【事件の表示】
　特許第２５８３１５９号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．請求の要旨（審判請求時・補正前）
　本件審判に請求の要旨は、特許２５８３１５９号発明（平成３年６月１３日出願、平成８年１１月２１日設定登録）の明細書及び図面を審判請求書に添付した訂正明細書及び図面のとおりに訂正しようとするものである。
　上記訂正明細書の特許請求の範囲の記載は次のとおりである。
【請求項１】管壁に流体の流入部及び流出部を有する第１の中空管の内部に、両端が開放された透明な第２の中空管を、前記第１の中空管の内壁との間に空間を有して配し、前記第２の中空管内部に、発熱体が内部に封入された透明な管からなるハロゲンランプを前記第２の中空管の内壁との間に空間を有して配し、前記ハロゲンランプを隙間を有した状態で溝内で支持する支持部材によって、該ハロゲンランプを前記第２の中空管内部に支持したことを特徴とする半導体プロセス用流体加熱器。
【請求項２】石英硝子製の第１の中空管および第２の中空管の接触部を溶着し、第１の中空管を、光反射部材製筐体内に配置したことを特徴とする請求項１記載の半導体プロセス用流体加熱器。
【請求項３】石英硝子製の第１の中空管および第２の中空管の接触部を溶着し、第１の中空管の外周に金属薄膜を設けたことを特徴とする請求項１記載の半導体プロセス用流体加熱器。
【請求項４】金属は金、アルミニウム、酸化錫、インジウム、クロムであり、流体の流入部および流出部は、第１の中空管に対して平行に形成されていることを特徴とする請求項３記載の半導体プロセス用流体加熱器。
【請求項５】第１の中空管が光吸収部材であることを特徴とする請求項１記載の半導体プロセス用流体加熱器。
（以下、上記請求項１ないし請求項５に係る各発明を、「訂正発明１」ないし「訂正発明５」という。）
２．訂正拒絶の理由
　一方、平成１４年９月１７日付けの訂正拒絶理由通知書に記載した理由の概要は、次のとおりである。
（１）訂正発明４における「流体の流入部および流出部は、第１の中空管に対して平行に形成されている」は、本件特許明細書又は図面に全く記載されていないし示唆もされていない。したがって、訂正発明４に係る本件訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内でなされたものではない。
（２）訂正発明１は、米国特許第４５３４２８２号明細書（引用例１）記載の発明並びに実願昭６０−１４９９９５号（実開昭６２−５８８８６号）のマイクロフィルム及び実公平１−３５４３７号公報等が例示する周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（３）訂正発明２は、引用例１記載の発明及び周知慣用の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（４）訂正発明３は、引用例１記載の発明及び周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
（５）訂正発明５は、引用例１及び特開昭６３−７５４３９号公報（引用例２）記載の各発明並びに周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
３．訂正請求の補正
　審判請求人は、平成１４年１１月１９日付けの手続補正書により、本件訂正請求の請求項４における訂正を、次のとおり補正した。（この補正を以下「本件補正」という。）
【請求項４】金属は金、アルミニウム、酸化錫、インジウム、クロムであることを特徴とする請求項３記載の半導体プロセス用流体加熱器。
　本件補正は、請求項４における訂正を削除するものであるから、訂正請求の要旨を変更しないものと認められる。
　したがって、本件補正を採用する。
４．請求の要旨（補正後）
　本件補正を採用した結果、本件審判に請求の要旨は、特許２５８３１５９号発明（平成３年６月１３日出願、平成８年１１月２１日設定登録）の明細書を平成１４年１１月１９日付けの手続補正書に添付した訂正明細書のとおりに訂正しようとするものである。
　上記訂正明細書の特許請求の範囲の記載は次のとおりである。
【請求項１】管壁に流体の流入部及び流出部を有する第１の中空管の内部に、両端が開放された透明な第２の中空管を、前記第１の中空管の内壁との間に空間を有して配し、前記第２の中空管内部に、発熱体が内部に封入された透明な管からなるハロゲンランプを前記第２の中空管の内壁との間に空間を有して配し、前記ハロゲンランプを隙間を有した状態で溝内で支持する支持部材によって、該ハロゲンランプを前記第２の中空管内部に支持したことを特徴とする半導体プロセス用流体加熱器。
【請求項２】石英硝子製の第１の中空管および第２の中空管の接触部を溶着し、第１の中空管を、光反射部材製筐体内に配置したことを特徴とする請求項１記載の半導体プロセス用流体加熱器。
【請求項３】石英硝子製の第１の中空管および第２の中空管の接触部を溶着し、第１の中空管の外周に金属薄膜を設けたことを特徴とする請求項１記載の半導体プロセス用流体加熱器。
【請求項４】金属は金、アルミニウム、酸化錫、インジウム、クロムであり、流体の流入部および流出部は、第１の中空管に対して平行に形成されていることを特徴とする請求項３記載の半導体プロセス用流体加熱器。
【請求項５】第１の中空管が光吸収部材であることを特徴とする請求項１記載の半導体プロセス用流体加熱器。
（以下、上記請求項１ないし請求項５に係る各発明を、「訂正発明１」ないし「訂正発明５」という。）
５．引用例１記載の事項
　米国特許第４５３４２８２号明細書（以下、前記訂正拒絶理由通知と同様に「引用例１」という。）の２欄６４行ないし３欄３０行には、次の事項が記載されている。
「赤外線加熱セルの１つが、図２に示されている。この赤外線加熱セルは、長く延びた赤外線放射要素１１により構成されており、この赤外線放射要素１１は、筒状ジャケット１２によって空間を有して囲まれている。この筒状ジャケット１２は、赤外線を完全に透過する石英あるいは他の材料によって形成されている。」、
「この筒状ジャケット１２は、内側表面が放射を反射するように磨かれた金属により形成された外筒１３によって空間を有して囲まれている。２つの似たような端部セルボディ１４が前記集合体を保持している。一方の端部セルボディ１４は、入口ポート２２および環状空間２７と連通する入口室１５を画成している。また、他方の端部セルボディ１４は、同様の出口室２４を画成しており、この出口室２４は出口ポート２５および環状空間２７と連通している。」、
「両端部セルボディ１４は、保持プレート１７および支持要素２６によって前記赤外線放射要素１１を保持している。」、
「前記赤外線放射要素１１は、前記赤外線加熱セル内の液体の流れを停止することなく、取り外すことができる。前記要素１１は、液体から完全に隔絶されており、またスクリューキャップ１８および保持プレート１７を取り外すことによって、前記要素１１を取り外すことができる。」、
「液体あるいは半液体食品は、比較的薄い層状となって前記環状空間２７を通過する過程において処理され、その間において、前記赤外線放射要素１１からの照射を受ける。食品は、石英により形成された前記ジャケット１２が熱くならないので、加熱表面に晒されることなく、所望の低温殺菌温度に加熱される。」
６．訂正発明１について
（対比）
　訂正発明１と引用例１記載の発明とを対比すると、引用例１記載の「入口ポート」、「出口ポート」、「筒状ジャケット」、「保持プレート及び支持要素」は、訂正発明１の「流入部」、「流出部」、「第２の中空管」、「支持部材」にそれぞれ相当する。また、訂正発明１の「第１の中空管」と引用例１記載の発明の「外筒及び端部セルボディ」は、共に内部に第２の中空管を収納し、流体を流入させるポート部と流出させるポート部を備えた構造（以下「外筒部構造」という。）において共通し、同じく「ハロゲンランプ」と「赤外線放射要素」とは、共に熱源となる発熱要素において共通する。
　そうすると、訂正発明１と引用例１記載の発明は、「管壁に流体の流入部及び流出部を有する外筒部構造の内部に、両端が開放された透明な第２の中空管を、前記外筒部構造の内壁との間に空間を有して配し、前記第２の中空管内部に、発熱体が内部に封入された透明な管からなる発熱要素を前記第２の中空管の内壁との間に空間を有して配し、前記発熱要素を支持部材によって、該発熱要素を前記第２の中央管内部に支持した流体加熱器」の点で一致し、次の点で相違すると認められる。
・相違点Ａ
　訂正発明１は、発熱要素がハロゲンランプであるのに対し、引用例１記載の発明は、発熱要素が赤外線放射要素である点。
・相違点Ｂ
　訂正発明１は、ハロゲンランプを隙間を有した状態で溝内で支持する支持部材を備えているのに対し、引用例１記載の発明は、発熱要素を支持する支持部材を備えてはいるが、隙間を有した状態で溝内で支持する構成を備えていない点。
・相違点Ｃ
　流体加熱器について、訂正発明１は、半導体プロセス用であるのに対し、引用例１記載の発明は、液体又は半液体食品用である点。
・相違点Ｄ
　外筒部構造について、訂正発明１は「第１の中空管」であるのに対し、引用例１記載の発明は「外筒」及び「端部セルボディ」からなる点。
（相違点ＡないしＤについての判断）
　そこで、上記相違点について検討する。
・相違点Ａについて
　加熱源である発熱要素としてハロゲンランプを用いたことは、特開昭５８−１３３７５１号公報、特開平２−２９０４２１号公報、特開平３−５６２９号公報、実願昭６０−１４９９９５号（実開昭６２−５８８８６号）のマイクロフィルム、特開昭６４−５０１４号公報、実願昭６０−１７３２９６号（実開昭６２−８２７３０号）のマイクロフィルム、実願昭６０−５２３８２号（実開昭６１−１６７６７３号）のマイクロフィルムが例示する事実からみて、半導体の製造分野を含め種々の技術分野において従来周知であると認められる。
　また、特開平２−６８４５２号公報、実願平１−２９９７１号（実開平２−１２２６３４号）のマイクロフィルムに開示された技術によれば、電気温水器、コーヒー製造装置、酒かん器、電気コンロ等の流体を加熱する各種の製品分野において、従来の一般的な電気ヒータ、シーズヒータをハロゲンランプに置き換えることは、従来周知であったと認められる。そして、ハロゲンランプと引用例１記載の赤外線放射要素とは、加熱源としての電気発熱要素として機能・作用が共通するものであるから、引用例１に記載された電気ヒータの一種である赤外線放射要素に換えて従来周知のハロゲンランプを用いることは、当業者であれば容易に想到できたものである。
・相違点Ｂについて
　前記訂正拒絶理由通知の中で周知例として引用した実願昭６０−１４９９９５号（実開昭６２−５８８８６号）のマイクロフィルム（以下「引用例３」という。）は、ランプ式熱源装置の考案に関するものであって、その考案の詳細な説明中には、「従来この種装置として、例えば第１図及び第２図示のように皿状のランプケーシングａ内に、ハロゲンランプその他の強力熱源のランプｂを、各端部ｃにおいて該ケーシングａ側に形成される挿入孔ｄ内に支承させて横設する式のものは知られる。・・・・この場合、該挿入孔ｄ（注、引用例１記載のａは誤記と認める。）に同図示のように内側から外側に亘り比較的広幅に形成されて、該ランプｂの該端部Ｃをこれにそのまま挿入して支承させる式を一般としたもので、かかるものでは該ランプｂは該挿入孔ｄ内をその長さ方向に移動自在であり、」（明細書１頁１７行ないし２頁１９行）と記載され、この記載と図２が図示するところによれば、挿入孔ｄは、ランプケーシングａに形成された溝であって、ランプの長さ方向の移動を許容するものと認められる。
　前記訂正拒絶理由通知の中で周知例として引用した実公平１−３５４３７号公報（以下「引用例４」という。）は、熱源ランプ装置に関するものであって、「図面で１はランプケーシングを示し、該ケーシング１内にハロゲンランプ２を横設して全体として強力熱源に構成されたもので、この点は従来のものと特に異ならない。」（２欄１５行ないし１８行）、「本考案によれば、該ケーシング１の側壁３に、上方に開口するＵ字状の透溝４を形成してこれに該ランプ２をその端部近傍において抜差自在に挿通させるもので、例えば、第２図に明示の通りであり、更に該透溝４内に該ランプ２を囲繞してその外周の隙間４ａと、その上方に延びる該透溝４内の残部の上方空間４ｂとを機密に閉じるゴムその他の可撓性のパッキング５を施すようにした。」（２欄２３行ないし３欄６行）と記載されている。この記載によれば、ハロゲンランプ２は側壁３の透溝４内に隙間４ａを有した状態で支持されているから、ハロゲンランプの熱膨張による延びを逃がす作用効果を実質的に奏するものと認められる。
　そうすると、ハロゲンランプを支持する構成について隙間を有した状態で溝内で支持することは、引用例３記載のハロゲンランプに支持構造及び引用例４記載のハロゲンランプの支持構造に基づいて当業者が容易に想到できたものというべきである。
　したがって、相違点Ｂにかかる訂正発明１の構成は、引用例３及び引用例４記載の各発明に基づいて当業者が容易に想到できたものである。
・相違点Ｃについて
　流体の流入部及び流出部を有し、被加熱流体を通過させてその間で被加熱流体を加熱する半導体プロセス用流体加熱器は、実願昭６０−１１３３９６号（実開昭６２−２２４６２号）のマイクロフィルム、特開昭６３−７５４３９号公報、実願昭６２−１４９８７７号（実開昭６４−５３８５４号）のマイクロフィルム、特開昭５３−４９３５３号公報が例示するように、従来周知の技術であると認められる。そうすると、引用例１記載の流体加熱器が食品用とはいえ、その二重管構造は食品用に限定されるものではなく、汎用性のある構造であると認められるから、これを半導体プロセス用流体加熱器とすることは、当業者であれば容易に想到できたものである。
・相違点Ｄについて
　引用例１記載の「外筒」及び「端部セルボディ」に換えて、「第１の中空管」とすることは、当業者であれば容易に想到できたものである。（例えば、実願昭６０−１１３３９６号（実開昭６２−２２４６２号）のマイクロフィルムをみると、「外筒」及び「端部セルボディ」を一体構造とすることの技術的困難性は認められない。）
（効果）
　そして、訂正発明１が奏する作用効果は、当業者であれば引用例１の記載の発明及び上記周知技術から容易に予測できる程度のものにすぎず、格別顕著なものを認めることはできない。
（まとめ）
　したがって、訂正発明１は、引用例１記載の発明及び引用例３記載の発明及び引用例４記載の発明及び周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
７．審判請求人（以下「請求人」という。）の主張について
（１）請求人は、訂正発明１の「第２の中空管」は両端が開放されたものであるのに対し、引用例１記載の「筒状ジャケット」はスクリューキャップにより閉塞されたものであるから、引用例１記載の「筒状ジャケット」は訂正発明１の「第２の中空管」に相当するものではないと主張する。
　しかし、本件明細書の記載によれば、訂正発明１の「第２の中空管」がその両端が開放されている構成とされた理由は、内装された加熱源をいずれの方向からも交換できる構成としたものと認められるから、引用例１記載の「筒状ジャケット」の機能と変わりがないものである。請求人は図１が図示するところを引用して主張するが、図１は設計図のように正確に記載されたものではないから、本件明細書において本件発明の特徴として記載されていない事項について、図１が図示するところを根拠として、後になって主張することは許されないというべきである。
（２）請求人は、引用例３記載のハロゲンランプでは長さ方向に直交する方向では拘束されていると解されるから、隙間を有した状態で支持されたものではないこと、引用例４記載のハロゲンランプは、図１に示されるように、パッキング５によってケーシング１に固定されるため、隙間を有した状態で溝内で支持されるものではないから、ハロゲンランプを隙間を有した状態で溝内で支持する構造ではないと主張する。
　しかし、引用例３記載のハロゲンランプの支持構造が、仮に請求人の主張するように長さ方向に直交する方向では拘束されているものとしても、拘束しなくとも格別問題がないような使用形態であれば、該支持構造を隙間を有した状態で支持することは、引用例４記載の「隙間」に基づいて当業者であれば容易に想到できたものというべきである。
　また、引用例４の記載によれば、ハロゲンランプの支持構造の隙間にパッキングを入れるのは光や熱の漏洩を防止するようにシールするためである。そして、パッキングには通常ある程度の可撓性があるので、該隙間は、その中にパッキングが入っていても、ハロゲンランプの熱膨張を吸収するという作用効果、すなわち、本件発明１の隙間と同様な作用効果を奏するものと認められる。そうすると、仮に光や熱の漏洩を防止する必要性が低い場合であれば、ハロゲンランプを隙間を有した状態で溝内で支持することを当業者であれば容易に想到できたというべきである。
　したがって、請求人の主張は失当であって採用の限りではない。
８．むすび
　以上のとおりであるから、本件審判の請求は、その余について判断するまでもなく、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則６条１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第３項の規定に適合しない。
　よって、結論のとおり審決する。