(57)【要約】【課題】  プレス機の定盤面における悪化した平面度を良好な平面度であるときと同等の状態に補正する定盤面精度補正方法と、その補正のための立体補正シートを提供する。【解決手段】  定盤面の基準平面からの変位測定データに基づいて補正シートの厚さを単位とし凹凸を反転した等高線データを得て、その各等高線が外形となるように補正シートを切断し各等高線切断補正シートを得て、各等高線の位置と各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように積層接着し立体補正シートを得て、定盤面と立体面とが対向しかつ定盤面と立体補正シートの対応する測定点が一致するように位置合せして設置するようにした定盤面精度補正方法とその補正のための立体補正シート。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤面の測定点における基準平面からの変位を示す変位測定データを得る変位測定過程と、
前記変位測定データに基づいて補正シートの厚さを単位とし前記定盤面の凹凸を反転した等高線データを得る等高線演算過程と、
前記等高線データにおける各等高線が外形となるように前記補正シートを切断し各等高線切断補正シートを得る等高線切断過程と、
前記等高線データにおける各等高線の位置と前記各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように前記各等高線切断補正シートを積層接着し立体面と平坦面を有する立体補正シートを得る積層接着過程と、
前記定盤面と前記立体面とが対向し、かつ前記定盤面と前記立体補正シートの対応する前記測定点が一致するように位置合せして設置する設置過程と、
を有することを特徴とするプレス機の定盤面精度補正方法。
【請求項２】
請求項１記載の定盤面精度補正方法において、前記補正シートの厚さは所定の加圧状態における厚さであることを特徴とする定盤面精度補正方法。
【請求項３】
プレス機の定盤面精度を補正するための立体補正シートであって、定盤面の凹凸を反転した形状の立体面とその反対側に平坦面を有することを特徴とする立体補正シート。
【請求項４】
請求項３記載の立体補正のシートにおいて、前記定盤面の凹凸を反転した等高線データにおける各等高線が外形となるように補正シートを切断して得た各等高線切断補正シートを、前記等高線データにおける各等高線の位置と前記各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように、前記各等高線切断補正シートを積層接着することによって前記立体面を得ることを特徴とする立体補正シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプレス機の技術分野に属する。特に、凹凸が生じたことにより精度が低下したプレス機の定盤面を補正し高い精度が得られるようにするプレス機の定盤面精度補正方法および立体補正シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、プレス機は非常に一般的な加工機械であり、金属成形、樹脂成形、紙成形分野などで頻繁に用いられている機械の一つである。プレス機を用いて行われる製造工程では、製品形状、品質の良し悪しにプレス機の精度が大きく影響する事は既知の事実である。特に、生産性を上げるために大型の定盤を備えたプレス機が用いられるが、定盤の面積が大きくなればなるほど、定盤の平面精度（平坦性）を確保することが困難となる。プレス機の定盤面のことは、金属プレス機では、ボルスタ面、スライダ面、等と呼ばれる。また、紙器打抜機では、固定盤面、稼動盤面、等と呼ばれている。
【０００３】
図１０（Ａ）に金属プレス工程で用いられる一般的なプレス機（金属プレス機）の一例を概略図として示す。また、図１０（Ｂ）に紙器打抜工程で用いられるプレス機（紙器打抜機）の一例を概略図として示す。図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に示すように、プレス機の定盤間には製品加工用の上型と下型から成るダイが設置され、それら上型と下型の一方が上下稼動される。上下稼動の方式として、図１０（Ａ）にはクランク機構を適用した上型稼動方式が示され、図１０（Ｂ）にはトグル機構を適用した下型稼動方式が示されている。いずれの方式であっても、上型と下型が離れた状態で被加工品がセットされ、上型と下型が近づき一体化した状態で加工が行われることに変わりはない。
【０００４】
ダイ（上型と下型）と定盤の接触が均一で無い場合、プレスに被加工品（たとえば金属板、用紙）が片当たりしてしまい、出来上がる加工品（たとえばブランク）の品質が悪化してしまう。このため、ダイと定盤は非常に高い接触性が求められ、各々の接触面は数μｍオーダーの高精度な平面度を有するよう設計されている。しかし、その設計された平面度が永久に保持されるわけではない。加工形状の異なる品目の加工を行うときには、使用するダイも適合するダイに変更する。すなわち、一般に「型替え」と呼ばれるダイの交換作業が行われる。型替えにおいては、定盤面上にて旧ダイを取外し、新ダイを取付ける作業が行われ、その型替えには慎重な作業が要されるが、擦れ傷、打ち傷、等の発生を皆無とすることはできない。繰り返し型替えを行うことにより定盤面の磨耗が僅かづつ進行し、型替え回数が増えるに伴って定盤面の平面度は悪化してしまう。
【０００５】
平面度が悪化すると被加工物の品質に対して極めて重大な悪影響を与えることがしばしばある。たとえば、打抜型によって加工対象物のシート材を打抜くときに、打抜荷重が均一とならないため打抜刃による切断が不十分である領域を生じる。したがって、使用経過に従って悪化してしまった定盤はオーバーホールに出し、定盤面を再研磨する等を行って、定盤面の面精度を再度確保することが望まれる。しかし、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）に示すように、稼動定盤とクランク機構またはトグル機構とは直結しているため、定盤面を再研磨するにはプレス機全体を解体し、定盤自体を取り外す必要がある。この作業は非常に負荷が大きく、ほぼプレス機を再製作するに等しい作業となるため、実用的な方法ではない。
【０００６】
そこで、プレス機の定盤と加工対象物との間にクッション材を配置して厚み方向の平面精度の低下を吸収しようとする発明がある（特許文献１）。この発明によるとクッション材はプレス機の定盤における加圧面とほぼ同一寸法の外形を有している。また、加圧面の全体において同一寸法の厚さを有している。このようなクッション材を使用したときには、加圧面の全体において同一のクッション効果が働くことになる。そのため、厚み方向の平面精度の低下に対して、その平面精度を補正する効果は必ずしも十分ではなく、たとえば、打抜荷重の不均一が残ってしまうものである。
【特許文献１】特開２００４−５３３０２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記の問題を解決するために成されたものである。その目的は、プレス機の定盤面における悪化した平面度を良好な平面度であるときと同等の状態に補正する定盤面精度補正方法と、その補正のための立体補正シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１に係る定盤面精度補正方法は、定盤面の測定点における基準平面からの変位を示す変位測定データを得る変位測定過程と、前記変位測定データに基づいて補正シートの厚さを単位とし前記定盤面の凹凸を反転した等高線データを得る等高線演算過程と、前記等高線データにおける各等高線が外形となるように前記補正シートを切断し各等高線切断補正シートを得る等高線切断過程と、前記等高線データにおける各等高線の位置と前記各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように前記各等高線切断補正シートを積層接着し立体面と平坦面を有する立体補正シートを得る積層接着過程と、前記定盤面と前記立体面とが対向し、かつ前記定盤面と前記立体補正シートの対応する前記測定点が一致するように位置合せして設置する設置過程と、を有するようにしたものである。
また、本発明の請求項２に係る定盤面精度補正方法は、請求項１に係る定盤面精度補正方法において、前記補正シートの厚さは所定の加圧状態における厚さであるようにしたものである。
また、本発明の請求項３に係る立体補正シートは、プレス機の定盤面精度を補正するための立体補正シートであって、定盤面の凹凸を反転した形状の立体面とその反対側に平坦面を有するようにしたものである。
また、本発明の請求項４に係る立体補正シートは、請求項３記載の立体補正のシートにおいて、前記定盤面の凹凸を反転した等高線データにおける各等高線が外形となるように補正シートを切断して得た各等高線切断補正シートを、前記等高線データにおける各等高線の位置と前記各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように、前記各等高線切断補正シートを積層接着することによって前記立体面を得るようにしたものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の請求項１に係る定盤面精度補正方法によれば、変位測定過程において定盤面の測定点における基準平面からの変位を示す変位測定データが得られ、等高線演算過程において変位測定データに基づいて補正シートの厚さを単位とし定盤面の凹凸を反転した等高線データが得られ、等高線切断過程において等高線データにおける各等高線が外形となるように補正シートが切断され各等高線切断補正シートが得られ、積層接着過程において等高線データにおける各等高線の位置と各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように各等高線切断補正シートが積層接着され立体面と平坦面を有する立体補正シートが得られ、設置過程において定盤面と立体面とが対向し、かつ定盤面と立体補正シートの対応する測定点が一致するように位置合せされて設置される。すなわち、定盤面の凹凸に対して反転した凹凸を有する立体補正シートを定盤面に設置することによって定盤面の凹凸が補正され平面度が良好となる。したがって、プレス機の定盤面における悪化した平面度を良好な平面度であるときと同等の状態に補正する定盤面精度補正方法が提供される。
また、本発明の請求項２に係る定盤面精度補正方法によれば、補正シートの厚さは所定の加圧状態における厚さである。したがって、補正シートに弾性率の低い材料を使用したときにも所定の加圧状態において定盤面の凹凸が補正され良好な平面度が得られる。
また、本発明の請求項３に係る立体補正シートによれば、プレス機の定盤面精度を補正するための立体補正シートであって、定盤面の凹凸を反転した形状の立体面とその反対側に平坦面を有する。したがって、この立体補正シートを定盤面に設置することによって定盤面の凹凸が補正され良好な平面度が得られる。
また、本発明の請求項４に係る立体補正シートによれば、定盤面の凹凸を反転した等高線データにおける各等高線が外形となるように補正シートを切断して得た各等高線切断補正シートを、等高線データにおける各等高線の位置と各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように、各等高線切断補正シートを積層接着することによって立体面が得られる。したがって、厚さが均一である通常のシートを使用して定盤面の凹凸を反転した立体面が容易に得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
次に、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。本発明の定盤面精度補正方法および立体補正シートを適用して定盤面の精度を補正する過程の概略の説明図を図１と図２に示す。主として、図１は定盤面精度を補正する過程の全体を示し、図２はその補正に使用される立体補正シートの形状を決定する過程を示す。図１に示すように、その過程は手順１（定盤面の測定）、手順２（等高線データ生成）、手順３（凹凸反転等高線データ生成）、手順４（立体補正シート作成）、手順５（定盤面へ設置）の５つの手順に大別することができる。以下、その手順に沿って他の図も参照しながら説明する。
【００１１】
まず、手順１（定盤面の測定）において、磨耗が進行しヘコミ（凹み）のできた定盤面の測定が行われる。定盤面の測定は、定盤面の測定点における基準平面からの変位を示す変位測定データを得る変位測定過程である。変位を測定するときの定盤面における測定点の位置は任意であるが、通常は、定盤面の位置をＸＹ座標で表現したときに、ＸＹ座標において測定点が等間隔となるように選択する。その定盤面の変位測定データの一例を図２（Ａ）に表として示す。さらに、測定点の位置変化に対して変位測定データの変化が大きい部分、すなわちヘコミの傾斜が大きい部分については、測定点の間隔を小さくして詳細な変位測定データを得るようにすると好適である。
【００１２】
変位の測定には変位センサを使用することができる。たとえば、半導体レーザの光線を対象面に投光して光スポットを形成し、その投光部と間隔を置いて配置した受光部によりその光スポットの方向を検出し、投光部と受光部の間隔、投光の方向、光スポットの方向の関係から三角測量の原理によって被測定面の位置を検出する光学式変位センサを使用することができる。また、被測定面と検出部との距離によって容量が変化することから被測定面の位置を検出する容量式変位センサ、被測定面と検出部との距離によって渦電流が変化することから被測定面の位置を検出する渦電流式変位センサ、被測定面に検出部を接触させて機械的な変位を差動トランスの電気出力変化から検出する差動トランス式変位センサ、等を使用することができる。
実際の測定においては、変位センサとともにその変位センサを定盤面の測定点に移動する走査機構、変位測定データを収集して処理するデータ処理装置を使用する。
【００１３】
次に、手順２（等高線データ生成）において、変位測定データに基づいて等高線データを生成する。収集した変位測定データは、そのままでは離散的な定盤面の測定点における変位測定データである。当然ながら、定盤面の平面度の補正は測定点の部位についてだけ行うのではなく、定盤面の全面について平面度を補正する。そこで、データ処理装置において定盤面の全面について変位の分布が判るように図２（Ａ）示す変位測定データから図２（Ｂ）に示す等高線データを生成する演算を行う。変位測定データから等高線データを得る方法としては、周知の等高線生成方法を適用することができる。測定データを可視化する市販のソフトウェアにはその方法が組み込まれているものがある。そのソフトウェアを利用することによって通常の等高線データを得ることができる。
【００１４】
等高線データを得る簡単なアルゴリズムについて一例を説明する。変位測定データから位置的に近い３つの測定点（Ｘ，Ｙ）の変位（Ｚ）のデータ、すなわち（Ｘ１，Ｙ１，Ｚ１）、（Ｘ２，Ｙ２，Ｚ２）、（Ｘ３，Ｙ３，Ｚ３）を頂点とする三角形の集合を生成する。三角形における３つの頂点のＺ値がすべて閾値Ｚｎ（等高線のＺ値：ＸＹ平面に平行な平面を表す）より大きいか小さいときにはその三角形の面内に等高線（三角形の面と閾値Ｚｎの面との交線）は存在しない。それ以外のときは、三角形の面内に等高線が存在する。そのときには、三角形の２つの頂点の組は３組あるが、各組の２つのＺ値と閾値Ｚｎを比較し、その２つのＺ値の範囲に閾値Ｚｎが入っていれば、その組で特定される三角形の辺と閾値Ｚｎとの交点を演算する。交点が頂点と一致しなければ、１つの三角形について２つの辺の交点が演算されるから交点を結ぶ線分、すなわち等高線を得る。得られた等高線は連続した曲線ではなく線分の集合となるが、必要ならば周知の補完法を適用して連続した曲線とすることもできる。
【００１５】
次に、手順３（凹凸反転等高線データ生成）において、凹凸を反転した等高線データを生成する。凹凸を反転した等高線データは、手順２で得た凹凸が非反転の等高線データから得る方法（第１の方法）と、手順２を経ずに変位測定データから直接的に凹凸を反転した等高線データを得る方法（第２の方法）とがある。（第１の方法）は、たとえば、図３（Ｂ）に示す等高線データから図４（Ｂ）に示す凹凸を反転した等高線データを生成する方法である。また、（第２の方法）は、たとえば、図３（Ａ）に示す変位測定データを図４（Ａ）に示す凹凸を反転した変位測定データに変換し、その凹凸を反転した変位測定データから図４（Ｂ）に示す凹凸を反転した等高線データを生成する方法である。この凹凸を反転した等高線データを生成する処理はデータ処理装置において行われる。
【００１６】
定盤の凹凸形状を測定ポイントにおける高低データとともに一次元的に示したものが図２（Ａ）である。その高低データに対して高低反転データを演算し一次元的に示したものが図２（Ｂ）である。高低反転データは定盤の凹凸形状に勘合する形状となっている。
すなわち、ここで凹凸を反転するということは、通常の等高線データにおける凹部が凸部に、凸部が凹部となることを意味する。言い換えると、通常の等高線データの凹凸形状（曲面）と凹凸を反転した等高線データの凹凸形状（曲面）とは対向させて合わせると互いに密着する関係を有する。
【００１７】
次に、手順４（立体補正シート作成）において、凹凸を反転した等高線データに基づいて補正シートの作成を行う。凹凸を反転した等高線データは、図２（Ｃ）に示すように、等高線で示された所定の高さの層を積層した積層体の構造を有するとみなすことができる。したがって、定盤の面精度を補正するための立体補正シート１の形状としては、その積層体の形状そのものとすることができる。等高線で示された各層の厚さが立体補正シートを構成する補正シートの厚さと一致するのであれば、図２（Ｄ）に示すように、等高線で切断した補正シートを積層することにより立体補正シートを得ることができる。
等高線で示された各層の厚さが補正シートの厚さと一致しないときには、補正シートの厚さと一致する等高線を新たに生成することができる。しかし、最初に等高線を生成するときに補正シートの厚さを考慮しておくことができる。すなわち、補正シートの厚さと等高線の高さ方向の間隔とが一致するように生成条件を設定した上で等高線を生成すれば済むことである。
【００１８】
ところで、上述の等高線で示された各層の厚さとして適用する補正シートの厚さについてであるが、定盤の面精度を補正する目的を考慮すると、使用状態での補正シートの厚さを実質的な厚さと考えるべきである。たとえばステンレス鋼薄板のような金属材料でできた補正シートのように、補正シートの剛性が極めて高いときには、非加圧状態での補正シートの厚さを適用すればよい。またたとえば、クラフト紙、ゴム系材料、等でできた補正シートのように、補正シートの剛性が低いときには、加圧状態での補正シートの厚さを適用したほうがよい場合もある。
そのようにして生成した等高線データの一例を図５に示す。図５に示す等高線データの一例においては、図４（Ｂ）に示した等高線データとほぼ一致しているが、上述したように生成条件によっては必ずしも同一とはならない。
【００１９】
立体補正シートを作成する手順４における第１の過程は、図５に示すような等高線データにおける各等高線が外形となるように補正シートを切断し各等高線切断補正シートを得る等高線切断過程である。等高線切断補正シートの説明図を図６に示す。図６（１）は第１層等高線切断補正シートの形状を示している。第１層等高線切断補正シートは図５における等高線の最上層、すなわち立体補正シートにおいて最も補正量の大きい領域である。図６（２）は第２層等高線切断補正シートの形状を示している。第２層等高線切断補正シートは図５における等高線の最上層から２番目、すなわち立体補正シートにおいて２番目に補正量の大きい領域である。図６（３）は第３層等高線切断補正シートの形状を示している。第３層等高線切断補正シートは図５における等高線の最上層から３番目、すなわち立体補正シートにおいて３番目に補正量の大きい領域である。以下は同様であり、図６（３）は第３層等高線切断補正シートの形状を示し、図６（４）は第４層等高線切断補正シートの形状を示し、図６（５）は第５層等高線切断補正シートの形状を示し、図６（６）は第６層等高線切断補正シートの形状を示している。
【００２０】
立体補正シートを作成する手順４における第２の過程は、等高線データにおける各等高線の位置と各等高線切断補正シートの対応する外形の位置が一致するように各等高線切断補正シートを積層接着し立体面と平坦面を有する立体補正シートを得る積層接着過程である。図６に示す等高線切断補正シートを切断する等高線切断過程と、位置合せしながら積層接着する積層接着過程とを同時に行う方法の説明図を図７に示す。ここでは、切断する対象の補正シートとしては、たとえばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム等の樹脂シートであるものとする。切断する装置としては、カッティングプロッターを使用し、樹脂シートどおしを接着する装置としては超音波圧着機を使用する。カッティングプロッターは設計データファイルにおける指定された線図形（ベクトルデータ等）沿ってカッターを移動しＸＹ吸着テーブルにセットされた樹脂シートをその線図形の形状に切断する装置である。超音波圧着機は超音波振動する圧着端子を有しその圧着端子の先端を硬いテーブル上に重ねられた樹脂シートの反対側から押圧すると樹脂シートどおしが超音波圧着（溶着）する。
【００２１】
まず、図７（１）に示すように、カッティングプロッターのＸＹ吸着テーブルにセットした１枚目の補正シート（樹脂シート）を第１層の外形である等高線で切断する。
次に、図７（２）に示すように、１枚目の補正シートの端を引き上げてＸＹ吸着テーブルから剥がす。１枚目の補正シートにおける切断した等高線の外側の部分がＸＹ吸着テーブルから取除かれる。
これにより、図７（３）に示すように、ＸＹ吸着テーブルには吸着して位置を変えない状態の第１層等高線切断補正シートが残る。
次に、図７（４）に示すように、第１層等高線切断補正シートに重ねて２枚目の補正シートをＸＹ吸着テーブルにセットする。そして、２枚目の補正シートを第２層の外形である等高線で切断する。
【００２２】
次に、図７（５）に示すように、２枚目の補正シートの端を引き上げてＸＹ吸着テーブルから剥がす。２枚目の補正シートにおける切断した等高線の外側の部分がＸＹ吸着テーブルから取除かれる。これにより、ＸＹ吸着テーブルには吸着して位置を変えない状態の第２層等高線切断補正シートが残る。ここで、超音波圧着機を使用し、第１層等高線切断補正シートと第２層等高線切断補正シートとを超音波圧着する。
これらの図７（４）と図７（５）の過程を繰り返すことによって、立体補正シートを得ることができる。
【００２３】
以上、手順４（立体補正シート作成）の説明を終え、次に、図１の手順５（定盤面へ設置）において、定盤面へ立体補正シートの設置を行う。この設置は定盤面と立体面とが対向し、かつ定盤面と立体補正シートの対応する測定点が一致するように位置合せして設置する設置過程である。立体補正シートを定盤面に設置する方法の説明図を図８に示す。図８に一例を示すように、プレス機（金属プレス機、紙器打抜機）の定盤面の凹部が立体補正シートの凸部に、プレス機の定盤面の凸部が立体補正シートの凹部に勘合して密着するように、立体補正シートがプレス機の定盤面に設置される。立体補正シートが設置されるとプレス機のもともとの定盤面（立体面）が立体補正シートの平坦面に置換わったことになる。その平坦面にダイ（上型または下型）を設置すると、プレス機のもともとの定盤面とダイとの間には立体補正シートが詰まっていて空隙がなくなる。その結果、定盤によってダイに加えられる荷重（プレス圧）は定盤面の全域において均一化される。
【００２４】
紙器打抜機に立体補正シートを設置した一例を図９に示す。プレス機が紙器打抜機のときも基本的には同様であるが、若干の変形を行って改良することができる。紙器打抜機の固定盤面と稼動盤面の凹部が立体補正シートの凸部に、紙器打抜機の固定盤面と稼動盤面の凸部が立体補正シートの凹部に勘合して密着するように、立体補正シートが紙器打抜機の固定盤面と稼動盤面に設置し、固定盤面の側の立体補正シートの平坦面に打抜型を設置する。このとき、従来の紙器打抜機において行われているように、固定盤面の側にプロテクションプレートを設置し、稼動盤面の側にサポーティングプレートを設置することができる。すなわち、固定盤面に設置した立体補正シートの平坦面の側にプロテクションプレートを設置し、また稼動盤面に設置した立体補正シートの平坦面の側にサポーティングプレートを設置する。また、図９に一例を示すように、固定盤面に設置した立体補正シートの立体面側と平坦面の両側にプロテクションプレートを設置し、稼動盤面に設置した立体補正シートの立体面側と平坦面の両側にサポーティングプレートを設置する。このように、サポーティングプレートとプロテクションプレートを設置することにより、荷重が定盤面の全域においてさらに高い精度で均一化されるだけでなく、立体補正シートの耐久性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の定盤面精度補正方法および立体補正シートを適用して定盤面精度を補正する過程の全体を示す図である。
【図２】定盤面の精度を補正するときに使用される立体補正シートの形状を決定する過程を示す図である。
【図３】定盤面の変位測定データと等高線データを示す図である。
【図４】凹凸を反転した変位測定データと等高線データを示す図である。
【図５】補正シートの厚さを等高線における高さの間隔と等高線データの一例を示す図である。
【図６】各等高線が外形となるように補正シートを切断した等高線切断補正シートの説明図である。
【図７】等高線切断補正シートを位置合せしながら積層接着する方法の説明図である。
【図８】立体補正シートをプレス機（金属プレス機、紙器打抜機）に設置する方法の一例を示す説明図である。
【図９】立体補正シートを紙器打抜機に設置する方法の別の一例を示す説明図である。
【図１０】金属プレス工程で用いられる一般的な金属プレス機（Ａ）の一例と、紙器打抜工程で用いられる紙器打抜機（Ｂ）の一例を概略図として示す図である。
【符号の説明】
【００２６】
１，１ａ，１ｂ  立体補正シート
２，２ａ，２ｂ  プロテクションプレート
３，３ａ，３ｂ  サポートプレート
１１，１１ａ，１１ｂ  定盤
１２，１２ａ，１２ｂ  定盤面
【図１】
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【図２】
2007253226.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2007253226.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007253226.tif 000009
【図８】
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【図９】
2007253226.tif 000011
【図１０】
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