(57)【要約】【課題】高速かつ高精度で生産性の高い抵抗体トリミング方法およびその機構を提供する事を目的とするものである。【解決手段】抵抗器における抵抗体２の構成面にレーザビームを照射し、斜めＪ形状に走査する抵抗値修正において、抵抗体２の初期値、修正過程値および最終設定値に対応し斜めＪカットの変曲点１２および角度θを演算設定しながら抵抗体２の角方向に抵抗値修正を行う構成であり、１回のトリミングによるトリミング時間の削減、抵抗値の修正幅の拡大、また抵抗値の修正精度が良く、生産性および品質の向上が図れる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
抵抗体の構成面にレーザビームを照射し、斜めＪ形状に走査する抵抗体のトリミング方法において、
抵抗体の初期値、修正過程値および最終設定値に対応し斜めＪカットの変曲点および角度を演算設定しながら斜めＪ形状の先端を抵抗体の角方向に走査して抵抗修正を行うことを特徴とする抵抗体のトリミング方法。
【請求項２】
レーザビームを照射してＸからＹ、あるいはＹからＸへの走査方向を転換する際、円弧あるいは曲率を有する軌跡形状により方向転換を行う請求項１に記載の抵抗体のトリミング方法。
【請求項３】
レーザビームを照射して直線から円弧あるいは曲率を有する軌跡形状、あるいは円弧あるいは曲率を有する軌跡形状から直線への走査方向を転換する際、上記直線は円弧あるいは曲率を有する上記軌跡形状の接線であることを特徴とする請求項１に記載の抵抗体のトリミング方法。
【請求項４】
抵抗器を載置し、抵抗値を測定する測定検針を有する載置抵抗値測定部と、レーザビームを発生し抵抗器の抵抗体に照射するレーザ発光部を有したレーザ駆動部と、前記レーザビームを反射し前記抵抗器の所定箇所に照射するガルバノミラーを駆動するＸおよびＹ軸駆動部と、トリミングに必要な設定情報を入力し記憶する設定記憶部と、前記設定記憶部の情報および測定抵抗値に従ってトリミングに関する動作を演算制御して前記各部を制御駆動する演算制御駆動部で構成してなり、
上記演算制御駆動部は、抵抗体の角方向にレーザビームを走査してトリミングを行う抵抗体のトリミング機構。
【請求項５】
演算制御駆動部は、抵抗体の角方向に対応する斜めＪカットや円弧あるいは曲率を有する軌跡形状を演算し、その演算設定の結果によりガルバノミラーをＸおよびＹ方向に単独あるいは同期連動して駆動する請求項４に記載の抵抗体のトリミング機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品であるチップ抵抗器の抵抗値修正において、レーザトリミングの高速および高精度化が図れる抵抗体のトリミング方法およびその機構（装置）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来におけるこの種の高精度なトリミング方法としては、レーザトリミングにおいてＷＬカットを使用していた。図６は、従来における抵抗体のトリミングにおけるＷＬカット概要模式図を示すものであり、片面の抵抗体２の両端に電極３、４を設けたチップ電子部品の抵抗器１において、抵抗体２の下端から１本目Ｌカット９により設定抵抗値の粗調整（１次調整）を行い、２本目Ｌカット１０により設定抵抗値への微調整（２次調整）を行う、すなわちＷＬカット８を行う事により、所定抵抗値でその偏差値内に修正するトリミング方法である。
【０００３】
なお、この出願に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開２００１−３２００２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記従来のＷＬカット８を行う方法では、１つの抵抗体２に対して２回のＬカットを行うのであり、処理時間がかかり、生産性を向上出来ないという課題を有していた。
【０００５】
本発明は、前記課題を解決しようとするものであり、高速かつ高精度で生産性の高い抵抗体トリミング方法およびその機構を提供する事を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【０００７】
本発明の請求項１に記載の発明は、特に、抵抗体の構成面にレーザビームを照射し、斜めＪ形状に走査する抵抗体のトリミング方法において、抵抗体の初期値、修正過程値および最終設定値に対応し、斜めＪカットの変曲点および角度を演算設定しながら斜めＪ形状の先端を抵抗体の角方向に走査して抵抗値修正を行う抵抗体トリミング方法とした構成を有しており、これにより、ストレート部分、Ｌ部分、斜めＪ部分とトリミングが連続しており、１回のトリミング動作にて所定精度が得られ、また、レーザビームの先端を抵抗体の角方向に走査して抵抗値修正を行うことにより、抵抗値の修正幅（抵抗値の修正レンジ）を大きく確保でき、確実に所定の抵抗値に修正できるとともに、レーザビーム走査距離当りの抵抗値変化が小さいため、高精度の抵抗値修正ができるという作用効果を有する。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、レーザビームを照射してＸからＹ、あるいはＹからＸへの走査方向を転換する際、円弧あるいは曲率を有する軌跡形状により方向転換を行う請求項１に記載の構成を有しており、これにより、トリミングに角部分がなく、抵抗体に対するクラックや損傷を防止でき、抵抗体の劣化などによる経時変化を抑制でき、また、トリミングによる抵抗値変化がなだらかになり、高精度で安定したトリミングが可能になるという作用効果を有する。
【０００９】
本発明の請求項３に記載の発明は、特に、レーザビームを照射して直線から円弧あるいは曲率を有する軌跡形状、あるいは円弧あるいは曲率を有する軌跡形状から直線への走査方向を転換する際、上記直線は円弧あるいは曲率を有する上記軌跡形状の接線であることを特徴とする請求項１に記載の構成を有しており、これにより、さらにトリミングに鋭角な角部分がなく、抵抗体に対するクラックや損傷を防止でき、抵抗体の劣化などによる経時変化を抑制でき、また、トリミングによる抵抗値変化がなだらかになり、高精度で安定したトリミングが可能になるとともに、トリミングの範囲すなわち抵抗値修正調整幅を拡大できるという作用効果を有する。
【００１０】
本発明の請求項４に記載の発明は、特に、抵抗器を載置し、抵抗値を測定する測定検針を有する載置抵抗値測定部と、レーザビームを発生し抵抗器の抵抗体に照射するレーザ発光部を有したレーザ駆動部と、前記レーザビームを反射し前記抵抗器の所定箇所に照射するガルバノミラーを駆動するＸおよびＹ軸駆動部と、トリミングに必要な設定情報を入力し記憶する設定記憶部と、前記設定記憶部の情報および測定抵抗値に従ってトリミングに関する動作を演算制御して前記各部を制御駆動する演算制御駆動部で構成してなり、上記演算制御駆動部は、抵抗体の角方向にレーザビームを走査してトリミングを行う構成を有しており、レーザビームの先端を抵抗体の角方向に走査して抵抗値修正を行うことにより、抵抗値の修正幅（抵抗値の修正レンジ）を大きく確保でき、確実に所定の抵抗値に修正できるとともに、レーザビーム走査距離当りの抵抗値変化が小さいため、高精度の抵抗値修正ができるという作用効果を有する。
【００１１】
本発明の請求項５に記載の発明は、特に、演算制御駆動部は、抵抗体の角方向に対応する斜めＪカットや円弧あるいは曲率を有する軌跡形状を演算し、その演算設定の結果によりガルバノミラーをＸおよびＹ方向に単独あるいは同期連動して駆動する請求項４に記載の構成を有しており、これにより、請求項４記載の作用効果に加え、ストレート部分、Ｌ部分、斜めＪ部分などとトリミングを連続してより確実に行え、高精度の抵抗体トリミングが行えるという作用効果を有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の抵抗体のトリミング方法およびその機構は、抵抗体の構成面にレーザビームを照射し、斜めＪ形状に走査する抵抗値修正において、抵抗体の初期値、修正過程値および最終設定値に対応し斜めＪカットの変曲点および角度を演算設定しながら抵抗体の角方向に抵抗値修正を行うという構成であり、１回のトリミングによるトリミング時間の削減、抵抗値の修正幅の拡大、また抵抗値の修正精度が良く、生産性および品質の向上が図れるという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、実施の形態を用いて、本発明の特に請求項１〜５に記載の発明について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
なお、背景の技術において説明したものと同じ構成部材などについては、同じ符号を付与し詳細な説明は省略する。
【００１５】
図１は、本発明の実施の形態における抵抗体のトリミングカットにおける概要模式平面図、図２は、同Ｊカット角度の説明図、図３は、同トリミング機構の構成概要図、図４および図５は、同他の抵抗体のトリミングカットにおける概要模式平面図である。
【００１６】
図１〜図３において１はチップ電子部品における抵抗器であり、片面に薄膜や厚膜でなる抵抗体２と、抵抗体２の両端に導電体でなる電極３、４が設けられている。
【００１７】
印刷焼成や蒸着（スパッタリング）により形成した抵抗体２における設定した所定抵抗値より低い初期抵抗値に対して、レーザビーム７（レーザ光）を抵抗体２に照射してトリミング（切削など）を行い、所定設定抵抗値で所定設定偏差値内とするのである。
【００１８】
具体的には、図１〜図２に示すように抵抗体２に対するトリミングにおけるトリミング軌跡５、すなわちＹ方向で長さ（距離）がＷｔのストレートカット部分、およびＸＹ変曲点１１からＸ方向で長さ（距離）がＬｔのＬカット部分におけるトリミングであるＸトリミング軌跡６により、所定抵抗値の粗調整あるいは１次調整（所定設定値の例えば６０％と８０％までトリミングを行う）を行い、Ｊカット変曲点１２から角度θ方向に長さ（距離）Ｊｔの斜めＪカットを施すことにより、所定抵抗値の微調整あるいは２次調整（所定設定値の１００％までトリミングを行う）を行い、設定した所定抵抗値を設定した偏差値内に修正するのである。
【００１９】
すなわち、斜めＪカットを行うに際して、トリミング実施前に抵抗体２の初期抵抗値を測定し、Ｊカット変曲点およびＪカット角度（θ１、θ２・・・）を、図３に示すトリミング機構における演算制御駆動部１８において演算して算出し、トリミング制御系に設定プログラミングしておくものである。
【００２０】
つまり、抵抗値はＲ＝ρｓ×（Ｌ／Ｗ）（但し、電極３、４との接続抵抗分は無視できるものとし、ρｓは抵抗体２における単位面積当たりのシート抵抗である。）で表わせ、ρｓが一定であれば、Ｌ（抵抗体２の長さ）を長くあるいはＷ（抵抗体２の幅）を短くすれば抵抗値を大きくすることができるのであり、Ｗｔのトリミングで等価的にＷを小さくし、ＬｔのトリミングでＬを等価的に長くして、所定抵抗値の粗調整を行うのである。
【００２１】
そして、長さ（距離）Ｊｔの斜めＪカットによりＷを小さくするが、角度θ方向のため、トリミング距離ΔＪｔと変化幅ΔＷは小さな係数の比例（変化の傾斜が小さくなる）となり設定値に精度良くトリミングできることになる。
【００２２】
なおこのとき、斜めＪ形状の先端を抵抗体２の角Ａに向かう角方向に走査して抵抗値修正を行うことにより、抵抗値の修正幅（抵抗値の修正レンジ）を大きく確保でき、確実に所定の抵抗値に修正できるとともに、レーザビーム走査距離当りの抵抗値変化が小さいため、高精度の抵抗値修正ができるという作用効果を有する。
【００２３】
さて図４および図５は、他の実施形態における抵抗体のトリミングカットにおける概要模式平面図であり、図４は、抵抗体２に対するトリミングにおけるトリミング軌跡５、すなわちＹ方向で長さ（距離）がＷｔのストレートカット部分にて所定抵抗値の粗調整（所定設定値の例えば８０％までトリミングを行う）を行い、そのストレートカット部分に接するように、ＸＹ変曲点１１から半径ｒのＳｒ変曲点円弧あるいは所定曲率の曲線Ｓｒの軌跡にて、微調整（所定設定値の１００％までトリミングを行う）のトリミングを行うのである。
【００２４】
また図５は、抵抗体２に対するトリミングにおけるトリミング軌跡５、すなわちＹ方向で長さ（距離）がＷｔのストレートカット部分にて所定抵抗値の粗調整を行い（所定設定値の例えば６０％までトリミングを行う）、続いてＸＹ変曲点１１から半径ｒのＳｒ変曲点円弧あるいは所定曲率の曲線Ｓｒ（所定設定値の例えば９０％までトリミングを行う）と、続けてＪカット変曲点１２から円弧に接する角度θ方向に長さ（距離）Ｊｔの斜めＪカット（所定設定値の１００％までトリミングを行う）による微調整のトリミングを行うのである。
【００２５】
このように、直線のカット部分が円弧（および円弧状）に接する接線となるようにレーザビームを走査することにより、トリミングに鋭角な角部分がなく、抵抗体２に対するクラックや損傷を防止でき、抵抗体の劣化などによる経時変化を抑制でき、また、トリミングによる抵抗値変化がなだらかになり、高精度で安定したトリミングが可能になるとともに、トリミングの範囲すなわち抵抗値修正調整幅を拡大できるという作用効果を有する。
【００２６】
また、図３に示すトリミング機構において、１５は被トリミング体の抵抗器の載置および抵抗体２の抵抗値を測定するためのステージである載置抵抗値測定部、１６および１７は移動自在で電極３、電極４に当接させる抵抗値測定のための測定検針、１９はレーザビーム（レーザ光）７の発光源であるレーザ発光部、２０はレーザ発光部１９を制御駆動するレーザ駆動部である。
【００２７】
２４はレーザ発光部１９からのレーザビーム７を抵抗体２の所定箇所に照射させるためのガルバノミラー（ガルバノメータ）、２１はレーザビーム７を抵抗体２の所定箇所でＸ方向に軌跡を描かせるためにガルバノミラー２４を駆動するＸ軸駆動部、同じく２２はレーザビーム７を抵抗体２の所定箇所でＹ方向に軌跡を描かせるためにガルバノミラー２４を駆動するＹ軸駆動部である。
【００２８】
Ｘ軸駆動部２１およびＹ軸駆動部２２の駆動による抵抗体２におけるＸおよびＹ方向へのトリミングと、Ｘ軸駆動部２１およびＹ軸駆動部２２の同時同期駆動により円弧あるいは所定曲率のトリミングを行うものである。
【００２９】
２３は設定抵抗値や設定偏差値、初期抵抗値、トリミング限度などのトリミングに必要な各種設定情報を入力し記憶する設定記憶部、そして１８は前記各部への電源供給、制御駆動、ならびにトリミング中の抵抗値認識、トリミング速度、トリミング開始箇所、各変曲点の設定、角度θ、半径ｒなどの演算制御を行う演算制御駆動部である。
【００３０】
以上、本発明による抵抗体のトリミング方法におけるトリミングの開始後は、あらかじめ設定されているデータや抵抗体２の角部のデータに基づいて、Ｊカット変曲点１２にて斜めＪカットを設定されているＪカット角度、円弧あるいは曲率を有する形状にて抵抗体２の角方向にトリミングを実施するのであり、これにより、ストレートカット部分、Ｌカット部分、斜めＪカット部分を連続してトリミングする事が可能となって生産性向上に寄与する事ができ、また、抵抗値の修正幅（抵抗値の修正レンジ）を大きく確保でき、確実に所定の抵抗値に修正できるとともに、レーザビーム走査距離当りの抵抗値変化が小さいため、高精度の抵抗値修正ができるのである。
【００３１】
また、ストレートカット部分から円弧カット部分、円弧カット部分からＪカット部分へとカットする際に、それぞれ円弧に接するようにカット部分を連続してカット（トリミング）することにより、各カットつなぎ部分の抵抗体２の加工時に大きなクラックや加工損傷を発生させること無く、経時的な抵抗値変化を起こさない安定した抵抗値補正（トリミング）が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明にかかる抵抗体のトリミング方法およびその機構は、高速かつ高精度で生産性の高いトリミングが図れるという効果を有し、厚膜ＩＣや混成ＩＣあるいはチップ型電子部品におけるレーザトリミングなどの用途として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態における抵抗体のトリミングカットにおける概要模式平面図
【図２】同Ｊカット角度の説明図
【図３】同トリミング機構の構成概要図
【図４】同他の抵抗体のトリミングカットにおける概要模式平面図
【図５】同他の抵抗体のトリミングカットにおける概要模式平面図
【図６】従来における抵抗体のトリミングにおけるＷＬカット概要模式図
【符号の説明】
【００３４】
１  抵抗器（チップ電子部品）
２  抵抗体
３、４  電極
５  トリミング軌跡
６  Ｘトリミング軌跡
７  レーザビーム（レーザ光）
８  ＷＬカット
９  １本目Ｌカット
１０  ２本目Ｌカット
１１  ＸＹ変曲点
１２  Ｊカット変曲点
１５  載置抵抗値測定部
１６、１７  測定検針
１８  演算制御駆動部
１９  レーザ発光部
２０  レーザ駆動部
２１  Ｘ軸駆動部
２２  Ｙ軸駆動部
２３  設定記憶部
２４  ガルバノミラー（ガルバノメータ）
θ、θ１、θ２  Ｊカット角度
Ｌｔ  Ｊカット変曲点距離
Ｗｔ  ＸＹ変曲点距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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