(57)【要約】      （修正有）【課題】原反からの巻き出し強度が適正に制御されており、また、背面層由来の剥離剤による被着体の汚染が生じることがなく、更に、環境負荷の軽減やコストの低減が可能なセパレータレス型ダイシングテープを提供すること。【解決手段】セパレータレス型ダイシングテープ１０は、基材１と、前記基材１の一方の面に形成され、粘着剤、電離放射線硬化型化合物及び架橋剤を含有する粘着剤層形成用材料からなる粘着剤層２と、前記基材の他方の面に形成され、長鎖アルキルポリマー系剥離剤を含有する背面層３と、からなり、前記背面層３は、液状の前記長鎖アルキルポリマー系剥離剤を固形分濃度で４〜１０質量％含有する背面層形成用塗工液を前記基材１の他方の面に塗布し、乾燥して形成され、前記背面層３の乾燥後の膜厚が、前記基材１の算術平均粗さＲａ＋（０．２〜１．８）μｍの範囲内である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、前記基材の一方の面に形成され、粘着剤、電離放射線硬化型化合物及び架橋剤を含有する粘着剤層形成用材料からなる粘着剤層と、前記基材の他方の面に形成され、長鎖アルキルポリマー系剥離剤を含有する背面層と、からなり、
前記背面層は、液状の前記長鎖アルキルポリマー系剥離剤を固形分濃度で４〜１０質量％含有する背面層形成用塗工液を前記基材の他方の面に塗布し、乾燥して形成され、
前記背面層の乾燥後の膜厚が、前記基材の算術平均粗さＲａ＋（０．２〜１．８）μｍの範囲内であることを特徴とするセパレータレス型ダイシングテープ。
【請求項２】
前記基材は、未延伸ポリエチレンからなる請求項１に記載のセパレータレス型ダイシングテープ。
【請求項３】
前記電離放射線硬化型化合物は、紫外線硬化型樹脂である請求項１又は２に記載のセパレータレス型ダイシングテープ。
【請求項４】
請求項１〜３いずれかに記載のセパレータレス型ダイシングテープを、粘着剤層を内側としてロール状に巻き取ってなるセパレータレス型ダイシングテープ原反。
【請求項５】
巻き出し強度が、０．０１〜０．６Ｎ／２５ｍｍの範囲内である請求項４に記載のセパレータレス型ダイシングテープ原反。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ、半導体パッケージ等の電気・電子部品を小片に切断分離するダイシング工程において使用されるダイシングテープであって、粘着剤層を保護するセパレータを有しないセパレータレス型ダイシングテープに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体ウェーハのダイシング工程からピックアップ工程に至る工程では、ウェーハの保護や固定のために、ダイシングテープと呼ばれる粘着テープが用いられている。ダイシングテープとしては、粘着剤と、紫外線や電子線等の電離放射線により重合硬化する電離放射線硬化型化合物と、を含有する粘着剤層を有する電離放射線硬化型ダイシングテープが知られている。この電離放射線硬化型ダイシングテープは、通常、電離放射線に対して透過性を有する基材と、上記粘着剤層と、該粘着剤層を保護するためのセパレータと、から構成されている（特許文献１，２，３参照）。
【０００３】
しかしながら、電離放射線硬化型ダイシングテープが有するセパレータは、使用時には剥離され、廃棄される資材であるため、セパレータの使用は、資源使用量や廃棄物発生量を増大させ、環境負荷やコスト高を招くこととなり、好ましいとはいえない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６０−１９６９５６号公報
【特許文献２】特開平７−８６２１２号公報
【特許文献３】特開平６−４９４２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、セパレータを使用しない電離放射線硬化型ダイシングテープには、以下のような問題点がある。セパレータを使用しない電離放射線硬化型ダイシングテープでは、粘着剤層を保護するために、使用時までロール状に巻き取られた原反の状態で保管する必要があるが、セパレータを有さない構成では、粘着剤層と基材とが直接接触することになり、使用時の巻き出し強度が高まり、作業性が悪い。
【０００６】
本発明者らが、上記問題点を解決するために検討を重ねたところ、ある特定の剥離剤を含有する塗工液からなる背面層を、基材の粘着剤層が形成されている側とは反対の面上に形成することで、セパレータを有さない形態であっても、原反からの巻き出し強度が適正に制御できることを見出した。しかしながら、原反からの巻き出し強度についての問題点は解消されたものの、ダイシングテープをウェーハに貼付した後、剥離すると、ウェーハの表面に背面層由来の剥離剤が付着し、ウェーハを汚染することがあった。
【０００７】
そこで、本発明者らが更に検討を進めたところ、ウェーハの汚染の原因が、基材面上に背面層を形成する際に生じる剥離剤を含有する塗工液の塗布ムラであることがわかった。すなわち、塗布ムラが生じると巻き出しの際に、背面層に含まれる剥離剤の一部が粘着剤層に移行し、該粘着剤層を介して、被着体であるウェーハに付着するものと考えられた。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、原反からの巻き出し強度が適正に制御されており、また、背面層由来の剥離剤による被着体の汚染が生じることがなく、更に、環境負荷の軽減やコストの低減が可能なセパレータレス型ダイシングテープを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する。
【００１０】
（１）基材と、上記基材の一方の面に形成され、粘着剤、電離放射線硬化型化合物及び架橋剤を含有する粘着剤層形成用材料からなる粘着剤層と、上記基材の他方の面に形成され、長鎖アルキルポリマー系剥離剤を含有する背面層と、からなり、上記背面層は、液状の前記長鎖アルキルポリマー系剥離剤を固形分濃度で４〜１０質量％含有する背面層形成用塗工液を上記基材の他方の面に塗布し、乾燥して形成され、上記背面層の乾燥後の膜厚が、上記基材の算術平均粗さＲａ＋（０．２〜１．８）μｍの範囲内あることを特徴とするセパレータレス型ダイシングテープ。
【００１１】
（２）上記基材は、未延伸ポリエチレンからなる（１）に記載のセパレータレス型ダイシングテープ。
【００１２】
（３）上記電離放射線硬化型化合物は、紫外線硬化型樹脂である（１）又は（２）に記載のセパレータレス型ダイシングテープ。
【００１３】
（４）（１）〜（３）いずれかに記載のセパレータレス型ダイシングテープを、粘着剤層を内側としてロール状に巻き取ってなるセパレータレス型ダイシングテープ原反。
【００１４】
（５）巻き出し強度が、０．０１〜０．６Ｎ／２５ｍｍの範囲内である（４）に記載のセパレータレス型ダイシングテープ原反。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のセパレータレス型ダイシングテープによれば、使用に際し、剥離して廃棄するセパレータを省いたことで、資源使用量や廃棄物発生量の削減が可能となり、また、ロール状にした際の巻き径が小さくなり、軽量となるため、製造・流通の各過程における環境負荷の軽減やコストの低減を実現することもできる。また、本発明のセパレータレス型ダイシングテープによれば、原反からの巻き出し強度が適正に制御されているので、作業性が良い。更に、本発明のセパレータレス型ダイシングテープによれば、背面層由来の剥離剤による被着体の汚染が生じることがない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のセパレータレス型ダイシングテープの一実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明のセパレータレス型ダイシングテープ原反の一実施形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の具体的な実施形態について詳細に説明するが、本発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。
【００１８】
本発明のセパレータレス型ダイシングテープ１０は、図１に示すように、基材１と、上記基材１の一方の面に形成され、粘着剤、電離放射線硬化型化合物及び架橋剤を含有する粘着剤層形成用材料からなる粘着剤層２と、上記基材１の他方の面に形成され、少なくとも長鎖アルキルポリマー系剥離剤を含有する背面層３と、からなり、上記背面層３は、液状の前記長鎖アルキルポリマー系剥離剤を固形分濃度で４〜１０質量％含有する背面層形成用塗工液を上記基材１の他方の面に塗布し、乾燥して形成され、上記背面層３の乾燥後の膜厚が、上記基材の算術平均粗さＲａ＋（０．２〜１．８）μｍの範囲内であることを特徴とし、セパレータを有さない形態のダイシングテープである。本発明のセパレータレス型ダイシングテープによれば、使用に際し、剥離して廃棄するセパレータを省いたことで、資源使用量の削減やゴミの削減を実現することができる。また、セパレータを省いたことで、ダイシングテープをロール状にした際の巻き径が小さくなり、軽量となるため、製造・流通の各過程における環境負荷の低減を実現することもできる。以下、基材、粘着剤層、背面層の順に説明する。
【００１９】
［基材］
本発明のセパレータレス型ダイシングテープでは、基材は、ダイシングテープに必要な伸長特性（エキスパンド性）や電離放射線の透過を妨げない光学特性を有していれば、特に限定されるものではなく、一般的には、合成樹脂フィルムが用いられる。合成樹脂フィルムの材料としては、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、フッ素系樹脂等の公知の樹脂が挙げられる。これらは、単独又は２種以上を組み合わせて用いることができる。２種以上を組み合わせる場合には、これらの樹脂を主成分とする共重合樹脂であっても、混合体であってもよく、複数層からなる積層体であってもよい。なお、本発明では、上記合成樹脂の中でも、紫外線に対して優れた透過性を有するポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィン系樹脂が好ましく、密度の低い未延伸ポリエチレンが特に好ましい。未延伸ポリエチレンは、ダイシングテープとして必要な５０％以上の伸長性を有し、また、焼却時に有害ガスを発生しないので環境汚染の懸念がないからである。更に、未延伸ポリエチレンによれば、テープの軽量化が可能となる。
【００２０】
基材の厚みは、特に限定されるものではないが、２０〜３００μｍであることが好ましく、５０〜２００μｍであることがより好ましい。上記範囲内であれば、機械的強度として十分であり、反りや破断等を生じ難く、適度なエキスパンド性を示すので、作業性が良好となる。また、ダイシング工程では、シリコンウェーハの表面を良好に保護することができる。
【００２１】
なお、基材には、粘着剤や剥離剤との濡れ性を向上させるために、その片面又は両面に、コロナ処理、プラズマ処理、オゾン処理、フレーム処理、プライマー処理、蒸着処理、アルカリ処理等の公知の易接着処理を施したり、易接着層を形成したりしてもよい。
【００２２】
基材の形成方法は、特に限定されるものではなく、例えば、溶融押出法、溶液流延法、カレンダー法等の従来公知の製膜方法を用いることができる。なお、未延伸ポリエチレンを材料とする基材の場合には、インフレーション法やＴダイ法等の溶融押出法が好適に用いられる。また、上記方法によりあらかじめフィルム状に製膜された市販の基材を用いてもよい。
【００２３】
［粘着剤層］
本発明のセパレータレス型ダイシングテープでは、粘着剤層は、上記基材の一方の面に形成され、粘着剤、電離放射線硬化型化合物及び架橋剤を含有する粘着剤層形成用材料からなる。
【００２４】
（粘着剤）
粘着剤層形成用材料を構成する粘着剤は、所望の粘着力を有するものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、アクリル系、ウレタン系、ゴム系、シリコーン系等の粘着剤が挙げられるが、これらの中でも、耐熱性等の耐久性や透明性に優れ、低コストであるアクリル系粘着剤が好ましい。アクリル系粘着剤としては、例えば、アクリル酸エステルと他の単量体とを共重合させたアクリル酸エステル共重合体が挙げられる。アクリル酸エステルとしては、例えば、アクリル酸エチル、アクリル酸−ｎ−ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシル、アクリル酸イソオクチル、アクリル酸イソノニル、アクリル酸ヒドロキシルエチル、アクリル酸プロピレングリコール、アクリルアミド、アクリル酸グリシジル等が挙げられ、これらは、単独又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００２５】
上記他の単量体としては、例えば、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、アクリル酸ヒドロキシルエチル、メタクリル酸ヒドロキシルエチル、アクリル酸プロピレングリコール、アクリルアミド、メタクリルアミド、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸−ｔｅｒｔ−ブチルアミノエチル、メタクリル酸ｎエチルヘキシル等が挙げられ、これらは、単独又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００２６】
アクリル酸エステル共重合体に含まれるアクリル酸エステルと、他の単量体とのユニット比（アクリル酸エステル／他の単量体）は、所望の初期粘着力を発揮するものであれば、特に限定されるものではなく、目的に応じて、適宜設定することができる。また、アクリル酸エステル共重合体の質量平均分子量（Ｍｗ）は、所望の初期粘着力を発揮するものであれば、特に限定されるものではないが、１０〜１５０万の範囲内であることが好ましく、２０〜１００万の範囲内であることがより好ましい。上記範囲であれば、十分な初期粘着力を発揮することができ、また、十分な強度の粘着剤層とすることができる。なお、上記質量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定した際の、ポリスチレン換算の値である。
【００２７】
（電離放射線硬化型化合物）
電離放射線硬化型化合物は、電離放射線の照射により硬化する化合物であれば、特に限定されるものではなく、例えば、光ラジカル重合性化合物、光カチオン重合性化合物、光アニオン重合性化合物、光二量化性化合物等が挙げられる。これらの中でも、光ラジカル重合性化合物が好ましい。硬化速度が速く、また、多種多様な化合物から選択することができ、更には、硬化前の粘着性や硬化後の剥離性等の物性を容易に所望のものに制御することができるからである。光ラジカル重合性化合物としては、多官能性アクリレート、多官能性メタクリレート、ウレタンアクリレート、ウレタンメタクリレート、ポリエステルアクリレート、ポリエステルメタクリレート、エポキシアクリレート等のモノマー、オリゴマー等が挙げられる。これらの中でも、多官能性アクリレート、多官能性メタクリレートが好ましく、トリメチロールメタントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、それらのエチレンオキサイド又はプロピレンオキサイド付加物等の一分子中にアクリロイル基を３個以上含む不飽和化合物がより好ましい。これらは、電離放射線を照射した際に、粘着剤組成物を３次元架橋により硬化させて粘着力を低下させるとともに、粘着剤の凝集力を高めて被接着面に転着させないようにする機能を有するからである。
【００２８】
電離放射線としては、例えば、遠紫外線、紫外線、近紫外線、赤外線等の光線、Ｘ線、γ線等の電磁波のほか、電子線、プロトン線、中性子線等が挙げられる。硬化速度、照射装置の入手容易さ、価格等の観点において、紫外線照射による硬化が好ましい。
【００２９】
粘着剤層形成用材料に含まれる電離放射線硬化型化合物の量は、粘着剤１００質量部に対して、１〜８０質量部であることが好ましく、１〜６０質量部であることがより好ましい。電離放射線硬化型化合物の量を調整することにより、電離放射線照射後の粘着力を制御することができる。電離放射線硬化型化合物の量が上記範囲の下限よりも少ないと、電離放射線照射後の架橋密度が十分ではなく、適正な剥離性を実現することができない場合がある。また、電離放射線硬化型化合物の量が上記範囲の上限よりも多いと、被着体貼着時の粘着力が低下するだけでなく、電離放射線照射前のタックが著しく上昇したり、凝集力が低下したりするので、製造の際に、粘着剤がはみ出してガイドロールを汚染したり、被着体に糊残りが生じたりする場合がある。
【００３０】
（架橋剤）
架橋剤は、上記粘着剤と架橋できるものであれば、特に限定されるものではないが、エポキシ系架橋剤、イソシアネート系架橋剤が好ましい。イソシアネート系架橋剤としては、例えば、ポリイソシアネート化合物、ポリイソシアネート化合物の３量体、ポリイソシアネート化合物とポリオール化合物とを反応させて得られるイソシアネート基を末端に有するウレタンプレポリマー、このようなウレタンプレポリマーの３量体等を用いることができる。ポリイソシアネート化合物としては、特に限定されず、２，４−トリレンジイソシアネート、２，５−トリレンジイソシアネート、１，３−キシリレンジイソシアネート、１，４−キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタン−４，４′−ジイソシアネート、３−メチルジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−４，４′−ジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−２，４′−ジイソシアネート、リジンイソシアネート等が挙げられる。
【００３１】
エポキシ系架橋剤としては、例えば、多官能エポキシ系化合物を用いることができる。多官能エポキシ系化合物としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリブタジエンジグリシジルエーテル等が挙げられる。
【００３２】
粘着剤層形成用材料に含まれる架橋剤の量は、架橋剤の種類によっても異なるが、例えば、イソシアネート系架橋剤の場合には、粘着剤１００質量部に対して、０．０１〜１０質量部であることが好ましく、０．２〜１０質量部であることがより好ましい。上記範囲であれば、粘着剤層と基材との密着性を向上させることができる。イソシアネート系架橋剤の量が上記範囲の下限よりも少ないと、粘着剤層と基材との密着性が不十分なものとなったり、粘着剤層が十分な強度を有することが困難となり、ウェーハ等の被着体から剥離する際に、粘着剤層が凝集破壊を起こし、糊残りが生じたりする場合がある。イソシアネート系架橋剤の量が上記範囲の上限よりも多いと、粘着力が低下し、被着体に十分に接着しなかったり、また、粘着剤層中に未反応モノマーとして残留し、凝集力が低下したりする場合がある。
【００３３】
また、エポキシ系架橋剤の場合には、粘着剤１００質量部に対して、０．０５〜１０質量部であることが好ましく、０．１〜１０質量部であることがより好ましい。上記範囲であれば、電離放射線照射前における所望の粘着力や凝集力を制御することができる。エポキシ系架橋剤の量が上記範囲の下限よりも少ないと、粘着剤層が十分な強度を有することが困難となり、ウェーハ等の被着体から剥離する際に、粘着剤層が凝集破壊を起こし、糊残りが生じたりする場合がある。エポキシ系架橋剤の量が上記範囲の上限よりも多いと、電離放射線照射前における粘着力が低下するため、ダイシングの際に、チップ飛びが生じる場合がある。
【００３４】
（その他の成分）
電離放射線が光線の場合には、粘着剤層形成用材料に光重合開始剤が含まれることが好ましい。光重合開始剤によれば、電離放射線硬化型化合物の感応性を増進させるので、電離放射線による重合硬化時間や電離放射線照射量を低減することができる。電離放射線硬化型化合物が光ラジカル重合性化合物である場合には、光重合開始剤の種類は、特に限定されるものではなく、例えば、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ミヒラーベンゾイルベンゾエート、α−アミロキシムエステル、テトラメチルチウラムモノサルファイド、チオキサントン類等が挙げられる。これらの光重合開始剤は、ｎ−ブチルアミン、トリエチルアミン、トリｎ−ブチルホスフイン等の光増感剤と混合して使用してもよい。なお、粘着剤層形成用材料に含まれる光重合開始剤の量は、粘着剤１００質量部に対して、１〜３質量部であることが好ましい。光重合開始剤の量が上記範囲の下限よりも少ないと、重合開始反応が十分ではなく、電離放射線照射後の粘着力が過剰に高くなり、適正な剥離性を実現することができない場合がある。光重合開始剤の量が上記範囲の上限よりも多いと、電離放射線照射面の近傍にしか電離放射線が届かず、硬化が不十分となる場合がある。また、凝集力が低下し、被着体への糊残りの原因となる場合もある
【００３５】
粘着剤層形成用材料には、本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じて、帯電防止剤、老化防止剤、粘着付与剤等の各種添加剤が含まれていてもよい。
【００３６】
粘着剤層の形成方法は、特に限定されるものではなく、例えば、上記の粘着剤、電離放射線硬化型化合物、架橋剤等の粘着剤層用形成材料を適当な溶剤で希釈し、粘着剤層形成用塗工液を調製した後、該粘着剤層形成用塗工液を印刷やコーティング等により、基材に塗布し、乾燥することにより形成する方法が挙げられる。印刷による形成方法としては、例えば、グラビア印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法等が挙げられる。コーティングによる方法としては、例えば、ロールコート、リバースコート、コンマコート、ナイフコート、ダイコート、グラビアコート等が挙げられる。希釈する溶剤は、粘着剤層形成材料を溶解又は分散させることができるものであれば、特に限定されるものではないが、例えば、トルエン、メチルエチルケトン等が好ましい。また、粘着剤層形成用塗工液の塗布量は、１０〜３００ｇ／ｍ２であることが好ましい。塗布量が上記範囲の下限よりも少ないと、十分な粘着力が得られない場合がある。塗布量が上記範囲の上限よりも多いと、過剰性能となり、コスト高となる場合がある。なお、乾燥後の粘着剤層の膜厚は、５〜５０μｍとなるように調整することが好ましく、５〜２０μｍとなるように調整することがより好ましい。
【００３７】
［背面層］
本発明のセパレータレス型ダイシングテープでは、背面層は、上記基材の粘着剤層が形成される面とは反対側の面に形成され、長鎖アルキルポリマー系剥離剤を含有する。そして、背面層は、液状の上記長鎖アルキルポリマー系剥離剤を固形分濃度で４〜１０質量％含有する背面層形成用塗工液を上記基材の他方の面に塗布し、乾燥して形成され、上記背面層の乾燥後の膜厚が、上記基材の算術平均粗さＲａ＋（０．２〜１．８）μｍの範囲内である。このような背面層を有する本発明のダイシングテープによれば、セパレータを有さない形態であっても原反からの巻き出し強度が適正値を示す。また、背面層形成用塗工液の塗布ムラが生じない。塗布ムラが生じると、原反からの巻き出しの際に、剥離層に含まれる剥離剤の一部が粘着剤層に移行し、該粘着剤層を介して、被着体に付着するが、上記背面層が形成されている本発明のダイシングテープによれば、塗布ムラが生じないので、被着体の汚染が生じない。
【００３８】
（剥離剤）
背面層は、長鎖アルキルポリマー系剥離剤を含有する。長鎖アルキルポリマー系剥離剤は、廃棄時に有害ガスが発生せず、環境に与える負荷が少なく、また、電気・電子部品等への汚染等も発生し難い。本発明において、長鎖アルキルとは炭素数１２〜４０個のものをいい、炭素数１２〜３０個のものが好ましい。なお、本発明では、主鎖ポリマーに導入された炭素数１２〜３０個の長鎖アルキルがペンダント状に側鎖として存在しているアルキルペンダントポリマーを含有することが好ましい。
【００３９】
本発明に用いられる長鎖アルキルポリマーの質量平均分子量（Ｍｗ）は、特に限定されるものではないが、１万〜５０万であることが好ましく、１０万〜３０万であることがより好ましい。上記範囲内であれば、適正な剥離性能を維持することができる。質量平均分子量が５０万を超えると、溶剤への溶解性が低下する場合がある。また、質量平均分子量が１万に満たないと、粘着剤層に移行し、粘着剤の性質を阻害する可能性がある。なお、上記質量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定した際の、ポリスチレン換算の値である。
【００４０】
背面層は、液状の前記長鎖アルキルポリマー系剥離剤を含有する背面層形成用塗工液を上記基材の他方の面に塗布し、乾燥して形成される。ここで、液状とは、室温（２５℃）で流動性を示す状態をいう。長鎖アルキルポリマー系剥離剤の性状が粉末状であると、背面層形成工程において剥離剤が析出し易く、塗布ムラが生じ易い。しかしながら、溶媒に対して親和性の高い液状の剥離剤によれば、背面層形成工程で剥離剤が析出しにくく、塗布ムラが生じ難い。
【００４１】
背面層の形成方法は、特に限定されるものではなく、例えば、上記剥離剤を適当な溶剤で希釈し、背面層形成用塗工液を調製した後、該背面層形成用塗工液を印刷やコーティング等により、基材に塗布し、乾燥することにより形成する方法が挙げられる。なお、背面層は、基材のコロナ未処理面に形成されることが好ましい。印刷による形成方法としては、例えば、グラビア印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法等が挙げられる。コーティングによる方法としては、例えば、ロールコート、リバースコート、コンマコート、ナイフコート、ダイコート、グラビアコート等が挙げられる。希釈する溶剤は、上記剥離剤を分散又は溶解させることができるものであれば、特に限定されるものではないが、例えば、トルエン、メチルエチルケトン等が好ましい。背面層形成用塗工液における剥離剤と溶剤との配合割合は、剥離剤の固形分濃度が４〜１０％となるように調整し、より好ましくは剥離剤の固形分濃度が５〜１０％となるように調整する。剥離剤の固形分濃度が上記範囲内であると、塗布ムラや巻き取り時のベタツキが生じ難いので、良好な剥離性能が発揮され、巻き出し強度が適正なものとなる。なお、剥離剤の固形分濃度が上記範囲の下限よりも少ないと、背面層形成用塗工液の粘度が低くなるため、背面層の厚みが不均一となり、良好な剥離性能が発揮されない場合がある。また、背面層中の剥離剤濃度が低くなるため、十分な剥離性能が発揮されない場合がある。更に、溶媒の相対的な割合が多くなるため、塗布後の乾燥に時間がかかったり、巻き取り時にベタツキが生じ易くなったりする。剥離剤の固形分濃度が上記範囲の上限よりも多いと、背面層形成用塗工液の粘度が高くなるため、均一な厚みの背面層を形成することが困難となり、良好な剥離性能が発揮されない場合がある。
【００４２】
背面層は、乾燥後の膜厚が上記基材の算術平均粗さＲａ＋（０．２〜１．８）μｍの範囲内であり、上記基材の算術平均粗さＲａ＋（０．３〜１．５）μｍの範囲内であることが好ましい。上記範囲内であれば、適正な剥離性能を発揮される。また、塗布ムラは生じないので、上述したような被着体の汚染が生じない。なお、乾燥後の膜厚が上記範囲の上限よりも厚いと、過剰性能となり、コスト高となる場合がある。基材の表面の算術平均粗さ（Ｒａ）は、表面粗さ測定器を使用し、ＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１に準拠した方法（測定範囲：１．０ｍｍ×１．０ｍｍ，測定速度：０．６ｍｍ／ｓ）により測定する。上記表面粗さ測定器としては、例えば、東京精密社製のサーフコム  １４００Ｄ−３ＤＦを使用することができる。
【００４３】
背面層には、本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じて、帯電防止剤、老化防止剤等の各種添加剤を配合してもよい。
【００４４】
［セパレータレス型ダイシングテープの製造方法］
本発明のセパレータレス型ダイシングテープは、基材の一方の面に粘着剤層を形成し、基材の他方の面に背面層を形成することにより製造することができる。基材の製造方法、粘着剤層の形成方法、及び背面層の形成方法は、上記したとおりである。なお、基材面に、粘着剤層及び背面層を形成する順番は、特に限定されるものではなく、任意に選択することができる。
【００４５】
［セパレータレス型ダイシングテープ原反］
本発明のセパレータレス型ダイシングテープ原反２０は、図２に示すように、上記方法により製造したセパレータレス型ダイシングテープを、粘着剤層２を内側としてロール状に巻き取ってなるものである。このように巻き取ることにより、粘着剤層２を外気から保護することができる。セパレータレス型ダイシングテープ原反から、セパレータレス型ダイシングテープを巻き出す際の巻き出し強度は、０．０１〜０．６Ｎ／２５ｍｍの範囲内であることが好ましく、０．０１〜０．４Ｎ／２５ｍｍの範囲内であることがより好ましい。上記範囲内であれば、巻き出し不良が生じ難いからである。
【００４６】
上記巻き出し強度は、セパレータレス型ダイシングテープ原反から、幅２５ｍｍ×長さ１５０ｍｍの大きさの２層重なった状態のダイシングテープ（背面層／基材／粘着剤層／背面層／基材／粘着剤層）を切り出して試験片を作成し、該試験片の一方のダイシングテープを、他方のダイシングテープから試験片の長さ方向に剥がす（剥離速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ，剥離角：１８０°）ことにより測定することができる。測定装置には、万能材料試験機（５５６５型，インストロン・ジャパン社製）を使用することができる。
【００４７】
セパレータレス型ダイシングテープを巻き取る方法は、セパレータがないということを除いて、従来公知の粘着テープと同様の方法を用いることができるが、セパレータがないという特徴を考慮すると、巻き取り時の空気の抱き込みを防止するために、柔軟性が高く、高荷重をかけることが可能なタッチロールを使用することが好ましい。また、基材の供給から、セパレータレス型ダイシングテープ原反の製造までは、Ｒｏｌｌ  ｔｏ  Ｒｏｌｌで行うことが好ましい。ここで、Ｒｏｌｌ  ｔｏ  Ｒｏｌｌとは、ロール状に巻き取った状態の基材原反から基材を巻き出し、該基材を切断することなく加工、処理し、セパレータレス型ダイシングテープを製造した後、該セパレータレス型ダイシングテープをロール状に巻き取り、原反とすることをいう。更に、粘着剤層形成用塗工液や背面層形成用塗工液の基材への塗布から、セパレータレス型ダイシングテープ巻き取りまで、クリーンな環境下で行われることが好ましい。なお、巻き取ったセパレータレス型ダイシングテープは、基材と粘着剤層との密着性を高めるために、エージングが施されることが好ましい。エージングの条件は、粘着剤層形成材料により異なるが、例えば、１５〜８０℃にて１５〜１６８時間行うとよい。
【００４８】
［セパレータレス型ダイシングテープの使用方法］
本発明のセパレータレス型ダイシングテープは、半導体部品、光学部品、電子部品等の製造におけるダイシング工程において、ワークを固定するために使用するものであり、貼付対象としては、シリコンウェーハ、ガラス、セラミック等が挙げられる。原反から巻き出したセパレータレス型ダイシングテープは、シリコンウェーハ等に貼付されるが、本発明のセパレータレス型ダイシングテープでは、剥離して廃棄するセパレータを有さないので、ゴミが発生しない。また、セパレータがないので、従来品よりも原反の巻き径が小さく、軽量となることから、運搬や作業の効率が高まり、製造過程における環境負荷の低減が可能となる。
【００４９】
シリコンウェーハ等に貼付された本発明のセパレータレス型ダイシングテープは、ダイシング工程後に、背面層側から電離放射線を照射して、粘着剤層中に含まれる電離放射線硬化型化合物を硬化させることにより、シリコンウェーハ等に貼着している部分の粘着力を低下させ、ピックアップを可能とするものである。そのため、基材及び背面層は、電離放射線に対する透過性に優れることが好ましく、例えば、電離放射線が光線の場合には、基材及び背面層の４００ｎｍ以下の光線透過率は８０％以上であることが好ましい。なお、光線透過率は、市販の分光光度計、例えば、島津製作所社製のＭＰＣ２２００を用いて測定することができる。
【００５０】
電離放射線として紫外線を使用する場合には、例えば、１５０〜４５０ｎｍ波長域の光を発する高圧水銀ランプ、超高圧水銀灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカルランプ等を用いて、積算光量が１０ｍＪ／ｃｍ２以上、好ましくは５０ｍＪ／ｃｍ２以上になるように照射すればよい。
【実施例】
【００５１】
以下、実施例により、本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの記載に何ら制限を受けるものではない。
【００５２】
＜実施例１＞
低密度ポリエチレンフィルム（商品名：スミカセン  Ｆ２００，密度：０．９２４ｇ／ｃｍ３，ＭＦＲ：２ｇ／ｍｉｎ（１９０℃、荷重２１６０ｇにて測定）住友化学社製）１００質量部を、インフレーション押出機を用いて押出し、厚さ１００μｍの単層フィルムを形成した。この単層フィルムの片面をコロナ処理し、基材を得た。なお、この基材のコロナ未処理面の算術平均粗さ（Ｒａ）をＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１に準拠した方法（測定装置：東京精密社製のサーフコム  １４００Ｄ−３ＤＦ，測定範囲：１．０ｍｍ×１．０ｍｍ，測定速度：０．６ｍｍ／ｓ）により測定したところ、０．１３μｍであった。
【００５３】
次いで、剥離剤（長鎖アルキルペンダントポリマー，商品名：ピーロイル  １０５０，性状：液状，質量平均分子量：１０万，一方社油脂工業社製）１００質量部を、トルエン１００質量部で希釈し、十分に分散させて、背面層形成用塗工液（剥離剤の固形分濃度：５％）を調製した。この背面層形成用塗工液を、上記基材のコロナ未処理面上に、乾燥後の膜厚が０．５μｍとなるようにグラビアコート法にて全面塗工し、熱風乾燥させて、背面層を形成した。
次いで、上記基材のコロナ処理面上に、乾燥後の膜厚が１０μｍとなるように、表１に示す配合の粘着剤層形成用塗工液をダイコート法にて全面塗工し、熱風乾燥させて、粘着剤層を形成し、セパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．５μｍ）／基材（１００μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））を得た。このセパレータレス型ダイシングテープを３００ｍｍ幅にスリットした後、粘着剤層を内側としてロール状に１００ｍ巻き取り、４０℃にて７２時間エージングして、セパレータレス型ダイシングテープ原反を作製した。なお、上記セパレータレス型ダイシングテープ原反の作製は、１台の塗工装置を使用し、インラインにて一工程で行った。
【００５４】
【表１】
2012015341.tif 000003
【００５５】
＜実施例２＞
基材の厚みを１５０μｍとしたこと以外は、実施例１と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．５μｍ）／基材（１５０μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００５６】
＜実施例３＞
剥離剤１００質量部を、トルエン４２．９質量部で希釈し、十分に分散させて、背面層形成用塗工液（剥離剤の固形分濃度：７％）を調製したこと以外は、実施例１と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．５μｍ）／基材（１００μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００５７】
＜実施例４＞
剥離剤１００質量部を、トルエン４２．９質量部で希釈し、十分に分散させて、背面層形成用塗工液（剥離剤の固形分濃度：７％）を調製したこと以外は、実施例２と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．５μｍ）／基材（１５０μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００５８】
＜実施例５＞
表２に示す配合の粘着剤層形成用塗工液を使用する以外は、実施例１と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．５μｍ）／基材（１００μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００５９】
【表２】
2012015341.tif 000004
【００６０】
＜実施例６＞
基材の厚みを１５０μｍとしたこと以外は、実施例５と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．５μｍ）／基材（１５０μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００６１】
＜実施例７＞
剥離剤１００質量部を、トルエン４２．９質量部で希釈し、十分に分散させて、背面層形成用塗工液（剥離剤の固形分濃度：７％）を調製したこと以外は、実施例５と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．５μｍ）／基材（１００μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００６２】
＜実施例８＞
剥離剤１００質量部を、トルエン４２．９質量部で希釈し、十分に分散させて、背面層形成用塗工液（剥離剤の固形分濃度：７％）を調製したこと以外は、実施例６と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．５μｍ）／基材（１５０μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００６３】
＜実施例９＞
背面層形成用塗工液を、乾燥後の膜厚が１．７μｍとなるように調整したこと以外は、実施例１と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（１．７μｍ）／基材（１５０μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００６４】
＜比較例１＞
背面層形成用塗工液を、乾燥後の膜厚が０．１μｍとなるように調整したこと以外は、実施例１と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．１μｍ）／基材（１００μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００６５】
＜比較例２＞
背面層形成用塗工液を、乾燥後の膜厚が０．３μｍとなるように調整したこと以外は、実施例１と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．３μｍ）／基材（１００μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００６６】
＜比較例３＞
剥離剤（長鎖アルキルペンダントポリマー，商品名：ピーロイル  １０１０，性状：粉末状，一方社油脂工業社製）３質量部を、トルエン９７質量部で希釈し、十分に分散させて、背面層形成用塗工液（剥離剤の固形分濃度：３％）を調製したこと以外は、実施例１と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．３μｍ）／基材（１００μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００６７】
＜比較例４＞
剥離剤１００質量部を、トルエン９００質量部で希釈し、十分に分散させて、背面層形成用塗工液（剥離剤の固形分濃度：１％）を調製し、且つ、背面層形成用塗工液を乾燥後の膜厚が０．１μｍとなるように調整したこと以外は、実施例１と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．１μｍ）／基材（１００μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００６８】
＜比較例５＞
剥離剤１００質量部を、トルエン２３３質量部で希釈し、十分に分散させて、背面層形成用塗工液（剥離剤の固形分濃度：３％）を調製し、且つ、背面層形成用塗工液を乾燥後の膜厚が０．３μｍとなるように調整したこと以外は、実施例１と同様の方法にてセパレータレス型ダイシングテープ（背面層（０．３μｍ）／基材（１００μｍ）／粘着剤層（１０μｍ））及びその原反を得た。
【００６９】
［背面層形成用塗工液の塗布ムラの確認］
上記実施例１〜９及び比較例１〜５で得られたダイシングテープの背面層における背面層形成用塗工液の塗布ムラの有無を目視にて確認した。塗布ムラが認められなかった場合を○、わずかに認められた場合を△、明らかに認められた場合を×と評価した。結果を表３に示す。
【００７０】
［剥離剤残りの有無の確認］
上記実施例１〜９及び比較例１〜５で得られたダイシングテープ原反から、幅２５ｍｍ×長さ１００ｍｍの大きさのダイシングテープを切り出し、試験片を作成した。
上記試験片の粘着剤層面をシリコンウェーハに２ｋｇのローラーを用いて貼合し、常温常湿下にて２０分間放置した。次いで、基材側からフュージョン社製のＨ・バルブランプを光源とする紫外線を照射（積算光量：２００ｍｊ／ｃｍ２）した後、試験片を剥がし（剥離速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ，剥離距離：５０ｍｍ，剥離角：１８０°）、上記シリコンウェーハ上の剥離剤残りを光学顕微鏡（ＶＨＸ−６００，キーエンス社製，倍率：２００）にて確認した。結果を表３に示す。
【００７１】
［巻き出し強度評価］
上記実施例１〜９及び比較例１〜５で得られたダイシングテープ原反から、幅２５ｍｍ×長さ１５０ｍｍの大きさの２層重なった状態のダイシングテープ（背面層／基材／粘着剤層／背面層／基材／粘着剤層）を切り出し、試験片を作成した。この試験片の一方のダイシングテープを、他方のダイシングテープから試験片の長さ方向に剥がすことにより、巻き出し強度を測定（剥離速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ，剥離角：１８０°）した。測定装置には、万能材料試験機（５５６５型，インストロン・ジャパン社製）を用いた。なお、評価基準は次のとおりである。○：０．０１〜０．６Ｎ／２５ｍｍの範囲内、×：０．０１Ｎ／２５ｍｍ未満、又は、０．６Ｎ／２５ｍｍ超。
【００７２】
【表３】
2012015341.tif 000005
【００７３】
実施例１〜９では、背面層形成用塗工液の塗布ムラは認められず、剥離剤残りも発生しなかった。また、実施例１〜９では、テープ使用時の巻き出し強度が、ダイシングテープとしての所望の値に制御されていた。
これに対して、背面層の膜厚が薄い比較例１，２、背面層形成用塗工液中の剥離剤の固形分濃度が低い比較例５、及び背面層形成用塗工液中の剥離剤の固形分濃度が低く、且つ、背面層の膜厚が薄い比較例４では、塗布ムラが生じ、剥離剤残りが確認された。また、粉末状の長鎖アルキルペンダントポリマーを剥離剤として用いた比較例３では、塗布ムラだけでなく、剥離剤の析出が生じ、また、剥離剤残りも確認された。
【符号の説明】
【００７４】
１    基材
２    粘着剤層
３    背面層
１０  セパレータレス型ダイシングテープ
２０  セパレータレス型ダイシングテープ原反
【図１】
2012015341.tif 000006
【図２】
2012015341.tif 000007