【事件の表示】
　特願２０１１−５３８３８９「ディスプレイ用ガラス基板」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　５月　５日国際公開、ＷＯ２０１１／０５２４８５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１０年１０月２１日（優先権主張２００９年１０月２６日、日本国、２０１０年３月１日、日本国）を国際出願日とする出願であって、平成２５年５月３１日付けで拒絶理由が通知され、同年７月１２日付けで意見書が提出されたが、その後、平成２６年１月１７日付けで拒絶査定がなされた。
　本件は、これを不服として、平成２６年４月２１日に請求された拒絶査定不服審判であって、請求と同時に手続補正がなされたものである。
　その後、平成２６年５月２３日付けで前置報告がなされた。
　
　
第２　本願発明について
１．本願発明
　平成２６年４月２１日付けの手続補正は、願書に添付された特許請求の範囲の請求項３ないし６を削除するものであるから、特許法第１７条の２第５項第１号の請求項の削除を目的とするものである。
　そうすると、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成２６年４月２１日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
　
「２つの主面と４つの端面からなるフラットパネルディスプレイに用いられるディスプレイ用ガラス基板であって、
　一の主面を水平に載置した場合において、少なくとも一方の主面の基板端から内側に向かう１〜３０ｍｍの基板端部領域で、高低差が１５μｍ以下であることを特徴とするディスプレイ用ガラス基板。」
　
２．引用刊行物
（１）原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００９−１５５１３６号公報（以下「引用文献１」という。）には、以下の事項が記載されている。（下線は当審が付した。）
　
（ａ）「【０００１】
　本発明は、
フラットディスプレイパネルに用いられるガラス基板
【背景技術】
【０００２】
　周知のように、プラズマディスプレイパネル｛ＰＤＰ｝、フィールドエミッションディスプレイパネル｛ＦＥＤ［サーフェイスエミッションディスプレイ（ＳＥＤ）を含む：以下同様］｝、更には、液晶ディスプレイ｛ＬＣＤ｝やエレクトロルミネッセンスディスプレイ｛ＥＬＤ｝等のフラットディスプレイパネルは、表面に微細な電極や隔壁等の素子或いは構造体を形成した二枚のガラス基板を対向させて製作される。
【０００３】
　この種のガラス基板は、フロート法、フュージョン法（オーバーフローダウンドロー法）、またはスロットダウンドロー法に代表される公知の方法により成形された大型の元ガラス基板を、四辺が所定寸法の矩形をなすように切断して得られる。これらの成形方法のうち、例えばフロート法は、大型のガラス基板を安定して低廉に量産できるという利点を有していることから、ＰＤＰ用やＬＣＤ用等のガラス基板の製造方法として多用されるに至っている。
【０００４】
　このフロート法は、具体的には、溶融炉で溶融された溶融ガラスを、溶融錫が貯留されたフロートバスに供給し、その溶融ガラスをフロートバスの溶融錫上に浮かせて自然に広がらせると共に、フロートバスの直下流側に配設されたレヤー（搬送路）に引き出すことにより、帯状のガラスリボンを経て大型の元ガラス基板が得られるように構成したものである。
【０００５】
　そして、
このような大型の元ガラス基板の四辺を切断して得られた上述のフラットディスプレイパネル用のガラス基板に対しては、その表面に各種の膜を均一に塗布した後に、フォトプロセスの手法を用いて露光・現像することにより、素子や構造体を当該ガラス基板上に形成していくのが通例とされている。したがって、この種のガラス基板における素子等の形成面である表面には、高度な平坦度が要求され、その要求を満たすためには、当該ガラス基板の板厚の特性が重要な要因となる
【０００６】
　このようなフラットディスプレイパネル用のガラス基板の板厚特性に着目したものとして、特許文献１によれば、短辺寸法が３００〜３０００ｍｍであって長辺寸法が３００〜３０００ｍｍであり且つ平均板厚が１．５〜３．０ｍｍのガラス基板について、最大板厚と最小板厚との板厚差を２０μｍ以下とすること、及び長さ１００ｍｍ単位間に亘る板厚測定範囲における最大板厚と最小板厚との板厚差を１０μｍ以下（更には５μｍ以下）とすることが開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−８７３８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
　ところで、上記例示の特許文献１に開示されたガラス基板は、同文献の段落［００２４］及び図１に記載されているように、レーザー式厚み計で一辺に沿う方向の全幅に亘って走査することで、ガラス基板の全幅や１００ｍｍ単位間における最大及び最小の板厚差を求めるものである。すなわち、同文献に開示のガラス基板は、単一の方向性を持つ断面においてのみ板厚の最大及び最小の板厚差を求めるものであり、しかもその板厚測定範囲の最小単位は１００ｍｍとされている。
【０００９】
　このように、単一の方向性を持つ断面のみで板厚差を求める手法では、ガラス基板の面内における二次元（Ｘ座標とこれに直交するＹ座標との双方）での板厚差を把握することができず、例えば面内の任意の点からＸ方向における板厚差は判明するものの、Ｙ方向における板厚差は判明しなくなる等の事態を招く。そのため、面内の任意の点を基準としてＸ方向の測定単位での板厚差の最大値が許容範囲内にあるために良質部であると判断されても、Ｙ方向の測定単位での板厚差が許容範囲を逸脱していたならば、その良質部であるとの判断は誤ったものとなる。なお、仮に二つの方向性を持つ断面により板厚差を求めるようにしたとしても、別々の断面でそれぞれ個別に板厚差を求めていたのでは、任意の点を基準としてその周囲との間での板厚差の最大値を把握することはできず、そのため局部的に生じている本来の不当な板厚変化を認識することはできない。しかも、同公報に開示のように、板厚測定範囲の最小単位が１００ｍｍであれば、その最小単位が大き過ぎることにより局部的に生じている不当な板厚変化を緻密に認識することができず、またそのような不当な板厚変化が存在している箇所を見落とすことも生じ得る。
【００１０】
　以上のように、ガラス基板の面内における任意の点を基準としてその周囲に対する板厚差を正確に把握できなければ、上述の素子や構造体をガラス基板上に形成するためのフォトプロセスにおける露光等を的確に行うことが困難となる。すなわち、このフォトプロセスで露光・現像する場合には、形成する素子等が微細であるために焦点深度の浅い露光を必要とする露光機を使用せねばならならないとの要請が多々有る。特に、そのような場合に、上述のように一つの方向性を持つ断面での板厚差の計測、並びに板厚測定範囲の最小単位を１００ｍｍとする板厚差の計測を行っただけでは、ガラス基板の表面に対する露光機の焦点距離の適正化つまり露光ズレ抑止の観点から、そのガラス基板の表面の平坦度がそれに見合うに十分な高度性を有することが困難或いは不可能となる。
【００１１】
　本発明は、上記事情に鑑み、ガラス基板の任意の点から板厚差を計測する方向性を的確なものとし、且つ板厚測定範囲の最小単位の適正化をも図ることにより、従来は困難或いは不可能とされていた用途に対しても、十分に対処可能な平坦度を有するガラス基板を提供することを技術的課題とする。」 
　
（ｂ）「【００２３】
　図１に示すように、本発明の実施形態に係るガラス基板１は、縦方向寸法ａが３００ｍｍ以上（具体的には、４００ｍｍ）であり且つ横方向寸法ｂが３００ｍｍ以上（具体的には、５００ｍｍ）であって、その板厚の平均値が０．３〜４．０ｍｍ（好ましくは１．３〜４．０ｍｍ）の範囲内にある。
【００２４】
　
このガラス基板１の特徴は、面内における任意の位置を基準点Ｏとして、直交する二つの辺２、３にそれぞれ沿う方向をＸ方向およびＹ方向とした場合に、基準点ＯからＸ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＡ点およびＢ点と、基準点ＯからＹ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＣ点およびＤ点と、基準点ＯからＸ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れ且つ基準点ＯからＹ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＥ点、Ｆ点、Ｇ点およびＨ点との計八点のそれぞれの板厚と、基準点Ｏの板厚との差の絶対値が、３μｍ以下とされている
【００２５】
　詳述すると、上記の基準点Ｏの板厚とＡ点の板厚との差、基準点Ｏの板厚とＢ点の板厚との差、基準点Ｏの板厚とＣ点の板厚との差、基準点Ｏの板厚とＤ点の板厚との差、基準点Ｏの板厚とＤ点の板厚との差、基準点Ｏの板厚とＥ点の板厚との差、基準点Ｏの板厚とＦ点の板厚との差、基準点Ｏの板厚とＧ点の板厚との差、基準点Ｏの板厚とＨ点の板厚との差、すなわちこれら八つの差の絶対値が、全て３μｍ以下とされている。
【００２６】
　また、上記の基準点Ｏから、Ａ点、Ｂ点、Ｃ点、Ｄ点までの離隔長さは、全て２０ｍｍとされると共に、基準点Ｏから、Ｅ点、Ｆ点、Ｇ点、Ｈ点までの離隔長さは、全て√２×２０ｍｍとされている。更に、基準点Ｏを中心として、上記の八つの点は、４５°の等角度で配設されている。
【００２７】
　したがって、このガラス基板１における２０×２０ｍｍ（２０ｍｍ角）を一要素として、四つの要素からなる一群の集合部分が、一の板厚良質エリアとされている。そして、
基準点Ｏを、ガラス基板１の如何なる位置に設定しても、この基準点ＯとＡ点〜Ｈ点とは、上記の関係を満たしている
【００２８】
　また、このガラス基板１の表面は、膜が形成され且つフォトプロセスにより露光・現像されて素子または構造体が形成される面である。そして、このガラス基板１の表面は、形成する素子等が微細で焦点深度の浅い露光が必要とされるような場合であっても、露光ズレ等の生じない平坦な面とされている。
【００２９】
　このような板厚特性を備えたガラス基板１によれば、面内の任意の位置を基準点Ｏとして、その周囲の４５°間隔おきの八方向における単位長さ離隔したそれぞれの点の板厚と、基準点Ｏの板厚との差の絶対値が、３μｍ以下とされているので、ガラス基板１の局部に不当な板厚変化が存在していないことが、板厚差計測の方向性の多数化によって、見落とされることなく確実に検査されていることになる。しかも、基準点Ｏからその周囲の八点までの離隔長さは、Ａ点、Ｂ点、Ｃ点およびＤ点については、２０ｍｍであり、Ｅ点、Ｆ点、Ｇ点およびＨ点については、√２×２０ｍｍであって、何れも適切に短くされているので、
ガラス基板１に局部的に生じ得る不当な板厚変化が緻密に検査されていることになる。したがって、ガラス基板１の表面は、高度な平坦度を有することになり、このガラス基板１の表面に対するフォトプロセスにおける露光ズレの発生等が抑止される
【実施例】
【００３０】
　本発明の実施例１〜５として、
縦方向寸法が４００ｍｍであり且つ横方向寸法が５００ｍｍであって板厚（板厚の平均値）が１．８ｍｍのＰＤＰ用のガラス基板
【００３１】
　更に、図２（ａ）は、実施例１について、２０ｍｍ角を一単位としてガラス基板の全域に亘る板厚の変化を模式的に表わした概略斜視図であり、図２（ｂ）は、同じく実施例１について、２０ｍｍ角を一単位としてガラス基板の全域に亘る板厚の差の変化を模式的に表わした概略斜視図である。また、図３（ａ）は、比較例１について、２０ｍｍ角を一単位としてガラス基板の全域に亘る板厚の変化を模式的に表わした概略斜視図であり、図３（ｂ）は、同じく比較例１について、２０ｍｍ角を一単位としてガラス基板の全域に亘る板厚の差の変化を模式的に表わした概略斜視図である。
【００３２】
　以上の測定に加えて、
実施例１〜５及び比較例１、２に係るガラス基板を、露光機の定盤に吸着保持させた状態で、図１に示す基準点Ｏと、Ａ点〜Ｈ点との高低差を、２０ｍｍ角を一要素として四つの要素からなるエリア毎に、各ガラス基板の全域に亘って触針式の表面粗さ測定機により測定し、その最大値の絶対値を、下記の表１に示した。
【００３３】
【表１】
　
【００３４】
　上記の表１（図２（ａ）、（ｂ）をも参照）によれば、実施例１〜５の何れについても、２０ｍｍ角を一要素として四つの要素からなるエリアの板厚差（部分偏肉）が、ガラス基板の全域において３．０μｍ以下であって良好なものと判定することができ、且つ
露光機の定盤で吸着したガラス基板の平坦度を示す高低差の最大値も３．０μｍ以下
【００３５】
　一方、上記の表１（図３（ａ）、（ｂ）をも参照）によれば、比較例１、２は何れも、ガラス基板の部分偏肉が３μｍ超（更には４μｍ以上）であって不適切なものと判定することができ、且つ露光機の定盤で吸着したガラス基板の平坦度を示す高低差の最大値も４．５μｍ以上であり、焦点深度の浅い露光機を使用した場合に露光ズレの発生確率が高くなることを確認した。」
　
（ｃ）「【図１】
　
　
【図２】
　
　
【図３】
　
　
 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 」 
　
　すると、上記引用文献１の記載事項から、引用文献１には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。 
　「縦方向寸法が４００ｍｍであり且つ横方向寸法が５００ｍｍであって板厚（板厚の平均値）が１．８ｍｍのＰＤＰ用のガラス基板であって、ガラス基板を、露光機の定盤に吸着保持させた状態で、面内における任意の位置を基準点Ｏとして、直交する二つの辺２、３にそれぞれ沿う方向をＸ方向およびＹ方向とした場合に、基準点ＯからＸ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＡ点およびＢ点と、基準点ＯからＹ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＣ点およびＤ点と、基準点ＯからＸ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れ且つ基準点ＯからＹ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＥ点、Ｆ点、Ｇ点およびＨ点との計八点について、高低差を、２０ｍｍ角を一要素として四つの要素からなるエリア毎に、各ガラス基板の全域に亘って触針式の表面粗さ測定機により測定した結果、高低差の最大値が３．０μｍ以下である、ＰＤＰ用のガラス基板」
　
３．対比
（１）本願発明と引用発明の対比
　引用発明の「ＰＤＰ用のガラス基板」は、本願発明の「ディスプレイ用ガラス基板」に相当し、引用発明の「縦方向寸法が４００ｍｍであり且つ横方向寸法が５００ｍｍであって板厚（板厚の平均値）が１．８ｍｍのＰＤＰ用のガラス基板」の構成は、本願発明の「２つの主面と４つの端面からなるフラットパネルディスプレイに用いられるディスプレイ用ガラス基板」の構成に相当する。
　
（２）一致点
　してみると、両者は、
 「２つの主面と４つの端面からなるフラットパネルディスプレイに用いられるディスプレイ用ガラス基板」
で一致し、次の点で相違する。 
　
（３）相違点
　本願発明では、「一の主面を水平に載置した場合において、少なくとも一方の主面の基板端から内側に向かう１〜３０ｍｍの基板端部領域で、高低差が１５μｍ以下である」のに対して、引用発明では、「ガラス基板を、露光機の定盤に吸着保持させた状態で、面内における任意の位置を基準点Ｏとして、直交する二つの辺２、３にそれぞれ沿う方向をＸ方向およびＹ方向とした場合に、基準点ＯからＸ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＡ点およびＢ点と、基準点ＯからＹ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＣ点およびＤ点と、基準点ＯからＸ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れ且つ基準点ＯからＹ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＥ点、Ｆ点、Ｇ点およびＨ点との計八点について、高低差を、２０ｍｍ角を一要素として四つの要素からなるエリア毎に、各ガラス基板の全域に亘って触針式の表面粗さ測定機により測定した結果、高低差の最大値が３．０μｍ以下であ」り、特に「少なくとも一方の主面の基板端から内側に向かう１〜３０ｍｍの基板端部領域」における高低差が不明である点。
　
４．判断
（１）相違点について
　引用発明の「ガラス基板を、露光機の定盤に吸着保持させた状態」は、高低差の測定時にガラス基板が露光器の定盤の上に載置された場合であることは明らかであり、上記高低差の測定を行う前提の状態として、本願発明の「一の主面を水平に載置した場合」との間で実質的な差違を有するものでない。
　引用文献１には、【０００５】に「このような大型の元ガラス基板の四辺を切断して得られた上述のフラットディスプレイパネル用のガラス基板に対しては、
その表面に各種の膜を均一に塗布した後に、フォトプロセスの手法を用いて露光・現像することにより、素子や構造体を当該ガラス基板上に形成していくのが通例とされている。
　また、【００２７】に「したがって、このガラス基板１における２０×２０ｍｍ（２０ｍｍ角）を一要素として、四つの要素からなる一群の集合部分が、一の板厚良質エリアとされている。そして、
基準点Ｏを、ガラス基板１の如何なる位置に設定しても、この基準点ＯとＡ点〜Ｈ点とは、上記の関係を満たしている
ガラス基板１に局部的に生じ得る不当な板厚変化が緻密に検査されていることになる。したがって、ガラス基板１の表面は、高度な平坦度を有することになり、このガラス基板１の表面に対するフォトプロセスにおける露光ズレの発生等が抑止される
　そのため、引用発明が「面内における任意の位置を基準点Ｏとして、直交する二つの辺２、３にそれぞれ沿う方向をＸ方向およびＹ方向とした場合に、基準点ＯからＸ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＡ点およびＢ点と、基準点ＯからＹ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＣ点およびＤ点と、基準点ＯからＸ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れ且つ基準点ＯからＹ方向の両側にそれぞれ２０ｍｍ離れたＥ点、Ｆ点、Ｇ点およびＨ点との計八点について、高低差を、２０ｍｍ角を一要素として四つの要素からなるエリア毎に、各ガラス基板の全域に亘って触針式の表面粗さ測定機により測定した結果、高低差の最大値が３．０μｍ以下である」構成において、上記各種の膜を均一に塗布した後に、フォトプロセスの手法を用いて露光・現像するために高度な平坦度が要求される技術課題及びガラス基板全面において高度な平坦度を有するとの技術思想に基づいて、基板端部を含むガラス基板全面について緻密に検査を行い「高低差の最大値が３．０μｍ以下である」測定結果を得ることは、当業者が容易になし得ることである。
　そして、上記引用文献１の【０００５】で説明される通例によれば、基板表面には各種の膜が均一に塗布されるから、塗布開始位置として容易に想定される基板端部における高低差を特に測定して高度な平坦度とすることは、必要に応じて適宜なされる事項にすぎず、「基板端から内側に向かう１〜３０ｍｍ」や「高低差が１５μｍ以下」という具体的数値範囲についても、選択される塗布膜の材料や塗布装置、塗布ヘッド等に応じて適宜定められるものであり、当業者の技術常識に照らして当該数値範囲が格別のものとは認められないことから通常なし得るものである。
　したがって、引用発明及び引用文献１に記載された事項に基いて、上記相違点に係る事項を得ることは、当業者が容易になし得ることである。
　
（２）効果について
　本願発明が奏し得る効果は、引用発明及び引用文献１に記載された事項から当業者が予測し得る範囲のものであって格別なものではない。
　
（３）結論
　したがって、本願発明は、引用発明及び引用文献１に記載された事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　
第３　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。