【事件の表示】
　特願２００９−５０５４８１号「太陽電池を製作するためのプラズマデポジション装置及び方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年１０月２５日国際公開、ＷＯ２００７／１２０７７６、平成２１年　９月１７日国内公表、特表２００９−５３３８７２号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、２００７年４月１３日（パリ条約による優先権主張、２００６年４月１４日　米国、２００６年６月２２日　米国）を国際出願日とする出願であって、平成２３年１２月９日付けで拒絶理由が通知され、平成２４年３月１６日付けで意見書が提出されるとともに同日付けで手続補正がなされ、同年７月１３日付けで拒絶理由（最後）が通知され、同年１０月２３日付けで意見書が提出されたが、平成２５年４月２３日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年９月２日に拒絶査定不服審判の請求がなされ、請求と同時に手続補正がなされ、その後、平成２６年１月１５日付けで、審判請求人に前置報告書の内容を示し意見を求めるための審尋を行ったが、審判請求人から回答書は提出されなかった。
　
２．平成２５年９月２日付けの手続補正についての補正の却下の決定
　
［補正の却下の決定の結論］
　平成２５年９月２日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「太陽電池を製作するためのプラズマデポジション装置であって、
　基板を支持する手段と、
　反応物を供給する手段と、
　前記基板上に生成物を堆積するプラズマトーチ手段と、を備え、
　前記プラズマトーチ手段が、前記基板からある距離に置かれており、さらに、
　連続的なデポジション後に複数の前記プラズマトーチ手段の前記距離（Ｌ）を維持するように構成された距離調整機構と、
　第２の注入口の反対側に置かれた第１の注入口と、を備え、
　前記第１及び第２の注入口は両方とも外部管の下に置かれ、
　前記外部管と内部石英管が、複数の前記プラズマトーチ手段のそれぞれの一部であり、
　前記第１及び第２の注入口は前記外部管を貫通しておらず、
　複数の前記プラズマトーチ手段は、千鳥配列で構成された２列のプラズマトーチを有し、前記２列のプラズマトーチは、相互に関連している、ことを特徴とするプラズマデポジション装置。」
と補正された。
　
　本件補正は、平成２４年３月１６日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「複数の前記プラズマトーチ手段」について、「複数の前記プラズマトーチ手段は、千鳥配列で構成された２列のプラズマトーチを有し、前記２列のプラズマトーチは、相互に関連している」と限定するものであり、この補正は、特許法第１７条の２第５項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反しないか）について検討する。
　
（２）引用例
　原査定の拒絶理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平５−２２６２６０号公報（以下「引用例」という。）には、以下の技術事項が記載されている。（下線は当審で付した。）
　
記載事項ア
「【００１４】
【課題を解決するための手段】すなわち、本第一の発明は、
高温プラズマ中に光電変換膜の原料を投入し、溶融、もしくは分解してなる生成物を、
基板上に堆積して製膜する
　
記載事項イ
「【００４６】
【実施例】以下に本発明で
多結晶シリコン太陽電池の光電変換膜を製膜する
【００４７】図１は、本願の請求項１記載の光電変換素子の製造方法を具現化した太陽電池の製造装置の構成図であって、本願の請求項６記載の光電変換素子の製造装置の一実施例でもある。
【００４８】基板１は、基板搬入室９から順次裏面電極形成室１０、光電変換膜製膜室２、表面電極形成室１２、基板搬出室１４と搬送されていく。基板は１０cm角、厚み２mmのアルミナ基板を用いた。
【００４９】裏面電極形成室１０では、本実施例は蒸発源１１にＴｉＯ2インゴットを用いて真空蒸着で１０００Å製膜した。
【００５０】
光電変換膜製膜室２では、
基板表面にシリコンの光電変換膜を製膜した。
原料の
シリコン粉体を原料フィーダー５から供給
Ｎ型ドーパント
をドーパントフィーダー７から供給
プラズマトーチ４への投入電力を３０kWとしてプラズマジェット３を生成した。このプラズマジェットを前記基板に照射することでＮ型シリコン膜を２００μm製膜した。
【００５１】
ひきつづき、
Ｐ型化ドーパント
をドーパントフィダー７から
プラズマトーチ４に供給し、Ｐ型シリコン膜を
製膜した。
基板ホルダー１５
【００５２】表面電極形成室１２では蒸発源１１にＴｉＯ2インゴットを用いて真空蒸着で１０００Å製膜した。
【００５３】このようにして、裏面電極、光電変換膜、表面電極が順次形成された基板１は続いて基板搬出室１４に搬送されて、定量数に達した時点で取り出される。その後、反射防止膜、表面保護膜、取り出し電極等を形成して太陽電池が完成する。上記条件では、太陽電池の生産量は１７枚/時間であった。
【００５４】本実施例ではプラズマトーチ４はＤＣプラズマトーチを用いたが、他の例えばＲＦプラズマトーチ、ハイブリッドプラズマトーチも用いることができる。」
　
記載事項ウ
「図１
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
　
　記載事項ウの図１には、プラズマトーチ４は基板１からある距離に置かれており、原料フィーダー５からプラズマトーチ４に原料を注入するための注入口と、該注入口の反対側に置かれたドーパントフィーダー７からプラズマトーチ４にドーパントを注入する注入口と、を備えることが図示されている。また、基板ホルダー１５が基板１を支持していることは自明なことである。そうすると、上記記載事項アないしウの記載内容及び図示内容からして、引用例には、
「多結晶シリコン太陽電池の光電変換膜を成膜する光電変換成膜室２であって、
　基板１を支持する基板ホルダー１５と、
　高温プラズマ中で溶融もしくは分解してなる生成物となる原料のシリコン粉体を供給する原料フィーダー５と、
　生成したプラズマジェット３を前記基板１に照射することでＮ型シリコン膜とＰ型シリコン膜を製膜するプラズマトーチ４と、を備え、
　前記プラズマトーチ４が、前記基板１からある距離に置かれており、さらに、
　原料フィーダー５からプラズマトーチ４に原料を注入するための注入口と、該注入口の反対側に置かれたドーパントフィーダー７からプラズマトーチ４にドーパントを注入する注入口と、を備える光電変換成膜室２。」の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
（３）対比
　本願補正発明と引用発明を対比する。
（ａ）引用発明の「多結晶シリコン太陽電池の光電変換膜を成膜する光電変換成膜室２」は、「生成したプラズマジェット３を前記基板１に照射することでＮ型シリコン膜とＰ型シリコン膜を製膜する」ものであるから、本願補正発明の「太陽電池を製作するためのプラズマデポジション装置」に相当する。
　
（ｂ）引用発明の「基板１を支持する基板ホルダー１５」、「高温プラズマ中で溶融もしくは分解してなる生成物となる原料のシリコン粉体を供給する原料フィーダー５」、「生成したプラズマジェットを前記基板１に照射することでＮ型シリコン膜とＰ型シリコン膜を製膜するプラズマトーチ４」、「前記プラズマトーチ４が、前記基板１からある距離に置かれており」は、それぞれ本願補正発明の「基板を支持する手段」、「反応物を供給する手段」、「前記基板上に生成物を堆積するプラズマトーチ手段」、「前記プラズマトーチ手段が、前記基板からある距離に置かれており」に相当する。
　
（ｃ）引用発明の「原料フィーダー５からプラズマトーチ４に原料を注入するための注入口と、該注入口の反対側に置かれたドーパントフィーダー７からプラズマトーチ４にドーパントを注入する注入口と、を備える」ことは、本願補正発明の「第２の注入口の反対側に置かれた第１の注入口と、を備え」ることに相当する。
　
　上記（ａ）ないし（ｃ）に記載したことからして、本願補正発明と引用発明は、
「太陽電池を製作するためのプラズマデポジション装置であって、
　基板を支持する手段と、
　反応物を供給する手段と、
　前記基板上に生成物を堆積するプラズマトーチ手段と、を備え、
　前記プラズマトーチ手段が、前記基板からある距離に置かれており、さらに、
　第２の注入口の反対側に置かれた第１の注入口と、を備えるプラズマデポジション装置。」
である点で一致し、次の各点で相違する。
　
相違点１
　本願補正発明では、複数のプラズマトーチ手段は、千鳥配列で構成された２列のプラズマトーチを有し、２列のプラズマトーチは、相互に関連しているのに対し、引用発明では、そのような構成となっていない点。
　
相違点２
　本願補正発明は、連続的なデポジション後にプラズマトーチ手段の距離（Ｌ）を維持するように構成された距離調整機構を備えるのに対し、引用発明はそのような距離調整機構を備えていない点。
　
相違点３
　本願補正発明では、外部管と内部石英管が、プラズマトーチ手段の一部であり、第１及び第２の注入口は両方とも外部管の下に置かれ、第１及び第２の注入口は外部管を貫通していないのに対し、引用発明では、そのような構成となっていない点。
　
（４）当審の判断
　上記相違点について検討する。
　相違点１について
　複数のプラズマトーチを２列に千鳥配列することは米国特許第６３９７７７６号公報（Ｆｉｇ．３等参照）にも記載されているように周知技術であり、必要に応じて複数のプラズマトーチをこのような配列として、上記相違点１に係る本願補正発明の発明特定事項を得るようにすることは当業者であれば容易になし得ることである。
　
　相違点２について
　プラズマトーチと基板の距離を好適な距離に調整する距離調整機構を設けることは特開平１−２０１４８１号公報（第６頁左上欄第１７行〜右上欄第１行、第６頁右上欄第１５〜１７行等参照）、特開平１−１７９７８９号公報（第５頁左上欄第３〜９行、第５頁左上欄第２０行〜右上欄第２行等参照）にも記載されているように周知技術であり、必要に応じてこのような距離調整機構を設けて、上記相違点２に係る本願補正発明の発明特定事項を得るようにすることは当業者であれば容易になし得ることである。
　
　相違点３について
　プラズマトーチが外部管と内部石英管を備える構成は特開昭６３−３１０７９５号公報（第２頁左下欄第１３〜１６行、第１図等参照）、特開平１−２０１４８１号公報（第６頁左上欄第１５〜１７行参照）にも記載されているように周知技術であり、このような周知の構成のプラズマトーチを採用する程度は当業者であれば適宜なし得ることである。また、原料の注入口がプラズマトーチの外部管を貫通しないで、外部管の下に配置するようにすることは、特開平１−１７９７８９号公報（第４図等参照）、特開平２−２４８３９７号公報（第１図等参照）にも記載されているように周知技術であり、注入口をこのような位置に配置する程度は当業者であれば適宜なし得る設計的事項に過ぎない。
　したがって、上記相違点３に係る本願補正発明の発明特定事項を得るようにすることは当業者であれば容易になし得ることである。
　
　また、本願補正発明の効果は、引用発明及び周知技術から予測し得る範囲内のものであり、格別のものとは認め難い。
　
　よって、本願補正発明は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２４年３月１６日付け手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものである。
　
「太陽電池を製作するためのプラズマデポジション装置であって、
　基板を支持する手段と、
　反応物を供給する手段と、
　前記基板上に生成物を堆積するプラズマトーチ手段と、を備え、
　前記プラズマトーチ手段が、前記基板からある距離に置かれており、さらに、
　連続的なデポジション後に複数の前記プラズマトーチ手段の前記距離（Ｌ）を維持するように構成された距離調整機構と、
　第２の注入口の反対側に置かれた第１の注入口と、を備え、
　前記第１及び第２の注入口は両方とも外部管の下に置かれ、
　前記外部管と内部石英管が、複数の前記プラズマトーチ手段のそれぞれの一部であり、　前記第１及び第２の注入口は前記外部管を貫通していない、ことを特徴とするプラズマデポジション装置。」
　
４．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例の記載事項は、上記「２．」「（２）」に記載したとおりである。
　
５．対比・判断
　本願発明は、上記「２．」で検討した本願補正発明の限定事項である「複数の前記プラズマトーチ手段は、千鳥配列で構成された２列のプラズマトーチを有し、前記２列のプラズマトーチは、相互に関連している」を省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、上記「２．」「（４）」に記載したとおり、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について言及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。