(57)【要約】【課題】  クリーンルーム内の清浄度と温度環境とを両立させながら、クリーンルームで使用するＦＦＵの運転の省エネルギー化を図る。【解決手段】  クリーンルーム２００内の区画された室１９０は、その室の天井面に取り付けた複数のＦＦＵ１０ａ〜１０ｎで清浄環境に保たれる。室内の各部の温度を検出する複数の温度センサ２０ａ〜２０ｎと、室内の各部の清浄度を検出する複数の清浄度検出手段４０ａ〜４０ｎとが設けられている。複数の温度センサと複数の清浄度検出手段との検出結果に基づいて、複数のＦＦＵのそれぞれが備える送風手段の回転数を制御装置１８０が制御する。制御装置は、各ＦＦＵに対応した温度センサが検出した温度と清浄度検出手段が検出した清浄度とを用いてそのＦＦＵが有する送風手段が送風すべき許容最小風量を求め、いずれか大きい風量を送風するよう前記ＦＦＵに指令する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内の区画された室を、その室の天井面に取り付けた複数のＦＦＵで清浄環境に保つクリーンルームにおいて、前記室内の各部の温度を検出する複数の温度センサと、前記室内の各部の清浄度を検出する複数の清浄度検出手段とを設け、この複数の温度センサと複数の清浄度検出手段との検出結果に基づいて、前記複数のＦＦＵのそれぞれが備える送風手段の回転数を設定する制御装置を有することを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
前記複数の温度センサと複数の清浄度検出手段は、それぞれ複数のＦＦＵに対応して設けられており、前記制御装置は、各ＦＦＵに対応した温度センサが検出した温度と清浄度検出手段が検出した清浄度とを用いてそのＦＦＵが有する送風手段が送風すべき許容最小風量を求め、いずれか大きい風量を送風するよう前記ＦＦＵに指令することを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
【請求項３】
前記室の近傍に人感センサを設け、この人感センサの出力に基づいて前記清浄度検出手段が検出した清浄度に基づいて設定された前記ＦＦＵの回転数を前記制御装置が修正することを特徴とする請求項２に記載のクリーンルーム。
【請求項４】
クリーンルーム内の区画された空間を所定の清浄度と所定の温度に保つために、区画された空間の天井部に設けた複数のＦＦＵを用いてこの空間に送風するＦＦＵの風量制御方法において、前記複数のＦＦＵに対応して前記空間内に設けた複数の清浄度検出手段と温度センサとを用いて前記空間内の各部の清浄度と温度とを求め、この求められた清浄度に対する前記各ＦＦＵが有する送風手段の第１の許容最低速度と、求められた温度に対する前記各ＦＦＵが有する送風手段の第２の許容最低速度とを求め、この第１、第２の許容最低速度のいずれか大きい方を前記ＦＦＵの送風手段の運転速度とすることを特徴とする風量制御方法。
【請求項５】
前記空間の近傍に人感センサを設け、この人感センサが前記空間内に作業者を検出したら、前記複数のＦＦＵの第１の許容最低速度をすべて同一の速度とし、その速度は、前記複数の清浄検出手段が検出した値に基づいて求めた個々のＦＦＵの第１の許容最低速度の中で最大の値としたことを特徴とする請求項４に記載の風量制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はクリーンルームに係り、特に風量制御することにより省エネルギとなるクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のクリーンルームの例が、特許文献1に記載されている。この公報では、クリーンルーム内に適当な層流が確保されるようにクリーンルームに存在する複数個の空気清浄器の風量を制御し、クリーンルームのランニングコストを低減させることが提案されている。具体的には、1個または複数個の生産装置と、複数個の空気清浄器とをクリーンルームが備え、生産装置の稼動情報に基づいて、空気清浄器ごとに風量を制御する空気清浄器制御手段を備えている。
【０００３】
従来のクリーンルームの他の例が、特許文献２に記載されている。この公報に記載のクリーン環境では、対象とする空間の環境要素を複数の計測装置で計測し、各計測装置の計測出力を容易に関連付けて制御できるようにし、システム構成を簡素化するために、次のような構成としている。第１、第２の局所クリーンルーム内のパーティクルを、第１ないし第４のパーティクルセンサで計測し、制御ユニットは第１、第２のパーティクルセンサの計測データを、平均値演算や最大値演算等の演算処理によって関連付け、演算処理結果に基づいて、第１のファンユニットを制御して清浄な空気の供給を制御する一方、第３、第４のパーティクルセンサの計測データを同様に演算処理して関連付けて、第２のファンユニットを制御している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−０９８６６１号公報
【特許文献２】特開２００７−３２７７２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載のクリーンルームでは、生産計画に応じて個々のファンフィルタユニット(以下ＦＦＵと称す)の回転数を制御するので、性浄土を保ちながら消費電力の省エネルギ化が期待できる。しかしながら、この公報に記載のクリーンルームでは熱負荷については全く考慮されていない。そのため、生産設備の種類によっては非稼動時でも熱負荷が大きかったり、また稼動時であっても比較的熱負荷が少なく、どちらかといえば季節変動の要因が大きかったりする。このように熱負荷があると、ＦＦＵの稼動体系も全く異なってくる。
【０００６】
清浄度のみをセンシングしてＦＦＵの回転数を制御するだけでは、クリーンルーム内の熱負荷を処理する風量が足りなくなる場合がある。そのため、一般的には温度を清浄度とは独立に制御して、生産設備の異常高温や異常低温による製品の不具合の発生を防止している。この温度制御方法として、多くの場合、室内の温度と空調手段の風量を用いて制御している。この方法では、温度をセンシングする位置により空調手段から吐出される空調された空気の温度が変化する。通常は、空調の余裕を見て、最大熱負荷近辺でセンシングするが、その場合、クリーンルーム全体では冷えすぎの事態となり、無駄なエネルギーを消費することとなる。また、空調手段からの集中的な吐出風量を使用すると、クリーンルーム内に温度差が生じて、温度分布にむらが生じるおそれもある。
【０００７】
これに対して、特許文献２では、異種のセンサーの組み合わせから、ＦＦＵの回転数を制御することが開示されている。そして、それらセンサーの出力から求めたＦＦＵの回転数で、最大の回転数を使用することにより、常に安全サイドでＦＦＵを運転することも記載されている。
【０００８】
しかしながら、この公報に記載のクリーンルームにおいても、清浄度とクリーンルーム内の温度とを制御指標として組み合わせて、ＦＦＵの最適な運転方法を得ることの具体的な方策までは考慮されていない。上述したように、クリーンルーム内の温度およびその分布は、生産設備にあっては生産物の品質に影響するので、単一の方法で両立させるのが困難であった。そのため、従来これら２つの指標を独立に制御するか、電力消費は増大するが安全を図って過大な能力でＦＦＵを運転していた。
【０００９】
本発明は上記従来技術の不具合に鑑みなされたものであり、その目的はクリーンルーム内の清浄度と温度環境とを両立させながら、クリーンルームで使用するＦＦＵの運転の省エネルギー化を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成する本発明の特徴は、クリーンルーム内の区画された室を、その室の天井面に取り付けた複数のＦＦＵで清浄環境に保つクリーンルームにおいて、前記室内の各部の温度を検出する複数の温度センサと、前記室内の各部の清浄度を検出する複数の清浄度検出手段とを設け、この複数の温度センサと複数の清浄度検出手段との検出結果に基づいて、前記複数のＦＦＵのそれぞれが備える送風手段の回転数を設定する制御装置を有することにある。
【００１１】
そしてこの特徴において、前記複数の温度センサと複数の清浄度検出手段は、それぞれ複数のＦＦＵに対応して設けられており、前記制御装置は、各ＦＦＵに対応した温度センサが検出した温度と清浄度検出手段が検出した清浄度とを用いてそのＦＦＵが有する送風手段が送風すべき許容最小風量を求め、いずれか大きい風量を送風するよう前記ＦＦＵに指令するのが好ましく、前記室の近傍に人感センサを設け、この人感センサの出力に基づいて前記清浄度検出手段が検出した清浄度に基づいて設定された前記ＦＦＵの回転数を前記制御装置が修正するようにしてもよい。
【００１２】
上記目的を達成する本発明の他の特徴は、クリーンルーム内の区画された空間を所定の清浄度と所定の温度に保つために、区画された空間の天井部に設けた複数のＦＦＵを用いてこの空間に送風するＦＦＵの風量制御方法において、前記複数のＦＦＵに対応して前記空間内に設けた複数の清浄度検出手段と温度センサとを用いて前記空間内の各部の清浄度と温度とを求め、この求められた清浄度に対する前記各ＦＦＵが有する送風手段の第１の許容最低速度と、求められた温度に対する前記各ＦＦＵが有する送風手段の第２の許容最低速度とを求め、この第１、第２の許容最低速度のいずれか大きい方を前記ＦＦＵの送風手段の運転速度とすることにある。
【００１３】
そしてこの特徴において、前記空間の近傍に人感センサを設け、この人感センサが前記空間内に作業者を検出したら、前記複数のＦＦＵの第１の許容最低速度をすべて同一の速度とし、その速度は、前記複数の清浄検出手段が検出した値に基づいて求めた個々のＦＦＵの第１の許容最低速度の中で最大の値としてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、清浄度検出手段と温度センサをクリーンルームに形成した室内に複数個設けて区画された領域ごとに温度および清浄度を制御するようにしたので、クリーンルーム内の清浄度と温度環境とを両立させながら、クリーンルームで使用するＦＦＵの運転の省エネルギー化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係るクリーンルームの一実施例の模式図。
【図２】図１に示したクリーンルームの上面図。
【図３】クリーンルームにおける風量制御のフローチャート。
【図４】風量に対する清浄度および温度の関係を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明にかかるクリーンルーム２００の一実施例を、図面を用いて説明する。図１は、半導体やＦＰＤなどを製造または研究するためのクリーンルーム２００の一実施例の模式図であり、図２はその上面図である。また、図３はこのクリーンルーム２００が備える複数個のＦＦＵ１０ａ、１０ｂ、…、１０ｎの制御方法の一例を示すフローチャートであり、図４はＦＦＵ１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、…と清浄度、室内温度との関係を説明する図である。
【００１７】
クリーンルーム２００内には、複数の製造装置または洗浄装置等である生産設備１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃが配置されている。これら複数の生産設備１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃの環境を維持するために、クリーンルーム２００内に生産設備１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃを収容するように環境制御室(または室)１９０が設けられている。
【００１８】
すなわち、気密に形成されたクリーンルーム２００内の上下方向中間部に、多数の貫通孔が形成されたグレーチング１１５が敷設されている。このグレーティング１１５の上面であって室１９０内に、生産設備１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃが配設される。グレーティングの下方は、床下チャンバ１２０になっている。室１９０の側壁とクリーンルーム２００の内面間には、リターンシャフト５０が形成されている。また、室１９０の天井壁とクリーンルーム２００の内面間には、天井チャンバ１１０が形成されている。
【００１９】
床下チャンバ１２０内には、一対の冷却コイル６０ａ、６０ｂが配置されており、この冷却コイルは冷却水配管７０により、クリーンルーム２００外に配置された熱交換器１００に導かれている。熱交換器１００は例えば冷却塔や空調機の蒸発器であり、大気や冷媒との間で熱交換する。なお、本実施例では冷却コイル６０ａ、６０ｂを２個としているが、冷却コイルはこの数に限らず、室１９０内の冷却負荷やクリーンルーム２００の大きさにより適宜定められる。
【００２０】
冷却水配管７０の途中には、３方弁８０ａ、８０ｂとポンプ９０が配設されている。ポンプ９０はインバータ駆動のポンプであってもよいし、その他のポンプであってもよい。ただし、インバータ駆動ポンプであれば回転数制御可能となり、冷却水配管内を流れる流量を変化させることが可能になる。また、ポンプ９０の回転数と３方弁６０ａ、６０ｂの開度方向を変化させることにより、冷却コイル６０ａ、６０ｂの冷却能力を変化させることが可能になる。
【００２１】
室１９０の天井面の外壁には、複数個のファンフィルタユニット(ＦＦＵ)１０ａ〜１０ｎが取り付けられている。各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎには、例えばＨＥＰＡフィルタのような高性能なフィルタとインバータ駆動のファンが備えられている。
【００２２】
したがって、室１９０の床面を構成するグレーティング１１５を経た空気は、冷却コイル６０ａ、６０ｂで冷却された後、リターンシャフト５０を上昇して天井チャンバ１１０に入り込み、天井チャンバに配置した複数個のＦＦＵ１０ａ〜１０ｎのフィルタでフィルタリングされて清浄化され、ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎのファンで室１９０内の各所に送風される。この送風が、室１９０内のダウンフローを形成する。以下、この動作を繰り返して、循環流を形成する。
【００２３】
このように、床下チャンバ１２０、リターンシャフト５０、天井チャンバ１１０によって形成される循環系路と室１９０との間に空気を循環させるとともに、循環させた空気を冷却コイル６０ａ、６０ｂで冷却し、さらにＦＦＵ１０ａ〜１０ｎで除塵して、室１９０内が、適切な清浄度および温度に維持される。
【００２４】
ここで、本実施例の特徴として、各冷却コイル６０ａ、６０ｂに対応して温度センサ３０ａ、３０ｂをリターンシャフト５０内に設けるとともに、各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎに対応して、温度センサ２０ａ〜２０ｎとパーティクルセンサ４０ａ〜４０ｎを対にして配置している。温度センサ３０ａ〜３０ｎおよびパーティクルセンサ４０ａ〜４０ｎの出力は、一旦コンソール１８０ａに集められた後、制御装置１８０に入力される。温度センサ３０ａ、３０ｂの出力は、直接制御装置１８０に入力される。
【００２５】
リターンシャフト５０内に設けた温度センサ３０ａ、３０ｂの出力が所定値になるように、３方弁８０ａ、８０ｂの開度とポンプの回転数９０を用いて、冷却コイル６０ａ、６０ｂに供給する冷却水の量を制御装置１８０が制御する。これにより、天井チャンバ１１０に戻る循環空気が所定の一定温度に制御され、室１９０の天井に配置したどのＦＦＵ１０ａ〜１０ｎからも、一定温度の冷却風を室１９０内に送風できる。また、ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎを個々に制御することで、ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎに応じて室１０内を区画した領域Ａａ〜Ａｎごとに、送風量を変化させることができる。
【００２６】
温度センサ１０ａ〜１０ｎおよびパーティクルセンサ４０ａ〜４０ｎについては、以下のように設置場所を決める。温度センサ１０ａとパーティクルセンサ４０ａの出力は、ＦＦＵ１０ａの回転速度を決定するのに用いられる。そこで、ＦＦＵ１０ａのファンが送風する範囲内であって、最も他のＦＦＵの影響がないところ、つまりＦＦＵ１０ａの直下に取り付けるのが望ましい、と考えられる。
【００２７】
ただし、ＦＦＵ１０ａの真下であってもＦＦＵ１０ａに近すぎると、負荷である生産設備１５０ａ〜１５０ｃの影響が現れず、またファンの送風量が大きすぎると、風速の影響を受けるおそれがあるので、床面(グレーティング１１５の面)からの高さは適宜の距離とする。当然、生産設備１５０ａ〜１５０ｃの稼動に影響する範囲には、設置できない。
【００２８】
この設置場所については、室１９０内に配置する生産設備１５０ａ〜１５０ｃの発熱状況を予め計測するか、または室１９０内の気流と温度をシミュレーションして、最適な位置とする。他の温度センサ３０ｂ〜３０ｎやパーティクルセンサ４０ｂ〜４０ｎの取り付けも同様である。
【００２９】
温度センサ１０ａ〜１０ｎ、３０ａ、３０ｂおよびパーティクルセンサ４０ａ〜４０ｎの出力は、制御装置１８０に入力されている。一方、制御装置１８０は、３方弁８０ａ、８０ｂやポンプ９０、ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎに制御指令を出力する。
【００３０】
このように構成した本実施例に示すクリーンルーム２００の制御方法を、図３に示したフローチャートを援用して説明する。室１９０内には、室１９０内に作業者が立ち入っているかいないかを感知する人感センサ１３０が、入口１６０に取り付けられている。人感センサ１３０は、たとえば赤外線センサや電磁センサである。また、ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎの消費動力を検出する電力検出手段１４０ａ〜１４０ｎが各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎに設けられており、各電力検出手段１４０ａ〜１４０ｎの出力は制御装置１８０に入力される。
【００３１】
クリーンルーム２００のＦＦＵ１０ａ〜１０ｎは、室１９０内を清浄に保つため連続運転されており、今適宜の回転数で運転されているものとする。クリーンルーム２００が例えば研究用の設備であって、就業時間帯は室１９０内に作業者が立ち入っている場合には、人感センサ１３０が室１９０内の作業者を検知する（ステップ３００）と、室１９０内の清浄度を維持するために、制御装置１８０は全ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎのファンを一旦最大回転数(１００％回転数)で運転するよう全ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎに指令する(ステップ３１０)。
【００３２】
一方夜間等の時間帯では、人感センサ１３０が室１９０内に作業者の立ち入りを検出しない。この場合は、パーティクルセンサ４０ａ〜４０ｎを用いて、所定時間間隔で室１９０内の各部の塵埃濃度を計測する。また、一旦最大回転数に設定されたＦＦＵ１０ａ〜１０ｎを運転して所定時間経過したら、所定時間間隔で室１９０内の各部の塵埃濃度をパーティクルセンサ４０ａ〜４０ｎを用いて計測する（ステップ３２０）。
【００３３】
予め図４(ａ)に示すような清浄度と風量の関係を求めておき、この関係から制御装置１８０は各パーティクルセンサ４０ａ〜４０ｎの出力に基づいて、要求される清浄度に対する各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎの許容最小運転回転数を演算する（ステップ３３０）。ここで、各バーティクルセンサ４０ａ〜４０ｎと各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎとは、１対１に対応しているものとする。人感センサ１３０が、室１９０内が無人であることを検知しているときは、各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎごとに演算された許容最小運転回転数を、各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎの設定第１運転回転数Ｎａ１〜Ｎｎ１に割り当てる（ステップ３５０）。
【００３４】
室１９０内に作業者が立ち入っていることを人感センサ１３０が検知しているときは、作業者は室１９０内を移動する可能性があるので、ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎについて演算された許容最小回転数の中で最大の回転数を各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎについての設定第１運転回転数Ｎａ１〜Ｎｎ１を割り当てる。この場合、すべてのＦＦＵ１０ａ〜１０ｎの設定第１運転回転数Ｎａ１〜Ｎｎ１は同一の回転数Ｎ１となる（ステップ３４０）。
【００３５】
次いで、各温度センサ２０ａ〜２０ｎを用いて、各領域Ａａ〜Ａｎの温度を計測する(ステップ３６０)。各温度センサ２０ａ〜２０ｎが測定した温度計測データから、制御装置１８０が室１９０内の熱負荷を演算する。また、許容最高温度となる全ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎの許容最小運転回転数を、図４(ｂ)に示すような予め求めた温度と風量の関係を用いて、演算する(ステップ３７０)。この図４（ｂ）で冷力１〜冷力３は、冷却コイル６０ａ、６０ｂの冷却能力をパラメータとすることを表している。
【００３６】
求めた熱負荷から、すべてのＦＦＵ１０ａ〜１０ｎの回転数を１００％回転数に設定しても、熱負荷が大きく許容最高温度を超える(ステップ３８０)ときは、３方弁８０ａ、８０ｂおよびポンプ９０を制御して冷却コイル６０ａ、６０ｂの冷力を増大させる(ステップ３９０)。その後、各温度センサ２０ａ〜２０ｎを用いて各領域Ａａ〜Ａｎの温度を再び計測し、全ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎの許容最小運転回転数を演算する。この反対に、冷却コイル６０ａ、６０ｂの冷力に大幅な余裕がある場合は、ポンプ９０および３方弁８０ａ、８０ｂを制御して冷力を低下させる（ステップ３９０）。
【００３７】
生産装置１５０a〜１５０ｃに比べて作業員の発熱は少ないものと想定されるので、作業員が室１９０内に居ても居なくても、室１９０内における温度分布の変化は少ない。この場合、各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎについて演算された１００％以下の回転数を、設定第２運転回転数Ｎａ２〜Ｎｎ２とする(ステップ４００)。
【００３８】
制御装置１８０は、求めた設定第１運転回転数Ｎａ１〜Ｎｎ１と設定第２運転回転数Ｎａ２〜Ｎｎ２を各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎについて比較し（ステップ４１０）、いずれか大きい方を指令回転数Ｎｄａ〜Ｎｄｎとして各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎに指令する(ステップ４２０〜４４０)。
【００３９】
本実施例では、クリーンルームが備えるＦＦＵの処理風量のみを増減させている。したがって、パーティクルセンサが検出した塵埃濃度が必要以上に小さい（即ち、必要以上に低清浄度である）場合、ＦＦＵのファンの回転数を減少させて、ＦＦＵの処理風量のみを減少させることができる。これにより、室内の温度を変えることなく、室内の清浄度を低下させることができ、クリーンルームのランニングコストを削減できる。
【００４０】
上記実施例では、各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎに対応して、パーティクルセンサ４０ａ〜４０ｎを設けているが、パーティクルセンサ４０ａ〜４０ｎを各ＦＦＵ１０ａ〜１０ｎに対応して設けることが困難な場合がある。その場合は、パーティクルセンサのデータを、ＦＦＵに応じて区画した領域に合うように補間して用いればよい。同様に温度計測点がＦＦＵの個数よりも少ないときには、ＦＦＵに応じて区画した領域に合うように温度データを補間して用いればよい。
【００４１】
また、冷却コイルの制御に使用する温度測定点をリターンシャフト内に設けたが、ＦＦＵの制御に用いる温度測定点を用いてもよい。この場合多数の測定点のデータを利用できるので、冷却コイル側の動力を低減できる可能性がある。さらに、上記実施例では、ＦＦＵの風量と温度や清浄度の相関からＦＦＵの回転数を制御しているが、必要な風量以上となる条件化で最小電力消費となるようにＦＦＵの回転数を制御してもよい。ＦＦＵの消費電力は、理論的には回転数の３乗に比例するから、回転数を低下させれば消費電力が減少する。ここのＦＦＵのファンの回転数の低下による節電量と冷却コイルの冷却能力の増大による電力量とを考慮して、最小電力消費になるようにすることが好ましい。
【００４２】
また、上記実施例ではＦＦＵの数をｎ個、生産設備の数を３個、冷却コイルの数を２個としているが、これらの数は例示的なものであって、記載した数に限るものではない。さらに、クリーンルーム内に室が複数個あっても同様に本発明を適用できることは言うまでもない。さらにまた、クリーンルーム内の温度分布に基づくＦＦＵの回転数制御では、温度センサの出力に基づいて各ＦＦＵを回転数制御しているが、この場合も人感センサと組み合わせて室内の作業者の有無を求め、作業者が居る場合には全ＦＦＵの回転数を同一にするようにしてもよい。また、予め作業パターンが決まっており、塵埃の発生が見込まれない領域については、ＦＦＵの回転速度を低下させるようにしてもよい。ただしこの場合、気流によりそのような領域に塵埃が運び込まれないことを確認する必要がある。
【符号の説明】
【００４３】
１０ａ〜１０ｎ…ＦＦＵ(ファンフィルタユニット)、２０ａ〜２０ｎ…温度センサ、３０ａ、３０ｂ…温度センサ、４０ａ〜４０ｎ…パーティクルセンサ、５０…リターンシャフト、６０ａ、６０ｂ…冷却コイル、７０…冷却水配管、８０ａ、８０ｂ…三方弁、９０…ポンプ、１００…熱交換器、１１０…天井チャンバ、１１５…グレーティング、１２０…床下チャンバ、１３０…人感センサ、１４０ａ〜１４０ｎ…電力検出手段、１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ…生産設備、１６０…入口、１８０…制御装置、１８０ａ…コンソール、１９０… 室（空間)、２００…クリーンルーム、Ａａ〜Ａｎ…領域、ｎ…ＦＦＵの配置個数、Ｎａ１〜Ｎｎ１…設定第１運転回転数（第１の許容最低速度）、Ｎａ２〜Ｎｎ２…設定第２運転回転数（第２の許容最低速度）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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