(57)【要約】【課題】流体の配管系統における集積パネルと流体デバイスとの接続構造に工夫を凝らすことにより、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供する。【解決手段】集積パネルとバルブ２とを環状ガスケットＧを用いて単一の円管状流体通路３，７シール状態で連通接続するに、第１及び第２流体給排口部２Ａに環状突起１１とその内外のテーパ周面１２ａ，１３ａとを形成し、ガスケットＧには、一対の環状溝５１，５１とテーパ周面５２ａ，５３ａとを有するフッ素樹脂製のものに構成し、集積パネル１とバルブ２とを引寄せることにより、環状突起１１と環状溝５１とが嵌合してテーパ周面１２ａ，１３ａ，５２ａ，５３ａどうしが圧接して成るシール部Ｓ１が形成される接合状態が構成される。【選択図】図２
2007046745.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状の流体通路が開口する第１流体給排口部を備えた集積パネルの前記第１流体給排口部と、管状の流体通路が開口する第２流体給排口部を備えた流体デバイスの前記第２流体給排口部とを、これら第１流体給排口部と第２流体給排口部との間に介在されるリング状のガスケットによって前記流体通路をシールする状態で連通接続するにあたり、
前記第１流体給排口部及び前記第２流体給排口部には、各端面に開口する前記各流体通路の外径側部分に前記ガスケットに当接自在な環状被シール部が形成され、
前記ガスケットは、前記第１，第２流体給排口部の相対応する前記流体通路どうしを連通すべく形成された流体経路と、前記各環状被シール部の夫々に当接自在な環状端部とを有する可撓性を備えた材料から構成されており、
前記第１流体給排口部と第２流体給排口部とが互いに前記ガスケットを介して引寄せられることによって、前記第１流体給排口部の前記環状被シール部と前記ガスケットの一端の環状端部とが、及び前記第２流体給排口部の前記環状被シール部と前記ガスケットの他端の前記環状端部とが夫々圧接されてシール部が形成される接合状態が構成され、
前記シール部は、前記第１及び第２流体給排口部の軸心の方向に対して傾斜する状態で前記各環状被シール部に形成されるテーパ周面と、前記テーパ周面と同方向に傾斜し、かつ、前記テーパ周面に当接自在な状態で前記各環状端部に形成されるテーパ周面とを有して構成されている集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項２】
前記シール部が、前記第１及び第２流体給排口部のテーパ周面と前記ガスケットのテーパ周面との前記環状突起から径方向で遠い側の端部どうしのみの圧接によって形成されるように、前記第１及び第２流体給排口部のテーパ周面の傾斜角と前記ガスケットのテーパ周面の傾斜角とを異ならせて設定してある請求項１に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項３】
前記シール部は、前記軸心の方向に対して傾斜し、かつ、互いに逆方向に傾斜する状態で前記各環状被シール部に形成される内外のテーパ周面と、前記内テーパ周面と同方向に傾斜し、かつ、前記内テーパ周面に当接自在な状態で前記各環状端部に形成される内テーパ周面と、前記外テーパ周面と同方向に傾斜し、かつ、前記外テーパ周面に当接自在な状態で前記各環状端部に形成される外テーパ周面と、を有して構成されている請求項１又は２に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項４】
前記環状被シール部と前記環状端部のうちの前記内外のテーパ周面によって凸状の断面形状を呈するものには、それら内テーパ周面と外テーパ周面との間に凹状の断面形状を呈する環状溝が形成されるとともに、前記環状被シール部と前記環状端部のうちの前記内外のテーパ周面によって凹状の断面形状を呈するものには、それら内テーパ周面と外テーパ周面との間に凸状の断面形状を呈する環状突起が形成され、
前記接合状態においては、前記環状溝と前記環状突起とが嵌合する状態に構成されている請求項３に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項５】
前記環状突起の前記軸心方向での突出量が、その内外のテーパ周面における前記軸心方向への最大突出量を上回る状態に設定されている請求項３又は４に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項６】
前記第１流体給排口部と前記第２流体給排口部とが互いに前記ガスケットを介して引寄せられて対応する前記テーパ周面どうしが圧接することによる分力により、前記環状溝を形成すべくその環状溝の内外径側の夫々に存在する周壁端部が、それらのうちの内径側の前記周壁端部が拡径変位し、かつ、外径側の前記周壁端部が縮径変位して前記環状突起に圧接されて二次シール部を形成する状態に構成されている請求項３〜５の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項７】
前記ガスケットの断面形状が略Ｈ型形状を呈するものに構成されている請求項３〜６の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項８】
前記第１及び第２流体給排口部に前記環状突起が形成され、かつ、前記ガスケットに前記環状溝が形成されている請求項３〜７の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項９】
前記環状溝に前記環状突起を入れ易くすべく、前記環状突起がその先端の内周角部及び／又は外周角部が面取りされた断面先細り形状に形成されている請求項３〜８の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項１０】
前記第１及び第２流体給排口部には、前記管状の流体通路の外径側に一以上の環状の流体通路が互いに同心状に形成されており、これら第１及び第２流体給排口部を、それぞれの複数の流体通路が相対応され、かつ、前記第１流体給排口部と前記第２流体給排口部の間に前記ガスケットの複数が介装されることによって各流体通路がシールされる状態で連通接続するにあたり、
前記複数のガスケットのうち、前記接合状態において内径側及び外径側の双方に前記流体通路が存在する中間ガスケットは、これの外周面が、前記中間ガスケットの外径側に存する前記第１流体給排口部の前記環状の流体通路と前記第２流体給排口部の前記環状の流体通路とを連通する環状の流体経路を形成するための壁面となる状態に形成されている請求項３〜９の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項１１】
前記シール部が形成される接合状態を維持する維持手段が装備されている請求項１〜１０の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【請求項１２】
前記維持手段は、前記第１流体給排口部と第２流体給排口部とを引寄せて前記接合状態を得るための引寄せ機能を発揮するものに構成されている請求項１１に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造に係り、詳しくは、半導体製造や医療・医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等において今後需要が見込まれる流体用の集積パネルと、ポンプ、バルブ、アキュムレータ等の流体デバイスとをガスケットを介してシール状態で連通接続させるための接続構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記接続構造として、例えば、流体デバイスの一例であるバルブと、流体通路が内部形成された集積パネルとを一対の給排流路どうしを連通させて接続連結するものがあり、特許文献１や特許文献２において開示された接続構造が知られている。特許文献１で開示される接続構造は、一対の給排流路を近接させて配列し、夫々に独立したリング状のガスケットを介して複数のボルトで液密に接続連結させるものであり、特許文献２で開示される接続構造は、一対の給排流路を近接させて配列し、それら一対の給排流路に対応する一対の流路孔を有した単一のガスケットを単一の外ねじナットを用いて接続連結させるものである。
【０００３】
特許文献１や２に開示されている接続構造は、いずれも多数の流体機器を流体ブロックに集積させて取付ける構造、いわゆる集積配管構造を採るものであり、これは配管系全体のコンパクト化やモジュール化が可能となる点で有用なものである。
【特許文献１】特開２００１−８２６０９号公報
【特許文献２】特開平１０−１６９８５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１や２に開示された接続構造においては、ガスケットが挟み込まれた一対のフランジ部どうしを所定の面圧に達するまでボルトを締付けることにより、有効なシール性能を出すようになる。しかしながら、ボルトの締付け力が時間と共に低下することは避けられないので、締付け力低下、即ちトルクダウンによる接続部からの漏れを防止するには定期的に増し締めを行う必要があった。ガスケットを用いてシールする場合は非常に高い締付け力が必要になるので、集積パネルや流体デバイスの流体給排口部には高い強度が必要になるとともに、その接続連結するための作業性の点でも不利なものであった。
【０００５】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、流体の配管系統における集積パネルと流体デバイスとの接続構造に工夫を凝らすことにより、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る発明は、集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、
管状の流体通路３が開口する第１流体給排口部１Ａを備えた集積パネル１の前記第１流体給排口部１Ａと、管状の流体通路７が開口する第２流体給排口部２Ａを備えた流体デバイス２の前記第２流体給排口部２Ａとを、これら第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとの間に介在されるリング状のガスケットＧによって前記流体通路３，７をシールする状態で連通接続するにあたり、
前記第１流体給排口部１Ａ及び前記第２流体給排口部２Ａには、各端面に開口する前記各流体通路３，７の外径側部分に前記ガスケットＧに当接自在な環状被シール部ｔ１１，ｔ２１が形成され、
前記ガスケットＧは、前記第１，第２流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する前記流体通路３，７どうしを連通すべく形成された流体経路Ｗと、前記各環状被シール部ｔ１１，ｔ２１の夫々に当接自在な環状端部ｇ１１，ｇ１２とを有する可撓性を備えた材料から構成されており、
前記第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いに前記ガスケットＧを介して引寄せられることによって、前記第１流体給排口部１Ａの前記環状被シール部ｔ１１と前記ガスケットＧの一端の環状端部ｇ１１とが、及び前記第２流体給排口部２Ａの前記環状被シール部ｔ２１と前記ガスケットＧの他端の前記環状端部ｇ１２とが夫々圧接されてシール部Ｓ１が形成される接合状態が構成され、
前記シール部Ｓ１は、前記第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐの方向に対して傾斜する状態で前記各環状被シール部ｔ１１，ｔ２１に形成されるテーパ周面１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａと、前記テーパ周面１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａと同方向に傾斜し、かつ、前記テーパ周面１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａに当接自在な状態で前記各環状端部ｇ１１，ｇ１２に形成されるテーパ周面５２ａ，５３ａとを有して構成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記シール部Ｓ１が、前記第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａのテーパ周面１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａと前記ガスケットＧのテーパ周面５２ａ，５３ａとの前記環状突起１１，２１から径方向で遠い側の端部どうしのみの圧接によって形成されるように、前記第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａのテーパ周面１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａの傾斜角と前記ガスケットＧのテーパ周面５２ａ，５３ａの傾斜角とを異ならせて設定してあることを特徴とするものである。
【０００８】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記シール部Ｓ１は、前記軸心Ｐの方向に対して傾斜し、かつ、互いに逆方向に傾斜する状態で前記各環状被シール部ｔ１１，ｔ２１に形成される内外のテーパ周面１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａと、前記内テーパ周面１２ａ，２２ａと同方向に傾斜し、かつ、前記内テーパ周面１２ａ，２２ａに当接自在な状態で前記各環状端部ｇ１１，ｇ１２に形成される内テーパ周面５２ａ，５２ａと、前記外テーパ周面１３ａ，２３ａと同方向に傾斜し、かつ、前記外テーパ周面１３ａ，２３ａに当接自在な状態で前記各環状端部ｇ１１，ｇ１２に形成される外テーパ周面５３ａ，５３ａと、を有して構成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項３に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記環状被シール部ｔ１１，ｔ２１と前記環状端部ｇ１１，ｇ１２のうちの前記内外のテーパ周面５２ａ，５３ａによって凸状の断面形状を呈するものｇ１１，ｇ１２には、それら内テーパ周面５２ａと外テーパ周面５３ａとの間に凹状の断面形状を呈する環状溝５１が形成されるとともに、前記環状被シール部ｔ１１，ｔ２１と前記環状端部ｇ１１，ｇ１２のうちの前記内外のテーパ周面１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａによって凹状の断面形状を呈するものｔ１１，ｔ２１には、それら内テーパ周面１２ａ，２２ａと外テーパ周面１３ａ，２３ａとの間に凸状の断面形状を呈する環状突起１１，２１が形成され、
前記接合状態においては、前記環状溝５１，５１と前記環状突起１１，２１とが嵌合する状態に構成されていることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項５に係る発明は、請求項３又は４に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記環状突起１１，２１の前記軸心Ｐ方向での突出量が、その内外のテーパ周面１２ａ，１３ａにおける前記軸心Ｐ方向への最大突出量を上回る状態に設定されていることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項６に係る発明は、請求項３〜５の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが互いに前記ガスケットＧを介して引寄せられて対応する前記テーパ周面１２ａ，５２ａ，１３ａ５３ａ，２２ａ，５２ａ，２３ａ，５３ａどうしが圧接することによる分力により、前記環状溝５１を形成すべくその環状溝５１の内外径側の夫々に存在する周壁端部５１ｕ，５１ｓが、それらのうちの内径側の前記周壁端部５１ｕが拡径変位し、かつ、外径側の前記周壁端部５１ｓが縮径変位して前記環状突起１１，２１に圧接されて二次シール部Ｓ２を形成する状態に構成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項７に係る発明は、請求項３〜６の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記ガスケットＧの断面形状が略Ｈ型形状を呈するものに構成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項８に係る発明は、請求項３〜７の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａに前記環状突起１１，２１が形成され、かつ、前記ガスケットＧに前記環状溝５１，５１が形成されていることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項９に係る発明は、請求項３〜８の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記環状溝５１，５１に前記環状突起１１，２１を入れ易くすべく、前記環状突起１１，２１がその先端の内周角部及び／又は外周角部が面取りされた断面先細り形状に形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
請求項１０に係る発明は、請求項３〜９の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａには、前記管状の流体通路３，７の外径側に一以上の環状の流体通路４，８が互いに同心状に形成されており、これら第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａを、それぞれの複数の流体通路３，７，４，８が相対応され、かつ、前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａの間に前記ガスケットの複数Ｇ１，Ｇ２が介装されることによって各流体通路３，７，４，８がシールされる状態で連通接続するにあたり、
前記複数のガスケットＧ１，Ｇ２のうち、前記接合状態において内径側及び外径側の双方に前記流体通路が存在する中間ガスケットＧ１は、これの外周面５５ａが、前記中間ガスケットＧ１の外径側に存する前記第１流体給排口部１Ａの前記環状の流体通路４と前記第２流体給排口部２Ａの前記環状の流体通路８とを連通する環状の流体経路Ｗ２を形成するための壁面となる状態に形成されていることを特徴とするものである。
【００１６】
請求項１１に係る発明は、請求項１〜１０の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記シール部Ｓ１が形成される接合状態を維持する維持手段Ｉが装備されていることを特徴とするものである。
【００１７】
請求項１２に係る発明は、請求項１１に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造において、前記維持手段Ｉは、前記第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとを引寄せて前記接合状態を得るための引寄せ機能を発揮するものに構成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１の発明によれば、第１、第２流体給排口部が互いに引寄せられると、それぞれに形成された環状被シール部と、ガスケットの一端面及び他端面にそれぞれ形成された環状端部とが、軸線方向の相対移動によって互いに嵌り合うことでガイド機能が発揮され、第１及び第２流体給排口部が位置ずれすることなく良好に相対接近されながら、環状被シール部のテーパ周面と環状端部のテーパ周面とを圧接する接合状態が得られる。この接合状態では、各テーパ周面どうしが圧接されてシール部が形成され、このシール部によって第１及び第２流体給排口部とをこれらの接続部位からの流体の漏れが確実に阻止される状態で接続することができる。
【００１９】
第１及び２流体給排口部の夫々のテーパ周面は、それらの軸心の方向に対して傾斜する角度が付けられているので、軸心方向の圧接だけではなく径方向にも圧接されるようになり、第１及び２流体給排口部どうしの引寄せ力が低下する等によって軸心方向の圧力が低下した場合のシール部の圧接力低下は緩やかなものとなる。従って、少しぐらい圧接力が低下してもシール機能は維持されるようになり、これは、単純に軸心方向に圧接される従来の構造に比べて明らかに有利な効果である。また、このテーパ周面による径方向の分力により、ガスケットの環状端部が各流体給排口部に径方向に押圧される力が生じるようになり、シール部の形成によって各流体給排口部とガスケットとの嵌合がきつくなり、各流体給排口部とガスケットとの抜け止め作用が強化される利点もある。
【００２０】
その結果、ガイド機能によって良好なシール状態が確実に得られ、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できて信頼性に優れるようになるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。例えば、半導体製造設備における洗浄装置の配管系統にこのような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら装置の占有面積を減少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることによって循環流量を多くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるという効果を奏することが可能である。
【００２１】
請求項２の発明によれば、シール部は環状溝から径方向で遠い側の端部（最内径側端又は最外径側端）のみが圧接される状態となるから、より強い面圧によって確実なシール作用が得られるようになる。また、それによってテーパ周面どうしの間に流体が入り込むことが防止されるようになるから、流体自身、或いは流体中の混合物や異物等が入り込んで停滞し、流体の純度を低下させる要因になる不利が生じないという利点もある集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。この場合、請求項３のように、互いに逆方向に傾斜する一対のテーパ周面どうしの圧接によってシール部が構成されるようにすれば、実質的にシール部が内外の二箇所に形成されるとともに、各流体給排口部又はガスケットに作用する径方向の分力は、内外径の両方向に作用して相殺されて小さなもの又は解消されることとなる利点がある。
【００２２】
請求項４の発明によれば、第１、第２流体給排口部がガスケットを介して互いに引寄せられると、内外のテーパ周面によって凸状の断面形状を呈するものに形成された環状溝と、内外のテーパ周面によって凹状の断面形状を呈するものに形成された環状突起とが、軸線方向（軸心方向）の相対移動によって互いに嵌り合うことでガイド機能が発揮され、第１及び第２流体給排口部が位置ずれすることなく良好に相対接近されて、各流体給排口部の内外のテーパ周面とガスケットの内外のテーパ周面どうしが所期通りに圧接され、機能に優れるシール部が形成される接合状態を得ることができる。
【００２３】
請求項５の発明によれば、第１及び第２流体給排口部どうしが互いうに引寄せられるに伴って、まず環状突起が環状溝に入り込み、その後にテーパ周面どうしが当接するように順序が付くことになるから、環状突起と環状溝との嵌合によるガイド機能が確実に発揮されるようになる。その結果、多少乱雑にガスケットを介して集積パネルと流体デバイスとが組付けられても、各テーパ周面どうしの圧接によるシール部が所期通り確実に発揮される構成となる利点がある。
【００２４】
請求項６の発明によれば、テーパ周面どうしの圧接によるシール部が形成されるには、環状被シール部と環状端部とが互いに強く押圧されることが必要であるが、その押圧力によって各テーパ周面の持つ傾斜に起因した分力が生じ、内径側の周壁端部に関しては拡張変位して、また、外径側の周壁端部に関しては縮径変位して、環状突起における内径側及び外径側の各側周面に押されて圧接することになり、それによって二次シール部が形成されるようになる。つまり、テーパ周面どうしが圧接する構造に起因して、環状突起と環状溝との嵌合状態の如何（圧入、摺動自在な密嵌合、隙間を伴う嵌合等）に拘らず、環状突起と環状溝との間においてもシール部が構成されることになるのである。従って、これら二箇所のシール部（一次及び二次シール部）によってよりシール機能が強化され、より優れるシール性を有する集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。
【００２５】
請求項７の発明によれば、ガスケットの断面形状が略Ｈ型のものに形成されるので、例えば横倒しＴ型形状のものに比べてガスケットやこれと嵌合される部分である第１、第２流体給排口部の設計、製作が容易化されるとともに、集積パネルや流体デバイスに嵌合される場合のバランス（強度バランス、組付けバランス）に優れたものにできる。
【００２６】
請求項８の発明によれば次のような作用効果がある。即ち一般に、凹に凸を挿入しての嵌合構造においては、例えこれら両者が互いに同じ材質のものであっても、凸側の部材は殆ど変化（圧縮変形）せず、凹側の部材が拡がり変形する傾向のあることが知られている。そこで、本請求項８においては、流体デバイスや集積パネルに凸である環状突起を、かつ、ガスケットに凹である環状溝を形成する構成としてあるので、クリープや経時変化によって変形するのは、集積パネルや流体デバイスに比べて小さな部品であるガスケット側であって集積パネルや流体デバイス側は殆ど変形しないから、ガスケットを交換することで長期に亘って良好なシール性能を維持し得る利点が廉価に実現される効果もある。
【００２７】
請求項９の発明によれば、環状突起の内周角部及び／又は外周角部を面取りした先細り形状として、環状突起が環状溝に入り易くなるようにしてあるから、第１，第２流体給排口部とガスケットとの相対位置が多少ずれている状態でも、これら両者が引寄せられることによる環状突起と環状溝との嵌合が確実に行われるようになる。その結果、ガスケットを介して第１，第２流体給排口部を引寄せる組付け操作が多少粗いものであっても、環状突起と環状溝とが嵌合されることによる前述のガイド機能を確実に発揮させることができる好ましい集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。
【００２８】
請求項１０の発明によれば、二以上の流体通路を同心状に多重配管することにより、複数の流体通路を独立して配列する構造に比べて接続構造部分のコンパクト化を図ろうとする手段である。第１、第２流体給排口部が互いに引寄せられると、それぞれに形成された環状突起又は環状溝のうちの一方と、ガスケットの一端面及び他端面にそれぞれ形成された環状突起又は環状溝のうちの他方とが、軸線方向の相対移動によって互いに嵌り合うことでガイド機能が発揮され、第１及び第２流体給排口部が位置ずれすることなく良好に相対接近されて、各流体給排口部のテーパ周面とガスケットのテーパ周面とが所期通りに圧接されてシール部を形成する接合状態が得られる。
【００２９】
加えて、ガスケットの内外に流体通路が形成されることとなる中間ガスケットにおいては、その内周部だけでなく、外周部も流体経路の壁面に兼用される構造としたので、内外で隣り合う流体通路の間隔は中間ガスケットの厚みだけとなって、複数の流体通路を極力径方向に近づけて配置することが可能になり、集積パネルと流体デバイスとの接続構造部分の一層のコンパクト化が可能となる利点がある。その結果、複数の流体通路を同心状に配列して接続させる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を実現できたことにより、モジュール化やコンパト化に有利な流体デバイスの集積化を促進するに寄与できるとともに、良好なシール性能を長期に亘って維持できて信頼性に優れ、しかもさらにコンパクト化が可能となる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。
【００３０】
請求項１１の発明によれば、維持手段によって、両流体給排口部どうしが互いにガスケットを介して引寄せられた接合状態を維持できるので、集積パネルと流体デバイスとが液漏れなく良好なシール性を確保し得る状態を長期に亘って維持可能となり、信頼性に優れる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。その結果、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる、という作用効果をより強化することが可能になる。
【００３１】
請求項１２の発明によれば、維持手段は第１流体給排口部と第２流体給排口部との接合状態を維持するだけでなく、第１流体給排口部と第２流体給排口部とを引寄せて接合状態を得るための引寄せ機能も発揮できるので、他に引寄せ手段を用意する必要が無くなり、全体としての組付け手間の省略化やコストダウンが可能となる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下に、本発明による集積パネルと流体デバイスとの接続構造の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図１〜図５は実施例１の、図６〜図１０は実施例２の、そして図１６は実施例３の集積パネルと流体デバイスとの接続構造を示す各図であり、図１１〜図１５は環状突起の別構造を示す断面図である。
【００３３】
〔実施例１〕
実施例１による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図１、図２に示す。この集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、一対の円管状の流体通路３，４が内部形成された集積パネル１と、これの上面１ａにリング状のガスケットＧを介して搭載されるバルブ（開閉バルブ、ストップバルブ等）２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する単流路型のものである。つまり、給排用として一対の接続構造が互いに同一のものとして構成されている。
【００３４】
集積パネル１は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３ａ，４ａと横向きの横通路３ｂ，４ｂとから成る一対の円管状の供給側流体通路３，４が形成されたものである。この集積パネル１における給排流体通路３，４が開口する部分を第１流体給排口部１Ａと称するものとし、この第１流体給排口部１Ａにおいては、円管状の縦通路３ａ，４ａのそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ａには、その上端面に開口する各流体通路３，４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起２１を有する下第１環状被シール部ｔ２１及び下第２環状被シール部ｔ２２が形成されている。
【００３５】
バルブ（流体デバイスの一例）２は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａから下方突出する状態で縦向きに配された円管状の供給側流体通路７と、この供給側流体通路７の横側方に離れて開口する状態で縦向きに配された円管状の排出側流体通路８とを有した第２流体給排口部２Ａに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ａにおいては、円管状の供給側流体通路７，８のそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。つまり、バルブケース６下端には、一対のボルト挿通孔９ａを有するＰＦＡやＰＴＦＥ又はその他の材料によるフッ素樹脂製の取付フランジ９の一対が下方突出形成されており、流体通路７，８を有する管部９Ａとフランジ部（外向きフランジ）９Ｂとで各取付フランジ９が形成されている。供給側の取付フランジ９が、下方突出する環状突起１１を有する上第１環状被シール部ｔ１１に形成され、排出側の取付フランジ９が、上方突出する環状突起１１を有する上第２環状被シール部ｔ１２に形成されている。
【００３６】
一対のガスケットＧは互いに同一のものであり、その構造を供給側のガスケットＧを例に挙げて説明する。さて、ガスケットＧは、図２，図３に示すように、供給側の上下の流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路である縦通路３ａ及び供給側流体通路７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路Ｗと、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された上第１環状被シール部ｔ１１の環状突起１１と上第２環状被シール部ｔ１２の環状突起２１のそれぞれに嵌合すべく流体経路Ｗの外径側部分に形成された上下一対の環状溝５１，５１とを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものに構成されている。
【００３７】
つまり、ガスケットＧの断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁５４，５５も左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部は、内周面５４ａである流体経路Ｗの上下端部が先拡がり状に外向き傾斜する内テーパ周面５２ａ，５２ａに形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面５３ａ，５３ａに形成されている。
【００３８】
そして、第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２ＡとがガスケットＧを介して維持手段Ｉ（後述）によって互いに引寄せられることにより、集積パネル１の第１流体給排口部１Ａの下第１環状被シール部ｔ２１の環状突起２１及びバルブ２の第２流体給排口部２Ａの上第１環状被シール部ｔ１１における環状突起１１の内及び外径側に、環状溝５１と環状突起１１，２１との嵌合を伴うこれら両者（第１，２流体給排口部１Ａ，２ＡとガスケットＧ）の当接による内外の一次シール部（シール部の一例）Ｓ１，Ｓ１を形成するための環状受止め部１２，１３，２２，２３が形成されている。
【００３９】
上記環状受止め部１２，１３，２２，２３に関する構造を、ガスケットＧと上第１環状被シール部ｔ１１とについて説明する。図２、図３に示すように、内外の環状受止め部１２，１３はそれらの断面形状がほぼ対称（図９の内外の環状受止め部１２，１３はそれらの断面形状が完全に対象である）のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜した内テーパ周面１２ａ及び外テーパ周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１環状被シール部ｔ１１は、環状突起１１とその内外の両側に形成される環状受止め部１２，１３及び谷部１４，１５等の総称である。
【００４０】
ガスケットＧの内外の周壁５４，５５の上端部は、環状受止め部１２，１３の内テーパ周面１２ａと外テーパ周面１３ａのそれぞれに当接する内テーパ周面５２ａと外テーパ周面５３ａを有して１４，１５に入り込み自在な先窄まり状の周壁端部５２，５３を有し、接合状態（図１参照）においては、内外の周壁５４，５５の上端部である周壁端部５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１環状被シール部ｔ１１の内テーパ周面１２ａとガスケットＧの内テーパ周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１環状被シール部ｔ１１の外テーパ周面１３ａとガスケットＧの外テーパ周面５３ａとが圧接されて夫々に一次シール部Ｓ１が形成されるように構成されている。
【００４１】
つまり、ガスケットＧの上端部には、環状溝５１とその内外の周壁端部５２，５３とで上環状端部ｇ１１が形成され、同様に下端部には下環状端部ｇ１２が形成されている。上環状端部ｇ１１は上第１環状被シール部ｔ１１と嵌合して圧入ではない嵌合部１０を形成し、下環状端部ｇ１２は下第２環状被シール部ｔ２１と嵌合して圧入ではない嵌合部１０を形成する。
【００４２】
嵌合部１０の嵌合構造を、上第１環状被シール部ｔ１１とガスケットＧの上環状端部ｇ１１について詳細に説明すると、図２〜図４に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の周壁端部５２，５３どうしは互いに対称（又はほぼ対称）であって、内外の谷部１４，１５の全体の挟角α°と内外の周壁端部５２，５３全体の向い角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（２０〜４０°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１環状被シール部ｔ１１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、内環状受止め部１２と内周壁端部５２とは、それらの内テーパ周面１２ａと内テーパ周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図３，４の仮想線を参照）、流体通路７，Ｗを通る流体がこれら外内のテーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むことをも阻止する一次シール部Ｓ１として機能する。
【００４３】
そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１≦ｄ２という関係、即ち圧入ではない嵌合状態（押せば簡単に入る状態や、緩々の嵌合状態等）となる関係に設定されている。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。このような構成により、第２流体給排口部２ＡとガスケットＧとが引寄せられると、まず上環状突起１１と上環状溝５１とが嵌り合ってこれら両者２Ａ，Ｇを所期の位置関係からずれないように相対姿勢を維持するガイド機能が発揮される。そのガイド機能が生じている状態で、次には内外の環状受止め部１２，１３の内外のテーパ周面１２ａ，１３ａと、周壁端部５２，５３の内外のテーパ周面５２ａ，５３ａとが圧接されて内外の一次シール部Ｓ１が形成されるのである。
【００４４】
嵌合部１０については、図３に示すように、環状受止め部１２，２２（１３，２３）の軸心Ｐ方向に沿う高さｈ３と環状突起１１（２１）の突出長さｈ１との関係は、ｈ１＞ｈ３に設定されている。この図３に示すｈ１＞ｈ３という関係以外に、ｈ１＝ｈ３という関係の場合や、ｈ１＜ｈ３という関係の場合でも良い。また、環状突起１１（２１）と環状溝５１との圧入でない嵌合を実現させるには、これら環状突起１１（２１）及び環状溝５１夫々の軸心Ｐに対する半径をＲ１，Ｒ２としたときに、Ｒ１≧Ｒ２が成り立つように設定すると良い。
【００４５】
図４に示すように、第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いにガスケットＧを介して引寄せられて対応する内テーパ周面１２ａ，５２ａどうし、及び外テーパ周面１３ａ，５３ａどうしが圧接することによる分力により、環状溝５１を形成すべくその環状溝５１の内外径側の夫々に存在する周壁端部５２，５３が、それらのうちの内径側の周壁端部５２が拡径変位し、かつ、外径側の周壁端部５３が縮径変位して環状突起１１に圧接されて内外の二次シール部Ｓ２，Ｓ２を形成する状態に構成されている。
【００４６】
即ち、各テーパ周面１２ａ，５２ａ及び１３ａ，５３ａどうしの圧接により、内径側の周壁端部５２には矢印イ方向の分力が、かつ、外径側の周壁端部５３には矢印ロ方向の分力が夫々作用することになり、環状溝５１の径方向幅が狭まるように内外の周壁端部５２，５３が変位して環状突起１１を締付ける。それにより、溝内側周面５１ｕの先端部と突起内側周面１１ｕの基端部（根元部）とが、かつ、溝外側周面５１ｓの先端部と突起外側周面１１ｓ基端部（根元部）とが径方向に圧接されるようになり、従って内外の二次シール部Ｓ２，Ｓ２が形成されるのである。
【００４７】
一次シール部Ｓ１に二次シール部Ｓ２が加わることにより、シール性及び耐久性により一層優れる接続構造が実現できている。つまり、ガイドとして機能す嵌合部１０が圧入でない嵌合構造としてガスケットＧの組付け操作が行い易いものとしながら、一次シール部Ｓ１が形成されることによる付随効果として二次シール部Ｓ２も形成される利点がある。尚、視覚による作用の理解上、図４においては、環状溝５１の径方向幅を環状突起１１の径方向幅よりも明確に広くして、内外の周壁端部５２，５３が環状突起１１側に変位する様子を誇張して描いてある。
【００４８】
また、内側の環状受止め部１２の先端、及び周壁端部５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状受止め部１２の先端が流体通路Ｗ側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路Ｗ途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂと内テーパ周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内周角部及び外周角部は面取り加工された面取り形状部１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。
【００４９】
尚、図５（ａ）に示すように、環状突起１１を、その先端の内周角部及び外周角部の面取り形状部１１ａを明確に大きくした断面先細り形状に形成することにより、環状突起１１が環状溝５１に入り易くされた構成の嵌合部１０としても良い。このように構成すれば、第１，第２流体給排口部１Ａ，２ＡとガスケットＧとの組付け時における相対位置が所期する適性状態から多少ずれていることがっても、テーパ面状の内又は外の面取り形状部１１ａが嵌合ガイドとなって環状突起１１が確実に環状溝５１内へ導かれるようになるのである。この場合においても、二次シール部Ｓ２は、環状突起１１の根元部と環状溝５１の先端部との嵌合部によって形成されるようになる。
【００５０】
図５（ｂ）に示すように、面取り形状部１１ａをさらに大きくし、環状突起１１の内外の側周面が全て傾斜したテーパ側周面１１ａとなるよう、顕著に先細り形状化させた構成の嵌合部１０としても良い。この場合には、嵌合ガイドの機能が強化されて、環状突起１１の環状溝５１への入り易さがさらに容易になる。この場合の二次シール部Ｓ２は、環状突起１１が環状溝５１を押し広げる楔効果も生じるので、環状溝５１の先端部と環状突起１１の根元部とが線接触又は極小さい面積でもって周状に圧接されることとなり、さらに確実にシール機能を発生させることが可能となる。これら図５（ａ）、（ｂ）に示す構造を、他の環状突起２１に適用しても良い。
【００５１】
一方、外側の環状受止め部１３は、環状受止め部１３の外テーパ周面１３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部９ｂが存在しており、内側の環状受止め部１２とは全体としての形状はやや異なる。そして、下第１環状被シール部ｔ２１に関しても、環状受止め部２３のテーパ内周面２３ａに続く状態で、パネル材５の上端部を形成するための上端内周部５ｂが存在しており、やはり、内側の環状受止め部２２とは全体としての形状が異なる。これら上及び下端内周部５ｂ，９ｂは、ガスケットＧの上及び下環状端部ｇ１１，ｇ１２を上及び下第１環状被シール部ｔ１１，ｔ２１に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、外テーパ周面１３ａ，２３ａと共にガスケットＧの外周壁５５の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。
【００５２】
嵌合部１０についてさらに詳述する。図２、図３に示すように、環状受止め部１２，１３のテーパ周面１２ａ，１３ａの開き角（谷部１４，１５の開き角）Ｄは５０〜７０度の範囲の値（５０°≦Ｄ°≦７０°）に設定されるとともに、周壁端部５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａの尖り角Ｅは６０〜８０度の範囲の値（６０°≦Ｄ°≦８０°）に設定されている。そして、開き角Ｄと尖り角Ｅとには、開き角Ｄに１０〜２０度を加えたものが尖り角Ｅとなる［Ｄ°＋（１０〜２０°）＝Ｅ°］ように設定されている。より好ましい値としては、開き角Ｄが６９〜７１度（Ｄ°＝７０±１°）、尖り角Ｅが７９〜８１度（Ｅ°＝８０±１°）、及び尖り角Ｅは開き角Ｄ＋９〜１１度（Ｅ°−Ｄ°＝１０±１°）に設定すると良い。
【００５３】
また、環状受止め部１２の傾斜カット面１２ｂのカット角Ｄｓは４９〜５１度（Ｄｓ°＝５０°±１°）に設定されており、周壁端部５２，５３の先端カット面５２ｂ，５３ｂの迎え角Ｅｓは１２４〜１２６度（Ｅｓ°＝１２５°±１°）に設定されている。このような角度設定により、内テーパ周面１２ａと内テーパ周面５２ａとは環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が一次シール部Ｓ１において発揮されるようになる。また、外テーパ周面１３ａと外テーパ周面５３ａとの間にも、それらの外径側端部においてシール作用が生じる。尚、下端内周部９ｂが存在しない場合（集積パネルや流体デバイスにおけるガスケットＧとの嵌合部の断面形状が左右対称である場合：図９参照）は、外側の環状受止め部１３にも傾斜カット面１２ｂと同様な傾斜カット面が形成され、前記シールリップ効果が生じる。
【００５４】
つまり、第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する周壁端部５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａ（内テーパ周面５２ａ、外テーパ周面５３ａ）の尖り角Ｅが、引寄せ方向に対する環状受止め部１２，１３における環状突起１１側のテーパ周面１２ａ，１３ａ（内テーパ周面１２ａ、外テーパ周面１３ａ）の開き角Ｄに１０〜２０度、好ましくは１０度又はほぼ１０度加えた値に設定されている。そして、尖り角Ｅが６０〜８０度、好ましくは８０度又はほぼ８０度に設定されている。このように尖り角Ｅ及び開き角Ｄを９０度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状受止め部１２，１３は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出量が小さくなって相対的に強度、剛性が向上することとなり、周壁端部５２，５３の過度な拡縮変位を規制しながらも、自身（環状受止め部１２，１３）が拡縮変位するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。
【００５５】
次に、維持手段Ｉについて説明する。維持手段Ｉは、図２、図３に示すように、集積パネル１の第１流体給排口部１Ａとバルブ２の第２流体給排口部２Ａとが互いにガスケットＧを介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第１流体給排口部１Ａの上第１環状被シール部ｔ１１と、ガスケットＧの上環状端部ｇ１１とが、及び第２流体給排口部２Ａの下第１環状被シール部ｔ２１と、ガスケットＧの下環状端部ｇ１２とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合部１０が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第２流体給排雄口部２Ａの環状突起１１とガスケットＧの上側の環状溝５１とが、及び第１流体給排雄口部１Ａの環状突起２１とガスケットＧの下側の環状溝５１とがそれぞれ嵌め合わされる。
【００５６】
維持手段Ｉの具体構造は、第２流体給排口部２Ａのフランジ部９Ｂのボルト挿通孔９ａに挿通される一対のボルト６６と、一対のボルト挿通孔９ａ，９ａに対応して第１流体給排口部１Ａに（パネル材５に）形成されたナット部６７，６７とで構成されており、ボルト６６をナット部６７に螺着させての締め付け操作により、バルブ２を集積パネル１に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる引寄せ機能付の維持手段Ｉに構成されている。また、経時変化やクリープ等が生じて一次シール部Ｓ１の圧接力が低下した場合には、ボルト６６を増し締めすることで対処することができ、良好なシール性能を維持することが容易能である。
【００５７】
〔実施例２〕
実施例２による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図６、図７に示す。この集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、複数の管状の流体通路３，４が内部形成された集積パネル１と、これの上面１ａに内外の計２個のリング状のガスケットＧ１，Ｇ２を介して搭載されるバルブ（開閉バルブ、ストップバルブ等）２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する同心状二重流路型のものである。
【００５８】
集積パネル１は、図６、図７に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３ａと横向きの横通路３ｂとから成る管状の供給側流体通路３と、縦通路３ａの外径側に形成されてパネル上面１ａに開口する環状の縦リング通路４ａとこれの底部に連通される横向きの横通路４ｂとで成る排出側流体通路４とが形成されたものである。この集積パネル１における給排流体通路３，４が二重配管状に開口する部分を第１流体給排口部１Ａと称するものとし、この第１流体給排口部１Ａにおいては、管状の縦通路３ａと環状の縦リング通路４ａとが互いに同一の軸心Ｐを有する同心状の通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ａには、その上端面に開口する各流体通路３，４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起２１，４１を有する下第１環状被シール部ｔ２１及び下第２環状被シール部ｔ２２が形成されている。
【００５９】
バルブ（流体デバイスの一例）２は、図６、図７に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａに開口する状態でその中心に縦向きに配された管状の供給側流体通路７と、この供給側流体通路７の外径側に形成されて底面６ａに開口する状態で縦向きに配された環状の排出側流体通路８とを有した第２流体給排口部２Ａに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ａにおいては、管状の供給側流体通路７と環状の排出側流体通路８が互いに同一の軸心Ｐを有する同心状の通路に形成されている。そして、バルブケース６下端の外周部には、一対のボルト挿通孔９ａを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂又はその他の材料による取付フランジ９が融着によって一体化されている。尚、バルブケース６と取付フランジ９とは、切削加工や成形加工によって一体形成された一体型のものでも良い。また、第２流体給排口部２Ａには、その下端面に開口する各流体通路７，８の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起１１，３１を有する上第１環状被シール部ｔ１１及び上第２環状被シール部ｔ１２が形成されている。
【００６０】
内外のガスケットＧ１，Ｇ２は径が異なるのみで断面形状は同一のものに形成されている。その構造を内側の第１ガスケットＧ１を例に挙げて説明する。尚、説明を省略する外側の第２ガスケットＧ２には、第１ガスケットＧ１に対応する箇所には対応した符号を付す（例：５４ａ→６４ａ）ものとする。さて、第１ガスケットＧ１は、図７，図８に示すように、第１，第２流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路である縦通路３ａ及び供給側流体通路７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路Ｗ１と、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された上第１環状被シール部ｔ１１の環状突起１１と上第２環状被シール部ｔ１２の環状突起３１のそれぞれに嵌合すべく流体経路Ｗ１の外径側部分に形成された上下一対の環状溝５１，５１とを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものに構成されている。
【００６１】
つまり、第１ガスケットＧ１の断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅の夫々が互いに同一となる上下対称で、かつ、左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部は、内周面５４ａである流体経路Ｗ１の上下端部が先拡がり状に外向き傾斜する内テーパ周面５２ａ，５２ａに形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜する外テーパ周面５３ａ，５３ａに形成されている。
【００６２】
集積パネル１の第１流体給排口部１Ａの下第１及び下第２環状被シール部ｔ２１，ｔ２２の環状突起２１，４１及びバルブ２の第２流体給排口部２Ａの上第１及び上第２環状被シール部ｔ１１、ｔ１２における環状突起１１，３１の内及び外径側に、各ガスケットＧ１，Ｇ２における環状溝５１，６１を形成するために軸心Ｐ方向に突出形成された内外の周壁端部５２ａ，５３ａ，６２ａ，６３ａが、相対応する環状溝５１，６１と相対応する環状突起１１，２１，３１，４１との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状受止め部１２，１３，２２，２３，３２，３３，４２，４３が形成されている。
【００６３】
上記環状受止め部に関する構造を、第１ガスケットＧ１と上第１環状被シール部ｔ１１とについて説明する。内外の環状受止め部１２，１３は対称のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜した内テーパ周面１２ａ及び外テーパ周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１環状被シール部ｔ１１は、環状突起１１とその内外の両側に形成される環状受止め部１２，１３及び谷部１４，１５の総称である。
【００６４】
第１ガスケットＧ１の内外の周壁５４，５５の上端部は、環状受止め部１２，１３の内テーパ周面１２ａと外テーパ周面１３ａのそれぞれに当接する内テーパ周面５２ａと外テーパ周面５３ａを有して１４，１５に入り込み自在な先窄まり状の周壁端部５２，５３を有し、接合状態（図１参照）においては、内外の周壁５４，５５の上端部である周壁端部５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１環状被シール部ｔ１１の内テーパ周面１２ａと第１ガスケットＧ１の内テーパ周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１環状被シール部ｔ１１の外テーパ周面１３ａと第１ガスケットＧ１の外テーパ周面５３ａとが圧接されるように構成されている。
【００６５】
つまり、第１ガスケットＧ１の上端部には、環状溝５１とその内外の周壁端部５２，５３とで上環状端部ｇ１１が形成されており、同様に下端部には下環状端部ｇ１２が形成されている。上環状端部ｇ１１は上第１環状被シール部ｔ１１と嵌合して嵌合部１０を形成し、下環状端部ｇ１２は下第２環状被シール部ｔ２１と嵌合して嵌合部１０を形成する。同様に、第２ガスケットにも上環状端部ｇ２１と下環状端部ｇ２２とが形成されており、それぞれ上第２環状被シール部ｔ１２と下第２環状被シール部ｔ２２と嵌合して嵌合部１０を形成する。
【００６６】
嵌合部１０の嵌合構造を、上第１環状被シール部ｔ１１と第１ガスケットＧ１の上環状端部ｇ１１について詳細に説明すると、図７〜図９に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の周壁端部５２，５３どうしは互いに対称であって、内外の谷部１４，１５全体の挟角α°と内外の周壁端部５２，５３全体の向い角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（２０〜４０°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１環状被シール部ｔ１１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、上内環状受止め部１２と上内周壁端部５２とは、それらの内テーパ周面１２ａと内テーパ周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図８，９の仮想線を参照）、流体通路７，Ｗ，３ａを通る流体がこれら内テーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むことをも阻止する一次シール部Ｓ１として機能する。
【００６７】
そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１≦ｄ２という関係、即ち圧入ではない嵌合状態（押せば簡単に入る状態や、緩々の嵌合状態等）となる関係に設定されている。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。このような構成により、第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが引寄せられることで、第２流体給排口部２ＡとガスケットＧとが押合われると、まず上環状突起１１と上環状溝５１とが嵌り合ってこれら両者２Ａ，Ｇを所期の位置関係からずれないように相対姿勢を維持するガイド機能が発揮される。そのガイド機能が生じている状態で、次には内外の環状受止め部１２，１３の内外のテーパ周面１２ａ，１３ａと、周壁端部５２，５３の内外のテーパ周面５２ａ，５３ａとが夫々圧接されて内外の一次シール部Ｓ１が形成されるのである。尚、このような関係は、下環状突起２１と下環状溝５１との間や、第２ガスケットＧ２の環状溝６１と上下の環状突起３１，４１との間においても成り立つと良い。
【００６８】
嵌合部１０については、図８に示すように、環状受止め部１２，１３の軸心Ｐ方向に沿う高さｈ３と環状突起１１の突出長さｈ１との関係は、ｈ１＞ｈ３に設定されている。この図８に示すｈ１＞ｈ３という関係以外に、ｈ１＝ｈ３という関係の場合や、ｈ１＜ｈ３という関係の場合でも良い。また、環状突起１１と環状溝５１との圧入でない嵌合を実現させるには、環状突起１１と環状溝５１夫々の軸心Ｐに対する内外径の半径をＲ１，Ｒ３，Ｒ２，Ｒ４としたときに、Ｒ１≧Ｒ２、かつ、Ｒ４≧Ｒ３が成り立つように設定すると良い。尚、このような関係は、下環状突起２１と下環状溝５１との間や、第２ガスケットＧ２の環状溝６１と上下の環状突起３１，４１との間においても成り立つと良い。
【００６９】
図９に示すように、第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いに第１ガスケットＧ１を介して引寄せられて対応する内テーパ周面１２ａ，５２ａどうし、及び外テーパ周面１３ａ，５３ａどうしが圧接することによる分力により、環状溝５１を形成すべくその環状溝５１の内外径側の夫々に存在する周壁端部５２，５３が、それらのうちの内径側の周壁端部５２が拡径変位し、かつ、外径側の周壁端部５３が縮径変位して環状突起１１に圧接されて内外の二次シール部Ｓ２，Ｓ２を形成する状態に構成されている。
【００７０】
即ち、各テーパ周面１２ａ，５２ａ及び１３ａ，５３ａどうしの圧接により、内径側の周壁端部５２には矢印イ方向の分力が、かつ、外径側の周壁端部５３には矢印ロ方向の分力が夫々作用することになり、環状溝５１の径方向幅が狭まるように内外の周壁端部５２，５３が変位して環状突起１１を締付ける。それにより、溝内側周面５１ｕの先端部と突起内側周面１１ｕの基端部（根元部）とが、かつ、溝外側周面５１ｓの先端部と突起外側周面１１ｓ基端部（根元部）とが径方向に圧接されるようになり、従って内外の二次シール部Ｓ２，Ｓ２が形成されるのである。
【００７１】
一次シール部Ｓ１に二次シール部Ｓ２が加わることにより、シール性及び耐久性により一層優れる接続構造が実現できている。つまり、ガイドとして機能す嵌合部１０が圧入でない嵌合構造として第１ガスケットＧ１の組付け操作が行い易いものとしながら、一次シール部Ｓ１が形成されることによる付随効果として二次シール部Ｓ２も形成される利点がある。このような構成は、第１流体給排口部１Ａ及び第２流体給排口部２Ａと第２ガスケットＧ２とにおいても同様である。尚、視覚による作用の理解上、図９においては、環状溝５１の径方向幅を環状突起１１の径方向幅よりも明確に広くして、内外の周壁端部５２，５３が環状突起１１側に変位する様子を誇張して描いてある。
【００７２】
また、環状受止め部１２，１３の先端、及び周壁端部５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ，１３ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状受止め部１２の先端が流体通路Ｗ１側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路Ｗ１途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂと内テーパ周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内角及び外角は面取り加工された形状１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。
【００７３】
尚、図１０（ａ）に示すように、環状突起１１を、その先端の内周角部及び外周角部の面取り形状部１１ａを明確に大きくした断面先細り形状に形成することにより、環状突起１１が環状溝５１に入り易くされた構成としても良い。このように構成すれば、第１，第２流体給排口部１Ａ，２Ａと第１ガスケットＧ１との組付け時における相対位置が所期する適性状態から多少ずれていることがっても、テーパ面状の内又は外の面取り形状部１１ａが嵌合ガイドとなって環状突起１１が確実に環状溝５１内へ導かれるようになるのである。この場合に嵌合部１０（二次シール部Ｓ２）を設けるには、環状突起１１の根元部と環状溝５１の先端部との嵌合部によって形成される構成となる。このような構造は、他の環状突起３１，２１，４１や第２ガスケットＧ２においても同様に構成可能である。
【００７４】
図１０（ｂ）に示すように、面取り形状部１１ａをさらに大きくし、環状突起１１の内外の側周面が全て傾斜したテーパ側周面１１ａとなるよう、顕著に先細り形状化させても良い。この場合には、嵌合ガイドの機能が強化されて、環状突起１１の環状溝５１への入り易さがさらに容易になる。この場合に嵌合部１０（二次シール部Ｓ２）を設けるには、環状突起１１が環状溝５１を押し広げる楔効果が生じて、環状溝５１の先端部と環状突起１１の根元部とが線接触又は極小さい面積でもって周状に圧接されることとなり、より確実にシール機能を発生させることが可能となる。このような構造は、他の環状突起３１，２１，４１や第２ガスケットＧ２においても同様に構成可能である。
【００７５】
一方、第２ガスケットＧ２に当接する上下の第２環状被シール部ｔ１２，ｔ２２における外径側の環状受止め部３３，４３は、それらの外テーパ周面３３ａ，４３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部９ｂが存在するとともに、環状受止め部２３のテーパ内周面２３ａに続く状態で、パネル材５の上端部を形成するための上端内周部５ｂが存在しており、上下の第１環状被シール部ｔ１１，ｔ２１における外径側の環状受止め部１３，２３とは全体としての形状はやや異なるものであって、図４，５に示す実施例１の場合と同様な構成である。これら上及び下端内周部５ｂ，９ｂは、第２ガスケットＧ２の上及び下環状端部ｇ２１，ｇ２２を上下の第２環状被シール部ｔ１２，ｔ２２に嵌め合わす際の外径側のガイドとして機能することができる。
【００７６】
嵌合部１０についてさらに詳述する。図７，図８に示すように、環状受止め部１２，１３における環状突起側のテーパ周面１２ａ，１３ａの開き角（谷部１４，１５の開き角）Ｄは５０〜７０度の範囲の値（５０°≦Ｄ°≦７０°）に設定されており、周壁端部５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａの尖り角Ｅは６０〜８０度の範囲の値（６０°≦Ｄ°≦８０°）に設定されている。そして、開き角Ｄと尖り角Ｅとには、開き角Ｄに１０〜２０度を加えたものが尖り角Ｅとなる［Ｄ°＋（１０〜２０°）＝Ｅ°］ように設定されている。より好ましい値としては、開き角Ｄが６９〜７１度（Ｄ°＝７０±１°）、尖り角Ｅが７９〜８１度（Ｅ°＝８０±１°）、及び尖り角Ｅは開き角Ｄ＋９〜１１度（Ｅ°−Ｄ°＝１０±１°）に設定すると良い。
【００７７】
また、環状受止め部１２，１３の傾斜カット面１２ｂ，１３ｂのカット角Ｄｓは４９〜５１度（Ｄｓ°＝５０°±１°）に設定されており、周壁端部５２，５３の先端カット面５２ｂ，５３ｂの迎え角Ｅｓは１２４〜１２６度（Ｅｓ°＝１２５°±１°）に設定されている。このような角度設定により、内テーパ周面１２ａと内テーパ周面５２ａ及び外テーパ周面１３ａと外テーパ周面５３ａの夫々は環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が二次シール部Ｓ２において発揮されるようになる。
【００７８】
つまり、前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する前記周壁端部５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａ（内テーパ周面５２ａ、外テーパ周面５３ａ）の尖り角Ｅが、前記引寄せ方向に対する前記環状受止め部１２，１３における環状突起１１側のテーパ周面１２ａ，１３ａ（内テーパ周面１２ａ、外テーパ周面１３ａ）の開き角Ｄに１０〜２０度、好ましくは１０度又はほぼ１０度加えた値に設定されている。そして、前記尖り角Ｅが６０〜８０度、好ましくは８０度又はほぼ８０度に設定されている。このように尖り角Ｅ及び開き角Ｄを９０度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状受止め部１２，１３は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出量が小さくなって相対的に強度、剛性が向上することとなり、周壁端部５２，５３の過度な拡縮変位を規制しながらも、自身（環状受止め部１２，１３）が拡縮変位するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。
【００７９】
一方、第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２のうち、接合状態において内径側及び外径側の双方に流体通路７，８が存在する中間ガスケットである第１ガスケットＧ１は、これの外周部である外周面５５ａが、第１ガスケットＧ１の外径側に存する第１流体給排口部１Ａの環状の流体通路４ａと第２流体給排口部２Ａの環状の流体通路８とを連通する環状の流体経路Ｗ２を形成するための壁面となる状態に形成されている。このように第１ガスケットＧ１の内外周面５４ａ，５５ａの双方が流体通路Ｗ１，Ｗ２を形成する壁面を兼ねる構成とすれば、「第１ガスケットＧ１の厚み」＝「環状流体通路３ａ，７と管状流体通路４ａ，８との間隔」となり、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの接続部をよりコンパクト化することが可能になる。
【００８０】
なお、図６に仮想線で示すように、第２ガスケットＧ２の外周壁６５に横突出するリング状の脱着フランジ１ｆを一体形成しておけば、第１又は第２流体給排口部１Ａ，２Ａから第２ガスケットＧ２を抜出す際に、工具や手指でフランジ１ｆを引張る等して外し易くすることができるという利点がある。この場合、脱着フランジ１ｆの厚みは、接合状態における第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａどうしの間隙よりも小さい値とする。
【００８１】
次に、維持手段Ｉについて説明する。維持手段Ｉは、図７，図８に示すように、集積パネル１の第１流体給排口部１Ａとバルブ２の第２流体給排口部２Ａとが互いに第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２を介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第１流体給排口部１Ａの上第１環状被シール部ｔ１１及び上第２環状被シール部ｔ１２と、第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２の上環状端部ｇ１１，ｇ２１とが、及び第２流体給排口部２Ａの下第１及び下第２環状被シール部ｔ２１，ｔ２２と、第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２の下環状端部ｇ１２，ｇ２２とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合部１０が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第２流体給排口部２Ａの環状突起１１，３１と第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２の上側の環状溝５１，６１とが、及び第１流体給排口部１Ａの環状突起２１，４１と第１及び第２ガスケットＧ１，Ｇ２の下側の環状溝５１，６１とがそれぞれ嵌め合わされる。
【００８２】
維持手段Ｉの具体構造は、第２流体給排口部２Ａの取付フランジ９のボルト挿通孔９ａに挿通される一対のボルト６６と、一対のボルト挿通孔９ａ，９ａに対応して第１流体給排口部１Ａに（パネル材５に）形成されたナット部６７，６７とで構成されており、ボルト６６をナット部６７に螺着させての締め付け操作により、バルブ２を集積パネル１に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる。また、経時変化やクリープ等が生じて各嵌合部１０の圧接力が低下した場合には、ボルト６６を増し締めすることで対処することができ、良好なシール性能を維持することが可能である。
【００８３】
〔実施例３〕
実施例３による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図１６に示す。この接続構造に用いるガスケットＧは、図２，３に示すガスケットＧにおける内周壁５４のみから成るような断面形状（略Ｉ型断面形状）を採るものである。即ち、管状の流体通路３が開口する第１流体給排口部１Ａを備えた集積パネル１の第１流体給排口部１Ａと、管状の流体通路７が開口する第２流体給排口部２Ａを備えた流体デバイス２の第２流体給排口部２Ａとを、これら第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとの間に介在されるリング状のガスケットＧによって流体通路３，７をシールする状態で連通接続する。
【００８４】
第１流体給排口部１Ａ及び第２流体給排口部２Ａには、各端面に開口する各流体通路３，７の外径側部分にガスケットＧに当接自在な環状被シール部ｔ１１，ｔ２１が形成され、ガスケットＧは、第１，第２流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路３，７どうしを連通すべく形成された流体経路Ｗと、各環状被シール部ｔ１１，ｔ２１の夫々に当接自在な環状端部ｇ１１，ｇ１２とを有する可撓性（フッ素樹脂等）を備えた材料から構成されている。第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いにガスケットＧを介して引寄せられることによって、第１流体給排口部１Ａの環状被シール部ｔ１１とガスケットＧの一端の環状端部ｇ１１とが、及び第２流体給排口部２Ａの環状被シール部ｔ２１とガスケットＧの他端の前記環状端部ｇ１２とが夫々当接されて一次シール部（シール部の一例）Ｓ１が形成される接合状態が構成され、
【００８５】
一次シール部Ｓ１は、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐの方向に対して傾斜する状態で各環状被シール部ｔ１１，ｔ２１に形成されるテーパ周面１２ａ，２２ａと、これらテーパ周面１２ａ，２２ａと同方向に傾斜し、かつ、テーパ周面１２ａ，２２ａに当接自在な状態で各環状端部ｇ１１，ｇ１２に形成されるテーパ周面５２ａ，５２ａとを有して構成されている。
【００８６】
ガスケットＧの内周面５４ａは各流体通路３，７どうしを連通するための円管状の流体経路Ｗに形成されており、外周面５５ａの上下端部５５ｕ，５５ｓは、各流体給排口部１Ａ，２Ａの上及び下端内周部９ｂ，５ｂに沿っている。第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとが互いにガスケットＧを介して引寄せられて対応するテーパ周面１２ａ，５２ａ，２２ａ，５２ａどうしが圧接することによる分力により、上下端部５５ｕ，５５ｓが拡径変位して各内周部９ｂ，５ｂに圧接されて二次シール部Ｓ２を形成する状態に構成されている。
【００８７】
次に、シール部（一次シール部）Ｓ１を構成する種々の別構造を、第２流体給排口部２ＡとガスケットＧの上環状端部ｇ１１との嵌合部１０について図面を参照しながら簡単に説明する。これら図１１〜図１５のものは第１ガスケットＧ１を有する接続構造について描いてあるが、単一のガスケットＧを有する接続構造に適用しても良い。
【００８８】
〔第１別構造〕
第１別構造による第２流体給排口部２ＡとガスケットＧとの嵌合部１０は、図１１に示すように、環状突起１１及び環状溝５１の双方が、互いに嵌合自在な三角形状に形成された構成を有する接続構造でも良い。それ以外は図２，３等に示す嵌合部１０と同じである。この場合、第２流体給排口部２ＡとガスケットＧが強く押し合われるに伴い、環状突起１１と環状溝５１とがそれらの周面１１ｕ，１１ｓ，５１ｕ，５１ｓどうしが面接触する状態で圧接される二次シール部Ｓ２の形成が可能である。
【００８９】
〔第２別構造〕
第２別構造による第２流体給排口部２ＡとガスケットＧとの嵌合部１０は、図１２に示すように、断面矩形形状の環状溝５１に嵌合される環状突起１１が三角形状に形成された構成を有する接続構造でも良い。それ以外は図２，３等に示す嵌合部１０と同じである。この場合、第２流体給排口部２ＡとガスケットＧが強く押し合われるに伴い、環状突起１１の内外の周面１１ｕ，１１ｓと、環状溝５１の内外の先端角周縁５１ｐ，５１ｐとが線接触状態で圧接される二次シール部Ｓ２の形成が可能である。
【００９０】
〔第３別構造〕
第３別構造による第２流体給排口部２ＡとガスケットＧとの嵌合部１０は、図１３に示すように、断面が矩形形状の環状突起１１と、断面が三角形状の環状溝５１とが嵌合する構成を有する接続構造でも良い。それ以外は図２，３等に示す嵌合部１０と同じである。尚、この場合に、環状突起１１先端の両角部１１ａ，１１ａと環状溝５１の傾斜内周面５１ｕ、傾斜外周面５１ｓとが圧接して二次シール部Ｓ２が形成される構成を採っても良い。この場合、第２流体給排口部２ＡとガスケットＧが強く押し合われるに伴い、環状突起１１の内外の先端角周縁１１ｐ，１１ｐと、環状溝５１の内外の周面５１ｕ，５１ｓとが線接触状態で圧接される二次シール部Ｓ２の形成が可能である。
【００９１】
〔第４別構造〕
第３別構造による第２流体給排口部２ＡとガスケットＧとの嵌合部１０は、図１４に示すように、断面が矩形形状の環状突起１１と、断面が半円弧状の環状溝５１とが嵌合する構成を有する接続構造でも良い。それ以外は図２，３等に示す嵌合部１０と同じである。この場合、第２流体給排口部２ＡとガスケットＧが強く押し合われるに伴い、環状突起１１の内外の先端角周縁１１ｐ，１１ｐと、環状溝５１の円弧周面５１ｅとが線接触状態で圧接される二次シール部Ｓ２の形成が可能である。
【００９２】
〔第５別構造〕
第３別構造による第２流体給排口部２ＡとガスケットＧとの嵌合部１０は、図１５に示すように、第２流体給排口部２Ａが断面凹となる形状で、かつ、ガスケットＧが断面凸となる形状に形成されるとともに、図８に示すものから環状突起１１及び環状溝５１が省略されたような構成の接続構造でも良い。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】集積パネルとバルブとの接続構造を示す断面図（実施例１）
【図２】図１の接続構造に用いるガスケットと流体給排口部の要部の断面図
【図３】図２のシール部における詳細な嵌合構造を示す要部の拡大断面図
【図４】接合状態における二次シール部の構成状況を示す要部の断面図
【図５】（ａ）、（ｂ）は、共に環状突起の別形状を示す要部の断面図
【図６】集積パネルとバルブとの同心状多重流路接続構造を示す断面図（実施例２）
【図７】図６接続構造に用いるガスケットと流体給排口部の要部の断面図
【図８】図７シール部における詳細な嵌合構造を示す要部の拡大断面図
【図９】接合状態における二次シール部の構成状況を示す要部の断面図
【図１０】（ａ）、（ｂ）は、共に環状突起の別形状を示す要部の断面図
【図１１】シール部の第１別構造を示す要部の断面図
【図１２】シール部の第２別構造を示す要部の断面図
【図１３】シール部の第３別構造を示す要部の断面図
【図１４】シール部の第４別構造を示す要部の断面図
【図１５】シール部の第５別構造を示す要部の断面図
【図１６】集積パネルとバルブとの接続構造の要部を示す断面図（実施例３）
【符号の説明】
【００９４】
１                                                集積パネル
１Ａ                                              第１流体給排口部
２                                                流体デバイス
２Ａ                                              第２流体給排口部
３ａ，７                                          管状の流体通路
４ａ，８                                          環状の流体通路
１０                                              嵌合部
１１，２１，３１，４１                            環状突起
１１ａ                                            面取り形状部
１１ｕ                                            突起内側周面
１１ｓ                                            突起外側周面
１２，１３，２２，２３，３２，３３，４２，４３    環状受止め部
１２ａ，２２ａ，３２ａ，４２ａ                    内テーパ周面（テーパ周面）
１３ａ，２３ａ，３３ａ，４３ａ                    外テーパ周面（テーパ周面）
ｇ１１，ｇ１２，ｇ２１，ｇ２２                    環状端部
ｔ１１，ｔ１２，ｔ２２，ｔ２３                    環状被シール部
１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａ                    テーパ周面
５１，６１                                        環状溝
５１ｕ，６１ｕ                                    溝内側周面
５１ｓ，６２ｓ                                    溝外側周面
５２ａ，６２ａ                                    内テーパ周面（テーパ周面）
５３ａ，６３ａ                                    外テーパ周面（テーパ周面）
Ｇ，Ｇ１，Ｇ２                                    ガスケット
Ｐ                                                軸心
Ｓ１                                              シール部（一次シール部）
Ｓ２                                              二次シール部
Ｗ，Ｗ１，Ｗ２                                    流体経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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