(57)【要約】【課題】テーブル板の支持ユニットのサイズが比較的に小さく、そしてテーブル板を大きな角度で回転移動させることができる滑動テーブルを提供すること。【解決手段】基台１１の上に支持装置を介して滑動可能に支持されたテーブル板１３を備え、そして上記支持装置が、基台に固定された中央に開口部を備える支持板２２と、その上下の各表面に複数個の球体２３を介して接触配置され且つ互いに上記開口部を通る支柱を介して接合された上側可動板２４及び下側可動板と、複数個の球体２３を保持する球体保持板４７とを有する、テーブル板の下面中央に配置された主支持ユニット２１、および基台に固定された支持板４２と、支持板の上面に複数個の球体４３を介して接触配置された可動板４４と、複数個の球体４３を保持する球体保持板４７と、球体保持板の移動距離を制限する手段４８とを有する、主支持ユニット２１の周囲に配置された複数個の副支持ユニット４１からなる滑動テーブル。【選択図】図１
2012112715.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と該基台上に下記（１）乃至（３）の条件を満足する支持装置を介して滑動可能に支持されたテーブル板とを含む滑動テーブル：
（１）上記の支持装置は、上記テーブル板の下面中央に配置された主支持ユニットと主支持ユニットの周囲に配置された複数個の副支持ユニットとからなる；
（２）（イ）上記の主支持ユニットは、基台もしくはテーブル板に固定された中央に開口部を備える支持板と、該支持板の上下の各々の表面に複数個の球体を介して接触配置され且つ該支持板の開口部を通る支柱を介して互いに接続された上側可動板及び下側可動板と、そして支持板と各可動板との間の複数個の球体を回転可能に保持する球体保持板とからなるか、あるいは（ロ）上記の主支持ユニットは、基台もしくはテーブル板に固定された支柱を上下の一方の表面の中央に備える支持板と、該支持板の支柱の側の表面に複数個の球体を介して接触配置され且つ中央に該支柱が通る開口部を備える第一可動板と、該支持板の反対側の表面に複数個の球体を介して接触配置された第二可動板と、第一可動板と第二可動板とを支持板の周囲にて互いに接続する接続部材と、そして支持板と各可動板との間の複数個の球体を回転可能に保持する球体保持板とからなる；および
（３）上記の各々の副支持ユニットは、基台に固定された支持板と、該支持板の上面に複数個の球体を介して接触配置された可動板と、支持板と可動板との間の複数個の球体を回転可能に保持する球体保持板と、そして該球体保持板の移動距離を制限する手段とからなる。
【請求項２】
各副支持ユニットの球体保持板の中央に開口部が備えられていて、そして該球体保持板の移動距離を制限する手段が、支持板の上面に備えられた該球体保持板の開口部に係合する突起である請求項１に記載の滑動テーブル。
【請求項３】
主支持ユニットが上記（２）の（イ）の条件を満足し、該主支持ユニットの支持板が基台に固定されていて、そして該基台に該主支持ユニットの下側可動板を収容する開口部が備えられている請求項１もしくは２に記載の滑動テーブル。
【請求項４】
主支持ユニットが上記（２）の（イ）の条件を満足し、該主支持ユニットの支持板が基台に固定されていて、そして該支持板と基台との固定が、該基台に下側可動板が接触することのないよう、スペーサを介してなされている請求項１もしくは２に記載の滑動テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置決めテーブルの部品として用いられる滑動テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
位置決めテーブルは、滑動可能なテーブル板を備える滑動テーブルと、前記テーブル板の駆動装置とから構成される。
【０００３】
位置決めテーブルは、例えば、液晶セルを構成する二枚のガラス基板を位置決めする際に用いられる。液晶セルの一方のガラス基板をテーブル板の上に載置し、このガラス基板の上方に他方のガラス基板を支持し、そして駆動装置を作動させてテーブル板をＸ軸方向もしくはＹ軸方向に直線移動、あるいはＺ軸（テーブル板に垂直な軸）を中心として回転移動させることにより、二枚のガラス基板を互いに位置決めすることができる。
【０００４】
滑動テーブルは、基台と基台上に支持装置を介して滑動可能に支持されたテーブル板とから構成される。支持装置は、例えば、基台に固定された中央に開口部を備える支持板と、支持板の上下の各表面に複数個の球体を介して接触配置され且つ上記支持板の開口部を通る支柱を介して互いに接続された一対の可動板とを備える支持ユニットの一個あるいは複数個から構成される。
【０００５】
テーブル板を安定に支持するため、一個の支持ユニットを用いる場合には、テーブル板はその下面中央（テーブル板の重心の下方の位置）に配置された一個の支持ユニットにより支持される。そして複数個の支持ユニットを用いる場合には、テーブル板はその下面中央の周囲に配置された複数個の支持ユニットにより支持される。
【０００６】
上記の支持ユニットは、一対の可動板が複数個の球体を介して支持板を緊密に挟んだ状態にて滑動するため、可動板に支持されたテーブル板の傾斜移動を抑制することができる。可動板が滑動する際の複数個の球体の転動を円滑なものとするため、支持板と可動板との対向面は極めて平滑に研磨される。
【０００７】
特許文献１には、テーブル板が一個の支持ユニットによって滑動可能に支持された滑動テーブルが開示されている。支持ユニットは、基台（支持台３）に固定された支柱を備える支持板（上向支持面１５ｕと下向支持面１５ｌとを有する板材）と、支持板の各表面に複数個の球体を介して配置された一対の可動板を互いに接続して一体化した構成の可動部材（支持部材１４）とを備えている。支持板の支柱の側に配置された可動板の中央には、上記支柱が通る開口部が備えられている。上記の可動板に支持固定されたテーブル板（テーブル１）は、上記可動板の開口部が支柱に接触するまで直線移動することができる。
【０００８】
特許文献２にはテーブル板が複数個（例えば、四個）の支持ユニットによって滑動可能に支持された滑動テーブルが開示されている。各々の支持ユニット（滑動テーブル４０）は、基台（大型支持台７７）の隅部に配置されている。支持ユニットは、基台に固定された中央に開口部を備える支持板と、支持板の各表面に複数個の球体を介して配置され且つ互いに上記支持板の開口部を通る支柱を介して固定された一対の可動板とを備えている。上記の可動板に支持固定されたテーブル板（大型テーブル板７５）は、上記支柱が支持板の開口部に接触するまで直線移動することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１−２４２９８９号公報（第２図）
【特許文献２】特開２００９−１９０１２３号公報（第７図−第８図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
近年、位置決め対象物（例えば、液晶セルのガラス基板）の大型化に伴い、滑動テーブルの大型化が進んでいる。
【００１１】
特許文献１の滑動テーブルは、テーブル板のサイズを大きくすると、テーブル板を支持する支持ユニットのサイズ、すなわち支持板や可動部材のサイズを大きくする必要がある。このため、支持板と可動部材との対向面を、大型の研磨装置を用いて極めて平滑に研磨する複雑な工程が必要になる。
【００１２】
特許文献２の滑動テーブルでは、複数個の支持ユニットがテーブル板の隅部（テーブル板の回転移動の中心から離れた位置）を支持している。このため、各支持ユニットの可動板は、テーブル板を回転移動する際に、上記特許文献１のテーブル板の下面中央に配置された支持ユニットの可動部材と比較して、テーブル板の回転移動方向に長距離にて移動する。一方、各支持ユニットの可動板は、一対の可動板を互いに固定している支柱が支持板の開口部に接触するまで移動可能とされている。従って、テーブル板のサイズが大きくなる（例えば、テーブル板の各辺の長さが５００ｍｍ程度以上になる）と、テーブル板を回転移動する際に、各支持ユニットの可動板がテーブル板の回転移動方向に更に長距離にて移動するため、テーブル板の回転移動の角度が小さくても上記支柱が支持板の開口部に接触するようになる。従って、テーブル板を大きな角度で回転移動させることができなくなる。
【００１３】
本発明の課題は、テーブル板の支持ユニットのサイズが比較的に小さく、またテーブル板の傾斜移動が抑制されていて、そしてテーブル板のサイズが大きい場合であっても、テーブル板を大きな角度で回転移動させることができる滑動テーブルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、基台と基台上に下記（１）乃至（３）の条件を満足する支持装置を介して滑動可能に支持されたテーブル板とを含む滑動テーブルにある。
（１）上記の支持装置は、上記テーブル板の下面中央に配置された主支持ユニットと主支持ユニットの周囲に配置された複数個の副支持ユニットとからなる。
（２）（イ）上記の主支持ユニットは、基台もしくはテーブル板に固定された中央に開口部を備える支持板と、支持板の上下の各々の表面に複数個の球体を介して接触配置され且つ支持板の開口部を通る支柱を介して互いに接続された上側可動板及び下側可動板と、そして支持板と各可動板との間の複数個の球体を回転可能に保持する球体保持板とからなるか、あるいは（ロ）上記の主支持ユニットは、基台もしくはテーブル板に固定された支柱を上下の一方の表面の中央に備える支持板と、支持板の支柱の側の表面に複数個の球体を介して接触配置され且つ中央に前記支柱が通る開口部を備える第一可動板と、支持板の反対側の表面に複数個の球体を介して接触配置された第二可動板と、第一可動板と第二可動板とを支持板の周囲にて互いに接続する接続部材と、そして支持板と各可動板との間の複数個の球体を回転可能に保持する球体保持板とからなる。
（３）上記の各々の副支持ユニットは、基台に固定された支持板と、支持板の上面に複数個の球体を介して接触配置された可動板と、支持板と可動板との間の複数個の球体を回転可能に保持する球体保持板と、そして球体保持板の移動距離を制限する手段とからなる。
【００１５】
本発明の滑動テーブルの好ましい態様は、次の通りである。
（Ｉ）各副支持ユニットの球体保持板の中央に開口部が備えられていて、そして球体保持板の移動距離を制限する手段が、支持板の上面に備えられた前記球体保持板の開口部に係合する突起である。
（II）主支持ユニットが上記（２）の（イ）の条件を満足し、主支持ユニットの支持板が基台に固定されていて、そして前記の基台に主支持ユニットの下側可動板を収容する開口部が備えられている。
（III)主支持ユニットが上記（２）の（イ）の条件を満足し、主支持ユニットの支持板が基台に固定されていて、そして前記の支持板と基台との固定が、基台に下側可動板が接触することのないよう、スペーサを介してなされている。
【００１６】
なお、本明細書において、上記の「テーブル板の下面中央」とは、テーブル板の下面内で且つテーブル板の重心の下方の位置を意味する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の滑動テーブルでは、テーブル板が主支持ユニットと複数個の副支持ユニットとで支持されているため、各支持ユニットのサイズが比較的に小さい。従って、各支持ユニットの支持板や可動板の研磨に大型の研磨装置を用いる必要はない。このため、滑動テーブルを簡単に製造することができる。また、本発明の滑動テーブルでは、主支持ユニットの上側可動板と下側可動板とが支持板を複数個の球体を介して緊密に挟んだ状態にて滑動するため、テーブル板の傾斜移動が抑制される。そして、テーブル板の下面の中央の周囲（テーブルが回転移動する際に大きく移動する部位）を支持している各副支持ユニットは、主支持ユニットと比較して長距離にて滑動可能な可動板（テーブル板を支持する機械部品）を備えている。このため、本発明の滑動テーブルは、テーブル板のサイズが大きい場合であっても、テーブル板を大きな角度にて回転移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の滑動テーブルの構成例を示す一部切り欠き平面図である。但し、図１にはテーブル板１３の駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃを記入してある。
【図２】図１に示す主支持ユニット２１を拡大して示す一部切り欠き平面図である。
【図３】図２に記入した切断線III−III線に沿って切断した主支持ユニット２１の断面図である。但し、図３には基台１１及びテーブル板１３を記入してある。
【図４】図１に示す基台１１の右上隅に配置された副支持ユニット４１を拡大して示す一部切り欠き平面図である。
【図５】図４に記入した切断線Ｖ−Ｖ線に沿って切断した副支持ユニット４１の断面図である。但し、図５には基台１１及びテーブル板１３を記入してある。
【図６】図１に示す駆動装置６０ａの近傍の部位の拡大図である。
【図７】図６の駆動装置６０ａの近傍の部位を図の下側から見た図である。
【図８】主支持ユニットの別の構成例を示す断面図である。但し、図８には基台５１及びテーブル板１３を記入してある。
【図９】主支持ユニットの更に別の構成例を示す断面図である。但し、図９には基台５１及びテーブル板１３を記入してある。
【図１０】本発明の滑動テーブルの別の構成例を示す一部切り欠き平面図である。但し、図１０にはテーブル板１０３の駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃを記入してある。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の切断装置を、添付の図面を用いて説明する。図１は、本発明の滑動テーブルの構成例を示す一部切り欠き平面図である。図２は、図１に示す主支持ユニット２１を拡大して示す一部切り欠き平面図であり、そして図３は、図２に記入した切断線III−III線に沿って切断した主支持ユニット２１の断面図である。図４は、図１に示す基台１１の右上隅に配置された副支持ユニット４１を拡大して示す一部切り欠き平面図であり、そして図５は、図４に記入した切断線Ｖ−Ｖ線に沿って切断した副支持ユニット４１の断面図である。
【００２０】
図１〜図５に示す本発明の滑動テーブル１０は、基台１１と基台１１の上に前記（１）乃至（３）の条件を満足する支持装置を介して滑動可能に支持されたテーブル板１３とを備えている。
【００２１】
支持装置は、テーブル板１３の下面中央に配置された主支持ユニット２１と主支持ユニット２１の周囲に配置された複数個（例えば、合計で四個の）の副支持ユニット４１とから構成されている。
【００２２】
このように、テーブル板１３を、主支持ユニット２１と複数個の副支持ユニット４１とで支持すると、テーブル板を一個の支持ユニットで支持する場合と比較して、各支持ユニットのサイズを小さくすることができる。従って、各支持ユニットの支持板や可動板の表面を大型の研磨装置を用いて研磨する必要はない。このため、滑動テーブル１０を簡単に製造することができる。
【００２３】
図２及び図３に示す主支持ユニット２１は、前記の（２）の（イ）の条件を満足するものであり、基台１１に固定された中央に開口部２２ａを備える支持板２２と、支持板２２の上下の各々の表面に複数個の球体２３を介して接触配置され且つ支持板２２の開口部２２ａを通る支柱２６を介して互いに接続された上側可動板２４及び下側可動板２５と、そして支持板２２と各可動板との間の複数個の球体２３を回転可能に保持する球体保持板２７とから構成されている。
【００２４】
この主支持ユニット２１の上側可動板２４と下側可動板２５とが、支持板２２を複数個の球体２３を介して緊密に挟んだ状態にて滑動するため、上側可動板２４に支持固定されたテーブル板１３の傾斜移動が抑制される。これにより、例えば、テーブル板１３の端部に大きな荷重が加わった際に反対側の端部が浮き上がることによって生じるテーブル板１３の傾斜移動が抑制される。
【００２５】
図３の主支持ユニット２１の支持板２２は、前記のように基台１１に固定されていて、そして基台１１には下側可動板２５を収容する開口部１１ｂが備えられている。このように、基台１１の開口部１１ｂに下側可動板２５を収容することにより、滑動テーブルの高さを低くすることができる。
【００２６】
主支持ユニットの支持板は、テーブル板に固定することもできる。この場合、テーブル板に上側可動板を収容する開口部を形成することにより、滑動テーブルの高さを低くすることができる。
【００２７】
図３の主支持ユニット２１の上側可動板２４は、下側可動板２５が基台１１に接触するまで、例えば、図にて右側の方向に直線移動させることができる。
【００２８】
従って、上側可動板２４に支持固定されたテーブル板１３の移動可能距離は、下側支持板２５の端面と基台１１の開口部１１ｂの内面との距離Ｄ1に等しくなる。なお、上記距離Ｄ1よりも、支柱２６の外周面と支持板２２の開口部２２ａの内面との距離Ｄ2のほうが小さければ、テーブル板１３の移動可能距離は距離Ｄ2に等しくなる。
【００２９】
一方、主支持ユニット２１の上側可動板２４を、支柱２６を中心として回転移動させる場合、下側可動板２５と基台１１とが接触したり、支柱２６と支持板２２とが接触したりすることはない。従って、主支持ユニット２１が、テーブル板１３の支柱２６を中心とする回転移動を妨げることはない。
【００３０】
図４及び図５に示す副支持ユニット４１は、基台１１に固定された支持板４２と、支持板４２の上面に複数個の球体４３を介して接触配置された可動板４４と、支持板４２と可動板４４との間の複数個の球体４３を回転可能に保持する球体保持板４７と、そして球体保持板４７の移動距離を制限する手段（以下「球体保持板移動距離制限手段」とも云う）４８とから構成されている。
【００３１】
球体保持板移動距離制限手段は、球体保持板が球体と共に支持板の上面に沿って移動した際に、この球体保持板の移動距離を、支持板の上面の周縁から球体が落下しない範囲に制限する機能を有する。球体保持板移動距離制限手段は、前記機能を有する限り、その構成に特に制限はない。
【００３２】
球体保持板移動距離制限手段としては、支持板に備えられた球体保持板に係合する突起を用いることが好ましい。例えば、支持板の表面に形成された、球体保持板の周囲を囲むように配置された複数個の突起、あるいは環状の突起などを用いることができる。
【００３３】
図４及び図５に示す副支持ユニット４１では、球体保持板４７の中央に開口部４７ａが備えられていて、そして球体保持板移動距離制限手段４８として、支持板４２の上面に備えられた球体保持板４７の開口部４７ａに係合する突起が用いられている。球体保持板４７に開口部４７ａを形成することにより、簡単な構成の球体保持板移動距離制限手段（一個の突起）４８を用いることが可能になる。
【００３４】
図５の副支持ユニット４１の可動板４４を、例えば、図にて右側の方向に直線移動させると、複数個の球体４３が転動して、これらの球体４３を保持している球体保持板４７と共に図にて右側の方向に移動する。
【００３５】
球体保持板４７は、その開口部４７ａの内面が支持板４２の突起（すなわち球体保持板移動距離制限手段）４８に接触するまで直線移動することができる。従って、球体保持板４７の移動可能距離は、球体保持板４７の開口部４７ａの内面と突起４８の外周面との距離Ｄ3に等しくなる。従って、球体保持板４７に保持された球体４３の移動可能距離もまた、上記距離Ｄ3に等しくなる。一方、可動板４４は、転動する複数個の球体４３に支持されながら、球体４３の移動距離の二倍の距離にて直線移動する。従って、可動板４４の移動可能距離は、距離Ｄ3の二倍の距離に等しくなる。
【００３６】
このように、副支持ユニット４１は、下側可動板や支柱を備えていないため、上記主支持ユニットの上側可動板と比較して、可動板４４を長距離にて直線移動させることができる。例えば、図５の副支持ユニット４１の可動板４４の移動可能距離（２×Ｄ3）は、図３の主支持ユニット２１の上側可動板２４の移動可能距離Ｄ1の概ね２．７倍にもなる。
【００３７】
但し、テーブル板１３は、図１に示すように下面中央が主支持ユニット２１により支持されているため、テーブル板１３を直線移動する際の移動可能距離は前記のように距離Ｄ1（あるいは距離Ｄ2）に等しくなる。
【００３８】
一方、前記のように主支持ユニット２１は、テーブル板１３の支柱２６を中心とする回転移動を妨げることはない。従って、テーブル板１３を回転移動させた場合、例えば、図４及び図５に示す副支持ユニット４１（図１にて基台１１の右上隅に配置されたもの）の可動板４４は、球体保持板４７が図４に記入した矢印４７ｂに沿って移動して、その開口部４７ａの内面が突起（球体保持板移動距離制限手段）４８に接触するまで、長距離にて（上記距離Ｄ3に概ね等しい距離にて）旋回移動することができる。このため、テーブル板１３を大きな角度にて回転移動させることができる。
【００３９】
このように、図１〜図５に示す本発明の滑動テーブル１０では、テーブル板１３の下面中央の周囲（テーブル板１３が回転移動する際に大きく移動する部位）を支持している各副支持ユニット４１が、主支持ユニット２１と比較して長距離にて滑動可能な可動板４４を備えている。このため、滑動テーブル１０は、テーブル板１３のサイズが大きい場合であっても、テーブル板１３を大きな角度にて回転移動させることができる。
【００４０】
本発明の滑動テーブルのテーブル板の駆動方法は、公知の滑動テーブル、例えば、前記の各特許文献の滑動テーブルの場合と同様である。以下では、図１の滑動テーブル１０のテーブル板１３の駆動方法について、図１、図６及び図７に示す駆動装置６０ａ〜６０ｃを用いる場合を代表例として説明を行なう。
【００４１】
図１に示す滑動テーブル１０には、例えば、合計で三台の駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃが接続されている。駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃの構成は互いに同一である。以下では、駆動装置６０ａの構成を説明する。
【００４２】
図６は、図１に示す駆動装置６０ａの近傍の部位の拡大図であり、そして図７は、図６の駆動装置６０ａの近傍の部位を図の下側から見た図である。
【００４３】
駆動装置６０ａは、滑動テーブル１０の基台１１の側面に固定された補助台１１ａの上に設置されている。
【００４４】
駆動装置６０ａは、回転駆動装置（代表例、ステッピングモータ）６１、そして回転駆動装置６１の回転軸６１ａにカップリング６２を介して接続されたねじ軸６３ａと、ねじ軸６３ａの周囲に嵌め合わされたナット６３ｂとからなる送りねじ６３を備えている。
【００４５】
送りねじ６３のねじ軸６３ａは、補助台１１ａに設置された回転軸受６４ａ、６４ｂにより回転可能に支持されている。一方、送りねじ６３のナット６３ｂには、二本のロッド６５が接続されている。各々のロッド６５は、補助台１１ａに設置された直動軸受６６により、その長さ方向に滑動可能に支持されている。
【００４６】
二本のロッド６５の先端には、一対の回転軸受６７を介して軸体６８が回転可能に支持されている。軸体６８には、レール６９ａとスライダ６９ｂとからなるリニアガイド６９が揺動可能に支持されている。リニアガイド６９のレール６９ａは接続部材７１を介してテーブル板１３に固定されている。
【００４７】
例えば、回転駆動装置６１の回転軸６１ａを送りねじ６３のねじ軸６３ａと共に回転させ、ねじ軸６３ａに嵌め合わされたナット６３ｂをＸ軸方向（図にて右側の方向）に移動させることにより、ナット６３ｂにロッド６５を介して接続された接続部材７１をＸ軸方向に移動させることができる。回転駆動装置６１の回転軸６１ａを前記の回転の向きとは逆向きに回転させることにより、接続部材７１をＸ軸方向とは逆向き（図にて左側の方向）に移動させることができる。
【００４８】
そして、図１に示す駆動装置６０ａ、６０ｂの各々の接続部材７１をＸ軸方向に互いに等しい距離にて移動させることにより、テーブル板１３をＸ軸方向に移動させることができる。この際に、駆動装置６０ｃの接続部材７１に固定されているリニアガイド６９のレール６９ａがスライダ６９ｂに支持された状態にてＸ軸方向に移動する。このため、駆動装置６０ｃがテーブル板１３のＸ軸方向への移動を妨げることはない。
【００４９】
また、駆動装置６０ｃの接続部材７１をＹ軸方向に移動させることにより、テーブル板１３をＹ軸方向に移動させることができる。この際に、駆動装置６０ａ、６０ｂの各々の接続部材７１に固定されているリニアガイド６９のレール６９ａがスライダ６９ｂに支持された状態にてＹ軸方向に移動する。このため、駆動装置６０ａ、６０ｂがテーブル板１３のＹ軸方向への移動を妨げることはない。
【００５０】
更にまた、駆動装置６０ａの接続部材７１をＸ軸方向とは逆向きに、駆動装置６０ｂの接続部材７１をＸ軸方向に、互いに等しい距離にて移動させることにより、テーブル板１３を図１に記入したθ方向に回転移動させることができる。この際に、駆動装置６０ｃの接続部材７１に固定されているリニアガイド６９が、テーブル板１３の回転移動の角度に応じて、リニアガイド６９とロッド６５との間に備えられた軸体を中心として揺動する。このため、駆動装置６０ｃがテーブル板１３のθ方向への回転移動を妨げることはない。
【００５１】
そして前記のように、滑動テーブル１０は、テーブル板１３の下面中央の周囲（テーブル板１３が回転移動する際に大きく移動する部位）を支持していて各副支持ユニット４１が、主支持ユニット２１と比較して長距離にて滑動可能な可動板４４を備えているため、テーブル板１３のサイズが大きい場合であっても、テーブル板１３を大きな角度にて回転移動させることができる。
【００５２】
図８は、主支持ユニットの別の構成例を示す断面図である。
【００５３】
図８の主支持ユニット８１の構成は、支持板２２と基台５１との固定が、基台５１に下側可動板２５が接触することのないよう、スペーサ２８を介してなされていること以外は図３の主支持ユニット２１と同様である。
【００５４】
主支持ユニット８１を用いる場合、基台５１に下側可動板２５を収容する開口部を形成することは不要である。
【００５５】
図９は、主支持ユニットの更に別の構成例を示す断面図である。但し、図９には基台５１及びテーブル板１３を記入してある。
【００５６】
図９に示す主支持ユニット９１は、前記の（２）の（ロ）の条件を満足するものであり、基台５１に固定された支柱３６を下面の中央に備える支持板３２と、支持板３２の支柱３６の側の表面に複数個の球体２３を介して接触配置され且つ中央に前記支柱３６が通る開口部３４ａを備える第一可動板３４と、支持板３２の反対側の表面に複数個の球体２３を介して接触配置された第二可動板３５と、第一可動板３４と第二可動板３５とを支持板３２の周囲にて互いに接続する接続部材３８と、そして支持板３２と各可動板との間の複数個の球体２３を回転可能に保持する球体保持板３７とから構成されている。
【００５７】
この主支持ユニット９１もまた、第一可動板３４と第二可動板３５とが、支持板３２を複数個の球体２３を介して緊密に挟んだ状態にて滑動するため、第二可動板３５に支持固定されたテーブル板１３の傾斜移動が抑制される。
【００５８】
主支持ユニット９１は、例えば、第一可動板３４と第二可動板３５との周縁部を接続部材３８を介して隙間無く接続することにより、支持板３２と各可動板との間への塵や埃の侵入を抑制することができる。
【００５９】
図９の主支持ユニット９１の第二可動板３５は、接続部材３８が支持板３２に接触するまで、例えば、図にて右側の方向に直線移動させることができる。
【００６０】
従って、第二可動板３５に支持固定されたテーブル板１３の移動可能距離は、接続部材３８の内面と支持板３２の端面との距離Ｄ4に等しくなる。なお、上記距離Ｄ4よりも、第一可動板３４の開口部３４ａの内面と支柱３６の外周面との距離Ｄ5のほうが小さければ、テーブル板１３の移動可能距離は距離Ｄ5に等しくなる。
【００６１】
一方、主支持ユニット９１の第二可動板３５を、支柱３６を中心として回転移動させる場合、接続部材３８と支持板３２とが接触したり、第一可動板３４と支柱３６とが接触したりすることはない。従って、主支持ユニット９１が、テーブル板１３の支柱３６を中心とする回転移動を妨げることはない。
【００６２】
なお、前記の（２）の（ロ）の条件を満足する主支持ユニットの支柱は、テーブル板に固定することもできる。
【００６３】
図１０は、本発明の滑動テーブルの別の構成例を示す一部切り欠き平面図である。
【００６４】
図１０の滑動テーブル１００の構成は、基台１０１及びテーブル板１０３の形状が異なること、そして副支持ユニットの数が二個であること以外は、図１の滑動テーブル１０と同様である。
【００６５】
本願発明の滑動テーブルの副支持ユニットの数は、２〜１０個の範囲にあることが好ましく、２〜４個の範囲にあることが更に好ましい。
【符号の説明】
【００６６】
１０  滑動テーブル
１１  基台
１１ａ  補助台
１１ｂ  開口部
１３  テーブル板
２１  主支持ユニット
２２  支持板
２２ａ  開口部
２３  球体
２４  上側可動板
２５  下側可動板
２６  支柱
２７  球体保持板
２８  スペーサ
３１  主支持ユニット
３２  支持板
３４  第一可動板
３４ａ  開口部
３５  第二可動板
３６  支柱
３７  球体保持板
３８  接続部材
４１  副支持ユニット
４２  支持板
４３  球体
４４  可動板
４７  球体保持板
４７ａ  開口部
４７ｂ  球体保持板４７の移動方向を示す矢印
４８  球体保持板の移動距離制限手段（突起）
５１  基台
６０ａ、６０ｂ、６０ｃ  駆動装置
６１  回転駆動装置
６１ａ  回転軸
６２  カップリング
６３  送りねじ
６３ａ  ねじ軸
６３ｂ  ナット
６４ａ、６４ｂ  回転軸受
６５  ロッド
６６  直動軸受
６７  回転軸受
６８  軸体
６９  リニアガイド
６９ａ  レール
６９ｂ  スライダ
７１  接続部材
８１、９１  主支持ユニット
１００  滑動テーブル
１０１  基台
１０３  テーブル板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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