(57)【要約】      （修正有）【課題】動的破壊力学において、破壊核形成、前駆的すべり、加速的な破壊に至る過程を精密かつ、細かく事象をとらえる圧力過渡現象試験装置を提供する。【解決手段】試料１０５に圧力を加えるときに、レーザー距離測定装置１０７にてピストンロッド１０４の伸長を測定することで加速度を精密に計測できる。従来の圧力破壊試験においては細かな数値をもちいるようなことはなかった。そこで、正確かつ精密な試験データを掲示できることであたらな分野を開拓できる。半導体の製造にスパッタリング装置がある、免震機構を装備しており、正確な露光が可能であることを本発明に適用した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を加圧するときにピストンロッドの伸長を測定して、免震機構の上で稼動する圧力過度現象試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力試験装置に関する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００２】
従来、試料（材料）に圧力を加えて座屈や破壊試験を行う測定において、試料にかかる圧力を測定しながら、試料にひずみセンサー（ひずみゲージ）などを付与して試験データを得ていた。しかし、試料のひずみと圧力を加える方向の伸長には関連性を得たためしがない。圧力を加える方向の伸長を精密に測定すれば、ひずみとの関連性が導きだされて、より細かい事象の座屈や破壊試験を行うことができる。試料に圧力を加えることで、破壊核形成、前駆的すべり、加速的な破壊を経るが、それに至る過程を細かくとらえられていなかった。
【発明の効果】
【０００３】
圧力を加える方向の伸長を精密に測定すれば、試料のひずみとの関連性が導きだされて、試料のより細かい事象の座屈や破壊試験を行うことができて、強度設計や構造設計に適用できるような試験データを得ることができる。また、圧力を加える経過時間とともに伸長を精密に測定すれば、圧力を加える加速度から、試料の座屈や破壊に至る時間を正確に予測するようなことが応用可能であって、試料の信頼性を数値化できる。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
【図１】圧力過度現象試験装置の側面図の概要
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
なし
【実施例】
【０００６】
本発明は、試料の信頼性を測定する分野で適用可能である。ＡＳＴＭ（米国試験材料学会）の発表する信頼性における評価を、より高精度に行える。日本近海のプレート表層の岩石類を本発明の測定装置にかけることで、地震発生のしくみの解析や、予知・予測がより正確に行える可能性がある。試料に圧力を加えるときに、レーザー距離測定装置にてピストンロッドの伸長を測定する。レーザー距離測定装置はナノメートルレベルでの測定を可能とし、試料にひずみセンサーを付与しながら測定することで、試料の座屈や破壊段階でのこまかい事象を数値化でき、より詳細な測定ができる。圧力を加える加速度を算出するにあたり、原子時計を併用するなどして、より細かな時間と加速度を算出することも応用できる。
【符号の説明】
【０００７】
１００  圧力ゲージ
１０１  ばね
１０２  免震機構
１０３  油圧シリンダー
１０４  ピストンロッド
１０５  試料
１０６  反射板兼押板
１０７  レーザー距離測定装置（レーザー干渉計）
【図１】
2012189578.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成24年1月15日(2012.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属および鉱物などの硬質な試料を線形かつ一定に連続して多大な圧力を印圧するピストンロッドを重力とは否水平に有して、ピストンロッドの伸長をナノメートルレベルで測位して試料の変位量を計測する装置を具備しながら、精密な測定を行うために外部からの振動等を抑制する免振機構を備えて、試料に過度な圧力を線形かつ一定に連続して印圧しながら試料にひずみおよび時間に依存した破壊現象を生じさせる圧力過度現象試験装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力試験装置に関する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００２】
従来、金属および鉱物などの硬質な試料（材料）に線形かつ一定に連続して多大な圧力を加えて座屈や破壊試験を行い、ひずみを測定する試験において、試料にかける線形かつ一定に連続した圧力を測定しながら、試料にひずみセンサー（ひずみゲージ）などを付与して試験データを得ていた。しかし、試料のひずみと圧力を加える方向の伸長を精密にかつ正確に測定して試料の特性を得るような試みは少ない。圧力を加える方向の伸長をナノメートルレベルで測定すれば、よりミクロな座屈や破壊およびひすみの現象との関連性が導きだされる。試料に線形かつ一定に連続した圧力を加えることで、試料は破壊核形成、前駆的すべり、加速的な破壊を経るが、それに至る過程と現象を細かくとらえられていなかった。
【発明の効果】
【０００３】
線形かつ一定に連続して多大な圧力を加える方向の伸長をナノメートルレベルで精密に測定すれば、試料の座屈や破壊およびひずみとの関連性が導きだされて、試料のより細かい現象（破壊核形成、前駆的すべり、加速的な破壊）を捉えられる。金属および鉱物などの硬質な試料の耐久試験の結果から試料の強度設計や構造設計に適用できるような基礎的な試験データを得ることができる。また、圧力を加える経過時間とともに変位量、すなわちナノメートルレベルの伸長を精密に測定すれば、線形かつ一定に連続した圧力を加えることで、加速度を算出して時間の経過から試料の破壊核形成、前駆的すべり、加速的な破壊の３つの現象を予測するような基礎的な実験が行える。つまり、破壊靭性は脆性破壊から体積弾性および形状弾性を経て圧力過度現象とする。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
【図１】圧力過度現象試験装置の側面図の概要
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
なし
【実施例】
【０００６】
本発明は、試料の信頼性を測定する分野で適用可能である。ＡＳＴＭ（米国試験材料学会）の発表する信頼性における評価を、より高精度に行える。試料の靭性を超低速の圧力を加えるひずみ破壊靭性試験において、破壊靭性およびその過程を精密に捉える。日本近海のプレート表層の岩石類を本発明の測定装置にかけることで、地震発生のしくみの解析や、予知・予測がより正確に行える可能性がある。試料に圧力を加えるときに、レーザー距離測定装置にてピストンロッドの伸長を測定する。レーザー距離測定装置はナノメートルレベルでの測定を可能とし、試料にひずみセンサーを付与しながら測定することで、試料の座屈や破壊段階でのこまかい事象を数値化でき、より詳細な測定ができる。圧力を加える加速度を算出するにあたり、原子時計を併用するなどして、より細かな時間と加速度を算出することにも応用できる。
【符号の説明】
【０００７】
１００  圧力ゲージ
１０１  ばね
１０２  免震機構
１０３  油圧シリンダー
１０４  ピストンロッド
１０５  試料
１０６  反射板兼押板
１０７  レーザー距離測定装置（レーザー干渉計）
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月15日(2012.3.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属および鉱物などの硬質な試料を線形かつ一定に連続して圧力を印圧するピストンロッドを重力とは否並行に有して、ピストンロッドの伸長をナノメートルレベルで測位して試料の変位量を計測する装置を具備しながら、精密な測定を行うために外部からの振動等を抑制する免振機構を備えて、試料に過度な圧力を線形かつ一定に連続して印圧しながら試料にひずみおよび時間に依存した破壊現象を生じさせる圧力過度現象試験装置。