【事件の表示】
　上記当事者間の特許第１６０９２２６号「微小領域Ｘ線デイフラクトメ−タ−」の特許無効審判事件についてされた平成　６年　７月１５日付け審決に対し、東京高等裁判所において審決取消の判決（平成１１年（行ケ）第８１号、平成１１年　６月　９日判決言渡）があったので、さらに審理のうえ、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第１６０９２２６号の請求項１に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は被請求人の負担とする。
【理　由】
１　手続の経緯
　本件特許第１６０９２２６号に係る出願は、昭和５３年１０月３０日に出願され（特願昭５３−１３４３８８号）、平成１年１０月１１日における出願公告（特公平１−４６８２２号）を経て、平成３年６月２８日に特許の設定の登録がされたものであり、平成４年２月３日に本件特許に対して特許の無効審判が請求され、平成６年７月１５日に上記請求は成り立たないとする審決がされた。
　その後、平成８年１１月１９日に本件の願書に添付した明細書の特許請求の範囲及び発明の詳細な説明の記載を訂正する旨の訂正審判が請求され、平成９年７月１４日に上記訂正を認める旨の審決がされ、訂正が確定し、東京高等裁判所において、上記平成６年７月１５日付け審決を取消す判決（平成１１年（行ケ）第８１号、平成１１年６月９日判決言渡）がされた。
　
２　本件発明
　本件特許に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、上記訂正後の明細書及び図面からみて、その特許請求の範囲に記載された次のとおりのものと認められる。
　「多数の結晶粒から成る試料と、
Ｘ線源と、
該Ｘ線源からのＸ線をコリメートして前記試料上の微小領域に照射するための手段と、
前記試料上のＸ線照射位置を観察するための光学顕微鏡と、
前記Ｘ線の光路を含む面内に前記試料によって回折されるＸ線の所望角度範囲をカバーするように試料の回りに半円状を成して配置された位置感応型Ｘ線検出器と、
前記光学顕微鏡を用いて試料の所望の微小領域を測定位置に位置付けるため前記試料の位置を微調整するための調整機構と、
前記検出器からの信号を処理し位置情報を得る回路と、
この信号を一定期間積算的に記憶する手段と、
該信号を積算的に記憶する測定期間中、その先端に前記試料を保持する回転軸（φ）を連続的に回転させると共に該試料を前記回転軸（φ）とは垂直なχ軸の回りに連続的に回転させるための試料駆動機構と、
前記記憶された信号を読み出し、表示する手段と
から構成したことを特徴とする微小領域Ｘ線デイフラクトメーター。」
　
３　引用例及びその記載事項
　甲第１号証；ＡＤＶＡＮＣＥＳ　ＩＮ　Ｘ−ＲＡＹ　ＡＮＡＬＹＳＩＳ　Ｖｏｌ．２０」（１９７７年，Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｄｅｎｖｅｒ、ｐ．５２９−５４５）（以下、「引用例１」という。）
　「粉末試料と、その試料にＸ線をコリメートして照射するための手段と、試料によって回折されるＸ線の所望角度範囲をカバーするように配置された位置感応型のＸ線検出器と、検出器からの信号を処理し位置情報を得る回路と、この信号を一定期間記憶する手段と、前記試料を保持する回転軸を回転させるための手段とからなるＸ線デイフラクトメーター」が記載され、位置感応型のＸ線検出器に関して、次のとおり記載されている。
　「粉末回折法への応用を伴った新しい比例計数管Ｘ線検出器が開発された。この新しい検出器は、実質的に完全な回折スペクトルを、良好な効率と角度分解能とをもって収集する。したがって、小さな試料の粉末スペクトルを、フィルムまたは従来の粉末デイフラクトメータを使う場合よりも非常に高速に得ることができる。検出器の出力はデジタルであって、専用のミニコンピュータに接続される。」（５２９頁７〜１３行）
　「粉末回折法は、試料の同定をするのに有用で強力な手段であり、好ましい条件（反射が強くて指標を指定できる場合）では、結晶構造を決定することも可能である。この粉末法は、ランダムな方向を向いた小さな結晶粒を必要とし、そのために、この方法は、比較的弱くてしばしば密集している反射群によって特徴づけられる。現在入手できるカメラとデイフラクトメータは、それぞれ通常のＸ線フィルム帯か、コリメートされた移動計数管検出器を用いているが、弱い強度を補う何の手段もない。要望されているものは、広い角度範囲をカバーする検出器であって、かつ、目的のエネルギーにおいてＸ線放射に対する高い効率を備えるものであり、さらに、有限のビーム・コリメーションや、ビームエネルギーの広がりや試料の寸法といった制限条件に少なくとも匹敵するだけの角度分解能を備えることである。このような検出器は、理想的には、電子的な読み出し方法を備えるべきであり、これにより、コンピュータでデータを入手、記憶、処理そして表示すること可能になる。」（５２９頁１６〜２９行）
　「我々は位置感応型の単線式比例検出器を開発したが、これは、上述の検出器仕様に適合するものである。」（５２９頁下から４〜３行）
　「理想的な適用例とは、そして最近までは無視されてきた全く驚くべき適用例とは、Ｘ線粉末回折法である。この適用例に対して検出器を設計するときの基本的な問題は幾何学的なものであった。好ましいイメージング表面は、平面ではなくて、むしろ、ビーム軸に直交していて試料上に中心が来るような真正の円筒である。散乱平面では、粉末リングの座標は回折角度２θに比例する。
　我々が開発した比例検出器の独特の特徴は、その円筒形状にある。すなわち、陽極ワイヤーと読み出し平面とが散乱平面内で円弧状にカーブしている。このことは、読み出しが２θに正確に比例するという利点をもたらし、この場合、検出器はコリメートもされないし、機械的に走査されることもない。」（５３２頁１４〜２６行）
　「理想的には、このワイヤ一式検出器は２θで１８０°をカバーするはずである。我々の陽極ワイヤー形成方法は、この可能性を容易には満たさない。・・・我々は、・・・検出器の最適な角度スパンを実験的に決定し、結果として、半径１３５ｍｍで約７０°を得た。我々は、このスパンと、回折パターンに固有の対称性とを利用して、３個の別個の独立した検出器を配置することを採用した。これらの検出器は ・・・粉末試料を中心とする１つの真空チャンバーの周辺に設置される（図２を参照）。この方法では、ユーザーはほぼ１８０°に近いスペクトルを得ることができる。実際の構造は入射コリメータと出射ビームストッパとを含み、この出射ビームストッパは背面方向の１５°と前方方向の３°とを遮断する。したがって、実際には、２θで３〜１６５°を同時に観測できる。」（５３２頁下から１４〜２行）
　また、粉末試料について、「試料は、可能な最良の２θ分解能となるように準備された。すなわち、この粉末はキャピラリーの内部に詰められ、試料幅は２００μｍのオーダーとなる。これらの細い試料は、ラインフォーカスと相まって、ビームの発散を約０．０８°の半価幅に制限している。」（５３４頁下から３行〜５３５頁１行）と記載され、試料の１軸回転について、「図９は、１ｋＷのＣｕのＸ線管で発生したＸ線ビーム中で２００μｍの試料を回転させて１２０秒間測定したときの水晶のスペクトルである。」（５４１頁１６〜１７行）と記載されている。
　
　甲第８号証；ＴＨＥ　ＲＥＶＩＥＷ　ＯＦ　ＳＣｌＥＮＴＩＦＩＣ　ＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ、Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．５」（１９４９年、ｐ．３６５−３６６）（以下、「引用例２」という。）
　「単結晶試料と、Ｘ線源と、該Ｘ線源からのＸ線をコリメートして前記試料に照射するための手段と、前記試料の位置を調整するための調整機構と、前記試料を保持する回転軸を連続的に回転させると共に該試料を前記回転軸とは垂直な軸の回りに連続的に回転させるための試料駆動機構とから構成したＸ線デイフラクトメーター」が記載され、「単結晶を粉末にすることなく単結晶の同定をすることがときどき要求される。」（３６５頁右欄本文１〜２行）、「同定の目的のためには単結晶から直接粉末データが得られれば便利である。このことは、Ｘ線ビーム中に配置した結晶に、非常に多数の方向性を与えることによって達成される。」（３６５頁右欄本文１２〜１５行）、「モータ（１２）の運動が歯車（１３）を介して大きな平歯車に伝達されると、試料ホルダーはコリメータの軸の回りに回転する。同時に、円板（４）はコリメータ軸に垂直な軸の回りに試料を回転させる。このようにして、結晶は互いに垂直な２つの軸の回りに回転する。パターンは、ビームの軸の回りで結晶とは反対方向に回転する平坦なフィルム上に記録される。」（３６５頁右欄本文下から５行〜３６６頁左欄３行）、「上述の平坦なカセットを、日常の同定に使う粉末カメラと半径を同じにした半円筒状のカセットに置き換えれば、より改良されるであろう。」（３６６頁右欄２〜５行）と記載されている。
　
　甲第１０号証；「材料、第２１巻、第２２７号」（昭和４７年８月、ｐ．８０７−８１５）（以下、「引用例３」という。）
　「多数の結晶粒からなる試料と、Ｘ線源と、該Ｘ線源からのＸ線をコリメートして前記試料に照射するための手段と、前記試料を保持する回転軸の回りに振動させると共に該試料を前記回転軸とは垂直な軸の回りに振動させるＸ線による応力測定装置」が開示され、次のとおり記載されている。
　「結晶質材料中に存在する微視的組織の観察手段としての細束Ｘ線回折法は次の３つの大きな利点を有している。まず他のＸ線回折法と共通の特徴として、（１）・・・材料を破壊することなく観察することが可能であること、さらに材料に照射されるＸ線束の直径が小さいため・・・、（２）回折像の分解能がよく結晶変形のより詳細な定量的観察が可能であること、ならびに（３）Ｘ線照射域の大きさが数１０〜１００μ程度であり材料が不均一に変形している場合などその一部分の領域の変形を選択して観察することが可能であることの３点である。」（８０７頁左欄２〜１４行）
　「エックス線カメラの中に光学顕微鏡が組込まれ、顕微鏡の光軸と入射Ｘ線束の軸とを一致するように工夫されて試料の随意の位置に細束エックス線束を照射することが可能となったカメラも現在数種市販されている。さらに微小領域Ｘ線応力測定法のために試料およびフィルムカセットに振動装置が付加されたカメラもある・・・」（８０７頁右欄３〜９行）
　「塑性変形があまり大きくない材料から試料・フィルムの静止状態で得られる細束Ｘ線回折像は通常連続環となっていない。しかし、結晶振動法を導入し試料を写真撮影中にＸ線軸およびそれに垂直な軸（図２１参照）のまわりに小さい角度範囲で振動させることにより、Ｘ線束の照射位置を変化させることなく回折にあずかる結晶粒の数を倍加させ得る。そのため振動条件を適当に定めると、焼きなまし材あるいは塑性変形があまり大きくない材料のときにもデバイ環全周に渡って連続した回折像が得られる。」（８１３頁右欄１０〜１９行）と記載されている。
　
　甲第１３号証；「材料、第２７巻、第２９４号」（昭和５３年３月、ｐ．２１６−２２０）（以下、「引用例４」という。）
　「放射線の位置および強度分布を純電子的に計測する位置検出型比例計数管」（２頁左欄２〜３行）をＸ線応力測定に応用すると、「とくに従来写真法しか適用できなかった微小領域の残留応力測定が可能と考えられ」（２頁左欄１０〜１１行）ること、「Ｘ線応力測定用の位置検出型比例計数管ＰＳＰＣの試作とその性能試験およびＸ線応力測定についての基礎実験を行っ」（６頁左欄７〜９行）たこと、「測定時間は従来の計数管方式に比較して著しく短縮された」（６頁左欄１３〜１４行）ことが記載され、今後「細束Ｘ線を用いた応力測定に本方式を適用して、時間の短縮化、精度向上を図る」（６頁左欄１９〜２１行）ことが記載されている。
　
　甲第１５号証；「日本結晶学会誌、第１８巻、第３０号」（１９７６年、ｐ．３０‐３４）（以下、「引用例５」という。）
　「粉末や金属箔さらには岩石薄片などの試料と、その微小領域にＸ線をコリメートして照射するための手段と、光学顕微鏡と、試料によって回折されるＸ線の所望角度範囲をカバーするように走査するドーナツ型中空筒のＸ線検出器とからなる微小領域Ｘ線デイフラクトメーター」が記載され、該微小領域Ｘ線ディフラクトメーターの開発の背景として、「Ｘ線ディフラクトメータには、集中法を用いた粉末法Ｘ線ディフラクトメータ、４軸ゴニオメータを備えた単結晶解析用Ｘ線ディフラクトメータなどがある。粉末法Ｘ線ディフラクトメータは試料の同定分析、定量分析、状態の研究など広い応用分野に使われている。しかしこの装置は試料の全体から情報を得、試料全体がどういう物質から成っているか、どういう状態にあるのかを研究するために用いられており、試料の局部（例：介在物、析出物など）がどのような物質構成で、どのような状態になっているかを議論するには不得意な装置である。
　従来このような微小部分の研究には微小焦点Ｘ線発生装置を用い、微小部の研究にふさわしいＸ線カメラが用いられてきた。しかしこれらのＸ線カメラには次のような欠点があった。
（１）微小部にＸ線を照射することから、回折に寄与する結晶粒子の数が少なくなり、しばしば回折像がデバイリングにならず放射状の回折斑点として現われることがあり、データは得られても解析不能な例が多かった。
（２）測定時間を短縮したいことからカメラ長を短くする。このことから測定精度が低下し、同定が困難になってくる。
（３）測角範囲が限定されやすく、解析に必要かつ十分な回折線の数が得難い。
　これらの欠点をなくしたのがこの新しいＸ線ディフラクトメータであり、これをマイクロディフラクトメータと呼んでいる。」（３０頁本文２〜１７行）と記載されている。
　また、該マイクロディフラクトメータに関して、次のとおり記載されている。
　「本ディフラクトメータの基本的原理図を第１図に示した。すなわち、Ｘ線を試料に入射させ、試料からの回折円錐全体をリング状受光スリットを用いて同時に受光する方法である．リング状受光スリットは入射Ｘ線光軸を軸とした同心円の位置に配置され、そのすぐ後に計数管が配置されている。回析角（２θ）の測定はリング状受光リットと計数管とを同時に入射Ｘ線光軸にそって走査することにより行なわれる。この走査はＣｏｔ送り機構を組み込むことにより、回折角等速送りとされている。」（３０頁本文１９〜３１行）
　「反射法の測定は透過法測定系のシンチレーション計数管とリング状受光スリットを反射法専用の比例計数管とそのリング状受光スリットに置き換えることで行なわれる。この反射法専用比例計数管はこの目的のために開発したものであり、ドーナッツ型中空筒の比例計数管である。」（３１頁６〜１２行）
　「測角範囲は透過法の場合、２θ＝５°〜６０°、反射法の場合、２θ＝３０°〜１５０°である。
　測定に用いるコリメータの大きさは透過法、反射法ともに３０μｍφ、１００μｍφである。」（３１頁１５〜１６行）
　
　甲第１８号証；「１６ｔｈ　ａｎｎｕａｌ　ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ　ｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ　ｐｈｙｓｉｃｓ　１９７８」（Ａｐｒｉｌ１８−２０、１９７８、ｐ．５６−５８）（以下、「引用例６」という。）
　「マイクロディフラクトメーターを用いた１０μｍスポット内のひずみの決定」（表題）に関し、「特に薄膜上の小さな領域にＸ線をコリメートして照射するための手段と、光学顕微鏡と、試料によって回折されるＸ線の所望角度範囲をカバーするように走査するドーナツ型中空筒のＸ線検出器とからなる微小領域Ｘ線デイフラクトメーター」が記載され、該微小領域Ｘ線デイフラクトメーターが試料の微小領域のひずみの測定に用いられることが記載されている。
　この微小領域Ｘ線デイフラクトメーターは、引用例５記載のものと同じ構成からなるものと認められる。
　
　甲第２３号証；ＪＡＰＡＮＥＳＥ　ＪＯＵＲＮＡＬ　ｏｆ　ＡＰＰＬＩＥＤ　ＰＨＹＳＩＣＳ，Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．６，ｐ．１１６１−１１６２（１９７８年６月５日）（以下、「引用例７」という。）
　「新湾曲形位置敏感形Ｘ線検出器」（表題）に関し、「この新形湾曲形検出器は、回折角２θで１６０°をカバーする。」（１１６１頁左欄下から１０〜９行）こと、「陽極芯線は５ｃｍの半径で曲げられ、１７０°２θの広い角度範囲にわたって弾性的に支持されている。」（同右欄３〜５行）こと、「検出器のテストはシリコン粉末試料からのデバイ環の測定で行った。湾曲形検出器はワイセンベルグカメラに取りつけ、測定中は試料を回転させた。」（同右欄下から４行〜１１６２頁左欄１行）ことが記載され、第１図（１１６１頁）には、「湾曲形Ｘ線検出器試作機の電極配置」が記載され、円弧状のＸ線検出器がその中心に配置された試料Ｓに入射するＸ線の光路を含む面内に配置されていること、及び該検出器の単一の陽極芯線Ａの角度範囲は１７０°であることが認められる。
　
４　本件発明と引用例１記載の発明との対比
　本件発明と引用例１記載の発明とを対比すると、
「試料と、
Ｘ線源と、
該Ｘ線源からのＸ線をコリメートして前記試料上の領域に照射するための手段と、
前記Ｘ線の光路を含む面内に前記試料によって回折されるＸ線の所望角度範囲をカバーするように試料の回りに配置された位置感応型Ｘ線検出器と、
前記検出器からの信号を処理し位置情報を得る回路と、
この信号を一定期間積算的に記憶する手段と、
該信号を積算的に記憶する測定期間中、その先端に前記試料を保持する回転軸（φ）を連続的に回転させる試料駆動機構と、
前記記憶された信号を読み出し、表示する手段と
から構成したことを特徴とするＸ線デイフラクトメーター。」
で一致し、次の点で相違する。
（１）本件発明は、多数の結晶粒からなる試料の微小領域を測定対象とするのに対して、引用例１記載の発明の測定対象は粉末試料である点。
（２）本件発明の位置感応型Ｘ線検出器が半円状を成して配置されているのに対して、引用例１記載の発明は、３個の別個の独立した円弧状の検出器を配置している点
（３）本件発明は、「試料上のＸ線照射位置を観察するための光学顕微鏡」を備え、「前記光学顕微鏡を用いて試料の所望の微小領域を測定位置に位置付けるため前記試料の位置を微調整するための調整機構」を備えるのに対して、引用例１記載の発明は、光学顕微鏡及び試料位置調整機構を備えていない点。
（４）本件発明の試料駆動機構は、試料を保持する回転軸（φ）を連続的に回転させるとともに「試料を前記回転軸（φ）とは垂直なχ軸の回りに連続的に回転させる」もの、すなわち２軸回転させるものであるのに対して、引用例１記載の発明の試料駆動機構は１軸回転させるものである点。
　
５　相違点についての検討
（１）相違点１についての検討
　本件特許明細書には、「本発明は、多数の結晶粒から成る試料の微小領域のＸ線回折像を取得することのできる微小領域Ｘ線デイフラクトメーターに関する。」（公告公報１欄２２〜２欄２行）、「従来より、物質の構造解析、特に多数の結晶粒から成る物質の構造決定には、Ｘ線回折装置が使用されている。この様なＸ線回折を行うとき、しばしば直径１００μｍ以下の微小領域の情報のみが必要になることがある。このように分析乃至は測定領域が微小になった場合、Ｘ線照射領域中に存在する結晶粒は比較的小数になる。そのため、もし試料７が固定されていたり、あるいはφ軸の回りにしか回転していない場合、照射領域中の結晶粒によってブラッグ反射が生ずる確率は小さなものとなる。又、ブラッグ反射が生じたとしても反射Ｘ線が試料を取囲んで配置される帯状の検出領域に入射する確率は更に小さなものとなる。従って、このような従来の場合には、多数の結晶粒から成る試料の微小領域にＸ線を照射した際に、太いＸ線を試料に照射した場合に得られるところの検出漏れのない回折スペクトルを得ることはできなかった。特に、試料中の結晶粒の結晶格子面の方向分布に偏りがある場合にはこの検出漏れの可能性は更に大きなものとなるため、満足のゆく測定は更に困難であった。」（同２欄４行〜３欄２行）と記載され、「本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、多数の結晶粒から成る試料の所望の微小領域からの回折Ｘ線の測定を、回折線の検出漏れを生ずることなく比較的短時間に行うことのできる微小領域Ｘ線デイフラクトメーターを提供することを目的と」（同３欄４〜９行）すると記載されている。
　このように、従来、多数の結晶粒からなる物質の微小領域の構造決定に使用されているＸ線回折装置では、分析領域ないしは測定領域が微小になった場合、Ｘ線照射領域中に存在する結晶粒は比較的少数になり、照射領域中の結晶粒によってブラッグ反射が生ずる確率は小さく、ブラッグ反射が生じたとしても、反射Ｘ線が試料を取り囲んで配置される帯状の検出領域に入射する確率はさらに小さなものとなるから、検出漏れのない回折スペクトルを得ることはできないという知見の下に、多数の結晶粒からなる試料の所望の微小領域からの回折Ｘ線の測定を、回折線の検出漏れを生ずることなく比較的短時間に行うことのできる微小領域Ｘ線デイフラクトメーターを提供することを目的として、本件発明がなされたことが認められる。
　一方、引用例５には、「試料の局部（例：介在物、析出物など）がどのような物質構成で、どのような状態になっているか」を知るための従来の微小領域の測定（同定分析、定性分析）について、「従来このような微小部分の研究には微小焦点Ｘ線発生装置を用い、微小部の研究にふさわしいＸ線カメラが用いられてきた」が、「微小部にＸ線を照射することから、回折に寄与する結晶粒子の数が少なくなり、しばしば回折像がデバイリングにならず放射状の回折斑点として現れることがあり、データは得られても解析不能な例が多かった。」と記載され、多数の結晶粒からなる試料（以下、「多結晶試料」ということがある。）の微小領域にＸ線を照射してその回折Ｘ線を検出して測定を行うこと及びその際の技術的課題がよく知られていたことが認められる。
　そして、この技術的課題を解決するために、引用例５に記載されたマイクロデイフラクトメータは、移動するリング状ないしドーナッツ型の受光スリットを備えた比例計数管を用いて、回折角の広い範囲にわたって、回折Ｘ線を測定するようにしたものと認められる。
　したがって、本件出願前には、多結晶試料の微小領域を対象とするＸ線回折による定性分析において、Ｘ線フィルムによる測定に代わり、比例計数管を用いた測定が実現されていたということができる。
　また、引用例６には、試料の微小領域の応力測定に微小領域Ｘ線デイフラクトメータを用いることが記載され、微小領域の応力測定と微小領域の定性分析とはＸ線回折分野で技術的に密接な関係があることが認められ、引用例４には、試料の微小領域の応力測定において、回折Ｘ線の検出器として位置感応型比例計数管を用いることが記載されている。応力測定の場合は位置感応型比例計数管は、一つの回折円を得ることができればよいものであるが、位置感応型検出器を用いて広い角度範囲の多数の回折円（像）を検出することができ、定性分析を行なうことができれば、当業者であれば、試料の微小領域の定性分析に応用しようと試みることはごく自然な発想であると認められる。
　そうすると、引用例１記載の発明のＸ線デイフラクトメータが、位置感応型比例計数管を用いて広い角度範囲の多数の回折像を検出して粉末試料の定性分析を行なうもので、「小さな試料の粉末スペクトルを、フィルムまたは従来の粉末デイフラクトメータを使う場合よりも非常に高速に得ることができる」ものであってみれば、引用例１記載の位置感応型比例計数管を用いるＸ線デイフラクトメータを用い、かつ対象試料の変更に伴う設計変更を適宜行いつつ多結晶試料の微小領域の定性分析を試みることは当業者が通常の研究開発において容易になし得ることといわざるを得ない。
　被請求人は、引用例１記載の発明が、「線状（板状）」にコリメートされたＸ線ビームを試料に照射している点を本件発明の相違点とするべきであると主張するが、本件発明も測定対象に適合するようにコリメートしていることに相違はなく、該コリメート手段は、測定対象を微小領域とすることにより当然に「該Ｘ線源からのＸ線をコリメートして前記試料上の微小領域に照射するための手段」とされることは明らかである。よって、被請求人の主張は採用できない。
　また、被請求人は、引用例１記載の発明では微量試料の分析はできるが、微小領域の分析はできない、すなわち、引用例１記載の発明は、線状のビームを用い、粉末試料を詰めたキャピラリーをＸ線軸に直交する軸においてのみ回転するもので、微小領域を対象とする場合には、微小領域以外にもあたってしまい、微小領域の分析は不可能であり、微小領域の測定を行なおうとする動機さえ起こらないものであると主張する。
　たしかに引用例１記載の発明の測定対象は粉末であり微量試料である。しかしながら、微小領域を測定対象として測定することは出願前に広く行なわれていたことが認められ、引用例１には「Ｘ線の光路を含む面内に前記試料によって回折されるＸ線の所望角度範囲をカバーするように試料の回りに配置された位置感応型Ｘ線検出器」を用いる検出システムが微量粉末試料の定性分析に用いて顕著な作用効果を発揮していることが開示されているから、引用例１に接した当業者であれば、これを微小領域を対象とする定性分析に用いようとすることは容易に想到し得るものである。
　そして、引用例１記載の発明が試料の１軸回転を採用しているのは、測定対象が粉末試料であることを考慮して採用しているもので、測定対象を微小領域とすれば測定対象に適合するようにＸ線の照射機構ないし試料回転機構等に設計変更を講じることは当業者にとって当然である。
（２）相違点２についての検討
　引用例１には、位置感応型Ｘ線検出器について、「我々が開発した比例検出器の独特の特徴は、その円筒形状にある。すなわち、陽極ワイヤーと読み出し平面とが散乱平面内で円弧状にカーブしている。」「理想的には、このワイヤ一式検出器は２θで１８０°をカバーするはずである。」「我々は、・・・３個の別個の独立した検出器を配置することを採用した。（略）この方法では、ユーザーはほぼ１８０°に近いスペクトルを得ることができる。」と記載され、引用例７には、Ｘ線の光路を含む面内に配置され、試料の回りに回折角２θで１６０°をカバーして配置された円弧状の位置感応型Ｘ線検出器が記載されている。したがって、引用例１記載の装置の位置感応型Ｘ線検出器として半円状の検出器を当業者が採用することに困難性は認められない。
　被請求人は、本件発明の半円状の検出器は、Ｘ線ビームの微小領域への照射と試料の２軸回転と密接に関連した構成であると主張するが、試料からの回折線の所望角度範囲を定性分析に必要な範囲とする点では、本件発明も引用例１記載の発明と軌を一にするものである。
（３）相違点３についての検討
　試料の微小領域の測定のためには、所望の微小領域にＸ線を照射する必要があることは明らかで、引用例５及び引用例６に記載されているように、微小領域Ｘ線デイフラクトメーターにおいて、光学顕微鏡を用いて位置合わせを行うことは知られているから、引用例１記載の装置において、微小領域を測定する際に、「試料上のＸ線照射位置を観察するための光学顕微鏡」を備え、「前記光学顕微鏡を用いて試料の所望の微小領域を測定位置に位置付けるため前記試料の位置を微調整するための調整機構」を備えるようにすることは、当業者が容易になし得ることと認められる。
（４）相違点４についての検討
　本件発明の試料の２軸回転の技術的意義は、明細書の記載によれば、多数の結晶粒から成る試料の微小領域ではＸ線照射領域中に存在する結晶粒は比較的小数であり、もし試料が固定されていたり、あるいはφ軸の回りにしか回転していない場合、検出漏れのない回折スペクトルを得ることはできず、特に、試料中の結晶粒の結晶格子面の方向分布に偏りがある場合にはこの検出漏れの可能性は更に大きく、満足のゆく測定は困難であったが、試料の２軸回転を採用したことによって、比較的短時間な測定期間内において考えれば、Ｘ線照射微小領域内の結晶粒の結晶格子面の方向分布は充分ランダマイズでき、試料のＸ線照射領域中に比較的少数の結晶粒しか存在しないにもかかわらず、検出器の信号を蓄積して得られた信号は、Ｘ線照射領域中にランダムな方向分布を有する多数の結晶粒が存在する場合に得られるようなピーク検出の漏れがない連続した回折スペクトル信号となり、特に、結晶粒の結晶格子面の方向の分布に偏りがある場合であっても、前記φ軸とχ軸の回りの回転によりこの偏りがあることによる検出漏れの発生を大きく改善できるため、充分測定が可能となるというものである。
　ところで、引用例２には、「Ｘ線ビーム中に配置した結晶に、非常に多数の方向性を与える」ために、単結晶試料を２軸回転することが記載され、これは、単結晶から直接に、粉末を測定対象とする際に得られるデータと同等のものを得るためであり、２軸回転により回折に寄与する結晶格子面をランダムな方向に向かせるものである。すなわち、単一の単結晶であっても、２軸回転を行なえば、結晶格子面の方向分布は充分ランダマイズでき、Ｘ線照射領域中にランダムな方向分布を有する多数の結晶粒が存在する場合に得られるような検出漏れがない回折像を得ることができることを開示するものである。
　また、引用例３には、多結晶試料の微小領域に照射されるＸ線に対して多結晶試料を２軸回転させることによって、Ｘ線回折像が連続環となっていない場合でも、「デバイ環全周に渡って連続した回折像が得られる。」ことが記載され、多結晶試料の２軸回転によって、Ｘ線照射微小領域内の結晶粒の結晶格子面の方向分布をランダマイズでき、試料のＸ線照射領域中に比較的少数の結晶粒しか存在しないにもかかわらず、Ｘ線照射領域中にランダムな方向分布を有する多数の結晶粒が存在する場合に得られるような検出漏れがない回折像を得ることができることを開示するものである。
　引用例２、３に記載されているように、Ｘ線照射領域内に少数の（あるいは一つの）結晶粒しかない場合でも、漏れのない粉末Ｘ線回折パターンを得ようとして、Ｘ線照射微小領域内の結晶粒の結晶格子面の方向分布を充分ランダマイズするために試料の２軸回転を行なうことが知られており、粉末試料に対して回折にあずかる結晶粒を増加させるために必要に応じて試料を回転させることは周知（吉田・田中著「物質の結晶構造とＸ線」１３０〜１３１頁（株式会社三省堂）昭和１４年８月２０日４版発行）であり、引用例１の試料の１軸回転も回折にあずかる結晶粒を増加させ、結晶格子面の方向分布を充分ランダマイズするためのものであることは明らかであるから、引用例１記載の装置においても試料駆動機構を２軸回転のための機構とすることは、当業者であれば適宜なし得ることと認められる。特に、引用例３は、多結晶試料の微小領域に照射されるＸ線に対して、試料を２軸回転させることを開示するものであってみれば、引用例１記載の装置において、多結晶試料の微小領域を測定しようとする際に、試料の２軸回転を行なわせようとすることは当業者にとって容易に採用することができるものである。
　被請求人は、引用例２記載のものは、単結晶試料の回転軸の回りの周面に順次Ｘ線が照射され、Ｘ線照射領域が変化し微小領域は測定できず、微小領域の測定における２軸回転を示唆するものではないと主張するが、引用例２は、単一の単結晶であっても、２軸回転を行なえば結晶格子面の方向分布は充分ランダマイズでき、粉末試料と同様のデータを得て試料の同定を可能とすることを開示しており、結晶格子面の方向分布をランダマイズするための２軸回転という技術的意義は、対象が単結晶であっても微小領域であっても変るところはない。また、測定対象が微小領域であれば微小領域にＸ線照射領域を限定することは当然である。例えば、引用例３に記載の微小領域にＸ線を照射して回折像を観察するものにあっては、Ｘ線照射領域を微小領域に限定して試料の２軸回転を行なうことを開示している。
　また、被請求人は、引用例３記載のものは、応力測定のために、特定の１つの円環状の像について連続した像を得るものであり、単一の回折角に対する測定であって、広い角度範囲にわたり漏れのない回折パターンを得ようとするものではないから、多結晶試料の微小領域分析において試料の２軸回転を採用することを示唆するものではないと主張する。
　しかしながら、応力測定はＸ線デイフラクトメーターに密接に関連する技術であって、多結晶試料の微小領域にＸ線を照射するものであり、単一の回折角に対する測定であっても、漏れのない粉末Ｘ線回折パターンを得ようとするために、特定の微小領域にＸ線を照射しつつ２軸回転を行なって、Ｘ線照射微小領域内の結晶粒の結晶格子面の方向分布を充分ランダマイズする点では本件発明と共通しているから、Ｘ線デイフラクトメーターによる多結晶試料の微小領域分析に際して、その技術を転用することは当業者にとっては困難ではない。
　さらに、被請求人は、引用例３のものは、実際には入射Ｘ線軸の回りへの振動はフィルムカセットをＸ線軸の回りに振動させているもので、回折に寄与する結晶粒を増加させることについては１軸回転を示唆しているだけであり、本件発明のような試料自体を２軸回転する機構は記載されていないと主張する。
　しかしながら、引用例３の記載は、Ｘ線照射微小領域内の結晶粒の結晶格子面の方向分布を充分ランダマイズするための試料の２軸回転を開示するものであることは明らかである。なお、本件発明の実施例（第１、２、５、６図）においても、χ軸の回りの回転は入射Ｘ線軸の回りの回転である。
　
６　作用効果についての検討
　本件発明の作用効果について、明細書には、「比較的短時間な測定期間内において考えれば、Ｘ線照射微小領域内の結晶粒の結晶格子面の方向分布は充分ランダマイズでき、試料のＸ線照射領域中に比較的少数の結晶粒しか存在しないにもかかわらず、検出器の信号を蓄積して得られた信号は、Ｘ線照射領域中にランダムな方向分布を有する多数の結晶粒が存在する場合に得られるようなピーク検出の漏れがない連続した回折スペクトル信号となる。従って、多数の結晶粒から成る試料の微小領域のＸ線回折分布を比較的短時間のうちに良好に行うことができる。特に、結晶粒の結晶格子面の方向の分布に偏りがある場合であっても、前記φ軸とχ軸の回りの回転によりこの偏りがあることによる検出漏れの発生を大きく改善できるため、充分測定が可能となる。」（７欄８行〜８欄４行）と記載され、訂正後の発明においては、「試料の回りに半円状を成して配置された位置感応型Ｘ線検出器」を備えることにより、微小領域の定性分析を可能とすることが認められるから、本件発明は、「多数の結晶粒からなる試料の所望の微小領域からの回折Ｘ線の測定を、回折線の検出漏れを生ずることなく比較的短時間に行うことができ、定性分析が可能である微小領域Ｘ線デイフラクトメーター」を得ることができたものと認められる。
　このうち、まず、「多数の結晶粒からなる試料の所望の微小領域からの回折Ｘ線の測定」ができるということ自体は、微小領域Ｘ線デイフラクトメーターに関しての基本的機能そのものである。
　そこで、「回折線の検出漏れを生ずることなく比較的短時間に行うことができ、定性分析が可能である」という作用効果について検討する。
　引用例２、引用例３記載の技術は、直交する２つの回転軸の回りに試料を連続的に回転させ、これにより、試料を多数の方向に向かせて、Ｘ線照射領域内に少数の（あるいは一つの）結晶粒しかない場合でも、漏れのない粉末Ｘ線回折パターンを得ようとするものであることが認められ、引用例２、引用例３には、回折Ｘ線が「回折線の検出漏れを生ずることなく」測定できるという作用効果が記載されていることが認められる。
　また、引用例１には、「この新しい検出器は、実質的に完全な回折スペクトルを、良好な効率と角度分解能とをもって収集する。したがって、小さな試料の粉末スペクトルを、フィルムまたは従来の粉末デイフラクトメータを使う場合よりも非常に高速に得ることができる。」（５２９頁８〜1２行）と記載され、この記載によれば、引用例１には、位置感応形Ｘ線検出器を用いることによって、回折Ｘ線の測定を「比較的短時間に行うことができる」という作用効果が記載されているということができる。
　さらに、引用例７には、回折角２θで１６０°をカバーする検出器を用いて粉末試料に対する定性分析を行うことが記載され、引用例７記載の検出器と本件発明の半円状を成す検出器とを比較して、定性分析における作用効果に顕著な相違は認められない。
　したがって、回折Ｘ線の測定を「回折線の検出漏れを生ずることなく比較的短時間に行うことができ、定性分析が可能である」という作用効果は、上記のような個々の構成を採用することにより生ずるであろうことは、当業者が当然予測できることであって、格別のものとはいえない。
　被請求人は、多数の結晶粒からなる試料の所望の微小領域から回折Ｘ線の測定を広い角度範囲（半円状）にわたって実行することができる装置は、本件発明以前に存在しなかったもので、本件発明は、あくまで多結晶試料の微小領域の定性分析を目的として半円状の検出器を用い、試料の微小領域へのＸ線ビームの照射といずれの引用例にも記載されていない新規な試料の２軸回転機構の構成と相まって、「多数の結晶粒からなる試料の所望の微小領域からの回折Ｘ線の測定を、回折線の検出漏れを生ずることなく比較的短時間に行うことができ、定性分析が可能である」という作用効果が達成されたものであると主張する。
　しかしながら、位置感応型検出器を用い試料回転を行ないつつ回折Ｘ線の測定を広い範囲で実行する引用例１記載の装置を多結晶試料の微小領域の定性分析に用いること、その際試料を２軸回転させることが、当業者にとって容易に推考し得るものであることは、先に示したとおりであり、引用例１記載の装置が回折Ｘ線の測定を比較的短時間に行うことができるという作用効果を奏し、試料の２軸回転の作用効果が回折線の検出漏れをなくすることであってみれば、本件発明の作用効果は当業者が予測し得る範囲を越えるものではないといわざるを得ない。
　
７　むすび
　以上のとおり、本件特許発明は、本件出願前に頒布された引用例１〜７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許は特許法２９条２項の規定に違反してなされたものであり、平成５年改正前の同法１２３条１項１号に該当し、無効とすべきものである。
　審判に関する費用については、特許法１６９条２項の規定で準用する民事訴訟法６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。