(57)【要約】【課題】  枠材を挟んで向かい合う第１透明基板と第２透明基板を正確かつ低コストでアライメントする方法および装置の提供。【解決手段】  上面側にアライメントマーク６ａを持つ第１透明基板１と下面側にアライメントマーク６ｂを持つ第２透明基板２の間に、下面側には第１透明基板１の、上面側には第２透明基板２の、アライメントマークと対応するアライメントマーク６ｃ、６ｄが、それぞれ形成された治具７を挿し込み、治具７の下面側に形成されたアライメントマーク６ｃと第１透明基板のアライメントマーク６ａとを合わせて、治具７と第１透明基板１の位置を決め、治具７の上面側に形成されたアライメントマーク６ｄと第２透明基板２のアライメントマーク６ｂとを合わせて、治具７と第２透明基板２の位置を決める。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アライメントマークを設けた第１透明基板と、アライメントマークを設けた第２透明基板と、これら第１透明基板と第２透明基板との間に介在させられる枠材とを備え、上記枠材で囲まれる領域が表示領域とされる平面表示パネルにおける上記第１透明基板と第２透明基板との間のアライメント方法であって、
上記第１透明基板上の所定位置に上記枠材を設置する第１ステップ、
上記枠材上に上記第２透明基板を載置する第２ステップ、
上記第１透明基板上に、下面側に上記第１透明基板のアライメントマークと対応するアライメントマークが、上面側に上記第２透明基板のアライメントマークと対応するアライメントマークが、それぞれ形成された治具を導入する第３ステップ、
上記治具の下面側に形成されたアライメントマークと上記第１透明基板のアライメントマークとを合わせることにより、上記治具に対する上記第１透明基板の位置決めを行う第４ステップ、
上記治具の上面側に形成されたアライメントマークと上記第２透明基板のアライメントマークとを合わせることにより、上記治具に対する上記第２透明基板の位置決めを行う第５ステップ、
を含むことを特徴とする、アライメント方法。
【請求項２】
アライメント後の上記第１透明基板、上記第２透明基板および上記枠材を相互に固定する第６ステップをさらに含む、請求項１に記載のアライメント方法。
【請求項３】
上記第１透明基板に設けられたアライメントマーク、および、上記第２透明基板に設けられたアライメントマークは、それぞれ複数箇所に設けられている、請求項１または２に記載のアライメント方法。
【請求項４】
アライメントマークを設けた第１透明基板と、アライメントマークを設けた第２透明基板と、これら第１透明基板と第２透明基板との間に介在させられる枠材とを備え、上記枠材で囲まれる領域が表示領域とされる平面表示パネルにおける上記第１透明基板と第２透明基板との間のアライメントを行うアライメント装置であって、
上記第１透明基板を支持するとともに、少なくともＸＹθ方向に移動可能な第１支持機構と、
上記第１透明基板上に上記枠材を搬入して載置する枠材搬入機構と、
上記第２透明基板を支持するとともに、この第２透明基板を上記枠材上に搬入し、少なくともＸＹθ方向に移動可能な第２支持機構と、
下面側に上記第１透明基板のアライメントマークと対応するアライメントマークが、上面側に上記第２透明基板のアライメントマークと対応するアライメントマークが、それぞれ形成され、上記第１透明基板上に進入可能な治具と、
上記第１透明基板の下方に配置された第１光学撮像手段と、
上記第２透明基板の上方に配置された第２光学撮像手段と、
上記第１光学撮像手段によって取得された画像に基づき、上記第１透明基板のアライメントマークと上記治具の下面側に形成されたアライメントマークとが合うように上記第１支持機構を制御する第１の制御、および、上記第２光学撮像手段によって取得された画像に基づき、上記第２透明基板のアライメントマークと上記治具の上面側に形成されたアライメントマークとが合うように上記第２支持機構を制御する第２の制御を行う制御手段と、を備えることを特徴とする、アライメント装置。
【請求項５】
上記第１透明基板に設けられたアライメントマーク、および、上記第２透明基板に設けられたアライメントマークは、それぞれ複数箇所に設けられている、請求項４に記載のアライメント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、透明基板のアライメント方法およびアライメント装置に関し、ＦＥＤ技術を用いた平面表示パネルの製造やエリアイメージセンサの製造に有効なアライメント技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄型テレビやラップトップコンピュータなどの普及にともない、奥行きが浅く軽量で電力消費の少ない平面表示パネルの需要が大きな伸びを見せている。そのため、平面表示パネルに関する研究開発は盛んであり、たとえば、液晶ディスプレイ技術やプラズマディスプレイ技術、そして電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ）技術が研究開発されている。ＦＥＤは平面状の電子放出源から真空中に電子を放ち、表示領域に塗布された蛍光体にぶつけることにより発光を得る原理で、ブラウン管の電子銃を平面状にした表示パネルである。このため、ブラウン管のような明るくてコントラストの高い画面を得ることができる。さらに、電子放出源が平面状なので、ブラウン管のような偏向が不要で、表示領域は平面状となり、大型の画面を実現しやすい。これらの性質から、ＦＥＤ平面表示パネルは大型平面テレビや大型平面ディスプレイを実現する技術として期待されている。
【０００３】
図７にＦＥＤ技術を用いた一般的な平面表示パネルの分解斜視図を示した。ただし、説明のための模式図であり、細かい構成は図示していない。図７に示したように、平面表示パネルは第１透明基板１０１と第２透明基板１０２と枠材１０３とで構成されている。第１透明基板１０１、第２透明基板１０２と枠材１０３はいずれもガラス製であり、第１透明基板１０１と枠材１０３を加熱封着した後に、真空室内で枠材１０３と第２透明基板１０２とを加熱封着することにより、図８のような平面表示パネルを得ることができる。上記第１透明基板１０１上で上記枠材１０３に囲まれる領域には、図示しない電子放出源が多数配置されており、第２透明基板１０２の第１透明基板と向き合う面（図７、８では下面側）の枠材１０３に囲まれる領域には、図示しない蛍光体が配置されている。第２透明基板１０２は透明なので、蛍光体が配置された面の反対側（図７、８では上面側）が表示領域１０４として機能する。平面状の表示領域１０４を得るために、電子放出源は蛍光体の一つ一つに対応して、それぞれが向かい合うように同数配置されている。また、電子放出源は第１透明基板１０１上の図示しない制御デバイスで電子放出を管理されており、制御デバイスからの入力にしたがって、特定の電子放出源から選択的に電子放出させることで、それぞれの電子放出源に対応する特定の蛍光体に電子が当たる仕組みになっている。
【０００４】
このような平面表示パネルの製造においては、第１透明基板１０１と第２透明基板１０２のアライメントが重要となる。電子放出源から放出される電子は、第１透明基板１０１と第２透明基板１０２との間にかけられる一様な電界に沿って蛍光体にぶつけられる。すなわち、電子は電界に沿って動くのみで進路変更の手段を持たないので、第１透明基板１０１と第２透明基板１０２の相対位置が、それぞれの基板の設置時や枠材１０３との加熱封着時等に設計からずれてしまっても、電子放出源から出た電子は本来その電子放出源と対応している蛍光体があるべき場所にぶつかる。このため、ずれの大きさ次第では本来当たるべき蛍光体とは別の蛍光体に電子が衝突することが起こりえる。特に、カラーの平面表示パネルの場合、上記のような電子放出源と蛍光体のずれが生じると正確な画像を得ることができない。すなわち、カラーの平面表示パネルの蛍光体は赤、緑、青の蛍光体が繰り返し配置されているので、ある蛍光体に当たるべき電子が別の蛍光体に当たると、本来とは別の色の蛍光体が発光し、本来表示すべき画像とは別の色彩をもった画像が表示されることになる。これを防ぐために必要な第１透明基板１０１と第２透明基板１０２の位置合わせ精度は、表示パネルの大きさにもよるが、数μｍ程度である。
【０００５】
上記の事情から、第１透明基板１０１、第２透明基板１０２と枠材１０３とを組み立てる際には、精密なアライメント方法が必要となる。公知のアライメント方法として、たとえば、特許文献１に示された以下に示す方法がある。まず、第１透明基板１０１と枠材１０３、および、第２透明基板１０２と枠材１０３の各々の接合部に予め加工を施し、第１透明基板１０１と枠材１０３の一方に凸構造を、他方に凹構造を形成し、同様に、第２透明基板１０２と枠材１０３の一方に凸構造を、他方に凹構造を形成する。次に、上記の凹凸に合わせて、第１透明基板１０１と枠材１０３、および、第２透明基板１０２と枠材１０３を各々組み立てる。この方法を用いれば、第１透明基板１０１と第２透明基板１０２は正確に設計通りに向き合うが、第１透明基板１０１、第２透明基板１０２、枠材１０３のそれぞれに凹凸を形成する加工過程および加工装置が必要となるため、製造過程の煩雑化と製造コストの増大とを招いていた。
【０００６】
製造コストを抑えるため、上記の方法を避け、組み合わせる２枚の基板にアライメントマークを形成し、それを光学カメラで撮影し、位置を合わせるアライメント方法も実施されている。以下、そのアライメント方法について図９および図１０を参照して説明する。図９のように第１透明基板１０１上にアライメントマーク１０６ａを、第２透明基板１０２の下面にアライメントマーク１０６ａと対応するアライメントマーク１０６ｂを形成し、アライメントマーク１０６ａとアライメントマーク１０６ｂの位置が重なるように、光学カメラ１０５で確認しつつ、第１透明基板１０１と第２透明基板１０２の位置を合わせる。ただし、アライメントマーク１０６ａとアライメントマーク１０６ｂは表示領域１０４とは重ならない位置に形成されている。この方法を実施する装置を側面から見た様子を図１０に示した。図１０に示したアライメント装置は、第１透明基板１０１を載せ、移動可能な第１支持機構１０８と、第１透明基板１０１上に枠材１０３を搬入可能な枠材搬入機構（図示略）と、第２透明基板１０２を支持するとともに、この第２透明基板１０２を上記枠材１０３上に搬入し、移動可能な第２支持機構１０９と、アライメントマーク１０６ａとアライメントマーク１０６ｂの位置を確認するための光学カメラ１０５と、光学カメラ１０５からの画像をもとに第１支持機構１０８および第２支持機構１０９を操作する制御装置１１１とで構成されている。
【０００７】
図１０のアライメント装置を用いて平面表示パネルを組み立てる過程は次のとおりである。第１のステップとして、第１支持機構１０８上に載せられた第１透明基板１０１に、枠材搬入機構（図示略）を用いて枠材１０３を搬入および設置し、枠材１０３と第１透明基板１０１を加熱封着する。第２のステップとして、第２支持機構１０９に支持された第２透明基板１０２を、第１透明基板１０１に加熱封着された枠材１０３上に配置する。第３のステップとして、アライメントマーク１０６ａとアライメントマーク１０６ｂの位置を、第２透明基板１０２上方に設置された光学カメラ１０５で撮影し、その画像をもとに制御装置１１１を介して第１支持機構１０８と第２支持機構１０９の一方もしくは両方を移動させ、アライメントマーク１０６ａとアライメントマーク１０６ｂが重なって見えるようにする。第４のステップとして第２透明基板１０２と枠材１０３を加熱封着し、アライメント装置から平面表示パネルを取り出す。
【０００８】
ところで、枠材１０３の厚みは数ｍｍ程度なので、アライメントマーク１０６ａとアライメントマーク１０６ｂの間隔も数ｍｍ程度となる。上記の方法ではアライメントマーク１０６ａとアライメントマーク１０６ｂの位置を確認するのに、光学カメラ１０５を用いているが、撮影すべき２つのアライメントマークが数ｍｍも離れているためカメラの焦点が合いにくく、鮮明な画像を得るのが困難であった。
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−２２２８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本願発明は、上記の問題点を解決し、精密かつ低コストであるアライメント方法およびアライメント装置の提供を課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するためには、本願発明者は上下に重ねるべきアライメントマーク間の間隔を狭めることが有効であると考え、以下のような技術的手段を採用した。
【００１２】
本願発明の第１の側面によって提供されるアライメント方法は、アライメントマークを設けた第１透明基板と、アライメントマークを設けた第２透明基板と、これら第１透明基板と第２透明基板との間に介在させられる枠材とを備え、上記枠材で囲まれる領域が表示領域とされる平面表示パネルにおける上記第１透明基板と第２透明基板との間のアライメント方法であって、上記第１透明基板上の所定位置に上記枠材を設置する第１ステップ、上記枠材上に上記第２透明基板を載置する第２ステップ、上記第１透明基板上に、下面側に上記第１透明基板のアライメントマークと対応するアライメントマークが、上面側に上記第２透明基板のアライメントマークと対応するアライメントマークが、それぞれ形成された治具を挿入する第３ステップ、上記治具の下面側に形成されたアライメントマークと上記第１透明基板のアライメントマークとを合わせることにより、上記治具に対する上記第１透明基板の位置決めを行う第４ステップ、上記治具の上面側に形成されたアライメントマークと上記第２透明基板のアライメントマークとを合わせることにより、上記治具に対する上記第２透明基板の位置決めを行う第５ステップ、を含むことを特徴とする。アライメント後の上記第１透明基板、上記第２透明基板および上記枠材を相互に固定する第６ステップをさらに含めることで、アライメントと同時に組み立ても行うことができる。なお、上記第２ステップは、上記第４ステップと上記第５ステップの間に行うようにしてもよい。
【００１３】
なお、上記第１透明基板に設けられたアライメントマーク、および、上記第２透明基板に設けられたアライメントマークを、それぞれ複数箇所に設けると、より精密なアライメントが可能となる。
【００１４】
本願発明によるアライメント方法においては、アライメントマークが第１透明基板と第２透明基板の間に挿し込まれる治具にも形成されている。すなわち、第１透明基板のアライメントマークに対応するアライメントマークは治具の下面に、第２透明基板のアライメントマークに対応するアライメントマークは治具の上面に形成されている。このため、従来で問題になっていたアライメントマーク間の間隔は基板と治具との隙間だけとなる。たとえば、治具の厚みを第１透明基板と第２透明基板の間隔ぎりぎりまで厚くすれば、上下に重ねるべきアライメントマーク間の間隔はほとんど０となる。このように本願発明のアライメント方法によれば、アライメントマーク間の間隔は従来に較べて大幅に縮めることが可能であり、その結果、精密なアライメントが可能である。
【００１５】
本願発明の第２の側面によって提供されるアライメント装置は、アライメントマークを設けた第１透明基板と、アライメントマークを設けた第２透明基板と、これら第１透明基板と第２透明基板との間に介在させられる枠材とを備え、上記枠材で囲まれる領域が表示領域とされる平面表示パネルにおける上記第１透明基板と第２透明基板との間のアライメントを行うアライメント装置であって、上記第１透明基板を支持するとともに、少なくともＸＹθ方向に移動可能な第１支持機構と、上記第１透明基板上に上記枠材を搬入して載置する枠材搬入機構と、上記第２透明基板を支持するとともに、この第２透明基板を上記枠材上に搬入し、少なくともＸＹθ方向に移動可能な第２支持機構と、下面側に上記第１透明基板のアライメントマークと対応するアライメントマークが、上面側に上記第２透明基板のアライメントマークと対応するアライメントマークが、それぞれ形成され、上記第１透明基板上に進入可能な治具と、上記第１透明基板の下方に配置された第１光学撮像手段と、上記第２透明基板の上方に配置された第２光学撮像手段と、上記第１光学撮像手段によって取得された画像に基づき、上記第１透明基板のアライメントマークと上記治具の下面側に形成されたアライメントマークとが合うように上記第１支持機構を制御する第１の制御、および、上記第２光学撮像手段によって取得された画像に基づき、上記第２透明基板のアライメントマークと上記治具の上面側に形成されたアライメントマークとが合うように上記第２支持機構を制御する第２の制御を行う制御手段と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
なお、上記第１透明基板に設けられたアライメントマーク、および、上記第２透明基板に設けられたアライメントマークをそれぞれ複数箇所とすると、より精密なアライメントが可能になる。
【００１７】
本願発明によるアライメント装置を用いると、本願発明によるアライメント方法が実施可能であるのは明らかである。また、本願発明によるアライメント装置は、従来の装置に治具と第１光学撮像手段を付加した構造になっており、基板および枠材を加工する必要はなく、コストの増加を最小限に抑えてアライメントの精密さを実現している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本願発明の実施形態について、図１〜図６を参照してより詳細な説明を行う。
【００１９】
図１は本願発明に係るアライメント方法により製造される平面表示パネルＡの分解斜視図であり、図２は平面表示パネルＡの斜視図である。図１によく示されるように、平面表示パネルＡは、ガラス製の第１透明基板１と、ガラス製の第２透明基板２と、ガラス製の枠材３によって構成されている。第１透明基板１の上面の枠材３によって区切られる領域には、図示しない電子放出源が多数配置されており、第２透明基板２の下面の枠材３によって区切られる領域には、上記電子放出源の１個１個と対応し、その対応する電子放出源と真っ直ぐ向き合うように、図示しない蛍光体が配置されている。また、図１に示したように、第１透明基板１の上面端よりの位置にアライメントマーク６ａが形成されており、第２透明基板２の下面端よりの位置にアライメントマーク６ｂが形成されている。
【００２０】
平面表示パネルＡは、第１透明基板１と第２透明基板２の間に電圧をかけ、上記電子放出源から出た電子を電界によって加速して上記蛍光体にぶつけることで、蛍光体を発光させる構造になっている。このため、第２透明基板２の下面に蛍光体が配置されている部分の上面側が表示領域４となる。上記電子放出源と上記蛍光体の対応がずれないように、第１透明基板１と第２透明基板２はその面内方向のずれが少なくとも数μｍ以内の精度で正確に組み立てなくてはならず、高精度のアライメント方法が要求される。
【００２１】
本願発明に係るアライメント方法においては、図３のように平面表示パネルＡの第１透明基板１と第２透明基板２の間に治具７を挿し込んでアライメントを行う。この治具７は枠材３の高さよりも厚みが小さい板状で、図４に示したように、下面にアライメントマーク６ｃが形成されており、上面にアライメントマーク６ｄが形成されている。アライメントマーク６ｃは、アライメントマーク６ａに対応しており、アライメントマーク６ｄはアライメントマーク６ｂに対応している。すなわち、図３に示すように、平面表示パネルＡの第１透明基板１と第２透明基板２の間に治具７を挿し込んだとき、第１透明基板１の上面にあるアライメントマーク６ａと治具７の下面にあるアライメントマーク６ｃが向かい合い、第２透明基板２の下面にあるアライメントマーク６ｂが治具７の上面にあるアライメントマーク６ｄと向かい合うようになっている。アライメントマークの形状は、たとえば、基板側のものを黒色の十字型、治具７側のものを白抜きの十字とし、真下、もしくは真上からそれらが重なるように見るとき、白抜きの部分に黒色の十字型がはまって見えるようになっている。また、これらのアライメントマークの大きさは５０μｍ程度である。
【００２２】
本願発明に係るアライメント方法の一実施形態においては、まず、枠材３を第１透明基板１上に加熱封着する。次に、アライメントマーク６ａとアライメントマーク６ｃが向かい合うように治具７を配置して、第１透明基板１の下側から光学カメラ５ａでアライメントマーク６ａとアライメントマーク６ｃの位置が合うように、第１透明基板１と治具７の位置を調整する。その後、真空室内で、枠材３上に第２透明基板２をのせ、第２透明基板２の上側から光学カメラ５ｂでアライメントマーク６ｂとアライメントマーク６ｄの位置が合うように、第２透明基板２の位置を調整し、枠材３と第２透明基板２を加熱封着する。これで、平面表示パネルＡは完成するが、最後に、治具７と平面表示パネルＡの一方もしくは両方を平行移動させて、両者を引き離しておく。以上の方法を用いれば、アライメントマーク同士の間隔が従来よりも大幅に狭まるので、従来よりも高精度なアライメントが施された平面表示パネルＡを得ることができる。なお、本願発明に係るアライメント方法の実施形態は上記のものに限定されず、例えば、光学カメラ５ａと光学カメラ５ｂでアライメントマークの位置を確認しながら、枠材３を設置した第１透明基板１、および、枠材３の上にのせた第２透明基板２、を同時に動かして治具７との位置をあわせ、その後に第２透明基板２と枠材３を加熱封着してもよい。
【００２３】
さらに高精度のアライメントを得るには、アライメントマークを増やせばよい。上の例では治具７の中央付近にアライメントマークが上面下面にそれぞれ１個ずつあったが、これを左寄りに１個、右寄りに１個というように上面下面にそれぞれ２個ずつとし、基板にもそれぞれに対応するアライメントマークを設ける方法もある。また、治具７自体の数を増やし、対応する基板側のアライメントマークもそれに合わせて増やす方法もある。
【００２４】
以下に、本願発明によるアライメント装置の実施例とその具体的な運用方法について図面を参照しながら説明を行う。
【００２５】
図５は本願発明に係るアライメント装置を側面からみた図で、図６は装置の作動例を側面図で示したものである。
【００２６】
このアライメント装置は、図５および図６に示したように、第１透明基板１を支持し、少なくともＸ、Ｙ方向（水平２次元方向）およびθ方向（鉛直軸周り方向）に移動可能な第１支持機構８と、第１透明基板１上に枠材３を搬入して載置する枠材搬入機構１０と、第２透明基板２を支持するとともに、この第２透明基板２を枠材３上に搬入し、少なくともＸ、Ｙおよびθ方向に移動可能な第２支持機構９と、下面側に第１透明基板１のアライメントマーク６ａと対応するアライメントマーク６ｃが、上面側に第２透明基板２のアライメントマーク６ｂと対応するアライメントマーク６ｄが、それぞれ形成され、第１透明基板１と第２透明基板２との間に進入可能な治具７と、第１透明基板１の下方に配置された第１光学カメラ５ａと、第２透明基板２の上方に配置された第２光学カメラ５ｂを備えて構成されている。ただし、図５に示すように治具７が装置本体に固定されており、光学カメラ５ａがアライメントマーク６ｃの丁度真下に、光学カメラ５ｂがアライメントマーク６ｄの丁度真上にくるように設置されている。また、このアライメント装置は図５のように、光学カメラ５ａおよび光学カメラ５ｂから得られた画像をもとに、第１支持機構８および第２支持機構９を操作可能な制御装置１１を備えている。
【００２７】
上記のアライメント装置を用いて第１透明基板１と第２透明基板２と枠材３を真空室内で組み立てる工程を図６に沿って説明する。第１のステップとして、図６（ａ）に示したように、第１支持機構８上に固定された第１透明基板１上に枠材搬入機構１０を用いて枠材３を設置し、両者を加熱封着する。
【００２８】
第２のステップとして、図６（ｂ）に示すように、第１透明基板１上のアライメントマーク６ａが治具７下面のアライメントマーク６ｃのほぼ真下にくるように、枠材３と一体になった第１透明基板１を載せた第１支持機構８を移動させる。アライメントマーク６ｃの真下に第１光学カメラ５ａが設置されているので、図６（ｂ）のように第１透明基板１は治具７と第１光学カメラ５ａに挟まれた状態になる。
【００２９】
第３のステップとして、第１光学カメラ５ａを用いてアライメントマーク６ａとアライメントマーク６ｃを写し、その画像をもとに、制御装置１１を介して第１支持機構８を動かしてアライメントマーク６ａとアライメントマーク６ｃが重なって写るように第１透明基板１の位置を調節する。ここで、アライメントマーク６ａとアライメントマーク６ｃの間隔は、たとえば枠材３の高さが７ｍｍであり、治具７の厚さが６ｍｍであったとすると、０．５ｍｍ程度となり、焦点を合わすのは容易である。このため、第１光学カメラ５ａはアライメントマーク６ａとアライメントマーク６ｃの高精度な画像を得ることが可能であり、この画像でアライメントマーク６ａとアライメントマーク６ｃの位置確認を行えば、信頼性の高い精密なアライメントが可能となる。
【００３０】
第４のステップとして、図６（ｃ）のように、第２透明基板２を吊り上げるようにして支持する第２支持機構９を用いて、第２透明基板２を枠材３上に載せる。ただし、治具７上面のアライメントマーク６ｄの真上には第２光学カメラ５ｂが設置されているので、第２透明基板２が第２光学カメラ５ｂにひっかからない位置で第２透明基板２の高さと枠材３の高さをあわせた後に、第２透明基板２下面にあるアライメントマーク６ｂとアライメントマーク６ｄがなるべく真っ直ぐ向き合うように第２支持機構９を操作して第２透明基板２を横方向に平行移動させる。
【００３１】
第５のステップとして、第２光学カメラ５ｂでアライメントマーク６ｂとアライメントマーク６ｄを写し、その画像をもとに、制御装置１１を介して第２支持機構９を動かしてアライメントマーク６ｂとアライメントマーク６ｄが重なって写るように第２透明基板２の位置を調節する。アライメントマーク６ａとアライメントマーク６ｃの場合と同様に、アライメントマーク６ｂとアライメントマーク６ｄの間隔は０．５ｍｍ程度となり、第２光学カメラ５ｂの焦点は合い易く、高精度の画像を得ることができる。
【００３２】
第６のステップとして、アライメントを終えた第２透明基板２と枠材３を加熱封着する。以上で、第１透明基板１と第２透明基板２と枠材３のアライメントおよび組み立ては完了し、平面表示パネルＡは完成する。
【００３３】
第７のステップとして、第２支持機構９を平面表示パネルＡから離し、第１支持機構８を紙面に垂直な方向に動かし、平面表示パネルＡの基板間に挿し込まれていた治具７から遠ざける。さらに、第１支持機構８から平面表示パネルＡを取り外せば、アライメント装置から完成した平面表示パネルＡを取り出すことができる。あるいは、この第７のステップとして、第１支持機構８と第２支持機構９を連動して紙面に垂直方向に動かすことで平面表示パネルＡと治具７を引き離し、平面表示パネルＡを第１支持機構８から外して、第２支持機構９で平面表示パネルＡを持ち上げ、所定の位置に移動させることで平面表示パネルＡをアライメント装置から取り出す方法を用いてもよい。
【００３４】
以上のアライメント装置運用方法によれば、第１透明基板１と第２透明基板２と枠材３とを精密にアライメントできる上に、組み立ておよび平面表示パネルＡを取り出す作業もスムーズに行うことができる。
【００３５】
なお、上記の実施形態においてはアライメント作業を第３のステップと第５のステップとに分けて行っているが、第３のステップよりも先に第４のステップを行い、第３のステップと第５のステップを同時に行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本願発明に係るアライメント方法を用いて製造される平面表示パネルＡの分解斜視図である。
【図２】本願発明に係るアライメント方法を用いて製造される平面表示パネルＡの斜視図である。
【図３】本願発明に係るアライメント方法を用いて平面表示パネルＡを製造する様子を示す斜視図である。
【図４】本願発明に係るアライメント方法で使用される治具の斜視図である。
【図５】本願発明に係るアライメント装置を側面から見た図である。
【図６】本願発明に係るアライメント装置の使用法を示すための解説図である。
【図７】一般的な平面表示パネルの分解斜視図である。
【図８】一般的な平面表示パネルの斜視図である。
【図９】従来のアライメント方法の一例の実施の様子を示す斜視図である。
【図１０】従来のアライメント装置の一例を側面から見た図である。
【符号の説明】
【００３７】
Ａ          平面表示パネル
１          第１透明基板
２          第２透明基板
３          枠材
４          表示領域
５          光学カメラ
６ａ〜６ｄ  アライメントマーク
７          治具
８          第１支持機構
９          第２支持機構
１０        枠材搬入機構
１１        制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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