(57)【要約】【課題】良好な書込み性能を有する磁極を高精度に形成する、低コストな磁気ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、以下の工程を含む。（１）磁性粉を含有するレジストを、第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に塗布する工程（２）第２の磁気ヘッド要素を、その磁気媒体対向面が第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に対向するように、配置する工程（３）第１の磁気ヘッド要素の磁極から第２の磁気ヘッド要素の磁極に向かう磁界が発生するように、第１及び第２の磁気ヘッド要素の磁極に直流電流を流す工程（４）第１の磁気ヘッド要素の磁極の端面に付着したレジストをマスクとして、第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面をエッチングする工程。第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に塗布されたレジストは、磁性粉を含有することにより磁性流体の性質を備え、当該磁界の磁力線に沿って流動して、第２の磁気ヘッド要素の磁極の端面に付着する。【選択図】図１
2012018720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドの製造方法であって、
磁性粉を含有するレジストを、第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に塗布する工程と、
第２の磁気ヘッド要素を、その磁気媒体対向面が前記第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に対向するように、配置する工程と、
前記第１の磁気ヘッド要素の磁極から前記第２の磁気ヘッド要素の磁極に向かう磁界が発生するように、前記第１及び第２の磁気ヘッド要素の磁極に直流電流を流す工程と、
前記第２の磁気ヘッド要素の磁極の端面に付着した前記レジストをマスクとして、前記第２の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面をエッチングする工程とを含む、
磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載された磁気ヘッドの製造方法であって、
前記第２の磁気ヘッド要素を配置する工程において、
前記第１及び第２の磁気ヘッド要素は、これらの各磁極の端面が対向するように位置決めされる、
磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載された磁気ヘッドの製造方法であって、
前記第１及び第２の磁気ヘッド要素の位置決めは、前記第１の磁気ヘッド要素の磁極に交流電流を流して交流磁界を発生させておき、前記第１及び／又は第２の磁気ヘッド要素の位置を変化させつつ、前記交流磁界により前記第２の磁気ヘッド要素の磁極に流れる誘導電流のピーク値が所定値より大きくなる位置を検出することによって行なわれる、
磁気ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載された磁気ヘッドの製造方法であって、
前記第２の磁気ヘッド要素を配置する工程に先立ち、前記第２の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面を研磨する工程を、さらに含む、
磁気ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかに記載された磁気ヘッドの製造方法であって、
前記第１及び／又は第２の磁気ヘッド要素は、端子を備えたソケット内に保持され、前記端子を通じて前記電流が供給される、
磁気ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載された磁気ヘッドの製造方法であって、
複数の前記第１の磁気ヘッド要素を含む第１の磁気ヘッド集合体と、複数の前記第２の磁気ヘッド要素を含む第２の磁気ヘッド集合体とを単位として前記工程の各々を行う、
磁気ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載された磁気ヘッドの製造方法であって、
前記第１及び第２の磁気ヘッド集合体は、それぞれ、ロウバーである、
磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置などに用いられる垂直記録方式の磁気ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置などに用いられる磁気ヘッドの分野において、磁気記録媒体である磁気ディスクへの書込み性能の改善は、重要な課題の１つとして挙げられる。とりわけ、磁気ヘッドの書込み機能の主要部である磁極（主磁極）に対して、例えば特許文献１及び２に開示されるように、その形状と構成について様々な改良がなされてきた。
【０００３】
垂直記録方式の磁気ヘッドの分野において書込み性能を向上するためには、磁気ヘッドの内部コイルで生成した記録磁界を、磁極から磁気ディスクに対して高い磁束密度で供給するとともに、磁極以外の部分から磁気ディスクに漏れる磁界を抑制する必要がある。
【０００４】
一方、磁気ヘッドにおいて、磁気ディスクから戻る磁界を吸収する機能を担うライトシールド部については、該磁界の磁束密度を低く抑える必要がある。そうでなければ、戻り磁界の磁束が集中することによって、磁気ディスクの記録層の磁化に悪影響を与え、書き込み済みの情報を消去してしまうなどの問題が生ずる。とりわけ、磁気ディスクにおいて、書込み対象のトラックの隣接トラックの情報を消去するサイドイレースの問題は深刻である。
【０００５】
この問題に対し、磁気ヘッドの磁気媒体対向面（つまり、浮上面）において、磁極を、他の部位、とりわけ、ライトシールド部よりも磁気ディスク側へ突出させることによって一定の効果が得られることが、発明者の行った実験により判明している。これは、磁極先端面（磁極端）が磁気ディスク表面に近づくことによって、磁極から磁気ディスクに供給される記録磁界が高い磁束密度を有し、一方、ライトシールド部の表面が磁気ディスク表面から遠ざかることによって、磁気ディスクからライトシールド部に戻る磁界が低い磁束密度を有するようになったためであると推測される。
【０００６】
このような突出した磁極を得るにあたり、磁気媒体対向面の研磨に一般的に使用されるダイアモンド砥粒による研磨を採用することは、磁気ヘッドの各部が複合材料からなるため、事実上、不可能である。そこで、磁気媒体対向面の研磨後、磁極先端面にフォトレジストを塗布し、ミリングなどのドライエッチングによって、磁気媒体対向面の磁極以外の部分を、磁気媒体対向面から見て後退させる方法を採用したところ、突出した磁極を好適に得られることが発明者の実験によって見出された。
【０００７】
しかしながら、磁極の高さ及び幅は、３００ＧＢＳＩ用の磁気ヘッドを前提とする場合、０．１ミクロン以下であり、将来的には５０ｎｍ以下となることが見込まれているため、このような微小な磁極の先端をターゲットとして、フォトレジストを塗布するのは困難を極める。もっとも、ウエハ段階において、磁極の位置を特定するための目印を設けておき、高価なステッパーなどの露光機を用れば、高精度にレジストを塗布することもできる。しかし、この方法は、設備コストがかかるだけでなく、ウエハ段階における工程の追加が必要となることから製造コストもかかってしまうため、現実的な手段とは言いがたい。
【０００８】
また、特許文献１及び２には磁極の周囲に凹部を設けた磁気ヘッドが開示されているが、このような構造を得るためのフォトレジストの塗布技術に関しては何ら開示されていない。
【０００９】
したがって、上述したような磁極を備える磁気ヘッドの量産化を目的として、フォトレジストの塗布技術の改善による歩留まりの向上が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平６−３０１９２１号公報
【特許文献２】特開２００７−２６５５９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の課題は、良好な書込み性能を有する磁極を高精度に形成する、低コストな磁気ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した課題を解決するため、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、以下の工程を含む。
（１）磁性粉を含有するレジストを、第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に塗布する工程
（２）第２の磁気ヘッド要素を、その磁気媒体対向面が前記第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に対向するように、配置する工程
（３）前記第１の磁気ヘッド要素の磁極から前記第２の磁気ヘッド要素の磁極に向かう磁界が発生するように、前記第１及び第２の磁気ヘッド要素の磁極に直流電流を流す工程
（４）前記第１の磁気ヘッド要素の磁極の端面に付着した前記レジストをマスクとして、前記第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面をエッチングする工程
【００１３】
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法によれば、まず、磁性粉を含有するレジストを、第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に塗布するから、使用するレジストに磁性流体の性質を与えることができる。
【００１４】
そして、第２の磁気ヘッド要素を、その磁気媒体対向面が第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に対向するように配置しておき、第１の磁気ヘッド要素の磁極から第２の磁気ヘッド要素の磁極に向かう磁界が発生するように、第１及び第２の磁気ヘッド要素の磁極に直流電流を流す。つまり、第１の磁気ヘッド要素の磁極の端面がＮ極となり、第２の磁気ヘッド要素の磁極の端面がＳ極となるように、各磁極に直流電流を流す。
【００１５】
このため、第１の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面に塗布されたレジストの一部が、その磁性流体の性質により、当該磁界の磁力線に沿って流動して、第２の磁気ヘッド要素の磁極の端面に付着する。磁力線は、第１及び第２の磁気ヘッド要素の磁極の端面同士を正確に結ぶように発生するから、第２の磁気ヘッド要素の磁極の端面にレジストを高精度に塗布することができる。
【００１６】
その後、第２の磁気ヘッド要素の磁極の端面に付着したレジストをマスクとして、第２の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面をエッチングするので、第２の磁気ヘッド要素の磁気媒体対向面において、磁極を除く部分を削って磁極端を突出させ、既に述べたような良好な書込み性能を有する磁極を高精度に形成することができる。
【００１７】
このような一組の磁気ヘッド要素を利用した特徴的な手法は、これらの磁気ヘッド要素の各部の寸法や材質が互いに実質的に同一であるから、微小な磁極端をターゲットとしてレジストを塗布するにあたって、レジストの粘度、これに含有する磁性粉の粒径、または磁極に流す電流の電流値などのパラメータの調整が容易であり、好適である。しかも、本手法は、上述したステッパーのような高価な露光装置を用いることがなく、ウエハ段階における工程の追加も必要ないため、比較的に低コストで磁気ヘッドを製造することができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上述べたように、本発明によれば、良好な書込み性能を有する磁極を高精度に形成する、低コストな磁気ヘッドの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの製造工程の概略を示すフロー図である。
【図２】半導体ウエハの外観図である。
【図３】磁気ヘッド要素が集合した大ブロックの外観図である。
【図４】磁気ヘッド要素が集合した小ブロックの外観図である。
【図５】小ブロックを分割してロウバーを得る工程の概観図である。
【図６】ロウバーの外観図である。
【図７】リセス工程の一部を表した図である。
【図８】リセス工程の一部を表した図である。
【図９】リセス工程の一部を表した図である。
【図１０】リセス工程の一部を表した図である。
【図１１】第２の磁気ヘッド要素の位置に対する磁極の誘導電流のピーク値を示すグラフである。
【図１２】リセス工程の一部を表した図である。
【図１３】リセス工程の一部を表した図である。
【図１４】リセス工程の一部を表した図である。
【図１５】リセス工程の一部を表した図である。
【図１６】磁気ヘッドの外観図である。
【図１７】図１６の１７−１７線における概略断面図である。
【図１８】磁気ヘッドの磁気媒体対向面の主要部の正面図である。
【図１９】磁気ヘッドの積層面から見た主磁極の平面図である。
【図２０】磁気記録再生装置の内部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１は、磁気ヘッドの製造工程の概略を示す流れ図である。この流れ図に沿って、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法について、以下に説明する。
【００２１】
まず、ウエハ工程（Ｓｔ１）において、周知の技術によって、図２に示されるような磁気ヘッドのウエハ１００を製造する。ウエハ１００には、磁気ヘッド要素の領域１０１が形成されている。
【００２２】
次に、ウエハ１００は、ダイシング工程（Ｓｔ２）において、ダイシングブレードなどを用いて、図３に示される大きなブロック１０２単位に分割され、さらなる分割処理を経て、図４に示される小さなブロック１０３単位に分割される。そして、図５に示されるように、このブロック１０３を同様に分割し、図６に示される棒状のロウバーＲＢ（Ｒａｗ  Ｂａｒ）を得る。
【００２３】
ロウバーＲＢは、所定数の磁気ヘッド要素１０４が横並びに配置されたものであり、この段階において、磁気ヘッド要素の再生素子及び記録素子が露出する。そして、パターニング工程（Ｓｔ３）において、エアベアリング面（ＡＢＳ：Air Bearing Surface）、すなわち磁気媒体対向面Ａを、フォトリソグラフィプロセスにより得たマスクを用いて、周知のエッチングプロセスにより形成する。また、磁気媒体対向面Ａに隣接する他面には、めっき法などのプロセスによって、電気的接続に用いられる端子Ｔを形成する。
【００２４】
次に、研磨工程（Ｓｔ４）において、磁気媒体対向面Ａを、上述したように、ダイアモンド砥粒によって研磨する。これにより、磁気媒体対向面Ａの素子部分は、実質的に平坦化される。
【００２５】
本発明に係る磁気ヘッドの最も特徴的な点は、次のリセス工程（Ｓｔ５）にある。リセス工程（Ｓｔ５）では、既に述べたような、良好な書込み性能を有する磁気ヘッドを得るべく、磁気媒体対向面Ａにおける磁極以外の部分をエッチングして、磁極のみを突出させる加工を行う。
【００２６】
まず、図７に示されるように、第１のロウバーＲＢ１を第１のソケット４６に固定する。図７では、ロウバーＲＢ１の図６の７−７線に沿った断面を模式的に描いており、便宜上、記録素子である磁極ＭＰ１のみを示している。
【００２７】
第１のソケット４６は、直方体の略枡形状を有し、ロウバーＲＢ１を、その磁気媒体対向面Ａが露出した状態で保持する。ここで、第１のソケット４６は、ロウバーＲＢ１を十分に保持できるように、爪などの係合機構を備えてもよい。
【００２８】
また、第１のソケット４６は、ロウバーＲＢ１の端子Ｔと電気的に接続するための端子が内壁の対応箇所に設けられている。このため、外部の装置からロウバーＲＢ１に電流を流したり、ロウバーＲＢ１から出力される信号波形を外部の装置において観測することができる。
【００２９】
次に、図８に示されるように、塗布装置４０を用いて、第１のロウバーＲＢ１の磁気媒体対向面Ａにフォトレジスト３０を塗布する。フォトレジスト３０は、適度な粘性を備えるとともに、磁性粉３１を含有することによって磁性流体の性質を備えている。
【００３０】
次に、図９に示されるように、移動自在な第２のソケット４１に第２のロウバーＲＢ２を保持しておき、これを第１のロウバーＲＢ１の上方から下降させ、第２のロウバーＲＢ２を、その磁気媒体対向面Ａが第１のロウバーＲＢ１の磁気媒体対向面Ａに対向するように、配置する。このとき、第１及び第２のロウバーＲＢ１，ＲＢ２の磁気媒体対向面Ａ同士の間隔Ｌは、ロウバーＲＢ１，ＲＢ２の反りなどの機械的精度を考慮すると、およそ５（μｍ）に設定するとよい。
【００３１】
第２のソケット４１は、第１のソケット４６と同様の形状及び構造を備え、ロウバーＲＢ２の端子Ｔと電気的に接続するための端子を有している。第２のソケット４１は、アームやレーンなどの連動機構を介して、モータなどの適当な駆動機構４７により、図中の上下左右方向に移動することができる。
【００３２】
また、ここで第１及び第２のロウバーＲＢ１，ＲＢ２の製造工程における位置づけを明確にしておくと、加工対象は第２のロウバーＲＢ２であり、第１のロウバーＲＢ１は、第２のロウバーＲＢ２を加工するために用いられる設備の一部に過ぎない。したがって、第１のロウバーＲＢ１は、第２のロウバーＲＢ２と同じウエハ１００から得られたものであってもよいし、別のウエハから得たものであってもよい。もっとも、第１のロウバーＲＢ１は、実質的に第２のロウバーＲＢ２と同様の磁気ヘッド要素であり、第２のロウバーＲＢ２に高精度にレジストを塗布する目的からして、その磁極ＭＰ１の寸法形状、配置間隔、及び性能が所定の基準を満たしている必要がある。
【００３３】
第２のロウバーＲＢ２を配置するにあたって、第１及び第２のロウバーＲＢ１，ＲＢ２は、これらの各磁極ＭＰ１，ＭＰ２の端面が対向するように位置決めされるのが望ましい。これは、以下に述べるレジスト３０の塗布において、第１のロウバーＲＢ１の磁極ＭＰ１から第２のロウバーＲＢ２の磁極ＭＰ２に向かう磁力線を、実質的に鉛直方向に発生させることによって、重力との関係上、レジスト３０を全体的にバランスよく流動させることができるからである。
【００３４】
位置決めに当たり、第２のソケット４１に固定された第２のロウバーＲＢ２は、駆動機構４７により図中の符号Ｐが示す方向へと移動されて、その位置が調整される。もっとも、逆に第１のロウバーＲＢ１を移動させてもよいし、第１及び第２のロウバーＲＢ１，ＲＢ２の両方を移動させてもよい。
【００３５】
具体的な位置決め方法は、図１０に示されるように、まず、外部の交流電流源４３から、第１のソケット４６の端子を介して、第１のロウバーＲＢ１の左端、中央、及び右端の３つの磁極ＭＰ１に交流電流ＩＡを流して、各磁極ＭＰ１の周囲に交流磁界φＡを発生させておく。この交流磁界φＡは、時間に対して、正弦波状に強さと向きが変化する磁界である。
【００３６】
そして、上述したように第２のロウバーＲＢ２の位置Ｐを変化させつつ、交流磁界φＡにより第２のロウバーＲＢ２の左端、中央、及び右端の３つの磁極ＭＰ２に流れる誘導電流ＩＬ，ＩＭ，ＩＲのピーク値が所定値より大きくなる位置を検出する。これは、それぞれの誘導電流ＩＬ，ＩＭ，ＩＲを、第２のソケット４１の端子を介して、外部の電流検出部４２に入力することにより行われる。
【００３７】
電流検出部４２は、比較器などを含む電流検出回路を有し、図１１に示されるように、３つの誘導電流ＩＬ，ＩＭ，ＩＲの各ピーク値が閾値Ｉｔｈを超えたときの第２のロウバーＲＢ２の位置Ｐｏを検出する。位置Ｐｏを検出すると、電流検出部４２は、第２のロウバーＲＢ２の移動を停止させるために、停止信号Ｓｏを駆動機構４７に出力する。駆動機構４７は、停止信号Ｓｏを受信すると、速やかに第２のロウバーＲＢ２を停止させる。このようにして、第１及び第２のロウバーＲＢ１，ＲＢ２は、各磁極ＭＰ１，ＭＰ２の端面が対向するように位置が調整される。なお、この段階において、先に述べた第１のロウバーＲＢ１へのレジスト３０の塗布処理を実施しても良い。
【００３８】
上述した位置決めにおいて、第１及び第２のロウバーＲＢ１，ＲＢ２の左端、中央、及び右端の３つの磁極ＭＰ１，ＭＰ２のセットを用いたが、これに限定されるものではなく、全部の磁極ＭＰ１，ＭＰ２を用いても良いし、単一の磁極ＭＰ１，ＭＰ２を用いても良い。もっとも、複数の磁極ＭＰ１，ＭＰ２のセットを用れば、電流検出部４２によって位置Ｐｏが検出されない場合に、第２のロウバーＲＢ２の磁極ＭＰ２が磁界検知不能であることを検知できるという副次的な効果が得られる。
【００３９】
また、このような位置決めの手段としては、他にも、光センサを用いてロウバーＲＢ１，ＲＢ２のマーカーを検出するなどの方法も採用し得るが、上述したような電流磁界を用いる方法が、精度良く、高速に行えるものであると考えられる。
【００４０】
次に、図１２に示されるように、外部の第１の直流電源４５から、第１のソケット４６の端子を介して第１のロウバーＲＢ１の全磁極ＭＰ１に直流電流ＩＤ１を供給し、一方、第２の直流電源４４から、第２のソケット４１の端子を介して第２のロウバーＲＢ２の全磁極ＭＰ２に直流電流ＩＤ２を供給する。これにより、第１のロウバーＲＢ１の各磁極ＭＰ１から第２のロウバーＲＢ２の各磁極ＭＰ２に向かう磁界φＤを発生させる。つまり、第１のロウバーＲＢ１の各磁極ＭＰ１の端面がＮ極となり、第２のロウバーＲＢ２の各磁極ＭＰ２の端面がＳ極となるように、例えば、相対的に位相を反転させた直流電流ＩＤ１，ＩＤ２を供給する。
【００４１】
ここで、第１のロウバーＲＢ１に塗布されたフォトレジスト３０は、磁性粉３１によって磁性流体の性質を備えているから、図示されるように、磁界φＤの磁力線に導かれて、第２のロウバーＲＢ２の各磁極ＭＰ２の端面に付着する。もっとも、好適な態様でフォトレジスト３０を付着させるには、フォトレジスト３０の粘度、磁性粉３１の密度と粒径、及び直流電流ＩＤ１，ＩＤ２の電流値などを予め調整しておく必要があることは言うまでもない。
【００４２】
そして、直流電流ＩＤ１，ＩＤ２の供給を停止すると、図１３に示されるように、フォトレジストの一部３２が、その粘着力により第２のロウバーＲＢ２の各磁極ＭＰ２の端面に付着したままとなる。付着したフォトレジスト３２は、ベーク処理によって硬化される。
【００４３】
最後に、図１４に示されるように、第２のロウバーＲＢ２の磁極ＭＰ２の端面に付着したレジスト３２をマスクとして、第２のロウバーＲＢ２の磁気媒体対向面Ａをエッチングする。エッチングは、磁極ＭＰ２の端面を除く部分の表面が図中の点線の位置まで後退するまで行われる。エッチング手法としては、例えばイオンビームＩＢによるミリングを採用し得るが、他のドライエッチング方法を採用してもよい。
【００４４】
このエッチングによって、図１５に示されるように、第２のロウバーＲＢ２の磁気媒体対向面Ａにおいて、各磁極ＭＰ２の端面が、磁極ＭＰ２（厳密に言えば、磁極ＭＰ２とその周辺の僅かな部分）を除く部分の表面から差分量Δｄだけ突出する。差分量Δｄは、磁極ＭＰ２の突出による効果を考慮すると、２〜５（ｎｍ）程度とするのがよいが、これに限定されるものではなく、設計に応じて適宜に設定すべきものである。
【００４５】
こうして得られたロウバーＲＢ２は、分割工程（Ｓｔ６）において、磁気ヘッド要素１０４ごとに分割されて、図１６に示されるような磁気ヘッドに加工される。
【００４６】
本実施形態では、リセス工程（Ｓｔ５）を、分割工程（Ｓｔ６）に先立って、ロウバーＲＢの段階で実施する例を挙げたが、分割工程（Ｓｔ６）により磁気ヘッド要素１０４ごとに分割した後でリセス工程（Ｓｔ５）を実施してもよく、実施する段階は、特に限定されるものではない。したがって、ダイシング工程（Ｓｔ２）により得られた大ブロック１０２、または小ブロック１０３のような磁気ヘッド集合体の段階で、リセス工程（Ｓｔ５）実施することもできるのは言うまでもない。
【００４７】
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法によれば、まず、磁性粉３１を含有するレジスト３０を、第１の磁気ヘッド要素ＲＢ１の磁気媒体対向面Ａに塗布するから、使用するレジスト３０に磁性流体の性質を与えることができる。
【００４８】
そして、第２の磁気ヘッド要素ＲＢ２を、その磁気媒体対向面Ａが第１の磁気ヘッド要素ＲＢ１の磁気媒体対向面Ａに対向するように配置しておき、第１の磁気ヘッド要素ＲＢ１の磁極ＭＰ１から第２の磁気ヘッド要素ＲＢ２の磁極ＭＰ２に向かう磁界φＤが発生するように、第１及び第２の磁気ヘッド要素ＲＢ１，ＲＢ２の磁極ＭＰ１，ＭＰ２に直流電流ＩＤ１，ＩＤ２を流す。つまり、第１の磁気ヘッド要素ＲＢ１の磁極ＭＰ１の端面がＮ極となり、第２の磁気ヘッド要素ＲＢ２の磁極ＭＰ２の端面がＳ極となるように、各磁極ＭＰ１，ＭＰ２に直流電流ＩＤ１，ＩＤ２を流す。
【００４９】
このため、第１の磁気ヘッド要素ＲＢ１の磁気媒体対向面Ａに塗布されたレジスト３０の一部が、その磁性流体の性質により、当該磁界φＤの磁力線に沿って流動して、第２の磁気ヘッド要素ＲＢ２の磁極ＭＰ２の端面に付着する。磁力線は、第１及び第２の磁気ヘッド要素ＲＢ１，ＲＢ２の磁極ＭＰ１，ＭＰ２の端面同士を正確に結ぶように発生するから、第２の磁気ヘッド要素ＲＢ２の磁極ＭＰ２の端面にレジスト３０を高精度に塗布することができる。
【００５０】
その後、第２の磁気ヘッド要素ＲＢ２の磁極ＭＰ２の端面に付着したレジスト３２をマスクとして、第２の磁気ヘッド要素ＲＢ２の磁気媒体対向面Ａをエッチングするので、第２の磁気ヘッド要素ＲＢ２の磁気媒体対向面Ａにおいて、磁極ＭＰ２を除く部分を削って磁極ＭＰ２を突出させ、既に述べたような良好な書込み性能を有する磁極を高精度に形成することができる。
【００５１】
このような一組の磁気ヘッド要素ＲＢ１，ＲＢ２を利用した特徴的な手法は、これらの磁気ヘッド要素の各部の寸法や材質が互いに実質的に同一であるから、微小な磁極端をターゲットとしてレジスト３０を塗布するにあたって、レジスト３０の粘度、これに含有する磁性粉３１の粒径、または磁極に流す電流の電流値ＩＤ１，ＩＤ２などのパラメータの調整が容易であり、好適である。しかも、本手法は、上述したステッパーのような高価な露光装置を用いることがなく、ウエハ段階における工程の追加も必要ないため、比較的に低コストで磁気ヘッドを製造することができる。
【００５２】
次に、上述した製造方法により得られた磁気ヘッドの層構成を説明する。図１７には、図１６の１７−１７線における断面が示されており、図１８には、正面視の磁気媒体対向面Ａが示されている。
【００５３】
以下の説明では、図中に示されたＸ軸方向の寸法を「幅」とする。また、Ｙ軸方向のうちの磁気媒体対向面Ａに近い側、すなわちＹ軸方向（−）を「前方」とし、他方、遠い側、すなわちＹ軸方向（＋）を「後方」とする。さらに、Ｚ軸方向（＋）を「トレーリング側」とし、他方、Ｚ軸方向（−）を「リーディング側」とする。
【００５４】
磁気ヘッドＨＤは、基板１上に、絶縁層２と、磁気抵抗効果（ＭＲ：magneto-resistive effect）を利用した再生ヘッドＲと、分離層６と、垂直記録方式の記録処理を実行する記録ヘッドＷと、オーバーコート層２１とがこの順に積層されたものである。磁気媒体対向面Ａは、これらが共有し、磁気記録媒体Ｍの表面に向き合う一側面である。
【００５５】
基板１は、例えばアルティック（Ａｌ２Ｏ３・ＴｉＣ）などのセラミック材料により構成されている。絶縁層２、分離層６、及びオーバーコート層２１は、例えば酸化アルミニウムなどの非磁性絶縁性材料により構成されている。この酸化アルミニウムとしては、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）などが挙げられる。
【００５６】
再生ヘッドＲは、下部リードシールド層３と、シールドギャップ層４と、上部リードシールド層５とがこの順に積層されたものである。シールドギャップ層４には、一方の端面が磁気媒体対向面Ａに露出するように再生素子Ｓが埋設されている。
【００５７】
下部リードシールド層３、及び上部リードシールド層５は、いずれも再生素子Ｓを周辺から磁気的に分離するものであり、記録媒体対向面Ａから後方に向かって延びている。下部リードシールド層３、及び上部リードシールド層５は、ニッケル鉄合金（ＮｉＦｅ）などの磁性材料により構成されている。ニッケル鉄合金としては、例えばパーマロイが挙げられる。なお、下部リードシールド層３、及び上部リードシールド層５は、単層構造であってもよいし、あるいは、例えば、パーマロイなどの磁性材料からなる一組の磁性層によって、ルテニウム（Ｒｕ）やアルミナなどの非磁性絶縁性材料からなる非磁性層を挟み込んだ多層構造であってもよい。
【００５８】
また、シールドギャップ層４は、再生素子Ｓを周辺から電気的に分離するものであり、アルミナなどの非磁性絶縁材料により構成されている。再生素子Ｓは、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ：giant magneto-resistive effect）またはトンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ：tunneling magneto-resistive effect）などを有する素子であり、典型的にはＴＭＲ素子が採用され得る。
【００５９】
一方、記録ヘッドＷは、磁性層７、リーディングシールド層２３、主磁極層１３、補助磁極層２２、トレーリングシールド層１５、トレーリングギャップ層１６、薄膜コイル１０ａ，１０ｂ、リターンヨーク層２０、及び絶縁層８，９，１１，１２，１７，１８，１９を含んでいる。
【００６０】
磁性層７は、リーディング側でのリターンパスとして機能し、ＮｉＦｅやＣｏＮｉＦｅなどの磁性材料により構成される。この磁性層７によると、主磁極層１３から放出された磁束φの一部をリーディング側へと分散させて、ＷＡＴＥ（Wide Adjacent Track Erace）実効磁界の低減を図ることができる。ＷＡＴＥ実効磁界とは、広範囲の隣接トラック（例えば、書込み対象トラックから２〜１０レーンの範囲内）へ影響する実効的な磁界を意味する。
【００６１】
薄膜コイル１０ａ，１０ｂは、銅などの高導電性材料によってスパイラル形状に形成され、磁気記録媒体Ｍに記録すべき情報に応じた記録磁界を発生する。下部コイル層１０ａは、絶縁層９により巻線間を充填され、その周囲を絶縁層１１により覆われるとともに、そのトレーリング側には絶縁層１３が形成されている。一方、上部コイル層１０ｂの巻線間には絶縁層１９が充填され、そのリーディング側には絶縁層１８が形成されている。
【００６２】
絶縁層９，１９は、フォトレジスト、またはスピンオングラス（ＳＯＧ；Spin On Glass）などの非磁性絶縁性材料により構成され、絶縁層１１，１２，１８は、アルミナなどの非磁性絶縁性材料により構成されている。これらの絶縁層９，１１，１２，１８，１９は、薄膜コイル１０ａ，１０ｂを周辺から電気的に分離する。
【００６３】
主磁極層１３は、上記の磁極ＭＰ１，ＭＰ２に対応する部分である。主磁極層１３は、鉄コバルト合金や鉄コバルトニッケル合金などの高飽和密度を有する磁性材料から形成され、薄膜コイル１０ａ，１０ｂから発生した記録磁界により、記録媒体対向面Ａから磁束φを放出して磁気記録媒体Ｍに与える。
【００６４】
主磁極層１３は、既に述べたリセス工程（Ｓｔ５）によって、その磁極端１３１が他層の端面より差分量Δｄだけ突出している。言い換えれば、磁極端１３１は、磁気媒体対向面Ａから差分量Δｄだけ突出しているのである。
【００６５】
補助磁極層２２は、主磁極層１３と同様の磁性材料、または異なる磁性材料により形成され、磁気媒体対向面Ａから見て後退した位置において、主磁極層１３に直接的に積層されている。これにより、補助磁極層２２は、主磁極層１３に磁束を供給する補助的な磁束収容部として機能する。また、補助磁極層２２は、その前方の端部が絶縁層１７と連結している。絶縁層１７の前方の端面は、スロートハイトＴＨ、及びスロートハイトゼロ位置ＴＰを規定している。
【００６６】
図１９には、磁気ヘッドの積層面（Ｘ−Ｙ平面）から見た主磁極層１３の形状が示されている。主磁極層１３は、記録トラック幅を規定する幅Ｗ１を有する先端部１３２と、その幅Ｗ１より大きな幅Ｗ２を有する後端部１３３とを含む。先端部１３２は、磁気媒体対向面Ａから差分量Δｄだけ突出しており、実質的に、記録のための磁束φを発生させる。また、後端部１３３の幅は、最前方の幅Ｗ１から後方の一定幅Ｗ２まで広がっており、その幅が広がり始める位置がフレアポイントＦＰであり、このフレアポイントＦＰから磁気媒体対向面Ａまでの距離がネックハイトＮＨとして定義される。
【００６７】
主磁極層１３は、図１８に示されるように、その磁極端１３１が記録媒体対向面Ａに露出し、この磁極端１３１から後方に向かい延在している。磁極端１３１は、トレーリングエッジの幅がリーディングエッジの幅より長い、逆台形状を有している。この逆台形形状の上辺、つまり、トレーリングエッジが、主磁極層１３の実質的な記録箇所であり、その幅Ｗ１により記録トラック幅が規定される。記録トラック幅は、一般的に約０．２μｍ以下である。
【００６８】
また、主磁極層１３は、リーディング側のリーディングシールド層２３と、積層面内における両側のサイドシールド２５と、トレーリング側のトレーリングシールド層１５とによって、囲まれている。リーディングシールド層２３、トレーリングシールド層１５、及びサイドシールド２５は、例えば主磁極層１３と同様の磁性材料からなり、主に、磁気媒体対向面Ａの近傍において磁束を吸収して、その磁束の広がりを防止する。これにより、磁界勾配が増加するとともに、記録トラック幅が狭小化する。
【００６９】
リーディングシールド層２３、トレーリングシールド層１５、及びサイドシールド２５は、何れも磁気媒体対向面Ａに露出し、その露出した端面から後方のスロートハイトゼロ位置ＴＰまで延在する。トレーリングシールド層１５、及びサイドシールド２５は、それぞれの後端部において絶縁層１７に隣接する。
【００７０】
リーディングシールド層２３は、絶縁層１２を介して、主磁極層１３のリーディング側と対向するように形成されている。
【００７１】
サイドシールド２５は、一対のサイドギャップ１２１を介して、主磁極層１３を、その両側から挟み込むように形成されている。一対のサイドギャップ１２１は、絶縁材料からなり、絶縁層１２から、磁極端１３１の両側部に沿ってトレーリング側へと延び、主磁極層１３とサイドシールド２５を磁気的に分離する。
【００７２】
トレーリングシールド層１５は、主に、垂直磁界勾配の増大機能を担うものであり、トレーリングギャップ層１６を介して、主磁極層１３に積層されている。トレーリングシールド層１５は、例えば、コバルトニッケル鉄合金、ニッケル鉄合金または鉄系合金などの高飽和磁束密度磁性材料により構成されている。
【００７３】
トレーリングギャップ層１６は、アルミナなどの非磁性材料からなり、主磁極層１３とトレーリングシールド層１５を磁気的に分離する。
【００７４】
リターンヨーク層２０は、図１９に示されるように、Ｚ軸方向で見ると、幅Ｗ３の矩形方の平面形状を有し、例えば、トレーリングシールド層１５と同様の磁性材料により構成されて、磁束の循環機能を担う。つまり、トレーリングシールド層１５とリターンヨーク層２０は、上述したライトシールド部に対応するのである。
【００７５】
リターンヨーク層２０は、図１７に示されるように、トレーリングシールド層１５のトレーリング側において磁気媒体対向面Ａから絶縁層１９上を経由してバックギャップＢＧまで延びており、前方においてトレーリングシールド層１５に連結されていると共に後方においてバックギャップＢＧを通じて補助磁極層２２に連結されている。もっとも、磁界の循環機能は、リターンヨーク層２０とともに、トレーリングシールド層１５やサイドシールド２５にも具備してもよい。
【００７６】
このような構成によると、磁極端１３１から放出された磁束φは、図１７に示されるように、磁気記録媒体Ｍの軟磁性裏打ち層などを介して、トレーリングシールド層１５とリターンヨーク層２０とに吸収される。このとき、磁極端１３１は、差分量Δｄだけ磁気媒体対向面Ａから突出し、トレーリングシールド層１５、及びリターンヨーク層２０の端面より磁気ディスクＭの表面に近いため、主磁極層１３から磁気ディスクＭに供給される磁界φの磁束密度が比較的に高くなる。一方、トレーリングシールド層１５、及びリターンヨーク層２０の端面は、磁極端１３１より磁気ディスク表面Ｍから遠いため、磁気ディスクＭからトレーリングシールド層１５、及びリターンヨーク層２０に戻る磁界φの磁束密度が比較的に低くなる。このため、上述した製造方法により得られた磁気ヘッドは良好な書込み性能を示す。
【００７７】
本実施形態では、主磁極層１３の磁極端１３１のみを突出させた構成例を挙げたが、これに限定されることない。例えば、磁極端１３１のみではなく、磁極端１３１の周囲に存在するトレーリングギャップ層１６、絶縁層１２、及びサイドギャップ１２１を含めた態様で突出させることによっても、同様の効果が得られることは明らかである。もっとも、磁極端１３１がＤＬＣ（Diamond‐Like Carbon：ダイアモンドライクカーボン）の保護膜によって覆われている場合も例外ではない。
【００７８】
これまで述べた磁気ヘッドＨＤは、図２０に示されるように、ヘッドアセンブリＨＡの先端部に取り付けられ、さらに、ヘッドアセンブリＨＡは、磁気記録再生装置、具体的にはハードディスク装置に組み込まれる。
【００７９】
ヘッドアセンブリＨＡは、磁気ヘッドＨＤと、ヘッド支持装置２０３と、アーム２０４とを含む。ヘッド支持装置２０３は、フレクシャと言われる薄いバネ板材などを備え、磁気ヘッドＨＤにロール運動及びピッチ運動を許容するように、磁気ヘッドＨＤを支持する。概念上、ヘッドアセンブリＨＡには、磁気ヘッドをヘッド支持装置２０３に取り付けたＨＧＡ（Head Gimbal Assembly）、ＨＧＡをアーム２０４に取り付けたＨＡＡ（Head Arm Assembly)が含まれる。
【００８０】
アーム２０４は、動力源としての駆動部２０６に接続されており、筐体２００に固定された固定軸２０７を中心として、ベアリング２０８を介して旋回可能になっている。駆動部２０６は、例えば、ボイスコイル膜モータなどの駆動源を含んで構成されている。また、磁気ディスク２０１は、筐体２００に固定されたスピンドルモータ２０５を中心として回転可能になっている。
【００８１】
磁気ヘッドＨＤは、情報の記録動作時または再生動作時において磁気ディスク２０１が回転すると、その磁気ディスク２０１の記録面（磁気ヘッドと対向する面）とエアベアリング面Ａとの間に生じる空気流を利用して、磁気ディスク２０１の記録面から浮上する。そして、磁気ヘッドＨＤは、磁気ディスク２０１に対して記録磁界を印加して情報を記録し、また、磁気ディスク２０１から情報を再生する。
【００８２】
このハードディスク装置は、本発明に係る製造方法により得た磁気ヘッドＨＤを搭載することによって、書込み性能に関して優れた品質を備える。
【００８３】
以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。
【符号の説明】
【００８４】
３１                  磁性粉
３２                  レジスト
１０４                磁気ヘッド要素
ＲＢ１，ＲＢ２        ロウバー
ＭＰ１，ＭＰ２        磁極
Ａ                    磁気媒体対向面
ＩＤ１，ＩＤ２          直流電流
ＩＬ，ＩＭ，ＩＲ        誘導電流
ＩＡ                  交流電流
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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