(57)【要約】【課題】ダイシング時におけるダイシングテープと基板間の隙間を無くし、切り屑が基板とテープ間の隙間に侵入し異物となることを最小限に抑えることで、他の部材との組立後のヘッドのノズル詰まり等による歩留り低下を改善し、低コスト化を図る。【解決手段】本発明にかかる、基板１上に形成したチップ含む液滴吐出ヘッド５０の製造方法では、基板へダイシング加工する際にダイシングテープ３０を貼り付ける基板のテープ貼り付け面１Ａ側に、ダイシングライン５と重なるように設けられる凹状のパターン４の側面４１Ｂ、４１Ｃを傾斜面とし、テープ貼り付け面１Ａとダイシングテープ３０との界面に空間４０が残らないようにダイシングテープを貼り付けてチップを分離形成する。【選択図】図２
2012153127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成したチップ含む液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記基板へダイシング加工する際にダイシングテープを貼り付ける前記基板のテープ貼り付け面側に、ダイシングラインと重なるように設けられる凹状のパターンの側面を傾斜面とし、前記テープ貼り付け面と前記ダイシングテープとの界面に空間が残らないように前記ダイシングテープを貼り付けて前記チップを分離形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記ダイシングテープは、少なくともその基材が、前記凹状のパターンの高さより厚く形成されていることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
基板へのダイシング時のダイシングテープの貼り付け面側に、ダイシングラインと重なるように設けられた凹状のパターンの側面を傾斜面としたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
インクジェットヘッドと、このインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジにおいて、
前記インクジェットヘッドとして請求項３記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項５】
液滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置において、
前記インクジェットヘッドとして請求項３記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項６】
振動板の変形によって液体を輸送するマイクロアクチュエータにおいて、
請求項３記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドの製造方法とそれを用いた液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置及びマイクロアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェハをチップに分割する手法として、一般的にはダイシングが用いられる。ダイシングは、周囲にダイヤモンド粉が付いたブレードを高速回転し、該ブレードをチップが切り出される線に沿って動かしウェハを切断する方法である。
【０００３】
チップを分離した後、液滴吐出ヘッドを構成する他の部品と接着などで組み合せる時、チップのエッジを突き当ててアライメントする場合があるが、突き当て時のショックでパーティクルを発生させ、このパーティクルが他の部品、例えば、ノズル板、振動板との界面に挟まると、接合不良となり品質低下となってしまう。
【０００４】
チップを分離した後、他の部品と接着などで組み合せる時、チップのエッジを治具へ突き当ててアライメントする場合があるが、突き当て時のショックでパーティクルを発生させ、このパーティクルが他の部品、例えば、ノズルカバーや、インクタンクとの界面に挟まると、インク漏れの原因となってしまう。
【０００５】
チップを分離した後、他の部品と接着などで組み合せる時、チップのエッジを治具へ突き当ててアライメントする場合があるが、ダイシングによる分割はダイシングブレードの磨耗により幅が変化する。端面突き当てによるアライメントもチップサイズが大きくなっていくため徐々にずれ量が拡大していく。
【０００６】
インクジェット記録装置は、記録時の騒音が極めて小さいこと、高速印字が可能であること、インクの自由度が高く安価な普通紙を使用できることなど多くの利点を有する。この中でも記録が必要な時にのみインク液滴を吐出する、いわゆるインク・オン・デマンド方式が、記録に不要なインク液滴の回収を必要としないため、現在主流となってきている。
【０００７】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像記録装置或いは画像形成装置として用いるインクジェット記録装置において使用する液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドは、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室（加圧液室、圧力室、インク流路等とも称される。）と、吐出室内のインクを加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備え、圧力発生手段で発生した圧力で吐出室内インクを加圧することによってノズルからインク滴を吐出している。
【０００８】
このようなインクジェットヘッドとしては、圧力発生手段として圧電素子などの電気機械変換素子を用いて吐出室の壁面を形成している振動板を変形変位させることでインク滴を吐出させるピエゾ型のもの、吐出室内に配設した発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いてインクの膜沸騰でバブルを発生させてインク滴を吐出させるバブル型（サーマル型）のものなどがある。ピエゾ型のものにはＤ３３方向の変形を利用した縦振動型、Ｄ３１方向の変形を利用した横振動（ベンドモード）型、更には剪断変形を利用したシェアモード型、液室の壁面を形成する振動板電極とこれに対向する電極を用いて静電力で変形させることでインク滴を吐出させる静電型等がある。その中で近年、半導体プロセスやマイクロマシニング技術の進歩により、パターニング加工技術が確立されていて、かつ、コストの安いＳｉ基板に加圧室及びピエゾ素子を直接形成するアクチュエータ構成が考案されている。Ｓｉ基板は剛性が高く従来から高密度なパターン形成が可能であり高画質化のための高密度化要求に応えることが可能である。
【０００９】
しかし、従来液室や各液室に連通する共通液室などを感光性樹脂，樹脂モールド，金属，ガラスなどの材料で形成していたものに対してシリコン基板で形成するため、複数の基板を貼り合わせることや、基板の表裏面にパターン形成することとなり、複雑な生産工程が必要とされているため、従来の半導体加工のプロセスでは発生していなかった問題が発生している。
【００１０】
その一つとして、マイクロマシニングにより複雑な構造体（メカニカル部品）を作り込んでいるため、電気部品であった半導体では問題にならなかったダイシング工程での切り屑がデバイスの動作に問題を引き起こす不具合が発生している。
【００１１】
特許文献１には、流路及び振動板を形成した第一の基板と、ノズル及び凹部を形成した第三の基板と、圧力発生手段を形成した第二の基板と貼り合わせてからチップ分割を行なう積層基板の分割方法が開示されている。
【００１２】
特許文献２には、シリコン基板にアルカリエッチで液室を形成する際にダイシングライン部を同時にエッチングして溝形成することで、ダイシング時のチッピングによる切り屑を低減する方法が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
特許文献１の手法の方法、液滴吐出ヘッドを作り込んだ張り合わせ基板をダイシングにより分割する際に切り屑がノズルなどに入り込みにくい構造となるが、基板裏面のパターンとダイシングテープの間に切り屑が入り込むことがあり、この切り屑による不具合については言及されていない。
【００１４】
特許文献２に記載の手法の場合、シリコン基板のダイシングテープ貼り付け面側に形成したパターンとダイシングテープ間の隙間に切り屑が入り込み、チップ側面部に切り屑（異物）が付着し後の工程で異物となり問題になる可能性がある。ダイシングテープ貼り付け面側にシリコン基板とテープ間に空間ができてしまうようなパターン形成がされていた場合、該基板とテープ間にできた隙間には洗浄水も入り込み難いため、ダイシング時のＳｉ切り屑が空間に入り込み、その側壁に付着したものはダイシング後の洗浄では除去することができない。このため、後の搬送工程や組立工程で振動等により移動し液室内などに再付着し異物となる可能性がある。
【００１５】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ダイシング時におけるダイシングテープと基板間の隙間を無くすことで、ダイシング切り屑が基板とテープ間の隙間に侵入し異物となることを最小限に抑えることで、他の部材との組立後の液滴吐出ヘッドのノズル詰まり等による歩留り低下を改善し、低コスト化を図る。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係る、基板上に形成したチップ含む液滴吐出ヘッドの製造方法は、基板へダイシング加工する際にダイシングテープを貼り付ける基板のテープ貼り付け面側に、ダイシングラインと重なるように設けられる凹状のパターンの側面を傾斜面として、テープ貼り付け面とダイシングテープとの界面に空間が残らないようにダイシングテープを貼り付けてチップを分離形成することを特徴としている。  
本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法において、ダイシングテープは、少なくともその基材が、凹状のパターンの高さより厚く形成されていることを特徴としている。  
本発明に係る液滴吐出ヘッドは、基板へのダイシング時のダイシングテープの貼り付け面側に、ダイシングラインと重なるように設けられた凹状のパターンの側面を傾斜面としたことを特徴としている。  
本発明に係る、インクジェットヘッドと、このインクジェットヘッドにインクを供給するインクタンクを一体化したインクカートリッジは、インクジェットヘッドとして前記液滴吐出ヘッドを有することを特徴としている。  
本発明に係る、液滴を吐出するインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置は、インクジェットヘッドとして前記液滴吐出ヘッドを有することを特徴としている。  本発明に係る、振動板の変形によって液体を輸送するマイクロアクチュエータは、前記液滴吐出ヘッドを有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、基板へダイシング加工する際にダイシングテープを貼り付ける基板のテープ貼り付け面側に、ダイシングラインと重なるように設けられる凹状のパターンの側面を傾斜面とし、テープ貼り付け面とダイシングテープとの界面に空間が残らないようにしたので、ダイシングテープをパターンに追従させて貼り付けることができる。このため、ダイシング時におけるダイシングテープと基板間の隙間を極めて少なくすことができ、ダイシング時の切り屑が基板とテープ間の隙間に侵入して異物となることを最小限に抑えられるので、歩留りの改善を図れる。これにより、他の部材との組立後の液滴吐出ヘッドのノズル詰まり等による歩留り低下を改善でき、低コストでヘッド生産を行える。  
本発明にかかるインクカートリッジによれば、インクジェットヘッドとして液滴吐出ヘッドを用いて液体タンクを一体化したので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。  
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、液滴を吐出するインクジェットヘッドとして液滴吐出ヘッドを搭載したので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。  
本発明に係るマイクロアクチュエータによれば、マイクロマシン技術により基板上に形成された液滴吐出ヘッドを有するので、異物による不良発生や歩留り低下を改善することができるので、小型、低コストを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドをダイシングで分割する際の状態を説明するための斜視図である。
【図３】（ａ）は従来方法で接着剤塗布用パターンを形成した際に発生する不具合を説明するための図、（ｂ）は本発明に係る方法で接着剤塗布用パターンを形成した状態を説明するための図である。
【図４】（ａ）は接着剤塗布用パターンを別な形成方法を説明する図、（ａ）の製造方法で液室基板に接着剤塗布用パターンを形成した状態を示す図である。
【図５】本発明に係るインクカートリッジの構成を示す斜視図である。
【図６】本発明に係るインクジェット記録装置の斜視説明図である。
【図７】本発明に係るインクジェット記録装置図の機構部の側面説明図である。
【図８】マイクロアクチュエータの一形態であるマイクロポンプの動作原理を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。各実施形態において、同一機能を有する部材には、第１の実施形態で用いた符号と同一符号を付し、詳細な説明は簡略または省略する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態における液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。本実施形態は、本発明のアクチュエータを用いた液滴吐出ヘッドであり、インク液滴を基板の面部に設けたノズル孔から吐出させるサイドシューター方式の例を示すものである。本実施形態の液滴吐出ヘッド５０は、図１に示すように、インクを吐出する複数のノズル孔２０を有するノズル基板２と、図示しない周知の吐出室、振動板、圧電素子を形成した液室基板１と、圧電素子保護空間を形成配置した保護基板３の３枚の基板を重ねた積層構造となっている。
【００２０】
液室基板１はシリコン基板であり、保護基板３はシリコン又ガラス基板からなる。ノズル基板２は、金属（ＳＵＳ、Ｎｉ等）からなるため、液室基板１と保護基板３を張り合わせた状態でチップ分割を行い、その後、別途分割されたノズル板チップと張り合わせる工法が取られる。シリコンウェハをチップに分割する手法として、一般的なダイシングを用いる。このダイシングは、周囲にダイヤモンド粉が付いたブレードを高速回転させ、当該ブレードをチップが切り出される線に沿って動かしウェハを切断する方法である。
【００２１】
液室基板１と保護基板３の張り合わせ基板１０をダイシングにより分割する際に、微細パターンが形成された液室基板１側がダイシング時の衝撃によりダメージを受けることを避けるために、図２に示すように、液室基板１のパターン形成面１Ａ側にダイシングテープ３０を貼り付け、保護基板３側からダイシングブレードを当てて切断する。このときダイシングテープ３０が張られたパターン形成面１Ａ、すなわちテープ貼付面１Ａには、チップ分割後にノズル接合を行なう際に液室基板１とノズル基板２とを仮留めするための接着剤塗布用の凹状のパターン４がチップ四隅に形成されている。パターン４は、チップ分割後のノズル板接合時に仮止めを行なうためのもので、チップ周辺から接着剤等を供給できるようにダイシングライン５を跨ぐように配置されている。このパターン４を液室形成と同じリソエッチ工法で形成すると、図３（ａ）に示すように、凹状のパターン４の底面４Ａの両側に位置する側面４Ｂ、４Ｃが垂直に近いものになり、ダイシング部分に空間４０が形成されてしまう。液室基板１とダイシングテープ３０の間にできた空間（隙間）４０には洗浄水も入り込み難いため、ダイシング時の切り屑４５が空間４０に入り込み、異物となってその側面４０Ａ、４０Ｂに付着する可能性がある。
【００２２】
そこで本実施形態では、図３（ｂ）に示すように、ダイシングライン５に重なるように液室基板１に設けられた凹部のパターン４の深さ方向の形状を、底部４Ａの両側に位置する側面４１Ｂ、４１Ｃを傾斜面として形成し、ダイシングテープ３０と液室基板１との間に空間４０が形成され難いようにしている。特にダイシングテープ３０の貼り付け時に、減圧下でテープ貼り付けを行なうことで、ダイシングテープ３０が凹状のパターン４の形状に馴染むため、更に空間４０を形成され難くすることができる。
【００２３】
このように、液室基板１へダイシング加工する際にダイシングテープ３０を貼り付ける基板のテープ貼り付け面１Ａ側に、ダイシングライン５と重なるように設けられる凹状のパターン４の側面４１Ｂ、４１Ｃを傾斜面とし、テープ貼り付け面１Ａとダイシングテープ３０との界面に空間４０が残らないようにしたので、ダイシングテープ３０をパターン４に追従させて貼り付けることができる。このため、ダイシング時におけるダイシングテープ３０と液室基板１間の空間（隙間）４０を極めて少なくすことができ、ダイシング時の切り屑４５が液室基板１とテープ間の空間（隙間）４０に侵入して異物となることを最小限に抑えられるので、歩留りの改善を図れる。これにより、他の部材との組立後の液滴吐出ヘッド５０のノズル詰まり等による歩留り低下を改善でき、低コストでヘッド生産を行える。
【００２４】
図３（ａ）に示す液室基板１のパターン４の垂直な側面４０Ｂ、４０Ｃを、図３（ｂ）に示すように傾斜した側面４１Ｂ、４１Ｃとすることで、ダイシングテープ３０を接着剤塗布用のパターン４に追従させて貼り付けることができ、それにより空間４０が低減して、ダイシング時に液室基板１の凹状のパターン４のダイシングテープ３０が他の部分より深く切られるので、少なくとも接触層３０Ａを除くテープの基材３０Ｂの厚みＴがパターン４の深さＴ１より厚くしている。これによりダイシング時にダイシングテープ３０が切断されて切断片による加工装置への悪影響を及ぼすことを防止することができる。これにより生産工程における異常を低減し安定した生産が可能となる。
【００２５】
チップ仮止め用パターンとなる接着剤塗布用のパターン４の形成は、液室基板１の場合は他のパターン形成とは別にＫＯＨ等によるアルカリエッチで傾斜した側面４１Ｂ、４１Ｃを形成しても良いし、図４（ａ）に示すように、リソエッチ法を用いて接着剤塗布用のパターン４のみのレジストパターン１１に傾斜した側面１１Ｂ、１１Ｃを形成し、図４（ｂ）に示すように、それを液室基板（Ｓｉ基板）１へ転写して傾斜面４１Ｂ、４１Ｃする方法でも良い。図４（ａ）に示すように、レジストパターン１１への側面１１Ｂ、１１Ｃの形状は、例えば特許４０７０４１２号公報に記載されている、マスク透過率を部分的に調整したグラデーションマスク９を用いることで形成することができる。なお、上記に記載した膜厚等の数値や材料はこれに限ったものではない。
（第２の実施形態）
本形態は、本発明に係るインクカートリッジに関するもので、図５を参照して説明する。  
このインクカートリッジ２００は、ノズル２０等を有する第１の実施形態で説明した液滴吐出ヘッド５０をインクジェットヘッド６１として備え、このインクジェットヘッド６１に対してインクを供給するインクタンク６２を一体化したものである。
【００２６】
このようにインクタンク一体型のインクカートリッジ２００の場合、インクジェットヘッド６１の低コスト化、信頼性向上は、ただちにインクカートリッジ全体の低コスト化、信頼性向上につながるので、上述したようにインクジェットヘッド６１の低コスト化、高信頼性化、製造不良を低減することで、インクカートリッジ２００の歩留まり、信頼性が向上し、ヘッド一体型のインクカートリッジ２００の低コスト化を図ることができる。
（第３の実施形態）
本形態は、本発明に係る液滴吐出ヘッド５０を記録ヘッド９４として搭載したインクジェット記録装置の一例に関するものであり、図６及び図７を参照して説明する。なお、図６は同記録装置の斜視説明図、図７は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【００２７】
このインクジェット記録装置３００は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ９３、キャリッジ９３に搭載した液滴吐出ヘッド５０からなる記録ヘッド９４、記録ヘッド９４へインクを供給するインクカートリッジ９５等で構成される印字機構部８２等を収納している。記録装置本体８１の下方部には、前方側から多数枚の記録媒体となる用紙８３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイ）８４を記録装置本体８１に抜き差し自在に装着することができ、また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
【００２８】
印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する記録ヘッド９４を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ９３には記録ヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５を交換可能に装着している。
【００２９】
インクカートリッジ９５は、その上部に大気と連通する大気口、その下部に記録ヘッド９４へインクを供給する供給口を、その内部にインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により記録ヘッド９４へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッド９４としてここでは各色に対応した４つのヘッドを備えているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個の記録ヘッドでもよい。
【００３０】
キャリッジ９３は、後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、図６に示す主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１００を張装し、このタイミングベルト１００をキャリッジ９３に固定しており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。
【００３１】
給紙カセット８４にセットした用紙８３を記録ヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、用紙８３を案内するガイド部材１０３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４と、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とを設けている。搬送ローラ１０４は図６に示す副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００３２】
記録ヘッド９４の下方には、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を記録ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９が配設されている。この印写受け部材１０９よりも用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１と拍車１１２及び用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４が配置されている。搬送コロ１１１と排紙ローラ１１３及び拍車１１２と拍車１１４の間には、排紙経路を形成するガイド部材１１５，１１６が配設されている。
【００３３】
インクジェット記録装置３００では、記録時にキャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。そして記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【００３４】
図６において、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。回復装置１１７は周知のキャッピング手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９３は印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段で記録ヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止されている。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００３５】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で記録ヘッド９４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、記録装置本体８１の下部に設置された図示しない廃インク溜に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００３６】
このような構成のインクジェット記録装置３００において、液滴吐出ヘッド５０を記録ヘッド９４として搭載しているので、製造不良が減少し、低コスト化を図ることができる。また、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。
（第４の実施形態）
本実施形態は、本発明の構成をマイクロアクチュエータの一形態であるマイクロポンプに応用したものである。このマイクロポンプの動作原理について図８を基に説明する。
【００３７】
マイクロポンプ５００は、複数の電圧素子（ＰＺＴ）７が設けられた振動板８が複数設けられており、流路３３の中を流体が流れる構造となっている。図では省略しているが振動板８は複数の絶縁膜による積層構造になっている。
【００３８】
流路基板１の流路３３に上から蓋をしている基板９を接合する際にチップ隅に設けられた接着剤塗布用の凹状のパターン４を使用して接合する。チップダイシングの際にパターン４は、その側面４１Ｂ、４１Ｃを傾斜面に形成されているので、異物が付着し難い構造であるため、流路３３へダイシング由来のゴミが入り込み、歩留りが低下することを防ぐことができるので、小型で低コストなマイクロポンプ５００を生産できる。
【００３９】
このマイクロポンプ５００は、振動板８を図中右側から順次駆動することによって、流路３３内の流体に矢印方向へ流れが生じ、流体の輸送が可能となる。本実施形態では振動板８を複数設けた例を示したが、振動板８は一つでも良く、また輸送効率を上げるために弁などを設けても良い。
【００４０】
上述の実施形態では、本発明の適用例として液滴吐出ヘッドとなるインクジェットヘッド６１、マイクロポンプ５００を例に説明したが、これ以外の光学デバイス、マイクロアクチュエータなどにも応用可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１          基板
１Ａ        テープ貼り付け面
４          凹状のパターン
８          振動板
３０        ダイシングテープ
３０Ｂ      テープの基材
４１Ｂ、４１Ｃ  傾斜した側面
４０        空間
５０        液滴吐出ヘッド
６１、９４        インクジェットヘッド
６２        インクタンク
２００      インクカートリッジ
３００      インクジェット記録装置
５００      マイクロポンプ
Ｔ          基材の厚み
Ｔ１        凹状パターンの高さ
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４２】
【特許文献１】特開２００６−２５６２３２号公報
【特許文献２】特開２００４−２５３６９５号公報
【図１】
2012153127.tif 000003
【図２】
2012153127.tif 000004
【図３】
2012153127.tif 000005
【図４】
2012153127.tif 000006
【図５】
2012153127.tif 000007
【図６】
2012153127.tif 000008
【図７】
2012153127.tif 000009
【図８】
2012153127.tif 000010