(57)【要約】      （修正有）【課題】搬送車からの被搬送物の落下を防止すると共に、被搬送物の効率的な搬送を実現する。【解決手段】落下防止柵６００は、天井に敷設された軌道１００を走行することで被搬送物４００を搬送する搬送車２００の下方側に、軌道に沿うように設けられる。落下防止柵は、軌道に沿う方向に延在するように設けられた縦行部材と、軌道に交わる方向に延在するように設けられており、縦行部材と接続された横行部材とを備える。縦行部材及び横行部材のうち一方の部材は、被搬送物が通過する領域を形成できるように、他方の部材に対して着脱可能とされている。【選択図】図５
2012086933.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に敷設された軌道を走行することで被搬送物を搬送する搬送車の下方側に、前記軌道に沿うように設けられる落下防止柵であって、
前記軌道に沿う方向に延在するように設けられた縦行部材と、
前記軌道に交わる方向に延在するように設けられており、前記縦行部材と接続された横行部材と
を備え、
前記縦行部材及び前記横行部材のうち一方の部材は、前記被搬送物が通過する領域を形成できるように、他方の部材に対して着脱可能とされている
ことを特徴とする落下防止柵。
【請求項２】
前記一方の部材は、前記被搬送物の前記軌道に沿う方向の長さ単位で着脱可能とされていることを特徴とする請求項１に記載の落下防止柵。
【請求項３】
前記一方の部材は、１本毎に独立して着脱可能な棒状の部材であることを特徴とする請求項１又は２に記載の落下防止柵。
【請求項４】
前記一方の部材は、複数の通気孔を有する平板状の部材であることを特徴とする請求項１又は２に記載の落下防止柵。
【請求項５】
前記縦行部材は、前記他方の部材として、前記被搬送物が通過可能な間隔を空けて一対設けられており、
前記横行部材は、前記一方の部材として、一対の前記縦行部材間に前記被搬送物が通過不能となるような間隔で複数架設されている
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の落下防止柵
【請求項６】
天井に敷設された軌道と、
前記軌道を走行して被搬送物を搬送する搬送車と、
請求項１から５のいずれか一項に記載の落下防止柵と、
前記落下防止柵における前記一方の部材が部分的に取り外された箇所の下方側に設けられており、前記搬送車との間で前記被搬送物を受け渡しする受け渡し部と
を備えることを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば天井に敷設された軌道に沿って走行する搬送車からの被搬送物の落下を防止する落下防止柵、及び該落下防止柵を備える搬送システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造では、工場自動化の一つとして、材料であるシリコンウェハを容器（例えば、ＦＯＵＰ等）に収容し、それをホイスト付き天井走行式搬送装置（所謂ＯＨＴ：Overhead Hoist Transport）で自動搬送することがある。ＯＨＴは、把持部（グリッパ）で、ＦＯＵＰのトップフランジを把持して搬送するが、例えばフランジが破損する等してＦＯＵＰが落下して、下にいる人や物にぶつかってしまうおそれがある。また、ＦＯＵＰ中のウェハの全損傷も避けられない。
【０００３】
搬送途中におけるＦＯＵＰの落下防止対策としては、従来ＦＯＵＰが比較的軽かったこともあり、ＯＨＴビークル側に落下防止装置を付ける等の対応で十分と考えられてきた。しかし、ウェハの大口径化（具体的には、例えば３００ｍｍであったものが４５０ｍｍに変化）に伴い、ＦＯＵＰも大型化、大重量化してしまうため、落下に対する安全策としては、ＯＨＴビークル側の対応のみでは、不十分と考えられるようになった。
【０００４】
このため、ＯＨＴ軌道下側に、落下防止柵を設置する技術が提案されている。例えば特許文献１及び２では、ＯＨＴビークルからの荷の落下を防止するための柵が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平２−２７９６５号公報
【特許文献２】特開昭６２−２９０６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体製造工場では、将来的に新たな半導体製造装置を増設しようとした際に、それに容易に対応できるようにすることが好ましい。半導体製造装置は、非常に高価であるため、当初からフル生産量に対する全製造装置を設置するのではなく、生産量に応じて徐々に装置を増設していく場合がほとんどである。
【０００７】
しかしながら、上述した特許文献１及び２に記載の落下防止柵は、軌道に対して固定されるように設けられている。よって、半導体製造装置を増設した場合に、増設箇所でのＦＯＵＰの受け渡し（即ち、搬送車と新たな半導体製造装置間での受け渡し）を行うためには、大幅な或いは全面的な改造工事が求められてしまう。即ち、単に落下防止柵を用いるだけでは、ＦＯＵＰの落下を防止できたとしても、将来的な装置の増設等に対応することが困難になってしまうという技術的問題点がある。
【０００８】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、被搬送物の落下を防止すると共に、レイアウト変更への対応を容易にすることが可能な落下防止柵及び搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の落下防止柵は上記課題を解決するために、天井に敷設された軌道を走行することで被搬送物を搬送する搬送車の下方側に、前記軌道に沿うように設けられる落下防止柵であって、前記軌道に沿う方向に延在するように設けられた縦行部材と、前記軌道に交わる方向に延在するように設けられており、前記縦行部材と接続された横行部材とを備え、前記縦行部材及び前記横行部材のうち一方の部材は、前記被搬送物が通過する領域を形成できるように、他方の部材に対して着脱可能とされている。
【００１０】
本発明の落下防止柵は、天井に敷設された軌道を走行することで被搬送物を搬送する搬送車の下方側に、軌道に沿うように設けられる。落下防止柵は、例えば被搬送物のフランジの破損等に起因して落下する被搬送物を、その直下で受け止め地面への落下を防止する。よって、被搬送物が落下して人や物に衝突することを防止することができる。落下防止柵は、搬送車に近い位置に設けられることで、被搬送物への落下による衝撃を小さくできる。
【００１１】
本発明の落下防止部材は、例えば天井又は軌道から吊り下げられるように設置されており、軌道に沿う方向（言い換えれば、搬送車の進行方向に沿う方向）に延在するように設けられた縦行部材と、軌道に交わる方向（言い換えれば、縦行部材の延在方向と交わる方向）に延在するように設けられた横行部材とを備えている。縦行部材及び横行部材は互いに接続されており、落下する被搬送物を受け止められるような構成となっている。尚、落下防止部材は、軌道の下方全域に設けられる必要はなく、落下することによる危険性の高い場所等、部分的に設けられていてもよい。
【００１２】
ここで特に、縦行部材及び横行部材のうち一方の部材は、被搬送物が通過する領域を形成できるように、他方の部材に対して着脱可能とされている。即ち、一方の部材を部分的に取り外すことによって落下防止柵に間隙を設け、その間隙を利用して、被搬送物を落下防止柵より下側へ通過させることができる。尚、一方の部材に加えて、他方の部材を着脱可能としてもよい。
【００１３】
より具体的には、本発明の落下防止部材は、例えば軌道に対して相対的に固定された他方の部材に、着脱可能な一方の部材が取り付けられることで構成されている。そして、被搬送物を落下防止柵より下側へ通過させたい箇所において、一方の部材が部分的に取り外される。これにより、落下防止柵より上側を走行する搬送車と、落下防止柵より下側に配置された半導体製造装置や保管場所等との間で、被搬送物の受け渡しを実現できる。
【００１４】
上述した被搬送物の受け渡しを行うべき場所の位置や大きさは、システムの仕様変更（例えば、装置のレイアウト変更）等によって変化する。即ち、被搬送物を落下防止柵より下側へ受け渡し可能とすべき場所は、常に同じ場所ではなく変化する可能性がある。ここで仮に、落下防止柵が固定であるとすると、被搬送物が受け渡し可能となる場所の位置や大きさを変更することはできない。しかるに本発明の落下防止柵によれば、他方の部材に対して一方の部材を着脱することにより、落下防止柵における間隙の位置や大きさを変更できる。従って、システムの仕様変更に柔軟に対応することが可能である。
【００１５】
尚、縦行部材及び横行部材のうち一方の部材は、その全てが着脱可能に構成されなくともよい。例えば、落下防止柵を挟んで被搬送物の受け渡しを行う可能性がない箇所においては、他方の部材に着脱不可能に固定されていてもよい。また、上述した構成とは逆に、他方の部材が、一方の部材に対して着脱可能に構成される部分があっても構わない。
【００１６】
以上説明したように、本発明の落下防止柵によれば、工場製造装置のレイアウト変更への対応を容易にすることが可能である。
【００１７】
本発明の落下防止柵の一態様では、前記一方の部材は、前記被搬送物の前記軌道に沿う方向の長さ単位で着脱可能とされている。
【００１８】
この態様によれば、落下防止柵における間隙の位置や大きさを、被搬送物の軌道に沿う方向の長さ単位で調整できるため、システムの仕様変更に伴う落下防止柵における間隙の調整が好適に行える。即ち、間隙の位置や大きさを、通過させるべき対象物である被搬送物の幅を基準として調整できるため、その作業が比較的容易に行える。
【００１９】
尚、間隙の大きさが被搬送物の幅と完全に一致する場合には、被搬送物を通過させることができない。このため、落下防止柵における間隙は、被搬送物の幅に多少のマージン（具体的には、２０ｍｍから５０ｍｍ程度）を含めた値を基準として調整可能とされることが望ましい。即ち、本態様に係る「被搬送物の幅」とは、被搬送物の幅と完全に一致する値である必要はなく、被搬送物の幅に基づいて決定された値であってもよい。
【００２０】
また、「被搬送物の幅」は、着脱可能な一方の部材の１つ分の大きさとされる必要もない。即ち、複数の一方の部材を取り外すことで「被搬送物の幅」が実現されてもよい。
【００２１】
本発明の落下防止柵の他の態様では、前記一方の部材は、１本毎に独立して着脱可能な棒状の部材である。
【００２２】
この態様によれば、縦行部材及び横行部材のうち一方の部材が、独立して着脱可能な棒状の部材として構成されるため、落下防止柵における間隙の位置や大きさを、極めて細かく調整することができる。また、着脱機構の構造を比較的容易なものとすることができる。
【００２３】
本発明の落下防止柵の他の態様では、前記一方の部材は、複数の通気孔を有する平板状の部材である。
【００２４】
この態様によれば、縦行部材及び横行部材のうち一方の部材が、平板状の部材として構成されるため、落下防止柵の強度を高めたり、細かい落下物にも対応することが可能である。また、一方の部材は、複数の通気孔を有しているため、例えばクリーンルームの気流の乱れを抑制することが可能である。尚、本態様に係る一方の部材は、例えば金属板として構成されてもよいし、金属の枠に網を張ったような部材として構成されてもよい。
【００２５】
本発明の落下防止柵の他の態様では、前記縦行部材は、前記他方の部材として、前記被搬送物が通過可能な間隔を空けて一対設けられており、前記横行部材は、前記一方の部材として、一対の前記縦行部材間に前記被搬送物が通過不能となるような間隔で複数架設されている。
【００２６】
この態様によれば、固定されている他方の部材として、一対の縦行部材が、被搬送物が通過可能な間隔を空けて設けられる。また、着脱可能な一方の部材として、複数の横行部材が、
被搬送物が通過不能となるような間隔で、一対の縦行部材間に架設される。即ち、一対の縦行部材間の間隙を埋めるように、複数の横行部材が設けられている。複数の横行部材は、典型的には等間隔で配置される。
【００２７】
上述した構成によれば、横行部材を必要な数だけ取り外すことによって、落下防止柵における間隙の位置や大きさを好適に調整することができる。また、縦行部材が着脱可能な一方の部材として構成される場合と比べて、より細かい調整が可能となる。従って、より柔軟にシステムの仕様変更に対応することが可能である。
【００２８】
本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、天井に敷設された軌道と、前記軌道を走行して被搬送物を搬送する搬送車と、上述した本発明の落下防止柵（但し、その各種態様も含む）と、前記落下防止柵における前記一方の部材が部分的に取り外された箇所の下方側に設けられており、前記搬送車との間で前記被搬送物を受け渡しする受け渡し部とを備える。
【００２９】
本発明の搬送システムによれば、天井に敷設された軌道上を、被搬送物を積載した搬送車が走行することで被搬送物が搬送される。搬送車の下方側には、上述した本発明の落下防止柵が設けられており、搬送車によって搬送中の被搬送物が、誤って地面に落下してしまうことを防止する。落下防止柵より下方側には、搬送車との間で被搬送物を受け渡しする受け渡し部が設けられている。受け渡し部は、例えば半導体製造装置や被搬送物を一時的に保管する保管棚等である。
【００３０】
本発明では、上述した受け渡し部が、落下防止柵における一方の部材が部分的に取り外された箇所の下方側に設けられている。これにより、搬送車と受け渡し部間での被搬送物の受け渡しを確実に実現することが可能である。従って、被搬送物の落下を防止すると共に、被搬送物の効率的な搬送を実現可能である。
【００３１】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す上面図である。
【図２】実施形態に係る搬送車の構成を示す側面図である。
【図３】実施形態に係る搬送車の移載動作を示す斜視図である。
【図４】実施形態に係る搬送車の横移載動作を示す斜視図である。
【図５】実施形態に係る落下防止柵の構成を示す斜視図である。
【図６】実施形態に係る落下防止柵の具体的な構成を示す上面図である。
【図７】実施形態に係る落下防止柵に設けられる間隙を示す上面図である。
【図８】実施形態に係る落下防止柵の着脱機構を示す斜視図（その１）である。
【図９】実施形態に係る落下防止柵の着脱機構を示す斜視図（その２）である。
【図１０】実施形態に係る落下防止柵の着脱機構を示す斜視図（その３）である。
【図１１】実施形態に係る落下防止柵の変形例を示す上面図（その１）である。
【図１２】実施形態に係る落下防止柵の変形例を示す上面図（その２）である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３４】
先ず、本実施形態に係る搬送システムの全体構成について、図１を参照して説明する。ここに図１は、本実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す平面図である。
【００３５】
図１において、本実施形態に係る搬送システムは、軌道１００と、搬送車２００と、コントローラ３００とを備えて構成されている。
【００３６】
軌道１００は、例えば天井に敷設されており、アルミニウムやステンレス、鉄等の金属から構成される。
【００３７】
搬送車２００は、軌道１００上に複数配置されており、軌道１００に沿って走行することで、被搬送物であるＦＯＵＰを搬送することが可能である。
【００３８】
また搬送車２００は、車上コントローラ２０５を夫々有している。車上コントローラ２０５は、コントローラ３００から搬送指令を受け取り、搬送車２００の走行を制御する。尚、車上コントローラ２０５は、搬送車２００の走行を制御するだけでなく、搬送車２００に備えられた各機器を総括的に制御するという機能も有している。
【００３９】
コントローラ３００は、例えば演算回路やメモリ等を含んで構成されており、車上コントローラ２０５を介して、搬送車２００に搬送指令を与えることが可能に構成されている。
【００４０】
尚、ここでの図示は省略しているが、軌道１００に沿った位置には、ＦＯＵＰを一時的に保管するバッファや半導体製造装置等、搬送車からＦＯＵＰの落下を防止する落下防止柵が複数設けられている。この落下防止柵の構成については、後に詳述する。
【００４１】
次に、搬送車のより具体的な構成について、図２を参照して説明する。ここに図２は、搬送車の構成を示す側面図である
【００４２】
図２において、搬送車２００は、走行部２１０、本体部２２０、移動部２３０、昇降制御部２３５、昇降ベルト２４０及び把持部２５０を備えて構成されている。
【００４３】
搬送車２００は、走行部２１０が例えば軌道側磁石とで構成するリニアモータ等によって推進力を与えることで、走行ローラ２１５が転動されつつ、軌道１００に沿って走行する。尚、搬送車２００への電源は、非接触給電で行われる。走行部２１０の下面には、本体部２２０が吊り下がる形で取り付けられている。
【００４４】
本体部２２０には、移動部２３０が取り付けられている。移動部２３０は、軌道１００の側方（即ち、図における左右方向）に移動することが可能である。また、必要に応じて旋回も可能である。移動部２３０の下面には、昇降制御部２３５が取り付けられている。
【００４５】
昇降制御部２３５の下面には、ＦＯＵＰを把持する把持部２５０が昇降ベルト２４０によって取り付けられている。把持部２５０は、昇降制御部２３５の昇降ベルト２４０を巻き出す或いは巻き取ることで、本体部２２０に対し昇降可能である。
【００４６】
次に、搬送車によるＦＯＵＰの移載方法について、図３及び図４を参照して説明する。ここに図３及び図４は夫々、実施形態に係る搬送車のＦＯＵＰの移載方法を示す斜視図である。
【００４７】
図３において、搬送車２００が、軌道１００の真下に位置するポート５１０上のＦＯＵＰ４００を移載する際には、先ず搬送車２００が軌道１００上を走行して、ポート５１０上に設置されたＦＯＵＰ４００の上方に停止する。そして、把持部２５０とＦＯＯＰ４００との位置微調整が行われる。
【００４８】
続いて、図に示すように、昇降制御部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出される。これにより、把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下し、ＦＯＵＰ４００が把持される。
【００４９】
ＦＯＵＰ４００が把持されると、昇降ベルト２４０が巻き取られ、把持部２５０及び把持されたＦＯＵＰ４００が本体部２２０の位置まで上昇する。そして、再び搬送車２００が軌道１００上を走行して、ＦＯＵＰ４００が搬送される。
【００５０】
図４において、ＦＯＵＰ４００が、軌道１００の側方にそれた位置にあるサイドバッファ５２０に設置されている場合には、移動部２３０が軌道１００の側方に移動した後に、昇降制御部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出され、把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。このように動作することで、軌道部１００からＦＯＵＰ４００の横移載を行うことが可能となる。
【００５１】
尚、本実施形態では、移動部２３０を有する搬送車２００、つまり横移載機構を有する搬送車を例にとって説明したが、搬送車２００が横移載機構を有さない場合であっても、本発明は適用可能である。
【００５２】
次に、本実施形態に係る落下防止柵について、図５から図１２を参照して説明する。
【００５３】
先ず、本実施形態に係る落下防止柵の全体構成について、図５を参照して説明する。ここに図５は、実施形態に係る落下防止柵の構成を示す斜視図である。
【００５４】
図５において、本実施形態に係る落下防止柵６００は、軌道１００を走行する搬送車２００の下側を覆うように、軌道１００に沿って設けられている。落下防止柵６００は、例えば天井から吊り下げられるようにして設けられる。
【００５５】
本実施形態に係る落下防止柵６００は特に、搬送車２００が、落下防止柵６００より下側へＦＯＵＰ４００を受け渡しする箇所においては、部分的に間隙が設けられている。具体的には、搬送車２００は、図中の半導体製造装置５５０との間でＦＯＵＰ４００の受け渡しを行う。よって、半導体製造装置５３０と重なる位置の落下防止柵６００は、部分的に取り外され、搬送車２００と半導体製造装置５３０との間でＦＯＵＰ４００の受け渡しが可能とされている。
【００５６】
次に、本実施形態に係る落下防止柵を構成する各部材及び間隙の調整方法について、図６及び７を参照して説明する。ここに図６は、実施形態に係る落下防止柵の具体的な構成を示す上面図である。また図７は、実施形態に係る落下防止柵に設けられる間隙を示す上面図である。
【００５７】
図６において、本実施形態に係る落下防止柵６００（図５参照）は、軌道１００に沿う方向に延在する縦行部材６１０と、軌道１００に交わる方向に延在する横行部材６２０とを備えて構成される。
【００５８】
縦行部材６１０は、例えばアルミやステンレス、鉄、樹脂等によって構成されており、軌道１００に対して固定されている。また縦行部材６１０は、ＦＯＵＰ４００が通過できるような間隔を空けて、一対設けられている。
【００５９】
横行部材６２０は、縦行部材６２０と同様に、例えばアルミやステンレス、鉄、樹脂等によって構成される。横行部材６２０は、一対の縦行部材６１０間の間隙を埋めるように、等間隔で架設されている。
【００６０】
図７において、本実施形態に係る落下防止柵６００では特に、横行部材６２０が縦行部材６１０から着脱可能に構成されている。よって、図に示すように部分的に横行部材６２０を取り外せば、ＦＯＵＰ４００が通過可能な領域を形成することができる。従って、搬送車２００は、落下防止柵６００より下側に存在する半導体製造装置５３０（図５参照）等との間でＦＯＵＰ４００の受け渡しが可能となる。
【００６１】
また、横行部材６２０は、１本ずつ着脱可能な棒状の部材として構成されているため、間隙の位置や大きさを極めて好適に調整することが可能である。ＦＯＵＰ４００を受け渡し可能とすべき箇所の位置や大きさは、システムの仕様変更等によって変化する。具体的には、図５に示す半導体製造装置５３０の場所移動や新たな装置の設置等によって、間隙を設けるべき箇所は変化する。従って、間隙の位置や大きさを微調整可能であるという本実施形態特有の効果は、実践上極めて有効である。
【００６２】
尚、本実施形態に係る落下防止柵６００では、間隙の大きさは、少なくともＦＯＵＰの軌道１００に沿う方向の長さ単位で調整可能とされている。上述した実施形態では、搬送車２００が、被搬送物であるＦＯＵＰ４００を横向き（即ち、開口部や蓋が横を向く方向）で把持して搬送しているため、横行部材６２０の着脱可能な単位はＦＯＵＰ４００の幅単位となる。他方で、ＦＯＵＰ４００を前後いずれかの向きで把持して搬送するような場合には、横行部材６２０の着脱可能な単位はＦＯＵＰの奥行単位となる。
【００６３】
次に、本実施形態に係る落下防止柵の着脱機構について、図８から図１０を参照して説明する。ここに図８から図１０は夫々、実施形態に係る落下防止柵の着脱機構を示す斜視図である。
【００６４】
図８において、本実施形態に係る落下防止柵６００を構成する縦行部材６１０ａの上面には、複数の溝が設けられている。これに対し、横行部材６２０ａ及び６２０ｂの両端には、縦行部材６１０に設けられた溝に対応するような溝が設けられている。よって、縦行部材６１０ａと、横行部材６２０ａ又は６２０ｂの溝とを互いに噛み合わせるようにすれば、比較的容易に、縦行部材６１０に横行部材６２０を取り付けることができる。
【００６５】
図９において、本実施形態に係る落下防止柵６００を構成する縦行部材６１０ｂには、複数の穴が設けられている。これに対し、横行部材６２０ｃの両端には、縦行部材６１０に設けられた穴に対応するような突起部が設けられている。横行部材６２０ｃの突起部は、バネ等によって伸縮可能に構成されている。よって、横行部材６２０ｃの突起部を縮ませた状態とすれば、縦行部材６１０ｂに設けられた穴への挿入が可能となる。従って、極めて好適に、横行部材６２０の取り付けが行える。尚、横行部材６２０ｃの突起部は、一方が伸縮可能に構成されれば、他方は伸縮可能でなくともよい。
【００６６】
図１０において、本実施形態に係る落下防止柵６００を構成する縦行部材６１０ｃには、複数のホルダが設けられている。よって、棒状の横行部材６２０ｄを、好適に縦行部材６１０ｃに取り付けることが可能である。このような構成では、縦行部材６１０及び横行部材６２０の各々を、図８や図９で示した例のような特殊な形状に加工せずとも済むため、落下防止柵６００の構成を比較的簡単なものとすることができる。
【００６７】
落下防止柵６００の構成は、上述した構成に限られず、落下防止柵６００を構成する縦行部材６１０及び横行部材６２０のうち、いずれか一方が着脱可能とされるようなものであればよい。以下では、本実施形態に係る落下防止柵の変形例について、図１１及び図１２を参照して説明する。ここに図１１及び図１２は夫々、実施形態に係る落下防止柵の変形例を示す上面図である。
【００６８】
図１１において、本実施形態に係る落下防止柵６００は、軌道１００に沿って固定された横行部材６２０に対して、複数の縦行部材６１０が夫々着脱可能に構成されてもよい。即ち、図６等に示した構成とは逆の構成としてもよい。この場合、図６で示す落下防止柵６００と比べると、間隙を形成できる位置や大きさの自由度は小さくなってしまうが、比較的簡単に、間隙の位置や大きさを調整することができる。尚、縦行部材６１０の長さをＦＯＵＰ４００の幅に応じて設定することで、より好適に間隙を調整することが可能となる。
【００６９】
図１２において、本実施形態に係る落下防止柵６００は、棒状の部材だけでなく平板状の部材を用いて構成されてもよい。具体的には、図に示すように、縦行部材６１０を平板状の部材とすれば、ＦＯＵＰ４００の落下を防止するという落下防止柵６００本来の機能を高めることが可能である。落下防止柵６００の耐荷重性能は、例えば４５０ｍｍウェハに対応するＦＯＵＰ４００を搬送する場合であれば、その重量である略２４ｋｇ以上とされることが望ましい。
【００７０】
尚、図１２では、横行部材６２０を金属の枠に網（金属や樹脂等、材料は問わない）を張った部材として構成しているが、例えばエクスパンドメタルやパンチングメタル等によって構成しても構わない。平板状の部材を用いる場合であっても、上述したように通気性を高めることで、クリーンルームの気流の乱れを抑制することが可能である。
【００７１】
以上説明したように、本実施形態に係る搬送システムによれば、落下防止柵６００を構成する縦行部材６１０及び横行部材６２０のうち、いずれか一方が着脱可能とされているため、間隙の位置や大きさを好適に調整することが可能である。よって、被搬送物の落下を防止すると共に、被搬送物の効率的な搬送を実現することが可能である。
【００７２】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う落下防止柵及び搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００７３】
１００…軌道、２００…搬送車、２０５…車上コントローラ、２１０…走行部、２１５…走行ローラ、２２０…本体部、２３０…移動部、２３５…昇降制御部、２４０…昇降ベルト、２５０…把持部、３００…コントローラ、４００…ＦＯＵＰ、５１０…ポート、５２０…サイドバッファ、５３０…半導体製造装置、６００…落下防止柵、６１０…縦行部材、６２０…横行部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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