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　特願２００８−３２５５６５「真空ポンプ」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年　７月　９日出願公開，特開２００９−１５０３９８〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は，成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願の発明　
　本願は，平成２０年１２月２２日（パリ条約による優先権主張　平成１９年１２月２０日，英国）の特許出願であって，平成２５年　８月１９日付けで拒絶査定（発送日:平成２５年　８月２６日）がなされ，この査定を不服として，平成２５年１２月２０日に本件審判が請求された。　
　そして，平成２６年　３月１９日付けで当審において拒絶理由が通知（発送日:平成２６年　３月２４日）され，その応答期間内である平成２６年　９月２４日に意見書及び手続補正書が提出されたところである。　
　この出願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は，平成２６年　９月２４日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される，次のとおりのものと認められる。　
「【請求項１】　
　シャフトにより回転可能な真空ポンプ機構と，前記シャフトを回転させるためのブラシレスモータとを含む真空ポンプであって，前記モータは，　
　前記シャフトに対して固定され，少なくとも４つの極を有する永久磁石ロータと，　
　高導電性又は高透磁率の材料で製造されたポンプハウジングに対して固定され，重ならないステータコイルを有するステータと，　
　前記ロータが前記ステータに対して回転できるように，前記ロータと前記ステータの相対位置に応じて前記ステータコイルを選択的に励磁するためのモータ制御手段と，を含み，　
　前記モータ制御手段は，１分当たり少なくとも２０，０００回転で，前記真空ポンプ機構を回転させるのに十分な周波数で前記ステータコイルを励磁させるように構成され，　
　前記永久磁石ロータは，前記ステータを越えて延びておらず，　
　前記モータ制御手段は，前記ロータと前記ステータの前記相対位置を感知する光センサを含み，または前記ステータコイルにおける磁束の計算により，前記ロータと前記ステータの前記相対位置を求めるように構成されている，ことを特徴とする真空ポンプ。」　
　
 ２．引用例とその記載事項　
（１）平成２６年　３月１９日付けの当審における拒絶の理由で引用された本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００６−１５８０２２号公報（以下，「刊行物１」という。）には，「ＤＣブラシレスモータ装置およびターボ分子ポンプ」に関し，図面とともに次の事項が記載又は示されている。　
　
「【請求項１】　
　回転子と固定子巻線とを有するＤＣブラシレスモータ装置において，　
　前記固定子巻線の端子電圧に基づいてゼロクロス点を検出するゼロクロス点検出部と，　
　前記ゼロクロス点検出部により検出されたゼロクロス点に基づいて，前記回転子の回転周期を算出する回転周期演算部と，　
　前記回転周期演算部により回転周期が算出されたときに，その算出された回転周期と，その算出時よりも過去に算出された少なくとも一つの回転周期とに基づいて前記回転子の回転を制御する制御部とを備えたことを特徴とするＤＣブラシレスモータ装置。　
【請求項２】　
　回転子と固定子巻線とを有するＤＣブラシレスモータ装置において，　
　前記回転子の回転周期を検出するセンサと，　
　前記センサにより回転周期が検出されたときに，その検出された回転周期と，その検出時よりも過去に検出された少なくとも一つの回転周期とに基づいて前記回転子の回転を制御する制御部とを備えたことを特徴とするＤＣブラシレスモータ装置。　
【請求項３】　
　請求項１または２に記載のＤＣブラシレスモータ装置において，　
　前記回転子の複数の駆動状態毎に，前記制御用の複数の回転周期を用いて設定された回転制御設定条件をそれぞれ記憶する記憶部を備え，　
　前記制御部は，前記回転子の駆動状態に応じて，その駆動状態に対して設定された前記回転制御設定条件により制御することを特徴とするＤＣブラシレスモータ装置。　
【請求項４】
　請求項１〜３のいずれかに記載のＤＣブラシレスモータ装置を，ポンプロータの回転駆動手段として有することを特徴とするターボ分子ポンプ。」　
　
・「【技術分野】　
【０００１】　
　本発明は，ＤＣブラシレスモータ装置およびターボ分子ポンプに関する。
【背景技術】　
【０００２】　
　半導体製造装置等に用いられる真空ポンプとしてターボ分子ポンプがあるが，ターボ分子ポンプでは回転翼が形成されたロータをモータで回転駆動し，この回転翼を固定翼に対して高速回転させることにより気体分子を排気している。ロータを回転駆動するモータとしては，例えばＤＣブラシレスモータが用いられる。　
【０００３】　
　ＤＣブラシレスモータには，ホールセンサ等を回転位置検出センサとして用いたセンサ付タイプのものと，回転位置検出センサを用いないセンサレス駆動方式のものとがある。一般的に，高温雰囲気中などのホールセンサを嫌う用途においては，センサレス駆動方式のＤＣブラシレスモータが用いられている。　
【０００４】　
　センサレス駆動方式のＤＣブラシレスモータでは，各Ｕ，Ｖ，Ｗ相の固定子巻線の端子電圧と基準電位である中性点電位との電位差が正から負または負から正へと変化するゼロクロス点を検出し，検出したゼロクロス点から回転子磁極の位置情報を抽出する方法が用いられている（例えば，非特許文献１参照）。　
【０００５】　
【非特許文献１】見城尚志，永守重信著，「新・ブラシレスモータ」，総合電子出版社，２０００年７月，２．１３項  センサレスドライブ　
【発明の開示】　
【発明が解決しようとする課題】　
【０００６】　
　しかしながら，従来のセンサレス駆動方式では，中性点電位のノイズ等によるオフセット変動がゼロクロス点の検出に影響を与え，回転周期に変動が生じる場合があり，高精度な制御が困難となる。」　
　
・「【発明の効果】　
【０００８】　
　本発明によれば，回転周期演算部やセンサにより得られた回転周期と，その取得時よりも過去に得られた少なくとも一つの回転周期とに基づいて回転子の回転を制御するようにしたので，回転ムラの少ない高精度な回転制御を行うことができる。」　
　
・「【０００９】　
　以下，図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。図１は本発明によるＤＣブラシレスモータ装置の一実施の形態を示す図であり，ＤＣブラシレスモータ装置の概略構成を示すブロック図である。ＤＣブラシレスモータ装置は，ＤＣブラシレスモータ１，ＤＣブラシレスモータ１を駆動するインバータ２，直流電源３，インバータ２を制御するための制御信号を生成する制御回路４を備えている。　
【００１０】　
　図２は，ＤＣブラシレスモータを用いたターボ分子ポンプ本体の断面図を示したものである。ポンプ本体１のケーシング２０の内部には，複数段のロータ翼２１およびネジ溝部２２が形成されたロータ２９と，ロータ翼２１に対して交互に配設されるステータ翼２３と，上記ネジ溝部２２と対向するように配設される筒状部材２４とが設けられている。　
【００１１】　
　図２に示すターボ分子ポンプは磁気軸受式のポンプであって，ロータ２９は，ラジアル電磁石５１，５２とアキシャル電磁石５３とを有する磁気軸受によって非接触支持される。ロータ２９を電磁石５１，５２，５３により非接触支持しつつＤＣブラシレスモータ１により回転駆動すると，吸気口側のガスは矢印Ｇ１のように背圧側に排気され，排気口フランジ２６に接続された補助ポンプにより排気される。　
【００１２】　
　排気するガスがポンプ内に析出堆積しやすい場合には，ヒータで加熱しながら使用したり，ガス負荷が大きな場合には負荷により発熱したりするため，ＤＣブラシレスモータ１はセンサレス方式で制御される場合が多い。ターボ分子ポンプの場合，定常運転時は一定の回転速度で使用される。　
【００１３】　
　図１に戻って，ＤＣブラシレスモータ１は，永久磁石を有する回転子１ａと，Ｕ相巻線，Ｖ相巻線およびＷ相巻線を有する固定子１ｂとを備えている。インバータ２には，Ｕ相巻線，Ｖ相巻線およびＷ相巻線に対応してスイッチング素子Ｓ１〜Ｓ６およびフライホイールダイオードＤ１〜Ｄ６が設けられており，電源３の直流電圧を交流電圧に変換してＤＣブラシレスモータ１を駆動する。　
【００１４】　
　Ｕ〜Ｗ相巻線の端子電圧およびＮ点の電位（中性点電位）は制御回路４に読み込まれ，フィルタ回路４１により，端子電圧波形からＰＷＭ信号やノイズ等が除去される。そして，フィルタ回路４１からは図３の（ａ）に示すような電圧波形が出力される。なお，図３（ａ）はＵ〜Ｗ相の一相の電圧波形，例えば，Ｕ相の電圧波形を示したもので，Ｎ点の中性点電位を基準電位として示したものであり，横軸は電気角を表している。　
【００１５】　
　図３（ａ）に示す端子電圧は，インバータ２により印加される電圧と誘起電圧との和になっている。位置検出回路４２では，ノイズ等を除去した端子電圧と中性点電位とを比較して，端子電圧と中性点電位との電位差が正から負または負から正へと変化するゼロクロス点を検出する。図３（ａ）において，中性点電位（Ｎレベル）とクロスする点Ｐ１〜Ｐ１２がゼロクロス点であり，点Ｐ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７，Ｐ９，Ｐ１１が電位差が正から負に変化する点で，点Ｐ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８，Ｐ１０，Ｐ１２が電位差が負から正に変化する点である。　
【００１６】　
　位置検出回路４２では，ゼロクロス点を検出した後に，フライホイールダイオードＤ１〜Ｄ６のサージ電圧によって生じるゼロクロス点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ１０，Ｐ１１を，ノイズ分としてマスク回路などで除去し，回転子磁極の位置情報のみを抽出する。図３（ｂ）は抽出したゼロクロス点を示したものであり，ここでは電位差が正から負に変化するときのゼロクロス点Ｐ３，Ｐ９を抽出している。このときのゼロクロス点は，電気角で１８０度毎に抽出される。　
【００１７】　
　回転周期演算部４３では，位置検出回路４２で得られた位置情報に基づいてＤＣブラシレスモータ１の回転周期を算出する。回転周期算出方法については後述する。算出された回転周期は記憶部４５に記憶される。例えば，時系列順にｋ個の回転周期データを記憶し，ｋ＋１個目の回転周期データが得られたならば，最も古い回転周期データをｋ＋１個目の回転周期データで置き換える。　
【００１８】　
　スイッチング信号発生回路４４は，回転周期演算部４３で算出された回転周期に基づいて回転信号を生成し，インバータ２のスイッチング素子Ｓ１〜Ｓ６をオンオフするためのスイッチング信号を発生する。モータ回転数を制御するためには印加電圧を制御して巻線に流れる電流を変化させるが，その場合，目標回転数に応じたＰＷＭ信号でスイッチング信号を変換して電圧を変化させる。　
【００１９】　
　図３では，Ｕ相の電圧波形から抽出されるゼロクロス点を用いて回転信号を生成する例を示しており，ゼロクロス点を所定電気角（図３の場合には３０度）だけ位相シフト（遅延）して回転信号Ａを生成する。回転信号Ａは，一つ手前のゼロクロス点から現在のゼロクロス点までの時間から得られる回転周期に基づいて算出され，電気角１８０度に対応する期間はＶhighで，後半の１８０度はＶlowとなる。　
【００２０】　
　回転信号Ａは，ホールセンサを用いて回転位置を検出する場合と同一のタイミングに設定することが可能であり，ホールセンサと等価と見なすことができる。すなわち，図７に示すような論理変換により，各Ｕ，Ｖ，Ｗ相のスイッチング信号を発生することができる。図７において，符号ａで示す部分は図１のスイッチイング素子Ｓ２（Low Side)がオンとなり，符号ｂで示す部分はスイッチング素子Ｓ１(High Side)がオンとなる。　
【００２１】　
　Ｖ相およびＷ相の回転信号Ｂ，Ｃも同様にして生成することができる。また，Ｕ相（Ｖ相でもＷ相でもかまわない）のみの端子電圧を検出して，図３の（ｄ），（ｅ）のように回転信号Ａを１２０度または２４０度位相シフトすることにより，Ｖ相，Ｗ相の回転信号Ｂ，Ｃを生成するようにしても良い。　
【００２２】　
　ところで，従来はリアルタイムに抽出されたゼロクロス点の位置情報を用いて，回転周期を算出して回転信号Ａを生成していた。例えば，ｎ回目のゼロクロス点Ｐnを検出した場合，その前に検出されたゼロクロス点Ｐn-1からゼロクロス点Ｐnまでの時間間隔Ｔを回転周期とし，ゼロクロス点Ｐn検出時から所定電気角に対応する時間だけ遅延させて回転信号Ａを形成する。しかし，負荷変動により回転ムラが生じた場合や，ノイズ等によって中性点電位がずれた場合，回転周期Ｔは本来のあるべき回転周期からずれてしまうことになる。そこで，本実施の形態では，ｎ回目に抽出されたゼロクロス点Ｐnだけでなく，それ以前に抽出された複数のゼロクロス点による位置情報も利用して回転信号Ａを生成するようにした。　
【００２３】　
　図４は，回転周期の算出方法を説明する図であり，一定の回転周期で駆動する場合を示す。図４においてＰnはゼロクロス点の検出位置を示しており，横軸は時間を表している。理想的に等速回転していれば，検出されるゼロクロス点の間の時間間隔は等間隔となる。ｎ番目のゼロクロス点Ｐnが検出されると，次式（１）に示すように過去ｋ回の回転周期の移動平均に基づいて回転周期Ｔn’を算出する。そして，この回転周期Ｔn’に基づいて回転信号を生成する。　
【数１】　（省略）
【００２４】　
　このようにして，ゼロクロス点Ｐが得られるたびに式（１）を用いて回転周期Ｔn’を算出して，図４に示すような回転信号を次々と生成する。このように算出される回転周期Ｔn’を用いてｎ回目の駆動タイミングを生成することにより，例えば，Ｔnが本来の回転周期からずれていたとしても，過去のｋ回のデータを用いた平均をＴn’としているため，回転周期Ｔn’のズレは小さくなる。その結果，高精度な制御が可能となり，より滑らかな定速回転が実現される。　
【００２５】　
　式（１）はモータ回転状態が等速回転の場合を示したが，モータの回転周期がΔＴずつ単調に増加するような減速状態では，式（２）のような平均操作をして回転周期Ｔn’を算出する。この場合も，直近の回転周期Ｔnだけでなく，記憶部４５に記憶されているｋ回前までの回転周期Ｔn-1，Ｔn-2，…，Ｔn-kを用いて回転周期Ｔn’を求めるようにする。ΔＴずつ単調減速する場合には，一周期毎に回転周期がΔＴずつ増加するため「Ｔn-1＋ΔＴ＝Ｔn」となり，ｋ回前の回転周期Ｔn-kをｎ回目の回転周期に適用する場合には，式（２）のようにＴn-k＋ｋ・ΔＴとする必要がある。　
【数２】　（省略）
【００２６】　
　逆に，回転周期が単調に減少するような場合には，ΔＴを−ΔＴと置き換えれば同様の関係が成り立つ。図２に示したようなターボ分子ポンプの場合には，ロータの回転が一定の定常運転状態となってからポンプとしての使用を開始する。そのため，ポンプ使用開始前後の加速・減速時には，一定の割合で回転周期を変化させるのが一般的である。　
【００２７】　
　例えば，定常運転状態に対する平均処理として式（１）を，一定の割合で減速する運転状態に対する平均処理として式（２）をそれぞれ記憶部４５に記憶しておく。そして，定常運転時には式（１）を選択して制御を行い，一定の割合で減速運転する時には式（２）を選択して制御を行う。その結果，運転状態に応じた最適の制御が行える。　
【００２８】　
　この場合，平均回数ｋを大きく設定することにより，回転精度の向上を図ることができる。単調な加速・減速ではなく，回転数を変動させたりして加減速を繰り返すような使用状態の場合には，式（１），（２）においてｋ＝１と設定することで追随が可能となる。このように，運転状態に応じて平均の算出方法を変えたり，使用する過去のデータ数であるｋを変更することによって最適なモータ制御を行うことができる。　
【００２９】　
　また，ターボ分子ポンプの場合には，モータトルクに比べてロータ２９の慣性モーメントが大きいため加減速の時定数が制御周期に比べて極めて長く，上述した制御が適している。さらに，ターボ分子ポンプの場合には，放電ノイズ環境下で用いられることが多く，本実施の形態のＤＣブラシレスモータ１を使用することにより，ノイズに強いモータ制御が可能となる。　
【００３０】　
　なお，上述した実施の形態では，図１に示したように巻線の中性点Ｎの電位を基準電位として用いたが，図５に示すように接続された疑似回路５を追加して，疑似中性点Ｎ’の電位を基準電位として用いるようにしても良い。図１の構成では，Ｕ，Ｖ，Ｗ相巻線の結節点の電位を計測するので配線の引き回しが面倒であるが，図５の構成では，Ｕ，Ｖ，Ｗ相巻線の端子に疑似回路５を接続し，疑似回路５の疑似中性点Ｎ’の電位を計測すれば良いので，計測が容易である。」　
　
・これらの記載事項と図２からみて，「ロータ２９により回転可能な真空ポンプとしてのターボ分子ポンプ」が示されている。　
　
・図２からみて，ロータ２９と一体にされた回転軸が示されている。　
　
・これらの記載事項と図１，図２からみて，回転子１ａとして，ロータ２９に対して固定され，２つの極からなる永久磁石が示されている。　
　
・これらの記載事項，図１及び図７からみて，回転子１ａが固定子１ｂに対して回転できるように，前記回転子１ａと前記固定子１ｂの相対位置に応じてＵ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線に流れる電流を変化させるため選択的にスイッチングするための制御部（インバータ２及び制御回路４）と，前記制御部（インバータ２及び制御回路４）は，目標回転数に応じて，ターボ分子ポンプを回転させるのに十分な回転周期になるように前記Ｕ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線に流れる電流を変化させるためにスイッチングさせるように構成されていることが理解できる。　
　
・段落【００１２】，【００１４】〜【００１６】からみて，制御部の位置検出回路４２は，センサレス方式で回転子磁極の位置情報，つまり，回転子１ａと固定子１ｂの相対位置を求めるように構成されていることが理解できる。　
　
　これらの記載事項及び図示内容を総合すると，刊行物１には，以下の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。　
 「ロータ２９と一体にされた回転軸により回転可能な真空ポンプとしてのターボ分子ポンプと，前記ロータ２９と一体にされた回転軸を回転駆動するＤＣブラシレスモータ１とを含む真空ポンプであって，前記ＤＣブラシレスモータ１は，　
　ロータ２９と一体にされた回転軸に対して固定され，２つの極からなる永久磁石を有する回転子１ａと，　
　Ｕ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線を有する固定子１ｂと，　
　前記回転子１ａが前記固定子１ｂに対して回転できるように，前記回転子１ａと前記固定子１ｂの相対位置に応じてＵ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線に流れる電流を変化させるため選択的にスイッチングするための制御部と，を含み，
　前記制御部は，目標回転数に応じて，前記ターボ分子ポンプを回転させるのに十分な回転周期になるように前記Ｕ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線に流れる電流を変化させるためにスイッチングさせるように構成され，　
　前記制御部の位置検出回路４２は，センサレス方式で前記回転子１ａと前記固定子１ｂの前記相対位置を求めるように構成されている，真空ポンプ。」　
　
（２）平成２６年　３月１９日付けの当審における拒絶の理由で引用された本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２０００−２２０６４０号公報（以下，「刊行物２」という。）には，「モータ及びターボ分子ポンプ」に関し，図面とともに次の事項が記載又は示されている。
　
・「【００２３】図１はターボ分子ポンプを示す。ターボ分子ポンプ１のハウジング２は，アッパハウジング３と，ロアハウジング４と，両ハウジング３，４間に挟持された環状の支持ブロック５とによって構成される。両ハウジング３，４は支持ブロック５を挟持する状態で複数本のボルト６によって接合されている。　
【００２４】アッパハウジング３の先端部には，真空室（図示せず）から排気する空気の引込口となる吸気口３ａが形成されている。アッパハウジング３の内周面には複数の静翼７が支持部材８を用いて内方へ延出する状態に取付けられている。また，支持ブロック５の下面には環状の支持ブロック９が固定されている。　
【００２５】ブラシレスモータ（以下，単にモータという）１０は，各支持ブロック５，９の内周面側にゴム製のシール部材（オーリング）１１，１２を介して嵌め込み固定されている。モータ１０は回転軸１３の突出端部が吸気口３ａ側に位置する状態で配置されている。ロータ１４は，回転軸１３の先端部にナット１５を締結することにより取付けられている。ロータ１４は略有底円筒状で，その外周面から延出する複数の動翼１６が各静翼７の間隙に入り込んだ状態で配置されている。　
【００２６】ロータ１４は，モータケーシング１７に対してその外周面と極く僅かなクリアランスを隔した状態で相対回転するようになっている。支持ブロック５を境界としてその上面側の空間が空気引込室１８となっており，支持ブロック５の下面側の空間が排気室１９となっている。モータケーシング１７の上部外周面にはロータ１４の内周面と相対する部位に螺旋溝１７ａが形成されている。また，モータケーシング１７には排気室１９に突出する下部部分に空冷用孔としての多数本のスリット孔１７ｂが形成されている。
【００２７】モータ１０が駆動されてロータ１４が回転することにより，動翼１６と静翼７との間に吸気口３ａの空気を引込む吸引力が生じるようになっている。引込まれた空気はロータ１４とモータケーシング１７との間にある螺旋溝１７ａを通って回転軸１３の回りの隙間からモータケーシング１７の内部に引き込まれ，モータケーシング１７の下部に形成された複数のスリット孔１７ｂから排気室１９に排気される。排気室１９に排気された空気は，ロアハウジング４に形成された排気口４ａから外部へ排気されるようになっている。ここで，螺旋溝１７ａは一種のガスシールとして機能し，螺旋溝１７ａを通過する過程で圧力差が生じることで，吸引口３ａの真空度を高める一躍を担っている。」　
　
・「【００２９】次にブラシレスモータ１０の構造を説明する。図１，図２に示すように，モータケーシング１７の両端部は円環状の閉塞部材２３，２４によって塞がれている。回転軸１３は，閉塞部材２３，２４の軸心部分に形成された挿通孔２３ａ，２４ａに挿通された状態で回転可能に支持されている。　
【００３０】図２に示すように，回転軸１３には回転体２５が一体回転可能に設けられている。回転体２５には，界磁マグネット２６が内蔵されている。界磁マグネット２６は４個の永久磁石片から構成されており，各永久磁石片は回転軸１３の周囲に互いに隣接する磁極が異極となるように周方向に配列されている。界磁マグネット２６を軸線方向両側から挟んで保持している一対のブッシュ２７，２７には内筒２８が外嵌された状態で固定されている。なお，ブッシュ２７は回転体２５のバランス調整の機能を有する。　
【００３１】内筒２８を内部に収容配置する外筒２９は，モータ１０と同一軸心となるようにモータケーシング１７側に固定されている。内筒２８と外筒２９とによってセラミック気体軸受としての空気軸受（セラミック動圧気体軸受）３０が構成される。外筒２９の外周面上には電機子としての三つの電機子コイル３１が周方向に等間隔に配置されている。各電機子コイル３１の周方向の機械角はほぼ９０°〜１２０°の範囲に設定されている。また，モータケーシング１７の内周面には電機子コイル３１の外側に位置するように円筒状のヨーク３２が設けられている。なお，軸受回転体は内筒２８によって構成され，軸受固定体は外筒２９によって構成される。　
【００３２】外筒２９の外周面上には各電機子コイル３１と対応する位置に三つの磁気センサ（ホール素子）３３が設けられている。三つの電機子コイル３１および各磁気センサ３３は，閉塞部材２４に挿着された複数本のコネクタピン３４（但し，図２では１本のみ図示）のそれぞれに接続されている。コネクタピン３４は，外部の制御回路（図示せず）と電気的に接続されている。そして，磁気センサ３３が界磁マグネット２６を構成する永久磁石片の磁極を検出して得られる回転数検出信号が，各電機子コイル３１を流れる電流の制御にフィードバックされて回転軸１３が定速制御される。　
【００３３】回転体２５の軸方向前後両端部付近には，非接触式軸受としての一対の磁気軸受３７，３８が設けられている。一対の磁気軸受３７，３８により回転軸１３のスラスト方向の負荷が支持される。一対の磁気軸受３７，３８は，それぞれ回転体２５の両端部に固定された永久磁石３９，４０と，閉塞部材２３，２４に固定された永久磁石４１，４２とからなる。磁気軸受３７を構成する一組の永久磁石３９，４１と，磁気軸受３８を構成する一組の永久磁石４０，４２は，対をなすもの同士の対向面が互いに同極となるように配置され，両者間に反発力が作用するようになっている。永久磁石３９〜４２の材質は，ネオジウム系磁石またはサマリウム系磁石である。　
【００３４】一方，空気軸受３０を構成する内筒２８と外筒２９は，ともにセラミック焼結材料からなる。内筒２８と外筒２９は両者の軸心が一致するように配置され，両者の間には所定の軸受クリアランスＣ１が設定されている。初期の軸受クリアランスＣ１はターボ分子ポンプ１の排気速度や回転数などの設計値から決まり，回転数５万〜７万ｒｐｍで使用される本実施形態では例えばＣ１＝３〜６μｍに設定されている。」　
　
・段落【００２３】〜【００２５】，【００３１】の記載事項及び図１，図２からみて，三つの電機子コイル３１がモータケーシング１７に固定された外筒２９に固定されており，ブラシレスモータ１０のモータケーシング１７は，支持ブロック５，９に固定され，ターボ分子ポンプ１のハウジング２はアッパハウジング３とロアハウジング４と支持ブロック５から構成されているから，外筒２９は，ハウジング２に対してモータケーシング１７を介して固定されていることが理解できる。　
　
３．発明の対比　
　本願発明と引用発明とを対比すると，後者の「ロータ２９と一体にされた回転軸」は前者の「シャフト」に相当し，以下同様に，「真空ポンプとしてのターボ分子ポンプ」は「真空ポンプ機構」に，「回転駆動する」態様は「回転させる」態様に，「ＤＣブラシレスモータ１」は「ブラシレスモータ」又は「モータ」に，「永久磁石を有する回転子１ａ」は「永久磁石ロータ」に，「Ｕ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線」は「ステータコイル」に，「固定子１ｂ」は「ステータ」に，「回転子１ａ」は「ロータ」に，「制御部」又は「制御部の位置検出回路４２」は「モータ制御手段」に，それぞれ相当する。　
　後者の「前記ロータ２９と一体にされた回転軸を回転駆動するＤＣブラシレスモータ１とを含む真空ポンプ」は前者の「前記シャフトを回転するためのブラシレスモータとを含む真空ポンプ」に相当する。　
　後者の「前記ロータ２９と一体にされた回転軸に対して固定され，２つの極からなる永久磁石を有する回転子１ａと，Ｕ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線を有する固定子１ｂ」と，前者の「前記シャフトに対して固定され，少なくとも４つの極を有する永久磁石ロータと，高導電性又は高透磁率の材料で製造されたポンプハウジングに対して固定され，重ならないステータコイルを有するステータ」とは，「前記シャフトに対して固定され，極を有する永久磁石ロータと，ステータコイルを有するステータ」において共通する。　
　Ｕ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線に流れる電流を変化するため選択的にスイッチングすれば，３つの巻線を選択的に励磁することになるから，後者の「前記回転子１ａが前記固定子１ｂに対して回転できるように，前記回転子１ａと前記固定子１ｂの相対位置に応じてＵ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線に流れる電流を変化させるため選択的にスイッチングするための制御部」は，前者の「前記ロータが前記ステータに対して回転できるように，前記ロータと前記ステータの相対位置に応じて前記ステータコイルを選択的に励磁するためのモータ制御手段」に相当する。　
　「Ｕ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線に流れる電流を変化させるためにスイッチングさせる」ことにより，それらの巻線を励磁させることになるから，後者の「前記制御部は，目標回転数に応じて，前記ターボ分子ポンプを回転させるのに十分な回転周期になるように前記Ｕ相巻線，Ｖ相巻線，およびＷ相巻線に流れる電流を変化させるためにスイッチングさせるように構成され」る態様と，前者の「前記モータ制御手段は，１分当たり少なくとも２０，０００回転で，前記真空ポンプ機構を回転させるのに十分な周波数で前記ステータコイルを励磁させるように構成され」る態様とは，「前記モータ制御手段は，前記真空ポンプ機構を回転させるのに十分な周波数で前記ステータコイルを励磁するように構成され」る概念において共通する
　後者の「前記制御部の位置検出回路４２は，センサレス方式で前記回転子１ａと前記固定子１ｂの前記相対位置を求めるように構成されている」態様と，前者の「前記モータ制御手段は，前記ロータと前記ステータの前記相対位置を感知する光センサを含み，または前記ステータコイルにおける磁束の計算により，前記ロータと前記ステータの前記相対位置を求めるように構成されている」態様とは，「前記モータ制御手段は，センサレス方式により，前記ロータと前記ステータの前記相対位置を求めるように構成されている」概念において共通する。　
　そうすると，両者は，　
「シャフトにより回転可能な真空ポンプ機構と，前記シャフトを回転するためのブラシレスモータとを含む真空ポンプであって，前記モータは，　
　シャフトに対して固定され，極を有する永久磁石ロータと，　
　ステータコイルを有するステータと，　
　前記ロータが前記ステータに対して回転できるように，前記ロータと前記ステータの相対位置に応じて前記ステータコイルを選択的に励磁するためのモータ制御手段と，を含み，　
　前記モータ制御手段は，前記真空ポンプ機構を回転させるのに十分な周波数で前記ステータコイルを励磁するように構成され，　
　前記モータ制御手段は，センサレス方式により，前記ロータと前記ステータの前記相対位置を求めるように構成されている，真空ポンプ。」　
の点で一致し，以下の各点で相違すると認められる。　
＜相違点１＞　
　永久磁石ロータが，本願発明では，「少なくとも４つの極」を有するのに対して，引用発明では，２つの極からなる点。　
＜相違点２＞　
　ステータが，本願発明では，「高電導性又は高透磁率の材料で製造されたポンプハウジングに対して固定され，重ならないステータコイルを有する」ものであるのに対して，引用発明では，そのような特定はなされていない点。　
＜相違点３＞　
　モータ制御手段は，前記真空ポンプ機構を回転させるのに十分な周波数で前記ステータコイルを励磁するように構成されることに関して，モータ制御手段の回転数が，本願発明では，「１分当たり少なくとも２０，０００回転」であるのに対して，引用発明では，そのような特定はなされていない点。
＜相違点４＞　
　本願発明では，「前記永久磁石ロータは，前記ステータを超えて延びて」いないのに対して．引用発明では，そのような特定はなされていない点。　
＜相違点５＞　
　モータ制御手段は，本願発明では，「前記ロータと前記ステータの前記相対位置に感知する光センサを含み，または，前記ステータコイルにおける磁束の計算により」前記ロータと前記ステータの前記相対位置を求めるように構成されているものであるのに対して，引用発明では，センサレス方式により，前記ロータと前記ステータの前記相対位置を求めるように構成されているものの，それ以上の特定はなされていない点。　
　
４．相違点の検討　
＜相違点１，３について＞　　　
  刊行物２には，図面と共に次の事項が記載されていると認められる。　
 「回転軸１３により回転可能なターボ分子ポンプ１と，前記回転軸１３を回転させるためのブラシレスモータ１０とを含む真空ポンプであって，　
　前記ブラシレスモータ１０は，前記回転軸１３に対して固定され，４つの極を有する永久磁石２６片を有する回転体２５と，　
　ハウジング２に対してモータケーシング１７を介して固定され，三つの電機子コイル３１を有する外筒２９と，前記回転体２５が前記外筒２９に対して回転できるように，前記回転体２５と前記外筒２９の相対位置に応じて各電機子コイル３１を流れる電流を制御するための制御回路とを含み，　
　前記制御回路は，５万−７万ｒｐｍで，前記ターボ分子ポンプを回転させるのに十分な周波数で前記電機子コイル３１を流れる電流を制御させる，真空ポンプ。」　
　刊行物２に記載された事項の「回転軸１３」は本願発明の「シャフト」に相当し，以下同様に，「ターボ分子ポンプ１」は「真空ポンプ機構」に，「ブラシレスモータ１０」は「モータ」に，「永久磁石２６片を有する回転体２５」は「永久磁石ロータ」に，「ハウジング２」は「ポンプハウジング」に，「三つの電機子コイル３１」又は「各電機子コイル３１」並びに「電機子コイル３１」は「ステータコイル」に，「外筒２９」は「ステータ」に，「回転体２５」は「ロータ」に，「制御回路」は「モータ制御手段」に，「５万−７万ｒｐｍ」は「１分当たり少なくとも２０，０００回転」にそれぞれ相当する。　
　刊行物２に記載された事項の「各電機子コイル３１を流れる電流を制御する」態様は，本願発明の「前記ステータコイルを選択的に励磁する」態様に相当し，刊行物２に記載された事項の「前記電機子コイル３１を流れる電流を制御させる」態様は，本願発明の「前記ステータコイルを励磁させる」態様にそれぞれ相当する。　
　そうすると，刊行物２には，以下の事項が開示されているといえる。　
「シャフトにより回転可能な真空ポンプ機構と，前記シャフトを回転させるためのモータとを含む真空ポンプであって，　
　前記モータは，前記シャフトに対して固定され，４つの極を有する永久磁石ロータと，　
　ポンプハウジングに対してモータケーシング１７を介して固定され，ステータコイルを有するステータと，前記ロータが前記ステータに対して回転できるように，前記ロータと前記ステータの相対位置に応じて前記ステータコイルを選択的に励磁するためのモータ制御手段とを含み，　
　前記モータ制御手段は，１分当たり少なくとも２０，０００回転で，前記真空ポンプ機構を回転させるのに十分な周波数で前記ステータコイルを流れる励磁させる，真空ポンプ。」
　引用発明も真空ポンプとしてのターボ分子ポンプであって，高速の回転が必要なものであるから，引用発明において，刊行物２に開示された事項の「４つの極を有する永久磁石ロータと，モータ制御手段が１分当たり少なくとも２０，０００回転で真空ポンプ機構を回転させたこと」を適用することにより，相違点１，３にかかる本願発明の構成を採用することは，当業者が適宜なし得たものである。　
　
＜相違点２について＞
　ステータがポンプハウジングに対して適当な手段で（例えば，刊行物２に開示される事項のようにモータケーシング１７を介して）固定されることは，極めて一般的な事項である。　
　そして，本願の明細書の段落【００１２】には，「ステータ２６は，ポンプハウジング２８に対して適当手段で固定される。」と記載されている。　
  本願発明の「高導電性又は高透磁率の材料」として，本願の請求項７で「前記材料は，アルミニウム合金である」旨の特定がなされていることからみても，アルミニウム合金が高導電性又は高透磁率の材料であることは明らかであるところ，真空ポンプのポンプハウジングをアルミニウム合金から形成することは，本願の優先権主張の日前に周知の事項である（例えば，特開平８−３３８３９３号公報の段落【００１２】，【００２０】，図１，登録実用新案第３０３４６９９号公報の段落【００１１】，図１を参照のこと）。
　なお，アルミニウムが遮蔽効果を有することも知られている（例えば，特開平６−１９６７６１号公報の請求項６，特開平１０−１５００３２号公報の段落【００９９】，特開２０００−３５２５４４号公報の段落【００１８】を参照のこと。）。　
　そして，少なくとも４極を有する永久磁石ロータを備えたブラシレスモータにおいて，ステータのステータコイルを重ならないものとすることは，本願の優先権主張の日前に周知の事項である（特に，特開２００５−１６０２８５号公報の段落【００２４】，【００３２】，図１，図２，図１１，国際公開第２００７／０１０９３４号の段落［００７２］，［００８０］，図３４，図３５，図４１を参照のこと。）　
　以上に鑑みれば，引用発明において，相違点２に係る本願発明の構成を採用することは，当業者が容易に想到し得たものである。　
　
＜相違点４について＞　
　センサレス方式のブラシレスＤＣモータにおいて，永久磁石のロータはステータを超えて延びていないことは，本願の優先権主張の日前に周知の事項である（特に，特開２００５−１６０２８５公報の段落【００９０】〜【００９５】，図１，特開２００５−３３７０９５号公報の段落【００１８】，図１を参照のこと。）。
　この周知の事項を勘案すれば，センサレス方式のブラシレスＤＣモータに係る引用発明において，相違点４に係る本願発明の構成を採用することに，当業者にとっての格別の創意は見い出せない。　
　
＜相違点５について＞　
　センサレス方式のブラシレスモータにおいて，ステータコイルにおける磁束の計算により，ロータとステータの相対位置を求めることは，本願の優先権主張の日前に周知である（特に，特開２００２−１７６７９３号公報の請求項８，９，特表２００１−５００３５７号公報の請求項１，第５ページ２４〜２７行を参照のこと。）。
　引用発明のセンサレス方式のブラシレスモータにおけるロータとステータの相対位置を求める構成として，上記周知の事項を適用することに格別の困難性はない。　
　また，ブラシレスモータにおいて，ロータとステータの相対位置を感知する手段として，光センサを用いるものは，本願の優先権主張の日前に周知である（特に，特表２００２−５０３９３９号公報の段落【００１２】−【００２１】及び図１−６を参照のこと。）。
　そうすると，引用発明において，相違点５に係る本願発明の構成を採用することは，当業者が容易になし得たものである。　
　
　そして，本願発明の効果について検討しても，引用発明，刊行物２に開示された事項，及び，上記周知の事項から予測されるものであって，格別のものとはいえない。　
　したがって，本願発明は，引用発明，刊行物２に開示された事項，及び，上記周知の事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものである。　
　
５．むすび　
　以上のとおりであるから，本願発明は，引用発明，刊行物２に開示された事項，及び，上記周知の事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　そうすると，このような特許を受けることができない発明を包含する本願は，他の請求項に係る発明について検討するまでもなく，拒絶されるべきものである。　
　よって，結論のとおり審決する。