【事件の表示】
　平成９年特許願第２４７３７７号「エッチング方法」拒絶査定に対する審判事件〔平成１１年４月６日出願公開、特開平１１−９２９６７、請求項の数（２）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯及び本願発明
　本願は平成９年９月１２日の出願であって、その請求項１〜２に係る発明（以下、「本願発明１」〜「本願発明２」という。）は、特許法第１７条の２の規定に基づき平成１３年１２月２７日提出の補正書により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１〜２に記載された、次のものである。
　　
「【請求項１】銅のエッチングにおいて、該エッチングのエッチング液として、まず塩酸０．５〜２．０モルに対して塩化第二鉄１．２〜２．８モルの割合で含有する水溶液を銅のエッチングを行うためのエッチングチャンバーに供給し、該エッチング液に、空気流に紫外線照射して導入、或いはオゾン流を導入してＣｕ1+およびＦｅ2+を酸化する活性化処理を行うことからなるエッチング処理を行いながら、
　該エッチング液の比重を測定して金属濃度を求め、且つ該液の酸化還元電位を測定して第１鉄イオン濃度を求め、これらの測定結果に基づき塩酸水溶液と塩化第二鉄水溶液との混合液を該エッチング液に供給して、該エッチング液を、第一鉄イオン濃度０．２〜１．５モル／ｌ（１０〜９０ｇ／ｌ）、Ｃｕ1+／Ｃｕ2+＝０．０１〜０．３、Ｆｅ2+／Ｆｅ3+＝０．１〜１．０、および第二鉄イオン濃度［Ｆｅ3+］６０ｇ／ｌ以上に調整することを特徴とするエッチング方法。
【請求項２】エッチング液をスプレーするためのスプレー管（Ｂ１，Ｂ２）およびエッチング板体を載置するコンベヤーライン（Ｅ）を備えたエッチングチャンバー（Ａ）、該エッチングチャンバー（Ａ）内の上部空間から空気が供給されるＵＶチャンバー（Ｒ）、エッチングチャンバー（Ａ）下部に設けられてポンプ（Ｐ３）によりエッチング液を移送する循環パイプ（Ｌ１）、ＵＶチャンバー（Ｒ）で紫外線照射された空気流を吸い込み循環エッチング液を酸化活性化処理してエッチングチャンバー（Ａ）に吐出する、循環パイプ（Ｌ１）に設けられたエゼクター（Ｃ）、循環パイプ（Ｌ１）のポンプ（Ｐ３）下流よりエッチング液を抜き取りエッチングチャンバーに移送する循環パイプ（Ｌ２）に設けられ、比重分析計（Ｉ１）およびＯＲＰ計（Ｉ２）が設置されたコントロール装置（Ｉ）、エッチングチャンバー（Ａ）からエッチング液が排出され移送される廃液槽（Ｋ）、エッチングチャンバー（Ａ）に塩酸水溶液をポンプ（Ｐ４）により供給する塩酸水溶液槽（Ｄ１）およびエッチングチャンバー（Ａ）に塩化第二鉄水溶液をポンプ（Ｐ５）により供給する塩化第二鉄水溶液槽（Ｄ２）からなる新液タンク（Ｄ）より構成される装置を使用する請求項１に記載のエッチング方法。」
　なお、請求項２には「廃液層」と記載されているが、明細書及び図面、特に、段落【0022】の「廃液槽（Ｋ）」なる記載から見て、「廃液槽（Ｋ）」の誤記と認められるので、上記のとおり認定した。
　　
II．原査定の理由
　これに対して、原査定では、「この出願については、平成１２年５月３１日付け拒絶理由通知書に記載した理由によって、拒絶査定をすべきものである。」として、特許法第２９条第２項の規定に基づき、拒絶の査定をしたものである。
　　
III．引用例の記載事実
　上記の拒絶理由通知書で、証拠として示された引用例１（特開平９−２０２９８０号公報）、引用例２（特開平４−１７６８８３号公報）、及び引用例３（特開昭４９−１２０８９１号公報）には、下記の事項が記載されている。
引用例１（特開平９−２０２９８０号公報）
(1-1)「【請求項１】第一鉄イオンと第二鉄イオンを含む金属のエッチング処理液を再生する方法であって、オゾンガスとオゾンガス１モルに対して４〜６モルの塩酸とを用いて、エッチング処理液中の第一鉄イオンを第二鉄イオンに酸化することを特徴とするエッチング処理液の再生方法。
【請求項２】エッチング加工によってｐＨが上昇し、第二鉄イオン濃度が低下したエッチング処理液に、請求項１の方法で再生したエッチング処理液を添加することを特徴とする再生されたエッチング処理液の使用方法。」（特許請求の範囲）
(1-2)「本発明は、鉄系合金や銅合金のエッチング加工で使用された第一鉄イオンと第二鉄イオンを含むエッチング処理液の再生方法およびその再生液の使用方法に関し、さらに詳しくは、オゾンガスおよび塩酸による、エッチング加工によって劣化したエッチング処理液の効果的な再生方法およびその再生液の使用方法に関する。」（段落【0001】）
(1-3)「第二鉄イオンを含む水溶液では、例えば塩化第二鉄水溶液の場合には、下記の（１）式で示すような平衡反応が起こり、水酸化第二鉄と塩酸が生成する。水酸化第二鉄が生成すると、エッチング反応が阻害されるので、（１）式の反応が右側に進まないようにしなければならない。そのために、エッチング処理液は、通常、第二鉄塩の陰イオンと共通した陰イオンを持つ酸を添加することによって、酸性に保持されている。例えば、（１）式のように、第二鉄塩が塩化第二鉄の場合には、塩酸を添加することにより、ｐＨを調整し水酸化第二鉄の生成を防止している。」（段落【0003】）
(1-4)「金属のエッチング加工に伴って、エッチング処理液には、第二鉄イオンに対する第一鉄イオンの増加およびｐＨの上昇が起こる。そのために、通常、エッチング処理液に対しては、主に次の処置が必要である。
（ａ）第一鉄イオンの第二鉄イオンへの酸化によるエッチング処理液の再生
（ｂ）塩酸等のｐＨ調整剤の添加によるｐＨの管理」（段落【0007】〜【0008】）
(1-5)「エッチング処理液中の第一鉄イオンを第二鉄イオンに酸化する方法としては、工業的には、塩素ガス、次亜塩素酸塩あるいはオゾンガス等の酸化剤を用いる方法が一般的である。」（段落【0009】）
(1-6)「本発明の方法で処理された再生液は、高濃度の塩酸を含んでいる。したがって、そのままの状態ではエッチング処理液として使用することができない。」（段落【0026】）
　　
引用例２（特開平４−１７６８８３号公報）
(2-1)「１）塩化第二鉄などを主成分とする酸性エッチング液を対象に、エッチング処理に伴って劣化したエッチング液にオゾン化ガス、塩酸を薬注して再生するエッチング液再生装置であって、エッチング装置の液溜槽からポンプ、エゼクタ、脱気槽を経てエッチング装置に戻る閉ループのエッチング液再生処理ラインと、オゾナイザ、塩酸貯留タンクと前記エゼクタの混合室との間に配管したオゾン化ガス、塩酸の供給ラインとを備え、エッチング装置の液溜槽から抽出したエッチング液を前記の再生処理ラインに送液させる過程で、エゼクタを通じてエッチング液中にオゾン化ガス、塩酸を同時に注入して劣化したエッチング液を再生することを特徴とする液再生装置。
２）請求項１に記載のエッチング液再生装置において、エッチング液をサンプリングして液中の塩化第一鉄濃度、塩酸濃度を測定する鉄液センサと、該センサの検出情報を基にエゼクタに注入するオゾン化ガスのオゾン濃度、及び塩酸量を調整する制御手段とを備えたことを特徴とするエッチング液再生装置。
３）請求項１に記載のエッチング液再生装置において、エッチング液をサンプリングして液中の塩化第一鉄濃度、塩酸濃度を測定する鉄液センサと、再生処理ラインから系外に排気する排ガス中のオゾン濃度を測定する排オゾンセンサと、前記各センサの検出情報を基にエゼクタに注入するオゾン化ガスのオゾン濃度、および塩酸量を調整する制御手段とを備えたことを特徴とするエッチング液再生装置。」（特許請求の範囲１〜３）
(2-2)「鉄、ステンレス鋼などのワークをエッチング処理するエッチング液としては、塩化第二鉄などを主成分とした酸性エッチング液が広く使われている。」（第２頁左上欄第６〜９行）
(2-3)「本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、前記した従来の再生処理方式による問題点を解消し、被再生エッチング液に対し適正量の塩酸、オゾンガスを同じ地点で同時に注入して効率よく再生でき、併せてオゾン利用率を高めて排ガス中のオゾン濃度を低めることができるようにしたエッチング液再生装置を提供することを目的とする。」（第２頁右下欄第１８行〜第３頁左上欄第４行）
(2-4)「上記の構成の装置により、エッチング装置から抽出された被再生エッチング液（旧液）に対し、オゾン化ガスと塩酸はエゼクタを通じて同じ地点で同時に注入される。したがって先記した反応式(2)で律される再生反応がエゼクタの内部で同時に開始し、被再生エッチング液が循環ラインを通じて脱気槽内を上昇する間に殆ど終了するよう再生反応が進行する。しかもエゼクタの内部ではノズルより噴出するエッチング液とその周囲に導入したオゾン化ガス、塩酸との攪拌作用が効果的に働いて再生反応が効率よく進行する。したがって再びエッチング装置に還流したエッチング液は過剰な塩酸濃度となることがなく、かつエッチング装置から蒸発して周囲に逸散する無駄な塩酸の消費を抑えて周囲環境を汚染する度合いを低めることができる。
　また、再生装置の系内でサンプリングした被再生エッチング液、および脱気槽から系外に排出する排ガスについて、エッチング液中の塩化第一鉄濃度、塩酸濃度、および排ガス中のオゾン濃度をリアルタイムで検出し、その検出情報とあらかじめ設定した標準量とを比較してエゼクタに導入する塩酸の注入量、およびオゾナイザで生成したオゾン化ガスのオゾン濃度を調整することにより、エッチング液再生処理の進行に合わせて塩酸、オゾン化ガスの供給を過不足なく自動的に行うことができる。」（第３頁右上欄第１４行〜左下欄第２０行）
　　
引用例３（特開昭４９−１２０８９１号公報）
(3-1)「水の電気分解によるオゾンと酸素の混合気体発生装置において、電解液を圧送する圧送ポンプと、直流電源装置と、貫通する多数の極孔をそれぞれ形成した陽極と陰極とを微少間隙を介して対向設置し、上記圧送ポンプにより圧送された電解液が上記微少間隙を通り上記両極の極孔をそれぞれ通過して二方向へ分流するように流路を形成するとともに上記陽極と陰極に上記直流電源装置より直流低電圧を印加することにより陽極側にオゾンと酸素、陰極側に水素をそれぞれ生成する電気分解反応器と、この電気分解反応器によりそれぞれ生成分離されたオゾンと酸素の混合生成気体及び水素の生成気体を、分流された電解液とともにそれぞれ冷却するラジエータと、これらのラジエータにより冷却されたオゾンと酸素の混合生成気体を含む電解液及び水素の生成気体を含む電解液を、オゾンと酸素の混合気体、水素の気体、電解液に分離する気液分離器とを備えてなるオゾンと酸素の混合気体の発生装置。」（特許請求の範囲）
　　
IV．対比・判断
（１）本願発明１について
　本願発明１と、引用例１に記載されたものとを対比すると、引用例１には、第一鉄イオンと第二鉄イオンを含む金属のエッチング処理液を再生する方法であって、オゾンガスとオゾンガス１モルに対して４〜６モルの塩酸とを用いて、エッチング処理液中の第一鉄イオンを第二鉄イオンに酸化するエッチング処理液の再生方法（摘記1-1）の発明が記載され、併せて、エッチング加工によってｐＨが上昇し、第二鉄イオン濃度が低下したエッチング処理液に、上記の再生したエッチング処理液を添加すること（摘記1-1）、銅合金のエッチング加工で使用されるエッチング処理液の再生方法に適用されること（摘記1-2）、第二鉄イオンを含む水溶液、例えば塩化第二鉄水溶液の場合には、反応により水酸化第二鉄と塩酸が生成し、水酸化第二鉄が生成すると、エッチング反応が阻害されるので、これに対して、第二鉄塩が塩化第二鉄の場合には塩酸を添加することにより、ｐＨを調整し水酸化第二鉄の生成を防止すること（摘記1-3）、エッチング加工に伴って、エッチング処理液には、第二鉄イオンに対する第一鉄イオンの増加およびｐＨの上昇が起こり、そのために、第一鉄イオンの第二鉄イオンへの酸化によるエッチング処理液の再生、又は、塩酸等のｐＨ調整剤の添加によるｐＨの管理が必要であること（摘記1-4）、及び、エッチング処理液中の第一鉄イオンを第二鉄イオンに酸化する方法としては、塩素ガス、次亜塩素酸塩あるいはオゾンガス等の酸化剤を用いる方法が一般的であること（摘記1-5）が記載されている。
　　
　以上のことからすると、本願発明１は、引用例１に記載された発明と、
銅のエッチングにおいて、該エッチングのエッチング液として、まず塩酸及び塩化第二鉄を含有する水溶液を銅のエッチングを行うためのエッチングチャンバーに供給し、該エッチング液にオゾン流を導入してＦｅ2+を酸化する活性化処理を行うエッチング方法、の点で一致し、そして、
（イ）：本願発明１では、エッチングチャンバーに供給する水溶液について、塩酸と塩化第二鉄の割合を、「塩酸０．５〜２．０モルに対して塩化第二鉄１．２〜２．８モルの割合」に特定しているのに対して、引用例１にはその記載が見あたらない点、
（ロ）：本願発明１では、酸化活性化処理が、Ｃｕ1+を活性化するとしているのに対して、引用例１にはその記載が見あたらない点、
（ハ）：本願発明１では、酸化活性化処理を、「エッチング処理を行いながら」行うものであるのに対して、引用例１にはその記載が見あたらない点、
（ニ）：本願発明１では、「エッチング液の比重を測定して金属濃度を求め、且つ該液の酸化還元電位を測定して第１鉄イオン濃度を求め、これらの測定結果に基づき塩酸水溶液と塩化第二鉄水溶液との混合液を該エッチング液に供給して、該エッチング液を、第一鉄イオン濃度０．２〜１．５モル／ｌ（１０〜９０ｇ／ｌ）、Ｃｕ1+／Ｃｕ2+＝０．０１〜０．３、Ｆｅ2+／Ｆｅ3+＝０．１〜１．０、および第二鉄イオン濃度［Ｆｅ3+］６０ｇ／ｌ以上に調整する」ものであるのに対して、引用例１にはその記載が見あたらない点、の各点で、本願発明１は、引用例１に記載された発明と相違している。
　　
そこで、上記相違点（イ）〜（ニ）について、以下、検討する。
相違点（ニ）について
　引用例２には、塩化第二鉄などを主成分とする酸性エッチング液を対象に、エッチング処理に伴って劣化したエッチング液にオゾン化ガス、塩酸を薬注して再生するエッチング液再生装置であって、エッチング装置の液溜槽からポンプ、エゼクタ、脱気槽を経てエッチング装置に戻る閉ループのエッチング液再生処理ラインと、オゾナイザ、塩酸貯留タンクと前記エゼクタの混合室との間に配管したオゾン化ガス、塩酸の供給ラインとを備え、エッチング装置の液溜槽から抽出したエッチング液を前記の再生処理ラインに送液させる過程で、エゼクタを通じてエッチング液中にオゾン化ガス、塩酸を同時に注入して劣化したエッチング液を再生する液再生装置(摘記2-1）が記載され、また、引用例３には、水の電気分解によるオゾンと酸素の混合気体発生装置（摘記3-1）が記載されている。
　しかし、これら引用例２及び３には、塩酸と塩化第二鉄を含有するエッチング液を用いた銅のエッチング方法において、比重による金属濃度測定、酸化還元電位による第一鉄濃度測定、塩酸水溶液と塩化第二鉄水溶液との混合液による液供給、第一鉄イオン、第二鉄イオンの濃度、及びＣｕ1+／Ｃｕ2+、Ｆｅ2+／Ｆｅ3+の濃度比について、上記相違点（ニ）のとおり構成することの記載ないし示唆は見あたらない。
　そして、本願発明１は、当該相違点（ニ）の点を含む、前記認定のとおりの構成に係る特定事項を具備することにより、高価な酸化剤および制御装置を使用することなく、廃液を増やすことなく、エッチングスピード、エッチングファクターの優れた銅のエッチングを容易に実施することができる（段落【0037】）という、明細書に記載された効果を奏したものと認めることができる。
　してみれば、他の相違点（イ）〜（ハ）についてあらためて検討する間でもなく、本願発明１は、引用例１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができた発明とすることができない。
　　
（２）本願発明２について
　本願発明２は、請求項１を引用して、本願発明１を更に限定したものであるから、上記の「（１）本願発明１について」の欄に記載したと同様、本願発明２は、引用例１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができた発明とすることはできない。
  　　
Ｖ．むすび
　以上のとおり、本願発明１〜２は、引用例１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができた発明ということはできず、したがって、原査定の拒絶の理由により本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。