(57)【要約】【課題】形成されるパターン上において異物の発生が少ない着色感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】着色剤、樹脂、光重合性化合物及び光重合開始剤を含み、着色剤が、キサンテン染料を含む着色剤であり、樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも一種に由来する構造単位と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位とを有する共重合体である着色感光性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色剤、樹脂、光重合性化合物及び光重合開始剤を含み、
着色剤が、キサンテン染料を含む着色剤であり、
樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも一種に由来する構造単位と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位とを有する共重合体である着色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記共重合体におけるＮ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位の含有率が、前記共重合体の全構造単位に対して、３５モル％以上である請求項１記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項３】
着色剤が、さらに顔料を含む着色剤である請求項１又は２記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項４】
キサンテン染料の含有量が、着色感光性樹脂組成物の固形分の含有量に対して、０．１〜５０質量％である請求項１〜３のいずれか一項記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項記載の着色感光性樹脂組成物により形成されるカラーフィルタ。
【請求項６】
請求項５記載のカラーフィルタを含む表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
着色感光性樹脂組成物は、液晶表示パネル、エレクトロルミネッセンスパネル、プラズマディスプレイパネル等のディスプレイ装置に使用されるカラーフィルタの製造に用いられている。このような着色感光性樹脂組成物としては、顔料、Ｎ−置換マレイミドに由来する構造単位と酸基有するモノマーに由来する構造単位とを含む共重合体、光重合性化合物、光重合開始剤及び溶剤を含む組成物が知られている（特許文献１）。また、着色剤としてキサンテン染料を含み、かつ、樹脂としてベンジルメタクリレート、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート及びメタクリル酸の共重合体にグリシジルメタクリレートを付加させた樹脂を含む組成物が知られている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−３１３０８号公報
【特許文献２】特開２０１０−３２９９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
着色感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成するには、着色感光性樹脂組成物を基板に塗布し、フォトマスクを介して露光し、現像してパターンを得る、フォトリソグラフィ法が用いられる。しかしながら、従来から提案されている着色感光性樹脂組成物では、着色感光性樹脂組成物層の未露光部の一部が現像時に剥離し、その剥離片がパターン上の異物となる場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下の［１］〜［６］を提供するものである。
［１］着色剤、樹脂、光重合性化合物及び光重合開始剤を含み、
着色剤が、キサンテン染料を含む着色剤であり、
樹脂が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも一種に由来する構造単位と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位とを有する共重合体である着色感光性樹脂組成物。
［２］前記共重合体におけるＮ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位の含有率が、前記共重合体の全構造単位に対して、３５モル％以上である［１］記載の着色感光性樹脂組成物。
［３］着色剤が、さらに顔料を含む着色剤である［１］又は［２］記載の感光性樹脂組成物。
［４］キサンテン染料の含有量が、着色感光性樹脂組成物の固形分の含有量に対して、０．１〜５０質量％である［１］〜［３］のいずれか一項記載の着色感光性樹脂組成物。
［５］［１］〜［４］のいずれか一項記載の着色感光性樹脂組成物により形成されるカラーフィルタ。
［６］［５］記載のカラーフィルタを含む表示装置。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、着色感光性樹脂組成物層の未露光部の一部が現像時に剥離することを抑制できるため、形成されるパターン上に異物が少ない。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明を詳細に説明する。なお、本明細書において、各成分として例示する化合物は、特に断りのない限り、単独で又は組合せて使用することができる。
【０００８】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤（Ａ）、樹脂（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）及び光重合開始剤（Ｄ）を含み、着色剤（Ａ）が、キサンテン染料（Ａ１）を含む着色剤であり、樹脂（Ｂ）が、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも一種に由来する構造単位と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位とを有する共重合体である着色感光性樹脂組成物である。
【０００９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤（Ａ）を含み、着色剤（Ａ）はキサンテン染料（Ａ１）を含む着色剤である。
【００１０】
キサンテン染料（Ａ１）は、キサンテン骨格を有する化合物を含む染料である。
キサンテン染料（Ａ１）としては、赤色又は紫色のキサンテン染料が好ましく、例えば、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド５１、５２、８７、９２、２８９、３８８、Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット９、３０、Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド８、Ｃ．Ｉ．モーダントレッド２７、ローズベンガルＢ、スルホローダミンＧ、ローダミン６Ｇ、特開２０１０−３２９９９号公報記載のキサンテン染料及び特許第４４９２７６０号記載のキサンテン染料等が挙げられる。
【００１１】
中でも、キサンテン染料（Ａ１）としては、式（１）で表される化合物（以下「化合物（１）」という場合がある）を含む染料が好ましい。化合物（１）は、その互変異性体であってもよい。化合物（１）を使用する場合、キサンテン染料（Ａ１）中の化合物（１）の含有量は５０質量％以上が好ましく、より好ましくは７０質量％以上、さらに好ましくは９０質量％以上である。特に、キサンテン染料（Ａ）として、化合物（１）のみを使用することが好ましい。
【００１２】
2012230365.tif 000002
【００１３】
［式（１）中、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜２０の１価の飽和炭化水素基又は炭素数６〜１０の１価の芳香族炭化水素基を表し、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−Ｒ８、−ＯＨ、−ＯＲ８、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、−ＳＯ３−Ｍ＋、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ2-Ｍ+、−ＣＯ２Ｒ８、−ＳＲ8、−ＳＯ2Ｒ8、−ＳＯ３Ｒ８又は−ＳＯ２ＮＲ９Ｒ１０で置換されていてもよい。前記飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基又はハロゲン原子で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１〜３のアルコキシ基で置換されていてもよく、前記飽和炭化水素基に含まれる−ＣＨ２−は、−Ｏ−、−ＣＯ−又は−ＮＲ１１−で置き換わっていてもよい。Ｒ1及びＲ２は、一緒になって窒素原子を含む環を形成してもよく、Ｒ３及びＲ４は、一緒になって窒素原子を含む環を形成してもよい。
Ｒ５は、−ＯＨ、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、−ＳＯ３−Ｍ＋、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２−Ｍ＋、−ＣＯ２Ｒ８、−ＳＯ３Ｒ８又は−ＳＯ２ＮＲ９Ｒ１０を表す。
ｍは、０〜５の整数を表す。ｍが２以上の場合、複数のＲ５は同一であるか相異なる。
Ｒ６及びＲ７は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基を表す。
Ｍ＋は、＋Ｎ（Ｒ１１）４、Ｎａ＋又はＫ＋を表す。
Ｘは、ハロゲン原子を表す。
ａは、０又は１の整数を表す。
Ｒ８は、炭素数１〜２０の１価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。
Ｒ１１は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜２０の１価の飽和炭化水素基又は炭素数７〜１０のアラルキル基を表す。
Ｒ９及びＲ１０は、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素数１〜２０の１価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はハロゲン原子で置換されていてもよく、該飽和脂肪族炭化水素基に含まれる−ＣＨ２−は、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＮＨ−又は−ＮＲ８−で置き換っていてもよく、Ｒ９及びＲ１０は、互いに結合して窒素原子を含んだ３〜１０員環の複素環を形成していてもよい。］
【００１４】
Ｒ１〜Ｒ４における炭素数６〜１０の１価の芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、トルイル基、キシリル基、メシチル基、プロピルフェニル基及びブチルフェニル基等が挙げられる。
【００１５】
Ｒ１〜Ｒ４における炭素数６〜１０の１価の芳香族炭化水素基は、置換基として、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、−ＳＯ３−Ｍ＋及び−ＳＯ２ＮＲ９Ｒ１０からなる群から選ばれる少なくとも一種を有していることが好ましく、−ＳＯ３−Ｍ＋及び−ＳＯ２ＮＲ９Ｒ１０からなる群から選ばれる少なくとも一種を有していることがより好ましい。この場合の−ＳＯ３−Ｍ＋としては、−ＳＯ３−＋Ｎ（Ｒ１１）４が好ましい。Ｒ１〜Ｒ４がこれらの基であると、化合物（１）を含む本発明の着色感光性樹脂組成物から、異物の発生が少なく、かつ耐熱性に優れる塗膜やパターンを形成できる。
【００１６】
Ｒ1〜Ｒ4及びＲ８〜Ｒ１１における炭素数１〜２０の１価の飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、２−エチルヘキシル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基、ヘキサデシル基、イコシル基等の炭素数１〜２０のアルキル基；シクロプロピル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、トリシクロデシル基等の炭素数３〜２０の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
【００１７】
Ｒ1〜Ｒ4における該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、例えば、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
またＲ9及びＲ10を表す炭素数１〜２０の１価の飽和炭化水素基は、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子が、−ＯＨ又はハロゲン原子で置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる−ＣＨ2−は、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＮＨ−又は−ＮＲ8−で置き換っていてもよい。
【００１８】
Ｒ1及びＲ２が一緒になって形成する環、並びにＲ３及びＲ４が一緒になって形成する環としては、例えば、以下のものが挙げられる。
2012230365.tif 000003
【００１９】
Ｒ9及びＲ10は、互いに結合して窒素原子を含んだ３〜１０員環の複素環を形成していてもよい。該複素環としては、例えば、以下のものが挙げられる。
2012230365.tif 000004
【００２０】
−ＯＲ8としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、２−エチルヘキシルオキシ基及びイコシルオキシ基等が挙げられる。
【００２１】
−ＣＯ2Ｒ8としては、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基及びイコシルオキシカルボニル基等が挙げられる。
【００２２】
−ＳＲ8としては、例えば、メチルスルファニル基、エチルスルファニル基、ブチルスルファニル基、ヘキシルスルファニル基、デシルスルファニル基及びイコシルスルファニル基等が挙げられる。
−ＳＯ2Ｒ8としては、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、デシルスルホニル基及びイコシルスルホニル基等が挙げられる。
−ＳＯ3Ｒ8としては、例えば、メトキシスルホニル基、エトキシスルホニル基、プロポキシスルホニル基、ｔｅｒｔ−ブトキシスルホニル基、ヘキシルオキシスルホニル基及びイコシルオキシスルホニル基等が挙げられる。
【００２３】
−ＳＯ2ＮＲ9Ｒ10としては、例えば、スルファモイル基；
Ｎ−メチルスルファモイル基、Ｎ−エチルスルファモイル基、Ｎ−プロピルスルファモイル基、Ｎ−イソプロピルスルファモイル基、Ｎ−ブチルスルファモイル基、Ｎ−イソブチルスルファモイル基、Ｎ−ｓｅｃ−ブチルスルファモイル基、Ｎ−ｔｅｒｔ−ブチルスルファモイル基、Ｎ−ペンチルスルファモイル基、Ｎ−（１−エチルプロピル）スルファモイル基、Ｎ−（１，１−ジメチルプロピル）スルファモイル基、Ｎ−（１，２−ジメチルプロピル）スルファモイル基、Ｎ−（２，２−ジメチルプロピル）スルファモイル基、Ｎ−（１−メチルブチル）スルファモイル基、Ｎ−（２−メチルブチル）スルファモイル基、Ｎ−（３−メチルブチル）スルファモイル基、Ｎ−シクロペンチルスルファモイル基、Ｎ−ヘキシルスルファモイル基、Ｎ−（１，３−ジメチルブチル）スルファモイル基、Ｎ−（３，３−ジメチルブチル）スルファモイル基、Ｎ−ヘプチルスルファモイル基、Ｎ−（１−メチルヘキシル）スルファモイル基、Ｎ−（１，４−ジメチルペンチル）スルファモイル基、Ｎ−オクチルスルファモイル基、Ｎ−（２−エチルヘキシル）スルファモイル基、Ｎ−（１，５−ジメチル）ヘキシルスルファモイル基、Ｎ−（１，１，２，２−テトラメチルブチル）スルファモイル基等のＮ−１置換スルファモイル基；
Ｎ，Ｎ−ジメチルスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−エチルメチルスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ジエチルスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−プロピルメチルスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−イソプロピルメチルスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ｔｅｒｔ−ブチルメチルスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ブチルエチルスルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ビス（１−メチルプロピル）スルファモイル基、Ｎ，Ｎ−ヘプチルメチルスルファモイル基等のＮ，Ｎ−２置換スルファモイル基等が挙げられる。
【００２４】
Ｒ５は、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２Ｒ８、−ＳＯ３−、−ＳＯ３−Ｍ＋、−ＳＯ３Ｈ又はＳＯ２ＮＨＲ９が好ましく、ＳＯ３−、−ＳＯ３−Ｍ＋、−ＳＯ３Ｈ又はＳＯ２ＮＨＲ９がより好ましい。
ｍは、１〜４が好ましく、１又は２がより好ましい。
【００２５】
Ｒ６及びＲ７における炭素数１〜６のアルキル基としては、上記で挙げたアルキル基のうち、炭素数１〜６のものが挙げられる。
【００２６】
Ｒ１１における炭素数７〜１０のアラルキル基としては、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルブチル基等が挙げられる。
【００２７】
Ｍ＋は、＋Ｎ（Ｒ１１）４、Ｎａ＋又はＫ＋であり、好ましくは＋Ｎ（Ｒ１１）４である。
＋Ｎ（Ｒ１１）４としては、４つのＲ１１のうち、少なくとも２つが炭素数５〜２０の１価の飽和炭化水素基であることが好ましい。また、４つのＲ１１の合計炭素数は２０〜８０が好ましく、２０〜６０がより好ましい。化合物（１）中に＋Ｎ（Ｒ１１）４が存在する場合、Ｒ１１がこれらの基であると、化合物（１）を含む本発明の着色感光性樹脂組成物から、異物が少ない塗膜やパターンを形成できる。
【００２８】
化合物（１）としては、式（２）で表される化合物（以下「化合物（２）」という場合がある）が好ましく、キサンテン染料としては、化合物（２）を含む染料がより好ましい。化合物（２）は、その互変異性体であってもよい。化合物（２）を用いる場合、キサンテン染料（Ａ１）中の化合物（２）の含有量は５０質量％以上が好ましく、より好ましくは７０質量％以上、さらに好ましくは９０質量％以上である。特に、キサンテン染料（Ａ１）として、化合物（２）のみを用いることが好ましい。
【００２９】
2012230365.tif 000005
【００３０】
［式（２）中、Ｒ２１〜Ｒ２４は、それぞれ独立に、水素原子、−Ｒ２６又は炭素数６〜１０の１価の芳香族炭化水素基を表し、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−ＳＯ３−、−ＳＯ３−Ｍａ＋、−ＳＯ３Ｈ、−ＳＯ３Ｒ２６又は−ＳＯ２ＮＨＲ２６で置換されていてもよい。
Ｘａは、ハロゲン原子を表す。
ａ１は、０又は１の整数を表す。
ｍ１は、０〜５の整数を表す。ｍ１が２以上の場合、複数のＲ２５は同一であるか相異なる。
Ｍａ＋は、＋Ｎ（Ｒ２７）４、Ｎａ＋又はＫ＋を表す。
Ｒ２５は、−ＳＯ３−、−ＳＯ３−Ｍａ＋、−ＳＯ３Ｈ又はＳＯ２ＮＨＲ２６を表す。
Ｒ２６は、炭素数１〜２０の１価の飽和炭化水素基を表す。
Ｒ２７は、それぞれ独立に、炭素数１〜２０の１価の飽和炭化水素基又はベンジル基を表す。］
【００３１】
Ｒ２１〜Ｒ２４における炭素数６〜１０の１価の芳香族炭化水素基としては、Ｒ１〜Ｒ４における芳香族炭化水素基として挙げたものと同様の基が挙げられる。
中でも、Ｒ21〜Ｒ24の組合せとしては、好ましくは、Ｒ２１及びＲ２３が水素原子であり、かつＲ２２及びＲ２４が炭素数６〜１０の１価の芳香族炭化水素基であり、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−ＳＯ３−、−ＳＯ３−Ｍ＋、−ＳＯ３Ｈ、−ＳＯ３Ｒ２６又は−ＳＯ２ＮＨＲ２６で置換されていてもよいものである。より好ましくは、Ｒ２１及びＲ２３が水素原子であり、かつＲ２２及びＲ２４が炭素数６〜１０の１価の芳香族炭化水素基であり、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−ＳＯ３−Ｍ＋又は−ＳＯ２ＮＨＲ２６で置換されていてもよいものである。Ｒ２１〜Ｒ２４がこれらの基であると、化合物（２）を含む本発明の着色感光性樹脂組成物から、耐熱性に優れる塗膜やパターンを形成できる。
【００３２】
Ｒ２６及びＲ２７における炭素数１〜２０の１価の飽和炭化水素基としては、Ｒ８〜Ｒ１１における飽和炭化水素基として挙げたものと同様の基が挙げられる。
Ｒ２１〜Ｒ２４が−Ｒ２６である場合、−Ｒ２６は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はエチル基であることが好ましい。
−ＳＯ３Ｒ２６及び−ＳＯ２ＮＨＲ２６におけるＲ２６としては、炭素数３〜２０の分枝鎖状アルキル基が好ましく、炭素数６〜１２の分枝鎖状アルキル基がより好ましく、２−エチルヘキシル基がさらに好ましい。Ｒ２６がこれらの基であると、化合物（２）を含む着色感光性樹脂組成物は、異物の発生が少ない塗膜やパターンを形成できる。
【００３３】
Ｍａ＋は、＋Ｎ（Ｒ２７）４、Ｎａ＋又はＫ＋であり、好ましくは＋Ｎ（Ｒ２７）４である。
＋Ｎ（Ｒ２７）４としては、４つのＲ２７のうち、少なくとも２つが炭素数５〜２０の１価の飽和炭化水素基であることが好ましい。また、４つのＲ２７の合計炭素数は２０〜８０が好ましく、２０〜６０がより好ましい。化合物（２）中に＋Ｎ（Ｒ２７）４が存在する場合、Ｒ２７がこれらの基である化合物（２）を含む本発明の着色感光性樹脂組成物から、異物の発生が少ない塗膜やパターンを形成できる。
【００３４】
化合物（１）としては、例えば、式（１−１）〜式（１−３０）で表される化合物が挙げられる。尚、下記式中、Ｒａは炭素数１〜２０の１価の飽和炭化水素基を表し、好ましくは炭素数６〜１２の分枝鎖状アルキル基、さらに好ましくは２−エチルヘキシル基を表す。これらの中でも、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド２８９のスルホンアミド化物、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド２８９の４級アンモニウム塩、Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット１０２のスルホンアミド化物又はＣ．Ｉ．アシッドバイオレット１０２の４級アンモニウム塩が好ましい。このような化合物としては、例えば、式（１−１）〜式（１−８）、式（１−１１）又は式（１−１２）で表される化合物等が挙げられる。
【００３５】
2012230365.tif 000006
【００３６】
2012230365.tif 000007
【００３７】
2012230365.tif 000008
【００３８】
2012230365.tif 000009
【００３９】
2012230365.tif 000010
【００４０】
2012230365.tif 000011
【００４１】
また、キサンテン染料（Ａ１）としては、式（３）で表される化合物（以下「化合物（３）」という場合がある）を含む染料もより好ましい。化合物（３）は、その互変異性体であってもよい。化合物（３）を使用する場合、キサンテン染料（Ａ１）中の化合物（３）の含有量は５０質量％以上が好ましく、より好ましくは７０質量％以上、さらに好ましくは９０質量％以上である。
【００４２】
2012230365.tif 000012
［式（３）中、Ｒ31及びＲ32は、互いに独立に、炭素数１〜１０のアルキル基を表す。Ｒ33及びＲ34は、互いに独立に、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のアルキルスルファニル基または炭素数１〜４のアルキルスルホニル基を表す。Ｒ31及びＲ33は、一緒になって窒素原子を含む環を形成してもよく、Ｒ32及びＲ34は、一緒になって窒素原子を含む環を形成してもよい。
ｐ及びｑは、互いに独立に、０〜５の整数を表す。ｐが２以上の場合、複数のＲ33は同一であっても異なっていてもよく、ｑが２以上である場合、複数のＲ34は同一であっても異なっていてもよい。］
【００４３】
Ｒ31及びＲ32を表す炭素数１〜１０のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソプロピル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ヘキシル基、２−エチルヘキシル基、ノニル基、デシル基等が挙げられる。Ｒ33及びＲ34を表す炭素数１〜４のアルキル基としては、これらのうち、炭素数４までの基が挙げられる。
Ｒ33及びＲ34を表す炭素数１〜４のアルキルスルファニル基としては、メチルスルファニル基、エチルスルファニル基、プロピルスルファニル基、ブチルスルファニル基及びイソプロピルスルファニル基等が挙げられる。
Ｒ33及びＲ34を表す炭素数１〜４のアルキルスルホニル基としては、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基及びイソプロピルスルホニル基等が挙げられる。
Ｒ31及びＲ32は、互いに独立に、メチル基、エチル基、プロピル基又はイソプロピル基であることが好ましい。Ｒ33及びＲ34は、炭素数１〜４のアルキル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。
ｐ及びｑは、互いに独立に、０〜２の整数が好ましく、１又は２がよりが好ましい。
【００４４】
化合物（３）としては、例えば、それぞれ、式（１−３１）〜式（１−４３）で表される化合物が挙げられる。中でも、有機溶媒への溶解性に優れる点で、式（１−３１）〜式（１−４０）で表される化合物が好ましい。
【００４５】
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【００４６】
2012230365.tif 000014
【００４７】
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【００４８】
キサンテン染料（Ａ１）としては、市販されているキサンテン染料（例えば、中外化成（株）製の「Chugai Aminol Fast Pink R-H/C」、田岡化学工業（株）製の「Rhodamin 6G」等）を用いることもできる。また、市販されているキサンテン染料を出発原料として、特開２０１０−３２９９９号公報を参考にして合成することもできる。
【００４９】
キサンテン染料（Ａ１）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは０．１〜５０質量％、より好ましくは０．１〜３０質量％、さらに好ましくは０．１〜２０質量％であり、とりわけ好ましくは０．１〜１０質量％である。キサンテン染料（Ａ１）を前記含有量で含有することにより、現像性に優れた着色感光性樹脂組成物となる。ここで、本明細書中における固形分とは、本発明の着色感光性樹脂組成物から溶剤を除く成分の合計量をいう。固形分及び各成分の含有量は、例えば、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィーなどの公知の分析手段で測定することができる。
【００５０】
着色剤（Ａ）は、キサンテン染料（Ａ１）以外の染料（以下「染料（Ａ３）」という場合がある）を、キサンテン染料（Ａ１）とともに含んでいてもよい。染料（Ａ３）としては特に限定されず、公知の染料を使用することができ、例えば、溶剤染料、酸性染料、直接染料、媒染染料等が挙げられる。中でも、有機溶剤可溶性染料が好ましい。
【００５１】
染料（Ａ３）としては、例えば、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメント以外で色相を有するものに分類されている化合物や、染色ノート（色染社）に記載されている公知の染料が挙げられる。
具体的には、溶剤染料として、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー４（以下、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエローの記載を省略し、番号のみの記載とする。）、１４、１５、２３、２４、３８、６２、６３、６８、８２、９４、９８、９９、１６２；
Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド４５、４９、１２５、１３０；
Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ２、７、１１、１５、２６、５６；
Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー３５、３７、５９、６７；
Ｃ．Ｉ．ソルベントグリーン１、３、４、５、７、２８、２９、３２、３３、３４、３５等、
酸性染料として、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１、３、７、９、１１、１７、２３、２５、２９、３４、３６、３８、４０、４２、５４、６５、７２、７３、７６、７９、９８、９９、１１１、１１２、１１３、１１４、１１６、１１９、１２３、１２８、１３４、１３５、１３８、１３９、１４０、１４４、１５０、１５５、１５７、１６０、１６１、１６３、１６８、１６９、１７２、１７７、１７８、１７９、１８４、１９０、１９３、１９６、１９７、１９９、２０２、２０３、２０４、２０５、２０７、２１２、２１４、２２０、２２１、２２８、２３０、２３２、２３５、２３８、２４０、２４２、２４３、２５１；
Ｃ．Ｉ．アシッドレッド１、４、８、１４、１７、１８、２６、２７、２９、３１、３４、３５、３７、４２、４４、５７、６６、７３、８０、８８、９７、１０３、１１１、１１４、１２９、１３３、１３４、１３８、１４３、１４５、１５０、１５１、１５８、１７６、１８２、１８３、１９５、１９８、２０６、２１１、２１５、２１６、２１７、２２７、２２８、２４９、２５２、２５７、２５８、２６０、２６１、２６６、２６８、２７０、２７４、２７７、２８０、２８１、３０８、３１２、３１５、３１６、３３９、３４１、３４５、３４６、３４９、３８２、３８３、３９４、４０１、４１２、４１７、４１８、４２２、４２６；
Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ６、７、８、１０、１２、２６、５０、５１、５２、５６、６２、６３、６４、７４、７５、９４、９５、１０７、１０８、１６９、１７３；
Ｃ．Ｉ．アシッドブルー１、７、９、１５、１８、２３、２５、２７、２９、４０、４２、４５、５１、６２、７０、７４、８０、８３、８６、８７、９０、９２、９６、１０３、１１２、１１３、１２０、１２９、１３８、１４７、１５０、１５８、１７１、１８２、１９２、２１０、２４２、２４３、２５６、２５９、２６７、２７８、２８０、２８５、２９０、２９６、３１５、３２４：１、３３５、３４０；
Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット６Ｂ、７、１７、１９；
Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１、３、５、９、１６、２５、２７、５０、５８、６３、６５、８０、１０４、１０５、１０６、１０９等、
直接染料として、Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー２、３３、３４、３５、３８、３９、４３、４７、５０、５４、５８、６８、６９、７０、７１、８６、９３、９４、９５、９８、１０２、１０８、１０９、１２９、１３６、１３８、１４１；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド７９、８２、８３、８４、９１、９２、９６、９７、９８、９９、１０５、１０６、１０７、１７２、１７３、１７６、１７７、１７９、１８１、１８２、１８４、２０４、２０７、２１１、２１３、２１８、２２０、２２１、２２２、２３２、２３３、２３４、２４１、２４３、２４６、２５０；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトオレンジ３４、３９、４１、４６、５０、５２、５６、５７、６１、６４、６５、６８、７０、９６、９７、１０６、１０７；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトブルー５７、７７、８０、８１、８４、８５、８６、９０、９３、９４、９５、９７、９８、９９、１００、１０１、１０６、１０７、１０８、１０９、１１３、１１４、１１５、１１７、１１９、１３７、１４９、１５０、１５３、１５５、１５６、１５８、１５９、１６０、１６１、１６２、１６３、１６４、１６６、１６７、１７０、１７１、１７２、１７３、１８８、１８９、１９０、１９２、１９３、１９４、１９６、１９８、１９９、２００、２０７、２０９、２１０、２１２、２１３、２１４、２２２、２２８、２２９、２３７、２３８、２４２、２４３、２４４、２４５、２４７、２４８、２５０、２５１、２５２、２５６、２５７、２５９、２６０、２６８、２７４、２７５、２９３；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトバイオレット４７、５２、５４、５９、６０、６５、６６、７９、８０、８１、８２、８４、８９、９０、９３、９５、９６、１０３、１０４；
Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン２５、２７、３１、３２、３４、３７、６３、６５、６６、６７、６８、６９、７２、７７、７９、８２等、
媒染染料として、Ｃ．Ｉ．モーダント染料、例えば、Ｃ．Ｉ．モーダントイエロー５、８、１０、１６、２０、２６、３０、３１、３３、４２、４３、４５、５６、６１、６２、６５；
Ｃ．Ｉ．モーダントレッド１、２、３、４、９、１１、１２、１４、１７、１８、１９、２２、２３、２４、２５、２６、３０、３２、３３、３６、３７、３８、３９、４１、４３、４５、４６、４８、５３、５６、６３、７１、７４、８５、８６、８８、９０、９４、９５；
Ｃ．Ｉ．モーダントオレンジ３、４、５、８、１２、１３、１４、２０、２１、２３、２４、２８、２９、３２、３４、３５、３６、３７、４２、４３、４７、４８；
Ｃ．Ｉ．モーダントブルー１、２、３、７、８、９、１２、１３、１５、１６、１９、２０、２１、２２、２３、２４、２６、３０、３１、３２、３９、４０、４１、４３、４４、４８、４９、５３、６１、７４、７７、８３、８４；
Ｃ．Ｉ．モーダントバイオレット１、２、４、５、７、１４、２２、２４、３０、３１、３２、３７、４０、４１、４４、４５、４７、４８、５３、５８；
Ｃ．Ｉ．モーダントグリーン１、３、４、５、１０、１５、１９、２６、２９、３３、３４、３５、４１、４３、５３等が挙げられる。
これらの染料は、所望するカラーフィルタの分光スペクトルに合わせて適宜選択すればよい。これらの染料は、単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００５２】
本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる着色剤（Ａ）は、さらに顔料（Ａ２）を含むことが好ましい。
【００５３】
顔料（Ａ２）としては、具体的には、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメントに分類されている化合物が挙げられる。具体的には、例えばＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１２８、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１７３、１９４、２１４等の黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、３１、３６、３８、４０、４２、４３、５１、５５、５９、６１、６４、６５、７１、７３等のオレンジ色の顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１０５、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７６、１７７、１８０、１９２、２０９、２１５、２１６、２２４、２４２、２５４、２５５、２６４、２６５等の赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０等の青色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８等のバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８等の緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５等のブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７等の黒色顔料等が挙げられる。
【００５４】
中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２０９、２４２、２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、１５：６及びＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、５８が好ましい。これらの顔料は、単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【００５５】
上記顔料は、分散剤の存在下で分散処理を行い、顔料が溶剤中で均一に分散した状態の顔料分散液としてから、用いることが好ましい。前記の分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、ポリエステル系及びポリアミン系等の界面活性剤等が挙げられ、これらの分散剤は単独でも２種以上を組合せて用いてもよい。
【００５６】
分散剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でＫＰ（信越化学工業（株）製）、フローレン（共栄社化学（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、ＥＦＫＡ（ＣＩＢＡ社製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（ビックケミー社製）及びアジスパー（味の素ファインテクノ（株）製）等が挙げられる。
【００５７】
分散剤を用いる場合、その使用量は顔料（Ａ２）１００質量部に対して、好ましくは０．１〜１００質量部、より好ましくは５〜５０質量部である。分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な分散液が得られる傾向にあるため好ましい。
【００５８】
着色剤（Ａ）が、キサンテン染料（Ａ１）及び顔料（Ａ２）を含む場合、キサンテン染料（Ａ１）及び顔料（Ａ２）の含有量は、着色剤（Ａ）に対して、それぞれ以下の範囲内にあることが好ましい。
キサンテン染料（Ａ１）；１〜５０質量％（より好ましくは１〜４０質量％、さらに好ましくは１〜３０質量％）
顔料（Ａ２）；５０〜９９質量％（より好ましくは６０〜９９質量％、さらに好ましくは７０〜９９質量％）
キサンテン染料（Ａ１）及び顔料（Ａ２）の含有量が前記の範囲内にあると、得られるカラーフィルタは、コントラスト、明度、耐熱性、耐薬品性に優れる傾向がある。
【００５９】
また、着色剤（Ａ）が、キサンテン染料（Ａ１）、染料（Ａ３）及び顔料（Ａ２）を含む場合、これらの含有量は、着色剤（Ａ）に対して、以下の範囲であることが好ましい。
キサンテン染料（Ａ１）；１〜５０質量％（より好ましくは１〜４０質量％、さらに好ましくは１〜３０質量％）
染料（Ａ３）；１〜５０質量％（より好ましくは１〜４０質量％、さらに好ましくは１〜３０質量％）
顔料（Ａ２）；５０〜９８質量％（より好ましくは６０〜９８質量％、さらに好ましくは７０〜９８質量％）
キサンテン染料（Ａ１）、染料（Ａ３）及び顔料（Ａ２）の含有量が前記の範囲内にあると、得られるカラーフィルタは、コントラスト、明度、耐熱性、耐薬品性に優れる傾向がある。
【００６０】
着色剤（Ａ）の合計量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは５〜６５質量％、より好ましくは８〜６０質量％、さらに好ましくは１０〜５５質量％である。
【００６１】
本発明の着色感光性樹脂組成物は樹脂（Ｂ）を含み、樹脂（Ｂ）は、不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも一種に由来する構造単位と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位とを有する共重合体である。着色感光性樹脂組成物が樹脂（Ｂ）を含むことにより、現像時にパターンの一部剥離を抑制することができる。
前記共重合体におけるＮ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位の含有率は、前記共重合体の全構造単位に対して、通常１モル％以上であり、好ましくは３５モル％以上であり、より好ましくは４３モル％以上である。また、通常９０モル％以下であり、好ましくは８５モル％以下であり、より好ましくは７５モル％以下である。Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位の含有率が前記の範囲内にあると、剥離片に由来する異物の発生が少ないことに加え、高明度なカラーフィルタが得られる傾向がある。
【００６２】
樹脂（Ｂ）としては、例えば、以下の共重合体［Ｔ１］〜［Ｔ８］等が挙げられる。
［Ｔ１］不飽和カルボン酸及び不飽和カルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも一種（以下「（ａ）」という場合がある）と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体。
［Ｔ２］（ａ）と、炭素数２〜４の環状エーテル構造とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ）（以下「（ｂ）」という場合がある）と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体。
［Ｔ３］（ａ）と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドと、（ａ）と共重合可能な単量体（ｃ）（ただし、（ａ）、（ｂ）及びＮ−シクロヘキシルマレイミドとは異なる。）（以下「（ｃ）」という場合がある）との共重合体。
［Ｔ４］（ａ）と、（ｂ）と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドと、（ｃ）との共重合体。
［Ｔ５］共重合体［Ｔ１］及び／又は共重合体［Ｔ３］に（ｂ）を反応させて得られる樹脂。
［Ｔ６］（ｂ）と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体に、（ａ）を反応させて得られる樹脂。
［Ｔ７］（ｂ）と（ｃ）とＮ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体に、（ａ）を反応させて得られる樹脂。
［Ｔ８］共重合体［Ｔ６］に、さらにカルボン酸無水物を反応させて得られる樹脂。
［Ｔ９］共重合体［Ｔ７］に、さらにカルボン酸無水物を反応させて得られる樹脂。
【００６３】
（ａ）としては、具体的には、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ｏ−、ｍ−、ｐ−ビニル安息香酸等の不飽和モノカルボン酸類；
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸、３−ビニルフタル酸、４−ビニルフタル酸、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸、ジメチルテトラヒドロフタル酸、１、４−シクロヘキセンジカルボン酸等の不飽和ジカルボン酸類；
メチル−５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸、５−カルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシ−６−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のカルボキシ基を含有するビシクロ不飽和化合物類；
無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、３−ビニルフタル酸無水物、４−ビニルフタル酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン無水物等の不飽和ジカルボン酸類無水物；
【００６４】
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸の不飽和モノ〔（メタ）アクリロイルオキシアルキル〕エステル類；
α−（ヒドロキシメチル）アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基及びカルボキシ基を含有する不飽和アクリレート類等が挙げられる。
共重合反応性の点や樹脂のアルカリ水溶液への溶解性の点から、（ａ）としては、アクリル酸、メタクリル酸及び無水マレイン酸等が好ましい。
【００６５】
（ｂ）は、例えば、炭素数２〜４の環状エーテル構造（例えば、オキシラン環、オキセタン環及びテトラヒドロフラン環からなる群から選ばれる少なくとも一種）とエチレン性不飽和結合とを有する重合性化合物をいう。（ｂ）は、炭素数２〜４の環状エーテル構造と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体が好ましい。
尚、本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸及びメタクリル酸よりなる群から選ばれる少なくとも一種を表す。「（メタ）アクリロイル」及び「（メタ）アクリレート」等の表記も、同様の意味を有する。
【００６６】
（ｂ）としては、例えば、オキシラニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ１）（以下「（ｂ１）」という場合がある）、オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ２）（以下「（ｂ２）」という場合がある）、テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ３）（以下「（ｂ３）」という場合がある）等が挙げられる。
【００６７】
（ｂ１）は、例えば、直鎖状又は分枝鎖状脂肪族不飽和炭化水素がエポキシ化された構造を有する単量体（ｂ１−１）（以下「（ｂ１−１）」という場合がある）、脂環式不飽和炭化水素がエポキシ化された構造を有する単量体（ｂ１−２）（以下「（ｂ１−２）」という場合がある）が挙げられる。
【００６８】
（ｂ１−１）としては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、β−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、β−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、グリシジルビニルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、２，３−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，４−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，５−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，６−ビス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，４−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、２，３，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン、３，４，５−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン及び２，４，６−トリス（グリシジルオキシメチル）スチレン等が挙げられる。
【００６９】
（ｂ１−２）としては、例えば、ビニルシクロヘキセンモノオキサイド、１，２−エポキシ−４−ビニルシクロヘキサン（例えば、セロキサイド２０００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート（例えば、サイクロマーＡ４００；ダイセル化学工業（株）製）、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート（例えば、サイクロマーＭ１００；ダイセル化学工業（株）製）、式（Ｉ）で表される化合物及び式（ＩＩ）で表される化合物等が挙げられる。
【００７０】
2012230365.tif 000016
【００７１】
［式（Ｉ）及び式（ＩＩ）中、Ｒａ及びＲｂは、互いに独立に、水素原子、又は炭素数１〜４のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｘ１及びＸ２は、互いに独立に、単結合、−Ｒｃ−、＊−Ｒｃ−Ｏ−、＊−Ｒｃ−Ｓ−、＊−Ｒｃ−ＮＨ−を表す。
Ｒｃは、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表す。
＊は、Ｏとの結合手を表す。］
【００７２】
炭素数１〜４のアルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基等が挙げられる。
水素原子がヒドロキシで置換されたアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基、１−ヒドロキシプロピル基、２−ヒドロキシプロピル基、３−ヒドロキシプロピル基、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル基、２−ヒドロキシ−１−メチルエチル基、１−ヒドロキシブチル基、２−ヒドロキシブチル基、３−ヒドロキシブチル基、４−ヒドロキシブチル基等が挙げられる。
Ｒａ及びＲｂとしては、好ましくは水素原子、メチル基、ヒドロキシメチル基、１−ヒドロキシエチル基、２−ヒドロキシエチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基が挙げられる。
【００７３】
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン−１，２−ジイル基、プロパン−１，３−ジイル基、ブタン−１，４−ジイル基、ペンタン−１，５−ジイル基、ヘキサン−１，６−ジイル基等が挙げられる。
Ｘ１及びＸ２としては、好ましくは単結合、メチレン基、エチレン基、＊−ＣＨ２−Ｏ−（＊はＯとの結合手を表す）基、＊−ＣＨ２ＣＨ２−Ｏ−基が挙げられ、より好ましくは単結合、＊−ＣＨ２ＣＨ２−Ｏ−基が挙げられる。
【００７４】
式（Ｉ）で表される化合物としては、式（Ｉ−１）〜式（Ｉ−１５）のいずれかで表される化合物等が挙げられ、好ましくは式（Ｉ−１）、式（Ｉ−３）、式（Ｉ−５）、式（Ｉ−７）、式（Ｉ−９）又は式（Ｉ−１１）〜式（Ｉ−１５）で表される化合物であり、より好ましくは式（Ｉ−１）、式（Ｉ−７）、式（Ｉ−９）又は式（Ｉ−１５）で表される化合物である。
【００７５】
2012230365.tif 000017
【００７６】
2012230365.tif 000018
【００７７】
式（ＩＩ）で表される化合物としては、式（ＩＩ−１）〜式（ＩＩ−１５）のいずれかで表される化合物等が挙げられ、好ましくは式（ＩＩ−１）、式（ＩＩ−３）、式（ＩＩ−５）、式（ＩＩ−７）、式（ＩＩ−９）又は式（ＩＩ−１１）〜式（ＩＩ−１５）で表される化合物であり、より好ましくは式（ＩＩ−１）、式（ＩＩ−７）、式（ＩＩ−９）又は式（ＩＩ−１５）で表される化合物である。
【００７８】
2012230365.tif 000019
【００７９】
2012230365.tif 000020
【００８０】
式（Ｉ）で表される化合物及び式（ＩＩ）で表される化合物は、それぞれ単独で、または、任意の比率で混合することができる。混合する場合、その混合比率はモル比で、好ましくは式（Ｉ）：式（ＩＩ）で、５：９５〜９５：５、より好ましくは１０：９０〜９０：１０、さらに好ましくは２０：８０〜８０：２０である。
【００８１】
オキセタニル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ２）としては、オキセタニル基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。（ｂ２）としては、３−メチル−３−メタクリルロイルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロイルオキシメチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロイルオキシメチルオキセタン、３−エチル−３−アクリロイルオキシメチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロイルオキシエチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロイルオキシエチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロイルオキシエチルオキセタン、３−エチル−３−アクリロイルオキシエチルオキセタン等が挙げられる。
【００８２】
テトラヒドロフリル基とエチレン性不飽和結合とを有する単量体（ｂ３）としては、テトラヒドロフリル基と（メタ）アクリロイルオキシ基とを有する単量体がより好ましい。（ｂ３）としては、具体的には、テトラヒドロフルフリルアクリレート（例えば、ビスコートＶ＃１５０、大阪有機化学工業（株）製）、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等が挙げられる。
【００８３】
共重合体［Ｔ２］及び［Ｔ４］における（ｂ）としては、得られるカラーフィルタの耐熱性、耐薬品性等の信頼性をより高くすることができる点で、（ｂ１）であることが好ましい。さらに、着色感光性樹脂組成物の保存安定性が優れるという点で、（ｂ１−２）がより好ましく、式（Ｉ）で表される化合物及び式（ＩＩ）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも一種がさらに好ましい。
【００８４】
（ｃ）としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０2,6］デカン−８−イル（メタ）アクリレート（当該技術分野では、慣用名として「ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート」といわれている。また、「トリシクロデシル（メタ）アクリレート」という場合がある。）、ジシクロペンタニルオキシエチル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０2,6］デセン−８−イル（メタ）アクリレート（当該技術分野では、慣用名として、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレートといわれている。）、イソボルニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、プロパルギル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル類；
２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシ基含有（メタ）アクリル酸エステル類；
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジエステル；
【００８５】
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−エトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（ヒドロキシメチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジ（２’−ヒドロキシエチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジエトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシ−５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−シクロヘキシルオキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−フェノキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ビス（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ビス（シクロヘキシルオキシカルボニル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のビシクロ不飽和化合物類；
【００８６】
Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドベンゾエート、Ｎ−スクシンイミジル−４−マレイミドブチレート、Ｎ−スクシンイミジル−６−マレイミドカプロエート、Ｎ−スクシンイミジル−３−マレイミドプロピオネート、Ｎ−（９−アクリジニル）マレイミド等のジカルボニルイミド誘導体類；
【００８７】
スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−メトキシスチレン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン等が挙げられる。
これらのうち、共重合反応性及び現像性の点から、スチレン、ベンジルメタクリレート、ビニルトルエン、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等が好ましい。
【００８８】
共重合体［Ｔ１］において、構造単位それぞれの含有率は、共重合体［Ｔ１］を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；１０〜６０モル％（より好ましくは１５〜５７モル％、さらに好ましくは１５〜４０モル％）
Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位；４０〜９０モル％（より好ましくは４３〜８５モル％、さらに好ましくは６０〜８５モル％）
共重合体［Ｔ１］の各構造単位の含有率が、上記の範囲にあると、現像性が良好であり、かつ現像時にパターンの一部剥離が起こりにくい。
【００８９】
共重合体［Ｔ２］において、構造単位それぞれの含有率は、共重合体［Ｔ２］を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；４〜４５モル％（より好ましくは１０〜４５モル％、さらに好ましくは１５〜４０モル％）
（ｂ）に由来する構造単位；２〜９５モル％（より好ましくは５〜８０モル％、さらに好ましくは５〜４０モル％）
Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位；１〜６５モル％（より好ましくは５〜６０モル％、さらに好ましくは４３〜６０モル％）
共重合体［Ｔ２］の各構造単位の含有率が、上記の範囲にあると、現像性が良好であり、かつ現像時にパターンの一部剥離が起こりにくく、さらに、得られるパターンの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度に優れる傾向がある。
共重合体［Ｔ２］としては、（ａ）と（ｂ１）とＮ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体が好ましく、（ａ）と（ｂ１−２）とＮ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体がより好ましく、（メタ）アクリル酸と（ｂ１−２）とＮ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体がさらに好ましい。
【００９０】
共重合体［Ｔ３］において、構造単位それぞれの含有率は、共重合体［Ｔ３］を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；４〜４５モル％（より好ましくは５〜３０モル％、さらに好ましくは１０〜３０モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；１〜６５モル％（より好ましくは５〜６０モル％、さらに好ましくは２０〜５０モル％）
Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位；１〜６５モル％（より好ましくは５〜６０モル％、さらに好ましくは２０〜５０モル％）
共重合体［Ｔ３］の各構造単位の含有率が、上記の範囲にあると、現像性が良好であり、かつ現像時にパターンの一部剥離が起こりにくく、さらに、得られるパターンの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度に優れる傾向がある。
共重合体［Ｔ３］としては、（メタ）アクリル酸と（ｃ）とＮ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体が好ましく、（メタ）アクリル酸と、スチレン、ビニルトルエン、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート及びベンジルメタクリレートからなる群から選ばれる少なくとも一種と、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体がより好ましい。
【００９１】
共重合体［Ｔ４］において、構造単位それぞれの含有率は、共重合体［Ｔ４］を構成する全構造単位中、以下の範囲にあることが好ましい。
（ａ）に由来する構造単位；４〜４５モル％（より好ましくは１０〜４５モル％、さらに好ましくは１０〜４０モル％）
（ｂ）に由来する構造単位；２〜９４モル％（より好ましくは５〜８０モル％、さらに好ましくは５〜４０モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；１〜６５モル％（より好ましくは５〜６０モル％、さらに好ましくは５〜４０モル％）
Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位；１〜６５モル％（より好ましくは５〜６０モル％、さらに好ましくは４３〜６０モル％）
共重合体［Ｔ４］の各構造単位の含有率が、上記の範囲にあると、現像性が良好であり、かつ現像時にパターンの一部剥離が起こりにくく、さらに、得られるパターンの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度に優れる傾向がある。
【００９２】
共重合体［Ｔ１］〜［Ｔ４］は、例えば、文献「高分子合成の実験法」（大津隆行著  発行所（株）化学同人  第１版第１刷  １９７２年３月１日発行）に記載された方法及び当該文献に記載された引用文献を参考にして製造することができる。
【００９３】
具体的には、重合させる単量体それぞれの所定量、重合開始剤及び溶剤等を反応容器中に入れて、例えば、窒素により酸素を置換することにより、脱酸素雰囲気にして、攪拌しながら、加熱及び保温する方法が挙げられる。なお、ここで用いられる重合開始剤及び溶剤等は、特に限定されず、当該分野で通常使用されているもののいずれをも使用することができる。例えば、重合開始剤としては、アゾ化合物（２，２′−アゾビスイソブチロニトリル、２，２′−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）等）や有機過酸化物（ベンゾイルペルオキシド等）が挙げられ、溶剤としては、各モノマーを溶解するものであればよく、着色感光性樹脂組成物の溶剤として後述する溶剤（Ｅ）等を用いることができる。
【００９４】
なお、得られた共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。特に、この重合の際に溶剤として、本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる溶剤を使用することにより、反応後の溶液を着色感光性樹脂組成物の製造にそのまま本発明の着色感光性樹脂組成物の調製に使用することができるため、本発明の着色感光性樹脂組成物の製造工程を簡略化することができる。
【００９５】
共重合体［Ｔ５］は、上記のように得た共重合体［Ｔ１］及び／又は共重合体［Ｔ３］が有する（ａ）由来のカルボン酸及び／又はカルボン酸無水物と、（ｂ）が有する炭素数２〜４の環状エーテルとを反応させることにより製造することができる。
共重合体［Ｔ１］及び／又は共重合体［Ｔ３］の製造に引き続き、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、（ｂ）、カルボン酸又はカルボン酸無水物と環状エーテルとの反応触媒（例えばトリス（ジメチルアミノメチル）フェノール等）、及び重合禁止剤等をフラスコ内に入れて、例えば、６０〜１３０℃で、１〜１０時間反応することにより、共重合体［Ｔ５］を得ることができる。仕込方法、反応温度及び時間等の反応条件は、製造設備や重合による発熱量等を考慮して適宜調整することができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等を考慮し、仕込方法や反応温度を適宜調整することができる。
（ｂ）の使用量は、共重合体［Ｔ１］及び／又は共重合体［Ｔ３］の共重合に使用した（ａ）１００モルに対して、５〜８０モルが好ましく、より好ましくは１０〜７５モルである。この範囲とすることにより、着色感光性樹脂組成物の保存安定性、現像性及び感度、並びに、カラーフィルタの耐溶剤性、耐熱性及び機械強度のバランスが良好になる傾向がある。
カルボン酸又はカルボン酸無水物と環状エーテルとの反応触媒の使用量は、共重合体［Ｔ１］及び／又は共重合体［Ｔ３］の共重合に使用した全単量体並びに（ｂ）の合計量１００質量部に対して、０．００１〜５質量部が好ましい。
重合禁止剤の使用量は、共重合体［Ｔ１］及び／又は共重合体［Ｔ３］の共重合に使用した全単量体並びに（ｂ）の合計量１００質量部に対して、０．００１〜５質量部が好ましい。
環状エーテルの反応性が高く、未反応の（ｂ）が残存しにくいことから、共重合体［Ｔ５］に用いる（ｂ）としては（ｂ１）が好ましく、さらに（ｂ１−１）が好ましい。
【００９６】
共重合体［Ｔ６］は、（ｂ）とＮ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体を得て、該共重合体中の（ｂ）由来の環状エーテルの一部又は全部に、（ａ）が有するカルボン酸又はカルボン酸無水物を反応させることにより製造することができる。
第一段階として、上述した共重合体［Ｔ１］の製造方法と同様にして、（ｂ）とＮ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体を得る。該共重合体は、反応後の溶液をそのまま使用してもよいし、濃縮あるいは希釈した溶液を使用してもよいし、再沈殿等の方法で固体（粉体）として取り出したものを使用してもよい。
（ｂ）及びＮ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位の含有率は、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、それぞれ以下の範囲内にあることが好ましい。
（ｂ）に由来する構造単位；５〜９５モル％（より好ましくは１０〜９０モル％）
Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位；５〜９５モル％（より好ましくは１０〜９０モル％）
【００９７】
さらに、共重合体［Ｔ５］の製造方法と同様の条件で、前記共重合体［Ｔ５］中の（ｂ）に由来する環状エーテルに、（ａ）が有するカルボン酸又はカルボン酸無水物を反応させることにより、共重合体［Ｔ６］を得ることができる。
前記の共重合体に反応させる（ａ）の使用量は、（ｂ）１００モルに対して、５〜８０モルが好ましい。環状エーテルの反応性が高く、未反応の（ｂ）が残存しにくいことから、共重合体［Ｔ６］に用いる（ｂ）としては（ｂ１）が好ましく、さらに（ｂ１−１）が好ましい。
【００９８】
共重合体［Ｔ７］は、共重合体［Ｔ６］と同様の方法で、（ｂ）と（ｃ）とＮ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体を得て、該共重合体中の（ｂ）由来の環状エーテルの一部又は全部に、（ａ）が有するカルボン酸又はカルボン酸無水物を反応させることにより製造することができる。
（ｂ）、（ｃ）及びＮ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位の含有率は、前記の共重合体を構成する全構造単位の合計モル数に対して、以下の範囲内にあることが好ましい。
（ｂ）に由来する構造単位；５〜９５モル％（より好ましくは１０〜９０モル％）
（ｃ）に由来する構造単位；４〜９４モル％（より好ましくは５〜８５モル％）
Ｎ−シクロヘキシルマレイミドに由来する構造単位；１〜９１モル％（より好ましくは５〜８５モル％）
（ｂ）と（ｃ）とＮ−シクロヘキシルマレイミドとの共重合体に反応させる（ａ）の使用量は、（ｂ）１００モルに対して、５〜８０モルが好ましい。環状エーテルの反応性が高く、未反応の（ｂ）が残存しにくいことから、共重合体［Ｔ７］に用いる（ｂ）としては（ｂ１）が好ましく、さらに（ｂ１−１）が好ましい。
【００９９】
共重合体［Ｔ８］は、共重合体［Ｔ６］に、さらにカルボン酸無水物を反応させて得られる樹脂であり、共重合体［Ｔ９］は、共重合体［Ｔ８］に、さらにカルボン酸無水物を反応させて得られる樹脂である。両社とも、環状エーテルとカルボン酸又はカルボン酸無水物との反応により発生するヒドロキシ基に、カルボン酸無水物を反応させることにより製造できる。
カルボン酸無水物としては、例えば、無水マレイン酸、シトラコン酸無水物、イタコン酸無水物、３−ビニルフタル酸無水物、４−ビニルフタル酸無水物、３，４，５，６−テトラヒドロフタル酸無水物、１，２，３，６−テトラヒドロフタル酸無水物、ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、５，６−ジカルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン無水物等が挙げられる。
【０１００】
樹脂（Ｂ）としては、具体的に、（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体等の共重合体［Ｔ１］；３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート／（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体等の共重合体［Ｔ２］；ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体、スチレン／（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体等の共重合体［Ｔ３］；グリシジル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体、グリシジル（メタ）アクリレート／スチレン／（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体、３−メチル−３−（メタ）アクリルロイルオキシメチルオキセタン／（メタ）アクリル酸／スチレン／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体等の共重合体［Ｔ４］；（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを付加させた樹脂、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル（メタ）アクリレート／スチレン／（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを付加させた樹脂、トリシクロデシル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／Ｎ−シクロヘキシルマレイミド共重合体にグリシジル（メタ）アクリレートを付加させた樹脂等の共重合体［Ｔ５］；グリシジル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂等の共重合体［Ｔ６］；ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／グリシジル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／スチレン／グリシジル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂等の共重合体［Ｔ７］；グリシジル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂にさらに無水マレイン酸を反応させた樹脂等の共重合体［Ｔ８］；ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート／グリシジル（メタ）アクリレート／Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの共重合体に（メタ）アクリル酸を反応させた樹脂にさらにテトラヒドロフタル酸無水物を反応させた樹脂等の共重合体［Ｔ９］等が挙げられる。これらの樹脂は、単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【０１０１】
樹脂（Ｂ）としては、共重合体［Ｔ２］、共重合体［Ｔ３］及び共重合体［Ｔ４］が好ましく、共重合体［Ｔ２］及び共重合体［Ｔ３］がより好ましい。
【０１０２】
樹脂（Ｂ）の分子量（重量平均分子量Ｍｗ）は３，０００〜１００，０００であることが好ましく、４，０００〜５０，０００であることがより好ましい。樹脂（Ｂ）の重量平均分子量が、前記の範囲内にあると、着色感光性樹脂組成物の塗布性が良好となり、現像時に画素部分（露光部）の膜減りが生じにくく、さらに現像時に非画素部分（未露光部）の抜け性（現像液に対する溶解性）が良好となる傾向がある。また、得られるカラーフィルタの硬度が高くなる傾向がある。
樹脂（Ｂ）の酸価は３０〜１５０であることが好ましい。酸価が、前記の範囲内にあると、現像液に対する着色感光性樹脂組成物の溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して露光部の残膜率が向上する傾向がある。
【０１０３】
樹脂（Ｂ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、好ましくは７〜６５質量％、より好ましくは１３〜６０質量％、特に好ましくは１７〜５５質量％である。樹脂（Ｂ）の含有量が、前記の範囲内にあると、パターンを形成でき、また解像度及び残膜率が向上する傾向がある。
【０１０４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重合性化合物（Ｃ）を含む。光重合性化合物（Ｃ）は、光重合開始剤（Ｄ）から発生した活性ラジカル等によって重合しうる化合物であれば、特に限定されるものではない。例えば、重合性のエチレン性不飽和結合を有する化合物等が挙げられる。
【０１０５】
中でも、光重合性化合物（Ｃ）としては、エチレン性不飽和結合を３つ以上有する光重合性化合物が好ましく、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、テトラペンタエリスリトールデカ（メタ）アクリレート、テトラペンタエリスリトールノナ（メタ）アクリレート、トリス（２−（メタ）アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、エチレングリコール変性ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エチレングリコール変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、プロピレングリコール変性ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、プロピレングリコール変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。中でも、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
光重合性化合物（Ｃ）の重量平均分子量は、好ましくは１５０以上２，９００以下、より好ましくは２５０〜１，５００以下である。
光重合性化合物（Ｃ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物中の樹脂（Ｂ）１００質量部に対して、好ましくは２０〜１５０質量部である。
【０１０６】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重合開始剤（Ｄ）を含む。光重合開始剤（Ｄ）としては、光の作用により活性ラジカルを発生し、光重合性化合物（Ｃ）の重合を開始する化合物であれば特に限定されることなく、公知の光重合開始剤を用いることができる。光重合開始剤（Ｄ）としては、トリアジン化合物、アルキルフェノン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、オキシム化合物及びビイミダゾール化合物等が挙げられる。中でも、オキシム化合物を含む光重合開始剤が好ましい。
【０１０７】
前記トリアジン化合物としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−(４−メトキシスチリル)−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン等が挙げられる。
【０１０８】
前記アルキルフェノン化合物は、式（ｄ２）で表される部分構造又は式（ｄ３）で表される部分構造を有する化合物である。これらの部分構造中、ベンゼン環は置換基を有していてもよい。
2012230365.tif 000021
式（ｄ２）で表される部分構造を有する化合物としては、例えば、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン、２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−ベンジルブタン−１−オン、２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］ブタン−１−オン等が挙げられる。イルガキュア（登録商標）３６９、９０７及び３７９（以上、ＢＡＳＦ社製）等の市販品を用いてもよい。
式（ｄ３）で表される部分構造を有する化合物としては、例えば、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−（４−イソプロペニルフェニル）プロパン−１−オンのオリゴマー、α，α−ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。
感度の点で、アルキルフェノン化合物としては、式（ｄ２）で表される部分構造を有する化合物が好ましく、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン及び２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−２−ベンジルブタン−１−オンがより好ましい。
【０１０９】
前記アシルホスフィンオキサイド化合物としては、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が挙げられる。
【０１１０】
前記オキシム化合物は、式（ｄ１）で表される部分構造を有する化合物である。以下、＊は結合手を表す。
2012230365.tif 000022
前記のオキシム化合物としては、例えば、Ｏ−アシルオキシム化合物が挙げられ、その具体例としては、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）ブタン−１−オン−２−イミン、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）−３−シクロペンチルプロパン−１−オン−２−イミン、Ｎ−アセトキシ−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタン−１−イミン、Ｎ−アセトキシ−１−［９−エチル−６−｛２−メチル−４−（３，３−ジメチル−２，４−ジオキサシクロペンタニルメチルオキシ）ベンゾイル｝−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタン−１−イミン、Ｎ−アセトキシ−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−３−シクロペンチルプロパン−１−イミン、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−３−シクロペンチルプロパン−１−オン−２−イミン等が挙げられる。イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ０１、ＯＸＥ０２（以上、ＢＡＳＦ社製）、Ｎ−１９１９（ＡＤＥＫＡ社製）等の市販品を用いてもよい。中でも、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）ブタン−１−オン−２−イミン、Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン及びＮ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）−３−シクロペンチルプロパン−１−オン−２−イミンが好ましい。これらのオキシム化合物であると、特に、本発明の着色感光性樹脂組成物を青色着色感光性樹脂組成物として調製する場合、高明度なカラーフィルタが得られる傾向にある。
【０１１１】
前記ビイミダゾール化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２，３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール（例えば、特開平６−７５３７２号公報、特開平６−７５３７３号公報等参照。）、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（アルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ジアルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール（例えば、特公昭４８−３８４０３号公報、特開昭６２−１７４２０４号公報等参照。）、４，４’５，５’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物（例えば、特開平７−１０９１３号公報等参照）等が挙げられる。
【０１１２】
さらに光重合開始剤（Ｄ）としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン化合物；ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物；９，１０−フェナンスレンキノン、２−エチルアントラキノン、カンファーキノン等のキノン化合物；１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物等が挙げられる。これらは、後述の光重合開始助剤（Ｄ１）（特にアミン類）と組み合わせて用いることが好ましい。
【０１１３】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重合開始助剤（Ｄ１）を含んでもよい。光重合開始助剤（Ｄ１）を含む場合、通常、光重合開始剤（Ｄ）と組み合わせて用いられる。光重合開始助剤（Ｄ１）は、光重合開始剤（Ｄ）によって重合が開始された光重合性化合物（Ｃ）の重合を促進するために用いられる化合物、もしくは増感剤である。
光重合開始助剤（Ｄ１）としては、アミン化合物、アルコキシアントラセン化合物、チオキサントン化合物、カルボン酸化合物等が挙げられる。光重合開始助剤は、単独で用いても２種以上を併用してもよい。
前記アミン化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。ＥＡＢ−Ｆ（保土谷化学工業（株）製）等の市販品を用いてもよい。
【０１１４】
前記アルコキシアントラセン化合物としては、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジブトキシアントラセン等が挙げられる。
【０１１５】
前記チオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン及び１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。
【０１１６】
前記カルボン酸化合物としては、フェニルスルファニル酢酸、メチルフェニルスルファニル酢酸、エチルフェニルスルファニル酢酸、メチルエチルフェニルスルファニル酢酸、ジメチルフェニルスルファニル酢酸、メトキシフェニルスルファニル酢酸、ジメトキシフェニルスルファニル酢酸、クロロフェニルスルファニル酢酸、ジクロロフェニルスルファニル酢酸、Ｎ−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、Ｎ−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等が挙げられる。
【０１１７】
これらの光重合開始助剤（Ｄ１）を用いる場合、その含有量は、光重合開始剤（Ｄ）１モルに対して、好ましくは０．０１〜１０モル、より好ましくは０．０１〜５モルである。
【０１１８】
光重合開始剤（Ｄ）の含有量は、光重合性化合物（Ｃ）１００質量部に対して、好ましくは１〜４０質量部であり、より好ましくは５〜２０質量部である。光重合開始剤（Ｄ）の含有量が、前記の範囲内にあると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上する。
【０１１９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤（Ｅ）を含むことが好ましい。溶剤（Ｅ）は、特に限定されず、当該分野で通常使用される溶剤を用いることができる。例えば、エステル溶剤（分子内に−ＣＯＯ−を含み、−Ｏ−を含まない溶剤）、エーテル溶剤（分子内に−Ｏ−を含み、−ＣＯＯ−を含まない溶剤）、エーテルエステル溶剤（分子内に−ＣＯＯ−と−Ｏ−とを含む溶剤）、ケトン溶剤（分子内に−ＣＯ−を含み、−ＣＯＯ−を含まない溶剤）、アルコール溶剤（分子内にＯＨを含み、−Ｏ−、−ＣＯ−及び−ＣＯＯ−を含まない溶剤）、芳香族炭化水素溶剤、アミド溶剤、ジメチルスルホキシド等の中から選択して用いることができる。
【０１２０】
エステル溶剤としては、例えば、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、２−ヒドロキシイソブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、シクロヘキサノールアセテート及びγ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
【０１２１】
エーテル溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、３−メトキシ−１−ブタノール、３−メトキシ−３−メチルブタノール、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、アニソール、フェネトール及びメチルアニソールなどが挙げられる。
【０１２２】
エーテルエステル溶剤としては、例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート及びジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートなどが挙げられる。
【０１２３】
ケトン溶剤としては、例えば、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン及びイソホロンなどが挙げられる。
【０１２４】
アルコール溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール及びグリセリンなどが挙げられる。
【０１２５】
芳香族炭化水素溶剤としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン及びメシチレンなどが挙げられる。
【０１２６】
アミド溶剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド及びＮ−メチルピロリドンなどが挙げられる。
これらの溶剤は、単独で用いても２種以上を併用してもよい。
【０１２７】
上記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、１ａｔｍにおける沸点が１２０℃以上１８０℃以下である有機溶剤が好ましい。中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、３−メトキシ−１−ブタノール、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等が好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メトキシ−１−ブタノール、３−エトキシプロピオン酸エチル等がより好ましい。
【０１２８】
溶剤（Ｅ）の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して、好ましくは７０〜９５質量％であり、より好ましくは７５〜９２質量％である。言い換えると、着色感光性樹脂組成物の固形分は、好ましくは５〜３０質量％、より好ましくは８〜２５質量％である。溶剤（Ｅ）の含有量が前記の範囲内にあると、塗布時の平坦性が良好になり、またカラーフィルタを形成した際に色濃度が不足しないために表示特性が良好となる傾向がある。
【０１２９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、密着促進剤、レベリング剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、連鎖移動剤等の添加剤（以下「その他の成分」という場合がある。）を含んでもよい。
【０１３０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば、着色剤（Ａ）、樹脂（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、並びに必要に応じて用いられる溶剤（Ｅ）、光重合開始助剤（Ｄ１）及びその他の成分を混合することにより調製できる。
顔料（Ａ２）を含む場合、顔料は、予め溶剤（Ｅ）の一部又は全部と混合させ、顔料の平均粒子径が０．２μｍ以下程度となるまで、ビーズミルなどを用いて分散させることが好ましい。この際、必要に応じて前記顔料分散剤、樹脂（Ｂ）の一部又は全部を配合してもよい。得られた顔料分散液に、残りの成分等を、所定の濃度となるように混合することにより、目的の着色感光性樹脂組成物を調製できる。
キサンテン染料（Ａ１）は、予め溶剤（Ｅ）の一部又は全部に溶解させて溶液を調製することが好ましい。該溶液を、孔径０．０１〜１μｍ程度のフィルタでろ過することが好ましい。
上記のとおり混合して調製された着色感光性樹脂組成物を、孔径０．０１〜１０μｍ程度のフィルタでろ過することが好ましい。
【０１３１】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する方法としては、フォトリソグラフ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。中でも、フォトリソグラフ法が好ましい。
フォトリソグラフ法は、前記着色感光性樹脂組成物を基板に塗布し、乾燥し、フォトマスクを介して露光し、現像することによってパターンを得る方法である。該パターンをカラーフィルタとしてもよいし、フォトリソグラフ法において、露光の際にフォトマスクを用いないこと、及び／又は現像しないことにより形成した膜をカラーフィルタとしてもよい。
【０１３２】
前記基板としては、例えば、ガラス、金属、プラスチック等が挙げられ、板状であっても、フィルム状であってもよい。また、これらの基板には、カラーフィルタ、各種絶縁又は導電膜、駆動回路等の構造体が形成されていてもよい。
基板への塗布は、例えば、スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター（ダイコーター、カーテンフローコーター、スピンレスコーターとも呼ばれることがある）、インクジェット等の塗布装置を用いて行うことができる。
【０１３３】
基板に塗布した膜の乾燥方法としては、例えば、加熱乾燥（プリベーク）、自然乾燥、通風乾燥、減圧乾燥等の方法が挙げられる。複数の方法を組み合わせて行ってもよい。乾燥温度としては、１０〜１２０℃が好ましく、２５〜１００℃がより好ましい。また加熱時間としては、１０秒間〜６０分間であることが好ましく、３０秒間〜３０分間であることがより好ましい。減圧乾燥は、５０〜１５０Ｐａの圧力下、２０〜２５℃の温度範囲で行うことが好ましい。
乾燥後の塗膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、０．１〜２０μｍであり、好ましくは１〜６μｍである。
【０１３４】
乾燥後の塗膜は、目的のパターンを形成するためのフォトマスクを介して、露光する。この際のフォトマスク上のパターン形状は特に限定されず、目的とする用途に応じたパターン形状が用いられる。
露光に用いられる光源としては、２５０〜４５０ｎｍの波長の光を発生する光源が好ましい。例えば、３５０ｎｍ未満の光を、この波長域をカットするフィルタを用いてカットしたり、４３６ｎｍ付近、４０８ｎｍ付近、３６５ｎｍ付近の光を、これらの波長域を取り出すバンドパスフィルタを用いて選択的に取り出したりしてもよい。具体的には、水銀灯、発光ダイオード、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ等が挙げられる。
露光面全体に均一に平行光線を照射したり、マスクと基材との正確な位置合わせを行うことができるため、マスクアライナ、ステッパ等の装置を使用することが好ましい。
【０１３５】
露光後、現像液に接触させて所定部分、例えば、未露光部を溶解させ、現像することにより、パターンを得ることができる。現像液としては、有機溶剤を用いることもできるが、現像液によって塗膜の露光部の溶解や膨潤が起こりにくく、良好な形状のパターンが得られるため、塩基性化合物の水溶液が好ましい。
現像方法は、パドル法、ディッピング法、スプレー法等のいずれでもよい。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。
現像後は、水洗することが好ましい。
【０１３６】
前記塩基性化合物としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニア等の無機塩基性化合物；テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミン等の有機塩基性化合物が挙げられる。中でも、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム及びテトラメチルアンモニウムヒドロキシドが好ましい。
これらの無機及び有機塩基性化合物の水溶液中の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【０１３７】
前記塩基性化合物の水溶液は、界面活性剤を含んでいてもよい。
界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン等のノニオン系界面活性剤；
ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウム、オレイルアルコール硫酸エステルナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、ラウリル硫酸アンモニウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウム等のアニオン系界面活性剤；
ステアリルアミン塩酸塩、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド等のカチオン系界面活性剤等が挙げられる。
塩基性化合物の水溶液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％、より好ましくは０．０５〜８質量％、特に好ましくは０．１〜５質量％である。
【０１３８】
さらに必要に応じて、ポストベークを行ってもよい。ポストベークは、例えば、１５０〜２５０℃、１〜２４０分間の範囲で行うことが好ましい。
【０１３９】
本発明の着色感光性樹脂組成物により、上記のようにして得られたカラーフィルタは、特に発生異物が少ないため、表示装置（例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ装置等）、電子ペーパー、固体撮像素子等の種々の着色画像に関連する機器に具備されるカラーフィルタとして有用である。これらの機器には、公知の態様で利用することができる。
【実施例】
【０１４０】
次に実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中の「％」及び「部」は、特記ない限り、質量％及び質量部である。
【０１４１】
合成例１
冷却管及び攪拌装置を備えたフラスコに、式（Ａ０−１）で表される化合物及び式（Ａ０−２）表される化合物の混合物（中外化成製）を１５部、クロロホルム１５０部及びＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド８．９部を投入し、攪拌下２０℃以下を維持しながら、塩化チオニル１０．９部を滴下して加えた。滴下終了後、５０℃に昇温し、同温度で５時間維持して反応させ、その後２０℃に冷却した。冷却後の反応溶液を、攪拌下２０℃以下に維持しながら、２−エチルヘキシルアミン１２．５部及びトリエチルアミン２２．１部の混合液を滴下して加えた。その後、同温度で５時間攪拌して反応させた。次いで得られた反応混合物をロータリーエバポレーターで溶媒留去した後、メタノールを少量加えて激しく攪拌した。この混合物を、イオン交換水３７５部の混合液中に攪拌しながら加えて、結晶を析出させた。析出した結晶を濾別し、イオン交換水でよく洗浄し、６０℃で減圧乾燥して、染料Ａ１（式（Ａ１−１）〜式（Ａ１−８）で表される化合物の混合物）１１．３部を得た。
【０１４２】
2012230365.tif 000023
【０１４３】
2012230365.tif 000024
【０１４４】
染料Ａ１  ０．３５ｇを乳酸エチルに溶解して体積を２５０cm3とし、そのうちの２ｃｍ３を乳酸エチルで希釈して１００ｃｍ３として、濃度０．０２８ｇ/Ｌの溶液を調整した。該溶液について、紫外可視分光光度計（Ｖ−６５０ＤＳ；日本分光（株）製）（石英セル、光路長；１ｃｍ）を用いて、極大吸収波長（λｍａｘ)を測定したところ、５２５ｎｍであった。
【０１４５】
合成例２
式（１ｘ）で表される化合物２０部とＮ−エチル−ｏ−トルイジン（和光純薬工業（株）製）２００部とを遮光条件下混合し、得られた溶液を１１０℃で６時間攪拌した。得られた反応液を室温まで冷却後、水８００部、３５％塩酸５０部の混合液中に添加し室温で１時間攪拌したところ、結晶が析出した。析出した結晶を吸引濾過の残渣として取得後乾燥し、式（１−３１）で表される化合物２４部を得た。収率は８０％であった。
2012230365.tif 000025
【０１４６】
式（１−３１）で表される化合物は、質量分析（ＬＣ；Ａｇｉｌｅｎｔ製１２００型、ＭＡＳＳ；Ａｇｉｌｅｎｔ製ＬＣ／ＭＳＤ型）で同定した。
（質量分析）イオン化モード＝ＥＳＩ＋：  ｍ／ｚ＝[Ｍ＋Ｈ]＋６０３．４
Ｅｘａｃｔ  Ｍａｓｓ：  ６０２．２
【０１４７】
合成例１と同様にして極大吸収波長（λｍａｘ)を測定したところ、５４８ｎｍであった。
【０１４８】
合成例３
Ｎ−エチル−ｏ−トルイジンに代えてＮ−プロピル−２，６−ジメチルアニリンを用いる以外は合成例１と同様にして、式（１−３９）で表される化合物を得た。
2012230365.tif 000026
式（１−３９）で表される化合物は、質量分析（ＬＣ；Ａｇｉｌｅｎｔ製１２００型、ＭＡＳＳ；Ａｇｉｌｅｎｔ製ＬＣ／ＭＳＤ型）で同定した。
（質量分析）イオン化モード＝ＥＳＩ＋：  ｍ／ｚ＝[Ｍ＋Ｈ]＋６５９．９
Ｅｘａｃｔ  Ｍａｓｓ：  ６５８．９
【０１４９】
合成例１と同様にして極大吸収波長（λｍａｘ)を測定したところ、５４８ｎｍであった。
【０１５０】
合成例４
撹拌機、温度計、還流冷却器、滴下ロート及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５０部を導入した。その後、窒素ガスをガス導入管を使ってフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気が窒素ガスに置換された。その後、フラスコ内の溶液を１００℃に昇温した後、ベンジルメタクリレート５６．９部、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド９６．５部、メタクリル酸４１．７部、アゾビスイソブチロニトリル１．５部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０部からなる混合物を、滴下ロートを用いて２時間かけてフラスコに滴下し、滴下完了後さらに１００℃で２．５時間撹拌を続けて、固形分３４％、溶液酸価４７ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂Ｂ１溶液を得た。ＧＰＣにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は２．３×１０４であった。上記の固形分と溶液酸価とから固形分酸価を計算すると、１３８ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである。樹脂Ｂ１は下記の構造単位を有する。
2012230365.tif 000027
【０１５１】
合成例５
撹拌機、温度計、還流冷却器、滴下ロート及びガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５０部を導入した。その後、窒素ガスをガス導入管を使ってフラスコ内に導入し、フラスコ内雰囲気が窒素ガスに置換された。その後、フラスコ内の溶液を１００℃に昇温した後、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（Ｉ−１）で表される化合物及び式（ＩＩ−１）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）５６．９部、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド９６．５部、メタクリル酸４１．７部、アゾビスイソブチロニトリル３．６部及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０部からなる混合物を、滴下ロートを用いて２時間かけてフラスコに滴下し、滴下完了後さらに１００℃で２．５時間撹拌を続けて、固形分３４％、溶液酸価４７ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂Ｂ２溶液を得た。ＧＰＣにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は９．６×１０３であった。上記の固形分と溶液酸価とから固形分酸価を計算すると、１３８ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである。
【０１５２】
2012230365.tif 000028
【０１５３】
樹脂Ｂ２は下記の構造単位を有する。
2012230365.tif 000029
【０１５４】
合成例６
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２１０ｇを導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、１００℃に昇温後、ベンジルメタクリレート７０．５ｇ（０．４０モル）、メタクリル酸４３．０ｇ（０．５モル）、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート（日立化成（株）製ＦＡ−５１３Ｍ）２２．０ｇ（０．１０モル）及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２１５ｇからなる混合物に２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３．６ｇを添加した溶液を滴下し、さらに１００℃で撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート３５．５ｇ［０．２５モル、（本反応に用いたメタクリル酸のカルボキシル基に対して５０モル％）］、トリスジメチルアミノメチルフェノール０．９ｇ及びハイドロキノン０．１４５ｇをフラスコ内に投入し、１１０℃で反応を続け、固形分酸価が７９ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分２９％の樹脂Ｂ３溶液を得た。
【０１５５】
合成例７
撹拌機、温度計、還流冷却器及び、滴下ロートを備えたフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、乳酸エチル２６８部を入れ、撹拌しながら７０℃まで加熱した。次いで、アクリル酸５５部、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド８１部、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（Ｉ−１）で表される化合物及び式（ＩＩ−１）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）２２４部、並びにトリシクロ［５．２．１．０２．６］デセン−８−イルアクリレート（式（ｃ−１）で表される化合物及び式（ｃ−２）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）７部を、乳酸エチル１４０部に溶解して溶液を調製し、該溶液を、滴下ロートを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。
2012230365.tif 000030
一方、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３０部を乳酸エチル２２５部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に保持し、その後室温まで冷却して、ポリスチレン換算重量平均分子量１．１２×１０４、固形分３７．０％、固形分酸価１１９ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂Ｂ４溶液を得た。樹脂Ｂ４は、下記の構造単位を有する。
2012230365.tif 000031
【０１５６】
合成例８
撹拌機、温度計、還流冷却器及び、滴下ロートを備えたフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、乳酸エチル２６８部を入れ、撹拌しながら７０℃まで加熱した。次いで、アクリル酸５５部、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド２０３部、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（Ｉ−１）で表される化合物及び式（ＩＩ−１）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）１０１部、並びにトリシクロ［５．２．１．０２．６］デセン−８−イルアクリレート（式（ｃ−１）で表される化合物及び式（ｃ−２）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）７部を、乳酸エチル５３８部に溶解して溶液を調製し、該溶液を、滴下ロートを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３０部を乳酸エチル２２５部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に保持し、その後室温まで冷却して、ポリスチレン換算重量平均分子量は、６．５×１０３、固形分２６．２％、固形分酸価１２１ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂Ｂ５溶液を得た。樹脂Ｂ５は、下記の構造単位を有する。
2012230365.tif 000032
【０１５７】
合成例９
撹拌機、温度計、還流冷却器及び、滴下ロートを備えたフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、乳酸エチル２６８部を入れ、撹拌しながら７０℃まで加熱した。次いで、アクリル酸５５部、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド２５８部、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（Ｉ−１）で表される化合物及び式（ＩＩ−１）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）３６部、並びにトリシクロ［５．２．１．０２．６］デセン−８−イルアクリレート（式（ｃ−１）で表される化合物及び式（ｃ−２）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）１８部を、乳酸エチル６１９部に溶解して溶液を調製し、該溶液を、滴下ロートを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３０部を乳酸エチル２２５部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に保持し、その後室温まで冷却して、ポリスチレン換算重量平均分子量は、７．２×１０３、固形分２４．８％、固形分酸価１１２ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂Ｂ６溶液を得た。樹脂Ｂ６は、下記の構造単位を有する。
2012230365.tif 000033
【０１５８】
合成例１０
撹拌機、温度計、還流冷却器及び、滴下ロートを備えたフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、乳酸エチル２６８部を入れ、撹拌しながら７０℃まで加熱した。次いで、アクリル酸５５部、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド２０３部、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（Ｉ−１）で表される化合物及び式（ＩＩ−１）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）７３部、並びにトリシクロ［５．２．１．０２．６］デセン−８−イルアクリレート（式（ｃ−１）で表される化合物及び式（ｃ−２）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）３５部を、乳酸エチル５１７部に溶解して溶液を調製し、該溶液を、滴下ロートを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３０部を乳酸エチル２２５部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に保持し、その後室温まで冷却して、ポリスチレン換算重量平均分子量は、６．８×１０３、固形分２６．６％、固形分酸価１１４ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂Ｂ７溶液を得た。樹脂Ｂ７は、下記の構造単位を有する。
2012230365.tif 000034
【０１５９】
合成例１１
撹拌機、温度計、還流冷却器及び、滴下ロートを備えたフラスコ内に窒素を０．０２Ｌ／分で流して窒素雰囲気とし、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２６８部を入れ、撹拌しながら７０℃まで加熱した。次いで、アクリル酸５５部、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド２０３部、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２．６］デシルアクリレート（式（Ｉ−１）で表される化合物及び式（ＩＩ−１）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）７３部、並びにトリシクロ［５．２．１．０２．６］デセン−８−イルアクリレート（式（ｃ−１）で表される化合物及び式（ｃ−２）で表される化合物を、モル比で、５０：５０で混合。）３５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５１７部に溶解して溶液を調製し、該溶液を、滴下ロートを用いて４時間かけて、７０℃に保温したフラスコ内に滴下した。一方、重合開始剤２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３０部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２２５部に溶解した溶液を、別の滴下ロートを用いて４時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、４時間、７０℃に保持し、その後室温まで冷却して、重量平均分子量Ｍｗは、１．１×１０４、固形分２６．６％、固形分酸価８１ｍｇ−ＫＯＨ／ｇの樹脂Ｂ８溶液を得た。樹脂Ｂ８は、下記の構造単位を有する。
2012230365.tif 000035
【０１６０】
上記の合成例で得られた樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量の測定については、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行った。
装置            ；ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム          ；ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ
カラム温度      ；４０℃
溶媒            ；ＴＨＦ
流速            ；１．０ｍＬ／ｍｉｎ
被検液固形分濃度；０．００１〜０．０１質量％
注入量          ；５０μＬ
検出器          ；ＲＩ
校正用標準物質  ；ＴＳＫ  ＳＴＡＮＤＡＲＤ  ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ
Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−２８８、Ａ−２５００、Ａ−５００
（東ソー（株）製）
【０１６１】
実施例１
〔着色感光性樹脂組成物の調製〕
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                              ２０部
アクリル系顔料分散剤                                                  ８部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  １５１部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、ついで、
キサンテン染料：染料Ａ１                                          １．３部
樹脂：樹脂Ｂ１溶液                                                １５３部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）      ５２部
光重合開始剤：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ０１；ＢＡＳＦ社製）  １０部
溶剤：乳酸エチル                                                  ６０５部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１６２】
〔パターンの作製及び剥離片の観察〕
２インチ角のガラス基板（イーグル２０００；コーニング社製）上に、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間プリベークした。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板とパターンを有する石英ガラス製フォトマスクとの間隔を１００μｍとして、露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製）を用いて、大気雰囲気下、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ基準）で光照射した。光照射後、上記塗膜を、非イオン系界面活性剤０．１２％と炭酸ナトリウム２％とを含む水系現像液に２３℃で８０秒間浸漬して現像し、水洗した。水洗後の基板を、顕微鏡（倍率５００倍；ＶＦ−７５１０；（株）キーエンス製）を用いて観察し、着色感光性樹脂組成物層の未露光部に相当する部分に、剥離片に由来する異物を観察した。異物が認められなかった場合は○、認められた場合は×として、表１に示した。
その後、オーブン中、２３０℃で３０分間ポストベークを行い、パターンを得た。
【０１６３】
〔膜厚測定〕
得られたパターンについて、膜厚測定装置（ＤＥＫＴＡＫ３；日本真空技術（株）製））を用いて膜厚を測定した。結果を表１に示す。
【０１６４】
〔色度評価〕
得られたパターンについて、測色機（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて分光を測定し、Ｃ光源の特性関数を用いてＣＩＥのＸＹＺ表色系におけるｘｙ色度座標（ｘ、ｙ）と三刺激値Ｙとを測定した。Ｙの値が大きいほど明度が高いことを表す。結果を表１に示す。
【０１６５】
実施例２
樹脂Ｂ１溶液を樹脂Ｂ２溶液に変更した以外は実施例１と同様にして、着色感光性樹脂組成物を得た。また、実施例１と同様に評価を行った。結果を表１に示す。
【０１６６】
比較例
〔着色感光性樹脂組成物の調製〕
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                            ３．０  部
アクリル系顔料分散剤                                              １．０  部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                ２２．９  部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、ついで、
染料：染料Ａ１                                                  ０．４５  部
樹脂：樹脂Ｂ３溶液                                              １５．８  部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（日本化薬（株）製）                              ４．６  部
光重合開始剤：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン                                      １．４  部
（イルガキュアＯＸＥ０１；ＢＡＳＦ社製）
溶剤：４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン              ５０．９  部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。得られた着色感光性樹脂組成物について、実施例１と同様に評価を行った。結果を表１に示す。
【０１６７】
【表１】
2012230365.tif 000036
【０１６８】
実施例３
〔着色感光性樹脂組成物の調製〕
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                              ３２部
アクリル系顔料分散剤                                                  ８部
乳酸エチル                                                          ７８部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  １８３部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、ついで、
キサンテン染料：染料Ａ１                                              ６部
樹脂：樹脂Ｂ４溶液                                                １６１部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）      ５４部
光重合開始剤：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ０１；ＢＡＳＦ社製）    ９部
光重合開始剤：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン（イルガキュア（登録商標）９０７；ＢＡＳＦ社製；アルキルフェノン化合物）                                                            ２部
光重合開始助剤：２，４−ジエチルチオキサントン（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）  ＤＥＴＸ；日本化薬（株）製；チオキサントン化合物）                    １０部
レベリング剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）                                          ０．１部
溶剤：乳酸エチル                                                  ４１１部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。
【０１６９】
〔パターンの作製及び剥離片の観察〕
２インチ角のガラス基板（イーグル２０００；コーニング社製）上に、着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間プリベークした。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板とパターンを有する石英ガラス製フォトマスクとの間隔を１００μｍとして、露光機（ＴＭＥ−１５０ＲＳＫ；トプコン（株）製）を用いて、大気雰囲気下、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ基準）で光照射した。光照射後、上記塗膜を、非イオン系界面活性剤０．１２％と炭酸ナトリウム２％とを含む水系現像液に２３℃で８０秒間浸漬して現像し、水洗した。水洗後の基板を、顕微鏡（倍率５００倍；ＶＦ−７５１０；（株）キーエンス製）を用いて観察し、着色感光性樹脂組成物層の未露光部に相当する部分に、剥離片に由来する異物を観察した。異物が認められなかった場合は○、認められた場合は×として、表１に示した。
その後、オーブン中、２３０℃で１８０分間ポストベークを行い、パターンを得た。得られたパターンについて、実施例１と同様に評価を行った。結果を表２に示す。
【０１７０】
実施例４
〔着色感光性樹脂組成物の調製〕
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                              ３２部
アクリル系顔料分散剤                                                  ８部
乳酸エチル                                                          ７８部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  １８３部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、ついで、
キサンテン染料：染料Ａ１                                              ６部
樹脂：樹脂Ｂ５溶液                                                ２２７部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）      ５４部
光重合開始剤：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン
（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ０１；ＢＡＳＦ社製）    ９部
光重合開始剤：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン（イルガキュア（登録商標）９０７；ＢＡＳＦ社製；アルキルフェノン化合物）                                                            ２部
光重合開始助剤：２，４−ジエチルチオキサントン（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）  ＤＥＴＸ；日本化薬（株）製；チオキサントン化合物）                    １０部
レベリング剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）                                          ０．１部
溶剤：乳酸エチル                                                  ３５９部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。また、実施例３と同様に評価を行った。結果を表２に示す。
【０１７１】
実施例５
〔着色感光性樹脂組成物の調製〕
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                              ３２部
アクリル系顔料分散剤                                                  ８部
乳酸エチル                                                          ７８部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  １８３部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、ついで、
キサンテン染料：染料Ａ１                                              ６部
樹脂：樹脂Ｂ６溶液                                                ２４０部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）      ５４部
光重合開始剤：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ０１；オキシム化合物ＢＡＳＦ社製）                                                          ９部
光重合開始剤：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン（イルガキュア（登録商標）９０７；ＢＡＳＦ社製；アルキルフェノン化合物）                                                            ２部
光重合開始助剤：２，４−ジエチルチオキサントン（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）  ＤＥＴＸ；日本化薬（株）製；チオキサントン化合物）                    １０部
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）                                          ０．１部
溶剤：乳酸エチル                                                  ３４９部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。また、実施例３と同様に評価を行った。結果を表２に示す。
【０１７２】
実施例６
〔着色感光性樹脂組成物の調製〕
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                              ３２部
アクリル系顔料分散剤                                                  ８部
乳酸エチル                                                          ７８部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  １８３部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、ついで、
キサンテン染料：染料Ａ１                                              ６部
樹脂：樹脂Ｂ７溶液                                                ２２４部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）      ５４部
光重合開始剤：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ０１；オキシム化合物；ＢＡＳＦ社製）                                                        ９部
光重合開始剤：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン（イルガキュア（登録商標）９０７；ＢＡＳＦ社製；アルキルフェノン化合物）                                                            ２部
光重合開始助剤：２，４−ジエチルチオキサントン（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）  ＤＥＴＸ；日本化薬（株）製；チオキサントン化合物）                    １０部
界面活性剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）                                          ０．１部
溶剤：乳酸エチル                                                  ３６２部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。また、実施例３と同様に評価を行った。結果を表２に示す。
【０１７３】
実施例７
〔着色感光性樹脂組成物の調製〕
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                              １８部
アクリル系顔料分散剤                                                  ６部
乳酸エチル                                                          ３６部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  １１１部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、ついで、
キサンテン染料：式（１−３９）で表される化合物                        ５部
樹脂：樹脂Ｂ８溶液                                                ２１７部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）      ５２部
光重合開始剤：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ０１；オキシム化合物；ＢＡＳＦ社製）                                                        ９部
光重合開始剤：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン（イルガキュア（登録商標）９０７；ＢＡＳＦ社製；アルキルフェノン化合物）                                                            ２部
光重合開始助剤：２，４−ジエチルチオキサントン（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）  ＤＥＴＸ；日本化薬（株）製；チオキサントン化合物）                    １０部
レベリング剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）                                          ０．１部
溶剤：乳酸エチル                                                  １７０部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ３８４部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。また、実施例３と同様に評価を行った。結果を表２に示す。
【０１７４】
比較例２
〔着色感光性樹脂組成物の調製〕
顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６                              ３６部
アクリル系顔料分散剤                                                  ９部
乳酸エチル                                                          ９０部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  ２１１部
を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、ついで、
樹脂：樹脂Ｂ７溶液                                                ２１３部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製）      ５７部
光重合開始剤：Ｎ−ベンゾイルオキシ−１−（４−フェニルスルファニルフェニル）オクタン−１−オン−２−イミン（イルガキュア（登録商標）ＯＸＥ０１；オキシム化合物；ＢＡＳＦ社製）                                                        ９部
光重合開始剤：２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルスルファニルフェニル）プロパン−１−オン（イルガキュア（登録商標）９０７；ＢＡＳＦ社製；アルキルフェノン化合物）                                                            ２部
光重合開始助剤：２，４−ジエチルチオキサントン（ＫＡＹＡＣＵＲＥ（登録商標）  ＤＥＴＸ；日本化薬（株）製；チオキサントン化合物）                    １０部
レベリング剤：ポリエーテル変性シリコーンオイル（トーレシリコーンＳＨ８４００；東レダウコーニング（株）製）                                          ０．１部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート              ３１部
溶剤：乳酸エチル                                                  ３７２部
を混合して着色感光性樹脂組成物を得た。また、実施例３と同様に評価を行った。結果を表２に示す。
【０１７５】
【表２】
2012230365.tif 000037
【０１７６】
実施例８
式（１−３９）で表される化合物を式（１−３１）で表される化合物に代える以外は実施例７と同様にして、着色感光性樹脂組成物を得る。実施例３と同様の評価を行うと、剥離片に由来する異物の発生は認められない。
【産業上の利用可能性】
【０１７７】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、着色感光性樹脂組成物層の未露光部の一部が現像時に剥離することを抑制できるため、形成されるパターン上に異物が少ない。