【事件の表示】
　上記当事者間の特許第５４７９６２７号発明「平型のまたは筒型のスパッタリングターゲットならびにその製造方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結論】
　訂正請求書に添付された訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおりに訂正することを認める。
　請求項１、２、５、６、７及び８についての本件審判の請求は、成り立たない。
　請求項３及び４についての本件審判の請求は却下する。
　審判費用は、これを４分し、その３を請求人の負担とし、その余を被請求人の負担とする。
【理由】
第１　手続の経緯
　本件特許第５４７９６２７号に係る手続の経緯の概要は、以下のとおりである。
　平成２５年　４月　４日　特許出願（特願２０１３−７８３８９号、パリ条約による優先権主張　２０１２年４月４日、ドイツ）
　　同　　年　５月１６日　手続補正書
　　同　　年　６月　７日　拒絶理由通知（起案日）
　　同　　年１２月１７日　意見書及び手続補正書
　平成２６年　１月　８日　特許査定（起案日）
　　同　　年　２月２１日　設定登録
　　同　　年　６月２３日　本件無効審判請求
　　同　　年１０月　７日　訂正請求書及び審判事件答弁書（被請求人）
　　同　　年１１月２８日　弁駁書（請求人）
　　同　　年１２月２４日　審理事項通知書（起案日）
　平成２７年　１月２６日　口頭審理陳述要領書（被請求人）
　　同　　年　２月１６日　口頭審理陳述要領書（請求人）
　　同　　年　３月　５日　口頭審理
第２　平成２６年１０月７日付け訂正請求（以下「本件訂正請求」という）について
　１．本件訂正請求の内容（当審注：下線部分が訂正箇所である。）
　本件訂正請求は、本件特許の特許請求の範囲及び明細書を訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲及び訂正明細書のとおり一群の請求項ごとに訂正することを求めるもので、その訂正の内容は次のとおりである。
　（１）訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１に
　「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の含有率それぞれ０．５ｍｇ／ｋｇ未満」とあるのを、
　「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の
全含有率
　（２）訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項３を削除する。
　（３）訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項４を削除する。
　（４）訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項５に「請求項４に記載のスパッタリングターゲット」とあるのを、「請求項
１または２
　（５）訂正事項５
　特許請求の範囲の請求項６に「請求項１から５までのいずれか１項に記載のスパッタリングターゲット」とあるのを、「請求項１
、２および５
　（６）訂正事項６
　特許請求の範囲の請求項７に「請求項１から６までのいずれか１項に記載の、銀基合金からなる０．３ｍ２を上回る面積を有する平型のスパッタリングターゲットまたは少なくとも１．０ｍの長さを有する筒型のスパッタリングターゲットを製造する方法」とあるのを、「請求項１
、２、５および６
　２．本件訂正請求についての判断
　（１）訂正事項１について
　上記訂正事項１は、請求項１の「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の含有率」について、「それぞれ０．５ｍｇ／ｋｇ未満」を、「全含有率０．５ｍｇ／ｋｇ未満」へと訂正するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的としたものである。
　そして、「前記不純物元素の全含有率が、０．５ｍｇ／ｋｇ未満であること」は、訂正前の請求項４に記載された発明特定事項であって、本件願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内のものであることは明らかである。
　さらに、上記訂正事項１は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　（２）訂正事項２について
　訂正事項２は、特許請求の範囲の訂正前の請求項３を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、本件願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内のものである。
　さらに、上記訂正事項２は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　（３）訂正事項３について
　訂正事項３は、特許請求の範囲の訂正前の請求項４を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、本件願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内のものである。
　さらに、上記訂正事項３は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　（４）訂正事項４について
　訂正事項４は、上記訂正事項２、３に伴い、引用する請求項番号を変更しようとするものである。
　したがって、訂正事項４は、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであり、本件願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内のものである。
　さらに、上記訂正事項４は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　（５）訂正事項５について
　訂正事項５は、上記訂正事項２、３に伴い、引用する請求項番号を変更しようとするものである。
　したがって、訂正事項５は、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであり、本件願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内のものである。
　さらに、上記訂正事項５は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　（６）訂正事項６について
　訂正事項６は、上記訂正事項２、３に伴い、引用する請求項番号を変更しようとするものである。
　したがって、訂正事項６は、明瞭でない記載の釈明を目的とするものであり、本件願書に添付した明細書又は特許請求の範囲に記載した事項の範囲内のものである。
　さらに、上記訂正事項６は、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　（７）上記訂正事項１〜６についてのまとめ
　以上のとおり、上記訂正事項１〜６は、特許法１３４条の２第１項及び同条第９項で準用する特許法１２６条第５及び６項の規定に適合するので、適法な訂正と認める。
第３　本件訂正発明
　上記「第２」で述べたように、本件訂正請求における訂正は適法な訂正と認められるので、本件特許の請求項１、２、５、６、７及び８に係る発明（以下、これらの請求項に係る発明を項番号に対応して、「本件訂正発明１」、などといい、これらを総称して「本件訂正発明」という。）は、訂正請求書に添付した訂正特許請求の範囲の請求項１、２、５、６、７及び８に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】
　０．３ｍ２を上回る面積を有する平型のスパッタリングターゲットまたは少なくとも１．０ｍの長さを有する筒型のスパッタリングターゲットであって、それぞれ、インジウム、スズ、アンチモンおよびビスマスから選択される少なくとも１種の更なる合金成分を、合わせて０．０１〜５．０質量％の質量割合で有する銀基合金からなる前記スパッタリングターゲットであって、１２０μｍ未満の平均粒度を有する結晶組織と、２０ｍｇ／ｋｇ未満の酸素含有率と、アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の全含有率０．５ｍｇ／ｋｇ未満と、少なくとも９９．９９質量％の金属純度と、を特徴とする前記スパッタリングターゲット。
　【請求項２】
　前記の銀基合金が、１０ｍｇ／ｋｇ未満の酸素含有率を有することを特徴とする、請求項１に記載のスパッタリングターゲット。
　【請求項５】
　前記の不純物元素の全含有率が、０．１ｍｇ／ｋｇ未満であることを特徴とする、請求項１または２に記載のスパッタリングターゲット。
　【請求項６】
　前記の平均粒度が、１００μｍ未満であることを特徴とする、請求項１、２および５のいずれか１項に記載のスパッタリングターゲット。
　【請求項７】
　請求項１、２、５および６のいずれか１項に記載の、銀基合金からなる０．３ｍ２を上回る面積を有する平型のスパッタリングターゲットまたは少なくとも１．０ｍの長さを有する筒型のスパッタリングターゲットを製造する方法であって、銀と、インジウム、スズ、アンチモンおよびビスマスから選択される、合わせて０．０１〜５．０質量％の質量割合を有する少なくとも１種の更なる合金成分との公称組成を有する合金を溶融させることと、その溶融物を型中に鋳込んで、前記銀基合金からなる成形体を形成させることと、該成形体を変形させて、スパッタリングターゲットとすることと、を含む前記製造方法において、前記溶融を、還元性作用のある条件下で、前記溶融物に黒鉛粒子を添加することによって、２０ｍｇ／ｋｇ未満の酸素含有率を調整しつつ誘導溶融によって行うことを特徴とする前記製造方法。
　【請求項８】
　前記銀基合金からなる成形体の変形を、６５０〜７５０℃の範囲の温度で、結晶組織の動的再結晶のもと、かつ１２０μｍ未満の平均粒度を形成させつつ行うことを特徴とする、請求項７に記載の方法。」
第３　請求人及び被請求人の主張の概要
　１．請求人の主張
　請求人は、特許第５４７９６２７号の請求項１〜８に係る特許についての特許を無効とする、審判費用は被請求人の負担とするとの審決を求め、証拠方法として、後記の甲第１〜３号証を提出した。
　そして、本件特許無効審判請求書によれば、請求人の主張する無効理由は、以下の（１）及び（２）のとおりである。なお、審判請求書における請求人の主張する無効理由は、本件訂正請求前の請求項に対するものであるから、「訂正前」であることを明示した。
　（１）理由１：特許法第３６条６項１号及び同条４項１号
　訂正前の請求項１に記載された発明は、同項に記載された不純物元素の複数種を含み、不純物元素のそれぞれが０．５ｍｇ／ｋｇ未満であって、不純物元素の合計が０．５ｍｇ／ｋｇをはるかに超えるものを含むところ、かかる発明は発明の詳細な説明に記載されていない。
　さらに、訂正前の請求項３に記載された発明についても、不純物元素のそれぞれが０．１ｍｇ／ｋｇ未満であって、不純物元素の合計が０．１ｍｇ／ｋｇをはるかに超えるのみならず、０．５ｍｇ／ｋｇをも超えるものを含むところ、かかる発明は発明の詳細な説明に記載されていない。
　したがって、訂正前の本件特許の特許請求の範囲の記載は特許法第３６条６項１号に違反する。
　また、発明の詳細な説明には、かかる発明によって所望の作用効果を得る方法が当業者に理解可能な程度に記載されていないから、本件特許の明細書は特許法第３６条４項１号にも違反する。
　そして、訂正前の本件特許の請求項２〜８は全て直接または間接に請求項１に従属しているから、本件特許は全請求項について無効である。（審判請求書２頁９〜２２行）
　（２）理由２：特許法第２９条の２
　訂正前の本件特許の請求項１〜３、６に係る発明は、本件特許の優先日前に出願され、その後に公開特許公報が発行された特願２０１２−７１３２８号（特開２０１３−２０４０５２号）の願書に最初に添付された明細書又は特許請求の範囲（甲１）に記載された発明と同一であるから、特許法２９条の２に違反する。（審判請求書２頁２３行〜３頁１行）
［証拠方法］
　甲第１号証：特開２０１３−２０４０５２号公報（特願２０１２−７１３２８号、平成２４年３月２７日出願、平成２５年１０月７日出願公開）
　甲第２号証：長倉三郎、他５名編、「岩波　理化学辞典　第５版」、株式会社岩波書店、１９９８年４月２４日第５版第２刷、　１１４頁
　甲第３号証：特開平９−２５６０８３号公報
（以下、これらの甲各号証を番号に対応して、「甲１」、などということがある。）
　２．被請求人の主張
　被請求人は訂正を認める、本件審判の請求は成り立たない、審判費用は請求人の負担とするとの審決を求めた。
　そして、審判事件答弁書によれば、被請求人の主張は、以下の（１）及び（２）のとおりである。
　（１）理由１について
　請求人の主張は、訂正前の請求項１に係る発明を訂正前の請求項４に記載の構成によって減縮する訂正を行ったことにより、…請求項１に規定する「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の含有率」についてその合計が０．５ｍｇ／ｋｇ未満とすることによって、もはや根拠のないものとなる。
　…本件特許の発明の詳細な説明には、アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の合計を０．５ｍｇ／ｋｇ未満とすることによって、ターゲットにおけるマイクロアーク放電や飛び散りを抑制できることが、明確な裏付けをもって当業者に理解可能な程度に記載されているといえる。
　よって、本件特許は、訂正後の請求項１、２、５、６、７及び８に係るすべての発明について、特許請求の範囲の記載および発明の詳細な説明の記載が特許法第３６条第６項第１号および同条第４項第１号に規定する要件を満たす。（審判事件答弁書７頁１９行〜８頁２２行）
　（２）理由２について
　本件訂正請求書により、請求項１に係る発明を、理由２（特許法第２９条の２）に係る無効理由（特許法第１２３条第１項第２号）が主張されていない訂正前の請求項４に記載の構成によって減縮する訂正を行ったことによりもはや何ら根拠のないものとなり、訂正後の請求項１、２および６に係る発明は、甲第１号証を根拠として、その特許性が否定されることはない。
　…甲第１号証には、当該非金属介在物が、溶解鋳造の際にターゲットに含まれうる炉の耐火物や添加成分の酸化物であることが記載されているに過ぎず（甲第１号証、段落００１９）、具体的にいかなる元素が含まれるのかということについて全く記載されていない。むろん、甲第１号証には、非金属介在物がアルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素であるとの具体的な記載は一切存在しない。
　要するに、銀基合金は、広範囲に亘る種類および含有率の不純物元素を含有しうるものであって、非金属介在物として含まれる元素の内訳が全く特定されていないにもかかわらず、甲１の実施例３の非金属介在物の種類およびその含有率を、全く別個の文献である甲３の表１の記載に基づいて推測できるものではない。
　したがって、甲第１号証の「非金属介在物量：３ｐｐｍ」なる表現と、本件訂正発明における訂正前の請求項１に記載されていた「不純物元素の含有率それぞれ０．５ｍｇ／ｋｇ未満」との表現との間には技術的意義の相違はない、という不純物元素に関する請求人の主張は何ら根拠がなく失当である。
　…本件特許は、訂正後の請求項１、２、５および６に係る発明について、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないものに該当するものではない。（審判事件答弁書９頁３行〜１１頁１７行）
第４　当審の判断
　１．理由１について
　（１）本件訂正請求により、本件訂正発明１において、アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の全含有率０．５ｍｇ／ｋｇ未満であることが特定された。
　そして、請求人の主張する理由１は、本件訂正発明は、不純物元素の合計が０．５ｍｇ／ｋｇを超えるものを含む点を前提としたものであるところ、本件訂正発明１及び本件訂正発明１を引用する本件訂正発明２、５、６、７及び８は、不純物元素の合計が０．５ｍｇ／ｋｇを超えるものは含まなくなり、請求人の主張する理由１は、その主張の前提を欠くものとなったことにより、採用することができない。
　（２）請求人の主張について
　請求人は、特許請求の範囲の記載について、次のように主張している。
「明細書の【００１３】段落では、『酸素に高い親和性を有する他の金属を介して、例えばアルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウム及びクロムなどの金属を介して、合金中への酸素の侵入がもたらされる。』と説明している。しかし、審判請求書の８〜９ページに記載したとおり、この説明は、アルミニウム、カルシウム、バリウム及びマグネシウムにはあてはまっても、リチウム、ナトリウム及びクロムにはあてはまらない。…少なくとも、リチウム及びナトリウムについては、どうしてこれらの元素を含む全含有率を制御しなければならないかという点について、明細書にその技術的意義が開示されていない。つまり、発明が解決しようとする課題及びその解決手段その他のその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が発明の技術上の意義を理解するために必要な事項が記載されていないこととなる。…訂正請求に係る訂正後の特許請求の範囲の記載も特許法３６条６項１号の規定に適合しない。」（弁駁書２頁末行〜３頁１８行）
　なお、審判請求書の８頁末行〜９頁４行には、次の記載がある。
「アルミニウム、カルシウム、バリウム、マグネシウムは酸化物として存在する可能性が高く、存在する場合には、非金属介在物として分析の対象となっているはずである。これに対して、ナトリウム及びクロムは金属として存在すると考えられ、リチウムは固溶する金属として存在する可能性が高いと考えられる。」
　そこで、本件訂正発明における、リチウム及びナトリウムを含む不純物元素の全含有率を０．５ｍｇ／ｋｇ未満とすることについての技術的意義が、本件訂正明細書に開示されているかどうか検討する。
　本件訂正明細書には次の記載がある。
「【０００９】
　従って、本発明の課題は、銀合金を基礎とする大きい面積のスパッタリングターゲットであって、平型のスパッタリングターゲットとしては、０．３ｍ２を上回る面積を有し、かつ筒型のスパッタリングターゲットとしては、少なくとも１．０ｍの長さを有し、かつ火花放電の危険性が低下され、それによりスパッタリングプロセスが比較的高い出力密度で可能となるスパッタリングターゲットを提供することである。」
「【００１３】
　火花放電の低い傾向に関して、５０質量ｐｐｍ未満の合金の低い酸素含有率が必要である。しかしながら、製造に応じて、スパッタリングターゲットは、銀基合金の場合に、例えば、しばしば所定の割合の酸素を含有する使用される銀粒（Ｓｉｌｂｅｒｇｒａｎａｌｉｅｎ）に由来しうる所定の金属酸化物成分を含有する。しかしながらまた、酸素に高い親和性を有する他の金属を介して、例えばアルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムなどの金属を介して、合金中への酸素の侵入がもたらされる。従って、本発明による銀基合金において、ＧＤＭＳで測定される前記金属の濃度は、それぞれ０．５質量ｐｐｍ未満に、好ましくは０．１質量ｐｐｍ未満に制限されている。
　【００１４】
　更に、酸素に対して高い親和性を有する特定の不純物が、火花放電の原因となりうることが明らかになったので、本発明によれば、銀基合金の金属純度は、９９．９９質量％またはそれより高いことが好ましい。高い純度は、あらゆる種類の不純物を排除する。」
「【００１６】
銀基合金の酸素含有率はできる限り低く、好ましくは前記含有率は、２０ｐｐｍ未満、特に好ましくは１０ｐｐｍ未満である。
　【００１７】
その含有率に至るための措置は、上述の酸素親和性の不純物元素をできるだけ避けるため、銀基合金中のその全含有率は、０．５ｐｐｍ未満、好ましくは０．１ｐｐｍ未満であることにある。」
　これらの記載によれば、銀合金を基礎とする大きい面積のスパッタリングターゲットにおいて、火花放電を減らすためには銀合金中の酸素含有率を低下させることが必要であるという認識のもとで、銀合金中に酸素の浸入がもたらされる原因は、アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウム及びクロムなどの酸素親和性の高い金属を介するためであるとの知見に基づき、本件訂正発明は、それらの金属の全含有率を０．５ｐｐｍ未満としたものであって、それによって、スパッタリングの際の火花放電の危険性を低下し、スパッタリングプロセスが比較的高い出力密度で可能となったという顕著な効果を奏するものと解することができる。
　そして、アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウム及びクロムは、銀合金においては、「不純物元素」ということができることから、本件訂正明細書には、銀合金を基礎とするスパッタリングターゲットにおいて、「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウム及びクロムの不純物の全含有率を０．５ｐｐｍ未満とする」ことについての技術的意義は開示されているということができる。
　また、審判請求書の８頁末行〜９頁４行において請求人が主張するように、銀合金中では、リチウムは固溶する金属として存在し、ナトリウムが金属として存在する可能性があるとしても、銀合金中では、全てのリチウムが固溶していて、全てのナトリウムが金属として存在しているという技術常識があるとはいえない。
　そして、リチウム及びナトリウムは、いずれも酸化物を形成する物質であって、酸素親和性が高い金属であることは技術常識であるから、銀合金中において、リチウム及びナトリウムは、いずれも銀合金に酸素をもたらす金属として存在しない、とはいえない。
　そうすると、本件訂正明細書の記載から、リチウム及びナトリウムを含む不純物元素を規制することによって、スパッタリングの際の火花放電の危険性を低下し、スパッタリングプロセスが比較的高い出力密度で可能となる、ということがいえるのであるから、本件訂正明細書には、リチウム及びナトリウムを含む不純物元素の全含有率を０．５ｐｐｍ未満とすることについての技術的意義も開示されているということができる。
　したがって、リチウム及びナトリウムを含む酸素親和性の高い金属の全含有率を０．５ｐｐｍ未満とすることについての技術的意義は開示されているというべきであり、請求人の上記の理由１についての主張は採用することができない。
　（３）まとめ
　以上のとおり、本件特許の特許請求の範囲の記載は、特許法第３６条６項１号の規定に適合していない、とはいえないし、発明の詳細な説明は、特許法第３６条４項１号にの規定に適合していない、ともいえない。
　したがって、請求人の主張する理由１には理由がない。
　２．理由２について
　（１）甲１から甲３の記載事項
　ア　甲１について
　甲１には「銀系円筒ターゲット及びその製造方法」（発明の名称）について、次の記載がある（注：下線は、当審が付与した。）。
「【発明の詳細な説明】
　【技術分野】
　【０００１】
　
本発明は、
銀系円筒ターゲット
「【課題を解決するための手段】
　【０００８】
　本発明者らは、
スパッタリング
　・・・（略）・・・
　このマイクロアーク放電を一層低減するためには、結晶粒は再結晶化していることが必要であることがわかった。結晶化しているので、粒子形状は等方的になる。また、材料中に酸素及び非金属介在物が多く含有されると、マイクロアーク放電が発生し易いことがわかった。
　本発明は、このような知見の下、以下の解決手段とした。
　【０００９】
　すなわち、本発明の銀系円筒ターゲットは、銀又は銀に添加成分が固溶した単相の銀合金からなる円筒ターゲットであり、結晶粒が円筒の中心軸を含む断面において前記中心軸に沿う方向の直径と前記中心軸に直交する方向の直径との比が０．８〜１．２であり、酸素含有量が１００ｐｐｍ以下、非金属介在物の含有量が２０ｐｐｍ以下であることを特徴とする。
　【００１０】
　純銀又は単相の銀合金からなるので、比抵抗が材料内で均一になり、マイクロアーク放電が起こりにくくなる。結晶粒は、その直径比が０．８〜１．２の範囲から外れて扁平化すると、スパッタの継続によって消耗するのに伴い、ターゲットのスパッタ面の凹凸が大きくなり、マイクロアーク放電が増大する。
　また、
酸素含有量が１００ｐｐｍを超える、あるいは、非金属介在物が２０ｐｐｍを超えると、スパッタ時のマイクロアーク放電が顕著に現れる
「【００１２】
　
本発明の銀系円筒ターゲットにおいて、銀合金からなり、その添加成分は、
Ｉｎ
からなる
「【００１３】
　本発明の銀系円筒ターゲットの製造方法は、銀又は銀に添加成分を固溶させてなる鋳塊を押出比が４以上１５以下となり、押出直後の材料温度が５００℃以上８００℃以下の温度となる条件で円筒状に押出加工する熱間押出工程と、該熱間押出工程後の円筒体を押出後１０分以内に２００℃以下の温度まで冷却する冷却工程とを有することを特徴とする。」
「【００１７】
　この銀系円筒ターゲットは、銀又は銀に添加成分が固溶した単相の銀合金からなり、結晶粒が円筒の中心軸を含む断面において中心軸に沿う方向の直径と中心軸に直交する方向の直径との比が０．８〜１．２であり、酸素含有量が１００ｐｐｍ以下、非金属介在物の含有量が２０ｐｐｍ以下である。
円筒ターゲットの大きさは限定されるものではないが
長さが１〜３ｍ
　銀合金とする場合の添加成分は、Ｍｇ，Ａｌ，Ｚｎ，Ｇａ，Ｐｄ，Ｉｎ，Ｓｎ，Ｓｂ，Ａｕのうちの少なくとも一つから選択される。」
「【実施例】
　【００２９】
（実施例１，２）
　純度９９．９９質量％以上のＡｇを黒鉛るつぼで築炉した高周波誘導溶解炉に装填した。溶解時の総質量は約７００ｋｇとし、鋳鉄製の鋳型に鋳造した。
　この鋳造により得られたインゴットの引け巣部分を切除し、鋳型に接していた表面を面削除去し、健全部として概略寸法、外径３５０ｍｍ、長さ４７０ｍｍの円筒体状のビレットを得た。実施例２については、この孔のないビレットを押出加工に供する。一方、実施例１については、中心部を除去して１４０ｍｍ孔をあけ、外径３５０ｍｍ、内径１４０ｍｍ、長さ４７０ｍｍの円筒体状のビレットとして押出加工に供する。
　【００３０】
　これらのビレットを７５０℃まで加熱してそれぞれ押出装置のコンテナ内に装填し、押出加工して、水シャワーにより冷却した。矯正を施した後、表面を数ｍｍ切削加工して銀円筒体を作製した。ステンレス製のバッキングチューブを用意し、Ｉｎはんだを用いて銀円筒体をボンディングして、円筒ターゲットとした。熱間押出工程時の押出比、押出直後の円筒体の温度、２００℃以下まで冷却するまでの時間は表１に示す通りとした。
　【００３１】
（実施例３〜１２、比較例１，２）
　純度９９．９９質量％以上のＡｇと各種添加原料を用意し、黒鉛るつぼで築炉した高周波誘導溶解炉に装填した。溶解時の総質量は約４００ｋｇとした。
　
溶解に際しては、まずＡｇを溶解し、Ａｇが溶け落ちた後、表１に示すターゲット組成となるように添加原料を投入し、合金溶湯を誘導加熱
鋳造した。
　
鋳造により得られたインゴットから
円筒状のビレットを作製し、押出加工により円筒体を得た。
銀合金円筒体を作製し
円筒ターゲットとした
「【００３６】
　【表１】
　【００３７】
　得られた円筒ターゲットについて、結晶粒の等方性、平均粒径、そのばらつきを測定するとともに、酸素含有量、非金属介在物の含有量を測定し、スパッタ装置に取り付けてスパッタ時のマイクロアーク発生回数を測定した。
　（１）結晶粒の等方性、平均粒径、そのばらつき
　上記のように製造した円筒ターゲットから、発明を実施するための形態に記載したように、１６カ所の地点から均等に試料を採取して、円筒の中心軸に沿う方向の直径と中心軸に直交する方向の直径とを測定し、その等方性（直径比）、直径の平均値（平均粒径）、そのばらつきを計算した。
　【００３８】
　（２）スパッタ時のマイクロアーク発生回数
　上記のように製造した円筒ターゲットを銅製バッキングプレートにはんだ付けし、スパッタ中のマイクロアーク発生回数の測定を行った。
・・・（略）・・・
　（３）スパッタ膜の反射率、比抵抗
・・・（略）・・・
これらの結果を表２に示す。
　【００３９】
　【表２】
　【００４０】
　実施例の円筒ターゲットにおいては、円筒の中心軸を含む断面において中心軸に沿う方向の直径と中心軸に直交する方向の直径との比が０．８〜１．２という等方的な結晶粒であり、かつ、結晶粒の平均粒径が３０μｍ以上４００μｍ以下、粒径のばらつきが平均粒径の２０％以内であった。また、酸素含有量が１００ｐｐｍ以下、非金属介在物の含有量が２０ｐｐｍ以下の不純物の少ないものであった。このため、スパッタ時のマイクロアーク発生回数も使用初期だけでなく消耗後においても少ないものであった。」
　上記「溶解に際しては、まずＡｇを溶解し、Ａｇが溶け落ちた後、表１に示すターゲット組成となるように添加原料を投入し、…鋳造した。
　鋳造により得られたインゴットから…円筒状のビレットを作製し、押出加工により円筒体を得た。…実施例１と同様に矯正し、切断し、切削加工して銀合金円筒体を作製し、これをバッキングチューブにボンディングして円筒ターゲットとした。」（【００３１】）という記載と【表１】の「実施例３」の「添加元素（原料）」の「種類」の欄の「Ｉｎ」、同じく「量（質量％）」の欄の「１．０」という記載から、「実施例３」の「円筒ターゲット」は、「銀合金」からなるものであって、該「銀合金」は、１質量％のＩｎ（インジウム）を含有することがわかる。
　そうすると、甲１には、「実施例３」として、「純度９９．９９質量％以上のＡｇ（銀）に、Ｉｎ（インジウム）を１．０質量％含有する銀合金からなる、長さが１〜３ｍの円筒スパッタリングターゲットであって、酸素含有量は１０質量ｐｐｍであり、非金属介在物量は３質量ｐｐｍであり、結晶粒の平均粒径は６０μｍである円筒スパッタリングターゲット」（以下、「先願発明」という。）が記載されていると認められる。
　なお、請求人は、本件特許と甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付された明細書又は特許請求の範囲に記載された発明との「対比表」（審判請求書３〜４頁）において、甲１の「実施例３」を引用していることから、該「実施例３」を「先願発明」として認定した。
　イ　甲２について
　甲２には、「非金属介在物」の項に、「溶融状態で精錬された金属中に残存したり，あるいはその冷却・凝固の過程で，溶解度の低下のために析出して金属材料中に残る酸化物，硫化物，窒化物，炭化物，ケイ酸塩などをいう．異常組織を形成し，割れ，表面傷などの原因となりやすい．」と記載されている。
　ウ　甲３について
　甲３には、「高純度銀の製造方法及び製造装置」（発明の名称）について、次の記載がある。
「【０００１】
　【産業上の利用分野】本発明は、純度９９．９９ｗｔ％程度の市販電気銀、ショット銀、インゴット銀から真空蒸留精製により、純度９９．９９９９ｗｔ％以上の高純度銀を製造する方法と装置に関する。」
「【０００８】
　【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の技術では銀との完全分離が困難であった金、パラジウム、鉛などを分離できる新規な精製手段を開発することによって、純度９９．９９９９ｗｔ％以上の高純度銀を直接インゴット状で製造できる製造方法と製造装置を提供することを目的とするものである。」
「【００１０】すなわち本発明の第１は、イオウ、鉄、銅、パラジウム、金および鉛の含有量がそれぞれ０．５ｐｐｍ以下で且つガス成分以外の不純物量の合計が１ｐｐｍ未満である純度９９．９９９９ｗｔ％以上の高純度銀である。」
「【００１８】したがって、本発明においては測定対象元素をＮａ、Ｓｉ、Ｓ、Ｋ、Ｃａ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｐｂとし、グロー放電質量分析装置により定量分析を行い、得られた不純物含有量の総和を１００ｗｔ％から差し引いて得られる数値が９９．９９９９ｗｔ％以上の場合をもって純度９９．９９９９ｗｔ％以上の高純度銀と定義した。」
　これらの記載から、甲３には、「純度９９．９９ｗｔ％程度の市販電気銀、ショット銀、インゴット銀から真空蒸留精製により製造された純度９９．９９９９ｗｔ％以上の高純度銀であって、イオウ、鉄、銅、パラジウム、金および鉛の含有量がそれぞれ０．５ｐｐｍ以下で且つガス成分以外の不純物量の合計が１ｐｐｍ未満であって、測定対象元素をＮａ、Ｓｉ、Ｓ、Ｋ、Ｃａ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｐｂとし、グロー放電質量分析装置により定量分析を行い、得られた不純物含有量の総和を１００ｗｔ％から差し引いて得られる数値が９９．９９９９ｗｔ％以上である高純度銀」が記載されていると認められる。
　（２）対比・判断
　本件訂正発明１と先願発明とを対比する。
　先願発明の、「銀合金」、「円筒」、「結晶粒」、「平均粒径」及び「酸素含有量」は、本件訂正発明１の「銀基合金」、「筒型」、「結晶組織」、「平均粒度」及び「酸素含有率」にそれぞれ相当する。
　また、先願発明の「純度９９．９９質量％以上のＡｇ（銀）に、Ｉｎ（インジウム）を１．０質量％含有する銀合金」の「Ｉｎ（インジウム）」は、本件訂正発明１の「合金成分」に相当し、先願発明の該「Ｉｎ（インジウム）」を「１．０質量％含有する」ことは、本件訂正発明１の「合金成分」の「０．０１〜５．０質量％の質量割合」に含まれる。
　そして、先願発明の「結晶粒の平均粒径」が「６０μｍである」ことは、本件訂正発明１の「結晶組織」の「１２０μｍ未満の平均粒度」に含まれる。
　また、先願発明の「酸素含有量」の単位である「質量ｐｐｍ」は、質量について１００万分のいくら、すなわち、１ｋｇあたりに含まれるｍｇ数（ｍｇ／ｋｇ）と等価であるから、先願発明の「酸素含有量は１０ｐｐｍ」は、「酸素含有量は１０ｍｇ／ｋｇ」と表すことができ、本件訂正発明１の「２０ｍｇ／ｋｇ未満の酸素含有率」に含まれる。
　そうすると、本件訂正発明１と先願発明とは、「少なくとも１．０ｍの長さを有する筒型のスパッタリングターゲットであって、インジウムの合金成分を、０．０１〜５．０質量％の質量割合で有する銀基合金からなる前記スパッタリングターゲットであって、１２０μｍ未満の平均粒度を有する結晶組織と、２０ｍｇ／ｋｇ未満の酸素含有率である前記スパッタリングターゲット。」である点で一致し、次の相違点１及び２で相違する。
（相違点１）
　本件訂正発明１の「スパッタリングターゲット」の「銀基合金」は、「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の全含有率０．５ｍｇ／ｋｇ未満」であるのに対して、先願発明の「円筒スパッタリングターゲット」の「銀合金」は、「非金属介在物量は３質量ｐｐｍ」であって、「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の全含有率」は不明な点。
（相違点２）
　本件訂正発明１の「スパッタリングターゲット」の「金属純度」は、「少なくとも９９．９９質量％」であるのに対し、先願発明の「円筒スパッタリングターゲット」は、「純度９９．９９質量％以上のＡｇ（銀）に、Ｉｎ（インジウム）を１．０質量％含有する銀合金」からなるところ、「Ｉｎ（インジウム）」の「純度」は明らかではないことから、先願発明の「円筒スパッタリングターゲット」の「金属純度」は不明な点。
　ここで、事案に鑑み、まず、相違点１について検討する。
　甲１には、「非金属介在物」がどのようなものかは記載がなく、先願発明の「非金属介在物」は、「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウム及びクロム」のいずれかを指すのかどうかも判然としない。
　そして、甲２に記載されているように、「非金属介在物」が「溶融状態で精錬された金属中に残存したり、あるいはその冷却・凝固の過程で、溶解度の低下のために析出して金属材料中に残る酸化物、硫化物、窒化物、炭化物、ケイ酸塩など」だとしても、甲１において、先願発明の「純度９９．９９質量％以上のＡｇ（銀）」を、どのような不純物を含む銀の原料に対して、どのように溶融させて精錬して製造したか、また、どのように冷却・凝固させて製造したかについては、記載も示唆もないことから、先願発明の「非金属介在物」が、アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウム及びクロムのいずれかを指すのかは、特定することができない。
　そうすると、先願発明の「非金属介在物量は３質量ｐｐｍ」であることが、「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の全含有率０．５ｍｇ／ｋｇ未満」であることを意味するとは認めることができない。
　また、甲３に記載された「純度９９．９９９９ｗｔ％以上の高純度銀」は、不純物としての測定対象元素を「Ｎａ、Ｓｉ、Ｓ、Ｋ、Ｃａ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｐｂ」としており、該「高純度銀」に、「アルミニウム、リチウム、マグネシウム及びバリウム」がどの程度含有されるのかは判然としない。
　さらに、先願発明の「純度９９．９９質量％以上のＡｇ（銀）」が甲３に記載されたような「純度９９．９９９９ｗｔ％以上の高純度銀」の製造方法によって製造されるものであるとの根拠を見出すことはできないことから、甲３の記載を参照しても、先願発明の「スパッタリングターゲット」の「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の全含有率」を特定することはできない。
　そして、上記「１．（２）」で述べたように、上記相違点１に係る発明特定事項には技術的意義はないとはいえないことから、上記相違点１は実質的な相違点であって、上記相違点２について検討するまでもなく、本件訂正発明１は、先願発明と同一であるとすることはできない。
　さらに、甲１の「実施例３」以外の記載をみても、本件訂正発明１と同一の発明が記載されているとは認められない。
　（３）請求人の主張について
　請求人は、本件訂正発明に対して、次のように主張している。
「訂正後の本件特許発明と先願発明は、不純物元素の含有率が、訂正後の本件特許発明では、『アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の全含有率０．５ｍｇ／ｋｇ未満』であるのに対して、先願発明では、『アルミニウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムの不純物元素の全含有率１．５〜１．８ｐｐｍ』である点で一応相違する。…
　…先願発明における『アルミニウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムの不純物元素の全含有率１．５〜１．８ｐｐｍ』に対して、ＶＵ＜０．５（ｍｇ／ｋｇ）と規定することの技術的意義は不明であり、訂正後の本件特許発明における、『アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の全含有率０．５ｍｇ／ｋｇ未満』という構成が実質的に異なるとは認められない。…
　…リチウム、ナトリウムおよびクロムは、先願発明においても含有量は極微量であったと推測でき、甲１の溶解、鋳造条件下では、これらが合金中への酸素の侵入をもたらすことはないから、これらの含有率を規定する技術的意義はない。
　以上のとおりであるから、先願発明の『非金属介在物３質量ｐｐｍ』と、訂正後の本件特許発明の『アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の全含有率０．５ｍｇ／ｋｇ未満』との間に技術的意義の相違は認められないから、両者は、特許法第２９条の２における実質的同一性の範囲にある。」（口頭陳述要領書３頁１〜４頁１９行）
　しかしながら、上記「１．（２）」で述べたように、本件訂正発明１において、「アルミニウム、リチウム、ナトリウム、カルシウム、マグネシウム、バリウムおよびクロムの不純物元素の全含有率０．５ｍｇ／ｋｇ未満」とすることには、技術的意義がないとはいえず、請求人の主張は採用できない。
　（４）まとめ
　本件訂正発明１は、先願発明と同一とはいえず、本件訂正発明２、５、６、７及び８は、本件訂正発明１を引用して、さらに限定したものであるから、同様に、先願発明と同一とはいえない。
　したがって、請求人の主張する理由２には理由がない。
　３．まとめ
　以上、検討したとおり、請求人の主張する理由１及び２は、理由がない。
第５　むすび
　以上のとおりであるから、請求人の主張及び証拠方法によっては、本件訂正発明１、２、５、６、７及び８の特許を無効とすることはできない。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、これを４分し、その３を請求人の負担とし、その余を被請求人の負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。