(57)【要約】【課題】表示品位が高いプラズマディスプレイパネルを提供する。【解決手段】基板上に複数の略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を覆う背面板誘電体層ならびに該アドレス電極に略平行な主隔壁および該主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状隔壁を有する背面板と、基板上に略ストライプ状のバス電極、該バス電極を覆う前面板誘電体層を少なくとも有する前面板とを貼り合わせてなるプラズマディスプレイパネルであって、少なくとも背面板主隔壁の最上部に全長にわたって設けられた接着層によって背面板と前面板が接着してなり、主隔壁長手方向の単位長さ当たりの主隔壁と前面板との接着面積が、主隔壁と補助隔壁が交差する隔壁交差部で最も大きいことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。【選択図】図１
2012199212.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に複数の略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を覆う背面板誘電体層ならびに該アドレス電極に略平行な主隔壁および該主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状隔壁を有する背面板と、基板上に、前記アドレス電極と略直交するように配置された略ストライプ状のバス電極、該バス電極を覆う前面板誘電体層および前記前面板誘電体層を覆う保護層を有する前面板とを貼り合わせてなるプラズマディスプレイパネルであって、前記主隔壁の最上部に前記主隔壁の全長にわたり設けられた接着層を介して前記主隔壁と前記前面板が接着してなり、前記主隔壁と前記補助隔壁が交差する隔壁交差部における前記主隔壁長手方向の単位長さ当たりの前記主隔壁と前記前面板との接着面積が、隣接する隔壁交差部間に存在する主隔壁直線部における前記主隔壁長手方向の単位長さ当たりの前記主隔壁と前記前面板との接着面積よりも大きいことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記補助隔壁上にも接着層が設けられ、前記主隔壁と前記補助隔壁が交差する隔壁交差部における前記補助隔壁長手方向の単位長さ当たりの前記補助隔壁と前記前面板との接着面積が、隣接する隔壁交差部間に存在する補助隔壁直線部における前記補助隔壁長手方向の単位長さ当たりの前記補助隔壁と前記前面板との接着面積よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
背面板の隔壁交差部が、隔壁交差部を中心とする円、楕円、菱形、正方形、長方形、多角形、およびこれらを組み合わせた形状の柱状構造のうち、少なくとも１つを有することを特徴とする請求項１または２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
薄型・大型テレビに使用できるディスプレイとして、プラズマディスプレイが注目されている。図３８は、プラズマディスプレイの１つの画素の構成の例を模式的に示した斜視図である。図３８に示す例では、表示面となる前面板２５側のガラス基板２０上には、対をなす複数のサステイン電極２１とスキャン電極２２と（以下、サステイン電極とスキャン電極とを合わせてバス電極と呼ぶ）が、銀やクロム、アルミニウム、ニッケル等の材料で、表示領域の短辺の方向を縦方向、長辺の方向を横方向としたときに、横方向を長手方向とするストライプ状に形成されている。さらにサステイン電極２１およびスキャン電極２２を被覆してガラスを主成分とする誘電体層２３が２０〜５０μｍの厚みで形成され、誘電体層２３を被覆して保護層２４が形成されている。
【０００３】
一方、背面板３２側のガラス基板２６には、複数のアドレス電極２７が、縦方向を長手方向とするストライプ状に形成され、アドレス電極２７を被覆してガラスを主成分とする誘電体層２８が形成されている。前記誘電体層２８上に放電セルを仕切るために、縦方向を長手方向とする主隔壁２９と、主隔壁２９と略直交する補助隔壁３０からなる格子状隔壁が形成され、隔壁と誘電体層２８で形成された放電空間内に蛍光体層３１が形成されてなる。フルカラー表示が可能なプラズマディスプレイにおいては、蛍光体層は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色に発光するものにより構成される。前面板２５側のサステイン電極２１と背面板３２側のアドレス電極２７が互いに直交するように、前面板と背面板が封着され、それらの基板の間隙内にヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される希ガスが封入されプラズマディスプレイが形成される。スキャン電極２２とアドレス電極２７の交点を中心として画素セルが形成されるので、プラズマディスプレイは複数の画素セルを有し、画像の表示が可能になる。
【０００４】
プラズマディスプレイにおいて表示を行う際、選択された画素セルにおいて、発光していない状態からスキャン電極２２とアドレス電極２７との間に放電開始電圧以上の電圧を印加すると、電離によって陽イオンや電子が発生し、画素セルが容量性負荷であるために放電空間内を反対極性の電極へと向けて移動して保護層２４の内壁に帯電し、内壁の電荷は保護層２４の抵抗が高いために減衰せずに壁電荷として残留する。
【０００５】
次に、スキャン電極２２とサステイン電極２１の間に放電維持電圧を印加する。壁電荷のあるところでは、放電開始電圧より低い電圧でも放電することができる。放電により放電空間内のキセノンガスが励起され、１４７ｎｍの紫外線が発生し、紫外線が蛍光体層３１を形成する蛍光体を励起することにより、発光表示が可能になる。
【０００６】
一般に、プラズマディスプレイパネルは、前面板と背面板との間に隙間がある場合に、特に高地など気圧の低い場所で使用する際に、駆動時に前面板と背面板とが振動して、耳障りな振動音（ノイズ）が発生するという問題を有している。特に、プラズマディスプレイパネルの発光効率を向上させるために放電ガスの圧力を高くすると、前面板と背面板との間に隙間が生じやすく、駆動時の振動が発生しやすくなる。
【０００７】
駆動時の振動発生を抑制するためには、背面板の隔壁最上部に接着層を設け、前面板と背面板とを接着させる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
特許文献１にも示されるように前面板と背面板とを接着させるためには、隔壁最上部に接着層を設けた背面板と、前面板とが重ね合わされ、加熱される。加熱された際に接着層が溶融状態となり、この際、背面板と前面板とが押圧されることにより溶融状態にある接着層が前面板の最表面に位置する保護層に溶着されて、前面板と背面板とが接着される。
【０００９】
しかしながら、ストライプ状の主隔壁および主隔壁に略直交する補助隔壁からなる格子状の隔壁を有する背面板の場合、隔壁は主隔壁と補助隔壁が交差する隔壁交差部において最も強度が強く破壊しにくいが、隣接する隔壁交差部の間に存在する主隔壁直線部において強度が弱い。また、前面板は、バス電極部の誘電体と保護層が、保護層側に突出した凸形状になっているために、隔壁最上部に一様に接着層を設けた場合は、主隔壁直線部の、前面板バス電極と交差する部分で前面板の凸部により接着層が押し広げられて最も接着面積が大きくなり、強固に接着する。接着後の冷却工程や、接着後パネルが落下するなどしてパネルに大きな力がかかった場合に、主隔壁直線部の前面板バス電極と交差する部分で、接着が最も強固であるために応力が集中して、接着層および隔壁が破壊したり、欠けたりするという問題があり、接着層および隔壁が破壊された部分や欠けた部分において、パネル化した後に不灯などの表示不良が発生して問題となっていた。
【００１０】
上述のように主隔壁直線部における接着層および隔壁の破壊や欠けを抑制するためには、例えば、特許文献２に提案されているように隔壁の交差部のみに接着層を設けて、主隔壁直線部における接着層および隔壁の破壊や欠けを抑制する方法が考えられるが、特許文献２に提案されている方法では、接着する面積が限られるため、前面板と背面板との接着力が充分でなく、特に気圧の低い場所で使用する場合に、ノイズが発生する問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００９−８０９５４号公報
【特許文献２】特開２００９−３７８４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明が解決しようとする課題は、隔壁の破壊や欠けが発生せず、不灯などの表示不良がなく表示品位の高いプラズマディスプレイを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の課題は、基板上に複数の略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を覆う背面板誘電体層ならびに該アドレス電極に略平行な主隔壁および該主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状隔壁を有する背面板と、基板上に、前記アドレス電極と略直交するように配置された略ストライプ状のバス電極、該バス電極を覆う前面板誘電体層および前記前面板誘電体層を覆う保護層を有する前面板とを貼り合わせてなるプラズマディスプレイパネルであって、前記主隔壁の最上部に前記主隔壁の全長にわたり設けられた接着層を介して前記主隔壁と前面板が接着してなり、前記主隔壁と前記補助隔壁が交差する隔壁交差部における前記主隔壁長手方向の単位長さ当たりの前記主隔壁と前記前面板との接着面積が、隣接する隔壁交差部間に存在する主隔壁直線部における前記主隔壁長手方向の単位長さ当たりの前記主隔壁と前記前面板との接着面積よりも大きいことを特徴とするプラズマディスプレイパネルによって解決することが出来る。
【発明の効果】
【００１４】
本発明により、隔壁の破壊や欠けが発生せず、不灯などの表示不良がなく表示品位の高いプラズマディスプレイを提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施態様に係るプラズマディスプレイパネルを前面板側から観察した上面図である。
【図２】図１のＶ−Ｖ線に沿うプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【図３】図１のＨ−Ｈ線に沿うプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【図４】図１に示すプラズマディスプレイパネルの背面板の隔壁と接着層の形状を示す上面図である。
【図５】従来技術における状態の一例を示す、図１のＶ−Ｖ線に沿うプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【図６】本発明における状態の一例を示す、図１のＶ−Ｖ線に沿うプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【図７】図１のプラズマディスプレイパネルの前面板の図１のＶ−Ｖ線に沿って見た断面図である。
【図８】図１のプラズマディスプレイパネルの背面板の図１のＶ−Ｖ線に沿って見た断面図である。
【図９】実施例１の第一の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図１０】実施例１の第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図１１】実施例１で接着後の接着層を上面から観察した図である。
【図１２】実施例２の第一の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図１３】実施例２の第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図１４】実施例２で接着後の接着層を上面から観察した図である。
【図１５】実施例３の第一の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図１６】実施例３の第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図１７】実施例３で接着後の接着層を上面から観察した図である。
【図１８】実施例４の第一の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図１９】実施例４の第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図２０】実施例４で接着後の接着層を上面から観察した図である。
【図２１】実施例５の第一の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図２２】実施例５の第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図２３】実施例５で接着後の接着層を上面から観察した図である。
【図２４】実施例６の第一の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図２５】実施例６の第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図２６】実施例６で接着後の接着層を上面から観察した図である。
【図２７】実施例７の第一の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図２８】実施例７の第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図２９】実施例７で接着後の接着層を上面から観察した図である。
【図３０】実施例８の第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図３１】実施例８で接着後の接着層を上面から観察した図である。
【図３２】比較例１の第一の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図３３】比較例１の第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図３４】比較例１で接着後の接着層を上面から観察した図である。
【図３５】比較例２の第一の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図３６】比較例２の第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン図である。
【図３７】比較例２で接着後の接着層を上面から観察した図である。
【図３８】プラズマディスプレイパネルの１つの画素の構成の例を模式的に示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に、本発明について、望ましい実施の形態とともに、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は本発明のプラズマディスプレイパネルの一態様を前面板側から観察した上面図である。また、図２に、図１に示すプラズマディスプレイパネルの図１のＶ−Ｖ面の断面を、図３には図１に示すプラズマディスプレイパネルの図１のＨ−Ｈ面での断面を示す。
【００１７】
本発明のプラズマディスプレイパネルは、基板９上に複数の略ストライプ状のアドレス電極４、アドレス電極４を覆う背面板誘電体層１０ならびにアドレス電極４に略平行な主隔壁１および主隔壁１と略直交する補助隔壁２からなる格子状隔壁を有する背面板１５と、基板６上に、アドレス電極４と略直交するように配置された略ストライプ状のバス電極５、バス電極５を覆う前面板誘電体層７、および前面板誘電体層７を覆う保護層８を有する前面板１４とを貼り合わせてなるプラズマディスプレイパネルであって、主隔壁１の最上部に主隔壁１の全長にわたり設けられた接着層３を介して主隔壁１と前面板１４が接着してなり、主隔壁１と補助隔壁２が交差する隔壁交差部１２(図４等に図示)における主隔壁長手方向の単位長さ当たりの主隔壁１と前面板１４との接着面積が、隣接する隔壁交差部間に存在する主隔壁直線部１３(図４等に図示)における主隔壁長手方向の単位長さ当たりの主隔壁１と前面板１４との接着面積よりも大きいことを特徴とする。図２、図３に示すように、隔壁で区画された放電空間内（セル内）に蛍光体層１１が付与されている。
【００１８】
また、図４には図１に示すプラズマディスプレイパネルの背面板１５の隔壁と接着層３の形状を示す。図４に示すように、本発明では、隔壁１と補助隔壁２が交差する隔壁交差部１２における主隔壁長手方向の単位長さ当たりの主隔壁１と前面板１４との接着面積が、隣接する隔壁交差部１２間に存在する主隔壁直線部１３における主隔壁長手方向の単位長さ当たりの主隔壁１と前面板１４との接着面積よりも大きいことを特徴とする。すなわち、図４に示すように、隔壁交差部１２における接着面の平均幅が、主隔壁直線部１３における接着面の平均幅より大きいことが必要である。このように隔壁交差部１２での接着面積を大きくすることで、前面板１４と背面板１５との接着強度を隔壁交差部１２の接着部分で最も強固にすることが出来る。前述のように隔壁交差部はそのほかの部分の隔壁と比較して隔壁の強度が高いために、接着後の冷却工程や、接着後にパネルが落下するなどして、パネルに大きな力が掛かっても、隔壁交差部における主隔壁の単位長さあたりの接着面積を大きくしておくことで隔壁の破壊や欠けなどが発生することを防ぐことができる。
【００１９】
本発明では、接着層３は主隔壁１の全長にわたり設けられている。接着層３を主隔壁１の全長にわたり設けることによって、接着層３と前面板１４との接着面積を確保し、充分な接着強度を得ることができる。例えば、図３７に示すように隔壁交差部１２の主隔壁最上部のみに接着層３を形成した場合などは、接着層３と前面板との接着面積が充分広くないために、接着強度が充分でなく、高地など気圧の低い場所で使用する際に、駆動時に前面板と背面板とが振動してノイズが発生するという問題がある。
【００２０】
なお、本発明においては、主隔壁１の最上部に設けられた接着層３の全域で前面板１４と接着している必要はなく、一部、前面板１４と接着していない接着層３の部分があってもよい。
【００２１】
次に、隔壁交差部１２における主隔壁１の単位長さあたりの接着面積を大きくするための方法について説明する。
【００２２】
図７は、一般的なプラズマディスプレイパネルの前面板の断面形状を示した模式図である。前面板の最表面に位置する保護層８の表面は平坦ではなく、バス電極５が存在する位置においては誘電体層７が凸状になり、保護層８の表面においても他の位置よりも高い、すなわち背面板側に段差Ａだけ突出した形状となっている。
【００２３】
図５は、図７に示す一般的なプラズマディスプレイパネルの前面板と、主隔壁１の最上部に平坦な表面の接着層３を有する背面板とを配置した状態を示す模式図である。接着層３の表面が平坦な場合、加熱封着を行う際にバス電極５の上部で保護層８が突出した位置において接着層３が押し広げられることになり、封着前の接着層３の幅が一定である場合は、図３４に示すように主隔壁直線部１３における主隔壁長手方向の単位長さ当たりの主隔壁１と前面板との接着面積が、隔壁交差部１２における主隔壁長手方向の単位長さ当たりの主隔壁１と前面板との接着面積よりも大きくなってしまい、背面板と前面板とを貼り合わせた後、前面板と背面板とが接着するまでの間、あるいは接着後の冷却工程や、接着後パネルが落下するなどして、パネルに大きな力がかかった場合に、隔壁強度の弱い主隔壁直線部１３の前面板バス電極と交差する部分において応力が集中するために、接着層３および隔壁の破壊や欠けが発生しやすくなり、接着層３および隔壁が破壊された部分や欠けた部分において、パネル化した後に不灯などの表示不良が発生する。
【００２４】
このような問題を解決するためには、背面板の主隔壁１の最上部に設ける接着層３の表面形状を調整することが好ましい。図８は、封着前のプラズマディスプレイ用背面板の好ましい断面形状を示した模式図である。図８に示すように、隔壁交差部において、前面板の保護層の段差Ａより大きい段差Ｂだけ突出した形状とすることが好ましい。図６は、図７に示す一般的なプラズマディスプレイパネルの前面板と、図８に示す好ましい形状のプラズマディスプレイパネルの背面板とを配置した状態を示す模式図である。図６に示すように、加熱封着を行う際に、接着層３は隔壁交差部において大きく押し広げられることになり、接着後の接着層３の形状は、図４に示すように隔壁交差部１２における主隔壁長手方向の単位長さ当たりの主隔壁１と前面板との接着面積が、主隔壁直線部１３における主隔壁長手方向の単位長さ当たりの主隔壁１と前面板との接着面積よりも大きくなり、前面板と背面板とが接着するまでの間や、接着後の冷却工程や、接着後パネルが落下するなどして、パネルに大きな力がかかった場合であっても、接着層３および隔壁の破壊や欠けが発生しにくくなり、パネル化した後の不灯などの表示不良が発生しにくくなる。また、前面板と背面板が強固に接着することになるため、気圧の低い場所で使用する際にもノイズが発生しにくいという効果も得ることができる。また、もし仮に隔壁交差部１２付近で小規模な破壊や欠けが隔壁交差部で発生したとしても、発光部分から遠く離れているために、不灯などの表示不良を引き起こすことはない。
【００２５】
前面板と背面板とを貼り合わせる際に、前面板のバス電極５の直下に位置する接着層３の高さと、隔壁交差部１２の隔壁高さとの差は、１〜３０μｍであることが好ましい。１μｍよりも小さいと、バス電極５の上部の保護層８の凸形状部により接着層３が押し広げられてしまうため、主隔壁直線部１２における接着層３および隔壁の破壊や欠けの発生を完全には無くすことが出来ないため、効果が不十分である。３０μｍよりも大きいと、主隔壁１の全長にわたり接着することができなくなり、気圧の低い場所で使用した場合にノイズが発生したり、主隔壁直線部１３において主隔壁１と前面板の間に隙間ができてしまい、補助隔壁方向に隣り合うセル同士で誤放電が発生したりする問題を発生するおそれがある。
【００２６】
本発明における背面板の隔壁交差部１２は、隔壁交差部１２を中心とする円、楕円、菱形、正方形、長方形、多角形、およびこれらを組み合わせた形状の柱状構造のうち、少なくとも１つを有していてもよく、隔壁交差部１２がこのような形状を有することで、隔壁交差部１２の強度をより強固にすることができ、隔壁の破壊や欠けによる不灯などの表示不良の発生を無くすことが出来る。また、背面板の製造工程で隔壁が断線する断線不良も減らすこともできる。
【００２７】
本発明における背面板では、補助隔壁２上にも接着層を形成してもよく、補助隔壁２上に接着層３を形成することで、補助隔壁２と前面板との隙間を小さくすることが出来るので、主隔壁１方向に隣り合うセル同士の誤放電などを防止することが出来る。また更に、本発明では、補助隔壁２上に形成された接着層３と、前面板とが接着してもよい。補助隔壁２上に形成された接着層３と、前面板とが接着すれば、主隔壁１方向に隣り合うセル同士の誤放電などを防止することができるし、接着面積が増加するので、更に強固な接着強度を得ることができる。
【００２８】
以下、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。
本発明においてプラズマディスプレイパネル用背面板に用いる基板としては、ソーダガラスなどを用いることができ、具体的にはプラズマディスプレイパネル用の耐熱ガラスである旭硝子（株）製のＰＤ２００や日本電気硝子（株）製のＰＰ８などが挙げられる。
【００２９】
基板上には、銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によりストライプ状のアドレス電極が形成される。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷し、４００〜６００℃に加熱・焼成して金属パターンを形成する方法や、金属粉末と感光性有機成分を含む感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光後、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに４００〜６００℃に加熱、焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いることができる。また、ガラス基板上にクロムやアルミニウム等の金属をスパッタリングした後にレジストを塗布し、レジストをパターン露光、現像した後にエッチングにより不要な部分の金属を取り除くエッチング法を用いることもできる。電極厚みは１．０〜１０μｍが好ましく、１．５〜５μｍがより好ましい。アドレス電極の幅は好ましくは３０〜２４０μｍ、より好ましくは３５〜１５０μｍである。さらに、アドレス電極は表示セル（画素の各ＲＧＢを形成する領域）に応じたピッチで形成される。通常のプラズマディスプレイでは１００〜５００μｍ、高精細プラズマディスプレイにおいては１００〜４００μｍのピッチで形成するのが好ましい。
【００３０】
前記アドレス電極を被覆して、背面板誘電体層が形成される。背面板誘電体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストを、アドレス電極を覆う形で塗布した後に、４００〜６００℃で焼成することにより形成することができる。背面板誘電体層に用いるガラスペーストには、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化リンの少なくとも１種類以上を含有し、これらを合計で１０〜８０質量％含有する低融点ガラス粉末を好ましく用いることができる。該配合物を１０質量％以上とすることで、６００℃以下での焼成が容易になり、８０質量％以下とすることで、結晶化を防ぎ透過率の低下を防止する。
【００３１】
次に、本発明における接着層、主隔壁および補助隔壁の形成方法について説明する。接着層、主隔壁および補助隔壁は、感光性ペースト法（フォトリソグラフィー法）により形成する方法が好ましく用いられる。すなわち、背面板誘電体層上に第一の感光性ガラスペーストを塗布し、乾燥し、第一の露光動作を実施し、さらに第二の感光性ガラスペーストを塗布し、乾燥し、第二の露光動作を実施し、現像することで所望のパターンが形成されるが、第二の感光性ガラスペーストに接着層用の低融点ガラスを用いることで、接着層を含む主隔壁と補助隔壁パターンを形成することができる。
【００３２】
以下、感光性ペースト法について詳述する。
感光性ペースト法で用いる隔壁および接着層形成用感光性ペーストは、無機微粒子と感光性有機成分を主成分とし、必要に応じて光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、有機溶媒、増感助剤、重合禁止剤を含有する。
【００３３】
隔壁および接着層形成用感光性ペーストの無機微粒子としては、ガラス、セラミック（アルミナ、コーディライトなど）などを用いることができる。特に、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物、または、アルミニウム酸化物を必須成分とするガラスやセラミックスが好ましい。
【００３４】
無機微粒子の粒子径は、作製しようとするパターンの形状を考慮して選ばれるが、体積分布曲線における５０％粒子径が、１〜１０μｍであることが好ましく、より好ましくは、１〜５μｍである。体積分布曲線における５０％粒子径を１０μｍ以下とすることで、表面凸凹が生じるのを防ぐことができる。また、１μｍ以上とすることで、ペーストの粘度調整を容易にすることができる。さらに、比表面積０．２〜３ｍ２／ｇのガラス微粒子を用いることが、パターン形成において特に好ましい。
【００３５】
隔壁および接着層は、好ましくは熱軟化点の低いガラス基板上にパターン形成されるため、無機微粒子として、熱軟化温度が３５０〜６００℃の低融点ガラス微粒子を６０質量％以上含む無機微粒子を用いることが好ましい。接着層に使用する場合は特に、熱軟化温度が３５０〜５００℃の低融点ガラス微粒子を６０質量％以上含む無機微粒子を用いることが好ましい。
【００３６】
また、熱軟化温度が６００℃より高い高融点ガラス微粒子やセラミック微粒子からなるフィラー成分を添加することによって、焼成時の収縮率を抑制することができるが、その量は、無機微粒子の合計量に対して４０質量％以下が好ましい。隔壁に用いる低融点ガラス微粒子としては、焼成時にガラス基板にそりを生じさせないためには線膨脹係数が５０×１０−７〜９０×１０−７Ｋ−１、さらには、６０×１０−７〜９０×１０−７Ｋ−１の低融点ガラス微粒子を用いることが好ましい。一方、接着層は隔壁の上層部に設けられるため、線熱膨張係数の許容範囲が隔壁よりも広い。具体的には接着層に用いる低融点ガラス微粒子としては、線膨張係数が５０×１０−７〜１５０×１０−７Ｋ−１の低融点ガラス微粒子を用いることが好ましい。
【００３７】
低融点ガラス微粒子としては、ケイ素および／またはホウ素の酸化物を含有したガラスが好ましく用いられる。
【００３８】
酸化ケイ素は、３〜６０質量％の範囲で配合されていることが好ましい。３質量％以上とすることで、ガラス層の緻密性、強度や安定性が向上し、また、熱膨脹係数を所望の範囲内とし、ガラス基板との熱膨張係数の差によるそり発生の問題を防ぐことができる。また、６０質量％以下にすることによって、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利点がある。
【００３９】
酸化ホウ素は、５〜５０質量％の範囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱膨脹係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上することができる。５０質量％以下とすることでガラスの安定性を保つことができる。
【００４０】
さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも１種類を合計で２〜５０質量％含有させることによって、ガラス基板上にパターン加工するのに適した温度特性を有するガラスペーストを得ることができる。特に、酸化ビスマスを５〜５０質量％含有するガラス微粒子を用いると、ペーストのポットライフが長いなどの利点が得られる。ビスマス系ガラス微粒子としては、次の組成をからなるガラス粉末を用いることが好ましい。
酸化ビスマス：１０〜４０質量％
酸化ケイ素：３〜５０質量％
酸化ホウ素：１０〜４０質量％
酸化バリウム：８〜２０質量％
酸化アルミニウム：１０〜３０質量％
【００４１】
また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのうち、少なくとも１種類を３〜２０質量％含むガラス微粒子を用いてもよい。アルカリ金属酸化物の添加量は、２０質量％以下、好ましくは、１５質量％以下にすることによって、ペーストの安定性を向上することができる。上記３種のアルカリ金属酸化物の内、酸化リチウムがペーストの安定性の点で、特に好ましい。リチウム系ガラス微粒子としては、例えば次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
酸化リチウム：２〜１５質量％
酸化ケイ素：１５〜５０質量％
酸化ホウ素：１５〜４０質量％
酸化バリウム：０．５〜１５質量％
酸化アルミニウム：６〜２５質量％
【００４２】
また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛のような金属酸化物と酸化リチウム，酸化ナトリウム、酸化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有するガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ金属含有量で、熱軟化温度や線膨脹係数を容易にコントロールすることができる。
【００４３】
また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加することにより、加工性を改良することができるが、熱軟化点、熱膨脹係数の点からは、その含有量は、４０質量％以下が好ましく、より好ましくは２５質量％以下である。
【００４４】
感光性有機成分としては、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうちの少なくとも１種類を含有することが好ましい。
【００４５】
感光性モノマーは、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の（メタ）アクリレート類、ビニル系化合物類、アリル系化合物類などのアクリル系モノマーを用いることが好ましい。これらは１種または２種以上使用することができる。
【００４６】
感光性オリゴマー、感光性ポリマーとしては、炭素−炭素２重結合を有するモノマーのうちの少なくとも１種類を重合して得られるオリゴマーやポリマーを用いることができる。好ましくは上記アクリル系モノマーのうち少なくとも１種類を重合して得られるオリゴマーやポリマーであって、前記モノマーの含有率が、１０質量％以上、さらに好ましくは３５質量％以上になるように、他の感光性のモノマーと共重合することができる。ポリマーやオリゴマーに不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後の現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これらの酸無水物などが挙げられる。こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポリマー、もしくは、オリゴマーの酸価（ＡＶ）は、５０〜１８０の範囲が好ましく、７０〜１４０の範囲がより好ましい。以上に示したポリマーもしくはオリゴマーに対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させることによって、感光性をもつ感光性ポリマーや感光性オリゴマーとして用いることができる。好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが挙げられる。
【００４７】
光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾフェノン、Ｏ-ベンゾイル安息香酸メチル、４，４−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４−ジクロロベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、２，３−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニル−２−フェニルアセトフェノンなどが挙げられる。これらを１種または２種以上使用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に対し、好ましくは０．０５〜１０質量％の範囲で添加され、より好ましくは、０．１〜５質量％の範囲で添加される。重合開始剤の量が少な過ぎると、光感度が低下する傾向にあり、光重合開始剤の量が多すぎると、露光部の残存率が小さくなり過ぎる傾向にある。
【００４８】
光吸収剤を添加することも有効である。紫外光や可視光の吸収効果が高い化合物を添加することによって、高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。光吸収剤としては、有機系染料からなるものが好ましく用いられる、具体的には、アゾ系染料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ベンゾフェノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、ｐ−アミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は、焼成後の絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。有機染料の添加量は、０．０５〜５質量％が好ましく、より好ましくは、０．０５〜１質量％である。
【００４９】
増感剤は、感度を向上させるために好ましく添加される。増感剤の具体例としては、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，３−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）シクロペンタノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）シクロヘキサノンなどが挙げられる。これらを１種または２種以上使用することができる。増感剤を感光性ペーストに添加する場合、その添加量は、感光性成分に対して通常０．０５〜１０質量％、より好ましくは０．１〜１０質量％である。
【００５０】
有機溶媒としては、例えば、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチルラクトン、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの１種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。
【００５１】
隔壁形成用感光性ペーストおよび接着層形成用感光性ペーストは、通常、上記の無機微粒子や有機成分を所定の組成になるように調合した後、３本ローラーや混練機で均質に混合分散し作製する。次いで感光性ペーストの塗布、乾燥、露光、現像等を行う。
【００５２】
隔壁形成用感光性ペーストおよび接着層形成用感光性ペーストを塗布する方法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーターなどを用いることができる。
【００５３】
また、塗布後の乾燥は、通風オーブン、ホットプレート、ＩＲ（赤外線）炉などを用いることができる。
【００５４】
露光で使用される活性光源は、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、Ｘ線、レーザ光などが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は、塗布厚みによって異なるが、１〜１００ｍＷ／ｃｍ２の出力の超高圧水銀灯を用いて０．１〜１０分間露光を行う。
【００５５】
ここで、フォトマスクと感光性ペーストの塗布膜表面との距離（以下ギャップ量という）は５０〜５００μｍ、さらには７０〜４００μｍに調整することが好ましい。ギャップ量を５０μｍ以上、さらに好ましくは７０μｍ以上とすることにより、感光性ペースト塗布膜とフォトマスクの接触を防ぎ、双方の破壊や汚染を防ぐことができる。また５００μｍ以下、さらに好ましくは４００μｍ以下とすることにより、シャープなパターニングが可能となる。
【００５６】
第一の露光動作で使用されるフォトマスクのパターンは特に限定されるものではないが、隔壁交差部に対応する部分に、隔壁交差部を中心とする円、楕円、菱形、正方形、長方形、多角形、およびこれらを組み合わせた形状の透光パターンを有していてもよい。隔壁交差部のマスクパターンにこのような形状の透光部を設けることで、隔壁交差部に、隔壁交差部を中心とする円、楕円、菱形、正方形、長方形、多角形、およびこれらを組み合わせた形状の柱状構造を形成することができ、隔壁の強度を向上させることができる。また、隔壁交差部を中心とする円、楕円、菱形、正方形、長方形、多角形、およびこれらを組み合わせた形状の透光パターンを介して露光を行うと、感光性ペーストの硬化収縮により、露光された部分が隔壁交差部を最低部とする椀状の窪み形状になる。その後、接着層となる第二の感光性ペーストを塗布し、乾燥し、露光し、現像し、焼成すると、隔壁上に形成された接着層は、隔壁よりも低い融点を有するガラスを含むために、隔壁よりも早く軟化し、椀状になった隔壁交差部に集まってくる。このため、隔壁交差部には多くの接着層が集まるため、その他の部分よりも接着層を含む隔壁高さを高くすることができる。
【００５７】
また、補助隔壁上に接着層を形成する場合は、主隔壁上の接着層に加えて、補助隔壁上の接着層も焼成の際、隔壁交差部に集まってくるので、上記のように隔壁交差部に円、楕円、菱形、正方形、長方形、多角形、およびこれらを組み合わせた形状の透光パターンを持つフォトマスクを介して露光をしなくても、隔壁交差部の接着層を含む隔壁の高さをその他の部分よりも高くすることができる。
【００５８】
第一の露光に用いるフォトマスクは、隔壁交差部以外に、主隔壁および補助隔壁に対応する任意の位置に円、楕円、菱形、正方形、長方形、多角形、およびこれらを組み合わせた形状の透光パターンを有していてもよい。隔壁交差部に透光パターンを設けた場合と同じ理由で、これらの任意に設けたパターン部の隔壁高さを高くすることができる。
【００５９】
現像は、露光部と非露光部の現像液に対する溶解度差を利用して行う。現像は、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等で行うことができる。
【００６０】
現像液は、感光性ペースト中の溶解させたい有機成分、すなわち、ネガ型感光性ペーストの場合は露光前の感光性有機成分が、ポジ型感光性ペーストの場合は露光後の有機成分が溶解可能である溶液を用いる。溶解させたい有機成分にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像することができる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液などの無機アルカリ水溶液を使用することが好ましいが、有機アルカリ水溶液を用いることもできる。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、０．０１〜１０質量％、より好ましくは０．１〜５質量％である。
【００６１】
次に、現像により得られた主隔壁及び補助隔壁のパターンは焼成炉にて焼成される。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉やローラーハース式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度は、４００〜８００℃で行うと良い。ガラス基板上に直接隔壁を形成する場合は、４５０〜６２０℃の温度で１０〜６０分間保持して焼成を行うと良い。
【００６２】
次いで所定のアドレス電極と平行方向に形成された主隔壁間に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体層は、蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の主隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成することにより形成することができる。
【００６３】
蛍光体ペーストを所定の主隔壁間に塗着させる方法としては、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、また、蛍光体ペーストに前述の感光性有機成分を用いた感光性ペースト法により各色の蛍光体ペーストを所定の場所に塗着させることができるが、コストの理由からスクリーン印刷法、ディスペンサー法が本発明では好ましく適用される。
【００６４】
この背面板と前面板とを位置合わせして重ね合わせ、加熱して、押圧し、背面板と前面板との接着と、封着が行われる。前背面の基板間隔に形成された空間に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着してプラズマディスプレイを作製できる。前面板は、基板上に所定のパターンで透明電極、バス電極、誘電体、保護層を形成した部材である。背面板上に形成されたＲＧＢ各色蛍光体層に一致する部分にカラーフィルター層を形成しても良い。また、コントラストを向上するために、ブラックストライプを形成してもよい。
【実施例】
【００６５】
以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。まず、評価方法について説明する。
【００６６】
＜接着面積最大位置＞
接着後のパネルを前面板側からマイクロスコープ（キーエンス社製ＶＨ−５５００）で観察し、接着層と前面板との接着面積が主隔壁のどの位置で最大になっているかを判定した。
【００６７】
＜不灯＞
作製したプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）のスキャン電極に１４０Ｖ、サステイン電極に２００Ｖ、アドレス電極に７０Ｖの電圧を印加してＲ、Ｇ、Ｂを単色で順に点灯させ、点灯しなかったセルの個数を数え、以下基準で判定した。
○：不灯セル数が１パネルあたり５個以下（良品レベル）
△：不灯セル数が１パネルあたり６〜１０個（やや劣るが良品レベル）
×：不灯セル数が１パネルあたり１１個以上（不良品レベル）
【００６８】
＜ノイズ＞
作製したＰＤＰのスキャン電極に１４０Ｖ、サステイン電極に２００Ｖ、アドレス電極に７０Ｖの電圧を印加して白色を点灯させた。次にＰＤＰの設置された環境の外気圧を下げて、ノイズが発生した外気圧を測定し、以下基準で判定した。
◎：ノイズ発生外気圧からＰＤＰ内ガス圧を引いた値が−３３０００Ｐａ以下
○：ノイズ発生外気圧からＰＤＰ内ガス圧を引いた値が−３３０００Ｐａより大きく、−２００００Ｐａ以下
△：ノイズ発生外気圧からＰＤＰ内ガス圧を引いた値が−２００００Ｐａより大きく、−７０００Ｐａ以下
×：ノイズ発生外気圧からＰＤＰ内ガス圧を引いた値が−７０００Ｐａより大きい
【００６９】
＜隔壁強度＞
作製したＰＤＰを３０ｃｍの高さから落下させた後、隔壁が破壊された箇所を調べ、以下基準で判定した。
◎：隔壁破壊箇所が１パネルあたり５個以下
○：隔壁破壊箇所が１パネルあたり６〜１０個
△：隔壁破壊箇所が１パネルあたり１１〜１５個
×：隔壁破壊箇所が１パネルあたり１６個以上
【００７０】
（実施例１〜８、比較例１、２）
ガラス基板として、５９０×９６４×１．８ｍｍの４２インチサイズのＰＤ−２００（旭硝子（株）製）を使用した。この基板上に、書き込み電極として、平均粒径２．０μｍの銀粉末を７０重量部、Ｂｉ２Ｏ３／ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／Ｂ２Ｏ３＝６９／２４／４／３（質量％）からなる平均粒径２．２μｍのガラス粉末２重量部、アクリル酸、メチルメタクリレート、スチレンの共重合ポリマー８重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート７重量部、ベンゾフェノン３重量部、ブチルカルビトールアクリレート７重量部、ベンジルアルコール３重量部からなる感光性銀ペーストを用いて、フォトリソグラフィー法により、ピッチ２４０μｍ、線幅１００μｍ、焼成後厚み３μｍのストライプ状電極を形成した。
【００７１】
この基板に、Ｂｉ２Ｏ３／ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／ＺｎＯ／Ｂ２Ｏ３＝７８／１４／３／３／２（質量％）からなる体積平均粒子径２μｍの低融点ガラス微粒子を６０重量部、平均粒子径０．３μｍの酸化チタン粉末を１０重量部、エチルセルロース１５重量部、テルピネオール１５重量部からなる誘電体ペーストを塗布した後、５８０℃で焼成して、厚み１０μｍの誘電体層を形成した。
【００７２】
隔壁形成用の感光性ペーストは以下の成分を配合、分散して用いた。
ガラス粉末：Ｂｉ２Ｏ３／ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／ＺｎＯ／Ｂ２Ｏ３＝８２／６／３／６／３（質量％）からなる平均粒径２μｍのガラス粉末  ６７重量部
フィラー：平均粒径０．２μｍの酸化チタン  ３重量部
ポリマー：”サイクロマー”Ｐ（ＡＣＡ２５０、ダイセル化学工業社製）  １０重量部
有機溶剤（１）：ベンジルアルコール  ４重量部
有機溶剤（２）：ブチルカルビトールアセテート  ３重量部
モノマー：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート  ８重量部
光重合開始剤：ベンゾフェノン  ３重量部
酸化防止剤：１，６−ヘキサンジオール−ビス［（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］  １重量部
有機染料：ベージックブルー２６  ０．０１重量部
チキソトロピー付与剤：Ｎ，Ｎ’−１２−ヒドロキシステアリン酸ブチレンジアミン：０．５重量部
界面活性剤：ポリオキシエチレンセチルエーテル：０．４９重量部。
【００７３】
接着層形成用の感光性ペーストは以下の成分を配合、分散して用いた。
ガラス粉末：軟化点４８０℃、平均粒径２μｍのガラス粉末  ６７重量部
ポリマー：”サイクロマー”Ｐ（ＡＣＡ２５０、ダイセル化学工業社製）  １０重量部
有機溶剤（１）：ベンジルアルコール  ４重量部
有機溶剤（２）：ブチルカルビトールアセテート  ３重量部
モノマー：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート  ８重量部
光重合開始剤：ベンゾフェノン  ３重量部
酸化防止剤：１，６−ヘキサンジオール−ビス［（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］  １重量部
有機染料：ベージックブルー２６  ０．０１重量部
チキソトロピー付与剤：Ｎ，Ｎ’−１２−ヒドロキシステアリン酸ブチレンジアミン：０．５重量部
界面活性剤：ポリオキシエチレンセチルエーテル：０．４９重量部。
【００７４】
隔壁形成用感光性ペーストをダイコーターにより２５０μｍの厚みに塗布した後、クリーンオーブンにて１００℃、４０分の乾燥を行い、塗布膜を形成し、塗布膜を形成した。形成塗布膜に対し、第一のフォトマスクを用いて第一の露光動作を実施した。その上に、接着層形成用感光性ペーストをダイコーターにより８０μｍの厚みに塗布した後、クリーンオーブンにて１００℃、４０分の乾燥を行い、塗布膜を形成した。形成塗布膜に対し、第二のフォトマスクを用いて第二の露光動作を実施した。
【００７５】
また、第一のフォトマスクを用いた第一の露光動作、第二のフォトマスクを用いた第二の露光動作ともに塗布膜面とフォトマスクとのギャップを１５０μｍとし、積算露光量が４００ｍＪ／ｃｍ２となるように露光を実施した。
【００７６】
上記のようにして形成した露光済み基板を０．５質量％の炭酸ナトリウム水溶液で現像し、隔壁パターンを形成した。パターン形成終了済み基板を５６０℃で１５分間焼成を行った。
【００７７】
形成された隔壁間に各色蛍光体ペーストをディスペンサー塗布法により塗布、乾燥、焼成（５００℃、３０分）して隔壁の側面および底部に蛍光体層を形成した。
【００７８】
次に、前面板を以下の工程によって作製した。まず、ガラス基板として５９０×９６４×２．８ｍｍの４２インチサイズのＰＤ−２００（旭硝子（株）製）を用い、このガラス基板上にＩＴＯをスパッタ法で形成後、レジスト塗布し、露光、現像処理、エッチング処理によって厚み０．１μｍ、線幅２００μｍの透明電極を形成した。また、黒色銀粉末からなる感光性銀ペーストを用いてフォトリソグラフィー法により、焼成後厚み５μｍのスキャン電極とサステイン電極を形成した。電極はそれぞれピッチ５００μｍ、線幅８０μｍのものを作製した。
【００７９】
次に、酸化鉛を７５質量％含有する低融点ガラスの粉末を７０重量部、エチルセルロース２０重量部、テルピネオール１０重量部を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のバス電極が覆われるように５０μｍの厚みで塗布した後に、５７０℃、１５分間の焼成を行って前面誘電体を形成した。
【００８０】
誘電体を形成した基板上に、保護膜として、電子ビーム蒸着により厚み０．５μｍの酸化マグネシウム層を形成して前面板を作製した。
【００８１】
作製した前面板と背面板とを封着ガラスを用いて封着して、Ｘｅ１５％含有のＮｅガスを内部ガス圧８５０００Ｐａになるように封入し、駆動回路を実装することによりプラズマディスプレイパネルを作製した。
【００８２】
それぞれの実施例、比較例で使用した第一、第二のフォトマスクおよび、完成したパネルの評価結果を表１に示す。また、各実施例、比較例における、第一の露光で使用したフォトマスクの透光パターン、第二の露光で使用したフォトマスクの透光パターン、接着後の接着層の上面からの観察結果を、図９〜図３７にそれぞれ示す。
【００８３】
【表１】
2012199212.tif 000003
【００８４】
表１に示すように、本発明によれば、不灯、ノイズ、隔壁強度の各評価項目において、良好なレベルの製品を得ることができる。
【符号の説明】
【００８５】
１：主隔壁
２：補助隔壁
３：接着層
４：アドレス電極
５：バス電極
６：基板
７：前面板誘電体層
８：保護層
９：基板
１０：背面板誘電体
１１：蛍光体層
１２：隔壁交差部
１３：主隔壁直線部
１４：前面板
１５：背面版
２０：ガラス基板
２１：サステイン電極
２２：スキャン電極
２３：誘電体層
２４：保護層
２５：前面板
２６：ガラス基板
２７：アドレス電極
２８：誘電体層
２９：主隔壁
３０：補助隔壁
３１：蛍光体層
３２：背面板
Ａ：前面板の保護層の段差
Ｂ：背面板の接着層の段差
【図１】
2012199212.tif 000004
【図２】
2012199212.tif 000005
【図３】
2012199212.tif 000006
【図４】
2012199212.tif 000007
【図５】
2012199212.tif 000008
【図６】
2012199212.tif 000009
【図７】
2012199212.tif 000010
【図８】
2012199212.tif 000011
【図９】
2012199212.tif 000012
【図１０】
2012199212.tif 000013
【図１１】
2012199212.tif 000014
【図１２】
2012199212.tif 000015
【図１３】
2012199212.tif 000016
【図１４】
2012199212.tif 000017
【図１５】
2012199212.tif 000018
【図１６】
2012199212.tif 000019
【図１７】
2012199212.tif 000020
【図１８】
2012199212.tif 000021
【図１９】
2012199212.tif 000022
【図２０】
2012199212.tif 000023
【図２１】
2012199212.tif 000024
【図２２】
2012199212.tif 000025
【図２３】
2012199212.tif 000026
【図２４】
2012199212.tif 000027
【図２５】
2012199212.tif 000028
【図２６】
2012199212.tif 000029
【図２７】
2012199212.tif 000030
【図２８】
2012199212.tif 000031
【図２９】
2012199212.tif 000032
【図３０】
2012199212.tif 000033
【図３１】
2012199212.tif 000034
【図３２】
2012199212.tif 000035
【図３３】
2012199212.tif 000036
【図３４】
2012199212.tif 000037
【図３５】
2012199212.tif 000038
【図３６】
2012199212.tif 000039
【図３７】
2012199212.tif 000040
【図３８】
2012199212.tif 000041