(57)【要約】      （修正有）【課題】様々なサイズの表示基板を確実に保持することができ、なおかつ、吸着エリア切替バルブの点数を少なくすることが可能なＦＰＤモジュール組立装置を提供する。【解決手段】吸着面に第１吸着孔群と第２吸着孔群と、それらを制御する第１吸着領域切替用弁および第２吸着領域切替用弁とを備える。さらに、第１吸着孔群を構成する吸着孔のうち、第２吸着領域に最も近い位置にある境界吸着孔と、第１配管との間に設けられる自動切替機能付弁を備える。自動切替機能付弁は、真空発生器による吸引時に、境界吸着孔が表示基板によって完全に塞がれた場合には境界吸着孔と第１配管との間を流れる空気を連通させ、境界吸着孔が表示基板によって完全に塞がれていない場合には境界吸着孔と第１配管との間を流れる空気を遮断する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吸着孔が形成された吸着面を有し、該吸着面上に載置された表示基板を吸着する表示基板保持機構を備え、
前記表示基板保持機構は、
前記複数の吸着孔から空気を吸引するための真空発生器と、
前記複数の吸着孔のうち、前記吸着面の第１吸着領域に形成された第１吸着孔群と、前記真空発生器とを接続する第１配管と、
前記第１配管に設けられ、開閉することで前記真空発生器から前記第１吸着孔群への空気の流れをまとめて制御する第１吸着領域切替用弁と、
前記複数の吸着孔のうち、前記吸着面の前記第１吸着領域以外の第２吸着領域に形成された第２吸着孔群と、前記真空発生器とを接続する第２配管と、
前記第２配管に設けられ、開閉することで前記真空発生器から前記第２吸着孔群への空気の流れをまとめて制御する第２吸着領域切替用弁と、
前記第１吸着孔群を構成する吸着孔のうち、前記第２吸着領域に最も近い位置にある境界吸着孔と、第１配管との間に設けられる自動切替機能付弁と、を備え、
前記自動切替機能付弁は、前記真空発生器による吸引時に、前記境界吸着孔が前記表示基板によって完全に塞がれた場合には前記境界吸着孔と前記第１配管との間を流れる空気を連通させ、前記境界吸着孔が前記表示基板によって完全に塞がれていない場合には前記境界吸着孔と前記第１配管との間を流れる空気を遮断する
ＦＰＤモジュール組立装置。
【請求項２】
前記表示基板保持機構の前記吸着面の吸着領域の大きさは、前記表示基板の長辺部あるいは短辺部の長さに応じて変更される
請求項１に記載のＦＰＤモジュール組立装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ（FPD:Flat Panel Display）の表示基板に電子部品（搭載部品）を実装するＦＰＤモジュール組立装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＦＰＤとしては、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ、プラズマディスプレイなどがある。ＦＰＤにおける表示基板の周縁部には、ＣＯＦ（Chip on Film）やＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）等の搭載部材がＴＡＢ（Tape Automated Bonding）接続される。これらのＴＡＢ接続が行われる搭載部材は、総称してＴＡＢと呼ばれている。このＴＡＢのことを以下では搭載部材と呼称する。
【０００３】
また、表示基板の周辺には、例えば、ＰＣＢ（Printed Circuit Board）などの周辺基板が実装される。その結果、ＦＰＤモジュールが組み立てられる。
【０００４】
ＦＰＤモジュール組立装置は、複数の処理作業工程を順次行うことで、ＦＰＤの表示基板における周縁部および周辺に、それぞれＴＡＢおよびＰＣＢ等を実装し、ＦＰＤモジュールを組み立てるものである。
【０００５】
ＦＰＤモジュール組立装置における処理作業工程の一例としては、（１）表示基板端部のＴＡＢ貼付け部を清掃する端子クリーニング工程と、（２）清掃されたＴＡＢ貼付け部に異方性導電フィルム（ＡＣＦ:Anisotropic Conductive Film）を貼り付けるＡＣＦ工程とがある。また、（３）表示基板のＡＣＦを貼り付けた位置に、ＴＡＢを位置決めして仮圧着する仮圧着工程と、（４）搭載したＴＡＢを加熱圧着してＡＣＦにより固定する本圧着工程とがある。さらに、（５）ＴＡＢの表示基板側とは反対側の面に、予めＡＣＦが貼り付けられたＰＣＢ基板を貼付けるＰＣＢ工程がある。
【０００６】
上記各作業工程では、作業を正確に行えるようにするため、作業時には当該作業がなされる表示基板の辺部（以下、「作業辺部」という）が動かないように支持される。この支持は、ＦＰＤモジュール組立装置を構成する吸着テーブルによって行われる（特許文献１，２を参照）。
【０００７】
従来の吸着テーブルは、複数の吸着孔が全体に亘って形成された吸着面を有する。そして、この吸着テーブルは、作業時に、当該吸着面に配置された表示基板を真空吸着して支持する。
【０００８】
ところで、表示基板には様々な種類のものがあり、その表示面のサイズもまちまちである。すべての種類の表示基板を支持可能にするため、吸着テーブルは、最も大きいサイズの表示基板の表示面よりも吸着面が大きくなるように構成される。吸着テーブルは、吸着面に配置された表示基板の表示面のサイズに応じて、吸着面の吸着エリアを変更（真空吸着する吸着孔を変更）する。吸着エリアの変更（真空吸着する吸着孔の変更）は、吸着面に形成された吸着孔を電磁弁（吸着エリア切替用バルブ）で開閉することによって行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−２２８４５２号公報
【特許文献２】特開２００２−２６１４９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記したように様々な種類の表示基板があるので、これらの表示基板を確実に保持するためには、細かく吸着エリアを設定する必要があり、設定された吸着エリアの数だけ吸着エリア切替用バルブを設けなければならない。そのため、吸着エリア切替用バルブの点数増大に伴い、ＦＰＤモジュール組立装置の製造費用が高くなるという問題があった。
【００１１】
本発明の目的は、上記の問題点を考慮し、様々なサイズの表示基板を確実に保持することができ、なおかつ、吸着エリア切替バルブの点数を少なくすることが可能なＦＰＤモジュール組立装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明のＦＰＤモジュール組立装置は、複数の吸着孔が形成された吸着面を有し、該吸着面上に載置された表示基板を吸着する表示基板保持機構を備える。
【００１３】
この表示基板保持機構は、複数の吸着孔から空気を吸引するための真空発生器と、複数の吸着孔のうち、吸着面の第１吸着領域に形成された第１吸着孔群と、真空発生器とを接続する第１配管と、第１配管に設けられ、開閉することで真空発生器から第１吸着孔群への空気の流れをまとめて制御する第１吸着領域切替用弁とを備える。
【００１４】
また、表示基板保持機構は、複数の吸着孔のうち、吸着面の第１吸着領域以外の第２吸着領域に形成された第２吸着孔群と、真空発生器とを接続する第２配管と、第２配管に設けられ、開閉することで真空発生器から第２吸着孔群への空気の流れをまとめて制御する第２吸着領域切替用弁とを備える。
【００１５】
さらに、表示基板保持機構は、第１吸着孔群を構成する吸着孔のうち、第２吸着領域に最も近い位置にある境界吸着孔と、第１配管との間に設けられる自動切替機能付弁を備える。
【００１６】
そして、この自動切替機能付弁は、真空発生器による吸引時に、境界吸着孔が表示基板によって完全に塞がれた場合には境界吸着孔と第１配管との間を流れる空気を連通させ、境界吸着孔が前記表示基板によって完全に塞がれていない場合には前記境界吸着孔と第１配管との間を流れる空気を遮断する。
【発明の効果】
【００１７】
上記構成のＦＰＤモジュール組立装置によれば、所定のサイズの表示基板が吸着面に配置された状態（以下、「配置状態」という）において、当該表示基板によって一部が塞がれる可能性がある境界吸着孔の直下に自動切替機能付弁を配置した。これにより、配置状態になると、この表示基板によってその一部が塞がれた境界吸着孔での吸引を自動的に停止することができる。その結果、従来のように、一部が塞がれた境界吸着孔での吸引のＯＮ／ＯＦＦを制御するための電磁弁を設ける必要がなくなる。したがって、設ける電磁弁の数を必要最低限に押さえることができ、コスト削減を図ることができる。
【００１８】
また、表示基板のサイズ（種類）によらず、表示基板によって塞がれた吸着孔だけで吸着を行うことができるので、表示基板を確実に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置によって実装組立を行うＦＰＤモジュール概略構成を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置の構成を示す上面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置の構成を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置を構成する吸着ビームおよび吸着テーブルの構成を示す上面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置を構成する真空圧供給ユニット構成を示す模式図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置の動作を示す上面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置の動作を示す上面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置の動作を示す上面図である。
【図９】本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置を構成する吸着ビームおよび吸着テーブルの構成を示す上面図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置を構成する真空圧供給ユニット構成を示す模式図である。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の動作を示す上面図である。
【図１２】本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の動作を示す上面図である。
【図１３】本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の動作を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明のＦＰＤモジュール組立装置の実施の形態例について、図１〜図１３を参照して説明する。なお、各図において共通の部材には、同一の符号を付す。
【００２１】
説明は以下の順序で行う。
１．一実施形態例
１−１．ＦＰＤモジュールの構成例
１−２．ＦＰＤモジュール組立装置の構成例
１−３．表示基板保持装置の構成例
１−４．表示基板保持装置の動作例
２．他の実施形態
２−１．表示基板保持装置の構成例
２−２．表示基板保持装置の動作例
【００２２】
１．本発明の一実施形態例
本発明の一実施形態例を、図１〜図８を参照して説明する。
【００２３】
１−１．ＦＰＤモジュールの構成例
まず、ＦＰＤモジュールについて、図１を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置によって組み立てられるＦＰＤモジュールの概略構成を示す平面図である。
【００２４】
図１に示すように、ＦＰＤモジュール７は、表示基板１と、複数の搭載部材２と、ＰＣＢ６とから構成される。
【００２５】
表示基板１は、その表示面が略長方形状に形成される。表示基板１の両短辺部には、搭載部材２が３枚ずつ接続（搭載）される。また、表示基板１の一方の長辺部には、ＰＣＢ６が貼り付けられた５枚１組の搭載部材２が２組接続（搭載）される。なお、これらの搭載部材２と表示基板１との接続（搭載）には、ＡＣＦ（不図示）が用いられる。また、表示基板１の搭載部材２が実装される両短辺部および一方の長辺部（作業辺部）には、当該搭載部材２と電気的に接続するための端子（端子部）が設けられる。
【００２６】
搭載部材２は、扁平な長方形のポリイミドフィルムに銅箔による印刷回路（不図示）を施したＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）４に、ＩＣチップ５を搭載した電子部品である。ＩＣチップ５は、ＦＰＣ４の略中央に実装される。ＦＰＣ４の下面には、印刷回路が設けられており、長手方向の両側（２つの長辺）にアウターリード端子（不図示）が設けられる。
【００２７】
１−２．ＦＰＤモジュール組立装置の構成例
次に、本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置の構成について、図２を参照して説明する。
図２は、本発明の一実施形態に係るＦＰＤモジュール組立装置を示す上面図である。
【００２８】
ＦＰＤモジュール組立装置１０は、表示基板１の搬送経路の上流からその下流側に向って（図２中のＸ軸方向の一側から他側に向って）表示基板１を搬送しながら、ＦＰＤモジュール７（図１参照）を組み立てるものである。以下では、Ｘ軸方向に直交する鉛直上下方向をＺ軸方向と定義し、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に直交する方向をＹ軸方向と定義する。
【００２９】
ＦＰＤモジュール組立装置１０は、受け入れユニット１００、仮圧着ユニット２００、本圧着ユニット３００およびＰＣＢ接続ユニット４００から構成される。これらの作業ユニット１００，２００，３００，４００は、図２中のＸ軸方向に沿って一側（図２の紙面左側）から他側（図２の紙面右側）に向う順で配置される。なお、図２の紙面下側をＹ軸方向の一側と定義し、図２の紙面上側をＹ軸方向の他側と定義する。
【００３０】
また、ＦＰＤモジュール組立装置１０は、次の処理を行う作業ユニットに表示基板１を搬送する搬送ユニット５００を備える。
【００３１】
仮圧着ユニット２００、本圧着ユニット３００およびＰＣＢ接続ユニット４００は、それぞれ表示基板保持装置６００を備える。表示基板保持装置６００は、搬送ユニット５００で搬送された表示基板１を吸着して各作業ユニット（仮圧着ユニット２００、本圧着ユニット３００およびＰＣＢ接続ユニット４００）の作業位置に配置する。また、表示基板保持装置６００は、作業位置に配置された表示基板１の作業辺部（両短辺部および一方の長辺部）を吸着して平坦化を行う。なお、表示基板保持装置６００のより詳細な構成については図３〜５を参照して後述する。
【００３２】
なお、本実施形態では、作業辺として両短辺部および一方の長辺部を処理する３辺処理の例について説明するが、他方の長辺部も処理する４辺処理の場合には、後述する吸着テーブル７１０（図３にて後述）をＺ軸を中心に回転させることで、他方の長辺部の平坦化を行うこともできる。
【００３３】
［仮圧着ユニット］
仮圧着ユニット２００は、表示基板１の作業辺部（両短辺部および一方の長辺部）に搭載部材２（図１参照）をＡＣＦによって仮圧着する。仮圧着ユニット２００では、予め搭載部材２にＡＣＦが貼り付けられる。そして、仮圧着ユニット２００は、ＡＣＦが貼り付けられた搭載部材２を表示基板１の作業辺部（両長辺部および一方の短辺部）に仮圧着（搭載）する。
【００３４】
仮圧着ユニット２００は、搭載部材供給部２２０と、ＡＣＦ貼付部２３０と、搭載部２４０とを備える。搭載部材供給部２２０は、リール２２１と、リール２２１を回転させるリール送り機構２２２と、打ち抜き機構２２３とを備える。
【００３５】
表示基板１に搭載する搭載部材２は、長尺のリボン状フィルムとしてリール２２１に巻きつけられる。リール２２１は、リール送り機構２２２によってＸ軸方向に平行な軸を中心に回転し、リボン状フィルムを規定ピッチで送り出す。打ち抜き機構２２３は、リール２２１から送り出されたリボン状フィルムを打ち抜いて、搭載部材２を個別に切り出す。切り出された搭載部材２は、取り出し機構（不図示）によって取り出され、ＡＣＦ貼付部２３０に供給される。
【００３６】
ＡＣＦ貼付部２３０は、搬入十字アーム２３１と、ＡＣＦ貼付ブロック２３２と、搬出十字アーム２３３とを備える。
【００３７】
搬入十字アーム２３１は、４つのアーム片を備えており、ＡＣＦ貼付ブロック２３２に搭載部材２を供給する。搬入十字アーム２３１の４つのアーム片は、それぞれ搭載部材２を真空吸着する。この搬入十字アーム２３１は、約９０度ずつ回転し、吸着した搭載部材２をＡＣＦ貼付ブロック２３２に渡す。
【００３８】
ＡＣＦ貼付ブロック２３２は、供給された搭載部材２の一方の長辺部にＡＣＦを貼り付ける。
【００３９】
搬出十字アーム２３３は、４つのアーム片を備える。搬出十字アーム２３３の４つのアーム片は、それぞれＡＣＦが貼り付けられた搭載部材２を真空吸着する。搬出十字アーム２３３は、約９０度ずつ回転し、真空吸着した搭載部材２を受け渡し部２３４に渡す。なお、受け渡し部２３４は、Ｘ軸ガイド２３５に移動可能に支持される。
【００４０】
搭載部２４０は、表示基板１の一方の長辺部に搭載部材２を搭載する長辺搭載部２４０Ａと、表示基板１の各短辺部に搭載部材２を搭載する短辺搭載部２４０Ｂ，２４０Ｃとから構成される。これらの長辺搭載部２４０Ａおよび短辺搭載部２４０Ｂ，２４０Ｃは、受け渡し部２３４から搭載部材２を受け取る。
【００４１】
長辺搭載部２４０Ａは、シャトルチャック２４１と、搭載ブロック２４２とを備える。
シャトルチャック２４１は、受け渡し部２３４から搭載部材２を受け取る。このシャトルチャック２４１は、Ｙ軸ガイド（不図示）に移動可能に支持される。そして、Ｙ軸ガイドは、Ｘ軸ガイド２４４に移動可能に支持される。これにより、シャトルチャック２４１は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能となる。シャトルチャック２４１は、受け渡し部２３４から受け取った搭載部材２を搭載ブロック２４２に渡す。
【００４２】
搭載ブロック２４２は、Ｘ軸ガイド２４５に移動可能に支持されており、シャトルチャック２４１から搭載部材２を受け取る。この搭載ブロック２４２は、搭載ヘッド（不図示）を有する。この搭載ヘッドは、表示基板１の長辺部における搭載位置に搭載部材２を仮圧着（搭載）する。
【００４３】
短辺搭載部２４０Ｂ，２４０Ｃは、長辺搭載部２４０Ａと同様の構成を有する。つまり、短辺搭載部２４０Ｂ，２４０Ｃは、シャトルチャック２４１と、搭載ブロック２４２とをそれぞれ備える。
【００４４】
短辺搭載部２４０Ｂ，２４０Ｃのシャトルチャック２４１は、Ｘ軸ガイド（不図示）に移動可能に支持される。そして、Ｘ軸ガイドは、Ｙ軸ガイド２４７に移動可能に支持される。短辺搭載部２４０Ｂ，２４０Ｃの搭載ブロック２４２は、Ｙ軸ガイド２４８に移動可能に支持されており、搭載ヘッド（不図示）によって、表示基板１の短辺における搭載位置に搭載部材２を仮圧着（搭載）する。
【００４５】
［本圧着ユニット］
本圧着ユニット３００は、３つの圧着部３２０Ａ，３２０Ｂおよび３２０Ｃを有し、表示基板１の両短辺部および一方の長辺部に搭載された搭載部材２（図１参照）の圧着作業を同時に、あるいは、オーバーラップさせて行う。３つの圧着部３２０Ａ，３２０Ｂおよび３２０Ｃは、上刃を有する圧着ヘッドと、上刃に対向する下刃とを備える。上刃および下刃は、ヒータにより加熱され、搭載部材２を加熱加圧して表示基板１に接続する。
【００４６】
［ＰＣＢ接続ユニット］
ＰＣＢ接続ユニット４００は、表示基板１の長辺部に接続されたソース側の搭載部材２にＰＣＢ６を接続する。ＰＣＢ接続ユニット４００は、ＰＣＢ供給装置４３０と、ＡＣＦ貼付装置４４０と、移載装置４５０と、本圧着部４６０とを備える。
【００４７】
ＰＣＢ供給装置４３０は、トレー（不図示）から供給されたＰＣＢ６を１枚ずつＡＣＦ貼付装置４４０に供給する。ＡＣＦ貼付装置４４０は、ＰＣＢ供給装置４３０から供給されたＰＣＢ６にＡＣＦを貼り付ける。移載装置４５０は、ＡＣＦの貼り付けが終了したＰＣＢ６を本圧着部４６０に搬送する。そして、本圧着部４６０は、ＰＣＢ６を加圧加熱して複数のソース側の搭載部材２に接続する。
なお、ＡＣＦ貼付ブロック２３２が搭載部材２の両方の長辺部にそれぞれＡＣＦを貼り付けることが可能な構成の場合は、ＡＣＦ貼付装置４４０を設けなくてもよい。この場合、移載装置４５０は、ＰＣＢ供給装置４３０から直接供給されたＰＣＢ６を本圧着部４６０に搬送する。
【００４８】
１−３．表示基板保持装置の構成例
次に、表示基板保持装置６００の構成について図３〜図５を参照して説明する。
図３は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置６００の構成を示す斜視図である。
図４は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置６００を構成する吸着ビームおよび吸着テーブルの構成を示す上面図である。
図５は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置６００を構成する真空圧供給ユニットの構成を示す模式図である。
【００４９】
表示基板保持装置６００（表示基板保持機構）は、図３に示すように、表示基板１を吸着して作業位置まで運ぶ供給搬送ユニット７００と、作業位置に配置された表示基板１の作業辺部（両短辺部および一方の長辺部）を吸着する吸着ビーム８００とを備える。また、表示基板保持装置６００は、図５に示すように、表示基板１を吸着するための真空圧を供給搬送ユニット７００および吸着ビーム８００に供給する真空圧供給ユニット９００をさらに備える。
【００５０】
供給搬送ユニット７００について説明する。
供給搬送ユニット７００は、図３に示すように、吸着ビーム８００のＹ軸方向の一側に配置される。供給搬送ユニット７００は、搬送ユニット５００（図２参照）から供給された表示基板１を作業ユニットの作業位置へ搬送し、吸着ビーム８００に載置する。
【００５１】
供給搬送ユニット７００は、吸着テーブル７１０と、回動駆動部７２０と、昇降部７３０と、Ｘ軸スライダ７４０と、Ｙ軸スライダ７５０と、Ｙ軸ガイド７６０とを備える。
【００５２】
吸着テーブル７１０は、載置された表示基板１を真空吸着する吸着面７１０Ａ（図４に示す吸着面７１１Ａ，７１２Ａ，７１３Ａ）を有し、この吸着面７１０Ａにより当該表示基板１を着脱可能に保持する。なお、吸着テーブル７１０の詳細な構成については図４を参照して後述する。
【００５３】
回動駆動部７２０は、Ｚ軸方向に平行な回動軸を中心に吸着テーブル７１０を回動させる。この回動駆動部７２０は、例えば、モータと、このモータにおける回転軸の回転速度を減速させる減速機構と、この減速機構と吸着テーブル７１０とを接続する接続部材とから構成される。また、回動駆動部７２０の減速機構としては、例えば、歯車減速機を用いることができる。
【００５４】
昇降部７３０は、回動駆動部７２０を支持する。この昇降部７３０は、回動駆動部７２０をＺ軸方向へ移動させる。これにより、吸着テーブル７１０は、回動駆動部７２０を介してＺ軸方向に移動可能となる。なお、昇降部７３０としては、例えば、エアシリンダや油圧シリンダなどを適用することができる。
【００５５】
Ｘ軸スライダ７４０は、昇降部７３０を支持する。Ｙ軸スライダ７５０は、Ｘ軸スライダ７４０をＸ軸方向に移動可能に支持する。Ｘ軸スライダ７４０は、Ｙ軸スライダ７５０上を移動するための駆動部を有しており、Ｙ軸スライダ７５０は、Ｙ軸ガイド７６０上を移動するための駆動部を有する。
【００５６】
なお、Ｘ軸スライダ７４０およびＹ軸スライダ７５０の駆動部、回動駆動部７２０、昇降部７３０は、制御部（不図示）により制御される。
【００５７】
次に、図４を参照して吸着テーブル７１０の構成について説明する。
吸着テーブル７１０は、固定吸着ボード７１１と、固定吸着ボード７１１を挟むようにＸ軸方向に沿って配置された第１および第２移動吸着ボード７１２，７１３とを備える。そして、吸着テーブル７１０は、第１移動吸着ボード７１２がＸ軸方向に移動可能となるように、固定吸着ボード７１１および第１移動吸着ボード７１２を連結する第１連結部７１４を備える。さらに、吸着テーブル７１０は、第２移動吸着ボード７１３がＸ軸方向に移動可能となるように、固定吸着ボード７１１および第２移動吸着ボード７１３を連結する第２連結部７１５を備える。なお、第１および第２連結部７１４，７１５は、第１および第２移動吸着ボード７１２，７１３がそれぞれ独立して移動可能になるよう構成される。
【００５８】
固定吸着ボード７１１は、両面が略長方形の板状部材で構成される。この固定吸着ボード７１１は、短辺部がＸ軸方向と平行となり、かつ、長辺部がＹ軸方向と平行となるように回動駆動部７２０（図３参照）に固定される。固定吸着ボード７１１の一方の面（鉛直上方側の面）が、吸着面７１１Ａである。なお、吸着面７１１Ａは、上述した吸着面７１０Ａの一部を構成する。
【００５９】
この吸着面７１１Ａには、一対の吸着孔７１６ａ〜７１６ｄがＹ軸方向に沿って等間隔に形成される。一対の吸着孔７１６ａ〜７１６ｄは、固定吸着ボード７１１のＹ軸方向の他側の端部から中間部にかけて配置される。
【００６０】
第１移動吸着ボード７１２は、固定吸着ボード７１１と同様の構成である。この第１移動吸着ボード７１２は、短辺部がＸ軸方向と平行となり、かつ、長辺部がＹ軸方向と平行となるように、固定吸着ボード７１１のＸ軸方向の他側に配置される。第１移動吸着ボード７１２の一方の面（鉛直上方側の面）が、吸着面７１２Ａである。なお、吸着面７１２Ａは、上述した吸着面７１０Ａの一部を構成する。
【００６１】
この吸着面７１２Ａには、一対の吸着孔７１７ａ〜７１７ｄがＹ軸方向に沿って等間隔に形成される。一対の吸着孔７１７ａ〜７１７ｄは、第１移動吸着ボード７１２のＹ軸方向の他側の端部から中間部にかけて配置される。
【００６２】
第２移動吸着ボード７１３も、固定吸着ボード７１１と同様の構成である。この第２移動吸着ボード７１３は、短辺部がＸ軸方向と平行となり、かつ、長辺部がＹ軸方向と平行となるように、固定吸着ボード７１１のＸ軸方向の一側に配置される。第２移動吸着ボード７１３の一方の面（鉛直上方側の面）が、吸着面７１３Ａである。なお、吸着面７１３Ａは、上述した吸着面７１０Ａの一部を構成する。
【００６３】
この吸着面７１３Ａにも、一対の吸着孔７１８ａ〜７１８ｄがＹ軸方向に沿って等間隔に形成される。一対の吸着孔７１８ａ〜７１８ｄは、第２移動吸着ボード７１３のＹ軸方向の他側の端部から中間部にかけて配置される。
【００６４】
第１連結部７１４は、固定吸着ボード７１１の吸着面７１１Ａと第１移動吸着ボード７１２の吸着面７１２Ａとが同一平面内に配置されるように、固定吸着ボード７１１および第１移動吸着ボード７１２を支持する。
【００６５】
また、第１連結部７１４は、不図示のガイド部材およびモータを備える。不図示のガイド部材は、第１連結部７１４とともに第１移動吸着ボード７１２をＸ軸方向に移動可能に支持する。また、不図示のモータは、これを駆動することで、第１移動吸着ボード７１２をガイド部材に沿ってＸ軸方向に移動させる。なお、このモータは制御部（不図示）によって制御される。
【００６６】
第２連結部７１５は、固定吸着ボード７１１の吸着面７１１Ａと第２移動吸着ボード７１３の吸着面７１３Ａとが同一平面内に配置されるように、固定吸着ボード７１１および第２移動吸着ボード７１３を支持する。
【００６７】
また、第２連結部７１５は、不図示のガイド部材およびモータを備える。不図示のガイド部材は、第２連結部７１５とともに第２移動吸着ボード７１３をＸ軸方向に移動可能に支持する。また、不図示のモータは、これを駆動することで、第２移動吸着ボード７１３をガイド部材に沿ってＸ軸方向に移動させる。なお、このモータは制御部（不図示）によって制御される。
【００６８】
次に、吸着ビーム８００について図４を参照して説明する。
吸着ビーム８００は、固定吸着バー８０１と、第１および第２移動吸着バー８０２，８０３と、第１および第２被移動吸着バー８０４，８０５と、モータ（不図示）から構成される。
【００６９】
固定吸着バー８０１は、四角柱状の棒状部材で構成される。固定吸着バー８０１の４つの側面のうちの一つの側面が吸着面８０１Ａである。固定吸着バー８０１は、吸着面８０１ＡがＺ軸に直交し、かつ、固定吸着バー８０１の軸がＸ軸方向と平行になるように、固定される。そして、固定吸着バー８０１は吸着面８０１Ａが搬送ユニット５００とＺ軸方向で対向するように（鉛直上方を向くように）配置される。この吸着面８０１Ａには、吸着孔８０６ａ〜８０６ｄがＸ軸方向に沿って等間隔に形成される。
【００７０】
固定吸着バー８０１の側面８０１Ｂ（Ｙ軸方向の他側の側面）には、不図示のガイド部材が設けられる。この不図示のガイド部材は、第１および第２移動吸着バー８０２，８０３をＸ軸方向に移動可能に支持する。吸着ビーム８００が備えるモータ（不図示）は、駆動されることで、第１および第２移動吸着バー８０２，８０３をそれぞれ独立してガイド部材に沿ってＸ軸方向に移動させる。なお、このモータは制御部（不図示）によって制御される。
【００７１】
第１移動吸着バー８０２は、固定吸着バー８０１と同様に、四角柱状の棒状部材で構成される。第１移動吸着バー８０２の４つの側面のうちの一つの側面が吸着面８０２Ａである。第１移動吸着バー８０２は、吸着面８０２ＡがＺ軸に直交し、かつ、軸がＸ軸方向と平行になるように、固定吸着バー８０１の側面８０１Ｂに沿って配置される。第１移動吸着バー８０２は、固定吸着バー８０１に設けられたガイド部材（不図示）によってＸ軸方向に移動可能に支持される。そして、吸着面８０２Ａは、固定吸着バー８０１の吸着面８０１Ａと同一平面内に配置される。
【００７２】
吸着面８０２Ａには、吸着孔８０７ａ〜８０７ｃがＸ軸方向に沿って等間隔に形成される。なお、第１移動吸着バー８０２のＸ軸方向の他側の端部には、第１被移動吸着バー８０４が接続される。
【００７３】
第２移動吸着バー８０３は、固定吸着バー８０１と同様に、四角柱状の棒状部材で構成される。第２移動吸着バー８０３の４つの側面のうちの一つの側面が吸着面８０３Ａである。第２移動吸着バー８０３は、吸着面８０３ＡがＺ軸と直交し、かつ、軸がＸ軸方向と平行になるように、固定吸着バー８０１の側面８０１Ｂに沿って配置される。第２移動吸着バー８０３は、固定吸着バー８０１に設けられたガイド部材（不図示）によってＸ軸方向に移動可能に支持される。そして、吸着面８０３Ａは、固定吸着バー８０１の吸着面８０１Ａと同一平面内に配置される。
【００７４】
この吸着面８０３Ａには、吸着孔８０８ａ〜８０８ｃがＸ軸方向に沿って等間隔に形成される。なお、第２移動吸着バー８０３のＸ軸方向の一側の端部には、第２被移動吸着バー８０５が接続される。
【００７５】
第１被移動吸着バー８０４は、固定吸着バー８０１と同様に、四角柱状の棒状部材で構成される。第１被移動吸着バー８０４の４つの側面のうちの一つの側面が吸着面８０４Ａである。第１被移動吸着バー８０４は、吸着面８０４ＡがＺ軸と直交し、かつ、軸がＹ軸方向と平行になるように、第１移動吸着バー８０２に接続される。そして、吸着面８０４Ａは、第１移動吸着バー８０２の吸着面８０２Ａと同一平面内に配置される。この吸着面８０４Ａには、吸着孔８０９ａ〜８０９ｄがＹ軸方向に沿って形成される。
【００７６】
第２被移動吸着バー８０５は、固定吸着バー８０１と同様に、四角柱状の棒状部材で構成される。第２被移動吸着バー８０５の４つの側面のうちの一つの側面が吸着面８０５Ａである。第２被移動吸着バー８０５は、吸着面８０５ＡがＺ軸と直交し、かつ、軸がＹ軸方向と平行になるように、第２移動吸着バー８０３に接続される。そして、吸着面８０５Ａは、第２移動吸着バー８０３の吸着面８０３Ａと同一平面内に配置される。この吸着面８０５Ａには、吸着孔８１０ａ〜８１０ｄがＹ軸方向に沿って形成される。
【００７７】
本例では、図４に示すように、吸着ビーム８００の吸着面（８０１Ａ〜８０５Ａ）において、吸着孔８０６ａ〜８０６ｄ，８０７ａ〜８０７ｃ，８０８ａ〜８０８ｃ，８０９ａ〜８０９ｃ，８１０ａ〜８１０ｃが形成された領域を第１エリア８５１と定義する。また、吸着ビーム８００の吸着面（８０１Ａ〜８０５Ａ）において、吸着孔８０９ｄ，８１０ｄが形成された領域を第２エリア８５２と定義する。そして、吸着テーブル７１０の吸着面７１０Ａ（７１１Ａ〜７１３Ａ）において、吸着孔７１６ａ〜７１６ｃ，７１７ａ〜７１７ｃ，７１８ａ〜７１８ｃが形成された領域を第３エリア８５３と定義する。さらに、吸着テーブル７１０の吸着面７１０Ａ（７１１Ａ〜７１３Ａ）において、吸着孔７１６ｄ，７１７ｄ，７１８ｄが形成された領域を第４エリア８５４と定義する。
【００７８】
次に、真空圧供給ユニット９００について図５を参照して説明する。
真空圧供給ユニット９００は、吸着テーブル７１０および吸着ビーム８００に形成された各吸着孔による吸着のオン／オフを、図４に示した吸着エリア（第１〜第４エリア８５１〜８５４）ごとに切り替えるものである。
【００７９】
この真空圧供給ユニット９００は、図５に示すように、第１〜第４配管９０１〜９０４と、自動切替機能付弁９０５〜９０９と、第１〜第４吸着領域切替用弁９１０〜９１３と、真空吸引装置９１４（真空発生器）とから構成される。
【００８０】
真空吸引装置９１４は、空気を吸引する装置であり、第１〜第４吸着領域切替用弁９１０〜９１３を介して第１〜第４配管９０１〜９０４にそれぞれ接続される。
【００８１】
第１〜第４吸着領域切替用弁９１０〜９１３は、不図示の制御部によってそれぞれの開閉が制御される電磁バルブである。すなわち、第１〜第４吸着領域切替用弁９１０〜９１３が開いている状態では、真空吸引装置９１４によって第１〜第４配管９０１〜９０４から空気が吸引される。一方、第１〜第４吸着領域切替用弁９１０〜９１３が閉じている状態では、真空吸引装置９１４による第１〜第４配管９０１〜９０４からの空気の吸引が遮断される。
【００８２】
第１配管９０１は、第１エリア８５１（図４参照）に形成された吸着孔８０６ａ〜８０６ｄ，８０７ａ〜８０７ｃ，８０８ａ〜８０８ｃ，８０９ａ，８０９ｂ，８１０ａ，８１０ｂ（吸着孔８０９ｃ，８１０ｃ以外の吸着孔）にそれぞれ独立して連通する。また、第１配管９０１は、吸着孔８０９ｃ，８１０ｃそれぞれの直下に配置された自動切替機能付弁９０５，９０６に独立して接続される。
【００８３】
第３配管９０３は、第３エリア８５３（図４参照）に形成された吸着孔７１６ａ，７１６ｂ，７１７ａ，７１７ｂ，７１８ａ，７１８ｂ（吸着孔７１６ｃ，７１７ｃ，７１８ｃ以外の吸着孔）にそれぞれ独立して連通する。また、第３配管９０３は、吸着孔７１６ｃ，７１７ｃ，７１８ｃそれぞれの直下に配置された自動切替機能付弁９０７，９０８，９０９に独立して接続される。なお、第２配管９０２は、第２エリア８５２（図４参照）に形成された各吸着孔に連通し、第４配管９０４は、第４エリア８５４（図４参照）に形成された各吸着孔に連通する。
【００８４】
自動切替機能付弁９０５，９０６は、真空吸引装置９１４による吸引が行われた際に吸着孔８０９ｃ，８１０ｃが完全に塞がれると、開いた状態となり、第１配管９０１が吸着孔８０９ｃ，８１０ｃに連通する。一方、吸着孔８０９ｃ，８１０ｃが少しでも塞がれていないときには、自動切替機能付弁９０５，９０６は、閉じた状態となり、第１配管９０１は吸着孔８０９ｃ，８１０ｃと連通が遮断される。
【００８５】
それと同様に、自動切替機能付弁９０７，９０８，９０９は、真空吸引装置９１４による吸引が行われた際に吸着孔７１６ｃ，７１７ｃ，７１８ｃが完全に塞がれると、開いた状態となり、第３配管９０３が吸着孔７１６ｃ，７１７ｃ，７１８ｃに連通する。一方、吸着孔７１６ｃ，７１７ｃ，７１８ｃが少しでも塞がれていない状態のときには、自動切替機能付弁９０７，９０８，９０９は、閉じた状態となり、第３配管９０３は吸着孔７１６ｃ，７１７ｃ，７１８ｃとの連通が遮断される。
【００８６】
１−４．表示基板保持装置の動作例
次に、表示基板保持装置６００の動作例について図４，図６〜図８を参照して説明する。
表示基板保持装置６００で保持する表示基板１が最も大きなサイズ（Ｌサイズ）の表示基板１Ａである場合の動作例について図４および図６を参照して説明する。なお、図６は、図面を見やすくするため、図４で示した符号の一部を省略している。
【００８７】
図６は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置６００の上面図である。
まず、不図示の操作部を介して表示基板１Ａの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル７１０および吸着ビーム８００のＸ軸方向の幅がそれぞれ決定される。
【００８８】
続いて、吸着テーブル７１０のＸ軸方向の幅が決定された幅になるように、吸着テーブル７１０の第１移動吸着ボード７１２および第２移動吸着ボード７１３がそれぞれＸ軸に沿う方向に所定量移動する。そして、吸着ビーム８００のＸ軸方向の幅が決定された幅になるように、吸着ビーム８００の第１移動吸着バー８０２および第１被移動吸着バー８０４と、第２移動吸着バー８０３および第２被移動吸着バー８０５とがそれぞれＸ軸に沿う方向に所定量移動する。この状態における吸着テーブル７１０および吸着ビーム８００のＸ軸方向の幅を、それぞれ吸着テーブル基準幅および吸着ビーム基準幅と呼ぶ。
【００８９】
続いて、第１〜第４吸着領域切替用弁９１０〜９１３（図５参照）のうち、第３および第４吸着領域切替用弁９１２，９１３のみが開いた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４によって第３および第４配管９０３，９０４から空気が吸引される。
【００９０】
続いて、図６Ａに示すように、受け取り位置に配置された吸着テーブル７１０の吸着面７１０Ａに形成されたすべての吸着孔を完全に塞ぐように当該吸着面７１０Ａに表示基板１Ａが載置される。このとき、自動切替機能付弁９０７，９０８，９０９直上の吸着孔７１６ｃ，７１７ｃ，７１８ｃが表示基板１Ａで完全に塞がれるので、自動切替機能付弁９０７，９０８，９０９は開いた状態となる。その結果、表示基板１Ａは、吸着テーブル７１０の吸着面７１０Ａに形成されたすべての吸着孔で吸着される。
【００９１】
続いて、吸着テーブル７１０はＹ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の一側から他側に向って動かされ、吸着テーブル７１０に吸着された表示基板１Ａは、図６Ｂに示すように、吸着ビーム８００の上方に配置される。そして、吸着テーブル７１０は昇降部７３０（図３参照）により降下される。そして、吸着テーブル７１０に吸着された表示基板１Ａは、吸着ビーム８００の吸着面（吸着面８０１Ａ〜８０５Ａ）に形成されたすべての吸着孔を完全に塞ぐように当該吸着面（吸着面８０１Ａ〜８０５Ａ）に載置される。
【００９２】
続いて、第１および第２吸着領域切替用弁９１０，９１１（図５参照）が開いた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４によって第１および第２配管９０１，９０２から空気が吸引される。このとき、自動切替機能付弁９０５，９０６直上の吸着孔８０９ｃ，８１０ｃは表示基板１Ａによって完全に塞がれているので、自動切替機能付弁９０５，９０６は開いた状態となる。これにより、表示基板１Ａは、吸着ビーム８００の吸着面（吸着面８０１Ａ〜８０５Ａ）に形成されたすべての吸着孔によってその作業辺部（両短辺部および一方の長辺部）が吸着され、作業ユニットの作業位置で保持される。
【００９３】
以上の処理が完了した後、第３および第４吸着領域切替用弁９１２，９１３（図５参照）が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４による第３および第４配管９０３，９０４からの空気の吸引が遮断され、吸着テーブル７１０による表示基板１Ａの吸着が解除される。そして、吸着テーブル７１０は、図６Ｃに示すように、Ｙ軸スライダ７５０によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の他側から一側に向って動かされ、受け取り位置に戻る。
【００９４】
次に、表示基板保持装置６００で保持する表示基板１が中サイズ（Ｍサイズ）の表示基板１Ｂである場合の動作例について図４および図７を参照して説明する。なお、図７は、図６と同様に、図面を見やすくするため、図４で示した符号の一部を省略している。
【００９５】
図７は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置６００の上面図である。
まず、不図示の操作部を介して表示基板１Ｂの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル７１０および吸着ビーム８００のＸ軸方向の幅がそれぞれ決定される。具体的には、表示基板１Ａの長辺部の長さと表示基板１Ｂの長辺部の長さとの差分（以下、「Ｌ−Ｍ差分」という）だけ吸着テーブル基準幅および吸着ビーム基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル７１０および吸着ビーム８００のＸ軸方向の幅がそれぞれ決定される。
【００９６】
そして、図６Ａに示した状態から、吸着テーブル７１０の第１移動吸着ボード７１２および第２移動吸着ボード７１３がそれぞれ固定吸着ボード７１１に近づく方向に、Ｌ−Ｍ差分の１／２に相当する距離ずつＸ軸に沿って移動する。このとき、吸着ビーム８００の第１移動吸着バー８０２および第１被移動吸着バー８０４と、第２移動吸着バー８０３および第２被移動吸着バー８０５とが、それぞれ固定吸着バー８０１に近づく方向に、Ｌ−Ｍ差分の１／２に相当する距離ずつＸ軸に沿って移動する。
【００９７】
続いて、第１〜第４吸着領域切替用弁９１０〜９１３（図５参照）のうち、第３吸着領域切替用弁９１２のみが開いた状態とされる。すると、真空吸引装置９１４によって第３配管９０３から空気が吸引される。
【００９８】
続いて、図７Ａに示すように、受け取り位置に配置された吸着テーブル７１０の吸着面７１０Ａの第３エリア８５３（図４参照）に形成されたすべての吸着孔を完全に塞ぐように、当該吸着面７１０Ａに表示基板１Ｂが載置される。このとき、自動切替機能付弁９０７，９０８，９０９直上の吸着孔７１６ｃ〜７１８ｃが表示基板１Ｂで完全に塞がれ、自動切替機能付弁９０７，９０８，９０９は開いた状態となる。その結果、表示基板１Ｂは、吸着テーブル７１０の吸着面７１０Ａの第３エリア８５３（図４参照）に形成されたすべての吸着孔で吸着される。
【００９９】
続いて、吸着テーブル７１０は、Ｙ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の一側から他側に向って動かされ、吸着テーブル７１０に吸着された表示基板１Ｂは、図７Ｂに示すように、吸着ビーム８００の上方に配置される。そして、吸着テーブル７１０は昇降部７３０により降下され、吸着テーブル７１０に吸着された表示基板１Ｂは、吸着面（吸着面８０１Ａ〜８０５Ａ）の第１エリア８５１（図４参照）に形成されたすべての吸着孔を完全に塞ぐように当該吸着面（吸着面８０１Ａ〜８０５Ａ）に載置される。
【０１００】
続いて、第１吸着領域切替用弁９１０（図５参照）が開いた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４によって第１配管９０１から空気が吸引される。このとき、自動切替機能付弁９０５，９０６直上の吸着孔８０９ｃ，８１０ｃは表示基板１Ｂによって完全に塞がれているので、自動切替機能付弁９０５，９０６は開いた状態となる。これにより、表示基板１Ｂは、吸着ビーム８００の第１エリア８５１に形成されたすべての吸着孔によってその作業辺部（両短辺部および一方の長辺部）が吸着され、作業ユニットの作業位置で保持される。
【０１０１】
以上の処理が完了した後、第３吸着領域切替用弁９１２（図５参照）が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４による第３配管９０３から空気の吸引が遮断され、吸着テーブル７１０による表示基板１Ｂの吸着が解除される。そして、吸着テーブル７１０は、図７Ｃに示すように、Ｙ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の他側から一側に向って動かされ、受け取り位置に戻る。
【０１０２】
次に、表示基板保持装置６００で保持する表示基板１が最も小さいサイズ（Ｓサイズ）の表示基板１Ｃである場合の動作例について図８を参照して説明する。なお、図８は、図６と同様に、図面を見やすくするため、図４で示した符号の一部を省略している。
【０１０３】
図８は、本発明の一実施形態に係る表示基板保持装置６００の上面図である。
まず、不図示の操作部を介して表示基板１Ｃの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル７１０および吸着ビーム８００のＸ軸方向の幅がそれぞれ決定される。具体的には、表示基板１Ａの長辺部の長さと表示基板１Ｃの長辺部の長さとの差分（以下、「Ｌ−Ｓ差分」という）だけ基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル７１０および吸着ビーム８００のＸ軸方向の幅が決定される。
【０１０４】
続いて、図６Ａに示した状態から、吸着テーブル７１０の第１移動吸着ボード７１２および第２移動吸着ボード７１３がそれぞれ固定吸着ボード７１１に近づく方向に、Ｌ−Ｓ差分の１／２に相当する距離ずつＸ軸に沿って移動する。このとき、吸着ビーム８００の第１移動吸着バー８０２および第１被移動吸着バー８０４と、第２移動吸着バー８０３および第２被移動吸着バー８０５とが、それぞれ固定吸着バー８０１に近づく方向に、Ｌ−Ｓ差分の１／２に相当する距離ずつＸ軸に沿って移動する。
【０１０５】
続いて、第１〜第４吸着領域切替用弁９１０〜９１３（図５参照）のうち、第３吸着領域切替用弁９１２のみが開いた状態とされる。すると、真空吸引装置９１４によって第３配管９０３から空気が吸引される。
【０１０６】
続いて、受け取り位置に配置された吸着テーブル７１０の吸着面７１０Ａに表示基板１Ｃが載置される。このとき、図８Ａに示すように、第３エリア８５３（図４参照）の吸着孔７１６a，７１６ｂ，７１７a，７１７ｂ，７１８a，７１８ｂは表示基板１Ｃによって完全に塞がれるが、吸着孔７１６ｃ，７１７ｃ，７１８ｃは完全には塞がれない。そのため、吸着孔７１６ｃ，７１７ｃ，７１８ｃ直下に配置された自動切替機能付弁９０７〜９０９は閉じた状態となる。その結果、表示基板１Ｃで完全に塞がれた吸着孔７１６a，７１６ｂ，７１７a，７１７ｂ，７１８a，７１８ｂだけで当該表示基板１Ｃを吸着する。したがって、表示基板１Ｃを確実に保持することができる。
【０１０７】
続いて、吸着テーブル７１０はＹ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の一側から他側に向って動かされ、吸着テーブル７１０に吸着された表示基板１Ｃは、図８Ｂに示すように、吸着ビーム８００の上方に配置される。そして、吸着テーブル７１０は昇降部７３０により降下され、吸着テーブル７１０に吸着された表示基板１Ｃは、吸着ビーム８００の吸着面（吸着面８０１Ａ〜８０５Ａ）に載置される。このとき、第１エリア８５１の吸着孔８０６a〜８０６ｄ，８０７a〜８０７ｃ，８０８a〜８０８ｃ，８０９a，８０９ｂ，８１０a，８１０ｂは表示基板１Ｃによって完全に塞がれるが、吸着孔８０９ｃ，８１０ｃは完全には塞がれない。
【０１０８】
続いて、第１吸着領域切替用弁９１０（図５参照）を開いた状態にする。すると、真空吸引装置９１４によって第１配管９０１から空気が吸引される。ここでは、自動切替機能付弁９０５，９０６直上の吸着孔８０９ｃ，８１０ｃは表示基板１Ｃによって完全に塞がれていないので（図８Ｂ参照）、自動切替機能付弁９０５，９０６は閉じた状態となる。これにより、表示基板１Ｃで完全に塞がれた吸着孔８０６a〜８０６ｄ，８０７a〜８０７ｃ，８０８a〜８０８ｃ，８０９a，８０９ｂ，８１０a，８１０ｂだけで当該表示基板１Ｃを吸着する。その結果、表示基板１Ｃの作業辺部（両短辺部および一方の長辺部）を確実に保持することができる。
【０１０９】
以上の処理が完了した後、第３吸着領域切替用弁９１２（図５参照）が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４による第３配管９０３から空気の吸引が遮断され、吸着テーブル７１０による表示基板１Ｃの吸着が解除される。そして、吸着テーブル７１０は、図８Ｃに示すように、Ｙ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の他側から一側に向って動かされ、受け取り位置に戻る。
【０１１０】
以上説明したように、本発明の一実施形態では、例えば表示基板１Ｃ（Ｓサイズの表示基板１）が吸着テーブルの吸着面および吸着ビームの吸着面に配置された状態（以下、「配置状態」という）において、当該表示基板１Ｃによってその一部が塞がれる吸着孔の直下に自動切替機能付弁を配置した。これにより、配置状態になると、表示基板１Ｃによってその一部が塞がれた吸着孔での吸引を自動的に停止することができる。その結果、従来のように、表示基板１Ｃによってその一部が塞がれた吸着孔での吸引のＯＮ／ＯＦＦを制御するための電磁弁を設ける必要がなくなる。したがって、設ける電磁弁の数を必要最低限に押さえることができ、コスト削減を図ることができる。
【０１１１】
また、本発明の一実施形態では、表示基板１のサイズに関わらず、表示基板１によって完全に塞がれた吸着孔だけで当該表示基板１を吸着するようにした。これにより、表示基板を確実に保持することができる。
【０１１２】
また、本発明の一実施形態では、吸着ビームおよび吸着テーブルのＸ軸方向の幅を、表示基板１の種類に応じて変更することができる。これにより、吸着ビームおよび吸着テーブルの吸着面を例えば４つの吸着エリア（第１〜第４エリア）以上に分ける必要がなくなる。したがって、各吸着エリアにつき１つ設ける必要のある電磁弁の個数をさらに減らすことができ、よりコスト削減を図ることができる。
【０１１３】
２．他の実施形態例
次に、本発明の他の実施形態例を、図９〜図１３を参照して説明する。
２−１．表示基板保持装置の構成例
図９は、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置を構成する吸着ビーム、吸着テーブルおよび移動支持バーを示す上面図である。
図１０は、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置を構成する真空圧供給ユニットの構成を示す模式図である。
本例のＦＰＤモジュール組立装置を構成する表示基板保持装置は、図９に示すように、一実施形態に係る吸着テーブル７１０（図４参照）および吸着ビーム８００の代わりに、吸着テーブル９２０および吸着ビーム９３０を備え、さらに移動支持バー９４０を有する。また、この表示基板保持装置は、図１０に示すように、一実施家形態に係る真空圧供給ユニット９００の代わりに真空圧供給ユニット９６０を備える。
【０１１４】
まず、吸着テーブル９２０について図９を参照して説明する。
吸着テーブル９２０は、固定吸着ボード９２１と、第１〜第３移動吸着ボード９２２〜９２４とから構成される。
【０１１５】
固定吸着ボード９２１は、両面が略長方形の板状部材で構成される。この固定吸着ボード９２１は、図９に示すように、長辺部がＸ軸方向と平行となり、かつ、短辺部がＹ軸方向と平行となるように回動駆動部７２０（図３参照）に固定される。固定吸着ボード９２１の一方の面（鉛直上方側の面）が、吸着面９２１Ａである。そして、この吸着面９２１Ａの四隅には吸着孔９２５ａ〜９２５ｄが形成される。
【０１１６】
第１移動吸着ボード９２２は、固定吸着ボード９２１と同様の構成である。この第１移動吸着ボード９２２は、長辺部がＸ軸方向と平行となり、かつ、短辺部がＹ軸方向と平行となるように、固定吸着ボード９２１のＸ軸方向の他側に配置される。また、第１移動吸着ボード９２２は、回動駆動部７２０に設けられた不図示のガイド部材によってＸ軸方向に移動可能に支持される。なお、第１移動吸着ボード９２２のＸ軸方向への移動は不図示のモータによって行われる。
【０１１７】
この第１移動吸着ボード９２２の一方の面（鉛直上方側の面）が吸着面９２２Ａであり、この吸着面９２２Ａは、固定吸着ボード９２１の吸着面９２１Ａと同一平面内に位置する。そして、この吸着面９２２Ａの四隅には吸着孔９２６ａ〜９２６ｄが形成される。
【０１１８】
第２移動吸着ボード９２３は、固定吸着ボード９２１と同様の構成である。この第２移動吸着ボード９２３は、長辺部がＸ軸方向と平行となり、かつ、短辺部がＹ軸方向と平行となるように、固定吸着ボード９２１のＹ軸方向の一側に配置される。また、第２移動吸着ボード９２３は、回動駆動部７２０に設けられた不図示のガイド部材によってＹ軸方向に移動可能に支持される。なお、第２移動吸着ボード９２３のＹ軸方向への移動は不図示のモータによって行われる。
【０１１９】
この第２移動吸着ボード９２３の一方の面（鉛直上方側の面）が、吸着面９２３Ａであり、この吸着面９２３Ａは、固定吸着ボード９２１の吸着面９２１Ａと同一平面内に位置する。そして、この吸着面９２３Ａの四隅には吸着孔９２７ａ〜９２７ｄが形成される。
【０１２０】
第３移動吸着ボード９２４は、固定吸着ボード９２１と同様の構成である。この第３移動吸着ボード９２４は、長辺部がＸ軸方向と平行となり、かつ、短辺部がＹ軸方向と平行となるように、第１移動吸着ボード９２２のＹ軸方向の一側、かつ、第２移動吸着ボード９２３のＸ軸方向の他側に配置される。そして、第３移動吸着ボード９２４は、回動駆動部７２０に設けられた不図示のガイド部材によってＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に支持される。なお、第３移動吸着ボード９２４のＸ軸方向およびＹ軸方向への移動は不図示のモータによって行われる。
【０１２１】
この第３移動吸着ボード９２４の一方の面（鉛直上方側の面）が、吸着面９２４Ａであり、この吸着面９２４Ａは、固定吸着ボード９２１の吸着面９２１Ａと同一平面内に位置する。そして、この吸着面９２４Ａの四隅には吸着孔９２８ａ〜９２８ｄが形成される。
【０１２２】
次に、吸着ビーム９３０について図９を参照して説明する。
吸着ビーム９３０は、第１および第２固定吸着バー９３１，９３２から構成される。
【０１２３】
第１固定吸着バー９３１は、四角柱状の棒状部材で構成される。第１固定吸着バー９３１の４つの側面のうちの一つの側面が吸着面９３１Ａである。この吸着面９３１ＡがＺ軸に直交し、かつ、第１固定吸着バー９３１の軸がＸ軸方向と平行になるように、第１固定吸着バー９３１は固定される。そして、第１固定吸着バー９３１の吸着面９３１Ａは、搬送ユニット５００とＺ軸方向で対向するように配置される。この吸着面９３１Ａには、吸着孔９３３ａ〜９３３ｈがＸ軸方向に沿って等間隔に形成される。
【０１２４】
第２固定吸着バー９３２は、第１固定吸着バー９３１と同様に四角柱状の棒状部材で構成される。第２固定吸着バー９３２の４つの側面のうちの一つの側面が吸着面９３２Ａである。第２固定吸着バー９３２は、吸着面９３２ＡがＺ軸に直交し、かつ、第２固定吸着バー９３２の軸がＹ軸方向と平行になるように、第１固定吸着バー９３１のＸ軸方向の一側の端部に固定される。第２固定吸着バー９３２の吸着面９３２Ａは、第１固定吸着バー９３１の吸着面９３１Ａと同一平面内に位置する。この吸着面９３２Ａには、吸着孔９３４ａ〜９３４ｄがＹ軸方向に沿って等間隔に形成される。
【０１２５】
本例では、図９に示すように、吸着ビーム９３０の吸着面（吸着面９３１Ａ，９３２Ａ）において、吸着孔９３３ａ〜９３３ｆ，９３４ａ〜９３４ｃが形成された領域を第１エリア９５１と定義する。また、吸着ビーム９３０の吸着面（吸着面９３１Ａ，９３２Ａ）において、吸着孔９３３ｇ，９３３ｈ，９３４ｄが形成された領域を第２エリア９５２と定義する。そして、吸着テーブル９２０の吸着面（吸着面９２１Ａ〜９２４Ａ）において、吸着孔９２５ａ〜９２５ｄ，９２６ａ〜９２６ｄ，９２７ａ〜９２７ｄ，９２８ａ〜９２８ｄが形成された領域を第３エリア９５３と定義する。
【０１２６】
次に、移動支持バー９４０について図９を参照して説明する。
移動支持バー９４０は、四角柱状の棒状部材で構成される。移動支持バー９４０の４つの側面のうちの一つの側面が載置面９４０Ａである。移動支持バー９４０は、載置面９４０ＡがＺ軸に直交し、かつ、移動支持バー９４０の軸がＹ軸方向と平行になるように、吸着ビーム９３０のＸ軸方向の他側に配置される。そして、移動支持バー９４０は、不図示のガイド部材によってＸ軸方向に移動可能に支持される。移動支持バー９４０の載置面９４０Ａは、吸着ビーム９３０の吸着面（吸着面９３１Ａ，９３２Ａ）と同一平面内に位置する。
【０１２７】
次に、真空圧供給ユニット９６０について図１０を参照して説明する。なお、一実施形態の真空圧供給ユニット９００と同一の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。
【０１２８】
真空圧供給ユニット９６０は、吸着テーブル９２０および吸着ビーム９３０に形成された吸着孔による吸着のオン／オフを、図９に示した吸着エリア（第１〜第３エリア９５１〜９５３）ごとに切り替えるものである。
【０１２９】
この真空圧供給ユニット９６０は、図１０に示すように、第１〜第３配管９６１〜９６３と、自動切替機能付弁９６４〜９６９と、第１〜第３吸着領域切替用弁９７０〜９７２と、真空吸引装置９１４から構成される。
【０１３０】
真空吸引装置９１４は、一実施形態と同様の空気を吸引する装置であり、第１〜第３吸着領域切替用弁９７０〜９７２を介して第１〜第３配管９６１〜９６３に接続される。
【０１３１】
第１〜第３吸着領域切替用弁９７０〜９７２は、不図示の制御部によってそれぞれの開閉が制御される電磁バルブである。すなわち、第１〜第３吸着領域切替用弁９７０〜９７２が開いている状態では、真空吸引装置９１４によって第１〜第３配管９６１〜９６３から空気が吸引される。一方、第１〜第３吸着領域切替用弁９７０〜９７２が閉じている状態では、真空吸引装置９１４による第１〜第３配管９６１〜９６３からの空気の吸引が遮断される。
【０１３２】
第１配管９６１は、第１エリア９５１（図９参照）に形成された吸着孔９３３ａ〜９３３ｅ，９３４ａ，９３４ｂにそれぞれ独立して連通する。また、第１配管９６１は、第１エリア９５１に形成された吸着孔８３３ｆ，９３４ｃそれぞれの直下に配置された自動切替機能付弁９６４，９６５に独立して接続される。
【０１３３】
第３配管９６３は、第３エリア９５３（図９参照）に形成された吸着孔９２５ａ〜９２５ｄ，９２６ａ〜９２６ｄ，９２７ａ，９２７ｂ，９２８ａ，９２８ｂにそれぞれ独立して連通する。また、第３配管９６３は、第３エリア９５３に形成された吸着孔９２７ｃ，９２７ｄ，９２８ｃ，９２８ｄそれぞれの直下に配置された自動切替機能付弁９６６〜９６９に独立して接続される。なお、第２配管９６２は、第２エリア９５２（図９参照）に形成された吸着孔９３３ｇ，９３３ｈ，９３４ｄに独立して連通する。
【０１３４】
自動切替機能付弁９６４，９６５は、真空吸引装置９１４による吸引が行われた際に吸着孔９３３ｆ，９３４ｃが完全に塞がれると、開いた状態となり、第１配管９６１は吸着孔９３３ｆ，９３４ｃと連通する。一方、自動切替機能付弁９６４，９６５は、吸着孔９３３ｆ，９３４ｃが少しでも塞がれていないときには、閉じた状態となり、第１配管９６１は吸着孔９３３ｆ，９３４ｃとの連通が遮断される。
【０１３５】
それと同様に、自動切替機能付弁９６６〜９６９は、真空吸引装置９１４による吸引が行われた際に吸着孔９２７ｃ，９２７ｄ，９２８ｃ，９２８ｄが完全に塞がれると、開いた状態となり、第３配管９６３が吸着孔９２７ｃ，９２７ｄ，９２８ｃ，９２８ｄに連通する。一方、第３配管９６３は、吸着孔９２７ｃ，９２７ｄ，９２８ｃ，９２８ｄが少しでも塞がれていない状態のときには、自動切替機能付弁９６６〜９６９は、閉じた状態となり、吸着孔９２７ｃ，９２７ｄ，９２８ｃ，９２８ｄとの連通が遮断される。
【０１３６】
２−２．表示基板保持装置の動作例
次に、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の動作例について図９，図１１〜図１３を参照して説明する。
表示基板保持装置で保持する表示基板１が最も大きなサイズ（Ｌサイズ）の表示基板１Ａである場合の動作例について図９および図１１を参照して説明する。なお、図１１は、図面を見やすくするため、図９で示した符号の一部を省略している。
【０１３７】
図１１は、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の上面図である。
まず、不図示の操作部を介して表示基板１Ａの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル９２０のＸ軸方向およびＹ軸方向の幅とともに移動支持バー９４０の配置位置が決定される。
【０１３８】
そして、決定された幅になるように、吸着テーブル９２０の第１移動吸着ボード９２２はＸ軸に沿う方向に移動し、第２移動吸着ボード９２３はＹ軸に沿う方向に移動する。第３移動吸着ボードは、Ｘ軸に沿う方向に移動するとともにＹ軸に沿う方向に移動する。そして、決定された位置に配置されるように、移動支持バー９４０がＸ軸方向に沿って移動する。この状態における吸着テーブル９２０のＸ軸方向およびＹ軸方向それぞれの幅をＸ軸方向基準幅およびＹ軸方向基準幅と呼び、移動支持バー９４０の配置位置を基準配置位置と呼ぶ。
【０１３９】
続いて、第１〜第３吸着領域切替用弁９７０〜９７２（図１０参照）のうち、第３吸着領域切替用弁９７２のみが開いた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４によって第３配管９６３から空気が吸引される。
【０１４０】
続いて、図１１Ａに示すように、受け取り位置に配置された吸着テーブル９２０の吸着面（吸着面９２１Ａ〜９２４Ａ）に形成されたすべての吸着孔を塞ぐように当該吸着面（吸着面９２１Ａ〜９２４Ａ）に表示基板１Ａが載置される。このとき、自動切替機能付弁９６６〜９６９直上の吸着孔９２７ｃ，９２７ｄ，９２８ｃ，９２８ｄが表示基板１Ａで塞がれる。その結果、自動切替機能付弁９６６〜９６９は開いた状態となり、表示基板１Ａは、吸着テーブル９２０の吸着面９２１Ａ〜９２４Ａに形成されたすべての吸着孔で吸着される。
【０１４１】
続いて、吸着テーブル９２０はＹ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の一側から他側に向う方向に動かされ、吸着テーブル９２０に吸着された表示基板１Ａは、図１１Ｂに示すように、吸着ビーム９３０の鉛直上方に配置される。そして、吸着テーブル９２０は昇降部７３０により降下される。すると、吸着テーブル９２０に吸着された表示基板１Ａは、吸着ビーム９３０の吸着面（吸着面９３１Ａ，９３２Ａ）に形成されたすべての吸着孔を塞ぐように当該吸着面（吸着面９３１Ａ，９３２Ａ）および移動支持バー９４０の載置面９４０Ａに載置される。
【０１４２】
続いて、第１および第２吸着領域切替用弁９７０，９７１（図１０参照）が開いた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４によって第１および第２配管９６１，９６２から空気が吸引される。このとき、自動切替機能付弁９６４，９６５直上の吸着孔９３３ｆ，９３４ｃは表示基板１Ａによって塞がれているので、自動切替機能付弁９６４，９６５は開いた状態となる。これにより、表示基板１Ａは、吸着ビーム９３０の吸着面（吸着面９３１Ａ，９３２Ａ）に形成されたすべての吸着孔によってその作業辺部（Ｘ軸の一側の短辺部およびＹ軸の他側の長辺部）が吸着され、作業ユニットの作業位置で保持される。
【０１４３】
以上の処理が完了した後、第３吸着領域切替用弁９７２（図１０参照）が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４による第３配管９６３から空気の吸引が遮断され、吸着テーブル９２０による表示基板１Ａの吸着が解除される。そして、吸着テーブル９２０は、図１１Ｃに示すように、Ｙ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の他側から一側に向けて動かされ、受け取り位置に戻る。
【０１４４】
次に、表示基板保持装置で保持する表示基板１が中サイズ（Ｍサイズ）の表示基板１Ｂである場合の動作例について図９および図１２を参照して説明する。なお、図１２は、図１１と同様に、図面を見やすくするため、図９で示した符号の一部を省略している。
【０１４５】
図１２は、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の上面図である。
まず、不図示の操作部を介して表示基板１Ｂの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル９２０のＸ軸方向およびＹ軸方向の幅とともに移動支持バー９４０の配置位置が決定される。
【０１４６】
具体的には、表示基板１Ａの長辺部の長さと表示基板１Ｂの長辺部の長さとの差分（以下、「Ｌ−Ｍ長辺部差分」という）だけＸ軸方向基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル９２０のＸ軸方向の幅が決定される。そして、表示基板１Ａの短辺部の長さと表示基板１Ｂの短辺部の長さとの差分（以下、「Ｌ−Ｍ短辺部差分」という）だけＹ軸方向基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル９２０のＹ軸方向の幅が決定される。
【０１４７】
続いて、図１１Ａで示した状態から、決定された幅になるように、吸着テーブル９２０の第１〜第３移動吸着ボード９２２〜９２４が移動する。すなわち、第１移動吸着ボード９２２は、固定吸着ボード９２１に近づく方向に、Ｌ−Ｍ長辺部差分に相当する距離Ｘ軸に沿って移動する。第２移動吸着ボード９２３は、固定吸着ボード９２１に近づく方向に、Ｌ−Ｍ短辺部差分に相当する距離Ｙ軸に沿って移動する。第３移動吸着ボード９２４は、固定吸着ボード９２１に近づく方向に、Ｌ−Ｍ長辺部差分に相当する距離Ｘ軸に沿って移動するとともに、固定吸着ボード９２１に近づく方向に、Ｌ−Ｍ短辺部差分に相当する距離Ｙ軸に沿って移動する。このとき、移動支持バー９４０は、Ｘ軸に沿って吸着ビーム９３０に近づく方向にＬ−Ｍ長辺部差分に相当する距離移動する。
【０１４８】
続いて、第１〜第３吸着領域切替用弁９７０〜９７２（図１０参照）のうち、第３吸着領域切替用弁９７２のみが開いた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４によって第３配管９６３から空気が吸引される。
【０１４９】
続いて、図１２Ａに示すように、受け取り位置に配置された吸着テーブル９２０の吸着面（吸着面９２１Ａ〜９２４Ａ）に形成されたすべての吸着孔を塞ぐように当該吸着面（吸着面９２１Ａ〜９２４Ａ）に表示基板１Ｂが載置される。このとき、自動切替機能付弁９６６〜９６９直上の吸着孔９２７ｃ，９２７ｄ，９２８ｃ，９２８ｄが表示基板１Ｂで塞がれる。その結果、自動切替機能付弁９６６〜９６９は開いた状態となり、表示基板１Ｂは、吸着テーブル９２０の吸着面９２１Ａ〜９２４Ａに形成されたすべての吸着孔で吸着される。
【０１５０】
続いて、吸着テーブル９２０は、Ｙ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の一側から他側に向って動かされ、吸着テーブル９２０に吸着された表示基板１Ｂは、図１２Ｂに示すように、吸着ビーム９３０の鉛直上方に配置される。そして、吸着テーブル９２０は昇降部７３０により降下される。すると、吸着テーブル９２０に吸着された表示基板１Ｂは、吸着ビーム９３０の第１エリア９５１に形成された吸着孔９３３ａ〜９３３ｆ，９３４ａ〜９３４ｃを塞ぐように吸着面（吸着面９３１Ａ，９３２Ａ）および移動支持バー９４０の載置面９４０Ａに載置される。
【０１５１】
続いて、第１吸着領域切替用弁９７０（図１０参照）が開いた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４によって第１配管９６１から空気が吸引される。このとき、自動切替機能付弁９６４，９６５直上の吸着孔９３３ｆ，９３４ｃは表示基板１Ｂによって塞がれているので、自動切替機能付弁９６４，９６５は開いた状態となる。これにより、表示基板１Ｂは、吸着ビーム９３０の第１エリア９５１に形成された吸着孔９３３ａ〜９３３ｆ，９３４ａ〜９３４ｃによってその作業辺部（Ｘ軸の一側の短辺部およびＹ軸の他側の長辺部）が吸着され、作業ユニットの作業位置で保持される。
【０１５２】
以上の処理が完了した後、第３吸着領域切替用弁９７２（図１０参照）が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４による第３配管９６３から空気の吸引が遮断され、吸着テーブル９２０による表示基板１Ｂの吸着が解除される。そして、吸着テーブル９２０は、図１２Ｃに示すように、Ｙ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸の他側から一側に向う方向に動かされ、受け取り位置に戻る。
【０１５３】
次に、表示基板保持装置で保持する表示基板１が最も小さいサイズ（Ｓサイズ）の表示基板１Ｃである場合の動作例について図９および図１３を参照して説明する。なお、図１３は、図面を見やすくするため、図９で示した符号の一部を省略している。また、吸着テーブル９２０のＸ軸方向およびＹ軸方向それぞれの幅は、図１２にて示した幅よりも小さくならないものとする。
【０１５４】
図１３は、本発明の他の実施形態に係る表示基板保持装置の上面図である。
まず、不図示の操作部を介して表示基板１Ｃの種類が入力されると、その種類に基づいて、吸着テーブル９２０のＸ軸方向およびＹ軸方向の幅とともに移動支持バー９４０の配置位置が決定される。
【０１５５】
具体的には、表示基板１Ａの長辺部の長さと表示基板１Ｃの長辺部の長さとの差分（以下、「Ｌ−Ｓ長辺部差分」という）だけＸ軸方向基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル９２０のＸ軸方向の幅が決定される。そして、表示基板１Ａの短辺部の長さと表示基板１Ｃの短辺部の長さとの差分（以下、「Ｌ−Ｓ短辺部差分」という）だけＹ軸方向基準幅よりも短くなるように、吸着テーブル９２０のＹ軸方向の幅が決定される。
【０１５６】
続いて、図１１Ａで示した状態から、決定された幅になるように、吸着テーブル９２０の第１〜第３移動吸着ボード９２２〜９２４がそれぞれ移動する。しかし、吸着テーブル９２０のＸ軸方向およびＹ軸方向それぞれの幅は、図１２にて示した幅よりも小さくならない。そのため、第１移動吸着ボード９２２は、固定吸着ボード９２１に近づく方向に、Ｌ−Ｍ長辺部差分に相当する距離Ｘ軸に沿って移動して、その移動が停止される。第２移動吸着ボード９２３は、固定吸着ボード９２１に近づく方向に、Ｌ−Ｍ短辺部差分に相当する距離Ｙ軸に沿って移動して、その移動が停止される。第３移動吸着ボード９２４は、固定吸着ボード９２１に近づく方向に、Ｌ−Ｍ長辺部差分に相当する距離Ｘ軸に沿って移動するとともに、固定吸着ボード９２１に近づく方向に、Ｌ−Ｍ短辺部差分に相当する距離Ｙ軸に沿って移動して、その移動が停止される。このとき、移動支持バー９４０は、Ｘ軸に沿って吸着ビーム９３０に近づく方向にＬ−Ｓ長辺部差分に相当する距離移動する。
【０１５７】
続いて、第１〜第３吸着領域切替用弁９７０〜９７２（図１０参照）のうち、第３吸着領域切替用弁９７２のみが開いた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４によって第３配管９６３から空気が吸引される。
【０１５８】
続いて、図１３Ａに示すように、受け取り位置に配置された吸着テーブル９２０の吸着面（吸着面９２１Ａ〜９２４Ａ）に表示基板１Ｃが載置される。このとき、第３エリア９５３（図９参照）の吸着孔９２５ａ〜９２５ｄ，９２６ａ〜９２６ｄ，９２７ａ，９２７ｂ，９２８ａ，９２８ｂは表示基板１Ｃによって完全に塞がれるが、吸着孔９２７ｃ，９２７ｄ，９２８ｃ，９２８ｄは完全には塞がれない。そのため、吸着孔９２７ｃ，９２７ｄ，９２８ｃ，９２８ｄ直下に配置された自動切替機能付弁９６６〜９６９は閉じた状態となる。その結果、表示基板１Ｃで完全に塞がれた吸着孔９２５ａ〜９２５ｄ，９２６ａ〜９２６ｄ，９２７ａ，９２７ｂ，９２８ａ，９２８ｂだけで当該表示基板１Ｃを吸着する。したがって、表示基板１Ｃを確実に保持することができる。
【０１５９】
続いて、吸着テーブル９２０はＹ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の一側から他側に向って動かされ、吸着テーブル９２０に吸着された表示基板１Ｃは、図１３Ｂに示すように、吸着ビーム９３０の鉛直上方に配置される。そして、吸着テーブル９２０は昇降部７３０により降下される。すると、吸着テーブル９２０に吸着された表示基板１Ｃは、吸着ビーム９３０の吸着面（吸着面９３１Ａ，９３２Ａ）および移動支持バー９４０の載置面９４０Ａに載置される。このとき、第１エリア９５１の吸着孔９３３ａ〜９３３e，９３４a，９３４ｂは表示基板１Ｃによって完全に塞がれるが、吸着孔９３３ｆ，９３４ｃは完全には塞がれない。
【０１６０】
続いて、第１吸着領域切替用弁９７０（図１０参照）が開いた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４によって第１配管９６１から空気が吸引される。ここでは、自動切替機能付弁９６４，９６５直上の吸着孔９３３ｆ，９３４ｃは表示基板１Ｃによって完全に塞がれていないので（図１３Ｂ参照）、自動切替機能付弁９６４，９６５は閉じた状態となる。これにより、表示基板１Ｃで完全に塞がれた吸着孔９３３ａ〜９３３e，９３４a，９３４ｂだけで当該表示基板１Ｃを吸着する。その結果、表示基板１Ｃの作業辺部（短辺部および一方の長辺部）が保持された状態で、当該表示基板１Ｃは作業ユニットの作業位置に配置される。
【０１６１】
以上の処理が完了した後、第３吸着領域切替用弁９７２（図１０参照）が閉じた状態にされる。すると、真空吸引装置９１４による第３配管９６３から空気の吸引が遮断され、吸着テーブル９２０による表示基板１Ｃの吸着が解除される。そして、吸着テーブル９２０は、図１３Ｃに示すように、Ｙ軸スライダ７５０（図３参照）によりＹ軸ガイド７６０上をＹ軸方向の他側から一側に向って動かされ、受け取り位置に戻る。
【０１６２】
以上説明したように、本発明の他の実施形態では、一実施形態と同様に、例えば表示基板１Ｃ（Ｓサイズの表示基板１）が吸着テーブルの吸着面および吸着ビームの吸着面に配置された状態（以下、「配置状態」という）において、当該表示基板１Ｃによってその一部が塞がれる吸着孔の直下に自動切替機能付弁を配置した。これにより、配置状態になると、表示基板１Ｃによってその一部が塞がれた吸着孔での吸引を自動的に停止することができる。その結果、従来のように、表示基板１Ｃによってその一部が塞がれた吸着孔での吸引のＯＮ／ＯＦＦを制御するための電磁弁を設ける必要がなくなる。したがって、設ける電磁弁の数を必要最低限に押さえることができ、コスト削減を図ることができる。
【０１６３】
また、本発明の他の実施形態では、一実施形態と同様に、表示基板１のサイズに関わらず、表示基板１によって完全に塞がれた吸着孔だけで当該表示基板１を吸着するようにした。これにより、表示基板を確実に保持することができる。
【０１６４】
また、本発明の他の実施形態では、吸着テーブルのＸ軸方向およびＹ軸方向それぞれの幅を、表示基板１の種類に応じて変更することができる。これにより、吸着ビームおよび吸着テーブルの吸着面を例えば３つの吸着エリア（第１〜第３エリア）以上に分ける必要がなくなる。したがって、各吸着エリアにつき１つ設ける必要のある電磁弁の個数をさらに減らすことができ、よりコスト削減を図ることができる。
【０１６５】
以上、本発明のＦＰＤモジュール組立装置の実施の形態について、その作用効果も含めて説明した。しかしながら、本発明のＦＰＤモジュール組立装置は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。
【符号の説明】
【０１６６】
６００…表示基板保持装置、７００…供給搬送ユニット、７１０…吸着テーブル、７１１…固定吸着ボード、７１２…第１移動吸着ボード、７１３…第２移動吸着ボード、７１４…第１連結部、７１５…第２連結部、７２０…回動駆動部、７３０…昇降部、７４０…Ｘ軸スライダ、７５０…Ｙ軸スライダ、７６０…Ｙ軸ガイド、８００…吸着ビーム、８０１…固定吸着バー、８０２…第１移動吸着バー、８０３…第２移動吸着バー、８０４…第１被移動吸着バー、８０５…第２被移動吸着バー、８５１…第１エリア、８５２…第２エリア、８５３…第３エリア、８５４…第４エリア、９００…真空圧供給ユニット、９０１…第１配管、９０２…第２配管、９０３…第３配管、９０４…第４配管、９０５〜９０９…自動切替機能付弁、９１０…第１吸着領域切替用弁、９１１…第２吸着領域切替用弁、９１２…第３吸着領域切替用弁、９１３…第４吸着領域切替用弁、９１４…真空吸引装置、９２０…吸着テーブル、９２１…固定吸着ボード、９２２…第１移動吸着ボード、９２３…第２移動吸着ボード、９２４…第３移動吸着ボード、９３０…吸着ビーム、９３１…第１固定吸着バー、９３２…第２固定吸着バー、９４０…移動支持バー、９５１…第１エリア、９５２…第２エリア、９５３…第３エリア、９６０…真空圧供給ユニット、９６１…第１配管、９６２…第２配管、９６３…第３配管、９６４〜９６９…自動切替機能付弁、９７０…第１吸着領域切替用弁、９７１…第２吸着領域切替用弁、９７２…第３吸着領域切替用弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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