(57)【要約】【課題】この発明は、より効率的に発泡させることができ、発泡する範囲の制御が自由にでき、たとえば、任意の部分を発泡させたり、発泡の疎密をつけることを可能にする。【解決手段】上記の課題を解決するために、この発明の発泡シートの製造方法は、シート状部材ｘにカバー１０を接触させ、シート状部材ｘを超臨界流体または亜臨界流体である発泡剤に浸漬し、圧力を下げて発泡剤に気体にし、シート状部材ｘを発泡させるものである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状部材にカバーを接触させ、シート状部材を超臨界流体または亜臨界流体である発泡剤に浸漬し、圧力を下げて発泡剤を気体にし、シート状部材を発泡させる発泡シートの製造方法。
【請求項２】
表面にカバーが接触する第１領域と、表面にカバーが接触していない第２領域を設け、第１領域のみ発泡させ、第２領域を発泡させない請求項１に記載の発泡シートの製造方法。
【請求項３】
複数のシート状部材を積層させ、最上段と最下段のシート状部材にカバーを接触させる請求項１または請求項２に記載の発泡シートの製造方法。
【請求項４】
請求項２に記載の発泡シートの製造方法によって製造されるべき発泡シートであって、第１領域に形成される発泡部と、第２領域に形成される発泡部とを有する発泡シート。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の発泡シートの製造方法によって製造されるべき発泡シートであって、厚さ方向において中心部に発泡層を、発泡層の両側に非発泡層を有し、それぞれの非発泡層の厚さがシート全体の厚さに対して５％未満または２０％を超える発泡シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、発泡部を有する発泡シートおよびその製造方法に関する。特に超臨界流体の二酸化炭素等を発泡剤に用いて発泡シートを得る方法に関する。得られるシートは、たとえば光散乱シート、不透明シート、防水材、断熱材、緩衝薄膜、絶縁体、装飾材、建材、パッケージ材などに有用である。
【背景技術】
【０００２】
従来の発泡体の製造方法として、樹脂に発泡剤を練り込み、化学的または物理的に発泡させる方法が知られている。また、二酸化炭素を発泡剤として用いることで、発生する気泡のサイズが１０μｍ以下と小さな発泡体が得られている。この小さな気泡径をもつ発泡体は光散乱性や機械的強度に優れ、見かけの比重も小さく軽量であり、断熱性や絶縁性も兼ね備えていることが特徴である。
【０００３】
二酸化炭素を発泡剤として用いる場合は、二酸化炭素を高圧下で樹脂に浸透させる浸漬過程、圧力を解放し発泡温度に移行する移行過程、および加熱して発泡を促進する発泡過程の３段階を経る方法がとられている。たとえば特許文献１（ＷＯ９２／１７５３３号公報）ではバッチ式による方法が開示されており、実施例において１／１６インチ厚の熱可塑性樹脂を超臨界二酸化炭素に４３℃、１５００または３０００ｐｓｉの下で１０または１５時間浸漬させ、後に圧力を一気に解放し、１６０℃に加熱して発泡を促進させることで、発泡体を得ている。
【０００４】
超臨界状態は気体の拡散速度と液体の密度を兼ね備えた状態であり、気体や液体よりも高分子材料に対する浸透が速い。したがって二酸化炭素を基質に浸透させる場合は超臨界状態（二酸化炭素の超臨界状態は３１．１℃かつ７．４ＭＰａ以上）を用いる方法が優れている。また、温度が低く圧力が高いほど溶解度は高くなるため、多くの場合、浸漬過程は、高圧下、超臨界温度よりも少し高い４０から５０℃で数時間から十数時間かけて行われ、二酸化炭素がじゅうぶんに飽和した状態の基質を得る。その後、圧力を解放すると、二酸化炭素が基質に過飽和した状態になるので、基質表面からの二酸化炭素の拡散と基質内部での発泡が直ちに開始する。バッチ式の場合、圧力解放直後は、断熱膨張によって系が冷却されており、基質内部での発泡よりも二酸化炭素の表面からの拡散が圧倒的に優先して進行するため、浸漬と圧力解放の操作だけでは発泡体が得られない。そこで前記特許では、高温であるほど溶解度が低下する気体の性質を利用し、二酸化炭素で過飽和した基質を加熱することで発泡を進行させている。加熱発泡に至るまでの移行過程の時間が短いほど非発泡層は薄くなるが、現実には１０〜１００μｍオーダーの非発泡層の形成を避けるのは困難である。二酸化炭素で十分に基質を飽和させて加熱発泡するバッチ式の適用は、１００μｍ以下の薄い厚みをもつシートに対しては優れた方法であるとは言えず、主に１ｍｍ以上のシートに対して実施されている。
【０００５】
一方で、特許文献２（特開２００１−１１４９２３号公報）には、浸漬過程を比較的高温で実施することで、２５０μｍ以下の厚さのシートの発泡も可能であることが記されている。実施例において、厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートの二軸延伸フィルムを、１４０℃、２０．２ＭＰａの超臨界二酸化炭素に４分間浸漬した後、圧力を解放して、常圧の室温に放置することで発泡シートを得ている。比較的高温で超臨界二酸化炭素中に浸漬しているので、基質に対する二酸化炭素の溶解度は比較的低いと考えられるものの、発泡に十分な量の二酸化炭素が溶解していることを発泡の事実が示している。また、浸漬時間がたったの４分であることは、高温であるため基質内部への二酸化炭素の拡散が速いのが理由であろう。しかしシートの表裏両面の非発泡層はそれぞれ５〜２０％の厚さ（発泡層がシート厚に対して６０〜９０％）であり、非発泡層を５％以下もしくは２０％以上にすることができていない。
【０００６】
なお、特許文献１においては、バッチ式だけでなく、二酸化炭素を発泡剤とした連続式による発泡シートの作成法も開示している。これは溶融した熱可塑性樹脂に高圧の超臨界二酸化炭素を混練し、ダイから樹脂が放出されると同時に圧が解放されることによって発泡させる方法である。また、特許文献３（特開平１０−１７６０７６号公報）には厚さ１００μｍ以下の薄い発泡シートを連続法で得る方法が開示されており、実施例においては厚さ約１００μｍの発泡ポリエチレンシートと厚さ３０〜１２０μｍの発泡ポリスチレンシートが得られている。このような連続式は大型化に適しており、平面状の全面発泡シートを得るには優れた方法である。しかし非平面や凹凸のあるシートに対しては連続式の適用は困難であり、この場合はバッチ式による処理が有利である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】ＷＯ９２／１７５３３号公報
【特許文献２】特開２００１−１１４９２３号公報
【特許文献３】特開平１０−１７６０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
以上、先行技術文献によれば発泡したシートが得られるはずであるが、実際に超臨界流体の二酸化炭素を用いて発泡したシートの作成を試みたところ、薄いシートではほとんど発泡しないことがわかった。全く発泡しないわけではなく、超臨界流体の二酸化炭素への浸漬時の温度を高く設定するなどすれば発泡シートを得られるが、浸漬のための温度や圧力の条件が極めて限定されるし、発泡したとしても気泡の大きさや形状が著しく不均一である。
【０００９】
いずれの先行技術文献においても、発泡する範囲の制御はできていない。シートの広さ方向についてみれば、全面が均一に発泡したシートのみが得られている。特定の部分に発泡を施したシートを製造する方法は開示されていない。シートの厚さ方向についてみても、発泡層の厚さの制御はほとんどできていない。特許文献２においては表面の非発泡層の厚さはシート厚に対して５〜２０％の範囲に限定されている。
【００１０】
この発明は、より効率的に発泡させることができる発泡シート製造方法を提供することを目的とする。さらに、発泡する範囲の制御が自由にでき、たとえば、任意の部分を発泡させたり、発泡の疎密をつけることを可能にする。厚さ方向においても、発泡層と非発泡層の厚さを自由に制御することを可能にする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、この発明の発泡シートの製造方法は、シート状部材にカバーを接触させ、シート状部材を超臨界流体または亜臨界流体である発泡剤に浸漬し、圧力を下げて発泡剤を気体にし、シート状部材を発泡させるものである。表面にカバーが接触する第１領域と、表面にカバーが接触していない第２領域を設け、第１領域のみ発泡させ、第２領域を発泡させないことができる。また、複数のシート状部材を積層させ、最上段と最下段のシート状部材にカバーを接触させることによって、複数の発泡シートを同時に製造することができる。
【００１２】
上述の発泡シート製造方法により、この発明の発泡シートは、第１領域に形成される発泡部と、第２領域に形成される発泡部とを有するものとすることができる。あるいは、厚さ方向において中心部に発泡層を、発泡層の両側に非発泡層を有し、それぞれの非発泡層の厚さがシート全体の厚さに対して５％未満または２０％を超えるものとすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
この発明の発泡シートの製造方法は、シート状部材の表面にカバーを接触させることによって、シート状部材内における発泡を著しく促進することができる。したがって、発泡剤に浸漬するときの温度や圧力、あるいは減圧時間（減圧速度）などの条件を広い範囲で選択することができ、発泡層と非発泡層の厚さを自由に制御することができる。また、表面にカバーが接触する第１領域と、表面にカバーが接触していない第２領域を設けて、広さ方向においても発泡部と非発泡部を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】発泡シートの製造装置の例を示す概念図である。
【図２】シート状部材へのカバーの接触を示す断面図である。
【図３】実施例１のシート状部材を示す写真である。
【図４】実施例３と実施例４のシート状部材を示す写真である。
【図５】実施例５のシート状部材を示す写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
この発明を実施するための形態について、図面に基づいて説明する。図１は発泡シートの製造装置の例を示す概念図である。
【００１６】
製造装置１は、リアクター（耐圧容器）２と、発泡剤供給源３と、発泡剤供給管４を有する。発泡剤供給源３にはバルブ５と圧力計６が備えられている。リアクター２の近くにもリアクター２内の圧力を測定する圧力計７、それにバルブ８と安全弁９が設けられている。
【００１７】
リアクター２はヒータおよび温度制御装置（図示省略）を有しており、内部を所定の温度に加熱・制御することができる。リアクター２はシート状部材ｘを収容できる容量があればよい。たとえば、超臨界流体の二酸化炭素用の耐圧容器は既に工業的に普及している。
【００１８】
つぎに、発泡シートの製造方法の概要について説明する。発明を適用する発泡シートに用いられるシート状部材は特に限定されず、たとえばポリエチレンやポリプロピレンやポリブタジエン等の炭化水素樹脂、ポリ塩化ビニルやポリ塩化ビニリデンなどの塩素化樹脂、ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素化樹脂、ポリメタクリル酸メチルなどのアクリル樹脂、ポリスチレンやポリスチレン誘導体、ポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、６−ナイロンや６６−ナイロンなどのポリアミド、ポリ酢酸ビニル、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリル、液晶高分子、生分解性高分子、天然高分子などが挙げられるし、これらの共重合体やポリマーブレンド、また高分子と無機材料とを複合させたハイブリッド材料も挙げられ、用途に応じて使い分けることができる。
【００１９】
本発明で発泡剤として用いることのできる物質は、圧力解放後の発泡温度において気体である二酸化炭素、窒素、アルゴン、ヘリウム、酸素などであり、限定されないが、高分子への溶解性が比較的高い二酸化炭素が好ましい。また純物質でもよく、用途に応じて共溶媒を少量加えた混合物であってもよい。共溶媒に用いることのできるものは特に限定されないが、本発明では発泡が目的なので、圧力解放後の発泡温度においては気体である物質が好ましい。
【００２０】
シートを発泡剤に浸漬する温度と圧力は、発泡剤の臨界点（二酸化炭素にあっては３１．１℃、７．４ＭＰａ）以上、または臨界点近傍の亜臨界領域、液体、または気体の領域である。シートへの拡散速度を考慮すると超臨界状態にあるのが好ましい。
【００２１】
図２は、シート状部材へのカバーの接触の一例を示す断面図である。本発明で用いるカバー１０を構成する部材は、発泡剤によって変形を受けないものであって、かつ、圧力解放時の断熱膨張による系の冷却に抗うものであれば限定されず、用途に応じて使い分けることができる。たとえばガラス、ステンレス、鉄などの熱容量の大きい材料であってもよく、電熱器や冷却器を兼ね備えたものであってもよい。
【００２２】
カバー１０にシート状部材ｘを密着させる方法は限定されない。カバーとなるべきプレート上でシートを成形してもよく、予め成形されたシート状部材に後からシート状部材を密着させてもよい。
【００２３】
本発明で用いるプレート（カバー）の形状は限定されず、用途に応じて平面であってもよく、非平面であってもよく、平面の中に部分的に凹凸があってもよい。たとえば鋳型を用いて成形加工したシートを鋳型から外すことなくそのままプレートとして用いることができる。
【００２４】
図２においては、第１領域においてシート状部材ｘの上下面にプレート状のカバー１０を密着させている。また、片面のみにカバーを接触させることもできる。そして、この例では、表面にカバーが接触していない第２領域を設けている。表面にカバーが接触する第１領域においては、発泡が促進される。特に、両面をカバーした場合には、著しく促進される。一方、表面にカバーが接触していない第２領域では、発泡が起こらないか、あるいは、第１領域より発泡の程度が低くなる。
【００２５】
プレートに密着させるシートの枚数は１枚であってもよく、複数枚重ねてもよい。ただしプレートから遠ざかるにつれてプレートによる保温効果が弱まるため、厚さ約１ｍｍごとにプレートを挟み込むことが好ましい。これについては、実施例２にて詳述する。
【００２６】
本発明による方法で適用する温度は、シートの変形を避けるため、結晶性高分子にあっては融点以下の範囲で高温、非晶性高分子にあってはガラス転移温度以下の範囲で高温であることが好ましいが、密着するプレートやパターンによってシートの形状が維持されるのであればこの限りではない。また、温度が低いほど非発泡層は厚くなり、ある温度以下では発泡層が存在しなくなる。これらの温度はシートに用いる材料によって異なる。
【００２７】
発泡剤に浸漬する圧力は、特に限定されないが、高いほど発泡剤の溶解度は高まるため、発泡によって形成する独立気泡が大きくなり、破裂気泡が形成されるようになる。また、圧力解放後の圧力は、特に限定されないが、操作性、作業性の面から常圧であることが好ましい。
【００２８】
非発泡層を０％に近づけるには、圧力解放から加熱発泡までを瞬時に行う必要がある。圧力変化は５秒以下で完了させることができるので制御は比較的容易である。一方、温度を瞬時に変えるには、試料を瞬時に移動させなくてはならないが、圧力維持のために厳重に密閉されたリアクターから試料を取り出すにはある程度の時間を要する上に、断熱膨張による系中の冷却も避けられないため、温度の制御は容易ではない。そこで、温度を変えるのではなく、維持することで、圧力変化のみによって発泡させる。これによって温度制御が容易になり、処理温度や圧力解放にかける時間を調節することで、非発泡層を表裏両面でそれぞれ４９％にまで厚くすることも可能である。また、全面にカバーを密着させておけば全面が均一に発泡するだけでなく、発泡を望む部分にのみカバーやパターンを密着させておき適切な温度で処理すれば任意の箇所への部分発泡も可能になるし、表裏両面の非発泡層厚が面方向で異なるように分布したシートをつくることもできる。
【実施例】
【００２９】
以下、実施例に基いて、さらに詳細に説明する。
【００３０】
実施例１
実施例１について説明する。幅３ｃｍ、長さ５ｃｍ、厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートの延伸シートの全面を、同じ幅と長さをもつ厚さ１ｍｍのガラス板ではさみ、５０ｍＬ高圧マイクロリアクター（オーエムラボテック社製ＭＭＳ−５０）に入れた。リアクターをサイホン式の二酸化炭素ボンベにつなぎ、まずは気体の二酸化炭素で容器を置換するためにバルブを半開にして二酸化炭素を流した。容器を密閉した後、バルブを全開にして室温で二酸化炭素を充填した。バルブを閉じて、温度を２２０℃に上昇させ、内圧を１９．０ＭＰａにした。この状態で１分間保持し、そのままバルブを開けると３．６秒で大気圧に達した。リアクターからシートを取り出し、発泡の状態を評価した。
【００３１】
表１は実施例１と後述の比較例１の条件を示す。上述の操作を、表１に示すように浸漬温度を１００、１３０、１６０、もしくは１９０℃に変えて行った。浸漬時の圧力はいずれも約１８ＭＰａ、圧力解放にかかった時間はいずれも約３秒である。なお、実施例１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅはそれぞれ浸漬温度が１００、１３０、１６０、１９０、２２０℃のときのものであり、原材料１は二酸化炭素で処理を施す前のシートである。
【表１】
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【００３２】
図３は実施例１のシート状部材を示す写真である。それぞれのシートは各種測定を行うため処理後に一部を切断している。浸漬温度が１００℃と１３０℃のときは、所望する全面の発泡が得られなかった。１６０℃では全面が発泡したものの斑が多く見られ、１９０℃と２２０℃ではシート全体が均一に発泡していた。また、走査型電子顕微鏡を用いて断面を観察したところ、発泡が確認された実施例１ｃ、１ｄ、１ｅのいずれにおいても、厚さ方向の中央に気泡が局在していた。気泡の形状は異方的で、シートの延伸方向に著しく広がっており、それぞれの気泡は厚み方向に１〜１０μｍの大きさがあった。シートの厚さは発泡に伴って増大しており、それぞれ１３０μｍ、１２２μｍ、１７３μｍであった。またシートの表裏両面に非発泡層が見られたが、その厚みは実施例１ｃ、１ｄ、１ｅでそれぞれ４５μｍ（発泡シートの厚さに対して３４％）、２０μｍ（同１６％）、１５μｍ（９％）であり、処理温度が高いほど非発泡層は薄かった。
【００３３】
比較例１
比較例１について説明する。幅３ｃｍ、長さ５ｃｍ、厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートの延伸シートの両端のみをクリップで固定し、リアクター内で壁面にもプレートにも接触させることなく、実施例１ｄと同じ操作（浸漬温度１９０℃、１８．２ＭＰａ）を行ったところ、全面の発泡は得られなかった。ガラスに密着させた実施例１ｄでは全面に均一な発泡が得られており、ガラスに密着させることが発泡を促進することがわかった。
【００３４】
実施例２
実施例２について説明する。幅３ｃｍ、長さ５ｃｍ、厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートの延伸シートを１０枚重ねて、これと同じ幅と長さをもつ厚さ１ｍｍのガラス板ではさみ、実施例１と同じ操作を行った。結果は各温度で実施例１ａ〜１ｅと同様である。それぞれのシートが同様に発泡しており、１０枚重ねたことによる発泡の状態、非発泡層の厚さの大きな変化はなかった。したがって、多数の発泡シートを効率よく作ることができる。複数枚を重ねる方法として、カバーとなるべき芯材の周囲に必要な回数巻き付けて、最外周にカバーとなるべき部材を巻いてもよい。
【００３５】
実施例３
実施例３について説明する。幅１．５ｃｍ、長さ５．０ｃｍ、厚さ３ｍｍのガラス板にポリスチレンの６％クロロホルム溶液を垂らしてクロロホルムを蒸発させることで、厚さ約１６０μｍのポリスチレンシートがガラス板に密着した状態で得られた。以降、シート表面の大気に面した方を１面、ガラスに面した方を２面と呼ぶことにする。なお、２面は全面がガラスに密着しているのに対し、１面には若干の凹凸が確認された。これを、実施例３ａではそのまま、実施例３ｂではさらに１面にも同じ規格のガラス板を重ねて、５０ｍＬ高圧マイクロリアクター（オーエムラボテック社製ＭＭＳ−５０）に入れた。リアクターをサイホン式の二酸化炭素ボンベにつなぎ、まずは気体の二酸化炭素で容器を置換するためにバルブを半開にして二酸化炭素を流した。容器を密閉した後、バルブを全開にして、リアクターを寒剤で冷却しながら二酸化炭素を充填した。バルブを閉じて、リアクターに備え付けの温度調節器を用いて温度を５０℃に上昇させ、内圧を１９．５ＭＰａにした。この状態で１分間保持し、そのままバルブを開けて６．８秒で大気圧に達した。リアクターからシートを取り出し、発泡の状態を評価した。結果を表２に示す。
【表２】
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【００３６】
原材料２として発泡処理前のポリスチレンを一緒に掲載した。また断面の走査型電子顕微鏡写真を図４に示す。実施例３ａ、３ｂのいずれに対しても発泡が確認され、発泡に伴うシートの厚さの増大があったが、実施例３ａと３ｂとでは発泡の程度に差が見られた。２面のみがガラスに面していた実施例３ａでは１６０μｍから２７０μｍへと１．７倍に増大していたのに対し、１面もガラスに面していた実施例３ｂでは７００μｍ、４．５倍へと、実施例３ａよりも著しく厚さを増していた。実施例１２はシートの両面をガラス板挟むことで保温効果が高まり、断熱膨張による冷却の影響を受けにくいため、実施例３ａよりも発泡がより進行したものと考えられる。また、実施例３ａ、３ｂの１面２面ともに気泡の存在が認められたことから、非発泡層のない発泡シートが得られていることがわかる。ただし表面に達した気泡の数と大きさはそれぞれ異なる。実施例３ａでは１面に約２０μｍの気泡が約２００個／ｃｍ2、２面には１〜５０μｍの気泡が約７５，０００個／ｃｍ2存在しており、ガラスに密着していた２面の方が１面よりも発泡が進行していた。２面はガラスに密着しているのに対して、１面は系中の二酸化炭素と直接触れているために最表面では断熱膨張による冷却の影響を受けているものと考えられる。実施例３ｂでは１面に１０〜５０μｍの気泡が約２０００個／ｃｍ2、２面には１〜５μｍの気泡が約２５０，０００個／ｃｍ2存在していた。２面はガラスに密着しているのに対して、１面には若干の凹凸が確認されており、ガラスとの接触面積が２面に比べると小さいためにこの差が現れたものと考えられる。
【００３７】
実施例４
実施例４について説明する。実施例４ａと４ｂはそれぞれ実施例３ａと３ｂの操作をポリメタクリル酸メチルに対して行ったものであり、バッチ処理前のポリメタクリル酸メチルシートの厚さは約１２０μｍであった。結果を表２と図４に示す。表２には原材料３として発泡処理前のポリメタクリル酸メチルを一緒に掲載した。バッチ処理後のシートには発泡が認められ、シートの厚さも増大していたが、増大の程度は実施例４ａが１．７倍、実施例４ｂは２．４倍と、これも両面をガラスで挟んだときのほうが大きかった。発泡の程度はポリスチレンよりも小さく、シート中央に２〜１０μｍの気泡が疎らに確認できるのみで、実施例４ａよりも４ｂの方が気泡数は多い。実施例４ａ、４ｂともに非発泡層は表裏両面で約５０μｍ（発泡シートの厚さに対して約２０〜３０％）であった。
【００３８】
実施例５
実施例５について説明する。幅５．２ｃｍ、長さ７．５ｃｍ、厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートの２軸延伸シートの片面の中程に、幅と厚さともに５ｍｍのガラス板を重ね、１９０℃、１９．４ＭＰａの超臨界二酸化炭素に１分間浸漬した後、２．６秒で圧力を解放した。結果を図５に示す。ガラスと密着していた部分は他に比べて明らかに発泡が進行していた。
【００３９】
以上、二酸化炭素等を発泡剤とした発泡処理を用いて得られる発泡シートについて、バッチ式によって発泡を望む部分のみを発泡させることが可能になり、さらに表裏両面の非発泡層をそれぞれ０〜４９％の範囲で制御できるようになった。すなわち、非発泡層の厚さがシート全体の厚さに対して５％未満または２０％を超える発泡シートはこれまで得られなかったが、この発明によって実現されている。発泡している部分においては、気泡の形状や大きさがそろっており、均一性が高い。
【符号の説明】
【００４０】
１．発泡シート製造装置
２．リアクター（耐圧容器）
３．発泡剤供給源
４．発泡剤供給管
５，８  バルブ
６，７  圧力計
９．安全弁
１０．カバー
ｘ．シート状部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
2012036277.tif 000007
【図４】
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【図５】
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