【事件の表示】
　平成　４年特許願第１１４８８５号「集積回路製造用ポジ型感光性組成物」拒絶査定に対する審判事件〔平成　５年１１月２６日出願公開、特開平　５−３１３３６５、請求項の数（２）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
　１．手続きの経緯・本願発明　
　本願は、平成４年５月７日の出願であって、平成１２年１０月３１日付けで拒絶の理由が通知され、平成１３年５月７日付けで意見書が出され、平成１３年７月３０日付けで拒絶の査定がなされたものであり、その請求項１及び２に係る発明は次のおりのものである。　
「　【請求項１】　　アルカリ可溶性樹脂及び感光剤として下記一般式（Ｉ）で表される化合物を含むことを特徴とする集積回路製造用ポジ型感光性組成物。
　　【化１】
（式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ水素原子またはアルキル基を表すか、Ｒ１とＲ２とは連結して脂肪族炭化水素環を表わし、Ｒ３及びＲ４は、それぞれＣ４〜Ｃ２０のアルキル基、シクロアルキル基、置換されていてもよいアリール基、または置換されていてもよいアラルキル基を表し、Ｒ５及びＲ６はそれぞれ水素原子、１，２-ナフトキノンジアジド-４-スルホニル基または１，２-ナフトキノンジアジド-５-スルホニル基を表す。但し、Ｒ５及びＲ６は同時に水素原子であることはない。）
　　【請求項２】　　該アルカリ可溶性樹脂がノボラック樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の集積回路製造用ポジ型感光性組成物。」　
　
　２．原査定の概要　
　原査定の拒絶の理由は、本願請求項１及び２に係る発明は、その出願前日本国内で頒布された、　
　文献１：特開平２−１８６３５１号公報　
　文献２：特開昭５７−６３５２６号公報　
　文献３：特開昭６２−２６９９４６号公報　
　文献４：特開平２−１９７８４４号公報　
　に記載された発明であるか、または文献１ないし４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号または同条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。　
　
　３．当審の判断　
　3.1　請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）について　
　本願発明１の目的は、可視又は近紫外領域の光を用いてハーフミクロンリソグラフィーに対応できる集積回路製造用ポジ型感光性組成物を提供することにあり（段落【０００７】）、また、記一般式（ＩＩ）で示される化合物またはこれと類似の化合物の中でも、特にベンゼン核に疎水性の立体的に大きな置換基を有する化合物を感光剤として使用した場合には、０．４μｍ以上の解像力を持ち、パターンプロファイルも良好となり、他の性能も従来のものと比較して同等以上の性質を持っている集積回路製造用ポジ型感光性組成物が得られることを基礎とするものである。（段落【０００８】）
　一方、本願発明１と引用文献とを対比検討すると、
　（引用文献１）
　引用文献１には、一般式（Ｉ）（構造式は省略）で表される化合物からなるポジ型フォトレジスト用感光剤が開示されており、本願発明１の感光剤は一般式（Ｉ）の感光剤に一応は含まれる。
　しかし、引例文献１の実施例１〜５においては、いずれも、フェニル環の連結部分である「-Ｘ-」が「-ＣＯ-」である「ベンゾフェノン」型の化合物が開示されているだけであり、本願発明１の一般式（Ｉ）で表される感光剤は記載されておらず、感光剤としての性能も評価されていない。
　また、引例文献１の実施例１〜５に記載された化合物は、一方のフェニル環が３つのエステル基で置換されたものであり、フェニル環上にヒドロキシル基またはエステル基を１つ有する本願発明１の感光剤とは構造が異なる。
　さらに、引例文献１においては、フェニル環上の置換基が特定の大きさのものである場合に良好な解像度が得られることは開示も示唆もされていない。
　従って、本願発明１の感光剤は、引例文献１に一般式（Ｉ）の記載はあるが、実質的に引例文献１に開示されているとは言い得ない。
　また、感光剤の構造を本願発明１のものに特定することによって、解像度を向上できることを開示又は示唆する記載は引例文献１にはなく、引例文献１の記載から本願発明１を容易に想到し得るものでもない。
　
　（引例文献２）
　引用文献２には、一般式（４）（構造式は省略）で表される化合物を含む感光性材料が開示されており、本願発明１の感光剤は引例文献２に記載の一般式（４）の化合物に一応は含まれる。
　しかし、引例文献２においては、上記一般式（４）の化合物の具体例として１４種の化合物が例示されているが（第４ページ右下欄〜第５ページ右上欄）、Ａ）それぞれのフェニル環が２つのアルキル基で置換されている化合物、およびＢ）それぞれのフェニル環が１つのメチル基で置換されている化合物が開示されているだけであり、本願発明１の感光剤に相当する化合物は具体的には示されていない。
　また、実施例においても、１つのベンゼン環が２つの置換基を有する「ビスフェノール誘導体７」が実施例６において開示されているにすぎない。
　　従って、本願発明１に記載の感光剤は、引例文献２に一般式（４）の化合物の記載はあるが、実質的に引例文献２に開示されているとは言い得ない。
　　そして、引例文献２に開示された発明は、印刷板が耐え得る印刷枚数の増加、すなわち「耐刷性」の向上を目指すものであるが、本願発明１は解像度等の向上であり、両者はこの点においても相違する。
　なお、引例文献２の感光性材料をプリント基板にも使用される旨記載されており（第８ページ左下欄７〜９行目）、同ページ左下欄下から３行目〜右下欄１行目には「本発明の感光材料は、・・・、高解像力の画像を得ることができ」と記載されているが、引例文献２には、本願発明１の一般式（Ｉ）の化合物を実質的に開示しているものではない。
　従って、本願発明１の一般式（Ｉ）の化合物を感光剤とする集積回路製造用ポジ型感光性組成物を示唆するものはなく、引例文献２の記載から本発明１を容易に想到し得るものではない。
　
　（引例文献３）
　引例文献３に記載のレジストパターン形成方法における感光層は、化学式（１）（構造式は省略）と化学式（２）（構造式は省略）のエステル結合化合物である感光剤を含むものであり、化学式（１）に示されるように、フェニル環がメチル基およびｔ-ブチル基の２つの置換基で置換されている点で、フェニル環の置換基が１つである本願発明１の感光剤とは相違する。
　また、引例文献３に記載の感光剤は通常のフォトレジストに使用されるものではなく、フォトレジスト層の上部に積層する「コントラストエンハンスト層」として使用されるものであり、本願発明１における感光剤と用途が異なっている。　
　従って、本願発明１の感光剤と引例文献３に開示される化合物とは構造が相違し、本願請求項１に係る発明が引例文献３に記載された発明であるとすることはできない。
　また、引用文献３には、本願発明１とは異なる化合物を異なる用途に使用する発明を記載するのであるから引例文献３の記載に基づき本願発明１が容易に想到できるものではない。
　
　（引例文献４）
　引例文献４は、ナフトキノンジアジドスルホニルハロゲニドと低分子フェノール化合物（構造式は省略）および重合化合物の混合物とを反応させたナフトキノンジアジドスルホン酸エステルに関し、本願発明１の感光剤は、該ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルに一応は含まれる。
　しかし、引例文献４の実施例１、２、４および５においては、いずれも、フェニル環の連結部分である「-Ｒ-」が「-ＣＯ-」である「ベンゾフェノン」型の化合物が開示され、実施例３においては「-Ｓ-」であるスルフィド化合物が開示されているにすぎない。
　すなわち、引例文献４の実施例においては、本願発明１の感光剤に相当する、フェニル環の連結部分が「-ＣＲ１Ｒ２-」である化合物は開示されておらず、実際に感光剤としての性能が評価されてもいない。
　また、引例文献４の実施例１〜５に開示された化合物は、Ａ）一方のフェニル環上に３つのヒドロキシルもしくはエステル基があるか（実施例１，２、４および５）、またはＢ）双方のフェニル環上にそれぞれ２つのヒドロキシルもしくはエステル基が存在する（実施例３）ものであり、フェニル基が本願発明１のように置換されたものではない。
　さらに、引例文献４においては、ベンゼン環上の置換基の大きさが解像度に影響を及ぼすことについては何ら開示も示唆もされていない。
　従って、引例文献４には低分子フェノール化合物のナフトキノンジアジドスルホン酸エステルの記載はあるが、本願発明１の感光剤が実質的に引例文献４に開示されているとは言い得ない。
　　以上検討したように、引例文献１ないし４には、本願発明１の一般式（Ｉ）に示される化合物を感光剤として実質的に開示するものではなく、本願発明１の上記目的を示唆するものもないので、本願発明１が、引用文献１ないし４に記載されているとも、引用文献１ないし４に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともすることはできない。
　
　3.2　請求項２に係る発明（以下、「本願発明２」という。）について　
　本願発明２は、本願発明１の構成要件を全て引用するものであるから、本願発明１の項で述べたものと同じ理由で、引用文献１ないし４に記載されているとも、引用文献１ないし４に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。　
　
　４．まとめ　
　以上のとおりであるから、原査定の理由及び証拠によっては本願を拒絶することはできない。　
　又、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。　
　よって、結論のとおり審決する。