(57)【要約】【課題】開口部を有する容器状のワークに対するファインリークテストの検査精度を向上させる。【解決手段】チャンバー１０にワーク９を収容し、封止部材１３にてワーク９の開口部を塞ぎ、チャンバー１０を密閉する。排気系４０によってチャンバー１０内のガスを排気ポート１７から排気しながら、第１給気系３０によってヘリウム等の検査ガスを給気ポート１６からチャンバー１０内に供給する。好ましくは次に排気系４０を閉じる。次いで検知系２によってワーク９内のガスを吸引して、検知器２にて検査ガスの有無を検知する。好ましくは、その後、チャンバー１０内のガスを排気系２にて排気しながら第２給気系６０にてパージガスをチャンバー１０内に供給したうえで、チャンバー１０を開けてワーク９を搬出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有する容器状のワークを、検査ガスの有無を検知する検知器にてリークテストする装置であって、
前記ワークの前記開口部を塞ぐ封止手段と、給気ポートと、排気ポートを有し、前記ワークを収容して密閉可能なチャンバーと、
前記封止手段に設けられた検査孔に連なり、前記ワーク内のガスを前記検査孔を通して吸引して前記検知器へ送る検知系と、
前記給気ポートに接続され、前記検査ガスを前記給気ポートから前記チャンバー内に供給する第１給気系と、
前記排気ポートに接続され、前記第１給気系による前記検査ガスの供給操作の少なくとも初期に前記チャンバー内のガスを前記排気ポートを介して排出する排気系と、
を備えたことを特徴とするリークテスト装置。
【請求項２】
前記検知器による検知後に、パージガスを前記前記第１給気系と同じ給気ポート又は他の給気ポートから前記チャンバー内に供給する第２給気系を、更に備え、
前記排気系が、前記第２給気系による前記パージガスの供給と併行して前記チャンバー内のガスを排出することを特徴とする請求項１に記載のリークテスト装置。
【請求項３】
前記給気ポートと前記排気ポートが、互いに前記チャンバーの反対側に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のリークテスト装置。
【請求項４】
請求項２に記載のリークテスト装置を用いて前記ワークをリークテストする方法であって、
前記ワークを設置後の密閉された前記チャンバー内のガスを前記排気系にて排気しながら前記第１給気系にて前記検査ガスを前記チャンバー内に供給した後、前記排気系を閉じて、前記検知を行ない、
前記検知の後、前記チャンバー内のガスを前記排気系にて排気しながら前記第２給気系にてパージガスを前記チャンバー内に供給したうえで、前記チャンバーを開けて前記ワークを搬出することを特徴とするリークテスト方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、開口部を有する容器状のワークを、ヘリウム等の検査ガスを用いてファインリークテストする装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークの洩れ検査は、ワークの比較的大きな欠陥を検知するグロスリークテストと、比較的小さな欠陥を検知するファインリークテストとに大別される。グロスリークテストとしてエア圧を用いたエアリークテストが挙げられる。ファインリークテストとしてヘリウムを検査ガスとするヘリウムリークテストが挙げられる（特許文献１等参照）。
【０００３】
開口部を有する容器状のワーク用のヘリウムリークテスト装置として公知のものは、ワークの開口部を下にして台座に設置することで、上記開口部を塞ぎ、ワークの内部を密閉する。次に、ヘリウムをノズルから吹き出してワークの外面に当てながら、ワーク内のガスを吸引して検知器にてヘリウムの検知を行なう。ワークにファインリークレベルの欠陥があれば、その欠陥を通してヘリウムがワーク内に入り、検知器にて検知される。これにより、ワークのファインリークレベルの欠陥の有無を判定できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２７８９１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記公知のヘリウム等の検査ガスを用いたファインリークテスト装置は、検査を開放空間で行なっているために検査ガスが周辺の雰囲気中に残留しやすい。そのため、テストを繰り返すにしたがって、バックグランドの検査ガス濃度が上昇してしまう。そうすると、欠陥が無いのに検査ガスが検知されるおそれがあり、検査精度が低下するという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は、開口部を有する容器状のワークを、検査ガスの有無を検知する検知器にてリークテストする装置であって、
前記ワークの前記開口部を塞ぐ封止手段と、給気ポートと、排気ポートを有し、前記ワークを収容して密閉可能なチャンバーと、
前記封止手段に設けられた検査孔に連なり、前記ワーク内のガスを前記検査孔を通して吸引して前記検知器へ送る検知系と、
前記給気ポートに接続され、前記検査ガスを前記給気ポートから前記チャンバー内に供給する第１給気系と、
前記排気ポートに接続され、前記第１給気系による前記検査ガスの供給操作の少なくとも初期に前記チャンバー内のガスを前記排気ポートを介して排出する排気系と、
を備えたことを特徴とする。
上記特徴によれば、チャンバーを密閉することで検査ガスが周辺の雰囲気に拡散するのを防止でき、バックグランドの検査ガス濃度が上昇するのを防止できる。加えて、第１給気系及び排気系を併行して作動させることによって、チャンバー内のガスを検査ガスに確実に置換したうえで、リークテストを行なうことができる。これによって、開口部を有する容器状のワークに対するファインリークテストの検査精度を向上させることができる。前記検査ガスとしては、ヘリウム、アルゴン等の希ガスのほか、水素ガス等が挙げられる。検査ガスは、好ましくはヘリウムである。
【０００７】
前記リークテスト装置が、前記検知器による検知後に、パージガスを前記前記第１給気系と同じ給気ポート又は他の給気ポートから前記チャンバー内に供給する第２給気系を、更に備えていることが好ましい。前記排気系が、前記第２給気系による前記パージガスの供給と併行して前記チャンバー内のガスを排出することが好ましい。
これによって、検査後、第２給気系及び排気系によって、チャンバー内の検査ガスをパージガスにて確実にパージできる。したがって、ワークの入れ替えのためにチャンバーを開放しても、バックグランドの検査ガス濃度が上昇するのを確実に防止できる。これによって、開口部を有する容器状のワークに対するファインリークテストの検査精度を一層向上させることができる。
【０００８】
前記給気ポートと前記排気ポートが、互いに前記チャンバーの反対側に配置されていることが好ましい。前記第１給気系と前記第２給気系が互いに別の給気ポートに接続されている場合、これら２つの給気ポートが共に前記排気ポートとは反対側に配置されていることが好ましい。
これによって、検査ガスの供給時には、検査ガスがチャンバー内を給気ポートの側から排気ポートの側へ流れることで、チャンバー内を万遍なく検査ガスに置換することができる。パージガスの供給時には、パージガスがチャンバー内を給気ポートの側から排気ポートの側へ流れることで、チャンバー内を万遍なくパージガスに置換することができる。
【０００９】
また、本発明は、前記リークテスト装置を用いて前記ワークをリークテストする方法であって、
前記ワークを設置後の密閉された前記チャンバー内のガスを前記排気系にて排気しながら前記第１給気系にて前記検査ガスを前記チャンバー内に供給した後、前記排気系を閉じて、前記検知を行ない、
これによって、ワークの検査の際は、チャンバー内のガスを検査ガスに確実に置換したうえでリークテストを行なうことができる。検査終了時には、チャンバー内の検査ガスをパージガスにて確実にパージして、チャンバー内をパージガスに確実に置換できる。したがって、ワークの搬出時にチャンバーを開けても、バックグランドの検査ガス濃度が上昇するのを確実に防止できる。これによって、開口部を有する容器状のワークに対するファインリークテストの検査精度を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、開口部を有する容器状のワークに対するファインリークテストの検査精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るリークテスト装置の概略構成を示す解説正面断面図である。
【図２】上記リークテスト装置において、ワーク搬出時の状態を示す解説正面断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係るリークテスト装置を示し、図４のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う平面断面図である。
【図４】上記第２実施形態に係るリークテスト装置を示し、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う正面断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係るリークテスト装置の解説正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１は、ワーク９のファインリークテストを行なうリークテスト装置１を示したものである。ワーク９は、開口部９ａを有する容器状になっている。ワーク９は、例えば数ｍｍサイズの小型電子部品の筺体であるが、これに限定されるものではなく、機械部品であってもよい。
【００１３】
図１に示すように、リークテスト装置１は、チャンバー１０と、検知系２０と、第１給気系３０と、排気系４０を備えている。
【００１４】
チャンバー１０は、台座１１と、蓋１２を含む。台座１１の上面に封止部材１３（封止手段）が配置されている。封止部材１３は、例えばウレタンゴムからなる平らな板状のシール部材にて構成されている。封止部材１３は、ワーク９の開口部９ａを気密に塞いでワーク９の内部空間を密封するためのものである。封止部材１３には検査孔１３ａが厚さ方向に貫通するように形成されている。
【００１５】
図２に示すように、ワーク９が、開口部９ａを下に向けた状態でピックアップ機構８の吸着ノズル８ａに吸着される。図１に示すように、このワーク９が、上記検査孔１３ａにちょうど被さるようにして、封止部材１３上に載置される。台座１１には吸着溝１４が形成されている。吸着溝１４内のガスを吸引することで、封止部材１３を台座１１の上面に吸着して固定できる。吸着を解除することによって、封止部材１３を台座１１から容易に取り外して交換や洗浄等のメンテナンスを行なうことができる。
【００１６】
蓋１２（閉塞部材）は、図示しない移動機構付きの支持手段に支持され、台座１１上に設置された設置位置（図１）と、台座１１から離れた退避位置（図２）との間で、進退可能になっている。図１に示すように、蓋１２を設置位置に配置することによって、台座１１と蓋１２との間に密閉された検査空間１０ａが形成される。この検査空間１０ａ内にワーク９が収容される。台座１１の上面には蓋１２と台座１１との間をシールするＯリング１５が設けられている。なお、Ｏリング１５を蓋１２の下端面に設けてもよい。図２に示すように、蓋１２を退避位置へ移動させることで、チャンバー１０内が開放される。
【００１７】
図１に示すように、チャンバー１０には、共通給気ポート１６と、排気ポート１７が設けられている。給気ポート１６は、蓋１２の一側部に配置されている。排気ポート１７は、蓋１２の給気ポート１６とは反対の側部に配置されている。ポート１６，１７が台座１１に配置されていてもよい。
【００１８】
検知系２０は、検知路２１を含む。検知路２１の一端が、台座１１の上面に達して検知孔１３ａに連なっている。検知路２１の他端が、検知器２に連なっている。検知路２１の全体または一部が、台座１１内に形成されていてもよく、台座１１とは別の配管にて構成されていてもよい。検知路２１には、検知孔１３ａ側から順次、圧力計２３と、開閉弁２４が設けられている。検知器２は、検知路２１からのガス成分を分析して検査ガスの有無を検知する。検知器２には、検知路２１内のガスを吸い込むための吸引ポンプが内蔵されている。検知器２の排出ポートから検査済み路２１ｅが系外Ｅｘ（室外、屋外、ないしは施設外）へ延びている。
【００１９】
検知路２１には、粗引路２２を介して粗引ポンプ２６が接続されている。粗引路２２は、検知路２１における圧力計２３と開閉弁２４との間の分岐部２１ａから分岐している。粗引路２２に開閉弁２５が設けられている。粗引ポンプ２６の吐出ポートから排出路２２ｅが系外Ｅｘへ延びている。
【００２０】
第１給気系３０は、第１給気路３１を含む。第１給気路３１の上流端に検査ガス源３が設けられている。検査ガス源３は、ヘリウム（Ｈｅ）を蓄えたヘリウム供給源にて構成されている。検査ガスとして、ヘリウムが用いられている。検査ガス源３から第１給気路３１が延びている。第１給気路３１には、検査ガス源３側から順次、第１レギュレータ３３（減圧弁）と、第１開閉弁３４が設けられている。第１レギュレータ３３の設定圧は、例えば大気圧より１００ｋＰａ程度高圧に設定されている。
【００２１】
第１給気路３１に第２給気系６０が合流している。第２給気系６０は、第２給気路６１を含む。第２給気路６１の上流端にパージガス源６が設けられている。パージガス源６は、窒素ガス（Ｎ２）を蓄えた窒素供給源にて構成されている。パージガスとして窒素ガスが用いられている。パージガス源６から給気路６１が延びている。第２給気路６１には、パージガス源６側から順次、レギュレータ６３（減圧弁）と、第２開閉弁６４が設けられている。レギュレータ６３の設定圧は、第１給気系３０のレギュレータ３３の設定圧より低くてもよく、等しくてもよく、高くてもよい。
【００２２】
第１給気路３１と第２給気路６１の下流端どうしが合流して共通給気路３２となっている。共通給気路３２が共通給気ポート１６に接続されている。ひいては、第１、第２給気路３１，６１が、それぞれ共通給気路３２を介して給気ポート１６に接続されている。
【００２３】
排気系４０は、吸引路４１と、開閉弁４３と、排気ポンプ４４を含む。吸引路４１の一端が、排気ポート１７に接続されている。吸引路４１の中途部に開閉弁４３が設けられている。吸引路４１の他端が、排気ポンプ４４に接続されている。排気ポンプ４４の吐出ポートから排出路４１ｅが系外Ｅｘへ延びている。
【００２４】
上記のように構成されたリークテスト装置１によって、ワーク９のファインリークテストを行なう方法を説明する。
蓋１２を台座１１から離して退避位置（図２）に配置させたうえで、ピックアップ機構８によってワーク９をピックアップして、封止部材１３上にセットする。ワーク９のセットに合わせて、開閉弁２５を開ける。開閉弁２４は閉じておく。そして、粗引ポンプ２６によってワーク９内のガスを検知孔１３ａから吸い込み、検知孔１３ａから分岐部２１ａまでの検知路２１及び粗引路２２を介して粗引きする。これによって、ワーク９を封止部材１３に密着させて固定できる。
【００２５】
圧力計２３の読みが所定の圧力（例えば１０Ｐａ程度）に達した段階で、開閉弁２５を閉じて粗引きを終了する。続いて、開閉弁２４を開き、検知器２の内蔵真空ポンプによってワーク９内のガスを検知孔１３ａから吸い込み、検知路２１を介して検知器２に導く。なお、粗引き開始から所定の時間が経過しても圧力計２３の読みが上記所定の圧力（１０Ｐａ程度）に達しない場合、ワーク９に大きな欠陥部が存在することが考えられる。そこで、以降のリークテスト操作を打ち切り、そのワーク９を搬出して不良又は異常有りとして処理する。
【００２６】
上記ワーク９のセット後、上記検知系２０の操作と併行して、蓋１２を台座１１上の設置位置（図１）に移動させ、密閉された検査空間１０ａを形成する。続いて、開閉弁４３を開ける。そして、排気ポンプ４４によって、検査空間１０ａのガスを排気ポート１７から吸い込み、吸引路４１を介して排気する。開閉弁４３の開操作から少し（例えば数秒程度）遅れて、第１開閉弁３４を開ける。第２開閉弁６４は閉じておく。なお、第１開閉弁３４を開けるタイミングは、開閉弁４３の開操作と同時でもよく、開閉弁４３の開操作の前であってもよい。
【００２７】
第１開閉弁３４の上記開操作によって、検査ガス源３のヘリウムガスが、第１給気路３１及び共通給気路３２を経て、給気ポート１６から検査空間１０ａに供給される。検査空間１０ａ内には給気ポート１６から排気ポート１７へ向かうヘリウムガスの流れが形成される。このヘリウムガスの流れによって、検査空間１０ａ内の残留空気を排気ポート１７へ押し出すことができ、ひいては排気系４０によって確実に強制排気することができる。これによって、検査空間１０ａ内のガスをヘリウムガスに確実に置換できる。第１給気系３０によるヘリウム供給工程の少なくとも初期段階で排気系４０による強制排気を併行して行なうことで、検査空間１０ａ内のヘリウムガスへの置換を確実に行なうことができる。蓋１２によって検査空間１０ａを密閉することで、ヘリウムが周辺に拡散するのを防ぐことができ、バックグランドのヘリウム濃度が上昇するのを確実に防止できる。
【００２８】
次に、開閉弁４３を閉じ、排気系４０による排気を停止する。第１開閉弁３４は開状態を維持する。これによって、検査空間１０ａ内のヘリウムガス圧が第１レギュレータ３３の設定圧（大気圧＋１００ｋＰａ程度）まで上昇する。
【００２９】
そして、検知器２によって、ワーク９の内部から吸引したガス中のヘリウムの有無を分析する。ワーク９に微細欠陥（ピンホール）があれば、その欠陥を通して検査空間１０ａ内のヘリウムがワーク９の内部空間に洩れる。このヘリウムが検知路２１を経て検知器２に送られ、検知器２によって検知される。これによって、ワーク９の良否を判定できる。検査空間１０ａ内のガスがヘリウムガスに確実に置換されているため、検査精度を充分に高くすることができる。
【００３０】
上記判定後、開閉弁２４を閉じて、検知器２へのガス吸引を停止する。また、第１開閉弁３４を閉じて、検査空間１０ａへのヘリウム供給を停止する。
【００３１】
続いて、開閉弁４３を開けることで、排気ポンプ４４によって検査空間１０ａ内のヘリウムガスを排気ポート１７及び吸引路４１を介して吸引排気する。開閉弁４３の上記開操作と同時又は相前後して、第２開閉弁６４を開ける。これにより、パージガス源６の窒素ガス（パージガス）が第２給気路６１及び共通給気路３２を経て、給気ポート１６から検査空間１０ａ内に供給される。検査空間１０ａ内には給気ポート１６から排気ポート１７へ向かう窒素ガスの流れが形成される。この窒素ガスの流れによって、検査空間１０ａ内のヘリウムガスを排気ポート１７へ押し出すことができ、ひいては上記ヘリウムガスを排気系４０によって確実に強制排気することができる。これによって、検査空間１０ａ内のガスを窒素ガスに確実に置換できる。上記ヘリウムは、排気ポンプ４４から排出路４１ｅを経て系外Ｅｘに排出される。したがって、チャンバー１０の周辺のバックグランドのヘリウム濃度が上昇するのを防止できる。
【００３２】
次に、開閉弁６４を閉じて、第２供給系６０からチャンバー１０への窒素供給を停止する。また、開閉弁４３を閉じて、排気系４０によるチャンバー１０からのガス吸引を停止する。そして、図２に示すように、蓋１２を台座１１から離して退避させることで、チャンバー１０を開放する。この時点ではチャンバー１０内のヘリウムをパージ済みであるから、チャンバー１０を開放しても、バックグランドのヘリウム濃度が上昇するのを確実に回避できる。
【００３３】
次に、ピックアップ機構８を台座１１上のワーク９の直上に配置し、吸着ノズル８ａによってワーク９を吸着する。このとき、検査孔１３ａを介してワーク９の内部空間に窒素ガス圧等の正のガス圧を導入することにしてもよい。これによって、ワーク９の吸着を確実に解除できる。そして、ピックアップ機構８によってワーク９を上記検査結果（ワーク９の良否）に応じた指定位置を搬出する。ここで、検査路２１及び検査孔１３ａに窒素ガス等のパージガスを流して、検査路２１及び検査孔１３ａを洗浄することにしてもよい。１つの窒素ガス源を検査路２１に合流させ、この１つの窒素ガス源が、上記吸着解除用の窒素ガス源と上記洗浄用の窒素ガス源とを兼ねるようにしてもよい。
【００３４】
その後、ピックアップ機構８によって新たなワーク９をチャンバー１０にセットする。前回のワーク９の検査に用いたヘリウムは系外Ｅｘへ導出されているから、上記新たなワーク９の内部空間に残留ヘリウムが閉じ込められるのを確実に防止できる。したがって、ワーク９の検査を繰り返し行なっても、検査精度を高く維持できる。
【００３５】
次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において既述の形態と重複する部分に関しては図面に同一符号を付して説明を省略する。
複数個のワーク９を１つのチャンバー１０内に収容して一度に洩れ検査することにしてもよい。図３及び図４は、そのような複数ワーク対応のリークテスト装置１Ａを示したものである。図３及び図４では、ワーク９の収容数は、３個であるが、これに限られるものではなく、２個でもよく、４個以上でもよい。チャンバー１０は、一方向に長い容器状になっている。チャンバー１０内に複数個のワーク９が収容される。これらワーク９は、チャンバー１０の長手方向に一列に並べられて配置される。封止部材１３には、上記ワーク９の個数に対応する数の検知孔１３ａが形成されている。
【００３６】
圧力計２３よりチャンバー１０側の検知路２１は、ワーク９の上記収容個数に応じた数の分岐路２７に分岐し、マニホールド２８になっている。各分岐路２７に開閉弁２９が設けられている。複数のワーク９を同時にヘリウム検査するときは、すべての開閉弁２９を開操作する。この同時検査でＮＧ（不良）と判定された場合は、順次１つの開閉弁２９だけを開操作することで、各ワーク９を個別にヘリウム検査して、ＮＧのワークを特定することができる。ワーク９の収容個数が多いときは、これらワーク９を複数のグループに分け、グループごとにヘリウム検査し、ＮＧが出たグループについて個々のワーク９をヘリウム検査することにしてもよい。或いは、上記複数のワーク９の同時検査の際にＮＧと判定された場合、ＮＧワークを特定することなく、これら複数のワーク９全部を不良として処理することにしてもよい。
【００３７】
チャンバー１０の長手方向の一端部に給気ポート１６が配置されている。チャンバー１０の長手方向の他端部に排気ポート１７が配置されている。ワーク９の検査に際して、第１給気系３０及び排気系４０を作動すると、ヘリウムガスが検査空間１０ａ内の長手方向の一端部から他端部へ流れる。これによって、検査空間１０ａから残留空気を確実に強制排気でき、検査空間１０ａ内のガスをヘリウムに確実に置換できる。検査後、第２給気系６０及び排気系４０を作動すると、窒素ガスが検査空間１０ａ内の長手方向の一端部から他端部へ流れる。これによって、検査空間１０ａからヘリウムを確実に強制排気でき、検査空間１０ａ内のガスを窒素に確実に置換できる。
【００３８】
図５に示す実施形態では、チャンバー１０に給気ポート１６とは別の給気ポート１８が設けられている。給気ポート１８は、給気ポート１６と並んで配置され、かつ排気ポート１７とは検査空間１０ａを挟んで反対側に配置されている。第１供給系３０の給気路３１が、第２給気路６１と合流せず、給気ポート１６に直接接続されている。第２供給系６０の給気路６１は、第１給気路３１と合流せず、給気ポート１８に直接接続されている。
【００３９】
本発明は、上記実施形態に限定されず、発明の要旨を変更しない限りにおいて種々の改変をなすことができる。
パージガスとして空気を用いてもよい。
検査ガスとしてヘリウム以外の希ガスや水素を用いてもよい。
検査ガスの検査空間１０ａへの供給工程の初期だけでなく、中期又は終期においても、排気系４０の排気操作を行なってもよい。
排気系４０の排気ポンプ４４を省略してもよく、給気系３０，６０からの供給ガス圧だけで検査空間１０ａ内のガスを排気ポート１７へ押し出すことにしてもよい。
排出路２２ｅ，２２ｅ，４１ｅにヘリウム回収装置を接続してもよい。
第２給気系６０を省略してもよい。検査後は、排気系４０で検査空間１０ａ内のガスを吸引して排気し、これに伴なって、外気等が給気ポート１６から検査空間１０ａ内に入り込むようにしてもよい。
封止手段の封止部材１３が、ワーク９の開口部９ａ側の縁に沿う環状のシール部材であってもよい。該環状シール部材が台座１１の環状凹部に嵌め込まれていてもよい。台座１１における上記環状凹部より内側の部分が、ワーク９の開口部９ａに直接面することで上記環状シール部材と共に「封止手段」の要素として提供されていてもよい。台座１１における上記環状凹部より内側の部分に検査孔１３ａが形成されていてもよい。
複数の実施形態を互いに組み合わせてもよい。例えば、図５の個別給気ポート構造は、図１の単一ワーク対応の装置１に適用されているが、図３及び図４の複数ワーク対応の装置１Ａに図５の個別給気ポート構造を適用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、電子部品等の開口部付き容器の良否判定を行なうリークテスタに適用できる。
【符号の説明】
【００４１】
１      リークテスト装置
１０    チャンバー
１０ａ  検査空間
１１    台座
１２    蓋
１３    封止部材（封止手段）
１３ａ  検知孔
１４    吸着溝
１５    Ｏリング
１６    給気ポート
１７    排気ポート
１８    他の給気ポート
２０    検知系
２      検知器
２１    検知路
２１ａ  分岐部
２１ｅ  検査済み路
２２    粗引路
２２ｅ  排出路
２３    圧力計
２４    検知路用開閉弁
２５    粗引路用開閉弁
２６    粗引ポンプ
２７    分岐路
２８    マニホールド
２９    開閉弁
３      検査ガス源
３０    第１給気系
３１    第１給気路
３２    共通給気系
３３    第１レギュレータ
３４    第１開閉弁
４０    排気系
４１    吸引路
４１ｅ  排出路
４３    開閉弁
４４    排気ポンプ
６      パージガス源
６０    第２供給系
６１    給気路
６３    レギュレータ
６４    開閉弁
８      ピックアップ機構
８ａ    吸着ノズル
９      ワーク
９ａ    開口部
Ｅｘ    系外
【図１】
2012251849.tif 000003
【図２】
2012251849.tif 000004
【図３】
2012251849.tif 000005
【図４】
2012251849.tif 000006
【図５】
2012251849.tif 000007