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　特願２０１１−１０３７８７号「位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年１１月２９日出願公開、特開２０１２−２３５０２６号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯及び本願発明
　本願は、平成２３年５月６日の出願であって、平成２５年４月１０日付けで拒絶理由が通知され、同年６月７日付けで意見書が提出されるとともに同日付けで手続補正がなされたが、同年８月１３日付けで拒絶査定がなされ、これに対して同年１１月１８日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２５年６月７日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「第１部材および第２部材を有する位置決め装置であって、
　前記第１部材に固定された電磁石と、
　前記電磁石によって吸引されるように前記第２部材に固定された吸引ターゲットと、
　前記電磁石が発生する磁束値を検出する磁束センサと、
　前記電磁石と前記吸引ターゲットとの間のギャップの大きさに応じて磁束指令値を補正することによって得られた補正磁束指令値と前記磁束センサによって検出された磁束値との偏差に応じて前記電磁石を駆動する駆動部と、
　を備えることを特徴とする位置決め装置。」
　
２．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に頒布された刊行物である特開２００４−２４１５７６号公報（以下「引用例」という。）には、以下の技術事項が記載されている。（下線は当審で付した。）
　
記載事項ア．
「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、位置決め装置、特に露光装置に搭載される位置決め装置に関する。
　
記載事項イ．
「【００２１】
本実施形態では、
ＸＹスライダ１０９と、それを移動させるための移動体としてのＸ、Ｙ梁１０５、１０７との間のガイド機構として電磁ガイドを採用している。
【００２２】
図４には、図３に示す電磁石１３０の具体的な配列例が示されている。なお、図３中の電磁石１３０は、図３では、ＸＥＭ１〜ＸＥＭ４、ＹＥＭ１〜ＹＥＭ４として記載されている。電磁石は吸引力しか働かすことができないため、二つの電磁石を対向させて組にして用いる。Ｘ電磁石ＸＥＭ１とＸ電磁石ＸＥＭ２、Ｘ電磁石ＸＥＭ３とＸ電磁石ＸＥＭ４、Ｙ電磁石ＹＥＭ１とＹ電磁石ＹＥＭ２、Ｙ電磁石ＹＥＭ３とＹ電磁石ＹＥＭ４がこの組である。Ｘ電磁石ＸＥＭ１とＸ電磁石ＸＥＭ２との中心を結ぶ線をＸ１２軸、Ｘ電磁石ＸＥＭ３とＸ電磁石４との中心を結ぶ線をＸ３４軸、Ｙ電磁石ＹＥＭ１とＹ電磁石ＹＥＭ２との中心を結ぶ線をＹ１２軸、Ｙ電磁石ＹＥＭ３とＹ電磁石４との中心を結ぶ線をＹ３４軸と定義する。これらのＸ１２軸、Ｘ３４軸、Ｙ１２軸、Ｙ３４軸は、それぞれＸ電磁石ＸＥＭ１及びＸ電磁石ＸＥＭ２の力線、Ｘ電磁石３及びＸ電磁石４の力線、Ｙ電磁石１及びＹ電磁石２の力線、Ｙ電磁石３及びＹ電磁石４の力線を示す。
【００２３】
図４を用いて電磁石とターゲットとのギャップの計測について説明する。ギャップの情報は、図６に示すように、ギャップ算出器６０６によって電磁石駆動制御器６０９に与えられる。まず、ＸＹスライダ位置算出器６０３によってＸＹスライダレーザ干渉計（計測軸は、ＡＸＸ、ＡＸＹ１、ＡＸＹ２）から提供される位置情報に基づいてＸＹスライダ１０９の位置を算出する。また、粗動ステージ位置算出器６０８によって粗動ステージレーザ干渉計（計測軸は、ＲＡＸＸ１、ＲＡＸＸ２、ＲＡＸＹ１、ＲＡＸＹ２）に基づいて粗動ステージ（粗動Ｘ梁１０５、粗動Ｙ梁１０７）の位置を算出する。そして、ギャップ算出器６０６によってＸＹスライダ位置及び粗動ステージ位置に基づいて各電磁石ＸＥＭ１、ＸＥＭ２、ＸＥＭ３、ＸＥＭ４、ＹＥＭ１、ＹＥＭ２、ＹＥＭ３、ＹＥＭ４のギャップＸ１ｇａｐ、Ｘ２ｇａｐ、Ｘ３ｇａｐ、Ｘ４ｇａｐ、Ｙ１ｇａｐ、Ｙ２ｇａｐ、Ｙ３ｇａｐ、Ｙ４ｇａｐを算出する。この符号はギャップが大きくなる方向を正方向にとることにする。すなわち、ギャップ値が大きくなると、吸引力は減少する。
【００２４】
図５に電磁アクチュエータの構成例が示されている。電磁石１３０は、Ｅ型コア１３１にコイル１３２を巻くことにより構成されうる。コイル１３２に電流を流すことにより、Ｅ型コア１３１とターゲット１０５Ｔ（１０７Ｔ）に磁束が通り、両者間に吸引力が発生する。
電磁石１３０は、ＸＹスライダ支柱１０９ｂに取り付けられている。
　
記載事項ウ．
「【００３１】
電磁石指令演算器６０７、電磁石駆動制御器６０９、電流ドライバ６１０等の機能について、Ｘ１２軸を一例として示す図８を参照して説明する。他のＸｆ３４，Ｙｆ１２，Ｙｆ３４軸も同様にして構成される。Ｘ１２軸の電磁石ユニット６１２は、Ｘ電磁石ＸＥＭ１とＸ電磁石ＸＥＭ２で構成されている。これらの電磁石は、粗動Ｘ梁１０５との間に吸引力を発生する。すなわち、
電磁石ユニット６１２の制御力の反力は電磁石のターゲット１０５Ｔが設けられている補助構造体である粗動Ｘ梁１０５に加わる。
　
記載事項エ．
「【００３９】
（第３実施形態）
電磁石指令演算器６０７、電磁石駆動制御器６０９、電流ドライバ６１０等の機能について、電磁石ＸＥＭ１を一例として示す図１１を参照して説明する。電磁石ＸＥＭ１の制御系には、
電磁石ＸＥＭ１に設けられたサーチコイル４２１と積分器４２３とにより磁束検出器が構成されている。
誘起電圧を積分器４２３により時間積分することで電磁石ＸＥＭ１が発生する磁束が検出される。加算器４２４では、電磁石指令演算器６０７から与えられた磁束指令ＸＪ１と検出磁束との差分である磁束誤差が算出される。この磁束誤差に増幅器４２５がゲインを乗じてＸ１電圧ドライバ６１０ａに指令として送られる。電磁石ＸＥＭ１のコイル４２２には、Ｘ１電圧ドライバ６１０ａにより電圧が印加され、コイル４２２に電流が流れることにより電磁石ＸＥＭ１に磁束が発生する。
【００４０】
このように、本実施形態によれば、電磁石指令演算器によって電磁石ユニット毎に制御力を算出して、その制御力を磁束の次元にして電磁石駆動制御器に送り、電磁石駆動制御器で検出磁束をフィードバック制御することにより、電磁石で発生する磁束を所望の磁束指令にほぼ等しくすることができ、結果的に所望の制御力を発生することができる。検出磁束は、電磁石間隙変動の影響を含め大局的な吸引力の検出に相当するので、電磁石のギャップに変動があっても、所望の制御力を発生することができ、位置決め対象物を高精度に位置決めすることができる。
【００４１】
（第４実施形態）
電磁石駆動制御器６０９は、電磁石指令演算器６０７より送られた電磁石指令値通りの電磁石の吸引力になるように各電流ドライバ６１０ａ〜ｈへ電流指令を送る役割を果たす。電磁石で発生する吸引力は、理論的にはおよそコイルに流れる電流の２乗に比例し、電磁石とターゲットとのギャップ（電磁石ギャップ）の２乗に逆比例する。従って、このような非線形性を考慮した電流が各電流ドライバへ指令として送られる必要がある。この非線形性を単純にコイル電流の２乗に比例し、ギャップの２乗に逆比例するものとして、力指令のルート演算をしたり、ギャップをルート演算後の値に乗じて補正したりする構成も考えられるが、そのような手法では精度が悪くなる。ギャップにより磁束の漏れが生じ、発生する磁束すべてが吸引力にはならないためである。また、ギャップが変化すると磁束の漏れ方も変化する。
【００４２】
そこで、本実施形態では、予め実験により測定した電磁石の電流、ギャップ、吸引力の関係に基づいて数値表を作成し、電磁石のギャップ値と必要な吸引力の２つの値を引数として、数値表から指令電流を求める構成を用いる。図１３は、ギャップを変化させたときのコイル電流と電磁石吸引力の測定結果の一例を示す図である。図１３から電磁石吸引力はギャップの２乗に反比例したものではないことがわかる。図１４は、コイル電流を変化させたときのギャップと吸引力の測定結果の一例を示す図である。これは図１４と同じ測定条件においてプロットの仕方を変えたものである。同じ電流値に対してはギャップが大きいほど電磁石吸引力が小さくなることが分かる。また、吸引力はコイル電流の２乗に単純に比例したものではないことが分かる。より詳細な電磁石の電流、ギャップ、吸引力の関係を求めるためには、ギャップ又は電流をより細かく変化させたときの吸引力を計測すればよい。これらのデータに基づいて、吸引力、ギャップが与えられたときに、必要なコイル電流を求めるための数値表が求められる。この数値表は、本実施形態では、一例として図１５のような構成を用いられるが、本実施形態はこれに限定されない。
【００４３】
図１５に示すように、数値表は２次元の行列となっている。行には吸引力を一定としたときのギャップに対する電流値が、列にはギャップを一定としたときの吸引力に対する電流値が並んでいる。電磁石指令値及びそのときのギャップが与えられたときは、図１５の行列を用いて、電磁石指令値とギャップの交点の電流値を求めればよい。しかし、数値表の各値は離散的であるため、電磁石指令値や制御時におけるギャップが数値表で用いられている値とは必ずしも一致しない。この場合は、例えば、図１６のようにして補間すればよい。具体的には、吸引力は指標ｆ１とｆ２の間にあり、ギャップは指標ｇ１とｇ２の間にあるとする。まず、指標［ｆ１，ｇ１］で得られる電流ｉ１と指標［ｆ１，ｇ２］で得られる電流ｉ２とに基づいて、指標ｇ１、ｇ２、ギャップの各値から線形補間を行って電流値ｉ１２を求める。同様にして、ｉ３とｉ４から線形補間によりｉ３４を求める。次に、ｉ１２とｉ３４とから指標ｆ１、ｆ２、電磁石指令値の各値から線形補間を行って所望の指令電流ｉが求められる。
【００４４】
本実施形態では、ギャップから先に補間を行ったが、電磁石指令値から先に補間を行っても良い。また、補間方法は、ここに示した方法以外の方法を用いてもよい。数値表の精度・分解能が高いほど、補間の方法には影響されずに、正確な指令電流ｉが求められる。このようにして、各電磁石への電磁石指令値から指令電流が算出されて各電流ドライバ６１０ａ〜ｈへ送られる。電流ドライバ６１０ａ〜ｈでは、指令通りの電流をコイルに流して、電磁石指令値通りの吸引力を電磁石に発生させることができる。その結果、位置制御系の指令通りにＸＹスライダ１０９を高精度に位置制御することができる。
【００４５】
なお、モード指令変換器６０２、モード制御器６０５、電磁石指令演算器６０７、制御指令分配器６１１は、複雑な座標変換、正負判断、非線形演算等を用いるのでデジタル系で構成するのが望ましい。電磁石駆動制御器６０９や磁束検出器は、線形演算を用いるので、アナログ系で構成しても良いし、もちろんデジタル系で構成しても良い。
【００４６】
このように、本実施形態によれば、電磁石指令演算器により得られた電磁石ユニット毎の電磁石指令値とギャップ算出器により得られた電磁石毎の電磁石のギャップ値とから、実験的に求めた電磁石指令値と電磁石のギャップ値との数値表に基づいて、必要な電流指令を求めることによって、制御指令通りの力を発生することができ、高精度にＸＹスライダを位置決めすることができる。
【００４７】
また、単位面積あたりで静圧案内に比べて数倍の力伝達能力をもつ電磁石を用いた電磁ガイドを構成する第１実施形態〜第３実施形態に係る制御系と本実施形態に係る数値表とを組み合わせることによって、さらに高加減速かつ高精度のステージを実現することができる。」
　
記載事項オ．
「【図１１】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
　上記記載事項アないしカの記載内容からして、引用例には、
「ＸＹスライダ１０９と、それを移動させるための移動体としてのＸ梁１０５との間のガイド機構として電磁ガイドを採用している位置決め装置であって、ＸＹスライダ支柱１０９ｂに取り付けられている電磁石ＸＥＭ１と、Ｘ梁１０５に設けられている電磁石のターゲット１０５Ｔと、電磁石ＸＥＭ１が発生する磁束が検出されるサーチコイル４２１と積分器４２３とにより構成されている磁束検出器とを備え、加算器４２４では、電磁石指令演算器６０７から与えられた磁束指令ＸＪ１と検出磁束との差分である磁束誤差が算出され、この磁束誤差に増幅器４２５がゲインを乗じてＸ１電圧ドライバ６１０ａに指令として送られ、電磁石ＸＥＭ１のコイル４２２には、Ｘ１電圧ドライバ６１０ａにより電圧が印加され、コイル４２２に電流が流れることにより電磁石ＸＥＭ１に磁束が発生する位置決め装置。」
の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているといえる。
　
３．対比
　本願発明と引用発明を対比する。
（ａ）引用発明の「ＸＹスライダ１０９」、「Ｘ梁１０５」、「位置決め装置」、「ＸＹスライダ支柱１０９ｂに取り付けられている電磁石ＸＥＭ１」、「Ｘ梁１０５に設けられている電磁石のターゲット１０５Ｔ」、「電磁石ＸＥＭ１が発生する磁束が検出されるサーチコイル４２１と積分器４２３とにより構成されている磁束検出器」は、それぞれ本願発明の「第１部材」、「第２部材」、「位置決め装置」、「前記第１部材に固定された電磁石」、「前記電磁石によって吸引されるように前記第２部材に固定された吸引ターゲット」、「前記電磁石が発生する磁束値を検出する磁束センサ」に相当する。
　そうすると、引用発明の「ＸＹスライダ１０９と、それを移動させるための移動体としてのＸ梁１０５との間のガイド機構として電磁ガイドを採用している位置決め装置であって、ＸＹスライダ支柱１０９ｂに取り付けられている電磁石ＸＥＭ１と、Ｘ梁１０５に設けられている電磁石のターゲット１０５Ｔと、電磁石ＸＥＭ１が発生する磁束が検出されるサーチコイル４２１と積分器４２３とにより構成されている磁束検出器とを備え」る構成は、本願発明の「第１部材および第２部材を有する位置決め装置であって、前記第１部材に固定された電磁石と、前記電磁石によって吸引されるように前記第２部材に固定された吸引ターゲットと、前記電磁石が発生する磁束値を検出する磁束センサと、」「を備える」構成に相当するといえる。
　
（ｂ）引用発明の「磁束指令ＸＪ１」、「検出磁束との差分である磁束誤差」は、それぞれ本願発明の「磁束指令値」、「前記磁束センサによって検出された磁束値との偏差」に相当する。また、引用発明の「Ｘ１電圧ドライバ６１０ａ」により、「電磁石ＸＥＭ１のコイル４２２に」「電圧が印加され、コイル４２２に電流が流れることにより電磁石ＸＥＭ１に磁束が発生」して「電磁石ＸＥＭ１」が駆動されることは明らかであるから、引用発明の「Ｘ１電圧ドライバ６１０ａ」は、本願発明の「前記電磁石を駆動する駆動部」に相当する。そうすると、引用発明の「加算器４２４では、電磁石指令演算器６０７から与えられた磁束指令ＸＪ１と検出磁束との差分である磁束誤差が算出され、この磁束誤差に増幅器４２５がゲインを乗じてＸ１電圧ドライバ６１０ａに指令として送られ、電磁石ＸＥＭ１のコイル４２２には、Ｘ１電圧ドライバ６１０ａにより電圧が印加され、コイル４２２に電流が流れることにより電磁石ＸＥＭ１に磁束が発生する」ことと、本願発明の「前記電磁石と前記吸引ターゲットとの間のギャップの大きさに応じて磁束指令値を補正することによって得られた補正磁束指令値と前記磁束センサによって検出された磁束値との偏差に応じて前記電磁石を駆動する駆動部と、を備える」ことは「磁束指令値と前記磁束センサによって検出された磁束値との偏差に応じて前記電磁石を駆動する駆動部と、を備える」点で共通している。
　
　上記（ａ）、（ｂ）で述べたことからして、本願発明と引用発明は、
「第１部材および第２部材を有する位置決め装置であって、
　前記第１部材に固定された電磁石と、
　前記電磁石によって吸引されるように前記第２部材に固定された吸引ターゲットと、
　前記電磁石が発生する磁束値を検出する磁束センサと、
　磁束指令値と前記磁束センサによって検出された磁束値との偏差に応じて前記電磁石を駆動する駆動部と、
　を備える位置決め装置。」
である点で一致し、次の点で相違する。
　
［相違点］
　磁束センサによって検出された磁束値との偏差を求めるための磁束指令値が、本願発明では、電磁石と吸引ターゲットとの間のギャップの大きさに応じて磁束指令値を補正することによって得られた補正磁束指令値であるのに対して、引用発明は、そのような補正磁束指令値ではない点。
　
４．当審の判断
　上記相違点について検討する。
　引用例には、第４実施形態として、予め実験により測定した電磁石の電流、電磁石とターゲットとのギャップ（電磁石ギャップ）、吸引力の関係に基づいて数値表を作成し、電磁石指令演算器により得られた電磁石ユニット毎の電磁石指令値とギャップ算出器により得られた電磁石毎の電磁石のギャップ値とから、数値表に基づいて、必要な電流指令を求めることによって、制御指令通りの力を発生し高精度にＸＹスライダを位置決めすることができることが記載（上記記載事項エの【００４１】、【００４２】、【００４６】等参照）されており、引用例に記載された「電磁石指令演算器により得られた電磁石ユニット毎の電磁石指令値」、「電磁石のギャップ値」は、それぞれ本願発明の「磁束指令値」、「電磁石と吸引ターゲットとの間のギャップの大きさ」に相当し、引用例に記載された「数値表に基づいて」求める「電流指令」は、本願発明の、「電磁石と吸引ターゲットとの間のギャップの大きさに応じて磁束指令値を補正することによって得られた補正磁束指令値」に相当する。そして引用例には、第３実施形態に係る制御系と数値表を用いる第４実施形態を組み合わせることによって、さらに高加減速かつ高精度のステージを実現できることが記載（上記記載事項エの【００４７】等参照)されているから、引用発明に第４実施形態の制御を組み合わせて上記相違点に係る本願発明の発明特定事項を得ることは当業者であれば容易になし得ることである。
　
　また、本願発明の効果も、引用発明及び引用例の記載事項から予測し得る範囲内のものであり、格別のものとは認め難い。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び引用例の記載事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について言及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。