(57)【要約】  【課題】  高純度な流体を汚染することなく、ねじ部のカジリを抑制できる配管部材を提供する。  【解決手段】  雌部材３の雌ねじ部３ｂには、後述するようにして官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜が被覆されている。従って、雄部材１の雄ねじ部１ａを、雌ねじ部３ｂに螺合させると、雄ねじ部１ａの表面と、雌ねじ部３ｂとの間に官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜が介在し、締め付けトルク負荷時における摩擦面（ネジ表面）の摩擦を軽減し、カジリ等を抑制するようになっている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高純度な流体を通過させる配管内に使用される配管部材において、蒸気圧の低い潤滑剤を被覆したねじ部を有することを特徴とする配管部材。
【請求項２】
前記潤滑剤は、真空用もしくはクリーンルーム用であることを特徴とする請求項１に記載の配管部材。
【請求項３】
前記ねじ部は、前記配管を通過する流体に暴露しない雌ねじ部であることを特徴とする請求項１または２に記載の配管部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば真空中、或いはクリーンルーム中等、発塵を防止する環境下で使用され、半導体製造工程で用いられる各種プロセスガスや静圧気体軸受に供給されるエアなどの高純度な流体を通過させる配管に使用される配管部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などにおいては、高純度な薬液やガスなどを供給することで、ワークの処理を行っている。しかるに、このような高純度な薬液やガスなどの流体を外部から供給するための配管が必要であり、また、配管同士をつなぎ合わせるために継ぎ手等が必要となっている。配管や継ぎ手などを総称して配管部材という。
【０００３】
ここで、高純度な薬液やガスなどの流体を配管内に流す際に、かかる流体を汚染することがないように、配管部材には十分な脱脂洗浄処理が必要となる。ところが、脱脂洗浄処理を配管部材のねじ部に施すと、ねじ部を締結した際に、カジリが生じる恐れがある。このようなカジリを防止するために、非特許文献１に記載の継ぎ手においては、ねじ部に銀メッキ処理を施している。
【非特許文献１】株式会社フジキン、製品カタログ、インターネット（ＵＲＬ：http://www.fujikin.co.jp/fujikin/）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかるに、継ぎ手を銀メッキする場合、手間がかかるという問題がある。特に、継ぎ手の雌ねじ内部のみを銀メッキことが困難であることから、継ぎ手の雄ねじ部を銀メッキ処理することが行われるが、メッキが不要な部位について個々にマスキングなどを行わなくてはならなかった。
【０００５】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、高純度な流体を汚染することなく、ねじ部のカジリを抑制できる配管部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の配管部材は、高純度な流体を通過させる配管内に使用される配管部材において、蒸気圧の低い潤滑剤を被覆したねじ部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の配管部材によれば、高純度な流体を通過させる配管内に使用される配管部材において、蒸気圧の低い潤滑剤を被覆したねじ部を有するので、銀メッキ処理のようなマスキングが不要であり、複数の配管部材を同時に処理できるのでコストダウンを図れる。
【０００８】
更に、前記潤滑剤は、真空用もしくはクリーンルーム用であると、前記配管部材を真空チャンバ内やクリーンルーム内で用いた場合でも、その雰囲気を汚染することが抑制される。
【０００９】
前記蒸気圧の低い潤滑剤としては、フッ素系真空用グリース、官能基を有する含フッ素重合体とフッ素油との混合物からなる被膜（以下「官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜」ともいう）、シクロペンタンやシラハイドロカーボン等を用いることができる。これらのうち、フッ素系真空用グリースはネジ部に塗布すればよいので、処理が比較的容易なことから低コストで済む。
【００１０】
官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜は、金属に対する親和性の高い官能基を有する含フッ素重合体と、フッ素油（例えばＰＦＰＥ（パーフルオロポリエーテル））との混合物からなる潤滑膜であり、極めて高い粘性を有するものである。官能基を有する含フッ素重合体は官能基の働きで極めて強く金属表面に吸着する。一方、フッ素油の分子も、たとえ一旦切り離されてもすぐに再付着する性質があり、逸散し難い。シクロペンタンやシラハイドロカーボン等も極めて低蒸気圧で、かつ、潤滑性にも優れる。官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜やシクロペンタンやシラハイドロカーボンなどの被膜は、このような性質により、アウトガスの抑止という点に関しては、特殊フッ素樹脂被膜や軟質金属と同等の高い性能を示し、発塵についてはさらに小さく抑えられる。しかも、特殊フッ素樹脂被膜や金属被膜の場合は、被膜処理に手間がかかるため処理コストが嵩むのに対し、官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜や、シクロペンタンまたはシラハイドロカーボン等は、極めて容易に、かつ、例えば被処理物がボルトなどの場合、同時に大量の被処理物に対して被膜処理を行えるという特長もあり、したがって、処理コストも低くて済む。この点については、前記真空用グリースでは１本ずつ手作業により塗布する必要があることから、真空用グリースと比較しても優れていると言える。
【００１１】
官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜やシクロペンタン、シラハイドロカーボン等の被膜処理方法は、溶媒に数％程度にそれらの潤滑剤を希釈した液体中に被処理物を浸漬し、その後乾燥するだけでよい。乾燥を速めるために適宜加熱してもよい。官能基を有する含フッ素重合体やフッ素油は、例えばデュポン社、モンテカチーニ社などより上市された各種のものがある。溶剤としては、官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜はフッ素系、シクロペンタン等の場合はヘキサン、アセトン、イソプロピルアルコール等を用いることができる。
【００１２】
更に、前記ねじ部は、前記配管を通過する流体に暴露しない雌ねじ部であると、前記高純度な流体を汚染することが抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態にかかる配管部材である継ぎ手を分解して示す部分断面図であり、図２は、組み付けた状態で示す断面図である。
【００１４】
図１において、継ぎ手Ｊは、両側に雄ねじ部１ａ、１ａを有する雄部材１と、円盤状のガスケットＧと、一端に外周フランジ２ａを有するスリーブ２と、一端に内周フランジ３ａを有し内周面に雌ねじ部３ｂを形成した雌部材３とから構成されている。
【００１５】
ガスケットＧとスリーブ２の外周フランジ２ａとを、雄部材１と雌部材３との間に介在させつつ、雄部材１の雄ねじ部１ａと雌部材３の雌ねじ部３ｂとを螺合させることによって、図２に示すように継ぎ手Ｊが形成される。雄部材１とスリーブ２のフランジ部２ａとの間に介在するガスケットＧが、流体の外部への洩れを防止している。雌部材３の内周フランジ３ａから外方へと突出したスリーブ２の端部は、配管Ｈに溶接（Ｂ）されるようになっており、それにより継ぎ手Ｊ及び配管Ｈ内を高純度の流体が洩れなく通過できるようになっている。
【００１６】
本実施の形態の雌部材３の雌ねじ部３ｂには、後述するようにして官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜が被覆されている。従って、雄部材１の雄ねじ部１ａを、雌ねじ部３ｂに螺合させると、雄ねじ部１ａの表面と、雌ねじ部３ｂとの間に官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜が介在し、締め付けトルク負荷時における摩擦面（ネジ表面）の摩擦を軽減し、カジリ等を抑制するようになっている。従って、雄部材１と雌部材３との組立・分解を容易に行うことができる。一方、官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜は、蒸気圧の低い潤滑剤であるために、継ぎ手Ｊが真空チャンバの真空雰囲気（或いはクリーンルーム内）において使用されても蒸発することが抑制され、それによりアウトガスの発生や発塵を抑制して、真空雰囲気（或いはクリーンルーム）環境を汚染することを抑止できる。更に、本実施の形態においては、雌部材３にのみ官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜を形成しているため、継ぎ手Ｊ内を通過する高純度な流体は、官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜に触れることがなく、その汚染を回避できる。
【００１７】
雌部材３の雌ねじ部３ｂに、官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜を被覆する手法としては、フッ素系の溶媒に官能基を有する含フッ素重合体とフッ素油との混合物を数％に希釈した液体中に雌部材３を浸漬し、その後取り出して乾燥するだけでよい。このようにして、一度に多くの雌部材３に対して極めて容易に被覆処理が可能である。乾燥を速めるため適宜加熱してもよい。なお、高純度流体が通過する部位をマスキング等すれば、雄部材１の雄ねじ部１ａに対しても、同様な浸漬により官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜を被覆することができることはいうまでもない。
【００１８】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、雄ねじ部１ａ又は雌ねじ部３ｂに、官能基を有する含フッ素重合体とフッ素油との混合物を含む液体を吹き付け、乾燥させるなどすることで、その表面に潤滑剤（官能基付き含フッ素重合体−フッ素油混合被膜）を被覆することも考えられる。また、潤滑剤として官能基付きフッ素重合体−フッ素油混合被膜を用いたが、例えば同様に低蒸気圧のシクロペンタンやシラハイドロカーボン等を適宜の溶剤に溶かし、上記と同様の被覆処理を行うことにより得られるものとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施の形態にかかる継ぎ手を分解して示す部分断面図である。
【図２】本実施の形態にかかる継ぎ手を組み付けた状態で示す断面図である
【符号の説明】
【００２０】
１ 雄部材
１ａ 雄ねじ部
２ スリーブ
２ａ フランジ部
２ａ 外周フランジ
３ 雌部材
３ａ 内周フランジ
３ｂ 雌ねじ部
Ｇ ガスケット
Ｈ 配管
Ｊ 継ぎ手
【図１】
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【図２】
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