(57)【要約】【課題】信号配線パターンの配線負荷容量に起因する信号波形の劣化を軽減する。【解決手段】プリント基板は、絶縁層と、絶縁層を挟んで積層された信号配線層および基準配線層とを備える。信号配線層には、信号配線パターンが形成され、基準配線層には、基準電圧を伝達するための基準配線パターンが形成される。基準配線パターンの少なくとも一部(102a)は、絶縁層を挟んで信号配線パターンの少なくとも一部(101a)に対向する。基準配線パターンのうち信号配線パターンに対向する部分(121)には、１または複数の欠落部(111)が形成される。【選択図】図６
2012064877.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁層と、
前記絶縁層を挟んで積層された信号配線層および基準配線層とを備え、
前記信号配線層には、信号配線パターンが形成され、
前記基準配線層には、基準電圧を伝達するための基準配線パターンが形成され、
前記基準配線パターンの少なくとも一部は、前記絶縁層を挟んで前記信号配線パターンの少なくとも一部に対向し、
前記基準配線パターンのうち前記信号配線パターンに対向する部分には、１または複数の欠落部が形成される
ことを特徴とするプリント基板。
【請求項２】
請求項１において、
前記基準配線パターンの一部を構成する基準配線は、前記絶縁層を挟んで前記信号配線パターンの一部を構成する信号配線に対向し、
前記基準配線のうち前記信号配線に対向する部分に形成された欠落部は、前記信号配線に沿って延びる線形形状を有する
ことを特徴とするプリント基板。
【請求項３】
請求項１において、
前記基準配線パターンの一部を構成する基準配線は、前記絶縁層を挟んで前記信号配線パターンの一部を構成する信号配線に対向し、
前記基準配線のうち前記信号配線に対向する部分に形成された欠落部は、前記信号配線の線幅よりも短い直径を有した円形形状を有する
ことを特徴とするプリント基板。
【請求項４】
請求項１において、
前記基準配線パターンの一部を構成する基準配線は、前記絶縁層を挟んで前記信号配線パターンの一部を構成する信号配線に対向し、
前記基準配線のうち前記信号配線に対向する部分に形成された欠落部は、前記信号配線の線幅を一辺とする正方形よりも小さい四角形形状を有する
ことを特徴するプリント基板。
【請求項５】
絶縁層と、
前記絶縁層の形成面に形成された基準配線パターンおよび信号配線パターンとを備え、
前記基準配線パターンは、基準電圧を伝達するための配線パターンであり、
前記基準配線パターンの少なくとも一部は、前記信号配線パターンの少なくとも一部に対向するように形成され、
前記基準配線パターンの側面のうち前記信号配線パターンに対向する側面部には、１または複数の凹部が形成される
ことを特徴とするプリント基板。
【請求項６】
請求項５において、
前記基準配線パターンの一部を構成する第１および第２の基準配線は、前記信号配線パターンの一部を構成する信号配線を挟んで互いに対向し、
前記信号配線に対向する前記第１および第２の基準配線の各々の側面に形成された凹部は、前記信号配線を基準として線対称になるように配置される
ことを特徴とするプリント基板。
【請求項７】
請求項５において、
前記基準配線パターンの一部を構成する第１および第２の基準配線は、前記信号配線パターンの一部を構成する信号配線を挟んで互いに対向し、
前記信号配線に対向する前記第１および第２の基準配線の各々の側面に形成された凹部は、前記信号配線を挟んで互い違いになるように配置される
ことを特徴とするプリント基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プリント基板に関し、さらに詳しくは、配線負荷容量の低減化技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体集積回路などの複数の電子部品をプリント基板に搭載することによって電子機器が構成されており、プリント基板に形成された信号配線パターンを通じてこれらの電子部品の間で電気信号が伝達されている。また、信号配線パターンには、電子部品間を電気的に接続する信号配線の他に、電子部品の電気信号を観測するために電子部品からの電気信号を外部へ伝達する観測用の信号配線も含まれている場合がある（例えば、特許文献１，２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１２０８１２号公報
【特許文献２】特開平１１−３２６３７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、信号配線パターンの配線負荷容量が大きくなるほど、信号配線パターンによって伝達される電気信号の信号波形の劣化が顕著になってしまう。このように信号配線パターンにおいて電気信号の信号波形が劣化した場合、電子部品が誤動作してしまったり、電子部品の電気信号を正確に観測できない可能性がある。また、近年、省電力化の推進に伴い、電子部品を駆動するドライバの駆動能力が低くなってきているので、信号配線パターンの配線負荷容量に起因する信号波形の劣化が益々顕著になる傾向にある。
【０００５】
そこで、この発明は、信号配線パターンの配線負荷容量に起因する信号波形の劣化を軽減できるプリント基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の１つの局面に従うと、プリント基板は、絶縁層と、上記絶縁層を挟んで積層された信号配線層および基準配線層とを備え、上記信号配線層には、信号配線パターンが形成され、上記基準配線層には、基準電圧を伝達するための基準配線パターンが形成され、上記基準配線パターンの少なくとも一部は、上記絶縁層を挟んで上記信号配線パターンの少なくとも一部に対向し、上記基準配線パターンのうち上記信号配線パターンに対向する部分には、１または複数の欠落部が形成される。上記プリント基板では、信号配線パターンの配線負荷容量を低減でき、信号配線パターンの配線負荷容量に起因する信号波形（信号配線パターンによって伝達される電気信号の波形）の劣化を軽減できる。
【０００７】
なお、上記基準配線パターンの一部を構成する基準配線は、上記絶縁層を挟んで上記信号配線パターンの一部を構成する信号配線に対向し、上記基準配線のうち上記信号配線に対向する部分に形成された欠落部は、上記信号配線に沿って延びる線形形状を有しても良い。このように構成することにより、信号配線の単位長さ当たりの配線インピーダンスを均一にできるので、信号配線によって伝達される電気信号の波形品質をさらに向上させることができる。
【０００８】
または、上記基準配線パターンの一部を構成する基準配線は、上記絶縁層を挟んで上記信号配線パターンの一部を構成する信号配線に対向し、上記基準配線のうち上記信号配線に対向する部分に形成された欠落部は、上記信号配線の線幅よりも短い直径を有した円形形状を有するものであっても良い。
【０００９】
または、上記基準配線パターンの一部を構成する基準配線は、上記絶縁層を挟んで上記信号配線パターンの一部を構成する信号配線に対向し、上記基準配線のうち上記信号配線に対向する部分に形成された欠落部は、上記信号配線の線幅を一辺とする正方形よりも小さい四角形形状を有するものであっても良い。
【００１０】
この発明のもう１つの局面に従うと、プリント基板は、絶縁層と、上記絶縁層の形成面に形成された基準配線パターンおよび信号配線パターンとを備え、上記基準配線パターンは、基準電圧を伝達するための配線パターンであり、上記基準配線パターンの少なくとも一部は、上記信号配線パターンの少なくとも一部に対向するように形成され、上記基準配線パターンの側面のうち上記信号配線パターンに対向する側面部には、１または複数の凹部が形成される。上記プリント基板では、信号配線パターンの配線負荷容量を低減でき、信号配線パターンの配線負荷容量に起因する信号波形（信号配線パターンによって伝達される電気信号の波形）の劣化を軽減できる。
【００１１】
なお、上記基準配線パターンの一部を構成する第１および第２の基準配線は、上記信号配線パターンの一部を構成する信号配線を挟んで互いに対向し、上記信号配線に対向する上記第１および第２の基準配線の各々の側面に形成された凹部は、上記信号配線を基準として線対称になるように配置されるものであっても良い。このように構成することにより、信号配線の単位長さ当たりの配線インピーダンスを均一にできるので、信号配線によって伝達される電気信号の波形品質をさらに向上させることができる。
【００１２】
または、上記基準配線パターンの一部を構成する第１および第２の基準配線は、上記信号配線パターンの一部を構成する信号配線を挟んで互いに対向し、上記信号配線に対向する上記第１および第２の基準配線の各々の側面に形成された凹部は、上記信号配線を挟んで互い違いになるように配置されるものであっても良い。このように構成することにより、信号配線の単位長さ当たりの配線負荷容量を均一にできる。これにより、信号配線の単位長さ当たりの配線インピーダンスを均一にできるので、信号配線によって伝達される電気信号の波形品質をさらに向上させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、信号配線パターンの配線負荷容量に起因する信号波形の劣化を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態１によるプリント基板の構造の一例を示した断面図。
【図２】信号配線パターンの一例を示した平面図。
【図３】基準配線パターンの一例を示した平面図。
【図４】基準配線パターンに形成された欠落部について説明するための平面図。
【図５】信号配線および基準配線の構造の一例を示した平面図。
【図６】信号配線および基準配線の構造の一例を示した斜視図。
【図７】（ａ）信号配線に伝達される電気信号の一例を示した波形図。（ｂ）基準配線に欠落部が形成されていない場合に信号配線によって伝達される電気信号の一例を示した波形図。（ｃ）基準配線に１または複数の欠落部が形成されている場合に信号配線によって伝達される電気信号の一例を示した波形図。
【図８】欠落部の変形例を示した平面図。
【図９】欠落部の別の変形例を示した平面図。
【図１０】欠落部のさらに別の変形例を示した平面図。
【図１１】基準配線パターンにおける欠落部の形成について説明するための平面図。
【図１２】プリント基板における配線間距離と層間距離との関係について説明するための斜視図。
【図１３】半導体集積回路における配線間距離と層間距離との関係について説明するための斜視図。
【図１４】基準配線パターンの設計工程について説明するための平面図。
【図１５】信号配線パターンの設計工程について説明するための平面図。
【図１６】基準配線パターンの設計工程の変形例について説明するための平面図。
【図１７】実施形態２によるプリント基板の構造の一例を示した断面図。
【図１８】信号配線および基準配線の構造の一例を示した平面図。
【図１９】信号配線および基準配線の構造の一例を示した斜視図。
【図２０】基準配線の構造の変形例を示した平面図。
【図２１】基準配線の構造の別の変形例を示した平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一または相当部分には同一の符号を付しその説明は繰り返さない。
【００１６】
（実施形態１）
図１は、実施形態１によるプリント基板の構造の一例を示す。プリント基板１は、絶縁層と配線層とが交互に積層された多層構造を有する。ここでは、プリント基板１は、絶縁層１１，１２，１３と、絶縁層１１，１２，１３を挟んで積層された信号配線層１４，基準配線層１５，基準配線層１６，信号配線層１７とを備える。また、図１では、プリント基板１は、ＰＯＰ（Package on Package）構造を有する半導体装置の信号観測用基板として利用される。プリント基板１は、半導体集積回路３１，３２の間に挟まれている。なお、プリント基板１は、信号配線層１４，絶縁層１１，および基準配線層１５を備えるもの（すなわち、２層構造を有するもの）であっても良い。
【００１７】
〔信号配線層〕
信号配線層１４には、電気伝導体からなる信号配線パターン１０１が形成される。図２のように、信号配線パターン１０１は、所定の電気信号（ここでは、半導体集積回路３１からの信号）を伝達するための１または複数の信号配線によって構成される。信号配線層１４と同様に、信号配線層１７には、電気伝導体からなる信号配線パターン１０４が形成されており、信号配線パターン１０４は、所定の電気信号（ここでは、半導体集積回路３２からの信号）を伝達するための１または複数の信号配線によって構成される。
【００１８】
〔基準配線層〕
基準配線層１５には、電気伝導体からなる基準配線パターン１０２が形成される。図３のように、基準配線パターンは、基準電圧（例えば、接地電圧、または電源電圧）を供給するための１または複数の基準配線によって構成される。また、基準配線パターン１０２の少なくとも一部は、絶縁層１１を挟んで信号配線パターン１０１の少なくとも一部に対向する。図４のように、基準配線パターン１０２のうち信号配線パターン１０１に対向する部分には、１または複数の欠落部１１１（基準配線を構成する電気伝導体を含まない部分）が形成される。なお、図２および図３では、図示の簡略化のために、欠落部１１１を省略している。基準配線層１５と同様に、基準配線層１６には、電気伝導体からなる基準配線パターン１０３が形成され、基準配線パターンは、基準電圧を供給するための１または複数の基準配線によって構成される。また、基準配線パターン１０３の少なくとも一部は、絶縁層１１を挟んで信号配線パターン１０４の少なくとも一部に対向し、基準配線パターン１０３のうち信号配線パターン１０４に対向する部分には、１または複数の欠落部が形成される。
【００１９】
なお、信号配線パターン１０１，１０４はビア１０５を通じて基準配線パターン１０２，１０３に電気的に接続されても良い。また、信号配線層１７（信号配線パターン１０４），絶縁層１３，および基準配線層１６（基準配線パターン１０３）は、それぞれ、信号配線層１４（信号配線パターン１０１），絶縁層１１，および基準配線層１５（基準配線パターン１０２）と同様の構造を有するので、以下では、信号配線層１４（信号配線パターン１０１），絶縁層１１，および基準配線層１５（基準配線パターン１０２）を例に挙げて説明する。
【００２０】
〔欠落部の形成〕
次に、図５，図６，および図７ａ〜図７ｃを参照して、基準配線パターン１０２に１または複数の欠落部１１１を形成することによって得られる効果について説明する。なお、図５および図６では、信号配線パターン１０１の一部を構成する信号配線１０１ａと基準配線パターン１０２の一部を構成する基準配線１０２ａとが絶縁層１１を挟んで互いに対向する場合を例に挙げている。
【００２１】
信号配線１０１ａの配線負荷容量は、信号配線１０１ａと基準配線１０２ａとが互いに対向する部分の面積（対向面積）と、信号配線１０１ａを含む信号配線層１４と基準配線１０２ａを含む基準配線層１５との層間距離（対向距離）と、信号配線層１４と基準配線層１５との間に挟まれた絶縁層１１の誘電率によって決定される。したがって、基準配線１０２ａのうち信号配線１０１ａに対向する部分１２１に１または複数の欠落部１１１を形成することにより、対向面積を減少させることができ、その結果、信号配線１０１ａの配線負荷容量を低減できる。ここで、図７ａのような波形を有する電気信号が半導体集積回路３１から信号配線１０１ａに伝達された場合を想定すると、信号配線１０１ａによって伝達される電気信号の波形は、基準配線１０２ａに欠落部１１１が形成されていない場合には、図７ｂのような波形になり、基準配線１０２ａに１または複数の欠落部１１１が形成されている場合には、図７ｃのような波形になる。このように、基準配線１０２ａに１または複数の欠落部１１１を形成することにより、信号配線１０１ａによって伝達される電気信号の波形歪みを抑制できる。
【００２２】
以上のように、基準配線パターン１０２のうち信号配線パターン１０１に対向する部分に１または複数の欠落部１１１を形成することによって、信号配線パターン１０１の配線負荷容量を低減でき、信号配線パターン１０１の配線負荷容量に起因する信号波形（信号配線パターン１０１によって伝達される電気信号の波形）の劣化を軽減できる。
【００２３】
〔面積比率〕
なお、基準配線１０２ａのうち信号配線１０１ａに対向する部分１２１の面積に対する欠落面積（１または複数の欠落部１１１を形成することによって部分１２１から喪失される部分の面積）の比率は、０．１〜０．９の間であることが好ましい。このように構成することにより、信号波形の劣化を軽減できるとともに、欠落部１１１を形成することによって基準配線１０２ａの伝達特性が劣化してしまうことを抑制できる。
【００２４】
〔欠落部の形状〕
なお、欠落部１１１の形状（基準配線を構成する電気伝導体を含まない部分の形状）は、円形形状に限定されるものではなく、任意の形状であっても良い。例えば、基準配線１０２ａのうち信号配線１０１ａに対向する部分１２１からはみ出した形状（図５，図６）であっても良いし、基準配線１０２ａのうち信号配線１０１ａに対向する部分１２１の中に収まる形状であっても良い。具体例としては、図８のように、信号配線１０１ａの線幅よりも短い直径を有した円形形状を有する１または複数の欠落部１１２が基準配線１０２ａに形成されても良い。または、図９のように、信号配線１０１ａの線幅を一辺とする正方形よりも小さい四角形形状を有する１または複数の欠落部１１３が基準配線１０２ａに形成されても良い。なお、欠落部１つ当たりの欠落面積を小さくするとともに欠落部の間隔を狭くする（例えば、信号配線１０１ａの線幅よりも狭くする）ほど、信号配線１０１ａの単位長さ当たりの配線インピーダンスを均一にでき、信号配線１０１ａによって伝達される電気信号の波形品質をさらに向上させることができる。
【００２５】
また、図１０のように、信号配線１０１ａに沿って延びる線状形状を有する１または複数の欠落部１１４が基準配線１０２ａに形成されても良い。このように構成することにより、信号配線１０１ａの単位長さ当たりの配線インピーダンスを均一にできるので、信号配線１０１ａによって伝達される電気信号の波形品質をさらに向上させることができる。
【００２６】
〔欠落部の形成位置〕
さらに、図１１のように、基準配線パターン１０２のうち信号配線パターン１０１に対向する部分（対向部分）だけでなく対向部分の近傍にも、１または複数の欠落部１１１が形成されても良い。このように構成することにより、基準配線パターン１０２の対向部分のみに１または複数の欠落部１１１を形成する場合（図４）よりも、基準配線パターン１０２の設計を容易にできる。
【００２７】
〔配線間距離と層間距離との関係〕
次に、図１２および図１３を参照して、プリント基板１における配線間距離（信号配線層１４における配線間距離）と層間距離（信号配線層１４と基準配線層１５との層間距離）との関係について説明する。ここでは、信号配線層１４に形成された信号配線パターン１０１の一部を構成する信号配線１０１ｂ，１０１ｃと基準配線層１５に形成された基準配線パターン１０２の一部を構成する基準配線１０２ｂとが絶縁層１１を挟んで互いに対向する場合を例に挙げて説明する。また、図１３には、半導体集積回路３１の構造を比較例として挙げており、半導体集積回路３１の内部信号を伝達するための信号配線３０１ａ（３０１ｂ）と基準電圧（例えば、電源電圧、または、接地電圧）を伝達するための基準配線３０２ａとが絶縁層を挟んで互いに対向する場合が例示されている。なお、信号配線３０１ｃ（３０１ｄ）は、絶縁層を挟んで信号配線３０１ａ（３０１ｂ）に対向する。
【００２８】
図１２のように、プリント基板１では、信号配線層１４と基準配線層１５との層間距離Ｘ１は、互いに隣接する信号配線１０１ｂ，１０１ｃの配線間距離Ｘ２よりも短い。したがって、プリント基板１では、信号配線１０１ｂ（１０１ｃ）と基準配線１０２ｂとの間の容量結合のほうが信号配線１０１ｂ，１０１ｃの間の容量結合よりも信号配線１０１ｂ（１０１ｃ）の配線負荷容量に影響を及ぼしやすい。すなわち、プリント基板１では、基準配線１０２ｂに１または複数の欠落部を形成することによって、信号配線１０１ｂ（１０１ｃ）の配線負荷容量を低減しやすい。
【００２９】
一方、図１３のように、半導体集積回路３１では、信号配線３０１ａ，３０１ｂが形成された信号配線層と基準配線３０２ａ（例えば、接地配線、または、電源配線）が形成された基準配線層との層間距離Ｙ１は、信号配線３０１ａ，３０１ｂが形成された信号配線層と信号配線３０１ｃ，３０１ｄが形成された信号配線層との層間距離Ｙ２よりも長い。なお、層間距離Ｙ２は、互いに隣接する信号配線３０１ａ，３０１ｂの配線間距離Ｙ３よりも短い。例えば、Ｙ１≧１０×Ｙ２，Ｙ２≦Ｙ３ である。したがって、半導体集積回路３１では、信号配線３０１ａ，３０１ｂの間の容量結合のほうが信号配線３０１ａ（３０１ｂ）と基準配線３０２ａとの間の容量結合よりも信号配線３０１ａ（３０１ｂ）の配線負荷容量に影響を及ぼしやすい。すなわち、半導体集積回路３１では、基準配線３０２ａに欠落部を形成したとしても、信号配線３０１ａ（３０１ｂ）の配線負荷容量を低減しにくい。
【００３０】
（配線パターンの設計方法）
次に、図１４および図１５を参照して、図１に示したプリント基板の設計方法について説明する。ここでは、等間隔に配列された複数のグリッド点を利用して信号配線パターン１０１および基準配線パターン１０２を設計する場合を例に挙げて説明する。
【００３１】
〔基準配線パターンの設計工程〕
まず、基準配線１０２ｃを配置する。次に、図１４のように、等間隔に配列された複数のグリッド点（ここでは、マトリクス状に配列されたグリッド点）を基準として、基準配線パターン１０２の一部を構成する基準配線１０２ｃに複数の欠落部１１１を配置する。図１４では、基準配線１０２ｃには、グリッド点を中心とする円形形状を有する欠落部１１１が配置される。このようにして、基準配線パターン１０２が設計される。
【００３２】
〔信号配線パターンの設計工程〕
図１５のように、等間隔に配列されたグリッド点（ここでは、マトリクス状に配列されたグリッド点）を基準として、信号配線パターン１０１の一部を構成する信号配線１０１ｄ，１０１ｅが配置される。このようにして、信号配線パターン１０１が設計される。
【００３３】
以上のように、共通のグリッド点を利用して信号配線パターン１０１および基準配線パターン１０２を設計することにより、基準配線パターン１０２のうち信号配線パターン１０１に対向する部分に１または複数の欠落部１１１を配置できる。すなわち、図１１のような信号配線パターン１０１および基準配線パターン１０２を設計できる。また、共通のグリッド点を利用して信号配線パターン１０１および基準配線パターン１０２を設計することにより、信号配線１０１ｄ（１０１ｅ）に沿って欠落部１１１を等間隔（または、ほぼ等間隔）に配置することができる。これにより、信号配線１０１ｄ，１０１ｅの各々の配線負荷容量を同一（または、ほぼ同一）にできるので、信号配線１０１ｄ，１０１ｅの間における信号伝達特性のばらつきを低減できる。
【００３４】
〔基準配線パターンの設計工程の変形例〕
なお、図１５のように信号配線パターン１０１を設計した後に、図１６のように、基準配線パターン１０２の設計工程（図１４）において基準配線１０２ｃに配置された複数の欠落部１１１のうち信号配線１０１ｄ，１０１ｅが通過していないグリッド点を基準として配置された欠落部１１１を削除しても良い。このように設計することにより、図４のような信号配線パターン１０１および基準配線パターン１０２を設計できる。
【００３５】
または、等間隔に配列されたグリッド点を基準として、信号配線パターン１０１の一部を構成する信号配線１０１ｄ，１０１ｅを配置することによって信号配線パターン１０１が設計した後に、等間隔に配列された複数のグリッド点のうち信号配線１０１ｄ，１０１ｅが通過するグリッド点を基準として、基準配線１０２ｃに１または複数の欠落部１１１を配置することによって基準配線パターン１０２を設計しても良い。このように設計した場合も、図１６のように基準配線１０２ｃのうち信号配線１０１ｄ，１０１ｅに対向する部分に１または複数の欠落部１１１を配置でき、図４のような信号配線パターン１０１および基準配線パターン１０２を設計できる。
【００３６】
（実施形態２）
図１７は、実施形態２によるプリント基板２の構造の一例を示す。プリント基板２は、単層構造を有する。ここでは、プリント基板２は、絶縁層２１と、絶縁層２１の形成面に形成された信号配線パターン２０１および基準配線パターン２０２とを備える。信号配線パターン２０１および基準配線パターン２０２は、電気伝導体からなる。信号配線パターン２０１および基準配線パターン２０２が形成された絶縁層２１の形成面は、絶縁保護膜（図示せず）によって覆われる。
【００３７】
信号配線パターン２０１は、所定の電気信号（例えば、プリント基板２に搭載された電子部品（図示せず）からの信号）を伝達するための１または複数の信号配線によって構成される。基準配線パターン２０２は、基準電圧（例えば、接地電圧、または、電源電圧）を伝達するための１または複数の基準配線によって構成される。例えば、基準配線パターン２０２は、ガードリングであっても良い。また、基準配線パターン２０２の少なくとも一部は、信号配線パターン２０１の少なくとも一部に対向するように形成される。基準配線パターン２０２の側面（厚みを構成する面）のうち信号配線パターン２０１に対向する側面部には、１または複数の凹部が形成される。
【００３８】
次に、図１８および図１９を参照して、基準配線パターン２０２の側面に凹部を形成することによる効果について説明する。なお、図１８および図１９では、信号配線パターン２０１の一部を構成する信号配線２０１ａと基準配線パターン２０２の一部を構成する基準配線２０２ａ（２０２ｂ）とが互いに対向する場合を例に挙げている。
【００３９】
信号配線２０１ａの配線負荷容量は、信号配線２０１ａと基準配線２０２ａ（２０２ｂ）とが互いに対向する側面部分の面積（対向面積）と、信号配線２０１ａと基準配線２０２ａ（２０２ｂ）との配線間距離（対向距離）と、絶縁層２１の形成面を覆う絶縁保護膜（図示せず）の誘電率によって決定される。したがって、基準配線２０２ａ（２０２ｂ）の側面（信号配線２０１ａに対向する側面）に１または複数の凹部２１１を形成することにより、対向距離を部分的に長くすることができ、その結果、信号配線２０１ａの配線負荷容量を低減できる。これにより、信号配線２０１ａによって伝達される電気信号の波形歪みを抑制できる。
【００４０】
以上のように、基準配線パターン２０２の側面（厚みを構成する面）のうち信号配線パターン２０１に対向する側面部に１または複数の凹部を形成することにより、信号配線パターン２０１の配線負荷容量を低減でき、信号配線パターン２０１の配線負荷容量に起因する信号波形の劣化を軽減できる。
【００４１】
また、図１８および図１９では、基準配線２０２ａ，２０２ｂは、信号配線２０１ａを挟んで互いに対向する。さらに、基準配線２０２ａ，２０２ｂの各々の側面に形成された凹部２１１は、信号配線２０１ａを基準として線対称となるように配置される。このように配置することにより、信号配線２０１ａの単位長さ当たりの配線インピーダンスを均一にできるので、信号配線によって伝達される電気信号の波形品質をさらに向上させることができる。なお、基準配線２０２ａ，２０２ｂの各々に形成された凹部は、信号配線２０１ａを基準として線対称となるように配置されなくても良い。
【００４２】
また、図２０のように、信号配線２０１ａを挟んで互いに対向する基準配線２０２ａ，２０２ｃ（基準配線パターン２０２の一部）の各々の側面に形成された凹部２１１が、信号配線２０１ａを挟んで互い違いになるように配置されても良い。このように配置することにより、信号配線２０１ａの単位長さ当たりの配線負荷容量を均一にできる。これにより、信号配線２０１ａの単位長さ当たりの配線インピーダンスを均一にできるので、信号配線２０１ａによって伝達される電気信号の波形品質をさらに向上させることができる。
【００４３】
さらに、図２１のように、基準配線パターン２０２の一部を構成する基準配線２０２ｄ，２０２ｅ，２０２ｆの片側の側面だけでなく両側の側面に、１または複数の凹部２１１が形成されても良い。例えば、基準配線２０２ｅの一方の側面は、信号配線２０１ｂに対向し、基準配線２０２ｅの他方の側面は、信号配線２０１ｃに対向し、基準配線２０２ｅの両側の側面には、１または複数の凹部２１１が形成される。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
以上説明したように、上述のプリント基板は、信号配線パターンの配線負荷容量に起因する信号波形の劣化を軽減できるので、ＰＯＰ構造を有する半導体装置に搭載される信号観測基板などとして有用である。
【符号の説明】
【００４５】
１    プリント基板
１１，１２，１３    絶縁層
１４，１７    信号配線層
１５，１６    基準配線層
１０１    信号配線パターン
１０２    基準配線パターン
１０１ａ〜１０１ｅ    信号配線
１０２ａ〜１０２ｃ    基準配線
１１１，１１２，１１３，１１４    欠落部
２    プリント基板
２１    絶縁層
２０１    信号配線パターン
２０２    基準配線パターン
２０１ａ〜２０１ｃ    信号配線
２０２ａ〜２０２ｆ    基準配線
２１１    凹部
【図１】
2012064877.tif 000003
【図２】
2012064877.tif 000004
【図３】
2012064877.tif 000005
【図４】
2012064877.tif 000006
【図５】
2012064877.tif 000007
【図６】
2012064877.tif 000008
【図７】
2012064877.tif 000009
【図８】
2012064877.tif 000010
【図９】
2012064877.tif 000011
【図１０】
2012064877.tif 000012
【図１１】
2012064877.tif 000013
【図１２】
2012064877.tif 000014
【図１３】
2012064877.tif 000015
【図１４】
2012064877.tif 000016
【図１５】
2012064877.tif 000017
【図１６】
2012064877.tif 000018
【図１７】
2012064877.tif 000019
【図１８】
2012064877.tif 000020
【図１９】
2012064877.tif 000021
【図２０】
2012064877.tif 000022
【図２１】
2012064877.tif 000023