【事件の表示】
　特願２０１０−５０６２９０「慣性ウエハ心合わせエンドエフェクタおよび搬送装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年１１月　６日国際公開、ＷＯ２００８／１３４０４１、平成２２年　７月２２日国内公表、特表２０１０−５２５６０８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２００８年（平成２０年）４月２８日（パリ条約による優先権主張２００７年４月２７日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成２４年８月２９日付けで拒絶理由が通知され、平成２５年２月１９日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同年９月１０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２６年１月１７日に本件拒絶査定不服審判の請求がなされると同時に手続補正書が提出されたものである。
　
第２　平成２６年１月１７日付け手続補正についての補正の却下の決定
　
［補正の却下の決定の結論］
　平成２６年１月１７日付け手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１．　本件補正の内容
　本件補正は、平成２５年２月１９日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲をさらに補正するもので、特許請求の範囲の請求項１に関する補正を含むところ、本件補正前後の請求項１の記載は、補正箇所に下線を付して示すと、以下のとおりである。
　
（１）　補正前
　「【請求項１】
　基板処理ツールのための基板搬送装置であって、
　駆動部と、
　前記駆動部と動作的に連結している可動アームと、 
　前記処理ツール内で基板を保持、搬送するための前記可動アームと連結しているエンドエフェクタと、 
　前記エンドエフェクタに連結している基板慣性捕捉エッジグリップと、を有し、
　前記基板慣性捕捉グリップは、受動的な接触パッドを有し、前記受動的な接触パッドは、前記基板慣性捕捉グリップが、前記基板を捕捉すると同時に、前記受動的な接触パッドのうちの３つのみによって基板の慣性により前記エンドエフェクタ上において前記基板を心合わせするように配され、前記捕捉及び心合わせの前に前記基板は全ての受動的な接触パッド上に載置されていることを特徴とする基板搬送装置。」
　
（２）　補正後
「【請求項１】
　基板処理ツールのための基板搬送装置であって、
　駆動部と、
　前記駆動部と動作的に連結している可動アームと、
　前記
基板
　前記エンドエフェクタに連結している基板慣性捕捉エッジグリップと、を有し、
　前記基板慣性捕捉
エッジ
エッジ
、前記捕捉が前記基板の最終的な心合わせをもたらす
　
２．　補正の適否
　本件補正のうち、請求項１に関するものは、以下の補正事項からなるものである。
補正事項１：本件補正前の請求項１に記載された「処理ツール」及び「基板慣性補足グリップ」を、当該請求項１に記載された「基板処理ツール」及び「基板慣性補足エッジグリップ」と用語を統一するために、それぞれ「基板処理ツール」及び「基板慣性補足エッジグリップ」と補正するもので、特許法第１７条の２第５項第４号に規定された、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
補正事項２：本件補正前の請求項１に記載された「補足」が、「基板の最終的な心合わせをもたらす」ものであると限定するもので、特許法第１７条の２第５項第２号に規定された特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて以下に検討する。
　
（１）　引用刊行物とその記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された本願優先日前に頒布された刊行物である特開２００４−２７３８４７号公報（以下、「刊行物」という。）には、図面とともに以下の「基板搬送装置」が記載されている（なお、下線は理解の便のため当審で付した。）。
　
ア．　刊行物に記載された事項
　
（ア）
「【請求項１】
角型の基板を載置する保持アームを備えた基板搬送装置において、
前記保持アームは、基板の４個の角部が載置される４個の載置部を備え、
前記載置部の一つは、基板の第１の角部の裏面側を保持すると共に、前記第１の角部を挟む２辺の端面と接触して、当該第１の角部を規制する規制載置部であり、
他の載置部のうちの少なくとも２個の載置部は、基板の裏面の角部を挟む２辺の端縁を下方側に案内するように保持アームの内側に向けて下方側に傾斜する第１の傾斜面を備えた傾斜載置部であり、
基板の角部を傾斜載置部に載置して傾斜面に沿って案内することにより、基板の第１の角部を前記規制載置部に当接させ、これにより基板を位置合わせした状態で保持アームに載置することを特徴とする基板搬送装置。
・・・
【請求項４】
前記基板搬送装置の保持アームを進退自在、昇降自在、略鉛直軸まわりに回転自在に移動させる駆動機構と、
保持アームの進退方向の前方側に設けられた前記規制載置部と、
基板が保持アームに載置されたときに、保持アームを進退方向の後方側に、基板が慣性力で規制載置部側に移動するように第１の速度で僅かに移動させ、次いで保持アームを進退方向の後方側に第１の速度よりも小さい第２の速度で移動させるように前記駆動機構の駆動を制御する制御部と、を備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置。」（【請求項１】及び【請求項４】）
　
（イ）
「続いて前記基板搬送手段３について図を参照して詳細に説明する。先ず基板搬送手段３の全体構成について図４に基づいて説明すると、前記基板搬送手段３は、基板Ｇを保持する保持アーム３１と、この保持アーム３１を進退自在に支持する基台３２と、
この基台３２を昇降自在に支持する一対の案内レール３３，３４と、これら案内レール３３，３４の上端及び下端を夫々連結する連結部材３５，３６と、案内レール３３，３４及び連結部材３５，３６よりなる枠体を鉛直軸周りに回転自在に駆動するために案内レール下端の連結部材３６に一体的に取り付けられた回転駆動部３７
前記保持アーム３１は、夫々基板Ｇを保持し得るように３段構成になっており、アーム３１の基端部は基台３２の長手方向に設けられた案内溝３２ａに沿ってスライド移動できるようになっている。
そのスライド移動によるアーム３１の進退移動や基台３２の昇降移動は、夫々別個の図示しない駆動部により駆動される
続いて前記保持アーム３１について説明すると、このアーム３１の内縁３０は例えば図５に示すように半径１２７ｍｍの円の円弧の一部により構成され、このアーム３１の内縁３０の４箇所の位置には、基板Ｇの角部Ｓ１〜Ｓ４を保持するための第１の載置部４１、第２の載置部４２、第３の載置部４３、第４の載置部４４が夫々設けられている。この例では、
保持アーム３１の内縁の円弧の中心位置と基板Ｇの中心位置とが揃い、かつ図５に矢印で示すアーム３１の進退方向の軸と基板Ｇの互いに対向する一対の辺の長さ方向とが略平行な状態で基板Ｇがアーム３１上に載置されるような位置に前記４個の載置部４（４１〜４４）が設けられている。
　
（ウ）
「ここで通常では、基板Ｇの第１の角部Ｓ１以外の角部Ｓ２〜Ｓ４は、傾斜載置部６の第１の傾斜面６１に基板裏面側の角部Ｓ２〜Ｓ４のＣ面Ｃ２〜Ｃ４が位置するように受け渡される。このように受け渡されると、基板Ｇは０．３ｋｇと重いので、基板Ｇの裏面側の角部Ｓ２を挟む２辺の端縁、この例では前記Ｃ面Ｃ３（Ｃ２，Ｃ４）を挟む２辺の端縁が第１の傾斜面６１に沿って自重により下方側に案内される（図９（ａ））。
この際保持アーム３１に基板Ｇが受け渡されたときには、角部Ｓ３（Ｓ２，Ｓ４）のＣ面Ｃ３（Ｃ２，Ｃ４）の裏面側の凸縁が第１の傾斜面６１の角部の凹縁に重なる状態ではないが、基板Ｇの３方の角部Ｓ２〜Ｓ４が第１の傾斜面６１に沿って保持アーム３１の内側に向けて案内されていくので、左右方向のずれが修正されながら移動することとなる。
このように基板Ｇが移動することにより、図９（ｂ）に示すように、基板Ｇの第１の角部Ｓ１を挟む２辺の端面は規制載置部５の接触面５２に当接し、この当接した位置で他の角部Ｓ２〜Ｓ４の移動が停止する
（エ）
「このような基板搬送手段３では、４個の載置部４１〜４４の内、３個の載置部４２〜４４は第１の傾斜面６１を備えた傾斜載置部６とし、基板Ｇの角部（この例ではＣ面）をガイドした状態で自重により移動させ、残りの１個の載置部４１（規制載置部５）にて基板Ｇの第１の角部Ｓ１を位置決めした状態で規制するように保持しているので、内縁が円弧の一部により形成された保持アーム３１に角型の基板Ｇを正確に位置決めした状態で保持させることができる。このように基板Ｇが上下方向及び左右方向に規制された状態で保持アーム３に保持されるので、搬送中においても基板Ｇが精度良く位置決めされた状態で保持され、正確な搬送を行うことができる。」（段落【００３４】）
（オ）
「続いて本発明の他の実施の形態について説明する。この例では、図１０に示すように、保持アーム３１の進退方向の前方側の載置部例えば第１の載置部４１が規制載置部５として構成されており、例えば他の３つの載置部４２〜４４は傾斜載置部６として構成されている。
・・・
このように、
基板Ｇを保持アーム３１に載置した後、当該保持アーム３１を第１の速度のような大きな速度で保持アームの進退方向の後方側に移動させると（図１１（ａ））、基板Ｇが慣性力により保持アーム３１の進退方向の前方側に向かい、この力と基板Ｇの自重による移動との組み合わせにより、基板Ｇの第１の角部Ｓ１が規制載置部５の所定位置まで瞬間的に移動し（図１１（ｂ））、より確実に前記角部Ｓ１を規制載置部５に当接させることができる。
　
（カ）
　上記摘記事項（イ）の「この基台３２を昇降自在に支持する一対の案内レール３３，３４と、これら案内レール３３，３４の上端及び下端を夫々連結する連結部材３５，３６と、案内レール３３，３４及び連結部材３５，３６よりなる枠体を鉛直軸周りに回転自在に駆動するために案内レール下端の連結部材３６に一体的に取り付けられた回転駆動部３７」との記載及び「そのスライド移動によるアーム３１の進退移動や基台３２の昇降移動は、夫々別個の図示しない駆動部により駆動される」との記載から、「基台３２」は、「回転駆動部３７」により「一対の案内レール３３，３４」を介して鉛直軸周りに回転自在に駆動され、「駆動部」により昇降されるものであり、「回転駆動部３７」と「駆動部」をあわせて一つの「回転昇降駆動部」とみることもできるから、刊行物には、「基台」と動作的に連結して、回転及び昇降させる「回転昇降駆動部」が記載されているといえる。
　
（キ）
　上記摘記事項（オ）の「基板Ｇを保持アーム３１に載置した後、当該保持アーム３１を第１の速度のような大きな速度で保持アームの進退方向の後方側に移動させると（図１１（ａ））、基板Ｇが慣性力により保持アーム３１の進退方向の前方側に向かい、この力と基板Ｇの自重による移動との組み合わせにより、基板Ｇの第１の角部Ｓ１が規制載置部５の所定位置まで瞬間的に移動し（図１１（ｂ））、より確実に前記角部Ｓ１を規制載置部５に当接させることができる。」との記載から、「基板Ｇ」は慣性力の作用によって、「規制載置部５」の所定位置まで瞬間的に移動する。一方、上記摘記事項（ウ）の「このように基板Ｇが移動することにより、図９（ｂ）に示すように、基板Ｇの第１の角部Ｓ１を挟む２辺の端面は規制載置部５の接触面５２に当接し、この当接した位置で他の角部Ｓ２〜Ｓ４の移動が停止する」との記載から、「規制載置部５」への移動した後の状態で、「基板Ｇ」の移動が停止、すなわち、最終的に「基板Ｇ」は「保持アーム３１」が有する「載置部」に受渡されて保持されるということができるから、刊行物には、「基板Ｇ」を慣性力によって保持するための手段、すなわち「受動的な載置部」を有する基板慣性保持手段が記載されているといえ、かつ、当該基板慣性保持手段は、「保持アーム３１」に連結しているといえる。
　
（ク）
　上記摘記事項（イ）の「保持アーム３１の内縁の円弧の中心位置と基板Ｇの中心位置とが揃い、かつ図５に矢印で示すアーム３１の進退方向の軸と基板Ｇの互いに対向する一対の辺の長さ方向とが略平行な状態で基板Ｇがアーム３１上に載置されるような位置に前記４個の載置部４（４１〜４４）が設けられている。」との記載において、異なる二つの部材の中心位置を揃えることを「心合わせ」ということもできるから、上記認定事項（キ）とあわせると、刊行物には、受動的な載置部によって基板の慣性により保持アーム上において基板を心合わせするように配され、前記心合わせの前に基板が受動的な載置部上に載置され、保持手段が基板の最終的な心合わせをもたらすものが記載されている。
　
イ．　刊行物に記載された発明
　刊行物に記載された事項を、上記ア．の摘記事項（ア）ないし（オ）及び認定事項（カ）ないし（ク）から、技術常識を考慮しながら、補正発明に照らして整理すると、刊行物には、以下の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　
「処理ユニットのための基板搬送手段であって、
回転昇降駆動部と
前記回転昇降駆動部と動作的に連結している基台と、
前記処理ユニット内で基板を保持、搬送するための前記基台と連結している保持アームと、
前記保持アームに連結している基板慣性保持手段と、を有し、
前記基板慣性保持手段は、受動的な載置部を有し、前記受動的な載置部は、前記基板慣性保持手段が、前記基板を保持すると同時に、前記受動的な載置部によって基板の慣性により前記保持アーム上において前記基板を心合わせするように配され、前記心合わせの前に前記基板は受動的な載置部上に載置され、前記保持が前記基板の最終的な心合わせをもたらす基板搬送手段。」
　
（２）　補正発明と引用発明との対比
　補正発明と引用発明とを対比すると、引用発明の「処理ユニット」、「基板搬送手段」、「回転昇降駆動部」、「保持アーム」、「基板慣性保持手段」、「載置部」は、その機能及び作用からみて、それぞれ補正発明の「基板処理ツール」、「基板搬送装置」、「駆動部」、「エンドエフェクタ」、「基板慣性補足エッジグリップ」、「接触パッド」に相当する。
　本願明細書の段落【０００９】の「エンドエフェクタは前パッドおよび後パッドの支持面上で平坦なワークピースを傾斜かつ偏心した状態で取り上げ、次に、エンドエフェクタの動作が生み出す横方向の力で、前パッドと後パッドとの間で水平状態で平坦なワークピースの心合わせおよび捕捉を同時に行う。」との記載から、本願発明の「補足」とは、いったん「エンドエフェクタ」の「パッド」上で取り上げられた「ワークピース」、すなわち「基板」が、「エンドエフェクタ」が生み出す力によって移動し、最終的に「エンドエフェクタ」上で安定した状態をいうものである。一方、上記認定事項（キ）で示したように、引用発明は、「保持アーム」の「載置部」上で取り上げられた「基板」が、「保持アーム」が生み出す慣性力によって移動し、最終的に「保持アーム」上で安定した状態に「保持」されるものである。そうすると、引用発明の「基板を保持する」は、補正発明の「基板を補足する」に相当する。
　引用発明の「基台」と補正発明の「可動アーム」とは、「駆動部（回転昇降駆動部）」と「基板慣性補足エッジグリップ（基板慣性保持手段）」とを連結する「連結手段」である点で共通する。
　
　そうすると、両者は、
「基板処理ツールのための基板搬送装置であって、
　駆動部と、
　前記駆動部と動作的に連結している連結手段と、
　前記基板処理ツール内で基板を保持、搬送するための前記連結手段と連結しているエンドエフェクタと、
　前記エンドエフェクタに連結している基板慣性捕捉エッジグリップと、を有し、
　前記基板慣性捕捉エッジグリップは、受動的な接触パッドを有し、前記受動的な接触パッドは、前記基板慣性捕捉エッジグリップが、前記基板を捕捉すると同時に、前記受動的な接触パッドによって基板の慣性により前記エンドエフェクタ上において前記基板を心合わせするように配され、前記捕捉及び心合わせの前に前記基板は受動的な接触パッド上に載置され、前記捕捉が前記基板の最終的な心合わせをもたらす基板搬送装置。」
　の点で一致し、以下の点で相違する。
　
＜相違点１＞
　「駆動部」と「基板慣性補足エッジグリップ」とを連結する「連結手段」について、補正発明では「可動アーム」であるのに対し、引用発明では「基台」である点。
　
＜相違点２＞
　補正発明の「受動的な接触パッド」は、「基板慣性補足エッジグリップが、基板を補足すると同時に、受動的な接触パッドのうち３つのみによって基板の慣性によりエンドエフェクタ上において基板の心合わせするように」、「基板慣性補足エッジグリップ」に配され、かつ、「補足及び心合わせの前に基板は全ての受動的な接触パッド上に配され」るのに対し、引用発明は、「基板」の慣性による「保持アーム」上における「基板」の心合わせが、いくつの「載置部」によってなされるか、そして「保持」及び「心合わせ」の前に「基板」が全ての受動的な「載置部」上に配されるか否か、が不明である点。
　
（３）　相違点についての検討
　
ア．　相違点１について
　基板搬送装置において、基板を直接保持する部材と基板の移動させる駆動部とを連結するための手段として、「アーム」を用いるものは、例えば、特開平７−１５３８１８号公報（特に、段落【０００４】及び【図１】に記載された「間接腕６」を参照。）、特開２００２−１１０７６９号公報（特に、段落【００１０】及び【図１】に記載された「２本のアーム３」を参照。）、特開平１０−３０８４３６号公報（特に、段落【００１７】及び【図１】に記載された「アーム５、６」を参照。）に記載されたように、従来周知である。そうすると、基板搬送装置である引用発明において、基板を直接保持する部材である保持と基板を移動させる駆動部である回転昇降駆動部との間を連結するための手段を、「可動アーム」としたことは、上記従来周知の手段を採用したにすぎず、かつ当該採用を阻害する特段の事由も見当たらないから、当業者にとって格別困難なことではない。
　
イ．　相違点２について
　基板搬送装置において、引用発明の「保持アーム」のように基板を直接保持する部材が、基板と接触する部分を３つのみ有し、かつ当該３つの接触する部分のみで保持できる形状の基板を搬送することは、例えば、特開平１１−１１１８０３号公報（例えば、段落【００２７】及び【図２】に記載された「基板支持部材６０」を参照。）、特開平１１−２４３１３３号公報（特に、段落【００３０】ないし【００３１】及び【図５】に記載された「支持部材５０」参照。）に記載されたように従来周知である。
　ここで、基板搬送装置には、多様な形状の基板を搬送できるようにするとの課題が内在するといえる。ここで、上記に例示した特開平１１−１１１８０３号の段落【００３２】の「上記実施形態では、３つの基板支持部材６０でウエハ１を位置決め・支持しているが、基板支持部材６０の配設数については『３つ』に限定されるものではなく、『２つ』あるいは『４つ以上』設けるようにしてもよい。」との記載から、基板搬送装置の一つの実施形態において、基板を直接保持する部材の設置個数を適宜の数とすることが従来周知の技術的事項であるといえる。そうすると、引用発明が搬送する基板を、３つのみの「載置部」により保持しかつ心合わせできる形状のものとしたことは、上記課題を解決すべく、上記従来周知の技術事項にしたがって、当業者ならばなし得るものであり、格別困難なことではない。そして、安定した姿勢を保つために、「保持」及び「心合わせ」の前に、「基板」が「載置部」の全ての上に配されるように構成することは、当業者が、容易に想到し得るものである。
　したがって、引用発明において、相違点２に係る構成を採用することは、上記周知の事項に基づいて当業者が容易に想到し得た事項である。
　
ウ．　作用効果について
　補正発明により得られる作用効果も、引用発明及び従来周知の技術事項から予測し得る範囲のものであって格別なものとはいえない。
エ．　小結
　以上のとおりであるから、補正発明は、引用発明及び従来周知の技術事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（４）　むすび
　上記（３）で検討したとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり、決定する。
　
第３　本願発明
　
１．　本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲の請求項１ないし２２に係る発明は、平成２５年２月１９日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし２２にそれぞれ記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記第２の１．の［本件補正前］の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。
　
２．　引用文献
　上記刊行物には、上記第２の２．の（１）のイの引用発明が記載されている。
　
３．　当審の判断
　本願発明は、実質的に補正発明の特定事項である「補足」について「基板の最終的な心合わせをもたらす」との限定を除いたものである。
　そして、本願発明の構成を全て備えた補正発明が、上記第２の２．の（３）に示したとおり、引用発明及び従来周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、引用発明及び従来周知の技術事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第４　まとめ
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、その他の請求項について検討するまでもなく、本願は拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。