【事件の表示】
　特願２００９−２４４８８１「多段アライナ装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　５月　６日出願公開、特開２０１１−　９１２７６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は，平成２１年１０月２３日に出願したものであって，平成２５年９月４日付けで拒絶理由が通知され，同年１１月７日付けで手続補正がなされたが，同年１１月２２日付けで拒絶査定がなされ，これに対し，平成２６年２月７日に拒絶査定不服審判の請求がなされるとともに，同時に手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。
　
第２　本願発明
　本件補正は，請求項３における「請求項１又は２」を「請求項２」に補正し，請求項６における「請求項１乃至５」を「請求項２又は３」と補正するものであって，補正前の請求項６が他の請求項を引用することに伴う不明りょうな記載を解消するためのものであるから，本件補正は，明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　したがって，本願の請求項１〜６に係る発明は，本件補正により補正された特許請求の範囲の請求項１〜６の記載事項により特定されるものであると認められ，その請求項１に係る発明は，次のとおりである。
「【請求項１】
複数の基板をアライメントする多段アライナ装置であって、
前記基板を保持すべく前記基板毎に対応させて設けられ、重ねて配置される基板保持手段と、
前記基板の外縁部の形状を検出すべく前記基板毎に対応させて設けられ、前記基板保持手段が重なる方向に所定の間隔をあけて配置されるセンサ手段と、
前記基板保持手段を動かして隣接する前記基板保持手段同士のピッチを広くして前記所定の間隔にするピッチ変更手段と、
前記ピッチ変更手段が前記ピッチを前記所定の間隔にした後、前記各センサ手段を対応する前記基板へ移動させるセンサ移動手段とを備えることを特徴とする多段アライナ装置。」（以下、「本願発明」という。）
　
第３　引用刊行物およびその記載事項
　
１　本願出願前に頒布され，原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である特開平１０−２７０５３０号公報（以下「刊行物１」という。）には，「基板搬送処理装置」について，図１〜４１とともに次の事項が記載されている。
　
（１−ア）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体ウエハやＬＣＤ用ガラス基板等の被処理用の基板を連続的に搬送して適宜処理する基板搬送処理装置に関するものである。」
　
（１−イ）
「【０００８】この発明は上記事情に鑑みなされたもので、装置全体を小型にしてスループットの向上を図れるようにすると共に、製品歩留まりの向上を図れるようにした基板搬送処理装置を提供することを目的とするものである。」
　
（１−ウ）
「【００３７】上記ノッチアライナー２０は、図９及び図１０に示すように、ウエハ取出しアーム１４によって搬送された各ウエハＷの下面周縁を支持する複数段の支持プレート２１と、支持プレート２１の間隔を変換する変換機構２２と、支持プレート２１によって支持されるウエハＷの下方側に移動してウエハＷを載置すると共に回転するノッチアーム２３と、ウエハＷの縁部の上下位置に配設されてウエハＷに設けられたノッチＷａを検出するフォトセンサ２４とで主に構成されている。なお、変換機構２２の昇降動作、ノッチアーム２３のウエハＷ下面側への進入・後退移動、ノッチアーム２３の昇降・回転動作は、例えばモータ２５〜２８からの動力を図示しないボールねじ機構や伝達機構等を介して行うことができる。
【００３８】このように構成されるノッチアライナー２０によってウエハＷの間隔を調整するには、ウエハ取出しアーム１４によって搬送されて支持プレート２１上に載置されたウエハＷの間隔を変換機構２２によって広げた状態にしてウエハＷの下面側にノッチアーム２３を挿入し、そして、ノッチアーム２３を上昇させてノッチアーム２３上にウエハＷを載置した状態でノッチアーム２３を回転してフォトセンサ２４にてノッチＷａを検出する。このようにして各ウエハＷのノッチＷａの位置検出を行い、ノッチＷａの位置検出により位置決めが行われる。なお、位置決めが行われた後、ノッチアーム２３は下降した後、ウエハＷの下面側から外部に後退され、その後、変換機構２２によってウエハＷの間隔が搬入される状態の間隔に狭められた後、ウエハＷは再びウエハ取出しアーム１４によって受け取られて姿勢変換装置４０に搬送される。・・・」
　
　
　
２　同様に，本願出願前に頒布され，原査定の拒絶の理由にて引用された刊行物である特開２００２−２９９４２１号公報（以下「刊行物２」という。）には，「ノッチ整列方法及びノッチ整列機構並びに半導体製造装置」について，図１〜１０とともに次の事項が記載されている。
　
（２−ア）
「【００２６】前記移載作業室４におけるパスボックス１０の横には、ウエハｗの処理状態例えば成膜状態を揃えるために、周縁部にノッチ（切欠部）５０を有するウエハｗを複数例えば５枚程度上下方向に多段に載置してノッチ５０を任意の位置に整列させる後述のノッチ整列機構３８が設けられている。また、前記移載作業室４における前記ノッチ整列機構３８の下方には、先行で供給される複数例えば２５枚程度のダミーウエハｄｗを一時的に保管（ストック）しておくダミー保管部１８が設けられている。このダミー保管部１８は、複数枚のダミーウエハｄｗを上下方向に所定間隔で支持する棚を備えている。」
　
（２−イ）
「【００２９】図６はノッチ整列機構を概略的に示す図で、（ａ）は平面部、（ｂ）は縦断面図、図７はノッチ整列機構の概略的正面図、図８はノッチ整列機構の検知部の構成を示す図、図９は偏心補正のアルゴリズムを説明する図、図１０はノッチ整列機構の動作シーケンスを示す図である。前記ノッチ整列機構（ノッチアライナー）３８は、ウエハｗを水平状態で載置して回転させる回転テーブル５１と、この回転テーブル５１の回転角に対応するウエハｗの周縁部（エッジ部）の変化量を検出するセンサ５２と、その検出データからウエハｗの偏心量及びノッチ５０の位置を算出すると共に、ノッチ５０を任意の位置に合せるべく回転テーブル５１の回転制御等を行う制御部５３とを備えている。
【００３０】前記センサ５２は、ウエハｗの周縁部において半径方向に所定の幅例えば５ｍｍ程度で一列に並んで複数例えば１２本の光ビームを発する投光素子５２ａと、これらの対応する光ビームを受光する受光素子５２ｂとからなり、ポイントではなく、ウエハ周縁部の半径方向の線上の領域を検出することができるエリアセンサからなっている。制御部５３は、熱処理装置全体を制御するシステムコントローラ５３ａと、ノッチ整列機構３８自体を制御するＮ／Ａ（ノッチアライナー）コントローラ５３ｂとから主に構成されている。」
　
　
　　
　　
（２−ウ）
「【００３５】前記回転テーブル５１は、上下方向に所定間隔で複数例えば５段設けられ、各回転テーブル５１上のウエハｗに対して半径方向から前記センサ５２が進退可能（接近退避可能）に設けられている。前記回転テーブル５１の近傍には回転テーブル５１と第１の移載機構１１の搬送アーム３０との間でウエハｗの移載（受け渡し）を行うためのリフタ６０が設けられている。」
　
（２−エ）
「【００５３】前記回転テーブル５１が上下方向に所定間隔で複数設けられ、各回転テーブル５１上のウエハｗに対して半径方向から前記センサ５２が進退可能に設けられているため、複数例えば５枚のウエハｗのノッチ整列を一括して行うことができ、スループットの向上ないしＴＡＴの短縮が図れる。・・・」
　
第４　当審の判断
　
１　引用発明
　
ア　上記記載事項（１−ウ）の「【００３７】上記ノッチアライナー２０は、・・・・ウエハ取出しアーム１４によって搬送された各ウエハＷの下面周縁を支持する複数段の支持プレート２１と・・・・・ウエハＷの縁部の上下位置に配設されてウエハＷに設けられたノッチＷａを検出するフォトセンサ２４とで主に構成されている。・・・・・【００３８】・・・・・このようにして各ウエハＷのノッチＷａの位置検出を行い、ノッチＷａの位置検出により位置決めが行われる。」からみて，刊行物１には「複数のウエハをアライメントする複数段ノッチアライナー」が記載されているといえる。
　
イ　上記記載事項（１−ウ）の「【００３７】・・・・ウエハ取出しアーム１４によって搬送された各ウエハＷの下面周縁を支持する複数段の支持プレート２１」からみて，刊行物１には「ウエハを保持すべく前記ウエハ毎に対応させて設けられ、重ねて配置される支持プレート」が記載されているといえる。
　
ウ　上記記載事項（１−ウ）の「【００３７】・・・・・支持プレート２１の間隔を変換する変換機構２２」からみて，刊行物１には「支持プレートを動かして隣接する前記支持プレート同士のピッチを広くして前記所定の間隔にするピッチ変更手段」が記載されているといえる。
　
エ　上記記載事項（１−ウ）の「【００３７】・・・・ウエハＷの縁部の上下位置に配設されてウエハＷに設けられたノッチＷａを検出するフォトセンサ２４」および図９からみて，刊行物１には「ウエハのノッチを検出すべく前記ウエハ毎に対応させて設けられ，前記支持プレートが重なる方向に所定の間隔をあけて配置されるフォトセンサ」が記載されているといえる。
　
　そうすると，上記認定事項ア〜エおよび図９〜１０の記載を総合すると，刊行物１には以下の発明が記載されていると認められる。
「複数のウエハをアライメントする複数段ノッチアライナーであって，前記ウエハを保持すべく前記ウエハ毎に対応させて設けられ、重ねて配置される支持プレートと，前記ウエハのノッチを検出すべく前記ウエハ毎に対応させて設けられ，前記支持プレートが重なる方向に所定の間隔をあけて配置されるフォトセンサと，前記支持プレートを動かして隣接する前記支持プレート同士のピッチを広くして前記所定の間隔にするピッチ変更手段と，を備える複数段ノッチアライナー。」（以下「引用発明」という。）
　
２　対比
　
　本願発明と引用発明とを対比する。
　
　「ウエハ」は基板の一種であり，「複数段」と「多段」は同義であり，また，「アライナ装置」には「ノッチアライナー」が含まれるから，引用発明の「複数のウエハをアライメントする複数段ノッチアライナー」は，本願発明の「複数の基板をアライメントする多段アライナ装置」に相当するといえる。
　引用発明の「支持プレート」，「フォトセンサ」および「ピッチ変更手段」は，その機能・構造からみて，本願発明の「基板保持手段」，「センサ手段」および「ピッチ変更手段」に相当するといえる。
ウ　引用発明の「ノッチ」は，「ウエハ」の外縁部の形状の一種であることは，明らかである。
　
　そうすると，両者は，以下の一致点又は相違点で一致し，又は，相違する。
　
（一致点）  
「複数の基板をアライメントする多段アライナ装置であって，
前記基板を保持すべく前記基板毎に対応させて設けられ，重ねて配置される基板保持手段と，
前記基板の外縁部の形状を検出すべく前記基板毎に対応させて設けられ，前記基板保持手段が重なる方向に所定の間隔をあけて配置されるセンサ手段と，
前記基板保持手段を動かして隣接する前記基板保持手段同士のピッチを広くして前記所定の間隔にするピッチ変更手段と，
を備える多段アライナ装置。」
　
（相違点）
「センサ手段」について，本願発明では「前記ピッチ変更手段が前記ピッチを前記所定の間隔にした後、前記各センサ手段を対応する前記基板へ移動させるセンサ移動手段とを備える」であるのに対して，引用発明では不明である点。
　
３　相違点についての判断
　上記記載事項（２−イ）の「【００２９】・・・・・この回転テーブル５１の回転角に対応するウエハｗの周縁部（エッジ部）の変化量を検出するセンサ５２」および同（２−ウ）の「前記回転テーブル５１は、上下方向に所定間隔で複数例えば５段設けられ、各回転テーブル５１上のウエハｗに対して半径方向から前記センサ５２が進退可能（接近退避可能）に設けられている。」からみて，刊行物２には「複数のウエハに対して半径方向からセンサを進退可能（接近退避可能）に設ける」ことが記載されている。また，本願出願前に頒布された刊行物である特開２０００−２９４６１９号公報の段落【０１２３】と【０１２４】には「次に光学センサ１１６について説明する。図５は光学センサ１１６の発光素子１１６ａおよび受光素子１１６ｂとを取り付けたセンサポール１１７と、ウェハ１０４との関係を示す図であり、図５（ａ）はセンサポール１１７を退避させた状態図、図５（ｂ）はノッチ位置を検出するためにセンサポール１１７を進出させた状態図である。ノッチを検出するためには、台座１０１に固定された支持台１２１上に取り付けたエアシリンダ１２２を動作させて、退避位置にあるセンサポール１１７（図５（ａ））を矢印の方向へ移動させ、光学センサ１１６をウェハ１０４の外周部１０４ｂに送り込む（図５（ｂ））。・・・・・」と記載され，また，同様の刊行物である特開２００２−１７４５０２号公報の段落【００４５】には「アーム１７の先端部には、測定センサ部１６が設けられている。このアーム１７は、駆動機構２２によってその延伸方向に伸縮できるように構成されており、駆動機構２２を駆動すると、アーム１７の延伸方向に沿って測定センサ部１６を伸縮させることにより、アーム１７の先端部を水平面内で移動させられるように構成されている。このアーム１７は、伸びた状態でその先端が支持台１３の上方に位置し、縮んだ状態では、先端部が支持台１３の上方から退避できるように構成されている。」と記載されていることからみて，「アライナ装置において，複数のセンサ手段を対応するウエハへ移動させるセンサ移動手段を備える」ことが本願出願前周知であるといえる。
　そして，引用発明においても，「ウエハ」を「ノッチアライナー」へ搬入あるいは「ノッチアライナー」からの搬出の際，および「ノッチアーム」を「ウエハ下面側への進入・後退移動」の際に，「フォトセンサ」が邪魔にならないように構成することは，当業者ならば，通常考慮する課題である。また，上記記載事項（１−ウ）の「【００３８】このように構成されるノッチアライナー２０によってウエハＷの間隔を調整するには、ウエハ取出しアーム１４によって搬送されて支持プレート２１上に載置されたウエハＷの間隔を変換機構２２によって広げた状態にしてウエハＷの下面側にノッチアーム２３を挿入し、そして、ノッチアーム２３を上昇させてノッチアーム２３上にウエハＷを載置した状態でノッチアーム２３を回転してフォトセンサ２４にてノッチＷａを検出する。」からみて，引用発明においては，「ウエハ」の間隔を広げた後に「ノッチ」を測定するのであるから，該「フォトセンサ」を接近退避可能に構成した場合においても，「ウエハ」の間隔を広げた後に「フォトセンサ」を接近させて測定するよう構成することに，格別の困難性はない。
　ここで，引用文献２の上記記載事項（２−エ）には、「・・・前記センサ５２が進退可能に設けられているため，複数例えば５枚のウエハｗのノッチ整列を一括して行うことができ，スループットの向上ないしＴＡＴの短縮が図れる。」と記載されている。一方，「スループットの向上」は，半導体ウエハ処理技術分野における周知の課題であって，引用発明にも内在するものであるから，当該課題を解決するために，引用発明に対して，上記刊行物２記載および上記従来周知の事項である「センサ移動手段」を設け，相違点における本願発明の構成とすることは，当業者ならば容易に想到し得る事項であるというべきである。
　また，相違点による本願明細書に記載された効果は，刊行物１，２の記載および従来周知の事項から当業者が予測し得る範囲内のものに過ぎず，格別顕著なものとはいえない。
　
４．　まとめ
　したがって，本願発明は，引用発明，刊行物２の記載および従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第４　むすび
　以上のとおり，本願発明は，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから，その他の請求項について言及するまでもなく，本願は拒絶されるべきものである。
　よって，結論のとおり審決する。