(57)【要約】      （修正有）【課題】微小な大きさのものであっても確実に動作することができ、構成が簡単で容易に製造することができる逆止弁及び逆止弁の製造方法を提供する。【解決手段】一方から他方に向かって徐々に拡開するテーパ形状の貫通孔５が穿孔された弾性部材からなる弁体を具備し、貫通孔５は弁体を一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形させた状態で形成されたものであり、弁体が一方から他方に向けて所定の圧力以上で押圧・変形されることにより貫通孔５が開き、弁体に対する一方から他方に向けての所定の圧力以上の押圧が解除されてその弾性力により一方に復帰することにより貫通孔が閉じることを特徴とする逆止弁。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方から他方に向かって徐々に拡開するテーパ形状の貫通孔が穿孔された弾性部材からなる弁体を具備し、
上記貫通孔は上記弁体を一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形させた状態で形成されたものであり、
上記弁体が一方から他方に向けて所定の圧力以上で押圧・変形されることにより上記貫通孔が開き、
上記弁体に対する一方から他方に向けての所定の圧力以上の押圧が解除されてその弾性力により一方に復帰することにより上記貫通孔が閉じることを特徴とする逆止弁。
【請求項２】
請求項１記載の逆止弁において、
上記弁体は他方側が凸で一方側が平らな形状を成していることを特徴とする逆止弁。
【請求項３】
弾性部材からなる弁体を一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形させた状態で、他方から上記弁体に対して一方から他方に向かって徐々に拡開するテーパ形状の貫通孔を穿孔することを特徴とする逆止弁の製造方法。
【請求項４】
請求項３記載の逆止弁の製造方法において、
上記弁体は流体によって一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形されることを特徴とする逆止弁の製造方法。
【請求項５】
請求項３記載の逆止弁の製造方法において、
上記弁体は押し棒によって一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形されることを特徴とする逆止弁の製造方法。
【請求項６】
請求項４記載の逆止弁の製造方法において、
圧力センサにより上記貫通孔が開口する際の圧力変化を検知し、
上記貫通孔が開口するのと同時に穿孔を停止することを特徴とする逆止弁の製造方法。
【請求項７】
請求項３〜請求項６の何れかに記載の逆止弁の製造方法において、
レーザによって上記弁体に対してテーパ形状の貫通孔を穿孔することを特徴とする逆止弁の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形されることにより開く逆止弁及びそのような逆止弁の製造方法に係り、特に、確実に動作することができ、且つ、構成が簡単で容易に製造することができるように工夫したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
微小であって、且つ、その動作を確実にするための工夫が施された逆止弁を開示するものとして、例えば、特許文献１や特許文献２がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２４１５９号公報
【特許文献２】特開２００５−２１４４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の構成によると、次のような問題があった。
すなわち、上記特許文献１及び上記特許文献２に記載されている逆止弁の場合には、動作を確実にするために、多くの部品を必要とするとともに、弁体を始めとする各部品の形状が複雑になってしまい、その結果、製造が困難になってしまうという問題があった。
【０００５】
本願発明はこのような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、微小な大きさのものであっても確実に動作することができ、且つ、構成が簡単で容易に製造することができる逆止弁及び逆止弁の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するべく請求項１に記載された逆止弁は、一方から他方に向かって徐々に拡開するテーパ形状の貫通孔が穿孔された弾性部材からなる弁体を具備し、上記貫通孔は上記弁体を一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形させた状態で形成されたものであり、上記弁体が一方から他方に向けて所定の圧力以上で押圧・変形されることにより上記貫通孔が開き、上記弁体に対する一方から他方に向けての所定の圧力以上の押圧が解除されてその弾性力により一方に復帰することにより上記貫通孔が閉じることを特徴とするものである。
又、請求項２に記載された逆止弁は、請求項１記載の逆止弁において、上記弁体は他方側が凸で一方側が平らな形状を成していることを特徴とするものである。
又、請求項３に記載された逆止弁の製造方法は、弾性部材からなる弁体を一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形させた状態で、他方から上記弁体に対して一方から他方に向かって徐々に拡開するテーパ形状の貫通孔を穿孔することを特徴とするものである。
又、請求項４に記載された逆止弁の製造方法は、請求項３記載の逆止弁の製造方法において、上記弁体は流体によって一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形されることを特徴とするものである。
又、請求項５に記載された逆止弁の製造方法は、請求項３記載の逆止弁の製造方法において、上記弁体は押し棒によって一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形されることを特徴とするものである。
又、請求項６に記載された逆止弁の製造方法は、請求項４記載の逆止弁の製造方法において、圧力センサにより上記貫通孔が開口する際の圧力変化を検知し、上記貫通孔が開口するのと同時に穿孔を停止することを特徴とするものである。
又、請求項７に記載された逆止弁の製造方法は、請求項３〜請求項６の何れかに記載の逆止弁の製造方法において、レーザによって上記弁体に対してテーパ形状の貫通孔を穿孔することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
以上述べたように、請求項１記載の逆止弁は、弁体に設けられた貫通孔がこの弁体を所定の圧力で押圧・変形させた状態で形成されたものであり、上記弁体が一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形されることにより上記貫通孔が開き、上記弁体がその弾性力により復帰することで上記貫通孔が閉じるようになっている。そのため、仮に、上記逆止弁が微小なものであっても、所定の圧力以上の圧力によって正確に開放されるものとなる。又、構成も簡単であり、且つ、単に所定の条件の下に弁体に穿孔を施すだけで所望の逆止弁を得ることができるので、製造も容易である。
又、請求項２記載の逆止弁は、上記弁体は他方側が凸で一方側が平らな形状を成しているため、上記逆止弁が一方から他方への圧力による押圧・変形から復帰する際、上記貫通孔の他方側の開口部が閉じやすくなり、上記逆止弁の機能をより確実なものとすることができる。
又、請求項３記載の逆止弁の製造方法は、弾性部材からなる弁体を一方から他方に向けて所定の圧力で押圧・変形させ、他方から上記弁体に対してテーパ形状の貫通孔を穿孔するものであるため、所定の圧力以上の圧力により正確に開放される逆止弁を容易に製造することができる。又、弁体を押圧・変形させる際の条件を変更することにより、様々な条件で開放される逆止弁を容易に製造することができる。
又、請求項４記載の逆止弁の製造方法は、実際に使用する場合の開放圧力で流体を作用させた状態で弁体に穿孔を施すので、所望の圧力で開放される逆止弁を容易に製造することができる。
又、請求項５記載の逆止弁の製造方法は、流体の代わりに押し棒によって上記弁体を所定の圧力で押圧・変形させるため、上記弁体に貫通孔が形成されても上記弁体の変形が保たれる。そのため、上記弁体の変形を保ちつつ、上記弁体に複数の貫通孔を穿孔することができる。また、複雑な形状の貫通孔を形成することも可能となる。
又、請求項６記載の逆止弁の製造方法は、上記貫通孔が開口する際の圧力変化を圧力センサにより検知し、上記貫通孔が開口するのと同時に穿孔を停止するものである。上記貫通孔が開口すると、上記貫通孔からの流体の流出により上記逆止弁が変形前の形状へ復帰しようとするが、この時にも穿孔を継続してしまうと上記貫通孔の大きさ等が所望するものと異なってしまう。しかし、請求項６記載の逆止弁の製造方法によると、上記貫通孔が開口した後には穿孔はされないため所望の貫通孔を穿孔することができる。そのため、所定の圧力以上の圧力により正確に開放される逆止弁を製造することができる。
又、請求項７記載の逆止弁の製造方法は、レーザによって上記弁体に対してテーパ形状の貫通孔を穿孔するものであるため、正確な形状・寸法の貫通孔を容易に穿孔することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、図１（ａ）は本実施の形態による逆止弁が変形し開放された状態を示す正面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のｂ−ｂ断面図、図１（ｃ）は、本実施の形態による逆止弁が変形し開放された状態を示す背面図である。
【図２】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態による逆止弁をパイプ内に設置した状態を示す図であり、変形していない状態の逆止弁を示す断面図である。
【図３】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態による逆止弁の製造方法を示した図であり、図３（ａ）は穿孔する前の逆止弁を加工用筒内に設置した状態を示す断面図、図３（ｂ）は加工用筒内に設置した逆止弁をポンプにより押圧・変形させてレーザ加工機により穿孔している状態を示す断面図、図３（ｃ）は逆止弁への穿孔後にポンプとレーザ加工機を停止させ逆止弁が変形状態から復帰した状態を示す断面図である。
【図４】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、本実施の形態による逆止弁の製造方法を示した図であり、逆止弁を押し棒によって押圧・変形させてレーザ加工機によって穿孔している状態を示す断面図である。
【図５】本願発明の第１の実施の形態を示す図で、図５（ａ）は流体の圧力によって逆止弁が押圧・変形されて小さく開いた状態を示す断面図、図５（ｂ）は逆止弁がさらに開いた状態を示す断面図である。
【図６】本願発明の第２の実施の形態を示す図で、本願発明の第２の実施の形態による逆止弁を示す正面図である。
【図７】本願発明の第３の実施の形態を示す図で、本願発明の第３の実施の形態による逆止弁を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図１乃至図５を参照して、本願発明の第１の実施の形態を説明する。
【００１０】
本実施の形態による逆止弁１は、例えば、シリコンゴム等の弾性体を成形したものである。上記逆止弁１には、図１（ａ）〜図１（ｃ）や図２に示すように、まず弁体としてのダイアフラム３がある。上記ダイアフラム３は、変形していない状態では図２中左側の面が平面形状で図２中右側の面が膨らんでいる凸レンズ形状となっている。上記ダイアフラム３の中心位置には傾斜孔（テーパ状の貫通孔）５が形成されている。
【００１１】
上記傾斜孔５は、上記逆止弁１に圧力が加わっていない状態では、図２に示すように、上記ダイアフラム３の弾性力により閉じている。しかし、図２中左側から、流体２が供給されることにより上記逆止弁１に圧力が加わると、図１（ａ）〜図１（ｃ）に示すように、上記ダイアフラム３が押圧・変形され、上記傾斜孔５が開かれることとなる。この時、上記傾斜孔５は、図１（ｂ）中左側から図１（ｂ）中右側に向かって拡開されるテーパ形状の貫通孔となっている。
【００１２】
又、上記ダイアフラム３の外周側には、薄肉出あって環状のエッジ部７が一体に設けられている。又、上記エッジ部７の外側には筒形状であって環状の厚肉リング部９が一体に設けられている。
【００１３】
上記逆止弁１は、図２に示すように、パイプ１１の内部に取り付けられる。すなわち、上記逆止弁１は、上記厚肉リング部９の一方の端面を上記パイプ１１の内周面に突出・形成された段付部１３に当接され、上記厚肉リング部９の外周面を上記パイプ１１の内周面に当接され、上記厚肉リング部９の他方の端面に上記パイプ１１内に挿入された押さえリング１５の端面が当接された状態で上記パイプ１１内に設置される。
【００１４】
次に、本実施の形態による逆止弁１の製造方法について図３を参照して説明する。
まず、シリコンゴム等の弾性材料から、ダイアフラム３に傾斜孔５が形成されていない状態の未加工逆止弁１６を成形する。
そして、図３（ａ）に示すように、上記未加工逆止弁１６を加工用管路１７内に設置する。上記加工用管路１７は、図３（ａ）中右側が開口された筒状を成しており、図３（ａ）中左側の端面には貫通孔１８が穿孔されている。又、上記加工用管路１７の内周面には段付部１９が突出・形成されている。上記未加工逆止弁１６は、押さえリング２１を使用して、前述した逆止弁１をパイプ１１へ設置する場合と同様に上記加工用管路１７内に設置される。
又、上記加工用管路１７の貫通孔１８にはポンプ２３が接続されている。又、上記加工用管路１７の開口部にはレーザ加工機２５が設置されている。
【００１５】
次に、上記ポンプ２３から所定の圧力で流体２７を供給し、図３（ｂ）に示すように、上記未加工逆止弁１６を押圧・変形させる。そして、所定量変形された上記未加工逆止弁１６の中心位置に上記レーザ加工機２５により傾斜孔５を穿孔する。上記穿孔が完了することにより上記逆止弁１が完成し、上記流体２７が上記傾斜孔５から外部へ流出していき、それによって、上記加工用管路１７内部の圧力が低下する。この圧力の低下を図示しない圧力センサ（例えば、圧力計）で検知し、上記レーザ加工機２５と上記ポンプ２３を停止させる。それによって、図３（ｃ）に示すように、上記逆止弁１がその弾性力により復帰する。このとき、上記傾斜孔５は閉じることとなる。
【００１６】
なお、上記流体２７の圧力は上記逆止弁１を動作させたい圧力と同一に設定する。又、ここで使用される上記流体２７の種類は完成した上記逆止弁１に使用されるものと同一であるのが好ましい。また、上記傾斜孔５を形成する際の温度条件等を、実際に上記逆止弁１が使用される条件に合わせることも考えられる。このような条件において上記傾斜孔５を形成することにより、上記逆止弁１は所定の温度条件等において所定の流体による所定の圧力以上の圧力により開放されるものとなる。
【００１７】
なお、上記未加工逆止弁１６を押圧・変形させる方法としては、上記したような流体圧を利用するものに限定されるものではない。例えば、図４に示すように、押し棒２９によって上記未加工逆止弁１６を押圧・変形させる方法もある。この場合には、まず、上記未加工逆止弁１６を流体圧を利用して押圧・変形させ、その変形量を測定する。その際、上記流体は所定の流体であり、該流体の圧力は所定値に設定されている。また、その流体の温度も所定値に設定されている。
【００１８】
次に、上記押し棒２９を使用して、上記未加工逆止弁１６を、上記測定した変形量と同じ変形量となるように押圧・変形させる。その状態で、上記未加工逆止弁１６の中心位置にレーザ加工機２５によって穿孔を施す。このような方法でも、所望の逆止弁１を製造することができる。
【００１９】
次に、本実施の形態による逆止弁１の作用について説明する。
なお、本実施の形態による逆止弁１を管路１１内に設置した使用状態を前提として説明する。
まず、上記逆止弁１に圧力が作用していない状態では、図２に示すように、上記逆止弁１のダイアフラム３は変形されておらず、傾斜孔５も閉じられている。
【００２０】
この状態で、図２中左側から、図示しないポンプ等によって、所定圧力の流体２が供給されると、その圧力により図５（ａ）に示すように、上記ダイアフラム３が押圧・変形され、上記傾斜孔５が開かれる。すなわち、上記ダイアフラム３の中央部分が、図５（ａ）中右側に突出するように湾曲し、それによって上記傾斜孔５の図５（ａ）中右側の開口部側が大きく拡開され、上記傾斜孔５の図５（ａ）中左側の開口部側も小さく拡開された状態となる。その結果、流体２は上記傾斜孔５を通って、上記逆止弁１の図５（ａ）中左側から図５（ａ）中右側へと流れていく。
【００２１】
なお、上記流体２の圧力が所定の圧力、すなわち、上記逆止弁１の製造時において未加工逆止弁１６に加えられた圧力以上の圧力が作用しないと開放されないものである。
【００２２】
又、この実施の形態では、上記逆止弁１が使用される際に取り付けられるパイプ１１の内径は、上記未加工逆止弁１６に上記傾斜孔５を穿孔する際に使用された加工用管路１７の内径と同じに設定されているが、パイプ１１の内径を上記加工用管路１７の内径よりも若干小さく設定することも考えられる。この場合、上記逆止弁１のダイアフラム３はその外周側から若干圧縮され、上記傾斜孔５が閉じる方向、すなわち、上記ダイアフラム３の平面側を図２中左側に突出させる方向に若干変形された状態となる。
なお、上記ダイアフラム３を上記傾斜孔５が閉じる方向に変形させるために、例えば、上記エッジ部７の位置を上記ダイアフラム３の凸側に設けることが考えられる。
【００２３】
しかし、上記ダイアフラム３をこのように予め変形させた状態とすると、上記逆止弁１を開放させるための流体２の圧力は、上記傾斜孔５を穿孔する際に上記未加工逆止弁１６に対して加えられた流体２７による圧力よりも大きくなる。この場合は、上記逆止弁１を、上記傾斜孔５の穿孔時における流体の圧力より大きい圧力によって開放させられるものとして使用すればよい。
【００２４】
又、図５（ａ）中左側から送られてくる流体２の圧力を増加させると、図５（ｂ）に示すように、上記ダイアフラム３が更に押圧・変形され、上記傾斜孔５もさらに拡開されることとなる。
ここで、図５（ａ）中左側からの流体２の供給を停止させると、上記ダイアフラム３はその弾性力により、図２に示すような状態へと復帰する。このとき、上記傾斜孔５は閉じることとなる。
【００２５】
逆に、図２中右側から流体２が供給される場合には、上記ダイアフラム３は図２中左側に向かって湾曲するように変形される。しかし、上記ダイアフラム３は図２中右側が膨らんだ形状となっているため、上記傾斜孔５の図２中右側の開口部が閉じる。そのため、流体は上記傾斜孔５を通過することができず、上記逆止弁１の図２中左側へ流れていくことができない。
【００２６】
以上本実施の形態による逆止弁１によると、以下のような効果を奏することができる。
まず、上記逆止弁１はシリコンゴム等の弾性材料を一体成形したものであるため、構成が簡単で製造も容易であり、小型化も可能である。
又、上記逆止弁１の傾斜孔５はダイアフラム３を所定の条件で所定の圧力により変形させた状態で穿孔されたものであるため、上記逆止弁１はその所定の条件において所定の圧力以上の圧力が作用することで正確に開放されるものとなる。
又、上記逆止弁１は、上記傾斜孔５を穿孔した際に未加工逆止弁１６を取り付けた加工用管路１７よりも内径の小さいパイプ内に取り付けられて用いられる場合には、より確実に閉じることができるものとなる。これは、そのようなパイプ内に取り付けられることによって、上記逆止弁１のダイアフラム３がその外周側から圧縮されて上記傾斜孔５が閉じる側へと変形することによるものである。また、この様な場合、上記逆止弁１が開放される流体の圧力は上記傾斜孔５を穿孔した際の圧力よりも大きくなってしまうが、上記逆止弁１は上記傾斜孔５を穿孔した際の圧力よりも大きい圧力で開放されるものとして使用することができる。そのため、上記逆止弁１を取り付けるパイプの内径を変更することで、上記逆止弁１の製造後においても上記逆止弁１が開放される圧力を調整することができる。
【００２７】
又、本実施の形態による逆止弁１の製造方法によると、以下のような効果を奏することができる。
まず、本実施の形態による上記逆止弁１の製造方法においては、未加工逆止弁１６を実際に上記逆止弁１が使用される流体２７によって所定の条件下において所定の圧力で押圧・変形させてから上記未加工逆止弁１６に傾斜孔５を穿孔するため、容易に所定の条件で所定の圧力以上の圧力により確実に開放される上記逆止弁１を製造することができる。
又、本実施の形態による上記逆止弁１の製造方法においては、上記未加工逆止弁１６を押し棒２９により押圧して所定の量だけ変形させてから、上記傾斜孔５を上記未加工逆止弁１６に穿孔する場合もある。この場合は、所定量以上に変形すると確実に開放される上記逆止弁１を製造することができる。又、予め上記逆止弁１に加えた圧力と変形量の関係が分かっていれば、所定の圧力以上の圧力で開放される上記逆止弁１を製造することができる。
又、上記傾斜孔５が穿孔される際の、上記未加工逆止弁１６を押圧・変形する圧力や変形量等の条件を変更することにより、様々な条件で開放される上記逆止弁１を製造することができる。
又、レーザ加工機２５によって上記傾斜孔５を穿孔するため、上記傾斜孔５の形状や寸法を正確なものとすることができる。又、レーザ光の焦点調節等により上記傾斜孔５の形状や寸法を容易に変更することもできる。
【００２８】
次に、図６を使用して本願発明の第２の実施の形態について説明する。
本実施の形態による逆止弁３１も、前述した第１の実施の形態による逆止弁１の場合と同様の弁体としてのダイアフラム３３がある。本実施の形態においては、図６に示すように上記ダイアフラム３３に複数（例えば、４つ）の傾斜孔３５が設けられている。
又、本実施の形態による上記逆止弁３１にも、前述した第１の実施の形態の場合と同様、エッジ部３７と厚肉リング部３９が設けられている。
又、本実施の形態による上記逆止弁３１も、シリコンゴムなどの弾性材料を一体成形したものである。
【００２９】
本実施の形態による上記逆止弁３１の製造は、前述した第１の実施の形態による逆止弁１の製造方法の内、上記傾斜孔３５が穿孔されていない未加工逆止弁を押し棒によって所定量だけ変形させてからレーザ加工機によって上記傾斜孔３５を穿孔する方法によって行われる。これは、次のような理由による。本実施の形態による上記逆止弁３１のダイアフラム３３には複数の上記傾斜孔３５が穿孔される。このような場合、仮に、流体によって上記傾斜孔３５を穿孔されていない未加工逆止弁を押圧・変形させてから上記傾斜孔３５の穿孔を行うとすると、１つの上記傾斜孔３５の穿孔が完了したときに流体が流出し、未加工逆止弁の変形量が変化してしまう。流体が流出した分を更に加圧して補うことも考えられるが、どの程度加圧する必要があるか予測することは困難である。そのため、所定の条件で正確に開放される上記逆止弁３１を製造することが非常に困難となってしまうからである。
【００３０】
一方、本実施の形態のように、押し棒２９を用いて未加工逆止弁を押圧・変形させた状態で複数の上記傾斜孔３５を穿孔する場合には、例えば、複数の上記傾斜孔３５の内の一つの傾斜孔３５を形成しても未加工逆止弁の押圧・変形状態が変わることはないので、そのままの状態で残りの傾斜孔３５を順次穿孔することができる。
【００３１】
本実施の形態による逆止弁３１の作用、及び、本実施の形態による逆止弁３１やその製造方法による効果は、前述した第１の実施の形態の場合と同様である。また、本実施の形態による逆止弁３１の製造方法によると、複数の傾斜孔３５をダイアフラム３３に形成することができるため、傾斜孔３５の数を変更することで上記逆止弁３１を通過する流体の流量を調整することができる。
【００３２】
次に、図７を使用して、本願発明の第３の実施の形態について説明する。
本実施の形態による逆止弁４１も、前述した第１の実施の形態による逆止弁１と同様の弁体としてのダイアフラム４３がある。本実施の形態においては、図７に示すように、上記ダイアフラム４３に十字型のスリット孔（テーパ形状の貫通孔）４５が形成されている。このスリット孔４５も、前述した実施の形態における傾斜孔と同様に、上記ダイアフラム４３が膨らんでいる側に拡開していくテーパ形状の貫通孔となっている。
又、本実施の形態による上記逆止弁４１にも、前述した第１の実施の形態の場合と同様、エッジ部４７と厚肉リング部４９が設けられている。
又、本実施の形態による上記逆止弁４１も、シリコンゴム等の弾性材料を一体成形したものである。
【００３３】
本実施の形態による上記逆止弁４１も、前述した第２の実施の形態における逆止弁３１と同様の製造方法、すなわち、押し棒によって未加工逆止弁を押圧・変形させてからレーザ加工機によって上記スリット孔４５を形成する方法によって製造される。本実施の形態の場合も、仮に、流体によって未加工逆止弁を所定量だけ押圧・変形させてから加工を行うとすると、加工中に上記スリット孔４５の一部が上記ダイアフラム４３を貫通してしまったときに流体が外部に流出してしまう。そのため、流体による未加工逆止弁の変形を一定に保つことにより所定の条件によって正確に開放される上記逆止弁４１を製造することが困難となるからである。
【００３４】
本実施の形態による逆止弁４１の作用、及び、本実施の形態による逆止弁４１やその製造方法による効果は、前述した第２の実施の形態の場合と同様である。また、本実施の形態による逆止弁の製造方法によると、スリット孔４５のような複雑な形状を成したテーパ形状の貫通孔を上記逆止弁４１に対して穿孔することができる。また、スリット孔４５の形状や大きさを変更することで、上記逆止弁４１を通過する流体の流量を調整することができる。
【００３５】
なお、本願発明は、前記第１〜第３の実施の形態に限定されない。
例えば、上記逆止弁やダイアフラム、エッジ部、厚肉リング部の形状は前記実施の形態のものに限定されない。
又、テーパ形状の貫通孔である傾斜孔やスリット孔の数や形状は、様々な場合が考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、例えば、所定の条件で確実に動作する逆止弁及びその製造方法に係り、特に、微小な大きさのものであっても確実に動作することができ、且つ、構成が簡単で容易に製造することができるように工夫したものに係り、例えば、小型の薬剤投与装置に用いられる逆止弁に好適である。
【符号の説明】
【００３７】
１  逆止弁
２  流体
３  ダイアフラム
５  傾斜孔（テーパ形状の貫通孔）
２３  ポンプ
２５  レーザ加工機
２７  流体
２９  押し棒
３１  逆止弁
３３  ダイアフラム
３５  傾斜孔（テーパ形状の貫通孔）
４１  逆止弁
４３  ダイアフラム
４５  スリット孔（テーパ形状の貫通孔）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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