【事件の表示】
　平成　９年特許願第　３０５６７号「ウェハ用真空チャック」拒絶査定に対する審判事件［平成１０年　８月２５日出願公開、特開平１０−２２９１１５］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本件発明
　本件出願は、平成９年２月１４日の出願であって、その請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、平成１２年１２月２１日付け手続補正書、及び平成１３年５月１１日付け手続補正書により補正された明細書並びに願書に添付された図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された以下の事項により特定されるとおりのものであると認める。
「真空源に接続してウェハを吸引保持するためのウェハ用真空チャックであって、
　内部に排気用貫通孔を有し、ウェハを保持する部分に溝部または突起部が形成されるとともに導電性材料の被覆層が設けられた窒化アルミニウムセラミックスからなることを特徴とする、ウェハ用真空チャック。」
　
第２　引用例記載の発明乃至技術的事項
１　引用例１記載の発明乃至技術的事項
　原査定において周知例として引用された本件出願の出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開平３−２０２２４６号公報（以下「引用例１」という。）には、以下の技術的事項が記載されている。
（１）特許請求の範囲
「被加工物を載置する表面に真空源につながる吸引溝を形成した真空チャックにおいて、この真空チャックはセラミック原料を成形して焼成したチャック本体の被加工物を載置する表面にポアのないセラミック薄膜を形成したことを特徴とする真空チャック。」
（２）第１頁左下欄第１３〜１４行
「本発明はシリコンウエハーなどの被加工物を吸引固定する真空チャックに関する。」
（３）第２頁左上欄第１３行〜右上欄第１０行
「第１図は本発明に係る真空チャックの断面図、第２図は同真空チャックの平面図、第３図（Ａ）乃至（Ｄ）及び第４図（Ａ）乃至（Ｄ）は同真空チャックの製造工程を示す拡大断面図である。
　真空チャック１は略円盤状をなし、中央部には真空ポンプなどにつながる穴２を穿設し、またシリコンウエハーなどの被加工物Ｗを載置する表面には前記穴２につながる溝３・・・を形成している。この溝３・・・としては格子状或いは同心円状のものに限らず不規則な凹部であってもよい。
　また、真空チャック１はチャック本体４と前記被加工物Ｗを載置する表面に形成されたセラミック薄膜５とからなり、チャック本体４内には微小なポア６・・・が粒界などに存在しているが、セラミック薄膜５はポアが存在しない緻密な組織となている。ここで、チャック本体４及びセラミック薄膜５の構成材料としてはＴｉＣ、ＴｉＮ、Ａｌ２Ｏ３、Ｓｉ３Ｎ４、ＳｉＣ等とする。」
（４）第２頁右下欄第８〜１６行
「尚、実施例においては各種セラミック材料と各種製法によってチャック本体４及びセラミック薄膜５を形成したが、セラミック薄膜としてＴｉＣ、ＴｉＮ、ＳｉＣのように導電性或いは半導電性の材料を使用すれば、静電気を容易に逃すことができる。また、材料及び製法の組合せで最も良い結果となったのは、チャック本体４をＡｌ２Ｏ３とし、セラミック薄膜５をプラズマＣＶＤ法によるＴｉＣとした場合であった。」
　上記記載及び図面の記載からすると、引用例１には以下の発明が記載されていると認める。
　シリコンウエハーを載置する表面に穴２を介して真空源につながる吸引溝を形成した真空チャックであって、チャック本体をＡｌ２Ｏ３等の材料で形成し、そのシリコンウエハーを載置する表面にＴｉＣ、ＴｉＮ、ＳｉＣのような導電性のセラミック薄膜を形成した真空チャック。
　
２　引用例２記載の技術的事項
　原査定の拒絶の理由に引用された本件出願の出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開平５−２３８８４４号公報（以下「引用例２」という。）には、以下の技術的事項が記載されている。
（１）項目【０００１】
「【産業上の利用分野】本発明は、真空吸着装置等に利用する多孔質セラミック体およびその製造方法に関する。」
（２）項目【００１４】
「図１（Ａ）（Ｂ）に示すように、本発明の多孔質セラミック体１は、複数の緻密質部２の集合体であって、これらの緻密質部２の間隙を互いに連続する気孔３としたものである。また、各緻密質部２は互いに完全に焼結しているが、その境界を確認することができ、各緻密質部２の平均径は０．５〜１０ｍｍの範囲内となっている。このように、本発明の多孔質セラミック体１は、大部分が緻密質部２から成り、各緻密質部２が完全に焼結しているため、強度、硬度が高く、しかも表面１ａを研摩することによって、中心線平均粗さ（Ｒａ）０．１μｍ以下の極めて滑らかな面とすることが可能である。また、この多孔質セラミックス１の気孔率は１０％以下と低いが、気孔３は各緻密質部２の間隙に存在し、互いに連通していることから、フィルターや真空吸着装置などに好適に用いることができる。」
（３）項目【００１５】
「さらに、この多孔質セラミック体１を形成するセラミック材としては、アルミナ、ジルコニア、ムライト、コージライトなどの酸化物セラミックスや、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの非酸化物セラミックスなどさまざまなものを用いることができる。」
（４）項目【００２５】
「図６に示すように、この複合体５を枠体２２に固着して真空吸着装置を構成すると、多孔質セラミックス１が吸着部となり、周囲の緻密質セラミックス４を隔壁とすることができる。このとき、真空吸着部を構成する多孔質セラミック体１は滑らかな表面とすることができ、粒子脱落もないことから、シリコンウェハなどの被吸着物に傷をつけることがない。・・・」
　上記記載及び図面の記載からみて、引用例２には以下の技術的事項が記載されていると認める。
　シリコンウェハ等を真空吸着する装置において、吸着部となる多孔質セラミックスの材料として、アルミナ、ジルコニア、ムライト、コージライトなどの酸化物セラミックスや、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの非酸化物セラミックスなどを用いることができること。
　
第３　対比
　本件発明と引用例１記載の発明を対比する。
　引用例１記載の発明における「シリコンウエハー」、「穴２」、「シリコンウエハーを載置する表面」、「吸引溝」、「ＴｉＣ、ＴｉＮ、ＳｉＣのような導電性のセラミック薄膜」が、それぞれ、本件発明における「ウェハ」、「排気用貫通孔」、「ウェハを保持する部分」、「溝部」、「導電性材料の被覆層」に相当することから、両者は以下の点で一致する。
　真空源に接続してウェハを吸引保持するためのウェハ用真空チャックであって、
　内部に排気用貫通孔を有し、ウェハを保持する部分に溝部が形成されるとともに導電性材料の被覆層が設けられたウェハ用真空チャック。　
　そして、以下の点で相違する。
相違点：本件発明では、チャック本体が窒化アルミニウムセラミックスから形成されているのに対し、引用例記載の発明ではＡｌ２Ｏ３等の材料から形成されている点。
　
第４　当審の判断
　そこで、上記相違点について検討する。
　ウェハを吸着する真空吸着装置の吸着部の材料として、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や窒化アルミニウムなどの非酸化物セラミックスが利用できることが引用例２に記載されていることから、引用例１記載の発明において、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）に代えて、窒化アルミニウムセラミックスを用いることは、当業者であれば容易に想到したことである。
　そして、本件発明の効果は、引用例１記載の発明に引用例２記載の技術的事項を適用した結果、必然的に生じるものであって、格別なものとはいえない。
　
　なお、請求人は、引用例２は、窒化アルミニウムを可能性のある材料の一つとして単に例示するにすぎず、窒化アルミニウムが実際に真空チャックに使用できるかについてなんら記載しておらず、このような引用例２から、ウェハ用真空チャックを構成するセラミックスとして窒化アルミニウムを採用することが周知とはいえない旨主張しているが、アルミナと並んで窒化アルミニウムが記載されている以上、アルミナに代えて窒化アルミニウムを使用できるかどうかを検討するのは当業者であれば当然のことであり、引用例１記載の発明において、ウェハ用真空チャックを構成するセラミックスとしてアルミナに代えて窒化アルミニウムを採用することは当業者に容易なことである。よって、請求人の上記主張は採用できない。
　また、請求人は、引用例１、２は何れも「真空チャックに保持されるウエハの熱による変形の問題」に着目していないので、「真空チャックに保持されるウエハの熱による変形の問題」に対処しうる技術情報を提供しえない旨主張しているが、本件発明とは異なる目的、課題に基づくものだとしても、上記のとおり引用例１、２記載の発明乃至技術的事項を組み合わせて、本件発明を構成できる以上、本件発明が引用例１、２記載の発明乃至技術的事項から容易でないという根拠にはならない。
　さらに、請求人は、引用例２記載のものは多孔質セラミックスを真空吸引装置に使用したものであり、引用例１記載のものは基本的に多孔性でないセラミックスを真空吸引装置に使用したものであり、両者は互いに相反するものであるから、両者を組み合わせる動機付けがない旨主張しているが、両者の技術は真空吸引装置として二者択一的なものであるから、一方で使用された材料が他方に使用できるかどうかを検討することは当業者であれば当然のことである。よって、請求人の上記主張は採用できない。
　
第５　むすび
　以上のとおりであるから、本件発明は、引用例１記載の発明及び引用例２記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。