(57)【要約】【課題】単位時間あたりの粉体の供給量が微量であっても、供給先への粉体の流量の測定精度を確保して適切な供給を可能とした粉体供給装置を提供する。【解決手段】ホッパ１から粉体ｐｗの供給を受けるトラフ２を電磁駆動部３で振動させることにより、トラフ２の搬送面２０上にある粉体ｐｗを所定の搬送方向Ｘに沿って移動させトラフ２の下流端２ａから落下させて供給先に供給するにあたり、搬送面２０から起立する突状をなし、トラフ２の振動によって下流端２ａに向かおうとする粉体ｐｗの一部を塞き止める堰部９と、下流端２ａから落下する粉体ｐｗに対して投光する発光部４０及び粉体ｐｗで反射した光を受光する光センサ４１と、光センサ４１の受光量に基づき落下した粉体ｐｗの量を検出する流量検出部４２と、流量検出部４２による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、電磁駆動部３で加振する振動を制御する振動制御部５とを設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホッパから粉体の供給を受けるトラフを加振手段で振動させることにより、前記トラフの搬送面上にある粉体を所定の搬送方向に沿って移動させ前記トラフの下流端から落下させて供給先に供給する粉体供給装置であって、
前記所定の搬送方向に交差する方向に沿って前記搬送面から起立する突状をなし、前記ホッパから供給され前記トラフの振動によって前記下流端に向かおうとする粉体の一部を塞き止める堰部と、
前記堰部及び前記下流端を経由して当該下流端から落下する粉体に対して投光する発光部及び発光部から照射され粉体ｐｗで反射した光を受光する光センサと、
前記光センサの受光量に基づき前記下流端から落下した粉体の量を検出する流量検出部と、
前記流量検出部による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、前記加振手段で加振する振動を制御する振動制御部とを具備することを特徴とする粉体供給装置。
【請求項２】
前記搬送面には、単一の粉体の通過を許容する溝幅に設定され且つ前記下流端から上流側に向かって延びる溝が、前記下流端に沿って複数配列して形成されており、前記溝によってガイドされる粉体の飛び出し方向が全ての溝で平面視同一方向を向くように設定されている請求項１に記載の粉体供給装置。
【請求項３】
前記搬送面の上流側から下流側に向かうにつれて粉体の搬送速度が速くなるように振動角度が設定されている請求項１又は２に記載の粉体供給装置。
【請求項４】
前記ホッパ及び前記トラフを少なくとも収める収容容器を備え、前記収容容器内は、真空環境又は不活性ガスを充填した減圧環境に設定されている請求項１〜３のいずれかに記載の粉体供給装置。
【請求項５】
前記粉体又は前記搬送面を帯電させる帯電手段を設けている請求項１〜４のいずれかに記載の粉体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動により粉体を供給する粉体供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
粉体供給装置は、加振手段で加振する振動により粉体を供給先に供給する装置であり、単位時間あたりに所望量の粉体を供給すべく、粉体の供給量を推量して加振手段による振動を制御する装置である。
【０００３】
この種の粉体供給装置の一例として特許文献１には、粉体を貯蔵するホッパと、ホッパから供給先へ粉体を搬送するための搬送路となる供給パイプと、供給パイプを加振する加振手段と、粉体の重量を含むホッパ及び搬送路の重量を測定するロードセルとを備え、粉体の供給に伴い測定される重量が減少することを利用して、ロードセルで検出した重量変化に基づき加振手段による振動をフィードバック制御する装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１４２０３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような粉体の供給量を重量変化で推量する重量測定方式では、例えば毎分数グラムといった微量を供給しようとする場合に、ホッパや搬送路（供給パイプ）、加振手段を含めた数十キログラムに対し、グラム単位やミリグラム単位の重量変化を測定しなければならず、測定精度を確保することが困難である。そこで、このような単位時間あたりに微量の粉体を供給するために、供給先への粉体の流量を検出する新たな測定方式を備えた粉体供給装置が求められる。
【０００６】
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、その目的は、単位時間あたりの粉体の供給量が微量であっても、供給先への粉体の流量の測定精度を確保して適切な供給を可能とした粉体供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
【０００８】
すなわち、本発明に係る粉体供給装置は、ホッパから粉体の供給を受けるトラフを加振手段で振動させることにより、前記トラフの搬送面上にある粉体を所定の搬送方向に沿って移動させ前記トラフの下流端から落下させて供給先に供給する粉体供給装置であって、前記所定の搬送方向に交差する方向に沿って前記搬送面から起立する突状をなし、前記ホッパから供給され前記トラフの振動によって前記下流端に向かおうとする粉体の一部を塞き止める堰部と、前記堰部及び前記下流端を経由して当該下流端から落下する粉体に対して投光する発光部及び発光部から照射され粉体で反射した光を受光する光センサと、前記光センサの受光量に基づき前記下流端から落下した粉体の量を検出する流量検出部と、前記流量検出部による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、前記加振手段で加振する振動を制御する振動制御部とを具備することを特徴とする。
【０００９】
このように、振動により搬送される粉体をトラフの下流端から落下させ、落下する粉体に発光部が投光してその反射光を光センサで検出し、反射光量に基づき落下した粉体の量を検出するので、粉体の流量が微量であっても、ホッパ及びトラフを含めて重量で測定する場合に比べて粉体の流量を精度良く検出することが可能となる。一方、トラフの搬送面上に盛られた粉体が固まった状態で下流端から落下すると、発光部の投光領域に進入する複数の粉体が投光方向に重合してしまい、光センサによる正確な供給量検出ができないと考えられるものの、本発明では、トラフの搬送面から起立する突状をなす堰部によって、下流端に向かおうとする複数の粉体が鉛直方向に重合しない状態で堰部の頂部を乗り越えるので、トラフの下流端から落下して発光部の投光領域に進入する粉体が投光方向に重合することが低減又は無くなり、光センサによる流量検出精度を確保できる。したがって、このような流量検出部による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、トラフに加振する振動を制御するので、目標流量との誤差を低減又は無くした粉体供給装置を提供することが可能となる。
【００１０】
発光部の投光領域に進入する複数の粉体が投光方向に重合することを低減して、適切な流量検出を可能とするためには、前記搬送面には、単一の粉体の通過を許容する溝幅に設定され且つ前記下流端から上流側に向かって延びる溝が、前記下流端に沿って複数配列して形成されており、前記溝によってガイドされる粉体の飛び出し方向が全ての溝で平面視同一方向を向くように設定されていることが好ましい。
【００１１】
適切な流量検出を追求するためには、前記搬送面の上流側から下流側に向かうにつれて粉体の搬送速度が速くなるように振動角度が設定されていることが望ましい。
【００１２】
空気中の酸素によって酸化してしまう粉体をその酸化を防止しつつ供給するためには、前記ホッパ及び前記トラフを少なくとも収める収容容器を備え、前記収容容器内は、真空環境又は不活性ガスを充填した減圧環境に設定されていることが効果的である。
【００１３】
粉体の損傷やトラフの摩耗を低減するためには、前記粉体又は前記搬送面を帯電させる帯電手段を設けていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、以上説明したように、トラフの下流端から落下させた粉体に発光部が投光してその反射光を光センサで検出し、反射光量に基づき落下した粉体の量を検出するので、粉体の流量が微量であっても、ホッパ及びトラフを含めて重量で測定する場合に比べて粉体の流量を精度良く検出することが可能となる。また、トラフの搬送面から起立する突状をなす堰部によって、下流端に向かおうとする複数の粉体が鉛直方向に重合しない状態で堰部の頂部を乗り越えるので、トラフの先端から落下して発光部の投光領域に進入する粉体が投光方向に重合することが抑制又は無くなり、光センサによる的確な流量検出精度を確保できる。したがって、このような流量検出部による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、トラフに加振する振動を制御するので、目標流量との誤差を低減又は無くした粉体供給装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る粉体供給装置を模試的に示す構成図。
【図２】トラフの構造を模式的に示す図。
【図３】トラフの振動角度に関する説明図。
【図４】光センサの受光量と粉体の供給量との関係を示す図。
【図５】光センサとトラフの下流端との位置関係を模式的に示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施形態に係る粉体供給装置を、図面を参照して説明する。
【００１７】
粉体供給装置は、図１及び図２に示すように、供給対象物としての粉体ｐｗを貯蔵するためのホッパ１と、ホッパ１から粉体ｐｗの供給を受けて粉体ｐｗを搬送するためのトラフ２と、トラフ２に振動を加振する加振手段としての電磁駆動部３とを備え、加振手段たる電磁駆動部３でトラフ２を振動させることにより、トラフ２の搬送面２０上にある粉体ｐｗを所定の搬送方向Ｘに沿って移動させ、トラフ２の下流端２ａから落下させて供給先に供給する装置である。また、単位時間あたりに所望量の粉体ｐｗを供給すべく、トラフ２の下流端２ａから供給先に向けて落下する粉体ｐｗの量（流量）を検出する流量検出手段４と、流量検出手段４での検出結果に基づき電磁駆動部３（加振手段）で加振する振動を制御する振動制御部５とを有する。さらに、例えば粉体ｐｗが空気中の酸素によって酸化してしまう場合には、その粉体ｐｗの酸化を防止するために、少なくともホッパ１及びトラフ２を収容する収容容器６を備えている。
【００１８】
収容容器６は、図１に示すように、軸方向が水平方向となる横筒部６０に、軸方向が鉛直方向となる縦筒部６１を合わせた形状をなし、トラフ２を含むリニアフィーダＬＦとホッパ１とを主として収納する。収容容器６は、収容容器６内の収納空間ＳＰを真空環境又は減圧環境にするための真空ポンプ６２と、収容容器６内を窒素などの不活性ガスでパージするためのパージユニット６３とを接続可能に構成されている。収容容器６内は、窒素パージを行い且つ減圧して、窒素などの不活性ガスを充填した減圧環境に設定されている。その真空度としての圧力は、８〜１０torr（トール）に設定されている。
【００１９】
トラフ２は、図２（ａ）に示すように、平面視ほぼ矩形状をなすと共に、その長手方向に直交する横断面が上向きコの字状をなしており、その長手方向を所定の搬送方向Ｘとして、所定の搬送方向Ｘに沿って粉体ｐｗを搬送するための搬送面２０が設定されている。図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示すように、搬送面２０には、単一の粉体ｐｗの通過を許容する溝幅ｗ１に設定され且つ下流端２ａから上流側Ｘ２に向かって延びる溝２１・２１が、下流端２ａに沿って複数配列して形成されている。溝２１の横断面はＵ字状をなしており、溝幅ｗ１は、粉体ｐｗの径をｗ０としたときに、ｗ０＜ｗ１＜２×ｗ０の条件を満たすように設定されている。本実施形態では、径ｗ０が１００〜５００μｍの粉体ｐｗを搬送対象としている。また、全ての溝２１・２１を所定の搬送方向Ｘに沿って延びるように形成することで、溝２１を構成する溝側壁２１ａ・２１ａによってガイドさせる粉体ｐｗの飛び出し方向が全ての溝２１・２１で平面視同一方向を向くように設定してある。なお、図１に示すように、トラフ２の下流端２ａの下方には、落下した粉体ｐｗを受けて供給先に案内するための漏斗状をなす回収部７が設けられている。
【００２０】
さらに、図１に示すように、トラフ２を可動に支持する支持手段８が設けられている。支持手段８は、トラフ２の底部が取り付けられる可動ブロック８１と、上述した収容容器６の底部に防振ゴム８５・８５及びベース８６を介して固定される固定ブロック８２と、可動ブロック８１と固定ブロック８２とを連結し上流側Ｘ２及び下流側Ｘ１に対をなす板バネ８３・８４とを有する。加振手段たる電磁駆動部３は、可動ブロック８１と固定ブロック８２との間に構成され、両ブロック８１・８２間に電磁吸引力を作用させてトラフ２に振動を発生させるものである。具体的には、図示しないコイルを鉄心に巻回して構成される電磁石が固定ブロック８２に取り付けられ、図示しないコイルに対して通電することにより、トラフ２に振動を加振し、この結果、図１に示すように、トラフ２の搬送面２０上にある粉体ｐｗが所定の搬送方向Ｘに向かって移動することになる。また、対をなす板バネ８３・８４のうち上流側Ｘ２にある板バネ８３は、その板面が鉛直方向に沿って起立した姿勢で取り付けられているのに対し、下流側Ｘ１にある板バネ８４は、その板面が鉛直方向に交差するように若干寝かせた姿勢で取り付けられている。すなわち、両板バネ８３・８４の姿勢を異ならせることにより、図３に模式的に示すように、トラフ２の上流側Ｘ２の振動方向と下流側Ｘ１の振動方向とを異ならせて、搬送面２０の上流側Ｘ２から下流側Ｘ１に向かうにつれて粉体ｐｗの搬送速度が速くなるように振動角度θが設定されている。なお、粉体ｐｗの種類やトラフ２の材質などに応じて搬送速度が最も速くなる振動角度θが定まり、この最速の振動角度θよりも角度が小さくなるほど搬送速度が低下し、逆に、この最速の振動角度θよりも角度が大きくなるほど搬送速度が低下する。本実施形態では、上流側Ｘ２の振動角度に対し下流側Ｘ１の振動角度が最速の振動角度に近づくように、上流側Ｘ２から下流側Ｘ１に向かうにつれ振動角度を大きくなるように設定している。
【００２１】
図１及び図２（ａ）に示すように、ホッパ１は、上部に補給口１ａ、下部に供給口１ｂを有する筒状をなし、下部が下方に向かうにつれて次第に狭まった漏斗状に形成されており、漏斗部の最下端にある供給口１ｂが所定の搬送方向Ｘに直交する方向に沿って長い長孔に形成されて、供給口１ｂと上記トラフ２の搬送面２０とが近接する位置にホッパ１が収容容器６に固定具６Ｘを介して固定されている。ホッパ１に貯留される粉体ｐｗは自重によりトラフ２に供給される。
【００２２】
流量検出手段４は、下流端２ａから落下する粉体ｐｗに対して投光するＬＥＤ等の発光部４０と、発光部４０から照射され粉体ｐｗで反射した光を受光する光センサ４１と、光センサ４１の受光量に基づき下流端２ａから落下した粉体ｐｗの量を検出する流量検出部４２とを有している。発光部４０及び光センサ４１は、トラフ２の下方に位置するようにブラケット４３を介してベース８６に取り付けられている。発光部４０による光の投光方向は、斜め上を向くように設定されており、投光先には、光の反射を防止するための反射防止板４４が鉛直方向に延びて上記回収部７を足場として設けられている。なお、反射防止板４４は、回収部７の役割も担っている。また、粉体が、搬送面２０の下流端２ａのいずれの部位から落下しても、光を照射可能とするために、複数の発光部４０を搬送方向Ｘに直交する方向に沿って複数配置している。これに合わせて、図５に示すように、光センサ４１も搬送方向Ｘに直交する方向（トラフの幅方向）に沿って複数配置している。複数の光センサ４１・４１は、受光漏れを無くすべく、各々の受光面４１ａの一部を鉛直方向に重合させて、トラフ２の幅方向に沿って千鳥状に配置している。
【００２３】
上記図１に示すように、トラフ２の振動によって粉体ｐｗを下流端２ａから落下させ、落下する粉体ｐｗに発光部４０が投光してその反射光を光センサ４１で検出し、反射光量に基づき落下した粉体ｐｗの量（流量）を検出するように構成した場合には、トラフ２の搬送面２０上に盛られた粉体ｐｗが固まった状態で下流端２ａから落下すると、発光部４０の投光領域に進入する複数の粉体ｐｗが発光部４０の投光方向に重合してしまい、光センサ４１による正確な供給量検出ができなくなることが考えられる。
【００２４】
そこで、本実施形態では、図１及び図２（ａ）に示すように、搬送面２０のうちホッパ１から粉体ｐｗが供給される部位の下流側Ｘ１には、所定の搬送方向Ｘに直交する方向に沿って搬送面２０から起立する突状をなし、ホッパ１から供給されトラフ２の振動によって下流端２ａに向かおうとする粉体ｐｗの一部を塞き止める堰部９が設けられている。このような堰部９を設けると、トラフ２の振動によって下流端２ａに向かおうとする複数の粉体ｐｗが鉛直方向Ｙに重合しない状態で突状の頂部を乗り越えて、下流端２ａに移動し、トラフ２の下流端２ａから落下して発光部４０の投光領域に進入する粉体ｐｗが投光方向に重合することを低減又は無くしている。
【００２５】
図１に示すように、流量検出部４２は、収容容器６外に設けられた、図示しないＣＰＵ、メモリ及びインターフェイスを具備するマイクロコンピュータユニットにより構成される制御部Ｃｏ（コントローラともいう）で実現されるもので、図４に示すように、或る圧力下において粉体ｐｗの供給量と光センサ４１による受光量とを関連付けた受光情報４５を予めメモリに記憶しておき、光センサ４１で検出された単位時間あたりの受光量と上記受光情報４５とに基づき下流端２ａから落下した粉体ｐｗの量を検出する。なお、粉体ｐｗの供給量と受光量との関係はほぼリニアな関係であるが、圧力に応じてその勾配が変化する。
【００２６】
図１に戻り、振動制御部５は、制御部Ｃｏで実現されるもので、流量検出部４２による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体の搬送速度を得られるように、加振手段たる電磁駆動部３で加振する振動を制御する。具体的には、目標となる光量になるように、振動周波数を一定に維持した状態で電磁駆動部３に印加する電圧を制御する。例えば、検出した光量が目標光量に足りない場合には、印加する電圧を大きくする。すると、それに伴い電流も大きくなるので、トラフ２に加振される振動の振幅が大きくなり、粉体ｐｗの搬送速度が増し、その結果、落下する粉体ｐｗの量が増えて、検出される光量が目標光量に向けて増加することになる。逆に、検出した光量が目標光量を上回る場合には、印加する電圧を小さくする。すると、それに伴い電流も小さくなるので、トラフ２に加振される振動の振幅が小さくなり、粉体ｐｗの搬送速度が減り、その結果、落下する粉体の量が減少して、検出される光量が目標光量に向けて減少することになる。なお、本実施形態では、電圧制御方式を採用しているが、検出した光量に応じて電流値を変化させる電流制御方式や、検出した光量に応じて周波数を変化させる周波数制御方式を採用してもよい。
【００２７】
上記構成において、粉体ｐｗの搬送を行っているときに、減圧環境から通常の大気状態（１気圧）に戻すと、一時的に大量の粉体ｐｗが供給されることが分かった。これは、減圧環境では、収容容器６内の水分が少ない状態すなわち湿度が低い状態であるので、粉体ｐｗが静電気を帯電して、堰部９から下流端２ａに至るまでの搬送面２０の全面に粉体ｐｗが付着した状態になり、付着した粉体ｐｗの上を別の粉体ｐｗが移動する状態になるものと考えられる。そして、減圧環境から通常の大気状態に戻すと、収容容器６内の湿度が戻り、粉体ｐｗの帯電が失われて、付着が解除されて、付着していた大量の粉体ｐｗが搬送されるものと考えられる。すなわち、本実施形態では、収容容器６内を真空環境又は減圧環境にする真空ポンプ等の手段が、粉体ｐｗを帯電させる帯電手段６Ｘを兼ねており、これによって、振動によって移動する粉体ｐｗが直接トラフに接触しなくなり、搬送される粉体ｐｗがトラフ２によって削られることやトラフ２自体が摩耗することを抑制するものと考えられる。勿論、トラフ２自体に電圧印加することにより搬送面２０を帯電させる帯電手段を設け、搬送面２０の帯電により粉体ｐｗを付着するように構成してもよい。
【００２８】
以上のように、本実施形態に係る粉体供給装置は、ホッパ１から粉体ｐｗの供給を受けるトラフ２を加振手段たる電磁駆動部３で振動させることにより、トラフ２の搬送面２０上にある粉体ｐｗを所定の搬送方向Ｘに沿って移動させトラフ２の下流端２ａから落下させて供給先に供給する粉体供給装置であって、所定の搬送方向Ｘに直交する方向に沿って搬送面２０から起立する突状をなし、ホッパ１から供給されトラフ２の振動によって下流端２ａに向かおうとする粉体ｐｗの一部を塞き止める堰部９と、堰部９及び下流端２ａを経由して下流端２ａから落下する粉体ｐｗに対して投光する発光部４０及び発光部４０から照射され粉体ｐｗで反射した光を受光する光センサ４１と、光センサ４１の受光量に基づき下流端２ａから落下した粉体ｐｗの量を検出する流量検出部４２と、流量検出部４２による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体ｐｗの搬送速度を得られるように、加振手段たる電磁駆動部３で加振する振動を制御する振動制御部５とを具備している。
【００２９】
このように、振動により搬送される粉体ｐｗをトラフ２の下流端２ａから落下させ、落下する粉体ｐｗに発光部４０が投光してその反射光を光センサ４１で検出し、反射光量に基づき落下した粉体ｐｗの量を検出するので、粉体ｐｗの流量が微量であっても、ホッパ１及びトラフ２を含めて重量で測定する場合に比べて粉体ｐｗの流量を精度良く検出することが可能となる。一方、トラフ２の搬送面２０上に盛られた粉体ｐｗが固まった状態で下流端２ａから落下すると、発光部４０の投光領域に進入する複数の粉体ｐｗが投光方向に重合してしまい、光センサ４１による正確な供給量検出ができないと考えられるものの、本実施形態では、トラフ２の搬送面２０から起立する突状をなす堰部９によって、下流端２ａに向かおうとする複数の粉体ｐｗが鉛直方向に重合しない状態で堰部９の頂部を乗り越えるので、トラフ２の下流端２ａから落下して発光部４０の投光領域に進入する粉体ｐｗが投光方向に重合することが抑制又は無くなり、光センサ４１による流量検出精度を確保できる。したがって、このような流量検出部４２による単位時間あたりの検出値が目標流量となる粉体ｐｗの搬送速度を得られるように、トラフ２に加振する振動を制御するので、目標流量との誤差を低減又は無くした粉体供給装置を提供することが可能となる。
【００３０】
特に、本実施形態では、搬送面２０には、単一の粉体ｐｗの通過を許容する溝幅ｗ１に設定され且つ下流端２ａから上流側Ｘ２に向かって延びる溝２１が、下流端２ａに沿って複数配列して形成されており、溝２１を構成する溝側壁２１ａ・２１ａによってガイドされる粉体ｐｗの飛び出し方向が全ての溝２１・２１で平面視同一方向を向くように設定されているので、下流端２ａに沿って形成された複数の溝２１・２１によって複数の粉体ｐｗが平面視同一方向に向かって飛び出し、発光部４０の投光領域に進入するので、複数の粉体ｐｗが投光方向に重合することを低減して、適切な流量検出が可能となる。
【００３１】
さらに、本実施形態では、搬送面２０の上流側Ｘ２から下流側Ｘ１に向かうにつれて粉体ｐｗの搬送速度が速くなるように振動角度が設定されているので、複数の粉体ｐｗが搬送方向に沿って前後に連なっている場合でも、進み側にある粉体ｐｗの速度が遅れ側にある粉体ｐｗの速度よりも速くなって、粉体ｐｗ同士が前後に分離するので、これら粉体ｐｗが投光領域に進入したときに投光方向に重合することを低減して、より適切な流量検出が可能となる。
【００３２】
さらにまた、本実施形態では、ホッパ１及びトラフ２を少なくとも収める収容容器６を備え、収容容器６内は、不活性ガスを充填した減圧環境に設定されているので、空気中の酸素によって酸化してしまう粉体ｐｗをその酸化を防止しつつ供給することが可能となる。
【００３３】
その他、真空環境又は減圧環境では、容器内の水分が低減すなわち湿度が下がり、粉体が静電気を帯びてトラフ２の搬送面２０に付着しやすくなる。本実施形態では、粉体ｐｗを帯電させる帯電手段６Ｘとして、収容容器６内を真空環境又は減圧環境にする真空ポンプ６２等の手段が設けられているので、粉体ｐｗが帯電して搬送面２０が粉体ｐｗで覆われると、振動によって移動する粉体ｐｗがトラフ２に直接接触しなくなり、搬送される粉体ｐｗがトラフ２によって削られて損傷することやトラフ２自体が摩耗することを抑制することが可能となる。
【００３４】
以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００３５】
例えば、本実施形態では、堰部９は、所定の搬送方向Ｘに直交する方向に沿って設けられているが、搬送方向Ｘに交差する方向に沿って設けられていてもよい。また、本実施形形態では、溝２１は、堰部９と下流端２ａとの間の途中部位から下流端２ａまで搬送方向Ｘに沿って形成されているが、堰部９から下流端２ａまで搬送方向Ｘに沿って形成してもよい。また、本実施形態では、溝２１は、横断面Ｕ字状に形成されているが、上向きコの字状や他の形状に形成されていてもよい。また、溝２１は、搬送方向Ｘに沿って形成されているが、これに限定されるものではない。
【００３６】
なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００３７】
１…ホッパ
２…トラフ
２ａ…下流端
２０…搬送面
２１…溝
３…加振手段（電磁駆動部）
４０…発光部
４１…光センサ
４２…流量検出部
５…振動制御部
６…収容容器
６Ｘ…帯電手段
９…堰部
ｐｗ…粉体
ｗ１…溝幅
Ｘ…搬送方向
Ｘ１…下流側
Ｘ２…上流側
【図１】
2012240804.tif 000003
【図２】
2012240804.tif 000004
【図３】
2012240804.tif 000005
【図４】
2012240804.tif 000006
【図５】
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