【事件の表示】
　平成６年特許願第５１３３７２号「表面のピット及びマウンド検出，識別装置及び方法」拒絶査定に対する審判事件［平成６年６月９日国際公開、ＷＯ９４／１２８６８、平成７年１０月２６日国内公表、特表平７−５０９７８５］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　この出願は、１９９３年１１月２３日（パリ条約による優先権主張１９９２年１１月２５日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、その請求項１に係る発明は、平成１４年３月１４日付け手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
「１．表面に放射ビームを走査させる手段；
　該表面から放射したピット及びマウンドを検出する反射領域の放射線と、ピット及びマウンド以外の欠陥を検出する反射領域の放射線とを別々に検出する手段、該検出手段は、ピット及びマウンドと該ピット及びマウンド以外の欠陥との相違を検出する；
　前記表面から反射したピット及びマウンドを検出する反射領域の放射線から該表面の局部傾斜を検出する手段；および
　前記検出手段に応答して、前記放射ビームがピットまたはマウンドを走査しているかを区別する手段、からなることを特徴とする表面欠陥の微細なピット及びマウンドの検出及び識別装置。」
　
２．引用例
　これに対して、当審における拒絶の理由に引用された特開平４−３０７３５８号公報（以下、刊行物という。）には、
（１−１）
「【請求項１】光源のビーム光で線状照明を行う線状光学系手段で試料に照射して、前記試料表面からの前記線状照明領域の反射光を検出することによって前記試料表面に存在する微細な欠陥を検出する装置であって、前記試料からの前記線状照明領域の反射光を、偏向性反射光を含んだ第１の反射光と、散乱性反射光を含んだ第２の反射光とに分離するハーフミラーを設けて二つに分離する光分離手段と、前記第１の反射光の散乱光を遮光する遮光手段と、前記遮光手段を通過した前記反射光を受光する複数の受光面をもち、かつ前記偏向性反射光の前記受光面上での受光位置（偏位）検出信号を前記受光面の数だけ出力する受光位置（偏位）検出手段と、前記第２の反射光の正反射光を遮光する遮光手段と、前記遮光手段を通過した反射光を受光する複数の受光面をもち、前記散乱性反射光を前記受光面の数だけ検出する散乱性反射光検出手段とを備え、前記試料表面に存在する欠陥の内、偏向性欠陥を前記偏位（位置）検出信号に基いて検出し、散乱性欠陥を前記散乱性反射光検出手段の検出出力に基いて検出することを特徴とする表面検査装置。」、
　
（１−２）
「【０００１】
 【産業上の利用分野】
　本発明は、磁気ディスク等の試料表面上に存在する微細な凹凸欠陥などの欠陥検出装置及び方法に関する。」、
　
（１−３）
「欠陥種による散乱、反射の状態は、２つのパターンがあり散乱性欠陥すなわち入射光を各方向へと散乱させるような欠陥と偏向性欠陥つまり入射光を特定の方向に偏向させた反射を生じあまり散乱光を生じないような欠陥（たとえば食い込み状の欠陥のような滑らかな欠陥）‥‥‥‥」（段落【０００６】）、
　
（１−４）
「【００１１】
 【実施例】
　以下、本発明を図１〜図２０に示す一実施例に基いて説明する。試料に対して線状落射照明を行う落射照明系Ａは、レーザ光源１、集光レンズ２、アナモフィックプリズム３、倍率変更レンズ４、中央部にスリットを有する遮光板５、フィールドレンズ６、偏光プリズム７、１／４波長板８、及び対物レンズ９より構成される。検出系は、試料１０からの反射光をふたつに分離するプリズム１１、散乱性欠陥検出光学系Ｂ及び偏光性欠陥光学系Ｃから成る。前記散乱性欠陥検出光学系Ｂは、０次回折光を遮光する遮光部を有する遮光板１３、結像レンズ１２及び１行複数列の受光素子（散乱光検出素子１４）から構成される。また、前記偏光性欠陥検出光学系Ｃは、０次回折光以外の高次回折光を遮光する中央部にスリットを有する遮光板１６、結像レンズ１５及び２行複数列の受光素子（偏位検出素子１７）から構成している。」、
　
（１−５）
「【００１７】
　次に図８及び図１を用いて、本装置の試料表面の走査方法を説明する。」、
　
（１−６）
「【００１８】
　次に、前記第１の反射光に基く偏向性欠陥検出について説明する。‥‥‥‥更に、試料１０表面には、その一部分を拡大して示す図１０のように、偏向性欠陥の一例である滑らかな傾斜をもつ凹状欠陥が存在しているものとする。ただし、基準面１０ａは、入射レーザビーム２１に対して直角な面を示す。
 【００１９】
　すると、レーザビームがこの凹状欠陥の傾斜面２２において反射される場合には、この傾斜面２２が基準面１０ａとなす傾斜角をθとすると、偏向性反射光の偏向角は２θとなる。そして、対物レンズ９を通過したのちの偏向性反射光は入射レーザビームに対して平行となるが、そこでは、入射レーザビームに対して、
　　　　　　　Δｘ＝ｆ・ｔａｎ（２θ）　　　　　　　　　（１）
だけの偏位を生じている。ここで、ｆは対物レンズ９の焦点距離である。したがって、この場合には、偏位検出器１７の受光面上の基準位置ｘ０からｆｍ・Δｘだけ偏位した位置に偏向性反射光２０が入射することになる。ただし、ｆｍは、結像レンズ１５の光学的倍率を示し、基準位置ｘ０には、試料１０表面が基準面１０ａに一致し、かつ欠陥が存在しないときの偏向性反射光２０（つまり正反射光）の受光位置である。このため、このΔｘを検出することによって、（１）式から傾斜角θを求めることが可能となる。なお、精密加工面上の微細で滑らかな傾斜を持つ凹状、凸状欠陥ではその傾斜角θは微小であるため、上記（１）式の近似式として、
　　　　　  　Δｘ≒ｆ・２θ　　　　　　　　　　　　（２）
を用いることができる。
　この様に、偏位量Δｘは凹状欠陥の傾斜面２２の傾斜角θを反映した量となっているため、この偏位量Δｘが所定位置を越えた場合に、偏向性欠陥が存在すると判定することが可能となる。」、
と記載されている。
　
　上記（１−６）において、偏向性欠陥として「精密加工面上の微細で滑らかな傾斜を持つ凹状、凸状欠陥」が挙げられている。ピットは局所的くぼみであるから凹状欠陥に、マウンドは局所的隆起であるから凸状欠陥にそれぞれ対応している。
　してみると、刊行物１には、
「 表面に放射ビームを走査させる手段；
　該表面から放射したピット及びマウンドを検出する反射領域の放射線と、ピット及びマウンド以外の欠陥を検出する反射領域の放射線とを別々に検出する手段、該検出手段は、ピット及びマウンドと該ピット及びマウンド以外の欠陥との相違を検出する；
　前記表面から反射したピット及びマウンドを検出する反射領域の放射線から該表面の局部傾斜を検出する手段、
からなることを特徴とする表面欠陥の微細なピット及びマウンドの検出装置。」、
という発明が記載されている。
　
　また、同じく引用された特開昭６０−６９５３９号公報（以下、刊行物２という。）には、
（２−１）
「本発明は、例えばビデオデイスクの表面に生じる損傷等の欠陥を検査する表面欠陥検査装置に関する。」（第１頁右欄第４行〜第６行）、
　
（２−２）
「本発明は、如何なる欠陥であってもその有無ばかりか種類までも自動的に検出できるようにし、‥‥‥‥表面欠陥検査装置を提供することを目的とする。」（第２頁左上欄第１９行〜右上欄第３行）、
　
（２−３）
「ビデオデイスク１の表面にふくれ（凸部）が存在している場合には、受光レベルの変化として判定されないが、第２図に示す如くふくれ部分により反射光４ｂの反射方向が変化してこれが第３図（ａ）、（ｂ）のように位置検出器６の受光面における受光位置変化として現われる。そして、このふくれの場合、受光位置の変化方向は第４図に示す如く先ず正方向に変化する。したがって、これらの受光位置の変化量とその変化方向とからふくれを判別できる。これに対し、へこみ（凹部）の場合には、第７図に示す如く受光位置の変化方向が先ず負方向へ変化するため、この判定結果と受光位置の変化量とから判別できる。」（第４頁左下欄第１行〜第１４行）、
と記載されている。
　
３．請求項１に係る発明と刊行物１に記載された発明との対比
　請求項１に係る発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、両者は、
「 表面に放射ビームを走査させる手段；
　該表面から放射したピット及びマウンドを検出する反射領域の放射線と、ピット及びマウンド以外の欠陥を検出する反射領域の放射線とを別々に検出する手段、該検出手段は、ピット及びマウンドと該ピット及びマウンド以外の欠陥との相違を検出する；
　前記表面から反射したピット及びマウンドを検出する反射領域の放射線から該表面の局部傾斜を検出する手段、
からなることを特徴とする表面欠陥の微細なピット及びマウンドの検出装置。」である点で一致し、
　請求項１に係る発明は、「前記検出手段に応答して、前記放射ビームがピットまたはマウンドを走査しているかを区別する手段」を有し、表面欠陥の微細なピット及びマウンドの検出及び識別装置であるのに対して、刊行物１に記載された発明にそのような手段を有しておらず、放射ビームがピットまたはマウンドのいずれを走査しているのか区別していない点、
において相違している。
　
４．当審の判断　
　上記相違点について検討する。
　刊行物２には、ピットである凹部又はマウンドである凸部で反射された放射線である光から表面の局部傾斜を検出する手段に応答して、放射ビームであるレーザ光がピット又はマウンドのいずれを走査しているのかを区別する技術が記載されている。刊行物２に記載された技術を刊行物１に記載された発明に対して適用することは、ともに表面の偏向性欠陥を検出する点で共通しているから、当業者であれば容易に想到しうることである。
　
５．むすび
　以上のことから、この出願の請求項１に係る発明は、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　また、その他の請求項に係る発明についても検討したが、請求項１に係る発明が以上のように特許を受けることができないので、この出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。