(57)【要約】【課題】十分な微粒子を簡易に発生させることができる微粒子発生方法、微粒子発生装置、微粒子ユニットおよび清浄化検証システムを提供する。【解決手段】金属膜を蒸着した被擦過部材５１の表面を擦過部材５２，５３で相対的に擦過することで、金属膜から金属微粒子を剥離し雰囲気中に拡散させるものであって、表面に金属膜を蒸着した被擦過部材５１と、被擦過部材５１の表面を相対的に擦過して金属膜から金属微粒子を剥離する擦過部材５２，５３と、剥離した金属微粒子を雰囲気中に拡散し送出する拡散・送出手段４２と、を備えたものである。【選択図】図２
2007138269.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に金属膜を蒸着した被擦過部材の表面を擦過部材により相対的に擦過することで、前記金属膜から金属微粒子を剥離し雰囲気中に拡散させることを特徴とする微粒子発生方法。
【請求項２】
表面に金属膜を蒸着した被擦過部材と、
前記被擦過部材の表面を相対的に擦過して前記金属膜から金属微粒子を剥離する擦過部材と、
剥離した前記金属微粒子を雰囲気中に拡散し送出する拡散・送出手段と、を備えたことを特徴とする微粒子発生装置。
【請求項３】
前記擦過部材および前記被擦過部材の少なくとも一方が、可とう性部材で構成されていることを特徴とする請求項２に記載の微粒子発生装置。
【請求項４】
前記被擦過部材が、テープ基材にアルミニウム膜を蒸着したアルミテープであることを特徴とする請求項２または３に記載の微粒子発生装置。
【請求項５】
前記擦過部材は回転体で構成され、前記被擦過部材に間欠的に回転接触することを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の微粒子発生装置。
【請求項６】
前記拡散・送出手段が、送風ファンであり、
前記擦過部材が、前記送風ファンの羽根車であり、
前記被擦過部材が、前記羽根車の回転軌跡内に臨むように配設されると共に、シート基材に金属膜を蒸着したシート状部材であることを特徴とする請求項２に記載の微粒子発生装置。
【請求項７】
前記シート状部材は、前記送風ファンの送風路に直交するように臨ませた支持部材に取り付けられていることを特徴とする請求項６に記載の微粒子発生装置。
【請求項８】
前記支持部材が、前記送風ファンのファンモータおよび前記羽根車を、前記送風ファンのファンケーシングに支持するステーであることを特徴とする請求項７に記載の微粒子発生装置。
【請求項９】
前記支持部材は、前記送風ファンのファンケーシングに着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項６または７に記載の微粒子発生装置。
【請求項１０】
前記羽根車には、前記羽根車の回転に伴って前記シート状部材に接触する第２のシート状部材が取り付けられていることを特徴とする請求項６ないし９のいずれかに記載の微粒子発生装置。
【請求項１１】
前記拡散・送出手段が、送風ファンであり、
前記被擦過部材が、前記送風ファンの羽根車に取り付けられると共に、シート基材に金属膜を蒸着したシート状部材であり、
前記擦過部材が、前記羽根車により円運動する前記シート状部材に対し、接触するように配設した接触部材であることを特徴とする請求項２に記載の微粒子発生装置。
【請求項１２】
請求項２ないし１１のいずれかに記載の微粒子発生装置と、
前記微粒子発生装置を収容するハウジングと、を備え、
前記ハウジングには、ドライエアーを導入するエアー導入口および生成した微粒子エアーを送出するエアー送出口が、設けられていることを特徴とする微粒子ユニット。
【請求項１３】
前記ハウジングは、密閉型のエアータンクを構成していることを特徴とする請求項１２に記載の微粒子ユニット。
【請求項１４】
前記ハウジングには、前記エアー送出口から送出し使用された前記微粒子エアーのリターンエアーが流入するリターン流入口が、更に設けられていることを特徴とする請求項１２または１３に記載の微粒子ユニット。
【請求項１５】
略同一の湿度および圧力に調整されたクリーンエアーおよびドライエアーを供給する高圧エアー供給手段と、
前記高圧エアー供給手段から供給された前記ドライエアーを導入する請求項１２ないし１４のいずれかに記載の微粒子ユニットと、
前記微粒子ユニットから送出された前記微粒子エアーと前記高圧エアー供給手段から供給された前記クリーンエアーとを混合調整して検証対象に供給するミキシング手段と、を備えたことを特徴とする清浄化検証システム。
【請求項１６】
前記高圧エアー供給手段は、
コンプレッサと、
前記コンプレッサに接続されたドライヤーと、
上流側を前記ドライヤーに連通し下流側を前記ミキシング手段に連通するクリーンエアー流路と、
上流側を前記ドライヤーに連通し下流側を前記微粒子ユニットに連通するドライエアー流路と、
前記クリーンエアー流路に介設され、前記ドライエアーを清浄化するフィルタユニットと、を有していることを特徴とする請求項１５に記載の清浄化検証システム。
【請求項１７】
前記ミキシング手段は、
前記微粒子エアーと前記クリーンエアーとを合流させる合流継手と、
前記微粒子ユニットと前記合流継手との間および／または前記高圧エアー供給手段と前記合流継手との間に介設したスピードコントローラと、を有していることを特徴とする請求項１５または１６に記載の清浄化検証システム。
【請求項１８】
清浄化された高圧のドライクリーンエアーを供給するエアー供給設備に接続して使用される清浄化検証システムであって、
前記エアー供給設備から供給された前記ドライクリーンエアーを導入する請求項１２ないし１４のいずれかに記載の微粒子ユニットと、
前記微粒子ユニットから送出された前記微粒子エアーと前記エアー供給設備から供給された前記ドライクリーンエアーとを混合調整して検証対象に供給するミキシング手段と、を備えたことを特徴とする清浄化検証システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉塵に代わる金属微粒子を発生させる微粒子発生方法、微粒子発生装置、これを備えた微粒子ユニットおよびこれを備えた清浄化検証システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、粉塵に代わる微粒子を発生させる微粒子発生装置として、微小ミストを発生させる微小ミスト発生装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この微小ミスト発生装置は、エアーフィルタを通してノズルから高沸点の溶液内に清浄空気（クリーンエアー）を吹き込むことにより、微小ミストを発生させるようにしている。
そして、この発生させた微小ミストを含むエアーを、クリーンルームやクリーンブースに導入し、クリーン度、微粒子の挙動、センサの性能等を検証するようにしている。
【特許文献１】特開平３−１５８７４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、このような従来の微小ミスト発生装置では、溶液として特殊な試薬（フタル酸ジオクチルやセバシン酸ジオクチル）を用いるため高度な操作技術が必要となると共に、装置自体が複雑でコスト高となる問題があった。
【０００４】
本発明は、十分な微粒子を簡易に発生させることができる微粒子発生方法、微粒子発生装置、これを備えた微粒子ユニットおよびこれを備えた清浄化検証システムを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の微粒子発生方法は、表面に金属膜を蒸着した被擦過部材の表面を擦過部材により相対的に擦過することで、金属膜から金属微粒子を剥離し雰囲気中に拡散させることを特徴とする。
【０００６】
本発明の微粒子発生装置は、表面に金属膜を蒸着した被擦過部材と、被擦過部材の表面を相対的に擦過して金属膜から金属微粒子を剥離する擦過部材と、剥離した金属微粒子を雰囲気中に拡散し送出する拡散・送出手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
これらの構成によれば、金属膜を蒸着した被擦過部材を擦過部材で擦過すると、金属膜から金属微粒子が分子レベルで削り取られるようにして離脱する。これを雰囲気中に拡散すれば、金属微粒子を所定の濃度で含んだ微粒子エアーが生成される。この場合、擦過力、擦過面積、擦過スピード等を調整することにより、得られる金属微粒子の量を調整することができる。しかも、擦過という極めて簡単な動作で微粒子エアーを得ることができる。なお、蒸着する金属としては、軽量で拡散し易いアルミニウムの他、銅、ニッケル、銀、錫、亜鉛等が、好ましい。また、被擦過部材の寿命を延ばすべく、被擦過部材の擦過位置が移動するように被擦過部材に対し擦過部材を相対的に移動させる移動手段を、設けるようにしてもよい。
【０００８】
この場合、擦過部材および被擦過部材の少なくとも一方が、可とう性部材で構成されていることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、擦過部材と被擦過部材との擦過動作が安定且つ適切に行われるため、金属微粒子を安定に得ることができる。なお、可とう性部材としては、弾性体、シート材、フィルム材等が、好ましい。
【００１０】
これらの場合、被擦過部材が、テープ基材にアルミニウム膜を蒸着したアルミテープであることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、被擦過部材を、市販品として容易に得ることができると共に、加工や形態変更等を容易に行うことができる。すなわち、被擦過部材として、安価で取扱い容易なものを用いることができる。なお、アルミテープは、裏面に粘着剤を塗着したものが、より好ましい。
【００１２】
これらの場合、擦過部材は回転体で構成され、被擦過部材に間欠的に回転接触することが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、極めて単純な構造で、確実且つ安定に擦過動作を行わせることができる。また、擦過部材を被擦過部材に間欠的に回転接触させることで、金属微粒子を効率良く剥離・拡散させることができる。
【００１４】
一方、拡散・送出手段が、送風ファンであり、擦過部材が、送風ファンの羽根車であり、被擦過部材が、羽根車の回転軌跡内に臨むように配設されると共に、シート基材に金属膜を蒸着したシート部材であることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、市販の送風ファンを活用することができるため、極めて安価で単純な構造とすることができる。なお、送風ファンには、羽根車を有する各種のファンが適用可能である。なお、シート状部材は、テープであって、裏面に粘着剤を塗着したものが、好ましい。
【００１６】
この場合、シート部材は、送風ファンの送風路に直交するように臨ませた支持部材に取り付けられていることが、好ましい。
【００１７】
そして、支持部材が、送風ファンのファンモータおよび羽根車を、送風ファンのファンケーシングに支持するステーであることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、シート部材を適切且つ簡単に配設することができる。また、ステーを支持部材とすることで、送風ファンを有効に活用することができ、より一層安価で単純な構造とすることができる。
【００１９】
これらの場合、支持部材は、送風ファンのファンケーシングに着脱自在に取り付けられていることが、好ましい。
【００２０】
この構成によれば、支持部材を取り外した状態で、これにシート部材を取り付けることができるため、シート部材を支持部材に簡単に取り付けることができる。また、支持部材にシート部材を取り付けた交換用のものを用意しておけば、シート部材を簡単且つ迅速に交換することができる。
【００２１】
さらに、羽根車には、羽根車の回転に伴ってシート部材に接触する第２のシート部材が取り付けられていることが、好ましい。
【００２２】
この構成によれば、支持部材に取り付けられた固定側のシート部材と、羽根車に取り付けた第２のシート部材である可動側のシート部材と、が擦過することになるため、金属微粒子を含む微粒子エアーをより効率良く発生させることができる。
【００２３】
また、拡散・送出手段が、送風ファンであり、被擦過部材が、送風ファンの羽根車に取り付けられると共に、シート基材に金属膜を蒸着したシート部材であり、擦過部材が、羽根車により円運動するシート部材に対し、接触するように配設した接触部材であることが、好ましい。
【００２４】
この構成によれば、市販の送風ファンを活用することができるため、極めて安価で簡単な構造とすることができる。そして、この場合も、送風ファンには、羽根車を有する各種のファンが適用可能である。なお、シート状部材は、テープであって、裏面に粘着剤を塗着したものが、好ましい。
【００２５】
本発明の微粒子ユニットは、上記した微粒子発生装置と、微粒子発生装置を収容するハウジングと、を備え、ハウジングには、ドライエアーを導入するエアー導入口および生成した微粒子エアーを送出するエアー送出口が、設けられていることを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、微粒子エアーを漏洩させることなく、加圧した状態でエアー送出口から供給することができ、微粒子エアーを適切に管理することができる。
【００２７】
この場合、ハウジングは、密閉型のエアータンクを構成していることが、好ましい。
【００２８】
この構成によれば、ドライエアーが、ＯＮ−ＯＦＦ制御されるコンプレッサ等で加圧供給される場合でも、ハウジングをサージタンクとして機能させることができるため、微粒子エアーを一定の圧力を維持しつつ連続供給することができる。
【００２９】
これらの場合、ハウジングには、エアー送出口から送出し使用された微粒子エアーのリターンエアーが流入するリターン流入口が、更に設けられていることが好ましい。
【００３０】
この構成によれば、例えばクリーンルーム等に微粒子エアーを供給した場合に、これをリターン流入口から回収すれば、微粒子エアーによる汚染を防止することができると共に微粒子エアーの再利用も可能になる。
【００３１】
本発明の清浄化検証システムは、略同一の湿度および圧力に調整されたクリーンエアーおよびドライエアーを供給する高圧エアー供給手段と、高圧エアー供給手段から供給されたドライエアーを導入する上記の微粒子ユニットと、微粒子ユニットから送出された微粒子エアーと高圧エアー供給手段から供給されたクリーンエアーとを混合調整して検証対象に供給するミキシング手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３２】
この構成によれば、微粒子ユニットから送出された微粒子エアーとクリーンエアーとを混合調整して検証対象に供給するようにしているため、金属微粒子が濃度調整されたドライな微粒子エアーを検証対象に供給することができる。
【００３３】
この場合、高圧エアー供給手段は、コンプレッサと、コンプレッサに接続されたドライヤーと、上流側をドライヤーに連通し下流側をミキシング手段に連通するクリーンエアー流路と、上流側をドライヤーに連通し下流側を微粒子ユニットに連通するドライエアー流路と、クリーンエアー流路に介設され、ドライエアーを清浄化するフィルタユニットと、を有していることが好ましい。
【００３４】
この構成によれば、コンプレッサをエアー供給源として、ドライな微粒子エアーを検証対象に供給することができ、システム構成を単純化することができる。また、システムを低コストで構成することができる。
【００３５】
これらの場合、ミキシング手段は、微粒子エアーとクリーンエアーとを合流させる合流継手と、微粒子ユニットと合流継手との間および／または高圧エアー供給手段と合流継手との間に介設したスピードコントローラと、を有していることが好ましい。
【００３６】
この構成によれば、スピードコントローラにより、検証対象に供給する微粒子エアーにおける金属微粒子の濃度を自在に調整することができ、検証対象に所望の濃度の微粒子エアー供給することができる。
【００３７】
本発明の他の清浄化検証システムは、清浄化された高圧のドライクリーンエアーを供給するエアー供給設備に接続して使用される清浄化検証システムであって、エアー供給設備から供給されたドライクリーンエアーを導入する上記の微粒子ユニットと、微粒子ユニットから送出された微粒子エアーとエアー供給設備から供給されたドライクリーンエアーとを混合調整して検証対象に供給するミキシング手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３８】
この構成によれば、ドライクリーンエアーを供給する既設のエアー供給設備がある場合、これを利用して金属微粒子が濃度調整された微粒子エアーを検証対象に供給することができる。また、上記のような高圧エアー供給手段を省略できる分、コストを削減することができると共に、装置をコンパクトに構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る微粒子ユニット、およびこれを適用した清浄化検証システムについて説明する。この清浄化検証システムは、クリーンルームやクリーンブース等におけるクリーン度や微粒子の挙動の検証、あるいはこれに設置する煙感知器等のセンサの性能を検証するために、これら検証対象に、粉塵のダミーとして金属微粒子による微粒子エアーを生成させて供給するものである。そして、微粒子エアーは、送風ファンの羽根車でアルミテープ（シート状部材）を擦過し、アルミテープからアルミ微粒子を剥離し拡散させることで、発生させるようにしている。
【００４０】
図１のシステム図に示すように、清浄化検証システム１は、エアー供給源をエアーコンプレッサ３としてドライクリーンエアーおよびドライエアーを高圧で供給する高圧エアー供給部（高圧エアー供給手段）２と、高圧エアー供給部３から供給されたドライエアーを導入し微粒子エアーを送出する微粒子発生部（微粒子ユニット）４と、微粒子発生部４から送出された微粒子エアーと高圧エアー供給部２から供給されたドライクリーンエアーとを混合調整して検証対象（ユースポイントＰ）に供給するミキシング部（ミキシング手段）５と、で構成されている。
【００４１】
高圧エアー供給部２は、エアーコンプレッサ３と、エアーコンプレッサ３をエアー供給源としてドライクリーンエアーおよびドライエアーを生成する処理エアー発生部７と、を備えている。エアーコンプレッサ３は、例えばサージタンク付の小型コンプレッサで構成され、所定の圧力に加圧した高圧エアーを処理エアー発生部７に供給する。処理エアー発生部７は、エアーコンプレッサ３に接続した高圧エアー流路８を２分岐した、クリーンエアー流路９およびドライエアー流路１０を有している。クリーンエアー流路９には、上流側からクリーン側レギュレータ１２、クリーン側ドライヤー１３、フィルタユニット１４およびクリーン側流量調整弁１５が介設され、またドライエアー流路１０には、上流側からドライ側レギュレータ１７、ドライ側ドライヤー１８およびドライ側流量調整弁１９が介設されている。
【００４２】
クリーンエアー流路９では、エアーコンプレッサ３からの高圧エアーを、クリーン側レギュレータ１２により所定の圧力に減圧した後、クリーン側ドライヤー１３で除湿し、さらにフィルタユニット１４で清浄化した後、クリーン側流量調整弁１５により流量調整し、ドライクリーンエアーとしてミキシング部５に供給する。フィルタユニット１４は、上流側から５μｍフィルタ２１、０．３μｍフィルタ２２および０．０１μｍフィルタ２３を連ねて構成され、高クリーン度のドライクリーンエアーを生成する。
一方、ドライエアー流路１０では、エアーコンプレッサ３からの高圧エアーを、ドライ側レギュレータ１７により所定の圧力に減圧した後、ドライ側ドライヤー１８で除湿し、さらにドライ側流量調整弁１９により流量調整し、ドライエアーとして微粒子発生部４に供給する。
【００４３】
この場合、クリーン側レギュレータ１２とドライ側レギュレータ１７は、ドライクリーンエアーおよび微粒子エアーが、ミキシング部（のスピードコントローラ）５に供給される状態で略同圧となるように圧力調整（両者の流路の圧力損失を考慮）している。もっとも、上記の圧力損失に大きな差が無い場合には、クリーン側レギュレータ１２およびドライ側レギュレータ１７を共通（単一）のもので構成し、且つクリーン側ドライヤー１３およびドライ側ドライヤー１８を共通（単一）のもので構成し、クリーンエアー流路９およびドライエアー流路１０をこのドライヤーの下流側で分岐させるようにしてもよい。
【００４４】
なお、ユースポイントＰに、ドライクリーンエアーを供給可能なエアー供給設備（工場設備等）が設けられている場合には、高圧エアー供給部２を省略して、清浄化検証システム１を構成することも可能である。かかる場合には、携帯可能であって低コストの清浄化検証システム１を構成することができる。同様に、ドライエアーを供給可能な設備が設けられている場合には、最も大きな構成部品であるコンプレッサ３を省略して、清浄化検証システム１を構成することができる。
【００４５】
一方、ミキシング部５は、処理エアー発生部７から供給されるドライクリーンエアーと、微粒子発生部４から供給される微粒子エアーとを合流させる合流継手２５を有すると共に、処理エアー発生部７と合流継手２５とを接続するドライクリーンエアー流路２６に介設したクリーン側スピードコントローラ２７と、微粒子発生部４と合流継手２５とを接続する微粒子エアー流路２８に介設した微粒子側スピードコントローラ２９と、を有している。合流継手２５は、例えばＴ字継手やＹ字継手の他、マニホールド等で構成されており、この合流継手２５によりドライクリーンエアーと微粒子エアーとが混合されて、ユースポイントＰに供給される。
【００４６】
クリーン側スピードコントローラ２７および微粒子側スピードコントローラ２９は、いわゆる逆止め機構付きの流量調整弁であり、ドライクリーンエアーと微粒子エアーの混合比率を調整し、ユースポイントＰに供給する微粒子エアーの微粒子濃度を調整できるようになっている。すなわち、この両スピードコントローラ２７，２９により、ユースポイント（例えばクリーンルーム）Ｐのクリーン度（汚染度）を調整可能となっている。なお、上記の各種の流路は、パイプで構成してもよいしチューブ（高圧チューブ）で構成してもよい。また、ドライクリーンエアーと微粒子エアーとが安定に供給される場合には、クリーン側スピードコントローラ２７および微粒子側スピードコントローラ２９の一方を省略してもよい。さらに、実施形態の両スピードコントローラ２７，２９は手動式のものであるが、自動式のものであってもよい。
【００４７】
微粒子発生部４は、ファンアッセンブリ３２を有する微粒子ユニット３１と、ファンアッセンブリ３２に直流電源を供給する安定化電源３３と、を備えている。安定化電源３３は、商用電源に接続されると共に、交流／直流の整流回路を含む電圧安定化回路を有している（いずれも図示省略）。微粒子ユニット３１は、密閉タンクの形態を有するハウジング３５と、ハウジング３５に収容され、金属微粒子を発生させるファンアッセンブリ３２と、を有している。なお、後述するファンアッセンブリ３２の送風ファン４２が交流モータを使用するものでは、安定化電源３３を省略（商用電源を利用）することができる。
【００４８】
ハウジング３５は、例えば太径のパイプ材を切断し、下端を、ベースを兼ねたフランジで閉塞すると共に、上端をフランジ接合で開閉自在に閉蓋して、構成されている。蓋体で構成されたハウジングの上面３５ａには、上記のドライエアー流路１０にチューブ接続されたエアー導入口３６が形成され、このエアー導入口３６を介して、処理エアー発生部７からハウジング３５内にドライエアーを導入される。また、ハウジング３５の上面３５ａには、上記の微粒子エアー流路２８に接続されたエアー送出口３７が形成され、エアー送出口３７を介して、ハウジング３５からミキシング部５に微粒子エアーを送出される。
【００４９】
さらに、ハウジング３５の上面３５ａにはリターン流入口３８が形成されており、このリターン流入口３８は、ユースポイントＰで使用された使用済み微粒子エアーをハウジング３５に戻すリターン流路３９に接続されている。ユースポイントＰで清浄化検証に使用された微粒子エアーは、排気設備がある場合にはこれに排気してもよいが、リターン流路３９を介してハウジング３５に戻すことが好ましい（その際には、ドライ側流量調整弁１９を絞る）。これにより、微粒子エアーによる汚染が防止され、且つ微粒子エアーの再利用が可能になる。一方、高圧のドライエアーを導入するハウジング３５は、圧力タンクの機能を有しており、ハウジング３５の上面３５ａには、ハウジング３５内が所定の圧力を越えた時に内部エアーを逃がす安全弁４０が設けられている。
【００５０】
図２および図３に示すように、ファンアッセンブリ３２は、小型の送風ファン４２と、送風ファン４２を上向きに支持する４本の支持脚４３と、を備えている。この場合、コストの低減を図るべく、送風ファン４２は、例えば電子機器の冷却用部品として市販されているものを、また各支持脚４３は、電子機器のスペーサ用部品として市販されているものを用いることが、好ましい。
【００５１】
送風ファン４２は、直流のファンモータ４５と、ファンモータ４５に直結した羽根車４６と、内周部に円筒状の送風路４７を形成すると共に送風路４７にファンモータ４５および羽根車４６を収容したファンケーシング４８と、ファンケーシング４８内にファンモータ４５および羽根車４６を支持するように、ファンケーシング４８とファンモータ（実際には、モータホルダ５６）４５との間に渡した４本のステー４８と、を有している。詳細は後述するが、この４本のステー４９のうちの３本のステー４９ｂに、被擦過部材であるアルミテープ（以下、「固定側アルミテープ」という。）５１がそれぞれ取り付けられている。また、羽根車４６の６枚の羽根５２のうちの３枚の羽根５２ｂに擦過部材であるアルミテープ（以下、「可動側アルミテープ」という。）５３がそれぞれ取り付けられ、且つ他の３枚の羽根５２ａは自身が擦過部材として機能する。この場合、固定側アルミテープ５１および可動側アルミテープ５３は、テープ基材の表面にアルミニウム膜を蒸着すると共に裏面に粘着剤を塗着した市販のものであり、適宜折り曲げて使用される（詳細は後述する）。
【００５２】
ファンケーシング４８は、平面視正方形に形成されており、その四隅には固定ねじ５５がそれぞれ貫通している。そして、この各固定ねじ５５に螺合するようにしてファンケーシング４８の下面に各支持脚４３が固定されている。ファンモータ４５は、モータホルダ５６に内蔵され、このモータホルダ５６とファンケーシング４８との間には、吹出し側に位置して上記の４本のステー４９が掛け渡されている。４本のステー４９は、ファンケーシング４８の対角方向に延在しており、そのうち１本のステー４９ａは、ファンモータ４５に接続されるケーブル５７用の溝を有して断面「Ｕ」字状に形成され、他の３本のステー４９ｂは、断面円形の丸棒状に形成されている。そして、モータホルダ５６、ファンケーシング４８および４本のステー４９は、樹脂等で一体に成形されている。
【００５３】
丸棒状に形成された３本のステー（支持部材）４９ｂには、自由端が羽根車の回転方向に斜めに延在するように、それぞれ固定側アルミテープ５１が取り付けられている。
図４に示すように、各固定側アルミテープ５１は、ステー４９ａの径に対し十分な長さにカットしたものを用意し、ステー４９ａを巻き込むようにして折曲げ部５１ａを擦過部５１ｂに貼着すると共に、この擦過部５１ｂに貼着した折曲げ部５１ａの上から折返し部５１ｃを貼着するようにしている。このようにして、固定側アルミテープ５１をステー４９ａに取り付けたら、固定側アルミテープ５１を羽根車４６の回転軌跡内に臨むように内側に僅かに折り曲げる。これにより、可とう性を有する固定側アルミテープ５１の自由端に、回転する羽根車４６が間欠的に接触（擦過動作）する。
【００５４】
なお、固定側アルミテープ５１は、４本のステー４９の全てに取り付けても良いし、１本または２本のステー４９に取り付けるようにしてもよい。また、図示では省略したが、ステー４９とは別に棒状の支持部材（１〜４本）を、モータホルダ５６とファンケーシング４８との間、或いは両者のいずれかに着脱自在に装着し、この支持部材に固定側アルミテープ５１を取り付けてもよい。かかる場合には、支持部材を取り外した状態で固定側アルミテープ５１を取り付けることが、好ましい。また、支持部材に固定側アルミテープ５１を取り付けたものを用意しておいて、適宜交換するようにしてもよい。
【００５５】
同様に、羽根車４６の６枚の羽根５２のうちの１つ置きの３枚の羽根５２ｂには、風切り側の側縁に可動側アルミテープ５３が、それぞれ取り付けられている。
図５に示すように、各可動側アルミテープ５３は、羽根の幅程度の長さにカットしたものを用意し、その中間を折り曲げて羽根５２ｂを表裏から挟み込むように貼着される。これにより、各固定側アルミテープ５１の自由端に、羽根車４６により円運動する各可動側アルミテープ５３が間欠的に接触（擦過動作）する。
【００５６】
この場合も、可動側アルミテープ５３は、１枚以上の羽根５２に適宜取り付けても良いし、全く取り付けないようにしてもよい。また、可動側アルミテープ５３を上記の固定側アルミテープ５１のように自由端が生ずるように（図４参照）、羽根５２に取り付けるようにしてもよい。この場合には、ステー４９に取り付ける固定側アルミテープ５１は、ステー４９を巻くように取り付けるか、固定側アルミテープ５１を省略（取り付けない）するようにする。
【００５７】
このように構成されたファンアッセンブリ３２では、の羽根車４６が回転すると、３枚の可動側アルミテープ５３が３枚の固定側アルミテープ５１に回転接触すると同時に、３枚の羽根５２ａが３枚の固定側アルミテープ５１に回転接触する。これにより、各固定側アルミテープ５１に各可動側アルミテープ５３或いは各羽根５２ａが擦過することになり、固定側アルミテープ５１の表面に蒸着されたアルミニウム膜からアルミ微粒子が剥離すると同時に、可動側アルミテープ５３の表面のアルミニウム膜からアルミ微粒子が剥離する。そして、剥離したアルミ微粒子は、送風ファン４２により送風されるドライエアー（雰囲気）に拡散しつつ、ハウジング３５のエアー送出口３７から送出される。
【００５８】
図６は、固定側アルミテープ５１と可動側アルミテープ５３との擦過状態を模式的に表したものである。同図に示すように、両アルミテープ５１，５３の相互の回転接触（擦過）により、それぞれのアルミニウム膜６１からアルミ微粒子６２が分子レベルで剥離し、羽根車４６の送風エアー（ドライエアー）に拡散しつつ送出される。
【００５９】
以上のように、本実施形態によれば、送風ファン４２を用いた極めて単純な構造で、粉塵に代わるアルミ微粒子６２の微粒子エアーを発生させることができる。そして、発生させた微粒子エアーをミキシング部５で濃度調整した後、ユースポイントＰに供給することができる。このため、ユースポイントＰでは、所望の濃度の微粒子エアーを得ることができ、クリーン度、微粒子の挙動、センサの性能等を適切に検証することができる。
【００６０】
なお、実施形態では、微粒子エアーを得るためにアルミテープ（被擦過部材）を用いたが、これに代えて、銅、ニッケル、銀、錫、亜鉛等の蒸着膜を例えば弾性材、シート材、フィルム材等に形成したものを用いるようにしてもよい。例えば、内面に銅を蒸着した円筒状のフィルム内に、ファンを裸で設け、羽根車（例えばステンレス）でフィルムの内面を擦過するようなものであってもよい。また、実施形態の送風ファンに代えて、羽根車を有する各種のファン（例えばシロッコファン）を用いることは元より、擦過部材および被擦過部材を擦過させる動力機構（回転または往復動）と、ファンとを別体とする構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】実施形態に係る清浄化検証システムのシステム図である。
【図２】実施形態に係るファンアッセンブリの平面図である。
【図３】実施形態に係るファンアッセンブリの側面図である。
【図４】固定側アルミテープの取付け図である。
【図５】可動側アルミテープの取付け図である。
【図６】アルミ微粒子の発生メカニズムを表した模式図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  清浄化検証システム、２  高圧エアー供給部、３  エアーコンプレッサ、４  微粒子発生部、５  ミキシング部、７  処理エアー発生部、９  クリーンエアー流路、１０  ドライエアー流路、１４  フィルタユニット、２５  合流継手、２６  ドライクリーンエアー流路、２７  クリーン側スピードコントローラ、２８  微粒子エアー流路、２９  微粒子側スピードコントローラ、３１  微粒子ユニット、３２  ファンアッセンブリ、３５  ハウジング、３６  エアー導入口、３７  エアー送出口、３８  リターン流入口、４２  送風ファン、４５  ファンモータ、４６  羽根車、４７  送風路、４８  ファンケーシング、４９  ステー、５１  固定側アルミテープ、５２  羽根、５３  可動側アルミテープ、６１  アルミニウム膜、６２  アルミ微粒子、Ｐ  ユースポイント（検証対象）
【図１】
2007138269.tif 000003
【図２】
2007138269.tif 000004
【図３】
2007138269.tif 000005
【図４】
2007138269.tif 000006
【図５】
2007138269.tif 000007
【図６】
2007138269.tif 000008