(57)【要約】【課題】アークの発生を抑制することが可能な接点開閉装置を提供する。【解決手段】第１の導電性液体からなる第１の可動接点５ａを収納する第１の収納室１０ａ、第１の収納室１０ａに連通し第１の可動接点５ａを変位可能とする第１のチャネル１１、第２の導電性液体からなる第２の可動接点５ｂを収納する第２の収納室１０ｂ、第２の収納室１０ｂに連通し第２の可動接点５ｂを変位可能とする第２のチャネル１２が形成されたケース１を備える。ケース１には、第１のチャネル１１の延長方向において互いに離れて配置され互いに抵抗値の異なる複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと、第２のチャネル１２に臨むように配置された第２の接点端子部６２とが設けられている。複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を強制的に遮断可能な導通遮断手段４が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の導電性液体からなる第１の可動接点を収納する第１の収納室、前記第１の収納室に連通し前記第１の可動接点を変位可能とする第１のチャネル、第２の導電性液体からなる第２の可動接点を収納する第２の収納室、前記第２の収納室に連通し前記第２の可動接点を変位可能とする第２のチャネルが形成されたケースと、前記第１の可動接点を前記第１のチャネル側へ変位させるための第１の駆動部と、前記第２の可動接点を前記第２のチャネル側へ変位させるための第２の駆動部とを備え、前記ケースは、前記第１のチャネルの延長方向において互いに離れて配置され互いに抵抗値の異なる複数の第１の接点端子部と、前記第２のチャネルに臨むように配置され複数の前記第１の接点端子部よりも抵抗値の低い第２の接点端子部とを有し、複数の前記第１の接点端子部および前記第２の接点端子部が並列的に接続されてなり、複数の前記第１の接点端子部と前記第１の可動接点との導通状態を強制的に遮断可能な導通遮断手段が設けられてなることを特徴とする接点開閉装置。
【請求項２】
前記導通遮断手段は、複数の前記第１の接点端子部のうち前記第１の収納室に最も近い前記第１の接点端子部と前記第１の収納室との間で前記第１のチャネルを塞ぐことにより前記導通状態を遮断するものであり、前記第１のチャネルを開放する第１の位置と前記第１のチャネルを塞ぐ第２の位置とで移動可能な遮断用ブロックと、前記遮断用ブロックを移動させる第３の駆動部とを有することを特徴とする請求項１記載の接点開閉装置。
【請求項３】
前記第２の駆動部が前記第３の駆動部を兼ねていることを特徴とする請求項２記載の接点開閉装置。
【請求項４】
前記導通遮断手段が、複数の前記第１の接点端子部のうち前記第１の収納室に最も近い前記第１の接点端子部と前記第１の収納室との間で前記第１のチャネルを塞ぐことにより前記導通状態を遮断するものであり、前記第１のチャネルを開放する第１の位置と前記第１のチャネルを塞ぐ第２の位置とで移動可能な遮断用ブロックを有し、前記第１の駆動部が、前記第１の収納室の容積を互いに異ならせる第３の位置と第４の位置との間で移動可能な第１の可動体を有するとともに、前記第２の駆動部が、前記第２の収納室の容積を互いに異ならせる第５の位置と第６の位置とで移動可能な第２の可動体を有し、前記第１の収納室と前記第２の収納室とが連通しており、第１の可動体と前記第２の可動体と前記遮断用ブロックとが一体化されてなることを特徴とする請求項１記載の接点開閉装置。
【請求項５】
前記第２のチャネル内において前記第２の収納室と前記第２の接点端子部との間に、前記第２の収納室から前記第２の接点端子部側へ向かう前記第２の可動接点の流量を抑制する抑制弁を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の接点開閉装置。
【請求項６】
前記第１のチャネルから分岐され前記第１のチャネルに連通した複数の第１のサブ収納室と、前記第２のチャネルから分岐され前記第２のチャネルに連通した第２のサブ収納室と、複数の前記第１のサブ収納室それぞれに収納され前記第１の接点端子部が電気的に接続された複数の第３の導電性液体と、前記第２のサブ収納室に収納され前記第２の接点端子部が電気的に接続された第４の導電性液体とを有し、前記第１の可動接点が複数の前記第３の導電性液体と接離可能であり、前記第２の可動接点が前記第４の導電性液体と接離可能であることを特徴とする請求項１記載の接点開閉装置。
【請求項７】
前記第１のサブ収納室は、前記第１のチャネルに近づくにつれて開口面積が徐々に小さくなる形状であり、前記第２のサブ収納室は、前記第２のチャネルに近づくにつれて開口面積が徐々に小さくなる形状であることを特徴とする請求項６記載の接点開閉装置。
【請求項８】
前記第１の導電性液体と前記第３の導電性液体とが同種の液体であり、前記第２の導電性液体と前記第４の導電性液体とが同種の液体であることを特徴とする請求項６または請求項７記載の接点開閉装置。
【請求項９】
前記第１の駆動部が、前記導通遮断手段を兼ねていることを特徴とする請求項１記載の接点開閉装置。
【請求項１０】
前記導通遮断手段は、前記第１のチャネルにおける前記第１の収納室側とは反対側で前記第１のチャネルに連通した第３の収納室と、前記第３の収納室に収納された非導電性の気体と、前記気体を前記第１のチャネル側へ変位させることによって前記第１のチャネル中の前記第１の可動接点を前記第１の収納室側へ移動させるための第４の駆動部とを有することを特徴とする請求項１記載の接点開閉装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接点開閉装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、第１の固体金属からなる固定接点と第２の固体金属からなる可動接点とで構成される接点部を備え、接点部を開閉することができる接点開閉装置が知られている。
【０００３】
この種の接点開閉装置では、接点部を閉成する場合、接点部を開成する場合のいずれにおいても、固定接点・可動接点間にアークが発生する恐れがある。例えば、接点部を閉成する場合には、図９（ａ）に示すように、可動接点が固定接点に最初に近づく際に生じるアーク（先行アーク）によるアーク電圧（図９（ａ）の“Ａ１”参照）や、接点バウンスに起因した間欠的なアークによるアーク電圧（図９（ａ）の“Ａ２”参照）が発生する。また、接点間を開成する場合には、図９（ｂ）に示すように、遮断アークによるアーク電圧（図９（ｂ）の“Ａ３”参照）が発生する。したがって、上述の接点開閉装置では、これらアークが原因で接点材料が溶融して、固定接点と可動接点とが溶着し、接点部を開成することができず遮断不能となる恐れがある。あるいは、これらアークが原因で固定接点と可動接点との一方が溶融あるいは蒸発して他方へ転移したり変形してしまう場合がある。この場合、固定接点に対する可動接点のオーバートラベル量が変化して固定接点と可動接点との接触抵抗が増大し、導通不良や動作不良の原因となる恐れがある。
【０００４】
これに対して、それぞれ固体金属からなる一対の固定接点間を導電性液体により開閉する接点開閉装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
ここで、特許文献１には、接点開閉装置として、例えば、図１０に示す構成のものが開示されている。図１０に示した構成の接点開閉装置は、導電性液体Ｌが収納されるとともに互いに対をなす固定接点１０５，１０６が露設される収納室１１０を有するケース１０１と、互いに対をなす固定接点１０５，１０６と導電性液体Ｌからなる可動接点とで構成される接点部が開閉されるように収納室１１０内の導電性液体Ｌを収納室１１０内で移動させるためのアクチュエータ１０８とを備えている。なお、図１０（ｂ）においてハッチングを施した部分は導電性液体Ｌを示している。
【０００６】
ケース１０１の収納室１１０は、導電性液体Ｌが収納される空洞部１１０ａと、空洞部１１０ａに連通し導電性液体Ｌの一部が移動自在に移動する流路となるチャネル１１０ｃとを有している。ここにおいて、ケース１０１は、互いに対をなす固定接点１０５，１０６がチャネル１１０ｃに臨むように配置されている。また、対をなす接点１０５，１０６は、チャネル１１０ｃの長さ方向に離間して配置されている。上述の接点開閉装置は、導電性液体Ｌが、水銀からなり、固定接点１０５，１０６が、導電性金属材料（例えば、半田など）からなるめっき層により構成されている。
【０００７】
上述のケース１０１は、シリコン基板からなる基板１０２とガラス基板からなる絶縁基板１０３とを接合することにより形成されており、基板１０２の厚み方向の一表面側に、空洞部１１０ａ用の凹所１０２ｂが形成されるとともにチャネル１１０ｃ用の溝部１０２ｇが形成されている。また、ケース１０１は、基板１０２の他表面側において凹所１０２ｂに対応する部位に、矩形状に開口された凹部１０２ａが形成されており、凹部１０２ａの底壁部（凹部１０２ａの内底面と凹所１０２ｂの内底面との間の部分）が、ダイアフラム部１０２ｃを構成している。また、ダイアフラム部１０２ｃの中央部には、上記他表面側へ突出する突部１０２ｄが一体に突設されており、突部１０２ｄの先端面がアクチュエータ１０８により押圧可能となっている。このアクチュエータ１０８は、圧電型アクチュエータであり、厚み方向の両側に設けられた一対の電極間に電圧を印加することにより、突部１０２ｄを押圧することができる。
【０００８】
以下、図１０に示す構成の接点開閉装置の動作について簡単に説明する。
【０００９】
まず、アクチュエータ１０８の一対の電極間に電圧が印加されていない状態では、ダイアフラム部１０２ｃが変形しておらず、導電性液体Ｌが一対の固定接点１０５，１０６のいずれにも接触しておらず、一対の固定接点１０５，１０６間が開放されている（つまり、接点部が開成されている）。
【００１０】
接点部が開成されている状態で、アクチュエータ１０８の一対の電極間に電圧を印加することでアクチュエータ１０８を変形させて突部１０２ｄを押圧すると、ダイアフラム部１０２ｃが変形して空洞部１１０ａ内の導電性液体Ｌがチャンネル１１０ｃに押し出される。すると、導電性液体Ｌを介して一対の固定接点１０５，１０６間が短絡される（つまり、接点部が閉成される）。
【００１１】
また、接点部が閉成されている状態で、アクチュエータ１０８の一対の電極間への電圧の印加を停止すると、アクチュエータ１０８によって変形させられていたダイアフラム部１０２ｃが元の状態に復帰し、空洞部１１０ａの容積が元に戻る。このとき、チャンネル１１０ｃの導電性液体Ｌが空洞部１１０ａに戻るので、一対の固定接点１０５，１０６間が開放される（つまり、接点部が開成される）。
【００１２】
上述の接点開閉装置では、対をなす固定接点１０５，１０６間を、導電性液体Ｌからなる可動接点により短絡したり開放したりしているので、固定接点１０５，１０６と可動接点である導電性液体Ｌとの間でアークが発生した場合でも固定接点１０５，１０６と可動接点とが溶着することがない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００８−１５９３２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、図１０に示した構成の接点開閉装置のように導電性液体Ｌを用いて接点部を開閉するものにおいても、アークが発生して、信頼性が低下してしまう懸念がある。
【００１５】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、アークの発生を抑制することが可能な接点開閉装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の接点開閉装置は、第１の導電性液体からなる第１の可動接点を収納する第１の収納室、前記第１の収納室に連通し前記第１の可動接点を変位可能とする第１のチャネル、第２の導電性液体からなる第２の可動接点を収納する第２の収納室、前記第２の収納室に連通し前記第２の可動接点を変位可能とする第２のチャネルが形成されたケースと、前記第１の可動接点を前記第１のチャネル側へ変位させるための第１の駆動部と、前記第２の可動接点を前記第２のチャネル側へ変位させるための第２の駆動部とを備え、前記ケースは、前記第１のチャネルの延長方向において互いに離れて配置され互いに抵抗値の異なる複数の第１の接点端子部と、前記第２のチャネルに臨むように配置され複数の前記第１の接点端子部よりも抵抗値の低い第２の接点端子部とを有し、複数の前記第１の接点端子部および前記第２の接点端子部が並列的に接続されてなり、複数の前記第１の接点端子部と前記第１の可動接点との導通状態を強制的に遮断可能な導通遮断手段が設けられてなることを特徴とする。
【００１７】
この接点開閉装置において、前記導通遮断手段は、複数の前記第１の接点端子部のうち前記第１の収納室に最も近い前記第１の接点端子部と前記第１の収納室との間で前記第１のチャネルを塞ぐことにより前記導通状態を遮断するものであり、前記第１のチャネルを開放する第１の位置と前記第１のチャネルを塞ぐ第２の位置とで移動可能な遮断用ブロックと、前記遮断用ブロックを移動させる第３の駆動部とを有することが好ましい。
【００１８】
この接点開閉装置において、前記第２の駆動部が前記第３の駆動部を兼ねていることが好ましい。
【００１９】
この接点開閉装置において、前記導通遮断手段が、複数の前記第１の接点端子部のうち前記第１の収納室に最も近い前記第１の接点端子部と前記第１の収納室との間で前記第１のチャネルを塞ぐことにより前記導通状態を遮断するものであり、前記第１のチャネルを開放する第１の位置と前記第１のチャネルを塞ぐ第２の位置とで移動可能な遮断用ブロックを有し、前記第１の駆動部が、前記第１の収納室の容積を互いに異ならせる第３の位置と第４の位置との間で移動可能な第１の可動体を有するとともに、前記第２の駆動部が、前記第２の収納室の容積を互いに異ならせる第５の位置と第６の位置とで移動可能な第２の可動体を有し、前記第１の収納室と前記第２の収納室とが連通しており、第１の可動体と前記第２の可動体と前記遮断用ブロックとが一体化されてなることが好ましい。
【００２０】
この接点開閉装置においては、前記第２のチャネル内において前記第２の収納室と前記第２の接点端子部との間に、前記第２の収納室から前記第２の接点端子部側へ向かう前記第２の可動接点の流量を抑制する抑制弁を有することが好ましい。
【００２１】
この接点開閉装置において、前記第１のチャネルから分岐され前記第１のチャネルに連通した複数の第１のサブ収納室と、前記第２のチャネルから分岐され前記第２のチャネルに連通した第２のサブ収納室と、複数の前記第１のサブ収納室それぞれに収納され前記第１の接点端子部が電気的に接続された複数の第３の導電性液体と、前記第２のサブ収納室に収納され前記第２の接点端子部が電気的に接続された第４の導電性液体とを有し、前記第１の可動接点が複数の前記第３の導電性液体と接離可能であり、前記第２の可動接点が前記第４の導電性液体と接離可能であることが好ましい。
【００２２】
この接点開閉装置において、前記第１のサブ収納室は、前記第１のチャネルに近づくにつれて開口面積が徐々に小さくなる形状であり、前記第２のサブ収納室は、前記第２のチャネルに近づくにつれて開口面積が徐々に小さくなる形状であることが好ましい。
【００２３】
この接点開閉装置において、前記第１の導電性液体と前記第３の導電性液体とが同種の液体であり、前記第２の導電性液体と前記第４の導電性液体とが同種の液体であることが好ましい。
【００２４】
この接点開閉装置において、前記第１の駆動部が、前記導通遮断手段を兼ねていることが好ましい。
【００２５】
この接点開閉装置において、前記導通遮断手段は、前記第１のチャネルにおける前記第１の収納室側とは反対側で前記第１のチャネルに連通した第３の収納室と、前記第３の収納室に収納された非導電性の気体と、前記気体を前記第１のチャネル側へ変位させることによって前記第１のチャネル中の前記第１の可動接点を前記第１の収納室側へ移動させるための第４の駆動部とを有することが好ましい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の接点開閉装置においては、アークの発生を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】実施形態１の接点開閉装置を示し、（ａ）は開成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図、（ｄ）は閉成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｅ）は（ｄ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｆ）は（ｄ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図である。
【図２】同上の接点開閉装置の等価回路図である。
【図３】実施形態２の接点開閉装置を示し、（ａ）は開成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図、（ｄ）は閉成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｅ）は（ｄ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｆ）は（ｄ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図である。
【図４】実施形態３の接点開閉装置を示し、（ａ）は開成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図、（ｄ）は閉成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｅ）は（ｄ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｆ）は（ｄ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図である。
【図５】実施形態４の接点開閉装置を示し、（ａ）は開成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図、（ｄ）は閉成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｅ）は（ｄ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｆ）は（ｄ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図である。
【図６】実施形態５の接点開閉装置を示し、（ａ）は開成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図、（ｄ）は閉成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｅ）は（ｄ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｆ）は（ｄ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図である。
【図７】実施形態６の接点開閉装置を示し、（ａ）は開成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図、（ｄ）は閉成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｅ）は（ｄ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｆ）は（ｄ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図である。
【図８】実施形態７の接点開閉装置を示し、（ａ）は開成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図、（ｄ）は閉成時の概略平面図に対応する動作説明図、（ｅ）は（ｄ）のＡ−Ｂ断面に対応する概略断面図、（ｆ）は（ｄ）のＣ−Ｄ断面に対応する概略断面図である。
【図９】従来例の接点開閉装置により発生するアークの説明図である。
【図１０】他の従来例の接点開閉装置を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略下面図、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ’概略断面図、（ｄ）は（ｂ）のＢ−Ｂ’概略断面図、（ｅ）は（ｂ）のＣ−Ｃ’概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
（実施形態１）
以下、本実施形態の接点開閉装置について図１を参照しながら説明する。
【００２９】
接点開閉装置は、第１の導電性液体からなる第１の可動接点５ａを収納する第１の収納室１０ａ、第１の収納室１０ａに連通し第１の可動接点５ａを変位可能とする第１のチャネル１１、第２の導電性液体からなる第２の可動接点５ｂを収納する第２の収納室１０ｂ、第２の収納室１０ｂに連通し第２の可動接点５ｂを変位可能とする第２のチャネル１２が形成されたケース１を備えている。
【００３０】
また、接点開閉装置は、第１の可動接点５ａを第１のチャネル１１側へ変位させるための第１の駆動部である第１のアクチュエータ（図示せず）と、第２の可動接点５ｂを第２のチャネル１２側へ変位させるための第２の駆動部である第２のアクチュエータ（図示せず）とを備えている。ここで、第１の可動接点５ａは、第１のチャネル１１の延長方向（長さ方向）に交差する液面の位置が変位する。また、第２の可動接点５ｂは、第２のチャネル１２の延長方向（長さ方向）に交差する液面の位置が変位する。なお、図１（ａ），（ｄ）では、第１の可動接点５ａおよび第２の可動接点５ｂを分かりやすくするために、第１の可動接点５ａおよび第２の可動接点５ｂの存在している領域に、左下がりのハッチングを施してある。
【００３１】
ケース１には、当該ケース１の外部から第１の収納室１０ａに第１の導電性液体を注入するための第１の注入孔（図示せず）が形成されており、上記第１の注入孔が第１の封止キャップ（図示せず）により閉塞されている。また、ケース１には、当該ケース１の外部から第２の収納室１０ｂに第２の導電性液体を注入するための第２の注入孔（図示せず）が形成されており、上記第２の注入孔が第２の封止キャップ（図示せず）により閉塞されている。各封止キャップの材料としては、ガラスを採用しているが、この材料は特に限定するものではない。
【００３２】
上述のケース１には、第１のチャネル１１の延長方向において互いに離れて配置され互いに抵抗値の異なる複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと、第２のチャネル１２に臨むように配置され複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃよりも抵抗値の低い第２の接点端子部６２とが設けられている。複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃは、第１のチャネル１１の延長方向において第１の収納室１０ａに近いものほど抵抗値が高いことが好ましい。
【００３３】
ところで、ケース１には、一対のパッド８１，８２が露出して設けられており、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃおよび第２の接点端子部６２が、配線（以下、第１の配線と称する）９１により一方のパッド（以下、第１のパッドと称する）８１に電気的に共通接続されており（つまり、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃおよび第２の接点端子部６２は、並列的に接続されており）、第１の可動接点５ａおよび第２の可動接点５ｂが、配線（以下、第２の配線と称する）９２により他方のパッド（以下、第２のパッドと称する）８２に電気的に接続されている。ここにおいて、各パッド８１，８２および各配線９１，９２の材料としては、例えば、銅、銀、アルミニウム、鋼などの純金属または合金などを採用すればよい。なお、各パッド８１，８２および各配線９１，９２は、例えば、めっき法、蒸着法、スパッタ法などによって形成すればよい。
【００３４】
第１の可動接点５ａを構成する第１の導電性液体および第２の可動接点５ｂを構成する第２の導電性液体は、常温で液体であり且つ導電性を有していればよく、水銀を採用しているが、これに限らず、例えば、ガリンスタン（登録商標）のようなガリウム・インジウム・スズ合金や、イオン液体などを採用してもよく、ガリウム・インジウム・スズ合金や、イオン液体を採用すれば、水銀を採用する場合に比べて、環境負荷を低減できる。また、第２の導電性液体は、第１の導電性液体と同じ組成のものが好ましいが、必ずしも同じ組成のものである必要はない。なお、ガリンスタン（登録商標）の組成は、ガリウム６８．５％、インジウム２１．５％、スズ１０％である。
【００３５】
ところで、接点開閉装置は、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃそれぞれがサブ固定接点を構成し、第２の接点端子部６２がメイン固定接点を構成しており、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を強制的に遮断可能な導通遮断手段４が設けられている。ここで、導通遮断手段４は、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃのうち第１の収納室１０ａに最も近い第１の接点端子部６１ａと第１の収納室１０ａとの間で第１のチャネル１１を塞ぐことにより導通状態を遮断するものである。
【００３６】
導通遮断手段４は、第１のチャネル１１を開放する第１の位置（図１（ａ）の位置）と第１のチャネル１１を塞ぐ第２の位置（図１（ｄ）の位置）とで移動可能な遮断用ブロック４１と、遮断用ブロック４１を移動させる第３の駆動部である駆動装置４２とを有している。ここで、ケース１には、遮断用ブロック４１を移動自在に保持するブロック用通路１４が形成されている。本実施形態の接点開閉装置では、遮断用ブロック４１が、角柱状に形成されており、ブロック用通路１４が、第１のチャネル１１に交差するように形成されている。ここにおいて、遮断用ブロック４１は、電気絶縁性を有し且つ第１の導電性液体の濡れ性の低い樹脂などにより形成することが好ましい。
【００３７】
上述のケース１は、厚み方向の一表面に第１の収納室１０ａを形成するための第１の凹所２０ａ、第２の収納室１０ｂを形成するための第２の凹所２０ｂ、第１のチャネル１１を形成するための第１の溝部１１ａ、第２のチャネル１２を形成するための第２の溝部１２ａ、ブロック用通路１４を形成するための第３の溝部１４ａが形成された矩形板状の本体部２と、本体部２の上記一面側に接合された矩形板状の蓋部３とで構成されている。
【００３８】
ここにおいて、ケース１は、第１の凹所２０ａの内面と蓋部３とで囲まれた空間が第１の収納室１０ａとなり、第２の凹所２０ｂと蓋部３とで囲まれた空間が第２の収納室１０ｂとなる。また、ケース１は、第１の溝部１１ａと蓋部３とで囲まれた空間が第１のチャネル１１となり、第２の溝部１２ａと蓋部３とで囲まれた空間が第２のチャネル１２となり、第３の溝部１４ａと蓋部３とで囲まれた空間がブロック用通路１４となる。第１凹所２０ａ、第２の凹所２０ｂ、第１の溝部１１ａ、第２の溝部１２ａ、第３の溝部１４ａは、本体部２に設ける例に限らず、本体部２と蓋部３とを接合することにより第１の収納室１０ａ、第２の収納室１０ｂ、第１のチャネル１１、第２のチャネル１２、ブロック用通路１４が形成されればよく、例えば、蓋部３に設けるようにしてもよい。なお、本体部２および蓋部３は、外周形状が矩形状であり、同じ外周形状としてあるが、必ずしも同じ外周形状でなくてもよい。
【００３９】
第１の凹所２０ａおよび第２の凹所２０ｂは、矩形状に開口されているが、第１の凹所２０ａおよび第２の凹所２０ｂの開口形状は、矩形状に限らず、例えば、円形状や六角形状、菱形状などもよい。
【００４０】
また、ケース１は、第１のチャネル１１の長さ方向に直交する第１のチャネル１１の断面積（この断面積は、第１の溝部１１ａの深さ寸法と幅寸法とにより決まる）からなる第１の流路断面積が、当該長さ方向に直交する第１の収納室１０ａの断面積よりも小さくなっている。また、ケース１は、第２のチャネル１２の長さ方向に直交する第２のチャネル１２の断面積（この断面積は、第２の溝部１２ａの深さ寸法と幅寸法とにより決まる）からなる第２の流路断面積が、当該長さ方向に直交する第２の収納室１０ｂの断面積よりも小さくなっている。
【００４１】
ところで、ケース１は、本体部２が、第１の半導体基板（シリコン基板）からなる第１の基板２０を用いて形成されるとともに、蓋部３が、第２の半導体基板からなる第２の基板３０を用いて形成してある。本体部２と蓋部３とは、表面活性化接合法により接合してあるが、接合方法は特に限定するものではなく、気密的な接合が可能な接合方法であればよい。なお、本体部２と蓋部３との接合方法は、本体部２および蓋部３それぞれの材料に応じて適宜の接合方法を採用すればよく、表面活性化接合方法に限らず、例えば、陽極接合法、共晶接合法、樹脂接合法など種々の周知の接合方法から適宜選択すればよい。ここにおいて、本体部２および蓋部３の材料としては、半導体に限らず、例えば、樹脂、ガラス、セラミックスなどを採用してもよい。
【００４２】
第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃは、本体部２の基礎となる第１の基板２０における第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃそれぞれの形成予定領域に、適宜の不純物（例えば、Ｂ、Ｐ、Ａｓなど）をイオン注入して拡散させることにより形成された不純物拡散層により構成してあり、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃごとに不純物拡散層の不純物濃度を異ならせることにより抵抗値を異ならせてある。なお、第１の基板２０と不純物拡散層とで導電形が異なるように不純物拡散層の不純物を選択する。また、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃは、不純物拡散層により構成する例に限らず、例えば、第１の導電性液体との濡れ性の良い固体金属からなる金属部により構成してもよい。
【００４３】
第２の接点端子部６２は、第１の基板２０の第２の溝部１２ａに臨むように形成された貫通配線により構成されている。
【００４４】
蓋部３は、第２の基板３０における本体部２側の一表面側とは反対の他表面に、上述の一対のパッド８１，８２が形成されている。
【００４５】
また、蓋部３には、本体部２の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃそれぞれに電気的に接続される貫通配線９１ａ，９１ｂ，９１ｃが形成されるとともに、これら貫通配線９１ａ，９１ｂ，９１ｃおよび第２の接点端子部６２が、上述の第１の配線９１を介して第１のパッド８１と電気的に接続されている。
【００４６】
また、蓋部３は、第１の基板２０の第１の凹所２０ａに臨むように形成され第１の可動接点５ａに電気的に接続される貫通配線からなる第３の接点端子部９２ａと、第１の基板２０の第２の凹所２０ｂに臨むように形成され第２の可動接点５ｂに電気的に接続される貫通配線からなる第４の接点端子部９２ｂとを有しており、第３の接点端子部９２ａおよび第４の接点端子部９２ｂが、上述の第２の配線９２を介して第２のパッド８２と電気的に接続されている。
【００４７】
また、蓋部３は、第１の凹所２０ａ、第２の凹所２０ｂそれぞれに対応する各部位に、他の部位よりも薄肉に形成された第１のダイアフラム部（図示せず）、第２のダイアフラム部（図示せず）が形成されている。ここで、本実施形態の接点開閉装置では、上記第１のダイアフラム部を上記第１のアクチュエータにより押圧可能とし、上記第２のダイアフラム部を上記第２のアクチュエータにより押圧可能としてある。なお、接点開閉装置は、上記各アクチュエータが上記各ダイアフラム部を直接、押圧するようにしてもよいし、上記ダイアフラム部それぞれに突部（図示せず）を設けて、上記各アクチュエータが上記各突部を押圧することで上記ダイアフラム部を間接的に押圧するようにしてもよい。
【００４８】
上記各アクチュエータは、圧電素子を用いた圧電型アクチュエータであり、厚み方向の両側に設けられた一対の電極間に電圧を印加することにより、上記各ダイアフラム部を押圧することができる。
【００４９】
ここで、上記第１のアクチュエータの一対の電極間に電圧を印加すると、上記第１のアクチュエータにより上記第１のダイアフラム部が押圧され、上記第１のダイアフラム部が第１の収納室１０ａの容積を減少させるように撓む。これに対し、上記第１のアクチュエータの一対の電極間への電圧の印加を停止すると、上記第１のダイアフラム部は元の形に復元する。同様に、上記第２のアクチュエータの一対の電極間に電圧を印加すると、上記第２のアクチュエータにより上記第２のダイアフラム部が押圧され、上記第２のダイアフラム部が第２の収納室１０ｂの容積を減少させるように撓む。これに対し、上記第２のアクチュエータの一対の電極間への電圧の印加を停止すると、上記第２のダイアフラム部は元の形に復元する。なお、上記各アクチュエータは、圧電型アクチュエータに限らず、例えば、静電型アクチュエータや熱型アクチュエータなどでもよい。
【００５０】
本実施形態の接点開閉装置では、メイン固定接点である第２の接点端子部６２と第２の可動接点５ｂとで、メイン接点５２（図２参照）を構成し、サブ固定接点である第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとで、サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃ（図２参照）を構成している。
【００５１】
しかして、接点開閉装置の一対のパッド８１，８２間に、直流電圧源からなる電源１００と負荷２００との直列回路を接続した例の等価回路図は、図２に示すようになる。すなわち、接点開閉装置は、電源１００から負荷２００への給電路に設けられるメイン接点５２と、複数のサブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃの並列回路とを備え、当該並列回路が導通遮断手段４を介してメイン接点５２の両端間に接続されている。本実施形態の接点開閉装置における上記各アクチュエータおよび駆動装置４２の動作は、例えば、マイクロコンピュータなどからなる制御装置（図示せず）により制御される。
【００５２】
本実施形態の接点開閉装置の動作について説明する。
【００５３】
上記各アクチュエータそれぞれの一対の電極間に電圧が印加されていない第１の状態では、上記各ダイアフラム部が変形しておらず、図１（ａ），（ｂ）に示すように、第１の可動接点５ａの全部が第１の収納室１０ａに収納されるとともに、第２の可動接点５ｂの全部が第２の収納室１０ｂに収納されている。したがって、第１の状態では、第１の可動接点５ａが第１のチャネル１１へ移動しておらず各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが開成され、且つ、第２の可動接点５ｂが第２のチャネル１２へ移動しておらずメイン接点５２が開成されている。なお、第１の状態では、遮断用ブロック４１は、第１のチャネル１１を開放する第１の位置（図１（ａ）の位置）にある。第１の状態が、接点開閉装置のオフ状態である。
【００５４】
まず、接点開閉装置をオフ状態からオン状態へ変化させる場合の動作について説明する。
【００５５】
第１の状態において、上記第１のアクチュエータの一対の電極間に電圧が印加されると、上記第１のアクチュエータにより上記第１のダイアフラム部が押圧され上記第１のダイアフラム部が変形して、第１の収納室１０ａの容積が減少し、第１の収納室１０ａ内の第１の可動接点５ａが第１のチャネル１１に押し出される。すると、第１のチャネル１１内を移動する第１の可動接点５ａが、第１の接点端子部６１ａ、第１の接点端子部６１ｂ、第１の接点端子部６１ｃの順に接触導通し、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが閉成された第２の状態となる。
【００５６】
第２の状態において、上記第２のアクチュエータの一対の電極間に電圧が印加されると、上記第２のアクチュエータにより上記第２のダイアフラム部が押圧され上記ダイアフラム部が変形して、第２の収納室１０ｂの容積が減少し、第２の収納室１０ｂ内の第２の可動接点５ｂが第２のチャネル１２に押し出される。すると、第２のチャネル１２内を移動した第２の可動接点５ｂが、第２の接点端子部６２に接触導通し、メイン接点５２が閉成された第３の状態となる。
【００５７】
そして、第３の状態において、駆動装置４２が、遮断用ブロック４１を、第１のチャネル１１を塞ぐ第２の位置（図１（ｄ）の位置）に移動させると、第１の可動接点５ａを構成する第１の導電性液体が分断され、メイン接点５２は閉成されたままで各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃのみが開成された第４の状態となる。この第４の状態が、接点開閉装置のオン状態である。
【００５８】
次に、接点開閉装置をオン状態からオフ状態へ変化させる場合の動作について説明する。
【００５９】
第４の状態において、駆動装置４２が、遮断用ブロック４１を、第１のチャネル１１を開放する第１の位置（図１（ａ）の位置）に移動させると、遮断用ブロック４１により分断されていた第１の導電性液体どうしが接することにより、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが閉成された第５の状態となる。
【００６０】
そして、第５の状態において、上記第２のアクチュエータの一対の電極間への電圧の印加を停止すると、上記第２のダイアフラム部が元の状態に復帰し、第２の収納室１０ｂの容積が増加する（元に戻る）。この際、第２の可動接点５ｂのうち第２のチャネル１２に移動していた分が第２の収納室１０ｂへ戻るので、メイン接点５２が開成された第６の状態となる。
【００６１】
そして、第６の状態において、上記第１のアクチュエータの一対の電極間への電圧の印加を停止すると、上記第１のダイアフラム部が元の状態に復帰し、第１の収納室１０ａの容積が増加する（元に戻る）。この際、第１の可動接点５ａのうち第１のチャネル１１に移動していた分が第１の収納室１０ａへ戻るので、メイン接点５２だけでなく各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃも開成されたが第７の状態となる。ここにおいて、第１の可動接点５ａは、まず第１の接点端子部６１ｃから離れ、続いて、第１の接点端子部６１ｂから離れ、続いて、第１の接点端子部６１ａから離れる。第７の状態が、接点開閉装置のオフ状態である。
【００６２】
以上説明した本実施形態の接点開閉装置では、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとで構成されるサブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃにおける第１の可動接点５ａを第１の導電性液体により構成してあり、第２の接点端子部６２と第２の可動接点５ｂとで構成されるメイン接点５２における第２の可動接点５ｂを第２の導電性液体により構成してあるので、サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃおよびメイン接点５２それぞれで溶着が発生するのを防止することが可能となる。
【００６３】
しかも、本実施形態の接点開閉装置では、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃおよび第２の接点端子部６２が並列的に接続されており、一対のパッド８１，８２間の電路を短絡する際（オフ状態からオン状態に移行させる際）には、第１の可動接点５ａを、最も抵抗値の高い第１の接点端子部６１ａ、２番目に抵抗値の高い第１の接点端子部６１ｂ、３番目に抵抗値の高い第１の接点端子部６１、最も抵抗値の低い第２の接点端子部６２の順に接触導通させ、続いて、第２の可動接点５ｂを各第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃよりも抵抗値の低い第２の接点端子部６２に接触導通させることが可能となるので、一対のパッド８１，８２間に流れる電流を徐々に増加させることが可能となる。しかして、本実施形態の接点開閉装置では、最も抵抗値の高い第１の接点端子部６１ａに接触する際において流れる電流をアークが発生しない程度の電流値まで限流することが可能となり、アークの発生を抑制することが可能となる。
【００６４】
さらに、本実施形態の接点開閉装置では、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を強制的に遮断可能な導通遮断手段４が設けられているので、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃに貫通配線９１ａ，９１ｂ，１９ｃを介して接続された配線９１と、当該接点開閉装置の近くに配置される他の電子部品の低電位部（アースなど）とが干渉することで短絡が発生するのを防止することが可能となる。
【００６５】
また、本実施形態の接点開閉装置においては、導通遮断手段４が、複数の前記第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃのうち第１の収納室１０ａに最も近い第１の接点端子部６１ａと第１の収納室１０ｂとの間で第１のチャネル１１を塞ぐことにより導通状態を遮断するものであり、第１のチャネル１１を開放する第１の位置と第１のチャネル１１を塞ぐ第２の位置とで移動可能な遮断用ブロック４１と、遮断用ブロック４１を移動させる第３の駆動部である駆動装置４２とを有しているので、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を、遮断用ブロック４１によって、より確実に遮断することが可能となる。
【００６６】
また、本実施形態の接点開閉装置では、一対のパッド８１，８２間の電路を開放する際（オン状態からオフ状態に移行させる際）には、まず、メイン接点５２を開成させた後、第１の可動接点５ａが第１の収納室１０ａに戻るのにともなって、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃのうち最も抵抗値の低い第１の接点端子部６１ｃ、２番目に抵抗値の高い第１の接点端子部６１ｂ、最も抵抗値の高い第１の接点端子部６１ａの順に、第１の可動接点５ａが離れるので、接触抵抗が徐々に大きくなるから、一対のパッド８１，８２間に流れる電流を徐々に限流することができる。このため、第１の可動接点５ａが最も抵抗値の高い第１の接点端子部６１ａから完全に離れる前において流れる電流をアークが発生しない程度の電流値まで限流することが可能となり、アークの発生を抑制することが可能となる。
【００６７】
（実施形態２）
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は実施形態１と略同じであり、図３に示すように、第２の駆動部が、第２の収納室１０ｂの容積を互いに異ならせる第３の位置（図３（ａ）の位置）と第４の位置（図３（ｄ）の位置）との間で移動可能な可動体７０ｂを有し、可動体７０ｂと遮断用ブロック４１とが一体化されている点などが相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００６８】
本実施形態では、第２の可動接点５ｂを第２のチャネル１２側へ変位させるための第２の駆動部を、上述の可動体７０ｂと、可動体７０ｂを変位させる駆動装置７２とで構成してあり、駆動装置７２が、遮断用ブロック４１を移動させる第３の駆動部を兼ねている。ここにおいて、ケース１の本体部２には、可動体７０ｂを移動可能とするための第３の凹所２０ｄが形成されている。なお、第３の凹所２０ｄは、第２の凹所２０ｂと連通している。また、本実施形態では、遮断用ブロック４１と駆動装置７２とで、導通遮断手段４を構成している。
【００６９】
本実施形態の接点開閉装置における第１のアクチュエータおよび駆動装置７２の動作は、例えば、マイクロコンピュータなどからなる制御装置（図示せず）により制御される。
【００７０】
可動体７０ｂおよび遮断用ブロック４１は、電気絶縁性を有し且つ第１の導電性液体の濡れ性の低い樹脂などにより形成することが好ましい。
【００７１】
以下、本実施形態の接点開閉装置の動作について説明する。
【００７２】
実施形態１にて説明した第１のアクチュエータの一対の電極間に電圧が印加されておらず、且つ、可動体７０ｂが第２の収納室１０ｂの容積を減少させていない第３の位置（図３（ａ）の位置）にある第１の状態では、第１の可動接点５ａの全部が第１の収納室１０ａに収納されるとともに、第２の可動接点５ｂの全部が第２の収納室１０ｂに収納されている。したがって、第１の状態では、第１の可動接点５ａが第１のチャネル１１へ移動しておらず各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが開成され、且つ、第２の可動接点５ｂが第２のチャネル１２へ移動しておらずメイン接点５２が開成されている。なお、第１の状態では、遮断用ブロック４１は、第１のチャネル１１を開放する第１の位置にある。第１の状態が、接点開閉装置のオフ状態である。
【００７３】
まず、接点開閉装置をオフ状態からオン状態へ変化させる場合の動作について説明する。
【００７４】
第１の状態において、上記第１のアクチュエータの一対の電極間に電圧が印加されると、上記第１のアクチュエータにより上記第１のダイアフラム部が押圧され上記第１のダイアフラム部が変形して、第１の収納室１０ａの容積が減少し、第１の収納室１０ａ内の第１の可動接点５ａが第１のチャネル１１に押し出される。すると、第１のチャネル１１内を移動する第１の可動接点５ａが、第１の接点端子部６１ａ、第１の接点端子部６１ｂ、第１の接点端子部６１ｃの順に接触導通し、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが閉成された第２の状態となる。
【００７５】
第２の状態において、駆動装置７２によって、可動体７０ｂを第２の収納室１０ｂ側の第４の位置（図３（ｄ）の位置）へ移動させると、第２の収納室１０ｂの容積が減少し、第２の収納室１０ｂ内の第２の可動接点５ｂが第２のチャネル１２に押し出される。すると、第２のチャネル１２内を移動した第２の可動接点５ｂが、第２の接点端子部６２に接触導通し、メイン接点５２が閉成された第３の状態となる。ここで、可動体７０ｂの移動に伴い遮断用ブロック４１が第１のチャネル１１を塞ぐ第２の位置に移動するので、第１の可動接点５ａを構成する第１の導電性液体が分断される。ただし、メイン接点５２が閉成された後に、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが開成されるように、遮断用ブロック４１のサイズ、第１の位置と第２の位置との距離、第２の収納室１０ｂと第２の接点端子部６２との間の距離などを設計してある。したがって、第３の状態では、メイン接点５２が閉成され、且つ、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが開成されている。この第３の状態が、接点開閉装置のオン状態である。
【００７６】
次に、接点開閉装置をオン状態からオフ状態へ変化させる場合の動作について説明する。
【００７７】
第３の状態において、駆動装置７２が、第２の収納室１０ｂの容積が増加するように可動体７０ｂを第３の位置に移動させると、遮断用ブロック４１が第１のチャネル１１を開放し、遮断用ブロック４１により分断されていた第１の導電性液体どうしが接することにより、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが閉成され、また、第２の可動接点５ｂのうち第２のチャネル１２に移動していた分が第２の収納室１０ｂへ戻るので、メイン接点５２が開成された第４の状態となる。
【００７８】
そして、第４の状態において、上記第１のアクチュエータの一対の電極間への電圧の印加を停止すると、上記第１のダイアフラム部が元の状態に復帰し、第１の収納室１０ａの容積が増加する（元に戻る）。この際、第１の可動接点５ａのうち第１のチャネル１１に移動していた分が第１の収納室１０ａへ戻るので、メイン接点５２だけでなく各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃも開成されたが第５の状態となる。ここにおいて、第１の可動接点５ａは、まず第１の接点端子部６１ｃから離れ、続いて、第１の接点端子部６１ｂから離れ、続いて、第１の接点端子部６１ａから離れる。第５の状態が、接点開閉装置のオフ状態である。
【００７９】
以上説明した本実施形態の接点開閉装置では、実施形態１と同様、サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃおよびメイン接点５２それぞれで溶着が発生するのを防止することが可能となるとともに、アークの発生を抑制することが可能となる。
【００８０】
また、本実施形態の接点開閉装置では、実施形態１と同様、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を強制的に遮断可能な導通遮断手段４が設けられているので、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃに貫通配線９１ａ，９１ｂ，１９ｃを介して接続された配線９１と、当該接点開閉装置の近くに配置される他の電子部品の低電位部（アースなど）とが干渉することで短絡が発生するのを防止することが可能となる。
【００８１】
また、本実施形態の接点開閉装置においては、導通遮断手段４が、複数の前記第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃのうち第１の収納室１０ａに最も近い第１の接点端子部６１ａと第１の収納室１０ａとの間で第１のチャネル１１を塞ぐことにより導通状態を遮断するものであり、第１のチャネル１１を開放する第１の位置と第１のチャネル１１を塞ぐ第２の位置とで移動可能な遮断用ブロック４１と、遮断用ブロック４１を移動させる第３の駆動部である駆動装置７２とを有しているので、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を、遮断用ブロック４１によって、より確実に遮断することが可能となる。
【００８２】
また、本実施形態の接点開閉装置では、第２の可動接点５ｂを第２のチャネル１２側へ変位させるための第２の駆動部を、上述の可動体７０ｂと、可動体７０ｂを変位させる駆動装置７２とで構成してあり、駆動装置７２が、遮断用ブロック４１を移動させる第３の駆動部を兼ねているので、実施形態１のように第２の駆動部と第３の駆動部とが別々に形成されている場合に比べて、制御装置を簡略化することが可能となる。
【００８３】
（実施形態３）
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は実施形態１と略同じであり、図４に示すように、第１の駆動部が、第１の収納室１０ａの容積を互いに異ならせる第３の位置（図４（ａ）の位置）と第４の位置（図４（ｄ）の位置）との間で移動可能な第１の可動体７０ａを有するとともに、第２の駆動部が、第２の収納室１０ｂの容積を互いに異ならせる第５の位置（図４（ａ）の位置）と第６の位置（図４（ｄ）の位置）との間で移動可能な第２の可動体７０ｂを有している点などが相違する。また、本実施形態の接点開閉装置では、第１の収納室１０ａと第２の収納室１０ｂとが連通しており、第１の可動体７０ａと第２の可動体７０ｂと遮断用ブロック４１とが一体化されている点も相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００８４】
本実施形態では、第１の駆動部を第１の可動体７０ａと当該第１の可動体７０ａを移動させる駆動装置７１とで構成するとともに、第２の駆動部を第２の可動体７０ｂと当該第２の可動体７０ｂを移動させる駆動装置７１とで構成してあり、第１の駆動部と第２の駆動部とで１つの駆動装置７１を用いている。また、この駆動装置７１は、遮断用ブロック４１を移動させる第３の駆動部を兼ねている。ここにおいて、ケース１の本体部２には、第１の可動体７０ａを移動可能とするための第３の凹所２０ｅが形成され、第２の可動体７０ｂを移動可能とするための第４の凹所２０ｄが形成されている。なお、第３の凹所２０ｅは、第１の凹所２０ａと連通しており、第４の凹所２０ｄは、第２の凹所２０ｂと連通している。また、第１の凹所２０ａと第２の凹所２０ｂと第３の凹所２０ｅと第４の凹所２０ｄとは連通している。また、本実施形態では、遮断用ブロック４１と駆動装置７１とで、導通遮断手段４を構成している。
【００８５】
本実施形態の接点開閉装置における駆動装置７２の動作は、例えば、マイクロコンピュータなどからなる制御装置（図示せず）により制御される。
【００８６】
第１の可動体７０ａ、第２の可動体７０ｂおよび遮断用ブロック４１は、電気絶縁性を有し且つ第１の導電性液体の濡れ性の低い樹脂などにより形成することが好ましい。
【００８７】
以下、本実施形態の接点開閉装置の動作について説明する。
【００８８】
第１の可動体７０ａが第１の収納室１０ａの容積を減少させていない第３の位置（図４（ａ）の位置）にあり、且つ、第２の可動体７０ｂが第２の収納室１０ｂの容積を減少させていない第５の位置（図４（ａ）の位置）にある第１の状態では、第１の可動接点５ａの全部が第１の収納室１０ａに収納されるとともに、第２の可動接点５ｂの全部が第２の収納室１０ｂに収納されている。したがって、第１の状態では、第１の可動接点５ａが第１のチャネル１１へ移動しておらず各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが開成され、且つ、第２の可動接点５ｂが第２のチャネル１２へ移動しておらずメイン接点５２が開成されている。なお、第１の状態では、遮断用ブロック４１は、第１のチャネル１１を開放する第１の位置にある。第１の状態が、接点開閉装置のオフ状態である。
【００８９】
まず、接点開閉装置をオフ状態からオン状態へ変化させる場合の動作について説明する。
【００９０】
第１の状態において、駆動装置７１により第１の可動体７０ａおよび第２の可動体７０ｂがそれぞれ第４の位置、第５の位置へ移動させると、第１の収納室１０ａの容積が減少して第１の収納室１０ａ内の第１の可動接点５ａが第１のチャネル１１に押し出されるとともに、第２の収納室１０ｂ内の第２の可動接点５ｂが第２のチャネル１２に押し出される。すると、まず、第１のチャネル１１内を移動する第１の可動接点５ａが、第１の接点端子部６１ａ、第１の接点端子部６１ｂ、第１の接点端子部６１ｃの順に接触導通し、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが閉成された第２の状態となる。続いて、第２の可動接点５ｂが、第２の接点端子部６２に接触導通し、メイン接点５２が閉成された第３の状態となる。続いて、遮断用ブロック４１が第１のチャネル１１を塞ぐ第２の位置に移動するし、第１の可動接点５ａを構成する第１の導電性液体が分断された第４の状態となる。したがって、第４の状態では、メイン接点５２が閉成され、且つ、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが開成されている。この第４の状態が、接点開閉装置のオン状態である。ただし、第１の状態〜第４の状態への移行が上述のように行われるように、第１のチャネル１１の流路断面積、第２のチャネル１２の流路断面積、第１のチャネル１１に沿った方向における第１の収納室１０ａと第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃとの間の距離、第２のチャネル１２に沿った方向における第２の収納室１０ｂと第２の接点端子部６２との間の距離、遮断用ブロック４１のサイズ、第１の位置と第２の位置との距離などを設計してある。なお、第１のチャネル１１の流路断面積よりも第２のチャネル１２の流路断面積を大きくし、第１のチャネル１１の長さよりも第２のチャネル１２の長さを長くしてある。
【００９１】
次に、接点開閉装置をオン状態からオフ状態へ変化させる場合の動作について説明する。
【００９２】
第４の状態において、駆動装置７１が、第１の収納室１０ａの容積が増加するように第１の可動体７０ａを第３の位置に移動させるとともに第２の収納室１０ｂの容積が増加するように第２の可動体７０ｂを第５の位置に移動させると、遮断用ブロック４１が第１のチャネル１１を開放し、遮断用ブロック４１により分断されていた第１の導電性液体どうしが接することにより、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが閉成され、また、第２の可動接点５ｂのうち第２のチャネル１２に移動していた分が第２の収納室１０ｂへ戻るので、メイン接点５２が開成された第５の状態となる。そして、第１の可動接点５ａのうち第１のチャネル１１に移動していた分が第１の収納室１０ａへ戻るので、メイン接点５２だけでなく各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃも開成されたが第６の状態となる。ここにおいて、第１の可動接点５ａは、まず第１の接点端子部６１ｃから離れ、続いて、第１の接点端子部６１ｂから離れ、続いて、第１の接点端子部６１ａから離れる。第６の状態が、接点開閉装置のオフ状態である。
【００９３】
以上説明した本実施形態の接点開閉装置では、実施形態１と同様、サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃおよびメイン接点５２それぞれで溶着が発生するのを防止することが可能となるとともに、アークの発生を抑制することが可能となる。
【００９４】
また、本実施形態の接点開閉装置では、実施形態１と同様、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を強制的に遮断可能な導通遮断手段４が設けられているので、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃに貫通配線９１ａ，９１ｂ，１９ｃを介して接続された配線９１と、当該接点開閉装置の近くに配置される他の電子部品の低電位部（アースなど）とが干渉することで短絡が発生するのを防止することが可能となる。
【００９５】
また、本実施形態の接点開閉装置においては、導通遮断手段４が、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃのうち第１の収納室１０ａに最も近い第１の接点端子部６１ａと第１の収納室１０ｂとの間で第１のチャネル１１を塞ぐことにより導通状態を遮断するものであり、第１のチャネル１１を開放する第１の位置と第１のチャネル１１を塞ぐ第２の位置とで移動可能な遮断用ブロック４１と、遮断用ブロック４１を移動させる第３の駆動部である駆動装置７２とを有しているので、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を、遮断用ブロック４１によって、より確実に遮断することが可能となる。
【００９６】
また、本実施形態の接点開閉装置では、第１の可動体７０ａと第２の可動体７０ｂと遮断用ブロック４１とを１つの駆動装置７２により移動させるので、実施形態１のように第１の駆動部と第２の駆動部と第３の駆動部とを別々に駆動する場合に比べて、制御装置を簡略化することが可能となる。
【００９７】
（実施形態４）
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は実施形態３と略同じであり、図５に示すように、第２のチャネル１２内において第２の収納室１０ｂと第２の接点端子部６２との間に、第２の収納室１０ｂから第２の接点端子部６２側へ向かう第２の可動接点５ｂの流量を抑制する抑制弁１３を有する点が相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００９８】
抑制弁１３は、第１の基板２０を加工することにより、第１の基板２０の一部により構成してある。要するに、抑制弁１３は、本体部２に一体に設けられている。
【００９９】
しかして、本実施形態の接点開閉装置では、第２のチャネル１２内に抑制弁１３を有することにより、実施形態３に比べて、第２のチャネル１２の長さを短くすることが可能となり、ケース１の小型化を図れる。
【０１００】
（実施形態５）
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は実施形態１と略同じであり、図６に示すように、ケース１が、第１のチャネル１１から分岐され第１のチャネル１１に連通した３つの第１のサブ収納室１５，１５，１５と、第２のチャネル１２から分岐され第２のチャネル１２に連通した第２のサブ収納室１６とを有している点などが相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【０１０１】
３つの第１のサブ収納室１５，１５，１５は、第１のチャネル１１の延長方向において互いに離れた位置で第１のチャネル１１から分岐されている。
【０１０２】
また、ケース１は、３つの第１のサブ収納室１５，１５，１５それぞれに臨んで第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃが形成され、第２のサブ収納室１６に臨んで第２の接点端子部６２が形成されている。
【０１０３】
なお、第１のサブ収納室１５，１５，１５および第２のサブ収納室１６は、第１の収納室１０ａおよび第２の収納室１０ｂと同様に形成されている。
【０１０４】
本実施形態の接点開閉装置は、複数の第１のサブ収納室１５，１５，１５それぞれに収納され第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃが電気的に接続された複数の第３の導電性液体８ａ，８ａ，８ａを有しており、第１の可動接点５ａが複数の第３の導電性液体８ａ，８ａ，８ａと接離可能となっている。また、本実施形態の接点開閉装置は、第２のサブ収納室１６に収納され第２の接点端子部６２が電気的に接続された第３の導電性液体８ｂを有しており、第２の可動接点５ｂが第４の導電性液体８ｂと接離可能となっている。
【０１０５】
第３の導電性液体８ａ，８ａ，８ａおよび第４の導電性液体８ｂは、第１の可動接点５ａを構成する第１の導電性液体および第２の可動接点５ｂを構成する第２の導電性液体と同じ水銀を採用しているが、これに限らず、例えば、ガリンスタン（登録商標）のようなガリウム・インジウム・スズ合金や、イオン液体などを採用してもよく、ガリウム・インジウム・スズ合金や、イオン液体を採用すれば、水銀を採用する場合に比べて、環境負荷を低減できる。また、第３の導電性液体８ａ，８ａ，８ａは、第１の導電性液体と同種で同じ組成のものが好ましく、第４の導電性液体８ｂは、第２の導電性液体と同種で同じ組成のものが好ましいが、必ずしも同じ組成のものである必要はない。第３の導電性液体８ａ，８ａ，８ａと第１の導電性液体とで同種の液体を採用することにより、接触抵抗を低減することが可能となる。また、第４の導電性液体８ｂと第２の導電性液体とで同種の液体を採用することにより、接触抵抗を低減することが可能となる。
【０１０６】
ところで、接点開閉装置は、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと、第１のサブ収納室１５，１５，１５に収納された第３の導電性液体８ａ，８ａ，８ａと、第１の可動接点５ａとで、サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃ（図２参照）を構成している。また、接点開閉装置は、第２の接点端子部６２と、第２のサブ収納室１６に収納された第４の導電性液体８ｂと、第２の可動接点５ｂとで、メイン接点５２（図２参照）を構成している。
【０１０７】
なお、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃは、不純物拡散層により構成する例に限らず、例えば、第３の導電性液体８ａ，８ａ，８ａとの濡れ性の良い固体金属からなる金属部により構成してもよい。また、第２の接点端子部６２は、不純物拡散層により構成する例に限らず、例えば、第４の導電性液体８ｂとの濡れ性の良い固体金属からなる金属部により構成してもよい。
【０１０８】
以下、本実施形態の接点開閉装置の動作について説明する。
【０１０９】
上記各アクチュエータそれぞれの一対の電極間に電圧が印加されていない第１の状態では、上記各ダイアフラム部が変形しておらず、図６（ａ），（ｂ）に示すように、第１の可動接点５ａの全部が第１の収納室１０ａに収納されるとともに、第２の可動接点５ｂの全部が第２の収納室１０ｂに収納されている。したがって、第１の状態では、第１の可動接点５ａが第１のチャネル１１へ移動しておらず各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが開成され、且つ、第２の可動接点５ｂが第２のチャネル１２へ移動しておらずメイン接点５２が開成されている。なお、第１の状態では、遮断用ブロック４１は、第１のチャネル１１を開放する第１の位置（図６（ａ）の位置）にある。第１の状態が、接点開閉装置のオフ状態である。
【０１１０】
まず、接点開閉装置をオフ状態からオン状態へ変化させる場合の動作について説明する。
【０１１１】
第１の状態において、上記第１のアクチュエータの一対の電極間に電圧が印加されると、上記第１のアクチュエータにより上記第１のダイアフラム部が押圧され上記第１のダイアフラム部が変形して、第１の収納室１０ａの容積が減少し、第１の収納室１０ａ内の第１の可動接点５ａが第１のチャネル１１に押し出される。すると、第１のチャネル１１内を移動する第１の可動接点５ａが、第１の接点端子部６１ａに接している第３の導電性液体８ａ、第１の接点端子部６１ｂに接している第３の導電性液体８ａ、第１の接点端子部６１ｃに接している第３の導電性液体８ａの順に接触導通し、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが閉成された第２の状態となる。
【０１１２】
第２の状態において、上記第２のアクチュエータの一対の電極間に電圧が印加されると、上記第２のアクチュエータにより上記第２のダイアフラム部が押圧され上記ダイアフラム部が変形して、第２の収納室１０ｂの容積が減少し、第２の収納室１０ｂ内の第２の可動接点５ｂが第２のチャネル１２に押し出される。すると、第２のチャネル１２内を移動した第２の可動接点５ｂが、第２の接点端子部６２に接している第４の導電性液体８ｂに接触導通し、メイン接点５２が閉成された第３の状態となる。
【０１１３】
そして、第３の状態において、駆動装置４２が、遮断用ブロック４１を、第１のチャネル１１を塞ぐ第２の位置（図６（ｄ）の位置）に移動させると、第１の可動接点５ａを構成する第１の導電性液体が分断され、メイン接点５２は閉成されたままで各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃのみが開成された第４の状態となる。この第４の状態が、接点開閉装置のオン状態である。
【０１１４】
次に、接点開閉装置をオン状態からオフ状態へ変化させる場合の動作について説明する。
【０１１５】
第４の状態において、駆動装置４２が、遮断用ブロック４１を、第１のチャネル１１を開放する第１の位置（図６（ａ）の位置）に移動させると、遮断用ブロック４１により分断されていた第１の導電性液体どうしが接することにより、各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃが閉成された第５の状態となる。
【０１１６】
そして、第５の状態において、上記第２のアクチュエータの一対の電極間への電圧の印加を停止すると、上記第２のダイアフラム部が元の状態に復帰し、第２の収納室１０ｂの容積が増加する（元に戻る）。この際、第２の可動接点５ｂのうち第２のチャネル１２に移動していた分が第２の収納室１０ｂへ戻るので、メイン接点５２が開成された第６の状態となる。
【０１１７】
そして、第６の状態において、上記第１のアクチュエータの一対の電極間への電圧の印加を停止すると、上記第１のダイアフラム部が元の状態に復帰し、第１の収納室１０ａの容積が増加する（元に戻る）。この際、第１の可動接点５ａのうち第１のチャネル１１に移動していた分が第１の収納室１０ａへ戻るので、メイン接点５２だけでなく各サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃも開成されたが第７の状態となる。ここにおいて、第１の可動接点５ａは、まず第１の接点端子部６１ｃに接している第３の導電性液体８ａから離れ、続いて、第１の接点端子部６１ｂに接している第３の導電性液体８ａから離れ、続いて、第１の接点端子部６１ａに接している第３の導電性液体８ａから離れる。第７の状態が、接点開閉装置のオフ状態である。
【０１１８】
以上説明した本実施形態の接点開閉装置では、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ６１ｃおよび第２の接点端子部６２が並列的に接続され、第１のサブ収納室１５，１５，１５に、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ、６１ｃそれぞれと接触して導通し且つ第１の可動接点５ａが接離する第３の導電性液体８ａ，８ａ，８ａが収納されており、第２のサブ収納室１６に、第２の接点端子部６２と接触して導通し且つ第２の可動接点５ｂが接離する第４の導電性液体８ｂが収納されているので、オフ状態からオン状態へ移行させる際、つまり、サブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃおよびメイン接点５２を閉成する際には各可動接点５ａ，５ｂと各導電性液体８ａ，８ｂとを濡れ性よく接触させて導通させることができ、接触抵抗の増大を抑制することが可能となる。
【０１１９】
また、本実施形態の接点開閉装置では、オン状態からオフ状態にする際に、第２の接点端子部６２の接している第４の導電性液体８ｂから第２の可動接点５ｂが離れ、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃのうち最も抵抗値の低い第１の第１の接点端子部６１ｃに接している第３の導電性液体８ａ、２番目に抵抗値の低い第１の接点端子部６１ｂに接している第３の導電性液体８ｂ、最も抵抗値の高い第１の接点端子部６１ａに接している第３の導電性液体８ａの順に、第１の可動接点５ａが離れるので、接触抵抗が徐々に大きくなるから、流れる電流を徐々に限流することができる。このため、第１の可動接点５ａが最も抵抗値の高い第１の接点端子部６１ａに接している第３の導電性液体８ａから完全に離れる前において流れる電流をアークが発生しない程度の電流値まで限流することが可能となり、アークの発生を抑制することが可能となる。
【０１２０】
（実施形態６）
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は実施形態５と略同じであり、図７に示すように、第１のサブ収納室１５，１５，１５および第２のサブ収納室１６の形状が相違するだけである。なお、実施形態５と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【０１２１】
第１のサブ収納室１５，１５，１５は、第１のチャネル１１に近づくにつれて開口面積が徐々に小さくなる形状に形成されている。また、第２のサブ収納室１６は、第２のチャネル１２に近づくにつれて開口面積が徐々に小さくなる形状に形成されている。
【０１２２】
しかして、本実施形態の接点開閉装置では、第３の導電性液体８ａ，８ａ，８ａが第１のサブ収納室１５，１５，１５から第１のチャネル１１へ漏れるのを抑制することが可能となるとともに、第４の導電性液体８ｂが第２のサブ収納室１６から第２のチャネル１２へ漏れるのを抑制することが可能となる。
【０１２３】
（実施形態７）
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は図１および図２に示した実施形態１と略同じであり、第１の可動接点５ａを第１のチャネル１１側へ変位させるための第１の駆動部が、導通遮断手段４を兼ねている点が相違するだけなので、図示を省略する。
【０１２４】
本実施形態の接点開閉装置では、第１の駆動部を構成する上記第１のアクチュエータの一対の電極間に電圧を印加することにより上記第１のダイアフラム部を変形させて第１のサブ接点５１ａ，５１ｂ，５１ｃを閉成させた後、第２の駆動部を構成する上記第２のアクチュエータの一対の電極間に電圧を印加することにより上記第２のダイアフラム部を変形させてメイン接点５２を閉成させた後、上記第１のアクチュエータの一対の電極間への電圧の印加を停止することにより上記第１のダイアフラム部を元の形に戻させて複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を強制的に遮断するように制御装置が上記第１のアクチュエータおよび上記第２のアクチュエータを制御するようにすればよい。
【０１２５】
しかして、本実施形態の接点開閉装置では、実施形態１のように導通遮断手段４として遮断用ブロック４１などを設ける必要がなく、低コスト化を図ることが可能となる。
【０１２６】
（実施形態８）
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は実施形態１と略同じであり、図８に示すように、ケース１に、第１のチャネル１１における第１の収納室１０ａ側とは反対側で第１のチャネル１１に連通した第３の収納室が形成されており、第３の収納室１０ｃに非導電性の気体（例えば、アルゴンガス、窒素ガスなど）が収納されている点などが相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【０１２７】
上述のケース１は、実施形態１と同様、本体部２と蓋部３とを接合することにより形成されており、本体部２には、第３の収納室１０ｃを形成するための凹所２０ｃが形成されている。ここにおいて、ケース１は、凹所２０ｃの内面と蓋部３とで囲まれた空間が第３の収納室１０ｃとなる。
【０１２８】
本実施形態の接点開閉装置は、第３の収納室１０ｃの気体を第１のチャネル１１側へ変位させることによって第１のチャネル１１中の第１の可動接点５ａを第１の収納室１０ａ側へ移動させるためのアクチュエータ（第４の駆動部）を有している。また、ケース１は、第３の収納室１０ｃに対応する部位に、他の部位に比べて薄肉のダイアフラム部が形成されており、第４の駆動部により変形させることができるようになっている。
【０１２９】
ここにおいて、本実施形態の接点開閉装置では、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を強制的に遮断可能な導通遮断手段が、上述の第３の収納室１０ｃと、第３の収納室１０ｃに収納された非導電性の気体と、上記第４の駆動部とを有している。
【０１３０】
しかして、本実施形態の接点開閉装置では、複数の第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃと第１の可動接点５ａとの導通状態を強制的に遮断する際に、第１のチャネル１１内の第１の可動接点５ａをスムーズに移動させることができ、第１の可動接点５ａを構成する第１の導電性液体の第１のチャネル１１内での濡れ残りを抑制することが可能となる。
【０１３１】
また、上述の接点開閉装置において、第１のチャネル１１における第３の収納室１０ｃ側の端部の幅を他の部位よりも狭くすれば、第１の可動接点５ａを構成する第１の導電性液体が第３の収納室１０ｃに流入するのを防止することが可能となる。
【０１３２】
なお、上記各実施形態では、第１の接点端子部６１ａ，６１ｂ，６１ｃの数が３個であるが、この数は特に限定するものではなく、複数であればいくつであっても構わない。
【符号の説明】
【０１３３】
１  ケース
４  導通遮断手段
５ａ  第１の可動接点
５ｂ  第２の可動接点
７ａ  第１の可動体
７ｂ  可動体（第２の可動体）
８ａ  第３の導電性液体
８ｂ  第４の導電性液体
１０ａ  第１の収納室
１０ｂ  第２の収納室
１０ｃ  第３の収納室
１１  第１のチャネル
１２  第２のチャネル
１５  第１のサブ収納室
１６  第２のサブ収納室
６１ａ  第１の接点端子部
６１ｂ  第１の接点端子部
６１ｃ  第１の接点端子部
６２  第２の接点端子部
【図１】
2012028094.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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