(57)【要約】      （修正有）【課題】成膜速度が大きい原料と、その原料を用いたガスバリア性能が大きい炭素含有酸化ケイ素からなる組成膜を提供する。【解決手段】アルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物、例えば下式１、４を原料として用い、プラズマ励起化学気相成長法により炭素含有酸化ケイ素からなる膜を形成する。2012140700.tif 0000142012140700.tif 000015【選択図】図１
2012140700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物を原料として用い、化学気相成長法により成膜して得られることを特徴とする、炭素含有酸化ケイ素膜。
【請求項２】
少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物が下記一般式（１）
【化１】
2012140700.tif 000007
（式中、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３は炭素数１〜２０の炭化水素基を表す。Ｒ１，Ｒ２は互いに結合し環状構造を形成してもよい。Ｒ４は炭素数１〜２０の炭化水素基または水素原子を表す。ａは０乃至２の整数、ｌは１以上の整数、ｘは１乃至４の整数、ｙは０乃至３の整数、ｚは０乃至３の整数を表し、ｘ＋ｙ＋ｚは１乃至４の整数を表す。）
である、請求項１に記載の膜。
【請求項３】
少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物が下記一般式（２）
【化２】
2012140700.tif 000008
（式中、Ｒ５，Ｒ６は炭素数１〜２０の炭化水素基を表わす。Ｒ５とＲ６は互いに結合し環状構造を形成してもよい。Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９は炭素数１〜２０の炭化水素基または水素原子を表わし、ｂは０乃至２の整数、ｍは１以上の整数、ｆは１乃至２の整数、ｐは１乃至１０の整数を表わす。）
である、請求項１に記載の膜。
【請求項４】
化学気相成長法が、プラズマ励起化学気相成長法である、請求項１〜３いずれかに記載の膜。
【請求項５】
化学気相成長法が、触媒化学気相成長法である、請求項１〜３いずれかに記載の膜。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の膜を、さらに熱処理、紫外線照射処理または電子線処理して得られることを特徴とする膜。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の膜からなる封止膜。
【請求項８】
下記一般式（３）
【化３】
2012140700.tif 000009
（式中、Ｒ１０，Ｒ１１は炭素数１〜２０の炭化水素基を表わす。Ｒ１０とＲ１１は互いに結合し環状構造を形成してもよい。Ｒ１２は炭素数１〜２０の炭化水素基または水素原子を表わし、ｃは０乃至２の整数、ｎは１以上の整数、ｇは１乃至２の整数、ｑは２乃至１０の整数をわす。）で示されるアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機環状シロキサン化合物を原料として用い、化学気相成長法により得られる炭素含有酸化ケイ素膜から成ることを特徴とする封止膜。
【請求項９】
化学気相成長法が、プラズマ励起化学気相成長法である、請求項８に記載の封止膜。
【請求項１０】
化学気相成長法が、触媒化学気相成長法である、請求項８に記載の封止膜。
【請求項１１】
請求項８乃至１０のいずれかに記載の封止膜を、さらに熱処理、紫外線照射処理または電子線処理して得られることを特徴とする封止膜。
【請求項１２】
請求項７乃至１１のいずれかに記載の封止膜をガスバリア層として用いることを特徴とするガスバリア部材。
【請求項１３】
請求項７乃至１１のいずれかに記載の封止膜、または請求項１２に記載のガスバリア部材を含んでなることを特徴とするフラットパネルディスプレイデバイス。
【請求項１４】
請求項７乃至１１のいずれかに記載の封止膜を含んでなることを特徴とする半導体デバイス。
【請求項１５】
トリス（メトキシメチル）エチルシラン、トリス（エトキシメチル）エチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−プロピルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−プロピルシラン、トリス（メトキシメチル）イソプロピルシラン、トリス（エトキシメチル）イソプロピルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−ブチルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−ブチルシラン、トリス（メトキシメチル）イソブチルシラン、トリス（エトキシメチル）イソブチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｓｅｃ−ブチルシラン、トリス（エトキシメチル）ｓｅｃ−ブチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−ペンチルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−ペンチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｓｅｃ−アミルシラン、トリス（エトキシメチル）ｓｅｃ−アミルシラン、トリス（メトキシメチル）シクロペンチルシラン、トリス（エトキシメチル）シクロペンチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−ヘキシルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−ヘキシルシラン、トリス（メトキシメチル）シクロヘキシルシラン、トリス（エトキシメチル）シクロヘキシルシラン、
トリス（メトキシメチル）ビニルシラン、トリス（エトキシメチル）ビニルシラン、トリス（メトキシメチル）アリルシラン、トリス（エトキシメチル）アリルシラン、トリス（メトキシメチル）フェニルシラン、トリス（エトキシメチル）フェニルシラン、
ビス（メトキシメチル）ジメチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジメチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジエチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジエチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−プロピルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−プロピルシラン、ビス（メトキシメチル）ジイソプロピルシラン、ビス（エトキシメチル）ジイソプロピルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−ブチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−ブチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジイソブチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジイソブチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｓｅｃ−ブチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｓｅｃ−ブチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−ペンチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−ペンチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｓｅｃ−アミルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｓｅｃ−アミルシラン、ビス（メトキシメチル）ジシクロペンチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジシクロペンチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−ヘキシルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−ヘキシルシラン、ビス（メトキシメチル）ジシクロヘキシルシラン、ビス（エトキシメチル）ジシクロヘキシルシラン、  
ビス（メトキシメチル）ジビニルシラン、ビス（エトキシメチル）ジビニルシラン、ビス（メトキシメチル）ジアリルシラン、ビス（エトキシメチル）ジアリルシラン、ビス（メトキシメチル）ジフェニルシラン、ビス（エトキシメチル）ジフェニルシラン、
トリメチル（メトキシメチルシラン）、トリメチル（エトキシメチルシラン）、トリエチル（メトキシメチル）シラン、トリエチル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−プロピル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−プロピル（エトキシメチル）シラン、トリイソプロピル（メトキシメチル）シラン、トリイソプロピル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−ブチル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−ブチル（エトキシメチル）シラン、トリイソブチル（メトキシメチル）シラン、トリイソブチル（エトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−ブチル（メトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−ブチル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−ペンチル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−ペンチル（エトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−アミル（メトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−アミル（エトキシメチル）シラン、トリシクロペンチル（メトキシメチル）シラン、トリシクロペンチル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−ヘキシル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−ヘキシル（エトキシメチル）シラン、トリシクロヘキシル（メトキシメチル）シラン、トリシクロヘキシル（エトキシメチル）シラン、
トリビニル（メトキシメチル）シラン、トリビニル（エトキシメチル）シラン、トリアリル（メトキシメチル）シラン、トリアリル（エトキシメチル）シラン、トリフェニル（メトキシメチル）シラン、トリフェニル（エトキシメチル）シラン、
イソプロピルメチルビス（メトキシメチル）シラン、イソプロピルメチルビス（エトキシメチル）シラン、イソプロピルエチルビス（メトキシメチル）シラン、イソプロピルエチルビス（エトキシメチル）シラン、イソプロピルビニルビス（メトキシメチル）シラン、イソプロピルビニルビス（エトキシメチル）シラン、
１，２−ビス［トリス（メトキシメチル）シリル］エタン、ビス［トリス（エトキシメチル）シリル］エタン、
１，３−ビス（メトキシメチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（エトキシメチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（メトキシエチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（エトキシエチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、
１，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、  １，３，５−トリス（メトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、
１，３，５，７−テトラキス（メトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（メトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、または２，４，６，８−テトラキス（エトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン。
【請求項１６】
下記一般式（１）
【化４】
2012140700.tif 000010
（式中、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３は炭素数１〜２０の炭化水素基を表す。Ｒ１，Ｒ２は互いに結合し環状構造を形成してもよい。Ｒ４は炭素数１〜２０の炭化水素基または水素原子を表す。ａは０乃至２の整数、ｌは１以上の整数、ｘは１乃至４の整数、ｙは０乃至３の整数、ｚは０乃至３の整数を表し、ｘ＋ｙ＋ｚは１乃至４の整数を表す。）
で示される化合物を含有することを特徴とする化学気相成長法用の成膜材料。
【請求項１７】
下記一般式（２）
【化５】
2012140700.tif 000011
（式中、Ｒ５，Ｒ６は炭素数１〜２０の炭化水素基を表わす。Ｒ５とＲ６は互いに結合し環状構造を形成してもよい。Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９は炭素数１〜２０の炭化水素基または水素原子を表わし、ｂは０乃至２の整数、ｍは１以上の整数、ｆは１乃至２の整数、ｐは１乃至１０の整数を表わす。）
で示される化合物を含有することを特徴とする化学気相成長法用の成膜材料。
【請求項１８】
下記一般式（４）
【化６】
2012140700.tif 000012
（式中、Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ１６，Ｒ１７，Ｒ１８は炭素数１〜２０の炭化水素基を表わす。Ｒ１３とＲ１４、Ｒ１７とＲ１８は、互いに結合し環状構造を形成してもよい。ｄとｅは、
０乃至２の整数、ｗとｚは１以上の整数である。ｈとｊは、０乃至３の整数であり、ｈとｊの少なくとも一方は、１以上の整数である。ｉとｋは、０乃至３の整数であり、少なくとも一方は、２以下の整数である。ｈ＋ｉとｊ＋ｋは、０乃至３の整数である。）
で示される化合物を含有することを特徴とする化学気相成長法用の成膜材料。
【請求項１９】
少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物が下記一般式（４）
【化７】
2012140700.tif 000013
（式中、Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ１６，Ｒ１７，Ｒ１８は炭素数１〜２０の炭化水素基を表わす。Ｒ１３とＲ１４、Ｒ１７とＲ１８は、互いに結合し環状構造を形成してもよい。ｄとｅは、
０乃至２の整数、ｗとｚは１以上の整数である。ｈとｊは、０乃至３の整数であり、ｈとｊの少なくとも一方は、１以上の整数である。ｉとｋは、０乃至３の整数であり、少なくとも一方は、２以下の整数である。ｈ＋ｉとｊ＋ｋは、０乃至３の整数である。）
である、請求項１に記載の膜。
【請求項２０】
化学気相成長法が、プラズマ励起化学気相成長法である、請求項１９に記載の膜。
【請求項２１】
化学気相成長法が、触媒化学気相成長法である、請求項１９に記載の膜。
【請求項２２】
請求項１９乃至２１のいずれかに記載の膜を、さらに熱処理、紫外線照射処理または電子線処理して得られることを特徴とする膜。
【請求項２３】
請求項１９乃至２２のいずれかに記載の膜からなる封止膜。
【請求項２４】
請求項２３に記載の封止膜をガスバリア層として用いることを特徴とするガスバリア部材。
【請求項２５】
請求項２３に記載の封止膜、または請求項２４に記載のガスバリア部材を含んでなることを特徴とするフラットパネルディスプレイデバイス。
【請求項２６】
請求項２３に記載の封止膜を含んでなることを特徴とする半導体デバイス。
【請求項２７】
ケイ素原子間がアルキレンオキシ鎖で結合された構造を有する請求項１、２、３、または１９記載の炭素含有酸化ケイ素膜。
【請求項２８】
ケイ素原子間がアルキレンオキシ鎖で結合された構造を有する請求項２８に記載の封止膜。
【請求項２９】
水透過性が５×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることを特徴とする請求項２４記載のガスバリア部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は炭素含有酸化ケイ素膜、それからなる封止膜及びその用途に関するものである。殊にＳｉＯＣＨ組成で特定の構造を有するケイ素化合物を原料として化学気相成長法（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）により成膜して得られた炭素含有酸化ケイ素膜からなる封止膜に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイに代表されるフラットパネルディスプレイ（以下、ＦＰＤ）では、その表示パネルの基材としてガラス基板が用いられるが、薄膜化、軽量化、耐衝撃性向上、フレキシブル化、更には、ロールツーロールプロセスへの適応の観点から、透明プラスチック基板への代替要求が高まっている。また、プラスチック基板に有機半導体を用いて有機トランジスタを形成したり、ＬＳＩ、Ｓｉ薄膜太陽電池、有機色素増感太陽電池、有機半導体太陽電池を形成する試みがなされている。
【０００３】
通常市販されているプラスチック基板に上記素子を形成した場合、液晶素子、有機ＥＬ素子、ＴＦＴ素子、半導体素子、太陽電池等、形成された素子、デバイスが水、酸素に弱い為、ディスプレイの表示にダークスポットやドット抜けが発生したり、半導体素子、太陽電池が機能しなくなり、実用に耐えない。従って、プラスチック基板に水蒸気、酸素ガスに対するガスバリア性能を付与したガスバリアプラスチック基板が必要となる。一方、ガスバリア性能を付与した透明プラスチックフィルムは、食料品、医薬品、電子材料、電子部品の包装材料用途として、今後、不透明なアルミ箔ラミネートフィルムに変わって益々使用が拡大する方向にある。
【０００４】
透明プラスチック基板や透明プラスチックフィルムに透明ガスバリア性能を付与する方法としては、物理的成膜法とＣＶＤ法がある。
【０００５】
ＣＶＤ法の例としては、シランガス（ＳｉＨ４）を用い、プラズマ励起化学気相成長法（Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、以下、ＰＥＣＶＤ法と記載）により酸化ケイ素膜を成膜する提案として特許文献１がある。また、メチル基、もしくはフェニル基が置換したシラン類、シロキサン類を用い、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスと酸素共存下、ＰＥＣＶＤ法で酸化ケイ素を成膜する提案として特許文献２がある。しかしながら、これらの原料を用いた成膜方法は、原料が危険であったり、できた膜の組成が一定しない、成膜速度が遅いといった課題を抱えている。更には、封止材、ガスバリア材として使用するには、膜が十分に緻密でない為に水蒸気や酸素に対するガスバリア性能が不十分であったり、絶縁膜用途で使用する為には、絶縁特性が不十分である等の課題を抱えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第２７３４５４８号
【特許文献２】特許第４１３９４４６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ＳｉＯＣＨ組成を有し、特定の構造を有するケイ素化合物を原料としてＣＶＤにより得られる炭素含有酸化ケイ素膜から成る封止膜及びその膜を含んでなるガスバリア部材、ＦＰＤデバイス及び半導体デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、特定の構造を有するケイ素化合物を原料として用い、ＣＶＤにより得られた膜が封止膜として有用であることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち本発明は、以下のとおりである。
【００１０】
（１）少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物を原料として用い、化学気相成長法により成膜して得られることを特徴とする、炭素含有酸化ケイ素膜。
【００１１】
（２）少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物が下記一般式（１）
【００１２】
【化１】
2012140700.tif 000003
（式中、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３は炭素数１〜２０の炭化水素基を表す。Ｒ１，Ｒ２は互いに結合し環状構造を形成してもよい。Ｒ４は炭素数１〜２０の炭化水素基または水素原子を表す。ａは０乃至２の整数、ｌは１以上の整数、ｘは１乃至４の整数、ｙは０乃至３の整数、ｚは０乃至３の整数を表し、ｘ＋ｙ＋ｚは１乃至４の整数を表す。）
である、（１）に記載の膜。
【００１３】
（３）少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物が下記一般式（２）
【００１４】
【化２】
2012140700.tif 000004
（式中、Ｒ５，Ｒ６は炭素数１〜２０の炭化水素基を表わす。Ｒ５とＲ６は互いに結合し環状構造を形成してもよい。Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９は炭素数１〜２０の炭化水素基または水素原子を表わし、ｂは０乃至２の整数、ｍは１以上の整数、ｆは１乃至２の整数、ｐは１乃至１０の整数を表わす。）
である、（１）に記載の膜。
【００１５】
（４）化学気相成長法が、プラズマ励起化学気相成長法である、（１）〜（３）いずれかに記載の膜。
【００１６】
（５）化学気相成長法が、触媒化学気相成長法である、（１）〜（３）いずれかに記載の膜。
【００１７】
（６）上述の（１）乃至（５）のいずれかに記載の膜を、さらに熱処理、紫外線照射処理または電子線処理して得られることを特徴とする膜。
【００１８】
（７）上述の（１）乃至（６）のいずれかに記載の膜からなる封止膜。
【００１９】
（８）下記一般式（３）
【００２０】
【化３】
2012140700.tif 000005
（式中、Ｒ１０，Ｒ１１は炭素数１〜２０の炭化水素基を表わす。Ｒ１０とＲ１１は互いに結合し環状構造を形成してもよい。Ｒ１２は炭素数１〜２０の炭化水素基または水素原子を表わし、ｃは０乃至２の整数、ｎは１以上の整数、ｇは１乃至２の整数、ｑは２乃至１０の整数をわす。）で示されるアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機環状シロキサン化合物を原料として用い、化学気相成長法により得られる炭素含有酸化ケイ素膜から成ることを特徴とする封止膜。
【００２１】
（９）化学気相成長法が、プラズマ励起化学気相成長法である、（８）に記載の封止膜。
【００２２】
（１０）化学気相成長法が、触媒化学気相成長法である、（８）に記載の封止膜。
【００２３】
（１１）上述の（８）乃至（１０）のいずれかに記載の封止膜を、さらに熱処理、紫外線照射処理または電子線処理して得られることを特徴とする封止膜。
【００２４】
（１２）上述の（７）乃至（１１）のいずれかに記載の封止膜をガスバリア層として用いることを特徴とするガスバリア部材。
【００２５】
（１３）上述の（７）乃至（１１）のいずれかに記載の封止膜、または（１２）に記載のガスバリア部材を含んでなることを特徴とするフラットパネルディスプレイデバイス。
【００２６】
（１４）上述の（７）乃至（１１）のいずれかに記載の封止膜を含んでなることを特徴とする半導体デバイス。
【００２７】
（１５）トリス（メトキシメチル）エチルシラン、トリス（エトキシメチル）エチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−プロピルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−プロピルシラン、トリス（メトキシメチル）イソプロピルシラン、トリス（エトキシメチル）イソプロピルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−ブチルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−ブチルシラン、トリス（メトキシメチル）イソブチルシラン、トリス（エトキシメチル）イソブチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｓｅｃ−ブチルシラン、トリス（エトキシメチル）ｓｅｃ−ブチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−ペンチルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−ペンチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｓｅｃ−アミルシラン、トリス（エトキシメチル）ｓｅｃ−アミルシラン、トリス（メトキシメチル）シクロペンチルシラン、トリス（エトキシメチル）シクロペンチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−ヘキシルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−ヘキシルシラン、トリス（メトキシメチル）シクロヘキシルシラン、トリス（エトキシメチル）シクロヘキシルシラン、
トリス（メトキシメチル）ビニルシラン、トリス（エトキシメチル）ビニルシラン、トリス（メトキシメチル）アリルシラン、トリス（エトキシメチル）アリルシラン、トリス（メトキシメチル）フェニルシラン、トリス（エトキシメチル）フェニルシラン、
ビス（メトキシメチル）ジメチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジメチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジエチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジエチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−プロピルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−プロピルシラン、ビス（メトキシメチル）ジイソプロピルシラン、ビス（エトキシメチル）ジイソプロピルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−ブチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−ブチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジイソブチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジイソブチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｓｅｃ−ブチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｓｅｃ−ブチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−ペンチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−ペンチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｓｅｃ−アミルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｓｅｃ−アミルシラン、ビス（メトキシメチル）ジシクロペンチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジシクロペンチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−ヘキシルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−ヘキシルシラン、ビス（メトキシメチル）ジシクロヘキシルシラン、ビス（エトキシメチル）ジシクロヘキシルシラン、
ビス（メトキシメチル）ジビニルシラン、ビス（エトキシメチル）ジビニルシラン、ビス（メトキシメチル）ジアリルシラン、ビス（エトキシメチル）ジアリルシラン、ビス（メトキシメチル）ジフェニルシラン、ビス（エトキシメチル）ジフェニルシラン、
トリメチル（メトキシメチルシラン）、トリメチル（エトキシメチルシラン）、トリエチル（メトキシメチル）シラン、トリエチル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−プロピル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−プロピル（エトキシメチル）シラン、トリイソプロピル（メトキシメチル）シラン、トリイソプロピル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−ブチル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−ブチル（エトキシメチル）シラン、トリイソブチル（メトキシメチル）シラン、トリイソブチル（エトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−ブチル（メトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−ブチル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−ペンチル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−ペンチル（エトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−アミル（メトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−アミル（エトキシメチル）シラン、トリシクロペンチル（メトキシメチル）シラン、トリシクロペンチル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−ヘキシル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−ヘキシル（エトキシメチル）シラン、トリシクロヘキシル（メトキシメチル）シラン、トリシクロヘキシル（エトキシメチル）シラン、
トリビニル（メトキシメチル）シラン、トリビニル（エトキシメチル）シラン、トリアリル（メトキシメチル）シラン、トリアリル（エトキシメチル）シラン、トリフェニル（メトキシメチル）シラン、トリフェニル（エトキシメチル）シラン、
イソプロピルメチルビス（メトキシメチル）シラン、イソプロピルメチルビス（エトキシメチル）シラン、イソプロピルエチルビス（メトキシメチル）シラン、イソプロピルエチルビス（エトキシメチル）シラン、イソプロピルビニルビス（メトキシメチル）シラン、イソプロピルビニルビス（エトキシメチル）シラン、
１，２−ビス［トリス（メトキシメチル）シリル］エタン、ビス［トリス（エトキシメチル）シリル］エタン、
１，３−ビス（メトキシメチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（エトキシメチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（メトキシエチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（エトキシエチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、
１，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（メトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、
１，３，５，７−テトラキス（メトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（メトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、または２，４，６，８−テトラキス（エトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン。
【００２８】
（１６）一般式（１）で示される化合物を含有することを特徴とする化学気相成長法用の成膜材料。
【００２９】
（１７）一般式（２）で示される化合物を含有することを特徴とする化学気相成長法用の成膜材料。
【００３０】
（１８）下記一般式（４）
【００３１】
【化４】
2012140700.tif 000006
（式中、Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ１６，Ｒ１７，Ｒ１８は炭素数１〜２０の炭化水素基を表わす。Ｒ１３とＲ１４、Ｒ１７とＲ１８は、互いに結合し環状構造を形成してもよい。ｄとｅは、
０乃至２の整数、ｗとｚは１以上の整数である。ｈとｊは、０乃至３の整数であり、ｈとｊの少なくとも一方は、１以上の整数である。ｉとｋは、０乃至３の整数であり、少なくとも一方は、２以下の整数である。ｈ＋ｉとｊ＋ｋは、０乃至３の整数である。）
で示される化合物を含有することを特徴とする化学気相成長法用の成膜材料。
【００３２】
（１９）少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物が一般式（４）である、（１）に記載の膜。
【００３３】
（２０）化学気相成長法が、プラズマ励起化学気相成長法である、（１９）に記載の膜。
【００３４】
（２１）化学気相成長法が、触媒化学気相成長法である、（１９）に記載の膜。
【００３５】
（２２）上述の（１９）乃至（２１）のいずれかに記載の膜を、さらに熱処理、紫外線照射処理または電子線処理して得られることを特徴とする膜。
【００３６】
（２３）上述の（１９）乃至（２２）のいずれかに記載の膜からなる封止膜。
【００３７】
（２４）上述の（２３）に記載の封止膜をガスバリア層として用いることを特徴とするガスバリア部材。
【００３８】
（２５）上述の（２３）に記載の封止膜、または（２４）に記載のガスバリア部材を含んでなることを特徴とするフラットパネルディスプレイデバイス。
【００３９】
（２６）上述の（２３）に記載の封止膜を含んでなることを特徴とする半導体デバイス。
【００４０】
（２７）ケイ素原子間がアルキレンオキシ鎖で結合された構造を有する（１）、（２）、（３）、または（１９）記載の炭素含有酸化ケイ素膜。
【００４１】
（２８）ケイ素原子間がアルキレンオキシ鎖で結合された構造を有する（２８）に記載の封止膜。
【００４２】
（２９）水透過性が５×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることを特徴とする（２４）記載のガスバリア部材。
【００４３】
以下、本発明の詳細について説明する。本発明において、ＣＶＤの原料として使用できる少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物は特に限定されるものではないが、前述の一般式（１）、一般式（２）、一般式（３）、および一般式（４）で示される有機ケイ素化合物からなる群から選ばれた少なくとも一つであることが好ましい。
【００４４】
上記一般式（１）〜（４）おいて、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ５，Ｒ６，Ｒ１０，Ｒ１１，Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ１６，Ｒ１７，Ｒ１８は炭素数１〜２０の飽和または不飽和炭化水素基であり、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれの構造を有してもよい。また、それらが互いに結合したものも本発明の範囲に含まれる。炭素数が２０を超える場合は、対応する有機ハライド等の原料の調達が困難となったり、調達できたとしても純度が低い場合がある。ＣＶＤ装置での安定的な使用を考慮した場合、有機シラン化合物の蒸気圧が低くなりすぎないとの点で、炭素数１〜１０の炭化水素基が特に好ましい。
【００４５】
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ５，Ｒ６，Ｒ１０，Ｒ１１，Ｒ１３，Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ１６，Ｒ１７，Ｒ１８が示す炭素数１〜２０の炭化水素基としては特に限定されるものではないが、好ましくは炭素数１〜２０のアルキル基、アリール基、アリールアルキル基、アルキルアリール基、アルケニル基、アリールアルケニル基、アルケニルアリール基、アルキニル基、アリールアルキニル基、アルキニルアリール基であり、更に好ましくは炭素数１〜１０のアルキル基およびアリール基を挙げることができる。
【００４６】
具体的な例としては、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉ−プロピル、シクロプロピル、ｎ−ブチル、ｉ−ブチル、ｓｅｃ−ブチル、ｔｅｒｔ．−ブチル、シクロブチル、ｎ−ペンチル、ｔｅｒｔ．−アミル、シクロペンチル、ｎ−ヘキシル、シクロヘキシル、２−エチルヘキシル等のアルキル基、フェニル、ジフェニル、ナフチル等のアリール基、ベンジル、メチルベンジル等のアリールアルキル基、ｏ−トルイル、ｍ−トルイル、ｐ−トルイル、２，３−ジメチルフェニル、２，４−ジメチルフェニル、２，５−ジメチルフェニル、２，６−ジメチルフェニル、３，４−ジメチルフェニル、３，５−ジメチルフェニル、２，４，６−トリメチルフェニル、ｏ−エチルフェニル、ｍ−エチルフェニル、ｐ−エチルフェニル等のアルキルアリール基などが挙げられる。
【００４７】
またビニル、アリル、１−プロペニル、１−ブテニル、１，３−ブタジエニル、１−ペンテニル、１−シクロペンテニル、２−シクロペンテニル、シクロペンタジエニル、メチルシクロペンタジエニル、エチルシクロペンタジエニル、１−ヘキセニル、１−シクロヘキセニル、２，４−シクロヘキサジエニル、２，５−シクロヘキサジエニル、２，４，６−シクロヘプタトリエニル、５−ノルボルネン−２−イル等のアルケニル基、２−フェニル−１−エテニル等のアリールアルケニル基、ｏ−スチリル，ｍ−スチリル，ｐ−スチリル等のアルケニルアリール基、エチニル、１−プロピニル、２−プロピニル、１−ブチニル，２−ブチニル，３−ブチニル、１−ペンチニル、２−ペンチニル、３−ペンチニル、４−ペンチニル、１−ヘキシニル、３−ヘキシニル、５−ヘキシニル等のアルキニル基、２−フェニル−１−エチニル等のアリールアルキニル基、２−エチニル−２フェニル等のアルキニルアリール基等を挙げることができる。
【００４８】
上記一般式（１）〜（３）において、Ｒ４，Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９，Ｒ１２は炭素数１〜２０の飽和または不飽和炭化水素基または水素原子である。炭素数１〜２０の飽和または不飽和炭化水素基は直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれの構造を有してもよい。また、それらが互いに結合したものも本発明の範囲に含まれる。炭素数が２０を超える場合は、対応する有機ハライド等原料の調達が困難となったり、調達できたとしても純度が低い場合がある。ＣＶＤ装置での安定的使用考慮した場合、有機シラン化合物の蒸気圧が低くなりすぎないとの点で、炭素数１〜１０の炭化水素基が特に好ましい。
【００４９】
Ｒ４，Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９，Ｒ１２が示す炭素数１〜２０の炭化水素基としては特に限定されるものではないが、好ましくは炭素数１〜２０のアルキル基、アリール基、アリールアルキル基、アルキルアリール基、アルケニル基、アリールアルケニル基、アルケニルアリール基、アルキニル基、アリールアルキニル基、アルキニルアリール基であり、更に好ましくは炭素数１〜１０のアルキル基およびアリール基を挙げることができる。
【００５０】
具体的な例としては、上記のＲ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ５，Ｒ６，Ｒ１０，Ｒ１１の具体的な例と同様の置換基を挙げることができる。
【００５１】
一般式（１）において、好ましくは、ａは０〜２の整数であり、ｌは１〜６の整数であり、ｘは１〜４の整数であり、ｙは０〜３の整数であり、ｚは０〜３の整数である。
【００５２】
上記一般式（１）で表される有機ケイ素化合物の具体例としては、
（１−メトキシメチル）シラン、ビス（１−メトキシメチル）シラン、トリス（１−メトキシメチル）シラン、テトラキス（１−メトキシメチル）シラン、
（１−エトキシメチル）シラン、ビス（１−エトキシメチル）シラン、トリス（１−エトキシメチル）シラン、テトラキス（１−エトキシメチル）シラン、  （２−メトキシエチル）シラン、ビス（２−メトキシエチル）シラン、トリス（２−メトキシエチル）シラン、テトラキス（２−メトキシエチル）シラン、  （２−エトキシエチル）シラン、ビス（２−エトキシエチル）シラン、トリス（２−エトキシエチル）シラン、テトラキス（２−エトキシエチル）シラン、
（１−メトキシメチル）メチルシラン、ビス（１−メトキシメチル）メチルシラン、トリス（１−メトキシメチル）メチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジメチルシラン、トリメチル（メトキシメチル）シラン、
（１−エトキシメチル）メチルシラン、ビス（１−エトキシメチル）メチルシラン、トリス（１−エトキシメチル）メチルシラン、  （２−メトキシエチル）メチルシラン、ビス（２−メトキシエチル）メチルシラン、トリス（２−メトキシエチル）メチルシラン、  （２−エトキシエチル）メチルシラン、ビス（２−エトキシエチル）メチルシラン、トリス（２−エトキシエチル）メチルシラン、  （１−メトキシメチル）エチルシラン、ビス（１−メトキシメチル）エチルシラン、トリス（１−メトキシメチル）エチルシラン、  （１−エトキシメチル）エチルシラン、ビス（１−エトキシメチル）エチルシラン、トリス（１−エトキシメチル）エチルシラン、  （２−メトキシエチル）エチルシラン、ビス（２−メトキシエチル）エチルシラン、トリス（２−メトキシエチル）エチルシラン、  （２−エトキシエチル）エチルシラン、ビス（２−エトキシエチル）エチルシラン、トリス（２−エトキシエチル）エチルシランなどが挙げられる。  
【００５３】
また（１−メトキシメチル）ジメチルシラン、（１−メトキシメチル）トリメチルシラン、ビス（１−メトキシメチル）ジメチルシラン、  （１−エトキシメチル）ジメチルシラン、（１−エトキシメチル）トリメチルシラン、ビス（１−エトキシメチル）ジメチルシラン、  （２−メトキシエチル）ジメチルシラン、（２−メトキシエチル）トリメチルシラン、ビス（２−メトキシエチル）ジメチルシラン、  （２−エトキシエチル）ジメチルシラン、（２−エトキシエチル）トリメチルシラン、ビス（２−エトキシエチル）ジメチルシラン、  （１−メトキシメチル）ジエチルシラン、（１−メトキシメチル）トリエチルシラン、ビス（１−メトキシメチル）ジエチルシラン、  （１−エトキシメチル）ジエチルシラン、（１−エトキシメチル）トリエチルシラン、ビス（１−エトキシメチル）ジエチルシラン、  （２−メトキシエチル）ジエチルシラン、（２−メトキシエチル）トリエチルシラン、ビス（２−メトキシエチル）ジエチルシラン、  （２−エトキシエチル）ジエチルシラン、（２−エトキシエチル）トリエチルシラン、ビス（２−エトキシエチル）ジエチルシランなどが挙げられる。  
【００５４】
また（１−メトキシメチル）メチルメトキシシラン、ビス（１−メトキシメチル）メチルメトキシシラン、トリス（１−メトキシメチル）メチルシラン、  （１−エトキシメチル）メチルメトキシシラン、ビス（１−エトキシメチル）メチルメトキシシラン、トリス（１−エトキシメチル）メチルシラン、  （２−メトキシエチル）メチルメトキシシラン、ビス（２−メトキシエチル）メチルメトキシシラン、トリス（２−メトキシエチル）メチルシラン、  （２−エトキシエチル）メチルメトキシシラン、ビス（２−エトキシエチル）メチルメトキシシラン、トリス（２−エトキシエチル）メチルシラン、  （１−メトキシメチル）エチルメトキシシラン、ビス（１−メトキシメチル）エチルメトキシシラン、トリス（１−メトキシメチル）エチルシラン、  （１−エトキシメチル）エチルメトキシシラン、ビス（１−エトキシメチル）エチルメトキシシラン、トリス（１−エトキシメチル）エチルシラン、  （２−メトキシエチル）エチルメトキシシラン、ビス（２−メトキシエチル）エチルメトキシシラン、トリス（２−メトキシエチル）エチルシラン、  （２−エトキシエチル）エチルメトキシシラン、ビス（２−エトキシエチル）エチルメトキシシラン、トリス（２−エトキシエチル）エチルシランなどが挙げられる。  
【００５５】
また（１−メトキシメチル）メチルエトキシシラン、ビス（１−メトキシメチル）メチルエトキシシラン、  （１−エトキシメチル）メチルエトキシシラン、ビス（１−エトキシメチル）メチルエトキシシラン、  （２−メトキシエチル）メチルエトキシシラン、ビス（２−メトキシエチル）メチルエトキシシラン、  （２−エトキシエチル）メチルエトキシシラン、ビス（２−エトキシエチル）メチルエトキシシラン、  （１−メトキシメチル）エチルエトキシシラン、ビス（１−メトキシメチル）エチルエトキシシラン、  （１−エトキシメチル）エチルエトキシシラン、ビス（１−エトキシメチル）エチルエトキシシラン、  （２−メトキシエチル）エチルエトキシシラン、ビス（２−メトキシエチル）エチルエトキシシラン、  （２−エトキシエチル）エチルエトキシシラン、ビス（２−エトキシエチル）エチルエトキシシランなどが挙げられる。  
【００５６】
また（１−メトキシメチル）メチルジメトキシシラン、（１−エトキシメチル）メチルジメトキシシラン、（２−メトキシエチル）メチルジメトキシシラン、（２−エトキシエチル）メチルジメトキシシラン、  （１−メトキシメチル）エチルジメトキシシラン、（１−エトキシメチル）エチルジメトキシシラン、（２−メトキシエチル）エチルジメトキシシラン、（２−エトキシエチル）エチルジメトキシシラン、  （１−メトキシメチル）メチルジエトキシシラン、（１−エトキシメチル）メチルジエトキシシラン、（２−メトキシエチル）メチルジエトキシシラン、（２−エトキシエチル）メチルジエトキシシラン、  （１−メトキシメチル）エチルジエトキシシラン、（１−エトキシメチル）エチルジエトキシシラン、（２−メトキシエチル）エチルジエトキシシラン、（２−エトキシエチル）エチルジエトキシシランなどが挙げられる。  
【００５７】
また（１−メトキシメチル）トリメトキシシラン、（１−エトキシメチル）トリメトキシシラン、（２−メトキシエチル）トリメトキシシラン、（２−エトキシエチル）トリメトキシシラン、  （１−メトキシメチル）トリメトキシシラン、（１−エトキシメチル）トリメトキシシラン、（２−メトキシエチル）トリメトキシシラン、（２−エトキシエチル）トリメトキシシラン、  （１−メトキシメチル）トリエトキシシラン、（１−エトキシメチル）トリエトキシシラン、（２−メトキシエチル）トリエトキシシラン、（２−エトキシエチル）トリエトキシシラン、  （１−メトキシメチル）トリエトキシシラン、（１−エトキシメチル）トリエトキシシラン、（２−メトキシエチル）トリエトキシシラン、（２−エトキシエチル）トリエトキシシラン（１−メトキシメチル）イソプロピルシラン、ビス（１−メトキシメチル）イソプロピルシラン、トリス（１−メトキシメチル）イソプロピルシラン、  （１−エトキシメチル）イソプロピルシラン、ビス（１−エトキシメチル）イソプロピルシラン、トリス（１−エトキシメチル）イソプロピルシラン、  （２−メトキシエチル）イソプロピルシラン、ビス（２−メトキシエチル）イソプロピルシラン、トリス（２−メトキシエチル）イソプロピルシランなどが挙げられる。  
【００５８】
また（２−エトキシエチル）イソブチルシラン、ビス（２−エトキシエチル）イソブチルシラン、トリス（２−エトキシエチル）イソブチルシラン、  （１−メトキシメチル）イソブチルシラン、ビス（１−メトキシメチル）イソブチルシラン、トリス（１−メトキシメチル）イソブチルシラン、  （１−エトキシメチル）イソブチルシラン、ビス（１−エトキシメチル）イソブチルシラン、トリス（１−エトキシメチル）イソブチルシラン、  （２−メトキシエチル）イソブチルシラン、ビス（２−メトキシエチル）イソブチルシラン、トリス（２−メトキシエチル）イソブチルシラン、  （２−エトキシエチル）イソブチルシラン、ビス（２−エトキシエチル）イソブチルシラン、トリス（２−エトキシエチル）イソブチルシラン等があげられる。  
【００５９】
またトリス（メトキシメチル）エチルシラン、トリス（エトキシメチル）エチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−プロピルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−プロピルシラン、トリス（メトキシメチル）イソプロピルシラン、トリス（エトキシメチル）イソプロピルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−ブチルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−ブチルシラン、トリス（メトキシメチル）イソブチルシラン、トリス（エトキシメチル）イソブチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｓｅｃ−ブチルシラン、トリス（エトキシメチル）ｓｅｃ−ブチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−ペンチルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−ペンチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｓｅｃ−アミルシラン、トリス（エトキシメチル）ｓｅｃ−アミルシラン、トリス（メトキシメチル）シクロペンチルシラン、トリス（エトキシメチル）シクロペンチルシラン、トリス（メトキシメチル）ｎ−ヘキシルシラン、トリス（エトキシメチル）ｎ−ヘキシルシラン、トリス（メトキシメチル）シクロヘキシルシラン、トリス（エトキシメチル）シクロヘキシルシラン等があげられる。
【００６０】
またトリス（メトキシメチル）ビニルシラン、トリス（エトキシメチル）ビニルシラン、トリス（メトキシメチル）アリルシラン、トリス（エトキシメチル）アリルシラン、トリス（メトキシメチル）フェニルシラン、トリス（エトキシメチル）フェニルシラン、
ビス（メトキシメチル）ジメチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジメチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジエチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジエチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−プロピルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−プロピルシラン、ビス（メトキシメチル）ジイソプロピルシラン、ビス（エトキシメチル）ジイソプロピルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−ブチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−ブチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジイソブチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジイソブチルシラン、ジス（メトキシメチル）ジｓｅｃ−ブチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｓｅｃ−ブチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−ペンチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−ペンチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｓｅｃ−アミルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｓｅｃ−アミルシラン、ビス（メトキシメチル）ジシクロペンチルシラン、ビス（エトキシメチル）ジシクロペンチルシラン、ビス（メトキシメチル）ジｎ−ヘキシルシラン、ビス（エトキシメチル）ジｎ−ヘキシルシラン、ビス（メトキシメチル）ジシクロヘキシルシラン、ビス（エトキシメチル）ジシクロヘキシルシラン等があげられる。
【００６１】
またビス（メトキシメチル）ジビニルシラン、ビス（エトキシメチル）ジビニルシラン、ビス（メトキシメチル）ジアリルシラン、ビス（エトキシメチル）ジアリルシラン、ビス（メトキシメチル）ジフェニルシラン、ビス（エトキシメチル）ジフェニルシラン、
トリエチル（メトキシメチル）シラン、トリエチル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−プロピル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−プロピル（エトキシメチル）シラン、トリイソプロピル（メトキシメチル）シラン、トリイソプロピル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−ブチル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−ブチル（エトキシメチル）シラン、トリイソブチル（メトキシメチル）シラン、トリイソブチル（エトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−ブチル（メトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−ブチル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−ペンチル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−ペンチル（エトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−アミル（メトキシメチル）シラン、トリｓｅｃ−アミルル（エトキシメチル）シラン、トリシクロペンチル（メトキシメチル）シラン、トリシクロペンチル（エトキシメチル）シラン、トリｎ−ヘキシル（メトキシメチル）シラン、トリｎ−ヘキシル（エトキシメチル）シラン、トリシクロヘキシル（メトキシメチル）シラン、トリシクロヘキシル（エトキシメチル）シラン等があげられる。
【００６２】
またトリビニル（メトキシメチル）シラン、トリビニル（エトキシメチル）シラン、トリアリル（メトキシメチル）シラン、トリアリル（エトキシメチル）シラン、トリフェニル（メトキシメチル）シラン、トリフェニル（エトキシメチル）シラン、
イソプロピルメチルビス（メトキシメチル）シラン、イソプロピルメチルビス（エトキシメチル）シラン、イソプロピルエチルビス（メトキシメチル）シラン、イソプロピルエチルビス（エトキシメチル）シラン、イソプロピルビニルビス（メトキシメチル）シラン、イソプロピルビニルビス（エトキシメチル）シラン等が例示できる。  
【００６３】
上記一般式（１）の構造を有する有機ケイ素化合物を製造する方法としては、例えば対応するアルコキシアルキル基を有するグリニャール試薬や有機リチウム化合物、有機ナトリウム化合物とハロゲン化有機シラン化合物を反応させて得ることができる。  
【００６４】
対応するアルコキシアルキルアルケン化合物ををＰｔ触媒下に水素原子を有する有機シラン化合物に反応させ、製造する方法も用いることができる。  
【００６５】
一般式（２）において、好ましくは、ｂは０〜２の整数であり、ｍは１〜６の整数であり、ｆは１〜２の整数であり、ｐは１〜１０の整数である。
【００６６】
一般式（２）で表される有機シランケイ素化合物の具体例としては、
１，３−ビス（メトキシメチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（エトキシメチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（メトキシメチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジエトキシジシロキサン、１，３−ビス（エトキシメチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジエトキシジシロキサン、
１，３−ビス（メトキシエチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（エトキシエチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（メトキシエチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジエトキシジシロキサン、１，３−ビス（エトキシエチル）−１，３−ジメチル−１，３−ジエトキシジシロキサン、
１，３−ビス（メトキシメチル）−１，３−ジイソプロピル−１，３−ジメトキシジシロキサン、１，３−ビス（メトキシエチル）−１，３−ジイソプロピル−１，３−ジメトキシジシロキサン、  １，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン等が挙げられる。  
【００６７】
また１，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン  １，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン等が挙げられる。  
【００６８】
また１，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン  １，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピルメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピルメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン等が挙げられる。  
【００６９】
また１，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピルメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５−トリイソプロピルメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン  １，３，５−トリス（メトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｒｅｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン等が挙げられる。  
【００７０】
また１，３，５−トリス（メトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン  １，３，５−トリス（メトキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン等が挙げられる。  
【００７１】
また１，３，５−トリス（メトキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリエチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン  １，３，５−トリス（メトキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピルメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジメトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピルメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサン等が挙げられる。  
【００７２】
また１，３，５−トリス（メトキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（エトキシエチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（イソプロポキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピルメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピル−１，５−ジエトキシトリシロキサン、１，３，５−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５−トリイソプロピルメチル−１，５−ジエトキシトリシロキサン  １，３，５，７−テトラキス（メトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン等が挙げられる。  
【００７３】
また１，３，５，７−テトラキス（メトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン  １，３，５，７−テトラキス（メトキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン等が挙げられる。  
【００７４】
また１，３，５，７−テトラキス（メトキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン  １，３，５，７−テトラキス（メトキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン等が挙げられる。  
【００７５】
また１，３，５，７−テトラキス（メトキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン  １，３，５，７−テトラキス（メトキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン等が挙げられる。  
【００７６】
また１，３，５，７−テトラキス（メトキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン  １，３，５，７−テトラキス（メトキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン等が挙げられる。  
【００７７】
また１，３，５，７−テトラキス（メトキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトラエチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン  １，３，５，７−テトラキス（メトキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン等が挙げられる。  
【００７８】
また１，３，５，７−テトラキス（メトキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（エトキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（イソプロポキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−１，３，５，７−テトライソプロピル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン  １，３，５，７−テトラキス（メトキシプロピル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジメトキシテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラキス（メトキシプロピル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジエトキシテトラシロキサン、  １，３，５，７−テトラキス（メトキシプロピル）−１，３，５，７−テトラメチル−１，７−ジイソプロポキシテトラシロキサン  １，３，５，７，９−ペンタキス（メトキシメチル）−１，３，５，７，９−ペンタメチル−１，９−ジメトキシペンタシロキサン、  １，３，５，７，９−ペンタキス（ブトキシブチル）−１，３，５，７，９−ペンタブチル−１，９−ジブトキシペンタシロキサン等が挙げられる。  
【００７９】
上記一般式（２）の有機ケイ素化合物の製造法は、特に限定されるものではないが、例えば上記一般式（１）の有機ケイ素化合物を酸、アルカリ触媒存在下に加水分解することで製造することができる。
【００８０】
一般式（３）において、好ましくは、ｃは０〜２の整数であり、ｎは１〜６の整数であり、ｇは１〜２の整数であり、ｑは２〜１０の整数である。
【００８１】
上記一般式（３）で示される有機環状シロキサン化合物の具体例としては、
２，４，６−トリス（２−メトキシエチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（２−ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（２−メトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（２−ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８，１０−ペンタキス（２−メトキシエチル）−２，４，６，８，１０−ペンタメチルシクロペンタシロキサン、２，４，６，８，１０−ペンタキス（２−ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６，８，１０−ペンタメチルシクロテトラシロキサン
２，４，６−トリス（４−メトキシフェニル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（４−ｔｅｒｔ．−ブトキシフェニル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（４−メトキシフェニル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（４−ｔｅｒｔ．−ブトキシフェニル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８，１０−ペンタキス（４−メトキシフェニル）−２，４，６，８，１０−ペンタメチルシクロペンタシロキサン、２，４，６，８，１０−ペンタキス（４−ｔｅｒｔ．−ブトキシフェニル）−２，４，６，８，１０−ペンタメチルシクロペンタシロキサン等が挙げられる。
【００８２】
また２，４，６−トリス（メトキシメチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシメチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシメチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン
２，４，６−トリス（メトキシメチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシメチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシメチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン等が挙げられる。
【００８３】
また２，４，６−トリス（メトキシメチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシメチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシメチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン
２，４，６−トリス（メトキシメチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシメチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシメチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン等が挙げられる。
【００８４】
また２，４，６−トリス（メトキシメチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシメチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシメチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン
２，４，６−トリス（メトキシメチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシメチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシメチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン等が挙げられる。
【００８５】
また２，４，６−トリス（メトキシメチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシメチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシメチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン
２，４，６−トリス（メトキシエチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシエチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシエチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン等が挙げられる。
【００８６】
また２，４，６−トリス（メトキシエチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシエチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシエチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン
２，４，６−トリス（メトキシエチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシエチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシエチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン等が挙げられる。
【００８７】
また２，４，６−トリス（メトキシエチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシエチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシエチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリｎ−プロピルシクロトリシロキサン
２，４，６−トリス（メトキシエチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシエチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシエチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリｔｅｒｔ．−ブチルシクロトリシロキサン等が挙げられる。
【００８８】
また２，４，６−トリス（メトキシエチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシエチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシエチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリシクロペンチルシクロトリシロキサン、
２，４，６−トリス（メトキシエチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（エトキシエチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（イソプロポキシエチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｉｓｏ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６−トリシクロヘキシルシクロトリシロキサン等が挙げられる。
【００８９】
また２，４，６−トリス（メトキシプロピル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（メトキシプロピル）−２，４，６−トリエチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（メトキシプロピル）−２，４，６−トリイソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（メトキシブチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（メトキシペンチル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、２，４，６−トリス（メトキシヘキシル）−２，４，６−トリメチルシクロトリシロキサン、
２，４，６，８−テトラキス（メトキシメチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシメチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。
【００９０】
また、２，４，６，８−テトラキス（メトキシメチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシメチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、
２，４，６，８−テトラキス（メトキシメチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシメチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。
【００９１】
また、２，４，６，８−テトラキス（メトキシメチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシメチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシメチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシメチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、
２，４，６，８−テトラキス（メトキシメチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシメチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。
【００９２】
また、２，４，６，８−テトラキス（メトキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、
２，４，６，８−テトラキス（メトキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシメチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。
【００９３】
また２，４，６，８−テトラキス（メトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサン
２，４，６，８−テトラキス（メトキシエチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシエチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。
【００９４】
また、２，４，６，８−テトラキス（メトキシエチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシエチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラｎ−プロピルシクロテトラシロキサン、
２，４，６，８−テトラキス（メトキシエチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシエチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシエチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシエチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。
【００９５】
また２，４，６，８−テトラキス（メトキシエチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシエチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラｔｅｒｔ．−ブチルシクロテトラシロキサン、
２，４，６，８−テトラキス（メトキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロペンチルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。
【００９６】
また２，４，６，８−テトラキス（メトキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（エトキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−プロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソプロポキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｎ−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（イソブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（ｔｅｒｔ．−ブトキシエチル）−２，４，６，８−テトラシクロヘキシルシクロテトラシロキサン、
２，４，６，８−テトラキス（メトキシプロピル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロトリシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（メトキシプロピル）−２，４，６，８−テトラエチルシクロトリシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（メトキシプロピル）−２，４，６，８−テトライソプロピルシクロトリシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（メトキシブチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロトリシロキサン、２，４，６，８−テトラキス（メトキシペンチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロトリシロキサン、２，４，６，８−テトラキスメトキシヘキシル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロトリシロキサン等が挙げられる。
【００９７】
また、２，４，６，８，１０−ペンタキス（メトキシメチル）−２，４，６，８，１０−ペンタメチルシクロペンタシロキサン、２，４，６，８，１０−ペンタキス（メトキシメチル）−２，４，６，８，１０−ペンタエチルシクロペンタシロキサン、２，４，６，８，１０−ペンタキス（メトキシメチル）−２，４，６，８，１０−ペンタイソプロピルシクロペンタシロキサン、
２，４，６，８，１０−ペンタキス（メトキシエチル）−２，４，６，８，１０−ペンタメチルシクロペンタシロキサン、２，４，６，８，１０−ペンタキス（メトキシエチル）−２，４，６，８，１０−ペンタエチルシクロペンタシロキサン、２，４，６，８，１０−ペンタキス（メトキシエチル）−２，４，６，８，１０−ペンタイソプロピルシクロペンタシロキサン等を挙げることができる。
【００９８】
上記一般式（３）の有機環状シロキサン化合物の製造法は、特に限定されるものではないが、例えば特開２００６−２３７５６２号公報に記載の方法またはそれに準じて製造することができる。
【００９９】
一般式（４）において、好ましくは、ｄは０〜２の整数であり、ｅは０〜２の整数であり、ｗは１〜６の整数であり、ｚは１〜６の整数であり、ｈは１〜３の整数であり、ｊは１〜３の整数であり、ｉは０〜３の整数であり、ｋは０〜３の整数である。
【０１００】
上記一般式（４）で表される有機ケイ素化合物の具体例としては、
１，２−ビス［トリス（メトキシメチル）シリル］エタン、ビス［トリス（エトキシメチル）シリル］エタン、１，２−ビス［ビス（メトキシメチル）メチルシリル］エタン、１，２−ビス［ビス（エトキシメチル）メチルシリル］エタン、１，２−ビス［ジメチル（メトキシメチル）シリル］エタン、１，２−ビス［ジメチル（エトキシメチル）シリル］エタン
１−トリメチルシリル−２−トリス（メトキシメチル）シリルエタン、１−トリメチルシリル−２−トリス（エトキシメチル）シリルエタン、１−（ｔｅｒｔ．−ブチルジメチルシリル）−２−トリス（メトキシメチル）シリルエタン、１−（ｔｅｒｔ．−ブチルジメチルシリル）−２−トリス（エトキシメチル）シリルエタン等を挙げることができる。
【０１０１】
上記一般式（４）で表される有機ケイ素化合物を製造する方法としては、例えば対応するアルキルアルコキシ基を有するグリニャール試薬や有機リチウム化合物、有機ナトリウム化合物とビス（ポリアルコキシシリル）エタンハロゲン化物を反応させて得ることができる。  
【０１０２】
対応するアルコキシアルキルを有するビニルシラン化合物とアルコキシアルキルを有する水素化シラン化合物とをＰｔ触媒下に反応させ、製造する方法も用いることができる。  
【０１０３】
本発明の少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物は、ＣＶＤにより成膜され、炭素含有酸化ケイ素からなる膜を形成することができ、それは封止膜として使用することができる。
【０１０４】
本発明によれば、ケイ素原子間がアルキレンオキシ鎖で結合された構造を有する炭素含有酸化ケイ素膜または封止膜を得ることができる。また本発明によれば、水透過性が５×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア部材を得ることができる。
【０１０５】
ＣＶＤとしては、例えばＰＥＣＶＤまたは触媒化学気相成長法があげられる。ＰＥＣＶＤの種類及び用いる装置は特に限定されるものではないが、このＰＥＣＶＤは半導体製造分野、液晶ディスプレイ製造分野、ロールツーロール方式高分子フィルムの表面処理分野等の当該技術分野で一般的に用いられるものが使用される。
【０１０６】
ＰＥＣＶＤ装置において、本発明の有機ケイ素化合物を気化器により気化させて成膜チャンバー内に導入し、高周波電源により成膜チャンバー内の電極に印加しプラズマを発生させ、成膜チャンバー内のシリコン基板等にＰＥＣＶＤ薄膜を形成させることができる。この際、プラズマを発生させる目的でヘリウム、アルゴン、クリプトン、ネオン、キセノン等の不活性ガスを有機ケイ素化合物と共に導入することも本発明の範囲に入る。
【０１０７】
また、水素、酸素、窒素、アンモニアガス等を原料ガス、不活性ガスとともに導入することも本発明の範囲に入る。
【０１０８】
ＰＥＣＶＤ装置のプラズマ発生方法については特に限定されず、当該技術で使用されている誘導結合型プラズマ、容量結合型プラズマ、ＥＣＲプラズマ等を用いることができる。またプラズマを発生源としては平行平板型、アンテナ型等の種々のものが使用でき、大気圧ＰＥＣＶＤ、減圧ＰＥＣＶＤ、加圧ＰＥＣＶＤ等いずれの圧力条件下のＰＥＣＶＤでも用いることができる。
【０１０９】
この際のＰＥＣＶＤ条件としては特に限定はないが、１．０Ｗ〜１００００Ｗが好ましく、１．０Ｗ〜４０００Ｗの範囲で行うことが更に好ましい。
【０１１０】
具体的にＰＥＣＶＤ装置として、図１の１に平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を示す。図１に示す平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置は、ＰＥＣＶＤ装置チャンバー内にシャワーヘッド上部電極と基板の温度制御が可能な下部電極、原料化合物をチャンバーに気化供給する気化器装置と高周波電源とマッチング回路から成るプラズマ発生装置、真空ポンプから成る排気系から成る。
【０１１１】
ＰＥＣＶＤ装置１は、ＰＥＣＶＤチャンバー２、原料化合物をチャンバー内に均一に供給する為のシャワーヘッドを有する上部電極３、Ｓｉ基板等の薄膜形成用基板５を設置する為の温度制御装置８を有する下部電極４、原料化合物を気化させるための気化装置９〜１５、プラズマ発生源であるマッチング回路６とＲＦ電源７、チャンバー内の未反応物及び副生物を排気する為の排気装置１６から成る。１７，１８は、アースである。
【０１１２】
プラズマ発生源であるマッチング回路６とＲＦ電源７は上部電極３に接続され、放電によりプラズマを発生させる。ＲＦ電源７の規格については特に限定されないが、当該技術分野で使用される電力が１Ｗ〜２０００Ｗ、好ましくは１０Ｗ〜１０００Ｗ、周波数が５０ｋＨｚ〜２．５ＧＨｚ、好ましくは１００ｋＨｚ〜１００ＭＨｚ、特に好ましくは２００ｋＨｚ〜５０ＭＨｚのＲＦ電源を用いることができる。
【０１１３】
基板温度の制御は特に限定されるものでは無いが、−９０〜１０００℃、好ましくは０℃〜５００℃の範囲である。
【０１１４】
気化装置は、常温常圧で液体である原料化合物１３を充填し、ディップ配管と上記不活性ガスにより加圧する配管１５を備えている容器１２、液体である原料化合物１３の流量を制御する液体流量制御装置１０、液体である原料化合物１３を気化させる気化器９、上記不活性ガスを気化器経由でＰＥＣＶＤ装置チャンバー内に供給する為の配管１４とその流量を制御する気体流量制御装置１１からなる。本気化装置は、気化器９からシャワーヘッドを備えた上部電極３に配管接続されている。
【０１１５】
気化した原料化合物、不活性ガス、水素、酸素、窒素、アンモニアガスのチャンバー内への供給量は特に限定されないが、０．１ｓｃｃｍ〜１００００ｓｃｃｍ、好ましくは１０ｓｃｃｍから５０００ｓｃｃｍである。
【０１１６】
具体的にＰＥＣＶＤ装置として、図２の１９に誘導結合型リモートＰＥＣＶＤ装置を示す。図２に示す誘導結合型リモートＰＥＣＶＤ装置は、ＰＥＣＶＤ装置チャンバー上部の石英の周りにコイル状に巻かれたプラズマ発生部、温度制御が可能な基板設置部、原料化合物をチャンバーに気化供給する気化器装置と高周波電源とマッチング回路から成るプラズマ発生装置、真空ポンプから成る排気系から成る。
【０１１７】
ＰＥＣＶＤ装置１９は、ＰＥＣＶＤチャンバー２０、プラズマ発生部であるコイル２１と石英管２２、Ｓｉ基板等の薄膜形成用基板２４を設置する為のヒーター部２３と温度制御装置２７、原料化合物を気化させるための気化装置２８〜３５、プラズマ発生源であるマッチング回路２５とＲＦ電源２６、チャンバー内の未反応物及び副生物を排気する為の排気装置３６から成る。３７はアースである。
【０１１８】
プラズマ発生部である石英周りのコイルはマッチング回路２５に接続され、石英管中にＲＦ電流によるアンテナ電流磁界で放電させ、プラズマを発生させる。ＲＦ電源２６の規格については特に限定されないが、当該技術分野で使用される電力が１Ｗ〜２０００Ｗ、好ましくは１０Ｗ〜１０００Ｗ、周波数が５０ｋＨｚ〜２．５ＧＨｚ、好ましくは１００ｋＨｚ〜１００ＭＨｚ、特に好ましくは２００ｋＨｚ〜５０ＭＨｚのＲＦ電源を用いることができる。
【０１１９】
基板温度の制御は特に限定されるものでは無いが、−９０〜１０００℃、好ましくは０℃〜５００℃の範囲である。
【０１２０】
気化装置は、常温常圧で液体である原料化合物３３を充填し、ディップ配管と上記不活性ガスにより加圧する配管３５を備えている容器３２、液体である原料化合物３３の流量を制御する液体流量制御装置２９、液体である原料化合物３３を気化させる気化器２８、上記不活性ガスを気化器経由でＰＥＣＶＤ装置チャンバー内に供給する為の配管３４とその流量を制御する気体流量制御装置３０と不活性ガスとガス化した原料化合物３３をチャンバー内に均一に供給する為のシャワーヘッド３１から成る。
【０１２１】
気化した原料化合物、不活性ガス、水素、酸素、窒素、アンモニアガスのチャンバー内への供給量は特に限定されないが、０．１ｓｃｃｍ〜１００００ｓｃｃｍ、好ましくは１０ｓｃｃｍから５０００ｓｃｃｍである。
【０１２２】
原料化合物は、上記で例示したＰＥＣＶＤ装置を用いて、不活性ガスとガス化した原料化合物、またはガス化した原料化合物をチャンバー内に供給し、ＲＦ電源による放電によりプラズマを発生させ、温度制御された基板上に成膜される。この際のチャンバー内の圧力は特に限定されるものではないが、０．１Ｐａ〜１００００Ｐａ、好ましくは１Ｐａ〜５０００Ｐａである。
【０１２３】
具体的にＰＥＣＶＤ装置として、図３の３８にマイクロ波ＰＥＣＶＤ装置を示す。石英製チャンバー３９、Ｓｉ基板等の薄膜形成用基板４０を設置する為のヒーター部４１と温度制御装置４２、原料化合物を気化させるための気化装置４３〜５０、マイクロ波発生源であるマッチング回路５１とマイクロ波発信器５２、及びマイクロ波反射板５３、チャンバー内の未反応物及び副生物を排気する為の排気装置５４から成る。
【０１２４】
マイクロ波発生源であるマッチング回路５１とマイクロ波発信器５２は、石英チャンバーに接続され、マイクロ波を石英チャンバー内に照射することでプラズマを発生させる。マイクロ波の周波数については特に限定されないが、当該技術分野で使用される周波数１ＭＨｚ〜５０ＧＨｚ、好ましくは０．５ＧＨｚ〜１０ＧＨｚ、特に好ましくは１ＧＨｚ〜５ＭＨｚのマイクロ波を用いることができる。また、そのマイクロ波出力については、０．１Ｗ〜２００００Ｗ、好ましくは１Ｗ〜１００００Ｗを用いることができる。
【０１２５】
基板温度の制御は特に限定されるものでは無いが、−９０〜１０００℃、好ましくは０℃〜５００℃の範囲である。
【０１２６】
気化装置は、常温常圧で液体である原料化合物４８を充填し、ディップ配管と上記不活性ガスにより加圧する配管５０を備えている容器４７、液体である原料化合物４８の流量を制御する液体流量制御装置４４、液体である原料化合物４８を気化させる気化器４３、上記不活性ガスを気化器経由でＰＥＣＶＤ装置チャンバー内に供給する為の配管４９とその流量を制御する気体流量制御装置４５と不活性ガスとガス化した原料化合物４８をチャンバー内に均一に供給する為のシャワーヘッド４６から成る。
【０１２７】
気化した原料化合物、不活性ガス、水素、酸素、窒素、アンモニアガスのチャンバー内への供給量は特に限定されないが、０．１ｓｃｃｍ〜１００００ｓｃｃｍ、好ましくは１０ｓｃｃｍから５０００ｓｃｃｍである。
【０１２８】
原料化合物は、上記で例示したＰＥＣＶＤ装置を用いて、不活性ガスとガス化した原料化合物、またはガス化した原料化合物をチャンバー内に供給し、マイクロ波の照射によりプラズマを発生させ、温度制御された基板上に成膜される。この際のチャンバー内の圧力は特に限定されるものではないが、０．１Ｐａ〜１００００Ｐａ、好ましくは１Ｐａ〜５０００Ｐａである。
【０１２９】
また本発明では、ＣＶＤにより得られた炭素含有酸化ケイ素膜、またはそれからなる封止膜を、さらに熱処理、紫外線照射処理、または電子線処理することすることにより、緻密化もしくは機械的強度が向上した膜を得ることができる場合がある。本処理で得られた膜は封止膜やガスバリア膜として好適なものとなる場合がある。
【０１３０】
前述の一般式（２）で表される有機ケイ素化合物のうち、前述の（１５）に示したものは新規化合物である。これらに化合物は、例えば上記一般式（１）の有機ケイ素化合物を酸、アルカリ触媒存在下に加水分解することで製造することができる。
【０１３１】
また前述の一般式（３）で表される有機環状シロキサン化合物のうち、前述の（１５）に示したものは新規化合物である。これらの化合物は、例えば特開２００６−２３７５６２号公報に記載の方法に準じて製造することができる。
【０１３２】
さらに前述の一般式（４）で表される有機ケイ素化合物のうち、前述の（１５）に示したものは新規化合物である。これらの化合物は、例えば前述の方法で製造することができる。
【発明の効果】
【０１３３】
本発明によれば、少なくとも一つのアルコキシアルキルがケイ素原子に直結した構造を有する有機ケイ素化合物、例えば上記一般式（１）〜（４）に示す化合物を原料として用いてＣＶＤにより成膜して得られた炭素含有酸化ケイ素膜は、封止膜として用いることができ、その封止膜を用いて、緻密かつ高機械的強度のガスバリア層が形成可能であり、ガスバリア性能の高いガスバリア部材、それを用いたＦＰＤデバイス及び半導体を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を示した図である。
【図２】誘導結合型リモートＰＥＣＶＤ装置を示した図である。
【図３】マイクロ波ＰＥＣＶＤ装置を示した図である。
【実施例】
【０１３５】
以下に実施例を示すが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【０１３６】
膜厚測定は、株式会社アルバック製の触針式表面形状測定器デックタック（Ｄｅｋｔａｋ）６Ｍを用いた。また、生成膜の組成をＰｅｒｋｉｎ  Ｅｌｍｅｒ製ＥＳＣＡ５４００ＭＣを用いて測定した。酸素透過性は、ＪＩＳ  Ｋ  ７１２６−１法により、水透過性は、ＪＩＳ  Ｋ  ７１２９Ａ法でにより測定した。全光線透過率は、ＪＩＳ  Ｋ  ７３６１−１法により測定した。線膨張係数は、オーブン中で無荷重状態のフィルムサンプルを室温から２４０℃まで５ｄｅｇ．／ｍｉｎ．で昇温し、この間のフィルム長さの変化をＣＣＤカメラにより測定することで算出した。表面粗さは、Ｖｅｅｃｏｏ社製走査型プローブ顕微鏡  Ｎａｎｏ  Ｓｃｏｐｅ  ＩＩＩａを用い、タッピングモードＡＦＭにて測定した。
【０１３７】
実施例１（容量結合型ＰＥＣＶＤ装置による（１−メトキシメチル）メチルジメトキシシランを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜）
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いてポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させた（１−メトキシメチル）メチルジメトキシシランの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。
【０１３８】
結果は膜厚９０１ｎｍであった。炭素含有酸化ケイ素封止膜の組成は、Ｓｉ＝２８ａｔｏｍ％、Ｃ＝２２ａｔｏｍ％、Ｏ＝５０ａｔｏｍ％であった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性０．２５ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ、水透過性０．１２ｇ／ｍ２・ｄａｙの結果であった。また全光線透過率は８７．０％、線膨張係数は１７ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは０．９ｎｍであった。
【０１３９】
実施例２（容量結合型ＰＥＣＶＤ装置による（１−メトキシメチル）メチルジメトキシシランを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜）
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いて、ポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させた（１−メトキシメチル）メチルジメトキシシランの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、酸素５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。
【０１４０】
結果は膜厚９６０ｎｍであった。炭素含有酸化ケイ素封止膜の組成は、Ｓｉ＝３１ａｔｏｍ％、Ｃ＝５ａｔｏｍ％、Ｏ＝６４ａｔｏｍ％であった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性０．０１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙの検出限界以下、水透過性０．０１ｇ／ｍ２・ｄａｙの検出限界以下の結果であった。また全光線透過率は８８．０％、線膨張係数は１２ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは０．８ｎｍであった。
【０１４１】
実施例３
［１，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサンの合成］
攪拌装置と滴下濾斗を備えた２００ｍｌのシュレンク管にトルエン２０．０ｇ（０．２１７ｍｏｌ）に０．０１Ｎの硫酸水溶液２．４ｇを仕込み、氷浴で冷却しつつ攪拌した。滴下濾斗より、メチル（メトキシメチル）ジメトキシシラン２０．０ｇ（０．１３３ｍｏｌ）を０℃にて３分間で滴下した。滴下終了後、０℃で３時間攪拌した。反応終了後、トルエンを留去し、減圧蒸留により、目的物である１，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサンを得た。
【０１４２】
収率は、２２．２％であり、メチル（メトキシメチル）ジメトキシシランの転換率は、６１．２％であった。
【０１４３】
単離した１，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサンを１Ｈ−ＮＭＲ、１３Ｃ−ＮＭＲ、ＧＣ−ＭＳ、及び元素分析で分析した結果は、以下の通りであった。
１Ｈ−ＮＭＲ；δ０．１７〜０．１９ｐｐｍ（ｍ，９Ｈ，３ＣＨ３−Ｓｉ）、
δ３．０４〜３．０７ｐｐｍ（ｍ，６Ｈ，３ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２Ｓｉ）、
δ３．３４〜３．３６ｐｐｍ（ｍ，９Ｈ，３ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２Ｓｉ）
δ３．５４〜３．５６ｐｐｍ（ｍ，６Ｈ，２ＣＨ３−Ｏ−Ｓｉ）
１３Ｃ−ＮＭＲ；δ−２．２ｐｐｍ（ＣＨ３−Ｓｉ）、
δ５０．８ｐｐｍ（ＣＨ３−Ｏ−Ｓｉ）
δ６２．９ｐｐｍ（ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２Ｓｉ）、
δ６５．８ｐｐｍ（ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２Ｓｉ）
ＧＣ−ＭＳ；Ｍｗ＝３５８
元素分析；Ｃ１１Ｈ３０О７Ｓｉ３
［容量結合型ＰＥＣＶＤ装置による１，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサンを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜］
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いて、ポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させた１，３，５−トリス（メトキシメチル）−１，３，５−トリメチル−１，５−ジメトキシトリシロキサンの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。
【０１４４】
結果は膜厚１５６３ｎｍであった。炭素含有酸化ケイ素封止膜の組成は、Ｓｉ＝３５ａｔｏｍ％、Ｃ＝３０ａｔｏｍ％、Ｏ＝３５ａｔｏｍ％であった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性０．０１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙの検出限界以下、水透過性０．０１ｇ／ｍ２・ｄａｙの検出限界以下の結果であった。また全光線透過率は８９．０％、線膨張係数は１２ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは０．５ｎｍであった。
【０１４５】
実施例４（容量結合型ＰＥＣＶＤ装置による２，４，６，８−テトラキス（メトキシメチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサンを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜）
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いて、ポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させた２，４，６，８−テトラキス（メトキシメチル）−２，４，６，８−テトラメチルシクロテトラシロキサンの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。
【０１４６】
結果は、膜厚１５８９ｎｍであった。炭素含有酸化ケイ素封止膜の組成は、Ｓｉ＝３１ａｔｏｍ％、Ｃ＝３９ａｔｏｍ％、Ｏ＝３０ａｔｏｍ％であった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性０．０１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ未満、水透過性０．０１ｇ／ｍ２・ｄａｙ未満であった。また全光線透過率は８８．５％、線膨張係数は１４ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは０．８ｎｍであった。
【０１４７】
実施例５
［テトラキス（メトキシメチル）シランの合成］
電磁式攪拌装置と滴下濾斗を備えた５００ｍｌの四ツ口フラスコにＴＨＦ３０５ｍｌ、平均粒径６０μｍのＮａディスパージョン４８．３ｇ（２．１０ｍｏｌ）、テトラメトキシシラン４１．７ｇ（０．２７ｍｏｌ）を仕込み、室温にて攪拌した。
【０１４８】
滴下濾斗より、クロロメチルメチルエーテル１７０ｇ（２．１１ｍｏｌ）を室温にて
１５０分間で滴下した。滴下終了後、室温で３時間攪拌した。反応終了後、ガラスフィルターで残渣を除去し、得られたＴＨＦ溶液からＴＨＦを留去した。更に減圧蒸留により、目的物であるテトラキス（メトキシメチル）シランを得た。単離収率は、７３．４％であった。
【０１４９】
［容量結合型ＰＥＣＶＤ装置によるテトラキス（メトキシメチル）シランを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜］
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いて、ポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させたテトラキス（メトキシメチル）シランの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。
【０１５０】
結果は膜厚１５０５ｎｍであった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性０．０１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙの検出限界以下、水透過性３．３×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙの結果であった。また全光線透過率は８９．６％、線膨張係数は１２ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは０．４ｎｍであった。
【０１５１】
実施例６
［トリス（メトキシメチル）エチルシランの合成］
実施例５においてテトラメトキシシランに代えて、エチルトリメトキシシラン４０．６ｇ（０．２７ｍｏｌ）としたこと以外は、実施例５と同様にして合成し、目的物であるトリス（メトキシメチル）エチルシランを得た。単離収率は、７７．４％であった。
【０１５２】
単離したトリス（メトキシメチル）エチルシランを１Ｈ−ＮＭＲ、１３Ｃ−ＮＭＲ、ＩＲ、ＧＣ−ＭＳ、及び元素分析で分析した結果は、以下の通りであった。
１Ｈ−ＮＭＲ；δ０．６８ｐｐｍ（ｑ，２Ｈ，ＣＨ３−ＣＨ２−Ｓｉ）、
δ０．９７ｐｐｍ（ｔ，３Ｈ，ＣＨ３−ＣＨ２−Ｓｉ）、
δ３．２４ｐｐｍ（ｓ，６Ｈ，３ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２−Ｓｉ）、
δ３．２９ｐｐｍ（ｓ，９Ｈ，３ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２Ｓｉ）
１３Ｃ−ＮＭＲ；δ０．８３ｐｐｍ（ＣＨ３ＣＨ２−Ｓｉ）、
δ７．１６ｐｐｍ（ＣＨ３ＣＨ２−Ｓｉ）、
δ６１．８ｐｐｍ（ＣＨ３−ＯＣＨ２−Ｓｉ）、
δ６３．４ｐｐｍ（ＣＨ３Ｏ−ＯＣＨ２−Ｓｉ）
ＩＲ（ｃｍ−１）；２９７４〜２８０８、１２１５、１１７８、１１０３、９３２〜７９７
ＧＣ−ＭＳ；Ｍｗ＝１９２
元素分析；Ｃ８Ｈ２０О３Ｓｉ
［容量結合型ＰＥＣＶＤ装置によるトリス（メトキシメチル）エチルシランを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜］
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いて、ポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させたトリス（メトキシメチル）エチルシランの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。
【０１５３】
結果は膜厚１１２３ｎｍであった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性０．０１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙの検出限界以下、水透過性４．０×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙの結果であった。また全光線透過率は８９．０％、線膨張係数は１３ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは０．５ｎｍであった。
【０１５４】
実施例７
［トリス（メトキシメチル）シクロヘキシルシランの合成］
実施例５においてテトラメトキシシランに代えて、シクロヘキシルトリメトキシシラン５５．１ｇ（０．２７ｍｏｌ）としたこと以外は、実施例５と同様にして合成し、目的物であるトリス（メトキシメチル）シクロヘキシルシランを得た。単離収率は、７１．９％であった。
【０１５５】
単離したトリス（メトキシメチル）シクロヘキシルシランを１Ｈ−ＮＭＲ、１３Ｃ−ＮＭＲ、ＩＲ、ＧＣ−ＭＳ、及び元素分析で分析した結果は、以下の通りであった。
１Ｈ−ＮＭＲ；
δ０．９８ｐｐｍ（ｍ，１Ｈ，Ｃｙｃｌｏ−（ＣＨ２）３−（ＣＨ２）２−ＣＨ−Ｓｉ）、
δ１．２４ｐｐｍ（ｍ，４Ｈ，Ｃｙｃｌｏ−（ＣＨ２）３−（ＣＨ２）２−ＣＨ−Ｓｉ）、
δ１．７１ｐｐｍ（ｍ，６Ｈ，Ｃｙｃｌｏ−（ＣＨ２）３−（ＣＨ２）２−ＣＨ−Ｓｉ）、
δ３．２８ｐｐｍ（ｓ，６Ｈ，３ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２−Ｓｉ）、
δ３．３２ｐｐｍ（ｓ，９Ｈ，３ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２−Ｓｉ）
１３Ｃ−ＮＭＲ；
δ２１．６ｐｐｍ（Ｃｙｃｌｏ−ＣＨ２−（ＣＨ２）２−（ＣＨ２）２−ＣＨ−Ｓｉ）、
δ２６．９ｐｐｍ（Ｃｙｃｌｏ−ＣＨ２−（ＣＨ２）２−（ＣＨ２）２−ＣＨ−Ｓｉ）、
δ２７．６ｐｐｍ（Ｃｙｃｌｏ−ＣＨ２−（ＣＨ２）２−（ＣＨ２）２−ＣＨ−Ｓｉ）、
δ２８．０ｐｐｍ（Ｃｙｃｌｏ−ＣＨ２−（ＣＨ２）２−（ＣＨ２）２−ＣＨ−Ｓｉ）、
δ６１．４ｐｐｍ（ＣＨ３−ＯＣＨ２−Ｓｉ）、
δ６３．５ｐｐｍ（ＣＨ３Ｏ−ＯＣＨ２−Ｓｉ）
ＩＲ（ｃｍ−１）；２９７４〜２８０６、１４４７、１４２２、１２１８、１１７９、１１０４、９３４〜７９１
ＧＣ−ＭＳ；Ｍｗ＝２４６
元素分析；Ｃ１２Ｈ２６О３Ｓｉ
［容量結合型ＰＥＣＶＤ装置によるトリス（メトキシメチル）シクロヘキシルシランを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜］
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いて、ポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させたトリス（メトキシメチル）シクロヘキシルシランの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。
【０１５６】
結果は膜厚１１４７ｎｍであった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性０．０１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙの検出限界以下、水透過性２．０×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙの結果であった。また全光線透過率は８９．１％、線膨張係数は１３ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは０．５ｎｍであった。
【０１５７】
実施例８
［ビス（メトキシメチル）ジメチルシランの合成］
実施例５においてテトラメトキシシランに代えて、ジメチルジメトキシシラン３２．５ｇ（０．２７ｍｏｌ）としたこと以外は、実施例５と同様にして合成し、目的物であるビス（メトキシメチル）ジメチルシランを得た。単離収率は、５２．６％であった。
【０１５８】
単離したビス（メトキシメチル）ジメチルシランを１Ｈ−ＮＭＲ、１３Ｃ−ＮＭＲ、ＩＲ、ＧＣ−ＭＳ、及び元素分析で分析した結果は、以下の通りであった。
１Ｈ−ＮＭＲ；δ０．０７２ｐｐｍ（ｓ，６Ｈ，２ＣＨ３−Ｓｉ）、
δ３．１５ｐｐｍ（ｓ，４Ｈ，２ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２−Ｓｉ）、
δ３．３３ｐｐｍ（ｓ，６Ｈ，２ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２Ｓｉ）
１３Ｃ−ＮＭＲ；δ−６．１０ｐｐｍ（ＣＨ３−Ｓｉ）、
δ６３．５ｐｐｍ（ＣＨ３−ＯＣＨ２−Ｓｉ）、
δ６５．２ｐｐｍ（ＣＨ３Ｏ−ＯＣＨ２−Ｓｉ）
ＩＲ（ｃｍ−１）；２９７４〜２８０８、１５３５、１４２３、１２５０、１１７８、１１１１、９３５〜７０８
ＧＣ−ＭＳ；Ｍｗ＝１４８
元素分析；Ｃ６Ｈ１６О２Ｓｉ
［容量結合型ＰＥＣＶＤ装置によるビス（メトキシメチル）ジメチルシランを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜］
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いて、ポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させたビス（メトキシメチル）ジメチルシランの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。
【０１５９】
結果は膜厚１６５０ｎｍであった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性０．０１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙの検出限界以下、水透過性２．０×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙの結果であった。また全光線透過率は８９．０％、線膨張係数は１３ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは０．４ｎｍであった。
【０１６０】
実施例９
［１，２−ビス［トリス（メトキシメチル）シリル］エタンの合成］
実施例５においてテトラメトキシシランに代えて、１，２−ビス（トリメトキシシリル）エタン３６．５ｇ（０．１３５ｍｏｌ）としたこと以外は、実施例５と同様にして合成し、目的物である１，２−ビス［トリス（メトキシメチル）シリル］エタンを得た。単離収率は、１４．９％であった。
【０１６１】
単離した１，２−ビス［トリス（メトキシメチル）シリル］エタンを１Ｈ−ＮＭＲ、１３Ｃ−ＮＭＲ、ＩＲ、ＧＣ−ＭＳ、及び元素分析で分析した結果は、以下の通りであった。
１Ｈ−ＮＭＲ；δ０．６６ｐｐｍ（ｍ，４Ｈ，Ｓｉ−ＣＨ２−ＣＨ２−Ｓｉ）、
δ３．３２ｐｐｍ（ｓ，１２Ｈ，６ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２−Ｓｉ）、
δ３．５５ｐｐｍ（ｓ，１８Ｈ，６ＣＨ３−Ｏ−ＣＨ２Ｓｉ）
１３Ｃ−ＮＭＲ；δ０．４０ｐｐｍ（Ｓｉ−ＣＨ２−ＣＨ２−Ｓｉ）、
δ６１．８ｐｐｍ（ＣＨ３−ＯＣＨ２−Ｓｉ）、
δ６３．６ｐｐｍ（ＣＨ３Ｏ−ＯＣＨ２−Ｓｉ）
ＩＲ（ｃｍ−１）；２９７３〜２８０９、１４６５、１４２２、１１９３、１１０１、９３４〜７８４
ＧＣ−ＭＳ；Ｍｗ＝３５４
元素分析；Ｃ１４Ｈ３４О６Ｓｉ２
［容量結合型ＰＥＣＶＤ装置による１，２−ビス［トリス（メトキシメチル）シリル］エタンを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜］
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いて、ポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させた１，２−ビス［トリス（メトキシメチル）シリル］エタンの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。
【０１６２】
結果は膜厚１１４９ｎｍであった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性０．０１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙの検出限界以下、水透過性３．３×１０−３ｇ／ｍ２・ｄａｙの結果であった。また全光線透過率は８９．７％、線膨張係数は１２ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは０．４ｎｍであった。
【０１６３】
比較例１（容量結合型ＰＥＣＶＤ装置によるテトラメトキシシランを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜）
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いてポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させたテトラメトキシシランの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１３３Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。
【０１６４】
結果は、膜厚１３６ｎｍであった。炭素含有酸化ケイ素封止膜の組成は、Ｓｉ＝３５ａｔｏｍ％、Ｃ＝１３ａｔｏｍ％、Ｏ＝５２ａｔｏｍ％であった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性１．７５ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ、水透過性１．６７ｇ／ｍ２・ｄａｙであった。また全光線透過率は８６．４％、線膨張係数は３２ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは２６ｎｍであった。
【０１６５】
比較例２（容量結合型ＰＥＣＶＤ装置によるテトラメチルシクロテトラシロキサンを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜）
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いてポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させたテトラメチルシクロテトラシロキサンの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。結果は、膜厚４７０ｎｍであった。炭素含有酸化ケイ素封止膜の組成は、Ｓｉ＝３１ａｔｏｍ％、Ｃ＝２０ａｔｏｍ％、Ｏ＝４９ａｔｏｍ％であった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性０．５３ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ、水透過性０．２９ｇ／ｍ２・ｄａｙであった。また全光線透過率は８８．５％、線膨張係数は２０ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは１．３ｎｍであった。
【０１６６】
比較例３（容量結合型ＰＥＣＶＤ装置によるヘキサメチルジシロキサンを用いた炭素含有酸化ケイ素封止膜の成膜）
図１に示した平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置を用いて、ポリエチレンナフタレートフィルム基板上に成膜した。成膜条件は、気化させたヘキサメチルジシロキサンの流量５０ｓｃｃｍ、ヘリウムガスの流量５０ｓｃｃｍ、チャンバー内圧１０Ｐａ、基板温度室温、ＲＦ電源電力２００Ｗ、ＲＦ電源周波数１３．５６ＭＨｚの条件で１０分間成膜した。結果は、膜厚４９３ｎｍであった。炭素含有酸化ケイ素封止膜の組成は、Ｓｉ＝２５ａｔｏｍ％、Ｃ＝４１ａｔｏｍ％、Ｏ＝３４ａｔｏｍ％であった。ガス透過性を測定したところ、酸素透過性２．０１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ、水透過性０．７０ｇ／ｍ２・ｄａｙであった。また全光線透過率は８８．０％、線膨張係数は２０ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは１．５ｎｍであった。
【０１６７】
比較例４
使用したポリエチレンナフタレートフィルム基板のガス透過性、全光線透過率、線膨張係数及び表面粗さを測定した。酸素透過性２１．０ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ、水透過性６．７０ｇ／ｍ２・ｄａｙであった。また全光線透過率は８６．９％、線膨張係数は３５ｐｐｍ／ｄｅｇ．、表面粗さは１．４ｎｍであった。
【符号の説明】
【０１６８】
１  平行平板容量結合型ＰＥＣＶＤ装置
２  ＰＥＣＶＤチャンバー
３  シャワーヘッドを有する上部電極
４  下部電極
５  薄膜形成用基板
６  マッチング回路
７  ＲＦ電源
８  温度制御装置
９  気化器
１０  液体流量制御装置
１１  気体流量制御装置
１２  容器
１３  原料化合物
１４  不活性ガスを気化器経由でＰＥＣＶＤ装置チャンバー内に供給する為の配管
１５  不活性ガスにより加圧する配管
１６  排気装置
１７  アース
１８  アース
１９  誘導結合型リモートＰＥＣＶＤ装置
２０  ＰＥＣＶＤチャンバー
２１  コイル
２２  石英管
２３  ヒーター部
２４  薄膜形成用基板
２５  マッチング回路
２６  ＲＦ電源
２７  温度制御装置
２８  気化器
２９  液体流量制御装置
３０  気体流量制御装置
３１  シャワーヘッド
３２  容器
３３  原料化合物
３４  不活性ガスを気化器経由でＰＥＣＶＤ装置チャンバー内に供給する為の配管
３５  不活性ガスにより加圧する配管
３６  排気装置
３７  アース
３８  マイクロ波ＰＥＣＶＤ装置
３９  石英製チャンバー
４０  薄膜形成用基板
４１  ヒーター部
４２  温度制御装置
４３  気化器
４４  液体流量制御装置
４５  気体流量制御装置
４６  シャワーヘッド
４７  容器
４８  原料化合物
４９  不活性ガスを気化器経由でＰＥＣＶＤ装置チャンバー内に供給する為の配管
５０  不活性ガスにより加圧する配管
５１  マッチング回路
５２  マイクロ波発信器
５３  マイクロ波反射板
５４  排気装置
【図１】
2012140700.tif 000016
【図２】
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【図３】
2012140700.tif 000018