(57)【要約】【課題】ユーザが所望の画像データを迅速に検索することができる荷電粒子線装置および画像データの検索方法を提供する。【解決手段】ユーザの操作履歴を記録し、操作ログデータを作成する操作ログデータ作成部と、前記操作ログデータから撮像条件に関する項目のみを抜粋した抜粋ログデータを作成する抜粋ログデータ作成部と、前記抜粋ログデータに含まれる各項目に対し、所定の重み付けをするための重要度パラメータを設定する重要度パラメータ設定部と、前記抜粋ログデータおよび前記重要度パラメータに基づき、前記画像データの重要度を算出し、前記重要度を付与した画像データを前記記憶装置に保存する重要度算出部と、少なくとも画像データの撮像条件またはユーザの入力した重要度を検索条件として、前記記憶装置に蓄積された前記重要度を付与した画像データの中から、適合する画像データを検索する検索部とを備える。【選択図】図２
2012074187.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記憶装置に蓄積された画像データの中から所望の画像データを検索する手段を備える荷電粒子線装置であって、
ユーザの操作履歴を記録し、操作ログデータを作成する操作ログデータ作成部と、
前記操作ログデータから撮像条件に関する項目のみを抜粋した抜粋ログデータを作成する抜粋ログデータ作成部と、
前記抜粋ログデータに含まれる各項目に対し、所定の重み付けをするための重要度パラメータを設定する重要度パラメータ設定部と、
前記抜粋ログデータおよび前記重要度パラメータに基づき、前記画像データの重要度を算出し、前記重要度を付与した画像データを前記記憶装置に保存する重要度算出部と、
少なくとも画像データの撮像条件またはユーザの入力した重要度を検索条件として、前記記憶装置に蓄積された前記重要度を付与した画像データの中から、適合する画像データを検索する検索部と
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
前記抜粋ログデータ作成部は、前記操作ログデータから、ｎ番目の画像データに関する抜粋ログデータと、ｎ＋１番目の画像データに関する抜粋ログデータを作成し、
前記重要度算出部は、前記ｎ番目およびｎ＋１番目の抜粋ログデータに含まれる各項目数に該項目に対応する前記重要度パラメータを乗じたものを合計することで、前記重要度を算出することを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項３】
前記重要度パラメータ設定部は、前記画像データの精度に寄与する項目、および前記抜粋ログデータに所定の回数以上含まれる項目について、前記重要度パラメータを高く設定することを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項４】
前記検索部は、前記重要度が所定の値以下の画像データを、自動で削除することを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項５】
前記検索部は、ｎ番目の画像データを検索する際、ｎ番目の画像データの重要度と、ｎ＋１番目の画像データの重要度に基づき、前記画像データを検索することを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項６】
前記重要度パラメータ設定部は、ｎ番目の画像データと、ｎ＋１番目の画像データについて、別々に重要度パラメータを設定可能であることを特徴とする請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項７】
荷電粒子線装置において、記憶装置に蓄積された画像データの中から所望の画像データを検索する画像データの検索方法であって、
操作ログデータ作成部が、ユーザの操作履歴を記録し、操作ログデータを作成するステップと、
抜粋ログデータ作成部が、前記操作ログデータから撮像条件に関する項目のみを抜粋した抜粋ログデータを作成するステップと、
重要度パラメータ設定部が、前記抜粋ログデータに含まれる各項目に対し、所定の重み付けをするための重要度パラメータを設定するステップと、
重要度算出部が、前記抜粋ログデータおよび前記重要度パラメータに基づき、前記画像データの重要度を算出し、前記重要度を付与した画像データを前記記憶装置に保存するステップと、
検索部が、少なくとも画像データの撮像条件またはユーザの入力した重要度を検索条件として、前記記憶装置に蓄積された前記重要度を付与した画像データの中から、適合する画像データを検索するステップと
を備えることを特徴とする画像データの検索方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子線装置および画像データの検索方法に関し、例えば撮像条件に基づき画像データを検索する手段を備える荷電粒子線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の荷電粒子線装置は、パーソナルコンピュータ（以下、「ＰＣ」という）、ハードディスク（以下、「ＨＤ」という）等の記憶装置を備えるものが増えている。ユーザは、荷電粒子線装置の操作部となるＰＣに撮像条件等を入力し、荷電粒子線装置を操作する。指示を受けた荷電粒子線装置は、撮像条件に従って試料の画像を取得する。得られた画像は、試料名、加速電圧、倍率等の試料観察時の撮像条件と、ファイル名、保存日時、保存先フォルダ名等のファイル情報とともに関連付けられ、電子データとしてＨＤに送信される。それらの電子データ（以下、「画像データ」という）は、ＨＤにおいて、それぞれ個別データとして保存されるか、または１つの画像ファイルにまとめて保存される。こうして、様々な試料および撮像条件で取得された画像データは、ＨＤに蓄積されていく。
【０００３】
これら画像データは、荷電粒子線装置専用または汎用の電子データ管理ソフトで管理される。ユーザは、このソフトを用いて、画像データと撮像条件とを同時表示し、また撮像条件を検索キーとして画像データを検索することが可能である。
【０００４】
一般的に、画像は、同じ試料について撮像条件を少しずつ変化させ、またはある目標値に近づくように調整しながら、もしくは同じ撮像条件下で試料を取り替えながら、連続的に取得することが多い。例えば、１つの試料を少しずつ倍率を増加させながら、またはフォーカスが合うように電子ビームの値を調整しながら、何度か画像を取得する。また、試料がウエハ上に形成された複数の同形パターンの場合、試料の位置を移動しながら、同じ撮像条件で複数の試料の画像を取得する。
【０００５】
このように、ＨＤには、同じような試料または撮像条件で連続的に取得した画像データのグループが複数存在することが多い。これらグループにおいては、撮像条件や試料名で区別がつきにくいため、ＨＤに蓄積された画像データから所望の画像を検索するのは困難である。
【０００６】
また、画像データは削除すると復元するのが困難であり、ＰＣに搭載されるＨＤも大容量化されているため、ユーザは不要な画像データでも削除せずにそのまま残す傾向がある。その結果、必要なデータと不要なデータが混在し、ますます目的のデータを探すことが困難になっている。
【０００７】
特許文献１では、基準画像と複数の関連画像とを関連付けて保存することにより、ある観察像データを利用する際に、その観察像データの関連画像を呼び出して利用可能とする方法を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−０２６８８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来の検索方法では、ユーザが膨大な画像データの中から目的の画像データを探し出す場合、ファイル情報および撮像条件を検索キーとして用いるため、同じ試料または似たような撮像条件の画像データの中では絞り込むことが難しい。絞り込むには、手作業で画像データ同士を比較しなければならない。
【００１０】
上記特許文献１では、最初の観察像データを検索した後、その観察像データの関連画像を呼び出すことは可能であるが、どのようにして膨大な観察像データの中から、最初の観察像データを検索するかは記載されていない。
【００１１】
また、最も高精度な画像データを検索したい場合、入力すべき撮像条件がわからないことが多く、またファイル情報および撮像条件を入力しても絞り込むことは難しい。この場合は、上記画像データのグループ内の画像データを１つずつ開き、その画像同士を目で比較する必要がある。
【００１２】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、ユーザが所望の画像データを迅速に検索することができる荷電粒子線装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するため、本発明は、ｎ−１番目に取得した画像データの保存直後からｎ＋１番目に取得した画像データの保存までの期間の操作ログデータから撮像条件等の重要な項目のみを抜粋した抜粋ログデータを作成し、抜粋ログデータの各項目に重要な画像データを決定付けるための重要度パラメータを設定し、抜粋ログデータと重要度パラメータとから重要度を算出し、当該重要度をｎ番目に取得した画像データに付与することを特徴とする。検索時には、検索キーとして入力された画像データの重要度と画像データに付与された重要度とが比較され、入力された重要度に適合する画像データが絞り込まれる。得られた検索結果は画面に表示される。
【００１４】
すなわち、本発明の荷電粒子線装置は、記憶装置に蓄積された画像データの中から所望の画像データを検索する手段を備える荷電粒子線装置であって、ユーザの操作履歴を記録し、操作ログデータを作成する操作ログデータ作成部と、前記操作ログデータから撮像条件に関する項目のみを抜粋した抜粋ログデータを作成する抜粋ログデータ作成部と、前記抜粋ログデータに含まれる各項目に対し、所定の重み付けをするための重要度パラメータを設定する重要度パラメータ設定部と、前記抜粋ログデータおよび前記重要度パラメータに基づき、前記画像データの重要度を算出し、前記重要度を付与した画像データを前記記憶装置に保存する重要度算出部と、少なくとも画像データの撮像条件またはユーザの入力した重要度を検索条件として、前記記憶装置に蓄積された前記重要度を付与した画像データの中から、適合する画像データを検索する検索部とを備えることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の画像データの検索方法は、荷電粒子線装置において、記憶装置に蓄積された画像データの中から所望の画像データを検索する画像データの検索方法であって、操作ログデータ作成部が、ユーザの操作履歴を記録し、操作ログデータを作成するステップと、抜粋ログデータ作成部が、前記操作ログデータから撮像条件に関する項目のみを抜粋した抜粋ログデータを作成するステップと、重要度パラメータ設定部が、前記抜粋ログデータに含まれる各項目に対し、所定の重み付けをするための重要度パラメータを設定するステップと、重要度算出部が、前記抜粋ログデータおよび前記重要度パラメータに基づき、前記画像データの重要度を算出し、前記重要度を付与した画像データを前記記憶装置に保存するステップと、検索部が、少なくとも画像データの撮像条件またはユーザの入力した重要度を検索条件として、前記記憶装置に蓄積された前記重要度を付与した画像データの中から、適合する画像データを検索するステップとを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ユーザは、所望の画像データを迅速に検索することが可能となる。また、画像データに付与された重要度を参照し、蓄積された画像データの中から必要な画像データを選別することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る走査電子顕微鏡の概略構成図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態に係るＰＣの内部構成図およびＰＣの周辺構成図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態に係るユーザの操作履歴を記録した操作ログデータの一例である。
【図４】図４は、本発明の実施形態に係る操作ログデータから主に撮像条件に関するものを抜粋した抜粋ログデータの一例である。
【図５】図５は、本発明の実施形態に係る重要度パラメータをユーザが手動で設定するための重要度パラメータ設定画面の一例である。
【図６】図６は、本発明の実施形態に係る画像データに重要度を付与するフローチャートである。
【図７】図７は、本発明の実施形態に係る画像データの検索画面図の表示例である。
【図８】図８は、本発明の実施形態に係る検索結果画面図の表示例である。
【図９】図９は、本発明の実施形態に係る画像データと重要度との関係を表す一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は、画像データの撮像条件を検索条件としてＨＤ等の記憶装置に蓄積された画像データの中から所望の画像データを検索する手段を備える荷電粒子線装置および画像データの検索方法に関するものである。以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。ただし、本実施形態は、本発明を実施するための一例に過ぎず、本発明の技術的範囲を限定するものではないことに注意すべきである。また、各図において共通の構成には同一の参照番号が付されている。また、以下では、荷電粒子線装置の一例として走査電子顕微鏡（以下、「ＳＥＭ」という）について説明するが、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）、電子線を用いた外観検査装置、集束イオンビーム装置等の、計測、検査、加工を行う荷電粒子線装置一般に対して適用することができる。
【００１９】
＜ＳＥＭの構成＞
図１は、本発明の実施形態に係るＳＥＭの概略構成図である。本発明の実施形態に係るＳＥＭは、電子光学系１００、ＳＥＭ制御部１０１、ＳＥＭ操作部１０２を備える。
【００２０】
電子光学系１００は、試料１０３を載置する試料ステージ１０４、試料ステージ１０４の移動を制御するステージ制御部１０５、一次電子線１０６を放出する電子銃１０７、一次電子線１０６を加速、偏向または減速するアノード１０８、コンデンサレンズ１０９、偏向器１１０および対物レンズ１１１、偏向器１１０を制御する偏向制御部１１２、試料１０３から放出される二次電子１１３を検出する二次電子検出器１１４、および二次電子検出器１１４からの電子データを増幅する増幅器１１５を備える。
【００２１】
ＳＥＭ制御部１０１は、増幅器１１５からの画像データを記憶する画像記憶部１１６、ならびに電子銃１０７、アノード１０８、偏向制御部１１２、対物レンズ１１１、ステージ制御部１０５、および画像記憶部１１６を制御する主制御部１１７、ならびに電子光学系１００を直接操作するためのＳＥＭ専用操作パネル１１８が備えられている。
【００２２】
ＳＥＭ操作部１０２は、主制御部１１７と通信するＰＣ１１９、主制御部１１７とＰＣ１１９との通信インターフェイス１２０、マウス、キーボード等のポインティングデバイス１２１、ＰＣ１１９を操作するためのＧＵＩや画像の表示等を行うディスプレイ１２２を備える。
【００２３】
ユーザは、ディスプレイ１２２に表示されるＧＵＩおよびポインティングデバイス１２１、またはＳＥＭ専用操作パネル１１８に撮像条件等の情報を入力することで、ＳＥＭを操作する。指示を受けた主制御部１１７は、電子光学系１００を制御し、また画像記憶部１１６に記憶された画像データをＰＣ１１９へ送信する。
【００２４】
ユーザからの撮像条件を含む指示は、主制御部１１７から各機構に送信される。電子銃１０７は、入力された電流値に従って、一次電子線１０６を放出する。アノード１０８は、入力された加速電圧に従って、一次電子線を加速する。偏向制御部１１２は、入力された設定倍率に従って、所定の偏向電流を偏向器１１０に供給する。これにより一次電子線１０６が偏向され、試料１０３の表面が二次的に走査される。対物レンズ１１１は、入力された電流値に従って、一次電子線を収束する。ステージ制御部１０５は、入力された座標に従って、試料ステージ１０４を水平方向および垂直方向に移動する。これにより、試料を任意の位置に移動可能となる。試料からの二次電子は、二次電子検出器１１４によって検出され、増幅器１１５で増幅され、電子データに変換された後、主制御部１１７に画像データとして送信される。この画像データは、画像記憶部１１６に記憶されるとともに、ＰＣ１１９に送信され、ディスプレイ１２２に表示される。
【００２５】
これらの機構を制御する主制御部１１７、および主制御部１１７と通信し、得られた画像データを解析処理するＰＣ１１９は、プログラムによって動作可能である。プログラムは、グラフィカルユーザインターフェイス（以下、「ＧＵＩ」という）を有している。これにより、ユーザは、各機構の状態をＳＥＭ専用操作パネル１１８またはディスプレイ１２２で確認し、各機構の制御やデータ解析処理の指示をすることが可能となる。
【００２６】
＜ＰＣの内部構成＞
図２は、本発明の実施形態に係るＰＣ１１９の内部構成図および周辺構成図である。既出の各機構およびその接続関係は、前述の通りである。
ＰＣ１１９は、メモリ２００およびＨＤ２０１を備える。
【００２７】
メモリ２００は、ポインティングデバイス１２１を介して入力された操作およびＳＥＭ専用操作パネル１１８を介して入力された操作を送受信するコマンド送信／受信部２０２、コマンド送信／受信部２０２がユーザと通信した操作履歴を、操作ログデータとして作成する操作ログデータ作成部２０３、操作ログデータから撮像条件等の重要な操作のみを抜粋し、抜粋ログデータを作成する抜粋ログデータ作成部２０４、抜粋ログデータに含まれる撮像条件等の各項目について、重要度パラメータを設定する重要度パラメータ設定部２０５、抜粋ログデータおよび重要度パラメータから重要度を算出する重要度算出部２０６、画像データを検索する検索部２０７を備える。
【００２８】
ＨＤ２０１は、コマンド送信／受信部２０２が受信した撮像条件を保存する撮像条件保存部２０８、操作ログデータ作成部２０３からの操作ログデータを保存する操作ログデータ保存部２０９、抜粋ログデータ作成部２０４からの抜粋ログデータを保存する抜粋ログデータ保存部２１０、重要度パラメータ設定部２０５からの重要度パラメータを保存する重要度パラメータ保存部２１１、重要度算出部２０６からの重要度を保存する重要度保存部２１２、重要度を付与した画像データを保存する重要度付画像データ保存部２１３を備える。
【００２９】
一般的に、操作ログデータは、荷電粒子線装置の保守、点検、およびトラブルシューティングを行う際に利用される。一方、本発明では、１つの画像データが保存されるまでの間に記録された操作ログデータには、画像データの特徴に応じて所定の傾向が現われることに着目した。また、次の画像データが保存されるまでの間に記録された操作ログデータにも、その１つ前に保存された画像データの特徴に応じて所定の傾向が現れることにも着目した。言い換えると、ｎ番目に保存した画像データの操作ログデータを分析することによって、ｎ番目の画像データの特徴（重要度）が推測できるということである。また、ｎ番目およびｎ＋１番目に保存した画像データの操作ログデータを分析すれば、ｎ番目の画像データの特徴（重要度）がより明確になる。したがって、上記期間の操作ログデータから撮像条件等の重要な項目のみを抜粋した抜粋ログデータを作成し、抜粋ログデータの各項目に重要な画像データを決定付けるための重要度パラメータを設定し、抜粋ログデータと重要度パラメータとから重要度を算出し、当該重要度をｎ番目に取得した画像データに付与することを特徴とする。検索時には、検索キーとして入力された画像データの重要度と画像データに付与された重要度とが比較され、入力された重要度に適合する画像データが絞り込まれる。得られた検索結果は画面に表示される。
【００３０】
＜操作ログデータの作成＞
図３は、本発明の実施形態に係るユーザの操作履歴を記録した操作ログデータの一例である。操作ログデータは、操作ログデータ作成部２０３によって作成され、操作ログデータ保存部２０６に保存される。操作ログデータ３００は、各機構間の通信履歴および操作履歴３０１、日付３０２、時刻３０３を有する。
【００３１】
以下では、説明を簡略化するため、ｎ番目の画像データとは、ｎ番目に取得した（する）画像データとする（１≦ｎ）。また、画像データの取得と保存は１対１で対応するものとし、ｎ番目に取得した画像データは、ｎ番目の画像データとして保存されるとする。また、ｎ番目の操作ログデータとは、全ての操作ログデータのうち、ｎ−１番目の画像データ（撮像条件を含む）を保存した直後から、ｎ番目の画像データ（撮像条件を含む）を保存するまでの間に記録された操作ログデータとする。
【００３２】
図３は、例えば半導体検査のように、試料の全体像を大まかに把握するために１番目の画像データを保存した後、異物が発見された箇所を詳細に調査するために高倍率かつ高精度で２番目の画像データを保存する場合の操作ログデータである。このため、試料の全体像を大まかに把握する目的で、１番目の画像データの保存前（図の３０４）には、「ステージ移動」、「自動明るさ調整」および「自動フォーカス調整」の履歴が残されている。また、異物が発見された箇所を詳細に調査する目的で、１番目の画像データの保存後（図の３０５）には、「倍率」、「手動フォーカス調整」および「手動明るさ調整」の履歴が残されている。
【００３３】
したがって、ｎ番目の画像データの操作ログデータを分析すれば、その画像データの特徴を推測することができる。例えば、１番目の画像データは、主にステージ移動と自動による調整であるため、画質の精度は低い可能性が高い。逆に、２番目の画像データは、手動による調整が数回含まれているため、画質の精度は高い可能性が高い。
【００３４】
また、ｎ番目の画像データの保存前後の履歴、すなわちｎ番目およびｎ＋１番目の操作ログデータを分析すれば、ｎ番目の画像データの特徴をより詳しく推測することができる。例えば、１番目の操作ログデータにステージ移動と自動による調整が含まれ、かつ２番目の操作ログデータに手動による調整が含まれている場合、１番目の画像データは、試料全体の画像データである可能性が高い。
【００３５】
さらに、図中の２番目の操作ログデータには手動による調整が数回含まれているが、仮に３番目の操作ログデータ（図示しない）に「ステージ移動」が含まれていれば、２番目の画像データはフォーカス、精度ともに満足するものである可能性が高い。逆に、３番目の操作ログデータに再び手動による調整が含まれていれば、３番目の画像データはフォーカス、精度ともに２番目の画像データよりも満足するものである可能性が高い。
【００３６】
＜抜粋ログデータの作成＞
図４は、本発明の実施形態に係る操作ログデータ３００から主に撮像条件に関するものを抜粋した抜粋ログデータの一例である。ここでは、操作ログデータから撮像条件を抜粋しているが、画像データの特徴を決定付けるものであればこれに限定されない。抜粋ログデータは、抜粋ログデータ作成部２０４によって作成され、画像データと関連付けされ、抜粋ログデータ保存部２１０に保存される。図４（ａ）は、図３の操作ログデータ３００において、１番目の操作ログデータから撮像条件に関する操作ログデータを抜粋したものであり、１番目の抜粋ログデータ４０１である。図４（ｂ）は、図３の操作ログデータ３００において、２番目の操作ログデータから撮像条件に関する操作ログデータを抜粋したものであり、２番目の抜粋ログデータ４０２である。抜粋ログデータ４０１および４０２には、画像データの番号４０３が記されている。
【００３７】
＜重要度パラメータの設定＞
図５は、本発明の実施形態に係る重要度パラメータをユーザが手動で設定するための重要度パラメータ設定画面の一例である。
【００３８】
重要度パラメータ設定画面５００は、抜粋ログデータの各項目に対応する設定項目５０１、ｎ番目の画像データの重要度パラメータ５０２、ｎ＋１番目の画像データの重要度パラメータ５０３、ＯＫボタン５０４を有する。ユーザは、設定項目５０１の各項目について、画像データに付与する重要度パラメータ５０２および５０３を重要度リスト表示ボタン５０５に含まれるリストから選択し、ＯＫボタン５０４で決定する。
【００３９】
設定項目５０１は、抜粋ログデータの各項目に対応し、加速電圧、倍率、明るさ（自動）、明るさ（手動）、フォーカス（自動）、フォーカス（手動）、ビーム偏向、ステージ移動を含む。
【００４０】
画像データは、明るさ、フォーカス等の精度が高いほど、保存しておく価値が高く、重要であるといえる。このため、重要度パラメータは、画像データの画質に寄与する操作、および何度も調整を重ねる操作ほど、高く設定しておく。したがって、図５では、明るさ（手動）およびフォーカス（手動）を「高」に設定し、明るさ（自動）およびフォーカス（自動）を「低」に設定している。ただし、設定方法はこれに限らない。また、図５のように、通常はｎ番目およびｎ＋１番目の画像データの重要度パラメータ５０２および５０３は同じにするが、異ならせてもよい。
【００４１】
設定された重要度パラメータは、画像データと関連付けされ、重要度パラメータ保存部２１１に保存される。
【００４２】
ここでは、重要度パラメータ５０２および５０３を「高」、「中」、「低」で設定しているが、これに限らず数値または記号を入力してもよい。また、設定項目５０１は、図の記載に限らず、ユーザが任意に追加または削除してもよい。
【００４３】
また、ユーザが手動で重要度パラメータを設定する場合を説明したが、重要度パラメータ設定部２０５が自動で設定することも可能である。例えば、抜粋ログデータとその画像データとの関係をユーザごと、試料名ごと、撮像条件ごと、操作回数ごと、または操作時間ごとに統計処理しておき、得られた抜粋ログデータから最も適合する重要度パラメータを付与してもよい。
【００４４】
＜画像データへの重要度の付与＞
次に、設定した重要度パラメータ５０２および５０３と、抜粋ログデータに基づき、画像データに重要度を付与する処理について説明する。
【００４５】
図６は、本発明の実施形態に係る画像データに重要度を付与するフローチャートである。ここでの主体は、重要度算出部２０６である。
【００４６】
Ｓ６０１では、重要度パラメータ保存部２１１から、ｎ番目の画像データの重要度パラメータ５０２を読み込む。
【００４７】
Ｓ６０２では、抜粋ログデータ保存部２１０から、ｎ番目の抜粋ログデータを読み込む。
【００４８】
Ｓ６０３では、読み込んだ抜粋ログデータおよび重要度パラメータから、ｎ番目の画像データの重要度を算出する。例えば、重要度パラメータ５０２が「低」ならば１点、「中」ならば３点、「高」ならば６点を、抜粋ログデータの各項目に付与し、数値を合計したものを重要度とする。なお、加点方式だけでなく、減点方式を採用しても良い。このように、重要度は、重要度パラメータの設定値、および抜粋ログデータの項目数に依存する。図４および５の例では、重要度は８になる。算出した重要度は、重要度保存部２１２に保存する。
【００４９】
Ｓ６０４では、Ｓ６０３で算出したｎ番目の画像データの重要度をｎ番目の画像データに付与する。ここで重要度が付与される画像データは、予め撮像されて画像記憶部１１６に保存されていた生の画像データでもよいし、撮像後まだ保存されていないデータ（撮像データ）でもよい。
【００５０】
Ｓ６０５では、Ｓ６０４で重要度を付与したｎ番目の画像データまたは撮像データを重要度付画像データ保存部２１３に保存する。
【００５１】
Ｓ６０６では、ｎ＋１番目の画像データが保存されているか否かを判定する。当該画像データが保存されている場合は、Ｓ６０７〜６１１の処理を行う。当該画像データが無い場合は、Ｓ６１２以降の処理を行う。
【００５２】
Ｓ６０７では、重要度パラメータ保存部２１１から、ｎ＋１番目の画像データの重要度パラメータ５０３があれば読み込む。通常は、ｎ＋１番目の画像データの重要度パラメータは、Ｓ６０１で読み込んだｎ番目の画像データの重要度パラメータと同じである。
【００５３】
Ｓ６０８では、抜粋ログデータ保存部２１０から、ｎ＋１番目の抜粋ログデータを読み込む。
【００５４】
Ｓ６０９では、読み込んだ抜粋ログデータおよび重要度パラメータから、ｎ＋１番目の画像データの重要度を算出する。算出方法は、Ｓ６０３と同様である。図４および５の例では、重要度は２０になる。算出した重要度は、重要度保存部２１２に保存する。
【００５５】
Ｓ６１０では、Ｓ６０９で算出したｎ＋１番目の画像データの重要度をｎ番目の画像データまたは撮像データに付与する。
【００５６】
Ｓ６１１では、Ｓ６１０で重要度を付与したｎ番目の画像データまたは撮像データを重要度付画像データ保存部２１３に上書き保存する。これにより、ｎ番目の画像データには、ｎ番目およびｎ＋１番目の画像データの重要度が付与される。なお、重要度を画像データに直接付与せずに、重要度保存部２１２に保存された重要度と画像記憶部１１６またはＨＤ２０１内の別の場所に保存した画像データとを関連付けてもよい。
【００５７】
Ｓ６１２では、Ｓ６０６でｎ＋１番目の画像データが無いと判定された場合、撮像を続行するか否かをユーザに問い合わせる。撮像を続行しない場合、ｎ＋１番目の画像データが保存されないので、ｎ番目の画像データへの重要度付与を終了する。この場合、ｎ番目の画像データには、ｎ番目の画像データの重要度のみが付与されている。
【００５８】
Ｓ６１３では、撮像を続行するため、ｎ＋１番目の画像データが保存されるまで待機する。または所定の時間を設定し、その期間待機してもよい。当処理の後、Ｓ６０６に戻る。
【００５９】
なお、重要度が付与されずに保存された過去の画像データについても、当該画像データの操作ログデータに基づき、上記と同様の処理によって重要度を当該画像データに付与することができる。
【００６０】
＜画像データの検索＞
次に、重要度付与後画像データ保存部２１３に蓄積された画像データの中から、所望の画像データを検索する方法について説明する。
【００６１】
図７は、本発明の実施形態に係る画像データの検索画面図の表示例である。検索画面図７００は、撮像条件７０１、ファイル情報７０２、および重要度７０３を有する検索項目７０４、各検索項目ごとの検索条件７０５、検索開始となる検索ボタン７０６を備える。撮像条件７０１は、試料名、加速電圧、倍率、任意のキーワードを含み、ファイル情報７０２は、ファイル名、保存日時、保存先フォルダ名を有する。また、重要度７０３は、ｎ番目の画像データの重要度、ｎ＋１番目の画像データの重要度、またはそれらの合計を入力可能である。
【００６２】
ユーザが、検索項目７０４に検索条件７０５等を入力し、検索ボタン７０６を押下すると、荷電粒子線装置専用または汎用の電子データ管理ソフトによって、画像データに付与された情報と、入力された情報とが比較される。比較した結果、入力された情報に一致するか、最も近い情報を有する画像データがディスプレイ１２２に一覧表示される。
【００６３】
図８は、本発明の実施形態に係る画像データの検索結果画面図の表示例である。検索結果画面図８００は、検索結果数８０１、画像データのサムネイル８０２〜８０６、画像データのサムネイルに表示される表示項目８０７を備える。
【００６４】
図７の検索画面においてｎ番目の画像データの重要度を１０以上に設定している。これにより、図８の検索結果には、精度の高い画像データのみが絞り込まれている。また、図７においてさらにｎ＋１番目の画像データの重要度を例えば１０未満に設定すれば、明るさ、フォーカス等について、より精度の高い画像データである可能性が高くなる。
【００６５】
また、図８の検索結果は、重要度が高いほど画像データが大きく表示されている。そして、画像データには、撮像条件、ファイル情報、および重要度を含む表示項目が表示されている。
【００６６】
これにより、ユーザは、所望の画像データを迅速に検索することが可能となる。また、画像データとともに表示された情報を参照し、蓄積された画像データの中から必要なデータを選別することが可能である。また、例えば、高精度な画像データを検索したい場合、入力すべき検索条件がわからなくても、高い重要度を入力することで、所望の画像を絞り込むことができる。
【００６７】
さらに、荷電粒子線装置専用または汎用の電子データ管理ソフトによって、所定の重要度以下の画像データを自動で削除すれば、全体の画像データ数が削減され、検査効率を向上できる。
【００６８】
なお、図７では、重要度を直接数値で入力しているが、重要度の数値が分からない場合等は、図５と同様の重要度を算出するための画面を追加表示してもよい。
【００６９】
図９は、本発明の実施形態に係る画像データと重要度との関係を表す一例である。ここでは、図５で設定された重要度パラメータに基づき、試料移動後の全体像（ｎ＝１）、ｎ＝１の全体像の拡大像（ｎ＝２）、ｎ＝２の拡大像の補正（ｎ＝３）、試料移動後の全体像（ｎ＝４）、ｎ＝４の全体像の拡大像（ｎ＝５）の順に、画像データを保存した場合の重要度を算出し、表にまとめたものである。図のように、試料移動後の全体像ではいずれも重要度が１０未満であり、拡大像では重要度がおおむね１０〜２０、拡大像を補正して取り直したものは重要度が２０以上である。このように、画像データの精度に応じて、重要度が高くなる。この画像データの中から、最も高精度な画像データを検索する場合は、単純にｎ番目の画像データの重要度を２０以上とすればよい。また、ｎ番目の画像データの重要度に加え、ｎ＋１番目の画像データの重要度を１０未満にすれば、より確実に高精度な画像データ（ｎ＝３）を絞り込むことができる。
【００７０】
＜まとめ＞
本発明は、ｎ番目およびｎ＋１番目の画像データの操作ログデータから撮像条件等を抜粋した抜粋ログデータを作成し、抜粋ログデータの各項目に重要な画像データを決定付けるための重要度パラメータを設定し、抜粋ログデータと重要度パラメータとから重要度を算出し、当該重要度をｎ番目に取得した画像データに付与することを特徴とする。検索時には、検索キーとして入力された画像データの重要度と画像データに付与された重要度とが比較され、入力された重要度に適合する画像データが絞り込まれる。得られた検索結果は画面に表示される。
【００７１】
この場合において、重要度が付与されずに保存された過去の画像データに対しては、当該画像データの操作ログデータに基づき、同様に算出した重要度を当該画像データに付与してもよい。
【００７２】
これにより、ユーザは、所望の画像データを迅速に検索することが可能となる。また、画像データに付与された重要度を参照し、蓄積された画像データの中から必要なデータを選別することが可能である。また、例えば、高精度な画像データを検索したい場合、入力すべき検索条件がわからなくても、高い重要度を入力することで、所望の画像を検索することができる。
【００７３】
この場合において、荷電粒子線装置専用または汎用の電子データ管理ソフトによって、所定の重要度以下の画像データを自動で削除してもよい。
これにより、全体の画像データ数が削減され、検査効率を向上できる。
【符号の説明】
【００７４】
１００  電子光学系
１０１  ＳＥＭ制御部
１０２  ＳＥＭ操作部
１０３  試料
１０４  試料ステージ
１０５  ステージ制御部
１０６  一次電子線
１０７  電子銃
１０８  アノード
１０９  コンデンサレンズ
１１０  偏向器
１１１  対物レンズ
１１２  偏向制御部
１１３  二次電子
１１４  二次電子検出器
１１５  増幅器
１１６  画像記憶部
１１７  主制御部
１１８  ＳＥＭ専用操作パネル
１１９  ＰＣ
１２０  通信インターフェイス
１２１  ポインティングデバイス
１２２  ディスプレイ
２００  メモリ
２０１  ＨＤ
２０２  コマンド送信／受信部
２０３  操作ログデータ作成部
２０４  抜粋ログ作成部
２０５  重要度パラメータ設定部
２０６  重要度算出部
２０７  検索部
２０８  撮像条件保存部
２０９  操作ログデータ保存部
２１０  抜粋ログデータ保存部
２１１  重要度パラメータ保存部
２１２  重要度保存部
２１３  重要度付画像データ保存部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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