(57)【要約】【課題】層間絶縁膜上に平坦なバリア膜を形成する場合であっても、導体プラグを良好に形成し得る半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】半導体基板１０上及び強誘電体キャパシタ４２上に第１の絶縁膜４８を形成する工程と、第１の配線５６ａ〜５６ｃを形成する工程と、第２の絶縁膜６０を形成する工程と、第２の絶縁膜の表面を平坦化する工程と、熱処理炉を用いて熱処理を行うことにより第２の絶縁膜中から水分を除去する工程と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行うことにより、第２の絶縁膜中から水分を除去するとともに第２の絶縁膜の表面を窒化する工程と、第２の絶縁膜上にバリア膜６２を形成する工程と、バリア膜及び第２の絶縁膜にコンタクトホール６８を形成する工程と、コンタクトホール内に導体プラグ７０を埋め込む工程とを有している。【選択図】  図１２
2007165350.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に、下部電極と、前記下部電極上に形成された強誘電体膜と、前記強誘電体膜上に形成された上部電極とを有する強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記半導体基板上及び前記強誘電体キャパシタ上に、第１の絶縁膜を形成する工程と、
前記第１の絶縁膜上に第１の配線を形成する工程と、
前記第１の絶縁膜上及び前記第１の配線上に、第２の絶縁膜を形成する工程と、
前記第２の絶縁膜の表面を平坦化する工程と、
熱処理炉を用いて熱処理を行うことにより、前記第２の絶縁膜中から水分を除去する工程と、
Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行うことにより、前記第２の絶縁膜中から水分を除去するとともに、前記第２の絶縁膜の表面を窒化する工程と、
前記第２の絶縁膜上に、水素又は水分の拡散を防止する平坦な第１のバリア膜を形成する工程と、
前記第１のバリア膜及び前記第２の絶縁膜に、前記第１の配線に達する第１のコンタクトホールを形成する工程と、
前記第１のコンタクトホール内に第１の導体プラグを埋め込む工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記熱処理炉を用いて熱処理を行う工程の後に、前記プラズマ雰囲気中にて熱処理を行う
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の半導体装置の製造方法において、
前記導体プラグを埋め込む工程では、タングステンより成る導体プラグをＣＶＤ法により埋め込む
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１のバリア膜は、酸化アルミニウム、酸化チタン、又は酸化タンタルより成る
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記熱処理炉を用いて熱処理を行う工程では、前記熱処理炉内にＮ２Ｏガス又はＮ２ガスを導入しながら、熱処理を行う
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記熱処理炉を用いて熱処理を行う工程における熱処理温度は、３５０〜６５０℃である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記熱処理炉を用いて熱処理を行う工程における熱処理時間は、３０〜１２０分である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記プラズマ雰囲気中にて熱処理を行う工程における熱処理温度は、３５０〜４００℃である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記プラズマ雰囲気中にて熱処理を行う工程における熱処理時間は、２〜４分である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第１の導体プラグを埋め込む工程の後に、前記第１のバリア膜上に第２の配線を形成する工程と；前記第１のバリア膜上及び前記第２の配線上に第３の絶縁膜を形成する工程と；前記第３の絶縁膜の表面を平坦化する工程と；熱処理炉を用いて熱処理を行うことにより、前記第３の絶縁膜中から水分を除去する工程と；Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行うことにより、前記第３の絶縁膜中から水分を除去するとともに、前記第３の絶縁膜の表面を窒化する工程と；前記第３の絶縁膜上に水素又は水分の拡散を防止する平坦な第４のバリア膜を形成する工程と；前記第４のバリア膜及び前記第３の絶縁膜に前記第２の配線に達する第２のコンタクトホールを形成する工程と；前記第２のコンタクトホール内に第２の導体プラグを埋め込む工程とを更に有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造方法に係り、特に強誘電体キャパシタを有する半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近時、キャパシタの誘電体膜として強誘電体膜を用いることが注目されている。このような強誘電体キャパシタを用いた強誘電体メモリ（ＦｅＲＡＭ：Ferroelectric Random Access Memory）は、高速動作が可能である、低消費電力である、書き込み／読み出し耐久性に優れている等の特徴を有する不揮発性メモリであり、今後の更なる発展が見込まれている。
【０００３】
しかしながら、強誘電体キャパシタは、外部からの水素ガスや水分により容易にその特性が劣化するという性質を有している。具体的には、Ｐｔ膜よりなる下部電極と、ＰＺＴ膜よりなる強誘電体膜と、Ｐｔ膜よりなる上部電極とが順次積層されてなる標準的なＦｅＲＡＭの強誘電体キャパシタの場合、水素分圧４０Ｐａ（０．３Ｔｏｒｒ）程度の雰囲気にて２００℃程度の温度に基板を加熱すると、ＰｂＺｒ１−ＸＴｉＸＯ３膜（ＰＺＴ膜）の強誘電性はほぼ失われてしまうことが知られている。また、強誘電体キャパシタが水分を吸着した状態、或いは水分が強誘電体キャパシタの近傍に存在する状態にて熱処理を行うと、強誘電体キャパシタの強誘電体膜の強誘電性は、著しく劣化してしまうことが知られている。
【０００４】
このような強誘電体キャパシタの性質のため、ＦｅＲＡＭの製造工程においては、強誘電体膜を形成した後のプロセスとして、可能な限り、水分の発生が少なく、且つ低温のプロセスが選択されている。また、層間絶縁膜を成膜するプロセスには、例えば、水素の発生量の比較的少ない原料ガスを用いたＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法等による成膜プロセスが選択されている。
【０００５】
さらには、水素や水分による強誘電体膜の劣化を防止する技術として、強誘電体キャパシタを覆うように酸化アルミニウム膜より成るバリア膜を形成する技術や、強誘電体キャパシタ上に形成された層間絶縁膜上に酸化アルミニウム膜より成るバリア膜を形成する技術が提案されている。酸化アルミニウム膜より成るバリア膜は、水素や水分の拡散を防止する機能を有している。このため、提案されている技術によれば、水素や水分が強誘電体膜に達するのを防止することができ、水素や水分による強誘電体膜の劣化を防止することが可能となる。
【０００６】
しかし、表面に段差が生じている層間絶縁膜上に単にバリア膜を形成した場合には、バリア膜の被覆性があまり良好でないため、バリア膜において水素や水分の拡散を十分に防止し得ない。水素や水分が強誘電体キャパシタの強誘電体膜に達すると、強誘電体膜を構成する金属酸化物が水素により還元されてしまい、強誘電体キャパシタの電気的特性の劣化を招いてしまう。
【０００７】
そこで、層間絶縁膜の表面を平坦化し、平坦化された層間絶縁膜上にバリア膜を形成する技術が提案されている。平坦なバリア膜は被覆性が極めて良好であるため、バリア膜により水素や水分の拡散をより確実に防止することが可能となる。
【特許文献１】特開２００５−２１７０４４号公報
【特許文献２】特開２００３−１５２１６５号公報
【特許文献３】特開２００４−２３０８６号公報
【特許文献４】特開２００４−１５３０３１号公報
【特許文献５】特開２００２−７６２９６号公報
【特許文献６】特開平１０−１４４６８１号公報
【特許文献７】特開２００３−１５８２４７号公報
【特許文献８】特開２００４−３０３９９５号公報
【特許文献９】特開２００４−３２００６３号公報
【特許文献１０】特開２００３−２７３３２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、層間絶縁膜上に平坦なバリア膜を形成した場合には、層間絶縁膜に埋め込む導体プラグが良好に形成されず、製造歩留りが低下してしまう場合があった。
【０００９】
本発明の目的は、層間絶縁膜上に平坦なバリア膜を形成する場合であっても、導体プラグを良好に形成し得る半導体装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一観点によれば、半導体基板上に、下部電極と、前記下部電極上に形成された強誘電体膜と、前記強誘電体膜上に形成された上部電極とを有する強誘電体キャパシタを形成する工程と、前記半導体基板上及び前記強誘電体キャパシタ上に、第１の絶縁膜を形成する工程と、前記第１の絶縁膜上に第１の配線を形成する工程と、前記第１の絶縁膜上及び前記第１の配線上に、第２の絶縁膜を形成する工程と、前記第２の絶縁膜の表面を平坦化する工程と、熱処理炉を用いて熱処理を行うことにより、前記第２の絶縁膜中から水分を除去する工程と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行うことにより、前記第２の絶縁膜中から水分を除去するとともに、前記第２の絶縁膜の表面を窒化する工程と、前記第２の絶縁膜上に、水素又は水分の拡散を防止する平坦な第１のバリア膜を形成する工程と、前記第１のバリア膜及び前記第２の絶縁膜に、前記第１の配線に達する第１のコンタクトホールを形成する工程と、前記第１のコンタクトホール内に第１の導体プラグを埋め込む工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、層間絶縁膜を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うため、強誘電体キャパシタに過度のダメージを加えることなく、層間絶縁膜中から水分を十分に除去することができる。本発明によれば、平坦なバリア膜を形成する前に層間絶縁膜中の水分を十分に除去することができるため、後工程において、コンタクトホール内に導体プラグを埋め込む際に、層間絶縁膜中の水分がコンタクトホールを介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール内に導体プラグを埋め込む際に、層間絶縁膜中の水分がコンタクトホールを介して大量に放出されないため、導体プラグを形成するための原料ガスがコンタクトホール内に十分に到達する。このため、本発明によれば、コンタクトホール内に導体プラグを確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
［本発明の原理］
平坦なバリア膜は、被覆性が極めて良好であるため、水分等をバリアする機能が極めて高い。このため、層間絶縁膜中に水分がある程度残存している状態で、層間絶縁膜上に平坦なバリア膜が形成され、この後、層間絶縁膜に熱が加わった場合には、層間絶縁膜中からの水分の放出がバリア膜により閉じ込められた状態となる。このため、層間絶縁膜及びバリア膜にコンタクトホールが形成されている状態で層間絶縁膜に熱が加わった場合には、層間絶縁膜中の水分がコンタクトホールを介して大量に放出される。コンタクトホール内にＣＶＤ法により導体プラグを埋め込む際には層間絶縁膜に熱が加わるため、層間絶縁膜中の水分がコンタクトホールを介して大量に放出される。導体プラグを埋め込む際に層間絶縁膜中の水分がコンタクトホールを介して大量に放出されると、導体プラグを形成するための原料ガスがコンタクトホール内に到達することが阻害される。そうすると、コンタクトホール内に導体プラグが良好に形成されず、信頼性の低下を招いてしまうこととなる。
【００１３】
ところで、Ｎ２Ｏガス等を用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を長時間行うようにすれば、層間絶縁膜中の水分を十分に除去することは可能である。しかし、Ｎ２Ｏガス等を用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を長時間行った場合には、強誘電体キャパシタに大きなダメージが加わってしまい、電気的特性の良好な強誘電体キャパシタを得ることはできない。
【００１４】
本願発明者は鋭意検討した結果、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを組み合わせて行うことにより、強誘電体キャパシタに過度のダメージを加えることなく、絶縁膜中から水分を十分に除去することに想到した。
【００１５】
図１は、シリコン酸化膜中に残存する水分量を昇温離脱ガス分析法（ＴＤＳ、Thermal Desorption Spectroscopy）により測定した結果を示すグラフである。
【００１６】
ＴＤＳ法とは、試料を真空中で加熱・昇温し、昇温中に試料から離脱するガス成分を質量分析器で検出する方法のことである。
【００１７】
図１において、横軸はＴＤＳ法による分析を行う際の基板温度を示しており、縦軸はＴＤＳ法による測定を行う際に試料中から離脱した水分の量（脱水量）を示している。
【００１８】
比較例１は、シリコン基板上にシリコン酸化膜を形成し、この後、熱処理を行っていないものを試料として、測定を行ったものである。
【００１９】
比較例２は、シリコン基板上にシリコン酸化膜を形成し、この後、熱処理炉を用いて６５０℃、６０分の熱処理を行ったものを試料として、測定を行ったものである。
【００２０】
比較例３は、シリコン基板上にシリコン酸化膜を形成し、この後、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて２分間の熱処理を行ったものを試料として、測定を行ったものである。
【００２１】
実施例１は、シリコン基板上にシリコン酸化膜を形成し、この後、熱処理炉を用いて６５０℃、６０分の熱処理を行い、更に、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて２分間の熱処理を行ったものを試料として、測定を行ったものである。
【００２２】
実施例２は、シリコン基板上にシリコン酸化膜を形成し、この後、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて２分間の熱処理を行い、この後、熱処理炉を用いて６５０℃、６０分の熱処理を行ったものを試料として、測定を行ったものである。
【００２３】
また、図２は、ＴＤＳ法による測定結果に基づいて得られた総脱水量を示すグラフである。
【００２４】
図１及び図２から分かるように、比較例１では、試料からの脱水量が多かった。このことは、特段の熱処理を行わない場合には、シリコン酸化膜中に多くの水分が残存することを示している。
【００２５】
比較例２では、比較例１の場合より脱水量が少なくなっている。このことは、熱処理炉を用いた熱処理を行った場合には、シリコン酸化膜中の水分がある程度除去し得ることを示している。但し、比較例２の場合にも、シリコン酸化膜中にはかなりの水分が残存しており、シリコン酸化膜中に残存している水分を十分に除去できているとはいえない。
【００２６】
比較例３では、比較例２の場合と比較して脱水量が更に少なくなっている。このことは、Ｎ２Ｏガスを用いて生成したプラズマ雰囲気中で熱処理を行った場合には、シリコン酸化膜中の水分をより多く除去し得ることを示している。
【００２７】
実施例１では、比較例３の場合と比較して脱水量が更に少なくなっている。このことは、Ｎ２Ｏガスを用いて生成したプラズマ雰囲気中での熱処理と熱処理炉を用いた熱処理との両方を組み合わせて行うことにより、シリコン酸化膜中の水分をより多く除去し得ることを示している。
【００２８】
実施例２では、実施例１と比較して更に脱水量が少なくなっている。このことは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガスを用いて生成したプラズマ雰囲気中での熱処理を行うことにより、シリコン酸化膜中の水分をより多く除去し得ることを示している。
【００２９】
このような測定結果に基づいて鋭意検討した結果、本願発明者は、絶縁膜を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行えば、強誘電体キャパシタに過度のダメージを加えることなく、層間絶縁膜中から水分を十分に除去し得ることに想到した。
【００３０】
更に、本願発明者は、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行えば、層間絶縁膜中の水分を更に十分に除去し得ることに想到した。
【００３１】
熱処理炉を用いた熱処理の後にＮ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行った場合の方が、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行った後に熱処理炉を用いた熱処理を行った場合より層間絶縁膜中の水分を多く除去できるのは、以下のような理由によるものと考えられる。
【００３２】
即ち、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行うと、シリコン酸化膜中の水分が除去されるとともに、シリコン酸化膜の表面が窒化されてシリコン酸化膜の表面にシリコン窒化酸化膜が形成される。かかるシリコン窒化酸化膜は、外部からシリコン酸化膜中に水分が入り込むのを防止する機能を有するが、一方で、シリコン酸化膜中の水分が外部に放出されることをも阻害する。即ち、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行った後に熱処理炉を用いた熱処理を行う場合には、シリコン酸化膜中の水分が必ずしも十分に除去されていない段階でシリコン酸化膜の表面にシリコン窒化酸化膜が形成されるため、熱処理炉を用いた熱処理を行った際におけるシリコン酸化膜中からの水分の放出がシリコン窒化膜により阻害されることとなる。このため、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行った後に熱処理炉を用いた熱処理を行った場合には、熱処理炉を用いた熱処理の後にＮ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行った場合より、シリコン酸化膜中に残存する水分が多くなる。
【００３３】
このような理由により、熱処理炉を用いた熱処理の後にＮ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行った場合の方が、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中にて熱処理を行った後に熱処理炉を用いた熱処理を行った場合より、層間絶縁膜中の水分を多く除去できると考えられる。
【００３４】
なお、プラズマ雰囲気としてＮ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気を用いる代わりに、Ｎ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気を用いた場合にも、同様の結果が得られると考えられる。
【００３５】
このように、本発明によれば、層間絶縁膜を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うため、強誘電体キャパシタに過度のダメージを加えることなく、層間絶縁膜中から水分を十分に除去することができる。本発明によれば、平坦なバリア膜を形成する前に層間絶縁膜中の水分を十分に除去することができるため、後工程において、コンタクトホール内に導体プラグを埋め込む際に、層間絶縁膜中の水分がコンタクトホールを介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール内に導体プラグを埋め込む際に、層間絶縁膜中の水分がコンタクトホールを介して大量に放出されないため、導体プラグを形成するための原料ガスがコンタクトホール内に十分に到達する。このため、本発明によれば、コンタクトホール内に導体プラグを確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【００３６】
［一実施形態］
本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を図３乃至図１７を用いて説明する。
【００３７】
（半導体装置）
まず、本実施形態による半導体装置の構造について図３を用いて説明する。図３は、本実施形態による半導体装置を示す断面図である。
【００３８】
図３に示すように、例えばシリコンよりなる半導体基板１０上には、素子領域を画定する素子分離領域１２が形成されている。素子分離領域１２が形成された半導体基板１０内には、ウェル１４ａ、１４ｂが形成されている。
【００３９】
ウェル１４ａ、１４ｂが形成された半導体基板１０上には、ゲート絶縁膜１６を介してゲート電極（ゲート配線）１８が形成されている。ゲート電極１８は、例えば、ポリシリコン膜上に、タングステンシリサイド膜等の金属シリサイド膜が積層されたポリサイド構造を有している。ゲート電極１８上には、シリコン酸化膜よりなる絶縁膜１９が形成されている。ゲート電極１８及び絶縁膜１９の側壁部分には、サイドウォール絶縁膜２０が形成されている。
【００４０】
サイドウォール絶縁膜２０が形成されたゲート電極１８の両側には、ソース／ドレイン拡散層２２が形成されている。こうして、ゲート電極１８とソース／ドレイン拡散層２２とを有するトランジスタ２４が構成されている。トランジスタ２４のゲート長は、例えば０．３５μｍ、或いは例えば０．１１〜０．１８μｍに設定されている。
【００４１】
トランジスタ２４が形成された半導体基板１０上には、例えば膜厚２００ｎｍのＳｉＯＮ膜２５と、例えば膜厚６００ｎｍのシリコン酸化膜２６とが順次積層されている。こうして、ＳｉＯＮ膜２５とシリコン酸化膜２６とを順次積層してなる層間絶縁膜２７が形成されている。層間絶縁膜２７の表面は平坦化されている。
【００４２】
層間絶縁膜２７上には、例えば膜厚１００ｎｍのシリコン酸化膜３４が形成されている。平坦化された層間絶縁膜２７上にシリコン酸化膜３４が形成されているため、シリコン酸化膜３４は平坦となっている。
【００４３】
シリコン酸化膜３４上には、強誘電体キャパシタ４２の下部電極３６が形成されている。下部電極３６は、例えば、膜厚２０〜５０ｎｍの酸化アルミニウム膜３６ａと膜厚１００〜２００ｎｍのＰｔ膜３６ｂとを順次積層してなる積層膜により構成されている。ここでは、Ｐｔ膜３６ｂの膜厚は、１６５ｎｍに設定されている。
【００４４】
下部電極３６上には、強誘電体キャパシタ４２の強誘電体膜３８が形成されている。強誘電体膜３８としては、例えば膜厚１００〜２５０ｎｍのＰｂＺｒ１−ＸＴｉＸＯ３膜（ＰＺＴ膜）が用いられている。ここでは、強誘電体膜３８には、膜厚１５０ｎｍのＰＺＴ膜が用いられている。
【００４５】
強誘電体膜３８上には、強誘電体キャパシタ４２の上部電極４０が形成されている。上部電極４０は、例えば膜厚２５〜７５ｎｍのＩｒＯＸ膜４０ａと、膜厚１５０〜２５０ｎｍのＩｒＯＹ膜４０ｂとを順次積層してなる積層膜により構成されている。ここでは、ＩｒＯＸ膜４０ａの膜厚は５０ｎｍに設定され、ＩｒＯＹ膜４０ｂの膜厚は２００ｎｍに設定されている。なお、ＩｒＯＹ膜４０ｂの酸素の組成比Ｙは、ＩｒＯＸ膜４０ａの酸素の組成比Ｘより高く設定されている。
【００４６】
こうして、下部電極３６と強誘電体膜３８と上部電極４０とからなる強誘電体キャパシタ４２が構成されている。
【００４７】
強誘電体膜３８上及び上部電極４０上には、強誘電体膜３８及び上部電極４０の上面及び側面を覆うようにバリア膜４４が形成されている。バリア膜４４としては、例えば２０〜１００ｎｍの酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）膜が用いられている。
【００４８】
バリア膜４４は、水素及び水分の拡散を防止する機能を有する膜である。強誘電体キャパシタ４２の強誘電体膜３８に水素や水分が達すると、強誘電体膜３８を構成する金属酸化物が水素や水分により還元されてしまい、強誘電体キャパシタ４２の電気特性が劣化してしまう。強誘電体膜３８及び上部電極４０の上面及び側面を覆うようにバリア膜４４を形成することにより、強誘電体膜３８に水素及び水分が達するのが抑制されるため、強誘電体キャパシタ４２の電気的特性の劣化を抑制することが可能となる。
【００４９】
バリア膜４４により覆われた強誘電体キャパシタ４２上及びシリコン酸化膜３４上には、バリア膜４６が形成されている。バリア膜４６としては、例えば膜厚２０〜１００ｎｍの酸化アルミニウム膜が用いられている。
【００５０】
バリア膜４６は、バリア膜４４と同様に、水素及び水分の拡散を防止する機能を有する膜である。
【００５１】
バリア膜４６上には、例えば膜厚１５００ｎｍのシリコン酸化膜よりなる層間絶縁膜４８が形成されている。層間絶縁膜４８の表面は、平坦化されている。
【００５２】
層間絶縁膜４８、バリア膜４６、シリコン酸化膜３４、及び層間絶縁膜２７には、ソース／ドレイン拡散層２２に達するコンタクトホール５０ａ、５０ｂがそれぞれ形成されている。また、層間絶縁膜４８、バリア膜４６、及びバリア膜４４には、上部電極４０に達するコンタクトホール５２ａが形成されている。また、層間絶縁膜４８、バリア膜４６、及びバリア膜４４には、下部電極３６に達するコンタクトホール５２ｂが形成されている。
【００５３】
コンタクトホール５０ａ、５０ｂ内には、例えば膜厚２０ｎｍのＴｉ膜と、例えば膜厚５０ｎｍのＴｉＮ膜とを順次積層してなるバリアメタル膜（図示せず）が形成されている。バリアメタル膜のうちＴｉ膜はコンタクト抵抗を低減するために形成され、ＴｉＮ膜は導体プラグ材料のタングステンの拡散を防止するために形成されている。後述するコンタクトホールのそれぞれに形成されるバリアメタル膜についても、同様の目的で形成されている。
【００５４】
バリアメタル膜が形成されたコンタクトホール５０ａ、５０ｂ内には、タングステンよりなる導体プラグ５４ａ、５４ｂがそれぞれ埋め込まれている。
【００５５】
層間絶縁膜４８上及びコンタクトホール５２ａ内には、導体プラグ５４ａと上部電極４０とに電気的に接続された配線５６ａが形成されている。また、層間絶縁膜４８上及びコンタクトホール５２ｂ内には、下部電極３６に電気的に接続された配線５６ｂが形成されている。また、層間絶縁膜４８上には、導体プラグ５４ｂに電気的に接続された配線５６ｃが形成されている。配線５６ａ、５６ｂ、５６ｃ（第１金属配線層５６）は、例えば、膜厚１５０ｎｍのＴｉＮ膜、膜厚５５０ｎｍのＡｌＣｕ合金膜、膜厚５ｎｍのＴｉ膜、及び膜厚１５０ｎｍのＴｉＮ膜を順次積層してなる積層膜により構成されている。
【００５６】
こうして、トランジスタ２４のソース／ドレイン拡散層２２と強誘電体キャパシタ４２の上部電極４０とが、導体プラグ５４ａ及び配線５６ａを介して電気的に接続され、１つのトランジスタ２４及び１つの強誘電体キャパシタ４２とを有するＦｅＲＡＭの１Ｔ１Ｃ型メモリセルが構成されている。実際には、複数のメモリセルがＦｅＲＡＭチップのメモリセル領域に配列されている。
【００５７】
配線５６ａ、５６ｂ、５６ｃが形成された層間絶縁膜４８上には、配線５６ａ、５６ｂ、５６ｃの上面及び側面を覆うように、バリア膜５８が形成されている。バリア膜５８としては、例えば２０ｎｍの酸化アルミニウム膜が用いられている。
【００５８】
バリア膜５８は、バリア膜４４、４６と同様に、水素及び水分の拡散を防止する機能を有する膜である。また、バリア膜５８は、プラズマによるダメージを抑えるためにも用いられている。
【００５９】
バリア膜５８上には、例えば膜厚２６００ｎｍのシリコン酸化膜６０が形成されている。シリコン酸化膜６０の表面は、平坦化されている。平坦化されたシリコン酸化膜６０は、配線５６ａ、５６ｂ、５６ｃ上に、例えば１０００ｎｍの膜厚で残存している。
【００６０】
シリコン酸化膜６０は、後述するように、シリコン酸化膜６０を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス等を用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うことにより形成されている。このため、シリコン酸化膜６０中の水分は十分に除去されている。シリコン酸化膜６０中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６０中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６０中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されないため、導体プラグ７０を形成するための原料ガスがコンタクトホール６８内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【００６１】
シリコン酸化膜６０は、後述するように、シリコン酸化膜６０の表面を平坦化した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス等を用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うことにより形成されている。このため、シリコン酸化膜６０中の水分は十分に除去されている。シリコン酸化膜６０中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６０中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されるのを防止することができる。このため、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【００６２】
シリコン酸化膜６０上には、例えば膜厚１００ｎｍのシリコン酸化膜６１が形成されている。平坦化されたシリコン酸化膜６０上にシリコン酸化膜６１が形成されているため、シリコン酸化膜６１は平坦となっている。
【００６３】
シリコン酸化膜６１は、後述するように、シリコン酸化膜６１を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス等を用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うことにより形成されている。このため、シリコン酸化膜６１中の水分は十分に除去されている。シリコン酸化膜６１中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６１中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６１中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されないため、導体プラグ７０を形成するための原料ガスがコンタクトホール６８内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【００６４】
シリコン酸化膜６１上には、バリア膜６２が形成されている。バリア膜６２としては、例えば膜厚２０〜７０ｎｍの酸化アルミニウム膜が用いられている。ここでは、バリア膜６２として、膜厚５０ｎｍの酸化アルミニウム膜が用いられている。平坦なシリコン酸化膜６１上にバリア膜６２が形成されているため、バリア膜６２は平坦となっている。
【００６５】
バリア膜６２は、バリア膜４４、４６、５８と同様に、水素及び水分の拡散を防止する機能を有する膜である。さらに、バリア膜６２は、平坦なシリコン酸化膜６１上に形成されているため平坦となっており、バリア膜４４、４６、５８と比較して、極めて良好な被覆性で形成されている。したがって、このような平坦なバリア膜６２により、更に確実に水素及び水分の拡散を防止することができる。なお、実際には、バリア膜６２は、強誘電体キャパシタ４２を有する複数のメモリセルが配列されたＦｅＲＡＭチップのメモリセル領域のみならず、周辺回路領域等を含むＦｅＲＡＭチップの全面にわたって形成されている。
【００６６】
バリア膜６２上には、例えば膜厚５０〜１００ｎｍのシリコン酸化膜６４が形成されている。ここでは、シリコン酸化膜６４の膜厚は、１００ｎｍに設定されている。シリコン酸化膜６４は、導電膜をパターニングして配線７２ａ、７２ｂを形成する際に、バリア膜６２までもがエッチングされてしまうのを防止するためのものである。
【００６７】
シリコン酸化膜６４は、後述するように、シリコン酸化膜６４を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス等を用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うことにより形成されている。このため、シリコン酸化膜６４中の水分は十分に除去されている。シリコン酸化膜６４中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６４中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６４中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されないため、導体プラグ７０を形成するための原料ガスがコンタクトホール６８内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【００６８】
こうして、バリア膜５８、シリコン酸化膜６０、シリコン酸化膜６１、バリア膜６２、及びシリコン酸化膜６４により層間絶縁膜６６が構成されている。
【００６９】
層間絶縁膜６６には、配線５６ｃに達するコンタクトホール６８が形成されている。
【００７０】
コンタクトホール６８内には、例えば膜厚２０ｎｍのＴｉ膜と、例えば膜厚５０ｎｍのＴｉＮ膜とを順次積層してなるバリアメタル膜（図示せず）が形成されている。なお、Ｔｉ膜を形成せずに、ＴｉＮ膜よりなるバリアメタル膜を形成してもよい。
【００７１】
バリアメタル膜が形成されたコンタクトホール６８内には、タングステンよりなる導体プラグ７０が埋め込まれている。
【００７２】
層間絶縁膜６６上には、配線７２ａが形成されている。また、層間絶縁膜６６上には、導体プラグ７０に電気的に接続された配線７２ｂが形成されている。配線７２ａ、７２ｂ（第２金属配線層７２）は、例えば、膜厚５０ｎｍのＴｉＮ膜、膜厚５００ｎｍのＡｌＣｕ合金膜、膜厚５ｎｍのＴｉ膜、及び膜厚１５０ｎｍのＴｉＮ膜を順次積層してなる積層膜により構成されている。
【００７３】
層間絶縁膜６６上及び配線７２ａ、７２ｂ上には、例えば膜厚２２００ｎｍのシリコン酸化膜７４が形成されている。シリコン酸化膜７４の表面は、平坦化されている。
【００７４】
シリコン酸化膜７４は、後述するように、シリコン酸化膜７４の表面を平坦化した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス等を用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うことにより形成されている。このため、シリコン酸化膜７４中の水分は十分に除去されている。シリコン酸化膜７４中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜７４中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜７６中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されないため、導体プラグ８６ａ、８６ｂを形成するための原料ガスがコンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【００７５】
シリコン酸化膜７４上には、例えば膜厚１００ｎｍのシリコン酸化膜７６が形成されている。平坦化されたシリコン酸化膜７４上にシリコン酸化膜７６が形成されているため、シリコン酸化膜７６は平坦となっている。
【００７６】
シリコン酸化膜７６は、後述するように、シリコン酸化膜７６を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス等を用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うことにより形成されている。このため、シリコン酸化膜７６中の水分は十分に除去されている。シリコン酸化膜７６中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜７６中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜７６中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されないため、導体プラグ８６ａ、８６ｂを形成するための原料ガスがコンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【００７７】
シリコン酸化膜７６上には、バリア膜７８が形成されている。バリア膜７８としては、例えば膜厚２０〜１００ｎｍの酸化アルミニウム膜が用いられている。ここでは、バリア膜７８として、膜厚５０ｎｍの酸化アルミニウム膜が用いられている。平坦なシリコン酸化膜７６上にバリア膜７８が形成されているため、バリア膜７８は平坦となっている。
【００７８】
バリア膜７８は、バリア膜４４、４６、５８、６２と同様に、水素及び水分の拡散を防止する機能を有する膜である。さらに、バリア膜７８は、平坦なシリコン酸化膜７６上に形成されているため平坦となっており、バリア膜６２と同様に、バリア膜４４、４６、５８と比較して、極めて良好な被覆性で形成されている。したがって、このような平坦なバリア膜７８により、更に確実に水素及び水分の拡散を防止することができる。なお、実際には、バリア膜７８は、バリア膜６２と同様に、強誘電体キャパシタ４２を有する複数のメモリセルが配列されたＦｅＲＡＭチップのメモリセル領域のみならず、周辺回路領域等を含むＦｅＲＡＭチップの全面にわたって形成されている。
【００７９】
バリア膜７８上には、例えば膜厚１００ｎｍのシリコン酸化膜８０が形成されている。シリコン酸化膜８０は、導電膜をパターニングして配線８８ａ、８８ｂを形成する際に、バリア膜７８までもがエッチングされてしまうのを防止するためのものである。
【００８０】
シリコン酸化膜８０は、後述するように、シリコン酸化膜８０を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス等を用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うことにより形成されている。このため、シリコン酸化膜８０中の水分は十分に除去されている。シリコン酸化膜８０中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜８０中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜８０中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されないため、導体プラグ８６ａ、８６ｂを形成するための原料ガスがコンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【００８１】
こうして、シリコン酸化膜７４、シリコン酸化膜７６、バリア膜７８、及びシリコン酸化膜８０により層間絶縁膜８２が構成されている。
【００８２】
層間絶縁膜８２には、配線７２ａ、７２ｂに達するコンタクトホール８４ａ、８４ｂがそれぞれ形成されている。
【００８３】
コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内には、例えば膜厚２０ｎｍのＴｉ膜と、例えば膜厚５０ｎｍのＴｉＮ膜とを順次積層してなるバリアメタル膜（図示せず）が形成されている。なお、Ｔｉ膜を形成せずに、ＴｉＮ膜よりなるバリアメタル膜を形成してもよい。
【００８４】
バリアメタル膜が形成されたコンタクトホール８４ａ、８４ｂ内には、タングステンよりなる導体プラグ８６ａ、８６ｂがそれぞれ埋め込まれている。
【００８５】
導体プラグ８６ａ、８６ｂが埋め込まれた層間絶縁膜８２上には、導体プラグ８６ａに電気的に接続された配線８８ａ、及び導体プラグ８６ｂに電気的に接続された配線（ボンディングパッド）８８ｂが形成されている。配線８８ａ、８８ｂ（第３金属配線層８８）は、例えば、膜厚５０ｎｍのＴｉＮ膜、膜厚５００ｎｍのＡｌＣｕ合金膜、及び膜厚１５０ｎｍのＴｉＮ膜を順次積層してなる積層膜により構成されている。
【００８６】
層間絶縁膜８２上及び配線８８ａ、８８ｂ上には、例えば膜厚１００〜３００ｎｍのシリコン酸化膜９０が形成されている。ここでは、シリコン酸化膜９０の膜厚は、１００ｎｍに設定されている。
【００８７】
シリコン酸化膜９０上には、例えば膜厚３５０ｎｍのシリコン窒化膜９２が形成されている。
【００８８】
シリコン窒化膜９２上には、例えば膜厚２〜６μｍのポリイミド樹脂膜９４が形成されている。
【００８９】
ポリイミド樹脂膜９４、シリコン窒化膜９２、及びシリコン酸化膜９０には、配線（ボンディングパッド）８８ｂに達する開口部９６が形成されている。すなわち、シリコン窒化膜９２及びシリコン酸化膜９０には、配線（ボンディングパッド）８８ｂに達する開口部９６ａが形成されている。ポリイミド樹脂膜９４には、シリコン窒化膜９２及びシリコン酸化膜９０に形成された開口部９６ａを含む領域に、開口部９６ｂが形成されている。
【００９０】
配線（ボンディングパッド）８８ｂには、開口部９６を介して、外部回路（図示せず）が電気的に接続される。
【００９１】
こうして本実施形態による半導体装置が構成されている。
【００９２】
（半導体装置の製造方法）
次に、本実施形態による半導体装置の製造方法について図４乃至図１７を用いて説明する。図４乃至図１７は、本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
【００９３】
まず、例えばシリコンよりなる半導体基板１０に、例えばＬＯＣＯＳ（LOCal Oxidation of Silicon）法により、素子領域を画定する素子分離領域１２を形成する。
【００９４】
次いで、イオン注入法により、ドーパント不純物を導入することにより、ウェル１４ａ、１４ｂを形成する。
【００９５】
次いで、通常のトランジスタの形成方法を用いて、素子領域に、ゲート電極（ゲート配線）１８とソース／ドレイン拡散層２２とを有するトランジスタ２４を形成する（図４（ａ）を参照）。
【００９６】
次いで、全面に、例えばプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法により、例えば膜厚２００ｎｍのＳｉＯＮ膜２５を形成する。
【００９７】
次いで、全面に、プラズマＴＥＯＳＣＶＤ法により、例えば例えば膜厚６００ｎｍのシリコン酸化膜２６を形成する（図４（ｂ）を参照）。
【００９８】
次いで、例えばＣＭＰ法により、シリコン酸化膜２６の表面を平坦化する（図４（ｃ）を参照）。
【００９９】
こうして、ＳｉＯＮ膜２５とシリコン酸化膜２６とにより層間絶縁膜２７が構成される。
【０１００】
次いで、一酸化二窒素（Ｎ２Ｏ）又は窒素（Ｎ２）雰囲気にて、例えば６５０℃、３０分間の熱処理を行う。
【０１０１】
次いで、全面に、例えばプラズマＴＥＯＳＣＶＤ法により、例えば膜厚１００ｎｍのシリコン酸化膜３４を形成する（図５（ａ）を参照）。
【０１０２】
次いで、Ｎ２Ｏガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気にて、例えば３５０℃、２分間の熱処理を行う。
【０１０３】
次いで、全面に、例えばスパッタ法又はＣＶＤ法により、例えば膜厚２０〜５０ｎｍの酸化アルミニウム膜３６ａを形成する。
【０１０４】
次いで、例えばＲＴＡ（Rapid Thermal Annealing）法により、酸素雰囲気中にて熱処理を行う。熱処理温度は例えば６５０℃とし、熱処理時間は例えば１〜２分とする。
【０１０５】
次いで、全面に、例えばスパッタ法により、例えば膜厚１００〜２００ｎｍのＰｔ膜３６ｂを形成する。
【０１０６】
こうして、酸化アルミニウム膜３６ａとＰｔ膜３６ｂとからなる積層膜３６が形成される。積層膜３６は、強誘電体キャパシタ４２の下部電極となるものである。
【０１０７】
次いで、全面に、例えばスパッタ法により、強誘電体膜３８を形成する。強誘電体膜３８としては、例えば膜厚１００〜２５０ｎｍのＰＺＴ膜を形成する。
【０１０８】
なお、ここでは、強誘電体膜３８をスパッタ法により形成する場合を例に説明したが、強誘電体膜の形成方法はスパッタ法に限定されるものではない。例えば、ゾル・ゲル法、ＭＯＤ（Metal Organic Deposition）法、ＭＯＣＶＤ法等により強誘電体膜を形成してもよい。
【０１０９】
次いで、例えばＲＴＡ法により、酸素雰囲気中にて熱処理を行う。熱処理温度は例えば５５０〜６００℃とし、熱処理時間は例えば６０〜１２０秒とする。
【０１１０】
次いで、例えばスパッタ法又はＭＯＣＶＤ法により、例えば膜厚２５〜７５ｎｍのＩｒＯＸ膜４０ａを形成する。
【０１１１】
次いで、アルゴン及び酸素雰囲気にて、例えば６００〜８００℃、１０〜１００秒間の熱処理を行う。
【０１１２】
次いで、例えばスパッタ法又はＭＯＣＶＤ法により、例えば膜厚１５０〜２５０ｎｍのＩｒＯＹ膜４０ｂを形成する。この際、ＩｒＯＹ膜４０ｂの酸素の組成比Ｙが、ＩｒＯＸ膜４０ａの酸素の組成比Ｘより高くなるように、ＩｒＯＹ膜４０ｂを形成する。
【０１１３】
こうして、ＩｒＯＸ膜４０ａとＩｒＯＹ膜４０ｂとからなる積層膜４０が形成される（図５（ｂ）を参照）。積層膜４０は、強誘電体キャパシタ４２の上部電極となるものである。
【０１１４】
次いで、全面に、例えばスピンコート法により、フォトレジスト膜９８を形成する。
【０１１５】
次いで、フォトリソグラフィーにより、フォトレジスト膜９８を強誘電体キャパシタ４２の上部電極４０の平面形状にパターニングする。
【０１１６】
次いで、フォトレジスト膜９８をマスクとして、積層膜４０をエッチングする。エッチングガスとしては、例えばＡｒガスとＣｌ２ガスとを用いる。こうして、積層膜よりなる上部電極４０が形成される（図５（ｃ）を参照）。この後、フォトレジスト膜９８を剥離する。
【０１１７】
次いで、例えば酸素雰囲気にて、例えば４００〜７００℃、３０〜１２０分間の熱処理を行う。この熱処理は、上部電極４０の表面に異常が生ずるのを防止するためのものである。
【０１１８】
次いで、全面に、例えばスピンコート法により、フォトレジスト膜１００を形成する。
【０１１９】
次いで、フォトリソグラフィーにより、フォトレジスト膜１００を強誘電体キャパシタ４２の強誘電体膜３８の平面形状にパターニングする。
【０１２０】
次いで、フォトレジスト膜１００をマスクとして、強誘電体膜３８をエッチングする（図６（ａ）を参照）。この後、フォトレジスト膜１００を剥離する。
【０１２１】
次いで、酸素雰囲気にて、例えば３００〜４００℃、３０〜１２０分間の熱処理を行う。
【０１２２】
次いで、例えばスパッタ法又はＣＶＤ法により、バリア膜４４を形成する（図６（ｂ）を参照）。バリア膜４４としては、例えば膜厚２０〜５０ｎｍの酸化アルミニウム膜を形成する。
【０１２３】
次いで、酸素雰囲気にて、例えば４００〜６００℃、３０〜１２０分間の熱処理を行う。
【０１２４】
次いで、全面に、例えばスピンコート法により、フォトレジスト膜１０２を形成する。
【０１２５】
次いで、フォトリソグラフィーにより、フォトレジスト膜１０２を強誘電体キャパシタ４２の下部電極３６の平面形状にパターニングする。
【０１２６】
次いで、フォトレジスト膜１０２をマスクとして、バリア膜４４及び積層膜３６をエッチングする（図６（ｃ）を参照）。こうして、積層膜よりなる下部電極３６が形成される。また、バリア膜４４が、上部電極４０及び強誘電体膜３８を覆うように残存する。この後、フォトレジスト膜１０２を剥離する。
【０１２７】
次いで、酸素雰囲気にて、例えば４００〜６００℃、３０〜１２０分間の熱処理を行う。
【０１２８】
次いで、全面に、例えばスパッタ法又はＣＶＤ法により、バリア膜４６を形成する。バリア膜４６としては、例えば膜厚２０〜１００ｎｍの酸化アルミニウム膜を形成する（図７（ａ）を参照）。こうして、バリア膜４４により覆われた強誘電体キャパシタ４２を更に覆うようにバリア膜４６が形成される。
【０１２９】
次いで、酸素雰囲気にて、例えば５００〜７００℃、３０〜１２０分間の熱処理を行う。
【０１３０】
次いで、全面に、例えばプラズマＴＥＯＳＣＶＤ法により、例えば膜厚１５００ｎｍのシリコン酸化膜よりなる層間絶縁膜４８を形成する（図７（ｂ）を参照）。
【０１３１】
次いで、例えばＣＭＰ法により、層間絶縁膜４８の表面を平坦化する（図７（ｃ）を参照）。
【０１３２】
次いで、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気にて、例えば３５０℃、２分間の熱処理を行う。この熱処理は、層間絶縁膜４８中の水分を除去するとともに、層間絶縁膜４８の膜質を変化させ、層間絶縁膜４８中に水分が入りにくくするためのものである。この熱処理により、層間絶縁膜４８の表面は窒化され、層間絶縁膜４８の表面にはＳｉＯＮ膜（図示せず）が形成される。
【０１３３】
次いで、フォトリソグラフィー及びエッチングにより、層間絶縁膜４８、バリア膜４６、シリコン酸化膜３４、及び層間絶縁膜２７に、ソース／ドレイン拡散層２２に達するコンタクトホール５０ａ、５０ｂを形成する（図８（ａ）を参照）。
【０１３４】
次いで、全面に、例えばスパッタ法により、例えば膜厚２０ｎｍのＴｉ膜を形成する。続いて、全面に、例えばスパッタ法により、例えば膜厚５０ｎｍのＴｉＮ膜を形成する。こうして、Ｔｉ膜とＴｉＮ膜とによりバリアメタル膜（図示せず）が構成される。
【０１３５】
次いで、全面に、例えばＣＶＤ法により、例えば膜厚５００ｎｍのタングステン膜を形成する。
【０１３６】
次いで、例えばＣＭＰ法により、層間絶縁膜４８の表面が露出するまで、タングステン膜及びバリアメタル膜を研磨する。こうして、コンタクトホール５０ａ、５０ｂ内に、タングステンよりなる導体プラグ５４ａ、５４ｂがそれぞれ埋め込まれる（図８（ｂ）を参照）。
【０１３７】
次いで、例えばアルゴンガスを用いたプラズマ洗浄を行う。これにより、導体プラグ５４ａ、５４ｂ表面に存在する自然酸化膜等が除去される。
【０１３８】
次いで、全面に、例えばＣＶＤ法により、例えば膜厚１００ｎｍのＳｉＯＮ膜１０４を形成する。
【０１３９】
次いで、フォトリソグラフィー及びドライエッチングにより、ＳｉＯＮ膜１０４、層間絶縁膜４８、バリア膜４６、及びバリア膜４４に、強誘電体キャパシタ４２の上部電極４０に達するコンタクトホール５２ａと、強誘電体キャパシタ４２の下部電極３６に達するコンタクトホール５２ａとを形成する（図８（ｃ）を参照）。
【０１４０】
次いで、酸素雰囲気にて、例えば４００〜６００℃、３０〜１２０分間の熱処理を行う。この熱処理は、強誘電体キャパシタ４２の強誘電体膜３８に酸素を供給し、強誘電体キャパシタ４２の電気的特性を回復するためのものである。なお、ここでは酸素雰囲気中にて熱処理を行う場合を例に説明したが、オゾン雰囲気中にて熱処理を行ってもよい。オゾン雰囲気中にて熱処理を行った場合にも、キャパシタの強誘電体膜３８に酸素を供給することができ、強誘電体キャパシタ４２の電気的特性を回復することが可能である。
【０１４１】
次いで、エッチングによりＳｉＯＮ膜１０４を除去する。
【０１４２】
次いで、全面に、例えば膜厚１５０ｎｍのＴｉＮ膜と、例えば膜厚５５０ｎｍのＡｌＣｕ合金膜と、例えば膜厚５ｎｍのＴｉ膜と、膜厚１５０ｎｍのＴｉＮ膜とを順次積層する。こうして、ＴｉＮ膜とＡｌＣｕ合金膜とＴｉ膜とＴｉＮ膜とを順次積層してなる導体膜が形成される。
【０１４３】
次いで、フォトリソグラフィー及びドライエッチングにより、導体膜をパターニングする。これにより、第１金属配線層５６、すなわち強誘電体キャパシタ４２の上部電極４０と導体プラグ５４ａとに電気的に接続された配線５６ａが形成される。また、強誘電体キャパシタ４２の下部電極３６に電気的に接続された配線５６ｂが形成される。また、導体プラグ５４ｂに電気的に接続された配線５６ｃが形成される（図９（ａ）を参照）。
【０１４４】
次いで、酸素雰囲気にて、例えば３５０℃、３０分間の熱処理を行う。
【０１４５】
次いで、全面に、例えばスパッタ法又はＣＶＤ法により、バリア膜５８を形成する。バリア膜５８としては、例えば膜厚２０〜７０ｎｍの酸化アルミニウム膜を形成する（図９（ｂ）を参照）。ここでは、バリア膜５８として、膜厚２０ｎｍの酸化アルミニウム膜を形成する。こうして、配線５６ａ、５６ｂ、５６ｃの上面及び側面を覆うようにバリア膜５８が形成される。
【０１４６】
次いで、全面に、例えばプラズマＴＥＯＳＣＶＤ法により、例えば膜厚２６００ｎｍのシリコン酸化膜６０を形成する（図１０（ａ）を参照）。プラズマを発生させる際に電極間に印加する高周波電力は、例えば２００Ｗとする。
【０１４７】
次いで、例えばＣＭＰ法により、シリコン酸化膜６０の表面を平坦化する（図１０（ｂ）を参照）。
【０１４８】
次いで、熱処理炉（ファーネス）内に半導体基板１０を導入し、熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜６０中の水分を除去するためのものである。この熱処理を行う際に熱処理炉内に導入するガスとしては、例えばＮ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いる。熱処理炉内に導入するＮ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば１００００〜２００００ｓｃｃｍとする。熱処理炉内の圧力は、例えば大気圧とする。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜６５０℃とする。熱処理時間は、例えば３０〜１２０分とする。
【０１４９】
次いで、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気にて熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜６０中の水分を更に除去するとともに、シリコン酸化膜６０の膜質を変化させ、シリコン酸化膜６０中に水分が入りにくくするためのものである。この熱処理により、シリコン酸化膜６０の表面が窒化され、シリコン酸化膜６０の表面にはＳｉＯＮ膜（図示せず）が形成される。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜４００℃とする。熱処理時間は、例えば２〜４分とする。Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば３５０ｓｃｃｍ程度とする。
【０１５０】
本実施形態によれば、シリコン酸化膜６０を平坦化した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うため、シリコン酸化膜６０中の水分を十分に除去することができる。シリコン酸化膜６０中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６０中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６０中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されないため、導体プラグ７０を形成するための原料ガスがコンタクトホール６８内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【０１５１】
なお、ここでは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合を例に説明したが、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行ってもよい。
【０１５２】
但し、シリコン酸化膜６０中の水分をより多く除去する観点からは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合の方が、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行う場合より好ましい。
【０１５３】
次いで、平坦化されたシリコン酸化膜６０上に、例えばプラズマＴＥＯＳＣＶＤ法により、例えば膜厚１００ｎｍのシリコン酸化膜６１を形成する。プラズマを発生させる際に電極間に印加する高周波電力は、例えば２００Ｗとする。平坦化されたシリコン酸化膜６０上にシリコン酸化膜６１を形成するため、シリコン酸化膜６１は平坦となる。
【０１５４】
次いで、熱処理炉（ファーネス）内に半導体基板１０を導入し、熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜６１中の水分を除去するためのものである。この熱処理を行う際に熱処理炉内に導入するガスとしては、例えばＮ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いる。熱処理炉内に導入するＮ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば１００００〜２００００ｓｃｃｍとする。熱処理炉内の圧力は、例えば大気圧とする。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜６５０℃とする。熱処理時間は、例えば３０〜１２０分とする。
【０１５５】
次いで、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気にて熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜６１中の水分を更に除去するとともに、シリコン酸化膜６１の膜質を変化させ、シリコン酸化膜６１中に水分が入りにくくするためのものである。この熱処理により、シリコン酸化膜６１の表面が窒化され、シリコン酸化膜６１の表面にはＳｉＯＮ膜（図示せず）が形成される。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜４００℃とする。熱処理時間は、例えば２〜４分とする。Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば３５０ｓｃｃｍ程度とする。
【０１５６】
本実施形態によれば、シリコン酸化膜６１を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うため、シリコン酸化膜６１中の水分を十分に除去することができる。シリコン酸化膜６１中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６１中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６１中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されないため、導体プラグ７０を形成するための原料ガスがコンタクトホール６８内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【０１５７】
なお、ここでは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合を例に説明したが、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行ってもよい。
【０１５８】
但し、シリコン酸化膜６１中の水分をより多く除去する観点からは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合の方が、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行う場合より好ましい。
【０１５９】
次いで、シリコン酸化膜６１上に、例えばスパッタ法又はＣＶＤ法により、バリア膜６２を形成する。バリア膜６２としては、例えば膜厚２０〜７０ｎｍの酸化アルミニウム膜を形成する。ここでは、バリア膜６２として、膜厚５０ｎｍの酸化アルミニウム膜を形成する。平坦化されたシリコン酸化膜６１上にバリア膜６２を形成するため、バリア膜６２は平坦となる。
【０１６０】
次いで、全面に、例えばプラズマＴＥＯＳＣＶＤ法により、例えば膜厚１００ｎｍのシリコン酸化膜６４を形成する（図１１（ａ）を参照）。プラズマを発生させる際に電極間に印加する高周波電力は、例えば２００Ｗとする。シリコン酸化膜６４は、導電膜をパターニングして配線７２ａ、７２ｂを形成する際に、バリア膜６２がエッチングされてしまうのを防止するためのものである。
【０１６１】
次いで、熱処理炉内に半導体基板１０を導入し、熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜６４中の水分を除去するためのものである。この熱処理を行う際に熱処理炉内に導入するガスとしては、例えばＮ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いる。熱処理炉内に導入するＮ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば１００００〜２００００ｓｃｃｍとする。熱処理炉内の圧力は、例えば大気圧とする。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜６５０℃とする。熱処理時間は、例えば３０〜１２０分とする。
【０１６２】
次いで、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気にて熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜６４中の水分を更に除去するとともに、シリコン酸化膜６４の膜質を変化させ、シリコン酸化膜６４中に水分が入りにくくするためのものである。この熱処理により、シリコン酸化膜６４の表面が窒化され、シリコン酸化膜６４の表面にはＳｉＯＮ膜（図示せず）が形成される。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜４００℃とする。熱処理時間は、例えば２〜４分とする。Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば３５０ｓｃｃｍ程度とする。
【０１６３】
本実施形態によれば、シリコン酸化膜６４を平坦化した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うため、シリコン酸化膜６４中の水分を十分に除去することができる。シリコン酸化膜６４中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６４中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６４中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されないため、導体プラグ７０を形成するための原料ガスがコンタクトホール６８内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【０１６４】
なお、ここでは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合を例に説明したが、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行ってもよい。
【０１６５】
但し、シリコン酸化膜６４中の水分をより多く除去する観点からは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合の方が、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行う場合より好ましい。
【０１６６】
こうして、バリア膜５８、シリコン酸化膜６０、シリコン酸化膜６１、バリア膜６２、及びシリコン酸化膜６４により層間絶縁膜６６が構成される。
【０１６７】
次いで、フォトリソグラフィー及びドライエッチングにより、層間絶縁膜６６に、配線５６ｃに達するコンタクトホール６８を形成する（図１１（ｂ）を参照）。
【０１６８】
次いで、Ｎ２雰囲気にて、例えば３５０℃、１２０分間の熱処理を行う。
【０１６９】
次いで、全面に、例えばスパッタ法により、例えば膜厚５０ｎｍのＴｉＮ膜を形成する。こうして、ＴｉＮ膜によりバリアメタル膜（図示せず）が構成される。
【０１７０】
次いで、全面に、例えばＣＶＤ法により、例えば膜厚５００ｎｍのタングステン膜を形成する。原料ガスとしては、例えばＷＦ６ガスを用いる。原料ガスの流量は、例えば１０ｓｃｃｍとする。成膜温度は、例えば３００〜５００℃とする。シリコン酸化膜６０、６１、６４中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６０、６１、６４中の水分がコンタクトホール６８を介して大量に放出されることはない。コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を埋め込む際に、シリコン酸化膜６０、６１、６４中からコンタクトホール６８を介して大量の水分が放出されないため、導体プラグ７０を形成するための原料ガスがコンタクトホール６８内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール６８内に導体プラグ７０を確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【０１７１】
次いで、例えばＥＢ（エッチバック）法により、ＴｉＮ膜の表面が露出するまで、タングステン膜をエッチバックする。こうして、コンタクトホール６８内に、タングステンよりなる導体プラグ７０が埋め込まれる（図１２（ａ）を参照）。
【０１７２】
次いで、全面に、例えば膜厚５００ｎｍのＡｌＣｕ合金膜と、例えば膜厚５ｎｍのＴｉ膜と、例えば膜厚１５０ｎｍのＴｉＮ膜とを順次積層する。こうして、ＴｉＮ膜とＡｌＣｕ合金膜とＴｉ膜とＴｉＮ膜とを順次積層してなる導体膜が形成される。
【０１７３】
次いで、フォトリソグラフィー及びドライエッチングにより、導体膜をパターニングする。これにより、第２金属配線層７２、すなわち配線７２ａ、及び導体プラグ７０に電気的に接続された配線７２ｂが形成される（図１２（ｂ）を参照）。
【０１７４】
次いで、全面に、例えばプラズマＴＥＯＳＣＶＤ法により、例えば膜厚２２００ｎｍのシリコン酸化膜７４を形成する（図１３（ａ）を参照）。プラズマを発生させる際に電極間に印加する高周波電力は、例えば２００Ｗとする。
【０１７５】
次いで、例えばＣＭＰ法により、シリコン酸化膜７４の表面を平坦化する（図１３（ｂ）を参照）。
【０１７６】
次いで、熱処理炉内に半導体基板１０を導入し、熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜７４中の水分を除去するためのものである。この熱処理を行う際に熱処理炉内に導入するガスとしては、例えばＮ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いる。熱処理炉内に導入するＮ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば１００００〜２００００ｓｃｃｍとする。熱処理炉内の圧力は、例えば大気圧とする。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜６５０℃とする。熱処理時間は、例えば３０〜１２０分とする。
【０１７７】
次いで、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気にて熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜７４中の水分を更に除去するとともに、シリコン酸化膜７４の膜質を変化させ、シリコン酸化膜７４中に水分が入りにくくするためのものである。この熱処理により、シリコン酸化膜７４の表面が窒化され、シリコン酸化膜７４の表面にはＳｉＯＮ膜（図示せず）が形成される。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜４００℃とする。熱処理時間は、例えば２〜４分とする。Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば３５０ｓｃｃｍ程度とする。
【０１７８】
シリコン酸化膜７４を平坦化した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うため、シリコン酸化膜７４中の水分を十分に除去することができる。シリコン酸化膜７４中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜７４中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜７４中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されないため、導体プラグ８６ａ、８６ｂを形成するための原料ガスがコンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【０１７９】
なお、ここでは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合を例に説明したが、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行ってもよい。
【０１８０】
但し、シリコン酸化膜７４中の水分をより多く除去する観点からは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合の方が、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行う場合より好ましい。
【０１８１】
次いで、全面に、例えばプラズマＴＥＯＳＣＶＤ法により、例えば膜厚１００ｎｍのシリコン酸化膜７６を形成する。プラズマを発生させる際に電極間に印加する高周波電力は、例えば２００Ｗとする。平坦化されたシリコン酸化膜７４上にシリコン酸化膜７６を形成するため、シリコン酸化膜７６は平坦となる。
【０１８２】
次いで、熱処理炉内に半導体基板１０を導入し、熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜７６中の水分を除去するためのものである。この熱処理を行う際に熱処理炉内に導入するガスとしては、例えばＮ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いる。熱処理炉内に導入するＮ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば１００００〜２００００ｓｃｃｍとする。熱処理炉内の圧力は、例えば大気圧とする。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜６５０℃とする。熱処理時間は、例えば３０〜１２０分とする。
【０１８３】
次いで、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気にて熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜７６中の水分を更に除去するとともに、シリコン酸化膜７６の膜質を変化させ、シリコン酸化膜７６中に水分が入りにくくするためのものである。この熱処理により、シリコン酸化膜７６の表面が窒化され、シリコン酸化膜７６の表面にはＳｉＯＮ膜（図示せず）が形成される。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜４００℃とする。熱処理時間は、例えば２〜４分とする。Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば３５０ｓｃｃｍ程度とする。
【０１８４】
シリコン酸化膜７６を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うため、シリコン酸化膜７６中の水分を十分に除去することができる。シリコン酸化膜７６中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜７６中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜７６中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されないため、導体プラグ８６ａ、８６ｂを形成するための原料ガスがコンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【０１８５】
なお、ここでは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合を例に説明したが、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行ってもよい。
【０１８６】
但し、シリコン酸化膜７６中の水分をより多く除去する観点からは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合の方が、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行う場合より好ましい。
【０１８７】
次いで、シリコン酸化膜７６上に、例えばスパッタ法又はＣＶＤ法により、バリア膜７８を形成する。バリア膜７８としては、例えば膜厚２０〜７０ｎｍの酸化アルミニウム膜を形成する。ここでは、バリア膜７８として、膜厚５０ｎｍの酸化アルミニウム膜を形成する。平坦なシリコン酸化膜７６上にバリア膜７８を形成するため、バリア膜７８は平坦となる。
【０１８８】
次いで、全面に、例えばプラズマＴＥＯＳＣＶＤ法により、例えば膜厚１００ｎｍのシリコン酸化膜８０を形成する（図１４（ａ）を参照）。プラズマを発生させる際に電極間に印加する高周波電力は、例えば２００Ｗとする。
【０１８９】
次いで、熱処理炉内に半導体基板１０を導入し、熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜８０中の水分を除去するためのものである。この熱処理を行う際に熱処理炉内に導入するガスとしては、例えばＮ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いる。熱処理炉内に導入するＮ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば１００００〜２００００ｓｃｃｍとする。熱処理炉内の圧力は、例えば大気圧とする。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜６５０℃とする。熱処理時間は、例えば３０〜１２０分とする。
【０１９０】
次いで、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気にて熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜８０中の水分を更に除去するとともに、シリコン酸化膜８０の膜質を変化させ、シリコン酸化膜８０中に水分が入りにくくするためのものである。この熱処理により、シリコン酸化膜８０の表面が窒化され、シリコン酸化膜８０の表面にはＳｉＯＮ膜（図示せず）が形成される。熱処理を行う際の基板温度は、例えば３５０〜４００℃とする。熱処理時間は、例えば２〜４分とする。Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスの流量は、例えば３５０ｓｃｃｍ程度とする。
【０１９１】
シリコン酸化膜８０を形成した後に、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理とを行うため、シリコン酸化膜８０中の水分を十分に除去することができる。シリコン酸化膜８０中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜８０中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されるのを防止することができる。コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜８０中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されないため、導体プラグ８６ａ、８６ｂを形成するための原料ガスがコンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【０１９２】
なお、ここでは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合を例に説明したが、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行ってもよい。
【０１９３】
但し、シリコン酸化膜８０中の水分をより多く除去する観点からは、熱処理炉を用いた熱処理を行った後に、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行う場合の方が、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気中での熱処理を行った後に、熱処理炉を用いた熱処理を行う場合より好ましい。
【０１９４】
こうして、シリコン酸化膜７４、シリコン酸化膜７６、バリア膜７８、及びシリコン酸化膜８０により層間絶縁膜８２が構成される。
【０１９５】
次いで、フォトリソグラフィー及びドライエッチングにより、層間絶縁膜８２に、配線７２ａ、７２ｂに達するコンタクトホール８４ａ、８４ｂを形成する（図１４（ｂ）を参照）。
【０１９６】
次いで、Ｎ２雰囲気にて、例えば３５０℃、１２０分間の熱処理を行う。
【０１９７】
次いで、全面に、例えばスパッタ法により、例えば膜厚５０ｎｍのＴｉＮ膜を形成する。こうして、ＴｉＮ膜によりバリアメタル膜（図示せず）が構成される。
【０１９８】
次いで、全面に、例えばＣＶＤ法により、例えば膜厚５００ｎｍのタングステン膜を形成する。原料ガスとしては、例えばＷＦ６ガスを用いる。原料ガスの流量は、例えば１０ｓｃｃｍ程度とする。成膜温度は、例えば３００〜５００℃とする。シリコン酸化膜７４、７６、８０中から水分が十分に除去されているため、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜７４、７６、８０中の水分がコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量に放出されることはない。コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを埋め込む際に、シリコン酸化膜７４、７６、８０中からコンタクトホール８４ａ、８４ｂを介して大量の水分が放出されないため、導体プラグ８６ａ、８６ｂを形成するための原料ガスがコンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に導体プラグ８６ａ、８６ｂを確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【０１９９】
次いで、例えばＥＢ法により、ＴｉＮ膜の表面が露出するまで、タングステン膜をエッチバックする。こうして、コンタクトホール８４ａ、８４ｂ内に、タングステンよりなる導体プラグ８６ａ、８６ｂがそれぞれ埋め込まれる（図１５（ａ）を参照）。
【０２００】
次いで、全面に、例えば膜厚５００ｎｍのＡｌＣｕ合金膜と、例えば膜厚１５０ｎｍのＴｉＮ膜とを順次積層する。こうして、ＴｉＮ膜とＡｌＣｕ合金膜とＴｉＮ膜とを順次積層してなる導体膜が形成される。
【０２０１】
次いで、フォトリソグラフィー及びドライエッチングにより、導体膜をパターニングする。これにより、第３金属配線層８８、すなわち導体プラグ８６ａに電気的に接続された配線８８ａが形成される。また、導体プラグ８８ｂに電気的に接続された配線８８ｂが形成される（図１５（ｂ）を参照）。
【０２０２】
次いで、全面に、例えばプラズマＴＥＯＳＣＶＤ法により、例えば膜厚１００ｎｍのシリコン酸化膜９０を形成する。
【０２０３】
次いで、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気にて、例えば３５０℃、２分間の熱処理を行う。この熱処理は、シリコン酸化膜９０中の水分を除去するとともに、シリコン酸化膜９０の膜質を変化させ、シリコン酸化膜９０中に水分が入りにくくするためのものである。この熱処理により、シリコン酸化膜９０の表面は窒化され、シリコン酸化膜９０の表面にはＳｉＯＮ膜（図示せず）が形成される。
【０２０４】
次いで、例えばＣＶＤ法により、例えば膜厚３５０ｎｍのシリコン窒化膜９２を形成する（図１６（ａ）を参照）。シリコン窒化膜９２は、水分を遮断し、水分により金属配線層８８、７２、５６等が腐食するのを防止するためのものである。
【０２０５】
次いで、全面に、例えばスピンコート法により、フォトレジスト膜１０６を形成する。
【０２０６】
次いで、フォトリソグラフィーにより、フォトレジスト膜１０６に、配線（ボンディングパッド）８８ｂに達する開口部をシリコン窒化膜９２及びシリコン酸化膜９０に形成する領域を露出する開口部１０８を形成する。
【０２０７】
次いで、フォトレジスト膜１０６をマスクとして、シリコン窒化膜９２及びシリコン酸化膜９０をエッチングする。こうして、シリコン窒化膜９２及びシリコン酸化膜９０に、配線（ボンディングパッド）８８ｂに達する開口部９６ａが形成される（図１６（ｂ）を参照）。この後、フォトレジスト膜１０６を剥離する。
【０２０８】
次いで、例えばスピンコート法により、例えば膜厚２〜６μｍのポリイミド樹脂膜９４を形成する（図１７（ａ）を参照）。
【０２０９】
次いで、フォトリソグラフィーにより、ポリイミド樹脂膜９４に、配線（ボンディングパッド）８８ｂに達する開口部９６ｂを形成する（図１７（ｂ）を参照）。
【０２１０】
こうして、本実施形態による半導体装置が製造される。
【０２１１】
本実施形態による半導体装置の製造方法は、絶縁膜を形成した後、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気での熱処理とを行うことに主な特徴の一つがある。本実施形態によれば、絶縁膜を形成した後、熱処理炉を用いた熱処理と、Ｎ２Ｏガス又はＮ２ガスを用いて生成されたプラズマ雰囲気での熱処理とを行うため、絶縁膜中から水分を十分に除去することができる。このため、絶縁膜上に平坦なバリア膜を形成した場合であっても、導体プラグを形成する際に大量の水分がコンタクトホールを介して放出されるのを防止することができる。コンタクトホール内に導体プラグを埋め込む際に、絶縁膜中の水分がコンタクトホールを介して大量に放出されないため、導体プラグを形成するための原料ガスがコンタクトホール内に十分に到達する。このため、本実施形態によれば、コンタクトホール内に導体プラグを確実に埋め込むことができ、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【０２１２】
［変形実施形態］
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
【０２１３】
例えば、上記実施形態では、強誘電体膜３８としてＰＺＴ膜を用いる場合を例に説明したが、強誘電体膜３８はＰＺＴ膜に限定されるものではなく、他のあらゆる強誘電体膜を適宜用いることができる。例えば、強誘電体膜３８として、Ｐｂ１−ＸＬａＸＺｒ１−ＹＴｉＹＯ３膜（ＰＬＺＴ膜）、ＳｒＢｉ２（ＴａＸＮｂ１−Ｘ）２Ｏ９膜、Ｂｉ４Ｔｉ２Ｏ１２膜等を用いてもよい。
【０２１４】
また、上記実施形態では、酸化アルミニウム膜３６ａとＰｔ膜３６ｂとの積層膜により下部電極３６を構成したが、下部電極３６を構成する導体膜等の材料はかかる材料に限定されるものではない。例えば、Ｉｒ膜、ＩｒＯ２膜、Ｒｕ膜、ＲｕＯ２膜、ＳｒＲｕＯ（ストロンチウムルテニウムオキサイド）膜（ＳＲＯ膜）、Ｐｄ膜により下部電極３８を構成してもよい。
【０２１５】
また、上記実施形態では、ＩｒＯＸ膜４０ａとＩｒＯＹ膜４０ｂとの積層膜により上部電極４０を構成したが、上部電極４０を構成する導体膜の材料はかかる材料に限定されるものではない。例えば、Ｉｒ膜、Ｒｕ膜、ＲｕＯ２膜、ＳＲＯ膜、Ｐｄ膜により上部電極４０を構成してもよい。
【０２１６】
また、上記実施形態では、第１金属配線層５６と第２金属配線層７２との間に平坦なバリア膜６２を形成し、第２金属配線層７２と第３金属配線層８８との間に平坦なバリア膜７８を形成する場合について説明したが、第１金属配線層５６と第２金属配線層７２との間のみに平坦なバリア膜６２を形成するようにしてもよいし、第２金属配線層７２と第３金属配線層８８との間のみに平坦なバリア膜７８を形成するようにしてもよい。
【０２１７】
また、半導体基板１０上に形成する金属配線層の層数に応じて、更に多くの平坦なバリア膜を形成するようにしてもよい。
【０２１８】
また、上記実施形態では、バリア膜として酸化アルミニウム膜を用いる場合を例に説明したが、バリア膜は酸化アルミニウム膜に限定されるものではない。水素又は水分の拡散を防止する機能を有する膜を、バリア膜として適宜用いることができる。バリア膜としては、例えば金属酸化物よりなる膜を適宜用いることができる。金属酸化物よりなるバリア膜としては、例えば、タンタル酸化物やチタン酸化物等を用いることができる。また、バリア膜は、金属酸化物よりなる膜に限定されるものではない。例えば、シリコン窒化膜（Ｓｉ３Ｎ４膜）やシリコン窒化酸化膜（ＳｉＯＮ膜）等をバリア膜として用いることもできる。また、塗布型酸化膜、或いはポリイミド、ポリアリーレン、ポリアリーレンエーテル、ベンゾシクロブテン等よりなる樹脂膜のような吸湿性を有する有機膜をバリア膜として用いることができる。
【０２１９】
また、上記実施形態では、形成するバリア膜のすべてに同一材料よりなるバリア膜を用いる場合について説明したが、以下に述べるように、異なる材料よりなるバリア膜を適宜用いることもできる。例えば、バリア膜６２の材料として酸化アルミニウム膜を用い、バリア膜７８の材料としてシリコン窒化膜を用いてもよい。
【０２２０】
また、上記実施形態では、絶縁膜６０、６１、６４、７４、７６、８０としてシリコン酸化膜を用いる場合を例に説明したが、絶縁膜６０、６１、６４、７４、７６、８０の材料はシリコン酸化膜に限定されるものではない。絶縁膜６０、６１、６４、７４、７６、８０の材料として、例えば、不純物を含有するシリコン酸化膜等を用いてもよい。
【０２２１】
また、上記実施形態では、絶縁膜２６、４８、６０、７４をＣＭＰ法により平坦化する場合を例に説明したが、絶縁膜２６、４８、６０、７４の表面を平坦化する方法は、ＣＭＰ法に限定されるものではない。例えば、エッチングにより、絶縁膜２６、４８、６０、７４の表面を平坦化してもよい。エッチングガスとしては、例えばＡｒガスを用いることができる。
【０２２２】
また、上記実施形態では、第１金属配線層５６、第２金属配線層７２、及び第３金属配線層８８の３層の金属配線層により半導体基板１０上に回路が構成される場合を例に説明したが、半導体基板１０上の回路を構成する金属配線層の層数は３層に限定されるものではない。金属配線層の層数は、半導体基板１０上に構成する回路の設計に応じて適宜設定することができる。
【０２２３】
また、上記実施形態では、１つのトランジスタ２４及び１つの強誘電体キャパシタ４２を有する１Ｔ１Ｃ型のメモリセルが形成されている場合を例に説明したが、メモリセルの構成は１Ｔ１Ｃ型に限定されるものではない。メモリセルの構成としては、１Ｔ１Ｃ型のほか、例えば２つのトランジスタ及び２つの強誘電体キャパシタを有する２Ｔ２Ｃ型等の種々の構成を用いることができる。
【０２２４】
また、上記実施形態では、メモリセルがプレーナー型の場合を例に説明したが、メモリセルをスタック型にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０２２５】
【図１】シリコン酸化膜中に残存する水分量を昇温離脱ガス分析法により測定した結果を示すグラフである。
【図２】昇温離脱ガス分析法による測定結果に基づいて得られた総脱水量を示すグラフである。
【図３】本発明の一実施形態による半導体装置を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その１）である。
【図５】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その２）である。
【図６】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その３）である。
【図７】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その４）である。
【図８】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その５）である。
【図９】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その６）である。
【図１０】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その７）である。
【図１１】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その８）である。
【図１２】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その９）である。
【図１３】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その１０）である。
【図１４】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その１１）である。
【図１５】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その１２）である。
【図１６】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その１３）である。
【図１７】本発明の一実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図（その１４）である。
【符号の説明】
【０２２６】
１０…半導体基板
１２…素子分離領域
１４ａ、１４ｂ…ウェル
１６…ゲート絶縁膜
１８…ゲート電極
１９…絶縁膜
２０…サイドウォール絶縁膜
２２…ソース／ドレイン拡散層
２４…トランジスタ
２５…ＳｉＯＮ膜
２６…シリコン酸化膜
２７…層間絶縁膜
３４…シリコン酸化膜
３６…下部電極
３６ａ…酸化アルミニウム膜
３６ｂ…Ｐｔ膜
３８…強誘電体膜
４０…上部電極
４０ａ…ＩｒＯＸ膜
４０ｂ…ＩｒＯＹ膜
４２…強誘電体キャパシタ
４４…バリア膜
４６…バリア膜
４８…層間絶縁膜
５０ａ、５０ｂ…コンタクトホール
５２ａ、５２ｂ…コンタクトホール
５４ａ、５４ｂ…導体プラグ
５６…第１金属配線層
５６ａ、５６ｂ、５６ｃ…配線
５８…バリア膜
６０…シリコン酸化膜
６１…シリコン酸化膜
６２…バリア膜
６４…シリコン酸化膜
６６…層間絶縁膜
６８…コンタクトホール
７０…導体プラグ
７２…第２金属配線層
７２ａ、７２ｂ…配線
７４…シリコン酸化膜
７６…シリコン酸化膜
７８…バリア膜
８０…シリコン酸化膜
８２…層間絶縁膜
８４ａ、８４ｂ…コンタクトホール
８６ａ、８６ｂ…導体プラグ
８８…第３金属配線層
８８ａ、８８ｂ…配線
９０…シリコン酸化膜
９２…シリコン窒化膜
９４…ポリイミド樹脂膜
９６…開口部
９６ａ…開口部
９６ｂ…開口部
９８…フォトレジスト膜
１００…フォトレジスト膜
１０２…フォトレジスト膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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