(57)【要約】      （修正有）【課題】デッドエンド部分に残留している化学物質を迅速・安全・効果的にパージアウト出来、流体貯蔵タンクの交換をスムーズに行うことが出来る技術の提供。【解決手段】先端部の継手部２４より基部側にバルブ２３を有する配管を設けた流体貯蔵タンク２１と、流体消費ライン５１と、洗浄流体供給ライン６１と、洗浄流体回収ライン４１との間の配管装置で、内管３３と内管３３の外側に設けられた外管３１とを具備し、外管３１の一端側には流体貯蔵タンク２１に設けられた継手部２４に接合される継手部が設けられ、内管３３の一端側は外管３１の一端側に設けられた継手部より突出し、継手部同士を接合した場合、流体貯蔵タンク２１に設けられた配管７１内に進入可能に構成され、外管３１の他端側は洗浄流体回収ライン４１に接続できるように、また内管３３の他端側は流体消費ライン５１、および洗浄流体供給ライン６１に接続できるよう構成される。【選択図】図１
2007138240.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、流体消費ラインと、洗浄流体供給ラインと、洗浄流体回収ラインとの間に配設される配管装置であって、
前記配管装置は、
内管と、該内管の外側に設けられた外管とを具備し、
前記外管の一端側には前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管の継手部に接合される継手部が設けられており、
前記内管の一端側は前記外管の一端側に設けられた継手部より突出させられており、
前記突出させられた内管の一端側は、前記継手部同士を接合した場合、前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管内に進入可能に構成されており、
前記外管の他端側は前記洗浄流体回収ラインに接続できるように構成されており、
前記内管の他端側は、前記流体消費ラインに接続できるように構成されると共に、前記洗浄流体供給ラインに接続できるよう構成されてなり、
前記洗浄流体供給ラインからの洗浄流体は、前記内管、前記外管を順に経て、前記洗浄流体回収ラインに送られるよう、又、前記流体貯蔵タンク内の流体は、前記内管を経て、前記流体消費ラインに送られるようになることを特徴とする配管装置。
【請求項２】
先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、流体消費ラインと、洗浄流体供給ラインと、パージガスラインと、洗浄流体回収ラインとの間に配設される配管装置であって、
前記配管装置は、
内管と、該内管の外側に設けられた外管とを具備し、
前記外管の一端側には前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管の継手部に接合される継手部が設けられており、
前記内管の一端側は前記外管の一端側に設けられた継手部より突出させられており、
前記突出させられた内管の一端側は、前記継手部同士を接合した場合、前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管内に進入可能に構成されており、
前記外管の他端側は前記洗浄流体回収ラインに接続できるように構成されており、
前記内管の他端側は、前記流体消費ラインに接続できるように構成されると共に、前記洗浄流体供給ライン及びパージガスラインに接続できるよう構成されてなり、
前記洗浄流体供給ラインからの洗浄流体および前記パージガスラインからのパージガスは、前記内管、前記外管を順に経て、前記洗浄流体回収ラインに送られるよう、又、前記流体貯蔵タンク内の流体は、前記内管を経て、前記流体消費ラインに送られるようになることを特徴とする配管装置。
【請求項３】
配管装置と各ラインとの接続は継手手段によって行われてなり、該接続部より配管装置側にバルブが設けられてなることを特徴とする請求項１又は請求項２の配管装置。
【請求項４】
先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、
流体消費ラインと、
洗浄流体供給ラインと、
洗浄流体回収ラインと、
前記各部と接続された請求項１又は請求項３の配管装置
とを具備することを特徴とする流体供給装置。
【請求項５】
先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、
流体消費ラインと、
洗浄流体供給ラインと、
洗浄流体回収ラインと、
パージガスラインと、
前記各部と接続された請求項２又は請求項３の配管装置
とを具備することを特徴とする流体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体素子などの製造に用いられる蒸気圧が低い化合物の供給の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
化学物質が大気や大気中の水分と爆発的に反応する場合、又は化学物質が毒性を持つ場合や、激しい異臭を放つ場合とか、腐食性を持つ場合、このような特性の化学物質の充填量が少なくなった為に行う流体貯蔵タンクの交換に際しては、残留化学物質が仮に少量であるとしても、タンクに取り付けられたバルブの継手部分に残る残留化学物質を充分にパージした後でなければ、継手を開けて接合部を大気に曝すようなことをしてはならないことは当然である。又、大気と反応して固体酸化物が生成、或いはポリマー化が起こるような化学物質の場合にあっても、マスフローコントローラ等の細管部分での詰まりの原因になることから、タンクに取り付けられたバルブの継手部分に残る残留化学物質を充分にパージした後でなければ、継手を開けて接合部を大気に曝すようなことをしてはならない。すなわち、化学物質が充填されたタンクの交換に際して、仮に残留化学物質が少量であるとしても、残留化学物質を確実・迅速にパージすることは、作業者の安全、そして製品の品質安定の為に必要不可欠な技術である。
【０００３】
例えば、半導体デバイスにあっては、高密度化・高集積化の要請に応じて、回路構成を多層配線構造にする傾向に有る。このような場合、下層デバイスと上層配線との接続部であるコンタクトホールや下層配線と上層配線との接続部であるヴィアホール等の埋込み技術が、両者の電気的な接続を図る為に重要になっている。コンタクトホールやヴィアホールの埋込みには、安価で導電性の良好な材料、例えばＡｌやＣｕを用いるのが好ましく、しかもホールの埋込みと言う技術的な制約からボイドの発生を無くす為、方向性の高いスパッタによる成膜でなく、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）による成膜が望まれている。ところで、例えばＣＶＤによってＡｌ膜を成膜する為には、一般的には、処理ガスとして有機金属ガスであるＤＭＡＨ（ジメチルアルミニウムハイドライド）が用いられる。このＤＭＡＨは、常温では粘度が８０００ｃｐ程度と非常に高くて水あめ状になっており、しかも空気中の水分や酸素と激しく反応して発火する為、その取扱いには十分な注意が要求されている。
【０００４】
さて、上記のような化学物質をガス化して処理ガスとして供給する為には、例えば図６に示される如きのバブリング法、ベーキング法、直接気化法が知られている。尚、図６（Ａ）はバブリング法を示すものである。これは、貯蔵タンク４内に貯留した液状材料２中にマスフローコントローラ６により流量制御された窒素ガス等のキャリアガスを供給してバブリングし、この時に発生するＤＭＡＨガスをキャリアガスで供給配管７内に搬送し、処理装置（成膜装置）に供給するようにしたものである。図６（Ｂ）はベーキング法を示すものである。これは、液体材料２を貯留した貯蔵タンク４と、処理ガスの流量制御を行なうマスフローコントローラ６とを同一のオーブン８内に収容して加熱することにより液体材料２を熱により直接蒸気化し、この時の蒸気圧により処理ガスを供給配管７内に圧送して処理装置（成膜装置）へ供給するようにしたものである。図６（Ｃ）は直接気化法を示すものである。これは、液体材料２を貯留した貯蔵タンク４内に加圧気体を供給し、この圧力により貯蔵タンク４内の液体材料を液体のままで供給配管７内に圧送し、この供給量を液体流量コントローラ１０で流量制御しつつ気化器１２に流し込み、そして気化器１２にてマスフローコントローラ６により流量制御されたキャリアガスで蒸気化させ、発生した処理ガスを処理装置（成膜装置）へ供給するようにしたものである。
【０００５】
このような装置において、成膜処理の繰り返しによって液状材料２が無くなった場合、貯蔵タンク４を取り換えなければならす、又、マスフローコントローラ６、液体マスフローコントローラ１０或いは気化器１２に何らかの理由でトラブルが発生したりした場合には、これを供給系の配管類から取り外すなどしてメンテナンス作業を行なわなければならない。この時、配管内に残留する液体材料を排除する為に、一般的には、配管内を真空引きして真空パージを行なったり、或いはこれと組み合わせて窒素ガス等の不活性ガスを配管内に供給して残留する液体材料を強制的に排出させるガスパージが行われている。
【０００６】
しかしながら、貯蔵タンク４のストップバルブの継手部分は、デッドエンド構造になっているので、不活性ガスで押し出すことは出来ない。そこで、真空引きと不活性ガスの供給とを交互に行うサイクルパージが提案されているものの、これでも対応できない場合が多い。すなわち、化学物質が気体の場合とか、液体でもその温度での蒸気圧が充分に大きい場合には、サイクルパージ法で充分にパージアウト出来る。しかしながら、加温しても蒸気圧が大きくない液体の場合には、パージアウトに長時間を要することになる。そこで、残留化学物質と反応せず、かつ、残留化学物質を溶解する蒸気圧の高い液体（溶媒）を洗浄流体として導入する溶媒パージ法が提案されている。この溶媒パージ法は、液体材料のパージアウトには有効な手段であるが、デッドエンドに残存している蒸気圧の低い薬液が溶解した溶媒を濃縮することなしに取り除くことは容易ではない。
【０００７】
又、今日、貯蔵タンク４の交換の為に、供給配管７にはストップバルブが設けられているのが一般的である。しかしながら、ストップバルブが設けられていることによって、ストップバルブ部分にはデッドエンドが出来ており、処理装置（成膜装置）による作業の進行に伴って必要となる貯蔵タンク４の交換に先立って残留化学物質を従来の手法によってパージアウトしようとしても、デッドエンド部分に残留している化学物質を容易にはパージ出来ない問題が残されたままである。特に、蒸気圧が低い粘性の高い液状化学物質の場合には特に問題である。
【特許文献１】特開平９−１４３７４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、本発明が解決しようとする課題は、前記の問題点を解決することである。特に、現在、市場に数多く出回っているデッドエンドの有るバルブをストップバルブとして備えた流体貯蔵タンクが用いられている系において、該デッドエンド部分に残留している化学物質を迅速・安全・効果的にパージアウト出来、流体貯蔵タンクの交換をスムーズに行うことが出来る技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の課題は、先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、流体消費ラインと、洗浄流体供給ラインと、洗浄流体回収ラインとの間に配設される配管装置であって、
前記配管装置は、
内管と、該内管の外側に設けられた外管とを具備し、
前記外管の一端側には前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管の継手部に接合される継手部が設けられており、
前記内管の一端側は前記外管の一端側に設けられた継手部より突出させられており、
前記突出させられた内管の一端側は、前記継手部同士を接合した場合、前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管内に進入可能に構成されており、
前記外管の他端側は前記洗浄流体回収ラインに接続できるように構成されており、
前記内管の他端側は、前記流体消費ラインに接続できるように構成されると共に、前記洗浄流体供給ラインに接続できるよう構成されてなり、
前記洗浄流体供給ラインからの洗浄流体は、前記内管、前記外管を順に経て、前記洗浄流体回収ラインに送られるよう、又、前記流体貯蔵タンク内の流体は、前記内管を経て、前記流体消費ラインに送られるようになることを特徴とする配管装置によって解決される。
【００１０】
又、上記の配管装置であって、該配管装置と各ラインとの接続は継手手段によって行われてなり、該接続部より配管装置側にバルブが設けられてなることを特徴とする配管装置によって解決される。
【００１１】
又、先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、
流体消費ラインと、
洗浄流体供給ラインと、
洗浄流体回収ラインと、
前記各部と接続された上記の配管装置
とを具備することを特徴とする流体供給装置によって解決される。
【００１２】
又、先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、流体消費ラインと、洗浄流体供給ラインと、パージガスラインと、洗浄流体回収ラインとの間に配設される配管装置であって、
前記配管装置は、
内管と、該内管の外側に設けられた外管とを具備し、
前記外管の一端側には前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管の継手部に接合される継手部が設けられており、
前記内管の一端側は前記外管の一端側に設けられた継手部より突出させられており、
前記突出させられた内管の一端側は、前記継手部同士を接合した場合、前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管内に進入可能に構成されており、
前記外管の他端側は前記洗浄流体回収ラインに接続できるように構成されており、
前記内管の他端側は、前記流体消費ラインに接続できるように構成されると共に、前記洗浄流体供給ライン及びパージガスラインに接続できるよう構成されてなり、
前記洗浄流体供給ラインからの洗浄流体および前記パージガスラインからのパージガスは、前記内管、前記外管を順に経て、前記洗浄流体回収ラインに送られるよう、又、前記流体貯蔵タンク内の流体は、前記内管を経て、前記流体消費ラインに送られるようになることを特徴とする配管装置によって解決される。
【００１３】
又、上記の配管装置であって、該配管装置と各ラインとの接続は継手手段によって行われてなり、該接続部より配管装置側にバルブが設けられてなることを特徴とする配管装置によって解決される。
【００１４】
又、先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、
流体消費ラインと、
洗浄流体供給ラインと、
洗浄流体回収ラインと、
パージガスラインと、
前記各部と接続された上記の配管装置
とを具備することを特徴とする流体供給装置によって解決される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、現在、市場に数多く出回っているデッドエンドの有るバルブをストップバルブとして備えた流体貯蔵タンクが用いられている場合でも、該デッドエンド部分に残留している化学物質を迅速・安全・効果的にパージアウト出来、流体貯蔵タンクの交換をスムーズに行うことが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明になる配管装置は、先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、流体消費ラインと、洗浄流体供給ラインと、洗浄流体回収ラインとの間に配設される配管装置であって、前記配管装置は、内管と、該内管の外側に設けられた外管とを具備し、前記外管の一端側には前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管の継手部に接合される継手部が設けられており、前記内管の一端側は前記外管の一端側に設けられた継手部より突出させられており、前記突出させられた内管の一端側は、前記継手部同士を接合した場合、前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管内に進入可能に構成されており、前記外管の他端側は前記洗浄流体回収ラインに接続できるように構成されており、前記内管の他端側は、前記流体消費ラインに接続できるように構成されると共に、前記洗浄流体供給ラインに接続できるよう構成されてなり、前記洗浄流体供給ラインからの洗浄流体は、前記内管、前記外管を順に経て、前記洗浄流体回収ラインに送られるよう、又、前記流体貯蔵タンク内の流体は、前記内管を経て、前記流体消費ラインに送られるようになる。又、先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、流体消費ラインと、洗浄流体供給ラインと、パージガスラインと、洗浄流体回収ラインとの間に配設される配管装置であって、前記配管装置は、内管と、該内管の外側に設けられた外管とを具備し、前記外管の一端側には前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管の継手部に接合される継手部が設けられており、前記内管の一端側は前記外管の一端側に設けられた継手部より突出させられており、前記突出させられた内管の一端側は、前記継手部同士を接合した場合、前記流体貯蔵タンクに対して設けられた配管内に進入可能に構成されており、前記外管の他端側は前記洗浄流体回収ラインに接続できるように構成されており、前記内管の他端側は、前記流体消費ラインに接続できるように構成されると共に、前記洗浄流体供給ライン及びパージガスラインに接続できるよう構成されてなり、前記洗浄流体供給ラインからの洗浄流体および前記パージガスラインからのパージガスは、前記内管、前記外管を順に経て、前記洗浄流体回収ラインに送られるよう、又、前記流体貯蔵タンク内の流体は、前記内管を経て、前記流体消費ラインに送られるようになる。前記配管装置において、該配管装置とラインとの接続は継手手段によって行われる。この時、バルブは、該接続部より外側（ライン側）に設けられても良いが、好ましくは配管装置側に設けられることである。
【００１７】
本発明になる流体供給装置は、先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、流体消費ラインと、洗浄流体供給ラインと、洗浄流体回収ラインと、前記各部と接続された前記配管装置とを具備する。又、先端部に継手部を有し、該継手部より基部側にバルブを有する配管を設けた流体貯蔵タンクと、流体消費ラインと、洗浄流体供給ラインと、洗浄流体回収ラインと、パージガスラインと、前記各部と接続された前記配管装置とを具備する。
【００１８】
本発明において、流体貯蔵タンク内に貯蔵される流体は液体である。特に、蒸気圧が低い粘性の高い液状化学物質である。例えば、大気の水分に対して不安定なものである。例えば、Ｔｉを含む有機金属化合物である。例えば、Ａｌを含む有機金属化合物である。例えば、Ｈｆを含む有機金属化合物である。
【００１９】
本発明において、洗浄流体供給ラインから供給される洗浄流体は、流体貯蔵タンク内に貯蔵の化学物質（残留流体）と反応しないものである。そして、前記化学物質（残留流体）を溶解する液体である。例えば、ヘキサンの如きの有機溶媒である。
【００２０】
本発明において、パージガスラインから供給されるパージガスは、前記化学物質（残留流体）や洗浄流体と反応しない不活性なガスである。例えば、窒素ガスである。このパージガスによって、ストップバルブ部のデッドエンド部分に残留している化学物質（残留流体）を溶解した洗浄流体は洗浄流体回収ラインの側に押し遣られる。尚、パージガスラインが特別に設けられていない装置にあっては、このパージガスを洗浄流体供給ラインから流すことも出来る。すなわち、洗浄流体回収ラインとパージガスラインとが一部において兼用されたものとなっている。
【００２１】
以下、具体的な実施例を挙げて説明する。
図１及び図２は本発明を成膜装置の流体搬送系に適用した第１実施形態の概略図であり、図１は連結状態での概略図、図２は分離状態での概略図である。
【００２２】
各図中、２１は流体貯蔵タンクである。この流体貯蔵タンク２１には管２２が配管されており、この配管２２の流路途中にはストップバルブ２３が設けられている。更に、配管２２の先端部には継手２４が設けられている。そして、流体貯蔵タンク２１には上記した如くの液体（化学物質）が充填される。尚、これらの構成は従来にあっても公知なものであるから、詳細は省略される。
【００２３】
３１は、配管２２に接続される外管である。すなわち、外管３１の一端側の先端に設けられた継手３２と継手２４とが互いに接合され、外管３１と配管２２とは気密性が保持されるよう連結される。
【００２４】
外管３１の中には同軸状に内管３３が設けられている。この内管３３の一端側は、図１，２からも判る通り、外管３１の一端側の継手３２の位置よりも更に外側に突出しているよう構成されている。すなわち、継手３２と継手２４とを接合し、外管３１と配管２２とを連結した場合、内管３３の一端側の先端は配管２２の中に進入しているようになっている。特に、ストップバルブ２３の極く近傍の位置にまで到達する長さを持つように内管３３は構成されている。
【００２５】
外管３１の他端側は内管３３の軸方向に対して交差するよう屈曲構成されている。そして、外管３１の他端側の先端には継手３４が設けられている。この外管３１の他端側の継手３４と洗浄流体回収ライン４１側の継手４２とが接合され、外管３１と洗浄流体回収ライン４１とは気密性が保持されるよう連結される。尚、４３は洗浄流体回収ライン４１の流路に設けられたストップバルブである。
【００２６】
３５は内管３３の他端側の先端に設けられた継手である。そして、流体消費ライン５１及び洗浄流体供給ライン６１に連結された配管７１に設けられた継手７２と継手３５とが気密性良く連結されるよう構成されている。
【００２７】
５２は流体消費ライン５１と接続される配管７１の経路に設けられたストップバルブであり、６２は洗浄流体供給ライン６１と接続される配管７１の経路に設けられたストップバルブである。
【００２８】
上記のように構成させた本発明の装置において、成膜の進行に伴って流体貯蔵タンク２１内に充填されている液体（化学物質）が消尽されてしまうと、新しい流体貯蔵タンク２１に交換しなければならない。そこで、この交換に際しての作業について説明する。
先ず、タンク交換に先立って、ストップバルブ２３，５２を閉じる。次に、洗浄流体供給ライン６１のストップバルブ６２及び洗浄流体回収ライン４１のストップバルブ４３を開ける。この後、洗浄流体供給ライン６１を作動せしめ、例えばヘキサンの如きの洗浄液を流す。これによって、洗浄液は、配管７１→内管３３→内管３３の先端→ストップバルブ２３近傍の配管２２→外管３１→洗浄流体回収ライン４１へと順に流れて行く。従って、配管２２内のストップバルブ２３近傍のデッドエンド部分の残留化学物質は洗浄液に混合・溶解し、洗浄液に伴って残留化学物質は洗浄流体回収ライン４１から回収・保全されるようになる。
【００２９】
そこで、この後、継手３２と継手２４との接合を解除する。これによって、流体貯蔵タンク２１の交換を行えるようになる。尚、この交換に際して、使用済みの流体貯蔵タンク２１の配管２２におけるストップバルブ２３より先端側は大気に開放されたものとなっているが、この部分には化学物質は残留しておらず、環境汚染が引き起こされることは無く、又、爆発が引き起こされることも無く、流体貯蔵タンク２１の交換をスムーズに行うことが出来る。
【００３０】
そして、流体貯蔵タンク２１の交換後には、先ず、ストップバルブ４３，６２を閉じ、次に、ストップバルブ２３，５２を開ける。これによって、流体貯蔵タンク２１内の液体は、配管２２→内管３３→配管７１→流体消費ライン５１へと順に流れて行き、成膜に用いられることになる。
【００３１】
因みに、上記実施形態の装置が用いられた場合において、ＴＤＭＡＴが充填されている流体貯蔵タンク２１を交換するに際して、残留ＴＤＭＡＴを洗浄流体供給ライン６１からの３ｃｃ／ｓｅｃのヘキサンによってパージアウトした場合の結果を図３に示す。これによれば、ＴＤＭＡＴのパージアウトは約３０秒程度で完了していることが判る。尚、従来の装置が用いられた場合、パージアウトには数時間も掛かっており、本発明の装置はパージアウト特性に優れていることが判る。
【００３２】
図４は、本発明を成膜装置の流体搬送系に適用した第２実施形態の概略図である。
【００３３】
本実施形態における配管装置と、前記実施形態の配管装置とは、ストップバルブ４３，５２，６２の配設位置、即ち、継手３４，４２及び継手３５，７２の配設位置が異なるのみで、その他の点については基本的に同じ構造である。すなわち、ダイアフラムバルブ（ストップバルブ）４３，５２，６２を外管３１及び内管３３の側に設け、外管３１と洗浄流体回収ライン４１とを接続する継手４５をダイアフラムバルブ４３より洗浄流体回収ライン４１の側に設け、又、内管３３と洗浄流体供給ライン６１とを接続する継手６５をダイアフラムバルブ６２より洗浄流体供給ライン６１の側に設け、又、内管３３と流体消費ライン５１とを接続する継手５５をダイアフラムバルブ５２より流体消費ライン５１の側に設けたものである。従って、同一部分には同一符号を付し、詳細な説明は省略する。尚、ダイアフラムバルブ４３，５２，６２のダイアフラム面が継手４５，５５，６５の側に在る。
【００３４】
本実施形態においては、ダイアフラムバルブ（ストップバルブ）４３，５２，６２の配設位置を変更した点が前記実施形態と大きく異なっている。そして、このように構成させたのは、残留物をより少なく出来るからである。すなわち、継手による接合部が、仮に、気密性良く接合されていたとしても、この接合部に用いられるガスケット間には流体溜りとなる微小空間が存在している。この微小空間に存在している残留物は、洗浄流体によっても除去できない場合が多い。しかしながら、本実施形態の如くに構成させていると、仮に、継手部に残留物が存在していたとしても、そして流体貯蔵タンク２１の交換に際して開放されたとしても、ダイアフラムバルブ（ストップバルブ）が閉じられておれば、継手部は大気に開放状態では無いから、問題が起きないものとなる。
【００３５】
図５は、本発明を成膜装置の流体搬送系に適用した第３実施形態の概略図である。
【００３６】
本実施形態のものは、前記第２実施形態の装置に、パージガスライン８１を付加したものである。そして、このパージガスライン８１と内管３３との接続の仕方は、流体消費ライン５１や洗浄流体供給ライン６１と内管３３との接続の仕方と同様であるから、又、同一部分には同一符号を付し、詳細な説明は省略する。尚、８２はダイアフラムバルブ、８５は継手である。
【００３７】
但し、パージガスライン８１からの窒素ガス等のパージガスは、洗浄流体供給ライン６１からのヘキサンの如きの洗浄液が流された後、流されるものである。尚、前記実施形態のものにあっては、パージガスライン８１を特別に設けていないので、パージガスを洗浄流体供給ライン６１から流すようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の流体供給装置の第１実施形態になる概略図
【図２】第１実施形態の流体供給装置の分解状態での概略図
【図３】本発明の第１実施形態の装置におけるパージアウト特性図
【図４】本発明の流体供給装置の第２実施形態になる概略図
【図５】本発明の流体供給装置の第３実施形態になる概略図
【図６】従来の流体供給装置の概略図
【符号の説明】
【００３９】
２１                            流体貯蔵タンク
２２                            配管
２３                            ストップバルブ
２４                            継手
３１                            外管
３２，３４，３５，４２，７２    継手
３３                            内管
４１                            洗浄流体回収ライン
４３，５２，６２                ストップバルブ
５１                            流体消費ライン
６１                            洗浄流体供給ライン
７１                            配管
代  理  人  宇  高    克  己
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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