(57)【要約】【課題】マスキングテープやベルトマスクのような消耗品を必要としないで、低コストでストライプめっきを行う方法及び装置を提供する。【解決手段】連続搬送されるめっき対象の金属薄板１を挟むようにめっき液噴射ユニット２とバックアップユニット３が配置され、めっき液噴射ユニット２のマスキング部材がシール部材を介して金属薄板１の表面に押圧されている。マスキング部材の開口部から露出した金属薄板１の表面に向かってめっき液噴射ユニット２からめっき液を噴射する。噴射されためっき液はめっき液回収路９を通ってリザーブタンク６に回収され、吹き上げポンプ８によってめっき液噴射ユニット２へ循環供給される。めっき液噴射ユニット２及びバックアップユニット３は液体貯槽４に貯められた液体５に浸されている。【選択図】図１
2007138229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続搬送される長尺状の金属薄板にストライプ状のめっきを施すストライプめっき方法であって、
前記金属薄板に対して相対摺動可能な状態でシール部材を介して又は直接的にマスキング部材を押し当て、
前記マスキング部材の開口部から露出した前記金属薄板の表面に向かってめっき液を噴射し、
噴射された前記めっき液を回収することを特徴とするストライプめっき方法。
【請求項２】
ケースの開口面を前記マスキング部材で閉じた構造を有するめっき液噴射ユニットを液体に浸し、前記めっき液の前記金属薄板の表面への噴射を前記液体中で行うことを特徴とする
請求項１記載のストライプめっき方法。
【請求項３】
回収された前記めっき液を前記めっき液噴射ユニットへ循環させるように供給することを特徴とする
請求項１又は２記載のストライプめっき方法。
【請求項４】
前記めっき液噴射ユニットの内部に孔あき陽極板を設け、噴射されためっき液を前記孔あき陽極板によって帯電させることを特徴とする
請求項１、２又は３記載のストライプめっき方法。
【請求項５】
連続搬送される長尺状の金属薄板にストライプ状のめっきを施すストライプめっき装置であって、
前記金属薄板に対して相対摺動可能な状態でシール部材を介して又は直接的に押し当てられるマスキング部材と、
前記マスキング部材の開口部から露出した前記金属薄板の表面に向かってめっき液を噴射するめっき液噴射ユニットと、
噴射された前記めっき液を回収するめっき液回収路及びリザーブタンクと
を備えていることを特徴とするストライプめっき装置。
【請求項６】
前記めっき液噴射ユニットは、ケースの開口面をマスキング部材で閉じた構造を有し、
前記ストライプめっき装置は、前記めっき液噴射ユニット及び前記金属薄板が浸される液体を貯える液体貯槽を更に備え、
前記めっき液の前記金属薄板の表面への噴射を前記液体中で行うように構成されている
請求項５記載のストライプめっき装置。
【請求項７】
前記リザーブタンクに回収されためっき液を前記めっき液噴射ユニットへ循環させるように供給する吹き上げポンプ及び吹き上げパイプを更に備えている
請求項５又は６記載のストライプめっき装置。
【請求項８】
前記めっき液噴射ユニットの内部に孔あき陽極板が設けられ、噴射されためっき液を前記孔あき陽極板によって帯電させるように構成されている
請求項５、６又は７記載のストライプめっき装置。
【請求項９】
前記液体貯槽が密閉構造を有し、前記液体貯槽に貯められた液体の圧力を調整する圧力調整器を更に備えている
請求項５から８のいずれか１項記載のストライプめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置のリードフレームのような連続搬送される長尺状の金属薄板にストライプ状のめっきを施すストライプめっき方法及びストライプめっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイオードや集積回路等の半導体装置のリードフレームにおいて、半導体素子（チップ）が搭載される部位及びワイヤ接続される部位には、ワイヤーボンディング性の向上等の目的で、銀や金等の貴金属のめっき層が形成される。一般に、このような貴金属めっき層はリードフレームの片面のみに形成される。それによって、貴金属材料の使用量が削減される。また、半導体素子の実装工程において裏面側の貴金属が剥がれ落ちるといった不具合が防止される。
【０００３】
このようなリードフレームの製造工程では、ストライプめっき法と呼ばれるめっき方法を用いて、金属薄板の表面に長手方向に沿うストライプ（筋）状のめっき層を形成する。その後、チップ搭載領域及びワイヤーボンディング領域等を含む所定のリードフレーム形状をプレス加工によって打ち抜く。ストライプめっき法を用いることにより、金属薄板の全表面にめっきを施す場合に比べて、めっき用貴金属材料の使用量を大幅に低減することができる。また、銀めっきの場合のマイグレーションや半田めっきの場合のウィスカーといった不具合の発生を防止する効果も得られる。このような金属薄板の片面にストライプめっきを施した半導体装置用のリードフレームは広く使用されている。
【０００４】
ストライプめっき法の一方式として、ベルトマスク方式が広く知られている。ベルトマスク方式では、金属薄板の表面のうち、めっきを施さない部分にエンドレスのベルトマスクを密着させる。金属薄板の搬送に同期させてベルトマスクを回転させながら、ベルトマスクで覆われていない部分をめっき液に晒すことにより、ストライプ状のめっき層を形成する（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
図１０は、従来のベルトマスク方式のストライプめっき方法を模式的に示す断面図である。図１０において、連続搬送される長尺状の金属薄板である導電性ストリップ部材１０２が、左側から第１のローラー１０１を経て回転部材１０４の外周に案内された後、第２のローラー１０５を経て右側へ送り出される。回転部材１０４の略下半分は電解液１０３に浸され、回転部材１０４の回転に伴って電解液１０３の中を通過する導電性ストリップ部材１０２の外側表面にめっきが施される。
【０００６】
また、第３のローラー１０７、第４のローラー１０８、第５のローラー１０９及び第６のローラー１１０にベルトマスク１０６が掛け渡されている。このベルトマスク１０６は、例えば厚さ０．３ｍｍ、幅２０ｍｍ、直径１．１ｍの合成樹脂製エンドレスベルトである。ベルトマスク１０６には、導電性ストリップ部材１０２のめっき部分に対応する開口部（スリット）が形成されており、開口部以外の部分をマスキングする働きを有する。
【０００７】
ベルトマスク１０６は、第３のローラー１０７を通過した後、電解液１０３の液面より上で導電性ストリップ部材１０２の外側表面に密着して重なり、回転部材１０４の外周を導電性ストリップ部材１０２と共に移動する。そして、電解液１０３の液面より上で導電性ストリップ部材１０２から分離したベルトマスク１０６は、第４のローラー１０８、第５のローラー１０９及び第６のローラー１１０を経て第３のローラー１０７へ循環する。また、第５のローラー１０９は、ベルトマスク１０６が弛まないようにばね（図示せず）によって付勢されており、張り車として機能している。
【０００８】
また、電解液１０３に浸された回転部材１０４の下方には、ベルトマスク１０６によってマスキングされた導電性ストリップ部材１０２の外側表面に電解液１０３を噴射する噴射手段１１１が断面円弧状に設けられている。噴射手段１１１の外側（下方）には断面円弧状の陽極１１２が設けられており、陽極１１２と導電性ストリップ部材１０２との間に電解液１０３を介して電流が流れる。
【特許文献１】特開平０２−３０５９９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記のような従来のベルトマスク方式のストライプめっき方法では、ベルトマスク１０６をポリエーテル・エーテル・ケトン等の伸縮率の小さい樹脂材料で形成し、その加工精度を高める必要がある。そのために、消耗品であるベルトマスク１０６のランニングコストが高くつく。また、導電性ストリップ部材１０２にベルトマスク１０６が重なる際の両者間の高い位置決め精度が要求される。そのために、めっき装置の構造が複雑になり、初期導入コスト及び改造コストが高くつく。これらのことから、ストライプめっきを施したリードフレーム等の製品のコストが高くなってしまう。
【００１０】
また、従来のベルトマスク方式のストライプめっき方法では、大きな直径の回転部材１０４とそれが浸される電解液１０３の槽（めっき槽）、そしてベルトマスク１０６の循環経路等が必要であるため、めっき装置全体が大掛かりになる。ベルトマスク１０６の交換やめっき装置の改造が容易ではないといった課題もある。
【００１１】
本発明は、上記のような従来の課題を解決し、ベルトマスクのような高価な消耗品を必要としないで、従来の方法よりも低コストで金属薄板のストライプめっきが可能なストライプめっき方法及び装置を提供することを目的とする。そのようなめっき装置を、比較的簡素な省スペース構造とし、既存設備への組み込みや改造が容易になるように構成することも本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によるストライプめっき方法は、連続搬送される長尺状の金属薄板にストライプ状のめっきを施すストライプめっき方法であって、前記金属薄板に対して相対摺動可能な状態でシール部材を介して又は直接的にマスキング部材を押し当て、前記マスキング部材の開口部から露出した前記金属薄板の表面に向かってめっき液を噴射し、噴射された前記めっき液を回収することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明によるストライプめっき装置は、連続搬送される長尺状の金属薄板にストライプ状のめっきを施すストライプめっき装置であって、前記金属薄板に対して相対摺動可能な状態でシール部材を介して又は直接的に押し当てられるマスキング部材と、前記マスキング部材の開口部から露出した前記金属薄板の表面に向かってめっき液を噴射するめっき液噴射ユニットと、噴射された前記めっき液を回収するめっき液回収路及びリザーブタンクとを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のストライプめっき方法及び装置によれば、従来のストライプめっき方法及び装置で必要であったベルトマスクのような高価な消耗品を必要としないで、従来の方法よりも低コストで金属薄板のストライプめっきが可能になる。また、小形で省スペースのめっき装置を構成することができ、既存設備への組み込みや改造が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明のストライプめっき方法及び装置の好ましい実施形態として、めっき液噴射ユニットがケースの開口面をマスキング部材で閉じた構造を有し、液体貯槽に貯えられた液体の中に前記めっき液噴射ユニット及び前記金属薄板が浸され、前記めっき液の前記金属薄板の表面への噴射が前記液体中で行われる。こうすることにより、大気中でめっき液の噴射を行う場合に比べてめっき液の漏出とそれによるストライプめっきの輪郭ボケが発生しにくくなる。
【００１６】
本発明のストライプめっき方法及び装置の更に別の好ましい実施形態として、リザーブタンクに回収されためっき液を前記めっき液噴射ユニットへ循環させるように供給する吹き上げポンプ及び吹き上げパイプが更に設けられ、めっき液が循環使用される。こうすることにより、めっき液の無駄が少なくなり、めっきにかかるコストを低減することができる。また、吹き上げポンプがめっき液に噴射用の圧力を与えるので、めっき液噴射ユニットは、ケース内にノズルプレート等を配置した簡単な構造でよい。
【００１７】
本発明のストライプめっき方法及び装置の更に別の好ましい実施形態として、めっき液噴射ユニットの内部に孔あき陽極板が設けられ、噴射されためっき液を前記孔あき陽極板によって帯電させる。こうすることにより、めっき液に正電荷を付与することが簡単な構造で可能となり、電気めっきを効率的に行うことができる。
【００１８】
また、本発明のストライプめっき装置の更に別の好ましい実施形態として、前記液体貯槽が密閉構造を有し、前記液体貯槽に貯められた液体の圧力を調整する圧力調整器を更に備えている。こうすることにより、めっき液噴射ユニットの内部圧力や使用条件に応じて液体の圧力を調整し、めっき液の漏出を一層効果的に防ぐことができる。
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。
【００２０】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るストライプめっき装置を示す斜視図である。このストライプめっき装置は、半導体装置のリードフレームのような連続搬送される長尺状の金属薄板にめっき処理を行なうためのものである。このような長尺状の金属薄板はコイル状に巻回されたフープ材として供給され、めっき処理後の金属薄板は再びコイル状に巻回されることが多い。このためのアンコイラー装置及びコイラー装置は図１では省略されている。また、電気めっきを行なうための前工程として脱脂工程や表面活性化工程が必要であり、電気めっき後の工程として洗浄及び乾燥の工程等が必要であるが、これらの工程を行う装置についても図１では省略されている。以下の説明及び参照する図面では、本発明に直接関係するストライプめっき工程に絞って記載している。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態のストライプめっき装置は、めっき液噴射ユニット２及びバックアップユニット３と、これらのユニットを液体５に浸した状態で収容する液体貯槽４と、めっき液７を貯めるリザーブタンク６と、めっき液７をリザーブタンク６からめっき液噴射ユニット２へ供給する吹き上げポンプ８を備えている。ストライプめっきが施される長尺状の金属薄板１は、液体貯槽４の側壁に設けられた切れ目を通って横切るように連続搬送される。
【００２２】
めっき液噴射ユニット２とバックアップユニット３は、金属薄板１を両面から挟むように対向配置されている。つまり、金属薄板１の一方の面に沿ってめっき液噴射ユニット２が配置され、他方の面に沿ってバックアップユニット３が配置されている。バックアップユニット３は、金属薄板１を液噴射ユニット２に向かって押圧する働きを有する。めっき液噴射ユニット２とバックアップユニット３とで挟まれるように保持される金属薄板１は、めっき装置後方に設けられた駆動手段（図示せず）によって一定速度で連続搬送される。
【００２３】
めっき液噴射ユニット２及びバックアップユニット３は、液体貯槽４に貯められた液体５の中に浸されており、金属薄板１も液体５の中を通過する。本実施形態では液体５として水を使用している。このような構成の機能については後述する。
【００２４】
また、液体貯槽４の下方にリザーブタンク６が配置され、めっき処理に必要なめっき液７は吹き上げポンプ８によってリザーブタンク６からめっき液噴射ユニット２に供給される。めっき液噴射ユニット２から金属薄板１に向かって噴射されためっき液は、めっき液回収路９を通って、元のリザーブタンク６へ回収される。このようにめっき液が循環する構成によって、常に新しいめっき液７を金属薄板１に向かって噴出し続けることができる。
【００２５】
次に、液体貯槽４について図１及び図２を参照しながら詳しく説明する。図２は図１のストライプめっき装置を金属薄板の搬送方向前方から見た断面図である。上述のように、液体貯槽４には液体５（本実施形態では水）が貯められている。この液体５は液体貯槽４の側面に設けられた液体供給口１０から常時一定量ずつ補給され、液面に開口した排水パイプ１１からオーバーフローして下方へ排出される。これにより、液体５の液面が一定の高さ（排水パイプ１１の開口面の高さ）に維持される。
【００２６】
また、金属薄板１が横切る液体貯槽４の対向側面は外壁４ａと内壁４ｂとの二重壁構造を有する。外壁４ａには金属薄板１が通過する大きめのスリット１３が形成されている。内壁４ｂには金属薄板１が通過できるように隙間を塞いで液体５の流出をできるだけ抑えるためのスリット部材１２が設けられている。このスリット部材１２には、例えば金属薄板１を両側からゴムや弾性樹脂で挟みこむような慣用技術を使用することができる。このスリット部材１２と金属薄板１との隙間から外側へ漏出した液体５は、外壁４ａと内壁４ｂとの間の空間から排出経路を通って排出される。
【００２７】
次に、図３及び図４を参照しながら、めっき液噴射ユニット２とバックアップユニット３について詳しく説明する。図３は図２の断面におけるめっき液噴射ユニット及びバックアップユニットの拡大図である。また、図４は、めっき液噴射ユニットをマスキング部材及びシール部材の側から見た斜視図である。
【００２８】
めっき液噴射ユニット２は、一面が開口した直方体の箱形状を有するケース１４と、その内部に配置されたノズルプレート１５及び孔あき陽極板１６と、ケース１４の開口面を塞ぐプレート状のマスキング部材１７と、その外面に接合されたプレート状のシール部材１８とを有する。ケース１４の側面には、吹き上げポンプ８の出力側に接続された吹き上げパイプ２０が接続されている。ケース１４の下面には、ノズルプレート１５及び孔あき陽極板１６を通過して噴射されためっき液を回収するめっき液回収路９が接続されている。また、マスキング部材１７の外面には、複数（図１に示す例では６本）のガイド棒１９が立設されている。プレート状のシール部材１８は、例えばウレタンゴムで作製されている。
【００２９】
リザーブタンク６からめっき液吹き上げポンプ８によって吹き上げられためっき液７は、吹き上げパイプ２０を通ってめっき液噴射ユニット２（のケース１４の内部）に供給される。この後、ノズルプレート１５の孔を通過して流速を高められためっき液７は、マスキング部材１７の開口部２１から露出した金属薄板１の表面に向かって吹き付けられる。図３では、金属薄板１の表面におけるマスキング部材１７の開口部２１に形成されためっき層２９がその膜厚を誇張されて描かれている。
【００３０】
また、ノズルプレート１５の外側（図３では右側）に近接するように孔あき陽極板１６が設けられている。噴射されためっき液７は、この孔あき陽極板１６の孔を通過したときに帯電される。つまり、めっきに必要な正電荷が、噴射されためっき液に供給され続ける。
【００３１】
金属薄板１は、マスキング部材１７の外面に立設された複数のガイド棒１９に挟まれるようにして、その幅方向（高さ方向）の位置が規制された状態で連続搬送される。マスキング部材１７の外面に接合されたプレート状のシール部材１８は、マスキング部材１７の開口部２１と重なる位置に開口部を有し、その周囲には金属薄板１に向かって少し突出する断面山形のシール部１８ａが形成されている。金属薄板１の表面は、このシール部１８ａの先端に接触した状態で互いに摺動するようにして搬送される。したがって、マスキング部材１７の開口部２１から露出した金属薄板１の表面に向かって噴射されためっき液７は、シール部材１８のシール部１８ａから外へ漏れ出し難くなっている。
【００３２】
シール部材１８のシール部１８ａと金属薄板１の表面との接触状態は、バックアップユニット３が金属薄板１をシール部材１８に向かって押圧する構造によって確保される。バックアップユニット３は、図３に示すように、すべりプレート２２、弾性部材２３、押圧プレート２４、及び押圧調整ナット２５を備えている。押圧プレート２４の上辺及び下辺に沿って計６箇所には、６本のガイド棒１９が挿通される貫通孔が形成されている。押圧プレート２４の内側（図３では左側）の面には弾性部材２３が固定され、その内側（左側）の面にすべりプレート２２が固定されている。
【００３３】
マスキング部材１７に立設された６本のガイド棒１９を押圧プレート２４の６箇所の貫通孔に挿通し、ガイド棒１９に形成された雄螺子に６個の押圧調整ナット２５を螺合させる。そして、６個の押圧調整ナット２５を締め付けると、すべりプレート２２が金属薄板１の裏面（図３では右側の面）に当接し、弾性部材２３が厚み方向に圧縮される。その復元力によって、バックアップユニット３（のすべりプレート２２）が金属薄板１をめっき液噴射ユニット２のシール部材１８に対して均一に押圧する。また、すべりプレート２２はテフロン（登録商標）系材料のような表面のすべり摩擦係数が小さい材料で形成されている。これにより、バックアップユニット３（のすべりプレート２２）と金属薄板１との円滑な摺動を確保し、金属薄板１の連続搬送に対する抵抗が大きくならないようにしている。
【００３４】
上述のように、マスキング部材１７に接合されたシール部材１８のシール部１８ａに金属薄板１の表面を接触させ、金属薄板１の裏面側に配置されたバックアップユニット３によって金属薄板１をシール部材１８に対して押圧する。この構造により、マスキング部材１７の開口部２１から露出した金属薄板１の表面に向かって噴射されためっき液７がマスキング部材１７の開口部２１から外部へ漏れ出し難くなっている。
【００３５】
しかしながら、大気中で上記のようなめっき液７の噴射を行った場合は、シール部材１８のシール部１８ａと金属薄板１の表面との接触部から外部へめっき液７が漏出するのを完全に防ぐことは難しい。わずかでもめっき液７が漏出すると、金属薄板１の表面に沿ってめっき皮膜が析出し、本来マスクされるべき部分にめっき被膜が形成されてしまう。その結果、ストライプめっきされた領域の周辺に輪郭ボケと呼称される不均一なめっき皮膜が形成されることがある。このようなストライプめっきの輪郭ボケは、例えば半導体装置のリードフレームでは重大な不良となる。
【００３６】
本実施形態のストライプめっき装置では、前述のように、めっき液噴射ユニット２及びバックアップユニット３が、液体貯槽４に貯められた液体（例えば水）５の中に浸されている。めっき液噴射ユニット２とバックアップユニット３との間を通過する金属薄板１も液体５の中にあり、液体５の中でめっき液７の噴射が行われる。したがって、上記のような大気中でめっき液７の噴射を行う場合のようなめっき液７の漏出とそれによるストライプめっきの輪郭ボケは発生しにくい。
【００３７】
すなわち、大気中でめっき液７の噴射を行なうと、めっき液噴射ユニット２から噴射されためっき液７の圧力がそのままシール部材１８のシール部１８ａにかかるので、シール部１８ａと金属薄板１との隙間を押し広げてめっき液７が外部に漏れ出す可能性があるが、本実施形態のように液体５の中でめっき液噴射を行なうと、液体５の圧力がめっき液噴射ユニット２の内部圧力と逆の方向に加わるので、噴射されためっき液７の圧力がシール部材１８のシール部１８ａを変形させたり隙間を広げたりする作用が抑制される。また、仮にわずかなめっき液７の漏出が発生したとしても、シール部材１８のシール部１８ａと金属薄板１との接触部の外側には液体５が充満しているので、漏出しためっき液７は液体５によって瞬時に希釈される。その結果、漏出しためっき液７によって薄いめっき皮膜が形成される現象は発生しない。
【００３８】
なお、めっき液噴射ユニット２に掛かる液体５の圧力は、液体５の液面からめっき液噴射ユニット２までの深さによって変わる。したがって、この深さを調整することによって、めっき液噴射ユニット２の内部圧力や使用条件に応じて、めっき液の漏出に対抗する圧力を変化させることが可能である。あるいは、次に説明する実施形態２のように、液体５を密閉容器に入れて液体５の圧力を調整するようにしてもよい。
【００３９】
（実施形態２）
図５は、本発明の実施形態２に係るストライプめっき装置を金属薄板の搬送方向前方から見た断面図である。この実施形態が図２に示した実施形態と異なる点は、液体貯槽４の上部開口を密閉蓋２６によって密閉し、圧力調整器２７を用いて液体５の圧力を調整している点である。このような構成によれば、めっき液噴射ユニット２の内部圧力や使用条件に応じて液体５の圧力を調整し、めっき液の漏出を一層効果的に防ぐことができる。液体５の圧力はめっき液噴射ユニット２のどの位置にも均等に作用するので、シール部材１８の細長い開口部（シール部１８ａ）に沿って均一な液漏れ防止が可能である。
【００４０】
（実施形態３）
図６は、本発明の実施形態３に係るストライプめっき装置を金属薄板の搬送方向前方から見た断面図である。この実施形態が図２に示した実施形態と異なる点は、金属薄板１に接触するシール部材１８のシール部（断面山形の突出部）１８ａに向かって外側から液体５を噴射する上下２本の液体噴射管２８が設けられている点である。液体噴射管２８は液体供給口１０に接続されており、液体供給口１０から常時一定量ずつ補給される液体５は、矢印線で示すように、上下の液体噴射管２８からシール部材１８のシール部１８ａに向かって噴射される。その結果、めっき液噴射ユニット２から噴射されるめっき液の圧力によってシール部材１８のシール部１８ａを変形させたり隙間を広げたりする作用が抑制され、めっき液の漏出が防がれる。また、めっき液がわずかに漏出した場合に、それを液体５で希釈する作用が促進される効果も得られる。
【００４１】
（実施形態４）
図７は、本発明の実施形態４に係るストライプめっき装置のめっき液噴射ユニット及びバックアップユニットを示す断面図である。この実施形態が図３に示した実施形態と異なる点は、マスキング部材１７に接合されたプレート状のシール部材１８の代わりにＯリング１８’を使用している点である。本実施形態のマスキング部材１７’は、図７に示すように、開口部２１の周囲が金属薄板１に向かって筒状に突出しており、その先端面にＯリング１８’を装着する溝が形成されている。このようなＯリング１８’もシール部材であり、既述の実施形態におけるプレート状のシール部材１８と同様に機能する。このような構成によれば、シール部材のコストを低減することができる。なお、断面が円形のＯリングの代わりに、断面が多角形の弾性リング部材を使用してもよい。
【００４２】
更に本実施形態の変形例として、金属薄板１に施されるストライプめっきの輪郭の精度が低くてもよい場合は、シール部材（Ｏリング１８’）を使用しないでマスキング部材１７’を直接的に金属薄板１の表面に押し当てるように構成してもよい。この場合は図７に示したマスキング部材１７’ではなく、図３に示したマスキング部材１７を使用してもよい。このような構成によれば、シール部材が不要となり、その交換等のメンテナンスも不要となるので、更にコスト低減が可能になる。
【００４３】
（実施形態５）
図８は、本発明の実施形態５に係るストライプめっき装置を金属薄板の搬送方向前方から見た断面図である。この実施形態が図２に示した実施形態と異なる点は、１つの液体貯槽４に２枚の金属薄板１ａ及び１ｂを通過させ、同時に２枚の金属薄板１ａ及び１ｂにストライプめっきを施すように構成した点である。このために、本実施形態のめっき液噴射ユニット２’は両側に開口面を有する筒型のケースを備え、その内部に２組のノズルプレート１５及び孔あき陽極板１６が背中合わせに配置されている。両側の開口面には、マスキング部材１７とその外面に接合されたシール部材１８とがそれぞれ固定されている。バックアップユニット３ａ，３ｂも両側に１個ずつ配置されている。めっき液噴射ユニット２’のケースの中央部に取り付けられた吹き上げパイプ２０から供給されためっき液７が両側のノズルプレート１５及び孔あき陽極板１６を通って両側へ同時に噴射される。また、両側に噴射されためっき液は、２本のめっき液回収路９をそれぞれ通ってリザーブタンク６へ回収される。このような構成によれば、ストライプめっきの生産性をほぼ倍増することができる。
【００４４】
（実施形態６）
図９は、本発明の実施形態６に係るストライプめっき装置を金属薄板の搬送方向前方から見た断面図である。この実施形態が図２に示した実施形態と異なる点は、１つの液体貯槽４に２個のめっき液噴射ユニット２を配置し、一度に金属薄板１の両面にストライプめっきを施す点である。すなわち、２個のめっき液噴射ユニット２を対向するように配置し、それらのマスキング部材及びシール部材の間を金属薄板１が通過するように構成する。こうすることにより、金属薄板１の両面に同時にストライプめっきを施すことができる。この構成によれば、従来のテーピング方式やベルトマスク方式に比べてストライプめっきに掛かるコストを低減することができると共に、ストライプめっき装置の小形化、省スペース化を図ることができる。
【００４５】
以上、いくつかの実施形態によって本発明を説明したが、本発明はこれらの実施形態に限らず種々の形態で実施することができる。例えば、上記の各実施形態では液体５として水を使用したが、めっき液と親和性のある他の液体を使用することも可能である。金属薄板１の材質や、使用するめっき液に応じて適切な液体を選定すればよい。また、液体５は、めっき処理前後の金属薄板１の洗浄効果も有する。
【００４６】
本発明のストライプめっき方法及び装置の特徴の一つは、液体中でめっき液噴射ユニットを金属薄板の表面に接触させてめっきを行うことであり、めっき液噴射ユニットの形状及び構造、あるいはバックアップユニットの形状及び構造等は本発明の趣旨から逸脱しない範囲で変更可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、半導体装置のリードフレームのような連続搬送される長尺状の金属薄板にストライプ状のめっきを施す方法及び装置に利用可能であり、マスキングテープやベルトマスクのような高価な消耗品を必要としないで、従来の方法よりも低コストで金属薄板のストライプめっきが可能である。また、小形で省スペースのめっき装置を構成することができ、既存設備への組み込みや改造が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施形態１に係るストライプめっき装置を示す斜視図である。
【図２】図１のストライプめっき装置を金属薄板の搬送方向前方から見た断面図である。
【図３】図２の断面におけるめっき液噴射ユニット及びバックアップユニットの拡大図である。
【図４】めっき液噴射ユニットをマスキング部材及びシール部材の側から見た斜視図である。
【図５】本発明の実施形態２に係るストライプめっき装置を金属薄板の搬送方向前方から見た断面図である。
【図６】本発明の実施形態３に係るストライプめっき装置を金属薄板の搬送方向前方から見た断面図である。
【図７】本発明の実施形態４に係るストライプめっき装置のめっき液噴射ユニット及びバックアップユニットを示す断面図である。
【図８】本発明の実施形態５におけるストライプめっき装置を金属薄板の搬送方向前方から見た断面図である。
【図９】本発明の実施形態６に係るストライプめっき装置を金属薄板の搬送方向前方から見た断面図である。
【図１０】従来のベルトマスク方式のストライプめっき方法を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１，１ａ，１ｂ  金属薄板
２  めっき液噴射ユニット
３  バックアップユニット
４  液体貯槽
５  液体
６  リザーブタンク
７  めっき液
８  吹き上げポンプ
９  めっき液回収路
１０  液体供給口
１１  排水パイプ
１２  スリット部材
１３  スリット
１４  ケース
１５  ノズルプレート
１６  孔あき陽極板
１７  マスキング部材
１８  シール部材
１９  ガイド棒
２０  吹き上げパイプ
２１  マスキング部材の開口部
２２  すべりプレート
２３  弾性部材
２４  押圧プレート
２５  押圧調整ナット
２６  密閉蓋
２７  圧力調整器
２８  液体噴射管
２９  めっき層
１０１  第１のローラー
１０２  ストリップ部材
１０３  電解液
１０４  回転部材
１０５  第２のローラー
１０６  ベルトマスク
１０７  第３のローラー
１０８  第４のローラー
１０９  第５のローラー
１１０  第６のローラー
１１１  噴射手段
１１２  陽極
【図１】
2007138229.tif 000003
【図２】
2007138229.tif 000004
【図３】
2007138229.tif 000005
【図４】
2007138229.tif 000006
【図５】
2007138229.tif 000007
【図６】
2007138229.tif 000008
【図７】
2007138229.tif 000009
【図８】
2007138229.tif 000010
【図９】
2007138229.tif 000011
【図１０】
2007138229.tif 000012