(57)【要約】      （修正有）【課題】大気中１００℃の高温環境下でも高遮光性、表面の低反射性、低表面光沢性、黒色性を維持し、さらにフィルム表面の膜色の経時変化を抑制できる固定絞りやシャッター羽根、光量調整絞り装置の絞り羽根、耐熱遮光テープなどとして使用できる耐熱遮光フィルムを提供する。【解決手段】１００℃以上の耐熱性を有し、表面に算術平均高さＲａで０．２〜２．２μｍの微細凹凸が形成された樹脂フィルム（Ａ）を基材とし、その片面または両面に、第一層の金属遮光膜（Ｂ）と、チタン、酸素を主成分として膜中のＯ／Ｔｉ原子数比が０．７〜１．４である第二層の黒色被覆膜（Ｃ）と、さらに第三層の透明金属化合物膜（Ｄ）が順次形成され（Ｄ）が、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１００℃以上の耐熱性を有し、表面に算術平均高さＲａで０．２〜２．２μｍの微細凹凸が形成された樹脂フィルム（Ａ）を基材とし、その片面または両面に、第一層の金属遮光膜（Ｂ）と、チタン、酸素を主成分として膜中のＯ／Ｔｉ原子数比が０．７〜１．４である第二層の黒色被覆膜（Ｃ）と、さらに第三層の透明金属化合物膜（Ｄ）が順次形成されていることを特徴とする耐熱遮光多層フィルム。
【請求項２】
透明金属化合物膜（Ｄ）が、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物であることを特徴とする請求項１に記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項３】
透明金属化合物膜（Ｄ）の金属含有量が、金属／酸素原子数比として０．８未満であることを特徴とする請求項１又は２に記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項４】
透明金属化合物膜（Ｄ）の膜厚が、５〜２５０ｎｍであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項５】
透明金属化合物膜（Ｄ）が、光学ガラス基板に成膜したとき、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平行光線透過率が、平均値で７０％以上であり、また、平均正反射率が、２０％以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項６】
金属遮光膜（Ｂ）が、チタン、タンタル、タングステン、コバルト、ニッケル、ニオブ、鉄、亜鉛、銅、アルミニウム、珪素より選ばれた１種類以上の元素からなる群より選ばれることを特徴とする請求項１に記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項７】
金属遮光膜（Ｂ）が、炭化チタン膜または炭化酸化チタン膜であることを特徴とする請求項１に記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項８】
金属遮光膜（Ｂ）の炭素含有量が、Ｃ／Ｔｉ原子数比として０．６以上であって、酸素含有量が、Ｏ／Ｔｉ原子数比として０．４以下であることを特徴とする請求項１に記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項９】
金属遮光膜（Ｂ）の厚みが、４０〜２５０ｎｍであることを特徴とする請求項１に記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項１０】
黒色被覆膜（Ｃ）が、さらに炭素を含むことを特徴とする請求項１に記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項１１】
黒色被覆膜（Ｃ）の膜厚が、５０〜２５０ｎｍであることを特徴とする請求項１に記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項１２】
樹脂フィルム（Ａ）が、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、またはポリエーテルサルフォンから選ばれた１種類以上の樹脂を主成分とするフィルムであることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項１３】
樹脂フィルム（Ａ）の厚みが、１０〜２５０μｍであることを特徴とする請求項１に記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項１４】
１００℃以上の耐熱性を有する樹脂フィルム（Ａ）の両面に、実質的に同じ膜厚、かつ同じ組成の金属遮光膜（Ｂ）、黒色被覆膜（Ｃ）、透明金属化合物膜（Ｄ）が形成され、樹脂フィルム（Ａ）に対して対称構造であることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項１５】
光遮光性の指標である平均光学濃度が、波長３８０〜７８０ｎｍにおいて４．０以上、平均正反射率が０．３％未満であることを特徴とする請求項１に記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項１６】
ＣＩＥ（国際照明委員会）で標準化されている、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系測定（ＪＩＳＺ８７２９）において、Ｌ＊（明度）が２０〜３５であり、また、大気中２週間放置後の色差（ΔＥ＊ａｂ）が、１．０未満であることを特徴とする請求項１または１５のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルム。
【請求項１７】
算術平均高さＲａが０．２〜２．２μｍの微細表面凹凸とした樹脂フィルム（Ａ）をスパッタリング装置に供給し、
不活性ガス雰囲気下で金属遮光膜用ターゲットを用いてスパッタリングし、樹脂フィルム（Ａ）上に、金属遮光膜（Ｂ）を形成し、
次いで、不活性ガス雰囲気中、１．５Ｐａ以上の成膜ガス圧下で黒色被覆膜形成用ターゲットを用いてスパッタリングして、前記金属遮光膜（Ｂ）上に、チタン、酸素、炭素を主成分として膜中のＯ／Ｔｉ原子数比が０．７〜１．４である黒色被覆膜（Ｃ）を形成した後、
不活性ガス雰囲気下、透明金属化合物（Ｄ）形成用ターゲットを用いてスパッタリングして、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物であり、膜中の金属含有量が金属／酸素原子数比として０．８未満である透明金属化合物（Ｄ）を形成することを特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルムの製造方法。
【請求項１８】
透明金属化合物膜（Ｄ）が、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素を含有する金属ターゲット、金属酸化物ターゲット、金属炭化物ターゲットまたは金属窒化物ターゲットのいずれかを用い、アルゴンガス中に酸素ガスまたは／および窒素ガスを導入して、０．２〜０．８Ｐａの成膜ガス圧にてスパッタリングして形成されることを特徴とする請求項１７に記載の耐熱遮光多層フィルムの製造方法。
【請求項１９】
金属遮光膜（Ｂ）を形成する際の成膜ガス圧が、０．２〜０．８Ｐａであることを特徴とする請求項１７又は１８に記載の耐熱遮光多層フィルムの製造方法。
【請求項２０】
請求項１７〜１９のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルムの製造方法により得られた、片面に前記金属遮光膜（Ｂ）、前記黒色被覆膜（Ｃ）及び前記透明金属化合物膜（Ｄ）の順に形成された積層膜を備える耐熱遮光フィルムを、スパッタリング装置に供給し、
不活性ガス雰囲気下で金属遮光膜（Ｂ）形成用ターゲットを用いたスパッタリングにより、前記樹脂フィルム基材（Ａ）の積層膜が形成されていないもう一方の片面に、金属遮光膜（Ｂ）を形成し、  
次いで、不活性ガス雰囲気下での黒色被覆膜形成用ターゲットを用いたスパッタリングにより、前記金属遮光膜（Ｂ）上に、チタン、酸素、炭素を主成分として膜中のＯ／Ｔｉ原子数比が０．７〜１．４である黒色被覆膜（Ｃ）を形成した後、
不活性ガス雰囲気下で、透明金属化合物（Ｄ）形成用ターゲットを用いたスパッタリングにより、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物であり、膜中の金属含有量が金属／酸素原子数比として０．８未満である透明金属化合物（Ｄ）を形成することを特徴とする耐熱遮光多層フィルムの製造方法。
【請求項２１】
請求項１〜１６のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた絞り。
【請求項２２】
ウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（ＷＬＣＳＰ）構造のカメラモジュールに利用されることを特徴とする請求項２１に記載の耐熱性に優れた絞り。
【請求項２３】
請求項１〜１６のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れたシャッター羽根。
【請求項２４】
請求項１〜１６のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた光量調整用絞り羽根。
【請求項２５】
請求項１〜１６のいずれかに記載の耐熱遮光多層フィルムの片面、または両面に粘着層を設けてなる耐熱遮光テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、耐熱遮光多層フィルムとその製造方法、及び用途に関し、より詳しくは、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラのレンズシャッターなどのシャッター羽根または絞り羽根や、カメラ付き携帯電話や車載モニターのレンズユニット内の固定絞りや、プロジェクターの光量調整用絞り装置（オートアイリスとも言う）の絞り羽根などの光学機器部品として用いられ、高遮光性、低反射性、低表面光沢性に優れた耐熱遮光多層フィルムとその製造方法、及び用途に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラの高速（機械式）シャッターの開発が活発に行われている。その狙いは、シャッタースピードをより高速にして、超高速の被写体をブレ無く撮影し、鮮明な画像を得ることを可能にすることである。一般にシャッターは、シャッター羽根と呼ばれる複数の羽根が回転、移動することで開閉が行われているが、シャッタースピードを高速化するためには、シャッター羽根が瞬間的な動作と停止に対応できるよう、軽量かつ高摺動性であることが必要不可欠である。更に、シャッター羽根は、シャッターが閉じている状態では、フィルムなどの感光材やＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子の前面を覆って光を遮る役割を有しているので、完全な遮光性を必要とするだけでなく、複数枚のシャッター羽根が互いに重なり合って動作する際に、各シャッター羽根間の漏れ光の発生を防ぐためにシャッター羽根表面の正反射率が低いこと、すなわち表面色の黒色度が高いことが望まれる。
【０００３】
デジタルカメラのレンズユニット内に挿入され、一定の光量に絞って光を撮像素子に送る役割の固定絞りについても、固定絞りの表面の反射が原因となって迷光が発生して、鮮明な撮像を損なうため、表面の低反射性、すなわち黒色性が高いことが要求される。
【０００４】
撮影機能を有した携帯電話、すなわちカメラ付携帯電話においても、デジタルカメラ同様、近年、高画素で高画質の撮影が行えるよう、小型の機械式シャッターがレンズユニットに搭載され始めている。また、固定絞りも携帯電話のレンズユニット内に挿入されている。上記の携帯電話に組み込まれる機械式シャッターは、一般のデジタルカメラよりも、小さな電力で作動しなければならず、そのためシャッター羽根の軽量化が特に強く要求される。
デジタルカメラや携帯電話のレンズユニットは、紫外線硬化性樹脂を用いて組み立てることが多い。最近カメラ付き携帯電話のレンズユニットでは、製造コストを低減する目的で、レンズ、固定絞り、シャッター羽根などの各部材の組み立てがリフロー工程で行われることが多い。そのため、これに用いられる固定絞りやシャッター羽根には、表面の低反射性と黒色性だけでなく、耐熱性も重要になってきている。
このリフロー工程は、近年のデジタルカメラ、カメラ付き携帯電話などに搭載されるカメラモジュールの小型化、低背化、製造工程の簡略化を目標として実用化が進められている。また、リフロー工程の実用化によって、カメラモジュールやレンズユニットを従来の接着剤を用いて個々に部品を実装していくという典型的な製造方法から、近年半導体チップのパッケージ産業で培われたウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（以下、ＷＬＣＳＰと言う）と呼ばれる、各部品が個々のチップ単位に分離されていないウェハー状態ですべての組み立てを行い、ダイボンディング、半田ボールなどで回路基板への実装を終了した後、これをチップサイズに個々にダイシングし、完成品を得るという製造方法へと移行しつつある。このＷＬＣＳＰは、部品点数が削減できるから、カメラモジュールの小型化、低背化に対しては有効なプロセスである。
【０００５】
この他にも、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子の前面からの漏れ光以外にもフレキシブルプリント配線基板（以下、ＦＰＣと称する）がより薄くなると、撮像素子の裏面にあるＦＰＣ側から入射する光も無視できなくなってしまうという問題がある。この撮像素子裏面からの入射光によって、ＦＰＣの配線回路が撮像域に写り込み、撮像の品質が劣化してしまうため、ＦＰＣ側からの漏れ光を遮光する必要が生じる。
【０００６】
また、最近の自動車搭載機器の動向として、バックビューモニターなどのビデオカメラを用いたモニターが搭載される傾向にある。このビデオカメラモニターのレンズユニット内にも、固定絞りが使われているが、同様に迷光防止のため絞りの表面の特性には、低反射性と黒色性が求められている。そして車載用のビデオカメラのレンズユニットには、真夏の炎天下など高温の使用環境下でも機能を損なうことが無いよう、十分な耐熱性が必要であり、固定絞り部材も同様に耐熱性が要求される。
【０００７】
一方、液晶プロジェクターは、大画面でホームシアターとして鑑賞できるため、最近、一般家庭に普及し始めている。リビングルームといった明るい環境下でも鮮やかなハイコントラスト映像が楽しめるような高画質化が強く要望され、ランプ光源を高出力化することによって、画質の高輝度化が図られている。プロジェクターの光学系には、ランプ光源からの光量を調整する光量調整絞り装置（オートアイリス）がレンズ系の内部や側面に用いられている。光量調整絞り装置は、シャッターと同様に複数枚の絞り羽根が互いに重なって開口部の面積を変え、光量を調整する。このような光量調整絞り装置の絞り羽根も、シャッター羽根の場合と同様の理由から表面の低反射性と軽量化が要求される。光照射によって羽根材の低反射性が損なわれてしまうと、迷光が生じて鮮明な映像を写せなくなるからである。それと同時に、光量調整絞り装置の絞り羽根では、ランプ光の照射による加熱に対する耐熱性も必要となる。
【０００８】
上述の固定絞りやシャッター羽根、光量調整用絞り装置の絞り羽根は、遮光板として、要求特性に応じて下記のものが一般に用いられている。
耐熱性を要求される場合は、ＳＵＳ、ＳＫ材、Ａｌ、Ｔｉ等の金属薄板を基材とした遮光板が一般に用いられている。金属薄板自体を遮光板としたものもあるが、金属光沢を有するため、表面の反射光による迷光の影響を回避したい場合には好ましくない。これに対して金属薄板上に黒色潤滑塗装した遮光板は、低反射性、黒色性を有するが、塗装部が耐熱性に劣るため、高温環境下では一般に使用できないことや加工端面の光の反射を抑えるために、所定の形状に加工後、加工端面を黒染め処理する工程が必須となり、製造コストが高くなるという課題を有している。
特許文献１には、アルミニウム合金などの金属製羽根材料の表面に硬質炭素膜を形成した遮光材が提案されている。しかし、硬質炭素膜の表面形成では低反射特性は実現できず、反射光による迷光の発生は避けられない。また、特許文献２には、金属製の基材表面に、
陽極酸化皮膜を形成し、その皮膜中に形成された微細孔に、電解着色法によって金属を析出させて光反射低減層を設けた遮光材が提案されている。しかし、陽極酸化処理は膜厚のバラツキが大きく、その皮膜の厚みが数μｍと厚く、厚み制御が難しくなるため、厚み精度が要求されるデジタルカメラやカメラ付き携帯電話などの固定絞り、シャッター羽根には適用できない。
上記いずれの場合も、金属薄板を基材に用いた遮光板をシャッター羽根や絞り羽根として使用すると、重量が大きいため、羽根を駆動する駆動モーターのトルクが大きくなり、消費電力が大きくなる、シャッタースピードが上げられない、羽根同士の接触による騒音が発生するなどの問題が有る。
【０００９】
これに対して、樹脂フィルムを基材として用い、表面処理による反射の低減を付与した遮光板も提案されている。特許文献３により、表面の反射を低減するためにマット処理加工した樹脂フィルムを使用した遮光板や、微細な多数の凹凸面を形成することで艶消し性を付与したフィルム状の遮光板が提案されている。また、特許文献４により、樹脂フィルム上に、艶消し塗料を含有した熱硬化性樹脂を塗膜した遮光フィルムが提案されている。
【００１０】
樹脂フィルムを基材として用いた遮光板については、比重の小ささ、安価さ、可とう性からポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を基材として用いた遮光板が広範に用いられている。
【００１１】
しかし、ＰＥＴ材の耐熱性は約１０５℃と低く、引張弾性率などの機械的強度が弱いため、使用環境が１０５℃を越える場合は、高出力のランプ光が照射されるプロジェクターの光量調整絞り装置用絞り羽根やリフロー工程に対応した固定絞りやシャッター羽根として利用することができない。  また、高速シャッターの羽根部としてみると、シャッター羽根の高速化に応じてフィルム厚みを低減させるが、黒色微粒子を内部に含浸させて得た樹脂フィルムの場合は、フィルム厚が薄くなり、特に３８μｍ以下まで薄くなると、フィルムの機械的強度を維持するために樹脂フィルム中に含有する黒色顔料を減らさざるを得なくなり、十分な遮光性を発揮することができず、厚いフィルムにより得られた黒色度を維持することができなくなり、固定絞りやシャッター羽根、光量調整絞り装置用絞り羽根には使用できない。
一方、特許文献５では、樹脂フィルム上にスパッタリング法等により成膜された金属単体、混合物又は化合物からなる薄膜と、導電性、潤滑性及び耐擦傷性の特性を満たした特定元素の単体又は化合物などからなる薄膜（保護膜）を順次積層して得られる遮光羽根材料が提案されている。ここでは、最近の遮光羽根に要求される特性の低反射性、黒色性については言及されていない。また保護膜の効果は、耐擦傷性に関するカーボンの効果しか具体的に示されていない。
上記のように、固定絞りやシャッター羽根、光量調整絞り装置の絞り羽根などの光学部品の表面を低反射化、黒色化するための被覆膜材料はあるが、耐熱性に優れたものは見出されていなかった。
このような状況下、基材として、ＳＵＳ、ＳＫ材、Ａｌ、Ｔｉ等の重量が比較的小さい金属薄板、あるいは低反射性、黒色性をもたせた樹脂フィルムを用い、羽根を駆動する駆動モーターのトルクや消費電力が大きくならず、シャッタースピードが上げられ、羽根同士の接触による騒音が発生しない遮光板、可視域における十分な遮光性と低反射性、軽量性、導電性を併せ持つ固定絞りやシャッター羽根、光量調整絞り装置の絞り羽根、遮光テープが必要とされていた。
【００１２】
従来、耐熱性の要求される用途では、樹脂フィルムでは十分な性能が得られないとして、金属薄板、すなわち、ＳＵＳ、ＳＫ材、Ａｌ、Ｔｉ等からなる金属薄板を用いざるを得なかった。しかし、金属薄板は重量が大きいため、羽根を駆動する駆動モーターのトルクや消費電力が大きくなってしまう、あるいはシャッタースピードが上げられず、羽根同士の接触による騒音が発生してしまう、さらには表面および加工端面を黒染め処理するため製造コストが高くなるという問題を抱えている。
【００１３】
そのため、本出願人は、ポリイミドなど耐熱性を有する樹脂フィルム基材（Ａ）と、樹脂フィルム基材（Ａ）の片面もしくは両面にスパッタリング法で形成された５０ｎｍ以上の膜厚を有する酸化チタンまたは炭化酸化チタンからなる金属遮光膜（Ｂ）と、金属遮光膜（Ｂ）上に、スパッタリング法で形成された、酸素含有量がＯ／Ｔｉ原子数比として０．７〜１．４であって、炭素含有量がＣ／Ｔｉ原子数比として０．７以上である炭化酸化チタン膜からなる耐熱遮光フィルムを提案した。（特許文献６参照）。これにより、従来よりも遮光性、耐熱性、摺動性、低表面光沢性、導電性に優れた耐熱遮光フィルムとすることができた。
【００１４】
しかし、得られた耐熱遮光フィルムは、大気中に２週間放置しても耐熱性や黒色度には影響は見られなかったが、表面層の炭化酸化チタン膜の色味が変化するという問題が発生した。この場合、色味の変化量をＣＩＥ（国際照明委員会）で標準化されている、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系測定（ＪＩＳＺ８７２９）で表される色差（ΔＥ＊ａｂ）で評価できるが、色差が２以上となることが判明した。しかし、現状でもデジタルカメラ、デジタルビデオカメラのレンズシャッターなどのシャッター羽根または絞り羽根や、カメラ付き携帯電話などの固定絞りとして利用することができるものの、更なる品質の安定性が望まれた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開平２−１１６８３７号公報
【特許文献２】特開２００７−２９２９５１号公報
【特許文献３】特開平１−１２０５０３号公報
【特許文献４】特開平４−９８０２号公報
【特許文献５】特開２００６−１３８９７４号公報
【特許文献６】ＷＯ２０１０／０２６８５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、これら従来の問題点に鑑み、大気中１００℃の高温環境下でも高遮光性、表面の低反射性、低表面光沢性、黒色性を維持し、さらにフィルム表面の膜色の経時変化を抑制できる固定絞りやシャッター羽根、光量調整絞り装置の絞り羽根、耐熱遮光テープなどとして使用できる耐熱遮光フィルムとその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明者は、上述した金属遮光膜上に特定の炭化酸化チタン膜（黒色被覆膜）を形成した耐熱遮光フィルムにおいて、炭化酸化チタン膜が酸素を取り込みやすい膜構造になっていると、高温で長時間加熱された際に炭化酸化チタン膜が酸化して色味が変化することを突き止め、さらに鋭意研究を重ねた結果、黒色被覆膜上に透明金属化合物膜を形成することで、膜色の経時変化を抑制することができ、大気中２７０℃以上の高温環境下でも高遮光性、表面の低反射性、低表面光沢性、黒色性を維持できることを見出し、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話、デジタルビデオカメラ、液晶プロジェクターなどの絞りや羽根部材として利用できることを確認して、本発明を完成するに至った。
【００１８】
すなわち、本発明の第１の発明によれば、１００℃以上の耐熱性を有し、表面に算術平均高さＲａで０．２〜２．２μｍの微細凹凸が形成された樹脂フィルム（Ａ）を基材とし、その片面または両面に、第一層の金属遮光膜（Ｂ）と、チタン、酸素を主成分として膜中のＯ／Ｔｉ原子数比が０．７〜１．４である第二層の黒色被覆膜（Ｃ）と、さらに第三層の透明金属化合物膜（Ｄ）が順次形成されていることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
【００１９】
また、本発明の第２発明によれば、第１の発明において、透明金属化合物膜（Ｄ）が、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物であることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第３の発明によれば、第１又は２の発明において、透明金属化合物膜（Ｄ）の金属含有量が、金属／酸素原子数比として０．８未満であることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第４の発明によれば、第１〜第３の発明において、透明金属化合物膜（Ｄ）の膜厚が、５〜２５０ｎｍであることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第５の発明によれば、第１〜第４のいずれかにおいて、透明金属化合物膜（Ｄ）が、光学ガラス基板に成膜したとき、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平行光線透過率が、平均値で７０％以上であり、また、平均正反射率が、２０％以下であることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第６の発明によれば、第１の発明において、金属遮光膜（Ｂ）が、チタン、タンタル、タングステン、コバルト、ニッケル、ニオブ、鉄、亜鉛、銅、アルミニウム、珪素より選ばれた１種類以上の元素からなる群より選ばれることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第７の発明によれば、第１の発明において、金属遮光膜（Ｂ）が、炭化チタン膜または炭化酸化チタン膜であることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第８の発明によれば、第１の発明において、金属遮光膜（Ｂ）の炭素含有量が、Ｃ／Ｔｉ原子数比として０．６以上であって、酸素含有量が、Ｏ／Ｔｉ原子数比として０．４以下であることを特徴とする耐熱遮光フィルムが提供される。
また、本発明の第９の発明によれば、第１の発明において、金属遮光膜（Ｂ）の厚みが４０〜２５０ｎｍ以上であることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第１０の発明によれば、第１の発明において、黒色被覆膜（Ｃ）がさらに炭素を含むことを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第１１の発明によれば、第１の発明において、黒色被覆膜の膜厚が、５０〜２５０ｎｍであることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第１２の発明によれば、第１〜１１の発明において、樹脂フィルム（Ａ）が、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、またはポリエーテルサルフォンから選ばれた１種類以上の樹脂を主成分とするフィルムであることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第１３の発明によれば、第１の発明において、樹脂フィルム（Ａ）の厚みが、１０〜２５０μｍであることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第１４の発明によれば、第１〜１３の発明のいずれかにおいて、１００℃以上の耐熱性を有する樹脂フィルム（Ａ）の両面に、実質的に同じ膜厚、かつ同じ組成の金属遮光膜（Ｂ）、黒色被覆膜（Ｃ）、透明金属化合物膜（Ｄ）が形成され、樹脂フィルム（Ａ）に対して対称構造であることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
また、本発明の第１５の発明によれば、第１の発明において、光遮光性の指標である平均光学濃度が波長３８０〜７８０ｎｍにおいて４．０以上、平均正反射率が０．３％未満であることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
さらに、本発明の第１６の発明によれば、第１または第１５の発明において、ＣＩＥ（国際照明委員会）で標準化されている、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系測定（ＪＩＳＺ８７２９）において、Ｌ＊（明度）が２０〜３５であり、また、大気中２週間放置後の色差（ΔＥ＊ａｂ）が、１．０未満であることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムが提供される。
【００２０】
一方、本発明の第１７の発明によれば、算術平均高さＲａが０．２〜２．２μｍの微細表面凹凸とした樹脂フィルム（Ａ）をスパッタリング装置に供給し、不活性ガス雰囲気下で金属遮光膜用ターゲットを用いてスパッタリングし、樹脂フィルム（Ａ）上に、金属遮光膜（Ｂ）を形成し、次いで、不活性ガス雰囲気中、１．５Ｐａ以上の成膜ガス圧下で黒色被覆膜形成用ターゲットを用いてスパッタリングして、前記金属遮光膜（Ｂ）上に、チタン、酸素、炭素を主成分として膜中のＯ／Ｔｉ原子数比が０．７〜１．４である黒色被覆膜（Ｃ）を形成した後、不活性ガス雰囲気下、透明金属化合物（Ｄ）形成用ターゲットを用いてスパッタリングして、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物であり、膜中の金属含有量が金属／酸素原子数比として０．８未満である透明金属化合物（Ｄ）を形成することを特徴とする耐熱遮光多層フィルムの製造方法が提供される。
【００２１】
また、本発明の第１８の発明によれば、第１７の発明において、透明金属化合物膜（Ｄ）が、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素を含有する金属ターゲット、金属酸化物ターゲット、金属炭化物ターゲットまたは金属窒化物ターゲットのいずれかを用い、アルゴンガス中に酸素ガスまたは／および窒素ガスを導入して、０．２〜０．８Ｐａの成膜ガス圧にてスパッタリングして形成されることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムの製造方法が提供される。
また、本発明の第１９の発明によれば、第１７または第１８の発明において、金属遮光膜（Ｂ）を形成する際の成膜ガス圧が、０．２〜０．８Ｐａであることを特徴とする耐熱遮光多層フィルムの製造方法が提供される。
また、本発明の第２０の発明によれば、第１７〜第１９の発明の耐熱遮光多層フィルムの製造方法により得られた、片面に前記金属遮光膜（Ｂ）、前記黒色被覆膜（Ｃ）及び前記透明金属化合物膜（Ｄ）の順に形成された積層膜を備える耐熱遮光フィルムを、スパッタリング装置に供給し、不活性ガス雰囲気下で金属遮光膜（Ｂ）形成用ターゲットを用いたスパッタリングにより、前記樹脂フィルム基材（Ａ）の積層膜が形成されていないもう一方の片面に、金属遮光膜（Ｂ）を形成し、次いで、不活性ガス雰囲気下での黒色被覆膜形成用ターゲットを用いたスパッタリングにより、前記金属遮光膜（Ｂ）上に、チタン、酸素、炭素を主成分として膜中のＯ／Ｔｉ原子数比が０．７〜１．４である黒色被覆膜（Ｃ）を形成した後、不活性ガス雰囲気下で、透明金属化合物（Ｄ）形成用ターゲットを用いたスパッタリングにより、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物であり、膜中の金属含有量が金属／酸素原子数比として０．８未満である透明金属化合物（Ｄ）を形成することを特徴とする耐熱遮光多層フィルムの製造方法が提供される。
【００２２】
一方、本発明の第２１の発明によれば、第１〜第１６のいずれかの発明において作製される耐熱遮光多層フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた絞りが提供される。
また、本発明の第２２の発明によれば、第２１の発明において、ウェハー・レベル・チップサイズ・パッケージ（ＷＬＣＳＰ）構造のカメラモジュールに利用されることを特徴とする絞りが提供される。
また、本発明の第２３の発明によれば、第１〜第１６のいずれかの発明において、耐熱遮光多層フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れたシャッター羽根が提供される。
また、本発明の第２４の発明によれば、第１〜第１６のいずれかの発明において作製される耐熱遮光多層フィルムを打ち抜き加工して得られる耐熱性に優れた光量調整用絞り羽根が提供される。
また、本発明の第２５の発明によれば、第１〜第１６のいずれかの発明において作製される耐熱遮光多層フィルムの片面、または両面に粘着層を設けてなる耐熱遮光テープが提供される。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の耐熱遮光多層フィルムは、１００℃以上の耐熱性を有し、表面に微細凹凸が形成された樹脂フィルム（Ａ）に、第一層として金属遮光膜（Ｂ）と、第二層としてチタン、酸素を主成分とする黒色被覆膜の酸化チタン膜（Ｃ）を積層し、さらに第３層として透明金属化合物膜（Ｄ）を順次形成しているため、可視光域（波長３８０〜７８０ｎｍ）において、低反射性、高遮光性、低光沢性を発揮することができ、さらに透明金属化合物が酸化防止膜として被覆されているので、大気中長時間放置や高温および高温高湿環境下での酸素、水分による酸化によって起こる膜表面の明度、色度の変化はなく、安定である。また、従来、大気中での長時間放置によって起こっていた膜酸化が抑制され、膜表面の明度、色度の変化がなく、大気中２７０℃以上の高温環境下においても耐熱性を有する軽量な耐熱遮光フィルムが実現でき、表面の低反射性、低光沢性、高遮光性、黒色性も損なわれないことから、絞りや羽根材など様々な光学部材に有用である。
さらに、本発明の耐熱遮光テープは、粘着層を設けているのでフレキシブルプリント配線基板に貼り付ければ、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子の背面から漏れた光を吸収して通過を阻止することができる。そのため、漏れ光の撮像素子への再入射を抑制でき、撮像品質の安定化に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】樹脂フィルムの片面に金属遮光膜、黒色被覆膜、透明金属酸化物膜を形成した、本発明の耐熱遮光フィルムの断面を示す概略図である。
【図２】樹脂フィルムの両面に金属遮光膜、黒色被覆膜、透明金属酸化物膜を形成した、本発明の耐熱遮光フィルムの断面を示す概略図である。
【図３】本発明の金属遮光膜、黒色被覆膜、透明金属酸化物膜を樹脂フィルム上に形成するための巻き取り式スパッタリング装置の模式図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の耐熱遮光多層フィルム、その製造方法、用途について図面を用いて説明する。
【００２６】
１．耐熱遮光多層フィルム
本発明の耐熱遮光多層フィルム（以下、耐熱遮光フィルムともいう）は、１００℃以上の耐熱性を有し、表面に算術平均高さＲａで０．２〜２．２μｍの微細凹凸が形成された樹脂フィルム（Ａ）を基材とし、その片面または両面に、第一層の金属遮光膜（Ｂ）と、チタン、酸素を主成分として膜中のＯ／Ｔｉ原子数比が０．７〜１．４である第二層の黒色被覆膜（Ｃ）と、さらに第三層の透明金属化合物膜（Ｄ）が順次形成されていることを特徴とする。
【００２７】
本発明の耐熱遮光多層フィルムは、樹脂フィルム基材１と、その表面に形成された金属遮光膜２と、黒色被覆膜３と、透明金属化合物膜４で構成されている。
金属遮光膜、黒色被覆膜、透明金属化合物膜は、図１に示すように、樹脂フィルム基材の片面に形成されていてもよいが、図２に示すように両面に形成されている方が好ましい。樹脂フィルム基材両面に形成される場合は、各面の遮光性薄膜の組成と厚みが同じで、フィルム基材を中心として対称の構造であることが、より好ましい。基材の上に形成された薄膜は、基材に対して応力を与えるため、変形の要因となる恐れがある。基材の片面に薄膜が形成される場合、膜応力による変形は、成膜直後の耐熱遮光フィルムでも見られる場合があるが、特に１８０℃程度に加熱されると変形が大きくなりやすい。しかし、上記のように基材の両面に形成する遮光性薄膜の材質、膜厚を同じにして、基材を中心として対称の構造にすることで、上記加熱条件下でも応力のバランスが維持され、変形のない耐熱遮光フィルムを実現しやすい。
【００２８】
本発明の耐熱遮光多層フィルムは、遮光性に優れ、その指標である波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４以上であり、かつ最大正反射率が０．３％以下である。算術平均高さＲａの大きい樹脂フィルムの最大正反射率が低いほど、膜最表面に形成される透明金属化合物膜を形成した後の最大正反射率は低くなり、極めて低い反射性を得ることができる。また、透明金属化合物膜を形成することで樹脂フィルム上に金属遮光膜、黒色被覆膜を順次形成した場合の膜の色味に比べ、Ｌ＊値が小さくなり、黒色度が向上する。
【００２９】
本発明の耐熱遮光フィルムは、金属遮光膜上にチタン、酸素を主成分として膜中の酸素含有量がＯ／Ｔｉ原子数比として、０．７〜１．４である黒色被覆膜が形成され、透明金属化合物膜で被覆されている。黒色被覆膜が最表面にあると、大気中での長時間放置や高温または高温高湿の環境下によって、黒色被覆膜内に酸素や水分が取り込まれることで黒色被覆膜の酸化が起こり、黒色被覆膜の光学特性を示す光学定数が変化し、黒色被覆膜表面の明度や色度が変化し、見た目の色が経時変化してしまう。しかし、膜中の金属含有量が金属／酸素原子数比として０．８未満である透明金属化合物膜が黒色被覆膜上に形成されることで、黒色被覆膜の酸化が抑制され、膜表面の明度、色度が変化しにくくなる。これは、透明金属化合物膜が緻密であり、下層の炭化酸化チタン膜中への空気中の酸素や水分の進入を防止するためである。この効果は、透明金属化合物膜が酸化アルミニウム、酸化亜鉛系金属酸化物、二酸化珪素、酸化チタン、チタン窒化物など大気中の酸素や水分に対して防湿性の高い材料で構成されていると、より大きなものとなる。
【００３０】
また、本発明の耐熱遮光多層フィルムの明度（Ｌ＊値）は、２０〜３５であり、極めて黒色度が高い。正反射率が低いほど、Ｌ＊値は小さくなり、フィルムの黒色度は高くなり、低正反射率と黒色度が要求されるデジタルカメラやカメラ付き携帯電話用の絞り材、羽根材として有用である。
本発明の耐熱遮光多層フィルムの厚みは、１０〜２５０μｍ以下であることが好ましい。より好ましくは、２０〜１５０μｍであり、３０〜１００μｍがさらに好ましい。１０μｍよりも薄いものでは、ハンドリング性に劣るため、フィルムに傷や折れ目などの表面欠陥が付きやすく、２５０μｍより厚いと、小型化、薄肉化が進む絞り装置や光量調整装置への搭載ができなくなるおそれがある。
樹脂フィルムの片面または両面にはガスバリア膜を形成しても良い。樹脂フィルムに酸素や水分が含まれている場合があり、金属遮光膜に酸素が作用することで劣化する可能があるが、ガスバリア膜を成膜することにより、金属遮光膜の劣化を抑えることが出来る。ガスバリア膜としては、ニッケルを主成分とした金属酸化物膜をスパッタリング法で形成することが好ましく、その膜厚は、特に限定されないが、例えば５〜３０ｎｍ程度が好ましい。
本発明の耐熱遮光フィルムを大気中に２週間放置したときの色差は１．０未満であり、目視では色味の変化はほとんど分からないほどである。なお、遮光フィルムの色差が１．０以上であっても、遮光性や耐熱性などの特性に問題がなければ、羽根材や絞りなどに使用することは可能である。
【００３１】
２．樹脂フィルム（Ａ）
本発明の耐熱遮光フィルムは、１００℃以上の耐熱性を有する、樹脂フィルムを基板として用いる。樹脂の種類は、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルサルフォンから選ばれた１種以上である。
【００３２】
耐熱性はポリエチレンテレフタレート  約１０５℃、ポリカーボネート  約１４０℃であり、それぞれ、１０５℃、１４０℃以下の温度環境下で利用することができる。また、ポリエチレンナフタレートは耐熱性が約２００℃であり、１５５〜２００℃の温度環境下で利用することができる。また、ポリイミド、ポリアミドイミド、アラミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンサルファイド、又はポリエーテルサルフォンは耐熱性が２００℃以上であり、２００℃以上の環境下でも利用できる。特に、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトンは耐熱温度が３００℃以上と非常に優れているため、３００℃以上の温度環境下でも利用することができる。このように、樹脂フィルムは、耐熱遮光フィルムの使用温度環境に応じた材料を用いればよい。
上記樹脂フィルムの厚みは、１０〜２５０μｍの範囲が好ましく、より好ましくは２０〜１５０μｍ、最も好ましくは３０〜１００μｍである。１０μｍより薄い樹脂フィルムでは、ハンドリング性が悪くて取り扱いにくく、フィルムに傷や折れ目などの表面欠陥が付きやすくなるため好ましくない。樹脂フィルムが２５０μｍより厚いと、小型化が進む絞り装置や光量調整用装置へ遮光羽根を複数枚搭載することができず、用途によっては所望の性能が得られなくなってしまう。
【００３３】
また、樹脂フィルムは表面凹凸性を有しているので、透明金属化合物膜の表面に凹凸が生じると光の正反射率を低減する、すなわち艶消しの効果をもたらすことができ、光学部材として好ましいものとなる。ここで算術平均高さとは、算術平均粗さとも言われ、粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけ抜き取り、この抜き取り部分の平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を合計して平均した値である。
基材表面の凹凸は、ナノインプリンティング加工やショット材を使用したマット処理加工によって所定の表面凹凸を形成することができる。マット処理の場合は、ショット材に砂を使用したマット処理加工が一般的であるが、ショット材はこれに限定されない。樹脂フィルムを基材として金属遮光膜を形成する前に、樹脂フィルムの表面を上記の方法で凹凸化しておくと有効である。
【００３４】
また、樹脂フィルムは柔らかいため、表面に形成する膜の応力の影響を受けて変形しやすい。これを回避するため、本発明の耐熱遮光多層フィルムにおいては、樹脂フィルムの両面に同じ構成、同じ膜厚の膜をフィルムに対称に形成することが有効である。つまり、樹脂フィルムの両面に同じ組成、同じ膜厚の金属遮光膜を形成した後、その両面（金属遮光膜上）に同じ組成、同じ膜厚の黒色被覆膜、さらに黒色被覆膜の上に同じ組成、同じ膜厚の透明金属化合膜を形成して得られる耐熱遮光フィルムは、変形が少ないものとなり、好ましい。
【００３５】
３．金属遮光膜（Ｂ）
本発明において、金属遮光膜は、樹脂フィルム（Ａ）を基材とし、その上に形成される、第一層の遮光膜である。金属材料としては、チタン、タンタル、タングステン、コバルト、ニッケル、ニオブ、鉄、亜鉛、銅、アルミニウム、珪素より選ばれた１種類以上の元素を主成分とするものを用いることができる。このうち、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｌ、或いはＮｉＴｉ合金などの金属材料が好ましい。
【００３６】
また、これらの金属の窒化物、炭化物、炭化窒化物、炭化酸化物、窒化酸化物、炭化窒化酸化物も金属遮光膜として用いることができる。特に炭化チタン、炭化タングステン、炭化モリブデンなどの金属炭化物材料は、高温環境下での耐酸化性に優れ、耐熱性が良好なため好ましい。その中でも炭化チタンは、表面の黒色度が比較的高く、低反射性に優れており、膜表面の黒色化の効果が増大されるため特に好ましい。また、炭化酸化チタン膜は、炭化チタン膜に比べ、透明度が高くなるが、耐熱性に優れた金属遮光膜として利用できる。金属遮光膜が炭化チタン膜、或いは、炭化酸化チタン膜である時、該膜中の含有炭素量はＣ／Ｔｉ原子数比で０．６以上であることが好ましい。炭化酸化チタン膜の場合、十分な遮光性を発揮するためには、膜中の酸素含有量がＯ／Ｔｉ原子数比で０．４以下とすることが重要である。
金属遮光膜は、例えば樹脂フィルム基材に対する密着性に着目すると、金属遮光膜を構成する原子の結合のうち、金属結合性およびイオン結合性の割合が樹脂フィルムに対する付着力に影響する。金属遮光膜のＯ／Ｔｉ原子数比が０．４以下であると、金属遮光膜を構成する原子の結合のうち、イオン結合性の割合が強くなるため、フィルム基材と金属遮光膜の間にイオン結合性が発生して付着力が強まるため好ましい。
また、本発明における金属遮光膜は、炭素含有量および／または酸素含有量の組成の異なる炭化酸化チタン膜が積層されていたり、膜厚方向に炭素含有量および／または酸素含有量が連続的に変化した炭化酸化チタン膜であっても、膜全体の平均組成が本発明で規定する組成範囲内であればかまわない。
【００３７】
一般に、有機物である樹脂フィルムと無機物である金属膜などとの結合は弱い。本発明で遮光性薄膜を樹脂フィルムの表面に形成するときも同じである。また、膜の付着力を高めるためには、成膜時のフィルム表面温度を高めることが有効である。しかし、樹脂フィルムの種類によっては、ＰＥＴなどのように、１３０℃以上に温度を上げると、ガラス転移点や分解温度を越えてしまうものもあるため、成膜時の樹脂フィルム表面温度はなるべく低温、例えば１００℃以下とすることが望ましい。１００℃以下の樹脂フィルム表面に、金属遮光膜を高付着力で形成するためには、膜中のＯ／Ｔｉ原子数比を０．４以下に設定した炭化酸化チタン膜を用いることが必要不可欠である。
【００３８】
本発明における金属遮光膜は、膜厚が総和で４０ｎｍ以上である。ただし、膜厚が２５０ｎｍより厚くなると、金属遮光膜を成膜するのに長時間かかり製造コストが高くなったり、必要な成膜材料が多くなって材料コストが高くなるので好ましくない。
【００３９】
４．黒色被覆膜（Ｃ）
本発明の耐熱遮光多層フィルムにおいて、第二層の黒色被覆膜は、Ｔｉ、Ｏを主成分とし、含有酸素量がＯ／Ｔｉ原子数比で０．７〜１．４である酸化チタン膜である。
【００４０】
酸化チタン膜は、含有酸素量がＯ／Ｔｉ原子数比で０．７〜１．４でなければならない。Ｏ／Ｔｉ原子数比で０．７未満の場合は、酸化チタン膜は金属色を呈し、低反射性や黒色性に劣ってしまい、Ｏ／Ｔｉ原子数比で１．４を超える場合は、膜の透過率が高すぎて光吸収機能に劣り、低反射性や黒色性を損なってしまうためである。
また、黒色被覆膜は、さらに、上記酸化チタン膜に炭素を含有することが好ましく、その含有炭素量がＣ／Ｔｉ原子数比で０．７以上である炭化酸化チタン膜であることがより好ましい。含有炭素量がＣ／Ｔｉ原子数比で０．７以上であると、３００℃での耐熱性に優れるからである。含有炭素量がＣ／Ｔｉ原子数比で０．７未満では、大気中で２７０℃に加熱されると、膜が変色してしまい、黒色性が低下してしまうため好ましくない。
上記黒色被覆膜中のＯ／Ｔｉ原子数比やＣ／Ｔｉ原子数比は、例えばＸＰＳ（Ｘ線光電子分光装置）を用いて分析できる。膜の最表面は酸素量が多く結合されているため、真空中で数十ｎｍの深さまでスパッタリングで除去し、その後に測定すれば膜中のＯ／Ｔｉ原子数比やＣ／Ｔｉ原子数比を定量化することができる。
【００４１】
上記のような膜組成であっても、膜の低反射性や黒色性は、膜厚に依存する。膜厚は、特に制限されないが、５０ｎｍ〜２５０ｎｍが好ましく、より好ましくは６０〜２００ｎｍ、さらに好ましくは７０〜１５０ｎｍである。膜厚が５０〜２５０ｎｍであると膜による光吸収が充分に行われ、低反射性と黒色性を発揮することができる。
本発明において、黒色被覆膜が上記のような特徴を有するため、光学ガラス基板に成膜した黒色被覆膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける、平行光線透過率（Ｔｐ）の平均を１３〜３５％とすることができる。
【００４２】
黒色被覆膜は、Ｔｉ、Ｃ、Ｏ以外の他の元素が、上記の特徴が損なわれない程度に含まれていてもかまわない。一般に、スパッタリング成膜の原料として使うスパッタリングターゲットでは、その材料となる焼結体の焼結密度を改善するために焼結助剤が添加される。具体的には、焼結体ターゲットに、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｎｂ、Ｔａなどの元素が焼結助剤として添加され、添加された元素は、黒色被覆膜中にも含まれることになる。こうして該黒色被覆膜中に、上記元素が含まれるようになっても、上記の黒色被覆膜の特徴が損なわれなければかまわない。
【００４３】
５．透明金属化合物膜（Ｄ）
本発明において透明金属化合物膜は、黒色被覆膜の上に第３層の酸化防止膜として形成され、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウム、から選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物である。また、光学ガラス基板に成膜した透明金属化合物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率が７０％以上、平均正反射率が２０％以下であるのに必要な膜厚を有している。
【００４４】
透明金属化合物膜の材料は、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素と酸素を含有するものでなければならない。さらに窒素や炭素を含んでいてもよい。具体的には、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化珪素（ＳｉＯ２）、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）−酸化錫（ＳｎＯ２）系酸化物、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）−酸化チタン（ＴｉＯ２）系酸化物、酸化亜鉛（ＺｎＯ）や錫、アルミニウム、ガリウム、マグネシウムなどが添加された酸化亜鉛系酸化物などの酸化物膜や、酸化窒化チタン（ＴｉＯＮ）、酸化窒化珪素（ＳｉＯＮ）、酸化窒化アルミニウム（ＡｌＯＮ）、炭化酸化チタン（ＴｉＣＯ）炭化窒化酸化チタン（ＴｉＣＯＮ）などの窒化酸化膜、炭化酸化物膜、炭化窒化酸化物膜などが挙げられる。
透明金属化合物膜も樹脂フィルムと同様に、使用温度環境に応じて、適切な材質を選定すればよく、例えば３００℃以上の使用温度環境化であれば、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化珪素など、２８０℃以下であれば、酸化亜鉛系酸化物、酸化インジウム−酸化錫系酸化物とすればよい。
本発明では透明金属化合物膜が緻密な膜であり、水分や酸素などのガスに対する透過性の低い成分から構成されているため、大気中の酸素や水分が炭化酸化チタン膜などの黒色被覆膜内への侵入を防止し、黒色被覆膜の酸化を防止する作用を有している。
【００４５】
膜中の金属含有量は、金属／酸素原子数比で０．８未満でなければならない。金属成分の含有量として金属／酸素原子数比が０．８以上の場合は、金属化合物膜は着色し、透明性を損なうとともに光吸収性が生じ、光学ガラス（コーニング社製：７０５９）上に成膜したとき、透明金属化合物膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平行光線透過率が７０％未満となり、高透過性が得られない。高透過性でないと下地の黒色被覆膜の黒味が反映されず、また、透明金属化合物膜自身が着色するため好ましくない。また、膜中の金属成分が多くなるため、膜表面における正反射率が大きくなり、平均正反射率が２０％を超えてしまう。そうすると、耐熱遮光フィルムの平均正反射率が０．３％以上となるため、好ましくない。さらに、高温環境下および高温高湿下での金属成分の酸化が顕著になり、平行光線透過率や正反射率が変化し、膜が変色してしまう。
【００４６】
金属成分の含有量が金属／酸素原子数比が０．８未満であれば、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率が７０％以上、平均正反射率は２０％以下を達成でき、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化珪素や酸化亜鉛系酸化物、酸化インジウム−酸化錫系酸化物、または窒化アルミニウムなど高温環境下、高温高湿下にて優れた耐久性を有するため、耐久性に優れた耐熱遮光フィルムとすることが可能となる。
また、このような透明金属化合物膜を第２層目である黒色被覆膜上に形成することで、光閉じ込め効果による反射防止効果が発現され、金属遮光膜、黒色被覆膜を順次形成した耐熱遮光フィルム以上に、耐熱遮光フィルム表面の平均正反射率の低減とフィルムの黒色度を向上することが可能となる。
また、透明金属化合物膜は単膜でなくても２種類以上の透明金属化合物膜の積層膜であっても耐熱遮光フィルムの特性を満足できていれば構わない。
【００４７】
６．耐熱遮光フィルムの製造方法
本発明の耐熱遮光フィルムの製造方法は、  算術平均高さＲａが０．２〜２．２μｍの微細表面凹凸とした樹脂フィルム（Ａ）をスパッタリング装置に供給し、不活性ガス雰囲気下で金属遮光膜用ターゲットを用いてスパッタリングし、樹脂フィルム（Ａ）上に、金属遮光膜（Ｂ）を形成し、次いで、不活性ガス雰囲気中、１．５Ｐａ以上の成膜ガス圧下で黒色被覆膜形成用ターゲットを用いてスパッタリングして、前記金属遮光膜（Ｂ）上に、チタン、酸素、炭素を主成分として膜中のＯ／Ｔｉ原子数比が０．７〜１．４である黒色被覆膜（Ｃ）を形成した後、
不活性ガス雰囲気下、透明金属化合物（Ｄ）形成用ターゲットを用いてスパッタリングして、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物であり、膜中の金属含有量が金属／酸素原子数比として０．８未満である透明金属化合物（Ｄ）を形成することを特徴とする。
【００４８】
本発明における第１層の金属遮光膜は、製造方法によって特に制限されず、真空蒸着法、イオンビームアシスト蒸着法、ガスクラスターイオンビームアシスト蒸着法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法、マグネトロンスパッタリング法、バイアススパッタリング法、ＥＣＲ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）スパッタリング法、高周波（ＲＦ）スパッタリング法、熱ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、プラズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法等の公知の方法を適宜採用することができる。なかでもスパッタリング法で製造することが好ましい。スパッタリング法で製造することで、大面積の基材上に均一に形成することができるだけでなく、基材に対して高い密着力を有して形成することができるためである。
本発明の耐熱遮光フィルムにおいては、金属遮光膜は、例えばアルゴン雰囲気中において直流マグネトロンスパッタリング法により樹脂フィルム基材上に成膜形成されることが好ましい。放電方式は、高周波放電でもかまわないが、直流放電の方が、高速成膜が可能となる。
スパッタリング法による製造装置は、特に制限されないが、例えば、図３のように、ロール状の樹脂フィルム基材１が巻き出しロール１２Ａにセットされ、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプで成膜室の真空槽内を排気した後、巻き出しロール１２Ａから搬出されたフィルム１が途中、キャンロール１５の表面を通って、巻き取りロール１２Ｂによって巻き取られていく構成をとる巻き取り式スパッタリング装置を用いることができる。キャンロール１５の表面の対向側にはマグネトロンカソード１３Ａが設置され、このカソード１３Ａには膜の原料となるターゲット１４Ａが取り付けられている。なお、巻き出しロール１２Ａ、キャンロール１５、巻き取りロール１２Ｂなどで構成されるフィルム搬送部は、隔壁１６でマグネトロンカソード１３Ａと隔離されている。
【００４９】
ターゲットとしては、例えば炭化チタン、炭化酸化チタンを主成分とする焼結体を加工して得られるターゲットが使用される。その組成は、特に制限されないが、基材に最初に形成される金属遮光膜の組成と同じであるものが好ましい。スパッタリング成膜の原料として使うスパッタリングターゲットの焼結体では、焼結密度を改善するために焼結助剤が添加されることが多い。本発明に用いる焼結体ターゲットには、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｎｂ、Ｔａなどの元素を、本発明の特徴が損なわれない程度であれば、焼結助剤として添加することができる。
【００５０】
スパッタリング成膜では、ガス圧は、装置の種類などによっても異なるので一概に規定できないが、１Ｐａ以下、好ましくは０．２〜０．８Ｐａのスパッタリングガス圧で、Ａｒガス、もしくは、０．０５％以内のＯ２を混合したＡｒガスを、スパッタリングガスとして用いる方法が採用できる。
以下、基板として樹脂フィルムを、金属遮光膜として金属膜を用いた場合で詳述すると、基板に到達するスパッタリング粒子が高エネルギーとなるため、結晶性の金属膜が樹脂フィルム基材上に形成され、金属膜と樹脂フィルムとの間に強い密着性が発現される。成膜時のガス圧が０．２Ｐａ未満であると、ガス圧が低いためスパッタリング法でのアルゴンプラズマが不安定となり、膜質が悪くなる。また、０．２Ｐａ未満であると、反跳アルゴン粒子が基板上に堆積した金属膜を再スパッタリングする機構が強くなり、緻密な金属膜の形成を阻害しやすくなる。また、成膜時のガス圧が０．８Ｐａを超えた場合では、基板に到達するスパッタリング粒子のエネルギーが低いため結晶成長しにくく、金属膜の粒が粗くなり、膜質が高緻密な結晶性ではなくなるので樹脂フィルム基材との密着力が弱くなり、膜が剥がれてしまう。このような膜は、耐熱性用途の金属遮光膜として用いることはできない。これにより、純Ａｒガスもしくは微量のＯ２（例えば０．０５％以内）を混合したＡｒガスをスパッタリングガスに用いて、結晶性の優れた金属遮光膜を安定して形成することができる。Ｏ２を０．１％以上混合すると、薄膜の結晶性が悪化する場合があり好ましくない。
【００５１】
また、成膜時の樹脂フィルム表面温度は、金属膜の結晶性に影響を及ぼす。成膜時のフィルム表面温度が高温であるほど、スパッタリング粒子の結晶配列が起こりやすくなり、結晶性が良好となる。しかし、樹脂フィルムの加熱温度にも限界があり、最も耐熱性の優れたポリイミドフィルムでも表面温度は４００℃以下にする必要がある。樹脂フィルムの種類によっては、１３０℃以上に温度を上げると、ガラス転移点や分解温度を越えてしまうものがあり、例えば、ＰＥＴなどでは、成膜時のフィルム表面温度はなるべく低温、例えば１００℃以下とすることが望ましい。また、製造コストに着目しても、加熱時間や加熱のための熱エネルギーを考慮すると、なるべく低温で成膜を行うことがコスト低減には有効である。成膜時のフィルム表面温度は、９０℃以下が好ましく、８５℃以下がより好ましい。
また、樹脂フィルム基材は、成膜中にプラズマから自然加熱される。成膜中の樹脂フィルム基材の表面温度は、ガス圧とターゲットへの投入電力やフィルム搬送速度を調整することで、ターゲットから基材に入射する熱電子やプラズマからの熱輻射によって所定の温度に容易に維持することができる。ガス圧は低いほど、投入電力は高いほど、またフィルム搬送速度は遅いほど、プラズマからの自然加熱による加熱効果は高くなる。成膜時、樹脂フィルムを冷却キャンに接触させるスパッタリング装置の場合でも、フィルム表面の温度は、自然加熱の影響で冷却キャン温度よりはるかに高い温度となる。
しかし、ターゲットをキャンロールと対向する位置に設置する図３に示されるようなスパッタリング装置では、フィルム１がキャンロール１５で冷却されながら搬送される。自然加熱によるフィルム表面の温度は、キャンロール１５の温度にも大きく依存するため、成膜時の自然加熱の効果を利用するのであれば、なるべく冷却キャンの温度を高めにして搬送速度を遅くすることが効果的である。金属膜の膜厚は、成膜時のフィルムの搬送速度とターゲットへの投入電力で制御され、搬送速度が遅いほど、またターゲットへの投入電力が大きいほど厚くなる。
以上、金属遮光膜として金属膜を形成する場合で説明したが、黒色被覆膜を形成する場合も同様な条件を採用できる。
【００５２】
図３では、上記により金属遮光膜が形成されたフィルム１が、引き続き、キャンロール１５の表面を通って、表面の対向側に設置されたマグネトロンカソード１３Ｂに設置された膜の原料となるターゲット１４Ｂにより、黒色被覆膜が形成されていく。
通常、スパッタリング成膜は、０．２〜０．８Ｐａのスパッタリングガス圧にて実施される場合が多いが、このような条件では膜表面が比較的平坦なものとなる。本発明の黒色被覆膜は、酸化チタン、酸化チタンと炭化チタンの混合物、あるいは炭化酸化チタンの焼結体ターゲットを用いて、１．５Ｐａ以上の高いスパッタリングガス圧にてスパッタリング成膜を行うことで製造されるため膜表面に突起ができ、上記の組成と組織を有する品質の高い酸化チタン膜、もしくは、炭化酸化チタン膜となる。
酸化チタンおよび炭化チタンからなる焼結体ターゲット、もしくは炭化酸化チタンの焼結体ターゲット、あるいは酸化チタン、炭化チタン、炭化酸化チタンからなる焼結体ターゲットを用いて、同様にスパッタリング成膜し、Ｔｉ、Ｏを主成分とし、酸素量がＯ／Ｔｉ原子数比で０．７〜１．４であり、さらに炭素を含有しており、含有量がＣ／Ｔｉ原子数比で０．７以上であり、膜表面に微細突起を有する黒色被覆膜を得ることができる。両者の場合とも、成膜時にＡｒガスにＯ２ガスを混合して成膜を行い、膜中に酸素を多めに導入した成膜も行うことができる。
【００５３】
また、本発明においては、成膜ガスとして、酸素ガスを全く供給せず、アルゴン、又はヘリウムを主とする不活性ガスのみを使用して、黒色被覆膜を形成することもできる。この場合の膜中の酸素は、焼結体ターゲット中の含有酸素、または／およびスパッタリング成膜室内の残留ガス中の酸素が有効利用される。焼結体ターゲット中の含有酸素とスパッタリング成膜室内の残留ガス中の酸素は、非常に微量である。成膜ガス圧を高めると、成膜室内の酸素を膜中に取り込む割合が増加する。焼結体ターゲット中の含有酸素とスパッタリング成膜室内の残留ガス中の酸素が少なすぎるときは、通常の０．２〜０．８Ｐａのスパッタリング成膜では十分に膜中に酸素が含まれず、その場合には、成膜ガス圧を１．５Ｐａ以上とすることで、十分に酸素を含ませて黒色被覆膜を得ることができる。
焼結体ターゲット中の含有酸素とスパッタリング成膜室内の残留ガス中の酸素を利用する成膜方法は、大面積に色味を均一に形成するときには極めて有効な方法である。酸素ガスを供給して通常のガス圧において成膜する通常の方法では、酸素ガスの供給が不均一であると、大面積成膜の場合は、膜中への酸素含有量のムラに起因して色味のムラが生じやすい。しかし、焼結体ターゲット中の含有酸素とスパッタリング成膜室内の残留ガス中の酸素を利用する成膜方法は、成膜面には均一に酸素が存在しているため、大面積成膜でも色味のムラが生じにくい。
【００５４】
本発明において、上記により黒色被覆膜（Ｃ）が形成された後、第３層の透明金属化合物膜（Ｄ）が形成される。
すなわち、不活性ガス雰囲気下、透明金属化合物膜（Ｄ）形成用ターゲットを用いてスパッタリングすることにより、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物であり、膜中の金属含有量が金属／酸素原子数比として０．８未満である透明金属化合物膜（Ｄ）を形成する。
【００５５】
透明金属化合物膜（Ｄ）も、金属遮光膜、黒色被覆膜を形成する場合と同様な条件を採用できる。
図３では、上記により金属遮光膜と黒色被覆膜が形成されたフィルム１が、引き続き、キャンロール１５の表面を通って、表面の対向側に設置されたマグネトロンカソード１３Ｃに設置された膜の原料となるターゲット１４Ｃにより、透明金属化合物膜が形成されていく。
【００５６】
本発明における透明金属化合物膜（Ｄ）は、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素の酸化物、窒化酸化物、炭化酸化物、炭化窒化酸化物であり、金属含有量が金属／酸素原子数比で０．８未満である。そのため、アルミニウム、チタン、珪素、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、マグネシウムから選ばれた１種類以上の元素を含有する金属ターゲット、金属酸化物ターゲット、金属炭化物ターゲットまたは金属窒化物ターゲットのいずれかを用い、アルゴンガス中に酸素ガスまたは／および窒素ガスを導入して、０．２〜０．８Ｐａの成膜ガス圧にてスパッタリングして形成される。
また、本発明においては、成膜ガスとして、酸素ガスを全く供給せず、アルゴン、又はヘリウムを主とする不活性ガスのみを使用して、透明金属化合物膜を形成することもできる。この場合の膜中の酸素は、焼結体ターゲット中の含有酸素、または／およびスパッタリング成膜室内の残留ガス中の酸素が有効利用される。焼結体ターゲット中の含有酸素とスパッタリング成膜室内の残留ガス中の酸素は、非常に微量である。成膜ガス圧を高めると、成膜室内の酸素を膜中に取り込む割合が増加する。焼結体ターゲット中の含有酸素とスパッタリング成膜室内の残留ガス中の酸素が少なすぎるときは、通常の０．２〜０．８Ｐａのスパッタリング成膜では十分に膜中に酸素が含まれず、その場合には、成膜ガス圧を１．５Ｐａ以上とすることで、十分に酸素を含ませて透明金属化合物膜を得ることができる。
【００５７】
７．耐熱遮光多層フィルムの用途
本発明の耐熱遮光多層フィルムは、端面クラックが生じないように特定の形状に打ち抜き加工を行って、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラの固定絞り、機械的シャッター羽根や、一定の光量のみ通過させる絞り（アイリス）、更には液晶プロジェクターの光量調整絞り装置（オートアイリス）の絞り羽根、また、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子裏面から入射する光を遮光する耐熱遮光テープとして利用できる。
【００５８】
液晶プロジェクターの光量調整絞り装置は、ランプ光の照射による加熱が顕著である。そのため、本発明の耐熱遮光多層フィルムを加工して製造された耐熱性と遮光性に優れた絞り羽根を搭載した光量調整絞り装置が有用である。また、レンズユニットを製造するのに、リフロー工程で固定絞りや機械式シャッターを組み立てる場合においても、本発明の耐熱遮光多層フィルムを加工して得た固定絞りやシャッター羽根を用いると、リフロー工程中の加熱環境下においても特性が変化しないため非常に有用である。さらに、車載ビデオカメラモニターのレンズユニット内の固定絞りは、夏場の太陽光による加熱が顕著であり、同様の理由から本発明の耐熱遮光多層フィルムから作製した固定絞りを適用することが有用である。
また、本発明の耐熱遮光多層フィルムにおいて、遮光板の片面、または両面に粘着層を設けることで耐熱遮光テープまたはシートとすることができる。粘着層を形成するための粘着剤は、特に限定されず、従来、粘着シート用として使用されているものの中から温度、湿度など使用環境に適した粘着剤を選択することができる。
一般的な粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ポリウレタン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、あるいはシリコーン系粘着剤などを用いることができる。特に、携帯電話のレンズユニットをリフロー工程で組み立てる場合では、耐熱性が要求されるので、耐熱性の高いアクリル系粘着剤やシリコーン系粘着剤が好ましい。
また、耐熱遮光多層フィルムに粘着層を形成する方法としては、例えばバーコート法、ロールコート法、グラビアコート法、エアドクターコート法、ドクターブレードコート法など、従来公知の方法により行うことができる。
粘着層の厚さは、特に制限されないが、２〜６０μｍが好ましい。この範囲であれば、小型、薄肉のデジタルカメラ、カメラ付携帯電話であっても、容易に貼着でき、脱落しにくい。
小型化、薄肉化したデジタルカメラ、カメラ付携帯電話では、搭載される構成部品も小型で、薄肉のものが使用される。前記のとおり、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子や撮像素子が搭載されるＦＰＣが薄肉の場合、撮像素子の前面からの漏れ光以外にもＦＰＣを透過し、撮像素子の裏面から入射する漏れ光も多くなる。この撮像素子裏面からの漏れ光によって、ＦＰＣの配線回路が撮像域に写り込み、撮像の品質が劣化してしまう。本発明の耐熱遮光多層フィルムの片面、又は両面に粘着層を設けた耐熱遮光テープは、粘着層によって、ＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像素子の裏面側周辺部に貼り付けることができるから、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの撮像素子裏面へ入射する光を遮光するために有用である。
【実施例】
【００５９】
次に、本発明について、実施例、比較例を用いて具体的に説明するが、本発明は、これら実施例によって限定されるものではない。耐熱遮光多層フィルムの作製、評価は以下の方法で実施した。
【００６０】
（耐熱遮光多層フィルムの作製方法）
図３に示した巻き取り式スパッタリング装置を用いて、樹脂フィルム基材に金属遮光膜の成膜を行った。まず、キャンロール１５の表面の対向側にマグネトロンカソードが設置された装置のカソード１４Ｂに膜の原料となる金属遮光膜形成用ターゲット１４Ａを取り付けた。巻き出しロール１２Ａ、キャンロール１５、巻き取りロール１２Ｂなどで構成されるフィルム搬送部は、隔壁でマグネトロンカソードと隔離されている。次に、ロール状の樹脂フィルム基材１を巻き出しロール１２Ａにセットした。
サンドブラスト処理で表面を所定の算術平均高さＲａに調整した樹脂フィルム基材をスパッタリング前に、真空中にて７０℃の温度に加熱したキャンロール表面に密着搬送することで、十分に乾燥した。
次に、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプで真空槽内を排気した後、キャンロール１５とカソード間で放電させて、樹脂フィルム基材１をキャンロール表面に密着搬送しながら金属遮光膜の成膜を行った。このときのキャンロールの設定温度は７０℃とし、ターゲットと基板との距離は７５ｍｍとした。成膜前の真空槽内の到達真空度は４×１０−４Ｐａ以下とした。
第１層目である金属遮光膜の成膜は、次のように行った。真空槽内に純アルゴンガス（純度９９．９９９％）を導入し、成膜ガス圧を０．２〜０．８Ｐａに調整した。ターゲットには４〜１８Ｗ／ｃｍ２の直流電力密度（ターゲットのスパッタリング面における単位面積当たりの直流投入電力）を投入して成膜を実施した。成膜時のフィルムの搬送速度とターゲットへの投入電力を制御することで金属遮光膜の膜厚を制御した。巻き出しロール１２Ａから搬出された樹脂フィルム基材１は、途中、キャンロール１５の表面を通って、巻き取りロール１２Ｂで巻き取った。
次に、第２層目の膜である黒色被覆膜については、黒色被覆膜形成用ターゲット１４Ｂをカソード１３Ｂに設置し、真空槽内を真空排気し、到達真空度を４×１０−４Ｐａ以下に調整した。真空槽内に純アルゴンガス（純度９９．９９９％）を導入し、成膜ガス圧を１．５〜１２．０Ｐａに調整した。ターゲット１４Ｂには、２〜１２Ｗ／ｃｍ２の直流電力密度を投入して成膜を実施し、樹脂フィルム基材１を巻取りロール１２Ｂで巻き取った。
さらに、第３層目の膜である透明金属化合物膜については、まず金属遮光膜と黒色被覆膜が形成された樹脂フィルムを巻き出しロールにセットし、透明金属化合物膜形成用ターゲット１４Ｃをカソード１３Ｃに設置し、真空槽内を真空排気し、到達真空度を３×１０−４Ｐａ以下に調整した。次に、真空槽内に純アルゴンガス（純度９９．９９９％）または／および純酸素ガス（純度９９．９９９％）をカソード内に導入し、成膜ガス圧を０．１〜１．０Ｐａに調整した。ターゲット１４Ｃには、４〜１７Ｗ／ｃｍ２の直流電力密度を投入して、黒色被覆膜上に所定の膜厚の透明金属化合物膜を形成し、樹脂フィルム基材１を巻取りロール１２Ｂで巻き取り、樹脂フィルムの片面に金属遮光膜、黒色被覆膜、透明金属化合物膜が形成された耐熱遮光フィルムを作製した。
また、樹脂フィルムの両面に金属遮光膜、黒色被覆膜、透明金属化合物膜が形成された耐熱遮光フィルムを作製する場合は、樹脂フィルム基材の片面に金属遮光膜、黒色被覆膜、透明金属化合物膜が形成された耐熱遮光フィルムを巻き出しロールにセットし、キャンロール面でカソード側に膜が形成されていない樹脂フィルム面が向くように樹脂フィルムをセットする。その後、真空排気から金属膜、黒色被覆膜、透明金属化合物膜の形成は上記と同じように実施することで樹脂フィルムの両面に金属遮光膜、黒色被覆膜、透明金属化合物膜が形成された耐熱遮光フィルムを作製することができる。
【００６１】
（平均光学濃度、平均平行光線透過率、平均正反射率）
得られた耐熱遮光多層フィルムについて分光光度計（日本分光製：Ｖ−５７０）を使用し、波長３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光域の遮光性、透過率と正反射率を測定した。
光学濃度（ＯＤと記す）は、分光光度計で測定される透過率（Ｔ）を用いて以下の式に従って、算出した。なお、透過率は、樹脂フィルム基板や光学ガラス基板を含めた数値とした。
光学濃度（ＯＤ）＝Ｌｏｇ（１／Ｔ）
完全な遮光性を得るためには、波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上であることが必要である。
また、平行光線透過率は、入射光に対する入射光と平行な透過光の割合のことであり、正反射率は、反射光が反射の法則に従い、入射光の入射角に等しい角度で表面から反射していく光の反射率のことを言い、入射角は５°で測定した。測定した平行光線透過率から求められる平均平行光線透過率（光学ガラス基板を含む）が７０％以上であれば良好とし、また、正反射率から求められる平均正反射率が０．３％以下であれば良好とした。
平均光学濃度、平均平行光線透過率、平均正反射率は、波長３８０〜７８０ｎｍの各波長に対する算術平均値である。
【００６２】
（算術平均高さＲａ）
樹脂フィルム基材の算術平均高さＲａは、表面粗さ計（（株）東京精密製：サーフコム５７０Ａ）で測定した。
（膜の組成）
得られた膜の組成（Ｃ／Ｍｅ原子数比、Ｏ／Ｍｅ原子数比：Ｍｅは金属成分）をＸＰＳ（ＶＧ  Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製：ＥＳＣＡＬＡＢ２２０ｉ−ＸＬ）で定量分析した。なお定量分析の際には、膜の表面２０〜３０ｎｍをスパッタエッチングしてから、膜内部の組成分析を実施した。
（膜表面の明度（Ｌ＊）、色相と彩度を示す色度（ａ＊、ｂ＊））
得られた膜および耐熱遮光フィルムの明度（Ｌ＊）、色相と彩度を示す色度（ａ＊、ｂ＊）値についてはＣＩＥ（国際照明委員会）で基準化され、日本でもＪＩＳ（ＪＩＳＺ８７２９）に規格化されたＬ＊ａ＊ｂ＊表色系測定に準拠し、色彩計（ＢＹＫ−Ｇａｒｄｎｅｒ  ＧｍｂＨ社製：商品名スペクトロガイド）にて、光源Ｄ６５、視野角１０°で測定した。
（酸化防止性）
成膜直後に表面色味、Ｌ＊値、ａ＊値、ｂ＊値をそれぞれ測定し、さらに２週間後に、Ｌ＊値、ａ＊値、ｂ＊値を再度測定し、明度、色度の変化を示す色差（ΔＥ＊ａｂ）を評価した。色差は、次式を用いて算出し、色差として１．０未満であれば良好とし、それ以上であれば不適とした。
ΔＥ＊ａｂ＝（（ΔＬ＊）２＋（Δａ＊）２＋（Δｂ＊）２）（１／２）
（耐熱性）
耐熱遮光フィルムの耐熱性については、オーブン（アドバンテック社製：型番ＤＲＤ３２０ＤＡ）にて、１００℃、２００℃、２７０℃で３０分の条件で、加熱処理を行い、平均光学濃度、平均正反射率、色差をチェックした。耐熱試験後の平均光学濃度、平均正反射率は耐熱試験前と比べて、その差が平均光学濃度では０．２以下、平均正反射率では０．１％以下であれば変化は無いこととした。色差は、１．０未満であれば良好とした。
【００６３】
（高温高湿環境下での耐久性）
耐熱遮光フィルムの高温高湿環境下での耐久性ついては、温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理し、平均光学濃度、平均正反射率、色差の有無をチェックした。
試験後の平均光学濃度、平均正反射率は試験前と比べて、その差が平均光学濃度では０．２以下、平均正反射率では０．１％以下であれば変化は無いこととした。色差は、１．０未満であれば良好とした。
（密着性）
膜のフィルム基材に対する密着性は、耐熱試験、高温高湿試験後に行い、ＪＩＳ  Ｃ００２１（クロスカット試験）に基づき評価した。評価は、膜剥がれがない場合は良好とし、膜剥がれがあるものは不適切とした。
【００６４】
（実施例１）
サンドブラスト処理加工でフィルムの両表面の算術平均高さ（Ｒａ）を０．５μｍとした厚み３８μｍのポリイミドフィルムの表面に、炭化チタン（ＴｉＣ）ターゲットを用いて、成膜ガス圧を０．３Ｐａに調整し、第１層の金属遮光膜として炭化チタン膜（膜厚１２０ｎｍ）を形成した。また、光学ガラス（コーニング社製：７０５９）上にも同様に炭化チタン（ＴｉＣ）膜を形成した試料も作製した。光学ガラスに形成した炭化チタン（ＴｉＣ）膜の組成をＸＰＳ（Ｘ線光電子発光分析装置）で分析した結果、膜中の炭素含有量はＣ／Ｔｉ原子数比として０．９９、酸素含有量はＯ／Ｔｉ原子数比として０．０５であった。
次に、ポリイミドフィルム表面に形成した炭化チタン（ＴｉＣ）膜上に、炭化チタン（ＴｉＣ）ターゲットを用いて、成膜ガス圧を６．０Ｐａに調整し、第２層の黒色被覆膜、すなわち炭化酸化チタン（ＴｉＣＯ）膜を膜厚１０５ｎｍ形成した。ポリイミドフィルム上に形成した炭化チタン（ＴｉＣ）膜、炭化酸化チタン（ＴｉＣＯ）膜積層膜の明度（Ｌ＊）を測定したところ、３６であった。
また、光学ガラス（コーニング社製：７０５９）上にも同様に炭化酸化チタン（ＴｉＣＯ）膜を形成した試料も作製した。光学ガラスに形成した炭化酸化チタン（ＴｉＣＯ）膜の組成をＸＰＳ（Ｘ線光電子発光分析装置）で分析した結果、膜中の酸素含有量はＯ／Ｔｉ原子数比として０．８９であった。
さらに、ポリイミドフィルム上に順次形成した炭化チタン（ＴｉＣ）膜、炭化酸化チタン（ＴｉＣＯ）膜の積層膜上に、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）ターゲットを用いて、純アルゴンガスを導入して、成膜ガス圧０．３Ｐａで、第３層の透明金属化合物膜、すなわち酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を膜厚１５ｎｍ形成し、耐熱遮光多層フィルムを作製した。また、光学ガラス（コーニング社製：７０５９）上にも同様に酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成した試料も作製した。光学ガラスに形成した酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜の組成をＸＰＳ（Ｘ線光電子発光分析装置）で分析した結果、膜中の酸素含有量は金属成分（Ｚｎ＋Ａｌ）／Ｏ原子数比として０．４であった。光学ガラス基板上に形成した酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜の波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均平行光線透過率は８２％、平均正反射率は１７％と光透過性の高い膜であった。
ポリイミドフィルム上に形成した炭化チタン膜、炭化酸化チタン膜、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜からなる耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上、平均正反射率は０．１５％であり、膜表面の明度（Ｌ＊）は３２となり、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで黒色度が高くなった。
また、作製後、大気中で２週間放置したが、酸化防止性を表した色差（ΔＥ＊ａｂ）は０．３と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．４と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表１−１に、耐熱遮光多層フィルムの構成、表１−２に、その特性をまとめた。
したがって、作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００６５】
（実施例２）
マット処理条件を変え、ポリイミドフィルムの算術平均高さＲａを０．２０μｍに変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜や透明金属化合物の種類、膜厚、組成は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。耐熱遮光多層フィルムの特性は表１に示すように、実施例１と同等であることがわかった。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上、平均正反射率は０．２０％であり、膜表面の明度（Ｌ＊）は３３となり、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで黒色度が高くなった。
また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は０．３と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．４と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表１−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００６６】
（実施例３）
マット処理条件を変え、ポリイミドフィルムの算術平均高さＲａを２．２μｍに変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜や透明金属化合物の種類、膜厚、組成は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上、平均正反射率は０．１０％であり、膜表面の明度（Ｌ＊）は２４となり、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は０．３と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．４と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表１−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００６７】
（比較例１）
マット処理条件を変え、ポリイミドフィルムの算術平均高さＲａを０．１０μｍに変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜や透明金属化合物の種類、膜厚、組成は実施例１と同様にして、耐熱遮光フィルムを作製した。
耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上、平均正反射率は０．９０％であり、膜表面の明度（Ｌ＊）は４０となり、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成しても黒色度は変化しなかった。
また、作製後、大気中で２週間放置したが色差（ΔＥ＊ａｂ）は０．４と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．４と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表１−２に、耐熱遮光フィルムの特性をまとめた。
したがって、作製した耐熱遮光フィルムは、正反射率や明度（Ｌ＊）が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用できない。
【００６８】
（比較例２）
マット処理条件を変え、ポリイミドフィルムの算術平均高さＲａを２．３μｍに変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜や透明金属化合物の種類、膜厚、組成は実施例１と同様にして、耐熱遮光フィルムを作製した。
耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上、平均正反射率は０．１０％であり、膜表面の明度（Ｌ＊）は２２となり、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで黒色度が高くなった。
また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は０．４と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．４と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表１−２に、耐熱遮光フィルムの特性をまとめた。
しかし、算術平均高さＲａが大きいことから、表面の微細凹凸が、成膜時に影となり、膜表面にピンホールが多数形成されていることがわかった。ピンホールが形成された部分の平均光学濃度は４．０未満であった。
したがって、作製した耐熱遮光フィルムは、黒色度が高く、低正反射率であるが、膜表面にピンホールが形成されているため、遮光性が不足しているのでカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用できない。
【００６９】
（実施例４）
ポリイミドフィルムの厚みを１０μｍに変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜や透明金属化合物の種類、膜厚、組成は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上、平均正反射率は０．１７％であり、膜表面の明度（Ｌ＊）は３２となり、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は０．３と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．４と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表１−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、作製した耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７０】
（実施例５〜８）
ポリイミドフィルムの厚みを２５μｍ（実施例５）、５０μｍ（実施例６）、１００μｍ（実施例７）、２５０μｍ（実施例８）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜や透明金属化合物の種類、膜厚、組成は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上であり、平均正反射率は０．１２〜０．１７％となり、実施例１と同様であった。また、膜表面の明度（Ｌ＊）は２６〜３１となり、いずれも酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで明度（Ｌ＊）は小さくなり、黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）はいずれも０．３と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．４と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表１−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、実施例５〜８で作製した耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７１】
（比較例３、４）
ポリイミドフィルムの厚みを８μｍ（比較例３）、２６０μｍ（比較例４）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜や透明金属化合物の種類、膜厚、組成は実施例１と同様にして、耐熱遮光フィルムを作製した。
耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上であり、平均正反射率は０．２７％（比較例３）、０．１０％（比較例４）となり、実施例１と同様であった。また、膜表面の明度（Ｌ＊）は３５（比較例３）、２８（比較例４）となり、いずれも酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで明度（Ｌ＊）は小さくなり、黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）はいずれも０．３と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．４と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
しかし、比較例３では、フィルム厚みが薄いためマット処理時に、フィルムに穴が多数形成され、それによってフィルムにしわが形成され、健全なフィルムが作製できなかった。一方、比較例４では、フィルム厚みが厚いため、薄肉化が図られているカメラモジュールには適応できない。表１−２に、耐熱遮光フィルムの特性をまとめた。
したがって、比較例３、４で作製した耐熱遮光フィルムは、健全なフィルムが作製できないこと、また、薄肉化に進んでいるカメラモジュールには適さないことからカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【００７２】
（実施例９、１０）
酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）ターゲットのＡｌ２Ｏ３含有量を変え、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜の組成を酸素含有量が（Ａｌ＋Ｚｎ）／Ｏ原子数比として、０．６（実施例９）、０．２（実施例１０）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜や透明金属化合物の膜厚は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。なお、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜の組成は、光学ガラス（コーニング社製：７０５９）上に酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成した試料を作製し、ＸＰＳで分析した。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上、平均正反射率は０．１０％（実施例９）、０．２０％（実施例１０）であり、膜表面の明度（Ｌ＊）は２８（実施例９）、３３（実施例１０）となり、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は０．６（実施例９）、０．４（実施例１０）と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．６と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−１に、耐熱遮光多層フィルムの構成、表２−２に、その特性をまとめた。
したがって、実施例９、１０作製した耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７３】
（実施例１１〜１４）
酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜の膜厚を５ｎｍ（実施例１１）、１００ｎｍ（実施例１２）、２００ｎｍ（実施例１３）、２５０ｎｍ（実施例１４）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上、平均正反射率は０．２８％（実施例１１）、０．１６％（実施例１２）、０．１１％（実施例１３）、０．０８％（実施例１４）であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は３４（実施例１１）、３０（実施例１２）、２５（実施例１３）、２０（実施例１４）となり、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）はいずれも０．３と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．３と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、実施例１１〜１４で作製した耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７４】
（比較例５）
酸化防止膜である酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を成膜しなかったこと以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして、耐熱遮光フィルムを作製した。
耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上、平均正反射率は０．３０％であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は３５であった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は２．３と算出され、色の変化は目視でわかる程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はほとんどなかったが、２００℃以上の加熱と高温高湿下では、色差（ΔＥ＊ａｂ）は１．３〜２．３と目視で十分わかるまで変化した。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光フィルムの特性をまとめた。
したがって、比較例５で作製した耐熱遮光フィルムは、大気中放置、高温および高温高湿環境下では、膜色が変化してしまうが、高遮光性、低正反射性であり、黒色度は高いことから十分にカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が可能である。
【００７５】
（比較例６，７）
酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜の膜厚を４ｎｍ（比較例６）、２６０ｎｍ（比較例７）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして、耐熱遮光フィルムを作製した。
耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上、平均正反射率は０．３２％（比較例６）、０．０８％（比較例７）であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は３６（比較例６）、２０（比較例７）であった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は比較例６では１．８、比較例７では０．５と算出され、比較例６では色の変化は目視でわかる程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はほとんどなかったが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は０．１〜０．５と目視でわからなかった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光フィルムの特性をまとめた。
したがって、比較例６で作製した耐熱遮光フィルムは、透明金属化合物膜の膜厚が薄いため、大気中２週間放置した場合では、膜色が変化してしまうが、高遮光性、低正反射性であり、黒色度は高いことから十分にカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が可能である。
また、比較例７で作製した耐熱遮光フィルムは、透明金属化合物膜の膜厚が厚いため製造コストなど生産性を考慮した場合、低コスト化が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。
【００７６】
（実施例１５〜１８）
透明金属化合物膜形成用ターゲットをアルミニウム（Ａｌ）とし、酸素ガスを導入して反応性スパッタリングによって、透明金属化合物膜の材質を酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）に変え、透明金属化合物膜の膜厚を５ｎｍ（実施例１５）、１００ｎｍ（実施例１６）、２００ｎｍ（実施例１７）、２５０ｎｍ（実施例１８）とした以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）中の酸素含有量は、Ａｌ／Ｏ原子数比として０．４であった。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上、平均正反射率は０．２９％（実施例１５）、０．１５％（実施例１６）、０．０９％（実施例１７）、０．０７％（実施例１８）であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は３４（実施例１５）、２４（実施例１６）、２３（実施例１７）、２１（実施例１８）となり、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）はいずれも０．５と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．５と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、実施例１５〜１８で作製した耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７７】
（比較例８，９）
酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜の膜厚を４ｎｍ（比較例８）、２６０ｎｍ（比較例９）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例１５と同様にして、耐熱遮光フィルムを作製した。
耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上、平均正反射率は０．３０％（比較例８）、０．０７％（比較例９）であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は３５（比較例８）、２０（比較例９）であった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は１．５（比較例８）、０．６（比較例９）と算出され、比較例８では色の変化は目視でわかる程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はほとんどなく、色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．６と目視でわからない程度だった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光フィルムの特性をまとめた。
したがって、比較例８で作製した耐熱遮光フィルムは、大気中２週間放置した場合で膜色が変化してしまうが、高遮光性、低正反射性であり、黒色度は高いことから十分にカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が可能である。
また、比較例９で作製した耐熱遮光フィルムは、透明金属化合物膜の膜厚が厚いため製造コストなど生産性を考慮した場合、低コスト化が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。
【００７８】
（実施例１９、２０）
酸素ガス量を変え、酸化アルミニウム膜（Ａｌ２Ｏ３膜）の酸素含有量をＡｌ／Ｏ原子数比として０．６（実施例１９）、０．１（実施例２０）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例１５と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上、平均正反射率は０．２９％（実施例１９）、０．２０（実施例２０）であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は３４（実施例１９）、２５（実施例２０）となり、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）はいずれも０．７と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．７と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、実施例１９〜２０で作製した耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００７９】
（実施例２１〜２４）
透明金属化合物膜形成用ターゲットをＳｉターゲットとし、酸素ガス導入による反応性スパッタリングで形成される透明金属化合物膜の材質を二酸化珪素（ＳｉＯ２）に変え、膜厚を５ｎｍ（実施例２１）、１００ｎｍ（実施例２２）、２００ｎｍ（実施例２３）、２５０ｎｍ（実施例２４）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。二酸化珪素膜の組成は、Ｓｉ／Ｏ原子数比として、０．５であった。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上、平均正反射率は０．２９％（実施例２１）、０．２３％（実施例２２）、０．１８％（実施例２３）、０．１２％（実施例２４）であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は３４（実施例２１）、３４（実施例２２）、３０（実施例２３）、２６（実施例２４）となり、二酸化珪素（ＳｉＯ２）膜を形成することで黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）はいずれも０．７と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．７と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、実施例２１〜２４で作製した耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８０】
（比較例１０，１１）
透明金属化合物膜の二酸化珪素（ＳｉＯ２）の膜厚を４ｎｍ（比較例１０）、２６０ｎｍ（比較例１１）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例２１と同様にして、耐熱遮光フィルムを作製した。
耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上、平均正反射率は０．３０％（比較例１０）、０．１２％（比較例１１）であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は３５（比較例１０）、２６（比較例１１）であった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は１．４（比較例１０）、０．７（比較例１１）と算出され、比較例１０では色の変化は目視でわかる程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、比較例１０では大気中放置及び２００℃以上の加熱、高温高湿下で平均正反射率が変化し、色差は、１．０を越えたが、比較例１１では、色差（ΔＥ＊ａｂ）は０．１〜０．８と目視でわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光フィルムの特性をまとめた。
したがって、比較例１０で作製した耐熱遮光フィルムは、透明金属酸化物膜の膜厚が薄いため、大気中２週間放置した場合や２００℃以上の高温および高温高湿環境下で膜色が変化してしまうが、高遮光性、低正反射性であり、黒色度は高いことから十分にカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が可能である。
また、比較例１１で作製した耐熱遮光フィルムは、透明金属化合物膜の膜厚が厚いため製造コストなど生産性を考慮した場合、低コスト化が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。
【００８１】
（実施例２５、２６）
二酸化珪素膜形成時の酸素導入量を変え、膜中のＳｉ／Ｏ原子数比を０．７（実施例２５）、０．２（実施例２６）にした以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上、平均正反射率は０．１５％（実施例２５）、０．１０％（実施例２６）であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は２９（実施例２５）、２７（実施例２６）となり、二酸化珪素（ＳｉＯ２）膜を形成することで黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）はいずれも０．７と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．７と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、実施例２５、２６で作製した耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８２】
（実施例２７）
透明金属化合物膜形成用ターゲットをチタン（Ｔｉ）ターゲットとし、透明金属酸化物膜の種類を、酸素ガスを導入して形成される酸化チタン膜（ＴｉＯ２）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。酸化チタン膜の組成は、Ｔｉ／Ｏ原子数比として０．４であった。
耐熱遮光多層フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上、平均正反射率は０．２０％であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は３０となり、酸化チタン膜を形成することで黒色度が高くなった。また、作製後、大気中で２週間放置したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）はいずれも０．８と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．８と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、実施例２７で作製した耐熱遮光フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８３】
（実施例２８〜３１）
酸化チタン膜の膜厚を５ｎｍ（実施例２８）、１００ｎｍ（実施例２９）、２００ｎｍ（実施例３０）、２５０ｎｍ（実施例３１）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例２７と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。
作製した耐熱遮光多層フィルムの光学濃度、正反射率、明度、色差は、表２−２に示すように実施例２７と同様であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、実施例２７と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．８と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、実施例２８〜３１で作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８４】
（比較例１２、１３）
透明金属化合物膜の酸化チタン（ＴｉＯ２）の膜厚を４ｎｍ（比較例１２）、２６０ｎｍ（比較例１３）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例２７と同様にして、耐熱遮光フィルムを作製した。
耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度はいずれも４以上、平均正反射率は０．２５％（比較例１２）、０．０８％（比較例１３）であった。膜表面の明度（Ｌ＊）は３４（比較例１２）、２４（比較例１３）であった。また、作製後、大気中で２週間したが、色差（ΔＥ＊ａｂ）は２．０（比較例１２）、０．８（比較例１３）と算出され、比較例１０では色の変化は目視でわかる程度であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、比較例１２では、大気中放置及び２７０℃での加熱、高温高湿下で平均正反射率は変化し、色差（ΔＥ＊ａｂ）は１．４〜２．０と目視でわかる程度に変化した。一方、比較例１３でも、色差は０．１〜０．８と目視で分からなかった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２に、耐熱遮光フィルムの特性をまとめた。
一方、比較例１３ではこれら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光フィルムの特性をまとめた。
したがって、比較例１２で作製した耐熱遮光フィルムは、透明金属酸化物膜の膜厚が薄いため、大気中２週間放置した場合で膜色が変化してしまうが、高遮光性、低正反射性であり、黒色度は高いことから十分にカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が可能である。
また、比較例１３で作製した耐熱遮光フィルムは、透明金属化合物膜の膜厚が厚いため製造コストなど生産性を考慮した場合、低コスト化が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。
【００８５】
（実施例３２、３３）
酸化チタン膜形成時の酸素導入量を変え、膜中のＴｉ／Ｏ原子数比を０．６（実施例３２）、０．２（実施例３３）にした以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。
作製した耐熱遮光多層フィルムの平均光学濃度、平均正反射率、色味、色差はいずれも実施例２７と同等であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．８と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表２−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、実施例３２、３３で作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８６】
（実施例３４〜３７）
金属遮光膜の膜厚を４０ｎｍ（実施例３４）、１００ｎｍ（実施例３５）、２００ｎｍ（実施例３６）、２５０ｎｍ（実施例３７）に変えた以外は、黒色被覆膜、透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして耐熱遮光多層フィルムを作製した。
作製した耐熱遮光多層フィルムの光学濃度、正反射率、明度、色差は、表２−２に示すように実施例１と同様であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、実施例１と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．３と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、実施例３４〜３７で作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８７】
（比較例１４、１５）
金属遮光膜の膜厚を３０ｎｍ（比較例１４）、２６０ｎｍ（比較例１５）に変えた以外は、黒色被覆膜、透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして耐熱遮光フィルムを作製した。
比較例１４で作製した耐熱遮光フィルムの平均正反射率、明度、色差は、表２−２に示すように実施例１と同様であったが、平均光学濃度は３．４と光学濃度は４未満であった。比較例１５では、光学濃度は４以上だったが、平均正反射率とＬ＊は実施例１と比べると高かった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、実施例１と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．３と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、比較例１４で作製した耐熱遮光フィルムは、低正反射率、そして黒色度が非常に高いが、平均光学濃度が３．４と遮光性がないことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。一方、比較例１５では、金属遮光膜の膜厚が非常に厚いため、平均正反射率が高く、さらに製造コストなど生産性を考慮した場合、低コスト化が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。
【００８８】
（実施例３８〜４０）
金属遮光膜の種類を炭化酸化チタン膜とし、膜厚を４０ｎｍ（実施例３８）、１２０ｎｍ（実施例３９）、２５０ｎｍ（実施例４０）に変えた以外は、黒色被覆膜、透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして耐熱遮光多層フィルムを作製した。なお、炭化酸化チタン膜の組成（Ｃ／Ｔｉ原子数比、Ｏ／Ｔｉ原子数比）は表２−１に示した。
作製した耐熱遮光多層フィルムの光学濃度、正反射率、明度、色差は、表２−２に示すように実施例１と同様であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、実施例２７と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．６と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、実施例３８〜４０で作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００８９】
（比較例１６）
金属遮光膜の炭化酸化チタン膜の膜厚を２８ｎｍに変えた以外は、金属遮光膜の組成、黒色被覆膜と透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例３８と同様にして耐熱遮光フィルムを作製した。なお、炭化酸化チタン膜の組成（Ｃ／Ｔｉ原子数比、Ｏ／Ｔｉ原子数比）は表２−１に示した。
作製した耐熱遮光フィルムの平均正反射率、明度、色差は、表２−２に示すように実施例１と同様であったが、平均光学濃度が３．２と４未満となり、遮光性が不足していることがわかった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、実施例３８と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．６と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、比較例１６で作製した耐熱遮光フィルムは、低正反射率、そして黒色度が非常に高いが、遮光性が不足していることから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。
【００９０】
（実施例４１〜４３）
金属遮光膜の種類をニッケルチタン（ＮｉＴｉ）膜とし、その膜厚を４０ｎｍ（実施例４１）、１２０ｎｍ（実施例４２）、２５０ｎｍ（実施例４３）に変えた以外は、黒色被覆膜、透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして耐熱遮光多層フィルムを作製した。
作製した耐熱遮光多層フィルムの平均光学濃度、平均正反射率、明度、色差は、表２−２に示すように実施例１と同様であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、１００℃、２００℃での加熱および温度８５℃、湿度８５％ＲＨでの処理では実施例１と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．６と目視ではわからない程度であった。しかし、２７０℃での加熱ではＮｉＴｉ膜の酸化により、膜特性を示す光学定数が変化したことが原因で膜色が変化した。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、実施例４１〜４３で作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いが、２００℃以下の使用環境下で使用されるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用は有用である。
【００９１】
（比較例１７、１８）
金属遮光膜のＮｉＴｉ膜の膜厚を３０ｎｍ（比較例１７）、２６０ｎｍ（比較例１８）に変えた以外は、黒色被覆膜と透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例４１と同様にして耐熱遮光フィルムを作製した。
比較例１７、１８で作製した耐熱遮光フィルムの平均正反射率、明度、色差は、表２に示すように実施例４１と同様であったが、比較例１７では平均光学濃度が３．４と４未満となり、遮光性が不足していることがわかった。一方、比較例１８では実施例４１より平均正反射率と明度（Ｌ＊）は高くなった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱では、２７０℃の加熱において膜の色が変化し、平均正反射率は変化し、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も２７０℃での３０分間加熱で１．５と悪化した。しかし、これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、比較例１７で作製した耐熱遮光フィルムは、低正反射率、そして黒色度が非常に高いが、遮光性が不足していることから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができない。また、比較例１８では、金属遮光膜の厚みが厚いことから、製造コストなど生産性を考慮した場合、低コスト化が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。
【００９２】
（実施例４４、４５）
金属遮光膜の種類をチタン（Ｔｉ：実施例４４）、アルミニウム（Ａｌ：実施例４５）に変えた以外は、黒色被覆膜と透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして耐熱遮光多層フィルムを作製した。
作製した耐熱遮光多層フィルムの平均光学濃度、平均正反射率、明度、色差は、表２−２に示すように実施例１と同様であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、実施例１と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．７と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、実施例４４、４５で作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９３】
（実施例４６〜４８）
黒色被覆膜の種類を炭化酸化チタンとし、その組成を膜中のＯ／Ｔｉ原子数比として０．７（実施例４６）、１．０（実施例４７）、１．４（実施例４８）に変えた以外は、金属遮光膜と透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして耐熱遮光多層フィルムを作製した。
作製した耐熱遮光多層フィルムの平均光学濃度、平均正反射率、明度、色差は、表３に示すように実施例１と同様であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、実施例１と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も１．０未満と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表３−１に、耐熱遮光多層フィルムの構成、表３−２に、その特性をまとめた。
したがって、実施例４６〜４８で作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９４】
（比較例１９、２０）
黒色被覆膜である炭化酸化チタン膜の組成を、膜中のＯ／Ｔｉ原子数比として０．６（比較例１９）、１．５（比較例２０）に変えた以外は、金属遮光膜と透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして耐熱遮光フィルムを作製した。
比較例１９で作製した耐熱遮光フィルムの平均光学濃度は４以上であったが、平均正反射率は０．３５％、明度は３９となり、実施例１に比べ平均正反射率は高く、明度は高いことがわかった。なお、色差は、表３に示すように実施例１と同様であった。一方、比較例２０では作製後、大気中で２週間放置した後の色差が１．２となり、色の変化が目視でわかった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、比較例１９では実施例１と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も１．０未満と目視ではわからない程度であった。しかし、比較例２０では２７０℃での加熱及び高温高湿下では、平均正反射率が変化し、色差（ΔＥ＊ａｂ）も１．２〜１．３と目視でわかる程度であった。
これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、比較例１９で作製した耐熱遮光フィルムは、正反射率と明度が高いが、遮光性は良好であるため、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへ利用することができる。また、比較例２０では、作製後の色差が大きいものの、遮光性があり、平均正反射率が低いことからカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用ができる。
【００９５】
（実施例４９〜５１）
黒色被覆膜の膜厚を５０ｎｍ（実施例４９）、２００ｎｍ（実施例５０）、２５０ｎｍ（実施例５１）に変えた以外は、金属遮光膜、透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして耐熱遮光多層フィルムを作製した。
作製した耐熱遮光多層フィルムの平均光学濃度、平均正反射率、明度、色差は、表３に示すように実施例１と同様であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、実施例１と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．７と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、実施例４９〜５１で作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９６】
（比較例２１、２２）
黒色被覆膜である炭化酸化チタン膜の膜厚を４０ｎｍ（比較例２１）、２６０ｎｍ（比較例２２）に変えた以外は、金属遮光膜と透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例４９と同様にして耐熱遮光フィルムを作製した。
比較例２１で作製した耐熱遮光フィルムを、大気中で２週間放置した後の色差は、実施例４９と同等であったが、平均正反射率、明度は表３に示すように実施例４９に比べ、高いことがわかった。また、比較例２２では実施例１と同様の特性であった。
大気中で２週間放置、１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、実施例４９と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．７と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。
したがって、比較例２１で作製した耐熱遮光フィルムは、平均正反射率、明度が高いが、遮光性は良好であるため、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材に利用することができる。また、比較例２２では黒色被覆膜の厚みが厚いことから、製造コストなど生産性を考慮した場合、低コスト化が求められるカメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用はできない。
【００９７】
（実施例５２）
黒色被覆膜の材質を酸化チタンに変えた以外は、金属遮光膜や透明金属化合物の種類、膜厚、組成と黒色被覆膜の膜厚や樹脂フィルムの材質、厚み、算術平均高さＲａは実施例１と同様にして、耐熱遮光多層フィルムを作製した。
酸化チタン膜形成用ターゲットは、酸化チタンと金属チタンの粉末の混合体からホットプレス焼結法で作製した。酸化チタンと金属チタンの配合割合に応じて焼結体ターゲットのＯ／Ｔｉ原子数比を制御した。
サンドブラスト処理したポリイミドフィルム表面に形成した炭化チタン膜上に、酸化チタンターゲットを用いて、成膜ガス圧を６．０Ｐａに調整し、酸化チタン膜を膜厚１０５ｎｍ形成した。ポリイミドフィルム上に形成した炭化チタン膜、酸化チタン膜積層膜の明度（Ｌ＊）を測定したところ、３５であった。
また、光学ガラス（コーニング社製：７０５９）上にも同様に酸化チタン膜を形成した試料も作製した。光学ガラスに形成した酸化チタン膜の組成をＸＰＳ（Ｘ線光電子発光分析装置）で分析した結果、膜中の酸素含有量はＯ／Ｔｉ原子数比として０．８４であった。
さらに、ポリイミドフィルム上に順次形成した炭化チタン膜、酸化チタン膜の積層膜上に、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）ターゲットを用いて、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を膜厚１５ｎｍ形成し、耐熱遮光フィルムを作製した。
ポリイミドフィルム上に形成した炭化チタン膜、炭化酸化チタン膜、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜からなる耐熱遮光フィルムの波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度は４以上、平均正反射率は０．１５％であり、膜表面の明度（Ｌ＊）は３１となり、酸化亜鉛（ＺｎＯ）−酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜を形成することで黒色度が高くなった。
また、作製後、大気中で２週間放置したが、酸化防止性を表した色差（ΔＥ＊ａｂ）は０．６と算出され、色の変化は目視ではわからない程度であった。
大気中で１００℃、２００℃、２７０℃での３０分間加熱や温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．１〜０．７と目視ではわからない程度であった。これら耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験では、膜が剥がれなかった。表３−２に、耐熱遮光多層フィルムの特性をまとめた。
したがって、作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。
【００９８】
（実施例５３〜５８）
樹脂フィルムの種類をポリアミドイミド（実施例５３）、ポリエーテルエーテルケトン（実施５４）、ポリエチレンテレフタレート（実施例５５）、ポリエチレンナフタレート（実施例５６）、ポリフェニレンサルファイド（実施例５７）、ポリエーテルサルフォン（実施例５８）に変えた以外は、金属遮光膜、黒色被覆膜、透明金属化合物膜の種類、組成、膜厚は実施例１と同様にして耐熱遮光多層フィルムを作製した。
作製した耐熱遮光多層フィルムの平均光学濃度、平均正反射率、明度、色差は、表３−２に示すように実施例１と同様であった。
実施例５５、実施例５６では、２００℃以上で３０分間加熱するとフィルムに変形やフィルムの溶融が見られた。また、実施例５３〜５８では、温度８５℃、湿度８５％ＲＨで５００時間処理したが、実施例１と同様に平均光学濃度、平均正反射率の変化はなく、また色差（ΔＥ＊ａｂ）も０．４と目視ではわからない程度であった。実施例５３、５４、５７、５８で作製した耐熱遮光フィルムは、耐熱試験や高温高湿試験後の密着性試験での膜剥がれはなかった。
したがって、実施例５３、５４、５７，５８で作製した耐熱遮光多層フィルムは、完全遮光性、低正反射率、そして黒色度が非常に高いことから、カメラ付き携帯電話向けカメラモジュール用の絞りやデジタルカメラ向けのシャッター羽根材などへの利用が有用である。また、実施例５５、５６で作製した耐熱遮光多層フィルムは、１００℃以下の環境下で使用される場合であれば有用である。
【００９９】
（実施例５９）
実施例１で作製した耐熱遮光多層フィルムの両面に、耐熱性の高いアクリル系粘着剤（住友スリーエム社製、商品名：９０７９）を用いた厚さ５０μｍの粘着層を形成し、耐熱遮光テープを作製した。
大気中、２７０℃での加熱処理後においても波長３８０〜７８０ｎｍにおける平均光学濃度が４．０以上の完全遮光性を有した。また、平均正反射率は、０．１５％と低正反射率となり、加熱処理前後で平均光学濃度、平均正反射率は変化せず、色の変化はなかった。
【０１００】
（実施例６０）
実施例１で作製した耐熱遮光多層フィルムの両面に微粘着層をもった保護シートをラミネートした。１００ｍｍ角のシートに裁断し、シート内で８０ｍｍφの円内に、各絞りがその外周部でリードによって連結された構造の外径４ｍｍφ、内径２ｍｍφのリング状の絞りを打ち抜き加工で多数作製した。打ち抜き加工では、リング状の絞りに打ち抜き後、８０ｍｍφのウェハー状に打ち抜き加工し、微粘着保護シートを剥離し、絞りが多数形成されたウェハーを得た。
金属顕微鏡で絞り表面の外観を観察したが、クラック、バリなどの欠陥は見られなかった。
よって、作製した耐熱遮光多層フィルムは、ウェハー状で絞り形状に打ち抜くことが可能で、個々の表面反射や光沢は低く、打ち抜きによるクラック、バリがないことから、ＷＬＣＳＰ構造のカメラモジュール用絞り材として極めて有用である。
【０１０１】
【表１−１】
2012203310.tif 000003
【０１０２】
【表１−２】
2012203310.tif 000004
【０１０３】
【表２−１】
2012203310.tif 000005
【０１０４】
【表２−２】
2012203310.tif 000006
【０１０５】
【表３−１】
2012203310.tif 000007
【０１０６】
【表３−２】
2012203310.tif 000008
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
本発明の耐熱遮光多層フィルムは、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラのレンズシャッターなどのシャッター羽根または絞り羽根や、カメラ付き携帯電話や車載モニターのレンズユニット内の固定絞りや、プロジェクターの光量調整用絞り装置（オートアイリスとも言う）の絞り羽根などの光学機器部品や耐熱遮光テープとして用いられる。
【符号の説明】
【０１０８】
１  樹脂フィルム基材
２  金属遮光膜
３  黒色被覆膜
４  透明金属化合物膜
１２Ａ  巻き出しロール
１２Ｂ  巻き取りロール
１３Ａ  マグネトロンカソード
１３Ｂ  マグネトロンカソード
１３Ｃ  マグネトロンカソード
１４Ａ  ターゲット
１４Ｂ  ターゲット
１４Ｃ  ターゲット
１５    キャンロール
１６    隔壁
【図１】
2012203310.tif 000009
【図２】
2012203310.tif 000010
【図３】
2012203310.tif 000011