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　特願２０１１−１６２３６９「表面検査装置およびその方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年１１月　４日出願公開、特開２０１１−２２１０４１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　本願は、平成１６年４月９日に出願した特願２００４−５６９９９８号（パリ条約による優先権主張外国庁受理平成１５年７月２３日、同年１１月１４日、米国）の一部を平成２３年７月２５日に新たな特許出願としたものであって、平成２５年５月２１日付けで拒絶理由が通知され、同年９月２７日付けで意見書が提出されるとともに手続補正がなされたが、同年１１月１２日付けで拒絶査定がなされたのに対し、平成２６年３月２６日に拒絶査定不服審判が請求され、それと同時に手続補正がなされたものである。
　
２　平成２６年３月２６日付けでなされた手続補正について
　平成２６年３月２６日付けでなされた手続補正は、請求項７〜１０、１３〜１６、１８〜２０、２２〜２４、２８〜４２、４４〜５２を削除したものである。
　したがって、この補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下、「改正前の特許法」という。）第１７条の２第４項第１号に規定する請求項の削除を目的とするものに該当する。また、新たな技術事項を導入するものではないから、改正前の特許法第１７条の２第３項の規定に適合する。
　よって、この補正は、改正前の特許法第１７条の２の規定に適合する。
　
３　本願発明　　
　この出願の請求項１に係る発明は、平成２６年３月２６日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるものであると認められ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
　
「表面検査装置であって、
　光ビームをワークピース上に導くことによって、前記ワークピースの欠陥から散乱された光、および前記ワークピースの通常の散乱パターンにしたがって散乱された光を含む、空間分布を有する散乱された光のパターンを発生する照射源、
　前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記ワークピースの欠陥から散乱された前記光をフォトセンサに選択的に導く光選択アレイであって、前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記光を第１光検出器アレイであって、前記プログラム可能な光選択アレイからの前記光を受け取るように配置され、前記光を関連付けられた電気信号に変換できる第１光検出器アレイ上に導くように配置されたプログラム可能な光選択アレイ、
　前記関連付けられた電気信号を受け取り、前記ワークピースから散乱された前記光のうちのどの部分が前記ワークピースの前記通常の散乱パターンを含むかを判断する回路、
　を備え、
　前記プログラム可能な光選択アレイは、前記ワークピースの欠陥からの散乱に空間的に関連付けられた前記光をフォトセンサ上に選択的に導くことができる制御可能な光選択要素のアレイを含み、この結果、前記フォトセンサにより、前記光が、関連付けられた欠陥信号に変換され、
　前記回路は、前記欠陥信号を受け取り、それを用いて前記ワークピースの表面分析を行う処理回路を含む装置。」
　ここで、請求項１の「フォトセンサ」と「第１光検出器アレイ」に関して、請求項１０には「請求項１に記載の装置であって、前記第１光検出器アレイは、前記フォトセンサとしても機能する装置。」と記載され、発明の詳細な説明には「【００３９】…本発明の原理による光検出器およびフォトセンサは、多様な形態を持ちえ、湾曲された表面を持つ光検出器アレイを含みえる。」と記載されていることから、請求項１の「第１光検出器アレイ」が「フォトセンサ」を兼ねるものも含まれるものと解すべきである。このことは、請求項１の「装置」の発明に対応する請求項１４の「方法」の発明において、「検出」要素を何ら特定していないこと、つまり「フォトセンサ」と「第１光検出器アレイ」とに分けて特定していないことにも整合する。
　
４　刊行物の記載事項　　
（１）本願優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開２００２−３１０９３２号公報（以下、「刊行物」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は当審で付した。）。
　
ア　「【００２０】次に、
異物モニタ１０１
異物検出光学系１２２で製品ウェハ１１１上の異物検査を全面において行う。
得られた異物情報を異物情報処理系１２３で処理し、異物の異常発生があれば、アラーム等で知らせる、あるいは装置停止機能１２４により装置本体１２５を停止することができる
　
イ　「【００２６】図７に製品ウェハ１１１上の異物検査が高速でかつ構造が小型である空間フィルタを用いた
異物検出光学系１２２
斜方照明光学系１５１と検出光学系１５２から成る。斜方照明光学系１５１は
１個以上の照明アレイに成っている。検出光学系１５２は
レンズアレイ１５３、レンズアレイのフーリエ変換面に空間フィルタ１５４、レンズアレイの結像位置に検出器１５５から成っている
【００２７】図８に
斜方照明光学系１５１
照明光源として
半導体レーザ１６１を用い
製品ウェハ１１１上をコヒーレント光照明することにより検出レンズ１５３のフーリエ変換面において製品ウェハ１１１のパターンのシャープなフーリエ変換像が得られる
空間フィルタを通過する異物からの散乱光
　
ウ　「【００３０】図１１に
空間フィルタ１５４
レンズアレイ１５３の各レンズ素子１８１にそれぞれの空間フィルタ１８２が対応する
【００３１】図１２に空間フィルタ１５４の詳細図を示す。
製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１はレンズアレイ１５３のフーリエ変換面上の空間フィルタ１５４位置では規則的な像１９２となる
空間フィルタ１５４で製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンを遮光することができ、検出器であるＣＣＤリニアセンサ１５５には取り込まれない
【００３２】空間フィルタ１５４には、製品ウェハ１１１の繰返しパターンのフーリエ変換像を乾板に焼き付けて作成する乾板方式の空間フィルタを用いる。したがって、空間フィルタ１５４の焼き付けた部分は製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの光は通過しない。または、
液晶を用いた液晶方式の空間フィルタ
まず、製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１のレンズアレイ１５３のフーリエ変換面上の空間フィルタ１５４位置での規則的な像１９２をＴＶモニタ等により検出し、像１９２に対応した液晶素子の位置を記憶させる。次に、記憶された液晶素子部分に電圧を加えることにより、その部分に当った光を遮蔽することができる。したがって、各工程の製品ウェハ毎の像に対応した駆動液晶素子を記憶し、フォーマット化することにより、各工程の製品ウェハ毎の液晶のオンオフによる空間フィルタが可能となる
エ　上記イの「
空間フィルタを通過する異物からの散乱光
空間フィルタ１５４が、製品ウェハ１１１上の異物からの散乱光を通過させる
　
　上記のア〜エから、刊行物には、以下の発明が記載されていると認められる。　　
「異物検出光学系１２２で製品ウェハ１１１上の異物検査を全面において行い、得られた異物情報を異物情報処理系１２３で処理し、異物の異常発生があれば、アラーム等で知らせる、あるいは装置停止機能１２４により装置本体１２５を停止することができる異物モニタ１０１であって、
　異物検出光学系１２２は、斜方照明光学系１５１と検出光学系１５２から成り、斜方照明光学系１５１は１個以上の照明アレイに成っていて、検出光学系１５２はレンズアレイ１５３、レンズアレイ１５３のフーリエ変換面に空間フィルタ１５４、レンズアレイ１５３の結像位置にＣＣＤリニアセンサ１５５から成っているものであり、
　斜方照明光学系１５１は、照明光源として半導体レーザ１６１を用い、製品ウェハ１１１上をコヒーレント光照明することによりレンズアレイ１５３のフーリエ変換面において製品ウェハ１１１のパターンのシャープなフーリエ変換像が得られるものであり、
　空間フィルタ１５４は、レンズアレイ１５３の各レンズ素子１８１にそれぞれの空間フィルタ１８２が対応し、製品ウェハ１１１上の異物からの散乱光を通過させるが、製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１のレンズアレイ１５３のフーリエ変換面上の位置での規則的な像１９２となる繰返しパターンを遮光し、ＣＣＤリニアセンサ１５５に取り込まれないようにするものであり、
　液晶を用いた液晶方式の空間フィルタ１５４は、まず、製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１のレンズアレイ１５３のフーリエ変換面上の空間フィルタ１５４位置での規則的な像１９２となる繰返しパターンをＴＶモニタ等により検出し、規則的な像１９２となる繰返しパターンに対応した液晶素子の位置を記憶させ、次に、記憶された液晶素子部分に電圧を加えることにより、その部分に当った光を遮蔽することができ、したがって、各工程の製品ウェハ毎の像に対応した駆動液晶素子を記憶し、フォーマット化することにより、各工程の製品ウェハ毎の液晶のオンオフによる空間フィルタが可能となる
　異物モニタ１０１。」（以下、「引用発明」という。）
５　対比
　本願発明と引用発明とを対比する。
（１）引用発明の「製品ウェハ１１１上の異物検査を全面において行」う「異物モニタ１０１」、「製品ウェア１１１」、「異物」、「斜方照明光学系１５１」並びに「ＣＣＤリニアセンサ１５５」は、本願発明の「表面検査装置」、「ワークピース」、「欠陥」、「照射源」並びに「『フォトセンサ』及び『第１光検出器アレイ』」に相当する。
　
（２）引用発明の「照明光源として半導体レーザ１６１を用い」た「コヒーレント光」は、本願発明の「光ビーム」に相当する。
　また、引用発明の「製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１」は、異物の有無に関係なく発生する回折光であるから、本願発明の「ワークピースの通常の散乱パターンにしたがって散乱された光」に相当する。
　そして、引用発明の「レンズアレイ１５３のフーリエ変換面において」「得られる」「製品ウェハ１１１のパターンのシャープなフーリエ変換像」は、「製品ウェハ１１１上の異物からの散乱光」及び「製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１」によるものであることは明らかであるから、本願発明の「前記ワークピースの欠陥から散乱された光、および前記ワークピースの通常の散乱パターンにしたがって散乱された光を含む、空間分布を有する散乱された光のパターン」に相当する。
　したがって、引用発明の「照明光源として半導体レーザ１６１を用い、製品ウェハ１１１上をコヒーレント光照明することによりレンズアレイ１５３のフーリエ変換面において製品ウェハ１１１のパターンのシャープなフーリエ変換像が得られる」「斜方照明光学系１５１」は、本願発明の「光ビームをワークピース上に導くことによって、前記ワークピースの欠陥から散乱された光、および前記ワークピースの通常の散乱パターンにしたがって散乱された光を含む、空間分布を有する散乱された光のパターンを発生する照射源」に相当する。
　
（３）引用発明の「ＣＣＤリニアセンサ１５５」が「製品ウェハ１１１上の異物からの散乱光」を検出することは明らかであり、「レンズアレイ１５３の各レンズ素子１８１にそれぞれの空間フィルタ１８２が対応」する「空間フィルタ１５４」はアレイといえるから、引用発明の「製品ウェハ１１１上の異物からの散乱光を通過させるが、製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１のレンズアレイ１５３のフーリエ変換面上の位置での規則的な像１９２となる繰返しパターンを遮光し、ＣＣＤリニアセンサ１５５に取り込まれないようにする」「空間フィルタ１５４」であって、「レンズアレイ１５３の各レンズ素子１８１にそれぞれの空間フィルタ１８２が対応」する「空間フィルタ１５４」は、本願発明の「前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記ワークピースの欠陥から散乱された前記光をフォトセンサに選択的に導く光選択アレイ」に相当する。
　また、引用発明の「記憶された液晶素子部分に電圧を加えることにより、その部分に当った光を遮蔽することができ」る「液晶方式の」「空間フィルタ１５４」は、「各工程の製品ウェハ毎の像に対応した駆動液晶素子を記憶し、」「各工程の製品ウェハ毎の液晶のオンオフによる空間フィルタが可能」であるから、本願発明の「プログラム可能な光選択アレイ」に相当する。
　さらに、引用発明の「ＣＣＤリニアセンサ１５５」が、「空間フィルタ１５４」を「通過」した「製品ウェア１１１上の異物からの散乱光」を受け取るように配置されるものであることは明らかである。そして、引用発明の「空間フィルタ１５４」が「製品ウェア１１１上の異物からの散乱光」を受け取り、前記「散乱光」を受け取るように配置された「ＣＣＤリニアセンサ１５５」上に導くように配置されていることも明らかである。また、ＣＣＤリニアセンサが光を関連付けられた電気信号に変換することは技術常識である。
　したがって、引用発明の「レンズアレイ１５３の各レンズ素子１８１にそれぞれの空間フィルタ１８２が対応し、製品ウェハ１１１上の異物からの散乱光を通過させるが、製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１のレンズアレイ１５３のフーリエ変換面上の位置での規則的な像１９２となる繰返しパターンを遮光し、ＣＣＤリニアセンサ１５５に取り込まれないようにする」「空間フィルタ１５４」であって、「記憶された液晶素子部分に電圧を加えることにより、その部分に当った光を遮蔽することができ」る「液晶方式の」「空間フィルタ１５４」は、本願発明の「前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記ワークピースの欠陥から散乱された前記光をフォトセンサに選択的に導く光選択アレイであって、前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記光を第１光検出器アレイであって、前記プログラム可能な光選択アレイからの前記光を受け取るように配置され、前記光を関連付けられた電気信号に変換できる第１光検出器アレイ上に導くように配置されたプログラム可能な光選択アレイ」に相当する。
　
（４）引用発明が「製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１のレンズアレイ１５３のフーリエ変換面上の空間フィルタ１５４位置での規則的な像１９２となる繰返しパターンをＴＶモニタ等により検出し、規則的な像１９２となる繰返しパターンに対応した液晶素子の位置を記憶させ、次に、記憶された液晶素子部分に電圧を加えることにより、その部分に当った光を遮蔽する」ための設備として、ＴＶモニタ等により関連付けられた電気信号を受け取り、製品ウェハ１１１から回折された回折光１９１の製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンを選別する回路を備えることは明らかである。そして、この回路と、本願発明の「前記関連付けられた電気信号を受け取り、前記ワークピースから散乱された前記光のうちのどの部分が前記ワークピースの前記通常の散乱パターンを含むかを判断する回路」とは、「関連付けられた電気信号を受け取り、前記ワークピースから散乱された前記光から前記ワークピースの前記通常の散乱パターンを選別する回路」を備える点で共通するといえる。
（５）前記（３）で述べたように、引用発明の「レンズアレイ１５３の各レンズ素子１８１にそれぞれの空間フィルタ１８２が対応」する「空間フィルタ１５４」であって、「記憶された液晶素子部分に電圧を加えることにより、その部分に当った光を遮蔽することができ」る「液晶方式の」「空間フィルタ１５４」は、本願発明の「前記プログラム可能な光選択アレイ」に相当する。
　また、引用発明の「ＣＣＤリニアセンサ１５５」が「異物からの散乱光」を関連付けられた信号に変換することは明らかである。
　したがって、引用発明の「レンズアレイ１５３の各レンズ素子１８１にそれぞれの空間フィルタ１８２が対応」する「空間フィルタ１５４」が、「製品ウェア１１１上の異物からの散乱光を通過させるが、製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１のレンズアレイ１５３のフーリエ変換面上の位置での規則的な像１９２となる繰返しパターンを遮光し、ＣＣＤリニアセンサ１５５に取り込まれないようにする」ように「記憶された液晶素子部分に電圧を加えることにより、その部分に当った光を遮蔽することができ」る「液晶を用い」ることは、本願発明の「前記プログラム可能な光選択アレイは、前記ワークピースの欠陥からの散乱に空間的に関連付けられた前記光をフォトセンサ上に選択的に導くことができる制御可能な光選択要素のアレイを含み、この結果、前記フォトセンサにより、前記光が、関連付けられた欠陥信号に変換され」ることに相当する。
（６）引用発明の「異物情報処理系１２３」は、「得られた異物情報を異物情報処理系１２３で処理し、異物の異常発生があれば、アラーム等で知らせる、あるいは装置停止機能１２４により装置本体１２５を停止することができる」ものであるから、「得られた異物情報」の信号を受け取り、それを用いて異常か否か分析しているものといえる。
　また、「異物情報処理系１２３」が異物情報を処理するために何らかの処理回路を含むことは明らかである。
　したがって、引用発明の「異物検出光学系１２２で製品ウェハ１１１上の異物検査を全面において行い、得られた異物情報を」「処理し、異物の異常発生があれば、アラーム等で知らせる、あるいは装置停止機能１２４により装置本体１２５を停止することができる」「異物情報処理系１２３」を有すること、本願発明の「前記回路は、前記欠陥信号を受け取り、それを用いて前記ワークピースの表面分析を行う処理回路を含む」こととは、「前記欠陥信号を受け取り、それを用いて前記ワークピースの表面分析を行う処理回路」を有する点で共通する。
　
　してみると、本願発明と引用発明とは
「表面検査装置であって、
　光ビームをワークピース上に導くことによって、前記ワークピースの欠陥から散乱された光、および前記ワークピースの通常の散乱パターンにしたがって散乱された光を含む、空間分布を有する散乱された光のパターンを発生する照射源、
　前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記ワークピースの欠陥から散乱された前記光をフォトセンサに選択的に導く光選択アレイであって、前記ワークピースから散乱された光を受け取り、前記光を第１光検出器アレイであって、前記プログラム可能な光選択アレイからの前記光を受け取るように配置され、前記光を関連付けられた電気信号に変換できる第１光検出器アレイ上に導くように配置されたプログラム可能な光選択アレイ、
　関連付けられた電気信号を受け取り、前記ワークピースから散乱された前記光から前記ワークピースの前記通常の散乱パターンを選別する回路、
　を備え、
　前記プログラム可能な光選択アレイは、前記ワークピースの欠陥からの散乱に空間的に関連付けられた前記光をフォトセンサ上に選択的に導くことができる制御可能な光選択要素のアレイを含み、この結果、前記フォトセンサにより、前記光が、関連付けられた欠陥信号に変換され、
　前記欠陥信号を受け取り、それを用いて前記ワークピースの表面分析を行う処理回路を有する装置。」
である点で一致し、次の点で相違する。
　
（相違点１）
「回路」が「受け取」る「関連付けられた電気信号」が、本願発明では「第１光検出アレイ」によって「変換」されたものであるのに対し、引用発明では「ＴＶモニタ等」によるものである点。
（相違点２）
「前記光から前記ワークピースの前記通常の散乱パターンを選別する回路」が、本願発明では「前記光のうちのどの部分が前記ワークピースの前記通常の散乱パターンを含むかを判断する」ものであるのに対し、引用発明では「検出し」た「規則的な像１９２となる繰返しパターンに対応した液晶素子の位置を記憶」するものである点。
（相違点３）
「前記欠陥信号を受け取り、それを用いて前記ワークピースの表面分析を行う処理回路」が、本願発明では「前記回路」に「含」まれるのに対し、引用発明ではそのようなものではない点。
６　判断
（相違点１について）
　引用発明は「製品ウェハ１１１の規則性のある繰返しパターンからの回折光１９１のレンズアレイ１５３のフーリエ変換面上の空間フィルタ１５４位置での規則的な像１９２となる繰返しパターンを」「検出」するために、「ＴＶモニタ等」を用いるものであるが、「ＴＶモニタ等」の追加設備を用いずに、それに代えて既存のＣＣＤリニアセンサ１５５で規則的な像を検出しようとすることは当業者が容易に想起できるものであって、その場合にその像をフーリエ変換すれば「レンズアレイ１５３のフーリエ変換面上の空間フィルタ１５４位置での規則的な像１９２となる繰返しパターン」が求まることは技術常識であり、何ら支障はないことも容易に把握できるというべきであるので、そのようにして、規則的な像を検知する回路を備えることは当業者が容易になし得たというべきである。
（相違点２について）
　引用発明において「検出し」た「規則的な像１９２となる繰返しパターンに対応した液晶素子の位置を記憶させ」る際に、異物を含めないようにすべきことは当業者が当然考慮すべき事項で容易に想起できるものであるから、そのために、例えば、複数の製品ウェハ１１１の回折光１９１を検出する等して、規則性のある繰り返しパターンからの回折光１９１を異物からの散乱光と区別して判断するような回路を備えるようにして、相違点２に係る本願発明の如くすることは、当業者が容易になし得たというべきである。
（相違点３について）
　（相違点１について）で述べたような、散乱光のうちのどの部分が通常の散乱パターンを含むかを判断する回路を備えた場合に、「前記欠陥信号を受け取り、それを用いて前記ワークピースの表面分析を行う処理回路」をその「判断する回路」に含めることは、当業者が装置の回路構成における部品点数を少なくする等を考慮しながら適宜なし得る設計的事項であり、容易になし得たというべきである。
（効果について）
　本願発明の奏する効果は、引用発明から、当業者が予測できる範囲のものであり、格別顕著なものとはいえない。
　
７　むすび
　本願発明は、引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができないから、その余の請求項について論及するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。