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　平成１０年特許願第３３３５２５号「アレイ導波路回折格子の製造方法」拒絶査定に対する審判事件［平成１２年　６月１６日出願公開、特開２０００−１６２４５３］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成１０年１１月２５日の出願であって、その請求項１ないし１３に係る発明は、明細書の特許請求の範囲に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、次のとおりである。
「石英系アレイ導波路回折格子の少なくとも各アレイ導波路の部分の上層クラディング上に紫外線を透過しない、アルミニウム膜からなるマスク材を成膜する第１の過程と、
　前記各アレイ導波路毎に所望の光路長に応じた長さの窓を前記マスク材に形成する第２の過程と、
　前記窓を介して前記各アレイ導波路に紫外線を照射し、紫外線を照射した部分の屈折率を上昇させることにより光路長を調整する第３の過程と、
　を有することを特徴とするアレイ導波路回折格子の製造方法。」
　
２．引用例
　これに対して、原査定の拒絶理由に引用された特開平６−３０８５４６号公報（以下、「引用例」という。）には、次の記載がある。
「【特許請求の範囲】【請求項１】基板上に形成されたコア及びクラッドからなる光導波路で構成される光回路の特性調整方法であって、
　前記光導波路に室温で水素を含浸させる工程と、前記光導波路に熱処理を行う工程と、
　前記光導波路に局部的に可視光又は紫外光を照射する工程とを備えたことを特徴とする光回路の特性調整方法。」
「【０００１】【産業上の利用分野】本発明は、基板上に形成された光導波路で構成される光回路の特性を調整する方法に関するものである。
 【０００２】【従来の技術】石英ガラス基板やシリコン基板上に形成可能な石英系光導波路は、損失が低い、安定性が高い、加工性が良い、石英系光ファイバとの整合性が良い等の特徴があるため、光合分波回路等の実用的な光回路を構成する上で非常に有用であることが知られている。最近、前述した特徴を活かして、より高機能化高集積化した平面型光回路の作製が進められているが、その中で、光の位相を利用した光回路は電子回路では実現しにくい回路を可能にするため、重要性が高い。
 【０００３】石英系光導波路では、シリコン基板上にアンダークラッド層堆積→コア層堆積→コアエッチング→オーバークラッド層堆積という作製プロセスを施すことによりコア・クラッド構造が形成されるが、光の位相を利用した高機能化高集積化光回路において、光の位相は導波路の屈折率と伝搬長（光路長）に依存するので、作製上の微小な屈折率や導波路形状の変動及び導波路にかかる応力が素子特性に大きく影響する。従って、高機能化高集積化光回路において生産性を向上させるためには、作製上の微小な変動等を修正する必要があり、局部的な屈折率の制御を可能とする光回路の特性調整方法の実現が望まれていた。
 【０００４】前述した平面型光回路を構成する重要な要素である、マッハ・ツェンダ（Mach-Zehnder：ＭＺ）干渉計を一例として挙げ、以下に局部的な屈折率制御の重要性について述べる。ＭＺ干渉計は光スイッチや光分波器を構成する上で欠かすことのできない部品であり、図２にその一例を示す。」
「【００１７】図１は本発明の第１の実施例を示すもので、ここでは光誘起屈折率変化の敏感性向上処理を行った後、石英系光導波路においてエキシマレーザによりＭＺ干渉計の特性を調節した例を示す。
 【００１８】図２において、１０はＭＺ干渉計であり、シリコン基板１１上に形成された２つの方向性結合器１２ａ，１２ｂ及びこれらを結ぶ２本の光導波路１３ａ，１３ｂからなっている。また、２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄは２本の光導波路１３ａ，１３ｂの両端に接続された光ファイバ、２２は遮蔽用の金属膜、２３はＫｒＦエキシマレーザ、２４はミラー、２５はレンズ、２６はシリンドリカルレンズである。」
「【００２０】以下、本発明方法を説明する。
 【００２１】まず、通常の方法でシリコン基板１１上にＧｅＯ2添加石英系ガラス導波路型のＭＺ干渉計１０を作製した。ここで、導波路のコアは矩形とし、サイズは７×７μｍとした。また、コアとクラッドとの屈折率差は0.75％とした。方向性結合器１２ａ，１２ｂでは結合率が波長1.3μｍでほぼ５０％になるようにした。
 【００２２】前記作製したＭＺ干渉計１０を、図３に示すようなＨ2ガス高圧封入容器に入れ、水素ガス圧力を５気圧に設定し、水素の含浸を約２４時間行った。なお、図３において、２７は容器、２８は水素ガス供給系、２９は圧力ゲージ、３０はリーク用バルブである。続いて、水素を含浸させたＭＺ干渉計１０を、電気炉によって200℃で約２４時間アニーリングを行い、光誘起屈折率変化の敏感性向上処理を行った。
 【００２３】前述した処理を行った導波路型ＭＺ干渉計１０にＫｒＦエキシマレーザ２３より、ミラー２４、レンズ２５及びシリンドリカルレンズ２６を介して、波長248ｎｍの紫外レーザ光を照射し、照射前後の特性変化を調べた。レーザ光はＭＺ干渉計１０の上部より、金属膜２２で覆われていない部分を照射した。従って、該レーザ光は光導波路１３ａの一部分だけに屈折率変化を誘起することになる。この際、ＫｒＦエキシマレーザ２３の照射パワーは100ｍＪ／ｃｍ2・pulse、パルス繰り返し周波数は５Ｈｚ、照射時間は２分間とした。」
　なお、上記「屈折率変化」は、段落【０００９】の「また、光導波路の屈折率制御に関する類似の報告として、光ファイバの屈折率の変化に関するものがある（例えば、Opt.Lett.,vol.15,1990,B.Molo,etal.,pp953-955参照）。これによれば、ＧｅＯ2添加石英系光ファイバにおいて紫外線照射によりコアの屈折率が３×１０-5だけ変化することが観測されている。」との記載から、レーザ光の照射により屈折率が上昇するものであると認められる。                           　
　上記記載によれば、引用例には、「基板上に形成された石英系光導波路で構成される光回路の特性調整方法であって、前記石英系光導波路のオーバークラッド層上に遮蔽用の金属膜を設け、前記金属膜で覆われていない部分に紫外光を照射することにより、前記石英系光導波路の屈折率を局部的に上昇させる光回路特性の調整方法。」の発明が記載されているものと認められる。
　
３．対比
　本願発明と引用例に記載された発明（以下、「引用発明」という。）を比較するに、本願発明の「石英系アレイ導波路回折格子」は「石英系光導波路で構成される光回路」であり、また、引用発明の「オーバークラッド層」、「遮蔽用の金属膜」及び「金属膜で覆われていない部分」は、それぞれ本願発明の「上層クラディング」、「マスク材」及び「窓」に対応しており、また、引用発明の「光導波路の屈折率を局部的に上昇させる光回路特性の調整」は、本願発明の「紫外線を照射した部分の屈折率を上昇させることにより光路長を調整」することに対応するから、両者はともに
「石英系光導波路で構成される光回路の少なくとも導波路の部分の上層クラディング上に紫外線を透過しない、窓が形成されたマスク材を成膜する過程と、
　前記窓を介して前記導波路に紫外線を照射し、紫外線を照射した部分の屈折率を上昇させることにより光路長を調整する過程と、
　を有する石英系光導波路で構成される光回路の製造方法。」の発明である点で一致する。
　一方、次の点で相違する。
ａ．「石英系光導波路で構成される光回路」が本願発明では、「石英系アレイ導波路回折格子」であるのに対し、引用例では、マッハ・ツェンダ（Mach-Zehnder：ＭＺ）干渉計が例示されるにとどまり、石英系アレイ導波路回折格子については明記されていない点。
　したがって、「窓」についても、本願発明では「各アレイ導波路毎に所望の光路長に応じた長さの窓」とされているのに対し、引用例にはこのような記載がない点。
ｂ．「マスク材」について、本願発明では「アルミニウム膜」とされているのに対し、引用例では「遮蔽用の金属膜」と記載されているだけである点。
ｃ．「窓が形成されたマスク材を成膜する過程」について、本願発明では、マスク材を成膜する第１の過程と、窓を前記マスク材に形成する第２の過程とからなるのに対し、引用例には、窓の形成方法について記載されていない点。
　
４．相違点についての検討
　上記相違点ａについて検討する。
　引用例には、石英系光導波路で構成される光回路について、具体的にはＭＺ干渉計が記載されるだけであるが、これについては【０００４】段落に「前述した平面型光回路を構成する重要な要素である、マッハ・ツェンダ（Mach-Zehnder：ＭＺ）干渉計を一例として挙げ、以下に局部的な屈折率制御の重要性について述べる。」と記載されているようにあくまでも、「一例として挙げ」られているのであって、引用発明の「石英系光導波路で構成される光回路」がＭＺ干渉計に限られるものでないことは明らかである。
　そして、引用例には、石英系光導波路で構成される光回路について、【０００２】段落に「石英系光導波路は、…光合分波回路等の実用的な光回路を構成する上で非常に有用であることが知られている。最近、前述した特徴を活かして、より高機能化高集積化した平面型光回路の作製が進められている」、また、【０００３】段落に「光の位相を利用した高機能化高集積化光回路において、光の位相は導波路の屈折率と伝搬長（光路長）に依存するので、作製上の微小な屈折率や導波路形状の変動及び導波路にかかる応力が素子特性に大きく影響する。」と記載されており、引用例の光回路は、「光合分波回路等に用いられる光の位相を利用した高機能化高集積化光回路」であることが明らかである。
　一方、本件出願当時、光合分波回路等に用いられる光の位相を利用した高機能化高集積化光回路として、石英系アレイ導波路回折格子は、例えば、本願明細書において従来例として記載される特開平５−１５７９２０号公報、特開平５−３２３２４６号公報、特開平７−３３３４４６号公報、特開平９−７３０１８号公報等にみられるように周知であるから、引用発明の光回路として、前記周知の石英系アレイ導波路回折格子を想到することは当業者が容易になし得たものと認められる。
　そして、局部的な屈折率制御により石英系アレイ導波路回折格子の特性の調整を行うには、これを各導波路毎に行わねばならないことは、例えば、前記特開平７−３３３４４６号公報の図１や図９に示されるように当然の事項であるから、引用発明における光回路として周知の石英系アレイ導波路回折格子を採用した場合に、その遮蔽用金属膜に設ける窓を「各アレイ導波路毎に所望の光路長に応じた長さの窓」とすることは当然の事項である。
　
　次に上記相違点ｂについて検討する。
　紫外線遮蔽用の金属膜との記載に接した当業者がアルミニウム膜を想到することに格別の困難性を認めることができない。
　また、上記相違点ｃについて検討するに、窓が形成された金属膜を作成するに際し、金属膜を作成してからエッチング等により窓を形成するようになすことは、当業者が普通に採用しうる手段であると認められる。
　
　以上のとおりであって、本願発明は、上記引用例における光回路として周知の石英系アレイ導波路回折格子を採用し、また、上記引用例における紫外線遮蔽用の金属膜としてアルミニウム膜を採用することにより当業者が容易に発明できたものと認められる。
　
５．むすび
　したがって、本願発明は、上記引用例に記載された発明及び上記周知の技術事項に基いて当業者が容易に発明できたものと認められ、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるので、本願発明を特許すべきものとすることができない。
　よって、結論のとおり審決する。