【事件の表示】
　平成９年特許願第４５８３８号「セラミックグリーンシートの加工方法」［平成１０年９月１１日出願公開（特開平１０−２４２６１７号）］拒絶査定に対する審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．［手続の経緯と本願の発明］
　本願は、平成９年２月２８日の出願であって、その出願に係る発明は、当審からの平成１４年６月２４日付で通知した拒絶理由に対応して、平成１４年９月１７日付で手続補正された明細書における、特許請求の範囲の請求項１〜８のそれぞれに記載された事項によって特定される以下のとおりのものと認める。
　【請求項１】  テーブルに支持されたセラミックグリーンシート上に所定のビアホール用透光部を設けたマスクを載置し、レーザ光源から放射されたレーザビームを集光レンズに入射させ、前記集光レンズと前記マスクの間に焦点が位置するようにレーザビームを集光させた後、前記マスクに対する入射角が２０°以下となるようにレーザビームを前記マスクに照射して前記ビアホール用透光部を通過したレーザビームで前記セラミックグリーンシートにビアホール用穴を形成することを特徴とするセラミックグリーンシートの加工方法。
　【請求項２】  前記テーブルによって前記セラミックグリーンシートを移動させながら前記レーザビーム照射をすることを特徴とする請求項１記載のセラミックグリーンシートの加工方法。
　【請求項３】  前記セラミックグリーンシートを所定方向に連続的に移動させ、移動中のこのセラミックグリーンシートにレーザビームを照射することを特徴とする請求項１記載のセラミックグリーンシートの加工方法。
　【請求項４】  前記レーザ光源から放射されるレーザビームがパルス状のビームであることを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３記載のセラミックグリーンシートの加工方法。
　【請求項５】  前記マスクに位置合わせ穴用透光部を更に設け、前記レーザ光源から放射されたレーザビームを前記マスクに照射して前記セラミックグリーンシートにビアホール用穴を形成すると共に、前記位置合わせ穴用透光部を透過したレーザビームで位置合わせ穴を形成することを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４記載のセラミックグリーンシートの加工方法。
　【請求項６】  前記マスクが、前記レーザビームの反射率が高い材料からなることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４又は請求項５記載のセラミックグリーンシートの加工方法。
　【請求項７】  前記レーザ光源がＣＯ2レーザであることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５又は請求項６記載のセラミックグリーンシートの加工方法。
　【請求項８】  前記セラミックグリーンシートが、樹脂製キャリアフィルムで一面を支持されたキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートであることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６又は請求項７記載のセラミックグリーンシートの加工方法。
　（上記の各請求項に係る発明のうち、請求項１の発明を、便宜上、以下では「本願発明」という）
　
２．［引用例とその記載事項の概要］
　これに対して、当審で通知した、上記の拒絶理由で引用された、本願出願前の頒布に係る刊行物とその記載事項の概要は次のとおりである。
　 ＜引用刊行物＞　
　第１引用例：特開平７−１９３３７４号公報
　第２引用例：特開昭６１−２２９４９２号公報
　第３引用例：特開昭６４−２２４９４号公報    
　第４引用例：特開昭６１−７４７９２号公報
　第５引用例：特開平４−３３９５８５号公報
　　周知例１：特開平５−３４３８４８号公報
　　周知例２：特開平１−２０９７９４号公報
　各引用例の記載事項
　（１）上記第１引用例には、「積層型電子部品用のセラミックグリーンシートに所定数のスルーホールを形成する加工方法」に関して次の１〜５の記載事項がある。
　【記載事項１】「レーザ光源と、所定の透光部を有するマスクと、セラミックグリーンシートを支持するテーブルとを配置し、
　レーザ光源からマスクに向けて透光部よりも大径のレーザ光を照射して該透光部を通過した光をセラミックグリーンシートに所定形状で照射させ、
　テーブルによってセラミックグリーンシートを所定方向に移動させながら上記のレーザ光照射を繰り返す」「セラミックグリーンシートの加工方法」（第２頁第１欄【特許請求の範囲】【請求項１】参照）
　「マスクの透光部を通過した光をレンズで集光し、透光部形状よりも照射形状が小さくなる結像比で該光をセラミックグリーンシートに照射させた」「セラミックグリーンシートの加工方法。」（同【請求項５】参照）
　【記載事項２】「セラミックグリーンシートを所定方向に連続的に移動させ、移動中の該シートにレーザ光を断続的に照射する」（同【請求項２】参照）　
　【記載事項３】「レーザ光源と、所定の透光部を有する有するマスクと、ガルバノミラーと、セラミックグリーンシートを支持するテーブルとを配置し、
　レーザ光源からマスクに向けて透光部よりも大径のレーザ光を照射して該透光部を通過した光をガルバノミラーで反射させてセラミックグリーンシートに所定形状で照射させ、
　ガルバノミラーの反射角度を所定方向に変化させながら上記のレーザ光照射を繰り返す」（同【請求項３】参照）　
　【記載事項４】「ガルバノミラーの反射角度を所定方向に連続的に変化させ、該ミラーにレーザ光を断続的に入射する」（同【請求項４】参照）　
　【記載事項５】「マスクに複数の透光部を設け、レーザ光源から各透光部に対し同時にレーザ光を照射して同数のスルーホールをセラミックグリーンシートに一括で形成する」（同【請求項６】参照）　
　【記載事項６】「図１において、１はレーザ光源、Ｒはレーザ光、２はミラー、３はマスク、４は結像用レンズ、５はＸＹテーブル、ＧＳはセラミックグリーンシート（以下、実施例中は単にシートと言う）、６はレーザ駆動回路、７はテーブル駆動回路、８は加工制御用プログラムを内蔵したマイクロコンピュータ構成の制御回路である。」（第３頁第４欄【００２１】）
　（２）第２引用例には、「基板にレーザ光を照射して孔をあける方法に於いてあらかじめ孔あけしたマスク用板を該基板に重ねてマスク用板の上からレーザ光を照射」する旨の記載（第１頁左下欄第４〜８行他参照）があり、第３引用例（第１頁右下欄第１４〜１７行、第２頁左上欄第３〜８行）にも同趣旨の記載がある。
　また、第２引用例には、「マスク用板に」「銅メッキ等の表面処理を行ってレーザ光の反射率を高める」こと（第２頁左下欄第１３〜１５行）、及び「ＣＯ２ガスレーザ装置を用い」ること（第３頁右上欄第１７行他）も記載されている。
　（３）第４引用例には、セラミックグリーンシートの一面を、樹脂製キャリアフィルムで支持することが開示されている。
　（４）第５引用例には、光源とマスクとの間にレンズを配置することが開示されている。
　
３．［発明の対比］
　本願発明（請求項１の発明）の構成事項と第１引用例に記載された事項とを対比する。
　第１引用例の記載事項１でいう「スルーホール」及び「レーザ光」は、それぞれ本願発明でいう「ビアホール」及び「レーザビーム」に相当し、同様に、「所定の透光部を有するマスク」は「所定のビアホール用透光部を設けたマスク」に相当する。
　また、同じく記載事項１において、「マスクの透光部を通過した光をレンズで集光し、」とされているところから、当該「レンズ」は「集光レンズ」といえる。
　したがって、本願発明と第１引用例記載の発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。
　＜一致点＞　「テーブルに支持されたセラミックグリーンシート上に所定のビアホール用透光部を設けたマスクと集光レンズとを配置し、レーザ光源から放射されたレーザビームを前記マスクに照射して前記ビアホール用透光部を通過したレーザビームで前記セラミックグリーンシートにビアホール用穴を形成するセラミックグリーンシートの加工方法」である点。
　＜相違点１＞　マスクと集光レンズとの配置関係が、
　本願発明では「セラミックグリーンシート上に」「マスクを載置」して、「レーザ光源から放射されたレーザビームを集光レンズに入射させ」、「レーザビームを集光させた後」に、レーザビームを前記マスクに照射するのに対し、
　第１引用例記載の発明は「マスクの透光部を通過した光をレンズで集光」するようにしている点。
　＜相違点２＞　本願発明の「前記集光レンズと前記マスクの間に焦点が位置するように」レーザビームを集光させること、及び「前記マスクに対する入射角が２０°以下となるように」レーザビームを前記マスクに照射することについて、第１引用例に言及がない点。
　
４．［相違点の検討］
　（１）＜相違点１＞について
　上述のとおり、第２引用例には、「基板にレーザ光を照射して孔をあける方法に於いてあらかじめ孔あけしたマスク用板を該基板に重ねてマスク用板の上からレーザ光を照射」する旨の記載があり、また第３引用例にも同趣旨の記載があるところからもわかるように、マスクと被加工物とを近接あるいは密着状態に配置することは周知の手法である。
　そして、第３引用例で指摘されている、「マスク材を被加工物に密着させてレーザを照射する場合にはマスク材にも高密度エネルギーのレーザが照射されることとなり、マスク材の耐久性が不足する」（第２頁左上欄第５〜８行）という問題点を無視するのであれば、第１引用例記載の発明において、上記のような周知の手法を採用して、マスクと集光レンズとの配置関係を本願発明と同様にすることは、必ずしも困難なことではない。
　（２）＜相違点２＞について
　レーザ照射による加工を行うに際して、焦点をどの位置に設定するかは通常の選択的設計事項といえるし、集光レンズと被照射物との間に焦点が位置するようにレーザビームを集光させることは、当該技術分野における常套手段でもあるから、「前記集光レンズと前記マスクの間に焦点が位置するように」レーザビームを集光させることは格別困難なことではない。
　また、レーザ光の入射角度は、通常の場合、可能な限り小さくしようとするものであるから、「前記マスクに対する入射角が２０°以下」という数値限定は常識的なものであって、当該限定に格別の技術的な意義を認めることはできない。
　（３）発明の容易性について
　上述のとおり、上記いずれの相違点も格別のものとはいえず、また、上記各相違点で指摘した構成を併せ備える本願発明の作用効果について検討しても、上記各引用例の記載事項から予測しがたいものとは認められない。
　したがって、本願発明は上記第１〜第３引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものといえる。
　
５．［請求項２以下の発明について］
　（１）本願請求項２〜４で規定される事項については、いずれも第１引用例の記載事項２〜４に実質上の開示がある。
　また、請求項５の 「マスクに位置合わせ穴用透光部を更に設け、前記レーザ光源から放射されたレーザビームを前記マスクに照射して前記セラミックグリーンシートにビアホール用穴を形成すると共に、前記位置合わせ穴用透光部を透過したレーザビームで位置合わせ穴を形成する」点も、上記周知例１及び２として指摘した文献に開示があるように、当該技術分野において常識的な設計事項である。
　請求項６、７で規定される事項も常識的なものであるし、また、第２引用例にも開示されているところである。
　更に、請求項８で規定される「セラミックグリーンシートが、樹脂製キャリアフィルムで一面を支持されたキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートであること」は、第４引用例に実質上の開示があり、加工対象物としてそのようなセラミックグリーンシートを採用することに格別の技術的意義はない。
  （２）以上の指摘から明らかなように、請求項２以下の発明は、いずれも第１〜第３引用例に記載された発明、あるいはこれに加えて第４引用例以下に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものといえる。
　
６．［むすび］
　以上のとおり、本願発明及び本願請求項２以下の発明は、いずれも、上記の各引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願の上記各発明については、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。