(57)【要約】      （修正有）【課題】レンズアレイのレンズ面を適切に保護した上で切断する製造方法を提供する。【解決手段】複数のレンズ部６と、複数のレンズ部６と一体に形成される基板部の一部であるフランジ部７とを有するレンズアレイから個別のレンズ部６に分離して、レンズを製造する製造方法であって、溶解した保護層用樹脂を含有する流動体を用いてレンズアレイ全体を覆う保護層５０ａを形成し、保護層５０ａが形成されたレンズアレイの基板部をダイシングブレード４０で切断し、保護層５０ａを除去するレンズの製造方法。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレンズ部と、該複数のレンズ部と一体に形成される基板部とを有するレンズアレイから個別のレンズ部に分離して、レンズを製造する製造方法であって、
溶解した保護層用樹脂を含有する流動体を用いて前記レンズアレイ全体を覆う保護層を形成し、
前記保護層が形成された前記レンズアレイの基板部を切断し、
前記保護層を除去するレンズの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のレンズの製造方法であって、
前記流動体に前記レンズアレイ全体を浸漬して、前記保護層を形成するレンズの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載のレンズの製造方法であって、
溶媒に前記保護層を溶解させて前記保護層を除去するレンズの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載のレンズの製造方法であって、
超音波を用いながら前記溶媒で前記保護層を除去するレンズの製造方法。
【請求項５】
請求項３又は４に記載のレンズの製造方法であって、
前記溶媒は、前記保護層に対して良溶媒であり、かつ、前記レンズアレイに対して貧溶媒であるレンズの製造方法。
【請求項６】
請求項３から５のいずれか一項に記載のレンズの製造方法であって、
前記溶媒は、水であるレンズの製造方法。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載のレンズの製造方法であって、
前記保護層用樹脂は、フッ素系樹脂であるレンズの製造方法。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載のレンズの製造方法であって、
前記流動体は溶解した保護層用樹脂のみ含有するレンズの製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載のレンズの製造方法であって、
平坦型に前記流動体を満たし、
前記平坦型に満たされた前記流動体に前記レンズアレイ全体を浸漬し、
前記流動体を硬化させることにより、前記レンズアレイ全体を覆う前記保護層を形成し、
前記保護層は、前記レンズアレイの複数のレンズ部による凹凸を平坦化するレンズの製造方法。
【請求項１０】
請求項１から７のいずれか一項に記載のレンズの製造方法であって、
前記流動体は、前記保護層用樹脂に対して良溶媒かつ前記レンズアレイに対して貧溶媒である溶媒と、前記溶解した保護層用樹脂を含有するレンズの製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載のレンズの製造方法であって、
ディップ塗布により前記レンズアレイ全体を覆う保護層を形成するレンズの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話やＰＤＡ（Personal Digital Assistant）などの携帯端末には、小型で薄型な撮像ユニットが搭載されている。このような撮像ユニットは、一般に、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサやＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）イメージセンサなどの固体撮像素子と、固体撮像素子上に被写体像を形成するためのレンズと、を備えている。
【０００３】
撮像ユニットのコストの低下を図るため、撮像ユニットに実装されるレンズを大量にかつ安価に製造できるように、レンズの製造方法を効率化することが望まれている。このようなレンズは、基板部に複数のレンズ部を一体に形成した構成であるレンズアレイを製造し、該基板部を切断して複数のレンズ部をそれぞれ分離させることで得られる。そして、この得られたレンズが撮像ユニットに実装される。
【０００４】
レンズアレイから複数のレンズ部を分離させる方法としては、特許文献１に記載された文献がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３４１１０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のように、レンズアレイの複数のレンズ部を分離するためには、レンズアレイの基板部を切断する。この基板部を切断する際に、削り粉が発生し、この削り粉がレンズ部に当たってしまい、得られるレンズのレンズ面を傷つけてしまうことがあった。
【０００７】
そこで、特許文献１では、フォトレジストでできた保護膜をレンズアレイ上に設けた後、レンズアレイを切断している。
【０００８】
しかし、レンズアレイの片面にのみ保護膜を設けるだけでは、レンズ面の保護から必ずしも十分でなかった。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、レンズアレイのレンズ面を適切に保護した上で切断を製造することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
複数のレンズ部と、該複数のレンズ部と一体に形成される基板部とを有するレンズアレイから個別のレンズ部に分離して、レンズを製造する製造方法であって、溶解した保護層用樹脂を含有する流動体を用いて前記レンズアレイ全体を覆う保護層を形成し、前記保護層が形成された前記レンズアレイの基板部を切断し、前記保護層を除去するレンズの製造方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、レンズアレイ全体を保護して切断するため、レンズアレイの切断時の削り粉によってレンズアレイのレンズ面が傷つくことを適切に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態を説明するための撮像ユニットの一例を示す断面図である。
【図２】本発明の実施形態を説明するためのレンズアレイの一例を示す図である。
【図３】図２のレンズアレイのＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】一対の成形型を用いたレンズアレイの製造方法を示す模式的な断面図である。
【図５】レンズアレイの保護工程を示す模式的な断面図である。
【図６】図５のレンズアレイの切断工程を示す模式的な断面図である。
【図７】レンズの保護層の除去工程を示す模式的な断面図である。
【図８】レンズアレイの保護工程の変形例を示す模式的な断面図である。
【図９】図７のレンズアレイの切断工程を示す模式的な断面図である。
【図１０】図２のレンズアレイの他の構成例を示す図である。
【図１１】図１０のレンズアレイの切断工程を示す模式的な断面図である。
【図１２】図１０のレンズアレイの切断工程の変形例を示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、本発明の実施形態を説明するための撮像ユニットの一例を示す断面図である。
【００１４】
図１に示す撮像ユニット１は、センサモジュール２と、レンズモジュール３と、を備えている。
【００１５】
センサモジュール２は、固体撮像素子４と、センサ基板部５とを備えている。センサ基板部５は、例えばシリコンなどの半導体材料で形成されている。固体撮像素子４は、例えばＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサなどであり、センサ基板部５に対して周知の成膜工程、フォトリソグラフィー工程、エッチング工程、不純物添加工程、等を繰り返し、センサ基板部５上に受光領域、絶縁膜、電極、配線、等を形成して構成されている。
【００１６】
レンズモジュール３は、レンズ部６と、フランジ部７とを備えている。レンズ部６は、その表裏に所定のレンズ面６ａ、６ｂを有している。両レンズ面６ａ、６ｂは、図示の例ではいずれも凸形状の球面とされているが、用途に応じて、凸形状の球面、凹形状の球面、非球面、又は平面の種々の組み合わせを採り得る。フランジ部７は、レンズ部６の外周から鍔状に張り出して、レンズ部６の外周を取り囲んでいる。レンズ部６、及びフランジ部７は、透光性の材料で一体に形成されている。
【００１７】
レンズモジュール３は、そのフランジ部７とセンサ基板部５との間にスペーサ９を介してセンサモジュール２に積層され、センサモジュール２に組み付けられている。スペーサ９は、レンズモジュール３のレンズ部６がセンサモジュール２の固体撮像素子４の受光面に結像するように、センサモジュール２のセンサ基板部５とレンズモジュール３のフランジ部７との間に所定の距離を置く厚みとなっている。スペーサ９と両モジュール２、３とは、例えば接着剤などを用いて接合される。
【００１８】
スペーサ９は、センサモジュール２のセンサ基板部５とレンズモジュール３のフランジ部７との間に所定の距離を置くことができる限り、その形状は特に限定されないが、固体撮像素子４の周囲を取り囲んで両モジュール２、３の間を外より隔絶する枠状の部材であることが好ましい。これによれば、両モジュール２、３の間から塵等の異物が入り、それが固体撮像素子４の受光面に付着することを防止することができる。更に、スペーサ９を遮光性の材料で形成すれば、両モジュール２、３の間から固体撮像素子４に入射する不要な光を遮ることができる。
【００１９】
なお、図示の例では、センサモジュール２に組み付けられるレンズモジュール３が１つとなっているが、複数のレンズモジュール３が組み付けられる場合もある。その場合に、複数のレンズモジュール３は、スペーサ９と同等のスペーサを介して順次積層され、センサモジュール２に組み付けられる。また、それらのレンズ部６のレンズ面６ａ、６ｂは、レンズモジュール３毎に異なっていてもよい。
【００２０】
以上のように構成された撮像ユニット１は、例えば携帯端末等の回路基板にリフロー実装される。回路基板には撮像ユニット１が実装される位置に予めペースト状の半田が印刷されており、そこに撮像ユニット１が載置される。そして、撮像ユニット１を含む回路基板に赤外線の照射や熱風の吹付けといった加熱処理が施される。それにより半田が溶け、撮像ユニット１は回路基板に実装される。
【００２１】
上述のレンズモジュール３は、複数のレンズ部６が１次元又は２次元に配列されたレンズアレイを、個々にレンズ部６を含むように切断して得られる。また、上述のセンサモジュール２も同様に、複数の固体撮像素子が１次元又は２次元に配列されたセンサアレイを、個々に固体撮像素子を含むように切断して得られる。以下に、レンズモジュール３を得るレンズアレイについて説明する。
【００２２】
図２は、本発明の実施形態を説明するためのレンズアレイの一例を示す図である。図３は、図２のレンズアレイのＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【００２３】
図２及び図３に示すレンズアレイ１０は、複数のレンズ部６と、これらのレンズ部６を一体に繋ぐ基板部１１とを備えている。このレンズアレイ１０は、全体として所定のサイズのウエハ状をなし、そこに複数のレンズ部６が配列された、ウエハレベルレンズアレイとも称され、図示の例では、複数のレンズ部６は２次元に配列されている。これらのレンズ部６、及び基板部１１は、透光性の材料で一体に形成されている。
【００２４】
上述のレンズモジュール３（図１参照）は、レンズアレイ１０において、隣り合うレンズ部６の間で基板部１１を切断して得られる。切断されて個々のレンズ部６に付属する基板部１１が、レンズモジュール３のフランジ部７となる。 
【００２５】
図４は、一対の成形型を用いたレンズアレイの製造方法を示す模式的な断面図である。
【００２６】
先ず、図４に基づいて、一対の成形型の構成を説明する。
【００２７】
成形型は、上下一対の型２０，３０を備える。型２０は、転写面２１がレンズアレイ１０の一方の面の形状を成形するものであり、型３０は、レンズアレイ１０の他方の面の形状を成形するものである。なお、図４では、型２０の構成を示しているが、型３０の構成についても同じであるため、図示せずに省略する。
【００２８】
型２０は、転写面２１を含む。型３０は、転写面３１を含む。転写面２１は、レンズアレイ１０の一方の面を反転させた形状であり、転写面３１は、レンズアレイ１０の他方の面を反転させた形状である。
【００２９】
型２０の転写面２１には、レンズアレイ１０のレンズ部６の配列に対応してレンズ成形面２２が２次元に配列されている。レンズ成形面２２は、凸形状の球面であるレンズ面６ａに対応して凹形状の球面に成形されている。
【００３０】
型３０の転写面３１には、レンズアレイ１０のレンズ部６の配列に対応してレンズ成形面３２が２次元に配列されている。レンズ成形面３２は、凸形状の球面であるレンズ面６ａに対応して凹形状の球面に成形されている。
【００３１】
次に、一対の成形型を用いたレンズアレイの製造方法の手順を説明する。
【００３２】
まず、一対の型２０と型３０の間に樹脂Ｍを供給し、転写面２１と転写面３１とで樹脂Ｍを挟み込み、該材料Ｍに転写面２１及び転写面３１の形状を転写する（ＦＩＧ．４Ａ）。そして、樹脂Ｍを硬化させる。樹脂Ｍが硬化した後、複数のレンズ部６同士を一体に繋ぐ基板部１１とからなるレンズ成形体を、型２０，３０から離型させる。こうして、レンズアレイ１０を得ることができる（ＦＩＧ．４Ｂ）。
【００３３】
樹脂Ｍの材料は、光透過性を有するエネルギー硬化性の樹脂組成物が用いられる。エネルギー硬化性の樹脂組成物は、熱により硬化する樹脂組成物、あるいは活性エネルギー線の照射（例えば紫外線、電子線照射）により硬化する樹脂組成物のいずれであってもよい。
【００３４】
次に、レンズモジュール３の製造方法を説明する。
【００３５】
図５は、レンズアレイの保護工程を示す模式的な断面図であり、図６は、図５のレンズアレイの切断工程を示す模式的な断面図であり、図７は、レンズの保護層の除去工程を示す模式的な断面図である。
【００３６】
まず、図５に示すように、保護層５０ａを形成するためにディップ塗布を行う。詳細には、保持部材６０でレンズアレイ１０の外周を保持しながら、保護溶液５０にレンズアレイ１０全体を浸漬する。この保護溶液５０は、後述する保護層５０ａとなる保護層用樹脂に対して良溶媒かつレンズアレイ１０に対して貧溶媒である溶媒を用いて、この保護層用樹脂を溶解したものである。このとき、レンズアレイ１０全体の浸漬時間はレンズアレイ１０表面全体に保護溶液５０が定着する時間であればよく、１分以下であれば生産性の観点からより好ましい。また保護溶液５０の温度、浸漬環境の温度に限定はないが、３０℃以下であることが好ましい。
【００３７】
そして、保護溶液５０から引き上げ、乾燥箱中において中空状態で乾燥処理を行い、保護層５０ａを形成する。このときの乾燥温度は保護層用樹脂を溶解した溶媒により適宜選択することができるが、生産性の観点から１００℃以下であることが好ましい。溶媒が除去できれば乾燥時間に特に限定はなく、生産性の観点から１時間以下であることが好ましい。
【００３８】
保護層用樹脂については、特に制限はなく、公知の樹脂を用いることができる。また表面保護かつ溶解する機能を有していれば、無機膜（例えば、金属蒸着膜）でも有機膜（例えば単分子膜、樹脂）でも良い。有機膜の具体例としては、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラールやアセチルセルロースなどセルロース誘導体などが挙げられる。レンズアレイ１０の切断時のレンズアレイ１０の吸水を防止する目的から（例えば、吸水性の高い保護層を介してレンズアレイ１０が吸水する）、低表面エネルギー樹脂であることが好ましい。
【００３９】
低表面エネルギー樹脂としては、シリコーン系樹脂、フッ素樹脂、シリコーンモノマーとフッ素樹脂を含有するモノマーとの共重合体、シリコーン樹脂やフッ素樹脂のアクリル樹脂による変性体、シリコーン樹脂やフッ素樹脂の変性体等のフッ素系樹脂を挙げることができる。これらの低表面エネルギー樹脂は単独で用いても、複数用いても良い。またこれらの樹脂は単重合体であっても共重合体であってもよく、共重合体である場合はブロック共重合体であってもランダム共重合体であってもよい。
【００４０】
フッ素系樹脂の具体例としては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンの共重合体、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などを挙げることができるが、これらは発明を制限するものではない。
【００４１】
この中でも、表面自由エネルギー及び塗工性の観点から、フッ素系樹脂がポリヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンの共重合体、ポリテトラフルオロエチレンであることが好ましく、ポリヘキサフルオロプロピレン、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンの共重合体であることがより好ましく、ポリヘキサフルオロプロピレンであることが特に好ましい。
【００４２】
保護層５０ａは、上述のような低表面エネルギー樹脂や公知の保護層のほかに、更にその他の成分を含んでいてもよい。例えば、その他の成分としては、本発明の趣旨に反しない限り制限はないが、低分子添加剤などを挙げることができる。保護層５０ａは、塗工性を増すための低分子添加剤を含むことがより好ましい。
【００４３】
次に、図６に示すように、ダイシングブレード４０によって、保護層５０ａが全体に形成されたレンズアレイ１０の基板部１１を図中点線で示される切断ラインに沿って切断する。これにより、レンズアレイ１０は、個別のレンズ部６ごとに分離される。分離されたレンズ部６には、切断された基板部１１の一部が付属する。この付属した基板部１１の一部がフランジ部７に対応する。なお、レンズのフランジ部７は、ダイシングブレード４０による切断で形成された平坦な切断面を有する。
【００４４】
次に、保護層５０ａを溶媒洗浄により除去する。こうして、レンズ部６と、レンズ部６の外周を取り囲んで一体に形成されたフランジ部７と、を備えるレンズモジュール３を得ることができる。なお、レンズウェハを溶解しない限り、他の除去方法を用いることができる。例えば、テープ剥離などの物理的な剥離方法を用いてもよい。ただし、レンズモジュール３の生産性を向上させる観点から、保護層５０ａを溶媒洗浄により除去するのが好ましい。
【００４５】
溶媒洗浄に用いる溶媒としては、分離されたレンズ部６を溶解せず、かつ保護層５０ａに対して良溶媒かつ分離されたレンズ部６に対して貧溶媒であれば特に限定されることはない。このような溶媒としては、水、メタノール、エタノールが好ましく、水がより好ましい。また、溶媒の温度を上げて溶媒洗浄を行ってもよく、超音波を用いながら溶媒洗浄を行ってもよい。これらにより、洗浄時間が短縮され、レンズモジュール３の生産性が向上する。なお、溶媒洗浄の中でも、超音波を用いて溶媒洗浄を行う方法が好ましい。
【００４６】
以上のように、レンズアレイ１０全体を保護した上でレンズアレイ１０を切断している。これにより、レンズアレイ１０の切断によって発生する削り粉がレンズ部６のレンズ面６ａとレンズ面６ｂに当たり、各レンズ面６ａ，６ｂを傷つけてしまうことを防ぐことができる。
【００４７】
そして、レンズアレイ１０全体を浸漬するようにしたため、レンズ部６のレンズ面６ａとレンズ面６ｂのそれぞれに対して、別工程によって保護層を設ける必要がないため、レンズモジュール３の生産性が向上している。
【００４８】
なお、スピナー法やスプレー法などを用いた溶液塗布によってレンズアレイ１０全体を保護するようにしてもよい。
【００４９】
図８は、レンズアレイの保護工程の変形例を示す模式的な断面図であり、図９は、図７のレンズアレイの切断工程を示す模式的な断面図である。
【００５０】
本変形例では、あらかじめ平坦型８０で保護層７０ａとなる保護層用樹脂７０を加熱し、溶解する。したがって、平坦型８０には上述した保護層用樹脂のみで満たされる。そして、図８に示すように、この溶解された保護層用樹脂７０にレンズアレイ１０を浸漬する。レンズアレイ１０全体を浸漬させた後、平坦型８０の加熱を停止すると、保護層用樹脂７０を冷却されて硬化するため、保護層７０ａが形成される。
【００５１】
このとき、保護層用樹脂７０の溶融温度は使用する保護層用樹脂７０に応じて適宜選択することができるが、生産性の観点とレンズアレイ１０への影響を考慮すると、１００℃以下が好ましい。
【００５２】
次に、図９に示すように、ダイシングブレード４０によって、保護層７０ａが形成されたレンズアレイ１０の基板部１１を、図中点線で示される切断ラインに沿って切断する。
【００５３】
そして、保護層７０ａを上述のように溶媒洗浄によって除去し、レンズ部６と、レンズ部６の外周を取り囲んで一体に形成されたフランジ部７と、を備えるレンズモジュール３を得る。
【００５４】
以上のように、本変形例では、レンズ部６に起因する凹凸を保護層７０ａにより平坦化することができる。これにより、レンズアレイ１０の表面に凹凸があるときは、レンズアレイ１０を真空吸着等により、ダイサーに固定することは設備上困難であるものの、保護層７０ａによりレンズアレイ１０の表面を平坦化することによって、ダイサーへの直接吸着が可能となる。ひいては、高価な吸着台、仮固定治具や消耗品の作製が不要となる。
【００５５】
図１０は、図２のレンズアレイの他の構成例を示す図である。
【００５６】
同図に示すように、レンズアレイ１００は、基板部１１のレンズ部６を成形する部位を除く領域に、他の部材と重ね合わせるときのスペーサ１２が設けられている（ＦＩＧ．１０Ａ）。他の部材としては、例えば、他のレンズアレイや半導体基板である。スペーサ１２は、各レンズ部６の一方の面のレンズ面６ｂの全周を囲むように矩形状や円環状に形成されている。
【００５７】
なお、レンズアレイ１００は、一対の成形型を用いてレンズアレイ１０と同様に製造することができる（図４参照）。
【００５８】
また、レンズアレイ群１２０を製造してもよい（ＦＩＧ．１０Ｂ）。同図では、２枚のレンズアレイ１００を積層したレンズアレイ群１２０を示している。
【００５９】
レンズアレイ群１２０は、各基板部１１の一方の面にスペーサ１２が成形されている複数のレンズアレイ１００を積層することで得られる。具体的には、重ね合わせるレンズアレイ１００の基板部１１同士の位置合わせを行い、下方に配置するレンズアレイ１００の基板部１１の上面に、上方に配置するレンズアレイ１００の基板部１１の下面を、スペーサ１２を介して接合する。レンズアレイ１００同士を接合した状態で、各スペーサ１２が、後述する切断位置で一致しているとよい。
【００６０】
レンズアレイ１００の接合に用いる接着剤としては、特に制限はなく、公知の接着剤を用いることができる。レンズアレイ１００同士を接着する機能を有していれば良い。例えば、エポキシ樹脂系接着剤やアクリル樹脂系接着剤を挙げることができる。また、接着剤は生産性の観点から、熱により硬化する樹脂組成物、あるいは活性エネルギー線の照射（例えば紫外線、電子線）により硬化する樹脂組成物であることが好ましい。また、レンズアレイ１００との接着性の観点から、接着剤を構成する組成物は、レンズアレイ１００を構成する組成物に含まれる化合物と同等又は類似の構造を有する化合物を含有することが好ましい。また、レンズアレイ１００と接着剤との線膨張係数の違いを調整するために、接着剤中に任意の分量で無機物を含有することもできる。これにより、リフロー工程などの高温環境下においてもレンズアレイ１００同士の剥離を防止することができる。また接着剤は溶媒洗浄に用いる溶媒に対して、貧溶媒であることが好ましい。
【００６１】
なお、２枚のレンズアレイ１００を積層したレンズアレイ群１２０を示した（ＦＩＧ．１０Ｂ）が、光学用途に応じて３枚以上のレンズアレイ１００を積層したレンズアレイ群を製造してもよい。
【００６２】
また、複数のレンズが積層されたレンズモジュールの製造において、基板部１１やレンズ部６とは異なる他の材料からなるスペーサを別途取り付けて、レンズアレイ１０を積層するようにしてもよい。
【００６３】
図１１は、図１０のレンズアレイの切断工程を示す模式的な断面図であり、図１２は、図１０のレンズアレイの切断工程の変形例を示す模式的な断面図である。
【００６４】
図５に示したのと同様に、まずレンズアレイ１００に保護層５０ａを形成するためのディップ塗布を行う。そして、保護層５０ａによって全体が保護されているレンズアレイ１００を、ダイシングブレード４０でスペーサ１２を含めて切断する（ＦＩＧ．１１Ａ）。
【００６５】
若しくは、図８に示したのと同様に、まずレンズアレイ１００を保護層用樹脂７０に浸漬した後、保護層用樹脂７０を冷却し硬化させることで保護層７０ａを形成する。そして、保護層７０ａによって全体が保護されているレンズアレイ１００を、ダイシングブレード４０でスペーサ１２を含めて切断する（ＦＩＧ．１２Ａ）。
【００６６】
このように、スペーサ１２を基板部１１やレンズ部６と一体に形成し、スペーサ１２を切断することで各レンズ部６に対応するスペーサを得るようにしたため、他のレンズアレイや半導体基板に重ね合わせるためのスペーサを別途設ける工程を省略することができる。
【００６７】
また、図５に示したのと同様に、まずレンズアレイ群１２０に保護層５０ａを形成するためのディップ塗布を行う。そして、保護層５０ａによって全体が保護されているレンズアレイ群１２０を、ダイシングブレード４０でスペーサ１２を含めて切断する（ＦＩＧ．１１Ｂ）。このため、図中点線で示されるように各スペーサ１２は、レンズアレイ１００の積層方向に対する垂直方向における切断位置で一致していることが好ましい。
【００６８】
若しくは、図８に示したのと同様に、まずレンズアレイ群１２０を保護層用樹脂７０に浸漬した後、保護層用樹脂７０を冷却し硬化させることで保護層７０ａを形成する。そして、保護層７０ａによって全体が保護されているレンズアレイ群１２０を、ダイシングブレード４０でスペーサ１２を含めて切断する（ＦＩＧ．１２Ｂ）。このため、図中点線で示されるように各スペーサ１２は、レンズアレイ１００の積層方向に対する垂直方向における切断位置で一致していることが好ましい。
【００６９】
このように、レンズアレイ群１２０を製造することによって、分離されたレンズモジュールを個別に重ね合わせる場合に比べて、保護層５０ａや保護層７０ａの形成する回数を減らすことができる。これにより、効率よく複数のレンズが積層されたレンズモジュールを量産することができる。
【００７０】
以上、本発明のレンズモジュールの製造方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【００７１】
以上、説明したように、本明細書には、以下の事項が開示されている。
（１）複数のレンズ部と、該複数のレンズ部と一体に形成される基板部とを有するレンズアレイから個別のレンズ部に分離して、レンズを製造する製造方法であって、溶解した保護層用樹脂を含有する流動体を用いて前記レンズアレイ全体を覆う保護層を形成し、前記保護層が形成された前記レンズアレイの基板部を切断し、前記保護層を除去するレンズの製造方法。
（２）（１）に記載のレンズの製造方法であって、前記流動体に前記レンズアレイ全体を浸漬して、前記保護層を形成するレンズの製造方法。
（３）（２）に記載のレンズの製造方法であって、溶媒に前記保護層を溶解させて前記保護層を除去するレンズの製造方法。
（４）（３）に記載のレンズの製造方法であって、超音波を用いながら前記溶媒で前記保護層を除去するレンズの製造方法。
（５）（３）又は（４）に記載のレンズの製造方法であって、前記溶媒は、前記保護層に対して良溶媒であり、かつ、前記レンズアレイに対して貧溶媒であるレンズの製造方法。
（６）（３）から（５）のいずれか一つに記載のレンズの製造方法であって、前記溶媒は、水であるレンズの製造方法。
（７）（１）から（６）のいずれか一つに記載のレンズの製造方法であって、前記保護層用樹脂は、フッ素系樹脂であるレンズの製造方法。
（８）（１）から（７）のいずれか一つに記載のレンズの製造方法であって、前記流動体は溶解した保護層用樹脂のみ含有するレンズの製造方法。
（９）（８）に記載のレンズの製造方法であって、平坦型に前記流動体を満たし、前記平坦型に満たされた前記流動体に前記レンズアレイ全体を浸漬し、前記流動体を硬化させることにより、前記レンズアレイ全体を覆う前記保護層を形成し、前記保護層は、前記レンズアレイの複数のレンズ部による凹凸を平坦化するレンズの製造方法。
（１０）（１）から（７）のいずれか一つに記載のレンズの製造方法であって、前記流動体は、前記保護層用樹脂に対して良溶媒かつ前記レンズアレイに対して貧溶媒である溶媒と、前記溶解した保護層用樹脂を含有するレンズの製造方法。
（１１）（１０）に記載のレンズの製造方法であって、ディップ塗布により前記レンズアレイ全体を覆う保護層を形成するレンズの製造方法。
【符号の説明】
【００７２】
６ レンズ部
１０   レンズアレイ
１２   スペーサ
２０，３０    型
４０   ダイシングブレード
５０   保護溶液
５０ａ 保護層
７０   保護層用樹脂
７０ａ 保護層
８０   平坦型
１００ レンズアレイ
１２０ レンズアレイ群
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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