【事件の表示】
　特願２０１０−１０９７２４「インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年１２月　２日出願公開、特開２０１０−２７２８６０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２２年５月１２日（パリ条約による優先権主張　２００９年５月１９日、米国）の出願であって、平成２４年１月２７日付けで拒絶理由が通知され、同年４月２３日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで手続補正書が提出され、平成２５年１月３１日付けで拒絶理由が通知され、同年４月３０日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで手続補正書が提出され、その後、同年６月２７日付けで拒絶査定がなされた。本件は、これに対して、平成２５年１１月１日に拒絶査定に対する審判請求がなされ、同時に手続補正がなされたものである。
　
　
第２　本願発明について
１．平成２５年１１月１日付けの手続補正について
　本願の特許請求の範囲は、平成２５年１１月１日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）により、本件補正前の
「　【請求項１】
　インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成であって、
　インプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造と、
　インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された第１のアクチュエータと、
　前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第２のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された、第２のアクチュエータと、
を備え、
　前記第２のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加したときの前記第２のアクチュエータの移動範囲が、前記第１のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加したときの前記第１のアクチュエータの移動範囲より大きい、構成。
 　 【請求項２】
　前記第１のアクチュエータが、前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置される、請求項１に記載の構成。
 　 【請求項３】
　前記第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータが、使用時に前記インプリントテンプレート構成の少なくとも一方の側に沿って配置され、前記第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータが、並列構成で互いに並んで配置される、請求項１又は請求項２に記載の構成。
 　 【請求項４】
　前記第１及び／又は第２のアクチュエータが、前記インプリントテンプレート構成の外周側に力を印加するように配置される、請求項１から３のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項５】
　別の第１のアクチュエータが、前記支持構造の反対側に提供されて前記インプリントテンプレート構成の反対側に接触し、及び／又は
　別の第２のアクチュエータが、前記支持構造の反対側に提供されて前記インプリントテンプレート構成の反対側に接触する、請求項１から４のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項６】
　前記第１のアクチュエータが、複数の第１のアクチュエータのうちの１つであり、及び／又は
　前記第２のアクチュエータが、複数の第２のアクチュエータのうちの１つである、請求項１から５のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項７】
　前記第１のアクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータである、請求項１から６のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項８】
　前記第２のアクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータである、請求項１から７のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項９】
　前記第１のアクチュエータ又は第２のアクチュエータを位置決めするように構成されたアクチュエータ位置決め構成をさらに備える、請求項１から８のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項１０】
　前記インプリントテンプレート構成が、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートホルダ、又はインプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダである、請求項１から９のいずれか１項に記載の構成。」
から、本件補正後の
「　【請求項１】
　インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成であって、
　インプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造と、
　前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第１のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された、第１のアクチュエータと、
　前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第２のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された、第２のアクチュエータと、
を備え、
　前記第１及び第２のアクチュエータは、前記第２のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させるときの前記第２のアクチュエータの移動範囲が、前記第１のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させるときの前記第１のアクチュエータの移動範囲より大きくなるように構成された、構成。
 　 【請求項２】
　前記第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータが、使用時に前記インプリントテンプレート構成の少なくとも一方の側に沿って配置され、前記第１のアクチュエータ及び第２のアクチュエータが、並列構成で互いに並んで配置される、請求項１に記載の構成。
 　 【請求項３】
　前記第１及び／又は第２のアクチュエータが、前記インプリントテンプレート構成の外周側に力を印加するように配置される、請求項１又は２に記載の構成。
 　 【請求項４】
　別の第１のアクチュエータが、前記支持構造の反対側に提供されて前記インプリントテンプレート構成の反対側に接触し、及び／又は
　別の第２のアクチュエータが、前記支持構造の反対側に提供されて前記インプリントテンプレート構成の反対側に接触する、請求項１から３のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項５】
　前記第１のアクチュエータが、複数の第１のアクチュエータのうちの１つであり、及び／又は
　前記第２のアクチュエータが、複数の第２のアクチュエータのうちの１つである、請求項１から４のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項６】
　前記第１のアクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータである、請求項１から５のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項７】
　前記第２のアクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、油圧アクチュエータ、電磁アクチュエータ、ボイスコイル、又はねじ山構成から構成されるグループから選択されるアクチュエータである、請求項１から６のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項８】
　前記第１のアクチュエータ又は第２のアクチュエータを位置決めするように構成されたアクチュエータ位置決め構成をさらに備える、請求項１から７のいずれか１項に記載の構成。
 　 【請求項９】
　前記インプリントテンプレート構成が、インプリントテンプレート、インプリントテンプレートホルダ、又はインプリントテンプレートを保持しているインプリントテンプレートホルダである、請求項１から８のいずれか１項に記載の構成。」
に補正された。
　
　本件補正後の請求項１において、「前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第１のアクチュエータであって、」を追加する補正は、本件補正前の請求項２の「前記第１のアクチュエータが、前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置される」という発明特定事項を、本件補正前の請求項１に組み込んだものと解される。
　すると、本件補正前の請求項１は削除され、本件補正前の請求項１を引用する請求項２が本件補正後の請求項１に補正されたものと認められる。
　
　さらに、本件補正により、本件補正前の請求項１を引用する請求項２の
「前記第２のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加したときの前記第２のアクチュエータの移動範囲が、前記第１のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加したときの前記第１のアクチュエータの移動範囲より大きい」
が、本件補正後の請求項１の
「
前記第１及び第２のアクチュエータは、
することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させる
することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させる
に、補正された。
　この補正は、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　
　また、本件補正前の請求項３〜１０の項番が、本件補正後の請求項２〜９に繰り上げられた。
　
　したがって、本件補正による特許請求の範囲の補正は、請求項の削除と明りょうでない記載の釈明を目的とするものであると認められる。
　
　そして、本件補正は、本願の願書に最初に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面（第三十六条の二第二項の外国語書面出願にあつては、同条第六項の規定により明細書、特許請求の範囲及び図面とみなされた同条第二項に規定する外国語書面の翻訳文（誤訳訂正書を提出して明細書、特許請求の範囲又は図面について補正をした場合にあつては、翻訳文又は当該補正後の明細書、特許請求の範囲若しくは図面）。第三十四条の二第一項及び第三十四条の三第一項において同じ。）に記載した事項の範囲内においてしたものであると認められるから、本件補正は適法になされたものである。
　
２．本願発明
　すると、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、本件補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
　
「インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成であって、
　インプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造と、
　前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第１のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された、第１のアクチュエータと、
　前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第２のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された、第２のアクチュエータと、
を備え、
　前記第１及び第２のアクチュエータは、前記第２のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させるときの前記第２のアクチュエータの移動範囲が、前記第１のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させるときの前記第１のアクチュエータの移動範囲より大きくなるように構成された、構成。」
　
３．引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特表２００７−５３５１２１号公報（以下「引用文献１」という。）には、以下の事項が記載されている。（下線は、当審が付した。）
　
（ａ）「【技術分野】
【０００１】
  本発明の分野は、一般に、インプリント・リソグラフィに関する。より詳細には、本発明は、インプリント・リソグラフィ・プロセス中のパターンゆがみを低減させることを目的とする。」
　
（ｂ）「【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
　従って、インプリント・リソグラフィ技術を使用して形成されたパターン内のゆがみを低減させるためのシステムを提供することが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
　本発明は、テンプレートによって形成された下層のパターンのゆがみが避けられない場合にこれを軽減するために、テンプレートの寸法を変更するシステムに関する。そのためには、システムは、離間して配置された接触部材のペアを含み、この離間して配置された接触部材のペアの間でテンプレートの周縁表面を圧縮する圧縮装置を備えることを特徴とする。圧縮装置の１つの実施態様は、第１及び第２の本体を含み、各々が接触部材を有して接触部材のペアを定める。接触部材は、互いに向き合い、ある距離だけ間隔を置いて配置される。第１の本体は、アクチュエータアームと、該アクチュエータアームに隣接して配置されたチャンバとを含む。接触部材のペアの内の１つはアクチュエータアームに結合され、アクチュエータアームの移動に応答して移動し、残りの接触部材からの距離を変化させる。チャンバ内部にブラダーが配置され、可変の容積を有する。アクチュエータアームは、該容積の変化に応答して移動し、距離を変化させるよう第１の本体に結合されている。１つの例では、ガスなどの流体が選択的にブラダーから出入りしてブラダーの容積を変化させる。
【０００８】
　ブラダーを使用することにより、ブラダーをアクチュエータアームと一致させることが容易になる。このようにして、例えば、アクチュエータ表面の不完全性に起因するアクチュエータアーム上の均一でない力の分布が回避される。同様に、例えば、周縁表面の不完全性に起因するテンプレート上の均一でない力の分布は、接触部材の１つ又はそれ以上を柔軟な材料から形成することによって回避することができる。避けられない場合には、アクチュエータアームと周縁表面上の均一でない力の分布を低減させることにより、テンプレートの寸法変化のより良い制御及び／又はより高度な解像度をもたらすことができる。これら及び他の実施形態は以下により詳細に考察される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
　図１は、
本発明の１つの実施形態によるリソグラフィシステム１０を示し
【００１０】
　図１及び図２の両方を参照すると、インプリントヘッド１８に接続されているのは、モールド２８を有するテンプレート２６である。モールド２８は、離間して配置された複数の凹部２８ａと突出部２８ｂによって定められた複数のフューチャを含む。複数のフューチャは、動作ステージ２０上に位置付けられるウェハ３０に転写されることになる原パターンである。そのために、インプリントヘッド１８は、Ｚ軸に沿って移動して、モールド２８とウェハ３０との間の距離「ｄ」を変化させるように適合されている。このようにして、以下により完全に考察されるようにモールド２８上のフューチャは、ウェハ３０の流動性領域にインプリントすることができる。放射源２２は、モールド２８が放射源２２とウェハ３０との間に位置付けられるように配置される。その結果、モールド２８は、放射源２２が発生する放射線に対して実質的に透過可能な材料から作製される。」
　
（ｃ）「【００１９】
　図８及び図１０を参照すると、
チャック本体４２は、真空技術を使用してモールド２８が取り付けられたテンプレート２６を保持するように適合される。
【００２０】
　貫通孔６４が同様に第２の側４８と第１の凹部５２との間に延びることができる点は理解されるべきである。同様に、貫通孔６６は、第２の側４８と第２の凹部５４との間に延びることができる。求められているのは、貫通孔６４、６６が、ポンプシステム７０のような圧力制御システムと流体連通した凹部５２、５４それぞれの配置を容易にすることである。
【００２１】
　ポンプシステム７０は、凹部５２、５４の圧力を互いに独立して制御するために１つ又はそれ以上のポンプを含むことができる。詳細には、チャック本体４２に取り付けられたときに、テンプレート２６は、第１の支持領域５８と第２の支持領域６０に載り第１の凹部５２と第２の凹部５４を覆う。第１の凹部５２とその上に重なり合うテンプレート２６の一部分４４ａは、第１のチャンバ５２ａを形成する。第２の凹部５４とその上に重なり合うテンプレート２６の一部分４４ｂは、第２のチャンバ５４ａを形成する。ポンプシステム７０は、第１のチャンバ５２ａと第２のチャンバ５４ａ内の圧力を制御するよう動作する。詳細には、圧力は、チャック本体４２と共にテンプレート２６の位置を維持し、避けられない場合には、重力の力によるチャック本体４２からテンプレート２６の分離を低減させるように第１のチャンバ５２ａにおいて設定される。第２のチャンバ５４ａにおける圧力は、テンプレート２６の形状を調整することによって、とりわけインプリンティング中に発生するテンプレート２６のゆがみを低減させるために、第１のチャンバ５２ａの圧力とは異なるようにすることができる。例えば、ポンプシステム７０は、インプリンティング層３４がモールド２８に接触する結果として生じるどのような上向きの力Ｒをも補償するために、チャンバ５４ａにおいて正の圧力を加えることができる。加えて、ポンプシステム７０は、インプリンティング層３４がモールド２８に接触する結果として生じるどのような上向きの力Ｒをも補償するために、チャンバ５４ａに正の圧力を加えることができる。このようにして、側４６の異なる領域間の圧力差が生成され、そのため、避けられない場合には、力Ｒによりテンプレート２６、従ってモールド２８の湾曲が減衰される。テンプレート２６に結合されるのは、Ｙ方向が図８の平面に入る条件の下で、テンプレートの寸法をＸ方向とＹ方向で変更する手段である。寸法を変更するための手段は、アクチュエータ装置７２として概略的に示されている。
【００２２】
　図８、１１、１２を参照すると、本例では
アクチュエータ装置７２が、チャック本体４２の両側に取り付けられた第１の本体７４と第２の本体７６とを含み、
本体７４
は、７４ａとして本体７４に示される１つ又はそれ以上のチャンバを含む。チャンバ７４ａ内に配置されるのはアクチュエータアームである。アクチュエータアーム７４ｂの第１の部材７４ｃは、本体７４に接続されて軸７４ｄの周りで往復動する。第１の部材７４ｃは、軸７４ｄからＺ方向に沿って延びて第２の部材７４ｅで終端する。第２の部材７４ｅは、第１の部材７４ｃからＸ方向に沿って延びて接触部材７４ｆで終端する。
ブラダー７８ａは、本体７４の第１の側壁７４ｇと第１の部材７４ｃとの間に配置され、
ブラダー７８ａ
は、流体の導入に応答して選択的に変化することができる容積を有する。
【００２３】
　接触部材７４ｆに対向して配置されるのは接触部材７６ｆであり、距離Ｄ１だけ離間して配置される。接触部材７６ｆは本体７６と相対的に移動するように結合される必要はない。従って、接触部材７６ｆは、本体７６に固定的に取り付けることができる。しかしながら図示のように、接触部材は、アクチュエータアーム７６の第２の部分に接続されて示され、アクチュエータアーム７４ｂの第１の部材７６ｃは、軸７６ｄの周りで往復動するように本体７６に接続されている。第１の部材７６ｃは、軸７６ｄからＺ方向に沿って延びて第２の部材７６ｅで終端する。第２の部材７６ｅは、第１の部材７６ｃからＸ方向に沿って延びて接触部材７６ｆで終端する。少なくとも１つのブラダーが、チャンバ７６ａ内に配置される。本例では、２つのブラダー８０ａ、８０ｂが第１の部材７６ｃの両側上のチャンバ７６ａ内に配置される。詳細には、ブラダー８０ｂは、本体７６の第１の側壁７６ｇと第１の部材７６ｃとの間に配置され、ブラダー８０ｂは、本体の第２の側壁７６ｈと第１の部材７６ｃとの間に配置される。ブラダー８０ａ、８０ｂの各々は、そこへの流体の導入に応答して選択的に変化する容積を有する。このためには、各ブラダー８０ａ、８０ｂは、ポンプシステム７０と流体連通される。
【００２４】
　
動作中、テンプレート２６は接触部材間に配置される。
テンプレート２６を圧縮するために、ブラダー７８ａ
を膨らませ、その容積を増大させることができる。
【００２５】
　図１１、図１２の両方を参照すると、大きな圧縮力が周縁表面２６ａに加えられたときに、側壁７４ｇ、７６ｇに対して加えられた力に関係する動作中に問題が発生した。このような状況では、ブラダー７８ａの膨張は側壁７６ｇに加えられる力を作用させ、ブラダー８０ａの膨張は側壁７６ｇに力を作用させた。側壁７４ｇと７６ｇの１つ又は両方に働いた力は、チャック本体４２に対する曲げモーメントを生じさせ、これがテンプレート２６に伝達された。理想的には、テンプレート２６は純粋に圧縮力を受けることあり、曲げ力は、完全に排除できない場合には実質的に最小にされる。基板に対する曲げ力は、パターンのゆがみを生じさせる点で問題がある。前述の曲げモーメントを減少させるために圧縮リング７９が設けられる。圧縮リング７９は領域８１を取り囲み、領域８１に面する表面７９ａを含む。本体７４、７６は表面７９ａに接続され、互いに向き合いて配置される。このようにして、ブラダー７８ａによって側壁７４ｇ上に作用される力は、本体７４と反対側に配置された圧縮リング７９の領域上に同じ大きさで反対向きの力をもたらす。同様に、ブラダー８０ａによって側壁７６ｇ上に作用される力は、本体７６と反対側に配置された圧縮リング７９の領域上に同じ大きさで反対向きの力をもたらす。圧縮リング７９の効果を最大にするために、その中立軸７９ａがテンプレート２６の中立軸Ａと密接に位置合わせされる。
【００２６】
　更に、テンプレート２６を拡げるためにアクチュエータ装置７２を使用することが可能である。このためには、接触部材７４ｆ、７６ｆが、周縁表面２６ａに固定的に取り付けられる。これは、例えば接着剤を使用することにより達成することができる。次に、第２の部材７４ｅ、７６ｅは、例えばねじ結合及び／又は接着剤によってそれぞれ接触部材７４ｆ、７６ｆに結合される。ブラダー７８ｂ、８０ｂの１つ又は両方を膨張させることによってテンプレート２６に張力が加えられる。
【００２７】
　本発明の設計に関する利点は、アクチュエータ装置７２全体が、モールド表面２８ｃが横たわる平面から離間して配置されるようにモールド２８の一方側上に横たわって位置付けられることである。これは、インプリントプロセスの間に図５に示されるアクチュエータ装置７２の構成部品とウェハ３０との間の接触を回避するのに有益である。加えて、比較的長く堅固な部材７４ｃ、７６ｃを備えることによって、ブラダー７４ａ、７４ｂ、７６ａ、７６ｂにより力を作用させることができる領域が実質的に増大する。これは、接触部材７４ｆ、７６ｆによって周縁表面７６ａに加えられる単位面積当たりの力を容易に増大させる。接触部材７４ｆによって作用される単位面積当たりの力の増加は、２つの領域、すなわち、接触部材７４ｆが力を作用させる周縁表面２６ａの領域と、ブラダー７８ａ、７８ｂの１つが力を作用させる第１の部材７４ｆｃの領域との比の関数である。同様に、接触部材７６ｆによって作用される単位面積当たりの力の増幅は、２つの領域、すなわち、接触部材７６ｆが力を作用させる周縁表面２６ａの領域と、ブラダー８０ａ、８０ｂの１つが力を作用させる第１の部材７６ｃの領域との比の関数である。
【００２８】
　ブラダー７８ａ、７８ｂ、８０ａ、８０ｂは、例えば、その上に接触している表面粗さに起因して、アクチュエータアーム７４ｂ、７６ｂに対する局所的な力の集中を避ける追加の利点を提供する。詳細には、アクチュエータアーム７４ｂ、７６ｂの表面粗さは、ブラダー７８ａ、７８ｂ、８０ａ、８０ｂによってそこに加えられた力の不均一な分布を生じる場合がある。その結果、ブラダー７８ａ、７８ｂ、８０ａ、８０ｂによって生成された力の局所的な表面集中が存在する可能性があり、これが非線形圧縮を生じる場合がある。ブラダー７８ａ、７８ｂ、８０ａ、８０ｂは、避けられない場合には、接触が行われる領域の形状をとる柔軟な材料から形成することによって、この問題を軽減させることができる。結果として、接触領域全体にわたり均一な分布の力が作用される。同様の理由から、接触部材７４ｆ、７６ｆを柔軟な材料で形成し、その結果、該接触部材が、それに接触するようになる周縁表面２６ａの輪郭に適合する輪郭を形成するようになることは、望ましい。
【００２９】
　柔軟なブラダー７８ａ、７８ｂ、８０ａ、８０ｂの使用によって得られる追加の利点は、接触部材７４ｆ、７６ｆと接触するようになる周縁表面２６ａの領域全体にわたるあらゆる非平面性及び／又は粗さ（以下では表面異常と呼ぶ）に対しても補償されることである。詳細には、ブラダー７８ａ、７８ｂ、８０ａ、８０ｂは、接触部材７４ｆ、７６ｆによって作用された何らかの曲げモーメントから生じる、第１の部材７４ｃ、７６ｃのどのようなゆがみにも合致することができる。あらゆる表面異常との適合性を更に高めるために、
本体７４は、１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆとして示された複数の接触部材を含むことができ、これらの各々は、アクチュエータアーム７４ｂに関連して上記で考察された本体７４に装着されている別個のアクチュエータアーム（図示せず）に取り付けられる。
【００３０】
　図１２及び図１４を参照すると、複数の接触部材１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆ、１７６ｆ、２７６ｆ、３７６ｆ、４７６ｆの移動にわたって独立制御を可能にすることによって、表面異常に関する柔軟性を更に達成することができる。このためには、
ブラダー７８ａは、複数のブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａと置き換えることができ、
複数のブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａの各々は、接触部材１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆの１つを移動させるために結合され、
【００３１】
　複数の接触部材１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆ、１７６ｆ、２７６ｆ、３７６ｆ、４７６ｆの移動に対して独立制御を提供する別の利点は、テンプレート２６の異方性熱膨張によって生じる誤差の補償を容易にすることである。従って、テンプレート２６の温度の正確な判定を得て、接触部材１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆ、１７６ｆ、２７６ｆ、３７６ｆ、４７６ｆの間に加えられた適正な圧縮を求めるために、そこから導出される情報を含めることは、望ましい。
【００３２】
　図１２、１４、１５を参照すると、上記でブラダーの使用を考察してきたが、
ブラダー７８ａ、７８ｂ、８０ａ、８０ｂ、１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａ、１８０ａ、２８０ａ、３８０ａ、４８０ａのいずれかを圧電アクチュエータと置き換えることができ、その４つが、５００、５０２、５０４、５０６として示される。
相乗的に動作させると、圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６を用いて、表面の異常を補償することができ、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａを用いて、チャック本体４２に結合された異なる温度に対する大きな平均誤差を補償することができる。
【００３３】
　圧電アクチュエータは複数のブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａと組み合わせて示されているが、圧電アクチュエータとブラダーのどのような組み合わせもアクチュエータ装置７２で使用することができる。例えば、１つだけの圧電アクチュエータを１つの本体（例えば本体７４）に対して使用することができ、本体７６は、固定的に取り付けられるか、或いは図１１、１２、１３に示されたブラダーの組み合わせのいずれかを含む１つ又はそれ以上の接触部材と接触する。同様に、圧縮装置に関連する全てのブラダーは、圧電アクチュエータと置き換えることが可能である。
【００３４】
　図１１を参照すると、追加のペアの接触部材７３、７５を含み、これらの間の距離Ｄ２を、距離Ｄ１が変更された方向に直交する方向で変化させることが望ましい。このようにして、テンプレート２６の寸法は２つの寸法において変化させることができる。これはポワソン効果を克服する上で特に有益である。ポワソン効果はテンプレート２６の線形結合を生じさせる可能性があり、これは距離Ｄ１とＤ２の両方を変化させるためにアクチュエータの起動を必要とする場合がある。詳細には、ポワソン比は、テンプレート２６のＸ方向に与えられた圧縮歪みに対するテンプレート２６のＹ方向とＺ方向に生じた引張り歪みの比率である。標準的な数値は０．１−０．４の範囲である。テンプレート２６が石英ガラスで形成されている場合には、その比率は約０．１６である。従って、純粋にＸ方向の寸法変化は、すなわちＹ方向の寸法変化が必要とされない場合では、距離Ｄ１とＤ２の両方を変更してポワソン効果を補償するために、アクチュエータの起動を必要とする場合がある。アクチュエータ装置７２に関する上述の構成のいずれかでは、テンプレート２６に力を加えて、テンプレート２６の寸法を変更させ、図２に示されたインプリンティング層３４に記録されたパターンのゆがみを低減させることができる。
【００３５】
　詳細には、インプリンティング層３４に記録されたパターンのゆがみは、とりわけ、インプリンティング層３４とウェハ３０の寸法の変動により生じる可能性がある。ひとつには熱的変動に起因する可能性のあるこれらの寸法の変動、並びに上記処理段階における不正確さは、一般に倍率誤差／振れ誤差と呼ばれるものをもたらす。倍率誤差／振れ誤差は、原パターンが記録されることになるウェハ３０の領域が原パターンの領域を超えるときに生じる。更に、倍率誤差／振れ誤差は、原パターンが記録されることになるウェハ３０の領域が原パターンの領域よりも小さいときに生じる可能性がある。倍率誤差／振れ誤差の有害な影響は、図６に示されるパターン形成された表面３２ａと重なり合ってインプリンティング層１２４として示された多層のインプリントパターンを形成するときに悪化する。単一ステップの完全なウェハインプリンティング及びステップアンドリピートのインプリンティングプロセスの両方において倍率誤差／振れ誤差に直面して２つの重なり合うパターンを適正に位置合わせすることは困難である。」
　
（ｄ）「
　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」
　
（ｅ）上記記載事項（ｃ）、（ｄ）の記載から、図１５に記載された構成について、検討する。
　「図８、１１、１２を参照すると、本例ではアクチュエータ装置７２が、チャック本体４２の両側に取り付けられた第１の本体７４と第２の本体７６とを含み、・・本体７４・・は、７４ａとして本体７４に示される１つ又はそれ以上のチャンバを含む。チャンバ７４ａ内に配置されるのはアクチュエータアームである。アクチュエータアーム７４ｂの第１の部材７４ｃは、本体７４に接続されて軸７４ｄの周りで往復動する。第１の部材７４ｃは、軸７４ｄからＺ方向に沿って延びて第２の部材７４ｅで終端する。第２の部材７４ｅは、第１の部材７４ｃからＸ方向に沿って延びて接触部材７４ｆで終端する。・・詳細には、ブラダー７８ａは、本体７４の第１の側壁７４ｇと第１の部材７４ｃとの間に配置され、・・ブラダー７８ａ・・は、流体の導入に応答して選択的に変化することができる容積を有する。・・」（段落【００２２】）と記載される構成において、「本体７４は、１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆとして示された複数の接触部材を含むことができ、これらの各々は、アクチュエータアーム７４ｂに関連して上記で考察された本体７４に装着されている別個のアクチュエータアーム（図示せず）に取り付けられ」（段落【００２９】）、「ブラダー７８ａは、複数のブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａと置き換えることができ、」「複数のブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａの各々は、接触部材１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆの１つを移動させるために結合され」（段落【００３０】）るのであって、上記「別個のアクチュエータアーム」が、別個の第１の部材、別個の軸、別個の第２の部材を有することは明らかであるから、図１５に記載された構成においては、本体７４は、７４ａとして本体７４に示される１つ又はそれ以上のチャンバを含み、チャンバ７４ａ内に別個のアクチュエータアームが配置され、別個のアクチュエータアームの別個の第１の部材は、本体７４に接続されて別個の軸の周りで往復動し、別個の第１の部材は、別個の軸からＺ方向に沿って延びて別個の第２の部材で終端し、別個の第２の部材は、別個の第１の部材からＸ方向に沿って延びて接触部材１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆで終端し、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａが、本体７４の第１の側壁７４ｇと別個の第１の部材との間に配置され、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａは、流体の導入に応答して選択的に変化することができる容積を有すると認められる。
　また、「 図１２、１４、１５を参照すると、上記でブラダーの使用を考察してきたが、ブラダー７８ａ、７８ｂ、８０ａ、８０ｂ、１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａ、１８０ａ、２８０ａ、３８０ａ、４８０ａのいずれかを圧電アクチュエータと置き換えることができ、その４つが、５００、５０２、５０４、５０６として示される」（段落【００３２】）のであって、図１４、１５を参照すると、図１４のブラダー１８０ａ、２８０ａ、３８０ａ、４８０ａが、図１５において、圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６に置き換えられて、「本体７６」（図１５の図番２７は、図番７６の誤記であることは明らかである。）と「テンプレート２６」との間に、「圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６」が配置されていると認められる。
　
　すると、上記引用文献１の記載事項から、引用文献１には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
　
「リソグラフィシステム１０に使用される装置であって、
　チャック本体４２に真空技術を使用して保持するように適合され、モールド２８が取り付けられたテンプレート２６と、
　チャック本体４２の両側に取り付けられた第１の本体７４と第２の本体７６とを含むアクチュエータ装置７２とを備え、
　本体７４は、７４ａとして本体７４に示される１つ又はそれ以上のチャンバを含み、チャンバ７４ａ内に別個のアクチュエータアームが配置され、別個のアクチュエータアームの別個の第１の部材は、本体７４に接続されて別個の軸の周りで往復動し、別個の第１の部材は、別個の軸からＺ方向に沿って延びて別個の第２の部材で終端し、別個の第２の部材は、別個の第１の部材からＸ方向に沿って延びて接触部材１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆで終端し、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａが、本体７４の第１の側壁７４ｇと別個のアクチュエータアームの別個の第１の部材との間に配置され、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａは、流体の導入に応答して選択的に変化することができる容積を有し、テンプレート２６を圧縮するために、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａを膨らませ、その容積を増大させることができ、
　本体７６とテンプレート２６との間に、圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６が配置され、
　動作中、テンプレート２６は接触部材間に配置されて、
　相乗的に動作させると、圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６を用いて、表面の異常を補償することができ、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａを用いて、チャック本体４２に結合された異なる温度に対する大きな平均誤差を補償することができる、装置。」
　
４．対比
（１）本願発明と引用発明との対比
（ａ）引用発明の「リソグラフィシステム１０」、「モールド２８が取り付けられたテンプレート２６」及び「第１の本体７４と第２の本体７６」は、それぞれ、本願発明の「インプリントリソグラフィ装置」、「インプリントテンプレート構成」及び「支持構造」に相当する。
　
（ｂ）引用発明の「チャンバ７４ａ内に別個のアクチュエータアームが配置され、別個のアクチュエータアームの別個の第１の部材は、本体７４に接続されて別個の軸の周りで往復動し、別個の第１の部材は、別個の軸からＺ方向に沿って延びて別個の第２の部材で終端し、別個の第２の部材は、別個の第１の部材からＸ方向に沿って延びて接触部材１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆで終端し、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａが、本体７４の第１の側壁７４ｇと別個のアクチュエータアームの別個の第１の部材との間に配置され」た構成は、引用文献１の図１２、１５を参照すると、「本体７４」と「テンプレート２６」との間に、「ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａ」が延在するように配置された構成であると認められる。
　さらに、引用発明の「テンプレート２６を圧縮するために、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａを膨らませ、その容積を増大させることができ、」「相乗的に動作させると、」「ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａを用いて、チャック本体４２に結合された異なる温度に対する大きな平均誤差を補償することができる」ことは、「ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａ」が「テンプレート２６」に力を印加するように構成されたことであると認められる。
　
　また、引用発明の「本体７６とテンプレート２６との間に、圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６が配置され」た構成は、引用文献１の図１５を参照すると、「本体７６」と「テンプレート２６」との間に、「圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６」が延在するように配置された構成であると認められる。
　さらに、引用発明の「相乗的に動作させると、圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６を用いて、表面の異常を補償することができ」ることは、「圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６」が「テンプレート２６」に力を印加するように構成されたことであると認められる。
　
　すると、引用発明の
「本体７４は、７４ａとして本体７４に示される１つ又はそれ以上のチャンバを含み、チャンバ７４ａ内に別個のアクチュエータアームが配置され、別個のアクチュエータアームの別個の第１の部材は、本体７４に接続されて別個の軸の周りで往復動し、別個の第１の部材は、別個の軸からＺ方向に沿って延びて別個の第２の部材で終端し、別個の第２の部材は、別個の第１の部材からＸ方向に沿って延びて接触部材１７４ｆ、２７４ｆ、３７４ｆ、４７４ｆで終端し、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａが、本体７４の第１の側壁７４ｇと別個のアクチュエータアームの別個の第１の部材との間に配置され、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａは、流体の導入に応答して選択的に変化することができる容積を有し、テンプレート２６を圧縮するために、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａを膨らませ、その容積を増大させることができ、
　本体７６とテンプレート２６との間に、圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６が配置され、」
「相乗的に動作させると、圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６を用いて、表面の異常を補償することができ、ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａを用いて、チャック本体４２に結合された異なる温度に対する大きな平均誤差を補償することができる」構成は、
　本願発明の
「前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第１のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された、第１のアクチュエータと、
　前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第２のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された、第２のアクチュエータと、
を備え」た構成に相当する。
　
（２）一致点
　してみると、両者は、
「インプリントリソグラフィ装置で使用するのに適切な構成であって、
　インプリントテンプレート構成を支持するように配置された支持構造と、
　前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第１のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された、第１のアクチュエータと、
　前記支持構造に取り付けられ、使用時に前記支持構造と前記インプリントテンプレート構成との間に延在するように配置された第２のアクチュエータであって、前記インプリントテンプレート構成に力を印加するように構成された、第２のアクチュエータと、
を備えた、構成。」
で一致し、次の点で相違する。
　
（３）相違点
　本願発明では、「前記第１及び第２のアクチュエータは、前記第２のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させるときの前記第２のアクチュエータの移動範囲が、前記第１のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させるときの前記第１のアクチュエータの移動範囲より大きくなるように構成された」のに対して、引用発明では、「ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａ」と「圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６」の移動範囲の大小が明らかでない点。
　
５．判断
（１）相違点について
　まず、本願発明の「第１のアクチュエータの移動範囲」、「第２のアクチュエータの移動範囲」が示す技術事項について、検討する。
　「第１のアクチュエータの移動範囲」、「第２のアクチュエータの移動範囲」について、本願の明細書には、以下の記載がある。（下線は、当審が付した。）
　
（ａ）「【００３４】
[0045]　図２のアクチュエータ２４は、より短い移動範囲を有する。しかし、移動はより正確に制御され、アクチュエータ２４がインプリントテンプレート２０に印加する力もより正確に制御される。
アクチュエータ２４の移動範囲が限られているため、例えば、インプリントテンプレート２０を迅速かつ容易にロード及びアンロードすることは困難なことがある。
　【００３５】
[0046]　図３は、増加した移動範囲を有するアクチュエータ３４を示す。
アクチュエータ３４の増加した移動範囲によって、
より大きい位置の変化を実施することができる。
　【００３６】
[0047]　短い移動範囲を有するアクチュエータの利点を有し、長い移動範囲を有するが、例えば、所与の単一のタイプのアクチュエータの使用に関連付けられた問題をほとんど又は全く含まないアクチュエータの利点を有するインプリントテンプレートを変形させ、移動させ又は保持する構成を提供することが望ましい。」
　
（ｂ）「【００４２】
[0053]　第２のアクチュエータの移動範囲が第１のアクチュエータの移動範囲より大きい第２のアクチュエータと第１のアクチュエータとを組み合わせて使用することで、１つ又は複数の利点が得られる。
例えば、第２のアクチュエータは、空気圧アクチュエータであってもよい。
第１のアクチュエータは、例えば、ボイスコイルであってもよい。
　【００４３】
[0054]　別の例では、
第１のアクチュエータより大きい移動範囲を有する第２のアクチュエータは、ねじ山構成であってもよい。
ねじ山構成の移動範囲よりも小さい移動範囲を有する第１のアクチュエータは、例えば、圧電アクチュエータであってもよい。
　
　上記記載、特に、「アクチュエータ２４の移動範囲が限られているため、例えば、インプリントテンプレート２０を迅速かつ容易にロード及びアンロードすることは困難なことがある。」（段落【００３４】）、「アクチュエータ３４の増加した移動範囲によって、・・・より大きい位置の変化を実施することができる。」（段落【００３５】）という記載、及び、「第１のアクチュエータ」の例として「ボイスコイル」と「圧電アクチュエータ」、「第２のアクチュエータ」の例として「空気圧アクチュエータ」と「ねじ山構成」が挙げられていることを考慮すると、「第１のアクチュエータの移動範囲」、「第２のアクチュエータの移動範囲」は、「第１のアクチュエータ」、「第２のアクチュエータ」が、それぞれの固有の性能として有する最大の駆動範囲（最大ストローク）を指すと解するのが相当である。
　すると、「第１のアクチュエータの移動範囲」、「第２のアクチュエータの移動範囲」は、「第１のアクチュエータ」、「第２のアクチュエータ」がインプリントテンプレート構成に力を印加することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させるときであるか否かによって変化するものではないから、本願発明の「前記第１及び第２のアクチュエータは、前記第２のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させるときの前記第２のアクチュエータの移動範囲が、前記第１のアクチュエータが前記インプリントテンプレート構成に力を印加することによって当該インプリントテンプレート構成を移動又は変形させるときの前記第１のアクチュエータの移動範囲より大きくなるように構成された」は、実質的に、「第２のアクチュエータの移動範囲」が、「第１のアクチュエータの移動範囲」より大きくなるように構成されたことを示すと解される。
　
　次に、引用発明の「ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａ」、「圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６」の移動範囲の大小は不明であるが、「ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａ」と「圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６」では、アクチュエータとしての種類が異なっており、引用文献１の全記載を参照しても、引用発明において「ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａ」と「圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６」の移動範囲を同一のものとする理由も見当たらないから、これらの移動範囲を異なるものとすることは、当業者が適宜なし得ることである。
　
　そして、引用発明において、「ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａ」と「圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６」の移動範囲を異なるものとしたときに、これらのうちの移動範囲の小さい方が本願発明の「第１のアクチュエータ」に相当し、移動範囲の大きい方が本願発明の「第２のアクチュエータ」に相当することは明らかである。
　
  してみると、引用発明において「ブラダー１７８ａ、２７８ａ、３７８ａ、４７８ａ」と「圧電アクチュエータ５００、５０２、５０４、５０６」の移動範囲を異なるものとして、上記相違点に係る本願発明の発明特定事項を得ることは当業者が容易に想到し得ることである。
　
（２）効果について
　また、本願発明が奏し得る効果は、引用発明から当業者が予測し得る程度のものである。
　
（３）結論
　したがって、本願発明は、引用発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
　
第３　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって結論のとおり審決する。