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　特願２００７−５５６０３５「光学部材保持装置、光学部材の位置調整方法、及び露光装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　８月　２日国際公開、ＷＯ２００７／０８６５５７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２００７年１月２９日（優先権主張２００６年１月３０日、日本国）を国際出願日とする出願であって、平成２５年２月２２日に手続補正がなされ、同年１０月１７日付けで拒絶査定がなされた。
　これに対し、平成２６年１月２１日に拒絶査定に対する不服審判請求がなされ、同時に手続補正がなされたものである。
　
第２　平成２６年１月２１日付けの手続補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　　平成２６年１月２１日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１．補正後の請求項に記載された発明
　平成２６年１月２１日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）により、本願の特許請求の範囲の請求項１は、特許請求の範囲の減縮を目的として、以下のように補正された。
　「光学部材保持装置であって、
　照明光学系としての第１光学系を構成する複数の光学部材のうち、光路折り曲げ用の第１の光学部材を保持する第１保持部と、
　前記第１光学系とは異なる投影光学系としての第２光学系を構成する複数の光学部材のうち、第２の光学部材を保持する第２保持部と、
　前記第１の光学部材及び前記第２の光学部材を保持する鏡筒ユニットと、
　前記鏡筒ユニットに設けられ、前記第１保持部及び前記第２保持部を支持する支持台と、
　前記支持台に対する前記第１保持部の位置を調整することにより、前記第１光学系を構成する複数の光学部材のうちの他の光学部材に対して前記第１の光学部材を移動させるとともに、前記支持台に対する前記第２保持部の位置を調整して、前記第２光学系を構成する複数の光学部材のうちの他の光学部材に対して前記第２の光学部材を移動させることにより、前記第１の光学部材と前記第２の光学部材との相対的な位置関係を調整する調整機構とを備えたことを特徴とする光学部材保持装置。」（以下「補正発明」という。）
　
　そこで、上記補正発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下に検討する。
　
２．引用刊行物 
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００５−１７５１７７号公報（以下「引用文献１」という。）には、以下の事項が記載されている。
　
（１）「【００２０】
　図１には、一実施形態に係る露光装置１０の全体構成が概略的に示されている。この露光装置１０では、後述するように、投影光学系ＰＯが使用されているので、以下においては、この投影光学系ＰＯの光学軸方向をＺ軸方向、これに直交する面内で図１における紙面内左右方向をＹ軸方向、紙面に直交する方向をＸ軸方向として説明するものとする。
【００２１】
　この露光装置１０は、レチクルＲに形成された回路パターンの一部の像を投影光学系ＰＯを介してウエハＷ上に投影しつつ、レチクルＲとウエハＷとを投影光学系ＰＯに対して１次元方向（ここではＹ軸方向）に相対走査することによって、レチクルＲの回路パターンの全体をウエハＷ上の複数のショット領域の各々にステップ・アンド・スキャン方式で転写するものである。
【００２２】
　露光装置１０は、ＥＵＶ光（軟Ｘ線領域の光）ＥＬを射出する光源装置１２、この光源装置１２からのＥＵＶ光ＥＬを反射して所定の入射角、例えば約５０〔ｍｒａｄ〕でレチクルＲのパターン面（図１における下面（−Ｚ側の面））に入射するように折り曲げる折り曲げミラーＭを含む照明光学系（なお、折り曲げミラーＭは、投影光学系ＰＯの鏡筒内部に存在しているが、実際には照明光学系の一部である）、レチクルＲを保持するレチクルステージＲＳＴ、レチクルＲのパターン面で反射されたＥＵＶ光ＥＬをウエハＷの被露光面（図１における上面（＋Ｚ側の面））に対して垂直に投射する投影光学系ＰＯ、ウエハＷを保持するウエハステージＷＳＴ等を備えている。この露光装置１０は、実際には、不図示の真空チャンバ内に収納されている。」
（２）「【００２４】
　前記照明光学系は、照明ミラー、波長選択窓等（いずれも図示省略）及び折り曲げミラーＭ等を含んで構成されている。また、光源装置１２内の集光ミラーとしての放物面鏡も照明光学系の一部を構成する。光源装置１２で射出され、照明光学系を介したＥＵＶ光ＥＬ（前述の折り曲げミラーＭで反射されたＥＵＶ光ＥＬ）は、レチクルＲのパターン面を円弧スリット状の照明光となって照明する。」
（３）「【００４０】
　図２には、投影光学系ＰＯの概略斜視図が示されている。この投影光学系ＰＯは、Ｚ軸方向に沿って上から下へ順次連結された５つの部分鏡筒１５２ａ、１５２ｂ，１５２ｃ，１５２ｄ，１５２ｅ、及び部分鏡筒１５２ｂ，１５２ｃ間に設けられたフランジＦＬＧから成る鏡筒５２と、該鏡筒５２内部に配置されたミラーＭ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６（図３（Ａ），図３（Ｂ），及び図４参照）とを含んで構成されている。この鏡筒５２の−Ｙ側の側壁には、部分鏡筒１５２ａ及び部分鏡筒１５２ｂの両者に跨る開口５２ａが形成されている。部分鏡筒１５２ａ〜１５２ｅ及びフランジＦＬＧは、ステンレス（ＳＵＳ）等の脱ガスの少ない材料にて形成されている。」
（４）「【００４８】
　前記ミラーＭ１は、図３（Ａ）及び図４からわかるように、その上面が球面又は非球面などの回転対称な反射面とされ、その回転対称軸が投影光学系ＰＯの光学軸ＡＸにほぼ一致するように位置調整された凹面鏡である。このミラーＭ１は、前記部分鏡筒１５２ｃの内部に配置されている。このミラーＭ１は、部分鏡筒１５２ｃを一部破断して示す斜視図である図５に示されるように、ミラー保持機構９２によって、部分鏡筒１５２ｃ内で保持されている。なお、ミラーＭ１は、実際には、図３（Ａ）に示されるように、その外周の輪郭が多角形状であるが、図５において、図示の便宜上から、その外周面の一部にそれぞれ形成された反射面６５ｘ、６５ｙ以外の部分の輪郭が円弧状であるかのような形状で示されている。ここで、反射面６５ｘは、ミラーＭ１の外周面の＋Ｘ側の一部に形成されたＸ軸に垂直な平面（鏡面加工が施された平面）であり、反射面６５ｙは、ミラーＭ１の外周面の＋Ｙ側の一部に形成されたＹ軸に垂直な平面（鏡面加工が施された平面）である。
【００４９】
　前記ミラー保持機構９２は、部分鏡筒１５２ｃの内面にその一部が固定されたパラレルリンク機構４１1と、該パラレルリンク機構４１1のエンドエフェクタを構成するインナーリング４２の上面にそれぞれ設けられ、ミラーＭ１の側面の３箇所を保持するミラー保持部材４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃとを備えている。
【００５０】
　前記パラレルリンク機構４１1は、部分鏡筒１５２ｃ内面に内接した状態で設けられたベース部を構成する円環状部材から成るアウターリング４８と、該アウターリング４８よりも径が一回り小さい円環状部材から成り、アウターリング４８の上方に配置されたインナーリング４２と、アウターリング４８とインナーリング４２とを相互に連結するとともにインナーリング４２をアウターリング４８に対して相対的にＸ，Ｙ，Ｚ軸方向及びθｘ（Ｘ軸回りの回転方向）、θｙ（Ｙ軸回りの回転方向）、θｚ（Ｚ軸回りの回転方向）の６自由度方向に駆動する駆動機構４６と、を備えている。」
（５）「【００７３】
　ここで、上述のようにして構成された投影光学系ＰＯの作用について図４に基づいて説明する。光源装置１２から射出され、投影光学系ＰＯの鏡筒５２に形成された開口５２ａを介して鏡筒５２の内部に入射されたＥＵＶ光ＥＬは、鏡筒５２内に配置された照明光学系の一部を構成する折り曲げミラーＭでほぼ上向きに反射され、鏡筒５２の開口５２ｂを介してレチクルＲに所定の入射角で入射する。そして、レチクルＲのパターン面で反射されたＥＵＶ光ＥＬは、ミラーＭ１で反射されてミラーＭ２の反射面に集光される。次いで、ミラーＭ２の反射面で反射されたＥＵＶ光ＥＬは、ミラーＭ３、Ｍ４で順次反射され、ミラーＭ６の切り欠きを通過してミラーＭ５に入射し、ミラーＭ５の反射面で反射される。その後、ミラーＭ５で反射されたＥＵＶ光ＥＬは、ミラーＭ６で反射され、パターンの結像光束となってミラーＭ５の切り欠きを介してウエハＷに照射される。」
（６）「【図１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（７）「【図２】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（８）「【図４】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（９）「【図５】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
　これらの記載事項を含む引用文献１全体の記載及び当業者の技術常識を総合すれば、引用文献１には、以下の発明が記載されている。
　「ＥＵＶ光（ＥＬ）を射出する光源装置（１２）、この光源装置からのＥＵＶ光を反射して所定の入射角でレチクル（Ｒ）のパターン面に入射するように折り曲げる折り曲げミラー（Ｍ）を含む照明光学系、レチクルのパターン面で反射されたＥＵＶ光をウエハ（Ｗ）の被露光面に対して垂直に投射する投影光学系（ＰＯ）等を備えている露光装置（１０）であって、
　前記照明光学系は、照明ミラー、波長選択窓等、光源装置内の集光ミラー及び折り曲げミラー（Ｍ）等を含んで構成され、
　投影光学系（ＰＯ）は、上から下へ順次連結された５つの部分鏡筒（１５２ａ、１５２ｂ，１５２ｃ，１５２ｄ，１５２ｅ）、上から２番目及び３番目の部分鏡筒（１５２ｂ，１５２ｃ）間に設けられたフランジ（ＦＬＧ）から成る鏡筒（５２）と、該鏡筒内部に配置された６個のミラー（Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６）とを含んで構成されており、
　この６個のミラーのうちの第１のミラー（Ｍ１）は、ミラー保持機構（９２）によって、前記上から３番目の部分鏡筒内で保持され、
　前記ミラー保持機構は、上から３番目の部分鏡筒の内面にその一部が固定され、６自由度方向に駆動する駆動機構（４６）を備えたパラレルリンク機構（４１1）と、該パラレルリンク機構のエンドエフェクタを構成するインナーリング（４２）の上面にそれぞれ設けられ、前記第１のミラーの側面の３箇所を保持するミラー保持部材（４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ）を備えており、
　折り曲げミラーは、投影光学系の鏡筒内部に配置されているが、実際には照明光学系の一部を構成する、
露光装置。」（以下「引用発明」という。）
　
３．対比 
　補正発明と引用発明を対比する。
（１）引用発明の「照明光学系」、「照明ミラー、波長選択窓等、光源装置内の集光ミラー及び折り曲げミラー」及び「折り曲げミラー」は、それぞれ補正発明の「照明光学系としての第１光学系」、「第１光学系を構成する複数の光学部材」及び「光路折り曲げ用の第１の光学部材」に相当する。ここで、引用発明が折り曲げミラーを保持する保持部を有することは、当業者の技術常識に照らして自明である。したがって、引用発明は補正発明の「第１保持部」に相当する構成を有する。　
（２）同様に、引用発明の「投影光学系」、「６個のミラー」、「第１のミラー」及び「ミラー保持機構」は、それぞれ補正発明「前記第１光学系とは異なる投影光学系としての第２光学系」、「第２光学系を構成する複数の光学部材」、「第２の光学部材」及び「第２保持部」に相当する。
（３）引用発明の「鏡筒」は補正発明の「鏡筒ユニット」に相当し、引用発明の第１のミラー（補正発明の「第２の光学部材」に相当）がミラー保持機構を介して鏡筒に保持されることは明らかであるから、補正発明の鏡筒ユニットと引用発明の鏡筒は、ともに「第２の光学部材を保持する鏡筒ユニット」である点で共通する。
（４）補正発明の「前記第１保持部及び前記第２保持部を支持する支持台」の指し示す技術的意味は必ずしも明確ではないことから、本願明細書及び図面の記載を参酌する（当審注：下線は当審で付与）。
　本願明細書の段落【００２７】には「図５は、図４中の分割鏡筒１２Ｃ及び１２Ｄ（鏡筒）を示し、この図５において、分割鏡筒１２Ｃの上面の−Ｙ方向側及び＋Ｙ方向側にそれぞれ照明光ＥＬを通過させる開口が形成された
半円板状の支持板３１及び２５Ｃ（支持台）
　また、図５及び図６を参酌すると、支持台としての支持板３１と２５Ｃは別部材であることがわかる。
　これらのことから、補正発明の「支持台」とは「第１保持部支持する台」（支持板（３１））と「第２保持部を支持する台」（支持板（２５Ｃ））の総称であることがわかる。
　してみると、引用発明の「ミラー保持機構のインナーリング」は補正発明の「第２保持部を支持する支持台」に相当する。引用発明において該ミラー保持機構は、鏡筒（補正発明の「鏡筒ユニット」に相当）に設けられている。
　また、引用発明が「第１保持部を支持する支持台」に相当する構成を有することは、当業者の技術常識に照らして自明である。
（５）引用発明の「パラレルリンク機構」を「６自由度方向に駆動する駆動機構」で駆動することにより、第１のミラーの位置が他の５個のミラーに対して移動することは明らかである。
　してみると、引用発明は補正発明の「支持台に対する前記第２保持部の位置を調整して、前記第２光学系を構成する複数の光学部材のうちの他の光学部材に対して前記第２の光学部材を移動させる」、「調整機構」に相当する構成を有する。
（６）引用発明が照明光学系及び投影光学系の各光学部材を保持する構成を有することは自明である。
　したがって、引用発明は補正発明の「光学部材保持装置」に相当する構成を有する。
　
　以上のことから両者は、 
　「光学部材保持装置であって、
　照明光学系としての第１光学系を構成する複数の光学部材のうち、光路折り曲げ用の第１の光学部材を保持する第１保持部と、
　前記第１光学系とは異なる投影光学系としての第２光学系を構成する複数の光学部材のうち、第２の光学部材を保持する第２保持部と、
　前記第２の光学部材を保持する鏡筒ユニットと、
　前記鏡筒ユニットに設けられ、前記第１保持部を支持する支持台と、
　前記第２保持部を支持する支持台と、
　前記支持台に対する前記第２保持部の位置を調整して、前記第２光学系を構成する複数の光学部材のうちの他の光学部材に対して前記第２の光学部材を移動させる調整機構とを備えた光学部材保持装置。」
の点で一致し、次の各点で相違している。
　
（相違点１）
　鏡筒ユニットが、補正発明では第１の光学部材を保持するのに対して、引用発明では、第１の光学部材を保持するかどうか不明な点。
（相違点２）
　補正発明の調整機構が、支持台に対する第１保持部の位置を調整することにより、第１光学系を構成する複数の光学部材のうちの他の光学部材に対して第１の光学部材を移動させることにより、第１の光学部材と第２の光学部材との相対的な位置関係を調整するのに対して、引用発明の調整機構がそのような構成を有するかどうか不明な点。
　
４．判断 
　上記各相違点について検討する。
（１）相違点１について
　引用発明の折り曲げミラー（補正発明の「第１の光学部材」に相当）が投影光学系の鏡筒内部に配置されていること、投影光学系の第１のミラーが鏡筒に保持されること及び保持すべき部材を近傍に位置する部材で保持することが当業者の技術常識であること等を考慮すると、引用発明の折り曲げミラーを、投影光学系の第１のミラーと同様に、鏡筒に保持させることに格別の技術的困難性も阻害要因もない。
　してみると、引用発明に上記相違点１に係る構成を採用することは、当業者が容易になしうる事項である。
（２）相違点２について
　補正発明や引用発明が属する露光装置の分野において、投影光学系の光学部材とともに、照明光学系の光学部材の位置を調整する必要があることは当業者の技術常識であり、そのような調整機構を設けることは周知技術である。
　そして、そのような調整機構を設けた場合、該調整機構が、支持台に対する第１保持部の位置を調整して、第１光学系を構成する複数の光学部材のうちの他の光学部材に対して第１の光学部材を移動させ、その結果、第１光学系と第２光学系が異なる光学系であるから、第１の光学部材と第２の光学部材との相対的な位置関係を調整することになるのは当業者にとって自明の事項である。
　してみると、引用発明に上記相違点２に係る構成を採用することは、当業者が容易になしうる事項である。
　
（３）効果について
　そして、補正発明全体の効果も、引用発明及び周知技術に基いて当業者が予測し得る範囲のものであって格別なものではない。
　
　したがって、補正発明は、引用発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
５．小括 
　以上のとおり、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり、決定する。
 　
第３　本願発明について 
１．本願発明
　平成２６年１月２１日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２５年２月２２日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
「光学部材保持装置であって、
　照明光学系としての第１光学系を構成する複数の光学部材のうち、光路折り曲げ用の第１の光学部材を保持する第１保持部と、
　前記第１光学系とは異なる投影光学系としての第２光学系を構成する複数の光学部材のうち、第２の光学部材を保持する第２保持部と、
　前記第１の光学部材及び前記第２の光学部材を保持する鏡筒ユニットと、
　前記鏡筒ユニットに設けられ、前記第１保持部及び前記第２保持部を支持する支持台と、
　前記支持台に対する前記第１保持部の位置と、前記支持台に対する前記第２保持部の位置とを調整し、前記第１の光学部材と前記第２の光学部材との相対的な位置関係を調整する調整機構とを備えたことを特徴とする光学部材保持装置。」
　
２．引用刊行物
　原査定に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物及びその記載内容並びに引用発明は、前記「第２」の「２．」に記載したとおりである。
　
３．対比
　本願発明は、前記「第２」で検討した補正発明から、少なくとも「前記第１光学系を構成する複数の光学部材のうちの他の光学部材に対して前記第１の光学部材を移動させる」及び「前記第２光学系を構成する複数の光学部材のうちの他の光学部材に対して前記第２の光学部材を移動させる」という事項を削除することにより拡張したものである。
　そうすると、本願発明の特定事項を全て含み、さらに他の特定事項を付加したものに相当する補正発明が、前記「第２」の「４．」に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第４　むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は、拒絶されるべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。