(57)【要約】【課題】大型のフィルム基板を露光チャックに平坦に搭載して、露光品質を向上させる。【解決手段】各フィルム基板搬送装置３０，４０のアーム３１，４１を上昇させて、フィルム基板１を露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２から持ち上げる。露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２の表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔１４から気体を吹き出して、フィルム基板１を浮上させながら、各フィルム基板搬送装置３０，４０のアーム３１，４１を移動して、フィルム基板１を補助チャック１１から露光チャック１０へ搬送し、またフィルム基板１を露光チャック１０から補助チャック１２へ搬送する。そして、各フィルム基板搬送装置３０，４０のアーム３１，４１を下降させて、フィルム基板１を露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２に搭載する。【選択図】図３
2012203151.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール状に巻かれた可撓性を有するフィルム基板を引き出して供給するローダと、フィルム基板を搭載する露光チャックと、マスクを保持するマスクホルダと、フィルム基板をロール状に巻き取って回収するアンローダとを備え、前記マスクホルダに保持されたマスクと前記露光チャックに搭載されたフィルム基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンをフィルム基板へ転写するフィルム基板露光装置において、
前記露光チャックの前記ローダ側に設けられた前記露光チャックと同じ高さの第１の補助チャックと、
前記露光チャックの前記アンローダ側に設けられた前記露光チャックと同じ高さの第２の補助チャックと、
前記ローダと前記第１の補助チャックとの間に設けられた第１のフィルム基板搬送装置と、
前記アンローダと前記第２の補助チャックとの間に設けられた第２のフィルム基板搬送装置と、
前記マスクホルダをＺ方向へ移動及びチルトして、前記マスクホルダに保持されたマスクと前記露光チャックに搭載されたフィルム基板とのギャップ合わせを行うＺ−チルト機構と、
前記マスクホルダをＸＹ方向へ移動して、前記マスクホルダに保持されたマスクと前記露光チャックに搭載されたフィルム基板との位置合わせを行うマスクステージとを備え、
前記第１のフィルム基板搬送装置及び前記第２のフィルム基板搬送装置は、フィルム基板の両脇を支持するアームをそれぞれ有し、各アームを上昇させて、フィルム基板を前記露光チャック、前記第１の補助チャック及び前記第２の補助チャックから持ち上げ、各アームを移動して、フィルム基板を前記第１の補助チャックから前記露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を前記露光チャックから前記第２の補助チャックへ搬送し、各アームを下降させて、フィルム基板を前記露光チャック、前記第１の補助チャック及び前記第２の補助チャックに搭載し、
前記露光チャック、前記第１の補助チャック及び前記第２の補助チャックは、前記第１のフィルム基板搬送装置及び前記第２のフィルム基板搬送装置によるフィルム基板の搬送時に、気体を吹き出してフィルム基板を浮上させる複数の気体吹き出し孔を表面にそれぞれ有することを特徴とするフィルム基板露光装置。
【請求項２】
前記露光チャック、前記第１の補助チャック及び前記第２の補助チャックは、温度調節機構をそれぞれ有することを特徴とする請求項１に記載のフィルム基板露光装置。
【請求項３】
前記露光チャック、前記第１の補助チャック及び前記第２の補助チャックの各気体吹き出し孔は、温度調節された気体を吹き出すことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフィルム基板露光装置。
【請求項４】
前記露光チャックは、表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔を有し、
前記露光チャックの中央部に設けられた吸着孔から周辺部に設けられた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させる空気圧回路を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のフィルム基板露光装置。
【請求項５】
前記第１の補助チャック及び前記第２の補助チャックは、表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔をそれぞれ有し、
前記第１の補助チャック及び前記第２の補助チャックの前記露光チャック側に設けられた吸着孔から反対側に設けられた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させる空気圧回路を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のフィルム基板露光装置。
【請求項６】
ロール状に巻かれた可撓性を有するフィルム基板を引き出して供給するローダと、フィルム基板を搭載する露光チャックと、マスクを保持するマスクホルダと、フィルム基板をロール状に巻き取って回収するアンローダとを設け、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンをフィルム基板へ転写するフィルム基板露光方法において、
露光チャックのローダ側に、露光チャックと同じ高さの第１の補助チャックを設け、
露光チャックのアンローダ側に、露光チャックと同じ高さの第２の補助チャックを設け、
ローダと第１の補助チャックとの間に、フィルム基板の両脇を支持するアームを有する第１のフィルム基板搬送装置を設け、
アンローダと第２の補助チャックとの間に、フィルム基板の両脇を支持するアームを有する第２のフィルム基板搬送装置を設け、
各フィルム基板搬送装置のアームを上昇させて、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックから持ち上げ、
露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔から気体を吹き出して、フィルム基板を浮上させながら、各フィルム基板搬送装置のアームを移動して、フィルム基板を第１の補助チャックから露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を露光チャックから第２の補助チャックへ搬送し、
各フィルム基板搬送装置のアームを下降させて、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックに搭載し、
マスクホルダをＺ方向へ移動及びチルトして、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板とのギャップ合わせを行い、
マスクホルダをＸＹ方向へ移動して、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との位置合わせを行うことを特徴とするフィルム基板露光方法。
【請求項７】
露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックに、温度調節機構をそれぞれ設けることを特徴とする請求項６に記載のフィルム基板露光方法。
【請求項８】
露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの各気体吹き出し孔から、温度調節された気体を吹き出すことを特徴とする請求項６又は請求項７に記載のフィルム基板露光方法。
【請求項９】
露光チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔を設け、
露光チャックの中央部に設けた吸着孔から周辺部に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させることを特徴とする請求項６乃至請求項８のいずれか一項に記載のフィルム基板露光方法。
【請求項１０】
第１の補助チャック及び第２の補助チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔をそれぞれ設け、
第１の補助チャック及び第２の補助チャックの露光チャック側に設けた吸着孔から反対側に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させることを特徴とする請求項６乃至請求項９のいずれか一項に記載のフィルム基板露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子ペーパーや電子書籍端末等に用いられる可撓性を有するフレキシブルな表示用フィルム基板の製造において、プロキシミティ方式を用いてフィルム基板の露光を行うフィルム基板露光装置及びフィルム基板露光方法に係り、特に、ロール状に巻かれたフィルム基板を引き出して露光チャックへ搭載し、露光後のフィルム基板をロール状に巻き取って回収するフィルム基板露光装置及びフィルム基板露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ装置等の表示用パネルは、大画面化と共に、その厚さ（奥行き）の縮小化を競っているが、近年、特に電子ペーパーや電子書籍端末等の携帯型のディスプレイ装置では、可撓性を有するフレキシブルな表示用フィルム基板を用いたフレキシブルディスプレイ装置が開発されている。この様な表示用フィルム基板に使用されるフィルム基板は、例えば、ポリカーボネート等の可撓性を有する透明なプラスチック樹脂からなり、その厚さは数十μｍ〜数百μｍである。
【０００３】
フィルム基板上にフォトリソグラフィー技術で回路パターンやカラーフィルタ等を形成する際、薄いフィルム基板の取り扱いを容易にするため、長さが数十ｍ〜数百ｍの帯状のフィルム基板をロール状に巻き付け、ロール状に巻かれたフィルム基板を引き出して露光し、露光後のフィルム基板をロール状に巻き取って回収する方法が一般的である。特許文献１及び特許文献２には、この様な露光方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−２７４３２３号公報
【特許文献２】特開平１０−１７７２４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
フィルム基板は、可撓性を有し薄いため、しわやねじれ、自重によるたわみ等の変形が起こり易く、幅の広い大型のフィルム基板は、露光時に露光チャックに搭載して平坦に支持することが望ましい。フィルム基板を露光チャックへ供給する際、フィルム基板を露光チャック上で滑らせて移動すれば、自重によるたわみがなく、しわやねじれ等も起こりにくい。しかしながら、ポリカーボネート等のプラスチック樹脂からなるフィルム基板は、露光チャック上で滑らせて移動すると傷が付き易く、表示用フィルム基板では、裏面の傷も不良の要因となる。そのため、フィルム基板を、露光チャックから一旦持ち上げて移動した後、再び露光チャックに搭載する必要性が生じた。このとき、フィルム基板が大型になる程、フィルム基板を露光チャックに平坦に搭載するのが難しくなって、露光品質が低下するという問題がある。また、ポリカーボネート等のプラスチック樹脂からなるフィルム基板は、ガラス基板に較べて温度変化による伸縮が大きく、露光光の熱により伸びて、露光精度が低下するという問題がある。
【０００６】
本発明の課題は、大型のフィルム基板を露光チャックに平坦に搭載して、露光品質を向上させることである。また、本発明の課題は、フィルム基板の温度変化による伸縮を抑制して、露光精度を向上させることである。さらに、本発明の課題は、高品質な表示用フィルム基板を製造することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のフィルム基板露光装置は、ロール状に巻かれた可撓性を有するフィルム基板を引き出して供給するローダと、フィルム基板を搭載する露光チャックと、マスクを保持するマスクホルダと、フィルム基板をロール状に巻き取って回収するアンローダとを備え、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンをフィルム基板へ転写するフィルム基板露光装置において、露光チャックのローダ側に設けられた露光チャックと同じ高さの第１の補助チャックと、露光チャックのアンローダ側に設けられた露光チャックと同じ高さの第２の補助チャックと、ローダと第１の補助チャックとの間に設けられた第１のフィルム基板搬送装置と、アンローダと第２の補助チャックとの間に設けられた第２のフィルム基板搬送装置と、マスクホルダをＺ方向へ移動及びチルトして、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板とのギャップ合わせを行うＺ−チルト機構と、マスクホルダをＸＹ方向へ移動して、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との位置合わせを行うマスクステージとを備え、第１のフィルム基板搬送装置及び第２のフィルム基板搬送装置が、フィルム基板の両脇を支持するアームをそれぞれ有し、各アームを上昇させて、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックから持ち上げ、各アームを移動して、フィルム基板を第１の補助チャックから露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を露光チャックから第２の補助チャックへ搬送し、各アームを下降させて、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックに搭載し、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックが、第１のフィルム基板搬送装置及び第２のフィルム基板搬送装置によるフィルム基板の搬送時に、気体を吹き出してフィルム基板を浮上させる複数の気体吹き出し孔を表面にそれぞれ有するものである。
【０００８】
また、本発明のフィルム基板露光方法は、ロール状に巻かれた可撓性を有するフィルム基板を引き出して供給するローダと、フィルム基板を搭載する露光チャックと、マスクを保持するマスクホルダと、フィルム基板をロール状に巻き取って回収するアンローダとを設け、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンをフィルム基板へ転写するフィルム基板露光方法において、露光チャックのローダ側に、露光チャックと同じ高さの第１の補助チャックを設け、露光チャックのアンローダ側に、露光チャックと同じ高さの第２の補助チャックを設け、ローダと第１の補助チャックとの間に、フィルム基板の両脇を支持するアームを有する第１のフィルム基板搬送装置を設け、アンローダと第２の補助チャックとの間に、フィルム基板の両脇を支持するアームを有する第２のフィルム基板搬送装置を設け、各フィルム基板搬送装置のアームを上昇させて、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックから持ち上げ、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔から気体を吹き出して、フィルム基板を浮上させながら、各フィルム基板搬送装置のアームを移動して、フィルム基板を第１の補助チャックから露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を露光チャックから第２の補助チャックへ搬送し、各フィルム基板搬送装置のアームを下降させて、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックに搭載し、マスクホルダをＺ方向へ移動及びチルトして、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板とのギャップ合わせを行い、マスクホルダをＸＹ方向へ移動して、マスクホルダに保持されたマスクと露光チャックに搭載されたフィルム基板との位置合わせを行うものである。
【０００９】
露光チャックのローダ側に、露光チャックと同じ高さの第１の補助チャックを設け、露光チャックのアンローダ側に、露光チャックと同じ高さの第２の補助チャックを設け、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックから持ち上げ、フィルム基板を第１の補助チャックから露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を露光チャックから第２の補助チャックへ搬送して、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックに搭載するので、フィルム基板が、第１の補助チャック及び第２の補助チャックにより、露光チャックの前後で露光チャックと同じ高さに平坦に支持され、フィルム基板のしわやねじれ等の変形が抑制される。そして、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔から空気等の気体を吹き出して、フィルム基板を浮上させながら、第１のフィルム基板搬送装置及び第２のフィルム基板搬送装置のアームを移動して、フィルム基板を搬送するので、フィルム基板の搬送時に、各フィルム基板搬送装置のアームに両脇を支持されたフィルム基板の自重によるたわみが抑制される。従って、大型のフィルム基板が露光チャックに平坦に搭載され、露光品質が向上する。
【００１０】
さらに、本発明のフィルム基板露光装置は、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックが、温度調節機構をそれぞれ有するものである。また、本発明のフィルム基板露光方法は、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックに、温度調節機構をそれぞれ設けるものである。
【００１１】
フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックに搭載したとき、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックにより、フィルム基板の温度が調節されるので、フィルム基板の温度変化による伸縮が抑制され、露光精度が向上する。このとき、露光チャックの前後でも、第１の補助チャック及び第２の補助チャックにより、長手方向につながったフィルム基板の温度調節が行われるので、露光チャックによる露光時のフィルム基板の温度調節が効果的に行われる。また、第２の補助チャックにより露光後のフィルム基板の温度が調節されるので、アンローダによる露光後のフィルム基板の巻き取りが精度良く行われる。
【００１２】
さらに、本発明のフィルム基板露光装置は、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの各気体吹き出し孔が、温度調節された気体を吹き出すものである。また、本発明のフィルム基板露光方法は、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの各気体吹き出し孔から、温度調節された気体を吹き出すものである。露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの各気体吹き出し孔から吹き出された温度調節された空気等の気体により、フィルム基板を搬送する際もフィルム基板の温度変化による伸縮が抑制されて、露光精度がさらに向上する。
【００１３】
さらに、本発明のフィルム基板露光装置は、露光チャックが、表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔を有し、露光チャックの中央部に設けられた吸着孔から周辺部に設けられた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させる空気圧回路を備えたものである。また、本発明のフィルム基板露光方法は、露光チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔を設け、露光チャックの中央部に設けた吸着孔から周辺部に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させるものである。露光チャックの中央部とフィルム基板との間に空気が残ってフィルム基板がたわむのが防止される。従って、大型のフィルム基板が露光チャックにさらに平坦に搭載され、露光品質がさらに向上する。
【００１４】
さらに、本発明のフィルム基板露光装置は、第１の補助チャック及び第２の補助チャックが、表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔をそれぞれ有し、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの露光チャック側に設けられた吸着孔から反対側に設けられた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させる空気圧回路を備えたものである。また、本発明のフィルム基板露光方法は、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔をそれぞれ設け、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの露光チャック側に設けた吸着孔から反対側に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させるものである。露光チャックと第１の補助チャックとの間、及び露光チャックと第２の補助チャックとの間でフィルム基板がたわむのが防止され、第１のフィルム基板搬送装置及び第２のフィルム基板搬送装置によるフィルム基板の搬送時に、フィルム基板の搬送が円滑に行われる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、露光チャックのローダ側に、露光チャックと同じ高さの第１の補助チャックを設け、露光チャックのアンローダ側に、露光チャックと同じ高さの第２の補助チャックを設け、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックから持ち上げ、フィルム基板を第１の補助チャックから露光チャックへ搬送し、またフィルム基板を露光チャックから第２の補助チャックへ搬送して、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックに搭載することにより、フィルム基板を、第１の補助チャック及び第２の補助チャックにより、露光チャックの前後で露光チャックと同じ高さに平坦に支持して、フィルム基板のしわやねじれ等の変形を抑制することができる。そして、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔から気体を吹き出して、フィルム基板を浮上させながら、第１のフィルム基板搬送装置及び第２のフィルム基板搬送装置のアームを移動して、フィルム基板を搬送することにより、フィルム基板の搬送時に、各フィルム基板搬送装置のアームに両脇を支持されたフィルム基板の自重によるたわみを抑制することができる。従って、大型のフィルム基板を露光チャックに平坦に搭載して、露光品質を向上させることができる。
【００１６】
さらに、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックに、温度調節機構をそれぞれ設けることにより、フィルム基板を露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックに搭載したとき、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックにより、フィルム基板の温度を調節することができるので、フィルム基板の温度変化による伸縮を抑制して、露光精度を向上させることができる。このとき、露光チャックの前後でも、第１の補助チャック及び第２の補助チャックにより、長手方向につながったフィルム基板の温度調節を行うことができるので、露光チャックによる露光時のフィルム基板の温度調節を効果的に行うことができる。また、第２の補助チャックにより露光後のフィルム基板の温度を調節することができるので、アンローダによる露光後のフィルム基板の巻き取りを精度良く行うことができる。
【００１７】
さらに、露光チャック、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの各気体吹き出し孔から、温度調節された気体を吹き出すことにより、フィルム基板を搬送する際もフィルム基板の温度変化による伸縮を抑制して、露光精度をさらに向上させることができる。
【００１８】
さらに、露光チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔を設け、露光チャックの中央部に設けた吸着孔から周辺部に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させることにより、露光チャックの中央部とフィルム基板との間に空気が残ってフィルム基板がたわむのを防止することができる。従って、大型のフィルム基板を露光チャックにさらに平坦に搭載して、露光品質をさらに向上させることができる。
【００１９】
さらに、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの表面に、フィルム基板を真空吸着する複数の吸着孔をそれぞれ設け、第１の補助チャック及び第２の補助チャックの露光チャック側に設けた吸着孔から反対側に設けた吸着孔へ向けて、段階的に各吸着孔を動作させることにより、露光チャックと第１の補助チャックとの間、及び露光チャックと第２の補助チャックとの間でフィルム基板がたわむのを防止して、第１のフィルム基板搬送装置及び第２のフィルム基板搬送装置によるフィルム基板の搬送時に、フィルム基板の搬送を円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施の形態によるフィルム基板露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】供給ロールから引き出されたフィルム基板の一部の平面図である。
【図３】露光チャック及び補助チャックの斜視図である。
【図４】図４（ａ）はフィルム基板搬送装置の上面図、図４（ｂ）はフィルム基板搬送装置の側面図である。
【図５】フィルム基板搬送装置の動作を説明する図である。
【図６】図６（ａ）は露光チャック及び補助チャックの上面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡ−Ａ部の断面図である。
【図７】気体吹き出し孔の動作を説明する図である。
【図８】図８（ａ）は露光チャックの上面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＢ−Ｂ部の断面と空気圧回路の構成を示す図である。
【図９】図９（ａ）は補助チャック１１の上面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＣ−Ｃ部の断面と空気圧回路の構成を示す図である。
【図１０】図１０（ａ）は補助チャック１２の上面図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＤ−Ｄ部の断面と空気圧回路の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１は、本発明の一実施の形態によるフィルム基板露光装置の概略構成を示す図である。フィルム基板露光装置は、ローダ３、アンローダ４、露光チャック１０、補助チャック１１，１２、マスクホルダ２０、マスクステージ２１、Ｚ−チルト機構２２、フィルム基板搬送装置３０，４０、及び恒温空気供給装置５１，５２を含んで構成されている。フィルム基板露光装置は、これらの他に、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。
【００２２】
ローダ３は、供給ロール３ａ、及びローラ３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅを含んで構成されている。供給ロール３ａには、露光前のフィルム基板１が巻かれている。ローラ３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅは、露光前のフィルム基板１を、供給ロール３ａから引き出して、フィルム基板搬送装置３０へ供給する。アンローダ４は、回収ロール４ａ、及びローラ４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅを含んで構成されている。ローラ４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅは、露光後のフィルム基板１を、フィルム基板搬送装置４０から回収ロール４ａへ案内する。回収ロール４ａは、露光後のフィルム基板１を巻き取って回収する。
【００２３】
図２は、供給ロールから引き出されたフィルム基板の一部の平面図である。フィルム基板１は、例えば、幅が数百ｍｍ、長さが数十ｍ〜数百ｍ、厚さが数十μｍ〜数百μｍの帯状のシートであって、ポリカーボネート等の可撓性を有する透明なプラスチック樹脂からなる。フィルム基板１の表面には、複数の露光領域１ａが長手方向に並べて配置されており、各露光領域１ａに渡って、感光樹脂材料（フォトレジスト）が塗布されている。各露光領域１ａの四隅の外側には、マスク２とフィルム基板１との位置合わせを行うためのアライメント用孔１ｂが設けられている。また、露光領域１ａの外側のフィルム基板１の両脇には、フィルム基板１を長手方向へ搬送するための搬送用孔１ｃが、長手方向に所定の間隔で設けられている。
【００２４】
図１において、フィルム基板搬送装置３０とフィルム基板搬送装置４０との間には、露光チャック１０が設置されている。露光チャック１０のローダ３側には、露光チャック１０と同じ高さの補助チャック１１が設置され、露光チャック１０のアンローダ４側には、露光チャック１０と同じ高さの補助チャック１２が設置されている。
【００２５】
図３は、露光チャック及び補助チャックの斜視図である。図１のローダ３から供給されたフィルム基板１は、フィルム基板搬送装置３０及びフィルム基板搬送装置４０の働きにより、まず補助チャック１１へ搬送され、次に補助チャック１１から露光チャック１０へ搬送され、続いて露光チャック１０から補助チャック１２へ搬送される。フィルム基板搬送装置３０は、アーム３１、昇降テーブル３２、及びガイド３３を含んで構成されている。また、フィルム基板搬送装置４０は、アーム４１、昇降テーブル４２、及びガイド４３を含んで構成されている。
【００２６】
図４（ａ）はフィルム基板搬送装置の上面図、図４（ｂ）はフィルム基板搬送装置の側面図である。図４（ａ），（ｂ）において、フィルム基板搬送装置３０のアーム３１は、昇降テーブル３２に設けたガイド３３に搭載され、ガイド３３に沿って図面横方向へ移動する。図４（ａ）において、アーム３１は、上方から見てコの字型の形状をしており、コの字の上下の横棒の部分で、フィルム基板１の両脇を支持する。この上下の横棒の部分の上面には、複数のピン３１ａが設けられている。図４（ｂ）において、昇降テーブル３２は、上下に移動して、アーム３１を昇降させる。フィルム基板搬送装置３０は、昇降テーブル３２によりアーム３１を上昇させて、各ピン３１ａをフィルム基板１の両脇に設けられた搬送用孔１ｃに下方から挿入して、アーム３１によりフィルム基板１を保持する。また、フィルム基板搬送装置３０は、昇降テーブル３２によりアーム３１を下降させて、各ピン３１ａをフィルム基板１の搬送用孔１ｃから下方へ抜き、アーム３１をフィルム基板１から離す。
【００２７】
なお、図４（ａ），（ｂ）はフィルム基板搬送装置３０を示しているが、フィルム基板搬送装置４０は、フィルム基板搬送装置３０と同様な構成であって、フィルム基板搬送装置３０と左右対称に設置されている。
【００２８】
図５は、フィルム基板搬送装置の動作を説明する図である。図５（ａ）において、フィルム基板搬送装置３０，４０の各昇降テーブル３２，４２は、各アーム３１，４１を下降させた状態にある。フィルム基板搬送装置３０のアーム３１は、補助チャック１１よりローダ３側にあり、フィルム基板搬送装置４０のアーム４１は、補助チャック１２を挟む位置にある。この状態から、まず、フィルム基板搬送装置３０，４０は、図５（ｂ）に示す様に、各昇降テーブル３２，４２により各アーム３１，４１を上昇させて、フィルム基板１を露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２から持ち上げる。次に、フィルム基板搬送装置３０，４０は、各アーム３１，４１を同期させながら、図５（ｃ）に示す様に、アーム３１を補助チャック１１を挟む位置へ移動し、アーム４１を補助チャック１２よりアンローダ４側へ移動する。これにより、フィルム基板１が補助チャック１１から露光チャック１０へ搬送され、またフィルム基板１が露光チャック１０から補助チャック１２へ搬送される。続いて、フィルム基板搬送装置３０，４０は、図５（ｄ）に示す様に、各昇降テーブル３２，４２により各アーム３１，４１を下降させて、フィルム基板１を露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２に搭載する。そして、フィルム基板搬送装置３０，４０は、各アーム３１，４１を下降させたまま図５（ａ）の位置へ戻す。
【００２９】
図６（ａ）は露光チャック及び補助チャックの上面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡ−Ａ部の断面図である。本実施の形態の露光チャック１０及び補助チャック１１，１２は、アルミニウム等の熱伝導性の高い材料で構成され、フィルム基板１を搭載する表面に、微細な孔を多数有するセラミック等の多孔質材料が張られている。図６（ａ），（ｂ）において、露光チャック１０及び補助チャック１１，１２の内部には、流体通路１３が設けられている。流体通路１３には、図示しない恒温流体供給装置から、温度調節された水等の液体又は空気等の気体が供給される。露光チャック１０及び補助チャック１１，１２は、流体通路１３内を流れる温度調節された流体により温度が一定に保たれ、フィルム基板１が搭載されたとき、フィルム基板１に接触してフィルム基板１の温度を調節する。
【００３０】
露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２により、フィルム基板１の温度が調節されるので、フィルム基板１の温度変化による伸縮が抑制され、露光精度が向上する。このとき、露光チャック１０の前後でも、補助チャック１１及び補助チャック１２により、長手方向につながったフィルム基板１の温度調節が行われるので、露光チャック１０による露光時のフィルム基板１の温度調節が効果的に行われる。また、補助チャック１２により露光後のフィルム基板１の温度が調節されるので、アンローダ４による露光後のフィルム基板１の巻き取りが精度良く行われる。
【００３１】
図６（ａ）において、露光チャック１０及び補助チャック１１，１２の表面には、複数の気体吹き出し孔１４が設けられている。図６（ｂ）において、各気体吹き出し孔１４は、露光チャック１０又は補助チャック１１，１２内に設けられた気体通路１５に接続されており、気体通路１５には、図示しないイオン化恒温気体供給装置から、イオンを含む温度調節された空気等の気体が供給される。
【００３２】
図７は、気体吹き出し孔の動作を説明する図である。フィルム基板搬送装置３０及びフィルム基板搬送装置４０がフィルム基板１を搬送するとき、露光チャック１０及び補助チャック１１，１２の各気体吹き出し孔１４は、矢印で示す様に、イオンを含む温度調節された空気等の気体を吹き出して、フィルム基板１を、露光チャック１０及び補助チャック１１，１２から浮上させる。
【００３３】
露光チャック１０のローダ３側に、露光チャック１０と同じ高さの補助チャック１１を設け、露光チャック１０のアンローダ４側に、露光チャック１０と同じ高さの補助チャック１２を設け、フィルム基板１を露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２から持ち上げ、フィルム基板１を補助チャック１１から露光チャック１０へ搬送し、またフィルム基板１を露光チャック１０から補助チャック１２へ搬送して、フィルム基板１を露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２に搭載するので、フィルム基板１が、補助チャック１１及び補助チャック１２により、露光チャック１０の前後で露光チャック１０と同じ高さに平坦に支持され、フィルム基板１のしわやねじれ等の変形が抑制される。そして、露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２の表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔１４から気体を吹き出して、フィルム基板１を浮上させながら、各フィルム基板搬送装置３０，４０のアーム３１，４１を移動して、フィルム基板１を搬送するので、フィルム基板１の搬送時に、各フィルム基板搬送装置３０，４０のアーム３１，４１に両脇を支持されたフィルム基板１の自重によるたわみが抑制される。従って、大型のフィルム基板１が露光チャック１０に平坦に搭載され、露光品質が向上する。
【００３４】
また、露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２の各気体吹き出し孔１４から吹き出された温度調節された気体により、フィルム基板１を搬送する際もフィルム基板１の温度変化による伸縮が抑制されて、露光精度がさらに向上する。さらに、各気体吹き出し孔１４から吹き出された気体は、イオンを含んでいるため、フィルム基板１を露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２の表面から引き離す際、静電気の発生がイオンにより抑制される。
【００３５】
図１において、フィルム基板搬送装置３０及び補助チャック１１の上空には、恒温空気供給装置５１が設けられている。また、フィルム基板搬送装置４０及び補助チャック１２の上空には、恒温空気供給装置５２が設けられている。恒温空気供給装置５１，５２は、矢印で示す様に、温度調節された空気を、フィルム基板１の表面へ供給する。恒温空気供給装置５１，５２から供給された温度調節された空気により、フィルム基板１の表面の温度調節がさらに効果的に行われ、フィルム基板１の温度変化による伸縮がさらに抑制される。
【００３６】
露光チャック１０の上空には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が設置されている。マスクホルダ２０には、露光光が通過する開口が設けられており、開口の下方には、マスク２が装着されている。マスクホルダ２０の下面の開口の周囲には、吸着溝が設けられており、マスクホルダ２０は、吸着溝により、マスク２の周辺部を真空吸着して保持している。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過してフィルム基板１へ照射されることにより、マスク２のパターンがフィルム基板１の表面に転写され、フィルム基板１上にパターンが形成される。
【００３７】
マスクホルダ２０は、マスクステージ２１に取り付けられており、マスクステージ２１には、複数のＺ−チルト機構２２が設けられている。各Ｚ−チルト機構２２は、マスクホルダ２０が取り付けられたマスクステージ２１をＺ方向（図１の図面上下方向）へ移動及びチルトすることにより、マスクホルダ２０に保持されたマスク２と露光チャック１０に搭載されたフィルム基板１とのギャップ合わせを行う。マスクステージ２１は、マスクホルダ２０をＸＹ方向へ移動し、またθ方向へ回転することにより、マスクホルダ２０に保持されたマスク２と露光チャック１０に搭載されたフィルム基板１との位置合わせを行う。
【００３８】
図８（ａ）は露光チャックの上面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＢ−Ｂ部の断面と空気圧回路の構成を示す図である。図８（ａ）において、露光チャック１０の表面には、複数の吸着孔１６が設けられている。各吸着孔１６は、図８（ｂ）に示す様に、露光チャック１０の表面から裏面へ抜ける貫通孔である。図８（ｂ）において、露光チャック１０の中央部に設けられた吸着孔１６は、露光チャック１０の裏面で配管１７ａに接続されている。露光チャック１０の中央部より外側に設けられた吸着孔１６は、露光チャック１０の裏面で配管１７ｂに接続されている。露光チャック１０の周辺部に設けられた吸着孔１６は、露光チャック１０の裏面で配管１７ｃに接続されている。
【００３９】
配管１７ａには、電磁弁１７ｄを介して、真空設備が接続されている。配管１７ｂには、電磁弁１７ｅを介して、真空設備が接続されている。配管１７ｃには、電磁弁１７ｆを介して、真空設備が接続されている。電磁弁１７ｄ，１７ｅ，１７ｆを開いて、各吸着孔１６からフィルム基板１と露光チャック１０との間の空気を抜くことにより、フィルム基板１が露光チャック１０に真空吸着される。このとき、電磁弁１７ｄ，１７ｅ，１７ｆをその順番に開いて、露光チャック１０の中央部に設けられた吸着孔１６から、露光チャック１０の周辺部に設けられた吸着孔１６へ向けて、フィルム基板１の真空吸着を段階的に順番に行うことにより、露光チャック１０の中央部とフィルム基板１との間に空気が残ってフィルム基板１がたわむのが防止される。従って、大型のフィルム基板１が露光チャック１０にさらに平坦に搭載され、露光品質がさらに向上する。
【００４０】
図９（ａ）は補助チャック１１の上面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＣ−Ｃ部の断面と空気圧回路の構成を示す図である。図９（ａ）において、補助チャック１１の表面には、複数の吸着孔１６が設けられている。各吸着孔１６は、図９（ｂ）に示す様に、補助チャック１１の表面から裏面へ抜ける貫通孔である。図９（ｂ）において、補助チャック１１の露光チャック１０側（図面右側）に設けられた吸着孔１６は、補助チャック１１の裏面で配管１８ａに接続されている。補助チャック１１の中央部に設けられた吸着孔１６は、補助チャック１１の裏面で配管１８ｂに接続されている。補助チャック１１の露光チャック１０と反対側（図面左側）に設けられた吸着孔１６は、補助チャック１１の裏面で配管１８ｃに接続されている。
【００４１】
配管１８ａには、電磁弁１８ｄを介して、真空設備が接続されている。配管１８ｂには、電磁弁１８ｅを介して、真空設備が接続されている。配管１８ｃには、電磁弁１８ｆを介して、真空設備が接続されている。電磁弁１８ｄ，１８ｅ，１８ｆを開いて、各吸着孔１６からフィルム基板１と補助チャック１１との間の空気を抜くことにより、フィルム基板１が補助チャック１１に真空吸着される。露光チャック１０がフィルム基板１を真空吸着した後、電磁弁１８ｄ，１８ｅ，１８ｆをその順番に開いて、補助チャック１１の露光チャック１０側（図面右側）に設けられた吸着孔１６から、補助チャック１１の露光チャック１０と反対側（図面左側）に設けられた吸着孔１６へ向けて、フィルム基板１の真空吸着を段階的に順番に行うことにより、露光チャック１０と補助チャック１１との間でフィルム基板１がたわむのが防止され、フィルム基板搬送装置３０，４０によるフィルム基板１の搬送時に、補助チャック１１から露光チャック１０へのフィルム基板１の搬送が円滑に行われる。
【００４２】
図１０（ａ）は補助チャック１２の上面図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＤ−Ｄ部の断面と空気圧回路の構成を示す図である。図１０（ａ）において、補助チャック１２の表面には、複数の吸着孔１６が設けられている。各吸着孔１６は、図１０（ｂ）に示す様に、補助チャック１２の表面から裏面へ抜ける貫通孔である。図１０（ｂ）において、補助チャック１２の露光チャック１０側（図面左側）に設けられた吸着孔１６は、補助チャック１２の裏面で配管１９ａに接続されている。補助チャック１２の中央部に設けられた吸着孔１６は、補助チャック１２の裏面で配管１９ｂに接続されている。補助チャック１２の露光チャック１０と反対側（図面右側）に設けられた吸着孔１６は、補助チャック１２の裏面で配管１９ｃに接続されている。
【００４３】
配管１９ａには、電磁弁１９ｄを介して、真空設備が接続されている。配管１９ｂには、電磁弁１９ｅを介して、真空設備が接続されている。配管１９ｃには、電磁弁１９ｆを介して、真空設備が接続されている。電磁弁１９ｄ，１９ｅ，１９ｆを開いて、各吸着孔１６からフィルム基板１と補助チャック１２との間の空気を抜くことにより、フィルム基板１が補助チャック１２に真空吸着される。露光チャック１０がフィルム基板１を真空吸着した後、電磁弁１９ｄ，１９ｅ，１９ｆをその順番に開いて、補助チャック１２の露光チャック１０側（図面左側）に設けられた吸着孔１６から、補助チャック１２の露光チャック１０と反対側（図面右側）に設けられた吸着孔１６へ向けて、フィルム基板１の真空吸着を段階的に順番に行うことにより、露光チャック１０と補助チャック１２との間でフィルム基板１がたわむのが防止され、フィルム基板搬送装置３０，４０によるフィルム基板１の搬送時に、露光チャック１０から補助チャック１２へのフィルム基板１の搬送が円滑に行われる。
【００４４】
以上説明した実施の形態によれば、露光チャック１０のローダ３側に、露光チャック１０と同じ高さの補助チャック１１を設け、露光チャック１０のアンローダ４側に、露光チャックと同じ高さの補助チャック１２を設け、フィルム基板１を露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２から持ち上げ、フィルム基板１を補助チャック１１から露光チャック１０へ搬送し、またフィルム基板１を露光チャック１０から補助チャック１２へ搬送して、フィルム基板１を露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２に搭載することにより、フィルム基板１を、補助チャック１１及び補助チャック１２により、露光チャック１０の前後で露光チャック１０と同じ高さに平坦に支持して、フィルム基板１のしわやねじれ等の変形を抑制することができる。そして、露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２の表面にそれぞれ設けた複数の気体吹き出し孔１４から気体を吹き出して、フィルム基板１を浮上させながら、各フィルム基板搬送装置３０，４０のアーム３１，４１を移動して、フィルム基板１を搬送することにより、フィルム基板１の搬送時に、各フィルム基板搬送装置３０，４０のアーム３１，４１に両脇を支持されたフィルム基板１の自重によるたわみを抑制することができる。従って、大型のフィルム基板１を露光チャック１０に平坦に搭載して、露光品質を向上させることができる。
【００４５】
さらに、露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２に、温度調節機構をそれぞれ設けることにより、フィルム基板１を露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２に搭載したとき、露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２により、フィルム基板１の温度を調節することができるので、フィルム基板１の温度変化による伸縮を抑制して、露光精度を向上させることができる。このとき、露光チャック１０の前後でも、補助チャック１１及び補助チャック１２により、長手方向につながったフィルム基板１の温度調節を行うことができるので、露光チャック１０による露光時のフィルム基板１の温度調節を効果的に行うことができる。また、補助チャック１２により露光後のフィルム基板１の温度を調節することができるので、アンローダ４による露光後のフィルム基板１の巻き取りを精度良く行うことができる。
【００４６】
さらに、露光チャック１０、補助チャック１１及び補助チャック１２の各気体吹き出し孔１４から、温度調節された気体を吹き出すことにより、フィルム基板１を搬送する際もフィルム基板１の温度変化による伸縮を抑制して、露光精度をさらに向上させることができる。
【００４７】
さらに、露光チャック１０の表面に、フィルム基板１を真空吸着する複数の吸着孔１６を設け、露光チャック１０の中央部に設けた吸着孔１６から周辺部に設けた吸着孔１６へ向けて、段階的に各吸着孔１６を動作させることにより、露光チャック１０の中央部とフィルム基板１との間に空気が残ってフィルム基板１がたわむのを防止することができる。従って、大型のフィルム基板１を露光チャックにさらに平坦に搭載して、露光品質をさらに向上させることができる。
【００４８】
さらに、補助チャック１１及び補助チャック１２の表面に、フィルム基板１を真空吸着する複数の吸着孔１６をそれぞれ設け、補助チャック１１及び補助チャック１２の露光チャック１０側に設けた吸着孔１６から反対側に設けた吸着孔１６へ向けて、段階的に各吸着孔１６を動作させることにより、露光チャック１０と補助チャック１１との間、及び露光チャック１０と補助チャック１２との間でフィルム基板１がたわむのを防止して、フィルム基板搬送装置３０，４０によるフィルム基板１の搬送時に、フィルム基板１の搬送を円滑に行うことができる。
【符号の説明】
【００４９】
１  フィルム基板
１ａ  露光領域
１ｂ  アライメント用孔
１ｃ  搬送用孔
２  マスク
３  ローダ
３ａ  供給ロール
３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ  ローラ
４  アンローダ
４ａ  回収ロール
４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ  ローラ
１０  露光チャック
１１，１２  補助チャック
１３  流体通路
１４  気体吹き出し孔
１５  気体通路
１６  吸着孔
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ  配管
１７ｄ，１７ｅ，１７ｆ  電磁弁
１８ａ，１８ｂ，１８ｃ  配管
１８ｄ，１８ｅ，１８ｆ  電磁弁
１９ａ，１９ｂ，１９ｃ  配管
１９ｄ，１９ｅ，１９ｆ  電磁弁
２０  マスクホルダ
２１  マスクステージ
２２  Ｚ−チルト機構
３０，４０  フィルム基板搬送装置
３１，４１  アーム
３２，４２  昇降テーブル
３３，４３  ガイド
５１，５２  恒温空気供給装置
【図１】
2012203151.tif 000003
【図２】
2012203151.tif 000004
【図３】
2012203151.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2012203151.tif 000008
【図７】
2012203151.tif 000009
【図８】
2012203151.tif 000010
【図９】
2012203151.tif 000011
【図１０】
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