【事件の表示】
　上記当事者間の特許第２８７７９９７号発明「半導体ウエハの処理方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第２８７７９９７号発明の特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
１．手続の経緯
(1)本件特許第２８７７９９７号に係る発明（以下、「本件特許発明」という。）は、平成３年８月２９日に特許出願され、平成１１年１月２２日にその特許権の設定登録がなされ、その後、平成１２年１０月３１日に訂正審判（訂正２０００−３９１３２号）が請求され、平成１３年２月７日に訂正を認める旨の審決が確定したものである。
(2)これに対して、請求人は、上記訂正審判による訂正（以下、「本件訂正１」という。）は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正ではなく、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものであり、特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に違反してされたものであり、本件特許発明は、同法第１２３条第１項第８号に該当し、無効とすべきであると主張している。
(3)当審では、平成１３年１２月１４日付で、本件訂正１は、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内においてされたものとは認められないから、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書きの規定に違反してされたものである。との無効の理由を通知した。
(4)被請求人は、平成１４年１月２９日に訂正請求書を提出して訂正（以下、「本件訂正２」という）を求めた。
(5)当審は、平成１４年３月４日付で、本件訂正２は、実質上特許請求の範囲を拡張したものであるから、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１３４条第５項で準用する同法第１２６条第２項の規定に違反する。との訂正拒絶の理由を通知した。
(6)被請求人は、平成１４年５月２日付で、本件訂正２は、訂正前記載が意味していた事項を適正ないし明確な表現にあらためたものであり、本件訂正２は認められるべき旨の意見書を提出した。
２．本件訂正２について
(1)訂正の要旨
　本件訂正２は、誤記の訂正を目的として、特許請求の範囲の請求項１を訂正前の
「半導体ウエハの表面に保護粘着テープを貼付けて裏面を切削・研磨するバックグラインド工程と、バックグラインドされた半導体ウエハの裏面に粘着テープを貼付けてリング状のフレームにマウントし、前記マウントされた半導体ウエハをカッテイングして個々の素子を分断するダイシング工程とを順に処理していく半導体ウエハの処理方法において、前記ダイシング工程で半導体ウエハの裏面に粘着テープを貼付けてリング状のフレームにマウントした後に、前記粘着テープを介して半導体ウエハをリング状のフレームに支持したウエハマウントフレームを、前記リング状のフレームの下面に貼付けられた前記粘着テープの全体にまで及ぶ範囲の広さをもった吸着テーブル上に載置して、前記粘着テープを介してリング状のフレームにマウントされた半導体ウエハを吸着テーブル上に吸着保持した状態で、前記半導体ウエハの表面に貼付けられた前記保護粘着テープに剥離テープを貼付け、この剥離テープを介して前記保護粘着テープを剥離することを特徴とする半導体ウエハの処理方法。」から、
「半導体ウエハの表面に保護粘着テープを貼付けて裏面を切削・研磨するバックグラインド工程と、バックグラインドされた半導体ウエハの裏面に粘着テープを貼付けてリング状のフレームにマウントし、前記マウントされた半導体ウエハをカッテイングして個々の素子を分断するダイシング工程とを順に処理していく半導体ウエハの処理方法において、前記ダイシング工程で半導体ウエハの裏面に粘着テープを貼付けてリング状のフレームにマウントした後に、前記粘着テープを介して半導体ウエハをリング状のフレームに支持したウエハマウントフレームを、一側面から見ると前記リング状のフレームの下面に貼付けられた前記粘着テープの全体にまで及ぶ長さをもった吸着テーブル上に載置して、前記粘着テープを介してリング状のフレームにマウントされた半導体ウエハを吸着テーブル上に吸着保持した状態で、前記半導体ウエハの表面に貼付けられた前記保護粘着テープに剥離テープを貼付け、この剥離テープを介して前記保護粘着テープを剥離することを特徴とする半導体ウエハの処理方法。」
　と訂正する訂正事項、つまり、
訂正前の「粘着テープの全体にまで及ぶ範囲の広さをもった吸着テーブル」を、
訂正後の「一側面からみると・・・粘着テープの全体にまで及ぶ長さをもった吸着テーブル」
　と訂正する訂正事項を含むものである。
(2)訂正拒絶の理由
　当審における、平成１４年３月４日付の訂正拒絶の理由は、次の通り。
「訂正前における吸着テーブルは、一側面からみて、リング状のフレームの下面に貼付けられた粘着テープの全体にまで及ぶ長さを具備しているばかりでなく、奥行き（図５における紙面と直角方向）についても、該粘着テープの全体にまで及ぶ長さを具備していることを必須の構成要件とするものであった。これに対して、訂正後における吸着テーブルは、リング状のフレームの下面に貼付けられた粘着テープの全体にまで及ぶ長さを具備していれば構成要件を満足し、奥行きについてまでは、該粘着テープの全体にまで及ぶ長さを具備していることを必須の構成要件としないものとなる。このことは、特許請求の範囲の構成要件の一部を削除し、その結果、実質上、訂正前においては含まれないところの、吸着テーブルが、奥行きについては粘着テープの全体にまで及ぶ長さを具備していない特開平３−１３２０５６号公報に記載されたものまでも、訂正後においては、これを含むものとなる。」
(3)被請求人の主張
　被請求人は、平成１４年５月２日付の意見書において、
「審判官殿は、訂正前記載中の「前記粘着テープの全体にまで及ぶ」という文言を解釈する上で、明細書および図面並びに訂正２０００−３９１３２で述べた特許権者の主張を何ら参酌することなく、この文言が、吸着テーブルを一側面からみた場合のみならず、奥行きについても特定している、というように断定的に拡張解釈しておられます。そのように拡張解釈する根拠が、どこにあるのか理解できません。「前記粘着テープの全体にまで及ぶ」という文言は、上記の拡張解釈を許すほどに明確ではありません。なぜなら、「前記粘着テープの全体にまで及ぶ」という文言は、吸着テーブルを平面視した（上からみた）場合に限り使われる表現でなく、吸着テーブルを一側面からみた場合にも使われる表現だからです。「上からみて吸着テーブルが粘着テープの全体にまで及んでいる」という文言に矛盾がないのと同様に、「一側面からみて吸着テーブルが粘着テープの全体にまで及んでいる」という表現にも文章として矛盾はありません。つまり、「前記粘着テープの全体にまで及ぶ」という文言は、吸着テーブルを上からみた場合のみならず、吸着テーブルを一側面からみた場合にも使えるので、その文言自体からは、上からみた場合を言っているのか、あるいは一側面からみた場合を言っているのか、不明なのであります。それにもかかわらず、審判官殿が、「前記粘着テープの全体にまで及ぶ」という文言が、吸着テーブルを一側面からみた場合のみならず、奥行きについても特定している、というように解釈されたとしたら、その解釈は不当であると言わざるを得ません。あるいは審判官殿は、訂正前記載中の「・・・範囲の広さをもった吸着テーブル」という文言が、吸着テーブルの奥行き情報を特定していると考えられたのかもしれません。しかし、吸着テーブルである以上、何らかの拡がり（奥行き）をもっていることは自明でありますから、この文言が、吸着テーブルの奥行きを特定していることにはなりません。」（第４頁第２〜２５行）
「「訂正後の吸着テーブルは、リング状のフレームの下面に貼付けられた粘着テープの全体にまで及ぶ長さを具備していれば構成要件を満足し、奥行きについてまでは、該粘着テープの全体にまで及ぶ長さを具備していることを必須の要件としないものとなる」という認定に対しては異論ございません。元々、願書に添付した図５を根拠とした訂正前記載は、吸着テーブルの奥行きについて何ら特定するものではないからです。この点は訂正前も訂正後も変わりありません。」（第５頁第３〜８行）
　と主張している。
(4)当審の判断
　訂正後の特許請求の範囲の請求項１の「一側面からみると・・・粘着テープの全体にまで及ぶ長さをもった吸着テーブル」という記載において、吸着テーブルは、「長さ」のみで特定されており、その「奥行き」については特定されていない。
　つぎに、訂正前の特許請求の範囲の請求項１に記載された、「粘着テープの全体にまで及ぶ範囲の広さをもった吸着テーブル」の「奥行き」について検討する。
　訂正前における吸着テーブルは「粘着テープの全体にまで及ぶ範囲の広さ」を具備していることから、単に「長さ」が特定されているのではなく、「広さ」について特定されているものと解される。
　ところで、「長さ」は一次元の大きさを表す文言であり、「広さ」は二次元の大きさを表す文言である。そして、大きさを比較する場合に次元を合わせる必要があること、つまり「広さ」を特定する場合、別の「広さ」を基準にしなければ、「広さ」の特定はできないことは自明である。
　したがって、テーブルの「広さ」という二次元の大きさを特定する場合には、「長さ」という一次元の大きさを二つ（例えば、「長さ」と「奥行き」）使用して特定する必要があること、そして、粘着テープが長さと共に奥行き（幅）を持っていること、すなわち、何らかの「広さ」を持っていることも自明である。
　つまり、「粘着テープ全体にまで及ぶ範囲の広さをもった吸着テーブル」の「広さ」は、粘着テープの「長さ」ではなく「広さ」を基準に特定されているものと解されるから、結局、訂正前の吸着テーブルは、「長さ」とともに「奥行き」についても特定されているものと認められる。
　よって、訂正前の請求項１では、吸着テーブルについて、長さとともに奥行きの限定を有する構成を特定しているのを、訂正後の請求項１では、長さの限定だけで奥行きの限定を有しない構成を特定するものに訂正することとなり、結局、本件訂正２は、特許請求の範囲を実質的に拡張する訂正を含むものと認める。
(5)むすび
　したがって、本件訂正請求は、その余の訂正事項について検討するまでもなく、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１３４条第５項で準用する同法第１２６条第２項の規定に適合しない。
３．無効の理由について
(1)請求人の主張
　請求人は、平成１３年７月１７日付の審判請求書において、
「第５図は側方断面図であって、吸着テーブル３０は奥行きが不明である。すなわち、第５図では、吸着テーブルの断面が、側方から見て矩形であることしか示されていないので、第５図の吸着テーブルの面形状が、上方からみて、円形であるのか、方形であるのか、または細幅の板状であるのかについては全く示されていない。」（第３頁末行〜第４頁第４行）
「本件特許明細書の第５図の側方断面図からは、確かに訂正事項の「リング状のフレームの下面に貼付けられた前記粘着テープの全体にまで及ぶ範囲の広さをもった吸着テーブル上に載置して」という場合も含むが、参考図２、参考図３および参考図４に示すように、吸着テーブル３０が、リング状のフレームＦの下面に貼付けられた粘着テープ１５の全体に及んでいない場合をも明確に含んでいるのである。」（第６頁第１〜６行）
「従って、上記訂正事項における「リング状のフレームの下面に貼付けられた前記粘着テープの全体にまで及ぶ範囲の広さをもった吸着テーブル上に載置して」なる訂正内容は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項から直接的かつ一義的に導かれるものではなく、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正ではなく、新規事項の追加に該当する。」（第６頁第２０〜２４行）
　と主張している。
(2)無効の理由
　当審における、平成１３年１２月１４日付の無効の理由は、次の通り。
「吸着テーブルの広さをウエハマウントフレームの下面に貼り付けられた粘着テープの全面にまで及ぶ範囲とする訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内においてされたものとは認められないから、本件訂正１は、特許法第１２６条第１項ただし書きの規定に違反してされたものである。なお、特開平３−１３２０５６号公報を参照すると、吸着テーブルの形状は、円形または正方形に限られるものではなく、また、特開平１−１２５９４７号公報を参照すると、本件特許発明のごとき、保護粘着テープの剥離装置において、吸着テーブルの広さをウエハマウントテーブルの大きさ以上にすることが、必然的であったとすることもできないから、前記訂正が、願書に添付した明細書の第５図をもとに、一義的に記載されていたと認定することはできない。」
(3)被請求人の主張
　被請求人は、平成１３年１０月３日付の答弁書において、
「本件訂正は、本件特許明細書の第５図から導き出せたものであるから、特許明細書に記載された事項の範囲を何ら超えるものではない。」（第３頁第１５〜１６行）
　と主張している。
　また、当審の無効の理由の通知に対し、平成１４年５月２日付の意見書において、
「審判官殿は、訂正２０００−３９２３１の審決書の第３頁第４〜６行において、「また、この訂正事項における「リング状のフレームの下面に貼付けられた前記粘着テープの全体にまで及ぶ範囲の広さをもった吸着テーブル上に載置して」については、願書に添付された第５図に基づくものである。」と認定されておられます。願書に添付された図５は明らかに一側面図であるので、図５からは「吸着テーブル３０」の奥行き情報を特定することはできません。」（第３頁第１７〜２２行）
　と主張している。
(4)本件訂正１の要旨
　本件訂正１は、特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項１を訂正前の
「半導体ウエハの表面に保護粘着テープを貼付けて裏面を切削・研磨するバックグラインド工程と、バックグラインドされた半導体ウエハの裏面に粘着テープを貼付けてリング状のフレームにマウントし、前記マウントされた半導体ウエハをカッテイングして個々の素子を分断するダイシング工程とを順に処理していく半導体ウエハの処理方法において、前記ダイシング工程で半導体ウエハの裏面に粘着テープを貼付けてリング状のフレームにマウントした後に、前記バックグラウンド工程で半導体ウエハの表面に貼付けられた前記保護粘着テープに剥離テープを貼付け、この剥離テープを介して前記保護粘着テープを剥離することを特徴とする半導体ウエハの処理方法。」から、
「半導体ウエハの表面に保護粘着テープを貼付けて裏面を切削・研磨するバックグラインド工程と、バックグラインドされた半導体ウエハの裏面に粘着テープを貼付けてリング状のフレームにマウントし、前記マウントされた半導体ウエハをカッテイングして個々の素子を分断するダイシング工程とを順に処理していく半導体ウエハの処理方法において、前記ダイシング工程で半導体ウエハの裏面に粘着テープを貼付けてリング状のフレームにマウントした後に、前記粘着テープを介して半導体ウエハをリング状のフレームに支持したウエハマウントフレームを、前記リング状のフレームの下面に貼付けられた前記粘着テープの全体にまで及ぶ範囲の広さをもった吸着テーブル上に載置して、前記粘着テープを介してリング状のフレームにマウントされた半導体ウエハを吸着テーブル上に吸着保持した状態で、前記半導体ウエハの表面に貼付けられた前記保護粘着テープに剥離テープを貼付け、この剥離テープを介して前記保護粘着テープを剥離することを特徴とする半導体ウエハの処理方法。」
　と訂正する訂正事項を含むものである。
(5)当審の判断
　登録時における願書に添付した明細書には、吸着テーブル３０について、「図５に示すように、粘着テープ１５を介してリングフレームＦにマウントされたウエハＷを吸着テーブル３０上に吸着保持する。」（段落【００１６】）と記載されているのみであって、吸着テーブルの広さについては、何らの記載もない。また、願書に添付した図面には、第５図、第６図及び第７図に、保護粘着テープの剥離方法の例を説明する図面が示されており、吸着テーブルを側面から見た図が示されているが、紙面に対する奥行き方向について記載した図面はない。また、吸着テーブルの側面図のみから、奥行き方向の寸法が特定されるわけではない。
　そうすると、登録時における願書に添付した明細書又は図面に吸着テーブルの奥行き情報が記載されていたと認めることは出来ない。
　ところで、本件訂正１の訂正は、上記２．(4)で検討したとおり、吸着テーブルの奥行きについて、「粘着テープ全体にまで及ぶ範囲の広さ」との限定を付加するものと認められる。
　しかしながら、前記のとおり、登録時における願書に添付した明細書又は図面には、吸着テーブルの奥行き情報が記載されていたとすることはできないから、「粘着テープの全体にまで及ぶ範囲の広さをもった吸着テーブル」は、願書に添付した明細書又は図面に記載されておらず、かつこれらから、直接的かつ一義的に導き出される事項でもない。
　したがって、本件訂正１は、その余の訂正事項について検討するまでもなく、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書きの規定に違反するものである。
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件特許請求の範囲の請求項１に係る発明についての特許は、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２３条第１項第７号に該当し、無効とすべきである。また、審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。