【事件の表示】
　平成　４年特許願第１７７２１８号「クリーンルーム内搬送システム」拒絶査定に対する審判事件［平成　６年　１月２５日出願公開、特開平　６−　１６２０６］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯及び本願発明
　本願は、平成４年７月３日の出願であって、その請求項１〜５に係る発明は、平成１２年１１月２０日付けで提出された手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載されたとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明は、次のとおりである。
「【請求項１】　工程間搬送用の搬送装置との間でウエハをやりとりするインターフェース装置、このインターフェース装置から伸びる搬送路、この搬送路上を走行する装置間搬送装置、前記搬送路に沿って配設され１つのラインを構成する１もしくは複数のウエハ処理装置を備え、上記工程間搬送用の搬送装置はウエハを収納したカセットを搬送し、上記インターフェース装置は当該インターフェース装置へ搬送された１もしくは複数の上記カセットから指定された枚数のウエハを抽出して上記ラインに専用のカセットもしくは所定のウエハ収納箇所に移し替え、上記装置間搬送装置の搬送台車は水平関節を有するウエハ枚葉型の移載ロボットを搭載し、また上記装置間搬送装置は上記専用のカセットもしくは上記移し替えられた１または複数のウエハを移載して指定された上記ウエハ処理装置まで走行し、当該ウエハ処理装置との間でウエハを枚葉でやりとりすることを特徴とするクリーンルーム内搬送システム。」（以下、「本願発明」という。）
　
２．刊行物記載の発明
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用され、本願発明の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平２−１１７５１２号公報（以下、「刊行物」という。）には、図面を参照しながら、次の事項が記載されている。
（ａ）「本発明は、半導体等の製造システムに係り、・・・多品種搬送方法及び装置に関する。」（第４頁左上欄第２〜７行）
（ｂ）「全体構成図を第１図に示し、説明する。
　中央部の天井に、トラック状の搬送レール１を設け、その搬送レール１に沿って走行する搬送車２を設置し、この回りに、ウエハの数工程の処理を行うように装置を連ね構成した処理装置６０を設け、この処理装置６０の前に、ウエハを搬送する搬送車２との間でウエハの受け渡しをクリーンな雰囲気中で行なう、ウエハ授受ユニット２０を設置し、処理装置６０とウエハ授受ユニット２０を合わせた設備モジュール９０を基本単位としていくつか構成する。」（第７頁右上欄第１８行〜左下欄第８行）
（ｃ）「この構成において、ウエハは最初、投入・取り出し装置８０から、投入される。すなわち、搬送車２のいずれかが、投入・取り出し装置８０まで移動し停車する。そして、投入・取り出し装置８０から、ウエハが搬送車２に移載される。この時、所定の処理が終了したウエハがある場合は、搬送車２から投入・取り出し装置８０へ移載される。
　搬送車２にウエハが載せられると、搬送レール１にそって対象工程の所へ搬送車２が移動し、ウエハ授受ユニット２０で、ウエハを受け取り一時保管する。このとき、処理が終了し、次工程に搬送するウエハがある場合は、ウエハ授受ユニット２０から搬送車２に移載される。」（第７頁左下欄第１９行〜右下欄第１１行）
（ｄ）「移載ロボット２１は、１枚のウエハを真空吸着するグリッパー２２と前腕２３及び上腕２４が上下軸２５で上下動するように構成されている。移載ロボット２１のコントローラは、ウエハ授受ユニットコントローラから移載の指示を受け、移載ロボット２１をコントロールしてウエハを移載し、ウエハ授受ユニットコントローラにウエハの移載が終了したことを伝える。」（第８頁右上欄第２０行〜左下欄第７行）
（ｅ）「第１１図において、投入・取り出し装置８０はウエハをハンドリングする移載ロボット８１，ウエハを保管する保管棚８２，・・・により構成されている。」（第９頁右上欄第１０〜１４行）
（ｆ）「搬送棚１０１は走行車１００から投入・取り出し装置８０に対しウエハの投入、取り出しを行うため、走行車１００には、搬送棚１０１を保持するアーム１０５を直進駆動するスライドガイド１０２（例えば、モータ及びボールネジ）が具備されている。走行車１００が投入・取り出し装置８０の所定の位置にくると、停車し、アーム１０３を直進させ、クリーンボックス８３に搬送棚１０１を入れ込みセットする。クリーンボックス扉８４、搬送棚扉１０１がそれぞれ開き、移載ロボット８１により搬送棚１０１のウエハを取り出し、保管棚８２にセットする。このとき、処理の終了したウエハがある時は、保管棚８２から搬送棚１０１にウエハを移載する動作も連続的に行う。この移載中、第１１図のように搬送車２がきて、搬送棚５が投入・取り出し装置８０にセットされた場合、保管棚８２〜搬送棚５間の移載も同時に行う。搬送棚１０１の移載が終了すると、搬送棚扉１０１、クリーンボックス扉８４が閉まり、アーム１０３を戻し、走行車１００によって次工程へ搬送させる。」（第９頁左下欄第４行〜右下欄第３行）
（ｇ）「この第１図に示す生産システムにウエハが投入されると、第１１図に示すように、走行車１００の搬送棚１０２に投入すべきウエハがセットされ（ステップＨ１）、走行車１００が来たかどうか判断（ステップＨ２）し、来ない場合はステップＨ１１進み、来た場合、走行車１００は投入・取り出し装置８０の所定の場所まで床面を走行してくる（ステップＨ３）。所定の位置で停止し、搬送棚１０１を載せたアーム１０３が前進し、クリーンボックス扉８４と搬送棚扉１０４を密着させる（ステップＨ４）。クリーンボックス扉８４を開き（ステップＨ５）、搬送棚扉１０４を開く（ステップＨ６）。投入・取り出し装置８０の保管棚８２へセットすべきウエハがあるか判断し（ステップＨ７）、ある場合は、移載ロボット８１により、搬送棚１０１から保管棚８２にウエハをセットする（ステップＨ８）。ない場合はステップＨ９に進む。次に搬送棚１０１へセットするウエハがあるか判断し（ステップＨ９）、ある場合は、移載ロボット８１により、保管棚８２から搬送棚１０１にセット（ステップＨ１０）し、ない場合はステップＨ１１に進む。次に搬送車２が到着しているか判断し（ステップＨ１１）、到着してなければ、ステップＨ２０に進み、到着していれば、搬送車２から投入・取り出し装置８０へ降ろすウエハがあるか判断（ステップＨ１２）し、降ろすウエハがなければ、ステップＨ１８まで進み、降ろすウエハがあれば、上下動ガイド９を下降（ステップＨ１３）させ、前後動ガイド１１を前進（ステップＨ１４）させて、搬送棚扉１２をクリーンボックス扉５１に密着させてセットする。そして、クリーンボックス扉５１を開き（ステップＨ１５）、搬送棚扉１２を開く（ステップＨ１６）。移載ロボット８１により、搬送棚５から保管棚８２へセット（ステップＨ１７）する。さらに、搬送車２へ載せるウエハがあるか判断（ステップＨ１８）し、なければステップＨ１９に進み、載せるウエハがある場合は、移載ロボット８１により、保管棚８２から搬送棚５にセット（ステップＨ１９）する。投入・取り出し装置８０の中でウエハ移載があるか判断（ステップＨ２０）し、ある場合は、再びステップＨ２に戻り、ステップＨ２〜ステップＨ２０を繰り返し、ない場合は、走行車１００の搬送棚１０１にウエハをセットしたか判断（ステップＨ２１）し、セットしない場合、ステップＨ２７に進み、セットした場合は、走行車１００側では、走行車１００の搬送棚１０１１　扉を閉じ（ステッＨ２２）、クリーンボックス扉８４を閉じ（ステップＨ２４）、走行車１００のアーム１０３を後退（ステップＨ２４）すると、走行車１００は移動（ステップＨ２５）を開始し、次工程へ搬送（ステップＨ２６）する。」（第１６頁右上欄第１６行〜第１７頁左上欄第４行）
　これらの記載事項（ａ）〜（ｇ）の記載によれば、刊行物には次の発明が記載されているものと認められる。
「走行車１００との間でウエハをやりとりする投入・取り出し装置８０、この投入・取り出し装置８０から伸びる搬送レール１、この搬送レール１上を走行する搬送車２、前記搬送レール１に沿って配設され１つのラインを構成する複数の設備モジュール９０を備え、上記走行車１００はウエハを収納した搬送棚１０１を搬送し、上記投入・取り出し装置８０は当該投入・取り出し装置８０へ搬送された１の上記搬送棚１０１から指定された枚数のウエハを抽出して保管棚８２に移し替え、上記搬送車２は上記移し替えられた１または複数のウエハを移載して指定された上記設備モジュール９０まで走行し、ウエハ授受ユニット２０の移載ロボット２１が搬送車２と当該設備モジュール９０との間でウエハを枚葉でやりとりする多品種搬送装置。」（以下、「刊行物記載の発明」という。）
　
３．対比・判断
　本願発明と、刊行物記載の発明とを対比すると、後者の「走行車１００」は、その機能・作用からみて前者の「工程間搬送用の搬送装置」に相当し、以下同様にして、「投入・取り出し装置８０」は「インターフェース装置」に、「搬送レール１」は「搬送路」に、「搬送車２」は「装置間搬送装置」に、「設備モジュール９０」は「ウエハ処理装置」に、「搬送棚１０１」は「カセット」に、「保管棚８２」は「所定のウエハ収納箇所」に、「多品種搬送装置」は「搬送システム」に、それぞれ相当する。
　してみると、両者の一致点、相違点は、次のとおりとなる。
〈一致点〉
　「工程間搬送用の搬送装置との間でウエハをやりとりするインターフェース装置、このインターフェース装置から伸びる搬送路、この搬送路上を走行する装置間搬送装置、前記搬送路に沿って配設され１つのラインを構成する複数のウエハ処理装置を備え、上記工程間搬送用の搬送装置はウエハを収納したカセットを搬送し、上記インターフェース装置は当該インターフェース装置へ搬送された１の上記カセットから指定された枚数のウエハを抽出して所定のウエハ収納箇所に移し替え、上記装置間搬送装置は上記移し替えられた１または複数のウエハを移載して指定された上記ウエハ処理装置まで走行し、当該ウエハ処理装置との間でウエハを枚葉でやりとりする搬送システム。」
〈相違点１〉
　本願発明では、装置間搬送装置は、その搬送台車に水平関節を有するウェハ枚葉型の移載ロボットを搭載しているのに対して、刊行物記載の発明では、移載ロボットはウエハ処理装置側に設けられており、装置間搬送装置は、水平関節を有するウエハ枚葉型の移載ロボットを搭載していない点。
〈相違点２〉
　本願発明の搬送システムは、クリーンルーム内搬送システムであるのに対し、刊行物記載の発明の搬送システムは、クリーンルーム内のものかどうか不明である点。
　以下、〈相違点１〉〈相違点２〉について検討する。
〈相違点１〉について
　対象物を載せて移動する搬送装置の搬送台車に、水平関節を有する移載ロボットを搭載することは、従来周知の技術である（例えば、特開昭６３−２３７８８０号公報、特開平１−１３５４５１号公報参照。）。また、刊行物記載の発明において、装置間搬送装置に水平関節を有する移動ロボットを搭載することを妨げる特段の事情も見当たらない。してみると、この周知技術を、刊行物記載の発明における装置間搬送装置に適用して、装置間搬送装置の搬送台車に水平関節を有するウエハ枚葉型の移載ロボットを搭載し、該移載ロボットによって装置間搬送装置とウエハ処理装置との間でウエハをやりとりするように構成することは、当業者が、容易になし得たことというべきである。そして、それによって、「システム全体の移載ロボットの台数が少数ですみ、システム全体のコストが抑えられる」、「処理装置のメンテナンス等において、移載ロボットを取り外す必要がなく、容易にメンテナンス等が行える」、「移動ロボットのメンテナンス等において、システムからの取り外し、メンテナンス等を実施することが容易である」（平成１２年１１月２０日付け意見書（２））、「過不足なく受渡し装置を構成することができ、不必要な設備投資が必要でなくなる（平成１３年８月７日付け審判請求書を補正の対象とする手続補正書【本願発明が特許されるべき理由】（３））、という作用効果を奏することは、当業者が、刊行物記載の発明及び上記周知技術から容易に予測し得る程度のものである。
　してみると、上記〈相違点１〉に係る本願発明の構成は、刊行物記載の発明及び上記周知技術から、当業者が、容易に想到できたものである。
〈相違点２〉について
　刊行物記載の発明は、半導体ウエハの搬送システムに関するものである（上記摘記事項（ａ）参照。）が、半導体ウエハを取り扱う装置やシステムをクリーンルーム内に設けることは、通常行われていることである。
　してみると、上記〈相違点２〉に係る本願発明の構成は、刊行物記載の発明から、当業者が、容易に想到できたものである。
　
　また、本願発明が奏する作用効果も、刊行物記載の発明及び上記周知技術から、当業者が予測し得る程度のものである。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物記載の発明及び上記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。