【事件の表示】
　平成　６年特許願第１５４１５６号「超精密送り装置およびこれを用いたＸＹテ−ブル並びにテ−ブル移送装置」拒絶査定に対する審判事件［平成　７年１２月２２日出願公開、特開平　７−３３４２４５］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成６年６月１３日の出願であって、平成１３年１０月２日付けで拒絶査定がなされ、同年１１月８日に拒絶査定に対する審判請求がされるとともに、同年１１月２０日付けで明細書を補正する手続補正がなされたものである。
　
２．平成１３年１１月２０日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］　　　　
　平成１３年１１月２０日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
（１）特許請求の範囲の請求項１に関する補正内容
　平成１３年１１月２０日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）により、本願の明細書における特許請求の範囲の請求項１は、
　補正前の
「駆動手段と、
送り量を検出する送り量検出手段と、
送り位置毎の形状誤差に関する情報と、装置の温度分布による熱変形に関する情報と、外力による変形に関する情報情報（注：「情報」の重複は誤記と認める。）の内の少なくとも何れか一つ逐次検出するため装置内部に設けられる情報検出手段と、
前記情報検出手段の検出情報と位置決め誤差の関係及びその他装置各部の形状誤差と位置決め誤差の関係を予め知識として記憶する記憶手段と、
前記送り量検出手段及び情報検出手段によって逐次検出される検出情報と前記記憶情報に基づいて補正制御量を求めて前記駆動手段を駆動する制御手段とを備え、
前記装置の温度分布による熱変形に関する情報を検出する情報検出手段は熱変形センサであると共に、前記外力による変形に関する情報を検出する情報検出手段は力センサであり、
前記熱変形センサ及び前記力センサは、装置側に固定される固定部と、熱変形又は外力変形によって変位する可動部と、前記固定部と前記可動部とを連結する一対の互いに平行なばね部によって平行平板構造を形成する弾性部材と、前記固定部と前記可動部との付け根位置に貼り付けられた歪みゲージと、を備えたことを特徴とする超精密送り装置。」
　から、
「 駆動手段と、
送り量を検出する送り量検出手段と、
送り位置毎の形状誤差に関する情報と、装置の温度分布による熱変形に関する情報と、外力による変形に関する情報情報（注：「情報」の重複は誤記と認める。）の内の少なくとも何れか一つ逐次検出するため装置内部に設けられる情報検出手段と、
前記情報検出手段の検出情報と位置決め誤差の関係及びその他装置各部の形状誤差と位置決め誤差の関係を予め知識として記憶する記憶手段と、
前記送り量検出手段及び情報検出手段によって逐次検出される検出情報と前記記憶情報に基づいて補正制御量を求めて前記駆動手段を駆動する制御手段とを備え、
前記駆動手段は粗動機構と微動機構を直列に配したアクチュエータ群によって構成され、位置決め誤差を前記微動機構によって補正し、
前記粗動機構は、一端が固定端で他端が自由端のボールねじ軸と、このボールねじ軸に取り付けられたボールナットとを有するねじ送り機構であると共に、前記ボールねじ軸にはその中心軸線に沿って中空穴が形成され、
前記装置の温度分布による熱変形に関する情報を検出する情報検出手段は、前記ボールねじ軸の中空穴内に挿入され、その一端が前記ボールねじ軸の固定端側に固定されると共に他端が自由端の基準部材と、前記基準部材の自由端と前記ボールねじ軸の自由端との相対変位を検出する変位センサとで構成されていることを特徴とする超精密送り装置。」
に補正されることになる。
　
（２）限定的減縮に該当するか否か
　上記補正においては、補正前の構成要件である「装置の温度分布による熱変形に関する情報を検出する情報検出手段は熱変形センサであると共に、前記外力による変形に関する情報を検出する情報検出手段は力センサであり、前記熱変形センサ及び前記力センサは、装置側に固定される固定部と、熱変形又は外力変形によって変位する可動部と、前記固定部と前記可動部とを連結する一対の互いに平行なばね部によって平行平板構造を形成する弾性部材と、前記固定部と前記可動部との付け根位置に貼り付けられた歪みゲージ」を備えたことが、削除されており、この点に関しては、特許請求の範囲は拡張されたものとなることから、この補正は、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１７条の２第３項第２号における特許請求の範囲の減縮に該当するとは認められない。
　また、この補正が同項各号の他のいずれかに該当するとも認められない。
　
（３）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１７条の２第３項の規定に違反するものであり、同法第１５９条第１項で準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
（１）以上のとおり、平成１３年１１月２０日付けの手続補正は却下されたため、本願の請求項１ないし１３に係る発明は、平成１３年９月１２日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし１３に記載されたとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という）は、次のとおりである。
「駆動手段と、
送り量を検出する送り量検出手段と、
送り位置毎の形状誤差に関する情報と、装置の温度分布による熱変形に関する情報と、外力による変形に関する情報情報（注：「情報」の重複は誤記と認める。）の内の少なくとも何れか一つ逐次検出するため装置内部に設けられる情報検出手段と、
前記情報検出手段の検出情報と位置決め誤差の関係及びその他装置各部の形状誤差と位置決め誤差の関係を予め知識として記憶する記憶手段と、
前記送り量検出手段及び情報検出手段によって逐次検出される検出情報と前記記憶情報に基づいて補正制御量を求めて前記駆動手段を駆動する制御手段とを備え、
前記装置の温度分布による熱変形に関する情報を検出する情報検出手段は熱変形センサであると共に、前記外力による変形に関する情報を検出する情報検出手段は力センサであり、
前記熱変形センサ及び前記力センサは、装置側に固定される固定部と、熱変形又は外力変形によって変位する可動部と、前記固定部と前記可動部とを連結する一対の互いに平行なばね部によって平行平板構造を形成する弾性部材と、前記固定部と前記可動部との付け根位置に貼り付けられた歪みゲージと、を備えたことを特徴とする超精密送り装置。」
　
（２）引用例
　ア．原査定の拒絶の理由に引用された特開平３−２７７４４７号公報（以下「引用文献」という。）には、次の事項が記載されている。
　「本発明は、ボールネジを回転駆動するアクチュエータを制御して、該ボールネジに螺合された可動体を位置決めする位置決め制御装置に関する。」（１頁右下欄１〜３行）
　「第４図に示すように、上記ボールネジ２が螺合されたブラケット９には温度センサ１７が取付けられ、またテーブル１０の上面にはボールネジ２の左端面に対向する態様で変位センサ１８が配設されている。」（２頁右下欄１６〜２０行）
　「第５図には、ボールネジ２の温度とラム８の変位量ΔＬとの関係が例示されており、この関係は第１図に示したメモリ２２に予め記憶されている。・・・ラム８のＸ軸上における各位置をＰ１，Ｐ２・・・（Ｐ１＜Ｐ２＜・・・）とした場合、ラム８が上記起点から離れて位置している程、上記変位量ΔＬが大きくなる。・・・第５図に示した変位量ΔＬａがこの変位量演算部２３で求められる。・・・
　ここで、上記現在位置Ｐの計測手段について説明する。
　この計測手段は、上記ボールネジ２の回転量に対応した数のパルス信号を出力するパルスエンコーダ２４と、このパルスエンコーダ２４の出力パルスを計数するアップダウンカウンタ（図示せず）等からなり・・・上記現在位置Ｐについての情報はサーボ系２７から変位量演算部２３に与えられる。・・・
　変位量演算部２３より出力される上記変位量ΔＬを示す信号は、常閉スイッチ素子２５を介して指令値補正部２６に加えられる。
　上記指令値補正部２６には、ラム８を位置決めするための指令値が図示していないＮＣ指令発生部から入力されている。この指令値補正部２６は、上記指令値を上記変位量ΔＬに基づいて補正する処理、具体的には上記指令値によって与えられる上記ラム８の目標位置Ｐｒから上記変位量ΔＬを減じる処理が実行される。」（３頁左上欄１０行〜右下欄７行）
　
　イ．ここで、温度センサ１７及び変位センサ１８は、装置の温度分布による熱変形に関する情報を逐次検出するために装置内部に設けられているものといえ、また、記憶手段であるメモリ２２には、温度検出情報と位置決め誤差の関係が、装置各部との関係において、予め知識として記憶されているといえ、さらに、上記の送り装置は、ボールネジを用いた精密なものであることに加え、温度変形も補償するものであることから、超精密送り装置であるともいえる。
　
　ウ．以上から、引用文献には、次のとおりの発明が記載されていると認められる。
　「駆動手段と、送り量を検出する送り量検出手段と、装置の温度分布による熱変形に関する情報を逐次検出するため装置内部に設けられる情報検出手段である温度センサ１７及び変位センサ１８と、前記情報検出手段の検出情報と位置決め誤差の関係及びその他装置各部の形状誤差と位置決め誤差の関係を予め知識として記憶する記憶手段と、前記送り量検出手段及び情報検出手段によって逐次検出される検出情報と前記記憶情報に基づいて補正制御量を求めて前記駆動手段を駆動する制御手段とを備えた超精密送り装置。」
　
（３）対比
　本願発明と引用文献に記載の発明を対比すると、両者は、
  「駆動手段と、送り量を検出する送り量検出手段と、送り位置毎の形状誤差に関する情報と、装置の温度分布による熱変形に関する情報と、外力による変形に関する情報の内の少なくとも何れか一つ逐次検出するため装置内部に設けられる情報検出手段と、前記情報検出手段の検出情報と位置決め誤差の関係及びその他装置各部の形状誤差と位置決め誤差の関係を予め知識として記憶する記憶手段と、前記送り量検出手段及び情報検出手段によって逐次検出される検出情報と前記記憶情報に基づいて補正制御量を求めて前記駆動手段を駆動する制御手段とを備えた超精密送り装置」
　である点で一致し、次の点で相違する。
　
（相違点）
　本願発明が、装置の温度分布による熱変形に関する情報を検出する情報検出手段は熱変形センサであると共に、外力による変形に関する情報を検出する情報検出手段は力センサであり、前記熱変形センサ及び前記力センサは、装置側に固定される固定部と、熱変形又は外力変形によって変位する可動部と、前記固定部と前記可動部とを連結する一対の互いに平行なばね部によって平行平板構造を形成する弾性部材と、前記固定部と前記可動部との付け根位置に貼り付けられた歪みゲージを備えたものであるのに対し、引用文献に記載の発明においては、装置の温度分布による熱変形に関する情報を検出する情報検出手段は温度センサ及び変位センサである点
　
（４）判断
　引用文献に記載の発明においては、温度センサは熱変形を直接には検出していないが、温度を検出することで温度による変形量を求めるためのものであり、また、変位センサは温度変化によるボールネジの変形量を検出するものであるから、熱変形センサといえるものであるところ、センサとして、装置側に固定される固定部と、変位する可動部と、固定部と可動部とを連結する一対の互いに平行なばね部によって平行平板構造を形成する弾性部材と、固定部と可動部との付け根位置に貼り付けられた歪みゲージを備えたものは、原査定において周知例として引用された特開平３−５１７３０号公報及び特開平６−８２３１９号公報に示されるように周知のものに過ぎないことから、相違点に係る本願発明の構成とすることに、格別の困難性は認められない。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用文献に記載の発明及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。