【事件の表示】
　特願２００９−　３４９５８「慣性力センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年　９月　２日出願公開、特開２０１０−１９０７０６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１　手続の経緯と本願発明
　本願は，平成２１年２月１８日の出願であって，平成２５年１０月２９日付けで特許請求の範囲について補正がなされ，平成２６年１月１５日付けで拒絶査定がなされ，これに対して同年４月２５日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものであって，その請求項１に係る発明（以下，「本願発明」という。）は，平成２５年１０月２９日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものと認める。 
　
「質量部と，可撓性を有し前記質量部を支持し所定の厚みを備え同一平面に形成された連結部と，前記連結部を介して前記質量部を保持する固定部と，少なくとも異なる２方向を回転軸とする角速度を検出するための検出部とを備えた慣性力検出素子と，
　可撓性を有し，第１の接着層を介して前記慣性力検出素子を支持する板状の支持体と，
　前記支持体を介して前記慣性力検出素子を保持する収納体を備え，
　前記支持体は第２の接着層を介して前記収納体と接触しており，
　前記支持体は前記第１の接着層と接触する部位を有する第１の部位と，前記第１の部位から厚み方向に曲がる第１の曲げ部と，前記第２の接着層と接触する部位を有する第２の部位と，前記第２の部位から厚み方向に曲がる第２の曲げ部と，前記第１の曲げ部と前記第２の曲げ部の間の部位である第３の部位を有し，
　前記第２の曲げ部は前記第２の接着層における内縁部よりも内側に離れて位置していることを特徴とする慣性力センサ。」 
　
２　引用発明
　原査定の拒絶の理由に引用され，本願出願前に国内又は外国において頒布された刊行物である特開２００８−１５１６３３号公報（発明の名称：角速度センサの製造方法，出願人：エプソントヨコム株式会社，公開日：平成２０年７月３日，以下「引用例」という。）には，次の事項（ａ）ないし（ｃ）が図面とともに記載されている。
　
（ａ）「【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
  本発明の実施形態の説明に先立ち，発明者らが開発した角速度センサにおけるセンサ素子である圧電振動片の構成および動作について説明する。
【００２０】
  図１は，本発明に係る角速度センサにおける圧電振動片の構成を示す斜視図である。図１において，圧電振動片１０は，周知の圧電材料にて形成することが可能であるが，ここでは水晶振動片を例示して説明する。
【００２１】
  圧電振動片１０は水晶の結晶軸である，電気軸と呼ばれるＸ軸，機械軸と呼ばれるＹ軸および光学軸と呼ばれるＺ軸のうちの，Ｘ軸とＹ軸とを平面方向に切り出したＺカットの水晶基板により形成されている。
  圧電振動片１０の平面形状は，水晶の結晶軸に合わせてＸＹ平面に展開され，圧電振動片１０の重心Ｇに対して１８０°点対称の形状である。
【００２２】
  圧電振動片１０には，Ｘ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ平行な端面をもつ矩形状の基部２０が形成され，Ｙ軸に平行な基部２０の２端面の中央からＸ軸に平行に延出される第１の連結腕３１と第２の連結腕３２それぞれの先端部からＹ軸に平行な一対の駆動腕４０，５０と，Ｘ軸に平行な基部２０の２端面の中央からＹ軸に平行な直線上に延出される検出腕６０とが形成されている。駆動腕４０は，基部２０の端面からＸ軸方向に延出される第１の連結腕３１と，第１の連結腕３１に対して直交しＹ軸方向およびマイナスＹ軸方向に延出される２本の振動部４１，４２で構成されている。同様に，駆動腕５０は，基部２０からマイナスＸ軸方向に延出される第２の連結腕３２に直交しＹ軸方向およびマイナスＹ軸方向に延出される２本の振動部５１，５２で構成されている。
【００２３】
  振動部４１，４２，５１，５２の先端にはそれぞれ，各振動部より幅の広い矩形状の錘部４３，４４，５３，５４が形成されている。
  また，検出腕６０は，基部２０の２端部からＹ軸方向およびマイナスＹ軸方向の直線上に延出される検出腕部６１，６２と，検出腕部６１，６２の先端に形成される各検出腕部より幅の広い矩形状の錘部６３，６４と，から構成されている。
【００２４】
  ここで，検出腕部６１，６２の先端に形成される錘部６３，６４の幅（Ｘ軸方向の幅を示す）は，他の錘部４３，４４，５３，５４よりも大きく設定されており，錘部６３，６４の幅をＤ，検出腕部６１，６２の幅をｄとしたとき，５ｄ≦Ｄ≦１０ｄとなるように設計される。つまり，錘部６３，６４の幅は，検出腕部６１，６２の幅ｄの５〜１０倍に設計されている。
  このように錘部６３，６４を設定する理由は，後述するＹ軸回転系の角速度検出において（図４〜６，参照），検出腕６０の捩れ振動を効率よく発生させるためである。
【００２５】
  振動部４１，４２，５１，５２および検出腕部６１，６２それぞれの幅方向中央には，厚み方向に凹形状の溝４５，４６，５５，５６，６５，６６が形成されている。
  なお，前述の錘部４３，４４，５３，５４，および溝４５，４６，５５，５６，６５，６６は，圧電振動片１０を小型化するために設けられているが，本発明を特に限定するものではない。
【００２６】
  駆動腕４０，５０は，所定の周波数の駆動振動が発生するように，振動部４１，４２，５１，５２の幅や長さ，錘部４３，４４，５３，５４の寸法，溝４５，４６，５５，５６の寸法が設定されている。
  また，検出腕６０は，所定の検出振動が発生するように，検出腕部６１，６２の幅や長さ，錘部６３，６４の寸法，溝６５，６６の寸法が設定されている。
  なお，駆動腕４０，５０および検出腕６０にはそれぞれ図示しない駆動電極，検出電極が形成され，基部２０から図示しない発振回路，検出回路に接続される構成となっている。」
　
（ｂ）「【００２８】
  続いて，上述した圧電振動片１０の動作である，Ｚ軸回転系およびＹ軸回りの回転系（以降，単にＹ軸回転系と表すことがある）の振動モードについて説明する。
  図２は，圧電振動片の駆動モード（回転が加わらない）を模式的に示す説明図，図３はＺ軸検出モードを模式的に示す説明図である。図２，３は，振動形態を分かりやすく表現するために，駆動腕４０，５０および検出腕６０を簡略化して線で表している。図１と同じ構成部分を同じ符号で示し，構成の説明を省略する。
【００２９】
  まず，圧電振動片１０の駆動モード（回転角速度が加えられていないときの振動モード）について説明する。図２において，駆動振動は，振動部４１，４２，５１，５２の矢印Ａで示す屈曲振動であって，実線で示す振動姿態と，二点鎖線で示す振動姿態を所定の周波数で繰り返している。このとき，振動部４１，４２と振動部５１，５２とがバランス調整され，重心Ｇを通るＹ軸に対して線対称の振動を行っているので，基部２０，第１の連結腕３１，第２の連結腕３２および検出腕部６１，６２はほとんど振動しない。
【００３０】
  次に，Ｚ軸回りの回転角速度ωが加えられたときの動作について説明する。図３において，Ｚ軸回転系の検出振動は，実線で示す振動姿態と，二点鎖線で示す振動姿態を繰り返している。検出振動は，圧電振動片１０が図２に示した駆動振動（屈曲振動）を行っている状態で，圧電振動片１０にＺ軸周りの回転角速度ωが加わったとき，駆動腕４０，５０に矢印Ｂで示す方向のコリオリ力が働くことによって発生する。
  矢印Ｂ方向のコリオリ力が働くことにより，駆動腕４０，５０は重心Ｇに対して周方向の振動となる。また同時に，検出腕部６１，６２は，矢印Ｃに示すように，矢印Ｂの振動に呼応して矢印Ｂとは周方向反対向きの屈曲振動を行う。
【００３１】
  圧電振動片１０に形成されている駆動電極と検出電極が，基部２０に形成された接続電極を経由して，検出回路および発振回路（ともに半導体装置に搭載される）に電気的に接続されている。このことにより，圧電振動片１０は，発振回路により屈曲振動し，検出腕６０から角速度に応じた検出信号を検出回路に出力する。そして，半導体装置により角速度に対応した電気信号を出力する。
【００３２】
  続いて，Ｙ軸検出モードについて図面を参照して説明する。
  図４〜６は，Ｙ軸回転系の振動モードを示し，図４は斜視図，図５，６は図４の上方（矢印Ａ方向）から視認した状態を示す上側面図である。駆動腕４０，５０が屈曲振動している状態においてＹ軸回りに回転角速度ωが加えられたときに，駆動腕４０，５０は，図４に示すようにコリオリ力によりＸ方向の屈曲振動とＺ軸方向の屈曲振動とを合成した振動モードで振動する。」
　
（ｃ）「【００４４】
  そして，上記のような圧電振動片１０を用いて角速度センサが構成される。図８は，角速度センサの構成を示す模式断面図である。
  角速度センサ１は，圧電振動片１０と，圧電振動片１０を支持する支持部材７３と，セラミックなどのパッケージ７０と，パッケージ７０内を気密に封止する蓋体７４を備えている。
  圧電振動片１０は，圧電振動片１０の基部２０にてフィルムキャリアなどで形成された支持部材７３の一端に接合され，他端がパッケージ７０の凹部に形成された支持基板７２に固定されることで空中に支持されている。このように，圧電振動片１０の前述した重心Ｇを中央にして，圧電振動片１０がバランスを保って支持されている。そして，パッケージ７０上面に配置された金属製あるいはガラスなどの蓋体７４を用いて，パッケージ７０内部を気密に封止されている。
  また，パッケージ７０の底面には外部接続端子７１が形成され，パッケージ７０内に形成された配線（図示せず）により支持基板７２，支持部材７３を経由して，圧電振動片１０の駆動電極，検出電極と電気的に接続されるように構成されている。
  （実施形態）
【００４５】
  次に，本発明に係る上記の角速度センサ１の製造方法について説明する。
  図９は角速度センサの製造工程を示すフローチャートである。図１０は角速度センサの製造工程の模式説明図である。
  図９のフローチャートで順を追いながら，図１０を用いて角速度センサの製造方法の概略について説明する。
  まず，ステップＳ１において圧電振動片１０を形成する。図１０（ａ）に示すように，圧電振動片１０はフォトリソグラフィ技術を用いて，水晶基板から圧電振動片１０の外形および電極を形成する。圧電振動片１０の表面には，図示しない駆動電極，検出電極をＣｒ／Ａｕ膜にて形成する。また，検出腕６０の錘部６３，６４の少なくとも片面にはＡｕ膜を形成しておく。
【００４６】
  次に，ステップＳ２において，圧電振動片１０をパッケージ７０内に実装する。圧電振動片１０は，まず支持部材７３の一端と圧電振動片１０の基部２０と接合し，その後，図１０（ｂ）に示すように，支持部材７３の他端とパッケージ７０の支持基板７２とを固定する。このようにして，圧電振動片１０がバランスを保って空中に支持可能となる。」
　
・上記記載（ａ），（ｂ）及び【図１】，【図３】，【図６】より，
ア　「錘部と，可撓性を有し前記錘部を支持し所定の厚みを備え同一平面に形成された駆動腕と，前記駆動腕を介して前記錘部を保持する基部と，Ｚ軸とＹ軸の２方向を回転軸とする角速度を検出するための検出電極とを備えた圧電振動片」との技術事項が読み取れる。
　
・上記記載（ｃ）及び【図８】より，
イ　「前記圧電振動片と接合しこれを支持するフィルムキャリアで形成された支持部材と，前記支持部材を介して前記圧電振動片を保持する支持基板を凹部に形成したパッケージを備え」との技術事項が読み取れる。
　
・【図８】より，上記「支持部材」は，直線が２箇所で反対方向に折り曲げられた形状とされており，この２箇所の折り曲げ部を図の上方から順に「第１の曲げ部」，「第２の曲げ部」と称し，また，これらの曲げ部を挟んだ３つの直線状の部分を図の上方から順に「第１の部位」，「第３の部位」，「第２の部位」と称することとすると，
ウ　「前記支持部材は前記圧電振動片と接触する部位を有する第１の部位と，前記第１の部位から厚み方向に曲がる第１の曲げ部と，前記パッケージの凹部に形成された支持基板に固定される部位を有する第２の部位と，前記第２の部位から厚み方向に曲がる第２の曲げ部と，前記第１の曲げ部と前記第２の曲げ部の間の部位である第３の部位を有している」との技術事項が読み取れる。
  
　以上の技術事項アないしウ，及び，この分野における技術常識を総合勘案すると，引用例には次の発明が記載されているものと認める。
　
「錘部と，可撓性を有し前記錘部を支持し所定の厚みを備え同一平面に形成された駆動腕と，前記駆動腕を介して前記錘部を保持する基部と，Ｚ軸とＹ軸の２方向を回転軸とする角速度を検出するための検出電極とを備えた圧電振動片と，
　前記圧電振動片と接合しこれを支持するフィルムキャリアで形成された支持部材と，
　前記支持部材を介して前記圧電振動片を保持する支持基板を凹部に形成したパッケージを備え，
　前記支持部材は前記支持基板を凹部に形成したパッケージに固定されており，
　前記支持部材は前記圧電振動片と接触する部位を有する第１の部位と，前記第１の部位から厚み方向に曲がる第１の曲げ部と，前記パッケージの凹部に形成された支持基板に固定される部位を有する第２の部位と，前記第２の部位から厚み方向に曲がる第２の曲げ部と，前記第１の曲げ部と前記第２の曲げ部の間の部位である第３の部位を有している，
　角速度センサ。」（以下，「引用発明」という。）
　
３　対比
　本願発明と引用発明とを，主たる構成要件毎に順次対比する。
　
（１）　引用発明の「錘部」，「駆動腕」，「基部」，「検出電極」，「圧電振動片」は，それぞれ本願発明の「質量部」，「連結部」，「固定部」，「検出部」，「慣性力検出素子」に相当する。
　
（２）　引用発明の「Ｚ軸とＹ軸の２方向」は，本願発明の「少なくとも異なる２方向」に含まれる。
　
（３）　引用発明の「支持部材」は，「フィルムキャリアで形成された」ものである以上，「可撓性を有し」，「板状」であることは明らかである。
　
（４）　引用発明の「支持基板を凹部に形成したパッケージ」は，「支持部材」をその内部に収納するものであることは明らかであるから，本願発明の「収納部」に相当する。
　
（５）　引用発明の「支持部材」と「圧電振動片」との接触部分について検討するに，引用発明の「支持部材」は「前記圧電振動片と接合し」ているものであるから，何らかの「接合部」を介して圧電振動片を支持していることは明らかである。一方，本願発明の「支持体」と「慣性力検出素子」との接触部分には「第１の接着層」が介在しており，この「第１の接着層」も「接合部」と言うことができる。
　
（６）　引用発明の「支持部材」と「支持基板を凹部に形成したパッケージ」との接触部分について検討するに，引用発明の「支持部材」は「支持基板」の部位において「パッケージ」に固定されているから，何らかの「固定部」を介して「支持基板を凹部に形成したパッケージ」と接触していることは明らかである。一方，本願発明の「支持体」と「収納体」との接触部分には「第２の接着層」が介在しており，この「第２接着層」も「固定部」ということができる。
　
（７）引用発明の「角速度センサ」は「慣性力センサ」に含まれる。
　
　してみると，両者の一致点及び相違点は，以下のとおりある。
（一致点）
「質量部と，可撓性を有し前記質量部を支持し所定の厚みを備え同一平面に形成された連結部と，前記連結部を介して前記質量部を保持する固定部と，少なくとも異なる２方向を回転軸とする角速度を検出するための検出部とを備えた慣性力検出素子と，
　可撓性を有し，接合部を介して前記慣性力検出素子を支持する板状の支持体と，
　前記支持体を介して前記慣性力検出素子を保持する収納体を備え，
　前記支持体は固定部を介して前記収納体と接触しており，
　前記支持体は前記接合部と接触する部位を有する第１の部位と，前記第１の部位から厚み方向に曲がる第１の曲げ部と，前記固定部と接触する部位を有する第２の部位と，前記第２の部位から厚み方向に曲がる第２の曲げ部と，前記第１の曲げ部と前記第２の曲げ部の間の部位である第３の部位を有する，
　慣性力センサ。」 
  
（相違点１）
　「接合部」が，本願発明では「第１の接着層」であるのに対し，引用発明では接合部の具体的構成が明らかではない点。
　
（相違点２）
　「固定部」が，本願発明では「第２の接着層」であって，「前記第２の曲げ部は前記第２の接着層における内縁部よりも内側に離れて位置している」のに対し，引用発明では固定部の具体的構成が明らかではない点。
　
４　判断
　上記（相違点１）及び（相違点２）につき，まとめて検討する。
　
　例えば，拒絶査定において引用された特開２００５−１０６４８１号公報（特に，【図７】及び段落【００３１】，以下「周知例」という。）に記載されているように，ジャイロセンサなどの慣性力センサにおいて，慣性力検出素子である振動子やパッケージに形成した支持基板と支持部材とを，バンプ等の接着層を介して接続することは周知技術であり，引用発明の角速度センサにおいて，圧電振動子と支持部材との「接合部」及びパッケージの凹部に形成された支持基板と支持部材との「固定部」をそれぞれ「接着層」で形成することは，上記周知技術に基づいて当業者が容易に想到し得たものであり，また，これらの「接着層」をそれぞれ「第１の接着層」，「第２の接着層」と称することも適宜なし得ることである。
　さらに，これらの接着層を形成する範囲は当業者が必要に応じて適宜選択すべきことであって，接着層を支持部材の曲げ部から離間した範囲までとすること，すなわち本願発明のように「前記第２の曲げ部は前記第２の接着層における内縁部よりも内側に離れて位置している」ように形成することも，上記周知例に記載された「バンプ４３」のような導電性接着層を用いた固定部として広く採用されている手段に過ぎず，その作用効果も当業者が予測可能なものであって，格別なものではない。
　
５　むすび 
　以上のとおり，本願発明は，上記引用発明及び周知技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　
　よって，結論のとおり審決する。