【事件の表示】
　平成　５年特許願第３１１３５１号「ウェーハ面取り機」拒絶査定に対する審判事件［平成　７年　８月　８日出願公開、特開平　７−２０５００１］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成５年１１月１６日の出願であって、請求項１ないし６に係る発明は、平成１３年４月１９日付けの手続補正書で補正がされた明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲第１ないし６項に記載されたとおりのウェーハ面取り機にあるものと認められるところ、その請求項３に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
　「テーブル軸受け台と、
　前記テーブル軸受け台に垂直に設けられたテーブル軸と、
　前記テーブル軸受け台に設けられ、前記テーブル軸を回転させるモータと、
　前記テーブル軸に取り付けられたウェーハテーブルと、
　外周加工砥石軸受け台と、
　前記外周加工砥石軸受け台に垂直に設けられた外周加工砥石軸と、
　前記外周加工砥石軸受け台に設けられ、前記外周加工砥石軸を回転させるモータと、
　前記外周加工砥石軸に取り付けられた外周加工砥石と、
　前記外周加工砥石軸受け台の前記ウェーハテーブル側に設けたノッチ加工砥石軸受け台と、
　前記ノッチ加工砥石軸受け台に垂直に設けられたノッチ加工砥石軸と、
　前記ノッチ加工砥石軸受け台に設けられ、前記ノッチ加工砥石軸を回転させる
モータと、
　前記外周加工砥石の両端面の延長面で挟まれる空間に干渉しない位置に配設され、前記ノッチ加工砥石軸に取り付けられたノッチ加工砥石と、
　前記外周加工砥石軸受け台を上下方向に移動させる上下方向移動機構と、
　前記テーブル軸受け台を水平方向に移動させる水平方向移動機構と、
からなり、
　ウェーハをウェーハテーブルに固定し、上下方向移動機構で外周加工砥石軸受け台を上下方向に移動することにより、ウェーハと外周加工砥石との上下方向位置を設定し、ウェーハテーブルと外周加工砥石を回転させながら、水平方向移動機構でウェーハテーブルを外周加工砥石に対して近づけることにより、ウェーハの外周を面取り加工し、
　上下方向移動機構で外周加工砥石軸受け台を上下方向に移動することにより、ウェーハとノッチ加工砥石との上下方向位置を設定し、水平移動機構でウェーハテーブルを水平方向に移動するとともに、ノッチの形状に沿ってウェーハの回転角とノッチ加工砥石の位置関係を制御してノッチを面取り加工することを特徴とするウェーハ面取り機。」
　
２．引用例
（１）これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願前に頒布された特開平３−１１７５４６号公報（平成３年５月２０日公開。以下、「引用文献１」という。）には、図面と共に以下の事項が記載されている。
　
　「第１図に示されるように、研削盤１０は真空チャックのような保持装備１２を有し、これによってウェファＷを保持して固定軸心１３周りで回転させる。
　更に研削盤１０は、ウェファＷの周縁部を研削する研削ホイール１４を有する。この研削ホイール１４はスピンドルハウジング１５に回転可能に装架され、そしてモータＭにより駆動されてウェファＷの軸心１３に平行な垂直軸心周りで回転する。モータＭと研削ホイール１４のスピンドルとの間の結合は米国特許第４，６３８，６０１号に記載されているのと同様に行われる。
　スピンドルハウジング１５は、例えばこのハウジングの両側に１対ずつ備えられるボルト１９によってキャリジ１６に固定される。」（第３頁上左欄第１６行〜第３頁上右欄第１０行）
　「研削盤１０は、回転しているウェファＷの周縁部を研削するためにウェファ軸心１３に直角な軸心又は行路に沿ってキャリジ１６を、従って研削ホイール１４を動かすための第１の装備２１、・・・・を備える。」（第３頁上右欄第１９行〜第３頁下左欄第７行）
　「第１図に示されるように、研削バー４１が、ウェファＷの軸心１３に平行な垂直軸心周りで回転するようにハウジング１５上に装架される。その研削バー４１は研削ホイール１４の平面から垂直方向に離間した水平平面内に設定される。研削バー４１は、スピンドルハウジング１５にブラケット４４によって固定されたハウジング４３内に回転可能に装架された軸又はスピンドル４２に取付けられる。このスピンドル４２は、適当な空気接続ライン４５を通してハウジング４３へ供給される空気によって駆動される高速空気スピンドルとすることができよう。
　チャック１２の軸心１３、研削ホイール１４の軸心、及び研削バー４１の軸心は、第３図から理解されるように、１つの共通な垂直平面内に設置される。」（第４頁上左欄第１〜１６行）
　「機械１１は又、チャック１２上のウェファＷの周縁部にノッチＮ（第３図参照）を研削するためそのウェファ周縁部に研削バー４１を整合させるようにスピンドルハウジング１５を垂直方向に動かすための装備を備える。例えば、第１図に示されるように、ブラケット３８が、米国特許第４，６３８，６０１号に記載のようなモータ５２と送りネジ５３の構成によって１対の案内ポスト５１（図面には１個だけ示される）に沿って垂直方向に動かされる。」（第４頁下左欄第４〜１３行）
　「例えば第３図に示すようなノッチＮをウェファＷに形成する場合、処理装置５４の作動と共に研削操作用プログラムが始動する。最初に処理装置５４は信号をモータ５２へ送り研削バー４１を降下してウェファＷに整合させる。この整合が行われると、信号がモータ３６へ送られて支持ハウジング３５をウェファＷの軸心の方へ動かし、研削バー４１をウェファの周縁部に係合させる。このときチャック１２は静止状態に維持されており、従ってバー４１はウェファＷの縁部に半円形のノッチＮを研削する。
　こうしてノッチＮが形成されたら支持ハウジング３５はウェファＷから離遠する方向へ戻され、これと共にモータ５２が処理装置５４により作動されてハウジング１５を上昇させて研削ホイール１４をウェファＷに整合させる。それから支持ハウジング３５がウェファの周縁部の方へ動かされると共にチャック１２の回転が開始される。こうしてそれら動きの調整された作用によってウェファ周縁部の残余部分が、例えば円形に研削されるのである。
　場合によってノッチＮは別の形状、例えば底部が半円形になった９０度の角度の「Ｖ」形状にされる。このような形状のノッチは、ハウジング３５が研削バー４１を動かしてウェファＷに係合させると共にチャック１２が回転するような動きの調整された組合せを作ることによって形成できる。」（第５頁上左欄第６行〜上右欄第１２行）
「処理装置５４は又、最初にウェファの周縁部を研削し、その後でその研削された周縁部にノッチを形成するようにプログラムを組むこともできる。」（第５頁下左欄第４〜６行）
　
　ところで、上記の「保持装備１２」についてみると、保持装備が回転すること、及び図１の記載からみて、保持装備１２に回転軸が設けられていることは明らかである。そして、回転軸を軸支する手段として軸受け台を設けること、及び、回転軸を回転させる手段として、モータを軸受け台に設けることは、保持装備等の回転体を回転させる以上当然に備えている構成である。加えて、保持装備１２に設けられている回転軸は、垂直軸心１３に平行であることが明らかであるから、回転軸が垂直に設けられていることも明らかである。
　また、上記の「モータＭ」、「研削ホイール１４」、「スピンドルハウジング１５」についてみると、上記記載事項及び図１の記載からみて、「スピンドルハウジング１５」に、「研削ホイール１４」のスピンドルが垂直に設けられ、前記スピンドルを回転させる「モータＭ」が「キャリジ１６上」に設けられていることは、当業者にとって明らかである。
　
　そうすると、引用文献１には、
「軸受け台と、
　前記軸受け台に垂直に設けられた回転軸と、
　前記軸受け台に設けられ、前記回転軸を回転させるモータと、
　前記回転軸に取り付けられた保持装備１２と、
　スピンドルハウジング１５と、
　前記スピンドルハウジング１５に垂直に設けられたスピンドルと、
　キャリジ１６上に設けられ、前記スピンドルを回転させるモータＭと、
　前記スピンドルに取り付けられた研削ホイール１４と、
　前記スピンドルハウジング１５の前記保持装備１２側に設けたハウジング４３と、
　前記ハウジング４３に垂直に設けられたスピンドル４２と、
　前記ハウジング４３に設けられ、空気によって回転駆動されるスピンドル４２と、
　前記研削ホイール１４の平面から垂直方向に離間した水平平面内に配設され、前記スピンドル４２に取り付けられた研削バー４１と、
　前記スピンドルハウジング１５を垂直方向に動かすための装置（案内ポスト５１、モータ５２、送りネジ５３）と、
　前記スピンドルハウジング１５を水平方向に動かすための第１の装置と、
からなり、
　ウェファWを保持装備１２に固定し、スピンドルハウジング１５を垂直方向に動かすための装置でスピンドルハウジング１５を上下方向に移動することにより、ウェファWと研削ホイール１４との上下方向位置を設定し、保持装備１２と研削ホイール１４を回転させながら、第1の装置２１で研削ホイール１４をウェファＷに対して近づけることにより、ウェファの外周を研削し、
　スピンドルハウジング１５を垂直方向に動かすための装置でスピンドルハウジング１５を上下方向に移動することにより、ウェファＷと研削バー４１との上下方向位置を設定し、第１の装置２１で研削バー４１を水平方向に移動するとともに、ノッチの形状に沿ってウェファＷの回転角と研削バー４１の位置関係を制御してノッチを研削する
ノッチ研削盤」（以下、「引用文献１に記載された発明」という。）が記載されていると認められる。
（２）同じく、原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願前に頒布された特開平５−９０２３４号公報（平成５年４月９日公開。以下、「引用文献２」という。）には、図面と共に以下の事項が記載されている。
　「本発明は、半導体ウェーハの端面（本明細書では半導体ウェーハの外周部を端面と呼ぶ）研摩方法及び装置に係」る。（第１欄第４４〜４６行目）
　「ワーク取付け台１３は、半導体ウェーハ２８を取り付けて加工するためのもので」ある。（第４欄第３０〜３１行）
　「またワーク取付け台１３は、Ｙ軸方向の移動台２９に固定された支持円筒３０により回動自在に支持されており、移動台２９と共にＹ軸方向に摺動自在に構成されている。」（第４欄第３４−４２行）
　「そして半導体ウェーハ２８は、回転サーボ機構１４によって少しずつ回転し、該回転はコンピュータ１８にフィードバックされて刻々半導体ウェーハ２８と円形研摩板１１との距離が演算され、該演算結果の制御信号が直進サーボ機構１５のＤＣサーボモータ３３に送出され、送りねじ３４を正確に回転させて半導体ウェーハ２８の外形形状に沿って矢印Ｃ又はＤ方向に移動させ、常に適切な所定の一定圧力で半導体ウェーハ２８と円形研摩板１１とを接触させながら研摩する。」（第６欄第２４〜３２行）
　そうすると、引用文献２には、
「半導体ウェーハ２８をワーク取り付け台１３に固定し、ワーク取り付け台１３と円形研磨板１１を回転させながら半導体ウェーハ２８の外周を研磨する装置において、
　ワークを取付け台１３を支持する移動台２９を、水平方向に移動させる直進サーボ機構１５を備え、半導体ウェーハ２８の外周の研磨を、当該直進サーボ機構１５でワーク取り付け台１３を円形研磨板１１に対して近づけて行う、半導体ウェーハの外周を研磨する装置」（以下、「引用文献２に記載された発明」という。）が記載されていると認められる。
　
３．対比
　本願発明と引用文献１に記載された発明とを対比する。
　引用文献１に記載された発明の「軸受け台」、「回転軸」、「保持装備１２」が、それぞれ、本願発明の「テーブル軸受け台」、「テーブル軸」、「ウェーハテーブル」に相当することは明らかである。
　また、引用文献１に記載された発明の「スピンドルハウジング１５」、「スピンドル」、「研削ホイール１４」が、それぞれ、本願発明の「外周加工砥石軸受け台」、「外周加工砥石軸」、「外周加工砥石」に相当することも明らかである。ところで、本願発明の「外周加工軸受け台」には、モータが設けられるところ、本願の実施例及び図１、６においは、「砥石軸３２は水平スライダ３５に設けられたモータ３４でベルト等を介して回転される」【０００６】、「ウェーハテーブル２１関係が下側に配置されるとともに、水平スライダ３５に固着されて水平方向に移動自在となっている、また外周加工砥石３１及びノッチ加工砥石４１関係が上下スライダ２５に固着されて上下方向に移動自在となっている。それ以外は実施例１と同様である。」と記載されているのみであり、モータ３４が水平スライダ３５とは別の箇所に設けられていることは何ら記載されていない。この点をふまえると、引用文献１に記載された発明の「スピンドルハウジング１５」及び「キャリジ１６」は、本願発明において、モータが設けられる「外周加工砥石軸受け台」に相当するものと解することができる。　
　また、引用文献１に記載された発明の「ハウジング４３」、「スピンドル４２」、「空気によって回転駆動されるスピンドル」、「研削ホイール１４の平面から垂直方向に離間した水平平面内」、「研削バー４１」が、それぞれ、本願発明の「ノッチ加工軸受け台」、「ノッチ加工砥石軸」、「ノッチ加工砥石軸を回転させるモータ」、「外周加工砥石の両端面の延長面で挟まれる空間に干渉しない位置」、「ノッチ加工砥石」に相当する。
　また、引用文献１に記載された発明の「スピンドルハウジング１５を垂直方向に動かすための装置」、「ウェファの外周を研削し」、「ノッチを研削する」が、本願発明の「外周加工砥石軸受け台を上下方向に移動させる上下方向移動機構」「ウェーハの外周を面取り加工し」、「ノッチを面取り加工する」それぞれ、に相当することも明らかである。
　
　そうすると、本願発明と引用文献１に記載された発明とは、以下の点で一致する。
　
「テーブル軸受け台と、
　前記テーブル軸受け台に垂直に設けられたテーブル軸と、
　前記テーブル軸受け台に設けられ、前記テーブル軸を回転させるモータと、
　前記テーブル軸に取り付けられたウェーハテーブルと、
　外周加工砥石軸受け台と、
　前記外周加工砥石軸受け台に垂直に設けられた外周加工砥石軸と、
　前記外周加工砥石軸受け台に設けられ、前記外周加工砥石軸を回転させるモータと、
　前記外周加工砥石軸に取り付けられた外周加工砥石と、
　前記外周加工砥石軸受け台の前記ウェーハテーブル側に設けたノッチ加工砥石軸受け台と、
　前記ノッチ加工砥石軸受け台に垂直に設けられたノッチ加工砥石軸と、
　前記ノッチ加工砥石軸受け台に設けられ、前記ノッチ加工砥石軸を回転させる
モータと、
　前記外周加工砥石の両端面の延長面で挟まれる空間に干渉しない位置に配設され、前記ノッチ加工砥石軸に取り付けられたノッチ加工砥石と、
　前記外周加工砥石軸受け台を上下方向に移動させる上下方向移動機構と、
からなり、
ウェーハをウェーハテーブルに固定し、上下方向移動機構で外周加工砥石軸受け台を上下方向に移動することにより、ウェーハと外周加工砥石との上下方向位置を設定し、ウェーハテーブルと外周加工砥石を回転させながら、ウェーハの外周を面取り加工し、
　上下方向移動機構で外周加工砥石軸受け台を上下方向に移動することにより、ウェーハとノッチ加工砥石との上下方向位置を設定し、ノッチの形状に沿ってウェーハの回転角とノッチ加工砥石の位置関係を制御してノッチを面取り加工するウェーハ面取り機。」
　また、両者は、以下の点で相違する。
（１）本願発明では、「テーブル軸受け台を水平方向に移動させる水平方向移動機構」を備えているのに対し、引用文献１に記載された発明では、「テーブル軸受け台を水平方向に移動させる水平方向移動機構」を備えていない点。
（２）上記相違点（１）により、ウェーハの外周を面取り加工する際に、本願発明では、「水平方向移動機構でウェーハテーブルを外周加工砥石に対して近づける」のに対し、引用文献１に記載された発明では、「外周加工砥石軸受け台を水平方向に動かすための第１の装置」で「外周面加工砥石をウェーハに対して近づける」点、及び、ノッチの面取りをする際に、本願発明では、「水平移動機構でウェーハテーブルを水平方向に移動する」のに対し、引用文献１に記載された発明では、「外周加工砥石軸受け台を水平方向に動かすための第１の装置」で「ノッチ加工砥石を水平方向に移動する」点。
４．当審の判断
　上記相違点（１）（２）について検討する。
　引用文献２には、「ウェーハの外周を研磨する装置において、テーブル軸受け台（移動台２９）を水平方向に移動させる水平方向移動機構（直進サーボ機構１５）を備え、ウェーハの外周の研磨を、当該水平方向移動機構でウェーハテーブル（ワーク取り付け台１３）を外周加工砥石（円形研磨板１１）に対して近づけて行う」発明が記載されている。
　ここで、引用文献１に記載された発明と引用文献２に記載された発明とは、ともに、ウェーハの外周を研削加工する点で技術が共通し、かつ、ウェーハの外周の加工時に、ウェーハテーブルと外周加工砥石との水平方向位置を調節している点で共通する。
　よって、引用文献１に記載された発明において、ウェーハの外周の面取り加工を行うために、「第１の装置」で「外周加工砥石軸受け台を水平方向に移動」させるのに代えて、引用文献２に記載された発明のごとく、「テーブル軸受け台を水平方向に移動させる水平方向移動機構」を採用し、「ウェーハテーブルを水平方向に移動する」ようにすることは、当業者が容易になし得ることである。
　また、このとき、引用文献１に記載された発明では、外周加工砥石軸受け台にノッチ加工砥石軸受け台が設けられ、これらは、一体的に移動することをふまえると、本願発明のように、ノッチの面取りにおいても、「水平移動機構でウェーハテーブルを水平方向に移動」させることは、当業者が当然行う事項に過ぎない。
　なお、一般に、加工機側と被加工物側との加工位置合わせにおいては、位置合わせ誤差の低減や、位置合わせの動力の低減が考慮されるものである。
　そうすると、ウェーハ側と砥石側のどちらに移動機構を振り分けるかは、位置合わせ時の誤差がより少なく、かつ、移動機構の動力がより少なくなるように、当業者が適宜選択する事項に過ぎず、その効果も、当業者が予測できる範囲内のものでしかない。
５．むすび
　したがって、本願発明は、引用文献１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。