(57)【要約】【課題】ワークに対し物的に制動・制止力を作用させることなく、複数のワーク同士を接触しないようにエアー搬送することができるワーク搬送装置を提供する。【解決手段】ワーク搬送路２に案内させて、複数のワークＷを搬送方向に間隙を存した状態でエアーにより搬送するワーク搬送機構４と、ワーク搬送機構４の上方に配設され、搬送されてゆく複数のワークＷの各間隙に上方からエアーを吹き付けて、各間隙を維持する複数の中間部ドロップエアー手段５と、を備えた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク搬送路に案内させて、複数のワークを搬送方向に間隙を存した状態でエアーにより搬送するワーク搬送機構と、
前記ワーク搬送機構の上方に配設され、搬送されてゆく前記複数のワークの前記各間隙に上方からエアーを吹き付けて、前記各間隙を維持する複数の中間部ドロップエアー手段と、を備えたことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記複数の中間部ドロップエアー手段は、前記複数の間隙が均等になるようにエアーを均等に吹き付けることを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記ワーク搬送路の搬送終了位置の先方に配設され、前記搬送方向に直交する方向に延在する邪魔板と、
前記邪魔板と前記搬送終了位置に達した前記ワークとの間隙に上方からエアーを吹き付けて、前記ワークを前記搬送終了位置に位置決めする端部ドロップエアー手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記ワーク搬送路の搬送終了位置の先方に配設され、前記搬送終了位置に達した前記ワークに上方から斜め後方に向けてエアーを吹き付けて、前記ワークを前記搬送終了位置に位置決めする端部ドロップエアー手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記複数の中間部ドロップエアー手段および前記端部ドロップエアー手段は、搬送方向に直交する方向に延在するスリット状のエアーノズルを、それぞれ有していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記複数の中間部ドロップエアー手段および前記端部ドロップエアー手段は、搬送方向に直交する方向に列設した複数のエアーノズルを、それぞれ有していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
前記各中間部ドロップエアー手段は、斜め搬送方向にエアーを吹き付けることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
前記ワーク搬送機構は、前記ワーク搬送路の両側に配設され、前記ワーク搬送路上の前記ワークに両側方からエアーを均等に吹き付けて前記ワークに搬送のための推進力を付与する一対のサイドエアー手段、を更に備えていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項９】
前記各サイドエアー手段は、前記ワークの側面に斜め搬送方向からエアーを吹き付けると共に搬送方向に並んだ複数の推進ノズルを有していることを特徴とする請求項８に記載のワーク搬送装置。
【請求項１０】
前記各サイドエアー手段の前記複数の推進ノズルの相互の間隔が、前記ワークの側面の長さの１／２以下であることを特徴とする請求項９に記載のワーク搬送装置。
【請求項１１】
前記各サイドエアー手段は、前記ワークの側面に斜め搬送方向からエアーを吹き付ける複数の推進ノズルと、前記ワークの側面に搬送方向に直交する方向からエアーを吹き付けて前記ワークの姿勢を制御する複数の制御ノズルと、を更に有し、
前記複数の推進ノズルと前記複数の制御ノズルとは、混在した状態で搬送方向に並んでいることを特徴とする請求項１０に記載のワーク搬送装置。
【請求項１２】
前記一対のサイドエアー手段間において、前記各推進ノズルと前記各制御ノズルとが対向配置されていることを特徴とする請求項１１に記載のワーク搬送装置。
【請求項１３】
前記各サイドエアー手段の前記複数の推進ノズルおよび前記複数の制御ノズルの相互の間隔が、前記ワークの側面の長さの１／２以下であることを特徴とする請求項１１または１２に記載のワーク搬送装置。
【請求項１４】
前記ワーク搬送路は、有孔プレートと前記有孔プレートに連通するエアー室とから成る作動エアープレートを、搬送方向に複数連ねて構成されており、
前記有孔プレートを介して前記ワークを浮上させるために前記エアー室にエアーを供給するエアー供給手段を、更に備えたことを特徴とする請求項８ないし１３のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１５】
前記有孔プレートを介して前記ワークを吸着するために前記エアー室からエアーを吸引する真空吸引手段と、
前記エアー供給手段と前記真空吸引手段とを切り替える切替え制御手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１４に記載のワーク搬送装置。
【請求項１６】
前記有孔プレートが多孔質プレートで構成されていることを特徴とする請求項１４または１５に記載のワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のワークの各間隙を維持しながら、これらをエアーにより搬送するワーク搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のワーク搬送装置として、ワーク搬送路に載置したワークをエアーにより浮上させて、これを搬送するものが知られている（特許文献1参照）。
【特許文献１】特開平１０−１５７８５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、ワーク搬送装置において複数のワークを搬送する場合、複数のワーク間に間隙を存した状態でワーク搬送路上を搬送する。このとき、先行するワークが、ワーク搬送路上において、停滞してしまった場合、後行するワークが先行するワークと接触しないよう間隙を維持する必要がある。このとき、物理的接触により複数のワーク間の間隙を維持しようとすると、ワークに何らかのダメージが与えてしまう虞がある。例えば、ワークとしてガラス基板等を用いた場合、接触部分に欠けや目視で確認できないクラック等が発生する虞があった。特に、この種のクラック等では、検査段階で見落とされる可能性があり、製品化されてから発見される等の不具合がある。
【０００４】
本発明は、ワークに対し物的に制動・制止力を作用させることなく、複数のワーク同士を接触しないようにエアー搬送することができるワーク搬送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のワーク搬送装置は、ワーク搬送路に案内させて、複数のワークを搬送方向に間隙を存した状態でエアーにより搬送するワーク搬送機構と、ワーク搬送機構の上方に配設され、搬送されてゆく複数のワークの各間隙に上方からエアーを吹き付けて、各間隙を維持する複数の中間部ドロップエアー手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、中間部ドロップエアー手段のエアーにより、ワーク同士の各間隙を維持することができるため、任意の１或いは複数のワークが停滞した場合でも、ワーク同士が接触することがない。また、エアーにより各間隙が維持されるため、ワークに物的接触によるダメージが与えられることがない。なお、エアーは、ワークの搬送中および搬送休止中のいずれかのときに吹き付けるようにしてもよいし、また、常時吹き付けるようにてもよい。
【０００７】
この場合、複数の中間部ドロップエアー手段は、複数の間隙が均等になるようにエアーを均等に吹き付けることが、好ましい。
【０００８】
この構成によれば、複数のワークの各間隙を均等なものとすることができるため、搬送間隔を一定のものとすることができ、ワークの簡易な位置決めも可能となる。
【０００９】
この場合、ワーク搬送路の搬送終了位置の先方に配設され、搬送方向に直交する方向に延在する邪魔板と、邪魔板と搬送終了位置に達したワークとの間隙に上方からエアーを吹き付けて、ワークを搬送終了位置に位置決めする端部ドロップエアー手段と、を更に備えたことが、好ましい。
【００１０】
同様に、ワーク搬送路の搬送終了位置の先方に配設され、搬送終了位置に達したワークに上方から斜め後方に向けてエアーを吹き付けて、ワークを搬送終了位置に位置決めする端部ドロップエアー手段と、を更に備えたことが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、搬送終了位置において、ワークを位置決めすることができるため、搬送終了位置で、ワークのピックアップ等の作業を容易に行うことができる。
【００１２】
この場合、複数の中間部ドロップエアー手段および端部ドロップエアー手段は、搬送方向に直交する方向に延在するスリット状のエアーノズルを、それぞれ有していることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、搬送されるワークの前面に均等にエアーを吹き付けることができるため、複数のワークの各間隙の維持および位置決めを適切に行うことができる。
【００１４】
この場合、複数の中間部ドロップエアー手段および端部ドロップエアー手段は、搬送方向に直交する方向に列設した複数のエアーノズルを、それぞれ有していることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、搬送されるワークの前面に均等にエアーを吹き付けることができるため、複数のワークの各間隙の維持および位置決めを適切に行うことができる。また、上記のスリット状のエアーノズルに比して、エアー消費量を少なくすることができる。
【００１６】
この場合、各中間部ドロップエアー手段は、斜め搬送方向にエアーを吹き付けることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、特にワークが搬送中であるときに、ワークの搬送速度とエアーの吹付け角度とを整合させることにより、ワークに対し相対的に上方からエアーを吹き付けることができる。このため、特に搬送中のワーク同士の間隙を適切に維持することができる。
【００１８】
この場合、ワーク搬送機構は、ワーク搬送路の両側に配設され、ワーク搬送路上のワークに両側方からエアーを均等に吹き付けてワークに搬送のための推進力を付与する一対のサイドエアー手段、を更に備えていることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、ワークの両側面に均等に推進力が付与されるようエアーが吹き付けられるため、ワークをワーク搬送路の中央に寄せながらワークを搬送することができる。従って、ワークがワーク搬送路から外れることがなく、ワークの姿勢を維持しつつこれを搬送することができる。
【００２０】
この場合、各サイドエアー手段は、ワークの側面に斜め搬送方向からエアーを吹き付けると共に搬送方向に並んだ複数の推進ノズルを有していることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、エアーを、その搬送方向のベクトルがワークの推進力として、搬送方向と直交するベクトルがワークの中央寄せとして機能するように、吹き付けることができる。
【００２２】
この場合、各サイドエアー手段の複数の推進ノズルの相互の間隔が、ワークの側面の長さの１／２以下であることが、好ましい。
【００２３】
この構成によれば、少なくとも２組の推進ノズルによりワークの側面にエアーを吹き付けることができるため、適切にワークを中央に寄せて姿勢を維持しつつ搬送方向に推進力を付与することができる。
【００２４】
この場合、各サイドエアー手段は、ワークの側面に斜め搬送方向からエアーを吹き付ける複数の推進ノズルと、ワークの側面に搬送方向に直交する方向からエアーを吹き付けてワークの姿勢を制御する複数の制御ノズルと、を更に有し、複数の推進ノズルと複数の制御ノズルとは、混在した状態で搬送方向に並んでいることが、好ましい。
【００２５】
この構成によれば、制御ノズルは、ワークをワーク搬送路の中央に搬送方向と略平行な姿勢で位置決めすることができ、推進ノズルによりワークをこの状態で搬送することができる。
【００２６】
この場合、一対のサイドエアー手段間において、各推進ノズルと各制御ノズルとが対向配置されていることが、好ましい。
【００２７】
この構成によれば、ワークに対し、常に推進ノズルからエアーが吹き付けられることになるため、搬送速度を安定させることができる。
【００２８】
この場合、各サイドエアー手段の複数の推進ノズルおよび複数の制御ノズルの相互の間隔が、ワークの側面の長さの１／２以下であることが、好ましい。
【００２９】
この構成によれば、制御ノズルによりワークの側面にエアーを吹き付けることができるため、搬送方向に対しワークが位置ズレしていたとしても、ワークの姿勢を補正しつつ、これをベルトの中央に位置決めすることができる。また、推進ノズルによりワークの側面にエアーを吹き付けることができるため、適切にワークを中央に寄せつつ搬送方向に推進力を付与することができる。
【００３０】
この場合、ワーク搬送路は、有孔プレートと有孔プレートに連通するエアー室とから成る作動エアープレートを、搬送方向に複数連ねて構成されており、有孔プレートを介してワークを浮上させるためにエアー室にエアーを供給するエアー供給手段を、更に備えたことが、好ましい。
【００３１】
この構成によれば、ワークを浮上させることができるため、ワークとワーク搬送路との間に生ずる摩擦力を極端に小さくすることができ、エアーによるワークの姿勢制御やワークの搬送を行い易いものとすることができる。
【００３２】
この場合、有孔プレートを介してワークを吸着するためにエアー室からエアーを吸引する真空吸引手段と、エアー供給手段と真空吸引手段とを切り替える切替え制御手段と、を更に備えたことが、好ましい。
【００３３】
この構成によれば、ワークを真空吸着してワーク搬送路上に固定することができる。このため、例えば、搬送終了位置においてワークをピックアップする場合、プリアライメントした状態で吸着固定することができ、ピックアップ時にワークに位置ズレを生ずることなく、ピックアップすることができる。
【００３４】
この場合、有孔プレートが多孔質プレートで構成されていることが、好ましい。
【００３５】
この構成によれば、比較的少量のエアー量で、多孔質プレートの全面からエアーを均等に吹き付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付の図面を参照して、本実施形態に係るワーク搬送装置について説明する。ところで、フレキシブル基板（ＦＯＧ）やドライバチップ（ＣＯＧ）等の部品をガラス基板等に実装するべく、前段階として各部品およびガラス基板をプリアライメント（±０．１ｍｍの精度）した後、次段階において、画像認識装置および精密ステージ等を用いて、各部品およびガラス基板に形成された各アライメントマークを画像認識し、この画像認識結果に基づいて、精密ステージにより高精度なアライメント（±０．００２ｍｍの精度）を行う。この後、ガラス基板に各部品を接合して、ガラス基板に各部品を実装する。このとき、前段階として行うプリアライメントは、画像認識装置にアライメントマークを映し込む為の作業となっている。ここで、このワーク搬送装置は、ワーク搬送路上に載置した液晶パネルに用いられるガラス基板等の複数のワークの間隙を維持しつつエアーにより搬送しながら、ワークのプリアライメントを行うものである。
【００３７】
図１を参照すると、ワーク搬送装置１は、複数のワークＷの搬送路となるワーク搬送路２およびワーク搬送路２の両側に沿うように立設し且つワークＷに推進力を与える一対のサイドエアーユニット３から成るワーク搬送機構４と、ワーク搬送路２の上方に配設され、搬送されてゆく複数のワークＷの間隙を維持する複数の中間部ドロップエアーユニット５と、ワーク搬送路の搬送終了位置Ｐｅの先方に配設され、搬送方向に直交する方向に延在する邪魔板６と、邪魔板６と搬送終了位置Ｐｅに達したワークＷとの間隙に上方からエアーを吹き付ける端部ドロップエアーユニット７と、を有している。一対のサイドエアーユニット３は、ワーク搬送路２に沿うように搬送開始位置Ｐｓから搬送終了位置Ｐｅまで、ワーク搬送路２の長さより幾分短く延在しており、ワーク搬送路２により搬送されるワークＷに推進力を付与するようエアーを吹き付けている。
【００３８】
ワーク搬送路２は、複数の作動エアープレート１０が連なることで搬送路を形成しており、各作動エアープレート１０は、ベースとなる方形の枠状フレーム１２と、枠状フレーム１２の上部に嵌合する多孔質プレート１３と、を有し、多孔質プレート１３の下側には、エアー室１１が形成されている。各エアー室１１には、その下側にエアー接続口１４が開口されており、エアー接続口１４は、図示しない切替バルブを介して、工場内の圧縮エアー供給設備およびエアー吸引設備に切替可能に接続されている。圧縮エアー供給設備からエアーが供給されると、多孔質プレート１３の全面から上方に向けて均等にエアーを吹き付けてワークＷを浮上させ、また、切替バルブを切り替えて、エアー吸引設備に接続すると、ワークＷは多孔質プレート１３に真空吸着される。これにより、複数のワークＷの搬送終了位置Ｐｅから搬送開始位置Ｐｓへの搬送において、搬送終了位置ＰｅにおけるワークＷの除材（移載）作業や、搬送途中位置に配置した処理装置のワークＷへのアクセス等により搬送を停止する場合は、真空吸着を行ってワークＷを吸着固定し、再び搬送を行う場合には、エアーを吹き出してワークＷを浮上させる。なお、エアー吹出し量は、ワークＷを僅かに浮上させる程度でよい。
【００３９】
一対のサイドエアーユニット３は、ワーク搬送路２の両側に沿って配設され、搬送開始位置Ｐｓから搬送終了位置Ｐｅまで延在する長方体状の一対のエアーボックス２０と、各エアーボックス２０に連なりワーク搬送路２を挟んで対向するように設けられ、搬送方向と直交する直交方向にエアーを吹き付ける複数の制御ノズル２２と、搬送方向と直交方向との間の傾斜方向にエアーを吹き付ける複数の推進ノズル２３と、を有している。
【００４０】
各エアーボックス２０は、長手方向に複数に分割されており、この各分割ボックス２１には３個（複数）の制御ノズル２２または推進ノズル２３が設けられている。すなわち、複数の分割ボックス２１は、制御ノズル２２が設けられた制御分割ボックス２１ａと、推進ノズル２３が設けられた推進分割ボックス２１ｂと、の２種類で構成されており、各制御分割ボックス２１ａおよび各推進分割ボックス２１ｂは、ワーク搬送路２を挟んで対向して配置されている。複数の分割ボックス２１には、流量調整弁等を介して、工場内の圧縮エアー供給設備（いずれも図示省略）がそれぞれ接続されており、圧縮エアー供給設備から供給されたエアーは、各分割ボックス２１を介して各制御ノズル２２および各推進ノズル２３から、エアーがワークＷの両側面に対して均等に吹き付けられるように、エアーが調整されて吹き付けられる。なお、流量調整弁等は制御ノズル２２および推進ノズル２３毎に設けることが、より好ましい。
【００４１】
各エアーボックス２０の複数の制御ノズル２２および推進ノズル２３は、その配置ピッチが等間隔となるよう各エアーボックス２０の上部に搬送開始位置Ｐｓから搬送終了位置Ｐｅまで列設されている。制御ノズル２２は、ワーク搬送路２の搬送方向に対し直交するようにエアーの吹付け角度が調整されており、推進ノズル２３は、搬送方向と直交方向との間の傾斜方向となるようにエアーの吹付け角度が調整されている。複数の両ノズル２２、２３の配置ピッチは、ワークＷの側面の長さの１／２以下のピッチで配設され、ワークＷには少なくとも２組のノズル２２、２３によりエアーが吹付けられるようになっている。
【００４２】
ワーク搬送路２に載置されたワークＷの両側面には、サイドエアーユニット３により、ワークＷの両側面に均等にエアーが吹き付けられる。すなわち、サイドエアーユニット３の複数組の推進ノズル２３は、ワークＷを中央に寄せながら搬送し、複数組の制御ノズル２２は、ワークＷを搬送方向に倣った姿勢に姿勢制御する。これにより、ワークＷは、徐々にプリアライメントされながら搬送されてゆき、最終的にプリアライメントされた状態で搬送終了位置Ｐｅに達する。なお、各分割ボックス２１の３つの制御ノズル２２および推進ノズル２３を、一体としてスリット状に形成してもよい。また、各制御分割ボックス２１ａおよび各推進分割ボックス２１ｂを千鳥状に設けてもよい。これにより、ワークＷに対し、常に推進ノズル２３が臨むことになるため、ワークＷには常に推進力が加わりワークＷを搬送する速度を一定とすることができる。また、サイドエアーユニット３を、推進ノズル２３（推進分割ボックス２１ｂ）のみの構成としてもよい。
【００４３】
各中間部ドロップエアーユニット５は、ワーク搬送路２の上方に下向きに設けられ、搬送されるワークＷの前後に臨むよう等間隔に配設されている。なお、各間隔としては、例えば、ワークＷの搬送方向の長さと、維持されるべきワークＷ同士の間隙とを合わせた長さである。各中間部ドロップエアーユニット５は、下方に向けて鉛直方向にエアーを吹き付けると共に搬送方向に直交する方向に列設した複数のドロップエアーノズル３０と、これに連なるドロップエアーボックス３１とを有しており、各ドロップエアーボックス３１には、工場内の圧縮エアー設備が、流量調整弁（図示省略）等を介して接続されている。これにより、複数のワークＷの各間隙が均等になるよう複数のドロップエアーノズル３０から吹き出されるエアー量を流量調整弁により調整することができる。
【００４４】
端部ドロップエアーユニット７は、上記の中間部ドロップエアーユニット５と同様の構成となっており、ワーク搬送路２の先方に設けられた邪魔板６と、搬送終了位置Ｐｅに臨んだワークＷとの間にエアーを下向き鉛直方向に吹き付けるよう配設されている。この場合、邪魔板６とワークＷとの間に吹き付けたエアーにより、ワークＷの停止位置（移載位置）において搬送方向（前後方向）の位置をプリアライメントできるようになっている。すなわち、邪魔板６の位置を調整するか、端部ドロップエアーユニット７のエアーの強さを調整することで、ワークＷを所定の移載位置に停止させるようになっている。
【００４５】
ワーク搬送路７上の搬送開始位置ＰｓにワークＷが載置されると、ワークＷの両側面には、サイドエアーユニット３によりサイドエアーが吹き付けられ、載置したワークＷがプリアライメントされながら搬送される。載置したワークＷが搬送方向へ移動した後、先に載置した先行するワークＷに一定の間隙を存した状態で、搬送開始位置Ｐｓに後行するワークＷが載置され、ワークＷが搬送方向に向かって移動する。先行するワークＷが、プリアライメントされた状態で搬送終了位置Ｐｅに達すると、端部ドロップエアーユニット７により、上方からワーク搬送路２に向けてドロップエアーが吹き付けられる。ドロップエアーがワーク搬送路２に吹き当てられると、ドロップエアーは、搬送方向の先方および後方に分岐して流れ、先方のエアーは邪魔板６に吹き当たり、後方のエアーは先行するワークＷの前面に吹き当たる。同時に、中間部ドロップエアーユニット５により、上方からワーク搬送路２に向けてドロップエアーが吹き付けられ、分岐した先方のエアーは先行するワークＷの後面に吹き当たる。
【００４６】
これにより、先行するワークＷは、後方に押し戻されようとするが、サイドエアーによる推進力および中間部ドロップエアーによる吹付け力が付与されていることで、端部ドロップエアーの吹付け力とサイドエアーおよび中間部ドロップエアーの推進力とが釣り合った位置において、邪魔板６と間隙を存した状態で位置決めされ、先行するワークＷが搬送終了位置Ｐｅにおいて停止状態（停滞）となる。すなわち、先行するワークＷは、一対のサイドエアーユニット３、中間部ドロップエアーユニット５および端部ドロップエアーユニット７により、ワークＷの前後左右がプリアライメントされる。この後、後行するワークＷが、先行するワークＷに近接してくると、今度は中間部ドロップエアーユニット５により、先行するワークＷと後行するワークＷとの間隙に上方からドロップエアーを吹き付ける。ドロップエアーは、上記と同様に、搬送方向の先方および後方に分岐して流れ、先方のエアーは邪魔板６と同様の作用となる先行するワークＷの後面に吹き当たり、後方のエアーは後行するワークＷの前面に吹き当たる。これにより、先行するワークＷと後行するワークＷとの間隙を存した状態で、後行するワークＷが停止状態（停滞）となる。
【００４７】
以上の構成によれば、１または複数のワークＷが停滞した状態であっても、エアーにより物的接触なく、複数のワークＷの各間隙を維持することができるため、ワークＷ同士が接触することがない。また、搬送終了位置ＰｅにおけるワークＷは、端部ドロップエアーユニット７と両サイドエアーユニット３，３により、プリアライメントされた状態となる。ここで、いったんワーク搬送路２の作動エアープレート１０に吸着して、移載を待つようにしているため、プリアライメントされたワークＷをそのまま処理装置等に移載することができる。
【００４８】
なお、本実施形態では、端部ドロップエアーユニット７は、ワークＷと邪魔板６との間隙に上方からエアーを吹き付けたが、図２（ａ）に示すように、邪魔板６を廃し、端部ドロップエアーユニット７を、搬送方向の先方に配設し、上方から斜め後方に向けてドロップエアーを吹き付けるようにしてもよい。また、列設した複数のドロップエアーノズル３０に代えて、スリット状のドロップエアーノズルにしてもよい。さらに、図２（ｂ）に示すように、各中間部ドロップエアーユニット５は、斜め先方搬送方向にドロップエアーを吹き付けるようにしてもよい。これにより、例えば、搬送中のワークＷにエアーを吹き当てる場合、ワークＷの搬送速度とエアーの吹付け角度とを整合させることにより、ワークＷに対し相対的に上方からエアーを吹き付けることができるため、搬送中のワークＷ同士の間隙を適切に維持することができる。また、複数の中間部ドロップエアーユニット５および端部ドロップエアーユニット７は、エアーを常時吹き付けていてもよいし、先行するワークＷが停滞し、後行するワークＷが近接したときに吹き付けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本実施形態に係るワーク搬送装置の説明図である。
【図２】本実施形態に係るワーク搬送装置の変形例の説明図である。
【符号の説明】
【００５０】
１…ワーク搬送装置  ２…ワーク搬送路  ３…サイドエアーユニット  ４…ワーク搬送機構  ５…中間部ドロップエアーユニット  ６…邪魔板  ７…端部ドロップエアーユニット  １０…作動エアープレート  １１…エアー室  １３…多孔質プレート  ２２…制御ノズル  ２３…推進ノズル  Ｐｓ…搬送開始位置  Ｐｅ…搬送終了位置  Ｗ…ワーク
【図１】
2007238289.tif 000003
【図２】
2007238289.tif 000004