(57)【要約】【課題】差圧検出、差圧解消用の駆動力の算出処理、差圧解消用の駆動機構を用いることなく差圧を相殺可能な機構を備えた真空プレス成形装置を提案すること。【解決手段】真空プレス成形装置１のプレス機構５は、真空成形室２の底板２１に内外の差圧に応じてプレス方向に移動可能な第１受圧板２３を配置し、真空成形室２と同一の内圧に保持される補助真空室２５の天板２７に内外の差圧に応じてプレス方向に移動可能な第２受圧板２９を配置し、これらの受圧面を同一面積とすることにより、内外の差圧に起因してプレス用のエアーシリンダ１１の作動ロッド１４に作用する力を相殺している。これにより、プレス力を精度良く管理することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内圧が外圧と異なる圧力の状態に保持された区画室の内部においてワークに対して所定の処理を施すために必要な駆動力を発生する駆動装置であって、
前記区画室の外部に配置した駆動部材と、
前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第１受圧板と、
前記区画室の内圧と同一の内圧に保持される補助区画室と、
前記補助区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該補助区画室の内外方向に移動する第２受圧板と、
前記区画室内において前記第１受圧板に連結されている被駆動部材とを有しており、
前記駆動部材には、当該駆動部材の駆動方向における一方の側の部位に前記第１受圧板が連結され、他方の側の部位に前記第２受圧板が連結されており、
前記第１受圧板における前記外圧の受圧面と前記第２受圧板における前記外圧の受圧面は、同一面積の受圧面であることを特徴とする差圧相殺機能付き駆動装置。
【請求項２】
請求項１において、
流体圧シリンダを有しており、
当該流体圧シリンダは、その前後の端面から突出している作動ロッドを備えており、
前記作動ロッドは前記駆動部材であり、その軸線方向の一方の端が前記第１受圧板に連結され、他方の端が前記第２受圧板に連結されていることを特徴とする差圧相殺機能付き駆動装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記区画室と前記補助区画室の間は相互に連通状態に保持されていることを特徴とする差圧相殺機能付き駆動装置。
【請求項４】
内圧が外圧と異なる圧力の状態に保持された区画室の内部においてワークに対して所定の処理を施すために必要な駆動力を発生する駆動装置であって、
前記区画室の外部に配置した駆動部材と、
前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第１受圧板と、
前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記外圧と前記内圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第２受圧板と、
前記区画室内に配置されている被駆動部材とを有しており、
前記被駆動部材には、当該被駆動部材の駆動方向における一方の側の部位に前記第１受圧板が連結され、他方の側の部位に前記第２受圧板が連結されており、
前記駆動部材には、前記第１受圧板あるいは前記第２受圧板が連結されており、
前記第１受圧板における前記外圧の受圧面と前記第２受圧板における前記外圧の受圧面は、同一面積の受圧面であることを特徴とする差圧相殺機能付き駆動装置。
【請求項５】
内圧が外圧と異なる圧力の状態に保持された区画室の内部においてワークに対して所定の処理を施すワーク処理装置であって、
前記処理に必要な駆動力を発生する駆動装置を有しており、
当該駆動装置は請求項１ないし４のうちのいずれかの項に記載の差圧相殺機能付き駆動装置であることを特徴とするワーク処理装置。
【請求項６】
真空あるいは減圧状態に保持された成形室内においてワークに対してプレス成形を行う成形装置において、
前記成形室内に配置された一対のプレス型と、
前記プレス型にプレス力を加えるためのプレス機構とを有しており、
前記プレス機構は、請求項１ないし４のうちのいずれかの項に記載の差圧相殺機能付き駆動装置を備えており、
前記区画室は真空あるいは減圧状態の前記成形室であり、
前記被駆動部材は、前記一対のプレス型の一方、あるいは、当該一方のプレス型に連結された部材であることを特徴とする成形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空成形室内で樹脂製ワークのプレス成形を行う真空成形装置などのように、所定の内圧状態に保持された区画室内でワークの搬送、処理などを行うワーク処理装置に関する。さらに詳しくは、区画室の内外の圧力差に影響されることなく区画室内での処理に必要な駆動力を精度良く発生可能な差圧相殺機能付き駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空室内においてプレス加工などを精度良く行う精密プレス装置では、一般に、真空室の外に配置されている駆動装置を備えたプレス機構を用いて真空室内に配置されているプレス型を押圧してワークにプレス加工を施している。駆動装置が真空室の外に配置されているので、その駆動部材は、真空室の外部から真空室の内部に延びており、大気圧と真空室の内圧の差圧が当該駆動部材に作用する。したがって、精度良くプレス荷重を制御するためには、この差圧を考慮する必要がある。
【０００３】
特許文献１に開示の精密プレス装置では、プレス用の加圧シリンダに加えて、加圧側と受圧側の間に流体圧シリンダが配置され、センサ部の検出値に基づき空圧制御を行って差圧を解消している。特許文献２に開示のサーボプレスでは、真空室内でのプレス加工においてラムに作用する大気圧との差圧に起因する引張力を補正するために、ロードセルを配置して差圧を検出してプレス用の加圧力を補正している。
【０００４】
このように、従来における真空室内でワークのプレス加工などの処理を行う装置では、大気圧との差圧に影響されずにプレス荷重などの駆動力を精度良く制御するために、圧力センサを配置して差圧を検出している。また、検出された差圧を考慮して実際にワークに加わるプレス荷重等の駆動力を制御し、あるいは、差圧を相殺するための流体圧シリンダを別途配置している。
【０００５】
なお、差圧補償は、真空室内でのプレス加工に限らず、真空室あるいは加圧室などの区画室内においてワークの搬送を行う場合の搬送用の駆動力を外部から導入する場合、その他のワーク処理を行うワーク処理装置においても同様に必要である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−８９１４１号公報
【特許文献２】特開２００５−１３８１１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、従来における差圧相殺機構は、圧力センサによる差圧検出と、検出された差圧検出に基づく駆動力の算出制御あるいは差圧解消用の加圧手段が必要である。これらの部品を必要とせず、また、駆動力の算出制御を必要とせずに差圧を解消できれば、装置の小型・コンパクト化に有利であり、製造コストの低減化にも有利である。
【０００８】
本発明の課題は、この点に鑑みて、差圧検出、差圧解消用の駆動力の算出処理、差圧解消用の駆動機構を用いることなく、簡単な機構により差圧相殺機能を実現可能なワーク処理装置に用いる駆動装置を提案することにある。また、本発明の課題は、当該駆動装置を備えた成形装置などのワーク処理装置を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明による、内圧が外圧と異なる圧力の状態に保持された区画室の内部においてワークに対して所定の処理を施すために必要な駆動力を発生する駆動装置は、
前記区画室の外部に配置した駆動部材と、
前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第１受圧板と、
前記区画室の内圧と同一の内圧に保持される補助区画室と、
前記補助区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該補助区画室の内外方向に移動する第２受圧板と、
前記区画室内において前記第１受圧板に連結されている被駆動部材とを有しており、
前記駆動部材には、当該駆動部材の駆動方向における一方の側の部位に前記第１受圧板が連結され、他方の側の部位に前記第２受圧板が連結されており、
前記第１受圧板における前記外圧の受圧面と前記第２受圧板における前記外圧の受圧面は、同一面積の受圧面であることを特徴としている。
【００１０】
本発明の駆動装置の駆動部材は、その駆動方向の一方の側の部位に区画室の第１受圧板が連結され、その他方の側の部位に補助区画室の第２受圧板が連結されている。したがって、駆動部材には、第１、第２受圧板から、駆動方向に沿って逆向きに差圧が加わる。区画室と補助区画室の内圧は同一であり、第１、第２受圧板の受圧面積は同一であるので、第１受圧板から駆動部材に作用する区画室側の差圧は、第２受圧板から駆動部材に作用する補助区画室側の差圧に等しい。よって、駆動部材に作用する区画室側の差圧が補助区画室側の差圧によって相殺されるので、内外の差圧に影響されることなく、駆動部材を用いて、第１受圧板を介して区画室内の被駆動部材を所定の駆動力で駆動することができる。
【００１１】
このように、補助区画室の内圧を区画室の内圧に等しくなるように保持することにより、駆動部材に作用する区画室の内外の差圧に起因する影響を除去できる。よって、差圧を検出するための圧力センサの配置が不要になる。また、検出された差圧に基づく駆動部材の駆動力の補正制御、あるいは、検出された差圧を相殺するための流体圧シリンダなどの加圧手段の配置も不要になる。したがって、小型・コンパクトで簡単な機構により差圧を相殺して精度良く駆動部材の駆動力を制御できる。
【００１２】
ここで、補助区画室の内圧を区画室の内圧と同一の状態に保持するためには、これらを相互に連通状態にしておくだけでよい。
【００１３】
また、駆動部材を駆動するための機構としては、エアーシリンダなどの流体圧シリンダを用いることができる。この場合には、当該流体圧シリンダとして、その作動ロッドが前後の端面から突出している構成のものを用い、当該作動ロッドの一方の端を第１受圧板に連結し、他方の端を第２受圧板に連結しておけばよい。この構成によれば、駆動部材として機能する作動ロッドに作用する区画室側の差圧による影響が補助区画室側の差圧によって相殺されるので、作動ロッドによる駆動力を差圧に影響されずに精度良く制御できる。
【００１４】
次に、本発明の駆動装置は、第２受圧板を備えた補助区画室を配置する代わりに、当該補助区画室を省略して区画室に第１受圧板および第２受圧板の双方を配置した構成を採用することができる。
【００１５】
この場合の本発明による駆動装置は、
前記区画室の外部に配置した駆動部材と、
前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記内圧と前記外圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第１受圧板と、
前記区画室の外壁の一部を形成していると共に、前記外圧と前記内圧の差圧に応じて当該区画室の内外方向に移動する第２受圧板と、
前記区画室内に配置されている被駆動部材とを有しており、
前記被駆動部材には、当該被駆動部材の駆動方向における一方の側の部位に前記第１受圧板が連結され、他方の側の部位に前記第２受圧板が連結されており、
前記駆動部材には、前記第１受圧板あるいは前記第２受圧板が連結されており、
前記第１受圧板における前記外圧の受圧面と前記第２受圧板における前記外圧の受圧面は、同一面積の受圧面であることを特徴としている。
【００１６】
区画室の外に配置されている駆動部材は第１受圧板に連結され、当該第１受圧板を介して被駆動部材を駆動する。区画室内の被駆動部材は、その駆動方向の一方の側の部位に第１受圧板が連結され、他方の側の部位に第２受圧板が連結されているので、内外の差圧が逆方向に被駆動部材に作用するので差圧が相殺される。したがって、駆動部材による駆動力が被駆動部材に伝達され、当該駆動力によって被駆動部材が駆動される。
【００１７】
よって、差圧を検出するための圧力センサの配置が不要になる。また、検出された差圧に基づく駆動部材の駆動力の補正制御、あるいは、検出された差圧を相殺するための流体圧シリンダなどの加圧手段の配置も不要になる。したがって、小型・コンパクトで簡単な機構により差圧を相殺して精度良く駆動部材の駆動力を制御できる。
【００１８】
次に、本発明は、内圧が外圧と異なる圧力の状態に保持された区画室の内部においてワークに対して所定の処理を施すワーク処理装置に関するものである。本発明によるワーク処理装置は、処理に必要な駆動力を発生する駆動装置として上述の差圧相殺機能付き駆動装置が備わっていることを特徴としている。
【００１９】
また、本発明は、真空あるいは減圧状態に保持された成形室内においてワークに対してプレス成形を行う成形装置に関するものである。本発明による成形装置は、成形室内に配置された一対のプレス型と、プレス型にプレス力を加えるためのプレス機構とを有しており、プレス機構は、上述の差圧相殺機能付き駆動装置を備えていることを特徴としている。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明を適用した差圧相殺機能付きプレス機構を備えた真空プレス成形装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明を適用した差圧相殺機能付き搬送機構を備えたワーク処理装置を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、図面を参照して本発明を適用した実施の形態を説明する。
【００２２】
（実施の形態１）
図１は、本発明を適用した差圧相殺機能付きのプレス機構を備えた真空プレス成形装置を示す概略構成図である。真空プレス成形装置１は垂直に配置された円筒状の真空成形室２を備えており、この内部には、上下に開閉可能な一対の上プレス型３および下プレス型４（被駆動部材）が同軸状態に配置されている。上プレス型３は固定側の型であり、下プレス型４はプレス機構５によって上下に駆動され、ワークＷのプレス動作が行われる。真空成形室２は密閉室であり、空気供給制御回路６によって、その内圧が所定の減圧状態に調整可能となっている。プレス機構５および空気供給制御回路６の駆動制御は制御盤７によって行われる。
【００２３】
真空成形室２の天板は型支持板８によって規定されており、この型支持板８に上プレス型３が取り付けられている。型支持板８は真空成形室２の外側に配置されている昇降シリンダ９によって上下に移動可能であり、上方に移動すると真空成形室２が開き、プレス対象のワークＷの着脱が可能である。また、真空成形室２の外周壁には上下方向に撓み可能な可撓性外周壁部分１０が備わっており、真空成形室２内における上プレス型３の上下方向の配置位置を調整可能となっている。
【００２４】
プレス機構５は、エアーシリンダ１１を駆動力発生源とする差圧相殺機能付き駆動装置から構成されている。エアーシリンダ１１は真空成形室２の下側に同軸状態に配置されており、円筒状のシリンダ本体１３と、このシリンダ本体１３を同軸状態でスライド可能な状態で貫通して延びている作動ロッド１４（駆動部材）とを備えている。シリンダ本体１３の内部には、作動ロッド１４に一体形成した仕切り盤１５によって区画されている第１、第２圧力室１６、１７が形成されている。これら第１、第２圧力室１６、１７の圧力を空気供給制御回路６によって制御することにより、作動ロッド１４はその軸線方向（図における上下方向）に所定のストロークで移動可能である。
【００２５】
この構成のエアーシリンダ１１を備えたプレス機構５の構成を詳しく説明する。まず、真空成形室２の底板２１の中心部分には開口２２が形成されている。この開口２２における真空成形室２の内側の部位には、当該開口２２よりも一回り大きな輪郭形状の第１受圧板２３が配置されている。第１受圧板２３は下プレス型４を支持している型支持板である。第１受圧板２３を取り囲む状態に蛇腹状のダイヤフラム２４が配置されている。ダイヤフラム２４は上下方向に伸縮可能であり、その上端は下プレス型４の底面あるいは第１受圧板２３の外周面に密閉状態で固定され、その下端は開口２２を取り囲む状態で底板２１に密閉状態で固定されている。
【００２６】
第１受圧板２３は、その上面側（すなわち、下プレス型４）が真空成形室２の内部に位置し、その底面側が真空成形室２の外側に露出しているので、内圧と外圧（本例では大気圧）の差圧が作用し、差圧に応じて上下方向に移動可能である。この第１受圧板２３は、エアーシリンダ１１の作動ロッド１４の上端部に同軸状態で連結固定されている。
【００２７】
一方、エアーシリンダ１１の下側には円筒状の補助真空室２５が同軸状態に配置されている。補助真空室２５は密閉された室であり、連通管２６を介して真空成形室２の内部に連通しており、真空成形室２の内圧と同一の内圧状態に保持可能である。補助真空室２５の天板２７の中心部分には開口２８が形成されている。この開口２８における補助真空室２５の内側の部位には、当該開口２８よりも一回り大きな輪郭形状の第２受圧板２９が配置されている。第２受圧板２９を取り囲む状態に蛇腹状のダイヤフラム３０が配置されている。ダイヤフラム３０は上下方向に伸縮可能であり、その上端は開口２８を取り囲む状態で天板２７に密閉状態で固定され、その下端は第２受圧板２９の上面に密閉状態で固定されている。
【００２８】
第２受圧板２９は、その上面が補助真空室２５の外側に露出しており、その底面側が補助真空室２５の内部に位置しているので、内圧と外圧の差圧が作用し、差圧に応じて上下方向に移動可能である。この第２受圧板２９は、エアーシリンダ１１の作動ロッド１４の上端部に同軸状態で連結固定されている。
【００２９】
ここで、真空成形室２の側の第１受圧板２３における上方向に大気圧が作用する受圧面の面積と同一となるように、補助真空室２５の側の第２受圧板２９における下方向に大気圧が作用する受圧面が形成されている。したがって、エアーシリンダ１１の作動ロッド１４の上端部分には、真空成形室２の内圧と大気圧との差圧による上向きの力が作用し、その下端部分には補助真空室２５の内圧と大気圧との差圧による下向きの同一大きさの力が作用する。よって、作動ロッド１４に作用する差圧による上下方向の力が相殺される。
【００３０】
制御盤７の制御の下に行われるプレス成形動作においては、昇降シリンダ９を上昇させて真空成形室２を開け、プレス対象のワークＷを上プレス型３に取り付け、昇降シリンダ９を降下して真空成形室２を閉じると共に真空成形室２内においてワークＷを所定の高さ位置に位置決めする。
【００３１】
次に、空気供給制御回路６によって真空成形室２を真空引きして、ワークＷのプレス成形に必要な所定の減圧状態を形成する。真空成形室２は連通管２６を介して補助真空室２５に連通しているので、補助真空室２５も同時に真空引きされて真空成形室２と同一の減圧状態になる。ここで、上述したように、プレス機構５のエアーシリンダ１１の作動ロッド１４に作用する真空成形室２の内外の差圧に起因する上下方向の力が、補助真空室２５の内外の差圧に起因する上下方向の力によって相殺されるので、差圧に起因する上下方向の力は作用しない。
【００３２】
空気供給制御回路６によってエアーシリンダ１１を駆動して作動ロッド１４を押し上げると、ここに連結されている第１受圧板２３が押し上げられ、当該第１受圧板２３に支持されている下プレス型４がワークＷに押圧されてワークＷのプレス成形が行われる。作動ロッド１４には差圧に起因する力が作用していないので、目標とするプレス力で精度良くプレス成形を行うことができる。
【００３３】
（実施の形態２）
図２は、本発明を適用した差圧相殺機能付き搬送機構を備えたワーク処理装置を示す概略構成図である。ワーク処理装置４０は真空処理室４１と、この真空処理室４１の内部において処理対象のワークＷを直線方向に搬送する搬送機構４２を備えている。真空処理室４１は空気供給制御回路４３によって内圧が制御され、空気供給制御回路４３、搬送機構４２の駆動は制御盤４４の制御の下に行われる。真空処理室４１の内部では、例えば、搬送機構４２の搬送台４５にワークＷを載せて搬送して、その表面処理、検査などが行われる。
【００３４】
搬送機構４２は本発明による差圧相殺機能付き駆動装置から構成されている。詳細に説明すると、搬送機構４２は、真空処理室４１の外部に配置した搬送用駆動力の発生源としてのエアーシリンダ４６を備えており、その作動ロッド４７（駆動部材）を伸縮させることにより、真空処理室４１の内部に配置されている搬送台４５の搬送動作が行われる。
【００３５】
真空処理室４１は、相互に平行な状態で対峙している第１端板４８および第２端板４９を備えている。第１端板４８の中心部分には開口５１が形成されており、この開口５１の外側には第１受圧板５２が配置されている。開口５１は、第１受圧板５２と、第１端板４８に直交する方向であるワーク搬送方向５３に伸縮可能な蛇腹状のダイヤフラム５４によって密閉されている。したがって、第１受圧板５２は真空処理室４１の内外の差圧に応じてワーク搬送方向５３に移動可能である。
【００３６】
同様に、他方の第２端板４９の中心部分には開口５５が形成されており、この開口５５の外側には第２受圧板５６が配置されている。開口５５は、第２受圧板５６と、ワーク搬送方向５３に伸縮可能な蛇腹状のダイヤフラム５７によって密閉されている。したがって、第２受圧板５６は真空処理室４１の内外の差圧に応じてワーク搬送方向５３に移動可能である。ここで、第２受圧板５６において、ワーク搬送方向５３に大気圧が作用する受圧面の面積は、第２受圧板５２におけるワーク搬送方向５３に大気圧が作用する受圧面の面積と同一となっている。
【００３７】
真空処理室４１の内部には、ワーク搬送方向５３に沿って連結軸５８（被駆動部材）が配置されている。連結軸５８は、軸受５９、６０によって、その軸線方向にスライド自在の状態で支持されている。連結軸５８における一方の端には第１受圧板５２が同軸状態に連結固定されており、他方の端には第２受圧板５６が同軸状態に連結固定されている。連結軸５８における軸線方向の中程の部位には搬送台４５が取り付けられている。
【００３８】
ここで、第１受圧板５２は、真空処理室４１の外側に配置されているエアーシリンダ４６の作動ロッド４７の先端部に同軸状態に連結固定されている。したがって、エアーシリンダ４６を駆動して作動ロッド４７を伸縮させると、これによって第１受圧板５２が移動し、ここに連結固定されている連結軸５８がその軸線方向（ワーク搬送方向５３）に移動する。これにより、真空処理室４１の内部において、連結軸５８に取り付けた搬送台４５に搭載されているワークＷを搬送することができる。
【００３９】
処理動作において、真空処理室４１を真空引きして所定の減圧状態を形成し、この状態でエアーシリンダ４６を駆動して真空処理室４１の内部において搬送台４５に搭載されているワークＷを移動させる。エアーシリンダ４６の作動ロッド４７には、真空処理室４１の内外の圧力差に起因する力が作用しない。すなわち、第１受圧板５２と第２受圧板５６には、ワーク搬送方向５３に沿って逆向きに同一の大きさの差圧に起因する力が作用するので、差圧に起因する力が相殺される。よって、差圧に影響されることなく、エアーシリンダ４６によって搬送台４５を精度良く微小移動させて、所定の移動位置に精度良く位置決めして所定の処理をワークＷに行うことができる。
【００４０】
なお、搬送台の代わりに可動側のプレス型を取り付け、真空処理室内に固定側のプレス型を設置しておけば、実施の形態１の場合と同様なプレス機構を構築することが可能である。
【００４１】
（その他の実施の形態）
上記の各例は、真空成形室、真空処理室内での処理についてのものであるが、本発明は、大気圧よりも高い圧力状態の加圧室内でのワークに対して処理を行うための駆動装置にも同様に適用可能なことは勿論である。
【００４２】
また、上記の各例では、外圧が大気圧の場合についてのものであるが、例えば、所定の圧力状態に保持された雰囲気中に、異なる内圧状態に保持した区画室を配置し、この区画室内においてワークの搬送、ワークのプレスなどの各処理を行う場合の駆動装置にも同様に適用可能である。
【００４３】
さらに、上記の各例では、駆動源としてエアーシリンダを用いているが、駆動源としてはエアーシリンダ以外の流体圧シリンダを用いることができる。また、流体圧シリンダ以外の駆動源、例えば、電動モータ、圧電素子などを用いることができる。
【符号の説明】
【００４４】
１    真空成形装置
２    真空成形室
３    上プレス型
４    下プレス型
５    プレス機構
６    空気供給制御回路
７    制御盤
８    型支持板
９    昇降シリンダ
１０  可撓性外壁部分
１１  エアーシリンダ
１３  シリンダ本体
１４  作動ロッド
１５  仕切り盤
１６  第１圧力室
１７  第２圧力室
２１  底板
２２  開口
２３  第１受圧板
２４  ダイヤフラム
２５  補助真空室
２６  連通管
２７  天板
２８  開口
２９  第２受圧板
３０  ダイヤフラム
４０  ワーク処理装置
４１  真空処理室
４２  搬送機構
４３  空気供給制御回路
４４  制御盤
４５  搬送台
４６  エアーシリンダ
４７  作動ロッド
４８  第１端板
４９  第２端板
５１  開口
５２  第１受圧板
５３  ワーク搬送方向
５４  ダイヤフラム
５５  開口
５６  第２受圧板
５７  ダイヤフラム
５８  連結軸
５９、６０  軸受
【図１】
2012240096.tif 000003
【図２】
2012240096.tif 000004