(57)【要約】【課題】平坦な補強板を安価に製造することができ、液体噴射特性のばらつきを抑制して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】金属板１６０をプレス加工することにより、補強板６０を形成する工程と、補強板６０を形成した後、当該補強板６０をプレス加工することにより、補強板６０の両面にノズル開口の並設方向とは交差する方向に亘って連続する溝部８０を設ける工程と、を具備する。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口が一方面側に複数並設されていると共に、該ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路ユニットと、
該流路ユニットの前記ノズル開口が開口する面とは反対面側に固定されたケースと、
前記流路ユニットの前記ケースが固定された面側に設けられて、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーターと、を具備し、
前記ケースが、樹脂成形材料で形成されていると共に、当該ケースには、板状部材からなる補強板が前記ノズル開口の並設方向に埋設された液体噴射ヘッドの製造方法であって、
金属板をプレス加工することにより、前記補強板を形成する工程と、
前記補強板を形成した後、当該補強板をプレス加工することにより、前記補強板の両面に前記ノズル開口の並設方向とは交差する方向に向かって連続する溝部を設ける工程と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記溝部を設ける工程の後、前記補強板をレベラー加工する工程をさらに有することを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記レベラー加工する工程では、当該補強板の初期状態の反りを反対に反らせるレベラー加工を行う第１工程と、反対に反った前記補強板を平坦にするレベラー加工を行う第２工程と、を有することを特徴とする請求項２記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記補強板を形成する工程では、プレス加工によって前記補強板に厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を設ける工程と、プレス加工によって前記補強板の外形を切断する工程と、を具備することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記貫通孔を形成する工程では、前記補強板の前記流路ユニット側の側面に、前記ノズル開口の並設方向に沿って複数設けられて、厚さ方向に貫通すると共に前記側面に開口する切り欠き部を同時に設けることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
液体を噴射するノズル開口が一方面側に複数並設されていると共に、該ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路ユニットと、
該流路ユニットの前記ノズル開口が開口する面とは反対面側に固定されたケースと、
前記流路ユニットの前記ケースが固定された面側に設けられて、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーターと、を具備し、
前記ケースが、樹脂成形材料で形成されていると共に、当該ケースには、板状部材からなる補強板が前記ノズル開口の並設方向に埋設され、
前記補強板の両面には、当該補強板の流路ユニット側から前記流路ユニットとは反対側に向かう方向に向けて設けられた溝部が、前記ノズル開口の並設方向に複数配設されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項６記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電アクチュエーターの変位による圧力を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェット式記録ヘッドはノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電アクチュエーターにより変形させて圧力発生室に供給されたインクに圧力を付与することで、ノズル開口からインク滴を吐出させている。
【０００３】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧電アクチュエーターの一端部を振動板に固定すると共に他端部を固定板に固定し、固定板をケースに固定することで圧電アクチュエーターを保持し、圧電アクチュエーターを軸方向に伸長・収縮させることで振動板を変形させて、圧力発生室に圧力変化を生じさせてインク滴を吐出させるものが提案されている。
【０００４】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、ケースは樹脂材料を成形することで形成されているため、剛性が低く、圧電アクチュエーターを駆動した際の反発力を抑えることができないという問題がある。特に、圧電アクチュエーターがケースを貫通する収容部に固定されている場合、ケースはノズル開口の並設方向の両端部では、収容部の壁面によって剛性が高く、並設方向の中央部では、剛性が低くなるため、圧電アクチュエーターの駆動による反発力を均一に抑えることができず、均一なインク吐出特性で駆動することができない。
【０００５】
このため、樹脂材料からなるケースに圧電アクチュエーターの並設方向に亘って金属製の補強板を埋設することで、補強板によってケースを補強したインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２９３８６２号公報
【特許文献２】特開２００１−７１４８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような補強板は、例えば、金属板をプレス加工することにより製造することで、安価に大量生産することができるものの、プレス加工等による製造では、補強板に反りが発生してしまう。
【０００８】
そして、補強板に反り、特に圧電アクチュエーターの並設方向の反りが発生すると、圧電アクチュエーターの並設方向において、各圧電アクチュエーターと補強板との位置にばらつきが生じ、圧電アクチュエーターの駆動による反発力を均一に抑えることができず、均一なインク吐出特性で駆動することができないという問題がある。
【０００９】
また、補強板に反りが発生すると、ケースを成形する際に補強板の位置決めが困難になり、製品毎にケースの強度にばらつきが生じてしまう虞があると共に、補強板をケースに埋設することができない不良品が発生し、歩留まりが低下してしまうという問題がある。
【００１０】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドの製造方法だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法においても同様に存在する。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑み、平坦な補強板を安価に製造することができ、液体噴射特性のばらつきを抑制して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が一方面側に複数並設されていると共に、該ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路ユニットと、該流路ユニットの前記ノズル開口が開口する面とは反対面側に固定されたケースと、前記流路ユニットの前記ケースが固定された面側に設けられて、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーターと、を具備し、前記ケースが、樹脂成形材料で形成されていると共に、当該ケースには、板状部材からなる補強板が前記ノズル開口の並設方向に埋設された液体噴射ヘッドの製造方法であって、金属板をプレス加工することにより、前記補強板を形成する工程と、前記補強板を形成した後、当該補強板をプレス加工することにより、前記補強板の両面に前記ノズル開口の並設方向とは交差する方向に向けて連続する溝部を設ける工程と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、プレス加工によって補強板を形成した際に発生した内部応力が、溝部によって第１方向で分断されるため、補強板の内部応力による反りを低減することができる。これにより、補強板のケース内の位置決め精度を向上することができると共にケースの剛性を圧電アクチュエーターの並設方向（ノズル開口の並設方向）に亘ってばらつきをなくして、液体噴射特性を均一化することができる。
【００１３】
ここで、前記溝部を設ける工程の後、前記補強板をレベラー加工する工程をさらに有することが好ましい。これによれば、さらに補強板を平坦化することができる。
【００１４】
また、前記レベラー加工する工程では、当該補強板の初期状態の反りを反対に反らせるレベラー加工を行う第１工程と、反対に反った前記補強板を平坦にするレベラー加工を行う第２工程と、を有することが好ましい。これによれば、さらに補強板を平坦化することができる。
【００１５】
また、前記補強板を形成する工程では、プレス加工によって前記補強板に厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を設ける工程と、プレス加工によって前記補強板の外形を切断する工程と、を具備することが好ましい。これによれば、補強板を安価に大量生産することができる。
【００１６】
また、前記貫通孔を形成する工程では、前記補強板の前記流路ユニット側の側面に、前記ノズル開口の並設方向に沿って複数設けられて、厚さ方向に貫通すると共に前記側面に開口する切り欠き部を同時に設けることが好ましい。これによれば、補強板に切り欠き部を設けることによって、ケースを樹脂材料で成形した際に、補強板の周囲、特に流路ユニット側の側面に樹脂材料の充填不良による空間が画成されるのを抑制して、圧電アクチュエーターによる振動板の変位低下や吐出特性にばらつきが発生するのを抑制することができる。
【００１７】
さらに、本発明の他の態様は、液体を噴射するノズル開口が一方面側に複数並設されていると共に、該ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路ユニットと、該流路ユニットの前記ノズル開口が開口する面とは反対面側に固定されたケースと、前記流路ユニットの前記ケースが固定された面側に設けられて、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーターと、を具備し、前記ケースが、樹脂成形材料で形成されていると共に、当該ケースには、板状部材からなる補強板が前記ノズル開口の並設方向に埋設され、前記補強板の両面には、当該補強板の流路ユニット側から前記流路ユニットとは反対側に向かう方向に向けて設けられた溝部が、前記ノズル開口の並設方向に複数配設されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、反りの低減された補強板を有するケースを設けることができ、圧電アクチュエーターの並設方向での剛性のばらつきを低減して、液体噴射特性を均一化することができる。
【００１８】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、印刷品質を向上した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの上面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る補強板の断面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る補強板の製造方法を示す平面図である。
【図８】本発明の実施形態１に係る補強板の製造方法を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態１に係る補強板の製造方法を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施形態１に係る補強板の製造方法を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施形態１に係る補強板の製造方法を示す断面図である。
【図１２】本発明の実施形態１に係るケースの製造方法を示す断面図である。
【図１３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図１４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの比較例を示す断面図である。
【図１５】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの上面図、図３は図２のＡ−Ａ′線断面図であり、図４は図２のＢ−Ｂ′線断面図であり、図５は図２のＣ−Ｃ′線断面図であり、図６は、補強板の断面図である。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１（以下、記録ヘッド１とも言う）は、一対のアクチュエーターユニット２と、アクチュエーターユニット２を内部に収容可能な収容部３が設けられた樹脂材料からなるケース４と、ケース４の先端面に接合された流路ユニット５と、流路ユニット５側を覆うカバーヘッド６と、を具備する。
【００２２】
図３及び図４に示すように、本実施形態のアクチュエーターユニット２は、複数の圧電アクチュエーター１１がその幅方向に並設された圧電アクチュエーター形成部材１３と、圧電アクチュエーター形成部材１３の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定板１４とを有する。
【００２３】
圧電アクチュエーター形成部材１３は、圧電材料層１５と、圧電アクチュエーター１１の２つの極を構成する内部電極、すなわち、隣接する圧電アクチュエーター１１と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極１６と、隣接する圧電アクチュエーター１１と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極１７とを交互に挟んで積層することにより形成されている。
【００２４】
この圧電アクチュエーター形成部材１３には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット１８が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電アクチュエーター１１の列が形成されている。なお、圧電アクチュエーター１１の列の両外側には、各圧電アクチュエーター１１よりも広い幅を有する位置決め部１９が設けられている。この位置決め部１９は、圧電アクチュエーター１１と同様に、圧電アクチュエーター形成部材１３で形成されているが、実質的に駆動されない非駆動振動子であり、アクチュエーターユニット２を記録ヘッド１に組み込む際に、位置決め部１９をケース４に設けられた収容部３の側面に当接させて、アクチュエーターユニット２を高精度に位置決めするためのものである。
【００２５】
ここで、圧電アクチュエーター１１の固定板１４に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電アクチュエーター１１を構成する個別内部電極１６及び共通内部電極１７間に電圧を印加すると、固定板１４に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電アクチュエーター１１の先端面が、後述する振動板４６の島部４９に接着剤等を介して固定される。
【００２６】
また、アクチュエーターユニット２の各圧電アクチュエーター１１には、当該圧電アクチュエーター１１を駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路２９が搭載されたＣＯＦ等の回路基板３０が接続されている。
【００２７】
流路ユニット５は、流路形成基板４０、振動板４６及びノズルプレート４８を具備する。
【００２８】
流路形成基板４０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分には、複数の隔壁４１によって画成された圧力発生室４２がその幅方向（短手方向）に並設されている。
【００２９】
また、図３に示すように、各圧力発生室４２の長手方向一端部側には、各圧力発生室４２に液体の一例であるインクを供給するためのマニホールド４４が液体供給路の一例であるインク供給路４５を介して連通されている。また、流路形成基板４０の圧力発生室４２の開口面側は振動板４６で封止され、他方面側にはノズル開口４７が穿設されたノズル形成部材の一例であるノズルプレート４８が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。ノズルプレート４８のノズル開口４７と圧力発生室４２とは、流路形成基板４０を貫通して設けられたノズル開口連通孔４３（図４参照）を介して連通している。
【００３０】
振動板４６は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる第１の部材である弾性膜４６ａと、この弾性膜４６ａを支持する、例えば、金属材料等からなる第２の部材である支持板４６ｂとの複合板で形成されており、弾性膜４６ａ側が流路形成基板４０に接合されている。例えば、本実施形態では、第１の部材である弾性膜４６ａは、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、第２の部材である支持板４６ｂは、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。
【００３１】
また、振動板４６の各圧力発生室４２に対向する領域内には、圧電アクチュエーター１１の先端部が当接する島部４９が設けられている。すなわち、振動板４６の各圧力発生室４２の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部５０が形成され、この薄肉部５０の内側にそれぞれ島部４９が設けられている。このような島部４９には、上述したアクチュエーターユニット２の圧電アクチュエーター１１の先端部が例えば、接着剤等を介して固定される。
【００３２】
また、振動板４６のマニホールド４４に対向する領域には、薄肉部５０と同様に、支持板４６ｂがエッチングにより除去されて実質的に弾性膜４６ａのみで構成されるコンプライアンス部５４が設けられている。なお、このコンプライアンス部５４は、マニホールド４４内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部５４の弾性膜４６ａが変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド４４内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００３３】
なお、本実施形態では、振動板４６を弾性膜４６ａと支持板４６ｂとで構成し、島部４９の周辺部及びコンプライアンス部５４を弾性膜４６ａのみで構成したが、特にこれに限定されず、例えば、振動板として、１枚の板状部材を用いて、板状部材の厚さ方向の一部を除去した凹形状の薄肉部５０等を設けることで、島部４９及びコンプライアンス部５４を形成するようにしてもよい。
【００３４】
ケース４は、流路形成基板４０の振動板４６上に固定されたものであり、図示しないインクカートリッジ等の液体貯留部が接続されて、マニホールド４４にインクを供給するインク供給路４５が設けられている。
【００３５】
また、ケース４には、厚さ方向に貫通する２つの収容部３が設けられており、各収容部３にアクチュエーターユニット２が位置決めされて固定されている。
【００３６】
このようなケース４の収容部３は、図１に示すように、固定板１４が固定される側に固定板１４の幅よりも幅広に設けられた固定板保持部３ａと、圧電アクチュエーター形成部材１３側に固定板保持部３ａよりも幅狭で且つ圧電アクチュエーター形成部材１３よりも若干幅広に設けられた圧電アクチュエーター保持部３ｂとを有する。なお、ここで言う幅は、圧電アクチュエーター１１（圧力発生室４２）の並設方向のことである。また、図３に示すように、収容部３の固定板保持部３ａには、貫通方向において振動板４６側が幅狭となるように段差部３ｃが設けられており、固定板１４は、圧電アクチュエーター１１が突出する端面が段差部３ｃに当接して固定される。
【００３７】
また、ケース４には、コンプライアンス部５４に対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間５５が設けられている。このコンプライアンス空間５５によってコンプライアンス部５４は変形可能に保持される。
【００３８】
このようなケース４は、樹脂材料によって形成されている。また、ケース４は、樹脂材料によって成形することで、比較的低いコストで製造することができると共に、容易に量産することができる。
【００３９】
さらに、ケース４には、補強板６０が埋設されている。本実施形態では、補強板６０は、ケース４の２つの収容部３の間に設けられて収容部３を区画する区画壁６１内に埋設されている。
【００４０】
図５に示すように、補強板６０は、矩形状を有する板状部材の一対の角部を切り欠いた形状を有する。具体的には、補強板６０は、ケース４に埋設された際に流路ユニット５側の角部を切り欠いた第１凹部６２が設けられており、この第１凹部６２によって補強板６０の両側面には、流路ユニット５とは反対側に側面方向に突出した凸部６３が設けられている。
【００４１】
このような補強板６０は、ケース４の圧電アクチュエーター１１の並設方向の両側面と、ケース４の流路ユニット５とは反対側の面とに一部が露出した状態でケース４の区画壁６１内に埋設されている。具体的には、ケース４の流路ユニット５との接合面とは反対側の面の区画壁６１には、２つの凹形状を有する第１露出部６４が設けられており、第１露出部６４によって補強板６０の流路ユニット５とは反対側の辺の一部が露出されている。
【００４２】
また、ケース４の圧電アクチュエーター１１の並設方向両側面には、側面と流路ユニット５側の面とに開口する凹形状を有する第２露出部６５がそれぞれ設けられている。第２露出部６５は、ケース４の側面に補強板６０の凸部６３までの深さよりも深く、且つ第１凹部６２よりも浅い深さで設けられている。この第２露出部６５によって補強板６０の凸部６３の第１凹部６２側の角部６６が露出されている。すなわち、補強板６０は、第１露出部６４によって流路ユニット５とは反対側の面が露出され、第２露出部６５によって流路ユニット５側の面と、両側面（圧電アクチュエーター１１の並設方向両側）とが露出されている。
【００４３】
このような補強板６０は、ケース４よりも高い強度を有する材料、例えば、ステンレス鋼等の金属材料や、ケース４よりも高い強度を有する樹脂材料、ガラスセラミックス等を用いることができる。
【００４４】
また、補強板６０は、ケース４を樹脂材料で成形する金型内に予め設置し、金型内に樹脂材料を射出成形することによって充填する、所謂インサート成形によって一体化されている。そして、上述した第１露出部６４及び第２露出部６５は、ケース４を成形する際の金型内に位置決めする保持治具の支持により形成される。
【００４５】
また、補強板６０には、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔６７が設けられている。貫通孔６７は、ノズル開口４７の並設方向であり補強板６０の長手方向である第１方向Ｘと、この第１方向Ｘとは交差する方向、本実施形態では、補強板６０の短手方向である第２方向Ｙとに亘って複数並設されている。このような貫通孔６７は、表面に開口する開口形状が、円形状、楕円形状、三角、四角等の多角形状であってもよい。なお、貫通孔６７は、金型内でケース４を成形する溶融した樹脂の流動性を向上するためのものであるため、なるべく角の少ない形状であるのが好ましい。本実施形態では、貫通孔６７として、補強板６０の表面に円形状に開口するものを設けることで、樹脂の流動性をさらに向上している。なお、ここで言う厚さ方向とは、板状部材からなる補強板６０の厚さを示すものであり、本実施形態では、補強板６０は、その表面が流路ユニット５の振動板４６に垂直となるように配置されているため、補強板６０の厚さ方向とは、振動板４６の面方向で且つノズル開口４７の並設方向と直交する方向のことである。
【００４６】
また、補強板６０の流路ユニット５側の側面には、この側面に開口する切り欠き部６８が第１方向Ｘに沿って所定間隔で複数設けられている。また、本実施形態では、切り欠き部６８を、補強板６０の流路ユニット５とは反対側の側面にも開口するように設けた。これらの切り欠き部６８は、上述した貫通孔６７を補強板６０の側面に開口するように設けたものであり、補強板６０の表面（厚さ方向の両側の面）には、半円状に開口している。
【００４７】
ここで詳細には、貫通孔６７は、第２方向Ｙに並設された列６７Ａ、６７Ｂ等が、第１方向Ｘに並設されており、第１方向Ｘで互いに隣り合う貫通孔６７の列は、第２方向Ｙに貫通孔６７の並びの半ピッチだけずれた位置に配置されている。これにより、第１方向Ｘで互いに隣り合う貫通孔６７の一方の列６７Ａは、補強板６０の短手方向（第２方向Ｙ）の幅内に収まり、他方の列６７Ｂの両側の貫通孔６７は補強板６０の短手方向（第２方向Ｙ）の両側に開口する。本実施形態では、この補強板６０の側面に開口した貫通孔６７が切り欠き部６８となる。
【００４８】
すなわち、本実施形態では、貫通孔６７は、一方の列６７Ａでは、補強板６０の短手方向（第２方向Ｙ）に３個収まるように均等な間隔で配置されている。そして、他方の列６７Ｂでも一方の列６７Ａの貫通孔６７と同じ間隔で貫通孔６７を配置すると共に、一方の列６７Ａの貫通孔６７に対して短手方向（第２方向Ｙ）に半ピッチずらすことで、他方の列６７Ｂの第２方向Ｙの両側の貫通孔６７は補強板６０の側面に開口する。つまり、本実施形態では、第２方向Ｙに並設された貫通孔６７の列６７Ａ、６７Ｂを第１方向Ｘに並設し、第１方向Ｘに並設された貫通孔６７を第２方向Ｙで同じ位置とならないように半ピッチずらした配置とすることで、貫通孔６７を補強板６０の面内に均一に配置することができると共に、補強板６０の第２方向Ｙ両側の側面に開口する切り欠き部６８を貫通孔６７によって設けることができる。そして、第２方向Ｙの両側に設けられた切り欠き部６８（貫通孔６７）は、第１方向Ｘに均等な間隔（貫通孔６７の列が２列毎）に配置することができる。
【００４９】
このように補強板６０に複数の貫通孔６７を所定の間隔で複数設けることによって、補強板６０の強度を著しく低下させることなく、補強板６０を内包するケースを樹脂材料で成形する際に、貫通孔６７によって金型内に充填する樹脂材料の流動性が向上し、金型内に樹脂材料を確実に充填して、補強板の表面に樹脂材料の充填されていない空間が画成されるのを抑制することができる。
【００５０】
また、補強板６０の流路ユニット５側の側面に切り欠き部６８を設けることで、補強板６０を内包するケース４を樹脂材料で成形する際に、補強板６０の流路ユニット５側の側面の樹脂材料の流動性を向上し、補強板６０の流路ユニット５側の側面に樹脂材料が充填されていない空間が画成されるのを抑制することができる。
【００５１】
ちなみに、ケース４内において、補強板６０の周囲に空間が画成されると、ケース４の剛性にばらつきが生じてしまう。ここで、圧電アクチュエーター１１は、駆動することによって振動板４６を押圧するが、その反発力は固定板１４を介してケース４に印加される。また、ケース４は、流路ユニット５の振動板４６側に固定されているため、ケース４に印加された応力は、収容部３の周囲の流路ユニット５に伝わる。このような樹脂材料からなるケース４は剛性が低いため、ケース４に補強板６０を埋設することで、ケース４の剛性を向上して圧電アクチュエーター１１の反発を押さえることができる。このとき、補強板６０の周囲に空間が形成されていると、この空間によってケース４の樹脂部分が変形し、空間が生じた部分で圧電アクチュエーター１１の反発力を押さえることができなくなってしまう。特に、補強板６０の流路ユニット５側の側面に空間が形成されていると、圧電アクチュエーター１１の駆動による反発力でケース４の樹脂部分が空間をつぶすように流路ユニット５側に変形してしまう。そして、ケース４の樹脂部分が流路ユニット５側に変形するということは、圧電アクチュエーター１１の駆動による伸張がケース４によって吸収されることになり、圧電アクチュエーター１１が振動板４６を十分に変形させることができなくなり、インク吐出特性の低下が発生してしまう。また、このような空間は、補強板６０の流路ユニット５側の側面に均一に形成される訳ではなく、部分的に形成されるため、ノズル開口４７の並設方向において、各ノズル開口４７から吐出されるインク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう。
【００５２】
さらに、流路ユニット５のケース４が接合される面には、振動板４６が設けられているため、補強板６０と振動板４６との間に空間が形成されると、空間が近くに形成された振動板４６（島部４９の周囲の薄肉部５０）の振動特性に影響を与えるため、空間が近くに形成された振動板４６（島部４９の周囲の薄肉部５０）と、空間から遠い振動板４６（島部４９の周囲の薄肉部５０）とにおいて振動特性にばらつきが生じ、複数のノズル開口４７から吐出されるインク滴の吐出特性にばらつきが発生してしまう。
【００５３】
本実施形態では、補強板６０の流路ユニット５側の側面に、樹脂材料の流動性を向上する切り欠き部６８を設けることで、補強板６０と流路ユニット５との間に樹脂材料の充填不良による空間が形成されるのを抑制して、インク吐出特性の低下及び複数のノズル開口４７から吐出されるインク滴のインク吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。
【００５４】
また、本実施形態では、切り欠き部６８を補強板６０の流路ユニット５とは反対側の側面にも開口するように設けた。ここで、補強板６０の流路ユニット５とは反対側の側面には、ケース４の樹脂部分が薄く形成されるため、補強板６０の流路ユニット５とは反対側の側面に空間が画成されると、補強板６０が外部に露出されることや、剛性が低下するなどの不具合が生じる。このため、補強板６０の流路ユニット５とは反対側の側面に第１方向Ｘに向かって所定の間隔で切り欠き部６８を設けることで、補強板６０の流路ユニット５とは反対の側面に空間が画成されるのを抑制している。
【００５５】
また、本実施形態では、補強板６０の第１方向Ｘの両側、すなわち、凸部６３には、他の貫通孔６７よりも開口面積の大きな大貫通孔６９が設けられている。この大貫通孔６９を設けることで、ケース４を成形する際の第１方向Ｘの両側での樹脂材料の流動性をさらに向上することができる。ちなみに、大貫通孔６９を設けることで、補強板６０の第１方向Ｘの両側の剛性は低下するが、補強板６０の第１方向Ｘの両側は、ケース４の収容部３を画成する壁が存在し、ケース４の樹脂材料の剛性が高いため特に問題はないが、このような大貫通孔６９を補強板６０の第１方向Ｘの中央部に設けるとケース４の剛性が低下して、インク吐出特性の均一化を阻害する要因となるため好ましくない。
【００５６】
なお、本実施形態では、第１方向Ｘで互いに隣り合う貫通孔６７の列６７Ａ、６７Ｂを第２方向Ｙにずらすことにより、貫通孔６７によって切り欠き部６８を設けるようにした。このため、補強板６０の貫通孔６７及び切り欠き部６８等による開口面積を大きくすることなく、切り欠き部６８を設けることができるため、補強板６０の剛性が低下するのを抑制することができる。ちなみに、補強板に第１方向Ｘで互いに隣り合う貫通孔６７の列６７Ａ、６７Ｂを第２方向Ｙで同じ位置となるようにマトリックス状に配置した場合、貫通孔６７とは別途切り欠き部６８を設ける必要がある。このように切り欠き部６８を別途設けた補強板は、切り欠き部６８を設けずに貫通孔６７のみが形成された補強板に比べて開口面積が広く、補強板の剛性が低下してしまう。本実施形態では、第１方向Ｘで互いに隣り合う貫通孔６７の列を第２方向Ｙにずらすことにより、切り欠き部６８を設けずに貫通孔のみを設けた補強板と同じ開口面積とすることができ、補強板６０の剛性の低下を抑制することができる。
【００５７】
さらに、図５及び図６に示すように、補強板６０の各面には、ノズル開口４７の並設方向である長手方向（第１方向Ｘ）と交差する方向である短手方向である第２方向Ｙに向かって設けられた溝部８０が、ノズル開口４７の並設方向（補強板６０の長手方向）である補強板６０の第１方向Ｘに所定の間隔で複数設けられている。本実施形態では、４つの溝部８０を第２方向Ｙに亘って連続して設けるようにした。
【００５８】
このような溝部８０は、補強板６０の両面に厚さ方向で重なる位置に設けられている。この溝部８０は、詳しくは後述するが、補強板６０をプレス加工によって形成した際に発生した反りを抑制するためのものである。すなわち、溝部８０は、補強板６０をプレス加工した際に発生する長手方向である第１方向Ｘの反りを低減するものである。ちなみに、補強板６０の長手方向に反りが発生すると、各圧電アクチュエーター１１に対する補強板６０の位置にばらつきが生じ、各圧電アクチュエーター１１の反発力を押さえる力がばらついてしまい、ノズル開口４７の並設方向において、各ノズル開口４７から吐出されるインク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう。また、補強板６０は、ケース４の区画壁６１内に埋設されているが、区画壁６１は厚さが薄く、補強板６０に反りが発生すると、補強板６０が露出されてしまうなどの不具合が発生する。本実施形態では、補強板６０に溝部８０を形成することによって、補強板６０の長手方向の反りを低減して、インク滴の吐出特性にばらつきが発生するのを抑制することができると共に、区画壁６１内に補強板６０を確実に埋設することができる。
【００５９】
ここで、このような補強板６０の製造方法について図７〜図１１を参照して説明する。なお、図７は、補強板の製造方法を示す平面図であり、図８〜図１１は、補強板の製造方法を示す断面図である。
【００６０】
まず、図７（ａ）に示すように、補強板６０となる金属板１６０をプレス加工することにより複数の貫通孔６７を形成する。具体的には、図８（ａ）に示す第１の金型１００を用いて行う。第１の金型１００は、複数の貫通孔６７を同時に形成可能な第１のパンチ１０１が設けられた上型１０２と、第１のパンチ１０１に相対向して第１のパンチ１０１が挿入される第１の挿入孔１０３が設けられた下型１０４と、を具備し、上型１０２が下型１０４側に向かって移動可能に設けられている。
【００６１】
このような上型１０２と下型１０４との間に金属板１６０を配置し、図８（ｂ）に示すように、上型１０２を下型１０４に向かって移動させることで、金属板１６０に複数の貫通孔６７を設けることができる。なお、複数の貫通孔６７の形成は、複数回に分けて形成してもよい。
【００６２】
次に、図７（ｂ）に示すように、金属板１６０をプレス加工することにより、補強板６０の切り抜きを行う。具体的には、図９（ａ）に示す第２の金型１１０を用いて行う。第２の金型１１０は、補強板６０の外形を切り抜き可能な第２のパンチ１１１が設けられた上型１１２と、第２のパンチ１１１に相対向して第２のパンチ１１１が挿入される第２の挿入孔１１３が設けられた下型１１４と、を具備する。
【００６３】
このような上型１１２と下型１１４との間に金属板１６０を配置し、図９（ｂ）に示すように、上型１１２を下型１１４に向かって移動させることで、金属板１６０から補強板６０を切り抜くことができる。なお、金属板１６０からの補強板６０の切り抜きは、１枚ずつ切り抜いてもよく、同時に複数枚の補強板６０を切り抜いてもよい。また、金属板１６０から補強板６０を切り抜く際に、貫通孔６７の途中を補強板６０の外形とすることで、貫通孔６７を切断して切り欠き部６８を形成することができる。
【００６４】
このように貫通孔６７の形成や、補強板６０の切り抜きを行うと、補強板６０には反りが発生する。これは、第１の金型１００及び第２の金型１１０において、第１のパンチ１０１及び第２のパンチ１１１が設けられた上型１０２及び１１２によって貫通孔６７及び切り抜きを行うため、上型１０２及び１１２側が凹となるように反りが発生する。また、この反りは、補強板６０の長手方向（ケース４に埋設された際の第１方向Ｘ）に大きく発生する。
【００６５】
次に、図７（ｃ）に示すように、補強板６０の両面にプレス加工によって溝部８０を形成する。具体的には、図１０（ａ）に示す第３の金型１２０を用いて行う。第３の金型１２０は、第３のパンチ１２１が設けられた上型１２２と、第３のパンチ１２１に相対向して第４のパンチ１２３が設けられた下型１２４と、を具備する。
【００６６】
上型１２２の第３のパンチ１２１は、補強板６０の短手方向よりも長い長さを有する凸形状を有し、且つ補強板６０の長手方向に所定の間隔で複数、本実施形態では、４個設けられている。また、下型１２４の第４のパンチ１２３は、上型１２２の第３のパンチ１２１に相対向して、第３のパンチ１２１と同じ数、すなわち４個設けられている。
【００６７】
このような上型１２２と下型１２４との間に補強板６０を配置し、図１０（ｂ）に示すように、上型１２２を下型１２４に向かって移動させることで、補強板６０を第３のパンチ１２１と第４のパンチ１２３とで挟み込み（プレス加工）、溝部８０を形成することができる。このとき、補強板６０の反りは、溝部８０によって低減される。これは、補強板６０が長手方向に反る方向に働く内部応力が、溝部８０によって長手方向で複数に分割されるため、補強板６０の長手方向の反りが低減されると考えられる。
【００６８】
このように溝部８０が形成された補強板６０を本実施形態ではさらにレベラー加工している。具体的には、図１１（ａ）に示すように、複数のローラー１３１が補強板６０の両面に摺接するように配置されたレベラー加工装置１３０を用いて行う。本実施形態では、図１１（ａ）〜図１１（ｂ）に示すように、補強板６０をレベラー加工装置１３０の複数のローラー１３１の間を通すことで、補強板６０にローラー１３１を圧接させて、図９（ｂ）に示す第２の金型１１０の下型１１４側が凹状に反るように矯正する（第１工程）。すなわち、レベラー加工では、補強板６０に貫通孔６７等を形成すると共に外形を切り抜いたプレス加工によって反った方向とは反対側に反るように矯正する。
【００６９】
次に、図１１（ｃ）〜図１１（ｄ）に示すように、レベラー加工装置１３０のローラー１３１の間に補強板６０を通すことによって、補強板６０を平坦化する（第２工程）。このような図１１に示す工程は、同じレベラー加工装置１３０を用いて行うことができる。実際には、レベラー加工装置１３０の補強板６０の各面に摺接するローラー１３１（図中上下のローラー１３１）の回転数を調整することで、補強板６０を何れか一方面側が凸や凹となるように反らせることも、平坦化することも可能である。もちろん、図１１（ａ）、（ｂ）に示す工程と、図１１（ｃ）、（ｄ）に示す工程とを、別のレベラー加工装置を用いて行うようにしてもよい。
【００７０】
このように、本実施形態のレベラー加工では、プレス加工によって反った補強板６０の反り方向とは反対方向に一度反らせた後、補強板６０を平坦化することで、補強板６０内の反り方向に働く内部応力をさらに減少させて、補強板６０の平坦化を容易に且つ確実に行うことができる。また、このようなレベラー加工によって平坦化した補強板６０は、平坦化した後に時間が経過しても反りが発生するのを抑制することができる。
【００７１】
ここで、ケース４の製造方法について図１２を参照してより詳細に説明する。なお、図１２はケースの製造方法を示す断面図である。
【００７２】
図１２（ａ）に示すように、成形金型１４０内に補強板６０を位置決めして保持する。補強板６０の成形金型１４０内の保持は、補強板６０の外周の４カ所を保持治具１５０、１５１によって押さえることで行われる。保持治具１５０は、補強板６０の流路ユニット５とは反対側の面に当接する。また、保持治具１５１は、補強板６０の凸部６３の第１凹部６２側の角部６６に当接する。なお、保持治具１５１が角部６６に当接するとは、保持治具１５１が補強板６０の流路ユニット５側の面と、補強板６０の圧電アクチュエーター１１の並設方向の両側面とに当接していることを言う。このように、保持治具１４１は、圧電アクチュエーター１１の並設方向の両側面に設けられた凸部６３の角部６６のうち、圧電アクチュエーター１１の並設方向両側の側面を互いに押圧することで、成形金型１４０内に補強板６０をＸ方向の移動を規制した状態で位置決めする。２つの保持治具１５１によって、補強板６０の圧電アクチュエーター１１の並設方向両側面を挟持することで、補強板６０の成形金型１４０内でのＸ方向の位置決めが行われる。また、保持治具１５１が凸部６３の角部６６の流路ユニット５側の面と、保持治具１５０が補強板６０の流路ユニット５とは反対側の面とを互いに押圧することで、成形金型１４０内に補強板６０をＹ方向の移動を規制した状態で位置決めする。これにより、補強板６０は、金型に対してＸ方向及びＹ方向の移動が規制された状態で位置決めされて保持される。
【００７３】
このような状態で、図１２（ｂ）に示すように、成形金型１４０と補強板６０との間に溶融した樹脂材料を充填することで、内部に補強板６０が埋設されたケース４を形成することができる。このとき、補強板６０を位置決め保持する保持治具１５０、１５１によって、ケース４には、補強板６０を露出する２つの第１露出部６４と２つの第２露出部６５とが形成されている。
【００７４】
また、成形金型１４０内に溶融した樹脂材料を充填した際に、貫通孔６７、切り欠き部６８及び大貫通孔６９によって、樹脂材料の流動性が向上されて、樹脂材料は補強板６０の周囲と貫通孔６７、切り欠き部６８及び大貫通孔６９の内部に隙間無く充填され、樹脂材料の充填不良による空間が画成されることがない。このため、上述したように、空間によるケース４の剛性不足や、ノズル開口４７の並設方向、すなわち、圧電アクチュエーター１１の並設方向における剛性のばらつきを抑制して、インク吐出特性を均一化することができる。
【００７５】
さらに、本実施形態では、上述した製造工程によって平坦化した補強板６０をケース４内に埋設するようにしたため、ケース４から補強板６０が露出するなどの不具合の発生を抑制することができる。また、補強板６０が平坦化されているため、金型１４０内での位置決めが容易に行えて、高精度なケース４を形成することができる。
【００７６】
ちなみに、ケース４内に長手方向に反った補強板６０が埋設されると、各圧電アクチュエーター１１に対して、圧力発生室４２の長手方向であって、第１方向Ｘと直交する方向における補強板６０の位置にばらつきが生じてしまう。このように圧電アクチュエーター１１と補強板６０との位置（間隔）にばらつきが生じるということは、ケース４の剛性にばらつきが生じていることになり、圧電アクチュエーター１１の駆動にばらつきが生じて、インク吐出特性にばらつきが生じ、印刷品質が低下してしまう。本実施形態では、プレス加工という安価で製造できる補強板６０を用いて、且つ平坦化した補強板６０を用いることで、インク吐出特性にばらつきが生じるのを抑制して、印刷品質を向上することができる。
【００７７】
さらに、図１、図３〜図５に示すように、記録ヘッド１には、ノズル開口４７が開口する面側に、ノズル開口４７を露出した状態で、吐出面側を覆うカバーヘッド６が設けられている。
【００７８】
カバーヘッド６は、ノズル開口４７を露出する開口部７０と、開口部７０を画成する枠部７１とを具備する。
【００７９】
枠部７１は、本実施形態では、吐出面の周囲に亘って設けられたものであり、枠部７１には、吐出面の外周縁部に亘って屈曲するように延設された側壁部７２が設けられている。
【００８０】
また、側壁部７２には、ノズル開口４７の並設方向両側に延設された固定部７３が設けられている。この固定部７３は、側壁部７２から屈曲されて設けられており、ケース４の側面から突出したフランジ部７４に固定ネジ７５を介して固定されている。これにより、カバーヘッド６は、記録ヘッド１に一体化されている。
【００８１】
このような側壁から屈曲された固定部７３は、ケース４との間隔が流路ユニット５とは反対側に向かって徐々に漸大するように設けられている。具体的には、側壁部７２は流路ユニット５に対して垂直に設けられており、側壁部７２に対して固定部７３の始点は、ケース４の第２露出部６５によって露出された補強板６０の角部６６よりも流路ユニット５側に位置する。そして、固定部７３とケース４との隙間が、この始点からケース４のフランジ部７４に向かって徐々に漸大するように設けられている。
【００８２】
このように、固定部７３とケース４との隙間を流路ユニット５（吐出面）とは反対側に向かって徐々に漸大させることで、カバーヘッド６と流路ユニット５やケース４との間にインクが侵入しても、侵入したインクが毛細管現象によってケース４の流路ユニット５とは反対側に這い上がるのを抑制することができる。
【００８３】
なお、カバーヘッド６としては、例えば、ステンレス鋼等の金属材料を用いることができる。また、カバーヘッド６は、金属板をプレス加工により形成してもよく、また、成形により形成するようにしてもよい。
【００８４】
このような記録ヘッド１では、インク滴を吐出する際に、圧電アクチュエーター１１及び振動板４６の変形によって各圧力発生室４２の容積を変化させて所定のノズル開口４７からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからケース４に設けられたインク導入孔５６を介してマニホールド４４にインクが供給されると、インク供給路４５を介して各圧力発生室４２にインクが分配される。実際には、圧電アクチュエーター１１に電圧を印加することにより圧電アクチュエーター１１を収縮させる。これにより、振動板４６が圧電アクチュエーター１１と共に変形されて圧力発生室４２の容積が広げられ、圧力発生室４２内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口４７に至るまで内部にインクを満たした後、回路基板３０を介して供給される記録信号に従い、圧電アクチュエーター１１の電極１６、１７に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電アクチュエーター１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板４６も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室４２の容積が収縮して圧力発生室４２内の圧力が高まりノズル開口４７からインク滴が吐出される。
【００８５】
そして、本実施形態では、ケース４に補強板６０を設けることで、ケース４の樹脂部分が温度変化や湿度変化によってケース４が膨張したとしても、ケース４全体が変形するのを抑制して、ケース４に固定されたアクチュエーターユニット２が振動板４６とは反対側に引き上げられるのを低減することができる。また、並設された圧電アクチュエーター１１の駆動時に、並設方向の両端部側の圧電アクチュエーター１１と中央部側の圧電アクチュエーター１１とでケース４の剛性の違いによる浮き上がりを抑制することができるため、インク吐出特性の向上及び均一化を図ることができる。特に、補強板６０に切り欠き部を設けることで、補強板の流路ユニット側の側面に空間が画成されるのを抑制して、並設方向の両端部側の圧電アクチュエーター１１と中央部側の圧電アクチュエーター１１とでケース４の剛性の違いによる浮き上がりを抑制することができる。
【００８６】
また、本実施形態では、補強板６０の吐出面側に第１凹部６２を設け、第１凹部６２によって形成された凸部６３の流路ユニット５側の角部６６を第２露出部６５によって露出するようにした。このため、図１３に示すように、補強板６０の第２露出部６５によって露出された領域（角部６６）が吐出面とは離れるため、カバーヘッド６と流路ユニット５及びケース４との間に侵入したインクＬが、第２露出部６５によって露出された補強板６０に達することがなく、第２露出部６５から補強板６０と樹脂材料との界面をインクが這い上がるのを抑制することができる。ちなみに、図１４に示すように、凹部を設けていない補強板２６０の場合、吐出面側の角部１６６を第２露出部６５によって露出すると、吐出面と第２露出部６５によって露出された補強板２６０の角部１６６とが近接することになる。そして、吐出面と第２露出部６５によって露出された補強板２６０とが近接していると、カバーヘッド６と流路ユニット５及びケース４との間に侵入したインクＬが、第２露出部６５に露出された補強板２６０まで達し、補強板２６０と樹脂材料との界面をインクが毛細管現象によって這い上がり、吐出面とは反対側の第１露出部６４側から収容部３内にインクが侵入して、圧電アクチュエーター１１を破壊してしまう。
【００８７】
さらに、本実施形態では、図１３に示すように、カバーヘッド６の固定部７３を、ケース４との間隔が吐出面とは反対側に向かって徐々に漸大するようにしたため、カバーヘッド６とケース４との隙間にインクが侵入し難く、侵入したインクＬが吐出面とは反対側に這い上がるのを抑制することができるため、第２露出部６５で露出された補強板６０にインクが達するのを抑制することができる。これによっても、収容部３へのインクの侵入を抑制して、圧電アクチュエーター１１のインクによる破壊を抑制することができる。これに対して、図１４に示すように、カバーヘッド１０６の固定部１７３が垂直に設けられていると、ケース４とカバーヘッド１０６との間に侵入したインクＬが毛細管現象によって這い上がるため、これによっても、インクが第２露出部６５で露出された補強板２６０に達してしまう。
【００８８】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、補強板６０のレベラー加工を行う工程として、第１工程と第２工程とを行うようにしたが、特にこれに限定されず、第２工程のみを行うようにしてもよい。もちろん、補強板６０にレベラー加工を行わなくても、プレス加工によって補強板６０に溝部８０を形成する工程を行うだけでも、補強板６０を十分に平坦化することができる。
【００８９】
また、上述した実施形態１では、補強板６０に、第２方向Ｙに亘って連続する溝部８０を第１方向Ｘに所定の間隔で複数設けるようにしたが、溝部８０の数及び位置は上述したものに限定されない。例えば、溝部８０を１つだけ設けるようにしても、補強板６０の反りを低減することができる。また、溝部８０を第２方向Ｙに対して所定角度傾斜して設けるようにしてもよい。さらに、溝部８０は第２方向Ｙに向かって設けられていれば、第２方向Ｙでその一部が断続されていてもよい。
【００９０】
また、例えば、上述した実施形態１では、補強板６０に第２方向Ｙに並設された貫通孔６７の列６７Ａ、６７Ｂを、第１方向Ｘに並設し、第１方向Ｘで隣り合う貫通孔６７の列６７Ａ、６７Ｂを第２方向Ｙで異なる位置となるように配置したが、特にこれに限定されず、第１方向Ｘで互いに隣り合う貫通孔６７の列を第２方向Ｙで同じ位置となるようにマトリックス状に配置してもよい。ただし、上述したように、このようなマトリックス状に貫通孔６７を配置した場合、切り欠き部６８を別途設ける必要があるため、補強板６０の貫通孔６７や切り欠き部６８による合計の開口面積が、上述した実施形態１よりも大きくなり、実施形態１よりも補強板６０の剛性が低下してしまう。すなわち、上述した実施形態１では、第１方向Ｘで互いに隣り合う貫通孔６７の列６７Ａ、６７Ｂを第２方向Ｙにずらすことにより、切り欠き部６８を設けずに貫通孔のみを設けた場合の補強板と同じ開口面積とすることができ、剛性の低下を抑制することができるという効果を奏する。
【００９１】
また、例えば、上述した実施形態１では、ケース４の区画壁６１に補強板６０を埋設するようにしたが、補強板６０の埋設位置は特に限定されるものではなく、例えば、補強板６０を、ケース４の固定板１４が固定される側の壁内に埋設するようにしてもよい。
【００９２】
さらに、上述した実施形態１では、流路（圧力発生室４２）に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電材料層１５と個別内部電極１６及び共通内部電極１７と交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーター１１を例示したが、圧力発生手段は、特にこれに限定されるものではなく、圧電材料層１５と個別内部電極１６及び共通内部電極１７とを交互に積層させて積層方向の一端部を島部に当接させる横振動型の圧電アクチュエーターを用いるようにしてもよい。
【００９３】
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１５は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００９４】
図１５に示すインクジェット式記録装置２００において、複数のインクジェット式記録ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニット２０２（以下、単にヘッドユニット２０２とも言う）は、インク供給手段を構成するカートリッジ２０２Ａ及び２０２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット２０２は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００９５】
そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、ヘッドユニット２０２を搭載したキャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動される。一方、装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン２０８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００９６】
また、上述したインクジェット式記録装置２００では、複数の記録ヘッド１を有するヘッドユニット２０２がキャリッジ２０３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００９７】
また、上述した例では、複数の記録ヘッド１を有するヘッドユニット２０２をインクジェット式記録装置２００に搭載するようにしたが、ヘッドユニット２０２には、それぞれ１つの記録ヘッド１が搭載されていてもよく、また、単数又は複数の記録ヘッド１が直接インクジェット式記録装置２００に搭載されていてもよい。
【００９８】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００９９】
１  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２  アクチュエーターユニット、  ３  収容部、  ４  ケース、  ５  流路ユニット、  １１  圧電アクチュエーター、  １３  圧電アクチュエーター形成部材、  １４  固定板、  １６  個別内部電極、  １７  共通内部電極、  １８  スリット、  １９  位置決め部、  ３０  回路基板、  ４０  流路形成基板、  ４２  圧力発生室、  ４６  振動板、  ４７  ノズル開口、  ４８  ノズルプレート、  ４９  島部、  ６０  補強板、  ６２  凹部、  ６３  凸部、  ６４  第１露出部、  ６５  第２露出部、  ６６  角部、  ６７  貫通孔、  ６８  切り欠き部、  ６９  大貫通孔、  ８０  溝部、  １００  第１の金型、  １１０  第２の金型、  １２０  第３の金型、  １３０  レベラー加工装置、  １４０  成形金型、  １５０、１５１  保持治具、  １６０  金属板、  ２００  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ２０２  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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