(57)【要約】【課題】排水処理を必要としない、安価で、ランニングコストの低廉な無排水化吸着塔を提供する。【解決手段】本発明は、被処理ガス中の有機溶剤の吸着、吸着した有機溶剤の脱離を交互に連続して行う吸着材を備えた複数の吸着塔と、有機溶剤を含む被処理ガスを送風機により吸着塔に送る送風ラインと、キャリアガスを吸着塔に送風するとともに、有機溶剤を吸着材から脱離する脱離手段と、脱離後の有機溶剤を濃縮、分離回収する回収ラインとからなる吸着回収装置において、有機溶剤と共に回収、分離された水相を前記送風ラインに気化するよう戻すリターン手段を設けたことを特徴とする無排水化吸着回収装置の構成とした。【選択図】図１
2012011390.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理ガス中の有機溶剤の吸着、吸着した有機溶剤の脱離を交互に連続して行う吸着材を備えた複数の吸着塔と、有機溶剤を含む被処理ガスを送風機により吸着塔に送る送風ラインと、キャリアガスを吸着塔に送風するとともに有機溶剤を吸着材から脱離する脱離手段と、脱離後の有機溶剤を濃縮、分離回収する回収ラインとからなる吸着回収装置において、
さらに、前記回収ラインと前記送風ラインの送り配管とを連結するリターン配管と、前記リターン配管中に挿入され一端が前記水相に接し他端が前記送風ライン内に位置する繊維材とからなるリターン手段を備え、
有機溶剤と共に回収、分離された水相を前記繊維材の毛細管現象を介して前記送風ラインに移送し、前記の送風ライン中の風で気化することを特徴とする無排水化吸着回収装置。
【請求項２】
前記分離回収が、水相と有機溶剤の比重差を用いて分離する分離器であることを特徴とする請求項１に記載の無排水化吸着回収装置。
【請求項３】
前記水相の比重が、有機溶剤の比重より軽い場合において、前記繊維材の前記分離器中の先端部にフロートを固定したことを特徴とする請求項２に記載の無排水化吸着回収装置。
【請求項４】
前記水相の比重が、有機溶剤の比重より重い場合において、前記分離器に底部を残し仕切りを設け、有機溶媒から隔離した水相を前記送風ラインに送ることを特徴とする請求項２に記載の無排水化吸着回収装置。
【請求項５】
前記回収ラインで回収された水相の一部を、加熱し、水蒸気として、前記脱離手段のキャリアガスとして使用することを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の無排水化吸着回収装置。
【請求項６】
有機溶剤を吸着、脱離、凝集回収する吸着回収装置において、有機溶剤と共に回収、分離された水相を、被処理ガスを吸着塔に送る送風ラインに繊維材の毛細管現象を介して移送させ、前記の送風ラインの風で気化させることを特徴とする吸着回収装置の無排水化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）などの有機溶剤を含む被処理ガスから、有機溶剤を吸着、脱離させ、濃縮・回収する吸着回収装置に関し、さらに詳しくは、被処理ガスに混在し、有機溶剤とともに回収される水相を、排水として別装置により処理することなく、排水中に混入する有機溶剤を吸着塔に戻して除去し、水分は水蒸気として大気に放出する無排水化吸着回収装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機溶剤を含む被処理ガスから、有機溶剤を吸着回収する従来の吸着回収装置では、吸着材から有機溶剤を脱離させ吸着材を再生するために、吸着材を水蒸気で加熱していた。
【０００３】
しかし、水蒸気による吸着材の加熱再生では、吸着した有機溶剤を脱離させる熱エネルギーよりも、有機溶剤を脱離させる温度まで吸着材自体を加熱する熱エネルギーの方が遙かに大きい。一般には、有機溶剤の５〜１０倍（体積基準）もの多量の水蒸気が必要となる。また、有機溶剤の凝縮回収時に、多量の凝縮水（水相）が混ざった状態で有機溶剤が回収される。
【０００４】
この水相には有機溶剤が少なからず含まれておりそのまま排水できず、別途水相の排水処理装置が必要であった。このため、水蒸気加熱を用いた吸着回収装置及び排水処理装置からなる吸着回収システムは、設備費、維持費ともに大きくなる。
【０００５】
この欠点を改善する方法として、吸着材から有機溶剤を離脱するため、吸着材を水蒸気によらず加熱する脱離手段として、加熱した空気など非凝縮性のガスで吸着材を加熱する方法、水蒸気や油などの熱媒体、電気ヒーター、マイクロ波、高周波のエネルギーにより加熱した伝熱体と熱交換器と吸着材を接触させることにより間接的に吸着材を加熱する方法、また吸着材を通電やマイクロ波や高周波のエネルギーにより直接加熱する方法などが知られている。
【０００６】
その一例として、図７に、通電加熱により吸着材を直接加熱する従来の吸着回収装置１１のフロー図を示す。なお、実線で稼動中のラインを、点線で停止しているラインを表した。即ち、吸着塔２が吸着工程、吸着塔３が脱離工程中である。
【０００７】
吸着回収装置１１は、複数の吸着塔２、３と、送風ライン４と、脱離手段５と、回収ライン７とからなる。
【０００８】
吸着塔２、３は、それぞれ吸着材２ａ、３ａを備え、被処理ガス中の有機溶剤の吸着、吸着した有機溶剤の脱離を交互に連続して行う。吸着材２ａ、３ａは、炭素剤、炭素繊維、セラミックなど従来から使用されている素材で、ここでは通電加熱される炭素繊維を用いている。これにより、連続的に有機溶剤の吸着、脱離、回収を可能にする。
【０００９】
被処理ガスは、電子産業、化学工業その他各種工業において、溶剤を使用する洗浄工程、乾燥工程より排出され、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）などの有機溶剤が含まれる排ガスである。有機溶剤としては、例えば、トルエン、ベンゼン、フロン類、ジクロロメタンなど洗浄剤がある。
【００１０】
送風ライン４は、有機溶剤を含む被処理ガスをブロア４ｂなどの送風機により、送り配管４ａを通し、吸着工程中の吸着塔に送る。ここでは、吸着塔２である。
【００１１】
送風された被処理ガスは、切換弁４ｃにより送風される吸着塔２、３が選択される。吸着工程中の吸着塔２に送風された被処理ガスは、有機溶剤が吸着材２ａに吸着除去され、大気中に浄化ガスとして放出され、脱離工程中の吸着塔３から脱離した有機溶剤は、キャリアガス５ａと共に回収ライン７に送られるよう切換弁７ａにより制御される。
【００１２】
脱離手段５は、有機溶剤を吸着材２ａ、３ａから脱離するため加熱装置である。なお、吸着塔２、３を減圧し、有機溶剤を脱離することも行われている。加熱装置は、ここでは吸着材２ａ、３ａを直接加熱する通電加熱装置である。
【００１３】
なお、脱離手段５による脱離工程中、脱離した有機溶剤を次の回収ライン７に送るための加熱された窒素ガス、水蒸気などのキャリアガス５ａが、窒素ガスボンベ、ボイラなどのキャリアガス源５ｂから、脱離工程中の吸着塔２、３に送られる。これにより、吸着工程後の脱離工程にて吸着材２ａ、３ａが加熱再生される。
【００１４】
回収ライン７は、脱離後の有機溶剤を濃縮、分離回収するラインであり、浄化ガスの放出、及び脱離回収される有機溶剤を回収ライン７に流す切換弁７ａと、脱離した有機溶剤を吸着塔２、３からキャリアガス５ａと共に回収ライン７に引き抜く真空ポンプ７ｂと、回収した有機溶剤を凝集させる凝縮器７ｃと、凝縮した有機溶剤７ｅと水分及び水に可溶な溶液（水相７ｆ）とに分離する分離器７ｄと、キャリアガス５ａを送風ライン４の送り配管４ａに戻す循環配管７ｇとからなる。
【００１５】
凝縮器７ｃは、有機溶剤を冷却し液化する装置である。分離器７ｄには、有機溶剤と水の比重差を利用したものや、膜を利用したものがある。
【００１６】
水相７ｆには、空気中の水分、アルコールなど水に可溶な溶液が含まれる。また、この水相７ｆには、僅かに有機溶剤７ｅも含まれる。従って、従来は吸着回収装置１とは別に排水処理を行い、水相７ｆから有機溶剤を除去した水相を排水していた。一方、キャリアガス５ａは、循環配管７ｇを経由し、送り配管４ａから吸着塔２、３に戻され、浄化ガスとして大気中に放出される。
【００１７】
これら水蒸気により吸着材を加熱しない上記方法でも、窒素ガスなどをキャリアガスとして有機溶剤を脱離させ凝縮回収すると、有機溶剤を吸着処理する時に、被処理ガス中に含まれる水蒸気も同時に吸着してしまう。そのため、回収した有機溶剤の量に対して５〜５０重量％の水も混在して回収され、水相７ｆを処理するという問題が残る。
【００１８】
なお、吸着材の加熱に水蒸気を使わない上記加熱方法に、キャリアガスとして水蒸気を用いた場合は、吸着材の加熱にも水蒸気を用いた場合よりも、水蒸気量を大幅に削減できる。ただし、それでも有機溶剤の回収量と同等量（〜１００重量％）の水が混在して回収される。
【００１９】
他方、排水がでることがない吸着回収装置として、特許文献１のヒーター加熱による有機溶剤回収装置が公開されている。
【００２０】
特許文献１の有機溶剤回収装置は、被処理ガス中の溶剤蒸気を吸着する活性炭を内蔵した第１及び第２の吸着塔と、該吸着塔から吸着された溶剤蒸気を、加熱するかまたは高温非凝縮性気体を介して脱着させる手段を備えた有機溶剤回収装置において、第１または第２の吸着塔から脱着した溶剤蒸気を有機蒸気分離膜に導き、膜を透過した溶剤蒸気を液化回収し、回収できなかった溶剤蒸気を該分離膜の供給側に戻し、該分離膜の非透過成分を被処理ガスに混合して第２または第１の吸着塔に導く手段かまたは該非透過成分を大気に直接排出する手段を備えたことを特徴とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２１】
【特許文献１】特開平７−３９７１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
特許文献１の無排水化には、膜により、有機溶剤を選択的に分離し、分離されない有機蒸気分離膜の非透過ガスをブロウー２の前段に戻している。従って水を透過させない膜を使用しているため、別装置によって排水処理をする必要はない。
【００２３】
しかし、膜は高価な上、目詰まり、劣化等により定期的に、洗浄、交換をする必要があり、ランニングコスト、交換作業の煩雑などの問題がある。
【００２４】
そこで、本発明は、排水処理を必要としない、安価で、ランニングコストの低廉な無排水化吸着塔を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明は、上記の課題を解決するために、
（１）
被処理ガス中の有機溶剤の吸着、吸着した有機溶剤の脱離を交互に連続して行う吸着材を備えた複数の吸着塔と、有機溶剤を含む被処理ガスを送風機により吸着塔に送る送風ラインと、キャリアガスを吸着塔に送風するとともに有機溶剤を吸着材から脱離する脱離手段と、脱離後の有機溶剤を濃縮、分離回収する回収ラインとからなる吸着回収装置において、
さらに、前記回収ラインと前記送風ラインの送り配管とを連結するリターン配管と、前記リターン配管中に挿入され一端が前記水相に接し他端が前記送風ライン内に位置する繊維材とからなるリターン手段を備え、
有機溶剤と共に回収、分離された水相を前記繊維材の毛細管現象を介して前記送風ラインに移送し、前記の送風ライン中の風で気化することを特徴とする無排水化吸着回収装置の構成とした。
（２）
前記分離回収が、水相と有機溶剤の比重差を用いて分離する分離器であることを特徴とする（１）に記載の無排水化吸着回収装置の構成とした。
（３）
前記水相の比重が、有機溶剤の比重より軽い場合において、前記繊維材の前記分離器中の先端部にフロートを固定したことを特徴とする（２）に記載の無排水化吸着回収装置の構成とした。
（４）
前記水相の比重が、有機溶剤の比重より重い場合において、前記分離器に底部を残し仕切りを設け、有機溶媒から隔離した水相を前記送風ラインに送ることを特徴とする（２）に記載の無排水化吸着回収装置の構成とした。
（５）
前記回収ラインで回収された水相の一部を、加熱し、水蒸気として、前記脱離手段のキャリアガスとして使用することを特徴とする（１）〜（４）の何れかに記載の無排水化吸着回収装置の構成とした。
（６）
有機溶剤を吸着、脱離、凝集回収する吸着回収装置において、有機溶剤と共に回収、分離された水相を、被処理ガスを吸着塔に送る送風ラインに繊維材の毛細管現象を介して移送させ、前記の送風ラインの風で気化させることを特徴とする吸着回収装置の無排水化方法の構成とした。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、以上の構成であるから、有機溶剤のみを回収することができるとともに、排水処理を必要とする水相は発生せず、吸着回収装置を安価に完全に無排水化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明である無排水化吸着回収装置の一例である実施例１のフロー図である。
【図２】本発明である無排水化吸着回収装置の一例である実施例２のフロー図である。
【図３】実施例２のリターン手段の水相が多量に存在するときの断面模式図である。
【図４】実施例２のリターン手段の水相が減少したときの断面模式図である。
【図５】実施例２のリターン手段の他の断面模式図である。
【図６】本発明である無排水化吸着回収装置の一例である実施例３のフロー図である。
【図７】従来の吸着回収装置のフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明は、従来の吸着回収装置において、まず回収した有機溶剤７ｅと水相７ｆを分離器７ｄにより分離する。分離した水相７ｆは、被処理ガスに戻し、吸着材２ａ、３ａに再度吸着させる。吸着材２ａ、３ａへの水と有機溶剤との吸着の選択性により、分離した水相７ｆに含まれていた僅かな有機溶剤は吸着材２ａ、３ａに吸着され回収されるが、水はほとんど吸着されずに安全な水蒸気として浄化ガスと共に大気中に放出される。
【００２９】
１回の吸着工程の被処理ガスに含まれる水を１、吸着材の水の回収率をｐ（＜１）とすると、１回目に凝縮回収される水の量はｐ０この水の全量を２回目の吸着工程に戻すと２回目に凝縮回収される水の量は（1＋ｐ）ｐ０となる。
【００３０】
従って、ｎ回目は（１−ｐｎ）ｐ／（１−ｐ）となり、無限回繰り返しても、ｐ／（１−ｐ）となる。被処理ガスに含まれる水蒸気の量、吸着材の水の回収率などにより装置設計することにより、有機溶剤のみを回収することができるとともに、排水処理を必要とする水は発生しない。
【００３１】
分離器７ｄは、有機溶剤と水の比重差を利用したものや、膜を利用したものでもが利用でき、その手法は限定されない。分離された水相７ｆを気化させる場所へ移動させるリターン手段を設ける。
【００３２】
分離した水相７ｆを送風ライン４に戻すリターン手段は、ポンプ８ｂあるいは毛細管現象を利用するなど、その手法は限定されない。また、水相７ｆを気化させる手段は、水相７ｆを被処理ガスのブロア４ｂのインペラー６ｂに滴下し分散・気化させる方法、水を被処理ガスの送風ライン４中に置いた膜などに含ませ被処理ガスによって気化させる方法、霧状に送風ライン４中に噴霧するなどが挙げられ、それらに限定されない。
【実施例１】
【００３３】
以下、添付図面に基づき、本発明である無排水化吸着回収装置について詳細に説明する。図１は、本発明である無排水化吸着回収装置の一例である実施例１のフロー図である。
【００３４】
無排水化吸着回収装置１は、従来の被処理ガス中の有機溶剤の吸着、吸着した有機溶剤の脱離を交互に連続して行う吸着材２ａ、３ａを備えた複数の吸着塔２、３と、有機溶剤を含む被処理ガスをブロア４ｂなどの送風機により吸着塔２、３に送る送風ライン４と、キャリアガス５ａを吸着塔２、３に送風するとともに、有機溶剤を吸着材２ａ、３ａから脱離する脱離手段５と、脱離後の有機溶剤を濃縮、分離回収する回収ライン７とからなる吸着回収装置において、有機溶剤７ｅと共に回収、分離された水相７ｆを前記送風ライン４に気化するよう戻すリターン手段８を設けてなる。
【００３５】
吸着塔２、３、送風ライン４、脱離手段５、回収ライン７は、上述の従来の吸着回収装置１１と同様であり、その説明はここでは省略する。本発明は、有機溶剤７ｅと共に回収、分離された水相７ｆを気化させながら前記送風ライン４に戻すリターン手段８を設けたことを特徴とする。
【００３６】
リターン手段８は、回収された水相７ｆと送風ライン４の送り配管４ａとを連結するリターン配管８ａと、前記水相７ｆをリターン配管８ａを通し送り配管４ａに移送するポンプ８ｂとからなり、水相７ｆを送風ライン４に戻す。水相７ｆを被処理ガスに戻すことにより、ブロア４ｂにより送風された被処理ガスによって、水相７ｆは気化し、吸着塔２、３に送られる。
【００３７】
リターン手段８は、回収ライン７での分離回収が、水相７ｆと有機溶剤７ｅを比重差を用いて分離する分離器７ｄである場合に特に有効である。また、水相７ｆと、有機溶剤７ｅとは、有機溶剤の種類、即ち比重により、相が上下逆転するが、リターン配管８ａの分離器７ｄ側末端を、下相に位置する水相７ｆに挿入すれば同様に、水相７ｆのみを送風ライン４に戻すことができる。
【００３８】
ポンプ８ｂは、水相７ｆの高さを感知するレベル計により駆動をオンオフ制御してもよし、水相７ｆの蓄積量は、稼働する無水化吸着回収装置に異なるため、分離器７ｄの水相７ｆの蓄積データーをもとに、一定時間、一定量を移送するようタイマー制御などして、駆動させてもよい。これにより水相７ｆのみを送風ライン４に移送することができる。
【００３９】
このようにして、送風ライン４に戻された水相７ｆは、気化しながら、吸着塔２、３に送られ、それに混入する有機溶剤は、吸着塔２、３の吸着材２ａ、３ａに吸着除去され、浄化ガスとともに、大気中に放出される。従って、水相７ｆに僅かに混在する有機溶剤を除去するため水相７ｆを別装置で排水処理する必要がなくなり、吸着回収装置の無排水化が可能となる。
【実施例２】
【００４０】
図２は、本発明である無排水化吸着回収装置の一例である実施例２のフロー図である。図３は、実施例２のリターン手段の水相が多量に存在するときの断面模式図である。図４は、実施例２のリターン手段の水相が減少したときの断面模式図である。
【００４１】
無排水化吸着回収装置１ａは、実施例１の無排水化吸着回収装置１とリターン手段のみが異なる。即ち、実施例１のリターン手段８をリターン手段９に変更したものである。
【００４２】
リターン手段９は、図３、図４に示すように、回収され、分離器７ｄで分離された水相７ｆに浮かべたフロート９ｂ、分離器７ｄと送風ライン４のインペラー６ｂによるブロア４ｂとを連結するリターン配管９ａ、及びリターン配管９ａに挿入れ、一端がフロート９ｂに固定され、他端が送風ライン４内に位置する繊維材９ｅとからなる。
【００４３】
フロート９ｂは、水相７ｆと同等、或いはやや軽い比重に調整し、水相に浮かべる。繊維材９ｅは、フロート９ｂ上部内部に挿入され、固定する。フロート９ｂには、繊維材９ｅに、水相７ｆが触れるように、横方向に貫通する孔９ｃを設ける。
【００４４】
繊維材９ｅの素材は特に制限されるものではないが、有機溶剤が水相７ｆ中に僅かに混在することから、有機溶剤耐性がある素材が好ましい。なお、送風ライン４が被処理ガスの流れで陰圧になる場合は、リターン配管９ａ中にシール９ｄをして分離器７ｄから送風ライン４への有機溶剤７ｅの引き込みを防ぐことが望ましい。
【００４５】
これにより、図３に示すように、分離器７ｄに水相７ｆが多量にある場合は、繊維材９ｅが送風ライン４に水相７ｆを毛細管現象で移送する。
【００４６】
送風ライン４中の繊維材９ｅは、常に風に当たり、繊維材９ｅに含まれる水相７ｆは気化し、常に毛細管現象により、分離器７ｄ中の水相７ｆを送風ライン４に移送する。
【００４７】
他方、図４に示すように、分離器７ｄの水相７ｆが減少した場合は、フロート９ｂは、有機溶剤７ｅより、比重が軽いため、有機溶剤７ｅ相には殆ど浸漬されることがなく、水相７ｆから離れ、水相７ｆすら孔９ｃに侵入することがない。水相７も繊維材９ｅに触れなく、自動的に水相７ｆの送風ライン４への移送が中断される。従って、繊維材９ｅは、水相７ｆが減少しても有機溶剤７ｅを送風ライン４に移送することがない。
【００４８】
また、水相７ｆと有機溶剤７ｅの上下が逆の場合、フロート９ｂは、水相７ｆと有機溶剤７ｅとの界面に滞留するよう設計すれば、有機溶剤７ｅの下層に位置する水相７ｆのみを移送することができる。ただし、分離器７ｄ内の繊維材９ｅは、有機溶剤に触れないよう被覆する必要がある。
【００４９】
これにより、水相７ｆのみを、送風ライン４中の被処理ガスに戻すことができ、さらにインペラー６ｂにより、効率的に水相７ｆを気化させることができる。特に、水相７ｆの蓄積速度が遅い場合有効な手段である。
【００５０】
図５は、実施例２のリターン手段の他の断面模式図である。図５に示すよう、実施例２において、リターン手段９をリターン手段９ｆに置換したものである。なお、当該他のリターン手段９ｆは、水相７ｆの比重が、有機溶剤７ｅより重い場合に適用される。
【００５１】
リターン手段９ｆは、分離器７ｄと送風ライン４のインペラー６ｂによるブロア４ｂとを連結するリターン配管９ａと、リターン配管９ａ中に挿入され、一端が前記水相７ｆに接し、他端が送風ライン４内に位置する繊維材９ｅとからなり、毛細管現象を利用した水相７ｆの移送方法を採用した例である。
【００５２】
なお、送風ライン４が被処理ガスの流れで陰圧になる場合は、リターン配管９ａ中にシール９ｄをして分離器７ｄから送風ライン４への有機溶剤７ｅの引き込みを防ぐことが望ましい。
【００５３】
図５に示すように、有機溶剤７ｅが、水相７ｆより軽く、水相７ｆの上層に位置した場合であっても、分離器７ｄにその底部を残し仕切り７ｈを設け、有機溶剤７ｅを水相７ｆから隔離することができる。これにより、分離、隔離した水相７ｆのみを送風ライン４に送ることができる。
【００５４】
これにより、水相７ｆは、送風ライン４中の先端部で、送風ライン４中を流れる被処理ガスの風により、気化する。その位置の繊維材９ｅは、有機溶剤７ｅに触れることなく、水相７ｆのみを送風ライン４中の繊維材９ｅの先端部に分離器７ｄから移動することができる。
【実施例３】
【００５５】
図６は、本発明である無排水化吸着回収装置の一例である実施例３のフロー図である。無排水化吸着回収装置１ｂは、実施例１の無排水化吸着回収装置１において、キャリアガス源としてボイラ５ｄ、キャリアガスとして水蒸気５ｃを採用し、さらに回収ライン７で回収された水相７ｆの一部を加熱し、水蒸気５ｃとして、前記脱離手段のキャリアガスとして使用する再利用ライン１０を追加した実施形態である。
【００５６】
再利用ライン１０は、回収ライン７で回収、分離された水相７ｆとボイラ５ｄにボイラ水を送る給水管５ｅを連結する配管１０ａと、水相７ｆを前記配管１０ａを通し前記給水管５ｅに移送するポンプ１０ｂとからなる。ポンプ１０ｂは、実施例１で説明したポンプ８ｂと同様の駆動制御をすればよい。
【００５７】
これにより、キャリアガスとして水蒸気５ｃを採用したとしても、有機溶剤を含む排水を別装置で排水処理する必要のない無排水化吸着回収装置１ｂを提供することがでる。特に、水相７ｆが大量に回収される場合に有効である。
【符号の説明】
【００５８】
１      無排水化吸着回収装置
１ａ    無排水化吸着回収装置
１ｂ    無排水化吸着回収装置
２      吸着塔
２ａ    吸着材
３      吸着塔
３ａ    吸着材
４      送風ライン
４ａ    送り配管
４ｂ    ブロア
４ｃ    切換弁
５      脱離手段
５ａ    キャリアガス
５ｂ    キャリアガス源
５ｃ    水蒸気
５ｄ    ボイラ
５ｅ    給水管
７      回収ライン
７ａ    切換弁
７ｂ    真空ポンプ
７ｃ    凝縮器
７ｄ    分離器
７ｅ    有機溶剤
７ｆ    水相
７ｇ    循環配管
７ｈ    仕切り
８      リターン手段
８ａ    リターン配管
８ｂ    ポンプ
９      リターン手段
９ａ    リターン配管
９ｂ    フロート
９ｃ    孔
９ｄ    シール
９ｅ    繊維材
１０    再利用ライン
１０ａ  配管
１０ｂ  ポンプ
１１    吸着回収装置
【図１】
2012011390.tif 000003
【図２】
2012011390.tif 000004
【図３】
2012011390.tif 000005
【図４】
2012011390.tif 000006
【図５】
2012011390.tif 000007
【図６】
2012011390.tif 000008
【図７】
2012011390.tif 000009