【事件の表示】
　特願２００９−１４４５２６「化学機械研磨用水系分散体およびそれを用いた化学機械研磨方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　１月　６日出願公開、特開２０１１−３６６５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　本願は、平成２１年６月１７日の出願であって、平成２５年６月５日付けで拒絶の理由が通知され、平成２５年７月３０日に意見書とともに手続補正書が提出されたが、平成２５年１２月２７日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２６年４月２日に拒絶査定不服審判の請求がなされると同時に特許請求の範囲を対象とする手続補正書が提出されたものである。 
 　 
第２　平成２６年４月２日付けの手続補正についての補正の却下の決定 
［補正の却下の決定の結論］ 
　平成２６年４月２日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。 
［理由］ 
１．補正後の本願発明 
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、次のように補正された。
「（Ａ）砥粒と、
（Ｂ）
リンゴ酸および／またはマレイン酸
（Ｃ）
ベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾールおよびキナルジン酸よりなる群から選択される少なくとも１種
を含有し、ｐＨが
７．５
８．５
（なお、下線は補正箇所を示すものである。） 
 　 
２．補正の目的
　本件補正は、補正前の請求項１に係る発明の特定事項である「２つ以上のカルボニル基を有する化合物」を「リンゴ酸および／またはマレイン酸」と限定し、「複素環化合物」を「ベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾールおよびキナルジン酸よりなる群から選択される少なくとも１種」と限定し、「ｐＨが７〜９」を「ｐＨが７．５〜８．５」と限定するものであるから、特許法第１７条の２第５項第２号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
３．独立特許要件 
　本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか）否かについて以下に検討する。
３−１．引用刊行物の記載事項 
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開２００９−８７９６８号公報（以下、「刊行物１」という。）には、次の事項が記載されている。
　なお、以下において下線は当審にて付したものである。
（ア）「【請求項２】
研磨液の
ｐＨが８．０〜１２．０
（イ）「【０００１】
　本発明は、半導体デバイスの製造工程において、化学的機械的な平坦化を行う際に用いられる金属用研磨液、及びこれを用いた研磨方法に関する。」
（ウ）「【００４２】
　本発明の金属用研磨液は、ペルオキソ二硫酸塩と、上記一般式（Ｉ）で表される化合物であるテトラゾール誘導体、１，２，３トリアゾール誘導体、１，２，４トリアゾール誘導体、およびベンゾトリアゾール誘導体の中から選ばれた、少なくとも１種の化合物と、を必須成分として含有する。
　さらに本発明の金属用研磨液は
砥粒
有機酸
【００４３】
　また、上記金属用研磨液のｐＨは、８．０から１２．０であることが好ましく、９．０から１１．０であることがより好ましい。
【００４４】
　本発明の金属用研磨液は、本発明の効果を損なわない範囲において、前記一般式（Ｉ）で表される化合物以外の
複素環化合物
（エ）「【００５０】
　本発明で特に好ましく併用しうる複素環化合物の具体例としては以下のものが挙げられる。
　すなわち、１，２，３，４−テトラゾール、５−アミノ−１，２，３，４−テトラゾール、５−メチル−１，２，３，４−テトラゾール、１，２，３−トリアゾール、４−アミノ−１，２，３−トリアゾール、４，５−ジアミノ−１，２，３−トリアゾール、１，２，４−トリアゾール、３−アミノ−１，２，４−トリアゾール、３，５−ジアミノ−１，２，４−トリアゾール、
ベンゾトリアゾール
　なかでも、１，２，３，４−テトラゾール、５−アミノ−１，２，３，４−テトラゾール、５−メチル−１，２，３，４−テトラゾールなどのテトラゾール類及びその誘導体が好ましい。
　本発明で併用しうる複素環化合物は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。」
（オ）「【００５４】
　有機酸としては、水溶性のものが望ましい。以下の群から選ばれたものがより適している。
　即ち、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、２−メチル酪酸、ｎ−ヘキサン酸、３，３−ジメチル酪酸、２−エチル酪酸、４−メチルペンタン酸、ｎ−ヘプタン酸、２−メチルヘキサン酸、ｎ−オクタン酸、２−エチルヘキサン酸、安息香酸、グリコール酸、サリチル酸、グリセリン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、
マレイン酸
リンゴ酸
（カ）「【００５９】
＜砥粒＞
　本発明の金属用研磨液は、
砥粒
（キ）「【００７９】
＜研磨用組成物のｐＨ＞
　本発明の研磨液においては、研磨面への反応性や吸着性、研磨金属の溶解性、被研磨面の電気化学的性質、化合物官能基の解離状態、液としての安定性などにより、適宜、前記した成分の種類、添加量、或いは、ｐＨを設定することが好ましい。
　本発明の研磨液におけるｐＨは、平坦化性能の点から、３．０〜１２．０であることが好ましく、より好ましくはｐＨが８．０〜１２．０、さらに好ましくはＰＨが９．０〜１１．０の範囲である。ｐＨは、緩衝剤、アルカリ剤などを適宜選択して添加することで容易に調整することができる。」
（ク）「【００９６】
（バリア金属材料）
　本発明における被研磨体において、銅配線と絶縁膜（層間絶縁膜を含む）との間には、銅の拡散を防ぐための
バリア層
Ｃｏ
（ケ）上記（ク）の記載から、刊行物１には、被研磨体として、銅配線と絶縁膜（層間絶縁膜を含む）との間にバリア層としてコバルトを設けたものが記載されているといえる。
　上記記載事項（ア）〜（ク）及び上記認定事項（ケ）を総合すると、刊行物１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 
「砥粒と、
　リンゴ酸および／またはマレイン酸と、
　ベンゾトリアゾールと、
を含有し、ｐＨが８．０〜１２．０である、基板上にコバルトのバリア層を有する基板を研磨する方法に用いる金属用水系研磨液。」 
  
３−２．対比・判断
　本願補正発明と引用発明とを対比すると、その構成及び作用からみて、引用発明の「コバルトのバリア層」、「金属用水系研磨液」は、本願補正発明の「コバルト含有膜」、「化学機械研磨用水系分散体」に、それぞれ相当する。 
　また、引用発明はｐＨが８．０〜１２．０であり、引用発明における金属用水系研磨液と、本願発明の化学機械研磨用水系分散体のｐＨは、８．０〜８．５の範囲において一致している。
　そうすると、両者は以下の点で一致し、相違点はない。 
「砥粒と、
　リンゴ酸および／またはマレイン酸と、
　ベンゾトリアゾールと、
を含有し、ｐＨが８．０〜８．５である、基板上にコバルト含有膜を有する基板を研磨する方法に用いる化学機械研磨用水系分散体。」
　よって、本願補正発明は、刊行物１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。 
 　 
３−３．むすび 
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合しないので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり、決定する。 
　なお、請求人の審判請求書の主張について付言する。
　請求人は審判請求書にて、「したがって、本願発明１においてｐＨを実施例に開示されている７．５〜８．５とする数値範囲には技術的意義が認められ、またｐＨを７．５〜８．５とすることは当業者が適宜決定し得る程度の事項に過ぎないとはいえないものと思料いたします。」旨主張している。しかし、本願明細書の段落【００５８】の【表２】における比較例Ｃ１は（Ｃ）複素環化合物を用いていない例であり、比較例Ｃ２〜Ｃ８は（Ｂ）カルボン酸含有化合物が本願発明の対象ではないグリシンである例であるため、実施例Ｓ１〜Ｓ１３が比較例Ｃ１〜Ｃ８より良い評価となった根拠が主にｐＨによるものとは認められないため、本願発明においてｐＨを７．５〜８．５と限定したことによってこの範囲のｐＨにおいてのみ他のｐＨにおいてはない顕著な作用効果を奏するとの根拠は見い出せないと解される。
第３　本願発明 
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜６に係る発明は、平成２５年７月３０日付けの手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められ、その請求項１に係る発明は、以下のとおりのものである（以下、「本願発明」という。）。 
「（Ａ）砥粒と、
 （Ｂ）２つ以上のカルボニル基を有する化合物と、
 （Ｃ）複素環化合物と、
を含有し、ｐＨが７〜９である、基板上にコバルト含有膜を有する基板を研磨する方法に用いる化学機械研磨用水系分散体。」
 　 
第４　引用例の記載事項 
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物１、及び、その記載事項は、前記第２の３−１.に記載したとおりである。 
 　 
第５　対比・判断 
　本願発明は、前記第２の１.の本願補正発明から、「リンゴ酸および／またはマレイン酸」を「２つ以上のカルボニル基を有する化合物」と上位概念のものとし、「ベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾールおよびキナルジン酸よりなる群から選択される少なくとも１種」を「複素環化合物」と上位概念のものとし、「ｐＨが７．５〜８．５」を「ｐＨが７〜９」とより広範囲にするものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに、他の発明特
定事項を限定したものに相当する本願補正発明が、前記第２の３−２.に記載したとおり、刊行物１に記載された発明であるから、本願発明も、刊行物１に記載された発明である。
第６　むすび 
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により、特許を受けることができない。 
　そして、本願発明が特許を受けることができないものである以上、本件出願のその他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶をすべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。