(57)【要約】【課題】密着状態にあるガラス基板を一気に剥がすことの出来る剥離装置および剥離方法を提供すること。【解決手段】密着状態にある２つの基板を剥離する装置であって、前記２つの基板のうち一方の基板の外側の面を固定して載置する載置台と、前記２つの基板の境界に高圧エアーを吹き込む高圧エアー吹き込み手段とを有する基板剥離装置を提供する。なお、前記高圧エアー吹き込み手段のすべてのうち、前記角部の高圧エアー吹き込み手段が最初に高圧エアーを吹き込むように制御する制御手段を有することが望ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
密着状態にある２つの基板を剥離する装置であって、
前記２つの基板のうち一方の基板の外側の面を固定して載置する載置台と、
前記２つの基板の境界に高圧エアーを吹き込む高圧エアー吹き込み手段とを有することを特徴とする基板剥離装置。
【請求項２】
前記載置台が四角形であり、
前記高圧エアー吹き込み手段が、前記載置台の角部および三辺あるいは四辺の周囲に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板剥離装置。
【請求項３】
前記高圧エアー吹き込み手段のすべてのうち、前記角部の高圧エアー吹き込み手段が最初に高圧エアーを吹き込むように制御する制御手段を有することを特徴とする請求項２に記載の基板剥離装置。
【請求項４】
前記２つの基板のうち、前記載置台に固定されている基板でない方の基板を保持する保持手段を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板剥離装置。
【請求項５】
密着状態にある２つの基板を剥離する方法であって、
前記２つの基板の境界に高圧エアーを吹き込む工程を有することを特徴とする基板剥離方法。
【請求項６】
前記高圧エアーを吹き込む工程が、前記基板の角部に最初に高圧エアーを吹き込む工程であることを特徴とする請求項５に記載の基板剥離方法。
【請求項７】
前記高圧エアーを吹き込む工程の前に、前記２つの基板の前記角部の境界部に機械的に隙間を作る工程を有することを特徴とする請求項５あるいは６に記載の基板剥離方法。
【請求項８】
前記高圧エアーを吹き込む工程の後に、前記２つの基板が分離した状態の片方の基板を剥がす工程を有することを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載の基板剥離方法。
【請求項９】
前記密着状態にある２つの基板のうち一方の基板が、
ガラス基板をベース基板とする凹版であって、凹部にカラーフィルタのブラックマトリックス形成用の樹脂が充填されている第１基板であり、
他方の基板がガラス基板である第２基板であり、
該第１基板の該凹部側と該第２基板が向かい合うように接着剤を介して密着されていることを特徴とする請求項５乃至８のいずれかに記載の基板の剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、密着状態にある基板を剥離する装置および方法に関する。特に、ガラス凹版によりカラーフィルタのブラックマトリックスパターンをガラス基板に転写したあとの凹版とガラス基板を剥離する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタのブラックマトリックスを形成する方法として、フォトリソ方式があり実用化されている。
【０００３】
一方、カラーフィルタの製造工程の中のブラックマトリックス形成工程のコストダウンのために、従来のフォトリソ方式に代わる方法が考案されている。これがガラス凹版を用いてブラックマトリックスをガラス基板に転写する方式である。
【０００４】
この転写方式は、ガラス凹版を用いてブラックマトリックスを形成する方法で、この凹版にブラックマトリックス材と接着剤をのせて、カラーフィルタ用ガラス基板に、この接着剤とブラックマトリックス材を転写させる。
【特許文献１】特開２００５‐４８２７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この転写方式においては、転写後、ガラス凹版をこのカラーフィルタ用ガラス基板から剥離しなければならない。剥離する際は、ガラスにはほとんど弾性域がないため、わずかに撓むか、あるいは一気に剥がすしかない。
【０００６】
しかし、大気圧の影響で一気に剥がすことはできず、また、わずかな撓みを利用して剥がすことにも限界がある。
【０００７】
小さい版とガラス基板であれば、ほとんど大気圧の影響を受けずに剥がれるが、３００ｍｍ角を越える大きさになると、撓みを利用しての剥離は難しくなる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、わずかな撓みを利用して一気に剥がすことを目的として、ガラス凹版と転写されるガラス基板との間に、高圧のエアーを吹き込み、分離させる装置および方法を考案した。
【０００９】
請求項１に記載の発明は、
密着状態にある２つの基板を剥離する装置であって、
前記２つの基板のうち一方の基板の外側の面を固定して載置する載置台と、
前記２つの基板の境界に高圧エアーを吹き込む高圧エアー吹き込み手段とを有することを特徴とする基板剥離装置である。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、
前記載置台が四角形であり、
前記高圧エアー吹き込み手段が、前記載置台の角部および三辺あるいは四辺の周囲に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板剥離装置である。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、
前記高圧エアー吹き込み手段のすべてのうち、前記角部の高圧エアー吹き込み手段が最初に高圧エアーを吹き込むように制御する制御手段を有することを特徴とする請求項２に記載の基板剥離装置である。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、
前記２つの基板のうち、前記載置台に固定されている基板でない方の基板を保持する保持手段を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板剥離装置である。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、
密着状態にある２つの基板を剥離する方法であって、
前記２つの基板の境界に高圧エアーを吹き込む工程を有することを特徴とする基板剥離方法である。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、
前記高圧エアーを吹き込む工程が、前記基板の角部に最初に高圧エアーを吹き込む工程であることを特徴とする請求項５に記載の基板剥離方法である。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、
前記高圧エアーを吹き込む工程の前に、前記２つの基板の前記角部の境界部に機械的に隙間を作る工程を有することを特徴とする請求項５あるいは６に記載の基板剥離方法である。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、
前記高圧エアーを吹き込む工程の後に、前記２つの基板が分離した状態の片方の基板を剥がす工程を有することを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載の基板剥離方法である。
【００１７】
請求項９に記載の発明は、
前記密着状態にある２つの基板のうち一方の基板が、
ガラス基板をベース基板とする凹版であって、凹部にカラーフィルタのブラックマトリックス形成用の樹脂が充填されている第１基板であり、
他方の基板がガラス基板である第２基板であり、
該第１基板の該凹部側と該第２基板が向かい合うように接着剤を介して密着されていることを特徴とする請求項５乃至８のいずれかに記載の基板の剥離方法である。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１の発明によれば、密着状態にある２つの基板の境界に高圧エアーを吹き込むことが出来るので、両基板を一気に剥離することが出来る。
【００１９】
請求項２の発明によれば、高圧エアーをさまざまな方向から両基板の境界に吹き込むことが出来るので、剥離の速度を速めることができる。
【００２０】
請求項３の発明によれば、角部に高圧エアーを最初に吹き込むことが出来るので、両基板の剥離のきっかけを作ることが出来、剥離を容易に行うことが出来る。
【００２１】
請求項４の発明によれば、高圧エアーの吹き込みにより剥離した一方の基板を保持することにより他方の基板から剥がすことが出来る。
【００２２】
請求項５の発明によれば、密着状態にある２つの基板の境界に高圧エアーを吹き込むことが出来るので、両基板を一気に剥離することが出来る。
【００２３】
請求項６の発明によれば、角部に高圧エアーを最初に吹き込むことが出来るので、両基板の剥離のきっかけを作ることが出来、剥離を容易に行うことが出来る。
【００２４】
請求項７の発明によれば、高圧エアーを吹き込む工程の前に、２つの基板の角部の境界部に機械的に隙間を作る工程を有するので、両基板の剥離のきっかけを作ることが出来、剥離を容易に行うことが出来る。
【００２５】
請求項８の発明によれば、高圧エアーの吹き込みにより剥離した一方の基板を他方の基板から剥がすことが出来る。
【００２６】
請求項９の発明によれば、接着剤を介して密着している２つの基板の間に高圧エアーを吹き込むことにより、一気に両基板を剥離することが出来る。
なお、エアーを吹き込み、ガラス凹版とガラス基板を分離することは、ガラスにわずかな撓みを生じさせ、また、エアーの量が多ければ、大面積を一度に分離することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
通常、密着あるいは圧着されたガラス２枚を、分離、剥離するには、密着性が良ければ良いほど、２枚のガラス板の間に空気が無いため、機械的にガラス板を支持して引き剥がすことは困難である。
【００２８】
引き剥がすのであれば、わずかずつゆっくり引き剥がし、空気が自然に無理なく隙間に流れ込んでいくのに合わせて、ゆっくり引き剥がさなければならない。無理に引き剥がそうとすると、ガラスが破損してしまう。
【００２９】
そこで、本方式の剥離装置および剥離方法は、その空気の流れを高圧エアーで作ってやり、それを２枚のガラスの間に吹き込むことで、ガラス間の真空状態を解消し、そのエアーによるガラス面の盛り上がりにより、ガラスにわずかな撓みを生じさせ、２枚のガラスの分離を行う。
【００３０】
装置の形態としては、密着したガラス板２枚のまま、真空吸着等の方法で動かないように固定する。空気が入りやすいように、ガラス板の４ヶ所の角部に、くさび状の刃で隙間を作っておく。この隙間に高圧エアーを吹き込み、２枚のガラス板を一部分離させる。
【００３１】
このガラスの外周に、エアーノズルを適宜配置させ、順次エアーを吹き出すか、または、ノズルを各辺に１個ずつ配置し、辺に沿って移動し、全周からまんべんなくエアーを吹き、２枚のガラス板の間に順次エアーを吹き込み、上下のガラスを分離する。なお、このエアーの吹き出し順番を制御する制御手段を具備させることが望ましい。
【００３２】
ほぼ分離が終わったら、上側の分離されたガラス板をエアー吸着等で支持し、下のガラス板から分離する。
【００３３】
なお、上記と同様のことがカラーフィルタ用ブラックマトリックスの接着剤を介した転写にも適用できる。すなわち、密着状態にある２つの基板のうち一方の基板が、ガラス基板をベース基板とする凹版であって、凹部にカラーフィルタのブラックマトリックス形成用の樹脂が充填されている第１基板であり、他方の基板がガラス基板である第２基板であり、該第１基板の該凹部側と該第２基板が向かい合うように接着剤を介して密着されている場合にも適用できる。
【００３４】
図を用いてさらに詳細に説明する。
図１にガラス板２枚（３６０ｍｍ×４６０ｍｍ×０．７ｍｍ厚のガラス板が２枚）を剥離する装置の図を示す。
【００３５】
（図示しない）ガラス板が置かれるベース板（１０２）に穴が４ヶ所あり、そこに吸盤（１０３）が吸着面が図中で上向きになるよう配置されている。ベース板（１０２）にのせられたガラス板は、この４つの吸盤（１０３）に吸着される。レバー（１０５）を図示しない付勢機構により下に下げると、それに連動して吸盤（１０３）が下に下がり、ガラス板がベース板（１０２）に密着し固定される。
【００３６】
図２に剥離装置のノズルから２つのガラス板に高圧エアーを当てる様子の説明図を示す。
エアーチューブ（１０６）がノズル（１０４）に接続されており、ノズル（１０４）から高圧エアーを吹き出す。高圧エアーは、ベース板（１０２）上に密着固定された２枚のガラス板（１０１）の境界に当たるようにする。
この装置では、（図１にも示すように）２枚のガラス板の縁の３辺に向かい合うようにノズル（１０４）が位置している。ノズル（１０４）は、ガラスの縁から２ｍｍ離れたところに５０ｍｍピッチで配置してあり、その直径は２ｍｍで、（図２で点線で示すトンネル状の部分の）長さは５０ｍｍである。
【００３７】
最初、隙間の作られた角部２ヶ所から高圧エアーを吹き、順次、ここに近い位置からエアーの吹き出しを行っていき、ガラス板を分離する。分離された上側のガラス板は、図示しないエアー吸着機構で保持する。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】剥離装置外観図。
【図２】剥離装置のノズルから２つのガラス板に高圧エアーを当てる様子の説明図。
【符号の説明】
【００３９】
１０１・・・ガラス板
１０２・・・ベース板
１０３・・・吸盤
１０４・・・ノズル
１０５・・・レバー
１０６・・・エアーチューブ
【図１】
2007086426.tif 000003
【図２】
2007086426.tif 000004