【事件の表示】
　特願２００１−　２６２１２「音響共振デバイス用の分離方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　８月１７日出願公開、特開２００１−２２３４１０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　
　本願は、平成１３年２月２日（パリ条約による優先権主張２０００年２月４日、アメリカ合衆国）の出願であって、平成２０年１月３１日付けで手続補正書の提出がなされ、平成２３年９月２２日付けで拒絶理由の通知がなされ、平成２４年３月２８日付けで手続補正書の提出がなされ、同年８月２９日付けで最後の拒絶理由の通知がなされ、同年１２月１８日付けで手続補正書の提出がなされ、平成２５年６月１４日付けで拒絶査定がなされ、これに対して同年１０月１８日付けで拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに手続補正書の提出がなされ、当審において、平成２６年１月２０日付けで前置報告書を利用した審尋がなされ、同年７月８日付けで回答書の提出がなされたものである。
　
　
　
第２　平成２５年１０月１８日付けの手続補正についての補正却下の決定
　
[補正却下の決定の結論]
　
　平成２５年１０月１８日付けの手続補正(以下、「本件補正」という。)を却下する。
　
[理由]
　
１．補正の内容
　
　本件補正は、補正前の特許請求の範囲の請求項１乃至１３(平成２４年１２月１８日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１乃至１３)を補正して、補正後の特許請求の範囲の請求項１乃至７とするものであり、補正前後の請求項は、各々次のとおりである。
　　
（補正前）
「　【請求項１】
　基板上の２つの伝導体の間に設けられた圧電材料によって形成された音響共振デバイスを製造する方法であって、
　基板上に第１の伝導体を形成するステップ、
　前記第１の伝導体上に圧電材料を形成するステップ、
　前記圧電材料上に第２の伝導体を形成するステップ、
　前記第１の伝導体および前記第２の伝導体の少なくとも一方をパターニングするステップ、及び
　前記デバイスから離れて横方向に伝搬する音響エネルギーの量を削減するために、前記圧電材料を分離するステップを含む方法。
　　【請求項２】
　前記分離するステップは、前記デバイスのエッチングされていない領域への横方向の伝搬損失を制限するために、デバイス製造後の信号伝送に関係しない一部または全ての圧電材料を除去するステップを更に含む、請求項１に記載の方法。
　　【請求項３】
　前記分離するステップは、製造中に基板上の指定された領域に圧電材料の成長を制限するステップを更に含み、前記指定された領域は、その後相互接続される前記圧電材料の分離された島を形成し、それによって横方向モードのエネルギーの生成または伝搬を制限する、請求項１に記載の方法。
　　【請求項４】
　前記分離するステップは、前記圧電材料の堆積の前に前記基板の表面を選択的にパターニングすることにより、前記基板上の前記圧電材料の成長中に前記圧電材料の結晶方位を中断し、それによって音響エネルギーとＲＦエネルギーとの間の変換が強化された圧電材料の領域と、この変換が低質化された領域とを形成するステップを更に含む、請求項１に記載の方法。
　　【請求項５】
　前記第１の伝導体および前記第２の伝導体の間に設けられていないあらゆる圧電材料は、信号伝送が低質化された領域にあり、それによってｉｎ−ｓｉｔｕ分離機能を遂行する、請求項１に記載の方法。
　　【請求項６】
　基板上の２つの伝導体の間に設けられた圧電材料を有する音響共振デバイスを分離する方法において、
　基板上に第１の伝導体を形成するステップ、
　前記第１の伝導体上に圧電材料を形成するステップ、
　前記圧電材料上に第２の伝導体を形成するステップ、
　前記第１の伝導体および前記第２の伝導体の少なくとも一方をパターニングするステップ、及び
　製造中に前記基板上の指定された領域に圧電材料の成長を制限するステップを含み、前記指定された領域は、相互接続された音響共鳴器を形成する前記圧電材料の分離された島を形成する、方法。
　　【請求項７】
　基板上の２つの伝導体の間に設けられた圧電材料を有する音響共振デバイスを分離する方法であって、
　前記圧電材料の堆積の前に前記基板の表面を選択的にパターニングすることにより、前記基板上の前記圧電材料の成長中に前記圧電材料の結晶方位が中断され、それによって信号伝送が強化された圧電材料の領域と、信号伝送が低質化された領域とを形成するステップを含む方法。
　　【請求項８】
　前記２つの伝導体の間に設けられていない一部または全ての圧電材料は、信号伝送が低質化された領域にあり、それによってｉｎ−ｓｉｔｕ分離機能を遂行する、請求項７に記載の方法。
　　【請求項９】
　基板と、
　前記基板上に形成された第１の導電性膜と、
　前記第１の導電性膜上に形成された圧電材料層であって、前記圧電材料は、前記デバイスから離れて横方向に伝搬する音響エネルギーの量を削減するために分離されている圧電材料層と、
　分離された前記圧電層の領域上のみに形成されたパターニングされた第２の導電性膜とを含む、音響共振デバイス。
　　【請求項１０】
　前記デバイスのエッチングされていない領域への横方向の伝搬損失を制限するために、信号伝送に関係しないあらゆる圧電材料は除去される、請求項９に記載の音響共振デバイス。
　　【請求項１１】
　前記圧電材料層は、前記基板および前記第１の導電性膜上の指定された領域に制限され、その後相互接続される音響的に分離された音響共振器を形成するために前記圧電材料の分離された島を形成する、請求項９に記載の音響共振デバイス。
　　【請求項１２】
　前記圧電材料の堆積の前に前記基板の表面を選択的にパターニングすることにより、前記基板上の前記圧電材料の成長中に前記圧電材料の結晶方位が中断され、それによって信号伝送が強化された圧電材料の領域と、信号伝送が低質化された領域とを形成する、請求項９に記載の音響共振デバイス。
　　【請求項１３】
　前記第１の導電性膜および前記第２の導電性膜の間に設けられていないあらゆる圧電材料は、信号伝送が低質化された領域にあり、それによってｉｎ−ｓｉｔｕ分離機能を遂行する、請求項１２に記載の音響共振デバイス。」
　
（補正後）　
「　【請求項１】
　音響共振デバイスを製造する方法であって、
　基板上に第一金属膜を直接堆積するステップ、
　電極領域を形成するために、前記第一金属膜をパターニングするステップ、
　パターニング後、単一の連続した圧電層を形成するために、前記電極領域上に圧電材料を堆積するステップ、
　前記単一の圧電層上に第二金属膜を堆積するステップ、
　離れている複数の電極を形成するために、前記第二金属膜をパターニングするステップ、
　前記音響共振デバイスのエッチングされていない領域への横方向の伝搬損失を制限するために、選択的エッチング工程により前記離れている複数の電極の間の離れている領域の下の前記圧電層の領域から前記圧電材料を除去するステップを含み、
　前記第二金属膜がパターニングされた後に、前記除去するステップが行われる、方法。
　　【請求項２】
　前記圧電材料は、ＡｌＮ、ＺｎＯおよびＣｄＳからなる群より選択される、請求項１に記載の方法。
　　【請求項３】
　前記第一金属膜および前記第二金属膜は、Ａｌ金属または他の伝導体のリソグラフィック・パターンニングによって形成される、請求項１に記載の方法。
　　【請求項４】
　前記基板は、シリコン・ウェハ、クオーツ・ウェハまたはガラス・ウェハの一つから形成される基板上の複数の音響反射層として形成される、請求項１に記載の方法。
　　【請求項５】
　音響共振デバイスを分離する方法であって、
　基板上に第一金属膜を直接堆積してパターンニングするステップ、
　単一の連続した圧電層を形成するために、前記パターンニングされた第一金属膜上に圧電材料を堆積するステップ、
　前記単一の圧電層上に第二金属膜を堆積するステップ、
　離れている複数の電極を形成するために、前記第二金属膜をパターニングするステップ、
　横方向モードのエネルギーの伝搬を制限するために、選択的エッチング工程により前記離れている複数の電極の間の離れている領域の下の前記単一の圧電層から前記圧電材料を除去するステップを含み、
　前記第二金属膜が前記単一の圧電層上に堆積されパターニングされた後に、前記除去するステップが行われる、方法。
　　【請求項６】
　前記基板表面の少なくとも一部は選択的エッチングによって除去される、請求項５に記載の方法。
　　【請求項７】
　前記除去された圧電材料の少なくとも一部は、異なる材料で充填された空隙を形成する、請求項５に記載の方法。」
　　
　　
２．補正の目的要件
　
　本件補正が、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項の規定する要件を満たしているかどうかについて検討する。
　
（１）「音響共振デバイスを製造する方法」に係る発明について　
　「音響共振デバイスを製造する方法」に係る発明は、本件補正前の請求項１乃至５及び本件補正後の請求項１乃至４に記載されている。
　そこで、本件補正前後の特許請求の範囲の記載を比較すると、「圧電材料を分離するステップ」について、補正前の請求項１には特定の限定はないものの、該請求項１を引用する請求項２では「圧電材料を除去するステップ」を更に含むことが限定され、該請求項１を引用する請求項３では「製造中に基板上の指定された領域に圧電材料の成長を制限するステップ」を更に含むことが限定され、該請求項１を引用する請求項４では「音響エネルギーとＲＦエネルギーとの間の変換が強化された圧電材料の領域と、この変換が低質化された領域とを形成するステップ」を更に含むことが限定されている。また、該請求項１の従属項である請求項５は、「ｉｎ−ｓｉｔｕ分離機能を遂行する」ことが限定されている。
　これに対して、補正後の請求項１には、「圧電材料を除去するステップ」を含むとされているものの、「製造中に基板上の指定された領域に圧電材料の成長を制限するステップ」及び「音響エネルギーとＲＦエネルギーとの間の変換が強化された圧電材料の領域と、この変換が低質化された領域とを形成するステップ」を含むものではなく、また、「ｉｎ−ｓｉｔｕ分離機能を遂行する」ことは特定されていない。また、補正後の請求項１を引用した請求項２乃至４も「製造中に基板上の指定された領域に圧電材料の成長を制限するステップ」及び「音響エネルギーとＲＦエネルギーとの間の変換が強化された圧電材料の領域と、この変換が低質化された領域とを形成するステップ」を含むものではなく、また、「ｉｎ−ｓｉｔｕ分離機能を遂行する」ことは特定されていない。
　そして、本件補正が、特許法第１７条の２第４項第２号にいう「特許請求の範囲の減縮」に該当するかどうかを検討すると、同条第４項第２号にいう「特許請求の範囲の減縮」は、補正前の請求項と補正後の請求項との対応関係が明白であって、かつ、補正後の請求項が補正前の請求項を限定した関係になっていることが明確であることが要請されるものというべきであって、補正前の請求項と補正後の請求項とは、一対一又はこれに準ずるような対応関係に立つものでなければならない。(平成１７年（行ケ）１０１９２号、平成１５年（行ケ）２３０号の判決の判示事項参照)
　上記の本件補正前後における特許請求の範囲の記載の比較では、補正後の請求項１乃至４は、補正前の請求項１乃至２を限定したものとみることはできるものの、補正前後の各請求項の間に、一対一又はこれに準ずるような対応関係は成立していない。
　
（２）「音響共振デバイスを分離する方法」に係る発明について　
　「音響共振デバイスを分離する方法」に係る発明は、本件補正前の請求項６乃至８及び本件補正後の請求項５乃至７に記載されている。
　そこで、本件補正前後の特許請求の範囲の記載を比較すると、補正前の請求項６は「製造中に前記基板上の指定された領域に圧電材料の成長を制限するステップ」を含むものであり、また、補正前の請求項８は請求項７を引用するものであるから、補正前の請求項７及び８は、「信号伝送が強化された圧電材料の領域と、信号伝送が低質化された領域とを形成するステップ」を含むものである。
　これに対して、補正後の請求項５、請求項５を引用する請求項６及び７は、「製造中に前記基板上の指定された領域に圧電材料の成長を制限するステップ」及び「信号伝送が強化された圧電材料の領域と、信号伝送が低質化された領域とを形成するステップ」を含むものではない。
　そして、本件補正が、特許法第１７条の２第４項第２号にいう「特許請求の範囲の減縮」に該当するかどうかを検討すると、上記（１）に記載したように、補正前の請求項と補正後の請求項とは、一対一又はこれに準ずるような対応関係に立つものでなければならないところ、補正後の請求項５乃至７は、補正前の請求項６乃至８を限定したものではないから、補正前後の各請求項の間に、一対一又はこれに準ずるような対応関係は成立していない。
　
（３）まとめ
　上記（１）及び（２）の検討から、本件補正は、補正後の各請求項の記載により特定される各発明が、全体として、補正前の請求項の記載により特定される発明よりも限定されたものになっているとしても、上述したような一対一又はこれに準ずるような対応関係がない以上、特許法第１７条の２第４項第２号にいう「特許請求の範囲の減縮」には該当しない。
　
　
３．むすび
　
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第４項第２号に規定する、「特許請求の範囲の減縮(第３６条第５項の規定により請求項に記載した発明を特定するために必要な事項を限定するものであつて、その補正前の当該請求項に記載された発明とその補正後の当該請求項に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるものに限る。) 」を目的とするものに該当しない。 
　また、上記本件補正は、同項第１，３，４号の、請求項の削除、誤記の訂正、及び明りょうでない記載の釈明のいずれを目的とするものでもない。 
　したがって、本件補正は、平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法第１７条の２第４項に規定する要件を満たしておらず、特許法１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
　
　
第３　本願発明について 
　
１．本願発明の内容
　
　平成２５年１０月１８日付けの手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項９に係る発明は、平成２４年１２月１８日付け手続補正書によって補正された明細書の特許請求の範囲の請求項９に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである（以下「本願発明」という。）。
　
「基板と、
　前記基板上に形成された第１の導電性膜と、
　前記第１の導電性膜上に形成された圧電材料層であって、前記圧電材料は、前記デバイスから離れて横方向に伝搬する音響エネルギーの量を削減するために分離されている圧電材料層と、
　分離された前記圧電層の領域上のみに形成されたパターニングされた第２の導電性膜とを含む、音響共振デバイス。」
　　　
　　　
２．引用文献 
　
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平９−５５９９８号公報（以下、「引用文献」という。）には、下記の事項が記載されている。
　
Ａ．「【００１２】
【発明の実施の形態】これより図面を参照して本発明の実施例について説明する。尚、図面では、同様の参照番号は、図の形式が異なっても同様の部分を示す。図１ないし図４は、本発明による圧電結合を強化した薄膜圧電共振器アレイの種々の製造工程を示す簡略断面図である。具体的に図１を参照すると、平面１１を有する支持基板１０が示されている。基板１０は、半導体ウエハまたはその部分のような、いずれかの好都合な物質で形成することができる。
【００１３】基板１０の表面１１上に第１導電層１３を配置し、アレイ１５内の複数の薄膜圧電共振器の各々のために第２電極１４を規定する。この特定実施例では、導電層１３は、第１電極１４が単に層１３内の領域となるように、基板１０の表面１１を覆うが、特定用途によっては、基板１１上に個々の電極をパターニングし、パターニングしたリード等でそれらを接続するほうが望ましい場合もある。これは、アレイ１５が二次元アレイではなく、代わりに、例えば、圧電共振器の長い行のような別の形状を取る場合に、特に言えることである。
【００１４】複数の圧電物質列２０を導電層１３上に配置し、指定された各第１電極１４のの上を１本の列が覆い、各々の列が別個の圧電共振器を規定する構造とする。列２０を形成するプロセスは種々あり、そのいくつかについてここで説明するが、この特定実施例において用いるプロセスでは、いずれかの好都合な方法で圧電物質のブランケット層２２を堆積し、この層２２にパターニングを行い列２０を形成する。具体的には、ブランケット層２２の上面上でフォトレジスト層２３にパターニングを行って、列２０を覆う、即ち、規定する。次いで、図２に示すように、ブランケット層２２をエッチングし、層２３を除去する。」
　
Ｂ．「【００１６】次に図３を参照する。ある可溶性物質の層２５を堆積することによって、構造全体を平面化する。この可溶性物質は、列２０の間に容易に配置され、後続の処理の後に容易に除去できるものである。ここでも、層２５に用いる好都合な可溶性物質は、フォトレジストまたは他の同様に可溶性のある物質である。図３に示すように、層２５を列２０間に導入し、次にエッチングをするか、さもなければ部分的に除去して、各列２０の上端を露出させる。この時点で、列２０の上端と層２５の上面とは、共通面を形成する。
【００１７】先の構造の平面上に第２導電層３０を配置し、各列２０の上面と接触させ、アレイ１５内の各圧電共振器のために第２電極３１を規定する。再び、この特定実施例では、導電層３０は、第２電極が単に層３０内の領域となるように、平面を覆うが、特定の用途によっては、平面上に個々の電極をパターニングし、パターニングしたリード等でそれらを接続するほうが望ましい場合もある。これは、アレイ１５が二次元アレイではなく、代わりに、例えば、圧電共振器の長い行のような別の形状を取る場合に、特に言えることである。
【００１８】場合によっては、特に、単一の二次元アレイ内に比較的多数（例えば、千個単位）の圧電素子を形成している場合は、溶剤が縁部からアレイの中央領域に確実に浸透するのが難しい場合がある。この問題を克服するために、図５に示すように、列２０のあるものをエッチングで除去する。これは、例えば、圧電層２２のエッチングの間、単にエッチング・マスクを形成し、通常列が形成される空間を周辺領域と共にエッチングすることによって達成される。比較的大きなアレイにおいては、１％程度の列を除去すれば、可溶性物質２５を後に排出する際にしやすくなると考えられる。次に、図５に示すように、導電層３０の列を除去した位置において、アクセス開口３５をエッチングによって形成する。このようにして、アクセス開口３５を通じて、そしてアレイ１５の縁に沿って溶剤を導入すれば、層２５全てを確実的かつ効率的に除去することができる。」
　
Ｃ．「【００２６】以上述べたように、帯域を拡大した圧電ＢＡＷフィルタに用いるための、圧電結合を強化した、新規で改良された薄膜圧電共振器を、改良された製造プロセスと共に開示した。上述の改善された製造プロセスを用いれば、改善された薄膜圧電共振器を提供し、許容度の緩和による製造コストの低減を図ることができる。また、新規で改善された薄膜圧電共振器では、剛性係数を低下させたことによって圧電結合定数が大きくなり、その結果従来技術の構造よりも実現可能な帯域を２倍以上に拡大することができる。」
　
　ここで、上記引用文献の記載事項について検討する。
　
（あ）上記Ａには、「基板１０の表面１１上に第１導電層１３を配置し、アレイ１５内の複数の薄膜圧電共振器の各々のために第２電極１４を規定する。」こと、「複数の圧電物質列２０を導電層１３上に配置し、指定された各第１電極１４のの上を１本の列が覆い、各々の列が別個の圧電共振器を規定する構造とする。」ことが記載されている。
　よって、引用文献には、「基板の表面に配置された第１導電層」と「第１導電層上に配置された複数の圧電物質列」を「圧電共振器」が含むことが記載されていると認められる。
　
（い）上記Ｂには、各列２０の上面に第２導電層３０を配置し、各圧電共振器のために第２電極３１を規定すること、特定の用途によっては、個々の電極をパターニングすることが記載され、ここにおいて電極のパターニングは、第２導電層３０に対して行われるものであることは明らかである。
　また、圧電共振器は、圧電物質を電極となる導電層で挟むことで構成されるものであるから、各圧電物質列の上面には、圧電共振器を構成するために必要なパターニングされた電極となる導電層が配置されることになる。
　よって、引用文献には、「各圧電物質列の上面に配置されたパターニングされた第２導電層」を「圧電共振器」が含むことが記載されていると認められる。
　
（う）上記Ｃには、実施例が「帯域を拡大した圧電ＢＡＷフィルタに用いるための、圧電結合を強化した、新規で改良された薄膜圧電共振器」であることが記載されている。
　よって、引用文献には、圧電共振器として「圧電ＢＡＷフィルタに用いる薄膜圧電共振器」が記載されている。
　
　以上から、上記（あ）乃至（う）及び関連図面の記載によれば、引用文献には、実質的に下記の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　　
「基板の表面に配置された第１導電層と、
　前記第１導電層上に配置された複数の圧電物質列と、　
　前記各圧電物質列の上面に配置されたパターニングされた第２導電層とを含む圧電ＢＡＷフィルタに用いる薄膜圧電共振器。」
　　　　
　　　  
３．対比 
　
（１）本願発明と引用発明との対応関係について
（ア）引用発明の「第１導電層」は本願発明の「第１の導電性膜」に相当しているので、本願発明と引用発明は、「基板と、前記基板上に形成された第１の導電性膜と」を含むものである点で共通している。
　
（イ）本願発明には、「前記圧電材料は、
前記デバイス
　
（ウ）引用文献の段落【００２０】には、圧電物質としてＺｎＯ及びＡｌＮを利用することが記載されているので、引用発明の「圧電物質列」は本願発明の「圧電材料」に相当しており、引用発明の「第１導電層」上には、「圧電物質列」のみが配置されることから、一種の圧電材料からなる層が形成されているといえる。
　また、引用文献の第５図には、第１導電層１３上に複数の圧電物質列２０が相互にある程度の間隔を隔てて分離して配置された構造が記載されていることから、引用発明の「圧電物質列」は、相互に「分離されている」といえる。
　
（エ）本願明細書には、段落【０００６】に、「少なくとも２つのデバイス間における、デバイス全体を囲むか部分的に囲む圧電材料の領域を除去」する技術は、「デバイスから離れて横方向に伝搬する音響エネルギーの量を削減することができる。」ことが記載されおり、本願発明では「前記圧電材料は、前記デバイスから離れて横方向に伝搬する音響エネルギーの量を削減するために分離されている圧電材料層」とされていることから、本願発明において、「デバイスから離れて横方向に伝搬する音響エネルギーの量を削減する」ことは、「圧電材料層」が「分離されている」ことで達成されている。
　一方、引用発明の「圧電物質列」も、上記（ウ）に記載したように相互に「分離されている」ものであるから、引用発明も「デバイスから離れて横方向に伝搬する音響エネルギーの量を削減する」構成を有しているといえる。
　
（オ）上記（イ）乃至（エ）から、本願発明と引用発明は、「前記第１の導電性膜上に形成された圧電材料層であって、前記圧電材料は、前記デバイスから離れて横方向に伝搬する音響エネルギーの量を削減するために分離されている圧電材料層」を含むものである点で共通している。
　
（カ）本願の発明の詳細な説明には、本願発明の「圧電材料層」の用語は記載されていないものの、本願の発明の詳細な説明及び図５には、電極２１５と電極２１５の間に圧電層２１０を形成することが記載されていることから、本願発明の「圧電材料層」は本願の発明の詳細な説明に記載された「圧電層」に対応しているといえる。
　そして、本願発明には、「分離された
前記圧電層
　
（キ）引用文献の「パターニングされた第２導電層」は、「各圧電物質列の上面に配置」されるものであること、上記（ウ）から引用発明の「圧電物質列」は相互に「分離されている」こと、上記（カ）から本願発明の「前記圧電層」は「圧電材料層」に対応したものであることを踏まえると、本願発明と引用発明は、「分離された前記圧電層の領域上に形成されたパターニングされた第２の導電性膜」を含むものである点で共通している。
　
（ク）引用発明の「圧電ＢＡＷフィルタに用いる薄膜圧電共振器」は、音響共振デバイスの１つであるから、本願発明の「音響共振デバイス」に相当する。
　
（２）本願発明と引用発明の一致点について
　上記の対応関係から、本願発明と引用発明は、下記の点で一致し、また、相違する。
　
（一致点）　
「基板と、
　前記基板上に形成された第１の導電性膜と、
　前記第１の導電性膜上に形成された圧電材料層であって、前記圧電材料は、前記デバイスから離れて横方向に伝搬する音響エネルギーの量を削減するために分離されている圧電材料層と、
　分離された前記圧電層の領域上に形成されたパターニングされた第２の導電性膜とを含む、音響共振デバイス。」
　　
（相違点）
　本願発明の「パターニングされた第２の導電性膜」は、「分離された前記圧電層の領域上
のみ
　
　
４．当審の判断 
　
（１）相違点について
　圧電共振器の構成として、圧電層の領域上のみに電極となる導電性膜を形成することは、例えば、特開平９−８３０２９号公報（図１には、圧電体薄膜３の領域上のみに第２の電極４を形成した構成が記載されている。）、特開平１１−２８４４８０号公報（図２には、圧電体薄膜１３の領域上のみに上部電極１５を形成した構成が記載されている。）、特開平６−２９５１８１号公報（図２には、圧電層２１０の領域上のみに電極２０５を形成した構成が記載されている。）に記載されているように周知技術であるから、引用発明の「薄膜圧電共振器において、「パターニングされた第２導電層」を「各圧電物質列の上面のみに配置され」たものとすること、即ち、相違点の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たものである。
　
（２）本願発明の作用効果について　　　
　本願発明の作用効果も、引用発明及び周知技術から当業者が予測できる範囲のものである。　　　　
　　
　　　
５．むすび 
　
　以上のとおり、本願発明は、引用発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　したがって、本願は、他の請求項について検討するまでもなく、拒絶されるべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。