【事件の表示】
　特願２０１２−２７７６４０「基板を処理するクラスタツールアーキテクチャ」拒絶査定不服審判事件〔平成２５年　５月１６日出願公開、特開２０１３−　９３５９７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成１７年１２月２１日を国際出願日とする出願である特願２００７−５４８５５１号（優先権主張２００４年１２月２２日、アメリカ合衆国）の一部を、平成２３年１０月１１日に分割して新たな特許出願とした特願２０１１−２２４０４３号の一部を、さらに平成２４年１２月２０日に分割して新たな特許出願としたものであって、平成２５年１月１５日に手続補正書が提出され、平成２５年２月１４日付けで拒絶の理由が通知され、平成２５年５月２７日付けで意見書及び手続補正書が提出されたが、平成２５年６月２１日付けで拒絶の査定がされた。当該査定を不服として、平成２５年１０月２２日付け本件審判が請求され同時に手続補正書が提出され、平成２５年１２月２４日付けの当審の審尋に対して、平成２６年５月７日に回答書が提出された。
　
第２　平成２５年１０月２２日付けの手続補正についての補正の却下の決定
　
［補正の却下の決定の結論］
　平成２５年１０月２２日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
　
１．　補正の内容
　本件補正は、平成２５年５月２７日付けで補正された特許請求の範囲をさらに補正するものであって、特許請求の範囲の請求項１に関する補正を含むところ、補正前後の請求項１の記載は、補正箇所に下線を付して示すと、以下のとおりである。
　
（１）　補正前
「【請求項１】
　第１方向に移動可能な第１及び第２垂直動作アセンブリと、
　第１端と第２端とを有する水平動作アセンブリであって、前記第１端において前記第１垂直動作アセンブリと結合され、前記第２端において前記第２垂直動作アセンブリと結合され、且つ前記第１方向とほぼ直交する第２方向に前記第１及び第２垂直動作アセンブリに対して移動可能な水平動作アセンブリと、
を備えたロボットアセンブリであって、前記ロボットアセンブリはさらに、
　前記第１及び第２垂直動作アセンブリ並びに水平動作アセンブリの一方に収容されたエンクロージャと、
　前記エンクロージャ内にあるアクチュエータと、
　前記エンクロージャ内で前記エンクロージャの外側の圧力よりも低い圧力を生成するように構成された、前記エンクロージャ上に配置されたファンアセンブリと、
を備えている、前記ロボットアセンブリ。」
　
（２）　補正後
「【請求項１】
　第１方向に移動可能な第１及び第２垂直動作アセンブリと、
　第１端と第２端とを有する水平動作アセンブリであって、前記第１端において前記第１垂直動作アセンブリと結合され、前記第２端において前記第２垂直動作アセンブリと結合され、且つ前記第１方向とほぼ直交する第２方向に前記第１及び第２垂直動作アセンブリに対して移動可能な水平動作アセンブリと、
を備えたロボットアセンブリであって、前記ロボットアセンブリはさらに、
　前記第１及び第２垂直動作アセンブリ並びに水平動作アセンブリの一方に
設けられた筐体
　前記
筐体
　前記
筐体
筐体
筐体
ユニット
を備え
、
　
前記筐体と前記ファンユニットとは、前記第１及び第２垂直動作アセンブリ並びに水平動作アセンブリの一方から生成される粒子を除去するように構成され
　
２．　補正の適否
　本件補正のうち請求項１に関するものは、以下の補正事項１ないし４からなるものである。
　
・補正事項１
　明りょうでない記載の釈明を目的として、本件補正前の請求項１の６箇所に記載された「エンクロージャ」を「筺体」とした点。
　
・補正事項２
　明りょうでない記載の釈明を目的として、本件補正前の「前記第１及び第２垂直動作アセンブリ並びに水平動作アセンブリの一方に収容されたエンクロージャ」の「一方に収容されたエンクロージャ」との記載を、「一方に設けられた筺体」と、上記補正事項１と整合をとりつつ、さらに補正した点。
　
・補正事項３
　明りょうでない記載の釈明を目的として、本件補正前の「ファンアセンブリ」を「ファンユニット」と補正した点。
　
・補正事項４
　特許請求の範囲の減縮を目的として、本件補正前の「エンクロージャ」と「ファンアセンブリ」が、「前記第１及び第２垂直動作アセンブリ並びに水平動作アセンブリの一方から生成される粒子を除去するように構成されている」ものであると、上記補正事項１及び３と整合をとりつつ、限定的に減縮した点。
　
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（平成１８年法律第５５号改正附則第３条第１項によりなお従前の例によるとされる同法による改正前の特許法（以下、「平成１８年改正前特許法」という。）第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するか）否かについて以下に検討する。
　
（１）　補正発明
　本件補正後の請求項１に係る発明は、本件補正により補正された特許請求の範囲、明細書及び図面の記載からみて、上記１．（２）の本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める（以下「補正発明」という。）。
　
（２）　引用文献の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された本願優先日前に頒布された刊行物である、特開２００１−７７１７６号公報（以下、「引用文献」という。）には、それぞれ図面とともに以下の事項が記載されている（下線は、理解の便のため当審で付した。）。
　
ア．　引用文献の記載
　
（ア）
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の基板に各種処理を施す基板処理装置、例えば、基板にレジスト液を塗布し、露光後の基板を現像する基板処理装置に関する。」
　
（イ）
「【００２０】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。図１は本発明の基板処理装置の一実施形態に係るレジスト塗布現像処理システムを示す概略平面図、図２はその正面図、図３はその背面図である。
【００２１】このレジスト塗布現像処理システム１は、搬送ステーションであるカセットステーション１０と、複数の処理ユニットを有する処理ステーション１１と、処理ステーション１１と隣接して設けられる露光装置（図示せず）との間でウエハＷを受け渡すためのインターフェイス部１２とを具備している。
【００２２】上記カセットステーション１０は、被処理体としての半導体ウエハ（以下、単にウエハと記す）Ｗを複数枚例えば２５枚単位でウエハカセットＣＲに搭載された状態で他のシステムからこのシステムへ搬入またはこのシステムから他のシステムへ搬出したり、ウエハカセットＣＲと処理ステーション１１との間でウエハＷの搬送を行うためのものである。
【００２３】このカセットステーション１０においては、図１に示すように、カセット載置台２０上に図中Ｘ方向に沿って複数（図では４個）の位置決め突起２０ａが形成されており、この突起２０ａの位置にウエハカセットＣＲがそれぞれのウエハ出入口を処理ステーション１１側に向けて一列に載置可能となっている。ウエハカセットＣＲにおいてはウエハＷが垂直方向（Ｚ方向）に配列されている。また、カセットステーション１０には、カセット載置台２０と処理ステーション１１との間に位置する従ウエハ搬送装置２１が設けられている。」
　
（ウ）
「【００３６】カセットステーション１０の従ウエハ搬送装置２１は、カセット配列方向（Ｘ方向）および垂直方向（Ｚ方向）および前後方向に移動可能であり、しかもθ方向に回転可能なウエハ保持部材２１ａを有しており、このウエハ保持部材２１ａがいずれかのウエハカセットＣＲに対して選択的にアクセス可能となっている。また、ウエハ保持部材２１ａは、その状態からθ方向に回転し、かつＺ方向に移動することにより、処理ステーション１１の第３の処理ユニット群Ｇ３に属する各ユニットにもアクセスできるようになっている。したがって、従ウエハ搬送装置２１は、ウエハカセットＣＲに対するウエハＷの受け渡しおよび処理ステーション１１へのウエハＷの搬入の他、後述するように主ウエハ搬送装置４６の補助を行うことが可能となっている。具体的には、図３に示すように、従ウエハ搬送装置２１において、
ウエハ保持部材２１ａは、ベース部材５１に前後動可能に支持されており、ベース部材５１は昇降部材５２に旋回可能に支持されている。昇降部材５２は、ガイド部材５３にガイドされて昇降されるようになっている。ガイド部材５３は走行部５４から上方に延びており、走行部５４はカセットＣＲの配列方向に沿って設けられたレール５５上を走行するようになっている。
【００３７】インターフェイス部１２の従ウエハ搬送装置２４は、Ｘ方向、Ｚ方向に移動可能であり、しかもθ方向に回転可能なウエハ保持部材２４ａを有しており、このウエハ保持部材２４ａがカセットＣＲ，ＢＲ、周辺露光装置２３および露光装置側のウエハ受け渡し台（図示せず）へアクセス可能となっている。また、ウエハ保持部材２４ａは、θ方向に回転し、かつＺ方向に移動することにより、処理ステーション１１の第４の処理ユニット群Ｇ４に属する各ユニットにもアクセスできるようになっている。したがって、従ウエハ搬送装置２４は、処理ステーション１１と露光装置との間のウエハＷの搬送の他、後述するように主ウエハ搬送装置４６の補助を行うことが可能となっている。具体的には、図３に示すように、従ウエハ搬送装置２４において、ウエハ保持部材２４ａは、ベース部材６１に前後移動可能に支持されており、ベース部材６１は昇降部材６２に旋回可能に支持されている。昇降部材６２は、ガイド部材６３にガイドされて昇降されるようになっている。ガイド部材６３は走行部６４から上方に延びており、走行部６４はＸ方向に沿って設けられたレール６５上を走行するようになっている。なお、従搬送装置２４のウエハ保持部材２４ａは、第２の処理ユニット群Ｇ２に属する各処理ユニットにもアクセスできるように構成することもできる。
【００３８】このように構成されるレジスト塗布現像処理システム１においては、まず、カセットステーション１０において、従ウエハ搬送装置２１のウエハ保持部材２１ａがカセット載置台２０上の未処理のウエハＷを収容しているウエハカセットＣＲにアクセスして、そのウエハカセットＣＲから一枚のウエハＷを取り出し、第３の処理ユニット群Ｇ３のエクステンションユニット（ＥＸＴ）に搬送する。」
　
（エ）
「【００５０】一方、カセットステーション１０内の従ウエハ搬送装置２１は通常搬送時には、ウエハ保持部材２１ａによりカセットＣＲからウエハＷを取り出して、ウエハ保持部材２１ａを水平方向（Ｘ方向）に移動させ、所定高さの範囲内で上下方向（Ｚ方向）に移動させ、θ方向に回転させて、処理ステーション１１内の第３の処理ユニット群Ｇ３のエクステンションユニット（ＥＸＴ）やアライメントユニット（ＡＬＩＭ）にウエハＷを受け渡す。また、従ウエハ搬送装置２１は、ウエハ保持部材２１ａにより一連の処理が終了したウエハＷを第３処理ユニット群Ｇ３のエクステンションユニット（ＥＸＴ）で受け取り、ウエハ保持部材２１ａを水平方向（Ｘ方向）に移動させ、所定高さの範囲内で上下方向（Ｚ方向）に昇降させ、θ方向に回転させて、所定のカセットＣＲに収容する。」　
　
（オ）
【図１】、【図３】
　【図１】記載のＸが付された矢印から、「ウエハ保持部材２１ａ」が、「レール５５」に沿って、「水平方向（Ｘ軸方向）」に移動可能であると認められる。また、【図３】記載のＺが付された矢印から、「ガイド部材（５３）」にガイドされる方向が、「垂直方向（Ｚ方向）」であると認められる。
　
　
（カ）
　上記摘記事項（ウ）には、「ウエハ保持部材２１ａは、ベース部材５１に前後動可能に支持されており、ベース部材５１は昇降部材５２に旋回可能に支持されている。昇降部材５２は、ガイド部材５３にガイドされて昇降されるようになっている。」（段落【００３６】）と記載されているから、「昇降部材（５２）」と「ガイド部材（５３）」とは、昇降のためのアセンブリを構成し、かつ、上記認定事項（オ）から、「ガイド部材（５３）」にガイドされる方向は、「垂直方向（Ｚ方向）」であるから、引用文献１には、Ｚ方向に移動可能な昇降アセンブリが記載されているということができる。また、上記摘記事項（ウ）には、「ガイド部材５３は走行部５４から上方に延びており、走行部５４はカセットＣＲの配列方向に沿って設けられたレール５５上を走行するようになっている。」（段落【００３６】）と記載され、かつ、上記摘記事項（エ）には「水平方向（Ｘ方向）」との記載及び上記認定事項（オ）から、引用文献１には、水平アセンブリが記載されているということができる。ここで、「垂直方向（Ｚ方向）」と「水平方向（Ｘ方向）」が直交することは、当業者にとって自明である。
　
（キ）
　上記摘記事項（ウ）から、上記「昇降部材（５２）」は昇降動作をし、上記「走行部（５４）」が「レール５５上」を走行動作するから、それら動作の源となるアクチュエータを有することが、当業者にとって自明である。
　
イ．　引用文献記載発明
　上記摘記事項（ア）ないし（エ）、上記認定事項（オ）ないし（キ）から、引用文献に記載の事項を技術常識を考慮しながら、補正発明に照らして整理すると、引用文献には以下の発明（以下、「引用文献記載発明」という。）が記載されている。
　
「垂直方向に移動可能な昇降アセンブリと、
垂直方向と直交する水平方向に移動可能な水平アセンブリと、
を備えた搬送装置であって、前記搬送装置はさらに、
アクチュエータを備えた搬送装置」
　
（３）　対比
　補正発明と引用文献記載発明とを対比する。
　引用文献記載発明の「昇降アセンブリ」は、垂直方向への移動を可能とするものであるから、補正発明の「垂直動作アセンブリ」に相当する。
　補正発明は、「第１方向」に移動可能なアセンブリを「垂直動作アセンブリ」としていることから、引用文献記載発明の「垂直方向」は補正発明の「第１方向」に相当する。同様に、補正発明は、「第２方向」に移動可能なアセンブリを「水平動作アセンブリ」としていることから、引用文献記載発明の「水平方向」は補正発明の「第２方向」に相当する。
　引用文献記載発明の「直交」は、補正発明の「ほぼ直交」に包含される。
　また、引用文献記載発明の「搬送装置」は、補正発明の「ロボットアセンブリ」に相当する。
　
　そうすると、補正発明と引用文献記載発明とは、以下の点で一致し、かつ、相違する。
　
ア．　一致点
「第１方向に移動可能な垂直動作アセンブリと
第１方向と直交する第２方向に移動可能な水平動作アセンブリと、
を備えたロボットアセンブリであって、前記ロボットアセンブリはさらに
アクチュエータを備えたロボットアセンブリ。」
　
イ．　相違点
　
（ア）　相違点１
　補正発明の「ロボットアセンブリ」における「垂直動作アセンブリ」と「水平動作アセンブリ」は、「垂直動作アセンブリ」を「第１及び第２垂直アセンブリ」とから構成し、「水平動作アセンブリ」が、「第１端と第２端」とを有し、当該「第１端」において「第１垂直動作アセンブリ」と結合され、「第２端」において「第２垂直動作アセンブリ」と結合され、且つ第１及び第２垂直動作アセンブリに対して移動可能であるのに対し、引用文献記載発明の「搬送装置」における「垂直動作アセンブリ」と「水平動作アセンブリ」は、そのようなものではない点。
　
（イ）　相違点２
　補正発明の「第１及び第２垂直動作アセンブリ」と「水平動作アセンブリ」は、の一方に設けられた「筺体」と、「筺体」内にあるアクチュエータと、「筺体」内で「筺体」の外側の圧力よりも低い圧力を生成するように構成された、前記「筺体」上に配置された「ファンユニット」を備え、前記「筺体」と前記「ファンユニット」とは、「第１及び第２垂直動作アセンブリ」及び「水平動作アセンブリ」の一方から生成される粒子を除去するように構成されているものであるのに対し、引用文献記載発明の「垂直動作アセンブリ」及び「水平動作アセンブリ」が、「筺体」が設けられたものであるか、ひいては「筺体」上に「ファンユニット」を備え、「筺体」内の圧力を外側より低くするものであるかが、不明である点。
　
（４）　判断
　
ア．　相違点１について
　搬送装置において、二本の垂直動作可能なアセンブリと水平動作可能なアセンブリとから構成し、水平動作可能なアセンブリの二つの端部のそれぞれにおいて、当該二本の垂直動作アセンブリのそれぞれに対して結合され、かつ水平動作可能なアセンブリを前記二本の垂直動作可能なアセンブリに対して移動可能とすることは、従来周知（例えば原審の拒絶査定において例示した米国特許第６，５３３，５３１号明細書のＦＩＧ．５及び８欄６３行ないし９欄８行に、二本の垂直な「vertical members 530」（垂直メンバ　５３０）とそれに対して両端がそれぞれ「vertical members 530」（垂直メンバ　５３０）に摺動可能に結合された「horizontal member 520」（水平メンバ　５２０）と、「horizontal member 520」（水平メンバ　５２０）に取り付けられた「base 510」（基台　５１０）が記載されている。なお、（）内の仮訳は当審で付した）である。引用文献記載発明の「垂直動作アセンブリ」と「水平動作アセンブリ」において、上記相違点１に係る構成とすることは、上記従来周知の事項を適用することで、当業者が容易になし得たものである。
　
イ．　相違点２について
　搬送装置を構成する垂直動作可能なアセンブリあるいは水平動作可能なアセンブリにおいて、「筺体」を設け、「筺体」内に駆動源を配置して、「筺体」の外側の圧力よりも低い圧力を生成するように、「筺体」上に「ファンユニット」を備えて、垂直動作可能なアセンブリあるいは水平動作可能なアセンブリから生成される粒子を除去するようにすることは、例えば以下に例示されるように、従来周知の事項である。
　
・特開平２−２３２１９４号公報（原査定の拒絶の理由の引用文献３）
　垂直動作可能な「ボールネジ（５）」、「プーリ（６）」、「モータ（７）」、「ベルト車（８）」、「ベルト（９）」及び「昇降体（１０）」とからなるアセンブリを、筺体状の「フレーム（１）」内に駆動源である「モータ（７）」を含めて配置し、上記「アセンブリ」に対して外側の位置で「フレーム（１）」上に、ユニット状の「ファン（１３）」が取り付けられている点（第４図）及び「フレーム内に発生する塵はフレーム内の空気とともにファン（１３）に吸引され、フィルタ（１２）に濾過された後に排気口（１１）から外部に排出される。そしてファン（１３）の吸引による負圧作用により外部の汚染されていない空気は溝孔（２）を経てフレーム内部に導入される。」（２ページ右上欄１ないし７行）と記載されている。
・特開平１０−１５７８４７号公報
　垂直動作可能なアセンブリである「垂直軸移動機構」を筺体状の「垂直ハウジング（１０）」内に駆動源である「モータ（１４）」を含めて配置する点（【図２】）、ユニット状の「水平ハウジング２０内を強制排気する排気手段であるファン１６」（段落【００３０】）が「水平ハウジング（２０）」上に取り付けられている点（【図２】）、水平動作可能なアセンブリである「水平軸移動機構」を筺体状の「水平ハウジング（２０）」内に駆動源である「駆動部（２４）」を含めて配置する点（【図３】）及び「垂直ハウジング１０の内部は、排気口１０ｇに接続された真空ポンプ等によって排気され、水平ハウジング２０の内部もファン１６によって強制排気される。・・・水平ハウジング２０内と垂直ハウジング１０内を周囲の雰囲気の圧力より低い減圧状態に維持する。上記の垂直軸移動機構や後述する水平軸移動機構は、モータやかさ歯車機構等から微細な浮遊ゴミ等を発生して、周囲の雰囲気を汚染するおそれがあるため、これらを垂直ハウジング１０や水平ハウジング２０内に収納して内部を減圧状態に保ち、上記の浮遊ゴミ等が各シールドフイルム１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂ等と開口１０ｉ，１０ｊ等の間の隙間から流出するのを防ぐものである。」（段落【００３８】、【００３９】）と記載されている。
　
　機械的な動作に付随して、当該機械から粒子が生成されることは、例えば上記特開平１０−１５７８４７号に「垂直軸移動機構や後述する水平軸移動機構は、モータやかさ歯車機構等から微細な浮遊ゴミ等を発生して、周囲の雰囲気を汚染するおそれがある」（段落【００３９】）と記載されているように、技術常識である。ここで、引用文献記載発明の搬送装置は、高度に清浄な空間が求められる「半導体ウエハ等の基板に各種処理を施す基板処理装置」（上記（２）ア．摘記事項（ア））において用いられるのだから、引用文献記載発明において、「垂直動作アセンブリ」や「水平動作アセンブリ」の動作に伴って、粒子が生じ、かつ当該粒子の基板が搬送される空間への排出されることを防止する必要のあることは、当業者にとって自明な課題である。そうすると、引用文献記載発明の「アクチュエータを搬送装置」における「昇降アセンブリ」及び「水平アセンブリ」を、上記相違点２に係る構成を備えたものとすることは、上記自明な課題を解決しようとして、上記従来周知のアセンブリから生成される粒子を除去する手段を採用することで、当業者が容易になし得た事項である。
　
（５）　小結
　以上のとおりであるから、補正発明は、引用文献記載発明及び従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、かつ、作用及び効果の点で格別なものを奏するとは認められない。
　したがって、補正発明は特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３．　むすび
　上記２．で検討したとおり、本件補正は、平成１８年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合しないので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　よって、上記［補正の却下の決定の結論］のとおり、決定する。
　
第３　本願発明
　
１．　本願発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲の請求項１ないし１７に係る発明は、平成２５年５月２７日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１７にそれぞれ記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記第２の１．（１）の本件補正前の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。　
　
２．　対比及び判断
　本願発明は、補正発明の発明特定事項から、上記第２の２．で述べたところの技術的限定事項を省いたものである。 
　そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含み、さらに、他の発明特定事項を付加したものに相当する補正発明が、上記第２の２．（４）で検討したとおり、引用文献記載発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　
３．　むすび
　以上のとおりであるので、本願発明は、引用文献記載発明及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、本願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 
　よって、結論のとおり審決する。