(57)【要約】【課題】小型化が可能で大きな静電容量を確保できるコンデンサ用電極シートの製造方法を提供する。【解決手段】アルミニウムシートをエッチッグし、化成処理して酸化皮膜を形成するコンデンサ用電極シートの製造方法において、前記アルミニウムシートは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルとＡｌとのデンドライト状金属間化合物を含有してなる合金層を有し、化成処理は、異なる化成電圧で多段階処理を行い、かつ２回目以降の化成処理を前回よりも５〜４５％高い化成電圧で行う。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウムシートをエッチッグし、化成処理して酸化皮膜を形成するコンデンサ用電極シートの製造方法において、
前記アルミニウムシートは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルとＡｌとのデンドライト状金属間化合物を含有してなる合金層を有し、
前記化成処理は、異なる化成電圧により多段階で行い、かつ２回目以降の化成処理を前回よりも５〜４５％高い化成電圧で行うことを特徴とするコンデンサ用電極シートの製造方法。
【請求項２】
前記アルミニウムシートは、芯材の少なくとも片面に前記合金層が積層された積層シートである請求項１に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【請求項３】
前記合金層は多孔質層である請求項１または２に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【請求項４】
１回目の化成処理を４〜５０Ｖの化成電圧で行う請求項１〜３のいずれか１項に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【請求項５】
２回目以降の化成処理を前回よりも１５〜３５％高い化成電圧で行う請求項１〜４のいずれか１項に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【請求項６】
２段階の化成処理を行う請求項１〜５のいずれか１項に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【請求項７】
各回の化成処理後に減極処理を行う請求項１〜６のいずれか１項に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【請求項８】
前記減極処理後に再化成処理を行う請求項７に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載されたコンデンサ用電極シートの製造方法により製造されたことを特徴とするコンデンサ用電極シート。
【請求項１０】
前記電極シートは低圧用陽極材である請求項９に記載のコンデンサ用電極シート。
【請求項１１】
陽極材として、請求項９に記載されたコンデンサ用電極シートが用いられていることを特徴とする電解コンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大きな静電容量が得られるコンデンサ用電極シートおよびその製造方法に関する。
【０００２】
なお、この明細書において、「アルミニウム」の語は、アルミニウムおよびその合金を含む意味で用いる。また、この明細書において、「Ａｌ」の表記は、アルミニウム（金属単体）を意味する。
【背景技術】
【０００３】
電解コンデンサの電極材料としては、従来より、アルミニウム箔の表面をエッチングして表面積を拡大し、化成処理により酸化皮膜を形成した電極用シートが用いられている。しかしながら、現在ではエッチングによる拡面率の増大も限界に近づいており、他の観点から静電容量の増大を図ることが試みられている。
【０００４】
例えば、特許文献１においては、電極材料として、バルブメタルとＡｌとの金属間化合物であるＡｌ3ＺｒおよびＡｌ3Ｈｆの１種以上の粉末を焼結した多孔体シートが提案されている。前記多孔体シートは、材料粉末として樹枝状形態を有する金属間化合物の粉末を用いることにより、大表面積をもつ空隙部表面に酸化皮膜を形成し、静電容量の増大を図ったものである（特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された多孔体シートは延性に乏しく耐折性が著しく劣り、かつ薄いシートしか製造できないために、十分な静電容量を確保することが極めて困難であった。このため、本出願人は、特許文献２において、アルミニウム等からなる芯材の表面に、バルブメタルとＡｌとからなる合金溶湯を霧状にして噴射し、さらに圧延することにより、多孔質層を形成する方法を提案した。この方法により製造した電極シートは、芯材によって耐折性を確保しつつ、多孔質層による静電容量の増大を図ったものである（特許文献１参照）。
【０００６】
一方、化成処理方法に関しては、高純度アルミニウムエッチング箔に対し、多段階で異なる化成電圧を印加する化成処理を行い、かつ各化成段階の間に減極処理を行って漏れ電流を低下させる技術が記載されている（特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平６−２６７８０３号公報
【特許文献２】特開２００５−７２４６２号公報
【特許文献３】特開平２−１２８４１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、近年、電気機器のデジタル化が急速に進み、またコンピュータや携帯電話等の通信機器ではさらなる小型化に伴って、なお一層小型で大容量のコンデンサ用電極材料が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述した背景技術に鑑み、小型化が可能で大きな静電容量を確保できるコンデンサ用電極シートおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
即ち、本発明のコンデンサ用電極シートの製造方法は下記［１］〜［７］に記載の構成を有する。
【００１０】
［１］  アルミニウムシートをエッチッグし、化成処理して酸化皮膜を形成するコンデンサ用電極シートの製造方法において、
前記アルミニウムシートは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルとＡｌとのデンドライト状金属間化合物を含有してなる合金層を有し、
前記化成処理は、異なる化成電圧により多段階で行い、かつ２回目以降の化成処理を前回よりも５〜４５％高い化成電圧で行うことを特徴とするコンデンサ用電極シートの製造方法。
【００１１】
［２］  前記アルミニウムシートは、芯材の少なくとも片面に前記合金層が積層された積層シートである前項１に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【００１２】
［３］  前記合金層は多孔質層である前項１または２に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【００１３】
［４］  １回目の化成処理を４〜５０Ｖの化成電圧で行う前項１〜３のいずれか１項に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【００１４】
［５］  ２回目以降の化成処理を前回よりも１５〜３５％高い化成電圧で行う前項１〜４のいずれか１項に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【００１５】
［６］  ２段階の化成処理を行う前項１〜５のいずれか１項に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【００１６】
［７］  各回の化成処理後に減極処理を行う前項１〜６のいずれか１項に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【００１７】
［８］  前記減極処理後に再化成処理を行う前項７に記載のコンデンサ用電極シートの製造方法。
【００１８】
また、本発明のコンデンサ用電極シートおよび電解コンデンサは下記［９］〜［１１］に記載の構成を有する。
【００１９】
［９］  前項１〜８のいずれか１項に記載されたコンデンサ用電極シートの製造方法により製造されたことを特徴とするコンデンサ用電極シート。
【００２０】
［１０］  前記電極シートは低圧用陽極材である前項９に記載のコンデンサ用電極シート。
【００２１】
［１１］  陽極材として、前項９に記載されたコンデンサ用電極シートが用いられていることを特徴とする電解コンデンサ。
【発明の効果】
【００２２】
［１］の発明にかかる方法によれば、アルミニウムシートのバルブメタルとＡｌとのデンドライト状金属間化合物を含有してなる合金層と、多段階の化成処理により、高静電容量のコンデンサ用電極シートを製造できる。
【００２３】
［２］の発明かかる方法によれば、耐折性の高いコンデンサ用電極シートを製造できる。
【００２４】
［３］の発明にかかる方法によれば、エッチング処理により深くかつ拡がりを持ったエッチング孔を形成することができ、ひいては高静電容量のコンデンサ用電極シートを製造できる。
【００２５】
［４］の発明にかかる方法によれば、低圧領域で使用するコンデンサに適した電極シートを製造できる。
【００２６】
［５］の発明にかかる方法によれば、特に高静電容量のコンデンサ用電極シートを製造できる。
【００２７】
［６］の発明にかかる方法によれば、最小限の工程で高静電容量のコンデンサ用電極シートを製造できる。
【００２８】
［７］の発明にかかる方法によれば、酸化皮膜のボイトに起因する漏れ電流を低下させて高静電容量のコンデンサ用電極シートを製造できる。
【００２９】
［８］の発明にかかる方法によれば、酸化皮膜のボイドの内部を補修し、漏れ電流の低いコンデンサ用電極シートを製造できる。
【００３０】
［９］の発明にかかるコンデンサ用電極シートは、本発明の方法により製造されたものであるから、高い静電容量を得ることができる。
【００３１】
［１０］の発明にかかるコンデンサ用電極シートは、本発明の方法により製造されたものであるから、低圧用陽極材として高い静電容量を得ることができる。
【００３２】
［１１］の発明にかかる電解コンデンサは、陽極材として本発明のコンデンサ用電極シートが用いられているから、小型でかつ大静電容量の電解コンデンサとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
本発明にかかるコンデンサ用電極シートの製造方法は、材料となるアルミニウムシートをエッチングした後、多段階の化成処理を施して酸化皮膜を形成することにより行う。以下に、材料となるアルミニウムシート、アルミニウムシートのエッチング、エッチングされたアルミニウムシートの多段階化成処理について説明する。
〔アルミニウムシート〕
図１に、アルミニウムシート（１）の一実施形態を図１に示す。
【００３４】
このアルミニウムシート（１）は、シート状の芯材（３）の両面に多孔質層（４）が積層一体化された積層シートからなる。この多孔質層（４）において、（７）はＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルとＡｌとのデンドライト状金属間化合物であり、（８）はＡｌに前記バルブメタルの１種または２種以上が固溶してなる固溶体相であり、（３０）は空隙である。前記多孔質層（４）は、金属間化合物（７）が固溶体相（８）を介して結着されているので、アルミニウムシート（１）は十分な延性が得られて耐折性（耐折り曲げ性）に優れたものとなる。また、多孔質層（４）におけるデンドライト状金属間化合物の量は、３５〜６５質量％が好ましい。
【００３５】
前記多孔質層（４）は、本発明における、上記バルブメタルとＡｌとのデンドライト状金属間化合物を含有してなる合金層に対応するものである。本発明において、合金層は図示例の多孔質層（４）であっても良いし、空隙の無い非孔性の合金層であっても良い。
【００３６】
前記金属間化合物としては、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルと、Ａｌとの金属間化合物が用いられる。具体的には、例えば、Ｔｉ−Ａｌ金属間化合物、Ｚｒ−Ａｌ金属間化合物、Ｎｂ−Ａｌ金属間化合物、Ｈｆ−Ａｌ金属間化合物、Ｔａ−Ａｌ金属間化合物、Ｔｉ−Ｚｒ−Ａｌ金属間化合物、Ｔｉ−Ｚｒ−Ｎｂ−Ａｌ金属間化合物、Ｔｉ−Ｚｒ−Ｎｂ−Ｈｆ−Ａｌ金属間化合物等が挙げられるが、特にこれら例示のものに限定されるものではない。
【００３７】
前記Ｚｒ−Ａｌ金属間化合物としては、特に限定されるものではないが、例えばＡｌＺｒ、Ａｌ3Ｚｒ2、Ａｌ2Ｚｒ、Ａｌ3Ｚｒ等を例示できる。また、前記Ｎｂ−Ａｌ金属間化合物としては、特に限定されるものではないが、例えばＡｌＮｂ3、ＡｌＮｂ2、Ａｌ3Ｎｂ等を例示できる。
【００３８】
また図３に参照されるように、前記デンドライト状金属間化合物（７）における隣合う２次枝の間隔（デンドライトアームスペーシング、ＤＡＳ）（Ｓ）は５μｍ以下とすることが好ましい。このようにＤＡＳ（Ｓ）が５μｍ以下になっているから、エッチング処理後に金属間化合物の露出する表面積が大きいものとなり、これにより十分な静電容量が確保される。
【００３９】
本発明において、前記芯材（３）としては、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群より選ばれる１種の金属を主成分とする芯材が用いられる。例えば、Ｔｉ箔、Ｚｒ箔、Ｎｂ箔、Ｈｆ箔、Ｔａ箔等の金属単体からなる箔、或いはアルミニウム箔等が挙げられる。前記アルミニウム箔としては、例えばＡｌ箔、Ａｌ−Ｔｉ系合金箔、Ａｌ−Ｚｒ系合金箔、Ａｌ−Ｎｂ系合金箔、Ａｌ−Ｈｆ系合金箔、Ａｌ−Ｔａ系合金箔等が挙げられる。中でも、前記芯材（３）としては、Ａｌ箔、またはＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルとＡｌとからなる合金箔を用いるのが好ましく、これにより漏れ電流を顕著に低減することができる。また、前記Ｔｉ箔、Ｚｒ箔、Ｎｂ箔、Ｈｆ箔のいずれかを用いた場合には、シート（１）の強度を向上できると共に漏れ電流もより低減できる利点がある。
【００４０】
前記アルミニウムシート（１）において、芯材（３）の厚さは５〜２００μｍであるのが好ましい。５μｍ未満ではアルミニウムシート（１）としての剛性、ひいては電極シート（２）（図２参照）としての剛性が不十分となり、電極シート（２）を曲げたり切断した場合に割れが生じやすくなるので好ましくない。一方２００μｍを超えると、電極シート（２）を捲回して捲回型ケースに収納する場合において捲回の際の曲率Ｒが大きくなってしまい捲回型ケースに収納するのが困難になるので好ましくない。中でも、前記アルミニウム箔からなる芯材（３）の厚さは２０〜１００μｍであるのが特に好ましい。
【００４１】
また、前記多孔質層（４）の厚さは５〜１５０μｍであるのが好ましい。５μｍ未満ではエッチング処理時に芯材（３）が露出して十分な静電容量が得られなくなるので好ましくない。一方１５０μｍを超えると、電解質がエッチング層のすべてに入っていかなくなって十分な静電容量が得られなくなるので好ましくない。中でも、前記多孔質層（４）の厚さは２０〜１００μｍであるのがより好ましい。
【００４２】
なお、図１においては芯材（３）の両面に多孔質層（４）（４）を形成したアルミニウムシート（１）を例示したが、芯材の片面のみに多孔質層が形成されたアルミニウムシートを用いた場合も本発明に含まれる。本実施形態のように、芯材（３）上に多孔質層（４）を積層したアルミニウムシート（１）は、多孔質層のみからなるシートよりも耐折性に優れている。非孔性の合金層を用いる場合も同様である。
【００４３】
上述したアルミニウムシート（１）は、例えば以下の方法により製造できる。
【００４４】
シート状の芯材（３）の片面または両面に、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルとＡｌとのデンドライト状金属間化合物を含む合金粉末、あるいは前記合金粉末およびＡｌ粉末を溶射して付着させ、多孔質層（４）を形成する。これにより、芯材（１）の表面に多孔質層（４）が積層されたアルミニウムシート（１）が製作される。
【００４５】
前記溶射の手法としては、公知の溶射方法を採用することができ、特に限定されるものではないが、例えばプラズマ溶射、コールドスプレー等を例示できる。
【００４６】
前記プラズマ溶射とは、電極の間にアルゴン、ヘリウム等のガスを流して放電すると、電離して高温高速のプラズマが発生するが、このプラズマを溶射の熱源として用いる溶射法であり、前記高温高速のプラズマ流（プラズマジェット）に溶射材料の粉末を投入して加熱加速せしめて芯材に衝突させて溶射するものである。
【００４７】
前記コールドスプレーとは、溶射材料の融点または軟化温度よりも低い温度に加熱した高圧のガスを超音速流にし、この超音速流に溶射材料の粉末を投入して加速せしめ、固相状態のまま基材に衝突させて溶射するものである。
【００４８】
また、各種溶射条件（例えば、溶射温度、ガス流量等）を適宜設定することにより溶射層に空隙（３０）を生じさせて多孔質層を形成することができる。
【００４９】
芯材（３）に多孔質層（４）を積層させたアルミニウムシート（１）は、さらに焼鈍すればシートの耐折性を向上させることができる。また、圧延すれば、溶射した多孔質層（４）の表面凹凸を均して平坦性を向上させることができるとともに、シート（１）の厚さを均一にすることができる。焼鈍および圧延はどちらか一方のみを実施して良いし、両方実施しても良い。またその順序も任意である。
【００５０】
〔エッチング〕
図２に示すように、前記アルミニウムシート（１）は、エッチング処理を施し、エッチング孔（３５）の形成により表面積を拡大する。なお、図２および図３は、エッチング後に化成処理を施して酸化皮膜（６）を形成した電極シート（２）状態を示している。
【００５１】
前記アルミニウムシート（１）における多孔質層（４）にはそもそも空隙（３０）が多数存在する（図１参照）ので、前記エッチング処理によって深くかつ拡がりを持ったエッチング孔（３５）が形成される（図２参照）。即ち、前記エッチング処理の際に、エッチングによる単なる一次侵入孔（３５ａ）が形成されるだけではなく、該一次侵入孔（３５ａ）を核にして空隙（３０）部分にも略放射状に連通してエッチングし得て二次侵入孔（３５ｂ）が形成されるので、深くかつ拡がりを持ったエッチング孔（３５）が形成されるものとなる。しかも、図３の要部拡大図に示すように、エッチングによってデンドライト状金属間化合物（７）が露出することによって表面積はさらに拡大される。従って、表面積を格段に増大させることができて電解質との接触表面積を顕著に増大できるので、コンデンサとしての静電容量を顕著に増大させることができる。なお、図２において、多孔質層（４）のうち、（５１）はエッチングされて形成されたエッチング部であり、（５２）はエッチングされていない未エッチング部である。
【００５２】
なお、前記エッチング処理としては、例えば塩酸水溶液中で直流電流を通電してエッチングする方法等を例示できるが、特にこれに限定されない。
【００５３】
〔化成処理〕
エッチングされたアルミニウムシート（１）に対して化成処理を施して酸化皮膜（６）を形成し、本発明のコンデンサ用電極シート（２）を形成する。化成処理は、異なる化成電圧で多段階処理を行い、かつ２回目以降の化成処理を前回よりも５〜４５％高い化成電圧で行う。
【００５４】
１回目の化成処理における化成電圧は、電極用シートの用途に応じて設定するものとする。低圧領域のコンデンサ用陽極材として用いる場合は、４〜５０Ｖの化成電圧で処理することが好ましく、特に５〜２０Ｖで化成処理することが好ましい。本発明は、５０Ｖを超える化成電圧で処理することを排除しないが、多孔質層を有するアルミニウムシートは高純度アルミニウム箔よりも脆いという特性があるため、中高圧用電極シートよりも低圧用電極シートに適している。
【００５５】
また、２回目以降の化成処理において、化成電圧を前回よりも昇圧することにより１段階の化成処理よりも高い静電容量が得られる。これは、以下の理由によるものと推測される。
【００５６】
即ち、２回目以降の化成処理において、Ａｌよりも原子量の大きいバルブメタルは、前回までに形成された酸化皮膜中を移動することができないため、化成処理液側での酸化皮膜の成長が抑制され、アルミニウムシート側に酸化皮膜を成長させることとなる。このため、エッチング孔内が狭くなって表面積を減少させることなく酸化皮膜を形成させることができ、エッチングにより拡大した表面積を化成処理後も維持でき、ひいては１段階で化成処理するよりも高い静電容量を得ることができる。また、化成処理の回数は少なくとも２回行えば良く、その回数は限定されない。２段階の化成処理を行えば最小限の工程で高い静電容量を得ることができる。
【００５７】
２回目以降の化成電圧の昇圧率は、前回の化成電圧の５〜４５％とする。昇圧率が５％未満あるいは４５％を超えると、静電容量の増大量が少なくなり、多段階処理による効果が乏しい。好ましい昇圧率は１５〜３５％である。
【００５８】
また、化成電圧以外の処理条件は、特に限定されるものではなく、周知の条件に従って処理すれば良い。例えば、ホウ酸、リン酸、アジピン酸等の浴中で、１５〜６０分間処理を行う。
【００５９】
また、減極処理は、化成処理によって形成される酸化皮膜中に生じるボイトに起因する問題、具体的には漏れ電流を克服するために行う処理であり、本発明においても、全段階の化成処理終了後あるいはさらに各段階間で任意に行うことができる。減極処理方法は限定されず、熱処理や水和酸化物除去等の周知の方法と条件で行えば良い。例えば、熱処理の場合は４５０〜５５０℃で５〜１５分間の処理が好ましい。また、水和酸化物除去処理の場合はリン酸や酒石酸等の浴中で処理することが好ましい。また、前記減極処理後に、開孔されたボイドを補修するために再化成を行うことがある。
【００６０】
また、上述した多段階化成処理によって形成する酸化皮膜（６）の厚さは、バルブメタルの種類や化成電圧によって異なる。しかし、本発明の方法においては、厚さ０．０１〜０．１μｍの酸化皮膜を形成することが好ましく、特に０．０１５〜０．０６μｍが好ましい。
【００６１】
本発明にかかる電解コンデンサは、陽極材として上述した電極シート（２）を用いて構成されたものである。従って、この電解コンデンサは、小型でかつ大容量の電解コンデンサとなる。
【実施例】
【００６２】
〔アルミニウムシートの製作〕
芯材（３）として、Ａｌ純度９９．５質量％、厚さ５０μｍのアルミニウム箔を用いた。また、多孔質層（４）の材料として、Ａｌ3Ｚｒなるデンドライト状金属間化合物を含むＺｒ−Ａｌ系合金粉末（Ａｌ：９０原子％、Ｚｒ：１０原子％、平均粒径７０μｍ）を用いた。
【００６３】
前記芯材（３）の両面に、前記Ｚｒ−Ａｌ系合金粉末を溶射し、積層シートを製作した。溶射条件は、プラズマ溶射で、Ａｒ：８０体積％、Ｎ2：１０体積％、Ｈ2：１０体積％の混合ガスを用い、溶射出力７５ｋＷ（１７０Ａ、４４０Ｖ）、溶射ガス流量２５０Ｌ／ｍｉｎとし、溶射層の厚さを片面につき１９０μｍとした。
【００６４】
次に、前記積層シートを総厚さが２３０μｍになるまで圧延し、芯材（３）の両面に多孔質層（４）（４）を有するアルミニウムシート（１）とした。このアルミニウムシート（１）における多孔質層（４）の厚さは片面につき９２μｍとなり、前記多孔質層（４）におけるデンドライト状金属間化合物量は５１．５％、デンドライト状金属間化合物の平均ＤＡＳは０．８μｍであった。
【００６５】
〔エッチング〕
前記アルミニウムシート（１）に対し、前処理として、３質量％Ｈ3ＰＯ4水溶液中に浸漬して９０℃で１２０秒間煮沸することによって脱脂した後、流水で水洗した。、
次いで、エッチング処理を行った。エッチング液として５Ｎ−Ａｌ2（ＳＯ4）3＋０．５Ｎ−ＡｌＣｌ3水溶液を用い、温度９０℃、電流密度ＤＣ０．５Ａ／ｃｍ2（片面）、片面の試料面積３６ｃｍ2の条件でエッチング処理を行った。また、エッチング時間はエッチング層の厚さが８５μｍとなるように設定した。さらに、５０℃の６％ＨＮＯ3水溶液に３０秒間浸漬した後、流水で洗浄した。
【００６６】
〔化成処理〕
上述のエッチング処理を施したアルミニウムシートに対し、表１に示す工程に従って２段階（表２のNo.１〜No.６）または１段階（表２のNo.７〜No.１１）の化成処理を施して酸化皮膜を形成し、電極シートとした。化成処理浴はいずれもアジピン酸アンモニウム（濃度：１００ｇ／Ｌ、温度９０℃）とし、電流密度は５０ｍＡ／ｃｍ2とした。また、一連の工程はバッチ式で実施した。
【００６７】
（２段階化成処理）
表１に参照されるように、１回目の化成処理として全てのNo.について化成電圧１０Ｖで３０分間定電圧化成処理を行った。次に、減極処理として熱処理を行い、さらに１０Ｖで５分間再化成処理を行った。次に、２回目の化成処理として、化成電圧を１０〜１５Ｖ（No.１〜No.６）に昇圧し３０分間定電圧化成処理を行った。次に、減極処理として熱処理を行い、さらに同じ電圧１０〜１５Ｖ（No.１〜No.６）で５分間再化成処理を行った。
【００６８】
（１段階処理）
表１に参照されるように、化成電圧１１〜１５Ｖ（No.７〜No.１１）で３０分間定電圧化成処理を行った。次に、減極処理として熱処理を行い、さらに同じ電圧１１〜１５Ｖ（No.７〜No.１１）で５分間再化成処理を行った。
【００６９】
【表１】
2007138236.tif 000002
【００７０】
【表２】
2007138236.tif 000003
【００７１】
製作した各電極シートについて、日本電子機械工業会規格ＥＩＡＪ  ＲＣ−２３６４に基づいて静電容量を測定し、ＣＶ積＝（容量測定値）×（化成電圧）を求めた。これらの結果を表２に示す。
【００７２】
表２に示すように、２段階化成処理において２回目の化成処理で昇圧したNo.２〜No.６の電極シートは、１段階で化成処理したNo.７〜No.１１および同一電圧で２段階化成したNo.１よりも高いＣＶ積を得ることができた。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明の方法によれば、従来よりも高い静電容量が得られる電極シートを製造できる。この電極シートを電解コンデンサの電極材として用いることにより、小型で高容量の電解コンデンサを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明のコンデンサ用電極シートの製造方法において、アルミニウムシートの一実施形態を示す模式的断面図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかるコンデンサ用電極シートを示す模式的断面図である。
【図３】図２の要部拡大図である。
【符号の説明】
【００７５】
１…アルミニウムシート
２…コンデンサ用電極シート
３…芯材
４…多孔質層（合金層）
６…酸化皮膜
７…デンドライト状金属間化合物
８…固溶体相
３０…空隙
３５…エッチング孔
３５ａ…一次侵入孔
３５ｂ…二次侵入孔
【図１】
2007138236.tif 000004
【図２】
2007138236.tif 000005
【図３】
2007138236.tif 000006