【事件の表示】
　平成　５年特許願第３１０６１３号「ポジ型フォトレジスト組成物」拒絶査定に対する審判事件〔平成　７年　６月２３日出願公開、特開平　７−１５９９８９、請求項の数（１）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
１　本願発明
　本願は、平成５年１２月１０日の出願であって、その請求項１に係る発明は、平成１３年１月９日付け手続補正書によって補正された明細書の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】下記一般式（I）で表されたポリヒドロキシ化合物の１、２−ナフトキノンジアジド−５−（及び／又は−４−）スルホン酸エステル、並びにｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール及び２、５−キシレノールを主成分として含有するフェノール化合物とアルデヒド類とを付加縮合させて得られるノボラック樹脂を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。
【化１】
一般式（I）
　
一般式（I）中、Ｒ１〜Ｒ１７は同一でも異なっても良く、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アシロキシ基、アシル基、アルケニル基、アラルキル基または水酸基を表す。Ａ、Ｂは同一でも異なっても良く、下記化２に示されている連結基を表す。
【化２】
　
　
化２中、Ｒ１８〜Ｒ１９は同一でも異なっても良く、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基またはアルコキシ基を表す。但し、Ｒ１８とＲ１９が結合して環を形成してもよい。」
　　　　
２　引用例等に記載の発明
　これに対して、原査定の拒絶の理由の概要は、
（i）本願の請求項１に係る発明は、国際公開第９０／０１７２６号パンフレット（引用例１）、特開平３−２２８０５７号公報（引用例２）、特開平５−２１６２２０号公報（引用例３）、特開平５−２１６２２０号公報（引用例４）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、本願の請求項１、２に係る発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、
（ii）本願の請求項１に係る発明は、その出願の日前の特許出願であって、その出願後に出願公開された特許出願である、特願平４−３４６４００号（特開平６−１６７８０５号公報）及び特願平５−２２３６３４号（特開平６−２０２３２１号公報）の願書に最初に添付された明細書（以下、それぞれ「先願明細書イ」、「先願明細書ロ」という。）に記載された発明と同一であるので、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない、
というものである。
　そして、引用例１には、２−ジアゾ−１，２−ナフトキノンスルホニルハライドと、平均分子量約５００〜約１５００のノボラック樹脂（例、ｐ−クレゾールまたはｍ−クレゾール、或いは両者の混合物から誘導されるもの）の反応生成物から成る（ａ）感光性ノボラック樹脂と、（ｂ）非感光性ノボラック樹脂を特定量比で含んで成るポジ型ホトレジスト組成物に関する発明が記載され（１４頁、特許請求の範囲１，４）、ここでノボラック樹脂である成分（ｂ）については、常用されるノボラック樹脂の任意のものであり得ること、該樹脂の好ましいグループはｍ−クレゾールまたはｐ−クレゾール、或いは両者の混合物から誘導されるものから成ることが記載されている（７頁３２行〜８頁２行）。「実施例」には、非感光性ノボラック樹脂として「酸触媒によるホルムアルデヒド/ｍ−クレゾール/ｐ−クレゾール縮合物」を用いた例が示されている（１２頁１〜１４行）。
　引用例２には、アルカリ可溶性樹脂、ポリヒドロキシ化合物と１、２−ナフトキノンジアジド−５−（及び／又は−４−）スルホニルクロリドとの反応で得られる感光物を、含有するポジ型フォトレジスト組成物に関する発明が記載され（特許請求の範囲１）、ここで、「アルカリ可溶性ノボラック樹脂」はフェノール類とアルデヒド類との付加縮合により得られるものであること、フェノール類としては、フェノール、ｏ−クレゾール、ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール又はキシレノール等が単独または２種以上の組み合せで用いられることが記載されている（１２頁右上欄５〜１１行）。
　引用例３には、メチレン基を介してヒドロキシベンゼン系核が結合してなるオリゴマーに感光基（例、ナフトキノンジアジド系の感光基）が結合してなる感光性化合物に関する発明が記載され（特許請求の範囲）、「実施例−１」には、【化２】の式（ベンゼン核の繰り返し数、０〜１０程度）で示されるオリゴマー（２〜１２核体を定義。化学式の記載は省略。）にナフトキノンジアジド系の感光基を導入した感光性化合物が記載されている（段落【0014】）。
　「先願明細書イ」には、特許請求の範囲、段落【0051】、「合成例」、「実施例」の記載からみて、【化２２】式で示される５核体のフェノール化合物（合成例３、化学式の記載は省略。）のキノンジアジドスルホン酸エステルを含むキノンジアジド系感光剤と、アルカリ可溶性樹脂を含むポジ型レジスト組成物に関する発明が記載されていると認める。
　「先願明細書ロ」には、特許請求の範囲、段落【0012】〜【0018】、「合成例」、「実施例」の記載からみて、「メタクレゾール、パラクレゾール、及び２，５−キシレノールを含むフェノール類の混合物」とアルデヒド類とを縮合させて得られるノボラック樹脂、「フェノール性水酸基を少なくとも３個以上有する化合物」（例、【化４】式で示される化合物。化学式の記載は省略。）のキノンジアジドスルホン酸ジエステルを４０％以上含むキノンジアジド系感光剤、並びに分子量９００未満のアルカリ可溶性化合物を含むポジ型レジスト組成物に関する発明が記載されていると認める。
　　　
３　対比・判断
（１）引用例記載の発明との対比
　本件請求項１に係る発明（以下「第１発明」という。）は、「一般式（I）で表されたポリヒドロキシ化合物」（以下、「特定ポリヒドロキシ化合物（I）」という。）の「１、２−ナフトキノンジアジド−５−（及び／又は−４−）スルホン酸エステル」と、「ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール及び２、３−キシレノールを主成分として含有するフェノール化合物とアルデヒド類とを付加縮合させて得られるノボラック樹脂」（以下、「特定ノボラック樹脂Ｂ」という。）を含有するポジ型フォトレジスト組成物であるが、組成物成分の１つである「特定ポリヒドロキシ化合物（I）」は、その構造式におけるＯＨ基及び環に着目すると分かるように、各ベンゼン核の単位がＯＨ基を１個ずつ有しかつベンゼン核が連結基を介し直列に５個結合した構造のものである。
　引用例１に記載の「ポジ型ホトレジスト組成物」の主要成分の１つである、平均分子量が約５００〜約１５００の「ｐ−クレゾールまたはｍ−クレゾールから誘導されるノボラック樹脂」と、２−ジアゾ−１，２−ナフトキノンスルホニルハライド（反応後、感光基を形成。）の反応生成物における、母核部分の構造は、それの合成法からみてＯＨ基を有すベンゼン核が連結基を介して結合したものであると解される。
　しかし、もう１つの主要成分である、「非感応性ノボラック樹脂」については、具体的にはｐ−クレゾール、ｍ−クレゾール、またはこれらの混合物から誘導されるノボラック樹脂が用いられると記載（７頁３２行〜８頁２行）するのみで、ｍ−クレゾールとｐ−クレゾールに加え２、５−キシレノールを主成分として含む「特定ノボラック樹脂Ｂ」は全く記載されておらず、また、このような樹脂の使用は引用例１記載のホトレジストにおいて自明のことではない。
　引用例１の「実施例１」では、平均分子量「６００」のノボラック樹脂の合成を示し、「実施例４」では、それとノボラック樹脂（非感光性）、即ち「酸触媒によるホルムアルデヒド/ｍ−クレゾール/ｐ−クレゾール縮合物」等が混合されることを示すが、実施例では非感光性ノボラック樹脂がクレゾールから誘導されるものに限られているので、実施例の記載は、平均分子量「６００」のノボラック樹脂に上記した「特定ノボラック樹脂Ｂ」が混合されることを教示すものではない。
　また、引用例１には、「ＯＨ基を有すベンゼン核が連結基を介して直列に結合した構造」を母核として感光基を導入した感光性化合物と、非感応性ノボラック樹脂である「特定ノボラック樹脂Ｂ」との組合せ使用が好ましいことを示唆する記載はない。
　引用例２には、アルカリ可溶性樹脂（アルカリ可溶性ノボラック樹脂）、「ポリヒドロキシ化合物と１、２−ナフトキノンジアジド−５−（及び／又は−４−）スルホニルクロリドとの反応で得られる感光物」を含むポジ型ホトレジスト組成物が記載されているが（特許請求の範囲）、「アルカリ可溶性ノボラック樹脂」については、フェノール類とアルデヒド類との付加縮合により得られること、フェノール類として、フェノール、ｏ−クレゾール、ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール又はキシレノール等が単独または２種以上の組合せて用いられることが記載されているのみであり（１２頁右上欄８〜１１行）、「特定ノボラック樹脂Ｂ」については具体的に明らかにされていない。
　また、ポリヒドロキシ化合物については、多数の一般式と共に多数の化合物例が示され、その中にはベンゼン核を連結基を介し５個結合させた５核体の化合物の例示（５頁右上欄）もあるが、各ベンゼン核の単位がＯＨ基を１個ずつ有し、かつベンゼン核が連結基を介し直列に５個結合したものではないので、引用例２には、ポジ型ホトレジスト組成物に「特定ポリヒドロキシ化合物（I）」と「特定ノボラック樹脂Ｂ」を含有させたものが開示されているとすることはできない。また、これら成分の併用を示唆する記載もない。
　引用例３には、ナフトキノンジアジド系の感光基を、「実施例−１」記載の【化２】式のオリゴマー（ｎ＝０〜１０）に結合してなる感光性化合物が記載されているが、該オリゴマーの式においてｎが３に限定されるオリゴマー（なお、【化２】式（但し、ｎ＝３）のものは「特定ポリヒドロキシ化合物（I）」に包含される。）にナフトキノンジアジド系の感光基を導入し、得られる感光性化合物を「特定ノボラック樹脂Ｂ」と組み合わせて用いることは記載も示唆もない。また、「特定ポリヒドロキシ化合物（I）」のような５核体を母核とする感光物と「特定ノボラック樹脂Ｂ」とを組み合わせ使用することが本願出願前に周知であったとも認められない。
  更に、第１発明は、引用例１〜３に記載の発明を組み合わせることによって容易になし得たものでもない。
　そして、第１発明は、ポジ型ホトレジスト組成物に、「特定ポリヒドロキシ化合物（I）」と「特定ノボラック樹脂Ｂ」を含有させることによって、膜厚の変動によらず高い解像力が得られ、また現像残査の発生が少なく、現像ラチチュードにも優れたフォトレジスト組成物が得られるという優れた効果が奏されるものである。
　したがって、第１発明は、引用例１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるとは認められない。
　                     
（２）先願明細書記載の発明との対比
　「先願明細書イ」には、【化２２】式で示される５核体のフェノール化合物（「合成例３」参照。）のキノンジアジドスルホン酸エステルを含むキノンジアジド系感光剤（第１発明の「特定ポリヒドロキシ化合物（I）」に相当する。）と、アルカリ可溶性樹脂を含むポジ型レジスト組成物が記載されている（段落【0051】）。
　しかし、「アルカリ可溶性樹脂」の合成に用いられるフェノール類については、「例えばフェノール、ｏ−、ｍ−もしくはｐ−クレゾール、２，５−キシレノール・・・で示されるフェノールの１種若しくは２種以上・・・が挙げられる。」という記載（【0035】〜【0039】）、及びフェノール類としてフェノール、２，５−キシレノール等を用いた合成例があるのみであるから、ｍ−クレゾールとｐ−クレゾールに加え２、５−キシレノールを主成分として含む「特定ノボラック樹脂Ｂ」（上記（１）参照。）が具体的に明らかにされているとはいえない。
　それゆえ、引用例２には「特定ポリヒドロキシ化合物（I）」と「特定ノボラック樹脂Ｂ」を含有するポジ型フォトレジスト組成物が開示されているとすることはできず、したがって、第１発明は「先願明細書イ」に記載の発明と同一であるとすることはできない。
　「先願明細書ロ」には、「メタクレゾール、パラクレゾール、及び２，５−キシレノールを含むフェノール類の混合物」とアルデヒド類とを縮合させて得られるノボラック樹脂（第１発明の「特定ノボラック樹脂Ｂ」に相当する。）、「フェノール性水酸基を少なくとも３個以上有する化合物」のキノンジアジドスルホン酸ジエステルを４０％以上含むキノンジアジド系感光剤、並びに分子量９００未満のアルカリ可溶性化合物を含むポジ型レジスト組成物が記載（特許請求の範囲）されている。
　しかし、「フェノール性水酸基を少なくとも３個以上有する化合物」については、具体的には化合物Ｃ’〜Ｆ’、Ｉ’〜Ｊ’が記載されているのみであり（段落【0035】〜【0046】参照）、また「特定ポリヒドロキシ化合物（I）」については、一般式（ベンゼン核を４〜７個連結した構造を定義）である【化４】式（段落【0015】）の記載があるが、各ベンゼン核の単位がＯＨ基を１個ずつ有し、かつベンゼン核が連結基を介し直列に５個結合した構造のポリヒドロキシ化合物は具体的に明らかにされていない。
　それゆえ、「先願明細書ロ」には「特定ポリヒドロキシ化合物（I）」と「特定ノボラック樹脂Ｂ」を含有するポジ型フォトレジスト組成物が開示されているとすることはできず、したがって、第１発明は「先願明細書ロ」に記載の発明と同一であるとすることはできない。
　　　
４　むすび
　以上のとおりであるから、原査定の理由及び証拠によっては本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。