(57)【要約】【課題】薄手のワークの反り状態を完全に矯正することができるワークテーブル、ワーク矯正方法、ワーク処理装置、ワーク移載装置、ワーク搬送装置およびベルトコンベアを提供する。【解決手段】上反り状態の薄手のワークＷが載置される有孔プレート１１、その周縁部の下側に連通する周縁部エアー室１６および中央部の下側に連通する中央部エアー室１７から成るワーク矯正プレート２と、周縁部エアー室１６および中央部エアー室１７に連通し、各エアー室から個別に吸引する真空吸引手段３と、各エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段４と、真空吸引手段３とエアー供給手段４とを切替え制御し、且つエアー吸引およびエアー供給を、各エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段５と、を備え、エアー制御手段５は、ワーク矯正動作として、載置したワークＷの周縁部を吸着した後、中央部を浮上させてワークＷを逆反り状態とする。【選択図】図１
2007238290.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上反り状態で載置された薄手のワークの上反り状態を矯正するワークテーブルであって、
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および前記有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、
前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを吸着するために、前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、
前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを浮上させるために、前記周縁部エアー室にエアーおよび前記中央部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、
前記真空吸引手段と前記エアー供給手段とを切替え制御すると共に、前記真空吸引手段によるエアーの吸引および前記エアー供給手段によるエアーの供給を、前記周縁部エアー室と前記中央部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、
前記エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置した前記ワークの周縁部を吸着した後、中央部を浮上させて前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワークテーブル。
【請求項２】
前記エアー制御手段は、前記ワークを逆反り状態とし、前記ワークの上反り部分が吸着されたところで、更に前記中央部を吸着することを特徴とする請求項１に記載のワークテーブル。
【請求項３】
前記エアー制御手段は、前記中央部の吸着の後、更に前記ワークの周縁部および中央部の吸着を解くことを特徴とする請求項２に記載のワークテーブル。
【請求項４】
下反り状態で載置された薄手のワークの下反り状態を矯正するワークテーブルであって、
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および前記有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、
前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを吸着するために、前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、
前記周縁部エアー室および前記中央部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを浮上させるために、前記周縁部エアー室にエアーおよび前記中央部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、
前記真空吸引手段と前記エアー供給手段とを切替え制御すると共に、前記真空吸引手段によるエアーの吸引および前記エアー供給手段によるエアーの供給を、前記周縁部エアー室と前記中央部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、
前記エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置した前記ワークの中央部を吸着した後、周縁部を浮上させて前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワークテーブル。
【請求項５】
前記ワークの反り状態を検出する検出手段を、更に備え、
前記エアー制御手段は、前記検出手段の検出結果に基づいて、前記ワーク矯正動作を実行することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のワークテーブル。
【請求項６】
前記有孔プレートが多孔質プレートであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のワークテーブル。
【請求項７】
上反り状態で載置された薄手のワークの上反り状態を矯正するワークテーブルであって、
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および前記有孔プレートの一対のサイド部に挟まれたセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、
前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを吸着するために、前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、
前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを浮上させるために、前記一対のサイド部エアー室にエアーおよび前記センター部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、
前記真空吸引手段と前記エアー供給手段とを切替え制御すると共に、前記真空吸引手段によるエアーの吸引および前記エアー供給手段によるエアーの供給を、前記一対のサイド部エアー室と前記センター部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、
前記エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置した前記ワークの両サイド部を吸着した後、センター部を浮上させて前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワークテーブル。
【請求項８】
下反り状態で載置された薄手のワークの下反り状態を矯正するワークテーブルであって、
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および前記有孔プレートの一対のサイド部に挟まれたセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、
前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを吸着するために、前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、
前記一対のサイド部エアー室および前記センター部エアー室に連通し、前記有孔プレートを介して前記ワークを浮上させるために、前記一対のサイド部エアー室にエアーおよび前記センター部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、
前記真空吸引手段と前記エアー供給手段とを切替え制御すると共に、前記真空吸引手段によるエアーの吸引および前記エアー供給手段によるエアーの供給を、前記一対のサイド部エアー室と前記センター部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、
前記エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置した前記ワークのセンター部を吸着した後、両サイド部を浮上させて前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワークテーブル。
【請求項９】
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および前記有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの上反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、
前記周縁部エアー室を真空引きして、載置した前記ワークの前記周縁部を吸着した後、前記中央部エアー室に圧縮エアーを供給して前記ワークの前記中央部を浮上させ、前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワーク矯正方法。
【請求項１０】
前記ワークを逆反り状態にした後、前記周縁部エアー室の真空引きを維持し前記ワークの上反り部分が吸着されたところで、前記中央部エアー室を真空引きして、前記ワークの前記中央部を吸着することを特徴とする請求項９に記載のワーク矯正方法。
【請求項１１】
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および前記有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの下反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、
前記中央部エアー室を真空引きして、載置した前記ワークの前記中央部を吸着した後、前記周縁部エアー室に圧縮エアーを供給して前記ワークの前記周縁部を浮上させ、前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワーク矯正方法。
【請求項１２】
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および前記有孔プレートのセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの上反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、
前記一対のサイド部エアー室を真空引きして、載置した前記ワークの両サイド部を吸着した後、前記センター部エアー室に圧縮エアーを供給して前記ワークの前記センター部を浮上させ、前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワーク矯正方法。
【請求項１３】
前記ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、前記有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および前記有孔プレートのセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの下反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、
前記センター部エアー室を真空引きして、載置した前記ワークのセンター部を吸着した後、前記一対のサイド部エアー室に圧縮エアーを供給して前記ワークの前記両サイド部を浮上させ、前記ワークを逆反り状態とすることを特徴とするワーク矯正方法。
【請求項１４】
請求項１ないし８のいずれかに記載のワークテーブルが、前記ワークを処理するために前記ワークを水平面内で移動させる移動機構に組み込まれていることを特徴とするワーク処理装置。
【請求項１５】
請求項１ないし８のいずれかに記載のワークテーブルが、前記ワークを移載位置に移動させるためのバックアップ機構に組み込まれていることを特徴とするワーク移載装置。
【請求項１６】
請求項１ないし８のいずれかに記載のワークテーブルが、前記ワークを載せて搬送するための搬送テーブルであることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項１７】
請求項１ないし８のいずれかに記載のワークテーブルを、前記ワークをエアーにより搬送するためのワーク搬送路に組み込んだことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項１８】
請求項１ないし８のいずれかに記載のワークテーブルの複数個を連ねてベルトを構成したことを特徴とするベルトコンベア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄手のワークの反り状態を矯正するワークテーブル、ワーク矯正方法、ワーク処理装置、ワーク移載装置、ワーク搬送装置およびベルトコンベアに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のワークテーブルとして、有孔プレート上に載置された上反り状態のワークを、マトリクス状に整列配置した複数の吸着穴から真空吸着し、反りを矯正するものが知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−３０８４２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような構成では、ワークの上反りが強い場合に、ワークの縁端が吸着穴に十分に接近せず、上反り状態が完全に矯正されない問題がある。また、吸着を解除すると、残留応力により幾分反りが元に戻ってしまう問題があった。
【０００４】
本発明は、薄手のワークの反り状態を完全に矯正することができるワークテーブル、ワーク矯正方法、ワーク処理装置、ワーク移載装置、ワーク搬送装置およびベルトコンベアを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のワークテーブルは、上反り状態で載置された薄手のワークの上反り状態を矯正するワークテーブルであって、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、周縁部エアー室および中央部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを吸着するために、周縁部エアー室および中央部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、周縁部エアー室および中央部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを浮上させるために、周縁部エアー室にエアーおよび中央部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、真空吸引手段とエアー供給手段とを切替え制御すると共に、真空吸引手段によるエアーの吸引およびエアー供給手段によるエアーの供給を、周縁部エアー室と中央部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置したワークの周縁部を吸着した後、中央部を浮上させてワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
【０００６】
この場合、エアー制御手段は、ワークを逆反り状態とし、ワークの上反り部分が吸着されたところで、更に中央部を吸着することが、好ましい。
【０００７】
また、本発明のワーク矯正方法は、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの上反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、周縁部エアー室を真空引きして、載置したワークの周縁部を吸着した後、中央部エアー室に圧縮エアーを供給してワークの中央部を浮上させ、ワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
【０００８】
この場合、ワークを逆反り状態にした後、周縁部エアー室の真空引きを維持しワークの上反り部分が吸着されたところで、中央部エアー室を真空引きして、ワークの中央部を吸着することが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、載置したワークの周縁部を吸着した後、中央部を浮上させるようにして、上反り状態のワークを逆反り状態にする。この逆反りにより、ワークの上反り方向の残留応力を完全に消滅させることができ、ワークに対し、その残留応力を殺すようにして反りの無い状態に矯正することができる。これにより、例えば移載のためのワークの吸着ミスや、アライメントのためのワークの基準マークの認識不良等を防止することができる。
【００１０】
この場合、エアー制御手段は、中央部の吸着の後、更にワークの周縁部および中央部の吸着を解くことが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、矯正されたワークは反りが戻ることがなく、吸着を解除することにより、ワークの搬送や移載等を行うことが可能となる。
【００１２】
本発明の他のワークテーブルは、下反り状態で載置された薄手のワークの下反り状態を矯正するワークテーブルであって、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および前記有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、周縁部エアー室および中央部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを吸着するために、周縁部エアー室および中央部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、周縁部エアー室および中央部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを浮上させるために、周縁部エアー室にエアーおよび中央部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、真空吸引手段とエアー供給手段とを切替え制御すると共に、真空吸引手段によるエアーの吸引およびエアー供給手段によるエアーの供給を、周縁部エアー室と中央部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置したワークの中央部を吸着した後、周縁部を浮上させてワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の他のワーク矯正方法は、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの周縁部の下側に連通する周縁部エアー室および有孔プレートの中央部の下側に連通する中央部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの下反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、中央部エアー室を真空引きして、載置したワークの中央部を吸着した後、周縁部エアー室に圧縮エアーを供給してワークの周縁部を浮上させ、ワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、載置したワークの中央部を吸着した後、周縁部を浮上させるようにして、下反り状態のワークを逆反り状態にする。この逆反りにより、ワークの下反り方向の残留応力を完全に消滅させることができ、ワークに対し、その残留応力を殺すようにして反りの無い状態に矯正することができる。これにより、例えば移載のためのワークの吸着ミスや、アライメントのためのワークの基準マークの認識不良等を防止することができる。
【００１５】
この場合、ワークの反り状態を検出する検出手段を、更に備え、エアー制御手段は、検出手段の検出結果に基づいて、ワーク矯正動作を実行することが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、矯正が必要な大きな反り（閾値を越えた反り）を有するワークのみを矯正することができる。また、矯正動作の後、ワークの上反りおよび下反り状態が解消しない場合には、検知しなくなるまで矯正動作が繰り返されることになり、ワークの強い反りも適切に矯正することができる。
【００１７】
この場合、有孔プレートが多孔質プレートであることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、比較的少量のエアー量で、多孔質プレートの全面からエアーを吹き付けることができ、また、多孔質プレートの全面から吸引することができる。特に、従来のアレイ的な吸着形態と異なり面的な吸着形態となるため、ワークの縁端に対しても、十分に吸着力を発揮することができる。
【００１９】
本発明の他のワークテーブルは、上反り状態で載置された薄手のワークの上反り状態を矯正するワークテーブルであって、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および有孔プレートの一対のサイド部に挟まれたセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを吸着するために、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを浮上させるために、一対のサイド部エアー室にエアーおよびセンター部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、真空吸引手段とエアー供給手段とを切替え制御すると共に、真空吸引手段によるエアーの吸引およびエアー供給手段によるエアーの供給を、一対のサイド部エアー室とセンター部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置したワークの両サイド部を吸着した後、センター部を浮上させてワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の他のワーク矯正方法は、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および有孔プレートのセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの上反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、一対のサイド部エアー室を真空引きして、載置したワークの両サイド部を吸着した後、センター部エアー室に圧縮エアーを供給してワークのセンター部を浮上させ、ワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、上反り状態のワークを逆反り状態にすることで、ワークを矯正することができる。つまり、ワークをいったん逆反り状態とするため、上反りの残留応力を完全に消滅させることができる。したがって、ワークを反りの無い状態に確実に矯正することができる。
【００２２】
本発明の他のワークテーブルは、下反り状態で載置された薄手のワークの下反り状態を矯正するワークテーブルであって、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および有孔プレートの一対のサイド部に挟まれたセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートと、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを吸着するために、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室からエアーを個別に吸引する真空吸引手段と、一対のサイド部エアー室およびセンター部エアー室に連通し、有孔プレートを介してワークを浮上させるために、一対のサイド部エアー室にエアーおよび前記センター部エアー室にエアーを個別に供給するエアー供給手段と、真空吸引手段とエアー供給手段とを切替え制御すると共に、真空吸引手段によるエアーの吸引およびエアー供給手段によるエアーの供給を、一対のサイド部エアー室とセンター部エアー室との間で切替え制御するエアー制御手段と、を備え、エアー制御手段は、ワーク矯正動作として、載置したワークのセンター部を吸着した後、両サイド部を浮上させてワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
【００２３】
本発明の他のワーク矯正方法は、ワークが載置されるワーク載置領域に対応して設けた有孔プレート、有孔プレートの一対のサイド部の下側に連通する一対のサイド部エアー室および有孔プレートのセンター部の下側に連通するセンター部エアー室、から成るワーク矯正プレートを用いて、薄手のワークの下反り状態を矯正するワーク矯正方法であって、センター部エアー室を真空引きして、載置したワークのセンター部を吸着した後、一対のサイド部エアー室に圧縮エアーを供給してワークの両サイド部を浮上させ、ワークを逆反り状態とすることを特徴とする。
【００２４】
この構成によれば、下反り状態のワークを逆反り状態にすることで、ワークを矯正することができる。つまり、ワークをいったん逆反り状態とするため、下反りの残留応力を完全に消滅させることができる。したがって、ワークを反りの無い状態に確実に矯正することができる。
【００２５】
本発明のワーク処理装置は、上記のワークテーブルが、ワークを処理するためにワークを水平面内で移動させる移動機構に組み込まれていることを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、上反りまたは下反り状態を矯正することができるワーク処理装置を提供することができる。また、例えば移動機構がワークのアライメントを実施するものでは、アライメントのためのワークの基準マークの認識不良等を防止することができる。
【００２７】
本発明のワーク移載装置は、上記のワークテーブルが、ワークを移載位置に移動させるためのバックアップ機構に組み込まれていることを特徴とする。
【００２８】
この構成によれば、ワークを移載しながら上反りまたは下反り状態を矯正することができるワーク移載装置を提供することができる。これにより、移載のためのワークの吸着ミス等を防止することができる。
【００２９】
本発明のワーク搬送装置は、上記のワークテーブルが、ワークを載せて搬送するための搬送テーブルであることを特徴とする。
【００３０】
この構成によれば、ワークを搬送しながら上反りまたは下反り状態を矯正することができるワーク搬送装置を提供することができる。この場合も、搬送テーブルからワークを処理装置等に移載する場合、ワークの吸着ミス等を防止することができる。
【００３１】
本発明の他のワーク搬送装置は、上記のワークテーブルを、ワークをエアーにより搬送するためのワーク搬送路に組み込んだことを特徴とする。
【００３２】
この構成によれば、ワークをエアー搬送しながら上反りおよび下反り状態を矯正することができるワーク搬送装置を提供することができる。この場合も、ワーク搬送路からワークを処理装置等に移載する場合、ワークの吸着ミス等を防止することができる。
【００３３】
本発明のベルトコンベアは、上記のワークテーブルの複数個を連ねてベルトを構成したことを特徴とする。
【００３４】
この構成によれば、ワークを搬送しながら上反りおよび下反り状態を矯正することができるベルトコンベアを提供することができる。この場合も、ベルトからワークを処理装置等に移載する場合、ワークの吸着ミス等を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、添付の図面を参照して、本実施形態に係るワークテーブルについて説明する。このワークテーブルは、セットされた、例えば薄手のプリント基板やＦＰＣ基板等のワークの反り状態を矯正するものである。なお、以下の説明では、ワークの上反り状態を矯正する場合について説明する。
【００３６】
ワークテーブル１は、ワークＷが載置されるワーク矯正プレート２と、載置されたワークＷをワーク矯正プレート２表面に真空吸着するためのエアー吸引ユニット３（真空吸引手段）と、載置されたワークＷにワーク矯正プレート２表面からエアーを吹き付けるためのエアー供給ユニット４（エアー供給手段）と、エアー吸引ユニット３およびエアー供給ユニット４のエアーの吸引および供給を切替え制御する複数のエアー制御バルブ５（エアー制御手段）と、載置されたワークＷの上反り状態を検出する検出センサ７と、を有している。
【００３７】
ワーク矯正プレート２は、ベースとなる枠状フレーム１０と、枠状フレーム１０の上部に嵌合する多孔質プレート１１と、を有し、多孔質プレート１１の下側には、エアー吸引ユニット３およびエアー供給ユニット４に連なるエアー室１２が形成されている。枠状フレーム１０は、アルミニウム等の金属で構成され、多孔質プレート１１はフッ素樹脂等で構成されていて、全体として軽量化が図られている。
【００３８】
枠状フレーム１０は、その内部のエアー室１２を区分けするよう隔壁１５が設けられており、隔壁１５は、エアー室１２を周縁部エアー室１６および中央部エアー室１７に区分けするよう略方形（ワークの形状による）に形成されている。中央部エアー室１７には、その中心部に２つの中央エアー接続口１８が設けられており、周縁部エアー室１６にも、中央部エアー室１７を挟んでその両側に２つの周縁エアー接続口１９が設けられている。この場合、中央部エアー室１７は、ワークＷの中央部に対応しており、実施形態のものは、ワークＷが方形であるため方形に形成されているが、その形状および大きさは、載置されるワークＷに対応させるようになっている。同様に、ワーク矯正プレート２の載置面も、載置されるワークＷの形状および大きさに対応させることが好ましく、これにより、ワーク矯正プレート２からのエアーの吸引および供給に際し、エアーのリークを少なくすることができるため、エアー消費量を軽減することができる。
【００３９】
２つの中央エアー接続口１８、１８には、それぞれのエアー配管を介してエアー供給ユニット４およびエアー吸引ユニット３に接続されている。そして、２本のエアー配管には、それぞれエアー制御バルブ５、５が介設されており、エアーの流路を適宜開閉するよう構成されている。同様に、２つの周縁エアー接続口１９、１９には、それぞれのエアー配管を介してエアー供給ユニット４およびエアー吸引ユニット３に接続されている。そして、２本のエアー配管には、それぞれエアー制御バルブ５、５が介設されており、エアーの流路を適宜開閉するよう構成されている。これにより、周縁部エアー室１６および中央部エアー室１７から、個別にエアーの吸引およびエアーの供給を行うことが可能な構成とすることができる。
【００４０】
多孔質プレート１１は、単一のプレートで構成されており、周縁部エアー室１６に連通する周縁部領域２５および中央部エアー室１７に連通する中央部領域２６に区分けするよう、枠状フレーム１０の隔壁１５に倣って、多孔質プレート１１に封止剤（接着剤）が塗布されている。なお、多孔質プレート１１を用いることにより、比較的少量のエアー量で、多孔質プレート１１の全面からエアーを吹き付けることができ、また、多孔質プレート１１の全面から吸引することができる。これにより、ワークＷの縁端に対しても、十分に吸着力を発揮することができる。
【００４１】
検出センサ７は、例えば、光センサ（限定距離反射式センサ）や変位センサ等で構成され、上反り状態のワークＷの上反り部分および中心部分を検出するようワークＷの上方に複数配置しており、ワーク矯正プレート２上に載置されたワークＷの上反りの状態を測定すると共に、測定したワークの上反りと、ワークＷに対し矯正の必要のない標準状態（閾値）とを比較する。これにより、検出センサが、設定した閾値よりも上反り状態にあると検出すると、ワーク矯正プレート２に載置されたワークＷに対し、矯正動作を行う。なお、１の検出センサ７を、ワークＷの上反り部分および中心部分の上方を走査するよう構成しても良い。また、検出センサ７を、上反り状態のワークＷの上反り部分および中心部分を下方から検出するようワーク矯正プレート２内に複数配置するよう構成しても良い。
【００４２】
次に、図２を参照して、上反り状態のワークＷを矯正する一連の動作について説明する。多孔質プレート１１上に上反り状態のワークＷが載置されると（図２（ａ）参照）、周縁部エアー室１６からエアーを吸引し、ワークＷの周縁部を真空吸着する。このとき、ワークＷの上反りが強い場合は、ワークＷの周縁端部はやや浮いた状態となる（図２（ｂ）参照）。この状態を維持しつつ、中央部エアー室１７へエアーを供給すると、ワークＷは、その中央部が逆反り状態となり、また、ワークＷの浮いた周縁端部は真空吸着される（図２（ｃ）参照）。この後、再び、中央部エアー室１７からエアーを吸引してワークＷ全面を真空吸着する（図２（ｄ）参照）。これにより、真空吸着状態を解除すると、ワークＷは矯正された状態となり、矯正後のワークＷを、真空吸着によりピックアップするピックアップ装置等により、次工程の装置等に移載される。もっとも、検出センサにより、ワークＷの上反り状態が解消されない場合には、矯正動作を繰り返すことで、上反り状態を標準状態にまで矯正する。なお、ピックアップ装置等による吸着動作では、静電気の影響等を考慮し、中央部エアー室１７および周縁部エアー室１６に瞬間的にエアーを供給し、受け渡しを円滑にすることが好ましい。
【００４３】
以上の構成によれば、上反り状態のワークＷを逆反り状態にすることで、ワークＷの上反り方向の残留応力を完全に消滅させることができ、ワークＷを反りの無い状態に矯正することができる。これにより、例えば、ワークテーブル１が、移載装置に組み込まれている場合は、移載装置へのワークＷの吸着ミスを防止することができ、また、アライメント装置に組み込まれている場合は、アライメントのためのワークＷの基準マークの認識不良等を防止することができる。
【００４４】
なお、載置されたワークＷが下反り状態である場合には、上反り状態と逆の矯正動作を行うことにより、下反り状態のワークを矯正することができる。すなわち、図８に示すように、多孔質プレート１１上に下反り状態のワークＷが載置されると（図８（ａ）参照）、中央部エアー室１７からエアーを吸引し、ワークＷの中央部を真空吸着する（図８（ｂ）参照）。この状態を維持しつつ、周縁部エアー室１６へエアーを供給すると、ワークＷは、その周縁部が逆反り状態となる（図８（ｃ）参照）。この後、再び、周縁部エアー室１６からエアーを吸引してワークＷ全面を真空吸着する（図８（ｄ）参照）。これにより、真空吸着状態を解除すると、ワークＷは矯正された状態となり、矯正後のワークＷを、真空吸着によりピックアップするピックアップ装置等により、次工程の装置等に移載される。
【００４５】
次に、図３を参照して、本実施形態のワークテーブル１の変形例について説明する。このワークテーブル１は、ワーク矯正プレート２の内部に形成されたエアー室１２が、ワーク矯正プレート２の両側に形成された一対のサイド部エアー室３０と、一対のサイド部エアー室３０に挟まれたセンター部エアー室３１とに区分けするよう一対の隔壁１５が平行に設けられている。これに応じて、多孔質プレート１１も同様に、一対のサイド部エアー室３０に連通する一対のサイド部領域３５と、センター部エアー室３１に連通するセンター部領域３６とに区分けされている。
【００４６】
多孔質プレート１１上に上反り状態のワークＷが載置されると、一対のサイド部エアー室３０からエアーを吸引し、ワークＷの両サイド部を真空吸着する。このとき、ワークＷの上反りが強い場合は、ワークＷの両側端部はやや浮いた状態となる（図２（ｂ）参照）。この状態を維持しつつ、センター部エアー室３１へエアーを供給すると、ワークＷは、そのセンター部が逆反り状態となり、また、ワークＷの浮いた両側端部は真空吸着される（図２（ｃ）参照）。この後、再び、センター部エアー室３１からエアーを吸引してワークＷ全面を真空吸着する（図２（ｄ）参照）。これにより、真空吸着状態を解除すると、ワークＷは矯正された状態となる。上記の構成においても、上反り状態のワークＷを逆反り状態にすることで、ワークＷの上反り方向の残留応力を完全に消滅させることができ、ワークＷを反りの無い状態に矯正することができる。
【００４７】
なお、この場合も、載置されたワークＷが下反り状態である場合には、上反り状態と逆の矯正動作を行うことにより、下反り状態のワークを矯正することができる。すなわち、図８に示すように、多孔質プレート１１上に下反り状態のワークＷが載置されると（図８（ａ）参照）、センター部エアー室３１からエアーを吸引し、ワークＷのセンター部を真空吸着する（図８（ｂ）参照）。この状態を維持しつつ、一対のサイド部エアー室３０へエアーを供給すると、ワークＷは、その両サイド部が逆反り状態となる（図８（ｃ）参照）。この後、再び、一対のサイド部エアー室３０からエアーを吸引してワークＷ全面を真空吸着する（図８（ｄ）参照）。これにより、真空吸着状態を解除すると、ワークＷは矯正された状態となり、矯正後のワークＷを、真空吸着によりピックアップするピックアップ装置等により、次工程の装置等に移載される。
【００４８】
次に、図４（ａ）を参照して、上記のワークテーブル１を組み込んだ移動テーブル４０（移動機構）について説明する。移動テーブル４０は、Ｙ軸方向に移動するＹ軸テーブル４１と、Ｙ軸テーブル４１上をＸ軸方向に移動するＸ軸テーブル４２と、鉛直軸を中心にＸ軸テーブル４２上を回転移動するθテーブル４３と、θテーブル４３に搭載された上記のワークテーブル１と、を有している。
【００４９】
ワークテーブル１に上反り状態のワークＷが載置されると、移動テーブル４０は、ワークＷの上反り状態を矯正しつつ、ワークＷ全面を真空吸着した状態（図２（ｄ）の状態）において、ワーク処理装置によるワークＷへの処理やワークＷの位置合わせ（アライメント）等のために、適宜ワークＷを移動させる。これにより、ワークＷをワークテーブル１に吸着ミスすることがなく、ワークＷに対し適切な処理やアライメントを行うことができる。
【００５０】
次に、図４（ｂ）を参照して、上記のワークテーブル１を組み込んだバックアップ機構４５について説明する。バックアップ機構４５は、Ｚ軸方向に移動するＺ軸テーブル４６と、Ｚ軸テーブル４６に搭載された上記のワークテーブル１と、を有している。
【００５１】
ワークテーブル１に上反り状態のワークＷが載置されると、バックアップ機構４５は、ワークＷの上反り状態を矯正しつつ、ワークＷ全面を真空吸着した状態（図２（ｄ）の状態）において、Ｚ軸テーブル４６を上昇させ、ワークＷを移載する移載ロボットに臨ませる。この後、ワークＷ全面の真空吸着を解除し、矯正後のワークＷを移載ロボットがピックアップして移載する。なお、ピックアップ時に予めプリアライメントを行いたい場合は、上記の移動テーブル４０を組み込んだ構成とすることで、ワークテーブル１への吸着ミスによるアライメントの位置ズレを防止することができる。
【００５２】
次に、図５を参照して、上記のワークテーブル１を組み込んだワーク搬送装置５０について説明する。このワーク搬送装置５０は、搬送ガイド５１の搬送開始位置と搬送終了位置との間を往復移動するリニアスライダ５２（リニアモータ）と、基端部をリニアスライダ５２に保持された支持アーム５３と、支持アーム５３の先端部に支持された搬送テーブル５４と、を有しており、搬送テーブル５４は上記のワークテーブル１で構成されている。
【００５３】
搬送開始位置において、ワークテーブル１に上反り状態のワークＷが載置されると、リニアスライダ５２は、ワークＷを搬送終了位置に向かって搬送すると共に、ワークテーブル１は、ワークＷの上反り状態を矯正し、この後、ワークＷは、矯正された状態となって搬送終了位置に達する。これにより、搬送終了位置に臨んだワークＷを、ピックアップ装置により真空吸着してピックアップする場合には、ワークＷの適切な位置を真空吸着してピックアップすることができる。
【００５４】
次に、図６を参照して、上記のワークテーブル１を組み込んだ他のワーク搬送装置６０について説明する。このワーク搬送装置６０は、ワークＷを案内するワーク搬送路６１と、ワーク搬送路６１に沿って設けられた一対のエアーブローユニット６２と、を有しており、ワーク搬送路６１の搬送開始位置には、上記のワークテーブル１が組み込まれている。ワーク搬送路６１は、搬送面から上方に向けてエアーを吹き出しており、載置したワークＷを浮上させると共に、一対のエアーブローユニット６２は、ワーク搬送路６１に載置されたワークＷの両側面に推進力が付与されるようエアーを吹き付ける。
【００５５】
ワーク搬送路６１の搬送開始位置に上反り状態のワークＷが載置されると、搬送開始位置に組み込まれたワークテーブル１は、ワークＷの上反りを矯正し、ワーク搬送装置６０は、矯正後のワークＷをエアー搬送により搬送終了位置に向けてプリアライメントしながら搬送する。これにより、上反り状態のワークＷを矯正した後、矯正後のワークＷをエアー搬送することができる。つまり、このワーク搬送装置６０は、ワーク搬送路６１上に載置したワークＷをワーク搬送路６１に沿ってエアーにより搬送しながら、ワークＷのプリアライメントを行うものであり、フレキシブル基板（ＦＯＧ）やドライバチップ（ＣＯＧ）等の部品をガラス基板等に実装するべく、前段階として各部品およびガラス基板をプリアライメント（±０．１ｍｍの精度）する場合に有用である。このプリアライメントは、次段階において、画像認識装置および精密ステージ等を用いて、各部品およびガラス基板に形成された各アライメントマークを画像認識し、この画像認識結果に基づいて、精密ステージにより高精度なアライメント（０．００２ｍｍの精度）を行うために、画像認識装置にアライメントマークを映し込む為の作業となっている。
【００５６】
次に、図７を参照して、上記のワークテーブル１を組み込んだベルトコンベア６５について説明する。このベルトコンベア６５は、複数の上記のワークテーブル１を連ねて構成したベルト６６と、ベルト６６を周回させる駆動プーリ６７と、駆動プーリ６７に従動する従動プーリ６８と、を有している。駆動プーリ６７および従動プーリ６８間には、複数のガイドローラ６９が配設されており、ベルト６６の弛みを防止している。
【００５７】
ベルトコンベア６５の搬送開始位置に上反り状態のワークＷが載置されると、ベルトコンベア６５は、ワークテーブル１によりワークＷを矯正しつつ、ベルト６６を周回させてワークＷを搬送終了位置に向けて搬送する。これにより、ワークＷは矯正された状態で搬送終了位置に達することができるため、搬送終了位置に臨んだワークＷを、ピックアップ装置により真空吸着してピックアップする場合には、ワークＷの適切な位置を真空吸着してピックアップすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本実施形態に係るワークテーブルの模式図である。
【図２】上反り状態のワークの矯正に係る一連の動作の説明図である。
【図３】本実施形態に係るワークテーブルの変形例の模式図である。
【図４】（ａ）は、本実施形態のワークテーブルを移動テーブルに組み込んだ模式図であり、（ｂ）は、本実施形態のワークテーブルをバックアップ機構に組み込んだ模式図である。
【図５】本実施形態のワークテーブルをワーク搬送装置に組み込んだ模式図である。
【図６】本実施形態のワークテーブルを他のワーク搬送装置に組み込んだ模式図である。
【図７】本実施形態のワークテーブルをベルトコンベアに組み込んだ模式図である。
【図８】下反り状態のワークの矯正に係る一連の動作の説明図である。
【符号の説明】
【００５９】
１…ワークテーブル  ２…ワーク矯正プレート  ３…エアー吸引ユニット  ４…エアー供給ユニット  ５…エアー制御バルブ  １１…多孔質プレート  １２…エアー室  １６…周縁部エアー室  １７…中央部エアー室  ３０…サイド部エアー室  ３１…センター部エアー室  ４０…移動テーブル  ４５…バックアップ機構  ５０…ワーク搬送装置  ６０…ワーク搬送装置  ６５…ベルトコンベア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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