【事件の表示】
　平成１１年特許願第　３２６７７号「エッチング装置」拒絶査定に対する審判事件［平成１２年　８月２９日出願公開、特開２０００−２３４１８６］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１１年２月１０日の出願であって、平成１５年２月１３日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年３月２０日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年４月１８日付で明細書全文を補正する手続補正がなされたものである。
　
２．平成１５年４月１８日付の手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　　平成１５年４月１８日付の手続補正を却下する。
　
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「【請求項１】化学薬品およびその混合液であるエッチング液により物体をエッチングするエッチング装置において、
　上記エッチング液の入ったエッチング槽と、
　上記エッチング槽内の上記エッチング液の温度を一定に保つために、上記エッチング槽の内部と外部に設けられた冷却部と、
　上記エッチング液を上記エッチング槽に投入する前に上記エッチング液を所定の温度に冷却する密閉可能な冷却容器とを有し、
　上記冷却容器は、上記エッチング槽によるエッチング中に、次のサイクルに用いるエッチング液を所定の温度に冷却して用意することが可能な容器であることを特徴とするエッチング装置。」
と補正された。
　上記補正は、（補正前の）請求項１に係る発明を特定するために必要な事項である「上記エッチング液を上記エッチング槽に投入する前に上記エッチング液を所定の温度に冷却する密閉可能な冷却容器」について、「上記エッチング槽によるエッチング中に、次のサイクルに用いるエッチング液を所定の温度に冷却して用意することが可能な容器である」との限定を付加するものであって、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６３−８１９３２号公報（以下、「引用例５」という。）には、
「［実施例］
　第１図に本発明のエッチング処理装置の正面図を示す。この実施例のエッチング処理装置は、エッチング液の調合を行なう調合部及びエッチング加工物を入れてエッチング処理を行う処理部とからなる。・・
調合部は、・・秤量槽１・・秤量槽２及び調合槽３からなる。・・
調合槽３には、冷却用コイル４が備えられている。冷却用コイル４内には、特に制限されないが約１９℃以下の冷却水が流されるようにされている。・・
すなわち、エッチング液が冷却用コイル４によって２３℃まで冷却されると、バルブ８が閉じられて、冷却用コイル４内に冷却水が流れないようにされる。処理部は、処理槽９、外部容器１０、ポンプ１１、温度調節器１２からなる。・・
本実施例では、処理槽９内のエッチング液を常に適温に調節できるように温度調節器１２と循環パイプ２１が設けられている。」（第２頁左下欄４行〜右下欄１４行、第１図）、
「上記した実施例では、エッチング処理を行なう処理槽の前段に温度調整手段を有するエッチング液調合槽を設け、これによって温度調整されたエッチング液を上記処理槽に供給するようにすることにより、処理槽でエッチング処理を行なっている間に、調合槽でエッチング液を適温にすることができるので、処理槽のエッチング液を交換してエッチング処理を行なう際に、適温にされたエッチング液を処理槽に導入後、直ちにエッチング処理が行なえるという作用により、エッチング装置の稼働効率が向上する」（第３頁左下欄１８行〜右下欄８行）
と記載されている。
　同じく、原査定の拒絶の理由に引用された実願昭５７−１７８２９６号（実開昭５９−８１０３０号参照）のマイクロフィルム（以下、「引用例２」という。）には、
「技術分野
　この考案は半導体製造装置に関し、特に半導体ウエーハを水洗及びエッチングする装置に関する。
　背景技術
　半導体ウエーハのウエットエッチングは一般に・・第１図に示すような自冷機能を持ったエッチング槽（１）と通常の水洗槽（２）を使って行われる。上記エッチング槽（１）は２重構造の槽壁内に冷却水（３）がポンプ（４）を介して循環する冷却構造と、槽（１）の内面に沿ってスパイラル状に冷却管（５）を配置してこの中にポンプ（４）からの冷却水（３）を通す冷却構造を有する・・このエッチング時の反応熱でエッチング液（７）の温度が上昇するが、冷却水（３）の冷却にてエッチング液（７）の温度は許容範囲内にコントロールされ、エッチングレートを均一に保つよう工夫される。」（第１頁下から５行〜第３頁４〜８行、第１図）
と記載されている。
　
（３）対比
　引用例５の記載によれば、「エッチング液によりエッチング加工物をエッチングするエッチング装置において、上記エッチング液の入った処理槽と、上記処理槽内の上記エッチング液の温度を適温に保つために、上記処理槽の外部に設けられた温度調節器と、上記エッチング液を上記処理槽に投入する前に上記エッチング液を適温に冷却する調合槽とを有し、上記調合槽は、上記処理槽によるエッチング中に、次のサイクルに用いるエッチング液を適温に冷却して用意することが可能な容器であることを特徴とするエッチング装置。」（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　そこで、本願補正発明と引用発明とを比較すると、引用発明における「エッチング加工物」、「処理槽」、「処理槽の外部に設けられた温度調節器」、「適温に冷却する調合槽」、「調合槽」は、それぞれ、本願補正発明における「物体」、「エッチング槽」、「エッチング槽の外部に設けられた冷却部」、「所定の温度に冷却する冷却容器」及び「冷却容器」に相当するから、両者は、
「化学薬品およびその混合液であるエッチング液により物体をエッチングするエッチング装置において、
　上記エッチング液の入ったエッチング槽と、
　上記エッチング槽内の上記エッチング液の温度を一定に保つために、上記エッチング槽の外部に設けられた冷却部と、
　上記エッチング液を上記エッチング槽に投入する前に上記エッチング液を所定の温度に冷却する冷却容器とを有し、
　上記冷却容器は、上記エッチング槽によるエッチング中に、次のサイクルに用いるエッチング液を所定の温度に冷却して用意することが可能な容器であることを特徴とするエッチング装置。」で一致し、
（イ）本願補正発明では、エッチング槽の内部と外部に冷却部を設けているのに対して、引用発明ではエッチング槽の内部に冷却部が設けられていない点（以下、「相違点１」という。）
（ロ）本願補正発明では、冷却容器は密閉可能としているのに対して、引用発明ではこれが明らかでない点（以下、「相違点２」という。）
で相違する。
　
（４）判断
相違点１について；
　引用例２には、エッチング槽壁内に冷却水を循環させる冷却構造と、エッチング槽内面に沿って配置した冷却管中に冷却水を通す冷却構造とを有するエッチング槽の冷却構造により、エッチング液の温度が上昇しても、エッチング液の温度は許容範囲内にコントロールされることが記載されており、この記載によれば、エッチング液の温度調節手段として、エッチング槽の内部と外部に冷却部を設けることにより、エッチング槽内のエッチング液の温度管理が行いやすくなることを、引用例２は開示するものといえる。
　そして、引用発明においても、エッチング液の温度調節のために、「エッチング槽の外部に設けられた冷却部」（「処理槽の外部に設けられた温度調節器」）を設けているのであるから、エッチング液の温度調節手段として、エッチング槽の外部ばかりでなく、内部にも冷却部を設けることは、引用例２の開示から当業者が容易に想到し得ることと認められ、しかも、「エッチング液を所定の温度まで短時間で冷却すると共に、エッチング液の温度分布の偏りを低減して、エッチング液の温度制御性がよくなる」（明細書の段落【００３７】、【００４６】の記載参照）という上記相違点１により奏される本願補正発明における作用効果も、当業者が当然予想し得るものであって格別顕著なものとはいえない。
相違点２について；
　本願補正発明における密閉可能な冷却容器とは、明細書の記載からみれば、エッチング液を一時冷却保存する槽が密閉可能であることを意味する（例えば、明細書の段落【００２４】、【００２５】の記載参照）ものと認められるが、密閉可能とした点に関し、特別の技術的意義がある旨明細書に記載されているわけではなく、一方、密閉可能でなければエッチング液を一時冷却保存し得ないものであるとも認められない。
　そうすると、引用発明の調合槽も、エッチング液を一時冷却保存するという点では、本願補正発明の冷却容器と同等の作用をするものであるから、調合槽を密閉可能とするか否かは、当業者の単なる設計的事項にすぎず、そして、密閉可能としたことによる作用効果は当業者が当然に予想し得る範囲内のものと認められる。
　
　相違点１、２については前記のとおりであるから、本願補正発明は、引用例２、５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められる。
　よって、本願補正発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１５年４月１８日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜９に係る発明は、平成１４年８月２８日付手続補正書の特許請求の範囲の請求項１〜９に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりである。
「【請求項１】化学薬品およびその混合液であるエッチング液により物体をエッチングするエッチング装置において、
　上記エッチング液の入ったエッチング槽と、
　上記エッチング槽内の上記エッチング液の温度を一定に保つために、上記エッチング槽の内部と外部に設けられた冷却部とを有し、
　上記エッチング液を上記エッチング槽に投入する前に上記エッチング液を所定の温度に冷却する密閉可能な冷却容器を有することを特徴とするエッチング装置。」
　
（１）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（２）判断
　本願発明は、前記２．で検討した本願補正発明から「冷却容器」の限定事項である「上記冷却容器は、上記エッチング槽によるエッチング中に、次のサイクルに用いるエッチング液を所定の温度に冷却して用意することが可能な容器である」との構成を省いたものであるといえる。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（４）」に記載したとおり、引用例２、５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用例２、５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（３）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例２、５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。