(57)【要約】【課題】  小径の突起物も確実に検知できる高感度な磁気ディスク検査用グライドヘッドを提供する。【解決手段】  磁気ディスクから所定量浮上し磁気ディスクの突起や異物との衝突を、スライダー背面に設けられた圧電素子で検出する磁気ディスク用グライドヘッドであって、圧電素子はＰＺＮ−ＰＴ単結晶もしくはＰＭＮ−ＰＴ単結晶で、単結晶の方位［００１］方向に電極が設けられて分極されており、突起や異物と衝突した時に発生するスライダーの縦振動方向と分極方向を概同一とする。【選択図】      図１
2007226900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクから所定量浮上し磁気ディスクの突起や異物との衝突を、スライダー背面
に設けた圧電素子で検出する磁気ディスク用グライドヘッドであって、圧電素子は亜鉛ニ
オブ酸鉛チタン酸鉛単結晶（ＰＺＮ−ＰＴ単結晶）もしくはマグネシウムニオブ酸鉛チタ
ン酸鉛単結晶（ＰＭＮ−ＰＴ単結晶）で、ＰＺＮ−ＰＴ単結晶もしくはＰＭＮ−ＰＴ単結
晶の方位［００１］方向に電極が設けられて分極されており、突起や異物と衝突した時に
発生するスライダーの縦振動方向と分極方向が概同一であることを特徴とする磁気ディス
ク用グライドヘッド。
【請求項２】
圧電素子は、方位［００１］の分極方向の寸法が０．３ｍｍ以上１．２ｍｍ以下、スラ
イダー長手方向の寸法が０．３ｍｍ以上１．０ｍｍ以下、スライダー短手方向の寸法が０
．３ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク用グ
ライドヘッド。
【請求項３】
圧電素子の電極を金もしくは金パラジウム合金で形成したことを特徴とする請求項１に
記載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項４】
ＰＺＮ−ＰＴ単結晶とスライダーの固着およびスライダーとサスペンションの固着に用
いる接着剤は、１００℃以下の温度で硬化する接着剤であることを特徴とする請求項１に
記載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項５】
ＰＭＮ−ＰＴ単結晶とスライダーの固着およびスライダーとサスペンションの固着に用
いる接着剤は、８０℃以下の温度で硬化する接着剤であることを特徴とする請求項１に記
載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気ディスクの製造検査等に使用されるグライドヘッドに係るものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置に使用される磁気ディスクは、円盤状のガラスあるいはアルミニウ
ム等の非磁性材基板を用いている。非磁性材基板の表面に磁性材料と主に炭素からなる保
護膜を、スパッター等を用いて成膜、さらにフルオロカーボン系の潤滑剤を塗布している
。このように作られた磁気ディスクは磁気ヘッドと組み合わせ、情報を記録あるいは再生
する記録装置として用いられている。磁気ディスク用グライドヘッド（以降、単にグライ
ドヘッドと呼称することもある）は、この磁気ディスクの表面に発生した微小な突起ある
いは異物等（以降、突起物と称する）を検出するためのセンサーとして、磁気ディスクの
検査工程で用いられている。グライドヘッドは数種実用化されているが、圧電素子を搭載
したものが主流となっている。
【０００３】
圧電素子をスライダーに搭載したグライドヘッドは、特許文献１に記載されている。図
５に、圧電素子をスライダーに搭載したグライドヘッドの斜視図を示す。図５ａ）はスラ
イダーの側方に圧電素子を配した方式の背面側斜視図、図５ｂ）は浮上面側斜視図である
。スライダー１は、空気導入領域２１と浮上領域２２よりなる一対の浮上レール３を有す
る。スライダー１の側面に張り出し部４が設けられ、張り出し部４のスライダー背面側に
圧電素子９を固着している。圧電素子９の出力電圧は圧電素子の分極方向の両端からリー
ド線１０により取り出され、サスペンション２に設けた絶縁性チューブ１１を通じて外部
に出力される。圧電素子は特許文献２および３に記載されている、ジルコン酸鉛（ＰｂＺ
ｒＯ３）とチタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）の固溶体であるセラミックで、ＰＺＴと一般的に
称される材料が使用されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１６１６３号公報    図８
【特許文献２】特開平０４−１０３０２６号公報
【特許文献３】特開平０６−２５９７５９号公報
【０００５】
グライドヘッドの動作原理を、図６を用いて簡単に説明する。スライダ−１の背面にサ
スペンション２に設けられたフレキシャー７が接着される。フレキシャー７に形成された
ピボット８の頂点にサスペンション２がスライダーを磁気ディスクに押付ける力である荷
重を与えている。ピボット８を支点としてスライダー１が、僅かであるが上下左右に動け
るようになっている。ピボット８がスライダーに荷重を与える位置が荷重点となる。図６
では、リード線１０等の図示は省略している。スライダー１は磁気ディスク５５の回転に
伴う空気流の作用により浮上する。空気流はスライダー１の流入端１５から流出端１６に
向かって流れる。グライドヘッドの浮上量ｈｇは種々の要素で決まるが、主に空気流の流
速とスライダーのレール幅、荷重によって決まる。レール幅と荷重はグライドヘッドによ
って決まっているため、磁気ディスク５５の回転数と磁気ディスク上のグライドヘッド位
置によって決まる線速度で浮上量が決まる。磁気ディスクの回転数を変え、線速度を磁気
ディスク面内で一定とすることで、磁気ディスク５５上を一定の浮上量ｈｇでスライダー
１を浮上させることができる。
【０００６】
一般に、グライドヘッドは、磁気ディスク面内を一定の条件、すなわち、突起物５６の
高さｎを検出する浮上量ｈｇを磁気ディスク面内で一定とし、かつ、突起とグライドヘッ
ドの衝突時に発生するエネルギーを揃える（突起とグライドヘッドの相対速度を一定にす
る）ために、線速度を磁気ディスク面内で一定としている。また、浮上量や飛行時の姿勢
を磁気ディスク面内で一定とするために、グライドヘッドのスライダーは磁気ディスク上
のいずれの位置においても、スライダーとスライダーが飛行する磁気ディスク上の円周の
接線とのなす角（ＹＡＷ角）は一定であり、グライドハイトテストでは、通常０度で用い
られる。スライダー１が磁気ディスク上の突起物５６に接触あるいは衝突すると、衝突に
より発生する振動はスライダー１を伝播してＰＺＴ圧電素子９を振動変形させる。ＰＺＴ
圧電素子９の電極に電荷が誘起されるので、リード線１０から電極間電圧を取り出し測定
することにより突起物の検出ができる。さらに、所定の浮上量ｈｇを持つスライダー１を
磁気ディスクの表面で移動すると、浮上量ｈｇより高い突起物にスライダーが接触（衝突
）する。このとき発生する圧電素子の電圧と磁気ディスクの位置を求めれば、磁気ディス
ク表面にある規格外の突起物を検知することができる。
【０００７】
近年益々磁気ディスク装置の高容量化と小型化、つまり高記録密度化は猛烈な勢いで進
んでいる。記録密度を上げるために、記録ビットの幅と長さはますます小さくなり、それ
に伴い磁気ヘッドの狭トラック幅化と磁気ギャップの狭ギャップ長化が進んでいる。また
、磁気ヘッドを磁気ディスク径方向へ高速で移動させるため、磁気ヘッドスライダーも小
型化している。記録密度を上げるため、磁気ディスクと磁気ヘッドとの隙間、即ち磁気ヘ
ッドのスライダーの浮上高さｈは、１２ｎｍ以下が求められるようになってきている。
【０００８】
磁気ヘッドが磁気ディスク上を浮上し、情報の記録や再生を行う場合、磁気ディスク表
面に磁気ヘッドのスライダーの浮上高さより高い突起物があると、スライダーが磁気ディ
スクと衝突を起こし、正確な情報の記録や再生ができなくなる。また、データーの破損や
磁気ディスク装置の故障を引き起こす原因にもなる。そのために、磁気ディスク表面の突
起物の高さｎは磁気ヘッドのスライダーの浮上高さｈｇより低くする必要がある。スライ
ダーの浮上高さｈｇの極小化に伴って、磁気ディスクの突起や異物の許容される高さｎは
ますます低くなる傾向にあり、その高さ要求は９ｎｍ以下になってきている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
グライドヘッドを用いて磁気ディスクの突起物を検査し、規格を外れる突起物が無く合
格と判定された磁気ディスクを使用した磁気記録装置でも、磁気ヘッドと磁気ディスクと
の衝突による不具合の発生が、非常に稀ではあるが起きることがある。不具合の発生した
磁気ディスク装置から磁気ディスクを取外し、磁気ディスクの表面をＡＦＭと略される原
子間力顕微鏡で測定すると、合格と判定されたにもかかわらず規格以上の高さｎを持つ突
起物が見つかることがある。検査をすり抜けた規格以上の高さを持つ突起物を詳細に分析
すると、突起物の直径が１μｍ以下と小さなものであった。突起物の形状は千差万別であ
るので、突起物の直径は突起物の磁気ディスクとの接触面の短径と長径を算術平均して求
めた。高さｎは、磁気ディスク表面から突起物の最高点までの値を用いている。
【００１０】
グライドヘッドは、スライダーが磁気ディスク上の突起物に接触あるいは衝突すると、
振動がスライダーを伝播して圧電素子を振動変形させ、圧電素子の電極に電荷が誘起され
電極間電圧として検知するものである。ここで、スライダーが突起物に接触あるいは衝突
したとしても、発生した振動を圧電素子が効率良く出力電圧に変換できなければ、規格外
の突起物であっても規格外であると判定できなくなる。特に直径が１μｍ以下の小さい突
起物の場合は突起物自体の体積もしくは重量が小さいため、発生する振動は小さく、この
振動を判定に必要な出力電圧にまで変換できないため、正確な判定が出来なかったと見ら
れる。直径が１μｍ以下で規格以上の高さを持つ突起物を確実に検知するには、衝突時に
発生する振動を効率良く出力電圧に変換できる圧電素子を持ったグライドヘッドが求めら
れる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の磁気ディスク用グライドヘッドは、磁気ディスクから所定量浮上し磁気ディス
クの突起や異物との衝突を、スライダー背面に設けられた圧電素子で検出する磁気ディス
ク用グライドヘッドであって、圧電素子は亜鉛ニオブ酸鉛チタン酸鉛単結晶（以降、ＰＺ
Ｎ−ＰＴ単結晶と言う）もしくはマグネシウムニオブ酸鉛チタン酸鉛単結晶（以降、ＰＭ
Ｎ−ＰＴ単結晶と言う）で、ＰＺＮ−ＰＴ単結晶もしくはＰＭＮ−ＰＴ単結晶の方位［０
０１］方向に電極が設けられて分極され、突起や異物と衝突した時に発生するスライダー
の縦振動方向と分極方向が概同一であることが好ましい。ＰＺＮ−ＰＴ単結晶とＰＭＮ−
ＰＴ単結晶の両単結晶を、特に断りのない限り、単結晶圧電素子と言うこともある。
【００１２】
スライダーの背面に設ける圧電素子を単結晶圧電素子とし、方位［００１］方向に電極
を設けて分極する。突起や異物と衝突した時に発生するスライダーの縦振動方向と分極方
向を概ね同じとすることで、従来のチタン酸ジルコニア酸鉛多結晶セラミック焼結体（Ｐ
ＺＴ）やマグネシウムチタン酸鉛多結晶セラミック焼結体（ＰＭＴ）の圧電素子を用いた
グライドヘッドに比べ、同じ大きさの圧電素子でも出力電圧を約２倍から５倍とすること
ができる。所定の突起高さを持つバンプディスクを用いて測定して大きな出力電圧が得ら
れると言うことは、検出感度を向上できたと言える。検出感度を向上させることができた
ため、従来のグライドヘッドでは見逃す可能性が大きかった、直径１μｍ以下で規格以上
の高さを持つ異物や突起物を確実に検知することができる。
【００１３】
単結晶圧電素子は結晶方位［００１］方向において大きな電圧発生能力を示す。グライ
ドヘッドは突起や異物と衝突した際、スライダーは縦方向に振動し易い。縦方向とは、ス
ライダーの厚み方向を指している。大きな電圧発生能力を示す結晶方位［００１］方向と
スライダー縦振動方向を概ね同じとなるように、単結晶圧電素子を配置することが大きな
出力を得るうえで好ましいものである。スライダーの厚み方向の結晶方位を［００１］方
向としたとき、［００１］と直交する結晶方位［１００］と［０１０］スライダーの長手
方向、短手方向となる。スライダーの長手方向もしくは短手方向に当たる結晶方位は、［
１００］と［０１０］のいずれの方向を向いていても良いものである。
【００１４】
単結晶圧電素子の大きさは、方位［００１］の分極方向（スライダー厚み方向）の寸法
が０．２ｍｍ以上１．２ｍｍ以下、スライダー長手方向の寸法が０．３ｍｍ以上１．０ｍ
ｍ以下、スライダー短手方向の寸法が０．３ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であることが望まし
い。
【００１５】
圧電素子の大きさが大きいほど出力電圧が大きくなるが、必要以上に大きくして後段の
電気的増幅において出力飽和状態になってしまっては意味が無い。また、単結晶圧電素子
は単結晶インゴットから切り出して作ることが一般的であり、大きく切り出すことは取れ
数が減少することとなり、一個あたりの単価を押し上げることにもなる。さらに、ディス
クの回転による空気流の流れにより微小な間隙を持って浮上するスライダーの背面に単結
晶圧電素子は設けられることから、大き過ぎる単結晶圧電素子は浮上特性に悪影響を及ぼ
すことがある。詳細の説明は省くが、数多くのグライドヘッド製造結果と実験結果から、
浮上量や浮上姿勢に影響を与えない寸法の上限値は、方位［００１］の分極方向の寸法が
１．２ｍｍ以下、スライダー長手方向の寸法が１．０ｍｍ以下、スライダー短手方向の寸
法が１．０ｍｍ以下との数値が得られている。
【００１６】
一方、単結晶圧電素子を小さくすることで、コスト的なメリットは大きくなる。しかし
、単結晶インゴットから単結晶圧電素子の切り出し加工、また、グライドヘッドの組立が
難しくなってくる。特に、リード線を超音波熔接することが難しくなる。直径が１μｍ以
下の小さい突起物を確実に検出し、かつ低素材費、組立容易にできる単結晶圧電素子の下
限の大きさは、方位［００１］の分極方向の寸法が０．２ｍｍ以上、スライダー長手方向
の寸法が０．３ｍｍ以上、スライダー短手方向の寸法が０．３ｍｍ以上である。
【００１７】
単結晶圧電素子の電極は、金もしくは金パラジウム合金で形成されることが望ましい。
【００１８】
単結晶圧電素子で発生した電圧を測定器に導くリード線を超音波熔接するのと、単結晶
圧電素子を分極するために、単結晶圧電素子に電極を設ける必要がある。電極にリード線
を超音波熔接する際は、電極表面の酸化膜が極力薄いことが熔接強度の点から求められる
。酸化し難い金もしくは金パラジウム合金を表面に形成することが好ましい。電極全てが
金もしくは金パラジウム合金でなくとも良く、単結晶圧電素子と金もしくは金パラジウム
合金の間に、密着力が強く材料価格の低いクロム（Ｃｒ）やニッケルクロム合金（ＮｉＣ
ｒ合金）等を形成することもできる。電極の厚みは、０．０８μｍ以上あれば超音波熔接
が可能である。電極膜の厚みは厚い分には、超音波熔接する上では特に問題はないが、電
極膜形成に時間が掛かるため数μｍ程度が好ましいと言える。電極の形成方法は、湿式、
乾式、また物理的、化学的方法など何れの方法も用いることができる。
【００１９】
ＰＺＮ−ＰＴ単結晶とスライダーの固着およびスライダーとサスペンションの固着に用
いる接着剤は１００℃以下の温度で硬化する接着剤、ＰＭＮ−ＰＴ単結晶とスライダーの
固着およびスライダーとサスペンションの固着に用いる接着剤は８０℃以下の温度で硬化
する接着剤であることが望ましい。
【００２０】
圧電素子は分極して使用するが、一定以上の温度になると脱分極状態となるため、再分
極する必要がある。グライドヘッド組立時に温度が上がる工程は、スライダーと単結晶圧
電素子の接着工程、スライダーとサスペンションの接着工程である。そのため、各接着工
程で用いる接着剤は、脱分極状態となる温度以下で硬化するものを用いることが必要であ
る。もしくは、脱分極状態となる温度以下で硬化させるため低温で長時間加熱する方法を
選ぶ必要がある。脱分極状態になった圧電素子に再度高電圧を加えて再分極することで、
圧電素子として使用できるが、グライドヘッドが組み上がった後で再分極することは、現
実的ではない。そのため、単結晶圧電素子の持つ脱分極温度以下で硬化作業のできる接着
剤を用いることが重要である。
【発明の効果】
【００２１】
ＰＺＮ−ＰＴ単結晶もしくはＰＭＮ−ＰＴ単結晶の方位［００１］方向に電極が設けら
れて分極され、突起や異物と衝突した時に発生するスライダーの縦振動方向と分極方向を
概同一とすることで、衝突の振動を効率良く出力電圧として取り出せ、高感度な磁気ディ
スク検査用グライドヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下本発明を、図面を参照しながら実施例に基づいて詳細に説明する。説明を判り易く
するため、同一の部品、部位には同じ符号を用いている。
【実施例１】
【００２３】
図１に本発明のグライドヘッドの背面側からの斜視図を示す。基本的な構造としては、
図５に示した従来のグライドヘッドと同一であるので個々の説明は省略するが、図１を用
いて単結晶圧電素子９１に関し詳細に述べる。
【００２４】
単結晶圧電素子９１は亜鉛ニオブ酸鉛チタン酸鉛単結晶（ＰＺＮ−ＰＴ単結晶）とし、
スライダー１の張り出し部４のサスペンション２側に接着剤で接着した。リード線１０と
単結晶圧電素子９１の接合部は、スライダーの張り出し部４からはみ出して配している。
スライダー１はアルミナチタンカーバイド（ＡＴＣ）材を、機械加工して製作した。ＡＴ
Ｃ材は導電性があるので、スライダー１の背面に０．３μｍ厚のアルミナをスパッターで
形成し、電極との絶縁を図った。単結晶圧電素子９１は、結晶方位［００１］方向の両面
に電極５を形成した。単結晶圧電素子９１は電極５方向に分極されている。スライダーの
厚み方向と結晶方位［００１］が概同一向きとなるように接着剤で固定した。結晶方位［
１００］をスライダー長手方向と平行に、結晶方位［０１０］をスライダー短手方向と平
行になるようにした。単結晶圧電素子９１の大きさは、結晶方位［００１］方向を０．８
ｍｍ、結晶方位［１００］方向を０．９ｍｍ、結晶方位［０１０］方向を０，７ｍｍの長
さとした。電極５は、クロム（Ｃｒ）０．１μｍと金（Ａｕ）０．２μｍの２層スパッタ
ー膜とした。単結晶圧電素子９１とスライダー１の接着、スライダー１とサスペンション
２の接着には、９０℃ｘ１時間で硬化するエポキシ樹脂を使用し、単結晶圧電素子９１に
加わる温度は最高で脱分極温度より１０℃低い９０℃とした。  
【００２５】
正圧型２レール形状のスライダー１の浮上レール３の幅は１５８μｍ、荷重は３３．３
ｍＮ（３．４ｇｆ）としたので、周速１０ｍ／ｓで浮上量ｈｇは７ｎｍ、飛行ピッチ角度
は１８０μｒａｄで飛行する。
【００２６】
突起高さｎが１２ｎｍで、突起径ｄの異なるバンプディスクを用いて、グライドヘッド
の出力電圧を測定した。比較のため、従来のＰＺＴ多結晶セラミックを用いたグライドヘ
ッドの出力電圧も測定した。比較のためのグライドヘッドは、圧電素子が異なるだけで、
他の仕様は本実施例のグライドヘッドと同じとした。突起径ｄは、０．５μｍと１．０μ
ｍ、２．０μｍ、３．０μｍ、４．０μｍ、５．０μｍの６種類である。出力電圧の測定
は１００ｋＨｚから１５００ｋＨｚのバンドパスフィルターを用い、アンプ倍率は５００
倍とした。
【００２７】
図２に、突起径ｄと出力電圧の関係を示す。突起高さが同じでも突起径ｄが大きくなる
に従い、出力電圧も大きくなっていることが判る。従来品のグライドヘッドに比べ、本願
発明実施例１のグライドヘッドは３倍から４倍大きな出力電圧が得られた。従来品では、
突起径ｄが１μｍ以下では出力電圧がノイズレベルと同程度となり突起検出ができなかっ
たが、本願発明のグライドヘッドでは、ノイズレベルより充分大きな出力電圧が得られ、
突起を確実に検出することができた。
【実施例２】
【００２８】
実施例１のグライドヘッド形態にて、圧電素子９１の大きさを変え、突起検出能力と浮
上姿勢、組立性の評価を行った。浮上姿勢はロール角度で評価し、２．５μｒａｄ．以上
の傾きを持つグライドヘッドをロール角ＮＧとした。組立性では特にワイヤーの超音波熔
接の作業性に重点を置き評価し、図３に結果を示す。突起検出能力の評価は、実際の磁気
ディスク上にあった直径（ｄ）０．９μｍ、高さ（ｎ）１２ｎｍの突起にグライドヘッド
を衝突させ、出力がノイズレベル以上であり、突起物の衝突と判断できる出力電圧である
かを調べた。組立性の評価は、ワイヤーの超音波熔接の作業性に重点を置いているが、単
結晶圧電素子のハンドリングや接着固定などの作業も含み、容易と難、不可の三段階評価
とした。５名の作業者のうち３名以上が示した評価結果を、その圧電素子の組立性として
採用した。
【００２９】
試料＃１から３より、突起径ｄが０．９μｍ、突起高さｎが１２ｎｍの突起物を検出で
きる圧電素子の大きさは、方位［００１］の分極方向の寸法が０．２ｍｍでは検出できな
いため、０．３ｍｍ以上必要であることが判る。スライダー長手方向の寸法Ｌは０．３ｍ
ｍ以上、スライダー短手方向の寸法Ｗも０．３ｍｍ以上あれば検出できる。しかし、Ｌも
しくはＷが０．３ｍｍと小さくなると作業が難しくなり、０．２ｍｍでは作業不可との評
価結果となった。このことから、Ｗ，Ｌ共０．３ｍｍ以上とすることが好ましいことが判
った。試料＃１４と試料＃１５は検出能力と組立性とも良好であったが、圧電素子が大き
過ぎるためか、スライダーの浮上ロール角がＮＧとなった。このことから、試料＃１３の
１．２ｔ×１．０Ｌ×１．０Ｗが単結晶圧電素子の上限と考えられる。ちなみに、試料＃
８は、実施例１のグライドヘッドである。
【実施例３】
【００３０】
図４に、スライダーの流出側に単結晶圧電素子を設けたインライン型のグライドヘッド
を示す。スライダー１の流出側に張り出し部４を設け、その張り出し部に単結晶圧電素子
９１を貼り付けたものである。スライダーのレール幅や荷重、単結晶圧電素子の大きさ、
結晶方位、浮上量、ピッチ角度等は、実施例１と同じとした。但し、単結晶圧電素子９１
にはＰＮＭ−ＰＴ単結晶を用いた。ＰＺＮ−Ｐ単結晶に比べＰＮＭ−ＰＴ単結晶の圧電定
数（ｐＣ／Ｎ）は、２０％程度小さいため出力電圧は約８０％となると推定される。突起
径ｄ＝１．０μｍで突起高さｎ＝１２ｎｍのバンプディスクを用い出力電圧を測定した。
実施例１のグライドヘッドの出力が２７０ｍＶで、本実施例３で製作、供試した１５本の
グライドヘッドの出力電圧は１８０ｍＶから２０５ｍＶで平均１９６ｍＶと、実施例１の
出力電圧の約７２％の出力電圧であった。しかし、ノイズレベル約９０ｍＶに比べ充分大
きくグライドヘッドとしての性能には全く問題なかった。
【００３１】
単結晶圧電素子９１の寸法については、実施例２に準じて評価を行った。結果は図３に
示した内容と殆んど同じであるので、図示および詳細説明は省略する。インライン型とし
単結晶圧電素子をスライダーの中心軸に合わせて配置したので、単結晶圧電素子９１の大
きさで浮上ロール角が変わることはなかった。影響を受けるとしたら浮上ピッチ角である
が、試料＃１４，１５の単結晶圧電素子の大きさでも、浮上ピッチ角が影響されることは
なかった。最も大きい試料＃１４の単結晶圧電素子の重量でも、約２０ｍｇである。この
重量は、荷重３．４ｇに対し充分小さいため、浮上ピッチ角には影響を与えないものと考
えられる。このことから、インライン型では単結晶圧電素子の大きさで大きい方は余裕が
あると言えるが、大きくすると単結晶圧電素子の価格が上がるので好ましいことではない
。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明実施例１のグライドヘッドの背面側からの斜視図である。
【図２】本発明実施例１のグライドヘッドの突起径と出力電圧の関係を示す図である。
【図３】本発明実施例２の単結晶圧電素子の大きさと検出能力、浮上ロール角、組立性の関係を示す図である。
【図４】本発明実施例３のグライドヘッドの斜視図である。
【図５】従来のグライドヘッドの斜視図である。
【図６】グライドヘッドの動作原理を説明する図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  スライダー、２  サスペンション、
３  浮上レール、４  張出し部、
５  電極、７  フレキシャー、
８  ピボット、９  圧電素子、
１０  リード線、１１  絶縁チューブ、
１５  流入端、１６  流出端、
２１  空気導入領域、２２  浮上領域、
５５  磁気ディスク、５６  突起物、
９１  単結晶圧電素子。
【図１】
2007226900.tif 000003
【図２】
2007226900.tif 000004
【図３】
2007226900.tif 000005
【図４】
2007226900.tif 000006
【図５】
2007226900.tif 000007
【図６】
2007226900.tif 000008