(57)【要約】      （修正有）【課題】加熱工程が複数含まれていても工程の順番を工夫することで、接着不良や溶着不良の発生を防止し歩留まりを向上させ、また圧電アクチュエータを良好に分極させる。【解決手段】キャビティユニット１０に固定された分極処理前の圧電アクチュエータ１１の外部電極と、フレキシブルフラットケーブル１２の端子電極とを、温度Ｔ１に加熱して電気的に接合固定する第２の工程と、その後に、キャビティユニット１０と補強フレーム１５とを熱可塑性の第１の接着剤を挟んで、前記温度Ｔ１と実質上同じかそれよりも低い温度Ｔ２に加熱して接着する第３の工程と、その後に、キャビティユニット１０に接着された前記分極処理前の圧電アクチュエータ１１に、前記温度Ｔ２と実質上同じかそれよりも低い温度Ｔ３の状態において、前記フレキシブルフラットケーブルを介して分極用電圧を印加し、分極処理を施す第４の工程とを含んでいる。【選択図】図２
2007253427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを外部に開口させ内部にインク流路を有するキャビティユニットと、このキャビティユニット内のインクに選択的に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータに駆動信号を出力するフレキシブルフラットケーブルと、前記キャビティユニットを補強する補強フレームとを備えるインクジェットヘッドの製造方法において、
分極処理前の圧電アクチュエータを、前記キャビティユニットに対して固定する第１の工程と、
前記キャビティユニットに固定された前記分極処理前の圧電アクチュエータに対して、前記フレキシブルフラットケーブルを、前記圧電アクチュエータに形成されている複数の外部電極の各々に前記フレキシブルフラットケーブルに形成されている端子電極が対応するように重ね、前記外部電極と前記端子電極との少なくとも一方の一部を温度Ｔ１に加熱して溶融し、前記外部電極と前記端子電極とを電気的に接合固定する第２の工程と、
前記第２の工程の後に、前記キャビティユニットにおける前記分極処理前の圧電アクチュエータが積層されている面に、熱可塑性の第１の接着剤を挟んで前記キャビティユニットよりも剛性が高い補強フレームを対向させ、前記第１の接着剤を前記温度Ｔ１よりも低い温度Ｔ２に加熱して前記キャビティユニットと前記補強フレームとを接着する第３の工程と、
前記第３の工程の後に、前記キャビティユニットに接着された前記分極処理前の圧電アクチュエータに、前記温度Ｔ２よりも低い温度Ｔ３の状態において、前記フレキシブルフラットケーブルを介して分極用電圧を印加し、分極処理を施す第４の工程と、を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第３の工程と前記第４の工程との間に、
前記フレキシブルフラットケーブルの前記圧電アクチュエータ側とは反対側の面に、平面視において前記圧電アクチュエータの実質上全面にわたる大きさを有し且つ前記圧電アクチュエータよりも熱伝導性の良い熱伝導板を、第２の接着剤を介して、前記温度Ｔ２よりも低い温度の状態にて接着固定する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第１の工程は、前記圧電アクチュエータと前記キャビティユニットとを熱硬化性接着剤にて接着固定することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記温度Ｔ１は、２２０℃以上２５０℃以下、前記温度Ｔ２は、１６０℃以上２００℃以下、前記温度Ｔ３は、１３０℃以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第３の工程は、
前記補強フレームに対して、剥離用フィルムが一方の面に貼着されているシート状接着剤の他方の面を重ねて加熱し、前記補強フレームと前記シート状接着剤とを一次接着する工程と、
前記シート状接着剤の一方の面から剥離用フィルムを除去する工程と、
前記補強フレームに一次接着された前記シート状接着剤の一方の面に、前記キャビティユニットにおける前記分極前の圧電アクチュエータが積層されている面を重ねて、前記温度Ｔ２に加熱し、前記キャビティユニットと前記シート状接着剤とを二次接着する工程とを含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記補強フレームは金属製であり、前記キャビティユニットと前記シート状接着剤とを二次接着する工程では、加熱用のヒータ部材を前記補強フレームに密着させて加熱することを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャビティユニットと圧電アクチュエータとフレキシブルフラットケーブルとを有し、製造工程に複数の加熱工程を含むインクジェットヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来からインクジェットヘッドとしては、前面に複数のノズルが配置されて内部にインク流路を有するキャビティユニットと、このキャビティユニット内のインクに選択的に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータに駆動信号を出力するフレキシブルフラットケーブルとが順次積層された構造が知られている（特許文献１等）。
【０００３】
特許文献１に示すようなインクジェットヘッドの製造工程では、様々な加熱工程が含まれる。例えば、キャビティユニットと圧電アクチュエータとを接着剤で固定するために、接着剤の硬化条件に応じた加熱が必要であり、また、圧電アクチュエータとフレキシブルフラットケーブルとを電気的に接続する工程では、圧電アクチュエータの外部電極とフレキシブルフラットケーブルの端子電極とを、ハンダバンプを溶融して接合するための加熱が必要である。さらには、圧電アクチュエータに分極用電圧を印加して分極処理を施す際に、加熱する場合もある。
【特許文献１】特開２００５−１６１７６２号公報（図２及び図３、段落００３５、００５０参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、インクジェットヘッドを製造する工程において、例えば、熱可塑性の接着剤を使用して接着する工程や、あるいは金属を溶着する工程の後に、前記接着温度や溶着温度よりも高い温度の加熱工程が実施されると、一旦硬化した接着剤や金属が再び軟化し、接着はずれや溶着はずれを発生して、製品の不良を引き起こす虞があった。また、圧電アクチュエータの分極処理後に分極時の温度よりも高い温度の加熱工程が実施されると、分極が劣化し、インクの吐出性能に影響を与えてしまう。
【０００５】
本発明は、上記問題を解消するものであり、加熱工程が複数含まれていても工程の順番を工夫することで、接着不良や溶着不良の発生を防止し歩留まりを向上させることができ、また圧電アクチュエータを良好に分極することができるインクジェットヘッドの製造方法の実現を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明におけるインクジェットヘッドの製造方法は、複数のノズルを外部に開口させ内部にインク流路を有するキャビティユニットと、このキャビティユニット内のインクに選択的に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータに駆動信号を出力するフレキシブルフラットケーブルと、前記キャビティユニットを補強する補強フレームとを備えるインクジェットヘッドの製造方法において、分極処理前の圧電アクチュエータを、前記キャビティユニットに対して固定する第１の工程と、前記キャビティユニットに固定された前記分極処理前の圧電アクチュエータに対して、前記フレキシブルフラットケーブルを、前記圧電アクチュエータに形成されている複数の外部電極の各々に前記フレキシブルフラットケーブルに形成されている端子電極が対応するように重ね、前記外部電極と前記端子電極との少なくとも一方の一部を温度Ｔ１に加熱して溶融し、前記外部電極と前記端子電極とを電気的に接合固定する第２の工程と、前記第２の工程の後に、前記キャビティユニットにおける前記分極処理前の圧電アクチュエータが積層されている面に、熱可塑性の第１の接着剤を挟んで前記キャビティユニットよりも剛性が高い補強フレームを対向させ、前記第１の接着剤を前記温度Ｔ１よりも低い温度Ｔ２に加熱して前記キャビティユニットと前記補強フレームとを接着する第３の工程と、前記第３の工程の後に、前記キャビティユニットに接着された前記分極処理前の圧電アクチュエータに、前記温度Ｔ２よりも低い温度Ｔ３の状態において、前記フレキシブルフラットケーブルを介して分極用電圧を印加し、分極処理を施す第４の工程と、を含むことを特徴とするものである。
【０００７】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記第３の工程と前記第４の工程との間に、前記フレキシブルフラットケーブルの前記圧電アクチュエータ側とは反対側の面に、平面視において前記圧電アクチュエータの実質上全面にわたる大きさを有し且つ前記圧電アクチュエータよりも熱伝導性の良い熱伝導板を、第２の接着剤を介して、前記温度Ｔ２よりも低い温度の状態にて接着固定する工程をさらに含むことを特徴とするものである。
【０００８】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記第１の工程は、前記圧電アクチュエータと前記キャビティユニットとを熱硬化性接着剤にて接着固定することを特徴とするものである。
【０００９】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記温度Ｔ１は、２２０℃以上２５０℃以下、前記温度Ｔ２は、１６０℃以上２００℃以下、前記温度Ｔ３は、１３０℃以下であることを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記第３の工程は、前記補強フレームに対して、剥離用フィルムが一方の面に貼着されているシート状接着剤の他方の面を重ねて加熱し、前記補強フレームと前記シート状接着剤とを一次接着する工程と、前記シート状接着剤の一方の面から剥離用フィルムを除去する工程と、前記補強フレームに一次接着された前記シート状接着剤の一方の面に、前記キャビティユニットにおける前記分極前の圧電アクチュエータが積層されている面を重ねて、前記温度Ｔ２に加熱し、前記キャビティユニットと前記シート状接着剤とを二次接着する工程とを含むことを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記補強フレームは金属製であり、前記キャビティユニットと前記シート状接着剤とを二次接着する工程では、加熱用のヒータ部材を前記補強フレームに密着させて加熱することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、分極処理前の圧電アクチュエータに対してフレキシブルフラットケーブルを温度Ｔ１で電気的に接合固定する第２の工程、キャビティユニットに補強フレームを温度Ｔ２で接着する第３の工程、圧電アクチュエータを温度Ｔ３で分極処理する第４の工程を順次行うに際し、後の工程で使用する温度が、先の工程で設定する温度よりも高くならないように、すなわちＴ１＞Ｔ２＞Ｔ３の関係となるように工程の順序を配慮しているから、加熱により一旦接着あるいは溶着した箇所が、後の工程で軟化することを防止でき、製造における接着不良や溶着不良の発生をなくす、または大幅に低減することができる。また、圧電アクチュエータの分極状態に影響を与えることがなく、所期のインクの吐出性能を良好に発揮させることができるインクジェットヘッドを製造することができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明によれば、フレキシブルフラットケーブルの圧電アクチュエータの反対側の面に第２の接着剤を介して熱伝導板を接着する工程を、圧電アクチュエータに分極処理を施す第４の工程の前に行っているから、第４の工程で加熱を行う場合に、熱伝導性に優れた前記熱伝導板にヒータ部材を密着させて行うことが可能となるので、ヒータ部材の熱が効率よく圧電アクチュエータ全体に伝達され、良好な分極処理を行うことができる。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、第１の工程で使用する接着剤は、熱硬化性接着剤であるから、第２の工程以降に、前記熱硬化性接着剤の硬化温度よりも高い温度がこの接着剤にかかっても軟化しないので、第１の工程で接着した箇所が製造中に接着はずれを生じる心配がない。
【００１５】
請求項４に記載の発明によれば、温度Ｔ１を２２０℃以上２５０℃以下、温度Ｔ２を１６０℃以上２００℃以下、前記温度Ｔ３を１３０℃以下に設定することで、請求項１から３のいずれかに記載の発明を、確実に実現することができる。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、シート状接着剤を用いて補強フレームをキャビティユニットに接着する工程では、シート状接着剤の一次接着と二次接着のために２回の加熱が必要であるが、先に補強フレームの方にシート状接着剤を一次接着（転写、仮接着）するようにしているから、キャビティユニットに対する加熱は１回だけでよく、キャビティユニットやフレキシブルフラットケーブル等に対する熱によるダメージを軽減することができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明によれば、金属製の補強フレームに加熱用のヒータ部材を密着させて、シート状接着剤を加熱するから、ヒータ部材の熱を補強フレームが効率よく均一にシート状接着剤に伝達するから、加熱時間の短縮や接着不良の防止を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に本発明の基本的な実施形態について説明する。図１は、本発明のインクジェットヘッド１を適用したインクジェットプリンタ１００を示している。実施形態のインクジェットプリンタ１００は、例えば、単独のプリンタ装置としてだけでなく、コピー機能、スキャナ機能、ファクシミリ機能等を備えた多機能装置（ＭＦＤ：Multi Function Device ）のプリンタ機能としても適用することができるものである。インクジェットプリンタ１００は、本体フレーム２の内部に備えられ、被記録媒体である用紙ＰＡにインクを吐出させて記録するインクジェットヘッド１がキャリッジ３に搭載されて、主走査方向（Ｙ方向）に沿って走行するように構成されている。
【００１９】
キャリッジ３は、本体フレーム２内に主走査方向（Ｙ方向）に沿って平行状に設けられた後ガイド軸６と前ガイド軸７とに摺動自在に載置されており、本体フレーム２の右後側に配置されたキャリッジ駆動モータ１７と、無端帯であるタイミングベルト１８とにより、主走査方向（Ｙ方向）へ往復移動するように構成されている。用紙ＰＡは、図示しない公知の用紙搬送機構により、主走査方向（Ｙ方向）と直交する副走査方向（Ｘ方向）に沿って、インクジェットヘッド１の下面側を水平状に搬送される（図１の矢印Ａ方向）。この用紙ＰＡに対して、主走査方向（Ｙ方向）に移動するインクジェットヘッド１のノズル４（図５参照）から下向きにインクが吐出されて記録が行われる。
【００２０】
キャリッジ３には、図２に示すように、略箱状のヘッドホルダ８が備えられ、全体として略扁平形状を有するインクジェットヘッド１は、ヘッドホルダ８の底板８ａの下面側に、ノズル４が開口する面を下向きに露出させて当該底板８ａとほぼ平行になるように固着される。ヘッドホルダ８の底板８ａの上面側には、本体フレーム２内に静置されたインク供給源（インクタンク）５ａ〜５ｄからインク供給管１４（１４ａ〜１４ｄ）を介してキャリッジ側に供給されたインクを貯留するダンパー装置９が取り付けられる。この実施形態では４色（ブラック、イエロー、マゼンタ、シアン）のインクが備えられている。ダンパー装置９の内部は、複数のインク室に区画され、インク室に色毎にインクが貯留される。ダンパー装置９には、インク室中のインクに滞留する気泡を除去するための排気弁手段９ｂも備えられている。
【００２１】
ヘッドホルダ８の底板８ａには開口部（図示せず）が貫通形成されており、この開口部の内側では、ダンパー装置９のインク流出口９ａと、インクジェットヘッド１のインク取入口３７とが、後述する補強フレーム１５の接続穴１５ｂと弾性シール部材９ｃとを介して接続され、ダンパー装置９からインクジェットヘッド１にインクが色毎に独立して供給される。
【００２２】
インクジェットヘッド１は、複数のノズル４を外部に開口させ内部にインク流路を有するキャビティユニット１０と、このキャビティユニット１０内のインクに選択的に吐出圧力を与える圧電アクチュエータ１１と、この圧電アクチュエータ１１に駆動信号を出力するフレキシブルフラットケーブル１２とが積層配置される構造のヘッドユニット２０を備え、ヘッドユニット２０の背面側に熱伝導板１３と補強フレーム１５とを備え、前面側に、フロントフレーム１６を備えている。
【００２３】
キャビティユニット１０と圧電アクチュエータ１１とは、いずれも平面視略長方形の扁平形状を有しているが、キャビティユニット１０の外形状は、圧電アクチュエータ１１の外形状よりもひと回り大きく形成されており、キャビティユニット１０の背面の略中央に、圧電アクチュエータ１１が積層されて、キャビティユニット１０のインク取入口３７がヘッドユニット２０の背面側に露出するようになっている。
【００２４】
熱伝導板１３は、フレキシブルフラットケーブル１２の背面（図２では上面）における圧電アクチュエータ１１と対応する位置に積層される。熱伝導板１３は、圧電アクチュエータのほぼ前面にわたる大きさを有する平面視長方形の扁平な板材で、フレキシブルフラットケーブル１２よりも剛性が高く、且つ、圧電アクチュエータ１１及びフレキシブルフラットケーブル１２よりも熱伝導性に優れた素材からなっており、例えば、アルミニウム、銅、ＳＵＳなどの金属板が適用されている。この熱伝導板１３は、フレキシブルフラットケーブル１２を介して圧電アクチュエータ１１に密着することで、圧電アクチュエータ１１の局所的な発熱を分散化して温度分布のバラツキを抑え、且つ放熱する効果を奏する。さらには、ヘッドユニット２０全体の剛性を高める効果も奏する。この熱伝導板１３は省略する場合もある。
【００２５】
補強フレーム１５は、キャビティユニット１０の背面に、圧電アクチュエータ１１を囲むように積層される。補強フレーム１５は、剛性を有する素材（例えば、ＳＵＳなどの金属板）からなり、平面視ロの字状の扁平な板材で、外形がキャビティユニット１０よりもひと回り大きく形成されており、その枠部１５ａのうちＹ方向に平行な一方の辺寄りには、前述した接続穴１５ｂが４つ並んで穿設されている。
【００２６】
この補強フレーム１５は、キャビティユニット１０の剛性を高めるためのものであり、キャビティユニット１０の背面（上面）に沿って補強フレーム１５を固着することで、薄い扁平形状のキャビティユニット１０の変形や歪みを防止している。補強フレーム１５を一体化したインクジェットヘッド１は、ヘッドホルダ８の底板８ａの下面に接着剤１９によって取り付けられ（図３参照）、ヘッドホルダ８内に設置されたダンパー装置９のインク流出口９ａが、補強フレーム１５の各接続穴１５ｂと一致して補強フレーム１５と当接される。
【００２７】
フロントフレーム１６は、平面視コの字状の扁平な板材で、ヘッドユニット２０の前面側にてキャビティユニット１０を囲むよう配置され、補強フレーム１５の前面に固着される（図２及び図３参照）。フロントフレーム１６によって、キャビティユニット１０のノズル面とヘッドホルダ８の周囲との段差を解消し、払拭部材等でノズル面をクリーニングする際の引っ掛かりを防止している。
【００２８】
次に、この実施形態でのキャビティユニット１０の構成について説明する。
【００２９】
キャビティユニット１０は、図５及び図６に示すように、ノズルプレート２１、スペーサプレート２２、ダンパープレート２３、２枚のマニホールドプレート２４ａ、２４ｂ、サプライプレート２５、ベースプレート２６、及びキャビティプレート２７の合計８枚の薄い平板を、その各平板面が対向するように接着剤を介して積層し接合した構造となっている。
【００３０】
実施形態では、各プレート２１〜２７は４０〜１５０μｍ程度の厚さを有し、ノズルプレート２１はポリイミド等の合成樹脂製で、その他のプレート２２〜２７は４２％ニッケル合金鋼板製である。ノズルプレート２１には、微小径（２０μｍ程度）のインク吐出用のノズル４が微小間隔で多数個穿設されており、ノズル４は、Ｘ方向に沿って延びる列状に配置され、５列設けられている。
【００３１】
各ノズル４は、スペーサプレート２２、ダンパープレート２３、２枚のマニホールドプレート２４ａ、２４ｂ、サプライプレート２５、ベースプレート２６に穿設されている貫通路３５を介して、キャビティプレート２７の圧力室３１にそれぞれ接続されている（図６参照）。
【００３２】
キャビティプレート２７には、複数の圧力室３１がノズル４の配列に対応して５列に配列されている。各圧力室３１は、図５に示すように、平面視細長形状でその長手方向がＹ方向に沿うようにしてキャビティプレート２７の板厚を貫通して形成されている。各圧力室３１の長手方向の一端は、ベースプレート２６に穿設された連通孔３２と、サプライプレート２５に形成された接続流路３３とを介して共通インク室３４に連通している。各圧力室３１の長手方向の他端には前記貫通路３５が接続されている。
【００３３】
２枚のマニホールドプレート２４ａ，２４ｂには、Ｘ方向に沿って長い５つの（共通インク室３４となるべき）溝が板厚を貫通して形成されており、２枚のマニホールドプレート２４ａ、２４ｂを積層し、かつその上面をサプライプレート２５にて覆い、下面をダンパープレート２３にて覆うことにより、合計５つの共通インク室（マニホールド室）３４が形成される。
【００３４】
マニホールドプレート２４ａの下面に隣接するダンパープレート２３の下面側には、各共通インク室３４と位置および形状を一致させ且つ共通インク室３４と隔絶されたダンパー室３６が凹み形成されている。このダンパープレート２３は、ダンパー室３６上部の薄い板状の天井部が弾性変形により自由に振動することで、圧力室３１から共通インク室３４に伝播した圧力変動を吸収減衰させ、圧力変動が他の圧力室３１へ伝播するクロストークを抑制する。
【００３５】
また、キャビティプレート２７のＹ方向に平行な一方の辺寄りには、前述のインク取入口３７が４つ穿設されており、各インク取入口３７と上下位置を対応させて、ベースプレート２６とサプライプレート２５とにそれぞれ４つの通路穴３８が穿設されている。各インク取入口３７は、通路穴３８を介して、対応する共通インク室３４の一端に連通している。
【００３６】
この実施形態では、図５における左側の１つのインク取入口３７から、同じく左側の２つの共通インク室３４、３４に、ブラックインクが分岐して流入するようにし、ブラックインクを吐出するノズル列を２列に設定している。これは、ブラックインクがその他のカラーインクに比べて使用頻度が高いことを考慮したものであり、他の３つのインク取入口３７には、シアン、イエロー、マゼンタの各インクがそれぞれ単独に供給される。
【００３７】
このように、キャビティユニット１０では、インクが、インク取入口３７から通路穴３８を経て共通インク室３４に流入し、接続流路３３及び連通孔３２を経由して圧力室３１に至り、さらに貫通路３５を経てノズル４に至るインク流路が形成されている。
【００３８】
キャビティプレート２７には、４つのインク取入口３７を一括して覆うように、インク中の異物を除去するためのフィルタ体３９が、接着剤等で貼着されている。フィルタ体３９には、微小孔が多数穿設された濾過部３９ａが、各インク取入口３７毎の開口領域に対応して４つ形成されている。濾過部３９ａの周囲は無孔の板面状に形成されており、フィルタ体３９をキャビティユニット１０あるいは補強フレーム１５に接着するための接着代となっている。フィルタ体３９の製造には、全体を電鋳加工で形成する方法や、あるいは、板材に濾過部３９ａをレーザ加工やプラズマ加工で穿孔形成する方法等が適用される。
【００３９】
圧電アクチュエータ１１は、全ての圧力室３１にわたる大きさを有する扁平形状で、特開２００２−２５４６３４号公報等に開示された公知のものと同様に、扁平な方向と直交する方向に積層された複数のセラミックス層１１ａと、このセラミックス層１１ａ間に挟まれた電極４１，４２とからなる。電極４１，４２のうち少なくとも一方の電極は、圧力室３１ごとに対応して配置されており、電極間に電圧を選択的に印加することにより圧力室３１と対応するセラミックス層の部分を変位させ、圧力室３１内のインクに吐出圧力を加えることができる。最上層のセラミックス層の上面には、圧力室３１に対応した電極と、セラミックス層を積層方向に貫通した電気的なスルーホールを介して接続した外部電極４３が形成されている。
【００４０】
フレキシブルフラットケーブル１２は、図４に示すように、全体として帯状を呈し、長手方向の一端が、圧電アクチュエータ１１の外部電極４３の配列面に固着される平坦部１２ａとなり、平坦部１２ａに連続する可撓部１２ｂが、補強フレーム１５上を通ってＹ方向に引き出されている。フレキシブルフラットケーブル１２には、可撓部１２ｂの長手方向の中途に駆動回路１２ｃとしてチップ状のＩＣが搭載されたＣＯＦ（チップ・オン・フレキシブルフラットケーブル）を適用している。図３に示すように、ヘッドホルダ８の側板寄りの部分には、駆動回路１２ｃを挟持するためのヒートシンク８ｂと弾性部材６１とが設けられており、駆動回路１２ｃの発熱をヒートシンク８ｂによって放熱するようにしている。
【００４１】
フレキシブルフラットケーブル１２は詳細には、図７に示すように、複数の導線５２を絶縁材料５３で挟んで形成されており、平坦部１２ａには、圧電アクチュエータ１１の外部電極４３の各々に対応する位置に、導線５２をその端部で露出させた端子電極５１が形成されている。端子電極５１上には、熱溶融可能な導電材料製（例えば、半田製）のバンプ５４が、外部電極４３に向かって突出するように設けられている。
【００４２】
次に、上記構成のインクジェットヘッド１の製造方法について説明する。
【００４３】
まず、前記複数のプレート２１〜２７をその間に熱硬化性接着剤を介挿して積層してキャビティユニット１０を形成し、このキャビティユニット１０の各インク取入口３７にフィルタ体３９の各濾過部３９ａがそれぞれ対応するようにして、キャビティユニット１０の上面に、そこに塗布された熱硬化性接着剤によりフィルタ体３９を接着固定する。次に、分極処理前の圧電アクチュエータ１１をキャビティユニット１０の上面に熱硬化性接着剤により接着固定する（請求項の第１の工程に相当）。
【００４４】
次に、分極処理前の圧電アクチュエータ１１に対して、フレキシブルフラットケーブル１２を、圧電アクチュエータ１１の外部電極４３の各々にフレキシブルフラットケーブル１２の端子電極５１が対向するように重ね、少なくともバンプ５４を温度Ｔ１に加熱して溶融しながら押圧し、前記外部電極４３と端子電極５１とを電気的に接合固定する（請求項の第２の工程に相当）。温度Ｔ１は、２２０℃以上２５０℃以下の範囲であることが望ましい。
【００４５】
次に、キャビティユニット１０における分極前の圧電アクチュエータ１１が積層されている面に、熱可塑性の第１の接着剤を挟んで補強フレーム１５を対向させ、少なくとも第１の接着剤を前記温度Ｔ１よりも低い温度Ｔ２（Ｔ１＞Ｔ２）に加熱し、キャビティユニット１０と補強フレーム１５とを接着する（請求項の第３の工程に相当）。第１の接着剤としては、硬化温度Ｔ２が１６０℃以上２００℃以下の熱可塑性を有する接着剤を適用しており、この実施形態では、あらかじめシート状にされた接着剤を用いている。
【００４６】
この補強フレーム１５とキャビティユニット１０との接着工程を、図８を用いてさらに詳しく説明する。第１の接着剤であるシート状接着剤５５は、シート状接着剤と剥離用フィルム５６とが貼り合わされて一体化した素材を元に加工して、広幅状の剥離用フィルム５６上に、補強フレーム１５においてキャビティユニット１０と重ねられる面に応じた枠形状のシート状接着剤５５を載置（貼着）した状態に、あらかじめ形成されている。もちろん、補強フレーム１５の接続穴１５ｂに対応するシート状接着剤５５の部位は、接着剤の抜き領域（無い領域）に形成している。このように、補強フレーム１５の全面に接着剤を塗布するのではなく、補強フレーム１５においてキャビティユニット１０からはみ出る部分を除いて、キャビティユニット１０と重ねられる面にのみ接着剤を載せれば良いため、シート状接着剤５５が好適であり、そして、シート状接着剤５５として提供されている熱可塑性のシート状接着剤が使用される。
【００４７】
そして、図８（ａ）に示すように、このシート状接着剤５５の剥離用フィルム５６と当接しない側の面、すなわち接着剤が露出する面を補強フレーム１５におけるキャビティユニット１０と接着すべき面に重ねて、加熱用のヒータ部材６２を剥離用フィルム５６側に押し当てて加熱し、補強フレーム１５にシート状接着剤５５を一次接着する。この一次接着では、シート状接着剤５５が補強フレーム１５に転写（仮接着）する程度の接着力が得られれば良いため、その加熱温度は、温度Ｔ２よりも若干低い温度に設定している。
【００４８】
次に、図８（ｂ）に示すように、補強フレーム１５に一次接着されたシート状接着剤５５の一方の面から剥離用フィルム５６を除去し、さらに、図８（ｃ）に示すように、補強フレーム１５を、シート状接着剤５５を挟んでキャビティユニット１０に重ねる。このとき、補強フレーム１５の枠部１５ａの内側には、圧電アクチュエータ１１と、これに接合されたフレキブルフラットケーブル１２とが配置され、フレキシブルフラットケーブル１２の可撓部１２ｂは、圧電アクチュエータ１１から立ち上がるように引き出されている。
【００４９】
そして、補強フレーム１５のキャビティユニット１０とは反対側の面に、加熱用のヒータ部材６３を当接させて押圧しながら、第１の接着剤であるシート状接着剤５５を温度Ｔ２に加熱してキャビティユニット１０に二次接着させる。この温度Ｔ２はシート状接着剤５５を十分に軟化して押し潰すことが可能な温度に設定されており、これにより、第１の接着剤を介して補強フレーム１５をキャビティユニット１０に接着する工程が終了する。
【００５０】
なお、このとき使用する加熱用のヒータ部材６３は、補強フレーム１５にのみ接触し、フレキシブルフラットケーブル１２には接触しない形状、例えば、補強フレーム１５の辺部毎に複数に分割されていたり、枠状に形成されたものなどが好適である。これは、加熱によるダメージが、圧電アクチュエータ１１とフレキシブルフラットケーブル１２とに加わることを防止するためである。さらには、ヒータ部材６３による加熱中に、図８（ｃ）に示すように、フレキシブルフラットケーブル１２に、冷却部材６４を当接させておくことで、より確実に、圧電アクチュエータ１１とフレキシブルフラットケーブル１２への熱によるダメージを防止することができる。また、ＩＣチップの駆動回路１２ｃを冷却部材６４に当接させておくことで、駆動回路１２ｃへの影響を防止することができる。
【００５１】
次に、フレキシブルフラットケーブル１２の圧電アクチュエータ１１側とは反対側の面に、第２の接着剤を介して熱伝導板１３を重ね、前記温度Ｔ２と同じかもしくはそれより低い温度に加熱しあるいは常温（２５℃）で、熱伝導板１３をフレキシブルフラットケーブル１２に接着する。この第２の接着剤としては、熱可塑性のシート状接着剤が好適である。この後工程である第４の工程でかかる温度Ｔ３で溶融しない程度の耐温度性があればよい。
【００５２】
次に、フレキシブルフラットケーブル１２を介して圧電アクチュエータ１１の電極に分極用の高電圧を印加し、圧電アクチュエータ１１のセラミックス層に分極処理を行う（請求項の第４の工程に相当）。このとき、圧電アクチュエータ１１を、前記温度Ｔ２とほぼ同じかそれよりも低い温度Ｔ３の状態にして行う。温度Ｔ３は、１３０℃以下の範囲であることが望ましく、セラミックス層の分極が劣化する温度のほぼ１／２以下の範囲で温度Ｔ３を高く設定すると、分極用電圧を低くできるという利点があるが、必要に応じてＴ３を室温に設定する、すなわち加熱しない状態で分極処理を行ってもよい。
【００５３】
圧電アクチュエータ１１を温度Ｔ３に加熱する際には、既に熱伝導板１３がフレキシブルフラットケーブル１２に接着されているため、この熱伝導板１３にヒータ部材を接触させて圧電アクチュエータ１１を加熱するように構成することができる。これにより、熱伝導板１３は熱伝導性に優れているために、効率よく熱を圧電アクチュエータ１１全体に伝達でき、良好な分極処理を行うことができる。
【００５４】
上記製造方法によると、複数の加熱工程が含まれていても、後の工程で使用する温度が、先の工程で使用した温度を上回らないように配慮して、工程の順序を設定しているから、一旦硬化した接着箇所や溶着箇所が、後工程で軟化する虞はなく、接着はずれや溶着はずれを防止し、不良の発生を低減できる。また、圧電アクチュエータ１１の分極状態に影響を与えることがなく、所期のインクの吐出性能を良好に発揮させることができるインクジェットヘッドを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明のインクジェットヘッドが適用されたインクジェットプリンタの平面図である。
【図２】キャリッジの分解斜視図である。
【図３】キャリッジをＹ方向に沿って切断した断面図である。
【図４】ヘッドユニットと均熱板の一部分解斜視図である。
【図５】キャビティユニットの分解斜視図である。
【図６】（ａ）は図４のＶＩ−ＶＩ線矢視断面図、（ｂ）は前記（ａ）のｂ−ｂ線矢視断面図である。
【図７】圧電アクチュエータとフレキシブルフラットケーブルの接合を説明する拡大断面図である。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は補強フレームとキャビティユニットとの接着の手順を説明する工程図である。
【符号の説明】
【００５６】
１      インクジェットヘッド
３      キャリッジ
４      ノズル
８      ヘッドホルダ
１０    キャビティユニット
１１    圧電アクチュエータ
１２    フレキシブルフラットケーブル
１３    熱伝導板
１５    補強フレーム
１６    フロントフレーム
２０    ヘッドユニット
４３    外部電極
５１    端子電極
５５    シート状接着剤
５６    剥離用フィルム
１００  インクジェットプリンタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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