(57)【要約】【課題】  ペリクルを露光用原版に貼り付ける際に、ペリクルフレームを介して、露光用原版に加わる圧力を均一化することができ、ペリクルの貼り付け時に、露光用原版に歪みが生じるのを効果的に防止することができるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法を提供する。【解決手段】  加圧板２のペリクルフレーム６に対向する面に、ペリクルのフレーム形状をなしたペリクルフレーム６の辺に沿って、ペリクルフレーム６に対向するように取り付けられた複数のばね部材１３を介して、加圧板２によって、ペリクルのペリクルフレーム６を露光用原版に向けて押圧する。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧板のペリクルフレームに対向する面に、ペリクルのフレーム形状をなしたペリクルフレームに沿って、前記ペリクルフレームに対向するように取り付けられ、圧力が加わったときに、容易に変形する加圧部材を介して、加圧板によって、ペリクルのペリクルフレームを露光用原版に向けて押圧することを特徴とするリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法。
【請求項２】
前記加圧部材が、低粘度の液体を収容した袋によって形成されたことを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法。
【請求項３】
前記加圧部材が、弾性率の小さい樹脂によって形成されたことを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法。
【請求項４】
前記加圧部材が、前記ペリクルフレームの辺に沿って設けられた複数の単位加圧部材によって構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法。
【請求項５】
隣り合った前記単位加圧部材の前記ペリクルフレームの辺に沿った中心間距離が５ｍｍ以下に設定されていることを特徴とする請求項５に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法。
【請求項６】
前記単位加圧部材がばね部材によって形成され、前記加圧部材が前記ペリクルフレームの辺に沿って設けられたばね定数が等しい複数のばね部材によって構成されていることを特徴とする請求項４または５に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法。
【請求項７】
前記加圧板を加圧するために用いる荷重が１０ｋｇ以下であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法。
【請求項８】
前記ペリクルフレームの平坦度が３０μｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法。
【請求項９】
前記ペリクルフレームの厚さが４ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法。
【請求項１０】
ペリクルのフレーム形状をなしたペリクルフレームを露光用原版に向けて押圧する加圧板を備え、前記ペリクルフレームに対向する前記加圧板の面に、前記ペリクルフレームに沿って、前記ペリクルフレームに対向するように取り付けられ、圧力が加わったときに、容易に変形する加圧部材が設けられたことを特徴とするリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置。
【請求項１１】
前記加圧部材が、低粘度の液体を収容した袋によって形成されたことを特徴とする請求項１０に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置。
【請求項１２】
前記加圧部材が、弾性率の小さい樹脂によって形成されたことを特徴とする請求項１０に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置。
【請求項１３】
前記加圧部材が、前記ペリクルフレームの辺に沿って設けられた複数の単位加圧部材によって構成されていることを特徴とする請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置。
【請求項１４】
前記単位加圧部材が、前記複数の単位加圧部材の前記ペリクルフレームの沿った長さが５ｍｍ以下に設定されていることを特徴とする請求項１３に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置。
【請求項１５】
前記単位加圧部材がばね部材によって形成され、前記加圧部材が前記ペリクルフレームの辺に沿って設けられたばね定数が等しい複数のばね部材によって構成されていることを特徴とする請求項１３または１４に記載のリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リソグラフィ用ペリクルをリソグラフィ用フォトマスクまたはレチクルに貼り付けるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体デバイスや液晶ディスプレー（本明細書においては、これらを総称して、「半導体デバイス」と称する。）を製造するにあたっては、半導体ウエハーや液晶用原版に塗布されたフォトレジスト膜に、フォトマスクやレチクルなど（本明細書においては、これらを総称して、「露光用原版」と称する。）を介して、露光用の光が照射されて、露光用原版のパターンが転写され、半導体デバイスのパターンが形成される。
【０００３】
したがって、この場合に、露光用原版にゴミなどの異物が付着していると、露光用原版の表面に付着したゴミなどの異物によって、露光用の光が反射され、あるいは、吸収されるため、半導体ウエハーや液晶用原版に転写されたパターンが変形したり、パターンのエッジ部分が不鮮明になるだけでなく、下地が黒く汚れて、寸法、品質、外観などを損ない、半導体ウエハーや液晶用原版に、所望のように、露光用原版のパターンを転写することができず、半導体デバイスの性能が低下し、歩留まりが悪化するという問題があった。
【０００４】
かかる問題を防止するために、半導体ウエハーあるいは液晶用原版の露光は、クリーンルーム内で行われるが、それでも、露光用原版の表面に異物が付着することを完全に防止することは困難であるため、通常は、露光用原版の表面に、露光用の光に対し高い透過率を有するペリクルと呼ばれる防塵カバーを取り付けて、半導体ウエハーや液晶用原版を露光するように構成されている。
【０００５】
一般に、ペリクルは、ｇ線、ｉ線、２４８ｎｍの波長を有する光、１９３ｎｍの波長を有する光、１５７ｎｍの波長を有する光などの露光用の光に対し高い透過率を有するニトロセルロース、酢酸セルロースなどのセルロース系樹脂やフッ化樹脂などによって作製されたペリクル膜を、黒色アルマイト処理などを施したＡ７０７５、Ａ６０６１、Ａ５０５２などのアルミニウム合金や、ステンレス、ポリエチレンなどによって形成されたペリクルフレームの一方の面に、ペリクル膜材料の良溶媒を塗布し、ペリクル膜を風乾して、接着するか、アクリル樹脂、エポキシ樹脂やフッ素樹脂などの接着剤を用いて接着し、ペリクルフレームの他方の面に、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂などからなり、ペリクルフレームを露光用原版に付着させるための粘着層を形成し、さらに、粘着層上に、粘着層保護用の離型層ないしセパレータを設けることによって、作製されている（特許文献１、２、３および４）。
【０００６】
このように構成されたペリクルは、露光用原版に形成されたパターン領域を囲み、パターン領域をペリクル外部と隔離するように、露光用原版に接着されて、ペリクル外部の塵埃が露光用原版のパターン領域に付着しないように、露光用原版に接着される。
【０００７】
このように、ペリクルを露光用原版の表面に取り付けて、半導体用原版や液晶用原版を露光する場合には、ゴミなどの異物は、ペリクルの表面に付着し、露光用原版の表面には直接付着しないため、露光用原版に形成されたパターン上に、焦点が位置するように、露光用の光を照射すれば、ゴミなどの異物の影響を除去することが可能になる。
【０００８】
近年、ＬＳＩのデザインルールはサブクオーターミクロンへと微細化が進んでおり、それに伴って、露光光源の短波長化も進み、波長が１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザーのような短波長を用いても不十分なほど、パターンの微細化が進んでいるため、最近は、焼き付けパターンを複数の領域に分けて、パターン領域毎に露光をおこなうことを要求される場合がある。
【０００９】
このように、焼き付けパターンを複数の領域に分けて、パターン領域毎に露光をおこなう場合には、非常に高い重ね合わせ精度が要求され、ほんの僅かな露光用原版の歪みも、半導体ウエハーや液晶用原版に転写されたパターンのずれの原因になってしまうため、露光用原版を高平坦度に仕上げることができても、露光用原版にペリクルを貼り付ける工程で、露光用原版に歪みが生じると、リソグラフィ工程における不良の発生に繋がってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開昭５８−２１９０２３号公報
【特許文献２】米国特許第４８６１４０２号明細書
【特許文献３】特公昭６３−２７７０７号公報
【特許文献４】特開平７−１６８３４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
このように、露光用原版にペリクルを貼り付ける工程で、露光用原版に歪みが生じることを防止するため、ペリクルを露光用原版に貼り付けるための粘着剤の開発や、平坦度の高いペリクルフレームの開発、ペリクルを露光用原版に貼り付ける際に用いる荷重の低減などが図られているが、露光用原版にペリクルを貼り付ける際に、ペリクルフレームから露光用原版に加わる圧力を均一化するという課題に対する十分な解決手段は提供されていなかった。
【００１２】
したがって、本発明は、ペリクルを露光用原版に貼り付ける際に、ペリクルフレームを介して、露光用原版に加わる圧力を均一化することができ、ペリクルの貼り付け時に、露光用原版に歪みが生じるのを効果的に防止することができるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法を提供することを目的とするものである。
【００１３】
本発明の別の目的は、ペリクルを露光用原版に貼り付ける際に、ペリクルフレームを介して、露光用原版に加わる圧力を均一化することができ、ペリクルの貼り付け時に、露光用原版に歪みが生じるのを効果的に防止することができるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のかかる目的は、加圧板の前記ペリクルフレームに対向する面に、ペリクルのフレーム形状のペリクルフレームに沿って、前記ペリクルフレームに対向するように取り付けられ、圧力が加わったときに、容易に変形する加圧部材を介して、加圧板によって、ペリクルのペリクルフレームを露光用原版に向けて押圧することを特徴とするリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法によって達成される。
【００１５】
本発明によれば、圧力が加わったときに、容易に変形する加圧部材を介して、加圧板により、ペリクルのペリクルフレームを露光用原版に向けて押圧するように構成されているから、ペリクルフレームの貼り付け面と反対側の面の平坦度が低く、ペリクルフレームが、加圧板に対して、凸状の表面部分と凹状の表面部分を含み、加圧板によって、直接、ペリクルフレームを押圧する場合には、ペリクルフレームの凸状の表面部分に加わる圧力が高く、ペリクルフレームの凹状の表面部分に加わる圧力が小さく、ペリクルフレームに加わる圧力が不均一になる場合でも、高い圧力が加わるペリクルフレームの凸状の表面部分に隣接する加圧部材の領域が大きく変形して、ペリクルフレームに加わる圧力を低減させ、その一方で、加わる圧力が低いペリクルフレームの凹状の表面部分に隣接する加圧部材の領域の変形は小さく、ペリクルフレームに加わる圧力が大きくなり、したがって、ペリクルフレームの貼り付け面と反対側の面の平坦度が低い場合でも、ペリクルフレームから露光用原版に伝達される圧力を均一化することが可能になるから、ペリクルフレームから不均一な圧力が加わることに起因する露光用原版の歪みを効果的に防止することが可能になる。
【００１６】
本発明の前記目的は、ペリクルのフレーム形状をなしたペリクルフレームを露光用原版に向けて押圧する加圧板を備え、前記ペリクルフレームに対向する前記加圧板の面に、前記ペリクルフレームに沿って、前記ペリクルフレームに対向するように取り付けられ、圧力が加わったときに、容易に変形する加圧部材が設けられたことを特徴とするリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置によって達成される。
【００１７】
本発明によれば、リソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置は、ペリクルのペリクルフレームを露光用原版に向けて押圧する加圧板を備え、ペリクルフレームに対向する加圧板の面に、圧力が加わったときに、容易に変形する加圧部材が取り付けられているから、ペリクルフレームの貼り付け面と反対側の面の平坦度が低く、ペリクルフレームが、加圧板に対して凸状の表面部分と凹状の表面部分を含み、加圧板によって、直接、ペリクルフレームを押圧する場合には、ペリクルフレームの凸状の表面部分に加わる圧力が高く、ペリクルフレームの凹状の表面部分に加わる圧力が小さく、ペリクルフレームに加わる圧力が不均一になる場合でも、高い圧力が加わるペリクルフレームの凸状の表面部分に隣接する加圧部材の領域が大きく変形して、ペリクルフレームに加わる圧力を低減させ、その一方で、加わる圧力が低いペリクルフレームの凹状の表面部分に隣接する加圧部材の領域の変形は小さく、ペリクルフレームに加わる圧力が大きくなり、したがって、ペリクルフレームの貼り付け面と反対側の面の平坦度が低い場合でも、ペリクルフレームから露光用原版に伝達される圧力を均一化することが可能になるから、ペリクルフレームから不均一な圧力が加わることに起因する露光用原版の歪みを効果的に防止することが可能になる。
【００１８】
本発明の好ましい実施態様においては、前記加圧部材が、低粘度の液体を収容した袋によって形成されている。
【００１９】
本発明の好ましい実施態様によれば、ペリクルフレームを露光用原版に向けて押圧する際に、ペリクルフレームの貼り付け面と反対側の面の平坦度が低く、加圧板によって、直接、ペリクルフレームを押圧する場合には、ペリクルフレームの凸状の表面部分に加わる圧力が高く、ペリクルフレームの凹状の表面部分に加わる圧力が小さく、ペリクルフレームに加わる圧力が不均一になる場合でも、高い圧力が加わるペリクルフレームの凸状の表面部分に隣接する低粘度の液体を収容した袋の部分では、収容されている低粘度の液体が押し退けられて、低粘度の液体を収容した袋が大きく変形し、その一方で、加わる圧力が低いペリクルフレームの凹状の表面部分に隣接する袋の部分では、より高い圧力が加えられた部分に収容されている低粘度の液体が流入して、低粘度の液体を収容した袋の変形は小さくなるから、ペリクルフレームの貼り付け面と反対側の面の平坦度が低い場合でも、ペリクルフレームから露光用原版に伝達される圧力を均一化することが可能になるから、ペリクルフレームから不均一な圧力が加わることに起因する露光用原版の歪みを効果的に防止することが可能になる。
【００２０】
本発明の別の好ましい実施態様においては、前記加圧部材が、弾性率の小さい樹脂によって形成されている。
【００２１】
本発明の別の好ましい実施態様によれば、ペリクルフレームを露光用原版に向けて押圧する際に、ペリクルフレームの貼り付け面と反対側の面の平坦度が低く、加圧板によって、直接、ペリクルフレームを押圧する場合には、ペリクルフレームの凸状の表面部分に加わる圧力が高く、ペリクルフレームの凹状の表面部分に加わる圧力が小さく、ペリクルフレームに加わる圧力が不均一になる場合でも、高い圧力が加わるペリクルフレームの凸状の表面部分に隣接する弾性率の小さい樹脂の領域では、弾性率の小さい樹脂が大きく変形し、その一方で、加わる圧力が低いペリクルフレームの凹状の表面部分に隣接する弾性率の小さい樹脂の領域では、弾性率の小さい樹脂の変形は小さくなるから、ペリクルフレームの平坦度が低い場合でも、ペリクルフレームから露光用原版に伝達される圧力を均一化することが可能になるから、ペリクルフレームから不均一な圧力が加わることに起因する露光用原版の歪みを効果的に防止することが可能になる。
【００２２】
本発明のさらに別の好ましい実施態様においては、前記加圧部材が複数の単位加圧部材によって構成され、隣り合った前記単位加圧部材のペリクルフレームに沿った中心間距離が５ｍｍ以下に設定されている。
【００２３】
本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記単位加圧部材がばね部材によって形成され、前記加圧部材が前記ペリクルフレームの辺に沿って設けられたばね定数が等しい複数のばね部材によって構成されている。
【００２４】
本発明のさらに別の実施態様によれば、ペリクルフレームを露光用原版に向けて押圧する際に、ペリクルフレームの貼り付け面と反対側の面の平坦度が低く、加圧板によって、直接、ペリクルフレームを押圧する場合には、ペリクルフレームの凸状の表面部分に加わる圧力が高く、ペリクルフレームの凹状の表面部分に加わる圧力が小さく、ペリクルフレームに加わる圧力が不均一になる場合でも、高い圧力が加わるペリクルフレームの凸状の表面部分に対向するばね部材は大きく縮み、その一方で、加わる圧力が低いペリクルフレームの凹状の表面部分に対向するばね部材の縮みは小さくなるから、ペリクルフレームの貼り付け面と反対側の面の平坦度が低い場合でも、ペリクルフレームから露光用原版に伝達される圧力を均一化することが可能になるから、ペリクルフレームから不均一な圧力が加わることに起因する露光用原版の歪みを効果的に防止することが可能になる。
【００２５】
本発明において、加圧板を加圧するために用いる荷重が１０ｋｇ以下であることが好ましい。
【００２６】
本発明において、加圧部材がペリクルフレームに接触している時の加圧板の速度は低速であることが好ましく、たとえば、１ｍｍ／秒以下であることが好ましい。
【００２７】
本発明において、ペリクルフレームの平坦度が３０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましい。
【００２８】
ここに、ペリクルフレームの平坦度は、ペリクルフレームの平均仮想平面に対して、上方に最も離れたペリクルフレームの位置と、下方に最も離れたペリクルフレームの位置を求め、その差によって定義されている。
【００２９】
本発明において、ペリクルフレームから不均一な圧力が加わることに起因する露光用原版の歪みを防止する上で、ペリクルフレームの露光用原版を貼り付ける側の表面に形成される粘着剤樹脂層の表面が十分に平坦化されていることが好ましく、また、粘着剤樹脂が柔らかい方が好ましい。
【００３０】
一般に、ペリクルフレームは厚さが４ｍｍ以下のペリクルフレームと、厚さが４ｍｍを越えるペリクルフレームに大別されており、厚さが４ｍｍ以下のペリクルフレームはパターン幅が小さい露光用原版を保護するために用いられ、２回以上の重ね合わせ露光をする必要がある場合もあり、ペリクルフレームを貼り付ける際に生じる露光用原版の歪みが特に小さいことが要求され、一方、ペリクルフレームの厚さが小さいほど、ペリクルフレームを貼り付ける際に生じる露光用原版の歪みが小さくなるため、本発明は、厚さが４ｍｍ以下のペリクルフレームを露光用原版に貼り付ける場合にとくに効果的である。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、ペリクルを露光用原版に貼り付ける際に、ペリクルフレームを介して、露光用原版に加わる圧力を均一化することができ、ペリクルの貼り付け時に、露光用原版に歪みが生じるのを効果的に防止することができるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け方法を提供することが可能になる。
【００３２】
また、本発明によれば、ペリクルを露光用原版に貼り付ける際に、ペリクルフレームを介して、露光用原版に加わる圧力を均一化することができ、ペリクルの貼り付け時に、露光用原版に歪みが生じるのを効果的に防止することができるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施態様にかかるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置の略側面図である。
【図２】図２は、図１に示された本発明の好ましい実施態様にかかるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置のＡ−Ａ線に沿った略横断面図である。
【図３】図３は、本発明の他の好ましい実施態様にかかるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置の略側面図である。
【図４】図４は、図３に示された本発明の好ましい実施態様にかかるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置のＢ−Ｂ線に沿った略横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
図１は、本発明の好ましい実施態様にかかるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置の略側面図であり、図２は、図１に示された本発明の好ましい実施態様にかかるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置のＡ−Ａ線に沿った略横断面図である。
【００３５】
図１および図２に示されるように、本実施態様にかかるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置は、露光用原版５が載置される基板１と、フレーム状のペリクルフレーム６を押圧する平板状の加圧板２を備え、加圧板２の下面には、低粘度の液体を収容した袋３よりなる加圧部材が、フレーム形状をなしたペリクルフレーム６の辺に沿って、ペリクルフレーム６に対向するように取り付けられている。ここに、ペリクルフレーム６は４ｍｍの厚さを有している。
【００３６】
図１において、参照番号７で示されているのは、ペリクルフレーム６に接着されたペリクル膜であり、参照番号８で示されているのは、ペリクルフレーム６を露光用原版５に接着する粘着剤である。
【００３７】
このように構成された本実施態様にかかるペリクルの貼り付け装置においては、以下のようにして、一方の面に、ペリクル膜７が接着されたペリクルフレーム６の他方の面が露光用原版５に接着される。
【００３８】
ペリクルフレーム６を露光用原版５に接着するに際しては、まず、露光用原版５が基板１の上面にセットされ、所定の圧力が加圧板２に印加される。
【００３９】
その結果、加圧板２は袋３を介して、ペリクルフレーム６を露光用原版５に向けて押圧する。
【００４０】
このとき、ペリクルフレーム６の平坦度が低く、加圧板２に対して、ペリクルフレーム６が凸状の表面部分と凹状の表面部分を含んでいる場合には、加圧板２によって、直接、ペリクルフレーム６を押圧すると、ペリクルフレーム６の凸状の表面部分では、加圧板２から加えられる圧力が高く、ペリクルフレーム６の凹状の表面部分では、加圧板２から加えられる圧力が低くなり、ペリクルフレーム６から露光用原版５に加わる圧力は不均一になり、露光用原版５に歪みが生じるおそれがある。
【００４１】
しかしながら、本実施態様においては、ペリクルフレーム６が、低粘度の液体を収容した袋３よりなる加圧部材を介して、加圧板２によって押圧されるように構成されており、袋３には低粘度の液体が収容されているから、袋３に加わった圧力の大きさにしたがって、低粘度の液体が収容されている袋３が変形し、ペリクルフレーム６から露光用原版５に均一の圧力が加えられる。すなわち、高い圧力が加わったペリクルフレーム６の凸状の表面部分に対向する袋３の部分では、収容されている低粘度の液体が押し退けられるから、袋３は大きく変形し、その一方で、低い圧力が加わったペリクルフレーム６の凹状の表面部分に対向する袋３の部分では、より高い圧力が加えられた部分に収容されている低粘度の液体が流入するから、袋３の変形は小さくなり、その結果、ペリクルフレーム６の平坦度が低くても、ペリクルフレーム６から露光用原版５に加えられる圧力が均一化される。
【００４２】
したがって、ペリクルフレーム６を露光用原版５に貼り付ける際に、ペリクルフレーム６から露光用原版５に加えられる圧力が不均一であることに起因して、露光用原版５に歪みが生じることを効果的に防止することが可能になる。
【００４３】
図１および図２に示されたリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置においては、加圧部材として、低粘度の液体を収容した袋３が用いられているが、低粘度の液体を収容した袋３に代えて、弾性率の小さい樹脂によって、加圧部材を構成してもよい。
【００４４】
加圧部材として、低粘度の液体を収容した袋３に代えて、弾性率の小さい樹脂を用いた場合においても、ペリクルフレーム６から露光用原版５に加えられる圧力を均一化することができる。
【００４５】
すなわち、大きな圧力が加わったペリクルフレーム６の凸状の表面部分に対向する弾性率の小さい樹脂の領域では、弾性率の小さい樹脂が大きく変形し、一方、小さな圧力が加わったペリクルフレーム６の凹状の表面部分に対向する弾性率の小さい樹脂の領域では、弾性率の小さい樹脂の変形は小さくなり、その結果、ペリクルフレーム６の平坦度が低くても、ペリクルフレーム６から露光用原版５に加えられる圧力が均一化されるから、ペリクルフレーム６を露光用原版５に貼り付ける際に、ペリクルフレーム６から露光用原版５に加えられる圧力が不均一であることに起因して、露光用原版５に歪みが生じることを効果的に防止することが可能になる。
【００４６】
図３は、本発明の他の好ましい実施態様にかかるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置の略側面図であり、図４は、図３に示された本発明の好ましい実施態様にかかるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置のＢ−Ｂ線に沿った略横断面図である。
【００４７】
図３および図４に示されるように、本実施態様にかかるリソグラフィ用ペリクルの貼り付け装置は、低粘度の液体を収容している袋３に代えて、加圧部材として、ばね定数が等しい複数のばね部材１３が用いられている。複数のばね部材１３は、フレーム状のペリクルフレーム１６の辺に沿って、ペリクルフレーム１６に対向するように、平板状の加圧板１２の下面にほぼ等しい間隔で取り付けられており、隣り合ったばね部材１３の中心間距離は５ｍｍ以下、たとえば、４ｍｍに設定されている。
【００４８】
ここに、ペリクルフレーム１６は４ｍｍの厚さを有している。
【００４９】
図３および図４において、参照番号１１で示されているのは、露光用原版１５が載置される基板であり、参照番号１７で示されているのは、ペリクルフレーム１６に接着されたペリクル膜であり、参照番号１８で示されているのは、ペリクルフレーム１６を露光用原版１５に接着する粘着剤である。
【００５０】
このように構成された本実施態様にかかるペリクルの貼り付け装置においては、以下のようにして、一方の面に、ペリクル膜１７が接着されたペリクルフレーム１６の他方の面が露光用原版１５に接着される。
【００５１】
ペリクルフレーム１６を露光用原版１５に接着するに際しては、まず、露光用原版１５が基板１１の上面にセットされ、所定の圧力が加圧板１２に印加される。
【００５２】
その結果、加圧板１２は複数のばね部材１３を介して、ペリクルフレーム１６を露光用原版１５に向けて押圧する。
【００５３】
このとき、ペリクルフレーム１６の平坦度が低く、加圧板１２に対して、ペリクルフレーム１６が凸状の表面部分と凹状の表面部分を含んでいる場合には、加圧板１２によって、直接、ペリクルフレーム１６を押圧すると、ペリクルフレーム１６の凸状の表面部分では、加圧板１２から加えられる圧力が高く、ペリクルフレーム１６の凹状の表面部分では、加圧板１２から加えられる圧力が低くなり、ペリクルフレーム１６から露光用原版１５に加わる圧力は不均一になり、露光用原版１５に歪みが生じるおそれがある。
【００５４】
しかしながら、本実施態様においては、ペリクルフレーム１６が、ばね定数が等しい複数のばね部材１３よりなる加圧部材を介して、加圧板１２によって押圧されるように構成されているから、各ばね部材１３に加わった圧力の大きさにしたがって、各ばね部材１３は伸縮し、ペリクルフレーム１６から露光用原版１５に均一の圧力が加えられる。すなわち、高い圧力が加わったペリクルフレーム１６の凸状の表面部分に対向するばね部材１３は大きく縮み、その一方で、低い圧力が加わったペリクルフレーム１６の凹状の表面部分に対向するばね部材１３も変形して、縮むが、その変形は小さくなり、その結果、ペリクルフレーム１６の平坦度が低くても、ペリクルフレーム１６から露光用原版５に加えられる圧力が均一化される。
【００５５】
したがって、本実施態様によれば、ペリクルフレーム１６を露光用原版１５に貼り付ける際に、ペリクルフレーム１６から露光用原版１５に加えられる圧力が不均一であることに起因して、露光用原版１５に歪みが生じることを効果的に防止することが可能になる。
【実施例】
【００５６】
以下、本発明の効果を明らかにするため、実施例および比較例を掲げる。
【００５７】
実施例１
図１および図２に示されたペリクルの貼り付け装置と同様に、加圧板の下面に、ペリクルフレームに沿って、ペリクルフレームに対向するように取り付けられた加圧部材として、純水を収容したポリエチレン製の袋が取り付けられたペリクルの貼り付け装置を用いて、サイズが１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×４．０ｍｍで、平坦度が１３μｍのペリクルフレームを、平坦度が２５μｍのレチクルに貼り付けた。
【００５８】
ここに、ペリクルフレームの平坦度は、ペリクルフレームの平均仮想平面に対して、上方に最も離れたペリクルフレームの位置と、下方に最も離れたペリクルフレームの位置を求め、その差によって定義されており、レチクルの平坦度は、レチクルの平均仮想平面に対して、上方に最も離れたレチクルの位置と、下方に最も離れたレチクルの位置を求め、その差によって定義されている。
【００５９】
ペリクルフレームをレチクルに貼り付けるにあたっては、３０秒間にわたって、５ｋｇの荷重をポリエチレン製の袋よりなる加圧部材に作用させ、加圧部材がペリクルフレームに接触している時の加圧板の速度を０．５ｍｍ／秒に設定して、加圧板に圧力を加え、純水を収容したポリエチレン製の袋よりなる加圧部材を介して、ペリクルフレームをレチクルに向けて押圧した。
【００６０】
こうして、ペリクルフレームをレチクルに接着した後のレチクルの平坦度を測定したところ、２７μｍで、ペリクルフレームの貼り付けによるレチクルの平坦度変化は２μｍに過ぎず、十分に小さかった。
【００６１】
実施例２
加圧部材として、純水を収容したポリエチレン製の袋に代えて、信越化学工業株式会社製のシリコーンＧＵＭ「ＤＶ−３」（商品名）が取り付けられたペリクルの貼り付け装置を用いた点を除き、実施例１と同様に、サイズが１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×４．０ｍｍで、平坦度が１２μｍのペリクルフレームを、平坦度が２４μｍのレチクルに貼り付けた。
【００６２】
ペリクルフレームをレチクルに貼り付けるにあたっては、実施例１と同様に、３０秒間にわたって、５ｋｇの荷重を信越化学工業株式会社製のシリコーンＧＵＭ「ＤＶ−３」（商品名）よりなる加圧部材に作用させ、加圧部材がペリクルフレームに接触している時の加圧板の速度を０．５ｍｍ／秒に設定して、加圧板に圧力を加え、信越化学工業株式会社製のシリコーンＧＵＭ「ＤＶ−３」（商品名）よりなる加圧部材を介して、ペリクルフレームをレチクルに向けて押圧した。
【００６３】
こうして、ペリクルフレームをレチクルに接着した後のレチクルの平坦度を測定したところ、２８μｍで、ペリクルフレームの貼り付けによるレチクルの平坦度変化は４μｍに過ぎず、十分に小さかった。
【００６４】
実施例３
図３および図４に示されたペリクルの貼り付け装置と同様に、加圧板の下面に、ペリクルフレームに沿って、ペリクルフレームに対向するように、ばね定数が等しい１７０個のばね部材がほぼ均一な間隔で取り付けられたペリクルの貼り付け装置を用いて、サイズが１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×４．０ｍｍで、平坦度が１１μｍのペリクルフレームを、平坦度が２５μｍのレチクルに貼り付けた。隣り合ったばね部材の中心間距離は約３．１１ｍｍであった。
【００６５】
ペリクルフレームをレチクルに貼り付けるにあたっては、実施例１と同様に、３０秒間にわたって、５ｋｇの荷重を１７０個のばね部材よりなる加圧部材に作用させ、加圧部材がペリクルフレームに接触している時の加圧板の速度を０．５ｍｍ／秒に設定して、加圧板に圧力を加え、加圧板の下面に、ほぼ均一な間隔で取り付けられた１７０個のばね部材よりなる加圧部材を介して、ペリクルフレームをレチクルに向けて押圧した。
【００６６】
こうして、ペリクルフレームをレチクルに接着した後のレチクルの平坦度を測定したところ、２８μｍで、ペリクルフレームの貼り付けによるレチクルの平坦度変化は３μｍに過ぎず、十分に小さかった。
【００６７】
比較例１
加圧部材として、信越化学工業株式会社製のシリコーンＧＵＭ「ＤＶ−３」（商品名）に代えて、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を用い、ペリクルフレームに接触する加圧部材の表面を、平坦度が約３０μｍになるように研磨した点を除き、実施例２と同様のペリクルの貼り付け装置を用いて、サイズが１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×４．０ｍｍで、平坦度が１３μｍのペリクルフレームを、平坦度が２４μｍのレチクルに貼り付けた。
【００６８】
ペリクルフレームをレチクルに貼り付けるにあたっては、実施例２と同様に、３０秒間にわたって、５ｋｇの荷重をポリエーテルエーテルケトン樹脂よりなる加圧部材に作用させ、加圧部材がペリクルフレームに接触している時の加圧板の速度を０．５ｍｍ／秒に設定して、加圧板に圧力を加えて、ポリエーテルエーテルケトン樹脂よりなる加圧部材を介して、ペリクルフレームをレチクルに向けて押圧した。
【００６９】
こうして、ペリクルフレームをレチクルに接着した後のレチクルの平坦度を測定したところ、３６μｍで、ペリクルフレームの貼り付けによるレチクルの平坦度変化は１２μｍにも達し、５μｍの許容範囲を超えていた。
【００７０】
比較例２
加圧部材として、ポリエーテルエーテルケトン樹脂に代えて、アルミニウムを用い、ペリクルフレームに接触する加圧部材の表面を、平坦度が約１０μｍになるように研磨した点を除き、比較例１と同様のペリクルの貼り付け装置を用いて、サイズが１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×４．０ｍｍで、平坦度が１４μｍのペリクルフレームを、平坦度が２３μｍのレチクルに貼り付けた。
【００７１】
ペリクルフレームをレチクルに貼り付けるにあたっては、実施例２と同様に、３０秒間にわたって、５ｋｇの荷重をアルミニウムよりなる加圧部材に作用させ、加圧部材がペリクルフレームに接触している時の加圧板の速度を０．５ｍｍ／秒に設定して、加圧板に圧力を加えて、アルミニウムよりなる加圧部材を介して、ペリクルフレームをレチクルに向けて押圧した。
【００７２】
こうして、ペリクルフレームをレチクルに接着した後のレチクルの平坦度を測定したところ、３９μｍで、ペリクルフレームの貼り付けによるレチクルの平坦度変化は１６μｍにも達し、５μｍの許容範囲を超えていた。
【００７３】
比較例３
図３および図４に示されたペリクルの貼り付け装置と同様に、加圧板の下面に、ペリクルフレームに沿って、ペリクルフレームに対向するように、ばね定数が等しい１００個のばね部材がほぼ均一な間隔で取り付けられたペリクルの貼り付け装置を用いて、サイズが１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×４．０ｍｍで、平坦度が１１μｍのペリクルフレームを、平坦度が２５μｍのレチクルに貼り付けた。隣り合ったばね部材の中心間距離は約５．２８ｍｍであった。
【００７４】
ペリクルフレームをレチクルに貼り付けるにあたっては、実施例１と同様に、３０秒間にわたって、５ｋｇの荷重を１００個のばね部材よりなる加圧部材に作用させ、加圧部材がペリクルフレームに接触している時の加圧板の速度を０．５ｍｍ／秒に設定して、加圧板に圧力を加え、加圧板の下面に、ほぼ均一な間隔で取り付けられた１００個のばね部材よりなる加圧部材を介して、ペリクルフレームをレチクルに向けて押圧した。
【００７５】
こうして、ペリクルフレームをレチクルに接着した後のレチクルの平坦度を測定したところ、３２μｍで、ペリクルフレームの貼り付けによるレチクルの平坦度の変化は７μｍで、５μｍの許容範囲を超えていた。
【００７６】
比較例４
図３および図４に示されたペリクルの貼り付け装置と同様に、加圧板の下面に、ペリクルフレームに沿って、ペリクルフレームに対向するように、ばね定数が等しい１７０個のばね部材がほぼ均一な間隔で取り付けられたペリクルの貼り付け装置を用いて、サイズが１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×４．０ｍｍで、平坦度が１１μｍのペリクルフレームを、平坦度が２３μｍのレチクルに貼り付けた。
【００７７】
ペリクルフレームをレチクルに貼り付けるにあたっては、３０秒間にわたって、１５ｋｇの荷重を１７０個のばね部材よりなる加圧部材に作用させ、加圧部材がペリクルフレームに接触している時の加圧板の速度を０．５ｍｍ／秒に設定して、加圧板に圧力を加え、加圧板の下面に、ほぼ均一な間隔で取り付けられた１７０個のばね部材を介して、ペリクルフレームをレチクルに向けて押圧した。
【００７８】
こうして、ペリクルフレームをレチクルに接着した後のレチクルの平坦度を測定したところ、３０μｍで、ペリクルフレームの貼り付けによるレチクルの平坦度の変化は７μｍで、５μｍの許容範囲を超えていた。
【００７９】
比較例５
実施例２と同様に、加圧部材として、信越化学工業株式会社製のシリコーンＧＵＭ「ＤＶ−３」（商品名）を備えたペリクルの貼り付け装置を用いて、サイズが１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×４．０ｍｍで、平坦度が１２μｍのペリクルフレームを、平坦度が２２μｍのレチクルに貼り付けた。
【００８０】
ペリクルフレームをレチクルに貼り付けるにあたっては、比較例４と同様に、３０秒間にわたって、１５ｋｇの荷重を信越化学工業株式会社製のシリコーンＧＵＭ「ＤＶ−３」（商品名）よりなる加圧部材に作用させ、加圧部材がペリクルフレームに接触している時の加圧板の速度を０．５ｍｍ／秒に設定して、加圧板に圧力を加え、加圧板の下面に取り付けられた信越化学工業株式会社製のシリコーンＧＵＭ「ＤＶ−３」（商品名）よりなる加圧部材を介して、ペリクルフレームをレチクルに向けて押圧した。
【００８１】
こうして、ペリクルフレームをレチクルに接着した後のレチクルの平坦度を測定したところ、３０μｍで、ペリクルフレームの貼り付けによるレチクルの平坦度の変化は８μｍで、５μｍの許容範囲を超えていた。
【００８２】
比較例６
比較例５と同様に、信越化学工業株式会社製のシリコーンＧＵＭ「ＤＶ−３」（商品名）よりなる加圧部材を備えたペリクルの貼り付け装置を用いて、サイズが１４９ｍｍ×１１５ｍｍ×４．０ｍｍで、平坦度が１２μｍのペリクルフレームを、平坦度が２２μｍのレチクルに貼り付けた。
【００８３】
ペリクルフレームをレチクルに貼り付けるにあたっては、３０秒間にわたって、５ｋｇの荷重を信越化学工業株式会社製のシリコーンＧＵＭ「ＤＶ−３」（商品名）よりなる加圧部材に作用させ、加圧部材がペリクルフレームに接触している時の加圧板の速度を１．２ｍｍ／秒に設定して、加圧板に圧力を加え、信越化学工業株式会社製のシリコーンＧＵＭ「ＤＶ−３」（商品名）よりなる加圧部材を介して、ペリクルフレームをレチクルに向けて押圧した。
【００８４】
こうして、ペリクルフレームをレチクルに接着した後のレチクルの平坦度を測定したところ、２９μｍで、ペリクルフレームの貼り付けによるレチクルの平坦度の変化は７μｍで、５μｍの許容範囲を超えていた。
【００８５】
本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【００８６】
たとえば、図１および図２に示された実施態様においては、加圧部材として、低粘度の液体を収容したポリエチレン製の袋３が用いられているが、袋３がポリエチレン製であることは必ずしも必要でない。
【００８７】
また、図１および図２に示された実施態様および図３および図４に示された実施態様においては、４ｍｍの厚さを有するペリクルフレーム６、１６が用いられているが、ペリクルフレーム６、１６が４ｍｍの厚さを有していることは必ずしも必要でない。
【００８８】
さらに、図３および図４に示された実施態様においては、ペリクルフレーム１６の貼り付け装置は、加圧部材として、複数のばね部材１３を備え、複数のばね部材１３は、フレーム形状をなしたペリクルフレーム１６の辺に沿って、ペリクルフレーム１６に対向するように、平板状の加圧板１２の下面にほぼ等しい間隔で取り付けられ、隣り合ったばね部材１３の中心間距離は５ｍｍ以下、たとえば、４ｍｍに設定されているが、隣り合ったばね部材１３の中心間距離、すなわち、隣り合った加圧部材の中心間距離は、ペリクルフレーム１６のサイズなどに基づいて、任意に決定することができ、中心間距離が４ｍｍであることは必ずしも必要でない。
【符号の説明】
【００８９】
１  基板
２  加圧板
３  低粘度の液体が収容された袋
５  露光用原版
６  ペリクルフレーム
７  ペリクル膜
８  粘着剤
１１  基板
１２  加圧板
１３  ばね部材
１５  露光用原版
１６  ペリクルフレーム
１７  ペリクル膜
１８  粘着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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