【事件の表示】
　特願２００２−５８１５５０「制御可能な電力分配を伴う誘導結合されたプラズマ源」拒絶査定不服審判事件〔平成１４年１０月２４日国際公開、ＷＯ０２／８４６９８、平成１６年１０月１４日国内公表、特表２００４−５３１８５６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯 
　本願は、２００１年４月１３日を国際出願日とする出願であって、平成２５年５月１６日付けで拒絶査定がなされた。
　本件は、これを不服として、同年９月２０日に請求された拒絶査定不服審判であって、当審において、平成２６年７月９日付けで拒絶の理由が通知され、これに対して、同年１０月１７日付けで意見書が提出されるととともに、手続補正がなされたものである。
 　 
２　本願発明 
　本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２６年１０月１７日付けの手続補正（以下「本件補正」という。）によって補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。 
「【請求項１】
　プラズマ処理用の装置であって、
　チャンバと、
　チャンバの周りに配置された第１と第２のコイルと、
　前記第１のコイルに接続された電源と、
　前記第２のコイルと前記電源との間に接続された電力分配回路網と、
　前記電源と第１のコイルとの間に接続されたマッチング回路網と、
を備え、
　前記電力分配回路網は、
　前記電源と前記第２のコイルとの間に接続された直列キャパシタと、
　前記第２のコイルと前記電源間のノードに直接接続された並列キャパシタと、
を有し、
　前記マッチング回路網は、前記電源と電力分配回路網との間に接続される、
ことを特徴とする装置。」 
　 
３　引用刊行物 
　これに対して、当審における平成２６年７月９日付けの拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された「特開平９−１２０８９８号公報」（以下「引用例」という。）には、次の事項が記載されている。（下線は当審で付した。） 
ａ　発明の詳細な説明の記載
「【０００１】
【発明の背景】本発明は、密度プロファイルの制御が可能なプラズマ源に関する。」 
「【００１７】
【好ましい実施例の説明】図１を参照すると、本発明を具体化した
プラズマエッチングシステムは、金属真空チャンバ本体１２の上部に取り付けられた
円筒体１０を含んでいる
円形誘電体プレート１４は、シリンダ１０のもう一方の端部を密封し、よって、プラズマ処理が行われる密封キャビティ１６を形成する
「【００２１】ＲＦ電力が、２つのアンテナ、すなわち、上部コイル状アンテナ４０と側部コイル状アンテナ４２を介してプラズマキャビティに供給される。アンテナ４０及び４２は、両方とも銅線で作られている。
上部コイル状アンテナ４０は、上部誘電体プレート１４の上側に隣接した平なスパイラル形コイルである
側部コイル状アンテナ４２は、円筒体１０の側壁に巻き付けられた円筒形状のコイルである
「【００２７】図２を参照すると、記載した実施例の場合、アンテナ４０及び４２は両方とも、好ましい実施例の場合単一ＲＦ発生器６０を含むＲＦ電源によって駆動される。５０オームの出力インピーダンスを有する
ＲＦ発生器６０は、
ＲＦ整合セクション６４に、更に、電力スプリッタ６６に接続される
電力スプリッタ６６は、一方が上部コイル４０の端子の一方に接続され、もう一方が側部コイル４２の端子の一方に接続され
【００２８】一般に、ＲＦ整合セクション６４は、ＲＦ整合セクションのインピーダンスを調整して、ＲＦケーブル６２と電力スプリッタ６６の間における整合状態を実現し、これによって、チャンバ内のプラズマに供給されるＲＦ電力が最大になるようにする１つ以上の可変リアクタンス素子（例えば、インダクタまたはコンデンサ）を含んでいる。ＲＦ整合セクション６４内のＲＦ検出回路が、チャンバ内への電力伝送をモニタし、モニタ結果から、整合状態の実現及び維持を行うため、ＲＦ背号セクション６４内における可変リアクタンス素子の値を調整する制御信号を発生する。」
「【００３０】電力スプリッタ６６は、前記負荷における電流または電圧間における所望の位相関係が維持されるように、単一ＲＦ発生器から２つの負荷へのＲＦ電力を分割する。電力スプリッタ６６に対する制御信号７０によって、ユーザは、２つのアンテナにどのようにＲＦ電力を分配するかを調整することが可能になり、その結果、基板上方におけるプラズマ密度プロファイルを制御することが可能になる。すなわち、制御信号７０によって、電力スプリッタ６６の２つの出力ライン６８ａ及び６８ｂにおける電圧比が設定される。処理に先立って、一定の電力分配を設定し、例えば、均一なプロファイルといった、所望のプラズマ密度プロファイルが得られるようすることが典型的に望まれる。代わりに、プラズマ処理中に電力分配を変更し、それによってリアルタイムにプラズマ密度プロファイルを変化させたいと思う場合もある。２つの出力信号間の電圧比が調整されるので、電力スプリッタの出力信号によって、互いの位相関係が比較的一定に保たれることになる。更に、電圧分割比は、２つの負荷のインピーダンスの動的変化に比較的影響されることがない。適合するＲＦ電力スプリッタについては、参照として本書に組み込まれた、Collins他に対する米国特許第5,349,313号に記載がある。」
「【００３２】図３（ａ）には、電力スプリッタ７０の内部設計の詳細が示されている。図示のように、
電力スプリッタ６６は、直列に
接続された３つの相互結合インダクタＬ１、Ｌ２、及び、Ｌ３から構成され
インダクタＬ１及びＬ２は、共通ノード(node)９０を共用し、インダクタＬ２及びＬ３は、共通ノード９２を共用している
側部アンテナ４２の一方の端子（例えば、上部端子４６ａ）が、ノード９０に接続され
側部アンテナ４２及び上部アンテナ４０のもう一方の端子は、それぞれ、コンデンサＣ４及びＣ２を介してアースに接続され
「【００３６】リアクタンス素子９６内における可変インピーダンス素子を変化させることによって、アンテナ電流と結果生じる誘導磁界及び電界の間の位相関係がほぼ一定に保たれ、２つのコイル状アンテナ間における電圧分割比が制御される。
【００３７】図３（ｂ）には、出力電圧の移相が互いに０゜になるように電圧スプリッタ６６を構成する代替方法が示されている。これは、上部アンテナ４０及び可変リアクタンス素子９６に対する接続を取り替えるだけで実施される。すなわち、可変リアクタンス素子９６がノード９２に接続され、アンテナが、インダクタＬ３のさもなくば接続されない側に接続される。
【００３８】図３（ａ）及び３（ｂ）に示す形状には、両方とも、アンテナ４０及び４２を電力スプリッタに接続し、アンテナ４０及び４２の端子を電力スプリッタ６６に接続するためのさまざまな代替組み合わせが存在する。例えば、出力ライン６８ａを上部端子４６ａに接続するのではなく、下部端子４６ｂに接続することが可能である。同様に、上部アンテナ４０の場合、出力ライン６８ｂを出力端子４４ｂに接続するのではなく、内部端子４４ａに接続することも可能である。可能性のある他の接続方法については、容易に明らかになるはずである。もちろん、チャンバ内において発生するＢ電界が互いに助け合うように、特定の接続構成を選択することが望ましい。従って、どの接続が望ましいかを判定する場合には、アンテナコイルの巻き方向を考慮する必要がある。」
ｂ　図面の記載
「【図２】
　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
「【図３】
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
ｃ　上記ａ及びｂの記載の考察
　上記ａの記載事項の【００３２】の記載は、上記ｂの記載事項の【図３】（ａ）に関する説明であるが、上記ａの記載事項の【００３７】には「図３（ｂ）には、出力電圧の移相が互いに０゜になるように電圧スプリッタ６６を構成する代替方法が示されている。これは、上部アンテナ４０及び可変リアクタンス素子９６に対する接続を取り替えるだけで実施される」と記載されているから、上記ａの記載事項の【００３２】の記載は、「上部アンテナ４０及び可変リアクタンス素子９６に対する接続を取り替え」た以外は、上記ｂの記載事項の【図３】（ｂ）に関する説明でもあると認められる。
　また、上記ｂの記載事項の【図３】（ｂ）の記載によると、インダクタＬ１の共通ノード９０と逆の端子は、ＲＦ整合セクション６４に接続されていること、インダクタＬ３の共通ノード９２と逆の端子は、上部アンテナ４０の端子の一方に接続されていること、及び、可変リアクタンス９６は一方が共通ノード９２に直接接続され、もう一方がアースに接続されていることが読み取れる。
　さらに、上記ａの記載事項の「電力スプリッタ６６に接続される。電力スプリッタ６６は、一方が上部コイル４０の端子の一方に接続され、もう一方が側部コイル４２の端子の一方に接続された２つの出力ライン６８ａ及び６８ｂを有する」（【００２７】）との記載中の「上部コイル４０」及び「側部コイル４２」は、【００２１】、【００３２】等に記載されている「上部アンテナ４０」及び「側部アンテナ４２」と同一のものであることは明らかである。
　
ｄ　引用例記載の発明 
　上記ａ及びｂの記載事項及びｃの考察によると、引用例には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「プラズマエッチングシステムであって、
金属真空チャンバ本体１２の上部に取り付けられた円筒体１０を含み、円形誘電体プレート１４は、円筒体１０のもう一方の端部を密封し、プラズマ処理が行われる密封キャビティ１６を形成し、
上部アンテナ４０は、上部誘電体プレート１４の上側に隣接した平なスパイラル形コイルであり、側部アンテナ４２は、円筒体１０の側壁に巻き付けられた円筒形状のコイルであり、
ＲＦ発生器６０は、ＲＦ整合セクション６４、更に、電力スプリッタ６６に接続され、
電力スプリッタ６６は、一方が上部アンテナ４０の端子の一方に接続され、もう一方が側部アンテナ４２の端子の一方に接続され、
電力スプリッタ６６は、直列に接続された３つのインダクタＬ１、Ｌ２、及び、Ｌ３から構成され、
インダクタＬ１及びＬ２は、共通ノード９０を共用し、インダクタＬ２及びＬ３は、共通ノード９２を共用し、
インダクタＬ１の共通ノード９０と逆の端子は、ＲＦ整合セクション６４に接続され、インダクタＬ３の共通ノード９２と逆の端子は、上部アンテナ４０の端子の一方に接続され、
側部アンテナ４２の一方の端子が、共通ノード９０に接続され、
側部アンテナ４２及び上部アンテナ４０のもう一方の端子は、それぞれ、コンデンサＣ４及びＣ２を介してアースに接続され、
可変リアクタンス素子９６が共通ノード９２に直接接続され、もう一方がアースに接続されている、
プラズマエッチングシステム。」 
 　 
４　対比 
　以下、本願発明と引用発明とを対比する。 
（１）引用発明の「プラズマエッチングシステム」は、本願発明の「プラズマ処理用の装置」に相当する。
　
（２）引用発明の「金属真空チャンバ本体１２の上部に取り付けられた円筒体１０を含み、円形誘電体プレート１４は、円筒体１０のもう一方の端部を密封し、プラズマ処理が行われる密封キャビティ１６を形成」する構成は、本願発明の「チャンバ」「を備え」る構成に相当する。
　
（３）引用発明の「平なスパイラル形コイルであ」る「上部アンテナ４０」及び「円筒形状のコイルであ」る「側部アンテナ４２」は、本願発明の「第２のコイル」及び「第１のコイル」にそれぞれ相当する。
　そうすると、引用発明の「上部アンテナ４０は、上部誘電体プレート１４の上側に隣接した平なスパイラル形コイルであり、側部アンテナ４２は、円筒体１０の側壁に巻き付けられた円筒形状のコイルであ」る構成は、本願発明の「チャンバの周りに配置された第１と第２のコイル」「を備え」る構成に相当する。
　
（４）引用発明の「ＲＦ発生器６０」、「ＲＦ整合セクション６４」及び「電力スプリッタ６６」は、本願発明の「電源」、「マッチング回路網」及び「電力分配回路網」にそれぞれ相当する。
　そうすると、引用発明の「ＲＦ発生器６０は、ＲＦ整合セクション６４、更に、電力スプリッタ６６に接続され、電力スプリッタ６６は、一方が上部アンテナ４０の端子の一方に接続され、もう一方が側部アンテナ４２の端子の一方に接続され」た構成は、本願発明の「第１のコイルに接続された電源と、前記第２のコイルと前記電源との間に接続された電力分配回路網と、前記電源と第１のコイルとの間に接続されたマッチング回路網と、を備え、」「マッチング回路網は、前記電源と電力分配回路網との間に接続される」構成に相当する。
　
（５）引用発明は、「上部アンテナ４０のもう一方の端子は、」「コンデンサ」「Ｃ２を介してアースに接続され」る構成を有するものであって、引用発明の「コンデンサ」「Ｃ２」は「上部アンテナ４０」と直列に接続されるものであるから、引用発明の「コンデンサ」「Ｃ２」は本願発明の「直列キャパシタ」に相当する。
　そうすると、引用発明の「電力スプリッタ６６は、直列に接続された３つのインダクタＬ１、Ｌ２、及び、Ｌ３から構成され、」「インダクタＬ２及びＬ３は、共通ノード９２を共用し、」「インダクタＬ３の共通ノード９２と逆の端子は、上部アンテナ４０の端子の一方に接続され、」「上部アンテナ４０のもう一方の端子は、」「コンデンサ」「Ｃ２を介してアースに接続され」る構成と、本願発明の「電力分配回路網は、前記電源と前記第２のコイルとの間に接続された直列キャパシタ」「を有」する構成とは、「第２のコイルと直列に接続された直列キャパシタを有する」構成で共通する。
　
（６）引用発明の「上部アンテナ４０」は、「共通ノード９２」と接続され、引用発明の「側部アンテナ４２」は、「共通ノード９０に接続され、」引用発明の「可変リアクタンス素子９６」は、「共通ノード９２に直接接続され」るものであって、これら「上部アンテナ４０」、「側部アンテナ４２」及び「可変リアクタンス素子９６」は、いずれも直接または間接的にアースに接続されているものであるから、引用発明の「可変リアクタンス素子９６」は、「上部アンテナ４０」及び「側部アンテナ４２」と並列に接続されているものである。
　そうすると、引用発明の「可変リアクタンス素子９６」と本願発明の「並列キャパシタ」とは、「並列リアクタンス」である構成で共通する。
　よって、引用発明の「電力スプリッタ６６は、直列に接続された３つのインダクタＬ１、Ｌ２、及び、Ｌ３から構成され、」「インダクタＬ２及びＬ３は、共通ノード９２を共用し、」「可変リアクタンス素子９６が共通ノード９２に直接接続される」構成と、本願発明の「電力分配回路網は、」「第２のコイルと前記電源間のノードに直接接続された並列キャパシタ」「を有」する構成とは、「第２のコイルと前記電源間のノードに直接接続された並列リアクタンスを有す」る構成で共通する。
　
　上記（１）ないし（８）から、本願発明と引用発明は、
「プラズマ処理用の装置であって、
　チャンバと、
　チャンバの周りに配置された第１と第２のコイルと、
　前記第１のコイルに接続された電源と、
　前記第２のコイルと前記電源との間に接続された電力分配回路網と、
　前記電源と第１のコイルとの間に接続されたマッチング回路網と、
を備え、
　第２のコイルと直列に接続された直列キャパシタを有し、
　第２のコイルと前記電源間のノードに直接接続された並列リアクタンスを有し、
　前記マッチング回路網は、前記電源と電力分配回路網との間に接続される、
装置。」 
で一致し、以下ａ及びｂの点で相違する。 
 　 
（相違点） 
ａ　本願発明は、電力分配回路網が、電源と前記第２のコイルとの間に接続された直列キャパシタを有するのに対し、引用発明は、上部アンテナ４０の端子はコンデンサＣ２を介して接地されており、コンデンサＣ２が電力スプリッタ６６を構成するものではない点。
ｂ　第２のコイルと電源間のノードに直接接続された並列リアクタンスが、本願発明は、電力分配回路網が有するキャパシタであるのに対し、引用発明は、キャパシタかどうか不明であり、電力スプリッタ６６を構成するものではない点。
　
５　当審の判断 
　以下、上記ａ及びｂの相違点について検討する。
（上記ａの相違点について）
　引用発明のコンデンサＣ２は上部アンテナ４０と直列に接続されたものであるから、コンデンサＣ２及び上部アンテナ４０のどちらをＲＦ発生器６０側または接地側に接続するかは、当業者が適宜なし得た設計的事項である。
　また、引用発明のコンデンサＣ２は、所定のインピーダンスを有するものであり、その数値によって電力スプリッタ６６による電力の分配量が変化することは明らかであるから、引用発明のコンデンサＣ２を電力スプリッタ６６の一部として、上記ａの相違点に係る本願発明の発明特定事項を得ることは、当業者が容易になし得たことである。
（上記ｂの相違点について）
　引用例には、「リアクタンス素子９６内における可変インピーダンス素子を変化させることによって、アンテナ電流と結果生じる誘導磁界及び電界の間の位相関係がほぼ一定に保たれ、２つのコイル状アンテナ間における電圧分割比が制御される」（【００３６】）と記載され、また、「ＲＦ整合セクションのインピーダンスを調整」（【００２８】）に関する「可変リアクタンス素子」（【００２８】）ではあるが、「可変リアクタンス素子（例えば、インダクタまたはコンデンサ）」（【００２８】）と記載されていることからすると、「アンテナ電流と結果生じる誘導磁界及び電界の間の位相関係がほぼ一定に保」ち、「２つのコイル状アンテナ間における電圧分割比」を「制御」するために、引用発明の「可変リアクタンス素子９６」をコンデンサ、すなわちキャパシタとすることは、当業者が容易になし得たことである。
　また、引用発明の可変リアクタンス素子９６は、インピーダンスを変化させることができるものであり、その数値によって電力スプリッタ６６による電力の分配量が変化することは明らかであるから、引用発明の可変リアクタンス素子９６を電力スプリッタ６６の一部として、上記ｂの相違点に係る本願発明の発明特定事項を得ることは、当業者が容易になし得たことである。
　上記ａ及びｂの相違点については上記のとおりであり、本願発明によってもたらされる効果は、引用発明及び引用例記載の事項から当業者が予測できる範囲内のものと認められる。
　よって、本願発明は、引用発明及び引用例に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　 
６　むすび 
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び引用例に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、その余の請求項に係る発明について論及するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。