【事件の表示】
　平成１０年特許願第５１１４６４号「ガス中の不純物の分析方法および分析装置」拒絶査定に対する審判事件［平成１０年３月５日国際公開、ＷＯ９８／０９１６２］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、１９９７年８月２６日（優先権主張１９９６年８月２７日、日本国）を国際出願日とする出願であって、平成１２年８月２４日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年９月２９日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年１０月３０日付で手続補正がなされたものである。
　
２．平成１２年１０月３０日付の手続補正書についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　 平成１２年１０月３０日付の手続補正を却下する。
［理由］
　本件補正は、特許請求の範囲の補正を含むものであり、そのうち請求項１を、
　「【請求項１】　質量分析計を用いて、被測定ガスをイオン化し、被測定ガス中の主成分ガスと不純物ガスとが形成するクラスターイオンの強度を測定することによって、前記被測定ガス中の不純物ガスの定量を行うガス中の不純物の分析方法であって、主成分ガスと濃度既知の不純物ガスとからなる標準ガスをイオン化し、該主成分ガスと不純物ガスとが形成するクラスターイオンの強度を質量分析計で測定して、不純物ガス濃度とクラスターイオン強度との関係を表す検量線を得、この検量線を用いて前記被測定ガス中の不純物ガスの定量を行うにあたって、質量分析計において被測定ガスをイオン化する際のドリフト電圧条件を２０〜４０Ｖの範囲で設定し、前記主成分ガスが酸素であり、前記不純物ガスが水分であり、前記クラスターイオンの強度として、質量数Ｍと電荷Ｚとの比（Ｍ／Ｚ）が５０のイオンの強度を用いることを特徴とするガス中の不純物の分析方法」
と補正しようとするものである。
　さて、本件補正前の平成１１年１２月２８日付手続補正書に記載の請求項１−６についてみると、請求項１が方法発明であり、請求項２−５が請求項１を引用した方法発明であり、請求項６が装置発明である。
　ところで本件補正に係る請求項１の方法発明は、補正前の請求項１の方法発明においての、検量線作成のために用いる標準ガスの調製方法に係る限定、及び、被測定ガスを校正ラインに流してから分析ラインに流すように切り替えるという方法についての限定、すなわち「……被測定ガスを、不純物除去手段と不純物添加手段とよりなる校正ラインに流して、被測定ガスから不純物ガスを除去した主成分ガスとした後、該主成分ガスに既知量の不純物ガスのみを添加して既知濃度の不純物ガスを含有する標準ガスとし、…………続いて前記被測定ガスの流れを切り替えて、被測定ガスを分析ラインに流して……」という限定がないものとする補正を含むものである。
　この補正により請求項１に係る発明は、不純物除去手段と不純物添加手段とよりなる校正ラインに流して標準ガスを調製する方法以外で調製された標準ガスを用いて検量線を作成する工程を含む分析方法、及び、被測定ガスを校正ラインと分析ラインに流すことの切り替えを含まない分析方法まで拡張するものであるので、上記補正は特許請求の範囲の減縮を目的とした補正ではなく、また誤記の訂正、明りょうでない記載の釈明にも該当せず、特許法第１７条の２第４項に規定する要件を満たしていないから、同法第１５９条第１項において準用する同法第５３条第１項の規定により、却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１２年１０月３０日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１−６に係る発明は、平成１１年１２月２８日付手続補正書の特許請求の範囲第１−６項に記載された事項により特定されたとおりのものであり、そのうち請求項１に係る発明（以下、同項記載の発明を「本願発明」という）は以下のとおりのものである。
　「１．主成分ガスに不純物ガスが含有する被測定ガス中の前記不純物ガスの定量を分析する方法であって、被測定ガスを、不純物除去手段と不純物添加手段とよりなる校正ラインに流して、被測定ガスから不純物ガスを除去した主成分ガスとした後、該主成分ガスに既知量の不純物ガスのみを添加して既知濃度の不純物ガスを含有する標準ガスとし、該標準ガスを大気圧イオン化質量分析計に導入してイオン化し、主成分ガスと不純物ガスとのクラスターイオンを生成せしめて、該クラスターイオンの強度を測定し、前記不純物ガスの添加既知量を変化せしめて既知濃度とクラスターイオン強度との対応した関係の標準ガスの検量線を得た後、続いて前記被測定ガスの流れを切り替えて、被測定ガスを分析ラインを介して直接そのまま大気圧イオン化質量分析計に導入してイオン化してクラスターイオンを生成せしめてクラスターイオンの強度を測定し、該クラスターイオンの強度を前記標準ガスで得た検量線と照合して被測定ガス中の不純物ガスの定量を分析することを特徴とするガス中の不純物の分析方法。」
　
４．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平５−１４２２０２号公報（以下、「引用例１」という）には、図面とともに、次の事項からなる発明が記載されている（以下「引用例１発明」という）。
　「発明者は、大気圧イオン化質量分析計を用いた場合、モノシランと水のクラスタイオンが検出され、そのイオン強度がモノシランガス中の水分濃度によって決定されることを見出した。このイオンを気相水分濃度の検量線の基準イオンにすることにより、上記課題は解決される。また、検量線を測定する時には、水と反応しないガスをキャリアガスとして利用し、水分発生手段に流すことによって気相水分を含有させ、そのガスをモノシランガスに混合させることにすれば、モノシランガスを直接水だめに接触させなくてすむ。従って、安定にかつ精度よくモノシランガス中に微量の気相水分を添加できる。また、キャリアガスによってモノシランガスが希釈されるため、イオン源内への反応生成物の堆積が低減され、安定に測定可能な時間を延ばすことができる。」（段落０００４）、
　「検量線作成時においては、水分発生手段には水と反応しないキャリアガスを導入し、微量の気相水分を混合した後に、モノシランガスと混合する。この方法によって、水分発生装置で水とモノシランが反応して二酸化珪素が発生する問題が避けられる。さらに、大気圧イオン化質量分析計は高感度なので、希釈しても微量不純物の検出が可能であること、および迅速分析が可能であることから、モノシランのガスの使用量が少なくてすみ、経済的である。以下、分析方法を実施例で具体的に説明する。」（段落０００６）
　「本発明の一実施例を図１によって説明する。分析対象のモノシランガス１は、ボンベ２から取り出され、圧力調整器３によって圧力が、流量コントローラ４で流量が調整されたあと、流路切り換えバルブ５によって、吸着剤６を通過する配管またはバイパス管７のどちらかに流れる。一方、一定濃度の気相水分を含むガス１３は、未精製の希釈用ガス８を純化器９で精製して得られるガス１１を用い、流量コントローラ１０で流量を調整したあと、水分発生装置１２を通過させることによって調製される。ガス１とガス１３は混合されて混合ガス１４となり、分析器１５に導入される。分析器１５を通ったガスは排気される。」（段落０００７）、
　「流路切り換えバルブ５を調整して、モノシランガス１（流量Ｌ１）を吸着剤６を通過する配管に流す。吸着剤６によって、モノシランガスに含まれる気相水分濃度が低減される。このガスに水分発生装置１２で一定濃度の気相水分を含ませたガス（流量Ｌ２）を混合し、分析器１５で測定する。分析器として大気圧イオン化質量分析計を用い、水分を含むガスとして水素ガスを用いた場合、水分発生装置１２の調整によって水分濃度を変えて測定を行なうと、水分濃度とｍ／ｚ（質量数と電荷の比）４９のイオンの強度との間に図２に示すような比例関係が成り立つ。発明者は、このイオンがＳｉＨ３Ｈ２Ｏ+の構造をもつ、モノシランと水のクラスタイオンであることを確認した。水１分子を含むイオン構造であるために、気相水分濃度の一次関数になることが理論的に予想される。実験的にも、直線関係が気相水分濃度に関して約２００ｐｐｂ以下では成り立っていた。従って、この気相水分濃度領域では第２図を気相水分の検量線として使用することによって分析が可能となる。」（段落００１０）
　そして、図１には、吸着剤６を通過する配管とバイパス管７との合流後の配管に、一定濃度の気相水分を含ませたガスを導く配管を接続したものが示されている。
　
５．対比・判断
　そこで本願発明と引用例１発明とを比較すると、引用例１発明の「モノシランガス」、「気相水分」、「モノシランと水のクラスタイオン」が、本願発明の「主成分ガス」、「不純物ガス」、「主成分ガスと不純物ガスのクラスターイオン」に相当し、また、検量線作成のためのガスの調製に関しては、引用例１発明の「吸着剤６」、「一定濃度の気相水分を含むガス１３の配管」、「吸着剤６によって、モノシランガスに含まれる気相水分濃度が低減されたガスと水分発生装置１２で一定濃度の気相水分を含ませたガス（流量Ｌ2）とを混合したもの」が、それぞれ本願発明における「不純物除去手段」、「不純物添加手段」、「既知濃度の不純物ガスを含有する標準ガス」に相当し、被測定ガスの切り替え対象の配管に関しては、引用例１発明における「バイパス管７」が、本願発明の「分析ライン」に相当することが明らかであるから、両者は、
　「主成分ガスに不純物ガスが含有する被測定ガス中の前記不純物ガスの定量を分析する方法であって、被測定ガスを、不純物除去手段を含むラインに流して、被測定ガスから不純物ガスを除去した主成分ガスとした後、該主成分ガスに既知量の不純物ガスを添加して既知濃度の不純物ガスを含有する標準ガスとし、該標準ガスを大気圧イオン化質量分析計に導入してイオン化し、主成分ガスと不純物ガスとのクラスターイオンを生成せしめて、該クラスターイオンの強度を測定し、前記不純物ガスの添加既知量を変化せしめて既知濃度とクラスターイオン強度との対応した関係の標準ガスの検量線を得た後、続いて前記被測定ガスの流れを切り替えて、被測定ガスを分析ラインを介して直接そのまま大気圧イオン化質量分析計に導入してイオン化してクラスターイオンを生成せしめてクラスターイオンの強度を測定し、該クラスターイオンの強度を前記標準ガスで得た検量線と照合して被測定ガス中の不純物ガスの定量を分析することを特徴とするガス中の不純物の分析方法」である点で一致し、次の点で相違する。
　（相違点１）
　不純物ガス除去後の主成分ガスへの既知量の不純物ガスの添加が、本願発明では被測定ガスを不純物除去手段と不純物添加手段とからなる校正ラインに流して行われるのに対して、引用例１発明では、校正のための不純物添加手段が分析ラインと不純物除去手段を含むラインとの合流後の配管に接続されること、で行われる点。
　（相違点２）
　本願発明は、主成分ガスに既知量の不純物ガスのみを添加して検量線作成用標準ガスを調製するのに対し、引用例１発明は、主成分ガスに既知量の不純物ガスと、キャリアーガスたる水素を添加して、検量線作成用標準ガスを調製する点。
　
　前記相違点について検討すると、
　（相違点１について）
　被測定ガスから不純物ガスを除去して後、既知濃度の不純物ガスを添加して、標準ガスを作成するのに際し、引用例１発明は、分析ラインと不純物除去手段を含むラインの合流後に不純物ガスの添加を行っているが、不純物ガスの添加を行う時期は、不純物除去手段の後でありさえすれば、前記合流後であるか合流前であるかそのどちらで行っても、同様の標準ガスが調製できることは自明である。したがって、本願発明で、合流前に不純物ガス添加を行った点、つまり、不純物除去手段と不純物添加手段とよりなる校正ラインを採用した点は、適宜なしうる設計変更に過ぎない。
　（相違点２について）
　標準ガスに必要なのは、主成分ガスに添加する既知濃度の不純物ガスであるから、主成分ガスに不純物ガスのみを添加して標準ガスとすることは単純に思いつくことに過ぎない。引用例１発明は、その明細書の段落０００６でいう「検量線作成時においては、水分発生手段には水と反応しないキャリアガスを導入し、微量の気相水分を混合した後に、モノシランガスと混合する。この方法によって、水分発生装置で水とモノシランが反応して二酸化珪素が発生する問題が避けられる。さらに、大気圧イオン化質量分析計は高感度なので、希釈しても微量不純物の検出が可能であること、および迅速分析が可能であることから、モノシランのガスの使用量が少なくてすみ、経済的である。」という事情があってキャリアガスを導入したに過ぎず、引用例１でも、不純物たる水だけを添加することについて、その明細書段落０００４に「また、検量線を測定する時には、水と反応しないガスをキャリアガスとして利用し、水分発生手段に流すことによって気相水分を含有させ、そのガスをモノシランガスに混合させることにすれば、モノシランガスを直接水だめに接触させなくてすむ。従って、安定にかつ精度よくモノシランガス中に微量の気相水分を添加できる。また、キャリアガスによってモノシランガスが希釈されるため、イオン源内への反応生成物の堆積が低減され、安定に測定可能な時間を延ばすことができる」と言及があり、モノシランガスの分析にあっては単に「モノシランガスを水だめに直接接触させ」るよりもキャリアガスを用いた方がよい旨記載されている位であるから、標準ガスを調製する際に単にキャリアガスを用いないことが格別であるとは認められない。
　以上のように前記相違点１、２は格別のものと認められず、相違点１、２を含めて総合判断しても、本願発明が格別のものとも認められない。
　
６．以上のとおり、本願発明は、引用例１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。そうである以上請求項２−６の検討をするまでもなく本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって結論のとおり審決する。