【事件の表示】
　特願２０１０−　９６５４２「ドライ真空ポンプ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年１１月１０日出願公開，特開２０１１−２２６３６７〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　本願は，平成２２年４月１９日の出願であって，平成２５年８月２０日付けで通知された拒絶の理由に対して，平成２５年１０月２４日に意見書および手続補正書が提出されたが，平成２５年１２月２０日付けで拒絶査定され，これに対して，平成２６年４月４日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に手続補正書が提出され，平成２６年６月１９日付けの前置報告書が審査官により作成され，平成２６年７月２５日に請求人より上申書が提出されたものである。
　
２　平成２６年４月４日の手続補正書による補正（以下，「本件補正」という。）についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
（１）　補正後の本願の発明
　本件補正により，特許請求の範囲の請求項１は，
「多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置であって、
　前記多段ルーツ型ドライ真空ポンプは、各段にロータ室と、各段の前記ロータ室に配置したロータと、最終段の前記ロータ室に連通する最終段吐出口と、２段目の前記ロータ室のみに連通する中抜吐出口とを備え、
　１段目の前記ロータの軸方向の幅を２段目の前記ロータの軸方向の幅の２倍以上とし、
　前記最終段のロータ室からの排気は前記最終段吐出口から逆止弁を通り気体流路に流入すると共に、前記２段目のロータ室からの排気は前記中抜吐出口から前記過圧縮防止逆止弁を通り前記最終段のロータ室からの排気が流入する流入点より下流側で前記気体流路に流入し、
　前記気体流路を通った排気は装置排気口を通って大気領域に開放させたことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。」
と補正された。
　
　上記補正は，何ら新規事項を追加するものではないとともに，本件補正前の請求項１の発明を特定するために必要な事項である「２段目の前記ロータ室に連通する中抜吐出口」を「２段目の前記ロータ室のみに連通する中抜吐出口」と限定するとともに，「前記最終段吐出口に逆止弁を接続して大気領域に開放し、前記中抜吐出口に過圧縮防止逆止弁を接続して大気領域に開放した」を「前記最終段のロータ室からの排気は前記最終段吐出口から逆止弁を通り気体流路に流入すると共に、前記２段目のロータ室からの排気は前記中抜吐出口から前記過圧縮防止逆止弁を通り前記最終段のロータ室からの排気が流入する流入点より下流側で前記気体流路に流入し、前記気体流路を通った排気は装置排気口を通って大気領域に開放させた」として「気体流路」や「装置排気口」等を特定しつつ限定する補正であって，特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで，本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下，「本願補正発明」という。ただし，「前記過圧縮防止逆止弁」は「過圧縮防止逆止弁」が前記されていないから「過圧縮防止逆止弁」の誤記と認める。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開２００５−１５５５４０号公報（以下「引用例」という。）には，図面と共に次の事項が記載されている。
　
（ア）　「【０００７】
  本発明はこのような実情に鑑みてなされたものであり、多段ドライ真空ポンプにおいて、排気する気体の吸入圧が低いところから高いところにいたる広い真空領域に亘って、高い排気速度の維持と低消費電力化を図ることが出来るとともに、操作性がよくかつ簡素な構成でコンパクト化と製造コストを低減させることを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
  上記した技術課題を解決するためになされた請求項１の発明は、主吸入口及び主排出口を有するとともに、内部に前記主吸入口と前記排出口とを空間的に連通する複数のポンプ室が直列に連通して形成されたハウジングと、前記複数のポンプ室の各々に回転可能に配設され、回転することによりポンプ室内で画定される掃気空間内の流体を下流側に送出するロータと、前記複数のポンプ室の各々に配設された各ロータに接続され、該各ロータを同期回転させる回転軸と、該回転軸に連結した回転駆動手段とを備え、上流側のポンプ室から下流側のポンプ室に向かうにつれて、各ポンプ室内で画定される掃気空間の容積が順次小さくなるように構成された多段ドライポンプにおいて、一端が最も下流側のポンプ室以外のポンプ室に連通し、他端が外部に開放された中間排出通路と、該中間排出通路の途中に介装され、該中間排出通路の一端に連通したポンプ室の排出口側の圧力が外部の圧力よりも小さい場合には前記中間排出通路を閉鎖し、大きい場合には前記中間排出通路を開放する流路制御手段とを備えたことを特徴とする多段ドライ真空ポンプとしたことである。
【０００９】
  また上記技術的課題を解決するにあたり、請求項２のように、一端が前記最も下流側のポンプ室に連通し他端が前記主排出口に連通した排出通路と、該排出通路の途中に介装され、該排出通路の一端に連通したポンプ室の排出口側の圧力が他端に連通した主排出口側の圧力よりも小さい場合には前記排出通路を閉鎖し、大きい場合には前記排出通路を開放する流路制御手段とを備えていることが好ましい。
【００１０】
  また上記技術的課題を解決するにあたり、請求項３のように  前記中間排出通路の他端側は、前記排出通路の他端側に連結されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
  請求項１の発明によれば、回転駆動手段により複数のロータに接続された回転軸を高速で回転させると、主吸入口より吸入した流体は、直列に連結された各ポンプ室で上流側から下流側へと圧縮されて移動し、最下流のポンプ室から主排出口を経て外部へ排気される。このとき一般に吸入先の圧力としては１から１００Ｐａ程度の真空が要求されるので、圧縮段数（直列に接続するポンプの段数）は４から６段構成とすることが多いが、上述のように圧縮仕事を減らす観点から、吸入気体の圧縮に伴い上流側から下流側にむかって順次各ポンプ室の掃気容積を小さくすることが多い。ところが吸入し始めなど吸入圧が比較的高い場合たとえば１００００Ｐａを超える圧力領域では、最終段ポンプ室やその前の段などのポンプ室での吸入圧力は外部圧力（大気圧）を越えてしまい、それらの段のポンプ室は単に気体の流れを妨げる抵抗体となる。その結果、排気速度は急速に低下するし消費電力も増加する。
【００１２】
  これに対し本発明では、一端が最終段ポンプ室（最下流のポンプ室）以外の一つまたは複数のポンプ室に連通し、他端が外部に開放された中間排出通路と、この中間排出通路の途中に介装されて、ポンプ側の排出圧力が外部圧力よりも小さい場合には中間排出通路を閉鎖し、大きい場合には中間排出通路を開放する流路制御手段を備えているため、初段ポンプ室（最上流のポンプ室）での気体の吸入圧が高く例えば１００００Ｐａ以上になって後段側のポンプ室での吸入圧が外部圧（大気圧）を超える場合には、流量制御手段を介して吸入気体が外部へ排出される。このため、後段ポンプ室が気体の流れをさまたげる抵抗体となることはなく、従って排気速度の低下は少なくまた、消費電力も低く抑えることができる。
【００１３】
  なお、上記流量制御手段としては、一般的には、外気側を順方向とする逆止弁が挙げられるが、圧力を検知して機械的に開閉する開閉弁のようなものでも良い。
【００１４】
  また、請求項２の発明によれば、この多段ドライ真空ポンプの運転を停止した時に、排出通路を介して外気（大気）がポンプ内へ逆流し、さらにはロータ間の隙間やロータとハウジング間の隙間などからポンプが連結されている真空処理室に大気が逆流することによる真空処理室での真空破壊や汚染を防ぐことができるしまた、ポンプ内部で発生している気体の圧縮音を遮断しポンプの騒音を低減することができる。
【００１５】
  請求項３の発明によれば、多段ドライ真空ポンプの外部（大気）への排出口が一つになって、ポンプの排気ダクトなどとの接続にあたり継ぎ手や配管を減らすことができてポンプの設置に有利である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下本発明に係わる実施の形態を図面にもとづいて説明する。
【００１７】
（第１実施形態例）
  図１は本発明の第１実施形態例における多段ドライ真空ポンプの縦断面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った横断面図である
  一般に、多段ドライ真空ポンプは４から６段圧縮で構成されるが、以下の説明では４段圧縮の例で示す。
【００１８】
  図において、本例に示す多段ドライ真空ポンプは、ハウジング２と、ハウジング２内に形成されたポンプ室８，９，１０，１１に各々対で配設されたロータ１２，１２’、１３，１３’、１４，１４’、１５，１５’と、４段の各ポンプ室８、９、１０、１１にこれらの並設方向に沿って架設されハウジング２に回転可能に保持された一対の回転軸１６，１６'と、一対の回転軸１６、１６'に連結された回転軸駆動手段２０とを備えたものである。なお本明細書では上付きの『’』は対を成すものを意味する。
【００１９】
  図１に示すように、ハウジング２は、鉄、アルミニウム等の金属材料で円筒状に形成されており、主吸入口３及び主排出口４が形成されているとともに、その内部には上述したように複数段（以下では４個の例で説明する）のポンプ室８，９、１０、１１が形成されている。この４個のポンプ室は隔壁５、６、７で仕切られた第１段目ポンプ室８、第２段目ポンプ室９、第３段目ポンプ室１０、第４段目ポンプ室１１としてこの順序で、主吸入口３から主排出口４に至る間に直列に連通され、第一段目ポンプ室８の吸入口は主吸入口３として、第４段目ポンプ室１０の排出口２９は排出通路３１を介して主排出口４に連結されるように構成される。
【００２０】
  また、図から分かるように、各ポンプ室の幅（厚さ）は、ポンプ室８、９、１０、１１の順に小さく設定されている。即ち、図に示すように、第１段目ポンプ室８の幅をＴ１、第２段目ポンプ室９の幅をＴ２、第３段目ポンプ室１０の幅をＴ３、第４段目ポンプ室１１の幅をＴ４とすると、Ｔ１＞Ｔ２＞Ｔ３＞Ｔ４の関係となるように各ポンプ室が設計される。なお、各ポンプ室８，９，１０，１１にはロータが収容されるが、各ポンプ室が上記の関係を有しているため、各ロータ１２，１２’、１３，１３‘、１４，１４’１５，１５‘の厚みも上記ポンプ室の幅によって設定される。
【００２１】
  図２に代表的に示すように、第２段目ポンプ室９内では、繭形形状の二個一対の第二段目ロータ１３、１３’が回転可能に配置されている。同様に、第一段目ポンプ室８（第三段目ポンプ１０、第四段目ポンプ１１）内では、繭型形状の二個一対の第一段目ロータ１２，１２’（第三段目ロータ１４，１４’、第四段目ロータ１５，１５’）が回転可能に配置されている。
【００２２】
  また、各ポンプ室を貫通するように、一対の回転軸１６、１６’がハウジング２内に回転可能に軸支されている。そして、第一段目ロータ１２、第二段目ロータ１３、第三段目ロータ１４、第四段目ロータ１５は、同一の回転軸１６に、一方、第一段目ロータ１２’、第二段目ロータ１３’、第三段目ロータ１４’、第四段目ロータ１５’は、同一の回転軸１６’に、それぞれ直線的に接続されている。従って、回転軸１６が回転すると、第一段目ロータ１２、第二段目ロータ１３、第三段目ロータ１４、第四段目ロータ１５が同期的に回転し、回転軸１６’が回転すると、第一段目ロータ１２’、第二段目ロータ１３’、第三段目ロータ１４’、第四段目ロータ１５’は、同一の回転軸１６’が同期的に回転する。
【００２３】
  ハウジング２内においては、回転軸１６，１６‘の軸長方向において互いに隣接するポンプ室８、９が、気体移送通路１７で連通されている。同様に回転軸１６，１６‘の軸長方向において互いに隣接するポンプ室９、１０が、気体移送通路１８で連通されている。
同様に回転軸１６，１６‘の軸長方向において互いに隣接するポンプ室１０、１１が、気体移送通路１９で連通されている。これにより主吸入口３と主排出口４とが各ポンプ室及び各気体移送通路を介して空間的に連通され、主吸入口３から吸入した気体を、４つのポンプ室で順次圧縮・移送して主排出口４から大気へ排出するようになっている。
【００２４】
  またハウジング２内においては、排出管路３１が穿設されている。この排出管路３１は、その一端が第４段目ポンプ室１１の排出口２９に連通し、その他端が排気管路合流室４０を介して主排出口４に連通されている。さらに、排出管路３１に並設して、中間排出管路３０が穿設されている。この中間排出管路３０は、一端が第三段目ポンプ室１０の排出口２８に連通し、他端が排気管路合流室４０を介して主排出口４に連通されている。従って、主排出口４には、排出管路３１及び中間排出管路３０の他端が排気管路合流室４０を介して共に連通され、この主排出口４から両管路３１及び３０の他端が外部（大気）に連通していることになる。
【００２５】
  中間排出管路３０の途中には、外部（大気側）への方向を順方向とする逆止弁３２が介装されている。この逆止弁３２は、弁室３２ａ内に弁座３２ｂ、球体３２ｃ、スプリング３２ｄが設けられて構成されており、スプリング３２ｄの付勢力によって球体３２ｃが弁座３２ｂに当接して中間排出管路３０を閉鎖するようにされている。
【００２６】
  図１に示すように、スプリング３２ｄによる付勢力は、外部（大気）側から付勢されるように構成されているため、第三段目ポンプ室１０内の排出口２８の圧力が外部（大気）圧力よりも小さい場合には、その差圧力がスプリング３２ｄの付勢力に加担するため、より強固に球体３２ｃが弁座３２ｄに当接され、中間排出管路３０が閉鎖される。
【００２７】
  一方、第三段目ポンプ室１０内の排出口２８の圧力が外部（大気）圧力よりも大きい場合には、その差圧力がスプリング３２ｄの付勢力に抗するため、かかる差圧力がスプリング３２ｄの付勢力を上回ると、球体３２ｃが弁座３２ｄから離間し、中間排出管路３０が開放される。従って、主吸気口３からの吸入気体の圧力が高く第四段目ポンプ室１１の吸入圧（第三段目ポンプ室１０の排出圧）が大気圧以上になるときには、吸入気体の一部をこの第四段目ポンプ室１１の吸入側と気体移送通路１９で連結されている排出口２８から中間排出管路３０、逆止弁３２を介して大気へ排出するようになっている。なお、スプリング３２ｄの付勢力は、可能な限り小さいことが、ポンプの省エネのためには望ましい。
【００２８】
  なお第四段目ポンプ室１１の吸入圧すなわち第３段目ポンプ室１０の排出圧が大気圧以下のときは、大気側への方向を順方向とする逆止弁３２により排出管路３０を介して大気がポンプ１内へ逆流しないことは言うまでもない。」
　
（イ）　「【００３４】
  図２に示すように、ロータ１３、１３’とポンプ室９の内壁とで囲まれた空間Ｓが掃気空間となる。各ポンプ室の断面形状及び各ポンプ室に収納されたロータの断面形状は、図２に示すような同一形状とされるが、図１に示すように、ポンプ室の幅は、上流側のポンプ室から下流側のポンプ室に向かうにつれて小さく設計されている。従って、各ポンプ室の掃気容積も、上流側のポンプ室から下流側のポンプ室に向かうにつれて、小さくされている。
【００３５】
  上記構成の多段ドライ真空ポンプにおいて、以下にその作動について説明する。
【００３６】
  まず、回転軸１６に接続されている回転駆動手段としてのモータ２０を回転駆動させると、回転軸１６が回転する。回転軸１６の回転により、該回転軸１６に接続されたロータ１２、１３、１４、１５も各ポンプ室内で回転する。一方、回転軸１６は、タイミングギア２１、２１’によって回転軸１６’に連結しているため、モータ２０の回転力が回転方向を変換された状態で回転軸１６’にも伝達される。従って、回転軸１６’に接続されたロータ１２’、１３’、１４’、１５’が、ロータ１２，１３，１４，１５と逆方向に同速で同期回転する。
【００３７】
  この各ロータの回転によって、主吸気口３から吸入された気体は、まず第一段目ポンプ室８で圧縮され、気体移送通路１７を介して第二段目ポンプ室９に移送される。更に第二段目ポンプ室９で圧縮された気体は、気体移送通路１８を介して第三段目ポンプ室１０に移送される。更に第三段目ポンプ室１０で圧縮された気体は、気体移送通路１９を介して第四段目ポンプ室１１に移送される。このようにして主吸入口３から吸入された気体はポンプ室の掃気容積が順次小さくなるように並設された各ポンプ室８、９，１０，１１で圧縮・移送されていく。
【００３８】
  ここで、第三段目ポンプ室１０の排出口２８には、大気側への方向を順方向とする逆止弁３２を介在させるとともに排気管路合流室４０を介して主排出口４へ連通した中間排出管路３０が連通しており、また、第四段目ポンプ１１の排出口２９には、排気管路合流室４０を介して主排出口４へ連通した排出管路３１がそれぞれ構成されているので、主吸入口３から吸入され各ポンプ室８，９，１０，１１で順に圧縮・移送された気体は、中間排出管路３０又は排出管路３１を通り、最終的には排気管路合流室４０を介して主排出口４から多段ドライ真空ポンプ１外（大気側）へ排出される。
【００３９】
  すなわち、主吸入口３から吸入される気体の圧力が比較的低い時、たとえば数１００Ｐａ以下の気体を排気する時には、気体の質量流量が小さいので通常第一段目ポンプ室８から第三段目ポンプ室１０における排気圧は大気圧以上になることはない。従ってこの場合は大気側への方向を順方向とする逆止弁３２を介在させた気体移送通路１９と主排出口４を連結する中間排出管路３０を介して吸入気体の一部が大気へ放出されることはなく、主吸気口３から吸入された気体は、第四段目ポンプ室１１の排出口２９から排出管路３１を介して主排気口４から多段ドライ真空ポンプ１外（大気側）へ排出される。
【００４０】
  しかし、主吸入口３から吸入される気体の圧力が比較的高いとき、例えば１００００Ｐａ以上の時においては、各ポンプ室の容積によっては、たとえば第３段目ポンプ室１０の排出口２８での排出圧すなわち気体移送通路１９で連通している第四段目ポンプ室１１の吸入圧が大気圧より高くなることがあるが、この場合は大気側への方向を順方向とする逆止弁３２を介在させた中間排出管路３０を介して吸入気体の一部が大気へ放出されるので、第四段目ポンプ室１１の吸入圧は大気圧より高くなることはなくまた、第四段目ポンプ室１１が、それより前段の各ポンプ室での排気作用において抵抗体となることもない。
【００４１】
  以上説明したように、本例で説明した多段ドライポンプは、一端が最も下流側の第四段目ポンプ室１１以外のポンプ室（本例では第三段目ポンプ室１０）の排出口（本例では排出口２８）に連通し、他端が外部に開放された中間排出管路３０と、この中間排出管路３０の途中に介装されて、中間排出通路３０の一端側の圧力（第三段目ポンプ室１０の排出口２８の圧力）が他端側の圧力（大気圧）よりも小さい場合には中間排出管路３０を閉鎖し、大きい場合には中間排出管路３０を開放する逆止弁３２とを備えている。従って主吸入口３から吸入する気体の吸入圧力が比較的低い時には、吸入気体は第四段目ポンプ室１１の排出口２９から排出管路３１を経由し、最終的に主排出口４から多段ドライ真空ポンプ１外（大気側）へ排出されるが、主吸入口３から吸入する気体の吸入圧力が比較的高く、たとえば第三段目ポンプ室１０の排出圧が大気圧より高くなる場合には、大気側への方向を順方向とする逆止弁３２を介在させた主排出口４と連結する中間排出管路３０を介して、吸入気体の一部が大気へ放出される。このため第四段目ポンプ室１１の吸入圧は大気圧より高くなることはない。
【００４２】
  よって、消費電力を低減するためにポンプ室の掃気容積を主吸入口３から主排出口４に向かって順次小さくするように構成した多段ドライ真空ポンプにおいて、比較的高い吸入圧で気体を吸入・排気する時でも、排気速度が低下することがない。また従来の低消費電力を低減し、排気速度を低減させないようにするために多段ドライ真空ポンプに掃気容積の小さい補助ポンプを接続しかつ補助ポンプと並列に大気への方向を順方向とする逆止弁をもつ排気管路を備えた排気系のように、配管系含めたポンプの部品点数が増えることによる構成面の複雑化と信頼性の低下、製造コストのアップ、ポンプ組み合せによる効率低下、設置スペースの増大などの問題もない。
【００４３】
  なお、本例においては、第三段目ポンプ室１０の排出口２８に、大気への方向を順方方向とする逆止弁３２を介在させるとともに主排出口４へ連通した中間排気管路３０を設けた例を示したが、他の複数のポンプ室、例えば第二段目ポンプ室９及び第三段目ポンプ室１０の排出口に、大気への方向を順方向とする逆止弁を介在させるとともに主排出口４へ連通した中間排出管路を設けるようにした構成でも良い。
【００４４】
（第２実施形態例）
  次に本発明の第２実施形態例について図３に基づいて説明する。図３は本例における多段ドライ真空ポンプを示す図である。
【００４５】
  ハウジング２内においては、回転軸１６，１６’の軸長方向において互いに隣接するポンプ室８、９が、気体移送通路１７で連通されている。同様に回転軸１６，１６’の軸長方向において互いに隣接するポンプ室９、１０が、気体移送通路１８で連通されている。同様に回転軸１６，１６’の軸長方向において互いに隣接するポンプ室１０、１１が、気体移送通路１９で連通されている。これによりポンプ本体主吸気口３から吸入した気体を、４段で圧縮してポンプ本体主排出口４から大気へ排出するようになっている。
【００４６】
  このハウジング２内においては、第四段目ポンプ室１１の排気口２９と主排出口４を連結する排出管路３１が穿設されるとともに、この排出管路３１に並設して第三段目ポンプ室１０の排出口２８と主排出口４を連結する中間排出管路３０が穿設される。排出管路３１の途中には、大気側への方向を順方向とする逆止弁３３を介在させて、主吸入口３からの吸入した気体をこの排出口２９と大気側への方向を順方向とする逆止弁３３および、排出管路３１を介してこの順序で大気へ排出するようになっている。なお、この逆止弁３３により、たとえばこの多段ドライ真空ポンプの運転を停止して、ポンプ内及びこのポンプと主吸入口３を介して連通しているところの、図示しないが真空処理室が真空または減圧状態にあっても、主排出口４から排出管路３１を介して大気が逆流することはない。
【００４７】
  また第三段目ポンプ室１０の排出口３０と主排出口４を連結する中間排出管路３０途中には、大気側への方向を順方向とする逆止弁３２を介在させて、主吸入口３からの吸入気体の圧力が高く第四段目ポンプ室１１の吸入圧が大気圧以上になるときには、吸入気体を大気へ排出するようになっている。なお、第四段目ポンプ室１１の吸入圧すなわち第三段目ポンプ室１０の排気圧が大気圧以下のときは大気側への方向を順方向とする逆止弁３２により排出管路３０を介して大気が第三段目ポンプ１０内へ逆流しないようになっていることは言うまでもない。
【００４８】
  さらに中間排出管路３０と排出管路３１の各他端は、排出管路合流室４０を介して主排出口４に連結されるように構成される。
【００４９】
  多段に構成されるポンプの詳細な構造は上記第１実施形態例で説明したものと同一であるので、その説明を省略する
  上記構成の多段ドライポンプにおいて以下にその作動について説明する。
【００５０】
  各ロータの回転によって、主吸入口３から吸入された気体は、まず第一段目ポンプ室８で圧縮され、気体移送通路１７を介して第二段目ポンプ室９に移送される。更に第二段目ポンプ室９で圧縮された気体は、気体移送通路１８を介して第三段目ポンプ室１０に移送される。更に第三段目ポンプ室１０で圧縮された気体は、気体移送通路１９を介して第四段目ポンプ室１１に移送される。このようにして主吸入口３から吸入された気体はポンプ室の掃気容積が順次小さくなるように並設された各ポンプ室８、９，１０，１１で圧縮されていく。
【００５１】
  ここで第三段目ポンプ室１０の排出口２８には、大気側への方向を順方向とする逆止弁３２を介在させ主排出口４へ連通した中間排出管路３０が、また、第４段目ポンプ１１の排気口２９には大気側への方向を順方向とする逆止弁３３を介在させ主排出口４へ連通した排出管路３１がそれぞれ連通されているので、主吸入口３から吸入され各ポンプ室で順に圧縮された気体は、排出口２８または排出口２９から最終的には主排出口４から多段ドライ真空ポンプ１外（大気側）へ排出される。
【００５２】
  すなわち主吸入口３から吸入される気体の圧力が比較的低い時、たとえば数１０００Ｐａ以下の気体を排気する時には、気体の質量流量が小さいので通常第一段目ポンプ室８から第三段目ポンプ室１０の排出圧は大気圧になることはない。従ってこの場合は主排出口４と、大気側への方向を順方向とする逆止弁３２を介在させた中間排出管路３０を介して吸入気体の一部が大気へ放出されることはなく、主吸入口３から吸入された気体は、第四段目ポンプ室１１の排出口２９から逆止弁３３を経て排出管路３１を介して主排出口４から多段ドライ真空ポンプ１外（大気側）へ排出される。
【００５３】
  しかし、主吸入口３から吸入される気体の圧力が比較的高いとき、例えば１００００Ｐａ以上の時においては、ポンプ室によってはたとえば第三段目ポンプ室１０の排気圧すなわち気体移送通路１９で連通している第四段目ポンプ室１１の吸入圧が大気圧より高くなることがあるが、この場合は大気側への方向を順方向とする逆止弁３２を介在させた排気口２８と主排出口４を連結する中間排出管路３０を介して吸入気体の一部が多段ドライポンプ１外（大気側）へ排出されるので、第四段目ポンプ室１１の吸入圧は大気圧より高くなることはなく、また、第四段目ポンプ室１１が前段の各ポンプ室での排気作用において抵抗体となることもない。
【００５４】
  また第三段目ポンプ室１０の排出口２８と主排出口４を連通する中間排出配管３０および、第四段目ポンプ室１１の排出口２９と主排出口４を連通する排出配管３１には大気側への方向を順方向とする逆止弁３２、３３をそれぞれ備えているので、この多段ドライ真空ポンプの運転を停止しても、ポンプ内及びこのポンプと主吸気口３を介して連通しているところの、図示しないが真空処理室が真空または減圧状態にあっても主排出口４から排出管路３０及び、３１を介して大気が逆流することはない。従って真空処理室及びポンプ部の急激な真空度劣化が避けられるとともに、汚染された大気の逆流による真空処理室やポンプ内部の汚染が避けられる。またポンプ内部で発生している気体の圧縮音もこの逆止弁３２、３３で一部が低減できる。
【００５５】
  また、各ポンプの外部（大気）へのそれぞれの排出口は排出管路合流室４０を介して１個の主排気口４に集約されて、吸入された気体はすべてこの主排気口４から排出されるようになっているので、多段ドライ真空ポンプの排出口を排気ダクトや直接除外装置（排気気体の）に接続するにあたり、継ぎ手や配管を減らすことができてポンプの設置も単純化される。」
　
（ウ）　図１には，多段ドライ真空ポンプの縦断面図が示され，図２には，図１のＡ−Ａ線に沿った横断面図が示され，図３には，別の多段ドライ真空ポンプの縦断面図が示されている。
　
（エ）　上記（ア）の摘記事項（段落【００２０】，【００２３】），および，図示内容とから，各ロータの厚みは各ポンプ室の幅（厚さ）によって設定され，その厚みの方向は軸長方向であるから，「１段目のロータの軸長方向の幅を２段目のロータの軸長方向の幅より大」としていることが理解できるとともに，各ポンプ室内に繭型形状の二個一対のロータを回転可能に配置した多段ドライ真空ポンプを備えた多段ドライ真空ポンプ全体を装置とみることにより，それを多段ドライ真空ポンプ装置と呼べることも理解できる。
　
　これらの事項を総合すると，引用例には，特に第２実施形態例に着目すると，次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認めることができる。
　
「各ポンプ室内に繭型形状の二個一対のロータを回転可能に配置した多段ドライ真空ポンプを備えた多段ドライ真空ポンプ装置であって，
　前記各ポンプ室内に繭型形状の二個一対のロータを回転可能に配置した多段ドライ真空ポンプは，各段目にポンプ室と，各段目の前記ポンプ室に配置したロータと，最終段ポンプ室である四段目ポンプ室１１の排出口２９と，中間排出通路の一端側が接続する最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室１０の排出口２８とを備え，
　１段目のロータの軸長方向の幅を２段目のロータの軸長方向の幅より大とし，
　前記最終段ポンプ室である四段目ポンプ室１１からの排気は前記最終段ポンプ室である四段目ポンプ室１１の排出口２９から逆止弁３３を通り排出管路合流室４０に流入すると共に，前記最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室１０からの排気は前記中間排出通路の一端側が接続する最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室１０の排出口２８から逆止弁３２を通り前記排出管路合流室４０に流入し，
　前記排出管路合流室４０を通った気体は主排出口４を通って大気側に開放させた多段ドライ真空ポンプ装置。」
　
（３）　対比
　本願補正発明と引用発明とを対比する。
　その機能・構造からして，引用発明の「各ポンプ室内に繭型形状の二個一対のロータを回転可能に配置した多段ドライ真空ポンプ」は，本願補正発明の「多段ルーツ型ドライ真空ポンプ」に相当し，以下同様に，「多段ドライ真空ポンプ装置」は「ドライ真空ポンプ装置」に，「各段目」は「各段」に，「ポンプ室」は「ロータ室」に，「最終段ポンプ室である四段目ポンプ室１１の排出口２９」は「最終段のロータ室に連通する最終段吐出口」および「最終段吐出口」に，「最終段ポンプ室である四段目ポンプ室１１」は「最終段のロータ室」に，「逆止弁３３」は「逆止弁」に，「気体」は「排気」に，「主排出口４」は「装置排気口」に，「大気側」は「大気領域」に，それぞれ相当している。
　また，引用発明の「排出管路合流室４０」は，排気である気体が流れる流路を形成しているといえるから本願補正発明の「気体流路」に相当し，引用発明の「逆止弁３２」は，引用例１の明細書の段落【００２７】，【００４０】等の記載から過圧縮を避ける機能があるから本願補正発明の「過圧縮防止逆止弁」に相当している。
　
　そして，引用発明の「中間排出通路の一端側が接続する最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室１０の排出口２８」と本願補正発明の「２段目の前記ロータ室のみに連通する中抜吐出口」および「中抜吐出口」とは，１段目でも最終段でもない中間段の吐出口である「中間段吐出口」の概念で共通し，引用発明の「最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室１０からの排気」と本願補正発明の「２段目のロータ室からの排気」とは，１段目でも最終段でもない中間段からの排気である「中間段排気」の概念で共通し，引用発明の「最終段ポンプ室である四段目ポンプ室１１からの排気は前記最終段ポンプ室である四段目ポンプ室１１の排出口２９から逆止弁３３を通り排出管路合流室４０に流入すると共に、前記最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室１０からの排気は前記最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室１０の排出口２８から逆止弁３２を通り前記排出管路合流室４０に流入し」の態様と本願補正発明の「最終段のロータ室からの排気は前記最終段吐出口から逆止弁を通り気体流路に流入すると共に、前記２段目のロータ室からの排気は前記中抜吐出口から過圧縮防止逆止弁を通り前記最終段のロータ室からの排気が流入する流入点より下流側で前記気体流路に流入し」の態様とは，「最終段のロータ室からの排気は前記最終段吐出口から逆止弁を通り気体流路に流入すると共に、中間段排気は前記中間段吐出口から過圧縮防止逆止弁を通り前記気体流路に流入し」の概念で共通している。
　また，引用発明の「１段目のロータの軸方向の幅を２段目のロータの軸方向の幅より大とし」の態様と本願補正発明の「１段目のロータの軸方向の幅を２段目のロータの軸方向の幅の２倍以上とし」の態様とは，「１段目のロータの軸方向の幅を２段目のロータの軸方向の幅より大とし」の概念で共通している。
　
　したがって，両者は，
「多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置であって，
　前記多段ルーツ型ドライ真空ポンプは，各段にロータ室と，各段の前記ロータ室に配置したロータと，最終段の前記ロータ室に連通する最終段吐出口と，中間段吐出口とを備え，
　１段目の前記ロータの軸方向の幅を２段目の前記ロータの軸方向の幅より大とし，
　前記最終段のロータ室からの排気は前記最終段吐出口から逆止弁を通り気体流路に流入すると共に，中間段排気は前記中間段吐出口から過圧縮防止逆止弁を通り前記気体流路に流入し，
　前記気体流路を通った排気は装置排気口を通って大気領域に開放させたドライ真空ポンプ装置。」
の点で一致し，以下の点で相違している。
　
＜相違点１＞
「中間段吐出口」及び「中間段排気」に関し，本願補正発明では「２段目の前記ロータ室のみに連通する中抜吐出口」及び「２段目のロータ室からの排気」であるのに対し，引用発明では「最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室の排出口」及び「最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室からの排気」である点。
　
＜相違点２＞
１段目のロータの軸方向の幅を２段目のロータの軸方向の幅より大とした点に関し，本願補正発明では「１段目の前記ロータの軸方向の幅を２段目の前記ロータの軸方向の幅の２倍以上とし」たのに対し，引用発明ではそのような特定はなされていない点。
　
＜相違点３＞
排気の流路に関し，本願補正発明では「最終段のロータ室からの排気は最終段吐出口から逆止弁を通り気体流路に流入すると共に、２段目のロータ室からの排気は中抜吐出口から過圧縮防止逆止弁を通り最終段のロータ室からの排気が流入する流入点より下流側で気体流路に流入」するのに対し，引用発明では「最終段のロータ室からの排気は最終段吐出口から逆止弁を通り気体流路に流入すると共に、最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室１０からの排気は最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室１０の排出口２８から過圧縮防止逆止弁を通り気体流路に流入」する点。
　
（４）判断
　上記各相違点について検討する。
　
＜相違点１＞および＜相違点３＞について
　引用例には，明細書の段落【００１２】に「一端が最終段ポンプ室（最下流のポンプ室）以外の一つまたは複数のポンプ室に連通し、他端が外部に開放された中間排出通路と、・・・後段側のポンプ室での吸入圧が外部圧（大気圧）を超える場合には、流量制御手段を介して吸入気体が外部へ排出される。このため、後段ポンプ室が気体の流れをさまたげる抵抗体となることはなく、・・・」（摘記事項（ア）参照。）と記載されているように，最終段ポンプ室以外のポンプ室である第三段目ポンプ室に中間排出通路を設けるもののほかに，複数段のポンプ室に中間排出通路を設けるものも記載されているから，引用発明における「中間段吐出口」というべきものは，後段ポンプ室が気体の流れをさまたげる抵抗体となることを防止する技術的意義からしても，最終段以外で大気圧を超える可能性のある段に，必要に応じて設けるものであって，引用例に例示された第三段目に設けるものに必ずしも限られないものである。さらに，引用例には，「中間段吐出口」というべきものを，複数段に設けるものとしてではあるものの第二段目ポンプ室にも設けるものが開示されている（摘記事項（ア）の段落【００４３】の「例えば第二段目ポンプ室９及び第三段目ポンプ室１０の排出口に、大気への方向を順方向とする逆止弁を介在させるとともに主排出口４へ連通した中間排出管路を設けるようにした構成でも良い。」参照。）から，引用発明の「中間段吐出口」を最終段ポンプ室以外のポンプ室として第二段目を選択できることも示唆されているといえる。
　また，多段ルーツポンプにおいて２段目のロータ室のみに中間排出口を設けることは，周知技術である（必要であれば，特開２００３−３０７１９２号公報（「多段ルーツポンプ」の特に，段落【００３７】，【００４４】，【００５３】及び図２及び図５参照。）等参照。）。
　さらに，上記相違点３に係る本願補正発明の構成と引用発明の構成とは，逆止弁を備える２つの気体流路が各逆止弁の下流にて合流する点において一致しており，単なる表現上の微差に過ぎないものであって，流体の合流において実質上の技術的差異とはいえないものである。仮に，流体の合流において実質上の技術的差異があるとしても，多段ルーツポンプにおいて逆止弁を有する中間排気部を，逆止弁を有する主排気部に，各逆止弁の下流にて合流するものとすることは周知の技術である（必要であれば，国際公開第２００８／１５２７１３号（多段の「ルーツ式ポンプ」の特に，段落［００３３］及び図２及び図３参照。）や特開２００３−３０７１９２号公報（「多段ルーツポンプ」の特に，段落【００３７】，【００４４】，【００５３】並びに図２及び図５参照。）等参照。）。
　
　そうすると，上記相違点１については引用例の示唆に基づき引用発明をして当該周知技術を採用し，さらに，上記相違点３については実質的な技術的差異でないか，実質的な技術的差異であるとしても引用発明をして当該周知の技術を採用することにより，上記相違点１および上記相違点３に係る本願補正発明の構成とすることは，当業者が容易に想到し得たことである。
　
＜相違点２＞について
　引用発明は，１段目のロータの軸方向の幅を２段目のロータの軸方向の幅より大としたものであるから，具体的に実施する際には，その大きさをどの程度とするかを適宜設定し得るものといえる。そして，例えば，特開２００１−２７１９０号公報にはロータリ形多段真空ポンプにおいてロータの長さを１．７倍とすることが記載され，それよりも大きな値とすることも記載されている（段落【００２３】，【００２４】参照。）ことを考慮すれば，２倍以上とすることが格別な技術的意義を有するものとは認められず，特殊なものであるとはいえない。
　したがって，引用発明をして上記相違点２に係る本願補正発明の構成とすることは，当業者が容易に想到し得たことである。
　
　そして，本願補正発明の全体構成により奏される作用効果も，引用発明から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　
　よって，本願補正発明は，引用発明に基いて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
　なお，第１段目ロータの幅が２段目ロータの幅の２倍以上で，２段目に中間段吐出口を設けることについて，第１段目ロータの幅が２段目ロータの幅の２倍以上とすることにより必ず２段目で大気圧以上となる過圧縮状態が生じるとは限らないし，引用例には中間段吐出口は大気圧以上となる過圧縮が生じる可能性のある段等の必要に応じて設けることが開示されており，第１段目ロータの幅が２段目ロータの幅の２倍以上とすることにより中間段吐出口が２段目に必要であれば，当然に２段目に設けるべきであるから，両者を合わせることで格別重畳的な効果を生じるものともいえない。
　
（５）　むすび
　以上のとおりであって，本件補正は，特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので，同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３　本願について
　本件補正は上記のとおり却下されたので，本願の請求項１に記載された発明（以下，同項記載の発明を「本願発明」という。）は，以下のとおりのものと認められる。
「多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置であって、
　前記多段ルーツ型ドライ真空ポンプは、各段にロータ室と、各段の前記ロータ室に配置したロータと、最終段の前記ロータ室に連通する最終段吐出口と、２段目の前記ロータ室に連通する中抜吐出口とを備え、
　１段目の前記ロータの軸方向の幅を２段目の前記ロータの軸方向の幅の２倍以上とし、
　前記最終段吐出口に逆止弁を接続して大気領域に開放し、
　前記中抜吐出口に過圧縮防止逆止弁を接続して大気領域に開放したことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。」
　
（１）　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例およびその記載事項は，前記「２（２）」に記載したとおりである。
　
（２）　対比・判断
　本願発明は，前記「２（１）」で検討した本願補正発明における「２段目の前記ロータ室のみに連通する中抜吐出口」を「２段目の前記ロータ室に連通する中抜吐出口」とするとともに，「前記最終段のロータ室からの排気は前記最終段吐出口から逆止弁を通り気体流路に流入すると共に、前記２段目のロータ室からの排気は前記中抜吐出口から前記過圧縮防止逆止弁を通り前記最終段のロータ室からの排気が流入する流入点より下流側で前記気体流路に流入し、前記気体流路を通った排気は装置排気口を通って大気領域に開放させた」を「前記最終段吐出口に逆止弁を接続して大気領域に開放し、前記中抜吐出口に過圧縮防止逆止弁を接続して大気領域に開放した」としたものに実質的に相当する。そして，「２段目の前記ロータ室のみに連通する中抜吐出口」であれば少なくとも「２段目の前記ロータ室に連通する中抜吐出口」を満たすものであり，「前記最終段のロータ室からの排気は前記最終段吐出口から逆止弁を通り気体流路に流入すると共に、前記２段目のロータ室からの排気は前記中抜吐出口から前記過圧縮防止逆止弁を通り前記最終段のロータ室からの排気が流入する流入点より下流側で前記気体流路に流入し、前記気体流路を通った排気は装置排気口を通って大気領域に開放させた」のであれば少なくとも「前記最終段吐出口に逆止弁を接続して大気領域に開放し、前記中抜吐出口に過圧縮防止逆止弁を接続して大気領域に開放した」構成を満たすものである。
　したがって，前記「２（３）」及び「２（４）」にて検討したことからすれば，本願発明は本願補正発明と同様な理由により，当業者が容易に想到し得たものである。
　
　そして，本願発明の全体構成により奏される作用効果も，引用発明に開示された事項から当業者が予測し得る範囲内のものである。
　
　よって，本願発明は，引用発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）　むすび
　以上のとおり，本願の請求項１に係る発明は，引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められるので，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないため，本願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく，本願は，同法第４９条第２号の規定に該当し，拒絶をされるべきものである。
　よって，結論のとおり審決する。