【事件の表示】
　平成　３年特許願第　２４３３９号「水晶振動子用連続成膜装置」拒絶査定に対する審判事件［平成　５年　２月２６日出願公開、特開平　５−　４８３６３、］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】本願発明
　本願は、平成３年２月１９日に特許出願されたものであって、その発明は、平成１２年１１月１０日付け手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至２に記載されたとおりの「水晶振動子用連続成膜装置」であって、その請求項１に記載された発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりのものと認める。
「【請求項１】　真空室内に複数の水晶振動子基板を移動自在に用意し、該真空室内の成膜手段と周波数測定手段を備えた成膜ステーションに該水晶振動子基板を順次移動させて該基板に成膜を施すことにより水晶振動子を製造する装置に於いて、該成膜手段を、水晶振動子基板と対向する前面にターゲットを取り付けたスパッタ電極と、水晶振動子基板とターゲットとの間に介在させたアノード電位の多孔板から成るプラズマシールドとで構成したことを特徴とする水晶振動子用連続成膜装置。」
【２】引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６３ー２４０１１３号公報（以下「引用刊行物」という。）には、その実施例と図面第１、２図及びこれに係わる記載を参酌すると、以下のような記載が認められる。
「第1図はこの発明に係る水晶振動子の電極形成装置を示す概略断面図、第2図は第1図に示した水晶振動子の電極形成装置の一部を示す断面図である。図において、1は真空容器、2は真空容器1に設けられた排気管で、排気管2は真空排気装置（図示せず）に接続されている。4は真空容器1内に設けられたスパッタリング容器、5は容器4によって形成されたスパッタリング室、3は一端がスパッタリング室5に接続された導入管で、導入管3の他端は不活性ガス供給装置（図示せず）に接続されており、導入管3は真空容器1を気密に貫通している。6は容器4に設けられた排気用孔、7aはスパッタリング室5内に設けられた円筒状の陽極で、陽極7aはSUSからなる。8は陽極7aに取り付けられた陽極リードで、陽極リード8は真空容器1を気密に貫通しており、また陽極リード8は直流高電圧電源（図示せず）に接続されている。9、10は容器4に取り付けられた一対の平板状対向陰極で、陰極9、10は陽極7aの両側に位置しており、陰極9、10は陽極7aの中心線と直角であり、また陰極9、10はアース電位であり、さらに陰極9、10はAuからなる。11は容器4、陰極10に設けられた透過孔で、透過孔11の中心線は陽極7aの中心線と平行であり、透過孔11の中心線は陽極7aの外側を通る。12は真空容器1を気密に貫通した回転軸、13は回転軸12に取り付けられた回転板、14は回転板13に取り付けられた保持棒で、保持棒14は導体からなる。16は保持棒14に保持された水晶片で、水晶片16の表面にはAl等からなるベース金属膜が形成され、ベース金属膜と接続されたリードが設けられており、そのリードを介して水晶片16のベース金属膜と保持棒14とが接続されている。15は水晶片16に被せられたキャップで、キャップ15には水晶片16のベース金属が露出するように穴が設けられている。17は真空容器1に取り付けられた接触片で、接触片17は水晶片16が透過孔11と対向する位置に来たとき保持棒14と接触する所に位置している。18は接触片17に接続されたリード線で、リード線18は真空容器1を気密に貫通しており、リード線18は周波数検出装置（図示せず）に接続されている。19は容器4、水晶片16の外側に設けられた磁石で、磁石19の磁力線の方向は陽極7aの中心線と平行である。
　この水晶振動子の電極形成装置においては、保持棒14に水晶片16を保持した状態で、真空排気装置により真空容器1内を1×10−4Paの真空に排気したうえで、スパッタリング室5内に不活性ガス供給装置からArガスを導入することにより、真空容器1内を2×10−2PaのArガス雰囲気としたのち、水晶片16を透過孔11と対向する位置にした状態で、周波数検出装置により周波数を検出しながら、直流高電圧電源により陽極7aに正電位を与えると、陽極7aと陰極9、10との間に冷陰極放電が生じ、これによって生成されるArガスの正イオンが陰極9、10の表面を衝撃し、陰極9、10からAu原子がスパッタリングされ、スパッタリングされたAu原子の一部が透過孔11を透過して、水晶片16のベース金属膜の表面にAu原子が付着し、周波数検出装置で検出した周波数が所定値になったとき、直流高電圧電源を停止すると、水晶片16のベース金属膜上にAuからなる上層金属膜が形成され、水晶片16に所定膜厚の電極が形成される。つぎに、回転軸12を回転することにより、回転板13を回転し、次の水晶片16を透過孔11と対向する位置にした状態で、周波数検出装置により周波数を検出しながら、直流高電圧電源により陽極7aに正電位を与え、周波数検出装置で検出した周波数が所定値になるまで、水晶片16のベース金属膜の表面にAuからなる上層金属膜を付着する。以下、同様にして回転板13に取り付けられた水晶片16のベース金属膜の表面にAuからなる上層金属膜を付着する。」（第2頁右上欄第9行〜第3頁右上欄第1行）
【３】対比・判断
（対比）
　本願発明と前記引用刊行物に記載された発明とを対比すると、引用刊行物における「真空容器(1)」「水晶片(16)」「スパッタリング容器(4)」「周波数検出装置」「平板状対向陰極(9)(10)」及び「電極形成装置」は、それぞれ本願発明における「真空室」「水晶振動子基板」「成膜手段」「周波数測定手段」「ターゲット」及び「連続成膜装置」に相当するので、両者は、以下のとおりの一致点及び相違点を有するものと認められる。
（一致点）
「真空室内に複数の水晶振動子基板を移動自在に用意し、該真空室内の成膜手段と周波数測定手段を備えた成膜ステーションに該水晶振動子基板を順次移動させて該基板に成膜を施すことにより水晶振動子を製造する装置に於いて、該成膜手段を、ターゲットを取り付けたスパッタ電極で構成した水晶振動子用連続成膜装置。」
（相違点）
 (i)本願発明にあっては、スパッタ電極を、水晶振動子基板と対向する前面にターゲットを取り付けたものとしているのに対して、引用刊行物にあっては、水晶振動子基板と対向しない面にターゲットを取り付けたものとしている点、
 (ii)本願発明にあっては、成膜手段として、水晶振動子基板とターゲットの間にアノード電位の多孔板から成るプラズマシールドを介在させているのに対して、引用刊行物にあっては、このプラズマシールドを具備しないものである点、
（検討）
　前記相違点(i)(ii)について、以下に検討する。
　相違点(i)について、ターゲットを取り付けたスパッタ電極（スパッタ装置）で構成した成膜手段によって基板に成膜を施すようにした成膜装置において、スパッタ電極（スパッタ装置）を、基板と対向する前面にターゲットを取り付けたものとすることは従来より周知の技術的事項である（例えば、特開昭55-97471号公報、特開昭64-38995号公報、特開平2-228471号公報参照）ので、前記引用刊行物に記載されたものにおいても、この周知の技術的事項を参酌して本願発明のように構成することは当業者が容易になし得ることと認められる。
　相違点(ii)について、基板と対向する前面にターゲットを取り付けたスパッタ電極（スパッタ装置）から成る成膜手段によって基板に成膜を施すようにした成膜装置において、成膜手段として、基板とターゲットの間に多孔板（メッシュ）から成るアノード電位としたプラズマシールドを介在させることは従来より周知の技術的事項（例えば、特開昭55-97471号公報、特開昭64-38995号公報、特開平2-228471号公報参照）であり、前記引用刊行物に記載されたものにおいても、このような周知の技術的事項を参酌して本願発明のように構成することは当業者が容易になし得ることと認められる。
　また、本願発明のように構成することによる作用効果も格別のものとは認められない。
【４】むすび
　以上のとおりであって、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、前記引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願は、その余の請求項について論及するまでもなく、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。