【事件の表示】
　平成５年特許願第２６６４８０号「赤外線検出装置及びその連通手段のコンダクタンス設定方法」拒絶査定に対する審判事件［平成７年５月１２日出願公開、特開平７−１２０３０６］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
［１］手続の経緯、本願発明
　本願は、平成５年１０月２５日の出願であって、その請求項１〜２に係る発明は、補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１〜２に記載されたとおりのものであると認められるところ、そのうち請求項１に係る発明（以下、本願発明という。）は、次のとおりである。
「中空部を有する基板と、周辺が前記基板に支持されると共に前記中空部を覆うように形成された熱絶縁膜と、その熱絶縁膜上に形成された赤外線検出体とを備えた赤外線検出素子を、気密性パッケージ内に収容するとともに、その気密性パッケージの内部を真空あるいは低熱伝導性ガスで満たしてなる赤外線検出装置において、前記中空部とそれを除く外部空間との間を連通する連通手段を設けるとともに、その連通手段に、赤外線検出素子を真空または低熱伝導性ガスで置換して気密性パッケージ内に気密封止するため、それらが収容された気密性容器を排気する際、排気中に前記中空部と気密性容器の内部空間との間に圧力差を生じさせないようなコンダクタンスを持たせたものであって、
このコンダクタンスは、気密性容器の容積、圧力、初期圧力、気体流量、排気速度、中空部の容積、圧力、連通手段の気体流量、排気速度及び排気開始から排気完了までの経過時間の因子に基づき、連通手段の気体流量、排気速度、気密性容器の容積、初期圧力、排気速度、排気開始から排気完了までの経過時間により、気密性容器の排気開始から排気完了までの圧力を算出し、気密性容器の排気開始から排気完了までの圧力との圧力差が熱絶縁膜の破壊が生じる圧力差以下となる中空部の排気開始から排気完了までの圧力を設定し、この中空部の圧力、気密性容器の圧力、初期圧力、中空部の容積に基づいて算出した値であることを特徴とする赤外線検出装置。
　
［２］これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物には次の記載がある。
刊行物１；実願平4−14319号（実開平5−66529号）のＣＤ−ＲＯＭ
ａ「また、サーモパイルを真空中で用いると、空気中と比べて数倍出力が向上することが知られていが、その理由は、温接点４１から空気を介しての熱の散逸が抑えられるためである。そこで、サーモパイルを真空封止してセンサとして用いることは高出力を得るための重要な方法と考えられる。ところが、従来のサーモパイルにおいては、上述のようにピット３０内部はマウント時に密閉された構造になっている。マウント作業は一般に大気圧において行うため、密閉されたピット３０内部は大気圧で保持され、真空封止すると圧力差によりダイアフラム２１が破損する。」（【0004】）
ｂ「【考案が解決しようとする課題】
　そこで本考案の目的は、上記の問題点を解決し、外気の温度変化が大きい場合あるいは真空封止を行う場合においても、・・・である。
【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために本考案においては、絶縁性被膜が形成されたヒートシンクとなる基板のほぼ中央に、基板と絶縁性被膜を空間的に分離するように空洞部を設け、空洞部上の絶縁性被膜をダイアフラムとし、前記基板と接している部分の絶縁性被膜をヒートシンクとし、ダイアフラム上に温接点、ヒートシンク上に冷接点を有する多数の熱電対を配置し、前記ダイアフラム部には少なくとも１か所のスルーホールを形成し、このスルーホールを介して前記空洞部が外気と導通できるようにした。
【作用】
　本考案によれば、ダイアフラムを形成するための空洞部は常時外気と導通して等圧状態になっているため、温度変化によるダイアフラムへの影響はなく、さらに真空封止も可能であるから高出力化にも対応でき、さらに基板にはピットが形成されていないため、強度あるいはヒートシンクの性能に関しても信頼性があるサーモパイルが提供できる。」（【0005】〜【0007】）
ｃ「以上の説明により明らかなように本考案のサ−モパイルは温度変化が生じてもダイアフラムには歪の影響がなく常に安定した出力を得ることを可能とし、真空封止にも問題なく用いることが可能である。」（【0014】）
　
刊行物２；特開平3−199933号公報
「第２図は本発明の他の実施例に係る赤外線センサの構造を示すものである。
　すなわち、第１図の赤外線センサにおいては、窓材14をシリコン基板11の上面に接合し、赤外線センサ12のみを覆う構成としたが、本実施例においては、窓材24をシリコン基板11と同様に支持部材10の表面にたとえば接着剤により固定し、シリコン基板11の全体を覆う構成としたもので、本実施例においても上記実施例と同様に小型化を図ることができる。
　また、・・・反射膜としての金膜22が形成されている。」（５頁左下欄３〜１６行））
　
［３］刊行物１には直接的にはサーモパイルが記載、図示されているが、このようなサーモパイルは刊行物２に記載、図示されたような真空封止型赤外線センサに使用されるものであることは当業者にとって技術常識であって、刊行物１の上記各記載から、サーモパイルを真空封止して赤外線センサとして用いるためには気密性パッケージが必要であること、スルーホールは空洞部と外部空間を連通する連通手段と言うことができてコンダクタンスを有することは明らかなことである。
　そして、スルーホールを設けたことにより、「従来のサーモパイルにおいては、上述のようにピット３０内部はマウント時に密閉された構造になっている。マウント作業は一般に大気圧において行うため、密閉されたピット３０内部は大気圧で保持され、真空封止すると圧力差によりダイアフラム２１が破損する。」という問題点を解決して真空封止が可能となるのであるから、マウント状態（図１）で気密室に置かれて気密室ごと排気されること、その排気中の全期間において圧力差によりダイアフラム２１が破損することがないことも明らかである。
　したがって、刊行物１には、
「中空部を有する基板と、周辺が前記基板に支持されると共に前記中空部を覆うように形成された熱絶縁膜と、その熱絶縁膜上に形成された赤外線検出体とを備えた赤外線検出素子を、気密性パッケージ内に収容するとともに、その気密性パッケージの内部を真空としてなる赤外線検出装置において、前記中空部とそれを除く外部空間との間を連通する連通手段を設けるとともに、その連通手段に、赤外線検出素子を真空の気密性パッケージ内に気密封止するため、それらが収容された気密性容器を排気する際、排気中に前記中空部と気密性容器の内部空間との間に圧力差を生じさせないようなコンダクタンスを持たせたものであって、
　このコンダクタンスは、気密性容器の排気開始から排気完了までの圧力との圧力差が熱絶縁膜の破壊が生じる圧力差以下となるような値であることを特徴とする赤外線検出装置。」（以下、基本構成装置という。）
なる発明が記載されていると認められる。
　
［４］対比・判断
　本願発明と前記刊行物１に記載された発明とを対比すると、両者は、上記の基本構成装置として一致するが、連通手段に持たせたコンダクタンスが、
　本願発明では、
「このコンダクタンスは、気密性容器の容積、圧力、初期圧力、気体流量、排気速度、中空部の容積、圧力、連通手段の気体流量、排気速度及び排気開始から排気完了までの経過時間の因子に基づき、連通手段の気体流量、排気速度、気密性容器の容積、初期圧力、排気速度、排気開始から排気完了までの経過時間により、気密性容器の排気開始から排気完了までの圧力を算出し、気密性容器の排気開始から排気完了までの圧力との圧力差が熱絶縁膜の破壊が生じる圧力差以下となる中空部の排気開始から排気完了までの圧力を設定し、この中空部の圧力、気密性容器の圧力、初期圧力、中空部の容積に基づいて算出した値」であるのに対して、
　刊行物１に記載された発明では、
「このコンダクタンスは、気密性容器の排気開始から排気完了までの圧力との圧力差が熱絶縁膜の破壊が生じる圧力差以下となるような値」であるとしても、どのように決定するかについての限定がない点で相違する。
　
　相違点について検討するに、
　上記基本構成装置において、気密性容器を排気する際、排気中の全期間にわたって中空部と気密性容器の内部空間の圧力やそれらの間の圧力差が各空間や連通手段の種々の物理量（コンダクタンス、容積、圧力、気体流量、排気速度など）から初等物理学で算出できることは当業者にとって容易に理解できること（例えば、実願平４−８６７５２号（実開平５−５８８７８号）のＣＤ−ＲＯＭ参照）であるとともに、その算出した圧力差が排気中の期間にわたって熱絶縁膜の破壊が生じる圧力差以下であれば、排気中の全期間にわたって熱絶縁膜の破壊が生じないことは当然であるから、連通手段に持たせたコンダクタンスを本願発明のように算出することは当業者が容易に成しうることである。
　
　しかも、本願発明の作用効果、「赤外線検出素子を真空に気密性パッケージ内に気密封止するため、それらが収容された気密性容器を排気する際、排気開始から排気完了までの期間にわたり、中空部と気密性容器の内部空間の圧力差が熱絶縁膜の破壊が生じる圧力差以下となるコンダクタンスを持つ連通手段を設けたことにより、赤外線検出素子の熱絶縁膜を破壊することなく、中空部内を真空にすることが可能となり、高感度な赤外線検出装置を提供できる。」は、刊行物１に記載された発明にも認められる作用効果であって格別のものではない。
　
［５］結論
　以上のとおり、本願発明は、本願出願前に国内で頒布された刊行物１，２に記載された発明及び技術常識に基いて当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、請求項２についての判断を示すまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。