(57)【要約】【課題】工程間時間に基づいた工程解析を容易に行うことができる工程解析システムを提供すること。【解決手段】実施形態の工程解析システムは、基準判定部が、各ロットの工程間時間が基準範囲内であるか否かを工程毎に判定する。割合算出部は、前記工程間時間が基準範囲外となったロットの割合を工程毎に算出する。基準外工程抽出部は、前記割合が所定値以上である工程を基準範囲外工程として抽出し、所定期間における抽出回数を前記工程毎に記憶部に記憶させる。工程抽出部は、前記抽出回数に基づいて、トラブル発生の可能性がある工程を抽出する。相関関係算出部は、抽出された工程で処理されたロット内の基板が有する回路パターンに関する特性と、前記工程間時間と、の相関関係を算出する。限界値算出部は、前記相関関係に基づいて、前記工程間時間の限界値を算出する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造単位であるロットごとに各工程で基板処理が行われる各ロットに対して算出された工程と工程との間の時間である工程間時間と、工程間時間基準と、を比較することによって、前記工程間時間が基準範囲内であるか否かを工程毎に判定する基準判定部と、
前記比較が行われた全ロットのうち前記工程間時間が基準範囲外となったロットの割合を所定のタイミングで工程毎に算出する割合算出部と、
前記割合が所定値以上である工程を基準範囲外工程として抽出する基準外工程抽出部と、
前記基準範囲外工程の所定期間における抽出回数を前記工程毎に記憶する記憶部と、
前記抽出回数に基づいて、トラブル発生の可能性がある工程を抽出する工程抽出部と、
抽出された工程で処理されたロット内の基板が有する回路パターンに関する特性と、前記工程間時間と、の相関関係を算出する相関関係算出部と、
前記相関関係に基づいて、前記工程間時間の限界値を算出する限界値算出部と、
を備えることを特徴とする工程解析システム。
【請求項２】
前記回路パターンに関する特性は、前記工程で基板処理された回路パターンの寸法に関する寸法データ、前記回路パターンの電気特性に関するＴＥＧデータおよび前記回路パターンのダイソートテストで測定されたＤ／Ｓデータの少なくとも１つであることを特徴とする請求項１に記載の工程解析システム。
【請求項３】
前記トラブル発生の可能性がある工程は、異常状態が常態化している可能性のある工程であり、
前記工程抽出部は、前記抽出回数の値が全工程の中で上位から所定数番目までの工程を、前記トラブル発生の可能性がある工程として抽出することを特徴とする請求項１または２に記載の工程解析システム。
【請求項４】
前記トラブル発生の可能性がある工程は、突発性異常のあった可能性のある工程であり、
前記工程抽出部は、所定期間の間、前記基準範囲外工程としての抽出が行われず、かつ最新の登録処理で前記基準範囲外工程としての登録が行われた工程を、前記トラブル発生の可能性がある工程として抽出することを特徴とする請求項１または２に記載の工程解析システム。
【請求項５】
製造単位であるロットごとに各工程で基板処理が行われる各ロットに対して算出された工程と工程との間の時間である工程間時間と、工程間時間基準と、を比較することによって、前記工程間時間が基準範囲内であるか否かを工程毎に判定する基準判定ステップと、
前記比較が行われた全ロットのうち前記工程間時間が基準範囲外となったロットの割合を所定のタイミングで工程毎に算出する割合算出ステップと、
前記割合が所定値以上である工程を基準範囲外工程として抽出する基準外工程抽出ステップと、
前記基準範囲外工程の所定期間における抽出回数を前記工程毎に記憶する記憶ステップと、
前記抽出回数に基づいて、トラブル発生の可能性がある工程を抽出する工程抽出ステップと、
抽出された工程で処理されたロット内の基板が有する回路パターンに関する特性と、前記工程間時間と、の相関関係を算出する相関関係算出ステップと、
前記相関関係に基づいて、前記工程間時間の限界値を算出する限界値算出ステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする工程解析プログラム。
【請求項６】
製造単位であるロットごとに各工程で基板処理が行われる各ロットに対して算出された工程と工程との間の時間である工程間時間と、工程間時間基準と、を比較することによって、前記工程間時間が基準範囲内であるか否かを工程毎に判定する基準判定ステップと、
前記比較が行われた全ロットのうち前記工程間時間が基準範囲外となったロットの割合を所定のタイミングで工程毎に算出する割合算出ステップと、
前記割合が所定値以上である工程を基準範囲外工程として抽出する基準外工程抽出ステップと、
前記基準範囲外工程の所定期間における抽出回数を前記工程毎に記憶する記憶ステップと、
前記抽出回数に基づいて、トラブル発生の可能性がある工程を抽出する工程抽出ステップと、
抽出された工程で処理されたロット内の基板が有する回路パターンに関する特性と、前記工程間時間と、の相関関係を算出する相関関係算出ステップと、
前記相関関係に基づいて、前記工程間時間の限界値を算出する限界値算出ステップと、
を含むことを特徴とする工程解析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、工程解析システム、工程解析プログラムおよび工程解析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置などの製造工程においては、ウエハなどの基板に対してリソグラフィ、エッチングなどの複数の処理が行われる。このような製造工程では、処理と処理との間の待ち時間である工程間時間が発生する。そして、工程間時間が長くなると、歩留まりが低下する場合がある。
【０００３】
しかしながら、工程間時間がオーバーすることで必ずしも歩留が低下するとは限らないので、工程間時間に対する基準の妥当性や根拠がなかった。このため、工程間時間に基づいた工程解析を容易に行うことが望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１２０９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、工程間時間に基づいた工程解析を容易に行うことができる工程解析システム、工程解析プログラムおよび工程解析方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態によれば、工程解析システムが提供される。工程解析システムは、基準判定部と、割合算出部と、基準外工程抽出部と、記憶部と、工程抽出部と、相関関係算出部と、限界値算出部と、を備えている。前記基準判定部は、製造単位であるロットごとに各工程で基板処理が行われる各ロットに対して算出された工程と工程との間の時間である工程間時間と、工程間時間基準と、を比較することによって、前記工程間時間が基準範囲内であるか否かを工程毎に判定する。前記割合算出部は、前記比較が行われた全ロットのうち前記工程間時間が基準範囲外となったロットの割合を所定のタイミングで工程毎に算出する。前記基準外工程抽出部は、前記割合が所定値以上である工程を基準範囲外工程として抽出する。前記記憶部は、前記基準範囲外工程の所定期間における抽出回数を前記工程毎に記憶する。前記工程抽出部は、前記抽出回数に基づいて、トラブル発生の可能性がある工程を抽出する。前記相関関係算出部は、抽出された工程で処理されたロット内の基板が有する回路パターンに関する特性と、前記工程間時間と、の相関関係を算出する。前記限界値算出部は、前記相関関係に基づいて、前記工程間時間の限界値を算出する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、実施形態に係る工程解析システムの構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、データ処理サーバの構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、半導体装置の製造処理手順を示すフローチャートである。
【図４】図４は、工程解析の処理手順を示すフローチャートである。
【図５】図５は、処理履歴データの構成例を示す図である。
【図６】図６は、ＮＧ率情報の構成例を示す図である。
【図７】図７は、カウントマスタの構成例を示す図である。
【図８】図８は、実施形態に係る工程解析を説明するための図である。
【図９】図９は、ユーザ画面の一例を示す図である。
【図１０】図１０は、データ処理サーバのハードウェア構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に添付図面を参照して、実施形態に係る工程解析システム、工程解析プログラムおよび工程解析方法を詳細に説明する。なお、この実施形態により本発明が限定されるものではない。
【０００９】
（実施形態）
図１は、実施形態に係る工程解析システムの構成を示すブロック図である。工程解析システム１は、半導体装置などの製造工程における工程間時間に基づいて工程解析を行うシステムであり、複数のコンピュータなどを備えて構成されている。半導体装置が形成されるウエハなどの基板は、製造単位であるＬＯＴ（ロット）毎に種々の半導体製造工程に回される。このため、工程解析システム１は、ＬＯＴ単位で工程解析を行う。本実施形態の工程解析システム１は、工程間時間と回路パターンに関する特性（後述のＩＤＳ，ＴＥＧ、Ｄ／Ｓ）との相関関係に基づいて、トラブルの発生している可能性が高い工程を抽出する。
【００１０】
工程解析システム１は、データ処理サーバ１０、解析用ＤＢ２０、ＱＴｉｍｅＤＢ３０、ＱＴｉｍｅ算出装置４０、ユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎ（ｎは自然数）を有している。解析用ＤＢ２０は、工程解析に用いられる種々のデータを記憶するデータベースである。解析用ＤＢ２０には、処理履歴データ２１、ＩＱＣデータ２２、ＴＥＧデータ２３、Ｄ／Ｓデータ２４が格納される。
【００１１】
処理履歴データ２１は、ＬＯＴ毎の処理履歴を示すデータである。処理履歴データ２１には、何れの工程がいつ処理されたかの日時に関する情報が、ＬＯＴ番号毎に格納されている。１つのＬＯＴに対して１つの工程（ウエハ処理）が完了する都度、処理履歴データ２１が更新される。処理履歴データ２１は、工程間時間（ＬＯＴの放置時間）であるＱＴｉｍｅの算出に用いられる。
【００１２】
ＩＱＣデータ２２は、ウエハが完成するまでの途中工程で測定されるＩＱＣ（Internal  Quality  Control）に関するデータである。ＩＱＣデータ２２は、例えば、ウエハ上に形成されているパターンの寸法、ウエハ上に形成された膜の膜厚、レイヤ間の重ね合わせずれ量などである。
【００１３】
ＴＥＧデータ２３は、ウエハの完成後に測定されるＴＥＧ（Test  Element  Group）のデータである。ＴＥＧデータ２３は、例えば、ウエハ上に形成された回路パターンなどの特性（電圧、抵抗値など）である。
【００１４】
Ｄ／Ｓデータ２４は、ウエハをダイシングする前のダイソートテストで測定された測定結果である。Ｄ／Ｓデータ２４は、例えば、実チップの特性である。
【００１５】
ＱＴｉｍｅ算出装置４０は、処理履歴データ２１を用いてＱＴｉｍｅを算出するコンピュータなどである。ＱＴｉｍｅ算出装置４０は、解析用ＤＢ２０から処理履歴データ２１を読み出してＱＴｉｍｅを算出し、算出結果をＱＴｉｍｅデータ３１としてＱＴｉｍｅＤＢ３０に格納する。例えば、工程Ａの終了時間が１１時３０分であり、工程Ｂの開始時間が１２時４５分である場合、１２時４５分−１１時３０分＝１時間１５分が、工程Ａ−Ｂ間のＱＴｉｍｅとなる。
【００１６】
ＱＴｉｍｅＤＢ３０は、ＱＴｉｍｅに関するデータを記憶するデータベースである。ＱＴｉｍｅＤＢ３０は、ＱＴｉｍｅデータ３１、ＱＴｉｍｅ基準データ３２を格納する。ＱＴｉｍｅ基準データ３２は、ＱＴｉｍｅの基準を示すデータであり、工程間毎に設定されている。
【００１７】
データ処理サーバ１０は、異常の発生した可能性が高い工程を抽出するとともに、異常が許容範囲を超えそうな場合にユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎに異常を通知するコンピュータなどである。本実施形態のデータ処理サーバ１０は、ＱＴｉｍｅデータ３１、ＱＴｉｍｅ基準データ３２、ＩＱＣデータ２２、ＴＥＧデータ２３、Ｄ／Ｓデータ２４に基づいて、異常状態が常態化している可能性が高いＮＧ工程（以下、異常状態常態化工程という）および突発性異常のあった可能性が高いＮＧ工程（以下、突発性異常工程という）を抽出する。データ処理サーバ１０は、抽出したＮＧ工程を解析し、解析結果に基づいて、ユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎにトラブル発生に関する通知を行う。
【００１８】
ユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎは、工程管理者などによって使用されるコンピュータなどである。ユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎは、データ処理サーバ１０からの通知に基づいて、トラブルの発生している可能性が高い工程（異常が許容範囲を超えそうな工程）に関するデータ（ＩＱＣなど）を表示する。
【００１９】
なお、ここではＱＴｉｍｅ算出装置４０とデータ処理サーバ１０を別々の構成としたが、データ処理サーバ１０がＱＴｉｍｅ算出装置４０を備える構成としてもよい。
【００２０】
つぎに、データ処理サーバ１０の構成について説明する。図２は、データ処理サーバの構成を示すブロック図である。データ処理サーバ１０は、入力部１１、基準判定部１２、ＮＧ率算出部１３、カウントマスタ登録部１４、工程抽出部１５、相関関係算出部１６、解析部１７、アラーム出力部１８、カウントマスタ記憶部１９Ａ、測定データ記憶部１９Ｂを備えている。
【００２１】
入力部１１は、ＱＴｉｍｅデータ３１、ＱＴｉｍｅ基準データ３２、ＩＱＣデータ２２、ＴＥＧデータ２３、Ｄ／Ｓデータ２４などを入力する。入力部１１は、入力したＱＴｉｍｅデータ３１、ＱＴｉｍｅ基準データ３２を基準判定部１２に送る。また、入力部１１は、入力したＩＱＣデータ２２、ＴＥＧデータ２３、Ｄ／Ｓデータ２４を測定データ記憶部１９Ｂに送る。
【００２２】
基準判定部１２は、ＱＴｉｍｅデータ３１、ＱＴｉｍｅ基準データ３２に基づいて、何れの工程間でＱＴｉｍｅが基準範囲外（異常）となったかを判定する。例えばＬＯＴ内の１枚のウエハでもＮＧであれば、ＮＧのＬＯＴであると判定される。基準判定部１２は、ＬＯＴ毎の異常判定結果を、ＮＧ率算出部１３に送る。なお、以下では、第１の工程と第２の工程との間の工程間でＱＴｉｍｅが基準異常となった場合、第２の工程でＱＴｉｍｅが異常となったものとして説明する。
【００２３】
ＮＧ率算出部１３は、異常判定結果に基づいて、工程毎のＮＧ率を算出する。ＮＧ率は、（（異常と判定されたＬＯＴのＬＯＴ数）／（異常判定を行ったＬＯＴのＬＯＴ数））×１００によって算出される。異常判定を行なうＬＯＴは、例えば各工程でその日処理されたＬＯＴ全数である。なお、異常判定を行なうＬＯＴは、例えば最新の所定数（例えば、１００ＬＯＴ）としてもよい。
【００２４】
ＱＴｉｍｅが異常となったか否かの判定結果は、ウエハ（回路パターンなどの寸法や膜厚など）が不良であるか否かを示すものではなく、異常状態の可能性（確率）が所定値よりも高いか否かを示すものである。したがって、ＱＴｉｍｅが異常となったか否かの判定結果は、異常状態の可能性が所定値よりも高い工程を抽出するために用いられる。このため、本実施形態のＮＧ率は、ウエハの不良率を示すものではなく、異常状態の可能性が高いか低いかを示すものである。
【００２５】
また、本実施形態のＮＧ工程（異常状態常態化工程、突発性異常工程）は、異常状態の可能性が所定値よりも高い工程である。そして、ＮＧ工程の解析結果に基づいてユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎに通知される情報は、トラブルの発生した可能性が所定値よりも高い工程に関する情報である。
【００２６】
カウントマスタ登録部１４は、ＮＧ率が所定値以上の工程を抽出して、カウントマスタ記憶部１９Ａ内のカウントマスタに登録する。以下では、一例としてＮＧ率が３０％以上の工程をカウントマスタに登録する場合について説明する。本実施形態では、異常状態常態化工程を解析する際に用いるカウントマスタ（後述の１ヶ月カウントマスタ１０２Ａ）と、突発性異常工程を解析する際に用いるカウントマスタ（後述の１週間カウントマスタ１０２Ｂ）と、がカウントマスタ登録部１４に登録される。
【００２７】
１ヶ月カウントマスタ１０２Ａは、１ヶ月間においてＮＧ率が３０％以上となった日のカウント値（カウントマスタ登録部１４に抽出された日数）を工程毎に示す情報である。１週間カウントマスタ１０２Ｂは、１週間においてＮＧ率が３０％以上となった日のカウント値（カウントマスタ登録部１４に抽出された日数）を工程毎に示す情報である。カウントマスタ登録部１４は、例えば工程Ａでの１日のＮＧ率が３０％以上の場合、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａ、１週間カウントマスタ１０２Ｂ内の工程Ａのカウント値に１をプラスする。
【００２８】
工程抽出部１５は、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａに基づいて、異常状態常態化工程を所定数抽出する。本実施形態では、工程抽出部１５が、異常状態常態化工程として、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａで例えば上位３位までのカウント値を示す工程を抽出する。
【００２９】
また、工程抽出部１５は、１週間カウントマスタ１０２Ｂに基づいて、突発性異常工程を抽出する。本実施形態では、工程抽出部１５が、突発性異常工程として、１週間カウントマスタ１０２Ｂ内に登録されておらず、今回の登録（最新の登録）で１週間カウントマスタ１０２Ｂにカウントされた工程を抽出する。
【００３０】
相関関係算出部１６は、工程抽出部１５で抽出された工程に対して、ＱＴｉｍｅとＩＱＣデータ２２の関係、ＱＴｉｍｅとＴＥＧデータ２３の関係、ＱＴｉｍｅとＤ／Ｓデータ２４の関係を算出する。具体的には、相関関係算出部１６は、ＱＴｉｍｅとの関係として、散布図や相関係数を算出する。
【００３１】
解析部１７は、相関関係算出部１６が算出した散布図や相関係数を解析し、解析結果に基づいて、ユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎへのアラームを必要とする工程を選択する。解析部１７は、散布図や相関係数に基づいて、ＱＴｉｍｅの限界値を算出し、ＱＴｉｍｅの限界値を超えた工程を、ユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎへのアラームが必要な工程に決定する。
【００３２】
アラーム出力部１８は、アラームが必要な工程に関する情報を、ユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎにメールなどで通知する。カウントマスタ記憶部１９Ａは、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａ、１週間カウントマスタ１０２Ｂを記憶するメモリなどであり、測定データ記憶部１９Ｂは、ＩＱＣデータ２２、ＴＥＧデータ２３、Ｄ／Ｓデータ２４を記憶するメモリなどである。
【００３３】
ここで、半導体装置の製造処理手順について説明する。図３は、半導体装置の製造処理手順を示すフローチャートである。半導体装置が形成されるウエハが投入された後（ステップＳ１０）、ウエハ処理（リソグラフィやエッチングなどの製造工程）が行われる（ステップＳ２０）。この後、ウエハ処理に対する処理結果がとして、出来栄え（ＩＱＣ）が測定される（ステップＳ３０）。ここで測定されるＩＱＣは、ウエハ上のパターン寸法などであり、測定結果は、ＩＱＣデータ２２として解析用ＤＢ２０に格納される。出来栄えが測定された後、ウエハの払い出しが行われる（ステップＳ４０）。
【００３４】
そして、全てのウエハ処理が完了していなければ（ステップＳ５０、Ｎｏ）、ステップＳ２０〜Ｓ４０の処理が繰り返される。具体的には、次のウエハ処理が行われた後（ステップＳ２０）、出来栄えが測定され（ステップＳ３０）、その後、ウエハの払い出しが行われる（ステップＳ４０）。ウエハの払い出しから次の処理の開始までの時間が、ＱＴｉｍｅである。
【００３５】
全てのウエハ処理が完了するまでステップＳ２０〜Ｓ５０の処理が繰り返される。そして、全てのウエハ処理が完了すると（ステップＳ５０、Ｙｅｓ）、ウエハ上のＴＥＧが測定される（ステップＳ６０）。ＴＥＧの測定結果は、ＴＥＧデータ２３として解析用ＤＢ２０に格納される。その後、Ｄ／Ｓテストが行われる（ステップＳ７０）。Ｄ／Ｓの測定結果は、Ｄ／Ｓデータ２４として解析用ＤＢ２０に格納される。
【００３６】
つぎに、工程解析システム１による工程解析の処理順について説明する。図４は、工程解析の処理手順を示すフローチャートである。ＱＴｉｍｅ算出装置４０は、処理履歴データ２１を用いてＱＴｉｍｅを算出し（ステップＳ１１０）、ＱＴｉｍｅデータ３１としてＱＴｉｍｅＤＢ３０に格納する。
【００３７】
ここで、処理履歴データ２１の一例について説明する。図５は、処理履歴データの構成例を示す図である。処理履歴データ２１は、ＬＯＴ番号と、工程毎のＱＴｉｍｅと、が対応付けされたデータである。図５では、ＬＯＴ番号が「００１」、「００２」のＬＯＴにおける、工程Ａ（前工程から工程Ａまで）のＱＴｉｍｅ、工程Ｂ（工程Ａから工程Ｂまで）のＱＴｉｍｅ、工程Ｃ（工程Ｂから工程Ｃまで）のＱＴｉｍｅを示している。
【００３８】
データ処理サーバ１０は、ＱＴｉｍｅデータ３１、ＱＴｉｍｅ基準データ３２を読み込む（ステップＳ１２０）。ＱＴｉｍｅデータ３１、ＱＴｉｍｅ基準データ３２は、入力部１１から基準判定部１２に送られる。
【００３９】
基準判定部１２は、ＱＴｉｍｅデータ３１と、ＱＴｉｍｅ基準データ３２と、を比較して大小関係を判定することにより、何れの工程間でＱＴｉｍｅが異常となったかの基準判定を行う。これにより、基準判定が合格か否かが判定される（ステップＳ１３０）。基準判定部１２は、ＱＴｉｍｅ基準データ３２で設定されている基準（ＮＧ工程と判定するか否かの基準値）より長いＱＴｉｍｅを異常と判定する。
【００４０】
基準判定が合格の場合（ステップＳ１３０、Ｙｅｓ）、この工程は正常と判定される（ステップＳ１３１）。データ処理サーバ１０では、正常な工程のＬＯＴに関しては、異常判定などの処理は行わない。この場合、基準判定部１２は、正常な工程の工程名と、正常と判定されたＬＯＴのＬＯＴ番号と、正常であることを示す判定結果と、を対応付けてＮＧ率算出部１３に送る。
【００４１】
一方、基準判定が不合格の場合（ステップＳ１３０、Ｎｏ）、この工程は異常であると判定される（ステップＳ１３２）。この場合、基準判定部１２は、異常な工程の工程名と、異常と判定されたＬＯＴのＬＯＴ番号と、異常であることを示す判定結果と、を対応付けてＮＧ率算出部１３に送る。ＮＧ率算出部１３は、異常判定結果に基づいて、工程毎のＮＧ率をＮＧ率情報として日毎に算出する（ステップＳ１４０）。
【００４２】
ここで、ＮＧ率情報の構成例について説明する。図６は、ＮＧ率情報の構成例を示す図である。ＮＧ率情報１０１は、工程名と、ＮＧ率と、を対応付けしたデータである。ここでは、工程ＡのＮＧ率が「Ｘａ」であり、工程ＢのＮＧ率が「Ｘｂ」であり、工程ＣのＮＧ率が「Ｘｃ」である場合を示している。
【００４３】
ＮＧ率算出部１３は、算出したＮＧ率情報１０１を、カウントマスタ登録部１４に送る。カウントマスタ登録部１４は、ＮＧ率情報１０１に基づいて、工程毎にＮＧ率の判定を行う。これにより、ＮＧ率が基準内（３０％未満）であるか否かが判定される（ステップＳ１５０）。
【００４４】
ＮＧ率が３０％未満である場合（ステップＳ１５０、Ｙｅｓ）、この工程は、異常の可能性が低い工程であるので工程解析の対象外（基準内）であると判定される。この場合、データ処理サーバ１０では、異常の基準外のＬＯＴに関しては、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａ、１週間カウントマスタ１０２Ｂへの登録は行わない。
【００４５】
一方、ＮＧ率が３０％以上である場合（ステップＳ１５０、Ｎｏ）、この工程は、異常の可能性が高い工程であるので工程解析の対象候補であると判定される。この場合、カウントマスタ登録部１４は、ＮＧ率が３０％以上の工程を、カウントマスタ記憶部１９Ａ内の１ヶ月カウントマスタ１０２Ａ、１週間カウントマスタ１０２Ｂに登録する（ステップＳ１６１、ステップＳ１６２）。
【００４６】
ここで、カウントマスタ（１ヶ月カウントマスタ１０２Ａ、１週間カウントマスタ１０２Ｂ）の構成例について説明する。図７は、カウントマスタの構成例を示す図である。図７の（ａ）は、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａの構成例を示し、図７の（ｂ）は、１週間カウントマスタ１０２Ｂの構成例を示している。
【００４７】
図７の（ａ）に示すように、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａでは、「工程名」と「１ヶ月カウント数」とが対応付けられている。「１ヶ月カウント数」は、直近の１ヶ月（例えば３０日）の間に、ＮＧ率が３０％以上となった日のカウント数（日数）である。
【００４８】
また、図７の（ｂ）に示すように、１週間カウントマスタ１０２Ｂでは、「工程名」と「１週間カウント数」とが対応付けられている。「１週間カウント数」は、直近の１週間の間に、ＮＧ率が３０％以上となった日のカウント数（日数）である。
【００４９】
この後、工程抽出部１５は、最新の１ヶ月カウントマスタ１０２Ａをカウントマスタ記憶部１９Ａから読み込む（ステップＳ１７０）。そして、工程抽出部１５は、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａに基づいて、異常状態常態化工程を所定数抽出する（ステップＳ１８０）。換言すると、工程抽出部１５は、異常状態常態化工程の絞込み・削除を行う。具体的には、工程抽出部１５が、異常状態常態化工程として、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａで上位３位までのカウント値を示す工程を抽出する。
【００５０】
また、工程抽出部１５は、最新の１週間カウントマスタ１０２Ｂをカウントマスタ記憶部１９Ａから読み込む（ステップＳ１９０）。そして、工程抽出部１５は、１週間カウントマスタ１０２Ｂに基づいて、突発性異常工程を抽出する（ステップＳ２００）。換言すると、工程抽出部１５は、突発性異常工程の絞込み・削除を行う。具体的には、工程抽出部１５は、突発性異常工程として、１週間カウントマスタ１０２Ｂ内に登録されておらず、今回の登録で１週間カウントマスタ１０２Ｂにカウントされた工程（最新更新日にＮＧ率が３０％以上であった工程）を抽出する。
【００５１】
工程抽出部１５は、最新の１ヶ月カウントマスタ１０２Ａから抽出した工程（異常状態常態化工程）と、この工程のＱＴｉｍｅとを対応付けて相関関係算出部１６に送る。また、工程抽出部１５は、最新の１週間カウントマスタ１０２Ｂから抽出した工程（突発性異常工程）と、この工程のＱＴｉｍｅとを対応付けて相関関係算出部１６に送る。
【００５２】
相関関係算出部１６は、工程抽出部１５で抽出された工程に対応するＩＱＣデータ２２、ＴＥＧデータ２３、Ｄ／Ｓデータ２４を、測定データ記憶部１９Ｂから読み込む。これにより、相関関係算出部１６は、異常状態常態化工程を通過したＬＯＴの詳細データと、突発性異常工程を通過したＬＯＴの詳細データと、を取得する（ステップＳ２１０）。
【００５３】
相関関係算出部１６は、工程抽出部１５で抽出された工程に対して、ＱＴｉｍｅとＩＱＣデータ２２の関係、ＱＴｉｍｅとＴＥＧデータ２３の関係、ＱＴｉｍｅとＤ／Ｓデータ２４の関係を算出する。相関関係算出部１６は、ＱＴｉｍｅとの関係として、例えば散布図や相関係数を算出する（ステップＳ２２０）。
【００５４】
解析部１７は、相関関係算出部１６が算出した散布図や相関係数を解析し（ステップＳ２３０）、解析結果に基づいて、ユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎへのアラーム発報を必要とする工程を選択する。アラーム発報を必要とする工程は、トラブル発生の可能性が所定値よりも高い工程である。
【００５５】
図８は、実施形態に係る工程解析を説明するための図である。ここでは、ある特定の工程でトラブル発生の可能性があるか否かを解析する場合について説明する。図８において、グラフ２０１は、各ＬＯＴの処理日時（ウエハ処理の日時）と、ＱＴｉｍｅとの関係を示している。ある日時を境にＱＴｉｍｅが増加し、さらに、ある日時を境にＱＴｉｍｅが基準を越える場合がある。ＱＴｉｍｅが基準を超えた場合には、基準判定部１２で不合格と判定される。
【００５６】
そして、カウントマスタ登録部１４は、ＮＧ率が３０％以上となった場合には、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａ、１週間カウントマスタ１０２Ｂへの登録を行う。工程抽出部１５が、異常状態常態化工程、突発性異常工程を抽出すると、相関関係算出部１６は、異常状態常態化工程を通過したＬＯＴの詳細データと、突発性異常工程を通過したＬＯＴの詳細データと、を取得する。具体的には、相関関係算出部１６は、工程抽出部１５で抽出された工程でウエハ処理されたＬＯＴのＩＱＣデータ２２、ＴＥＧデータ２３、Ｄ／Ｓデータ２４を抽出する。
【００５７】
そして、相関関係算出部１６は、ＩＱＣデータ２２を用いて、ＬＯＴとＩＱＣとの関係（グラフ２０３Ａ）を導出する。グラフ２０３Ａの横軸には、ＮＧ工程を通過したＬＯＴのＬＯＴ番号が時系列で配置されている。そして、グラフ２０３Ａの縦軸をＩＱＣとしている。グラフ２０３Ａに示すように、ＮＧ工程では、ある日時からＩＱＣが大きく変化している。
【００５８】
同様に、相関関係算出部１６は、ＴＥＧデータ２３を用いて、ＬＯＴとＴＥＧ測定結果との関係（グラフ２０３Ｂ）を導出する。グラフ２０３Ｂの横軸には、ＮＧ工程を通過したＬＯＴのＬＯＴ番号が時系列で配置されている。そして、グラフ２０３Ｂの縦軸をＴＥＧ測定結果としている。グラフ２０３Ｂに示すように、ＮＧ工程では、ある日時からＴＥＧ測定結果が大きく変化している。
【００５９】
さらに、相関関係算出部１６は、Ｄ／Ｓデータ２４を用いて、ＬＯＴとＤ／Ｓ測定結果との関係（グラフ２０３Ｃ）を導出する。グラフ２０３Ｃの横軸には、ＮＧ工程を通過したＬＯＴのＬＯＴ番号が時系列で配置されている。そして、グラフ２０３Ｃの縦軸をＤ／Ｓ測定結果としている。グラフ２０３Ｃに示すように、ＮＧ工程では、ある日時からＤ／Ｓ測定結果が大きく変化している。
【００６０】
この後、相関関係算出部１６は、グラフ２０３Ａを用いて、ＱＴｉｍｅとＩＱＣデータ２２の関係（グラフ２０４Ａ）を算出する。同様に、相関関係算出部１６は、グラフ２０３Ｂを用いて、ＱＴｉｍｅとＴＥＧデータ２３の関係（グラフ２０４Ｂ）を算出し、相関関係算出部１６は、グラフ２０３Ｃを用いて、ＱＴｉｍｅとＤ／Ｓデータ２４の関係（グラフ２０４Ｃ）を算出する。
【００６１】
グラフ２０４Ａ〜２０４Ｃは、横軸がグラフ２０３Ａ〜２０３Ｃに示したＬＯＴのＱＴｉｍｅである。換言すると、グラフ２０４Ａ〜２０４Ｃの横軸には、ＮＧ工程を通過したＬＯＴのＱＴｉｍｅが時系列で配置されている。そして、グラフ２０４Ａ〜２０４Ｃの縦軸を、それぞれＩＱＣ、ＴＥＧ測定結果、Ｄ／Ｓ測定結果としている。
【００６２】
相関関係算出部１６は、グラフ２０４Ａ〜２０４Ｃに基づいて、散布図や相関係数を算出する。そして、解析部１７は、相関関係算出部１６が算出した散布図や相関係数を解析し、解析結果に基づいてＱＴｉｍｅの限界値を算出する。換言すると、ＱＴｉｍｅと出来映え（ＩＱＣ、ＴＥＧ、Ｄ／Ｓ）との相関関係に基づいて、ＱＴｉｍｅの限界値が算出される。
【００６３】
さらに、解析部１７は、ＱＴｉｍｅの限界値に基づいて、アラーム発報を必要とする工程を選択する。解析部１７は、例えば、アラーム発報を行うか否かの基準となる基準を超えた場合に、アラーム発報が必要であると判断する。
【００６４】
アラーム出力部１８は、アラームが必要な工程に関する情報を、ユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎにメールなどでアラーム発報する（ステップＳ２４０）。本実施形態では、上述した工程解析処理を対象ＬＯＴが払い出しされるまで、定期的・自動的に行ない、常時モニタできるようにしておく。
【００６５】
ここで、ユーザ端末Ｕ１〜Ｕｎで表示されるユーザ画面の一例について説明する。図９は、ユーザ画面の一例を示す図である。ユーザ画面３０１には、ＮＧ率が３０％以上のＮＧ工程に関する情報が表示される。
【００６６】
ここでは、ユーザ画面３０１として、３つのグラフ２０５Ａ，２０５Ｂ，２０５Ｃが表示される場合を示している。グラフ２０５Ａ〜２０５Ｃは、それぞれ縦軸（Ｙ軸）がＩＱＣ、ＴＥＧ測定結果、Ｄ／Ｓ測定結果である。また、グラフ２０５Ａ〜２０５Ｃの横軸（Ｘ軸）は、ＬＯＴへの処理日時、ＬＯＴ番号、ＱＴｉｍｅなどの何れでもよい。
【００６７】
ユーザ画面３０１には、工程を選択する選択欄６０が設けられている。選択欄６０で工程が選択されることにより、選択された工程のグラフ２０５Ａ〜２０５Ｃが表示される。また、ユーザ画面３０１には、Ｘ軸を何れの項目にするかの選択欄７０が設けられている。選択欄７０でＬＯＴへの処理日時、ＬＯＴ番号、ＱＴｉｍｅの何れかが選択されることにより、選択された項目がグラフ２０５Ａ〜２０５ＣのＸ軸に設定される。なお、ユーザ画面３０１では、グラフ２０５Ａ〜２０５Ｃとともに、グラフ２０５Ａ〜２０５Ｃの相関係数を表示してもよい。
【００６８】
工程解析システム１によって、トラブルが発生している可能性が所定値よりも高いと判断された工程は、必要に応じて工程の改善などが行われる。また、工程解析に基づいて、図８のグラフ２０１，２０４Ａ〜２０４Ｃに示した基準を修正してもよい。
【００６９】
つぎに、データ処理サーバ１０のハードウェア構成について説明する。図１０は、データ処理サーバのハードウェア構成を示す図である。データ処理サーバ１０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）９１、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）９２、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）９３、表示部９４、入力部９５を有している。データ処理サーバ１０では、これらのＣＰＵ９１、ＲＯＭ９２、ＲＡＭ９３、表示部９４、入力部９５がバスラインを介して接続されている。
【００７０】
ＣＰＵ９１は、コンピュータプログラムである工程解析プログラム９７を用いてパターンの判定を行う。表示部９４は、液晶モニタなどの表示装置であり、ＣＰＵ９１からの指示に基づいて、ＩＱＣデータ２２、ＴＥＧデータ２３、Ｄ／Ｓデータ２４、ＱＴｉｍｅデータ３１、ＱＴｉｍｅ基準データ３２、ＮＧ率情報１０１、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａ、１週間カウントマスタ１０２Ｂ、グラフ２０１，２０３Ａ〜２０３Ｃ，２０４Ａ〜２０４Ｃなどを表示する。入力部９５は、マウスやキーボードを備えて構成され、使用者から外部入力される指示情報（工程解析に必要なパラメータ等）を入力する。入力部９５へ入力された指示情報は、ＣＰＵ９１へ送られる。
【００７１】
工程解析プログラム９７は、ＲＯＭ９２内に格納されており、バスラインを介してＲＡＭ９３へロードされる。図１０では、工程解析プログラム９７がＲＡＭ９３へロードされた状態を示している。
【００７２】
ＣＰＵ９１はＲＡＭ９３内にロードされた工程解析プログラム９７を実行する。具体的には、データ処理サーバ１０では、使用者による入力部９５からの指示入力に従って、ＣＰＵ９１がＲＯＭ９２内から工程解析プログラム９７を読み出してＲＡＭ９３内のプログラム格納領域に展開して各種処理を実行する。ＣＰＵ９１は、この各種処理に際して生じる各種データをＲＡＭ９３内に形成されるデータ格納領域に一時的に記憶させておく。
【００７３】
データ処理サーバ１０で実行される工程解析プログラム９７は、基準判定部１２、ＮＧ率算出部１３、カウントマスタ登録部１４、工程抽出部１５、相関関係算出部１６、解析部１７を含むモジュール構成となっており、これらが主記憶装置上にロードされ、これらが主記憶装置上に生成される。
【００７４】
なお、工程解析プログラム９７を複数のプログラムとしてもよい。この場合、各プログラムは、例えば、基準判定部１２、ＮＧ率算出部１３、カウントマスタ登録部１４、工程抽出部１５、相関関係算出部１６、解析部１７の少なくとも１つの機能を達成するプログラムとしておく。そして、各プログラムを組み合わせることによって、工程解析プログラム９７と同様の動作を実行する。
【００７５】
なお、図４で説明した工程解析処理において、ステップＳ１６１の処理とステップＳ１６２の処理は、何れを先に行ってもよい。また、ステップＳ１７０，Ｓ１８０の処理よりも前にステップＳ１９０，Ｓ２００の処理を行ってもよい。
【００７６】
このように実施形態によれば、ＱＴｉｍｅの基準判定に基づいてＮＧ率を算出し、ＮＧ率が高い工程を１ヶ月カウントマスタ１０２Ａ、１週間カウントマスタ１０２Ｂに登録している。そして、１ヶ月カウントマスタ１０２Ａに基づいてＮＧ工程を抽出するので、異常状態常態化工程を抽出することができる。また、１週間カウントマスタ１０２Ｂに基づいてＮＧ工程を抽出するので、突発性異常工程を抽出することができる。さらに、抽出されたＮＧ工程を解析しているので、工程間時間（ＱＴｉｍｅ）に基づいた工程解析を容易に行うことが可能となる。これにより、トラブルの発生している工程をユーザが容易に発見することが可能となる。したがって、工程間時間に起因する不良を低減でき、その結果、歩留まりロスを抑制することが可能となる。
【００７７】
また、ＩＱＣデータ２２を用いて工程解析を行っているので、トラブル発生の可能性を迅速に発見することが可能となる。また、ＴＥＧデータ２３、Ｄ／Ｓデータ２４を用いて工程解析を行っているので、トラブル発生の可能性を正確に解析することが可能となる。
【００７８】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７９】
１…工程解析システム、１０…データ処理サーバ、１２…基準判定部、１３…ＮＧ率算出部、１４…カウントマスタ登録部、１５…工程抽出部、１６…相関関係算出部、１７…解析部、１８…アラーム出力部、１９Ａ…カウントマスタ記憶部、１９Ｂ…測定データ記憶部、２０…解析用ＤＢ、２１…処理履歴データ、２２…ＩＱＣデータ、２３…ＴＥＧデータ、２４…Ｄ／Ｓデータ、３０…ＱＴｉｍｅＤＢ、３１…ＱＴｉｍｅデータ、３２…ＱＴｉｍｅ基準データ、４０…ＱＴｉｍｅ算出装置、１０１…ＮＧ率情報、１０２Ａ…１ヶ月カウントマスタ、１０２Ｂ…１週間カウントマスタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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