(57)【要約】      （修正有）【課題】基板処理装置と上位コンピュータとのネットワーク通信性能が低下した際に、該基板処理装置から多量のメッセージを送信して通信制御が異常となり、障害が発生してしまうのを防止する基板処理装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】基板を処理するために必要なデータや装置の稼働状況をモニタリングするためのデータを生成する装置制御部と、前記データを一時的に格納するバッファを有する通信部と、前記装置制御部で生成されたデータを前記通信部を介して前記上位コンピュータに送信する通信制御部とを含む主制御部を具備した基板処理装置であって、前記通信制御部は、通信状態をチェックする工程と優先度をチェックする工程を含む送信フロー制御プログラムを実行し、前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、ＯＫであれば、一次メッセージを送信する。【選択図】図５
2012015356.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理するために必要なデータや装置の稼働状況をモニタリングするためのデータを生成する装置制御部と、外部の上位コンピュータへ送信されるデータを一時的に格納するバッファを有する通信部と、前記装置制御部で生成されたデータを前記通信部を介して前記上位コンピュータに送信する通信制御部とを含む主制御部を具備した基板処理装置であって、
前記通信制御部は、通信状態をチェックする工程と優先度をチェックする工程を含む送信フロー制御プログラムを実行し、
前記通信状態をチェックする工程では、前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、ＯＫであれば、一次メッセージを前記上位コンピュータに送信する基板処理装置。
【請求項２】
前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックした結果、少なくとも一方がＮＧであれば、前記一次メッセージの優先度をチェックする工程を実行する請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記優先度をチェックする工程では、前記一次メッセージを送信する送信先の優先度と前記一次メッセージの重要度をチェックし、前記送信先の優先度又は前記一次メッセージの重要度が高ければ、前記一次メッセージを送信し、前記送信先の優先度且つ前記一次メッセージの重要度が低ければ、前記一次メッセージを破棄する請求項２記載の基板処理装置。
【請求項４】
基板処理装置と上位コンピュータとの通信状態をチェックする工程と一次メッセージに関する優先度をチェックする工程を含む送信フロー制御プログラムを実行し、
バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、ＯＫであれば、前記一次メッセージを前記上位コンピュータに送信し、
バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックした結果、少なくとも一方がＮＧであれば、前記一次メッセージを送信する送信先の優先度と前記一次メッセージの重要度をチェックし、前記送信先の優先度又は前記一次メッセージの重要度が高ければ、前記一次メッセージを送信し、前記送信先の優先度且つ前記一次メッセージの重要度が低ければ、前記一次メッセージを破棄する基板処理装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置を製造する一工程であり、ウェーハ、ガラス基板等の基板に薄膜の生成、不純物の拡散、アニール処理、エッチング等の基板処理、或はＬＣＤの製造を行う基板処理装置及びその制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板を処理して半導体装置を製造する基板処理システムは、第一の管理装置（ＨＯＳＴコンピュータ）と該ＨＯＳＴコンピュータに接続された複数台の基板処理装置とを具備し、該基板処理装置は前記ＨＯＳＴコンピュータによって統括管理されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、基板処理装置は、モニタリングシステムのサーバ(Ｍ／Ｓ)とＬＡＮ接続され、基板処理システムを構成する場合がある(例えば、特許文献２参照)。
【０００４】
このとき、サーバは、少なくとも一台の基板処理装置と接続することにより、稼働状況のリアルタイムモニタリング及びデータ収集やデータバックアップなどを行う。そして、所定のクライアント(ユーザ端末)の検索により、所望なデータを提供する。
【０００５】
このように、基板処理装置は、ＨＯＳＴコンピュータやサーバとＬＡＮ接続されるため、ネットワークにおける通信トラフィック量が増大したり、ネットワーク機器の性能が一時的に低下したりすると、基板処理装置からの通信も影響を受けて送信可能な通信メッセージが減少してしまう。
【０００６】
従来は、ネットワーク通信性能が低下した状態であっても、基板処理装置はモニタリング用のデータメッセージを大量に送信しようとしていたため、送信可能な通信量を超えてしまうと、送信エラーにより通信制御処理が遅延して、モニタリング用のデータだけでなく、基板処理装置をコントロールする重要なメッセージまで欠落してしまうという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−０５３６０３号公報
【特許文献２】特開２００８−２８３１６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、斯かる実情に鑑み、基板処理装置と上位コンピュータとのネットワーク通信性能が低下した際に、該基板処理装置から多量のメッセージを送信して通信制御が異常となり、装置稼動停止や処理中断という障害が発生してしまうのを防止する送信フロー制御機能を有する基板処理装置及びその方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、基板を処理するために必要なデータや装置の稼働状況をモニタリングするためのデータを生成する装置制御部と、前記データを一時的に格納するバッファを有する通信部と、前記装置制御部で生成されたデータを前記通信部を介して前記上位コンピュータに送信する通信制御部とを少なくとも含む主制御部を具備した基板処理装置であって、前記通信制御部は、通信状態をチェックする工程と優先度をチェックする工程を含む送信フロー制御プログラムを実行し、前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、ＯＫであれば、一次メッセージを送信するものであり、また、バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックした結果、少なくとも一方がＮＧであれば、優先度をチェックする工程を実施し、更に、優先度をチェックする工程では、前記一次メッセージを送信する送信先の優先度と前記一次メッセージの重要度をチェックし、前記送信先の優先度又は前記一次メッセージの重要度が高ければ、前記一次メッセージを送信し、前記送信先の優先度且つ前記一次メッセージの重要度が低ければ、前記一次メッセージを破棄する基板処理装置に係るものである。
【００１０】
また、本発明は、基板処理装置と上位コンピュータとの通信状態をチェックする工程と一次メッセージに関する優先度をチェックする工程を含む送信フロー制御プログラムを実行し、バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、ＯＫであれば、前記一次メッセージを送信し、バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックした結果、少なくとも一方がＮＧであれば、前記一次メッセージを送信する送信先の優先度と前記一次メッセージの重要度をチェックし、前記送信先の優先度又は前記一次メッセージの重要度が高ければ、前記一次メッセージを送信し、前記送信先の優先度且つ前記一次メッセージの重要度が低ければ、前記一次メッセージを破棄する基板処理装置の制御方法に係るものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ネットワーク通信性能が低下している状態でも、重要なメッセージを優先して送信することが可能となるため、送信メッセージ損失による影響を最小限に抑えることができる。よって、本発明における基板処理装置は、通信コントロール不能に陥ることが無いため、処理中断により基板を損失させる(ロットアウトする)ことがない。更に、通信性能が低下しても基板処理を継続させることができるので、装置稼働率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板処理装置を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る基板処理装置を示す概略側面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る基板処理システム構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る基板処理装置における通信メッセージを示す図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る基板処理装置の機能構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る基板処理装置における送信フロー制御を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施形態における基板処理装置は、基板処理装置とホストコンピュータ又サーバ等の上位コンピュータとの通信状態をチェックする工程と該基板処理装置と該上位コンピュータとの通信に使用される一次メッセージに関する優先度をチェックする工程を含む送信フロー制御プログラムを実行し、前記上位コンピュータと通信するための通信ドライバのバッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、両方ともＯＫであれば、前記一次メッセージを送信し、バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックした結果、少なくとも一方がＮＧであれば、前記一次メッセージを送信する送信先の優先度と前記一次メッセージの重要度をチェックし、前記送信先の優先度又は前記一次メッセージの重要度が高ければ、前記一次メッセージを送信し、前記送信先の優先度且つ前記一次メッセージの重要度が低ければ、前記一次メッセージを破棄するものである。初めに、送信フロー制御プログラムは、送信しようとするメッセージが一次メッセージか二次メッセージか判定を行い、判定した結果、一次メッセージではなく二次メッセージ(一次メッセージ受信に対する応答メッセージ)であれば、制御対象とはせず返信処理を実施する。尚、本願発明で、制御対象としないというのは、前記通信状態チェック工程と前記優先度チェック工程を実施しないということである。
【００１４】
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。先ず本発明が実施される基板処理装置について説明する。
【００１５】
尚、基板処理装置は、半導体装置の製造工程の１つである基板処理工程を実施する。
【００１６】
図１及び図２に示されている様に、基板処理装置１は筐体２を備えている。該筐体２の正面壁３の正面前方部にはメンテナンス可能な様に設けられた開口部としての正面メンテナンス口４が開設され、該正面メンテナンス口４は正面メンテナンス扉５によって開閉される。
【００１７】
前記筐体２の前記正面壁３にはポッド搬入搬出口６が前記筐体２の内外を連通する様に開設されており、前記ポッド搬入搬出口６はフロントシャッタ（搬入搬出口開閉機構）７によって開閉され、前記ポッド搬入搬出口６の正面前方側にはロードポート（基板搬送容器受渡し台）８が設置されており、該ロードポート８は載置されたポッド９を位置合せする様に構成されている。
【００１８】
該ポッド９は、密閉式の基板搬送容器であり、図示しない工程内搬送装置によって前記ロードポート８上に搬入され、又、該ロードポート８上から搬出される様になっている。
【００１９】
前記筐体２内の前後方向の略中央部に於ける上部には、回転式ポッド棚（基板搬送容器格納棚）１１が設置されており、該回転式ポッド棚１１は複数個のポッド９を格納する様に構成されている。
【００２０】
前記回転式ポッド棚１１は垂直に立設されて間欠回転される支柱１２と、該支柱１２に上中下段の各位置に於いて放射状に支持された複数段の棚板（基板搬送容器載置棚）１３とを備えており、該棚板１３はポッド９を複数個宛それぞれ載置した状態で格納する様に構成されている。
【００２１】
前記回転式ポッド棚１１の下方には、ポッドオープナ（基板搬送容器蓋体開閉機構）１４が設けられ、該ポッドオープナ１４は前記ポッド９を載置し、又該ポッド９の蓋を開閉可能な構成を有している。
【００２２】
前記ロードポート８と前記回転式ポッド棚１１、前記ポッドオープナ１４との間には、ポッド搬送装置（容器搬送装置）１５が設置されており、該ポッド搬送装置１５は、前記ポッド９を保持して昇降可能、水平方向に進退可能となっており、前記ロードポート８、前記回転式ポッド棚１１、前記ポッドオープナ１４との間で前記ポッド９を搬送する様に構成されている。
【００２３】
前記筐体２内の前後方向の略中央部に於ける下部には、サブ筐体１６が後端に亘って設けられている。該サブ筐体１６の正面壁１７にはウェーハ（基板）１８を前記サブ筐体１６内に対して搬入搬出する為のウェーハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１９が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウェーハ搬入搬出口１９，１９に対して前記ポッドオープナ１４がそれぞれ設けられている。
【００２４】
該ポッドオープナ１４は前記ポッド９を載置する載置台２１と、前記ポッド９の蓋を開閉する開閉機構２２とを備えている。前記ポッドオープナ１４は前記載置台２１に載置された前記ポッド９の蓋を前記開閉機構２２によって開閉することにより、前記ポッド９のウェーハ出入れ口を開閉する様に構成されている。
【００２５】
前記サブ筐体１６は前記ポッド搬送装置１５や前記回転式ポッド棚１１が配設されている空間（ポッド搬送空間）から気密となっている移載室２３を構成している。該移載室２３の前側領域にはウェーハ移載機構（基板移載機構）２４が設置されており、該ウェーハ移載機構２４は、ウェーハを載置する所要枚数（図示では５枚）のウェーハ載置プレート２５を具備し、該ウェーハ載置プレート２５は水平方向に直動可能、水平方向に回転可能、又昇降可能となっている。前記ウェーハ移載機構２４はボート（基板保持具）２６に対してウェーハ１８を装填及び払出しする様に構成されている。
【００２６】
前記移載室２３の後側領域には、前記ボート２６を収容して待機させる待機部２７が構成され、該待機部２７の上方には縦型の処理炉２８が設けられている。
【００２７】
該処理炉２８は前記ボート２６を収納する処理室を有し、該処理室の下端部は、炉口部となっており、該炉口部は炉口シャッタ（炉口開閉機構）２９により開閉される様になっている。
【００２８】
前記筐体２の右側端部と前記サブ筐体１６の前記待機部２７の右側端部との間には前記ボート２６を昇降させる為のボートエレベータ（基板保持具昇降機構）３１が設置されている。該ボートエレベータ３１の昇降台に連結されたアーム３２には蓋体としてのシールキャップ３３が水平に取付けられており、該シールキャップ３３は前記ボート２６を垂直に支持し、前記処理炉２８の炉口部を気密に閉塞可能となっている。
【００２９】
前記ボート２６は複数本の支柱を備えており、該支柱は複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウェーハ１８を、その中心を揃えて水平姿勢で多段に保持する様に構成されている。
【００３０】
尚、前記基板処理装置１内部にはダミーウェーハ（図示しない）が保管されており、必要に応じ、前記ボート２６上部、下部には所要枚数のダミーウェーハが装填され、又処理の内容に応じて所要間隔でモニタウェーハが前記ボート２６に装填される様になっている。
【００３１】
前記ボートエレベータ３１側と対向した位置にはクリーンユニット３５が配設され、該クリーンユニット３５は、清浄化した雰囲気若しくは不活性ガスであるクリーンエア３４を供給する様供給ファン及び防塵フィルタで構成されている。前記ウェーハ移載機構２４と前記クリーンユニット３５との間には、ウェーハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合せ装置（図示せず）が設置されている。
【００３２】
前記クリーンユニット３５から吹出されたクリーンエア３４は、ノッチ合せ装置（図示せず）及び前記ウェーハ移載機構２４、前記ボート２６に流通された後に、図示しないダクトにより吸込まれて、前記筐体２の外部に排気がなされるか、若しくは前記クリーンユニット３５の吸込み側である一次側（供給側）に迄循環され、再び該クリーンユニット３５によって、前記移載室２３内に吹出される様に構成されている。
【００３３】
次に、本発明の処理装置の作動について説明する。
【００３４】
前記ポッド９が前記ロードポート８に供給されると、前記ポッド搬入搬出口６が前記フロントシャッタ７によって開放される。前記ロードポート８の上の前記ポッド９は前記ポッド搬送装置１５によって前記筐体２の内部へ前記ポッド搬入搬出口６を通して搬入され、前記回転式ポッド棚１１の指定された前記棚板１３へ載置される。前記ポッド９は前記回転式ポッド棚１１で一時的に保管された後、前記ポッド搬送装置１５により前記棚板１３からいずれか一方のポッドオープナ１４に搬送されて前記載置台２１に移載されるか、若しくは前記ロードポート８から直接前記載置台２１に移載される。
【００３５】
この際、前記ウェーハ搬入搬出口１９は前記開閉機構２２によって閉じられており、前記移載室２３には前記クリーンエア３４が流通され、充満されている。例えば、前記移載室２３にはクリーンエア３４として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、前記筐体２の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００３６】
前記載置台２１に載置された前記ポッド９はその開口側端面が前記サブ筐体１６の前記正面壁１７に於ける前記ウェーハ搬入搬出口１９の開口縁辺部に押付けられると共に、蓋が前記開閉機構２２によって取外され、ウェーハ出入れ口が開放される。
【００３７】
前記ポッド９が前記ポッドオープナ１４によって開放されると、ウェーハ１８は前記ポッド９から前記ウェーハ移載機構２４によって取出され、ノッチ合せ装置（図示せず）に移送され、該ノッチ合せ装置にてウェーハ１８を整合した後、前記ウェーハ移載機構２４はウェーハ１８を前記移載室２３の後方にある前記待機部２７へ搬入し、前記ボート２６に装填（チャージング）する。
【００３８】
該ボート２６にウェーハ１８を受渡した前記ウェーハ移載機構２４はポッド９に戻り、次のウェーハ１８を前記ボート２６に装填する。
【００３９】
一方（上段又は下段）のポッドオープナ１４に於ける前記ウェーハ移載機構２４によるウェーハ１８の前記ボート２６への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ１４には前記回転式ポッド棚１１から別のポッド９が前記ポッド搬送装置１５によって搬送されて移載され、前記他方のポッドオープナ１４によるポッド９の開放作業が同時進行される。
【００４０】
予め指定された枚数のウェーハ１８が前記ボート２６に装填されると、前記炉口シャッタ２９によって閉じられていた前記処理炉２８の炉口部が、前記炉口シャッタ２９によって開放される。続いて、前記ボート２６は前記ボートエレベータ３１によって上昇され、前記処理炉２８内（処理室）へ装入（ローディング）される。
【００４１】
ローディング後は、前記シールキャップ３３によって炉口部が気密に閉塞され、前記ボート２６はウェーハ１８を保持した状態で、処理室に気密に収納される。前記ウェーハ１８が加熱され、又処理室に処理ガスが導入されつつ、所定圧力に維持される様に排気され、前記処理炉２８にてウェーハ１８に所要の処理が実行される。
【００４２】
処理後は、ノッチ合せ装置（図示せず）でのウェーハ１８の整合工程を除き、上記と逆の手順で、ウェーハ１８及びポッド９は前記筐体２の外部へ払出される。
【００４３】
図３は、上記基板処理装置を具備する基板処理システムの概略構成を示している。
【００４４】
図３中、４１は管理装置であるＨＯＳＴコンピュータを示し、４２は、サーバを示し、該ＨＯＳＴコンピュータ４１及びサーバ４２が通信網、例えばＬＡＮに接続され、該通信回線には、中継分配器、例えばＨＵＢ４３を介して複数台の基板処理装置１ａ，１ｂ，…，１ｎが接続されている。
【００４５】
前記ＨＯＳＴコンピュータ４１は管理プログラムによって、前記基板処理装置１ａ，１ｂ，…，１ｎの運用をオンラインで制御する。オンラインの運用では、前記ポッド９の搬入、搬出、バッチ情報指定、プロセス条件指定、プロセス開始指定、プロセスデータ収集等、一連の処理が、前記ＨＯＳＴコンピュータ４１によって実行、管理される。
【００４６】
また、サーバ４２は、複数の装置について、稼働状況のリアルタイムモニタリング及びデータ収集やデータバックアップを行う。
【００４７】
また、基板処理装置１は、ＨＯＳＴコンピュータ４１やサーバ４２等の外部の上位コンピュータと通信するための通信部としての通信ドライバ５１と、装置運用を制御するためのデータや装置状態をモニタリングするためのデータを生成する装置制御部５３と、前記外部の上位コンピュータとの通信制御部５２とを少なくとも含む主制御部を有する。そして、ＨＯＳＴコンピュータ４１からプロセス開始指定があると、基板を処理するレシピを装置制御部５１が実行し、基板処理が実施される。具体的には、レシピに従い装置制御部５３が、基板処理装置１の各構成部品を制御することで実施される。一方、通信制御部５２は、前記レシピ実行中に後述する送信フロー制御プログラムを実行することができる。これにより、例えば、レシピ実行中に各構成部品で生成されるデータを装置制御部５３から収集し、リアルタイムで外部の上位コンピュータへ送信することができる。
【００４８】
通信部５１は、通信バッファを備え、この通信バッファに上位コンピュータに送信されるメッセージを一時的に保管することができる。この通信バッファから基板処理装置１で生成される種々のデータがメッセージとして送信される。
【００４９】
通信制御部５２は、送信スレッド及び受信スレッドを備え、上位コンピュータと通信部５１を介して通信する。また、通信制御部５２は、基板処理装置１で生成される種々のデータから上位コンピュータへ送信するメッセージが作成され、上位コンピュータから受信したメッセージが解析される。尚、通信制御部５２では、後述する送信フロー制御プログラムが実行される。
【００５０】
装置制御部５３は、図示しない記憶部に格納されている様々なファイルを少なくとも一つ実行する。例えば、基板を処理するレシピが実行される。そして、レシピを実行する際に基板処理装置１で基板を処理するのに必要なデータが生成される。更に、装置制御部５３は、基板を処理するための設定値等の基板処理に必要なデータを送信し、基板処理装置１を構成する各構成部品を制御する。この際、各構成部品からモニタデータやイベントデータ等種々のデータが収集される。ここで、装置制御部５２は、収集されたデータに基づいて上位コンピュータでモニタリングするためのデータを生成する。
【００５１】
次に、図４により本実施形態における基板処理システムで送受信される通信メッセージについて説明する。
【００５２】
図４に通信メッセージの内容を示す。図４に示す通信メッセージは、基板処理装置の記憶部にテーブルとして保存されている。また、項目として、送信先項目情報、送信先優先度情報、主な役割、メッセージ内容、メッセージの通信量(データ量)情報、メッセージ内容の重要度情報が含まれる。メッセージ内容には、材料搬送指示、処理内容指定、処理開始指示、イベント報告、アラーム報告、実績データ報告、トレースデータ報告、モニタデータ報告、イベントデータ報告、データアップロード指示、データダウンロード指示がある。ここで、実績データは、レシピ処理実行内容および実行結果に関するデータであり、トレースデータは温度やガス流量値などを一定時間間隔で報告するデータである。尚、トレースデータとモニタデータはデータの内容は同じであるが、トレースデータは特定のデータの傾向を見るときなどのデータ分析で使用するデータである。
【００５３】
図４によれば、ＨＯＳＴコンピュータ４１に対する送信メッセージが損失した場合、装置の稼動停止や処理中断に直接影響を及ぼしてしまうため、ＨＯＳＴコンピュータ４１との通信が重要であり、優先度「高」となっている。このように、ＨＯＳＴコンピュータ４１に対するメッセージが欠落しないように優先されて送信されることが望ましい。一方、サーバ４２に対する送信メッセージの内容は、レシピ実行中でなくても構わない項目であるため、優先度「低」となる。
【００５４】
次に、図５により本実施の形態に係る基板処理装置において、通信メッセージを送信する構成について説明する。
【００５５】
基板処理装置を制御するために必要なデータや装置状況をモニタリングするためのデータは、装置制御部が生成して、通信制御部の送信スレッドから通信ドライバにより外部の上位コンピュータへ通信メッセージとして送信される。通信メッセージは、送信先(外部の上位コンピュータ)とのトランザクション完了(メッセージ送信から応答メッセージ受信)まで通信バッファに情報が保持される。通信バッファに保持しているメッセージが増え続けて滞留していると、ネットワーク通信遅延や再送処理が発生していると判断される。通信状態が悪化している状況で、更に多くのメッセージを送信しようとすると、通信バッファでオーバフローが発生して通信不能状態に陥る。
【００５６】
ここで、本実施の形態によれば、上述したようなネットワークの通信性能の悪化に備え、少なくとも上位コンピュータであるＨＯＳＴコンピュータ４１との通信を行うことが可能なように通信メッセージの送信フロー制御を改良した。
【００５７】
図６により本実施形態における送信フロー制御プログラムについて詳述する。
【００５８】
図６の送信フロー制御プログラムは、ＨＯＳＴコンピュータ４１やサーバへ送信するメッセージが発生したタイミングで、メッセージ1つ1つ、送信要求が発生する度に開始される(Step1)。先ず、本実施形態における送信フロー制御プログラムが開始されると、送信する通信メッセージが一次か二次かであるか判定される（Step2）。二次メッセージ(一次メッセージ受信に対する応答メッセージ)と判定されると送信フロー制御の制御対象としないで返信処理を実施する（Step6）。一次メッセージであれば、制御対象として送信処理の前に、通信状態チェック処理が実施される。通信状態チェック処理は、通信バッファの空き容量を確認して下限値以下であれば、通信性能が低下していると判断される（Step3）。尚、通信性能が低下している判断されると、メッセージを送信するか破棄するかの優先度チェック処理が実施される。又、通信中のトランザクション数が上限値を超えている場合、通信負荷が発生していると判断される（Step4）。通信負荷が発生していると判断された場合でも、上述した優先度チェック処理が実施される。尚、通信バッファ量の下限値や通信中のトランザクション数の上限値はパラメータ設定にて任意に指定される。次に、優先度チェック処理は、先ず、送信先優先度を判定する（Step7）。優先度が高いと判定されると送信処理が実施される（Step5）。次に、メッセージの内容の重要度が判定される（Step8）。重要度が高いと判定されると送信処理が実施される（Step5）。重要なメッセージのみ送信するため、メッセージの重要度が中くらいや低いというレベルは破棄される(Step9)。このように、優先度及び/又は重要度が高いメッセージのみ送信することにより、通信バッファに滞留するメッセージが増え続けないように送信フロー制御が実行される。
【００５９】
ここで、通信状態チェック処理は、(Step3)と(Step4)で実施される処理であり、優先度チェック処理は、（Step7）と（Step8）で実施される処理である。尚、メッセージの通信量は、優先度に関係しないため、判定に使用されないが、通信量「大」で重要度「中」又は重要度「小」のメッセージを優先して破棄されるので、送信量を少なく抑えることができる。
【００６０】
また、送信フロー制御によりメッセージを破棄した場合は、通信状態が良好でないことを警告するためのアラームを画面表示したり、通信バッファの状況を可視化するため、バッファ空き容量やトランザクション数を画面表示したりする機能を備えることで、作業者にネットワークの通信状態を知らせ、基板処理装置での作業において注意喚起となり、通信異常でロットアウトするという最悪な事態を避けることが少なくとも可能である。
【００６１】
このように、本実施の形態によれば、基板処理装置とＨＯＳＴコンピュータ４１やサーバ４２を含む上位コンピュータとの通信状態に関わらず、重要な通信メッセージは確実に通信可能にしたため、少なくとも通信異常に起因する装置の処理中断や停止は抑えることができる。
【００６２】
複数のステップから構成されるレシピを実行して基板に所定の処理を施している際、本願発明における送信フロー制御を行うことにより、前記レシピ実行中に生成されるデータを基板処理装置から上位コンピュータに主制御部の通信負荷を考慮して送信させることができる。よって、基板処理装置と上位コンピュータとの通信異常に係る障害が発生することが無いため、通信負荷に起因する前記レシピの中断または停止が抑えられる。
【００６３】
尚、本実施の形態における説明では、基板処理装置の一例として縦型炉を具備して基板に酸化処理、ＣＶＤ成膜処理、拡散処理、アニール処理等を行う縦型の基板処理装置について説明したが、本構成に限らず、種々の基板処理装置についても適用されることはいうまでも無い。
【００６４】
（付記）
尚、本発明は以下の実施の態様を含む。
（付記１）基板を処理するために必要なデータや装置の稼働状況をモニタリングするためのデータを生成する装置制御部と、外部の上位コンピュータへ送信されるデータを一時的に格納するバッファを有する通信部と、前記装置制御部で生成されたデータを前記通信部を介して前記上位コンピュータに送信する通信制御部とを含む主制御部(メインコントローラ)を備えた基板処理装置であって、前記通信制御部は、通信状態をチェックする工程と優先度をチェックする工程を含む送信フロー制御プログラム(送信フロー制御機能)を実行し、前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、両方ともＯＫであれば、一次メッセージを前記上位コンピュータに送信し、前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックした結果、少なくとも一方がＮＧであれば、前記一次メッセージを送信する送信先の優先度と前記一次メッセージの重要度をチェックし、前記送信先の優先度又は前記一次メッセージの重要度が高ければ、前記一次メッセージを送信し、前記送信先の優先度且つ前記一次メッセージの重要度が低ければ、前記一次メッセージを破棄する基板処理装置。
【００６５】
（付記２）基板処理装置と上位コンピュータとの通信状態をチェックする工程と一次メッセージに関する優先度をチェックする工程を含む送信フロー制御プログラム(送信フロー制御機能)を実行し、バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、両方ともＯＫであれば、前記一次メッセージを前記上位コンピュータに送信し、バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックした結果、少なくとも一方がＮＧであれば、前記一次メッセージを送信する送信先の優先度と前記一次メッセージの重要度をチェックし、前記送信先の優先度又は前記一次メッセージの重要度が高ければ、前記一次メッセージを送信し、前記送信先の優先度且つ前記一次メッセージの重要度が低ければ、前記一次メッセージを破棄する基板処理装置の制御方法。
【００６６】
（付記３）基板を処理するために必要なデータや装置の稼働状況をモニタリングするためのデータを生成する装置制御部と、外部の上位コンピュータへ送信されるデータを一時的に格納するバッファを有する通信部と、前記装置制御部で生成されたデータを前記通信部を介して前記上位コンピュータに送信する通信制御部とを含む主制御部(メインコントローラ)を設けた基板処理装置と、前記基板処理装置を制御する上位コンピュータと、を含む基板処理システムであって、
前記通信制御部は、通信状態をチェックする工程と優先度をチェックする工程を含む送信プログラム(送信フロー制御機能)を実行し、
前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、両方ともＯＫであれば、一次メッセージを前記上位コンピュータに送信し、
前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックした結果、少なくとも一方がＮＧであれば、前記一次メッセージを送信する送信先の優先度と前記一次メッセージの重要度をチェックし、前記送信先の優先度又は前記一次メッセージの重要度が高ければ、前記一次メッセージを送信し、前記送信先の優先度且つ前記一次メッセージの重要度が低ければ、前記一次メッセージを破棄する基板処理システム。
【００６７】
（付記４）レシピを実行して基板を処理するために必要なデータや装置の稼働状況をモニタリングするためのデータを生成する装置制御部と、前記データを一時的に格納するバッファを有する通信部を介して前記データをメッセージとして送信する通信制御部とを少なくとも含む主制御部(メインコントローラ)を具備し、該主制御部は、前記レシピを実行して前記基板に所定の処理を施す基板処理装置における半導体装置の製造方法であって、
前記レシピ実行中に、前記装置制御部は基板処理に関するデータを生成し、
前記通信制御部は、通信状態をチェックする工程と優先度をチェックする工程を含む送信プログラム(送信フロー制御機能)を実行し、
前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックし、ＯＫであれば、基板処理に関するデータを一次メッセージとして送信し、
前記バッファの空き容量と通信中のトランザクション数をチェックした結果、少なくとも一方がＮＧであれば、前記一次メッセージを送信する送信先の優先度と前記一次メッセージの重要度をチェックし、前記送信先の優先度又は前記一次メッセージの重要度が高ければ、前記一次メッセージを送信し、前記送信先の優先度且つ前記一次メッセージの重要度が低ければ、前記一次メッセージを破棄することにより、前記レシピを継続させる基板処理装置における半導体装置の製造方法。
【符号の説明】
【００６８】
１              基板処理装置
１８            ウェーハ(基板)
４１            ＨＯＳＴコンピュータ
４２            サーバ
５１                    
通信部
５２            通信制御部
５３            装置制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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