(57)【要約】【課題】フィルム製品の包装時や輸送時等におけるフィルムの変形を効果的に防ぐことができる包装方法及びフィルムケースを提供する。【解決手段】コア部材１２と、該コア部材の周囲に巻かれたフィルム１４とからなるフィルム製品１０を収納するフィルムケースであって、少なくとも、前記フィルム製品が収容されるケース本体１８と、該ケース本体に装着される蓋２４とを具備し、前記フィルム製品が、前記コア部材で支持されることにより前記フィルムが前記ケース本体に接触することなく前記ケース本体に収容され、前記蓋が前記フィルムに接触することなく前記ケース本体に装着されることにより前記フィルム製品がケースに収納されるものであることを特徴とするフィルムケース１６。このフィルムケースにフィルム製品を収納し、該フィルムケースを包装材で包装する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コア部材と、該コア部材の周囲に巻かれたフィルムとからなるフィルム製品を包装する方法であって、前記コア部材を支持し、前記フィルムを包装材と接触させずに前記フィルム製品を前記包装材で包装することを特徴とするフィルム製品の包装方法。
【請求項２】
前記フィルムがダイアタッチフィルムであるフィルム製品を包装することを特徴とする請求項１に記載のフィルム製品の包装方法。
【請求項３】
前記フィルムが粘着層を有するものであり、該粘着層にセパレータを設けずに前記コア部材の周囲に巻いたフィルム製品を包装することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフィルム製品の包装方法。
【請求項４】
コア部材と、該コア部材の周囲に巻かれたフィルムとからなるフィルム製品を収納するフィルムケースであって、
少なくとも、前記フィルム製品が収容されるケース本体と、該ケース本体に装着される蓋とを具備し、前記フィルム製品が、前記コア部材で支持されることにより前記フィルムが前記ケース本体に接触することなく前記ケース本体に収容され、前記蓋が前記フィルムに接触することなく前記ケース本体に装着されることにより前記フィルム製品がケースに収納されるものであることを特徴とするフィルムケース。
【請求項５】
前記ケース本体に、前記フィルム製品のコア部材を支持するための支持部が形成されているものであることを特徴とする請求項４に記載のフィルムケース。
【請求項６】
前記フィルムケースと、該フィルムケースに収納された前記フィルム製品のコア部材との間を支持するためのスペーサを備えているものであることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のフィルムケース。
【請求項７】
前記ケース本体と蓋とが、ポリエチレンテレフタレートで形成されているものであることを特徴とする請求項４ないし請求項６のいずれか一項に記載のフィルムケース。
【請求項８】
前記ケース本体と蓋とが、離型処理が施されていないものであることを特徴とする請求項４ないし請求項７のいずれか一項に記載のフィルムケース。
【請求項９】
コア部材と、該コア部材の周囲に巻かれたフィルムとからなるフィルム製品を包装する方法であって、前記フィルム製品を前記請求項４ないし請求項８のいずれか一項に記載のフィルムケースに収納し、該フィルム製品を収納したフィルムケースを包装材で包装することを特徴とするフィルム製品の包装方法。
【請求項１０】
前記フィルムがダイアタッチフィルムであるフィルム製品を、前記フィルムケースに収納することを特徴とする請求項９に記載のフィルム製品の包装方法。
【請求項１１】
前記フィルムが粘着層を有するものであり、該粘着層にセパレータを設けずに前記コア部材の周囲に巻いたフィルム製品を、前記フィルムケースに収納することを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載のフィルム製品の包装方法。
【請求項１２】
前記フィルム製品の包装を真空包装により行うことを特徴とする請求項９ないし請求項１１のいずれか一項に記載のフィルム製品の包装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はフィルム製品を包装する技術に関し、特に、半導体デバイスの製造で使用されるフィルム等、高い平坦度が要求されるフィルム製品に好適な包装方法及びフィルムケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程では種々のフィルムが使用されている（特許文献１〜４参照。）。例えば基板とチップとの間や、チップとチップとの間を接着するフィルムとして、ダイアタッチフィルム（ＤＡＦ）、あるいはダイボンドフィルム（ＤＢＦ）と呼ばれるフィルムが使用される。
【０００３】
このようなフィルム製品を製造する場合、一般的に環状あるいは筒状のコア部材の周囲にエポキシ樹脂等の有機材料からなるフィルムを巻き取り、このフィルム製品の両端面にそれぞれＰＥＴ等の側板が当てられる。そして、フィルム製品を乾燥剤とともにアルミ袋等の包装袋に入れた後、真空下で包装される。
このように、フィルム製品の両端面に側板を当てて包装袋により真空包装することで、使用前のフィルムの汚れや劣化を防止することができる。
【０００４】
ところが、上記のようにフィルム製品を真空包装すると、包装袋によってフィルムが圧迫され、また、例えば輸送中に外圧が加わることによりフィルムの一部が変形してしまう場合がある。特にダイアタッチフィルムは、極めて高い平坦度が要求される半導体デバイスの製造に使用されるので、フィルムがわずかに変形しても半導体デバイスの歩留りに大きく影響するという問題がある。
【０００５】
【特許文献１】特開平５−３３５２８８号公報
【特許文献２】特開２０００−９１３５７号公報
【特許文献３】特開２００１−１５２１０７号公報
【特許文献４】特開２００５−１６６７７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、フィルム製品の包装時や輸送時等におけるフィルムの変形を効果的に防ぐことができる包装方法及びフィルムケースを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明では以下の手段が提供される。
【０００８】
＜１＞コア部材と、該コア部材の周囲に巻かれたフィルムとからなるフィルム製品を包装する方法であって、前記コア部材を支持し、前記フィルムを包装材と接触させずに前記フィルム製品を前記包装材で包装することを特徴とするフィルム製品の包装方法である。
【０００９】
＜２＞前記フィルムがダイアタッチフィルムであるフィルム製品を包装することを特徴とする＜１＞に記載のフィルム製品の包装方法である。
【００１０】
＜３＞前記フィルムが粘着層を有するものであり、該粘着層にセパレータを設けずに前記コア部材の周囲に巻いたフィルム製品を包装することを特徴とする＜１＞又は＜２＞に記載のフィルム製品の包装方法である。
【００１１】
＜４＞コア部材と、該コア部材の周囲に巻かれたフィルムとからなるフィルム製品を収納するフィルムケースであって、
少なくとも、前記フィルム製品が収容されるケース本体と、該ケース本体に装着される蓋とを具備し、前記フィルム製品が、前記コア部材で支持されることにより前記フィルムが前記ケース本体に接触することなく前記ケース本体に収容され、前記蓋が前記フィルムに接触することなく前記ケース本体に装着されることにより前記フィルム製品がケースに収納されるものであることを特徴とするフィルムケースである。
【００１２】
＜５＞前記ケース本体に、前記フィルム製品のコア部材を支持するための支持部が形成されているものであることを特徴とする＜４＞に記載のフィルムケースである。
【００１３】
＜６＞前記フィルムケースと、該フィルムケースに収納された前記フィルム製品のコア部材との間を支持するためのスペーサを備えているものであることを特徴とする＜４＞又は＜５＞に記載のフィルムケースである。
【００１４】
＜７＞前記ケース本体と蓋とが、ポリエチレンテレフタレートで形成されているものであることを特徴とする＜４＞ないし＜６＞のいずれかに記載のフィルムケースである。
【００１５】
＜８＞前記ケース本体と蓋とが、離型処理が施されていないものであることを特徴とする＜４＞ないし＜７＞のいずれかに記載のフィルムケースである。
【００１６】
＜９＞コア部材と、該コア部材の周囲に巻かれたフィルムとからなるフィルム製品を包装する方法であって、前記フィルム製品を前記＜４＞ないし＜８＞のいずれかに記載のフィルムケースに収納し、該フィルム製品を収納したフィルムケースを包装材で包装することを特徴とするフィルム製品の包装方法である。
【００１７】
＜１０＞前記フィルムがダイアタッチフィルムであるフィルム製品を、前記フィルムケースに収納することを特徴とする＜９＞に記載のフィルム製品の包装方法である。
【００１８】
＜１１＞前記フィルムが粘着層を有するものであり、該粘着層にセパレータを設けずに前記コア部材の周囲に巻いたフィルム製品を、前記フィルムケースに収納することを特徴とする＜９＞又は＜１０＞に記載のフィルム製品の包装方法である。
【００１９】
＜１２＞前記フィルム製品の包装を真空包装により行うことを特徴とする＜９＞ないし＜１１＞のいずれかに記載のフィルム製品の包装方法である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、フィルム製品のコア部材を支持し、フィルム部分が包装材に接触しないように包装するので、フィルム製品を包装、輸送等する際、フィルム部分が圧迫されず、フィルムの変形を効果的に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な態様として、環状（筒状）のコア部材にダイアタッチフィルムを巻いたフィルム製品を包装する場合について、添付の図面を参照しながら具体的に説明する。
本発明者は、コア部材の周囲にフィルムを巻いたフィルム製品を包装、輸送等する際、外圧が加わってもフィルムの変形を防止することができる手段について鋭意検討を重ねた。その結果、本発明者は、フィルム製品を包装袋等の包装材で包装する際、フィルム製品のコア部材を支持し、フィルムを包装材と接触させずにフィルム製品を包装材で包装すれば、フィルムの汚染を防止するだけでなく、フィルムの変形を効果的に防止することができることを見出し、さらに検討を重ねて本発明の完成に至った。
【００２２】
図１は、フィルム製品を包装する際に好適に用いることができる本発明に係るフィルムケースの一例の断面を概略的に示している。このフィルムケース１６は、フィルム製品１０が収容されるケース本体１８と、ケース本体１８に装着される蓋２４とを具備し、さらに、フィルム製品１０を支持するための支持部としてスペーサ２６が設けられている。
【００２３】
ケース本体１８は略台形の断面を有し、フィルム製品１０を収容するための収容部２０が環状に形成されている。収容部２０の内側には、円錐台形の突部２２が形成されており、フィルム製品１０をケース本体１８（収容部２０）に収容する際、この突部２２を介してフィルム製品１０を位置決めすることができる。
【００２４】
蓋２４はケース本体１８の上面と側面を覆う形状を有しており、ケース本体１８の側面に密着した状態で装着することができる。
【００２５】
フィルムケース１６の材質は特に限定されるものではないが、フィルム１４の汚染をより確実に防止し、さらに、成形性、強度、材料コスト等を考慮すると、プラスチックが好適である。例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）でケース本体１８と蓋２４を製造すれば、成形が容易であり、ケースとして十分な強度を有し、また、コストを低く抑えることができる。なお、飲料用のペットボトルをリサイクルしたＰＥＴを原料とすることもできる。
【００２６】
また、フィルムケース１６は離型処理が施されていないものが好ましい。離型処理材には一般的にシリコンが含有されており、ダイアタッチフィルムがこのような離型材と接触すると、フィルムの接着力が弱まるおそれがある。従って、本発明に係るフィルムケース１６を製造する際、成形用の金型に離型材を用いず、離型処理されていない樹脂材料、特にＰＥＴによって成形したものとすることが好ましい。
【００２７】
スペーサ２６は、ケース本体１８と蓋２４との間でコア部材１２を支持できるようにケース本体１８と蓋２４にそれぞれ設けられている。このようなスペーサ２６は、ケース１６（本体１８、蓋２４）に固着してもよいし、ケース１６とは別体としてフィルム製品１０を収納する際にケース１６とコア部材１２との間に設けてもよい。
【００２８】
スペーサ２６の材質については、フィルム製品１０のコア部材１２を支持するため、弾力性のある材質とすることが好ましい。例えば発泡ポリエチレン製のスペーサ２６とすれば、軽量であり、弾力性に優れるため好適である。このようなスペーサ２６によってコア部材１２を支持すれば、輸送時などに振動が加わってもフィルム製品１０のばたつき（移動）を確実に防ぐことができる。
【００２９】
次に、上記のようなフィルムケース１６にフィルム製品１０を収納し、さらに包装材で包装する手順について説明する。
まず、ケース本体１８の収容部２０にフィルム製品１０を収容する。このとき、図１に見られるように、フィルム製品１０のコア部材１２をスペーサ２６によって支持し、コア部材１２の周囲に巻かれたフィルム１４はケース本体１８に接触することなく収容部２０に収容されるようにする。ケース本体１８、収容部２０、スペーサ２６等の寸法は、収容するフィルム製品１０の外径、コア部材１２の内径、フィルム１４の幅等を考慮して設定すればよい。
【００３０】
フィルム製品１０をケース本体１８（収容部２０）に収容した後、本体１８に蓋２４を装着する。図１に見られるように、ケース本体１８に収容されたフィルム製品１０は、コア部材１２と蓋２４との間でもスペーサ２６により支持され、蓋２４やスペーサ２６がフィルム１４に接触することはない。
【００３１】
上記のようにフィルム製品１０のコア部材１２がスペーサ２６により支持されることで、ケース本体１８と蓋２４とがフィルム１４に接触することなくフィルム製品全体がケース１６に収納される。すなわち、フィルム製品１０はケース内でコア部材１２の部分だけで支持され、フィルム部分１４はケース等とは非接触の状態で保持されることになる。
【００３２】
フィルム製品１０をフィルムケース１６に収納した後、このフィルムケース１６を包装材で包装する。
包装材は特に限定されるものではなく、フィルム製品１０が収納されたフィルムケース１６を例えばアルミ袋等の包装袋に入れた後、真空下で開口部をヒートシールして包装してもよいし、あるいは包装紙を用いてケース１６を包装してもよい。
【００３３】
このように本発明に係るフィルムケース１６にフィルム製品１０を収納した上で袋等で包装すれば、例えば真空包装を行っても、フィルム部分１４はケース内で非接触の状態で保持されているので、フィルム１４が包装袋によって圧迫されることはない。特に半導体デバイスの製造に用いるダイアタッチフィルムのように、極めて高い平坦度が求められるフィルム製品１０を包装する際、本発明に係るフィルムケース１６に収納した上で包装すれば、フィルム１４の汚染や劣化を防ぐだけでなく、包装時や輸送時などに外圧が加わってもフィルム１４の変形を確実に防ぐことができる。
【００３４】
なお、フィルムの構成は特に限定されず、一層あるいは複数の層からなるフィルムでもよい。例えば粘着層を有するフィルムでは、粘着層にセパレータを設けて巻いたものと、セパレータを設けずに巻いたものがある。特にセパレータの無いフィルム製品は、フィルム部分が圧迫されたときに変形し易いが、本発明に係るフィルムケース１６を用いれば、フィルム製品１０を、フィルム部分１４がケース本体１８や蓋２４と接触しない状態で収納し、これを包装材で包装することができる。従って、セパレータの無いフィルムが巻かれたフィルム製品であっても、包装時等の圧迫による変形を確実に防ぐことができる。
【００３５】
以下、本発明の実施例及び比較例について説明する。
【実施例】
【００３６】
［実施例］
＜フィルム製品＞
図２は実施例で用いたフィルム製品１０の概略形状を示している。
コア部材１２として、ＡＢＳ樹脂製の環状体であり、幅（図２のＤの部分）が異なるもの（２．０ｍｍ、３．０ｍｍ、４．０ｍｍ）を３種類用意した。
一方、フィルム１４は、厚さが異なるダイアタッチフィルム（２５μｍ、４０μｍ）を２種類用意した。ダイアタッチフィルムの機械的特性を表１に示す。
【００３７】
【表１】
2007297098.tif 000003
【００３８】
上記のようなダイアタッチフィルム１４をコア部材１２の周囲に巻き取ってフィルム製品１０とした。巻き取り条件は、張力を０．５ｋｇｆ・ｍとし、巻き取り速度を５ｍ／分とした。
作製したフィルム製品のコア部材とフィルム部分の寸法を表２に示す。
【００３９】
【表２】
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【００４０】
＜フィルムケース＞
ペットボトルのリサイクル原料であるポリエチレンテレフタレート（ＮＯＡＣＲＹＳＴＡＬ−Ｍ、ＲＰ東プラ株式会社製）を用い、図１に示したような形状のケース本体１８及び蓋２４を成形した。ケース本体と蓋の寸法はともに１６０ｍｍ×１６０ｍｍとし、厚みは０．３ｍｍとした。なお、上記原料は離型処理されていないＰＥＴ（１００％）であり、成形用の金型にも離型材を使用せずに成形した。使用したＰＥＴの物性値を表３に示す。
【００４１】
【表３】
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【００４２】
＜スペーサ＞
発泡ポリエチレン（サンペルカ（Ｌ−２５００）、三和化工株式会社製）を用いてスペーサを作製した。スペーサの内径及び外径は前記フィルム製品のコア部材と同じサイズとした。使用した発泡ポリエチレンの物性値を表４に示す。
【００４３】
【表４】
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【００４４】
前記のフィルム製品をフィルムケースとアルミ袋を用いて真空包装を行った。
具体的には、図３に示すようにフィルム製品１０をケース本体１８の収容部２０に収容し、さらにケース本体１８に蓋２４を装着した。コア部材１２とケース（本体１８及び蓋２４）の間にはスペーサ（図示せず）を設けた。
上記のようにしてケース内にフィルム製品１０を収納した後、ケースを個々にシリカゲル２８とともにアルミ袋３０に入れ、袋３０の開口部をヒートシールして真空包装した（包装時の真空度：−６６．５ｋＰａ）。
【００４５】
［比較例］
従来の方法に基づき、前記のフィルム製品１０をアルミ袋で真空包装した。
具体的には、厚さが２００μｍのＰＥＴ製の側板（１２０ｍｍ×１２０ｍｍ）を用意し、図４に示すようにフィルム製品１０の両端面にそれぞれ上記の側板３２を当てた。このようなフィルム製品１０を個々にシリカゲル２８とともにアルミ袋３０に入れ、袋３０の開口部をヒートシールして真空包装した（包装時の真空度：−６６．５ｋＰａ）。
【００４６】
＜変形量の測定＞
上記のように実施例及び比較例においてそれぞれ真空包装を行った後、袋３０を開封してフィルム製品１０を取り出し、フィルム１４の変形の有無について目視による確認を行った。
その結果、実施例において包装したフィルム製品１０ではフィルム１４の変形は認められなかった。一方、比較例において包装したフィルム製品１０では、フィルム１４の縁の部分において図５に示すような変形が認められた。このようなフィルム部分の変形は、包装時の圧迫により生じたものと考えられる。
【００４７】
さらに、ノギスを用いてフィルム部分１４の変形量を測定した。図５に示す部分（Ｘ、Ｙ）の寸法をノギス（ＣＤ−１５ＣＰ、株式会社ミツトヨ製、最小表示桁：０．０１ｍｍ）で計測し、変形部の高さ（Ｚ）を算出した。その結果を表５に示す。
【００４８】
【表５】
2007297098.tif 000007
【００４９】
表５から明らかなように、ノギスによる計測でも実施例のフィルム（サンプル１−５）は変形していないことがわかった。一方、比較例のフィルム（サンプル６−１０）では０．１５〜０．５ｍｍの変形が認められた。
このような結果から、本発明に係るフィルムケースにフィルム製品を収納した上で包装袋により包装した場合、フィルム部分１４はケース内で非接触の状態で保持されるため、包装袋によって圧迫されず、フィルムの変形を効果的に防ぐことができることがわかる。
【００５０】
以上、本発明について説明したが、本発明は上記の実施形態及び実施例に限定されるものではない。
例えば、実施形態等では、環状のコア部材にダイアタッチフィルムを巻いたフィルム製品を包装する場合について説明したが、フィルム製品は特に限定されず、本発明は、半導体デバイスの製造において高い平坦度が要求される他のフィルム、あるいは半導体デバイスの製造以外の分野で使用されるフィルムの収納及び包装に適用することができる。
【００５１】
また、フィルムケースについては、スペーサによってコア部材を支持するものについて説明したが、スペーサを設けず、ケース本体でコア部材を支持するようにしてもよい。例えば、収容部内の円錐台形の突部の径を、下方ではコア部材の内径よりも大きく形成したものとする。このような円錐台形の突部であれば、支持部として作用し、フィルム製品のコア部材に挿入してケース本体の突部により支持することができる。ただし、この場合も、図１に示したようなスペーサ２６を設けてコア部材１２を支持すれば、輸送時などにおけるフィルム製品のばたつき（移動）をより確実に防ぐことができる。
【００５２】
また、本発明に係るフィルムケースの利用形態も特に限定されず、例えば、ケースにフィルム製品を収納した後、包装材で包装せずに、そのまま保管、輸送等を行ってもよい。
【００５３】
さらに、本発明に係る包装方法は、図示したようなフィルムケースを必ずしも用いる必要はなく、フィルム製品を包装する際、フィルム製品のコア部材を支持し、フィルムを包装材と接触させずにフィルム製品を包装材で包装すれば本発明に包含される。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明に係るフィルムケースの一例を示す概略断面図である。
【図２】実施例及び比較例で用いたフィルム製品の寸法を説明するための概略図である。（Ａ）平面図  （Ｂ）側面図
【図３】実施例におけるフィルム製品の包装方法を説明する概略図である。
【図４】比較例におけるフィルム製品の包装方法を説明する概略図である。
【図５】フィルム部分の変形を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０    フィルム製品
１２    コア部材
１４    フィルム
１６    フィルムケース
１８    ケース本体
２０    収容部
２２    突部（支持部）
２４    蓋
２６    スペーサ（支持部）
３０    アルミ袋（包装材）
【図１】
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【図２】
2007297098.tif 000009
【図３】
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【図４】
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【図５】
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