【事件の表示】
　平成７年特許願第５００４７１号「含フッ素ポリマー中の微量金属不純物の測定方法およびそれを用いる含フッ素ポリマーの製法」拒絶査定に対する審判事件〔平成　６年１２月　８日国際公開、ＷＯ９４／２８３９４、請求項の数（５）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
１．本願発明
　本願は、平成６年５月２０日（優先権主張、平成５年（１９９３年）５月２１日、日本国）を国際出願日とする出願であって、その請求項１ないし５に係る発明は、平成１３年１２月６日付および平成１４年１１月１５日付の手続補正書で補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲に記載された次のとおりのものと認められる。。
「【請求項１】フレームレス原子吸光分光光度計を用いる含フッ素ポリマー中の微量金属不純物を定量するための測定方法であって、定量すべき金属の種類に応じて所定量の前記含フッ素ポリマーのサンプルを約４００〜１２００℃の灰化温度および少なくとも約１００秒の灰化時間を含む灰化条件の下で直接的に灰化した後、フレームレス原子吸光分光光度計により吸光度を測定することを特徴とする測定方法。
【請求項２】含フッ素ポリマーが、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン／パーフルオロプロピルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン／エチレン共重合体、ポリビニリデンフルオライド、ポリビニルフルオライド、ビニリデンフルオライド／テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ビニリデンフルオライド／ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン／パーフルオロメチルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン／パーフルオロプロピルオキシビニルエーテル共重合体またはパーフルオロポリエーテルである請求項１記載の測定方法。
【請求項３】定量する金属が、Ｆe、Ｃr、Ｎi、Ｃu、Ｎa、Ｋ、Ｍg、Ｃa、Ｃo、Ｚn、ＭnまたはＡlである請求項１または２記載の測定方法。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の測定方法により含フッ素ポリマー中の微量金属不純物を定量管理することを特徴とする含フッ素ポリマーの製法。
【請求項５】請求項１〜３のいずれかに記載の測定方法により含フッ素ポリマー中の微量金属不純物を測定することを特徴とする含フッ素ポリマーの製法。」
　
２．原査定の拒絶の理由の概要
　原査定の拒絶の理由は、概要以下のものである。
「本願発明は、その出願前日本国内において頒布された下記の刊行物に記載された発明に基づいて、その出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　刊行物１：　特開昭５３−５６９１号公報
　刊行物２：　特開昭６０−２３００４１号公報　
　刊行物３：　特開平２−１０３４４７号公報　　」
　
３．引用刊行物の記載事項
（１）刊行物１
　刊行物１には、下記のことが記載されている：
（１ａ）フッ化炭素の不純物分析法（特許請求の範囲第１〜５項）
「（１）不純物を含むフッ化炭素の懸濁液を灰化させ、次に加熱して上記不純物を原子化させたのち、原子吸光分析法により上記不純物の濃度を測定することを特徴とするフッ化炭素の不純物分析法。
（２）酸を含む懸濁液を灰化させることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフッ化炭素の不純物分析法。
（３）不純物として鉄を含むフッ化炭素と硝酸を含む懸濁液を灰化させることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のフッ化炭素の不純物分析法。
　・・・
（５）不純物としてニッケルを含むフッ化炭素の懸濁液を４００℃から８００℃の温度範囲で灰化させたことことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のフッ化炭素の不純物分析法。」
　
（１ｂ）フッ化炭素についての従来の知見（１頁右下欄６行〜１２行）
「従来より、フッ化炭素は撥水性を有し、酸およびアルカリに対して極めて安定で、また５００℃付近において急激に分解するなどの特性については知られていた。しかしながらフッ化炭素に含まれている微量の不純物については、その存在状態および熱に対する挙動など全く知られておらず、このため確立された分析法が存在しなかった。」
（１ｃ）実施例（１頁右欄１７行〜２頁左上欄１８行）
「以下に本発明の一実施例として、フッ化炭素に含まれる鉄およびニッケルの分析法について説明する。
　フッ化炭素２５ｍｇを水５０ｍｌに１％界面活性剤１ｍｌを用いて均一な懸濁液を生成し、この懸濁液に硝酸を添加する。なお、この界面活性剤はフッ化炭素の表面活性を大きくし、水に吸着されやすくする。次にこの懸濁液を１０μｌ定量してフレームレス原子吸光分析装置のカーボンファーネス部に試料として入れる。そして、このカーボンファーネス部に電流を流して試料を１００℃に熱し、試料に含まれる水分を蒸発させる。この後、カーボンファーネス部の試料を５００℃に加熱し試料を灰化させたり、分析に不要なものを除去したりする。そしてアルゴンを４ｌ／secの割合で注入したアルゴン雰囲気中で試料を２８００℃に加熱することにより試料を原子化する。試料に含まれている鉄を測定するときは波長が２４８２．２７Åの光束を、またニッケルを測定するときは２３２０．０３Åの光束をこの原子化した試料に照射し、この試料の吸光度を測定し、鉄、ニッケルの濃度を知る。」
（１ｄ）硝酸濃度と測定結果、（第１図、２頁左上欄１９行〜左下欄３行）
「第１図は上記実施例におけるフッ化炭素を均一に懸濁した懸濁液に硝酸を添加した溶液の硝酸濃度に対する鉄、ニッケルの測定濃度を示すチャートの読みの関係を示したものである。この第１図において、１は鉄の場合、２はニッケルの場合を示している。
　この結果から、溶液の硝酸濃度はニッケルの濃度測定結果には影響を及ぼさないが、鉄の測定結果には、影響が大きいことがわかる。つまり鉄の濃度測定の場合、硝酸濃度が０．０６Ｎ以下の場合は、測定結果が大きくバラツキ、このため定量は不可能である。しかし硝酸濃度が０．０６Ｎから１．００Ｎの範囲では測定結果にバラツキがなく、非常に再現性の良い定量値が得られた。それは硝酸はフッ化炭素中に含まれる鉄イオンの価数を統一したり、濃度の偏りを解消することに原因する。・・・また第１図における３，４はそれぞれ上記実施例の懸濁液のかわりに鉄の標準溶液およびニッケルの標準溶液を用いて同様に測定したもので、硝酸を添加した溶液の硝酸濃度に対する鉄およびニッケルの測定濃度を示すチャートの読みの関係を示すものである。この結果から標準溶液の鉄、ニッケルの濃度は添加した硝酸濃度に影響されないことがわかる。」
（１ｅ）標準溶液についての測定結果（図２、２頁左下欄４行〜末行）
　第２図には、０．３０Ｎの硝酸濃度で、鉄およびニッケルの標準溶液の濃度を０ｐｐｂから３００ｐｐｂの範囲で約３０、１００、２００、３００ｐｐｂの４点、濃度を代えて上記実施例と同様に測定した結果が示されており、第１図と第２図の結果から、フッ化炭素に含まれていた鉄及びニッケルの濃度を特定することが示されている。
（１ｆ）灰化温度と測定チャートの読み（図３、２頁右下欄１行〜１５行）
「また、上記実施例において硝酸を０．３０Ｎとして灰化温度を１５０℃から１１００℃の範囲で段階的に変化させて同様に測定した。第３図の７，８はそれぞれ灰化温度に対する鉄およびニッケルの測定濃度を示すチャートの読みの関係を示す。この結果から、灰化温度は鉄の場合で４００℃から６５０℃まで、ニッケルの場合は４００℃から８００℃の範囲が適当であることがわかる。この温度範囲より低い温度で灰化を行うとフッ化炭素等が十分灰化されず、この灰化工程後に行う試料の原子化の際に鉄およびニッケルがフッ化々化合物として飛散してしまい・・・測定値が小さくなる。」
　
（２）刊行物２
　刊行物２には、（２ａ）少なくともガリウムを含む半導体中の不純物を分析する方法において、前記半導体を分解沈殿液で分解しガリウムの沈殿分離を行った後、この上ずみ液中の不純物の定量をフレームレス原子吸光分析法によって行う半導体中の不純物分析法が記載され（特許請求の範囲第１項及び第３項）、
（２ｂ）試料の分解、沈殿分離、上ずみ液の灰化について、容器中でアンモニア水、過酸化水素水および水からなる分解沈殿液で、亜鉛、カリウム、その他の不純物をドープしたヒ化ガリウム試料を分解し、金属ガリウムのみを容器の底に白い粉状に沈殿させ、この上ずみ液をピペットでグラファイト炉に取り出し、通常のフレームレス原子吸光分析を行ったこと、その分析条件は第１図にも示され、「本実施例では、まず炉を１００〜２００℃で１分間加熱し、上ずみ液中の水分を蒸発させた。次に灰化段階で６００℃で１〜６分間加熱してヒ素を分離し、更に１０００℃で１〜６分加熱し、上ずみ液中に１％程度残つたガリウムを分離した。そして、５０〜２０００℃の範囲で温度を徐々に上げながら、試料から発生する原子蒸気の吸光光度を測定し、不純物を定量した。」というものであることが記載され（第２頁右上欄１２行〜左下欄末行）、
（２ｃ）半導体の具体例として、ヒ化ガリウムの他、リン化ガリウム及びアンチモン化ガリウムも記載されている（第３頁右下欄下から３行〜４頁左上欄２行）
　
（３）刊行物３
　刊行物３には、熱可塑性樹脂を製造又は使用する際に、該樹脂中の各成分の組成に関する工程管理及び品質管理を、赤外分光分析法（ＩＲ分析法）を用いて行うことが記載されている（１頁右欄２行〜５行）。
　
４．本願発明の概要
　これに対して、本願発明は、明細書に記載の如く、概略、次のようなものである。
（イ）本願発明の技術分野（明細書１頁）
「本発明は、含フッ素ポリマー中の微量金属不純物の測定方法、特に、いわゆるフレームレス原子吸光分光光度計を用いる含フッ素ポリマー中の微量金属不純物の定量方法およびそれを用いる含フッ素ポリマーの製法に関する。」
（ロ）背景技術（明細書１頁）
「含フッ素ポリマーは、種々の産業分野において使用され、その中に不純物として含まれる徴量金属、例えば鉄、銅、ニッケル、ナトリウム、カリウム等の量が問題となる場合が多くなってきている。例えば、半導体関連分野において、含フッ素ポリマー、例えば、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（以下、ＰＦＡという）がバスケットに使用されており、この場合、含フッ素ポリマー中の微量金属が溶出すると、鉄、銅、ニッケルなどの存在がＰＮ結合のリーク不良を生じることがある。
　また、ナトリウム、カリウムなどのアルカリ金属は酸化膜の耐圧不良などの原因になるおそれがあるので、含フッ素ポリマー中に含まれている金属の量を把握することが重要である。また、含フッ素ポリマーの製造においても、含フッ素ポリマー中に含まれる微量の金属の量を測定して工程管理を確実にすることが必要とされる場合がある。」
（ハ）従来技術１（明細書１頁〜２頁）
「従来、フッ素樹脂中に含まれる微量金属の定量分析方法としては、白金製の蒸発皿（白金純度は、通常９９．９％である）に測定すべきフッ素樹脂を入れ、バーナーあるいは電気炉によりフッ素樹脂を灰化した後に、残存する微量金属を溶解して原子吸光法で定量する方法が用いられている。
　しかしながら、この方法では、多量のフッ素樹脂を使用する必要があり、また、金属元素の回収率が悪いという欠点がある。その上、フッ素樹脂を灰化するときに生成する分解生成ガスにより白金製の蒸発皿が腐食され、蒸発皿に含まれる不純物金属による汚染、あるいは、たとえ、蒸発皿を十分に洗浄しても前回測定の金属が残存することがあるという現象（メモリー効果）により、フッ素樹脂中の微量金属を正確に測定できないという問題点がある。」
（ニ）従来技術２（明細書２頁）
「このような従来技術を背景に、フッ素樹脂中の微量遷移金属の定量を直接的に行う試みがなされている（日本分析化学会第３３年会講演要旨１Ａ１１、第４０９頁（１９８４年）参照）。ここでは、偏光ゼーマン原子吸光光度計を使用してフッ素樹脂中の微量金属の定量を直接実施しても樹脂中の金属はフッ化物となって揮散するため検出は不可能であるが、乾式灰化する時にＫＨＳＯ4などの無機添加物を共存させて硫酸塩を生成することにより微量金属が安定して検出されると記載されている。
　この方法において、乾式灰化温度としては１０００℃付近の温度が使用されており、サンプル量を１０ｍｇとした場合、金属の検出限界は約２０ｐｐｂであると記載されている。しかしながら、このような方法では、ＫＨＳＯ4を加えるという操作が追加され、それによる汚染が生じる可能性があり、また、金属の検出限界が２０ｐｐｂと比較的高い。
　従って、真の意味で直接的に含フッ素ポリマー中の金属不純物の定量方法を提供することが望まれ、しかも、この定量方法において、金属の検出限界がより向上することが望ましい。」
（ホ）「直接的」、乾燥工程（明細書３頁〜４頁）
「本発明において、「直接的」とは、測定の過程において、原子吸光分光光度計による測定の前に、測定すべきサンプルに灰化以外の特別な化学的処理を施さないことを意味する。従って、例えば灰化前の含フッ素ポリマーの乾燥工程を排除するものではない。
　・・・通常、前処理として水分および揮発性の溶剤を除去する乾燥工程、その後の有機化合物を除去する灰化工程を行った後、原子化させて測定する。」
（ヘ）灰化時間（明細書６頁）
「本発明において、「灰化時間」は、少なくとも約１００秒であり、例えば６４０秒以上であってもよい。通常、「灰化時間」の上限は１２００秒程度である。
　このような本願発明における「灰化時間」は、従来からのフレームレス原子吸光分光光度計を用いる測定においては３０〜６０秒程度の灰化時間が用いられていることを考慮すると、全く考えられない程の長い時間である。
　前述のように、特に含フッ素ポリマー中の金属は、灰化処理中にフッ化物となって揮散して検出されないとの観点からすれば、長時間にわたり灰化処理を行うこと自体金属の検出限界をますます悪化させることにつながると予測できる。しかしながら、それにも拘わらず、本願発明においては、このような予測に反して驚くべきことに長時間の灰化処理により含フッ素ポリマー中の金属の定量の検出限界を向上させたのである。」
（ト）検出限界（明細書８頁）
「本発明の方法によれば、従来の検出限界より更に小さい限界まで微量金属含有量を測定することが可能となる。具体的には、サンプル量が１〜５ｍｇの場合であれば、Ｆｅの検出限界は例えば実施例１２に示すように約１ｐｐｂであって、同様に、Ｃｒの検出限界は約１ｐｐｂ、Ｎｉの検出限界は約１ｐｐｂ、Ｃｕの検出限界は約１ｐｐｂ、Ｎａの検出限界は約１ｐｐｂ、Ｋの検出限界約１ｐｐｂ、Ｍｇの検出限界は約１ｐｐｂであり、従来の検出限界約２０ｐｐｂより大きく向上している。また、使用するサンプル量が多くなるほど、検出限界はより小さくなる。例えば、サンプル量を約２倍程度に増やすと、検出限界は、約１／２倍に小さくなる。」
（チ）比較例１（明細書２０頁〜２１頁）
「白金製蒸発皿により含フッ素ポリマーを灰化し、その後、金属分をＨＮＯ3に溶解して溶液を得、その溶液の鉄濃度を原子吸光法により測定することにより、含フッ素ポリマーに含まれる鉄の定量を実施した。本比較例に使用した含フッ素ポリマーは、ＰＴＦＥ（分子量：約８００万）であった。
　所定の鉄濃度（Ｆｅ濃度：１００ｐｐｂ）の水溶液を含フッ素ポリマーサンプルに上述の実施例１と同様に混合することによりサンプルに所定量の鉄を含ませた。また、回収率を向上させる目的で０．１％Ｎａ2ＳＯ4溶液を加えて１．５ｇのＮａ2ＳＯ4を含ませた。
　６００℃の加熱温度および２時間の加熱時間で灰化した。灰化後、金属を１％ＨＮＯ3水溶液に溶解して、原子吸光分光光度分析した。結果を以下の表１７に示す：
　・・・・
　この結果から、本願発明の方法と比較して含フッ素ポリマー中における鉄の定量において回収率が非常に悪いことが明らかに判る。」
（リ）比較例２（明細書２３頁〜２４頁）
「鉄を追加することなく、表２０に示す灰化条件の下で実施した以外は、実施例１と同様に含フッ素ポリマー中の鉄の定量を実施した。
　・・・・　
　以下の表２１に示すように、本実施例では鉄の検出はできなかった。
　　・・・・
　検出不能という状態は、分光光度計で明らかに不自然な値が測定される状態を意味する。
　このように、検出ができなかったのは、灰化時間が短いために灰化が不十分となってポリマーが残存し、これが原子化の操作において一挙に分解して揮散したために煙が発生して光を乱反射し、分光光度計においてあたかも吸収があったかのような状態となったためである。」
　そして、上記表２０の灰化時間は６０秒である。
　
５．請求項１発明と刊行物１記載の発明との対比
　ここで、本願の請求項１に係る発明（以下、「請求項１発明」という。）と刊行物１に記載された発明と対比すると、両者は、次の点：
（一致点）
「フレームレス原子吸光分光光度計を用いるフッ素と炭素を含む物質中の微量金属不純物を定量するための測定方法であって、定量すべき金属の種類に応じて所定量の前記物質のサンプルを約４００〜８００℃の灰化温度を含む灰化条件の下で灰化した後、フレームレス原子吸光分光光度計により吸光度を測定する測定方法」
で一致するが、次の点で相違する。
＜相違点１＞
　測定対象のフッ素と炭素を含む物質が、請求項１発明では、「含フッ素ポリマー」であるのに対し、刊行物１では、「フッ化炭素」である点。
＜相違点２＞
　「灰化時間」が、請求項１発明では、「少なくとも約１００秒の灰化時間」であるのに対して、刊行物１には、「灰化時間」について記載されていない点。
＜相違点３＞
  請求項１発明では、「直接的」に灰化するのに対して、刊行物１では、「直接的」に灰化すると記載されておらず、試料を懸濁液としてから乾燥、灰化する場合しか具体的には記載されていない点。
　
６．相違点についての検討
　本願発明においては、サンプルの灰化時間を「少なくとも約１００秒」にし、「直接的に灰化」することにより、含フッ素ポリマー中の金属の定量の検出限界を約１ｐｐｂに向上させたものである。（前記記載（ヘ）、（ト）参照）
  本願明細書の発明の詳細な説明によれば、特に含フッ素ポリマー中の金属は、灰化処理中にフッ化物となって揮散しやすく、検出し難いものであり、従来のフレームレス原子吸光分光光度計を用いる測定においては３０〜６０秒程度の灰化時間が用いられているものである。そして、従来技術の検出限界は約２０ｐｐｂであった。（前記記載（ハ）、（ニ）、（チ）参照）
　一方、刊行物１記載の「フッ化炭素」は、フッ素と炭素の化合物の総称としても使用されている用語であって、高分子のテフロン（登録商標）もフッ化炭素の一種であるとされている（例えば、共立出版「化学大辞典７」参照）から、刊行物１の「フッ化炭素」が、分解温度と懸濁液の記載だけを根拠にした請求人主張の如く、「フッ化黒鉛（graphite fluoride）」に限られるとは直ちに断定することはできないものの、刊行物１には、「フッ化炭素」を灰化する灰化時間をどの程度にするか、記載されていない。しかも、灰化工程に先立ち、わざわざ「フッ化炭素」を界面活性剤含有液で懸濁液としたのち、懸濁液を乾燥させて、次いで灰化することしか、具体的には記載されていない。この界面活性剤は「フッ化炭素」の表面活性を大きくし、水に吸着されやすくするためののものであり、刊行物１における「フッ化炭素」は灰化前に表面処理がなされており、「フッ化炭素」の灰化は、「直接的」に灰化されているいるとはいえないものである。そして、そのような前処理を行わないで、灰化して、フレームレス原子吸光分光光度計により吸光度を測定して微量金属成分濃度を測定した場合の結果にについて、示唆する記載もない。
　また、刊行物１記載の方法では、前記記載（１ｄ），（１ｅ）によれば、硝酸などの酸を加えず懸濁液とした場合の鉄とニッケルとの測定結果に大きな相違があるものであり、そのような前処理なしでも、鉄とニッケルとの測定結果に相違ない請求項１発明について、刊行物１が教示するところはない。
　そして、刊行物１の第２図には、鉄及びニッケルの標準溶液について、刊行物１に記載の分析方法を用いて分析した例が示され、約３０、１００、２００、３００ｐｐｂの濃度の標準溶液について分析されている。このことからみて、刊行物１の分析方法では、１ｐｐｂ程度の濃度の微量不純物を測定することが可能であることを示唆しているものということができない。
　さらに、灰化時間について記載のある刊行物２は、「含フッ化ポリマー」とは灰化の際に除去しなければならない成分が全く異なるヒ化ガリウムのような「少なくともガリウムを含む半導体」を測定対象とする方法であり、しかも分解沈殿液で化学処理された後の「上ずみ液」を灰化することしか記載されておらず、「含フッ化ポリマー」を直接的に灰化する際の灰化時間について教示するところはない。また、刊行物３にも、「含フッ化ポリマー」の灰化時間について記載されていない。
  そうすると、請求項１発明は、刊行物１〜刊行物３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　
７．請求項２ないし５に係る発明について
　請求項１を引用する請求項２ないし５に係る発明も、請求項１発明について検討したのと同様の理由により、刊行物１〜刊行物３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　
８．むすび
　以上のとおり、請求項１ないし５に係る発明は、刊行物１〜刊行物３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　他に、本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。