(57)【要約】【課題】  様々な動圧発生溝形状を形成することができ、動圧軸受機構の耐摩耗性を向上させることができる。【解決手段】  動圧発生溝４４ａを形成するスリーブ２１に、動圧発生溝４４ａに隣接する丘部４４ｂとなる部位にレーザ光を照射する。局部的にレーザ光の照射を受けたスリーブ２１は、照射を受けた部分が溶体化温度以上に加熱され、局部的に溶体化する。その後、電解加工を施すと、金属組織が変化した部分（丘部４４ｂ）は電解加工による溶解がし難く、金属組織が変化していない即ちレーザ光の照射を受けていない部分は電解加工により溶出し、その箇所に動圧発生溝４４ａが形成される。【選択図】  図２
2007046665.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静止部材と、
該静止部材に相対回転可能に支持された回転部材と、
前記静止部材に設けられた軸受面と、前記回転部材に設けられた軸受面とが微小間隙を介して対向し、前記軸受面の何れか一方或いは両方に動圧発生溝が形成された動圧軸受部と、
を備えた流体動圧軸受機構であって、
前記動圧発生溝を構成する溝部と、該溝部に隣接する丘部とは、同一材料からなり、前記丘部の表面硬度は前記溝部の表面硬度よりも高いことを特徴とする動圧軸受機構。
【請求項２】
静止部材と、
該静止部材に相対回転可能に支持された回転部材と、
前記静止部材に設けられた軸受面と、前記回転部材に設けられた軸受面とが微小間隙を介して対向し、前記軸受面の何れか一方或いは両方に動圧発生溝が形成された動圧軸受部と、
を備えた流体動圧軸受機構であって、
前記動圧発生溝を構成する溝部に隣接する丘部は、溶体化処理痕があることを特徴とする動圧軸受機構。
【請求項３】
静止部材と、
該静止部材に相対回転可能に支持された回転部材と、
前記静止部材に設けられた軸受面と、前記回転部材に設けられた軸受面とが微小間隙を介して対向し、前記軸受面の何れか一方或いは両方に動圧発生溝が形成された動圧軸受部と、
を備えた流体動圧軸受機構であって、
前記動圧発生溝を構成する溝部に隣接する丘部には、レーザ照射痕が存在することを特徴とする動圧軸受機構。
【請求項４】
静止部材と、
該静止部材に相対回転可能に支持された回転部材と、
前記静止部材に設けられた軸受面と、前記回転部材に設けられた軸受面とが微小間隙を介して対向し、前記軸受面の何れか一方或いは両方に動圧発生溝が形成された動圧軸受部と、
を備えた流体動圧軸受機構であって、
前記動圧発生溝を構成する溝部に隣接する丘部は、レーザ照射されることを特徴とする動圧軸受機構。
【請求項５】
前記動圧発生溝は、電解加工を施すことによって形成され、
前記電解加工に用いる電極工具は、前記溝部及び前記丘部に渡って対向する面一の電極面を有する電極工具であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の動圧軸受機構。
【請求項６】
微小間隙内に保持された作動流体に対して軸線方向の一の方向に作用する動圧を発生するスラスト軸受部と、
微小間隙内に保持された作動流体に対して半径方向に作用する動圧を発生するラジアル軸受部とからなる動圧軸受機構において、
前記動圧発生溝は、前記スラスト軸受部に形成されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の動圧軸受機構。
【請求項７】
前記動圧発生溝が形成される部材は、ステンレス鋼よりなることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の動圧軸受機構。
【請求項８】
ステータを保持するブラケットと、
該ブラケットに対して相対回転するロータと、
該ロータに固着され該ステータと協働して回転磁界を発生するロータマグネットと、
該ロータの回転を支持する動圧軸受機構とを備えたスピンドルモータにおいて、
前記動圧軸受機構は、請求項１乃至７のいずれかに記載した動圧軸受機構であることを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項９】
情報を記録できる記録ディスクが回転駆動されるディスク駆動装置において、
ハウジングと、
該ハウジングの内部に固定され該記録ディスクを回転させるスピンドルモータと、
該記録ディスクの所要の位置に情報を書き込み又は読み出すための情報アクセス手段とを有するディスク駆動装置であって、
前記スピンドルモータは、請求項８に記載のスピンドルモータであることを特徴とするディスク駆動装置。
【請求項１０】
静止部材と、
該静止部材に相対回転可能に支持された回転部材と、
前記静止部材に設けられた軸受面と、前記回転部材に設けられた軸受面とが微小間隙を介して対向し、前記軸受面の何れか一方或いは両方に動圧発生溝が形成された動圧軸受部と、
を備えた流体動圧軸受機構の製造方法であって、
前記軸受面を有する基材に、前記動圧発生溝を構成する溝部に隣接する丘部となる箇所に対してレーザ照射を施す工程を備えることを特徴とする動圧軸受機構の製造方法。
【請求項１１】
前記動圧発生溝を、前記溝部及び前記丘部に渡って対向する面一の電極面を有する電極工具を用いて、電解加工を施すことにより形成する工程を備えることを特徴とする請求項１０に記載した動圧軸受機構の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、すべり軸受を用いたスピンドルモータ及びこのスピンドルモータにより記録用ディスクを回転駆動するＨＤＤ等の情報記録再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
記録用ディスクを用いたハードディスクドライブ装置等の情報記録再生装置では、これが搭載されるパーソナルコンピュータ等の機器の小型化・薄型化や、デジタルカメラ，オーディオ・ビデオ機器等への応用等使用される機器の多様化に伴い、その小型・薄型化，高容量化が要求されている。
【０００３】
一方、この種の情報記録再生装置では、記録用ディスクを回転駆動するＤＣブラシレスモータよりなるスピンドルモータの軸受として、少なくともラジアル軸受部にすべり軸受の一形態である流体動圧軸受を用いたものが知られている。このモータは、記録用ディスクを搭載する回転部材としてのロータに、周方向に多極着磁された円環状のモータ駆動用ロータマグネットを、静止部材に支持されたステータに半径方向に対向するように装着し、このロータを流体動圧軸受を用いて静止部材に回転自在に支持している。
【０００４】
この流体動圧軸受は、ロータの回転中心に設けた円柱状のシャフトを静止部材に固定された中空円筒状のスリーブメタルに嵌め合わせ、その対向する周面のいずれかにヘリングボーン溝等の動圧発生溝を形成すると共に、両者の隙間にオイル等の潤滑流体を満たし、ロータの回転に伴って潤滑流体に発生する圧力でロータを支承する構造の軸受であり、機構の占める体積が小さくかつ耐衝撃性に優れ、加えて軸振れが小さくなる等の効果を有している。
【０００５】
さらに、ロータのスラスト方向の荷重に対しては、構造の簡易化，廉価及び小型・薄型化等を目的とし、単一面対向型のスラスト軸受を採用して軸線方向一方向の荷重を支承し、軸線方向他方向については磁気スラスト力を発生させる方法がある。
【０００６】
このようなスラスト軸受を形成するにあたり、微少間隙を構成する壁面に動圧発生用の溝が形成されている。この溝は、５〜３０μｍ程度の高精度なものであり、形状はヘリングボーン状、スパイラル状等様々である。この動圧発生用溝の成形方法としては、電解加工、転造、プレス等があるが、電解加工が選択されることがある。（例えば、特許文献１）。
【０００７】
電解加工機は、主に、動圧溝に対応した電極パターンを電極表面に有する電極工具と、電解液（例えば、食塩水や硝酸ナトリウム）の供給・回収機構とから構成されている。電解加工方法は、被加工物及び電極工具を電解加工用電源の正極及び負極にそれぞれ接続し、被加工物に対して電極工具の電極パターンを対向させる。この状態で、電極工具と被加工物との間に電解液を流動させながら通電する。この結果、被加工物の表面は電極パターンに対応する部分が溶出し、その箇所に動圧溝が形成される。
【０００８】
また、別の動圧発生溝の成形方法として、動圧発生用溝を形成する部材にメッキ層を形成し、動圧発生用溝となる部位にレーザ照射を施しメッキを除去する。この結果、レーザを照射した部分のメッキ層が除去され、動圧発生溝が形成される（特許文献２）。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−３４０６４８号公報
【特許文献２】特開２０００−２０１４５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記のような電解加工を用いた動圧発生溝の形成方法では、動圧溝に対応した電極パターンを電極表面に有する電極工具を用いる。そのため、動圧発生溝のデザインが異なると、その動圧発生溝のデザインに対応した電極工具を製作する必要がある。動圧発生溝のデザインも多種多様となると、用いる電極工具も対応して製作しなければならないため、製作時間が長くなり、製作コストも高くなる。
【００１１】
また、電極工具の製作にも限界があり、用いる電極工具の大きさ、形状によっても動圧発生溝のデザインが制限されることもある。例えば、情報記録再生装置の小型・薄型化が進行すると、それに対応してスピンドルモータも小型・薄型化されることになる。スピンドルモータの軸受を構成する動圧発生溝も、微細な加工が必要となる。このとき、動圧発生溝に対応する電極工具も複雑化・小型化などを要するが、その要求に対応できる限界もある。
【００１２】
他の動圧発生溝の成形方法である、メッキ層をレーザ照射により除去し、動圧発生溝を形成する方法では、動圧発生用溝を形成する部材とメッキ層を形成するメッキ材料との組み合わせを考慮する必要がある。また、動圧発生溝を形成する部材のうちメッキ層を形成することが好ましくない部分があると、その部分にマスクを施し、メッキを施さなければならず、作業工程上の効率が下がる。
【００１３】
本発明の課題は、動圧発生溝を形成するにあたり、様々な動圧発生溝形状に適用でき、耐摩耗性を向上させることができ、更に動圧発生溝を形成する工程が簡素である動圧軸受機構、スピンドルモータ、ディスク駆動装置及び動圧軸受機構の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の目的を達成するために、本発明の請求項１に記載の動圧軸受機構は、静止部材と、該静止部材に相対回転可能に支持された回転部材と、前記静止部材に設けられた軸受面と、前記回転部材に設けられた軸受面とが微小間隙を介して対向し、前記軸受面の何れか一方或いは両方に動圧発生溝が形成された動圧軸受部と、を備えた流体動圧軸受機構であって、前記動圧発生溝を構成する溝部と、該溝部に隣接する丘部とは、同一材料からなり、前記丘部の表面硬度は前記溝部の表面硬度よりも高い。
【００１５】
本発明の請求項２に記載の動圧軸受機構は、静止部材と、該静止部材に相対回転可能に支持された回転部材と、前記静止部材に設けられた軸受面と、前記回転部材に設けられた軸受面とが微小間隙を介して対向し、前記軸受面の何れか一方或いは両方に動圧発生溝が形成された動圧軸受部と、を備えた流体動圧軸受機構であって、前記動圧発生溝を構成する溝部に隣接する丘部は、溶体化処理痕がある。
【００１６】
本発明の請求項３に記載の動圧軸受機構は、静止部材と、該静止部材に相対回転可能に支持された回転部材と、前記静止部材に設けられた軸受面と、前記回転部材に設けられた軸受面とが微小間隙を介して対向し、前記軸受面の何れか一方或いは両方に動圧発生溝が形成された動圧軸受部と、を備えた流体動圧軸受機構であって、前記動圧発生溝を構成する溝部に隣接する丘部には、レーザ照射痕が存在する。
【００１７】
本発明の請求項４に記載の動圧軸受機構は、静止部材と、該静止部材に相対回転可能に支持された回転部材と、前記静止部材に設けられた軸受面と、前記回転部材に設けられた軸受面とが微小間隙を介して対向し、前記軸受面の何れか一方或いは両方に動圧発生溝が形成された動圧軸受部と、を備えた流体動圧軸受機構であって、前記動圧発生溝を構成する溝部に隣接する丘部は、レーザ照射される。
【００１８】
本発明の請求項５に記載の動圧軸受機構は、請求項１乃至４のいずれかに記載の動圧軸受機構であって、前記動圧発生溝は、電解加工を施すことによって形成され、前記電解加工に用いる電極工具は、前記溝部及び前記丘部に渡って対向する面一の電極面を有する電極工具である。
【００１９】
本発明の請求項６に記載の動圧軸受機構は、請求項１乃至５のいずれかに記載の動圧軸受機構であって、微小間隙内に保持された作動流体に対して軸線方向の一の方向に作用する動圧を発生するスラスト軸受部と、微小間隙内に保持された作動流体に対して半径方向に作用する動圧を発生するラジアル軸受部とからなる動圧軸受機構において、前記動圧発生溝は、前記スラスト軸受部に形成される。
【００２０】
本発明の請求項７に記載の動圧軸受機構は、請求項１乃至６のいずれかに記載の動圧軸受機構であって、前記動圧発生溝が形成される部材は、ステンレス鋼よりなる。
【００２１】
本発明の請求項８に記載のスピンドルモータは、ステータを保持するブラケットと、該ブラケットに対して相対回転するロータと、該ロータに固着され該ステータと協働して回転磁界を発生するロータマグネットと、該ロータの回転を支持する動圧軸受機構とを備えたスピンドルモータにおいて、前記動圧軸受機構は、請求項１乃至７のいずれかに記載した動圧軸受機構である。
【００２２】
本発明の請求項９に記載のディスク駆動装置は、情報を記録できる記録ディスクが回転駆動されるディスク駆動装置において、ハウジングと、該ハウジングの内部に固定され該記録ディスクを回転させるスピンドルモータと、該記録ディスクの所要の位置に情報を書き込み又は読み出すための情報アクセス手段とを有するディスク駆動装置であって、前記スピンドルモータは、請求項８に記載のスピンドルモータである。
【００２３】
本発明の請求項１０に記載の動圧軸受機構の製造方法は、静止部材と、該静止部材に相対回転可能に支持された回転部材と、前記静止部材に設けられた軸受面と、前記回転部材に設けられた軸受面とが微小間隙を介して対向し、前記軸受面の何れか一方或いは両方に動圧発生溝が形成された動圧軸受部と、を備えた流体動圧軸受機構の製造方法であって、前記軸受面を有する基材に、前記動圧発生溝を構成する溝部に隣接する丘部となる箇所に対してレーザ照射を施す工程を備える。
【００２４】
本発明の請求項１１に記載の動圧軸受機構の製造方法は、請求項１０に記載した動圧軸受機構の製造方法であって、前記動圧発生溝を、前記溝部及び前記丘部に渡って対向する面一の電極面を有する電極工具を用いて、電解加工を施すことにより形成する工程を備える。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の動圧軸受機構及び動圧軸受機構の製造方法では、動圧軸受機構を構成する部材に、レーザ光を照射することにより動圧発生溝を形成する。そのため、様々な動圧発生溝形状に適用でき、動圧軸受機構形成工程が簡素化できる。
【００２６】
また、動圧発生溝に隣接し動圧軸受機構を構成する丘部は、レーザ光を照射したことによる溶体化が起こっているために表面硬度がレーザ光照射前よりも上昇している。そのため、動圧軸受機構の耐摩耗性を向上させることができ、動圧軸受機構の磨耗による耐久性の低下を防ぐことができる。
【００２７】
また、本発明の動圧軸受機構を備えたスピンドルモータ及び記録ディスク駆動装置では、複雑な動圧軸受機構を有する場合でも、確実に動圧発生溝を形成でき、要求された性能を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。
【００２９】
図１は、情報記録再生装置としてのハードディスク駆動装置に用いられるスピンドルモータの全体構成を示したものであり、情報記録再生装置のベース１０がスピンドルモータの静止部材となり、ベース一体型モータを構成している。なお、本発明は、これに代えて、モータブラケットを静止部材としてスピンドルモータを構成し、このブラケットを装置のベースに取り付ける形態のものであってよいのは勿論である。また、回転部材側に搭載される記録用ディスクや、このディスクに対して上方の記録・再生を行う磁気ヘッド、この磁気ヘッドを駆動する手段等は図示を省略している。
【００３０】
＜第１実施形態＞
（１）静止部材の構成
ベース１０におけるモータ構成部分は、その中心部に設けられた基板部１１と、この基板部１１の中央部に設けられた環状ボス部１３とを有する。環状ボス部１３と基板部１１の外周部（後述するハブ外周部にほぼ対応する位置）に設けた環状段部１４との間に環状凹部が規定され、この位置にモータ磁気回路が配置される。環状ボス部１３には、その外周部寄りに上方へ突出した円筒支持壁１５が一体に設けられ、この外周にステータ１７が固定されている。ステータ１７は複数枚のラミネーションを積層して構成され外周に複数個のティースを周方向に配列してなる環状ステータコア１７ａと、ステータコア１７ａの各ティースに巻回された多相（例えば３相）の巻線１７ｂとからなり、ステータコア１７ａの内周面を円筒支持壁１５の外周面に外嵌し圧入，接着等の手段を用いて固定されている。
【００３１】
ベース１０における環状ボス部１３の内側には、流体動圧軸受の一部を構成するスリーブ体２０が内嵌固定されている。このスリーブ体２０は、略円筒状のスリーブ２１と、このスリーブ２１の下端開口を閉塞するカウンタプレート２２よりなり、スリーブ２１の内周の貫通孔部には、このスリーブ２１のほぼ全長に渡って形成された軸受用円筒内周面２１ａと、スリーブ２１の下部に位置し円筒内周面２１ａより拡径された中径部内周面２１ｂと、スリーブ２１の最下端に位置し中径部内周面２１ｂよりさらに拡径された大径部内周面２１ｃとが連続して形成されており、大径部内周面２１ｃにカウンタプレート２２の外周部が嵌合され、圧入，かしめ、溶接等の手段を用いて、或いは接着剤を併用して固定されている。スリーブ２１の下半部は基板部１１における環状ボス部１３の内周面に嵌合され、圧入，接着，溶接等の既存の固定方法にて固定されている。また、スリーブ２１の上部外周面には、後述するテーパシール部の一方の周面を形成するテーパ面２３が上方に向うに従い外径が拡大するように形成されている。
【００３２】
（２）回転部材の構成
ベース１０に対して回転自在のロータ３０は、略逆カップ状のハブ３１及び該ハブ３１の回転中心位置に固定された軸部３２を有して構成されている。このハブ３１は鉄，ステンレス等の強磁性体よりなり、天板部を構成する円盤状部３１ａの外周部に円筒状部３１ｂを垂下形成すると共に、この円筒状部３１ｂの下端に鍔状部３１ｃを径方向外方に張り出して形成し、更に円盤状部３１ａにおける径方向中央部分より下方に突出するよう環状突状部３１ｄを形成してなる。この環状突状部３１ｄはスリーブ２１と円筒支持壁１５との間に挿入され、スリーブ２１の上部外周を囲む一方、円筒支持壁１５との間にラビリンスシールを構成するラビリンスギャップを形成するようになっている。
【００３３】
円盤状部３１ａの中央に透設された取付孔３１ｅには軸部３２の幾分小径となった上端部が圧入され、これによりハブ３１と軸部３２とが一体となっている。軸部３２は中空状をなし、その外周には軸受用円筒状外周面３２ａが形成され、その内周面には雌ねじ３２ａがほぼ全長に渡って形成されており、上述したスリーブ２１の内側に上方より挿通され、軸部３２の円筒状外周面３２ａとスリーブ２１の円筒状内周面２１ａとが僅かな隙間を介して径方向（ラジアル方向）に向かい合うようになっている。
【００３４】
スリーブ２１に挿通された軸部３２はその先端が円筒状内周面２１ａより下方に僅かに突出する長さに形成されている。軸部３２がスリーブ２１から抜け出ることを防止する抜け止め部材３３は軸部３２の雌ねじ３２ｂに螺合する雄ねじ部３３ａ及び鍔部３３ｂを有しており、鍔部３３ｂが軸部３２の外径より大きく中径部内周面２１ｂの内径より小さい外径に形成されていることから、抜け止め部材３３の雄ねじ部３３ａをスリーブ２１の下方より軸部３２の雌ねじ３２ａに螺合し鍔部３３ｂが軸部３２の端面に当接する位置まで締着することにより、鍔部３３ｂがスリーブ２１の円筒状内周面２１ａ及び中径部内周面２１ｂ間の段部下面と中径部内周面２１ｂとカウンタプレート２２とで形成する凹所に収容された状態で、段部下面に若干の隙間を開けて軸方向に対向するようになる。
【００３５】
ハブ３１の円筒状部３１ｂの内周面には、半径方向に着磁され周方向に多極が配列された環状のロータマグネット３４がステータ１７を外周から囲むように取り付けられ、磁性体製のハブ３１がこのマグネット３４のバックヨークを兼ねている。
【００３６】
ハブ３１の鍔状部３１ｃには、（後述するとおり、）中央孔を円筒状壁３１ｂに嵌装させた１枚もしくは複数枚の図外の円盤状記録用ディスク（ハードディスク）が載置され（複数枚の場合はディスク間にスペーサが介在される）、このディスクの中央部上面を押圧するクランプ部材を軸部３２の雌ねじ３２ｂに上方より螺合されるねじを用いてねじ止めすることにより、ディスクが鍔状部３１ｃとクランプ部材との間で挟持され、ハブ３１と一体となって回転できるようになる。
【００３７】
（３）軸受機構の構成
軸受機構の構成について、図２も用いて説明する。スリーブ２１の円筒状内周面２１ａとこれに挿通された軸部３２の円筒状外周面３２ａとの間、及びハブ３１の円盤状部３１ａの内天井面（つまり下面）とスリーブ２１の上端面との間にはそれぞれ微小間隙が形成され、オイル等の潤滑流体４０が充填され保持されている。この潤滑流体４０は、スリーブ２１の中径部内周面２１ｂ，カウンタプレート２２及び抜け止め部材３３の鍔部３３ｂで囲まれた空間にも連続して充填されており、他方、潤滑流体４０の界面が、ハブ３１の環状突状壁３１ｄの内周面３１ｆとスリーブ２１の上部外周のテーパ面２３とで形成されたテーパシール部４１に位置している。このテーパシール部４１は、内周下方に向いて拡開するようなテーパ形状であり、回転動作時にテーパシール部４１の潤滑流体４０を遠心力により上記した微少間隙内に押し込むような力を付与し、潤滑流体４０の漏出を防止するような工夫がなされている。
【００３８】
スリーブ２１の円筒状内周面２１ａの上部・下部の潤滑流体保持部分にはそれぞれ、軸部３２の回転に伴い潤滑流体４０中に動圧を発生するヘリングボーン状の動圧発生溝が形成されている。この動圧発生溝は、モータ回転時に軸部３２を半径方向に保持する支持力を発生し、これにより１対のラジアル動圧軸受部４２，４３が構成されている。また、スリーブ２１の上端面にも、軸部３２を伴って回転するハブ３１の回転に伴って潤滑流体４０中に動圧を発生するポンプインスパイラル状の動圧発生溝４４ａが形成され、モータ回転時にハブ３１を軸線方向上方向に支持する（浮上する）力を発生するスラスト動圧軸受部４４が構成されている。
【００３９】
ここで、上記スリーブ２１には、下端が中径部内周面２１ｂの内部に開口し上端がスラスト微小間隙のうちスラスト動圧軸受部４４より内周部側に開口する連通孔４５が軸方向に貫通して形成され、潤滑流体４０が充填されている。この連通孔４５は二つのラジアル動圧軸受部４２，４３の両端部を連通する構成となっており、上述した動圧発生溝や軸受面の加工誤差等により所望のバランス状態が得られなくなった場合にこの圧力差に基づき連通孔４５を通じて潤滑流体４０が移動することにより圧力調整する。
【００４０】
（４）磁気バイアスの構成
ベース１０の基板部１１における外周部上面には、ハブ３１の円筒状部３１ｂ及びその内周のロータマグネット３４のそれぞれの下端面に軸方向に対向するよう円環板状のスラストヨーク５０が取り付けられている。このスラストヨーク５０は磁性板を環状にプレス抜きすることにより形成され、このプレス加工の際にスラストヨーク５０の外周部に上方への立ち上がり部５０ａを環状に設け、補強を図った構造となっている。
【００４１】
（５）記録ディスク駆動装置
次に記録ディスク駆動装置６０の内部構成について、図３を参照して説明する。ハウジング６１、６８の内部は塵・埃等が極度に少ないクリーンな空間を形成しており、その内部に情報を記憶するハードディスク等の円板状のディスク板６３が装着されたスピンドルモータ６２が設置されている。加えてハウジング６１、６８の内部には、ディスク板６３に対して情報を読み書きするヘッド移動機構６７が配置され、このヘッド移動機構６７は、ディスク板６３上の情報を読み書きするヘッド部６６と、このヘッドを支えるアーム６５及びヘッド６６及びアーム６５をディスク板６３上の所要の位置に移動させるアクチュエータ部６４とにより構成される。
【００４２】
（６）動圧発生溝の形成方法
上述した、スリーブ２１の上端面の動圧発生溝４４ａの形成方法について図４を用いて、詳述する。図４（ａ）は、スリーブ２１の上端面にレーザ照射を施している図である。レーザ照射条件などは、以下に示す。動圧発生溝４４ａを形成するスリーブ２１に、動圧発生溝４４ａに隣接しスラスト動圧軸受部４４を構成する丘部４４ｂとなる部位にレーザ光Ｌを照射する。局部的にレーザ光Ｌの照射を受けたスリーブ２１は、照射を受けた部分が溶体化温度以上に加熱され、局部的に溶体化する。本実施形態では、局部的に溶体化する深さは、約１００μｍであった。その後、局部的に溶体化した部分（丘部４４ｂ）は、レーザ光Ｌによる局部加熱前よりも硬さが上昇、金属組織が変化し、溶融再凝固が起こる（図４（ｂ））。次に、スラスト動圧軸受部に対応し動圧発生溝及び丘部に渡って対抗する面一の電極面を有する平板上の電極工具を用い、スリーブ２１に電解加工を施す。その結果、金属組織が変化した部分（丘部４４ｂ）は電解加工による溶解がし難く、金属組織が変化していない即ちレーザ光の照射を受けていない部分は電解加工により溶出し、その箇所に動圧発生溝４４ａが深さ約１０μｍで形成される(図４(ｃ))。
【００４３】
レーザ照射条件
レーザ照射径：０．３ｍｍ
エネルギー出力：〜１Ｊ
スリーブ材料：（フェライト系）ステンレス鋼、ＳＵＳ４３０
【００４４】
（７）第１実施形態の作用・効果
上述した構成の動圧軸受機構において、動圧発生溝を以上の方法で形成することにより、動圧軸受機構形成工程が簡素化できる。
【００４５】
また、動圧軸受機構の丘部４４ｂはレーザ光を照射したことによる溶体化が起こっているために表面硬度がレーザ光照射前よりも上昇している。そのため、動圧軸受機構の耐摩耗性を向上させることができ、動圧軸受機構の磨耗による耐久性の低下を防ぐことができる。
【００４６】
また、レーザ光を照射することにより、動圧発生溝の形状が決定されるので、様々な形状の動圧発生溝を形成することができる。動圧発生溝を電解加工により形成したが、従来のように、動圧発生溝に対応した電極パターンを電極表面に有する電極工具を用いる必要がなく、平板などの単純な構造の電極工具を用いることができる。そのため、様々な動圧軸受機構に対応した電極工具を用いる必要はなく、同じ電極工具を用いて多種多様な動圧軸受機構を形成することができる。また、用いる電極工具は複雑な構造を有していないため、耐久性も伸ばすことができ、コスト高とならない。さらに、複雑な動圧発生溝も確実に形成することができ、高性能な動圧軸受機構を実現することができる。
【００４７】
また、上述の動圧軸受機構を備えたスピンドルモータ及び記録ディスク駆動装置においては、複雑な動圧軸受機構を有する場合でも、確実に動圧発生溝を形成でき、要求された性能を実現することができる。
【００４８】
＜第２実施形態＞
本発明の他の実施例を図５を用いて説明する。これは、第１実施形態における図２の動圧軸受機構の動圧発生溝を形成する別の方法である。
【００４９】
図２のスリーブ２１の上端面の動圧発生溝４４ａの形成方法について図５を用いて、詳述する。図５（ａ）は、スリーブ２１の上端面にレーザ照射を施している図である。動圧発生溝４４ａを形成するスリーブ２１に、動圧発生溝４４ａに隣接しスラスト動圧軸受部４４を構成する丘部４４ｂとなる部位にレーザ光Ｌを照射する。局部的にレーザ光の照射を受けたスリーブ２１は、照射を受けた部分が溶体化温度以上に加熱され、局部的に溶体化する。その後、局部的に溶体化した部分（丘部４４ｂ）は、レーザ光Ｌによる局部加熱前よりも硬さが上昇、金属組織が変化し、溶融再凝固が起こる。この時、レーザ照射条件により、パワー密度が大きくなると、溶体化した部分の周囲が盛り上がり図５（ｂ）のようになることがある。この状態で、動圧発生溝を形成した場合、丘部４４ｂを平坦に形成することができない。そのため、図５（ｃ）のように、盛り上がり部分（変形部分）を切削等の機械的加工を施すことにより除去し、動圧軸受機構となる面を整える。ここで、レーザ光Ｌにより溶体化した部分は、スリーブ２１の表面（変形部分）だけではなく、表面より深く（約１００μｍ）まで金属組織が変化している。そのため、表面の変形部分を除去しても、溶体化した部分はスリーブ２１に残っている。次に、図５（ｄ）のように、平板上の電極工具を用い、スリーブ２１に電解加工を施すと、金属組織が変化した部分（丘部４４ｂ）は電解加工による溶解がし難く、金属組織が変化していない即ちレーザ光の照射を受けていない部分は電解加工により溶出し、その箇所に動圧発生溝４４ａが深さ約１０μｍで形成される。
【００５０】
従って、第２実施形態によるとレーザ照射することにより、動圧軸受機構となる面に変形が生じても、除去することにより、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５１】
＜第３実施形態＞
第１実施形態及び第２実施形態において、動圧発生溝の形成方法としてレーザ照射した後に、電解加工により形成していたが、これは酸性溶液により動圧発生溝を溶出させる方法でも実現可能である。
【００５２】
すなわち、硝酸、フッ酸、塩酸、硫酸などの酸性溶液に動圧発生溝形成面を浸す、もしくは動圧発生溝形成面に酸性溶液を噴射するとレーザ光を照射したことにより溶体化した部分（丘部４４ｂ）は、金属組織が変化したことにより溶解がし難く、金属組織が変化していない即ちレーザ光の照射を受けていない部分は酸性溶液に反応し易く溶出し、その箇所に動圧発生溝４４ａが形成される。
【００５３】
以上、本発明に従う動圧軸受機構、スピンドルモータ、ディスク駆動装置及び動圧軸受機構の製造方法の一実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能である。
【００５４】
例えば、本実施形態では、動圧軸受機構を流体動圧軸受の流体としてオイルを用いたが、空気を流体とした、いわゆるエア動圧軸受を用いたモータを用いても、本発明と同様の作用、効果を得られる。
【００５５】
また、本実施形態では、動圧発生溝の形成方法として、スラスト動圧軸受部を用いて説明したが、ラジアル動圧軸受部の動圧発生溝も同様にして形成することができる。このとき、電解加工により動圧発生溝を形成する場合、電解加工に用いる電極工具は、ラジアル動圧軸受部に対応した動圧発生溝及び丘部に渡って対抗する面は同一径である円筒形状の電極面を有する円筒状電極を用いることが好ましい。
【００５６】
また、本実施形態では、動圧発生溝をステンレスに形成したが、レーザ光照射により、溶体化が起こる材料であれば、限定されない。
【００５７】
また、本実施形態では、上述のレーザ照射条件にて局部的に溶体化させたが、その条件は限定されず、その材料、流体動圧機構を形成する形状に適した条件を用いることができる。
【００５８】
また、本実施形態では、流体動圧軸受は、２つのラジアル動圧軸受部と１つのスラスト動圧軸受部からなる構造を示したが、流体動圧軸受の構造はこれに限定されず、動圧発生溝の形成位置も限定されるわけではない。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１実施形態のスピンドルモータを示す縦断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態の動圧軸受機構の動圧発生溝を示した図である。
【図３】本発明の記録ディスク駆動装置を示す縦断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態の動圧発生溝の形成方法を示す図である。
【図５】本発明の第２実施形態の動圧発生溝の形成方法を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  ベース
１７  ステータ
２１  スリーブ
３０  ロータ
３１  ハブ
３２  軸部
３４  ロータマグネット
４２，４３  ラジアル動圧軸受部
４４  スラスト動圧軸受部
【図１】
2007046665.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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