【事件の表示】
　平成１０年特許願第１８４８８１号「不安定な共鳴キャビティを用いた極めて狭い帯域のレーザ」（平成１０年６月３０日出願、特開平１１−７４６０１号公報、発明の数（１８））拒絶査定に対する審判事件（審判２０００−７９７２号）について平成１３年６月１日付けでした審決に対し、東京高等裁判所において審決取消しの判決（平成１３年（行ケ）第４６０号、平成１４年７月２９日判決言渡）があったので、更に審理の結果、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
１．手続きの経緯及び本願発明
　本願は、平成１０年６月３０日（パリ条約による優先権主張１９９７年７月１日、アメリカ合衆国）の出願であって、その請求項１〜１８に係る発明（以下、本願発明１〜１８という。）は、平成１５年２月５日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜１８に記載された次のとおりのものと認められる。
「　【請求項１】　狭帯域レーザにおいて、
　Ａ．ゲイン媒体と、
　Ｂ．（１）部分反射性の円筒形鏡、
　　　（２）（ａ）ビームエキスパンダ、
　　　　　　（ｂ）曲率が調整可能な、円筒形に湾曲した表面を有する格子、
　　　　　　を含む線狭めモジュール、
　　　を含む不安定な共鳴キャビティと、を備え、
前記円筒形に湾曲した表面を有する格子と前記部分反射性の円筒形鏡が前記不安定な共鳴キャビティの境界を画定していることを特徴とする狭帯域レーザ。
　　【請求項２】　前記円筒形鏡が凸型であり、前記格子表面が凹型であることを特徴とする請求項１に記載の狭帯域レーザ。
　　【請求項３】　前記円筒形鏡が凹型であり、前記格子表面が凸型であることを特徴とする請求項１に記載の狭帯域レーザ。
　　【請求項４】　前記円筒形鏡が所望の波長の光の約２０％を反射するように構成された反射性被覆を含むことを特徴とする請求項１に記載の狭帯域レーザ。
　　【請求項５】　前記円筒形鏡が１ｍと１０ｍの間、好ましくは、５ｍの曲率半径を有することを特徴とする請求項１に記載の狭帯域レーザ。
　　【請求項６】　前記円筒形鏡が中心線を有しており、前記レーザが前記鏡の活性領域を有しており、前記活性領域の端部が前記活性領域の他の領域よりも大きな反射性を与える前記中心線に沿った反射被覆を備えていることを特徴とする請求項１に記載の狭帯域レーザ。
　　【請求項７】　前記２つの端部が前記中心線に平行であり、前記反射性が前記中心か前記それぞれの活性端部に向かって単調減少していることを特徴とする請求項６に記載の狭帯域レーザ。
　　【請求項８】　前記格子の湾曲表面が曲率を持っており、前記線狭めモジュールが前記曲率を調整するための曲率調整システムを備えていることを特徴とする請求項１の狭帯域レーザ。
　　【請求項９】　前記調整システムがバネとネジ付調整ボルトを備えていることを特徴とする請求項８に記載の狭帯域レーザ。
　　【請求項１０】　ビーム軸を有しており、前記鏡が該ビーム軸からオフセットされて取りつけられており、かつ該ビームに対して傾斜していることを特徴とする狭帯域レーザ。
　　【請求項１１】　前記部分的に反射する鏡が中心線と、２つのエッジを有しており、前記中心線において大きく、２つのエッジ付近で小さくなる格子反射を与える反射被覆を備えていることを特徴とする請求項１に記載の狭帯域レーザ。
　　【請求項１２】　極めて狭い帯域のエキシマレーザにおいて、
　Ａ．（１）２つの細長い電極、
　　　（２）少なくとも１つのプレイオナイザ、
　　　（３）レーザガス、
　　　を含むレーザ室と、
　Ｂ．円筒形鏡からなる出力カップラと、
　Ｃ．（１）円筒形凹面裏当て表面を有する格子と、
　　　（２）少なくとも１つのビーム拡張プリズムと、
　　　（３）前記格子の曲率を調整して同調させる格子同調手段とを有する線狭めユニットとを備え、
　　　前記格子及び前記出力カップラが不安定な共鳴キャビティを限定していることを特徴とするエキシマレーザ。
　　【請求項１３】　前記レーザガスがフッ素およびクリプトンまたはアルゴンを含んでおり、前記レーザチャンバが耐フッ素性を有する材料からなることを特徴とする請求項１２に記載のエキシマレーザ。
　　【請求項１４】　さらに、波メーターと前記格子同調手段を制御するための波長コントローラを備えていることを特徴とする請求項１２に記載のエキシマレーザ。
　　【請求項１５】　前記線狭めユニットがさらに少なくとも１つのプリズムと全反射鏡を備えていることを特徴とする請求項１２に記載のエキシマレーザ。
　　【請求項１６】　極めて狭い帯域のエキシマレーザにおいて、
　Ａ．フッ素と化学反応しない材料からなり、
　　　（１）２つの細長い電極、
　　　（２）少なくとも１つのプレイオナイザ、
　　　（３）フッ素、ハロゲン、及び緩衝ガスからなるレーザガス、
　　　を含むレーザ室と、
　Ｂ．（１）少なくとも１つのビーム拡張プリズム、
　　　（２）円筒形の格子と該格子の曲率を調整する調整手段、
　　　を含む調整可能な線狭めユニットと、
　Ｃ．円筒形鏡からなる出力カップラと、
を備え、
　前記格子及び前記円筒形鏡が不安定な共鳴キャビティを限定していることを特徴とするエキシマレーザ。
　　【請求項１７】　さらに、前記出力レーザービームの波長を測定する波長計を備えていることを特徴とする請求項１６に記載のエキシマレーザ。
　　【請求項１８】　さらに、線狭めモジュールを同調させるコントローラを備えていることを特徴とする請求項１６に記載のエキシマレーザ。」
２．先願明細書に記載の事項
　これに対して、原査定の拒絶理由において引用された本願の出願の日前の他の出願であって、その出願後に出願公開された特願平９−１７４４７８号（特開平１１−２６８５６号公報参照）の明細書及び図面には以下の事項が記載されている。
「【００２８】　この図２において、エキシマレーザ１のレーザチャンバ２は紙面に垂直な方向に陽極および陰極が対向して配設された放電電極３を有し、レーザチャンバ２内に充填されたハロゲンガス、希ガス、バッファガスなどからなるレーザガスを放電電極３間の放電によって励起させてレーザ発振を行う。
　【００２９】　レーザチャンバ２の両レーザ出射口にはウィンドウ４が設けられている。また、レーザチャンバ２とフロントミラー５との間およびレーザチャンバ２と狭帯域化モジュール６との間にはビーム幅を制限するスリット７が設けられている。
　【００３０】　狭帯域化モジュール６は、この場合、ビームエキスパンダ８と角度分散型波長選択素子であるグレーティング９とで構成されている。ビームエキスパンダ８は、図２（ｂ）に示すように、２個のプリズム８ａ，８ｂによって構成されており、入射されたレーザ光のビーム幅を拡大してグレーティング９に入射する。
　【００３１】　すなわち、この図１の実施例の場合は、フロントミラー５とグレーティング９との間で光共振器が構成されている、
　図１の構成において、レーザチャンバ２で発振されたレーザ光は、狭帯域化モジュール６に入射され、ビームエキスパンダ８でそのビーム幅が拡大される。さらに、該拡大されたレーザ光はグレーティング９に入射されて回折されることにより、所定の波長成分のレーザ光のみが入射光と同じ方向に折り返される。グレーティング９で折り返されたレーザ光は、ビームエキスパンダ８でビーム幅が縮小された後、レーザチャンバ２に入射される。
　【００３２】　レーザチャンバ２を通過して増幅されたレーザ光は、フロントミラー５を介してその一部が出力光として取り出されると共に、残りが再度レーザチャンバ２に戻って増幅される。
　【００３３】　ここで、図２に示すグレーティング９においては、その両端部が支持する支持機構と、その背面を１点または多点で押圧または引っ張る機構が備えられており、かかる機構によってグレーティング９自体を任意に曲げる（あるいは曲げを修正する）ことができるようになっており、これによりグレーティング９での回折波面の波面収差を補正することができる。」（４頁６欄２８〜５頁８欄８行）
「【００４０】　すなわち、図２の構成において、グレーティング９に備えられた曲げ機構によってグレーティング９の表面形状を精密に調整するようにすれば、ビームエキスパンダ８の製造不良、またはグレーティング９の製造不良、またはレーザ光のビームダイバージェンスによるグレーティング９の回折光の波面の歪みを補正することができ、これにより非常に狭いスペクトル線幅（０．４ｐｍ以下）のレーザ光を効率よく出力することができる。」（５頁７欄３２〜４０行）
「【０１２３】　また、本発明は、偏光結合型共振器、インジェクションロック式、不安定共振器などの他の共振器構造に適用するようにしてもよい。」（１０頁１７欄２〜４行）
３．対比・判断
　本願発明１〜１８は、いずれも曲率が調整可能な円筒形の又は円筒形に湾曲した格子を発明の構成要件とするものである。
　ところが、先願明細書に記載された発明の前記格子に対応する「任意に曲げることができるグレーティング」は、「円筒形に湾曲した波面に一致するように湾曲されたもの」ではない（平成１３年（行ケ）第４６０号審決取消請求事件判決参照）。
　してみると、先願明細書に記載された発明の「任意に曲げることができるグレーティング」は、本願発明１〜１８の「曲率が調整可能な円筒形の又は円筒形に湾曲した格子」に相当しないことは明らかである。
　したがって、本願発明１〜１８は、いずれも先願明細書に記載された発明と同一であるとすることができない。
４．むすび
　以上のとおり、本願発明１〜１８は、いずれも先願明細書に記載された発明と同一であるとすることができないので、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないとすることができない。
　また、他に本願発明１〜１８を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。