【事件の表示】
　特願２０１２−　６５５４２「自動材料ハンドリングシステムの材料加工の間における処理量低減装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　７月１９日出願公開、特開２０１２−１３８６１５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件出願は、２００５年（平成１７年）７月２９日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２００４年７月２９日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願（特願２００７−５２３８６１号）の一部を平成２４年３月２２日に新たな出願としたものであって、その手続の経緯は以下のとおりである。
　平成２５年　２月２５日付け：拒絶理由の通知
　平成２５年　９月　４日　　：意見書及び手続補正書の提出
　平成２６年　２月　６日付け：拒絶査定
　平成２６年　６月１２日　　：審判請求書及び手続補正書の提出
２．本件発明
　本件の請求項１に係る発明は、平成２６年６月１２日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認められ、その請求項１には、次のとおり記載されている。
「自動材料ハンドリングシステムの材料加工の間における処理量低減装置であって、
　１個又はそれ以上のロードポートを備えた前端部を有する材料加工ツールと、
　前記前端部に取り付けられる少なくとも１個の可動バッファとを含み、該バッファは保管位置において前記自動材料ハンドリングシステムから材料ポッドを受け取ると共に、該材料ポッドを前記１個又はそれ以上のロードポートの１個以上へ移動させるように構成され、または該バッファは該材料ポッドを該１個又はそれ以上のロードポートの１個以上から受け取ると共に、該材料ポッドを前記保管位置へ移動させるように構成され、或いはこれらの構成の両者に構成されており、該バッファは、材料ポッドを下方から支持し、且つ材料ポッドを水平又は垂直面内において円弧を通るように回転させることにより材料ポッドを移動させるように構成され、
　前記バッファのいかなる材料ポッドへも、手により或いは材料ハンドリングシステムによってアクセス可能である
ことを特徴とする装置。」　（以下「本件発明」という）
　
３．引用例及びその記載事項
　本件出願の原出願である特願２００７−５２３８６１号の優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された特開２０００−１２４３０１号公報（以下「引用例１」という）には、「容器載置ユニット、容器収納装置、及び処理装置」について、図面とともに、次の記載がある。（下線は当審で付与した。）
（ア）
「【請求項１】　被処理基板を収容する基板容器を載置し、この基板容器内から被処理基板を出し入れする第１の位置と、
外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う第２の位置と、
前記第１の位置と前記第２の位置との間で前記基板容器を移動させる手段と、
を具備することを特徴とする容器載置ユニット。
【請求項２】　請求項１に記載の容器載置ユニットであって、前記第１の位置と前記第２の位置との間で前記基板容器を待機させる少なくとも一つの第３の位置を更に具備し、前記移動させる手段が前記第１の位置〜第３の位置との間で前記基板容器を移動する手段であることを特徴とする容器載置ユニット。」
　
（イ）
「【００２７】請求項１記載の容器載置ユニットでは、基板容器内から被処理基板を出し入れする第１の位置と、外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う前記第２の位置とを別々に設けたので、
容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する
【００２８】その結果この容器載置ユニットを備えた処理装置では装置全体としてのデッドスペースがなくなり、スペース効率即ち、装置設置に必要な床面積に対する有効活用した床面積の割合が向上する。
【００２９】請求項２記載の容器載置ユニットでは、請求項１に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第１の位置と前記第２の位置との間で前記基板容器を待機させる第３の位置を更に少なくとも一つ具備しているので、容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。」
　
（ウ）
「【００４９】図１は本発明の一実施形態に係る容器載置ユニットを備えた半導体ウエハ（以下、「ウエハ」という）Ｗの塗布現像処理システム１全体を示した平面図である。
【００５０】この塗布現像処理システム１では、被処理体としてのウエハＷをウエハカセットＣＲで複数枚、例えば２５枚単位で外部からシステムに搬入・搬出したり、ウエハカセットＣＲに対してウエハＷを搬入・搬出したりするためのカセットステーション１０と、塗布現像工程の中で１枚ずつウエハＷに所定の処理を施す枚葉式の各種処理ユニットを所定位置に多段配置した処理ステーション１１と、この処理ステーション１１に隣接して設けられる露光装置（図示せず）との間でウエハＷを受け渡しするためのインタフェース部１２とが一体的に接続されている。このカセットステーション１０では、カセット載置台２０上の位置に複数個のウエハカセットＣＲが、夫々のウエハ出入口を処理ステーション１１側に向けてＸ方向一列に載置され、このカセット配列方向（Ｘ方向）およびウエハカセッ卜ＣＲ内に収納されたウエハＷのウエハ配列方向（Ｚ方向；垂直方向）に移動可能な補助アーム２１が各ウエハカセットＣＲに選択的にアクセスする。」
　
（エ）
「【００７４】以下、載置台上のキャリアカセットＣＲの位置を移動させる手順について詳細に説明する。図８はキャリアカセットＣＲの位置を移動させる状態を示した図である。
【００７５】最初に処理装置を起動すると、自動搬送ロボット（ＡＧＶ）などの外部搬送装置（図示省略）により未処理ウエハＷを収容したキャリアカセットＣＲ１が本実施形態の容器載置ユニット３０のカセット載置部２０にセットされた保持部材４０上に載置される。
【００７６】このとき待機部３１ではコンテナ３２が下側の位置にセットされており、コンテナ３２の上側の容器収容部Ａがカセット載置部２０と同じ高さに維持されている。
【００７７】次に、キャリアカセットＣＲ１はその下の保持部材４０と共に直線駆動モータＬ１によって図中左方向に移動され、コンテナ３２の上側の容器収容部Ａ内に収容される。
【００７８】こうしてコンテナ３２の上側の容器収容部Ａ内に収容されたキャリアカセットＣＲ１がカセット載置部２０と図５に示した位置（紙面の最も手前側）の補助アーム２１との間の位置であるホームアクセス位置に搬送される。
【００７９】このホームアクセス位置にキャリアカセットＣＲ１がセットされると、補助アーム２１がこのキャリアカセットＣＲ１の図中左側の開口部まで移動し、キャリアカセットＣＲ１内に先端のアーム部分２１ａを出し入れして中に収容された未処理ウエハＷを取り出す。この取り出された未処理ウエハＷを保持したまま補助アーム２１が移動してメインアーム２２に引き渡す。メインアーム２２は処理ユニットに未処理ウエハＷをセットして必要な処理を施す。
【００８０】同様にしてキャリアカセットＣＲ１内の未処理ウエハＷが補助アーム２１によって取り出され、キャリアカセットＣＲ１内が空になると、昇降モータＭ１を駆動してコンテナ３２を上昇させ、コンテナ３２の下側の容器収容部Ｂをホームアクセス位置まで移動させる。この上昇により先に空になったキャリアカセットＣＲ１は待機スペース３１の上側の位置まで移動する。
【００８１】次に自動搬送ロボット（ＡＧＶ）などの外部搬送装置（図示省略）により未処理のウエハＷが収容されたもう一つのキャリアカセットＣＲ２がこの容器載置ユニット３０のカセット載置部２０の保持部材４０上に載置される。
【００８２】上記キャリアカセットＣＲ１のときと同様に、直線駆動モータＬ１が作動してカセット載置部２０のキャリアカセットＣＲ２がコンテナ３２の下側の容器収容部Ｂ内に収容されると同時にホームアクセス位置まで移動され、補助アーム２１により中の未処理ウエハＷが取り出される。
【００８３】次に、各処理ユニットで処理を施され一連の処理が完了したウエハＷをキャリアカセットＣＲ１に収容する場合について説明する。
【００８４】キャリアカセットＣＲ２が空になると、昇降モータＭ１を駆動してコンテナ３２を降下させ、先に空にしたキャリアカセットＣＲ１をホームアクセス位置まで移動させる。
【００８５】処理ユニット群で一連の処理が完了したウエハＷは、メインアーム２２及び補助アーム２１を経て、ホームアクセス位置で待機しているキャリアカセットＣＲ１内に順次搬送され、収容される。
【００８６】キャリアカセットＣＲ１内が処理済みのウエハＷで一杯になると、制御部１００は直線駆動モータＬ１を駆動してキャリアカセットＣＲ１をコンテナ３２の上側の容器収容部Ａからカセット載置部２０まで移動させる。このカセット載置部２０まで運ばれたキャリアカセットＣＲは自動搬送ロボット（ＡＧＶ）などの外部搬送装置（図示省略）により受け取られ、カセット載置部２０から運び去られる。
【００８７】そしてキャリアカセットＣＲ１と入れ替わりに、カセット載置部２０には更に別の未処理ウエハＷを収容したキャリアカセットＣＲ３（図示省略）が載置され、上記と同様にしてコンテナ３２の下側の容器収容部Ｂに搬入される。
【００８８】コンテナ３２の下側の容器収容部Ｂに収容されたキャリアカセットＣＲ２に処理済みのウエハＷを収容するには、昇降モータＭ１を駆動してコンテナ３２を上昇させ、下側の容器収容部Ｂをホームアクセス位置まで移動させる。そして上記キャリアカセットＣＲ１の場合と同様にして、処理ユニット群、メインアーム２２、補助アーム２１の順に経由して処理済みのウエハＷがキャリアカセットＣＲ内２に収容される。キャリアカセットＣＲ２が処理済みのウエハＷで一杯になると、上記キャリアカセットＣＲ１の場合と同様にして、直線駆動モータＬ１と外部搬送装置とを経てキャリアカセットＣＲ２は更に別の未処理ウエハＷを収容したキャリアカセットＣＲと入れ替えられる。
【００８９】以上説明したように、本実施形態に係る処理装置では、
補助アーム２１と載置台との間に待機スペース３１を設け、この待機スペース３１に上下方向に複数のキャリアカセットＣＲを収容するようにしたので、キャリアカセットＣＲの収容能力が向上した
　
（オ）
「【００９５】（第２の実施形態）次に、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、以下第２以降の実施形態のうち上記第１の実施形態や他の実施形態と重複する部分については説明を省略する。」
（カ）
「【０１１４】（第４の実施の形態）次に、本発明の第４の実施形態について説明する。
【０１１５】図１３は本実施形態に係る容器載置ユニットの斜視図であり、図１４は同容器載置ユニットの垂直断面図である。
【０１１６】本実施形態に係る容器載置ユニット３３０では、カセット載置部３３１上でＹＺ平面に平行な鉛直面内で４個のキャリアカセットＣＲを循環的に移動させながら保持する。
【０１１７】即ち、本実施形態に係る容器載置ユニット３３０では、図１３に示したようにカセット載置部３３１上の空間にＹ方向に２個、上下に二段にわたりキャリアカセットＣＲを保持できるように保持部材３４０ａ〜３４０ｄが配設されており、これら合計４個の保持部材３４０ａ〜３４０ｄは無端帯状部材、例えばベルトやチェーン等に係合している。
【０１１８】この無端帯状部材（以下、この「無端帯状部材」を「無端ベルト」と略す。）Ｖは前記鉛直面上に正方形の四隅の位置に取り付けられたプーリｐ１〜ｐ４に掛け回されており、更にこのプーリｐ１には駆動機構と駆動モータ（図示省略）により駆動力が与えられる。この駆動モータは制御部により制御されており、制御部が認識した補助アーム３２１やメインアーム、或いは処理ユニットと同期して作動し、図１４に示した４つの位置の間で順次移動する。
【０１１９】この容器載置ユニット３３０では、図１４に示した４つの位置のうち、ホームアクセス位置（第１の位置）として図１４中左下の位置を使用し、外部搬送装置との間でキャリアカセットＣＲの授受を行う第２の位置として、図中右下の位置、或いは図中右上の位置を使用する。そして図１４の４つの位置のうち、ホームアクセス位置（第１の位置）と第２の位置とを除いた２つの位置を待機部（第３の位置）として用いる。」
　
（キ）
　図５、図１３及び図１４より、保持部材４０、３４０ａ〜ｄは、キャリアカセットを下方から支持しているものと認められる。
　上記記載事項（オ）にあるとおり、第４の実施形態は、容器戴置ユニット３３０に関する構成を除き、記載事項（ウ）及び図１，４，５，８に係る実施形態と同様であることが理解できるから、上記引用例１の第４の実施形態は、容器戴置ユニットに関する構成を除く、その余の装置について上記実施形態で示した部材を有しているといえる。
　上記記載事項（ア）〜（カ）及び上記認定事項（キ）並びに当業者の技術常識をふまえて、第４実施形態に基づいて認定すると、上記引用例１には、
「自動搬送ロボットの塗布現像処理の間における装置であって、
　１個又はそれ以上のホームアクセス位置を備えた処理ステーションと、
　Ｙ方向に取り付けられる少なくとも１個の保持部材とを含み、該保持部材は第２の位置において前記自動搬送ロボットからキャリアカセットを受け取ると共に、該キャリアカセットを前記１個又はそれ以上のホームアクセス位置の１個へ移動させるように構成され、または該保持部材は該キャリアカセットを該１個又はそれ以上のホームアクセス位置の１個から受け取ると共に、該キャリアカセットを前記第２の位置へ移動させるように構成され、或いはこれらの構成の両者に構成されており、該保持部材は、キャリアカセットを下方から支持し、且つキャリアカセットを垂直面内において回転させることによりキャリアカセットを移動させるように構成される装置。」の発明（以下「引用例１発明」という）が記載されていると認められる。
４．対比
　本件発明と引用例１発明とを比較すると、その機能及び作用からみて、引用例１発明の、「処理ステーション」、「キャリアカセット」「第２の位置」は、本件発明の「材料加工ツール」、「材料ポッド」、「保管位置」に相当する。
　引用例１発明の「自動搬送ロボット」は、自動で材料をハンドリングするロボットであり、ロボットもシステムの１つと解されることから、本件発明の「自動材料ハンドリングシステム」に相当する。
　引用例１発明の「塗布現像処理」は、半導体ウエハの材料加工の一種であるから、本件発明の「材料加工」に相当する。
　上記記載事項（エ）の「ホームアクセス位置にキャリアカセットＣＲ１がセットされると、補助アーム２１がこのキャリアカセットＣＲ１の図中左側の開口部まで移動し、キャリアカセットＣＲ１内に先端のアーム部分２１ａを出し入れして中に収容された未処理ウエハＷを取り出す」と記載されているところ、「ロードポート」とはポッドと半導体製造装置のインターフェースでウエハを出し入れする部分を意味することは自明であるから、当該記載のうちの「ホームアクセス位置」は、「ロードポート」を実質的に開示しているものといえる。
　図１のＹ方向を前後方向と呼べば、処理ステーションの前端部にロードポートが設けられていることが認められる。同様に、保持部材３４０は、処理ステーションの前端部に設けられていることが認められる。
　引用例１発明の「保持部材３４０」は、待機部（第３の位置）にも移動するものであり、この待機部（第３の位置）は一種のバッファであること、及び、無端帯状部によって可動であることに鑑みれば、本件発明の「可動バッファ」に相当する。
　そうすると、両者は、
「自動材料ハンドリングシステムの材料加工の間における装置であって、
　１個又はそれ以上のロードポートを備えた前端部を有する材料加工ツールと、
　前記前端部に取り付けられる少なくとも１個の可動バッファとを含み、該バッファは保管位置において前記自動材料ハンドリングシステムから材料ポッドを受け取ると共に、該材料ポッドを前記１個又はそれ以上のロードポートの１個以上へ移動させるように構成され、または該バッファは該材料ポッドを該１個又はそれ以上のロードポートの１個以上から受け取ると共に、該材料ポッドを前記保管位置へ移動させるように構成され、或いはこれらの構成の両者に構成されており、該バッファは、材料ポッドを下方から支持し、且つ材料ポッドを垂直面内において回転させることにより材料ポッドを移動させるように構成される装置。」である点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１］
　本件発明が、処理量低減装置であるのに対して、引用例１発明は、それが不明である点。
［相違点２］　バッファが、本件発明は、円弧を通るように回転させるのに対し、引用例１発明では、回転させるものの、円弧を通らない点。
［相違点３］　本件発明が、前記バッファのいかなる材料ポッドへも、手により或いは材料ハンドリングシステムによってアクセス可能であるのに対して、引用例１発明は、カセット戴置部の位置にあるキャリアカセットのみへ自動搬送ロボットによってアクセス可能である点。
５．判断
相違点１について
　上記記載事項（イ）に「容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する」とあること及び上記記載事項（エ）に「補助アーム２１と載置台との間に待機スペース３１を設け、この待機スペース３１に上下方向に複数のキャリアカセットＣＲを収容するようにしたので、キャリアカセットＣＲの収容能力が向上した」（下線部を参照）とあるところ、本件出願の明細書を参照すると、【０００２】に「現代の半導体製造設備（「ｆａｂｓ」として知られている）は、複数のウェハを加工するツールを使用する。ウェハは一般的に、ストッカからツールへ搬送される。最近では、半導体ＦＡＢＳはツールの性能によってではなく、ツール装備前端モジュール（ＥＦＥＭ）における前面開閉搬送ポッド（ＦＯＵＰ）の使用可能性に起因して、制限されることが多い。これは、ツールにおける不十分な生産中未加工品（ＷＩＰ）、及び自動材料ハンドリングシステム（ＡＭＨＳ）又は天井軌道走行型移動システム（ＯＨＴ）での不十分な輸送可能性又はスケジューリングの柔軟性等を含む幾つかの原因に起因する。」との記載があり、待機スペースを設けることで保管できる許容量が増大して、上記問題点を解決して、自動材料ハンドリングシステムの処理量を低減している。よって、引用例１発明から、処理量低減装置に想到することは当業者にとって容易である。
相違点２について
　半導体ウエハの取扱いシステムの回転コンベヤストッカーにおいて、円弧を通るようにすることは、従来周知の事項である（例えば、国際公開２００４／００１５８２号のＦＩＧ．２及びＦＩＧ．３のfirst and second pulleys 250-251又は350-351が円弧の軌跡を持っていることを参照。pulleyの部分が円弧の軌跡になることは、pulleyが通常円形であるという技術常識から自明）。
　引用例１発明の待機部（第３の位置）を含む無端帯状部は、半導体ウエハの取扱いシステムの回転コンベヤストッカーの一種であるから、当該分野において従来周知の事項である「円弧を通るようにすること」を引用例１発明のキャリアカセットの軌跡に適用して、本件発明に想到することは、当業者が容易になし得たことである。
相違点３について
　引用例１発明の保持部材３４０が例えば故障等で移動できなくなった場合に、保持部材３４０がどのような位置にあっても材料ポッドを回収する必要があることは当然であるから、バッファのいかなる材料ポッドへも、手により或いは材料ハンドリングシステムによってアクセス可能に構成することは、当業者が適宜設定する設計事項に過ぎない。
　そして、本件発明の効果も、引用例１発明及び従来周知の事項から予測しうる範囲のものであって、格別なものとはいえない。
　したがって、本件発明は、引用例１発明及び従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができないものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本件発明は、引用例１発明及び従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。したがって、本件出願は、拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。