【事件の表示】
　特願２００９−５５４７９１「モジュラクラスタツール」拒絶査定不服審判事件〔平成２０年　９月２５日国際公開、ＷＯ２００８／１１６２２２、平成２２年　７月１５日国内公表、特表２０１０−５２４２０１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２０年３月２４日（優先権主張２００７年３月２２日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成２４年８月２２日付けで拒絶の理由が通知され、同年１２月１３日付けで、意見書及び手続補正書が提出されたが、同年１２月２８日付けで拒絶をすべき旨の査定がされた。これに対し、平成２５年５月２日付けで本件審判が請求されるとともに、同日付けで手続補正書が提出され特許請求の範囲が補正された。同年１０月１１日付けの当審よりの審尋に対し、平成２６年１月８日付け回答書が提出されている。
　
第２　平成２５年５月２日付け手続補正書による補正の却下の決定
　
［補正の却下の決定の結論］
　
　平成２５年５月２日付け手続補正書による補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
　
１．　補正の内容
　本件補正は、上記平成２４年１２月１３日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲について補正をするものであって、補正前後の請求項１の記載は、補正箇所に下線を付して示すと、以下のとおりである。また、本件補正後の請求項２は、補正前の請求項８に対して同様な補正をするものである。
　
（１）　補正前
　
「【請求項１】
　テーブルプレートを有する筐体を備えているリニアドライブアセンブリであって、該筐体は、
　該テーブルプレートより上にある第１の面において半導体ウエハを保持する第１のエンドエフェクタと、
　該第１の面より上にある第２の面において半導体ウエハを保持する第２のエンドエフェクタと
　を有しており、該第１および第２のエンドエフェクタは、共通の直線状の軸に沿って独立に動くように構成され、該第１および第２のエンドエフェクタのうちのそれぞれ１つのエンドエフェクタが、
　（ａ）該共通の直線状の軸に沿って駆動されるように構成された中間ステージと、
　（ｂ）該中間ステージより上に位置するエンドエフェクタステージと、
　（ｃ）該中間ステージに接続された第１のプーリおよび第２のプーリであって、該第１のプーリおよび該第２のプーリは、該中間ステージが駆動されるときに該中間ステージと共に動くようにされている、第１のプーリおよび第２のプーリと、
　（ｄ）該第１のプーリおよび該第２のプーリの周りに接続されたベルトであって、該ベルトに対する第１の接続が該エンドエフェクタステージに結合され、該ベルトに対する第２の接続は、該テーブルプレートに対して固定された取り付け台に結合され、該ベルトの第１の接続および第２の接続が、該第１のプーリと該第２のプーリとの間で行われる、ベルトと　
　によって規定され、
　該共通の直線状の軸に沿った該中間ステージの動きは、該エンドエフェクタステージを該共通の直線状の軸に沿って動かし、該第１のプーリおよび該第２のプーリならびに該ベルトは、該エンドエフェクタステージに、該テーブルプレート上の該中間ステージの動きに対する該エンドエフェクタステージの動きを増幅させる、リニアドライブアセンブリ。」
　
（２）　補正後
　
「【請求項１】
テーブルプレートを有する筐体を備えているリニアドライブアセンブリであって、該筐体は、
　該テーブルプレートより上にある第１の面において半導体ウエハを保持する第１のエンドエフェクタと、
　該第１の面より上にある第２の面において半導体ウエハを保持する第２のエンドエフェクタと
　を有しており、該第１および第２のエンドエフェクタは、共通の直線状の軸に沿って独立に動くように構成され、該第１および第２のエンドエフェクタのうちのそれぞれ１つのエンドエフェクタが、
　（ａ）該共通の直線状の軸に沿って駆動されるように構成された中間ステージと、
　（ｂ）該中間ステージより上に位置するエンドエフェクタステージと、
　（ｃ）該中間ステージに接続された第１のプーリおよび第２のプーリであって、該第１のプーリおよび該第２のプーリは、該中間ステージが駆動されるときに該中間ステージと共に動くようにされている、第１のプーリおよび第２のプーリと、
　（ｄ）該第１のプーリおよび該第２のプーリの周りに接続されたベルトであって、該ベルトに対する第１の接続が該エンドエフェクタステージに結合され、該ベルトに対する第２の接続は、該テーブルプレートに対して固定された取り付け台に結合され、該ベルトの第１の接続および第２の接続が、該第１のプーリと該第２のプーリとの間で行われる、ベルトと、　
　（
ｅ）前記中間ステージと前記テーブルプレートとの間の第１のベアリングレールアセンブリと、
　
（ｆ）該中間ステージと前記エンドエフェクタステージとの間の第２のベアリングレールアセンブリと
　によって規定され、　
　
該第１のベアリングレールアセンブリおよび該第２のベアリングレールアセンブリは、前記共通の直線状の軸に沿った該中間ステージおよび該エンドエフェクタステージのそれぞれの動きを促進し、
　該共通の直線状の軸に沿った該中間ステージの動きは、該エンドエフェクタステージを該共通の直線状の軸に沿って動かし、該第１のプーリおよび該第２のプーリならびに該ベルトは、該エンドエフェクタステージに、該テーブルプレート上の該中間ステージの動きに対する該エンドエフェクタステージの動きを増幅させ
、
　
該第１のプーリおよび該第２のプーリならびに該ベルトは、該中間ステージの動きに対する該エンドエフェクタステージの動きの増幅の度合いを規定するように寸法設定される
　
２．　補正の適否
　本件補正の、特許請求の範囲の請求項１についての補正は、それぞれ以下の事項について補正するものである。
　
・補正事項１
　補正前の特定事項である「中間ステージ」、「テーブルプレート」及び「エンドエフェクタステージ」によって規定される「該第１および第２のエンドエフェクタのうちのそれぞれ１つのエンドエフェクタ」を、「（ｅ）中間ステージとテーブルプレートとの間の第１のベアリングレールアセンブリと、（ｆ）中間ステージとエンドエフェクタステージとの間の第２のベアリングレールアセンブリとによって規定され」るものであるとし、かつ、「第１のベアリングレールアセンブリおよび第２のベアリングレールアセンブリは、共通の直線状の軸に沿った中間ステージおよびエンドエフェクタステージのそれぞれの動きを促進」するものと限定した点。
　
・補正事項２
　補正前の特定事項である「第１のプーリ」及び「第２のプーリ」ならびに「ベルト」を、「第１のプーリおよび第２のプーリならびにベルトは、中間ステージの動きに対するエンドエフェクタステージの動きの増幅の度合いを規定するように寸法設定される」ものと限定した点。
　
２−１．　新規事項について
　
　最初に、本件補正が、特許法第１７条の２第３項の規定に適合するか（本件補正が出願当初の明細書、特許請求の範囲及び図面（以下、「当初明細書等」という。）に記載した事項の範囲内においてしたものか。）について検討する。
　まず、補正事項２について以下に検討する。
　
（１）　当初明細書等の記載
　出願当初の明細書の段落【００３３】及び【図４】には、２つの「プーリ」、「ベルト」及び「エンドエフェクタステージ」の動作について、以下のとおり記載されていて、当初明細書等の他の箇所に関連する記載は見あたらない。
「【００３３】
　図４は、一実施形態による、例示的な単一のリニアドライブの概略図である。リニアドライブ１１１の上部延長３１０および下部延長３１１は、単一のリニアドライブ４００を利用し得るが、これに限定されない。単一のリニアドライブ４００は連接型メカニズムであり、それによって、エンドエフェクタステージ４１１のモーションは、中間ステージ４１０のモーションの２倍に増幅される。増幅は、２つのプーリ４２４と４２５との間に張られたベルト４２０を介して、中間ステージ４１０を動かすことによって達成される。この連接運動設計は、それぞれＸおよびＲ座標で表される中間ステージ４１０およびエンドエフェクタステージ４１１のモーション間で、１：２の比率を保証する。一実施形態に従って、中間ステージ４１０は、マグネットトラック４２１およびモータコイル４２２で表されるリニアモータによって駆動される。リニアモータは、中間ステージ４１０の上に載せられ、したがってそれと共に動く。中間ステージ４１０は、メインリニアベアリング４０１により、テーブルプレート４２３の上を滑るように動く。二次リニアベアリング４０２は、エンドエフェクタステージ４１１に連接モーションを与え、エンドエフェクタステージ４１１は、二次ベアリングレールに乗る２つのベアリングブロックのセットに取り付けられる。リニアエンコーダ（図示されず）が、モーション制御に対する位置フィードバックを提供するために、中間ステージ４１０に取り付けられる。補助エンコーダが、より高い分解能の適用のために、エンドエフェクタステージ４１１に取り付けられ得る。」
　また、【図４】から「プーリ４２４」と「プーリ４２５」が「中間ステージ４１０」に設けられていて、「ベルト４２０」が両者の間に張られていて、かつ、「ベルト４２０」は、「テーブルプレート４２３」及び「エンドエフェクタステージ４１１」へ接続されている点が看取できる。
　
（２）　判断
　上記補正事項２について、平成２６年１月８日付け回答書で請求人は、
「本願発明では、『第１のプーリおよび該第２のプーリならびに該ベルトは、該中間ステージの動きに対する該エンドエフェクタステージの動きの増幅の度合いを規定するように寸法設定される』という構成を備える。すなわち、例えば、第１及び第２のプーリの寸法を変更することにより、段落００３３に記載されているようにエンドエフェクタステージの中間ステージに対する移動を、中間ステージのテーブルプレートに対する移動に対して増幅することができる。」（６ページ７ないし１３行）と主張している。
　しかし、当初明細書等の上記（１）の記載から、「中間ステージ４１０」が「リニアモータ」によって動かされた際には、「エンドエフェクタステージ４１１」の移動距離は、「中間ステージ４１０」の「テーブルプレート４２３」上での移動距離に加えて、「ベルト４２０」の牽引による「中間ステージ４１０」上での「エンドエフェクタステージ４１１」の移動距離が加わるから、その結果、「エンドエフェクタステージ４１１のモーションは、中間ステージ４１０のモーションの２倍に増幅される」ものであることが理解できる。そして、「プーリ４２４」及び「プーリ４２５」の間に張られた「ベルト４２０」の上側部分と下側部分が平行であれば、上記「増幅」が「２倍」となり、「プーリ４２４」及び「プーリ４２５」並びに「ベルト４２０」の寸法によって変化しないことは、当業者にとって技術常識である。そうすると、当初明細書等には、補正事項２のような二つの「プーリ」と両者の間に張られた「ベルト」の寸法を設定することで、「中間ステージ」の動きに対する「エンドエフェクタステージ」の動きの度合いを規定する点が記載されていたということはできず、新たな技術的事項を導入するものといわざるを得ない。
　
（２）　小結　
　以上のとおりであるから、上記補正事項２に係る補正は、当初明細書等において記載した事項の範囲内においてしたものであるとはいえないから、補正事項１について検討するまでもなく、本件補正は、特許法第１７条の２第３項の規定に適合しないから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
２−２．　独立特許要件について
　
　上記２−１で検討したとおり、本件補正は却下すべきものであるが、仮に補正事項１及び２に係る補正が、当初明細書等において記載した事項の範囲内のものであるとして、次に、本件補正の目的について検討する。
　上記補正事項１及び２は、いずれも本件補正前の特定事項を限定するものであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第５項第２号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。そうすると、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、「補正発明」という。）が特許法第１７条の２第６項において準用する同法１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか）否かについて以下に検討する。
　
（１）　補正発明
　本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、「補正発明」という。）は、上記１．（２）の「補正後」に記載された事項により特定されたとおりのものであると認める。
　
（２）　引用文献
　
ア．　引用文献の記載
　原査定の拒絶の理由である平成２４年８月２２日付け拒絶の理由で引用文献１として引用され、本願優先日前に頒布された刊行物である特開２００４−２１４６８９号公報には、【図１】ないし【図７】とともに以下の事項が記載されている。
　
（ア）
「【技術分野】
　【０００１】
　この発明は、半導体基板や液晶ガラス基板などの薄板状基板（以下、単に「基板」と称する）に対して加熱処理、冷却処理および処理液処理を含む一連の処理を行う基板処理装置並びに及びこれに用いる基板搬送装置及び基板移載装置に関する。」
　
（イ）
「【００２１】
　図１は、実施形態の装置を説明する図である。図１（ａ）は、装置の平面図であり、図１（ｂ）は、装置の正面図である。図示のように、本実施の形態においては、基板処理装置は、基板の搬出入を行うインデクサＩＤと、基板に処理を行う複数の処理ユニットと各処理ユニットに基板を搬送する基板搬送手段が配置されるユニット配置部１０と、露光装置に接続されているインターフェイスＩＦとから構成されている。
・・・
【００２３】
　塗布処理ユニットＳＣ１、ＳＣ２や現像処理ユニットＳＤ１、ＳＤ２に挟まれた装置中央部には、周囲の全処理ユニットにアクセスしてこれらとの間で基板の受け渡しを行うための基板搬送手段として、搬送ロボットＴＲ１が配置されている。この搬送ロボットＴＲ１は、鉛直方向に移動可能であるとともに中心の鉛直軸回りに回転可能となっている。」
　
（ウ）
「【００４２】
　図４は、ユニット配置部１０内における基板の搬送、インデクサＩＤ内における基板の搬送、ユニット配置部１０及びインデクサＩＤ間における基板の受渡を説明する図である。
・・・
　【００４６】
　ユニット配置部１０の中央に設けた搬送ロボットＴＲ１は、受渡ポジションＰ１で移載ロボットＴＲ２から受け取った基板ＷＦを周囲の処理ユニット（例えば、洗浄処理ユニットＳＳ）に渡す。
　【００４７】
　搬送ロボットＴＲ１は、±Ｚ方向すなわち鉛直方向に昇降可能であるステージ４１と、このステージ４１上に取り付けられて鉛直軸回りに回転可能なヘッド４２とを備える。このヘッド４２は、基板ＷＦを支持しつつ周囲の全処理ユニットにアクセス可能なハンド４０を備える。このハンド４０は、ＸＹ面内で水平方向に独立に伸縮する上下一対のホルダ部材を有しており、処理ユニットにアクセスした際に、処理ユニット内の処理後の基板ＷＦとホルダ部材上の処理前の基板ＷＦとを交換する。
　【００４８】
　このように、搬送ロボットＴＲ１によって、処理前の基板ＷＦと処理後の基板ＷＦとを交換しつつ、図３と同様のフローで基板ＷＦを搬送する循環搬送を一巡させることにより、ユニット配置部１０中の各処理ユニット（並列処理の処理ユニットを除く）中の基板ＷＦの処理が１段階進行する。
　【００４９】
　なお、この際、インデクサＩＤとインターフェースＩＦとに関しては、受渡ポジションＰ１、Ｐ２が一種の処理ユニットのように機能し、ここで基板の交換が行われる。すなわち、搬送ロボットＴＲ１は、順方向に関する最後の処理ユニット（例えば、熱処理ユニットＴＵ４）で処理を終了した基板ＷＦを受渡ポジションＰ２まで移動させてここでインターフェスＩＦとの基板交換を行う。また、搬送ロボットＴＲ１は、逆方向に関する最後の処理ユニット（例えば、熱処理ユニットＴＵ６）で処理を終了した基板ＷＦを受渡ポジションＰ１まで移動させてここでインデクサＩＤとの基板交換を行う。
　【００５０】
　搬送ロボットＴＲ１が以上に説明したような循環搬送を繰返すことにより、図３と同一のフローで基板ＷＦの処理が漸次進行することになる。
　【００５１】
　図５〜７は、搬送ロボットＴＲ１の構造及び動作を説明する図であり、図５は、搬送ロボットＴＲ１の斜視図であり、図６は、搬送ロボットＴＲ１の裏面及び側面の構造を示す図であり、図７は、搬送ロボットＴＲ１のハンドの動作を説明する図である。
　【００５２】
　図５に示すように、搬送ロボットＴＲ１のヘッド４２を支持するステージ４１は、基台４４との間に設けたＺ軸駆動機構４５によって、±Ｚ方向に昇降可能になっている。このＺ軸駆動機構４５は、パンタグラフ構造を有し、基台４４上に固定されたモータ４５ａの正逆回転によってネジ軸４５ｂが回転し、このネジ軸４５ｂに螺合された連結部材４５ｃが±Ｙ方向に移動する。そして、連結部材４５ｃの移動にともなって、その連結部材４５ｃの両端に連結された一対のパンタグラフリンク４５ｄが屈伸駆動することとなる。一対のパンタグラフリンク４５ｄの上端にはステージ４１が連結支持されており、結果として、モータ４５ａの正逆回転がパンタグラフリンク４５ｄの屈伸駆動を介してステージ４１の昇降運動に変換されることになる。
　【００５３】
　なお、ステージ４１は、図示を省略しているが、ヘッド４２の中央下部から延びる鉛直回転軸４２ｂを回転駆動する回転駆動機構を内蔵しており、この回転駆動機構により、ヘッド４２は、旋回してＺ軸回りの任意の位置に回転移動可能となる。また、ヘッド４２上に設けたハンド４０は、それぞれが基板ＷＦを支持可能な一対のホルダ部材４０ａ、４０ｂからなっている。各ホルダ部材４０ａ、４０ｂは、図示の状態で、ヘッド４２内に設けた機構によって−Ｘ方向に進退可能になっている。
　【００５４】
　図６（ａ）の裏面図及び図６（ｂ）の側面図に示すように、一方のホルダ部材４０ｂは、ヘッド４２に内蔵された伸縮駆動機構７０によって、ＡＢ方向に往復移動可能になっている。なお、他方のホルダ部材４０ａも、図示を省略しているが、上記伸縮駆動機構７０と同様の機構によって、ＡＢ方向に往復移動可能になっている。
　【００５５】
　伸縮駆動機構７０は、ヘッド４２とホルダ部材４０ｂとの間にストロークを稼ぐためのブーム７１を介在させた２段構造となっている。このブーム７１には、ヘッド４２側に設けたガイド７２に案内されてＡＢ方向に往復移動する摺動部材７３が固設されている。また、ホルダ部材４０ｂには、ブーム７１側に設けたガイド７４に案内されてＡＢ方向に往復移動する摺動部材７５が固設されている。ブーム７１の側面に設けた一対のプーリＰＵ１には、ベルトＢＥがかけられており、このベルトＢＥの一部には、摺動部材７５が固定されている。ヘッド４２内部に設けた複数のプーリＰＵ２、ＰＵ３、ＰＵ４にも、ベルトＢＥがかけられており、このベルトＢＥの一部には、ブーム７１が固定されている。なお、プーリＰＵ４は、モータＭＯに連結されており、このモータＭＯに駆動されて適宜回転する。
　【００５６】
　図７は、図５に示すホルダ部材４０ｂの移動を説明する図である。ヘッド４２に内蔵されたモータに駆動されてプーリＰＵ４が一方向に回転すると、ベルトＢＥに接続されたブーム７１がＡＢ方向に前進し、ヘッド４２からせり出す。ブーム７１がヘッド４２からせり出すと、ブーム７１のプーリＰＵ１にかけられたベルトＢＥも、係止部材７７を介してヘッド４２に固定されていることに原因して回転し、このベルトＢＥに接続されたホルダ部材４０ｂがＡＢ方向に前進し、ブーム７１からせり出し、結果的にホルダ部材４０ｂはハンド４０が最も伸張した実線の位置まで移動する。なお、点線は、ハンド４０が最も縮小した状態を示している。」
　
（エ）
　上記摘記事項（ウ）の段落【００５６】に「ヘッド４２」がその内部に「モータ」等を内蔵するものである旨の記載から、「ヘッド４２」は、「モータ」等を内蔵する筺体であるということができる。また、「ヘッド４２」は、「ホルダ部材（４０ｂ）」に対向する「上面」を有する点、【図７】から看取できる。　
　
（オ）
　【図５】及び【図６】から、「ホルダ部材（４０ｂ）」は、上記「上面」よりも上にある第１の面にあり、「ホルダ部材（４０ａ）」は「ホルダ部材（４０ｂ）」よりも上側にある第２の面にある点、看取できる。また、「ホルダ部材（４０ｂ）」が、「ブーム（７１）」より上に位置する点も看取できる。
　
（カ）
　上記摘記事項（ウ）の段落【００５４】の記載から、「ホルダ部材（４０ａ）」及び「ホルダ部材（４０ｂ）」は、両方とも【図６】において示される「ＡＢ方向に往復移動可能」であるから、両者は共通の直線の軸（ＡＢ）に沿って動くものであるといえる。
　
（キ）
　【図７】には、「ベルト（ＢＥ）」が上下二本記載されていて、上側の「ベルト（ＢＥ）」が「係止部材（７７）」を介して「ヘッド（４２）」の「上面」に接続されている点、【図７】から看取できる。
　
（ク）
　上記摘記事項（ウ）の段落【００５５】及び【００５６】の記載から、【図７】に記載されたものにおいて、「モータＭＯ」による「プーリ（ＰＵ４）」回転によって、「ブーム（７１）」がＢ方向へ移動すると、「ホルダ部材（４０ｂ）」の同方向への移動距離は、「ホルダ部材（４０ｂ）」が位置する「ブーム（７１）」の「ヘッド（４２）」の「上面」に対する移動距離に加えて、「ブーム（７１）」に設けられた二つの「プーリ（ＰＵ１）」の間に張られた「ベルト（ＢＥ）」の回転による「ブーム７１」上での「ホルダ部材（４０ｂ）」の移動距離が加わるから、二つのプーリ（ＰＵ１）及び「ベルト（ＢＥ）」は、「ホルダ部材（４０ｂ）」に、「上面」上の「ブーム（７１）」の動きに対する「ホルダ部材（４０ｂ）」の動きを増幅させるものであるということができる。
　
イ．　引用文献記載の発明
　上記摘記事項（ア）ないし（ウ）、上記認定事項（エ）及び（ク）から、引用文献１に記載の事項を技術常識を考慮しながら、補正発明に照らして整理すると、引用文献１には以下の発明（以下、「引用文献記載発明」という。）が記載されている。
　
「上面を有するヘッド（４２）を備えている搬送ロボット（ＴＲ１）であって、該ヘッド（４２）は、
該上面より上にある第１の面において半導体基板（ＷＦ）を保持するホルダ部材（４０ｂ）と、
該第１の面よりも上にある第２の面において半導体基板（ＷＦ）を保持するホルダ部材（４０ａ）と
を有しており、該ホルダ部材（４０ｂ）およびホルダ部材（４０ａ）は、共通の直線上の軸（ＡＢ）に沿って独立に動くように構成され、該ホルダ部材（４０ｂ）およびホルダ部材（４０ａ）のうちそれぞれ１つのホルダ部材が、
（ａ）該共通の直線上の軸（ＡＢ）に沿って駆動されるように構成されたブーム（７１）と、
（ｂ）該ブーム（７１）より上に位置するホルダ部材と、
（ｃ）該ブーム（７１）に接続された二つのプーリ（ＰＵ１）であって、一方のプーリ（ＰＵ１）及び他方のプーリ（ＰＵ１）は、該ブーム（７１）が駆動されるときに該ブーム（７１）共に動くようにされている、一方のプーリ（ＰＵ１）及び他方のプーリ（ＰＵ１）と、
（ｄ）該一方のプーリ（ＰＵ１）及び該他方のプーリ（ＰＵ１）の周りに接続されたベルト（ＢＥ）であって、該ベルト（ＢＥ）に対する第１の固定がされる摺動部材（７５）がホルダ部材（４０ｂ）に固設され、該ベルト（ＢＥ）に対する第２の固定は、該上面に対して係止部材（７７）を介して接続され、該ベルト（ＢＥ）の第１の固定及び第２の固定が、該一方のプーリ（ＰＵ１）と該他方のプーリ（ＰＵ１）との間で行われる、ベルト（ＢＥ）と、
（ｅ）前記ヘッド（４２）に設けたガイド（７２）と、該ガイド（７２）に案内されて往復移動する前記ブーム（７１）に固設された摺動部材（７３）とを組み合わせたものと、
（ｆ）前記ブーム（７１）に設けたガイド（７４）と、該ガイド（７４）に案内されて往復移動する前記ホルダ部材に固設された摺動部材（７５）とを組み合わせたものとによって規定され、
　該ガイド（７２）と該摺動部材（７３）の組み合わせたもの及び該ガイド（７４）と該摺動部材（７５）との組み合わせたものは、前記共通の直線上の軸（ＡＢ）に沿った該ブーム（７１）及び該ホルダ部材のそれぞれの動きを促進し、
　該共通の直線上の軸（ＡＢ）に沿った該ブーム（７１）の動きは、該ホルダ部材該共通の直線上の軸（ＡＢ）に沿って動かし、該一方のプーリ（ＰＵ１）及び他方のプーリ（ＰＵ１）ならびに該ベルト（ＢＥ）は、該ホルダ部材に、該上面上の該ブーム（７１）の動きに対する該ホルダ部材の動きを増幅させる
搬送ロボット（ＴＲ１）」
　
（３）　対比
　補正発明と引用文献記載発明とを対比する。
　上記認定事項（カ）から、引用文献記載発明の「ヘッド（４２）」は筺体であるから、引用文献記載発明の「ヘッド（４２）」は、補正発明の「筺体」に相当する。そして、引用文献記載発明の「上面」は、補正発明の「テーブルプレート」に相当する。
　引用文献記載発明の「半導体基板（ＷＦ）」、「ホルダ部材（４０ｂ）」、「ホルダ部材（４０ａ）」、「ブーム（７１）」、「係止部材（７７）」「搬送ロボット（ＴＲ１）」は、補正発明の「半導体ウエハ」、「第１のエンドエフェクタ」、「第２のエンドエフェクタ」、「中間ステージ」、「取り付け台」、「リニアドライブアセンブリ」にそれぞれ相当する。
　引用文献記載発明の二つの「プーリ（ＰＵ１）」及び「プーリ（ＰＵ１）」は、補正発明の二つのプーリである「第１のプーリ」及び「第２のプーリ」に相当する。
　引用文献記載発明の「ヘッド（４２）に設けたガイド（７２）と、ガイド（７２）に案内されて往復移動するブーム（７１）に固設された摺動部材（７３）とを組み合わせたものは」は、補正発明の「中間ステージとテーブルプレートとの間の第１ベアリングレールアセンブリ」と、摺動する二つの部材を結びつける構成である点で共通する。
　引用文献記載発明の「ブーム（７１）に設けたガイド（７４）と、該ガイド（７４）に案内されて往復移動するホルダ部材（４０ｂ）に固設された摺動部材（７５）とを組み合わせたもの」は、補正発明の「中間ステージとテーブルプレートとの間の第１のベアリングレールアセンブリ」と摺動する二つの部材を結びつける構成である点で共通する。
　
　補正発明と引用文献記載発明とは、以下の点で一致し、かつ相違する
　
ア．　一致点
　「テーブルプレートを有する筐体を備えているリニアドライブアセンブリであって、該筐体は、
　該テーブルプレートより上にある第１の面において半導体ウエハを保持する第１のエンドエフェクタと、
　該第１の面より上にある第２の面において半導体ウエハを保持する第２のエンドエフェクタと
　を有しており、該第１および第２のエンドエフェクタは、共通の直線状の軸に沿って独立に動くように構成され、該第１および第２のエンドエフェクタのうちのそれぞれ１つのエンドエフェクタが、
　（ａ）該共通の直線状の軸に沿って駆動されるように構成された中間ステージと、
　（ｂ）該中間ステージより上に位置するエンドエフェクタステージと、
　（ｃ）該中間ステージに接続された第１のプーリおよび第２のプーリであって、該第１のプーリおよび該第２のプーリは、該中間ステージが駆動されるときに該中間ステージと共に動くようにされている、第１のプーリおよび第２のプーリと、
　（ｄ）該第１のプーリおよび該第２のプーリの周りに接続されたベルトであって、該ベルトに対する第１の接続が該エンドエフェクタステージに結合され、該ベルトに対する第２の接続は、該テーブルプレートに対して固定された取り付け台に結合され、該ベルトの第１の接続および第２の接続が、該第１のプーリと該第２のプーリとの間で行われる、ベルトと、
　（ｅ）該中間ステージと前記テーブルプレートとを結びつける第１の結びつける構成と、
　（ｆ）該中間ステージと前記エンドエフェクタステージとを結びつける第２の結びつける構成と
　によって規定され、
　該第１の結びつける構成及び第２の結びつける構成は、前記共通の直線上の軸に沿った該中間ステージおよび該エンドエフェクタステージのそれぞれの動きを促進し、
該共通の直線状の軸に沿った該中間ステージの動きは、該エンドエフェクタステージを該共通の直線状の軸に沿って動かし、該第１のプーリおよび該第２のプーリならびに該ベルトは、該エンドエフェクタステージに、該テーブルプレート上の該中間ステージの動きに対する該エンドエフェクタステージの動きを増幅させる、
リニアドライブアセンブリ。」
　
イ．　相違点
　
（ア）　相違点１
　補正発明の「第１の結びつける構成」及び「第２の結びつける構成」は、それぞれ、「中間ステージとテーブルプレートとの間の第１のベアリングレールアセンブリ」及び「前記中間ステージと前記エンドエフェクタステージとの間の第２のベアリングレールアセンブリ」であるのに対し、引用文献記載発明は、「ベアリング」や「レール」を用いるものであるかが不明である点。
　
（イ）　相違点２
　補正発明の「第１のプーリ」および「第２のプーリ」ならびに「ベルト」は、「中間ステージの動きに対するエンドエフェクタステージの動きの増幅の度合いを規定するように寸法設定される」ものであるのに対し、引用文献記載発明の「一方のプーリ（ＰＵ１）」及び「他方のプーリ（ＰＵ１）」ならびに「ベルト（ＢＥ）」の寸法がどのように設定されるものであるのか不明である点。　
　
（４）　判断
　
（ア）　相違点１について
　板状体を搬送する装置において、相互に摺動する二部材を上下に配置しかつ両者の間にレールとベアリングを組み合わせたものを両者の間に設ける点は、従来周知（例えば、特開平１０−３０９６８９号公報の段落【００２８】に記載された「レール２２」と「ベアリング２６」に着目されたい。）である。
　引用文献記載発明において、「第１の結びつける構成」及び「第２の結びつける構成」として、「ブーム（７１）」と「ヘッド（４２）」との間及び「ブーム（７１）」と「ホルダ部材（４０ｂ）」との間にベアリングレールアセンブリを設けたものとすることは、上記従来周知の事項を適用することで、当業者が容易になし得た事項であるにすぎない。
　
（イ）　相違点２について
　引用文献記載発明において、「ホルダ部材（４０ｂ）」のＡＢ方向の移動距離は、「ホルダ部材（４０ｂ）が位置する「ブーム（７１）」の「ヘッド（４２）」に対する移動距離に加えて、二つの「プーリ（ＰＵ１）」の間に架けわたされた「ベルト（ＢＥ）」の「ブーム（７１）」内での回転による移動距離加えたものとなること、かつ、二つの「プーリ（ＰＵ１）」それぞれの寸法の設定により、「ベルト（ＢＥ）」に起因する移動距離が変化し、ひいては、「ブーム（７１）」の動きに対する「ホルダ部材」の動きの増幅度合いが変化することは、当業者とって技術常識である。
　ここで、上記摘記事項（イ）の段落【００２３】の記載及び【図２】の記載から、引用文献記載発明の「搬送ロボット（ＴＲ１）」は、周囲を「塗布処理ユニットＳＣ１、ＳＣ２や現像処理ユニットＳＤ１、ＳＤ２に挟まれた装置中央部」に置かれたものであるから、「塗布処理ユニット」等の配置に応じて、「ホルダ部材（４０ｂ）」が届くべき範囲、すなわち、「ブーム（７１）」の動きに対する「ホルダ部材」の動きの増幅度合いを変化させたい、との課題が引用文献記載発明には内在しているといえる。
　そうすると、引用文献記載発明において、「ホルダ部材（４０ｂ）」の動きの「ブーム（７１）」の動きに対する増幅度合いを規定するように、「一方のプーリ（ＰＵ１）」等の寸法を設定することは、上記課題を解決しようとして、当業者が上記技術常識に基づいて容易になし得たものである。
　
（ウ）　小結
　以上のとおりであるから、補正発明は引用文献記載発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易になし得たものであり、作用及び効果の点で格別なものを奏するとは認められない。
　したがって、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際に独立して特許を受けることができないものである。
　
３．　補正却下の決定におけるむすび
　上記２−１で検討したとおり、本件補正の補正事項２は、当初明細書等に記載した範囲内においてしたものであるとはいえず、特許法第１７条の２第３項の規定に適合しないから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　また、仮に本件補正が特許法第１７条の２第３項の規定に適合するとしても、上記２−２で検討したとおり、補正発明は特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際に独立して特許を受けることができないものであるから、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり、決定する。
　
第３　本願発明について
　
１．　本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願請求項１ないし１６は、平成２４年１２月１３日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１６に記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記第２、１．（１）に記載されたとおりのものである。
　
２．　原査定の理由
　
　本願発明に対する、原査定の理由は、平成２４年１２月２８日付け拒絶査定において、「平成２４年８月２２日付け拒絶理由通知書に記載した理由１によって、拒絶をすべきものです。」と記載されていて、当該拒絶理由通知書には、「理由１」として、「＜理由１＞　この出願は、下記の点で特許法第３７条に規定する要件を満たしていない。」と記載されている。
　しかし、上記拒絶理由通知書において、特許請求の範囲の請求項１は、「理由１」に加えて、特許法第２９条第１項第３号に係る拒絶の理由である「理由２」の対象とされている。そして、上記拒絶査定の備考欄において、請求項１をさらに限定した請求項２ないし７に係る発明に対して、「請求項２−７，９−１６についても、上記拒絶理由通知書に記載した理由１又は２は、依然として解消しておらず、拒絶をすべきものである。」と記載されていて、かつ、「引用文献１に記載された発明と、本願請求項１，８に係る発明との間に、相違点は見出せない。」とも記載されている。そうすると、本願発明に対する原査定の拒絶の理由は、上記「理由１」に加えて「理由２」も含まれると解するのが自然である。
　この点については、本件請求人においても、原査定を不服とする本件審判を請求すると共に、同日付で本件補正により特許請求の範囲を補正するとともに、当該補正によって、「少なくとも以上の理由から、請求項１、２は、引用文献１、２に対して新規性、進歩性を有しているというべきであり、また、実質的に同一で引用文献１、２に教示も示唆もない特徴を有しているといえ、少なくともそのことから、平成２４年８月２２日付け拒絶理由通知書に記載の理由１〜３は解消されるべきです。」（審判請求書１２ページ１０ないし１３行）と主張しているから、特許請求の範囲の請求項１に係る発明に対する原査定が理由１及び２である点について、本件請求人において十分認識しており、対応がなされているとみることができる。
　
２．　対比及び判断
　第２、２−２．（２）、イ．で検討したように、引用文献１には、第２、２−２．（３）．ア．記載の点で補正発明と一致する引用文献記載発明が記載されている。ここで、本願発明と当該一致点とを対比すると、当該一致点に係る特定事項は、本願発明に更に構成を付加し、限定したものである。そうすると本願発明に構成を付加し限定したものである上記一致点に係る特定事項が、引用文献１に記載されているから、本願発明も引用文献１に記載されているということができる。
　したがって、本願発明は特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、特許を受けることができないものである。
　
３．　むすび
　以上のとおりであるので、本願発明は本願優先日前に頒布された刊行物である引用文献１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、特許を受けることができない。
　
　したがって、本願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。
　
＜付言：平成２６年１月８日付け回答書記載の補正案について＞
　本件請求人は、当審よりの平成２５年１０月１１日付け審尋への応答である平成２６年１月８日付け回答書において、補正発明の「中間ステージ」及び「エンドエフェクタステージ」にそれぞれ「リニアエンコーダ」を取り付
ける点、限定する旨の補正案を記載している。さらに、当該補正案に係る補
正に加えて、「さらに、中間ステージを移動させる機構としてリニアモータを用いている。リニアモータには上述したベルト駆動の場合におけるベルトのたるみによる位置の不正確性という問題が生じない。本願出願人はこの点についても補正で特定する用意がある。」（５ページ下から４ないし１行）と別途の補正案も記載している。
　しかし、板状体を直線方向に搬送する機構において、「リニアエンコーダ」や「リニアモータ」を設ける点は、以下の刊行物にも記載されているとおり、従来周知であり、かつ、当該周知のものを採用したことで、作用・効果の点で格別のものを存するとは認められないから、仮に補正案記載のとおり特許請求の範囲の請求項１に係る発明が補正されたとしても、当該発明は特許
法第２９条第２項の規定により拒絶されるべきものである。
・特開２００６−２３８５４０号（特に、段落【００１４】参照。）
・特開２００４−３４２６３８号（特に、段落【００９４】ないし【００９８】参照。）