(57)【要約】      （修正有）【課題】薄型化を図ることができるＸＹステージを提供するものである。【解決手段】ＸＹステージＳは、平坦な面を有し、相対向して設けられる第１、第２のプレート１、２と、第１のプレート１に取り付けられ、第１のプレート１のＸ軸方向に移動させる第１の移動手段３と、第１のプレート１に取り付けられ、第１のプレート１の前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させる第２の移動手段５と、第１の移動手段３により移動し、第２のプレート２に取り付けられた第１の移動体４と、第２の移動手段５により移動し、第２のプレート２に取り付けられた第２の移動体６とを備えているものである。【選択図】図２
2007046980.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦な面を有し、相対向して設けられる第１、第２のプレートと、
前記第１のプレートに取り付けられ、前記第１のプレートのＸ軸方向に移動させる第１の移動手段と、
前記第１のプレートに取り付けられ、前記第１のプレートの前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させる第２の移動手段と、
前記第１の移動手段により移動し、前記第２のプレートに取り付けられた第１の移動体と、
前記第２の移動手段により移動し、前記第２のプレートに取り付けられた第２の移動体と、
を備えていることを特徴とするＸＹステージ。
【請求項２】
第１の移動手段は、第１のモータによって正逆に回転する第１の回転軸を有し、
第１の移動体は、前記第１の回転軸に螺合する第１の雌ネジ
を有する第１の雌ネジ体と、この第１の雌ネジ体に接続されたＸ軸方向に直交するＹ軸方向に移動する第１のＹ軸スライダーと、この第１のＹ軸スライダーをガイドする溝部を備え、第２のプレートに取り付けられた第１のＹ軸案内溝体とを有し、
第２の移動手段は、第２のモータによって正逆に回転する第２の回転軸を有し、
第２の移動体は、前記第２の回転軸に螺合する第２の雌ネジ
を有する第２の雌ネジ体と、この第２の雌ネジ体に接続されたＸ軸方向に移動する第１のＸ軸スライダーと、この第１のＸ軸スライダーをガイドする溝部を備え、前記第２のプレートに取り付けられた第１のＸ軸案内溝体とを有する
ことを特徴とする請求項１記載のＸＹステージ。
【請求項３】
第１のプレートの面に突出し、前記第１のプレートのＸ軸方向に沿うように取り付けられた第１の凸部材と、
この第１の凸部材に摺動する溝部を有し、前記第１の雌ネジ体に接続された第１の凸部材案内溝体と、
前記第１のプレートの面に突出し、前記第１のプレートの前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に沿うように取り付けられた第２の凸部材と、
この第２の凸部材に摺動する溝部を有し、前記第２の雌ネジ体に接続された第２の凸部材案内溝体と、
を備えていることを特徴とする請求項２記載のＸＹステージ。
【請求項４】
第１のプレートの面に突出し、前記第１のプレートのＸ軸方向に沿うように取り付けられた第３の凸部材と、
この第３の凸部材に摺動する溝部を有し、前記第１のプレートのＸ軸方向と直交するＹ軸方向に沿うＹ軸摺動部を有する第３の凸部材案内溝体と、
第２のプレートに取り付けられ、前記Ｙ軸摺動部を案内する溝部を有する第２のＹ軸案内溝体と、
前記第１のプレートの面に突出し、前記第１のプレートのＸ軸方向と直交するＹ軸方向に沿うように取り付けられた第４の凸部材と、
この第４の凸部材に摺動する溝部を有し、前記第１のプレートのＸ軸方向に沿うＸ軸摺動部を有する第４の凸部材案内溝体と、
第２のプレートに取り付けられ、前記Ｘ軸摺動部を案内する溝部を有する第２のＸ軸案内溝体と、
を備えていることを特徴とする請求項３記載のＸＹステージ。
【請求項５】
第１のＸ軸案内溝体、第２のＸ軸案内溝体、第１のＹ軸案内溝体及び第２のＹ軸案内溝体が、第２のプレートに、平面視四角形状に配置されて取り付けられている
ことを特徴とする請求項４記載のＸＹステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡、半導体製造装置、半導体検査装置の試料等を載置し、２次元位置決め装置としてのＸＹステージに係り、特に、ＸＹステージの薄型化を図ることができるＸＹステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＸＹステージとしては、たとえば、相対するプレートの一方側のプレートを水平方向に移動するＸステージと、相対するプレートの一方側のプレートを水平方向に移動するＹステージとを有し、ＹステージとＸステージとが水平移動方向に対し互いに直交するようにプレートを重ねると共に、重ねた部位を接続部材、例えば、ネジで接続するようにしていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、ＹステージとＸステージとが水平移動方向に対し互いに直交するようにプレートを重ねているため、プレートを重ねた分、重ねた方向の厚みが増すという問題点が生じた。
【０００４】
本発明は、上記の問題点を除去するようにしたＸＹステージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のＸＹステージは、平坦な面を有し、相対向して設けられる第１、第２のプレートと、前記第１のプレートに取り付けられ、前記第１のプレートのＸ軸方向に移動させる第１の移動手段と、前記第１のプレートに取り付けられ、前記第１のプレートの前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させる第２の移動手段と、前記第１の移動手段により移動し、前記第２のプレートに取り付けられた第１の移動体と、前記第２の移動手段により移動し、前記第２のプレートに取り付けられた第２の移動体とを備えているものである。
【０００６】
また、請求項２記載のＸＹステージは、請求項１記載のＸＹステージにおいて、第１の移動手段は、第１のモータによって正逆に回転する第１の回転軸を有し、第１の移動体は、前記第１の回転軸に螺合する第１の雌ネジを有する第１の雌ネジ体と、この第１の雌ネジ体に接続されたＸ軸方向に直交するＹ軸方向に移動する第１のＹ軸スライダーと、この第１のＹ軸スライダーをガイドする溝部を備え、第２のプレートに取り付けられた第１のＹ軸案内溝体とを有し、第２の移動手段は、第２のモータによって正逆に回転する第２の回転軸を有し、第２の移動体は、前記第２の回転軸に螺合する第２の雌ネジを有する第２の雌ネジ体と、この第２の雌ネジ体に接続されたＸ軸方向に移動する第１のＸ軸スライダーと、この第１のＸ軸スライダーをガイドする溝部を備え、前記第２のプレートに取り付けられた第１のＸ軸案内溝体とを有するものである。
【０００７】
また、請求項３記載のＸＹステージは、請求項２記載のＸＹステージにおいて、第１のプレートの面に突出し、前記第１のプレートのＸ軸方向に沿うように取り付けられた第１の凸部材と、この第１の凸部材に摺動する溝部を有し、前記第１の雌ネジ体に接続された第１の凸部材案内溝体と、前記第１のプレートの面に突出し、前記第１のプレートの前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に沿うように取り付けられた第２の凸部材と、この第２の凸部材に摺動する溝部を有し、前記第２の雌ネジ体に接続された第２の凸部材案内溝体とを備えているものである。
【０００８】
また、請求項４記載のＸＹステージは、請求項３記載のＸＹステージにおいて、第１のプレートの面に突出し、前記第１のプレートのＸ軸方向に沿うように取り付けられた第３の凸部材と、この第３の凸部材に摺動する溝部を有し、前記第１のプレートのＸ軸方向と直交するＹ軸方向に沿うＹ軸摺動部を有する第３の凸部材案内溝体と、第２のプレートに取り付けられ、前記Ｙ軸摺動部を案内する溝部を有する第２のＹ軸案内溝体と、前記第１のプレートの面に突出し、前記第１のプレートのＸ軸方向と直交するＹ軸方向に沿うように取り付けられた第４の凸部材と、この第４の凸部材に摺動する溝部を有し、前記第１のプレートのＸ軸方向に沿うＸ軸摺動部を有する第４の凸部材案内溝体と、第２のプレートに取り付けられ、前記Ｘ軸摺動部を案内する溝部を有する第２のＸ軸案内溝体とを備えているものである。
【０００９】
また、請求項５記載のＸＹステージは、請求項４記載のＸＹステージにおいて、第１のＸ軸案内溝体、第２のＸ軸案内溝体、第１のＹ軸案内溝体及び第２のＹ軸案内溝体が、第２のプレートに、平面視四角形状に配置されて取り付けられているものである。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載のＸＹステージによれば、第１のプレートと第２のプレートとの間に、第１の移動手段、第２の移動手段、第１の移動体及び第２の移動体が配置されているため、薄型化を図ったＸＹステージを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明のＸＹステージの一実施例を図面を参照して説明する。
図１乃至図７において、ＸＹステージＳは、平坦な面を有する第１のプレート（ベース）１と、平坦な面を有する第２のプレート（移動台）２とを有し、第１のプレート１と第２のプレート２は相対向して設けられている（図３、図４及び図６）。
なお、第２のプレート２の上面に、例えば、電子顕微鏡、半導体製造装置、半導体検査装置等の試料（図示せず）等が載置されるようになっている。
【００１２】
３は、第１のプレート１のＸ軸方向（図２参照）に移動させる第１の移動手段で、第１の移動手段３は、第１のプレート１に取り付けられている。
４は、第１の移動手段３により移動し、第２のプレート２に取り付けられた第１の移動体である。
第１の移動手段３は、例えば、第１のモータ３１によって正逆に回転する第１の回転軸３２を有している。３３は第１の回転軸３２を回転自在に支持する支持部材である。
第１の移動体４は、例えば、第１の回転軸３２に螺合する第１の雌ネジ４１ａを有する第１の雌ネジ体４１と、この第１の雌ネジ体４１に接続（接続は、例えば、ビス４２ｖで行う。）されたＸ軸方向（図２参照）に直交するＹ軸方向（図２参照）に移動する第１のＹ軸スライダー４２と、この第１のＹ軸スライダー４２をガイドする溝部４３ａ（図６参照）を備え、第２のプレート２に取り付け（取り付けは、例えば、ビス４３ｖで行う。）られた第１のＹ軸案内溝体４３とを有している。
【００１３】
５は、第１のプレート１の前記Ｘ軸方向（図２参照）に直交するＹ軸方向（図２参照）に移動させる第２の移動手段で、第２の移動手段５は、第１のプレート１に取り付けられている。なお、第２の移動手段５はＹ軸方向に移動させ、第１の移動手段３はＸ軸方向に移動させる、移動する方向を除けば、同じ機構となっている。
６は、第２の移動手段５により移動し、第２のプレート２に取り付けられた第２の移動体である。
第２の移動手段５は、例えば、図２に示すように、第２のモータ５１によって正逆に回転する第２の回転軸５２を有している。５３は第２の回転軸５２を回転自在に支持する支持部材である。
第２の移動体６は、例えば、第２の回転軸５２に螺合する第２の雌ネジ６１ａを有する第２の雌ネジ体６１と、この第２の雌ネジ体６１に接続（接続は、例えば、ビス６２ｖで行う。）されたＸ軸方向に移動する第１のＸ軸スライダー６２と、この第１のＸ軸スライダー６２をガイドする溝部６３ａ（図３参照）を備え、第２のプレート２に取り付け（取り付けは、例えば、ビス６３ｖで行う。）られた第１のＸ軸案内溝体６３とを有している。
【００１４】
７は、第１のプレート１の面に突出し、第１のプレート１のＸ軸方向に沿うように取り付けられた第１の凸部材で、この第１の凸部材７は第１の凸部材案内溝体８を案内するようになっている。第１の凸部材案内溝体８は、第１の凸部材１７に摺動する溝部８ａを有し、第１の雌ネジ体３４に接続されている。
９は、第１のプレート１の面に突出し、第１のプレート１の前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に沿うように取り付けられた第２の凸部材で、この第２の凸部材９は第２の凸部材案内溝体１０を案内するようになっている。この第２の凸部材案内溝体１０は、第２の凸部材９に摺動する溝部を有し、第２の雌ネジ体６１ａに接続されている。
【００１５】
また、図１、図２及び図４に示す１１は、第１のプレート１の面に突出し、第１のプレート１のＸ軸方向に沿うように取り付けられた第３の凸部材で、１２は、第３の凸部材１１に摺動する溝部１２ａを有し、第１のプレート１のＸ軸方向と直交するＹ軸方向に沿うＹ軸摺動部１２ｂを有する第３の凸部材案内溝体で、１３は、第２のプレート２に取り付けられ、Ｙ軸摺動部１２ｂを案内する溝部１３ａを有する第２のＹ軸案内溝体である。
【００１６】
また、図１、図２及び図４に示す１４は、第１のプレート１の面に突出し、第１のプレート１のＸ軸方向と直交するＹ軸方向に沿うように取り付けられた第４の凸部材で、１５は、第４の凸部材１４に摺動する溝部１５ａを有し、第１のプレート１のＸ軸方向に沿うＸ軸摺動部１５ｂを有する第４の凸部材案内溝体で、１６は、第２のプレート２に取り付けられ、Ｘ軸摺動部１５ｂを案内する溝部１６ａを有する第２のＸ軸案内溝体である。
なお、第２のＸ軸案内溝体１６、第２のＹ軸案内溝体１３、第１のＹ軸案内溝体４３及び第１のＸ軸案内溝体６３は、第２のプレート２に、平面視四角形状に配置されて取り付けられている
。
【００１７】
従って、第１のモータ３１を正（時計回り）回転すると、第１の雌ネジ４１ａを介して第１の雌ネジ体４１と一体となって第１の凸部材案内溝体８、第１のＹ軸スライダー４２、第１のＹ軸案内溝体４３が図２に示すＸ軸方向へ移動すると共に、第３の凸部材案内溝体１２が第３の凸部材１１に沿って、第４の凸部材案内溝体１５が第２のＹ軸案内溝体１６に沿って、第１のＸ軸スライダー６２が第１のＸ軸案内溝体６３に沿って、図２に示すＸ軸方向へ移動することとなる。
又、第２のモータ５１を正（時計回り）回転すると、第２の雌ネジ６１ａを介して第２の雌ネジ体６１と一体となって第２の凸部材案内溝体１０、第１のＸ軸スライダー６２、第１のＸ軸案内溝体６３が図２に示すＹ軸方向へ移動すると共に、第３の凸部材案内溝体１２が第２のＹ軸案内溝体１３に沿って、第４の凸部材１４が第２のＹ軸案内溝体１６に沿って、第１のＹ軸スライダー４２が第１のＹ軸案内溝体４３に沿って、図２に示すＹ軸方向へ移動することとなる。
【００１８】
本実施例のＸＹステージＳによれば、第１のプレート１と第２のプレート２との間に、第１の移動手段３、第２の移動手段５、第１の移動体４及び第２の移動体６が配置されているため、薄型化を図ったＸＹステージＳを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の一実施例のＸＹステージの概略的平面図である。
【図２】図２は、図１のＸＹステージから第１のプレートを取り除いた状態の概略的平面図である。
【図３】図３は、図１の１−１線による概略的断面図である。
【図４】図４は、図２の２−２線による概略的断面図である。
【図５】図５は、図２の一部を拡大して示す概略的一部拡大平面図である。
【図６】図６は、図５の３−３線による概略的断面図である。
【図７】図７は、図２の矢印Ａ方向から見た概略的斜視図である。
【符号の説明】
【００２０】
Ｓ    ＸＹステージ
１    第１のプレート
２    第２のプレート
３    第１の移動手段
４    第１の移動体
５    第２の移動手段
６    第２の移動体
【図１】
2007046980.tif 000003
【図２】
2007046980.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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