(57)【要約】【課題】安定したシート送りを実現することができ、また、シート交換の手間を簡素化することができる電子部品実装装置を提供する。【解決手段】パネルを載置するパネル載置台８と、前記パネルを下方から支持するバックアップ部６と、前記電子部品をパネルに熱圧着する熱圧着ツール４と、前記複数のシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃが積層した状態で前記電子部品と熱圧着ツール４の間に介装されるように前記シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃをそれぞれ保持するシートユニット７を有し、少なくとも前記バックアップ部６に各シート１００ａ、１００ｂ、１００ｃの弛みと張り量を調整するシート送り調整機構３７と、当該シートが前記熱圧着時には弛緩する一方シート送り時は緊張するように、前記シート送り調整機構を駆動させる制御装置１５０とを備える。【選択図】図７Ａ
2007165571.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品をパネルに熱圧着する電子部品実装装置において、
パネルを載置するパネル載置台と、
前記電子部品との熱圧着面の領域に相当する前記パネルの裏面を支持するバックアップ部と、
前記電子部品をパネルに熱圧着する熱圧着ツールと、
複数の汚れ防止シートを前記電子部品と前記熱圧着ツールとの間に重複して介装されるように保持し、それぞれ独立して送り出し可能に構成されたシート送りユニットを備えることを特徴とする、電子部品実装装置。
【請求項２】
前記シート送りユニットは、それぞれの前記汚れ防止シートに対応して、前記汚れ防止シートを巻き取った状態で保持するとともに前記電子部品と前記熱圧着ツールとの間に供給可能な供給リールと、熱圧着後の汚れ防止シートを巻き取り可能な巻取リールとを備えることを特徴とする、請求項１に記載の電子部品実装装置。
【請求項３】
シート送りユニットにて供給された前記汚れ防止シートの弛みと張りをそれぞれ調整するシート送り調整機構と、
熱圧着時には前記汚れ防止シートを弛むように前記シート送り調整機構を制御する一方、シート送り時には前記シートが張るように前記シート送り調整機構を制御する制御装置をさらに備えることを特徴とする、請求項１又は２に記載の電子部品実装装置。
【請求項４】
前記シート送りユニットは、それぞれの前記シートが張った状態で互いに隙間が生じるように前記それぞれのシートを保持することを特徴とする、請求項１から３のいずれか１つに記載の電子部品実装装置。
【請求項５】
前記シート送り調整機構は、前記シート送り時には、前記電子部品と前記熱圧着ツールとの間に存在する当該シートの弛みをなくすように調整することを特徴とする、請求項１又は２に記載の電子部品実装装置。
【請求項６】
前記シート送り調整機構は、前記供給リールと巻取リールの間に設けられていることを特徴とする、請求項５に記載の電子部品実装装置。
【請求項７】
前記シート送り調整機構は、ローラユニットで構成されていることを特徴とする請求項２から６のいずれか１つに記載の電子部品実装装置。
【請求項８】
前記ローラユニットは、前記バックアップ部と前記巻取リールの間に設けられていることを特徴とする請求項７に記載の電子部品実装装置。
【請求項９】
前記ローラユニットは、その回転数を検知する回転数検知装置を備えることを特徴とする請求項７又は８に記載の電子部品実装装置。
【請求項１０】
前記シート送りユニットは、前記バックアップ部近傍位置の前記シートの上方に、上下移動可能に配置されて前記圧着時には下降して前記シートを押し下げることによって弛ませると共に前記シート送り時には上方に退避するシート押さえ部材を備えることを特徴とする請求項１から９のいずれか１つに記載の電子部品実装装置。
【請求項１１】
前記シート送りユニットは、それぞれのシートごとに、前記バックアップ部に近位のシートに対応するものほど前記供給リールと前記巻取リールの間隔が長くなるように前記供給リールと前記巻取リールを保持するフレームを備え、
前記複数のフレームは、前記バックアップ部に遠い側のシートに対応するものが順次内側になるように前記供給リールと前記巻取リールの回転軸方向にスライド可能に挿入される入れ子式に配置されると共に、前記複数のフレームを前記供給リールと前記巻取リールの回転軸方向に独立してスライドさせることによって前記シートを前記供給リールと巻取リールから脱着可能に構成されていることを特徴とする、請求項２から１０のいずれか１つに記載の電子部品実装装置。
【請求項１２】
前記熱圧着ツールは前記シートの幅方向に沿って配列して設けられた複数の圧着ヘッドユニットを備え、
前記パネル載置台及び前記シート送りユニットの少なくとも一方は、前記パネル載置台上の前記パネルと前記シートのシート幅方向位置を相対的に変更可能に構成されていることを特徴とする、請求項１から１１のいずれか１つに記載の電子部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、プラズマディスプレイパネルや液晶パネルなどのフラットディスプレイの製造に用いられ、パネルに電子部品を熱圧着により実装する場合に用いられる電子部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の実装方法として、プラズマディスプレイパネルや液晶パネルなどのパネルの電極上に、異方性導電シート（以下、「ＡＣＦ」という）を貼着し、このＡＣＦ上に電子部品を熱圧着ツール（以下、単に「ツール」という。）を押し付けて熱圧着することが知られている。このような電子部品としては、テープキャリアパッケージ等のフレキシブルパネルにリード（端子）が形成されたものや、バンプ（端子）を有するフリップチップなどがある。
【０００３】
このような電子部品の熱圧着装置においては、ツールを下降させて電子部品の端子をＡＣＦ上に押し付けた状態で加熱し熱圧着する際に、やわらかい樹脂などから成るＡＣＦの一部がツールの下面に付着しやすい。このツールの下面に付着したＡＣＦは熱圧着作業の障害となるという問題がある。
【０００４】
そこで、特許文献１に開示されているように、ツールの下面にＡＣＦが付着しないように、ツールの下方に汚れ防止用シートを介装し、このシートを介してツールを電子部品に押しつけて熱圧着を行う手段が取られている。かかるシートは、ＡＣＦが付着して汚れやすいので、供給リールから巻取リールへ適宜送ることにより、汚れのない新たなシートをツールの下方に繰り出すようになっている。
【０００５】
ところで、最近では、当該シートとして、複数種類の異なるシートで構成し、それぞれのシートを積層させてツールの下方に配置させることが提案されている。具体的には、複数のシートを互いに重なるようにツールの下方に配置し、熱圧着時に積層されたシートの上からツールを下降させてパネルに押圧させて熱圧着作業を行うようにすればよい。
【特許文献１】特開２００３−２０９１４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、シートを用いる電子部品実装装置においては、一般的に、熱圧着のためにツールが下降してシートをパネルに押圧する際、シートに余分なテンションがかかることによってシートがしわにならないように、シートに十分な弛みを持たせることができるように設けられている。したがって、複数のシートを用いる場合において、しわ防止のために各シートに十分な弛みを持たせた場合、各シート同士の表面が接触する場合もあり、この場合シート間の摩擦抵抗によって、例えば、他のシートを送り出すことなく特定のシートのみを所定の送り量だけ繰り出すような動作を行うことは困難である。また、シートは熱圧着に対する耐性などの違いから、その種類に応じて１箇所あたりの使用圧着回数やシートの送り量などが異なる。よって、特に複数のシートを用いる装置においては、シートごとに送り出しができるように構成されていることが好ましい。
【０００７】
また、各シートは、重ね合わせた状態で実装装置に搭載されることとなるため、例えば、下方に位置するシートのロールを、新たなロールに交換する場合、交換するシートより上側に配置されているシートを全て取り除いてからロールを取り外す必要がある。
【０００８】
さらに、パネルの一辺に圧着される部品ごとに細分化された個別の熱圧着ヘッドを有するツールが設けられた実装装置においては、シートの幅方向に熱圧着時にツールによって挟まれない未使用部分が生じる。特に、大型の表示パネルの製造においては、表示パネルの一辺に対して圧着される部分の割合が小さくなりつつあるため、個別の熱圧着ヘッドを有する実装装置が用いられることが多い。よって、この場合、各シートの幅方向に生じるシート未使用部分が多くなり、シートの無駄が大きい。
【０００９】
したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、上記各問題を解消するものであり、安定したシート送りを実現することができ、また、シート交換の手間を簡素化することができる電子部品実装装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成の電子部品実装装置を提供する。
【００１１】
本発明の第１態様によれば、電子部品をパネルに熱圧着する電子部品実装装置において、
パネルを載置するパネル載置台と、
前記電子部品との熱圧着面の領域に相当する前記パネルの裏面を支持するバックアップ部と、
前記電子部品をパネルに熱圧着する熱圧着ツールと、
複数の汚れ防止シートを前記電子部品と前記熱圧着ツールとの間に重複して介装されるように保持し、それぞれ独立して送り出し可能に構成されたシート送りユニットを備えることを特徴とする、電子部品実装装置を提供する。
【００１２】
本発明の第２態様によれば、前記シート送りユニットは、それぞれの前記汚れ防止シートに対応して、前記汚れ防止シートを巻き取った状態で保持するとともに前記電子部品と前記熱圧着ツールとの間に供給可能な供給リールと、熱圧着後の汚れ防止シートを巻き取り可能な巻取リールとを備えることを特徴とする、第１態様の電子部品実装装置を提供する。
【００１３】
本発明の第３態様によれば、シート送りユニットにて供給された前記汚れ防止シートの弛みと張りをそれぞれ調整するシート送り調整機構と、
熱圧着時には前記汚れ防止シートを弛むように前記シート送り調整機構を制御する一方、シート送り時には前記シートが張るように前記シート送り調整機構を制御する制御装置をさらに備えることを特徴とする、第１又は第２態様の電子部品実装装置を提供する。
【００１４】
本発明の第４態様によれば、前記シート送りユニットは、それぞれの前記シートが張った状態で互いに隙間が生じるように前記それぞれのシートを保持することを特徴とする第１から第３態様のいずれかの電子部品実装装置を提供する。上記構成において、互いに隙間が生じる隙間とは、シート送り時にシート送り不良が生じない程度の隙間を含み、シート送り時にシート送り不良が生じなければシート同士が多少触れる程度の場合も含む。
【００１５】
本発明の第５態様によれば、前記シート送り調整機構は、前記シート送り時には、前記電子部品と前記熱圧着ツールとの間に存在する当該シートの弛みをなくすように調整することを特徴とする、第１又は第２態様の電子部品実装装置を提供する。上記構成において、弛みをなくすとは、シート送り時に弛みによってシート送り時にシート送り不良が生じない程度に弛みを無くすことをいい、さらに、シート送り時にシート送り不良が生じなければシート同士が多少触れる程度に弛んでいても良い。
【００１６】
本発明の第６態様によれば、前記シート送り調整機構は、前記供給リールと巻取リールの間に設けられていることを特徴とする、特徴とする第５態様の電子部品実装装置を提供する。
【００１７】
本発明の第７態様によれば、前記シート送り調整機構は、ローラユニットで構成されていることを特徴とする第２から第６態様のいずれか１つの電子部品実装装置を提供する。
【００１８】
本発明の第８態様によれば、前記ローラユニットは、前記バックアップ部と前記巻取リールの間に設けられていることを特徴とする第７態様の電子部品実装装置を提供する。
【００１９】
本発明の第９態様によれば、前記ローラユニットは、その回転数を検知する回転数検知装置を備えることを特徴とする、第７又は第８態様の電子部品実装装置を提供する。
【００２０】
本発明の第１０態様によれば、前記シート送りユニットは、前記バックアップ部近傍位置の前記シートの上方に、上下移動可能に配置されて前記圧着時には下降して前記シートを押し下げることによって弛ませると共に前記シート送り時には上方に退避するシート押さえ部材を備えることを特徴とすることを特徴とする、第１から第９態様のいずれか１つの電子部品実装装置を提供する。
【００２１】
本発明の第１１態様によれば、前記シート送りユニットは、それぞれのシートごとに、前記バックアップ部に近位のシートに対応するものほど前記供給リールと前記巻取リールの間隔が長くなるように前記供給リールと前記巻取リールを保持するフレームを備え、
前記複数のフレームは、前記バックアップ部に遠い側のシートに対応するものが順次内側になるように前記供給リールと前記巻取リールの回転軸方向にスライド可能に挿入される入れ子式に配置されると共に、前記複数のフレームを前記供給リールと前記巻取リールの回転軸方向に独立してスライドさせることによって前記シートを前記供給リールと巻取リールから脱着可能に構成されていることを特徴とする、第２から第１０態様のいずれか１つの電子部品実装装置を提供する。
【００２２】
本発明の第１２態様によれば、前記熱圧着ツールは前記シートの幅方向に沿って配列して設けられた複数の圧着ヘッドユニットを備え、
前記パネル載置台及び前記シート送りユニットの少なくとも一方は、前記パネル載置台上の前記パネルと前記シートのシート幅方向位置を相対的に変更可能に構成されていることを特徴とする、第１から第１１態様のいずれか１つの電子部品実装装置を提供する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、複数枚の汚れ防止シートをそれぞれ独立して送り出し可能に構成されることによって、シートの種類によらず、各シート単位でシート送りを行うことができる。したがって、汚れ防止シートの無駄をなくすことができる。また、それぞれのシートに対応して設けられた供給リールと巻取リールを設けることにより、連続したシートの供給を行うことができる。
【００２４】
本発明の第３態様によれば、シート送り調整機構により積層した状態に搭載される複数のシートを弛み状態と張り状態とを切換可能であるため、圧着時には弛んでいるそれぞれのシートを、シート送り時は張り状態とさせてシート送りを容易にすることができる。ここで、弛み状態では、たるんだシートは下側に垂れ下がるようになっていることから、張り状態へ移行するシートは、最も下に位置するシート以外のシートのみでよく、シート送り調整機構によりを最も下に位置するシート以外のシートに対応して設ければよい。
【００２５】
本発明の第４態様によれば、シートが張った状態で互いに隙間が生じるように分離しているため、シート間に摩擦力が働くことがなく、シート送りを容易にすることができる。
【００２６】
本発明の第６態様によれば、供給リールと巻取リールの動作によらずに張りと弛みを調整するための機構を別に備えることにより、容易にシートの張り及び弛みの調整を行うことができる。また、シート送り調整機構をローラユニットで構成して巻取リール側に設けることにより、熱圧着時にツールで押さえつけられたシートの使用部分が、巻取リール側に送られることにより、使用済みの部分が再利用されることがない。
【００２７】
本発明の第９態様によれば、回転量検知装置をシート送り調整機構に設けることにより、シートの巻取径に関係なく、常に一定のシート送り量を検知することができる。
【００２８】
本発明の第１０態様によれば、圧着時において、シート押さえ部材を下降させることにより、弛んだ状態のシートの弛み部分をパネルに近づくようにすることができ、熱圧着動作をスムーズに行うことができる。
【００２９】
本発明の第１１態様によれば、それぞれのシートを保持するシート送りユニットが、供給リールと巻取リールの回転軸方向にスライド可能に入れ子式に挿入可能なフレームを有しているため、シート交換の対象となるシートを保持するフレームのみを引き出すことによって、それよりも上側に位置するシートを取り外すことなくシート交換をすることができる。したがって、シート交換を容易にすることができる。
【００３０】
本発明の第１２態様によれば、シートとパネルとの幅方向位置を相対的に変化させることができるようにすることによって、シート送りを必要とすることなく、シートの長さ方向の同一箇所を複数回の圧着に用いることができる。したがって、シートの未使用部分を少なくすることができ、シートの無駄を少なくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の一実施形態に係る電子部品実装装置について、図面を参照しながら説明する。
【００３２】
図１Ａは、本発明の一実施形態にかかる電子部品実装装置の外観構成を示す斜視図である。図１Ｂは、本発明の他の実施形態にかかる電子部品実装装置の外観構成を示す斜視図である。本実施形態にかかる電子部品実装装置１，１ａは、図２に示すディスプレイ２００を組み立てるものであり、具体的には、矩形形状の液晶表示パネル２０１の複数（図２においては３つ）の周縁にそれぞれサブパネル２０３を取り付けるためのＴＣＰ２０２を本圧着するため装置である。ＴＣＰ２０２は、本電子部品実装装置において用いられるときには、表示パネル２０１の外縁よりも張り出した状態で仮圧着されており、この状態で、本電子部品実装装置に供給される。液晶表示パネル２０１は予め定められた位置においてＴＣＰ２０２と接着するためのＡＣＦが貼り付けられており、当該ＡＣＦとＴＣＰ２０２とが、本実施形態にかかる電子部品実装装置により本圧着されて、液晶表示パネル２０１のリード線とＴＣＰ２０２が電気的に接合する。
【００３３】
まず、図１Ａを参照して本実施形態にかかる電子部品実装装置の全体構成を説明する。電子部品実装装置１は、基台２の上面に表示パネルを載置する載置テーブル８を備える表示パネル載置装置３、熱圧着ツール４及び熱圧着ツールと協働して表示パネル２０１の本圧着を行う場合に表示パネルを載置するバックアップ部６が配置されている。また、表示パネル載置装置３のＸ軸方向両側方には、表示パネル２０１を表示パネル載置装置３に供給するためのローダ５及び熱圧着ツール４により表示パネル２０１の周縁にＴＣＰ２０２が本圧着された後、組み上げられたディスプレイ２００を取り出すためのアンローダ（図示なし）がそれぞれ設けられている。なお、本実施形態にかかる電子部品実装装置には、後述する動作を行うために、駆動する各部の駆動タイミング、駆動量などの動作を制御するための制御部１５０が設けられている。
【００３４】
また、本圧着動作を行う際に熱圧着ツールとバックアップ部の間に位置し、両者の間に汚れ防止シートが介装されるように汚れ防止シートを保持するシート送りユニット７が設けられている。
【００３５】
なお、図１Ｂに示す他の実施形態にかかる部品実装装置は、上記のローダとアンローダが設けられておらず、装置作動時に装置使用者が手動で表示パネルを位置あわせしながら載置テーブル８上に載置して、本圧着動作を行うための装置であり、他の構成については、図１Ａに示す装置と大部分を共通にする。
【００３６】
ローダ５は、Ｘ軸方向に延在する一対のガイドレール９と、当該ガイドレール９にそれぞれ設けられ、図示しないアーム駆動装置によりガイドレール９に沿って駆動可能なＸ軸方向に移動可能なアーム１０を備える。ガイドレール９は、組み立て処理が行われる表示パネル２０１のサイズに応じてその間隔を変更可能であり、また、表示パネル載置３のパネル載置テーブル８に干渉しないようにその終端が、表示パネル載置装置３に到達しないようになっている。アーム１０は、表示パネル２０１のＹ軸方向両端を載置し、表示パネル２０１を下方から支持する。
【００３７】
アンローダは、ローダと同様に、Ｘ軸方向に延在する一対のガイドレールと、当該ガイドレールにそれぞれ設けられ、Ｘ軸方向に移動可能なアームを備える。アームは、表示パネル２０１のＹ軸方向両端を載置し、表示パネル２０１を下方から支持する。
【００３８】
次に表示パネル載置装置３について説明する。表示パネル載置装置３は、ベース２の上面にＹ軸方向に延在するガイドレール１１を備え、当該ガイドレール１１に沿ってＹテーブルが移動となっている。また、Ｙテーブル上には、ＸテーブルがＸ軸方向に移動することができるように構成されている。Ｘテーブルには、回転テーブルである載置テーブル８が設けられている。載置テーブル８は、図示しないθ回転モータにより９０°ずつ水平回転可能に構成されており、載置テーブル８が作動することにより、載置されている表示パネル２０１はその向きを変えることができる。載置テーブル８は、Ｚ軸方向に移動可能に構成されている。
【００３９】
熱圧着ツール４は、図３に示すように、基台２上面の表示パネル載置装置３に対してＹ軸方向側に設けられ、水平部１２ａ及び脚部１２ｂを備える略コの字形のフレーム１２と、当該フレーム１２の水平部１２ａの下方に設けられ、３つの圧着ヘッドユニット１３ａ、１３ｂ、１３ｃを有しＺ軸方向に移動可能に構成されたヘッドユニットベース１３と、圧着ヘッドのすぐ下方に位置し、圧着ヘッドユニットをヘッドユニットベース１３ごとＺ軸方向に移動させるヘッド駆動部１２とを備えている。なお、図１Ａにおいては、フレーム１０の一部を破断した状態で図示している。
【００４０】
ヘッドユニットベース１３は、図３に示すように、フレーム１２の水平部１２ａからＺ軸方向に伸びる２本のガイドに沿ってＺ軸方向に移動可能に構成されたベース本体１７を備えており、ヘッド駆動モータ１４に接続されて駆動するボールネジ１６によって駆動されてＺ軸方向に上下移動する。ベース本体１７の一方の面には、３つの圧着ヘッドユニット１３ａ，１３ｂ，１３ｃが設けられており、それぞれは、ベース本体１７に対してＸ軸方向の位置を変更することができるように構成されている。圧着ヘッドユニット１３ａ，１３ｂ，１３ｃは、圧着動作時に熱圧着するための圧着子１８ａ，１８ｂ，１８ｃと、圧着子１８ａ，１８ｂ，１８ｃを加熱するヒータ１９を備えている。圧着子１８ａ，１８ｂ，１８ｃは、バックアップ部６上方に位置し、ヘッドユニットベース１３の下降に伴って、バックアップ部と協働してパネルの本圧着を行う。
【００４１】
バックアップ部６は、その上端がステージ面２１として機能するＸ軸方向に延在するバックアップステージ２０を備える。ステージ面２１は、圧着工程において、表示パネル２０１が載置され、圧着動作時に圧着ヘッド１１の圧着子１８ａ，１８ｂ，１８ｃとで、これを挟んで圧着するものである。またバックアップ部６に載置されたパネル（表示パネル２０１）が配置される側のバックアップステージ２０のＸ軸方向両端部にはカメラ２２が設けられている。表示パネル載置装置３のＸテーブルとＹテーブルが作動してパネル２０１がカメラ２２の上方へ移動すると、カメラ２２は表示パネル２０１に設けられた認識マークの撮影を行い、制御部１５０が当該マークを基準として位置認識を行い、圧着位置の位置合わせを行う。
【００４２】
シート送りユニット７は、図４に示すように、３枚のシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃのシートロール１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃを搭載可能であり、これらのシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃをバックアップ部６のステージ面２１の上方で互いに積層するようにそれぞれ独立して送り出すと共に（図５参照）、バックアップ部６を挟んでロール１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃの搭載位置の反対側に巻き取るように構成されている。
【００４３】
シート送りユニット７は、ベースフレーム３０に３つの供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃと巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃとを圧着子１８ａ，１８ｂ，１８ｃ（以下、圧着子１８ａを例にとって説明する。）を挟んで両側に位置するように備える。供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃは、ロール１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃをそれぞれ保持するとともに送り出す。巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃは、供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃからそれぞれ送り出されたシートを巻き取り、モータ３３ａ，３３ｂ，３３ｃにより独立して駆動可能に構成されている。また、個々の供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃ及び個々の巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃは、それぞれ独立してブレーキ（図示なし）が設けられており、ブレーキがオンしている状態では、回転が制止される。
【００４４】
シート送りユニット７のベースフレーム３０は、左右一対の平行な面を備える矩形形状のものである。ベースフレーム３０は、基台２に設けられた保持部３４に保持されており、保持部３４に設けられたガイドレール３５にベースフレーム３０のＸ軸方向両側面に設けられたスライダ（図示なし）が係合することによりＹ軸方向にスライド可能に保持されている。また、ベースフレーム３０のＹ軸方向へのスライドに伴って、モータ３３ａ，３３ｂ，３３ｃもスライドできるようにモータ３３ａ，３３ｂ，３３ｃにもガイドレール３５ａが設けられている。また、保持部３４は、ベースフレーム３０を上下移動可能に保持するために、上下移動機構３６を備えており、上述の制御部１５０により駆動される。
【００４５】
図５は、シート送りユニット７によって保持されるシートの配置を示す部分拡大図である。上述のようにシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃは、バックアップ部６のステージ面２１の上方で互いに積層するように配置され、圧着時においては、パネル２０１と圧着子１８ａ，１８ｂ，１８ｃとの間に介在する。本実施形態においては、３枚のシートが設けられており、バックアップ部６に近い順から、それぞれテフロン（登録商標）シート１００ａ、シリコンゴムシート１００ｂ、ポリイミドシート１００ｃとなっている。テフロン（登録商標）シート１００ａは、ガラスクロス入りの厚み０．０８ｍｍのテフロン（登録商標）のシートであり、圧着時にＡＣＦ２０２が付着することを防止する。シリコンゴムシート１００ｂは、厚み０．１〜０．３ｍｍ程度のゴムシートであり、圧着時の押しつけ圧を緩衝する。ポリイミドシート１００ｃは、１２．５〜３５μｍ程度のシートであり、熱圧着の時に加熱される圧着子１８ａ，１８ｂ，１８ｃの熱から他のシートを保護するためのものである。なお、テフロン（登録商標）シート１００ａ及びシリコンゴムシート１００ｂは、テープの内部にアルミナ粒子を混入したものを用いることもできる。
【００４６】
それぞれのシートは、上記のように、それぞれ役割が異なるため、耐圧着回数が異なる。よって、シート送りユニット７は、それぞれのシートを独立して送り出しできるように個々の供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃ及び巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃを駆動可能に構成され、隣り合うシートを停止させたまま、１つの任意のシートのみを送り出すことができる。
【００４７】
図６は、シート送りユニットに保持されるシートの配置構成を示す側面図である。シート送りユニットは、上述のように供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃと巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃとで、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃを保持する。供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃには、その回転数を検知するためのマーク３１Ｍが付されており、フォトインタラプタから構成されるセンサ４４ａ，４４ｂ，４４ｃによって、回転量がカウントされる。これにより、例えば、巻取リールが駆動しているにもかかわらず、供給リールが回転していないような場合は、シート切れと判断できその検知を行うことができる。
【００４８】
供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃ側には、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃを巻き掛ける繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃが設けられている。この繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃは、圧着子１８ａに近く配置されるシートほど上側に配置されるように、内側のローラがわずかに上位となるよう配置されている。このように繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃを配置することにより、各シートが張った状態において、各シートの間に隙間が形成され、独立したシート送りをスムーズにすることができる。
【００４９】
また、シート送りユニットは、そのそれぞれのシートについて、巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃの近傍に余長ローラユニット３７を備える。余長ローラユニット３７は、供給リールと巻取リールの間に存在するシートの弛み量を調整するシート送り調整機構として機能するものであり、第１ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃ、第２ローラ３９ａ，３９ｂ，３９ｃ、第３ローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃから構成される。巻取リール側に余長ローラユニット３７が設けられていることにより、シートの弛緩、緊張切換時に圧着に用いられた弛み分のシートは、全て巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃ側に引っ張られて移動することになり、シートの圧着に用いられた使用部分が供給リール側に戻ることがない。したがって、使用済みの部分のシートが圧着に用いられることがなく、圧着時にしわなどの発生を防止することができる。
【００５０】
第１ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃと第３ローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃは、供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃから送り出されたシートを巻き掛けて巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃに送るものであり、自由回転可能に構成されている。第３ローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃは、対応する供給リール側に設けられている繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃとＺ軸方向に略等しい位置に設けられており、繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃと第３のローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃとの間に位置するそれぞれのシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃがバックアップ部６のステージ面２１の上方で互いに積層するように配置されることとなる。
【００５１】
第１ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃには、回転数検知装置として、その回転数を検知するためのマーク３８Ｍが付されており、フォトインタラプタから構成されるセンサ４２ａ，４２ｂ，４２ｃによって、回転量がカウントされる。すなわち、第１ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃの回転に応じて当該マークがフォトインタラプタから構成されるセンサ４２ａ，４２ｂ，４２ｃを遮断した回数をカウントすることにより第１ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃの回転数を検知し、シートの送り量を検知することができる。このように、マーク３８Ｍ及びセンサ４２ａ，４２ｂ，４２ｃが第１ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃに設けられていることにより、シートの巻き取りによる巻き取りロール径の影響を受けることなく、常に一定のシート送り量を検知することができる。
【００５２】
第２ローラ３９ａ，３９ｂ，３９ｃはシートの弛みと緊張を切り替えるための移動ローラであり、供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃ及び巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃの間に設けられている。第２ローラは、後述するように軸がＹ軸方向へ移動可能に構成され、当該ローラ軸の移動に伴い、第１ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃと第３ローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃの間に存在するシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃの巻回し量を変更可能である。これにより、供給リールと巻取リールの間に存在するシートの弛み量が調整されるようになっている。この動作についての詳細な説明は後述する。
【００５３】
また、シート送りユニットは、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃの繰り出し量を調整するための上下移動可能なシート押さえ部材４３を備えており、繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃと第３のローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃとの間に位置するそれぞれのシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃを下向きに押すことにより、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃをたるませる動作を行う。
【００５４】
また、シート送りユニットには、ブロー(イオンブロー）を行い、パネル２０１を冷却するためのブロア装置４５が設けられている。ブロア装置４５から吹き出されたイオンブローにより、シート及びパネル２０１が除電され、ホコリなどの異物が除去されると共に、圧着後は、圧着子１８ａにより加熱されたパネル２０１を冷却することができる。
【００５５】
次に、シート送りユニットの動作について図７Ａ〜図７Ｃを用いて説明する。図７Ａは、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃを送り出す状態にあるシート送りユニットの状態を示す模式図である。この状態は、熱圧着の開始前、すなわち、圧着子１８ａが上方へ退避し、パネル２０１のステージ面２１への載置がなされる状態である。この状態においては、シート押さえ部材４３が上方へ退避し、余長ローラユニット３７の第２ローラ３９ａ，３９ｂ，３９ｃが圧着子１８ａ側である張り位置に移動している状態である。第２ローラ３９ａ，３９ｂ，３９ｃが圧着子１８ａ側へ移動することにより、余長ローラユニット３７に巻き掛けられるシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃが長くなり、繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃと第３のローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃとの間に位置するそれぞれのシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃが張り状態となる。このとき、シート押さえ部材４３が上方へ退避することによって張り状態にあるシートとの接触を防止することができる。
【００５６】
上述したように、繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃと第３のローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃは、内側に位置するものほど上位配置されているため、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃが緊張することによって、それぞれのシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃ間に隙間が形成され、１つのシートの送り出しを容易にすることができる。なお、シートの送り出しは、供給リール及び巻取リールが共に回転駆動することにより行われ、そのシートの送り出し量は、センサ４２ａ，４２ｂ，４２ｃ、及びセンサ４４ａ，４４ｂ，４４ｃによって検知されるようになっている。
【００５７】
なお、図７Ａにおいては、３つの第２ローラをいずれも移動させて全てのシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃを緊張させるようにしているが、例えば、一番下側に位置するシート１００ａを送り出すような場合は、その上側のシート１００ｂ，１００ｃのみを緊張させ、１００ａを弛緩させた状態で送り出すようにしてもよい。すなわち、送り出しされるシートが、隣り合う他のシートと接触しないように緊張させればシート送りを容易にすることができる。したがって、余長ローラユニット３７は、全てのシートに対応するように設けられている必要は必ずしもなく、最もバックアップステージ２０に近い位置のシート１００ａ以外のシート１００ｂ，１００ｃに対応して設けられていてもよい。
【００５８】
図７Ｂは、熱圧着動作を開始する前に、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃを弛未状態とさせて、パネル２０１に接触しやすくさせる動作を示している。この動作では、第２ローラ３９ａ，３９ｂ，３９ｃが圧着子１８ａから遠ざかる方向（図示左側）である余長位置へ移動し、余長ローラユニット３７に巻き掛けられるシートの長さが短くなり、シートに弛みが生じる。この状態で、シート押さえ部材４３が下方へ移動することによって、余長ローラユニット３７にて発生したシートの弛み分が繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃと第３のローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃの間の部分に配置され、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃをパネル２０１に近づける。なお、このとき、巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃは停止したままであり、供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃがシート送り出し可能に図示矢印方向へ自由に回転することができるようブレーキが解除されている。
【００５９】
図７Ｃは、熱圧着を行う動作を示す模式図である。この状態では、シート押さえ部材４３が下方へ移動してシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃをパネル２０１に近づけた状態で、圧着子１８ａが下降して、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃを介して圧着子１８ａがパネル２０１に押しつけられる。このとき、シートの弛みを多くし、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃを送り出す必要がある場合は、巻取リール３２ａ，３２ｂ，３２ｃは停止したままであり、供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３９ｃがシート送り出し可能に図示矢印方向へ回転することができるようブレーキを解除してもよい。
【００６０】
図８Ａにシート送りユニットの変形例を示す。この変形例にかかるシート送りユニットは、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃをスライド形式に配置されたフレームにそれぞれ搭載して、シートの交換を容易にするためのものである。以下、図８Ａのシート送りユニットについては、図４に示すシート送りユニットと共通する構成については説明を省略し、相違点を中心に説明する。
【００６１】
図８Ａは、変形例にかかるシート送りユニットの外観構成図である。シート送りユニット７Ａは、３枚のシート１００ａ，１００ｂ，１００ｃのロール１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃをそれぞれ搭載可能とするために、それぞれのシートに対応した一対の供給リールと巻取リールを有するフレーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃと、これらのフレーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃを保持するベースフレーム５０を備える。それぞれのフレーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、入れ子式にベースフレーム５０に取り付けられており、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃをバックアップ部６のステージ面２１の上方で互いに積層するように送り出すと共に（図５参照）、バックアップ部６を挟んでロール１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃの搭載位置の反対側に巻き取るように構成されている。
【００６２】
具体的には、シート送りユニット７に取り付けられるフレーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、それぞれ供給リール５１ａ，５１ｂ，５１ｃと巻取リール５２ａ，５２ｂ，５２ｃとを圧着子１８ａを挟んで両側に位置するように備える。供給リール５１ａ，５１ｂ，５１ｃは、ロール１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃをそれぞれ保持するものである。巻取リール５２ａ，５２ｂ，５２ｃは、供給リール５１ａ，５１ｂ，５１ｃからそれぞれ送り出されたシートを巻き取るものであり、モータにより独立して駆動可能に構成されている。
【００６３】
シート送りユニット７Ａのベースフレームは、一対の平行な第１面５４と、この面５４に直交する第２面５５を備えるコの字形のフレームである。第２面５５の対向部分は開放されており、この部分からフレーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃをスライド式に脱着可能に構成されている。ベースフレームは、図４に示すシート送りユニット７のベースフレーム３０と同様に、基台２に設けられた保持部に保持されており、保持部に設けられたガイドレールにベースフレームのＸ軸方向両側面に設けられたスライダ５６ａが係合することによりＹ軸方向にスライド可能に保持されている。
【００６４】
図８Ｂに示すように、ベースフレーム５０には、フレーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃをスライド式に脱着可能に保持するための仕切り板５３が設けられている。当該仕切り板５３にはフレーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃに設けられたガイドレール５７と係合するスライダ（図示なし）が設けられる。
【００６５】
フレーム５０ａ，５４０ｂ，５０ｃは、それぞれ、シートを保持するための供給リールと巻取リールと余長ローラユニットを備える。３つのフレーム５０ａは、それぞれ入れ子式にベースフレーム５０に搭載されるように構成される。具体的には、最も下側に位置するシートを保持するフレーム５０ａの中に２番目のフレーム５０ｂが位置し、さらに、その中に３番目のフレーム５０ｃが配置される。このように各フレーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃがベースフレーム５０に保持されることにより、それぞれのフレーム５０ａ，５０ｂ，５０ｃに保持されているシートが、積層するようにシート送りユニット７Ａに搭載される。
【００６６】
３番目のフレーム５０ｃは、シート押さえ部材６３を備えている。このシート押さえ部材６３は、図４に示すシート押さえ部材４３と同様の機能を有するものであり、Ｚ軸方向に上下移動することにより、シートの余長分を繰り出しローラと第３のローラとの間に移動させる。
【００６７】
このようにシート送りユニット７Ａを構成することにより、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃの交換において、図８Ｃに示すように、交換したいシートを保持するフレームをベースフレーム５０から引き出すことにより、当該シートよりも上側に配置されるシートを取り外すことなく、交換するシートをフレームから取り外して交換することができる。よって、シート交換の手間を省力化することができる。
【００６８】
次に、本実施形態にかかる電子部品実装装置の動作について説明する。図９は、本実施形態にかかる電子部品実装装置の動作フローである。本実施形態にかかる電子部品実装装置は、上述のように、各部材の動作を制御する制御部１５０により作動され、制御部１５０は以下のように各部材を駆動制御する。
【００６９】
まず、制御部１５０は、ローダ９及び表示パネル載置装置３を動作させてパネルを搬入し、パネル２０１をバックアップ部６のステージ面２１上に配置させる（＃１）。次いで、シート送りユニット７の上下移動機構３６を駆動させて、シート送りユニット７を圧着位置まで下降させる（＃２）。
【００７０】
次に、シート送りユニット７の全ての第２ローラ３９ａ，３９ｂ，３９ｃを余長位置に移動させ、シートを弛み状態とする（＃３）。次に、シート押さえ部材４３を下降させ、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃの余長分を繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃと第３のローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃとの間に移動させる（図７Ｂ参照）。
【００７１】
次に、ヘッド駆動部１４を駆動させて、圧着ヘッドユニット１３ａ，１３ｂ，１３ｃを下降させ（＃５）、本圧着動作を行う（＃６）。なお、本圧着動作時においては、ヘッド駆動部１４によりパネル２０１に圧力を加えると共に、ヒータ１９を動作させてパネル２０１を加熱する。なお、本圧着をパネルの複数の辺におこなう必要がある場合は、ステージ面２１上に載置されるパネルの位置を変更させ、本圧着動作を繰り返し行う。予定の圧着が終了すると、圧着ヘッドユニット１３ａ，１３ｂ，１３ｃを上昇させる（＃７）。
【００７２】
次に第２ローラ３９ａ，３９ｂ，３９ｃを緊張位置に移動させ（＃８）、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃの余長を短くさせ、それぞれのシートを分離する（＃９）。また、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃの余長を短くするに伴い、シート押さえ部材４３を上昇させ（＃１０）、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃが緊張するときに緩衝しないようにする。次に、第２ローラ３９ａ，３９ｂ，３９ｃを余長位置に移動させ（＃１１）、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃを弛緩させる。なお、このときのシートの弛み分は、余長ローラユニット３７内に残存しているため、繰り出しローラ４１ａ，４１ｂ，４１ｃと第３のローラ４０ａ，４０ｂ，４０ｃとの間のシートは、依然として分離した状態を維持している。
【００７３】
シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃが弛み状態となると、シート送りユニットを上昇させ（＃１２）、本圧着が完了したパネルをアンローダに移動させ、装置から搬出する（＃１３）。
【００７４】
次に、シート１００ａ，１００ｂ，１００ｃを送る必要がある場合は、送り出しの対象となっているシートに対応したモータ３３ａ，３３ｂ，３３ｃを駆動させて巻取リール４２ａ，４２ｂ，４２ｃを回転させ、シート送りを行う。このとき、シート送りのために巻取リール４２ａ，４２ｂ，４２ｃの回転が始まる前に、第２ローラを緊張位置に移動させることが好ましい。なお、図９のフローでは、本圧着動作１回ごとに、シート送りを行うように説明しているが、シート送りを行うことなく、複数回の本圧着動作を行った後で、シートを送るようにしてもよい。シート送り時においては、上記のようにそれぞれ隣り合うシートが分離しているため、１つのシートを送る場合に他のシートが摩擦により共に移動することがない。
【００７５】
シート送りを行っている場合、供給リール３１ａ，３１ｂ，３１ｃの回転を検知するセンサ４４ａ，４４ｂ，４４ｃ及び第１ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃの回転を検知するセンサ４２ａ，４２ｂ，４２ｃによって、それぞれのローラが駆動しているかどうかを検知する。当該センサの出力に基づいて、シート切れ及びシートの送り量の判断を行う。
【００７６】
具体的には、シート送りの対象となっている第１ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃが回転しかつ供給リールの回転が停止しているときは、シート切れであると判断する（＃１５）。
【００７７】
シート切れが検知されると、装置の動作を停止させる（＃１９）。このとき、シート交換を促すための警告表示などを行うようにしてもよい。シート切れとなったシートが交換（＃２０）されると、作業を再開する。
【００７８】
シート切れではないと判断した場合は、所定の送り量になるまでシート送りを行う。シートの送り量は、第１ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃの回転数を検知するセンサ４２ａ，４２ｂ，４２ｃからの出力により行われる。所定の送り量だけシートを送ったことが検知されると、モータ３３ａ，３３ｂ，３３ｃを停止させ、かつ供給リール及び巻取リールのブレーキをオンにして、シート送りを停止させる（＃１７）。
【００７９】
以上の動作をパネルの生産が完了するまで繰り返し行い、所定量の生産が完了する（＃１８）と、装置の動作を停止させる。
【００８０】
上記動作フローにおいては、１回の本圧着動作ごとに、シート送りを行うようにしているが、例えば次のように処理を行うことにより、シートの送り方向位置が同じ部分を繰り返して使用し、複数回の圧着を行うことができる。
【００８１】
図１０Ａ〜図１０Ｃは、本発明の第３の実施形態にかかる電子部品実装装置の特徴部分の構成を示す図である。本実施形態の電子部品実装装置は、基本的な構造を図１Ａに示す部品実装装置と共通にするが、シートの幅方向に非連続に位置する圧着箇所をＸ軸方向（シートの幅方向）に変更可能に構成されている点において異なる。以下、この点を中心として説明する。
【００８２】
図１０Ａは、他の実施形態にかかる電子部品実装装置において、パネルとシートの圧着位置との関係を示す図である。本実施形態にかかる電子部品実装装置において圧着されるパネル２０１は、パネル２０１の圧着が行われる辺に複数のＴＣＰ２０２が間隔７２をおいて配置されており、当該間隔７２は、ＴＣＰ２０２の幅よりも大きくなるようになっている。そして、上述のように各ＴＣＰ２０２の圧着位置７０に対応するように、圧着ヘッドユニット１３ａ，１３ｂ，１３ｃが配置され、それぞれの圧着位置に下降してＴＣＰ２０２とパネル２０１とを圧着する。すなわち、図１０Ａの位置関係にあるパネルとシートの位置関係においては、当該間隔７２の部分のシートは、圧着時において、圧着ヘッドユニット１３ａ，１３ｂ，１３ｃによって押圧されることなく未使用の状態となっている。
【００８３】
図１０Ｂは、図１０Ａの電子部品実装装置において、パネルの載置位置を変化させてシートの圧着位置を異ならせた状態を示す図である。図１０Ｂは、ＴＣＰ２０２の間隔７２が位置していた未使用の箇所に圧着位置がくるように、パネルを載置している載置ステージ８をＸ軸方向に移動させた状態を示している。すなわち、パネル２０１をシート１００ａの幅方向に移動させ、先の圧着動作において未使用であったシートの部位を今回の動作において圧着に用いようとするものであり、シート１００ａの同じ送り方向位置で新たに圧着動作を行うことができる。
【００８４】
なお、図１０Ｃの変形例に示すように、シートを保持するシート送り装置７を幅方向に移動させることによって、シートとパネルの位置関係を変化させるようにしてもよい。すなわち、図１０Ｃにおいては、シート送り装置７がシートの幅方向に移動するように構成されている。具体的には、基台２に設けられたベースフレーム３０を保持する保持部３４がＸ軸方向に移動可能に構成されており、これによってパネルに対してベースフレーム３０が相対移動可能に構成されている。
【００８５】
このように、シートとパネルとの幅方向位置を相対的に変化させることができるようにすることによって、シートの長手方向位置を変えることなく（すなわち、シート送りを必要とすることなく）シートの同一箇所を複数回の圧着に用いることができる。
【００８６】
以上説明したように、上記各実施形態にかかる電子部品実装装置によれば、シート送り時にシートを緊張させてそれぞれ分離させることができるので、１つのシートの移動が隣り合う他のシートに影響を与えることなく独立してシート送りを容易にすることができる。また、シートを回転軸の延在方向にスライド可能に配置されたフレームに保持することにより、交換の対象となるシートの上側に位置するシートを取り外すことなくシート交換を行うことができ、シート交換に要する手間を省力化することができる。
【００８７】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１Ａ】本発明の一実施形態にかかる電子部品実装装置の外観構成を示す斜視図である。
【図１Ｂ】本発明の他の実施形態にかかる電子部品実装装置の外観構成を示す斜視図である。
【図２】図１Ａの部品実装装置により製造されるディスプレイの構成を示す斜視図である。
【図３】図１Ａの部品実装装置の圧着ヘッドユニットの部分拡大図である。
【図４】図１Ａの部品実装装置のシート送りユニットの構成を示す斜視図である。
【図５】図１Ａの部品実装装置のシート送りユニットによって保持されるシートの配置を示す部分拡大図である。
【図６】シート送りユニットに保持されるシートの配置構成を示す側面図である。
【図７Ａ】シートを送り出す状態にあるシート送りユニットの状態を示す模式図である。
【図７Ｂ】熱圧着動作を開始する前に、シートを弛緩させて、パネルに接触しやすくさせる状態を示す模式図である。
【図７Ｃ】熱圧着を行う状態を示す模式図である。
【図８Ａ】シート送りユニットの変形例を示す外観構成図である。
【図８Ｂ】図８Ａのシート送りユニットの分解図である。
【図８Ｃ】図８Ａのシート送りユニットのフレームを引き出した状態を示す図である。
【図９】図１Ａの電子部品実装装置の動作フローである。
【図１０Ａ】本発明の第３の実施形態にかかる電子部品実装装置の特徴部分の構成を示す図である。
【図１０Ｂ】図１０Ａの電子部品実装装置のパネルとシートとが相対的に移動した状態を示す図である。
【図１０Ｃ】図１０Ａの電子部品実装装置のパネルとシートとが相対的に移動した状態を示す図である。
【符号の説明】
【００８９】
１，１ａ  電子部品実装装置
２  基台
３  表示パネル載置装置
４  熱圧着ツール
５  ローダ
６  バックアップ部
７，７Ａ  シート送りユニット
８  載置テーブル
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ  圧着ヘッド
１４  ヘッド駆動部
１７  ベース本体
１８ａ，１８ｂ，１８ｃ  圧着子
２０  バックアップステージ
２１  ステージ面
３０  フレーム
３１ａ，３１ｂ，３１ｃ  供給リール
３２ａ，３２ｂ，３２ｃ  巻取リール
３３ａ，３３ｂ，３３ｃ  モータ
３７  余長ローラユニット
３８ａ，３８ｂ，３８ｃ  第１ローラ
３９ａ，３９ｂ，３９ｃ  第２ローラ
４０ａ，４０ｂ，４０ｃ  第３ローラ
４１ａ，４１ｂ，４１ｃ  繰り出しローラ
４３  シート押さえ部材
１００ａ，１００ｂ，１００ｃ  シート
１５０  制御部
【図１Ａ】
2007165571.tif 000003
【図１Ｂ】
2007165571.tif 000004
【図２】
2007165571.tif 000005
【図３】
2007165571.tif 000006
【図４】
2007165571.tif 000007
【図５】
2007165571.tif 000008
【図６】
2007165571.tif 000009
【図７Ａ】
2007165571.tif 000010
【図７Ｂ】
2007165571.tif 000011
【図７Ｃ】
2007165571.tif 000012
【図８Ａ】
2007165571.tif 000013
【図８Ｂ】
2007165571.tif 000014
【図８Ｃ】
2007165571.tif 000015
【図９】
2007165571.tif 000016
【図１０Ａ】
2007165571.tif 000017
【図１０Ｂ】
2007165571.tif 000018
【図１０Ｃ】
2007165571.tif 000019