【事件の表示】
　特願２０１０−５１７１６２「チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年　１月２２日国際公開、ＷＯ２００９／０１２３９６、平成２３年　５月　６日国内公表、特表２０１１−５１４６５２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯 
　本願は、２００８年７月１７日（パリ条約による優先権主張　外国庁受理２００７年７月１７日（ＵＳ）アメリカ合衆国、２００８年７月１７日（ＵＳ）アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、平成２４年９月２８日付けで拒絶の理由が通知され、平成２５年４月１日に意見書とともに手続補正書が提出されたが、平成２５年１０月７日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２６年２月１７日に拒絶査定不服審判の請求がなされると同時に特許請求の範囲についての手続補正がなされたものである。 
 　 
II．平成２６年２月１７日付けの手続補正についての補正却下の決定 
［補正却下の決定の結論］ 
　平成２６年２月１７日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。 
 　 
［理由］ 
１．補正後の本願発明 
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、次のように補正された。
「基板搬送装置であって、
　隔離された雰囲気を保持可能な基板搬送チャンバを画定する内面を有する周壁と、
　前記周壁の前記内面とその隣接する外面との間の前記周壁内に
おいて前記周壁の大気側の側部の外部雰囲気から前記基板搬送チャンバの前記隔離された雰囲気を隔離する前記周壁の前記大気側の側部上に
支持
　前記少なくとも１つのロータに接続され、少なくとも１つの基板を保持するよう構成された少なくとも１つのエンドエフェクタを有する、少なくとも１つの基板搬送アームと、を含み、
　前記リング形状のモータにより包囲された前記周壁の表面は、所定の装置の取り付け用に構成されていることを特徴とする基板搬送装置。」 
（なお、下線は補正箇所を示すものである。） 
 　 
２．補正の目的
　本件補正は、「少なくとも１つのステータモジュール」について、「前記周壁の大気側の側部の外部雰囲気から前記基板搬送チャンバの前記隔離された雰囲気を隔離する前記周壁の前記大気側の側部上に設けられた」との限定を付加するもの、及び、「少なくとも１つのロータ」について、「懸架された」を「支持された」と表現を変更するものであり、前者は特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当し、後者は特許法第１７条の２第５項第４号の明りょうでない記載の釈明に該当する。
３．独立特許要件 
　本件補正が特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものを含むことから、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか）について以下に検討する。
３−１．引用刊行物の記載事項 
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００２−２６１０５号公報（以下、「刊行物１」という。）には、次の事項が記載されている。
（ア）「【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００３２】図１は、この発明による真空搬送モジュールを示した平面図である。図２は、この真空搬送モジュール１を構成する搬送室２の断面を示す拡大正面図である。この真空搬送モジュール１は、半導体部品、具体的には基板の製造装置の一部であり、平面において略正方形をなす搬送室２と、この搬送室２の周りに配置されて搬送室２に接続する４つの処理室３，３・・・を有する。上記処理室３，３，３・・・には、基板に所定の処理を施す例えばＣＶＤ（化学的気相成長）装置やＰＶＤ（物理的気相成長）装置等が設けられている。
【００３３】上記搬送室２の内部には、処理室３，３・・・にて所定の処理が施されるべき基板を搬送するためのロボットアーム５が設けられている。このロボットアーム５は、第１アーム５ａと、第２アーム５ｂと、把手５ｃとが順に接続してなる。上記第１アーム５ａは、略円盤形状をなしていて、円筒形の第１中空回転軸６ａの上端に、第１中空回転軸６ａと軸を略一致させて連結されている。上記第１アーム５ａは、円盤の中心部を貫通する開口穴８を有し、この開口穴８は、上記第１中空回転軸６ａの内側に形成された吸引口９と連通している。さらに、上記第１アーム５ａは、円周の１部に径方向に突出する凸部を有し、この凸部に第２アーム５ｂを接続している。
【００３４】上記第１中空回転軸６ａは、図２に示すように、上記搬送室２の底盤２ａの平面において略中央に設けられている。この第１中空回転軸６ａは、外側面の一部に永久磁石を備えてロータ１１ｒを形成していて、径方向外側に、上記ロータ１１ｒに対向するステータ１１ｓを配置している。そして、上記ロータ１１ｒとステータ１１ｓとで、第１中空モータ１１を形成している。
【００３５】上記第１中空回転軸６ａの径方向内側には、この第１中空回転軸６ａと同軸に第２中空回転軸６ｂが配置されている。この第２中空回転軸６ｂは、内側面の一部に永久磁石を備えてロータ１２ｒを形成していて、径方向内側に、上記ロータ１２ｒに対向するステータ１２ｓを配置している。そして、上記ロータ１２ｒとステータ１２ｓとで、第２中空モータ１２を形成している。また、上記第２中空回転軸６ｂの内側において、上記第２中空モータ１２の内面に形成される中空部分が、上記第１アーム５ａの開口穴８に連通して搬送室２内の空気を吸引するための吸引口９になっている。
【００３６】上記第１中空モータ１１および第２中空モータ１２は、軸方向の厚みが、上記搬送室２のケーシングを構成する１部分である底盤２ａの厚みよりも薄く形成されていて、この底盤２ａの中に配置されている。上記第１中空モータ１１は、上記第１中空回転軸６ａを駆動して、この第１中空回転軸６ａに連結する第１アーム５ａを直接回転駆動する。上記第２中空モータ１２は、上記第２中空回転軸６ｂを駆動して、この第２中空回転軸６ｂの上端に掛け渡されて上記第１アーム５ａの内部に設けられた図示しないベルトを介して、第２アーム５ｂを回転駆動する。なお、上記第１中空モータ１１および第２中空モータ１２は、ステッピングモータである。
【００３７】上記搬送室２の底盤２ａの下側面には、略円筒形の真空ポンプ１４を取り付けている。この真空ポンプ１４は、上記第１中空モータ１１および第２中空モータ１２と同軸に配置されていて、真空ポンプ１４の吸引ポートを、上記第２中空モータ１２の内側の吸引口９に連通している。」
（イ）第２図には、搬送室２の構成図（特に、搬送室２が側部を有する点）が図示されている。 
　上記記載事項（ア）及び図示内容の上記認定事項（イ）を総合すると、刊行物１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 
「真空搬送モジュール１であって、
　隔離された雰囲気を保持可能な搬送室２を画定する内面を有するケーシングと、
　前記ケーシングの大気側の側部の外部雰囲気から前記搬送室２の前記隔離された雰囲気を隔離する前記ケーシングの前記大気側の側部と、
　前記ケーシングの前記内面とその隣接する外面との間の前記ケーシング内に設けられたステータ１１ｓを含み、前記搬送室２内において支持されたロータ１１ｒを含むリング形状の第１中空モータ１１と、
　前記ロータ１１ｒに接続され、基板を保持するよう構成された把手５ｃを有する、ロボットアーム５と、を含み、
　前記リング形状の第１中空モータ１１により包囲された前記ケーシングの表面は、真空ポンプ１４の取り付け用に構成されている真空搬送モジュール１。」 
  
３−２．対比 
　本願補正発明と引用発明とを対比すると、その構造または機能からみて、引用発明の「真空搬送モジュール１」は、本願補正発明の「基板搬送装置」に相当し、以下同様に、「搬送室２」は「基板搬送チャンバ」に、「ケーシング」は「周壁」に、「ステータ１１ｓ」は「ステータモジュール」に、「ロータ１１ｒ」は「ロータ」に、「第１中空モータ１１」は「モータ」に、「把手５ｃ」は「エンドエフェクタ」に、「ロボットアーム５」は「基板搬送アーム」に、「真空ポンプ１４」は「所定の装置」に、それぞれ相当する。 
　そうすると、両者は次の点で一致する。 
（一致点） 
「基板搬送装置であって、
　隔離された雰囲気を保持可能な基板搬送チャンバを画定する内面を有する周壁と、
　前記周壁の大気側の側部の外部雰囲気から前記基板搬送チャンバの前記隔離された雰囲気を隔離する前記周壁の前記大気側の側部と、
　前記周壁の前記内面とその隣接する外面との間の前記周壁内に設けられた少なくとも１つのステータモジュールを含み、前記搬送チャンバ内において支持された少なくとも１つのロータを含む少なくとも１つのリング形状のモータと、
　前記少なくとも１つのロータに接続され、少なくとも１つの基板を保持するよう構成された少なくとも１つのエンドエフェクタを有する、少なくとも１つの基板搬送アームと、を含み、
　前記リング形状のモータにより包囲された前記周壁の表面は、所定の装置の取り付け用に構成されている基板搬送装置。」 
 　 
　そして、両者は、次の相違点１、２で相違する。 
（相違点１） 
　ステータモジュールが、本願補正発明では、大気側の側部上に設けられているのに対し、引用発明では、そのようになっていない点。 
 　 
（相違点２） 
　ロータが、本願補正発明では、接触することなく支持されるのに対し、引用発明ではそのようになっているか不明である点。 
 
３−３．相違点の判断 
　上記相違点について検討する。 
（相違点１について） 
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開平１０−３１６２４１号公報（以下、「刊行物２」という。）には、側部上に固定子（本願補正発明の「ステータモジュール」に相当）を設ける構成（以下、「刊行物２記載事項」という）が記載されている（第３頁第４欄１〜１４行、第５、６図等参照）。そして、基板搬送装置において、ステータモジュールをどのように配置するかは当業者が全体の構成を踏まえて適宜設計可能な事項であるので、引用発明において、上記刊行物２記載事項を適用することで、上記相違点１に係る本願補正発明の発明特定事項のようにすることは当業者が容易に想到し得たことである。 
 　 
（相違点２について） 
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である実願昭６３−８１２９９号（実開平２−４０２４号）のマイクロフィルム（以下、「刊行物３」という。）には、軸受回転子１（本願補正発明の「ロータ」に相当）を接触することなく支持する構成（以下、「刊行物３記載事項」という）が記載されている（明細書第４頁１２〜１８行、第１３頁６行〜第１４頁４行、第６、７図等参照）。基板搬送装置において、ベアリングの潤滑剤等が生じる場合に真空での作業への悪影響が生じるという課題は刊行物３（明細書第４頁５〜１０行）に示されるように一般的に知られたものであるので、引用発明においても、上記課題の解決のために刊行物３記載事項を適用して上記相違点２に係る本願補正発明の発明特定事項のようにすることは当業者が格別の創意なくなし得たことである。 
  
　そして、本願補正発明による効果も、引用発明並びに刊行物２記載事項及び刊行物３記載事項から当業者が予測し得た程度のものであって、格別のものとはいえない。 
 　 
　したがって、本願補正発明は、引用発明並びに刊行物２記載事項及び刊行物３記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。 
 　 
３−４．むすび 
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合しないので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　よって、上記［補正却下の決定の結論］のとおり、決定する。 
 　 
III.本願発明 
　平成２６年２月１７日付けの手続補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の発明は、平成２５年４月１日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められ、その請求項１に係る発明は、以下のとおりのものである（以下、「本願発明」という。）。 
「基板搬送装置であって、
　隔離された雰囲気を保持可能な基板搬送チャンバを画定する内面を有する周壁と、
　前記周壁の前記内面とその隣接する外面との間の前記周壁内に設けられた少なくとも１つのステータモジュールを含み、前記搬送チャンバ内において接触することなく懸架された少なくとも１つのロータを含む少なくとも１つのリング形状のモータと、
　前記少なくとも１つのロータに接続され、少なくとも１つの基板を保持するよう構成された少なくとも１つのエンドエフェクタを有する、少なくとも１つの基板搬送アームと、を含み、
　前記リング形状のモータにより包囲された前記周壁の表面は、所定の装置の取り付け用に構成されていることを特徴とする基板搬送装置。」
IV.引用例の記載事項 
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物１、及び、その記載事項は、前記II.３−１.に記載したとおりである。 
Ｖ．対比・判断 
　本願発明は、前記II.１.の本願補正発明から、「少なくとも１つのステータモジュール」について、「前記周壁の大気側の側部の外部雰囲気から前記基板搬送チャンバの前記隔離された雰囲気を隔離する前記周壁の前記大気側の側部上に設けられた」との限定を省き、また、「少なくとも１つのロータ」について、「支持された」を「懸架された」と表現を変更したものである。なお、この表現の変更は明りょうでない記載の釈明による変更を元に戻すものであり実質上構成の変更を伴なうものではない。
　してみると、本願発明と引用発明とを対比すると、両者は、前記II.３−２.における上記相違点２について相違し、その他の点で一致する。上記相違点２については、前記II.３−３.に記載したとおり、引用発明において刊行物３記載事項を適用して上記相違点２に係る本願発明の発明特定事項のようにすることは当業者が格別の創意なくなし得たことである。したがって、本願発明も、引用発明及び刊行物３記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
VI.むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び刊行物３記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
　そして、本願発明が特許を受けることができないものである以上、本件出願のその他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。