(57)【要約】      （修正有）【課題】エッチング液中の重金属類や水酸化アルミ等を物理的処理をすることなく除去し、エッチング液の組成を変化させずリサイクルを可能としたエッチング液のリサイクル方法及びその装置の提供。【解決手段】リサイクル装置は、重金属やアルミニウム等をエッチング処理する高アルカリ性溶液Ｗを収容したエッチング液槽１と、エッチング液槽１に配管２を介して接続した少なくとも一槽以上の沈殿槽３と、沈殿槽３の下層部分３ａに排水配管４を介して接続した沈殿物Ｇの中和処理工程５及び沈殿物除去工程６と、沈殿物Ｇの廃棄工程７及び廃液排水処理工程８と、沈殿槽３の上層部３ｂより上澄みエッチング液Ｗｘを循環配管９を介してエッチング液槽１に戻す循環処理工程１０とで構成される。上澄みエッチング液Ｗｘの循環処理工程１０とエッチング液槽１とを結ぶ循環配管１１には、新たなエッチング液を補給するエッチング液供給工程１２が接続される。【選択図】  図１
2007138202.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング液槽内に収容されたエッチング液を少なくとも一槽以上の沈殿槽に液送し、該沈殿槽で沈殿物と上澄みエッチング液とを比重差により分離した後、沈殿物を含む下層の廃液を中和処理槽に排水させ、中和処理槽にて廃液を中和させて沈殿物を除去する一方、廃液を排水させ、前記沈殿槽で分離した上澄みエッチング液を再び還流配管を介してエッチング液槽内に戻すことを特徴とするエッチング液のリサイクル方法。
【請求項２】
前記上澄みエッチング液をエッチング液槽内に戻す際、廃液として排水したエッチング液の量に対応するエッチング液を補給してエッチング液槽内に戻す請求項１に記載のエッチング液のリサイクル方法。
【請求項３】
エッチング処理したエッチング液を収容するエッチング液槽と、このエッチング液槽に、配管を介して接続した少なくとも一槽以上の沈殿槽と、この沈殿槽の下層部分に排水配管を介して接続した沈殿物の中和処理工程及び沈殿物除去工程と、沈殿物及び廃液排水処理工程と、前記沈殿槽に、上澄みエッチング液を循環配管を介してエッチング液槽に戻す循環処理工程とから成るエッチング液のリサイクル装置。
【請求項４】
前記上澄みエッチング液の循環配管に、新たなエッチング液を補給するエッチング液供給工程を設けた請求項３に記載のエッチング液のリサイクル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、エッチング液のリサイクル方法及びその装置にかかわり、更に詳しくはエッチング液に含まれる重金属類の沈殿物とエッチング液とを比重差により分離させ、沈殿物を取り除いたエッチング液を再びエッチング液槽に戻して再利用可能としたエッチング液のリサイクル方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、エッチング液中の重金属類や水酸化アルミ等を電解再生装置等におけるイオン交換膜（例えば、特許文献１参照）や、珪藻土フィルター等の物理的処理を利用して除去する方法が知られている。
【０００３】
然しながら、上記のような物理的処理を高アルカリ性溶液を使用した場合、フィルターが溶液に溶解してエッチング液の組成を変化させてしまい、エッチング液をリサイクルすることが不可能となり、またフィルターが短時間に詰まってしまい除去することが難しいと言う問題があった。
【０００４】
特に、イオン交換膜の処理方法では、イオン交換膜が高アルカリ性溶液に短時間に溶解してしまうため、寿命が極端に短くなり、また大量の水酸化アルミが含まれているため、すぐにフィルターの目詰まりが発生し、マンガンが除去できないと言う問題があった。
【０００５】
また、珪藻土フィルターを使用した処理方法では、珪藻土自体が高アルカリ性溶液に溶解してしまうため、珪藻土の主成分であるシリコンが大量に溶解し、エッチング液の組成を変化させてしまうと言う問題があった。
【特許文献１】特開２００３−１８３８５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明はかかる従来の問題点に着目し、エッチング液中の重金属類や水酸化アルミ等を物理的処理をすることなく除去することで、エッチング液の組成を変化させず、エッチング液のリサイクルを可能としたエッチング液のリサイクル方法及びその装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は上記目的を達成するため、この発明のエッチング液のリサイクル方法は、エッチング液槽内に収容されたエッチング液を少なくとも一槽以上の沈殿槽に液送し、該沈殿槽で沈殿物と上澄みエッチング液とを比重差により分離した後、沈殿物を含む下層の廃液を中和処理槽に排水させ、中和処理槽にて廃液を中和させて沈殿物を除去する一方、廃液を排水させ、前記沈殿槽で分離した上澄みエッチング液を再び還流配管を介してエッチング液槽内に戻すことを要旨とするものである。
【０００８】
ここで、前記上澄みエッチング液をエッチング液槽内に戻す際、廃液として排水したエッチング液の量に対応するエッチング液を補給してエッチング液槽内に戻すようにする。
【０００９】
また、この発明のエッチング液のリサイクル装置は、エッチング処理したエッチング液を収容するエッチング液槽と、このエッチング液槽に、配管を介して接続した少なくとも一槽以上の沈殿槽と、この沈殿槽の下層部分に排水配管を介して接続した沈殿物の中和処理工程及び沈殿物除去工程と、沈殿物及び廃液排水処理工程と、前記沈殿槽に、上澄みエッチング液を循環配管を介してエッチング液槽に戻す循環処理工程とから成ることを要旨とするものである。ここで、前記上澄みエッチング液の循環配管に、新たなエッチング液を補給するエッチング液供給工程を設けるものである。
【００１０】
このような方法によりエッチング液のリサイクルを行うので、エッチング液の組成を変化させず、エッチング液のリサイクルを可能とすることが出来る。
【発明の効果】
【００１１】
この発明は、上記のようにエッチング液中の重金属類や水酸化アルミ等を物理的処理をすることなく、比重差を利用して沈降分離させるようにしたので、エッチング液の組成を変化させず、エッチング液のリサイクルを可能とすることが出来る効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、添付図面に基づき、この発明の実施形態を説明する。
【００１３】
図１は、この発明のエッチング液のリサイクル方法を実施するためのリサイクル装置の概略構成図、図２はこの発明を実施したリサイクル装置の具体的な構成図を示している。
【００１４】
前記リサイクル装置は、図１に示すように重金属類や水酸化アルミニュウム等をエッチング処理する高アルカリ性溶液等のエッチング液Ｗを収容したエッチング液槽１と、このエッチング液槽１に、配管２を介して接続した少なくとも一槽以上の沈殿槽３と、この沈殿槽３の下層部分３ａに排水配管４を介して接続した沈殿物Ｇの中和処理工程５及び沈殿物除去工程６と、沈殿物Ｇの廃棄工程７及び廃液排水処理工程８と、前記沈殿槽３の上層部３ｂに、上澄みエッチング液Ｗｘを循環配管９を介して前記エッチング液槽１に戻す循環処理工程１０とで構成されている。
【００１５】
また、前記上澄みエッチング液Ｗｘの循環処理工程１０とエッチング液槽１とを結ぶ循環配管１１には、新たなエッチング液を補給するエッチング液供給工程１２が接続してある。
【００１６】
次に図２を参照しながらリサイクル装置の具体的な構成の実施形態について説明する。この発明の実施形態では、重金属類や水酸化アルミニュウム等をエッチング処理する高アルカリ性溶液Ｗを収容したエッチング液槽１として、中央に既設エッチング液槽１Ａと既設シャワー槽１Ｂとが設置され、その両側には中継槽１Ｃ，１Ｄが設置され、既設エッチング液槽１Ａ及び既設シャワー槽１Ｂと、中継槽１Ｃ，１Ｄとの底部には、バルブを備えた配管１ｘがそれぞれ接続されている。
【００１７】
前記既設エッチング液槽１Ａと既設シャワー槽１Ｂとには、清水供給パイプ１ｙから清水が供給されるようになっている。
【００１８】
また、前記沈殿槽３は、この発明の実施形態では、３台の静置槽３ｘ，３ｙ，３ｚと新苛性槽３ｓとが設置され、静置槽３ｘ，３ｙ，３ｚの上層部３ｂ及び新苛性槽３ｓと、前記既設エッチング液槽１Ａとは、再利用ポンプＰ１を備えた配管２を介して接続して接続され、静置槽３ｘ，３ｙ，３ｚからは、再利用ポンプＰ２，Ｐ３，Ｐ４を備えた配管２介して静置槽３ｘ，３ｙ，３ｚ内の上澄みエッチング液Ｗｘをエッチング液槽１の既設エッチング液槽１Ａに戻し、また新苛性槽３ｓからは新苛性ソーダをエッチング液槽１の既設エッチング液槽１Ａに供給するように構成されている。
【００１９】
なお、静置槽３ｘ，３ｙ，３ｚは、３台に限定されず、３台以上設置することも可能であり、この実施形態では三日間で沈殿した静置槽３ｘ，３ｙ，３ｚが１サイクル出来るように３台の静置槽３ｘ，３ｙ，３ｚを設置したものである。また、前記中継槽１Ｃと静置槽３ｘ，３ｙ，３ｚとは、苛性ソーダ原液を供給する配管２ａが接続され、中継槽１Ｃ内の苛性ソーダ原液を静置槽３ｘ，３ｙ，３ｚに順次供給出来るように構成されている。
【００２０】
前記静置槽３ｘ，３ｙ，３ｚの下層部分３ａには、排水配管４ａ，４ｂ，４ｃが挿入され、この排水配管４ａ，４ｂ，４ｃを介して沈殿物Ｇの中和処理工程５を構成する洗浄廃水受槽５ａと、この洗浄廃水受槽５ａに配管４ｄを介して接続された原液反応槽５ｂとが接続されている。
【００２１】
また、洗浄廃水受槽５ａと原液反応槽５ｂとの内部には、攪拌機Ｍ１，Ｍ２が取付けられ、洗浄廃水受槽５ａと原液反応槽５ｂとの内部の洗浄廃水を攪拌するように構成され、更に洗浄廃水受槽５ａには、前記中継槽１Ｄから洗浄廃液を供給する配管４ｅが接続されると共に、原液反応槽５ｂには、硫酸貯槽５ｃから配管４ｆを介して希硫酸が供給されるようになっている。
【００２２】
また、前記原液反応槽５ｂには、廃水管４ｇを介して沈殿物除去工程６を構成するドラム式の濾過装置６ａが接続され、この濾過装置６ａは、廃水タンク６ｘとフィルター６ｂを巻付けた回転ドラム６ｙと、フィルター６ｂに付着した重金属や水酸化アルミニュウム等の沈殿物Ｇを剥離させる剥離ナイフ装置６ｚとで構成され、剥離ナイフ装置６ｚにより剥離された沈殿物Ｇは、コンテナー１３に移載させて外部に搬送廃棄されるものである。
【００２３】
前記濾過装置６ａで濾過された廃液水は、バキュームポンプＶＰを備えた排水管１４を介して調整槽１５ａ，監視槽１５ｂに排出され、ここからＰＨ調整された排水が下水道に放出されるものである。また、前記濾過装置６ａの廃水タンク６ｘからオーバーフローした廃液水は、排水管１４ａを介してプレコート槽１６に供給されて収容される。
【００２４】
この発明のリサイクル装置は、上記のように構成され、この装置によりエッチング液Ｗをリサイクルする場合には、エッチング液槽１内に収容されたエッチング液Ｗを少なくとも一槽以上の沈殿槽３に液送する。そして、該沈殿槽３で沈殿物Ｇと上澄みエッチング液Ｗｘとを比重差により分離した後、沈殿物Ｇを含む下層の廃液を中和処理槽５に排水させ、中和処理槽５にて廃液を中和させて沈殿物Ｇを除去する一方、廃液を排水させ、前記沈殿槽３で分離した上澄みエッチング液Ｗｘを再び還流配管を介してエッチング液槽１内に戻すことでエッチング液のリサイクルを行うものである。
【００２５】
また、前記上澄みエッチング液Ｗｘをエッチング液槽１内に戻す際、廃液として排水したエッチング液Ｗの量に対応するエッチング液Ｗを補給してエッチング液槽１内に戻すことで繰返しの作業を連続的に行うことが出来る。                                
【００２６】
このように、エッチング液Ｗ中の重金属類や水酸化アルミ等を物理的処理をすることなく、比重差を利用して沈降分離させるようにしたので、エッチング液Ｗの組成を変化させず、エッチング液のリサイクルを可能とすることが出来るものである。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】この発明のエッチング液のリサイクル方法を実施するためのリサイクル装置の概略構成図である。
【図２】この発明を実施したリサイクル装置の具体的な構成図である。
【符号の説明】
【００２８】
１  エッチング液槽              ２  配管
３  沈殿槽                    ３ａ  下層部分
３ｂ  上層部                      ４  排水配管
５  中和処理工程                ６  沈殿物除去工程
７  廃棄工程                    ８  廃液排水処理工程
９  循環配管                  １０  循環処理工程
１１  循環配管                  １２  エッチング液供給工程
Ｗ  エッチング液              Ｗｘ  上澄みエッチング液
Ｇ  沈殿物
１Ａ  既設エッチング液槽        １Ｂ  既設シャワー槽
１Ｃ，１Ｄ  中継槽              １ｘ  配管
３ｘ，３ｙ，３ｚ  静置槽        ３ｓ  新苛性槽
４ａ〜４ｃ  排水配管            ５ａ  洗浄廃水受槽
５ｂ  原液反応槽                ５ｃ  硫酸貯槽
４ｄ  配管                      ４ｆ  配管
４ｅ  配管                      ４ｇ  廃水管
６ａ  濾過装置                  ６ｂ  フィルター
６ｘ  廃水タンク                ６ｙ  回転ドラム
６ｚ  剥離ナイフ装置            １３  コンテナー
１４  排水管                  １５ａ  調整槽
１５ｂ  監視槽                  １６  プレコート槽
【図１】
2007138202.tif 000003
【図２】
2007138202.tif 000004