【事件の表示】
　平成　５年特許願第１４６４８７号「静電チャック装置における基板の脱着方法および脱着機構」において、平成１４年　９月１３日付けでした手続補正に対してされた補正の却下の決定に対する審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件補正却下決定不服の審判に係る出願は、平成５年６月１７日の出願である。
　平成１４年９月１３日付けで手続補正書が提出されたところ、平成１５年１月２１日付けで上記手続き補正書による補正（以下、「本件補正」という。）について補正却下の決定がなされた。
　
２．本件手続補正
　本件補正は、願書に添付された明細書を、以下のとおりに補正する事項を含むものである。
　
【特許請求の範囲】について：
　　【請求項１】
　静電チャックの吸着面にリフトピンを突出可能に設けてなる静電チャック装置の基板脱着機構において、処理基板（１）を支持し、複数のリフトピン（５）がそれぞれ内部を昇降する複数の貫通孔を備えていて、静電チャックを構成する基板ホルダーと、前記基板ホルダーの下側に配置されていて、前記複数のリフトピン（５）を基板ホルダーの上側方向に向けて支持し、昇降動作を行う昇降機構（７）と、前記基板ホルダーに備えられている貫通孔と貫通孔との間の基板ホルダー下側面と昇降機構（７）の上側面との間にそれぞれ絶縁材製のバネ受け（６）を介して配備され、昇降機構（７）を基板ホルダーの下側方向に向けて常に付勢している第一のバネ体（８）とを備え、前記リフトピン（５）は、昇降機構（７）の上側に基端部側が植設されて前記基板ホルダーの上側方向に延びる複数の筒体（２４）と、各筒体（２４）の上端側に挿脱自在に取り付けられている杆体（２３）とからなり、当該杆体（２３）の筒体（２４）上端から突出している上端側には、抵抗部材（２１）が当該抵抗部材（２１）の下端側に配置されている押さえナット（２２）によって取り付けられ、前記杆体（２３）の筒体（２４）内に延びる下端部は、筒体（２４）に内装されていて前記第一のバネ体（８）の弾力より弾力が弱い第二のバネ体（２５）の上端側に当接し、これによって、前記杆体（２３）が当該第二のバネ体（２５）の弾力によって基板ホルダーの上側方向に向けて常に付勢され、前記杆体（２３）の上端側に取り付けられている抵抗部材（２１）の上端は、前記第一のバネ体（８）の弾力によって昇降機構（７）が降下している状態で、前記基板ホルダーに備えられている貫通孔の中に位置し、前記リフトピン（５）の杆体（２３）上端側で前記抵抗部材（２１）を固定すべく抵抗部材（２１）の下端側に配置される押さえナット（２２）の下端側と、筒体（２４）の上端側とは、杆体（２３）を下側方向に向けて押圧する力が加わらない状態で、前記第二のバネ体（２５）の弾力によって、接触しない状態に保たれ、昇降機構（７）の上昇により前記杆体（２３）が前記基板ホルダーに備えられている貫通孔の中を上昇し、杆体（２３）の上端側に取り付けられている抵抗部材（２１）の上端が、前記基板ホルダーの上側面に静電吸着されている状態にある処理基板（１）の下側面に当接した後、引き続いて昇降機構（７）が上昇を続けることにより、前記筒体（２４）内の第二のバネ体（２５）がその弾性により縮んで、前記杆体（２３）が抵抗部材（２１）の上端を処理基板（１）の下側面に当接させたまま前記筒体（２４）内に没入し、押さえナット（２２）の下端側と、筒体（２４）の上端側とが当接しているときに、前記抵抗部材（２１）から、筒体（２４）、昇降機構（７）及び、放電回路（１６）を介してのアースへの接続が図られることを特徴とする静電チャック装置の基板脱着機構。
　　【請求項２】
　抵抗部材（２１）は円柱状であって、杆体（２３）の上端側に螺着され、押さえナット（２２）で固定して杆体（２３）の上端側に取り付け、取り外し可能としたことを特徴とする請求項１記載の静電チャック装置の基板脱着機構。
　
【発明の詳細な説明】について：
【００２６】
　昇降機構７の上昇により杆体２３が孔１４、１５の中を上昇し、杆体２３の上端側に取り付けられている抵抗部材２１の上端が、絶縁物２の表面に静電吸着されている状態にある処理基板１の下側面に当接する。この時、処理基板１と電極３の間には、未だ電化が残っており、静電吸着の状態にあるので、引き続いて昇降機構７が上昇を続けることにより、絶縁物２の表面に静電吸着されている状態にある処理基板１の下側面に抵抗部材２１の上端が当接している状態が一時的に保持されながら、筒体２４内のバネ２５がその弾性により縮んで、杆体２３が筒体２４内に没入する。
【００２７】
　そして、図１（ｂ）図示のように、押さえナット２２の下端側と、筒体２４の上端側とが当接しているときに、抵抗部材２１から、筒体２４、昇降機構７及び、放電回路１６を介してのアース１２への接続が図られ、処理基板１と電極３の間に残っていた電荷が放電される。この放電電流は、処理基板１の下側面に直接接触している抵抗部材２１を通して流れるので、電流が制限され、処理基板１内の回路への急激な電流の放電によるダメージを避けることができる。抵抗部材２１は杆体２３に螺着、固定してあり、交換可能としてあるので、許容される放電電流を考慮して、放電時間が最短にできるような抵抗値の抵抗部材２１を選定する。
　
３．本件補正却下
　そして、本件補正却下の決定の理由は以下の通りである。
　
補正却下の決定の理由：
　補正後の発明の詳細な説明及び図面に記載された「押さえナット（２２）の下端側と、筒体（２４）の上端側とが当接しているときに、前記抵抗部材（２１）から、筒体（２４）、昇降機構（７）及び、放電回路（１６）を介してのアースへの接続が図られる」は願書に最初に添付した明細書に記載されていない。また、出願人は審判請求書の請求の理由において、前記「押さえナット（２２）の下端側と、筒体（２４）の上端側とが当接しているときに、前記抵抗部材（２１）から、筒体（２４）、昇降機構（７）及び、放電回路（１６）を介してのアースへの接続が図られる」は、段落００１９、図面の簡単な説明及び図面を根拠としている旨主張しているが、段落００１９及び図面の簡単な説明には「押さえナット（２２）の下端側と、筒体（２４）の上端側とが当接しているときに、前記抵抗部材（２１）から、筒体（２４）、昇降機構（７）及び、放電回路（１６）を介してのアースへの接続が図られる」という記載はなく、また図面を参酌しても「押さえナット（２２）の下端側と、筒体（２４）の上端側とが当接している」のか否か不明である。
　そして、「押さえナット（２２）の下端側と、筒体（２４）の上端側とが当接しているときに、前記抵抗部材（２１）から、筒体（２４）、昇降機構（７）及び、放電回路（１６）を介してのアースへの接続が図られる」点は、同明細書又は図面の記載から見て自明のこととも認められない。
　よって、この補正によって発明の構成に関する技術的事項は、願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内でないものとなり、この補正は明細書の要旨を変更するものと認められる。
　したがって、この補正は特許法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
４．補正却下の当否に対する判断
　補正却下の決定において指摘された「押さえナット（２２）の下端側と、筒体（２４）の上端側とが当接しているときに、前記抵抗部材（２１）から、筒体（２４）、昇降機構（７）及び、放電回路（１６）を介してのアースへの接続が図られる」という技術的事項について検討する。
　
　一般に特許出願に添付される図面は、通常、その発明に係る技術内容を明細書の記載と関連させて正確な理解が得られるようにする目的で用いられるものであり、物や装置の説明に関する図面にあっては、その物の形状や装置の構成について説明の対象外部分を省略したり、主要部分を強調するために模式的に記載するのが通例である。図１（ａ）と図１（ｃ）には、押さえナット（２２）の下端側と筒体（２４）の上端側との間に隙間があり、図１（ｂ）には、押さえナット（２２）の下端側と、筒体（２４）の上端側との間に隙間がないようにみえるけれども、押さえナット（２２）の下端側と筒体（２４）の上端側とが当接しているかどうかは、特許出願に添付される図面の性格上、明細書の記載と併せ考慮し、形状や配置が正確に表示されていることが明らかである場合は格別、そうでない場合には、その形状や構造を図面の記載のみで判断することはできない。
　
　願書に最初に添付した明細書（以下、「当初明細書」という。）によると、図１（ｂ）に関し、当初明細書の段落【００１９】に「（図１）（ｂ）はリフトピン５を上昇させて処理基板１と電極３の間に蓄積した電荷を放電している状態」と記載され、段落【００２６】に「リフトピン５は、その上昇に従ってバネ２５が縮み、杆体２３が筒体２４内に没入し、図１（ｂ）に示したような状態で、抵抗部材２１が処理基板１に当接した初期状態が一時的に保持される。」と記載され、図面の簡単な説明に「（図１は、）この発明の実施例の断面図であり、（ａ）は静電吸着時、（ｂ）は電荷放電時、（ｃ）は処理基板を持上げた時を夫々示している。」と記載されているものの、押さえナット（２２）の下端側と筒体（２４）の上端側との当接関係に関する記載はなく、当初明細書及び他の図面を検討しても、図１（ｂ）が押さえナット（２２）の下端側と筒体２４の上端側とが当接していることを正確に表現したものと解すべき特段の事情は見あたらない。
　
　また、上記で指摘した段落【００２６】に記載のバネ（２５）の機能についてみると、当該バネ（２５）は、当初明細書の段落【０００９】記載の「リフトピン３５、３５は処理基板３１に当接した位置で止まることなく上昇するような構造であったので、静電吸着力が未だ残っているのに拘らず、処理基板３１を持上げることになり、残留している静電吸着力が大きい場合には、処理基板３１に無理な力が加えられ、処理基板３１を飛び出させたり、破損するおそれもあった」という問題点に鑑み、段落【００２６】記載の「リフトピン５は、その上昇に従ってバネ２５が縮み、杆体２３が筒体２４内に没入し、図１（ｂ） に示したような状態で、抵抗部材２１が処理基板１に当接した初期状態が一時的に保持され」、段落【００２８】記載の「放電が進行すると、処理基板１と電極３の間の静電吸着力が弱くなり、リフトピン５内のバネ２４の弾力が静電吸着の力に打勝つようになると、リフトピン５が伸長して(c) に示したように、処理基板１を絶縁物２から持上げる」という機能を奏するよう、リフトピン（５）が長さ方向で伸縮可能となるように設けたものである。してみると、放電が進行している間、処理基板（１）に無理な力を加えないようにしながら、抵抗部材（２１）が処理基板（１）へ当接した初期状態を一時的に保持するように縮むという明細書記載のバネ（２５）の機能、さらには位置ずれやタイミングのずれ等の設計上の誤差を吸収するという技術常識としてバネが当然有する機能からすると、抵抗部材（２１）が処理基板（１）に当接し、処理基板（１）と電極（３）の間の電荷を放電している間に、押さえナット（２２）と筒体（２４）とが当接しているとするのは不自然である。
　
　さらに、上記で指摘した段落【００１９】に記載の「放電」の経路についてみても、当初明細書の段落【００２７】に「処理基板１と電極３の間に残っていた電荷が抵抗部材２１および放電回路１６を通してアース１２側へ放電される」と記載され、段落【００２７】に「リフトピン５の抵抗部材２１が処理基板１に当接すると、処理基板１と電極３の間に残っていた電荷が抵抗部材２１および放電回路１６を通してアース１２側へ放電される」と記載されているのみで、抵抗部材（２１）から放電回路（１６）までの間にどのような回路が形成されているかは記載がない。そもそも「放電」の経路として、抵抗部材（２１）から放電回路（１６）までの間は、要は接続されていればよい訳であるから、例えば、拒絶理由に引用された特開平４−１１７１８８号公報でイジェクトピン７とは別に導体８を接地する回路を設けているように、別途接続回路を設けていてもよく、押さえナット（２２）と筒体（２４）を当接させて、これらを介して放電しなければならないというものでもない。一方、当初明細書の段落【００２７】には、「リフトピン５の抵抗部材２１が処理基板１に当接すると、処理基板１と電極３の間に残っていた電荷が抵抗部材２１および放電回路１６を通してアース１２側へ放電される。」と記載されており、押さえナット（２２）と筒体（２４）を介して放電しなければならないとすると、抵抗部材（２１）が処理基板（１）に当接しただけでは放電が行われず、押さえナット（２２）と筒体（２４）が当接してはじめて放電が開始することとなるから、抵抗部材（２１）が処理基板（１）に当接すると放電されるとする当初明細書の段落【００２７】の前記記載に反することとなる。
　
　以上のことからすれば、リフトピン（５）を上昇させて処理基板（１）と電極（３）の間に蓄積した電荷を放電している状態を表す図１（ｂ）は、押さえナット（２２）の下端側と筒体（２４）の上端側との当接を正確に表現しているものとはいえず、むしろ明細書に記載されたバネ（２５）の機能や技術常識、および「放電」の経路からみて、図１（ｂ）は、押さえナット（２２）の下端側と筒体（２４）の上端側との間は、当接することなく放電している状態であるとみるのが相当である。
　
　よって、本件補正における「押さえナット（２２）の下端側と、筒体（２４）の上端側とが当接しているときに、前記抵抗部材（２１）から、筒体（２４）、昇降機構（７）及び、放電回路（１６）を介してのアースへの接続が図られる」という技術的事項は、当初明細書又は図面に記載がなく、また当初明細書又は図面の記載から見て自明のことともいえない。
　
　以上の理由により、本件補正により補正された発明の構成に関する技術的事項は当初明細書又は図面に記載された事項の範囲内でなく、本件補正は明細書の要旨を変更するものである。
　
５．むすび
　したがって、平成１４年９月１３日付けの手続き補正書による補正は、特許法第５３条第１項の規定により却下すべきものであるとした原審における補正却下の決定は妥当なものである。
　
　よって、結論の通り審決する。