(57)【要約】【課題】実際の検査に用いられた画像を用いて、検査結果の確認に適した見本画像を簡単に登録できるようにする。【解決手段】部品実装後の検査のための検査装置１Ａと、はんだ付け後の検査のための検査装置１Ｂと、情報処理装置２とによる基板検査システムにおいて、各検査装置１Ａ，１Ｂから情報処理装置２に、検査に使用した画像や検査結果を被検査部位毎に送信する。情報処理装置には、あらかじめ、良品や不良品の見本画像が表すべき内容を示す指標データが複数登録されており、指標データ毎に、検査装置１Ａ，１Ｂから送信された画像の中から当該指標データに最も適合するものを抽出し、見本画像として登録する。【選択図】図１
2007285880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装基板の製造に係る一工程を経た複数枚の基板を順に受け付けて、撮像およびその撮像により生成された画像を用いて基板上の被検査部位に対する検査を実行している間、または前記複数枚の基板に対する検査が終了した後に、検査に用いられた画像の中から良判定または不良判定がなされた画像の例を表す画像を見本画像として抽出して登録する方法であって、
少なくとも１つの被検査部位について、それぞれ異なる内容を表す複数の見本画像を登録することを前提に、あらかじめ見本画像毎にその見本画像が表すべき内容を示す指標データを設定しておき、
前記指標データの設定された被検査部位について、複数枚の基板の検査において生成された当該被検査部位の画像の中から、指標データ毎に当該指標データに対する適合度が最も高い画像を抽出し、抽出された画像を見本画像としてメモリに登録する、
ことを特徴とする基板検査における見本画像の登録方法。
【請求項２】
請求項１に記載された方法において、
前記指標データの設定された被検査部位に対する検査を実行する都度、その検査に使用した被検査部位の画像を処理対象として、登録された指標データの中から当該処理対象画像に対する適合度が最も高い指標データを抽出し、
抽出された指標データに対応する見本画像が登録されていない場合には、前記処理対象画像を見本画像として登録し、
抽出された指標データに対応する見本画像が既に登録されている場合には、この登録済みの見本画像よりも前記処理対象画像の方が前記指標データに対する適合度が高いことを条件に、前記処理対象画像を見本画像として登録する、基板検査における見本画像の登録方法。
【請求項３】
部品実装工程を経た複数枚の基板を順に受け付けて、撮像およびその撮像により生成された画像を用いて、基板上の部品の位置ずれ検査を実行している間、または前記複数枚の基板に対する検査が終了した後に、検査に用いられた画像の中から良判定または不良判定がなされた画像の例を表す見本画像を抽出して登録する方法であって、
基板上の少なくとも１つの部品または少なくとも１種類の部品について、その部品の理想の位置に対する位置ずれ量が異なる複数の見本画像を登録することを前提に、あらかじめ見本画像毎に、その見本画像が表すべき位置ずれ量を示す指標データを設定しておき、
前記指標データの設定された部品について、前記複数枚の基板の検査において計測された位置ずれ量の中から、指標データ毎にその指標データに対する適合度が最も高いものを抽出し、抽出された位置ずれ量が計測されたときの画像を見本画像として登録する、
ことを特徴とする基板検査における見本画像の登録方法。
【請求項４】
はんだ付け工程を経た複数枚の基板を順に受け付けて、撮像およびその撮像により得られた画像を用いて基板上のはんだ付け部位に対する検査を実行している間、または前記複数枚の基板に対する検査が終了した後に、検査に用いられた画像の中から良判定または不良判定が得られた画像の例を表す見本画像を抽出して登録する方法であって、
前記基板に対する撮像は、複数種の色彩光をそれぞれ異なる方向から照射する方法による照明下で実行され、
基板上の少なくとも１つの部品または少なくとも１種類の部品について、はんだ付け部位の画像における色彩の分布状態が異なる複数の見本画像を登録することを前提に、あらかじめ見本画像毎に、その見本画像が表すべき色彩の分布状態を表す情報を指標データとして設定しておき、
前記指標データの設定された部品について、複数枚の基板の検査において生成された当該部品の画像の中から、指標データ毎にはんだ付け部位の色彩の分布状態が当該指標データに最も適合する画像を抽出し、抽出された画像中の少なくともはんだ付け部位の画像を見本画像として登録する、
ことを特徴とする基板検査における見本画像の登録方法。
【請求項５】
はんだ付け工程を経た複数枚の基板を順に受け付けて、撮像およびその撮像により得られた画像を用いて基板上のはんだ付け部位に対する検査を実行している間、または前記複数枚の基板に対する検査が終了した後に、検査に用いられた画像の中から良判定または不良判定が得られた画像の例を表す見本画像を抽出して登録する方法であって、
前記基板に対する撮像は、所定方向からの光による照明下で実行され、
基板上の少なくとも１つの部品または少なくとも１種類の部品について、はんだ付け部位の画像における明るさの変化のパターンが異なる複数の見本画像を登録することを前提に、あらかじめ見本画像毎に、その見本画像が表すべき明るさの変化のパターンを表す情報を指標データとして設定しておき、
前記指標データの設定された部品について、複数枚の基板の検査において生成された当該部品の画像の中から、指標データ毎にはんだ付け部位の明るさの変化のパターンが当該指標データに最も適合する画像を抽出し、抽出された画像中の少なくともはんだ付け部位の画像を見本画像として登録する、
ことを特徴とする基板検査における見本画像の登録方法。
【請求項６】
部品実装基板の製造に係る一工程を経た基板を撮像手段により撮像して得られた画像を用いて当該基板上の被検査部位を検査する基板検査装置から、検査結果の配信を受けて、その検査結果に応じた被検査部位の状態を表す見本画像を作成する装置であって、
前記基板検査装置から前記検査結果およびその検査に使用された画像の配信を受け付ける配信受付手段と、
少なくとも１つの被検査部位について、その被検査部位の見本画像が表すべき内容を示す指標データおよび前記見本画像をそれぞれ複数保存することが可能なメモリと、
指標データが保存された被検査部位について、基板検査装置から配信された画像の中から、登録された指標データ毎に当該指標データに対する適合度が最も高い画像を抽出する適合画像抽出手段と、
前記適合画像抽出手段により抽出された画像を見本画像として前記メモリに登録する登録手段とを、具備する見本画像作成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、部品実装工程の製造工程に係る一工程を経た基板を検査対象として、その基板を撮像して得られた画像を用いて、部品やはんだ付け部位などの被検査部位を検査する分野に属する。特にこの発明は、良判定または不良判定の対象となる被検査部位を参照するための見本画像を登録する方法、およびこの方法を用いた見本画像作成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品実装基板（以下、単に「基板」という場合もある。）の製造ラインは、一般に、はんだ印刷機によるクリームはんだの印刷工程、マウンタによる部品実装工程、およびリフロー炉によるはんだ付け工程により構成される。またこれらの工程のうち、少なくとも最終のはんだ付け工程の後段に、検査装置を設置して、部品の実装状態やはんだ付け状態を検査するのが一般的である。
【０００３】
上記の基板検査装置（以下、単に「検査装置」という。）の代表的なものは、カメラやラインセンサを用いた外観検査装置である。一般に、この種の装置では、画像処理により被検査部位を抽出して計測し、その計測値をあらかじめ登録された判定基準値と比較することにより、被検査部位の良否を判定する。
また、判定結果や検査に使用された画像を、検査装置または外部の情報処理装置に付随するモニタに表示することができる。したがって、ユーザーは、表示された画像を用いて、不良判定がなされた部位についてその不良の種類や内容を認識したり、不良が生じた原因を分析したり、不良箇所を修正する作業を行うことができる。
【０００４】
たとえば、下記の特許文献１では、部品の位置ずれ検査において、計測した部品のずれ量から不良と判定された場合、不良判定された部品の画像を表示することにより、ユーザーがその表示画像を登録されたテンプレートと比較して良／不良を判定できるようにしている（段落［０００５］を参照。）。
なお、この特許文献１にはテンプレートについて詳細な記載が見当たらないが、段落［００２２］に「検査する部品の形状をテンプレートとして登録したライブラリーを有し、画像取込み部２０１が取り込んだ部分画像と登録された部品の形状とのパターンマッチングを行い、・・・」とあることから、テンプレートは部品の良品モデルの画像であると思われる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１２２８９４９号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記したように、検査装置で不良判定がなされた場合には、その判定対象の部位の画像を表示してユーザーが確認作業等を行うが、特許文献１のように、良品モデルの画像を参照しても、不良の詳細な内容を確認するのは容易なことではない。特に、ユーザーが初心者である場合には、この種の認識作業を行うのは非常に困難である。
【０００７】
ここで種々の不良について、それぞれあらかじめその不良の内容を表す見本画像を作成してメモリに登録しておき、これらを適宜モニタに表示して、実際の画像と比較できるようにすれば、初心者でも容易に不良の種類を認識できると思われる。しかし、見本画像をあらかじめ登録するには、各種不良のモデルを用意して撮像を行ったり、ある見本画像を編集して他の見本画像を作成するなどの作業が必要になり（特許文献２参照。）、多大な労力がかかるという問題がある。
【０００８】
【特許文献２】特開平５−１４９７２８号  公報
【０００９】
この発明は、上記の問題点に着目してなされたもので、実際の検査に用いられた画像を用いて、検査結果の確認に適した見本画像を簡単に登録できるようにすることを、目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明に係る第１の方法は、部品実装基板の製造に係る一工程を経た複数枚の基板を順に受け付けて、撮像およびその撮像により生成された画像を用いて基板上の被検査部位に対する検査を実行している間、または複数枚の基板に対する検査が終了した後に、検査に用いられた画像の中から良判定または不良判定がなされた画像の例を表す画像を見本画像として抽出して登録するものである。この方法では、少なくとも１つの被検査部位について、それぞれ異なる内容を表す複数の見本画像を登録することを前提に、あらかじめ見本画像毎にその見本画像が表すべき内容を示す指標データを設定する。そして、指標データの設定された被検査部位について、複数枚の基板の検査において生成された当該被検査部位の画像の中から、登録された指標データ毎にその指標データに対する適合度が最も高い画像を抽出し、抽出された画像を見本画像としてメモリに登録する。
【００１１】
上記の方法において、たとえば、はんだ印刷工程後の基板を検査する場合には、被検査部位は、ランド上に印刷されたクリームはんだである。また、たとえば、部品実装工程後の基板を検査する場合には、被検査部位は部品やはんだの飛散する可能性がある箇所となり、はんだ付け工程後の基板を検査する場合には、被検査部位は部品やはんだ付け部位となる。
【００１２】
登録対象の見本画像には、不良を表すものが複数含まれるのが望ましい。ただし、不良を表す見本画像を登録せずに、良判定がなされたが、不良に近い状態を表す画像を見本画像として登録してもよい。
【００１３】
指標データとしては、たとえば、見本画像中の被検査部位に現れるべき特徴を表すデータ（たとえば色彩、濃度など）を設定することができるが、これに限らず、上記の特徴をさらに計測して得られる判別処理のためのパラメータについて理想の値を求め、これを指標データとしても良い。たとえば、部品の位置ずれ検査について見本画像を登録する場合には、部品の位置ずれ量を表すデータを指標データに設定することができる。
【００１４】
見本画像の抽出および登録処理は、後記する態様のように、複数枚の基板に対する検査に並行して行うこともできるし、複数枚の基板の全てに対する検査が終了した後に実行してもよい。いずれの場合にも、検査に使用された被検査部位の画像の中から、指標データ毎にその指標データに対する適合度が最も高い画像が見本画像としてメモリに登録されるので、良品または不良品として判定された各種状態を的確に表した見本画像を得ることができる。よって、一旦、上記の見本画像の登録処理が完了すると、その後ユーザーは、検査に使用された画像と見本画像とを照合しつつ、検査結果を確認することが可能になる。
【００１５】
上記方法の好ましい態様では、前記指標データの設定された被検査部位に対する検査を実行する都度、その検査に使用した被検査部位の画像を処理対象として、登録された指標データの中から当該処理対象画像に対する適合度が最も高い指標データを抽出する。ここで抽出された指標データに対応する見本画像が登録されていない場合には、処理対象画像を見本画像として登録する。一方、抽出された指標データに対応する見本画像が既に登録されている場合には、この登録済みの見本画像よりも処理対象画像の方が前記指標データに対する適合度が高いことを条件に、処理対象画像を見本画像として登録する。
【００１６】
上記の態様によれば、複数枚の基板の検査が行われている間に見本画像の抽出および登録が行われるので、見本画像の登録処理を効率良く行うことができる。また、ある指標データに対応する見本画像が登録された場合でも、その後により適合度の高い画像が得られた場合には、その後の画像により見本画像が置き換えられるので、検査が進むにつれて、見本画像の適正度合いを高めることができる。
【００１７】
つぎに、この発明に係る第２の方法は、部品実装工程を経た複数枚の基板を順に受け付けて、撮像およびその撮像により生成された画像を用いて、基板上の部品の位置ずれ検査を実行している間、または複数枚の基板に対する検査が終了した後に、検査に用いられた画像の中から良判定または不良判定がなされた画像の例を表す見本画像を抽出して登録するものである。この方法では、まず基板上の少なくとも１つの部品または少なくとも１種類の部品について、その部品の理想の位置に対する位置ずれ量が異なる複数の見本画像を登録することを前提に、あらかじめ見本画像毎に、その見本画像が表すべき位置ずれ量を示す指標データを設定する。そして、指標データの設定された部品について、複数枚の基板の検査において計測された位置ずれ量の中から、登録された指標データ毎にその指標データに対する適合度が最も高いものを抽出し、抽出された位置ずれ量が計測されたときの画像を見本画像として登録する。
【００１８】
上記の方法において、指標データの示す位置ずれ量は、位置ずれ量の値そのものであっても良いが、これに限定されるものではない。たとえば、理想の位置に対し、各見本画像が所定のピッチ間隔ずつ位置ずれすることを前提にした場合、そのピッチ間隔を指標データとすることもできる。
【００１９】
上記の方法によれば、判定結果に関係なく、異なる位置ずれ量を表す複数の見本画像を登録することが可能であるが、良判定がされる場合または不良判定がされる場合のみを対象に、複数の見本画像を登録してもよい。
【００２０】
この発明に係る第３、第４の方法は、はんだ付け工程を経た複数枚の基板を順に受け付けて、撮像およびその撮像により得られた画像を用いて基板上のはんだ付け部位に対する検査を実行している間、または前記複数枚の基板に対する検査が終了した後に、検査に用いられた画像の中から良判定または不良判定が得られた画像の例を表す見本画像を抽出して登録するものである。
【００２１】
第３の方法では、基板に対する撮像を、複数種の色彩光をそれぞれ異なる方向から照射する方法による照明（いわゆる「カラーハイライト照明」）下で実行する。このような照明によれば、はんだ付け部位から撮像手段に入射する正反射光の色彩は、当該はんだ付け部位の勾配の大きさによって異なるものとなるので、画像に現れる色彩の分布状態は、はんだ付け部位が正常な場合と不良の場合とで異なるものになる。よって、検査では、たとえば画像中のはんだ付け部位の色彩の分布状態を基準の分布状態と比較することによって、はんだ付け部位の良否を判定することができる。
【００２２】
第３の方法では、基板上の少なくとも１つの部品または少なくとも１種類の部品について、はんだ付け部位の画像における色彩の分布状態が異なる複数の見本画像を登録することを前提に、あらかじめ見本画像毎に、その見本画像が表すべき色彩の分布状態を表す情報を指標データとして設定する。そして、指標データの設定された部品について、複数枚の基板の検査において生成された当該部品の画像の中から、指標データ毎に、はんだ付け部位の色彩の分布状態が当該指標データに最も適合する画像を抽出し、抽出された画像中の少なくともはんだ付け部位の画像を見本画像として登録する。
【００２３】
第４の方法では、基板に対する撮像を、所定方向からの光による照明下で実行する。たとえば、基板上の平坦な部位からの正反射光を撮像手段に入射させることが可能な方向から照明を行うことにより、はんだ付け部位について、勾配が急になるほど暗くなる画像を生成することができる。よって、画像における明るさの変化のパターンは、はんだ付け部位が正常なときと異常なときとでは、異なるものになる。よって、検査では、たとえば画像中のはんだ付け部位における明るさの変化のパターンを基準のパターンと比較することにより、はんだ付け部位の良否を判定することができる。
【００２４】
第４の方法では、基板上の少なくとも１つの部品または少なくとも１種類の部品について、はんだ付け部位の画像における明るさの変化のパターンが異なる複数の見本画像を登録することを前提に、あらかじめ見本画像毎に、その見本画像が表すべき明るさの変化のパターンを表す情報を指標データとして設定する。さらに、指標データの設定された部品について、複数枚の基板の検査において生成された当該部品の画像の中から、指標データ毎にはんだ付け部位の明るさの変化のパターンが当該指標データに最も適合する画像を抽出し、抽出された画像中の少なくともはんだ付け部位の画像を見本画像として登録する。
【００２５】
上記第３、第４の方法においては、はんだ付け後の基板に認められる各種の不良毎に見本画像を登録するのが望ましい。また、各見本画像に、その画像が表す不良名などを対応づけて記憶するようにすれば、初心者であっても、見本画像を参照して、容易に不良の内容を認識することができる。
【００２６】
この発明に係る見本画像作成装置は、部品実装基板の製造に係る一工程を経た基板を撮像手段により撮像して得られた画像を用いて当該基板上の被検査部位を検査する基板検査装置から、検査結果の配信を受けて、その検査結果に応じた被検査部位の状態を表す見本画像を作成するもので、基板検査装置から検査結果およびその検査に使用された画像の配信を受け付ける配信受付手段；少なくとも１つの被検査部位について、その被検査部位の見本画像が表すべき内容を示す指標データおよび前記見本画像をそれぞれ複数保存することが可能なメモリ；指標データが保存された被検査部位について、基板検査装置から配信された画像の中から、登録された指標データ毎に当該指標データに対する適合度が最も高い画像を抽出する適合画像抽出手段；および適合画像抽出手段により抽出された画像を見本画像としてメモリに登録する登録手段を具備する。
この装置のメモリに複数の指標データを保存することにより、前記第１の見本画像の登録方法を実行することが可能になる。
【００２７】
なお、上記の見本画像作成装置は、基板検査装置とは別体の装置として構成される場合もあるが、これに限らず、基板検査装置と一体に構成してもよい。
【発明の効果】
【００２８】
この発明によれば、所定数の基板の検査を実行することにより、その検査に使用された画像の中から見本画像に最も適した画像が抽出されて登録される。よって登録したい見本画像が多くなっても、見本画像の登録に労力がかからず、適切な見本画像を登録することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
図１は、この発明が適用された基板検査システムの構成例を示す。
この基板検査システムは、２台の基板検査装置１Ａ，１Ｂと情報処理装置２とを、通信回線３を介して接続した構成のものである。２台の基板検査装置１Ａ，１Ｂのうち検査装置１Ａは、図示しないマウンタによる部品実装工程を経た基板を対象に、部品の位置ずれや部品の実装の有無などを検査する。他方の検査装置１Ｂは、図示しないリフロー炉によるはんだ付け工程を経た基板を対象に、各部品のランド上に形成されたフィレットを検査する。なお、各検査装置１Ａ，１Ｂとも、機体の前面には、液晶パネル１１や設定用のスイッチ１２などが配備される。
【００３０】
前記情報処理装置２は、パーソナルコンピュータ２０を主体とするもので、モニタ２１やキーボード２２などの周辺機器も含まれる。
情報処理装置２では、各検査装置１Ａ，１Ｂから検査結果や検査に使用された画像などの配信を受け、これらを図示しないメモリ内に蓄積する。またユーザーの呼出操作に応じて、検査に使用された画像を呼び出してモニタ２１に表示したり、その画像に対するユーザーの評価などの入力を受け付けることができる。
【００３１】
さらに、この情報処理装置２では、各検査装置１Ａ，１Ｂから配信された画像の中から良品や不良品の見本として適切なものを複数抽出し、これらの画像を見本画像としてメモリに登録する。見本画像が登録されると、以後は、ユーザーの呼出操作に応じて、登録された見本画像を被検査部位の画像の表示画面に表示することが可能になる。
【００３２】
なお、図１の基板検査システムには、部品実装後基板の検査装置１Ａとはんだ付け後基板の検査装置１Ｂとが含まれているが、これに限らず、はんだ印刷工程後の基板を検査するための検査装置も設置して、これをシステムに含めるようにしても良い。反対に、最終のはんだ付け工程の検査装置１Ｂのみをシステムに含めるようにしてもよい。
さらに、各検査装１Ａ，１Ｂ置からの画像の蓄積データが大容量になる場合には、情報処理装置２に加えて、画像保存用のサーバーコンピュータを通信回線３に接続してもよい。
【００３３】
図２は、前記検査装置１Ａ，１Ｂの主要な構成を示す。
この実施例の検査装置１Ａ，１Ｂには、カメラ４、照明部５、基板ステージ６、制御処理部７などが組み込まれる。なお、図１に示した液晶パネル１１およびスイッチ１２は、制御処理部７内の制御部１０に接続される。
【００３４】
基板ステージ６には、基板８を支持するためのテーブル部６１や、Ｘ軸ステージおよびＹ軸ステージ（いずれも図示せず。）を含む移動機構６２などが含まれる。
カメラ４は、カラー静止画像を生成するもので、基板ステージ６１の上方に撮像面を下方に向け、かつ光軸を鉛直方向に合わせた状態で配備される。
【００３５】
照明部５は、基板ステージ６とカメラ４との間に設けられる。この実施例の照明部５は、それぞれ赤色、緑色、青色の色彩光を発する３個の円環状光源５Ｒ，５Ｇ，５Ｂが各中心部をカメラ４の光軸に位置合わせされた状態で配備されている。各光源５Ｒ，５Ｇ，５Ｂは、基板に対しそれぞれ異なる方向から光を照射できるように、互いに異なる大きさの径を有するように設定される
【００３６】
前記制御処理部７には、コンピュータによる制御部１０のほか、画像入力部１３、撮像制御部１４、照明制御部１５、ＸＹステージ制御部１６、メモリ１７、検査結果出力部１８などが設けられる。
画像入力部１３には、カメラ４に対するインターフェース回路などが含まれる。撮像制御部１４は、カメラ４に対し、撮像を指示するタイミング信号を出力するためのものである。
【００３７】
照明制御部１５は、前記照明部５の各光源５Ｒ，５Ｇ，５Ｂの点灯・消灯動作の制御や光量の調整などを行う。ＸＹステージ制御部１６は、基板ステージ６の移動タイミングや移動量を制御する。
【００３８】
メモリ１７には、検査にかかる一連の処理手順が記述されたプログラムや検査データファイルなどが格納される。検査データファイルには、被検査部位毎に、検査領域の設定データ、その検査領域内で被検査部位を検出するための２値化しきい値、検出された被検査部位に対する計測値の適否を判定するための判定基準値などが格納される。
【００３９】
制御部１０は、ＸＹステージ制御部１６を介して基板ステージ６２の移動を制御することにより、カメラ４を基板８の各箇所に順に位置合わせし、撮像する。この撮像により生成されたカラー画像は画像入力部１３を介して制御部１０に入力され、その内部のメモリ（ＲＡＭなど）に格納される。制御部１０は、このＲＡＭに格納されたカラー画像の各被検査部位に対し、それぞれ前記検査データファイルを用いて検査領域を設定した後、その領域において、被検査部位の検出、計測、判定の各処理を順に実行する。
【００４０】
さらに、制御部１０は、各被検査部位に対する計測結果や判定結果、ならびに検査に使用された画像を、検査結果出力部１８を介して前記情報処理装置２に送信する。
情報処理装置２は、図示しない大容量のメモリ（ハードディスクなど）を具備している。このメモリには、各検査装置１Ａ，１Ｂに対応する領域が設けられており、これらの領域にそれぞれ対応する検査装置から送信された情報が基板毎にまとめて保存される。なお、この実施例の検査装置１Ａ，１Ｂでは、１つの部品に対する検査が終了する都度、その部品の画像を全体画像から切り出して、これを計測結果や判定結果とともに情報処理装置２に送信する。情報処理装置２では、検査装置１Ａ，１Ｂから情報の送信を受ける都度、見本画像の登録に係る処理を実行する。
【００４１】
図３は、部品実装後の検査を行う検査装置１Ａにおいて生成された画像の例を示す。この例の画像に含まれる５つの部品には、それぞれ１〜５の識別番号（以下、「部品番号」という。）が付与されている。この例では、部品１，４，５は同じ品番Ａに属するが、部品２，３は、それぞれ他の部品とは異なる品番Ｂ，Ｃに属する。
【００４２】
情報処理装置２では、これらの部品について、それぞれ複数の見本画像を抽出し、メモリ内に登録する。なお、メモリには、個々の部品毎に個別のフォルダが設定され、そのフォルダ内にその部品について抽出された各種見本画像が保存される。
【００４３】
また情報処理装置２のメモリには、基板上の各部品について、図４（１）に示すような部品情報テーブルＴＢ１が登録される。
この例の部品情報テーブルＴＢ１は、前記図３に示した５つの部品の情報を格納したもので、各部品の部品番号に、実装位置、回転角度、品番、および見本画像が格納されているフォルダ（以下「画像フォルダ」という。）の番号が対応づけられている。なお、ここには図示していないが、複数の検査について見本画像を登録する場合には、検査毎に個別に画像フォルダが設定されるので、部品情報テーブルＴＢ１でも、各部品につきそれぞれ複数の画像フォルダ番号が格納されることになる。
【００４４】
上記の例のように個々の部品毎に見本画像を登録するのは、同じ品番の部品でも、その実装位置や他の部品との関係によって、ランドの大きさや部品の周囲の状態が異なる場合があるからである。
ただし、この実施例では、実際の検査に使用した画像から見本画像を抽出するので、部品毎に登録を行うと、特に不良の見本画像を集めるのが困難になることがある。このような場合には、品番毎に、その品番に属する全ての部品の画像を用いて見本画像を抽出するようにしてもよい。
【００４５】
品番毎に見本画像を作成する場合には、情報処理装置２には、図４（２）に示すように、各部品の実装位置、回転角度、品番のみを個別に格納した部品情報テーブルＴＢ１と、各品番と見本画像が格納された画像フォルダのフォルダ番号とを対応づけた品番情報テーブルＴＢ２とが登録される。
【００４６】
以下、（１）検査装置１Ａにおいて実施される部品の位置ずれ検査、（２）検査装置１Ｂにおいて実施されるフィレットの検査、（３）検査装置１Ａにおいて実施される部品の有無検査について、それぞれ見本画像の登録に係る詳細な処理を説明する。
【００４７】
（１）部品の位置ずれ用の見本画像の登録処理
部品の位置ずれ検査では部品実装後基板の画像を２値化して部品を検出した後、さらにその部品の所定位置の座標を抽出し、ｘ，ｙの各軸毎に、抽出した座標とあらかじめ登録された基準の位置とのずれ量を求める。さらにこのずれ量が所定の基準値と照合することにより、部品の良否を判定する。
【００４８】
上記の検査では、部品の位置ずれ量がかなり大きくなっても、良判定が行われることがあるが、これは、はんだ付け工程ではんだが溶融したときにその表面張力によって部品が正しい位置に引き戻される現象（いわゆる「セルフアライメント」）があるためである。しかし、このセルフアライメントの効果は位置ずれの方向などによって異なるので、熟練者でない者が、良判定がなされる状態と不良判定がなされる状態との差違を確認するのは困難である。
そこで、この実施例では、位置ずれの程度と良否判定との関係とを確認できるような見本画像を複数登録するようにしている。
【００４９】
図５は、位置ずれ用の見本画像の登録例を示す。なお、ここでは、チップ部品を対象として、便宜上、一対のランドの並び方向に沿う方向をｘ方向、ｘ方向に直交する方向をｙ方向とする。この部品とｘ，ｙ方向との関係は、部品が回転しても維持される。
【００５０】
この実施例では、ｘ軸方向における位置ずれ量についてはΔｘを上限値とし、ｙ軸方向における位置ずれ量についてはΔｙを上限値とすることを前提に、２０個の見本画像により各方向における位置ずれを一定のピッチで大きくしながら表している。具体的には、２０個の見本画像を、位置ずれ量の小さなものから順に、ｘ軸方向に４個、ｙ軸方向に５個、マトリクス状に並べたとき、ｘ軸方向における位置ずれがΔｘ／３ずつ大きくなり、ｙ軸方向における位置ずれがΔｙ／４ずつ大きくなるようにする。
【００５１】
図中、ｘ，ｙの各方向に沿って並べた０、１，２，３，４の各数値は、それぞれの方向における位置ずれ量のレベル（以下、「位置ずれレベル」という。）を表すものである。これらのうち、ｘ，ｙ方向の位置ずれレベルがともに０の画像Ｍ００は、全く位置ずれのない理想的な実装状態を表している。その他の見本画像についても、ｘ軸方向の位置ずれレベルをｉ、ｙ軸方向の位置ずれレベルをｊとすると、Ｍｉｊのように表すことができる。
【００５２】
なお、図中の破線枠１００内に含まれる見本画像は、良判定がなされた画像から抽出されたもので、枠１００より外の見本画像は不良判定がなされた画像から抽出されたものである。
各見本画像を図５に示した形で表示すれば、熟練者でなくとも、良判定がなされる位置ずれ状態と不良判定がなされる位置ずれ状態とを容易に判別することが可能になる。なお、図５の見本画像は、右および下に向かって位置ずれが大きくなる状態を示しているが、各見本画像を回転または反転させることにより、左や上に向かって位置ずれが大きくなる状態を表すこともできる。
【００５３】
図６（１）（２）は、見本画像が表す最大の位置ずれ量Δｘ，Δｙの求め方を示す。
図中、３１はチップ部品の本体を、３２ａ，３２ｂは部品側の電極を、３３ａ，３３ｂはランドを、３４ａ，３４ｂはクリームはんだを、それぞれ示す。また、図６（１）（２）のチップ部品は、図５の見本画像Ｍ００と同様に、理想的な位置に実装されているものとする。
【００５４】
一方、図６（１）（２）の破線の枠Ａ１〜Ａ３は、それぞれ左方向、右方向、および下方向に位置ずれしたチップ部品の輪郭線を示す。
これらのうち、Ａ１は、左方向への位置ずれによって右側電極３２ａの端縁がランド３３ａの外に出た時点のチップ部品を示し、Ａ２は、右方向への位置ずれによって左側電極３２ｂの端縁がランド３３ａの外に出た時点のチップ部品を示す。またＡ３は、下方向への位置ずれによって部品の上端縁がランド３３ａ，３３ｂの外に出た時点のチップ部品を示す。
【００５５】
この実施例では、枠Ａ１，Ａ２の位置にある部品について、それぞれ理想の位置にあるチップ部品に対する位置ずれ量Δｘ１，Δｘ２を求め、これらのうちの小さい方を、見本画像の表す位置ずれ量の最大値Δｘとする。一方、ｙ軸方向については、理想の位置にある部品に対する枠Ａ３の位置にある部品の位置ずれ量を、見本画像の表す位置ずれ量の最大値Δｙとしている。なお、この実施例では、ｙ方向については、部品が上下いずれの方向に位置ずれしても、その位置ずれ量はほぼ同じになると考えて、下方向の位置ずれ量のみを求めているが、これに限らず、ｘ方向と同様に、上下の各方向における位置ずれ量を求めてもよい。
【００５６】
この実施例では、図５に示した２０個の見本画像を登録するために、あらかじめ上記Δｘ，Δｙに基づき、ｘ，ｙ方向における見本画像間のピッチｘｐ，ｙｐ（ｘｐ＝Δｘ／３、ｙｐ＝Δｙ／４）を求め、これらのピッチｘｐ，ｙｐを情報処理装置に登録する。そして、検査装置１Ａから、検査対象の部品の画像や位置ずれ量の計測値の送信を受ける都度、つぎの図７に示す処理を実行する。
【００５７】
図７において、最初のステップであるＳＴ１０１では、検査装置１Ａから所定の部品の画像Ｉおよびずれ量の計測値ｚｘ，ｚｙを取得する。つぎのＳＴ１０２では、ずれ量ｚｘ，ｚｙをそれぞれ見本画像間のピッチｘｐ，ｙｐにより除算した値（ｚｘ／ｘｐ），（ｚｙ／ｙｐ）を関数ｆにあてはめることにより、ずれ量ｚｘ，ｚｙに最も近い位置ずれレベルｉ，ｊを求める。なお、関数ｆは、引数の小数点以下を四捨五入する関数である。
たとえばｘｐ＝０．３の場合にｚｘ＝０．６５であれば、ｉ＝ｆ（０．６５／０．３）＝２となり、ｚｘ＝０．７５であれば、ｉ＝ｆ（０．７５／０．３）＝３となる。
【００５８】
ＳＴ１０３では、ＳＴ１０２で求めたｉ，ｊに基づき、見本画像Ｍｉｊが登録済みであるかどうかをチェックする。見本画像Ｍｉｊが登録されていない場合には、ＳＴ１０３が
「ＮＯ」となってＳＴ１０８に進み、ＳＴ１０１で取得した画像Ｉを見本画像Ｍｉｊとして登録する。さらにつぎのＳＴ１０９では、ずれ量ｚｘ，ｚｙを、見本画像Ｍｉｊに対応するずれ量ｍｘｉ，ｍｙｊとして登録する。
【００５９】
一方、見本画像Ｍｉｊが既に登録されている場合には、ＳＴ１０３からＳＴ１０４に進み、その登録されている画像のずれ量ｍｘｉ，ｍｙｊを読み出す。またつぎのＳＴ１０５では、ＳＴ１０２で求めた位置ずれレベルｉ，ｊをそれぞれピッチｘｐ，ｙｐと掛け合わせることにより、見本画像Ｍｉｊにおけるずれ量の理想値Ｏｘ，Ｏｙを求める。
【００６０】
ＳＴ１０６では、ＳＴ１０１で取得したずれ量ｚｘ，ｚｙおよび登録されていたずれ量ｍｘｉ，ｍｙｊについて、ユークリッド距離に基づき理想値Ｏｘ，Ｏｙに対する類似度ｚｄ，Ｍｄを求める。ここで類似度ｚｄが類似度Ｍｄより大きい場合には、ＳＴ１０７が「ＹＥＳ」となり、ＳＴ１０８，１０９を実行する。これにより、見本画像Ｍｉｊは、登録されていた画像から新たに取得した画像Ｉに置き換えられる。
類似度ｚｄが類似度Ｍｄより大きくならない場合には、ＳＴ１０７は「ＮＯ」となり、ＳＴ１０８，１０９の処理はスキップされる。
【００６１】
上記の処理によれば、検査装置１Ａで検査が進められている間に、毎時の検査で得られた位置ずれ量の計測値に基づき、図５に示した２０組の位置ずれレベルの組み合わせについて、それぞれ最も適合する画像が抽出され、見本画像Ｍｉｊとして登録されることになる。
この種の見本画像は、位置ずれレベルの各組み合わせに対応する複数のモデルを収集または人為的に作成し、各モデルを撮像することにより登録することもできる。しかし、見本画像の作成に適したモデルを収集または作成する作業はユーザーにとって容易なものではない。これに対し、上記の方法によれば、ある期間検査を実行することにより、見本画像として適切な画像が自動的に抽出され、登録されるので、ユーザーに負担をかけることなく、見本画像を登録することが可能になる。また、見本画像が登録された後も、理想値Ｏｘ，Ｏｙが示す位置ずれ状態により適合する画像が得られた場合には、その画像を見本画像として置き換えるので、相当数の基板を検査することにより、見本画像の確度を高めることが可能になる。
【００６２】
（２）フィレット用の見本画像の登録処理
はんだ付け後の基板のフィレットは、鏡面反射性の高い部位となるので、前記図２に示した構成の照明部５による照明下で撮像を行うと、赤、緑、青の各色彩領域がフィレットの傾斜状態を反映して分布した画像を生成することができる。
はんだ付け後基板の検査装置１Ｂでは、この現象を利用して、画像中のランドの領域から赤、緑、青の各色彩領域を抽出し、これらの領域の位置や大きさを所定の判定基準値と比較することにより、フィレットの適否を判別するようにしている。
【００６３】
図８は、チップ部品の片側のランド上のフィレットについて、正常な色彩分布および各種不良に対応する色彩分布を模式図として表したものである。
なお、各種不良のうち、「欠落」は部品の欠落によりフィレットが形成されなかった状態をいい、「浮き」は部品の浮き上がりによってフィレットが形成されなかった状態をいう。「不ぬれ」は、はんだの部品への接合が不十分なために、フィレットが正しく形成されなかった状態をいう。「はんだ少」は、はんだが少なかったために、フィレットの大きさが不十分になった状態をいう。「フィレット異常」はフィレットが正常時とは逆方向に傾斜している状態をいう。
【００６４】
正常時の画像では、部品に近い方から遠ざかる方に向かって、青、緑、赤の色彩が並ぶのに対し、不良状態を表す各画像は、「はんだ少」の画像を除き、いずれも正常時とは異なる分布状態を示している。しかし、熟練者でなければ、これらの画像の色彩分布から不良であることを認識できるだけで、不良の種類まで特定するのは困難である。
【００６５】
そこでこの実施例の情報処理装置２では、不良の種類毎に見本画像を登録するようにしている。この登録処理のために、この実施例では、あらかじめ各種不良毎に、図８に示した色彩分布の模式図を作成した後、さらにこの模式図から後記するパターンＰＴと照合するためのモデルパターンを作成し、これを情報処理装置２のメモリに登録する。
情報処理装置２では、検査装置１Ｂから所定のフィレットに対する画像や検査結果を受け取る都度、図９の処理を実行する。この処理を繰り返すことにより、不良の種類毎に１つずつ見本画像が登録される。
【００６６】
図９の最初のＳＴ２０１では、検査装置１Ｂから取得した判定結果が不良判定か否かをチェックする。もし判定結果が「良判定」であれば、ＳＴ２０１が「ＮＯ」となり、そのまま処理を終了する。
一方、判定結果が「不良判定」であれば、ＳＴ２０１が「ＹＥＳ」となり、以下の処理に進む。
【００６７】
ＳＴ２０２では、不良判定とともに検査装置１Ｂから送信された画像Ｆを取得する。さらに、ＳＴ２０３では、検査装置１Ａ，１Ｂに送信要求を出して、検査時に実施されたランドや部品の抽出処理の結果を取得する。
【００６８】
ＳＴ２０４では、画像Ｆ中のランドの画像を縦、横とも８個、計６４個の領域に分割する。ＳＴ２０５では、分割された領域毎にその領域で最も優勢な色彩を表すテキストデータ（Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれか）を求め、各領域のテキストの組み合わせをランド上の色彩の分布パターンを示すデータとして設定する（以下、この色彩の分布パターンを「色彩パターンＰＴ」という。）。さらに、ＳＴ２０６では、ＳＴ２０３で取得した情報に基づき、パターンＰＴ中のランドおよび部品に対応するデータをそれぞれテキストＬ，Ｐに置き換える。
【００６９】
図１０は、上記ＳＴ２０５，２０６の処理を具体的に示す。
図１０（１）は、ＳＴ２０２で取得した画像Ｆ（この例は「不ぬれ」の画像である。）である。ＳＴ２０５では、この画像を８×８の領域に分割し、各領域につき、ｒ，ｇ，ｂ値の平均値ｒＡＶ，ｇＡＶ，ｂＡＶを求める。さらに、各平均値を用いて以下の演算式（ａ）（ｂ）（ｃ）を実行することによりｒ，ｇ，ｂ毎の色相値ＲＯＰ，ＧＯＰ，ＢＯＰを求め、そのうちの最も値の高いものを代表色相値とする。
ＲＯＰ＝（ｒＡＶ／（ｒＡＶ＋ｇＡＶ＋ｂＡＶ））×１００  ・・・（ａ）
ＧＯＰ＝（ｇＡＶ／（ｒＡＶ＋ｇＡＶ＋ｂＡＶ））×１００  ・・・（ｂ）
ＢＯＰ＝（ｂＡＶ／（ｒＡＶ＋ｇＡＶ＋ｂＡＶ））×１００  ・・・（ｃ）
【００７０】
さらに、代表色相値がＲＯＰとなった領域にはテキスト「Ｒ」を、代表色相値がＧＯＰとなった領域にはテキスト「Ｇ」を、代表色相値がＢＯＰとなった領域にはテキスト「Ｂ」を、それぞれ設定する。
【００７１】
図１０（２）は、前記画像Ｆに対し、上記の処理を実することにより作成された色彩パターンＰＴである。この段階の色彩パターンＰＴでは、各領域とも、「Ｒ」，「Ｇ」，「Ｂ」のいずれかのテキストが対応づけられている。
図１０（３）は、ＳＴ２０６の置き換え処理が行われた後の色彩パターンＰＴである。この段階の色彩パターンＰＴでは、画像Ｆ中のランドや部品に対応する領域のテキストがそれぞれ「Ｌ」「Ｐ」に置き換えられている。
【００７２】
図９に戻って、上記のようにして色彩パターンＰＴが作成されると、ＳＴ２０７では、変数ｋおよび最大値Ｒｍａｘをそれぞれゼロリセットする。なお、ｋは、前記模式図から作成された色彩パターンを特定するためのカウンタである。以下、ｋ番目の登録パターンを「モデルパターンＭＰＴ（ｋ）」という。
またＲｍａｘは、つぎに述べる類似度Ｒ（ｋ）のうちの最大値を記憶するためのものである。
【００７３】
ＳＴ２０８では、モデルパターンＭＰＴ（ｋ）とＳＴ２０４〜２０６の処理により作成された色彩パターンＰＴとの類似度Ｒ（ｋ）を算出する。具体的には、前記した６４個の領域を順に照合し、両パターン間でテキストが一致した領域の数を計数し、その計数値ＣＴが領域の全体数に対して占める割合（ＣＴ／６４）を類似度Ｒ（ｋ）とする。
つぎのＳＴ２０９では、類似度Ｒ（ｋ）を最大値Ｒｍａｘと比較する。ここでＲ（ｋ）がＲｍａｘよりも大きい場合のみＳＴ２１０を実行する。
【００７４】
ＳＴ２１０では、類似度Ｒ（ｋ）がＲｍａｘより大きくなったときのｋの値を変数ｋｔに格納するとともに、類似度Ｒ（ｋ）をＲ（ｋｔ）とする。
またＳＴ２１１では、ｋの値を更新する。
【００７５】
以下、ｋの値がモデルパターンの登録数Ｋｍａｘに達するまで、ＳＴ２０８〜２１２を繰り返す。これにより、最終的に、パターンＰＴとの類似度が最も高いモデルパターンを表す数値がｋｔに格納される。また、そのモデルパターンＭＰＴ（ｋｔ）と色彩パターンＰＴとの類似度がＲ（ｋｔ）に格納される。
【００７６】
つぎに、ＳＴ２１３では、ｋｔ番目の見本画像Ｍ（ｋｔ）が登録済みであるかどうかをチェックする。ここで見本画像Ｍ（ｋｔ）が未登録であれば、ＳＴ２１３が「ＮＯ」となってＳＴ２１５に進む。
ＳＴ２１５では、ＳＴ２０２で取得した画像Ｆをｋｔ番目の見本画像Ｍ（ｋｔ）として登録する。また先のＳＴ２０８〜２１２のループで得た類似度Ｒ（ｋｔ）を、見本画像Ｍ１のモデルパターンＭＰＴ（ｋｔ）に対する類似度ＭＲ（ｋｔ）として登録する。
【００７７】
見本画像Ｍ（ｋｔ）が登録されている場合でも、その見本画像Ｍ（ｋｔ）の類似度ＭＲ（ｋｔ）が類似度Ｒ（ｋｔ）より低い場合には、ＳＴ２１３，２１４が「ＹＥＳ」となってＳＴ２１５に進む。これにより、前に登録された見本画像Ｍ（ｋｔ）が画像Ｆにより置き換えられるとともに、類似度ＭＲ（ｋｔ）もＲ（ｋｔ）により書き換えられる。
一方、類似度Ｒ（ｋｔ）がＭＲ（ｋｔ）よりも低い場合には、ＳＴ２１５はスキップされる。
【００７８】
上記図９に示した登録処理でも、先の位置ずれ用の見本画像の登録処理と同様に、所定数の基板の検査を実行することにより、各見本画像として適切な画像を登録することが可能になる。さらに、見本画像が登録された後も、その見本画像に対応するモデルパターンへの適合度がより高い画像を取得した場合には、その画像を登録済みの見本画像と置き換えることができる。よって検査が進むにつれて、見本画像の示す確度を高めることができる。
【００７９】
なお、この実施例のフィレット検査は、基板に対して３種類の色彩光をそれぞれ異なる方向から照射する方法による照明（いわゆるカラーハイライト方式の照明）を行い、画像に現れた赤、緑、青の各色彩領域を抽出してフィレットの良否を判定するものであるが、これに代えて、単色の光源による照明下で撮像を行って、画像の明るさの変化のパターンに基づく検査を行ってもよい。たとえば、カメラ４を図２と同様の配置状態にして、基板に対し、単色の光による同軸落射照明を行うと、平坦面に近い部位からの正反射光はカメラ４に入射しやすいが、傾斜が急になると、カメラ４に入射する正反射光量は少なくなる。よって、フィレットについて、その傾斜状態を明るさの変化のパターンとして表した画像を生成することが可能になるから、そのパターンをあらかじめ登録された基準のパターンと照合することにより、フィレットの良否を判定することができる。
このように単色の照明光により検査を行う場合にも、図９に示した登録のアルゴリズムを適用して、不良の種類毎に、その不良内容を表す明るさの変化のパターンが現れた画像を、見本画像として登録することができる。
【００８０】
（３）部品用見本画像の登録
図１１は、検査装置１Ａが実施する部品の有無検査において作成された画像を、検査結果に対応づけて示す。
部品の有無検査では、画像中の部品に対応する位置に検査用ウィンドウｗを設定し、このウィンドウｗ内の色彩を抽出する。そして抽出された色彩をメモリに登録された色彩と比較することにより、部品の欠落や部品違いなどがないかどうかを判別する。
【００８１】
上記の検査では、正しい部品の色彩とは異なる色彩が抽出されたときに不良判定がなされるものであるので、各検査結果を事後に確認する作業自体は、さほど困難ではない。しかし、多数枚の基板の検査を実施した後に、どのような不良が生じたかを分析するような場合には、不良と判定されたときの画像を１つずつ呼び出して確認する必要があるため、多大な手間がかかる。
【００８２】
そこでこの実施例では、部品の有無検査で不良判定がなされた画像を情報処理装置２に取り込んで、部品に対応する領域内の代表色を抽出するとともに、抽出された代表色に対応する画像を１つずつ見本画像として登録するようにしている。
【００８３】
図１２は、代表色の抽出処理についての一連の処理の流れを示す。なお、冒頭のＳＴ４０１〜４０８のループは、前記図１１に示したウィンドウｗ内の画像を処理対象とするもので、ウィンドウｗ内の１画素を特定するための変数として、ｘ，ｙを使用している。ＳＴ４０６，４０８のｘｍａｘ，ｙｍａｘは、ウィンドウｗ内の右下頂点の画素の位置データに相当する。また、Ｔ，ＴＳは、それぞれウィンドウｗ内に含まれる色相データの頻度を求めるための２次元配列である。
【００８４】
ＳＴ４０１〜４０８では、着目画素を１つずつ動かしながら、各画素（ｘ，ｙ）につき、前出の（ａ）（ｂ）式を用いて赤および緑の色相値ＲＯＰ，ＧＯＰを求める処理（ＳＴ４０３）と、その（ＲＯＰ，ＧＯＰ）の組み合わせをＴ（ＲＯＰ，Ｇｏｐ）に投票する処理（ＳＴ４０４）とを実行する。ただし、この実施例では、１画素の画像データしか使用しないので、平均値ｒＡＶ，ｇＡＶ，ｂＡＶに代えて、ｒ，ｇ，ｂ値そのものを（ａ）（ｂ）式に代入する。
【００８５】
ウィンドウｗ内の画像に対する処理が終了すると、ＳＴ４０９，４１０では、２次元配列Ｔの引数ｒｏｐ，ｇｏｐに初期値「１」をセットする。そして以下、ｒｏｐ，ｇｏｐを、ＳＴ４０１〜４０８のループで算出された最大値ｒｍａｘ，ｇｍａｘになるまで、順に変更しながら、ＳＴ４０９〜４１５を繰り返す。
【００８６】
上記のループ中での実質的な処理はＳＴ４１１で行われる。このＳＴ４１１では、前記Ｒｏｐ，Ｇｏｐを軸とする２次元座標系を仮定し、この座標系において、図１３に示すように、着目中のｒｏｐ，ｇｏｐにより特定される１点を中心とする半径ｍの円を設定する。そして、この円内に含まれる各点の投票値の総和を求め、これを２次元配列ＴＳ中の一要素ＴＳ（ｒｏｐ，ｇｏｐ）に投票する。
【００８７】
ＳＴ４０９〜４１５の処理が終了すると、つぎのＳＴ４１６では、代表色の数Ｎおよび変数Ｓにそれぞれ初期値「１」「０」をセットする。
ＳＴ４１７では、前記２次元配列ＴＳについて、配列Ｔと同様に、ＲＯＰ，Ｇｏｐによる２次元座標系を仮定し、その座標系において値が最も大きい点の座標（ｒｃ，ｇｃ）を抽出する。ＳＴ４１８では、この（ｒｃ，ｇｃ）の組み合わせを、代表色を表すデータＣＮ（以下、「代表色データＣＮ」という。）とする。
【００８８】
ＳＴ４１９では、変数Ｓを、その現在値にＴＳ（ｒｃ，ｇｃ）を加えた値に更新する。ここでこの更新後のＳが所定のしきい値Ｓｔｈ以下であれば、ＳＴ４２１に進み、配列ＴＳが表す２次元座標系において、前記点（ｒｃ，ｇｃ）を中心とする半径ｍ内の投票値をゼロリセットする。この後、ＳＴ４２２において、Ｎの値を１つ増やした後、ＳＴ４１７に戻り、再び配列ＴＳが表す２次元座標系において、値が最大となる点を抽出する。このとき先にＳＴ４２１で、前回抽出した代表色およびその周囲の投票値をクリアしているので、前回の代表色に近い点が抽出されることはない。
【００８９】
ＳＴ４１７〜４２２のループが所定回数実行された後に、Ｓがしきい値Ｓｔｈを超えたとき、ＳＴ４２０が「ＹＥＳ」となってＳＴ４２３に進む。ＳＴ４２３では、これまでに設定した代表色データＣＮの組み合わせをＣとして保存して、処理を終了する。なお、しきい値Ｓｔｈは、たとえばウィンドウｗ内の全画素数の７５％程度の値に設定される。よって、大半の画素に対応する色相データが処理されるまでＳＴ４１７〜４２２のループが実行されることになるが、多くの場合、部品の色彩は１色であるから、ＳＴ４１７〜４２２のループが実行されるのは実質的には１回となる。ただし、図１１の右端の画像のようにウィンドウｗ内に複数の色彩が現れている場合には、その色彩の数に対応する回数分だけ前記ループが実行される場合がある。
【００９０】
図１４は、図１１に示した各画像について、それぞれ上記の代表色の抽出処理を実行した結果を示す。この図では、ｒｏｐ，ｇｏｐによる２次元座標系において、各画像毎に求めた代表色に対応する点を●で示している。
このように、各画像における代表色が色相データｒｏｐ，ｇｏｐによる２次元配列として表されるので、見本画像の登録処理のアルゴリズムを簡単にすることができる。
【００９１】
図１５は、部品用の見本画像の登録処理の流れを示す。
この処理も、部品実装後基板用の検査装置１Ａが１つの部品に対する検査を行う都度、実行されるものであるが、先の２つの見本画像の登録処理とは異なり、不良判定がなされた画像にそれまでに抽出されていない色彩が現れていたときに、その画像を見本画像として登録するようにしている。なお、図中のＵＮは、見本画像の登録数であり、ｕはその登録された見本画像のうちの１つを特定するための変数である。
【００９２】
まず最初のＳＴ３０１では、検査装置１Ａで不良判定がなされたかどうかをチェックする。このＳＴ３０１が「ＹＥＳ」であれば、ＳＴ３０２に進み、その判定対象の画像Ｇを取得する。さらにＳＴ３０３では、取得した画像Ｇにウィンドウｗを設定し、このウィンドウｗ内の画像について、前記した代表点の抽出処理を実行する。
【００９３】
つぎに、ＳＴ３０４では、見本画像の登録数ＵＮの値をチェックする。ここでＵＮ＝０すなわち見本画像が全く登録されていない場合には、ＳＴ３０４からＳＴ３１０に進み、登録数ＵＮを１に更新する。さらに、ＳＴ３１１では、ＳＴ３０２で取得した画像ＧをＵＮ番目の見本画像として登録する。またＳＴ３１２において、ＳＴ３０３の処理で抽出した代表色の数Ｎおよび組み合わせＣを、それぞれＮＵＮ，ＣＵＮとして登録する。
【００９４】
一方、１つ以上の見本画像が登録されている場合には、ＳＴ３０５〜３０９において、変数ｕを初期値「１」から見本画像の登録数ＵＮまで動かしながら、代表色の数Ｎおよび代表色の組み合わせＣを、それぞれｕ番目の見本画像の代表色の数Ｎｕおよび代表色の組み合わせＣｕと比較する。なお、いずれかの見本画像について、代表色の数および組み合わせの双方が合致した場合には、ＳＴ３０６，３０７が「ＹＥＳ」となり、以下の照合処理を打ち切って処理を終了する。
【００９５】
いずれの見本画像とも、代表色の数および組み合わせの双方の一致が得られなかった場合には、ＳＴ３０９が「ＹＥＳ」となり、ＳＴ３１０〜３１２を実行する。これにより、ＳＴ３０２で取得した画像Ｇが新たな見本画像として追加登録される。
【００９６】
上記の処理によれば、所定数の基板の検査が終了した時点で登録された見本画像を呼び出して表示することによって、これまでに発生した不良を簡単に確認することができる。よって不良の原因の分析等を速やかにすすめることが可能になる。
【００９７】
なお、上記した見本画像の登録処理の３例は、いずれも情報処理装置２で実施されるものであるが、これに限らず、各検査装置１Ａ，１Ｂがそれぞれ検査に並行して行うこともできる。
また情報処理装置２で登録した見本画像を検査装置１Ａ，１Ｂやその他のコンピュータに転送して使用することも可能である。
【００９８】
また上記の見本画像の登録処理の３例のいずれにおいても、登録された見本画像について、ユーザーが確認できるようにしてもよい。この場合、すべての見本画像が登録されなければ確認作業を行うことが出来ないのではなく、見本画像の登録過程で適宜確認できるようにすれば、見本画像の登録がなかなか完了しないような場合に、どのような処理状態にあるかを、ユーザーが確認することができる。
【００９９】
またユーザーの確認作業を可能とする場合には、ユーザーが見本画像として不適当であると判断した画像を削除できるようにしてもよい。または、画像用サーバーなどを用いて見本画像として登録されなかった画像を保存しておき、不適当な見本画像が登録されている場合には、保存されている画像の中から見本画像として適切なものを抽出し、その画像を見本画像と差し替えるようにしてもよい。このようにすれば、照明状態の不具合などによって誤った画像が見本画像として登録された場合に対応することができる。
【０１００】
なお、画像を保存する場合には、各画像を見本画像に対する適合度に基づいて分類しながら蓄積するとよい。たとえば、１番目の部品の位置ずれ用の見本画像の登録処理について言えば、図７の処理対象となった画像を、ＳＴ１０２で求めた（ｉ，ｊ）に対応づけて保存してゆく。そして、見本画像の登録処理が完了した時点で所定の見本画像Ｍｉ１，ｊ１が不適当と判断された場合には、（ｉ１，ｊ１）に対応づけられた画像をモニタに表示し、その中から最も適当なものをユーザーに選択させる。または、（ｉ１，ｊ１）に対応づけられた画像について、それぞれ前出の理想値Ｏｘ，Ｏｙに対する類似度Ｍｄを求め、その類似度Ｍｄが最も高い画像を見本画像としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】この発明が適用された基板システムの構成を示す説明図である。
【図２】基板検査装置の構成を示すブロック図である。
【図３】部品実装後基板の検査装置で生成された画像を示す説明図である。
【図４】部品に関する情報の登録例を示す説明図である。
【図５】位置ずれ用の見本画像の登録例を示す説明図である。
【図６】見本画像が示す最大の位置ずれ量の求め方を示す説明図である。
【図７】位置ずれ用の見本画像の登録処理の流れを示すフローチャートである。
【図８】フィレットの検査で認められる良品および不良品の画像の模式図である。
【図９】フィレット用の見本画像の登録処理の流れを示すフローチャートである。
【図１０】色彩パターンの作成方法の具体例を示す説明図である。
【図１１】部品の有無検査で認められる良品および不良品の画像の例を示す説明図である。
【図１２】代表色の抽出処理の流れを示すフローチャートである。
【図１３】図１２のＳＴ４１１の処理内容を示す説明図である。
【図１４】図１０の画像に対して代表色の抽出処理を実行した結果を示す説明図である。
【図１５】部品用の見本画像の登録処理の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１０２】
１Ａ，１Ｂ  検査装置
２  情報処理装置
Ｍｉｊ，Ｍ（ｋｔ）  見本画像
【図１】
2007285880.tif 000003
【図２】
2007285880.tif 000004
【図３】
2007285880.tif 000005
【図４】
2007285880.tif 000006
【図５】
2007285880.tif 000007
【図６】
2007285880.tif 000008
【図７】
2007285880.tif 000009
【図８】
2007285880.tif 000010
【図９】
2007285880.tif 000011
【図１０】
2007285880.tif 000012
【図１１】
2007285880.tif 000013
【図１２】
2007285880.tif 000014
【図１３】
2007285880.tif 000015
【図１４】
2007285880.tif 000016
【図１５】
2007285880.tif 000017