【事件の表示】
　平成　４年特許願第　　７８３４号「投影露光装置」拒絶査定に対する審判事件［平成　５年　８月　６日出願公開、特開平　５−１９８４７４］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成４年１月２０日の出願であって、原審において拒絶査定され、その後審判請求された後、当審において本件請求項１に係る発明は、特許法第３６条第４及び第５項の規定に違反している旨の拒絶理由を通知し、本件請求項１の補正がなされたものである。
１．１　本件請求項１に記載された発明（以下、「本願発明」という。）
「マスクに形成されたパターンを投影光学系を介してウェハ上に投影露光する投影露光装置において、
　前記マスクを照明する２次光源位置のみに、２次光源の射出面内強度分布が周辺部と中央部の両者がその中間部分に対して大となる２次光源変調用のフィルタを設置してなり、
　前記２次光源の半径をＬとし、該２次光源の動径方向座標をｒとした時、前記２次光源の射出面内強度分布が、２次光源上の０．６７Ｌ≦ｒ＜Ｌから外側の範囲において大となり、且つ中心から０．３Ｌ≦ｒ≦０．５Ｌの範囲までにおいて大となる領域を有することを特徴とする投影露光装置。」
２．原審の拒絶理由の概要
　原審の拒絶の理由の概要は、
「この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願の日前の特許（実用新案登録）出願であって、その出願後に出願公告（特許掲載公報の発行又は実用新案掲載公報の発行）又は出願公開がされた下記の特許（実用新案登録）出願の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明（考案）と同一であり、しかも、この出願の発明者がその出願前の特許（実用新案登録）出願に係る上記の発明（考案）をした者と同一ではなく、またこの出願の時において、その出願人が上記特許（実用新案登録）出願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができない。
　　　　　記（引用文献等については引用文献等一覧参照）
　請求項１、２に対して：引用例１又は引用例２
　　　　　　引用文献等一覧
１．特願平０２−３０７９７７号（特開平０４−１７９９５８号）」
２．特願平０３−３１５９７６号（特開平０５−１６０００２号）」
というものである。
３．引用文献１（以下、「引用例」という。）に記載された事項
３．１　記載１
　第１頁左欄末行〜第１頁右欄第３行には、
「〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体等回路パターン転写に使用される投影型露光装置に関し、特に、ホールパターンの転写に好適な投影型露光装置に関するものである。」
と記載されている。
３．２　記載２
　第１頁右欄第４行〜第２頁左上欄第１８行には、
「〔従来の技術〕
　従来のこの種の投影露光装置の１つとして、照明光学系の瞳面で輪帯状の照明光量分布とする…空間フィルターを使用する装置が特開平２−１６６７１７号公報等で提案されている。
　ここで投影光学系の瞳面（絞り面）付近に、輪帯状の透過部を有する空間フィルターを設けた場合の効果について、第８図、第９図を用いて簡単に説明する。…
 第９図（ａ）は投影光学系の瞳面に輪帯状の透過部を持つ空間フィルター12を設けた光学系の略図である。このとき、輪帯の外側の径は、瞳の径と同一としてある。第９図（ｂ）はこのときの、ウェハ13上での微小ホールパターン10の像を表わす。第９図（ａ）の空間フィルター12を設けることにより、像のピークから暗点までの距離が短くなる、すなわち、像の分布の広さが小さくなる。このことは、アポダイゼーションとして広く知られている。
　また、このとき、同時に焦点深度の増大の効果も得られる。」
と記載されている。
３．３　記載３
　第３頁右上欄第１０行〜同頁右下欄第６行には、
「〔課題を解決する為の手段〕
上記目的の為に、本発明における投影型露光装置では、照明光学系の瞳面あるいはその近傍において照明光の光量分布を、光軸を中心とする半径ｒ１のほぼ円形内の第１領域と、半径ｒ２のほぼ円形と、半径ｒ３のほぼ円形（ｒ１＜ｒ２＜ｒ３）との中間の輪帯状の第２領域とで強くする光学部材を設け、この光学部材により、上記の第１領域に対する第２領域の光量の比を、少なくとも２倍以上となるようにした。
　同時に、投影光学系の瞳面もしくはその近傍には着脱及び交換可能な、輪帯状の透過部を持つ空間フィルターを設けた。
［作用］
　本発明においては、照明光学系の瞳面近傍での照明光量の分布は、前述のσ値の小さい照明系（半径ｒ１内のほぼ円形の第１領域）と、輪帯状の照明系（半径ｒ２からｒ３の輪帯状の第２領域）とを同時に使ったときの和として表わされる。ただし、輪帯状の照明系からの照明光量は、σ値の小さな照明系からの照明光に比べ半分以下である。
　このため、σ値の小さな照明系を使ったときと等価な、半径ｒ１内のほぼ円形部よりの照明光により、微細なホールパターンの像がウエハに投影され、輪帯状の照明系を使ったときと等価な半径ｒ２〜ｒ３の輪帯部からの照明により、大きなホールパターンの像がウエハに投影される。
…
　また、前述のとおり投影光学系内の瞳面に設けた輪帯状の空間フィルターにより、解像度が向上し、焦点深度が増大する効果は本発明においても同様に得られる。」
と記載されている。
３．４　記載４
　第２頁右下欄第８行〜同欄第９行には、「照明光学系中の瞳面にできる光源像を輪帯状にした」
と記載されている。
３．５　記載５
　第３頁右下欄第１１行〜第２０行には、
「照明光は…フォトマスク９のフーリエ変換面に設けられた空間フィルター５により一部遮光される。第２図は、空間フィルター５を光軸方向から見た図であり、中心Ｏ…から半径ｒ１の円内５ｃと、中心Ｏから半径ｒ２とｒ３までの間の輪帯部５ｅは透過部…である。…中心の円内５ｃからの透過光量が、輪帯部５ｅからの透過光量に比べて、少なくとも２倍以上である」
と記載されている。
　なお、上記空間フィルター５は、記載３の「光学部材」と同義である。
３．２　本願発明と引用例に記載された発明との対比
３．２．１
　上記記載１からすると、引用例は、本願発明と同じ投影露光装置に関し、露光対象物も同一である。
　また、上記記載２からすると、投影露光装置の１つとして、照明光学系の瞳面で輪帯状の照明光量分布とする空間フィルターを使用する装置が引用例の出願前に既に公知であると認められ、その効果も公知であると認められる。
３．２．２
　さらに、上記記載３には、投影光学系の瞳面もしくはその近傍に、輪帯状の透過部を持つ空間フィルターを、「着脱」可能に設ける旨記載され、「また、前述のとおり投影光学系内の瞳面に設けた輪帯状の空間フィルター（以下、「引用例の構成Ａ」という。）により、「解像度が向上し、焦点深度が増大する効果は本発明においても同様に得られる。」と記載され、また、「本発明における投影型露光装置では、照明光学系の瞳面あるいはその近傍において照明光の光量分布を、光軸を中心とする半径ｒ１のほぼ円形内の第１領域と、半径ｒ２のほぼ円形と、半径ｒ３のほぼ円形（ｒ１＜ｒ２＜ｒ３）との中間の輪帯状第２領域とで強くする光学部材を設け、この光学部材により、上記第１領域に対する第２領域の光量の比を、少なくとも２倍以上となるようにした」（上記記載３）構成（以下、「引用例の構成Ｂ」という。）により、「σ値の小さな照明系を使ったときと等価な、半径ｒ１内のほぼ円形部よりの照明光により、微細なホールパターンの像がウエハに投影され、
　輪帯状の照明系を使ったときと等価な半径ｒ２〜ｒ３の輪帯部からの照明により、大きなホールパターンの像がウエハに投影される」（上記記載３）という作用効果を有する。
　そうすると、引用例の構成Ｂにおける光学部材は、引用例の構成Ａにおける輪帯状の空間フィルターとは別の作用効果を有し、上記引用例の構成Ｂを有する発明が構成Ａとは独立して記載されていると認める。
３．２．３
　上記記載５は、         
   πｒ１２＞π（ｒ３−ｒ２）２　　…　式（１）
を意味するが、ｒ３は、本願発明のＬに相当するから、式（１）は、
   π（ａＬ）２＞２π（Ｌ−ｂＬ）２　　…　式（２）
 （但し、ｒ１＝ａＬ、ｒ２＝ｂＬ とする。）
と書け、式（２）は、
  ａ＞√２（１−ｂ）　　…　式（３）
と整理することができる。
　そこで、本件発明の構成要件である、
　…　式（４）
となる。
　本件発明と、原審での上記引用例では、ｒ１とｒ３の定義が逆になっていることを考慮すると、式（４）のr２及びr３の範囲は、式（３）のａ及びｂに相当する値が、
であることを要求している。
　式（3）において、ｂが1に近づけば、式（３）の右辺は0に近づき、式（５）と式（３）の両方を満たすａが存在することは計算するまでもなく明らかである。
　さらに、式（５）において式（３）を満たすｂとして最も厳しいｂの値ｂ＝0.67を式（３）に代入すると、
　ａ＞√２（１−0.67）≒0.47　　…　式（６）
となり、式（５）と式（３）の両方を満たすａが存在する。
　そうすると、本件発明と、原審での上記引用例は、数値が広い範囲で一致する。
３．２．４
　また、上記記載４からすると、引用例の空間フィルター５は、２次光源位置に設置されていると認められる。
３．３　判断
　上記３．２．２、３．２．３及び３．２．４により、上記引用例には、本願発明の構成が記載されており、又、３．２．１から、引用例記載の発明は、本願発明と同じ産業上の利用分野に属するから、引用例には、本願発明が記載されていると認める。
６．むすび
　従って、本願請求項１に係る発明は、その出願の日前の特許出願であって、その出願後に出願公開がされた特願平０２−３０７９７７号の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、この出願の発明者がその出願前の特許出願に係る上記の発明をした者と同一ではなく、またこの出願の時において、その出願人が上記特許出願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により、特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。