０が他方の対の下型１１２Ａに連結されている。そして、シリンダ本体１４６及びロッド１５０の移動により、上型１０８に対する下型１１２の相対的な接近・離反が２対の金型で行われる。２対を構成する上型１０８Ａ、１０８Ｂと下型１１２Ａ、１１２Ｂとは並列に図２（Ｂ）では図面奥行き方向に配置されている。
【００３１】
以下、打錠プレス１００について詳細に説明する。
【００３２】
前記上型１０８は上型１０８Ａ、１０８Ｂを称したものであり、下型１１２Ａ、１１２Ｂそれぞれに対向する上型１０８Ａ、１０８Ｂは一体とされている。上型１０８は、打錠プレス１００のフレーム１０４に支持されている。
【００３３】
前記下型１１２は、２つの下型１１２Ａ、１１２Ｂを称したものである。下型１１２Ａ（１１２Ｂ）は、圧縮型１１４Ａ（１１４Ｂ）と枠型１１６Ａ（１１６Ｂ）とばね１２０Ａ（１２０Ｂ）とベース部１２２Ａ（１２２Ｂ）とを備える。圧縮型１１４Ａ（１１４Ｂ）はキャビティの底面を構成し、枠型１１６Ａ（１１６Ｂ）の貫通孔に嵌合している。枠型１１６Ａ（１１６Ｂ）は、ばね１２０Ａ（１２０Ｂ）を介して圧縮型１１４Ａ（１１４Ｂ）を支持しているベース部１２２Ａ（１２２Ｂ）に支持されている。
【００３４】
ベース部１２２Ａ（１２２Ｂ）の下側には支柱部１２４Ａ（１２４Ｂ）が取り付けられており、その外周の鉛直方向（Ｚ方向）に沿ってレール１２６Ａ（１２６Ｂ）が設けられている。支柱部１２４Ａ（１２４Ｂ）に相対してガイド基部１３０Ａ（１３０Ｂ）がベース板１３２に立設されている。そして、レール１２６Ａ（１２６Ｂ）に対してガイド１２８Ａ（１２８Ｂ）がガイド基部１３０Ａ（１３０Ｂ）に設けられている。このため、レール１２６Ａ（１２６Ｂ）により支柱部１２４Ａ（１２４Ｂ）が鉛直方向に移動可能とされている。なお、ベース板１３２はフレーム１０４を支持している打錠プレス１００の匡体１０６に固定されている。
【００３５】
支柱部１２４Ａ、１２４Ｂの鉛直下方のベース板１３２には貫通孔１３４Ａ、１３４Ｂがそれぞれ設けられている。貫通孔１３４Ａ、１３４Ｂの内側にはそれぞれ、変換機構１３６Ａ、１３６Ｂが取付けられている。
【００３６】
変換機構１３６Ａ（１３６Ｂ）は、Ｌ字型形状のレバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）とレバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）の屈曲位置を支点としてレバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）を回転可能に支持する支点軸１４０Ａ（１４０Ｂ）とを有する。支点軸１４０Ａ（１４０Ｂ）は、貫通孔１３４Ａ（１３４Ｂ）の内側に固定されている。
【００３７】
レバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）の一方の端部は支柱部１２４Ａ（１２４Ｂ）の鉛直下方の軸Ａ（Ｂ）上に位置し、その端部にローラ１４２Ａ（１４２Ｂ）が回転可能に設けられている。そして、ローラ１４２Ａ（１４２Ｂ）は支柱部１２４Ａ（１２４Ｂ）の下端に接触している。即ち、レバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）の一方の端部に（支柱部１２４Ａ（１２４Ｂ）、ローラ１４２Ａ（１４２Ｂ）を介して）下型１１２が係合されている。
【００３８】
エアシリンダ１４４は、シリンダ本体１４６とロッド１５０とを備える。シリンダ本体１４６には内側に１つの壁が移動可能とされた部屋を備え、図示せぬ配管により圧縮空気が導入される。ロッド１５０はその移動可能とされた１つの壁に設けられている。このため、シリンダ本体１４６の部屋に気体である圧縮空気が導入されることによりシリンダ本体１４６及びロッド１５０の移動がなされる（見かけ上のロッド１５０の伸縮）。なお、圧縮空気は、エアシリンダ１４４以外でも打錠プレス１００のいくつかの可動部分の駆動をするために配管されている。
【００３９】
シリンダ本体１４６の端部（図１では左端部）である本体端部１４８には、レバー部１３８Ｂのもう一方の端部が回転可能に接続されている。ロッド１５０の端部（図１では右端部）であるロッド端部１５２には、レバー部１３８Ａのもう一方の端部が回転可能に接続されている。即ち、レバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）のもう一方の端部にシリンダ本体１４６若しくはロッド１５０が係合されている。このため、エアシリンダ１４４のロッド１５０が水平方向（軸Ｃの方向）で見かけ上伸縮すると、シリンダ本体１４６及びロッド１５０が移動して変換機構１３６Ａ（１３６Ｂ）が支点軸１４０Ａ（１４０Ｂ）を中心に回転する。そして、変換機構１３６Ａ（１３６Ｂ）のローラ１４２Ａ（１４２Ｂ）は、支柱部１２４Ａ（１２４Ｂ）を鉛直方向（軸Ａ（Ｂ）の方向）で移動させることとなる。即ち、シリンダ本体１４６及びロッド１５０が移動する方向（軸Ｃの方向）は、上型１０８に対する下型１１２の接近・離反する方向（軸Ａ（Ｂ）の方向）と直交する方向とされている。そして、変換機構１３６Ａ（１３６Ｂ）は、エアシリンダ１４４と下型１１２との間に設けられるとともに、シリンダ本体１４６及びロッド１５０にかかる力の方向を上型１０８に対する下型１１２の接近・離反する方向に変換している。
【００４０】
なお、エアシリンダ１４４は、本体端部１４８とロッド端部１５２だけで支持されている。このため、ロッド１５０の見かけ上の伸縮によって、本体端部１４８とロッド端部１５２には向きが逆で等しい力が加わる。このため、変換機構１３６Ａ、１３６Ｂにより下型１１２Ａ、１１２Ｂにかけられる力は、向きが等しく且つ同一となる。
【００４１】
このように本実施形態では、互いの移動方向が逆方向とされ（互いが）移動することにより互いに反力を受けるシリンダ本体１４６及びロッド１５０を備えるエアシリンダ１４４を有している。そして、シリンダ本体１４６及びロッド１５０の移動により、上型１０８に対する下型１１２の相対的な接近・離反を２対でしかも同時に行うようにしている。つまり、シリンダ本体１４６及びロッド１５０にかかる力は向きが逆で等しい（作用反作用の原理に基づく）力であることから、２対の上型１０８と下型１１２とで構成される各キャビティでの樹脂圧を等しくすることができる。
【００４２】
これに対する比較例を図５に示し、以下に比較例を説明する。
【００４３】
比較例においては、上型３０８（３０８Ａ、３０８Ｂ）に対する下型３１２（３１２Ａ、３１２Ｂ）の接近・離反を行う機構が本実施形態と異なる。このため、下型３１２より下側を説明し、それ以外は、下２桁の符号を同一として説明を省略する。
【００４４】
下型３１２Ａ（３１２Ｂ）の下側には棒状のガイド３２８Ａ（３２８Ｂ）が複数設けられている。ベース板３３２には、ガイド３２８Ａ（３２８Ｂ）に対応する図示せぬ貫通孔が設けられており、その貫通孔に沿ってガイド３２８Ａ（３２８Ｂ）が移動可能とされている。複数のガイド３２８Ａ（３２８Ｂ）の中央付近（圧縮型３１４Ａ（３１４Ｂ）の真下に相当）には、ばね３３０Ａ（３３０Ｂ）が配置されている。このため、下型３１２Ａ（３１２Ｂ）は、ばね３３０Ａ（３３０Ｂ）を介してベース板３３２で支持されている。
【００４５】
ベース板３３２の下側にはエアシリンダ３４４が配置されている。エアシリンダ３４４の本体３４６は、打錠プレス３００の匡体３０６に配置され、ロッド３５０の上端のロッド端部３５２がベース板３３２の下面に接するようにされている。エアシリンダ３４４を囲むように複数の棒状のガイド３３４が匡体３０６に立設されている。ガイド３３４に対応して図示せぬ貫通孔がベース板３３２の端部近傍に設けられている。このため、エアシリンダ３４４のロッド端部３５２が鉛直方向（Ｚ方向）に移動することで、ベース板３３２が水平方向（Ｘ方向）と平行を保ちながら鉛直方向に移動することとなる。ここで、ばね３３０Ａ、３３０Ｂは別個に下型３１２Ａ、３１２Ｂを支持している。このため、１つのエアシリンダ３４４で同時に各キャビティに配置された樹脂３０２Ａ、３０２Ｂそれぞれをプリフォーム成形することができる。
【００４６】
しかし、比較例では、樹脂３０２Ａ、３０２Ｂの量に大きな差があると、ばね３３０Ａ、３３０Ｂの伸縮量が異なってしまうので、各キャビティにおける樹脂圧が異なることとなる。即ち、この比較例では、２つのキャビティで樹脂３０２Ａ、３０２Ｂの量に大きな差があると成形される２つのプリフォーム樹脂の密度が異なり、特に熱伝導性が異なることとなる。このため、比較例では、圧縮成形装置で被成形品を圧縮封止する際に、樹脂の温度上昇特性が同時に成形したのにもかかわらず異なり、樹脂の硬化条件（硬化時間）が違ってしまい、成形品における成形樹脂の品質に影響を与えるおそれが出てくる。このようなことは、特に複数の被成形品を同時に成形する場合（例えば特許文献１）に成形品の不良を生じさせるおそれが出てくる。
【００４７】
これに対して、本実施形態の打錠プレス１００によるプリフォーム樹脂１０３の成形では、樹脂１０２Ａ、１０２Ｂの量が２つのキャビティで異なっても２つのキャビティでかかる力（樹脂圧）を等しくできることから、プリフォーム樹脂１０３の密度を等しくすることができる。このため、樹脂漏れや圧縮封止の際の樹脂の温度上昇特性や樹脂の硬化条件を複数のプリフォーム樹脂１０３で等しくすることができる。即ち、品質が均一なプリフォーム樹脂１０３を成形することができ、比較例で示したような不具合発生の可能性を回避することができる。
【００４８】
また、本実施形態では、２対の上型１０８と下型１１２が並列に配置され、且つシリンダ本体１４６及びロッド１５０の移動する方向（軸Ｃの方向）が上型１０８に対する下型１１２の接近・離反する方向（軸Ａ（Ｂ）の方向）と直交する方向とされている。そして、エアシリンダ１４４と下型１１２との間に設けられるとともに、シリンダ本体１４６及びロッド１５０にかかる力の方向を上型１０８に対する下型１１２の接近・離反する方向に変換する変換機構１３６Ａ、１３６Ｂを備えている。このため、２つのキャビティが平面的に配置されるので、各キャビティへの樹脂１０２の配置が容易となる。同時に、キャビティ毎の樹脂圧をより容易に且つ安定的に均一化することができる。
【００４９】
また、本実施形態では、変換機構１３６Ａ（１３６Ｂ）がＬ字型形状のレバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）とレバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）の屈曲位置を支点としてレバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）を回転可能に支持する支点軸１４０Ａ（１４０Ｂ）とを有する。そして、レバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）の一方の端部に下型１１２が係合されている。同時に、レバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）のもう一方の端部にロッド１５０（シリンダ本体１４６）が係合されている。このため、変換機構１３６Ａ（１３６Ｂ）を単純な構成とすることができ、低コストで変換機構１３６Ａ（１３６Ｂ）を実現することができる。同時に、キャビティ毎の樹脂圧を更に容易に且つ安定的に均一化することができる。
【００５０】
また、駆動部がエアシリンダ１４４とされ、シリンダ本体１４６の部屋に導入される流体が圧縮空気（気体）とされている。このため、駆動源を単純な構成で実現でき、且つ、使用する圧縮空気が打錠プレス１００を含めてプリフォーム成形機構や圧縮成形装置１８０に配管されているので、打錠プレス１００を導入するための設備工事を低減することができる。結果的に、打錠プレス１００の低コスト化をより促進することが可能となる。
【００５１】
即ち、本実施形態においては、複数のキャビティによる高い生産性を保持しつつ、成形樹脂の品質のばらつきの発生を回避することが可能となる。
【００５２】
本発明について第１実施形態を挙げて説明したが、本発明は第１実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでも無い。
【００５３】
例えば、第１実施形態においては下型１１２をエアシリンダ１４４で移動させていたが、本発明はこれに限定されず、上型をエアシリンダで移動させるようにしてもよい。
【００５４】
また、第１実施形態においては２対の上型１０８と下型１１２が並列に配置され、エアシリンダ１４４のシリンダ本体１４６及びロッド１５０の移動する方向が水平方向であり、変換機構１３６Ａ（１３６Ｂ）がＬ字型形状のレバー部１３８Ａ（１３８Ｂ）を有していたが、本発明はこれに限定されない。例えば図４に示す第２実施形態の如くであってもよい。以下、第２実施形態について説明する。
【００５５】
本実施形態では、２対の上型２０８Ａ、２０８Ｂと下型２１２Ａ、２１２Ｂとが直列に配置され、その間にエアシリンダ２４４が配置されている。エアシリンダ２４４のロッド２５０が見かけ上伸縮する方向（シリンダ本体２４６及びロッド２５０の移動する方向；Ｚ方向）は、上型２０８Ａ、２０８Ｂに対して下型２１２Ａ、２１２Ｂが接近・離反する方向と一致されている。このため、シリンダ本体２４６（の本体端部２４８）は直接的に支柱部２２４Ａの下端に接続されている。即ち、シリンダ本体２４６が支柱部２２４Ａを介して一方の対の下型２１２Ａに連結されている。また、ロッド２５０（ロッド端部２５２）は直接的に支柱部２２４Ｂの上端に接続されている。そして、支柱部２２４Ｂの下端にもう一方の対の上型２０８Ｂが接続されている。即ち、ロッド２５０が支柱部２２４Ｂを介して上型２０８Ｂに連結されている。上型２０８Ａはフレーム２０４に支持されており、下型２１２Ｂは、打錠プレス２００のフレーム２０４に支持されている。なお、本実施形態では、下型２１２Ａから上型２０８Ｂまでの質量が樹脂２０２Ｂにかかることを回避するため、上型２０８Ｂと匡体２０６との間に下型２１２Ａから上型２０８Ｂまでの質量の影響を除去するための図示せぬ弾性部材を設けることが可能とされている。上記以外は第１実施形態と同様なので、符号の下２桁を同一として説明を省略する。
【００５６】
本実施形態では、第１実施形態に比べて変換機構を省くことができ、打錠プレス２００をより低コストとすることができる。同時に、打錠プレス２００の設置面積も少なくすることが可能となる。なお、本実施形態では、２対の上型２０８Ａ、２０８Ｂと下型２１２Ａ、２１２Ｂを鉛直方向（Ｚ方向）で直列としたが、水平方向（Ｘ方向）で直列としてもよい。その場合には、本実施形態で問題となる打錠プレスの構成部材の質量のプリフォーム成形への影響を回避することが可能となる。
【００５７】
また、上記実施形態においては２対の上型と下型であったが、本発明はこれに限定されず複数対であればよい。たとえば、４対であれば、上述のエアシリンダをそのまま用いることで２対毎に樹脂圧を等しくすることができる。
【００５８】
また、上記実施形態においては、駆動部としてエアシリンダを用いたが、本発明はこれに限定されない。たとえば、駆動部として油圧シリンダを用いれば駆動部をより小型化することも可能である。あるいは、駆動部がリニアモータ類であれば磁石とコイルの間に電磁気力が作用することで磁石若しくはコイルに連結された第１移動体及び第２移動体に同じ力を付与することができる。又、駆動部がボールねじを用いた機構であれば、互いに螺旋状に噛み合ったねじ軸若しくはナットに連結された第１移動体と第２移動体とが相対的に回転することで互いを反対方向へ押し出し、同じ力を付与することができる。なお、第１移動体と第２移動体の移動は、第１実施形態の変換機構１３６Ａ、１３６Ｂで支持される場合だけでなく、リニアガイドやエアガイドなどであってもよい。
【００５９】
また、上記実施形態においては、樹脂成形装置が打錠プレスとされていたが、本発明はこれに限定されない。たとえば、樹脂成形装置が被成形品を圧縮封止する圧縮成形装置であってもよい。その場合には、樹脂圧が１桁増加（数トンから十数トン以上）し且つ型締めの際に精密な位置決めが必要となるが、原理的には樹脂の量が各キャビティで異なっても樹脂漏れや圧縮封止不良（半導体チップと基板を接続するボンディングワイヤの切断、半導体チップの基板からの剥離、半導体チップの破損、樹脂充填不足など）の発生を回避することができる。即ち、圧縮封止により成形される成形品の歩留まりを向上させることができる。そして、第１実施形態のように対となる上型と下型とが並列であれば各キャビティへの樹脂と基板の配置が容易になる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明は、半導体チップ等の被成形品（基板を含む）を樹脂にて圧縮封止するための圧縮成形装置や、その圧縮成形装置に用いられるプリフォーム樹脂の成形をする打錠プレス等、を対象とする樹脂成形装置及び樹脂成形方法として好適である。
【符号の説明】
【００６１】
１００、２００、３００…打錠プレス
１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂ、３０２Ａ、３０２Ｂ…樹脂
１０３…プリフォーム樹脂
１０８、１０８Ａ、１０８Ｂ、１７４、１８２、２０８Ａ、２０８Ｂ、３０８、３０８Ａ、３０８Ｂ…上型
１１２、１１２Ａ、１１２Ｂ、１７６、１８４、２１２Ａ、２１２Ｂ、３１２、３１２Ａ、３１２Ｂ…下型
１１４Ａ、１１４Ｂ、２１４Ａ、２１４Ｂ、３１４Ａ、３１４Ｂ…圧縮型
１１６Ａ、１１６Ｂ、２１６Ａ、２１６Ｂ、３１６Ａ、３１６Ｂ…枠型
１２０Ａ、１２０Ｂ、２２０Ａ、２２０Ｂ、３２０Ａ、３２０Ｂ、３３０Ａ、３３０Ｂ…ばね
１２２Ａ、１２２Ｂ、２２２Ａ、２２２Ｂ、３２２Ａ、３２２Ｂ…ベース部
１２４Ａ、１２４Ｂ、２２４Ａ、２２４Ｂ…支柱部
１２６Ａ、１２６Ｂ、２２６Ａ、２２６Ｂ…レール
１２８Ａ、１２８Ｂ、２２８Ａ、２２８Ｂ、３２８Ａ、３２８Ｂ、３３４…ガイド
１３０Ａ、１３０Ｂ、２３０Ａ、２３０Ｂ…ガイド基部
１３２、２３２Ａ、２３２Ｂ、３３２…ベース板
１３６Ａ、１３６Ｂ…変換機構
１３８Ａ、１３８Ｂ…レバー部
１４０Ａ、１４０Ｂ…支点軸
１４４、２４４、３４４…エアシリンダ
１４６、２４６、３４６…シリンダ本体
１４８、２４８…本体端部
１５０、２５０、３５０…ロッド
１５２、２５２、３５２…ロッド端部
１５８、１７８…離型フィルム
１６０…第１支持ローラ
１６２…第２支持ローラ
１６４…可動ローラ
１７０…シュータ
１７２…冷却部
１８０…圧縮成形装置
１９０…被成形品（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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