【事件の表示】
　平成６年特許願第６９８３２号「反応処理装置」拒絶査定に対する審判事件［平成７年１０月２７日出願公開、特開平７−２８３１４４］について、　次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】手続の経緯
　本願は、平成６年４月８日の出願であって、平成１３年１０月１１日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１１月１９日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同日付けで手続補正がなされたものである。
　　
【２】補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１３年１１月１９日付けの手続補正を却下する。
［理由］
　補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載の「排気管の内面を覆うとともに(前記)反応室の側端部に密着する内管」という記載は、「内管が反応室の側端部に密着するものである」ことを意味するものである。
　一方、補正前の請求項１では「内管と(該)排気管とはそれぞれの反応室側端部において密着している」と記載されている。ゆえに、前記の補正後の記載内容は、内管と排気管とが反応室側端部で密着している点を削除したものとなっている。
　したがって、平成１３年１１月１９日付けで、特許請求の範囲についてした補正は、特許法第１７条の２第３項各号に掲げる事項を目的としたものではない。
　よって、上記手続補正は、特許法第１５９条第１項で準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　なお、平成13年11月19日付けで補正された内容が前記のごとく「内管が反応室の側端部に密着するものである」ことを意味するものである点において、この内容は出願当初の明細書または図面に記載されたものではない。
　　
【３】この出願の発明
　平成１３年１１月１９日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１，２に係る発明は、平成１３年９月２５日付けの手続補正書により補正された明細書の、特許請求の範囲の請求項１，２に記載されたとおりのものである。
　そして、その請求項１に係る発明(以下、「本願発明」という)は、
「【請求項１】反応室と，該反応室に接続する排気管と，該排気管の内面を覆う内管とを有し，
　該内管は該排気管の反応室側開口から該排気管内に着脱自在に挿入される構造をなし，且つ該内管と該排気管とはそれぞれの反応室側端部において密着していることを特徴とする反応処理装置。」である。
　　
【４】拒絶理由の概要
　一方、原審において平成１３年７月１２日付けで通知された拒絶理由の概要は、
　本願発明は、本願の出願前の昭和６４年２月２３日に日本国内において頒布された「実願昭６２−１２２８８０号(実開昭６４−３０３５６号公報)のマイクロフィルム」(以下、「引用例」という)に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
　　
【５】引用例の記載事項およびその開示内容
【５-1】引用例の記載事項
　第１頁第５〜７行に、
(引a)「排気パイプの内側に付着防止パイプを嵌着したことを特徴とする化学気相成長装置」と記載され、
　第３頁第１０〜１４行に、
(引b)「付着層Ａの表面は、粉末状なので、例えば、ポンプ８の運転を停止したりするとその反動で粉末状の酸化シリコンなどが舞い上がって反応管１内に入りウエハ３に付着することがある」と記載され、
　第４頁第２０行〜第５頁第７行に、
(引c)「付着防止パイプ１３を排気パイプ１１に固定する場合には、第２図に示すように、排気パイプ１１の接続部にフランジ１４、１５を設け、該フランジ１４、１５によりＯリング１６及び付着防止パイプ１３の鍔部１３ａを挟持し、該フランジ１４、１５をボルト１７で固定する所謂真空フランジ装置を用い、付着防止パイプ１３の着脱を容易にしている」と記載され、
　第６頁第８，９行に、
(引d)「付着防止パイプ１３は、メインテナンス上、時々洗浄しなければならない」と記載され、
　第６頁第１０〜１３行に、
(引e)「ボルト１７によりフランジ１４、１５を締め付けたり、又は、緩めたりすれば簡単に排気パイプから着脱できるので、メインテナンス時間の短縮を図ることが出来る」と記載され、
　そして、第１，２図には、
(引f)「付着防止パイプ１３が排気パイプ１１の反応管(10)側開口から該排気パイプ内に着脱自在に挿入される構造をなし、かつ該付着防止パイプと該排気パイプとは、鍔部１３ａとフランジ１４とでそれぞれの反応管側端部において密着されてボルト１７で締め付け固定されている状態」が明示されている。
　　
【５-2】引用例の開示内容
　前記(引a),(引c),(引f)の記載から、引用例には、
(引z)「反応管と，該反応管に接続する排気パイプと，該排気パイプの内面を覆う付着防止パイプとを有し，
　該付着防止パイプは該排気パイプの反応管側開口から該排気パイプ内に着脱自在に挿入される構造をなし，且つ該付着防止パイプと該排気パイプとはそれぞれの反応管側端部において密着していることを特徴とする化学気相成長装置」の発明(以下、「引用発明」という)が開示されている。
　　
【６】当審の判断
【６-1】本願発明と引用発明との対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、
　引用発明の「反応管」，「排気パイプ」，「化学気相成長装置」は、
　本願発明の「反応室」，「排気管」，「反応処理装置」にそれぞれ相当し、これらは使用された用語の差異でしかない。
　したがって、両者は「反応室と，該反応室に接続する排気管と，該排気管の内面を覆う管とを有し，
　該管は該排気管の反応室側開口から該排気管内に着脱自在に挿入される構造をなし，且つ該管と該排気管とはそれぞれの反応室側端部において密着していることを特徴とする反応処理装置」であることで一致する。
　一方、本願発明では、排気管の内面を覆う管を「内管」と称しているのに対して、引用発明では、当該排気管の内面を覆う管を「付着防止パイプ」と称している点(相違点ａ)で相違する。
　　
【６-2】相違点の検討
　相違点ａについて考察するに、
　本願明細書には、その段落【0002】，【0006】，【0007】，【0014】に、本願発明における「内管」の利用意図，利用形態およびその効果が、「減圧気相成長装置の反応室に接続する排気管に付着する反応生成物が剥がれて、排気時または大気にもどす時に逆流して被処理ウエハ上に付着するから、前記排気管に付着した反応生成物を簡単に除去できるようにすることを目的とする」，「反応室に接続する排気管と、該排気管の内面を覆う内管とを有し、該内管は該排気管の反応室側開口から該排気管内に着脱自在に挿入され、且つ該内管と該排気管とはそれぞれの反応室側端部において密着している」および「内管の着脱及び洗浄が非常に簡単になり、これに伴い洗浄サイクルを短くすることができ、ウエハ上に付着する塵が減少する」と記載されている。
　一方、引用発明の「付着防止パイプ」については、上記(引b),(引f),(引d),(引e)に、「付着層の表面は、粉末状なので、例えば、ポンプの運転を停止したりするとその反動で粉末状の酸化シリコンなどが舞い上がって反応管内に入りウエハに付着することがある」，「付着防止パイプが排気パイプの反応管側開口から該排気パイプ内に着脱自在に挿入される構造をなし、かつ該付着防止パイプと該排気パイプとは、鍔部とフランジとでそれぞれの反応管側端部において密着されてボルトで締め付け固定されている」および「付着防止パイプは、メインテナンス上、時々洗浄しなければならないが、ボルトによりフランジを締め付けたり、又は、緩めたりすれば簡単に排気パイプから着脱できるので、メインテナンス時間の短縮を図ることが出来る」と記載されている。
　してみれば、本願発明の「内管」も引用発明の「付着防止パイプ」も同様に排気管への反応生成物の付着を防止しており、かつ、それら「内管」および「付着防止パイプ」の内壁面に付着した反応生成物の除去を容易に行えるように排気管に対して着脱自在にしているものであるところ、それら「内管」および「付着防止パイプ」の洗浄については、反応生成物の付着量に応じた頻度をもって行われることは当業者において容易に首肯し得るところである。
　したがって、本願発明における「内管」の材質を適切に選択し、必要に応じて付着物を洗浄・除去するという程度のことは当業者が容易に想到できたものといえる。
　よって、上記相違点ａは、当業者が容易になし得た変更であると認められる。
　　
【７】むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、上記の引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。