(57)【要約】  【課題】  圧電振動子の傾きが抑制された圧電装置を提供する。  【解決手段】  圧電振動子104を収容する凹部102の内側面に接続電極103が形成された絶縁基体101と、圧電基板に励振電極と端子電極とが形成され、凹部102内に収容されて端子電極が接続電極103に接続された圧電振動子104とを備え、圧電振動子104は、励振電極が形成された一対の振動部107と、振動部107を連結している基部108と、基部108から振動部107に沿って形成され、端子電極が形成された支持部109とを有しており、接続電極103に導電性接合材106の接合位置の表示部Ａが配置されているとともに、支持部109に圧電振動子104の重心位置の表示部Ｂが配置されており、接合位置の表示部Ａと重心位置の表示部Ｂとが対応して接続されている圧電装置である。接合位置の表示部Ａと重心位置の表示部Ｂとが対応しているので圧電振動子104の重心に対する接合位置精度が高く、傾きが抑制される。【選択図】  図３
2012028926.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に圧電振動子を収容する長方形状の凹部を有し、該凹部の長辺側の内側面に沿って互いに対向し合う一対の接続電極が形成された絶縁基体と、圧電基板に互いに電気的に接続された励振電極と端子電極とが形成されてなり、前記凹部内に収容されて前記端子電極が前記接続電極に導電性接合材を介して接合された圧電振動子とを備え、該圧電振動子は、前記励振電極が形成された長方形状の一対の振動部と、一対の前記振動部の短辺側の一端同士を連結している基部と、該基部から前記振動部の長辺側の外辺に沿って延びるように形成され、前記端子電極が形成された一対の支持部とを有しており、前記接続電極に前記導電性接合材の接合位置の表示部が配置されているとともに、前記圧電振動子の前記支持部に前記圧電振動子の重心位置の表示部が配置されており、前記接合位置の表示部と前記重心位置の表示部とが対応して互いに接合されていることを特徴とする圧電装置。
【請求項２】
前記接合位置の表示部が、前記接続電極が形成された位置において前記凹部の内側面に形成された突出部であり、前記重心位置の表示部が前記支持部のそれぞれの外側の側面に上下方向に形成された溝部であり、前記溝部に前記突出部が入り込んでいることを特徴とする請求項１記載の圧電装置。
【請求項３】
前記支持部の前記重心位置の表示部が、前記圧電振動子の重心位置の近傍に位置する前記支持部の外側面に形成された互いに対向し合う一対の溝部であることを特徴とする請求項２記載の圧電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子が容器内に気密封止されてなり、携帯用通信機器等の電子機器に用いられる圧電装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、携帯用通信機器等の電子機器には各種電子部品が使用されており、そのうち基準信号発生源等とする圧電振動子や圧電発振器は、基準信号を発振するこれらの圧電振動子等を容器内部に気密封止した形態の圧電装置として用いられている。
【０００３】
このような圧電装置を形成する容器は、圧電振動子の収容部を備える絶縁基体と、絶縁基体に接合されて収容部を封止する蓋体とを備えている。絶縁基体は、一般に直方体状のものであり、上面に圧電振動子が収容される凹部を備えている。この凹部の底面の一方の端部に一対の段差部が形成され、その段差部の上面に形成された一対の接続電極に圧電振動子が片持ち支持されて、動作可能な状態で導電性接着剤等の導電性接合材により接合（電気的および機械的に接続）される。圧電振動子は、例えば一対の長方形状の振動部と振動部の短辺側の端部を互いに連結している基部とを備える、いわゆる音叉型水晶振動子である。圧電振動子が収容された凹部を塞ぐように蓋体が絶縁基体に接合されて圧電装置が形成されている。このような構造の圧電振動子を用いた圧電装置は、振動周波数が低く、発振器に組み込んだときの消費電流も低く抑えられるので、時計等の時間の基準になる振動周波数源として使用されている。
【０００４】
圧電振動子を接続電極に接続する導電性接合材としては、例えば、シリコーン系の樹脂に金属粒子等の導電性粒子が添加された導電性接着剤が使用される。導電性接合材は、この樹脂成分が未硬化でペースト状のものが、圧電振動子と絶縁基体との間に介在させるようにして塗布され、その後、樹脂成分が熱硬化されることにより圧電振動子と絶縁基体の端子電極とが接合される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2008−177723  号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、圧電装置の小型化に対応する圧電振動子が提案されている。この圧電振動子は、一対の長方形状の振動部および振動部の端部を連結する基部と、振動部よりも外側において基部から振動部に沿って伸びるように形成された一対の支持部とを備え、この支持部に形成された端子電極が接合されている。つまり、従来のように圧電振動子の端部が導電性接合材により片持ち支持された構造とは異なり、支持部において接続電極に接合された構造となることから、接続電極と振動部に配置されている励振電極との間の距離を確保するために振動部の長さを長くする必要がなく、実質的な圧電振動子の長さを小さくできるものである。
【０００７】
しかしながら、このような支持部が形成された圧電振動子においては、細長い支持部に形成された端子電極が細長い形状となることから、圧電振動子を位置精度よく接続電極に搭載することが難しかった。圧電振動子の接続電極に対する接続位置がずれると、圧電振動子の接続電極との接続部分を挟んだ両側（圧電振動子の長手方向）で質量的に均衡がとれず、圧電振動子が傾きやすい。圧電振動子が傾くと、例えば振動部が凹部の底面に接触
して振動部の振動が妨げられ、振動周波数のずれ等を引き起こす可能性がある。
【０００８】
本発明は、かかる従来の技術における問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、圧電振動子が位置精度よく接続電極に接続された、圧電振動子の傾き等に起因する不具合が抑制された圧電装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の圧電装置は、上面に圧電振動子を収容する長方形状の凹部を有し、該凹部の長辺側の内側面に沿って互いに対向し合う一対の接続電極が形成された絶縁基体と、圧電基板に互いに電気的に接続された励振電極と端子電極とが形成されてなり、前記凹部内に収容されて前記端子電極が前記接続電極に導電性接合材を介して接合された圧電振動子とを備え、該圧電振動子は、前記励振電極が形成された長方形状の一対の振動部と、一対の前記振動部の短辺側の一端同士を連結している基部と、該基部から前記振動部の長辺側の外辺に沿って延びるように形成され、前記端子電極が形成された一対の支持部とを有しており、前記接続電極に前記導電性接合材の接合位置の表示部が配置されているとともに、前記圧電振動子の前記支持部に前記圧電振動子の重心位置の表示部が配置されており、前記接合位置の表示部と前記重心位置の表示部とが対応して互いに接合されていることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の圧電装置は、上記構成において、前記接合位置の表示部が、前記接続電極が形成された位置において前記凹部の内側面に形成された突出部であり、前記重心位置の表示部が前記支持部のそれぞれの外側の側面に上下方向に形成された溝部であり、前記溝部に前記突出部が入り込んでいることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の圧電装置は、上記構成において、  前記支持部の前記重心位置の表示部が、前記圧電振動子の重心位置の近傍に位置する前記支持部の外側面に形成された互いに対向し合う一対の溝部であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の圧電装置によれば、接続電極に導電性接合材の接合位置の表示部が配置されているとともに、圧電振動子の支持部に圧電振動子の重心位置の表示部が配置されており、接合位置の表示部と重心位置の表示部とが対応して互いに接合されており、圧電振動子の重心位置の表示部が接続電極の接合位置の表示部に対応して接合されていることから、圧電振動子が接続電極に対して位置精度よく、つまり接続部分を挟んだ両側（圧電振動子の長手方向）で質量的に均衡がとれた状態で接続されたものとすることができる。したがって、圧電振動子の傾きを抑制し、この傾きに起因する不具合が抑制された圧電装置を提供することができる。
【００１３】
また、本発明の圧電装置によれば、接合位置の表示部が、接続電極が形成された位置において凹部の内側面に形成された突出部であり、重心位置の表示部が支持部のそれぞれの外側の側面に上下方向に形成された溝部であり、溝部に突出部が入り込んでいる場合には、圧電振動子の重心位置の表示部と接続電極の接合位置の表示部との対応が、溝部に突出部をはめるだけで容易に、かつ確実に行なえる。また、溝部に突出部が入り込んでいるので、圧電振動子の位置ずれがより効果的に抑制されている。したがって、この場合には、圧電振動子の傾きがより効果的に抑制されているとともに、生産性にも優れた圧電装置を提供することができる。
【００１４】
また、この場合には、支持部の下面（端子電極）と接続電極との接合だけでなく、溝部と突出部との接合によって圧電振動子をより強固に接続電極に接続することもできる。
【００１５】
また、本発明の圧電装置によれば、支持部の重心位置の表示部が、圧電振動子の重心位置の近傍に位置する支持部の外側面に形成された互いに対向し合う一対の溝部である場合には、圧電振動子の溝部の位置、つまり圧電振動子の重心の近傍において溝部に突出部が入り込んで圧電振動子が接合されているので、圧電振動子の重心に対する接合位置の精度がより高く、圧電振動子の傾きがより効果的に抑制された圧電装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（ａ）は本発明の圧電装置の実施の形態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図２】（ａ）は本発明の圧電装置の実施の形態の他の例を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図３】（ａ）は本発明の圧電装置の実施の形態の他の例を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）はそれぞれ本発明の圧電装置の実施の形態の他の例における絶縁基体の一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、本発明の圧電装置について添付の図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１８】
図１（ａ）は本発明の圧電装置の実施の形態の一例を示す平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＸ−Ｘ’線における断面図である。なお、図１（ａ）は、内部構造を見やすくするために、蓋体を省略している。図１（ａ）および（ｂ）において、101は絶縁基体
，102は凹部，103は接続電極，104は圧電振動子，105は配線導体，106は導電性接合材，110は突出部である。圧電振動子104が、絶縁基体101の凹部102内に収容されるとともに導
電性接着剤等の導電性接合材106を介して接続電極103に接続され、凹部102が蓋体115で封止されて圧電装置が基本的に構成されている。
【００１９】
本実施形態において、絶縁基体101は、四角枠状の枠部112が四角板状の板部113の上に
積層されてなり、これらの枠部112および板部113により圧電振動子104を収容するための
凹部102が構成されている。絶縁基体101の形状は、例えば直方体状である。
【００２０】
このような絶縁基体101は、例えば酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼
結体，ムライト質焼結体，ガラスセラミック焼結体等の絶縁材料により形成されている。
【００２１】
絶縁基体101は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、枠部112や板部113となる複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、焼成することにより作製さ
れる。板部113となるセラミックグリーンシートは、例えば、酸化アルミニウムや酸化ケ
イ素、酸化カルシウム等の原料粉末を有機溶剤、バインダ等とともにドクターブレード法やカレンダーロール法等のシート形成技術を用いて長尺のシート状に成形し、これを所定の寸法の四角板状に切断することにより作製することができる。また、枠部112となるセ
ラミックグリーンシートは、平板状のセラミックグリーンシートの凹部102となる部分を
、金型を用いた打ち抜き加工等により打ち抜いて、四角枠状に成形すること等により作製することができる。
【００２２】
この絶縁基体101の凹部102内に圧電振動子104が搭載されている。圧電振動子104は、一対の長方形板状の振動部107の短辺側の端同士が四角板状の基部108で連結された、いわゆる音叉型である。また、この圧電振動子104は、端子電極（図示せず）が形成された一対
の支持部109が、基部108から振動部107の長辺側の外辺に沿って延びるように形成されて
いる。支持部109の端子電極が接続電極103に導電性接合材106により接合されて、圧電振
動子104が固定（いわゆる両持ち支持されて固定）されている。
【００２３】
なお、圧電振動子104は、励振電極（図示せず）が振動部107に形成されているとともに、この励振電極と端子電極（図示せず）とが電気的に接続されている。後述する接続電極103から端子電極を介して励振電極に電流が供給され、圧電現象により圧電振動子104（振動部107）が振動して所定周波数の信号を発振する。
【００２４】
凹部102は、このような圧電振動子104をできるだけ小さいスペースで収容するために、圧電振動子104の外周よりも少し外形寸法が大きい長方形状に形成されている。
【００２５】
また、凹部102の長辺側の内側面に沿って、互いに対向し合う一対の接続電極103が形成されている。この接続電極103に、圧電振動子104の支持部109にそれぞれ設けられた端子
電極が電気的に接続されて、端子電極に電流が供給される。
【００２６】
図１に示す例において、接続電極103は、配線導体105により凹部102の内側面から枠部112と板部113との層間を経由して絶縁基体101のコーナー部、さらには絶縁基体101（板部113）の下面に形成された半田パッド（図示せず）にかけて電気的に接続されている。
【００２７】
接続電極103を形成する導体としては、タングステンやモリブデン，マンガン，銅，銀
，パラジウム，金，白金等の金属材料を用いることができる。接続電極103は、これらの
金属材料の粉末を有機溶剤と混練して作製した金属ペーストを、絶縁基体101となるセラ
ミックグリーンシートに所定パターンに印刷しておくことにより形成することができる。
【００２８】
なお、図１〜４に示すような絶縁基体101は、枠部112となるセラミックグリーンシートに、枠状とするための打ち抜き加工を施すとともに、これを板部113となるセラミックグ
リーンシート等の下層のセラミックグリーンシート上に積層して一体焼成することにより形成することができる。
【００２９】
圧電振動子104の端子電極を絶縁基体101の接続電極103に接続する導電性接合材106としては、例えば、金や銀，銅，アルミニウム，ニッケル等の金属粉末やカーボン粉末等の導電性フィラーをエポキシ樹脂やポリイミド樹脂，シリコーン樹脂等の樹脂中に混合してなる導電性接着剤を用いることができる。
【００３０】
このような導電性接合材106は、例えば樹脂成分が未硬化で流動性を有するペースト状
の状態で圧電振動子104と接続電極103の間、および圧電振動子104と突出部110との間に介在するように塗布され、その後、樹脂成分が加熱等の硬化手段で硬化して、絶縁基体101
（接続電極103）と圧電振動子104とが接合される。
【００３１】
また、振動部107、基部108及び支持部109からなる音叉型の圧電振動子104は、例えば、一枚の大型の水晶ウェハから複数個が製造される。この製造工程においては、水晶ウェハに切断あるいはエッチング処理等の加工を施して所定の圧電振動子104の形状に成形する
ことによって作製される。なお、圧電振動子104は、微細加工に適したレーザやパウダー
ビームを用いた切断や打ち抜きによっても形成することができる。
【００３２】
そして、励振電極の形成は、水晶ウェハを所定の形状に加工した後に、金属膜エッチング工程において行われる。金属膜エッチング工程において、圧電振動子104の励振電極の
加工を形成する表面（上面および下面）に一様に金属膜を加熱蒸着あるいはスパッタリング法等によって形成し、その上にフォトレジスト膜を露光、現像して形成する。その後、フォトレジスト膜から露出した不要な金属膜をエッチング処理等で除去することによって、所定パターンの励振電極を形成することができる。
【００３３】
本発明の圧電装置において、接続電極103に導電性接合材106の接合位置の表示部Ａが配置されているとともに、圧電振動子104の支持部109に圧電振動子104の重心位置の表示部
Ｂが配置されており、接合位置の表示部Ａと重心位置の表示部Ｂとが対応して互いに接合されている。
【００３４】
図１に示す例においては、接合位置の表示部Ａは、接続電極103の一部を非形成として
、下地の絶縁基体101の表面を部分的に露出させることによって形成されている。また、
重心位置の表示部Ｂは、接合位置の表示Ａを間に挟むような位置において支持部109の外
側面にそれぞれ２つずつ設けた切り欠き（符号なし）によって形成されている。
【００３５】
この接合位置の表示部Ａに導電性接合材106となるものとして例えば未硬化の導電性接
着剤（図示せず）を塗布しておき、接合位置の表示部Ａが支持部109の２つの切り欠き（
重心位置の表示部Ｂ）の間に位置するように圧電振動子104を位置合わせして圧電振動子104をセットする。そして、未硬化の導電性接着剤を加熱等の方法で硬化させれば、圧電振動子104が重心位置の近くで（つまり、質量的に均衡がとれた状態で）導電性接合材106を介して接続電極103に接合される。その後、蓋体115を絶縁基体101の上面に接合して凹部102を封止すれば、絶縁基体101と蓋体115とで構成される容器の内部に圧電振動子104が、
傾き等の不具合が効果的に抑制された圧電装置を製作することができる。
【００３６】
このような圧電装置によれば、圧電振動子104の重心位置の表示部Ｂが接続電極103の接合位置の表示部Ａに対応して接合されていることから、圧電振動子104が接続電極103に対して位置精度よく、つまり接続部分の両側で質量的に均衡がとれた状態で接続されたものとすることができる。したがって、圧電振動子104の傾きを抑制し、この傾きに起因する
不具合が抑制された圧電装置を提供することができる。
【００３７】
なお、蓋体115は、絶縁基体101の上面に接合されて凹部102を気密封止することができ
るものであれば、その形状および材料等は適宜設定することができる。蓋体115は、例え
ば、鉄−ニッケル−コバルト等の鉄系合金や銅，アルミニウム等の金属材料，酸化アルミニウム質焼結体等のセラミック材料，ガラス材料等からなる四角板状のものによって形成されている。
【００３８】
また、蓋体115の絶縁基体101に対する接合は、ろう材や樹脂接着剤，ガラス等の接合材を介した接合法や溶接法等によって行なわれている。蓋体115を絶縁基体101にろう材を介した接合や溶接法によって接合する場合であれば、絶縁基体101の上面に凹部102を囲む枠状のメタライズ層114を設けておくことが好ましい。蓋体115およびメタライズ層114につ
いては、後により詳しく説明する。
【００３９】
さらに、圧電振動子104の振動エネルギーを発生させる部分となる振動部107については、例えば図１（ａ）に示すように平面視で一対の接続電極103よりも内側に位置している
（重ならない）ことが好ましい。これは、接続電極103と振動部107との接触を防ぐためである。例えば、接続電極103を構成するメタライズ層の厚みは、10〜15μｍ程度であり、
このメタライズ層にさらにめっき膜となるニッケル，金等の金属が合計で10〜20μｍ程度の厚みとなるように被着されるため、凹部102の底面から20〜35μｍ程度の隙間を形成す
ることができる。
【００４０】
なお、接合位置の表示部Ａおよび重心位置の表示部Ｂは、上記の形態に限らず、例えば接続電極103や支持部109の形状をそれぞれの表示部Ａ，Ｂに相当する部分において他と異ならせる（幅を広くする等）ことによって形成しても構わない。
【００４１】
本発明の圧電装置において、例えば図２に示すように、接合位置の表示部Ａが、接続電極103が形成された位置において凹部102の内側面に形成された突出部110であり、重心位
置の表示Ｂが、支持部109のそれぞれの外側の側面に上下方向に形成された溝部111であり、溝部111に突出部110に入り込んでいる場合には、以下のような効果を得ることができる。なお、図２（ａ）は、本発明の圧電装置の実施の形態の他の例を示す平面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＸ−Ｘ’線における断面図である。図２において図１と同様の部位には同様の符号を付している。図２（ａ）においても、内部構造を見やすくするために蓋体115を省略している。
【００４２】
すなわち、圧電振動子104の支持部109に設けた溝部111に突出部110が入り込んでいることから、圧電振動子104の接続電極103への位置決めをより容易にでき、圧電振動子104を
より容易かつ確実に位置精度よく接続電極103に接続することができる。つまり、接合位
置および重心位置それぞれの表示部Ａ，Ｂが、図１に示したような位置合わせ用のマークとしての機能に加えて、溝部111と突出部110との噛み合わせによって圧電振動子104の位
置を機械的に制御する機能も備える。
【００４３】
そのため、圧電振動子104の重心位置の表示部Ｂと接続電極103の接合位置の表示部Ａとの対応が、溝部111に突出部110をはめるだけで容易に、かつ確実に行なえる。また、溝部111に突出部110が入り込んでいるので、圧電振動子104の位置ずれがより効果的に抑制さ
れている。したがって、この場合には、圧電振動子104の傾きがより効果的に抑制されて
いるとともに、生産性にも優れた圧電装置を提供することができる。
【００４４】
また、この場合には、支持部109の下面（端子電極）と接続電極103との接合だけでなく、溝部111と突出部110との接合によって圧電振動子104をより強固に接続電極103に接続することもできる。
【００４５】
なお、図２に示す例においては、圧電振動子104の重心位置から支持部109に向かって、支持部109の長さ方向に直交する方向に設けた仮想線Ｇが支持部109と交差する位置を重心の近傍位置とし、この重心の近傍位置を間にして２つの溝部111を、２つの支持部109のそれぞれの外側の側面に設けている。つまり、この２つの溝部111は、その間が圧電振動子
の重心位置であることを示す重心位置の表示部Ｂとなっている。また、接合位置の表示部Ａは、溝部111とそれぞれに対応して凹部102の内側面に形成された、凹部102の１つの内
側面に２つずつ形成された突出部110によって構成されている。例えば、この２つの突出
部110の間が導電性接合材106となる未硬化の導電性接着剤の塗布位置になる。
【００４６】
この場合、圧電振動子104の溝部111に突出部110が入り込んで圧電振動子104が絶縁基体101の所定の位置に搭載され、圧電振動子104の端子電極が接続電極103に導電性接合材106を介して接続される。
【００４７】
絶縁基体101の突出部110は、例えば、絶縁基体101の枠部112となる枠状のセラミックグリーンシートを作製する際に、枠状の部分の内側面に突出部110となる平面視で凸状の部
分が形成されるような金型を準備し、この金型を用いて打ち抜き加工すればよい。また、溝部111は、水晶ウェハに上記のような加工を施す際に、溝部111が形成されるようにエッチング加工等を行なえばよい。
【００４８】
溝部111が上下方向に形成されているのは、例えば圧電振動子104を凹部102にマウンタ
ー等の部品搭載装置で搭載する際に、凹部102の上方から溝部111が突出部110に入り込み
やすくするためである。また、平面視における溝部111および突出部110の形状は、例えば図２に示すように楕円弧状等の、溝部111に突出部110を入れるのが容易な形状とすればよい。
【００４９】
なお、この場合には、支持部109の下面と接続電極103との接合だけでなく溝部111と突
出部110との接合も行われることから、圧電振動子104をより強固に接続電極103に接続す
る上でも有利である。つまり、圧電振動子104と接続電極103とが導電性接合材106によっ
て電気的および機械的に接続されるとともに、圧電振動子104と突出部110とも機械的に接合されることとなり、圧電振動子104をより強固に接続電極103に接続することができる。なお、突出部110の側面に金属層が形成されておらず、金型等で打ち抜かれた粗面で構成
されている場合には、この粗面の微細な凸凹に導電性接合材106が入り込んでさらに接合
強度を向上させることができる。
【００５０】
また、本発明の圧電装置によれば、上記構成において、例えば図３に示すように、支持部109の重心位置の表示部Ｂが、圧電振動子104の重心位置の近傍に位置する支持部109の
外側面に形成された互いに対向し合う一対の溝部111である場合には、圧電振動子104の溝部111の位置、つまり圧電振動子104の重心の近くにおいて溝部111に突出部110が入り込んで圧電振動子104が接合されているので、圧電振動子104の重心に対する接合位置の精度をさらに高くして、圧電振動子104の傾きがより効果的に抑制された圧電装置を提供するこ
とができる。なお、図３（ａ）は、本発明の圧電装置の実施の形態の他の例を示す平面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＸ−Ｘ’線における断面図である。図３において図１および図２と同様の部位には同様の符号を付している。図３（ａ）においても、内部構造を見やすくするために蓋体115を省略している。
【００５１】
ここで、従来技術における上記片持ち支持構造の圧電装置（図示せず）であれば、塗布した未硬化の導電性接着剤（導電性接合材106）の硬化時の収縮力を利用して圧電振動子
の反対側の端部分を持ち上げ、圧電振動子と凹部102の底面との間の間隙を維持すること
ができる。これに対して、従来技術における支持部（図示せず）を接合するようにした両持ち支持構造の圧電装置（図示せず）においては、上記導電性接着剤の硬化時の収縮により圧電振動子（図示せず）が傾いて振動部や基部の端部が凹部（図示せず）の底面に接触したり、圧電振動子と凹部との隙間が小さくなって外部からの衝撃により圧電振動子が破損する可能性があった。
【００５２】
本発明の圧電装置によれば、例えば図３に示す例のように溝部111を圧電振動子104の重心の近傍となる位置に形成することにより、接続電極103へ圧電振動子104を接続する際の位置精度をより容易に高くすることができ、圧電振動子104の傾きを抑制して圧電振動子104の接触や破損の可能性をより効果的に低減させることができる。
【００５３】
なお、図３に示す例においては、突出部110により凹部102内の接続電極103の一部およ
び配線導体105の一部が覆われた構造となっている。このように、突出部110により凹部102内の接続電極103の一部または配線導体105の一部が覆われた構造となっているとともに
、突出部110の上面や側面に金属層が形成されない構造であれば、圧電振動子104を接合するための導電性接合材106の絶縁基体101上面への這い上がりや、蓋体115を凹部102の上面のメタライズ層114に接合するためのろう材等の凹部102内への流れ込みが抑制されるため、圧電振動子104の接合時の短絡を抑制する作用もある。
【００５４】
また、突出部110の形状は、例えば図３で示したように、平面視で幅（隣り合う凹部102の内側面の長さ方向の寸法）が、内側（凹部102の中央側）に向かって漸次狭くなるよう
に形成すればよい。また、同様に溝部111の形状も、平面視で幅が内側に向かって漸次狭
くなるような形状とすれば。突出部110および溝部111をこのような形状（台形状）とした場合には、圧電振動子104をマウンター等の部品搭載装置で搭載する際、より良好に（容
易に）溝部111に突出部110を位置合わせして圧電振動子104を搭載することができる。
【００５５】
溝部111は、端子電極を支持部109に形成することを妨げない範囲であれば、その形状および寸法を適宜設定することができる。例えば、外形の寸法が2.0ｍｍ×1.6ｍｍの長方形状（いわゆる2016サイズ）の絶縁基体101に収容される圧電振動子104であれば、その長さが1.0〜1.2ｍｍ程度、振動部107および支持部109の長さが0.8〜1.0ｍｍ程度であり、支持部109には幅が0.2〜0.4ｍｍ程度の平面視で台形状の溝部111を形成しておけばよい。また、この場合に突出部110は、溝部111にちょうどはめることができる程度の形状および寸法、つまり平面視で溝部111よりもわずかに大きな台形状等）に設定すればよい。
【００５６】
配線導体105は、例えば接続電極103と同様の金属材料により形成される。配線導体105
は、例えば接続電極103を形成するのと同様の金属ペーストを、絶縁基体101となるセラミックグリーンシートの所定部位にスクリーン印刷法等の方法で印刷し、同時焼成することにより形成することができる。
【００５７】
また、図１〜図３に示す例において、絶縁基体101の枠部112の上面には、前述したようにメタライズ層114が形成されており、このメタライズ層114は、鉄−ニッケル合金や鉄−ニッケル−コバルト合金等からなる蓋体115を、銀ろう等のろう材により絶縁基体101に接合するためのものである。このメタライズ層114に蓋体115が接合されて、圧電振動子104
が凹部102と蓋体115とで構成される容器の内部に気密封止される。ろう材を使用して蓋体115とメタライズ層114とを接合する方法としては、例えば、半田や金錫合金等のいわゆる低融点ろう材による接合方法や、ろう材が下面に一体的に形成された蓋体115を、シーム
溶接やエレクトロンビーム溶接により溶接する接合方法が用いられている。
【００５８】
メタライズ層114は、その露出する表面にニッケル，金等の耐食性に優れ、かつろう材
との濡れ性に優れる金属をめっき法により１〜20μｍの厚みに被着させておくと、メタライズ層114の酸化腐食を有効に防止することができるとともに、メタライズ層114と蓋体115との接続を強固なものとすることができる。
【００５９】
圧電装置となる絶縁基体101の凹部102に圧電振動子104を収容し、圧電振動子104の端子電極を接続電極103に導電性接着剤等の導電性接合材106を介して接合した後、凹部102を
蓋体115で封止することにより圧電装置が製作される。そして、圧電振動子104の接続電極103に対する接合強度を確保しながら小型化することが容易な圧電装置を提供することが
できる。
【００６０】
また、図３に示すような圧電装置において、例えば図４に示すように、導電性接合材106が突出部110の側面を伝って所定の部位以外の部位に流れることを抑制するような形態としてもよい。なお、図４（ａ）および（ｂ）は、それぞれ本発明の圧電装置の実施の形態の他の例における絶縁基体101の一例を示す斜視図である。図４において図１および図３
と同様の部位には同様の符号を付している。図４においては、絶縁基体101の構造を説明
する上で不要な部分は省略している。
【００６１】
例えば、図４（ａ）に示す例においては、突出部110の上面を絶縁基体101（枠部112）
の上面よりも低くしておいて、導電性接合材106が突出部110の側面を伝って絶縁基体101
の上面まで流れるのをより効果的に抑制するようにしている。この場合には、導電性接合材106を介して圧電振動子104とメタライズ層114等とが電気的に短絡すること等の不具合
を抑制する上で有効である。
【００６２】
突出部110の上面を絶縁基体101の上面よりも低くするには、凹部102を形成するための
枠状のセラミックグリーンシート２を２層等の複数として、このうち下側に積層するセラミックグリーンシートのみに突出部110となる凸状の部分を枠の内周に形成すればよい。
このようにすれば、上側に積層される枠状セラミックグリーンシートの内周には凸状の部
分を形成していないので、その分、突出部110の高さを低く抑えることができる。
【００６３】
また、図４（ｂ）に示す例においては、突出部110の高さ方向の途中に、突出部110の幅いっぱいに帯状に金めっき層116を被着させている。この例の場合には、金めっき層116に対する導電性接合材106としての未硬化の導電性接着剤の濡れ性が比較的低いため、この
金めっき層116よりも上側に導電性接着剤が流れることを効果的に抑制することができる
。この場合にも、導電性接合材106を介して圧電振動子104とメタライズ層114等とが電気
的に短絡すること等の不具合を抑制する上で有効である。金めっき層116は、例えば、絶
縁基体101となる枠状のセラミックグリーンシートのうち突出部110の側面に相当する部分に接続電極103等と同様の金属ペーストを塗布して焼成し、その後、この金属ペーストが
焼成されてなる帯状のメタライズ層に電解めっき法や無電解めっき法で被着させることができる。
【００６４】
なお、本発明の圧電装置は、上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の形態に変形できる。例えば、突出部110の形状を平面視
で台形状としたが、半円状や半楕円状、その他の形状としてもよい。また、上述の例では圧電振動子104の支持部109のそれぞれの外側の側面に溝部111が形成されており、この溝
部111が突出部110に入り込んで固定された圧電装置を示したが、これとは逆に圧電振動子104の支持部109のそれぞれの外側の側面に突出部（図示せず）を形成しておき、この突出部が絶縁基体101の側面に形成された溝部（図示せず）に入り込んで固定された圧電装置
でもよい。
【符号の説明】
【００６５】
101・・・・・絶縁基体
102・・・・・凹部
103・・・・・接続電極
104・・・・・圧電振動子
105・・・・・配線導体
106・・・・・導電性接合材
107・・・・・振動部
108・・・・・基部
109・・・・・支持部
110・・・・・突出部
111・・・・・溝部
112・・・・・枠部
113・・・・・板部
114・・・・・メタライズ層
115・・・・・蓋体
116・・・・・金めっき層
Ａ ・・・・・接合位置の表示部
Ｂ ・・・・・重心位置の表示部
【図１】
2012028926.tif 000003
【図２】
2012028926.tif 000004
【図３】
2012028926.tif 000005
【図４】
2012028926.tif 000006