(57)【要約】【課題】流体を効率よく送出することが可能な新規なマイクロポンプを提供する。【解決手段】膜状の電磁石３４を有するフィルム部３の両面に２つのカバー部２，４が重ねられ、２つのカバー部２，４の間にてフィルム部３により互いに隔離される２つの流路が設けられ、これらの部材は流路が伸びる方向に垂直な方向の両端部にてブロック部材により挟持される。フィルム部３には流路に沿って３個の電磁石３４が配置され、各カバー部２，４の対応する位置にも電磁石２４，４４が設けられる。フィルム部３の各電磁石３４の部位は磁力によりカバー部２側またはカバー部４側に向かって撓み、２つの流路にそれぞれ含まれる２つの流路要素が交互に閉塞される。中央の電磁石３４が一方の流路要素を閉塞して液体を圧縮する動作に同期して、他の電磁石３４が中央の流路要素の上流側および下流側にて２つの流路を交互に閉塞することにより、液体が効率よく送出される。【選択図】図６．Ａ
2007138764.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロポンプであって、
フィルム部の両面に２つのカバー部が重ねられることにより、前記２つのカバー部の間において前記フィルム部により互いに隔離された微小な２つの流路要素が設けられ、前記２つの流路要素を交互に圧縮する圧縮部と、
前記２つの流路要素の一端側に接続され、前記２つの流路要素をそれぞれ含む２つの流路を交互に閉塞する導入バルブ部と、
前記２つの流路要素の他端側に接続され、前記２つの流路を交互に閉塞する導出バルブ部と、
前記圧縮部、前記導入バルブ部および前記導出バルブ部を制御する制御部と、
を備え、
前記フィルム部が、前記両面に磁極が生じる電磁石を備え、前記２つのカバー部のそれぞれが、前記フィルム部に対向する面に磁極が存在する磁石もしくは磁極が生じる電磁石を備え、または、前記フィルム部が、前記両面に磁極が存在する磁石を備え、前記２つのカバー部のそれぞれが、前記フィルム部に対向する面に磁極が生じる電磁石を備え、
前記導入バルブ部が一方の流路を開放して他方の流路を閉塞し、前記導出バルブ部が前記一方の流路を閉塞して前記他方の流路を開放している状態で、前記圧縮部が前記一方の流路の流路要素を拡張することにより前記圧縮部への流体の導入が行われ、
前記導入バルブ部が前記一方の流路を閉塞して前記他方の流路を開放し、前記導出バルブ部が前記一方の流路を開放して前記他方の流路を閉塞している状態で、前記圧縮部が前記一方の流路の流路要素を圧縮することにより前記圧縮部からの前記流体の導出が行われることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のマイクロポンプであって、
前記フィルム部および前記２つのカバー部のそれぞれが、電磁石を備えることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のマイクロポンプであって、
前記フィルム部が電磁石を備え、
前記電磁石が、
フィルム状の基材上にフォトリソグラフィ技術を用いて形成されたコイルと、
前記コイルの内側に設けられた膜状または板状の磁性体と、
を備えることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載のマイクロポンプであって、
前記２つのカバー部のそれぞれがフィルム状であることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項５】
請求項４に記載のマイクロポンプであって、
前記２つのカバー部のそれぞれの前記フィルム部とは反対側への撓み量を変更可能に制限する撓み量制限部をさらに備えることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のマイクロポンプであって、
前記フィルム部、または、前記２つのカバー部のそれぞれが、電磁石を備え、
前記電磁石が、前記２つの流路要素に沿う複数の電磁石要素の配列であり、
前記圧縮部における流路要素の部分的な拡張および圧縮が、前記複数の電磁石要素により順次行われることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項７】
請求項４または５に記載のマイクロポンプであって、
前記導入バルブ部および前記導出バルブ部のそれぞれが、前記フィルム部および前記２つのカバー部の組合せと同様の組合せを有し、
前記圧縮部の前記フィルム部の基材、前記導入バルブ部のフィルム部の基材、および、前記導出バルブ部のフィルム部の基材が一体的な部材であり、
前記圧縮部の前記２つのカバー部のそれぞれの基材、前記導入バルブ部の対応するカバー部の基材、および、前記導出バルブ部の対応するカバー部の基材が一体的な部材であり、
前記導入バルブ部の各流路要素、前記圧縮部の対応する流路要素および前記導出バルブ部の対応する流路要素が連続することにより、前記２つの流路が形成されることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項８】
請求項７に記載のマイクロポンプであって、
流路要素が閉塞または圧縮される場合におけるフィルム部とカバー部との間に生じる吸引力を当該フィルム部と当該カバー部との接触面積にて除した値が、前記導入バルブ部、前記圧縮部および前記導出バルブ部のうち前記導入バルブ部において最も高く、前記導出バルブ部において最も低いことを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項９】
請求項７または８に記載のマイクロポンプであって、
前記圧縮部において流路要素が圧縮される際のフィルム部とカバー部との接触面積が、前記導入バルブ部および前記導出バルブ部のそれぞれにおいて流路要素が閉塞される際のフィルム部とカバー部との接触面積よりも大きいことを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載のマイクロポンプであって、
前記導入バルブ部、前記圧縮部および前記導出バルブ部が非直線状に並ぶことを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれかに記載のマイクロポンプであって、
前記導入バルブ部と同様の構造を有し、前記導入バルブ部とは異なる位置にて前記圧縮部に接続されるもう１つの導入バルブ部、または、前記導出バルブ部と同様の構造を有し、前記導出バルブ部とは異なる位置にて前記圧縮部に接続されるもう１つの導出バルブ部をさらに備えることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載のマイクロポンプであって、
前記２つの流路に互いに異なる２つの流体がそれぞれ導入されることを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のいずれかに記載のマイクロポンプであって、
前記制御部が、前記導出バルブ部に対する制御を前記導出バルブ部に代えて前記導入バルブ部に対して行い、前記導入バルブ部に対する制御を前記導入バルブ部に代えて前記導出バルブ部に対して行うことにより、流体を前記導出バルブ部側から前記導入バルブ部側へと送出することを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項１４】
マイクロポンプであって、
積層される複数のフィルム部の積層方向の両側に２つのカバー部が重ねられることにより、前記２つのカバー部の間において前記複数のフィルム部により互いに隔離された複数の流路要素が設けられ、前記複数の流路要素のうち１つ置きに存在する第１流路要素群と前記第１流路要素群以外の第２流路要素群とを交互に圧縮する圧縮部と、
前記複数の流路要素の一端側に接続され、前記複数の流路要素をそれぞれ含む複数の流路のうち前記第１流路要素群を含む第１流路群と前記第２流路要素群を含む第２流路群とを交互に閉塞する導入バルブ部と、
前記複数の流路要素の他端側に接続され、前記第１流路群と前記第２流路群とを交互に閉塞する導出バルブ部と、
前記圧縮部、前記導入バルブ部および前記導出バルブ部を制御する制御部と、
を備え、
前記複数のフィルム部のそれぞれが、両面に磁極が生じる電磁石を備え、前記２つのカバー部のそれぞれが、前記複数のフィルム部に対向する面に磁極が存在する磁石または磁極が生じる電磁石を備え、
前記第１流路群および前記第２流路群のうち、前記導入バルブ部が一方の流路群を開放して他方の流路群を閉塞し、前記導出バルブ部が前記一方の流路群を閉塞して前記他方の流路群を開放している状態で、前記圧縮部が前記一方の流路群の流路要素群を拡張することにより前記圧縮部への流体の導入が行われ、前記導入バルブ部が前記一方の流路群を閉塞して前記他方の流路群を開放し、前記導出バルブ部が前記一方の流路群を開放して前記他方の流路群を閉塞している状態で、前記圧縮部が前記一方の流路群の流路要素群を圧縮することにより前記圧縮部からの前記流体の導出が行われることを特徴とするマイクロポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微少量の流体を送出するマイクロポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、微少量の流体を送出する小型のポンプ（マイクロポンプ）として様々な構造のものが知られている。例えば、特許文献１では、フレーム体に設けられた磁石とダイヤフラムに設けられたコイルとの間に生じる磁気的作用により、フレーム体とダイヤフラムとの間のダイヤフラム室の拡張および圧縮を繰り返して、流体の送出を行う小型のダイヤフラムポンプが開示されている。特許文献２では、流路の互いに対向する内側面を形成するとともに可撓性を有する１対の部材のそれぞれにおいて、流路の外側にて流路に沿って配置される複数のソレノイドが対応する部位を流路側に向けて順次押圧することにより、流路の内側面を蠕動運動させて流体を送出するポンプが開示されている。
【０００３】
また、特許文献３では、圧電素子や電歪振動子、あるいは磁歪振動子が設けられた互いに対向する２つの基板をその変位方向が相反するように振動させることにより、これらの基板の間に設けられる背圧室の拡張および圧縮を繰り返して、流体の送出を行うマイクロポンプが提案されている。なお、特許文献４では、流路の一の内側面を形成する弾性膜と、弾性膜の流路とは反対側にて流路に沿って磁界を発生するアレイ磁気コイル素子が形成された基板とが設けられ、弾性膜と基板との間に充填される磁性流体をアレイ磁気コイル素子により集合させて弾性膜を流路側に撓ませ、集合した磁性流体を流路に沿って移動することにより、流路中の流体を移動するマイクロポンプが開示されている。
【特許文献１】特開２００４−６０６４１号公報
【特許文献２】特開２００４−３１６４４５号公報
【特許文献３】特開２００４−３５３６３８号公報
【特許文献４】特開平９−２８７５７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記特許文献１ないし３の手法では、流路の一部あるいはダイヤフラム室や背圧室の拡張および圧縮（すなわち、可動部位の往復動作）により、ポンプにおける流体の１度の送出が実質的に行われるが、このようなポンプにおいて、可動部位の１度の往復動作により送出される流体を極微少量として脈動（圧力変動）を低減しようとすると、送液効率が低くなってしまう。近年、このような場合でも、流体を効率よく送出することが可能なマイクロポンプが求められている。
【０００５】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、流体を効率よく送出することが可能な新規なマイクロポンプを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、マイクロポンプであって、フィルム部の両面に２つのカバー部が重ねられることにより、前記２つのカバー部の間において前記フィルム部により互いに隔離された微小な２つの流路要素が設けられ、前記２つの流路要素を交互に圧縮する圧縮部と、前記２つの流路要素の一端側に接続され、前記２つの流路要素をそれぞれ含む２つの流路を交互に閉塞する導入バルブ部と、前記２つの流路要素の他端側に接続され、前記２つの流路を交互に閉塞する導出バルブ部と、前記圧縮部、前記導入バルブ部および前記導出バルブ部を制御する制御部とを備え、前記フィルム部が、前記両面に磁極が生じる電磁石を備え、前記２つのカバー部のそれぞれが、前記フィルム部に対向する面に磁極が存在する磁石もしくは磁極が生じる電磁石を備え、または、前記フィルム部が、前記両面に磁極が存在する磁石を備え、前記２つのカバー部のそれぞれが、前記フィルム部に対向する面に磁極が生じる電磁石を備え、前記導入バルブ部が一方の流路を開放して他方の流路を閉塞し、前記導出バルブ部が前記一方の流路を閉塞して前記他方の流路を開放している状態で、前記圧縮部が前記一方の流路の流路要素を拡張することにより前記圧縮部への流体の導入が行われ、前記導入バルブ部が前記一方の流路を閉塞して前記他方の流路を開放し、前記導出バルブ部が前記一方の流路を開放して前記他方の流路を閉塞している状態で、前記圧縮部が前記一方の流路の流路要素を圧縮することにより前記圧縮部からの前記流体の導出が行われる。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のマイクロポンプであって、前記フィルム部および前記２つのカバー部のそれぞれが、電磁石を備える。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のマイクロポンプであって、前記フィルム部が電磁石を備え、前記電磁石が、フィルム状の基材上にフォトリソグラフィ技術を用いて形成されたコイルと、前記コイルの内側に設けられた膜状または板状の磁性体とを備える。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載のマイクロポンプであって、前記２つのカバー部のそれぞれがフィルム状である。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のマイクロポンプであって、前記２つのカバー部のそれぞれの前記フィルム部とは反対側への撓み量を変更可能に制限する撓み量制限部をさらに備える。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載のマイクロポンプであって、前記フィルム部、または、前記２つのカバー部のそれぞれが、電磁石を備え、前記電磁石が、前記２つの流路要素に沿う複数の電磁石要素の配列であり、前記圧縮部における流路要素の部分的な拡張および圧縮が、前記複数の電磁石要素により順次行われる。
【００１２】
請求項７に記載の発明は、請求項４または５に記載のマイクロポンプであって、前記導入バルブ部および前記導出バルブ部のそれぞれが、前記フィルム部および前記２つのカバー部の組合せと同様の組合せを有し、前記圧縮部の前記フィルム部の基材、前記導入バルブ部のフィルム部の基材、および、前記導出バルブ部のフィルム部の基材が一体的な部材であり、前記圧縮部の前記２つのカバー部のそれぞれの基材、前記導入バルブ部の対応するカバー部の基材、および、前記導出バルブ部の対応するカバー部の基材が一体的な部材であり、前記導入バルブ部の各流路要素、前記圧縮部の対応する流路要素および前記導出バルブ部の対応する流路要素が連続することにより、前記２つの流路が形成される。
【００１３】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のマイクロポンプであって、流路要素が閉塞または圧縮される場合におけるフィルム部とカバー部との間に生じる吸引力を当該フィルム部と当該カバー部との接触面積にて除した値が、前記導入バルブ部、前記圧縮部および前記導出バルブ部のうち前記導入バルブ部において最も高く、前記導出バルブ部において最も低い。
【００１４】
請求項９に記載の発明は、請求項７または８に記載のマイクロポンプであって、前記圧縮部において流路要素が圧縮される際のフィルム部とカバー部との接触面積が、前記導入バルブ部および前記導出バルブ部のそれぞれにおいて流路要素が閉塞される際のフィルム部とカバー部との接触面積よりも大きい。
【００１５】
請求項１０に記載の発明は、請求項１ないし９のいずれかに記載のマイクロポンプであって、前記導入バルブ部、前記圧縮部および前記導出バルブ部が非直線状に並ぶ。
【００１６】
請求項１１に記載の発明は、請求項１ないし１０のいずれかに記載のマイクロポンプであって、前記導入バルブ部と同様の構造を有し、前記導入バルブ部とは異なる位置にて前記圧縮部に接続されるもう１つの導入バルブ部、または、前記導出バルブ部と同様の構造を有し、前記導出バルブ部とは異なる位置にて前記圧縮部に接続されるもう１つの導出バルブ部をさらに備える。
【００１７】
請求項１２に記載の発明は、請求項１ないし１１のいずれかに記載のマイクロポンプであって、前記２つの流路に互いに異なる２つの流体がそれぞれ導入される。
【００１８】
請求項１３に記載の発明は、請求項１ないし１２のいずれかに記載のマイクロポンプであって、前記制御部が、前記導出バルブ部に対する制御を前記導出バルブ部に代えて前記導入バルブ部に対して行い、前記導入バルブ部に対する制御を前記導入バルブ部に代えて前記導出バルブ部に対して行うことにより、流体を前記導出バルブ部側から前記導入バルブ部側へと送出する。
【００１９】
請求項１４に記載の発明は、マイクロポンプであって、積層される複数のフィルム部の積層方向の両側に２つのカバー部が重ねられることにより、前記２つのカバー部の間において前記複数のフィルム部により互いに隔離された複数の流路要素が設けられ、前記複数の流路要素のうち１つ置きに存在する第１流路要素群と前記第１流路要素群以外の第２流路要素群とを交互に圧縮する圧縮部と、前記複数の流路要素の一端側に接続され、前記複数の流路要素をそれぞれ含む複数の流路のうち前記第１流路要素群を含む第１流路群と前記第２流路要素群を含む第２流路群とを交互に閉塞する導入バルブ部と、前記複数の流路要素の他端側に接続され、前記第１流路群と前記第２流路群とを交互に閉塞する導出バルブ部と、前記圧縮部、前記導入バルブ部および前記導出バルブ部を制御する制御部とを備え、前記複数のフィルム部のそれぞれが、両面に磁極が生じる電磁石を備え、前記２つのカバー部のそれぞれが、前記複数のフィルム部に対向する面に磁極が存在する磁石または磁極が生じる電磁石を備え、前記第１流路群および前記第２流路群のうち、前記導入バルブ部が一方の流路群を開放して他方の流路群を閉塞し、前記導出バルブ部が前記一方の流路群を閉塞して前記他方の流路群を開放している状態で、前記圧縮部が前記一方の流路群の流路要素群を拡張することにより前記圧縮部への流体の導入が行われ、前記導入バルブ部が前記一方の流路群を閉塞して前記他方の流路群を開放し、前記導出バルブ部が前記一方の流路群を開放して前記他方の流路群を閉塞している状態で、前記圧縮部が前記一方の流路群の流路要素群を圧縮することにより前記圧縮部からの前記流体の導出が行われる。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１ないし１３の発明では、２つの流路要素を介して流体を効率よく送出することができる。
【００２１】
また、請求項２の発明では、流路要素の圧縮および拡張を自在に行うことができ、請求項３の発明では、軽量な電磁石を容易に作製することができる。
【００２２】
また、請求項５の発明では、カバー部が過度に撓んで損傷することを防止することができ、請求項６の発明では、低脈動にて送液を行うことができる。
【００２３】
また、請求項７の発明では、マイクロポンプの薄型化を図ることができ、請求項８の発明では、導入バルブ部側から導出バルブ部側に向けて流体を確実に送出することができる。
【００２４】
また、請求項９の発明では、マイクロポンプの１サイクルの動作にて送出する流体の量を増大させることができ、請求項１０の発明では、流体を所望の方向に送出することができる。
【００２５】
また、請求項１１の発明では、流体を混合しつつ送出する、または、流体を２つの導出バルブ部のうち所望の導出バルブ部側に送出することができ、請求項１２の発明では、異なる２つの流体を同時に送出することができ、請求項１３の発明では、流体を逆向きに容易に送出することができる。
【００２６】
請求項１４の発明では、３以上の流路要素を介して流体を効率よく送出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１は本発明の第１の実施の形態に係るマイクロポンプ１を示す平面図であり、図２は図１中の矢印II−IIの位置におけるマイクロポンプ１の縦断面図である。マイクロポンプ１は、微量の試料液体に処理を行うための微小容器であるマイクロリアクタ内に、液体を微小な送液量にて送出するためのものである。なお、図１では、後述する蓋部材５２（図２参照）を取り外した状態を示している（ただし、蓋部材５２を二点鎖線にて仮想的に図示している。）。
【００２８】
図２に示すように、マイクロポンプ１はフィルム状のフィルム部３を備え、フィルム部３の両面には２つのフィルム状のカバー部２，４が重ねられる。なお、図２では、フィルム部３および２つのカバー部２，４の断面の平行斜線の図示を省略している。フィルム部３および２つのカバー部２，４は図２中のＸ方向の両端のそれぞれにて、その積層方向（図２中のＺ方向）の両側からＹ方向に長いブロック部材５１（図１参照）により挟まれて保持される。フィルム部３および２つのカバー部２，４はＸ方向およびＹ方向に互いに同じ大きさとされる。以下の説明において、図２中の（−Ｚ）側のカバー部２を下側カバー部２とも呼び、（＋Ｚ）側のカバー部４を上側カバー部４とも呼ぶ。フィルム部３および２つのカバー部２，４の構造の詳細については後述する。
【００２９】
下側カバー部２の（−Ｚ）側および上側カバー部４の（＋Ｚ）側には、板状の２つの蓋部材５２がそれぞれ設けられる。各蓋部材５２は、Ｘ方向に並ぶ２つのブロック部材５１の間にてカバー部２，４側へと突出する突出部５２１を有し、突出部５２１のカバー部２，４側の面と、カバー部２，４の突出部５２１に対向する面との間の間隙の幅（図２中にて矢印Ｇ１にて示す幅であり、以下、「ギャップ幅」という。）はおよそ一定とされる。蓋部材５２には、ねじ等のギャップ幅調整機構５２２が設けられ、ギャップ幅調整機構５２２によりギャップ幅が可変とされる。なお、突出部５２１は、後述する電磁石４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ（図１参照）とほぼ重なる範囲に形成されており、蓋部材５２の（＋Ｙ）側の端部および（−Ｙ）側の端部には形成されていない。
【００３０】
図３は、図１中の矢印III−IIIの位置におけるマイクロポンプ１の端部の縦断面図であり、図１の上側が図３の右側に対応する。なお、図３においても蓋部材５２の図示を省略しており、フィルム部３および２つのカバー部２，４の断面の平行斜線の図示を省略している。図３に示すように、２つのカバー部２，４のそれぞれの（＋Ｙ）側の端部は、フィルム部３からＺ方向に離れてカバー保持部５３の２つの保持部材５３１，５３２により挟持されており、フィルム部３の（＋Ｙ）側の端部は、２つのカバー保持部５３の間にてフィルム保持部５４の２つの保持部材５４１，５４２により挟持されている。２つのカバー保持部５３のフィルム保持部５４側の２つの保持部材５３１は（＋Ｙ）側に向かって伸びており、２つの保持部材５３１により、マイクロポンプ１の内部の液体を外部（マイクロリアクタ）へと排出する排出口の一部が構成されている。マイクロポンプ１では、（−Ｙ）側の端部も図３と同様の構造となっており、外部からマイクロポンプ１の内部へと液体が流入する流入口が形成されている。流入口は液体を貯溜する外部のタンクに接続されている。
【００３１】
図４はフィルム部３の構成を示す斜視図である。図４に示すように、フィルム部３は絶縁性を有するフィルム状の基材３１を有し、基材３１上には図４中のＹ方向に沿って３個の膜状の磁性体３２が鉄粉を基材３１に向けて吹き付ける等して互いにほぼ同じ大きさにて形成される。なお、磁性体３２は他の手法により形成される場合には、板状とされてもよい。各磁性体３２の形状はほぼ矩形とされ、周囲にはコイル３３が銅等により形成される。コイル３３は、フォトリソグラフィ技術を用いて微細なフォトレジストのパターンを形成し、さらに、スパッタやメッキ処理を行うことにより導線の断面が微細な形状として形成される。このように、基材３１は、それぞれがコイル３３およびコイル３３の内側に設けられた磁性体３２を有する３個の膜状の電磁石３４を主面上にＹ方向に沿って備えている。フィルム部３は、さらに、絶縁性を有するフィルム状の保護材３５を有し、保護材３５が基材３１と接着されることにより基材３１上の３個の電磁石３４が覆われる。基材３１および保護材３５としては、電気絶縁性・耐薬性に優れるポリイミド樹脂等が用いられる。なお、フィルム部３ではフォトリソグラフィ技術を用いることにより、コイル３３の巻数が比較的多いにもかかわらず軽量な電磁石３４が容易に形成されているが、磁性体３２も同様の手法により形成されてもよい。
【００３２】
図５は、フィルム部３および２つのカバー部２，４の構成を示す斜視図である。図５に示すように、実際には、２つのカバー部２，４のそれぞれもフィルム部３と同様の構造とされる。すなわち、下側カバー部２は、フィルム部３と同様に、基材２１、それぞれが磁性体およびコイルを有するとともに基材２１上に形成される３個の電磁石２４、並びに、保護材２５を備え、上側カバー部４も、フィルム部３と同様に、基材４１、それぞれが磁性体およびコイルを有するとともに基材４１上に形成される３個の電磁石４４、並びに、保護材４５を備える。Ｘ方向およびＹ方向に関して、２つのカバー部２，４の（−Ｙ）側の電磁石２４，４４とフィルム部３の（−Ｙ）側の電磁石３４とが同じ位置に配置され、２つのカバー部２，４の中央の電磁石２４，４４とフィルム部３の中央の電磁石３４とが同じ位置に配置され、２つのカバー部２，４の（＋Ｙ）側の電磁石２４，４４とフィルム部３の（＋Ｙ）側の電磁石３４とが同じ位置に配置される。なお、フィルム部３および２つのカバー部２，４が重ね合わされた状態では、フィルム部３のコイル３３（図４参照）の引出線は、２つのカバー部２，４とは反対側に引き出される。
【００３３】
フィルム部３および２つのカバー部２，４の各電磁石２４，３４，４４のコイルは図１の制御部１０の電流供給ユニット１０１に接続され、電流供給ユニット１０１からコイルに直流電流が供給されることにより、磁性体が磁化される。これにより、フィルム部３および２つのカバー部２，４のそれぞれにおいて、各電磁石２４，３４，４４の位置の両面に磁極が生じる（または、磁極が生じるとみなすことができる。）。マイクロポンプ１では、電流供給ユニット１０１からコイルに供給される直流電流の向きにより各電磁石２４，３４，４４の磁性体の磁化の向きが制御され、フィルム部３の電磁石３４の部位と、下側カバー部２または上側カバー部４の対応する電磁石２４，４４の部位との間に必要に応じて微小な空間が形成される。
【００３４】
図６．Ａおよび図６．Ｂは、フィルム部３とカバー部２，４との間に空間が形成される様子を説明するための図であり、ある電磁石２４，３４，４４の位置におけるフィルム部３およびカバー部２，４の断面を示している。なお、図６．Ａおよび図６．Ｂでは、電磁石２４，３４，４４およびその配線を太線にて示している。
【００３５】
例えば、上側カバー部４の電磁石４４およびフィルム部３の電磁石３４の（磁性体の）磁化の向き（すなわち、Ｎ極とＳ極の上下方向の配置）が同じとされ、下側カバー部２の電磁石２４のみ磁化の向きが反対とされる場合には、図６．Ａに示すように、上側カバー部４の電磁石４４の部位およびフィルム部３の電磁石３４の部位が（＋Ｚ）方向に撓み、下側カバー部２の電磁石２４の部位が（−Ｚ）方向に撓むことにより、フィルム部３と下側カバー部２との間に微小な空間が形成される。また、下側カバー部２の電磁石２４およびフィルム部３の電磁石３４の磁化の向きが同じとされ、上側カバー部４の電磁石４４のみ磁化の向きが反対とされる場合には、図６．Ｂに示すように、上側カバー部４の電磁石４４の部位が（＋Ｚ）方向に撓み、フィルム部３の電磁石３４の部位および下側カバー部２の電磁石２４の部位が（−Ｚ）方向に撓むことにより、フィルム部３と上側カバー部４との間に微小な空間が形成される。
【００３６】
図６．Ａおよび図６．Ｂのいずれの場合においても、下側カバー部２および上側カバー部４のそれぞれは蓋部材５２の突出部５２１に当接して撓み量が制限される。各突出部５２１と対向するカバー部２，４との間の間隔であるギャップ幅Ｇ１（図２参照）はギャップ幅調整機構５２２により予め調整されており、カバー部２，４が過度に撓んで損傷することが防止される。このように、マイクロポンプ１では、２つの蓋部材５２が、２つのカバー部２，４のそれぞれのフィルム部３とは反対側への撓み量を変更可能に制限する撓み量制限部となっている。
【００３７】
マイクロポンプ１では、フィルム部３および２つのカバー部２，４のそれぞれにおいて、各電磁石２４，３４，４４の磁化の向きを個別に変化させることができるため、（−Ｙ）側、中央および（＋Ｙ）側のそれぞれの３個の電磁石（図５中のＺ方向に並ぶ３個の電磁石２４，３４，４４）の集合の位置にて、フィルム部３と下側カバー部２との間、または、フィルム部３と上側カバー部４との間に微小な空間を形成することが可能となる。換言すれば、マイクロポンプ１では、（−Ｙ）側の電磁石の集合、中央の電磁石の集合および（＋Ｙ）側の電磁石の集合のそれぞれの位置にて、２つのカバー部２，４の間においてフィルム部３により互いに隔離された微小な２つの流路要素が設けられており、制御部１０の制御により、２つの流路要素の一方を開放しつつ、他方を閉塞することが可能となっている。実際には、フィルム部３と下側カバー部２との間において、（−Ｙ）側の流路要素、中央の流路要素および（＋Ｙ）側の流路要素は互いに接続して１つの流路（以下、「下側流路」という。）となり、フィルム部３と上側カバー部４との間の３つの流路要素も互いに接続して１つの流路（以下、「上側流路」という。）となっている。
【００３８】
後述するように、フィルム部３および２つのカバー部２，４において、（−Ｙ）側の電磁石２４，３４，４４の集合を含む部位は中央の流路要素への液体の導入を行うため、以下、（−Ｙ）側の電磁石２４，３４，４４の集合を含む部位を導入バルブ部と総称し、（＋Ｙ）側の電磁石２４，３４，４４の集合を含む部位は中央の流路要素からの液体の導出を行うため、以下、（＋Ｙ）側の電磁石２４，３４，４４の集合を含む部位を導出バルブ部と総称し、中央の電磁石２４，３４，４４の集合を含む部位は中央の流路要素へと導入される液体を圧縮する（すなわち、流路要素を閉塞して液体を圧縮する）動作を行うため、以下、中央の電磁石２４，３４，４４の集合を含む部位を圧縮部と総称する。また、以下の説明では、圧縮部が流路要素を閉塞する動作を圧縮と呼び、流路要素を開放する動作を拡張と呼ぶ。
【００３９】
次に、マイクロポンプ１が液体を送出する動作の流れについて説明する。図７は、マイクロポンプ１が液体を送出する動作の流れを示す図である。マイクロポンプ１では下側流路および上側流路のそれぞれに対する動作が並行して行われ、図７中のステップＳ１１〜Ｓ１３が下側流路および上側流路のうちの一方の流路に対して行われる処理であり、図７中のステップＳ２１〜Ｓ２３がステップＳ１１〜Ｓ１３に並行して他方の流路に対して行われる処理である。
【００４０】
図８．Ａないし図８．Ｇは、マイクロポンプ１が液体を送出する様子を説明するための図である。図８．Ａないし図８．Ｇでは電磁石を矩形にて抽象的に示しており、内部に「Ｎ」および「Ｓ」を付すことにより電磁石の磁化の向きを示している。また、図８．Ａないし図８．Ｇでは、導入バルブ部に符号Ａ、圧縮部に符号Ｂ、導出バルブ部に符号Ｃを付し、導入バルブ部Ａの下側カバー部２の電磁石、フィルム部３の電磁石および上側カバー部４の電磁石にそれぞれ符号２４Ａ，３４Ａ，４４Ａを付し、圧縮部Ｂの下側カバー部２の電磁石、フィルム部３の電磁石および上側カバー部４の電磁石にそれぞれ符号２４Ｂ，３４Ｂ，４４Ｂを付し、導出バルブ部Ｃの下側カバー部２の電磁石、フィルム部３の電磁石および上側カバー部４の電磁石にそれぞれ符号２４Ｃ，３４Ｃ，４４Ｃを付している。
【００４１】
まず、図８．Ａに示す状態では、導入バルブ部Ａでは電磁石２４Ａ，３４Ａの磁化の向きが同じとされ、電磁石４４Ａのみ磁化の向きが反対とされ、圧縮部Ｂでは電磁石２４Ｂ，３４Ｂの磁化の向きが同じとされ、電磁石４４Ｂのみ磁化の向きが反対とされ、導出バルブ部Ｃでは電磁石３４Ｃ，４４Ｃの磁化の向きが同じとされ、電磁石２４Ｃのみ磁化の向きが反対とされている。したがって、導入バルブ部Ａが下側流路６１の流路要素（すなわち、２つの電磁石２４Ａ，３４Ａにて挟まれる部分）を閉塞して上側流路６２の流路要素６２Ａを開放し、圧縮部Ｂが下側流路６１の流路要素（すなわち、２つの電磁石２４Ｂ，３４Ｂにて挟まれる部分）を閉塞（または、圧縮）して上側流路６２の流路要素６２Ｂを開放（または、拡張）し、導出バルブ部Ｃが下側流路６１の流路要素６１Ｃを開放して上側流路６２の流路要素（すなわち、２つの電磁石３４Ｃ，４４Ｃにて挟まれる部分）を閉塞した状態となっている。なお、実際には、閉塞部を除いて下側流路６１および上側流路６２の全体には液体が満たされているが、図８．Ａの状態において導出バルブ部Ｃから上流側（図８．Ａ中の（−Ｙ）側）に存在する一部の液体のみに、図８．Ａないし図８．Ｇでは平行斜線を付している。
【００４２】
マイクロポンプ１では、図８．Ａに示す状態において、導入バルブ部Ａのフィルム部３の電磁石３４Ａの磁化の向きが反転され、他の電磁石の磁化の向きは図８．Ａの状態が維持される。これにより、図８．Ｂに示すように、導入バルブ部Ａが下側流路６１の流路要素６１Ａを開放して上側流路６２の流路要素６２Ａ（図８．Ｂでは閉塞された流路要素に対する符号を省略している。以下同様。）を閉塞し（ステップＳ１１，Ｓ２１）、下側流路６１において流路要素６１Ａ内に液体が流入し、上側流路６２において流路要素６２Ｂ内の液体が分離される。
【００４３】
流路要素６１Ａ内への液体の流入および流路要素６２Ｂ内の液体の分離が完了すると、導出バルブ部Ｃのフィルム部３の電磁石３４Ｃの磁化の向きが反転され、他の電磁石の磁化の向きは図８．Ｂの状態が維持される。これにより、図８．Ｃに示すように、導出バルブ部Ｃにより下側流路６１の流路要素６１Ｃ（図８．Ｂ参照）が閉塞されて上側流路６２の流路要素６２Ｃが開放される（ステップＳ１２，Ｓ２２）。
【００４４】
そして、導入バルブ部Ａが下側流路６１を開放して上側流路６２を閉塞し、導出バルブ部Ｃが下側流路６１を閉塞して上側流路６２を開放している状態で、圧縮部Ｂの電磁石３４Ｂの磁化の向きが反転される。これにより、図８．Ｄに示すように、圧縮部Ｂが下側流路６１の流路要素６１Ｂを拡張して流路要素６１Ａ側から圧縮部Ｂへの液体の導入（または、充填）が行われるとともに、上側流路６２の流路要素６２Ｂ（図８．Ｃ参照）を圧縮して圧縮部Ｂから流路要素６２Ｃ側への液体の導出が行われる（ステップＳ１３，Ｓ２３）。
【００４５】
ここで、例えば、図１中の圧縮部Ｂの電磁石４４Ｂの磁性体のＹ方向の長さＬ１が１０ｍｍとされ、２つのブロック部材５１間の間隙のＸ方向の幅Ｗ１が１５ｍｍとされ、図２中のギャップ幅Ｇ１が５０μｍとされる場合には、拡張時の流路要素６１Ｂの容積は約１５マイクロリットル（μＬ）となり（（１０［ｍｍ］×１５［ｍｍ］×０．０５［ｍｍ］×２）にて概算している。）、圧縮部Ｂが流路要素６１Ｂを拡張することにより、１５マイクロリットルの液体が圧縮部Ｂの流路要素６１Ｂ内に導入される。なお、この場合、図１中のマイクロポンプ１の本体（すなわち、制御部１０を除く部分）のＸ方向の幅Ｗ２は３５ｍｍとされ、図２中のフィルム部３および２つのカバー部２，４の厚さＨ１は３００μｍとされる。
【００４６】
下側流路６１における液体の圧縮部Ｂへの導入、および、上側流路６２における液体の圧縮部Ｂからの導出が完了すると、図８．Ｄに示す状態から導入バルブ部Ａの電磁石３４Ａの磁化の向きが反転されることにより、図８．Ｅに示すように、導入バルブ部Ａが下側流路６１の流路要素６１Ａ（図８．Ｄ参照）を閉塞して上側流路６２の流路要素６２Ａを開放し（ステップＳ２１，Ｓ１１）、下側流路６１において流路要素６１Ｂ内の液体が分離され、上側流路６２において流路要素６２Ａ内に液体が流入する。続いて、導出バルブ部Ｃの電磁石３４Ｃの磁化の向きが反転されることにより、図８．Ｆに示すように、導出バルブ部Ｃにより下側流路６１の流路要素６１Ｃが開放されて上側流路６２の流路要素６２Ｃ（図８．Ｅ参照）が閉塞される（ステップＳ２２，Ｓ１２）。
【００４７】
そして、導入バルブ部Ａが下側流路６１を閉塞して上側流路６２を開放し、導出バルブ部Ｃが下側流路６１を開放して上側流路６２を閉塞している状態で、圧縮部Ｂの電磁石３４Ｂの磁化の向きが反転され、図８．Ｇに示すように、圧縮部Ｂが下側流路６１の流路要素６１Ｂ（図８．Ｆ参照）を圧縮して圧縮部Ｂから流路要素６１Ｃ側へと液体が導出されるとともに、上側流路６２の流路要素６２Ｂを拡張して流路要素６２Ａ側から圧縮部Ｂへと液体が導入される（ステップＳ２３，Ｓ１３）。以上の動作により、図８．Ｇ中にクロスハッチングを付して示すように、上側流路６２および下側流路６１のそれぞれにおいて図８．Ａの状態から流路要素６１Ｂ，６２Ｂの容積に相当する量の液体が導出バルブ部Ｃから下流側へと送出され、マイクロポンプ１における１サイクルが完了する。
【００４８】
ここで、マイクロポンプ１では導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれにおいて、下側流路６１または上側流路６２が閉塞または圧縮される場合に下側カバー部２または上側カバー部４とフィルム部３とが互いに接触する部位に電磁石の作用により発生する単位面積当たりの磁力（密着力）が、（導入バルブ部Ａ＞圧縮部Ｂ＞導出バルブ部Ｃ）の関係を満たすように、各電磁石２４，３４，４４のコイルに供給される電流の大きさが調整される。すなわち、カバー部２，４とフィルム部３との間に生じる吸引力を当該カバー部２，４と当該フィルム部３との接触面積にて除した値が、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃのうち、導入バルブ部Ａにおいて最も高く、導出バルブ部Ｃにおいて最も低くされる。したがって、上記ステップＳ１１〜Ｓ１３，Ｓ２１〜Ｓ２３の処理中において、導出バルブ部Ｃ側から導入バルブ部Ａ側に液体が逆流することが防止され、導入バルブ部Ａ側から導出バルブ部Ｃ側に向けて液体が確実に送出される。また、本実施の形態では、各電磁石の磁性体およびコイルの双方の構造および材料が同一とされるため、供給する電流量により発生する磁力が調整されるが、コイル長を変えたり、透磁率の異なる磁性体を用いる等により同じ量の電流を供給しつつ発生する磁力の大きさが調整されてもよい。
【００４９】
マイクロポンプ１では、上記ステップＳ１１〜Ｓ１３，Ｓ２１〜Ｓ２３の処理が下側流路６１および上側流路６２のうちの一方の流路に対して繰り返され、これに並行して、ステップＳ２１〜Ｓ２３，Ｓ１１〜Ｓ１３の処理が他方の流路に対して繰り返されることにより、液体が微小な送液量にて継続して送出される。
【００５０】
マイクロポンプ１における１サイクルの間には互いに半周期だけずれて２回の液体の導出が行われるため、上述のように、圧縮部Ｂが１つの流路要素６１Ｂ，６２Ｂを拡張することにより、１５マイクロリットルの液体がこの流路要素６１Ｂ，６２Ｂ内に導入される場合には、１サイクルでの液体の送液量は３０マイクロリットルとなる。したがって、マイクロポンプ１における１サイクルの周期を１秒とすると（すなわち、マイクロポンプ１の１サイクルの動作を１ヘルツ［Ｈｚ］の周波数にて繰り返すと）、マイクロポンプ１では毎分１．８ミリリットル（（３０［マイクロリットル］×６０［秒］）にて求められる。）の送液量となる。マイクロポンプ１の設計によっては、１サイクル当たりの液体の送液量を最大で１００マイクロリットルとすることも可能である。
【００５１】
以上に説明したように、マイクロポンプ１の圧縮部Ｂには、２つのカバー部２，４の間において、フィルム部３の両面に磁極が生じる可撓部位を隔てて２つの流路要素６１Ｂ，６２Ｂが設けられ、２つの流路要素６１Ｂ，６２Ｂの一端側および他端側には導入バルブ部Ａおよび導出バルブ部Ｃがそれぞれ接続される。そして、制御部１０により導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃが制御されることにより、導入バルブ部Ａおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれが、２つの流路要素６１Ｂ，６２Ｂをそれぞれ含む２つの流路６１，６２を交互に閉塞しつつ、フィルム部３の可撓部位が磁力により下側カバー部２側または上側カバー部４側に向かって撓むことにより、２つの流路要素６１Ｂ，６２Ｂが交互に圧縮される。このようにして、マイクロポンプ１では、圧縮部Ｂが２つの流路要素６１Ｂ，６２Ｂのうち一方の流路要素を圧縮する動作により、この流路要素から微少量の液体を導出しつつ他方の流路要素内に液体を導入して、脈動（圧力変動）を抑制しつつ２つの流路要素６１Ｂ，６２Ｂを介して液体を効率よく送出することが実現される。
【００５２】
また、マイクロポンプ１では、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれが、これらの構成の間において一体的に広がる基材３１を有するフィルム状のフィルム部３の一部分と、同様に一体的に広がる基材２１を有するフィルム状の下側カバー部２の一部分と、同様に一体的に広がる基材４１を有するフィルム状の上側カバー部４の一部分との組合せとされるため、マイクロポンプ１の薄型化を図ることができる。マイクロポンプ１の本体（すなわち、制御部１０を除く部分）は１つのユニットとして構成されるため、マイクロポンプ１は様々な姿勢にて配置することが可能となる。
【００５３】
さらに、フィルム部３および２つのカバー部２，４においてフォトリソグラフィ技術を用いて軽量な電磁石が形成されるため、マイクロポンプ１では各流路要素の開閉を高速に行うことができ、単位時間当たりの液体の導出回数を増加する（すなわち、単位時間当たりのポンプ送液量を向上する）ことが実現される。なお、図１のマイクロポンプ１では、電磁石に鉄等の磁性体が設けられるが、より強い磁界を形成することが可能な強磁性体が設けられ、コイルに供給する電流が小さくされて、マイクロポンプ１の駆動に要するエネルギの削減が図られてもよい。
【００５４】
ここで、流路の外部から流路の側壁を形成する部材を機械的に撓ませるアクチュエータ等を用いる従来のマイクロポンプでは、機械的な動作不良による送液不良が生じ易いが、マイクロポンプ１では流路の側壁を形成するフィルム部３およびカバー部２，４の部位自体が、磁力により上下方向に撓むことにより送液が行われるため、送液不良が低減される。
【００５５】
マイクロポンプ１では、カバー部２，４が損傷しない範囲にて図２のギャップ幅調整機構５２２がギャップ幅Ｇ１を大きくすることにより送液量を増加することができ、ギャップ幅Ｇ１を小さくすることにより、カバー部２，４およびフィルム部３の各部位の変形動作に要する時間を短縮して、単位時間当たりの液体の導出回数を増加することも可能である。なお、実際に送液量を調整する際には、ギャップ幅Ｇ１をカバー部２，４が損傷しない範囲内の最大の幅にした後に、ギャップ幅Ｇ１を少しずつ小さくして送液量を調整することが好ましい。
【００５６】
また、マイクロポンプ１では、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれにおける下側カバー部２、フィルム部３および上側カバー部４の３つの電磁石の磁化の向きを互いに同じにして上側流路要素（上側流路の流路要素）および下側流路要素（下側流路の流路要素）の双方を閉塞することもでき、全ての流路要素を閉塞してマイクロポンプ１内に残留する液体を予め排除することにより、マイクロポンプ１のメンテナンス等を容易に行うことができる。
【００５７】
さらに、マイクロポンプ１では、液体を導出バルブ部Ｃ側から導入バルブ部Ａ側へと送出することも可能である。具体的には、導出バルブ部Ｃが下側流路６１を開放して上側流路６２を閉塞し、導入バルブ部Ａが下側流路６１を閉塞して上側流路６２を開放している状態で、圧縮部Ｂが下側流路６１の流路要素を拡張することにより、導出バルブ部Ｃ側から圧縮部Ｂの下側流路要素への液体の導入が行われるとともに、圧縮部Ｂの上側流路要素から導入バルブ部Ａ側への液体の導出が行われる。続いて、導出バルブ部Ｃが下側流路を閉塞して上側流路を開放し、導入バルブ部Ａが下側流路を開放して上側流路を閉塞している状態で、圧縮部Ｂが下側流路の流路要素を圧縮することにより圧縮部Ｂの下側流路要素から導入バルブ部Ａ側への液体の導出が行われるとともに、導出バルブ部Ｃ側から圧縮部Ｂの上側流路要素への液体の導入が行われる。
【００５８】
このように、制御部１０が、図７の動作例における導出バルブ部Ｃに対する制御を導出バルブ部Ｃに代えて導入バルブ部Ａに対して行い、導入バルブ部Ａに対する制御を導入バルブ部Ａに代えて導出バルブ部Ｃに対して行うことにより、液体を導出バルブ部Ｃ側から導入バルブ部Ａ側へと逆向きに送出することが容易に実現される。なお、後述する図９ないし図１３並びに図１４．Ａのマイクロポンプ１，１ａにおいても同様にして、液体が導出バルブ部側から導入バルブ部側へと逆向きに送出されてもよい。
【００５９】
図９はマイクロポンプ１の他の例を示す図である。図９では、図１と同様に蓋部材５２を取り外した状態を示している（図１１ないし図１３において同様。）。図９のマイクロポンプ１では、図１のマイクロポンプ１と比較して、圧縮部Ｂにおける電磁石（の磁性体およびコイル）のＹ方向の長さが大きくされる点のみが相違し、他の構成については図１と同様である。図９のマイクロポンプ１においても、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれにおいて、上側カバー部４の各電磁石、フィルム部３の対応する電磁石および下側カバー部２の対応する電磁石は同じ大きさであり、かつ、互いに正確に重なっており、以下の説明では、特に言及する場合を除き、導入バルブ部Ａの３つの電磁石を電磁石群４６Ａ、圧縮部Ｂの３つの電磁石を電磁石群４６Ｂ、導出バルブ部Ｃの３つの電磁石を電磁石群４６Ｃと総称し、図９では上側カバー部４の電磁石を破線にて代表的に図示している（図１１ないし図１３並びにその説明において符号を除いて同様に表記する。）。
【００６０】
図９のマイクロポンプ１では、圧縮部Ｂにおいて流路要素が圧縮される際のフィルム部３とカバー部２，４との接触面積が、導入バルブ部Ａおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれにおいて流路要素が閉塞される際のフィルム部３とカバー部２，４との接触面積よりも大きくなり、図１のマイクロポンプ１の場合に比べて、より多くの液体が圧縮部Ｂの各流路要素に導入されるとともに、より多くの液体が圧縮部Ｂの流路要素から導出される。このように、図９のマイクロポンプ１では、圧縮部Ｂにおける電磁石群４６Ｂの磁性体の面積を、導入バルブ部Ａにおける電磁石群４６Ａ、および、導出バルブ部Ｃにおける電磁石群４６Ｃよりも大きくすることにより、マイクロポンプ１の１サイクルの動作にて送出する液体の量を容易に増大することができる。なお、後述する図１０ないし図１３並びに図１４．Ａのマイクロポンプ１，１ａにおいても同様に、圧縮部Ｂにおけるフィルム部３とカバー部２，４との接触面積が導入バルブ部Ａおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれにおけるものよりも大きくされてもよい。
【００６１】
図１０は、さらに他の例に係るマイクロポンプ１の断面図である。図１０は図３に対応する図であり、図１０ではフィルム部３および２つのカバー部２，４の断面の平行斜線の図示を省略している。
【００６２】
図１０に示すマイクロポンプ１では、フィルム部３の（＋Ｙ）側の端部を挟持するフィルム保持部５４の２つの保持部材５４１ａ，５４２ａが、図３のマイクロポンプ１よりも（＋Ｙ）側に向かって長くされる。そして、下側カバー部２の端部を保持する（−Ｚ）側のカバー保持部５３のフィルム保持部５４側の保持部材５３１と保持部材５４１ａとにより下側流路６１のみに接続する一の排出口の一部が構成され、上側カバー部４の端部を保持する（＋Ｚ）側のカバー保持部５３のフィルム保持部５４側の保持部材５３１と保持部材５４２ａとにより上側流路６２のみに接続する他の排出口の一部が構成される。
【００６３】
マイクロポンプ１では、（−Ｙ）側の端部も図１０と同様の構造となっており、下側流路６１および上側流路６２にそれぞれ接続する２つの流入口が形成されている。そして、２つの流入口から２つの流路に互いに異なる２つの液体がそれぞれ導入され、これらの液体は混合されることなく２つの排出口側へと送出される。このとき、マイクロポンプ１では圧縮部Ｂにおけるフィルム部３の部位が下側カバー部２および上側カバー部４のそれぞれに向かってほぼ同じ量だけ撓むため、異なる２つの液体をほぼ同時に（正確には、半周期だけずれて）同量だけ送出することが実現される。なお、後述する図１１ないし図１３並びに図１４．Ａのマイクロポンプ１，１ａにおいても同様に、複数の流路に互いに異なる複数の液体がそれぞれ導入されてもよい。
【００６４】
図１１は、マイクロポンプ１のさらに他の例を示す図である。図１１のマイクロポンプ１では、圧縮部Ｂの電磁石群４７Ｂの磁性体の形状が略三角形とされ、電磁石群４７Ｂからこの三角形の（−Ｙ）側の辺に垂直な方向（図１１中の（−Ｙ）方向）に僅かに離れた位置に導入バルブ部Ａの電磁石群４７Ａが配置され、電磁石群４７Ｂからこの三角形の（＋Ｘ）側の辺に垂直な方向（図１１中の（＋Ｘ）方向）に僅かに離れた位置に導出バルブ部Ｃの電磁石群４７Ｃが配置される。このように、図１１のマイクロポンプ１では、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃが非直線状に並んでおり、導入バルブ部Ａから圧縮部Ｂを介して導出バルブ部Ｃへと至るほぼＬ字状の流路が形成され、この流路に沿って導入バルブ部Ａ側から導出バルブ部Ｃ側へと液体が送出される。もちろん、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部ＣはＬ字状以外の態様にて非直線状に並んでいてもよく、このようなマイクロポンプ１では液体を所望の方向に送出することが可能となり、マイクロポンプ１の用途性や利便性が向上する。なお、圧縮部Ｂの電磁石は、三角形や四角形以外の多角形とされてもよい。また、後述する図１２、図１３および図１４．Ａのマイクロポンプ１，１ａにおいても同様に、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃが非直線状に並んでいてもよい。
【００６５】
図１２は、マイクロポンプ１のさらに他の例を示す図である。図１２のマイクロポンプ１では導出バルブ部Ｃと同様の構造を有するもう１つの導出バルブ部Ｄがさらに設けられる。具体的には、圧縮部Ｂの電磁石群４８Ｂの形状が略三角形（直角三角形）とされ、電磁石群４８Ｂからこの三角形の斜辺に垂直な方向（図１２中の（−Ｙ）および（−Ｘ）方向）に僅かに離れた位置に導入バルブ部Ａの電磁石群４８Ａが配置され、電磁石群４８Ｂからこの三角形の（＋Ｙ）側の辺に垂直な方向（図１２中の（＋Ｙ）方向）に僅かに離れた位置に導出バルブ部Ｃの電磁石群４８Ｃが配置され、電磁石群４８Ｂからこの三角形の残りの（＋Ｘ）側の辺に垂直な方向（図１２中の（＋Ｘ）方向）に僅かに離れた位置に導出バルブ部Ｄの電磁石群４８Ｄが配置される。
【００６６】
図１２のマイクロポンプ１では、圧縮部Ｂにて流路が分岐しており、導入バルブ部Ａ側から導出バルブ部Ｄ側へと液体を送出する際には、導出バルブ部Ｃにおける下側カバー部２、フィルム部３および上側カバー部４の３つの電磁石群４８Ｃの磁化の向きが互いに同じとされる。これにより、導出バルブ部Ｃにおけるフィルム部３と下側カバー部２、および、フィルム部３と上側カバー部４とがそれぞれ接触して下側流路の流路要素および上側流路の流路要素が共に閉塞される。その結果、導入バルブ部Ａから圧縮部Ｂを介して導出バルブ部Ｄへと至る流路に沿って導入バルブ部Ａ側から導出バルブ部Ｄ側へと液体を送出することができる。また、導入バルブ部Ａ側から導出バルブ部Ｃ側へと液体を送出する際には、導出バルブ部Ｄにおける下側流路および上側流路が閉塞されて、導入バルブ部Ａから圧縮部Ｂを介して導出バルブ部Ｃへと至る流路に沿って液体が送出される。
【００６７】
なお、このように一方の導出バルブ部における下側流路および上側流路を閉塞し、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび他方の導出バルブ部のそれぞれにおいて、下側カバー部２の電磁石とフィルム部３の電磁石との磁化の向きを反対とし、かつ、フィルム部３の電磁石と上側カバー部４の電磁石との磁化の向きも反対として、下側流路および上側流路の双方を開放することにより、図１２のマイクロポンプ１を切替弁として用いることもできる。
【００６８】
また、マイクロポンプ１では図１２の２つの導出バルブ部Ｃ，Ｄをそれぞれ２つの導入バルブ部と捉え、図１２の１つの導入バルブ部Ａを１つの導出バルブ部と捉えて、これらの２つの導入バルブ部において同時に同じ制御を行うことにより、２つの導入バルブ部から圧縮部Ｂに液体が同時に導入されて混合され、混合された液体が導出バルブ部Ｃ側へと導出されてもよい。このように、１つの導入バルブ部、１つの圧縮部および１つの導出バルブ部を有するマイクロポンプに対して、当該導入バルブ部と同様の構造を有し、当該導入バルブ部とは異なる位置にて圧縮部に接続されるもう１つの導入バルブ部、または、当該導出バルブ部と同様の構造を有し、当該導出バルブ部とは異なる位置にて圧縮部に接続されるもう１つの導出バルブ部を追加することにより、２つの液体を混合しつつ送出する、または、液体を２つの導出バルブ部のうち所望の導出バルブ部側に送出することが実現される。なお、後述する図１３および図１４．Ａのマイクロポンプ１，１ａにおいても同様に、複数の導入バルブ部または複数の導出バルブ部が設けられてもよい。
【００６９】
図１３は、マイクロポンプ１のさらに他の例を示す図である。図１３のマイクロポンプ１では、図１のマイクロポンプ１と比較して、圧縮部Ｂにおける電磁石群４９Ｂが複数の電磁石要素群４９１Ｂ〜４９８Ｂの集合とされる点で相違する。他の構成は図１と同様であり、同符号を付している。
【００７０】
圧縮部Ｂの電磁石群について、詳細には、上側カバー部４の圧縮部Ｂの部位には流路要素に沿う複数の電磁石要素の配列である電磁石が設けられ、フィルム部３の圧縮部Ｂの部位にも流路要素に沿う複数の電磁石要素の配列である電磁石が設けられ、下側カバー部２の圧縮部Ｂの部位にも流路要素に沿う複数の電磁石要素の配列である電磁石が設けられる。上側カバー部４の各電磁石要素はフィルム部３の対応する電磁石要素、および、下側カバー部２の対応する電磁石要素と同じ大きさとされ、かつ、互いに正確に重なっている。
【００７１】
図１３のマイクロポンプ１における液体の送出時には、導入バルブ部Ａが下側流路を開放して上側流路を閉塞し（図７：ステップＳ１１，Ｓ２１）、導出バルブ部Ｃが下側流路を閉塞して上側流路を開放し（ステップＳ１２，Ｓ２２）、この状態で（ただし、電磁石群４９Ｂは下側流路の流路要素の全体を閉塞している。）、圧縮部Ｂの複数の電磁石要素群４９１Ｂ〜４９８Ｂのうち最も導入バルブ部Ａ側に近い１つの電磁石要素群４９１Ｂが下側流路の流路要素を部分的に拡張することにより、この拡張された空間に液体が導入される。このとき、上側流路の流路要素は部分的に圧縮されることにより、この圧縮された空間に予め存在していた量に相当する液体が圧縮部Ｂから導出バルブ部Ｃ側へと導出される。続いて、この電磁石要素群４９１ＢにＸ方向に隣接する電磁石要素群４９２Ｂが下側流路要素を部分的に拡張して上側流路要素を部分的に圧縮し、その後、電磁石要素群４９１ＢにＹ方向に隣接する電磁石要素群４９３Ｂが同様に下側流路要素の部分的な拡張および上側流路要素の部分的な圧縮を行う。このようにして、圧縮部Ｂにおける下側流路要素の部分的な拡張および上側流路要素の部分的な圧縮が複数の電磁石要素群４９１Ｂ〜４９８Ｂにより順次行われ、圧縮部Ｂの下側流路要素の全体に液体が導入されるとともに、上側流路要素の全体から液体が導出される（ステップＳ１３，Ｓ２３）。
【００７２】
圧縮部Ｂにおける下側流路の流路要素の全体が拡張されると、導入バルブ部Ａが下側流路を閉塞して上側流路を開放し（ステップＳ２１，Ｓ１１）、導出バルブ部Ｃが下側流路を開放して上側流路を閉塞し（ステップＳ２２，Ｓ１２）、この状態で、圧縮部Ｂの最も導入バルブ部Ａ側の電磁石要素群４９１Ｂが下側流路要素を部分的に圧縮して上側流路要素を部分的に拡張することにより、下側流路要素の圧縮された空間に存在する量に相当する液体が圧縮部Ｂから導出バルブ部Ｃ側へと導出され、上側流路要素の拡張された空間に液体が導入される。続いて、この電磁石要素群４９１ＢにＸ方向に隣接する電磁石要素群４９２Ｂが下側流路要素を部分的に圧縮して上側流路要素を部分的に拡張し、その後、電磁石要素群４９１ＢにＹ方向に隣接する電磁石要素群４９３Ｂが同様に下側流路要素の部分的な圧縮および上側流路要素の部分的な拡張を行う。このようにして、圧縮部Ｂにおける下側流路要素の部分的な圧縮および上側流路要素の部分的な拡張が複数の電磁石要素群４９１Ｂ〜４９８Ｂにより順次行われ、圧縮部Ｂの下側流路の流路要素から液体が微少量ずつ導出されるとともに、圧縮部Ｂの上側流路要素の全体に液体が導入される（ステップＳ２３，Ｓ１３）。
【００７３】
図１３のマイクロポンプ１では、上記ステップＳ１１〜Ｓ１３，Ｓ２１〜Ｓ２３の処理が下側流路および上側流路のうちの一方の流路に対して繰り返され、これに並行して、ステップＳ２１〜Ｓ２３，Ｓ１１〜Ｓ１３の処理が他方の流路に対して繰り返される。これにより、図１３のマイクロポンプ１では、複数の電磁石要素群４９１Ｂ〜４９８Ｂの磁化の向きを順次高速に切り換えつつ各電磁石要素群４９１Ｂ〜４９８Ｂによる１度の導出動作により極微小量の液体の送液を行い（すなわち、高い送液分解能での液体の送出が実現され）、圧縮部Ｂが単一の電磁石のみを有するマイクロポンプに比べて無脈動に近い極めて低い脈動にて送液を行うことができる。なお、導出バルブ部Ｃが流路を閉塞する際に生じる脈動も低減する際には、導出バルブ部Ｃが１つの電磁石要素群４９１Ｂ〜４９８Ｂと同じ大きさとされてもよい。
【００７４】
図１３のマイクロポンプ１では、複数の電磁石要素群４９１Ｂ〜４９８Ｂを一体的に動作させることにより、図１のマイクロポンプ１と同様の液体の送出を行うことも可能である。また、流路要素に沿って配列されるのであれば、圧縮部Ｂの複数の電磁石要素の配列は図１３のもの以外であってもよい。なお、次に説明する図１４．Ａのマイクロポンプ１においても同様に圧縮部Ｂの電磁石が複数の電磁石要素の集合とされてもよい。
【００７５】
図１４．Ａは、第２の実施の形態に係るマイクロポンプ１ａの構成を示す図であり、図１４．Ａでは電磁石およびその配線を太線にて図示している。図１４．Ａのマイクロポンプ１ａは、図１のマイクロポンプ１と比較して、２つのカバー部２，４の間に２つのフィルム部３ａ，３ｂが設けられる点のみが相違している。液体の送出に係る他の構成は図１と同様であり、同符号を付している。
【００７６】
図１４．Ａに示す各フィルム部３ａ，３ｂの構造は、図１のフィルム部３と同様である。すなわち、各フィルム部３ａ，３ｂは、それぞれが導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃに含まれる３つの電磁石を有し、各電磁石によりフィルム部３ａ，３ｂの両面に磁極が生じる。図１４．Ａのマイクロポンプ１ａでは、積層される２つのフィルム部３ａ，３ｂの積層方向の両側に２つのカバー部２，４が重ねられることにより、２つのカバー部２，４の間において２つのフィルム部３ａ，３ｂにより互いに隔離された３つの流路要素が、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれにおいて設けられる。圧縮部Ｂの３つの流路要素の一端側は導入バルブ部Ａの３つの流路要素にそれぞれ接続され、圧縮部Ｂの３つの流路要素の他端側は導出バルブ部Ｃの３つの流路要素にそれぞれ接続され、マイクロポンプ１では圧縮部Ｂの３つの流路要素をそれぞれ含む３つの流路が形成されている。
【００７７】
マイクロポンプ１ａでは、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれにおいて、図１４．Ｂに示すように、制御部１０（図１参照）の制御により下側カバー部２と下側のフィルム部３ａとの間の流路要素（以下、「下側流路要素」という。）、および、上側のフィルム部３ｂと上側カバー部４との間の流路要素（以下、「上側流路要素」という。）は同時に閉塞（または圧縮）され、この状態において、下側のフィルム部３ａと上側のフィルム部３ｂとの間の流路要素（以下、「中間流路要素」という。）は開放（または拡張）されている。また、図１４．Ｃに示すように、下側流路要素および上側流路要素は同時に開放され、この状態において中間流路要素は閉塞されている。このように、マイクロポンプ１ａでは、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれにおいて下側流路要素および上側流路要素と中間流路要素とが交互に閉塞される。
【００７８】
図１５は、マイクロポンプ１ａが液体を送出する動作を説明するための図である。図１５の上段では導入バルブ部Ａにおける下側流路要素７１Ａ、中間流路要素７２Ａおよび上側流路要素７３Ａの開閉状態の時間に対する変化を抽象的に示しており、図１５の中段では圧縮部Ｂにおける下側流路要素７１Ｂ、中間流路要素７２Ｂおよび上側流路要素７３Ｂの開閉状態の時間に対する変化を抽象的に示しており、図１５の下段では導出バルブ部Ｃにおける下側流路要素７１Ｃ、中間流路要素７２Ｃおよび上側流路要素７３Ｃの開閉状態の時間に対する変化を抽象的に示している。図１５の上段、中段、下段のそれぞれでは、横方向に伸びる４本の実線が下側カバー部２、下側フィルム部３ａ、上側フィルム部３ｂおよび上側カバー部４にそれぞれ対応し（図１５中にて同符号を付している。）、各流路要素は４本の実線のうち図１５中の上下方向に互いに隣接する２つの実線にて挟まれており、当該２つの実線間の幅が広い部分では対応する流路要素が開放（または拡張）されていることを示し、狭い部分では閉塞（または圧縮）されていることを示している。
【００７９】
図１５中の時刻Ｔ０では、導入バルブ部Ａにより下側流路要素７１Ａおよび上側流路要素７３Ａが閉塞されて中間流路要素７２Ａが開放され、圧縮部Ｂにより下側流路要素７１Ｂおよび上側流路要素７３Ｂが閉塞されて中間流路要素７２Ｂが開放され、導出バルブ部Ｃにより下側流路要素７１Ｃおよび上側流路要素７３Ｃが開放されて中間流路要素７２Ｃが閉塞されている。時刻Ｔ１では、導入バルブ部Ａにより下側流路要素７１Ａおよび上側流路要素７３Ａが開放されて中間流路要素７２Ａが閉塞され（図７：ステップＳ１１，Ｓ２１）、時刻Ｔ２では、導出バルブ部Ｃにより下側流路要素７１Ｃおよび上側流路要素７３Ｃが閉塞されて中間流路要素７２Ｃが開放される（ステップＳ１２，Ｓ２２）。そして、この状態において、時刻Ｔ３では圧縮部Ｂが下側流路要素７１Ｂおよび上側流路要素７３Ｂを拡張して下側流路要素７１Ｂおよび上側流路要素７３Ｂへの液体の導入が行われるとともに、中間流路要素７２Ｂを圧縮して中間流路要素７２Ｂからの液体の導出が行われる（ステップＳ１３，Ｓ２３）。
【００８０】
下側流路要素７１Ｂおよび上側流路要素７３Ｂへの液体の導入が完了すると、時刻Ｔ４では、導入バルブ部Ａにより下側流路要素７１Ａおよび上側流路要素７３Ａが閉塞されて中間流路要素７２Ａが開放され（ステップＳ２１，Ｓ１１）、時刻Ｔ５では、導出バルブ部Ｃにより下側流路要素７１Ｃおよび上側流路要素７３Ｃが開放されて中間流路要素７２Ｃが閉塞される（ステップＳ２２，Ｓ１２）。そして、この状態において、時刻Ｔ６では圧縮部Ｂが下側流路要素７１Ｂおよび上側流路要素７３Ｂを圧縮して下側流路要素７１Ｂおよび上側流路要素７３Ｂからの液体の導出が行われるとともに、中間流路要素７２Ｂを拡張して中間流路要素７２Ｂへの液体の導入が行われる（ステップＳ２３，Ｓ１３）。
【００８１】
マイクロポンプ１ａでは、上記ステップＳ１１〜Ｓ１３，Ｓ２１〜Ｓ２３の処理が下側流路要素および上側流路要素をそれぞれ含む２つの流路と、中間流路要素を含む流路とのうちの一方に対して繰り返され、これに並行して、ステップＳ２１〜Ｓ２３，Ｓ１１〜Ｓ１３の処理が他方の流路（１または２つの流路）に対して繰り返されることにより、圧縮部Ｂの３つの流路要素を介して液体が効率よく送出される。
【００８２】
また、図１４．Ａのマイクロポンプ１ａでは、２つのカバー部２，４の間において積層される３枚のフィルム部が配置されてもよく、この場合、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれにおいて、３枚のフィルム部により互いに隔離された４個の流路要素が設けられ、４個の流路要素のうち１つ置きに存在する２つの流路要素と、他の２つの流路要素とが交互に閉塞されて液体の送出が行われる。
【００８３】
以上のように、マイクロポンプでは、２つのカバー部２，４の間において複数のフィルム部により互いに隔離された複数の流路が存在しており、複数の流路のうち１つ置きに存在する第１流路群の対応する第１流路要素群と、第１流路群以外の第２流路群の対応する第２流路要素群とを交互に圧縮する圧縮部Ｂ、圧縮部Ｂの流路要素群の一端側において第１流路群と第２流路群とを交互に閉塞する導入バルブ部Ａ、および、圧縮部Ｂの流路要素群の他端側において第１流路群と第２流路群とを交互に閉塞する導出バルブ部Ｃが設けられる。そして、第１流路群および第２流路群のうち、導入バルブ部Ａが一の流路群を開放して他の流路群を閉塞し、導出バルブ部Ｃが当該一の流路群を閉塞して当該他の流路群を開放している状態で、圧縮部Ｂが当該一の流路群の流路要素群を拡張することにより圧縮部Ｂへの液体の導入が行われ、導入バルブ部Ａが当該一の流路群を閉塞して他の流路群を開放し、導出バルブ部Ｃが当該一の流路群を開放して当該他の流路群を閉塞している状態で、圧縮部Ｂが当該一の流路群の流路要素群を圧縮することにより圧縮部Ｂからの液体の導出が行われる。そして、上記一の流路群と他の流路群とを入れ替えながら動作を繰り返すことにより、マイクロポンプでは圧縮部Ｂの複数の（３以上の）流路要素を介して液体が効率よく送出される。
【００８４】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【００８５】
上記第１の実施の形態では、導入バルブ部Ａ、圧縮部Ｂおよび導出バルブ部Ｃのそれぞれにおいて、フィルム部３および２つのカバー部２，４に電磁石が設けられるが、２つの流路要素を交互に圧縮（または閉塞）することが可能であるならば、一部の電磁石が磁石に置換されてもよい。すなわち、マイクロポンプ１では、フィルム部３がその両面に磁極が生じる電磁石を備える場合には、２つのカバー部２，４のそれぞれがフィルム部３に対向する面に磁極が存在する磁石または磁極が生じる電磁石を備え、フィルム部３がその両面に磁極が存在する磁石を備える場合には、２つのカバー部２，４のそれぞれがフィルム部３に対向する面に磁極が生じる電磁石を備えることが上記ポンピング動作を行う上で必要な条件となる。ただし、２つの流路要素を同時に圧縮する等、２つの流路要素の圧縮および拡張（または閉塞および開放）を自在に行うには、フィルム部３および２つのカバー部２，４のそれぞれが、電磁石を備えることが好ましい。
【００８６】
また、上記第２の実施の形態においても、マイクロポンプ１ａの２つのカバー部２，４のそれぞれに、複数のフィルム部に対向する面に磁極が存在する磁石が電磁石に代えて設けられ、流路要素の圧縮および拡張が実現されてもよい。
【００８７】
マイクロポンプ１，１ａでは、送出対象の流体が気体とされてもよい。この場合、マイクロポンプ１，１ａをコンプレッサや吸引ポンプとして用いることも可能である。また、マイクロポンプ１，１ａはマイクロリアクタ内に液体を送出する用途以外に用いられてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】第１の実施の形態に係るマイクロポンプを示す平面図である。
【図２】図１中の矢印II−IIの位置におけるマイクロポンプの縦断面図である。
【図３】図１中の矢印III−IIIの位置におけるマイクロポンプの縦断面図である。
【図４】フィルム部の構成を示す斜視図である。
【図５】フィルム部および２つのカバー部の構成を示す斜視図である。
【図６．Ａ】フィルム部とカバー部との間に空間が形成される様子を説明するための図である。
【図６．Ｂ】フィルム部とカバー部との間に空間が形成される様子を説明するための図である。
【図７】マイクロポンプが液体を送出する動作の流れを示す図である。
【図８．Ａ】マイクロポンプが液体を送出する様子を説明するための図である。
【図８．Ｂ】マイクロポンプが液体を送出する様子を説明するための図である。
【図８．Ｃ】マイクロポンプが液体を送出する様子を説明するための図である。
【図８．Ｄ】マイクロポンプが液体を送出する様子を説明するための図である。
【図８．Ｅ】マイクロポンプが液体を送出する様子を説明するための図である。
【図８．Ｆ】マイクロポンプが液体を送出する様子を説明するための図である。
【図８．Ｇ】マイクロポンプが液体を送出する様子を説明するための図である。
【図９】マイクロポンプの他の例を示す図である。
【図１０】マイクロポンプのさらに他の例を示す図である。
【図１１】マイクロポンプのさらに他の例を示す図である。
【図１２】マイクロポンプのさらに他の例を示す図である。
【図１３】マイクロポンプのさらに他の例を示す図である。
【図１４．Ａ】第２の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図である。
【図１４．Ｂ】マイクロポンプの流路要素を示す図である。
【図１４．Ｃ】マイクロポンプの流路要素を示す図である。
【図１５】マイクロポンプが液体を送出する動作を説明するための図である。
【符号の説明】
【００８９】
１，１ａ    マイクロポンプ
２，４    カバー部
３，３ａ，３ｂ    フィルム部
１０    制御部
２１，３１，４１    基材
２４，３４，４４，２４Ａ〜２４Ｃ，３４Ａ〜３４Ｃ，４４Ａ〜４４Ｃ    電磁石
３２    磁性体
３３    コイル
４６Ａ〜４６Ｃ，４７Ａ〜４７Ｃ，４８Ａ〜４８Ｄ，４９Ｂ    電磁石群
５２    蓋部材
６１，６２    流路
６１Ａ〜６１Ｃ，６２Ａ〜６２Ｃ，７１Ａ〜７１Ｃ，７２Ａ〜７２Ｃ，７３Ａ〜７３Ｃ    流路要素
４９１Ｂ〜４９８Ｂ    電磁石要素群
Ａ    導入バルブ部
Ｂ    圧縮部
Ｃ，Ｄ    導出バルブ部
【図１】
2007138764.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６．Ａ】
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【図６．Ｂ】
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【図７】
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【図８．Ａ】
2007138764.tif 000011
【図８．Ｂ】
2007138764.tif 000012
【図８．Ｃ】
2007138764.tif 000013
【図８．Ｄ】
2007138764.tif 000014
【図８．Ｅ】
2007138764.tif 000015
【図８．Ｆ】
2007138764.tif 000016
【図８．Ｇ】
2007138764.tif 000017
【図９】
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【図１０】
2007138764.tif 000019
【図１１】
2007138764.tif 000020
【図１２】
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【図１３】
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【図１４．Ａ】
2007138764.tif 000023
【図１４．Ｂ】
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【図１４．Ｃ】
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【図１５】
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