【事件の表示】
　特願２００８−５４２３２９「垂直取り付け式質量流量センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成１９年　５月３１日国際公開、ＷＯ２００７／０６１６０８、平成２１年　４月２３日国内公表、特表２００９−５１６８５３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯
　この審判事件に関する出願（以下、「本願」という。）は、平成１８年１１月３日（パリ条約による優先権主張　２００５年（平成１７年）１１月２２日（以下、優先日という。）、アメリカ合衆国）にされた国際特許出願であって、平成２４年１月１６日付けの拒絶理由通知に対して平成２４年７月１７日付けで特許請求の範囲についての補正がなされ、平成２５年４月１２日（送達：同年同月１６日）で拒絶査定がなされ、これに対し、同年８月１６日に拒絶査定不服審判が請求されると同時に明細書及び特許請求の範囲についての補正がなされたものである。
　その後、当審より平成２６年９月１６日付け（発送：同年同月２４日）で拒絶理由（以下、「当審拒絶理由」という。）を通知したところ、平成２６年１２月２２日付けで意見書が提出されるとともに、同日付けで明細書及び特許請求の範囲についての補正がなされたものである。
　
２　原査定の拒絶の理由
　原査定の拒絶の理由は、概略、本願の請求項１−２２に係る発明は、本願優先日前に日本国内または外国において頒布された刊行物である米国特許第５２７９１５４号明細書（以下「引用例」という。）に記載された発明に基づいて、その本願優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　
３　当審拒絶理由
　平成２６年９月１６日付けの当審拒絶理由の概要は以下のとおりである。
「この審判事件に関する特許出願（以下、「本願」という。）は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。 
 　 
 　　　　　　　　　　　　　　　　　記 
 １．垂直方向について 
 　請求項１の記載において、垂直方向に関し、以下のアないしウの記載がある。 
 ア「主流路及びセンサ受け入れ面の双方に対し実質的に垂直方向」。 
 イ「熱式質量流量計が垂直方向に向けて取り付けられ」 
 ウ「導管内の流体が主流路に沿って垂直方向に流れるとき」 
 　ここで、ア及びウでは、垂直方向が何に対する垂直方向であるか記載されているが、イでは何に対する垂直方向であるのか記載されていない。 
 　何に対する方向であるか限定のない場合、「垂直」とは、「重力の方向。鉛直。」（広辞苑第６版参照。）の意味とも解し得るから、イに記載された「垂直方向」が何に対する垂直方向なのか、それとも鉛直方向なのか不明である。 
 　なお、原文には、垂直に関しvertical(ly)とperpendicularの用語が用いられていることも考慮し、特許請求の範囲及び発明の詳細な説明において使い分けを検討されたい。 
 　 
 ２．水平方向について 
 　請求項１には、「主流路から熱感知部分までの経路は全体的に、実質的に水平であり」との記載がある。 
 　ここで、「全体的に、実質的に水平」とは、どのような水平状態を意味するのか明確でない。 
 　 
 　仮に、図１Ａに図示された熱式流量制御器が請求項１に係る発明に対応し、経路の全体、すなわち、全ての経路において実質的に水平であることを意味するものだとすると、発明の詳細な説明段落００１９の２つの垂直脚部に関する記載と矛盾する。 
 （段落００１９には、「センサ管の水平部分２１０は、対流力を全く発生させず、また、２つの垂直脚部２１２により発生された対流力は打ち消すことができ」と記載され、垂直脚部２１２では対流力が生じる状態であることが前提となっている。つまり垂直脚部が鉛直方向に配置されることが読み取れる。よって、請求項１の「主流路から熱感知部分までの経路は全体的に、実質的に水平であり」との記載とは矛盾する。） 
 　 
 　仮に、図２に図示された熱式流量制御器が請求項１に係る発明に対応し、経路の全体、すなわち、全ての経路において実質的に水平であることを意味するものだとしても、図２に記載されたセンサ管２００を示すと考えられる矢印からすると、センサ管２００の一部は傾斜しており水平状態にはならず、やはり請求項１の記載と矛盾する。 
 　 
 　なお、図１Ｂに図示された熱式流量制御器は、熱サイフォンが生じることから、本願発明に対応するものとは考えられない。 
 　また、図３に図示された熱式流量制御器は、センサ管に流入する位置と流出する位置が鉛直方向に隔てられているから、請求項１の「主流路から熱感知部分までの経路は全体的に、実質的に水平であり」との構成にはそもそも対応しない。 
 　以上のように、請求項１に記載された「全体的に、実質的に水平」がどのような水平状態を意味しようとしているのか不明である。 
 　 
 ３．請求項２ないし２０について 
 　請求項２ないし２０の記載についても、上記１、２と同様の理由により、不明である。 　 
 　なお、本願発明は、発明の詳細な説明の記載及び図の記載のうち、どの記載に対応するものなのか明示されたい。 
 　また、発明の理解を助けるために、図１Ａ、Ｂ、図２及び図３に、XYZ軸（なお、Z軸は鉛直方向とする。）を付記した図を、意見書にて参考図として提出されたい。 
 　さらに、補正をする場合、意見書にて、補正の根拠となる箇所について明示されたい。
 　 
 　なお、原査定の拒絶の理由が解消したか否かの判断は留保する。」 
　
４　本願発明
　本願の請求項１ないし１２に係る発明は、平成２６年１２月２２日付けでなされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１２により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりである。
　
「流体の流量を測定する熱式質量流量計において、
　流体を受け入れ且つ、導管の入口と出口との間の主流路を画成する形態とされた導管であって、少なくとも一部分、センサ受け入れ面との境を画成する前記導管と、
　前記主流路と実質的に同一平面に設けられ、前記主流路及び前記センサ受け入れ面の双方に対し実質的に垂直方向に向けて前記センサ受け入れ面に対して取り付けられた熱感知部分を有する熱センサ管と、
　前記熱センサ管を前記導管上に支持及び固定する形態とされ、１つ又はより多くの開口を含む支持要素であって、該開口は、流体が前記熱センサ管を通過し且つバイパスに対して下流の位置にて前記主流路に再度入るのを許容する形態とされた、支持要素と、
を備え、
　前記熱式質量流量計が鉛直方向に向けて取り付けられ、前記導管内の流体が前記主流路に沿って鉛直方向に流れるとき、前記熱感知部分は全体的に、実質的に水平であり、前記熱センサ管の熱感知部分内の流体は、水平方向に流れて、前記熱センサ管が加熱されたとき、前記熱感知部分における熱サイフォンを実質的に防止し、
　前記熱センサ管の２つの脚部により発生された対流力が打消されるように構成され、
　前記熱センサ管が加熱され、流体がその加熱された熱センサ管内を流れるとき、前記熱センサ管の熱感知部分の直線部分に沿った少なくとも２つの位置間の温度差を測定する温度測定システムをさらに備え、
　前記温度測定システムは、１対の熱感受性の抵抗要素の各々が抵抗要素の温度の関数として変化する抵抗を有する１対の熱感受性の抵抗要素と、抵抗要素の各々の抵抗を測定することにより抵抗要素の各々の温度を決定するよう構成された装置とを備える、熱式質量流量計。」
　
５　当審の判断
　上記補正により、熱式質量流量計が「鉛直方向に向けて取り付けられる」ときに、導管内の流体は主流路に沿って「鉛直方向に流れ」、熱センサ管の熱感知部分内の流体が水平方向に流れることが明確になり、また、本願特許請求の範囲における「主流路から熱感知部分までの経路は全体的に、実質的に水平であり」との記載を削除し、これに代えて、図３に示すように、「熱式質量流量計が鉛直方向に向けて取り付けられ、導管内の流体が主流路に沿って鉛直方向に流れるとき」に、熱感知部分が全体的に、実質的に水平であることが明確になったことから、当審拒絶理由は解消した。
　そこで、原査定の拒絶の理由について以下で検討する
　
（１）引用例に記載された事項 
 　引用例には、「THERMAL　MASS　FLOW　SENSOR」（熱式質量流量計（発明の名称の当審訳））に関し、次の事項（ａ）ないし（ｆ）が図面とともに記載されている。なお、原文の引用の後に当審訳を記載する。また、行位置の特定は、各頁中央に付された行番号を基準にする。 
　
（ａ）第１欄６１行から第２欄２行まで
「Specifically such sensors include a small diameter tube with a centrally heated region and means for sensing the temperature of the heated region at a pair of points along the tube. A flow of fluid such as gas through the heated region lowers the temperature of the upstream portion of the heated region and raises the temperature of the downstream portion of the heated region. The temperature differential results in a change in the signal, typically from a bridge including windings positioned about the heated region of the tube. 」
「具体的には、そのようなセンサは、セントラルヒーティング領域を備えた小口径管、および管に沿った一対の点で加熱領域の温度を感知する手段を含む。加熱領域を通るガスなどの
流体の流量は、加熱領域の上流部分の温度を低下させ、加熱領域の下流部分の温度を上昇させる。その温度差は、
管の加熱領域の周りに配置された巻線を含むブリッジからの信号の変化を生じさせる
　
（ｂ）第３欄２９行から３６行まで
「A thermally responsive winding is wound about a straight section of the sensor tube and may be energized from a source of electrical energy both to heat that section above ambient temperature and to effectively measure the resistance of the windings. The resistance of the thermally responsive winding changes with changes in rates of flow of gas through the sensor tube. 」
「
熱応答性巻線は、
周囲温度を超える部分を加熱し、かつ効果的に巻線の抵抗を測定する電気エネルギー源から通電することができる。センサ管を通るガス流の速度が変化するにつれて、熱応答性巻線の抵抗値が変化する
　
（ｃ）第４欄５８行から６２行まで
「The flow restricter 26 provides a pressure drop so that a portion of the gas 22 flowing into the mass flow controller 10 is fed to the thermal mass flow sensor 16 for the measurement of the flow rate thereby.」
「フローリストリクタ26は、圧力降下を与え、質量流量コントローラ10に流れ込むガスの一部を、流量測定のため熱質量流量センサ16に供給する。」
　
（ｄ）第７欄２４行から第８欄２行まで
「Referring now to FIG. 8, a still further alternative embodiment of the present invention is shown therein. A thermal mass flow controller 400 comprising a thermal mass flow meter 402 and a valve 404 is shown therein. The thermal mass flow meter includes a thermal mass flow sensor 405 which is coupled to receive a portion of a flow of gas from a bypass or bypass flow path 406 having a gas inlet 408 and a gas outlet 410. It may be appreciated that the thermal mass flow controller 400 in operation is positioned with the bypass flow path 406 positioned substantially vertically and with a flow 412 of gas or vapor therethrough moving along a vertical line from an upper portion of the thermal mass flow controller to a lower portion of the thermal mass flow controller 400. The bypass 406 includes an upstream portion 414, a flow restricter 416, and a downstream portion 418. The thermal mass flow sensor 405 has a unitary metal sensor tube 422, which includes a sensor inlet 424, a first convection trap 426, a second convection trap 428, and a sensor outlet 430. It may be appreciated that the first convection trap 426 is curved oppositely from the second convection trap 428. A thermally responsive heating sensing element or winding 434 having an upstream portion 436, a downstream portion 438, a center tap 440, a first tap 442, and a second tap 444 is wound about a portion of the second convection trap 428, more specifically a straight sensing leg 446 and alternatively comprises a part of the electrical bridge 140. The thermally responsive element 434 comprises a thermally responsive winding of thin wire having multiple turns wound around the straight sensor portion 446. It is preferentially cooled at its upstream portion 436 by a flow of gas therethrough and heated at its downstream portion 438 causing a voltage shift at tap 440. The upstream portion 436 and the downstream portion 438 are substituted for the windings 50 and 52 of circuit 80, all other portions of circuit are the same. The voltage or flow signal is received by the circuitry 80 shown in FIG. 7 which has been described in detail above. The sensor tube 422 is embedded in a plastic base 450 which, in the alternative, may be metal. The plastic base 450 has a rectangular base plate 452 and an integrally formed pedestal portion 454. A can or overcap 456 prevents the perturbation of the windings 434 and 436 by extraneous and unwanted external convection currents.」
「
図８を参照すると、本発明のさらに別の実施形態がそこに示されている。熱式質量流量計402および弁404を含む熱式質量流量制御装置400がそこに示されている
熱式質量流量計は、ガス入口408およびガス出口410を有するバイパスまたはバイパス流路406から排出されるガスの流れの一部を受容するように接続されている熱式質量流量センサ405を含む
バイパス406は、上流部414、フローリストリクタ416、および下流部418を含む
熱質量流量センサ405は、センサ入口424、第1対流トラップ426、第2対流トラップ428およびセンサ出口430を含む単一の金属センサ管422を有している
熱応答性要素434は、直線検知部446の周りに複数回巻かれた細線の熱応答性巻線を含む。
電圧または流量信号は、
回路80によって受信される
センサ管422は、代替的に金属であってもよいプラスチックベース450に埋め込まれている
長方形のベース板452
　
（ｅ）第８欄３行から６５行まで
「More specifically, the sensor tube 422 comprises multiple portions including the inlet 424 and the outlet 430 described above. The inlet 424 and the outlet 430 define a line substantially parallel with the bypass flow path 406. Connected to the inlet 424 is an inlet leg 460 having a thermal spacing portion 462 and a heat transfer portion 464. The heat transfer portion includes a 90 bend 465 coupled to the inlet 424. A straight leg 465a is connected to the bend 465. A 90° bend 465b is connected to the leg 465a. The thermal spacing portion 462 includes a 180° bend 465c connected to the portion 465b. A straight portion 465d is connected to the 180° bend 465c. A 90° bend 465e is connected to the straight portion 465d. A straight portion 465f is connected to the bend 465e and is parallel with the portion 465a. A 90° bend 465g is connected to the straight portion 465 f. The straight sensing leg 446 is formed integrally with the inlet leg 426, more specifically the bend 465g of the inlet leg 426, and an outlet leg 470. The outlet leg 470 has a thermal spacing portion 472 and an outlet leg heat transfer portion 474 formed integrally with the straight sensing portion 446. The outlet leg thermal spacer portion includes a 90° bend 472a, a straight portion 472b and a 90° bend 472c. The inlet leg heat transfer portion 464 and the outlet leg heat transfer portion 474 are coupled by an isothermal means comprising a heat conductive winding 476 which holds the inlet leg heat transfer portion 464 and the outlet leg heat transfer portion 474 tightly together in good thermal conduction, the winding 476 comprises an isothermal means for coupling the inlet leg heat transfer portion 464 and the outlet leg heat transfer portion in substantial thermal equilibrium i.e., at the same temperature. Alternatively, the inlet leg heat transfer portion 464 and the outlet leg heat transfer portion 474 tube may be held in intimate thermal contact for good thermal conduction by solder, braze or cement. This holds the heat transfer portions 464 and 474 at a relatively low temperature substantially equal to the temperature of the gas in the upstream portion of the bypass, while the straight sensing leg 446 and the gas therein is at a higher temperature due to heating by electric current fed through thermally responsive element 434 wound about the straight sensing leg 446. This allows the gas in the straight sensing leg 446 to remain substantially stratified therein by density as when the heated gas flows down the thermal spacer leg 472, it cools increasing its density, so that the least dense gas is always trapped at the upper portion of the U defined by the inlet leg 460, the straight sensing leg 446 and the outlet leg 470, thereby preventing convective flow through the sensor tube 434 and causing the sensor tube 434 to remain substantially convectively stable. The output leads 442, 440 and 444 are connected to the circuit 500 which is identical with the circuit 80 shown in FIG. 7 and which drives the valve 404 in the identical manner in which the circuit 80 drives the valve 14.
　The instant thermal mass flow sensor 405 thus provides a high stability sensor with substantial thermal symmetry at zero flow rate which allows the mass flow meter to have its bypass flow path 406 positioned in a substantially vertical direction while avoiding perturbation of the readings through the flow sensor by induced convective flow as may occur with the prior art.」
「より具体的には、
センサ管422は前記入口424および出口430を含む複数の部分で構成される。入口424および出口430は、バイパス流路406と実質的に平行な線を定義する
直線検知脚446およびその内部のガスは、直線検知脚446の周りに巻かれた熱応答性要素434を通って供給される電流によって加熱されるため、高温である。これにより、加熱されたガスが熱間隔脚472を流下する際、最も密度の低いガスが入口脚460、直線検知脚446および出口脚470によって定義されるUの上部に常に閉じ込められるように、前記ガスは密度を高めながら冷却されるため、直線検知脚446のガスは実質的に層状でその内部に残ることが可能になる。それによって、センサ管434を通る対流を防止し、かつセンサ管434が実質的に対流的に安定して残るようにする
　瞬間熱式質量流量センサ405は、このようにゼロ流量で相当な熱対称性を有する安定性の高いセンサを備え、それにより、先行技術で発生する可能性のある、誘起される対流に起因する流量センサを介した測定値の摂動を回避しながら、質量流量計が実質的に
鉛直方向に配置されたバイパス流路406
　
（ｆ）摘記事項（ｄ）、（ｅ）とともに、図８には、次の事項が示されている。
　　センサ管422は、バイパス流路406に垂直な方向であって、プラスチックベース450に垂直に埋め込まれて取り付けられている。
　　センサ入口424は、バイパス流路の上流部414に位置している。
　　センサ出口430は、下流部418に位置ししている。
　　センサ入口424及びセンサ出口430は、それぞれ複数の屈曲部を有する入口脚 460及び出口脚 470と接続され、入口脚 460及び出口脚 470の間に直線検知脚446が水平に配置されている。
　　プラスチックベース450の長方形のベース板452の一面とバイパスは接している。　
　
（２）引用例に記載された発明(引用発明）
　ア
　前記（ｄ）の「図8を参照すると、本発明のさらに別の実施形態がそこに示されている。熱式質量流量計402および弁404を含む熱式質量流量制御装置400がそこに示されている」との記載から、引用例には、「熱式質量流量計402」の発明が記載されている。
　イ
　前記（ｄ）の記載から、「バイパス406は、上流部414、フローリストリクタ416、および下流部418を含む」ものであるということができる。
　ウ
　図８及び前記（ｅ）の「鉛直方向に配置されたバイパス流路406」との記載から、
「バイパスは、鉛直方向に配置されたバイパス流路406を形成し」ているということができる。
　エ
　前記（ｄ）の記載から、「熱式質量流量計は、ガス入口408およびガス出口410を有するバイパスまたはバイパス流路406から排出されるガスの流れの一部を受容するように接続されている熱式質量流量センサ405を含」むものであるということができる。
　オ
　前記（ｄ）の記載から、「熱質量流量センサ405は、センサ入口424、第1対流トラップ426、第2対流トラップ428およびセンサ出口430を含む単一の金属センサ管422を有し」ているということができる。
　カ
　図８及び前記（ｄ）の記載から、「センサ管422は、バイパス流路406に垂直な方向であって、プラスチック又は金属のベースに垂直に埋め込まれ取り付けられ」ているということができる。
　キ
　図８（前記（ｆ））及び前記（ｄ）の記載から、「前記ベースの長方形のベース板452の一面とバイパスは接している」ということができる。
　ク
　前記（ｅ）の記載から、「センサ管422は前記センサ入口424およびセンサ出口430を含む複数の部分で構成され、入口424および出口430は、バイパス流路406と実質的に平行な線を定義し」ているということができる。
　ケ
　図８（前記（ｆ））及び前記（ｅ）の記載から、
「センサ入口424は、バイパス流路の上流部414に位置し、センサ出口430は、下流部418に位置し、
センサ入口424及びセンサ出口430は、それぞれ複数の屈曲部を有する入口脚 460及び出口脚 470と接続され、
入口脚 460及び出口脚 470の間に直線検知脚446が水平に配置され」ているということができる。
　コ
　前記（ｄ）の「熱応答性要素434は、直線検知部446の周りに複数回巻かれた細線の熱応答性巻線を含む。」との記載、及び前記（ｂ）、（ａ）の記載から、
「熱応答性要素434は、直線検知部446の周りに複数回巻かれた細線の熱応答性巻線を含み、熱応答性巻線は、周囲温度を超える部分を加熱し、かつ効果的に巻線の抵抗を測定する電気エネルギー源から通電することができ、センサ管を通るガス流の速度が変化するにつれて、熱応答性巻線の抵抗値が変化するものであり、流体の流量は、加熱領域の上流部分の温度を低下させ、加熱領域の下流部分の温度を上昇させ、その温度差は、管の加熱領域の周りに配置された巻線を含むブリッジからの信号の変化を生じさせる」ものであるということができる。
　サ
　前記（ｅ）の記載から、
「直線検知脚446及びその内部のガスは、直線検知脚446の周りに巻かれた熱応答性要素434を通って供給される電流によって加熱されるため、高温であり、これにより、加熱されたガスが熱間隔脚472を流下する際、最も密度の低いガスが入口脚460、直線検知脚446および出口脚470によって定義されるUの上部に常に閉じ込められるように、前記ガスは密度を高めながら冷却されるため、直線検知脚446のガスは実質的に層状でその内部に残ることが可能になり、それによって、センサ管434を通る対流を防止し、かつセンサ管434が実質的に対流的に安定して残るようにする」ものであるということができる。
　
　以上のことを踏まえて、上記アないしサ及び図８に示された事項を総合勘案すると、引用例には、次の発明が記載されているものと認められる。　
　
「熱式質量流量計であって、
　バイパス406は、上流部414、フローリストリクタ416、および下流部418を含み、
　バイパスは、鉛直方向に配置されたバイパス流路406を形成し、
　熱式質量流量計は、ガス入口408およびガス出口410を有するバイパスまたはバイパス流路406から排出されるガスの流れの一部を受容するように接続されている熱式質量流量センサ405を含み、
　熱質量流量センサ405は、センサ入口424、第1対流トラップ426、第2対流トラップ428およびセンサ出口430を含む単一の金属センサ管422を有し、
　センサ管422は、バイパス流路406に垂直な方向であって、プラスチック又は金属のベースに垂直に埋め込まれ取り付けられ、
　前記ベースの長方形のベース板452の一面とバイパスは接しており、
　センサ管422は、前記センサ入口424およびセンサ出口430を含む複数の部分で構成され、入口424および出口430は、バイパス流路406と実質的に平行な線を定義し、
　センサ入口424は、バイパス流路の上流部414に位置し、センサ出口430は、下流部418に位置し、
　センサ入口424及びセンサ出口430は、それぞれ複数の屈曲部を有する入口脚 460及び出口脚 470と接続され、
　入口脚 460及び出口脚 470の間に直線検知脚446が水平に配置され、
　熱応答性要素434は、直線検知部446の周りに複数回巻かれた細線の熱応答性巻線を含み、熱応答性巻線は、周囲温度を超える部分を加熱し、かつ効果的に巻線の抵抗を測定する電気エネルギー源から通電することができ、センサ管を通るガス流の速度が変化するにつれて、熱応答性巻線の抵抗値が変化するものであり、流体の流量は、加熱領域の上流部分の温度を低下させ、加熱領域の下流部分の温度を上昇させ、その温度差は、管の加熱領域の周りに配置された巻線を含むブリッジからの信号の変化を生じさせるものであり、
　直線検知脚446及びその内部のガスは、直線検知脚446の周りに巻かれた熱応答性要素434を通って供給される電流によって加熱されるため、高温であり、これにより、加熱されたガスが熱間隔脚472を流下する際、最も密度の低いガスが入口脚460、直線検知脚446および出口脚470によって定義されるUの上部に常に閉じ込められるように、前記ガスは密度を高めながら冷却されるため、直線検知脚446のガスは実質的に層状でその内部に残ることが可能になり、それによって、センサ管434を通る対流を防止し、かつセンサ管434が実質的に対流的に安定して残るようにするものである、
熱式質量流量計。」
（以下、「引用発明」という。）
　
（３）対比 
　本願発明と引用発明とを対比すると、以下のとおりである。
　ア
　引用発明の「熱式質量流量計」は、本願発明の「流体の流量を測定する熱式質量流量計」に相当するといえる。
　イ
　引用発明において、「ガス入口408およびガス出口410を有するバイパス」は、「鉛直方向に配置されたバイパス流路406を形成し」、「バイパスまたはバイパス流路406から排出されるガスの流れの一部を受容するように」バイパスに対して、熱式質量流量センサ405が接続されているものであり、熱式質量流量センサは、ベース板452の一面でバイパスと接している。
　ここで、引用発明の「バイパス流路」は、本願発明の「主流路」に相当し、ベース板452の一面と接しているバイパスの面は、熱式質量流量センサを取り付ける面であり、本願発明の「センサ受け入れ面」に相当する。
　してみると、引用発明の「バイパス」は、本願発明における「流体を受け入れ且つ、導管の入口と出口との間の主流路を画成する形態とされた導管であって、少なくとも一部分、センサ受け入れ面との境を画成する前記導管」に相当するといえる。
　ウ
　引用発明において、「センサ管422は、前記センサ入口424およびセンサ出口430を含む複数の部分で構成され、入口424および出口430は、バイパス流路406と実質的に平行な線を定義し」ているから、センサ管422は、バイパス流路406と平行な面上に存在するものである。また、「センサ管422は、バイパス流路406に垂直な方向であって、プラスチック又は金属のベースに垂直に埋め込まれ取り付けられ」ているものである。さらに、センサ管422の一部である「直線検知部446の周りに複数回巻かれた細線の熱応答性巻線を含」むものである。
　ここで、「センサ管422は」、「ベースに垂直に埋め込まれ取り付けられ」るということは、ベース板の一面と接するバイパスの面、つまりセンサ受け入れ面と垂直であることを意味するものである。
　してみると、引用発明の「センサ管422」は、本願発明における「前記主流路と実質的に同一平面に設けられ、前記主流路及び前記センサ受け入れ面の双方に対し実質的に鉛直方向に向けて前記センサ受け入れ面に対して取り付けられた熱感知部分を有する熱センサ管」に相当するといえる。
　エ
　引用発明において、「センサ管422は、バイパス流路406に垂直な方向であって、プラスチック又は金属のベースに垂直に埋め込まれ取り付けられ」ているものである。よって、ベースには、センサ管が貫通する複数の開口が存在しているといえる。また、ベースは、バイパスに対してセンサ管422を支持及び固定しているものである。
　また、引用発明において、「センサ入口424は、バイパス流路の上流部414に位置し、センサ出口430は、下流部418に位置し」ている。ここで、センサ出口430は、フローリストリクタ416の下流部418に位置するものであるが、引用例の「フローリストリクタ26は、圧力降下を与え、質量流量コントローラ10に流れ込むガスの一部を、流量測定のため熱質量流量センサ16に供給する。」（上記（１）（ｃ））との記載を考慮すると、引用発明の「フローリストリクタ」は、本願発明の「バイパス」（本願明細書「【００１１】・・・バイパス１３０は、熱質量流量組立体を通って入り来る流体の比較的僅かな部分を流し得るよう主流れ通路１２４にわたって圧力降下させる圧力降下バイパスとすることができる。」）に相当するものである。
　してみると、引用発明において、「センサ出口430は、フローリストリクタ416の下流部418に位置する」ことは、本願発明において、「バイパスに対して下流の位置にて前記主流路に再度入るのを許容する形態」であることを意味し、引用発明の「プラスチック又は金属のベース」は、本願発明における「前記熱センサ管を前記導管上に支持及び固定する形態とされ、１つ又はより多くの開口を含む支持要素であって、該開口は、流体が前記熱センサ管を通過し且つバイパスに対して下流の位置にて前記主流路に再度入るのを許容する形態とされた、支持要素」に相当するといえる。
　オ
　引用発明の「熱式質量流量計」は、「鉛直方向に配置されたバイパス流路406を形成し」、「バイパス流路406から排出されるガスの流れの一部を受容するように接続されている熱式質量流量センサ405を含む」ものであるから、「熱式質量流量計」は、鉛直方向に流れる流体の流量を測定するために取り付けられたものである。
　また、引用発明において、「直線検知部446の周りに複数回巻かれた細線の熱応答性巻線」は、熱を感知するものである。そして、引用発明の熱応答性巻線が巻かれた「直線検知部446」は、本願発明の「熱感知部分」に相当する。
　そして、引用発明の「直線検知部446」又は「直線検知脚446」は、「水平に配置され」ているものであるから、引用発明は、本願発明における「前記熱式質量流量計が鉛直方向に向けて取り付けられ、前記導管内の流体が前記主流路に沿って鉛直方向に流れるとき、前記熱感知部分は全体的に、実質的に水平であり」とする構成を備えているといえる。
　カ
　引用発明の「直線検知脚446及びその内部のガスは、直線検知脚446の周りに巻かれた熱応答性要素434を通って供給される電流によって加熱されるため、高温であり、これにより、加熱されたガスが熱間隔脚472を流下する際、最も密度の低いガスが入口脚460、直線検知脚446および出口脚470によって定義されるUの上部に常に閉じ込められるように、前記ガスは密度を高めながら冷却されるため、直線検知脚446のガスは実質的に層状でその内部に残ることが可能になり、それによって、センサ管434を通る対流を防止し、かつセンサ管434が実質的に対流的に安定して残るようにするものである」ことは、本願発明の「前記熱センサ管の熱感知部分内の流体は、水平方向に流れて、前記熱センサ管が加熱されたとき、前記熱感知部分における熱サイフォンを実質的に防止し、前記熱センサ管の２つの脚部により発生された対流力が打消されるように構成され」ることに相当するといえる。
　キ
　引用発明における「直線検知脚446及びその内部のガスは、直線検知脚446の周りに巻かれた熱応答性要素434を通って供給される電流によって加熱される」こと、及び「流体の流量は、加熱領域の上流部分の温度を低下させ、加熱領域の下流部分の温度を上昇させ、その温度差は、管の加熱領域の周りに配置された巻線を含むブリッジからの信号の変化を生じさせる」ことと、本願発明における「前記熱センサ管が加熱され、流体がその加熱された熱センサ管内を流れるとき、前記熱センサ管の熱感知部分の直線部分に沿った少なくとも２つの位置間の温度差を測定する温度測定システムをさらに備え」ることとは、共に、「前記熱センサ管が加熱され、流体がその加熱された熱センサ管内を流れるとき、前記熱センサ管の熱感知部分の直線部分に沿った少なくとも２つの位置間の温度差による出力を得る装置をさらに備え」る点で共通している。
　
　してみると、両者の一致点、相違点は、以下のとおりである。
 （一致点） 
 「流体の流量を測定する熱式質量流量計において、
　流体を受け入れ且つ、導管の入口と出口との間の主流路を画成する形態とされた導管であって、少なくとも一部分、センサ受け入れ面との境を画成する前記導管と、
　前記主流路と実質的に同一平面に設けられ、前記主流路及び前記センサ受け入れ面の双方に対し実質的に垂直方向に向けて前記センサ受け入れ面に対して取り付けられた熱感知部分を有する熱センサ管と、
　前記熱センサ管を前記導管上に支持及び固定する形態とされ、１つ又はより多くの開口を含む支持要素であって、該開口は、流体が前記熱センサ管を通過し且つバイパスに対して下流の位置にて前記主流路に再度入るのを許容する形態とされた、支持要素と、
を備え、
　前記熱式質量流量計が鉛直方向に向けて取り付けられ、前記導管内の流体が前記主流路に沿って鉛直方向に流れるとき、前記熱感知部分は全体的に、実質的に水平であり、前記熱センサ管の熱感知部分内の流体は、水平方向に流れて、前記熱センサ管が加熱されたとき、前記熱感知部分における熱サイフォンを実質的に防止し、
　前記熱センサ管の２つの脚部により発生された対流力が打消されるように構成され、
　前記熱センサ管が加熱され、流体がその加熱された熱センサ管内を流れるとき、前記熱センサ管の熱感知部分の直線部分に沿った少なくとも２つの位置間の温度差による出力を得る装置をさらに備える、
熱式質量流量計。」
　
（相違点１）
　本願発明においては、「１対の熱感受性の抵抗要素の各々が抵抗要素の温度の関数として変化する抵抗を有する１対の熱感受性の抵抗要素と、抵抗要素の各々の抵抗を測定することにより抵抗要素の各々の温度を決定するよう構成された装置」である「温度測定システム」によって２つの位置間の温度差を測定するのに対し、引用発明においては、「センサ管を通るガス流の速度が変化するにつれて、熱応答性巻線の抵抗値が変化するものであり、流体の流量は、加熱領域の上流部分の温度を低下させ、加熱領域の下流部分の温度を上昇させ、その温度差は、通常は管の加熱領域の周りに配置された巻線を含むブリッジからの信号の変化を生じさせる」ものであるから、引用発明においても上流部分と下流部分の１対の熱感受性の抵抗要素の各々が抵抗要素の温度の関数として変化する抵抗を有する１対の熱感受性の抵抗要素を用いて温度差による出力をしているといえるものの、抵抗要素の各々の抵抗を測定することにより抵抗要素の各々の温度を決定するようにしていない点。
　
（４）判断
　上記相違点１について検討する。
　熱式質量流量計とは、毛細管に抵抗温度係数が大きい抵抗体を上流側、下流側に巻き付け、これに電流を流すことにより、２つの抵抗体は発熱し、このとき毛細管の内部に流体が流れない状態であると、上流、下流ともに同じ温度でバランスするが、流れがあると、上流側は流体により熱を奪われ、逆に下流側には上流側から奪われた熱が与えられることになり、上流側の温度と下流側の温度の間に差が生じるという現象を用い、温度差から流量を求めることを測定原理とするものである。
　そこで、引用例に記載された「熱応答性要素」から、測定原理のとおり温度を測定し、上流部分の温度と下流部分の温度の「温度差」を求めるようにすることは、当業者にとって困難なことではない。
　してみると、引用発明における、温度差により信号の変化を生じさせる構成を、本願発明のように、抵抗要素の各々の抵抗を測定することにより抵抗要素の各々の温度を決定するよう構成された装置である「温度測定システム」によって２つの位置間の温度差を測定するようにすることは、当業者が容易に想到し得ることである。
　
（５）　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された引用発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願の他の請求項に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。