(57)【要約】【課題】蒸着材料の利用効率の高い成膜装置を提供する。【解決手段】  真空槽１１と、真空槽１１内に配置され、内部に蒸着材料の蒸気が配置される中空の放出容器１６ａと、真空槽１１内に配置され、基板５を保持する基板保持部１４と、先端の開口１７が基板５表面に向けられて放出容器１６ａに設けられ、内部が放出容器１６ａの内部空間と連通する複数の中空の筒１５とを有し、各筒１５の開口１７の法線１８は基板５表面と交差され、放出容器１６ａ内の蒸気は各筒１５の開口１７から放出され、基板５表面に到達して薄膜が形成される成膜装置１０であって、筒１５には、先端が基板５表面と対面する範囲の外側に配置された筒が含まれる。先端が基板５表面と対面する範囲の外側に配置された筒１５の開口１７の法線も基板５表面と交差され、開口１７から放出された蒸気のうち基板５表面に到達する蒸気の割合が従来より高い。【選択図】図１
2012251213.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽と、
前記真空槽内に配置され、内部に蒸着材料の蒸気が配置される中空の放出容器と、
前記真空槽内に配置され、基板を保持する基板保持部と、
先端の開口が前記基板表面に向けられて、前記放出容器に設けられ、内部が前記放出容器の内部空間と連通する複数の中空の筒と、
を有し、
各前記筒の前記開口の法線は前記基板表面と交差され、
前記放出容器内の前記蒸気は各前記筒の前記開口から放出され、前記基板表面に到達して薄膜が形成される成膜装置であって、
前記筒には、前記先端が、前記基板表面と対面する範囲の外側に配置された、前記筒が含まれる成膜装置。
【請求項２】
真空槽と、
前記真空槽内に配置され、内部に蒸着材料の蒸気が配置される中空の放出容器と、
基板を一の平面内で移動させ、前記放出容器と対面する成膜位置を通過させる基板移動部と、
前記基板が前記成膜位置を通過するときに先端の開口が前記基板表面に向く向きで前記放出容器に設けられ、内部が前記放出容器の内部空間と連通する複数の中空の筒と、
を有し、
各前記筒の前記開口の法線は、前記基板が前記成膜位置を通過するときに前記基板表面と交差する向きに向けられ、
前記放出容器内の前記蒸気は各前記筒の前記開口から放出され、前記基板が前記成膜位置を通過するときに、前記基板表面に到達して薄膜が形成される成膜装置であって、
前記筒には、前記先端が、前記基板が前記成膜位置を通過するときに前記基板表面が対面する範囲の、前記基板の移動方向に対して直角な方向の、一方の外側に配置された前記筒と、他方の外側に配置された前記筒と、が含まれる成膜装置。
【請求項３】
真空槽と、
前記真空槽内に配置され、内部に蒸着材料の蒸気が配置される中空の放出容器と、
前記真空槽内に配置され、基板を保持する基板保持部と、
前記放出容器を、前記基板表面と平行に移動させ、前記基板表面と対面する成膜位置を通過させる放出容器移動部と、
前記放出容器が前記成膜位置を通過するときに先端の開口が前記基板表面に向く向きで前記放出容器に設けられ、内部が前記放出容器の内部空間と連通する複数の中空の筒と、
を有し、
各前記筒の前記開口の法線は、前記放出容器が前記成膜位置を通過するときに前記基板表面と交差する向きに向けられ、
前記放出容器内の前記蒸気は各前記筒の前記開口から放出され、前記放出容器が前記成膜位置を通過するときに、前記基板表面に到達して薄膜が形成される成膜装置であって、
前記筒には、前記先端が、前記放出容器が前記成膜位置を通過するときに前記基板表面が対面する範囲の、前記放出容器の移動方向に対して直角な方向の、一方の外側に配置された前記筒と、他方の外側に配置された前記筒と、が含まれる成膜装置。
【請求項４】
各前記筒と前記放出容器とは互いに脱着可能に構成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１８は従来の成膜装置１００の内部構成図である。
従来の成膜装置１００は、真空槽１１１と、真空槽１１１内に配置された中空の放出容器１１６ａとを有している。放出容器１１６ａには複数の開口１３４が設けられている。
【０００３】
この成膜装置１００を用いて成膜を行うには、まず真空排気装置１１２により真空排気された真空槽１１１内に基板１０５を搬入し、基板１０５表面を放出容器１１６ａの開口１３４が設けられた面と対面させる。
加熱装置１１６ｂを発熱させて、放出容器１１６ａ内の蒸着材料１２５を加熱し、蒸気を生成させる。
生成された蒸気は、各開口１３４を通って真空槽１１１内に放出される。
【０００４】
基板１０５の中央部では、多くの開口１３４からの蒸気が到達して、成膜される薄膜の膜厚が厚くなるが、基板１０５の外周部では、そこに蒸気を到達させることができる開口１３４の数が少なく、成膜される薄膜の膜厚が薄くなる傾向があった。
【０００５】
そこで、基板１０５上の膜厚の均一性を得るために、開口１３４を基板１０５と対面する範囲より外側にはみ出して設ける構成が従来より採用されていた。しかし、はみ出して設けられた開口１３４から放出された蒸気の多くは、基板１０５の外側に飛んで基板１０５表面に到達せず、材料の利用効率が低いという問題があった。また、基板１０５の外側に飛んだ蒸気は、真空槽１１１の壁面などに付着し、ダストの原因になっていた。
【０００６】
特許文献１では、複数の開口のうち中央部から離れた位置の開口ほど開口の面積を大きくし、又は単位面積当たりの開口の数を増やすことにより、外周部から放出される蒸気の量を増やす技術が開示されている。
しかし、外周部から放出される蒸気の量を増やすと、基板の外側に飛ぶ蒸気の量も増加してしまい、材料の利用効率が低いという問題を解決することはできなかった。
【０００７】
特許文献２では、放出容器の開口が形成された面を中央側に傾斜させる技術が開示されている。
しかし、開口から放出された蒸気の放出角度分布はｎ値の小さいｃｏｓnθ分布に従うため、指向性が低く、外周部の開口から放出された蒸気の多くは基板の外側に飛び、材料の利用効率は低かった。
【０００８】
また、放出容器の開口が設けられた面が傾斜しているため、放出容器の体積が大きくなり、放出容器の温度制御が難しかった。さらに、放出容器の外周部分は中央部分に比べて基板や基板表面のマスク板に接近するため、放出容器の熱により基板やマスク板の温度分布に偏りが生じ、成膜に影響を与えるという問題があった。
【０００９】
そして、基板と放出容器との間の距離や成膜レート等の成膜条件を変更したときに、特許文献１、２の成膜装置とも開口の形状や傾斜角度を成膜条件に合わせて変更することはできないため、膜厚の均一性が得られなくなるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−２９７５７０号公報
【特許文献２】特開２００４−２６９９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、蒸着材料の利用効率の高い成膜装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために本発明は、真空槽と、前記真空槽内に配置され、内部に蒸着材料の蒸気が配置される中空の放出容器と、前記真空槽内に配置され、基板を保持する基板保持部と、先端の開口が前記基板表面に向けられて、前記放出容器に設けられ、内部が前記放出容器の内部空間と連通する複数の中空の筒と、を有し、各前記筒の前記開口の法線は前記基板表面と交差され、前記放出容器内の前記蒸気は各前記筒の前記開口から放出され、前記基板表面に到達して薄膜が形成される成膜装置であって、前記筒には、前記先端が、前記基板表面と対面する範囲の外側に配置された、前記筒が含まれる成膜装置である。
本発明は、真空槽と、前記真空槽内に配置され、内部に蒸着材料の蒸気が配置される中空の放出容器と、基板を一の平面内で移動させ、前記放出容器と対面する成膜位置を通過させる基板移動部と、前記基板が前記成膜位置を通過するときに先端の開口が前記基板表面に向く向きで前記放出容器に設けられ、内部が前記放出容器の内部空間と連通する複数の中空の筒と、を有し、各前記筒の前記開口の法線は、前記基板が前記成膜位置を通過するときに前記基板表面と交差する向きに向けられ、前記放出容器内の前記蒸気は各前記筒の前記開口から放出され、前記基板が前記成膜位置を通過するときに、前記基板表面に到達して薄膜が形成される成膜装置であって、前記筒には、前記先端が、前記基板が前記成膜位置を通過するときに前記基板表面が対面する範囲の、前記基板の移動方向に対して直角な方向の、一方の外側に配置された前記筒と、他方の外側に配置された前記筒と、が含まれる成膜装置である。
本発明は、真空槽と、前記真空槽内に配置され、内部に蒸着材料の蒸気が配置される中空の放出容器と、前記真空槽内に配置され、基板を保持する基板保持部と、前記放出容器を、前記基板表面と平行に移動させ、前記基板表面と対面する成膜位置を通過させる放出容器移動部と、前記放出容器が前記成膜位置を通過するときに先端の開口が前記基板表面に向く向きで前記放出容器に設けられ、内部が前記放出容器の内部空間と連通する複数の中空の筒と、を有し、各前記筒の前記開口の法線は、前記放出容器が前記成膜位置を通過するときに前記基板表面と交差する向きに向けられ、前記放出容器内の前記蒸気は各前記筒の前記開口から放出され、前記放出容器が前記成膜位置を通過するときに、前記基板表面に到達して薄膜が形成される成膜装置であって、前記筒には、前記先端が、前記放出容器が前記成膜位置を通過するときに前記基板表面が対面する範囲の、前記放出容器の移動方向に対して直角な方向の、一方の外側に配置された前記筒と、他方の外側に配置された前記筒と、が含まれる成膜装置である。
本発明は成膜装置であって、各前記筒と前記放出容器とは互いに脱着可能に構成された成膜装置である。
【００１３】
一般に、筒の先端の開口から放出される蒸気の放出角度分布は、開口の法線方向を０°とする余弦則（ｃｏｓnθ分布）に従う。図１５を参照し、開口の直径（Ｄ）に対する筒の長手方向の長さ（Ｈ）の比（Ｈ／Ｄ）が大きい筒ほど、その開口から放出される蒸気の放出角度分布は、ｎ値が大きいｃｏｓnθの分布に近づく傾向がある。
図１６はｃｏｓnθの角度分布である。ｎ値が大きいほど、分布の半値幅が狭いことが分かる。
つまり、開口の直径に対する筒の長手方向の長さの比が小さい筒を用いるほど、開口の法線方向に蒸気を集中させることができ、放出蒸気の指向性を高めることができる。
【発明の効果】
【００１４】
先端が基板表面と対面する範囲より外側に配置された筒の開口の法線も基板表面と交差されているため、筒の開口からの蒸気が基板表面に到達する割合が従来より大きい。そのため、蒸着材料の利用効率が従来より高く、また、ダストの発生を防ぐことができる。
【００１５】
筒と放出容器とを脱着可能にした構成では、基板表面の大きさや、放出容器と基板表面との間の間隔等の成膜条件を変更した場合でも、成膜条件に応じて筒を交換することにより、膜厚の均一性を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第一例の成膜装置の内部側面図
【図２】本発明の第一例の成膜装置の内部平面図
【図３】（ａ）、（ｂ）：筒の拡大断面図
【図４】放出容器の平面形状の別例を説明するための図
【図５】真空槽内に基板を配置した状態を説明するための図
【図６】放出部の別例を説明するための図
【図７】第二例の筒を有する成膜装置の内部側面図
【図８】第二例の筒の拡大断面図
【図９】第三例の筒を有する成膜装置の内部側面図
【図１０】第三例の筒の拡大断面図
【図１１】本発明の第二例の成膜装置の内部側面図
【図１２】本発明の第二例の成膜装置の内部平面図
【図１３】本発明の第三例の成膜装置の内部側面図
【図１４】本発明の第三例の成膜装置の内部平面図
【図１５】筒の先端から放出される蒸気の放出角度を説明するための図
【図１６】ｃｏｓnθの角度分布を示す図
【図１７】実施例１、２と比較例で測定された膜厚分布を示す図
【図１８】従来の成膜装置の内部側面図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
＜第一例の成膜装置の構造＞
本発明の第一例の成膜装置１０ａの構造を説明する。
図１は第一例の成膜装置１０ａの内部側面図、図２は同平面図である。
第一例の成膜装置１０ａは、真空槽１１と、真空槽１１内に蒸着材料の蒸気を放出する放出部１３と、真空槽１１内に配置され、基板を保持する基板保持部１４とを有している。符号５は基板保持部１４に保持された基板を示している。
【００１８】
放出部１３は、真空槽１１内に配置され、内部に蒸着材料の蒸気が配置される中空の放出容器１６ａと、先端の開口１７が基板保持部１４に保持された基板５表面に向けられて、放出容器１６ａに設けられ、内部が放出容器１６ａの内部空間と連通する複数の中空の筒１５と、真空槽１１の外側に配置された蒸発源２３と、キャリアガス供給装置２４とを有している。
蒸発源２３は、内部に液体又は固体の蒸着材料２５が配置される中空の材料容器２３ａと、材料容器２３ａ内の蒸着材料２５を加熱する主加熱装置２３ｂとを有している。
【００１９】
主加熱装置２３ｂはここでは線状のヒーターであり、材料容器２３ａの周囲に巻き回されて取り付けられている。主加熱装置２３ｂを動作させて蒸着材料２５の蒸発温度以上に発熱させると、材料容器２３ａは蒸着材料２５の蒸発温度以上に加熱され、材料容器２３ａからの熱伝導により材料容器２３ａ内の蒸着材料２５は加熱されて蒸気が生成されるようになっている。
【００２０】
キャリアガス供給装置２４は材料容器２３ａに接続され、材料容器２３ａ内にキャリアガスを導入できるようになっている。
材料容器２３ａには開閉可能なバルブ２２を介して接続管２１が接続されている。接続管２１の端部は真空槽１１に設けられた穴を通って真空槽１１内に挿入され、放出容器１６ａに接続されている。真空槽１１の穴と接続管２１の側面との隙間は不図示の真空シールで気密に塞がれている。
【００２１】
バルブ２２を開状態にすると、材料容器２３ａ内の蒸気はキャリアガスと一緒に接続管２１を通って放出容器１６ａ内に導入され、バルブ２２を閉状態にすると、放出容器１６ａ内への蒸気の導入は停止される。
【００２２】
放出容器１６ａに設けられた筒１５の内部空間は放出容器１６ａの内部空間と連通され、放出容器１６ａ内に導入された蒸気は筒１５の内部を通って、先端の開口１７から放出される。
【００２３】
筒１５の先端の開口１７は基板保持部１４に保持された基板５表面に向けられ、開口１７の法線１８は基板５表面と交差されている。開口１７から放出された蒸気は、法線方向を０°とするｃｏｓnθ分布に従って放出され、基板５表面に到達するようになっている。
【００２４】
放出容器１６ａと筒１５には補助加熱装置１６ｂが取り付けられている。ここでは補助加熱装置１６ｂは線状のヒーターであり、放出容器１６ａの周囲に巻き回されて取り付けられている。補助加熱装置１６ｂを動作させて蒸気の凝縮温度以上に発熱させると、放出容器１６ａと筒１５は蒸気の凝縮温度以上に加熱され、蒸気は放出容器１６ａの壁面や筒１５の壁面に凝縮しないようになっている。そのため、凝縮した蒸着材料により筒１５が詰まることを防ぐことができる。
【００２５】
本発明の第一例の成膜装置１０ａでは、筒１５には、先端が基板保持部１４に保持された基板５表面と対面する範囲（放出容器１６ａ表面のうち基板５表面と対面する領域と基板５表面との間に挟まれた空間）の外側に配置された筒が含まれる。
【００２６】
図２を参照し、放出容器１６ａの平面形状は基板５表面よりも一回り大きく、基板保持部１４に保持された基板５の外周全体は放出容器１６ａと対面する範囲の内側に入るようになっている。
基板５表面と対面する範囲の外周は、先端が基板５表面と対面する範囲の外側に配置された筒１５の先端で取り囲まれている。
【００２７】
図１を参照し、先端が基板保持部１４に保持された基板５表面と対面する範囲の外側に配置された筒１５の開口１７も、基板５表面に向けられ、開口１７の法線１８は基板５表面と交差されている。開口１７から放出された蒸気の放出角度分布は法線方向を０°とするｃｏｓnθ分布に従うから、先端が基板５表面と対面する範囲の外側に配置された筒１５の開口１７からの蒸気の、基板５表面に到達する割合は、従来より大きく、蒸着材料の利用効率は従来より高くなっている。
【００２８】
開口１７の直径に対する筒１５の長手方向の長さが長いほど、蒸気の放出角度分布はｎ値が大きいｃｏｓnθ分布に従い、指向性が大きく、蒸着材料の利用効率はより高くなる。
本実施例では、各筒１５の開口１７の法線１８と基板保持部１４に保持された基板５表面とのなす角度は、開口１７が基板５表面の中心から離れた位置に配置された筒１５ほど小さくされており、基板５表面のうち中心から離れた位置ほど、単位面積あたりに交わる開口１７の法線１８の数が多くなっている。
【００２９】
そのため、基板５表面の中心から離れた位置ほど、中心に近い位置に比べて蒸気が到達する開口１７の数は少ないものの、一つの開口１７あたりの蒸気の到達する割合が大きく、中心から離れた位置と中心に近い位置とで単位面積当たりの蒸気の合計到達量を等しくでき、基板５表面に均一な膜厚の薄膜を形成できる。
【００３０】
基板５表面と対面する範囲の外周は、先端がその範囲の外側に配置された筒１５の先端で取り囲まれており、基板５表面の外周部分には、外周一周にわたって、均一な膜厚の薄膜を形成することができる。
各筒１５の先端は、基板保持部１４に保持された基板５表面に平行な一の平面内に配置されており、すなわち、各筒１５の先端と基板５表面が位置する平面との間の距離は互いに等しく揃えられている。
【００３１】
そのため、各筒１５が蒸着材料の蒸気の凝縮温度以上の同一温度に加熱されると、基板５表面内は各筒１５からの熱を受けて均一に昇温され、基板５表面内に温度の偏りが生じることを防ぐことができる。
本実施例では、各筒１５と放出容器１６ａとは互いに脱着可能に構成されている。
【００３２】
図３（ａ）は、筒１５と放出容器１６ａとの接続部分の第一例を説明するための筒１５の拡大断面図である。
筒１５は、開口１７側の開口部１５ｂと開口１７とは逆側の取付部１５ａとを有している。開口１７の法線１８は開口部１５ｂの中心軸線と一致されており、取付部１５ａと開口部１５ｂとは互いの中心軸線が所定角度をなす向きに曲げられている。
【００３３】
ここでは、放出容器１６ａには貫通孔３４が設けられ、貫通孔３４の内周面にはらせん状のネジ溝が設けられ、前記取付部１５ａの側面にはネジ溝と噛み合い可能なネジ山３２が設けられている。
筒１５は取付部１５ａの中心軸線を中心とする一の回転方向に回転しながら放出容器１６ａの貫通孔３４に挿し込まれ、貫通孔３４に螺嵌された後、放出容器１６ａの外側からナット３１で締められて固定されている。
そして、ナット３１を緩めた後、筒１５を取付部１５ａの中心軸線を中心に固定方向とは逆方向に回転させると、筒１５は放出容器１６ａから分離されるようになっている。
【００３４】
取付部１５ａの中心軸線と開口部１５ｂの中心軸線とのなす角度が異なる複数種類の筒１５を予め用意しておくと、基板５表面の大きさや、放出容器１６ａと基板５表面との間の間隔等の成膜条件が異なる場合でも、成膜条件に応じた角度の筒１５を放出容器１６ａに取り付けることで、筒１５の開口１７の法線方向を基板５表面と交差する向きに向けることができる。
【００３５】
図３（ｂ）は、筒１５と放出容器１６ａとの接続部分の第二例を説明するための筒１５の拡大断面図である。接続部分の第一例と同じ構造の部分には同じ符号を付して説明を省略する。
接続部分の第二例では、放出容器１６ａのうち貫通孔３４の周囲の厚みは他の部分の厚みより厚くされている。そのため、接続部分の第一例と比べて、取付部１５ａの側面と貫通孔３４の内周面との接触面積が広くなっており、放出容器１６ａ内のガスが取付部１５ａの側面と貫通孔３４の内周面との隙間を通って漏れ出すことを防ぐことができる。
【００３６】
なお、筒１５と放出容器１６ａとの接続部分の構造は上述したようなネジ構造に限定されない。例えばオーリング、ガスケット等の気密シールを用いて取付部１５ａと貫通孔３４との隙間を封止してもよいが、筒１５と放出容器１６ａとは蒸気の凝縮温度以上に加熱されるため、オーリング、ガスケットは耐熱性の高いものが好ましい。
【００３７】
また、筒１５と放出容器１６ａとは脱着可能な構成に限定されず、分離する必要がなければ、溶接して固定されてもよいし、一体成形されてもよい。
なお、放出容器１６ａの平面形状は、図２に示すように四角形状に限定されず、図４に示すように円形状でもよい。ウエハー等の円形基板に成膜する場合には、平面形状が円形状の放出容器１６ａを用いた方が、蒸着材料の利用効率がよい。
【００３８】
＜第一例の成膜装置の使用方法＞
第一例の成膜装置１０ａの使用方法を、有機薄膜の成膜方法を例に説明する。
図１を参照し、バルブ２２を閉状態にしておく。蒸発源２３の材料容器２３ａ内に蒸着材料２５として有機材料を配置する。
真空槽１１に真空排気装置１２を接続して、真空槽１１内を真空排気し、真空雰囲気を形成する。以後、真空排気装置１２による真空排気を継続して、真空槽１１内の真空雰囲気を維持する。
【００３９】
図５を参照し、真空槽１１内に予めマスク板６を配置しておき、真空槽１１内の真空雰囲気を維持しながら、真空槽１１内に基板５を搬入し、表面にマスク板６が配置された状態で、基板保持部１４に保持させる。
補助加熱装置１６ｂにより放出容器１６ａと筒１５とを有機材料の蒸気の凝縮温度以上に加熱しておく。以後、補助加熱装置１６ｂによる加熱を継続し、放出容器１６ａと筒１５の温度を蒸気の凝縮温度以上に維持する。
【００４０】
蒸発源２３の主加熱装置２３ｂにより材料容器２３ａ内の有機材料を加熱して蒸気を発生させる。
キャリアガス供給装置２４から材料容器２３ａ内にキャリアガスを導入し、バルブ２２を開状態にする。
材料容器２３ａ内の有機材料の蒸気は、キャリアガスと一緒に接続管２１を通って放出容器１６ａ内に導入され、各筒１５の内部を通って、筒１５の先端の開口１７から放出される。
【００４１】
筒１５の開口１７は基板５表面に向けられ、開口１７の法線１８は基板５表面と交差され、開口１７から放出された蒸気は基板５表面のうちマスク板６の開口から露出する部分に到達して、有機薄膜が形成される。
【００４２】
筒１５には、先端が基板５表面と対面する範囲より外側に配置された筒１５も含まれるが、外側に配置された筒１５の開口１７の法線１８も基板５表面と交差されており、外側に配置された筒１５の開口１７からの蒸気が基板５表面に到達する割合が従来より大きい。そのため、蒸着材料の利用効率が従来より高く、成膜時間を短縮でき、かつ、コストを低減できる。また、真空槽１１の壁面などに付着する蒸気を減少でき、ダストの発生を防ぐことができる。
【００４３】
各筒１５の開口１７の法線１８と基板５表面とのなす角度は、開口１７が基板５表面の中心から離れた位置に配置された筒１５ほど小さくされ、基板５表面内では単位面積当たりの蒸気の合計到達量は均一にされており、基板５表面には均一な膜厚の有機薄膜が形成される。
基板５表面に所定の膜厚の有機薄膜を形成した後、バルブ２２を閉状態にして放出容器１６ａへの蒸気の供給を停止する。キャリアガス供給装置２４から材料容器２３ａへのキャリアガスの導入を停止する。
【００４４】
真空槽１１内の真空雰囲気を維持しながら、基板５を真空槽１１の外側に搬出し、後工程に回す。次いで、未成膜の基板５を真空槽１１内に搬入し、表面にマスク板６が配置された状態で、基板保持部１４に保持させ、上述の成膜工程を繰り返す。
【００４５】
なお、本発明では、放出部１３の構成は、図１を参照し、上述の構成に限定されず、蒸発源２３が真空槽１１内に配置されていてもよいし、図６を参照し、接続管２１とバルブ２２と蒸発源２３とキャリアガス供給装置２４とが省略され、放出容器１６ａ内に液体又は固体の蒸着材料２５が配置されるように構成され、補助加熱装置１６ｂにより放出容器１６ａ内の蒸着材料２５を加熱して蒸気を生成してもよい。
【００４６】
また、本発明では、筒１５の形状は、図１を参照し、上述の形状に限定されず、図７、８を参照し、開口部１５ｂと取付部１５ａの中心軸線は一致され、開口１７はその法線が開口部１５ｂの中心軸線と所定角度をなす向きに設けられた形状も本発明に含まれる。この形状の筒１５は、製作が容易であるという利点がある。
【００４７】
また図９、１０を参照し、筒１５の形状は、開口部１５ｂと取付部１５ａの中心軸線は一致され、開口１７の法線１８は開口部１５ｂの法線と一致された形状であり、放出容器１６ａの貫通孔３４はその法線が基板保持部１４に保持された基板５表面と交差する向きに向けられて形成され、貫通孔３４に挿し込まれた筒１５の開口１７の法線１８も基板５表面と交差するようになっていてもよい。この形状の筒１５は、製作が容易であり、また、開口１７から放出される蒸気の放出角度分布はｎ値の大きいｃｏｓnθ分布に従って指向性がよいという利点がある。
【００４８】
＜第二例の成膜装置の構造＞
本発明の第二例の成膜装置１０ｂの構造を説明する。
図１１は第二例の成膜装置１０ｂの内部側面図、図１２は同内部平面図である。第二例の成膜装置１０ｂのうち、第一例の成膜装置１０ａの構成と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
【００４９】
第二例の成膜装置１０ｂは、第一例の成膜装置１０ａの放出部１３の変わりに放出部１３ｈ1、１３ｄ1、１３ｈ2、１３ｄ2、１３ｈ3、１３ｄ3（以下符号を１３ｈ1〜１３ｄ3と略す）を有しており、また基板５を一の平面内で移動させ、各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3の放出容器１６ａと対面する位置を通過させる基板移動部４１を有している。図１２では後述する放出部１３ｈ1〜１３ｄ3のうち放出容器１６ａと筒１５以外の部分の図示を省略している。
【００５０】
以下では基板移動部４１による基板５の移動方向を移動方向、基板５表面に平行で移動方向に対して直角な方向を幅方向と呼ぶ。符号５１、５２は移動方向、幅方向をそれぞれ示している。
基板移動部４１はここでは、複数の筒状の回転ローラ４２と、駆動部４３とを有している。
【００５１】
回転ローラ４２は移動方向５１に沿って互いに平行な二列に並んで配置されており、各回転ローラ４２の中心軸線はそれぞれ幅方向５２と平行に向けられている。
駆動部４３はここではモーターであり、各回転ローラ４２に動力を伝達して、各回転ローラ４２をそれぞれ中心軸線を中心に回転できるようになっている。
【００５２】
一方の列の回転ローラ４２と他方の列の回転ローラ４２に基板５の幅方向５２の一端と他端をそれぞれ接触させて、基板５を回転ローラ４２に載せた状態で、駆動部４３を動作させて回転ローラ４２を回転させると、基板５は回転ローラ４２に載せられた状態で、移動方向５１に移動されるようになっている。
【００５３】
なお、基板移動部４１は、基板５を移動方向５１に移動できるならば、回転ローラ４２に用いた構成に限定されず、例えばベルトコンベアやリニアモータを用いて構成してもよい。
各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3の構造は互いに同様であり、符号１３ｈ1の放出部で代表して説明する。
【００５４】
図１１を参照し、放出部１３ｈ1のうち、放出容器１６ａの形状と筒１５の配置以外は、第一例の成膜装置１０ａの放出部１３と同様であり、説明を省略する。
放出容器１６ａの形状は、長手方向の長さが基板５の幅方向５２の長さより長い細長形状である。
【００５５】
筒１５は放出容器１６ａの長手方向に沿って並んで設けられており、放出容器１６ａの長手方向に沿った並びの一端の筒１５の開口１７と他端の筒１５の開口１７の中心間距離は、基板５の幅方向５２の長さより長くされている。
【００５６】
図１２を参照し、各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3の放出容器１６ａは、基板移動部４１によって移動される基板５と対面する位置に、それぞれ長手方向が幅方向５２と平行に向けられた状態で、移動方向５１に沿って、符号１３ｈ1、１３ｄ1、１３ｈ2、１３ｄ2、１３ｈ3、１３ｄ3の順に並んで配置されている。
【００５７】
基板移動部４１により基板５を移動方向５１に移動させると、基板５は各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3の放出容器１６ａと対面する成膜位置を、順に通過するようになっている。
各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3では、筒１５は、基板５が成膜位置を通過するときに、先端の開口１７が基板５表面に向く向きで放出容器１６ａに設けられており、開口１７の法線１８は、基板５が成膜位置を通過するときに基板５表面と交差する向きに向けられている。
開口１７から放出された蒸気は、法線方向を０°とするｃｏｓnθ分布に従って放出され、基板５が成膜位置を通過するときに、基板５表面に到達するようになっている。
【００５８】
本発明の第二例の成膜装置１０ｂでは、筒１５には、先端が、基板５が成膜位置を通過するときに基板５表面が対面する範囲（放出容器１６ａ表面のうち基板５表面と対面する領域と基板５表面のうち放出容器１６ａ表面と対面する領域との間に挟まれた空間）の、幅方向５２の一方の外側に配置された筒と、他方の外側に配置された筒と、が含まれる。
【００５９】
図１１を参照し、基板５が成膜位置を通過するときに基板５表面が対面する範囲の、幅方向５２の一方又は他方の外側に配置された筒１５の先端の開口１７も、基板５表面に向けられ、開口１７の法線１８は基板５表面と交差されている。開口１７から放出された蒸気の放出角度分布は法線方向を０°とするｃｏｓnθ分布に従うから、先端が基板５表面と対面する範囲の幅方向５２の外側に配置された筒１５の開口１７からの蒸気の、基板５表面に到達する割合は、従来より大きく、蒸着材料の利用効率は従来より高くなっている。
【００６０】
本実施例では、基板５が成膜位置を通過するときに各筒１５の開口１７の法線１８と基板５表面とのなす角度は、開口１７が基板５表面の幅方向５２の中心から離れた位置に配置された筒１５ほど小さくされており、基板５表面のうち幅方向５２の中心から離れた位置ほど、単位面積あたりに交わる開口１７の法線１８の数が多くなっている。
【００６１】
そのため、基板５表面の幅方向５２の中心から離れた位置ほど、中心に近い位置に比べて蒸気が到達する開口１７の数は少ないものの、一つの開口１７あたりの蒸気の到達する割合が大きく、中心から離れた位置と中心に近い位置とで単位面積当たりの蒸気の合計到達量を等しくでき、基板５表面に幅方向５２に均一な膜厚の薄膜を形成できる。
【００６２】
ここでは、符号１３ｈ1と１３ｄ1、符号１３ｈ2と１３ｄ2、符号１３ｈ3と１３ｄ3の放出部はそれぞれ組にされている。
符号１３ｈ1と１３ｄ1の放出部からなる組で説明すると、一方の放出部１３ｈ1の筒１５の開口１７と他方の放出部１３ｄ1の筒１５の開口１７は、移動方向５１に沿った互いに向き合う方向に傾けられ、基板５が当該組の成膜位置を通過するときに、一方の放出部１３ｈ1の筒１５の開口１７から放出された蒸気と、他方の放出部１３ｄ1の筒１５の開口１７から放出された蒸気は、基板５表面に一緒に到達するようになっている。
【００６３】
＜第二例の成膜装置の使用方法＞
第二例の成膜装置１０ｂの使用方法を、有機薄膜の成膜方法を例に説明する。
図１１を参照し、各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3のバルブ２２を閉状態にしておく。各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3の蒸発源２３の材料容器２３ａ内にそれぞれ異なる種類の有機材料を配置する。ここでは符号１３ｈ1、１３ｈ2、１３ｈ3の材料容器２３ａにはそれぞれＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の発光層のホスト材料を配置し、符号１３ｄ1、１３ｄ2、１３ｄ3の材料容器２３ａにはそれぞれＲ、Ｇ、Ｂの発光層のドーパント材料を配置する。
真空槽１１に真空排気装置１２を接続して、真空槽１１内を真空排気し、真空雰囲気を形成する。以後、真空排気装置１２による真空排気を継続して、真空槽１１内の真空雰囲気を維持する。
【００６４】
図１２を参照し、真空槽１１内の真空雰囲気を維持しながら、表面にマスク板（不図示）が配置された基板５を真空槽１１内に搬入し、基板５の幅方向５２の一端と他端をそれぞれ回転ローラ４２に接触させて、基板５を回転ローラ４２に載せる。回転ローラ４２を回転させて基板５を移動させ、符号１３ｈ1の放出部の放出容器１６ａよりも移動方向５１の始点側に静止させる。
【００６５】
各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3の補助加熱装置１６ｂにより放出容器１６ａと筒１５とを有機材料の蒸気の凝縮温度以上に加熱しておく。以後、補助加熱装置１６ｂによる加熱を継続し、放出容器１６ａと筒１５の温度を維持する。
各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3の蒸発源２３の主加熱装置２３ｂにより材料容器２３ａ内の有機材料を加熱して蒸気を発生させる。
各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3のキャリアガス供給装置２４から材料容器２３ａ内にキャリアガスを導入し、バルブ２２を開状態にする。
【００６６】
各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3の材料容器２３ａ内の有機材料の蒸気は、キャリアガスと一緒に接続管２１を通って放出容器１６ａ内に導入され、各筒１５の内部を通って、筒１５の先端の開口１７から放出される。
各回転ローラ４２を回転させて、基板５を移動方向５１に沿って移動させ、各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3の成膜位置を順に通過させる。
【００６７】
各放出部１３ｈ1〜１３ｄ3では、筒１５は、基板５が成膜位置を通過するときに、先端の開口１７が基板５表面に向く向きで放出容器１６ａに設けられ、開口１７の法線１８は、基板５が成膜位置を通過するときに基板５表面と交差する向きに向けられており、開口１７から放出された蒸気は、基板５が成膜位置を通過するときに、基板５表面のうちマスク板の開口から露出する部分に到達する。
【００６８】
基板が符号１３ｈ1、１３ｄ1の放出部の成膜位置を通過するときに、基板５表面にはＲの発光層のホスト材料の蒸気とドーパント材料の蒸気が共蒸着してＲの発光層の有機薄膜が形成され、符号１３ｈ2、１３ｄ2の放出部の成膜位置を通過するときに、Ｒの発光層の表面にＧの発光層のホスト材料の蒸気とドーパント材料の蒸気が共蒸着してＧの発光層の有機薄膜が形成され、符号１３ｈ3、１３ｄ3の放出部の成膜位置を通過するときに、Ｇの発光層の表面にＢの発光層のホスト材料の蒸気とドーパント材料の蒸気が共蒸着してＢの発光層の有機薄膜が形成される。すなわち、基板５表面にＲ、Ｇ、Ｂの発光層がこの順に積層される。
【００６９】
筒１５には、先端が、基板５が成膜位置を通過するときに基板５表面が対面する範囲の、幅方向５２の一方の外側に配置された筒と、他方の外側に配置された筒と、が含まれるが、基板５が成膜位置を通過するときに、当該筒１５の開口１７の法線１８も、基板５表面と交差されており、当該筒１５の開口１７からの蒸気の、基板５表面に到達する割合は、従来より大きい。そのため、蒸着材料の利用効率が従来より高く、成膜時間を短縮でき、かつ、コストを低減できる。また、真空槽１１の壁面などに付着する蒸気を減少でき、ダストの発生を防ぐことができる。
【００７０】
基板５が成膜位置を通過するときに、各筒１５の開口１７の法線１８と基板５表面とのなす角度は、開口１７が基板５表面の幅方向５２の中心から離れた位置に配置された筒１５ほど小さくされ、単位面積当たりの蒸気の合計到達量は幅方向５２に均一にされており、基板５表面には幅方向５２に均一な膜厚の有機薄膜が形成される。
【００７１】
また、基板５を移動方向５１に沿って所定速度で移動させると、基板５表面に形成される有機薄膜の移動方向５１の膜厚分布も均一になる。
なお、上述の第二例の成膜装置１０ｂは六個の放出部１３ｈ1〜１３ｄ3を有していたが、放出部の数は六個に限定されず、一個でもよいし、二個以上でもよい。
【００７２】
＜第三例の成膜装置の構造＞
本発明の第三例の成膜装置１０ｃの構造を説明する。
図１３は第三例の成膜装置１０ｃの内部側面図、図１４は同内部平面図である。第三例の成膜装置１０ｃのうち、第一例の成膜装置１０ａの構成と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
【００７３】
第三例の成膜装置１０ｃは、第一例の成膜装置１０ａの放出部１３の代わりに、放出部１３ｈ、１３ｄを有しており、また放出部１３ｈ、１３ｄの放出容器１６ａを、基板保持部１４に保持された基板５表面と平行な移動方向５１に移動させ、基板５表面と対面する成膜位置を通過させる放出容器移動部４４を有している。
【００７４】
以下では基板保持部１４に保持された基板５表面に平行で移動方向５１に対して直角な方向を幅方向と呼び、符号５２を付して示す。
放出容器移動部４４はここでは互いに平行な二本の直線状のレール４５1、４５2と、断面が「コ」字形状のスライダ４６1、４６2と、駆動部４７とを有している。
【００７５】
二本のレール４５1、４５2は基板保持部１４に保持された基板５表面と対面する位置に、移動方向５１と平行に向けられ、互いに幅方向５２に離間して配置されている。
各スライダ４６1、４６2は、それぞれ異なるレール４５1、４５2の側面に嵌め合わされ、レール４５1、４５2の長手方向に沿って滑動できるようになっている。
【００７６】
駆動部４７はここではモーターであり、スライダ４６1、４６2に動力を伝達できるように構成されている。駆動部４７からスライダ４６1、４６2に動力を伝達させると、二つのスライダ４６1、４６2は一緒に、レール４５1、４５2の長手方向、すなわち移動方向５１に沿って往復移動できるようになっている。
【００７７】
放出部１３ｈ、１３ｄの構造は、第二例の成膜装置１０ｂの放出部１３ｈ1〜１３ｄ3の構造と同様であり、説明を省略する。図１３、１４では、放出部１３ｈ、１３ｄのうち放出容器１６ａと筒１５以外の部分の図示を省略している。
【００７８】
各放出部１３ｈ、１３ｄの放出容器１６ａは、長手方向が幅方向５２と平行に向けられた状態で、移動方向５１に沿って並んで配置され、それぞれ二つのスライダ４６1、４６2に取り付けられている。二つのスライダ４６1、４６2は一緒に移動方向５１に沿って移動させると、各放出部１３ｈ、１３ｄの放出容器１６ａも一緒に移動方向５１に沿って移動して、基板保持部１４に保持された基板５と対面する成膜位置を通過するようになっている。
【００７９】
各放出部１３ｈ、１３ｄでは、筒１５は、放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに、先端の開口１７が基板５表面に向く向きで放出容器１６ａに設けられており、開口１７の法線１８は、基板５が成膜位置を通過するときに基板５表面と交差する向きに向けられている。
開口１７から放出された蒸気は、法線方向を０°とするｃｏｓnθ分布に従って放出され、放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに、基板５表面に到達するようになっている。
【００８０】
本発明の第三例の成膜装置１０ｃでは、筒１５には、先端が、放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに基板５表面が対面する範囲（放出容器１６ａ表面のうち基板５表面と対面する領域と基板５表面のうち放出容器１６ａ表面と対面する領域との間に挟まれた空間）の、幅方向５２の一方の外側に配置された筒と、他方の外側に配置された筒と、が含まれる。
【００８１】
図１３を参照し、放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに基板５表面が対面する範囲の、幅方向５２の一方又は他方の外側に配置された筒１５の先端の開口１７も、基板５表面に向けられ、開口１７の法線１８は基板５表面と交差されている。開口１７から放出された蒸気の放出角度分布は法線方向を０°とするｃｏｓnθ分布に従うから、先端が基板５表面と対面する範囲の幅方向５２の外側に配置された筒１５の開口１７からの蒸気の、基板５表面に到達する割合は、従来より大きく、蒸着材料の利用効率は従来より高くなっている。
【００８２】
本実施例では、放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに各筒１５の開口１７の法線１８と基板５表面とのなす角度は、開口１７が基板５表面の幅方向５２の中心から離れた位置に配置された筒１５ほど小さくされており、基板５表面のうち幅方向５２の中心から離れた位置ほど、単位面積あたりに交わる開口１７の法線１８の数が多くなっている。
【００８３】
そのため、基板５表面の幅方向５２の中心から離れた位置ほど、中心に近い位置に比べて蒸気が到達する開口１７の数は少ないものの、一つの開口１７あたりの蒸気の到達する割合が大きく、中心から離れた位置と中心に近い位置とで単位面積当たりの蒸気の合計到達量を等しくでき、基板５表面に幅方向５２に均一な膜厚の薄膜を形成できる。
【００８４】
ここでは、一方の放出部１３ｈの筒１５の開口１７と他方の放出部１３ｄの筒１５の開口１７は、移動方向５１に沿った互いに向き合う方向に傾けられ、各放出部１３ｈ、１３ｄの放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに、一方の放出部１３ｈの筒１５の開口１７から放出された蒸気と、他方の放出部１３ｄの筒１５の開口１７から放出された蒸気は、基板５表面に一緒に到達するようになっている。
【００８５】
＜第三例の成膜装置の使用方法＞
第三例の成膜装置１０ｃの使用方法を、有機薄膜の成膜方法を例に説明する。
図１３を参照し、各放出部１３ｈ、１３ｄのバルブを閉状態にしておく。各放出部１３ｈ、１３ｄの蒸発源の材料容器内にそれぞれ異なる種類の有機材料を配置する。ここでは符号１３ｈの材料容器内にはホスト材料を配置し、符号１３ｄの材料容器内にはドーパント材料を配置する。
真空槽１１に真空排気装置１２を接続して、真空槽１１内を真空排気し、真空雰囲気を形成する。以後、真空排気装置１２による真空排気を継続して、真空槽１１内の真空雰囲気を維持する。
【００８６】
図１４を参照し、真空槽１１内に予めマスク板（不図示）を配置しておき、真空槽１１内の真空雰囲気を維持しながら、真空槽１１内に基板５を搬入し、表面にマスク板が配置された状態で、基板保持部１４に保持させる。
放出容器移動部４４により各放出部１３ｈ、１３ｄの放出容器１６ａを一緒に移動方向５１に沿って移動させ、成膜位置よりも移動方向５１の始点側に静止させておく。
【００８７】
各放出部１３ｈ、１３ｄの補助加熱装置１６ｂにより放出容器１６ａと筒１５とを有機材料の蒸気の凝縮温度以上に加熱しておく。以後、補助加熱装置１６ｂによる加熱を継続し、放出容器１６ａと筒１５の温度を維持する。
各放出部１３ｈ、１３ｄの蒸発源の主加熱装置により材料容器内の有機材料を加熱して蒸気を発生させる。
【００８８】
各放出部１３ｈ、１３ｄのキャリアガス供給装置から材料容器内にキャリアガスを導入し、バルブを開状態にする。
各放出部１３ｈ、１３ｄの材料容器内の有機材料の蒸気は、キャリアガスと一緒に接続管を通って放出容器１６ａ内に導入され、各筒１５の内部を通って、筒１５の先端の開口１７から放出される。
放出容器移動部４４により、各放出部１３ｈ、１３ｄの放出容器１６ａを一緒に、移動方向５１に移動させ、成膜位置を通過させる。
【００８９】
各放出部１３ｈ、１３ｄでは、筒１５は、放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに、先端の開口１７が基板５表面に向く向きで放出容器１６ａに設けられ、開口１７の法線１８は、放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに基板５表面と交差する向きに向けられており、開口１７から放出されたホスト材料とドーパント材料の蒸気は、放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに、基板５表面のうちマスク板の開口から露出する部分に一緒に到達して、有機薄膜が形成される。
【００９０】
筒１５には、先端が、放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに基板５表面が対面する範囲の、幅方向５２の一方の外側に配置された筒と、他方の外側に配置された筒と、が含まれるが、放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに、当該筒１５の開口１７の法線１８も、基板５表面と交差されており、当該筒１５の開口１７からの蒸気の、基板５表面に到達する割合は、従来より大きい。そのため、蒸着材料の利用効率が従来より高く、成膜時間を短縮でき、かつ、コストを低減できる。また、真空槽１１の壁面などに付着する蒸気を減少でき、ダストの発生を防ぐことができる。
【００９１】
放出容器１６ａが成膜位置を通過するときに、各筒１５の開口１７の法線１８と基板５表面とのなす角度は、開口１７が基板５表面の幅方向５２の中心から離れた位置に配置された筒１５ほど小さくされ、単位面積当たりの蒸気の合計到達量は幅方向５２に均一にされており、基板５表面には幅方向５２に均一な膜厚の有機薄膜が形成される。
また、放出容器１６ａを移動方向５１に沿って所定速度で移動させると、基板５表面に形成される有機薄膜の移動方向５１の膜厚分布も均一になる。
【００９２】
各放出部１３ｈ、１３ｄの放出容器１６ａを移動方向５１に移動させ、成膜位置を通過させた後、成膜位置よりも移動方向５１の終点側で静止させる。各放出部１３ｈ、１３ｄのバルブ２２を閉状態にして放出容器１６ａへの蒸気の供給を停止する。各放出部１３ｈ、１３ｄのキャリアガス供給装置から材料容器へのキャリアガスの導入を停止する。
【００９３】
真空槽１１内の真空雰囲気を維持しながら、基板５をマスク板と一緒に真空槽１１の外側に搬出し、後工程に回す。次いで、未成膜の基板５をマスク板と一緒に真空槽１１内に搬入し、基板保持部１４に保持させて、上述の成膜工程を繰り返す。
なお、上述の第三例の成膜装置１０ｃは二個の放出部１３ｈ、１３ｄを有していたが、放出部の数は二個に限定されず、一個でもよいし、三個以上でもよい。
【実施例】
【００９４】
＜実施例１＞
図１を参照し、第一例の成膜装置１０ａを用いて、基板保持部１４に保持された基板５が位置する平面内の互いに異なる測定位置に膜厚センサを配置して、各筒１５の開口１７からそれぞれ蒸気を放出させ、各測定位置の膜厚センサに形成される薄膜の膜厚を測定した。
図１７の符号Ｌ1は、各測定位置の膜厚センサで測定された膜厚分布を示す。
【００９５】
＜実施例２＞
図１を参照し、実施例１で用いた第一例の成膜装置１０ａにおいて、筒１５を、開口１７の直径に対する長手方向の長さの比が実施例１のときより大きい筒１５に交換して、実施例１と同様にして、各測定位置の膜厚センサに形成される薄膜の膜厚を測定した。
図１７の符号Ｌ2は、各測定位置の膜厚センサで測定された膜厚分布を示す。
【００９６】
＜比較例＞
図１８を参照し、従来の成膜装置１００を用いて、実施例１、２と同様にして、各測定位置の膜厚センサに形成される薄膜の膜厚を測定した。
図１７の符号Ｌ0は、各測定位置の膜厚センサで測定された膜厚分布を示す。
図１７を参照し、本発明の成膜装置１０ａを用いた実施例１、２（Ｌ1、Ｌ2）では、基板５表面内には均一な膜厚の薄膜が形成されていることが分かる。
【００９７】
また、本発明の成膜装置１０ａを用いた実施例１、２（Ｌ1、Ｌ2）では、従来の成膜装置１００を用いた比較例（Ｌ0）に比べて、基板５表面の外側に到達する蒸気に対する基板５表面内に到達する蒸気の割合が大きく、すなわち蒸着材料の利用効率が大きいことが分かる。
実施例１（Ｌ1）と実施例２（Ｌ2）とを比べると、筒１５の開口１７の直径に対する筒１５の長手方向の長さの比がより大きい実施例２（Ｌ2）の方が、より蒸着材料の利用効率が高いことが分かる。
【符号の説明】
【００９８】
５……基板
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ……成膜装置
１１……真空槽
１４……基板保持部
１５……筒
１６ａ……放出容器
１７……開口
１８……法線
４１……基板移動部
４４……放出容器移動部
【図１】
2012251213.tif 000003
【図２】
2012251213.tif 000004
【図３】
2012251213.tif 000005
【図４】
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【図５】
2012251213.tif 000007
【図６】
2012251213.tif 000008
【図７】
2012251213.tif 000009
【図８】
2012251213.tif 000010
【図９】
2012251213.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2012251213.tif 000013
【図１２】
2012251213.tif 000014
【図１３】
2012251213.tif 000015
【図１４】
2012251213.tif 000016
【図１５】
2012251213.tif 000017
【図１６】
2012251213.tif 000018
【図１７】
2012251213.tif 000019
【図１８】
2012251213.tif 000020