【事件の表示】
　特願２０１２−２６３１４６「搬送ロボット、筐体、半導体製造装置およびソータ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２５年　４月　４日出願公開、特開２０１３−　６２５３４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２０年１１月１０日（優先権主張平成１９年１１月２１日、日本国）に国際出願した特願２００９−５４２５２１号（以下「原出願」という）の一部を平成２４年１１月３０日に新たな特許出願としたものであって、その主な手続の経緯は以下のとおりである。
　平成２４年１１月３０日　　：上申書の提出
　平成２５年１２月２４日付け：拒絶理由の通知
　平成２６年　３月　７日　　：意見書及び手続補正書の提出
　平成２６年　５月３０日付け：拒絶査定
　平成２６年　８月２８日　　：審判請求書及び手続補正書の提出
　平成２７年　５月１８日　　：上申書の提出
　
第２　平成２６年８月２８日付けの手続補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　平成２６年８月２８日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１　補正後の特許請求の範囲の記載
　平成２６年８月２８日付けの手続補正（以下「本件補正」という）は、特許請求の範囲の請求項１に関する以下の補正を含んでいる。（下線部は、補正箇所である。）
　「昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドと、を備え、前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットにおいて、
　前記昇降機構の昇降軸と前記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸とは、平面視した場合にオフセットしており、
　前記第１アームの旋回範囲の形状が扇形となる場合に、前記昇降軸は、前記第１アームの旋回範囲内に、かつ、前記旋回範囲の対称線上にあり、
　前記搬送ロボットは、
　上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体内に設置される場合に、当該筐体の側壁のうちカセットオープナを取り付けるための開口が設けられた側壁である正面側壁と前記対称線とが直交する向きで設置されるとともに、前記カセットオープナが前記正面側壁の内側に有する動作領域と前記第１アームの基端部との間に所定の隙間寸法を設けて設置され
、
　前記第１アームは、
　前記正面側壁および該正面側壁に対向する対向側壁間の長さ寸法から、前記動作領域の前記対向側壁方向における長さ寸法と、前記隙間寸法と、前記第１アームの先端部および前記対向側壁間に設定される隙間寸法とを差し引いた長さを有す
　を特徴とする搬送ロボット。」
　上記補正は、本件補正前の請求項１に係る発明の特定事項である「第１アーム」を、「前記正面側壁および該正面側壁に対向する対向側壁間の長さ寸法から、前記動作領域の前記対向側壁方向における長さ寸法と、前記隙間寸法と、前記第１アームの先端部および前記対向側壁間に設定される隙間寸法とを差し引いた長さを有する」と限定するものであるから、特許法１７条の２第５項２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下「本願補正発明」という）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法１７条の２第６項において準用する同法１２６条７項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
２　引用例およびその記載事項
（１）本願の原出願の優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された特開２００３−１８８２３１号公報（以下「引用例１」という）には、「ワーク搬送用ロボット及びこのロボットを備えたワーク加工装置」について、図面とともに、次の記載がある。
（ア）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板製造装置や半導体製造装置等において、基板やウェーハ等のワークを搬送するために用いるワーク搬送用ロボット及びこのロボットを備えたワーク加工装置に関するものである。」
（イ）
「【００５６】更に詳述すると、支柱２は、図５に示されているように、ケーシング１と中心軸線を共有する円筒面の形状を呈する外周面２０１と、ケーシングの中心軸線と平行に延びる平坦な側面２０２と、ケーシングの軸線方向に延びる溝２０３とを有している。溝２０３は、側面２０２側に開口するように設けられていて、該溝２０３の両側に、ケーシングの中心軸線と平行に延びる対のレール取付け面２０２ａ，２０２ａが形成されている。支柱２は、その下端をケーシングの底板１０１に固定することにより、ケーシング１に対して固定され、対のレール取付け面２０２ａ，２０２ａに、互いに平行に配置された対のガイドレール５，５が固定されている。支柱２の上端及び下端寄りの位置には、溝２０３の上端及び下端をそれぞれ終端する端部壁２０４及び２０５が形成されている。
【００５７】ガイドレール５，５にはそれぞれスライダ６，６がスライド自在に結合され、これらのスライダ６，６に昇降フレーム３が固定されている。図示の例では、ガイドレール５，５がそれぞれ鳩尾状の断面形状を有するように形成されていて、昇降フレーム３に固定されたスライダ６，６にそれぞれ設けられた断面鳩尾状の溝にガイドレール５，５がスライド自在に嵌合されている。
【００５８】この例では、支柱２と、ガイドレール５，５と、スライダ６，６とにより、昇降フレーム３をケーシング１に対して昇降自在に支持する昇降フレーム支持機構が構成されている。
【００５９】支柱２の上端側及び下端側の端部壁２０４及び２０５にはそれぞれ軸受８及び９（図３及び図６参照）が取り付けられ、これらの軸受により、支柱２の溝２０３内を上下方向（垂直方向）に延びるネジ棒（図示の例ではボールネジ）１０が支持されている。昇降フレーム３の下端には、溝２０３内に挿入された張り出し部３０１が形成され、この張り出し部３０１に固定されたナット（図示の例ではボールナット）１１にネジ棒１０が螺合されている。ケーシング１内の下部には昇降用モータ１２が、その出力軸を下方に向けた状態で配置されている。昇降用モータ１２は、ケーシング１の底板１０１に架台１３を介して固定され、モータ１２の回転軸に取り付けられた歯付きプーリ１４と、ボールネジ１０の下端に取り付けられた歯付きプーリ１５とに歯付きベルト１６が巻き掛けされている。
【００６０】したがって、モータ１２が駆動されると、その回転がプーリ１４とベルト１６とプーリ１５とを介してネジ棒１０に伝達され、このネジ棒の回転により、ナット１１が昇降フレーム３とともに昇降させられる。この例では、ネジ棒１０及びナット１１からなる螺進機構と、昇降用モータ１２と、プーリ１４及び１５と、ベルト１６とにより、昇降フレーム３をケーシングの中心軸線に沿って昇降させる昇降機構が構成されている。」
（ウ）
「【００６５】前段側アームＢは、天板部２１ａと底板部２１ｂと側板部２１ｃとを有する中空のアーム構成部材２１からなっていて、その長手方向を水平方向に向けた状態で前記第１の軸線Ｏ1 −Ｏ1 を中心に回動するように、その一端Ｂａ寄りの部分が昇降フレーム３に支持される。即ち、この例では、第１の軸線Ｏ1 −Ｏ1 がケーシング１の中心軸線Ｏ−Ｏに対して支柱２と反対側に一定の偏倚距離ΔＤだけ偏った位置を垂直方向に延びるように、前段側アームＢの回動中心が設定されている。」
（エ）
「【０１１２】本発明に係わるワーク搬送用ロボットは、半導体製造装置や液晶製造装置等のワーク加工装置において、ウェハや液晶基板等のワークを搬送するために用いられる。図９は本実施形態のワーク搬送用ロボットを備えたワーク加工装置の一例を示したもので、同図において８０は長手方向に対向する対の側壁８０ａ，８０ｂと、これらの側壁の対向方向に対して直角な方向（奥行き方向）に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄとを有する直方体状のトランスファチャンバ、８１はトランスファチャンバ８０の一つの側壁８０ａに接続されたロードロックチャンバ、８２Ａ及び８２Ｂは一定の距離を隔てた状態で水平方向に並設されて、ロードロックチャンバ８１が接続されたトランスファチャンバの側壁８０ａと直交する他の側壁８０ｃに接続された２つのプロセスチャンバであり、トランスファチャンバ８０内に本発明に係わるロボットＲが配置されている。
【０１１３】図示のロボットＲは、２つのプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂの中心Ｏａ，Ｏａ´間の水平方向距離を２等分する位置を両プロセスチャンバの並設方向に対して直角な方向に延びる直線Ｏｃ−Ｏｃ上の位置で、かつトランスファチャンバの相対する側壁８０ｃ，８０ｄの対向方向の片側（図示の例ではプロセスチャンバ８２Ａ，８２Ｂが取り付けられていない方の側壁８０ｄ側）に偏った位置に前段側アームＢの回動中心（第１の軸線Ｏ1 −Ｏ1 ）を位置させた状態で配置されている。」
（オ）図１ないし３及び１０の記載から、引用例１に記載されたロボットは、ケーシングの上で水平方向に回転自在な前段側アームと、前記前段側アームの先端上で水平方向に回転自在な後段側アームと、前記後段側アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドと、を備えることが、看取できる。
（カ）図１ないし３，５及び１０の記載から、昇降機構のネジ棒と前段側アームの回転軸である軸線Ｏ１−Ｏ１とは、平面視した場合にオフセットしており、前記前段側アームの旋回範囲の形状が扇形となる場合に、前記ネジ棒は、前記前段側アームの旋回範囲内に、かつ、前記旋回範囲の対称線上にあることは、看取できる。
（キ）記載事項（エ）の「同図において８０は長手方向に対向する対の側壁８０ａ，８０ｂと、これらの側壁の対向方向に対して直角な方向（奥行き方向）に相対する対の側壁８０ｃ，８０ｄとを有する直方体状のトランスファチャンバ」と図１０の記載から、外部と隔離するトランスファチャンバ内に設置されるロボットが看取できる。
　
（ク）
　上記記載事項（ア）〜（エ）及び上記認定事項（オ）〜（キ）並びに当業者の技術常識によれば、上記引用例１には、
「昇降機構を有するケーシングと、前記ケーシングの上で水平方向に回転自在な前段側アームと、前記前段側アームの先端上で水平方向に回転自在な後段側アームと、前記後段側アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドと、を備え、前記ハンドに搭載した基板を搬送するロボットにおいて、
　前記昇降機構のネジ棒と前記前段側アームの回転軸である軸線Ｏ１−Ｏ１とは、平面視した場合にオフセットしており、
　前記前段側アームの旋回範囲の形状が扇形となる場合に、前記ネジ棒は、前記前段側アームの旋回範囲内に、かつ、前記旋回範囲の対称線上にあり、
　前記搬送ロボットは、
　外部と隔離するトランスファチャンバ内に設置されるロボット。」の発明（以下「引用例１発明」という）が記載されていると認められる。
　
（２）原査定の拒絶の理由に引用された本願の原出願の優先日前に頒布された特表２００５−５２０３２１号公報（以下「引用例２」という）には、ロードポートが一対あり、この位置に一対のカセットを配置するものが記載されている。
３　対比
　本願補正発明と引用例１発明とを比較すると、その機能及び作用からみて、引用例１発明の「ケーシング」、「前段側アーム」、「後段側アーム」、「ロボット」、「ネジ棒」、「軸線Ｏ１−Ｏ１」、「トランスファチャンバ」は、それぞれ、本願補正発明の「胴体」、「第１アーム」、「第２アーム」、「搬送ロボット」、「昇降軸」、「第１アーム回転軸」、「筐体」に相当する。
　そうすると、両者は、
「昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドと、を備え、前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットにおいて、
　前記昇降機構の昇降軸と前記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸とは、平面視した場合にオフセットしており、
　前記第１アームの旋回範囲の形状が扇形となる場合に、前記昇降軸は、前記第１アームの旋回範囲内に、かつ、前記旋回範囲の対称線上にあり、
　前記搬送ロボットは、
　外部と隔離する筐体内に設置される搬送ロボット」である点で一致し、以下の２点で相違している。
［相違点１］　本願補正発明は、筐体が上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離するものであり、当該筐体の側壁のうちカセットオープナを取り付けるための開口が設けられた側壁である正面側壁と前記対称線とが直交する向きで設置されるとともに、前記カセットオープナが前記正面側壁の内側に有する動作領域と前記第１アームの基端部との間に所定の隙間寸法を設けて設置されるのに対し、引用例１発明はそのようなものであるか明かでない点。
［相違点２］　本願補正発明では、前記第１アームは、前記正面側壁および該正面側壁に対向する対向側壁間の長さ寸法から、前記動作領域の前記対向側壁方向における長さ寸法と、前記隙間寸法と、前記第１アームの先端部および前記対向側壁間に設定される隙間寸法とを差し引いた長さを有するのに対して、引用例１発明では、そのようなものであるか明かでない点。
　
４　判断
［相違点１］について
　半導体製造装置において、筐体が上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離することは、従来周知の技術である（必要であれば、一例として、特開２００６−２８６６８２号公報（平成２５年１２月２４日付け拒絶理由通知書において周知技術を示すために提示された文献）及び特表２００５−５２７９６６号公報（平成２５年１２月２４日付け拒絶理由通知書において周知技術を示すために提示された文献）を参照。）。
　引用例１の図１０においては、プロセスチャンバ８２Ａ、８２Ｂを２台、ロードポートチャンバ８１を１台、配置している。しかしながら、上記引用例２には、ロードポートが一対あり、この位置に一対のカセットを配置するものが記載されている。引用例１発明と同様に引用例２に記載の発明も半導体製造装置に関するものであるから、引用例２に記載のこの一対のカセットオープナーを、引用例１発明のプロセスチャンバ８２Ａ、８２Ｂに対向する面に適用すれば、「筐体の側壁のうちカセットオープナを取り付けるための開口が設けられた側壁である正面側壁と前記対称線とが直交する向きで設置される」ことに想到することは引用例１の図１０の配置に鑑みれば容易である。この際、装置の配置を考えるにあたり、動作する装置に衝突しないように該装置の動作領域から空間的に余裕を持たせて他の装置を配置するようにすることは、当業者が普通に行うことであるから、引用例１発明に、前記引用例２に記載の技術事項を適用したものにおいて、動作するオープナに衝突しないようにオープナの動作領域から空間的に余裕を持たせて基端部を備えた搬送ロボットを配置することは、当業者が容易になし得たことである。
　したがって、引用例１発明において、引用例２に記載の技術事項を適用して、相違点１に係る本願補正発明の特定事項を採用することは、当業者が容易に想到しうるものというのが相当である。
　
［相違点２］について
　動作空間内でアームの長さをなるべく長くとりたい、ということは当該動作空間においてロボットハンドがとどく領域を拡大しようとして当業者が通常意識する課題であるから、引用例１発明において、前記第１アームを、前記正面側壁および該正面側壁に対向する対向側壁間の長さ寸法から、前記動作領域の前記対向側壁方向における長さ寸法と、前記隙間寸法と、前記第１アームの先端部および前記対向側壁間に設定される隙間寸法とを差し引いた長さを有するものにすることは、許容される隙間寸法を確保しつつ対向側壁間で回動させる第１アームの長さをなるべく長くとろうとして当業者が容易に想到し得たことである。
　したがって、引用例１発明において、相違点２に係る本願補正発明の特定事項を採用することは、当業者が容易に想到しうるものであるというのが相当である。
　
　そして、本願補正発明の効果も、引用例１発明、引用例２に記載の技術事項及び従来周知の技術から予測しうる範囲のものであって、格別なものとはいえない。
　したがって、本願補正発明は、引用例１発明、引用例２に記載の技術事項及び従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
５　むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法１７条の２第６項で準用する同法１２６条７項の規定に違反するものであり、同法１５９条１項において読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下されるべきものである。
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり、決定する。
　
第３　本願発明について
１　本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜１１に係る発明は、平成２６年３月７日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜１１に記載された事項により特定されたものであると認められ、その特許請求の範囲の請求項１に記載された発明は、以下のとおりのものである。
　「昇降機構を有する胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第１アームと、前記第１アームの先端上で水平方向に回転自在な第２アームと、前記第２アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドと、を備え、前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットにおいて、
　前記昇降機構の昇降軸と前記第１アームの回転軸である第１アーム回転軸とは、平面視した場合にオフセットしており、
　前記第１アームの旋回範囲の形状が扇形となる場合に、前記昇降軸は、前記第１アームの旋回範囲内に、かつ、前記旋回範囲の対称線上にあり、
　前記搬送ロボットは、
　上部に設置したフィルタを通過した清浄なダウンフローの気流を外部と隔離する筐体内に設置される場合に、当該筐体の側壁のうちカセットオープナを取り付けるための開口が設けられた側壁である正面側壁と前記対称線とが直交する向きで設置されるとともに、前記カセットオープナが前記正面側壁の内側に有する動作領域と前記第１アームの基端部との間に所定の隙間寸法を設けて設置されること
　を特徴とする搬送ロボット。」（以下「本願発明」という）　
　
２　引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された上記引用例１の記載事項及び引用例１発明は、前記第２の２に示したとおりである。
　
３　当審の判断
　本願発明は、前記第２で検討した本願補正発明の「第１アーム」について、「前記正面側壁および該正面側壁に対向する対向側壁間の長さ寸法から、前記動作領域の前記対向側壁方向における長さ寸法と、前記隙間寸法と、前記第１アームの先端部および前記対向側壁間に設定される隙間寸法とを差し引いた長さを有する」の構成を省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記第２の４に記載したとおり、引用例１発明、引用例２に記載の技術事項及び従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により、引用例１発明、引用例２に記載の技術事項及び従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。　
　
４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１発明、引用例２に記載の技術事項及び従来周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。したがって、本願の他の請求項に係る発明を検討するまでもなく、本願は、拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。