(57)【要約】【課題】テーブルユニットの小型化や軽量化が図れる。【解決手段】加工対象品１０１が隙間１０に横方向から搬入された後、昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、上クランプユニット７の自重だけで又は第１弾性部材９の弾力又は第２弾性部材１７の弾力の作用により上クランプユニット７が下降して、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持し、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持した後、昇降駆動機構４が上クランプユニット７及びテーブルユニット５から機構的に離れた縁切れ状態となることにより、上クランプユニット７を開閉する駆動機構に必要な電気駆動のためのケーブルや空気駆動のためのエアーチューブなどがテーブルユニット５から除去するこができるようになっている。【選択図】図１
2012119489.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブルユニットが加工対象品の中央部を下から支持し、テーブルユニットの周囲に設けられた上クランプユニットと下クランプユニットとが加工対象品の周縁部を上下方向から掴むように支持するようにした加工対象物搭載台装置において、上クランプユニットがテーブルユニットの周囲に昇降可能に設置されているとともに、上クランプユニットとそれを開閉する昇降駆動機構とが互いに機構的に独立した配置に構成されており、昇降駆動機構が上昇駆動するのに伴い上クランプユニットを下から突き上げて、上クランプユニットと下クランプユニットとの間に加工対象品の周縁部の収容可能な上下方向の隙間が形成された後に上記昇降駆動機構の上昇駆動が停止し、前記上クランプユニットと下クランプユニットとの間の上下方向の隙間に加工対象品の周縁部が横方向より収容されかつ当該加工対象品の中央部がテーブルユニットの上に配置された状態において、昇降駆動機構が下降駆動するのに伴って上クランプユニットが自分の重さで下降して上クランプユニットと下クランプユニットとで加工対象品の周縁部を上下方向から掴むように支持するとともにテーブルユニットが加工対象品の中央部を下から支持し、昇降駆動機構が上クランプユニットから離れた後に上記昇降駆動機構の下降駆動が停止することを特徴とする加工対象物搭載台装置。
【請求項２】
上クランプユニットには弾性部材が下降する方向の弾力を付与するように設けられたことを特徴とする請求項１記載の加工対象物搭載台装置。
【請求項３】
下クランプユニットがテーブルユニットに一体に構成されたことを特徴とする請求項１記載の加工対象物搭載台装置。
【請求項４】
下クランプユニットがテーブルユニットと別体に構成され、その下クランプユニットがテーブルユニットに高さ調整可能に取り付けられたことを特徴とする請求項１記載の加工対象物搭載台装置。
【請求項５】
上クランプユニットが加工対象品の周縁部を掴むクランプ爪を有する上クランプ部材と加工対象品の周縁部を下から持ち上げるリフト部材とを備え、上クランプユニットが昇降駆動機構の上昇駆動で下から突き上げられることにより、上クランプユニットのクランプ爪と下クランプユニットとの間に加工対象品の周縁部の収容可能な上下方向の隙間が形成され、当該隙間においてリフト部材の上部が下クランプユニットよりも上方に突出し、そのリフト部材の加工対象品の周縁部を下から持ち上げる部分と下クランプユニットの間に加工対象品の周縁部を搬入や搬出を行うために上下方向に掴むアームの下側部分を取り込むことの可能な空間が形成されたことを特徴とする請求項１記載の加工対象物搭載台装置。
【請求項６】
リフト部材が下クランプユニットに昇降可能に嵌め込まれ、当該下クランプユニットのリフト部材を嵌め込んだ部分には加工屑又は冷却水を下クランプユニットから外部に排出するガイド収容部が設けられたことを特徴とする請求項１記載の加工対象物搭載台装置。
【請求項７】
昇降駆動機構の出力部材には上クランプユニットを昇降駆動機構の昇降駆動に伴って昇降させるプッシュユニットが設けられたことを特徴とする請求項1の加工対象物登載台装置。
【請求項８】
テーブルユニットにはテーブルユニットを上下方向に延びる中心線を回転中心として水平方向する回転駆動機構が連結されたことを特徴とする請求項1の加工対象物登載台装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テーブルユニットが加工対象品の中央部を下から支持し、テーブルユニットの周囲に設けられた上クランプユニットと下クランプユニットとが加工対象品の周縁部を上下方向から掴むように支持する加工対象物搭載台装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１乃至特許文献３で開示された加工対象物搭載台装置は、加工対象物品の中央部をテーブルユニットで下から支え、加工対象物品の周縁部をクランプ機構で支えるようになっている。しかしながら、テーブルユニットにクランプ機構を開閉する駆動機構が設けられた構造であるため、当該駆動機構に必要な電気駆動のためのケーブルや空気駆動のためのエアーチューブなどがテーブルユニットに設けられ、テーブルユニットの小型化や軽量化を図ることができないという欠点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平０５−７４１４号公報
【特許文献２】特開２００６−２４５４６７号公報
【特許文献３】特開２００９−７６７７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
発明は、前記背景技術に鑑みて、テーブルユニットの小型化や軽量化を図ることができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、テーブルユニットが加工対象品の中央部を下から支持し、テーブルユニットの周囲に設けられた上クランプユニットと下クランプユニットとが加工対象品の周縁部を上下方向から掴むように支持するようにした加工対象物搭載台装置において、上クランプユニットがテーブルユニットの周囲に昇降可能に設置されているとともに、上クランプユニットとそれを開閉する昇降駆動機構とが互いに機構的に独立した配置に構成されており、昇降駆動機構が上昇駆動するのに伴い上クランプユニットを下から突き上げて、上クランプユニットと下クランプユニットとの間に加工対象品の周縁部の収容可能な上下方向の隙間が形成された後に上記昇降駆動機構の上昇駆動が停止し、前記上クランプユニットと下クランプユニットとの間の上下方向の隙間に加工対象品の周縁部が横方向より収容されかつ当該加工対象品の中央部がテーブルユニットの上に配置された状態において、昇降駆動機構が下降駆動するのに伴って上クランプユニットが自分の重さで下降して上クランプユニットと下クランプユニットとで加工対象品の周縁部を上下方向から掴むように支持するとともにテーブルユニットが加工対象品の中央部を下から支持し、昇降駆動機構が上クランプユニットから離れた後に上記昇降駆動機構の下降駆動が停止することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、加工対象品が上クランプユニットと下クランプユニットとの間に形成された上下方向の隙間に搬入された後、昇降駆動機構が下降駆動するのに伴い、上クランプユニットが自分の重さで下降して上クランプユニットと下クランプユニットとが加工対象品の周縁部を上下方向から掴むように支持した後、昇降駆動機構が上クランプユニット及びテーブルユニットから機構的に離れた縁切れ状態となることにより、上クランプユニットを開閉する駆動機構としての昇降駆動機構に必要な電気駆動のためのケーブルや空気駆動のためのエアーチューブなどがテーブルユニットから除去でき、テーブルユニットの小型化や軽量化を図ることができるという新規な効果がある。上クランプユニットには弾性部材が下降する方向の弾力を付与するように設けられれば、上クランプユニットの重さを軽くしても、上クランプユニットが昇降駆動機構の下降駆動で確実に下方に押し下げられて、上クランプユニットと下クランプユニットとが加工対象品の周縁部を上下方向から掴むように支持することができる。下クランプユニットがテーブルユニットに一体に構成されれば、構造が簡単になる。下クランプユニットがテーブルユニットと別体に構成され、その下クランプユニットがテーブルユニットに高さ調整可能に取り付けられれば、昇降駆動機構による上クランプユニットの昇降運動範囲を変更することなく、下クランプユニットの高さを調整することにより、加工対象品の周縁部の厚さが変更になった場合でも対応可能になる。上クランプユニットが加工対象品の周縁部を掴むクランプ爪を有する上クランプ部材と加工対象品の周縁部を下から持ち上げるリフト部材とを備え、上クランプユニットが昇降駆動機構の上昇駆動で下から突き上げられることにより、上クランプユニットのクランプ爪と下クランプユニットとの間に加工対象品の周縁部の収容可能な上下方向の隙間が形成され、当該隙間においてリフト部材の上部が下クランプユニットよりも上方に突出し、そのリフト部材の加工対象品の周縁部を下から持ち上げる部分と下クランプユニットの間に加工対象品の周縁部を搬入や搬出を行うために上下方向に掴むアームの下側部分を取り込むことの可能な空間が形成されるようにすれば、下クランプユニットの加工対象品の周縁部を掴む部分が加工対象品の周縁部と全面的に接触するような形状であっても、加工対象品の周縁部を搬入や搬出を適切に行うことができる。リフト部材が下クランプユニットに昇降可能に嵌め込まれ、当該下クランプユニットのリフト部材を嵌め込んだ部分には加工屑又は冷却水を下クランプユニットから外部に排出するガイド収容部が設けられれば、加工屑又は冷却水を下クランプユニットに溜めることなく外部に排出することができる。昇降駆動機構の出力部材には上クランプユニットを昇降駆動機構の昇降駆動に伴って昇降させるプッシュユニットが設けられれば、上クランプユニットが加工対象品の周縁部を水平に支持するようにプッシュユニットで上クランプユニットを昇降することができる。テーブルユニットにはテーブルユニットを上下方向に延びる中心線を回転中心として水平方向する回転駆動機構が連結されれば、例えば、テーブルユニットを回転して加工対象品の搬入・搬出の位置と加工を行う作業の位置と適切に確定したり、加工終了後にテーブルユニットを回転して水切りを行うようしたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施形態１の加工対象物搭載台装置を示す斜視図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】実施形態１の加工対象品を搭載した加工対象物搭載台装置を示すＡ−Ａ線断面図に相当する断面図。
【図４】実施形態１の加工対象品を上クランプユニットと下クランプユニットとで支持した加工対象物搭載台装置を示すＡ−Ａ線断面図に相当する断面図。
【図５】実施形態１の昇降駆動機構が上クランプユニット及びテーブルユニットから機構的に離れた加工対象物搭載台装置を示すＡ−Ａ線断面図に相当する断面図。
【図６】実施形態１の加工対象物搭載台装置を有するダイシング装置を示す斜視図。
【図７】実施形態１のダイシング装置におけるロボットハンドを示す斜視図。
【図８】実施形態１の加工対象品を支持したロボットハンドを示す斜視図。
【図９】実施形態１の加工対象品をロボットハンドからリフト部材に降ろす工程を示す平面図に相当する模式図。
【図１０】実施形態１の加工対象品をロボットハンドからリフト部材に降ろす工程を示す図９のＢ−Ｂ線断面図に相当する模式図。
【図１１】実施形態１の加工対象品をロボットハンドからリフト部材に降ろす工程を示す図９のＢ−Ｂ線断面図に相当する模式図。
【図１２】実施形態１の加工対象品をロボットハンドからリフト部材に降ろす工程を示す図９のＢ−Ｂ線断面図に相当する模式図。
【図１３】実施形態１の加工対象品をロボットハンドからリフト部材に降ろす工程を示す図９のＢ−Ｂ線断面図に相当する模式図。
【図１４】実施形態２の加工対象物搭載台装置を示す斜視図。
【図１５】図１４のＣ−Ｃ線断面図。
【図１６】実施形態２の加工対象品を搭載した加工対象物搭載台装置を示すＣ−Ｃ線断面図に相当する断面図。
【図１７】実施形態２の加工対象品を上クランプユニットと下クランプユニットとで支持した加工対象物搭載台装置を示すＣ−Ｃ線断面図に相当する断面図。
【図１８】実施形態２の昇降駆動機構が上クランプユニット及びテーブルユニットから機構的に離れた加工対象物搭載台装置を示すＣ−Ｃ線断面図に相当する断面図。
【図１９】実施形態３のテーブルユニットの上部を示す縦断面図。
【図２０】実施形態４の加工対象物搭載台装置を示す斜視図。
【図２１】実施形態５の加工対象物搭載台装置を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本明細書における「前」、「後」、「左」、「右」、「上」、「下」の方向は、図１の状態に加工対象物搭載台装置１を置いて矢印Ｓで示す前側から見た場合に特定される方向である。加工対象物搭載台装置１としては、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持し、テーブルユニット５の周囲に設けられた上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する構成であれば適用可能である。
「実施形態１」
【０００９】
図１を参照し、実施形態１の加工対象物搭載台装置１について、ダイシング装置に用いられる加工対象物搭載台装置１を例示して説明する。ダイシング装置は、集積回路の形成された半導体ウエハー１０２を切断してチップ化する装置である。加工対象物搭載台装置１に用いられる加工対象品１０１は、集積回路の形成された半導体ウエハー１０２の裏面とフレーム１０３の裏面とがダイシングテープ１０４に接合され、半導体ウエハー１０２の表面に半導体ウエハー１０２の切断位置を示す切断予定線１０５が格子状に表示され、ダイシングテープ１０４が半導体ウエハー１０２から切断されたチップをばらばらにならないように支持し、フレーム１０３が搬送に用いられる構成になっている。ダイシングテープ１０４は、ダイボンディングテープとしてのダイボンディング剤の機能を持ち合わせたダイシング・ダイボンディングテープでも適用できる。ダイシング装置については、図６で説明する。
【００１０】
図１において、加工対象物搭載台装置１の土台を構成する装置本体２には回転駆動機構３と昇降駆動機構４とが設置され、回転駆動機構３の出力部にはテーブルユニット５がテーブルユニット５の上下方向に延びる中心線６を回転中心として水平方向に回転するように連結され、テーブルユニット５の周囲には上クランプユニット７と下クランプユニット８とが配置されたことにより、上クランプユニット７と昇降駆動機構４とが互いに独立した配置になっている。換言するならば、昇降駆動機構４がテーブルユニット５と上クランプユニット７と下クランプユニット８と機構的に分かれて設けられた構成である。実施形態１の場合、上クランプユニット７がテーブルユニット５の周囲に昇降可能に設置され、昇降駆動機構４が装置本体２に固定されたことにより、上クランプユニット７と昇降駆動機構４とが互いに独立した配置になっている。上クランプユニット７には、第１弾性部材９が反発力により下降する方向の弾力を上クランプユニット７に付与するように設けられる。昇降駆動機構４は、上クランプユニット７を開閉する駆動機構である。
【００１１】
そして、昇降駆動機構４が上昇駆動するのに伴い第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力に抵抗して上クランプユニット７を下から突き上げて、上クランプユニット７と下クランプユニット８との間に加工対象品１０１を収容し得る上下方向の隙間１０が形成された後、上記昇降駆動機構４の上昇駆動が停止する。次に、前記隙間１０に加工対象品１０１の周縁部が矢印Ｘ１で示す横方向より収容されかつ当該加工対象品１０１の中央部がテーブルユニット５の上に配置される。その状態において、昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴って第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力及び上クランプユニット７の自重で上クランプユニット７が下降して上クランプユニット７と下クランプユニット８とで加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持するとともにテーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持する。さらに、昇降駆動機構４が上クランプユニット７から離れた後に上記昇降駆動機構４の下降駆動が停止するようになっている。
【００１２】
以上のように、昇降駆動機構４がテーブルユニット５と上クランプユニット７と下クランプユニット８と機構的に分かれて設けられた構成になっていて、加工対象品１０１が隙間１０に搬入された後、昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、上クランプユニット７が第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力及び上クランプユニット７の自重により下降して、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持し、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持した後、昇降駆動機構４が上クランプユニット７及びテーブルユニット５から機構的に離れた縁切れ状態となるので、特許文献１で開示された複数個のクランプ機構を開閉する駆動機構がテーブルユニット５に設けられた構造に比べ、上記特許文献１で開示された複数個の駆動機構に必要な電気駆動のためのケーブルや空気駆動のためのエアーチューブなどがテーブルユニット５から除去でき、テーブルユニット５の小型化や軽量化を図ることができる。また、テーブルユニット５を回転駆動機構３で回転する場合でも、テーブルユニット５が小さな駆動力で回転される。
【００１３】
実施形態１では、第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力が上クランプユニット７を下方に押し下げて上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する構成であるので、上クランプユニット７の重さを軽くしても、上クランプユニット７が昇降駆動機構４の下降駆動に伴う第１弾性部材９と第２弾性部材１７の弾力で確実に下方に押し下げられて、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持することができる。第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力が上クランプユニット７を下方に押し下げて上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する構成を例示したが、第１弾性部材９と第２弾性部材１７との何れか一方の弾力を強くして他方を除去してもよく、或いは、上クランプユニット７の重さを重くして第１弾性部材９と第２弾性部材１７とを除去して上クランプユニット７の重さだけで上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する構成とすることも可能である。
【００１４】
下クランプユニット８がテーブルユニット５に一体に構成されているので、構造が簡単になる。下クランプユニット８がテーブルユニット５に一体に構成されたが、下クランプユニット８がテーブルユニット５と別体に構成され、その下クランプユニット８がテーブルユニット５に高さ調整可能に取り付けられれば、昇降駆動機構４による上クランプユニット７の昇降運動範囲を変更することなく、下クランプユニット８の高さを調整することにより、加工対象品１０１の周縁部の厚さが変更になった場合でも対応可能になる。また、テーブルユニット５は、回転駆動機構３に連結されたチャックベース１１と、チャックベース１１の上に固定されたチャックテーブル１２とを備える。チャックテーブル１２の中央部には、板状の多孔質部材１３が設けられる。多孔質部材１３は、加工対象品１０１の中央部を下から吸引吸着して固定するように支持する部材である。
【００１５】
上クランプユニット７は、クランプ基盤１４を備える。クランプ基盤１４は、テーブルユニット５の下部を囲んでおり、テーブルユニット５の上部と防水カバー２４との間に昇降可能に設けられる。クランプ基盤１４の形状は、テーブルユニット５の下部を途切れずに囲む環状、当該環状の一部が例えば円周の１／５や１／６のように除去されたＣ字形となるような形状、又は、上記環状の一部が直径方向にスリットで除去されて切り離された形状、また、直径方向で２つ又は３以上に分けられた構成でもよい。つまり、クランプ基盤１４は、テーブルユニット５の周囲に配置される形状であればどのような形状でも適用可能である。クランプ基盤１４には、上クランプ部材１５とリフト部材１６とが立設される。上クランプ部材１５は、テーブルユニット５の周囲から外側に離れてテーブルユニット５よりも上方に突出する。この上クランプユニット７のテーブルユニット５よりも上方に突出した上部には、クランプ爪１８が下クランプユニット８のクランプ受部１９に上下方向で向き合うように設けられる。
【００１６】
上クランプ部材１５の個数は、３個に限定されるものではないが、加工対象品１０１の加工対象物搭載台装置１への搬入又は加工対象物搭載台装置１からの搬出を横方向の１つの位置からできるように、テーブルユニット５の中心を通って前後方向に延びる直線上に配置された前後に対峙する２個、テーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された左側の１個の合計３個になっている。このテーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された左側の１個の上クランプ部材１５は、上記加工対象品１０１の搬入又は搬出の方向が加工対象物搭載台装置１の右側に設定された場合である。よって、上記加工対象品１０１の搬入又は搬出の方向が加工対象物搭載台装置１の右側に設定された場合には、上記１個の上クランプ部材１５はテーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された左側となる。加工対象品１０１が加工対象物搭載台装置１に搬入又は加工対象物搭載台装置１から搬出されるテーブルユニット５の右側には、上クランプ部材１５が配置されていない。
【００１７】
なお、加工対象品１０１の搬入又は搬出の方向が加工対象物搭載台装置１の左側に設定された場合には、上記１個の上クランプ部材１５はテーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された右側となる。また、加工対象品１０１の搬入又は搬出の方向が加工対象物搭載台装置１の前側に設定された場合には、上記１個の上クランプ部材１５はテーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された後側となる。また、加工対象品１０１の搬入又は搬出の方向が加工対象物搭載台装置１の後側に設定された場合には、上記１個の上クランプ部材１５はテーブルユニット５の中心を通って左方向に延びる直線上に配置された前側となる。また、テーブルユニット５の左側に配置された上クランプ部材１５は無くてもよいが、上記のように上クランプ部材１５が前後及び左の合計３個設けられれば、加工対象品１０１の周縁部をクランプ受部１９に好適に押さえ付けることができる。上クランプ部材１５は、１個であってもよい。
【００１８】
要するに、上クランプ部材１５の個数は１個又は２個又は３個以上であってもよいが、加工対象品１０１の加工対象物搭載台装置１への搬入又は加工対象物搭載台装置１からの搬出を横方向からできるように配置されていれば適用可能である。また、加工対象品１０１を加工対象物搭載台装置１に搬入する位置と、加工対象品１０１を加工対象物搭載台装置１から搬出する位置とが、異なる位置であってもよいが、その場合には、上クランプ部材１５が加工対象品１０１の加工対象物搭載台装置１への搬入又は加工対象物搭載台装置１からの搬出する部分に設けられていないことが必要である。
【００１９】
リフト部材１６は、加工対象品１０１の周縁部を下から上に持ち上げるものであって、テーブルユニット５の上部に固定されたリフトガイド２０を上下方向に移動可能に貫通する。このようにリフト部材１６の上部がテーブルユニット５に嵌め込まれていることにより、リフト部材１６が、上記加工対象品１０１の周縁部を下から上に持ち上げる機能に加えて、上クランプユニット７をテーブルユニット５の周囲で直線的に昇降する昇降ガイドの機能を有する。このリフト部材１６の昇降ガイドとしての機能により、上クランプユニット７が円滑に昇降することができかつ加工対象品１０１の周縁部を適切に掴むことができる。リフトガイド２０は、テーブルユニット５の上部及び下クランプユニット８に上下方向及び直径方向外側に開口した溝状のガイド収容部２１に装着されている。ガイド収容部２１がテーブルユニット５と下クランプユニット８との直径方向外側に開口しているので、加工屑や加工中の冷却水がガイド収容部２１に溜まることなくテーブルユニット５及び下クランプユニット８から外部に排出できる。ガイド収容部２１の直径方向外側への開口は、テーブルユニット５の上部の上下方向の全部にわたることなく、上部が塞がれ、下部だけが開口した態様でもよい。つまり、ガイド収容部２１は加工屑や加工中の冷却水を下クランプユニット８から外部に排出する構成であればよい。また、ガイド収容部２１はリフトガイド２０を収容する代わりにリフト部材１６を昇降可能に嵌め込む構成でも適用可能である。リフトガイド２０を除去し、リフト部材１６をテーブルユニット５の上部に設けられたガイド収容部２１に相当する空間に昇降可能に嵌め込まれてもよい。リフト部材１６のリフトガイド２０よりも上部に突出する上部は、加工対象品１０１の周縁部の下面を点で支えるように、上に突出する半球形になっている。
【００２０】
リフト部材１６は、４個に限定されるものではないが、上クランプ部材１５と対応する位置の３個と、テーブルユニット５の中心を通って右方向に延びる直線上に配置された右側の１個の合計４個になっている。このように上クランプ部材１５の個数がリフト部材１６の個数よりも１個少なければ、上クランプ部材１５の個数とリフト部材１６の個数とが同じである場合よりも構造が簡単になる。リフト部材１６が最も上方に突出した場合でも、リフト部材１６の上部は加工対象物搭載台装置１に搬入又は加工対象物搭載台装置１から搬出される加工対象品１０１と衝突しないように加工対象品１０１の搬入経路及び搬出経路よりも下方に位置される。なお、リフト部材１６が３個設けられ、それら３個のリフト部材１６がテーブルユニット５の上下方向に延びる中心線を中心とする円周方向に分かれて設置されれば、加工対象品１０１の周縁部を下から水平状に持ち上げるように支持できるが、上記のように前後左右の合計４個設けられれば加工対象品１０１の周縁部を安定に支持することができる。つまり、リフト部材１６の個数は３個又は４個以上であってもよいが、加工対象品１０１を水平に安定して持ち上げることができるように配置されていれば適用可能である。
【００２１】
テーブルユニット５の上部とクランプ基盤１４との間には、第２弾性部材１７が反発力により下降する方向の弾力を上クランプユニット７に付与するように設けられる。第２弾性部材１７は、２個のリフト部材１６の間に夫々配置される複数個であって、コイルばねになっている。下降する方向の弾力を上クランプユニット７に付与する弾性部材を第１弾性部材９と第２弾性部材１７とに分けて構成したことにより、装置の高さを可及的に小さくしても、第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力で下クランプユニット８のクランプ爪１８が加工対象品１０１の周縁部を適切に掴むことができる。装置の高さは実施形態１よりも大きくなるものの、下降する方向の弾力を上クランプユニット７に付与する弾性部材を第１弾性部材９と第２弾性部材１７とに分けることなく何れか一方の一種類としても適用可能である。
【００２２】
下クランプユニット８は、チャックベース１１の周縁部として昇降不可能にチャックベース１１と一体に構成されたので、下クランプユニット８がテーブルユニット５から独立して構成された場合に比べ、構造が簡単になるという利点がある。下クランプユニット８のクランプ受部１９は、加工対象品１０１の周縁部を掴む部分であって、チャックテーブル１２を囲む環状の水平面になっているので、加工対象品１０１のフレーム１０３を全体的に下から水平に支持することができる。クランプ受部１９は、チャックテーブル１２を囲む環状の水平面になっていなくてもよい。例えば、クランプ受部１９の環状の水平面に上方及び直径方向に開口する溝が１個又は円周方向に分かれて複数個形成されていてもよい。また、これらの直径方向の溝が円周状の溝で互いに接続されていてもよい。溝が設けられる場合、溝の上方の開口の幅は、フレーム１０３の水平な形状を保持する物性にもよるが、フレーム１０３を全体的に下から水平に支持することが可能な範囲に設定されれば適切であり、加工屑や加工中の冷却水がクランプ受部１９に溜まることなくクランプ受部１９から外部に排出できるうえ、加工済の加工対象品１０１を搬出する場合に溝の分だけクランプ受部１９とフレーム１０３との接触面積が減少していることにより、フレーム１０３をクランプ受部１９から容易に持ち上げることができる。また、クランプ受部１９がクランプ爪１８と対応した部分として設けられれば、下クランプユニット８が軽量となる。
【００２３】
装置本体２は、加工対象物搭載台装置１における図外の水平駆動機構により水平面内で前後方向に可動されるようになっている。装置本体２には、防水壁２３が設けられる。防水壁２３は、上下方向に貫通する筒状であってもよいが、装置本体２に立設された左右に対峙する一対になっている。防水壁２３の上には、防水カバー２４が防水壁２３の間の空間の上部を塞ぐように設けられる。
【００２４】
防水カバー２４の上面は、左右方向の中心部から左側に下り勾配となりかつ中心部から右側に下り勾配となる水切り斜面に構成される。防水カバー２４の防水壁２３よりも左側に突出した左部には、防水突条２５が下方に突出し前後方向に連続して設けられて防水壁２３の方向への冷却水の回り込みを防ぐ。防水カバー２４の防水壁２３よりも右側に突出した右部には、防水突条２５が下方に突出し前後方向に連続して設けられて防水壁２３の方向への冷却水の回り込みを防ぐ。つまり、加工中の冷却水は、テーブルユニット５の上方から防水カバー２４に落下して水切り斜面の上を左側又は右側に流れて防水突条２５の外側面から装置本体２の側に落下し、防水壁２３の間の空間に入らない。
【００２５】
上クランプユニット７に第１弾性部材９を設置した構造は、次のようになっている。第１弾性部材９は、テーブルユニット５に固定されたリフトガイド２０とリフト部材１６との内部に格納された、コイルばねになっている。リフト部材１６は、上部の小径部２６と下部の大径部２７とを備え、大径部２７の下部がクランプ基盤１４の上に固定される。リフトガイド２０の内部には弾性体収容部２８が設けられる。弾性体収容部２８は、リフトガイド２０の小径ガイド孔２９と大径ガイド孔３０との間に配置され、小径ガイド孔２９と大径ガイド孔３０との双方に貫通する。小径ガイド孔２９にはリフト部材１６の小径部２６が上下方向に移動可能に嵌め込まれ、大径ガイド孔３０にはリフト部材１６の大径部２７が上下方向に移動可能に嵌め込まれる。
【００２６】
第１弾性部材９が小径部２６の周囲を囲むように弾性体収容部２８に収容され、第１弾性部材９の上部が弾性体収容部２８の天井に接触し、第１弾性部材９の下部が大径部２７の上面に接触し、第１弾性部材９が上クランプユニット７に下降する方向の弾力を付与するようになっている。第１弾性部材９は、上クランプユニット７に内蔵される以外に、上クランプユニット７とテーブルユニット５又は下クランプユニット８とにわたり設けられるか又は昇降ガイドとテーブルユニット５とにわたり設けても適用可能である。
【００２７】
なお、リフトガイド２０には、リフトガイド２０をテーブルユニット５に固定するための取付部３１が設けられる。例えば、ボルトが下方から取付部３１を経由してテーブルユニット５の上部に装着されてリフトガイド２０をテーブルユニット５に固定する。
【００２８】
図２を参照し、加工対象物搭載台装置１の内部構造について説明する。図２は、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止しかつ加工対象品１０１が配置されていない状態である。チャックテーブル１２の多孔質部材１３で覆われた上面には、上方に開口する多数の溝３５が左右方向及び前後方向に交差する格子状に設けられる。多数の溝３５の左右方向の端部及び前後方向の端部は塞がれている。多数の溝３５は、左右方向及び前後方向に交差した部分で互いにつながっている。図２には、左右方向に延びた１つの溝３５と前後方向に延びた多数の溝３５とが互いに交差した部分でつながった状態の図示は省略されていない。チャックテーブル１２とチャックベース１１と接触する部分を構成するチャックテーブル１２の下面とチャックベース１１の上面との間には、図外のパッキンを設けて、気密性、水密性を持たせてもよい。
【００２９】
チャックテーブル１２の中央部、チャックベース１１の中央部、回転駆動機構３の出力部の中央部には、吸引孔部３６；３７；３８が個別に設けられる。これらの吸引孔部３６乃至３８は、互いに接続されている。回転駆動機構３の吸引孔部３８は、図外の真空ポンプのような吸引発生源に図外のバルブを介して接続される。そして、図外のバルブが大気開放側から吸引側に切り替わることで、吸引発生源からの吸引動作により多孔質部材１３の周囲に存在する外部の空気が多孔質部材１３と多数の溝３５及び吸引孔部３６乃至３８を経由して吸引されて加工対象品１０１の中央部を多孔質部材１３に吸着し、バルブが吸引側から大気開放側に切り替わることで、多孔質部材１３と多数の溝３５及び吸引孔部３６乃至３８が大気に満たされて加工対象品１０１の中央部を解放する。
【００３０】
チャックベース１１の中央部、回転駆動機構３の出力部の中央部には、吸引孔部３６乃至３８に置換される図外の貫通孔を設け、チャックテーブル１２の中央部に図外のホース装着部を設け、そのホース装着部に真空用ホースを接続し、その真空用ホースを上記貫通孔を経由して回転駆動機構３の外部に引き出して上記バルブに接続することも考えられる。
【００３１】
チャックテーブル１２の加工対象品１０１を下から支える部分を構成する上面は、多孔質部材１３の上面及び多孔質部材１３の上面と同一の水平面に位置する環状面３９とにより構成されていて、加工対象品１０１の中央部を下から支える部分を構成する。
【００３２】
また、下クランプユニット８のクランプ受部１９は、多孔質部材１３の上面と環状面３９とよりも下位に設けられる。クランプ受部１９と環状面３９とが互いに斜面４０で繋がっている。斜面４０は、環状面３９からクランプ受部１９へ下り勾配になっている。
【００３３】
チャックベース１１は、上部の直径が最大で、下部の直径が最小で、中間部の直径が上部の直径と下部の直径との中間になっている。チャックベース１１の下部は、防水カバー２４に設けられた貫通孔４１を上下方向に貫通する。防水カバー２４の貫通孔４１の周囲には環状壁４２が上方に突出するように設けられる。チャックベース１１の中間部には、防水カバー２４の環状壁４２を囲む環状壁４３が下方に突出するように設けられる。このように環状壁４２と環状壁４３とが上下方向で互い違いとなって直径方向で対峙した構造になっているので、冷却水がチャックベース１１の中間部の外側からチャックベース１１の下部の方向に侵入しないようになっている。
【００３４】
昇降駆動機構４は、昇降駆動源４４とプッシュユニット４５とを備える。昇降駆動源４４は、エアーシリンダーを例示したが、エアーシリンダーの出力部材であるピストンロッド４６に相当するロッドをモータの回転運動で直線的に昇降駆動する電動式にしても適用できる。ピストンロッド４６が垂直状に昇降駆動されるように、昇降駆動源４４としてのエアーシリンダーのシリンダー容器が装置本体２又は防水壁２３に固定される。昇降駆動源４４は複数個でもよいが、実施形態１では昇降駆動源４４が１個であるので、複数個の場合に比べて昇降駆動に必要な電気駆動のためのケーブルや空気駆動のためのエアーチューブなどの構造が簡単になる。
【００３５】
プッシュユニット４５は、上クランプユニット７を昇降駆動機構４の昇降駆動に伴って昇降させるものであって、プッシュ基盤４７とプッシュ部材４８とを備える。プッシュ基盤４７は、装置本体２と防水カバー２４と防水壁２３と囲まれる空間に、防水カバー２４の貫通孔４１よりも下方に突出するチャックベース１１の下部を囲むように配置された部材であって、ピストンロッド４６の上部に結合される。プッシュ部材４８は、上クランプユニット７、具体的にはクランプ基盤１４を下から突き上げるものであって、プッシュ基盤４７に立設され、防水カバー２４に固定されたプッシュガイド４９を上下方向に移動可能に貫通する。要するに、昇降駆動機構４の出力部材であるピストンロッド４６には上クランプユニット７を昇降駆動源４４の昇降駆動に伴って昇降させるプッシュユニット４５が設けられているので、上クランプユニット７が加工対象品１０１の周縁部を水平に支持するようにプッシュユニット４５で上クランプユニット７を昇降することができる。プッシュガイド４９の上部は、防水カバー２４よりも上方に突出し、冷却水がプッシュガイド４９とプッシュ部材４８との間の隙間や防水カバー２４とプッシュガイド４９との間の隙間から防水カバー２４の下方に侵入しないようになっている。なお、チャックベース１１とチャックテーブル１２の接触面間、リフト部材１６とリフトガイド２０と接触面間、プッシュ部材４８とプッシュガイド４９との接触面間などには、図外のパッキンを設けて防水性能を高くしてもよい。
【００３６】
次に、図２乃至図５を参照し、加工対象物搭載台装置１の動作について、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止した状態から下降限度位置に停止するまでを例示して説明する。先ず、図２に示すように、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止した状態では、昇降駆動機構４のピストンロッド４６がシリンダー容器よりも最も上方に突出し、プッシュ部材４８が第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力に抵抗して上クランプユニット７を下から突き上げて、リフト部材１６の上端がテーブルユニット５の最も上の位置に存在する多孔質部材１３の上面よりも上方に突出して停止し、上クランプユニット７のクランプ爪１８と下クランプユニット８のクランプ受部１９との間、具体的には、クランプ爪１８とリフト部材１６との上下方向の間には加工対象品１０１の周縁部の収容可能な上下方向の隙間１０が形成された態様である。
【００３７】
そして、図３に示すように、クランプ爪１８とリフト部材１６との間の上下方向の隙間１０には、加工対象品１０１が横方向（図３では右側）より搬入され、加工対象品１０１の周縁部が上記隙間１０に配置され、加工対象品１０１の中央部がテーブルユニット５の上に配置されると、上記加工対象品１０１の搬入動作が停止する。その後、加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６の上に搭載される。その場合、リフト部材１６の上端がテーブルユニット５の最も上の位置に存在する多孔質部材１３の上面よりも上方に突出して停止しているので、加工対象品１０１の中央部はテーブルユニット５より上方に離れている。つまり、リフト部材１６が加工対象品１０１をテーブルユニット５から離して下から支持した態様である。
【００３８】
次に、図３に示す状態から昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、上クランプユニット７が自重及び第１弾性部材９と第２弾性部材１７との弾力で下降し、リフト部材１６の上端がテーブルユニット５の多孔質部材１３の上面と同一の高さより下方に引き込まれることにより、加工対象品１０１の中央部が多孔質部材１３の上に搭載される。
【００３９】
さらに、図４に示すように、昇降駆動機構４の下降駆動に伴い上クランプユニット７が下降し続けるので、リフト部材１６の上端が下クランプユニット８のクランプ受部１９より下方に引き込まれた後、上クランプユニット７のクランプ爪１８が加工対象品１０１の周縁部を上からクランプ受部１９の方向に押しつつ、上クランプユニット７のクランプ爪１８と下クランプユニット８のクランプ受部１９とで加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する。これにより、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持し、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の上下方向から支持した態様になる。
【００４０】
図４に示すように、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から支持した場合において、クランプ爪１８がチャックテーブル１２の加工対象品１０１の中央部を下から支える部分を構成する上面よりも上方に突出しないようになっている。このようにクランプ爪１８とクランプ受部１９とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する場合において、クランプ爪１８がチャックテーブル１２の加工対象品１０１の中央部を下から支える部分を構成する上面つまり多孔質部材１３の上面及び環状面３９よりも上方に突出しないことにより、加工対象品１０１を図６に示すダイシング装置５１で切断する場合、ダイシング装置５１の水平面で左右方向又は前後方向に直線的に移動するダイシングブレード６２がクランプ爪１８に干渉しないようになる。
【００４１】
さらに続き、図４に示す状態から昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、図５に示すように、プッシュユニット４５が上クランプユニット７から下方に離れることにより、昇降駆動機構４が上クランプユニット７及びテーブルユニット５から機構的に離れた縁切れ状態となった後、上記昇降駆動機構４の下降駆動が停止する。この停止した位置が昇降駆動機構４の下降限度位置である。
【００４２】
また、図５に示す状態において、加工対象品１０１に加工が行われる。その後、昇降駆動機構４が上昇駆動して上クランプユニット７を上クランプユニット７の自重と第１弾性部材９の弾力及び第２弾性部材１７の弾力に抵抗しつつ下から突き上げ、図３に示すように、リフト部材１６の上端がテーブルユニット５の最も上の位置に存在する多孔質部材１３の上面よりも上方に突出して加工済の加工対象品１０１をテーブルユニット５より離して加工対象品１０１の周縁部を下から支持し、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止する。そして、加工対象品１０１がクランプ爪１８とリフト部材１６との間の上下方向の隙間１０から横方向(図３では右側）に搬出されることにより、図２に示す状態になる。
【００４３】
図６を参照し、実施形態１の加工対象物搭載台装置１を有するダイシング装置５１の構成について説明する。ダイシング装置５１は、土台としての装置躯体５２に、加工対象物搭載台装置１、キャリアユニット５３、搬送ロボット５４、工具ユニット５５を備える。例えば、加工対象物搭載台装置１が装置躯体５２の左側に配置され、キャリアユニット５３が装置躯体５２の前部右側に配置され、搬送ロボット５４がキャリアユニット５３よりも後側に配置され、工具ユニット５５が加工対象物搭載台装置１や搬送ロボット５４よりも上方で装置躯体５２の後部に配置される。工具ユニット５５を昇降する駆動機構や工具ユニット５５を左右に可動する駆動機構は、装置躯体５２に設けられたカバー５６で被覆される。カバー５６の前面には操作パネル５７が設けられる。キャリアユニット５３は加工前材料収容部５８と加工済材料収容部５９とを備える。
【００４４】
多数の加工対象品１０１がキャリアユニット５３の加工前材料収容部５８に上下方向に別々に水平に離れた板状となって積層状に収容される。加工対象品１０１が加工前材料収容部５８に収容される場合、加工対象品１０１における半導体ウエハー１０２の切断予定線１０５の描かれた表面が上方に向けられ、加工対象品１０１におけるフレーム１０３の左右部が加工前材料収容部５８における左右の縦壁の対峙する内面に上下方向に別々に離れて設けられた溝に嵌め込まれた態様である。フレーム１０３は、加工対象品１０１の周縁部に相当する。
【００４５】
加工対象物搭載台装置１の動作について説明する。先ず、加工対象品１０１が加工前材料収容部５８に収容された状態において、人が操作パネル５７の加工開始スイッチのような操作部を操作する。すると、搬送ロボット５４のロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の回転駆動機構により加工対象物搭載台装置１の方向に向いた実線で示す状態から水平方向で例えば左側に９０度回転して加工前材料収容部５８の方向に向きを変えつつ搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工前材料収容部５８の方向に移動する。その場合、ロボットハンド６０が加工前材料収容部５８の積層された最上位置における加工対象品１０１と対応するように搬送ロボット５４における図外の昇降駆動機構により上下方向に位置調整される。また、ロボットハンド６０は開閉駆動機構６１により開いている。開いた状態のロボットハンド６０が加工前材料収容部５８の最上位置の加工対象品１０１におけるフレーム１０３の一部を上下方向から掴むことが可能なようにフレーム１０３の一部と対応した位置で停止し、ロボットハンド６０は開閉駆動機構６１により閉じてフレーム１０３の一部を上下方向から掴むように支持する。
【００４６】
次に、フレーム１０３を支持したままロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工前材料収容部５８から後方へと移動して加工対象品１０１が加工前材料収容部５８から引き抜かれた後、当該ロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の回転駆動機構により加工前材料収容部５８の方向に向いた状態からロボットハンド６０を水平方向で例えば右側に９０度回転して実線で示すように加工対象物搭載台装置１の方向に向きを変えつつ搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工対象物搭載台装置１の方向に移動する。その場合、ロボットハンド６０に支持された加工対象品１０１が加工対象物搭載台装置１における上クランプユニット７と下クランプユニット８との間の上下方向の隙間１０に搬入されように、ロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の昇降駆動機構により上下方向に位置調整される。
【００４７】
そして、ロボットハンド６０に支持された加工対象品１０１のフレーム１０３が加工対象物搭載台装置１における上クランプユニット７と下クランプユニット８との間の上下方向の隙間１０に収容され、当該加工対象品１０１の半導体ウエハー１０２が加工対象物搭載台装置１におけるテーブルユニット５の上に配置された位置でロボットハンド６０が停止した後、ロボットハンド６０は開閉駆動機構６１により開くことにより、加工対象品１０１の半導体ウエハー１０２の裏面に接合されたダイシングテープ１０４の部分がテーブルユニット５で下から支持される。その後、加工対象物搭載台装置１における図１に示す昇降駆動機構４が下降駆動し、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１のフレーム１０３を上下方向から掴むように支持する。その後、図６に示すロボットハンド６０が開いたまま搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工対象物搭載台装置１から右側へと実線で示す転回位置に移動する。
【００４８】
上記のように加工対象品１０１が加工対象物搭載台装置１に搭載され、ロボットハンド６０が実線で示す転回位置に移動した後、加工対象物搭載台装置１が加工対象物搭載台装置１における図外の水平駆動機構により実線で示す転回位置から工具ユニット５５の方向に移動し、加工対象品１０１が工具ユニット５５の真下に到達すると、加工対象物搭載台装置１が停止する。また、加工対象物搭載台装置１における図外の吸引発生源による吸引動作により半導体ウエハー１０２の裏面に接合されたダイシングテープ１０４の部分がテーブルユニット５の多孔質部材１３に吸引吸着されるように支持される。この吸引発生源による吸引動作は、段落００４３における上クランプユニット７と下クランプユニット８とによる支持から下記撮像ユニットによる撮像開始前までに行われば、加工対象物搭載台装置１に対する加工対象品１０１の位置がずれるこがなく、撮像による位置調整が正確になる。
【００４９】
上記のように加工対象物搭載台装置１が停止した状態において、工具ユニット５５の周囲に配置されたデジタルカメラのような図外の撮像ユニットが加工対象品１０１の切断予定線１０５の描かれた表面を撮像した検出画像を図外の画像処理ユニットに出力し、当該画像処理ユニットが上記撮像ユニットから入力された検出画像の切断予定線１０５を上記画像処理ユニットのメモリにデータとして格納された切断予定基準位置と比較し、その比較結果に基づき上記画像処理ユニットが工具ユニット５５における図外の水平駆動機構を駆動して工具ユニット５５における切断工具であるダイシングブレード６２が加工対象品１０１における切断予定線１０５の最も左又は右に位置する１本から後方に延びる仮想直線上に到達するように工具ユニット５５を位置調整する。
【００５０】
この位置調整により、例えば、ダイシングブレード６２の真下には加工対象品１０１のフレーム１０３の一部が配置され、ダイシングブレード６２が加工対象品１０１の半導体ウエハー１０２よりも後方に外れた位置に位置している。また、工具ユニット５５における図外の昇降駆動機構は、ダイシングブレード６２の最も下部が加工対象物搭載台装置１における上クランプユニット７の加工対象品１０１を支持している部分の上面よりも上位でかつ半導体ウエハー１０２を切断することが可能な位置となるように、工具ユニット５５を位置調整する。上記上クランプユニット７の加工対象品１０１を支持している部分の上面は、図４に示すクランプ爪１８の上面である。
【００５１】
図６に戻り、上記各位置調整が終了すると、工具ユニット５５の回転駆動機構３がダイシングブレード６２を工具ユニット５５の左右方向に延びる中心線を回転中心として垂直方向に回転するともに、加工対象物搭載台装置１における図外の水平駆動機構が加工対象物搭載台装置１を後方に移動する。このダイシングブレード６２の回転と加工対象物搭載台装置１の後方への移動とにより、ダイシングブレード６２が加工対象品１０１における切断予定線１０５の最も左又は右に位置する１本に沿って半導体ウエハー１０２を切断する。この１回目の切断が終了し、ダイシングブレード６２が半導体ウエハー１０２よりも前方に外れた位置に位置すると、工具ユニット５５における図外の水平駆動機構を駆動して工具ユニット５５のダイシングブレード６２が上記加工対象品１０１の切断の済んだ切断予定線１０５の隣に位置する１本から前方に延びる仮想直線上に到達するように工具ユニット５５を位置調整する。
【００５２】
その状態において、ダイシングブレード６２の回転と加工対象物搭載台装置１の前方への移動とにより、ダイシングブレード６２が上記隣に位置する１本の切断予定線１０５に沿って半導体ウエハー１０２を切断する。この２回目の切断が終了し、ダイシングブレード６２が半導体ウエハー１０２よりも後方に外れた位置に位置すると、工具ユニット５５における図外の水平駆動機構を駆動して工具ユニット５５のダイシングブレード６２が上記加工対象品１０１の切断の済んだ切断予定線１０５の隣に位置する１本から後方に延びる仮想直線上に到達するように工具ユニット５５を位置調整した後に、ダイシングブレード６２の回転と加工対象物搭載台装置１の後方への移動とにより、ダイシングブレード６２が上記隣に位置する１本の切断予定線１０５に沿って半導体ウエハー１０２を切断する。このように、ダイシングブレード６２の回転と加工対象物搭載台装置１の後方又は前方への移動とを繰り返すことにより、左右方向に並んだ切断予定線１０５の全部について右隣り又は左隣りへと１本ずつ位置をずらしながら半導体ウエハー１０２を切断する。なお、ダイシングブレード６２により半導体ウエハー１０２を切断する場合、ダイシングブレード６２が超音波振動に共振して直径方向に振動するようにしてもよい。
【００５３】
そして、左右方向に並んだ切断予定線１０５の全部に対する切断が終了し、ダイシングブレード６２が半導体ウエハー１０２よりも前方又は後方に外れた位置に位置した状態において、加工対象物搭載台装置１の図１に示す回転駆動機構３が駆動してテーブルユニット５を左側又は右側に９０度回転して停止する。図６に戻り、テーブルユニット５が左側又は右側に９０度回転して停止した状態において、再び、ダイシングブレード６２の回転と加工対象物搭載台装置１の後方又は前方への移動とを繰り返すことにより、新たに左右方向に並んだ切断予定線１０５の全部について右隣り又は左隣りへと１本ずつ位置をずらしながら半導体ウエハー１０２を切断する。その結果、半導体ウエハー１０２が格子状に描かれた切断予定線１０５の位置で多数のチップに切断された態様になる。このように切断された多数のチップは、切断されたままダイシングテープ１０４でばらばらにならないように支持されている。ダイシングブレード６２による切断中は、冷却水が工具ユニット５５の周囲に配置された図外のパイプから切断部分に掛けられる。この掛けられた冷却水は、加工対象物搭載台装置１の上の加工対象品１０１から下方に落下して防水パン６３に捕集される。
【００５４】
ダイシングブレード６２による切断が終了すると、ダイシングブレード６２の回転駆動が停止し、工具ユニット５５における図外の昇降駆動機構によりダイシングブレード６２の最も下部が切断の終了した加工対象品１０１よりも上方に離れるように工具ユニット５５が初期位置に停止して次の切断に備える。また、冷却水の供給も停止される。その後、加工対象物搭載台装置１が図１に示す回転駆動機構３により回転される。この回転による遠心力により、切断の完了した加工済の加工対象品１０１及びテーブルユニット５の水切りが行われる。これにより、テーブルユニット５や上クランプユニット７及び下クランプユニット８並びに加工対象品１０１が水切りを行わない場合よりも早く乾燥する。この水切りに対する回転が停止した後、加工対象物搭載台装置１における図外の水平駆動機構により加工対象物搭載台装置１が図６に示す工具ユニット５５の方向から前方に移動して実線で示す材料供給排出位置に停止し、加工対象物搭載台装置１における図外の吸引発生源による吸引動作が停止する。この吸引動作の停止は、上記水切りの停止から下記ロボットハンド６０による支持開始前までに行われれば、加工の済んだ加工対象品１０１の加工対象物搭載台装置１からの搬出が適切に行われる。
【００５５】
次に、加工対象物搭載台装置１における図１に示す昇降駆動機構４が上昇駆動し、上クランプユニット７が加工対象品１０１のフレーム１０３から上方に離れた後にリフト部材１６がフレーム１０３を下から上に持ち上げる。その後、図６に示すロボットハンド６０が開いたまま実線で示すように加工対象物搭載台装置１の方向に向いたまま搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により実線で示す転回位置から加工対象物搭載台装置１の方向に移動する。その場合、ロボットハンド６０に支持された加工対象品１０１が加工対象物搭載台装置１における上クランプユニット７と下クランプユニット８との間の上下方向の隙間１０に搬入されように、ロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の昇降駆動機構により上下方向に位置調整される。
【００５６】
そして、開いた状態のロボットハンド６０が隙間１０に横方向から進入して加工対象物搭載台装置１の加工対象品１０１におけるフレーム１０３の一部を上下方向から掴むことが可能なようにフレーム１０３と対応した位置で停止し、ロボットハンド６０が開閉駆動機構６１により閉じてフレーム１０３の一部を上下方向から掴むように支持する。その後、フレーム１０３を支持したロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工対象物搭載台装置１から実線で示す転回位置に移動する。この転回位置において、フレーム１０３を支持したロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の回転駆動機構により加工対象物搭載台装置１の方向に向いた実線で示す状態から水平方向で例えば左側に９０度回転して加工済材料収容部５９の方向に向きを変えつつ搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工済材料収容部５９の方向に移動する。その場合、ロボットハンド６０が加工済材料収容部５９の上に加工対象品１０１を置けるように搬送ロボット５４における図外の昇降駆動機構により上下方向に位置調整される。
【００５７】
そして、加工対象品１０１が加工済材料収容部５９の上に到達し、ロボットハンド６０が開閉駆動機構６１により開くと、加工済の加工対象品１０１がロボットハンド６０から解放されて加工済材料収容部５９の上に搭載される。その後、ロボットハンド６０が搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構により加工済材料収容部５９から実線で示す転回位置の方向に移動して加工済材料収容部５９から引き抜かれた後、搬送ロボット５４における図外の水平駆動機構がロボットハンド６０を加工前材料収容部５８の方向に移動して、次に切断を行うための加工前の加工対象品１０１を加工前材料収容部５８に取りに行くことにより、加工対象品１０１に対する切断が繰り返される。このようにロボットハンド６０が加工前の加工対象品１０１を取りに行く場合、段落００４１における搬送ロボット５４における図外の昇降駆動機構によるロボットハンド６０の加工前材料収容部５８の積層された最上位置における加工対象品１０１に対する上下方向への位置調整が行われる。
【００５８】
図７を参照し、ロボットハンド６０の構成について説明する。ロボットハンド６０は、上部の可動アーム６５と下部の固定アーム６６とを備える。可動アーム６５は開閉駆動機構６１における図外の可動部材に連結され、固定アーム６６は開閉駆動機構６１における図外の固定部材に結合されている。そして、開閉駆動機構６１における図外の可動部材の開駆動により可動アーム６５が上方に開くように動作し、開閉駆動機構６１における図外の可動部材の閉駆動により可動アーム６５が下方に閉じるように動作する。可動アーム６５の先端部には、一対のフィンガー６７が水平方向に逃げ溝６８を持って対峙するように設けられる。固定アーム６６はフィンガー６７の対峙する方向の横幅が可動アーム６５よりも大きな寸法になっており、これにより固定アーム６６は加工対象品１０１のフレーム１０３の円周方向の１／３を占める部分を下から支持することが可能になっている。
【００５９】
フレーム１０３の円周方向の１／３を占める部分に相当する固定アーム６６の先端部には、上弧状部６９と下弧状部７０とを有するフィンガー７１が設けられる。上弧状部６９は、フレーム１０３の外縁部１０６に沿う弧形状を形成する。下弧状部７０は、フレーム１０３の内縁部１０７に沿う弧形状を形成する。フィンガー７１は、上弧状部６９と下弧状部７０とに繋がる水平面を形成する。固定アーム６６には、逃げ溝７２が逃げ溝６８と上下方向に対向する位置で、上下方向及び下弧状部７０に開口するように設けられる。逃げ溝６８；７２は、ロボットハンド６０がフレーム１０３を上下方向から掴むように支持して加工対象品１０１を図６に示すテーブルユニット５に搬入したりテーブルユニット５から搬出したりする際に、リフト部材１６のテーブルユニット５より上方に突出した部分を衝突しないように逃げる空間である。
【００６０】
図８を参照し、ロボットハンド６０が加工対象品１０１を支持した状態について説明する。フレーム１０３の一部が固定アーム６６のフィンガー７１の上に接触して搭載され、フレーム１０３の外縁部１０６が固定アーム６６の下弧状部７０の方向から上弧状部６９に接触して受け止められており、可動アーム６５のフィンガー６７がフレーム１０３の一部を上から押さえ付けたことにより、可動アーム６５と固定アーム６６とでフレーム１０３を上下方向から掴むように支持した状態である。
【００６１】
図９乃至図１２を参照し、前記段落００３４及び図３で説明した加工対象品１０１の搬入からリフト部材１６に搭載されるまでの動作について詳述する。図９に示すように、ロボットハンド６０が矢印Ｘ２で示す右から左方向に移動して加工対象品１０１がテーブルユニット５の上に到達し、加工対象品１０１の中心がテーブルユニット５の上下方向に延びる中心と重なる位置で上記ロボットハンド６０による搬入が停止する。このロボットハンド６０の搬入の停止により、可動アーム６５及び固定アーム６６が上クランプ部材１５と干渉しないように上クランプ部材１５よりも手前の位置に停止し、固定アーム６６のフィンガー７１と可動アーム６５のフィンガー６７とが下クランプユニット８のクランプ受部１９の真上に配置され、右側のリフト部材１６が逃げ溝７２に取り込まれてフィンガー７１がリフト部材１６と干渉しない。
【００６２】
このようにロボットハンド６０が停止した場合、図１０に示すように、加工対象品１０１が隙間１０に配置されてリフト部材１６とクランプ爪１８及びテーブルユニット５から離れており、固定アーム６６のフィンガー７１が下クランプユニット８のクランプ受部１９から上に離れている。なお、ロボットハンド６０が停止した場合において、固定アーム６６の下弧状部７０がクランプ受部１９と環状面３９との境界部分の真上に位置するか又はクランプ受部１９と環状面３９との境界部分よりもロボットハンド６０の矢印Ｘ２で示す搬入方向に位置する。仮想線Ｌは、固定アーム６６の下弧状部７０がクランプ受部１９と環状面３９との境界部分の真上に位置したことを示すために、クランプ受部１９と環状面３９との境界部分と当該境界部分の真上に位置する固定アーム６６の下弧状部７０とを結んだ線である。
【００６３】
次に、図１１に示すように、加工対象品１０１を掴んだロボットハンド６０が矢印Ｘ３で示すように下降し、加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６に接触する程度まで接近する。そのように接近した位置において、図１２に示すように、可動アーム６５が上方に開いてから、ロボットハンド６０が矢印Ｘ４で示すように下降し、固定アーム６６が下クランプユニット８に衝突しない位置で上記ロボットハンド６０の矢印Ｘ４で示す下降が停止する。このように上記接近した位置での可動アーム６５が開いてから、固定アーム６６が下クランプユニット８に衝突しない位置までへの下降までの間において、加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６の上に搭載され、加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６で下から支持され、可動アーム６５が加工対象品１０１の周縁部から上に離れ、固定アーム６６が加工対象品１０１の周縁部から下に離れる。
【００６４】
このように加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６の上に搭載される場合において、リフト部材１６がテーブルユニット５の上面よりも突出していて加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６の上に搭載されても加工対象品１０１の中央部がテーブルユニット５の上面より上に離れている一方、上記加工対象品１０１の周縁部から下に離れた固定アーム６６が下クランプユニット８の上面から上に離れている。つまり、接近した位置での可動アーム６５の開きから、固定アーム６６が下クランプユニット８に衝突しない位置までへの下降までの間において、リフト部材１６が加工対象品１０１の周縁部を下から支えるように、リフト部材１６の上部がテーブルユニット５の上面及び下クランプユニット８の上面であるクランプ受部１９よりも上方に突出している。上記のように加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６で支えられたから固定アーム６６が下クランプユニット８に衝突しない位置まで下降することにより、開いた可動アーム６５のフィンガー６７と固定アーム６６のフィンガー６７とが加工対象品１０１から離れた態様なる。その後、図１３に示すように、可動アーム６５が開いたままロボットハンド６０が矢印Ｘ５で示すように横方に移動し、可動アーム６５と固定アーム６６とが加工対象品１０１の周縁部から横方に離れる。
【００６５】
上記図９乃至図１３を用いて説明したように、加工対象品１０１がロボットハンド６０でテーブルユニット５の上に搬入されてから、ロボットハンド６０の停止と下降、可動アーム６５の開き、ロボットハンド６０の更なる下降、横移動可動することより、加工対象品１０１がリフト部材１６で水平状に受け止められるので、加工対象品１０１がロボットハンド６０からリフト部材１６の上に落下される場合に比べ、加工対象品１０１への衝撃が少なくなる。
【００６６】
また、前記段落００５２と段落００５３及び図５で説明した加工済の加工対象品１０１がロボットハンド６０によりテーブルユニット５から搬出される動作について説明すると、先ず、図１３に示すように、リフト部材１６の上部がテーブルユニット５の上面及び下クランプユニット８の上面であるクランプ受部１９よりも上方に突出して停止した状態においては、リフト部材１６の上端とクランプ受部１９との間に固定アーム６６のフィンガー７１が横方向から挿入し得る空間７３が形成された状態である。この状態は、前記段落００５９乃至及び段落００６１図１０乃至図１３で説明した際のリフト部材１６の上部がテーブルユニット５の上面及び下クランプユニット８の上面であるクランプ受部１９よりも上方に突出して停止した状態と同じである。つまり、図１３に示すように、リフト部材１６の上部がテーブルユニット５の上面及び下クランプユニット８の上面であるクランプ受部１９よりも上方に突出して停止した場合、ロボットハンド６０による加工対象品１０１のテーブルユニット５への搬入とテーブルユニット５からの搬出とにおいて、リフト部材１６の上端とクランプ受部１９との間に固定アーム６６のフィンガー７１が横方向から挿入し得る空間７３が形成されているので、固定アーム６６が下クランプユニット８と干渉することがない。空間７３は、リフト部材１６の加工対象品１０１の周縁部を下から持ち上げる部分としてのリフト部材１６の最上部と下クランプユニット８のクランプ受部１９との間に加工対象品１０１の周縁部を搬入や搬出を行うために上下方向に掴むアームの下側部分を構成する固定アーム６６のフィンガー７１を取り込む隙間である。実施形態１では、加工対象品１０１の周縁部を搬入や搬出を行う要素はロボットハンド６０であって、上下方向に掴むアームは可動アーム６５と固定アーム６６とである。
【００６７】
そして、図１３において、先ず、可動アーム６５が開いたままロボットハンド６０が矢印Ｘ５で示す方向の逆方向からテーブルユニット５に近づくように横方に移動する。次に、図１２に示すように、固定アーム６６が空間７３に取り込まれ、加工対象品１０１の周縁部が可動アーム６５と固定アーム６６との間に取り込まれる。その後、ロボットハンド６０が矢印Ｘ４で示す方向の逆方向に上昇し、図１１に示すように、ロボットハンド６０が矢印Ｘ３で示す方向の逆方向に上昇し、固定アーム６６が加工対象品１０１の周縁部を下から持ち上げて、加工対象品１０１の周縁部がリフト部材１６から上にわずかに（リフト部材１６に接触する程度に）離れたら、可動アーム６５が閉じて、固定アーム６６と可動アーム６５とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する。そして、図１０に示すように、加工対象品１０１が隙間１０の上下方向の中間の位置に到達すると、ロボットハンド６０が停止した後、矢印Ｘ２で示す方向の逆方向へとテーブルユニット５から離れるように横方に移動することにより、加工済の加工対象品１０１がロボットハンド６０によりテーブルユニット５から搬出される。
【００６８】
上記のように、上クランプユニット７が加工対象品１０１の周縁部を掴むクランプ爪１８を有する上クランプ部材１５と加工対象品１０１の周縁部を下から持ち上げるリフト部材１６とを備え、上クランプユニット７が昇降駆動機構４の上昇駆動で下から突き上げられることにより、クランプ爪１８と下クランプユニット８との間に加工対象品１０１の周縁部の収容可能な上下方向の隙間１０が形成され、当該隙間１０においてリフト部材１６の上部が下クランプユニット８よりも上方に突出し、そのリフト部材１６の加工対象品１０１の周縁部を下から持ち上げる部分と下クランプユニット８との間に加工対象品１０１の周縁部を搬入や搬出を行うために上下方向に掴むアームを構成するロボットハンド６０の下側部分を構成する固定アーム６６を取り込むこと可能な空間７３（図１３参照）が形成されているので、下クランプユニット８の加工対象品１０１の周縁部を掴む部分を構成するクランプ受部１９が加工対象品１０１の周縁部と全面的に接触するような形状であっても、加工対象品１０１の周縁部を搬入や搬出を適切に行うことができる。
【００６９】
「実施形態２」
図１４を参照し、実施形態２の加工対象物搭載台装置１について説明する。図１４に示す加工対象物搭載台装置１は、図１に示すリフト部材１６とリフトガイド２０及びガイド収容部２１が除去されかつガイド部材７４を設けてクランプ基盤１４とテーブルユニット５との位置関係を固定的に保って上クランプユニット７を常に円滑に昇降し得るようにしたことが図１に示す加工対象物搭載台装置１の構成と異なる。また、図１５に示す加工対象物搭載台装置１は、プッシュ部材４８がピストンロッド４６に結合されたこと、図２に示す第１弾性部材９とリフト部材１６とリフトガイド２０とプッシュ基盤４７とが除去されたことが図２に示す加工対象物搭載台装置１の構成と異なる。ガイド部材７４はクランプ基盤１４に立設される。テーブルユニット５の上部にはガイド収容部７５が設けられる。ガイド収容部７５は、テーブルユニット５の上部の下面から上方に窪みかつテーブルユニット５の上部の上面に貫通していない窪みになっている。そして、クランプ基盤１４が昇降する範囲において、ガイド部材７４の上部が上下方向に移動可能に常に挿入されている。これにより、テーブルユニット５とクランプ基盤１４との位置関係を固定的に保つことができる。なお、実施形態２でも、上クランプユニット７の重さを重くして第２弾性部材１７を除去して上クランプユニット７の重さで上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する構成とすること可能である。
【００７０】
次に、図１５乃至図１８を参照し、加工対象物搭載台装置１の動作について、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止した状態から下降限度位置に停止するまでを例示して説明する。なお、図１５乃至図１８では図１４から防水壁２３と防水カバー２４と防水突条２５との図示を省略してある。先ず、図１５に示すように、昇降駆動機構４が上昇限度位置に停止した状態では、プッシュ部材４８が第２弾性部材１７の弾力に抵抗して上クランプユニット７を下から突き上げて、クランプ爪１８とクランプ受部１９との間に隙間１０が形成されている。
【００７１】
そして、図１６に示すように、隙間１０には加工対象品１０１が横方向（図１６では右側）より搬入され、加工対象品１０１の周縁部が上記隙間１０に配置され、加工対象品１０１の中央部がテーブルユニット５の上に配置されると、上記加工対象品１０１の搬入動作が停止した後、加工対象品１０１の周縁部がクランプ受部１９の上に搭載される。
【００７２】
次に、図１７に示すように、昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、上クランプユニット７の自重と第２弾性部材１７の弾力とで上クランプユニット７が下降し、クランプ爪１８が加工対象品１０１の周縁部を上からクランプ受部１９の方向に押しつつ、クランプ爪１８とクランプ受部１９とで加工対象品１０１の周縁部を上下方向から掴むように支持する。これにより、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支持し、上クランプユニット７と下クランプユニット８とが加工対象品１０１の上下方向から支持した態様になり、クランプ爪１８がチャックテーブル１２の加工対象品１０１を下から支える部分を構成する上面よりも上方に突出しないようになっている。
【００７３】
さらに続き、図１７に示す状態から昇降駆動機構４が下降駆動するのに伴い、図１８に示すように、プッシュユニット４５が上クランプユニット７から下方に離れることにより、昇降駆動機構４が上クランプユニット７及びテーブルユニット５から機構的に離れた縁切れ状態となった後、上記昇降駆動機構４の下降駆動が停止する。この停止した位置が昇降駆動機構４の下降限度位置である。
【００７４】
実施形態１及び実施形態２では、加工対象品１０１の中央部を吸引吸着する構成について説明したが、テーブルユニット５から加工対象品１０１の中央部を吸引吸着する機能を除去し、テーブルユニット５が加工対象品１０１の中央部を下から支えるだけの構成でも適用できる。また、回転駆動機構３を除去し、テーブルユニット５を水平状に回転しないようにしても適用できる。昇降駆動機構４を装置本体２に設ける代わりに装置本体２よりも下部の部材に設けてもよい。例えば、加工対象物搭載台装置１が図６に実線で示す材料供給排出位置おいて昇降駆動機構４が作動するだけであるので、図６に示す装置躯体５２の上記材料供給排出位置に停止した加工対象物搭載台装置１よりも下部における部分に昇降駆動機構４を設け、昇降駆動機構４の図２に示すピストンロッド４６に相当する出力部材が装置本体２に設けられた図外の貫通孔を経由して上クランプユニット７を下から突き上げるようにすれば、加工対象物搭載台装置１が軽量となり、加工対象物搭載台装置１における図外の水平駆動機構の動力が小さくて済む。
【００７５】
図６において、加工対象物搭載台装置１を前後方向に水平状に移動することにより、回転するダイシングブレード６２で半導体ウエハー１０２を切断する構成について説明したが、加工対象物搭載台装置１を前後方向に水平状に移動しないで定位置に停止した状態において、回転するダイシングブレード６２を有する工具ユニット５５が前後方向に水平状に移動して回転するダイシングブレード６２で半導体ウエハー１０２を切断することも適用できる。また、図２に示すプッシュユニット４５は除去し、昇降駆動源４４のピストンロッド４６に相当する出力部材で上クランプユニット７を下から突き上げるようにしても適用できる。図１において、下クランプユニット８がチャックテーブル１２に一体に設けられた構成を例示したが、下クランプユニット８をチャックテーブル１２から別の部材として設け、この別部材である下クランプユニット８をテーブルユニット５から独立して周囲に配置するようテーブルユニット５に設けることも適用できる。
【００７６】
「実施形態３」
図１９を参照し、実施形態３のテーブルユニット５の上部について説明する。図１９に示すテーブルユニット５の上部は、ガイド部材７４とガイド収容部７５とに第１弾性部材９を設けた構成になっている。具体的には、ガイド部材７４の上部にはガイド部材７４よりも直径の小さな小径ガイド部７６が設けられる。テーブルユニット５の上部に設けられたガイド収容部７５の上部には、小径ガイド部７６を昇降可能に収容する小径ガイド孔７７がガイド収容部７５よりも直径の小さな穴として繋がって設けられる。第１弾性部材９は、小径ガイド部７６を囲むコイルばねとして構成され、小径ガイド孔７７とガイド収容部７５との双方に貫通する弾性体収容部８０に配置される。弾性体収容部８０の直径は、小径ガイド孔７７の直径とガイド収容部７５の直径との間の寸法になっている。弾性体収容部８０に配置された第１弾性部材９の上部が弾性体収容部８０と小径ガイド孔７７とを繋ぐ段差部に接触し、第１弾性部材９の下部がガイド部材７４と小径ガイド部７６とを繋ぐ段差部に接触している。よって、第１弾性部材９は、反発力により下降する方向の弾力を上クランプユニット７に付与するように、ガイド部材７４とテーブルユニット５とにわたり設けられている。
【００７７】
「実施形態４」
図２０を参照し、実施形態４の加工対象物搭載台装置１について説明する。図２０に示す加工対象物搭載台装置１は、リフト部材１６の位置が上クランプ部材１５の位置とテーブルユニット５の円周方向にずれて設けられた構成になっている。リフト部材１６の個数は、４個に限定されるものではなく、３個以上であればよい。
【００７８】
「実施形態５」
図２１を参照し、実施形態５の加工対象物搭載台装置１について説明する。図２１に示す加工対象物搭載台装置１は、１個のリフト部材１６が下クランプユニット８に昇降可能に設けられる。その１個のリフト部材１６の上部には１本のステー部材７８が固定される。ステー部材７８は、リフト部材１６からテーブルユニット５の円周方向に沿って両側に水平に延びる弧状になっている。下クランプユニット８のクランプ受部１９には、ステー部材７８を収容するステー収容部７９がクランプ受部１９の上面から下方に窪む凹部として設けられる。そして、リフト部材１６が昇降駆動機構４の下降駆動に伴い下降した場合にはステー部材７８がステー収容部７９に収容されてクランプ受部１９の上面に突出しないようになっており、フト部材１６が昇降駆動機構４の上昇駆動に伴い上昇する場合にはステー部材７８がステー収容部７９からクランプ受部１９の上面よりも上方に突出するようになっている。なお、ステー収容部７９に繋がる図外の貫通孔又は溝をクランプ受部１９に設けて、切削屑や冷却水をテーブルユニット５や下クランプユニット８から外部に排出することも考えられる。
【００７９】
図示は省略するが、図１又は図２０又は図２１に示す加工対象物搭載台装置１からリフト部材１６とリフトガイド２０とを除去し、図１４に示す加工対象物搭載台装置１からガイド部材７４とガイド収容部７５とを除去し、昇降ガイドを上クランプ部材１５とテーブルユニット５とに設けてもよい。その場合、ガイド部が上クランプ部材１５に設けられ、ガイドレールに昇降可能に嵌め合わされる被ガイド部がテーブルユニット５に設けられることにより、ガイド部と被ガイド部とが昇降ガイドを構成する。要するに、昇降ガイドは、テーブルユニット５の周囲に昇降可能に設置した上クランプユニット７を円滑に昇降しえるものであればよい。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
図１又は図１４又は図１９又は図２０又は図２１に示す加工対象物搭載台装置１は、図６に示すダイシング装置５１以外の加工装置にも使用可能である。その場合、冷却水を使用しない加工装置であれば、図１又は図１４又は図１９又は図２０又は図２１に示す加工対象物搭載台装置１において、図１又は図１４に示す防水壁２３と防水カバー２４と防水突条２５とを省略することが考えられる。
【符号の説明】
【００８１】
１は加工対象物搭載台装置、２は装置本体、３は回転駆動機構、４は昇降駆動機構、５はテーブルユニット、６は中心線、７は上クランプユニット、８は下クランプユニット、９は第１弾性部材、１０は隙間、１１はチャックベース、１２はチャックテーブル、１３は多孔質部材、１４はクランプ基盤、１５は上クランプ部材、１６はリフト部材、１７は第２弾性部材、１８はクランプ爪、１９はクランプ受部、２０はリフトガイド、２１はガイド収容部、２２は欠番、２３は防水壁、２４は防水カバー、２５は防水突条、２６は小径部、２７は大径部、２８は弾性体収容部、２９は小径ガイド孔、３０は大径ガイド孔、３１は取付部、３２乃至３４は欠番、３５は溝、３６乃至３８は吸引孔部、３９は環状面、４０は斜面、４１は貫通孔、４２；４３は環状壁、４４は昇降駆動源、４５はプッシュユニット、４６はピストンロッド、４７はプッシュ基盤、４８はプッシュ部材、４９はプッシュガイド、５０は欠番、５１はダイシング装置、５２は装置躯体、５３はキャリアユニット、５４は搬送ロボット、５５は工具ユニット、５６はカバー、５７は操作パネル、５８は加工前材料収容部、５９は加工済材料収容部、６０はロボットハンド、６１は開閉駆動機構、６２はダイシングブレード、６３は防水パン、６４は欠番、６５は可動アーム、６６は固定アーム、６７はフィンガー、６８は逃げ溝、６９は上弧状部、７０は下弧状部、７１はフィンガー、７２は逃げ溝、７３は空間、７４はガイド部材、７５はガイド収容部、７６は小径ガイド部、７７は小径ガイド孔、７８はステー部材、７９はステー収容部、８０は弾性体収容部、８１乃至１００は欠番、１０１は加工対象品、１０２は半導体ウエハー、１０３はフレーム、１０４はダイシングテープ、１０５は切断予定線、１０６は外縁部、１０７は内縁部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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