【事件の表示】
　平成１０年特許願第　　９９６１号「流体供給装置」拒絶査定に対する審判事件［平成１１年　８月　６日出願公開、特開平１１−２１２６５３］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１０年１月２１日の出願であって、平成１４年１１月２８日付けで拒絶査定がなされ、平成１５年１月９日に拒絶査定に対する審判請求がされるとともに、同年２月７日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１５年２月７日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］　　　　
　平成１５年２月７日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
（１）補正後の本願発明
　平成１５年２月７日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）により、本願の明細書における特許請求の範囲の請求項１は、
「並列状に配列した複数台の流体の流量を制御するプレッシャーフローコントローラ（Ｃ1 ）、（Ｃn ）と、各プレッシャーフローコントローラ（Ｃ1 ）、（Ｃn ）の二次側の流体通路（Ｌ1 ）、（Ｌn ）を開閉する高速作動型流体切換弁（Ｄ1 ）、（Ｄn ）と、前記高速作動型流体切換弁（Ｄ1 ）、（Ｄn ）の出口側を夫々連通して流体使用負荷（Ｅ）へ接続する管路と、前記各プレッシャーフローコントローラ（Ｃ1 ）、（Ｃn ）へ所定の流量設定信号を与えると共に各高速作動型流体切換弁（Ｄ1 ）、（Ｄn ）の作動を制御する流体供給制御装置（Ｂ）とから形成され、且つ前記各プレッシャーフローコントローラ（Ｃ1 ）、（Ｃn ）は、オリフィス（５）と、オリフィス（５）の上流側に設けたコントロール弁（１）と、コントロール弁（１）とオリフィス（５）間に設けた圧力検出器（３）と、圧力検出器（３）の検出圧力Ｐ1 から流量Ｑｃ＝ＫＰ1 （但しＫは定数）として演算した流量信号Ｑｃと流量指令信号Ｑｓとの差を制御信号Ｑｙとして前記コントロール弁（１）の駆動部（２）へ出力する演算制御装置（６）とから形成され、前記各プレッシャーフローコントローラ（Ｃ1 ）、（Ｃn ）の一次側へは異なる種類の流体を供給し、前記コントロール弁（１）の開閉によりオリフィス（５）の上流側圧力Ｐ1 を調整してオリフィス（５）の下流側の流量を設定値に制御しつつ各高速作動型流体切換弁（Ｄ1 ）、（Ｄn ）の開閉を流体制御装置（Ｂ）からの信号により制御して前記管路を通して流体使用負荷（Ｅ）へ一種又は複数の異なる種類のガスを同時に供給すると共に、前記各高速作動型流体切換弁（Ｄ1 ）、（Ｄn ）の開放時の各流体のオーバーシュートを防止する構成としたことを特徴とする流体供給装置。」
と補正された。
　これは、補正前の請求項１に記載した発明を特定する事項である「各高速作動型流体切換弁」を、「開閉を流体制御装置（Ｂ）からの信号により制御して前記管路を通して流体使用負荷（Ｅ）へ一種又は複数の異なる種類のガスを同時に供給する」ものに限定したものであって、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下「本願補正発明」という。）が、特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるかについて以下に検討する。
　
（２）引用文献
　ア．原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である特開平８−３３８５４６号公報（以下「引用文献」という。）には、次の事項が記載されている。
　
　　１）「本発明は気体等の流量制御装置の改良に関するものであり、主として半導体製造設備や化学品製造設備等に於いて利用されるものである。」（段落【０００１】）
　
　　２）「オリフィスの上流側圧力Ｐ1 を下流側圧力Ｐ2 の約２倍以上に保持した状態で流体の流量制御を行なう圧力式流量制御装置に於いて、オリフィス（５）と，オリフィス（５）の上流側に設けたコントロール弁（２）と，コントロール弁（２）とオリフィス（５）間に設けた圧力検出器（３）と，圧力検出器（３）の検出圧力Ｐ1 から流量ＱｃをＱｃ＝ＫＰ1 （但しＫは定数）として演算すると共に、流量指令信号Ｑｓと前記演算した流量信号Ｑｃとの差を制御信号Ｑｙとして前記コントロール弁（２）の駆動部（１４）へ出力する演算制御装置（６）とから構成され、コントロール弁（２）の開閉によりオリフィス上流側圧力Ｐ1 を調整し、オリフィス下流側流量を制御することを特徴とする圧力式流量制御装置。」（「特許請求の範囲」の「請求項１」）
　
　　３）「図１は本発明に係る流量制御装置のブロック構成図であり、当該流量制御装置１はコントロール弁２、圧力検出器３、温度検出器４、オリフィス５、演算制御装置６、増幅器７ａ・７ｂ、Ａ／Ｄ変換８ａ・８ｂ、オリフィス対応弁９、ガス取出し用継手１１等から形成されている。」（段落【００２０】）
　
　イ．ここで、引用文献に記載されたオリフィス対応弁９は、図１、２、３、８、９の記載から、圧力式流量制御装置の二次側の流体通路を開閉する弁であることは明らかであり、また、上記１）のとおり、圧力式流量制御装置は、半導体製造設備や化学品製造設備に利用されるもので、気体等の流量制御を行うものであることから、管路を通じて流体使用負荷に接続されているものである。
　さらに、図１において、流量指令信号Ｑｓは、演算装置６に対して、その外部から入力されていることから、演算装置６とは別の流体制御装置ともいえるものから、出力されている信号であるといえる。
　そして、これらから成る装置は、上記流体使用負荷に対して、流体を供給する流体供給装置である。
　
　ウ．以上から、引用文献には、次のとおりの発明が記載されていると認められる。
「流体の流量を制御する圧力式流量制御装置と、圧力式流量制御装置の二次側の流体通路を開閉するオリフィス対応弁９と、前記オリフィス対応弁９の出口側を流体使用負荷へ接続する管路と、前記圧力式流量制御装置へ所定の流量設定信号を与える流体供給制御装置とから形成され、且つ前記圧力式流量制御装置は、オリフィス５と、オリフィス５の上流側に設けたコントロール弁２と、コントロール弁２とオリフィス５間に設けた圧力検出器３と、圧力検出器３の検出圧力Ｐ1 から流量Ｑｃ＝ＫＰ1 （但しＫは定数）として演算した流量信号Ｑｃと流量指令信号Ｑｓとの差を制御信号Ｑｙとして前記コントロール弁２の駆動部１４へ出力する演算制御装置６とから形成され、前記コントロール弁２の開閉によりオリフィス５の上流側圧力Ｐ1 を調整してオリフィス５の下流側の流量を設定値に制御する構成とした流体供給装置。」
　
（３）対比
　本願補正発明と引用文献に記載の発明を対比すると、後者における「コントロール弁２」、「駆動部１４」は、それぞれ、前者における「コントロール弁（１）」、「駆動部（２）」に相当し、また、後者の「圧力式流量制御装置」のうちでオリフィス対応弁９を除いた部分が、前者の「プレッシャーフローコントローラ」に相当することは、引用文献の図１と本願の図２との対応からも明らかであること、さらに、前者の「高速作動型流体切換弁」も後者の「オリフィス対応弁９」と同じく開閉弁であることから、
両者は、
「流体の流量を制御するプレッシャーフローコントローラと、プレッシャーフローコントローラの二次側の流体通路を開閉する開閉弁と、前記開閉弁の出口側を流体使用負荷へ接続する管路と、前記プレッシャーフローコントローラへ所定の流量設定信号を与える流体供給制御装置とから形成され、且つ前記プレッシャーフローコントローラは、オリフィスと、オリフィスの上流側に設けたコントロール弁と、コントロール弁とオリフィス間に設けた圧力検出器と、圧力検出器の検出圧力Ｐ1 から流量Ｑｃ＝ＫＰ1 （但しＫは定数）として演算した流量信号Ｑｃと流量指令信号Ｑｓとの差を制御信号Ｑｙとして前記コントロール弁の駆動部へ出力する演算制御装置とから形成され、前記コントロール弁の開閉によりオリフィスの上流側圧力Ｐ1 を調整してオリフィスの下流側の流量を設定値に制御する構成とした流体供給装置。」である点で一致し、次の点において相違している。
　
（相違点１）
　本願補正発明においては、プレッシャーフローコントローラは、並列状に配列した複数台から構成され、各開閉弁の出口が、流体使用負荷に接続する管路によって連通され、各プレッシャーフローコントローラの一次側へは異なる種類の流体を供給し、前記管路を通して流体使用負荷へ一種又は複数の異なる種類のガスを同時に供給する構成であるのに対し、引用文献に記載の発明においては、プレッシャーフローコントローラは単数であって、本願補正発明のような構成を備えない点
　
（相違点２）
　本願補正発明においては、開閉弁は、高速作動型流体切替弁であって、流体制御装置からの信号により開閉を制御されるものであるのに対し、引用文献に記載の発明においては、オリフィス対応弁である点
　
（相違点３）
　本願補正発明においては、高速作動型流体切換弁の解放時の各流体のオーバーシュートを防止するものであるのに対し、引用文献にはそのような記載がない点
　
（４）判断
　ア．相違点１について
　半導体製造装置等においては、流量制御装置を並列状に配列した複数台から構成し、その二次側の各開閉弁の出口を連通して、各流量制御装置の一次側へは異なる種類の流体を供給し、管路を通して流体使用負荷へ一種又は複数の異なる種類のガスを同時に供給することは周知の技術であり（一例として、要すれば、特開平８−４５８５６号公報参照）、引用文献に記載の発明も半導体等の製造装置に関するものであって、かつ、引用文献に記載の圧力式流量制御装置を複数並列に配置することを妨げる理由もないことから、引用文献に記載の発明において、本願補正発明の構成とすることに何らの困難性も認めることはできない。
　
　イ．相違点２について
　引用文献に記載のオリフィス対応弁と本願補正発明の高速作動型流体切替弁とは、ともに開閉作動をすることを目的の機能とする点で共通の弁であるところ、指令信号によって高速の開閉を行い得る電磁弁等は、例を挙げるまでもなく、極めて通常に使用されるものであり、相違点２に係る本願補正発明の構成とすることは、引用文献に記載の技術に単に周知の技術を適用したに過ぎないと認められる。
　
　ウ．相違点３について
　本願補正発明において、オーバーシュートを防止することができる技術的な理由は、本願明細書に、
「本発明に係るプレッシャーフローコントローラＣの場合、図２に示す如く、流体切換弁Ｄが閉鎖方向に作動されると、オリフィス５の一次側の流体圧力Ｐ1 が上昇し、流体流量Ｑ′＝ＫＰ1 が増加する。そうすると、設定流量Ｑｓ（Ｑｓ＝Ｏ）との差Ｑｙが大きくなり、これを小さくするため（即ち、二次側流体圧力Ｐ2 を減少させるため）にコントロール弁１は閉鎖されることになる。
　即ち、本発明に係るプレッシャーフローコントローラＣと、従前のマスフローコントローラの作動機構を対比すると下表のようになり、本発明に係るプレッシャーフローコントローラＣの場合には、その機構上コントローラＣの二次側Ｌに流体が溜るのが防止されることになる。」（段落【００３４】【００３５】）と記載され、さらに表において、プレッシャーフローコントローラの場合、高速切換弁の閉鎖において、制御弁が閉となり、２次側圧力が減少し、流体溜り無しと表示されているとおりである。
　すなわち、ここに記載された作動によって、高速切替弁の閉鎖時に流体溜りが発生することを防止することができ、そのため、高速切替弁を解放した際のオーバーシュートを防止できるものである。
　そして、このような作用は、高速切替弁が単なる開閉弁であってもその閉鎖時及び解放時に、同様に生じることは明らかであることから、開閉弁が高速切換弁であるかオリフィス対応弁であるかの相違しかない引用文献に記載された圧力式流量制御装置においても、当然に生じているものである。
　そして、流体制御においては、オーバーシュートを防止することは周知の技術的課題に過ぎないところ、本願補正発明におけるオーバーシュートを防止する点については、引用文献に記載の発明もその構成からして、当然に備えているもので、この点に格別の相違を認めることはできない。
　
　エ．そして、本願補正発明の全体の作用効果としても、引用文献１に記載の発明及び周知技術から、当業者が予測できる範囲のものである。
　したがって、本願補正発明は、これらに基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際に独立して特許を受けることができないものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項で準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
（１）以上のとおり、平成１５年２月７日付けの手続補正は却下されたため、本願の請求項１ないし４に係る発明は、平成１４年１１月５日付けの手続補正書により補正された明細書及び出願当初の図面の記載からみて、その明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載されたとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という）は、次のとおりである。
「　並列状に配列した複数台の流体の流量を制御するプレッシャーフローコントローラ（Ｃ1 ）、（Ｃn ）と、各プレッシャーフローコントローラ（Ｃ1 ）、（Ｃn ）の二次側の流体通路（Ｌ1 ）、（Ｌn ）を開閉する高速作動型流体切換弁（Ｄ1 ）、（Ｄn ）と、前記高速作動型流体切換弁（Ｄ1 ）、（Ｄn ）の出口側を夫々連通して流体使用負荷（Ｅ）へ接続する管路と、前記各プレッシャーフローコントローラ（Ｃ1 ）、（Ｃn ）へ所定の流量設定信号を与えると共に各高速作動型流体切換弁（Ｄ1 ）、（Ｄn ）の作動を制御する流体供給制御装置（Ｂ）とから形成され、且つ前記各プレッシャーフローコントローラ（Ｃ1 ）、（Ｃn ）は、オリフィス（５）と、オリフィス（５）の上流側に設けたコントロール弁（１）と、コントロール弁（１）とオリフィス（５）間に設けた圧力検出器（３）と、圧力検出器（３）の検出圧力Ｐ1 から流量Ｑｃ＝ＫＰ1 （但しＫは定数）として演算した流量信号Ｑｃと流量指令信号Ｑｓとの差を制御信号Ｑｙとして前記コントロール弁（１）の駆動部（２）へ出力する演算制御装置（６）とから形成され、前記各プレッシャーフローコントローラ（Ｃ1 ）、（Ｃn ）の一次側へは異なる種類の流体を供給すると共に、コントロール弁（１）の開閉によりオリフィス（５）の上流側圧力Ｐ1 を調整してオリフィス（５）の下流側の流量を設定値に制御することにより、各高速作動型流体切換弁（Ｄ1 ）、（Ｄn ）の開放時の各流体のオーバーシュートを防止する構成としたことを特徴とする流体供給装置。」
　
（２）引用文献
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献には、上記２（２）のとおりのものが記載されている。
　
（３）対比、判断
　本願発明の構成要件は、上記２で検討した本願補正発明に全て含まれているものである。
　したがって、本願補正発明が、上記のとおり、引用文献に記載の発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。