(57)【要約】【課題】液体処理室において液体処理後の被処理物を液体処理室外に搬出入口から搬出する際、液体処理中の飛散に起因して液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に再付着することにより、乾燥後の被処理物の被処理面に乾燥染みが発生するのを容易に防止する構成を有する電気光学装置の製造装置を提供する。【解決手段】液体処理室である洗浄乾燥室１の室内において、室内壁面２１に開口された搬出入口２７を覆う形状を有する液滴除去部２１０を配設する。液滴除去部２１０は、液晶装置５０の搬出時には回動モータ２２０によって回動され、搬出入口２７の下方へ移動する。このとき、液滴除去部２１０の水平部２１１によって、室内壁面２１に付着した液滴が拭き取られる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を液体処理するための液体処理室と、
前記液体処理室の室内外を区画する壁部に形成され、前記液体処理室内から前記被処理物を前記液体処理室の外に搬出するための搬出口と、
前記壁部の前記液体処理室内の内壁面に近接して配置された拭き取り部を有し、前記拭き取り部が前記内壁面に沿って移動することにより、前記拭き取り部が前記搬出口の少なくとも上端の前記内壁面近傍を通過する液滴除去部と、
前記拭き取り部を水平方向の成分を含む方向に移動させるように前記液滴除去部を動作させる動作機構と、
を具備したことを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項２】
前記拭き取り部は、前記内壁面に平行な面内において、線状又は面状に構成された部分を有することを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項３】
前記動作機構は、前記液滴除去部を回動自在に支持し、前記液滴除去部を回動させることで、前記拭き取り部に前記搬出口の少なくとも上端の前記内壁面近傍を通過させることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項４】
前記動作機構は、前記液滴除去部を所定の案内部材に沿って移動させることで、前記拭き取り部に前記搬出口の少なくとも上端の前記内壁面近傍を通過させることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項５】
前記液滴除去部は、前記被処理物の液体処理時に、前記搬出口の少なくとも上端近傍の前記内壁面を覆う液滴付着防止部を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項６】
前記搬出口の上方の前記内壁面に、前記内壁面に付着した液滴を保持する溝部が更に設けられることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項７】
前記拭き取り部は、前記内壁面に、摺接されることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項８】
室内外を区画する壁部に搬出口が形成された液体処理室に、被処理物を液体処理するために搬入する工程と、
前記液体処理室において、前記被処理物を液体処理する工程と、
前記壁部の前記液体処理室内の内壁面に近接して配置された拭き取り部を有する液滴除去部を動作させ、前記拭き取り部を前記内壁面に沿って移動させて、前記拭き取り部に前記搬出口の少なくとも上端の前記内壁面近傍を通過させる液滴除去工程と、
前記搬出口を介して前記被処理物を前記液体処理室の室外に搬出する工程と、
を具備したことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を液体処理室の室内にて液体処理する電気光学装置の製造装置、該製造装置を用いた電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、電気光学装置、例えば液晶装置は、ガラス基板、石英基板等からなる２枚の基板間に液晶が介在されて構成されており、一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと称す)等のスイッチング素子及び画素電極をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に挟持された液晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能としている。
【０００３】
また、ＴＦＴを配置した素子基板と、この素子基板に相対して配置される対向基板とは、別々に製造され、その後、パネル組立工程においてシール材を介して高精度（例えばアライメント誤差１μ以内）に貼り合わされる。
【０００４】
このパネル組立工程を詳しく説明すると、先ず、各基板の製造工程において夫々製造された素子基板と対向基板との各液晶層と接する面上に、液晶分子を基板面に沿って配向させるための配向膜が形成される。その後、焼成が行われ、さらに、電圧無印加時の液晶分子の配列を決定させるためのラビング処理が施される。
【０００５】
次いで、例えば液晶封入方式により、素子基板と対向基板との間に液晶が介在される場合には、素子基板と対向基板との一方の基板上のシール材塗布領域に接着剤となるシール材が、一部に切り欠きを有するよう略周状に塗布され、このシール材が用いられて素子基板と対向基板とが貼り合わされ、次いでアライメントが施されて圧着硬化された後、シール材の一部に設けられた切り欠きを介して液晶が封入された後、切り欠きが封止材により封止されて、液晶装置は組み立てられる。
【０００６】
その後、組み立てられた液晶装置は、組み立て中に液晶装置に付着した塵埃等の異物を除去するため、液体処理室である洗浄乾燥処理室（以下、洗浄乾燥室と称す）内に搬入されて、該洗浄乾燥室に配設された、例えば液晶装置を１つずつ洗浄する枚葉式の洗浄乾燥装置で洗浄処理された後、続けて乾燥処理され、洗浄乾燥室から搬出される。尚、洗浄乾燥室に対する液晶装置の搬出入は、例えばロボット等により、自動化されて行われている。
【０００７】
液晶装置等の被処理物に対し、洗浄処理または乾燥処理等の液体処理を行うことができる枚葉式の洗浄乾燥装置には、スピン式の洗浄乾燥装置が周知であり、該スピン式の洗浄乾燥装置には、被処理物が載置され回転する回転台と、被処理物に、洗浄液またはリンス液等の液体を供給する供給ノズルと、被処理物を洗浄する洗浄ブラシとを有する構成が周知である。
【０００８】
このような構成を有する洗浄乾燥装置は、回転台に載置され回転する被処理物の被処理面に対し、供給ノズルから洗浄液を供給した状態で、洗浄ブラシを、被処理面に当接、摺動させることにより、被処理面をスクラブ洗浄処理する。
【０００９】
次いで、乾燥染みの発生を防ぐため、被処理面の濡れ状態を均一にする純水等のリンス液を、供給ノズルから被処理面に供給した後、液体の供給と、洗浄ブラシの当接を停止した状態で回転台のみを回転させることにより、回転台に載置された被処理物の水滴等の液滴を飛散させて、被処理物を乾燥処理するのである。
【００１０】
ここで、被処理物の洗浄処理または乾燥処理の際、回転台の回転に伴い、被処理物から、回転台の周囲に飛散した液滴が、乾燥後の被処理物の被処理面に再付着してしまうと、被処理面に液滴の洗浄染みが発生してしまうといった問題があった。
【００１１】
このような問題に鑑み、例えば特許文献１には、回転台の周部に、該周部を周状に覆う筒状の処理容器を設けることにより、被処理物の洗浄処理または乾燥処理の際、被処理物からの液滴の飛散を、処理容器の内周面により防ぐ構成を有する洗浄乾燥装置が開示されている。
【特許文献１】特開平９−２２３６８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、液晶装置のような、素子基板と対向基板との大きさの違い等に起因する凹凸形状を被処理面に有する被処理物を洗浄、乾燥処理する際は、洗浄処理または乾燥処理中に、被処理面の凹凸に起因して、被洗浄物から液滴が激しく周囲に飛散する。
【００１３】
ここで、特許文献１に示した処理容器は、筒状に形成されている、即ち、上方が開口されて形成されているため、処理容器の上方の開口から、液滴が洗浄乾燥室全体に飛散してしまい、該飛散した液滴が洗浄処理室の底面から起立する壁部の室内壁面に付着してしまう場合がある。
【００１４】
よって、洗浄、乾燥処理の終了した被処理物を、起立する壁部に形成された搬出入口から搬出する最中に、起立する壁部の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れ、落下した結果、被処理物の被処理面に液滴が再付着してしまう場合がある。さらに液滴が再付着したまま被処理面において乾燥されると、被処理物が表示装置の場合、製造された製品に表示不良が発生してしまうといった問題があった。
【００１５】
本発明は上記問題点に着目してなされたものであり、液体処理室において被処理物に液体処理を行った後、被処理物を液体処理室外に搬出口から搬出する際、液体処理中の飛散に起因して液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出口に液垂れし、搬出中の被処理物に再付着することを防止することができる電気光学装置の製造装置及び電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係る電気光学装置の製造装置は、被処理物を液体処理するための液体処理室と、
前記液体処理室の室内外を区画する壁部に形成され、前記液体処理室内から前記被処理物を前記液体処理室の外に搬出するための搬出口と、前記壁部の前記液体処理室内の内壁面に近接して配置された拭き取り部を有し、前記拭き取り部が前記内壁面に沿って移動することにより、前記拭き取り部が前記搬出口の少なくとも上端の前記内壁面近傍を通過する液滴除去部と、前記拭き取り部を水平方向の成分を含む方向に移動させるように前記液滴除去部を動作させる動作機構とを具備したことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、室内外を区画する壁部に搬出口が形成された液体処理室に、被処理物を液体処理するために搬入する工程と、前記液体処理室において、前記被処理物を液体処理する工程と、前記壁部の前記液体処理室内の内壁面に近接して配置された拭き取り部を有する液滴除去部を動作させ、前記拭き取り部を前記内壁面に沿って移動させて、前記拭き取り部に前記搬出口の少なくとも上端の前記内壁面近傍を通過させる液滴除去工程と、前記搬出口を介して前記被処理物を前記液体処理室の室外に搬出する工程とを具備したことを特徴とする。
【００１８】
本発明のこのような構成によれば、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を、液体処理室内に搬入して液体処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、液体処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを防止することができる。
【００１９】
また、本発明は、前記拭き取り部は、前記内壁面に平行な面内において、線状又は面状に構成された部分を有することが好ましい。
【００２０】
また、本発明は、前記動作機構は、前記液滴除去部を回動自在に支持し、前記液滴除去部を回動させることで、前記拭き取り部に前記搬出口の少なくとも上端の前記内壁面近傍を通過させることが好ましい。
【００２１】
また、本発明は、前記動作機構は、前記液滴除去部を所定の案内部材に沿って移動させることで、前記拭き取り部に前記搬出口の少なくとも上端の前記内壁面近傍を通過させることが好ましい。
【００２２】
また、本発明は、前記液滴除去部は、前記被処理物の液体処理時に、前記搬出口の少なくとも上端近傍の前記内壁面を覆う液滴付着防止部を有することが好ましい。
【００２３】
また、本発明は、前記搬出口の上方の前記内壁面に、前記内壁面に付着した液滴を保持する溝部が更に設けられることが好ましい。
【００２４】
また、本発明は、前記拭き取り部は、前記内壁面に、摺接されることが好ましい。
【００２５】
このような構成によれば、より確実に内壁面に付着した液滴を拭き取り除去することが可能となるという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図面を参照にして本発明の実施の形態を詳細に説明する。尚、本発明の各実施の形態においては、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を、液体処理室である洗浄乾燥室において、液体処理である洗浄乾燥処理する例について説明する。
【００２７】
また、被処理物の一部を構成する電気光学装置の一例として、表示領域にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等のスイッチング素子及び画素電極が形成された第１の基板と該第１の基板に対向する対向電極が形成された第２の基板との間に、電気光学物質が挟持されて構成された、組立工程終了後の液晶装置を例に挙げて説明する。
【００２８】
先ず、本発明の各実施の形態に係る電気光学装置の製造装置の構成を説明するに先立って、被処理物の一部を構成する液晶装置の構成について、図１を用いて簡単に説明する。図１は、被処理物の一部を構成する液晶装置の断面図である。
【００２９】
同図に示すように、液晶装置５０は、例えば、石英基板、ガラス基板、シリコン基板を用いた第１の基板である素子基板（以下、ＴＦＴ基板と称す）１１０と、該ＴＦＴ基板１１０に対向配置される、例えばガラス基板や石英基板を用いた第２の基板である対向基板１２０との間に、電気光学物質である液晶１５０が介在されて構成される。対向配置されたＴＦＴ基板１１０と対向基板１２０とは、シール材１５２によって貼り合わされている。
【００３０】
ＴＦＴ基板１１０には、画素を構成する画素電極（ＩＴＯ）１０９ａ及びスイッチング素子１０９ｂ等がマトリクス状に配置されている。また、対向基板１２０上の全面に、対向電極（ＩＴＯ）１２１が設けられている。ＴＦＴ基板１１０の画素電極１０９ａ上に、ラビング処理が施された第１の配向膜１１６が設けられており、また、対向基板１２０上の全面に渡って形成された対向電極１２１上にも、ラビング処理が施された第２の配向膜１２６が設けられている。対向基板１２０には、表示領域の外周を規定し区画する額縁としての遮光膜１５３が設けられている。
【００３１】
シール材１５２の外側の領域に、ＴＦＴ基板１１０の図示しないデータ線に画像信号を所定のタイミングで供給して該データ線を駆動するデータ線駆動回路１０１及び外部回路との接続のための外部接続端子１０２が、ＴＦＴ基板１１０の一辺に沿って設けられている。
【００３２】
次に、このように構成された組立後の液晶装置５０の塵埃等の異物を除去する洗浄乾燥装置を有する洗浄乾燥室の構成について図２〜図４を用いて説明する。
【００３３】
（第１の実施形態）  
図２は本発明の第１実施の形態に係る電気光学装置の製造装置を構成する洗浄乾燥室の概略構成を示す透視斜視図である。
【００３４】
図２に示すように、洗浄装置２００の洗浄乾燥室１は、上方を解放した箱状を有しており、例えば四角状の底板２５と、該底板２５の底面２２の各辺からそれぞれ起立した４枚の壁部である壁板２０とにより構成されている。尚、洗浄乾燥室１の上方は、封止されていても構わない。
【００３５】
４枚の壁板２０に覆われた洗浄乾燥室１の室内（以下、単に室内と称す）であって、底板２５の底面２２に、搬入された液晶装置５０を洗浄乾燥処理する洗浄乾燥装置１０が配設されている。
【００３６】
洗浄乾燥装置１０は、枚葉式のスピン洗浄乾燥装置であり、底面２２に載置された回転装置１７と、この回転装置１７から上方に延出し、回転装置１７のオン動作によって回転する回転軸１８と、該回転軸１８に軸支された回転台１１と、液体供給手段である供給ノズル１２と、洗浄手段である洗浄ブラシ１３と、回転台１１の周部を覆う筒状のカップ材１５とにより主要部が構成されている。
【００３７】
回転台１１は、例えば円盤状を有しており、回転台１１の上面に、載置された液晶装置５０を保持する図示しないチャックが形成されている。回転台１１は、回転軸１８に底面中央を軸支され、上面に液晶装置５０が載置、保持された後、回転軸１８の回転に伴い回転する。尚、回転台１１の内部に、上面に載置された液晶装置５０を吸引保持する、真空装置に連通する真空吸引チャック（いずれも図示せず）が形成されていてもよい。
【００３８】
供給ノズル１２は、液晶装置５０を洗浄するに際し、回転台１１に載置され回転する液晶装置５０の被処理面となる表面５０ｆに種々の洗浄液を供給する。尚、供給ノズル１２は、例えば洗浄乾燥室１の底板２５の底面２２から延出する図示しないアーム等に固定されている。
【００３９】
洗浄ブラシ１３は、例えばポリビニルアルコール等で構成されており、回転台１１に載置され回転する液晶装置５０の表面５０ｆに接触、摺動することにより、表面５０ｆをスクラブ洗浄する。尚、洗浄ブラシ１３は、例えば回転装置１７から延出する図示しない伸縮アーム等に固定されており、該伸縮アームが伸縮されることにより、液晶装置５０の表面に対し、当接または離間する。
【００４０】
カップ材１５は、図示しない昇降装置により、回転台１１の周部に対し昇降自在であり、液晶装置５０を洗浄乾燥処理する際は、回転台１１の周部を覆う、図２中（Ａ）の位置に降下する。また、カップ材１５は、液晶装置５０を洗浄、乾燥するとき以外は、回転台１１の上方となる図２中（Ｂ）の位置に上昇して停止する。
【００４１】
カップ材１５は、液晶装置５０の洗浄乾燥処理中に、回転台１１の周部を覆うことにより、液晶装置５０から飛散した洗浄液や水等の液滴の洗浄乾燥装置１０の周囲への飛散をカップ材１５の内周面により防ぐために用いられる。
【００４２】
起立した４枚の壁板２０の内、１枚の壁板２０には搬出入口２７が設けられている。この搬出入口２７を介して、洗浄乾燥処理を行う液晶装置５０を洗浄乾燥室１の室内に搬入すると共に、洗浄乾燥処理後の液晶装置５０を室内から外部に搬出するようになっている。
【００４３】
室内壁面２１には液晶装置５０の搬入及び搬出が比較的容易に行える高さに搬出入口２７による開口が形成されている。即ち、搬出入口２７は、該搬出入口２７の開口下端は、洗浄乾燥装置１０の回転台１１の上面と、水平位置が略同じとなるよう設けられている。
【００４４】
搬出入口２７には、開閉自在な図示しないシャッタが設けられており、該シャッタは、室内に対し、液晶装置５０の搬出入を行うときのみ開成し、液晶装置５０の搬出入以外のときは閉成する。
【００４５】
図３に、図２のIII−III断面図を示す。搬出入口２７が設けられた壁板２０の室内壁面２１の、搬出入口２７の上方に、溝部である液滴誘導溝２５０が形成されている。液滴誘導溝２５０は、横方向に形成された溝であり、室内壁面２１に直交する方向から見て、搬出入口２７の横方向幅よりも大きく形成されている。また、搬出入口２７が設けられた壁板２０の室内壁面２１上には、液滴除去部２１０が配設されている。液滴除去部２１０は、略矩形状の塩化ビニル等の樹脂製板材を折り曲げることによって形成された、断面略Ｌ字形状の部材である。液滴除去部２１０は、室内壁面２１と略平行な液滴付着防止部である起立部２１２と、室内壁面に対し略直交する拭き取り部である水平部２１１とを有する。水平部２１１は、室内壁面２１に直交する方向から見て、搬出入口２７の横方向幅よりも大きく形成されている。起立部２１２は水平部２１１の室内壁面２１から遠い側の辺から下方に延設されている。すなわち、液滴除去部２１０は、Ｌ字の内角方向を室内壁面２１及び下方へ向けて配設されている。起立部２１２は、室内壁面２１に直交する方向から見て、搬出入口２７のよりも大きく形成されている。また、水平部２１１には、複数の貫通孔２１１が形成されている。なお、液滴除去部２１０は金属製の板材によって形成されてもよい。
【００４６】
動作機構である回動モータ２２０が、回動軸が室内壁面２１と直交するように配設されている。液滴除去部２１０は、回動モータ２２０の回動軸によって軸支されている。液滴除去部２１０は、洗浄乾燥装置１１の動作時は、室内壁面２１に直交する方向から見て、起立部２１２が搬出入口２７を覆い、かつ、図３に示すように、拭き取り部である水平部２１１である室内壁面２１側の端面２１１ａが、液滴誘導溝２５０よりも上方に位置し、室内壁面２１と平行に所定のクリアランス、例えばおよそ０．５ｍｍのクリアランスを有するように回動モータ２２０によって支持される。また、液晶装置５０の搬出入を行うときには、回動モータ２２０によって、液滴除去部２１０が回動され、液滴除去部２１０は、搬出入口２７の開口下端よりも下方に位置する。なお、回動モータは２２０は、電動モータに限らず、空気圧により作動するロータリーアクチュエータ等でもよい。
【００４７】
上記に説明した構成を有する本実施形態の作用について以下に説明する。
【００４８】
まず、洗浄乾燥室１の室内において、カップ材１５が、回転台１１の上方となる図２中（Ｂ）の位置に上昇して位置した状態において、搬出入口２７のシャッタが開成される。また、液滴除去部２１０は、回動モータ２２０によって搬出入口２７の開口下端よりも下方に位置するように回動される。次いで、例えばロボットのアーム等により、自動的に液晶装置５０が、搬出入口２７から室内に搬入された後、回転台１１の上面に載置され、該上面に、例えばチャック等で固定される。液晶装置５０の搬入後は、シャッタは閉成される。また、液滴除去部２２０は、回動モータ２２０によって搬出入口２７を覆う位置に回動される。
【００４９】
なお、搬出入口２７は、該搬出入口２７の開口下端が、回転台１１の上面と、底面２２からの高さが略同じとなるよう形成されていることから、液晶装置５０を室内１へ搬入した後の回転台１１の上面への載置性が良い。
【００５０】
次いで、カップ材１５が、回転台１１の周部を覆う、図２中（Ａ）の位置に降下して位置した後、液晶装置５０の洗浄乾燥処理が行われる。具体的には、先ず、回転台１１が、回転軸１８を介して回転装置１７の駆動により回転された後、液晶装置５０の表面５０ｆに、供給ノズル１２から、例えば純水等の洗浄水を供給され、さらに、液晶装置５０の表面５０ｆに、洗浄ブラシ１３を接触、摺動させることにより、表面５０ｆがスクラブ洗浄される。
【００５１】
次いで、洗浄ブラシ１３を表面５０ｆから離間させた後、乾燥染みの発生を防ぐため、表面の濡れ状態を均一にする純水等のリンス液を、供給ノズル１２から表面５０ｆに供給する。
【００５２】
その後、供給ノズル１２からの液晶装置５０への液体の供給を停止した状態で、回転台１１のみを回転させることにより、回転台１１に載置された液晶装置５０の水滴等の液滴を飛散させて、液晶装置５０を乾燥処理する。尚、乾燥処理の際、液晶装置５０から飛散した洗浄液は、カップ材１５の内周面により洗浄乾燥装置１０外への飛散が防止され、排出孔２４に誘導される。
【００５３】
最後に、カップ材１５を、図２の（Ａ）の位置から、回転台１１の上方の図２の（Ｂ）の位置に上昇させた後、液滴除去部２１０を回動モータ２２０によって、搬出入口２７の開口下端よりも下方に位置するように回動させる。さらに搬出入口２７のシャッタを開成し、ロボット等のアームにより自動的に、液晶装置５０は、室内から洗浄乾燥室１外に、搬出入口２７を介して搬出される。
【００５４】
ここで、液晶装置５０の表面５０ｆには、例えばＴＦＴ基板１１０と対向基板１２０との大きさの違いにより凹凸が形成されていることにより、上述した洗浄、乾燥処理中においては、液晶装置５０から、洗浄液等の液滴が周囲に激しく飛散する。
【００５５】
よって図３に示すように、カップ材１５の内周面では防ぎきれなかった液滴７０は、カップ材１５の上方から、洗浄乾燥室１の室内に飛散し、例えば搬出入口２７が形成された壁板２０の室内壁面２１において、搬出入口２７の上方に付着する。液滴７０は、室内壁面に直交する方向から見て、５ｍｍ程度の直径を有するような比較的大きく、落下しやすい液滴である。室内壁面２１に付着した液滴７０は、室内壁面２１を有する壁板２０が起立していることにより、底面２２の方向となる下方に液垂れする。液滴７０は、室内壁面２１と液滴除去部２１０の端面２１１ａとの隙間を通って液滴誘導溝２５０上まで達し、液滴誘導溝２５０上に滞留する。また、液滴誘導溝２５０と、搬出入口２７は、液滴除去部２１０の起立部２１２によって覆われているため、液滴誘導溝２５０と搬出入口２７の開口上端との間に、飛散した液滴が付着することはない。また、液滴除去部２１０の水平部２１１の上面にも、飛散した液滴が付着するが、これらの液滴は、水平部２１１に形成された貫通孔２１３を通過して下方へ落下するため、水平部２１１の上面に液滴が滞留することはない。
【００５６】
上述した洗浄、乾燥処理の終了後、液滴除去部２１０は、回動モータ２２０によって水平方向の成分を含む方向に回動されて、搬出入口２７の開口下端よりも下方に移動する。このとき、液滴除去部２１０の端面２１１ａは、液滴案内溝２５０と搬出入口２７の開口上端を、液滴７０の室内壁面２１に直交する方向の高さよりも小さい所定のクリアランスを有して通過する。このため、液滴案内溝２５０上に滞留していた液滴７０は、液滴除去部２１０の端面２１１ａによって拭き取られ、搬出入口２７の開口上端から落下する。もしくは、液滴案内溝２５０上に滞留していた液滴７０は、液滴案内溝２５０に沿って横方向へ移動し、液滴案内溝２５０の端部から室内壁面２１に沿って下方へ液垂れする。液滴案内溝２５０は、室内壁面２１に直交する方向から見て、搬出入口２７の横方向幅よりも大きく形成されているため、液滴案内溝２５０の端部から液垂れする液滴が、搬出入口２７に到達することはない。
【００５７】
上述したように、本実施形態によれば、搬出入口２７から洗浄及び乾燥処理後の液晶装置５０を搬出するときには、液晶装置５０上に落下するような大きさの液滴が、室内壁面２１の搬出入口２７の開口の上方に付着していることがない。したがって、室内壁面２１に付着した液滴７０が、搬出入口２７の方向に落下することにより、液晶装置５０の表面５０ｆに付着してしまうことを防止することができる。
【００５８】
また、液滴除去部２１０の端面２１１ａは、室内壁面２１と所定のクリアランスを有して回動するため、発塵することがない。
【００５９】
なお、本実施形態においては、拭き取り部である水平部２１１は、室内壁面２１に略直交するように配設されているが、例えば図４に示すように、拭き取り部２１６は、その上面が、室内壁面２１から離れるほど下がる斜面として形成されてもよい。このように拭き取り部２１６の上面を斜面として形成すれば、飛散した液滴が拭き取り部２１６の上面に滞留することがない。
【００６０】
また、本実施形態においては、液滴除去部２１０の端面２１１ａは、室内壁面２１と所定のクリアランスを有して回動する構成としているが、端面２１１ａと室内壁面２１とは摺接して回動する構成としてもよい。このような構成とすれば、より小さな液滴まで液滴除去部２１０によって拭き取ることが可能となる。この場合、端面２１１ａと室内壁面２１とが接する部分は、発塵がない、もしくは発塵が少ない材料によって構成されることは言うまでもない。
【００６１】
（第２の実施形態）  
図５は、本発明の第２の実施形態を示す製造装置の洗浄乾燥室の構成の概略を示す透視斜視図である。図６は、図５のVI−VI断面図である。
【００６２】
本実施形態の構成は、前述した第１の実施形態に対し、室内壁面２１に付着した液滴７０を拭き取る、液滴除去部の構成及び液滴除去部の移動方法が異なる。よって、この相違点のみを説明し、第１の実施形態と同様の構成には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００６３】
図５及び図６に示すように、液滴除去部２３０は、拭き取り部２３１と、上面部２３２と、液滴付着防止部２３３とを有する。拭き取り部２３１と、上面部２３２と、液滴付着防止部２３３は、それぞれ互いに直交し、辺を接する３つの矩形状の平板である。拭き取り部２３１は、底面２２及び室内壁面２１に略直交するように配設された平板である。上面部２３２は、略水平に配設された平板である。液滴付着防止部２３３は、室内壁面２１と略平行に配設された平面である。液滴除去部２３０は、室内壁面２１と平行な断面において、略Ｌ字形状を有する。上面部２３２及び液滴付着防止部２３３は、室内壁面２１に直交する方向から見て、搬出入口２７の横方向幅よりも、大きく形成されている。また、拭き取り部２３１及び上面部２３２の、室内壁面２１側の端面は、同一平面となるように形成されている。
【００６４】
上述した構成を有する液滴除去部２３０は、案内部材である直動シリンダ２４０の移動テーブル２４１によって支持されている。直動シリンダ２４０は空気圧によって直線的に往復移動する移動テーブル２４１を有している。直動シリンダ２４０は、移動テーブル２４１が、略水平かつ室内壁面２１と略平行に移動するように、配設されている。なお、直動シリンダ２４０は、直動機構を有する短軸ロボットでもよい。
【００６５】
液滴除去部２３０は、洗浄乾燥装置１１の動作時は、室内壁面２１に直交する方向から見て、液滴付着防止部２３３が搬出入口２７を覆い、かつ、拭き取り部２３１が搬出入口２７の左方に位置するように、直動シリンダ２４０の移動テーブル２４１によって支持される。このとき、拭き取り部２３１及び上面部２３２の、室内壁面２１側の端面と室内壁面２１とは平行となり、両者の間には所定のクリアランス、例えばおよそ０．５ｍｍのクリアランスが存在する。また、液晶装置５０の搬出入を行うときには、液滴除去部２３０は、直動シリンダ２４０によって室内壁面と平行かつ水平に、室内壁面２１に直交する方向から見て右方に移動される。
【００６６】
上述した構成を有する本実施形態の作用について説明する。なお、第１の実施形態と同じ作用については、その説明を省略する。
【００６７】
液晶装置５０の洗浄、乾燥処理時は、搬出入口２７は、液滴除去部２３０によって覆われ、洗浄、乾燥処理の終了後、液滴除去部２３０は、搬出入口２７を露出するように水平方向の成分を含む方向に移動する。このとき、搬出入口２７の開口上端の近傍に付着している液滴は、拭き取り部２３１によって拭き取られ、搬出入口２７の開口上端から落下する。
【００６８】
したがって、本実施形態によれば、搬出入口２７から洗浄及び乾燥処理後の液晶装置５０を搬出するときには、液晶装置５０上に落下するような大きさの液滴が、室内壁面２１の搬出入口２７の開口の上方に付着していることがない。したがって、室内壁面２１に付着した液滴７０が、搬出入口２７の方向に落下することにより、液晶装置５０の表面５０ｆに付着してしまうことを防止することができる。
【００６９】
なお、本実施形態においては、電気光学装置の製造装置は、液晶装置を洗浄乾燥処理する洗浄乾燥室を有する製造装置を例に挙げて説明したが、これに限らず、室内にて液体処理を行う液体処理室を有するものであれば、どのようなものであっても構わない。
【００７０】
また、被処理物は、電気光学装置、具体的には、表示領域にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等のスイッチング素子及び画素電極が形成された第１の基板と該第１の基板に対向する対向電極が形成された第２の基板との間に、電気光学物質が挟持されて構成された、組立工程終了後の液晶装置を例に挙げて説明した。
【００７１】
これに限らず、被処理物は、液晶装置の一部、具体的には、ＴＦＴ基板と対向基板とのいずれか一方であっても構わない。さらに、液晶装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上述した液晶装置は、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールを例に挙げて説明したが、これに限らず、ＴＦＤ（薄膜ダイオード）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールであっても構わない。
【００７２】
また、被処理物は、半導体基板に素子を形成する表示用デバイス、例えばＬＣＯＳ（Liquid Crystal On Silicon）等であっても構わない。ＬＣＯＳでは、素子基板として単結晶シリコン基板を用い、画素や周辺回路に用いるスイッチング素子としてトランジスタを単結晶シリコン基板に形成する。また、画素には、反射型の画素電極を用い、画素電極の下層に画素の各素子を形成する。
【００７３】
また、被処理物は、片側の基板の同一層に、一対の電極が形成される表示用デバイス、例えばＩＰＳ（In-Plane Switching）や、片側の基板において、絶縁膜を介して一対の電極が形成される表示用デバイスＦＦＳ（Fringe Field Switching）等であっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】被処理物の一部を構成する液晶装置の断面図である。
【図２】第１実施の形態に係る電気光学装置の製造装置を構成する洗浄乾燥室の概略構成を示す透視斜視図である。
【図３】図２のIII−III断面図である。
【図４】液滴除去部の変形例を示す断面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態を示す製造装置の洗浄乾燥室の構成の概略を示す透視斜視図である。
【図６】図５のVI−VI断面図である
【符号の説明】
【００７５】
１  洗浄乾燥室、  １０  洗浄乾燥装置、  １１  回転台、  １２  液体供給ノズル、  １３  洗浄ブラシ、  １５  カップ材、  ２０  壁板、  ２１  室内壁面、  ２２  底面、  ２７  搬出入口、  ５０  液晶装置、  ５０ｆ  表面、  ２００  製造装置、  ２１０  液滴除去部、  ２２０  回動モータ、  ２５０  液滴案内溝
【図１】
2007086275.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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