(57)【要約】【課題】未熟な技術者であっても、電気機器の端子を間違えることなく確実に電圧または電流を測定できるようにする。【解決手段】テスターの一方の端子に連結する第一の連結具６０と、テスターの他方の端子に連結する第二の連結具６１と、第一の連結具６０に導通し電圧または電流を測定すべき電気機器の一方の被測定端子５１に連結する第一の測定端子６３と、第二の連結具６１に導通し電圧または電流を測定すべき電気機器の他方の被測定端子５２に連結する第二の測定端子６４とを備え、電気機器の一方の被測定端子５１と他方の被測定端子５２とが所定の位置関係で配設されるとともに複数の端子が配設された一方のコネクタ５０に収容されていて、第一の測定端子６３と第二の測定端子６４とは、一方のコネクタ５０と対をなし連結する他方のコネクタ６２に所定の位置関係で配設され収容されるテスター補助具を提供する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスター補助具であって、
テスターの一方の端子に連結する第一の連結具と、該テスターの他方の端子に連結する第二の連結具と、該第一の連結具に導通し電圧または電流を測定すべき電気機器の一方の被測定端子に連結する第一の測定端子と、該第二の連結具に導通し電圧または電流を測定すべき電気機器の他方の被測定端子に連結する第二の測定端子とを備え、
該電気機器の一方の被測定端子と他方の被測定端子とは、所定の位置関係で配設されるとともに複数の端子が配設された一方のコネクタに収容されていて、
該第一の測定端子と該第二の測定端子とは、該一方のコネクタと対をなし連結する他方のコネクタに該所定の位置関係で配設され収容されている
テスター補助具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テスターを用いて各種電気機器に備えた端子の電圧、電流等を測定する作業を容易とするテスター補助具に関する。
【背景技術】
【０００２】
格子状に形成された分割予定ラインによってＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが区画されて表面に形成された半導体ウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、ダイシング装置によって個々のデバイスに分割され、分割されたデバイスは携帯電話機、パソコン等の各種電気機器に利用されている。
【０００３】
例えば、研削装置やダイシング装置等の各種加工装置には、装置の各部位を制御するための制御手段を構成するＣＰＵ、配電盤等の電装品を収容する電装ボックスを備えており、電装品に接続された複数のケーブルが電装ボックスに形成された端子に接続されている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
そして、各種装置においては、電装ボックスの端子にテスターを接続して当該端子における電圧や電流の値をチェックすることにより、その装置が適正に作動するようにメンテナンスが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１７７２２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、電装ボックスには接続端子が複数形成されているため、特に未熟な技術者にとっては電圧又は電流を検出すべき接続端子がわからなくなり、適切なメンテナンスができなくなるという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、未熟な技術者であっても、測定対象となる電気機器の端子を確実に認識して確実に電圧または電流の測定を行うことができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、テスターによる測定を補助するテスター補助具に関するもので、テスターの一方の端子に連結する第一の連結具と、テスターの他方の端子に連結する第二の連結具と、第一の連結具に導通し電圧または電流を測定すべき電気機器の一方の被測定端子に連結する第一の測定端子と、第二の連結具に導通し電圧または電流を測定すべき電気機器の他方の被測定端子に連結する第二の測定端子とを備え、電気機器の一方の被測定端子と他方の被測定端子とは、所定の位置関係で配設されるとともに複数の端子が配設された一方のコネクタに収容されていて、第一の測定端子と第二の測定端子とは、一方のコネクタと対をなし連結する他方のコネクタに該所定の位置関係で配設され収容されている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、第一の被測定端子及び第二の被測定端子にテスター補助具の第一の測定端子及び第二の測定端子を嵌入させるとともに、第一の連結具及び第二の連結具をテスターの端子に連結することで、第一の被測定端子及び第二の被測定端子に対してテスターの端子を直接当てることなく、第一の被測定端子及び第二の被測定端子の電圧、電流等を測定することができ、第一の測定端子及び第二の測定端子は、第一の被測定端子及び第二の被測定端子に対応する位置関係に形成されているため、第一の測定端子及び第二の測定端子を第一の被測定端子及び第二の被測定端子に嵌入させる際に嵌入位置を間違えることがなく、未熟な技術者であっても、確実に電圧又は電流の測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】電装ボックスの一例を示す斜視図である。
【図３】テスター補助具の一例を示す斜視図である。
【図４】テスター補助具を電装ボックスに連結する状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１に示す切削装置１は、半導体ウェーハ等の各種被加工物（ワーク）を切削加工する装置であり、ワークを保持する保持手段２と、保持手段２に対して切削加工を行う切削手段３とを備えている。
【００１２】
切削装置１の前面側には、被加工物を収容するカセット４０が載置されている。また、カセット４０の後方には、カセット４０からのワークの搬出及びカセット４０へのワークの搬入を行う搬出入手段４１が配設されている。カセット４０と搬出入手段４１との間には仮置き領域４２が設けられており、搬出入手段４１によるカセット４０からのワークの搬出及びカセット４０へのワークの搬入は、仮置き領域４２を介して行われる。
【００１３】
仮置き領域４２の近傍には、仮置き領域４２と保持手段２との間でワークを搬送する第一の搬送手段４３ａが配設されている。
【００１４】
保持手段２は、第一の搬送手段４３ａによるワークの着脱が行われる領域である着脱領域Ａと、切削手段３によるワークの切削が行われる領域である切削領域Ｂとの間を水平方向に移動可能となっている。以下では、保持手段２の移動方向をＸ軸方向とする。
【００１５】
保持手段２の移動経路の上方には、ワークの切削すべき位置を撮像して検出するための撮像手段４４が配設されている。
【００１６】
切削手段３は、切削領域Ｂに配設されており、Ｘ軸方向に対して水平方向に直交するＹ軸方向の軸心を有するスピンドル３０の先端部に装着された回転可能な切削ブレード３１を備えている。
【００１７】
着脱領域Ａの後方側には、切削後のワークを洗浄する洗浄手段４５が配設されている。また、洗浄手段４５の上方には、保持手段２から洗浄手段４５へワークを搬送する第二の搬送手段４３ｂが配設されている。第二の搬送手段４３ｂの水平移動の方向は、Ｙ軸方向である。また、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して直交する方向をＺ方向とする。
【００１８】
図１に示すように、切削対象のワークＷは、テープＴに貼着されてリング状のフレームＦに支持された状態で保持手段２に保持される。そして、保持手段２がＸ軸方向に移動し、撮像手段４４によって被加工物の表面が撮像されて切削すべき位置が検出され、その位置と切削ブレード３１とのＹ軸方向の位置合わせがなされる。
【００１９】
次に、保持手段２がさらにＸ軸方向に移動するとともに、切削ブレード３１を高速回転させながら切削手段３をＺ軸方向に降下させることにより、検出された位置が切削される。また、切削手段３を所定間隔ずつＹ軸方向に割り出し送りしながら同様の切削を行う。さらに、保持手段２を９０度回転させた後、同様の切削を行うと、被加工物Ｗが個々のチップに分割される。
【００２０】
このように構成される切削装置１には、上記各手段を駆動制御するための制御手段を構成するＣＰＵ等が収容された電気機器である電装ボックス５を備えている。
【００２１】
図２に示すように、電装ボックス５は、各手段を動作させるための端子が複数形成されたコネクタ５０を備えている。コネクタ５０を構成する各端子は、例えばメス型に形成されており、これら複数の端子の中には、切削装置１の各部位を適正に作動させるための端子、例えば、少なくとも第一の端子５１と第二の端子５２とを有している。第一の端子５１と第二の端子５２とは所定の位置関係を有して配設されている。換言すれば、どの端子が被測定端子となるかによって所定の位置関係が定まる。
【００２２】
図３に示すテスター補助具６は、図２に示した端子群５の各端子の電圧や電流の値をチェックするために、チェック対象の端子とテスターとの間に介在させるもので、テスターの一方の端子に連結する第一の連結具６０と、テスターの他方の端子に連結する第二の連結具６１とを備えている。第一の連結具６０及び第二の連結具６１は、コネクタ６２の第一面６２０から延出された導電線６０ａ、６１ａの先端にそれぞれ連結されている。第一の連結具６０及び第二の連結具６１としては、例えばワニグチクリップのように、テスターの端子に固定できるものが使用される。
【００２３】
コネクタ６２の第一面６２０の裏側の面である第二面６２１からは、オス型の第一の測定端子６３と第二の測定端子６４とがそれぞれ突出形成されている。第一の測定端子６３は、導電線６０ａ及びコネクタ６２の内部を介して第一の連結具６０に導通しており、第二の測定端子６４は、導電線６１ａ及びコネクタ６２の内部を介して第二の連結具６１に導通している。なお、コネクタ５０に形成された第一の端子５１及び第二の端子５２がオス型の端子である場合は、第一の測定端子６３及び第二の測定端子６４はメス型に形成される。
【００２４】
第一の測定端子６３は、電圧または電流を測定すべき電気機器の一方の被測定端子、例えば図２に示した電装ボックス５の第一の端子５１に嵌入して連結される。また、第二の測定端子６４は、電圧または電流を測定すべき電気機器の一方の被測定端子、例えば図２に示した電装ボックス５の第二の端子５２に嵌入して連結される。
【００２５】
テスター補助具６を構成するコネクタ６２は、電装ボックス５のコネクタ５０と対をなすもので、第一の測定端子６３及び第二の測定端子６４は、図２に示した第一の端子５１と第二の端子５２との所定の位置関係に対応しており、第一の測定端子６３を第一の端子５１に嵌入できるとともに第二の測定端子６４を第二の端子５２に嵌入できる所定の位置関係で配設され、コネクタ６２に収容されている。
【００２６】
電装ボックス５の第一の端子５１と第二の端子５２から電流又は電圧の値をチェックする際には、図４に示すように、第一の端子５１に第一の測定端子６３を嵌入させるとともに、第二の端子５２に第二の測定端子６４を嵌入させる。また、第一の測定端子６３に導通する第一の連結具６０はテスターの一方の端子に連結し、第二の測定端子６４に導通する第二の連結具６１はテスターの一方の端子に連結する。このようにして接続を行うことにより、第一の端子５１及び第二の端子５２から測定を行うことができる。
【００２７】
このように、第一の端子５１及び第二の端子５２にテスター補助具６の第一の測定端子６３及び第二の測定端子６４をそれぞれ嵌入させるとともに、第一の連結具６０及び第二の連結具６１をテスターの端子に連結することで、コネクタ５０の第一の端子５１及び第二の端子５２に対してテスターの端子を直接当てることなく、第一の端子５１及び第二の端子５２から電圧又は電流の値を測定することができる。しかも、第一の測定端子６３及び第二の測定端子６４は、第一の端子５１及び第二の端子５２に対応する位置関係に形成されているため、第一の測定端子６３及び第二の測定端子６４を第一の端子５１及び第二の端子５２に嵌入させる際に嵌入位置を間違えることがない。したがって、未熟な技術者であっても、容易かつ確実に電圧又は電流の測定を行うことができる。
【００２８】
なお、上記例ではコネクタ５０の被測定端子を２つとしたが、３つ以上であってもよい。その場合は、テスター補助具の測定端子も、コネクタ５０の被測定端子と同数かつ対応した位置関係を有する。また、電装ボックスが収容される装置は切削装置には限られず、さらに、測定対象となる電気機器は、電装ボックスには限られない。
【符号の説明】
【００２９】
１：切削装置
２：保持手段
３：切削手段
３０：スピンドル  ３１：切削ブレード
４０：カセット  ４１：搬出入手段  ４２：仮置き領域
４３ａ：第一の搬送手段  ４３ｂ：第二の搬送手段
４４：撮像手段
４５：洗浄手段
５：電装ボックス
５０：コネクタ  ５１：第一の端子  ５２：第二の端子
６：テスター補助具  ６０：第一の連結具  ６１：第二の連結具
６２：コネクタ  ６３：第一の測定端子  ６４：第二の測定端子
【図１】
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【図２】
2012220202.tif 000004
【図３】
2012220202.tif 000005
【図４】
2012220202.tif 000006