(57)【要約】【課題】可動部材の移動によって発生する反力をベースに伝達する反力伝達部材を備えることで、移送システムに発生する振動を低減し得る、移送システム及びそれを備えたアレイテスト装置を提供しようとする。【解決手段】本発明は、目的物を所定位置に移送させる移送システムに関するもので、目的物を移動させる可動部材の移動から発生する反力をベースに伝達する反力伝達部材を備えることで、移送システムの振動を低減し得る構成を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
上記ベースに支持されるフレームと、
上記フレームに移動可能に支持される支持部材と、
上記支持部材に移動可能に設けられる可動部材と、
上記支持部材に連結される第１部と上記ベースに連結される第２部とを有する反力伝達部材と、
を含むことを特徴とする、移送システム。
【請求項２】
上記ベースと上記フレームとの間には防塵部材が備えられることを特徴とする、請求項１に記載の移送システム。
【請求項３】
上記反力伝達部材の第１部と上記支持部材との間に設けられて、上記反力伝達部材の第１部が上記支持部材に連結される位置を調節する調節装置を更に含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の移送システム。
【請求項４】
上記反力伝達部材の第２部と上記ベースとの間に設けられて、上記反力伝達部材の第２部が上記ベースに連結される位置を調節する調節装置を更に含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の移送システム。
【請求項５】
ベースと、
上記ベースに支持されて長手方向に延長されるフレームと、
上記フレームに上記フレームの長手方向へ移動可能に設けられる支持部材と、
上記支持部材に上記フレームの長手方向へ移動可能に設けられる可動部材と、
上記可動部材に連結されて基板の欠陥をテストするテストモジュールと、
上記支持部材及び上記ベースに連結される反力伝達部材と、
を含むことを特徴とするアレイテスト装置。
【請求項６】
上記ベースと上記フレーム間には防塵部材が備えられることを特徴とする、請求項５に記載のアレイテスト装置。
【請求項７】
上記支持部材と上記反力伝達部材との間には、上記支持部材に上記反力伝達部材が連結される位置を調節する調節装置が備えられることを特徴とする、請求項５または６に記載のアレイテスト装置。
【請求項８】
上記ベースと上記反力伝達部材との間には、上記ベースに上記反力伝達部材が連結される位置を調節する調節装置が備えられることを特徴とする、請求項５または６に記載のアレイテスト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、目的物を所定位置に移送させる移送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ、Liquid Crystal Display）を含む各種平板ディスプレイ（ＦＰＤ、Flat Panel Display）の製造工程では、基板、液体吐出用ノズルまたはノズル移送装置などの目的物を移送するロボット、クレーン及びテーブルなどの移送システムが適用されている。
【０００３】
このような移送システムは、フレームと、フレーム上に支持される支持部材と、支持部材上に設けられて一方向へ移動する可動部材と、を含んで構成されて、可動部材を所定目的のために移動させる構成を有している。
【０００４】
移送システムの動作過程では可動部材の移動により発生する反力から移送システムに振動が発生され、このような反力による振動によって作業の精密性が低下する問題点があった。従って、振動を低減し得る、移送システムに関する最適の設計が要求される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために考案されたものであり、本発明の目的は、可動部材の移動によって発生する反力をベースに伝達する反力伝達部材を備えることで、移送システムに発生する振動を低減し得る、移送システム及びそれを備えたアレイテスト装置を提供しようとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を得るための、本発明に係る移送システムにおいては、ベースと、上記ベースに支持されるフレームと、上記フレームに移動可能に支持される支持部材と、上記支持部材に移動可能に設けられる可動部材と、上記支持部材に連結される第１部と上記ベースに連結される第２部とを有する反力伝達部材と、を包含して構成される。
【０００７】
ここで、上記ベースと上記フレーム間には防塵部材が備えられることが好ましい。
【０００８】
また、上記反力伝達部材の第１部と上記支持部材との間に設けられて、上記反力伝達部材の第１部が上記支持部材に連結される位置を調節する調節装置を更に具備され、上記反力伝達部材の第２部と上記ベースとの間に設けられて、上記反力伝達部材の第２部が上記ベースに連結される位置を調節する調節装置を更に具備される。
【０００９】
そして、本発明に係るアレイテスト装置においては、ベースと、上記ベースに支持されて長手方向に延長されるフレームと、上記フレームに上記フレームの長手方向へ移動可能に設けられる支持部材と、上記支持部材に上記フレームの長手方向へ移動可能に設けられる可動部材と、上記可動部材に連結されて基板の欠陥をテストするテストモジュールと、上記支持部材及び上記ベースに連結される反力伝達部材と、を包含して構成される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る移送システムは、可動部材が移動可能に支持される支持部材をフレーム上で可動部材の移動方向とは反対の方向へ移動可能に設け、支持部材とベースとを反力伝達部材により連結することで、可動部材の移動によって発生する反力をベースに伝達して吸収させて、可動部材の移動による反力から発生する振動を低減し得るという効果がある。
【００１１】
また、本発明に係る移送システムによると、反力伝達部材の第１部が支持部材に連結される位置を調節する方法を利用して、移送システムの振動を低減し得る反力伝達部材の剛性を最適に調節することができるという効果がある。
【００１２】
更に、本発明に係る移送システムによると、反力伝達部材の第２部がベースに連結される位置を調節する方法を利用して、移送システムの振動を低減し得る反力伝達部材の剛性を最適に調節することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施例に係る移送システムを示した概略図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の第２実施例に係る移送システムを示した概略図である。
【図４】図３の移送システムの調節装置を示した概略図である。
【図５】図４の移送システムの調節装置の作動状態図である。
【図６】図４の移送システムの調節装置の作動状態図である。
【図７】本発明の第３実施例に係る移送システムを示した概略図である。
【図８】図７の移送システムの調節装置を示した概略図である。
【図９】本発明に係る移送システムを備えたアレイテスト装置を示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の好ましい実施例を添付された図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
図１及び図２に示したように、本発明の第１実施例に係る移送システムは、各構成が支持される基礎となるベース１０と、ベース１０に支持されるフレーム２０と、フレーム２０に第１方向（図１のＸ軸方向）へ移動可能に設けられる支持部材３０と、支持部材３０に第１方向へ移動可能に設けられる可動部材４０と、ベース１０と支持部材３０との間を連結し、可動部材４０の移動によって発生する反力をベース１０に伝達する反力伝達部材５０と、を備えて構成される。
【００１６】
ベース１０とフレーム２０との間には、防塵部材６０を備えることが好ましい。防塵部材６０としては、ゴムまたは合成樹脂のような弾性材質の部材、スプリング、油圧式または空圧式ダンパー、内部に所定の圧力を有するチューブなどを適用することができる。このような防塵部材６０によって、ベース１０に伝達された反力がフレーム２０に再び伝達されることが防止される。
【００１７】
支持部材３０は、フレーム２０にフレーム２０の長手方向に沿って延長して設けられるガイド２１に沿ってスライド移動可能に設けられる。
【００１８】
可動部材４０には移送の対象となる目的物が設けられる。可動部材４０は、支持部材３０に支持部材３０の長手方向に沿って延長して設けられるガイド３１に沿ってスライド移動可能に設けられる。可動部材４０が支持部材３０に対して自動移動できるように、支持部材３０には支持部材３０の長手方向に固定子３２が設けられ、可動部材４０には支持部材３０の固定子３２に対向して設けられて固定子３２との電磁気的相互作用によって可動部材４０を移動させる可動子４２が備えられる。即ち、支持部材３０と可動部材４０の間には、永久磁石により構成される固定子３２と電磁石コイルにより構成される可動子４２とを含むリニアモータが具備される。但し、本発明は、可動部材４０を自動移動させるための手段としてリニアモータを適用することに限定されず、ボールスクリュー装置、油圧または空圧により動作する移送装置など、可動部材４０を自動移動させるための様々な直線移送機構を適用することができる。
【００１９】
反力伝達部材５０は、支持部材３０と連結される第１部５１と、ベース１０と連結される第２部５２と、を備え、第１部５１と支持部材３０との間の連結及び第２部５２とベース１０との間の連結のために、ボルト及びナットなどのような締結部材または溶接などの方法を適用することができる。図１では、反力伝達部材５０として支持部材３０の両方側に固定したものを示しているが、本発明はそれに限定されず、単一の反力伝達部材５０を支持部材３０に固定する構成を適用することもできる。
【００２０】
このような構成によって、可動部材４０がＸ軸方向へ移動する場合、支持部材３０には可動部材４０の移動方向とは反対の方向、即ち、−Ｘ軸方向への反力が発生する。従って、支持部材３０には−Ｘ軸方向への力が作用するようになるが、この力は支持部材３０に連結される反力伝達部材５０を通してベース１０に伝達される。このように、可動部材４０の移動によって発生する反力は、支持部材３０及び反力伝達部材５０を通してベース１０に伝達されてベース１０に吸収される。
【００２１】
ここで、可動部材４０の移動による反力によって支持部材３０は所定移動量だけ移動され、この場合、反力伝達部材５０を通して伝達される力の大きさは、可動部材４０の移動によって発生した全体の力の大きさのうち、支持部材３０を移動させる力を除いた力となる。このように、支持部材３０が所定移動量で移動する場合、支持部材３０に連結される反力伝達部材５０の第１部５１は支持部材３０の移動方向へ移動され、そのため、反力伝達部材５０は長手方向へ伸張される。
【００２２】
一方、反力伝達部材５０がベース１０に伝達する力の大きさと可動部材４０の移動による支持部材３０の移動量とは反力伝達部材５０の剛性または弾性によって変化するので、反力伝達部材５０の剛性または弾性を調節することによって反力伝達部材５０がベース１０に伝達する力の大きさ及び支持部材３０の移動量を調節することができる。反力伝達部材５０の剛性または弾性の調節は、材料的剛性が相違する反力伝達部材５０を交換する過程を通して行うことができる。本発明に係る移送システムによれば、可動部材４０の重量によって移送システムの振動が最小となる反力伝達部材５０の剛性または弾性を実験やシミュレーションを通して探索し、可動部材４０の重量によって反力伝達部材５０の剛性または弾性を調節することによって、移送システムの振動を最小化する方法を適用することができる。
【００２３】
また、反力伝達部材５０がベース１０に伝達する力の大きさと可動部材４０の移動による支持部材３０の移動量は反力伝達部材５０の個数によって相違するので、反力伝達部材５０の個数を調節することによって、反力伝達部材５０を通して伝達される力の大きさ及び支持部材３０の移動量を調節することができる。本発明に係る移送システムによれば、可動部材４０の重量によって移送システムの振動が最小となる反力伝達部材５０の個数を実験やシミュレーションを通して探索し、可動部材４０の重量によって反力伝達部材５０の個数を調節することによって、移送システムの振動を最小化する方法を適用することができる。
【００２４】
上記したような本発明の第１実施例に係る移送システムは、可動部材４０が移動可能に支持される支持部材３０をフレーム２０上で可動部材４０の移動方向とは反対の方向へ移動可能に設け、支持部材３０とベース１０とを反力伝達部材５０により連結して、可動部材４０の移動によって発生する反力をベース１０に伝達して吸収させることによって、可動部材４０の移動による反力から発生する振動を低減することができる。
【００２５】
また、反力伝達部材５０の剛性（弾性）及び／又は個数を調節することで反力伝達部材５０を通してベース１０に伝達される力の大きさ及び支持部材３０の移動量を調節することが可能であり、これにより、移送システムの振動を低減し得る反力伝達部材５０の最適の剛性（弾性）及び／又は個数を探索することができる。
【００２６】
以下、図３〜図６を参照して、本発明の第２実施例に係る移送システムに関して説明する。上述した本発明の第１実施例で説明した部分と同一部分に対しては同一符号を付して説明を省略する。
【００２７】
図３に示したように、本発明の第２実施例に係る移送システムは、反力伝達部材５０の第１部５１と支持部材３０との間に設けられ、反力伝達部材５０の第１部５１が支持部材３０に連結される位置を調節する調節装置７０を更に含んで構成される。
【００２８】
図４に示したように、調節装置７０は、反力伝達部材５０に固定される移動部材７１と、支持部材３０に固定され移動部材７１と連結されて移動部材７１の移動を案内するガイド部材７２と、移動部材７１を移動させる調節部材７３と、を含んで構成される。ここで、ガイド部材７２及び調節部材７３の構成はボールスクリュー装置のような形態に構成されており、調節部材７３として回転モータを適用することができる。但し、本発明は、調節装置７０としてボールスクリュー装置を適用することに限定されず、リニアモータ、油圧または空圧により動作する移送装置など、移動部材７１を移動させるための様々な直線移送機構を適用することができる。
【００２９】
このような構成により、図５及び図６に示したように、調節部材７３の調節によって移動部材７１が移動する場合、反力伝達部材５０の第１部５１が支持部材３０に連結される位置が変更される。反力伝達部材５０は、第２部５２がベース１０に固定された状態で第１部５１の位置だけが変更されるので、反力伝達部材５０は第１部５１が移動する方向へ所定角度だけ撓む。従って、反力伝達部材５０には元の形状に復帰しようとする復原力が作用され、このように反力伝達部材５０に作用する復原力によって反力伝達部材５０を通してベース１０に伝達される反力の大きさ及び反力による支持部材３０の移動量が調節され、その結果、移送システムから発生する振動の大きさを調節することができる。
【００３０】
移送システムの可動部材４０に移送の対象となる目的物を取り付けた後、可動部材４０をフレーム２０の長手方向へ移動させると、可動部材４０の移動によって発生する反力の大きさは目的物及び可動部材４０の全体重量と比例する。移送システムの可動部材４０には常に同一重量の目的物が取り付けられず、条件に応じて様々な重量の目的物が交換して取り付けられる。従って、重量の相違する目的物が可動部材４０に交換して取り付けられる場合、可動部材４０を移動させる試運転を行いながらフレーム２０または移送システムの各部分に作用する振動を検出し、検出された振動に基づいて反力伝達部材５０の個数及び／又は剛性（弾性）を調節して、振動を最小化する過程を行う。
【００３１】
この時、重量の相違する目的物が可動部材４０に取り付けられる毎に反力伝達部材５０の個数を増減したり材料的剛性の相違する反力伝達部材５０を交換して設けるべきであると、工程に掛かる時間や複雑性が増加する問題が発生する。本発明の第２実施例及び後述する第３実施例に係る移送システムによれば、調節装置７０及び／又は８０を調節して反力伝達部材５０が支持部材３０に連結される位置及び／又は反力伝達部材５０がベース１０に連結される位置を調節することで反力伝達部材５０に作用する復原力を調節する簡単な過程を行って移送システムに発生する振動を調節することができるので、上述したように工程に掛かる時間や複雑性を大幅に増加させる問題を解消することができる。
【００３２】
以下、図７及び図８を参照して、本発明の第３実施例に係る移送システムに関して説明する。上述した本発明の第２実施例及び第３実施例で説明した部分と同一部分に対しては同一符号を付して説明を省略する。
【００３３】
図７に示したように、本発明の第３実施例に係る移送システムは、反力伝達部材５０の第２部５２とベース１０との間に設けられて反力伝達部材５０の第２部５２がベース１０に連結される位置を調節する調節装置８０を更に含んで構成される。
【００３４】
図８に示したように、調節装置８０は、反力伝達部材５０に固定される移動部材８１と、ベース１０に固定され移動部材８１に連結されて移動部材８１の移動を案内するガイド部材８２と、移動部材８１を移動させる調節部材８３と、を含んで構成される。ここで、ガイド部材８２及び調節部材８３の構成はボールスクリュー装置と同様に構成することが可能で、調節部材８３として回転モータを適用することができる。但し、本発明は調節装置８０としてボールスクリュー装置を適用することに限定されず、リニアモータ、油圧または空圧で動作する移送装置など、移動部材８１を移動させるための様々な直線移送機構を適用することができる。
【００３５】
このような構成によって、調節部材８３の調節によって移動部材８１が移動する場合、反力伝達部材５０の第２部５２がベース１０に連結される位置が変更される。反力伝達部材５０は第１部５１が支持部材３０に固定された状態で第２部５２の位置だけが変更されるので、反力伝達部材５０は第２部５２が移動する方向へ所定角度だけ撓む。従って、反力伝達部材５０には元の形状に復帰しようとする復原力が作用するようになるので、このような反力伝達部材５０に作用する復原力によって反力伝達部材５０を通してベース１０に伝達される反力の大きさ及び反力による支持部材３０の移動量が調節され、よって、移送システムから発生する振動の大きさを調節することができる。
【００３６】
このように、本発明の第３実施例に係る移送システムによれば、反力伝達部材５０の第２部５２がベース１０に連結される位置を調節する方法を利用して反力伝達部材５０に作用する復原力を調節することが可能で、それを利用して移送システムに発生する振動を最小化することができる効果がある。
【００３７】
本発明の第３実施例に係る移送システムの効果は、上述した本発明の第２実施例に係る移送システムの効果と同様である。
【００３８】
以下、図９を参照して本発明に係るアレイテスト装置に関して説明する。
【００３９】
図９に示したように、本発明に係るアレイテスト装置は、ベース１０と、基板をテストするテスト部１２０と、基板をテスト部１２０へローディングするローディング部１３０と、テスト部１２０から基板をアンローディングするアンローディング部１４０と、を含んで構成される。
【００４０】
テスト部１２０は、基板の電気的または光学的欠陥の可否をテストする役割を行うもので、ローディング部１３０によりローディングされた基板が配置されるテストプレート１２１と、テストプレート１２１上に配置された基板の電気的欠陥の可否をテストするテストモジュール１２２と、テストプレート１２１上に配置された基板の電極に電気信号を印加するためのプローブモジュール１２３と、を含んで構成される。
【００４１】
テストモジュール１２２は、テストプレート１２１の上側から基板の移送方向とは垂直である方向（Ｘ軸方向）に延長されるフレーム２０にＸ軸方向へ移動可能に設けられる。また、テストモジュール１２２は、フレーム２０の延長方向（Ｘ軸方向）に沿って複数備えられる。テストモジュール１２２は、テストプレート１２１上に配置された基板の上側に配置されて基板の欠陥の可否を検出する。テストモジュール１２２は、テストプレート１２１上に配置された基板に隣接するモジュレータ１２５と、モジュレータ１２５を撮像する撮像装置１２６と、を含んで構成されている。
【００４２】
このようなテスト部１２０は、反射方式と透過方式との２種類に大別される。反射方式の場合、光源がテストモジュール１２２と一緒に配置され、テストモジュール１２２のモジュレータ１２５に反射層が備えられており、光源から発光された光がモジュレータ１２５に入射した後モジュレータ１２５の反射層から反射される時に、反射される光の光量を測定することによって、基板の欠陥の可否を検出する。透過方式の場合は、光源がテストプレート１２１の下側に備えられており、光源から発光されてモジュレータ１２５を透過する光の光量を測定することで、基板の欠陥の可否を検出する。本発明に係るアレイテスト装置のテスト部１２０としては上述した反射方式及び透過方式を両方適用することができる。
【００４３】
テストモジュール１２２のモジュレータ１２５には、基板との間で発生する電場の大きさによって反射される光の光量（反射方式の場合）または透過される光の光量（透過方式の場合）を変更する電光物質層（electro-optical material layer）が備えられる。電光物質層は、基板とモジュレータ１２５に電気が印加される時に発生する電場によって特定物性が変更される物質により構成されて、電光物質層に入射される光の光量を変更する。このような電光物質層は、電場の大きさによって一定方向に配列される特性を有する物質で構成されて、これに入射する光を偏光させる高分子分散型液晶（ＰＤＬＣ、polymer dispersed liquid crystal）により構成される。
【００４４】
ローディング部１３０は、テストの対象となる基板を支持すると共に基板をテスト部１２０へ移送させる役割を行い、アンローディング部１４０は、テスト終了した基板を支持すると共に基板をテスト部１２０から移送させる役割を行う。ローディング部１３０及びアンローディング部１４０には、所定間隔で離隔して配置されてその上部に基板が搭載される複数の支持プレート１５０と、基板を移送させるための基板移送ユニット１６０と、が備えられる。
【００４５】
また、本発明に係るアレイテスト装置は、フレーム２０にフレーム２０の長手方向（Ｘ軸方向）へ移動可能に設けられる支持部材３０と、支持部材３０にフレーム２０の長手方向（Ｘ軸方向）へ移動可能に設けられる可動部材４０と、ベース１０と支持部材３０との間を連結して可動部材４０の移動によって発生する反力をベース１０に伝達する反力伝達部材５０と、を更に含んで構成される。
【００４６】
また、ベース１０とフレーム２０との間には、防塵部材６０を具備することが好ましい。防塵部材６０としては、ゴムまたは合成樹脂のような弾性材質の部材、スプリング、油圧式または空圧式ダンパー、内部に所定圧力を有するチューブが適用される。このような防塵部材６０によって、ベース１０に伝達された反力がフレーム２０に再び伝達されることが防止される。
【００４７】
支持部材３０は、フレーム２０にフレーム２０の長手方向に沿って延長して設けられるガイド２１に沿ってスライド移動できるように設けられる。
【００４８】
可動部材４０は、テストモジュール１２２と連結されてテストモジュール１２２をフレーム２０の長手方向（Ｘ軸方向）へ移動させる役割を行う。可動部材４０と支持部材３０との間にはリニアモータ、ボールスクリュー装置、油圧または空圧で動作する移送装置など、可動部材４０を移動させるための多様な直線移送機構が備えられる。
【００４９】
反力伝達部材５０は、本発明の第１実施例で説明した通り、その両端のうちの一方は支持部材３０に固定され、他方はベース１０に固定される。また、反力伝達部材５０の両端のうちの一方は本発明の第２実施例または第３実施例で説明した調節装置７０または調節装置８０を通して支持部材３０またはベース１０に連結される。
【００５０】
反力伝達部材５０の個数及び／又は剛性を調節することによって反力伝達部材５０を通して伝達される力の大きさ及び支持部材３０の移動量を調節することが可能で、それにより、移送システム及びアレイテスト装置全体の振動を低減することができる。
【００５１】
以上、本発明の各実施例で説明した技術的思想はそれぞれ独立して、または、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１０  ベース、２０  フレーム、２１  ガイド、３０  支持部材、３１  ガイド、３２  固定子、４０  可動部材、４２  可動子、５０  反力伝達部材、５１  第１部、５２  第２部、６０  防塵部材、７０  調節装置、７１  移動部材、７２  ガイド部材、７３  調節部材、８０  調節装置、８１  移動部材、８２  ガイド部材、８３  調節部材、１２０  テスト部、１２１  テストプレート、１２２  テストモジュール、１２３  プローブモジュール、１２５  モジュレータ、１２５  後モジュレータ、１２６  撮像装置、１３０  ローディング部、１４０  アンローディング部、１５０  支持プレート、１６０  基板移送ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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