(57)【要約】【課題】従来は、微小構造体を精度良く検査することができないという課題があった。【解決手段】入力される信号に応じた音を発生する音発生部１０とプローブカード１１とを具備する検査装置１の、音発生部１０から出力される音を取得するための音取得装置２であって、音発生部１０から出力される音の入力を受け付けるマイクロフォン２０と、平面２１１と、マイクロフォン２０を、当該マイクロフォンの音の入力を受け付ける位置が、平面２１１と同じ高さに位置するよう保持する保持部２１２と、平面２１１上に設けられた１以上の突起部２１３とを有するホルダ２１とを具備する。【選択図】図４
2007285904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力される信号に応じた音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の前記音発生部から出力される音を取得するための音取得装置であって、
前記音発生部から出力される音の入力を受け付けるマイクロフォンと、
前記マイクロフォンを保持するホルダとを具備し、
前記ホルダには、平面が形成されており、
前記ホルダは、
前記平面と同じ高さに前記マイクロフォンの音の入力を受け付ける位置が位置するよう前記マイクロフォンを保持する保持部と、
前記平面上に設けられた１以上の突起部とを有する、音取得装置。
【請求項２】
前記各突起部は、高さが可変である請求項１記載の音取得装置。
【請求項３】
少なくとも前記保持部近傍の温度を調節する温度調節部をさらに具備する請求項１から請求項２いずれか記載の音取得装置。
【請求項４】
前記音取得装置は、さらに、前記マイクロフォンを前記ホルダに固定する固定部を具備する請求項１から請求項３いずれか記載の音取得装置。
【請求項５】
前記検査装置は、
前記音発生部を、前記プローブカードの第一の表面側に有しており、
前記ホルダは、前記プローブカードの第一の表面に対して反対側の表面である第二の表面に前記各突起部が当接されるよう配置される請求項１から請求項４いずれか記載の音取得装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５いずれか記載の音取得装置が取得した音を測定する音測定装置であって、
前記音取得装置のマイクロフォンから出力される音の信号である音信号を受け付ける音信号受付部と、
前記音信号受付部が受け付けた音信号に関する情報を出力する出力部とを具備する音測定装置。
【請求項７】
請求項１から請求項５いずれか記載の音取得装置を構成するホルダ。
【請求項８】
入力される信号に応じた音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の音校正装置であって、
前記音発生部から出力された音の信号である音信号を受け付ける音信号受付部と、
前記音信号受付部が受け付けた音信号に応じて、前記音発生部から発生する音を所望の音とするための、前記音発生部が発生する音に関して設定する情報を含む制御情報を出力する信号制御部と、
前記音発生部に対して、前記制御情報に応じた音を発生させるための信号を出力する信号出力部と、
前記制御情報に応じて、前記音発生部から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得部と、
前記校正情報取得部が取得した校正情報を出力する校正情報出力部とを具備する音校正装置。
【請求項９】
前記信号出力部は、異なる二以上の周波数の音を前記音発生部に発生させるための信号を個別に出力し、
前記校正情報取得部は、前記音発生部から発生される異なる二以上の周波数の音のそれぞれを所望の音とする前記校正情報を、前記異なる二以上の周波数ごとに取得する請求項８記載の音校正装置。
【請求項１０】
音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の音校正装置であって、
前記音発生部から出力された音の信号である音信号を受け付ける音信号受付部と、
前記音発生部の発生する音に関して設定する情報と、前記音信号受付部が受け付けた音信号とに応じて、前記音発生部から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得部と、
前記校正情報取得部が取得した校正情報を出力する校正情報出力部とを具備する音校正装置。
【請求項１１】
前記信号出力部は、異なる二以上の周波数の音を前記音発生部に発生させるための信号を個別に出力し、
前記校正情報取得部は、前記音発生部から発生される異なる二以上の周波数の音のそれぞれを、所望の音とする校正情報を、前記異なる二以上の周波数ごとに取得する請求項１０記載の音校正装置。
【請求項１２】
前記音信号受付部は、前記請求項１から請求項５いずれか記載の音取得装置が出力する音信号を受け付ける請求項８から請求項１１いずれか記載の音校正装置。
【請求項１３】
入力される信号に応じた音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の前記音発生部から出力される音を取得するための音取得装置であって、前記音発生部から出力される音の入力を受け付けるマイクロフォンと、前記マイクロフォンを保持するホルダとを具備し、前記ホルダには、平面が形成されており、前記ホルダは、前記平面と同じ高さに前記マイクロフォンの音の入力を受け付ける位置が位置するよう前記マイクロフォンを保持する保持部と、前記平面上に設けられた１以上の突起部とを有する、音取得装置が取得した音を測定する音測定方法であって、
前記音取得装置のマイクロフォンから出力される音の信号である音信号を受け付ける音信号受付ステップと、
前記音信号受付部が受け付けた音信号に関する情報を出力する出力ステップとを具備する音測定方法。
【請求項１４】
入力される信号に応じた音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の音校正方法であって、
前記音発生部から出力された音の信号である音信号を受け付ける音信号受付ステップと、
前記音信号受付ステップにより受け付けた音信号に応じて、前記音発生部から発生する音を所望の音とするための、前記音発生部が発生する音に関して設定する情報を含む制御情報を出力する信号制御ステップと、
前記音発生部に対して、前記制御情報に応じた音を発生させるための信号を出力する信号出力ステップと、
前記制御情報に応じて、前記音発生部から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得ステップと、
前記校正情報取得ステップにより取得した校正情報を出力する校正情報出力ステップとを具備する音校正方法。
【請求項１５】
音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の音校正方法であって、
前記音発生部から出力された音の信号である音信号を受け付ける音信号受付ステップと、
前記音発生部の発生する音に関して設定する情報と、前記音信号受付ステップにより受け付けた音信号とに応じて、前記音発生部から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得ステップと、
前記校正情報取得ステップにより取得した校正情報を出力する校正情報出力ステップとを具備する音校正方法。
【請求項１６】
入力される信号に応じた音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の前記音発生部から出力される音を取得するための音取得装置であって、前記音発生部から出力される音の入力を受け付けるマイクロフォンと、前記マイクロフォンを保持するホルダとを具備し、前記ホルダには、平面が形成されており、前記ホルダは、前記平面と同じ高さに前記マイクロフォンの音の入力を受け付ける位置が位置するよう前記マイクロフォンを保持する保持部と、前記平面上に設けられた１以上の突起部とを有する、音取得装置が取得した音を測定する処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
コンピュータに、
前記音取得装置のマイクロフォンから出力される音の信号である音信号を受け付ける音信号受付ステップと、
前記音信号受付部が受け付けた音信号に関する情報を出力する出力ステップとを実行させるためのプログラム。
【請求項１７】
入力される信号に応じた音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の音を校正する処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
コンピュータに、
前記音発生部から出力された音の信号である音信号を受け付ける音信号受付ステップと、
前記音信号受付ステップにより受け付けた音信号に応じて、前記音発生部から発生する音を所望の音とするための、前記音発生部が発生する音に関して設定する情報を含む制御情報を出力する信号制御ステップと、
前記音発生部に対して、前記制御情報に応じた音を発生させるための信号を出力する信号出力ステップと、
前記制御情報に応じて、前記音発生部から発生される音が所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得ステップと、
前記校正情報取得ステップにより取得した校正情報を出力する校正情報出力ステップとを実行させるためのプログラム。
【請求項１８】
音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の音を校正する処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
コンピュータに、
前記音発生部から出力された音の信号である音信号を受け付ける音信号受付ステップと、
前記音発生部の発生する音に関して設定する情報と、前記音信号受付ステップにより受け付けた音信号とに応じて、前記音発生部から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得ステップと、
前記校正情報取得ステップにより取得した校正情報を出力する校正情報出力ステップとを実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｍｓ）等の可動部を有する微小構造体等を検査する検査装置の、特性の測定や校正等に利用される音取得装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、特に半導体微細加工技術等を用いて作製された、機械・電子・光・化学等の多様な機能を集積化したデバイスであるＭＥＭＳが注目されている。これまでに実用化されたＭＥＭＳ技術としては、たとえば自動車・医療用の各種センサとしてマイクロセンサである加速度センサや圧力センサ、エアフローセンサ等がある。
【０００３】
また、インクジェットプリンタヘッドにこのＭＥＭＳ技術を採用することにより、インクを噴出するノズル数の増加と正確なインクの噴出とが可能となり、画質の向上と印刷スピードの高速化とを図ることが可能となっている。さらには反射型のプロジェクタにおいて用いられているマイクロミラーアレイ等も一般的なＭＥＭＳデバイスとして知られている。
【０００４】
今後ＭＥＭＳ技術を利用したさまざまなセンサやアクチュエータが開発されることにより光通信・モバイル機器への応用、計算機への周辺機器への応用、さらにはバイオ分析や携帯用電源への応用へと展開することが期待されている。例えば、非特許文献１においては、ＭＥＭＳに関する技術の現状と課題という議題で種々のＭＥＭＳ技術が紹介されている。
【０００５】
一方、ＭＥＭＳデバイスの発展に伴い、それを適切に検査する方式も重要となってくる。従来においては、パッケージ後に、デバイスを回転させたり、あるいは振動などの手段を用いてデバイスに振動を与えたりすることで、その特性の評価を実行してきた。しかし、微細加工技術後の初期段階、例えばウェハ状態において、適正な検査を実行して不良を検出することにより、歩留まりを向上させ、製造コストを低減することが可能となる。
【０００６】
例えば、特許文献１には、ウェハ上に形成された加速度センサに対して、空気を吹き付けることにより変化する加速度センサの抵抗値を検出し、加速度センサの特性を判別する検査方式が提案されている。
【特許文献１】特開平５−３４３７１号公報（第１頁、第１図等）
【非特許文献１】技術調査レポート第３号（経済産業省産業技術環境局技術調査室  製造産業局産業機械課  発行  平成１５年３月２８日）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一般に、加速度センサなどの微小な可動部を有する構造体は、微小な動きに対してもその応答特性が変化するデバイスである。したがって、その特性を評価するためには、精度の高い検査をする必要がある。特許文献１に示されるような空気の吹きつけによりデバイスに変化を加える場合にも、空気の吹きつけ量に微調整を施して加速度センサの特性を評価しなければならない。しかしながら、気流の流量を制御するとともに、均一にデバイスに気体を吹きつけて精度の高い検査を実行することはきわめて困難であった。この結果、従来は、微小構造体を精度良く検査することができないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の音取得装置は、入力される信号に応じた音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の、前記音発生部から出力される音を取得するための音取得装置であって、前記音発生部から出力される音の入力を受け付けるマイクロフォンと、前記マイクロフォンを保持するホルダとを具備し、前記ホルダには、平面が形成されており、前記ホルダは、前記平面と同じ高さに前記マイクロフォンの音の入力を受け付ける位置が位置するよう前記マイクロフォンを保持する保持部と、前記平面上に設けられた１以上の突起部とを有する、音取得装置である。
【０００９】
かかる構成により、ウェハ状態の微小構造体に対して音を出力して検査を行う検査装置の、音発生部から出力される音を、実際に検査装置で、微小構造体を検査する状態と同じ状態で取得することができる。この結果、音発生部から出力される音を、精度良く取得することができ、例えば、この取得した音の情報を用いることで、音発生部から出力される音を精度良く校正する校正情報を構成したりすることができる。これにより、検査装置を用いて、ウェハ状態の微小構造体を精度良く検査することが可能となる。
【００１０】
また、本発明の音取得装置は、前記音取得装置において、前記各突起部は、高さが可変である音取得装置である。
【００１１】
かかる構成により、検査装置の形状や、検査装置を用いた検査の状態に応じて、音取得装置の検査装置に対する配置を調整することができる。
【００１２】
また、本発明の音取得装置は、前記音取得装置において、少なくとも前記保持部近傍の温度を調節する温度調節部をさらに具備する音取得装置である。
【００１３】
かかる構成により、検査装置から出力される音を取得する際の温度条件を自由に変更することが可能となり、所望の状態での音を取得することができ、音を取得する際の精度を向上させることが可能となる。
【００１４】
また、本発明の音取得装置は、前記音取得装置において、前記音取得装置は、さらに、前記マイクロフォンを前記ホルダに固定する固定部を具備する音取得装置である。
【００１５】
かかる構成により、マイクロフォンを、ホルダに確実に固定することができる。
【００１６】
また、本発明の音取得装置は、前記音取得装置において、前記検査装置は、前記音発生部を、前記プローブカードの第一の表面側に有しており、前記ホルダは、前記プローブカードの第一の表面に対して反対側の表面である第二の表面に前記突起部が当接されるよう配置される音取得装置である。
【００１７】
かかる構成により、突起部によって、プローブカードと検査装置との間の距離を容易に一定に保つことができる。
【００１８】
また、本発明の音測定装置は、前記音取得装置が取得した音を測定する音測定装置であって、前記音取得装置のマイクロフォンから出力される音の信号である音信号を受け付ける音信号受付部と、前記音信号受付部が受け付けた音信号に関する情報を出力する出力部とを具備する音測定装置である。
【００１９】
かかる構成により、ウェハ状態の微小構造体に対して音を出力して検査を行う検査装置の、音発生部から出力される音を、実際に検査装置で、微小構造体を検査する状態と同じ状態で測定することができる。この結果、音発生部から出力される音を、精度良く測定することができ、例えば、この測定した音の情報を用いることで、音発生部から出力される音を精度良く校正する校正情報を構成したりすることができる。この結果、ウェハ状態の微小構造体を精度良く検査することが可能となる。
【００２０】
また、本発明のホルダは、前記音取得装置を構成するホルダである。
【００２１】
かかる構成により、マイクロフォン２０の音の入力を受け付ける位置を、ウェハ状態の微小構造体の位置に配置することができ、微小構造体に印加される音を、精度良く取得することができる。
【００２２】
また、本発明の音校正装置は、入力される信号に応じた音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の音校正装置であって、前記音発生部から出力された音の信号である音信号を受け付ける音信号受付部と、前記音信号受付部が受け付けた音信号に応じて、前記音発生部から発生する音を所望の音とするための、前記音発生部が発生する音に関して設定する情報を含む制御情報を出力する信号制御部と、前記音発生部に対して、前記制御情報に応じた音を発生させるための信号を出力する信号出力部と、前記制御情報に応じて、前記音発生部から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得部と、前記校正情報取得部が取得した校正情報を出力する校正情報出力部とを具備する音校正装置である。
【００２３】
かかる構成により、ウェハ状態の微小構造体に対して音を出力して検査を行う検査装置の、音発生部から出力される音を校正する校正情報を構成することができる。これにより、例えば、この校正情報を検査に利用することで、ウェハ状態の微小構造体を精度良く検査することが可能となる。
【００２４】
また、本発明の音校正装置は、前記音校正装置において、前記信号出力部は、異なる二以上の周波数の音を前記音発生部に発生させるための信号を個別に出力し、前記校正情報取得部は、前記音発生部から発生される異なる二以上の周波数の音のそれぞれを所望の音とする前記校正情報を、前記異なる二以上の周波数ごとに取得する音校正装置である。
【００２５】
かかる構成により、周波数毎の校正情報を構成することができる。
【００２６】
また、本発明の音校正装置は、音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の音校正装置であって、前記音発生部から出力された音の信号である音信号を受け付ける音信号受付部と、前記音発生部の発生する音に関して設定する情報と、前記音信号受付部が受け付けた音信号とに応じて、前記音発生部から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得部と、前記校正情報取得部が取得した校正情報を出力する校正情報出力部とを具備する音校正装置である。
【００２７】
かかる構成により、ウェハ状態の微小構造体に対して音を出力して検査を行う検査装置の、音発生部から出力される音を校正する校正情報を構成することができる。これにより、例えば、この校正情報を検査に利用することで、ウェハ状態の微小構造体を精度良く検査することが可能となる。
【００２８】
また、本発明の音校正装置は、前記音校正装置において、前記信号出力部は、異なる二以上の周波数の音を前記音発生部に発生させるための信号を個別に出力し、前記校正情報取得部は、前記音発生部から発生される異なる二以上の周波数の音のそれぞれを、所望の音とする校正情報を、前記異なる二以上の周波数ごとに取得する音校正装置である。
【００２９】
かかる構成により、周波数毎の校正情報を構成することができる。
【００３０】
また、本発明の音校正装置は、前記音校正装置において、前記音信号受付部は、前記音取得装置が出力する音信号を受け付ける音校正装置である。
【００３１】
かかる構成により、精度良く検査装置の音発生部が発生する音を取得することができ、精度の良い校正情報を得ることができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明による音取得装置等によれば、ウェハ状態の微小構造体に対して音を出力して検査を行う検査装置の、音発生部から出力される音を、高精度に測定したり、音発生部から出力される音を校正する校正情報を構成したりすることができる。これにより、ウェハ状態の微小構造体を精度良く検査することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
本願発明者らは、上述したような課題を解消するために、鋭意研究の結果、ＭＥＭＳ等の微小構造体に対して、音を印加することで、微小構造体の可動部を動作させて、検査を行うことを考えた。この検査は、例えば、ウェハ状態のデバイスの検査に利用されるプローブカードと、音を発生する音発生部とを備えた検査装置を用意し、ウェハ状態のデバイスの電極バッドにプローブカードのプローブ針を当てたうえで、そのデバイスに音発生部から音を印加することで、音によるデバイスの微小な動きによるデバイスの応答特性等を測定する検査である。
【００３４】
しかしながら、このような検査においても、より精度の高い検査を行えるようにするために、微小構造体に印加する音の特性等の把握や微調整等が不可欠である。例えば、どのような条件で検査したかが分からなければ、有効な検査結果とは判断しにくいし、また、異なる条件で行われた検査の結果を、瞬時に正確に評価することは難しい。このため、このような検査を行う検査装置について、検査装置から出力される音を精度良く取得したり、取得した音を用いて検査の際に出力する音を校正することが必要である。このため、以下の実施の形態においては、特にこのような検査装置から出力される音を精度よく取得する音取得装置、この取得した音を測定する音測定システム、この取得した音を用いて検査の際に出力する音を校正する音校正システム等について説明する。
【００３５】
以下、音取得装置等の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
【００３６】
（実施の形態１）
図１は、本実施の形態における音校正システムの構成を示すブロック図である。本実施の形態の音校正システムは、検査装置１と、音取得装置２と、音校正装置３とを備えている。各装置は、情報の送受信が可能である。各装置は、例えば、コード等の配線で接続されていても良い。また、例えば、インターネットや、無線や有線のＬＡＮ等のネットワークで接続されていてもよいし、ブルートゥース（登録商標）等の近距離無線通信により接続されていてもよい。また、ＵＳＢやＩＥＥＥ１３９４のようなバス等により接続されていてもよい。ただし、各装置間の接続方法は問わない。
【００３７】
図２は、検査装置１の構造を示す側面図である。検査装置１は、音発生部１０と、プローブカード１１とを備えている。プローブカード１１は、基板１１１と、複数のプローブ針１１２と、固定リング１１３とを備えている。
【００３８】
基板１１１は、第一の表面１１１ａと、この第一の表面１１１ａの反対側に位置する第二の表面１１１ｂとを有している。この第一の表面１１１ａおよび第二の表面１１１ｂは、それぞれ、プローブカード１１の第一の表面および第二の表面に相当する。このため、この第一の表面１１１ａおよび第二の表面１１１ｂを、ここでは適宜、それぞれ、プローブカード１１の第一の表面１１１ａおよび第二の表面１１１ｂと呼ぶ。基板１１１の第一の表面１１１ａまたは第二の表面１１１ｂの少なくとも一方には、図示しない配線や回路等が設けられている。また、基板１１１には、検査対象となる微小構造体上に配置される位置に、微小構造体と同程度もしくはこれよりも大きい開口部１１４を有している。基板１１１は、通常円形であるが、基板１１１の大きさや形状は問わない。
【００３９】
プローブ針１１２は、基板１１１の第二の表面１１１ｂ側に配置されている。プローブ針１１２は、基板１１１上の配線や回路等と、図示しない配線等を用いて接続されている。プローブ針１１２は、導電性を有している材料により構成される。プローブ針１１２は、少なくとも先端が、第二の表面１１１ｂから離れた位置に設けられている。なお、後述する校正を行う際において、プローブ針１１２の音の特性に与える影響等を無視する場合には、プローブ針１１２を一時的に設けないようにしても良い。
【００４０】
固定リング１１３は、プローブ針１１２を固定するためのリング状の部材であり、基板１１１の第二の表面１１１ｂ上に取り付けられている。プローブ針１１２は、固定リング１１３上に取り付けられている。固定リング１１３の内径は、検査対象となる微小構造体のサイズよりも大きなサイズに設定されている。なお、固定リング１１３は、検査対象等に応じて、省略してもよい。
【００４１】
音発生部１０は、外部、ここでは例として音校正装置３から入力される信号に応じた音、言い換えれば音波、を発生し、出力する。音発生部１０は、音を発生可能なものであれば、どのようなものであってもよい。ただし、外部からの信号により音の特性、例えば音圧、を変更できるものが好ましく、さらには、入力される信号に応じてさまざまな周波数の音を出力可能なものであることがより好ましい。ここでは例として、音発生部１０に入力される信号が、正弦波やパルス等の音の波形等の信号であり、音発生部１０がスピーカーであり、音発生部１０に入力される信号が、正弦波やパルス等の音の波形等の信号である場合について説明する。ただし、音発生部１０が、図示しないアンプや所望の波形を発生する波形発生器等を有しており、音発生部１０が、発生する音に関して設定する情報の入力を外部から受け付け、この情報に応じて、発生する音の波形等の信号を音発生部１０自身で生成し、この信号に応じた音を発生するようにしてもよい。音発生部１０は、プローブカード１１の基板１１１の開口部１１４を塞ぐように、プローブカード１１の第一の表面１１１ａ側に取り付けられている。音発生部１０から出力される音は、基板１１１の開口部１１４を経て、プローブカード１１の第二の表面１１１ｂ側から出力される。
図３は、音取得装置２の構造を示す斜視図である。
【００４２】
また、図４は、図３に示した音取得装置２の側面図である。
【００４３】
音取得装置２は、マイクロフォン２０と、ホルダ２１と、固定部２２とを備えている。
【００４４】
マイクロフォン２０は、音を電気的な信号である音信号に変換して出力する。ここでは、変換して得られた音信号を、音校正装置３に出力する。マイクロフォン２０は、ダイナミック型、エレクトレットコンデンサー型、コンデンサー型等、どのような構造のマイクロフォンであっても良い。また、ＭＥＭＳとして構成されたマイクロフォンであってもよい。また、マイクロフォン２０の出力はアナログであってもデジタルであっても良い。例えば、マイクロフォン２０内に、音の信号をデジタル化して出力する回路等を設けるようにしても良い。マイクロフォン２０の形状は問わない。ここでは、マイクロフォン２０は、円柱形状を有しているものとする。マイクロフォン２０は、音信号を、有線や無線のネットワークを介して、音校正装置３に出力しても良いし、配線を介して音校正装置３に出力してもよい。ネットワークを介して音信号を出力する場合、マイクロフォン２０は、無線や有線のネットワーク用の通信手段等を備えていても良い。
【００４５】
ホルダ２１は、マイクロフォン２０を保持する。ホルダ２１には、平面２１１が形成されている。また、ホルダ２１は、保持部２１２と、１以上の突起部２１３とを具備している。ホルダ２１の材質は、どのような材質であってもよく、ここでは、例として加工等が用意であることから樹脂を用いている。ホルダ２１は、少なくとも平面２１１と、保持部２１２と、突起部２１３とを有していればよく、その他の部分の形状は問わない。ここでは、例としてホルダ２１は、厚さが、約１０ｍｍから２０ｍｍの円盤形状を有している。
【００４６】
平面２１１は、ホルダ２１の表面に形成されている。平面２１１は、検査装置１の第二の表面１１１ｂに対向して配置される面となる。平面２１１は、検査装置１による検査の対象となるウェハの代わりとして用いられるものであることから、表面が平滑であることが好ましく、微小構造体が設けられたウェハと同程度の平滑性を有していることがより好ましい。平面２１１の広さは、少なくとも、基板１１１の開口部１１４のサイズよりも広い広さとすることが好ましい。
【００４７】
保持部２１２は、マイクロフォン２０を、当該マイクロフォン２０の音の入力を受け付ける位置が、平面２１１と同じ高さに位置するように保持する。具体的には、保持部２１２は、マイクロフォン２０をはめ込む、あるいは埋め込むための凹部や孔である。ここでは、例として、保持部２１２は、平面２１１に対して垂直に、ホルダ２１を貫通する孔を有しているものとする。保持部２１２は、ホルダ２１の平面２１１を、プローブカード１１の第二の表面１１１ｂに対向するように配置した状態で、音発生部１０に対向する位置に設けるようにする。通常は、平面２１１の中央部に設けられる。なお、平面２１１と同じ高さとは、技術的意味の範囲内において、同じ高さであることをいう。すなわち、ここでは例として、平面２１１と厳密に同じ高さに配置した場合にマイクロフォン２０が受け付ける音と、誤差の範囲内、あるいは、実用上問題の生じない範囲内で、同じ音が得られる範囲の高さであれば、同じ高さであると考える。したがって、この同じ高さと考えられる範囲は、検査装置１の音の検査に要求される精度によっても異なるものとなる。また、マイクロフォン２０の形状等によっても異なる。通常、マイクロフォン２０の音の入力を受け付ける位置が、数ｍｍ程度、平面２１１より高くても、低くても、平面２１１と同じ高さであるとすることができる。なお、マイクロフォン２０の音の入力を受け付ける位置とは、マイクロフォン２０内の実際に音を電気信号に変換する部分の位置近傍とすることが好ましいが、位置あわせの便宜等を考慮して、マイクロフォン２０の表面の音が入力される位置近傍としてもよい。
【００４８】
突起部２１３は、平面２１１上に設けられている。突起部２１３が複数設けられている場合、各突起部２１３の高さは同じとする。突起部２１３の高さは、検査装置１によりウェハ上の微小構造体の検査を行う際の、プローブカード１１の基板１１１と、ウェハとの距離とほぼ同じ長さとなるように設定する。例えば、突起部２１３の高さは、４ｍｍ〜１０ｍｍである。突起部２１３の数は３以上であることが好ましい。突起部２１３は、音を取得する際の障害物とならないよう、保持部２１２の位置からできるだけ、離れた位置に設けられていることが好ましい。また、突起部２１３は、ホルダ２１の平面２１１を、プローブカード１１の第二の表面１１１ｂに対向するように配置した状態で、プローブカード１１に接する位置に設けることが好ましい。あるいは、プローブカード１１が、いわゆるプローブカードホルダ（図示せず）に取り付けられる場合、このプローブカードホルダもプローブカードの一部と考えて、このプローブカードホルダに接する位置に突起部２１３を設けるようにしても良い。突起部２１３の大きさや平面形状は問わない。ここでは、例として、円柱形状を有している突起部２１３を保持部２１２の円周に沿ってほぼ等間隔に４つ配置している。なお、突起部２１３の高さが変更できるようにして、突起部２１３の高さを変更したり、微調整できるようにしても良い。例えば、突起部２１３を、ホルダ２１に対して着脱可能に取り付けられるようにし、高さの異なる突起部２１３を予め用意しておき、高さを変更する必要に応じて、高さの異なる突起部２１３を適宜選択して交換することで、突起部２１３の高さを適宜変更できるようにしてもよい。具体的には、突起部２１３のホルダ２１にネジを取り付け、突起部２１３にネジ穴を設けるようにすることで、突起部２１３の交換が可能となる。また、突起部２１３の下部に高さ調整用のボルト等を設けて、このボルトにより突起部２１３の高さを変更できるようにしてもよい。
【００４９】
固定部２２は、マイクロフォン２０を、ホルダ２１に対して固定する。ここでは、例として、固定部２２は、ホルダ２１の平面２１１の反対側の面上に設けられており、保持部２１２の有する孔と連通する貫通孔２２３を有している。この貫通孔２２３内に、上述した円柱形状のマイクロフォン２０が挿入される。また、固定部２２は、ネジ２２１により、ホルダ２１に固定され、貫通孔２２３内のマイクロフォン２０は、貫通孔２２３に対して垂直に差し込まれるネジ２２２により固定部２２に固定される。これにより、マイクロフォン２０がホルダ２１に固定される。固定部２２としては、ここでは金属を用いているが、固定部２２の材質は問わない。なお、ホルダ２１の保持部２１２によりマイクロフォン２０を十分な力で固定できる場合、固定部２２は省略してもよい。
【００５０】
音校正装置３は、信号出力部３１と、音信号受付部３２と、信号制御部３３と、校正情報取得部３４と、校正情報出力部３５とを備えている。
【００５１】
音校正装置３は、音発生部１０から出力する音を校正するための情報である校正情報を取得する。具体的には、音発生部１０から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する。ここで述べる校正とは、検査装置１の狂いや精度を、基準量を用いて正すことである。具体的には、検査装置１の出力する音が、所望の音となるように、検査装置１の設定や、検査装置１に音を出力するために入力させる信号等を、補正したり調整することである。
【００５２】
信号出力部３１は、音発生部１０等に後述する制御情報に応じた音を発生させるための信号を、音発生部１０等に出力する。「制御情報に応じた音」とは、具体的には、制御情報に含まれている、音発生部１０が発生する音に関して設定する情報により設定された特性、例えば、電圧や周波数、を有する音である。また、「制御情報に応じた音を発生させるための信号」とは、例えば、音発生部１０が発生する音に関して設定する情報により設定された特性を有する音を発生させるための、音の波形の信号である。また、「制御情報に応じた音を発生させるための信号」は、制御情報そのものや、制御情報を所定のルールに従って変換したものであってもよいし、制御情報に含まれている音発生部１０が発生する音に関して設定する情報であってもよい。ここでは、信号出力部３１が、制御情報により設定された特性、例えば電圧や周波数、を有する正弦波や、パルス等の波形の信号を出力する場合について説明する。例えば、信号出力部３１は、制御情報により設定された周波数と同じ周波数の波形の信号を生成し出力する。また、例えば、信号出力部３１は、制御情報により設定された電圧と同じ電圧の信号を生成し出力する。信号出力部３１は、１つの周波数の音を発生させるための信号のみを出力してもよいし、複数の周波数の音を音発生部１０等に発生させるための信号を出力しても良い。信号出力部３１の出力する信号は、正弦波の信号や、パルス信号や、複数の周波数信号により構成されるホワイトノイズ信号等、どのような信号でもよく、検査装置１が行う検査の内容等により決定される。信号出力部３１の出力する信号の周波数や、電圧すなわち正弦波やパルス信号の振幅等は、可変であるとする。信号出力部３１は、例えば、出力デバイスやそのドライバ等で実現され得る。また、必要に応じて、アンプや波形発生器等を備えていても良いし、ＭＰＵやメモリ等を有していても良い。
【００５３】
音信号受付部３２は、音発生部１０から出力された音の信号である音信号を受け付ける。ここでは、具体例として、音信号受付部３２の受け付ける音信号が、特に、音取得装置２のマイクロフォン２０から出力される音信号である場合について説明するが、音取得装置２以外のマイクロフォン等が、音発生部１０から出力された音を取得し、この取得した音に応じて出力する音信号を音信号受付部３２が受け付けても良い。音信号受付部３２の受け付ける音信号は、アナログ信号であっても良いし、デジタル信号であっても良い。また、音信号受付部３２は、入力されたアナログ信号をデジタル信号に変換してもよいし、入力されたデジタル信号をアナログ信号に変換してもよい。音信号受付部３２は、例えば入力デバイス等により実現される。また、音信号受付部３２は、信号を変換する処理の実現手段として、例えば、ＭＰＵやメモリ等を有していても良い。この場合、信号を変換する処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５４】
信号制御部３３は、音信号受付部３２が受け付けた音信号に応じて、音発生部１０が発生する音を所望の音とするための制御情報であって、前記音発生部が発生する音に関して設定する情報を含む制御情報を出力する。ここでは、信号制御部３３は、制御情報を信号出力部３１に出力する。ここで述べる所望の音とは、具体的には所望の特性を有する音のことであり、例えば、所望の音圧を有する音や、所望の周波数特性を有する音等のことである。また、音発生部１０が発生する音に関して設定する情報とは、例えば、音発生部が発生する音の特性等を設定するため情報であり、具体的には、音発生部１０が発生する音の、周波数や電圧すなわち振幅や波形等を設定する情報、例えば設定値等である。音発生部１０が発生する音に関して設定する情報は、音の特性等を設定できる情報であれば、どのような情報であってもよく、例えば、現在の音の特性の設定値に対する、変更後の音の特性の設定値の差分を示す値であってもよい。制御情報は、音発生部１０が発生する音の特性を設定するための情報以外の情報、例えば、音の特性の変更を指示するコマンド等を含んでいても良いし、含んでいなくても良い。信号制御部３３は、制御情報を出力することで、結果的に、音発生部１０の発生する音を変更させることができれば良く、制御情報が、音発生部１０にそのまま入力されるか否かは問わない。例えば、信号制御部３３が出力する制御情報に応じて生成された信号により、結果的に、音発生部１０の発生する音が変更されてもよい。信号制御部３３は、例えば、音信号受付部３２が受け付けた音信号から、現在、音発生部１０から出力されている音の音圧を求め、この音圧を、予め設定されている所望の値とするために、音発生部１０が発生する音の電圧の設定値を含む制御情報を構成し、信号出力部３１に出力する。信号制御部３３は、例えば、直前の制御情報が示す電圧の設定値を、現在の音圧と、所望の音圧との差が縮まるように変更させ、この変更した電圧の設定値を含む制御情報を出力する。この電圧を変化させる幅が、固定であるか、可変であるかは問わない。ここでは信号出力部３１は、この制御情報に応じて、音発生部１０に対して現在出力している音の信号の特性、例えば電圧を変化させる。また、予め設定されている音圧の所望の値とは、１つの値であっても、値を設定する範囲に含まれる値であってもよい。この処理の具体例については、後述する。なお、音発生部１０から発生する音の音圧は、音信号受付部３２が受け付けた音情報に対して対応関係を有しているため、得られた音圧が所望の音圧であるか否かを判断する際に、音情報を音圧の情報等に変換せずに、音情報の電圧の値等を、音圧の代わりに利用しても良い。音信号から音圧等を求める処理については公知技術であるので説明は省略する。信号制御部３３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。信号制御部３３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５５】
校正情報取得部３４は、音発生部１０から所望の音を発生させる情報である校正情報を、制御情報に応じて取得する。校正情報は、例えば、音信号受付部３２が受け付けた音情報から、音発生部１０が所望の音を発生させていると判断された場合の、制御情報に含まれる音発生部１０が発生する音に関して設定する情報、もしくはその一部である。例えば、校正情報は、音発生部１０に所望の周波数の音を、所望の音圧で出力させるための、電圧の設定値や、周波数の値である。例えば、上述した「所望の音」が、「所望の音圧を有する音」である場合、この校正情報を用いて信号出力部３１に信号を出力させることにより、所望の音圧の音を音発生部１０から出力させることができることとなる。また、校正情報は、制御情報に応じて算出された、音発生部１０から所望の音を発生させることができる設定値や関数等であっても良い。校正情報取得部３４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。校正情報取得部３４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５６】
校正情報出力部３５は、校正情報取得部３４が取得した校正情報を出力する。ここで述べる出力とは、出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、図示しないメモリ等の記録媒体への記録や、外部の装置への送信等を含む概念である。また、検査装置１もしくは検査装置１に検査時に検査用の信号を出力する装置等に対して、校正情報を設定する処理も含む。校正情報出力部３５は、ディスプレイやプリンタ等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。また、メモリ等の記録媒体を含むと考えても含まないと考えても良い。出力部は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。
【００５７】
次に、検査装置１を用いて行われる、ウェハに作製された微小構造体の検査方法について説明する。なお、ここでは、例として、微小構造体が、３軸加速度センサである場合について説明する。なお、３軸加速度センサの構成については、例えば、特開２００６−７８４３５号公報等により公知であるので、説明は省略する。
【００５８】
図５は、検査方法を説明するための図であり、図において、図２と同一符号は同一または相当する部分を示している。
【００５９】
以下、図５に基づいて、検査装置１を用いた検査方法について説明する。まず、微小構造体を複数有するウェハ５０を、ウェハを吸着するためのいわゆるチャック５１を有する載置台５２上に固定する。そして、ウェハ５０の上方から、検査装置１の、プローブ針１１２の先端が、検査対象となる１つの微小構造体５３の図示しない電極パッド等に接触するよう、ウェハ５０に押し当てる。プローブ針１１２には、必要に応じて、検査用の信号が供給される。なお、検査装置１において、検査用の信号を適宜供給するための構成や処理、あるいは、検査用の信号を受け付けたりする構成および処理については、公知技術であるので説明は省略する。
【００６０】
そして、検査装置１の音発生部１０に所望の音を発生させるための信号を供給すると、音発生部１０から、ウェハ５０状態の微小構造体５３に対して、音が印加される。なお、音発生部１０に供給する音信号は、例えば、１つの正弦波信号やパルス信号、または複数の周波数の信号であるホワイトノイズ信号等である。例えば、ホワイトノイズ信号を供給して、音発生部１０にホワイトノイズを発生させることにより、全周波数帯における微小構造体の加振テストを行うことができる。また、例えば、音圧を一定にして正弦波信号やパルスの周波数を順次変化させていくことで、微小構造体５３から得られる出力電力特性から、微小構造体５３の共振周波数を特定することが可能となる。
【００６１】
３次元加速度センサである微小構造体５３は、音発生部１０から出力された音により、可動部が動き、可動部の動きに応じた信号を図示しない電極パッドから出力する。
【００６２】
以上のようにして、検査装置１を用いることにより、音によって、ウェハ状態の微小構造体５３の可動部を動かした場合における微小構造体の検査を行うことができる。なお、ここでは３次元加速度センサについて説明したが、可動部を有する微小構造体であれば、同様にして上記の検査を実施可能である。可動部を有する微小構造体としては、例えば、加速度センサや、圧力センサ、エアフローセンサ等が挙げられる。
【００６３】
しかしながら、検査装置１による検査を行う際には、音発生部１０は、ウェハ５０や、プローブカード１１により挟み込まれた、ほぼ閉鎖された空間内において、音を出力することとなる。このため、開放された空間内において音を出力する場合とは大きく異なり、出力される音に周波数特性が発生する。また、この周波数特性は、検査装置１ごとに異なることが考えられる。したがって、このような周波数特性が発生している検査装置１をそのまま検査に用いると、検査に支障が生じる可能性がある。例えば、音発生部１０に対して、音圧が同じで、周波数だけが異なる音を出力させるために、電圧が同じである異なる周波数の信号を与えたとしても、音発生部１０から出力される音の音圧は異なるものとなってしまう。このため、音圧が一定で、周波数だけを変えた音を与えた検査等を行うことができず、微小構造体の出力電力特性等の特性を、精度良く把握することができなくなってしまう。この結果、微小構造体５３の共振周波数を特定することができなかったり、微小構造体の可動部が正常に可動するか否かを精度良く判断することができないこと等が考えられる。また、音発生部１０の、検査時の周波数特性が不明であると、どのような周波数特性を有する音を用いて検査を行ったかが不明となるため、異なる検査装置１で検査を行った検査の結果を、比較すること等ができなくなってしまう。
【００６４】
このため、本実施の形態においては、音取得装置２を用いて、検査時に音発生部１０が出力する音と同様の音を、実際に検査を行う際に近い環境において、予め精度良く取得して、この取得した音を利用して、音校正装置３により、検査時に音発生部１０に与える信号を校正するようにした。
【００６５】
音取得装置２の動作については、通常のマイクロフォン２０等が音を取得する場合の動作と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００６６】
次に、音校正装置３の動作について、図６のフローチャートを用いて説明する。なお、ここでは、音発生部１０に周波数の異なるｍ（ｍは１以上の整数）の音を、同じ音圧で発生させるための校正情報を取得する場合について説明する。すなわち、校正情報は、ここでは特に、制御情報に含まれた、音発生部１０に周波数の異なるｍの音を同じ音圧で発生させるために、音発生部１０に対して出力する信号の、周波数や電圧値を設定する情報であるとする。また、ｍの周波数のそれぞれの値は、予めテーブル等に格納されて、図示しないメモリ等に蓄積されている。
【００６７】
（ステップＳ６００）信号制御部３３は、カウンターｎを初期値である１に設定する。
【００６８】
（ステップＳ６０１）信号制御部３３は、制御情報に含まれる電圧の設定値を初期値に設定する。初期値の値は問わない。初期値は例えばメモリ等に予め格納されているものとする。
【００６９】
（ステップＳ６０２）信号制御部３３は、ｎ番目の周波数の値を図示しないメモリ等から取得する。そして、信号制御部３３は、このｎ番目の周波数の値と、電圧の設定値とを含む制御情報を、信号出力部３１に出力する。なお、ステップＳ６０１において設定された電圧が、その後の処理で変更された場合には、信号制御部３３は、この変更された電圧の値で、制御情報の電圧の設定値を更新して出力する。
【００７０】
（ステップＳ６０３）信号出力部３１は、制御情報に応じて、ｎ番目の周波数を有する、ステップＳ６０１において設定された電圧の信号を構成し、出力する。
【００７１】
（ステップＳ６０４）音信号受付部３２は、音信号を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ６０５に進み、受け付けていない場合、ステップＳ６０４に戻る。
【００７２】
（ステップＳ６０５）信号制御部３３は、ステップＳ６０４で受け付けた音信号について、音圧が、所定の音圧であるか否かを判断する。所定の音圧とは、例えば、音発生部１０が出力する音の音圧を、周波数にかかわらず一定にする際の、音圧の目標値等である。この所定の音圧の値は、例えば、メモリ等に予め格納されている。所定の音圧は、１つの値の音圧であっても良いし、所定の値の範囲の音圧であっても良い。信号制御部３３は、ステップＳ６０４において受け付けた音信号を変換して、音信号から音圧の値を取得しても良い。また、音信号の電圧の値等を、そのまま音圧の値として利用して、この値が、所定の値の範囲に含まれるか否かを判断して、所定の値の範囲に含まれる場合に、所定の音圧であると判断するようにしてもよい。音圧の単位はパスカル（単位：Ｐａ）や、デシベル（単位：ｄＢ）等問わない。所定の音圧である場合、ステップＳ６０６へ進み、所定の音圧でない場合、ステップＳ６１０へ進む。なお、ここでは、所定の音圧であるか否かを判断するようにしたが、音信号の電圧が、所定の電圧であるか否か等を判断するようにしても良い。
【００７３】
（ステップＳ６０６）校正情報取得部３４は、制御情報に応じて、校正情報を取得する。具体的には、校正情報取得部３４は、制御情報に含まれる値、ここでは、制御情報に含まれる周波数の値と電圧の値とを、信号制御部３３から取得する。この周波数の値と、電圧の値とが、ここでは校正情報である。
【００７４】
（ステップＳ６０７）校正情報出力部３５は、校正情報、すなわちステップＳ６０６において取得した信号の周波数の値と、電圧の値とを、関連付けて出力する。ここでは例として、校正情報出力部３５は、校正情報をメモリ等の記憶媒体に蓄積する。例えば、校正情報出力部３５は、周波数の値と、電圧の値とを、１つのレコードの２つの属性値として蓄積する。
【００７５】
（ステップＳ６０８）信号制御部３３は、ｎを１インクリメントする。
【００７６】
（ステップＳ６０９）信号制御部３３は、カウンターｎの値が、ｍより大きいか否かを判断する。大きい場合、処理を終了し、大きくない場合、ステップＳ６０１に戻る。
【００７７】
（ステップＳ６１０）信号制御部３３は、ステップＳ６０４で受け付けた音信号について、音圧が、予め設定されている所定の音圧未満であるか否かを判断する。所定の音圧未満である場合、ステップＳ６１１に進み、所定の音圧未満でない場合、ステップＳ６１２に進む。
【００７８】
（ステップＳ６１１）信号制御部３３は、制御情報の電圧の設定値を、現在の電圧よりも高くなるように変更する。そして、ステップＳ６０２に戻る。なお、この電圧の設定値を変更する処理において、電圧の高さを変更する度合いは問わない。例えば、予め設定されている固定値であっても良いし、固定値でなくても良い。また、現在の音圧と、所定の音圧との差の大きさに応じて、変動する値等であっても良い。
【００７９】
（ステップＳ６１２）信号制御部３３は、制御情報の電圧の設定値を、現在の電圧よりも低くなるように変更する。そして、ステップＳ６０２に戻る。
【００８０】
なお、図６のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００８１】
また、ここでは、予め１以上の周波数を用意しておき、カウンターｎの値に応じて、周波数を取得する場合について説明した。しかしながら、周波数の初期値と、周波数の最大値や最小値を予め設定しておき、上記のフローチャートで、カウンターｎが１の場合には、初期値の周波数を取得するようにし、カウンターｎを１増加させる毎に、周波数の値を所定の値だけ増加、あるいは減少させていくようにし、周波数の値が、最大値より大きくなるか、最小値よりも小さくなった場合に、処理を終了するようにしても良い。なお、この場合の所定の値は、一定の値であっても、一定の値でなくても良い。また、この所定の値を小さい値に設定すれば、連続的な周波数の変化に対応した校正情報を得ることができる。
【００８２】
また、１つの周波数の信号についての校正情報を求める場合には、図６のフローチャートにおいて、ｍの値を１に設定すればよい。
【００８３】
次に、本実施の形態における音校正システム等の具体的な動作について説明する。音校正システムの概念図は図７である。
【００８４】
まず、検査装置１は、図７に示すように、音取得装置２に対して、検査装置１の第二の表面１１１ｂと、音取得装置２の平面２１１とが対向し、各突起部２１３が検査装置１の第二の表面１１１ｂに当接されるように、配置する。また、音取得装置２の保持部２１２の位置が、音発生部１０の下の位置、例えば、プローブ針１１２が接触する位置近傍に配置されるよう、音取得装置２の検査装置１に対して位置決めされて配置される。また、突起部２１３の高さは、このように音取得装置２を配置した場合に、検査装置１の第二の表面１１１ｂと音取得装置２の平面２１１との間隔が、図５に示したような検査装置１を用いたウェハ状態の微小構造体の検査時における、検査装置１の第二の表面１１１ｂとウェハの表面との間隔と同じ間隔となるよう調整しておく。
【００８５】
このように音取得装置２を検査装置１に対して配置することにより、検査装置１と音取得装置２との間に挟まれた環境を、図５に示したような検査時における検査装置１とウェハとに挟まれた環境とほぼ同様の環境を実現することができる。また、マイクロフォン２０の音の入力を受け付ける位置が音取得装置２の平面２１１と同じ高さに位置している。この結果、マイクロフォン２０は、検査時におけるウェハ上の、検査対象となる微小構造体と、ほぼ同じ位置に配置することが可能となり、マイクロフォン２０は、検査時に検査対象となるウェハ状態の微小構造体が受ける音と、同様の音を取得することができる。この結果、ウェハ状態の微小構造体に検査時に印加される、検査時の環境によって周波数特性が発生した音と同じ周波数特性を有する音を、精度良く取得することが可能となる。
【００８６】
次に、上記のように検査装置１と音取得装置２とを配置した後、音校正装置３に対して、図示しないメニューやボタン等を操作して、校正情報を作成する指示を与えたとする。
【００８７】
図８は、信号出力部３１が出力する信号の周波数を管理する周波数管理表である。周波数管理表は、「識別情報」と「周波数」という属性を有している。「識別情報」は、レコードを管理するための情報である。「周波数」は、信号出力部３１が出力する信号の周波数である。
【００８８】
ここでは、図８に示す周波数管理表が、図示しないメモリ等に予め格納されており、音校正装置３は、「周波数」属性の示すそれぞれの周波数の信号を出力した場合に、音取得装置２のマイクロフォン２０が、１００ｄＢ±１ｄＢの音圧の音信号を得るための校正情報を取得するように設定されているとする。なお、ここでの校正情報は、１００ｄＢの音圧をマイクロフォン２０が取得するために、信号出力部３１が出力するパルスの電圧の情報を含む情報である。
【００８９】
信号制御部３３は、まず、カウンターｎを１にセットする。そして、予め設定されているパルス信号の電圧の初期値、例えば１００ｍＶを、図示しないメモリ等から読み出す。また、周波数管理表から、１番目のレコードである識別情報が「００１」のレコードの、周波数の値「２０Ｈｚ」を取得する。信号制御部３３は、周波数を「２０Ｈｚ」、電圧を１００ｍＶに設定する情報を含む制御情報を構成し、信号出力部３１に出力する。信号出力部３１は、制御情報に応じて、周波数が２０Ｈｚで、電圧が１００ｍＶのパルス信号を、検査装置１に出力する。
【００９０】
検査装置１の音発生部１０は、信号出力部３１から出力される信号に応じた２０Ｈｚの音を出力する。
【００９１】
音取得装置２のマイクロフォン２０は、音発生部１０から出力された音を取得し、音校正装置３に出力する。
【００９２】
音校正装置３の音信号受付部３２は、マイクロフォン２０から出力された音信号を受け付ける。
【００９３】
信号制御部３３は、音信号受付部３２が受け付けた音信号を変換して、マイクロフォン２０が取得した音の音圧を求める。そして、この音圧が、所定の音圧であるか否かを判断する。具体的には、音圧が、１００ｄＢ±１ｄＢ、すなわち９９ｄＢから１０１ｄＢまでの音圧の範囲に含まれるか否かを判断する。ここでは、信号制御部３３が求めた音圧が９９ｄＢよりも小さい値であったとすると、受け付けた音の音圧が、１００ｄＢ±１ｄＢの範囲内にない、と判断される。
【００９４】
次に、信号制御部３３は、信号制御部３３が求めた音圧が、１００ｄＢ±１ｄＢ未満であるか否かを判断する。ここでは、受け付けた音の音圧が、１００ｄＢ±１ｄＢ未満であると判断される。
【００９５】
これにより、信号制御部３３は、現在の制御情報に含まれる電圧の設定値を、予め設定されている値、例えば１０ｍＶだけ、高くなるように変更する。
【００９６】
なお、信号制御部３３は、信号制御部３３が求めた音圧が、１００ｄＢ±１ｄＢ未満でないと判断された場合、信号制御部３３は、制御情報に含まれる電圧の設定値を、予め設定されている値、例えば５ｍＶだけ、低くなるように設定を変更する。
【００９７】
そして、同様の処理が繰り返し行われ、１００ｄＢ±１ｄＢの範囲に、マイクロフォン２０が取得した音の音圧が含まれるようになった場合、その時点で、校正情報取得部３４が、制御情報に含まれる電圧の設定値と、信号の周波数の設定値、ここでは２０Ｈｚを取得する。この電圧の値と、周波数の値が、ここでは校正情報である。この校正情報を、校正情報出力部３５が図示しないメモリ等に蓄積する。なお、最初にマイクロフォン２０が取得した音の音圧が、１００ｄＢ±１ｄＢ、すなわち９９ｄＢから１０１ｄＢまでの音圧の範囲に含まれると判断された場合も、その時点で信号出力部３１が出力している電圧の値と、その信号の周波数の値とがメモリ等に蓄積される。
【００９８】
そして、信号出力部３１は、カウンターｎの値を１インクリメントする。そして、予め設定されているパルス信号の電圧の初期値、例えば１００ｍＶを、図示しないメモリ等から読み出す。また、周波数管理表から、２番目のレコードである識別情報が「００２」のレコードの、周波数の値「３０Ｈｚ」を取得する。そして、信号制御部３３は、周波数を「３０Ｈｚ」、電圧を１００ｍＶに設定する情報を含む制御情報を構成し、信号出力部３１に出力する。以降、同様の処理を繰り返す。
【００９９】
そして、カウンターｎの値が、４００となった時点で、周波数管理表に対応するレコードがなくなるため、処理を終了する。
【０１００】
この処理が終了した時点で校正情報出力部３５によりメモリ等に格納されている校正情報を、図９においてグラフに示す。
【０１０１】
このようにして得られた校正情報を利用することで、検査に用いる音の周波数にかかわらず、常に一定の音圧の音を、ウェハ状態の微小構造体に印加することが可能となる。具体的には、例えば、検査装置１に対して検査用の信号を供給する装置等（図示せず）に、このような校正情報を与えておき、このような検査用の装置が、検査時に所望の周波数の音を音発生部１０に発生させる際に、図９に示すようなグラフから所望の周波数の電圧の値を読み取り、この読み取った電圧値を有する、所望の周波数の信号を、音発生部１０に対して与えるようにする。これにより、微小構造体に対して、周波数にかかわらず、所望の周波数を有する１００ｄＢ±１０ｄＢの音圧の音を印加することができる。
【０１０２】
以上、本実施の形態においては、マイクロフォン２０の音の入力を受け付ける位置を、平面２１１と同じ高さに位置するよう保持する保持部２１２と、平面２１１上に設けられた１以上の突起部２１３と、を有するホルダ２１を具備するようにしたことにより、検査装置１から出力される音を、検査時と同様の環境において、微小構造体が配置される位置と同様の位置で取得することができる。この結果、ウェハ状態の微小構造体に検査時に印加される、検査時の環境によって周波数特性が発生した音と同じ音を、精度良く取得することが可能となる。
【０１０３】
また、本実施の形態においては、音取得装置２のマイクロフォン２０から出力される音の信号である音信号を受け付ける音信号受付部３２と、音信号受付部３２が受け付けた音信号に応じて、音発生部１０から発生する音を所望の音、例えば所望の音圧を有する音、に設定する情報を含む制御情報を出力する信号制御部３３と、制御情報に応じて、音発生部１０から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得部３４と、校正情報取得部３４が取得した校正情報を出力する校正情報出力部３５とを具備したので、音発生部１０が発生する音が所望の音、例えば所望の周波数を有する所望の音圧の音、となるような校正情報を得ることができる。このような校正情報を用いて、音発生部１０に所望の周波数の信号を出力することで、検査時の状態において、音発生部１０から、所望の周波数を有する所望の音、例えば所望の音圧を有する音、を出力させることができ、精度の良い検査を行うことが可能となる。また、このような校正情報を用いることで、複数の検査装置１の装置間の周波数特性のばらつきを補正した検査が可能となり、異なる検査装置１を用いて行った検査結果を、比較することが可能となる。
【０１０４】
なお、ここでは、音取得装置２を用いた場合について説明したが、他の音を取得するデバイス等を、音取得装置２の代わりに用いるようにしても良い。ただし、音取得装置２を用いることが、ウェハ状態の微小構造体の検査に用いられる検査装置の校正を、より高い精度で行うことができる点で好ましい。
【０１０５】
なお、本発明は、上記実施の形態１において、検査装置１の音発生部１０が、例えばアンプや波形発生器等の、所望の周波数の信号を生成する手段等（図示せず）を有しており、この生成する手段等により生成された正弦波やパルス等の信号に応じた音を発生するようにした場合であっても適用可能なものである。
【０１０６】
このような場合においては、信号出力部３１は、音発生部１０に制御情報に応じた音を発生させるための信号として、信号制御部３３が出力した制御情報をそのまま出力するようにする。また、検査装置１の音発生部１０は、入力された信号、すなわち信号出力部３１から入力された制御情報、に応じた正弦波やパルス等の音の信号を生成し、この生成した信号に応じた音を発生するようにする。また、信号出力部３１が、制御情報に含まれる音発生部１０が発生する音に関して設定する情報を取り出して出力し、音発生部１０が、入力される信号である音発生部１０が発生する音に関して設定する情報に基づいて、音の信号を生成し、発生するようにしても良い。
【０１０７】
例えばこのような場合における音校正装置３の処理手順は、図６に示したフローチャートのステップＳ６０３の処理を、信号出力部３１が、信号制御部３３から取得した制御情報を、検査装置１の音発生部１０に出力するステップ、もしくは信号制御部３３から取得した制御情報から、音発生部１０が発生する音に関して設定する情報を取り出して、検査装置１の音発生部１０に出力するステップに置換してやればよい。
【０１０８】
また、検査装置１の音発生部１０においては、入力された制御情報に応じた周波数や電圧等を有する正弦波やパルス等の信号を生成し、この信号を用いて音を発生するようにすればよい。
【０１０９】
なお、上記実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＭＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。かかることは他の実施の形態においても同様である。
【０１１０】
なお、上記実施の形態における音校正装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、入力される信号に応じた音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の音を校正する処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、コンピュータに、前記音発生部から出力された音の信号である音信号を受け付ける音信号受付ステップと、前記音信号受付ステップにより受け付けた音信号に応じて、前記音発生部から発生する音を所望の音とするための、前記音発生部が発生する音に関して設定する情報を含む制御情報を出力する信号制御ステップと、前記音発生部に対して、前記制御情報に応じた音を発生させるための信号を出力する信号出力ステップと、前記制御情報に応じて、前記音発生部から発生される音が所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得ステップと、前記校正情報取得ステップにより取得した校正情報を出力する校正情報出力ステップとを実行させるためのプログラムである。
【０１１１】
なお、上記プログラムにおいて、情報を送信する送信ステップや、情報を受信する受信ステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信ステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。かかることは他の実施の形態においても同様である。
【０１１２】
また、このプログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよく、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。かかることは他の実施の形態においても同様である。
【０１１３】
また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。かかることは他の実施の形態においても同様である。
【０１１４】
（実施の形態２）
図１０は、本実施の形態における音校正システムの構成を示すブロック図である。本実施の形態の音校正システムは、検査装置１と、音取得装置２と、音校正装置３ａとを備えている。
【０１１５】
検査装置１と音取得装置２の構成や動作等については、上記実施の形態１と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【０１１６】
音校正装置３ａは、信号出力部３１と、音信号受付部３２と、校正情報取得部３４ａと、校正情報出力部３５とを備えている。校正情報取得部３４ａ以外の構成については、上記実施の形態１と同様であるので、説明は省略する。ただし、ここでは、信号出力部３１は、制御情報に応じた音を発生させるための信号を出力する代わりに、予めメモリ等に格納されている音発生部１０の発生する音に関して設定する情報を、読み出して、音発生部１０に音を発生させるための信号を出力するものとする。
【０１１７】
校正情報取得部３４ａは、音発生部１０から所望の音を発生させる情報である校正情報を、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報と、音信号受付部３２が受け付けた音信号とに応じて取得する。音発生部１０の発生する音に関して設定する情報とは、具体的には、信号の周波数や電圧の値等である。校正情報取得部３４ａは、ここでは例として、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報を、信号出力部３１から取得する。ただし、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報を、音発生部１０等からネットワーク等を介して取得しても良い。
【０１１８】
以下、校正情報取得部３４ａの校正情報を取得する方法の一例について説明する。音圧と信号の電圧とは、理想的には比例すると考えられる。このため、校正情報取得部３４ａは、例えば、音信号受付部３２が受け付けた音信号から、現在、音発生部１０から出力されている音の音圧を求め、この音圧と、目標となる音圧との比を求める。そして、この比を用いて、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報のうちの電圧の設定値から、目標となる音圧を得るために信号出力部３１が出力すべき電圧を求める。そして、この電圧の値を含む情報を、校正情報として取得する。すなわち、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報のうちの電圧の設定値Ｖｐ（単位：Ｖ）、目標となる音圧（単位：Ｐａ）をＳｔ、音発生部１０から出力されている音から算出した現在の音圧をＳｐ、目標となる音圧Ｓｔを得るために信号出力部３１が出力すべき信号の電圧をＶｔとすると、
【０１１９】
【数１】
2007285904.tif 000003
【０１２０】
の式を満たすＶｔの値が、周波数Ｆの信号についての校正情報となる。すなわち、電圧がＶｔの周波数Ｆの信号を、音発生部１０に供給することにより、ウェハ状態の微小構造体に、周波数Ｆで、音圧がＳｔである音を印加することができることとなる。また、校正情報取得部３４ａは、音信号受付部３２が受け付けた音信号から求めた音圧と、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報が示す電圧との関数を求め、この関数から、目標値となる音圧を得るための電圧を求めるようにし、この電圧の値を含む情報を校正情報としても良い。校正情報取得部３４ａは、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。校正情報取得部３４ａの処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０１２１】
つぎに、音校正装置３ａの動作について、図１１のフローチャートを用いて説明する。なお、ここでは、音発生部１０に周波数の異なるｍ（ｍは１以上の整数）の音を、同じ音圧で発生させるための校正情報を取得する場合について説明する。なお、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報のうちの電圧の設定値Ｖｐと、ｍの周波数のそれぞれの値は、予めテーブル等に格納されて、図示しないメモリ等に蓄積されている。
【０１２２】
（ステップＳ１１０１）信号出力部３１は、カウンターｋを初期値である１に設定する。
（ステップＳ１１０２）信号出力部３１は、予めメモリ等に格納されている電圧の設定値Ｖｐを読み出して、出力する信号の電圧Ｖｐを設定する。この電圧の値は問わない。
【０１２３】
（ステップＳ１１０３）信号出力部３１は、予めメモリ等に格納されているｋ番目の周波数の設定値を取得する。そして、この取得したｋ番目の周波数と、ステップＳ１１０２において設定された電圧Ｖｐとを有する信号を構成し、出力する。
（ステップＳ１１０４）音信号受付部３２は、音信号を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ１１０５に進み、受け付けていない場合、ステップＳ１１０４に戻る。
【０１２４】
（ステップＳ１１０５）校正情報取得部３４ａは、ステップＳ１１０４で受け付けた音信号について、その音圧Ｓｐが、所定の音圧Ｓｔであるか否かを判断する。所定の音圧Ｓｔとは、例えば、音発生部１０が出力する音の音圧を、周波数にかかわらず一定にする際の、音圧の目標値等である。この所定の音圧の値は、例えば、メモリ等に予め格納されている。ここでは、所定の音圧Ｓｔは、１つの値の音圧とする。ただし、所定の音圧であるか否かの判断は、この所定の音圧Ｓｔに対して、所定の幅を持たせた範囲の音圧であるか否かの判断を行うようにしても良い。信号制御部３３は、ステップＳ１１０４において受け付けた音信号を変換して、音信号から音圧Ｓｐの値を取得しても良い。また、音信号の電圧の値等を、そのまま音圧Ｓｐの値として利用して、この値が、所定の値の範囲に含まれるか否かを判断して、所定の値の範囲に含まれる場合に、所定の音圧であると判断するようにしてもよい。音圧Ｓｐが所定の音圧Ｓｔである場合、ステップＳ１１０６へ進み、所定の音圧Ｓｔでない場合、ステップＳ１１１０へ進む。なお、ここでは、所定の音圧Ｓｔであるか否かを判断するようにしたが、音信号の電圧が、所定の電圧であるか否か等を判断するようにしても良い。
【０１２５】
（ステップＳ１１０６）校正情報取得部３４ａは、信号出力部３１が出力した信号の電圧の値Ｖｐを、これを所定の音圧Ｓｔを得るための電圧Ｖｔとして、信号出力部３１から取得する。また、ここでは、信号出力部３１が出力した信号の周波数の値も信号出力部３１から取得する。この周波数の値と、電圧の値Ｖｔの値とが、ここでは校正情報である。なお、この電圧の値Ｖｐや、周波数の値は、信号出力部３１から取得しても良いし、上述した電圧の設定値や周波数の値を格納しているメモリ等から読み出しても良い。
【０１２６】
（ステップＳ１１０７）校正情報出力部３５は、校正情報、すなわち信号出力部３１の出力した信号の周波数の値と、電圧の値Ｖｐとを、関連付けて出力する。ここでは例として、校正情報出力部３５は、校正情報をメモリ等の記憶媒体に蓄積する。例えば、校正情報出力部３５は、周波数の値と、電圧の値とを、１つのレコードの２つの属性値として蓄積する。
【０１２７】
（ステップＳ１１０８）信号出力部３１は、ｋを１インクリメントする。
【０１２８】
（ステップＳ１１０９）信号出力部３１は、カウンターｋの値が、ｍより大きいか否かを判断する。大きい場合、処理を終了し、大きくない場合、ステップＳ１１０３に戻る。
【０１２９】
（ステップＳ１１１０）校正情報取得部３４ａは、予め設定されている所定の音圧Ｓｔと、ステップＳ１１０４で受け付けた音信号に応じて得られた音圧Ｓｐとの比を求める。
【０１３０】
（ステップＳ１１１１）校正情報取得部３４ａは、信号出力部３１が出力した信号の電圧Ｖｐと、ステップＳ１１１０において求めた比から、音発生部１０に音圧Ｓｔの音を出力させるための電圧Ｖｔを取得する。例えば、上述した式１を利用することで、電圧Ｖｔを求めることができる。また、校正情報取得部３４ａは、信号出力部３１が出力した信号の周波数の値も取得する。なお、電圧の値Ｖｐや周波数の値は、信号出力部３１から取得しても良いし、上述した周波数の値を格納しているメモリ等から読み出しても良い。そして、ステップＳ１１０７に進む。
【０１３１】
なお、図１１のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【０１３２】
また、ここでは、予め１以上の周波数を用意しておき、カウンターｋの値に応じて、周波数を取得する場合について説明した。しかしながら、周波数の初期値と、周波数の最大値や最小値を予め設定しておき、上記のフローチャートで、カウンターｋが１の場合には、初期値の周波数を取得するようにし、カウンターｋを１増加させる毎に、周波数の値を所定の値だけ増加、あるいは減少させていくようにし、周波数の値が、最大値より大きくなるか、最小値よりも小さくなった場合に、処理を終了するようにしても良い。なお、この場合、所定の値は、一定の値であっても、一定の値でなくても良い。また、この所定の値を小さい値に設定すれば、連続的な周波数の変化に対応した校正情報を得ることができる。
【０１３３】
また、１つの周波数の信号についての校正情報を求める場合には、図６のフローチャートにおいて、ｍの値を１に設定すればよい。
【０１３４】
また、上記のフローチャートにおいては、各周波数の音毎に、校正情報を取得するようにしているが、予め、各周波数の音毎の音圧を予め全て求めておき、全ての周波数の音について、音圧を求めた後に、得られた音圧から、校正情報を取得するようにしてもよい。
【０１３５】
次に、本実施の形態における音校正システム等の具体的な動作について説明する。音校正システムの概念図は、図７に示した音校正システムにおいて、音校正装置３の代わりに、音校正装置３ａを設けたものである。
【０１３６】
まず、図７に示すように、検査装置１と音取得装置２とを配置した後、音校正装置３ａに対して、図示しないメニューやボタン等を操作して、校正情報を作成する指示を与えたとする。
【０１３７】
ここでは、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報として、電圧が１００ｍＶであるパルス信号を出力する設定と、図８と同様の周波数管理表が、図示しないメモリ等に予め格納されており、音校正装置３は、「周波数」属性の示すそれぞれの周波数の信号を出力した場合に、音取得装置２のマイクロフォン２０が、目標値として１００ｄＢの音圧の音信号を得るための校正情報を取得するように設定されているとする。
【０１３８】
信号出力部３１は、まず、カウンターｋを１にセットする。そして、電圧を１００ｍＶに設定する設定値を、図示しないメモリ等から読み出す。また、周波数管理表から、１番目のレコードである識別情報が「００１」のレコードの、周波数の値「２０Ｈｚ」を取得する。そして、信号出力部３１は、周波数が、２０Ｈｚで、電圧が１００ｍＶのパルス信号を、検査装置１に出力する。
【０１３９】
検査装置１の音発生部１０は、信号出力部３１から出力されるパルス信号に応じた２０Ｈｚの音を出力する。
【０１４０】
音取得装置２のマイクロフォン２０は、音発生部１０から出力された音を取得し、音校正装置３に出力する。
【０１４１】
音校正装置３ａの音信号受付部３２は、マイクロフォン２０から出力された音信号を受け付ける。
【０１４２】
校正情報取得部３４ａは、音信号受付部３２が受け付けた音信号を変換して、マイクロフォン２０が取得した音の音圧Ｓｐを求める。そして、この音圧Ｓｐが、目標値とする所定の音圧Ｓｔである１００ｄＢの±１ｄＢの範囲、すなわち９９ｄＢから１０１ｄＢまでの音圧の範囲に含まれるか否かを判断する。ここでは、信号制御部３３が求めた音圧が９９ｄＢよりも小さい値であったとすると、１００ｄＢ±１ｄＢの範囲内にない、と判断される。
【０１４３】
次に、校正情報取得部３４ａは、音信号受付部３２が受け付けた音信号を変換して、マイクロフォン２０が取得した音の音圧Ｓｐを求め、所定の音圧Ｓｔと、音圧Ｓｐとの比を求める。そして、この比と、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報のうちの電圧の設定値Ｖｐ１００ｍＶとから、上述した式１を用いて、校正情報取得部３４ａは、音発生部１０に所定の音圧Ｓｔの音を出力させるための電圧Ｖｔを取得する。
【０１４４】
図１２は、図８に示した各周波数と、これらの各周波数を有する１００ｍＶの信号を信号出力部３１からそれぞれ出力した場合に、音信号受付部３２が受け付けた音信号から、校正情報取得部３４ａが求めた音圧と、周波数との関係を示すグラフである。なお、音圧の単位はここではデシベルを使用している。
【０１４５】
例えば、図１２に示すように、周波数が１４５０Ｈｚでは１００ｍＶの電圧の信号によって得られる音圧Ｓｐが、８４ｄＢ程度であり、所定の音圧Ｓｔ、すなわち目標とする音圧Ｓｔの値１００ｄＢには約１６ｄＢ足りないことが分かる。ここで、音圧が約１６ｄＢ足りない、ということは、音圧の単位をパスカルとして考えると、目標とする音圧Ｓｔは、現在の音圧Ｓｐの約６倍の音圧であることとなる。すなわち、目標とする音圧Ｓｔと現在の音圧Ｓｐの比は、約６となる。したがって、この比から、周波数１４５０Ｈｚの信号においては、１００ｄＢの音圧を得るための信号の電圧は、現在の信号の電圧１００ｍＶの約６倍の約６００ｍＶの電圧となる。このような処理に相当する処理を、校正情報取得部３４ａが行っていることとなる。
【０１４６】
校正情報取得部３４ａは、信号出力部３１が出力した信号の周波数の値を取得する。この校正情報取得部３４ａが取得した音発生部１０に所定の音圧Ｓｔの音を出力させるための電圧Ｖｔと、信号出力部３１が出力した信号の周波数の値とが、ここでは校正情報である。この校正情報を、校正情報出力部３５が、図示しないメモリ等に蓄積する。なお、最初にマイクロフォン２０が取得した音の音圧が、１００ｄＢ±１ｄＢ、すなわち９９ｄＢから１０１ｄＢまでの音圧の範囲に含まれると判断された場合も、その時点で校正情報、すなわち信号出力部３１が出力している電圧の値と、その信号の周波数の値とがメモリ等に蓄積される。
【０１４７】
そして、信号出力部３１は、カウンターｋの値を１インクリメントして、周波数管理表から、２番目のレコードである識別情報が「００２」のレコードの、周波数の値「３０Ｈｚ」を取得する。そして、周波数が３０Ｈｚで、電圧が１００ｍＶである信号を出力する。そして、同様の処理を繰り返す。
【０１４８】
そして、カウンターｎの値が、４００となった時点で、周波数管理表に対応するレコードがなくなるため、処理を終了する。
【０１４９】
この処理が終了した時点で校正情報出力部３５によりメモリ等に格納されている校正情報は、図９と同様のグラフで表される。ただし、ここでは、校正情報は、完全な実測値ではないことから、図９のグラフとは、若干の値のずれが予想される。
【０１５０】
このようにして得られた校正情報を利用することで、検査に用いる音の周波数にかかわらず、常に一定の音圧の音を、ウェハ状態の微小構造体に印加することが可能となる。具体的には、例えば、検査装置１に対して検査用の信号を供給する装置等（図示せず）に、このような校正情報を与えておき、このような検査用の装置が、検査時に所望の周波数の音を音発生部１０に発生させる際に、図９に示すようなグラフから所望の周波数の電圧の値を読み取り、この読み取った電圧値を有する、所望の周波数の信号を、音発生部１０に対して与えるようにする。これにより、微小構造体に対して、周波数にかかわらず、所望の周波数を有する１００ｄＢ±１０ｄＢの音圧の音を印加することができる。
【０１５１】
以上、本実施の形態においては、マイクロフォン２０の音の入力を受け付ける位置を、平面２１１と同じ高さに位置するよう保持する保持部２１２と、平面２１１上に設けられた１以上の突起部２１３と、を有するホルダ２１を具備するようにしたことにより、検査装置１から出力される音を、検査時と同様の環境において、微小構造体が配置される位置と同様の位置で取得することができる。この結果、ウェハ状態の微小構造体に検査時に印加される、検査時の環境によって周波数特性が発生した音と同じ音を、精度良く取得することが可能となる。
【０１５２】
また、本実施の形態においては、音取得装置２のマイクロフォン２０から出力される音の信号である音信号を受け付ける音信号受付部３２と、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報と、音信号受付部３２が受け付けた音信号とに応じて、音発生部１０から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得部３４ａと、校正情報取得部３４ａが取得した校正情報を出力する校正情報出力部３５とを具備したので、音発生部１０の出力する所望の周波数の音を、所望の音とすることが可能な校正情報を得ることができる。このような校正情報を用いて、音発生部１０に所望の周波数の信号を出力することで、検査時の状態において、音発生部１０から、所望の周波数を有する所望の音、例えば所望の音圧を有する音、を出力させることができ、精度の良い検査を行うことが可能となる。また、このような校正情報を用いることで、複数の検査装置１の装置間の周波数特性のばらつきを補正した検査が可能となり、異なる検査装置１を用いて行った検査結果を、比較することが可能となる。また、このような校正情報を、音発生部１０に発生させる音の電圧を、マイクロフォンの取得する音に応じて変化させることなく得ることができるため、処理の迅速化を図ることができる。
【０１５３】
なお、上記の具体例においては、信号出力部３１が出力する信号の電圧と、音信号受付部３２が受け付けた音信号から求められた音圧と、音発生部１０から出力する音の音圧の目標値である所定の値とから、この目標値となる音圧を有する音を音発生部１０に発生させるための信号の電圧の値を求め、この値を、校正情報として取得するようにした。しかしながら、本発明においては、このようにして求められた電圧の近辺の電圧を用いて、以下のような処理を行うようにしても良い。すなわち、校正情報取得部３４ａが、このようにして求められた電圧の近辺の電圧を、数点選択し、それぞれの電圧を有する信号を、順次信号出力部３１から音発生部１０に対して出力させる。そして、音発生部１０が出力した音を、マイクロフォン２０で取得する。そして、校正情報取得部３４ａが、マイクロフォン２０が出力した音信号を、それぞれ音信号受付部３２から取得して、それぞれ音圧を求める。そして、この音圧が、目標値となる音圧に最も近い場合の電圧の値を、校正情報の少なくとも一部として取得するようにしてもよい。このようにすることで、目標値となる音圧を得るための校正情報の精度を向上させることができる。
【０１５４】
また、本実施の形態に係る校正情報取得部３４ａの構成を、上記実施の形態１の音校正装置３に加えるようにし、上記の具体例に示したように、校正情報取得部３４ａにおいて、信号出力部３１が出力する信号の電圧と、音信号受付部３２が受け付けた音信号から求められた音圧と、音発生部１０から出力する音の音圧の目標値とから、この目標値となる音圧を有する音を音発生部１０に発生させるための信号の電圧の値を求めた後、この電圧を、上記実施の形態１の図６のステップＳ６０２に示した、信号出力部３１が出力する信号の電圧の初期値として利用するようにしても良い。このようにすることで、電圧を所定の値毎に１ステップずつ増減させる場合に比べて、電圧を調整する回数を減らすことが可能となる。
【０１５５】
なお、上記実施の形態２において、音校正装置３ａが信号出力部３１を備えている場合について説明したが、信号出力部３１は、音校正装置３ａの外部の装置に設けられていても良いし、検査装置１の内部等に設けても良い。ただし、このような場合、校正情報取得部３４ａは、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報を予めメモリ等に蓄積しておくか、図示しない有線や無線の通信手段等を介して、外部の信号出力部３１等から、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報を取得する必要がある。
【０１５６】
また、本発明は、上記実施の形態２において、検査装置１の音発生部１０が、例えばアンプや波形発生器等の、所望の周波数の信号を生成する手段等（図示せず）を有しており、この生成する手段等により生成された正弦波やパルス等の信号に応じた音を発生するようにした場合であっても適用可能なものである。このような場合においては、信号出力部３１を省略してもよいし、音校正装置３ａ内の信号出力部３１が、音発生部１０の発生する音に関して設定する情報を検査装置１の音発生部１０に出力するようにしても良い。
【０１５７】
なお、上記実施の形態における音校正装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の音を校正する処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、コンピュータに、前記音発生部から出力された音の信号である音信号を受け付ける音信号受付ステップと、前記音発生部の発生する音に関して設定する情報と、前記音信号受付ステップにより受け付けた音信号とに応じて、前記音発生部から所望の音を発生させる情報である校正情報を取得する校正情報取得ステップと、前記校正情報取得ステップにより取得した校正情報を出力する校正情報出力ステップとを実行させるためのプログラムである。
【０１５８】
（実施の形態３）
図１３は、本実施の形態における音測定システムの構成を示すブロック図である。本実施の形態の音校正システムは、検査装置１と、音取得装置２と、音測定装置４とを備えている。
【０１５９】
検査装置１と音取得装置２の構成や動作等については、上記実施の形態１と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【０１６０】
音測定装置４は、信号出力部３１と、音信号受付部３２と、出力部４０とを備えている。出力部４０以外の構成については、上記実施の形態１と同様であるので、説明は省略する。ただし、ここでは、信号出力部３１は、制御情報に応じた音を発生させるための信号を出力する代わりに、予めメモリ等に格納されている音発生部１０の発生する音に関して設定する情報を、読み出して、音発生部１０に音を発生させるための信号を出力するものとする。また、検査装置１の音発生部１０に、図示しない他の装置から出力された、音を発生させるための信号が入力される場合、信号出力部３１は省略しても良い。
【０１６１】
出力部４０は、音信号受付部３２が受け付けた音信号に関する情報を出力する。音信号に関する情報とは、何ら処理が行われていない音信号であっても良いし、音信号に対して、適宜所定の処理を行って、処理の結果得られる信号や情報であってもよい。例えば、音信号に関する情報は、音信号から算出された音圧の情報であってもよい。また、音信号の電圧を、数値化した情報であってもよい。ここで述べる出力とは、出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、図示しないメモリ等の記録媒体への記録や、外部の装置への送信等を含む概念である。出力部４０は、ディスプレイやプリンタ等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。また、メモリ等の記録媒体を含むと考えても含まないと考えても良い。出力部４０は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。また、出力部４０は所定の処理を行うためのＭＰＵやメモリ等を備えていても良い。このような出力部４０の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【０１６２】
次に、音測定装置４の動作について図１４のフローチャートを用いて説明する。なお、ここでは、音発生部１０に周波数や電圧等が異なるｍ（ｍは１以上の整数）の音を出力させたる場合について説明する。この、ｍの音を出力させるための信号の設定は、予めテーブル等に格納されて、図示しないメモリ等に蓄積されている。
【０１６３】
（ステップＳ１４０１）信号出力部３１は、カウンターｈに１を代入する。
【０１６４】
（ステップＳ１４０２）信号出力部３１は、ｈ番目に出力する信号を設定する情報、例えば周波数や、電圧を設定する情報、を、メモリ等から読み出す。
【０１６５】
（ステップＳ１４０３）信号出力部３１は、ステップＳ１４０２で読み出した情報に応じたパルス信号等の信号を、例えば音発生部１０に出力する。
【０１６６】
（ステップＳ１４０４）音信号受付部３２は、音信号を受け付けたか否かを判断する。音信号を受け付けた場合、ステップＳ１４０５へ進み、受け付けていない場合、ステップＳ１４０４に戻る。
【０１６７】
（ステップＳ１４０５）出力部４０は、ステップＳ１４０４において受け付けた音信号に対して、所定の処理を行って、音信号に関する情報を取得する。例えば、ステップＳ１４０２において受け付けた音信号から音圧を求める。なお、所定の処理を行わない場合は、このステップは無視される。
【０１６８】
（ステップＳ１４０６）出力部４０は、ステップＳ１４０３において取得した音信号に関する情報を出力する。なお、この出力の際には、信号出力部３１が出力した信号についての情報を、信号出力部３１等から取得し、音信号に関する情報に関連づけて出力しても良い。
【０１６９】
（ステップＳ１４０７）信号出力部３１は、カウンターｈを１インクリメントする。
【０１７０】
（ステップＳ１４０８）信号出力部３１は、カウンターｈの値がｍより大きいか否かを判断する。大きい場合、処理を終了し、大きくない場合、ステップＳ１４０２へ戻る。
【０１７１】
なお、信号出力部３１を音測定装置４に設けない場合、ステップＳ１４０１からステップＳ１４０３までの処理と、ステップＳ１４０７の処理と、ステップＳ１４０８の処理とを省略し、ステップＳ１４０６の処理が終了後、ステップＳ１４０４の処理に戻るようにすればよい。
【０１７２】
なお、図１４のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【０１７３】
次に、本実施の形態における音測定システム等の具体的な動作について説明する。音測定システムの概念図は、図７に示した音校正システムにおいて、音校正装置３の代わりに、音測定装置４を設けたものである。
【０１７４】
まず、図７に示すように、検査装置１と音取得装置２とを配置した後、音測定装置４に対して、図示しないメニューやボタン等を操作して、音の測定を開始する指示を与えたとする。
【０１７５】
ここでは、図８と同様の周波数管理表が、図示しないメモリ等に予め格納されており、信号出力部３１は、この「周波数」属性の示すそれぞれの周波数の信号を出力するように設定されているとする。また、信号出力部３１の出力する信号を、電圧が１００ｍＶのパルス信号に設定する情報が図示しないメモリ等に格納されているものとする。
【０１７６】
信号出力部３１は、まず、カウンターｎを１にセットして、周波数管理表から、１番目のレコードである識別情報が「００１」のレコードの、周波数の値「２０Ｈｚ」を取得する。また、出力する信号の電圧を１００ｍＶに設定する情報を、図示しないメモリ等から読み出す。そして、信号出力部３１は、周波数が、２０Ｈｚで、電圧が１００ｍＶの信号を、検査装置１に出力する。
【０１７７】
検査装置１の音発生部１０は、信号出力部３１から出力される信号に応じた２０Ｈｚの音を出力する。
【０１７８】
音取得装置２のマイクロフォン２０は、音発生部１０から出力された音を取得し、音校正装置３に出力する。
【０１７９】
音校正装置３ａの音信号受付部３２は、マイクロフォン２０から出力された音信号を受け付ける。
【０１８０】
出力部４０は、音信号受付部３２が受け付けた音信号を変換して、マイクロフォン２０が取得した音の音圧を求める。また、信号出力部３１が出力している信号の周波数の情報を、例えば信号出力部３１や、図８に示すような周波数管理表等から取得する。
【０１８１】
出力部４０は、取得した音圧と、信号出力部３１が出力している信号の周波数の情報とを、関連づけてメモリ等に蓄積する。具体的には、これらの２つの情報を、１つのレコードの２つの属性として、蓄積する。
【０１８２】
そして、カウンターｎを２にセットして、周波数管理表から、２番目のレコードである識別情報が「００２」のレコードの、周波数の値「３０Ｈｚ」を取得する。このようにして、上記の処理が、図８に示す周波数管理表に管理されているレコード全てについて繰り返される。
【０１８３】
出力部４０が蓄積した音圧と周波数の情報をグラフで示すと、図１２に示すグラフと同様のグラフとなる。すなわち、ここでは、出力部４０は、図１２に示すような、検査装置１の音発生部１０の、信号の電圧を一定とした場合の、音圧と、周波数との関係を示す情報を構成したこととなる。
【０１８４】
以上、本実施の形態においては、マイクロフォン２０の音の入力を受け付ける位置を、平面２１１と同じ高さに位置するよう保持する保持部２１２と、平面２１１上に設けられた１以上の突起部２１３と、を有するホルダ２１を具備するようにしたことにより、検査装置１から出力される音を、検査時と同様の環境において、微小構造体が配置される位置と同様の位置で取得することができる。この結果、ウェハ状態の微小構造体に検査時に印加される、検査時の環境によって周波数特性が発生した音と同じ音を、精度良く取得することが可能となる。
【０１８５】
また、本実施の形態においては、音取得装置２のマイクロフォン２０から出力される音の信号である音信号を受け付ける音信号受付部３２と、音信号受付部３２が受け付けた音信号に関する情報を出力する出力部４０とを具備するようにしたことにより、検査装置１から出力される音を、検査時と同様の環境において、微小構造体が配置される位置と同様の位置で測定することができる。このため、測定結果に基づいて、どのような音によって、微小構造体の検査が行われているかを正確に知ることができ、データの客観性を保つことができる。この結果、例えば、異なる検査装置１による検査結果同士を比較したりすることが可能となる。また、異なる周波数で行われた検査結果を、上記の測定結果に基づいて、音圧等の条件が一定となるように補正して比較、検討することが可能となる。
【０１８６】
なお、上記実施の形態における音測定装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、入力される信号に応じた音を発生する音発生部とプローブカードとを具備する検査装置の前記音発生部から出力される音を取得するための音取得装置であって、前記音発生部から出力される音の入力を受け付けるマイクロフォンと、前記マイクロフォンを保持するホルダとを具備し、前記ホルダには、平面が形成されており、前記ホルダは、前記平面と同じ高さに前記マイクロフォンの音の入力を受け付ける位置が位置するよう前記マイクロフォンを保持する保持部と、前記平面上に設けられた１以上の突起部とを有する、音取得装置が取得した音を測定する処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、コンピュータに、前記音取得装置のマイクロフォンから出力される音の信号である音信号を受け付ける音信号受付ステップと、前記音信号受付部が受け付けた音信号に関する情報を出力する出力ステップとを実行させるためのプログラムである。
【０１８７】
（実施の形態４）
本実施の形態の音取得装置は、上記実施の形態１において説明した音取得装置において、温度調整部を備えるようにしたものである。
【０１８８】
図１５は、本実施の形態における音取得装置の構造を示す側面図である。
【０１８９】
また、図１６は、本実施の形態における音取得装置の構造を示す斜視図である。
【０１９０】
本実施の形態に係る音取得装置２ａは、マイクロフォン２０と、ホルダ２１と、固定部２２と、温度調節部２３を備えている。マイクロフォン２０と、ホルダ２１と、固定部２２の構造等については、上記実施の形態１の構造等と同様であるので説明は省略する。
【０１９１】
温度調節部２３は、少なくともホルダ２１の保持部２１２近傍の温度を調節する。具体的には、温度調節部２３は、ホルダ、特に保持部２１２の近傍の温度を、予め設定された温度となるように、調節する。温度調節部２３による温度の調節は、温度を高くすることであっても、低くすることであっても良い。ここでは、温度調節部２３は、電流を流すことにより発熱する平面状のヒータを用いた場合について示しているが、温度調節部２３は線状のヒータや、ホルダ２１の熱を外部に運んだり外部から熱を運んでくるためのヒートパイプや、熱を放熱する冷却ファン等が利用可能である。ここでは、温度調節部２３は、ホルダ２１の、平面２１１とは反対側の面上に配置されているが、ホルダ２１内に埋め込むようにしても良いし、温度調節部２３の表面が平坦であれば、平面２１１側に配置してもよい。温度調節部２３の形状は、シート状や、板状のものが好ましい。もしくは、温度調節部２３の材質等が、ホルダ２１の表面に配設しやすい柔軟性のあるものが好ましい。このような温度調節部２３として利用可能なヒータやヒートパイプ等の構造については、公知技術であるので説明は省略する。また、温度調節部２３は、温度を検知し、その検知結果に応じて温度をコントロールするための温度制御手段（図示せず）を備えていても良い。あるいは、このような温度制御手段を、温度調節部２３とは別に設けるようにしても良い。このような温度制御手段としては、例えば、いわゆるサーモスタット等を利用しても良い。また、このような温度制御手段として、温度を検出するセンサと、センサの出力に応じて、温度調節部２３のオン、オフや、発熱量等を切り替える制御を行う制御手段等を利用しても良い。サーモスタットや、センサ等は、保持部２１２に近い位置に配置することが好ましい。特に温度の検知にセンサを用いる場合、センサは、温度調節部２３の配置に関係なく、保持部２１２の平面２１１に近い位置に配置することが好ましい。なお、このような温度制御手段の構成や、温度を設定した温度となるように制御する処理等については、公知技術であるので、ここでは説明を省略する。
【０１９２】
本実施の形態の音取得装置２ａによれば、検査装置１の音を取得する際の、保持部２１２近傍の温度を所望の温度に調節することができる。これにより、温度条件を自由に変えて音の取得を行うことが可能となり、音を取得する際の精度を向上させることが可能となる。例えば、検査装置１を用いた実際の微小構造体の検査が行われる温度と同じ温度に保持部２１２近傍を調節することで、実際の微小構造体の検査時と同じ温度条件で、検査装置１から出力される音を取得することができる。この結果、この音取得装置２を用いることで、より実際の検査時に近い状態で出力された音を取得することが可能となる。さらに、この音取得装置２ａを、上記実施の形態１から３に示した音構成システムに用いることで、より実際の検査時に近い状態で、検査装置１から出力される音を校正するための校正情報を得たり、検査装置１から出力される音の測定を行ったりすることが可能となる。
【０１９３】
なお、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１９４】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１９５】
以上のように、本発明にかかる音取得装置等は、ウエハ状態の可動部を有する微小構造体等を検査するための、音発生部を備えた検査装置から出力される音を取得する音取得装置等として適しており、特に、検査装置から出力される音の特性の測定や校正等に利用される音取得装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１９６】
【図１】実施の形態１に係る音校正システムのブロック図
【図２】同検査装置の側面図
【図３】同音取得装置の斜視図
【図４】同音取得装置の側面図
【図５】同検査装置を用いた検査を説明する図
【図６】同音校正装置の動作について説明するフローチャート
【図７】同概念図
【図８】同周波数管理表を示す図
【図９】同校正情報の表示例を示す図
【図１０】実施の形態２に係る音校正システムのブロック図
【図１１】同音校正装置の動作について説明するフローチャート
【図１２】同信号出力部が出力する信号の周波数と、音圧との関係を示す図
【図１３】実施の形態３における音測定システムのブロック図
【図１４】同音測定装置の動作について説明するフローチャート
【図１５】実施の形態４に係る音取得装置の側面図
【図１６】同斜視図
【符号の説明】
【０１９７】
１  検査装置
２、２ａ  音取得装置
３、３ａ  音校正装置
４  音測定装置
１０  音発生部
１１  プローブカード
２０  マイクロフォン
２１  ホルダ
２２  固定部
２３  温度調節部
３１  信号出力部
３２  音信号受付部
３３  信号制御部
３４、３４ａ  校正情報取得部
３５  校正情報出力部
４０  出力部
５０  ウェハ
５１  チャック
５２  載置台
５３  微小構造体
１１１  基板
１１１ａ  第一の表面
１１１ｂ  第二の表面
１１２  プローブ針
１１３  固定リング
１１４  開口部
２１１  平面
２１２  保持部
２１３  突起部
２２１、２２２  ネジ
２２３  貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2007285904.tif 000013
【図１１】
2007285904.tif 000014
【図１２】
2007285904.tif 000015
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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