(57)【要約】【課題】シート体における傷や変形の発生を防止しつつシート体を支持し得るシート体支持装置を提供する。【解決手段】連続的に移動している長尺のシート体１００を支持可能に構成され、多孔質の板状体３１と、板状体３１に気体を送り込む圧送機構３２とを備え、板状体３１の表面からの気体の吹き出しによって移動状態のシート体１００を板状体３１から浮上させた状態で支持する。この場合、板状体３１は、多孔質のセラミックスで形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続的に移動している長尺のシート体を支持可能に構成され、
多孔質の板状体と、当該板状体に気体を送り込む圧送機構とを備え、前記板状体の表面からの前記気体の吹き出しによって移動状態の前記シート体を当該板状体から浮上させた状態で支持するシート体支持装置。
【請求項２】
前記板状体は、多孔質のセラミックスで形成されている請求項１記載のシート体支持装置。
【請求項３】
前記圧送機構は、前記板状体に対する前記気体の送り込み量を調整可能に構成されている請求項１または２記載のシート体支持装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のシート体支持装置と、当該シート体支持装置によって支持されている前記シート体に対して加熱を伴う処理を行う処理装置とを備えているシート体加工装置。
【請求項５】
請求項１から３のいずれかに記載のシート体支持装置と、塗液が塗布されて前記シート体支持装置によって支持されている前記シート体に対して加熱を伴う処理を行う処理装置とを備えている塗布装置。
【請求項６】
多孔質の板状体に気体を送り込み、前記板状体の表面からの前記気体の吹き出しによって連続的に移動している長尺のシート体を当該板状体から浮上させた状態で支持するシート体支持方法。
【請求項７】
請求項６記載のシート体支持方法によって支持している前記シート体に対して加熱を伴う処理を行うシート体加工方法。
【請求項８】
塗液を塗布した後に請求項６記載のシート体支持方法によって支持している前記シート体に対して加熱を伴う処理を行う塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺のシート体を支持するシート体支持装置、そのシート体支持装置を備えたシート体加工装置および塗布装置、長尺のシート体を支持するシート体支持方法、並びにそのシート体支持方法によって支持しているシート体に対して加熱を伴う処理を行うシート体加工方法および塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のシート体加工装置として、特開２００７−１２３７５７号公報において出願人が開示した支持シートの製造装置が知られている。この製造装置は、アニール炉、粘着ローラ、ダンサーローラおよびニップローラなどを備えて構成され、キャリアシートを移動させつつキャリアシートに対して熱処理（アニール処理）を行う。この場合、アニール炉内においては、キャリアシートに対してなるべく張力が加わらないようにするのが好ましい。このため、この製造装置では、ベルトコンベアがアニール炉内に配設されており、アニール炉内においては、このベルトコンベアがキャリアシートを移動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２３７５７号公報（第１３−１４頁、第５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記した支持シートの製造装置には、解決すべき以下の課題がある。すなわち、この製造装置では、アニール炉内に配設されたベルトコンベアがアニール炉内においてキャリアシートを移動させている。この場合、ベルトコンベアを構成するベルトの表面には多少の凹凸が存在するため、アニール炉内においてキャリアシートが熱処理されるときに、ベルトの表面の凹凸の形状がキャリアシートの表面に転写されて傷して残り、これによって品質が低下するおそれがある。また、ベルトの表面が十分平坦に形成されているとしても、ベルトコンベア用のベルトには、必ず継ぎ目が存在するため、この継ぎ目の形状がキャリアシートの表面に転写されるおそれがある。この場合、ノズルからキャリアシートに向けて空気を吹き付けることによってキャリアシートを浮き上がらせる構成および方法が考えられる。しかしながら、この構成および方法では、空気の吹き付けのムラが生じ（空気が部分的に強く吹き付けられ）、これによってシート体１００が波打つように変形するおそれがある。
【０００５】
本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、シート体における傷や変形の発生を防止しつつシート体を支持し得るシート体支持装置、シート体加工装置、塗布装置、シート体支持方法、シート体加工方法および塗布方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく本発明に係るシート体支持装置は、連続的に移動している長尺のシート体を支持可能に構成され、多孔質の板状体と、当該板状体に気体を送り込む圧送機構とを備え、前記板状体の表面からの前記気体の吹き出しによって移動状態の前記シート体を当該板状体から浮上させた状態で支持する。
【０００７】
また、本発明に係るシート体支持装置は、前記板状体は、多孔質のセラミックスで形成されている。
【０００８】
また、本発明に係るシート体支持装置は、前記圧送機構は、前記板状体に対する前記気体の送り込み量を調整可能に構成されている。
【０００９】
また、本発明に係るシート体加工装置は、上記のシート体支持装置と、当該シート体支持装置によって支持されている前記シート体に対して加熱を伴う処理を行う処理装置とを備えている。
【００１０】
また、本発明に係る塗布装置は、上記のシート体支持装置と、塗液が塗布されて前記シート体支持装置によって支持されている前記シート体に対して加熱を伴う処理を行う処理装置とを備えている。
【００１１】
また、本発明に係るシート体支持方法は、多孔質の板状体に気体を送り込み、前記板状体の表面からの前記気体の吹き出しによって連続的に移動している長尺のシート体を当該板状体から浮上させた状態で支持する。
【００１２】
また、本発明に係るシート体加工方法は、上記のシート体支持方法によって支持している前記シート体に対して加熱を伴う処理を行う。
【００１３】
また、本発明に係る塗布方法は、塗液を塗布した後に上記のシート体支持方法によって支持している前記シート体に対して加熱を伴う処理を行う。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るシート体支持装置およびシート体支持方法では、多孔質の板状体に気体を送り込み、板状体の表面からの気体の吹き出しによって連続的に移動している長尺のシート体を板状体から浮上させた状態で支持する。このため、このシート体支持装置およびシート体支持方法では、ベルトコンベアを用いて接触状態でシート体を支持する構成および方法とは異なり、ベルトの表面形状やベルトの継ぎ目の形状の転写によるシート体における傷の発生を確実に防止しつつシート体を支持することができる。また、板状体の表面の全域から気体を均一に吹き出させることができるため、ノズルからの気体の吹き付けによってシート体を浮き上がらせる構成および方法とは異なり、気体の吹き付けムラ（空気の部分的な吹き付け）によるシート体の変形を確実に防止しつつシート体を確実に支持することができる。
【００１５】
また、本発明に係るシート体支持装置によれば、多孔質のセラミックスで板状体を形成したことにより、シート体に対して熱を加える処理において、熱による板状体の変形や板状体の内部の通気経路（連続気泡）の閉塞を確実に防止することができる。したがって、このシート体支持装置によれば、板状体の変形によってシート体と板状体とが接触したり、通気経路の閉塞によって空気の吹き出しが不十分となってシート体の浮上が困難となる事態を確実に防止することができる。
【００１６】
また、本発明に係るシート体支持装置によれば、板状体に対する気体の送り込み量を調整可能に圧送機構を構成したことにより、シート体の重さに応じて気体の送り込み量を調整することで、シート体の重さに拘わらず、シート体を確実に浮上させて支持することができる。
【００１７】
また、本発明に係るシート体加工装置およびシート体加工方法によれば、上記のシート体支持装置を用いて上記のシート体支持方法によって支持しているシート体に対して加熱を伴う処理を行うことにより、上記のシート体支持装置および上記のシート体支持方法が有する効果と同様の効果を実現することができる。
【００１８】
また、本発明に係る塗布装置および塗布方法によれば、塗液を塗布した後に上記のシート体支持装置を用いて上記のシート体支持方法によって支持しているシート体に対して加熱を伴う処理を行うことにより、上記のシート体支持装置および上記のシート体支持方法が有する効果と同様の効果を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】シート体加工装置１の構成を示す構成図である。
【図２】シート体１００およびハードコート層１０１の構成を示す断面図である。
【図３】シート体支持装置６の構成を示す構成図である。
【図４】板状体３１、接続部材３３および配管３４の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、シート体支持装置、シート体加工装置、塗布装置、シート体支持方法、シート体加工方法および塗布方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２１】
最初に、シート体加工装置および塗布装置の一例としての塗布装置１の構成について説明する。図１に示す塗布装置１は、長尺の帯状に形成されたシート体１００に対して各種の処理（後述する塗布処理、乾燥処理およびアニール処理）を行う装置であって、移動装置２、塗布機構３、乾燥装置４、アニール装置５およびシート体支持装置６を備えて構成されている。
【００２２】
移動装置２は、送り出し機構（アンワインダー）１１、ニップローラ１２、複数のガイドローラ１３および巻き取り機構（ワインダー）１４を備えて構成されている。送り出し機構１１は、巻芯に巻回されたシート体１００を送り出し、ニップローラ１２は、シート体１００を挟み込んだ状態で回転してシート体１００を連続的に移動させる。ガイドローラ１３は、移動経路に沿ってシート体１００をガイドし、巻き取り機構１４は、処理が終了したシート体１００を巻き取る。
【００２３】
塗布機構３は、一例として、図１に示すように、支持ローラ２１，２１およびバー塗布部２２を備えて、シート体１００の表面（図１におけるバー塗布部２２に対向する面であって、図２における表面１００ａ）にバーコート法で塗布液を塗布する塗布処理を行う。この場合、この塗布装置１では、一例として、アクリル樹脂を主成分とする塗布液が塗布される。
【００２４】
乾燥装置４は、塗布機構３によって表面１００ａに塗液が塗布されたシート体１００を乾燥させる乾燥処理（加熱を伴う処理の一例）を行う。この乾燥処理が行われることにより、上記した塗布処理によって塗布されたアクリル樹脂を主成分とする塗布液が硬化して、図２に示すように、シート体１００の表面１００ａにハードコート層１０１が形成される。
【００２５】
アニール装置５は、乾燥処理が終了したシート体１００に対してアニール処理（加熱を伴う処理の他の一例）を行う。このアニール処理は、シート体１００に残留している歪みを除去する処理であって、シート体１００を加熱した後に徐冷することによって行われる。
【００２６】
シート体支持装置６は、アニール装置５に配設されて、移動状態のシート体１００を支持可能に構成されている。具体的には、シート体支持装置６は、図３，４に示すように、板状体３１、圧送機構（コンプレッサ）３２、接続部材３３および配管３４を備えて構成されている。板状体３１は、多孔質の板状体（連続気泡構造の板状体）であって、一例として多孔質のセラミックスで形成されている。また、板状体３１の上面３１ａ、下面３１ｂおよび側面３１ｃ〜３１ｆ（いずれも図４参照）のうちの、下面３１ｂおよび３つの側面３１ｄ〜３１ｆには、通気が行われないようにコーティングが施されている。つまり、この板状体３１では、６つの面（表面）のうちの上面３１ａ（シート体１００に対向する面）および側面３１ｃ（配管３４が接続される面）のみにおいて通気が可能となっている。また、図４に示すように、板状体３１の側面３１ｃには、接続部材３３を介して配管３４が接続されている。この場合、接続部材３３は、側面３１ｃの全域を覆っており、これにより、後述する圧送機構３２から送り込まれる空気が側面３１ｃの全域から板状体３１の内部に分散されると共に、その空気の側面３１ｃからの放出が防止される。
【００２７】
圧送機構３２は、図３に示すように、接続部材３３および配管３４を介して板状体３１の側面３１ｃに空気（気体）を送り込む。この場合、圧送機構３２から送り込まれた空気は、板状体３１の側面３１ｃから板状体３１の内部の通気経路（板状体３１に形成されている連続気泡）を通って板状体３１の全域に分散され、これによって上面３１ａにおける無数の微細な開口部から吹き出される。この構成により、シート体支持装置６は、移動状態のシート体１００を板状体３１から浮上させた状態で支持することが可能となっている。
【００２８】
また、このシート体支持装置６では、圧送機構３２による空気の送り込み量の調整が可能に構成されている。このため、このシート体支持装置６では、シート体１００の重さに応じて空気の送り込み量を調整することで、シート体１００を板状体３１から確実に浮上させることができると共に、上面３１ａからのシート体１００の浮上量（浮上高さ）を任意に変更することが可能となっている。
【００２９】
次に、塗布装置１を用いたシート体加工方法および塗布方法、並びにその際の塗布装置１の動作について、図面を参照して説明する。
【００３０】
この塗布装置１を用いてシート体１００を加工する際には、図１に示すように、巻芯に巻回されているシート体１００を移動装置２の送り出し機構１１にセットする。次いで、送り出し機構１１から引き出したシート体１００の先端部を、塗布機構３、移動装置２のニップローラ１２およびガイドローラ１３、乾燥装置４、並びにアニール装置５に通す。この場合、アニール装置５内においては、アニール装置５に配設されているシート体支持装置６における板状体３１の上を通過させる。続いて、シート体１００の先端部を移動装置２の巻き取り機構１４に取り付けた巻芯に巻き付ける。
【００３１】
次いで、塗布装置１を構成する各装置を始動させる。この際に、移動装置２のニップローラ１２が予め決められた速度で回転する。また、送り出し機構１１がシート体１００を送り出し、巻き取り機構１４がシート体１００を巻き取る。これにより、予め決められた速度でのシート体１００の移動が開始される。
【００３２】
また、塗布機構３が塗布処理を開始する。具体的には、塗布機構３は、支持ローラ２１，２１によって支持されているシート体１００の表面１００ａに対してバー塗布部２２の先端からアクリル樹脂を主成分とする塗布液を供給する。これにより、シート体１００の表面１００ａに塗液が塗布される。
【００３３】
続いて、表面１００ａに塗液が塗布されたシート体１００が、乾燥装置４の内部を移動する。この場合、乾燥装置４の内部は、５０℃〜１００℃程度の温度に維持されており、シート体１００が乾燥装置４の内部を移動する間に、シート体１００の表面１００ａに塗布された塗液が乾燥・硬化し、これにより、図２に示すように、シート体１００の表面１００ａにハードコート層１０１が形成される。
【００３４】
次いで、表面１００ａにハードコート層１０１が形成されたシート体１００が、アニール装置５内に移動する。一方、アニール装置５に配設されているシート体支持装置６では、圧送機構３２が、配管３４および接続部材３３を介して板状体３１の側面３１ｃに空気に送り込む。また、送り込まれた空気が、側面３１ｃから板状体３１の内部の通気経路（板状体３１に形成されている連続気泡）を通って板状体３１の全域に分散され、上面３１ａの全域における無数の微細な開口部から均一に吹き出される。このため、板状体３１における上面３１ａの上に配置されているシート体１００が板状体３１から浮上させられた状態で支持される。この場合、この板状体３１では、下面３１ｂおよび３つの側面３１ｄ〜３１ｆにコーティングが施され、上面３１ａだけから空気が吹き出されるため、少ない空気の送り込み量でシート体１００を確実に浮上させることが可能となっている。続いて、板状体３１に対する圧送機構３２からの空気の送り込み量を調整することにより、シート体１００の浮上量（上面３１ａとシート体１００の下面との間の距離）を調整する。
【００３５】
一方、アニール装置５の内部は、８０℃〜１５０℃程度の温度に維持されている。このため、シート体１００は、アニール装置５の内部を移動する間にその温度が徐々に上昇する。この場合、この塗布装置１では、シート体支持装置６によってシート体１００が板状体３１から浮上した状態で保持されている。このため、ベルトコンベアを用いてシート体１００を支持する構成とは異なり、ベルトの表面形状やベルトの継ぎ目の形状の転写によるシート体１００における傷の発生が確実に防止される。また、板状体３１の上面３１ａの全域から均一に吹き出される空気により、シート体１００における上面３１ａに対向する領域に均等に力が加わるため、ノズルからの空気の吹き付けによってシート体１００を浮き上がらせる構成とは異なり、空気の吹き付けムラによるシート体１００の変形が確実に防止される。
【００３６】
また、この塗布装置１では、板状体３１が多孔質のセラミックスで形成されているため、８０℃〜１５０℃程度の温度に維持されるアニール装置５の内部においても、熱による板状体３１の変形や板状体３１の内部に形成されている通気経路（連続気泡）の閉塞が確実に防止される。この結果、板状体３１の変形によるシート体１００と板状体３１との接触や、通気経路の閉塞による空気の吹き出し量の低下に伴うシート体１００の浮上量の低下が確実に防止される。
【００３７】
次いで、シート体１００は、アニール装置５を通過してアニール装置５の外部を移動する間に徐冷される。このような加熱および徐冷が行われることにより、シート体１００に応力が残留しているときには、その応力が除去（低減）されて、シート体１００における歪みの発生が防止される。以上により、シート体１００に対する各処理（塗布処理、乾燥処理おそれアニール処理）が終了する。続いて、各処理が終了したシート体１００は、巻き取り機構１４によって順次巻き取られる。
【００３８】
このように、このシート体支持装置６、塗布装置１、シート体支持方法、シート体加工方法および塗布方法では、連続的に移動している長尺のシート体１００に対して処理を行う際に、多孔質の板状体３１に空気を送り込み、板状体３１の上面３１ａからの空気の吹き出しによって移動状態のシート体１００を板状体３１から浮上させた状態で支持する。このため、このシート体支持装置６、塗布装置１、シート体支持方法、シート体加工方法および塗布方法では、ベルトコンベアを用いて接触状態でシート体１００を支持する構成および方法とは異なり、ベルトの表面形状やベルトの継ぎ目の形状の転写によるシート体１００における傷の発生を確実に防止しつつシート体１００を支持することができる。また、板状体３１の上面３１ａの全域から空気を均一に吹き出させることができるため、ノズルからの空気の吹き付けによってシート体１００を浮き上がらせる構成および方法とは異なり、空気の吹き付けムラ（空気の部分的な吹き付け）によるシート体１００の変形を確実に防止しつつシート体１００を確実に支持することができる。
【００３９】
また、このシート体支持装置６、塗布装置１、シート体支持方法、シート体加工方法および塗布方法によれば、多孔質のセラミックスで形成された板状体３１を用いることにより、シート体１００に対して熱を加える処理においてこの板状体３１を用いるときに、その熱による板状体３１の変形や板状体３１の内部の通気経路（連続気泡）の閉塞を確実に防止することができる。したがって、このシート体支持装置６、塗布装置１、シート体支持方法、シート体加工方法および塗布方法によれば、板状体３１の変形によってシート体１００と板状体３１とが接触したり、通気経路の閉塞によって空気の吹き出しが不十分となってシート体１００の浮上が困難となる事態を確実に防止することができる。
【００４０】
また、このシート体支持装置６、塗布装置１、シート体支持方法、シート体加工方法および塗布方法によれば、板状体３１に対する空気の送り込み量を調整可能に圧送機構３２を構成したことにより、シート体１００の重さに応じて気体の送り込み量を調整することで、シート体１００の重さに拘わらず、シート体１００を確実に浮上させて支持することができる。
【００４１】
なお、上記したシート体支持装置６、塗布装置１、シート体支持方法、シート体加工方法および塗布方法は、一例であって、適宜変更することができる。例えば、多孔質のセラミックスで形成された板状体３１を採用した例について上記したが、連続気泡構造の樹脂や連続気泡構造のゴムで形成した板状体３１を用いる構成および方法を採用することもできる。また、気体としての空気を板状体３１に送り込む例について上記したが、他の窒素ガスや二酸化炭素などの空気以外の他の気体を板状体３１に送り込んで吹き出させる構成および方法を採用することもできる。
【００４２】
また、ハードコート層１０１を形成した後のシート体１００に対してアニール処理を行う例について上記したが、ハードコート層１０１が形成されていないシート体１００に対してアニール処理を行う構成および方法を採用することもでき、この構成および方法においてもシート体支持装置６を用いてシート体１００を支持することで、上記した各効果を実現することができる。
【００４３】
また、アニール処理を行うアニール装置５にシート体支持装置６を配設した例、つまりアニール処理を行う際にシート体支持装置６によってシート体１００を浮上させて支持する例について上記したが、アニール処理以外の他の処理を行う処理装置にシート体支持装置６を配設して、その処理においてシート体１００を浮上させて支持する構成および方法を採用することができる。例えば、乾燥装置４にシート体支持装置６を配設して、乾燥処理を行う際にシート体支持装置６によってシート体１００を浮上させて支持することができる。この構成および方法においても、シート体１００における傷つきや変形の発生を確実に防止することができる。
【００４４】
また、シート体１００の表面１００ａにハードコート層１０１を形成する構成および方法に適用した例について説明したが、シート体１００の表面１００ａにＩＴＯ膜を形成する構成および方法や、シート体１００に誘電体や電極を積層する加工を行ってチップコンデンサを製造するための素材を作製する構成および方法に適用することもできる。
【符号の説明】
【００４５】
１  塗布装置
３  塗布機構
４  乾燥装置
５  アニール装置
６  シート体支持装置
３１  板状体
３１ａ  上面
３２  圧送機構
３３  接続部材
３４  配管
１００  シート体
【図１】
2012212764.tif 000003
【図２】
2012212764.tif 000004
【図３】
2012212764.tif 000005
【図４】
2012212764.tif 000006