(57)【要約】【課題】簡単な構成でノズル近傍の液体の溶存気体量を低く保つことができる液滴吐出ヘッドを提供する。【解決手段】圧力室１６には、個別供給流路２２を介して共通供給流路２４が連通される。共通供給流路２４は、供給路３０を介して循環供給流路２８に連通される。循環供給流路２８には、インクが循環供給される。循環供給流路２８は、隔壁２６を介して共通供給流路２４の上部に配設される。隔壁２６には、共通供給流路２４の形成位置に対応してフィルタ開口部３６が形成される。フィルタ開口部３６には、気体透過膜３８が取り付けられる。共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体濃度が上がると、そのインク中の溶存気体が、気体透過膜３８を介して、循環供給流路２８に循環供給されるインクに取り除かれる。これにより、ノズル近傍のインクの溶存気体濃度を低く保つことができる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の配列をなす複数のノズルと、
前記ノズルごとに設けられる液室と、
前記液室ごとに設けられ、前記液室内の液体を前記ノズルから液滴として吐出させる圧力発生素子と、
前記各液室が連通される第１流路と、
隔壁を介して前記第１流路に重ねて配置される第２流路と、
前記第１流路と前記第２流路とを連通する供給路と、
前記隔壁の一部を構成する気体透過膜と、
前記液体が前記第２流路内を一方向に流れるように、前記第２流路に対して前記液体を循環させて供給する液体供給手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第２流路が前記隔壁を介して前記第１流路の重力方向上部に配設されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記液体供給手段が、前記液体中の溶存気体を前記液体から除去する脱気手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記脱気手段が、前記第２流路を流れる前記液体の流れの方向に対して、前記第２流路の上流側に配置されることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記供給路が、前記第２流路を流れる前記液体の流れの方向に対して、前記気体透過膜の上流側に設けられることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第２流路を流れる前記液体の流量が、前記第１流路を流れる前記液体の流量よりも大きいことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第２流路を流れる前記液体の温度が、前記第１流路を流れる液体の温度よりも低くなるように前記液体の温度を調整する温調手段を更に備えたことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
前記各液室が連通される第３流路と、
前記第３流路と前記第２流路とを連通する回収路と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第２流路は隔壁を介して前記第３流路に重ねて配置され、該隔壁の一部が気体透過膜で構成されることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記第２流路が、前記隔壁を介して前記第３流路の重力方向上部に重ねて配置されることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記回収路が、前記第２流路を流れる前記液体の流れの方向に対して、前記気体透過膜の下流側に設けられることを特徴とする請求項８から１０のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記圧力発生素子が、前記液室の側面部に配置されることを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドに係り、特にノズル近傍の液体の溶存気体量を低く保つ技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、インクには気体が一定量溶け込んでいる。高濃度の気体が溶け込んだインクをインクジェット記録装置で使用すると、インク液滴の吐出時に溶存気体がヘッド内で気泡化したり、ノズルから溢れたインクがノズル内に戻る際に気体を巻き込んだりして、不吐出や飛翔曲がり等の吐出不良を生じさせるという問題がある。このため、インクジェット記録装置では、インクに対して脱気処理が行われる。
【０００３】
特許文献１には、インクよりも溶存気体濃度の低い液体に気体透過膜を介してインクを接触させることにより、インクを脱気処理する方法が提案されている。
【０００４】
また、特許文献２には、インクをポンプで加圧することにより、気液分離膜を介してインク中の空気を除去する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２０３５２３号公報
【特許文献２】特開２００９−１４３０２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の方法は、インクよりも溶存気体濃度の低い液体を供給するためのシステムが別に必要になるため、構成が大掛かりになるという欠点がある。
【０００７】
また、特許文献２の方法は、インクを加圧する必要があるため、画像の記録中には使用できないという欠点がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、簡単な構成でノズル近傍の液体の溶存気体量を低く保つことができる液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
課題を解決するための手段は、次のとおりである。
【００１０】
［１］液滴吐出ヘッドの第１の態様は、所定の配列をなす複数のノズルと、前記ノズルごとに設けられる液室と、前記液室ごとに設けられ、前記液室内の液体を前記ノズルから液滴として吐出させる圧力発生素子と、前記各液室が連通される第１流路と、隔壁を介して前記第１流路に重ねて配置される第２流路と、前記第１流路と前記第２流路とを連通する供給路と、前記隔壁の一部を構成する気体透過膜と、前記液体が前記第２流路内を一方向に流れるように、前記第２流路に対して前記液体を循環させて供給する液体供給手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
本態様によれば、第１流路内の液体と第２流路内の液体とが気体透過膜を介して接触する。第２流路には、液体が循環して供給されているため、常に溶存気体濃度がほぼ一定の液体が流れる。このため、たとえば、ノズルを介して気体が液体に溶け込み、第１流路内の溶存気体濃度が高まった場合などには、その第１流路内の溶存気体を気体透過膜を介して第２流路に取り除くことができる。これにより、ノズル近傍の液体の溶存気体濃度を低く保つことができ、安定した吐出を確保することができる。
【００１２】
［２］液滴吐出ヘッドの第２の態様は、上記第１の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記第２流路が前記隔壁を介して前記第１流路の重力方向上部に配設されることを特徴とする。
【００１３】
本態様によれば、第２流路が隔壁を介して第１流路の重力方向上部に配設される。これにより、キャビテーションにより発生した気泡やノズルから巻き込まれた気体が重力方向上方に移動するため、より効率よく第１流路内の液体の溶存気体を除去することができる。
【００１４】
［３］液滴吐出ヘッドの第３の態様は、上記第１又は２の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記液体供給手段が、前記液体中の溶存気体を前記液体から除去する脱気手段を有することを特徴とする。
【００１５】
本態様によれば、第２流路に対して液体を循環供給する液体供給手段に液体中の溶存気体を液体から除去する脱気手段が備えられる。これにより、第２流路内の液体の溶存気体濃度をより低く保つことができ、延いては第１流路内の液体の溶存気体濃度も低く保つことができる。
【００１６】
［４］液滴吐出ヘッドの第４の態様は、上記第３の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記脱気手段が、前記第２流路を流れる前記液体の流れの方向に対して、前記第２流路の上流側に配置されることを特徴とする。
【００１７】
本態様によれば、脱気手段が、第２流路を流れる液体の流れの方向に対して、第２流路の上流側に配置される。これにより、第２流路を流れる液体の溶存気体濃度をより効率よく下げることができる。
【００１８】
［５］液滴吐出ヘッドの第５の態様は、上記第１から４のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記供給路が、前記第２流路を流れる前記液体の流れの方向に対して、前記気体透過膜の上流側に設けられることを特徴とする。
【００１９】
本態様によれば、第１流路と第２流路とを連通する供給路（第２流路から第１流路に液体を供給する流路）が、第２流路を流れる液体の流れの方向に対して、気体透過膜の上流側に設けられる。これにより、第１流路に対して、気体吸収前の液体を第２流路から供給することができ、より効率よく第１流路内の液体の溶存気体濃度を低下させることができる。
【００２０】
［６］液滴吐出ヘッドの第６の態様は、上記第１から５のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記第２流路を流れる前記液体の流量が、前記第１流路を流れる前記液体の流量よりも大きいことを特徴とする。
【００２１】
本態様によれば、第２流路を流れる液体の流量が、第１流路を流れる液体の流量よりも大きくされる。これにより、より効率よく第１流路内の液体の溶存気体を除去することができる。
【００２２】
［７］液滴吐出ヘッドの第７の態様は、上記第１から６のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記第２流路を流れる前記液体の温度が、前記第１流路を流れる液体の温度よりも低くなるように前記液体の温度を調整する温調手段を更に備えたことを特徴とする。
【００２３】
本態様によれば、第２流路を流れる液体の温度が、第１流路を流れる液体の温度よりも低くなるように液体の温度が調整される。これにより、液体の温度が低い方が飽和溶存気体量は高く、より効率よく第１流路内の液体の溶存気体を除去することができる。
【００２４】
［８］液滴吐出ヘッドの第８の態様は、上記第１から７のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記各液室が連通される第３流路と、前記第３流路と前記第２流路とを連通する回収路と、を更に備えたことを特徴とする。
【００２５】
本態様によれば、液室に対して液体が循環供給される。これにより、ノズル近傍の液体の溶存気体濃度を更に低く保つことができる。
【００２６】
［９］液滴吐出ヘッドの第９の態様は、上記第８の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記第２流路は隔壁を介して前記第３流路に重ねて配置され、該隔壁の一部が気体透過膜で構成されることを特徴とする。
【００２７】
本態様によれば、第３流路内の液体と第２流路内の液体とが気体透過膜を介して接触する。これにより、第３流路内の液体の溶存気体濃度も低く保つことができ、ノズル近傍の液体の溶存気体濃度を更に低く保つことができる。
【００２８】
［１０］液滴吐出ヘッドの第１０の態様は、上記第９の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記第２流路が、前記隔壁を介して前記第３流路の重力方向上部に重ねて配置されることを特徴とする。
【００２９】
本態様によれば、第２流路が隔壁を介して第３流路の重力方向上部に配設される。これにより、より効率よく第３流路内の液体の溶存気体を除去することができる。
【００３０】
［１１］液滴吐出ヘッドの第１１の態様は、上記第８から１０のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記回収路が、前記第２流路を流れる前記液体の流れの方向に対して、前記気体透過膜の下流側に設けられることを特徴とする。
【００３１】
本態様によれば、第３流路と第２流路とを連通する回収路（第３流路から第２流路に液体を回収する流路）が、第２流路を流れる液体の流れの方向に対して、気体透過膜の下流側に設けられる。これにより、第３流路から回収した液体が気体透過膜を通過するのを防止でき、より効率よく第３流路内の液体の溶存気体濃度を低下させることができる。
【００３２】
［１２］液滴吐出ヘッドの第１２の態様は、上記第１から第１１のいずれか１の態様の液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧力発生素子が、前記液室の側面部に配置されることを特徴とする。
【００３３】
本態様によれば、圧力発生素子が、液室の側面部に配置される。これにより、液室の上方空間を確保でき、気体透過膜のレイアウトの自由度や設置の容易性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、ノズル近傍の液体の溶存気体量を低く保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】インクジェットヘッドの第１の実施の形態の底面透視図
【図２】図１の２−２断面図
【図３】図２の３−３断面図
【図４】インクジェットヘッドに供給するインクの循環供給システムの概略構成図
【図５】圧力発生素子の配置の変形例を示す断面図
【図６】圧力発生素子の配置の変形例を示す断面図
【図７】第２の実施の形態のインクジェットヘッドにおけるインクの循環供給システムの概略構成図
【図８】インクジェットヘッドの第３の実施の形態の底面透視図
【図９】図８の９−９断面図
【図１０】図９の１０−１０断面図
【図１１】図９の１１−１１断面図
【図１２】インクジェットヘッドの第４の実施の形態の底面透視図
【図１３】図１２の１３−１３断面図
【図１４】図１３の１４−１４断面図
【図１５】図１３の１５−１５断面図
【図１６】インクジェットヘッドの第５の実施の形態の底面透視図
【図１７】図１６の１７−１７断面図
【図１８】図１６の１８−１８断面図
【図１９】インクジェットヘッドの第６の実施の形態の底面透視図
【図２０】図１９の２０−２０断面図
【図２１】図１９の２１−２１断面図
【図２２】図１９の２２−２２断面図
【図２３】第６の実施の形態のインクジェットヘッドの変形例を示す断面図
【図２４】インクの循環供給システムのその他の実施の形態の概略構成図
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について説明する。
【００３７】
《第１の実施の形態》
［インクジェットヘッドの構成］
図１は、本発明が適用されたインクジェットヘッドの第１の実施の形態の底面透視図である。また、図２は、図１の２−２断面図、図３は、図２の３−３断面図である。
【００３８】
同図に示すように、本実施の形態のインクジェットヘッド１０は、直方体状に形成され、その底面にノズル面１２が形成される。
【００３９】
ノズル面１２には、ヘッドの長手方向に沿って多数のノズル１４が一定ピッチで配置される。各ノズル１４は、それぞれ圧力室（液室）１６に連通される。
【００４０】
圧力室１６は、ノズル１４の配列に沿って一定ピッチで配置される。各圧力室１６は、直方体状に形成され、その天井面は振動板１８で構成される。振動板１８には、圧力室１６ごとに圧力発生素子としての圧電アクチュエータ２０が設けられる。圧電アクチュエータ２０で振動板１８を振動させることにより、圧力室１６が膨張・収縮する。これにより、ノズル１４からインク滴が吐出される。
【００４１】
各圧力室１６は、それぞれ個別供給流路２２を介して共通供給流路（第１流路）２４に連通される。共通供給流路２４は、圧力室１６の配列（＝ノズル１４の配列）に沿って配置されるとともに、ノズル面１２と平行に配置される。
【００４２】
共通供給流路２４の重力方向上部には、隔壁２６を介して循環供給流路（第２流路）２８が配置される。
【００４３】
循環供給流路２８は、供給部２８Ａと流路部２８Ｂと回収部２８Ｃとで構成される。供給部２８Ａと回収部２８Ｃは、流路部２８Ｂの両端に配置され、垂直に形成される。
【００４４】
循環供給流路２８の流路部２８Ｂは、共通供給流路２４と平行に配置される。また、循環供給流路２８の流路部２８Ｂは、共通供給流路２４よりも広い幅で形成され、共通供給流路２４を覆うようにして、共通供給流路２４の重力方向上部に重ねて配置される。
【００４５】
共通供給流路２４は、供給路３０を介して循環供給流路２８の供給部２８Ａに連通される。供給路３０は、共通供給流路２４の一方側（図１の右側）の端部に配置される。
【００４６】
循環供給流路２８の供給部２８Ａには、インク供給口３２が連通される。また、循環流路の回収部２８Ｃには、インク回収口３４が連通される。
【００４７】
インク供給口３２からインクを供給する一方、インク回収口３４からインクを回収することにより、循環供給流路２８にインクが循環して供給される。そして、この循環供給流路２８に循環して供給されるインクが、供給路３０を介して共通供給流路２４に供給され、共通供給流路２４から個別供給流路２２を介して各圧力室１６に供給される。
【００４８】
共通供給流路２４と循環供給流路２８の流路部２８Ｂとを隔てる隔壁２６は、ノズル面１２と平行に設けられる。この隔壁２６には、共通供給流路２４に重なるようにしてフィルタ開口部３６が形成される。このフィルタ開口部３６には、気体透過膜３８が配置される。共通供給流路２４を流れるインクと、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクは、この気体透過膜３８を介して互いに接触する。したがって、たとえば、ノズル１４を介してインクに気体が溶け込み、共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体濃度が上がった場合などには、この気体透過膜３８を介して共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体を循環供給流路２８を流れるインクに取り込ませることができる。これにより、ノズル近傍におけるインクの溶存気体濃度を低く保つことができる。
【００４９】
なお、気体透過膜３８には、たとえば、ポリイミド、酢酸セルロース、ポリスルフォン、ポリアミド、ポリエーテルアミド、ポリエーテルイミドなどが適用される。
【００５０】
［インクの循環供給システムの構成］
図４は、インクジェットヘッドに供給するインクの循環供給システムの概略構成図である。
【００５１】
インクが貯留されるインクタンク２００は、管路２０２を介してバッファータンク２０４と連結される。この管路２０２には、メインポンプ２０６とメインバルブ２０８が設けられる。メインポンプ２０６は、制御部２６０からの指令に応じて作動し、インクタンク２００に貯留されたインクをバッファータンク２０４に送液する。メインバルブ２０８は、制御部２６０からの指令に応じて作動し、管路２０２を開閉する。
【００５２】
バッファータンク２０４は、天面に形成された大気開放穴２０４Ａを介して内部が大気開放される。バッファータンク２０４には、インクタンク２００から供給されるインクによって、その内部に所定量のインクが貯留される。
【００５３】
バッファータンク２０４は、第１供給流路２１０を介して供給タンク２１２に連通される。供給タンク２１２は、第２供給流路２１４を介してインクジェットヘッド１０のインク供給口３２に連通される。
【００５４】
また、バッファータンク２０４は、第１回収流路２１８を介して回収タンク２２０に連通される。回収タンク２２０は、第２回収流路２２２を介して、インクジェットヘッド１０のインク回収口３４に連通される。
【００５５】
第１供給流路２１０には、供給ポンプ２２６とフィルタ２２８とが設けられる。供給ポンプ２２６は、制御部２６０からの指令に応じて作動し、バッファータンク２０４から供給タンク２１２にインクを送液する。フィルタ２２８は、供給ポンプ２２６とバッファータンク２０４との間に設けられ、供給タンク２１２に供給するインクから不純物を除去する。
【００５６】
第２供給流路２１４には、供給バルブ２３０が設けられる。供給バルブ２３０は、制御部２６０からの指令に応じて作動し、第２供給流路２１４を開閉する。
【００５７】
第１回収流路２１８には、回収ポンプ２３２が設けられる。回収ポンプ２３２は、制御部２６０からの指令に応じて作動し、回収タンク２２０からバッファータンク２０４にインクを送液する。
【００５８】
第２回収流路２２２には、回収バルブ２３４が設けられる。回収バルブ２３４は、制御部２６０からの指令に応じて作動し、第２供給流路２１４を開閉する。
【００５９】
供給タンク２１２は、その内部が弾性膜２３６によって供給液体室２１２Ａと供給気体室２１２Ｂとに区画されている。
【００６０】
供給液体室２１２Ａには、第１供給流路２１０と第２供給流路２１４が連通される。第１供給流路２１０を介してバッファータンク２０４から供給されるインクは、一旦、この供給液体室２１２Ａに貯留される。そして、この供給液体室２１２Ａから第２供給流路２１４を介してインクジェットヘッド１０に供給される。この供給液体室２１２Ａは、内部圧力が供給圧力検出器２３８によって検出される。検出された内部圧力波、制御部２６０に出力される。
【００６１】
一方、供給気体室２１２Ｂには、気体が充填される。この供給気体室２１２Ｂには、供給気体室２１２Ｂを大気に開放するための大気開放管２４０が連通される。大気開放管２４０には、大気開放バルブ２４２が設けられる。大気開放バルブ２４２は、制御部２６０の制御の下、大気開放管２４０を開閉する。
【００６２】
回収タンク２２０も同様に、その内部が弾性膜２４４によって回収液体室２２０Ａと回収気体室２２０Ｂとに区画されている。
【００６３】
回収液体室２２０Ａには、第１回収流路２１８と第２回収流路２２２とが連通される。インクジェットヘッド１０から第２回収流路２２２を介して回収されるインクは、一旦、この回収液体室２２０Ａに貯留される。そして、回収液体室２２０Ａから第１回収流路２１８を介してバッファータンク２０４に回収される。回収液体室２２０Ａは、内部圧力が回収圧力検出器２４６によって検出される。検出された内部圧力波、制御部２６０に出力される。
【００６４】
一方、回収気体室２２０Ｂには、気体が充填される。この回収気体室２２０Ｂには、回収気体室２２０Ｂを大気に開放するための大気開放管２４８が連通される。大気開放管２４８には、大気開放バルブ２５０が設けられる。大気開放バルブ２５０は、制御部２６０の制御の下、大気開放管２４８を開閉する。
【００６５】
［インクの循環供給動作］
循環供給時、供給タンク２１２の大気開放バルブ２４２と、回収タンク２２０の大気開放バルブ２５０は、それぞれ閉じられる。一方、第２供給流路２１４の供給バルブ２３０と、第２回収流路２２２の回収バルブ２３４は、それぞれ開かれる。
【００６６】
本例の循環供給システムでは、供給側の圧力を回収側の圧力よりも所定量だけ高く設定することにより、供給タンク２１２側からインクジェットヘッド１０を経て回収タンク２２０側にインクが送液される。
【００６７】
具体的には、供給液体室２１２Ａの内部圧力をＰｉｎ、回収液体室２２０Ａの内部圧力をＰｏｕｔ、ノズルの背圧（負圧）をＰｎｚｌ、インク吐出面と供給圧力検出器２３８との間の高低差により生じる圧力差（水頭圧）をＨｉｎ、インク吐出面と回収圧力検出器２４６との間の高低差により生じる圧力差（水頭圧）をＨｏｕｔとすると、Ｐｉｎ＋Ｈｉｎ＞Ｐｎｚｌ＞Ｐｏｕｔ＋Ｈｏｕｔ（ｍｍＨ２Ｏ）として、ノズルに所定の背圧を付与する。
【００６８】
制御部２６０は、供給圧力検出器２３８により検出される供給液体室２１２Ａの内部圧力と、回収圧力検出器２４６により検出される回収液体室２２０Ａの内部圧力とに基づいて、供給ポンプ２２６及び回収ポンプ２３２の駆動を制御し、供給液体室２１２Ａの内部圧力と回収液体室２２０Ａの内部圧力を、それぞれ所定の圧力Ｐｉｎ、Ｐｏｕｔに制御する。これにより、インクジェットヘッド１０に対してインクが循環供給される。すなわち、循環供給流路２８にインクが、一方向（図１において右から左の方向）に流れる。
【００６９】
この際、供給ポンプ２２６と回収ポンプ２３２の動作による圧力変動が生じた場合であっても、供給タンク２１２に設けられた弾性膜２３６と、回収タンク２２０に設けられた弾性膜２４４とにより吸収することができ、ノズル１４における圧力変動を抑えることができる。これにより、常にノズル１４の背圧を一定に維持することができる。なお、このインクの循環供給動作は、インクジェットヘッド１０の動作中、常に行われる。
【００７０】
［インクジェットヘッドの作用］
以上のように構成される本実施の形態のインクジェットヘッドの作用は、次のとおりである。
【００７１】
インクの循環供給システムを作動させると、インクジェットヘッド１０にインクが循環供給される。この結果、循環供給流路（第２流路）２８にインクが供給され、循環供給流路２８を一方向（図１の右から左の方向）にインクが流れる。
【００７２】
循環供給流路２８にインクが供給されると、そのインクが供給路３０を介して共通供給流路（第１流路）２４にインクが供給される。そして、共通供給流路２４から個別供給流路２２を介して各圧力室１６にインクが供給される。
【００７３】
各圧力室１６に備えられた圧電アクチュエータ２０を駆動すると、各圧力室１６の天井面（振動板１８）が振動し、各圧力室１６の容積が膨張・収縮する。この結果、各圧力室１６に連通されたノズル１４からインクが液滴として吐出される。
【００７４】
ここで、共通供給流路２４と循環供給流路２８とは、隔壁２６で隔てて形成されるが、隔壁２６にはフィルタ開口部３６が形成され、フィルタ開口部３６には気体透過膜３８が配置される。このため、共通供給流路２４を流れるインクと、循環供給流路２８を流れるインクは、この気体透過膜３８を介して互いに接触する。
【００７５】
したがって、たとえば、ノズル１４を介してインクに気体が溶け込み、共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体濃度が上がった場合などには、この気体透過膜３８を介して共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体を循環供給流路２８を流れるインクに取り込ませることができる。これにより、ノズル近傍におけるインクの溶存気体濃度を低く保つことができる。そして、このようにノズル近傍のインクの溶存気体濃度を低く保つことにより、吐出不良等の発生を防止でき、長期間安定した吐出を行うことができる。
【００７６】
このように、本実施の形態のインクジェットヘッドによれば、共通供給流路２４を流れるインクが、気体透過膜３８を介して循環供給流路２８を流れるインクに接触するため、共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体濃度を低く保つことができる。そして、この共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体濃度を低く保つことにより、ノズル近傍のインクの溶存気体濃度も低く保つことができ、長期間安定した吐出を確保することができる。
【００７７】
また、特別な機構を必要としないので、小型なヘッドを実現することができる。
【００７８】
さらに、画像の記録中も溶存気体の除去処理を行うことができるので、画像の記録中も安定してインクを吐出させることができる。
【００７９】
なお、本実施の形態では、供給路３０を共通供給流路２４の一方側（図１の右側）の端部に配置している。この供給路３０は、本実施の形態のように、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクの流れ（図１において右から左）に対して、フィルタ開口部３６の上流側（＝気体透過膜３８の上流側）に配置することが好ましい。これにより、気体透過膜３８を通過する前のインクが共通供給流路２４に供給され、より効率よく溶存気体を除去することができる。
【００８０】
また、共通供給流路２４を流れるインクからより効率よく溶存気体を除去するためには、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクの流量を共通供給流路２４を流れるインクの流量よりも多くすることが好ましい。この流量の調整は、たとえば、各流路を流れるインクの流速や、各流路のサイズを調整することにより行うことができる。
【００８１】
同様に、共通供給流路２４を流れるインクからより効率よく溶存気体を除去するためには、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクの温度を共通供給流路２４を流れるインクの温度よりも低くすることが好ましい。この温度の調整は、たとえば、循環供給流路２８の流路部２８Ｂにペルチェ素子を配置し、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクを冷却できるように構成することで実現できる。あるいは、共通供給流路２４にヒータを配置し、共通供給流路２４を流れるインクを加熱できるように構成することで実現できる。また、ヘッド外部に配設されたヒータの熱によりノズル面を加温することで共通供給流路２４を流れるインクを加熱できるように構成することで実現できる。
【００８２】
また、本実施の形態では、圧力室１６の天井面（重力方向上側の面）を振動板で構成し、その振動板の上に圧電アクチュエータ２０を配置する構成としているが、図５に示すように、側壁面の一つを振動板１８で構成し、その振動板１８に圧電アクチュエータ２０を配置する構成としてもよい（同図では、圧力室１６の右側の側壁面を振動板１８で構成し、その振動板１８に圧電アクチュエータ２０を配置している。）。このように、側壁面の一つを振動板１８で構成し、その側壁面に圧電アクチュエータ２０を配置する構成とすることにより、圧力室１６の上部の構造を簡素化でき、圧力室１６の上部に配置される回路構成等の設計の自由度を向上させることができる。
【００８３】
また、本実施の形態では、圧力室１６の側壁面からインクを供給する構成（圧力室１６の側壁面に個別供給流路２２が連通される構成）としているが、図６に示すように、圧力室１６の側壁面に振動板１８を配置する場合には、圧力室の天井面からインクを供給する構成とすることもできる。この場合、同図に示すように、圧力室１６の重力方向上部に共通供給流路２４を配置する構成とすることもできる。
【００８４】
《第２の実施の形態》
上記のように、共通供給流路２４を流れるインクは、気体透過膜３８を介して循環供給流路２８を流れるインクに接触することにより、インク中に溶存する気体が除去される。
【００８５】
共通供給流路２４を流れるインクから溶存気体を効率よく除去するためには、共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体濃度よりも循環供給流路２８を流れるインクの溶存気体濃度を低くする必要がある。循環供給流路２８を流れるインクは、循環供給されており、常に新鮮なインクが供給されるので、一般的には共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体濃度よりも低く保つことができる。
【００８６】
しかし、より効率よく溶存気体を除去するためには、積極的に循環供給流路２８を流れるインクの溶存気体濃度を低くすることが好ましい。
【００８７】
そこで、本実施の形態では、インクの循環供給システムに脱気装置を組み込み、インクを脱気処理して、インクジェットヘッドに循環供給する。
【００８８】
図７は、本実施の形態のインクジェットヘッドにおけるインクの循環供給システムの概略構成図である。
【００８９】
同図に示すように、第２供給流路２１４に脱気装置３００が備えられる。脱気装置３００は、供給タンク２１２から第２供給流路２１４を介してインクジェットヘッド１０に供給されるインクの脱気処理を行う。
【００９０】
このように、インクを脱気処理して、インクジェットヘッド１０に供給することにより、共通供給流路２４を流れるインクからより効率よく溶存気体を除去することができる。これにより、ノズル近傍のインクの溶存気体濃度をより低く保つことができる。
【００９１】
なお、脱気装置３００は、第２回収流路２２２に設置することもできるが、本例のように、インクの流れに対して、インクジェットヘッド１０の上流側に設置することが好ましい。これにより、より溶存気体濃度の低いインクをインクジェットヘッドに供給することができ、共通供給流路２４を流れるインクからより効率よく溶存気体を除去することができる。
【００９２】
《第３の実施の形態》
図８は、本発明が適用されたインクジェットヘッドの第３の実施の形態の底面透視図である。また、図９は、図８の９−９断面図、図１０は、図９の１０−１０断面図、図１１は、図９の１１−１１断面図である。
【００９３】
同図に示すように、本実施の形態のインクジェットヘッド１０Ａは、圧力室１６に対してインクが循環供給される点で上述した第１の実施の形態のインクジェットヘッド１０と相違する。したがって、ここでは、この圧力室１６に対してインクを循環供給させるための構成について、特に説明する。
【００９４】
上述したように、ノズル１４は、インクジェットヘッド１０Ａの長手方向に沿って一定ピッチで直線上に配置される。各ノズル１４は、ノズル１４に沿って配置された圧力室１６に連通される。
【００９５】
各圧力室１６は、それぞれ個別供給流路２２を介して共通供給流路（第１流路）２４に連通される。共通供給流路２４は、圧力室１６の配列（＝ノズル１４の配列）に沿って配置されるとともに、ノズル面１２と平行に配置される。
【００９６】
また、各圧力室１６は、それぞれ個別回収流路４２を介して共通回収流路（第３流路）４４に連通される。共通回収流路４４は、圧力室１６の配列（＝ノズル１４の配列）に沿って配置されるとともに、ノズル面１２と平行に配置される。また、共通回収流路４４は、共通供給流路２４と平行に配設され、この共通回収流路４４と共通供給流路２４との間に圧力室１６が配置される。
【００９７】
共通供給流路２４と共通回収流路４４の重力方向上部には、隔壁２６を介して循環供給流路（第２流路）２８が配置される。循環供給流路２８は、共通供給流路２４及び共通回収流路４４と平行に配置される。また、循環供給流路２８は、共通供給流路２４及び共通回収流路４４よりも広い幅で形成され、共通供給流路２４と共通回収流路４４を覆うようにして、共通供給流路２４と共通回収流路４４の重力方向上部に重ねて配置される。
【００９８】
共通供給流路２４は、供給路３０を介して循環供給流路２８の供給部２８Ａに連通される。供給路３０は、共通供給流路２４の一方側（図８の右側）の端部に配置される。
【００９９】
共通回収流路４４は、回収路４６を介して循環供給流路２８の回収部２８Ｃに連通される。回収路４６は、共通回収流路４４の一方側（図８の左側）の端部に配置される。
【０１００】
循環供給流路２８の供給部２８Ａには、インク供給口３２が連通される。また、循環流路の回収部２８Ｃには、インク回収口３４が連通される。
【０１０１】
インク供給口３２からインクを供給する一方、インク回収口３４からインクを回収することにより、循環供給流路２８にインクが循環して供給される。そして、この循環供給流路２８に循環して供給されるインクが、供給路３０を介して共通供給流路２４に供給され、共通供給流路２４から個別供給流路２２を介して各圧力室１６に供給される。また、圧力室１６に供給されたインクが、個別回収流路４２を介して共通回収流路４４に回収される。そして、共通回収流路４４から回収路４６を介して循環供給流路２８に回収される。これにより、圧力室１６に対してインクが循環供給される。
【０１０２】
このように、圧力室１６に対してインクを循環供給することにより、圧力室１６及びノズル１４内のインクの滞留を防止できる。すなわち、常に新鮮なインクを圧力室１６及びノズル１４に供給することができる。これにより、ノズル近傍のインクの溶存気体濃度をより低く保つことができる。
【０１０３】
なお、本実施の形態においても、インクの循環供給システムは、上記第２の実施の形態で説明したように、脱気装置を組み込むことが好ましい。また、脱気装置は、インクジェットヘッド１０Ｂの上流側に設置することが好ましい。
【０１０４】
《第４の実施の形態》
図１２は、本発明が適用されたインクジェットヘッドの第４の実施の形態の底面透視図である。また、図１３は、図１２の１３−１３断面図、図１４は、図１３の１４−１４断面図、図１５は、図１３の１５−１５断面図である。
【０１０５】
本実施の形態のインクジェットヘッド１０Ｂは、共通回収流路４４でも溶存気体の除去が行われる点で上記第３の実施の形態のインクジェットヘッド１０Ａと相違する。したがって、ここでは、この相違点についてのみ説明する。
【０１０６】
共通回収流路４４は、共通供給流路２４と同様に、隔壁２６を介して循環供給流路２８と分離されている。
【０１０７】
隔壁２６には、共通回収流路４４に重なるようにしてフィルタ開口部４８が形成される。このフィルタ開口部４８には、気体透過膜５０が配置される。共通回収流路４４を流れるインクと、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクは、この気体透過膜５０を介して互いに接触する。したがって、共通回収流路４４を流れるインクの溶存気体濃度が上がった場合などには、この気体透過膜５０を介して共通回収流路４４を流れるインクの溶存気体を循環供給流路２８を流れるインクに取り込ませることができる。これにより、ノズル近傍におけるインクの溶存気体濃度をより低く保つことができる。
【０１０８】
なお、共通回収流路４４と循環供給流路２８とを連通する回収路４６は、本実施の形態のように、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクの流れ（図１２において右から左）に対して、フィルタ開口部４８の下流側（＝気体透過膜５０の下流側）に配置することが好ましい。これにより、気体を取り込んだインクを効率よく回収することができる。
【０１０９】
また、共通回収流路４４を流れるインクからより効率よく溶存気体を除去するためには、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクの流量を共通回収流路４４を流れるインクの流量よりも多くすることが好ましい。この流量の調整は、たとえば、各流路を流れるインクの流速や、各流路のサイズを調整することにより行うことができる。
【０１１０】
同様に、共通回収流路４４を流れるインクからより効率よく溶存気体を除去するためには、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクの温度を共通回収流路４４を流れるインクの温度よりも低くすることが好ましい。この温度の調整は、たとえば、循環供給流路２８の流路部２８Ｂにペルチェ素子を配置し、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクを冷却できるように構成することで実現できる。あるいは、共通回収流路４４にヒータを配置し、共通回収流路４４を流れるインクを加熱できるように構成することで実現できる。
【０１１１】
なお、本実施の形態においても、インクの循環供給システムは、上記第２の実施の形態で説明したように、脱気装置を組み込むことが好ましい。また、脱気装置は、インクジェットヘッド１０Ｂの上流側に設置することが好ましい。
【０１１２】
《第５の実施の形態》
図１６は、本発明が適用されたインクジェットヘッドの第５の実施の形態の底面透視図である。また、図１７は、図１６の１７−１７断面図、図１８は、図１６の１８−１８断面図である。
【０１１３】
同図に示すように、本実施の形態のインクジェットヘッド１０Ｃは、いわゆるマトリックスヘッドで構成される。
【０１１４】
マトリックスヘッドでは、図１６に示すように、ノズル１４がノズル面１２に二次元配置される。すなわち、ヘッドの長手方向と平行な直線Ｌ１に沿ってノズル１４が一定ピッチで配置されるとともに、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した直線Ｌ２に沿ってノズル１４が一定ピッチで配置される。このようにノズル１４を二次元配置することにより、ヘッドの長手方向に投影されるノズル１４の間隔を狭めることができ、ドットの高密度化を図ることができる。
【０１１５】
ノズル１４は、直線Ｌ２に沿って配置されるノズル１４の列を一つの単位とし、列ごとに共通供給流路（第１流路）２４が配置される。各列の共通供給流路２４は、直線Ｌ２と平行に配置される。
【０１１６】
圧力室１６は、ノズル１４に対応して、二次元配列される。各列の圧力室１６は、対応する各列の共通供給流路２４に個別供給流路２２を介して連通される。
【０１１７】
各共通供給流路２４の重力方向上部には、隔壁２６を介して循環供給流路（第２流路）２８が配置される。
【０１１８】
循環供給流路２８は、供給部２８Ａと流路部２８Ｂと回収部２８Ｃとで構成される。供給部２８Ａと回収部２８Ｃは、流路部２８Ｂの両端（ヘッドの長手方向と直交する方向の両端）に配置され、垂直に形成される。
【０１１９】
循環供給流路２８の流路部２８Ｂは、各共通供給流路２４を覆うようにして、共通供給流路２４の重力方向上部に重ねて配置される。
【０１２０】
各共通供給流路２４は、供給路３０を介して循環供給流路２８の供給部２８Ａに連通される。供給路３０は、共通供給流路２４の一方側（図１６の上側）の端部に配置される。
【０１２１】
循環供給流路２８の供給部２８Ａには、インク供給口３２が連通される。また、循環流路の回収部２８Ｃには、インク回収口３４が連通される。
【０１２２】
インク供給口３２からインクを供給する一方、インク回収口３４からインクを回収することにより、循環供給流路２８にインクが循環して供給される。そして、この循環供給流路２８に循環して供給されるインクが、供給路３０を介して各共通供給流路２４に供給され、各共通供給流路２４から個別供給流路２２を介して各圧力室１６に供給される。
【０１２３】
各共通供給流路２４と循環供給流路２８の流路部２８Ｂとを隔てる隔壁２６は、ノズル面１２と平行に設けられる。この隔壁２６には、共通供給流路２４ごとにフィルタ開口部３６が形成される。フィルタ開口部３６は、共通供給流路２４に重なるように形成され、気体透過膜３８が配置される。各共通供給流路２４を流れるインクと、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクは、この気体透過膜３８を介して互いに接触する。したがって、各共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体濃度が上がった場合などには、この気体透過膜３８を介して各共通供給流路２４を流れるインクの溶存気体を循環供給流路２８を流れるインクに取り込ませることができる。これにより、ノズル近傍におけるインクの溶存気体濃度を低く保つことができる。
【０１２４】
なお、本実施の形態のようなマトリックスヘッドにおいても、供給路３０は、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクの流れ（図１６において上から下）に対して、フィルタ開口部３６の上流側（＝気体透過膜３８の上流側）に配置することが好ましい。また、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクの流量は、共通供給流路２４を流れるインクの流量よりも多くすることが好ましい。さらに、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクの温度は、共通供給流路２４を流れるインクの温度よりも低くすることが好ましい。
【０１２５】
また、本例では、圧力室１６の天井面（重力方向上側の面）を振動板で構成し、その振動板の上に圧電アクチュエータ２０を配置する構成としているが、側壁面の一つを振動板１８で構成し、その振動板１８に圧電アクチュエータ２０を配置する構成としてもよい（図５参照）。また、圧力室１６の側壁面に振動板１８を配置する場合には、圧力室の天井面からインクを供給する構成としてもよい（図６参照）。
【０１２６】
なお、本実施の形態においても、インクの循環供給システムは、上記第２の実施の形態で説明したように、脱気装置を組み込むことが好ましい。また、脱気装置は、インクジェットヘッド１０Ｂの上流側に設置することが好ましい。
【０１２７】
《第６の実施の形態》
図１９は、本発明が適用されたインクジェットヘッドの第６の実施の形態の底面透視図である。また、図２０は、図１９の２０−２０断面図、図２１は、図１９の２１−２１断面図、図２２は、図１９の２２−２２断面図である。
【０１２８】
同図に示すように、本実施の形態のインクジェットヘッド１０Ｄは、圧力室１６に対してインクが循環供給される点で上述した第５の実施の形態のインクジェットヘッド１０と相違する。したがって、ここでは、この圧力室１６に対してインクを循環供給させるための構成について、特に説明する。
【０１２９】
ノズル１４は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜する直線（直線Ｌ２（図１６参照））に沿って配置されるノズル１４の列を一つの単位とし、列ごとに共通供給流路（第１流路）２４と共通回収流路（第３流路）４４が配置される。
【０１３０】
各共通供給流路２４は、直線Ｌ２（図１６参照）と平行に配置される。各列のノズル１４に連通される圧力室１６は、対応する列の共通供給流路２４に個別供給流路２２を介して連通される。
【０１３１】
各共通回収流路４４も同様に直線Ｌ２（図１６参照）と平行に配置される。各列のノズル１４に連通される圧力室１６は、対応する列の回収流路４４に個別回収流路４２を介して連通される。
【０１３２】
各列の圧力室１６は、この共通供給流路２４と共通回収流路４４との間に配置される。
【０１３３】
各共通供給流路２４と各共通回収流路４４の重力方向上部には、隔壁２６を介して循環供給流路（第２流路）２８が配置される。循環供給流路２８は、共通供給流路２４と共通回収流路４４を覆うようにして、共通供給流路２４と共通回収流路４４の重力方向上部に重ねて配置される。
【０１３４】
各共通供給流路２４は、供給路３０を介して循環供給流路２８の供給部２８Ａに連通される。供給路３０は、共通供給流路２４の一方側（図１９の上側）の端部に配置される。
【０１３５】
各共通回収流路４４は、回収路４６を介して循環供給流路２８の回収部２８Ｃに連通される。回収路４６は、共通回収流路４４の一方側（図１９の下側）の端部に配置される。
【０１３６】
循環供給流路２８の供給部２８Ａには、インク供給口３２が連通される。また、循環流路の回収部２８Ｃには、インク回収口３４が連通される。
【０１３７】
インク供給口３２からインクを供給する一方、インク回収口３４からインクを回収することにより、循環供給流路２８にインクが循環して供給される。そして、この循環供給流路２８に循環して供給されるインクが、供給路３０を介して各共通供給流路２４に供給され、各共通供給流路２４から個別供給流路２２を介して各圧力室１６に供給される。また、圧力室１６に供給されたインクが、個別回収流路４２を介して共通回収流路４４に回収される。そして、各共通回収流路４４から回収路４６を介して循環供給流路２８に回収される。これにより、圧力室１６に対してインクが循環供給される。
【０１３８】
このように、圧力室１６に対してインクを循環供給することにより、圧力室１６及びノズル１４内のインクの滞留を防止できる。すなわち、常に新鮮なインクを圧力室１６及びノズル１４に供給することができる。これにより、ノズル近傍のインクの溶存気体濃度をより低く保つことができる。
【０１３９】
なお、本例では、共通供給流路２４についてのみ気体透過膜３８を設置しているが、上述した第４の実施の形態と同様に、共通回収流路４４にも気体透過膜５０を設置することができる。この場合、図２３（図２３は、図１９の２２−２２断面に相当）に示すように、共通回収流路４４に対応して、隔壁２６にフィルタ開口部４８が形成され、そのフィルタ開口部４８に気体透過膜５０が配置される。これにより、共通回収流路４４を流れるインクと、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクとが、気体透過膜５０を介して互いに接触し、共通回収流路４４を流れるインクの溶存気体を循環供給流路２８を流れるインクに取り込ませることができる。
【０１４０】
なお、共通回収流路４４と循環供給流路２８とを連通する回収路４６は、循環供給流路２８の流路部２８Ｂを流れるインクの流れに対して、フィルタ開口部４８の下流側（＝気体透過膜５０の下流側）に配置することが好ましい。これにより、気体を取り込んだインクを効率よく回収することができる。
【０１４１】
《その他の実施の形態》
本発明の適用は、いわゆるラインヘッドとシャトルヘッドの別は問われず、双方のヘッドのいずれにも適用することができる。
【０１４２】
また、本実施の形態では、循環供給流路２８の流路部２８Ｂと共通供給流路２４とが互いに平行に設けられる構造としているが、循環供給流路２８の流路部２８Ｂと共通供給流路２４とは、必ずしも平行に設ける必要はない。循環供給流路２８の流路部２８Ｂと共通回収流路４４についても同様に必ずしも平行に設ける必要はない。気泡の排出性の向上を配慮して、適宜レイアウトを変えて配置することができる。
【０１４３】
また、本実施の形態では、共通供給流路２４がノズル面１２と平行に配置される構成としているが、共通供給流路２４は、必ずしもノズル面１２と平行に設ける必要はない。循環供給流路２８の流路部２８Ｂ、共通回収流路４４について同様である。したがって、共通供給流路２４と循環供給流路２８の流路部２８Ｂとを隔てる隔壁２６についても、必ずしもノズル面１２と平行に設ける必要はない。気泡の排出性の向上を配慮して、適宜レイアウトを変えて配置することができる。
【０１４４】
また、本実施の形態では、圧力室の形状を直方体形状としているが、圧力室の形状は特に限定されるものではなく、その他の形状を採用することもできる。同様にノズルの形状もストレート形状やテーパ形状等の種々の形状を採用することができ、また、その開口部の形状も円形状に限らず、楕円形状等の種々の形状を採用することができる。
【０１４５】
また、本実施の形態では、第２供給流路２１４に脱気装置３００を設置する構成としているが、脱気装置３００の設置位置は、これに限定されるものではない。ただし、ヘッドへ送る溶存気体濃度を下げるためには、ヘッドに最も近い上流に配置することが好ましい。
【０１４６】
なお、本例では、供給タンク２１２と回収タンク２２０の圧力の差によりインクの送液を制御しているが、この場合、図２４に示すように、供給タンク２１２の上流側に脱気装置３００を配置することにより、この制御をより容易に行うことができる。したがって、制御の容易性を考慮する場合には、図２４に示すように、供給タンク２１２の上流側に脱気装置３００を配置することが好ましい。
【０１４７】
また、上記実施の形態では、いわゆるピエゾ方式のヘッドに本発明を適用した場合を例に説明したが、インクの吐出方式は、これに限定されるものではない。この他、たとえば、いわゆるバブルジェット（登録商標）方式のヘッドにも同様に適用することができる。
【符号の説明】
【０１４８】
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ…インクジェットヘッド１０は、１２…ノズル面、１４…ノズル、１６…圧力室（液室）、１８…振動板、２０…圧電アクチュエータ、２２…個別供給流路、２４…共通供給流路（第１流路）、２６…隔壁、２８…循環供給流路（第２流路）、２８Ａ…供給部、２８Ｂ…流路部、２８Ｃ…回収部、３０…供給路、３２…インク供給口、３４…インク回収口、３６…フィルタ開口部、３８…気体透過膜、４２…個別回収流路、４４…共通回収流路（第３流路）、４８…フィルタ開口部、５０…気体透過膜、２００…インクタンク、２０２…管路、２０４…バッファータンク、２０４Ａ…大気開放穴、２０６…メインポンプ、２０８…メインバルブ、２１０…第１供給流路、２１２…供給タンク、２１２Ａ…供給液体室、２１２１Ｂ…供給気体室、２１４…第２供給流路、２１８…第１回収流路、２２０…回収タンク、２２０Ａ…回収液体室、２２０Ｂ…回収気体室、２２２…第２回収流路、２２６…供給ポンプ、２２８…フィルタ、２３０…供給バルブ、２３２…回収ポンプ、２３４…回収バルブ、２３６…弾性膜、２３８…供給圧力検出器、２４０…大気開放管、２４２…大気開放バルブ、２４４…弾性膜、２４６…回収圧力検出器、２４８…大気開放管、２５０…大気開放バルブ、２６０…制御部、３００…脱気装置
【図１】
2012250503.tif 000003
【図２】
2012250503.tif 000004
【図３】
2012250503.tif 000005
【図４】
2012250503.tif 000006
【図５】
2012250503.tif 000007
【図６】
2012250503.tif 000008
【図７】
2012250503.tif 000009
【図８】
2012250503.tif 000010
【図９】
2012250503.tif 000011
【図１０】
2012250503.tif 000012
【図１１】
2012250503.tif 000013
【図１２】
2012250503.tif 000014
【図１３】
2012250503.tif 000015
【図１４】
2012250503.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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