(57)【要約】【課題】ガイドローラのみでテープをガイドして加圧ヘッドに送ることができ、テープを汚したりする等の悪影響を与えることがない。【解決手段】供給リール１１Ａから供給されて巻取りリール１２Ａに巻き取られるテープ１０Ａの経路に配設され、テープ１０Ａを基板１表面に加圧させる加圧ヘッド４Ａと、加圧ヘッド４Ａと巻取りリール１２Ａ間に配設され、テープ１０Ａにテンションを付与するテンションローラ３７Ａと、テンションローラ３７Ａと巻取りリール１２Ａ間のみに配設され、テープ１０Ａを送るキャプスタンローラ２７Ａと、キャプスタンローラ２７Ａにテープ１０Ａを圧接させるピンチローラ２９Ａと、巻取りリール１２Ａとキャプスタンローラ２７Ａとを同期して回転させる回転駆動手段とを備えている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープを巻回した供給リール及びテープを巻き取る巻取りリールと、供給リールから供給されて巻取りリールに巻き取られるテープの経路に配設され、テープを基板表面に加圧させる加圧ヘッドと、前記加圧ヘッドと前記巻取りリール間に配設され、テープにテンションを付与するテンションローラと、このテンションローラを保持して移動可能に設けられたスライダと、このスライダに一端が結合されたワイヤと、このワイヤの他端が結合されてワイヤに張力を付与する張力付与手段とを備えた基板表面加工装置において、
前記テンションローラと前記巻取りリール間のみに配設され、前記テープを送るキャプスタンローラと、このキャプスタンローラにテープを圧接させるピンチローラと、前記巻取りリールと前記キャプスタンローラとを同期して回転させる回転駆動手段と、前記テンションローラのローラ軸に設けられた検出板と、この検出板の内側移動位置と外側移動位置とを検出する内側位置検出センサー及び外側位置検出センサーを設け、テープに一定のテンションが掛けられていることを特徴とする基板表面加工装置。
【請求項２】
前記供給リール及び前記巻取りリールは前記加圧ヘッドの一方側に配設されていることを特徴とする請求項１記載の基板表面加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク等の基板の表面を平滑に加工する基板表面加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板表面加工装置として、例えば特許文献１が挙げられる。この種の基板表面加工装置は、テープを巻回した供給リール及びテープを巻き取る巻取りリールと、供給リールと巻取りリール間に配設され、テープを基板表面に加圧させる加圧ヘッドと、供給リールと加圧ヘッド間及び加圧ヘッドと巻取りリール間に設けられ、テープを一定速度で送るように同期して回転するキャプスタンローラと、このキャプスタンローラに圧接するように設けられたピンチローラと、加圧ヘッドと少なくとも一方のキャプスタンローラ間に配設され、テープにテンションを付与するテンションローラと、このテンションローラを保持して移動可能に設けられたスライダと、このスライダに一端が結合されたワイヤと、このワイヤの他端が結合されてワイヤに張力を付与する張力付与手段とを備えている。
【特許文献１】特開２００５−１０５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来技術は、供給リールと加圧ヘッド間にキャプスタンローラとピンチローラが設けられ、ピンチローラはテープを送るキャプスタンローラにテープを圧着するように配設されている。このように、供給リールから加圧ヘッドに供給される新しいテープは、ピンチローラでキャプスタンローラに圧着されるので、テープ表面を汚したり、また圧着されることでテープ表面を劣化させる等の悪影響を与えている。また加圧ヘッドの一方側に供給リールが配設され、加圧ヘッドの他方側に巻取りリールが配設されているので、装置が大型化するという問題があった。
【０００４】
本発明の第１の課題は、供給リールから加圧ヘッド間にピンチローラを使用しなく、ガイドローラのみでテープをガイドして加圧ヘッドに送ることができ、テープを汚したりする等の悪影響を与えることがない基板表面加工装置を提供することにある。
【０００５】
本発明の第２の課題は、小型化が図れる基板表面加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、テープを巻回した供給リール及びテープを巻き取る巻取りリールと、供給リールから供給されて巻取りリールに巻き取られるテープの経路に配設され、テープを基板表面に加圧させる加圧ヘッドと、前記加圧ヘッドと前記巻取りリール間に配設され、テープにテンションを付与するテンションローラと、このテンションローラを保持して移動可能に設けられたスライダと、このスライダに一端が結合されたワイヤと、このワイヤの他端が結合されてワイヤに張力を付与する張力付与手段とを備えた基板表面加工装置において、
前記テンションローラと前記巻取りリール間のみに配設され、前記テープを送るキャプスタンローラと、このキャプスタンローラにテープを圧接させるピンチローラと、前記巻取りリールと前記キャプスタンローラとを同期して回転させる回転駆動手段と、前記テンションローラのローラ軸に設けられた検出板と、この検出板の内側移動位置と外側移動位置とを検出する内側位置検出センサー及び外側位置検出センサーを設け、テープに一定のテンションが掛けられていることを特徴とする。
【０００７】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、前記請求項１において、前記供給リール及び前記巻取りリールは前記加圧ヘッドの一方側に配設されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
テンションローラのローラ軸に設けられた検出板の内側移動位置と外側移動位置とを検出する内側位置検出センサー及び外側位置検出センサーの出力を検出して供給リール用モータ及び巻取りリール用モータを制御することにより、供給リールと加圧ヘッド間にキャプスタンローラ及びピンチローラを配設しないでテープを送ることができる。即ち、キャプスタンローラ及びピンチローラはテンションローラと巻取りリール間に配設され、供給リールと加圧ヘッド間には配設されていないので、加圧ヘッドに送られるテープは表面が汚れたり、またテープ表面に悪影響を与えることがない。また供給リール及び巻取りリールを加圧ヘッドの一方側に設けることにより、装置の小型化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の基板表面加工装置の一実施の形態を図１乃至図４により説明する。本実施の形態は、供給リールと加圧ヘッド間にピンチローラがなく、また供給リール及び巻取りリールの配置及びテープの送り方法が従来技術と異なり、その他はほぼ従来技術と同じである。
【００１０】
図１に示すように、基板１は、回転駆動されるスピンドル２にチャックして加工される。本装置は、基板１の両面を同時に加工するようになっているので、基板１の左右に加圧装置３Ａ、３Ｂが配設されている。加圧装置３Ａと３Ｂは同じ構造よりなるので、加圧装置３Ａの部材には番号の後に符号Ａを付し、加圧装置３Ｂの部材には番号の後に符号Ｂを付して説明する。基板１の両面側には、相対向して加圧ヘッド４Ａ、４Ｂが配設されている。加圧ヘッド４Ａ、４Ｂの基板１側の面には、ゴムやスポンジ等の弾性体が貼付けられている。加圧ヘッド４Ａ、４Ｂは加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂに固定されており、加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂは移動板６の一方側（下方側）に配設され、基板１に直交する方向に移動可能に設けられている。この加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂの移動機構は後述する。
【００１１】
移動板６には、加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂが配設された側と反対側にテープ１０Ａ、１０Ｂが巻回された供給リール１１Ａ、１１Ｂ及びテープ１０Ａ、１０Ｂを巻き取る巻取りリール１２Ａ、１２Ｂがそれぞれ配設されている。ここで、供給リール１１Ａ、１１Ｂは加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂより離れた側に、巻取りリール１２Ａ、１２Ｂは加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂに近い側に配設されている。加圧ヘッド４Ａ、４Ｂの両側には、それぞれガイドローラ１３Ａ、１４Ａ及び１３Ｂ、１４Ｂが配設されている。ガイドローラ１３Ａ、１３Ｂは加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂ上に固定されたローラ軸に回転自在に支承されている。ガイドローラ１４Ａ、１４Ｂは支持板１５Ａ、１５Ｂに固定されたローラ軸に回転自在に支承され、支持板１５Ａ、１５Ｂは移動板６に固定されている。
【００１２】
供給リール１１Ａ、１１Ｂよりガイドローラ１３Ａ、１３Ｂにテープ１０Ａ、１０Ｂを導くように、移動板６上にはガイドローラ２０Ａ、２０Ｂ，２１Ａ、２１Ｂ，２２Ａ、２２Ｂが回転自在に支承されたローラ軸が固定され、加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂ上にはガイドローラ２３Ａ、２３Ｂが回転自在に支承されたローラ軸が固定されている。ガイドローラ１４Ａ、１４Ｂより巻取りリール１２Ａ、１２Ｂにテープ１０Ａ、１０Ｂを導くように、支持板１５Ａ、１５Ｂ上にはガイドローラ２４Ａ、２４Ｂが回転自在に支承されたローラ軸が固定され、加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂ上にはガイドローラ２５Ａ、２５Ｂが回転自在に支承されたローラ軸が固定され、移動板６上にはガイドローラ２６Ａ、２６Ｂ、キャプスタンローラ２７Ａ、２７Ｂ、ガイドローラ２８Ａ、２８Ｂが回転自在に支承されたローラ軸が固定されている。キャプスタンローラ２７Ａ、２７Ｂには、後記する駆動手段で回転駆動されるピンチローラ２９Ａ、２９Ｂが圧接している。即ち、供給リール１１Ａ、１１Ｂから加圧ヘッド４Ａ、４Ｂ間にはピンチローラはなく、加圧ヘッド４Ａ、４Ｂから巻取りリール１２Ａ、１２Ｂ間にピンチローラ２９Ａ、２９Ｂが設けられている。
【００１３】
ローラ２６Ａと２７Ａ，２６Ｂと２７Ｂ間の移動板６上には、基板１に直交するようにガイドレール３５Ａ、３５Ｂが固定されており、ガイドレール３５Ａ、３５Ｂにはスライダ３６Ａ、３６Ｂが摺動自在に嵌挿されている。スライダ３６Ａ、３６Ｂにはテンションローラ３７Ａ、３７Ｂが回転自在に支承されたローラ軸が固定されている。
【００１４】
図１及び図２に示すように、テンションローラ３７Ａ、３７Ｂ側の移動板６の端面には、該移動板６に垂直に配設されたプーリ軸支持板４０Ａ、４０Ｂが固定されており、プーリ軸支持板４０Ａ、４０Ｂにはプーリ４１Ａ、４１Ｂが回転自在に支承された移動が固定されている。プーリ４１Ａ、４１Ｂに対応して該プーリ４１Ａ、４１Ｂと直角にプーリ４２Ａ、４２Ｂが配設され、このプーリ４２Ａ、４２Ｂに対応して移動板６の下方にプーリ４３Ａ、４３Ｂが配設されている。プーリ４２Ａ、４２Ｂ，４３Ａ、４３Ｂはプーリ支持板４４Ａ、４４Ｂに固定されたプーリ軸に固定されており、プーリ支持板４４Ａ、４４Ｂは移動板６に固定されている。
【００１５】
スライダ３６Ａ、３６Ｂの外側端部には、ワイヤ５０Ａ、５０Ｂの一端が固定されている。ワイヤ５０Ａ、５０Ｂはプーリ４１Ａ〜４３Ａ，４１Ｂ〜４３Ｂに掛けられ、他端はシリンダ５１Ａ、５１Ｂのピストンロッドに固定されている。シリンダ５１Ａ、５１Ｂはブラケット５２Ａ、５２Ｂを介して移動板６に固定されている。テンションローラ３７Ａ、３７Ｂのローラ軸には検出板５３Ａ、５３Ｂが固定されており、検出板５３Ａ、５３Ｂの内側移動位置と外側移動位置を検出するように、移動板６には内側位置検出センサー５４Ａ、５４Ｂと外側位置検出センサー５５Ａ、５５Ｂが固定されている。
【００１６】
次に加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂの移動機構について説明する。加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂは、基板１に直交する方向に伸びて移動板６に固定されたガイドレール６０に摺動自在に設けられている。図１及び図４に示すように、加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂの外側面には受け板６１Ａ、６１Ｂが固定されており、この受け板６１Ａ、６１Ｂに対応して作動板６２Ａ、６２Ｂが固定された作動ロッド６３Ａ、６３Ｂが配設されている。作動ロッド６３Ａ、６３Ｂには作動ホルダ６４Ａ、６４Ｂが摺動自在に嵌挿され、作動板６２Ａ、６２Ｂが受け板６１Ａ、６１Ｂに圧接するように、作動板６２Ａ、６２Ｂと作動ホルダ６４Ａ、６４Ｂ間にはスプリング６５Ａ、６５Ｂが配設されている。作動ホルダ６４Ａ、６４Ｂは、作動ロッド６３Ａ、６３Ｂと平行に配設されたねじ軸６６Ａ、６６Ｂに螺合されている。なお、作動ホルダ６４Ａ、６４Ｂは回転しないように図示しないガイド軸に摺動自在に嵌挿されている。ねじ軸６６Ａ、６６Ｂの両端部は軸受ホルダ６７Ａ、６７Ｂに回転自在に支承されており、ねじ軸６６Ａ、６６Ｂの端部には回転つまみ６８Ａ、６８Ｂが固定されている。
【００１７】
図１に示すように、加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂの巻取りリール１２Ａ、１２Ｂ側の端部には、開閉用ローラ７０Ａ、７０Ｂが回転自在に設けられており、この開閉用ローラ７０Ａ、７０Ｂ間には先端部がクサビ形状に形成された両面テーパカム７１が基板１と平行に配設されている。両面テーパカム７１には移動板６の裏面に伸びた雌ねじホルダ７２が固定されており、雌ねじホルダ７２は、図３に示すようにねじ軸７３に螺合している。ねじ軸７３の両端部分は軸受ホルダ７４、７４に回転自在に支承され、ねじ軸７３の端部にはプーリ７５が固定されている。プーリ７５に対応してプーリ７６が配設されており、プーリ７６は移動板６に固定されたモータ７７の出力軸に固定されている。そして、プーリ７５と７６にはベルト７８が掛けられている。
【００１８】
最後に供給リール１１Ａ、１１Ｂ及び巻取りリール１２Ａ、１２Ｂの駆動機構を図１及び図３により説明する。まず供給リール１１Ａ、１１Ｂの駆動機構について説明する。供給リール１１Ａ、１１Ｂが固定される供給リール軸８０Ａ、８０Ｂには従動ギア８１Ａ、８１Ｂが固定されており、従動ギア８１Ａ、８１Ｂには駆動ギア８２Ａ、８２Ｂが螺合している。駆動ギア８２Ａ、８２Ｂは移動板６に固定された供給リール用ステッピングモータ８３Ａ、８３Ｂの出力軸に固定されている。
【００１９】
次に巻取りリール１２Ａ、１２Ｂの駆動機構について説明する。巻取りリール１２Ａ、１２Ｂが固定される巻取りリール軸９０Ａ、９０Ｂには従動ギア９１Ａ、９１Ｂが固定されている。キャプスタンローラ２７Ａ、２７Ｂが固定されたキャプスタン軸９２Ａ、９２Ｂには互いに噛合するキャプスタンギア９３Ａ、９３Ｂが固定されている。従動ギア９１Ａ、９１Ｂとキャプスタンギア９３Ａ、９３Ｂとを同一方向に回転させるように、ギア９１Ａと９３Ａ，９１Ｂと９３Ｂには中間ギア９４Ａ、９４Ｂが螺合している。一方の従動ギア９１Ｂには駆動ギア９５が噛合しており、駆動ギア９５は移動板６に固定された巻取りリール用ステッピングモータ９６の出力軸に固定されている。
【００２０】
次に作用について説明する。作動前は、テンションローラ３７Ａ、３７Ｂはシリンダ５１Ａ、５１Ｂによる一定のテンションで検出板５３Ａ、５３Ｂが内側位置検出センサー５４Ａ、５４Ｂで検出される内側位置まで移動しており、テープ１０Ａ、１０Ｂに一定のテンションが掛けられている。両面テーパカム７１が前進して加圧ヘッド４Ａ、４Ｂが離れた状態、また移動板６が上昇した状態で、基板１をスピンドル２にチャックさせて回転させる。
【００２１】
次に移動板６が下降して図１の状態となり、図３に示すモータ７７が作動して両面テーパカム７１を上方（矢印Ｂ方向）に移動させる。モータ７７が作動すると、プーリ７６、ベルト７８、プーリ７５を介してねじ軸７３が回転し、雌ねじホルダ７２が上方（矢印Ｂ方向）に移動して両面テーパカム７１も共に上方に移動する。これにより、開閉用ローラ７０Ａ、７０Ｂは内側に移動できるようになるので、加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂはスプリング６５Ａ、６５Ｂの付勢力により両面テーパカム７１のテーパ面に追従して移動し、加圧ヘッド４Ａ、４Ｂによってテープ１０Ａ、１０Ｂが基板１を加圧する。この状態で移動板６を上下方向に複数回移動させると、基板１の両面はテープ１０Ａ、１０Ｂによって研磨されて平滑される。
【００２２】
研磨終了後、両面テーパカム７１は前記と逆方向に移動するようにモータ７７が回転させられる。これにより、両面テーパカム７１が下降して開閉用ローラ７０Ａ、７０Ｂ、即ち加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂをスプリング６５Ａ、６５Ｂの付勢力に抗して外側に移動させる。加圧ヘッド支持板５Ａ、５Ｂが外側に移動させられると、加圧ヘッド４Ａ、４Ｂ及びテープ１０Ａ、１０Ｂは基板１より離れる。また移動板６が上昇して基板１の外側に位置する。
【００２３】
研磨が終了するとほぼ同時に巻取りリール１２Ａ、１２Ｂ及びキャプスタンローラ２７Ａ、２７Ｂがテープ１０Ａ、１０Ｂを巻き取る方向に巻取りリール用ステッピングモータ９６が駆動される。巻取りリール用ステッピングモータ９６により駆動ギア９５が矢印Ｃ方向に回転すると、従動ギア９１Ｂが矢印Ｄ方向に回転し、中間ギア９４Ｂを介してキャプスタンギア９３Ｂが従動ギア９１Ｂと同じ矢印Ｄ方向に回転する。キャプスタンギア９３Ｂが矢印Ｄ方向に回転すると、キャプスタンギア９３Ａが矢印Ｄ方向と逆の矢印Ｄ’方向に回転し、中間ギア９４Ａを介して従動ギア９１Ａが同じ矢印Ｄ’方向に回転する。
【００２４】
従動ギア９１Ｂの巻取りリール軸９０Ｂには巻取りリール１２Ｂが固定され、キャプスタンギア９３Ｂのキャプスタン軸９２Ｂにはキャプスタンローラ２７Ｂが固定されているので、巻取りリール１２Ｂ及びピンチローラ軸９２Ｂの矢印Ｄ方向の回転によってテープ１０Ｂは巻取りリール１２Ｂに巻き取られる。また同様に、従動ギア９１Ａの巻取りリール軸９０Ａには巻取りリール１２Ａが固定され、キャプスタンギア９３Ａのキャプスタン軸９２Ａにはキャプスタンローラ２７Ａが固定されているので、巻取りリール１２Ａ及びキャプスタンローラ２７Ａの矢印Ｄ’方向の回転によってテープ１０Ａは巻取りリール１２Ａに巻き取られる。
【００２５】
テープ１０Ａ、１０Ｂがそれぞれ巻取りリール１２Ａ、１２Ｂに巻き取られると、テンションローラ３７Ａ、３７Ｂはシリンダ５１Ａ、５１Ｂのテンションに抗して内側に移動し、検出板５３Ａ、５３Ｂが内側位置検出センサー５４Ａ、５４Ｂによって検出されると、巻取りリール用ステッピングモータ９６の回転は停止する。次に供給リール用ステッピングモータ８３Ａ、８３Ｂが駆動して駆動ギア８２Ａ、８２Ｂ，従動ギア８１Ａ、８１Ｂが矢印Ｅ、Ｅ’方向に回転する。従動ギア８１Ａ、８１Ｂの供給リール軸８０Ａ、８０Ｂには供給リール１１Ａ、１１Ｂが固定されているので、供給リール１１Ａ、１１Ｂが矢印Ｅ、Ｅ’方向に回転してテープ１０Ａ、１０Ｂを一定量送り出す。テープ１０Ａ、１０Ｂにはテンションローラ３７Ａ、３７Ｂによってテンションが働いているので、検出板５３Ａ、５３Ｂが内側位置検出センサー５４Ａ、５４Ｂに位置するように内側に移動していたテンションローラ３７Ａ、３７Ｂは、シリンダ５１Ａ、５１Ｂのテンションで外側に移動し、テープ１０Ａ、１０Ｂを巻取りリール１２Ａ、１２Ｂ側に引っ張り、加圧ヘッド４Ａ、４Ｂにテープ１０Ａ、１０Ｂの新しい部分が送り込まれ、テープ１０Ａ、１０Ｂに一定のテンションが掛けられている。これにより１サイクルが終了する。以後、前記動作を繰り返して加工を順次行う。
【００２６】
このように、テンションローラ３７Ａ、３７Ｂのローラ軸に設けられた検出板５３Ａ、５３Ｂの内側移動位置と外側移動位置とを検出する内側位置検出センサー５４Ａ、５４Ｂ及び外側位置検出センサー５５Ａ、５５Ｂの出力を検出して供給リール用ステッピングモータ８３Ａ、８３Ｂ及び巻取りリール用ステッピングモータ９６を制御することにより、供給リール１１Ａ、１１Ｂと加圧ヘッド４Ａ、４Ｂ間にキャプスタンローラ及びピンチローラを配設しないでテープ１０Ａ、１０Ｂを送ることができる。即ち、キャプスタンローラ２７Ａ、２７Ｂ及びピンチローラ２９Ａ、２９Ｂはテンションローラ３７Ａ、３７Ｂと巻取りリール１２Ａ、１２Ｂ間に配設され、供給リール１１Ａ、１１Ｂと加圧ヘッド４Ａ、４Ｂ間には配設されていないので、加圧ヘッド４Ａ、４Ｂに送られるテープ１０Ａ、１０Ｂは表面が汚れたり、またテープ１０Ａ、１０Ｂ表面に悪影響を与えることがない。また供給リール１１Ａ、１１Ｂ及び巻取りリール１２Ａ、１２Ｂを加圧ヘッド４Ａ、４Ｂの一方側に設けることにより、装置の小型化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の基板表面加工装置の一実施の形態を示す正面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】図１の裏面図である。
【図４】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１    基板
２    スピンドル
３Ａ、３Ｂ    加圧装置
４Ａ、４Ｂ    ７０１
５Ａ、５Ｂ    加圧ヘッド支持板
６    移動板
１０Ａ、１０Ｂ    テープ
１１Ａ、１１Ｂ    供給リール
１２Ａ、１２Ｂ    巻取りリール
２７Ａ、２７Ｂ    キャプスタンローラ
２９Ａ、２９Ｂ    ピンチローラ
３７Ａ、３７Ｂ    テンションローラ
５０Ａ、５０Ｂ    ワイヤ
５１Ａ、５１Ｂ    シリンダ
５３Ａ、５３Ｂ    検出板
５４Ａ、５４Ｂ    内側位置検出センサー
５５Ａ、５５Ｂ    外側位置検出センサー
６１Ａ、６１Ｂ    受け板
６２Ａ、６２Ｂ    作動板
７０Ａ、７０Ｂ    開閉用ローラ
７１    両面テーパカム
８１Ａ、８１Ｂ    従動ギア
８２Ａ、８２Ｂ    駆動ギア
８３Ａ、８３Ｂ    供給リール用ステッピングモータ
９１Ａ、９１Ｂ    従動ギア
９３Ａ、９３Ｂ    キャプスタンギア
９５    駆動ギア
９６    巻取りリール用ステッピングモータ
【図１】
2007130736.tif 000003
【図２】
2007130736.tif 000004
【図３】
2007130736.tif 000005
【図４】
2007130736.tif 000006