(57)【要約】【課題】ガラス研磨を行った後、ガラスをパッドから剥離させる時に、ガラスの割れを防止可能なガラス研磨方法を提供する。【解決手段】定盤１の表面に吸着シート２を貼り付ける工程と、吸着シート２の表面に装着シート３を貼り付ける工程と、吸着シート２の表面に研磨対象のガラスＧを貼り付ける工程と、ガラス表面を研磨する工程と、研磨工程後、ガラスＧと共に装着シート３の端部を吸着シート２から剥離させる工程と、剥離工程の途中でガラスＧと装着シート３の間に空気層を形成させた後、ガラスＧのみを装着シート３から分離させる工程と、を有する。【選択図】図３
2012250316.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤の表面に第１シートを貼り付ける工程と、
前記第１シートの表面に第２シートを貼り付ける工程と、
前記第２シートの表面に研磨対象のガラスを貼り付ける工程と、
前記ガラス表面を研磨する工程と、
研磨工程後、前記ガラスと共に前記第２シートの端部を前記第１シートから剥離させる工程と、
前記剥離工程の途中で前記ガラスと前記第２シートの間に空気層を形成させた後、前記ガラスのみを前記第２シートから分離させる工程と、を有するガラス研磨方法。
【請求項２】
定盤の表面に貼り付けられる第１シートと、
前記第１シートの表面に貼り付けられる第２シートと、
前記第２シートの表面に貼り付けられたガラス表面を研磨するための研磨パッドと、を備え、
前記研磨パッドによる研磨後、前記ガラスと共に前記第２シートの端部を前記第１シートから剥離させ、この剥離工程の途中で前記ガラスと前記第２シートの間に空気層を形成させた後、前記ガラスのみを前記第２シートから分離できるように構成されていることを特徴とするガラス研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状素材を用いてガラスを研磨する方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
かかるガラス研磨方法を図１により簡単に説明する。このガラス研磨装置は、ガラス保持部１００と、ガラス研磨部２００から構成される。ガラス保持部１００は、金属製の定盤１と、この定盤１の上に貼り付けられる保持パッド２と、保持パッド２の上に貼り付けられるガラスＧと、から構成される。定盤１はアーム１０１により可動に構成される。保持パッド２の例としては、例えば、下記特許文献１に開示されるものが公知である。
【０００３】
ガラス研磨部２００には、研磨パッド２０１が取り付けられ、不図示のモーターにより回転可能に構成される。実際にガラス研磨を行うときは、ガラス保持部１００とガラス研磨部２００を向かい合わせ、研磨パッド２０１によりガラスＧの表面を研磨する。研磨した後、再び、ガラス保持部１００と、ガラス研磨部２００を離間し、ガラスＧを保持パッド２から剥離させる。
【０００４】
ここで、剥離する時の様子を図４に示す。ガラスＧの端部を手で持って、保持パッド２から徐々に引き剥がしていく。ここで、ガラスＧと保持パッド２との密着状態を緩和させるため、エアガンによりガラスＧと保持パッド２の間に空気を送り込むようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３２６７１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記構成は、次のような問題点がある。ガラスＧを剥離するために空気を送り込んでいるため、ガラスＧが振動し、ガラスＧが割れる可能性がある。研磨対象となるガラスＧは厚みが薄いもので０．３ｍｍ程度である。そして、さらなる薄型化の要求により、さらにガラスＧが割れる確率が高くなる。
【０００７】
本発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、その課題は、ガラス研磨を行った後、ガラスをパッドから剥離させる時に、ガラスの割れを防止可能なガラス研磨方法及びガラス研磨装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため本発明に係るガラス研磨方法は、
定盤の表面に第１シートを貼り付ける工程と、
前記第１シートの表面に第２シートを貼り付ける工程と、
前記第２シートの表面に研磨対象のガラスを貼り付ける工程と、
前記ガラス表面を研磨する工程と、
研磨工程後、前記ガラスと共に前記第２シートの端部を前記第１シートから剥離させる工程と、
前記剥離工程の途中で前記ガラスと前記第２シートの間に空気層を形成させた後、前記ガラスのみを前記第２シートから分離させる工程と、を有することを特徴とするものである。
【０００９】
かかる構成によるガラス研磨方法の作用・効果を説明する。まず、定盤の上に第１シートが貼り付けられており、さらに、その上に第２シートが貼り付けられている。この第２シートの上に、研磨対象のガラスが更に貼り付けられる。なお、これらを貼り付ける順番は、上記の順番に限定されるものではない。この状態でガラスを研磨パッドにより研磨し、研磨した後、ガラスを第２シートから剥離させる必要がある。このとき、まず、ガラスと第２シートを共に、第１シートから引き剥がす。この剥離工程で、ガラスと第２シートのたわみ剛性の違いにより、ガラスと第２シートの間に空気層が形成される。この状態になれば、ガラスを第２シートから自然に分離させることができる。このように、ガラスを無理なく剥離できるので、ガラスが割れる確率を減らすことができる。その結果、ガラス研磨を行った後、ガラスをシートから剥離させる時に、ガラスの割れを防止可能なガラス研磨方法を提供することができる。
【００１０】
上記課題を解決するため本発明に係るガラス研磨装置は、
定盤の表面に貼り付けられる第１シートと、
前記第１シートの表面に貼り付けられる第２シートと、
前記第２シートの表面に貼り付けられたガラス表面を研磨するための研磨パッドと、を備え、
前記研磨パッドによる研磨後、前記ガラスと共に前記第２シートの端部を前記第１シートから剥離させ、この剥離工程の途中で前記ガラスと前記第２シートの間に空気層を形成させた後、前記ガラスのみを前記第２シートから分離できるように構成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
この構成による作用・効果はすでに述べた通りであり、ガラスを無理なく剥離できるので、ガラスが割れる確率を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ガラス研磨装置の構成を示す概念図
【図２】ガラスを定盤にセットした時の状態を示す側面図
【図３】ガラスを装着シートから剥離させる時の手順を示す図
【図４】従来技術においてガラスを剥離させる時の手順を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に係るガラス研磨方法及び装置の好適な実施形態を図面を用いて説明する。なお、ガラス研磨装置の構成は、従来技術において説明した図１と基本構成は同じである。研磨対象となるガラスは、研磨を必要とするガラスであり、特に厚みの薄いガラスにおいて、本発明は有用である。
【００１４】
＜ガラスの貼り付け構成＞
図１に示すガラス研磨装置のガラス保持部１００にガラスＧを保持した時の状態を図２に示す。定盤１の表面に吸着シート２（第１シートに相当）が貼り付けられており、その吸着シート２の表面に装着シート３（第２シートに相当）が貼り付けられており、更に、装着シート３の表面にガラスＧが貼り付けられている。
【００１５】
吸着シート２と装着シート３に使用する材質は、シートとして両面もしくは片面に対象物に対する吸着性を有する材質で、例えば、次の４つのシート材料が考えられる。すなわち、
（１）湿式製法による表面スキン層とセル層を保有するウレタンシート
（２）乾式製法による表面スキン層とセル層を保有するウレタンシート
（３）スチレンエラストマーシート
（４）その他の素材のエラストマーシート
【００１６】
上記ウレタンシートにおけるスキン層には、緻密な微細孔が形成されており、水を含ませることで吸着性が増す。セル層は、シート内部に形成され、発泡孔が多数形成される。スチレンエラストマーシートは、強い自己吸着性を有し、そのままで相手側に貼り付けることができる。なお、定盤１への貼り付けには両面テープ等の接着あるいは粘着手段を用いてもよい。
【００１７】
＜ガラス研磨方法＞
次に、実際にガラスＧを研磨する時の手順を説明する。図２は、ガラスＧを定盤１にセットした時の状態を示す側面図である。定盤１は垂直に設定されている。まず、定盤１の表面に吸着シート２を貼り付ける。吸着シート２の素材は前述の素材が選択される。
【００１８】
次に、吸着シート２の表面に装着シート３を貼り付ける。装着シート３も前述の素材が選択される。例えば、装着シート３としてスチレンエラストマーシートを用いる場合は、そのまま吸着シート２の表面に貼り付けることができる。なお、吸着シート２も装着シート３も研磨されるガラスＧの形状に合わせて正方形または長方形のシート材として形成される。また、サイズについては、吸着シート２の面積が一番大きく、次いで装着シート３の面積が大きく、ガラスＧの表面積が最も小さくなるように設定しておくことが好ましい。これにより、ガラスＧを剥離する時の操作が行いやすくなる。
【００１９】
上記の例では、定盤１の表面に順番に吸着シート２と装着シート３を貼り付けたが、予め、吸着シート２と装着シート３を貼り付けておき、この２層構造のパッドを定盤１の表面に貼り付けるようにしてもよい。
【００２０】
次に、ガラスＧを装着シート３の表面に貼り付ける。
【００２１】
図２のようにセットされた後、図１にも示すように、研磨パッド２０１により、ガラスＧの表面を研磨する。研磨工程は従来と同じ方法で行うことができる。
【００２２】
＜ガラスの剥離工程＞
次に、研磨工程が終了した後、ガラスＧを装着シート３から剥離させる時の手順を図３により説明する。
【００２３】
図３（ａ）に示すように、矩形の装着シート３の四隅のうちの１つを保持し、徐々にはがしていく。この時、装着シート３とガラスＧが一体となって剥がれていく。一定の面積（約１／４）程度剥がすと、図３（ｂ）に示すように、ガラスＧと装着シート３の間に空気層Ａが形成し始め、ガラスＧが装着シート３から剥離し始める。これは、ガラスＧと装着シート３のたわみ剛性の差に基づくものである。
【００２４】
この状態になれば、装着シート３の剥離動作を終了し、ガラスＧを装着シート３から引き剥がす。空気層Ａが形成されているので、無理なく剥離させることができる。ガラスＧを完全に分離した後、図３（ｃ）に示すように、装着シート３を元の状態に戻す。
【００２５】
以上の方法によれば、エアブローを用いないでガラスＧを剥離させることができ、ガラスＧが割れることを防止することができる。従って、薄いガラスでも剥離時の割れを防止することができ、歩留まりを向上させることができる。また、剥離するまでの時間も短縮化することができ、図４の場合に比べ、本発明の構成によれば短時間で剥離させることができ、作業効率も改善される。
【００２６】
＜別実施形態＞
本発明において、吸着シート２や装着シート３の貼り付け及び剥離、また、ガラスＧの貼り付け及び剥離操作については、作業員が手動で行ってもよいし、ロボットを用いて機械により自動的に行ってもよい。
【００２７】
吸着シート２と装着シート３とガラスＧの大きさ（面積）は、少なくとも２つが同じ面積を有するように構成してもよい。
【符号の説明】
【００２８】
１        定盤
２        吸着シート（第１シート）
３        装着シート（第２シート）
１００    ガラス保持部
２００    ガラス研磨部
２０１    研磨パッド
Ａ        空気層
Ｇ        ガラス
【図１】
2012250316.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2012250316.tif 000006