(57)【要約】【課題】ワークを次工程の処理装置に搬送するために前工程の処理装置の前で待機する搬送装置の待機効率を向上させ、ひいてはシステム全体のスループット（処理能力）を向上させることができるワーク枚葉搬送システムを提供する。【解決手段】ワーク７を一連の処理工程に従ってそれぞれ処理する複数のワーク処理装置３ａ〜３ｎに、ワーク７を枚葉搬送するために隣り合うワーク処理装置３ａ〜３ｎ間をそれぞれ往復する複数のシャトル１１ａ〜１１ｎと、このシャトル１１ａ〜１１ｎに搭載され、これらシャトル１１ａ〜１１ｎとワーク処理装置３ａ〜３ｎとの間でワークを移載する移載装置と、を具備している。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを一連の処理工程に従ってそれぞれ処理する複数のワーク処理装置に、ワークを枚葉搬送するために隣り合うワーク処理装置間をそれぞれ往復する複数のワーク搬送装置と、
これらのワーク搬送装置にそれぞれ搭載され、これらのワーク搬送装置と前記ワーク処理装置との間でワークをそれぞれ移載する移載装置と、
を具備していることを特徴とするワーク枚葉搬送システム。
【請求項２】
前記ワーク処理装置は、前記ワーク搬送装置の移載装置によりワークが搬入されるワーク搬入部と、このワーク搬入部からのワークを処理する処理装置本体部と、この処理装置本体部により処理されたワークを搬出するためのワーク搬出部と、を有し、
前記移載装置は、前記ワークを保持するワーク保持装置と、このワーク保持装置を駆動するワーク保持装置駆動装置と、を具備していることを特徴とする請求項１記載のワーク枚葉搬送システム。
【請求項３】
前記ワーク保持装置駆動装置は、前記ワーク保持装置を水平方向と垂直方向の少なくとも一方に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１または２記載のワーク枚葉搬送システム。
【請求項４】
前記ワーク保持装置は、前記ワークに流体を吹き付けてこのワークを非接触で保持する非接触保持装置であることを特徴とする請求項２または３記載のワーク枚葉搬送システム。
【請求項５】
前記ワーク処理装置は、前記ワークの処理工程順に配設されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のワーク枚葉搬送システム。
【請求項６】
前記ワーク搬送装置の移載装置によりワークを枚葉取出し可能に保管する入庫側ワークストッカ、
を具備していることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のワーク枚葉搬送システム。
【請求項７】
前記ワーク搬送装置の移載装置によりワークを枚葉搬入可能に保管する出庫側ワークストッカ、
を具備していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のワーク枚葉搬送システム。
【請求項８】
前記ワーク搬送装置が移動する移動路は、このワーク搬送装置がワークを保持したときの保持高さが床から所定高さになるように形成する走行台を、
具備していることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のワーク枚葉搬送システム。
【請求項９】
前記ワーク搬送装置は、上記ワーク処理装置の上方に配設された軌道上を往復動可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のワーク枚葉搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハやＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）用ガラス板等のワークを、その複数の工程処理装置にそれぞれ搬送することにより、順次加工処理させるワーク搬送システムに係り、特に、ワークを枚葉搬送するワーク枚葉搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のワーク搬送システムの一例としては、バッチ方式のシステムが知られている。このシステムはワークが例えば５〜２５枚程度収容されたケースやカセットをワークストッカから取り出し、そのケース毎にワークを搬送車により複数のワーク処理装置のワーク搬入部へ搬送するシステムである。搬送車としてはＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）やＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）、ＯＨＴ（Over Head Transfer System）等の搬送車が知られている。
【０００３】
また、ワーク処理装置としては、ワーク搬入部へ搬送されたワークを処理装置本体部へ搬入する一方、この処理装置本体で処理された処理済みのワークをワーク搬出部へ移載する移載ロボットをそれぞれ具備しているものが知られている。
【０００４】
そして、所要のワーク処理装置により処理されたワークは、このワーク処理装置のワーク搬出部において、移載ロボットによりケース内に収容され、所定数のワークがケース内に満載された後は、そのケースが移載ロボットにより、待機中の搬送車に再び移載され、積み込まれる。この後、この搬送車により次の工程のワーク処理装置のワーク搬出入部へバッチ搬送される。これら一連の動作が最終工程の処理まで繰り返され、ワークが全工程のワーク処理装置へ順次搬送されることにより、ワークの所定の加工が完了される。
【０００５】
このようにワークを搬送車により全工程のワーク処理装置へ順次かつ間欠的に搬送する搬送システムとしては、例えば下記の特許文献１，２に記載されたものが知られている。
【特許文献１】特開２０００−９８９２０号公報
【特許文献２】特開平１１−４９３４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような従来の搬送システムでは、複数枚のワークを同時に処理するバッチ処理方式を採用しているために、各ワーク処理装置同士間のスループット（処理能力）の差異を調整するために、多くのバッファストッカを設置する必要がある。また、これらワークが例えばＰＤＰ用のガラス板の場合、その大形化によってはその処理の均一性を確保するのが困難になっている。
【０００７】
そこで、ワーク処理装置側を枚葉処理に構成することが考えられるが、これではワーク搬送がバッチ方式のままの場合、各工程毎に枚葉処理されたワークはケースやカセット内に、所定の複数枚収容されてから搬出部へ搬出されるので、これら複数枚のワークがケースやカセット内へそれぞれ収容される時間だけ、ワークの搬出部への搬出が遅延し、その分、この搬出部で待機する搬送車の待機時間が長くなるという課題がある。
【０００８】
その結果、ワーク処理装置側でのワーク１枚当たりの処理時間（スループット）が同じでも、ワークの入庫側にワークが入庫された後、製品として出庫されるまでの時間が長くなり、少量の製品を短期で納入するためには、工程内在庫をバッファストッカによりストックしておく必要がある。このために、バッファストッカの必要数が増えて工程在庫が過剰となり、コストを引き上げるという課題がある。また、各工程のワーク処理装置で製品検査を行う場合、１ケース（カセット）分の処理が終了した後に搬送されるため、処理装置の故障で不良品が発生した場合には、１ケース（カセット）全部が不良品となって製品の歩留りが低下するという課題もある。
【０００９】
本発明は、このような事情考慮してなされたもので、その目的は、ワークを次工程の処理装置に搬送するために前工程の処理装置の前で待機する搬送装置の待機効率を向上させ、ひいてはシステム全体のスループット（処理能力）を向上させることができるワーク枚葉搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に係る発明は、ワークを一連の処理工程に従ってそれぞれ処理する複数のワーク処理装置に、ワークを枚葉搬送するために隣り合うワーク処理装置間をそれぞれ往復する複数のワーク搬送装置と、これらのワーク搬送装置にそれぞれ搭載され、これらのワーク搬送装置と前記ワーク処理装置との間でワークをそれぞれ移載する移載装置と、を具備していることを特徴とするワーク枚葉搬送システムである。
【００１１】
請求項２に係る発明は、前記ワーク処理装置は、前記ワーク搬送装置の移載装置によりワークが搬入されるワーク搬入部と、このワーク搬入部からのワークを処理する処理装置本体部と、この処理装置本体部により処理されたワークを搬出するためのワーク搬出部と、を有し、前記移載装置は、前記ワークを保持するワーク保持装置と、このワーク保持装置を駆動するワーク保持装置駆動装置と、を具備していることを特徴とする請求項１記載のワーク枚葉搬送システムである。
【００１２】
請求項３に係る発明は、前記ワーク保持装置駆動装置は、前記ワーク保持装置を水平方向と垂直方向の少なくとも一方に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１または２記載のワーク枚葉搬送システムである。
【００１３】
請求項４に係る発明は、前記ワーク保持装置は、前記ワークに流体を吹き付けてこのワークを非接触で保持する非接触保持装置であることを特徴とする請求項２または３記載のワーク枚葉搬送システムである。
【００１４】
請求項５に係る発明は、前記ワーク処理装置は、前記ワークの処理工程順に配設されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のワーク枚葉搬送システムである。
【００１５】
請求項６に係る発明は、前記ワーク搬送装置の移載装置によりワークを枚葉取出し可能に保管する入庫側ワークストッカ、を具備していることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のワーク枚葉搬送システムである。
【００１６】
請求項７に係る発明は、前記ワーク搬送装置の移載装置によりワークを枚葉搬入可能に保管する出庫側ワークストッカ、を具備していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のワーク枚葉搬送システムである。
【００１７】
請求項８に係る発明は、前記ワーク搬送装置が移動する移動路は、このワーク搬送装置がワークを保持したときの保持高さが床から所定高さになるように形成する走行台を、具備していることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のワーク枚葉搬送システムである。
【００１８】
請求項９に係る発明は、前記ワーク搬送装置は、上記ワーク処理装置の上方に配設された軌道上を往復動可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のワーク枚葉搬送システムである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、前工程のワーク処理装置のスループットに合せて、その処理後のワークを次工程のワーク処理装置に枚葉搬送するワーク搬送装置を待機させておくことができるので、バッチ処理ないしバッチ搬送のように複数枚のケース内に一々収容する時間を省略することができる。このために、このワーク搬送装置の待機効率を向上させることができる。このために、ワーク搬送装置の待機時間を短縮させ、ひいてはシステム全体のスループットを向上させることができる。
【００２０】
また、ワーク搬送装置は、ワーク処理装置との間でワークを移載（ローディング／アンローディング）する移載装置を搭載しているので、この移載装置を各ワーク処理装置側に据え付ける必要がなく、その分、各ワーク処理装置の設置スペースの小形化を図ることができる。これらワーク処理装置はワーク処理工程に対応して多数（例えば４００台）あるので、これらワーク処理装置の小形化に伴なう節約スペースを増大させることができる。このために、これらワーク処理装置が設置される、単位面積当たりの建設コストが非常に高いクリーンルームの建設コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。なお、これら複数の添付図面中、同一または相当部分には同一符号を付している。
【００２２】
図１は本発明の第１実施形態に係るワーク枚葉搬送システム１の一部切欠平面図である。このワーク枚葉搬送システム１は、クリーンルーム２内において、第１，第２，…第ｎワーク処理装置３ａ，３ｂ，…，３ｎ、入庫側ストッカ４、出庫側ストッカ５、ワーク搬送装置の移動路を形成する第１，第２，第３，…，第ｎ走行台６ａ，６ｂ，６ｃ，…，６ｎを配設している。
【００２３】
第１，…，第ｎワーク処理装置３ａ〜３ｎは、例えばＰＤＰ用の長方形のガラス板等のワーク７を所定の工程順に従ってそれぞれ加工処理する装置であり、所定の工程順に順次配設されている。
【００２４】
これらワーク処理装置３ａ〜３ｎは、ワーク搬入部であるインレット用ロードロック８、ワーク搬出部であるアウトレット用ロードロック９、第１，第２，…，第ｎ処理装置本体部１０ａ，１０ｂ，…，１０ｎ、第１〜第２シャトル１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，…，１１ｎの所定位置への到着を検出する光センサ等からなる位置センサをそれぞれ具備している。
【００２５】
インレット用ロードロック８とアウトレット用ロードロック９は、走行台６ａ〜６ｎ側のワーク７の入口側に配設されて外気を遮断する開閉可能の外側シャッタ８ａ，９ａと、真空引きされている各処理装置本体部１０ａ〜１０ｎ側のワーク７の出入口側に配設されて、処理装置本体部１０ａ〜１０ｎ側の真空を遮断する開閉可能な内側シャッタ８ｂ，９ｂと、これら外側シャッタ８ａ，９ａと内側シャッタ８ｂ，９ｂとの間にワーク７を仮置きさせるワーク仮置き部８ｃ，９ｃとを具備している。これら外側，内側シャッタ８ａ，９ａ，８ｂ，９ｂの開閉は上記位置センサからの位置検出信号を受けた制御装置により開閉される。
【００２６】
各処理装置本体部１０ａ〜１０ｎは、ワーク７に、その処理工程に従って所定の処理を施す装置であり、処理前のワーク７をインレット用ロードロック８のワーク仮置き部８ｃから処理工程に搬入する一方、処理後のワーク７をアウトレット用ロードロック９のワーク仮置き部９ｃへ移載する移載装置（図示せず）を具備している。
【００２７】
入庫側ストッカ４は、第１ワーク処理装置３ａの入庫側にて所定高さで配設されており、この入庫側ストッカ４内へ外部から複数のワーク７を移載し、所定枚数のワーク７を貯蔵させる図示しない入庫側移載装置を具備している。
【００２８】
出庫側ストッカ５は、最終工程の第ｎワーク処理装置３ｎのワーク出庫側にて所定高さで配設されており、この出庫側ストッカ５内に貯蔵されたワーク７を次の工程等の外部へ移載する出庫側移載装置を具備している。
【００２９】
そして、第１〜第ｎ走行台６ａ〜６ｎは平面形状が例えばＬ字状やコ字状等所要形状に形成され、クリーンルーム２の床２ａよりも所定高さ高い走行面ｒ上に、ワーク搬送装置の一例である第１〜第ｎシャトル１１ａ〜１１ｎをそれぞれ往復走行可能に載置させている。すなわち、第１〜第ｎ走行台６ａ〜６ｎは、第１〜第ｎシャトル１１ａ〜１１ｎがワーク７をそれぞれ保持して走行面ｒを走行する際の当該ワーク７の保持高さが床２ａ等によるワーク７のパーティクル汚染や化学汚染等の汚染を防止し、または低減し得る高さに設定されている。
【００３０】
各走行台６ａ〜６ｎは床２ａ上を移動するための複数のキャスタと、そのキャスタの回転をロックさせるロック装置をそれぞれ具備している。また、各走行台６ａ〜６ｎはシャトル１１ａ〜１１ｎの走行を案内する図示しないガイドレールやガイド溝、誘導用磁気テープと、シャトル１１ａ〜１１ｎの受電装置に電力を給電する給電レール等を設けている。この受電装置と給電レールは、接触式でも非接触給電方式を採用してもよい。
【００３１】
第１走行台６ａは入庫側ストッカ４のワーク搬出側と、この入庫側ストッカ４に隣り合う第１ワーク処理装置３ａのワーク搬入側であるインレット用ロードロック８ａと、を連絡する走行面ｒを形成している。
【００３２】
第２走行台６ｂは、第１ワーク処理装置３ａのワーク搬出部であるアウトレット用ロードロック９ａと、これに隣接する第２ワーク処理装置３ｂのワーク搬入部であるインレット用ロードロック８と、を連絡する走行面ｒを形成している。
【００３３】
以下同様に、第３〜第ｎ走行台６ｃ〜６ｎは、相互に隣り合う第３〜第ｎワーク処理装置３ｃ〜３ｎのアウトレット用ロードロック９とインレット用ロードロック８とをそれぞれ連絡する走行面ｒを順次形成している。
【００３４】
そして、各シャトル１１ａ〜１１ｎはワーク７を枚葉保持した状態で第１〜第ｎ走行台６ａ〜６ｎの各走行面ｒをそれぞれ往復走行するようになっている。
【００３５】
すなわち、図２〜図６に示すように、各シャトル１１ａ〜１１ｎは、その自走可能のシャトル本体１２に、移載装置１３をそれぞれ搭載している。
【００３６】
シャトル本体１２は、その下端部に、４輪または３輪の走行車輪１２ａ，１２ａ，…を設け、これら走行車輪１２ａ，１２ａ，…を駆動するモータを含む駆動装置１２ｂを機械室１２ｃに設けている。機械室１２ｃはシャトル本体１２内に形成されている。
【００３７】
シャトル本体１２は図示しないガードレールまたは誘導磁気テープに案内されて各走行台６ａ〜６ｎの走行面ｒ上を所定速度で往復するように構成されており、その制御装置は機械室１２ｃ内に配設されている。
【００３８】
この機械室１２ｃ内には、第１〜第ｎ走行台６ａ〜６ｎの給電レールから受電する受電装置、この受電装置から受電して所要の被給電部に電力を供給する電源装置、この給電装置から受電して所定圧のエアーを供給するコンプレッサ１２ｄを含むエアー供給装置を配設しており、重量物のコンプレッサ１２ｄを機械室１２ｃの内底面中央部に配置して重心を低くし走行安定性の向上を図っている。駆動装置１２ｂは、走行車輪１２ａ，１２ａ，…と移載装置１３の駆動源として共用するように構成されている。
【００３９】
移載装置１３は、入庫側スタッカ４、または第１〜第ｎ処理装置３ａ〜３ｎのアウトレット用ロードロック９からワーク７を１枚ずつ、すなわち枚葉取出し、かつ保持して搬送する一方、隣り合う第１〜第ｎワーク処理装置３ａ〜３ｎのインレット用ロードロック８のワーク７仮置き部８ｃへそれぞれ移載するものである。
【００４０】
移載装置１３は、シャトル本体１２の頂端部のほぼ中央部にて、昇降可能かつ軸心回りに回転可能に配設された昇降回転軸１４と、この昇降回転軸１４の図２中上端に配設されたチャック駆動装置１５とを具備している。
【００４１】
昇降回転軸１４は駆動装置１２ｂにより、高さ方向（図２中上下方向）に調節可能にかつ軸心回りに回動可能に構成されており、ワーク７の受け渡し先と受け渡しする際に、適宜昇降してワーク７を受け渡しするようになっている。
【００４２】
図３に示すように、チャック駆動装置１５は、その底板１６の外底面中央部に昇降回転軸１４の図２中上端を固着しており、この底板１６上に、例えば非接触保持装置の一例であるベルヌーイチャックプレート１７を水平方向に往復動可能かつ摺動可能に保持するように配設している。すなわち、底板１６は、その幅方向両端部に、ベルヌーイチャックプレート１７の幅方向両端部を摺動可能に挟持するコ字状の一対のガイドレール１６ａ，１６ｂを一体に形成し、このベルヌーイチャックプレート１７をチャック駆動装置１５により水平方向に往復動可能に構成している。これにより、図２，図３に示すようにチャック駆動装置１５はその底板１６上のベルヌーイチャックプレート１７を水平方向外方に突出させる一方、図６に示すように底板１６上の原状位置に復帰させることができる。
【００４３】
ベルヌーイチャックプレート１７は、例えば矩形平板状のプレート本体１７ａの図２中上面に、複数のエアーノズル１７ａ，１７ｂ，…を例えばマトリクス状に配設しており、これらエアーノズル１７ａ，１７ｂ，…には機械室１２ｃ内の図示しないコンプレッサを含むエアー供給装置を連通可能に接続している。これにより、これらエアーノズル１７ａ，１７ｂ，…から所定圧のエアーを噴出させるようになっている。すなわち、ベルヌーイチャックプレート１７のエアーノズル１７ａ，１７ｂ，…側上面をワーク７の表面に近接対向させ、これらエアーノズル１７ａ，１７ｂ，…から所定圧のエアーをワーク７に吹き付けることにより、ワーク７の対向面との間に正圧と負圧を発生させ、その正圧と負圧とのバランスにより、図５に示すようにその上方にてワーク７を非接触で保持するようになっている。但し、ワーク７の水平移動等の変位を防止する図示しないストッパによりワーク７の一部を接触保持させるように構成してもよい。
【００４４】
そして、各シャトル１１ａ〜１１ｎは、シャトル本体１２に、入庫側スタッカ４の位置や、第１〜第ｎワーク処理装置３ａ〜３ｎのインレット用ロードロック８、アウトレット用ロードロック９の位置を検出する光センサと、この光センサにより検出された位置検出信号が入力されたときに、所要のジョブプログラムに従ってシャトル本体１２の走行や停止、移載装置１３の駆動を制御する制御装置を具備している。この制御装置は、例えばマイクロプロセッサ等から構成され、シャトル本体１２の走行や停止等の駆動、移載装置１３の駆動を制御するジョブプログラムをＲＯＭ等のメモリに予め記憶させておき、このジョブプログラムをＣＰＵが実行することにより制御を実行するものである。
【００４５】
次に、このように構成されたワーク枚葉搬送システム１の作用を説明する。
【００４６】
まず、入庫側スタッカ４には、図示しない入庫側移載装置によりＰＤＰ用ガラス板等の複数枚のワーク７が外部から移載され、貯蔵されている。
【００４７】
この後、第１走行台６ａの走行面ｒ上の第１のシャトル１１ａの運転が開始されると、この第１のシャトル１１ａが入庫側スタッカ４のワーク搬出口の所定位置まで図示しない受電装置が給電レールから受電しつつガイドレールに沿って走行する。これにより、第１シャトル１１ａの図示しない光センサが、その所定位置を検出する。すると、その検出信号が制御装置に与えられる。
【００４８】
このために、制御装置はシャトル１２の走行車輪１２ａ，１２ａの駆動を停止させてシャトル１２を停止させる。次に、移載装置１３とエアー供給装置が駆動して、図４に示すようにベルヌーイチャックプレート１７が水平方向外方へ突出するように駆動すると共に、入庫側スタッカ４のワーク７の下方に若干の間隙を置いて対向配置される。
【００４９】
これにより、ベルヌーイチャックプレート１７の複数のエアーノズル１７ｂ，１７ｂから所定圧のエアーがワーク７の対向面に吹き付けられる。
【００５０】
このために、図５に示すように１枚のワーク７の対向面にはエアーの正圧と負圧の領域がそれぞれ形成され、これら正圧と負圧のバランスによりワーク７がベルヌーイチャックプレート１７により所要の微少間隙を置いて非接触で保持される。
【００５１】
次に、昇降回転軸１４が制御装置により所定量降下されてから、ベルヌーイチャックプレート１７がチャック駆動装置１５の底板１６上の原位置まで後退し、図６で示すように１枚のワーク７をベルヌーイチャックプレート１７により非接触状態で保持する。この後、このワーク７の保持状態のままで第１シャトル１１ａは図示しない給電レールから受電しつつガードレールに沿って第１走行台６ａの走行面ｒ上を走行し、第１ワーク処理装置３ａのインレット用ロードロック８の所定位置までワーク７を枚葉搬送する。
【００５２】
これにより、その所定位置を第１ワーク処理装置３ａの位置センサが検出すると、その検出信号が制御装置に与えられる。すると、この制御装置により第１ワーク処理装置３ａの大気側の内側シャッタ８ａが開扉される。一方、第１シャトル１１は走行を停止させる一方、移載装置１３を再び駆動し、図５に示すようにベルヌーイチャックプレート１７が水平方向外方へ突出され、インレット用ロードロック８内へ突出される。
【００５３】
すると、昇降回転軸１４が降下され、ワーク７がインレット用ロードロック８内のワーク仮置き部８ｃ上に移動し、ベルヌーイチャックプレート１７のエアーノズル１７ｂ…からのエアーの噴出が停止されてワーク７の保持状態が解除される。これにより、ワーク７がワーク仮置き部８ｃ上に載置される。
【００５４】
こうしてワーク７が第１ワーク処理装置３ａへ搬送された後は、第１シャトル１１ａは空のまま再び受電装置により給電レールから受電しつつガイドレールに案内されて入庫側スタッカ４の所定位置まで再び戻り、以下同様に入庫側スタッカ４からワーク７を１枚ずつ取り出し、第１ワーク処理装置３ａへのワーク７の枚葉搬送を繰り返す。
【００５５】
一方、インレット用ロードロック８のワーク仮置き部８ｃ内に載置されたワーク７は、その載置が第１ワーク処理部３ａの光センサにより検出される。すると、このインレット用ロードロック８の外側シャッタ８ａが遮断されて大気が遮断される。この後、内側シャッタ８ｂが開口されると、第１ワーク処理装置３ａの図示しない据付移載装置によりこのワーク７が処理装置本体部１０内へ移載される。
【００５６】
これにより、処理装置本体部１０はワーク７に所定の処理を施す。この後、アウトレット用ロードロック９の内側シャッタ９ｂが開口して処理済みのワーク７がその内部のワーク仮置き部９ｃ上へ図示しない据付移載装置により移載される。この後、内側シャッタ９ｂが遮断されて、第１処理装置本体部１０ａの真空状態が保持されてから大気側の外側シャッタ９ａが開口される。このために、この内側シャッタ９ｂの前で待機していた空の第２シャトル１１ｂの移載装置１３がこのワーク７を非接触保持し、この第２シャトル１１ｂに移載する。この後、外側シャッタ９ａが遮断され、第１処理装置本体部１０ａの真空状態が保持される。
【００５７】
次に、この第２シャトル１１ｂは、図示しない受電装置により給電レールから受電しつつ、ガイドレールに沿って第２走行台６ｂの走行面ｒ上を走行して隣り合う第２ワーク処理装置３ｂのインレット用ロードロック８の前まで搬送して所定位置で停止する。
【００５８】
この第２シャトル１１ｂの到着が第２ワーク処理装置３ｂ側の光センサにより検出されると、インレット用ロードロック８の外側シャッタ８ａが開口されるので、第２シャトル１１ｂの移載装置１３がワーク７を仮置き部８ｃ上に仮置きする。
【００５９】
この後、第２シャトル１１ｂが空のまま再びガイドレールに沿って第１ワーク処理装置３ａのアウトレット用ロードロック９の前に戻り、このアウトレット用ロードロック９内のワーク７が移載装置１３により再び移載され、非接触状態で再び第２ワーク処理装置３ｂのインレット用ロードロック８前に戻されて待機する。これの繰返しにより第１ワーク処理装置３ａにより処理された後のワーク７が第２ワーク処理装置３ｂへ枚葉毎に繰返し搬送され、処理される。
【００６０】
第２処理装置本体部１０ｂは第１処理装置本体部１０ａにより処理された処理済みのワーク７に、さらに所要の第２処理を施す。この第２処理を施されたワーク７はさらに第３シャトル１１ｃにより隣りの第３ワーク処理装置３ｃへ枚葉搬送されて第３処理が施され、以下、これの繰返しによりワーク７が第ｎ工程の第ｎワーク処理装置３ｎにより第ｎ処理される。この第ｎ処理された後のワーク７は、第ｎシャトル１１ｎにより出庫側スタッカ５へ枚葉搬送され、かつ移載され、ストックされる。
【００６１】
そして、出庫側スタッカ５内へ移載されたワーク７は図示しない出庫側移載装置により、さらに、他の工程処理に移載され、または外部へ出荷される。
【００６２】
したがって、このワーク枚葉搬送システム１によれば、相互に隣り合う入庫側スタッカ４と第１ワーク処理装置３ａとの間と、第１〜第ｎワーク処理装置３ａ〜３ｎ同士間とを、第１〜第ｎシャトル１１ａ〜１１ｎが往復することによりワーク７を枚葉搬送し、これらワーク７を、第１〜第ｎワーク処理装置３ａ〜３ｎにより処理するので、これら第１〜第ｎワーク処理装置３ａ〜３ｎのスループット（処理能力）に適合したタイミングにより各シャトル１１ａ〜１１ｎの枚葉搬送を制御することができる。
【００６３】
このために、各ワーク処理装置３ａ〜３ｎのスループットの差異の調整のために設置するバッファストッカを減少させることができる。このために、バッファストッカに一時貯蔵される仕掛かり品（工程在庫）を減少させることができ、トータルコストを低減することができる。このコスト低減効果は、ワーク７の処理工程数が多い程顕著である。
【００６４】
また、各シャトル１１ａ〜１１ｎはワーク７を非接触で保持するので、接触保持によるワーク７のスクラッチやクラック、割れ等の損傷、パーティクル汚染やケミカル汚染、静電気の帯電ダメージ、振動や衝撃等のダメージを大幅に減少させることができる。このために、ワーク処理の歩留りを向上させることができる。
【００６５】
さらに、各シャトル１１ａ〜１１ｎ自体に、移載装置１３をそれぞれ搭載しているので、従来のワーク枚葉搬送システムのように各ワーク処理装置３ａ〜３ｎのインレット用ロードロック８とアウトレット用ロードロック９にそれぞれ据付移載装置を配設する必要がない。例えば半導体製造工程では、その工程数が例えば少なくとも約４００工程ほどあるため、移載装置は少なくとも４００台程度が必要であるが、本実施形態によれば、これら４００台の移載装置の設置を削除することができる。
【００６６】
このために、据付移載装置の設置スペースを省略することができるので、その分、建設コストの高いクリーンルームの小形化を図ることができ、その建設コストの低減を図ることができる。
【００６７】
また、各シャトル１１ａ〜１１ｎが走行する各走行台６ａ〜６ｎの走行面ｒの高さをワーク７のパーティクル汚染やケミカル汚染等の汚染と、静電気の帯電を防止または低減できる高さに設定しているので、ワーク７のパーティクル汚染やケミカル汚染等の汚染と、静電気の帯電ダメージとを低減できる。
【００６８】
さらに、作業員が歩行する床２ａと、各シャトル１１ａ〜１１ｎが走行する各走行台６ａ〜６ｎの走行面ｒとでは、高さ方向に分離している。このために、作業員は走行台６ａ〜６ｎ上を走行しないので、シャトル１１ａ〜１１ｎが作業員に衝突する等の人身事故を未然に防止することができ、作業の安全性を向上させることができる。
【００６９】
また、各走行台６ａ〜６ｎは移動可能であるので、これら走行台６ａ〜６ｎの位置を適宜変更することにより、第１〜第ｎワーク処理装置３ａ〜３ｎによる処理工程順を適宜変更することができる。
【００７０】
図７は上記シャトル１１ａ〜１１ｎに搭載された移載装置１３の第１変形例１３Ａを示している。この移載装置１３Ａは、図３で示すベルヌーイチャックプレート１７のエアーノズル１７ｂ，１７ｂ，…を図７中下向きに形成した点に特徴がある。
【００７１】
この移載装置１３Ａを具備した場合、シャトル１１ａ〜１１ｎは図７に示すようにベルヌーイチャックプレート１７をチャック駆動装置１５により水平方向外方へ突出させた状態のままで走行させてもよい。または、ベルヌーイチャックプレート１７を駆動装置１５の内部へ収納させた状態で走行させてもよい。いずれにしても、この移載装置１３Ａによれば、ワーク７を下向きで保持し、出入することができる。
【００７２】
図８は第２変形例に係る移載装置１３Ｂの正面図であり、この移載装置１３Ｂはベルヌーイチャックプレート１７を重力方向（図８中縦方向）に起立させた状態で、チャック駆動装置１５により保持させることにより、ワーク７を重力方向に起立させた状態で保持し枚葉搬送することができる。
【００７３】
すなわち、ワーク７がＰＤＰ用等大形長方形のガラス板の場合、このワーク７を図６に示すように平面的に保持したとき、ガラス板のほぼ中央部が重力により下方へ垂れる歪みが発生し易いが、図８に示すようにワーク７の短手方向を縦方向に起立させて保持する場合には、ワーク７の弾性係数が増大するので、かかる歪みを低減することができる。
【００７４】
図９は第３変形例に係る移載装置１３Ｃの要部側面図である。この移載装置１３Ｃは多関節アーム１８を、チャック駆動装置１５および昇降回転軸１４に代えてシャトル本体１２に取り付けた点に特徴がある。
【００７５】
すなわち、多関節アーム１８は複数の中空アームエレメント１８ａ，１８ａ同士をユニバーサルジョイントやボールジョイント等の自在継手の関節１８ｂ，１８ｂにより多方向に回動可能に接続したものであり、その自由先端部に、ベルヌーイチャックプレート１７の背面中央部を固着し、シャトル本体１２の機械室１２ｃ内に配設した図示しないアーム駆動装置により駆動するようになっている。
【００７６】
多関節アーム１８は、その中空部内に図示しないエアーホースを配設し、このエアーホースの一端をシャトル本体１２内に配設されているエアー供給装置に接続する一方、エアーホースの他端をベルヌーイチャックプレート１７に接続し、その各エアーノズル１７ｂ，１７ｂ，…から所定圧のエアーを噴出させるようになっている。
【００７７】
また、図９に示すように多関節アーム１８は、入庫側スタッカ４の一例であるワーク載置台１９に立て掛けられた複数のワーク７のうち、最外側にあるワーク７の外側面にベルヌーイチャックプレート１７を順次近接させて１枚ずつ非接触で保持し、シャトル１１ａ〜１１ｎに移載するようになっている。または、その逆に、保持しているワーク７をシャトル１１ａ〜１１ｎからワーク載置台１９上に移載し載置するようになっている。
【００７８】
図９に示すようにワーク載置台１９は、その底板１９ａ上のほぼ中央部に、支持台１９ｂをほぼ垂直に起立させた状態で立設しており、この支持台１９ｂの図９中左右両側面に、複数のワーク７を立て掛けることにより載置させている。
【００７９】
ワーク７は、例えばＰＤＰ用の長方形のガラス板からなり、その長手方向を横方向に寝かせる一方、短手方向を縦方向に立てて載置台１９上に載置され、ガラス板の外面にはガラス板同士が密着せずに剥離し易くするための保護膜を形成してもよい。
【００８０】
この多関節アーム１８によれば、ワーク７が大形のガラス板であって、図９で示す載置台１９に載置されている場合でも容易にシャトル１１ａ〜１１ｎに可逆的に移載することができる。
【００８１】
図１０は第２実施形態に係るワーク枚葉搬送システム１Ａの要部斜視図、図１１はその側面図である。このワーク枚葉搬送システム１Ａは上記シャトル１１ａ〜１１ｎを例えばリニアモーターカー方式の移動体２０に置換した点に主な特徴がある。
【００８２】
すなわち、このワーク枚葉搬送システム１Ａは、上記入庫側スタッカ４と第１のワーク処理装置３ａとの間と、隣り合う複数のワーク処理装置３ａ〜３ｎ同士間の各ワーク搬送路と、複数のワーク処理路上に、その所要形状に適合させた走行台２１を配設している。走行台２１は例えば７５°や８８°等所要角度θで傾斜した傾斜面を走行面ｒに形成しており、この走行面ｒに図示しないリニアモーターカーのリアクションレールを配設し、その固定子である移動体２０をリニアモーターカーとしてリアクションレール上を往復走行させ、ワーク７を枚葉搬送するようになっている。これ以外は上記シャトル１１ａ〜１１ｎと同様の構成である。但し、移動体２０は上記移載装置を具備していない。
【００８３】
移動体２０の外面には、上記ベルヌーイチャックプレート１７を固定し、このベルヌーイチャックプレート１７に所定圧のエアーを供給するコンプレッサを含む図示しないエアー供給装置を移動体２０内に内蔵している。
【００８４】
したがって、移動体２０は、ワーク７を、その短手方向でほぼ起立させた状態でベルヌーイチャックプレート１７により非接触で保持させ、その保持状態で走行台２１に沿って枚葉搬送することができる。しかも、ワーク７が大形薄形のガラス板の場合、このガラス板を横長状態で起立させて搬送するので、平面状態に寝かせて搬送する場合に平面中央部が垂れる歪み等を低減することができる。なお、この移動体２０の駆動方式はリニアモーターカー方式でなくてもよく、例えばボールねじ方式でもよい。
【００８５】
すなわち、ボールねじを走行台２１に配設し、このボールねじに螺合するナットを移動体２０に固定することにより移動体２０を走行台２１に沿って移動させるように構成してもよい。
【００８６】
なお、上記各実施形態では、シャトル１１ａ〜１１ｎ毎と移動体２０毎に、ベルヌーイチャックプレート１７にエアーを供給するエアー供給装置をそれぞれ設ける場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えばエアー供給装置をシャトル１１ａ〜１１ｎ毎と移動体２０毎に設けずに、クリーンルーム２の床２ａ上に設け、このエアー供給装置に、エアーホースを介して各シャトル１１ａ〜１１ｎや移動体２０のベルヌーイチャックプレート１７にそれぞれ接続してもよい。
【００８７】
また、上記実施形態では、シャトル１１ａ〜１１ｎ毎や移動体２０毎に制御装置を設け、シャトル１１ａ〜１１ｎ毎や移動体２０毎に制御装置を制御する場合について説明したが、ホストコンピュータ等の中央制御用コンピュータにより各シャトル１１ａ〜１１ｎ毎や移動体２０毎の運転ないし駆動を集中的に制御するように構成してもよい。
【００８８】
さらに、上記ワーク７としては、下記表１の産業別ワークに示すようにＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）用等のガラス板（クオーツ板を含む）の外に、自動車部品等の精密部品、医療用容器等、人手により直接接触することが規制されているものを含む。
【表１】
2007165367.tif 000003
【００８９】
また、本発明は上記シャトル１１ａ〜１１ｎを、上記ＯＨＴの搬送装置に構成してもよい。すなわち、各走行台６ａ〜６ｎの走行路ｒの上方に軌道を配設し、シャトル１１ａ〜１１ｎを、この軌道上に跨座する跨座式や、軌道から吊り下げられる懸垂式に構成し、この軌道に沿って往復動して、各ワーク処理装置３ａ〜３ｎに上方からワーク７をそれぞれ枚葉搬送するように構成してもよい。例えば、クリーンルーム２内の天井等に、モノレールを軌道として架設し、各シャトル１１ａ〜１１ｎをこのモノレール上を往復してワーク７を枚葉搬送する跨座式や懸垂式のゴンドラに置換してもよい。この場合、ワーク７はベルヌーイチャックプレート１７により下向きに非接触保持される。しかし、ベルヌーイチャックプレート１７はワーク７を下向きでも落下させることはなく、非接触保持することができ、さらにワーク７を垂直でも非接触保持することができる。また、上記軌道は、複数の軌道を含み、さらに、ワーク７を上向きで保持するように構成してもよい。このＯＨＴのシャトルによれば、クリーンルーム２の床２ａ上で作業する作業員との衝突等の人身事故等を防止できるうえに、搬送効果を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るワーク枚葉搬送システムの一部切欠平面図
【図２】図１で示すシャトルの側面図。
【図３】図２で示すシャトルの移載装置の平面図。
【図４】図１，２で示す移載装置のベルヌーイチャックプレートが水平方向外方へ突出した状態を示すシャトルの側面図。
【図５】図１，２で示す移載装置のベルヌーイチャックプレートによりワークを非接触保持した状態を示すシャトルの側面図。
【図６】ワークを搭載した状態を示すシャトルの側面図。
【図７】第１変形例に係る移載装置を搭載したシャトルの側面図。
【図８】第２変形例に係る移載装置を搭載したシャトルの側面図。
【図９】第３変形例に係る移載装置の要部側面図。
【図１０】第２実施形態に係るワーク枚葉搬送システムの要部斜視図。
【図１１】図１０で示すワーク枚葉搬送システムの側面図。
【符号の説明】
【００９１】
１  枚葉搬送システム
２  クリーンルーム
３ａ〜３ｎ  第１〜第ｎワーク処理装置
４  入庫側ストッカ
５  出庫側ストッカ
６ａ〜３ｎ  第１〜第ｎ走行台
７  ワーク
８  インレットロードロック
９  アウトレットロードロック
１０ａ〜１０ｎ  第１〜第ｎ処理装置本体部
１１ａ〜１１ｎ  第１〜第ｎシャトル
１２  シャトル本体
１３  移載装置
１４  昇降回転軸
１５  チャック駆動装置
１７  ベルヌーイチャックプレート
１７ｂ  ベルヌーイチャックプレートのエアーノズル
１８  多関節アーム
１９  載置台
【図１】
2007165367.tif 000004
【図２】
2007165367.tif 000005
【図３】
2007165367.tif 000006
【図４】
2007165367.tif 000007
【図５】
2007165367.tif 000008
【図６】
2007165367.tif 000009
【図７】
2007165367.tif 000010
【図８】
2007165367.tif 000011
【図９】
2007165367.tif 000012
【図１０】
2007165367.tif 000013
【図１１】
2007165367.tif 000014