【事件の表示】
　特願２０１１−　４９２７０「リソグラフィ装置および局部的熱負荷を補償する方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　９月２９日出願公開、特開２０１１−１９２９９１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１１年３月７日（パリ条約による優先権主張　２０１０年３月１２日　米国、２０１０年６月１１日　米国、２０１０年９月２０日　米国、２０１０年１１月２２日　米国）の出願であって、平成２４年８月２日付けで拒絶理由が通知され、同年１０月３１日付けで手続補正及び意見書が提出され、平成２５年４月４日付けで最後の拒絶理由が通知され、同年７月８日付けで誤訳訂正書及び意見書が提出されたが、平成２６年１月１５日付けで拒絶査定がなされ、これに対して、同年５月１５日に拒絶査定不服審判請求がなされるとともに、同時に手続補正がなされたものである。
　
第２　平成２６年５月１５日になされた手続補正（以下「本件補正」という。）についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
　
［理由］
１　補正の内容
　本件補正は、補正前（平成２５年７月８日付け誤訳訂正書によるもの）の特許請求の範囲の請求項１につき、
「表面上に細長いヒータおよび細長い温度センサを備え、
　前記ヒータは、前記ヒータおよび前記温度センサが前記表面の同一領域の温度を制御するように、対応する温度センサに関連付けられ、かつ、平行であるリソグラフィ装置。」
とあったものを、
「表面上に細長いヒータおよび細長い温度センサを備え、
　前記ヒータは、前記ヒータおよび前記温度センサが前記表面の
一部である
に補正する内容を含むものである（下線は請求人が付したとおりである。）。
　
２　補正の目的
　本件補正は、補正前の請求項１において、「表面の同一領域」に係り、「一部である」との限定を付加するものであるから、上記１の本件補正は、特許法第１７条の２第５項第２号に掲げる特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　
３　独立特許要件について
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかどうか（特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項に規定する要件を満たすか否か）について検討する。
（１）本願補正発明の認定
　本願補正発明は、上記１において、本件補正後のものとして記載したとおりのものと認める。
　
（２）刊行物の記載及び引用発明
ア　原査定における拒絶理由に引用された、本願の最先の優先日前に頒布された刊行物である特開２００７−５３６２号公報（以下「引用文献」という。）には、以下の記載がある（下線は当審にて付した。以下同じ。）。
（ア）「【技術分野】
【０００１】
　本発明は、一般的にデバイス（半導体デバイスや液晶表示デバイス等）を製造するための
リソグラフィー工程において使用される
液浸露光装置
　
（イ）「【実施例３】
【００５２】
　以下、図６を参照して、本発明の露光装置の別の実施例を説明する。図６は実施例３の露光装置のウエハの周辺を示す図である。
【００５３】
　本実施例では、
天板４１の表面に、温度センサー５１０及び加熱手段としてのヒーター５２０を配置
【００５４】
　
天板４１の表面の温度センサー５１０で、天板４１の温度をモニターし、常に天板４１が所定の温度となるようにヒーター５２０を調節
【００５５】
　また、本構成は、ヒーター５２０が、ウエハ４０の裏面や同面板４４に接していないが、ヒーター５２０からの輻射伝熱によりウエハ４０や同面板４４の温度低下を防いでいる。そのため、ウエハ４０や同面板４４の温度低下による変形に伴う天板４１の変形をも低減している。なお、同面板４４に関しては、センサー５１０とヒーター５２０を同面板４４の裏面に直接配置することで同面板４４の温度低下を防ぐようにしても良い。この構成によれば、同面板４４の温度低下による変形に伴う天板４１の変形をさらに低減することができる。なお、
気化熱による温度低下が部分的に生じる場合に、より効果的に温度低下を補償するために、センサーの数やヒーターの数は複数である
　
（ウ）図６は次のものである。
　
イ　引用発明
　上記アによれば、引用文献には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「天板４１の表面に、温度センサー５１０及び加熱手段としてのヒーター５２０を配置し、
　前記天板４１の表面の温度センサー５１０で、天板４１の温度をモニターし、常に天板４１が所定の温度となるようにヒーター５２０を調節し、
　気化熱による温度低下が部分的に生じる場合に、より効果的に温度低下を補償するために、前記センサーの数やヒーターの数は複数である、
　リソグラフィー工程において使用される液浸露光装置。」
　
（３）対比・判断
ア　対比
（ア）本願補正発明と引用発明を対比すると、引用発明の「天板４１の表面」、「温度センサー５１０」、「ヒーター５２０」及び「リソグラフィー工程において使用される液浸露光装置」は、本願補正発明の「表面」、「温度センサ」、「ヒータ」及び「リソグラフィ装置」にそれぞれ相当する。
　
（イ）引用発明の「ヒーター５２０」は、「前記天板４１の表面の温度センサー５１０で、天板４１の温度をモニターし、常に天板４１が所定の温度となるように」調節するものであるから「ヒーター５２０」と「温度センサー５１０」は関連づけられたものであることは明らかである。また、「気化熱による温度低下が部分的に生じる場合に、より効果的に温度低下を補償するために、前記センサーの数やヒーターの数は複数である」ことは、関連づけられた「ヒーター５２０」と「温度センサー５１０」が「天板４１」の一部分を「所定の温度となるようにヒーター５２０を調節」ものであるといえる。
　そうすると、引用発明の「天板４１の表面に、温度センサー５１０及び加熱手段としてのヒーター５２０を配置し、前記天板４１の表面の温度センサー５１０で、天板４１の温度をモニターし、常に天板４１が所定の温度となるようにヒーター５２０を調節し、気化熱による温度低下が部分的に生じる場合に、より効果的に温度低下を補償するために、前記センサーの数やヒーターの数は複数である」ことと、本願補正発明の「前記ヒータおよび前記温度センサが前記表面の一部である
同一
対応する
　
（ウ）上記（ア）及び（イ）によれば、本願補正発明と引用発明は、
「表面上にヒータおよび温度センサを備え、
　前記ヒータは、前記ヒータおよび前記温度センサが前記表面の一部である領域の温度を制御するように、温度センサに関連付けられるリソグラフィ装置。」
である点で一致し、以下の点で相違する。
　
・本願補正発明の「ヒータ」及び「温度センサ」は、それぞれ「細長い」ものであって、「ヒータ」は表面の一部である「
同一
対応する
平行である
　
イ　判断
　上記相違点について検討する。
　適宜の装置の同一領域に、細長いヒータと、当該細長いヒータに沿って平行に配されて対応して温度を検出する温度センサを設けて、該同一領域の温度を制御することは周知の事項であり（例えば、特開平１１−３３９９３７号公報　「被覆用絶縁膜５０ｂによって温度センサ３０の引出線用導電パターン３２′および感温部用導電パターン３３を被覆し、その上面を平坦化すれば、支持用絶縁膜３１を介して温度センサ３０と発熱抵抗線状体２０とを積層した加熱手段１０を製造することができる」（【００８３】）、図１、２、５に記載の「半導体製造工程においてウェハＷの温度制御を行うための温度制御装置」（【０１２４】）、及び、特開２００３−２４３１３３号公報　「抵抗体からそれぞれ構成される第１〜第３の抵抗板１１１〜１１３・・・からなる・・・発熱体装置１０４内の第１および第２の抵抗体パターン１３１、１３２は・・・通電することによって発熱する・・・第３の抵抗体パターン１３３・・・を温度検出用の抵抗体として使用している」（【０１１１】ないし【０１１４】）、「導波路デバイス１０７をモジュール化した以外の加温制御を行う全てのモジュールに適用できる」（【０１３６】）、図２に記載の「発熱体装置１０４」（【０１１１】）、参照）、引用発明の、複数配置される温度センサー５１０及びヒーター５２０に係り、上記周知の事項を採用して、「天板４１」の同一領域に、細長いヒータと、当該細長いヒータに沿って平行に配されて対応して温度を検出する温度センサを設けて、該同一領域の温度を制御することにより、上記相違点に係る本願補正発明の構成となすことは、当業者が容易に想到し得たことである。
　
（４）まとめ
　したがって、本願補正発明は、引用発明及び周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
４　本件補正についてのむすび
　上記３の検討によれば、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するものであるから、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本願発明について
１　本願発明
　上記のとおり、本件補正は却下されたので、本願の特許請求の範囲の各請求項に係る発明は、平成２５年７月８日付け誤訳訂正書により補正された特許請求の範囲の各請求項に記載されたとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、前記第２、［理由］１において、本件補正前のものとして示したとおりのものである。
　
２　刊行物の記載及び引用発明
　上記第２、［理由］３（２）のとおりである。
　
３　対比・判断
　上記「第２、［理由］２　補正の目的」のとおり、本願補正発明は、本願発明に限定を付加したものである。
　そして、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに限定を付加した本願補正発明が、引用発明及び周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである以上、上記第２、［理由］３での検討と同様の理由により、本願発明は、引用発明及び周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明し得るものである。
　
４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。