(57)【要約】      （修正有）【課題】チップをパッケージに組み立てる前に行われるテスト測定において、ボンディングパッドの表面に、プローブ端子との接触に起因して形成されてしまう凹凸により、ボンディングパッドとボンディングワイヤーとの接合強度不足を引き起こす恐れがあり、これを対策した半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】半導体装置のボンディングパッドＡにプローブ端子を接触させ、所定の試験を行う試験工程と、試験工程の後、薬液を用いてボンディングパッド表面を溶かす処理、または、加熱炉を用いて加熱することでボンディングパッド表面を溶かした後、溶かした部分を固化する処理を行うパッド表面処理工程と、を有する半導体装置の製造方法。【選択図】図３
2012028596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置のボンディングパッドにプローブ端子を接触させ、所定の試験を行う試験工程と、
前記試験工程の後、薬液を用いて前記ボンディングパッド表面を溶かす処理、または、加熱炉を用いて加熱することで前記ボンディングパッド表面を溶かした後、溶かした部分を固化する処理を行うパッド表面処理工程と、
を有する半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記パッド表面処理工程の後、前記ボンディングパッドにボンディングワイヤーを接合するパッケージ工程をさらに有する半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の半導体装置の製造方法において、
前記薬液はＰＨＣである半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記試験工程の後、前記ボンディングパッドの表面には、前記プローブ端子との接触に起因して凹凸が形成されており、
前記パッド表面処理工程の後、前記凹凸は軽減されている半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各チップには、外部引き出し用の電極であるボンディングパッドが設けられている。
【０００３】
そして、性能確認等のため各チップに対して行われるテスト測定においては、プローブ端子をボンディングパッドと接触させることで、試験装置とチップとの電気的接続が実現される。
【０００４】
また、ウエハーから切り出されたチップをパッケージに組み立てる際には、ボンディングパッドにボンディングワイヤーを接合することで、パッケージの端子とチップとの電気的接続が実現される。
【０００５】
ここで、チップをパッケージに組み立てる前に行われる上記テスト測定において、ボンディングパッドの表面に、プローブ端子との接触に起因して凹凸（以下、「プローブ痕」という）が形成されてしまう場合がある。当該プローブ痕の凹凸が大きい場合、ボンディングパッドとボンディングワイヤーとの接合強度不足を引き起こす恐れがある。
【０００６】
上記問題を解決する手段として、特許文献１乃至３に記載されたものがある。
【０００７】
まず、図５乃至７を用いて、特許文献１に記載された技術について説明する。
【０００８】
図５乃至７各々に示す（ａ）の図は、半導体装置を模式的に示した断面図であり、Ａで示す箇所がボンディングパッドである。また、プローブ端子とボンディングパッドＡとを接触させる際にプローブ端子が滑る方向（以下、「プローブ端子滑り方向」という）を矢印Ｂで示してある。
【０００９】
一方、図５乃至７各々に示す（ｂ）の図は、ボンディングパッドＡを模式的に示した平面図である。そして、同様に、プローブ端子滑り方向を矢印Ｂで示してある。
【００１０】
特許文献１に記載の技術では、ボンディングパッドＡは、プローブ端子と接触するための領域、および、ボンディングワイヤーと接合するための領域各々を別に備える。このため、ボンディングパッドＡの平面形状は、例えば図５（ｂ）に示すように長方形となる。そして、プローブ端子とボンディングパッドＡとを接触させる際には、図６（ａ）および（ｂ）に示すように、ボンディングパッドＡの一部領域（図中、ボンディングパッドＡの右半分の領域）を用いて行う。そして、その後に行われるボンディングワイヤーとボンディングパッドＡとを接合する際には、図７（ａ）および（ｂ）に示すように、ボンディングパッドＡのプローブ痕Ｃが形成されていない領域（図中、ボンディングパッドＡの左半分の領域）を用いて行われる。
【００１１】
次に、特許文献２には、上記テスト測定の後、ボンディングパッドの表面にレーザー光または電子ビームを照射して溶融し、プローブ痕を軽減する技術が開示されている。
【００１２】
特許文献３には、上記テスト測定時に形成されたプローブ痕に対して、再度プローブ端子を接触させることで、プローブ痕の凹凸を平坦化する技術が記載されている。なお、２回目の接触時は、プローブ端子滑り方向が、プローブ痕が形成された時のプローブ端子滑り方向と逆になるように行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００２−３２９７４２号公報
【特許文献２】特開平６−２６７８８４号公報
【特許文献３】特開２００９−２８９７６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
特許文献１に記載の技術の場合、ボンディングパッドは、プローブ端子と接触するための領域、および、ボンディングワイヤーと接合するための領域各々を別に備える必要があるため、ボンディングパッドの面積が大きくなってしまう。結果、チップの小型化の妨げとなる。
【００１５】
特許文献２に記載の技術の場合、レーザー光や電子ビームを照射するための専用設備が必要となり、コスト負担が大きくなる。また、ボンディングパッド各々にレーザー光や電子ビームを照射する必要があり、スループットがあがらないという問題がある。
【００１６】
特許文献３に記載の技術の場合、プローブ端子滑り方向が、プローブ痕が形成された時のプローブ端子滑り方向と逆になるようプローブ端子をボンディングパッドに接触させる必要があるが、当該接触を実現するためにはテスト測定用のプローブカードとは別に、上記接触を実現する専用のプローブカードを用意する必要があり、コスト負担が大きくなる。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明によれば、半導体装置のボンディングパッドにプローブ端子を接触させ、所定の試験を行う試験工程と、前記試験工程の後、薬液を用いて前記ボンディングパッド表面を溶かす処理、または、加熱炉を用いて加熱することで前記ボンディングパッド表面を溶かした後、溶かした部分を固化する処理を行うパッド表面処理工程と、を有する半導体装置の製造方法が提供される。
【００１８】
本発明によれば、ボンディングパッドとプローブ端子とを接触させることに起因してボンディングパッドの表面に形成されたプローブ痕を、パッケージ工程の前に軽減することができる。
【００１９】
このため、プローブ端子と接触するための領域、および、ボンディングワイヤーと接合するための領域各々を別にボンディングパッドが備えなくても、ボンディングパッドとボンディングワイヤーとの接合強度不足を抑制することができる。結果、ボンディングワイヤーの表面積が大きくなる不都合を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ボンディングパッドの表面積が大きくなる不都合を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本実施形態の半導体装置の製造方法を説明するための断面模式図と平面模式図の一例である。
【図２】本実施形態の半導体装置の製造方法を説明するための断面模式図と平面模式図の一例である。
【図３】本実施形態の半導体装置の製造方法を説明するための断面模式図と平面模式図の一例である。
【図４】本実施形態の半導体装置の製造方法を説明するための断面模式図と平面模式図の一例である。
【図５】従来の半導体装置の製造方法を説明するための断面模式図と平面模式図の一例である。
【図６】従来の半導体装置の製造方法を説明するための断面模式図と平面模式図の一例である。
【図７】従来の半導体装置の製造方法を説明するための断面模式図と平面模式図の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。以下の構造図は全て本発明の実施の形態を模式的に示すものであり、特にことわりがない限り、構成要素の図面上の比率により、本発明による構造の寸法を規定するものではない。また、同様の構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００２３】
以下、図１乃至４を用いて、本実施形態の半導体装置の製造方法について説明する。
【００２４】
なお、図１乃至４各々に示す（ａ）の図は、半導体装置を模式的に示した断面図であり、Ａで示す箇所がボンディングパッドである。また、プローブ端子滑り方向を矢印Ｂで示してある。
【００２５】
一方、図１乃至４各々に示す（ｂ）の図は、ボンディングパッドＡを模式的に示した平面図である。そして、同様に、プローブ端子滑り方向を矢印Ｂで示してある。
【００２６】
本実施形態の半導体装置の製造方法は、試験工程と、パッド表面処理工程と、を有する。なお、本実施形態の半導体装置の製造方法は、さらに、パッケージ工程を有することもできる。以下、各工程について説明する。
【００２７】
試験工程では、半導体装置のボンディングパッドＡにプローブ端子を接触させ、所定の試験を行う。
【００２８】
例えば、図１（ａ）および（ｂ）に示すような状態の半導体装置に対して、図２（ａ）に示すようにプローブ端子を接触させ、当該半導体装置と試験装置とを電気的に接続する。そして、当該半導体装置に対して所定の試験を行う。試験内容は特段制限されず、当該半導体装置が正常に動作するか確認する試験などが考えられる。
【００２９】
ここで、試験工程の後には、図２（ａ）および（ｂ）に示すように、ボンディングパッドＡの表面に、プローブ端子との接触に起因してプローブ痕Ｃ（凹凸）が形成される。
【００３０】
パッド表面処理工程は、上記試験工程の後に行われる。表面処理工程では、（１）薬液を用いてボンディングパッド表面を溶かす処理、または、（２）加熱炉を用いて加熱することでボンディングパッド表面を溶かした後、溶かした部分を固化する処理（以下、「固化処理」という）が行われる。
【００３１】
例えば、図３（ａ）および（ｂ）に示すように、プローブ痕Ｃが形成されたボンディングパッドＡの表面に対して薬液を用いた処理を行うことで、ボンディングパッドＡの表面を溶かす。または、図３（ａ）および（ｂ）に示すように、プローブ痕Ｃが形成されたボンディングパッドＡの表面を加熱することでボンディングパッドＡの表面を溶かした後、溶かした部分を固化する。
【００３２】
ここで、（１）薬液を用いてボンディングパッドＡの表面を溶かす処理は、例えば、薬液としてＰＨＣ（リン酸、硝酸および酢酸の混合液）を用いることができる。処理方法は、ボンディングパッドＡの表面と薬液との接触を実現できれば特段制限されず、例えば、薬液の満たしてある槽内に１枚以上のウエハーを投入してもよいし、または、所定の装置を用いてウエハーをスピンさせながら、ウエハー表面に薬液を垂らしてもよい。
【００３３】
次に、（２）加熱炉を用いた加熱は、ボンディングパッドＡの表面が溶融する条件で行われる。そして、この加熱処理に次いで行われる固化処理は、ボンディングパッドＡの表面を冷却する処理とすることができる。
【００３４】
上記パッド表面処理工程を経ることで、図４（ａ）および（ｂ）に示すように、プローブ痕Ｃが軽減される。すなわち、パッド表面処理工程の前の状態に比べて、ボンディングパッドＡの表面がより平坦に近い状態となる。
【００３５】
なお、上記パッド表面処理工程は、ウエハーからチップが切り出される前に行われてもよいし、ウエハーからチップが切り出された後に行われてもよい。しかし、ウエハーからチップが切り出される前に行った場合、複数のチップに対して同一処理でパッド表面処理工程を行うことができる。このため、ウエハーからチップが切り出される前に行う方が、作業効率の面で優れ、好ましい。
【００３６】
パッケージ工程は、パッド表面処理工程の後に行われる。パッケージ工程では、ボンディングパッドＡに、ボンディングワイヤーを接合する。当該工程は、従来技術に準じて実現することができる。
【００３７】
なお、本実施形態の半導体装置の製造方法では、上記表面処理工程を経ることで、プローブ痕Ｃは軽減し、ボンディングパッドＡの表面は、より平坦に近い状態となっている。このため、ボンディングワイヤーを接合する位置は特段制限されず、ボンディングパッドＡの表面のあらゆる箇所を選択することができる。
【００３８】
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法の作用効果について説明する。
【００３９】
本実施形態の半導体装置の製造方法によれば、ボンディングパッドとプローブ端子とを接触させることに起因してボンディングパッドの表面に形成されたプローブ痕を、パッケージ工程の前に軽減することができる。
【００４０】
このため、特許文献１に記載の技術のように、ボンディングパッドが、プローブ端子と接触するための領域、および、ボンディングワイヤーと接合するための領域各々を別に備えなくても、ボンディングパッドとボンディングワイヤーとの接合強度不足を抑制することができる。結果、ボンディングワイヤーの表面積が大きくなる不都合を抑制することができる。
【００４１】
また、ボンディングワイヤーの表面積が大きくなることを抑制することができる結果、チップが大型化してしまう不都合を抑制することができる。
【００４２】
さらに、上記表面処理工程では、特許文献２に記載の技術において利用されているようなレーザー光や電子ビームを照射するための専用設備が必要なく、また、特許文献３に記載の技術において利用されているような専用のプローブカードが必要ないので、コスト負担が増大する不都合を抑制することができる。
【００４３】
さらに、上記表面処理工程は、ウエハーからチップが切り出される前に、複数のチップに対して同一処理で行うことができる。結果、表面処理工程という新たな工程が加わることによるスループットの悪化を軽減することができる。
【符号の説明】
【００４４】
Ａ    ボンディングパッド
Ｂ    プローブ端子とボンディングパッドとを接触させる際にプローブ端子が滑る方向
Ｃ    プローブ痕
【図１】
2012028596.tif 000003
【図２】
2012028596.tif 000004
【図３】
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【図４】
2012028596.tif 000006
【図５】
2012028596.tif 000007
【図６】
2012028596.tif 000008
【図７】
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