(57)【要約】【課題】梱包・開梱作業を容易に行うことができ、しかも、外気温が変化しても基板が汚染することを防止できる基板収納容器及び基板収納容器用梱包体を提供する。【解決手段】基板を収納する容器本体４と、この容器本体４の開口を塞ぐ蓋体とからなる基板収納容器１であって、容器本体４の上壁７、側壁９の外面に、この外面を覆い、且つ、容器本体４の外部と内部の間における熱伝導を抑制する断熱壁３１、３２、３３を設けてなる。さらに、蓋体、背面壁８、ボトムプレート１１を覆う断熱壁３４、３５、３６を追加することで、合計６枚の断熱壁により、基板収納容器用梱包体を構成することもできる。【選択図】図２
2012240703.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口を塞ぐ蓋体とからなる基板収納容器において、
前記容器本体の壁及び前記蓋体の壁のうち、少なくとも一部の壁の外面に、この外面を覆う断熱壁を設けたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記断熱壁の熱伝導率を０．４Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下としたことを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記断熱壁に低吸水層を設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記断熱壁の内部に空隙を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか1項記載の基板収納容器。
【請求項５】
基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口を塞ぐ蓋体とからなる基板収納容器の輸送に供する梱包体であって、
前記基板収納容器を囲う壁のうち、少なくとも一部の壁を断熱壁としたことを特徴とする基板収納容器用梱包体。
【請求項６】
前記断熱壁の熱伝導率を０．４Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下としたことを特徴とする請求項５記載の基板収納容器用梱包体。
【請求項７】
前記断熱壁に低吸水層を設けたことを特徴とする請求項５又は請求項６記載の基板収納容器用梱包体。
【請求項８】
前記断熱壁の内部に空隙を設けたことを特徴とする請求項５〜請求項７のいずれか1項記載の基板収納容器用梱包体。
【請求項９】
基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口を塞ぐ蓋体とからなる基板収納容器において、
前記容器本体の壁及び蓋体の壁のうち、少なくとも一部の壁を、内部に空隙を設けた断熱壁としたことを特徴とする基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等の精密加工基板を収納して、輸送、搬送、保管に使用する基板収納容器、及び、基板収納容器の輸送に供する基板収納容器用梱包体に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器は、工場間における基板の輸送などに広く利用されており、各種の技術が提案されている（例えば、特許文献１（図１）参照。）。
【０００３】
特許文献１の技術では、輸送時に基板収納容器が受ける衝撃を緩和するため、周囲のベローズにより緩衝能力を高めた一対の緩衝体を梱包箱の上下に配置して基板収納容器を梱包し、基板を加工する工場に輸送する。
【０００４】
ところで、基板収納容器の輸送が遠距離になる場合、航空機や船舶による輸送が行われる。この場合、輸送中の急激な外気温の変化（−１０℃〜４０℃程度）により基板収納容器内が結露し易くなる。基板収納容器内で結露が起きると、基板収納容器の壁から発生する揮発性有機物と水分とが反応したり結合したりして、基板表面に塩や結晶を形成し、基板表面が汚染される虞がある。この結露の問題は、寒冷地での陸送においても同様に生ずる。したがって、このような結露の問題を解消するため、外気温の変化に対応した結露対策が望まれる。
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術においては、一対の緩衝体で輸送時の衝撃を緩和することはできるが、結露の問題を解消することは困難である。そこで、結露発生を防止する技術が提案されている（例えば、特許文献２（図４）参照。）。
【０００６】
特許文献２の技術では、基板収納容器をアルミラミネート製等の梱包袋で包み、この梱包袋と基板収納容器との間に空間（保温層）を形成し、この保温層によって、輸送時における結露の発生を抑える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2002-160769号公報
【特許文献２】特開2010-241436号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献２に開示される技術では、梱包する際、基板収納容器を梱包袋で包み、この梱包袋をヒートシールした後、梱包袋で包んだ基板収納容器を梱包箱に入れる作業を行う必要がある。一方、開梱する際は、梱包袋に包まれた基板収納容器を梱包箱から取り出し、梱包袋を破り、さらに梱包袋から基板収納容器を取り出す作業を行う。
【０００９】
このように、断熱用の梱包袋を付加したことで、取扱う資材の数が多くなり、作業工数が増える。このため、梱包作業や開梱作業が煩雑になり、作業性が良くない。梱包・開梱作業の迅速化が求められる中、作業性を妨げない結露防止技術が望まれる。
【００１０】
また、基板保護の観点から、基板収納容器には、一層の結露防止性能が望まれるが、特許文献２の技術は、単に基板収納容器を梱包袋で包んだものであるため、外気温の変化に対し、十分に対応できない虞もある。したがって、より確実に結露を防ぐ技術が求められる。
【００１１】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、梱包・開梱の作業を容易に行うことができ、しかも、外気温が変化しても基板が汚染することを防止できる基板収納容器及び基板収納容器用梱包体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口を塞ぐ蓋体とからなる基板収納容器において、前記容器本体の壁及び前記蓋体の壁のうち、少なくとも一部の壁の外面に、この外面を覆う断熱壁を設けたことを特徴とする。
【００１３】
上記発明は、断熱壁の熱伝導率を０．４Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下としたことを特徴とする。
上記発明は、断熱壁に低吸水層を設けたことを特徴とする。
上記発明は、断熱壁の内部に空隙を設けたことを特徴とする。
【００１４】
上記発明は、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口を塞ぐ蓋体とからなる基板収納容器の輸送に供する梱包体であって、前記基板収納容器を囲う壁のうち、少なくとも一部の壁を断熱壁としたことを特徴とする。
【００１５】
上記発明は、梱包体を構成する断熱壁の熱伝導率を０．４Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下としたことを特徴とする。
上記発明は、梱包体を構成する断熱壁に低吸水層を設けたことを特徴とする。
上記発明は、梱包体を構成する断熱壁の内部に空隙を設けたことを特徴とする。
【００１６】
本発明は、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口を塞ぐ蓋体とからなる基板収納容器において、前記容器本体の壁及び蓋体の壁のうち、少なくとも一部の壁を、内部に空隙を設けた断熱壁としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、梱包・開梱作業を容易に行うことができ、しかも、外気温が変化しても基板が汚染することを防止できる基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第1実施形態に係る基板収納容器の斜視図である。
【図２】基板収納容器を背面から見た斜視図である。
【図３】断熱材の取付け例を示す断面図である。
【図４】断熱壁の作用を説明する図である。
【図５】第２実施形態に係る梱包体の断面図である。
【図６】図４の６−６線断面図である。
【図７】第３実施形態に係る梱包体の断面図である。
【図８】第４実施形態に係る梱包体の断面図である。
【図９】第５実施形態に係る梱包体の断面図である。
【図１０】第６実施形態に係る梱包体の断面図である。
【図１１】第７実施形態の基板収納容器の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態という。）について詳細に説明する。
【００２０】
先ず、本発明に係る第1実施形態を図１、図２に基づいて説明する。
図１に示すように、基板収納容器１は、半導体ウェーハ等の基板２を収納する容器である。この基板収納容器１は、前側に開口３を有するいわゆるフロントオープンボックスタイプの容器本体４と、この容器本体４の前側開口３を閉鎖し得る蓋体５と、断熱壁（図２、符号３１〜３６）と、を備える。なお、断熱壁については後述する。
【００２１】
容器本体４は、上記フロントオープンボックスタイプに成形すべく、基板２よりも大きい底壁６と、この底壁６の上方に位置されて底壁６に対向される上壁７と、これら上壁７と底壁６との後部間を上下に連結する背面壁（図２、符号８）と、底壁６と上壁７の左右両側部間を上下に連結する左右一対の側壁９と、を備えるように成形されており、左右一対の側壁９と上壁７と底壁６とは、前側開口３を正面視横長形状に区画する。この容器本体４における左右一対の側壁９の間隔は、前後方向（図１中、Ｘ）中間位置よりもやや後方位置部分を基準として、後側領域が前側領域よりも短くされており、その両者間領域における各側壁９は、後方に向かうに従って左右の両側壁９の間隔が徐々に狭まるように傾斜する。この側壁９部分は、開口３の後方領域に臨んで基板２等の進入規制壁１０を構成する。
【００２２】
なお、容器本体４の底壁６には容器本体４を加工装置に位置決めするためのボトムプレート１１と位置決め部材が設けられ、容器本体４の上壁７には、搬送用のロボティックフランジ１２が取付けられる。
【００２３】
蓋体５は、皿状の蓋体本体１３と、この蓋体本体１３の開口部を閉鎖するように取付けられる表面プレート１４と、を有し、その内部には、蓋体５を容器本体４に係止する施錠機構１５が備えられる。この施錠機構１５は、回転部材１６と、この回転部材１６の回転によって長手方向に移動がなされる連結バー１７と、この連結バー１７の先端に設けられる係止部１８と、によって構成される。表面プレート１４には、回転部材１６と対向する部分において操作孔１９が形成されており、その操作孔１９を介して施錠機構１５を操作することができる。また、蓋体本体１３の側面全周にはガスケット部材２０が備えられており、そのガスケット部材２０は、蓋体５が開口３を閉鎖する際、容器本体４の開口３周縁部との間のシール性を確保する。
【００２４】
蓋体５の裏面には、基板２の蓋体側周縁を保持するリテーナ２１が設けられる。リテーナ２１は、矩形状の枠体２２と、この枠体２２から短冊状に分岐されて基板２側に張り出す弾性片２３とを備えて構成される。弾性片２３には基板２と接触する断面がＶあるいはＵ字状をした保持溝２４が形成される。弾性片２３は、片持ち状に形成する他、連結して両持ち状に形成したり、中央に別の保持部をさらに追加したりすることもできる。
【００２５】
容器本体４の両側壁９の内面には、複数組の一対の支持部材２５（図では片側の支持部材のみを示す）がそれぞれ設けられる。容器本体４の両側壁９の外面には、グリップ２６が設けられる。各組の支持部材２５は、開口３からやや容器本体４内に入った位置から進入規制壁１０までの範囲で、互いに横方向（図１中、Ｙ）内方に向けて水平に張り出しつつ、前後方向（図１中、Ｘ）に延びており、そのような各組における支持部材２５は、上下方向に所定の間隔を隔てて配置される。この所定の間隔としては、薄板状の基板２が例えば直径３００ｍｍ、厚さ７７５μｍの場合は、１０ｍｍに設定される。
【００２６】
容器本体４や蓋体５は、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、シクロオレフィンポリマーなどの合成樹脂から形成することができる。また、これらの樹脂に、カーボンパウダー、カーボン繊維、カーボンナノチューブなどの適量を添加して導電性を付与することもできる。
【００２７】
図２に示すように、背面壁８の中央部には、透明な覗き窓２７が設けられる。この覗き窓２７は、基板の収納枚数に対応した目盛２７ａが設けられており、二色成形等により容器本体４に形成される。この覗き窓２７により、容器本体４の内部が外部から視覚的に観察・把握できる。そして、基板収納容器１は、断熱壁３１、３２、３３を備える。
【００２８】
これら断熱壁３１〜３３は、外気温の変化が容器本体４の内部に伝わることを防ぐ断熱材であり、それぞれ外形が長方形に形成される。断熱壁３１は、容器本体４の上壁７の上面を覆うように設けられ、断熱壁３２、３３は、左右の側壁９、９の外面を覆うように設けられる。上壁７の外面は、容器外面の中でも比較的広い面であり、外気温の変化の影響を受け易いため、上壁７に断熱壁３１を設けることは、結露を防止する上で有効な手段である。また、側壁９は、基板に直接触れる支持部材（図１、符号２５）を内面に備えており、外気温の変化を基板に伝え易い壁である。このため、少なくとも側壁９には、断熱壁３２、３３を設けることが望ましい。
【００２９】
断熱壁３１〜３３は、例えば、断熱壁３１を上壁７に取付け、この断熱壁３１の左右の端部のうち、一方の端部に断熱壁３２を取付け、他方の端部に断熱壁３３を取付ける。このようにして３枚の断熱壁３１〜３３を容器本体４に設けることができる。さらに、容器本体４の蓋体（図１、符号５）側を覆う断熱壁３４、背面壁８を覆う断熱壁３５、そして底壁６及びボトムプレート１１を覆う断熱壁３６を追加することもできる。
【００３０】
これら断熱壁３１〜３６は、個別の板部材で形成しておき、容器本体４に個別に取付けたり、複数の断熱壁を組立て、この組立て品を容器本体４に取付けたりすることができる。断熱壁３１〜３６の容器本体４への取付けは、接着、溶着、ビス止めなどから選択可能であるが、手段は任意である。また、断熱壁３１〜３６の端部同士の取付けは、接着、溶着、ビス止めの他、あり溝などスライド構造や係合構造でもよく、手段は任意である。
【００３１】
図３は、断熱壁の取付け例を示す図である。この取付け例では、上記３枚の断熱壁３１〜３３のうち断熱壁３１の内面の一部に、ロボティックフランジ１２のフランジ部１２ａを上下から挟むような溝部３１ａを形成しておき、この溝３１ａをスライドさせてフランジ部１２ａに嵌合させる。また、断熱壁３１と左右２枚の断熱壁３２、３３とは、断熱壁３１の両端部に形成した溝部３１ｂに、断熱壁３２、３３の突出部３２ａ、３３ａを嵌合させることで取付け可能である。なお、断熱壁３１〜３３はロボティックフランジ１２に限らず、マニュアルハンドルなど、側壁９に設けられるリブを利用して嵌合させても良い。
【００３２】
次に、断熱壁３１〜３６の材質及び熱伝導率について説明する。
断熱壁３１〜３６は、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの合成樹脂、あるいは、発泡ポリオレフィン、発泡ポリスチレン、発泡ポリウレタンなどの発泡樹脂から形成することができる。
【００３３】
また、断熱壁３１〜３６は、基板収納容器１の主要部（容器本体４、蓋体５）を構成する材料よりも熱伝導率が小さい材料から選択することが好ましく、熱伝導率が０．４Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下である材料が好ましい。
【００３４】
ここで、容器本体４、蓋体５を構成する個々の材料の熱伝導率に着目する。容器本体４、蓋体５を構成する代表的な熱可塑性樹脂の熱伝導率は、以下の通りである。
【００３５】
ポリカーボネートやポリエーテルイミドでは、熱伝導率が０．１９〜０．２２Ｗ／（ｍ・Ｋ）程度であり、また部品として使用されることの多いポリエーテルエーテルケトンでは、熱伝導率が０．２９〜０．３８Ｗ／（ｍ・Ｋ）であり、ポリブチレンテレフタレートでは、熱伝導率が０．２５〜０．２７Ｗ／（ｍ・Ｋ）である。
【００３６】
仮に、断熱壁３１〜３６の熱伝導率が、容器本体４や蓋体５の構成材料の熱伝導率よりも大きい場合、容器本体４や蓋体５における伝熱を十分に緩和できなくなる。このため、断熱壁３１〜３６の熱伝導率は、上記容器本体４や蓋体５の構成材料の熱伝導率と同程度又はこれより小さく設定することが好ましい。すなわち、断熱壁３１〜３６は、熱伝導率が０．４Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下の材料から選択することが好ましい。
【００３７】
例えば、上記発泡ポリエチレンや発泡ポリプロピレン、発泡ポリスチレン、発泡ポリウレタンなどの発泡材料を用いて断熱壁３１〜３６を形成する場合、断熱壁３１〜３６の熱伝導率は、容器本体４や蓋体５の構成材料よりも一桁少ない領域とすることが更に好ましく、０．０１８〜０．０４５Ｗ／（ｍ・Ｋ）の範囲が有効である。
【００３８】
なお、複数枚の断熱壁を重ねて、容器本体４や蓋体５に設けることもできる。この場合、熱伝導率の異なる断熱壁を用い、容器本体４や蓋体５から離れる方向（外方）に行くに従って、熱伝導率が小さくなるように複数の断熱壁を順次並べることが有効である。このように断熱壁を配置すれば、容器本体４へ伝わる外気温の変化を確実に遮断することができる。
【００３９】
以上に述べた第1実施形態の作用・効果を説明する。
仮に、断熱壁が無い場合を考える。航空機による輸送や寒冷地での陸送において、例えば、外気の温度が低下すると、基板収納容器１の外面が冷やされる。基板収納容器１の外面が冷やされると、基板収納容器１の内部の温度も低下していく。このとき、基板２は、容器本体４や蓋体５を通じて冷やされることになり、基板に結露が生ずる虞がある。
【００４０】
この点、本実施形態では、容器本体４の上壁７、側壁９、底壁６、背面壁８、蓋体４の外面のうち、少なくとも一部の壁の外面に、断熱壁３１〜３６を設けたので、これら断熱壁３１〜３６の作用により、容器本体４の外側と内側の間において、熱伝導が抑制される。結果、基板２に結露が生ずることを効果的に防止できる。
【００４１】
図４に示すように、断熱壁が無い場合、外気温の変化が側壁９、支持部材２５を通じて、基板２に伝わり易いが、側壁９に断熱壁３２を設けると、外の冷気が断熱壁３２によって遮断される（矢印（１））。結果、基板２上での結露発生を効果的に防ぐことができる。
【００４２】
また、断熱壁３１〜３６を容器本体４、蓋体５に設けたので、梱包・開梱作業において、従来のように基板収納容器を梱包袋に出し入れする必要はなく、取り扱う資材の数が増えることもない。
【００４３】
したがって、梱包・開梱作業を容易に行うことができ、しかも、外気温が変化しても基板２が汚染することを防止できる。
【００４４】
続いて、第２実施形態について説明する。
図２に示したように断熱壁３１〜３６を箱型に構成すると、これらの断熱壁３１〜３６は、梱包体として、基板収納容器の輸送に供することができる。このような基板収納容器用梱包体を、本発明に係る第２実施形態として図５及び図６に基づいて説明する。
【００４５】
図５に示すように、第２実施形態に係る梱包体４０は、合計６枚の断熱壁３１〜３６で構成される箱型の包装体であり、基板収納容器１Ａを収納する。基板収納容器１Ａは、第１実施形態の基板収納容器（図２、符号１）から断熱壁を除いた構成であり、容器本体及び蓋体の構成は、第１実施形態と同様であるため、同一の符号を流用して説明を省略する。
【００４６】
基板収納容器１Ａは、例えば、蓋体５を上に向け、背面壁８を下に向けた姿勢で収納される。なお、符号５１は段ボール等の外装材であり、基板収納容器１Ａを梱包体４０に入れ、梱包体４０をさらに外装材５１に入れて輸送することができる。
【００４７】
断熱壁３１、断熱壁３４〜３６は、それぞれ、上壁７、蓋体５、背面壁８、ボトムプレート１１を覆う。基板収納容器１Ａの出し入れは、例えば、１枚の断熱壁（例えば、断熱壁３４）を他の断熱壁に対して着脱自在又は開閉自在にすることで行うことができる。
【００４８】
図６に示すように、断熱壁３２、３３は、ボトムプレート１１及びグリップ２６に近接して配置され、側壁９を覆う。梱包体４０の構造は、基板収納容器１Ａを単に収納する構成、あるいは、基板収納容器１Ａに取付ける構成のいずれでもよい。基板収納容器１Ａに取付ける場合、断熱壁３１〜３６は、第１実施形態と同様に、容器本体４に個別に取付けたり、組立て品を容器本体４に取付けたりすることができる。断熱壁３１〜３６の容器本体４への取付けは、接着、溶着、ビス止めなどから選択可能であるが、手段は任意である。また、断熱壁３１〜３６の端部同士の取付けは、接着、溶着、ビス止めの他、あり溝などスライド構造や係合構造でもよく、手段は任意である。なお、梱包体４０の全体を断熱壁にする構成の他、梱包体４０の一部の壁又は複数の壁を選択的に断熱壁とすることもできる。
【００４９】
以上の第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の作用・効果に加え、梱包体４０自体の壁を断熱壁３１〜３６としたので、梱包・開梱作業において、作業性を一層高めることができる。
【００５０】
次に、第３実施形態に係る梱包体を図７に基づいて説明する。なお、図７において、外装材（図５、符号５１）は、図示を省略する（以降の図８〜図１０についても同様）。
【００５１】
図７に示すように、第３実施形態に係る梱包体４０Ａは、第２実施形態の梱包体４０の基本構成において、断熱壁３１〜３６の内部に空隙を設けたものである。ここで、空隙を設けた断熱壁とは、中空部を有する層や、発泡層あるいは微発泡層をいう。このような断熱壁３１〜３６は、例えば、窒素ガス等を利用したガスアシスト成形により中空部を形成したり、発泡材料を用いて押出成形、射出成形、ＲＩＭ成形により発泡層を形成したりすることで得る。また、微発泡層は、二酸化炭素を使用した超臨界ガス成形により、形成することができる。
【００５２】
超臨界ガス成形は、超臨界状態のガスの定量供給機から二酸化炭素を成形ユニットへ供給する成形法であり、１μｍ〜１００μｍの空孔を有する微発泡状態の壁面を備えた断熱壁３１〜３６を形成することができる。
【００５３】
この第３実施形態によれば、第２実施形態と同様の作用・効果に加え、断熱壁３１〜３６の内部に空隙があるので、断熱効果が高まり、結露防止性能を一層高めることができる。
【００５４】
次に、第４実施形態に係る梱包体を図８に基づいて説明する。
図８に示すように、第４実施形態に係る梱包体４０Ｂは、第３実施形態の梱包体４０Ａの基本構成において、断熱壁３１〜３６の内側に基板収納容器１Ａの外面形状に沿って緩衝材５２、５３を配置したものである。断熱壁３１〜３６を発泡材料で形成する場合、断熱壁３１〜３６の内側に緩衝材５２、５３を予め形成することもできる。例えば、発泡ポリウレタン樹脂などにより断熱壁３１〜３６を発泡成形する際、同時に基板収納容器１Ａと向き合う面を基板収納容器１Ａの外面形状に沿って、発泡成形させることにより、断熱壁３１〜３６の内側に緩衝材５２、５３を予め形成することができる。
【００５５】
この第４実施形態では、第３実施形態と同様の作用・効果に加え、発泡材料で断熱壁３１〜３６と緩衝材５２、５３を一体成形することで、輸送時における梱包体４０Ｂの緩衝性能を高めることができる。
【００５６】
次に、第５実施形態に係る梱包体を図９に基づいて説明する。
図９に示すように、第４実施形態に係る梱包体４０Ｃは、第２実施形態の梱包体４０の基本構成において、断熱壁３１〜３６の外側部分に、水分の透過を抑制する低吸水層４１を設けたものである。低吸水層４１は、シクロオレフィン樹脂や液晶ポリマーなどの低吸水性の樹脂や、熱可塑性エラストマーやゴム材料などから形成できる。低吸水層４１は、断熱壁に接着したり、溶着したり、嵌合係止したり、低吸水樹脂塗料をコーティングしたり、塗布したりすることで形成することができる。
【００５７】
この第５実施形態によれば、第２実施形態と同様の作用・効果に加え、低吸水層４１の作用により、容器本体４や蓋体５に吸収される水分量を減らすことができる。結果、結露の発生をより確実に防止することができる。また、断熱壁３１〜３６と低吸水層４１からなる多層構造とすることで、断熱効果が高まり、結露防止性能を一層高めることができる。
【００５８】
次に、第６実施形態に係る梱包体を図１０に基づいて説明する。
図１０に示すように、第６実施形態に係る梱包体４０Ｄは、第２実施形態の梱包体４０の基本構成において、断熱壁３１〜３６の中間層として、水分の透過を抑制する低吸水層４１を設けたものである。低吸水層４１の構成・効果は、第５実施形態と同様である。
【００５９】
なお、低吸水層４１は、無機酸化物からなる蒸着層とすることもできる。無機酸化物としては、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化錫、酸化マグネシウム、あるいはこれらの混合物を使用することができる。これらの無機酸化物の層は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、プラズマ気相成長法などにより、断熱壁に形成することができる。アルミニウムなど金属系の材料を用いる場合は、外気と直接接触しない断熱壁の内側や、中間部に低吸水層を形成することが好ましい。この場合、断熱効果を損なうことなく、低吸水のバリア層を設けることができる。このように、低吸水層４１を形成する位置は、用途に応じ、断熱壁の外側、内側、中間層など、任意である。
【００６０】
次に、第７実施形態に係る基板収納容器を図１１に基づいて説明する。
図１１に示すように、第７実施形態に係る基板収納容器１Ｂは、第１実施形態の基板収納容器１の基本構成において、蓋体５Ｂの壁を断熱壁３７とし、容器本体４Ｂの壁（底壁６Ｂ、上壁７Ｂ、背面壁８Ｂ、側壁９Ｂ）を断熱壁３８としたものである。これら断熱壁３７、３８は、内部に空隙を有した断熱材であり、外気温の変化が容器本体４Ｂの内部に伝わることを防ぐ。すなわち、断熱壁３７、３８は、第３実施形態に係る断熱壁（図７、符号３１〜３６）と同一の材質であり、中空部を有する層や、発泡層あるいは微発泡層で構成される。例えば、断熱壁３７、３８は、ガスアシスト成形や超臨界ガス成形により、中空や微発泡の層として形成することができる。また、コーティングや塗料の塗布、蒸着による薄膜形成等を利用して、低吸水層（図９、符号４１）を断熱壁３７、３８の表面に形成することもできる。
【００６１】
以上の第７実施形態によれば、第１実施形態と同様の作用・効果に加え、容器本体４Ｂ自体あるいは蓋体５Ｂ自体を断熱壁３７、３８としたので、断熱部品が一切不要になる。よって、必然的に、輸送資材のコストが削減できることに加え、梱包・開梱の作業性も格段に良くなる。
【００６２】
なお、第１実施形態に係る断熱壁の材質・熱伝導率は、第２〜第７実施形態に係る断熱壁にも適用可能である。また、第３〜第６実施形態に係る空隙や低吸水層を含む断熱壁は、第１実施形態に係る断熱壁、第７実施形態に係る断熱壁（容器本体の壁、蓋体の壁）にも適用可能である。また、第１、第３〜第７実施形態に係る構成に外装材（図５、符号５１）を付加することもできる。
【００６３】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００６４】
１、１Ａ、１Ｂ          基板収納容器
２                      基板
３                      開口
４、４Ｂ                容器本体
５、５Ｂ                蓋体
６、６Ｂ                底壁
７、７Ｂ                上壁
８、８Ｂ                背面壁
９、９Ｂ                側壁
３１〜３８              断熱壁
４０、４０Ａ〜４０Ｄ    梱包体
４１                    低吸水層
【図１】
2012240703.tif 000003
【図２】
2012240703.tif 000004
【図３】
2012240703.tif 000005
【図４】
2012240703.tif 000006
【図５】
2012240703.tif 000007
【図６】
2012240703.tif 000008
【図７】
2012240703.tif 000009
【図８】
2012240703.tif 000010
【図９】
2012240703.tif 000011
【図１０】
2012240703.tif 000012
【図１１】
2012240703.tif 000013