(57)【要約】【課題】作業員が隔離されたエリアに立ち入らずに、容易に製造装置に寄り付くことができるとともに、操作やメンテナンス等を行うことができる隔離用ブースを提供する。【解決手段】局所的に隔離された空間であるブース内１ａを形成するための隔離用ブース１であって、ブース内１ａの側面を、平面視において環状である無端ベルト状に形成されたカーテン部材３により隔離するとともに、カーテン部材３には、ブース内１ａの内部に向かって膨出するグローブ部材７が備えられ、さらに、カーテン部材３は、平面視において環状である各カーテンレール５・６により支持され、カーテン部材３およびグローブ部材７が、各カーテンレール５・６に沿って変位可能に構成される。【選択図】図２
2012229865.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
局所的に隔離された空間を形成するための隔離用ブースであって、
前記局所的に隔離された空間の側面を、
平面視において環状である無端ベルト状に形成されたカーテン部材により隔離するとともに、
前記カーテン部材には、
前記局所的に隔離された空間の内部に向かって膨出するグローブ部材が備えられ、
さらに、
前記カーテン部材は、
平面視において環状であるカーテンレールにより支持され、
前記カーテン部材および前記グローブ部材が、
前記カーテンレールに沿って変位可能に構成される、
ことを特徴とする隔離用ブース。
【請求項２】
前記カーテンレールは、
平面視において環状である上側のカーテンレールと、
平面視において前記上側のカーテンレールと同じ形状の環状である下側のカーテンレールと、を備え、
前記上側のカーテンレールと前記下側のカーテンレールは、平面視において重なり、かつ、側面視において、互いに平行となるように配置され、
前記カーテン部材は、
前記上側および下側の各カーテンレールにより支持される、
ことを特徴とする請求項１に記載の隔離用ブース。
【請求項３】
前記グローブ部材は、
人の全身形状に対応した形状とする、
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の隔離用ブース。
【請求項４】
前記グローブ部材は、
前記カーテン部材に対して、
伸縮部材を介して接続される、
ことを特徴とする請求項３に記載の隔離用ブース。
【請求項５】
前記カーテンレールと前記カーテン部材の隙間において、
前記局所的に隔離された空間に外部から空気が流入すること、および、前記局所的に隔離された空間から外部に空気が流出することを防止するための封止手段を備える、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の隔離用ブース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、局所を隔離して、その局所を外部と異なる環境に保持するための装置である隔離用ブースの技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
製品を製造する場合には、製造装置周辺の環境を製造条件に応じて整えることが必要になる。
尚、ここでいう「環境」には、温湿度条件、清浄度、雰囲気ガスの性状等の種々の条件が含まれる。
【０００３】
例えば、製造装置を清浄度の高い環境の下で運用する必要がある場合に、当該製造装置を導入する工程全体をクリーンルーム化しようとすれば、多大なイニシャルコストおよびランニングコストが掛かるという問題がある。
【０００４】
そこで、このような場合には、製造装置の周囲を局所的にカーテン状の部材で隔離して、製造装置の周囲だけ清浄度を高めることができる隔離用ブース（所謂、クリーンブース）が広く用いられている。
クリーンブースを用いることによって、製造装置を導入する工程全体をクリーンルーム化する場合に比して、イニシャルコストおよびランニングコストの低減を図ることができる。
【０００５】
また、隔離用ブースとしては、種々の用途に対応するものがあり、局所的に清浄度の高い環境を構築するクリーンブースのほか、局所的に温湿度条件が異なる環境（例えば、ドライルーム等）を構築するためのものや、あるいは、雰囲気中の有機溶剤等が周囲に拡散することを防止するためのもの等が知られている。
例えば、特許文献１に示すような簡易なクリーンブース等が知られている。
【０００６】
しかしながら、このような隔離用ブースを用いた場合、作業者が内部の製造装置に寄り付くためには、所定のクリーン服に着替える必要があったり、あるいは、作業員は、付着した塵挨等を除去するために、エアシャワーを通過する必要があったりするため、製造装置に寄り付いて行う日常のオペレーションやメンテナンス等がわずらわしくなるという問題があった。
【０００７】
そこで、製造装置に寄り付いて行う作業のわずらわしさを緩和するために、無人搬送等を行う技術が種々検討されており、例えば、以下に示す特許文献２や特許文献３にその技術が開示され公知となっている。
特許文献２および特許文献３に開示されている従来技術では、製造装置から出てくる製品を無人の搬送台車で搬送する構成としているため、製品の集荷等のために作業員が製造装置に寄り付く必要がなくなり、日常のオペレーションにおけるわずらわしさを軽減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平５−２３１６８６号公報
【特許文献２】特開平９−１３３３８５号公報
【特許文献３】特開２００３−３０９１６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献２や特許文献３に開示されている従来技術のように、無人の搬送台車を使用した場合であっても、製造装置をメンテナンスするときには、作業員がクリーン服に着替え、かつ、エアシャワーを通過して、製造装置に寄り付かなければならないことに変わりはなく、メンテナンス作業におけるわずらわしさの問題は残されたままであった。
さらに、作業員の身体や呼気等からは、異物や湿気等が放出される。また、隔離されたエリアが、例えば溶剤雰囲気である場合には、作業員はマスク等を装着してから隔離されたエリアに立ち入る必要がある。
このため、隔離用ブースを使用する場合には、作業員が隔離されたエリアに立ち入らずに、製造装置への寄り付きを可能にする技術へのニーズが存在していた。
【００１０】
本発明は、斯かる現状の課題を鑑みてなされたものであり、作業員が隔離されたエリアに立ち入らずに、容易に製造装置に寄り付くことができるとともに、操作やメンテナンス等を行うことができる隔離用ブースを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１２】
即ち、請求項１においては、局所的に隔離された空間を形成するための隔離用ブースであって、前記局所的に隔離された空間の側面を、平面視において環状である無端ベルト状に形成されたカーテン部材により隔離するとともに、前記カーテン部材には、前記局所的に隔離された空間の内部に向かって膨出するグローブ部材が備えられ、さらに、前記カーテン部材は、平面視において環状であるカーテンレールにより支持され、前記カーテン部材および前記グローブ部材が、前記カーテンレールに沿って変位可能に構成されるものである。
【００１３】
請求項２においては、前記カーテンレールは、平面視において環状である上側のカーテンレールと、平面視において前記上側のカーテンレールと同じ形状の環状である下側のカーテンレールと、を備え、前記上側のカーテンレールと前記下側のカーテンレールは、平面視において重なり、かつ、側面視において、互いに平行となるように配置され、前記カーテン部材は、前記上側および下側の各カーテンレールにより支持されるものである。
【００１４】
請求項３においては、前記グローブ部材は、人の全身形状に対応した形状とするものである。
【００１５】
請求項４においては、前記グローブ部材は、前記カーテン部材に対して、伸縮部材を介して接続されるものである。
【００１６】
請求項５においては、前記カーテンレールと前記カーテン部材の隙間において、前記局所的に隔離された空間に外部から空気が流入すること、および、前記局所的に隔離された空間から外部に空気が流出することを防止するための封止手段を備えるものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１８】
請求項１においては、グローブ部材をカーテンレールに沿って移動させることができる。これにより、隔離ブース内の製造装置の各部位を、様々な角度から操作することができる。
【００１９】
請求項２においては、グローブ部材をカーテンレールに沿ってより容易に移動させることができる。これにより、作業員の作業性をよりよくすることができる。
【００２０】
請求項３においては、作業員が、クリーン服に着替えたり、エアシャワーを通過したりすることなく、隔離ブース内の製造装置を操作することができる。
【００２１】
請求項４においては、作業員が、より自由に隔離ブース内の製造装置を操作することができる。
【００２２】
請求項５においては、隔離ブース内をより確実に隔離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る隔離用ブースの全体構成を示す模式図、（ａ）正面模式図、（ｂ）側面模式図。
【図２】本発明の第一の実施形態に係る隔離用ブースの全体構成を示す模式図、（ａ）斜視模式図、（ｂ）グローブ部材の取り付け状態を示す模式図。
【図３】隔離用ブースに備えられるカーテンレールを示す模式図、（ａ）上側カーテンレールを示す図１（ａ）におけるＸ方向矢視図、（ｂ）下側カーテンレールを示す図１（ａ）におけるＹ方向矢視図。
【図４】カーテンレールによるカーテン部材の支持状態を示す模式図、（ａ）側面側断面模式図、（ｂ）正面側断面模式図。
【図５】本発明の第二の実施形態に係る隔離用ブースの全体構成を示す模式図、（ａ）正面模式図、（ｂ）側面断面模式図。
【図６】本発明の第二の実施形態に係る隔離用ブースを示す斜視模式図。
【図７】上側カーテンレールに対する上側カーテンボックスの取り付け状態を示す断面模式図。
【図８】下側カーテンレールに対する下側カーテンボックスの取り付け状態を示す断面模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
次に、発明の実施の形態を説明する。
まず始めに、本発明の第一の実施形態に係る隔離用ブースの全体構成について、図１から図４を用いて説明をする。
尚、本説明においては、図１中に示す矢印Ｘの方向を隔離用ブースの上側と規定し、矢印Ｙの方向を隔離用ブースの下側と規定する。また、本説明においては、矢印Ｘおよび矢印Ｙに直交する方向を横方向と呼ぶものとする。
【００２５】
図１（ａ）（ｂ）に示す本発明の第一の実施形態に係る隔離用ブースである隔離用ブース１は、その内部空間（以下、ブース内１ａと呼ぶ）の清浄度を外部空間の清浄度に比して高めるための装置（所謂、クリーンブース）である。
そして、本実施形態において、隔離用ブース１は、工程室１０内に配置された製造装置２０の周囲を囲うようにして配置されており、隔離用ブース１によって、製造装置２０の周囲に、工程室１０に比して高い清浄度が確保された空間（ブース内１ａ）を形成するようにしている。
【００２６】
隔離用ブース１は、図２（ａ）および図３（ａ）に示すように、上側の面（天井面）を、平面視において略長円状の天板２によって気密的に覆う構成としており、また、図２（ａ）および図３（ｂ）に示すように、隔離用ブース１の下側の面（床面）は、工程室１０の床１０ａによって構成されている。
尚、天板２は、床１０ａに立設した図示しない支持フレーム等によって、支持され自立している。
【００２７】
また、図３（ａ）に示す如く、天板２の周辺部の下面には、平面視において略長円の環状である上側カーテンレール５が設けられており、さらに、図３（ｂ）に示す如く、床１０ａ上には、上側カーテンレール５と同形状（平面視において略長円の環状）である下側カーテンレール６が設けられている。
これらの各カーテンレール５・６は、平面視において位置が重なるように、かつ、側面視において平行となるように配置されている（図２（ａ）参照）。
【００２８】
そして、隔離用ブース１では、図４（ａ）（ｂ）に示すように、カーテン部材３を、各カーテンレール５・６の間に張設する構成としており、天板２と床１０ａの間の上下方向の面（側面）を、カーテン部材３によって気密的に覆う構成としている。
尚、隔離用ブース１の大きさや形状は、対象となる製造装置２０や工程室１０等の大きさや形状等に応じて、適宜変更することが可能である。
【００２９】
ここで、カーテン部材３の取り付け状況について、説明をする。
カーテン部材３は、例えば、可撓性を有する透明の樹脂製シートにより構成されており、図２（ａ）に示すように、略無端ベルト状の形状が与えられている。
【００３０】
図４（ａ）（ｂ）に示す如く、天板２の下面に付設される上側カーテンレール５は、レール部材５ａを備えており、該レール部材５ａにおいて形成された溝部５ｂには、複数のコマ部材５ｃ・５ｃ・・・が挿入されている。そして、各コマ部材５ｃ・５ｃ・・・は、溝部５ｂに沿ってレール部材５ａの延設方向に向けて滑動させることができるように構成されている。
【００３１】
そして、上側カーテンレール５は、図３（ａ）に示すように、レール部材５ａを平面視において環状（無端）に形成する構成としており、また、複数のコマ部材５ｃ・５ｃ・・・をレール部材５ａの溝部５ｂに沿って、間隔をあけつつ略環状に配置する構成としている。
【００３２】
また、図４（ａ）（ｂ）に示す如く、下側カーテンレール６は、レール部材６ａを備えており、該レール部材６ａにおいて形成された溝部６ｂには、複数のコマ部材６ｃ・６ｃ・・・が挿入されている。そして、各コマ部材６ｃ・６ｃ・・・は、溝部６ｂに沿ってレール部材６ａの延設方向に向けて滑動させることができるように構成されている。
【００３３】
そして、下側カーテンレール６は、図３（ｂ）に示すように、レール部材６ａを平面視において環状（無端）に形成する構成としており、また、複数のコマ部材６ｃ・６ｃ・・・をレール部材６ａの溝部６ｂに沿って、間隔をあけつつ略環状に配置する構成としている。
【００３４】
そして、カーテン部材３は、図２（ａ）に示すように、上下方向に開放端を有する略筒状の態様であり、上側の開放端部においては、周方向に略等間隔で、Ｓ字フック８を係止するための部位である複数のフック係止部（ハトメ）３ｂ・３ｂ・・・を備え、下側の開放端部においては、周方向に略等間隔で、Ｓ字フック８を係止するための部位である複数のフック係止部３ｃ・３ｃ・・・を備えている。
【００３５】
そして、カーテン部材３は、図４（ａ）（ｂ）に示すように、上部の各フック係止部３ｂ・３ｂ・・・と上側カーテンレール５の各コマ部材５ｃ・５ｃ・・・をＳ字フック８・８・・・により係止して、かつ、下部の各フック係止部３ｃ・３ｃ・・・と下側カーテンレール６の各コマ部材６ｃ・６ｃ・・・をＳ字フック８・８・・・により係止することによって、上側カーテンレール５と下側カーテンレール６の間に張設される構成としている。
そして、略筒状の態様で支持されているカーテン部材３の内部空間を、ブース内１ａとしている。
尚、ブース内１ａと工程室１０との差圧を確保するためには、各カーテンレール５・６とカーテン部材３との間に存在する隙間を出来る限り少なくすることが望ましい。
【００３６】
また、図３（ａ）に示す如く、隔離用ブース１の天板２には開口部２ａ・２ａ・２ａが形成されており、該開口部２ａ・２ａ・２ａにおいて、図１（ａ）（ｂ）および図２（ａ）に示す如く、ブース内１ａに清浄度の高い空気を送風するためのファンフィルターユニット（以下、ＦＦＵと呼ぶ）４・４・４が備えられている。
ＦＦＵ４は、高性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）を備えており、工程室１０内の空気を吸気するとともに、その空気を当該高性能フィルタを通過させることによって、清浄度の高い空気を送気することができる装置である。
【００３７】
このため、隔離用ブース１では、ＦＦＵ４・４・４を運転し、ブース内１ａに清浄度の高い空気を送り込むことによって、ブース内１ａの清浄度を高めるとともに、ブース内１ａの圧力を工程室１０の圧力に比して陽圧に保持することによって、工程室１０に存在する塵挨等がブース内１ａに侵入することを防止して、ブース内１ａの清浄度を保持する構成としている。
【００３８】
図１（ａ）（ｂ）および図２（ａ）に示す如く、カーテン部材３の所定位置には、開口部３ａが形成されている。
尚、ここでいう「所定位置」は、製造装置２０における操作部位の配置等に応じて、適宜決定することができる。
【００３９】
そして、図２（ｂ）に示す如く、開口部３ａには、該開口部３ａを塞ぐ、ブース内１ａの内部に向かって膨出する部材であるグローブ部材７が備えられている。
グローブ部材７は、略手袋状（作業員の手および腕を挿入できる形状）の部材であって、作業者が隔離用ブース１の外（工程室１０）に居ながらにして、ブース内１ａに配置された製造装置２０を操作することを可能にするために設けられるものであり、カーテン部材３に対して、ブース内１ａに配置された製造装置２０の操作部位に対応して設けられる。
尚、本実施形態では、カーテン部材３に開口部３ａが形成され、該開口部３ａを塞ぐように別体のグローブ部材７を設ける構成としているが、カーテン部材３に対して、グローブ部材７が一体成形される構成であってもよい。
【００４０】
図２（ａ）に示す如く、カーテン部材３は、各カーテンレール５・６に沿って、横方向にスライドさせることが可能である。このため、隔離用ブース１では、カーテン部材３を、各カーテンレール５・６に沿って、横方向にスライドさせることによって、グローブ部材７の位置を変更することが可能である。
このため、グローブ部材７は、製造装置２０の周囲における任意の位置に配置することが可能であり、製造装置２０の操作等が必要な位置に、グローブ部材７を配置しておけば、作業者は、クリーン服に着替えたり、あるいは、エアシャワーを通過したりすることなく、容易に製造装置２０の操作を行うことができる。
【００４１】
また、作業員がグローブ部材７に手および腕を挿入した状態で、カーテン部材３を各カーテンレール５・６に沿ってスライドさせながら、隔離用ブース１の周囲を周回するように移動（歩行）することによって、製造装置２０に対するグローブ部材７の配置を容易に変更することも可能であり、製造装置２０に複数の操作箇所が存在するような場合であっても、容易に製造装置２０に対するグローブ部材７の配置を変更して、操作を行うことができる。
【００４２】
このように、本発明の第一の実施形態に係る隔離用ブース１を用いれば、作業員は、クリーン服に着替えたり、あるいは、エアシャワーを通過したりすることなく、工程室１０の雰囲気中に居たままで、清浄度の高いブース内１ａに設置された製造装置２０の操作やメンテナンス等を行うことが可能になる。
【００４３】
尚、本実施形態では、上下一対の各カーテンレール５・６によって、上下でカーテン部材３を支持する構成としているが、例えば、上側カーテンレール５のみでカーテン部材３を支持する構成であっても、カーテン部材３を上側カーテンレール５に沿って横方向にスライドさせて、グローブ部材７を変位させることは可能である。
このため、例えば、下側カーテンレール６を省略する構成の隔離用ブースであっても、作業員が、クリーン服に着替えたり、あるいは、エアシャワーを通過したりすることなく、工程室の雰囲気中に居たままで、清浄度の高いブース内に設置された製造装置の操作やメンテナンス等を行うことが可能になるという効果は得られる。
しかしながら、より確実に、ブース内１ａを隔離するためには、上下一対の各カーテンレール５・６によって、カーテン部材３を確実に支持する構成とするのが好適であり、また、カーテン部材３をより滑らかにスライドさせるためにも、上下一対の各カーテンレール５・６によって、カーテン部材３を支持する構成とするのが好適である。
【００４４】
即ち、本発明の第一の実施形態に係る隔離用ブース１は、局所的に隔離された空間であるブース内１ａを形成するためのものであって、ブース内１ａの側面を、平面視において環状である無端ベルト状に形成されたカーテン部材３により隔離するとともに、カーテン部材３には、ブース内１ａの内部に向かって膨出するグローブ部材７が備えられ、さらに、カーテン部材３は、平面視において環状である各カーテンレール５・６により支持され、カーテン部材３およびグローブ部材７が、各カーテンレール５・６に沿って変位可能に構成されるものである。
このような構成により、グローブ部材７を各カーテンレール５・６に沿って移動させることができる。これにより、ブース内１ａの製造装置２０の各部位を、様々な角度から操作することができる。
【００４５】
また、本発明の第一の実施形態に係る隔離用ブース１において、カーテンレールは、平面視において環状である上側カーテンレール５と、平面視において上側カーテンレールと同じ形状の環状である下側カーテンレール６と、を備え、上側カーテンレール５と下側カーテンレール６は、平面視において重なり、かつ、側面視において、互いに平行となるように配置され、カーテン部材３は、各カーテンレール５・６により支持されるものである。
このような構成により、グローブ部材７を各カーテンレール５・６に沿ってより容易に移動させることができる。これにより、作業員の作業性をよりよくすることができる。
【００４６】
また、本実施形態では、ブース内１ａの清浄度を工程室１０の清浄度に比して高めるための用途に用いられる隔離用ブース１（クリーンブース）を例示して説明をしているが、本発明に係る隔離用ブースの用途をこれに限定するものではなく、例えば、温湿度条件を確保するための用途や、雰囲気の拡散を防止するための用途に用いられる隔離用ブースであってもよい。
【００４７】
次に、本発明の第二の実施形態に係る隔離用ブースの全体構成について、図５を用いて説明をする。
【００４８】
図５（ａ）（ｂ）に示す本発明の第二の実施形態に係る隔離用ブースである隔離用ブース１１は、その内部空間（以下、ブース内１１ａと呼ぶ）の清浄度を外部空間の清浄度に比して高めるための装置（所謂、クリーンブース）である。
そして、本実施形態において、隔離用ブース１１は、工程室１０内に配置された製造装置２０の周囲を囲うようにして配置されており、隔離用ブース１１によって、製造装置２０の周囲に、工程室１０に比して高い清浄度が確保された空間（ブース内１１ａ）を形成するようにしている。
【００４９】
そして、隔離用ブース１１では、図５（ａ）（ｂ）に示すように、各カーテンレール５・６の間にカーテン部材１３を張設する構成としており、天板２と床１０ａの間の上下方向の面（側面）を、カーテン部材１３によって気密的に覆う構成としている。
また、カーテン部材１３の所定位置には、開口部１３ａが形成されている。そして、その開口部１３ａは、手および腕のみならず、頭・胴体・足等も含めて（即ち、人の全身を）入り込ませることができる態様であるグローブ部材１７によって、封止されている。
【００５０】
グローブ部材１７は、作業者が隔離用ブース１１の外部（工程室１０）の雰囲気に居ながらにして、ブース内１１ａに配置された製造装置２０の操作をするために設けられるものであり、人体（全身）の形状に対応した形状を有するスーツ部１７ａと該スーツ部１７ａをカーテン部材１３に対して接続する蛇腹状の伸縮部１７ｂを備えている。
また、スーツ部１７ａにおける作業員の頭部を覆う部位においては、ブース内１１ａを視認するための透明な窓部等も備えられている。
【００５１】
即ち、隔離用ブース１１では、カーテン部材３とは異なるカーテン部材１３を備える点で、隔離用ブース１と相違しており、また、カーテン部材１３に形成された開口部１３ａにグローブ部材７とは異なるグローブ部材１７を備えている点で隔離用ブース１と相違している。尚、隔離用ブース１１は、カーテン部材１３とグローブ部材１７以外の構成については、隔離用ブース１と共通している。
【００５２】
そして、図５（ａ）（ｂ）および図６に示す如く、カーテン部材１３は、カーテン部材３と同様に、各カーテンレール５・６に沿って、横方向にスライドさせることが可能であり、カーテン部材１３を、各カーテンレール５・６に沿って、横方向にスライドさせることによって、グローブ部材１７の位置を変更することが可能である。
【００５３】
作業員は、スーツ部１７ａに全身を入り込ませることによって、工程室１０の雰囲気中に居ながらにして、ブース内１１ａの床１０ａ上に立つことができ、製造装置２０の周囲を周回するように歩行することによって、カーテン部材１３を連れ回すことができる。そして作業者は、カーテン部材１３がスライドする範囲および伸縮部１７ｂが伸縮する範囲において、ブース内１１ａを移動することが可能である。
即ち、例えば作業者は、図６中に示す矢印Ａの方向から製造装置２０の操作等を行うことができるし、あるいは、矢印Ｂの方向からも製造装置２０の操作等を行うことができる。
【００５４】
このため、グローブ部材１７を有する隔離用ブース１１を用いた場合には、グローブ部材７を有する隔離用ブース１を用いる場合よりも、さらに製造装置２０に接近した状態でメンテナンスを行うことが可能になり、また、作業者の作業姿勢の自由度も増すため、細部を確認しながら、製造装置２０の操作やメンテナンス作業等を行うことが可能になる。
【００５５】
即ち、本発明の第二の実施形態に係る隔離用ブース１１を用いれば、作業者は、クリーン服に着替えたり、あるいは、エアシャワーを通過したりすることなく、クリーン服に着替えてブース内１１ａに入室して製造装置２０に対する操作やメンテナンスを行う場合と同程度の作業性を確保することが可能になり、製造装置２０の操作やメンテナンスをより容易に行うことが可能になる。
【００５６】
即ち、本発明の第二の実施形態に係る隔離用ブース１１において、グローブ部材１７のスーツ部１７ａは、人（作業者）の全身形状に対応した形状とするものである。
このような構成により、作業員が、クリーン服に着替えたり、エアシャワーを通過したりすることなく、ブース内１１ａの製造装置２０を操作することができる。
【００５７】
また、本発明の第二の実施形態に係る隔離用ブース１１において、グローブ部材１７のスーツ部１７ａは、カーテン部材１３に対して、伸縮部材たる伸縮部１７ｂを介して接続されるものである。
このような構成により、作業員が、より自由にブース内１１ａの製造装置２０を操作することができる。
【００５８】
次に、本発明の第三の実施形態に係る隔離用ブースについて、図７および図８を用いて説明をする。
本発明の第三の実施形態に係る隔離用ブース２１においては、図７に示すように、上側カーテンレール５を、上側カーテンボックス１５によって覆いつつ、また図８に示すように、下側カーテンレール６を、下側カーテンボックス１６によって覆う構成としている。
【００５９】
また、上側カーテンボックス１５は、図７に示すように、上側カーテンレール５を覆う部位であるボックス部１５ａと、ブース内２１ａおよび工程室１０からの空気を取り込むための部位である開口部１５ｂを備え、さらに、ボックス部１５ａには、該ボックス部１５ａ内から空気を排気するためのダクト１５ｃが接続されている。
【００６０】
同様に、下側カーテンボックス１６は、図８に示すように、下側カーテンレール６を覆う部位であるボックス部１６ａと、ブース内２１ａおよび工程室１０からの空気を取り込むための部位である開口部１６ｂを備え、さらに、ボックス部１６ａには、該ボックス部１６ａ内から空気を排気するためのダクト１６ｃが接続されている。
【００６１】
例えば、ブース内２１ａの圧力Ｐ１が、工程室１０の圧力Ｐ２に比して小さい場合には、カーテン部材３の周辺部に存在する隙間等から、工程室１０の空気がブース内２１ａ内に流入する可能性があるため、ブース内２１ａの清浄度を確保できない可能性がある。
【００６２】
そこで、本発明の第三の実施形態に係る隔離用ブース２１では、ブース内２１ａの圧力Ｐ１が、工程室１０の圧力Ｐ２に比して小さい場合には、上側カーテンボックス１５において、ボックス部１５ａ内の圧力Ｐ３が、圧力Ｐ１に比して小さくなるように（即ち、Ｐ３＜Ｐ１＜Ｐ２）、ダクト１５ｃにより排気を行うようにしている。
また同時に、下側カーテンボックス１６においても、ボックス部１６ａ内の圧力Ｐ４が、圧力Ｐ１に比して小さくなるように（即ち、Ｐ４＜Ｐ１＜Ｐ２）、ダクト１６ｃにより排気を行うようにしている。
【００６３】
また例えば、ブース内２１ａの圧力Ｐ１が、工程室１０の圧力Ｐ２に比して大きい場合には、カーテン部材３の周辺部に存在する隙間等から、ブース内２１ａの空気が工程室１０に流出する可能性がある。しかし、ブース内２１ａの雰囲気（例えば、有機溶剤等）を外部に流出させたくないような場合がある。
【００６４】
このような場合、隔離用ブース２１では、上側カーテンボックス１５において、ボックス部１５ａ内の圧力Ｐ３が、圧力Ｐ２に比して小さくなるように（即ち、Ｐ３＜Ｐ２＜Ｐ１）、ダクト１５ｃにより排気を行うようにしている。
また同時に、下側カーテンボックス１６においても、ボックス部１６ａ内の圧力Ｐ４が、圧力Ｐ２に比して小さくなるように（即ち、Ｐ４＜Ｐ２＜Ｐ１）、ダクト１６ｃにより排気を行うようにしている。
【００６５】
これにより、各カーテンボックス１５・１６内では、ブース内２１ａの空気と工程室１０の空気が混合された状態となるが、この混合された空気は、ブース内２１ａや工程室１０に漏れ出ることなく、各ダクト１５ｃ・１６ｃから排気されるため、ブース内２１ａを工程室１０から隔離することができる。また、製造装置２０や隔離用ブース２１の使用条件に応じて、各ダクト１５ｃ・１６ｃの排気量を調整することによって、ブース内２１ａを工程室１０から確実に隔離することができる。
【００６６】
このように、本発明の第三の実施形態に係る隔離用ブース２１では、各カーテンレール５・６を各カーテンボックス１５・１６で覆うとともに、各カーテンボックス１５・１６内を排気する構成とすることによって、各カーテンレール５・６による各カーテン部材３の支持部（即ち、Ｓ字フック８・８・・・、フック係止部３ｂ・３ｂ・・・、フック係止部３ｃ・３ｃ・・・等の隙間）からブース内２１ａと工程室１０の空気（雰囲気）が行き来することを確実に防止して、ブース内２１ａを工程室１０から確実に隔離することができる。
【００６７】
即ち、本発明の第三の実施形態に係る各隔離用ブース２１において、各カーテンレール５・６とカーテン部材３の隙間（即ち、Ｓ字フック８・８・・・、フック係止部３ｂ・３ｂ・・・、フック係止部３ｃ・３ｃ・・・等の隙間）において、ブース内２１ａに工程室１０から空気が流入すること、および、ブース内２１ａから工程室１０に空気が流出することを防止するための封止手段たる各カーテンボックス１５・１６を備えるものである。
このような構成により、ブース内２１ａをより確実に隔離することができる。
【符号の説明】
【００６８】
１    隔離用ブース（第一の実施形態）
１ａ  ブース内
２    天板
３    カーテン部材（第二の実施形態）
５    上側カーテンレール
６    下側カーテンレール
７    グローブ部材（第一の実施形態）
１１  隔離用ブース（第二の実施形態）
１３  カーテン部材（第二の実施形態）
１５  上側カーテンボックス
１６  下側カーテンボックス
１７  グローブ部材（第二の実施形態）
２１  隔離用ブース（第三の実施形態）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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