(57)【要約】【課題】表示品質の劣化を防ぎ、高品質な高精細表示を可能とするプラズマディスプレイパネルおよびその製造方法を提供する。【解決手段】アドレス電極の電極幅ｄを設定する工程と、背面ガラス板１６上に所定の幅を有した複数のアドレス電極１８を形成する工程と、所定のピッチＰおよび幅でそれぞれがアドレス電極１８と交互に配置されるように縦隔壁１９を形成する工程とを有し、縦隔壁１９のピッチをＰとし、縦隔壁１９の底部の幅をＲｂとしたとき、ｄ＜Ｐ−Ｒｂを満足するような所定の電極幅ｄでアドレス電極１８を形成する。さらに、縦隔壁１９の頂部の幅をＲｔとし、あらかじめ設定したマージン幅をＭとするとき、ｄ＝Ｐ−Ｒｔ−Ｍを満足するような所定の電極幅ｄでアドレス電極１８を形成する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の基板上にそれぞれが平行に配置された複数の表示電極を有し、他方の基板上に前記表示電極と交叉する方向にそれぞれが平行に配置された複数の縦隔壁および前記縦隔壁間に配置されたアドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルであって、
複数の前記アドレス電極が前記他方の基板上に所定の幅で配置されるとともに、複数の前記縦隔壁は所定のピッチおよび幅でそれぞれが前記アドレス電極と交互に配置され、前記縦隔壁のピッチをＰとし、前記縦隔壁の頂部の幅をＲｔとし、前記アドレス電極の幅をｄとし、マージン幅をＭとしたとき、前記アドレス電極は、ｄ＝Ｐ−Ｒｔ−Ｍを満足するような所定の幅で配置されたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記縦隔壁のピッチＰは１００μｍから２００μｍであることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記縦隔壁の頂部の幅Ｒｔは１５μｍから５０μｍであることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
一方の基板上にそれぞれが平行に配置された複数の表示電極を有し、他方の基板上に前記表示電極と交叉する方向にそれぞれが平行に配置された複数の縦隔壁および前記縦隔壁間に配置されたアドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記アドレス電極の幅をｄとし、前記縦隔壁のピッチをＰとし、前記縦隔壁の底部の幅をＲｂとしたとき、ｄ＜Ｐ−Ｒｂを満足するような所定の幅で、前記アドレス電極を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄型ディスプレイ装置などに利用されるプラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、適宜、「ＰＤＰ」と呼ぶ）は、前面パネル基板と背面パネル基板との一対のパネル基板を、両基板間に放電空間が形成されるように対向配置し、放電空間に希ガスを封入し、周辺部を封着した構成である。前面パネル基板上には走査電極と維持電極とからなる表示電極が複数形成され、背面パネル基板上には表示電極と直交する方向にアドレス電極が複数形成されており、表示電極とアドレス電極との立体交差部には単位発光領域である放電セルが形成される。このように構成されたＰＤＰの表示電極とアドレス電極とに所定の電圧を印加して各放電セルで選択的に放電を発生させることで、各放電セルに形成された蛍光体層がこの放電によって発光し、これによってＰＤＰから所望の画像が表示される。
【０００３】
図６（ａ）は、このような構成を有したＰＤＰにおける背面パネル基板の断面図である。また、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示す構成に対して高精細化を図った場合の背面パネル基板の断面図である。図６（ａ）に示すように、背面パネル基板では、背面ガラス板１６上にアドレス電極１８が互いに平行に複数形成され、このアドレス電極１８を覆うように誘電体層１７が形成されている。そして、この誘電体層１７上には、アドレス電極１８に平行な縦隔壁１９が複数形成され、誘電体層１７の表面と縦隔壁１９の側面とに蛍光体層２０が形成されている。
【０００４】
ところで、近年、ＰＤＰなどを利用した平面型表示装置において、画素の高密度化、高精細化の要求が高まっている。このような高密度化、高精細化を図るには、上述した各放電セルを小さくすることが要求されるため、図６（ｂ）に示すように、縦隔壁１９のピッチＰを狭くする必要がある。これによって、単位面積あたりの放電セル数を増やすことができるため高精細化を図ることができる。また、例えば、縦隔壁１９のピッチＰのみを狭くした場合、縦隔壁１９のピッチＰに対する放電空間の割合、すなわち開口率が低下することとなるため、輝度が低下する。このため、ＰＤＰの高精細化を図るにあたって、図６（ｂ）に示すように、縦隔壁１９のピッチＰを狭くするとともに、縦隔壁１９の頂部幅Ｒｔや底部幅Ｒｂを含む縦隔壁幅をも狭くする必要がある。
【０００５】
一方、縦隔壁幅を単に狭くすると、縦隔壁１９の製造工程において、縦隔壁パターンの蛇行や、縦隔壁の倒れ、はがれが発生しやすくなるという課題があった。このため、従来、ＰＤＰの高精細化に適した縦隔壁の形状が提案されている（例えば、特許文献１参照）。例えば、特許文献１によれば、高精細プラズマディスプレイ装置を得る場合、縦隔壁１９のピッチＰは１００〜２５０μｍとし、縦隔壁１９の線幅は１５〜５０μｍとすることが高開口率、高輝度が得られることから好ましいとされている。すなわち、５０μｍより大きいと開口率が低くなることにより、十分な輝度が得られず、１５μｍより小さいと強度が不足し、封着時に縦隔壁が破壊されるなどの不都合が生じる。また、縦隔壁１９の形状としては、縦隔壁の頂部と底部との中間位置の幅を中間幅Ｒｈとしたとき、頂部幅Ｒｔと中間幅Ｒｈとの比においてはＲｔ／Ｒｈ＝０．８〜１とし、低部幅Ｒｂと中間幅Ｒｈとの比においてはＲｂ／Ｒｈ＝１〜１．５とするような台形または矩形形状が強度および開口率の確保の点から好ましいとされている。
【特許文献１】特開平１０−１０６４４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ＰＤＰにおいて高精細化を図ろうとする場合、アドレス電極と狭幅化されたピッチや幅の縦隔壁との配置関係において、図６（ｂ）に示すように縦隔壁がアドレス電極に近接することとなるため、縦隔壁やアドレス電極の加工精度が表示品質に影響しやすくなり、例えば、縦隔壁やアドレス電極の寸法のばらつきが発光セルの輝度ムラに影響するという課題があった。このため、高精細化を図ろうとする場合、従来例のように縦隔壁の形状や各寸法を適切に設定することに加えて、縦隔壁とアドレス電極との配置関係をも適切に設定する必要があった。また、縦隔壁のピッチの狭幅化とともに、アドレス電極のピッチも狭くなるため、電極間のクロストークが増大するという課題もあった。
【０００７】
すなわち、縦隔壁とアドレス電極とがより近接すると、縦隔壁やアドレス電極の加工精度によっては縦隔壁の底部がアドレス電極端部を覆ってしまうような縦隔壁が含まれることとなる。図７は、アドレス電極端部を覆うような縦隔壁が形成された一例を示す図である。図７において、アドレス電極１８は標準寸法である電極幅ｄのアドレス電極を示し、アドレス電極１８ａは加工精度のばらつきにより、アドレス電極１８よりも幅広である電極幅ｄａのアドレス電極が形成された一例を示している。また、縦隔壁１９は標準寸法の底部幅Ｒｂの縦隔壁を示し、縦隔壁１９ａは加工精度のばらつきにより、縦隔壁１９よりも幅広である底部幅Ｒｂａの縦隔壁が形成された一例を示している。上述したように縦隔壁とアドレス電極とが近接すると、それぞれの寸法のばらつきにより、図７の縦隔壁１９ａとアドレス電極１８ａとのように、アドレス電極端部上に縦隔壁が配置される可能性が高くなる。さらに、縦隔壁の形成工程においてアドレス電極上に縦隔壁が配置されることになると、図７に示すように、縦隔壁よりも先に形成されたアドレス電極の熱膨張率などの影響を受けて、アドレス電極端部上の縦隔壁に傾きが生じやすくなる。このように傾いた縦隔壁１９ａに形成される蛍光体層２０ａは不均一となり、例えば輝度が低下したような放電セルが形成されることとなり、その結果、ＰＤＰにおいて輝度ムラが発生することとなる。
【０００８】
特に、縦隔壁を形成する手法として知られるサンドブラスト法や感光性ペースト法などのようにフォトマスクを用い１度の露光で縦隔壁を形成するような手法の場合、縦隔壁の頂部についてはマスクパターンに近いため精度よく頂部幅を設定できるが、マスクパターンから離れた縦隔壁の底部については形状や寸法の制御が難しくなり、頂部幅に比べて底部幅のばらつきが増大する。図６（ａ）のように、縦隔壁のピッチＰが十分広い場合には、縦隔壁１９とアドレス電極１８との間隔も十分広く設定できるため、このような縦隔壁の底部幅のばらつきは特に問題なかったが、図６（ｂ）のように、縦隔壁のピッチＰを狭幅化した場合、縦隔壁１９とアドレス電極１８との間隔が狭くなり、このような縦隔壁の底部幅のばらつきによって、上述したように縦隔壁の底部がアドレス電極端部を覆ったりするなどの不都合が生じやすくなる。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、ＰＤＰの高精細化を図るとき、縦隔壁やアドレス電極の加工精度や電極間のクロストークによる表示品質の劣化を防ぎ、高品質な高精細表示を可能とするプラズマディスプレイパネルおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述したような課題を解決するために、本発明のプラズマディスプレイパネルは、一方の基板上にそれぞれが平行に配置された複数の表示電極を有し、他方の基板上に表示電極と交叉する方向にそれぞれが平行に配置された複数の縦隔壁および縦隔壁間に配置されたアドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルであって、複数のアドレス電極が他方の基板上に所定の幅で配置されるとともに、複数の縦隔壁は所定のピッチおよび幅でそれぞれがアドレス電極と交互に配置され、縦隔壁のピッチをＰとし、縦隔壁の頂部の幅をＲｔとし、アドレス電極の幅をｄとし、マージン幅をＭとしたとき、アドレス電極は、ｄ＝Ｐ−Ｒｔ−Ｍを満足するような所定の幅で配置された構成である。
【００１１】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルは、縦隔壁のピッチＰが１００μｍから２００μｍであり、縦隔壁の頂部の幅Ｒｔが１５μｍから５０μｍとする構成である。
【００１２】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、一方の基板上にそれぞれが平行に配置された複数の表示電極を有し、他方の基板上に表示電極と交叉する方向にそれぞれが平行に配置された複数の縦隔壁および縦隔壁間に配置されたアドレス電極を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、他方の基板上に所定の幅を有した複数のアドレス電極を形成する工程と、所定のピッチおよび幅でそれぞれがアドレス電極と交互に配置されるように縦隔壁を形成する工程とを有し、アドレス電極の幅をｄとし、縦隔壁のピッチをＰとし、縦隔壁の底部の幅をＲｂとしたとき、ｄ＜Ｐ−Ｒｂを満足するような所定の幅で、アドレス電極を形成する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、所定のピッチＰ、頂部幅Ｒｔおよび底部幅Ｒｂの縦隔壁とするＰＤＰの製造工程において、縦隔壁の底部間よりも狭くした電極幅ｄのアドレス電極を形成した後、縦隔壁を形成する。さらに、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、所定のピッチＰ、頂部幅Ｒｔおよびあらかじめ設定したマージン幅Ｍに基づいた電極幅ｄのアドレス電極を形成するため、縦隔壁の底部がアドレス電極端部を覆うような放電セルの発生頻度を抑制できる。さらに、各アドレス電極が所定の間隔をあけて配置されることとなるため、アドレス電極間のクロストークも抑制できる。このため、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、表示品質の劣化を防ぎ、高品質な高精細表示を可能としたプラズマディスプレイパネルの製造方法、およびこの製造方法により製造されたプラズマディスプレイパネルを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１５】
（実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の構造図である。図１に示すように、本実施の形態のＰＤＰ１０は、対向して配置された一方の基板としての前面パネル基板３０と他方の基板としての背面パネル基板４０とを有している。特に、本実施の形態のＰＤＰは、高精細化を図ったＰＤＰであり、例えば、縦隔壁のピッチＰを１００〜２００μｍとすることで放電セルの高密度化を図り、縦隔壁１９の頂部の幅を１５〜５０μｍとすることで高開口率を図ったＰＤＰを例に挙げて説明する。
【００１６】
図１に示す本実施の形態のＰＤＰにおいて、前面パネル基板３０では、前面ガラス板１１上に、走査電極１２と維持電極１３とが互いに平行に対をなして表示電極１２３が形成され、このような表示電極１２３がさらに平行して複数対形成されている。そして、これらの走査電極１２と維持電極１３とを覆うように誘電体層１４が形成され、この誘電体層１４の表面を覆うように保護層１５が形成されている。
【００１７】
一方、背面パネル基板４０では、背面ガラス板１６上にアドレス電極１８が互いに平行に複数形成され、このアドレス電極１８を覆うように誘電体層１７が形成されている。そして、この誘電体層１７上には、アドレス電極１８に平行な縦隔壁１９およびアドレス電極１８に交差する横隔壁（図示せず）が複数形成され、誘電体層１７の表面と縦隔壁１９および横隔壁の側面とに蛍光体層２０が形成されている。さらに、前面パネル基板３０と背面パネル基板４０とに挟まれた放電空間１００には、放電ガスが封入されている。
【００１８】
また、放電空間１００には、縦隔壁１９および横隔壁によって複数の区画に仕切ることにより、走査電極１２および維持電極１３とアドレス電極１８との交差部に放電セルが設けられ、その各放電セルには、赤色、緑色および青色となるように蛍光体層２０が一色ずつ順次配置されている。そして、赤色、緑色および青色の蛍光体層２０が隣接して配置された３つの放電セルにより１つの画素を構成し、カラー表示を行う。
【００１９】
このような構成のＰＤＰ１０において所定の表示を行うため、まず、アドレス電極１８と走査電極１２との間に書き込みパルスを印加することにより、アドレス電極１８と走査電極１２との間でアドレス放電を行い、放電セルを選択する。さらに、放電セルを選択した後、走査電極１２と維持電極１３との間に、交互に反転する周期的な維持パルスを印加することにより、走査電極１２と維持電極１３との間で維持放電を行う。このような動作を行うことで、所望の画像などがＰＤＰ１０に表示される。
【００２０】
図２は、図１で示した本実施の形態のＰＤＰ１０を製造するための工程図である。以下、図２を参照しながら本発明の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。図２において、工程Ｓ１０から工程Ｓ１６までは、前面パネル基板３０を製造するための各工程を示している。また、工程Ｓ２０から工程Ｓ２９までは、背面パネル基板４０を製造するための各工程を示している。また、工程Ｓ３０から工程Ｓ３６までは、前面パネル基板３０と背面パネル基板４０とを用いてＰＤＰを製造するための各工程を示している。
【００２１】
まず、図２に示す工程Ｓ１０において、基板とする前面ガラス板１１を形成する。次に、工程Ｓ１２において、形成した前面ガラス板１１上において走査電極１２と維持電極１３とが互いに平行に対をなすように、表示電極１２３をパターン形成する。次に、工程Ｓ１４において、走査電極１２と維持電極１３とを覆うように誘電体層１４を形成する。次に、工程Ｓ１６において、形成された誘電体層１４の表面を覆うように保護層１５を形成する。これによって、前面パネル基板３０が完成する。
【００２２】
また、図２に示す工程Ｓ２０において、まず、背面パネル基板４０に形成する縦隔壁１９の寸法に対応づけて、背面パネル基板４０に形成するアドレス電極１８の電極幅を設定する。特に、本実施の形態のＰＤＰは上述したように高精細化を図ったＰＤＰであり、本発明のＰＤＰの製造方法は、このような高精細化を図ったＰＤＰを製造するために、製造工程において本工程Ｓ２０を設け、以下の工程で形成するアドレス電極１８および縦隔壁１９の寸法をあらかじめ設定しておくことを特徴としている。本工程Ｓ２０については、以下で詳細に説明する。
【００２３】
次に、工程Ｓ２２において、基板とする背面ガラス板１６を形成する。次に、工程Ｓ２４において、形成した背面ガラス板１６上に各アドレス電極１８が互いに平行となるようにパターン形成する。このとき、工程Ｓ２０において設定した電極幅で、各アドレス電極１８をパターン形成する。次に、工程Ｓ２６において、形成されたアドレス電極１８を覆うように誘電体層１７を形成する。次に、工程Ｓ２８において、形成された誘電体層１７上に、アドレス電極１８に平行し、所定のピッチおよび幅でそれぞれがアドレス電極１８と交互に配置されるように、縦隔壁１９を形成する。次に、工程Ｓ２９において、形成された誘電体層１７の表面および縦隔壁１９の側面に蛍光体層２０を形成する。これによって、背面パネル基板４０が完成する。
【００２４】
さらに、工程Ｓ３０において、完成した前面パネル基板３０と背面パネル基板４０とを対向配置し、外周部をガラスフリットなどによる封着材で両基板を封着する。次に、工程Ｓ３２において、ＰＤＰ端部に設けた排気孔に真空排気装置などを接続し、放電空間１００を真空排気する。次に、工程Ｓ３４において、ＰＤＰ端部に設けたガス封入口にガス供給装置などを接続し放電空間１００へ放電ガスを供給する。さらに、放電ガスの供給が完了すると、ガス封入口を閉じ、これによってＰＤＰが形成される。最後に、工程Ｓ３６において、形成されたＰＤＰを所定の規格に従ってエージングを行う。
【００２５】
以上、図２に示した各工程を実行することによって、本実施の形態の高精細化を図ったＰＤＰが完成する。
【００２６】
次に、本発明の特徴とするアドレス電極１８の電極幅を設定する工程Ｓ２０の詳細について説明する。図３は、アドレス電極１８の電極幅を設定する工程Ｓ２０の手順の一例を示したフローチャートである。また、図４は、アドレス電極１８の電極幅を設定する工程Ｓ２０の手順の他の例を示したフローチャートである。また、図５は、背面パネル基板４０の断面図である。以下、図３から図５までを参照しながらアドレス電極１８の電極幅を設定する手順を中心に説明する。
【００２７】
まず、図３に示した流れに従って、図５に示すようなアドレス電極１８の電極幅ｄを設定する一手順について説明する。本実施の形態の高精細化を図ったＰＤＰ１０を製造するにあたり、放電セル密度が高く、かつ開口率の高いＰＤＰを実現するため、縦隔壁１９の形状や各寸法を設定する。すなわち、図３のステップＳ２１０において、図５に示すような縦隔壁１９の中心ごとの間隔であるピッチＰの寸法を設定する。より具体的には、４０インチクラスのＰＤＰに対して、縦隔壁１９のピッチＰは１００〜２００μｍとすることが好適であり、これにより放電セルの高密度化を図る。次に、ステップＳ２１２において、図５に示すような縦隔壁１９の底部の底部幅Ｒｂの寸法を設定する。より具体的には、上記縦隔壁のピッチＰの寸法に対して、底部幅Ｒｂは４５〜６５μｍとすることが好適であり、これにより放電セルの高開口率を図る。なお、要点を説明するため、図３では縦隔壁１９のピッチＰと底部幅Ｒｂのみを示すが、縦隔壁１９の頂部幅や高さ、および形状なども設定してよい。次に、ステップＳ２１４において、ピッチＰと底部幅Ｒｂとのこれらのパラメータを用いて、図５に示すようなアドレス電極１８の電極幅ｄを設定する。すなわち、図３のステップＳ２１４に示すように、ｄ＜Ｐ−Ｒｂを満足するようなアドレス電極１８の電極幅ｄを設定する。
【００２８】
このようにして、図２の工程Ｓ２０で設定されたアドレス電極１８の電極幅ｄに基づき、工程Ｓ２４においてアドレス電極１８が形成されることとなる。特に、縦隔壁１９のピッチＰと底部幅Ｒｂとの差分値は縦隔壁１９の底部間の距離となるため、図３で示した手順に従って設定された電極幅ｄは、縦隔壁１９の底部間の距離よりも小さくなり、これによって、縦隔壁の底部がアドレス電極端部を覆ったりするなどの不都合を抑制することができる。なお、ここでは、アドレス電極１８の電極幅ｄがＰ−Ｒｂよりも小さくなるように設定するとして説明したが、電極幅ｄを極度に小さくすると断線などが生じやすくなる。このため、電極幅ｄの最小値ＭＩＮを設け、ＭＩＮ＜ｄ＜Ｐ−Ｒｂを満足するような電極幅ｄを設定するものとしてもよい。
【００２９】
次に、図４に示した流れに従って、図５に示すようなアドレス電極１８の電極幅ｄを設定する他の手順について説明する。図３の場合と同様に、放電セル密度が高く、かつ開口率の高いＰＤＰを実現するため、縦隔壁１９の形状や各寸法を設定する。すなわち、図４のステップＳ２２０において、図５に示すような縦隔壁１９のピッチＰの寸法を設定する。より具体的には、４０インチクラスのＰＤＰに対して、縦隔壁１９のピッチＰは１００〜２００μｍとすることが好適であり、これにより放電セルの高密度化を図る。次に、ステップＳ２２２において、図５に示すような縦隔壁１９の頂部幅Ｒｔの寸法を設定する。より具体的には、上記縦隔壁のピッチＰの寸法に対して、頂部幅Ｒｔは１５〜５０μｍとすることが好適であり、これにより放電セルの高開口率を図る。なお、図３の場合と同様に、縦隔壁１９の高さや形状なども設定してよい。
【００３０】
さらに、ステップＳ２２４において、マージン幅Ｍを設定する。マージン幅Ｍは、形成されるアドレス電極１８の電極幅のばらつきや縦隔壁１９の形成工程Ｓ２８における縦隔壁１９の底部幅のばらつきに対応させるために設けた値であり、縦隔壁を形成する手法および設定した頂部幅Ｒｔに対応させて設定する。すなわち、上述したように、サンドブラスト法や感光性ペースト法などのようにフォトマスクを用い１度の露光で縦隔壁を形成するような手法の場合、縦隔壁の頂部についてはマスクパターンに近いため精度よく頂部幅Ｒｔを設定できるが、マスクパターンから離れた縦隔壁の底部については形状や寸法の制御が難しくなり、頂部幅Ｒｔに比べて底部幅Ｒｂのばらつきが増大する。このため、本発明の実施の形態のＰＤＰの製造方法では、このようなマージン幅Ｍを設定し、上述した縦隔壁１９のピッチＰおよび頂部幅Ｒｔに加えて、このようなマージン幅Ｍをもパラメータとしてアドレス電極１８の電極幅ｄを設定している。
【００３１】
次に、ステップＳ２２６において、ｄ＝Ｐ−Ｒｔ−Ｍを満足するようなアドレス電極１８の電極幅ｄを設定する。また、このようにして、図２の工程Ｓ２０で設定されたアドレス電極１８の電極幅ｄに基づき、工程Ｓ２４においてアドレス電極１８が形成され、その後、工程Ｓ２８において縦隔壁１９が形成されることとなる。
【００３２】
図５では、図４の手順に従って設定された電極幅ｄに基づきアドレス電極１８が形成された背面パネル基板４０の一例を示している。また、図５において、アドレス電極１８は標準寸法である電極幅ｄのアドレス電極を示し、アドレス電極１８ａは加工精度のばらつきにより、アドレス電極１８よりも幅広である電極幅ｄａのアドレス電極が形成された一例を示している。また、縦隔壁１９は標準寸法の底部幅Ｒｂの縦隔壁を示し、縦隔壁１９ａは加工精度のばらつきにより、縦隔壁１９よりも幅広である底部幅Ｒｂａの縦隔壁が形成された一例を示している。
【００３３】
本発明のＰＤＰの製造方法では、図４のステップＳ２２６で示した条件であるｄ＝Ｐ−Ｒｔ−Ｍとする電極幅ｄに基づきアドレス電極１８を形成するため、図２のアドレス電極１８の形成工程Ｓ２４において、図５に示すようにアドレス電極１８の両端部がマージン幅Ｍの半分（Ｍ／２）のマージンを持つように配置される。また、図２の縦隔壁１９の形成工程Ｓ２８において、縦隔壁１９の頂部の端部がアドレス電極１８の端部からマージン幅Ｍの半分だけ離れた位置となるように配置されることとなる。すなわち、アドレス電極１８と縦隔壁１９との間にマージン幅Ｍの半分となるようなマージンを設けているため、例えば、ばらつきにより標準寸法よりも幅広である電極幅ｄａのアドレス電極１８ａに対応して、幅広である底部幅Ｒｂａの縦隔壁１９ａが形成されたとしても、縦隔壁１９ａの底部がアドレス電極１８ａの端部を覆ってしまうことを防止できる。
【００３４】
以上説明したように、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、所定のピッチＰ、頂部幅Ｒｔおよび底部幅Ｒｂの縦隔壁とする高精細化を図ったＰＤＰの製造工程において、あらかじめ、縦隔壁の底部間よりも狭くした電極幅ｄやマージン幅Ｍに基づいた電極幅ｄを設定しておき、このように設定した電極幅ｄのアドレス電極を形成し、その後、縦隔壁を形成する。このため、縦隔壁の底部がアドレス電極端部を覆うような放電セルの発生頻度を抑制でき、また、各アドレス電極が所定の間隔をあけて配置されることとなるため、アドレス電極間のクロストークも抑制できる。よって、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、表示品質の劣化を防ぎ、高品質な高精細表示を可能としたプラズマディスプレイパネルの製造方法、およびこの製造方法により製造されたプラズマディスプレイパネルを提供することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明のプラズマディスプレイパネルおよびその製造方法は、表示品質の劣化を防ぎ、高品質な高精細表示を可能としたプラズマディスプレイパネルを提供することができるので、プラズマディスプレイパネルなどのパネルを使用した表示装置などに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の構造図
【図２】本発明の実施の形態におけるＰＤＰを製造するための工程図
【図３】本発明の実施の形態における電極幅を設定する工程の手順の一例を示したフローチャート
【図４】本発明の実施の形態における電極幅を設定する工程の手順の他の例を示したフローチャート
【図５】本発明の実施の形態における背面パネル基板の断面図
【図６】（ａ）は従来のＰＤＰにおける背面パネル基板の断面図（ｂ）は従来の高精細化を図ったＰＤＰにおける背面パネル基板の断面図
【図７】アドレス電極端部を覆うような縦隔壁が形成された一例を示す図
【符号の説明】
【００３７】
１０    プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
１１    前面ガラス板
１２    走査電極
１３    維持電極
１４    誘電体層
１５    保護層
１６    背面ガラス板
１７    誘電体層
１８，１８ａ    アドレス電極
１９，１９ａ    縦隔壁
２０，２０ａ    蛍光体層
３０    前面パネル基板
４０    背面パネル基板
１００    放電空間
１２３    表示電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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