(57)【要約】      （修正有）【課題】均一な密度のプラズマを発生させることができるプラズマ発生用電極及びプラズマ発生装置の提供。【解決手段】基板との間にプラズマを発生させる平面部材１１０と、平面部材１１０と電気的に連結される地点である複数の給電点を通じて平面部材１１０に高周波信号を提供し、高周波信号が供給される供給地点からそれぞれの給電点に至る経路上で、給電点に近いほどアドミタンスを低減させる線形部材１２０と、を備え、線形部材１２０は、直線上で互いに隣接して配される４つの給電点のうち、２つの給電点を互いに連結するが、給電点が配された直線を備えて平面部材１１０と一定の角度をなす平面から離脱して配される第１部材と、４つの給電点のうち、第１部材が連結された給電点を除外した２つの給電点を互いに連結するが、給電点が配された直線を備える平面に対して第１部材と相互対称となる形状に配される第２部材を備える接続ユニットと、を備える。【選択図】図５Ａ
2012033323.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持するサセプタに対向して配され、前記基板との間にプラズマを発生させる平面部材と、
前記平面部材と電気的に連結される地点である複数の給電点を通じて前記平面部材に高周波信号を提供し、前記高周波信号が供給される供給地点から前記それぞれの給電点に至る経路上で、前記給電点に近いほどアドミタンスを低減させる線形部材と、を備え、
前記線形部材は、
直線上で互いに隣接して配される４つの給電点のうち、２つの給電点を互いに連結するが、前記給電点が配された直線を備えて前記平面部材と一定の角度をなす平面から離脱して配される第１部材と、
前記４つの給電点のうち、前記第１部材が連結された給電点を除外した２つの給電点を互いに連結するが、前記給電点が配された直線を備える平面に対して前記第１部材と相互対称となる形状に配される第２部材を備える接続ユニットと、を備えることを特徴とするプラズマ発生用電極。
【請求項２】
前記接続ユニットの第１部材は、直線上で互いに隣接して配される４つの給電点のうち、２つの給電点にそれぞれ連結されて互いに平行に配される１対の第１垂直部と、前記１対の第１垂直部の各端部を互いに連結し、かつ前記第１垂直部を備える平面から離脱して配される第１連結部と、を備え、
前記接続ユニットの第２部材は、前記４つの給電点のうち、前記第１垂直部が連結された給電点を除外した２つの給電点にそれぞれ連結されて互いに平行に配される１対の第２垂直部と、前記１対の第２垂直部の各端部を互いに連結し、かつ前記第２垂直部を備える平面に対して前記第１連結部と相互対称となる形状に配される第２連結部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項３】
前記接続ユニットは複数が備えられ、前記複数の接続ユニットは、それぞれの第１部材を互いに連結する第１連結部材と、それぞれの第２部材を互いに連結する第２連結部材とにより連結されることを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項４】
前記線形部材は、
一方向に長く形成され、かつ前記それぞれの給電点に連結されて互いに平行に配される１対の第１垂直部と、前記１対の第１垂直部の各端部から前記第１垂直部の長手方向と交差する方向に延設される１対の第１延長部と、前記１対の第１延長部の各端部を互いに連結する第１連結部とを持ち、一方向に互いに離隔して配される複数の第１部材と、
一方向に長く形成され、かつ前記それぞれの第１垂直部と交互に前記それぞれの給電点に連結されて、前記第１垂直部を備える平面上に互に平行に配される１対の第２垂直部と、前記１対の第２垂直部の各端部から、前記第２垂直部を備える平面に対して前記第１延長部に対称する形状に延設される１対の第２延長部と、前記１対の第２延長部の各端部を互いに連結する第２連結部とを持ち、前記第１部材の配置方向と同じ方向に互いに離隔して配される複数の第２部材と、
前記複数の第１部材の上側に配され、両端部が前記第１連結部の中心にそれぞれ連結される第１連結部材と、
前記複数の第２部材の上側に配され、両端部が前記第２連結部の中心にそれぞれ連結される第２連結部材と、
前記第１連結部材と前記第２連結部材との中心を互いに連結し、中心に前記高周波信号の供給地点が位置する給電部材と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項５】
前記線形部材は、上面に長手方向に沿って一定間隔で前記複数の給電点が位置し、前記平面部材の上面に結合される棒状のベース部材をさらに備えることを特徴とする請求項４に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項６】
前記線形部材は、前記平面部材の上面に前記平面部材の中心を過ぎるように結合されることを特徴とする請求項４または５に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項７】
前記線形部材は複数が備えられ、前記平面部材の上面に互に平行に結合されることを特徴とする請求項４または５に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項８】
前記複数の線形部材それぞれには、相異なる周波数を持つ高周波信号が供給されることを特徴とする請求項７に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項９】
前記平面部材は、方形の板状に形成されることを特徴とする請求項４または５に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１０】
前記平面部材は、互いに平行に離隔して配された棒状の複数のフレームで形成されたことを特徴とする請求項４または５に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１１】
前記複数の給電点は、前記フレームと平行した直線上に位置することを特徴とする請求項１０に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１２】
前記複数の給電点は、前記フレームと直交する直線上に位置することを特徴とする請求項１０に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１３】
前記平面部材は、格子状のフレームで形成されたことを特徴とする請求項４または５に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１４】
前記高周波信号の周波数は、４００ｋＨｚ以上３００ＭＨｚ以下の範囲を持つことを特徴とする請求項４または５に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１５】
高周波信号を供給されて下端に位置する基板との間にプラズマを発生させる電極と、
前記電極に供給される高周波信号を発生する電源部と、
前記電源部から供給された高周波信号を前記電極に提供する電源供給ラインと、を備え、
前記電極は、
前記基板を支持するサセプタに対向して配され、前記基板との間にプラズマを発生させる平面部材と、
前記平面部材と電気的に連結される地点である複数の給電点を通じて前記平面部材に高周波信号を提供し、前記高周波信号が供給される供給地点から前記それぞれの給電点に至る経路上で、前記給電点に近いほどアドミタンスを低減させる線形部材と、備え、
前記線形部材は、
直線上で互いに隣接して配される４つの給電点のうち、２つの給電点を互いに連結するが、前記給電点が配された直線を備えて前記平面部材と一定の角度をなす平面から離脱して配される第１部材と、
前記４つの給電点のうち、前記第１部材が連結された給電点を除外した２つの給電点を互いに連結するが、前記給電点が配された直線を備える平面に対して前記第１部材と相互対称となる形状に配される第２部材と、を備える接続ユニットを備えることを特徴とするプラズマ発生装置。
【請求項１６】
前記接続ユニットの第１部材は、直線上で互いに隣接して配される４つの給電点のうち、２つの給電点にそれぞれ連結されて互いに平行に配される１対の第１垂直部と、前記１対の第１垂直部の各端部を互いに連結し、かつ前記第１垂直部を備える平面から離脱して配される第１連結部とを備え、
前記接続ユニットの第２部材は、前記４つの給電点のうち、前記第１垂直部が連結された給電点を除外した２つの給電点にそれぞれ連結されて互いに平行に配される１対の第２垂直部と、前記１対の第２垂直部の各端部を互いに連結し、かつ前記第２垂直部を備える平面に対して前記第１連結部と相互対称となる形状に配される第２連結部とを備えることを特徴とする請求項１５に記載のプラズマ発生装置。
【請求項１７】
前記接続ユニットは複数が備えられ、前記複数の接続ユニットは、それぞれの第１部材を互いに連結する第１連結部材と、それぞれの第２部材を互いに連結する第２連結部材とにより連結されることを特徴とする請求項１５または１６に記載のプラズマ発生装置。
【請求項１８】
前記線形部材は、
一方向に長く形成され、かつ前記それぞれの給電点に連結されて互いに平行に配される１対の第１垂直部と、前記１対の第１垂直部の各端部から前記第１垂直部の長手方向と交差する方向に延設される１対の第１延長部と、前記１対の第１延長部の各端部を互いに連結する第１連結部とを持ち、一方向に互いに離隔して配される複数の第１部材と、
一方向に長く形成され、かつ前記それぞれの第１垂直部と交互に前記それぞれの給電点に連結されて、前記第１垂直部を備える平面上に互に平行に配される１対の第２垂直部と、前記１対の第２垂直部の各端部から、前記第２垂直部を備える平面に対して前記第１延長部に対称する形状に延設される１対の第２延長部と、前記１対の第２延長部の各端部を互いに連結する第２連結部とを持ち、前記第１部材の配置方向と同じ方向に互いに離隔して配される複数の第２部材と、
前記複数の第１部材の上側に配され、かつ両端部が前記第１連結部の中心にそれぞれ連結される第１連結部材と、
前記複数の第２部材の上側に配され、かつ両端部が前記第２連結部の中心にそれぞれ連結される第２連結部材と、
前記第１連結部材と前記第２連結部材との中心を互いに連結し、中心に前記高周波信号の供給地点が位置する給電部材と、を備えることを特徴とする請求項１５に記載のプラズマ発生装置。
【請求項１９】
前記線形部材が複数備えられる場合に、前記電源供給ラインは、前記電源部から前記それぞれの線形部材に至る電気的長さがいずれも同一であるようにツリー構造を持つことを特徴とする請求項１８に記載のプラズマ発生装置。
【請求項２０】
前記電源部は、前記複数の線形部材それぞれに相異なる周波数を持つ高周波信号を供給することを特徴とする請求項１９に記載のプラズマ発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマ発生用電極及びプラズマ発生装置に係り、より詳細には、高周波信号を供給されてサセプタ上に位置する基板の上部にプラズマを発生させるための電極及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体及びディスプレイ製造工程において、プラズマ技術の重要性及びプラズマの利用度が増加しつつある。これは、プラズマが荷電粒子からなるガスであって、電場、磁場などの変数を調節してプラズマ内の電子、イオン及び活性種などを制御できるためである。
【０００３】
現在半導体及びディスプレイ分野では、ＲＦ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）を利用したプラズマ発生方式が最も広く使われ、これには、誘導結合プラズマ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｐｌａｓｍａ：ＩＣＰ）方式及び蓄電結合プラズマ（Ｃａｐａｃｉｔｉｖｅｌｙ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｐｌａｓｍａ：ＣＣＰ）方式がある。
【０００４】
このうち、蓄電結合プラズマは、電力を印加できるように設計された電極があることが構造的特徴であり、名称からも分かるように、電極の表面に分布された電荷のため形成された蓄電電場によってプラズマが発生して保持される。蓄電結合プラズマ方式では、上下部電極間の電場によりプラズマが発生して制御されるが、この電場は、上下部の電極形態、周辺構造物の材料的特性、機械的特性、電気的特性及び幾何学的特性に非常に敏感であって制御し難いため、ハードウェアを構成するに際して相当なノウハウが必要である。
【０００５】
前述したように、半導体、ディスプレイ及び太陽光熱分野で大面積の基板上に必要な材質の膜を形成するためにプラズマが利用される。この時、低コスト、高効率の生産性を達成するために大面積の基板処理を行うが、大面積の基板処理のためには高い蒸着速度の特性を持つ高密度プラズマが発生されねばならない。高密度プラズマを得るためには高いエネルギーが必要であり、供給されたエネルギーとプラズマとの間のエネルギー伝達を高めるために、高い供給周波数が必要である。
【０００６】
従来には、プラズマを利用して基板上に必要な材質の膜を形成するために大面積の平板電極を使用した。図１は、サセプタの上部に載せられた大面積の平板電極を示す図であり、図２Ａないし図２Ｆは、周波数の大きさによる大面積の平板電極での電力損失を示す図である。図２Ａないし図２Ｆを参照するに、高密度プラズマを発生させるために周波数を増加させるが、この時、周波数が増加するにつれて電極で急激な電力損失があることが確認できる。このように大面積の平板電極は、周波数が増加するにつれて電極で大きい電力損失が発生するという問題がある。
【０００７】
前述した大面積の平板電極の問題を乗り越えるために、線形要素からなる線形の電極が開発された。イオン衝突エネルギーを低め、かつ高効率の蒸着のために超短波（Ｖｅｒｙ  Ｈｉｇｈ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：ＶＨＦ）帯域（３０〜３００ＭＨｚ）のプラズマが要求される。図３は、従来の梯形電極を示す図である。図３を参照するに、ＶＨＦ帯域の周波数である６０ＭＨｚ電源が２つのルートに分けられて、電極の一側及び他側の端部に供給される。この時、位相シフターによって位相差のみある同一周波数の電源が供給される。
【０００８】
図４Ａ及び図４Ｂは、電極に同一周波数の電源を供給した場合の電極表面の電位分布を示す図である。図４Ａ及び図４Ｂを参照するに、４０ＭＨｚほどの周波数までは、電源を供給すれば、進行波が発生して均一なプラズマが形成される。しかし、６０ＭＨｚ以上の周波数では、電極表面の電位分布が定常波のパターンを形成し、これに対応するプラズマが形成されるが、この時、定常波の特徴であるノードが形成されて、プラズマの均一度が低下するという問題が発生する。
【０００９】
前述したように、大面積の基板との強い化学的反応を誘発する高密度プラズマを発生させるために、ＶＨＦ帯域の周波数を放電に利用する。発生したプラズマ密度は放電周波数の自乗に比例し、ＶＨＦ帯域で高い共振特性によりプラズマ境界面の厚さが薄くなりつつ、電極とプラズマ間のエネルギーカップリングがさらに向上し、これによってプラズマ密度がさらに高くなる。しかし、プラズマ放電周波数の増加による波長の減少は、ソース内部の電圧と電流の大きさ及び位相変化を引き起こして、電圧と電流との波動特性が強く現れる。これらの波動特性のうち一つである定常波が電極に発振すれば、蒸着面の均一度が大きく低下する。また定常波の特徴であるノード形成によって蒸着面のプラズマ密度が低下するにつれて、中性粒子のイオン化度が落ちて局部的に放電が行われず、これによって蒸着が正常に行われない。したがって、定常波の発生を防止できる電極構造の必要性が提起される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明が解決しようとする技術的課題は、大面積の基板上に高密度プラズマを発生させるために高周波信号を使用する時、反射係数を最小化させて定常波の発生を抑制することによって、均一な密度のプラズマを発生させることができるプラズマ発生用電極及びプラズマ発生装置を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記の技術的課題を達成するための、本発明によるプラズマ発生用電極は、基板を支持するサセプタに対向して配され、前記基板との間にプラズマを発生させる平面部材と、前記平面部材と電気的に連結される地点である複数の給電点を通じて前記平面部材に高周波信号を提供し、前記高周波信号が供給される供給地点から前記それぞれの給電点に至る経路上で、前記給電点に近いほどアドミタンスを低減させる線形部材と、を備え、前記線形部材は、直線上で互いに隣接して配される４つの給電点のうち、２つの給電点を互いに連結するが、前記給電点が配された直線を備えて前記平面部材と一定の角度をなす平面から離脱して配される第１部材と、前記４つの給電点のうち、前記第１部材が連結された給電点を除外した２つの給電点を互いに連結するが、前記給電点が配された直線を備える平面に対して前記第１部材と相互対称となる形状に配される第２部材を備える接続ユニットと、を備える。
【００１２】
前記の技術的課題を達成するためのプラズマ発生装置は、高周波信号を供給されて下端に位置する基板との間にプラズマを発生させる電極と、前記電極に供給される高周波信号を発生する電源部と、前記電源部から供給された高周波信号を前記電極に提供する電源供給ラインと、を備え、前記電極は、前記基板を支持するサセプタに対向して配され、前記基板との間にプラズマを発生させる平面部材と、前記平面部材と電気的に連結される地点である複数の給電点を通じて前記平面部材に高周波信号を提供し、前記高周波信号が供給される供給地点から前記それぞれの給電点に至る経路上で、前記給電点に近いほどアドミタンスを低減させる線形部材と、備え、前記線形部材は、直線上で互いに隣接して配される４つの給電点のうち、２つの給電点を互いに連結するが、前記給電点が配された直線を備えて前記平面部材と一定の角度をなす平面から離脱して配される第１部材と、前記４つの給電点のうち、前記第１部材が連結された給電点を除外した２つの給電点を互いに連結するが、前記給電点が配された直線を備える平面に対して前記第１部材と相互対称となる形状に配される第２部材と、を備える接続ユニットを備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によるプラズマ発生用電極及びプラズマ発生装置によれば、高周波信号が印加される地点から給電点に至るまでの電気的長さがいずれも同一であり、給電点に近いほどアドミタンスが減少する構造を持つ線形部材を備えることによって、電極の反射係数を最小化させて反射波の発生を抑制し、さらに、定常波のノード発生を防止して高周波信号により均一な密度のプラズマを発生させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】サセプタの上部に載せられた大面積の平板電極を示す図である。
【図２Ａ】周波数の大きさによる大面積の平板電極での電力損失を示す図である。
【図２Ｂ】周波数の大きさによる大面積の平板電極での電力損失を示す図である。
【図２Ｃ】周波数の大きさによる大面積の平板電極での電力損失を示す図である。
【図２Ｄ】周波数の大きさによる大面積の平板電極での電力損失を示す図である。
【図２Ｅ】周波数の大きさによる大面積の平板電極での電力損失を示す図である。
【図２Ｆ】周波数の大きさによる大面積の平板電極での電力損失を示す図である。
【図３】従来の梯形電極を示す図である。
【図４Ａ】電極に同一周波数の電源を供給した場合の電極表面の電位分布を示す図である。
【図４Ｂ】電極に同一周波数の電源を供給した場合の電極表面の電位分布を示す図である。
【図５Ａ】本発明によるプラズマ発生用電極の構成を示す図である。
【図５Ｂ】本発明によるプラズマ発生用電極の構成を示す図である。
【図５Ｃ】本発明によるプラズマ発生用電極の構成を示す図である。
【図５Ｄ】本発明によるプラズマ発生用電極の構成を示す図である。
【図６Ａ】線形部材が平面部材に結合される形態に関する実施形態を示す図である。
【図６Ｂ】線形部材が平面部材に結合される形態に関する実施形態を示す図である。
【図６Ｃ】線形部材が平面部材に結合される形態に関する実施形態を示す図である。
【図７Ａ】接続ユニットの形状を具現した例を示す図である。
【図７Ｂ】接続ユニットの形状を具現した例を示す図である。
【図７Ｃ】接続ユニットの形状を具現した例を示す図である。
【図７Ｄ】接続ユニットの形状を具現した例を示す図である。
【図８Ａ】線形部材の斜視図である。
【図８Ｂ】図８Ａに示した線形部材をＡ方向から見た平面図である。
【図８Ｃ】図８Ａに示した線形部材をＢ方向から見た正面図である。
【図８Ｄ】図８Ａに示した線形部材をＣ方向から見た側面図である。
【図９】給電点の数が４個である場合の線形部材の構成を示す図である。
【図１０Ａ】入力された信号の周波数による電極の状態を、回路素子を利用して示した図である。
【図１０Ｂ】入力された信号の周波数による電極の状態を、回路素子を利用して示した図である。
【図１１】分布整数回路を伝送理論により解析するために伝送線路の単位長を示す回路図である。
【図１２】高周波電源、インピーダンス整合器及び本発明によるプラズマ発生用電極をインピーダンスで示した回路図である。
【図１３】ツリー構造で上位レベルから下位レベルに至るまで、それぞれのレベルで測定されたアドミタンス値を示したグラフである。
【図１４Ａ】電極の形態が相異なる場合に、電極下部に位置する基板上での電位分布を示す図である。
【図１４Ｂ】電極の形態が相異なる場合に、電極下部に位置する基板上での電位分布を示す図である。
【図１４Ｃ】電極の形態が相異なる場合に、電極下部に位置する基板上での電位分布を示す図である。
【図１５Ａ】図１４Ａに示した電極で、それぞれの給電点及び高周波信号が入力される地点から給電点までの経路上で、アドミタンス値の測定地点を表示した図である。
【図１５Ｂ】図１４Ａに示した電極で、それぞれの測定地点で測定されたアドミタンス値を示したグラフである。
【図１６Ａ】図１４Ｂに示した電極で、それぞれの給電点及び高周波信号が入力される地点から給電点までの経路上で、アドミタンス値の測定地点を表示した図である。
【図１６Ｂ】図１４Ｂに示した電極で、それぞれの測定地点で測定されたアドミタンス値を示したグラフである。
【図１７Ａ】図１４Ｃに示した電極で、それぞれの給電点及び高周波信号が入力される地点から給電点までの経路上で、アドミタンス値の測定地点を表示した図である。
【図１７Ｂ】図１４Ｃに示した電極で、それぞれの測定地点で測定されたアドミタンス値を示したグラフである。
【図１８Ａ】本発明によるプラズマ発生装置の構成を示す図である。
【図１８Ｂ】本発明によるプラズマ発生装置の構成を示す図である。
【図１９Ａ】複数の線形部材が側方向に配された場合にフィードスルーの構成を示す図である。
【図１９Ｂ】複数の線形部材が側方向に配された場合にフィードスルーの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付した図面を参照して本発明によるプラズマ発生用電極及びプラズマ発生装置の望ましい実施形態について詳細に説明する。
【００１６】
図５Ａないし図５Ｄは、本発明によるプラズマ発生用電極の構成を示す図である。図５Ａないし図５Ｄを参照するに、本発明によるプラズマ発生用電極１００は、平面部材１１０及び線形部材１２０を備える。
【００１７】
平面部材１１０は、基板を支持するサセプタに対向して配され、基板との間にプラズマを発生させる。平面部材１１０は、図５Ａ及び図５Ｂに示したように互いに平行に離隔して配された棒状の複数のフレームで形成されてもよく、図５Ｃに示したように、格子状のフレームで形成されてもよい。また図５Ｄに示したように、平面部材１１０が方形の板状に形成されてもよい。
【００１８】
平面部材１１０には、線形部材１２０が図５Ａないし図５Ｄに示したような形態で結合される。線形部材１２０は２つが備えられて、図５Ａに示したように、平面部材１１０のフレームと直交するように結合されてもよく、図５Ｂに示したように、平面部材１１０のフレームと平行に結合されてもよい。また図５Ｃ及び図５Ｄに示したように、平面部材１１０の上面に垂直して平面部材１１０に対向するように結合されてもよく、その外に他の形態で平面部材１１０に結合されてもよい。
【００１９】
図６Ａないし図６Ｃは、線形部材１２０が平面部材１１０に結合される形態に関する実施形態を示す図である。図６Ａないし図６Ｃを参照するに、図６Ａに示したように、２つの線形部材１２０が平面部材１１０と同一平面上に位置するように、平面部材１１０の対向する辺にそれぞれ結合されてもよく、図６Ｂに示したように、一つの線形部材１２０が平面部材１１０の上面に平面部材１１０の中心を過ぎるように結合されてもよい。また図６Ｃに示したように、２つの線形部材１２０が平面部材１１０の上面に互に平行に結合されてもよい。平面部材１１０と線形部材１２０とは、図に示されたこと以外にも、その他の多様な形態で互いに結合されることができる。
【００２０】
線形部材１２０が複数である場合に、それぞれの線形部材１２０には同一周波数の高周波信号が入力されてもよく、互いに異なる周波数を持つ高周波信号が入力されてもよい。この時に入力される高周波信号の周波数は、４００ｋＨｚ〜３００ＭＨｚの範囲を持つ。
【００２１】
線形部材１２０は、平面部材１１０と電気的に連結される地点である複数の給電点を通じて平面部材１１０に高周波信号を提供し、高周波信号が供給される供給地点からそれぞれの給電点に至る経路上で、給電点に近いほどアドミタンスを低減させる。このために、線形部材１２０には接続ユニットが備えられる。
【００２２】
図７Ａないし図７Ｄは、接続ユニットの形状を具現した例を示す図である。但し、接続ユニットは、図７Ａないし図７Ｄに示した構成以外に多様な形状に変形可能な構成を持つ。
【００２３】
図７Ａないし図７Ｄを参照するに、接続ユニットは線形部材１２０の単位構成要素であって、直線上で互いに隣接して配される４つの給電点のうち、２つの給電点を互いに連結するが、給電点が配された直線を備え、かつ平面部材１１０と一定の角度をなす平面から離脱して配される第１部材１２２と、４つの給電点のうち、第１部材が連結された給電点を除外した２つの給電点を互いに連結するが、給電点が配された直線を備える平面に対して第１部材と相互対称となる形状に配される第２部材１２３とを備える。
【００２４】
図７Ａ及び図７Ｂを参照するに、接続ユニットは４つの給電点に連結され、第１部材１２２と第２部材１２３とが、給電点が配された直線を備える平面を基準に互いに対称となるように備えられている。この時、接続ユニットは、図７Ａに示したように、第１部材１２２が最初の給電点と２番目の給電点とを互いに連結し、第２部材１２３が３番目の給電点と４番目の給電点とを互いに連結する形態で具現されてもよく、図７Ｂに示したように、第１部材１２２が最初の給電点と３番目の給電点とを互いに連結し、第２部材１２３が２番目の給電点と４番目の給電点とを互いに連結する形態で具現されてもよい。
【００２５】
一方、図７Ｃ及び図７Ｄを参照するに、接続ユニットに備えられた第１部材１２２は、４つの給電点のうち、２つの給電点にそれぞれ連結されて互いに平行に配される１対の第１垂直部１２２Ａと、１対の第１垂直部１２２Ａの端部を互いに連結し、かつ第１垂直部１２２Ａを備える平面から離脱して配される第１連結部１２２Ｃとを備えるように形成され、第２部材１２３は、４つの給電点のうち、第１垂直部１２２Ａが連結された給電点を除外した２つの給電点にそれぞれ連結されて互いに平行に配される１対の第２垂直部１２３Ａと、１対の第２垂直部１２３Ａの端部を互いに連結し、かつ第２垂直部１２３Ａを備える平面に対して第１連結部１２２Ｃと相互対称となる形状に配される第２連結部１２３Ｃとを備えるように形成される。接続ユニットが図７Ｃ及び図７Ｄに示したような構成を持つ場合には、第１垂直部１２２Ａと第２垂直部１２３Ａとは同一平面上に配され、第１連結部１２２Ｃと第２連結部１２３Ｃとは、該当平面を基準に互いに対称となるように配される。
【００２６】
線形部材１２０は、前述したような構成を持つ１つないし複数の接続ユニットを備える構成を持つ。図８Ａは、線形部材１２０の斜視図、図８Ｂは、図８Ａに示した線形部材１２０をＡ方向から見た平面図、図８Ｃは、図８Ａに示した線形部材１２０をＢ方向から見た正面図、そして図８Ｄは、図８Ａに示した線形部材１２０をＣ方向から見た側面図である。以下、図８Ａないし図８Ｄを参照して線形部材１２０の構成に関して具体的に説明する。
【００２７】
図８Ａないし図８Ｄを参照するに、線形部材１２０は、接続ユニットを２つ備える３次元構造を持ち、平面部材１１０上に位置する複数の給電点に直接結合されるか、上面に複数の給電点が位置するベース部材１２１により平面部材１１０に結合されることができる。この時、給電点の数は、図８Ａないし図８Ｄに示したように、８個であってもよく、その倍数である８ｎ個であってもよい。
【００２８】
ベース部材１２１または平面部材１１０上に位置する各給電点には、複数の第１部材１２２及び第２部材１２３が結合される。すなわち、図８Ａないし図８Ｄに示したように、給電点が８個である場合には、４個の給電点に２つの第１部材１２２が結合される。
【００２９】
それぞれの第１部材１２２は、一方向に長く形成され、それぞれの給電点に連結されて互いに平行に配される１対の第１垂直部１２２Ａと、１対の第１垂直部１２２Ａの各端部から第１垂直部１２２Ａの長手方向と交差する方向に延設される１対の第１延長部１２２Ｂと、１対の第１延長部１２２Ｂの各端部を互いに連結する第１連結部１２２Ｃとを持つ。この時、第１延長部１２２Ｂは、第１垂直部１２２Ａの長手方向と直交する方向に延設される。
【００３０】
それぞれの第２部材１２３は、一方向に長く形成され、それぞれの第１垂直部１２２Ａと交互にそれぞれの給電点に連結されて互いに平行に配される１対の第２垂直部１２３Ａと、１対の第２垂直部１２３Ａの各端部から第２垂直部１２３Ａを備える平面を基準に、第１延長部１２２Ｂの長手方向と他方向とに延設される１対の第２延長部１２３Ｂと、１対の第２延長部１２３Ｂの各端部を互いに連結する第２連結部１２３Ｃとを持つ。８個の給電点が一直線上に位置すれば、第１垂直部１２２Ａと第２垂直部１２３Ｂとは同一平面上に互いに交互に配される。また第１部材１２２と第２部材１２３との垂直部１２２Ａ、１２３Ａ、延長部１２２Ｂ、１２３Ｂ及び連結部１２２Ｃ、１２３Ｃは、それぞれその長さが互いに同一である。
【００３１】
一方、第１部材１２２及び第２部材１２３は、給電点聞き位置する直線を回転軸として回転可能な構造を持つことができる。すなわち、第１部材１２２の垂直部１２２Ａと第２部材１２３の垂直部１２３Ｂとは、平面部材１１０の上面に対して直交してもよく、一定角度ほど傾いた構造を持ってもよい。但し、第１部材１２２及び第２部材１２３の上側に他の構成要素が結合されるので、あらゆる第１部材１２２と第２部材１２３とは、平面部材１１０の上面に対して同じ角度を持つようにベース部材１２１または平面部材１１０に結合される。
【００３２】
図８Ａないし図８Ｄに示したように、線形部材１２０に複数の接続ユニットが備えられる場合には、それぞれの接続ユニットを連結する手段が必要である。この時、第１連結部材１２４は複数の第１部材１２２を互いに連結し、第２連結部材１２５は複数の第２部材１２３を互いに連結するために備えられる。
【００３３】
具体的に、第１連結部材１２４は、一方向に互いに離隔して配される複数の第１部材１２２の上側に配され、両端部が第１連結部１２２Ｃの中心にそれぞれ連結される。また第２連結部材１２５は、第１部材１２２の配置方向と同じ方向に互いに離隔して配される複数の第２部材１２３の上側に配され、両端部が第２連結部１２３Ｃの中心にそれぞれ連結される。また第１連結部材１２４と第２連結部材１２５との高さは互いに同一である。第１部材１２２及び第２部材１２３に次いで第１連結部材１２４及び第２連結部材１２５まで連結されることによって、線形部材１２０は２層で積み上げられた形態を持つようになる。
【００３４】
最後に給電部材１２６は、第１連結部材１２４と第２連結部材１２５との中心を互いに連結し、その中心に高周波信号の供給地点が位置する。給電部材１２６は、図８Ａに示したように、両端部が互いに逆方向に折り曲げられて、それぞれ第１連結部材１２４と第２連結部材１２５との中心に結合された形態を持つこともでき、第１連結部材１２４と第２連結部材１２５との中心を直接連結する直線の形態を持つこともできる。
【００３５】
また給電部材１２６の中心には高周波信号が供給され、給電部材１２６に供給された高周波信号は、連結部材１２４、１２５を経て第１部材１２２及び第２部材１２３をそれぞれ通過して、ベース部材１２１または平面部材１１０の上面に位置する給電点まで伝えられる。以後、平面部材１１０に提供された高周波信号は、電極１００の下端に位置する基板との間にプラズマを発生させる。本発明によるプラズマ発生用電極１００が、図８Ａないし図８Ｄに示したように正面及び側面から見た時、対称である３次元構造を持つため、高周波信号が供給される給電部材１２６の中心からそれぞれの給電点までの電気的長さはいずれも同一になる。
【００３６】
給電点の数がさらに他の８の倍数、すなわち８、１６、…などである場合には、図８Ａないし図８Ｄに示したような形態を持つ複数の線形部材１２０を側方向に平行に連結して電極１００を具現できる。
【００３７】
一方、給電点の数が４つである場合、すなわち、線形部材１２０に接続ユニットが１つ備えられる場合にも、対称的な構造を持つ線形部材１２０を具現できる。図９は、給電点の数が４個である場合に具現される線形部材１２０の構成を示す図である。図９を参照するに、給電点が４つであるため、それぞれ１つずつの第１部材１２２及び第２部材１２３が、それぞれの垂直部１２２Ａ、１２３Ａが互いに交互に配されるように給電点に結合される。第１部材１２２と第２部材１２３とがそれぞれ１つずつ備えられるため、給電点が８つであるの場合と異なって第１連結部材１２４と第２連結部材１２５とが備えられる必要性がなくなる。したがって、給電部材１２６は、第１部材１２２の第１連結部１２２Ｃと第２部材１２３の第２連結部１２３Ｃとの中心を互いに連結し、給電部材１２６の中心に高周波信号が入力される。本発明によるプラズマ発生用電極１００の線形部材１２０が、図９に示したことと同じ構成を持つ場合にも、高周波信号が入力される給電部材１２６の中心から各給電点までの電気的長さがいずれも同一であるので、高周波信号が同一に分配される。
【００３８】
本発明によるプラズマ発生用電極１００が、図８Ａないし図８Ｄまたは図９に示したような３次元対称構造の線形部材１２０を備えることによって、平面部材１１０で定常波の発生が抑制されて基板上に密度の均一なプラズマを発生させることができる。以下では、本発明によるプラズマ発生用電極１００により定常波の発生が抑制される原理について詳細に説明する。
【００３９】
前述したように、基板上にプラズマを発生させるためには、高周波電源から供給される電力を利用する。この時、インピーダンス整合器により高周波信号を供給される電極と、電極により発生したプラズマのインピーダンスとが回路の特性インピーダンスである５０Ωに整合されるならば、高周波電源とインピーダンス整合器との間の反射電力が発生せず、高周波電源部が供給する電力が電極を通じてプラズマまで伝えられる。
【００４０】
図１０Ａ及び図１０Ｂは、入力された信号の周波数による電極の状態を、回路素子を利用して示した図である。
【００４１】
図１０Ａを参照するに、電極の大きさが入力された周波数の波長より小さな場合、すなわち、低周波数帯域の信号が入力される場合には、電極をインダクター、キャパシタ及び抵抗がいずれも１ケ所に集中している集中整数回路と解釈できる。この時、前述したように電極がインダクターである場合には、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）、電極がキャパシタである場合には、蓄電結合プラズマ（ＣＣＰ）という。
【００４２】
高密度プラズマを発生させるために高周波信号が入力される場合には、電極の大きさが入力周波数の波長と類似になる。したがって、図１０Ｂを参照するに、電極がインダクターである誘導結合プラズマの場合にも、その内部にキャパシタ成分を持つようになって集中整数回路と解釈できず、分布整数回路と解釈せねばならない。すなわち、電極内部で電圧及び電流の大きさと位相が空間的に変わるため、電極内部のエネルギーフローは、電磁波の伝送理論により解釈されねばならない。伝送理論で電極は伝送線路として取り扱われ、伝送線路に沿って進む電圧及び電流の進行方向が相異なる場合に進行波と反射波とが発生するようになって定常波が現れ、これによって、エネルギーが伝えられないノードが発生する。このように電極内部で発生する定常波のノードがプラズマの密度を不均一にする。
【００４３】
図１１は、分布整数回路を伝送理論により解釈するために伝送線路の単位長を示す回路図である。図１１の回路図に電圧、電流法則を適用すれば、長さがＬである伝送線路で、電圧及び電流の式は次の式（１）のように表現される。
【００４４】
【数１】
2012033323.tif 000003
ここで、
【００４５】
【数２】
2012033323.tif 000004
は、進行波の電圧及び電流、
【００４６】
【数３】
2012033323.tif 000005
は、反射波の電圧及び電流、そしてβは、電波定数であって、β＝ω／ｃである。
【００４７】
前記式（１）を利用すれば、入力インピーダンスを次の式（２）のように反射係数と伝送線路の長さとにより表現できる。
【００４８】
【数４】
2012033323.tif 000006
ここで、Ｚｉｎは、入力インピーダンス、Ｚ０は、伝送線路の特性インピーダンス、そしてΓは、反射係数である。
【００４９】
反射係数は伝送線路、すなわち、電極の構造的な形態によって変わる値であって、入力インピーダンスと特性インピーダンスとが同一になって反射波を発生させないためには、電極が反射係数を０にすることができる構造を持たねばならない。
【００５０】
図１２は、高周波電源、インピーダンス整合器及び本発明によるプラズマ発生用電極１００をインピーダンスで示した回路図である。図１２を参照するに、ＲＦ電源（Ｖｒｆ）が供給する電力が電極１００の平面部材１１０（ＺＬ）まで伝えられ、電極１００の線形部材１２０が伝送線路の役割を行う。この時、インピーダンス整合器（Ｚ１）は、ＲＦ電源と線形部材１２０の入力インピーダンス（Ｚｉｎ）とを５０Ωに整合する。しかし、整合されて進む高周波信号で進行波と反射波とが発生して、インピーダンス整合器側で測定された入力インピーダンスと線形部材１２０での実際インピーダンスとが変わり、これを実効インピーダンス（ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ  Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ：Ｚｅ）という。低周波信号が供給される場合にはＺｉｎとＺｅとが同一であるが、高周波信号が供給される場合には、線形部材１２０の特性インピーダンスが新たに生成されるので、ＺｉｎとＺｅとが変わる。このように生成された特性インピーダンスを実効インピーダンスと同一にすれば、前記の式（２）で検討したように線形部材１２０の反射係数が０になって、最終端である平面部材１１０から反射波が消え、かつ定常波が現れなくなる。また平面部材１１０のインピーダンス（ＺＬ）も特性インピーダンス（Ｚ０）と同一になる。これらの現象によって最終的にプラズマ密度の均一性を向上させることができる。
【００５１】
本発明によるプラズマ発生用電極１００は、図８Ａないし図８Ｄまたは図９に示したような３次元対称構造を持つことによって、反射係数を最小化して特性インピーダンスと実効インピーダンスとを同一にすることができる。線形部材１２０は、給電部材１２８に供給された高周波信号がそれぞれの分岐点で同一に分岐されて、あらゆる給電点に同一に伝えられるツリー形態の構造を持つ。これらのツリー構造は、レベルが低くなるにつれて反射係数が減少する特性を示す。
【００５２】
図１３は、ツリー構造で上位レベルから下位レベルに至るまでそれぞれのレベルで測定されたアドミタンス値を示したグラフである。図１３を参照するに、上位レベルでは反射係数が大きいため、特性アドミタンス（Ｙ０）と実効アドミタンス（Ｙｅ）との値の差が大きい。しかし、下位レベルへ行くほど特性アドミタンスと実効アドミタンスとの値が一致し、これは反射係数が段々と減少して０になるためである。したがって、図１３のグラフから分かるように、本発明によるプラズマ発生用電極１００の線形部材１２０は、反射係数を最小化させる構造を持って反射波の発生を抑制できる。
【００５３】
図１４Ａないし図１４Ｃは、電極の形態が相異なる場合に電極の下部に位置する基板上での電位分布を示す図である。
【００５４】
図１４Ａに示した電極の形態は、電極で発生する定常波を除去するために従来に使われた形態であって、高周波信号が入力される地点から各給電点までの距離がそれぞれ異なる。図１４Ａを参照するに、電極で定常波が発生して電位分布から定常波のノードが目立つように示されることが確認できる。
【００５５】
図１４Ｂに示した電極の形態は、高周波信号が入力される地点から各給電点までの距離がいずれも同じツリー構造であるが、本発明による電極１００の線形部材１２０の形態とは異なって２次元のツリー構造を持つ。図１４Ｂを参照するに、図１４Ａに示した電位分布と同様に定常波のノードが目立つように示されるものではないが、電位分布が不均一であってプラズマ密度の均一性を保証し難いということが確認できる。
【００５６】
図１４Ｃに示した電極は、本発明によるプラズマ発生用電極１００である。図１４Ｃを参照するに、電位分布が均一に示され、定常波のノードが消えたことが確認できる。図１４Ａないし図１４Ｃから、本発明による電極１００の線形部材１２０が３次元対称のツリー構造を持つことによって、反射係数が０に近くなって最終的に定常波の発生を抑制するということが分かる。
【００５７】
図１４Ａないし図１４Ｃに示したそれぞれの電極構造で、高周波信号が印加される地点からそれぞれの給電点に至るまでの経路に沿ってアドミタンスの変化を測定する実験を行った。
【００５８】
図１５Ａは、図１４Ａに示した電極で、それぞれの給電点及び高周波信号が入力される地点から給電点までの経路上でアドミタンス値の測定地点を表示した図であり、図１５Ｂは、それぞれの測定地点で測定されたアドミタンス値を示したグラフである。図１５Ａを参照するに、ＡないしＨで表示されたそれぞれの給電点までは、１ないし３で表示された地点を経て高周波信号が伝えられる。図１５Ｂを参照するに、１ないし３の測定地点でそれぞれアドミタンス値を測定した結果、給電点に至るまでアドミタンス値の変化がほとんどないことが分かるが、これは、反射係数の大きさに変化がなくて電極の内部で反射波が発生するということを意味する。それによって発生した定常波のノードは、図１４Ａで確認することができる。
【００５９】
図１６Ａは、図１４Ｂに示した電極で、それぞれの給電点及び高周波信号が入力される地点から給電点までの経路上でアドミタンス値の測定地点を表示した図であり、図１６Ｂは、それぞれの測定地点で測定されたアドミタンス値を示したグラフである。図１６Ａを参照するに、高周波信号が入力される地点からＡないしＨで表示されたそれぞれの給電点までの経路上で、選択された８個の測定地点でアドミタンス値を測定した。図１６Ｂを参照するに、図１５Ｂのグラフに比べてはアドミタンス値で若干の変化があるが、依然として変化の幅が小さく示される。したがって、２次元ツリー構造の場合にも、依然として電極で定常波のノードが示されるということが分かり、これは、図１４Ｂに示した電位分布で確認することができる。
【００６０】
図１７Ａは、図１４Ｃに示した電極で、それぞれの給電点及び高周波信号が入力される地点から給電点までの経路上でアドミタンス値の測定地点を表示した図であり、図１７Ｂは、それぞれの測定地点で測定されたアドミタンス値を示したグラフである。図１７Ａを参照するに、高周波信号が入力される地点からＡないしＨで表示されたそれぞれの給電点までの経路上で、選択された１０個の測定地点でアドミタンス値を測定した。図１７Ｂを参照するに、インピーダンス整合器から見た入力アドミタンス値（１番地点）と平面部材１１０のアドミタンス（１０番地点）とを比較した時、平面部材１１０のアドミタンス値が減少したことが確認できる。これは、反射係数の値が減少したということを意味し、それにより定常波の発生が抑制されて、図１４Ｃのように電位分布に定常波のノードが示されない。
【００６１】
図１８Ａ及び図１８Ｂは、本発明によるプラズマ発生装置の構成を示す図である。図１８Ａ及び図１８Ｂを参照するに、本発明によるプラズマ発生装置は電源部２１０、フィードスルー２２０及び電極１００を備え、電極１００は、高周波信号を供給されて下端に位置する基板との間にプラズマを発生させ、本発明によるプラズマ発生用電極１００と同一である。
【００６２】
電源部２１０は、電極１００に供給される高周波信号を発生させ、フィードスルー２２０は、電源部２１０から供給された高周波信号を電極１００に提供する。
【００６３】
電極１００は、基板を支持するサセプタに対向して配され、基板との間にプラズマを発生させる平面部材１１０及び、平面部材１１０と電気的に連結される地点である複数の給電点を通じて平面部材１１０に電源部２１０が供給する高周波信号を提供し、高周波信号が供給される供給地点からそれぞれの給電点に至る経路上で、給電点に近いほどアドミタンスを低減させる線形部材１２０を備える。電極１００の構造及びアドミタンスを低減させて定常波の発生を抑制する原理は前述した通りであるので、詳細な説明を省略する。
【００６４】
電極１００の線形部材１２０は、前述したように、平面部材１１０上に１個が配されてもよく、複数が配されてもよい。
【００６５】
線形部材１２０が複数備えられる場合に、フィードスルー２２０は、電源部２１０からそれぞれの線形部材１２０に至る電気的長さがいずれも同一であるようにツリー構造を持つ。線形部材１２０は、高周波信号の供給地点からそれぞれの給電点までの電気的長さがいずれも同一になる構造を持つので、結果的に電源部２１０からそれぞれの給電点までの電気的長さがいずれも同一であって、高周波信号が均一に分配される。
【００６６】
また線形部材１２０が複数備えられる時、それぞれの線形部材１２０には図１８Ａに示したように同じ周波数を持つ高周波信号が供給されることもあり、図１８Ｂに示したように、互いに異なる周波数を持つ高周波信号が供給されることもある。
【００６７】
図１８Ａ及び図１８Ｂに示したプラズマ発生装置で、それぞれの線形部材１２０は対向する形態で平行に配される。しかし、給電点が一直線上にさらに多く位置するようになって、一つの線形部材１２０によりあらゆる給電点に連結できない場合には、複数の線形部材１２０を側方向に配する。このような場合にも、フィードスルー２２０は、それぞれの線形部材１２０に高周波信号が同一に供給されるようにツリー構造を保持する。
【００６８】
図１９Ａ及び図１９Ｂは、複数の線形部材１２０が側方向に配された場合にフィードスルー２２０の構成を示す図である。
【００６９】
図１９Ａを参照するに、線形部材１２０が、図８Ａないし図８Ｄに示したような構成を持つ時、給電点が１６個が位置する場合には、２つの線形部材１２０が並行に配されねばならない。したがって、それぞれの線形部材１２０の給電部材１２６に高周波信号が均一に分配されるように、フィードスルー２２０が図１９Ａに示したようなツリー構造を持つようになる。
【００７０】
再び図１９Ｂを参照するに、給電点が３２個が位置する場合には、図８Ａないし図８Ｄに示したような線形部材１２０はいずれも４個が備えられねばならない。したがって、図１９Ｂに示したように４つの線形部材１２０が側方向に平行に配され、高周波信号がそれぞれの線形部材１２０に同一に供給されるように、ツリー構造を持つフィードスルー２２０が備えられる。
【００７１】
以上で本発明の望ましい実施形態について図示して説明したが、本発明は前述した特定の望ましい実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱せずに、当業者ならば誰でも多様な変形実施が可能であるということはいうまでもなく、それらの変更は特許請求の範囲に記載された範囲内にある。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は、半導体及びディスプレイ関連の技術分野に好適に用いられる。
【符号の説明】
【００７３】
１００  プラズマ発生用電極
１１０  平面部材
１２０  線形部材
【図１】
2012033323.tif 000007
【図２Ａ】
2012033323.tif 000008
【図２Ｂ】
2012033323.tif 000009
【図２Ｃ】
2012033323.tif 000010
【図２Ｄ】
2012033323.tif 000011
【図２Ｅ】
2012033323.tif 000012
【図２Ｆ】
2012033323.tif 000013
【図３】
2012033323.tif 000014
【図４Ａ】
2012033323.tif 000015
【図４Ｂ】
2012033323.tif 000016
【図５Ａ】
2012033323.tif 000017
【図５Ｂ】
2012033323.tif 000018
【図５Ｃ】
2012033323.tif 000019
【図５Ｄ】
2012033323.tif 000020
【図６Ａ】
2012033323.tif 000021
【図６Ｂ】
2012033323.tif 000022
【図６Ｃ】
2012033323.tif 000023
【図７Ａ】
2012033323.tif 000024
【図７Ｂ】
2012033323.tif 000025
【図７Ｃ】
2012033323.tif 000026
【図７Ｄ】
2012033323.tif 000027
【図８Ａ】
2012033323.tif 000028
【図８Ｂ】
2012033323.tif 000029
【図８Ｃ】
2012033323.tif 000030
【図８Ｄ】
2012033323.tif 000031
【図９】
2012033323.tif 000032
【図１０Ａ】
2012033323.tif 000033
【図１０Ｂ】
2012033323.tif 000034
【図１１】
2012033323.tif 000035
【図１２】
2012033323.tif 000036
【図１３】
2012033323.tif 000037
【図１４Ａ】
2012033323.tif 000038
【図１４Ｂ】
2012033323.tif 000039
【図１４Ｃ】
2012033323.tif 000040
【図１５Ａ】
2012033323.tif 000041
【図１５Ｂ】
2012033323.tif 000042
【図１６Ａ】
2012033323.tif 000043
【図１６Ｂ】
2012033323.tif 000044
【図１７Ａ】
2012033323.tif 000045
【図１７Ｂ】
2012033323.tif 000046
【図１８Ａ】
2012033323.tif 000047
【図１８Ｂ】
2012033323.tif 000048
【図１９Ａ】
2012033323.tif 000049
【図１９Ｂ】
2012033323.tif 000050