(57)【要約】      （修正有）【課題】減圧室に対して資材を搬入または製品を搬出する場合、当該減圧室の手前に真空ポンプを備えた予備室を設け外気が当該減圧室まで侵入するのを防いでいたが、資材または製品の搬送能力は予備室内に設置された真空ポンプの排気能力の制約を受け、それ以上に搬送能力を上げる事はできなかった。【解決手段】コンテナ１１の進行方向に対する前後の側面を傾斜した平面または曲面により構成し、開閉扉４ａ，４ｂを当該コンテナの傾斜した平面または曲面に密着し上下または左右に開閉する構造とする。また予備室７は、上下または左右に開閉する２枚の平行に配置された扉と、当該扉とともに密閉された密閉空間を形成する上下左右の壁３と、当該密閉空間と外気を結び外気に向かって空気を流すチャッキバルブ１９を備えた排気管１８と、当該密閉空間と減圧室１を結び当該密閉空間に向かって空気を流すチャッキバルブ２１を備えた吸気管２０によって構成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
進行方向に対する前後の側面が垂直方向または水平方向に伸びた直線を頂点とした傾斜した平面または曲面により形成されたコンテナと、当該コンテナの傾斜した平面または曲面に密着し上下または左右に開閉する扉を構成要素として有することを特徴とした搬送システム。
【請求項２】
上下または左右に開閉する２枚の平行に配置された扉と、当該扉とともに密閉された密閉空間を形成する上下左右の壁と、当該密閉空間と外気を結び外気に向かって空気を流すチャッキバルブを備えた管と、当該密閉空間と減圧室を結び当該密閉空間に向かって空気を流すチャッキバルブを備えた管によって構成された予備室を減圧室と外気の間に設置したことを特徴とする請求項１の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は減圧された環境で連続的に製品を生産する生産システムに関し、特に製品または資材を搬送する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ある種の製品は、大気圧より気圧を減圧した環境で製品を生産した方が好ましい場合がある。
【０００３】
このような製品を量産する場合、真空ポンプを備えた減圧室を設けその中で製品を生産することになるが、同時に資材を搬入する搬入口と搬入システム、および製品を搬出する搬出口と搬出システムが必要となる。
【０００４】
従来技術では、減圧室の手前に２枚の自動扉と真空ポンプを備えた予備室を設け、更に製品または資材はコンテナに格納し、当該コンテナはベルトコンベアで搬送した。
【０００５】
更に当該自動扉の前後にはコンテナの接近を検知するスイッチを設置し、自動扉手前に設置したスイッチがOFFからONになると自動扉が開き、自動扉後に設置したスイッチがONからOFFになると自動扉を閉めるようにしていた。
【０００６】
また量産的ではないが類似の技術として下記のものがある。
【特許文献１】特開平１０−３１３０３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来技術では、コンテナが外気内に出入りする瞬間に外気が予備室内に流入する。
【０００８】
予備室内に流入した外気は、予備室内に設けられた真空ポンプにより排除されるが、予備室内の気圧を減圧するのには若干の時間を要する。
【０００９】
このため製品または資材の搬送能力を上げようとする場合、当該搬送能力は予備室内に設置された真空ポンプの排気能力の制約を受け、それ以上に搬送能力を上げる事はできなかった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
コンテナの進行方向に対する前後の側面を、垂直方向または水平方向に伸びた直線を頂点とした傾斜した平面または曲面により構成し、開閉扉を当該コンテナの傾斜した平面または曲面に密着し上下または左右に開閉する構造とする。（請求項１記載の発明）
【００１１】
また予備室は、上下または左右に開閉する２枚の平行に配置された扉と、当該扉とともに密閉された密閉空間を形成する上下左右の壁と、当該密閉空間と外気を結び外気に向かって空気を流すチャッキバルブを備えた排気管と、当該密閉空間と減圧室を結び当該密閉空間に向かって空気を流すチャッキバルブを備えた吸気管によって構成する。（請求項２記載の発明）
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の発明において、搬送器によりコンテナが搬送され、当該コンテナの先端が開閉扉に達すると、開閉扉は当該コンテナの傾斜した平面または曲面に密着しながら徐々に開く。
【００１３】
開閉扉の下端部がコンテナの前面の形状に適合しているため、開閉扉が開く間に減圧室内に流入する外気の量は僅かである。
【００１４】
コンテナの進行に合わせ開閉扉の下端部は、当該コンテナの天井部に達し、その後は当該コンテナの天井部に接しながら進行し、当該コンテナの後面の傾斜した平面または曲面に密着しながら徐々に降りる。
【００１５】
開閉扉の下端部がコンテナの天井部および後面の形状に適合しているため、開閉扉が閉じる間に減圧室内に流入する外気の量は僅かである。
【００１６】
請求項２記載の発明において、コンテナが最初の開閉扉を押し開けて予備室に進入すると、当該コンテナが予備室に進入した体積分だけ当該予備室内の気圧が高まり、当該予備室内の気圧が外気圧より高まると、外気圧と等しくなるまで当該予備室内の空気は排気管を通って外気内に排出される。
【００１７】
コンテナの通過に伴い予備室内に入っているコンテナの体積が減少すると、当該予備室内の気圧が減少し、当該予備室内の気圧が減圧室の気圧より低くなると、当該減圧室内の気圧と等しくなるまで当該減圧室内の空気は吸気管を通って当該予備室内に吸引される。
【００１８】
請求項２記載の発明によれば、コンテナが予備室を通過する毎に減圧室内の空気が予備室を通って外気内に排出される。
【００１９】
このため予備室の体積やコンテナが当該予備室を通過する間隔を適切に設計すれば、減圧室内に侵入する空気の量と、当該減圧室から外気内に排出される空気の量を相殺することができる。
【００２０】
これにより減圧室の真空ポンプは排気能力の低い廉価なものにすることができる。
【００２１】
また、予備室に真空ポンプが無いため、予備室の真空ポンプの排気能力の制約を受けない高速の搬送システムを構築することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１に、請求項１記載の発明の最良の実施形態の断面図を示す。
【００２３】
図１中、１は減圧室であり、２は真空ポンプであり、３は減圧室１の壁であり、４は開閉扉であり、５は開閉扉４の格納スペースであり、６は開閉扉４の上下動を円滑にするためのベアリングであり、７は開閉扉４の前後に設置した気密用の壁であり、８は開閉扉４の目張りであり、９はローラーであり、１０はローラー９の軸受けであり、１１はコンテナであり、１２はコンテナ１１の目張りであり、１３はベアリングであり、１４はリニアモータ用リアクションプレートであり、１５は搬送軌道であり、１６はリニアモータ用１次コイルである。
【００２４】
図１に示すとおり減圧室１は、壁３と開閉扉４および目張り８により気密性が保たれており、真空ポンプ２により内部の気圧を減圧される。
【００２５】
コンテナ１１は、進行方向に対する前面が下部に行くほど緩い勾配で傾斜しており、進行方向に対する後面は下部に行くほど急な勾配で傾斜しており、底部には床との摩擦抵抗を低減するためのベアリング１３と底部における外気の流入を抑えるためのプラスチック製の目張り１２が施されており、左右の側面は製品や資材の出し入れを容易にするために大きく開放されている。
【００２６】
またコンテナ１１は、底部にアルミでできたリニアモータ用のリアクションプレート１４が貼り付けてあり、搬送軌道１５内に埋め込まれたリニアモータ用の１次コイル１６との相互作用により図１中において向かって右から左に移動するものとする。
【００２７】
気密用の壁７は開閉扉４の前後に搬送軌道１５の両脇に設置されており、気密用の壁７の間隔は丁度コンテナ１１の幅と同じになっている。
【００２８】
このためコンテナ１１の脇を通って流入する外気の量は僅かである。
【００２９】
また開閉扉４の減圧室１側の下端にはローラー９が軸受１０を介して連結されており、開閉扉４の外気側の下端にはS字型の硬質プラスチック製の目張り８がポリフィルムを介して連結されている。
【００３０】
コンテナ１１の前面がローラー９に接触すると、ローラー９はコンテナ１１の前面の傾斜を回転しながら登り、コンテナ１１の天井部ではコンテナ１１の天井部を回転しながら後方へ進み、コンテナ１１の後面ではコンテナ１１の後面の傾斜を回転しながら降りる。
【００３１】
この動作に連動して開閉扉４は上下に開閉するが、目張り８が目張り８に連結したポリフィルムの可撓性により常に搬送軌道１５またはコンテナ１１の側面または天井部と密着し、そのためコンテナ１１の上部を通って流入する外気の量は僅かとなる。
【００３２】
これらの働きにより、開閉扉４の開閉に伴って流入する外気の量はごく少量に抑えられ、コンテナ１１の搬送頻度を上げる事に伴う減圧室１内への外気の流入量の増加は軽微なものとなる。
【００３３】
図２および図３に、請求項２記載の発明の最良の実施形態の作用を示す。
【００３４】
図２中および図３中において、４aおよび４bは開閉扉であり、開閉扉４aおよび４bと壁３および搬送軌道１５によって囲まれた空間が予備室１７である。
【００３５】
また予備室１７には、外気と予備室１７を結ぶ排気管１８と減圧室１と予備室１７を結ぶ吸気管２０が接続されており、排気管１８は外気に向かって開くチャッキバルブ１９を備えており、吸気管２０は予備室１７に向かって開くチャッキバルブ２１を備えている。
【００３６】
図２は、コンテナ１１が減圧室１から予備室１７内に進入する瞬間を示したものである。
【００３７】
図２において、コンテナ１１の進入により予備室１７内の空気は行き場所がなくなり、予備室１７内の気圧は高まる。
【００３８】
予備室１７内の気圧が外気圧より高くなると、チャッキバルブ１９が外気に向かって開き、予備室１７内の空気が排気管１８を通って外気内に排気される。
【００３９】
予備室１７内の空気の排気は、予備室１７内に占めるコンテナ１１の体積が最大になるまで続く。
【００４０】
図３は、コンテナ１１が予備室１７から外気内に抜け出る瞬間を示したものである。
【００４１】
図３において、コンテナ１１が予備室１７内を抜け出るに従って、コンテナ１１が予備室１７内に占める体積が減少する。
【００４２】
その結果、予備室１７内の空気が占める体積は相対的に増加し、予備室１７内の気圧は低下する。
【００４３】
予備室１７内の気圧が減圧室１内の気圧より低くなると、チャッキバルブ２１が予備室１７に向かって開き、減圧室１内の空気が予備室１７内に流れ込む。
【００４４】
予備室１７内への空気の流入は、コンテナ１１が予備室１７を抜け出るまで続く。
【００４５】
排気管１８を通って外気内に排気された空気の量と吸気管２０を通って予備室１７内に流入した空気の量は、ほぼ同じである。
【００４６】
このため減圧室１内の空気は、コンテナ１１が通過するたびに外気内に排気された空気の量とほぼ同じ量の空気が減少する。
【００４７】
このように請求項２記載の発明において、予備室１７は真空ポンプ２と同じように減圧室１内の空気を外気内に排出する働きをする。
【００４８】
このためコンテナ１１の搬送頻度に合わせて予備室１７とコンテナ１１の体積を適正に設計することにより、減圧室１に流入する空気の量と減圧室１から排出する空気の量をほぼ均衡させることができ、これにより真空ポンプ２は排気能力の小さい廉価なものにすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
請求項１記載の発明は、室内の空気を外部に流出したくない昇圧室での製品または資材の搬送にも適用が可能である。
【００５０】
また本発明は、粉塵を室内に持ち込みたくないクリーンルームへの適用も考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】請求項１記載の発明の最良の実施形態の断面図である。
【図２】請求項２記載の発明の最良の実施形態の作用を説明する図である。
【図３】請求項２記載の発明の最良の実施形態の作用を説明する図である。
【符号の説明】
【００５２】
１    減圧室
２    真空ポンプ
３    壁
４,４a,４b  開閉扉
５    開閉扉４の格納スペース
６    ベアリング
７    気密用の壁
８    目張り
９    ローラー
１０  ローラー９の軸受け
１１  コンテナ
１２  目張り
１３  ベアリング
１４  リニアモータ用リアクションプレート
１５  搬送軌道
１６  リニアモータ用１次コイル
１７  予備室
１８  排気管
１９  外気に向かって開くチャッキバルブ
２０  吸気管
２１  予備室１７に向かって開くチャッキバルブ
【図１】
2007238318.tif 000003
【図２】
2007238318.tif 000004
【図３】
2007238318.tif 000005