【事件の表示】
　特願２０１０−５３１３０３「改良された燃料回路を使用した高性能な除害の方法及び装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年　４月３０日国際公開、ＷＯ２００９／０５５７５０、平成２３年　１月　６日国内公表、特表２０１１−５０１１０２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．手続の経緯
　本願は、２００８年１０月２５日（パリ条約による優先権主張　外国庁受理　２００７年１０月２６日　アメリカ合衆国、パリ条約による優先権主張　外国庁受理　２００８年１月１４日　アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、平成２２年４月２２日に特許法第１８４条の５第１項に規定する国内書面が提出された後、平成２２年４月３０日に特許法第１８４条の４第１項に規定する明細書、請求の範囲及び図面の翻訳文が提出され、平成２５年５月１３日付けで拒絶理由が通知され、平成２５年１１月１７日に意見書及び手続補正書が提出されたが、平成２６年４月８日付けで拒絶査定がされ、平成２６年８月１５日に拒絶査定に対する審判請求がされると同時に特許請求の範囲を補正する手続補正書が提出されたものである。
　
第２．平成２６年８月１５日付けの手続補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　平成２６年８月１５日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
１．本件補正
（１）本件補正の内容
　平成２６年８月１５日提出の手続補正書による手続補正（以下、「本件補正」という。）は、特許請求の範囲の請求項１に関しては、本件補正前の（すなわち、平成２５年１１月１７日提出の手続補正書により補正された）特許請求の範囲の請求項１の下記（ア）の記載を、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１の下記（イ）の記載へと補正するものである。
　
（ア）本件補正前の特許請求の範囲の請求項１
「　　【請求項１】
　流出物を熱除害ツールにおいて除害することにより除害済み流出物を生成し、
　前記除害済み流出物が１つ以上の目的とする化学種を含有するか否かを判断し、前記１つ以上の目的とする化学種の濃度を判断し、
　前記目的とする化学種及びその濃度の前記判断に基づいて前記熱除害ツールの１つ以上の運転パラメータを変更することを含む、電子デバイス製造処理から生じる流出物を除害するための方法。」
　
（イ）本件補正後の特許請求の範囲の請求項１
「　　【請求項１】
　流出物を熱除害ツールにおいて除害することにより除害済み流出物を生成し、
　前記除害済み流出物が１つ以上の目的とする化学種を含有するか否かを判断し、前記１つ以上の目的とする化学種の濃度を判断し、
　前記目的とする化学種及びその濃度の前記判断に基づいて前記熱除害ツールの１つ以上の運転パラメータを変更することを含み、
前記１つ以上の運転パラメータが、冷却剤流量、可動性バッフル、電気エネルギー量及び除害反応温度の少なくとも１つを含
　
（２）本件補正の目的
　本件補正は、本件補正前の特許請求の範囲の請求項１における発明特定事項である「１つ以上の運転パラメータ」が「冷却剤流量、可動性バッフル、電気エネルギー量及び除害反応温度の少なくとも１つを含む」旨を限定するものであって、本件補正前の請求項１に記載された発明と本件補正後の請求項１に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題は同一である。
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　
２．独立特許要件についての判断
　本件補正における特許請求の範囲の補正は、前述したように、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当するので、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される発明（以下、「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて、以下に検討する。
　
２．−１　引用文献
（１）引用文献の記載
　本願の優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開平９−２７３７２７号公報（以下、「引用文献」という。）には、「有機ハロゲン化合物分解方法」に関し、図面とともに、例えば、次のような記載がある。
　
（ア）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフロンガス、ハロンガス等の有機ハロゲン化合物を効率よく分解することのできる有機ハロゲン化合物分解方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】トリクロルフルオロメタン（ＣＣｌ3 Ｆ）等のフロンガス、あるいはトリクロルブロムメタン（ＣＣｌ3 Ｂｒ）等のハロンガスに代表される有機ハロゲン化合物はその化学的安定性に優れていることから、集積回路等の生産工場における溶剤、冷凍機器の冷却媒体等として広く用いられていた。しかし、大気中に揮発した有機ハロゲン化合物がオゾン層を破壊したり、発ガン性物質を生成したりして地球環境に深刻な影響を及ぼすことから、その分解処理が重要な問題となっている。このような有機ハロゲン化合物の分解方法として、空気を用いて助燃料を添加して有機ハロゲン化合物を燃焼させる燃焼法、及び高温のプラズマ中で有機ハロゲン化合物を分解するプラズマ反応法とが知られている。例えば、前記のプラズマ反応法の一例として、特開平３−９０１７２号公報には、液状の有機ハロゲン化合物にキャリアガスを導入してバブリングさせ、キャリアガス中に有機ハロゲン化合物を含ませると共に、水の中にキャリアガスを導入してバブリングさせ、キャリアガス中に水を含ませ、この有機ハロゲン化合物と水とを含んだキャリアガスを混合し、混合したキャリアガスをプラズマ中に導入するようにしたプラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法が記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従来の燃焼法では空気を使用しているために窒素酸化物が生成したり、あるいは高温保持不良が起こったり、酸素濃度が低下してダイオキシンが発生したりして環境が汚染される。さらに、助燃剤として使用する重油、プロパンガス等の所要量が変動し、温度維持が不安定であるために、必要以上の助燃剤の投入が必要となり、排ガス量が多く、有機ハロゲン化合物の分解効率が低くなるという問題点があった。また、前記特開平３−９０１７２号公報に記載されているような前記のプラズマ反応法では、排ガス量が少なく、運転が容易で処理効果も高いものの、廃棄物処理に普及していない高温プラズマ技術を適用するので汎用的でないという問題点があった。本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、有害な反応生成物を発生することなく、有機ハロゲン化合物を大量かつ効率的に分解することのできる有機ハロゲン化合物分解方法を提供することを目的とする。」（段落【０００１】ないし【０００３】）
　
（イ）「【０００６】
【発明の実施の形態】続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。ここに、図１は本発明の第１の実施の形態に係る有機ハロゲン化合物分解方法を適用する有機ハロゲン化合物分解設備１０の構成図である。図１に示すように、有機ハロゲン化合物分解設備１０は、有機ハロゲン化合物、水蒸気、助燃剤、及び高濃度酸素ガス（以下単に酸素ガスという）を混合して燃焼させる酸素バーナ２８を備えた燃焼炉１１と、該燃焼炉１１の下部に配置され、燃焼排ガスの吹き込まれる冷却缶１２とを有する。燃焼炉１１は耐火れんがあるいは不定形耐火物等の耐火物で内張りされた略円筒状の反応容器である。燃焼炉１１の上部には難燃性の有機ハロゲン化合物の一例であるトリクロルフルオロメタン（ＣＣｌ3 Ｆ）、水蒸気、助燃剤の一例である都市ガス、及び酸素ガスをそれぞれ燃焼炉１１へ供給するための有機ハロゲン化合物供給管１４、酸素ガス供給管１５、水蒸気供給管１６及び助燃剤供給管１７を有する酸素バーナ２８が配置されており、それぞれの供給量を制御するための有機ハロゲン化合物供給制御弁２０、酸素ガス供給制御弁２１、２１ａ、水蒸気供給制御弁２２及び助燃剤供給制御弁２３が備えられている。なお、酸素ガス及び水蒸気は図１に示すように、燃焼炉１１の炉頂中心部から供給される他、その周辺部からも供給され、燃焼炉１１内におけるガスの混合状態、温度、分解反応速度等に応じてそれぞれの量比を調整できるようになっている。燃焼炉１１の下部は下方向に縮径し、下端部から燃焼排ガスが吐出されるようになっている。冷却缶１２には燃焼排ガスと接触して冷却するための冷却吸収液２７が充填され、冷却吸収後の燃焼排ガスが冷却缶１２上部の排気孔１３から排出される。
【０００７】続いて、前記有機ハロゲン化合物分解設備１０を用いて、本発明の第１の実施の形態に係る有機ハロゲン化合物分解方法を以下に説明する。まず、都市ガス、及び酸素ガスをそれぞれ助燃剤供給管１７、酸素ガス供給管１５より燃焼炉１１に送入して酸素バーナ２８に点火し、燃焼炉１１内の温度を約１２００℃に昇温する。なお、燃焼炉１１の昇温に際しては、酸素ガスを単独で用いることなく空気を用いて都市ガス等の燃料を燃焼させてもよい。そして、水蒸気あるいは液体状態の水、及びトリクロルフルオロメタンを燃焼炉１１に供給する。このとき、トリクロルフルオロメタン、水蒸気、都市ガス、酸素ガスの燃焼炉１１への供給量はそれぞれ、５０ｋｇ／ｈ、２４Ｎｍ3 ／ｈ、６０Ｎｍ3 ／ｈ、１６０Ｎｍ3 ／ｈとした。この温度における酸素ガスの濃度は燃焼炉１１に送入する物質の全体積に対して約５０％以上となる５７％であり、燃焼炉１１内の温度は１２００〜１３００℃に維持されていた。」（段落【０００６】及び【０００７】）
　
（ウ）「【００１２】続いて、本発明の第３の実施の形態に係る有機ハロゲン化合物分解方法について説明する。図２は本発明の第３の実施の形態に係る有機ハロゲン化合物分解方法を適用する有機ハロゲン化合物分解設備１８の構成図である。有機ハロゲン化合物分解設備１８は、前記説明した第１の実施の形態に係る有機ハロゲン化合物分解方法に使用した有機ハロゲン化合物分解設備１０に、有機ハロゲン化合物供給制御弁２０、水蒸気供給制御弁２２、助燃剤供給制御弁２３管、及び酸素ガス供給制御弁２１、２１ａをそれぞれ制御するための制御装置１９が付加されている。さらに、燃焼炉１１の炉内温度を測定するための測温計２４が燃焼炉１１の炉壁に配置され、排気孔１３の近傍には燃焼排ガス中の成分を分析するためのガス成分分析計２５あるいはガス流量計２６が備えられており、これらの測定データが必要に応じて制御装置１９に取り込まれるようになっている。
【００１３】続いて、前記有機ハロゲン化合物分解設備１８を用いて、本発明の第３の実施の形態に係る有機ハロゲン化合物分解方法を以下に説明する。まず、制御装置１９により助燃剤供給制御弁２３、及び酸素ガス供給制御弁２１、２１ａを作動させて、助燃剤の一例であるプロパンガス、及び酸素ガスを燃焼炉１１に送入し、点火して、ガスを燃焼させて燃焼炉１１内の温度を約１２００℃に昇温、維持する。そして、制御装置１９により所定量に制御された水蒸気、及び有機ハロゲン化合物の一例であるトリクロルトリフルオロエタンを燃焼炉１１に供給する。そして、測温計２４、ガス成分分析計２５あるいはガス流量計２６からのそれぞれの測定データを監視すると共に、測温計２４で測定される燃焼炉１１の炉内温度が例えば１０００℃より低下したような場合には、助燃剤として供給されるプロパンガスの供給量を増加させることができる。
【００１４】また、炉内温度が例えば１３００℃を越える時には、酸素ガスの供給量又は、助燃剤の供給量を減らすことにより、所定の温度範囲、例えば１０００℃〜１３００℃の範囲に制御して、燃焼反応における酸素濃度、滞留時間、燃料と酸素との混合度合いによって左右されるダイオキシン等の発生量を制御して、未燃焼有害物質の発生を最小限度に抑制するすることができる。ここで、滞留時間とは例えば、各供給物質の供給速度を燃焼反応における有効体積で除して得られような時間である。一方、排気孔１３から排出される燃焼排ガスの流量、及び燃焼排ガス中のハロゲン化水素、例えば塩化水素の濃度を測定して、燃焼炉１１に供給されるトリクロルトリフルオロエタンの供給量との比を取ることにより分解効率を計算することができる。そして、過去の操業実績あるいは実験結果を集約して得られる制御手順を制御装置１９に予め入力しておき、前記分解効率を指標として、酸素ガス供給量、水蒸気供給量、及び助燃剤供給量等を調整して、トリクロルトリフルオロエタンの分解反応を制御することができる。従って、常に適正な酸素量の範囲で燃焼による分解反応が行われるので、燃焼排ガス量が過剰となることがなく、後工程における燃焼排ガスの洗浄処理のコストを削減することが可能となる。
【００１５】以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこのような実施の形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。例えば、本実施の形態においては、有機ハロゲン化合物の一種類のみを用いる場合について示したが、複数の種類の有機ハロゲン化合物、及び有機ハロゲン化合物の溶剤、例えばアセトン、メタノール等を含む混合物を高温で処理して、有機ハロゲン化合物を分解することもできる。」（【００１２】ないし【００１５】）
　
（２）引用文献記載の事項
　上記（１）並びに図１及び図２の記載から、引用文献には、次の事項が記載されていることが分かる。
　
（カ）引用文献の上記（１）（ア）の段落【０００２】に、有機ハロゲン化合物が集積回路等の生産工場における溶剤として広く用いられる旨が記載されているところ、該有機ハロゲン化合物を分解するのは、集積回路等の生産工場において溶剤として使用済みのものであることは技術常識からみて明らかであるから、引用文献には、集積回路等の生産工場において溶剤として使用済みの有機ハロゲン化合物の分解方法が記載されていることが分かる。
　
（キ）上記（１）（ア）ないし（ウ）の記載を上記（カ）とあわせてみると、引用文献に記載された有機ハロゲン化合物の分解方法は、使用済みの有機ハロゲン化合物を燃焼炉１１において燃焼させることにより燃焼排ガスを生成し、該燃焼排ガス中の特定の化合物の濃度を測定し、前記特定の化合物の濃度に基づいて、燃焼炉１１へ供給する酸素ガス及び助燃剤の供給量等を調整する方法であることが分かる。
　
（３）引用発明
　上記（１）及び（２）並びに図１及び図２の記載から、引用文献には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているといえる。
　
「使用済みの有機ハロゲン化合物を燃焼炉１１において燃焼させることにより燃焼排ガスを生成し、該燃焼排ガス中の特定の化合物の濃度を測定し、前記特定の化合物の濃度に基づいて、燃焼炉１１へ供給する酸素ガス及び助燃剤の供給量等を調整する、集積回路等の生産工場において溶剤として使用済みの有機ハロゲン化合物の分解方法。」
　
２．−２　対比
　本願補正発明と引用発明とを対比すると、引用発明における「使用済みの有機ハロゲン化合物」は、集積回路等の生産工場において溶剤として使用済みのものであるから、その技術的意義からみて、本願補正発明における「流出物」に相当する。
　また、引用発明における「燃焼炉１１」はその機能、構成又は技術的意義からみて、本願補正発明における「熱除害ツール」に相当し、以下同様に、「燃焼させる」は「除害する」に、「燃焼排ガス」は「除害済み流出物」に、それぞれ相当する。
　そして、引用発明において「燃焼排ガス中の特定の化合物の濃度を測定し、前記特定の化合物の濃度に基づいて、燃焼炉１１へ供給する酸素ガス及び助燃剤の供給量等を調整する」ことは、特定の化合物の存在を前提として濃度を判断していることが明らかであるのに対し、本願の明細書に記載された実施例におけるセンサ１０８は、目的とする化学種の１つ以上の存在及び／又は濃度を検出するように構成されたものであるから、引用発明において「燃焼排ガス中の特定の化合物の濃度を測定」することは、本願補正発明において「除害済み流出物が１つ以上の目的とする化学種を含有するか否かを判断し、前記１つ以上の目的とする化学種の濃度を判断」することに相当する。
　さらに、引用発明において「特定の化合物の濃度に基づいて、燃焼炉１１へ供給する酸素ガス及び助燃剤の供給量等を調整する」ことは、特定の化合物の存在及び濃度の判断に基づいて、燃焼炉１１の運転パラメータである酸素ガス及び助燃剤の供給量等を変更することであるといえる。したがって、引用発明において「特定の化合物の濃度に基づいて、燃焼炉１１へ供給する酸素ガス及び助燃剤の供給量等を調整する」ことは、本願補正発明において「目的とする化学種及びその濃度の前記判断に基づいて熱除害ツールの１つ以上の運転パラメータを変更すること」ことに相当する。
　また、引用発明における「集積回路」は、本願補正発明における「電子デバイス」に相当するから、引用発明における「集積回路等の生産工場において溶剤として使用済みの有機ハロゲン化合物」は、本願補正発明における「電子デバイス製造処理から生じる流出物」であるといえ、引用発明において「有機ハロゲン」を「分解」することは、その技術的意義からみて、本願補正発明において「流出物を除害する」ことに相当する。
　
　以上から、本願補正発明と引用発明は、
「　流出物を熱除害ツールにおいて除害することにより除害済み流出物を生成し、
　前記除害済み流出物が１つ以上の目的とする化学種を含有するか否かを判断し、前記１つ以上の目的とする化学種の濃度を判断し、
　前記目的とする化学種及びその濃度の前記判断に基づいて前記熱除害ツールの１つ以上の運転パラメータを変更することを含む電子デバイス製造処理から生じる流出物を除害するための方法。」
である点で一致し、次の点で相違する。
　
〈相違点〉
　本願補正発明においては、目的とする化学種及びその濃度の判断に基づいて変更される１つ以上の運転パラメータが、「冷却剤流量、可動性バッフル、電気エネルギー量及び除害反応温度の少なくとも１つを含む」のに対し、引用発明においては、特定の化合物の濃度に基づいて調整される運転パラメータが、燃焼炉１１へ供給する酸素ガス及び助燃剤の供給量等である点（以下、「相違点」という。）。
　
２．−３　判断
　上記相違点について検討する。
　引用文献の段落【００１３】及び【００１４】（上記２．−１（１）（ウ）参照。）には、引用発明において、燃焼炉１１の炉内温度が低下した場合に、助燃剤の供給量を増加させ、炉内温度が高過ぎる時には、酸素ガス又は助燃剤の供給量を減らす旨が記載されている。故に、引用発明において、燃焼炉１１へ供給する酸素ガス及び助燃剤の供給量を調整することにより、燃焼炉１１内で有機ハロゲン化合物の分解反応を行わせる温度を変更すること、即ち、本願発明における「目的とする化学種及びその濃度の判断に基づいて変更される１つ以上の運転パラメータ」に相当する「特定の化合物の濃度に基づいて調整される運転パラメータ」を、「除害反応温度」に相当する「有機ハロゲン化合物の分解を行わせる温度」とすることは、当業者が容易に想到し得たことである。
　したがって、引用発明において、上記相違点に係る本願補正発明の発明特定事項のように特定することは、当業者が容易に想到し得たことである。
　そして、本願補正発明を全体として検討しても、引用発明から予測される以上の格別の効果を奏すると認めることはできない。
　
　以上から、本願補正発明は、引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３．むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり決定する。
　
第３．本願発明について
１．本願発明
　上記のとおり、平成２６年８月１５日付けの手続補正は却下されたため、本願の請求項１に係る発明は、平成２５年１１月１７日提出の手続補正書によって補正された特許請求の範囲並びに平成２２年４月３０日提出の明細書及び図面の翻訳文の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるものであり、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記第２．の［理由］１．（１）（ア）【請求項１】のとおりのものである。
　
２．引用発明
　本願の優先日前に頒布され、原査定の拒絶の理由に引用された引用文献（特開平９−２７３７２７号公報）記載の発明（引用発明）は、前記第２．の［理由］２．−１の（３）に記載したとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明と引用発明とを対比すると、引用発明の各構成と本願発明の発明特定事項は、前記第２．の［理由］２．−２に記載したとおりの相当関係にあるから、引用発明は、本願発明を特定する事項をすべて含むものである。
　
　したがって、本願発明は、引用文献に記載された発明である。
　
４．まとめ
　以上のとおり、本願発明は、引用文献に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。
　
第４．むすび
　上記第３．のとおり、本願発明は、引用文献に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができないので、本願は拒絶すべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。