(57)【要約】【課題】通過周波数帯域における周波数特性の平坦性の劣化を抑えながら、ＥＳＤ耐性に優れた弾性波デバイスを提供すること。【解決手段】電極指１２、１２の交差領域からバスバー１１側に離れた位置において、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間及び互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間に夫々第１のフロートダミー電極１６、１６及び第２のフロートダミー電極１８を設けて、これらフロートダミー電極１６、１８を他の部位から電気的に浮いた状態にすると共に、これらフロートダミー電極１６、１８をＩＤＴ電極１における電極指１２の配列パターンに対応するように形成する。【選択図】図１
2012065272.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性波の伝搬方向に沿って互いに離間して並べられた複数のＩＤＴ電極及びこれら複数のＩＤＴ電極を弾性波の伝搬方向における両側から挟むように配置されたグレーティング反射器が共通の圧電基板上に形成されたことと、
前記複数のＩＤＴ電極の各々は、信号ポート及び接地ポートの一方及び他方に夫々接続される一対のバスバーと、これらバスバーの各々から対向するバスバーに向かって互いに櫛歯状に伸び出す電極指と、を備えると共に、これらＩＤＴ電極における電極指の配列パターンが弾性波の伝搬方向に沿って連続して形成されるように、各々のＩＤＴ電極における電極指の配列パターン及び互いに隣接するＩＤＴ電極同士の間の離間寸法が設定されたことと、
前記グレーティング反射器の各々は、前記電極指の長さ方向に沿って各々伸びると共に弾性波の伝搬方向に互いに離間して配置された複数本のグレーティング電極指及びこれらグレーティング電極指の各々の一端側及び他端側を夫々接続するグレーティングバスバーを備えると共に、前記グレーティング電極指の配列及び各々のグレーティング反射器に隣接するＩＤＴ電極との間の離間寸法が前記配列パターンに対応するように形成されていることと、
互いに隣接する２つのＩＤＴ電極のうち一方側のＩＤＴ電極において、他方側のＩＤＴ電極に隣接する電極指を第１の端部電極指と呼ぶと、当該一方側のＩＤＴ電極の一対のバスバーのうち、前記第１の端部電極指の接続されたバスバーに対向するバスバーは、前記他方側のＩＤＴ電極側の端部が前記第１の端部電極指の先端部の延長領域よりも前記一方側のＩＤＴ電極側に離間するように配置されていることと、
前記延長領域には、前記一方側のＩＤＴ電極と前記他方側のＩＤＴ電極との間において互いに電位の異なる部位間の静電破壊を抑えるために、弾性波の伝搬方向に直交する方向に伸びる第１のフロートダミー電極が形成されていることと、
この第１のフロートダミー電極は、幅寸法及び当該第１のフロートダミー電極の両側のＩＤＴ電極との間の離間寸法が前記配列パターンに対応するように夫々形成されると共に、前記複数のＩＤＴ電極、前記信号ポート、前記接地ポート及び前記グレーティング反射器から夫々電気的に浮いた状態となっていることと、を備えたことを特徴とする弾性波デバイス。
【請求項２】
前記グレーティング反射器に隣接するＩＤＴ電極において、当該グレーティング反射器に隣接する電極指を第２の端部電極指と呼ぶと、当該隣接するＩＤＴ電極の一対のバスバーのうち、前記第２の端部電極指の接続されたバスバーに対向するバスバーは、前記グレーティング反射器側の端部が前記第２の端部電極指の先端部の延長領域よりも前記隣接するＩＤＴ電極側に離間するように配置されていることと、
前記第２の端部電極指の延長領域には、前記グレーティング反射器と前記隣接するＩＤＴ電極との間における静電破壊を抑えるために、弾性波の伝搬方向に直交する方向に伸びる第２のフロートダミー電極が形成されていることと、
この第２のフロートダミー電極は、幅寸法と前記隣接するＩＤＴ電極及びグレーティング反射器との間の離間寸法とが前記配列パターンに対応するように夫々形成されると共に、前記複数のＩＤＴ電極、前記信号ポート、前記接地ポート、前記グレーティング反射器及び前記第１のフロートダミー電極から夫々電気的に浮いた状態となっていることと、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項３】
前記ＩＤＴ電極側の少なくとも１本のグレーティング電極指における両端部が前記グレーティングバスバーから開放されてフロート反射器をなすように、当該グレーティングバスバーは、前記グレーティング電極指の各々の一端側及び他端側を夫々接続することに代えて、前記ＩＤＴ電極とは反対側の端部のグレーティング電極指から、前記少なくとも１本のグレーティング電極指よりも１本当該端部側のグレーティング電極指までの一端側及び他端側を夫々接続するように配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項４】
前記複数のＩＤＴ電極は、一対のバスバー間の寸法である開口長よりも、一対のバスバーのうち一方側のバスバーから伸び出す電極指と、当該電極指に隣接するように他方側のバスバーから伸び出す電極指とが交差する交差幅の方が弾性波の伝搬方向に亘って小さくなるように、これらバスバーから伸び出す電極指の各々の先端部に臨むように当該バスバーに対向するバスバーから各々伸び出すダミー電極指を各々備えていることと、
前記第１のフロートダミー電極は、弾性波の伝搬方向から見た時に、前記第１の端部電極指の先端部に近接する位置と、当該第１の端部電極指の接続されたバスバーに対向するバスバーにおいて電極指の接続された稜線とは反対側の稜線とに亘って形成されていることと、を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の弾性波デバイス。
【請求項５】
前記第２のフロートダミー電極は、弾性波の伝搬方向から見た時に、前記第２の端部電極指の先端部に近接する位置と、当該第２の端部電極指の接続されたバスバーに対向するバスバーにおいて電極指の接続された稜線とは反対側の稜線とに亘って形成されていることを特徴とする請求項４に記載の弾性波デバイス。
【請求項６】
前記一方側のＩＤＴ電極において信号ポートの接続されるバスバーと、前記他方側のＩＤＴ電極において接地ポートの接続されるバスバーとは、弾性波の伝搬方向に沿って一列に配置され、
前記第１のフロートダミー電極は、前記一方側のＩＤＴ電極における前記他方側のＩＤＴ電極に隣接する領域に加えて、前記他方側のＩＤＴ電極における前記一方側のＩＤＴ電極に隣接する領域に設けられていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の弾性波デバイス。
【請求項７】
前記ＩＤＴ電極は３つ以上設けられ、
これらＩＤＴ電極において信号ポートの接続されるバスバーと、接地ポートの接続されるバスバーとは、弾性波の伝搬方向に沿って交互に一列に配置され、
これらＩＤＴ電極の互いに隣接する一方側のＩＤＴ電極と他方側のＩＤＴ電極との各々について、一方側のＩＤＴ電極における他方側のＩＤＴ電極に隣接する領域と、前記他方側のＩＤＴ電極における前記一方側のＩＤＴ電極に隣接する領域とに第１のフロートダミー電極が各々配置されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一つに記載の弾性波デバイス。
【請求項８】
前記グレーティング反射器と当該グレーティング反射器に隣接するＩＤＴ電極との間の各々の領域に前記第２のフロートダミー電極が設けられていることを特徴とする請求項７に記載の弾性波デバイス。
【請求項９】
前記フロート反射器は、前記ＩＤＴ電極と前記グレーティング反射器との間の各々の領域に設けられていることを特徴とする請求項７または８に記載の弾性波デバイス。
【請求項１０】
圧電基板上に形成され、信号ポートまたは接地ポートに夫々接続される一対のバスバー及びこれらバスバーの各々から対向するバスバーに向かって互いに櫛歯状に伸び出す電極指を有するＩＤＴ電極を備えたことと、
前記ＩＤＴ電極に対して弾性波の伝搬方向に離間するように前記圧電基板上に形成され、前記電極指の長さ方向に沿って各々伸びると共に弾性波の伝搬方向に互いに離間して配置された複数本のグレーティング電極指及びこれらグレーティング電極指の各々の一端側及び他端側を夫々接続するグレーティングバスバーを有するグレーティング反射器を備えたことと、
前記ＩＤＴ電極及び前記グレーティング反射器は、当該ＩＤＴ電極における電極指の配列パターンが弾性波の伝搬方向に沿って連続して形成されるように、前記電極指の配列パターン、前記グレーティング電極指の配列パターン及び前記ＩＤＴ電極と前記グレーティング反射器との間の離間寸法が夫々設定されていることと、
前記グレーティング反射器に隣接する電極指を第２の端部電極指と呼ぶと、前記ＩＤＴ電極の一対のバスバーのうち、前記第２の端部電極指の接続されたバスバーに対向するバスバーは、前記グレーティング反射器側の端部が前記第２の端部電極指の延長領域よりも前記ＩＤＴ電極側に離間するように配置されていることと、
前記延長領域には、前記グレーティング反射器と前記ＩＤＴ電極との間における静電破壊を抑えるために、弾性波の伝搬方向に直交する方向に伸びる第２のフロートダミー電極が形成されていることと、
この第２のフロートダミー電極は、幅寸法と前記ＩＤＴ電極及び前記グレーティング反射器との間の離間寸法とが前記配列パターンに対応するように夫々形成されると共に、前記ＩＤＴ電極、前記信号ポート、前記接地ポート及び前記グレーティング反射器から夫々電気的に浮いた状態となっていることと、を備えたことを特徴とする弾性波デバイス。
【請求項１１】
圧電基板上に形成され、信号ポートまたは接地ポートに夫々接続される一対のバスバー及びこれらバスバーの各々から対向するバスバーに向かって互いに櫛歯状に伸び出す電極指を有するＩＤＴ電極を備えたことと、
前記ＩＤＴ電極に対して弾性波の伝搬方向に離間するように前記圧電基板上に形成され、前記電極指の長さ方向に沿って各々伸びると共に弾性波の伝搬方向に互いに離間して配置された複数本のグレーティング電極指及び前記ＩＤＴ電極側から少なくとも２本目のグレーティング電極指から、前記ＩＤＴ電極とは反対側の端部のグレーティング電極指までの一端側及び他端側を夫々接続するグレーティングバスバーを有するグレーティング反射器を備えたことと、
前記ＩＤＴ電極及び前記グレーティング反射器は、当該ＩＤＴ電極における電極指の配列パターンが弾性波の伝搬方向に沿って連続して形成されるように、前記電極指の配列パターン、前記グレーティング電極指の配列パターン及び前記ＩＤＴ電極と前記グレーティング反射器との間の離間寸法が夫々設定されていることと、
前記グレーティングバスバーから離間して配置されたグレーティング電極指は、前記ＩＤＴ電極、前記信号ポート、前記接地ポート及び前記グレーティング反射器の他の部位から夫々電気的に浮いた状態となっていることと、を備えたことを特徴とする弾性波デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＤＴ（インターディジタルトランスデューサ）電極を備えた弾性波デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話端末などの通信機器に使用される周波数帯域の高域化に伴い、当該通信機器に搭載されるＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ）フィルタやＳＡＷデュプレクサなどの弾性波デバイスについても高域化が要求されている。そのため、この通信機器に搭載される例えば図１８に示す縦モード共振器型フィルタでは、ＩＤＴ（インターディジタルトランスデューサ）電極１０２における電極指１００、１００間の寸法が極めて狭く（伝搬する弾性波の波長が短く）なっている。
【０００３】
このように電極指１００、１００間の離間寸法が狭まるにつれて、静電気放電（ＥＳＤ：Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）などの高電圧が例えば互いに隣接する電極指１００、１００間に発生した時には、これら電極指１００、１００間に電流が流れやすくなってしまう。また、互いに電位の異なる部位例えば２つのＩＤＴ電極１０２、１０２間では、図１８の下側に示すように容量成分Ｃが発生するので、当該ＩＤＴ電極１０２、１０２間の離間寸法（弾性波の波長）が小さくなるにつれて、容量成分Ｃが大きくなってＥＳＤにより通電しやすくなってしまう。
【０００４】
そこで、ＩＤＴ電極１０２について、ＥＳＤによる通電を抑えるために例えば電流の流れやすいエッジ部に丸みを持たせる手法が知られているが、デバイスの静電破壊を抑えることは依然として困難である。また、２つのＩＤＴ電極１０２、１０２において互いに隣接する電極指１００、１００の一方を取り除き、いわばＩＤＴ電極１０２、１０２を離間させた場合には、弾性波の励振されない領域が形成されることになり、スプリアス（信号強度の部分的な増減）の発生によって通過周波数帯域における周波数特性の平坦性が劣化してしまう。
【０００５】
特許文献１には、第２電極指２４ａの先端部２５を仮想延長線１８上まで延伸することによって、第１バスバー１２と第３バスバー３２との間の距離Ｌ２を長くしてこれらバスバー１２、３２間におけるＥＳＤ耐性を高める技術について記載されているが、第２電極指２４と第３バスバー３２との間におけるＥＳＤについては触れられていない。また、特許文献１のように、バスバー１２、２２間の離間寸法（開口長）よりも電極指１４、２４間の交差幅を短くした場合には、第２電極指２４と当該第２電極指２４に隣接する第４ダミー電極指４６との間で弾性波が励振されて、不要な縦モードスプリアスが発生してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−３８７１８（段落００２５〜００２６、図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情に基づいてなされたものであり、その目的は、通過周波数帯域における周波数特性の平坦性の劣化を抑えながら、ＥＳＤ耐性に優れた弾性波デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の弾性波デバイスは、
弾性波の伝搬方向に沿って互いに離間して並べられた複数のＩＤＴ電極及びこれら複数のＩＤＴ電極を弾性波の伝搬方向における両側から挟むように配置されたグレーティング反射器が共通の圧電基板上に形成されたことと、
前記複数のＩＤＴ電極の各々は、信号ポート及び接地ポートの一方及び他方に夫々接続される一対のバスバーと、これらバスバーの各々から対向するバスバーに向かって互いに櫛歯状に伸び出す電極指と、を備えると共に、これらＩＤＴ電極における電極指の配列パターンが弾性波の伝搬方向に沿って連続して形成されるように、各々のＩＤＴ電極における電極指の配列パターン及び互いに隣接するＩＤＴ電極同士の間の離間寸法が設定されたことと、
前記グレーティング反射器の各々は、前記電極指の長さ方向に沿って各々伸びると共に弾性波の伝搬方向に互いに離間して配置された複数本のグレーティング電極指及びこれらグレーティング電極指の各々の一端側及び他端側を夫々接続するグレーティングバスバーを備えると共に、前記グレーティング電極指の配列及び各々のグレーティング反射器に隣接するＩＤＴ電極との間の離間寸法が前記配列パターンに対応するように形成されていることと、
互いに隣接する２つのＩＤＴ電極のうち一方側のＩＤＴ電極において、他方側のＩＤＴ電極に隣接する電極指を第１の端部電極指と呼ぶと、当該一方側のＩＤＴ電極の一対のバスバーのうち、前記第１の端部電極指の接続されたバスバーに対向するバスバーは、前記他方側のＩＤＴ電極側の端部が前記第１の端部電極指の先端部の延長領域よりも前記一方側のＩＤＴ電極側に離間するように配置されていることと、
前記延長領域には、前記一方側のＩＤＴ電極と前記他方側のＩＤＴ電極との間において互いに電位の異なる部位間の静電破壊を抑えるために、弾性波の伝搬方向に直交する方向に伸びる第１のフロートダミー電極が形成されていることと、
この第１のフロートダミー電極は、幅寸法及び当該第１のフロートダミー電極の両側のＩＤＴ電極との間の離間寸法が前記配列パターンに対応するように夫々形成されると共に、前記複数のＩＤＴ電極、前記信号ポート、前記接地ポート及び前記グレーティング反射器から夫々電気的に浮いた状態となっていることと、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
前記弾性波デバイスの具体的態様としては、以下のように構成しても良い。
前記グレーティング反射器に隣接するＩＤＴ電極において、当該グレーティング反射器に隣接する電極指を第２の端部電極指と呼ぶと、当該隣接するＩＤＴ電極の一対のバスバーのうち、前記第２の端部電極指の接続されたバスバーに対向するバスバーは、前記グレーティング反射器側の端部が前記第２の端部電極指の先端部の延長領域よりも前記隣接するＩＤＴ電極側に離間するように配置されていることと、
前記第２の端部電極指の延長領域には、前記グレーティング反射器と前記隣接するＩＤＴ電極との間における静電破壊を抑えるために、弾性波の伝搬方向に直交する方向に伸びる第２のフロートダミー電極が形成されていることと、
この第２のフロートダミー電極は、幅寸法と前記隣接するＩＤＴ電極及びグレーティング反射器との間の離間寸法とが前記配列パターンに対応するように夫々形成されると共に、前記複数のＩＤＴ電極、前記信号ポート、前記接地ポート、前記グレーティング反射器及び前記第１のフロートダミー電極から夫々電気的に浮いた状態となっていることと、を備えた構成。
【００１０】
前記ＩＤＴ電極側の少なくとも１本のグレーティング電極指における両端部が前記グレーティングバスバーから開放されてフロート反射器をなすように、当該グレーティングバスバーは、前記グレーティング電極指の各々の一端側及び他端側を夫々接続することに代えて、前記ＩＤＴ電極とは反対側の端部のグレーティング電極指から、前記少なくとも１本のグレーティング電極指よりも１本当該端部側のグレーティング電極指までの一端側及び他端側を夫々接続するように配置されている構成。
【００１１】
前記複数のＩＤＴ電極は、一対のバスバー間の寸法である開口長よりも、一対のバスバーのうち一方側のバスバーから伸び出す電極指と、当該電極指に隣接するように他方側のバスバーから伸び出す電極指とが交差する交差幅の方が弾性波の伝搬方向に亘って小さくなるように、これらバスバーから伸び出す電極指の各々の先端部に臨むように当該バスバーに対向するバスバーから各々伸び出すダミー電極指を各々備えていることと、
前記第１のフロートダミー電極は、弾性波の伝搬方向から見た時に、前記第１の端部電極指の先端部に近接する位置と、当該第１の端部電極指の接続されたバスバーに対向するバスバーにおいて電極指の接続された稜線とは反対側の稜線とに亘って形成されていることと、を備えた構成。前記第２のフロートダミー電極は、弾性波の伝搬方向から見た時に、前記第２の端部電極指の先端部に近接する位置と、当該第２の端部電極指の接続されたバスバーに対向するバスバーにおいて電極指の接続された稜線とは反対側の稜線とに亘って形成されている構成。
【００１２】
前記一方側のＩＤＴ電極において信号ポートの接続されるバスバーと、前記他方側のＩＤＴ電極において接地ポートの接続されるバスバーとは、弾性波の伝搬方向に沿って一列に配置され、
前記第１のフロートダミー電極は、前記一方側のＩＤＴ電極における前記他方側のＩＤＴ電極に隣接する領域に加えて、前記他方側のＩＤＴ電極における前記一方側のＩＤＴ電極に隣接する領域に設けられている構成。
前記ＩＤＴ電極は３つ以上設けられ、
これらＩＤＴ電極において信号ポートの接続されるバスバーと、接地ポートの接続されるバスバーとは、弾性波の伝搬方向に沿って交互に一列に配置され、
これらＩＤＴ電極の互いに隣接する一方側のＩＤＴ電極と他方側のＩＤＴ電極との各々について、一方側のＩＤＴ電極における他方側のＩＤＴ電極に隣接する領域と、前記他方側のＩＤＴ電極における前記一方側のＩＤＴ電極に隣接する領域とに第１のフロートダミー電極が各々配置されている構成。
前記グレーティング反射器と当該グレーティング反射器に隣接するＩＤＴ電極との間の各々の領域に前記第２のフロートダミー電極が設けられている構成。前記フロート反射器は、前記ＩＤＴ電極と前記グレーティング反射器との間の各々の領域に設けられている構成。
【００１３】
本発明の弾性波デバイスは、
圧電基板上に形成され、信号ポートまたは接地ポートに夫々接続される一対のバスバー及びこれらバスバーの各々から対向するバスバーに向かって互いに櫛歯状に伸び出す電極指を有するＩＤＴ電極を備えたことと、
前記ＩＤＴ電極に対して弾性波の伝搬方向に離間するように前記圧電基板上に形成され、前記電極指の長さ方向に沿って各々伸びると共に弾性波の伝搬方向に互いに離間して配置された複数本のグレーティング電極指及びこれらグレーティング電極指の各々の一端側及び他端側を夫々接続するグレーティングバスバーを有するグレーティング反射器を備えたことと、
前記ＩＤＴ電極及び前記グレーティング反射器は、当該ＩＤＴ電極における電極指の配列パターンが弾性波の伝搬方向に沿って連続して形成されるように、前記電極指の配列パターン、前記グレーティング電極指の配列パターン及び前記ＩＤＴ電極と前記グレーティング反射器との間の離間寸法が夫々設定されていることと、
前記グレーティング反射器に隣接する電極指を第２の端部電極指と呼ぶと、前記ＩＤＴ電極の一対のバスバーのうち、前記第２の端部電極指の接続されたバスバーに対向するバスバーは、前記グレーティング反射器側の端部が前記第２の端部電極指の延長領域よりも前記ＩＤＴ電極側に離間するように配置されていることと、
前記延長領域には、前記グレーティング反射器と前記ＩＤＴ電極との間における静電破壊を抑えるために、弾性波の伝搬方向に直交する方向に伸びる第２のフロートダミー電極が形成されていることと、
この第２のフロートダミー電極は、幅寸法と前記ＩＤＴ電極及び前記グレーティング反射器との間の離間寸法とが前記配列パターンに対応するように夫々形成されると共に、前記ＩＤＴ電極、前記信号ポート、前記接地ポート及び前記グレーティング反射器から夫々電気的に浮いた状態となっていることと、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の弾性波デバイスは、
圧電基板上に形成され、信号ポートまたは接地ポートに夫々接続される一対のバスバー及びこれらバスバーの各々から対向するバスバーに向かって互いに櫛歯状に伸び出す電極指を有するＩＤＴ電極を備えたことと、
前記ＩＤＴ電極に対して弾性波の伝搬方向に離間するように前記圧電基板上に形成され、前記電極指の長さ方向に沿って各々伸びると共に弾性波の伝搬方向に互いに離間して配置された複数本のグレーティング電極指及び前記ＩＤＴ電極側から少なくとも２本目のグレーティング電極指から、前記ＩＤＴ電極とは反対側の端部のグレーティング電極指までの一端側及び他端側を夫々接続するグレーティングバスバーを有するグレーティング反射器を備えたことと、
前記ＩＤＴ電極及び前記グレーティング反射器は、当該ＩＤＴ電極における電極指の配列パターンが弾性波の伝搬方向に沿って連続して形成されるように、前記電極指の配列パターン、前記グレーティング電極指の配列パターン及び前記ＩＤＴ電極と前記グレーティング反射器との間の離間寸法が夫々設定されていることと、
前記グレーティングバスバーから離間して配置されたグレーティング電極指は、前記ＩＤＴ電極、前記信号ポート、前記接地ポート及び前記グレーティング反射器の他の部位から夫々電気的に浮いた状態となっていることと、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、互いに隣接するＩＤＴ電極同士の間の領域または互いに隣接するＩＤＴ電極とグレーティング反射器との間の領域において電極指の交差領域よりもバスバー側に離れた位置に、ＩＤＴ電極の電極指の配列パターンに対応するように幅寸法及び隣接するＩＤＴ電極やグレーティング反射器との間の離間寸法が設定されると共に他の部位から電気的に浮いた状態のフロートダミー電極を配置しているので、弾性波の伝搬に対する影響を抑制しつつ、当該フロートダミー電極の両側のＩＤＴ電極同士の間またはフロートダミー電極の両側のＩＤＴ電極とグレーティング反射器との間において発生する容量成分を小さく抑えることができる。そのため、通過周波数帯域における周波数特性の平坦性の劣化を抑えながら、ＥＳＤ耐性に優れた弾性波デバイスを得ることができる。また、別の発明は、ＩＤＴ電極に隣接するグレーティング反射器の少なくとも１本のグレーティング電極指を他の部位から電気的に浮いた状態にしているので、通過周波数帯域における周波数特性の平坦性の劣化を抑えながら、ＥＳＤ耐性に優れた弾性波デバイスを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の弾性波デバイスが適用された縦モード共振器型フィルタの一例を示す平面図である。
【図２】前記フィルタの一部を拡大して示す模式図である。
【図３】前記フィルタの一部を拡大して示す模式図である。
【図４】従来のフィルタの一部を拡大して示す模式図である。
【図５】前記本発明のフィルタの一部を拡大して示す模式図である。
【図６】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図７】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図８】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図９】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図１０】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図１１】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図１２】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図１３】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図１４】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図１５】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図１６】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図１７】本発明のフィルタの他の例を示す平面図である。
【図１８】従来のフィルタの他の例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の弾性波デバイスを縦モード共振器型フィルタに適用した実施の形態の一例について、図１を参照して説明する。このフィルタは、弾性波の伝搬方向に沿って並べられた複数例えば３つのＩＤＴ（インターディジタルトランスデューサ）電極１と、これらＩＤＴ電極１を両側から挟むように配置されたグレーティング反射器２と、を備えている。これらＩＤＴ電極１及びグレーティング反射器２は、例えば水晶などの圧電性を有する共通の基板１０上に形成されている。
【００１８】
各々のＩＤＴ電極１は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に互いに離間するように配置された一対のバスバー１１、１１と、これらバスバー１１の各々から対向するバスバー１１に向かって互いに櫛歯状に伸び出す複数本の電極指１２と、を備えている。各々のＩＤＴ電極１において、バスバー１１、１１の一方側は信号ポートをなす入力ポート２１及び出力ポート２２のいずれかに接続され、他方側は接地ポート２３に接続されている。これらバスバー１１、１１について、入力ポート２１または出力ポート２２のいずれかに接続されたバスバー１１に「１１ａ」、接地ポート２３に接続されたバスバー１１に「１１ｂ」の符号を付すと、各々のＩＤＴ電極１は、弾性波の伝搬方向に沿って一列にバスバー１１ａとバスバー１１ｂとが交互に並ぶように配置されている。従って、基板１０上には、弾性波の伝搬方向に沿って互いに電位の異なる部位（バスバー１１ａ、１１ｂ）が交互に並んでいることになる。各々バスバー１１ａ、１１ｂは、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間の境界を見やすくするため、電極指１２の接続された部位とは反対側の部位における角部が各々斜めに切り欠かれている。尚、これらバスバー１１ａ、１１ｂの端部の切り欠き部については、誇張して大きく描いている。
【００１９】
また、弾性波の伝搬方向に直交する方向を前後方向と呼ぶと共に、これらＩＤＴ電極１について、弾性波の伝搬方向に沿って左側から右側に向かって順に「１ａ」、「１ｂ」、「１ｃ」の符号を付すと、ＩＤＴ電極１ａ、１ｃのバスバー１１ａは例えば入力ポート２１に接続され、ＩＤＴ電極１ｂのバスバー１１ａは例えば出力ポート２２に接続されている。これらＩＤＴ電極１ａ、１ｂ、１ｃは、このフィルタにおいて伝搬する弾性波の波長の長さに対応するように、電極指１２の幅寸法と電極指１２、１２間の離間寸法とからなる周期単位の寸法と、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間の離間寸法とからなる配列パターンが設定されており、従って当該配列パターンが弾性波の伝搬方向に沿って連続するように配置されている。ここで、各々のＩＤＴ電極１ａ、１ｂ、１ｃがほぼ同じ構成となっているため、これらＩＤＴ電極１ａ、１ｂ、１ｃについて、左側のＩＤＴ電極１ａを例に挙げて詳述する。
【００２０】
ＩＤＴ電極１ａは、バスバー１１ａ、１１ｂ間の寸法である開口長Ｄに対して、バスバー１１ａ（１１ｂ）から伸びる電極指１２と、当該電極指１２に隣接してバスバー１１ｂ（１１ａ）から伸びる電極指１２とが交差する交差幅Ｌが短くなるように構成されている。具体的には、一方のバスバー１１ａから他方のバスバー１１ｂに向かって伸びる電極指１２の先端部の延長領域には、他方のバスバー１１ｂから一方側のバスバー１１ａに向かって伸びるダミー電極指１４が当該電極指１２の先端部に近接して配置されている。また、同様に他方のバスバー１１ｂから一方のバスバー１１ａに向かって伸びる電極指１２の先端部の延長領域には、一方のバスバー１１ａから他方側のバスバー１１ｂに向かって伸びるダミー電極指１４が当該電極指１２の先端部に近接して配置されている。従って、電極指１２及びダミー電極指１４は、弾性波の伝搬方向に直交する方向に一列に配置されている。
【００２１】
ここで、ＩＤＴ電極１ａにおいて右側（ＩＤＴ電極１ｂに隣接する側）の電極指１２を第１の端部電極指と呼ぶと、この第１の端部電極指１２の先端部側の延長線上（延長領域）には、当該延長線に沿って伸びる第１のフロートダミー電極１６が形成されている。バスバー１１ｂは、第１の端部電極指１２よりも１本左側の電極指１２の位置までしか伸びていないため、第１のフロートダミー電極１６は、当該バスバー１１ｂから離間している。即ち、第１のフロートダミー電極１６は、電気的に浮いた状態となっており、フロート電極を構成している。
【００２２】
この第１のフロートダミー電極１６は、弾性波の伝搬方向から見た時に、前記第１の端部電極指１２の先端部に近接する位置から、バスバー１１ｂにおいて電極指１２の接続された稜線とは反対側の稜線までに亘って形成されている。即ち、後述するように、弾性波の励振領域（電極指１２、１２同士の交差する領域）にて発生した弾性波は、バスバー１１ｂの形成された領域に漏れ出して、当該領域を左右両側に伝搬する。従って、第１のフロートダミー電極１６は、前記励振領域からバスバー１１ｂ側に外れた領域において、弾性波の伝搬領域に跨がるように配置されていると言える。
【００２３】
この第１のフロートダミー電極１６は、幅寸法及び当該フロートダミー電極１６の両側のＩＤＴ電極１ａ、１ｂの電極指１２、１２との間の離間寸法が電極指１２の幅寸法及び電極指１２、１２間の離間寸法と夫々同じ寸法になるように配置されている。従って、第１のフロートダミー電極１６の配列パターンは、電極指１２の配列パターンに対応している。この第１のフロートダミー電極１６は、各ＩＤＴ電極１ａ、１ｂ、１ｃや入力ポート２１、出力ポート２２、接地ポート２３及びグレーティング反射器２のいずれに対しても電気的に接続されておらず、従って他の部位に対して電気的に浮いた状態になっている。
【００２４】
また、ＩＤＴ電極１ａにおいて、グレーティング反射器２側の電極指１２を第２の端部電極指と呼ぶと、この第２の端部電極指１２の先端部側の延長領域には、当該第２の端部電極指１２の延長線に沿って伸びる第２のフロートダミー電極１８が配置されている。バスバー１１ｂは、当該第２の端部電極指１２から離間するように配置されている。この第２のフロートダミー電極１８は、幅寸法、長さ寸法及び当該第２のフロートダミー電極１８に隣接するＩＤＴ電極１ａの電極指１２との間の離間寸法が夫々第１のフロートダミー電極１６における各寸法と同じ寸法に設定されている。また、第２のフロートダミー電極１８は、第１のフロートダミー電極１６と同様に、弾性波の伝搬方向に直交する方向において、弾性波の励振領域から外れた領域であって当該励振領域から漏れ出した弾性波が伝搬する領域（バスバー１１ａの形成された領域まで）に亘って配置されている。第２のフロートダミー電極１８についても、第１のフロートダミー電極１６と同様に、他の部位に対して電気的に浮いた状態となっている。
【００２５】
そして、ＩＤＴ電極１ａの右側のＩＤＴ電極１ｂ、１ｃについても、このＩＤＴ電極１ａと同様に構成されている。具体的には、ＩＤＴ電極１ａにおいて端部電極指１２、１２の接続されたバスバー１１ａ側を「奥側」、フロートダミー電極１６、１８の配置された領域側を「手前側」と呼ぶと、ＩＤＴ電極１ｂの左右両側には、手前側のバスバー１１ａから奥側に向かって伸びるように第１の端部電極指１２、１２が各々配置されている。そして、これら第１の端部電極指１２、１２の奥側には、各々第１のフロートダミー電極１６、１６が形成されている。
【００２６】
また、ＩＤＴ電極１ｃにおいては、当該ＩＤＴ電極１ｃの左側には、奥側のバスバー１１ａから伸びる第１の端部電極指１２が配置され、この第１の端部電極指１２の手前側に第１のフロートダミー電極１６が設けられている。ＩＤＴ電極１ｃの右側には、奥側のバスバー１１ａから伸びる第２の端部電極指１２が配置され、この第２の端部電極指１２の手前側に第２のフロートダミー電極１８が形成されている。従って、フロートダミー電極１６（１８）は、この例では各ＩＤＴ電極１ａ、１ｂ、１ｃにおいてバスバー１１ｂの端部の両側に各々配置されている。
【００２７】
次に、グレーティング反射器２について説明する。このグレーティング反射器２は、電極指１２に沿うように且つ弾性波の伝搬方向に互いに離間するように各々配置された複数本のグレーティング電極指３１と、これらグレーティング電極指３１の一端側及び他端側を夫々接続するように各々配置された一対のグレーティングバスバー３２と、を備えている。グレーティング電極指３１の幅寸法及びグレーティング電極指３１、３１間の離間寸法は、ＩＤＴ電極１における電極指１２の幅寸法及び電極指１２、１２間の離間寸法と夫々同じ寸法に設定されている。従って、グレーティング反射器２は、ＩＤＴ電極１における既述の配列パターンに対応するように形成されている。
【００２８】
グレーティング反射器２とＩＤＴ電極１ａ、１ｃとの間には、弾性波の伝搬方向に直交する方向に伸びるライン状の電極からなるフロート反射器３３が各々配置されており、このフロート反射器３３の幅寸法は、電極指１２の幅寸法と同じ寸法となっている。また、フロート反射器３３は、弾性波の伝搬方向から見た時に、一対のバスバー１１ａ、１１ｂにおいて電極指１２、１２の各々接続された稜線とは反対側の稜線間に亘って形成されると共に、ＩＤＴ電極１ａ、１ｃ（第２のフロートダミー電極１８、１８）及びグレーティング反射器２との間の離間寸法が電極指１２、１２間の離間寸法と同じ寸法に設定されている。即ち、このフロート反射器３３は、グレーティング反射器２においてＩＤＴ電極１ａ（１ｃ）に各々隣接する１本のグレーティング電極指３１の両端側を夫々グレーティングバスバー３２、３２から離間させた状態となっている。このフロート反射器３３についても、既述のフロートダミー電極１６、１８と同様に他の部位から電気的に浮いた状態になっている。従って、３つのＩＤＴ電極１、これらＩＤＴ電極１の両側のグレーティング反射器２及びフロート反射器３３は、弾性波の伝搬方向に沿って前記配列パターンが連続するように形成されている。
【００２９】
このフィルタにおいて入力ポート２１に電気信号を入力すると、電極指１２、１２間の交差領域（励振領域）において弾性波が発生して、左右両側に伝搬していく。この弾性波は、基板１０上を伝搬するにつれて、弾性波の伝搬方向に直交する方向に広がっていき、図２に示すように、バスバー１１ａ、１１ｂにおいて夫々電極指１２、１２の接続された稜線とは反対側の稜線間に亘って広がった状態となる。そして、この弾性波は、グレーティング反射器２に到達すると、当該グレーティング反射器２において反射して、３つのＩＤＴ電極１が配置された領域を介してグレーティング反射器２、２間において行き来する。この時、第１のフロートダミー電極１６、第２のフロートダミー電極１８及びフロート反射器３３について、電極指１２、１２の配列パターンと同じパターンとなるように配置しているので、これらフロートダミー電極１６、１８及びフロート反射器３３では、弾性波のバルク放射などが抑えられる。また、バスバー１１ａ、１１ｂの配置された領域までに亘ってフロートダミー電極１６、１８を各々形成しているので、当該バスバー１１ａ、１１ｂの形成された領域と、既述の交差領域との間において弾性波の伝搬速度が揃う。そのため、バスバー１１ａ、１１ｂ間に亘って広がって伝搬する弾性波が出力ポート２２から電気信号として取り出されると、スプリアスが抑えられた状態となり、通過周波数帯域における周波数特性について平坦性が良好となる。尚、図２はフィルタを模式的に示している。
【００３０】
そして、既述のように互いに隣接するバスバー１１ａ、１１ｂ間では互いの電位が異なっているので、これらバスバー１１ａ、１１ｂにおいて容量成分Ｃが生成しようとする。図３は、このような容量成分Ｃについて、ＩＤＴ電極１ａ、１ｂ間の領域について拡大して表している。ここで、これらバスバー１１ａ、１１ｂ間には第１のフロートダミー電極１６が介設されているので、前記容量成分Ｃは、当該第１のフロートダミー電極１６を介して形成される。従って、バスバー１１ａ、１１ｂ間に２つの容量成分Ｃ1、Ｃ2が第１のフロートダミー電極１６を介して直列に接続されるので、これら容量成分Ｃ1、Ｃ2の合計値は、この第１のフロートダミー電極１６を設けない場合（容量成分Ｃ）の１／２になる。図４には、既述の図１８に示したフィルタの場合（第１のフロートダミー電極１６が設けられていない場合）において生成する容量成分Ｃを模式的に示している。
【００３１】
また、図３及び図４から分かるように、バスバー１１ａ、１１ｂ間に第１のフロートダミー電極１６を配置することによって、ＩＤＴ電極１ａ、１ｂ間において既述の配列パターンを形成しながら、第１のフロートダミー電極１６を設けない場合よりもバスバー１１ａ、１１ｂ間の寸法Ｗが広くなっているので、容量成分Ｃ1、Ｃ2の合計値は、図４の容量成分Ｃの１／２よりも更に小さくなる。
【００３２】
そして、ＩＤＴ電極１ａ、１ｂ間の手前側の領域においても、第１のフロートダミー電極１６を介してバスバー１１ａ、１１ｂ間に容量成分Ｃ1、Ｃ2が形成され、同様にＩＤＴ電極１ｂ、１ｃ間についても第１のフロートダミー電極１６、１６を介してこれら容量成分Ｃ1、Ｃ2が形成される。
【００３３】
また、ＩＤＴ電極１ａ（１ｃ）とグレーティング反射器２との間においては、既述の例と同様に、例えば手前側のグレーティングバスバー３２とバスバー１１ｂとの間において容量成分Ｃが生成しようとする。しかし、図５に示すように、これらグレーティングバスバー３２とバスバー１１ｂとの間に第２のフロートダミー電極１８及びフロート反射器３３が配置されているので、第２のフロートダミー電極１８及びフロート反射器３３を介して３つの容量成分Ｃ1、Ｃ2、Ｃ3が直列に形成される。また、これらグレーティングバスバー３２とバスバー１１ｂとの間の寸法は、第２のフロートダミー電極１８及びフロート反射器３３を設けない場合（既述の図１８）と比べて大きくなる。従って、これら３つ容量成分Ｃ1、Ｃ2、Ｃ3の合計値は、図１８においてグレーティング反射器２とＩＤＴ電極１との間で生成する容量成分Ｃの１／３よりも小さくなる。
【００３４】
そのため、このフィルタに静電気放電（ＥＳＤ：Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）などの高電圧が印加されたとしても、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間あるいは互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間における静電破壊が抑えられる。また、前記高電圧によりフィルタにおいて静電破壊が起こったとしても、図１８のフィルタと比べて、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間及び互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間の容量成分Ｃが小さいので、流れる電流値が小さくなる。尚、図５についてもフィルタの一部を拡大して示している。
【００３５】
更に、図１８のフィルタでは、図４に「○」印で示すように、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１において、電極指１２とダミー電極指１４との間において弾性波が発生し、当該弾性波が不要な縦モードスプリアスの原因となってしまう。しかし、図１のフィルタでは、これら電極指１２とダミー電極指１４との間の領域には第１のフロートダミー電極１６が配置されており、また既述のようにこれら電極指１２とダミー電極指１４とが大きく離間しているので、当該領域における弾性波の発生が抑えられる。
【００３６】
上述の実施の形態によれば、電極指１２、１２の交差領域からバスバー１１側に離れた位置において、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間及び互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間に夫々第１のフロートダミー電極１６、１６及び第２のフロートダミー電極１８を設けると共に、互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間にフロート反射器３３を配置している。そして、これらフロートダミー電極１６、１８及びフロート反射器３３を他の部位から電気的に浮いた状態にすると共に、これらフロートダミー電極１６、１８及びフロート反射器３３をＩＤＴ電極１における配列パターンに対応するように形成している。そのため、これらフロートダミー電極１６、１８及びフロート反射器３３を設けない場合と比べて、弾性波に対する影響を抑制しつつ、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間及び互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間において生成する容量成分Ｃを小さくすることができる。従って、通過周波数帯域における周波数特性の平坦性の劣化を抑えながら、例えば入力ポート２１または出力ポート２２と接地ポート２３との間に静電気などの高電圧が印加されたとしても、これら入力ポート２１または出力ポート２２と接地ポート２３との間の通電（静電破壊）を抑えることができるので、ＥＳＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ）耐性に優れた弾性波デバイスを得ることができる。また、フロートダミー電極１６、１８及びフロート反射器３３を設けることによって、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間及び互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間において生成する容量成分Ｃが小さくなるので、静電気などが発生して入力ポート２１または出力ポート２２と接地ポート２３との間で通電したとしても、フロートダミー電極１６、１８及びフロート反射器３３を設けない場合に比べて、電流値が小さくなるため静電破壊に対する耐性が向上していると言える。
【００３７】
また、バスバー１１ａ、１１ｂの形成された領域にまで亘ってフロートダミー電極１６、１８を形成しているので、当該領域と電極指１２、１２の交差領域との間における弾性波の速度差を抑えることができ、スプリアスが抑えられて平坦性の高い特性を得ることができる。更に、第１のフロートダミー電極１６を設けることにより、ＩＤＴ電極１、１において互いに隣接する電極指１２とダミー電極指１４との間において弾性波の発生を抑えることができるので、不要な縦モードスプリアスの発生を抑えて平坦性に優れた特性を得ることができる。
【００３８】
既述の例においては、互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間に各々フロート反射器３３を設けたが、左右いずれかだけにフロート反射器３３を配置しても良いし、あるいは図６に示すように、フロート反射器３３を設けなくても良い。更に、第２のフロートダミー電極１８についても左右いずれかだけに設けても良いし、図７に示すように第２のフロートダミー電極１８を設けなくても良い。更にまた、第１のフロートダミー電極１６についても、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間において手前側及び奥側に夫々配置したが、手前側及び奥側の一方だけに配置しても良いし、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間の少なくとも１箇所だけに設けても良い。また、これら第１のフロートダミー電極１６及び第２のフロートダミー電極１８を配置せずに、互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間の領域の少なくとも一方にフロート反射器３３を配置しても良い。図８は、フロートダミー電極１６、１８を配置せずに、互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間の領域の各々にフロート反射器３３、２３を配置した例を示している。
【００３９】
また、図９に示すように、ダミー電極指１４を配置せずに、一方側のバスバー１１ａ（１１ｂ）から伸びる電極指１２の先端部を他方側のバスバー１１ｂ（１１ａ）に近接する位置まで伸張させ、開口長Ｄと交差幅Ｌとを揃えても良い。図９には、このような場合において、第１のフロートダミー電極１６、第２のフロートダミー電極１８及びフロート反射器３３を設けた例を示している。この場合においてフロートダミー電極１６、１８は、端部電極指１２、１２の先端側から離れた領域において、弾性波の伝搬方向から見た時にバスバー１１ａ、１１ｂの形成された領域と重なるように形成されている。この場合においても、電極指１２、１２の交差領域において弾性波が発生すると、この弾性波はバスバー１１ａ、１１ｂの形成された領域までに亘って広がって伝搬するので、フロートダミー電極１６、１８によって当該領域と交差領域との間における弾性波の速度差が抑えられる。
【００４０】
また、図１０に示すように、既述の各フィルタを縦続接続しても良い。図１０には、図１に示したフィルタを２つ縦続に接続した例を示しており、３つのＩＤＴ電極１とこれらＩＤＴ電極１の両側に配置されたグレーティング反射器２、２とからなるフィルタ５０を共通の基板１０上に手前側及び奥側に並べている。そして、奥側のフィルタ５０のＩＤＴ電極１ｂの手前側のバスバー１１と手前側のフィルタ５０のＩＤＴ電極１ｂの奥側のバスバー１１とを接続し、奥側のＩＤＴ電極１ａ、１ｃの奥側のバスバー１１及び手前側のフィルタ５０のＩＤＴ電極１ｂの手前側のバスバー１１を夫々入力ポート２１及び出力ポート２２に接続している。
【００４１】
更に、以上の各例では３つＩＤＴ電極１を並べる例について説明したが、ＩＤＴ電極１の数量としては２つであっても良いし、４つ以上であっても良い。また、図１１に示すように、１つのＩＤＴ電極１の両側にグレーティング反射器２、２を配置して、弾性波共振子を構成しても良い。そして、ＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２と間の少なくとも一方に第２のフロートダミー電極１８を設けても良いし、第２のフロートダミー電極１８と共に、あるいは第２のフロートダミー電極１８に代えて、ＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間の少なくとも一方にフロート反射器３３を配置しても良い。
【００４２】
また、本発明は、既述の縦モード共振器型フィルタや弾性波共振子を含むデバイス例えばデュプレクサなどの２つのＩＤＴ電極１、１が隣接して配置された弾性波デバイスあるいはＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２とが隣接して配置された弾性波デバイスに適用される。
【００４３】
既述のように、第１のフロートダミー電極１６について、互いに隣接するＩＤＴ電極１、１間の手前側及び奥側の一方だけに配置する場合には、この第１のフロートダミー電極１６は、互いに電位の異なるバスバー１１ａ、１１ｂ間に介設される。具体的には、図１２及び図１３に示すように、入力ポート２１または出力ポート２２の接続されたバスバー１１ａと接地ポート２３に接続されたバスバー１１ｂとが弾性波の伝搬方向に沿って一列に交互に配置されている場合には、これらバスバー１１ａ、１１ｂの間のいずれか一方に第１のフロートダミー電極１６を配置しても良い。また、図１４に示すように、入力ポート２１に接続されたバスバー１１ａと出力ポート２２に接続されたバスバー１１ａとが弾性波の伝搬方向に沿って一列に配置され、また接地ポート２３に接続されたバスバー１１ｂ、１１ｂ同士が弾性波の伝搬方向に沿って一列に配置されている場合には、第１のフロートダミー電極１６は、バスバー１１ａ、１１ａ間に配置される。
【００４４】
更に、フロートダミー電極１６、１８について、端部電極指１２、１２に近接する位置からバスバー１１ａ、１１ｂの形成された領域までに亘って配置したが、図１５に示すように、バスバー１１ａ、１１ｂ間の領域だけに形成しても良い。この場合においても、フロートダミー電極１６、１８の配置された領域と電極指１２、１２の交差領域との間における弾性波の速度差が抑えられる。この時、当該フロートダミー電極１６、１８の配置されたＩＤＴ電極１について、このフロートダミー電極１６、１８側のバスバー１１は、既述のようにフロートダミー電極１６、１８の延長領域から離間して配置される。尚、以上の図１２〜図１５については、フィルタの一部を拡大して示している。
【００４５】
ここで、フロートダミー電極１６（１８）としては、図１６に示すように、長さ方向に複数例えば２つに区画しても良いし、図１７に示すように弾性波の伝搬方向に複数例えば２つに区画しても良い。図１７のようにフロートダミー電極１６（１８）を配置した場合には、バスバー１１ａ、１１ｂ間において容量成分Ｃ1〜Ｃ3が互いに直列に接続されることになるので、これらバスバー１１ａ、１１ｂ間の容量成分Ｃを更に小さくすることができる。これらの場合であっても、フロートダミー電極１６（１８）は、既述の配列パターンに対応して形成されていることになる。また、互いに隣接するＩＤＴ電極１とグレーティング反射器２との間にフロート反射器３３を１本ずつ配置したが、各々２本あるいは３本ずつ配置しても良い。
【００４６】
既述の基板１０を構成する材質としては、水晶に代えて、ＬｉＴａＯ3（タンタル酸リチウム）やＬｉＮｂＯ3（ニオブ酸リチウム）などの圧電性を持つ材料であっても良いし、あるいは例えばガラスなどの圧電性を持たない板状体の上にこれら圧電性を持つ材料の薄膜を一層以上積層した基板や圧電薄膜の積層体などであっても良い。
【符号の説明】
【００４７】
１ａ、１ｂ、１ｃ  ＩＤＴ電極
２  グレーティング反射器
１０  基板
１２  電極指
１６  第１のフロートダミー電極
１８  第２のフロートダミー電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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