(57)【要約】【課題】基板が破損する可能性を低減するとともに、単位時間当たりの搬送量を高めた基板搬送装置を提供する。【解決手段】外部から受け渡された基板１１の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第１の位置から第２の位置まで延びる一対の第１及び第２の支持部２１、２２と、基板１１の下面を吸着し、第１及び第２の支持部２１、２２の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第１及び第２の吸着部３１、３２と、負圧を発生させることにより第２の位置に搬送された基板１１を非接触で保持し、第３の位置まで搬送するベルヌーイチャック４０とを備え、基板１１を第１の位置から第３の位置まで搬送する基板搬送装置１０であって、第１及び第２の支持部２１、２２は、それぞれ、基板１１に面する上端部にエアを噴出する多孔質体６６を有する。【選択図】図１
2012033739.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から受け渡された基板の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第１の位置から第２の位置まで延びる一対の第１及び第２の支持部と、前記基板の下面を吸着し、前記第１及び第２の支持部の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第１及び第２の吸着部と、負圧を発生させることにより前記第２の位置に搬送された前記基板を非接触で保持し、第３の位置まで搬送するベルヌーイチャックとを備え、前記基板を前記第１の位置から前記第３の位置まで搬送する基板搬送装置であって、
前記第１及び第２の支持部は、それぞれ、前記基板に面する上端部にエアを噴出する多孔質体を有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板搬送装置において、前記第１及び第２の吸着部は、互いに反対方向に移動することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項２記載の基板搬送装置において、前記第１及び第２の支持部の内側に、それぞれ、該第１及び第２の支持部の長手方向に沿って延び、前記第１及び第２の吸着部を案内する第１及び第２の案内レールを備え、
前記第１及び第２の案内レールは、それぞれ周囲よりも窪んだ面に固定されることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
請求項３記載の基板搬送装置において、前記第１及び第２の吸着部は、それぞれ前記基板をエア吸着する吸着パッドと、
前記吸着パッドを昇降させる昇降機構と、
前記吸着パッドによって吸着される前記基板の上下方向の位置決めをする位置決め部材とを有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板搬送装置において、前記第１の位置にて外部から前記基板が受け渡される際、前記基板を吸着する前記第１の吸着パッドを上昇させる手段と、前記第１の吸着部による吸着を開始する手段と、前記多孔質体からエアを吹き出させる手段とを有する制御装置を更に備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項６】
請求項５記載の基板搬送装置において、前記制御装置は、前記ベルヌーイチャックが前記第２の位置に搬送された前記基板を前記第３の位置に搬送する際、前記ベルヌーイチャックを前記基板の上に下降させる手段と、前記ベルヌーイチャックからエアを吹き出させる手段と、前記第１の吸着部による真空破壊を行った後、該第１の吸着部からエアを吹き出させる手段とを有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の基板搬送装置において、前記多孔質体は、セラミック多孔質体であることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の基板搬送装置において、前記基板は太陽電池用シリコンウェハであることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項９】
外部から受け渡された基板の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第１の位置から第２の位置まで延びる一対の第１及び第２の支持部と、前記基板の下面を吸着し、前記第１及び第２の支持部の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第１及び第２の吸着部と、を備え、前記基板を前記第１の位置から前記第２の位置まで搬送する基板搬送装置であって、
前記第１及び第２の支持部は、それぞれ、前記基板に面する上端部にエアを噴出する多孔質体を有することを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を浮上させて搬送する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板搬送装置は、搬送路下方に設けられた多孔質板から吹き出すエアの圧力によって基板を浮上させながら、この基板を搬送方向に前進させて搬送している。このような基板搬送装置において、基板を搬送方向に前進させるための２つの方法が知られている。第１に、エアシリンダを用いて基板の後端部を押して前進させる方法である。第２に、基板の後端部に吹き出すエアの圧力を前端部に吹き出すエアの圧力より大きくして前進させる方法である（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１８２３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の基板搬送装置は、基板を搬送方向に前進させる速さが遅く、その単位時間当たりの搬送量が少なかった。
本発明は、基板が破損する可能性を低減することが可能な基板搬送装置を提供することを第１の目的とする。また、単位時間当たりの搬送量を高めた基板搬送装置を提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的に沿う第１の発明に係る基板搬送装置は、外部から受け渡された基板の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第１の位置から第２の位置まで延びる一対の第１及び第２の支持部と、前記基板の下面を吸着し、前記第１及び第２の支持部の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第１及び第２の吸着部と、負圧を発生させることにより前記第２の位置に搬送された前記基板を非接触で保持し、第３の位置まで搬送するベルヌーイチャックとを備え、前記基板を前記第１の位置から前記第３の位置まで搬送する基板搬送装置であって、
前記第１及び第２の支持部は、それぞれ、前記基板に面する上端部にエアを噴出する多孔質体を有する。
【０００６】
第１の発明に係る基板搬送装置において、前記第１及び第２の吸着部は、互いに反対方向に移動することができる。
【０００７】
第１の発明に係る基板搬送装置において、前記第１及び第２の支持部の内側に、それぞれ、該第１及び第２の支持部の長手方向に沿って延び、前記第１及び第２の吸着部を案内する第１及び第２の案内レールを備え、
前記第１及び第２の案内レールは、それぞれ周囲よりも窪んだ面に固定されることが好ましい。
【０００８】
第１の発明に係る基板搬送装置において、前記第１及び第２の吸着部は、それぞれ前記基板をエア吸着する吸着パッドと、
前記吸着パッドを昇降させる昇降機構と、
前記吸着パッドによって吸着される前記基板の上下方向の位置決めをする位置決め部材とを有することが好ましい。
【０００９】
第１の発明に係る基板搬送装置において、前記第１の位置にて外部から前記基板が受け渡される際、前記基板を吸着する前記第１の吸着パッドを上昇させる手段と、前記第１の吸着部による吸着を開始する手段と、前記多孔質体からエアを吹き出させる手段とを有する制御装置を更に備えることが好ましい。
【００１０】
第１の発明に係る基板搬送装置において、前記制御装置は、前記ベルヌーイチャックが前記第２の位置に搬送された前記基板を前記第３の位置に搬送する際、前記ベルヌーイチャックを前記基板の上に下降させる手段と、前記ベルヌーイチャックからエアを吹き出させる手段と、前記第１の吸着部による真空破壊を行った後、該第１の吸着部からエアを吹き出させる手段とを有することが好ましい。
【００１１】
第１の発明に係る基板搬送装置において、前記多孔質体は、セラミック多孔質体であることが好ましい。
【００１２】
第１の発明に係る基板搬送装置において、前記基板を太陽電池用シリコンウェハとすることができる。
【００１３】
前記目的に沿う第２の発明に係る基板搬送装置は、外部から受け渡された基板の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第１の位置から第２の位置まで延びる一対の第１及び第２の支持部と、前記基板の下面を吸着し、前記第１及び第２の支持部の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第１及び第２の吸着部と、を備え、前記基板を前記第１の位置から前記第２の位置まで搬送する基板搬送装置であって、
前記第１及び第２の支持部は、それぞれ、前記基板に面する上端部にエアを噴出する多孔質体を有する。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１〜８記載の基板搬送装置においては、基板の下面の一部が吸着部に接触するだけなので、基板が破損する可能性を低減することが可能である。
【００１５】
特に、請求項２記載の基板搬送装置においては、第１の吸着部と第２の吸着部とが交互に基板を搬送するので、単位時間当たりの搬送量を高めることが可能である。
【００１６】
請求項３記載の基板搬送装置においては、１対の支持部の内側に、第１及び第２の案内レールが固定され、この固定面が周囲よりも窪んでいるので、支持部の幅方向の寸法を小さくすることが可能である。
【００１７】
請求項４記載の基板搬送装置においては、吸着パッドによって吸着される基板の上下方向の位置決めをする位置決め部材を有するので、基板を確実に位置決めすることが可能である。
【００１８】
請求項５記載の基板搬送装置においては、破損することなく外部から基板を受け取ることが可能である。
【００１９】
請求項６記載の基板搬送装置においては、破損することなくベルヌーイチャックに基板を受け渡すことが可能である。
【００２０】
請求項９記載の基板搬送装置においては、基板の下面の一部が吸着部に接触するだけなので、基板が破損する可能性を低減することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置の平面図である。
【図２】図１のＹ方向矢視図である。
【図３】図１のＸ−Ｘ断面図である。
【図４】吸着パッドの断面図である。
【図５】同基板搬送装置の受け取り動作のフローチャートである。
【図６】同基板搬送装置の第１の搬送動作のフローチャートである。
【図７】同基板搬送装置の第２の搬送動作のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。なお、説明に関連しない部分については、図示を省略する場合がある。
【００２３】
図１に示すように、本発明の一実施の形態に係る基板搬送装置１０は、矩形状の太陽電池用シリコンウェハ（基板の一例）１１を位置Ａ（第１の位置）から位置Ｂ（第２の位置）を経由して位置Ｃ（第３の位置）まで搬送することができる。この太陽電池用シリコンウェハ１１の縦横の寸法は、それぞれ例えば１２０〜１６０ｍｍである。また、太陽電池用シリコンウェハ１１の厚みは、例えば０．１５〜０．２ｍｍである。このように、太陽電池用シリコンウェハ１１は薄いので、割れないように搬送する必要がある。
基板搬送装置１０は、図１〜図３に示すように、フレーム１３を介して取り付け面に取り付けられた一対の第１及び第２の支持部２１、２２、並びに第１及び第２の吸着部３１、３２を有する第１の搬送部３５と、ベルヌーイチャック４０を有する第２の搬送部４５とを備えている。
【００２４】
第１の搬送部３５の第１及び第２の支持部２１、２２は、互いに間隔を空けてそれぞれ位置Ａから位置Ｂまで直線状に延びており、それぞれエアを上方に噴出することにより、位置Ａから位置Ｂの間で太陽電池用シリコンウェハ１１の両側の下面を非接触で支持することができる。
図２に示すように、第１及び第２の支持部２１、２２は、それぞれ、チャンネル部材５１と、エア噴出部５３とを有している。
チャンネル部材５１は、各支持部２１、２２の下部に設けられ、凹側が対向するようにそれぞれ配置されている。凹側の窪んだ面には、それぞれ第１及び第２のスライダ５６、５７を第１及び第２の支持部２１、２２が延びる方向に案内する第１及び第２の案内レール６１、６２が固定されている。第１及び第２の案内レール６１、６２は、一対の支持部２１、２２の内側の窪んだ部分に収められるように固定されている。更に、第１及び第２のスライダ５６、５７も窪んだ部分に収められている。従って、支持部２１、２２の幅方向の寸法が小さく抑えられる。なお、内側に周囲よりも窪んだ面が形成され、この面に案内レール６１、６２が固定されるのであれば、チャンネル部材５１とは異なる形状の部材であってもよい。
【００２５】
エア噴出部５３は、角柱部材６５と、その上に固定された多数の小孔を有する多孔質体６６を有し、多孔質体６６からエアを噴出する。エア噴出部５３は、ブラケット５２の上面に固定される。ここで、ブラケット５２は、２つの板材の長辺部が、互いに長手方向からみて略直角に接合されたアングル材である。ブラケット５２は、チャンネル部材５１の上部に固定されている。
エアは、角柱部材６５の外側側面に設けられたエア供給口（不図示）から角柱部材６５の内部に形成された図示しない溝を通り、多孔質体６６から上方へ噴出する。この多孔質体６６として、例えば、セラミック多孔質体、多数の小孔が形成されたステンレス製又は樹脂製の板が挙げられる。多孔質体６６からエアが噴出することにより、各支持部２１、２２上に載置された太陽電池用シリコンウェハ１１は、例えば３００μｍ浮上することができる。
【００２６】
ここで、図１に示すように、第１の搬送部３５上の位置Ａを含む区間を第１の区間、位置Ｂを含む区間を第３の区間、第１と第３の区間の間の区間を第２の区間とすると、多孔質体６６は、第１〜第３の区間に分割されており、それぞれ独立したエアの供給流路が形成されている。即ち、各区間の多孔質体６６について、独立にエア噴出の開始及び停止が制御可能である。
なお、平面視して第２の区間の左右両側（第１の搬送部３５の幅方向外側）には、太陽電池用シリコンウェハ１１のクラックの有無を検査するための検査装置（不図示）を配置することができる。
【００２７】
なお、各支持部２１、２２の内側には、位置Ａ及び位置Ｂにある太陽電池用シリコンウェハ１１の有無を感知することができるウェハ感知センサ６８、６９がそれぞれ設けられている。
【００２８】
第１の搬送部３５の第１及び第２の吸着部３１、３２は、それぞれ太陽電池用シリコンウェハ１１の下面の片側を吸着し、一対の第１及び第２の支持部２１、２２の長手方向に沿って独立に移動することができる（図１に示す矢印参照）。第１及び第２の吸着部３１、３２は、それぞれ、前述の第１及び第２のスライダ５６、５７に固定される。また、第１及び第２の吸着部３１、３２は、それぞれ、図２及び図３に示す第１及び第２のタイミングベルト７１、７２に固定される。図３に示すように、この第２のタイミングベルト７２は、チャンネル部材５１の一端側に設けられた第１及び第２の小プーリ８１、８２、及びチャンネル部材５１の他端側に設けられ、第２のサーボモータ９２によって回転する大プーリ８３に掛けられる。従って、第２のサーボモータ９２が回転すると、第２の吸着部３２は、第２の案内レール６２に沿って位置Ａ及び位置Ｂの間を移動することができる。なお、同様の構成により、第１の吸着部３１も第１のサーボモータ９１が回転すると、第１の案内レール６１に沿って位置Ａ及び位置Ｂの間を移動することができる。
第１及び第２のタイミングベルト７１、７２、第１及び第２の小プーリ８１、８２並びに大プーリ８３は、チャンネル部材５１の窪んだ部分に収められている。
【００２９】
第１及び第２の吸着部３１、３２は、それぞれ、吸着パッド８５と、昇降機構８６とを有している。
吸着パッド８５は、各吸着部３１、３２の移動方向に並んで２つ設けられ、太陽電池用シリコンウェハ１１の下面の片側をエア吸着することができる（図２に示す矢印参照）。図４に示すように、吸着パッド８５の内側には、吸着パッド８５によって吸着される太陽電池用シリコンウェハ１１の上下方向の位置決めをする位置決め部材８７が設けられている。
昇降機構８６は、吸着パッド８５を上下方向に移動させることができる。この昇降機構８６は、例えば、エアシリンダにより構成される。
【００３０】
第２の搬送部４５のベルヌーイチャック４０は、エアを吹き出して負圧を発生させることにより位置Ｂに搬送された太陽電池用シリコンウェハ１１を非接触で保持し、位置Ｃまで搬送することができる。図１に示すように、ベルヌーイチャック４０は、一端が回転軸Ｒを中心に回転可能なアーム９０に支持されている。また、ベルヌーイチャック４０は、昇降機構９９により、上下方向にも移動可能となっている。
【００３１】
なお、位置Ａの近傍（第１及び第２の支持部２１、２２の外側）には、図示しないウェハ供給ユニットが設けられている。ウェハ供給ユニットは、上下方向に複数の太陽電池用シリコンウェハ１１を収容したマガジンを下降させることにより、太陽電池用シリコンウェハ１１を、下側から順に第１の搬送部３５の位置Ａに受け渡すことができる。マガジンは外部から供給される。
【００３２】
次に、基板搬送装置１０の１）太陽電池用シリコンウェハ１１を受け取る受け取り動作、２）太陽電池用シリコンウェハ１１を位置Ａから位置Ｂまで搬送する第１の搬送動作、及び３）太陽電池用シリコンウェハ１１を位置Ｂから位置Ｃまで搬送する第２の搬送動作について、それぞれ図５〜図７に基づいて順に説明する。なお、各動作は、図示しないコントローラ（制御装置の一例）内の制御手段によって制御される。
【００３３】
＜１．受け取り動作＞
最初の受け取り動作開始前は、基板搬送装置１０の各部は、以下の状態である。
（１）第１の吸着部３１が、位置Ａにて待機している。吸着パッド８５は下降している。また、吸着パッド８５のエア吸着は停止した状態である。
（２）第１〜第３の区間の多孔質体６６からのエア噴出は停止した状態である。
【００３４】
（ステップＳ１−１）
マガジンが下降する。
（ステップＳ１−２）
マガジンの最も下側に収容された太陽電池用シリコンウェハ１１が、ウェハ感知センサ６８によって検出される。これにより、コントローラは、太陽電池用シリコンウェハ１１が位置Ａの支持位置まで降下したものと判断する。
【００３５】
（ステップＳ１−３）
ウェハ感知センサ６８が太陽電池用シリコンウェハ１１を検出した時点から予め決められた時間Ｔ１経過後に、昇降機構８６が第１の吸着部３１の吸着パッド８５を上昇させる。また、ウェハ感知センサ６８が太陽電池用シリコンウェハ１１を検出した時点から予め決められた時間Ｔ２経過後に、第１の吸着部３１のエア吸着動作を開始する。また、ウェハ感知センサ６８が太陽電池用シリコンウェハ１１を検出した時点から予め決められた時間Ｔ３経過後に、太陽電池用シリコンウェハ１１に面する各支持部２１、２２の上端部に設けられた第１〜第３の区間の多孔質体６６からのエア噴出を開始する。なお、一度エアを噴出させた後は、基板搬送装置１０の動作が停止するまで、多孔質体６６からのエアの噴出は原則として停止させない。
なお、時間Ｔ１〜Ｔ３は、それぞれ例えば、０〜数百ｍｓｅｃの長さである。時間Ｔ１〜Ｔ３は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、太陽電池用シリコンウェハ１１の大きさ等に応じて調整可能に構成される。
【００３６】
前述のステップＳ１−３が実行されると、基板搬送装置１０の位置Ａにて、太陽電池用シリコンウェハ１１が第１及び第２の支持部２１、２２及び吸着部３１によって支持され、受け取り動作が終了する。
【００３７】
なお、太陽電池用シリコンウェハ１１は、吸着パッド８５によって吸着されるが、前述のように、その内部に設けられた位置決め部材８７（図４参照）によって上下方向に位置決めされる。詳細には、吸着パッド８５が太陽電池用シリコンウェハ１１を吸着すると、負圧により吸着パッド８５が上下方向に変形する。その際、吸着パッド８５の内部に設けられた位置決め部材８７に太陽電池用シリコンウェハ１１が突き当たり、吸着パッド８５の変形を制限するため、太陽電池用シリコンウェハ１１は、予め決められた上下方向位置に位置決めされる。
【００３８】
＜２．第１の搬送動作（位置Ａ〜位置Ｂ）＞
（ステップＳ２）
第１の吸着部３１の吸着パッド８５が太陽電池用シリコンウェハ１１を吸着した状態で、第１の吸着部３１が位置Ａから位置Ｂまで移動する。具体的には、第１のサーボモータ９１が回転することにより、第１のタイミングベルト７１が駆動され、第１の吸着部３１が第１の案内レール６１に案内されて移動する。第１の吸着部３１の吸着パッド８５は、太陽電池用シリコンウェハ１１の片側の下面を吸着する。ただし、第１及び第２の支持部２１、２２がエアを上方に吹き出し、太陽電池用シリコンウェハ１１の両側を支持しているので、第１の吸着部３１が接触することによる太陽電池用シリコンウェハ１１の負荷は小さい。そのため、太陽電池用シリコンウェハ１１が破損する可能性は低減される。
一方、第１の吸着部３１が移動するとともに、第２の吸着部３２が位置Ｂから位置Ａまで移動する。即ち、第１の吸着部３１と第２の吸着部３２は、互いに反対方向に移動する。
【００３９】
＜３．第２の搬送動作（位置Ｂ〜位置Ｃ）＞
第２の搬送動作開始前は、基板搬送装置１０の各部は、以下の状態である。
（１）第１の吸着部３１が、位置Ｂにて太陽電池用シリコンウェハ１１を吸着した状態で待機している。吸着パッド８５は上昇している。
（２）第１〜第３の区間の多孔質体６６からエアが吹き出した状態である。
（３）ベルヌーイチャック４０は、位置Ｂ以外の位置にある。
【００４０】
（ステップＳ３−１）
アーム９０が回転移動し、ベルヌーイチャック４０が位置Ｂの上方へ移動する。
（ステップＳ３−２）
昇降機構９９がベルヌーイチャック４０を下降させる。ベルヌーイチャック４０は、太陽電池用シリコンウェハ１１の受け取り位置Ｂにて停止する。
（ステップＳ３−３）
ベルヌーイチャック４０の下降開始から予め決められた時間Ｔ４が経過した後、ベルヌーイチャック４０のエア噴出を開始する。なお、時間Ｔ４は、例えば、０〜数百ｍｓｅｃの長さである。時間Ｔ４は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、調整可能に構成される。例えば、時間Ｔ４を０とし、コントローラの指令上、ベルヌーイチャック４０の下降開始とエア噴出を同時にすることも可能である。
（ステップＳ３−４）
第１の吸着部３１の吸着パッド８５のエア吸着が停止する。
（ステップＳ３−５）
吸着パッド８５のエア吸着が停止した時点から予め決められた時間Ｔ５が経過した後、吸着パッド８５からエアが噴出する（真空破壊）。なお、時間Ｔ５は、例えば、０〜数百ｍｓｅｃの長さである。時間Ｔ５は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、調整可能に構成される。例えば、時間Ｔ５を０とすることも可能である。
（ステップＳ３−６）
真空破壊後、吸着パッド８５からのエア噴出が停止する。
（ステップＳ３−７）
吸着パッド８５からエアが吹き出した時点から予め決められた時間Ｔ６が経過した後、吸着パッド８５が下降する。太陽電池用シリコンウェハ１１は、ベルヌーイチャック４０に受け渡される。なお、時間Ｔ６は、例えば、０〜数百ｍｓｅｃの長さである。時間Ｔ６は、例えばコントローラが実行する制御プログラム上のタイマによって計測され、調整可能に構成される。例えば、時間Ｔ６を０とすることも可能である。
（ステップＳ３−８）
太陽電池用シリコンウェハ１１を保持した状態で、昇降機構９９により、ベルヌーイチャック４０が上昇する。
（ステップＳ３−９）
アーム９０が回転移動し、ベルヌーイチャック４０が位置Ｂの上方から位置Ｃへと移動する。
【００４１】
ベルヌーイチャック４０が上昇した後、第１の吸着部３１が位置Ｂから位置Ａまで移動するとともに、後続の太陽電池用シリコンウェハ１１を吸着した第２の吸着部３２が位置Ａから位置Ｂまで移動する。即ち、ステップＳ３−８が実行された後、第２の吸着部３２が、第１の吸着部３１と同様に動作し、受け渡し動作、第１の搬送動作及び第２の搬送動作が実行される。
このように、第１の吸着部３１と第２の吸着部３２が互いに反対方向に移動し、それぞれ受け取り動作、第１の搬送動作及び第２の搬送動作を繰り返して交互に太陽電池用シリコンウェハ１１を搬送するので、単位時間当たりの搬送量が多い。
【００４２】
なお、本発明は、前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲での変更は可能である。例えば、前述のそれぞれ実施の形態や変形例の一部又は全部を組み合わせて本発明を構成する場合も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００４３】
ベルヌーイチャック４０は、アーム９０の先端に設けられ、回転移動して太陽電池用シリコンウェハ１１を搬送するが、直動機構により直線移動して太陽電池用シリコンウェハ１１を搬送してもよい。
また、基板は、太陽電池用シリコンウェハ１１に限定されるものではなく、薄板状であれば、任意の基板でよい。
【符号の説明】
【００４４】
１０：基板搬送装置、１１：太陽電池用シリコンウェハ、１３：フレーム、２１：第１の支持部、２２：第２の支持部、３１：第１の吸着部、３２：第２の吸着部、３５：第１の搬送部、４０：ベルヌーイチャック、４５：第２の搬送部、５１：チャンネル部材、５２：ブラケット、５３：エア噴出部、５６：第１のスライダ、５７：第２のスライダ、６１：第１の案内レール、６２：第２の案内レール、６５：角柱部材、６６：多孔質体、６８、６９：ウェハ感知センサ、７１：第１のタイミングベルト、７２：第２のタイミングベルト、８１：第１の小プーリ、８２：第２の小プーリ、８３：大プーリ、８５：吸着パッド、
８６：昇降機構、８７：位置決め部材、９０：アーム、９１：第１のサーボモータ、９２：第２のサーボモータ、９９：昇降機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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