(57)【要約】      （修正有）【課題】接続孔に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性を向上させ、信頼性の高いデュアルダマシン配線構造の製造方法を提供することにある。【解決手段】下層配線１１上に層間絶縁膜１３を形成し、当該層間絶縁膜１３に、上層配線を下層配線１１に接続するための接続孔、及び上層配線を埋め込むための配線溝を形成した後、配線溝と接続孔の接続部における層間絶縁膜１３の角部１１２をエッチングし、接続孔に傾斜面を形成する。然る後、接続孔及び配線溝内に、配線材料１１５を埋め込むことによって、下層配線１１と上層配線が接続孔プラグで接続されたデュアルダマシン配線構造を製造する。【選択図】図１（ｆ）−（ｉ）
2007165603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下層配線と上層配線とが接続孔プラグを介して接続された配線構造の製造方法であって、
前記下層配線上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜に、前記上層配線を前記下層配線に接続するための接続孔、及び前記上層配線を形成するための配線溝を形成する工程と、
前記配線溝と前記接続孔との接続部における前記絶縁膜の角部をエッチングし、前記接続孔に傾斜面を形成する工程と、
前記接続孔及び前記配線溝内に、配線材料を埋め込む工程とを備えていることを特徴とする配線構造の製造方法。
【請求項２】
前記接続孔及び前記配線溝を形成する工程は、前記接続孔を形成した後、該接続孔に絶縁性材料を埋め込み、然る後、前記配線溝を形成する工程を含み、
前記接続孔に傾斜面を形成する工程は、前記接続孔に前記絶縁性材料が埋め込まれた状態で、前記絶縁膜の角部をエッチングする工程を含むことを特徴とする、請求項１に記載の配線構造の製造方法。
【請求項３】
前記配線溝を形成する工程は、該配線溝を形成した後、前記接続孔に埋め込まれた絶縁性材料の一部をエッチングする工程をさらに含むことを特徴とする、請求項２に記載の配線構造の製造方法。
【請求項４】
前記接続孔の傾斜面は、前記接続孔の側面の一部に形成されていることを特徴する、請求項１〜３の何れか一つに記載の配線構造の製造方法。
【請求項５】
前記接続孔の傾斜面は、４５〜８０度の傾斜角度を有していることを特徴とする、請求項４に記載の配線構造の製造方法。
【請求項６】
前記絶縁膜は、前記下層配線上に形成されたストッパ膜を介して形成され、
前記接続孔に傾斜面を形成した後、該接続孔下の前記ストッパ膜をエッチングする工程をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の配線構造の製造方法。
【請求項７】
前記接続孔に傾斜面を形成する工程は、前記ストッパ膜をエッチングする工程と同時に行われ、
前記接続孔の傾斜面は、該接続孔と前記下層配線との接続面に至るまで形成されていることを特徴とする、請求項６に記載の配線構造の製造方法。
【請求項８】
前記接続孔の傾斜面は、７０〜８０度の傾斜角度を有していることを特徴とする、請求項７に記載の配線構造の製造方法。
【請求項９】
下層配線と上層配線が接続孔プラグで接続された配線構造の製造方法であって、
前記下層配線上にストッパ膜を介して絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜に、前記上層配線を前記下層配線に接続するための接続孔、及び前記上層配線を埋め込むための配線溝を形成する工程と、
前記接続孔下の前記ストッパ膜をエッチングする工程と、
前記接続孔及び前記配線溝内に、配線材料を埋め込む工程とを含み、
前記下層配線は、銅を主材料とする配線材料で構成され、
前記ストッパ膜をエッチングする工程は、前記配線構造が形成される基板が載置されるエッチング装置の支持部の温度を０℃以下に維持して行われることを特徴とする配線構造の製造方法。
【請求項１０】
下層配線と上層配線が接続孔プラグで接続された配線構造の製造方法であって、
前記下層配線上にストッパ膜を介して絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜に、前記上層配線を前記下層配線に接続するための接続孔、及び前記上層配線を埋め込むための配線溝を形成する工程と、
前記接続孔下の前記ストッパ膜をエッチングする工程と、
前記接続孔及び前記配線溝内に、配線材料を埋め込む工程とを含み、
前記下層配線は、銅を主材料とする配線材料で構成されており、
前記ストッパ膜をエッチングする工程は、水素を含むフロロカーボン系のガスを用いて行われることを特徴とする配線構造の製造方法。
【請求項１１】
前記水素を含むフロロカーボン系のガスは、少なくとも、ＣＨＦ3、及びＣＨ2Ｆ2、ＣＨ3Ｆのいずれか一つのガスを含むことを特徴とする、請求項１０に記載の配線構造の製造方法。
【請求項１２】
前記配線材料を埋め込む工程は、前記ストッパ膜をエッチングする工程を行い、然る後、前記配線構造が形成される基板が大気雰囲気に曝された後に行われることを特徴とする、請求項９または１０に記載の配線構造の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線構造の製造方法に関し、特に、信頼性の高いデュアルダマシン（Dual Damascene）配線構造の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＶＬＩＳの集積度の向上に伴い、微細加工技術に対する要求はますます厳しいものとなっている。特に、多層配線の採用が進み、５層ないし６層の配線構造がとられている近年のデバイスにおいては、デュアルダマシン配線構造をはじめとする埋め込み配線技術の開発が急がれている。
【０００３】
このデュアルダマシン配線とは、下層配線と上層配線とを接続する接続孔と、上層配線を埋め込む配線溝とを絶縁膜に形成した後、接続孔及び配線溝を配線材料で埋め込み、ＣＭＰ(Chemical Mechanical Polish)で配線溝に埋め込まれていない余分な配線材料を削り、接続孔プラグおよび配線溝内の上層配線を同時に形成する技術である。このデュアルダマシン配線構造によると、上層配線と接続孔プラグとを一度に形成することができるので、シングルダマシンプロセスと比較して工程数の削減ができ、大幅なプロセスコストの低減を図ることができる。
【０００４】
デュアルダマシン配線構造の一般的な製造方法（例えば、特許文献１等を参照）を、図８（ａ）〜（ｇ）に示した工程断面図を参照しながら説明する。
【０００５】
まず、図８（ａ）に示すように、半導体基板（不図示）上に素子（不図示）の形成から下層配線１０１の形成までの一連のプロセスを行った後、所定の平坦化プロセスを行って基板１００を形成する。次に、基板１００上に、シリコン窒化膜（ＳｉＮ）からなるエッチングストッパ膜１０２、層間絶縁膜（ＳｉＯＣ）１０３、及びキャップ絶縁膜（ＴＥＯＳ膜）１０４を順次形成する。ここで、ＴＥＯＳ膜１０４は、層間絶縁膜（ＳｉＯＣ）１０３上にその後形成されるバリアメタル膜との汚染を防ぐ作用をなす。その後、ＴＥＯＳ膜１０４上に、反射防止膜１０５を塗布した後、リソグラフィ技術によりレジストを用いて接続孔を形成するためのレジストパターン１０６を形成する。
【０００６】
次に、図８（ｂ）に示すように、レジストパターン１０６をマスクにして、反射防止膜１０５、ＴＥＯＳ膜１０４、及びシリコン酸化膜１０３を、エッチングストッパ膜１０２の表面が露出するまでエッチングし、接続孔１０７を形成する。
【０００７】
次に、図８（ｃ）に示すように、接続孔１０７にレジスト１０８を埋め込み、その後、ＴＥＯＳ膜１０４上に反射防止膜１０９を塗布した後、配線溝を形成するためのレジストパターン１０１０を形成する。
【０００８】
次に、図８（ｄ）に示すように、レジストパターン１０１０をマスクとし、反射防止膜１０９、ＴＥＯＳ膜１０４、及びシリコン酸化膜１０３を所定の深さまでエッチングする。なお、接続孔１０７に埋め込まれたレジスト１０８、及びレジストパターン１０１０は、アッシング洗浄により除去される。
【０００９】
そして、図８（ｅ）に示すように、エッチングストッパ膜１０２をエッチングすることにより、接続孔１０７、及び配線溝１０１２が形成される。
【００１０】
次に、図８（ｆ）に示すように、接続孔１０７、及び配線溝１０１２の内部に、バリアメタル膜１０１３を堆積する。その後、電解メッキ用のシード膜として作用する銅薄膜１０１４を堆積した後、電解メッキ法により、銅薄膜１０１４上に銅膜１０１５を形成する。
【００１１】
最後に、図８（ｇ）に示すように、接続孔１０７、及び配線溝１０１２の外部にある銅膜１０１５、バリアメタル膜１０１３、及びＴＥＯＳ膜１０４を、例えばＣＭＰを用いて、層間絶縁膜１０３の表面が露出するまで研磨する。これにより、銅膜１０１５、バリアメタル膜１０１３からなる上層配線、及び下層配線１０１を接続する接続孔プラグ１０１６が形成され、デュアルダマシン配線構造が得られる。
【特許文献１】特開２０００−１８３１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
図８（ａ）〜（ｇ）に示した従来の製造方法により形成されたデュアルダマシン配線構造において、上層配線を下層配線１０１に接続するための接続孔１０７の幅は、上層配線が埋め込まれる配線溝１０１２の幅よりも狭く形成されるが、配線構造の微細化、すなわち、接続孔１０７の幅の狭小化が進むと、接続孔１０７に埋め込まれた配線材料内に、ボイドが形成され易くなる。
【００１３】
接続孔プラグ１０１６にボイドが発生すると、上層配線と下層配線１０１との間に導電性不良が生じ、その結果、配線構造の特性、及び信頼性の低下を招く。また、ボイドが発生し、接続孔プラグ１０１６の抵抗が大きくなると、電流密度が増加することによって、エレクトロマイグレション（ＥＭ）が進行し、接続孔プラグの経時的な抵抗の増大、断線などのＥＭ耐性の劣化を招く。
【００１４】
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、接続孔に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性を向上させ、信頼性の高いデュアルダマシン配線構造の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係わる配線構造の製造方法は、下層配線と上層配線とが接続孔プラグを介して接続された配線構造の製造方法であって、下層配線上に絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜に、上層配線を下層配線に接続するための接続孔、及び上層配線を形成するための配線溝を形成する工程と、配線溝と接続孔との接続部における絶縁膜の角部をエッチングし、接続孔に傾斜面を形成する工程と、接続孔及び配線溝内に、配線材料を埋め込む工程とを備えている。
【００１６】
上記構成によれば、配線溝と接続孔との接続部における絶縁膜の角部をエッチングし、接続孔に傾斜面を形成することによって、接続孔内に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性が向上でき、その結果、配線構造の微細化が進んでも、接続孔プラグでのボイド発生を回避することができる。これにより、信頼性の高いデュアルダマシン配線構造を実現できる。
【００１７】
ある好適な実施形態において、接続孔及び配線溝を形成する工程は、接続孔を形成した後、該接続孔に絶縁性材料を埋め込み、然る後、配線溝を形成する工程を含み、また、接続孔に傾斜面を形成する工程は、接続孔に絶縁性材料が埋め込まれた状態で、絶縁膜の角部をエッチングする工程を含むことが好ましい。
【００１８】
このようにすると、接続孔及び配線溝を精度よく形成できるとともに、接続孔に絶縁材料が埋め込まれた状態で、絶縁膜の角部をエッチングすることにより、接続孔側面の一部にだけ傾斜面を形成することができる。その結果、接続孔の微細化を損なうことなく、接続孔内に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性を向上させることができる。
【００１９】
ある好適な実施形態において、配線溝を形成する工程は、該配線溝を形成した後、接続孔に埋め込まれた絶縁性材料の一部をエッチングする工程をさらに含むことが好ましい。
【００２０】
このようにすると、接続孔側面の一部に形成された傾斜面を制御よく形成することができる。
【００２１】
また、接続孔の傾斜面は、４５〜８０度の傾斜角度を有していることが、接続孔内に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性を向上する上でより好ましい。
【００２２】
なお、絶縁膜は、下層配線上に形成されたストッパ膜を介して形成され、接続孔に傾斜面を形成した後、該接続孔下のストッパ膜をエッチングする工程をさらに含んでもよい。
【００２３】
ある好適な実施形態において、接続孔に傾斜面を形成する工程は、ストッパ膜をエッチングする工程と同時に行われ、接続孔の傾斜面は、該接続孔と下層配線との接続面に至るまで形成されることが好ましい。
【００２４】
このようにすると、接続孔の体積を増加させることができ、その結果、接続孔プラグの抵抗を低減することとなり、配線構造の特性がより向上する。
【００２５】
なお、この場合、接続孔の微細化を妨げないために、接続孔の傾斜面は、７０〜８０度の傾斜角度を有していることが好ましい。
【００２６】
本発明に係わる他の配線構造の製造方法は、下層配線と上層配線が接続孔プラグで接続された配線構造の製造方法であって、下層配線上にストッパ膜を介して絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜に、上層配線を下層配線に接続するための接続孔、及び上層配線を埋め込むための配線溝を形成する工程と、接続孔下のストッパ膜をエッチングする工程と、接続孔及び配線溝内に、配線材料を埋め込む工程とを含み、下層配線は、銅を主材料とする配線材料で構成され、ストッパ膜をエッチングする工程は、配線構造が形成される基板が載置されるエッチング装置の支持部の温度を０℃以下に維持して行われる。
【００２７】
上記構成によれば、ストッパ膜のエッチングを、配線構造が形成される基板が載置されるエッチング装置の支持部の温度を０℃以下に維持して行うことによって、下層配線を構成する銅表面を、エッチング時に発生するデポ物で保護することができ、その結果、銅の腐食を抑制することができる。これにより、銅の腐食を原因とするエレクトロマイグレーションの進行を防止し、信頼性の高いデュアルダマシン配線構造を実現できる。
【００２８】
本発明に係わる他の配線構造の製造方法は、下層配線と上層配線が接続孔プラグで接続された配線構造の製造方法であって、下層配線上にストッパ膜を介して絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜に、上層配線を下層配線に接続するための接続孔、及び上層配線を埋め込むための配線溝を形成する工程と、接続孔下のストッパ膜をエッチングする工程と、接続孔及び配線溝内に、配線材料を埋め込む工程とを含み、少なくとも下層配線は、銅を主材料とする配線材料で構成され、ストッパ膜をエッチングする工程は、水素を含むフロロカーボン系のガスを用いて行われる。
【００２９】
上記構成によれば、ストッパ膜のエッチングを、水素を含むフロロカーボン系のガスを用いて行うことによって、ストッパ膜をエッチングする際に発生する下層配線を構成する銅の腐食を抑制することができる。これにより、銅の腐食を原因とするエレクトロマイグレーションの進行を防止することができ、信頼性の高いデュアルダマシン配線構造を実現できる。
【００３０】
ある好適な実施形態において、水素を含むフロロカーボン系のガスは、少なくとも、ＣＨＦ3、ＣＨ2Ｆ2、及びＣＨ3Ｆのいずれか一つのガスを含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００３１】
本発明に係わる配線構造の製造方法によれば、配線溝と接続孔の接続部における絶縁膜の角部をエッチングし、接続孔に傾斜面を形成することによって、接続孔内に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性が向上でき、その結果、配線構造の微細化が進んでも、接続孔プラグでのボイド発生を回避することができる。これにより、信頼性の高いデュアルダマシン配線構造を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本願発明者は、従来の製造方法で形成されたデュアルダマシン配線構造において発生する接続孔プラグのボイドについて検討を行っていたところ、以下のような知見を得た。
【００３３】
図９は、本発明の前提となるデュアルダマシン配線構造の断面図で、接続孔１０７にボイド１０２１が発生した状態を示すものである。
【００３４】
図９に示すように、配線溝１０１２と接続孔１０７の接続部における絶縁膜１０３の角部（以下、「ファセット部の肩」という）１０２０で、バリアメタル膜１０１３のオーバーハングが生じ、接続孔１０７の開口部がバリアメタル膜１０１３の堆積により狭くなっている。その結果、電解メッキ法を用いて、配線溝１０１２及び接続孔１０７内に銅膜１０１５を埋め込む際に、接続孔１０７内にボイド１０２１が発生してしまう。
【００３５】
これは、配線構造の寸法精度が向上した結果、ファセット部の肩１０２０は略垂直に形成されるので、接続孔１０７の側壁に堆積されるバリアメタル膜１０１３を、ステップカバレージの悪いスパッタリング法で形成すると、必然的にファセット部の肩１０２０にオーバーハングが生じてしまうことによる。
【００３６】
本願発明者は、上記知見に基づき、ファセット部の肩１０２０に予め傾斜を持たせておけば、バリアメタル膜１０１３のオーバーハングを抑制することができ、その結果、接続孔１０７の開口幅を充分確保した状態で銅膜１０１５の埋め込みを行うことができると考え、本発明を想到するに至った。
【００３７】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。以下の図面においては、説明の簡略化のため、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。
【００３８】
（実施の形態１）
図１（ａ）〜（ｉ）は、本発明の実施の形態１における配線構造の製造方法を模式的に示した工程断面図である。
【００３９】
まず、図１（a）に示すように、半導体基板（不図示）上に素子（不図示）の形成から下層配線１１の形成までの一連のプロセスを行った後、所定の平坦化プロセスを行って基板１０を形成する。ここで、下層配線１１は、銅を主材料とする配線材料で構成されている。
【００４０】
続いて、基板１０の全面を覆うように、エッチングストッパ膜１２、層間絶縁膜１３、及びキャップ絶縁膜１４を順次形成する。ここで、エッチングストッパ膜１２は、例えばＳｉＣＮ膜からなり、後の工程において、下層配線１１の銅の酸化を防ぐ作用をなす。層間絶縁膜１３は、例えばトリメチルシランやテトラメチルシランを原料としてＣＶＤ法により形成されたＳｉＣＮ膜（膜厚３５０ｎｍ程度）からなる。キャップ絶縁膜１４は、例えばテトラエトキソオキソシランを原料としてＬＰ−ＣＶＤ法により形成されたＴＥＯＳ膜（膜厚１００ｎｍ程度）からなり、後の工程で形成されるバリアメタル膜が層間絶縁膜１３への汚染防止のため形成される。その後、接続孔を開口するための反射防止膜１５を塗布した後、リソグラフィ技術によりレジストパターン１６を形成して所定の開口部を形成する。
【００４１】
次に、図１（ｂ）に示すように、レジスト１６をマスクとし、反射防止膜１５、キャップ絶縁膜１４、及び層間絶縁膜１３を、エッチングストッパ膜１２が露出するまでエッチングし、接続孔１７を開口する。ここで、エッチングは、例えば誘導結合型（ＩＣＰ）エッチング方式を用いたとき、ＣＨＦ3（流量：１０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））、ＣＦ4（流量：２０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））のガスを用い、圧力１０Ｐａ、上部電極電力１０００Ｗ、下部電極電力２０００Ｗ、エッチング時間６０秒の条件で行うとよい。接続孔１７を形成後、アッシング・洗浄によりレジストマスク１６を除去する。
【００４２】
次に、図１（ｃ）に示すように、接続孔１７に絶縁性材料１８を埋め込む。絶縁性材料１８は、例えば、レジスト材料を用い、レジスト材料を接続孔１７に塗布した後、エッチバックを行うことにより、接続孔１７にレジスト材料を埋め込むことができる。更に、配線溝を開口するために、キャップ絶縁膜１４上に反射防止膜１０９を塗布した後、リソグラフィー技術によりレジストパターン１１０を形成する。
【００４３】
次に、図１（ｄ）に示すように、レジストパターン１１０と反射防止膜１０９をマスクとし、キャップ絶縁膜１４と層間絶縁膜１３をエッチングし、後に埋め込まれる上層配線の膜厚に対応する所定の溝深さの配線溝１１１を形成する。ここで、エッチングは、例えばＩＣＰエッチング方式を用いたとき、ＣＦ4（流量：１００ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））、Ｎ2（流量：５０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））のガスを用い、圧力１０Ｐａ、上部電極電力５００Ｗ、下部電極電力１００Ｗの条件で行うとよい。
【００４４】
次に、図１（ｅ）に示すように、接続孔１７に埋め込まれた絶縁性材料（レジスト）１８のみを、１０ｎｍ程度エッチングする。これにより、配線溝１１１と接続孔１７の接続部を露出される。ここで、エッチングは、例えばＩＣＰエッチング方式を用いたとき、Ｃ4Ｆ8（流量：１０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））のガスを用い、圧力２０Ｐａ、上部電極電力５００Ｗ、下部電極電力２００Ｗ、エッチング時間５秒の条件で行うとよい。
【００４５】
次に、図１（ｆ）に示すように、接続孔１７と配線溝１１１の接続部における層間絶縁膜１３の角部（ファセット部の肩）１１２をエッチングし、接続孔１７に傾斜面を形成する。ここで、エッチングは、例えばＩＣＰエッチング方式を用いたとき、ＣＦ4（流量：７０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））、Ｎ2（流量：３０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））のガスを用い、圧力２０Ｐａ、上部電極電力５００Ｗ、下部電極電力１００Ｗ、エッチング時間１０秒の条件で行うと、４５度の傾斜角度を有する傾斜面が形成される。傾斜面を形成後、接続孔１７に埋め込まれてた絶縁性材料１８及びレジストパターン１１０は、アッシング・洗浄により除去される。
【００４６】
次に、図１（ｇ）に示すように、エッチングストッパ膜１２をエッチングする。ここで、エッチングは、例えばＩＣＰエッチング方式を用いたとき、Ｃ4Ｆ8（流量：１０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））、ＣＦ4（流量：１００ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））のガスを用い、圧力２０Ｐａ、上部電極電力５００Ｗ、下部電極電力３００Ｗの条件で行うとよい。
【００４７】
次に、図１（ｈ）に示すように、接続孔１７及び配線溝１１１内に、配線材料を埋め込む。具体的には、接続孔１７側壁において３ｎｍ程度、底部において２０ｎｍ程度、配線溝１１３側壁及び底部において５ｎｍ程度の膜厚となるように、バリアメタル膜（例えば、ＴａＮ）１１３をスパッタリング法を用いてを堆積する。続いて、スパッタエッチングにより接続孔１７底部のバリアメタル膜１１３を１０ｎｍ程度残存するようにエッチングを行う。さらに、電解メッキ用のシード膜として銅薄膜１１４をスパッタリング法により堆積した後、電解メッキ法により、銅薄膜１１４上に銅膜１１５を形成する。
【００４８】
最後に、図１（ｉ）に示すように、接続孔１７及び配線溝１１１外部に形成された銅膜１１５とバリアメタル膜１１３、及びキャップ絶縁膜１４を、例えばＣＭＰを用いて除去することにより、銅膜１１５及びバリアメタル膜１１３からなる上層配線と、下層配線１１を接続する接続孔プラグを完成する。
【００４９】
以上、図１（ａ）〜（ｉ）に示した本実施形態によれば、配線溝１１１と接続孔１７の接続部における層間絶縁膜１３の角部をエッチングし、接続孔１７に傾斜面を形成することによって、接続孔１７内に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性が向上でき、その結果、配線構造の微細化が進んでも、接続孔プラグでのボイド発生を回避することができる。これにより、信頼性の高いデュアルダマシン配線構造を実現することができる。
【００５０】
また、接続孔１７に傾斜面を形成する際、接続孔１７に絶縁性材料が埋め込まれた状態で、層間絶縁膜１３の角部をエッチングすることにより、接続孔１７側面の一部にだけ傾斜面を形成することができる。その結果、接続孔１７の微細化を損なうことなく、接続孔１７内に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性を向上させることができる。
【００５１】
さらに、接続孔１７に埋め込まれた絶縁性材料の一部をエッチングしてから、層間絶縁膜１３の角部をエッチングすることにより、接続孔１７側面の一部に形成された傾斜面を制御よく形成することができる。
【００５２】
なお、本実施形態では、接続孔１７の傾斜面は、４５度の傾斜角度を有するようにエッチング条件を設定したが、接続孔１７内に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性を向上するためには、接続孔１７の傾斜面は、４５〜８０度の傾斜角度を有することが好ましい。
【００５３】
図２は、従来技術の製造方法で形成したデュアルダマシン配線構造と、本実施形態１の製造方法で形成したデュアルダマシン配線構造におけるＥＭ耐性を比較した図で、本実施形態の製造方法を用いることにより、接続孔内に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性が向上し、その結果、ＥＭ耐性が向上していることが分かる。
【００５４】
（実施の形態２）
実施形態１では、接続孔１７内に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性が向上するが、ファセット部の肩１１２を落とす分、接続孔１７の層間膜厚（配線溝１１１底面からストッパ膜４２までの層間絶縁膜１３の膜厚）が薄くなり、その結果、層間膜厚を所望の膜厚にすることが出来ず、接続孔プラグの抵抗が大きくなる恐れがある。
【００５５】
本実施形態２では、接続孔１７の側面をテーパー形状にすることによって、接続孔１７の体積を増加させ、もって、接続孔プラグの抵抗を低減させる配線構造の製造方法を提供する。
【００５６】
以下、本発明の実施の形態２に係る配線構造の製造方法について、図３（ａ）〜（ｄ）に示した工程断面図を参照しながら説明する。なお、図３（ａ）に至るまでの製造工程は、実施形態１の図１（ａ）〜（ｃ）と同様であるため説明を省略する。
【００５７】
まず、図３（ａ）に示すように、キャップ絶縁膜１４及び層間絶縁膜１３を所定の溝深さになるようエッチングし、配線溝１１１を形成する。ここで、エッチングは、例えばＩＣＰエッチング方式を用いるとき、ＣＦ4（流量：１００ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））、Ｎ2（流量：５０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））のガスを用い、圧力１０Ｐａ、上部電極電力５００Ｗ、下部電極電力１００Ｗ、エッチング時間７秒の条件で行うとよい。
【００５８】
次に、図３（ｂ）に示すように、接続孔１７と配線溝１１１の接続部における層間絶縁膜１３の角部（ファセット部の肩）をエッチングし、接続孔１７に傾斜面を形成する。なお、傾斜面の形成は、エッチングストッパ膜１２のエッチング工程と同時に行われ、接続孔１７の傾斜面は、接続孔１７と下層配線１１の接続面に至るまで、接続孔１７の側面がテーパー形状になるように形成される。ここで、エッチングは、例えばＩＣＰエッチング方式を用いるとき、ＣＦ4（流量：１００ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））、Ｎ2（流量：５０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））のガスを用い、圧力２０Ｐａ、上部電極電力３００Ｗ、下部電極電力１００Ｗの条件で行うとよい。なお、接続孔１７の傾斜面は、７０〜８０度の傾斜角度を有していることが好ましい。
【００５９】
次に、図３（ｃ）に示すように、接続孔１７及び配線溝１１１内に、配線材料を埋め込む。具体的には、接続孔１７側壁において３ｎｍ程度、底部において２０ｎｍ程度、配線溝１１３側壁及び底部において５ｎｍ程度の膜厚となるように、バリアメタル膜（例えば、ＴａＮ）１１３をスパッタリング法を用いてを堆積する。続いて、スパッタエッチングにより接続孔１７底部のバリアメタル膜１１３を１０ｎｍ程度残存するようにエッチングを行う。さらに、電解メッキ用のシード膜として銅薄膜１１４をスパッタリング法により堆積した後、電解メッキ法により、銅薄膜１１４上に銅膜１１５を形成する。
【００６０】
最後に、図３（ｄ）に示すように、接続孔１７及び配線溝１１１外部に形成された銅膜１１５とバリアメタル膜１１３、及びキャップ絶縁膜１４を、例えばＣＭＰを用いて除去することにより、銅膜１１５及びバリアメタル膜１１３からなる上層配線と、下層配線１１を接続する接続孔プラグを完成する。
【００６１】
以上、図３（ａ）〜（ｄ）に示した本実施形態によれば、接続孔１７をテーパー形状にすることによって、接続孔の体積を増加させることができ、その結果、接続孔プラグの抵抗を低減させることができる。また、接続孔１７をテーパー形状にすることで、接続孔１７側壁へのバリアメタル１３の密着性が向上し、また膜厚均一性が良くなるため、配線材料の埋め込み特性が向上し、接続孔プラグのボイド発生を抑制することができる。
【００６２】
図４は、従来技術の製造方法で形成したデュアルダマシン配線構造と、本実施形態２の製造方法で形成したデュアルダマシン配線構造におけるＥＭ耐性を比較した図で、本実施形態の製造方法を用いることにより、接続孔内に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性が向上し、その結果、ＥＭ耐性が向上していることが分かる。
【００６３】
（実施の形態３）
本願発明者は、デュアルダマシン配線構造の製造方法において、接続孔に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性の向上、及びそれによるＥＭ耐性の向上を検討している中、エッチングストッパ膜をエッチングする際、下層配線を構成する銅の腐食が起こり、これが原因でＥＭ耐性の劣化がさらに生じていることが分かった。
【００６４】
なお、エッチングストッパ膜は、接続孔及び配線溝のエッチング工程において、下層配線の銅の酸化を防ぐために必須のものであるが、本願発明者は、エッチングストッパ膜のエッチング条件を検討した結果、銅の腐食を防止できる有効な方法を想到したので、以下、それについて説明する。
【００６５】
図５は、層間絶縁膜１３に接続孔１７及び配線溝１１を形成した後、エッチングストッパ膜１２をエッチングする工程の断面図である。ここで、エッチングストッパ膜（ＳｉＣＮ膜）１２のエッチングは、配線構造が形成される基板１０が載置されるエッチング装置の支持部（下部電極）の温度を０℃以下にして行うことを要する。なお、他のエッチング条件は、例えばＩＣＰエッチング方式を用いるとき、ＣＦ4（流量：２００ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））、Ｎ2（流量：５０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））のガスを用い、圧力２０Ｐａ、上部電極電力３００Ｗ、下部電極電力１００Ｗの条件で行うことができる。
【００６６】
図６は、従来技術のエッチング条件で形成したデュアルダマシン配線構造と、本実施形態３（その１）のエッチング条件で形成したデュアルダマシン配線構造におけるＥＭ耐性を比較した図で、本実施形態のエッチング条件を適用することにより、ＥＭ耐性が向上していることが分かる。これは、以下のような理由によるものと考えられる。
【００６７】
すなわち、下部電極温度を下げたことで、エッチングによるフロロカーボン系のデポ物が銅表面を保護することで、エッチングによる接続孔底に衝突するイオンのダメージを緩和させることができる。その後、例えばフッ化アンモニウム１％、有機溶剤４０％、水５０％、添加物９％含有の洗浄液を用いてデポ物を洗浄することで、銅表面はエッチングに対するダメージの少ない状態のまま保たれ、その結果、銅で構成される下層配線１１のＥＭ耐性が向上したものと考えられる。
【００６８】
さらに、銅の腐食を防止できる他の有効なエッチング条件として、エッチングストッパ膜をエッチングするガスとして、水素を含むフロロカーボン系のガスを用いることである。具体的なエッチング条件としては、ＩＣＰエッチング方式を用いた場合、ＣＨＦ3（流量：１００ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））、ＣＦ4（流量：１５０ｍｌ／ｍｉｎ（標準状態））のガスを用い、圧力２０Ｐａ、上部電極電力３００Ｗ、下部電極電力１００Ｗで行うことが好ましい。
【００６９】
図７は、従来技術のエッチング条件で形成したデュアルダマシン配線構造と、本実施形態３（その２））のエッチング条件で形成したデュアルダマシン配線構造におけるＥＭ耐性を比較した図で、本実施形態のエッチング条件を適用することにより、ＥＭ耐性が向上していることが分かる。これは、以下のような理由によるものと考えられる。
【００７０】
すなわち、従来技術のような水素を含まないフロロカーボン系のガス、例えばＣＦ4、Ｃ2Ｆ6、Ｃ3Ｆ8、Ｃ4Ｆ8などを用いてエッチングする際、フッ素が接続孔底に発生する。その後、次工程のバリアメタル工程へ移行する際、エッチングストッパ膜８２のエッチング装置とは別の成膜装置にウエハーを移し替えるため、ウエハーが一旦大気に触れることにより、大気中に含まれる水分と接続孔底のフッ素が反応しＨＦが生成される。そのＨＦが下層配線１１を構成している銅の腐食を招き、銅膜にボイドが発生することでＥＭ耐性が低下すると考えられる。
【００７１】
そこで、水素を含むフロロカーボン系のガスを添加させることにより、エッチング時に発生するプラズマ中のフッ素と水素を結合させ、それによりフッ素濃度を緩和させることができる。その結果、接続孔底のフッ素を低減することが出来るため、銅腐食を抑制し多層配線のＥＭ耐性を向上させることができる。
【００７２】
以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。例えば、上記実施形態においては、接続孔１７を先に形成した後、配線溝１１１を形成したが、配線溝１１１を先に形成した後、接続孔１７を形成しても勿論構わない。さらに、接続孔１７に絶縁性材料が埋め込まれた状態で配線溝１１１、及び接続孔１７の傾斜面の形成を行ったが、必ずしも接続孔１７に絶縁性材料を埋め込まなくても、エッチング条件等を適宜に設定することによって、所望の配線溝１１１、及び接続孔１７の傾斜面を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明によれば、接続孔に埋め込まれる配線材料の埋め込み特性を向上させ、信頼性の高いデュアルダマシン配線構造の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１（ａ）−（ｅ）】（ａ）〜（ｅ）は本発明の実施の形態１における配線構造の製造方法を示す工程断面図である。
【図１（ｆ）−（ｉ）】（ｆ）〜（ｉ）は本発明の実施の形態１における配線構造の製造方法を示す工程断面図である。
【図２】従来技術と実施形態１でのＥＭ値を比較したグラフである。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施形態２における配線構造の製造方法を示す工程断面図である。
【図４】従来技術と実施形態２でのＥＭ値を比較したグラフである。
【図５】本発明の実施形態３における配線構造の製造方法を示す断面図である。
【図６】従来技術と実施形態３でのＥＭ値を比較したグラフである。
【図７】従来技術と実施形態３でのＥＭ値を比較したグラフである。
【図８（ａ）−（ｄ）】（ａ）〜（ｄ）は従来の配線構造の製造方法を説明する工程断面図である。
【図８（ｅ）−（ｇ）】（ｅ）〜（ｇ）は従来の配線構造の製造方法を説明する工程断面図である。
【図９】本発明の前提となる配線構造を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００７５】
１０、１００  基板
１１、１０１  下層配線
１２、１０２  エッチングストッパ膜
１３、１０３  層間絶縁膜
１４、１０４  キャップ絶縁膜
１５、１０５、１０９  反射防止膜
１６、１０６、１１０、１０１０  レジスト
１７、１０７  接続孔
１８、１０８  絶縁性材料
１１１、１０１２  配線溝
１１３、１０１３  バリアメタル膜
１１４、１０１４  銅薄膜
１１５、１０１５  銅膜
１１２、１０２０  ファセット部の肩
【図１（ａ）−（ｅ）】
2007165603.tif 000003
【図１（ｆ）−（ｉ）】
2007165603.tif 000004
【図２】
2007165603.tif 000005
【図３】
2007165603.tif 000006
【図４】
2007165603.tif 000007
【図５】
2007165603.tif 000008
【図６】
2007165603.tif 000009
【図７】
2007165603.tif 000010
【図８（ａ）−（ｄ）】
2007165603.tif 000011
【図８（ｅ）−（ｇ）】
2007165603.tif 000012
【図９】
2007165603.tif 000013