(57)【要約】【課題】開発設計が容易であると共に、高品質の検査装置を提供すること。【解決手段】検査装置は、被検査対象を搭載するための少なくとも１つのソケットと、ソケットを有し、被検査対象を試験するための複数の回路基板と、複数の回路基板と電気的に接続され、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッドと、を備える。複数の回路基板は相互に電気的に接続される。各回路基板は、被検査対象毎の個別の回路となる第１回路部と、被検査対象の共用の回路となる第２回路部の一部と、を有する。複数の回路基板における第２回路部の一部は、相互に電気的に接続されることにより１つのパフォーマンスボードとして機能する。【選択図】図２
2012220372.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象を搭載するための少なくとも１つのソケットと、
前記ソケットを有し、被検査対象を試験するための複数の回路基板と、
複数の前記回路基板と電気的に接続され、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッドと、を備え、
複数の前記回路基板は相互に電気的に接続され、
各前記回路基板は、被検査対象毎の個別の回路となる第１回路部と、被検査対象の共用の回路となる第２回路部の一部と、を有し、
複数の前記回路基板における前記第２回路部の前記一部は、相互に電気的に接続されることにより１つのパフォーマンスボードとして機能することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
複数の前記回路基板として、第１回路基板及び第２回路基板を備え、
前記第１回路基板の回路と前記第２回路基板の回路とは、線対称の関係にあることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
複数の前記回路基板として、第１回路基板及び第２回路基板を備え、
前記第１回路基板の回路と前記第２回路基板の回路とは、点対称の関係にあることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
複数の前記回路基板において、前記第１回路部と前記第２回路部の一部とは、異なる層に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
被検査対象を搭載するための少なくとも１つのソケットと、
被検査対象を試験するための複数の回路基板と、
複数の前記回路基板と電気的に接続され、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッドと、を備え、
複数の前記回路基板のうち一部の回路基板は前記ソケットを有し、残部の回路基板は前記ソケットを有さず、
複数の前記回路基板は相互に電気的に接続され、
前記ソケットを有する前記回路基板は、被検査対象毎の個別の回路となる第１回路部と、被検査対象の共用の回路となる第２回路部の一部と、を有し、
前記ソケットを有さない前記回路基板は、被検査対象の共用の回路となる第２回路部の一部を有し、
複数の前記回路基板における前記第２回路部の前記一部は、相互に電気的に接続されることにより１つのパフォーマンスボードとして機能することを特徴とする検査装置。
【請求項６】
前記ソケットを有する前記回路基板は、被検査対象毎に交換可能に構成されていることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置等の電子装置を検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置等の電子装置は、検査装置（例えば特許文献１参照）を用いてその電気的特性が検査される。
【０００３】
特許文献１に記載された、ＩＣテスタのテストヘッドに電気的に接続するテストボード装置は、テストヘッドに電気的に接続し、中心に位置決めピンが設けられるパフォーマンスボードと、このパフォーマンスボードの外縁でコネクタを介して電気的に接続すると共に、被試験対象に電気的に接続し、分割され、分割ごとに、位置決めピンで位置決めされるＤＵＴボードと、を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−７７３５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以下の分析は、本発明の観点から与えられる。
【０００６】
ＩＣ（Integrated Circuit）やＬＳＩ（Large Scale Integrated circuit）等の被検査対象（ＤＵＴ；Device Under Test）を検査するための検査装置においては、特許文献１に記載のテストボード装置のように、被検査対象に共通の回路基板であるパフォーマンスボードと、被検査対象個別の回路基板であるＤＵＴテストボードとが別個に設けられている。この場合、パフォーマンスボードとＤＵＴテストボードとは、ケーブル等で電気的に接続する必要がある。したがって、パフォーマンスボードとＤＵＴテストボードとの間の配線長のために両者間の電気的信号の損失や劣化が生じてしまう。
【０００７】
また、特許文献１に記載のテストボード装置においては、パフォーマンスボードは分割されておらず、大きいままであるので、開発設計に時間及び労力を要すると共に、製造時において加工精度の低下や反りの発生により検査装置の品質が低下することになる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１視点によれば、被検査対象を搭載するための少なくとも１つのソケットと、ソケットを有し、被検査対象を試験するための複数の回路基板と、複数の回路基板と電気的に接続され、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッドと、を備える検査装置が提供される。複数の回路基板は相互に電気的に接続される。各回路基板は、被検査対象毎の個別の回路となる第１回路部と、被検査対象の共用の回路となる第２回路部の一部と、を有する。複数の回路基板における第２回路部の一部は、相互に電気的に接続されることにより１つのパフォーマンスボードとして機能する。
【０００９】
本発明の第２視点によれば、被検査対象を搭載するための少なくとも１つのソケットと、被検査対象を試験するための複数の回路基板と、複数の回路基板と電気的に接続され、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッドと、を備える検査装置が提供される。複数の回路基板のうち一部の回路基板はソケットを有し、残部の回路基板はソケットを有さない。複数の回路基板は相互に電気的に接続される。ソケットを有する回路基板は、被検査対象毎の個別の回路となる第１回路部と、被検査対象の共用の回路となる第２回路部の一部と、を有する。ソケットを有さない回路基板は、被検査対象の共用の回路となる第２回路部の一部を有する。複数の回路基板における第２回路部の一部は、相互に電気的に接続されることにより１つのパフォーマンスボードとして機能する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、以下の効果のうち少なくとも１つを有する。
【００１１】
本発明においては、回路基板に、テストボードとして機能する第１回路部とパフォーマンスボードとして機能する第２回路部とが集約されている。これにより、テスタヘッドとソケット間の電気的配線長を短くすることができ、被検査対象の検査時における電気的信号の損失や劣化を抑制することができる。
【００１２】
また、本発明によれば、１つの回路基板の大きさを縮小することができる。これにより、回路基板の設計開発に要する時間及び労力を削減することができる。また、１つの回路基板の加工精度を高めると共に、発生する反りの程度を抑制することができ、検査装置の品質を高め、歩留まりを向上させることができる。
【００１３】
さらに、本発明においては、第２回路部が複数の回路基板において共用されているので、装置の大型化及び複雑化を防止することができると共に、製造コスト及び開発コストを削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る検査装置の概略平面図。
【図２】図１のII−II線における概略断面図。
【図３】本発明の第２実施形態に係る検査装置の概略平面図。
【図４】本発明の第３実施形態に係る検査装置の概略平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
上記第１視点及び第２視点の好ましい形態を実施形態の概要として以下に記載する。
【００１６】
上記第１視点の好ましい形態によれば、検査装置は、複数の回路基板として、第１回路基板及び第２回路基板を備える。第１回路基板の回路と第２回路基板の回路とは、線対称の関係にある。
【００１７】
上記第１視点の好ましい形態によれば、検査装置は、複数の回路基板として、第１回路基板及び第２回路基板を備える。第１回路基板の回路と第２回路基板の回路とは、点対称の関係にある。
【００１８】
上記第１視点の好ましい形態によれば、複数の回路基板において、第１回路部と第２回路部の一部とは、異なる層に形成されている。
【００１９】
上記第２視点の好ましい形態によれば、ソケットを有する回路基板は、被検査対象毎に交換可能に構成されている。
【００２０】
以下に、本発明の第１〜第３実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
本発明の第１実施形態に係る検査装置について説明する。図１に、本発明の第１実施形態に係る検査装置の概略平面図を示す。図２に、図１のII−II線における概略断面図を示す。
【００２２】
検査装置１０は、被検査対象を搭載するための少なくとも１つのソケット１１と、被検査対象を試験するための回路（配線）１４を有する複数の回路基板１２ａ，１２ｂと、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッド１３と、を備える。図１及び図２に示す形態においては、複数の回路基板として、第１回路基板１２ａ及び第２回路基板１２ｂが示されている。ソケット１１と各回路基板１２ａ，１２ｂとは電気的に接続されている。回路基板１２ａ，１２ｂとテスタヘッド１３とは電気的に接続されている。複数の回路基板１２ａ，１２ｂは、ケーブル１５を介して相互に電気的に接続されている。図１及び図２に示す形態においては、複数の回路基板１２ａ，１２ｂは、ケーブル１５を介して電気的に接続したが、ケーブル１５を設けずにテスタヘッド１３中の配線を介して相互に電気的に接続してもよい。
【００２３】
検査装置１０は、回路基板１２ａ，１２ｂの他に、パフォーマンスボードに相当する基板を別個に有していない。その代わり、各回路基板１２ａ，１２ｂは、被検査対象毎の個別の回路となる第１回路部（不図示）と、被検査対象の共用の回路となる第２回路部の一部（不図示）と、を有する。図１及び図２に示すように回路基板が２つの形態である場合、第１回路基板１２ａの第２回路部の一部と、第２回路基板１２ｂの第２回路部の一部とは、相互に電気的に接続されることにより、１つの第２回路部となる。仮想的な１つの第２回路部は、１つのパフォーマンスボードに相当する機能を有する。すなわち、第１回路基板１２ａの第２回路部は、パフォーマンスボードの機能の一部を有し、第２回路基板１２ｂの第２回路部は、パフォーマンスボードの機能の残部を有し、第１回路基板１２ａと第２回路基板１２ｂとを電気的に接続することにより、第１回路基板１２ａ及び第２回路基板１２ｂはパフォーマンスボードに相当する回路を有することになる。一方、各回路基板１２ａ，１２ｂの第１回路部は、それぞれ、テストボードに相当する機能を有する。１つの回路基板において、第１回路部と第２回路部とは、好ましくは、異なる配線層として分離させ、相互に電気的な影響を及ぼさないようにする。
【００２４】
第１回路基板１２ａ及び第２回路基板１２ｂは、被検査対象毎にそれぞれ交換可能に構成すると好ましい。
【００２５】
パフォーマンスボードに相当する基板を別途設けず、テストボードとパフォーマンスボードとを１つの回路基板に組み込むことにより、テスタヘッド１３とソケット１１間、特に第１回路部と第２回路部間の配線長を短くすることができ、電気的信号の損失や劣化を抑制することができる。また、検査装置１０の小型化を実現することができると共に、検査装置の簡素化を実現することができる。
【００２６】
検査装置１０が有する回路基板の数が２つである場合、第１回路基板１２ａの回路と第２回路基板１２ｂの回路とは、図１に示すような平面投影上において、第１回路基板１２ａと第２回路基板１２ｂ間の（仮想上の）線Ｘに対して線対称（一方が他方をミラー反転した形態）であると好ましい。図１に示す回路（配線）１４は、第１回路基板１２ａの回路と第２回路基板１２ｂの回路の関係を示すための例示である。この場合、本発明のように回路基板を複数に分割せずに１つの回路基板として設計する場合、及び回路基板を分割する場合でも複数の回路基板を同じ向きで並列に並べる場合と比較して、本発明によれば、同一の回路を２つ作製すればよいので、すなわち半分の回路設計で済むので回路基板の開発期間及び労力を削減することができる。また、１つの回路基板の大きさも半分になるので、開発期間及び労力をさらに削減することができる。１つの回路基板の大きさが半分になることの別の効果として、配線の加工精度を高めることができると共に、基板の反りの程度を抑制することができ、製品の歩留まりを向上させることができる。さらに、第１回路基板１２ａと第２回路基板１２ｂとは同一回路となるので、電気的な特性差の発生を抑制することができる。また、これらに伴い、回路基板の歩留まり向上、開発期間短縮、試験回数の低減等により、開発コストや製造コストを低減することもできる。
【００２７】
次に、本発明の第２実施形態に係る検査装置について説明する。図３に、本発明の第２実施形態に係る検査装置の概略平面図を示す。図３において、図１及び図２の同じ要素には同じ符号を付してある。概略断面図については図２と同様である。第１実施形態においては、第１回路基板１２ａの回路と第２回路基板１２ｂの回路とは、第１回路基板１２ａと第２回路基板１２ｂ間の（仮想の）線Ｘに対して線対称であったが、第２実施形態に係る検査装置２０においては、第１回路基板１２ａの回路と第２回路基板２２ｂの回路とは、図３に示すような平面投影上において、第１回路基板１２ａと第２回路基板２２ｂ間の（仮想上の）点Ｙに対して点対称（一方が他方を１８０°回転した形態）となっている。これによっても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００２８】
第２実施形態における上記以外の形態は第１実施形態と同様である。
【００２９】
次に、本発明の第３実施形態に係る検査装置について説明する。図４に、本発明の第３実施形態に係る検査装置の概略平面図を示す。図４において、図１〜図３の同じ要素には同じ符号を付してある。概略断面図については図２と同様である。第３実施形態においては、複数の回路基板のうち少なくとも１つの回路基板には第１回路部が形成されていない。
【００３０】
検査装置３０は、第１実施形態と同様にして、少なくとも１つのソケット１１と、被検査対象を検査するための回路（配線）１４を有する複数の回路基板３２ａ，１２ｂと、被検査対象に信号を供給するためのテスタヘッド１３と、を備える。図４に示す形態においては、複数の回路基板として、第１回路基板３２ａ及び第２回路基板１２ｂが示されている。
【００３１】
検査装置３０は、回路基板３２ａ，２２ｂの他に、パフォーマンスボードに相当する基板を有していない点は第１実施形態と同様である。第１実施形態と異なる点は、第１回路基板３２ａが、ソケット及び第１回路部を有していないことである。第１回路基板３２ａは、第２回路部の一部を有しており、第２回路基板２２ｂは、第２回路部の残部を有している。第１回路基板３２ａの第２回路部の一部と、第２回路基板２２ｂの第２回路部の残部とを電気的に接続することにより、第１実施形態と同様にして、１つのパフォーマンスボードに相当する機能を有する第２回路部が得られる。
【００３２】
ソケット１１を有する第２回路基板１２ｂは、被検査対象毎に交換可能に構成すると好ましい。検査対象３０においては、第１回路部を有さない第１回路基板３２ａは、被検査対象によらず使用することができる。異なる種類の被検査対象を検査する場合、第１回路部を有する第２回路基板１２ｂのみを交換すればよい。これにより、汎用性を有する検査装置を実現することができると共に、装置の簡素化を実現することができる。
【００３３】
また、本実施形態によれば、開発・生産が終了した被検査対象用の回路基板（例えば、第１実施形態における第１回路基板１２ａに相当するもの）を本実施形態における第１回路基板３２ａとして再利用することができる（なお、この場合、第１回路基板３２ａは、実質的には機能させないソケット及び第１回路部を有することになる）。これにより、第１回路基板３２ａの製造コストを削減することができると共に、回路基板の再利用によって廃棄処理コストも削減することができる。
【００３４】
第３実施形態における上記以外の形態は第１実施形態と同様である。
【００３５】
本発明の検査装置は、上記実施形態に基づいて説明されているが、上記実施形態に限定されることなく、本発明の範囲内において、かつ本発明の基本的技術思想に基づいて、上記実施形態に対し種々の変形、変更及び改良を含むことができることはいうまでもない。また、本発明の請求の範囲の枠内において、種々の開示要素の多様な組み合わせ・置換ないし選択が可能である。
【００３６】
本発明のさらなる課題、目的及び展開形態は、請求の範囲を含む本発明の全開示事項からも明らかにされる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、例えば、被検査対象として半導体装置を検査する装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１０，２０，３０          検査装置
１１          ソケット
１２ａ，３２ａ          第１回路基板
１２ｂ，２２ｂ          第２回路基板
１３            テスタヘッド
１４            回路（配線）
１５            ケーブル
Ｘ          対称軸
Ｙ          対称点
【図１】
2012220372.tif 000003
【図２】
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【図３】
2012220372.tif 000005
【図４】
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