(57)【要約】      （修正有）【課題】比較的簡易な構成により横移動機構の飛出しを的確に検知する。【解決手段】搬送車１００の横移動機構３０は、第１ベース３２と、第２ベース３３と、第１光透過型センサ４５と、第１遮光部４３と、判定部とを備える。第１遮光部は、第２ベースが第１ベースの下方に収納される収納状態にある場合、第１光透過型センサにおける第１発光部からの第１光を遮光しない位置にあり、第２ベースが第１ベースに対し第１方向に移動した第１横移動状態にある場合、第１光を遮光する位置にあり、判定部は、第１光透過型センサにおける第１受光部が第１光を受光する場合に出力される第１信号が入力される場合、第２ベースが第１横移動状態より他の状態にあると判定し、第１信号が入力されない場合、第２ベースが第１横移動状態にあると判定する。【選択図】図１
2012086942.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井又は該天井側に敷設された軌道に沿って走行しつつ被搬送物を搬送する搬送車において、前記被搬送物を把持可能な把持機構を、前記搬送車の本体に対し前記軌道の方向に交差する横方向に移動可能である横移動機構であって、
第１ベースと、
前記第１ベースの下方に配置される第２ベースであって、該第２ベースの下方に前記把持機構が連結されており、前記第１ベースに対しスライドして前記横方向における第１方向に相対移動可能な前記第２ベースと、
前記第１ベースの下面又は前記第２ベースの上面に配置され、第１発光部及び第１受光部を有しており、前記第１発光部からの第１光を前記第１受光部が受光する場合、第１信号を出力する第１光透過型センサと、
前記第１ベースの下面又は前記第２ベースの上面における、前記第１光透過型センサに対向可能である位置に、前記横方向に沿って延びる長手状に設けられており、前記第１発光部から前記第１受光部への前記第１光を遮光可能な第１遮光部と、
前記出力された第１信号が入力される判定部と
を備え、
前記第１遮光部は、前記第２ベースが前記第１ベースの下方に収納される収納状態にある場合、前記第１光を遮光しない位置にあり、前記第２ベースが前記第１ベースに対し前記第１方向に移動した第１横移動状態にある場合、前記第１光を遮光する位置にあるように配置され、
前記判定部は、前記第１信号が入力される場合、前記第２ベースが前記第１横移動状態より他の、前記収納状態を含む状態にあると判定し、前記第１信号が入力されない場合、前記第２ベースが前記第１横移動状態にあると判定する
ことを特徴とする搬送車の横移動機構。
【請求項２】
前記第１ベースの下面又は前記第２ベースの上面に配置され、第２発光部及び第２受光部を有しており、前記第２発光部からの第２光を前記第２受光部が受光する場合、第２信号を出力する第２光透過型センサと、
前記第１ベースの下面又は前記第２ベースの上面における、前記第２光透過型センサに対向可能である位置に、前記横方向に沿って延びる長手状に設けられており、前記第２発光部から前記第２受光部への前記第２光を遮光可能な第２遮光部と
を更に備え、
前記第２ベースは、前記第１方向に加えて、前記第１ベースに対しスライドして前記横方向における前記第１方向と逆の第２方向に相対移動可能であり、
前記判定部には、前記第１信号に加えて、前記出力された第２信号が入力され、
前記第２遮光部は、前記第２ベースが前記収納状態又は前記第１横移動状態にある場合、前記第２光を遮光しない位置にあり、前記第２ベースが前記第１ベースに対し前記第２方向に移動した第２横移動状態にある場合、第２光を遮光する位置にあるように配置され、
前記判定部は、前記第１信号及び前記第２信号が共に入力される場合、前記第２ベースが前記収納状態にあると判定し、前記第１信号のみが入力される場合、前記第２ベースが前記第２横移動状態にあると判定し、前記第２信号のみが入力される場合、前記第２ベースが前記第１横移動状態にあると判定し、前記第１信号及び第２信号のどちらも入力されない場合、前記第１光透過型センサ及び前記第２光透過型センサのうちの少なくとも一方に異常があるセンサ異常状態にあると判定する
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送車の横移動機構。
【請求項３】
前記第１ベースの上方に配置されており、前記本体に固定された固定ベース
を更に備え、
前記第１ベースは、前記固定ベースに対しスライドして前記横方向に相対移動可能であり、
前記第２ベースは、前記第１ベースに従動して前記第１ベースがスライドする方向と同一方向に移動し、
前記固定ベース、前記第１ベース及び前記第２ベースは、前記第２ベースが前記収納状態にある場合、上下方向で重なり前記本体に収納され、前記第２ベースが前記第１横移動状態又は前記第２横移動状態にある場合、前記第１ベースの移動距離が前記第２ベースの移動距離より短くなるように構成されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送車の横移動機構。
【請求項４】
当該搬送車は、
走行が開始される際に、前記判定部により前記第２ベースが前記第１横移動状態、前記第２横移動状態、又は前記センサ異常状態にあると判定される場合、当該搬送車の走行を禁止する走行禁止部を備える
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の搬送車の横移動機構。
【請求項５】
当該搬送車は、
走行中に、前記第２ベースが前記第１横移動状態、前記第２横移動状態、又は前記センサ異常状態にあると判定される場合、走行速度を所定時間極低速に設定すると共に、前記所定時間の経過後に前記第２ベースが前記第１横移動状態、前記第２横移動状態、又は前記センサ異常状態にあると判定される場合、当該搬送車の走行を停止させる走行停止部を更に備える
ことを特徴とする請求項２から４のいずれか一項に記載の搬送車の横移動機構。
【請求項６】
前記横移動機構は、
前記第１ベースに駆動ベルトを介して連結される前記固定ベースと、
前記第１ベースがスライドするように前記駆動ベルトを回動可能な回動部と、
前記第２方向の端部に回転自在に取り付けられる第１定滑車、及び前記第１方向の端部に回転自在に取り付けられる第２定滑車を有する前記第１ベースと、
一端が前記固定ベースの前記第１方向の端部に固定され、他端が前記第２ベースの前記第１方向の端部に固定されると共に、中間部が前記第１定滑車に摺動自在に掛けられる第１摺動ベルトと、
一端が前記固定ベースの前記第２方向の端部に固定され、他端が前記第２ベースの前記第２方向の端部に固定されると共に、中間部が前記第２定滑車に摺動自在に掛けられる第２摺動ベルトと、
前記回動部により前記第１ベースがスライドして前記第１方向に移動するのに伴って、前記第１摺動ベルト及び前記第２摺動ベルトが前記第１定滑車及び前記第２定滑車を夫々摺動することで前記第１方向に移動すると共に、前記回動部により前記第１ベースがスライドして前記第２方向に駆動するのに伴って、前記第１摺動ベルト及び前記第２摺動ベルトが前記第１定滑車及び前記第２定滑車を夫々摺動することで前記第２方向に移動する前記第２ベースと
を備えることを特徴とする請求項３から５のいずれか一項に記載の搬送車の横移動機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等の被搬送物を搬送するビークル等の搬送車において、把持機構を走行方向に直交する横方向に移動させる横移動機構（即ち、横移載方式の移載装置）の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の機構として、把持機構或いは移載装置を走行方向の左右に移動させるために、駆動手段を備えたベース部と、駆動手段により左右両側に進出するミドル部と、把持機構或いは移載装置を支持しミドル部の左右動に従動して左右動するフロント部とを備えたものが提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
また、荷を移載するための可動側フォークが、固定側フォークの表面上に沿ってスライドするものが提案されている（例えば特許文献２参照）。例えば特許文献２によれば、可動側フォークの下面にスライド方向に沿って設けられた一本のドグを、固定側フォークの上面に一列に配列された４つのセンサにより検出することで、可動側フォークの本体部からの飛び出しを検出可能であるとされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１２７２００号公報
【特許文献２】特開平９−３０９６０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した特許文献２のシステムでは、可動側フォークの本体部からの飛び出しを検出するべく、一本のドグを検出する４つのセンサを備えるが、これは搬送車（特に、横移動機構）の製造コストを高める一因となり兼ねない。
【０００６】
ここで、本願発明者による研究或いは実験の成果又は経験によれば、ドグを検出するセンサについて、仮に光学式の反射型センサを用いる場合、設置範囲の制約を受けるドグの大きさによっては、検出距離や検出範囲の調整が困難であったり、外乱光等による誤検出が起こり兼ねないといった技術的問題点がある。
【０００７】
また、上述した４つのセンサに代えて、仮に光学式の透過型センサを１つ用い、一本のドグに代えて、左右端検出用の２つのドグを設ける場合、可動側フォークがスライドする距離によっては、各ドグの一端が可動側フォークの本体幅を超える長さになり、横移動機構本体が大型化するといった技術的問題点がある。
【０００８】
更には、例えば可動側フォークの駆動用モータ或いはアクチュエータに取り付けられたエンコーダの出力に基づいて可動側フォークをスライドする場合、エンコーダにトラブルが発生すると、固定側フォークと可動側フォークとを接続するベルトが切れるといった事態が発生し兼ねない。仮にこうした事態が発生した場合、可動側フォークの飛出しを的確に検出できないといった技術的問題点がある。
【０００９】
本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、比較的簡易な構成により、搬送車本体からの、横移動機構又はその一部の飛出しを的確に検知し得る搬送車の横移動機構を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決するために、本発明に係る搬送車の横移動機構は、天井又は該天井側に敷設された軌道に沿って走行しつつ被搬送物を搬送する搬送車において、前記被搬送物を把持可能な把持機構を、前記搬送車の本体に対し前記軌道の方向に交差する横方向に移動可能である搬送車の横移動機構であって、第１ベースと、前記第１ベースの下方に配置される第２ベースであって、該第２ベースの下方に前記把持機構が連結されており、前記第１ベースに対しスライドして前記横方向における第１方向に相対移動可能な前記第２ベースと、前記第１ベースの下面又は前記第２ベースの上面に配置され、第１発光部及び第１受光部を有しており、前記第１発光部からの第１光を前記第１受光部が受光する場合、第１信号を出力する第１光透過型センサと、前記第１ベースの下面又は前記第２ベースの上面における、前記第１光透過型センサに対向可能である位置に、前記横方向に沿って延びる長手状に設けられており、前記第１発光部から前記第１受光部への前記第１光を遮光可能な第１遮光部と、前記出力された第１信号が入力される判定部とを備え、前記第１遮光部は、前記第２ベースが前記第１ベースの下方に収納される収納状態にある場合、前記第１光を遮光しない位置にあり、前記第２ベースが前記第１ベースに対し前記第１方向に移動した第１横移動状態にある場合、前記第１光を遮光する位置にあるように配置され、前記判定部は、前記第１信号が入力される場合、前記第２ベースが前記第１横移動状態より他の、前記収納状態を含む状態にあると判定し、前記第１信号が入力されない場合、前記第２ベースが前記第１横移動状態にあると判定する。
【００１１】
本発明に係る搬送車は、例えばＦＯＵＰ等の被搬送物を搬送するＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）等である。この搬送車の横移動機構は、軌道より下方、且つ軌道の方向に例えば直角に交差する横方向に設置されるロードポート又はバッファ等の載置台との間で横移載方式にてＦＯＵＰを移載する（以後、適宜「横移載する」と記載する）際に駆動される機構である。ここに「横移載方式」とは、軌道の横方向に、ＦＯＵＰ又はこれを把持する把持機構を移動させる工程を経て移載が行われることを示す。このような横移動機構は、少なくとも第１及び第２ベースを備えており、第１ベースに対し第２ベースが横方向にスライドする、単段又は複段のスライド機構である。
【００１２】
ここで、一の軌道に沿って走行する搬送車が、一の軌道に隣合う他の軌道に沿って走行する他の搬送車と擦れ違う場合、又は一の軌道に沿って設置されたＯＨＢ（Over Head Buffer）等の吊り部材の傍らを通過する場合、他の搬送車又は吊り部材との干渉を避けるべく、横移動機構における横方向への飛出しを的確に検知する必要がある。
【００１３】
そこで、本発明に係る第１ベースについて、例えば下面に、例えばドグ等と称される第１遮光部が、横方向に沿って配置されている。この場合、第１遮光部は、第２ベースが第１ベースに対しスライドして横方向における第１方向（例えば右方向）に移動する場合、後述の第１光透過型センサに連続して対向するように横方向に沿って延びる長手状の部材である。この第１遮光部の一端は、第１ベースにおける第１方向（例えば右方向）の端部を検知可能にその端部に位置していてもよい。
【００１４】
本発明に係る第２ベースについて、例えば上面に、第１光透過型センサが、上述の第１遮光部に対応するように配置されている。この場合、第１光透過型センサは、第１光を発光する第１発光部と、この第１発光部から発光された第１光を受光する第１受光部とから構成されている。第１光透過型センサにおける横方向の断面は、例えば凹型となる。第１光透過型センサについて、第２ベースが第１ベースに対し第１方向（例えば右方向）に移動する過程及び完全に飛出した状態、即ち、第１横移動状態（例えば第１方向が右方向の場合、右飛出し状態）にある場合、第１遮光部が第１発光部と第１受光部との間に入り込んで第１発光部から第１受光部への第１光が遮断される。この時、第１光透過型センサは例えば「ＯＮ」信号等の第１信号を出力できない。言い換えれば、第１光透過型センサは、第２ベースが第１ベースに対し第１方向（例えば右方向）に移動することがなければ、第１遮光部により第１光が遮断されることがなく、第１信号を出力できる。
【００１５】
本発明に係る判定部は、例えば搬送車に固有のコントローラ等である。判定部は、第１光透過型センサから出力された第１信号が入力された場合、第２ベースが第１横移動状態より他の状態にあると判定し、第１信号が入力されない場合、第１横移動状態（例えば右飛出し状態）にあると判定する。ここに「第１横移動状態より他の状態」とは、収納状態を含んでおり、その他、例えば第１光透過型センサが故障した状態等が想定される。「収納状態」とは、搬送車の本体から少なくとも第２ベースが食み出さない状態であって、第１ベースの例えば真下に第２ベースが収納される状態を示す。
【００１６】
本発明によれば、第１遮光部と第１光透過型センサとの位置関係を表す第１信号の入力に応じて、第２ベースの第１方向（右又は左方向）への飛出しを検知する。これにより、一対の遮光部及び光透過型センサを、横方向に沿って配置する比較的簡易な構成にて、横移動機構について、横方向における少なくとも片側（右又は左側）の飛出しを的確に検知することが可能である。
【００１７】
本発明に係る搬送車の横移動機構飛出し検知システムの一の態様では、前記第１ベースの下面又は前記第２ベースの上面に配置され、第２発光部及び第２受光部を有しており、前記第２発光部からの第２光を前記第２受光部が受光する場合、第２信号を出力する第２光透過型センサと、前記第１ベースの下面又は前記第２ベースの上面における、前記第２光透過型センサに対向可能である位置に、前記横方向に沿って延びる長手状に設けられており、前記第２発光部から前記第２受光部への前記第２光を遮光可能な第２遮光部とを更に備え、前記第２ベースは、前記第１方向に加えて、前記第１ベースに対しスライドして前記横方向における前記第１方向と逆の第２方向に相対移動可能であり、前記判定部には、前記第１信号に加えて、前記出力された第２信号が入力され、前記第２遮光部は、前記第２ベースが前記収納状態又は前記第１横移動状態にある場合、前記第２光を遮光しない位置にあり、前記第２ベースが前記第1ベースに対し前記第２方向に移動した第２横移動状態にある場合、第２光を遮光する位置にあるように配置され、前記判定部は、前記第１信号及び前記第２信号が共に入力される場合、前記第２ベースが前記収納状態にあると判定し、前記第１信号のみが入力される場合、前記第２ベースが前記第２横移動状態にあると判定し、前記第２信号のみが入力される場合、前記第２ベースが前記第１横移動状態にあると判定し、前記第１信号及び第２信号のどちらも入力されない場合、前記第１光透過型センサ及び前記第２光透過型センサのうちの少なくとも一方に異常があるセンサ異常状態にあると判定する。
【００１８】
第１ベースについて、第１遮光部と同様にして、例えば下面に、第２遮光部が、横方向に沿って配置されている。この場合、第２遮光部は、第２ベースが第１ベース対しスライドして横方向における第２方向（例えば第１方向が右方向である場合、左方向）に移動する場合、後述の第２光透過型センサに連続して対向するように横方向に沿って延びる長手状の部材である。この第２遮光部の一端は、第１ベースにおける第２方向（例えば左方向）の端部を検知可能にその端部に位置していてもよい。
【００１９】
第２ベースについて、例えば上面に、第１光透過型センサと同様にして、第２光透過型センサが、上述の第２遮光部に対応するように配置されている。この場合、第２光透過型センサは、第２光を発光する第２発光部と、この第２発光部から発光された第２光を受光する第２受光部とから構成されている。第２光透過型センサにおける横方向の断面は、第１遮光部と同様にして、例えば凹型となる。第２光透過型センサについて、第２ベースが第１ベースに対し第２方向（例えば左方向）に移動する過程及び完全に飛出した状態、即ち、第２横移動状態（例えば第２方向が左方向の場合、左飛出し状態）にある場合、第２遮光部が第２発光部と第２受光部との間に入り込んで第２発光部から第２受光部への第２光が遮断される。この時、第２光透過型センサは例えば「ＯＮ」信号等の第２信号を出力できない。言い換えれば、第２光透過型センサは、第２ベースが第１ベースに対し第２方向（例えば左方向）に移動することがなければ、第２遮光部により第２光が遮断されることがなく、第２信号を出力できる。
【００２０】
この態様における判定部は、第１及び第２光透過型センサから出力された第１及び第２信号が共に入力された場合、収納状態にあると判定し、第１信号のみが入力された場合、第２横移動状態(例えば左飛出し状態)にあると判定し、第２信号のみが入力される場合、第１横移動状態（例えば右飛出し状態）にあると判定し、第１及び第２センサのどちらも入力されない場合、センサ異常状態にあると判定する。ここに「センサ異常状態」とは、第１及び第２光透過型センサ自体の故障、又は第１及び第２光透過型センサと判定部との接続に異常があり、第１及び第２光透過型センサからの第１及び第２信号の入力が不可能になった状態を示す。
【００２１】
この態様によれば、第１及び第２光透過型センサから判定部へ第１及び第２信号が夫々入力される収納状態から、第２ベースが第１方向（例えば右方向）に移動した場合、判定部へ第２信号のみが入力される。すると、判定部により、第２ベースが第１横移動状態（例えば第１方向が右方向の場合、右飛出し状態）にあると判定される。他方、収納状態から、第２ベースが第２方向（例えば左方向）に移動した場合、第１信号のみが入力される。すると、判定部により、第２ベースが第２横移動状態（例えば第２方向が左方向の場合、左飛出し状態）にあると判定される。更には、例えば第１及び第２光透過型センサが共に故障した場合、第１及び第２信号のどちらも入力されない。すると、判定部により、第２ベースがセンサ異常状態にあると判定される。
【００２２】
このように、第１遮光部と第１光透過型センサとの位置関係を表す第１信号、及び第２遮光部と第２光透過型センサとの位置関係を表す第２信号の入力に応じて、第２ベースの第１又は第２方向（右又は左方向）への飛出しを検知する。これにより、一対の遮光部及び光透過型センサを二組、横方向に沿って配置する比較的簡易な構成にて、横移動機構について、横方向における右左両側への飛出しを的確に検知することが可能である。
【００２３】
本発明に係る搬送車の横移動機構の他の態様では、前記第１ベースの上方に配置されており、前記本体に固定された固定ベースを更に備え、前記第１ベースは、前記固定ベースに対しスライドして前記横方向に相対移動可能であり、前記第２ベースは、前記第１ベースに従動して前記第１ベースがスライドする方向と同一方向に移動し、前記固定ベース、前記第１ベース及び前記第２ベースは、前記第２ベースが前記収納状態にある場合、上下方向で重なり前記本体に収納され、前記第２ベースが前記第１横移動状態又は前記第２横移動状態にある場合、前記第１ベースの移動距離が前記第２ベースの移動距離より短くなるように構成されている。
【００２４】
この態様によれば、横移動機構は、第１及び第２ベース、並びに固定ベースの３つのベースを備える、二段スライド機構である。スライドの段階として、固定ベースに対し、先ず、第一段階として第１ベースがスライドする。すると、このスライドに従動して、第二段階として第２ベースが第１ベースのスライド方向と同一方向にスライドする。これにより、横移載を行う移載位置まで把持機構を二段階で移動することが可能である。第１及び第２ベースの移動距離について、例えば第１ベースが「１」移動する場合、第２ベースが「２」移動する。
【００２５】
第１横移動状態、第２横移動状態、又はセンサ異常状態にあると判定する判定部を備える態様では、当該搬送車は、走行が開始される際に、前記判定部により前記第２ベースが前記第１横移動状態、前記第２横移動状態、又は前記センサ異常状態にあると判定される場合、当該搬送車の走行を禁止する走行禁止部を備えてもよい。
【００２６】
このように構成すれば、搬送車について、横移載を行う場合等の停止の状態から、走行を開始する前或いは直前に、判定部により第２ベースの状態が判定される。具体的には、第１及び第２信号のどちらか一方が入力される、又は第１及び第２信号のどちらも入力されず、第２ベースが第１横移動状態（例えば右飛出し状態）、第２横移動状態（例えば左飛出し状態）、又はセンサ異常状態にあると判定された場合、搬送車に固有のコントローラ等の走行禁止部により搬送車の走行が禁止される。これにより、搬送車は、第１横移動状態、第２横移動状態、又はセンサ異常状態で走行することがなく、他の軌道を走行する他の搬送車等との接触による破損を回避することが可能である。
【００２７】
第１横移動状態、第２横移動状態、又はセンサ異常状態にあると判定する判定部を備える態様では、当該搬送車は、走行中に、前記第２ベースが前記第１横移動状態、前記第２横移動状態、又は前記センサ異常状態にあると判定された場合、走行速度を所定時間極低速に設定すると共に、前記所定時間の経過後に前記第２ベースが前記第１横移動状態、前記第２横移動状態、又は前記センサ異常状態にあると判定される場合、当該搬送車の走行を停止させる走行停止部を更に備えてもよい。
【００２８】
このように構成すれば、搬送車について、走行中、常時、判定部により第２ベースの状態が判定される。具体的には、第１及び第２信号のどちらか一方が入力される、又は第１及び第２信号のどちらも入力されず、第２ベースが第１横移動状態（例えば右飛出し状態）、第２横移動状態（例えば左飛出し状態）、又はセンサ異常状態にあると判定された場合、搬送車に固有のコントローラ等の走行停止部により、走行速度が所定時間極低速に設定される。ここに走行速度の設定に係る「所定時間」とは、例えば数秒であって、第２ベースを収納状態にするための制御を実行するための期間を示す。また、走行速度に係る「極低速」とは、例えば毎秒０．０５メートル（即ち、０．０５ｍ／ｓｅｃ）であって、殆ど停止の状態となるように徐行を行う程に極めて低い速度を示す。所定時間極低速にて走行した後も、第２ベースが第１横移動状態、第２横移動状態、又はセンサ異常状態にあると判定された場合、走行停止部により搬送車の走行が停止される。これにより、走行中であっても、他の搬送車等との接触による破損を防止することが可能である。
【００２９】
第１及び第２ベース、並びに固定ベースの３つのベースを備える態様では、前記横移動機構は、前記第１ベースに駆動ベルトを介して連結される前記固定ベースと、前記第１ベースがスライドするように前記駆動ベルトを回動可能な回動部と、前記第２方向の端部に回転自在に取り付けられる第１定滑車、及び前記第１方向の端部に回転自在に取り付けられる第２定滑車を有する前記第１ベースと、一端が前記固定ベースの前記第１方向の端部に固定され、他端が前記第２ベースの前記第１方向の端部に固定されると共に、中間部が前記第１定滑車に摺動自在に掛けられる第１摺動ベルトと、一端が前記固定ベースの前記第２方向の端部に固定され、他端が前記第２ベースの前記第２方向の端部に固定されると共に、中間部が前記第２定滑車に摺動自在に掛けられる第２摺動ベルトと、前記回動部により前記第１ベースがスライドして前記第１方向に移動するのに伴って、前記第１摺動ベルト及び前記第２摺動ベルトが前記第１定滑車及び前記第２定滑車を夫々摺動することで前記第１方向に移動すると共に、前記回動部により前記第１ベースがスライドして前記第２方向に駆動するのに伴って、前記第１摺動ベルト及び前記第２摺動ベルトが前記第１定滑車及び前記第２定滑車を夫々摺動することで前記第２方向に移動する前記第２ベースとを備えてもよい。
【００３０】
このように構成すれば、横移動機構は、第１及び第２ベース、並びに固定ベースの３つのベースにより、回動部による回動、並びに第１及び第２摺動ベルトの摺動により、横移載を行う移載位置まで把持機構を二段階で移動する。具体的には、先ず、例えばモータ又はアクチュエータ等の回動部により駆動ベルトが回動されると、第１ベースが固定ベースに対して第１方向（例えば右方向）に移動する。この移動に伴って、第１及び第２摺動ベルトが第１及び第２定滑車の回転面を夫々摺動すると、第２ベースが第１ベースに対して第１方向（例えば右方向）に移動する。これにより、第２ベースが第１横移動状態（例えば第１方向が右方向の場合、右飛出し状態）になる。他方、第２方向（例えば左方向）への移動についても同様の段階を経て、第２ベースが第２横移動状態（例えば第２方向が左方向の場合、左飛出し状態）になる。
【００３１】
このような横移動機構において、第１ベースに対する第２ベースの飛出しを検知することで、固定ベースに対する第１ベースの飛出しを検知することが可能である。これは、固定ベース、第１及び第２ベースが第１及び第２摺動ベルトを介して接続されており、第１及び第２ベースの移動が連動するためである。これにより、固定ベースに対する第１ベースの飛出しを検知するための手段が不要であり、第１ベースに対する第２ベースの飛出しを検知することで、横移動のための駆動に係る部位の不具合（即ち、回動部の故障、又は駆動ベルト、第１摺動ベルト若しくは第２摺動ベルトの断線）を検知することも可能である。
【００３２】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施形態に係る収納状態にある横移動機構の構造を模式的に表す正面図及び側面図である。
【図２】図１の第１光透過型センサの構造を模式的に表す斜視図である。
【図３】図２の第１光透過型センサの発光が第１遮光部により遮断される、第１遮光部及び第１光透過型センサの位置関係を表す斜視図である。
【図４】図１の第１及び第２遮光部並びに第１及び第２光透過型センサの配置を表す上面図である。
【図５】図１の横移動機構の右飛出し状態を表す正面図である。
【図６】図１の横移動機構の左飛出し状態を表す正面図である。
【図７】図１のコントローラの構成を表すブロック図である。
【図８】実施形態に係る第１異常検知処理を説明するフローチャートである。
【図９】実施形態に係る第２異常検知処理を説明するフローチャートである。
【図１０】本発明に係る第１及び第２遮光部並びに第１及び第２光透過型センサの配置の一例を表す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。
＜実施形態＞
＜実施形態の構成＞
【００３５】
始めに、図１を参照し、本発明の実施形態に係る横移動機構３０の構成について説明する。ここに、図１について、左図が横移動機構３０の構造を模式的に表す正面図であって、右図が横移動機構３０の構造を模式的に表す側面図である。
【００３６】
図１において、ビークル１００は、本発明に係る「搬送車」の一例として、不図示のレール（即ち、本発明に係る「軌道」の一例）に沿って走行し、半導体素子製造用基板が収容されたＦＯＵＰ３を搬送すると共に、軌道の直下又はその側方に設置される不図示の載置台との間でＦＯＵＰ３を移載可能に構成されている。ビークル１００は、主として、不図示の走行機構、グリッパ１０、昇降機構２０及び横移動機構３０を備える本体部と、コントローラ１０１を備える制御部とから構成されている。ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「被搬送物」の一例として、ビークル２が把持する際の取っ手となるフランジ４を備える。
【００３７】
走行機構は、動力源たるモータと、一対のローラとを備えており、不図示のレールに沿って本体部を移動させるように構成されている。レールは、半導体素子製造工場等の建物内部の天井に敷設されている。
【００３８】
グリッパ１０は、本発明に係る「把持機構」の一例として、動力源たる不図示のモータと、一対のフィンガ１１とを備える。グリッパ１０は、モータの動力により一対のフィンガ１１を駆動することで、ＦＯＵＰ３（言い換えれば、フランジ４）を把持する把持状態と、ＦＯＵＰ３（言い換えれば、フランジ４）を解放する解放状態との間で一対のフィンガ１１を変位させるように構成されている。
【００３９】
昇降機構２０は、動力源たる不図示のモータと、巻取部２１と、昇降ベルト２２とを備える。昇降機構２０は、モータの動力により巻取部２１を巻取方向又は巻出方向に回転させることで、グリッパ１０の上面に一端が固定される昇降ベルト２２の巻き取り又は巻き出しを行い、グリッパ１０を鉛直方向に移動させるように構成されている。
【００４０】
横移動機構３０は、主として、固定ベース３１と、第１可動ベース３２と、第２可動ベース３３とを備えており、二段式の可動ベースたる第１及び第２可動ベース３２，３３を、レールの方向に直交する横方向（即ち、図１において矢印で示す方向）に夫々移動させるように構成されている。
【００４１】
固定ベース３１について、上面がビークル本体１に固定されており、下面に、動力源たる減速機付サーボモータ（即ち、本発明に係る「回動部」の一部）３４と、駆動プーリ（即ち、本発明に係る「回動部」の一部）３５と、アイドラ３６と、右固定端３７と、左固定端３８とが取り付けられている。減速機付サーボモータ３４には、不図示のエンコーダが取り付けられている。
【００４２】
第１可動ベース（即ち、本発明に係る「第１ベース」の一例）３２について、上面に、左固定端３９と、右固定端４０とが取り付けられており、横方向の両端部に、夫々の横方向が一致しないように、右プーリ（即ち、本発明に係る「第１定滑車」の一例）４１と、左プーリ（本発明に係る「第２定滑車」の一例）４２とが組み付けられている。また、下面に、相互が横方向に沿って並行するように、右飛出し検知ドグ（即ち、本発明に係る「第１遮光部」の一例）４３と、左飛出し検知ドグ（即ち、本発明に係る「第２遮光部」の一例）４４とが取り付けられている。
【００４３】
第２可動ベース（即ち、本発明に係る「第２ベース」の一例）３３について、上面に、第２可動ベース３３が横方向における右方向に移動する場合に右飛出し検知ドグ４３に対向する、右飛出し検知センサ（即ち、本発明に係る「第１光透過型センサ」の一例）４５と、第２可動ベース３３が横方向における左方向に移動する場合に左飛出し検知ドグ４４に対向する、左飛出し検知センサ（即ち、本発明に係る「第２光透過型センサ」の一例）４６とが取り付けられている。また、下面に、昇降機構２０が固定されている。
【００４４】
次に、図２及び図３を参照し、右左の飛出し検知センサ４５，４６の構成について説明する。ここに、図２は、右飛出し検知センサ４５の構造を模式的に表す斜視図であって、図３は、右飛出し検知センサ４５の発光が右飛出し検知ドグ４３により遮断される状態を表す斜視図である。
【００４５】
図２に示すように、右飛出し検知センサ４５は、横方向の断面が凹型となるように形成されており、その凹み部分に、対向する一対の発光部（即ち、本発明に係る「第１発光部」の一例）４５１と受光部（即ち、本発明に係る「第１受光部」の一例）４５２とを備えている。発光部４５１は、レールの方向に光（即ち、本発明に係る「第１光」の一例）４５３を発し、受光部４５２は、発光部４５１が発する光４５３を受光可能である。この右飛出し検知センサ４５と同様にして、左飛出し検知センサ４６は、不図示の発光部と受光部とを備えており、発光部からの光を受光部にて受光可能に構成されている。
【００４６】
図３に示すように、第２可動ベース３３が右方向に移動した状態（即ち、右飛出し状態）では、右飛出し検知センサ４５の凹み部分に、右飛出し検知ドグ４３が入り込む。この場合、発光部４５１から受光部４５２に向かう光４５３が遮断される。右飛出し検知センサ４５は、受光部４５２が光４５３を受光する場合、所定の信号を出力し、「ＯＮ」の状態となる。一方、右飛出し検知ドグ４３の入り込みにより受光部４５２が光４５３を受光しない場合、所定の信号が出力されることはなく、「ＯＦＦ」の状態となる。この右飛出し状態と同様にして、左飛出し状態では、左飛出し検知センサ４６の凹み部分に、左飛出し検知ドグ４４が入り込み、発光部から受光部に向かう光が遮断される。また、左飛出し検知センサ４６は、受光部が光を受光する場合、所定の信号を出力し、「ＯＮ」の状態となる一方、左飛出し検知ドグ４４の入り込みにより受光部が光を受光しない場合、所定の信号が出力されることはなく、「ＯＦＦ」の状態となる。
＜遮光部及び光透過型センサの配置＞
【００４７】
次に、図４を参照し、右左の飛出し検知ドグ４３，４４と、右左の飛出し検知センサ４５，４６との配置について説明する。ここに、図４は、横移動機構３０における右左の飛出し検知ドグ４３，４４と右左の飛出し検知センサ４５，４６との配置を表す上面図である。
【００４８】
図４において、右左の飛出し検知ドグ４３，４４は、ＦＯＵＰ３をレール方向における前後から挟むようにして横方向に並行に配置されている。右左の飛出し検知センサ４５，４６は、右左の飛出し検知ドグ４３，４４の夫々横方向に配置されている。
【００４９】
第２可動ベース３３が右方向に移動した場合、右飛出し検知センサ４５における発光部４５１と受光部４５２との間に右飛出し検知ドグ４３が入り込み、光４５３が遮断されることで、右飛出し検知センサ４５が所定の信号を出力することはない。他方、光４５３が遮断されなければ、右飛出し検知センサ４５が所定の信号を出力する。
【００５０】
第２可動ベースが左方向に移動した場合、左飛出し検知センサ４６における発光部と受光部との間に右飛出し検知ドグ４４が入り込み、光が遮断されることで、左飛出し検知センサ４６が所定の信号を出力することはない。他方、光が遮断されなければ、左飛出し検知センサ４６が所定の信号を出力する。
【００５１】
再び図１において、横移動機構３０は、更に、固定ベース３１と第１可動ベース３２とを接続する駆動ベルト４９、第１可動ベース３２を介して固定ベール３１と第２可動ベース３３とを接続する第１及び第２摺動ベルト５０，５１を備える。
＜第２ベースの状態＞
【００５２】
次に、図５及び図６を参照し、横移動機構３０の状態について説明する。ここに、図５は、横移動機構３０における右飛出し状態を表す正面図であり、図６は、横移動機構３０における左飛出し状態を表す正面図である。
【００５３】
駆動ベルト４９について、一端が左固定端３９に固定され、中間部が駆動プーリ３５、アイドラ３６に順番に掛けられ、他端が第１可動ベース３２の右固定端４０に固定されている。駆動ベルト４９は、減速機付サーボモータ３４の動力により駆動プーリ３５が回転することで、駆動プーリ３５及びアイドラ３６の回転面上を摺動する。この摺動により、駆動プーリ３５及び左固定端３９間の駆動ベルト４９の長さが長短することで、第１可動ベース３２が横方向に移動する。
【００５４】
第１摺動ベルト５０について、一端が固定ベース３１の右固定端３７に固定され、中間部が右プーリ４１に掛けられ、他端が第２可動ベース３３の右固定端４７に固定されている。第１摺動ベルト５０は、第１可動ベース３２の横方向への移動に伴い、右プーリ４１の回転面上を摺動する。この摺動により、第１摺動ベルト５０における、右固定端３７から右プーリ４１までの長さと、右プーリ４１から右固定端４７までの長さとの比が変わる。
【００５５】
第２摺動ベルト５１について、一端が固定ベース３１の左固定端３８に固定され、中間部が左プーリ４２に掛けられ、他端が第２可動ベース３３の左固定端４８に固定されている。第２摺動ベルト５１は、第１可動ベース３２の横方向への移動に伴い、左プーリ４２の回転面上を摺動する。この摺動により、第２摺動ベルト５１における、左固定端３８から左プーリ４２までの長さと、左プーリ４２から左固定端４８までの長さとの比が変わる。
【００５６】
横移動機構３０は、収納状態、右飛出し状態、及び左飛出し状態の３つの状態の間で変位可能である。図１に示すように、横移動機構３０は、走行時、又は横移載の前後に、固定ベース３１、第１及び第２可動ベース３２，３３が上下方向で重なる状態、即ち、収納状態にある。収納状態では、右左の飛出し検知センサ４５，４６は夫々所定の信号を出力する。
【００５７】
図５において、横移動機構３０は、右方向にある載置台との間で横移載を行う場合、先ず、減速機付サーボモータ３４の動力により駆動プーリ３５が右回転する。すると、駆動ベルト４９が右回動し、左固定端３９（言い換えれば、第１可動ベース３２）が右方向に移動する。これに伴って、第１及び第２摺動ベルト５０，５１が摺動すると、第２可動ベース３３が右方向に移動し、横移動機構３０が右飛出し状態になる。これにより、第２可動ベース３３の下方に連結されるグリッパ１０が所定の移載位置に達し、右方での横移載が可能になる。収納状態から右飛出し状態への移動距離について、第１可動ベース３２の移動距離が「１」である場合、第２可動ベース３３の移動距離が「２」である。右飛出し状態では、右飛出し検知センサ４５が所定の信号を出力することはなく、左飛出し検知センサ４６は所定の信号を出力する。
【００５８】
図６において、横移動機構３０は、左方向にある載置台との間で横移載の動作を行う場合、先ず、減速機付サーボモータ３４の動力により駆動プーリ３５が左回転する。すると、駆動ベルト４９が左回動し、左固定端３９（言い換えれば、第１可動ベース３２）が左方向に移動する。これに伴って、第１及び第２摺動ベルト５０，５１が摺動すると、第２可動ベース３３が左方向に移動し、横移動機構３０が左飛出し状態になる。これにより、第２可動ベース３３の下方に連結されるグリッパ１０が所定の移載位置に達し、左方での横移載が可能となる。収納状態から左飛出し状態への移動距離について、第１可動ベース３２の移動距離が「１」である場合、第２可動ベース３３の移動距離が「２」である。左飛出し状態では、右飛出し検知センサ４５は所定の信号を出力するが、左飛出し検知センサ４６が所定の信号を出力することはない。
【００５９】
横移動機構３０は、上述した３つの状態（即ち、収納状態、右飛出し状態、及び左飛出し状態）に加え、右左の検知センサ４５，４６のどちらも信号を出力することがない状態、即ち、センサ異常状態になる場合がある。
【００６０】
尚、センサ（即ち、右飛出し検知センサ４５及び左飛出し検知センサ４６の各々）について、「ＯＦＦ」の状態とは、センサが正常な作動状態にある場合、ドグ（即ち、右飛出し検知ドグ４３及び左飛出し検知ドグ４４の各々）により光が遮断される状態を示す。一方、センサが停止の状態を含む異常な作動状態、即ち、センサ異常状態にある場合、ドグにより光が遮断されない状態にも関わらず、発光部が発光しない或いは／且つ受光部が受光しないために所定の信号が出力されずに「ＯＦＦ」の状態となり得る。無人走行を前提とするビークル１００において、センサがいずれの作動状態にあるのか（即ち、正常又は異常であるのか）を瞬時に判断することは困難である。このため、コントローラ１０１により、センサが所定の信号を出力しない場合、「ＯＦＦ」の状態であると判断し、センサがいずれの作動状態であってもビークル１００が発進しないように（又は走行時には減速するように）、走行機構が制御される。これにより、センサの異常で横移動機構３０の飛出しを検知できないままにビークル１００が走行する（又は所定の速度で走行する）恐れがなく、フェイルセーフを確立することが可能である。
【００６１】
コントローラ１０１は、ビークル１００の各部を制御可能に構成されている。ここで、図７を参照し、本実施形態に係るコントローラ１０１の構成について説明する。ここに、図７は、コントローラ１０１の構成を示すブロック図である。コントローラ１０１は、判定部１０２と、走行禁止部１０３と、走行停止部１０４と、走行制御部１０５とを備える。判定部１０２は、右左の飛出し検知センサ４５，４６と接続されており、右左の飛出し検知センサ４５，４６から夫々出力可能である所定の信号が入力された場合、右左の飛出し検知センサ４５，４６が「ＯＮ」の状態にあると断定し、右左の飛出し検知センサ４５，４６からの所定の信号が入力されない場合、右左の飛出し検知センサ４５，４６が「ＯＦＦ」の状態にあると断定する。判定部１０２は、右左の飛出し検知センサ４５，４６における「ＯＮ」又は「ＯＦＦ」の状態に応じて、横移動機構３０（言い換えれば、第２可動ベース３３）の状態、即ち、収納状態、右飛出し状態、左飛出し状態、及びセンサ異常状態のうちのいずれかの状態を判定可能である。走行禁止部１０３及び走行停止部１０４は、後述する第１異常検知処理及び第２異常検知処理を夫々実行可能である。走行制御部１０５は、ビークル１００の走行制御用コントローラであって、第１異常検知処理及び第２異常検知処理に従って走行機構のモータを制御可能である。
＜実施形態の動作＞
＜第１異常検知処理＞
【００６２】
走行禁止部１０３は、停止しているビークル１００が走行を開始する際に、横移動機構３０が右飛出し状態、左飛出し状態、又はセンサ異常状態にあると判定される場合（即ち、右左の飛出し検知センサ４５，４６の少なくともいずれかが所定の信号を出力しない場合）、走行を禁止するように走行機構を制御するための第１異常検知処理を実行可能である。
【００６３】
次に、図８を参照し、本実施形態に係る走行禁止部１０３による第１異常検知処理について説明する。ここに、図８は、第１異常検知処理を示すフローチャートである。
【００６４】
図８において、判定部１０２は、横移動機構３０において、横移載が完了したか否かを判定する（ステップＳ５１）。この判定の結果、横移載が継続中であると判定される場合（ステップＳ５１：ＮＯ）、その動作が完了するまで待機状態となる。一方、横移載が完了したと判定される場合（ステップＳ５１：ＹＥＳ）、走行制御部１０５は、横移動機構３０が収納状態になるように、減速機付サーボモータ３４を駆動して駆動プーリ３５を右回転又は左回転させる（ステップＳ５２）。
【００６５】
続いて、判定部１０２は、右左の飛出し検知センサ４５，４６が夫々所定の信号を出力するか否かを判定する（ステップＳ５３）。この判定の結果、右左の飛出し検知センサ４５，４６が夫々所定の信号を出力すると判定された場合（ステップＳ５３：ＹＥＳ）、判定部１０２は、走行機構に対しビークル１００の発進を許可する（ステップＳ５４）。一方、左飛出し検知センサ４６が所定の信号を出力するが、右飛出し検知センサ４５が所定の信号を出力しないと判定された場合（ステップＳ５３：ＮＯ）、走行禁止部１０３は、走行制御部１０５に対しビークル１００の発進を禁止する（ステップＳ５５）。このように、ビークル１００の発進が許可又は禁止され、一連の第１異常検知処理が終了する。
【００６６】
第１異常検知処理によれば、右左の飛出し検知センサ４５，４６が夫々所定の信号を出力するようになるまで、ビークル１００の走行が禁止される。これにより、ビークル１００は、右飛出し状態、左飛出し状態、又はセンサ異常状態で走行することがないから、他のレールを走行する他のビークル等との接触による破損を回避することが可能である。
＜第２異常検知処理＞
【００６７】
走行停止部１０４は、走行中のビークル１００において、横移動機構３０が右飛出し状態、左飛出し状態、又はセンサ異常状態にあると判定される場合（即ち、右左の飛出し検知センサ４５，４６の少なくともいずれかが所定の信号を出力しない場合）、所定時間極低速にて走行すると共に、所定時間経過後も横移動機構３０が右飛出し状態、左飛出し状態、又はセンサ異常状態にあると判定される場合、走行を停止するように走行機構を制御するための第２異常検知処理を実行可能である。
【００６８】
次に、図９を参照し、本実施形態に係る走行停止部１０４による第２異常検知処理について説明する。ここに、図９は、第２異常検知処理を示すフローチャートである。
【００６９】
図９において、判定部１０２は、右左の飛出し検知センサ４５，４６のいずれかが所定の信号を出力しないか否かを判定する（ステップＳ６１）。この判定の結果、右左の飛出し検知センサ４５，４６が夫々所定の信号を出力すると判定された場合（ステップＳ６１：ＮＯ）、再びステップＳ６１の処理を実行する。一方、右飛出し検知センサ４５が所定の信号を出力し、左飛出し検知センサ４６が所定の信号を出力しないと判定された場合（ステップＳ６１:ＹＥＳ）、走行停止部１０４は、走行制御部１０５に対し所定時間、極めて低い速度で走行するための指令を送る（ステップＳ６２）。
【００７０】
続いて、判定部１０２は、所定時間経過後、右左の飛出し検知センサ４５，４６のいずれかが未だ所定の信号を出力しないか否かを判定する（ステップＳ６３）。この判定の結果、右左の飛出し検知センサ４５，４６が夫々所定の信号を出力すると判定される場合（ステップＳ６３：ＮＯ）、再びステップＳ６１の処理を実行する。一方、左飛出し検知センサ４６が継続して所定の信号を出力しないと判定される場合（ステップＳ６３：ＹＥＳ）、走行停止部１０４は、走行制御部１０５に対しビークル１００の走行を停止し、警報音を発生させる等の措置を取るための指令を送る（ステップＳ６４）。これにより、一連の第２異常検知処理が終了する。
【００７１】
第２異常検知処理によれば、走行中、右左の飛出し検知センサ４５，４６のいずれかが所定の信号を出力しない場合、所定時間極めて低い速度で徐行した後、所定時間経過後も右左の飛出し検知センサ４５，４６のいずれかが所定の信号を出力しない場合、ビークル１００の走行が停止される。これにより、ビークル１００は、走行中であっても、他のレールを走行する他のビークル等との接触による破損を防止することが可能である。
【００７２】
上述の第１及び第２異常検知処理によれば、右飛出し検知ドグ４３と右飛出しセンサ４５との位置関係を表す「ＯＮ」又は「ＯＦＦ」の状態、並びに左飛出し検知ドグ４４と左飛出しセンサ４６との位置関係を表す「ＯＮ」又は「ＯＦＦ」の状態に応じて、横移動機構３０の右左方向への飛出しを検知する。これにより、一対の飛出し検知ドグと飛出しセンサとを二組、横方向に並行に配置する比較的簡易な構成にて、横移動機構３０の飛出しを的確に検知することが可能である。
【００７３】
尚、本実施形態では、一対の飛出し検知ドグと飛出しセンサとを二組、横方向に並行に配置するが、一対の飛出し検知ドグと飛出しセンサとの配置についてこれに限定されない。例えば、図４の本実施形態では、上記二組が、レール方向でＦＯＵＰ３を挟むように、横方向に並行に配置されるが、上記二組が、レール方向でＦＯＵＰ３を挟まずとも同一の横方向をとらないように、横方向に並行に配置されてもよい。
＜遮光部及び光透過型センサの他の配置＞
【００７４】
次に、図１０を参照し、右左の飛出し検知ドグと、右左の飛出し検知センサとの他の配置について説明する。ここに、図１０は、横移動機構１３０における右左の飛出し検知ドグ１４３，１４４と右左の飛出し検知センサ１４５，１４６との配置を表す上面図である。
【００７５】
図１０において、右左の飛出し検知ドグ１４３，１４４は、図４の場合と同様に、ＦＯＵＰ３を挟むように横方向に並行に配置されている。ここで、図４の右左の飛出し検知センサ４５，４６は、右左の飛出し検知ドグ４３，４４の夫々横方向における、横移動機構３０の中央側に夫々配置されている。これに対し、図１０の右左の飛出し検知センサ１４５，１４６は、右左の飛出し検知ドグ１４３，１４４の夫々横方向における、横移動機構１３０の両端部に配置されている。これら飛出し検知ドグ１４３，１４４及び右左の飛出し検知センサ１４５，１４６は夫々、第１可動ベースの下面及び第２可動ベースの上面のどちらに取り付けられてもよい。但し、右飛出し検知センサ１４５は、第２可動ベースが右方向に移動する場合、右飛出し検知ドグ１４３で遮光され、所定の信号を出力することはなく、左飛出し検知センサ１４６は、第２可動ベースが左方向に移動する場合、左飛出し検知ドグ１４４で遮光され、所定の信号を出力することはないように構成されるものとする。
【００７６】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送車の横移動機構もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００７７】
３…ＦＯＵＰ、３１…固定ベース、３２…第１可動ベース、３３…第２可動ベース、４３…右飛出し検知ドグ、４４…左飛出し検知ドグ、４５…右飛出し検知センサ、４６…左飛出し検知センサ、１００…ビークル、１０１…コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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