(57)【要約】 【課題】  組立工数の低減が可能で、小型化が容易で、かつ光学系の設計の自由度が大きい光アイソレータ内蔵型の光モジュール、およびそれに使用する半導体レーザ用キャップを提供すること。【解決手段】  金属キャップ４１と、その一端に配置した、非球面レンズ４２と、光アイソレータ４０とから構成され、該光アイソレータはファラデー回転結晶である鉄ガーネット膜４６とその光入射面または光出射面の少なくとも一面に接合された偏光子であるルチル単結晶４４、４５とからなり、金属キャップ４１の一端は非球面レンズ４２またはガラス平板にて封止されている半導体レーザ用キャップ、およびその半導体レーザ用キャップと半導体レーザチップ、出力用光ファイバから構成される光アイソレータ内蔵の光モジュールを得る。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体レーザを気密封止するための半導体レーザ用キャップにおいて、筒状体と、その筒状体の一端に配置した非球面レンズまたは回折レンズと、該非球面レンズまたは回折レンズ上に配置した光アイソレータとから構成され、該光アイソレータはファラデー回転結晶とそのファラデー回転結晶の光入射面または光出射面の少なくとも一面に接合された偏光子とからなり、前記筒状体の一端は前記非球面レンズ又は回折レンズにより封止されていることを特徴とする半導体レーザ用キャップ。
【請求項２】
半導体レーザを気密封止するための半導体レーザ用キャップにおいて、筒状体と、その筒状体の一端に配置したガラス平板と、非球面レンズまたは回折レンズと、光アイソレータとから構成され、該光アイソレータはファラデー回転結晶とそのファラデー回転結晶の光入射面または光出射面の少なくとも一面に接合された偏光子とからなり、前記筒状体の一端は前記ガラス平板にて封止されていることを特徴とする半導体レーザ用キャップ。
【請求項３】
前記光アイソレータは前記ガラス平板上に固定され、前記非球面レンズまたは回折レンズは前記光アイソレータ上に固定されていることを特徴とする請求項２に記載の半導体レーザ用キャップ。
【請求項４】
前記非球面レンズまたは回折レンズはその外周部に周回する突起部を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の半導体レーザ用キャップ。
【請求項５】
前記非球面レンズは片面非球面レンズであることを特徴とする請求項１から４いずれか１項に記載の半導体レーザ用キャップ。
【請求項６】
前記非球面レンズは両面非球面レンズであることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の半導体レーザ用キャップ。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の半導体レーザ用キャップと、半導体レーザチップとを備えることを特徴とする光モジュール。
【請求項８】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の半導体レーザ用キャップと、半導体レーザチップと、出力用光ファイバを備えることを特徴とする光モジュール。
【請求項９】
前記出力用光ファイバの前記半導体レーザチップからの入射光が入射する端面が斜め研磨されており、前記光アイソレータの偏光子の少なくとも一方が複屈折結晶であり、かつその複屈折結晶の光学軸が、前記光モジュール中の半導体レーザチップ側からみて、前記出力用光ファイバ端部の斜め研磨部の凡そ鈍角側を指向することを特徴とする請求項８記載の光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体レーザ用キャップ及び光通信用の光モジュールに関し、特に半導体レーザを気密封止するためのキャップおよび光アイソレータ、およびそれらを用いた光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信用の送信および受信端末に使用される光モジュールとしては、光信号を送信するためのＬＤ（半導体レーザ）モジュールや光信号を受信するためのＰＤ（フォトダイオード）モジュールが最も多く使用されている。また、特に大容量、高速、長距離通信機能が要求される光通信システムの場合、ＬＤモジュールの内部に実装されるＬＤとしては、分布帰還型半導体レーザ（以下、ＤＦＢレーザとする）が使用される。このＤＦＢレーザは、発振スペクトルが狭くて分散特性に優れるという特徴を持つが、その反面、反射光による戻り光に対しては非常に敏感であり、光ファイバへの結合端面やその他の不連続界面からの反射光が戻ると特性が不安定状態となってしまうという難点がある。そこで、ＬＤモジュールにおいて、反射光がＬＤへ戻るのを防止するため、ＬＤと光ファイバとの間に光の一方向透過機能（順方向への光を透過し、逆方向の光を遮断する機能）を有する光アイソレータを配置し、光ファイバからＬＤの方向への反射光の戻り光を光アイソレータで遮断し、ＬＤが常に安定な動作を行えるようにしている。
【０００３】
上記の光アイソレータは、ＬＤの間近に配置される構造が一般的になってきているが、光学回路の保守や構造の制限から、ＬＤの間近ではなく、光回路の途中に配置されることも多くある。
【０００４】
一般的に、ＬＤモジュール内に実装されるＬＤは高信頼性を確保するために気密封止する必要がある。このため、図１７のように光を透過する窓ガラス１２を低融点ガラス１３で封着した金属キャップ１１により気密封止される。図１７において３４はステム、３５は半導体レーザチップである。金属キャップ１１とステム３４は溶接などによって封止される。また、図１８のように窓ガラスの代わりに球レンズ２２を低融点ガラス２３で封着した金属キャップ２１を使用する事で、キャップにレンズの機能を追加するものも一般的に使用されている。
【０００５】
図１８のようなキャップを持つＬＤモジュールと光アイソレータとを備えた光ファイバ付の光モジュールの配置図を図１９に示す。３６は光アイソレータ、３７は光ファイバ付きフェルールである。図１９において、半導体レーザチップ３５から出射した光は球レンズ２２により集光され、光アイソレータ３６を通過して光ファイバ付フェルール３７の光ファイバ入射端面に結合する。
【０００６】
上記従来の光モジュールの一例として、特許文献１には、光アイソレータ付きキャップを有する光半導体気密封止容器を使用した光モジュールが開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−７９９６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した、図１７または図１８のようなキャップを使用して、光アイソレータ付きの光モジュールを作製する場合、光アイソレータを光路上に配置する必要がある。図１８のレンズ機能を持ったキャップを使用した光アイソレータ付き光モジュールの場合、図１９のようにレンズと光ファイバ付きフェルールの間に光アイソレータが配置されるが、光アイソレータ及び光ファイバ付きフェルールの調芯を別々に行う必要があり、それらを調整固定するための別々の機構部品が必要であるだけでなく、組立工数も多くなりコストの軽減が困難である。
【０００９】
他方、特許文献１に記載の光半導体気密封止容器の場合には、光アイソレータが金属キャップの内部に配置されたキャップを用いるが、光アイソレータが占める光路方向の長さがある程度以上あるため、ＬＤの出射光を光ファイバに有効に結合するための光学系を設計する場合に制約が多く、結果として、全体の機構部品が大型になる。
【００１０】
この状況にあって、本発明の課題は、組立工数の低減が可能で、小型化が容易で、かつ光学系の設計の自由度が大きい光アイソレータ内蔵型の光モジュール、およびそれに使用する半導体レーザ用キャップを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決すべく、本発明は、キャップの気密封止構造を保ちつつ、レンズと、光アイソレータとをキャップに一体化することによってなされた。
【００１２】
すなわち、本発明の半導体レーザ用キャップは、半導体レーザを気密封止するための半導体レーザ用キャップにおいて、筒状体と、その筒状体の一端に配置した非球面レンズまたは回折レンズと、該非球面レンズまたは回折レンズ上に配置した光アイソレータとから構成され、該光アイソレータはファラデー回転結晶とそのファラデー回転結晶の光入射面または光出射面の少なくとも一面に接合された偏光子とからなり、前記筒状体の一端は前記非球面レンズ又は回折レンズにより封止されている。
【００１３】
また、本発明の半導体レーザ用キャップは、半導体レーザを気密封止するための半導体レーザ用キャップにおいて、筒状体と、その筒状体の一端に配置したガラス平板と、非球面レンズまたは回折レンズと、光アイソレータとから構成され、該光アイソレータはファラデー回転結晶とそのファラデー回転結晶の光入射面または光出射面の少なくとも一面に接合された偏光子とからなり、前記筒状体の一端は前記ガラス平板にて封止されている。
【００１４】
また、前記光アイソレータは前記ガラス平板上に固定され、前記非球面レンズまたは回折レンズは前記光アイソレータ上に固定されていてもよい。
【００１５】
また、本発明は、上記において、前記非球面レンズまたは回折レンズはその外周部に周回する突起部を有していてもよい。
【００１６】
また、本発明は、上記において、前記非球面レンズは片面非球面レンズであってもよい。
【００１７】
また、上記において、前記非球面レンズは両面非球面レンズであってもよい。
【００１８】
また、本発明による光モジュールは、上記に記載の半導体レーザ用キャップと、半導体レーザチップとを備えている。
【００１９】
また、本発明による光モジュールは、上記に記載の半導体レーザ用キャップと、半導体レーザチップと、出力用光ファイバを備えている。
【００２０】
また、本発明による光モジュールは、前記出力用光ファイバの前記半導体レーザチップからの入射光が入射する端面が斜め研磨されており、前記光アイソレータの偏光子の少なくとも一方が複屈折結晶であり、かつその複屈折結晶の光学軸が、前記光モジュール中の半導体レーザチップ側からみて、前記出力用光ファイバ端部の斜め研磨部の凡そ鈍角側を指向することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明によれば、レンズ及び光アイソレータを半導体レーザ用キャップに一体化した事で、組立工数の低減が可能で、小型化が容易で、かつ光学系の設計の自由度が大きい光アイソレータ内蔵型の光モジュール、およびそれに使用する半導体レーザ用キャップが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の最良の実施の形態を実施例に基づいて説明する。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の変更があっても本発明に含まれる。
【実施例１】
【００２３】
図１は、本発明の実施例１の半導体レーザ用キャップの基本構造を示した断面図である。円筒形状で上端部の内周部に突起を設けた金属キャップ４１には、その内周部の突起上に非球面レンズ４２が低融点ガラス４３によって封着されている。ここで非球面レンズ４２はレーザチップ側となるキャップ内側の面が平面で、その逆側の面が軸対称非球面形状をしており、シリコンを加工して製作されている。その非球面レンズ４２の上には光アイソレータ４０が金属キャップ４１に接着固定されている。
【００２４】
この光アイソレータ４０の材料には、ファラデー回転結晶として反射防止コートを施した鉄ガーネット膜を用い、その入射側および出射側に配置する偏光子として反射防止コートを施したルチル単結晶を用いた。
【００２５】
まず、入射側の偏光子としてルチル単結晶板に有機接着剤を塗布し、上記の鉄ガーネット膜の入射面にそれぞれの端辺を併せて接着固定した。次に、出射側の偏光子としてもう一枚のルチル単結晶板を上記鉄ガーネット膜の出射面に逆方向損失が最大になる状態に結晶軸を合わせ同様に接着固定した。その鉄ガーネット膜とルチル単結晶板からなる光学部材接合体をダイシングソーにより切断し、チップ化した。
【００２６】
次に、このルチル単結晶４４及び４５、鉄ガーネット膜４６からなるチップ化した光学部材接合体を有機接着剤を用いて円筒形磁石４７の内部に固定して光アイソレータ４０を完成させた。このとき光アイソレータの特性として順方向損失１．５ｄＢ以下、逆方向損失３０ｄＢ以上の実用的な特性を得ることができた。
【００２７】
また、本実施例においては、図１のように金属キャップの上端部の内周部に突起を設け、その突起部で非球面レンズにより低融点ガラスを用いて封着したが、図２のごとく、金属キャップ４８の上端をガラス平板からなる窓ガラス５０により低融点ガラス４９で封着し、窓ガラス５０の上に非球面レンズ４２を固定してもよい。この場合、非球面レンズ４２の上に光アイソレータ４０を載置する為には、スペーサ５１を金属キャップ４８の上に固定するなどの方法がある。
【００２８】
また、他の変形例として、図３のように、金属キャップ４８の上端に、外周に光アイソレータ４０を載置する為の突起部を設けたシリコン製の非球面レンズ５２を低融点ガラス４９で封着してもよい。
【００２９】
図３においては、非球面レンズ５２の外周の突起部を用いて光アイソレータ４０を固定することが可能であるが、更に図４のごとく、シリコン製非球面レンズ５２と光アイソレータ４０との間に、有機接着剤５３を充填し、接着面積を拡げ、光アイソレータ４０の固定強度を上げることができる。
【００３０】
また、図１から図４においては、非球面レンズの形状はいずれも片面が非球面で、片面が平面であったが、図５に示すごとく、両面を非球面形状とした非球面レンズ５４を用いると、結合効率を更に向上させることができる。
【００３１】
本実施例でレンズの材料としているシリコンは、光通信で主に用いられる１．３〜１．６μｍの波長で透明であり、また屈折率が大きいため球面の曲率が小さくても大きなレンズ効果が得られるという特長がある。しかし、レンズの材質については、シリコンのみならず、レンズとして最も一般的な光学ガラスを用い、これを研磨加工或いはモールド加工して非球面レンズを形成しても使用に供することができる。
【００３２】
更に、レンズ形状については、非球面レンズのみでなく、基板の表面に、基板の屈折率と所望の焦点距離に応じた同心状の回折素子をエッチングなどで形成し、回折素子にレンズの効果を持たせた、所謂回折レンズを使用することができる。
【実施例２】
【００３３】
図６は、本発明の実施例２の半導体レーザ用キャップを示す図である。図６において、金属キャップ４８、低融点ガラス４９，窓ガラス５０は実施例１の図２と同様であるので説明を省略する。光アイソレータの材料（光学部材）には、ファラデー回転結晶として鉄ガーネット膜を用い、その入射側および出射側に配置する偏光子としてガラス偏光子を用い、片面に反射防止コートを施した。
【００３４】
まず、ガラス偏光子板の反射防止コートが無い側に有機接着剤を塗布し、鉄ガーネット膜の入射側にそれぞれの端辺を合わせて接着固定した。次に、もう一枚のガラス偏光子板を鉄ガーネット膜の出射側に逆方向損失が最大になる状態に固定して接着した。その接着された光学部材接合体をダイシングソーにより切断しチップ化した。次に、この入射側偏光子であるガラス偏光子５６、鉄ガーネット膜５７、出射側偏光子であるガラス偏光子５８からなるチップ化した光学部材接合体を、有機接着剤を用いてガラス平板５０の上に固定するとともに、円筒形磁石５５を金属キャップ４８の上面に固定して光アイソレータを完成させた。更に射出側偏光子であるガラス偏光子５８の上面に片側が平面である非球面レンズ５９を接着して、半導体レーザ用キャップを完成させた。このとき、順方向損失３ｄＢ以下、逆方向損失４０ｄＢ以上の特性を得ることができた。
【００３５】
また、本実施例においては、非球面レンズとして片面が平面であるものを用いたが、図７のごとく、両面が非球面形状をしており、かつ外周部に突起を有する非球面レンズ６０を用い、レンズ外周部の突起部を以て光アイソレータの出射面に固定する構造としてもよい。更に、実施例１の図５の変形例と同様に、光アイソレータの出射面と非球面レンズ６０との間に接着剤を充填し、接着強度の向上を図ることができる。また、本実施例においては、偏光子として特定方向の偏光を吸収する機能を有するガラス偏光子を用いたが、特定の偏光を反射する反射型偏光子を用いても、同様の効果を発揮させることができる。
【実施例３】
【００３６】
図８は、本発明の実施例３の光モジュールを示す断面図である。実施例１の図１に示す半導体レーザ用キャップを用い、ピン端子６１を備えたステム６２上に、ヒートシンク６３を介して固定された半導体レーザチップ６４を気密封止して、本実施例の光モジュールを作製した。このように本発明の光アイソレータ付きの半導体レーザ用キャップを用いると、従来の光アイソレータ無しの半導体レーザキャップと同様の工程で、光アイソレータ付き光モジュールを作製することができる。また同様に、実施例１の図２から図５のいずれかの変形例及び実施例２の図６および図７に示した半導体レーザ用キャップを用いても、同様に本発明の光モジュールを作製することができる。
【００３７】
なお、本実施例の光モジュールの製作においては、金属キャップに光アイソレータを接着した後、ステムに金属キャップを固定する際、抵抗溶接時の加圧などで光アイソレータが脱落する恐れがある場合には、予めステムに金属キャップを溶接した後に、光アイソレータ及び非球面レンズを固定しても、同様の光モジュールを得ることができる。
【実施例４】
【００３８】
図９は、本発明の実施例４の光モジュールを示す部分断面図である。実施例３の光モジュールの金属キャップ４１および光アイソレータ４０を内包するように円筒状の外部ホルダ６６が設置され、光アイソレータからの出射光が伝搬する方向の外部ホルダ６６の端部には光ファイバを内蔵しその端面が斜めに研磨された光ファイバ付きフェルール６８が設置される。光ファイバ付きフェルール６８はホルダ２９に固定されてファイバサポート６７内に固定されており、ファイバサポート６７が外部ホルダ６６の端部に固定されている。光出力を光ファイバ付きフェルール６８の光ファイバ端面のコアに送り込むように、ファイバサポート６７にて支持された光ファイバ付きフェルール６８を調芯固定すれば、光アイソレータ内蔵型の本実施例の光モジュールを得る。上述の光ファイバ付きフェルール６８、ホルダ２９、ファイバサポート６７、外部ホルダ６６の各部品間の固定には接着、溶接、半田などの方法を用いることができる。
【００３９】
なお、本実施例においては、光ファイバ付きフェルール６８の形態としては、光ファイバコードが接続された光ファイバ付きフェルールを用いることによりピグテール型の光モジュールを構成することができ、また、光ファイバ付きフェルールを固定スタブフェルールとするレセプタクル型の光モジュールを構成することもできる。
【００４０】
図１０は、本発明の実施例４の変形例の光モジュールを示す部分断面図である。実施例３の光モジュールの光出力を光ファイバ端面のコアに送り込む為に、光アイソレータ４０と光ファイバ付きフェルール６８の間にボールレンズ７０を追加し、所謂２枚レンズ系の構成としたものである。ボールレンズ７０はレンズホルダ２８に装着されており、そのレンズホルダ２８が外部ホルダ６９とファイバサポート６７の間に挿入され固定される。この場合半導体レーザチップ側の非球面レンズ７１は、半導体レーザチップから出たレーザビームをコリメートビームにするものであり、そのコリメートビームがボールレンズ７０により光ファイバ端面のコアに集光される。２枚レンズ系とすることにより、レンズ偏心に対するトレランスを緩和させることができ、結合効率をより安定して確保することができるものである。
【実施例５】
【００４１】
図１１は、本発明の実施例５の光モジュールの要部を示す部分断面図である。円筒形磁石４７、外部ホルダ６６、ファイバーサポート６７は実施例４と同様であるので図への記載を省略する。また、金属キャップ４１、非球面レンズ４２、低融点ガラス４３、偏光子であるルチル単結晶４４及びルチル単結晶４５、鉄ガーネット膜４６、ステム６２、光ファイバ付きフェルール６８は、実施例４と同様であるので説明を省略する。
【００４２】
本実施例において、入射側の偏光子であるルチル単結晶４４の光学軸７２及び出射側の偏光子であるルチル単結晶４５の光学軸７３は、図１１で示すように、光モジュールの中心軸となす角は、いずれも４７．８度であり、またその方位は、いずれも光ファイバ付きフェルール６８の斜め研磨部の鈍角側を指向している。図１２は、半導体レーザチップ側から見た時の、上記２本の光学軸の方位の位置関係を示している。矢印７４は入射側の偏光子であるルチル単結晶４４の光学軸の指向する方位を表す。矢印７５は、出射側の偏光子であるルチル単結晶４５の光学軸の指向する方位を表す。矢印７６は、鉄ガーネット膜４６によるファラデー回転の方向を示す。
【００４３】
光アイソレータを構成する２つのルチル単結晶４４、４５の光学軸の方位と、光ファイバ付きフェルール６８の端面研磨部の研磨方位が図１１及び図１２のような位置関係にあるときの、光アイソレータのアイソレーションの変化を図１３に示す。図１３のグラフにおいて、縦軸は、本実施例の光モジュールに戻ってきたレーザビームが光ファイバ付きフェルール６８の光ファイバ端面より射出し、光アイソレータ及び非球面レンズ４２を透過して半導体レーザチップ側に戻ってきた際のアイソレーションの変化量を表す。また、横軸は半導体レーザチップと非球面レンズ４２の中心軸の軸ズレ量を表したものである。図１１のような光モジュールを作製する場合には、ステム６２と金属キャップ４１を接合する際にはそれらの間には軸ずれが発生するが、軸ずれが発生した場合の光モジュールの光学特性の劣化は重要な問題である。
【００４４】
図１３に示すように、本実施例における光モジュールにおいては、半導体レーザチップのズレ量が０．０６ｍｍ程度発生しても、アイソレーションの変化は１０ｄＢ前後にとどまっており、安定なアイソレーション特性を示す。
【００４５】
図１４は、本発明の実施例５とアイソレーション特性を比較するための光モジュールの要部を示した部分断面図である。実施例５と同一部材については説明を省略する。本モジュールにおいては、実施例５と異なり、入射側偏光子であるルチル単結晶４４の光学軸７７及び射出側偏光子であるルチル単結晶４５の光学軸７８は、図１４のごとく、光ファイバ付きフェルール６８の端面研磨の鋭角側を指向している。
【００４６】
図１５は、半導体レーザチップ側から見た時の、２本の光学軸方位の位置関係を示している。矢印７９は入射側の偏光子であるルチル４４の光学軸の指向する方位を表す。矢印８０は、射出側の偏光子であるルチル４５の光学軸の指向する方位を表す。矢印８１は、鉄ガーネット膜４６のファラデー回転の方向を示す。
【００４７】
図１６は、本比較例の光モジュールにおける、半導体レーザチップのズレ量とアイソレーションの変化の関係を示した図である。本モジュールにおいては、半導体レーザチップのズレ量が変化するに従って、アイソレーションが単調変化する。従って、アイソレーション特性のバラツキが大きい結果となり、量産を考えた際の特性保証の観点からは望ましい状態とは言えない。
【００４８】
従って、ルチル単結晶を偏光子として用いて、光アイソレータを作製し、それを光モジュールに組み込む際には、偏光子の光学軸の方位と、光ファイバ付きフェルール端面の斜め研磨の方位が、図１１及び図１２に示すような位置関係、すなわち偏光子の光学軸が、光モジュール中の半導体レーザチップ側からみて、キャピラリ端部の斜め研磨部の凡そ鈍角側を指向するような位置関係となっていることが望ましい。より具体的には、キャピラリ端部の鈍角側の指向する方位を基準として、左右の方向にそれぞれ４５度以内の方位を指向させれば、図１３に示すような安定したアイソレーション特性を実現することができる。
【００４９】
なお、偏光子として、方解石、バナジウム酸イットリウム（ＹＶＯ4）等、他の結晶を用いた場合においても、同様の事が言える。また偏光子の光学軸の方位が、光ファイバ付きフェルールの鈍角側に概ね向いていれば同様の効果を期待できるものである。
【００５０】
また、上述のすべての本実施例においては、光アイソレータはファラデー回転結晶の入射側、出射側の両方に偏光子を設置しているが、入射側の偏光子を省力した場合には半導体レーザにはその出射光の偏光方向の成分は戻らないがその光に直交した偏光成分が戻ることになる。半導体レーザの種類によってはこのような場合でも特性安定化が得られる場合があるので本発明の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施例１での半導体レーザ用キャップの断面図。
【図２】本発明の実施例１の変形例での半導体レーザ用キャップの断面図。
【図３】本発明の実施例１の変形例での半導体レーザ用キャップの断面図。
【図４】本発明の実施例１の変形例での半導体レーザ用キャップの断面図。
【図５】本発明の実施例１の変形例での半導体レーザ用キャップの断面図。
【図６】本発明の実施例２での半導体レーザ用キャップの断面図る
【図７】本発明の実施例２の変形例での半導体レーザ用キャップの断面図。
【図８】本発明の実施例３での光モジュールの断面図。
【図９】本発明の実施例４での光モジュールの部分断面図。
【図１０】本発明の実施例４の変形例での光モジュールの部分断面図。
【図１１】本発明の実施例５での光モジュールの要部を示す部分断面図。
【図１２】本発明の実施例５での光モジュールにおける光アイソレータの偏光子の光学軸の方位を示す図。
【図１３】本発明の実施例５での光モジュールにおける光アイソレータのアイソレーションの変化を示す図。
【図１４】本発明の実施例５とアイソレーション特性を比較する光モジュールの要部を示す部分断面図。
【図１５】本発明の実施例５とアイソレーション特性を比較する光モジュールにおける光アイソレータの偏光子の光学軸の方位を示す図。
【図１６】本発明の実施例５とアイソレーション特性を比較する光モジュールにおける光アイソレータのアイソレーションの変化を示す図。
【図１７】従来の窓ガラス付き半導体レーザ用キャップの断面図。
【図１８】従来のレンズ付き半導体レーザ用キャップの断面図。
【図１９】従来の光アイソレータ付き光モジュールの配置図。
【符号の説明】
【００５２】
１１，２１，３１，４１，４８    金属キャップ
１２    窓ガラス
２２    球レンズ
２３，４３，４９    低融点ガラス
２８ レンズホルダ
２９ ホルダ
３４，６２    ステム
３５，６４    半導体レーザチップ
３６，４０    光アイソレータ
３７，６８    光ファイバ付きフェルール
４２，５２，５４，５９，６０，７１    非球面レンズ
４４，４５    ルチル単結晶
４６    鉄ガーネット膜
４７，５５ 円筒形磁石
５０    ガラス平板
５１ スペーサ
５３ 有機接着剤
５６，５８    ガラス偏光子
５７    鉄ガーネット膜
６１ ピン端子
６３ ヒートシンク
６６，６９    外部ホルダ
６７    ファイバサポート
７０ ボールレンズ
７２，７３，７７，７８    光学軸
７４，７５，７９，８０    (光学軸の方位を示す)矢印
７６，８１    （ファラデー回転の方向を示す）矢印
【図１】
2007086472.tif 000003
【図２】
2007086472.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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