(57)【要約】【課題】基材の表面の異なる２つの所定領域にそれぞれ接着剤に対する親和性と撥液性とを、容易かつ安価に付与し得る表面処理方法、かかる表面処理方法により処理が施された基板を備える液滴吐出ヘッドの製造方法、この製造方法により製造された液滴吐出ヘッド、信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】本発明の表面処理方法は、基材の表面の第１の領域に撥液性を、第１の領域と異なる第２の領域に接着剤に対する親和性を付与する表面処理方法であり、基材を用意する工程と、前記第１の領域に、撥液性を有する第１の官能基と、基材と結合する第１の反応性基とを有する第１の化合物を供給して、基材に第１の反応性基を結合させるとともに、前記第２の領域に、接着剤との親和性を有する第２の官能基と、基材と結合する第２の反応性基とを有する第２の化合物を供給して、基材に第２の反応性基を結合させる工程とを有する表面処理方法である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の表面の第１の領域に撥液性を、前記第１の領域と異なる第２の領域に接着剤に対する親和性を付与する表面処理方法であって、
前記基材を用意する第１の工程と、
前記基材の表面の前記第１の領域に、撥液性を有する第１の官能基と、前記基材と結合する第１の反応性基とを有する第１の化合物を供給して、前記基材に前記第１の反応性基を結合させるとともに、前記基材の表面の前記第２の領域に、接着剤との親和性を有する第２の官能基と、前記基材と結合する第２の反応性基とを有する第２の化合物を供給して、前記基材に前記第２の反応性基を結合させる第２の工程とを有することを特徴とする表面処理方法。
【請求項２】
前記第１の化合物は、前記第１の反応性基を複数有する請求項１に記載の表面処理方法。
【請求項３】
前記基材は、その表面において露出する水酸基を有し、
前記第１の反応性基は、加水分解基を含むものである請求項２に記載の表面処理方法。
【請求項４】
前記第２の化合物は、前記第２の反応性基を複数有する請求項１ないし３のいずれかに記載の表面処理方法。
【請求項５】
前記基材は、その表面において露出する水酸基を有し、
前記第２の反応性基は、加水分解基を含むものである請求項４に記載の表面処理方法。
【請求項６】
前記接着剤は、エポキシ系の接着剤であり、
前記第２の化合物は、前記第２の官能基として、アミノ基またはアゾール基を含むものである請求項１ないし５のいずれかに記載の表面処理方法。
【請求項７】
前記接着剤は、アクリル系の接着剤であり、
前記第２の化合物は、前記第２の官能基として、リン酸基を含む請求項１ないし５のいずれかに記載の表面処理方法。
【請求項８】
前記第２の工程において、前記第１の化合物を液相プロセスにより供給する請求項１ないし７のいずれかに記載の表面処理方法。
【請求項９】
前記第２の工程において、前記第２の化合物を液相プロセスにより供給する請求項１ないし８のいずれかに記載の表面処理方法。
【請求項１０】
前記第１の領域と前記第２の領域とが接しており、
前記第２の工程において、前記第１の領域に前記第１の化合物を供給して、前記第１の反応性基を前記基材に結合させた後、前記第２の領域に前記第２の化合物を供給する請求項１ないし９のいずれかに記載の表面処理方法。
【請求項１１】
前記第２の領域は、前記第１の領域を取り囲む領域である請求項１ないし１０のいずれかに記載の表面処理方法。
【請求項１２】
前記基材は、板状部材であり、
前記第２の領域は、前記板状部材の縁部に沿った領域であり、前記第１の領域は、前記第２の領域の内側の領域である請求項１１に記載の表面処理方法。
【請求項１３】
複数の孔が形成された第１の基板と、該第１の基板に接合され、液体を一時的に貯留する液体貯留空間を備える第２の基板と、前記液体貯留空間内に貯留された液体を前記孔から液滴として吐出させるための液滴吐出手段とを備えるヘッド本体と、該ヘッド本体の少なくとも一部を収納し、前記ヘッド本体を支持するケーシングと、各前記孔が露出する開口部を備え、前記ヘッド本体と前記ケーシングとの境界部を覆うように、前記ヘッド本体および前記ケーシングの双方に接合されたカバー部材とを有する液滴吐出ヘッドを製造する方法であって、
請求項１２に記載の表面処理方法により、前記第２の基板と反対側の面の縁部に沿った領域に対して接着剤に対する親和性を付与し、該接着剤に対する親和性を付与した領域より内側、かつ少なくとも前記カバー部材の前記開口部から露出する領域に対して撥液性を付与した前記第１の基板と、前記第２の基板と、前記液滴吐出手段とを接合して、前記ヘッド本体を得る工程と、
該ヘッド本体の少なくとも一部を前記ケーシングに収納し、該ケーシングと前記ヘッド本体との境界部を覆うように、前記ヘッド本体および前記ケーシングの双方に、接着剤により前記カバー部材を接合する工程とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１５】
請求項１４に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、基材にカップリング剤による表面処理を施すことにより、撥液性、親液性および反応性等の特性を基材に付与することが行われている（例えば、特許文献１）。
しかしながら、特許文献１に記載された方法では、カップリング剤による表面処理が基材全体に行われることから、この基材の所定領域に対して選択的に前記特性を付与することができない。
【０００３】
そのため、かかる方法を用いて所定領域に対して選択的に前記特性を付与する場合には、所定領域の形状に対応した開口部を備えるマスク（レジスト層）を前記基材の表面に形成した後、前記表面処理を施すことが、広く行われている。
具体的には、Ｉ：基材上にレジスト材料を塗布する。II：レジスト材料を露光・現像し、前記所定領域の形状に対応した開口部を備えるレジスト層を得る。III：レジスト層をマスクとして用いて、開口部内で露出する基材にカップリング剤による処理を施す。IV：マスクを除去する。これにより、所定領域に対して選択的に表面処理を施すことができる。
【０００４】
ところが、このような方法では、レジスト層の形成および除去に時間と手間とを要する。その結果、表面処理が完了するまでに長時間を要したり、コストが高くなる等の問題が生じる。
そして、このことは、例えば、インクジェット式記録ヘッドが備えるノズル板の表面に、撥液性および接着剤に対する親和性の２つの特性を付与する際に、特に大きな問題となっている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２４６７０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、基材の表面の異なる２つの所定領域に、それぞれ、接着剤に対する親和性と撥液性とを、容易かつ安価に付与し得る表面処理方法、かかる表面処理方法により処理が施された基板を備える液滴吐出ヘッドの製造方法、かかる液滴吐出ヘッドの製造方法により製造された液滴吐出ヘッドおよび、信頼性の高い液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の表面処理方法は、基材の表面の第１の領域に撥液性を、前記第１の領域と異なる第２の領域に接着剤に対する親和性を付与する表面処理方法であって、
前記基材を用意する第１の工程と、
前記基材の表面の前記第１の領域に、撥液性を有する第１の官能基と、前記基材と結合する第１の反応性基とを有する第１の化合物を供給して、前記基材に前記第１の反応性基を結合させるとともに、前記基材の表面の前記第２の領域に、接着剤との親和性を有する第２の官能基と、前記基材と結合する第２の反応性基とを有する第２の化合物を供給して、前記基材に前記第２の反応性基を結合させる第２の工程とを有することを特徴とする。
かかる表面処理方法によれば、基材の表面の異なる２つの所定領域に、それぞれ、接着剤に対する親和性と撥液性とを、容易かつ安価に付与することができる。
【０００８】
本発明の表面処理方法では、前記第１の化合物は、前記第１の反応性基を複数有することが好ましい。
これにより、第１の化合物と基材とを複数の第１の反応性基で結合することができ、第１の化合物の基材に対する密着性を向上させることができる。
本発明の表面処理方法では、前記基材は、その表面において露出する水酸基を有し、
前記第１の反応性基は、加水分解基を含むものであることが好ましい。
これにより、基材の他に、第１の反応性基同士間で結合を行うことができるため、第１の化合物によるネットワーク（網目状構造）を基材上に形成することができる。
【０００９】
本発明の表面処理方法では、前記第２の化合物は、前記第２の反応性基を複数有することが好ましい。
これにより、第２の化合物と基材とを複数の第２の反応性基で結合することができ、第２の化合物の基材に対する密着性を向上させることができる。
本発明の表面処理方法では、前記基材は、その表面において露出する水酸基を有し、
前記第２の反応性基は、加水分解基を含むものであることが好ましい。
これにより、基材の他に、第２の反応性基同士間で結合を行うことができるため、第２の化合物によるネットワーク（網目状構造）を基材上に形成することができる。
【００１０】
本発明の表面処理方法では、前記接着剤は、エポキシ系の接着剤であり、
前記第２の化合物は、前記第２の官能基として、アミノ基またはアゾール基を含むものであることが好ましい。
これらの基を含む官能基は、エポキシ系の接着剤に対して優れた親和性を有するものであることから、第２の化合物は、エポキシ系の接着剤で構成される接着剤層に対して優れた密着性を示すものとなる。
【００１１】
本発明の表面処理方法では、前記接着剤は、アクリル系の接着剤であり、
前記第２の化合物は、前記第２の官能基として、リン酸基を含むことが好ましい。
この基を含む官能基は、アクリル系の接着剤に対して優れた親和性を有するものであることから、第２の化合物は、アクリル系の接着剤で構成される接着剤層に対して優れた密着性を示すものとなる。
【００１２】
本発明の表面処理方法では、前記第２の工程において、前記第１の化合物を液相プロセスにより供給することが好ましい。
液相プロセスによれば、第１の化合物を含有する液状材料を調製し、この液状材料を第１の領域に供給するという比較的簡単な工程により、第１の化合物を基材の表面の第１の領域に確実に供給することができる。
【００１３】
本発明の表面処理方法では、前記第２の工程において、前記第２の化合物を液相プロセスにより供給することが好ましい。
液相プロセスによれば、第２の化合物を含有する液状材料を調製し、この液状材料を第２の領域に供給するという比較的簡単な工程により、第２の化合物を基材の表面の第２の領域に確実に供給することができる。
【００１４】
本発明の表面処理方法では、前記第１の領域と前記第２の領域とが接しており、
前記第２の工程において、前記第１の領域に前記第１の化合物を供給して、前記第１の反応性基を前記基材に結合させた後、前記第２の領域に前記第２の化合物を供給することが好ましい。
これにより、第１の領域に撥液性が付与された後に、第２の領域に接着剤に対する親和性が付与されることから、第１の領域の撥液性により第２の化合物が付着するのを好適に防止することができ、第１の領域と第２の領域との界面がより明確なものとなる。
本発明の表面処理方法では、前記第２の領域は、前記第１の領域を取り囲む領域であることが好ましい。
【００１５】
本発明の表面処理方法では、前記基材は、板状部材であり、
前記第２の領域は、前記板状部材の縁部に沿った領域であり、前記第１の領域は、前記第２の領域の内側の領域であることが好ましい。
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、複数の孔が形成された第１の基板と、該第１の基板に接合され、液体を一時的に貯留する液体貯留空間を備える第２の基板と、前記液体貯留空間内に貯留された液体を前記孔から液滴として吐出させるための液滴吐出手段とを備えるヘッド本体と、該ヘッド本体の少なくとも一部を収納し、前記ヘッド本体を支持するケーシングと、各前記孔が露出する開口部を備え、前記ヘッド本体と前記ケーシングとの境界部を覆うように、前記ヘッド本体および前記ケーシングの双方に接合されたカバー部材とを有する液滴吐出ヘッドを製造する方法であって、
本発明の表面処理方法により、前記第２の基板と反対側の面の縁部に沿った領域に対して接着剤に対する親和性を付与し、該接着剤に対する親和性を付与した領域より内側、かつ少なくとも前記カバー部材の前記開口部から露出する領域に対して撥液性を付与した前記第１の基板と、前記第２の基板と、前記液滴吐出手段とを接合して、前記ヘッド本体を得る工程と、
該ヘッド本体の少なくとも一部を前記ケーシングに収納し、該ケーシングと前記ヘッド本体との境界部を覆うように、前記ヘッド本体および前記ケーシングの双方に、接着剤により前記カバー部材を接合する工程とを有することを特徴とする。
これにより、ノズル孔から吐出されたインク滴を目的とする領域に確実に着弾させることができる液滴吐出ヘッドを製造することができるとともに、第１の基板が接着剤との密着性が低い材料で構成される場合であっても、第２の化合物を介して接着剤を第１の基板に固定して、接着剤により第１の基板にカバー部材を接合することができる。
【００１６】
本発明の液滴吐出ヘッドは、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造したことを特徴とする。
これにより、信頼性の高い液滴吐出ヘッドが得られる。
本発明の液滴吐出装置は、本発明の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い液滴吐出装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の表面処理方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜インクジェット式記録ヘッド＞
まず、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法をインクジェット式記録ヘッドの製造に適用した場合の実施形態について説明する。
【００１８】
図１は、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法を適用して得られたインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、図１に示すインクジェット式記録ヘッドの主要部の構成を示す断面図、図３は、図１に示すインクジェット式記録ヘッドを備えるインクジェットプリンタの実施形態を示す概略図である。なお、図１は、通常使用される状態とは、上下逆に示されている。
【００１９】
図１に示すインクジェット式記録ヘッド（本発明の液滴吐出ヘッド）１は、図３に示すようなインクジェットプリンタ（本発明の液滴吐出装置）９に搭載されている。
図３に示すインクジェットプリンタ９は、装置本体９２を備えており、上部後方に記録用紙Ｐを設置するトレイ９２１と、下部前方に記録用紙Ｐを排出する排紙口９２２と、上部面に操作パネル９７とが設けられている。
【００２０】
操作パネル９７は、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、ＬＥＤランプ等で構成され、エラーメッセージ等を表示する表示部（図示せず）と、各種スイッチ等で構成される操作部（図示せず）とを備えている。
また、装置本体９２の内部には、主に、往復動するヘッドユニット９３を備える印刷装置（印刷手段）９４と、記録用紙Ｐを１枚ずつ印刷装置９４に送り込む給紙装置（給紙手段）９５と、印刷装置９４および給紙装置９５を制御する制御部（制御手段）９６とを有している。
【００２１】
制御部９６の制御により、給紙装置９５は、記録用紙Ｐを一枚ずつ間欠送りする。この記録用紙Ｐは、ヘッドユニット９３の下部近傍を通過する。このとき、ヘッドユニット９３が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行なわれる。すなわち、ヘッドユニット９３の往復動と記録用紙Ｐの間欠送りとが、印刷における主走査および副走査となって、インクジェット方式の印刷が行なわれる。
印刷装置９４は、ヘッドユニット９３と、ヘッドユニット９３の駆動源となるキャリッジモータ９４１と、キャリッジモータ９４１の回転を受けて、ヘッドユニット９３を往復動させる往復動機構９４２とを備えている。
【００２２】
ヘッドユニット９３は、その下部に、多数のノズル孔１１１を備えるインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に「ヘッド１」と言う。）と、ヘッド１にインクを供給するインクカートリッジ９３１と、ヘッド１およびインクカートリッジ９３１を搭載したキャリッジ９３２とを有している。
なお、インクカートリッジ９３１として、イエロー、シアン、マゼンタ、ブラック（黒）の４色のインクを充填したものを用いることにより、フルカラー印刷が可能となる。
【００２３】
往復動機構９４２は、その両端をフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸９４３と、キャリッジガイド軸９４３と平行に延在するタイミングベルト９４４とを有している。
キャリッジ９３２は、キャリッジガイド軸９４３に往復動自在に支持されるとともに、タイミングベルト９４４の一部に固定されている。
【００２４】
キャリッジモータ９４１の作動により、プーリを介してタイミングベルト９４４を正逆走行させると、キャリッジガイド軸９４３に案内されて、ヘッドユニット９３が往復動する。そして、この往復動の際に、ヘッド１から適宜インクが吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。
給紙装置９５は、その駆動源となる給紙モータ９５１と、給紙モータ９５１の作動により回転する給紙ローラ９５２とを有している。
【００２５】
給紙ローラ９５２は、記録用紙Ｐの送り経路（記録用紙Ｐ）を挟んで上下に対向する従動ローラ９５２ａと駆動ローラ９５２ｂとで構成され、駆動ローラ９５２ｂは給紙モータ９５１に連結されている。これにより、給紙ローラ９５２は、トレイ９２１に設置した多数枚の記録用紙Ｐを、印刷装置９４に向かって１枚ずつ送り込めるようになっている。なお、トレイ９２１に代えて、記録用紙Ｐを収容する給紙カセットを着脱自在に装着し得るような構成であってもよい。
【００２６】
制御部９６は、例えばパーソナルコンピュータやディジタルカメラ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷装置９４や給紙装置９５等を制御することにより印刷を行うものである。
制御部９６は、いずれも図示しないが、主に、各部を制御する制御プログラム等を記憶するメモリ、圧電素子（振動源）１４を駆動して、インクの吐出タイミングを制御する圧電素子駆動回路、印刷装置９４（キャリッジモータ９４１）を駆動する駆動回路、給紙装置９５（給紙モータ９５１）を駆動する駆動回路、および、ホストコンピュータからの印刷データを入手する通信回路と、これらに電気的に接続され、各部での各種制御を行うＣＰＵとを備えている。
【００２７】
また、ＣＰＵには、例えば、インクカートリッジ９３１のインク残量、ヘッドユニット９３の位置等を検出可能な各種センサ等が、それぞれ電気的に接続されている。
制御部９６は、通信回路を介して、印刷データを入手してメモリに格納する。ＣＰＵは、この印刷データを処理して、この処理データおよび各種センサからの入力データに基づいて、各駆動回路に駆動信号を出力する。この駆動信号により圧電素子１４、印刷装置９４および給紙装置９５は、それぞれ作動する。これにより、記録用紙Ｐに印刷が行われる。
【００２８】
以下、ヘッド（本発明の液滴吐出ヘッド）１について、図１および図２を参照しつつ詳述する。
ヘッド１は、複数のノズル孔（孔）１１１が形成されたノズル板（第１の基板）１１と、各ノズル孔１１１に対応して配置され、インク（液体）を一時的に貯留するインク室（液体貯留空間）１２１を備えるインク室基板（第２の基板）１２と、インク室１２１の容積変化を生じさせる振動板１３と、振動板１３に接合された圧電素子（振動源）１４とを備えるヘッド本体１７と、このヘッド本体１７を収納する基体（ケーシング）１６と、ノズル孔１１１が露出する開口部を備えるカバー部材１５とを有している。なお、このヘッド１は、オンデマンド形のピエゾジェット式ヘッドを構成する。
【００２９】
ノズル板１１は、ＳＵＳ２０１、ＳＵＳ３０１、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ４２０、ＳＵＳ４０３のようなステンレス鋼や、金、プラチナ、銀のような貴金属、アルミニウム合金等のうちの少なくとも１種を主材料として構成されている。
このノズル板１１には、インク滴を吐出するための多数のノズル孔１１１が形成されている。これらのノズル孔１１１間のピッチは、印刷精度に応じて適宜設定される。
【００３０】
ノズル板１１には、インク室基板１２が固着（固定）されている。
このインク室基板１２は、ノズル板１１、側壁（隔壁）１２２および後述する振動板１３により、複数のインク室（キャビティ、圧力室）１２１と、インクカートリッジ９３１から供給されるインクを貯留するリザーバ室１２３と、リザーバ室１２３から各インク室１２１に、それぞれインクを供給する供給口１２４とが区画形成されている。
【００３１】
各インク室１２１は、それぞれ短冊状（直方体状）に形成され、各ノズル孔１１１に対応して配設されている。各インク室１２１は、後述する振動板１３の振動により容積可変であり、この容積変化により、インクを吐出するよう構成されている。
インク室基板１２を得るための母材としては、例えば、シリコン単結晶基板、各種ガラス基板、各種樹脂基板等を用いることができる。これらの基板は、いずれも汎用的な基板であるので、これらの基板を用いることにより、ヘッド１の製造コストを低減することができる。
【００３２】
インク室基板１２の平均厚さは、特に限定されないが、１０〜１０００μｍ程度とするのが好ましく、１００〜５００μｍ程度とするのがより好ましい。
また、インク室１２１の容積も、特に限定されないが、０．１〜１００ｎＬ程度とするのが好ましく、０．１〜１０ｎＬ程度とするのがより好ましい。
一方、インク室基板１２のノズル板１１と反対側には、振動板１３が接合され、さらに振動板１３のインク室基板１２と反対側には、複数の圧電素子１４が設けられている。
【００３３】
また、振動板１３の所定位置には、振動板１３の厚さ方向に貫通して連通孔１３１が形成されている。この連通孔１３１を介して、前述したインクカートリッジ９３１からリザーバ室１２３に、インクが供給可能となっている。
各圧電素子１４は、それぞれ、下部電極１４２と上部電極１４１との間に圧電体層１４３を介挿してなり、各インク室１２１のほぼ中央部に対応して配設されている。各圧電素子１４は、圧電素子駆動回路に電気的に接続され、圧電素子駆動回路の信号に基づいて作動（振動、変形）するよう構成されている。
【００３４】
各圧電素子１４は、それぞれ、振動源として機能し、振動板１３は、圧電素子１４の振動により振動し、インク室１２１の内部圧力を瞬間的に高めるよう機能する。
本実施形態では、振動板１３と圧電素子１４とにより、インク室１２１内に貯留されたインクをノズル孔１１１から液滴として吐出させるための液滴吐出手段を構成する。
基体１６は、ヘッド本体１７を収納し得る凹部１６１を備えている。そして、この凹部１６１にヘッド本体１７を収納した状態で、凹部１６１の外周部に形成された段差１６２と後述するカバー部材１５とによりノズル板１１の縁部が支持されている。
【００３５】
基体１６の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレートのような樹脂材料等を用いることができる。
なお、基体１６は、図１および図２に示したような凹部１６１にヘッド本体１７の全てを収納する構成のものに限定されず、例えば、圧電素子１４を凹部に収納する構成、すなわち、ヘッド本体１７の一部を凹部に収納する構成のものであってもよい。
【００３６】
カバー部材１５は、ノズル孔１１１を包含する第１の領域１１２を露出する開口部を備える枠体で構成されている。
そして、このカバー部材１５が、ノズル板（板状部材）１１の縁部に沿った第２の領域１１３と基体１６の縁部との双方を覆うようにして、接着剤層１１６を介して接合されている。すなわち、基体１６とヘッド本体１７との境界部を覆うように、これら基体１６およびヘッド本体１７の双方に、接着剤によりカバー部材１５が接合されている。
【００３７】
かかる構成とすることにより、カバー部材１５により、ノズル板１１が基体１６に対して押さえ付けられ、基体１６に固定される。
カバー部材１５の構成材料としては、前記基体１６の構成材料と同様に、例えば、各種樹脂材料を用いることができる。
また、接着剤層１１６を構成する接着剤としては、特に限定されないが、例えば、エポキシ系、アクリル系およびウレタン系等の各種接着剤が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができるが、中でも、エポキシ系またはアクリル系の接着剤を用いるのが好ましい。かかる接着剤は、ノズル孔１１１から吐出されるインク（特に、顔料インク）に対する耐性が高いことから、たとえ、接着剤層１１６にインクが付着したとしても接着剤層１１６が変質・劣化して、カバー部材１５がノズル板１１および基体１６から剥離（離脱）するのを確実に防止することができる。
【００３８】
このようなヘッド１は、圧電素子駆動回路を介して所定の吐出信号が入力されていない状態、すなわち、圧電素子１４の下部電極１４２と上部電極１４１との間に電圧が印加されていない状態では、圧電体層１４３に変形が生じない。このため、振動板１３にも変形が生じず、インク室１２１には容積変化が生じない。したがって、ノズル孔１１１からインク滴は吐出されない。
【００３９】
一方、圧電素子駆動回路を介して所定の吐出信号が入力された状態、すなわち、圧電素子１４の下部電極１４２と上部電極１４１との間に一定電圧が印加された状態では、圧電体層１４３に変形が生じる。これにより、振動板１３が大きくたわみ、インク室１２１の容積変化が生じる。このとき、インク室１２１内の圧力が瞬間的に高まり、ノズル孔１１１からインク滴が吐出される。
【００４０】
１回のインクの吐出が終了すると、圧電素子駆動回路は、下部電極１４２と上部電極１４１との間への電圧の印加を停止する。これにより、圧電素子１４は、ほぼ元の形状に戻り、インク室１２１の容積が増大する。なお、このとき、インクには、後述するインクカートリッジ９３１からノズル孔１１１へ向かう圧力（正方向への圧力）が作用している。このため、空気がノズル孔１１１からインク室１２１へ入り込むことが防止され、インクの吐出量に見合った量のインクがインクカートリッジ９３１（リザーバ室１２３）からインク室１２１へ供給される。
【００４１】
このようにして、ヘッド１において、印刷させたい位置の圧電素子１４に、圧電素子駆動回路を介して吐出信号を順次入力することにより、任意の（所望の）文字や図形等を印刷することができる。
なお、ヘッド１は、圧電素子１４の代わりに電気熱変換素子を有していてもよい。つまり、ヘッド１は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用してインクを吐出する構成（いわゆる、「バブルジェット方式」（「バブルジェット」は登録商標））のものであってもよい。
【００４２】
かかる構成のヘッド１において、後述するように、ノズル板１１には、第１の領域１１２に、撥液性を付与することを目的に形成された第１の被膜１１４が設けられている。これにより、ノズル孔１１１からインク滴が吐出される際に、このノズル孔１１１の周辺にインク滴が残存するのを確実に防止することができる。その結果、ノズル孔１１１から吐出されたインク滴を目的とする領域に確実に着弾させることができる。
【００４３】
また、ノズル板１１には、第２の領域１１３に、接着剤に対する親和性を付与することを目的に形成された第２の被膜１１５が設けられている。これにより、ノズル板１１と接着剤層１１６との密着性を向上させることができる。その結果、本実施形態のように、ノズル板１１が接着剤層１１６との密着性が低い材料（例えば、金属材料）で構成される場合であっても、第２の被膜１１５を介して接着剤層１１６をノズル板１１に固定（固着）させることができ、カバー部材１５をノズル板１１に接着剤層１１６により接合することができる。
【００４４】
このようなヘッド１は、例えば、次のようにして製造することができる。
以下、ヘッド１の製造方法（本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法）の一例について説明する。
図４および図５は、それぞれ、図１および図２に示すインクジェット記録式ヘッドの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下の説明では、図４、図５中の上側を「上」、下側を「下」という。
【００４５】
［１］  まず、図４（ａ）に示すように、インク室基板１２となる母材２０と、振動板１３とを貼り合わせ（接合して）、これらを一体化させる。
この接合には、例えば、母材２０と振動板１３とを圧着させた状態で熱処理する方法が好適に用いられる。かかる方法によれば、容易かつ確実に、母材２０と振動板１３とを一体化させることができる。
この熱処理条件は、特に限定されないが、１００〜６００℃×１〜２４時間程度とするのが好ましく、３００〜６００℃×６〜１２時間程度とするのがより好ましい。
なお、母材２０と振動板１３との接合には、その他の各種接着方法、各種融着方法等を用いてもよい。
【００４６】
［２］  次に、図４（ｂ）に示すように、振動板１３上に、複数の圧電素子１４を形成する。
圧電素子１４は、下部電極１４２を形成するための導電性材料層と、圧電体層１４３を形成するための圧電材料層と、上部電極１４１を形成するための導電性材料層とを順次積層し、その後、圧電素子１４の形状となるようにエッチングすることにより形成することができる。
【００４７】
前記各材料層は、それぞれ、例えば、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ、レーザーＣＶＤのような化学蒸着法（ＣＶＤ）、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、ゾル・ゲル法、ＭＯＤ法等により形成することができる。
また、前記材料層のエッチングには、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４８】
［３］  次に、図４（ｃ）に示すように、インク室基板１２となる母材２０の圧電素子１４に対応した位置に、それぞれインク室１２１となる凹部を、また、所定位置にリザーバ室１２３および供給口１２４となる凹部を形成する。
インク室１２１、リザーバ室１２３および供給口１２４となる凹部の形成は、これら各部の形状に対応した開口部を備えるマスクを母材２０上に形成した後、この母材２０をエッチングすることにより行うことができる。
また、母材２０のエッチングには、前記工程［２］で説明したのと同様の方法を用いることができる。
【００４９】
［４］  次に、複数のノズル孔１１１が形成されたノズル板１１を用意し、ノズル板１１のノズル孔１１１を包含する第１の領域１１２に撥液性を、さらに、第１の領域１１２を取り囲む縁部に沿った第２の領域１１３に接着剤に対する親和性を付与する表面処理を施す。
すなわち、ノズル板１１の縁部に沿った第２の領域１１３に対して接着剤に対する親和性を付与し、この接着剤に対する親和性を付与した第２の領域１１３の内側で、かつ少なくともカバー部材１５の開口部から露出するノズル孔１１１を包含する第１の領域１１２に対して撥液性を付与する表面処理を施す。
【００５０】
このようなノズル板１１の表面処理は、図４（ｄ）に示すように、複数のノズル孔１１１が形成されたノズル板１１を用意した後、図４（ｅ）に示すように、ノズル板１１の表面の第１の領域１１２に撥液性を有する第１の被膜１１４を、さらに、前記表面の第２の領域１１３に接着剤に対する親和性を有する第２の被膜１１５を形成することにより行うことができる。このようなノズル板１１の表面処理に、本発明の表面処理方法が適用されるが、その表面処理方法については後に詳述する。
【００５１】
［５］  次に、図５（ｆ）に示すように、ノズル板（第１の基板）１１の第１の被膜１１４および第２の被膜１１５が形成されている面をインク室基板（第２の基板）１２の反対側にして、各ノズル孔１１１が各インク室１２１となる凹部に対応するようにノズル板１１を位置合わせした後、ノズル板１１とインク室基板１２とを接合する。
これにより、複数のインク室１２１、リザーバ室１２３および複数の供給口１２４が画成される。
この接合には、例えば、接着剤による接着等の各種接着方法、各種融着方法等を用いることができる。
以上のような工程を経ることにより、ノズル板１１と、インク室基板１２と、振動板１３と、圧電素子１４とで構成されるヘッド本体１７を得ることができる。
【００５２】
［６］  次に、図５（ｇ）に示すように、基体１６が備える凹部１６１に、ヘッド本体１７を収納した状態で、凹部１６１の外周部に形成された段差１６２によりノズル板１１の縁部を支持する。
［７］  次に、図５（ｈ）に示すように、基体１６とヘッド本体１７との境界部を覆うように、ヘッド本体１７および基体１６の双方に、接着剤によりカバー部材１５を接合する。
【００５３】
すなわち、接着剤層１１６を介した状態で、第２の領域１１３と基体１６の縁部との双方をカバー部材１５により覆うことにより、カバー部材１５でノズル板１１と基体１６とを固定する。
ここで、ノズル板１１には、接着剤に対する親和性を付与することを目的に形成された第２の被膜１１５が第２の領域１１３に設けられている。第２の領域１１３において、ノズル板１１と接着剤層１１６との間に第２の被膜１１５が介在する構成とすることにより、ノズル板１１と接着剤層１１６との密着性を向上させることができる。そのため、ノズル板１１が接着剤層１１６との密着性が低い材料で構成される場合であっても、接着剤層１１６をノズル板１１に確実に固着させることができる。その結果、カバー部材１５によりノズル板１１と基体１６とが強固に固定される。
【００５４】
以上のような工程を経て、ヘッド１が製造される。
ここで、前記工程［４］において、ノズル板１１の表面の第１の領域１１２に撥液性を、第２の領域１１３に接着剤に対する親和性を付与する際に適用される本発明の表面処理方法について説明する。
本発明の表面処理方法は、ノズル板（基材）１１の第１の領域１１２に撥液性を、第２の領域１１３に接着剤に対する親和性を付与する表面処理方法であり、本実施形態では、ノズル板１１を用意する工程と、ノズル板１１の表面の第１の領域１１２に、撥液性を有する第１の官能基と、ノズル板１１と結合する第１の反応性基とを有する第１の化合物を供給して、ノズル板１１に第１の反応性基を結合させる工程と、第２の領域１１３に、接着剤との親和性を有する第２の官能基と、ノズル板１１と結合する第２の反応性基とを有する第２の化合物を供給して、ノズル板１１に第２の反応性基を結合させる工程とを有する。
【００５５】
なお、本明細書において、「撥液性を有する」とは、インクに対する濡れ性が低いことを言う。さらに、「接着剤との親和性を有する」とは、接着剤との反応性または相互作用が高いことを言う。
また、一般的に接着剤は親液性が高いため、撥液性を有する第１の領域１１２は、接着剤との親和性を有する第２の領域１１３よりも、接着剤に対する濡れ性が低く、実質的に接着性を有さない領域である。
【００５６】
以下、各工程について、詳述する。
［４−１］  まず、ノズル板１１となる母材に複数のノズル孔１１１を形成して、複数のノズル孔１１１が形成されたノズル板１１を用意する（第１の工程）。
ノズル孔１１１の形成は、母材のノズル孔１１１を形成すべき領域をエッチングすることにより行うことができる。
また、母材のエッチングには、前記工程［２］で説明したのと同様の方法を用いることができる。
【００５７】
［４−２］  次に、ノズル板１１の表面の第１の領域１１２に表面処理を施すことにより、撥液性を付与する（第２の工程）。
この第１の領域１１２への撥液性の付与は、ノズル板１１の表面のこの領域に、撥液性を有する第１の被膜１１４を形成することにより行うことができる。そして、第１の被膜１１４は、ノズル板１１の表面の第１の領域１１２に、撥液性を有する第１の官能基と、ノズル板（基材）１１と結合する第１の反応性基とを有する第１の化合物を供給して、第１の反応性基をノズル板１１に結合させることにより形成することができる。
【００５８】
以下、第１の官能基と第１の反応性基とを有する第１の化合物について説明する。
第１の反応性基は、第１の化合物に少なくとも１つ含まれていればよいが、複数含まれているのが好ましい。これにより、第１の化合物とノズル板１１とを複数の第１の反応性基で結合することができ、第１の化合物のノズル板１１に対する密着性を向上させることができる。
【００５９】
この第１の反応性基は、ノズル板１１と結合し得るものであればよく、特に限定されないが、例えば、ノズル板１１がステンレス鋼やアルミニウム合金を主材料として構成され、その表面に水酸基が露出する構成である場合、例えば、アルコキシ基やハロゲン基のような加水分解基、アミノ基等を含むものが挙げられ、ノズル板１１が貴金属を主材料として構成される場合、例えば、チオール基等を含むものが挙げられる。これらの中でも、第１の反応基を複数備える場合、加水分解基を含むものであるのが好ましい。これにより、ノズル板１１の他に、第１の反応性基同士間で結合を行うことができるため、第１の化合物によるネットワーク（網目状構造）をノズル板１１上に形成することができ、形成される第１の被膜１１４が緻密なものとなる。その結果、特に高い撥液性が得られるとともに、第１の被膜１１４のノズル板１１への密着性の向上を図ることができる。
【００６０】
撥液性を示す第１の官能基としては、例えば、フルオロアルキル基、アルキル基、ビニル基等を含むものが挙げられ、中でも、特に、フルオロアルキル基を含むものが好ましい。フルオロアルキル基を含む官能基は、特に優れた撥液性を有するものである。
また、第１の官能基の重量平均分子量は、２００〜４０００程度であるのが好ましく、１０００〜２０００程度であるのがより好ましい。
【００６１】
以上のことを考慮すると、第１の化合物としては、ノズル板１１の表面に水酸基が露出している構成である場合、例えば、フルオロアルキル基を含む官能基を備え、Ｔｉ、Ｌｉ、Ｓｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｔ、Ｂａ、Ａｌ、Ｉｎ、Ｇｅ、Ｂｉ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｙ、Ｚｒ、Ｔａ等を有する各種金属アルコキシドを好適に用いることができる。これらの中でも、一般的に、フルオロアルキル基を含む官能基を備え、Ｓｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｚｒ等を有するカップリング剤（金属アルコキシド）がより好適に用いられるが、特に、フルオロアルキル基を含む官能基を備えＳｉを有するシラン系カップリング剤（金属アルコキシド）を用いるのが好ましい。フルオロアルキル基を含む官能基を備えるシラン系カップリング剤は、安価であり入手が容易である。
【００６２】
ここで、フルオロアルキル基を含む官能基を備えるシラン系カップリング剤は、一般式ＲｎＳｉＸ（４−ｎ）（但し、Ｘは、加水分解によりシラノール基を生成する加水分解基、Ｒはフルオロアルキル基を含む官能基である。また、ｎは１〜３の整数であり、１または２の整数であるのが好ましい。）で表される。
この一般式において、Ｘとしては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ハロゲン基等が挙げられる。
【００６３】
なお、複数個のＲ同士またはＸ同士は、互いに同じものであっても、異なるものであってもよい。
このようなフルオロアルキル基を含む官能基を備えるシラン系カップリング剤の具体例としては、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリエトキシシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリメトキシシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリクロロシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
【００６４】
また、ノズル板１１の表面の第１の領域１１２への第１の化合物の供給は、液相プロセスや気相プロセスのような各種プロセスにより行うことができるが、中でも、液相プロセスにより行うのが好ましい。液相プロセスによれば、第１の化合物を含有する液状材料を調製し、この液状材料を第１の領域１１２に供給するという比較的簡単な工程により、第１の化合物をノズル板１１の表面の第１の領域１１２に確実に供給することができる。
【００６５】
なお、液状材料を第１の領域１１２に供給する方法としては、例えば、液状材料を含浸させたパッドまたはスタンパ等を、ノズル板１１の表面に接触させる各種印刷法、液状材料をインクジェット法等によりノズル板１１の表面に吐出する液滴吐出法等が挙げられるが、後者の方法を用いるのが好ましい。かかる方法によれば、比較的容易に、かつ優れた精度で、第１の領域１１２に液状材料を選択的に供給することができる。
以下では、フルオロアルキル基を含む官能基を備えるシラン系カップリング剤（以下、単に「シラン系カップリング剤」という。）を含有する液状材料を、インクジェット法を用いた液相プロセスにより第１の領域１１２に供給する場合を一例に説明する。
【００６６】
［４−２ａ］  まず、シラン系カップリング剤を含有する液状材料を調整する。
シラン系カップリング剤を溶解する溶媒としては、各種のものが用いられるが、例えば、トルエン、キシレン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン、シクロヘキシルベンゼンのような芳香族炭化水素系溶媒を用いることができる。
液状材料中におけるカップリング剤の濃度は、０．０１〜０．５ｗｔ％程度であるのが好ましく、０．１〜０．３ｗｔ％程度であるのがより好ましい。
また、液状材料の粘度（常温）は、特に限定されないが、通常、３〜１０ｃｐｓ程度であるのが好ましく、４〜８ｃｐｓ程度であるのがより好ましい。液状材料の粘度をかかる範囲とすることにより、インクジェット法による液滴の吐出をより安定的に行うことができる。
【００６７】
［４−２ｂ］  次に、インクジェット法により、液状材料をノズル板１１の表面の第１の領域１１２に供給する。
［４−２ｃ］  次に、ノズル板１１を、例えば、加熱することにより、シラン系カップリング剤の加水分解基を加水分解させ、生成したシラノール基と、ノズル板１１の表面で露出する水酸基とを反応させて、シロキサン結合を形成させる。これにより、第１の領域１１２の形状に対応した第１の被膜１１４がノズル板１１の表面に形成される。
【００６８】
そして、第１の被膜１１４の表面には、撥液性を示す官能基が露出することとなり、この第１の被膜１１４が撥液性を発揮するものとなる。
また、このとき、隣接するシラン系カップリング剤が有するシラノール基同士の間でもシロキサン結合が形成される。これにより、第１の被膜１１４の密着性が向上する。
加熱の際の加熱温度は、５０〜２００℃程度であるのが好ましく、８０〜１５０℃程度であるのがより好ましい。
加熱時間は、１〜５０分程度であるのが好ましく、５〜２０分程度であるのがより好ましい。
【００６９】
［４−３］  次に、第１の領域１１２を取り囲むノズル板１１の縁部に沿った第２の領域１１３に表面処理を施すことにより、接着剤に対する親和性を付与する（第２の工程）。
この第２の領域１１３への接着剤に対する親和性の付与は、ノズル板１１の表面のこの領域に、接着剤に対する親和性を有する第２の被膜１１５を形成することにより行うことができる。そして、第２の被膜１１５は、ノズル板１１の表面の第２の領域１１３に、接着剤に対する親和性を有する第２の官能基と、ノズル板（基材）１１と結合する第２の反応性基とを有する第２の化合物を供給して、第２の反応性基をノズル板１１に結合させることにより形成することができる。
【００７０】
かかる構成とすることにより、有機系の材料（接着剤）で構成される接着剤層１１６と、無機系の材料（金属材料）で構成されるノズル板１１とが直接接触するのを確実に防止することができる。さらに、第２の化合物に含まれる第２の反応性基がノズル板１１に化学的に結合し、第２の官能基が接着剤と親和性を有するもので構成されていることから、接着剤層１１６のノズル板１１に対する密着性が確実に向上することとなる。
【００７１】
以下、本工程［４−３］について、前記工程［４−２］との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本工程［４−３］では、第１の化合物に代えて第２の化合物を用い、この第２の化合物を第１の領域１１２に代えて第２の領域１１３に供給して、ノズル板１１の表面の第２の領域１１３に接着剤に対する親和性を付与する以外は、前記工程［４−２］と同様である。
【００７２】
第２の化合物は、上述したように接着剤に対する親和性を有する第２の官能基と、ノズル板（基材）１１と結合する第２の反応性基とを有するものである。
第２の反応性基は、前述した第１の反応性基と同一のものが挙げられ、この第２の反応基も、第２の化合物に複数含まれるのが好ましく、ノズル板１１の表面に水酸基が露出する構成である場合、加水分解基を含むものであるのが好ましい。
【００７３】
接着性との親和性を有する第２の官能基としては、特に限定されないが、例えば、接着剤層１１６に含まれる接着剤がエポキシ系の接着剤で構成されている場合、例えば、イミダゾール基やトリアゾール基のようなアゾール基、アミノ基、エポキシ基およびビニル基等を含むものが挙げられ、これらの中でも、アミノ基またはアゾール基を含むものであるのが好ましい。これらの基を含む官能基は、エポキシ系の接着剤に対して特に優れた親和性（反応性、相互作用）を有するものであることから、第２の化合物は、エポキシ系の接着剤で構成される接着剤層１１６に対して優れた密着性を示すものとなる。
【００７４】
また、接着剤層１１６に含まれる接着剤がアクリル系の接着剤で構成されている場合、第２の官能基としては、特に、リン酸基を含むものを選択するのが好ましい。この基を含む官能基は、アクリル系の接着剤に対して特に優れた親和性を有するものであることから、第２の化合物は、アクリル系の接着剤で構成される接着剤層１１６に対して優れた密着性を示すものとなる。
【００７５】
また、第２の官能基の重量平均分子量は、２００〜４０００程度であるのが好ましく、１０００〜２０００程度であるのがより好ましい。
以上のことを考慮すると、前記接着剤がエポキシ系の接着剤で構成される場合、第２の化合物としては、アミノ基またはアゾール基を含む官能基を備えるシラン系カップリング剤を用いるのが好ましい。
【００７６】
このようなアミノ基またはアゾール基を含む官能基を備えるシラン系カップリング剤の具体例は、アミノ基を含むものとして、例えば、Ｎ−２（アミノエチル）３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−２（アミノエチル）３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられ、アゾール基を含むものとして、例えば、ＰＡ−２（日鉱マテリアル社製）、ＩＳ−１０００（日鉱マテリアル社製）、ＩＭ−１０００（日鉱マテリアル社製）等に含まれるものが挙げられる。
【００７７】
また、前記接着剤がエポキシ系の接着剤で構成される場合、第２の化合物としては、リン酸基を含む官能基を備えるシラン系カップリング剤を用いるのが好ましい。
このようなリン酸基を含む官能基を備えるシラン系カップリング剤の具体例は、例えば、Ｆ−１００（電気化学工業社製）等に含まれるものが挙げられる。
また、第２の化合物を第２の領域１１３に供給する方法としては、第１の化合物を第１の領域１１２に供給する方法で説明したのと同様のものを用いることができる。
以上のようにして、ノズル板（基材）１１上にレジスト層のようなバンクを設けることなく、ノズル板１１の表面の２つの領域である第１の領域１１２および第２の領域に、それぞれ、撥液性および接着剤に対する親和性を付与することができ、表面処理に要する時間および製造コストの削減を図ることができる。
【００７８】
なお、撥液性を付与する前記工程［４−２］と、接着剤に対する親和性を付与する前記工程［４−３］との順序は、前述した場合に限定されず、例えば、基材上に撥液性を付与する第１の領域と接着剤に対する親和性を付与する第２の領域とが離間して存在する場合には、前記工程［４−２］と前記工程［４−３］とをほぼ同時に行うようにしてもよいし、前記工程［４−２］に先立って、前記工程［４−３］を行うようにしてもよい。
【００７９】
ただし、本実施形態のように、第１の領域１１２を第２の領域１１３が取り囲み、第１の領域１１２と第２の領域１１３とが接触する構成となっている場合には、先に説明したように前記工程［４−３］に先立って、前記工程［４−２］を行うのが好ましい。かかる構成とすることにより、第１の領域１１２に撥液性が付与された後に、前記工程［４−３］が行われることから、第１の領域１１２の撥液性により第２の化合物が付着するのを好適に防止することができ、第１の領域１１２と第２の領域１１３との界面がより明確なものとなるという利点も得られる。
【００８０】
以上、本発明の表面処理方法、液滴吐出ヘッドの製造方法および液滴吐出装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、本発明の表面処理方法および液滴吐出ヘッドの製造方法では、必要に応じて、１以上の任意の目的の工程を追加してもよい。
また、本発明の表面処理方法は、液滴吐出ヘッドの製造に適用することができる他、本発明の表面処理方法を必要とする電子デバイス等の製造方法に適用することができる。
【実施例】
【００８１】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
１．インクジェット式記録ヘッドの製造
＜１＞  まず、面方位（１１０）のシリコン単結晶基板上に前述したようにして振動板と圧電素子を形成した。そして、このシリコン単結晶基板をドライエッチング法によりエッチングすることにより、振動板と圧電素子とを備えるインク室基板を形成した。
【００８２】
＜２＞  次に、ステンレス鋼（ＳＵＳ２０１）製の基板を用意し、ビームエッチング法により基板をエッチングして、複数のノズル孔を備えるノズルプレートを形成した。
＜３＞  次に、フルオロアルキル基を含む官能基を備えるシラン系カップリング剤（信越シリコーン社製、「ＫＹ−１３０」）を、０．１ｗｔ％となるようにＦＲシンナー（信越シリコーン社製）に溶解して、第１の液状材料を調製した。そして、前記工程＜２＞で形成したノズルプレートの縁部を除く、ノズル孔を包含する第１の領域にインクジェット法により第１の液状材料を供給した。
【００８３】
＜４＞  次に、ノズルプレート上の第１の液状材料を１００℃×１５分の条件で加熱・乾燥することにより、このノズルプレートの第１の領域に撥液性を付与した。
＜５＞  次に、アミノ基を含む官能基を備えるシラン系カップリング剤（信越シリコーン社製、「ＫＢＭ−６０３」）を、０．１ｗｔ％となるように水に溶解して、第２の液状材料を調製した。そして、前記工程＜４＞による表面処理が施されたノズルプレートの縁部で構成される第２の領域にインクジェット法により第２の液状材料を供給した。
【００８４】
＜６＞  次に、ノズルプレート上の第２の液状材料を１００℃×１５分の条件で加熱・乾燥することにより、このノズルプレートの第２の領域に接着剤に対する親和性を付与した。
＜７＞  次に、振動板および圧電素子を備えるインク室基板と、ノズルプレートとを前述したようにして接合した。
【００８５】
＜８＞  次に、前述したようにして、基体が備える凹部に、ノズルプレート、インク室基板、振動板および圧電素子を収納した状態で、凹部の外周部に形成された段差によりノズルプレートの縁部を支持した。
＜９＞  次に、エポキシ系接着剤（スリーボンド２０００シリーズ、「スリーボンド社製」）を介した状態で、ノズルプレートの第２の領域と基体の縁部との双方をカバー部材により覆うことにより、カバー部材でノズルプレートと基体とを固定した。
以上の工程により、図１に示すインクジェット式記録ヘッドを作製した。
【００８６】
２．評価
インクジェット式記録ヘッドをインクジェットプリンタ（セイコーエプソン社製、「ＰＭＡ−８９０」）に搭載して、インク滴を１００回吐出させた。そして、記録用紙の目的とする着弾位置と、実際に印字されたインク滴の着弾位置とのズレを測定した。
その後、インクジェットプリンタに搭載されたインクジェット式記録ヘッドを取り出し、布製ワイパーにより撥液膜を摩擦するワイピング操作を、２０００回繰り返し行った後に、インクジェットプリンタに再搭載して、前記と同様にして、インク滴の着弾位置を測定した。
【００８７】
その結果、ワイピング操作の前後とも、目的とする着弾位置からのズレが少なく、インクジェット式記録ヘッドは優れた液滴吐出能を有していた。
さらに、所定の画像の印刷を５０００枚の記録用紙に行った後、インクジェットプリンタに搭載されたインクジェット式記録ヘッドを再度取り出し、ノズルプレートおよび基体からのカバー部材の剥離の有無を目視で確認したが、その剥離を認めることはできなかった。
また、前記工程＜５＞および前記工程＜６＞を省略した以外は、前記と同様にしてインクジェット式記録ヘッドを製造したが、この場合、前記工程＜９＞において、ノズルプレート上にエポキシ系接着剤が付着しなかったり、付着したとしてもインクジェットプリンタによる画像の印刷中にカバー部材がノズルプレートから剥離する結果となった。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】インクジェット式記録ヘッドの実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの主要部の構成を示す断面図である。
【図３】インクジェットプリンタの実施形態を示す概略図である。
【図４】インクジェット記録式ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【図５】インクジェット記録式ヘッドの製造方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００８９】
１……インクジェット式記録ヘッド  １１……ノズル板  １１１……ノズル孔  １１２……第１の領域  １１３……第２の領域  １１４……第１の被膜  １１５……第２の被膜  １１６……接着剤層  １２……インク室基板  １２１……インク室  １２２……側壁  １２３……リザーバ室  １２４……供給口  １３……振動板  １３１……連通孔  １４……圧電素子  １４１……上部電極  １４２……下部電極  １４３……圧電体層  １５……カバー部材  １６……基体  １６１……凹部  １６２……段差  １７……ヘッド本体  ２０……母材  ９……インクジェットプリンタ  ９２……装置本体  ９２１……トレイ  ９２２……排紙口  ９３……ヘッドユニット  ９３１……インクカートリッジ  ９３２……キャリッジ  ９４……印刷装置  ９４１……キャリッジモータ  ９４２……往復動機構  ９４３……キャリッジガイド軸  ９４４……タイミングベルト  ９５……給紙装置  ９５１……給紙モータ  ９５２……給紙ローラ  ９５２ａ……従動ローラ  ９５２ｂ……駆動ローラ  ９６……制御部  ９７……操作パネル  Ｐ……記録用紙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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