【事件の表示】
　平成　８年特許願第２８５０５４号「原子吸光分光法による真空製膜装置内の照射原子数量測定方法」拒絶査定に対する審判事件［平成１０年　５月２２日出願公開、特開平１０−１３２７３６］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成８年１０月２８日の出願であって、平成１２年５月２２日付で拒絶査定がされ、これに対し平成１２年６月２８日に審判請求がなされるとともに、同年７月２６日付で手続補正がされ、その後の前置審査で平成１２年１２月１２日付で拒絶理由が通知がされ、それに関連して平成１３年２月１９日付で手続補正がされたものであって、その請求項１に係る発明は、この平成１３年２月１９日付の手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのもの（以下「本願発明」という）である。
　「安定な輝度変調を得るために、ホローカソードランプに電流０を除く調整可能な２つの電流値を、定電流回路を用いて交互に流すことにより、ホローカソードランプの電流値が０とならないようにしてホローカソードランプの内部において安定したプラズマ状態を維持し、安定した点灯状態と、輝度が高低交互に繰り返し、輝度変調されたスペクトル光を発生させ、該スペクトル光を、真空製膜装置の真空容器内に照射して、前記真空容器を通過した前記スペクトル光の輝度変調に同期した成分をロックインアンプにより検出して、前記真空容器内の基板表面に照射される原子の数量をロックインアンプを用いる原子吸光分光法で測定することを特徴とする原子吸光分光法による真空製膜装置内の照射原子数量測定方法」
　
２．前置審査の拒絶理由
　平成１２年１２月１２日付で通知された拒絶の理由の概要は、本願発明は本願出願前に日本国内で頒布された９件の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものであり、そのうち、刊行物１，２，３（拒絶理由通知では、それぞれ順に、引用文献８，１，２が該当）は、以下のとおりである。
　
３．刊行物
３−１　刊行物１（特開昭６２−１７４６３４号公報）には次の事項が記載されている。
　「原子吸光分析では、検出しようとする元素の輝線スペクトル放射光源としてホローカソードランプが使用されている」（第１頁左下欄第１６−１８行）、
　「原子吸光分析で近年、ホローカソードランプを、大電流パルスで点灯し、大電流点灯によって輝線幅が広がることを利用して、バックグラウンド補正を行う方法が用いられるようになり」（第１頁右下欄第７−１０行）
　「ホローカソードランプを常時小電流或いは………で点灯し、測定時のみホローカソードランプに大電流パルスを与えるようにした。第１図にこのようなホローカソードランプの点灯様式を示す。この図でＩの期間は非測定期間で、ホローカソードランプには小電流が供給されており、ホローカソードランプはいわばアイドリングの状態にあり、Ｍの期間が測定期間で、アイドリング中の小電流に重ねて大電流パルスが供給される」（第１頁右下欄末行−第２頁左上欄第９行）、
　「非測定期間中もアイドリングを続けているので、測定時にも直ちに安定した広幅輝線スペクトルの発光が得られる」（第２頁左上欄末行−同頁右上欄第３行）、
　「コントローラＣＲは試料原子化部への電流供給の立上りを検知してホローカソードランプＨＣＬをアイドリング状態から大電流パルス点灯状態に切換える。」（第２頁左下欄末行−同頁右下欄第３行）、
　と記載があり、第１図には、電流の波形が示されおり、波形をみると、アイドリング電流が一定値に描かれ、アイドリング電流の上に重畳された各大電流パルス同志も高さが一定値に描かれている。
　
３−２　刊行物２（特開平６−１７２９７７号公報）には、原子吸光方式蒸着速度センサが示されている。
　
３−３　刊行物３（特開平４−１６０１５８号公報）には次の事項が記載されている。
　「従来から原子吸光法によって真空蒸着中の元素の蒸気濃度を検出する製膜コントローラ付き真空装置が発表されている」（第１頁右下欄第４−６行）、
　「本装置においては、蒸着速度は投光器３，受光器４からなる原子吸光装置により真空チャンバ１０内で蒸発源から蒸発中の元素の蒸気量を測定し」（第１頁右下欄第１８行−２０行）
　
４．対比・検討
　本願発明と刊行物１に記載のものを対比すると、刊行物１に記載された発明（以下、「刊行物１発明」という）の「原子吸光分析」、「カソードランプにアイドリング中の小電流に重ねて大電流パルスを供給する」ことが、本願発明の「原子吸光分光分析」、「ホローカソードランプに電流０を除く調整可能な２つの電流値を、交互に流す」ことに該当し、また、刊行物１発明は、原子化された試料の濃度を定量するためのものであることも明らかであるから、両者は
　「ホローカソードランプに電流０を除く調整可能な２つの電流値を、交互に流すことにより、ホローカソードランプの電流値が０とならないようにしてホローカソードランプの内部において、輝度が高低交互に繰り返し、輝度変調されたスペクトル光を発生させ、該スペクトル光を、分析対象たる原子化された試料に照射し、試料を透過した前記スペクトル光の成分を検出して、原子化された試料について原子吸光分光法で測定する」点で一致し、次の点で相違する。
（相違点１）
　本願発明は、ホローカソードランプに電流ゼロを除く２つの電流値の電流を流すのは、安定な輝度変調を得るためであり、ホローカソードランプの内部において安定したプラズマ状態を維持し、安定した点灯状態を得るためであるのに、刊行物１発明では、刊行物１に、ホローカソードランプに電流ゼロを除く２つの電流値の電流を流すことについて、「非測定期間中もアイドリングを続けているので、測定時にも直ちに安定した広幅輝線スペクトルの発光が得られる」と記載があるものの、安定な輝度変調を得るためとか、ホローカソードランプの内部に安定したプラズマ状態を維持するためという記載そのものはない点。
（相違点２）
　本願発明は２つの電流値は、定電流回路を用いて交互に流すものであるのに、刊行物１発明は、刊行物１の第１図をみると２つの電流値はいずれも定電流とみられるものの、刊行物１の明細書中には、定電流という用語記載がなく、当然に定電流回路についても記載がないものである点。
（相違点３）
　本願発明は、輝度が高低交互に繰り返し、輝度変調されたスペクトル光を発光させて、試料を透過した前記スペクトル光の輝度変調に同期した成分をロックインアンプで検出するのものであるのに対し、刊行物１発明は、輝度が高低交互に繰り返し、輝度変調されたスペクトル光を発光させるものではあるが、刊行物１には、試料を透過したスペクトル光を検出することは記載されているが、同期検出やロックインアンプについて記載がないものである点。
（相違点４）
　本願発明は、スペクトル光を、真空製膜装置の真空容器内に照射して、前記真空容器を通過させ、真空容器内の基板表面に照射される原子の数量を測定することを特徴とする真空製膜装置内の照射原子数量測定方法であるのに、刊行物１発明は、スペクトル光を原子化された試料に照射して、原子化された試料について原子吸光分光法で測定する装置に過ぎず、真空製膜や真空製膜装置内の照射原子数量測定方法について記載がない点。
　
　前記相違点について検討すると
（相違点１について）
　刊行物１に、ホローカソードランプに電流ゼロを除く２つの電流値の電流を流すことについて「非測定期間中もアイドリングを続けているので、測定時にも直ちに安定した広幅輝線スペクトルの発光が得られる」と記載があるのであるから、測定前に流されるアイドリング電流であって、測定期間にあっては、大電流パルス同志の間の区間にも流されるものでもあるアイドリング電流の電流値として、本願でいうところの安定な輝度変調を得るため及び、ホローカソードランプの内部に安定したプラズマ状態を維持し、安定した点灯状態を得るような電流値を採用することは、当業者が容易に想到できたことと認められるから、相違点１は格別のものと認められない。
（相違点２について）
　原子吸光分析による対象元素の濃度の定量測定において、アイドリング電流や大電流パルスが不安定であっては正確な測定ができず好ましくないことは自明である。したがって刊行物１発明において、アイドリング電流を定電流になるようにし、かつ大電流パルスも定電流になるようにさせることは当業者が普通に考えることができた設計的事項であると認められ、そのため定電流回路を用いることも当業者が普通に考えることができた設計的事項と認められる。したがって、相違点２も格別のものと認められない。
（相違点３について）
　本願明細書の段落０００４で「従来のホローカソードランプによる原子吸光分光法は、一定強度のホローカソードランプの発光を、モーターを利用した機械的なチョッパーを用いて断続光にして、光検出器の出力をロックインアンプを用いてロックイン検出していた」と記載されているように、原子吸光分光法の技術分野においてわざわざ断続光にし、該断続光についてロックインアンプを用いてロックイン検出することが従来周知であって、それにより高い測定精度が得られるものと認められ、また、機械的なチョッパによる断続でなく光源を直接変調した輝度変調光であってもロックインアンプを用いれば、それによりＳ／Ｎ比が高い測定精度が得られることも明らかと認められる［必要とあれば、特開平５−７２１３０号公報の２成分ガスアナライザーの発明において「直接変調」（明細書段落０００４）に係る輝度変調した光を試料セルを通過させて光検出器で検知する際、その信号処理において「ロックインアンプやボックスカー積分器等の同期検出回路」（明細書段落００２６）を用いている点を参照］から、輝度変調されたスペクトル光を分析対象の試料に照射させる形式の刊行物１発明において、試料を透過したスペクトル光の輝度変調に同期した成分をロックインアンプにより検出するようにすることは、当業者が容易に想到できた事項と認められる。
（相違点４について）
　原子吸光分析装置を、「スペクトル光を、真空製膜装置の真空容器内に照射して、前記真空容器を通過させ、真空容器内の基板表面に照射される原子の数量を測定することを特徴とする真空製膜装置内の照射原子数量測定方法」のために用いることは刊行物２，３で明らかなように従来周知であるから、刊行物発明１に係る装置を用いて、真空製膜装置内の照射原子数量測定を行う方法は、当業者が容易に想到できたものである。
　以上のように前記相違点１−４はいずれも格別のものと認められない。そしてそれらを全て含めて総合判断しても、本願発明が格別の効果を奏するものとも認められない。
　
５．むすび
　本願発明は、刊行物１−３に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められ、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。