(57)【要約】【課題】放熱性及び高周波特性を向上させ、電気的接地と放熱を分離して行うことができるモールドパッケージを得る。【解決手段】半導体チップと、半導体チップがダイボンドされた厚膜リード電極と、厚膜リード電極よりも薄い薄膜リード電極と、半導体チップと薄膜リード電極とを電気的に接続するワイヤと、半導体チップ及びワイヤを封止するモールド材とを有し、厚膜リード電極の下面の一部は、パッケージ下面で露出して放熱電極として用いられ、薄膜リード電極の上面の一部がパッケージ上面で露出して入力・出力電極として用いられ、厚膜リード電極の上面の一部がパッケージ上面で露出して接地電極として用いられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップと、
前記半導体チップがダイボンドされた厚膜リード電極と、
前記厚膜リード電極よりも薄い薄膜リード電極と、
前記半導体チップと前記薄膜リード電極とを電気的に接続するワイヤと、
前記半導体チップ及び前記ワイヤを封止するモールド材とを有し、
前記厚膜リード電極の下面の一部は、パッケージ下面で露出して放熱電極として用いられ、
前記薄膜リード電極の上面の一部がパッケージ上面で露出して入力・出力電極として用いられ、
前記厚膜リード電極の上面の一部がパッケージ上面で露出して接地電極として用いられることを特徴とするモールドパッケージ。
【請求項２】
前記半導体チップは、前記厚膜リード電極の中央部を折り曲げた凹部にダイボンドされていることを特徴とする請求項１に記載のモールドパッケージ。
【請求項３】
前記半導体チップを覆うように塗布されたコート材を更に有し、
前記厚膜リード電極には、前記半導体チップがダイボンドされる領域の周囲にストッパー溝が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のモールドパッケージ。
【請求項４】
前記厚膜リード電極は、パッケージ上下面近傍において上下面に対し垂直になるように曲げられていることを特徴とする請求項１に記載のモールドパッケージ。
【請求項５】
前記パッケージ上面で露出した前記接地電極の形状は、コの字又はＵ字であることを特徴とする請求項１に記載のモールドパッケージ。
【請求項６】
前記厚膜リード電極は、銅系材質を用いて作成され、表面に酸化銅被膜が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のモールドパッケージ。
【請求項７】
前記厚膜リード電極は、銅系材質を用いて作成され、前記半導体チップがダイボンドされる領域にメッキ層が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のモールドパッケージ。
【請求項８】
前記厚膜リード電極の表面に酸化銅被膜が形成され、前記メッキ層の表面に前記酸化銅被膜が析出していることを特徴とする請求項７に記載のモールドパッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波又は高出力で動作するモールドパッケージに関し、特に放熱性及び高周波特性を向上させ、電気的接地と放熱を分離して行うことができるモールドパッケージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高周波又は高出力で動作する従来のモールドパッケージの一例を図１２に示す（例えば、特許文献１参照）。図示のように、薄膜リード電極５１を下方に曲げることで、入力・出力リード電極５２が構成されている。また、薄膜リード電極５１を上方に曲げてダイパッド部５３が構成され、半導体チップ５４が半田等で接着されている。半導体チップ５４は、金属ワイヤ５６を介して入力・出力リード電極５２に接続されている。これらの半導体チップ５４及び金属ワイヤ５６は、プラスチック等のモールド材５７により封止されている。そして、ダイパッド部５３上でリード電極５１を露出させることで、接地電極５５が構成されている。これにより、接地インダクタンスを低減させ、放熱性を向上させている。
【０００３】
上記の例と同様に薄膜リード電極５１を用いた従来のモールドパッケージの他の例を図１３に示す。図示のように、入力・出力リード電極５２と接地電極５５とが同一平面に形成されている。
【０００４】
しかし、これらのモールドパッケージでは、リード電極の厚さが通常０．２ｍｍ程度と薄く熱容量が小さいため、放熱性が低く、半導体チップの温度上昇を防ぐために熱容量の大きな放熱板（ヒートシンク）を必要としていた。また、寄生インダクタンス及び寄生容量が大きくなるので高周波特性を向上させることができなかった。
【０００５】
そこで、放熱性及び高周波特性を向上させた従来のモールドパッケージの一例の断面図を図１４に示し、上面図を図１５に示す（例えば、特許文献２参照）。図示のように、厚膜リード電極からなる接地電極５８に半導体チップ５４をダイボンドし、接地電極５８の上面をモールド材５７より露出し、放熱性を向上させている。
【０００６】
放熱性及び高周波特性を向上させた従来のモールドパッケージの他の例を図１６に示す（例えば、特許文献３参照）。図示のように、薄膜リード電極５９の下面に、個別に切り出した厚膜の放熱電極６０を接着し、放熱性を向上させている。
【０００７】
【特許文献１】特開平８−２１３５３６号公報
【特許文献２】特開平４−１７４５４７号公報
【特許文献３】特開平６−６１３９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、従来のモールドパッケージでは、電気的接地と放熱を分離して行うことが困難であった。
【０００９】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、放熱性及び高周波特性を向上させ、電気的接地と放熱を分離して行うことができるモールドパッケージを得るものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るモールドパッケージは、半導体チップと、半導体チップがダイボンドされた厚膜リード電極と、厚膜リード電極よりも薄い薄膜リード電極と、半導体チップと薄膜リード電極とを電気的に接続するワイヤと、半導体チップ及びワイヤを封止するモールド材とを有し、厚膜リード電極の下面の一部は、パッケージ下面で露出して放熱電極として用いられ、薄膜リード電極の上面の一部がパッケージ上面で露出して入力・出力電極として用いられ、厚膜リード電極の上面の一部がパッケージ上面で露出して接地電極として用いられる。本発明のその他の特徴は以下に明らかにする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明により、放熱性及び高周波特性を向上させ、電気的接地と放熱を分離して行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
実施の形態１．
図１は、本実施の形態に係るモールドパッケージを示す斜視図であり、図２は図１の上下を反転させたものである。図示のように、半導体チップ１１は、厚さ０．４〜１．０ｍｍ程度の厚膜リード電極１２の中央部を折り曲げた凹部に半田等でダイボンドされている。そして  厚さ０．０５〜０．２ｍｍ程度の薄膜リード電極１３が半導体チップ１１に近づくよう下方に曲げられ、金属ワイヤ１４により半導体チップ１１と電気的に接続されている。これらの半導体チップ１１及び金属ワイヤ１４がプラスチック等のモールド材１５により封止されて、モールドパッケージ１０が構成されている。
【００１３】
このモールドパッケージの上面図を図３に示し、下面図を図４に示し、側面図を図５に示す。図示のように、厚膜リード電極１２の上面の一部はモールドパッケージ１０上面で露出して接地電極１６として用いられる。また、厚膜リード電極１２の下面の一部はモールドパッケージ１０下面で露出して、半導体チップ１１で発生した熱を放熱する放熱電極１７として用いられる。そして、薄膜リード電極１３の上面の一部はモールドパッケージ１０上面で露出して入力・出力リード電極１８として用いられる。
【００１４】
なお、このモールドパッケージは図２の状態で使用される。そして、放熱電極１７を電気的に接地させず、放熱のみ実施させるために、放熱板（不図示）と放熱電極１７との間に、絶縁体でできた放熱シート１９が挿入される。
【００１５】
次に、リードフレーム状態の厚膜リード電極１２及び薄膜リード電極１３について説明する。図６はリードフレーム状態の厚膜リード電極及び薄膜リード電極を示す上面図であり、図７は図６のａ−ａ´での断面図であり、図８は図６のｂ−ｂ´での断面図である。
【００１６】
リードフレーム状態の厚膜リード電極２１及び薄膜リード電極２２は、銅（Ｃｕ）系材質を用いて作成され、両リードフレームは半導体チップ１１を形成しない位置に設けられたかしめ部２３により結合されている。そして、厚膜リード電極２１は凹字型に曲げられ、薄膜リード電極２２は、半導体チップ１１とのボンデイング距離が最良となるように下方に曲げられている。
【００１７】
また、半導体チップ１１が半田等でダイボンドされる領域である厚膜リード電極２１の凹部に、銀（Ａｇ）等によりメッキ層２４が形成されている。これにより、ダイボンド時の熱や半導体チップ１１の動作時の発熱によって半導体チップ１１に加わる熱ストレスを緩和することができる。例えば、ダイボンドに銀（Ａｇ）系半田を用いる場合、銀（Ａｇ）によりメッキ層２４が形成される。
【００１８】
また、厚膜リード電極２１には、半導体チップ１１の搭載部の周囲にストッパー溝２５が設けられている。これにより、図９に示すように、半導体チップ１１の表面を覆うように樹脂系のコート材２６を塗布した際に、コート材２６が厚膜リード電極２１側面や下面に流れ出るのを防ぐことができる。
【００１９】
図１０は、図８の厚膜リード電極の曲げ部分の拡大図である。図示のように、厚膜リード電極２１は、パッケージの上下面近傍において、上下面に対して垂直となるように多段階に曲げられている。これにより、後にモールド材１５により封止した際に、厚膜リード電極１２の上下面の一部が露出した接地電極１６又は放熱電極１７上に不要なモールド材１５（バリ）が固着するのを防止することができる。
【００２０】
上記のように、接地電極１６を厚膜リード電極１２により形成することで、放熱電極１７を厚膜リード電極１２により形成することで、放熱性を向上させ、放熱電極１７と接触させる放熱板の熱容量が低い場合や、接触が不充分な場合でも、半導体チップの温度上昇を防ぐことができる。
【００２１】
また、接地電極１６を薄膜リード電極１３により形成した場合に比べて、接地インダクタンス、接地抵抗を低減することができ、より高周波での動作が可能となる。
【００２２】
また、接地電極１６をパッケージ上面に形成し、放熱電極１７をパッケージ下面に形成することで、電気的接地と放熱を分離して行うことができる。
【００２３】
なお、モールドパッケージ１０上面で露出した接地電極１６の形状は、コの字又はＵ字とするのが好ましい。これにより、厚膜リード電極１２のリードフレームを切断（タイバーカット）する際の切断面積を小さくすることができるため、従来の薄膜リード電極を切断するのと同様の条件で切断することができる。また、切り込み部分にモールド材が充填されるのでモールド材と厚膜電極とのハクリ強度が増す。
【００２４】
また、ダイボンド等の高温処理時に、厚膜リード電極２１及び薄膜リード電極２２ｍｐ表面を酸化して酸化銅被膜を形成するのが好ましい。酸化銅はモールド材との密着性が良好なため、リードフレームとモールド材の界面からの水分の侵入を阻止することができ、半導体チップの耐湿性を向上させることができる。
【００２５】
また、本実施の形態では入力・出力電極が各一本の場合について説明したが、多数の電極を有するパッケージにおいても同等の効果を奏する。また、半導体チップの種類は特に制限はなく、シリコン基板やＧａＡｓ、ＩｎＰ等の化合物基板の何れの半導体チップでも同等の効果を奏する。
【００２６】
実施の形態２．
図１１は、本発明の実施の形態２に係るモールドパッケージを示す断面図である。図１〜１０と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
【００２７】
本実施の形態に係るモールドパッケージでは、ダイボンド領域の銀（Ａｇ）等によるメッキ層２４上に酸化銅被膜２７が析出している。これにより、半導体チップ１１近傍での厚膜リード電極２１とモールド材１５との密着性が向上するため、半導体チップ１１の信頼性はさらに向上する。
【００２８】
メッキ層２４上に酸化銅被膜２７を析出させる方法として、窒素（Ｎ２）等の不活性ガスの比率が高い雰囲気下で厚膜リード電極２１表面を酸化して、厚膜リード電極２１表面で形成された酸化銅をメッキ層２４に拡散させて、メッキ層２４表面に析出させる方法がある。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージを示す斜視図である。
【図２】図１の上下を反転させたものである。
【図３】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージを示す上面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージを示す下面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージを示す側面図である。
【図６】リードフレーム状態の厚膜リード電極及び薄膜リード電極を示す上面図である。
【図７】図６のａ−ａ´での断面図である。
【図８】図６のｂ−ｂ´での断面図である。
【図９】半導体チップの表面を覆うようにコート材を塗布した状態を示す断面図である。
【図１０】図８の厚膜リード電極の曲げ部分の拡大図である。
【図１１】本発明の実施の形態２に係るモールドパッケージを示す断面図である。
【図１２】従来のモールドパッケージの一例を示す断面図である。
【図１３】従来のモールドパッケージの他の例を示す断面図である。
【図１４】放熱性を向上させた従来のモールドパッケージの一例を示す断面図である。
【図１５】放熱性を向上させた従来のモールドパッケージの一例を示す上面図である。
【図１６】放熱性を向上させた従来のモールドパッケージの他の例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１０  モールドパッケージ
１１  半導体チップ
１２，２１  厚膜リード電極
１３，２２  薄膜リード電極
１４  金属ワイヤ
１５  モールド材
１６  接地電極
１７  放熱電極
１８  入力・出力リード電極
２４  メッキ層
２５  ストッパー溝
２６  コート材
２７  酸化銅被膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2007165442.tif 000013
【図１２】
2007165442.tif 000014
【図１３】
2007165442.tif 000015
【図１４】
2007165442.tif 000016
【図１５】
2007165442.tif 000017
【図１６】
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