【事件の表示】
　平成　２年特許願第１８７００３号「スキャニング共焦点顕微鏡」拒絶査定に対する審判事件［平成３年４月１２日出願公開、特開平３−８７８０４］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【1】手続の経緯・本願発明
　本願は、平成2年7月13日(オーストラリア等を指定国とした国際出願に基づくパリ条約による優先日:平成1年7月13日)に出願されたものであり、その請求項1〜22に係る発明は、平成13年11月6日付けの手続補正により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項1〜22に記載されたとおりである。
　そして、その請求項1に係る発明は以下のものである。
　「光線を供給する光源と、光線の光を物体に集光して物体の点観察範囲を照明し、物体の前記点観察範囲から発する光を受ける集光器と、物体から発して集光器によって受けられた光を検出する検出器と、光源から集光器へ光線を伝送し、物体から発して集光器によって受けられた光を検出器へ伝送する光伝送手段と、点観察範囲が物体を走査パターンで横切るよう物体と点観察範囲の相対移動をもたらす走査手段とを備えたスキャニング共焦点エピ照明顕微鏡であって、
　前記光伝送手段が、光源と集光器の間で光線を伝送し、かつ光線に対して前記共焦点状態を提供する空間フィルタとなるフレキシブルな光伝送手段と、物体から発した光を前記光線から分離する光分離手段とからなり、なおかつ、前記走査手段が、前記伝送手段から伝送される光線を前記集光器に移動させて、前記物体と点観察範囲の前記相対移動を生じさせる手段からなる、前記スキャニング共焦点エピ照明顕微鏡。」(以下、「本願発明」という。)
　
【2】引用例
　これに対して、当審の拒絶理由通知で引用した、刊行物1、2には、以下の事項が記載されている。
刊行物1:特開昭61-219919号公報
(1-1)2頁右上欄下から3行〜左下欄下から5行
　「この顕微鏡について第15図により詳細に説明する。・・・検出器11及び12からの信号を加算した場合は通常の試料像が観察でき、減算した場合には試料4の微分位相像が観察できる。このように、光学部品を変更して調整を行ったりしなくとも、電気回路のスイッチを切替えるだけで微分像観察という特殊検鏡が行えるが、この顕微鏡も試料を機械的に動かして走査する方式であるため使い勝手が悪いという問題があった。」
(1-2)2頁左下欄下から4行〜右下欄下から7行、第1〜4図
　「目的
　本発明は、上記問題点に鑑み、高い解像力を有し且つ特殊検鏡も簡単に行えると共に、使い勝手の良い走査型光学顕微鏡を提供せんとするものでる。
　概要
　本発明による走査型顕微鏡は、光偏向器により光ビームを偏向して試料上を走査する方式にすることにより、高い解像力を有しながら通常顕微鏡と同様な使い勝手の良さを確保したものである。又、本走査型顕微鏡は、走査光学系において光偏向器を瞳位置に設定することにより、光偏向器によって光ビームを走査しても走査系において光軸が一定に保たれるようにすると共に、検出器を瞳と共役な位置に設定することにより、軸外光においても瞳における情報を使えるようにして、特殊検鏡法でも電気回路のスイッチ操作一つで観察できるようにしたものである。」
(1-3)2頁右下欄下から6行〜3頁右下欄4行
　「実施例
　以下第1図乃至第4図に示した一実施例に基づき本発明を詳細に説明すれば、第1図は瞳を考慮した走査光学系と検出器の配置を示した図であって、等価的に点光源と考えられるレーザからの光ビーム20はビームスプリッタ21を通過し第一の光偏向器22に入射する。この光偏向器22は対物レンズ23の瞳24と共役な位置に配置する。・・・次にこれらの光ビームは瞳伝送レンズ27及び28を通って瞳位置に配置された第二の光偏向器29に入射する。この光偏向器29が二次元走査のうちのX方向の走査を行うとすると、先の光偏向器22はY方向の走査を行うことになる。・・・光偏向器22及び29により二次元的に走査された光ビームは、瞳投影レンズ30及び結像レンズ31により対物レンズ23の瞳24に入射せしめられる。・・・そして、これらの光ビームは対物レンズ23によって試料32上に回折で制限される点状光を生じる。光偏向器22及び29によってX-Yの二次元に走査することにより、点状光が試料32を二次元走査する。試料32を透過した光を観察する場合は、コンデンサーレンズ33により光を集め検出器34で検出する。尚、検出器34も瞳位置に設置される。・・・又、試料32からの反射光で検出する場合、試料32から反射された光ビームは、対物レンズ23とその瞳24を通り更に結像レンズ31を通って一旦結像する。この結像面が通常の光学顕微鏡で像を観測する面である。更に光ビームは瞳投影レンズ30により光偏向器29上に戻ってくる。このように反射ビームは試料に入射した時と全く同じ経路を逆に通ってビームスプリッタ21に戻り、ビームスプリッタ21により取り出されて検出ビーム37となる。反射ビームが光偏向器29,22を通過して戻ってきているので、軸外を走査しても検出ビーム37は動かない。検出ビーム37は集光レンズ38によって点状に絞られ、点状に絞られた位置にピンホール39をもうけてその後方の検出器40で検出すれば、上記従来例と同様にフレアの無い、通常の顕微鏡より高解像の画像を得ることができる。・・・尚、検出器40からの信号を上記従来例と同様にCRTの表示手段により可視化することは言うまでも無い。」
　以上の記載において、反射光で検出する場合は、レーザと対物レンズとの間、及び試料と検出器との間に存在する光学要素は、一連の光伝送経路の一部を構成している。そして、この伝送経路は、レーザから対物レンズへ光ビームを伝送し、試料から発した光を検出器へ伝送し、対物レンズとビームスプリッタ21との間で、レーザから試料に向かう入射光と試料から検出器に向かう反射光が全く同じ経路を互いに逆に通るように構成され、ビームスプリッタ21、ピンホールを含んでいる。
　してみると、刊行物1には「光ビーム20を供給する等価的に点光源と考えられるレーザと、光ビーム20の光を試料32に集光して試料32の回折で制限される点状光の範囲を照明し、試料32の前記回折で制限される点状光の範囲から発する光を受ける対物レンズ23と、試料32から発して対物レンズ23によって受けられた光を検出する検出器40と、レーザから対物レンズ23へ光ビーム20を伝送し、試料32から発して対物レンズ23によって受けられた光を検出器40へ伝送する光伝送経路と、回折で制限される点状光の範囲が試料32をX-Yの二次元に走査するよう試料32と回折で制限される点状光の範囲の相対移動をもたらす走査光学系とを備えた走査型顕微鏡であって、
　前記光伝送経路が、等価的に点光源と考えられるレーザと対物レンズ23の間で光線を伝送し、かつ光ビーム20に対して反射ビームは試料に入射した時と全く同じ経路を逆に通ってビームスプリッタ21に戻るよう構成され、点状に絞られた位置にピンホール39を配置し、試料32から発した光を前記光ビーム20から分離するビームスプリッタ21を有し、
　なおかつ、前記走査光学系が、前記光伝送経路から伝送される光ビーム20を前記対物レンズ23に対して移動させて、前記試料32と回折で制限される点状光の範囲点の前記相対移動を生じさせる光偏向器22及び29手段からなる、前記走査型顕微鏡。」なる発明(以下、(引用発明」という。)が記載されている。
刊行物2:米国特許第4500204号明細書
(2-1)4欄19行〜50行
　「Fig.1は、この発明の走査型のリソグラフィ及び像形成装置の構成と動作の原理を説明するものである。同図において、1は投射光ファイバ、1aは投射端、2は検出光ファイバ、2aは入射端、4は偏光レンズ、5は対物レンズ、6は物体、Pは実像面である。光源(不図示)からの光は投射端1aから射出し、コンデンサレンズ4を通り、対物レンズ5で収斂され、物体6の表面の顕微鏡的微小領域に焦点を結ぶ。この物体6上の焦点の直径は投射光ファイバ1の直径を対物レンズ5の倍率で除した大きさになる。物体6の表面で反射した光・・・・は対物レンズ5で収斂され、実像面Pの前面に設けられた検出光ファイバ2の入射端2aを通って、Fig.3の分光顕微鏡に加えられる場合には分光器8コンデンサレンズ4の焦点は対物レンズ5の瞳位置に固定される。二次元情報は光ファイバを対物レンズ5の光軸に対してX軸、Y軸方向に手動又はXY-ステージにより走査することにより収集する。
(2-2)6欄12行〜45行
　「Fig.7は、この発明の走査型のリソグラフィ及び像形成装置の分光顕微鏡への典型的な応用例を特に説明する構成図である。この応用において、装置は極低温のフォトルミネッセンスの目的で使用される。・・・11は分光顕微鏡、12は走査機構の典型例としてのXYステージ、13は照明光源、14はコンデンサーレンズ、15及び16は観察及び照明のための着脱可能な半透鏡、・・・。この実施例では、分光顕微鏡11が投射光ファイバと検出光ファイバ2を備えているから、使用者は試料の光励起された領域を発光スポットとして裸眼で確認できる。測定点が確認された後、分光顕微鏡11の光路から半透鏡15及び16をはずすことにより光の損失を避けることができる。測定点の走査は光ファイバ1及び2を、たとえば手動又は動力XYステージ12により駆動することにより行うことができる。
　上述の構成の分光顕微鏡により、与えられた半導体材料の光学的及び電子的特性の二次元分布が、たとえば数ケルビン温度から数百ケルビン温度の範囲で1μmのオーダーの解像度で測定することができる。」
(2-3)7欄57行〜8欄1行
　「上述のように、この発明は、光ファイバを使用することにより、走査のための光学系を単純にし、高精度で高安定な走査操作が可能な、走査型のリソグラフィ及び像形成装置を提供し、光学系の限界に近い解像力と再現性で表面情報の定量的測定を可能とし、または照射の位置の変動がなく、対物レンズと走査される対象物が不動であるから光軸の正確なアライメントを不要とする基板上への高精度の所望パターンの形成を可能とする。」
　なお、上記記載からみて、光源から物体を経て分光器に至る光伝送経路に配置された光ファイバは物体から発した光を光源からの光線から分離する機能を有している。また、Fig.7において、光ファイバ1,2、物体6、レンズ4,5は共焦点状態を提供している。
　以上、刊行物2には、「光伝送経路が、光源と対物レンズ(集光器)の間及び対物レンズ(集光器)と分光器(検出器)との間で光線を伝送し、かつ光線に対して共焦点状態を提供する光ファイバからなる光伝送手段と、物体から発した光を光源からの光線から分離する手段とを有し、
　なおかつ、XY-ステージ(走査手段)が、前記伝送手段から伝送される光線を前記対物レンズ(集光器)に対して移動させて、前記物体と点観察範囲の前記相対移動を生じさせる手段からなる分光顕微鏡」が記載されている。
　
【3】対比
　本願発明と引用発明とを比較すると、引用発明における
(a)「光ビーム20」、
(b)「光ビーム20を供給する等価的に点光源と考えられるレーザ」、
(c)「試料32」、
(d)「回折で制限される点状光の範囲」、
(e)「対物レンズ23」、
(f)「試料32から発して対物レンズ23によって受けられた光を検出する検出器40」、
(g)「レーザから対物レンズ23へ光ビーム20を伝送し、試料32から発して対物レンズ23によって受けられた光を検出器40へ伝送する光伝送経路」、
(h)「回折で制限される点状光の範囲が試料32をX-Yの二次元に走査する」、
(i)「走査光学系」及び
(j)「走査型顕微鏡」
は、本願発明の
(a)「光線」、
(b)「光線を供給する光源」、
(c)「物体」、
(d)「点観察範囲」、
(e)「集光器」、
(f)「物体から発して集光器によって受けられた光を検出する検出器」
(g)「」光源から集光器へ光線を伝送し、物体から発して集光器によって受けられた光を検出器へ伝送する光伝送手段」、
(h)「点観察範囲が物体を走査パターンで横切るよう物体と点観察範囲の相対移動をもたらす」、
(i)「走査手段」及び
(j)「スキャニング共焦点エピ照明顕微鏡」
に相当する。
　また、本願発明の光伝送手段は、光源と集光器(対物レンズ)との間及び集光器と検出器との間に存在する複数の光学要素を含む技術概念であるから、引用発明の「光伝送経路」は本願発明の「光伝送手段」に相当する。
　
　したがって、両者は
　「光線を供給する光源と、光線の光を物体に集光して物体の点観察範囲を照明し、物体の前記点観察範囲から発する光を受ける集光器と、物体から発して集光器によって受けられた光を検出する検出器と、光源から集光器へ光線を伝送し、物体から発して集光器によって受けられた光を検出器へ伝送する光伝送手段と、点観察範囲が物体を走査パターンで横切るよう物体と点観察範囲の相対移動をもたらす走査手段とを備えたスキャニング共焦点エピ照明顕微鏡であって、
　前記光伝送手段が、光源と集光器の間で光線を伝送し、かつ光線に対して前記共焦点状態を提供する、光伝送手段と、物体から発した光を前記光線から分離する光分離手段とからなり、
　なおかつ、前記走査手段が、前記伝送手段から伝送される光線を前記集光器に移動させて、前記物体と点観察範囲の前記相対移動を生じさせる手段からなる、前記スキャニング共焦点エピ照明顕微鏡。」
の点で一致し、
　本願発明においては、光伝送手段が、光源と集光器の間で光線を伝送し、かつ空間フィルタとなるフレキシブルな光伝送手段を有しているのに対して、引用発明は、光伝送手段に相当する光伝送経路が光源と集光器の間で光線を伝送するものではあるが、空間フィルタとなるフレキシブルな光伝送手段を有していない点で相違する。
　
【4】判断
　前記相違について検討する。まず本願発明における空間フィルタについてみるに、本願の明細書の発明の詳細な説明には「空間フィルタ」について、その技術事項が説明されていない。当該技術分野においては、「空間フィルタ」は、空間的に光の通過を制限するものを意味するので、この観点から本願発明の「空間フィルタ」の作用を検討すると、本願の明細書の18頁12行〜14行に「走査スポット158から発する光の一部がファイバーオプティックバンドル162の端部に入射し、光検出器34Eへ伝達される。」と記載されており、フレキシブルな光伝送手段(すなわちファイバーオプティックバンドル162)の端部が、空間的に光の通過を制限する(すなわち走査スポット158から発する光の一部が入射する)ので、前記端部の機能が空間フィルタの機能に対応するものと認められる。
　以上のことから、「光伝送手段が、光源と集光器の間で光線を伝送し、かつ・・・空間フィルタとなるフレキシブルな光伝送手段・・・とからなり、」は、光伝送手段が、光源と集光器の間で光線を伝送し、光の一部が入射するように空間的に光の通過を制限するようにしたフレキシブルな光伝送手段を有することを意味している。
　一方、引用発明は、光伝送手段が点状に絞られた位置にピンホール39を配置しており、当該ピンホール39は、ピンホール以外の空間からの光の通過を制限して、フレアの無い、通常の顕微鏡より高解像の画像を得るためのものであるから、本願発明の「空間フィルタ」に相当する機能を達成している。しかし、光伝送手段の「空間フィルタ」に相当する機能を有する部分が、フレキシブルな光伝送手段とはなっていない。
　
　そこで、光伝送手段が、光源と集光器の間で光線を伝送し、フレキシブルな光伝送手段を有することの進歩性について検討するに、刊行物2において、
　「光の伝送経路が、光源と対物レンズ(集光器)の間及び対物レンズと分光器(検出器)との間で光線を伝送し、かつ光線に対して共焦点状態を提供する光ファイバからなる光伝送手段と、物体から発した光を光源からの光線から分離する手段とを有し、
　なおかつ、XY-ステージ(走査手段)が、前記伝送手段から伝送される光線を前記対物レンズ(集光器)に対して移動させて、前記物体と点観察範囲の前記相対移動を生じさせる手段からなる分光顕微鏡」
が公知である。ここで光ファイバ(投射光ファイバと検出光ファイバ)がフレキシブルな光伝送手段であることは明らかである。また、光ファイバの入出射端がその断面以外の空間領域からの光の通過を制限していること、すなわち空間フィルタの機能を有し、それによって高い解像度が達成されることも当業者に明らかな事項である。
　よって、本願発明は、引用発明の光伝送経路(光伝送手段)の一部に、刊行物2において公知のフレキシブルな光伝送手段を適用することにより当業者が容易に発明できたものである。
　なお、刊行物2のものは、分光顕微鏡ではあるが、光源と集光器の間で光線を伝送し、かつ光線に対して前記共焦点状態を提供する、光伝送手段と、物体から発した光を前記光線から分離する光分離手段とからなり、なおかつ、前記走査手段が、前記伝送手段から伝送される光線を前記集光器に移動させて、前記物体と点観察範囲の前記相対移動を生じさせ、材料の光学的的特性の二次元分布を高い解像度で測定するという引用発明と同様の技術事項を前提とし、引用発明と同様の課題を達成しようとするものであるから、引用発明の光伝送経路に、刊行物2記載の光伝送手段(光ファイバ)を適用するに際して、それを阻害する格別の事情は認められない。
　そして、本願発明の構成による効果は、引用例1、2の記載から予測できる範囲のものである。よって、本願発明は引用例1、2に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものである。
　
【5】むすび
　以上のとおりであるから、本願の請求項1に係る発明は特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。