(57)【要約】      （修正有）【課題】  ワークの搬送手段がコンパクトであり、温度環境槽の外部に対する開口をきわめて小さくすることができるので、炉全体がコンパクトでしかも運転効率の良好なトンネル炉を提供すること。【解決手段】  所定の温度環境を形成するための温度環境槽と、該温度環境槽の送り方向に沿って、加工対象であるワークを送る搬送手段とを有しており、前記搬送手段が前記ワークの搬送を案内する手段２１と、前記ワークの搬送方向に沿って並列的に延びる長尺体２５と、該長尺体の外周に所定間隔ごとに設けられており、前記ワークもしくはワーク保持治具を係止するための係止手段２６と、前記長尺体を駆動する手段２８とを備えるトンネル炉。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の温度環境を形成するための温度環境槽と、
該温度環境槽の送り方向に沿って、加工対象であるワークを送る搬送手段と
を有しており、
前記搬送手段が
前記ワークの搬送を案内する手段と、
前記ワークの搬送方向に沿って並列的に延びる長尺体と、
該長尺体の外周に所定間隔ごとに設けられており、前記ワークもしくはワーク保持治具を係止するための係止手段と、
前記長尺体を駆動する手段と
を備える
ことを特徴とするトンネル炉。
【請求項２】
前記長尺体が前記搬送方向に沿って往復移動されることを特徴とする請求項１に記載のトンネル炉。
【請求項３】
前記長尺体に設けられる前記係止手段は、前記温度環境槽内に同時に収容されるワークもしくはワーク保持具に対応した数だけ設けられることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載のトンネル炉。
【請求項４】
前記長尺体がその長さ方向に沿った中心軸回りに駆動されることを特徴とする請求項２または３のいずれかに記載のトンネル炉。
【請求項５】
前記温度環境槽内では、前記長尺体と平行にリニアガイドが配置されており、ワークもしくはワークを載せたワーク治具が前記リニアガイドにより搬送方向を案内されるとともに、前記長尺体により搬送される構成としたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のトンネル炉。
【請求項６】
前記リニアガイドとして、一対の平行なレールを備えており、該平行なレールの直下に前記長尺体が配置されていて、前記長尺体の前記係止手段が前記一対のレールの間に出入りする構成としたことを特徴とする請求項５に記載のトンネル炉。
【請求項７】
前記温度環境槽内には、温調器が配置され、かつ該温調器による温度を伝達するための不活性ガスが導入されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のトンネル炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品などのワークを加熱加工するためのトンネル炉の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、リフロー半田付工程などにおいては、トンネル状の温度環境槽をもつトンネル炉（リフロー炉）が広く使用されている。
例えば、プリント基板のリフロー炉においては、クリーンルーム内に配置され、基板上などの部品をマウントした状態で、該リフロー炉の温度環境槽に導入される際には、炉内の搬送手段であるコンベアベルト上に置かれ、ベルト搬送されて炉内に導かれるようになっている（例えば、特許文献１、第３図など参照）。
【０００３】
このようなベルト炉もしくはトンネル炉は、特定の工程が終了したワークを順次温度環境槽に送り込み、連続的に加工を行うことができるので、例えば、所定の数のワークについて、前工程が完了するまで待ち、オーブン形式の炉で、バッジ処理する場合等と比較すると、どのワークに対しても、前工程の終了から時間を置かないで加熱工程を実行できるという利点を有している。
すなわち、予め熱硬化性接着剤などを塗布して、後の工程で加熱炉を用いて硬化させる作業などにおいては、接着剤の塗布後の経過時間により接着剤の特性が変化してしまうので、接着剤を塗布したばかりのワークと、塗布後時間の経過したワークとでは、同一条件で加熱しても、接合もしくは実装状態が変化してしまう場合があるからである。
【０００４】
【特許文献１】特開平３−１９３９０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１をはじめとする従来のトンネル炉では、ワークの搬送をコンベアベルトにより行っていた。
このようなコンベアベルトは、無端のベルトをループ状に循環させる構成であり、比較的大きな装置である。しかも、ワークを搬送させるために、温度環境槽の入り口からワークをベルト上に置こうとすると、どうしても大きな装置の一部が温度環境槽から露出する。
【０００６】
すなわち、循環する無端ベルトの往復工程を全て炉内に置くと、炉全体は必要以上に大きくなってしまう。
このため、ワークの搬送を終えた復路のベルトが炉内から外に出るように構成すると、ベルトが炉外（温度環境槽の外）で大気にさらされる際に酸化して、ススが発生し、クリーンルーム内における発塵源となってしまい、精密な部品の加工において、品質劣化の原因となる。
【０００７】
さらに、無端ベルトの往復構造を含むコンベアベルトは、全体の構造が大きく、温度環境槽への入り口や出口付近で、ベルトの炉内への導入箇所や出口における開口部、すなわち温度環境槽の開口部が比較的大きくなる。特に、ベルト上にはワークが直接置かれず、所定の収容治具にワークを入れて、該収容治具をベルト上に載置することが常態であるから、その分上記開口部は大きくなる。
このため、温度環境槽内に不活性ガスなどを所定濃度で導入して加工を行う場合などでは、該不活性ガスが大きな開口部から逃げるので、常時これを上回る導入量のガスを必要とする。
また、当然のことながら、ワークの加工時には、ワークを順次送るベルトは常時駆動されており、種々の点で効率が悪い。
【０００８】
この発明は上述のような課題を解決するためになされたもので、ワークの搬送手段がコンパクトであり、温度環境槽の外部に対する開口をきわめて小さくすることができるので、炉全体がコンパクトでしかも運転効率の良好なトンネル炉を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的は、第１の発明にあっては、所定の温度環境を形成するための温度環境槽と、該温度環境槽の送り方向に沿って、加工対象であるワークを送る搬送手段とを有しており、前記搬送手段が前記ワークの搬送を案内する手段と、前記ワークの搬送方向に沿って並列的に延びる長尺体と、該長尺体の外周に所定間隔ごとに設けられており、前記ワークもしくはワーク保持治具を係止するための係止手段と、前記長尺体を駆動する手段とを備えるトンネル炉により、達成される。
【００１０】
第１の発明の構成によれば、このトンネル炉では、ワークの搬送手段が従来にない構成となっている。
すなわち、ワークもしくはワークを保持した治具としての例えばトレーは、搬送手段の一部としての案内手段である例えばレール上に置かれる。
前記長尺体は前記レールと並列に配置されており、該長尺体から突出する係止手段が前記ワークを例えば、当接し、あるいは引っかけ等して、これを押すことでワークはレール上を搬送方向に送られる。
したがって、本発明における搬送手段は従来のような往復工程を常時循環する無端ベルトを有するものではなく、レールなどの案内手段と長尺体だけであるから、ワークの温度環境槽への取り込み、および取り出し口の面積を極力小さくすることができる。また、搬送手段を小型にできる分、炉全体も小型とすることができる。さらに、長尺体はワークを送る時だけ駆動されるので、効率的であり、温度環境槽の開口も小さいので、温度環境が外部の影響で破壊されにくく、したがって温度環境槽の温度維持も効率良く容易に行える。
【００１１】
ここで、前記「長尺体」は前記係止手段が設けられるものであるから、ワークの搬送方向に沿って長尺とされたものであれば、なんでもよく、丸棒のシャフトに限らず、角棒、長尺の平板、長尺の梯子状のもの等でもよい。また、長尺体は複数配置されてもよい。
前記「係止手段」は長尺体と並列的に位置する案内手段に保持されたワークもしくはワーク保持治具（以下、「ワーク」という）に対して、長尺体から延びて、当てることができるものであればなんでもよい。つまり、長尺体に設けた係止手段が前記ワークに当てられて、これを係止し、長尺体の動きに従って案内手段上を移動させることができるものであれば、該係止手段の形態は問わない。つまり、該ワークに単に当接して、ワークを移動させる場合や、該係止手段が該ワークを確実に保持もしくは把持し、これを移動させる形態をとる場合などを含んでいる。
かくして、本発明によれば、ワークの搬送手段がコンパクトであり、温度環境槽の外部に対する開口をきわめて小さくすることができるので、炉全体がコンパクトでしかも運転効率の良好なトンネル炉を提供することができる。
【００１２】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記長尺体が前記搬送方向に沿って往復移動されることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、前記長尺体の駆動は、従来のトンネル炉で用いられていたコンベアベルトとは極端に異なるものである。すなわち、例えば、前記長尺体の前記係止手段が前記ワークに当てられ、もしくは係止され、該長尺体が係止手段が設けられているピッチ分だけ搬送方向（往路方向）に送られる。次に長尺体の係止手段が該ワークからはずされ、該長尺体が搬送方向とは反対方向（復路方向）に上記ピッチ分だけ戻される。これを繰り返すことで、ワークは前記案内手段上を搬送方向に送られる。したがって、長尺体はコンベアベルトのように大きな距離送り駆動される必要がないし、間欠移動されればよく、常時駆動される必要がない。
なお、前記係止手段は、前記長尺体の外面から突出したり、没入したりすることで、容易にワークに対して係脱できる。また、係止手段は長尺体の外面で出没させなくても、後述するように長尺体を駆動すれば、ワークに対して係脱される。
【００１３】
第３の発明は、第１または２のいずれかの発明の構成において、前記長尺体に設けられる前記係止手段は、前記温度環境槽内に同時に収容されるワークもしくはワーク保持具に対応した数だけ設けられることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、前記係止手段を前記温度環境槽内に同時に収容されるワークもしくはワーク保持具に対応した数だけ設ければ、前記長尺体をひとつのピッチ送るだけで、全てのワークを同時に搬送することができる。
【００１４】
第４の発明は、第２または３のいずれかの発明の構成において、前記長尺体がその長さ方向に沿った中心軸回りに駆動されることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、前記長尺体を中心軸周りに回動させることにより、前記係止手段が該長尺体の外面において、出没する構成としなくても、ワークに対して係脱させることができる。
【００１５】
第５の発明は、第１ないし４のいずれかの発明の構成において、前記温度環境槽内では、前記長尺体と平行にリニアガイドが配置されており、ワークもしくはワークを載せたワーク治具が前記リニアガイドにより搬送方向を案内されるとともに、前記長尺体により搬送される構成としたことを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、前記案内手段をリニアガイドとすることで、前記長尺体の延びる方向に沿ってワークの搬送方向を形成することができる。
【００１６】
第６の発明は、第５の発明の構成において、リニアガイドとして、一対の平行なレールを備えており、該平行なレールの直下に前記長尺体が配置されていて、前記長尺体の前記係止手段が前記一対のレールの間に出入りする構成としたことを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、前記リニアガイドとして一対の平行なレールを用いれば、これらレール間で前記係止手段を動かすことができるので案内手段と搬送駆動手段である長尺体とを好適に組み合わせることができる。
【００１７】
第７の発明は、第１ないし６のいずれかの発明の構成において、前記温度環境槽内には、温調器が配置され、かつ該温調器による温度を伝達するための不活性ガスが導入されていることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、前記温調器からの熱を不活性ガスに保持させ、該不活性ガスを攪拌すれば、温度環境槽内を容易に均一温度環境とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面を参照して説明する。
図１は、本発明のトンネル炉の一実施形態を示す概略断面図である。
この実施形態では、トンネル炉１０は、ワークである圧電デバイスの圧電素子をパッケージなどに熱硬化性接着剤で接合する場合における熱硬化工程に使用するものであるが、これに限らず、各種実装工程等に広く使用することができる。
【００１９】
図１において、トンネル炉１０は、この実施形態では、第１槽１４および第２槽の複数槽１５を備えた温度環境槽１１を有している。温度環境槽１１の第１槽と第２槽はそれぞれ異なる温度環境を作ることができるように互いに区画されており、第１槽１４から第２槽１５はワークを連続して加熱できるように移動させることができるようにされている。尚、温度環境槽１１はひとつの槽で形成されてもよいし、２槽以上の多くの槽を備えるようにしてもよい。
【００２０】
温度環境槽１１においては、好ましくは第１槽１４および第２槽１５のそれぞれに、電気ヒータその他の加熱および加熱温度を制御できる温調器１６，１６が取付けられている。さらに、温度環境槽１１における、好ましくは第１槽１４および第２槽１５のそれぞれに、不活性ガス、例えば窒素ガスの導入手段２２が配置されており、ほぼ気密に形成したチャンバー状の第１槽１４と第２槽１５内に窒素ガスを導入できるようになっている。さらに、第１槽１４と第２槽１５内部に送風機２９，２９などの気体の攪拌手段を備えることにより、各槽内では、ワーク２に対して、温調器１６，１６から直接放射される輻射熱ではなく、加熱された窒素ガスにより、槽内全体が均一な温度に調整された状態における熱が伝達されるようになっている。
また、温度環境槽１１の前段には、該温度環境槽への導入部１２が、温度環境槽１１の後段には該温度環境槽からの取り出し部１３がそれぞれ設けられている。
【００２１】
図２は導入部１２付近の概略平面図であり、図３は図２のＡ−Ａ線断面図である。
これらの図において、導入部１２には、導入部搬送手段の一部であるベルトコンベア１７が配置されており、ワーク２が載せられて矢印Ｈで示す搬送方向に送られるようになっている。
この実施形態では、ワーク２は、上述したように、圧電デバイスのパッケージに熱硬化性接着剤を塗布して、圧電素子をマウントしたものであり、トンネル炉１０にて熱硬化工程を行うものである。したがって、ワーク２は、このような圧電デバイスのセラミックパッケージそのものであり、もしくは、これを一つないし所定数収容した治具トレイなどである。
【００２２】
ベルトコンベア１７は、図２に示すように、平行な一対のコンベアベルト１７ａ，１７ｂを有しており、これらの間の空間はあいている。図２および図３に示すように、ベルトコンベア１７の直下には導入部搬送手段の他の一部である長尺体であるシャフト３が配置されている。シャフト３は後述する温度環境槽内の長尺体としてのシャフトと同じ構成であり、その構造は後で詳しく説明する。
シャフト３はシリンダ１により、搬送方向Ｈに沿って送られるが、その向きは往路の向きＨ１と復路の向きＨ２の両方に往復駆動される。
ベルトコンベア１７の途中を基端として、該ベルトコンベア１７の上には、案内手段１８が延びている。該案内手段１８は、図２から理解されるように、平行なレール１８ａ，１８ａを有するリニアガイドであり、案内レールであって、図３に模式的に示されているように、温度環境槽内に延びている。なお、ベルトコンベア１７は、トンネル炉１０の一部ではなく、トンネル炉１０に加熱加工対象となるワーク２を送るための実装機などの一部である。
【００２３】
かくして、例えばパッケージ上に（導電性の）熱硬化性接着剤、すなわち、所定の樹脂アインダー中に導電粒子を含有した接着剤が塗布されて、その上に圧電素子が塗布されたワーク２は、ベルトコンベア１７の図２における左端付近に供給される。ベルトコンベア１７が駆動されると、ワーク２は図２および図３の位置に送られ、次いでシャフト３が駆動される。すなわち、シャフト３が駆動されて、図３に示されているように、ワーク２等は温度環境槽の第１槽１４内に送られるようになっている。
【００２４】
図４は温度環境槽１１（の第１槽１４）内を示す概略平面図であり、図５は図４のＢ−Ｂ線概略断面図、図６は図４のＣ−Ｃ線切断端面図である。
これらの図を参照しながら、温度環境槽内の構造を説明する。
ワークの搬送手段２０は、図２で示した上記導入部１２における各レール１８ａ，１８ａと一体になった一対のレール２１ａ，２１ａでなるリニアガイド２１を有している。
このリニアガイドは、図６に示すように各レール２１，２１が上向きの段部２１ｂ，２１ｂを備えており、パッケージもしくはトレー、あるいは治具などであるワーク２を載置可能である。
【００２５】
また、ワークの搬送手段は、長尺体としてのシャフト２５を少なくとも一つ含んでおり、この実施形態では、丸棒でなる１本のシャフト２５が、上記リニアガイド２１の直下において、該リニアガイド２１と平行に配置されている。すなわち、この実施形態においてはシャフト２５は、耐熱性のある材料、例えば金属材料で形成された丈夫で変形しにくい棒材である。
また、図５に示すように、シャフト２５の駆動手段としてのシリンダ２８が図３の符号１で説明したのと同様に配置されている。
ここで、シャフト２５は、この実施形態では、図１に示すように、温度環境槽１１内において、第１槽１４から第２槽１５にわたって、１本のものとして形成されている。すなわち、第１槽１４と第２槽１５は、断熱壁２７により分離区画されており、該断熱壁２７に搬送手段が貫通するだけの僅かな開口を設けて上記シャフト２５を貫通させている。
【００２６】
図４ないし図６を参照して、該シャフト２５の構成を説明する。
シャフト２５には、等間隔Ｐ１を置いて、搬送方向Ｈに沿って一列に並ぶように係止手段２６，２６，２６・・・が形成されている。係止手段２６は、この実施形態では、側面視三角形のひれ状もしくは直角三角形状であり、上記間隔Ｐ１はワーク２の寸法に対応している。係止手段２６は、少なくともリニアガイドであるレール２１ａの上向き段部２１ｂの表面から突出する高さを有し、図６に示すようにワーク２に当接することができるようになっている。
【００２７】
すなわち、係止手段２６は、ワーク２に当接し、あるいは、これを係止し、もしくは保持、あるいは把持して、このワーク２をシャフトの搬送方向Ｈに沿った動きとともに、レール２１ａ，２１ａ上を送るためのものである。このため、シャフト２５に設ける係止手段２６の数は、例えば温度環境槽内で同じ条件で同時に加熱加工するワークの数に対応させて設けることが好ましい。例えば、該ワークの数をｎとすると、係止手段２６の数はｎプラス１等とすることができる。係止手段２６どうしの間のピッチＰ１は、ワーク２のサイズに相当する。
【００２８】
シャフト２５に接続された上記シリンダ２８は、シャフト２５を搬送方向Ｈに沿って、上記間隔Ｐ１に相当する距離だけ往復動（方向Ｈに沿って、向きＨ１，Ｈ２にそれぞれ移動）させることができる。さらに、図６の矢印Ａに示すように、該シャフト２５をその仮想の中心軸の周囲に回動させることができる。これにより、シャフト２５の係止手段２６は、起立してワーク２の端部に当接可能とされたり、倒れた状態になってレール２１ａ，２１ａの下に入り、ワーク２とは触れない状態となるようにされている。
【００２９】
図７は、シャフト２５の動きとワーク２の送りを連続的に示す概略図である。
図７（ａ）において、例えばＬ１は図１の第１槽１４の工程であり、この第１槽１４は、例えば４個のワーク（例えばワーク２−１０から２−１３など）を同時に処理できる大きさを有している。
また、図において、搬送方向Ｈ２に沿って各ワーク２は加熱時間が経過したものとなる。すなわち、ワーク２−１０は、第１槽に入って最も加熱時間が少ないものであり、逆にワーク２−１３は加熱された時間が最も長く、第１槽から一番最初に出るものである。
【００３０】
図７（ｂ）の右側の図に示すように、シャフト２５が矢印Ａ１の方向へ回動されると、左側の図に示すように、各係止手段２６−１ないし２６−５は倒れた状態となり、これらはどのワーク２にも当接しない。
次いで、図７（ｃ）の左側の図に示すように、シャフト２５が矢印Ｈ２の方向へ図４の間隔Ｐ１と同じだけ移動される。
続いて、図７（ｄ）の右側の図に示すように、シャフト２５が矢印Ａ２の方向へ回動される（戻される）と、左側の図に示すように、各係止手段２６−１ないし２６−５は起立した状態となり、これらは、ひとつひとつの係止手段がワーク２−９ないし２−１３の各ワークの間に入り込む。
【００３１】
次いで、図７（ｅ）の左側の図に示すように、シャフト２５が矢印Ｈ１の方向へ図４の間隔Ｐ１と同じだけ移動される（戻される）。これにより、各係止手段２６−１ないし２６−５は各ワーク２−９ないし２−１３の後端に当たり、図６で説明した案内手段であるリニアガイドのレール２１上を矢印Ｈ１方向へ、距離Ｐ１だけ送ることになる。
以上の動作を繰り返すことにより、ワーク２は、第１槽１４内にて、所定時間の間加熱処理がなされる。しかも、第１槽では、複数のワーク２が順次連続的に送られながら、加熱処理がなされる。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態のトンネル炉１０では、従来のように、炉の温度環境槽内部においてワークを搬送するために、無端ベルトを架装したベルトコンベアを有しないでリニアガイド１２とシャフト２５とこれを駆動するシリンダだけでワークの搬送手段を構成することができる。
この場合、シャフトは温度環境槽内で搬送方向Ｈに沿ってピッチＰ１分だけ往復されればよいから、駆動される動き幅がきわめて少なくて済む。しかも、ワーク２は、常時搬送されている必要がなく、所定ピッチ毎に間欠的に送られればよい。
【００３３】
これらの理由から搬送手段が従来のベルトコンベアと比較してコンパクトであり、さらに温度環境槽への入り口（導入部）、および出口（取り出し部）において、ベルトコンベアの端部が露出される必要がないから、このような開口は極力小さくできる。
また、ベルトコンベアの無端ベルトのように、外部環境と温度環境槽内部を往復することがないから、その表面が酸化され、発塵のおそれもなく、クリーンルーム内を汚染する恐れもない。
かくして、本実施形態によれば、ワークの搬送手段がコンパクトであり、温度環境槽の外部に対する開口をきわめて小さくすることができるので、炉全体がコンパクトでしかも運転効率の良好なトンネル炉１０を提供することができる。
【００３４】
図８（ａ）は、図１に示した温度環境槽１１の複数の槽、すなわち、第１槽１４５と第２槽１５においてこれらを貫通する長いシャフト２５−１の構成例を示すものである。
このシャフト２５−１は、図８（ｂ）に示すように、同じ向きに形成した複数、例えば５つの係止手段２６（第１の係止手段）と、さらにこれら係止手段２６が形成された箇所とは異なるシャフト２５の外周位置、すなわち、シャフト２５−１の仮想の中心軸Ｏに関して、θ１の角度を有するような異なる外周位置に第２の係止手段３６を形成した例を示している。
【００３５】
この場合、例えば係止手段２６は第１の槽１４におけるワーク２の送りに対応しており、係止手段３６は、第１の槽１４とは異なる温度域の環境を作った第２槽１５におけるワーク２の送りに対応させることができる。また、係止手段２６どうしのピッチと、係止手段３６どうしのピッチは変更することができる。また、さらに異なる外周位置に第３の係止手段４６を形成することもできる。
【００３６】
本発明は上述の実施形態に限定されない。
本発明のトンネル炉で加工されるワークは、圧電デバイスに限らないし、半導体のリフロー工程におけるリフローなどとして利用してもよい。
トンネル炉の温度環境槽内には、１本のシャフトに限らず、複数のシャフトを平行に配置して、それぞれ駆動してもよい。
シャフトの駆動手段は該シャフトを回動動作させないで、該シャフトの係止手段がシャフトから露出したり、シャフト内に収容されたりして、係止手段の露出状態・半露出状態と、露出しない状態とをとるように構成してもよい。
上述の実施形態の各条件や各構成は適宜その一部を省略し、あるいは言及しない他の構成と組み合わせることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施形態に係るトンネル炉の概略構成図。
【図２】図１のトンネル炉の導入部付近の概略平面図。
【図３】図２のＡ−Ａ線概略断面図。
【図４】図１のトンネル炉の内部の概略平面図。
【図５】図４のＢ−Ｂ線概略断面図。
【図６】図４のＣ−Ｃ線切断端面図。
【図７】図１のトンネル炉のシャフトの動作を説明する図。
【図８】図１のトンネル炉のシャフトの別の構成を示す図。
【符号の説明】
【００３８】
１０・・・トンネル炉、１１・・・温度環境槽、１４・・・第１槽、１５・・・第２槽、１６・・・温調器、２０・・・搬送手段、２１・・・（案内手段）（リニアガイド）レール、２５・・・（長尺体）シャフト、２６，３６，４６・・・係止手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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