(57)【要約】【課題】ディスク基板の機械特性の劣化を防止できるディスク基板の貼り合せ方法及び貼り合せ装置を提供する。【解決手段】本発明に係る貼り合せ装置１０は、ディスク基板Ｄを保持した状態で搬送可能な搬送部材１１と、搬送部材１１に形成され、エネルギ線硬化樹脂が塗布されたディスク基板Ｄを載置する位置に配置された支持部１２と、ディスク基板Ｄに他のディスク基板を貼り合せる貼り合せ部１６と、貼り合せた後、エネルギ線を照射することでエネルギ線硬化樹脂を硬化させるエネルギ線照射部１８と、ディスク基板Ｄを載置する前に、支持部１２における、ディスク基板Ｄを支持する支持面１２ａにエアを吹き付けて付着したエネルギ線硬化樹脂を除去するエア吹き付け部２０とを備えている。【選択図】図１
2007207400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク基板を保持した状態で搬送可能な搬送部材と、
前記搬送部材に形成され、エネルギ線硬化樹脂が塗布された前記ディスク基板を載置する位置に配置された支持部と、
前記ディスク基板に他のディスク基板を貼り合せる貼り合せ部と、
貼り合せた後、エネルギ線を照射することでエネルギ線硬化樹脂を硬化させるエネルギ線照射部と、
前記ディスク基板を載置する前に、前記支持部における、前記ディスク基板を支持する支持面にエアを吹き付けて付着したエネルギ線硬化樹脂を除去するエア吹き付け部とを備えていることを特徴とするディスク基板の貼り合せ装置。
【請求項２】
前記支持面を撮影する撮影部を備え、撮影した画像に基づいて前記支持面におけるエネルギ線硬化樹脂の付着の有無を判別することを特徴とする請求項１に記載のディスク基板の貼り合せ装置。
【請求項３】
前記エア吹き付け部が静電エアを吹き付けることを特徴とする請求項１又は２に記載のディスク基板の貼り合せ装置。
【請求項４】
ディスク基板を保持した状態で搬送可能な搬送部材と、
前記搬送部材に形成され、エネルギ線硬化樹脂が塗布された前記ディスク基板を載置する位置に配置された支持部と、
前記ディスク基板に他のディスク基板を貼り合せる貼り合せ部と、
貼り合せた後、エネルギ線を照射することでエネルギ線硬化樹脂を硬化させるエネルギ線照射部と、
前記ディスク基板を載置する前に、前記支持部における、前記ディスク基板を支持する支持面を撮影する撮影部とを備え、撮影した画像に基づいて前記支持面におけるエネルギ線硬化樹脂の付着の有無を判別することを特徴とするディスク基板の貼り合せ装置。
【請求項５】
エネルギ線硬化樹脂が塗布されたディスク基板を、搬送部材の支持部に載置し、
前記ディスク基板に他のディスク基板を貼り合せる工程と、
貼り合せた後、エネルギ線を照射することでエネルギ線硬化樹脂を硬化させる工程とを有し、
前記ディスク基板を載置する前に、前記支持部における、前記ディスク基板を支持する支持面にエアを吹き付けて付着したエネルギ線硬化樹脂を除去する工程を行うことを備えていることを特徴とするディスク基板の貼り合せ方法。
【請求項６】
前記支持面を撮影し、撮影した画像に基づいて前記支持面におけるエネルギ線硬化樹脂の付着の有無を判別することを特徴とする請求項５に記載のディスク基板の貼り合せ方法。
【請求項７】
前記支持面に吹き付けられるエアが静電エアであることを特徴とする請求項４又は５に記載のディスク基板の貼り合せ方法。
【請求項８】
エネルギ線硬化樹脂が塗布されたディスク基板を、搬送部材の支持部に載置し、
前記ディスク基板に他のディスク基板を貼り合せる工程と、
貼り合せた後、エネルギ線を照射することでエネルギ線硬化樹脂を硬化させる工程とを有し、
前記ディスク基板を載置する前に、前記支持部における、前記ディスク基板を支持する支持面を撮影し、撮影した画像に基づいて前記支持面におけるエネルギ線硬化樹脂の付着の有無を判別することを特徴とするディスク基板の貼り合せ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光情報記録媒体等を構成するディスク基板の貼り合せ方法及び貼り合せ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光を用いて情報を記録し、又は再生する光ディスクとしては、ＣＤ−Ｒ（Compact Disc-recordable）、ＣＤ（Compact Disc）、ＤＶＤ（digital versatile disc）、ＤＶＤ−Ｒ（digital versatile disc-recordable）等が既に普及している。
【０００３】
光ディスクの製造工程では、例えば、樹脂製のディスク基板をターンテーブル上に置き、該ディスク基板上に液状の紫外線硬化樹脂を塗布した後、更に別のディスク基板と貼り合わせた状態で、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる。ディスクの貼り合わせ装置としては、例えば、下記特許文献１から３に示すものが知られている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−７９１４３号公報
【特許文献２】特開２００３−３６５７６号公報
【特許文献３】特開平１０−２０８３１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ディスク基板に紫外線硬化樹脂を塗布する場合、ディスク基板に液状の紫外線硬化樹脂を滴下した後、該ディスク基板を高速回転させることで、滴下された紫外線硬化樹脂を遠心力によって延ばすことで基板表面に薄膜状に塗布するといった、いわゆるスピンコート塗布が施される。このとき、延ばされた紫外線硬化樹脂の一部がディスク基板の周縁端面に付着することがあった。そして、ディスク基板の周縁端面に付着した紫外線硬化樹脂が、ディスク基板を支持する、ターンテーブル上の支持面に付着すると、該支持面の平面性が不適正になり、ディスク基板を適正な状態で支持することができなくなり、紫外線硬化樹脂を硬化させてディスク基板同士を貼り合わせる際に、ディスク基板に反り等が生じて機械特性が劣化することが懸念される。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、ディスク基板の機械特性の劣化を防止できるディスク基板の貼り合せ方法及び貼り合せ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の上記目的は、下記構成によって達成される。
（１）  ディスク基板を保持した状態で搬送可能な搬送部材と、前記搬送部材に形成され、エネルギ線硬化樹脂が塗布された前記ディスク基板を載置する位置に配置された支持部と、前記ディスク基板に他のディスク基板を貼り合せる貼り合せ部と、貼り合せた後、エネルギ線を照射することでエネルギ線硬化樹脂を硬化させるエネルギ線照射部と、前記ディスク基板を載置する前に、前記支持部における、前記ディスク基板を支持する支持面にエアを吹き付けて付着したエネルギ線硬化樹脂を除去するエア吹き付け部とを備えていることを特徴とするディスク基板の貼り合せ装置。
（２）  前記支持面を撮影する撮影部を備え、撮影した画像に基づいて前記支持面におけるエネルギ線硬化樹脂の付着の有無を判別することを特徴とする上記（１）に記載のディスク基板の貼り合せ装置。
（３）  前記エア吹き付け部が静電エアを吹き付けることを特徴とする上記（１）又は（２）に記載のディスク基板の貼り合せ装置。
（４）  ディスク基板を保持した状態で搬送可能な搬送部材と、前記搬送部材に形成され、エネルギ線硬化樹脂が塗布された前記ディスク基板を載置する位置に配置された支持部と、前記ディスク基板に他のディスク基板を貼り合せる貼り合せ部と、貼り合せた後、エネルギ線を照射することでエネルギ線硬化樹脂を硬化させるエネルギ線照射部と、前記ディスク基板を載置する前に、前記支持部における、前記ディスク基板を支持する支持面を撮影する撮影部とを備え、撮影した画像に基づいて前記支持面におけるエネルギ線硬化樹脂の付着の有無を判別することを特徴とするディスク基板の貼り合せ装置。
（５）  エネルギ線硬化樹脂が塗布されたディスク基板を、搬送部材の支持部に載置し、前記ディスク基板に他のディスク基板を貼り合せる工程と、貼り合せた後、エネルギ線を照射することでエネルギ線硬化樹脂を硬化させる工程とを有し、前記ディスク基板を載置する前に、前記支持部における、前記ディスク基板を支持する支持面にエアを吹き付けて付着したエネルギ線硬化樹脂を除去する工程を行うことを備えていることを特徴とするディスク基板の貼り合せ方法。
（６）  前記支持面を撮影し、撮影した画像に基づいて前記支持面におけるエネルギ線硬化樹脂の付着の有無を判別することを特徴とする上記（５）に記載のディスク基板の貼り合せ方法。
（７）  前記支持面に吹き付けられるエアが静電エアであることを特徴とする上記（４）又は（５）に記載のディスク基板の貼り合せ方法。
（８）  エネルギ線硬化樹脂が塗布されたディスク基板を、搬送部材の支持部に載置し、前記ディスク基板に他のディスク基板を貼り合せる工程と、貼り合せた後、エネルギ線を照射することでエネルギ線硬化樹脂を硬化させる工程とを有し、前記ディスク基板を載置する前に、前記支持部における、前記ディスク基板を支持する支持面を撮影し、撮影した画像に基づいて前記支持面におけるエネルギ線硬化樹脂の付着の有無を判別することを特徴とするディスク基板の貼り合せ方法。
【０００８】
本発明に係る貼り合せ装置のように、エア吹き付け部を備えた構成とすれば、ディスク基板を搬送部材の支持部に載置する前に、支持部の支持面に付着したエネルギ線硬化樹脂をエアによって除去することができる。こうすれば、支持部の支持面の平面性が劣化することがなく、載置されたディスク基板を適正な状態で支持することができ、エネルギ線硬化樹脂を硬化させてディスク基板同士を貼り合わせる際に、ディスク基板に反り等が生じて機械特性が劣化することを防止することができる。
【０００９】
また、上記の貼り合せ装置が更に撮影部を備える構成においては、エア吹き付け部によってエアを吹き付けた後、撮影部により撮影された画像に基づいて支持面上にエアで除去しきれなかったエネルギ線硬化樹脂の有無を確認することができる。
【００１０】
上記の貼り合せ装置が撮影部のみを備えた構成とすれば、支持部を撮影部で撮影し、エネルギ線硬化樹脂の付着の有無を確認した後に、ディスク基板の貼り合せを行うか否かを判別することができ、貼り合わされたディスク基板の機械特性の劣化を未然に防止することができる。
【００１１】
本発明に係る貼り合せ方法によれば、ディスク基板の貼り合せを行う前に、支持部にエアの吹き付けを行っているため、支持面に付着したエネルギ線硬化樹脂の付着を予め除去できる。このため、ディスク基板の貼り合わせを行う際に、支持面を良好な平面性に維持することができ、ディスク基板の機械特性が劣化することを防止することができる。
【００１２】
また、上記貼り合わせ方法において、エアの吹き付けを行った後に、支持面を撮影し、撮影された画像に基づいてエネルギ線硬化樹脂の有無を判別すれば、エアで除去しきれなかったエネルギ線硬化樹脂によって支持面の平面性が確保できなくなることを防止でき、貼り合わされるディスク基板の機械特性が劣化することをより一層確実に防止できる。
【００１３】
本発明において、支持面に吹き付けるエアを静電エアとすることで、エネルギ線硬化樹脂をより効果的に除去することができるようになる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ディスク基板の機械特性の劣化を防止できるディスク基板の貼り合せ方法及び貼り合せ装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。
図１は、本発明に係る貼り合せ装置の構成を示す図である。本実施形態の貼り合せ装置１０は、ＤＶＤ等の光記録媒体として使用される光ディスクを製造する過程で使用されるものであり、２つのディスク基板のうち一方のディスク基板に塗布されたエネルギ線硬化樹脂を挟んで、両方のディスク基板同士を貼り合せ、エネルギ線硬化樹脂を硬化させることで光ディスクを製造する。なお、本実施形態では、エネルギ線硬化樹脂として、紫外線を照射することで硬化する紫外線硬化樹脂を使用したが、これに限定されない。
【００１６】
貼り合せ装置１０は、正円形形状を有するターンテーブル１１を備えている。ターンテーブル１１には、その上面の円周方向にそれぞれ等間隔をおいて、光ディスクのディスク基板Ｄが載置される、複数の支持部１２が設けられている。本実施形態において、ターンテーブル１１の円周方向等間隔に６つの支持部１２を配列した構成としたが、支持部１２の数は、特に限定されず、適宜変更することができる。
【００１７】
図２は、ターンテーブルの支持部にディスク基板を載置する状態を説明する斜視図である。支持部１２は、ターンテーブル１１の上面から上方に突出した略円柱状の形状を有し、該支持部１２の上端にディスク基板Ｄが載置される支持面１２ａが形成されている。支持面１２ａの中央部には、載置されたディスク基板Ｄの中央開口に挿通されるとともに、ディスク基板Ｄを支持面１２ａ上に位置決めする位置決めピン１３が上方に立設されている。
【００１８】
ターンテーブル１１は、図１中矢印で示すように、回転させることで、支持部１２の周方向位置を変更することができるため、ターンテーブル１１の径方向外方に別途設けられた処理装置に対応する位置に支持部１２を移動させて支持部１２に載置されたディスク基板Ｄに所定の処理を施すことができる。本実施形態において、ターンテーブル１１は、搬送部材として機能する。
【００１９】
ターンテーブル１１の径方向外方には、光ディスクの製造を行う各処理装置として、円周方向に対して図１の反時計回りに順番に、搬入部１４と、貼り合せ部１６と、エネルギ線照射部として機能する紫外線照射部１８と、搬出部１９とが設けられている。
【００２０】
搬入部１４は、予め片面に紫外線硬化樹脂が塗布されたディスク基板Ｄを図示しないロボットアームによって、ターンテーブル１１の支持部１２に載置する構成である。ディスク基板Ｄは、紫外線硬化樹脂が塗布された面を上方（支持部１２の支持面１２ａとは反対側）に向けた状態で置かれる。
【００２１】
貼り合せ部１６は、真空状態に維持されたチャンバ内で、支持面１２ａに載置されたディスク基板Ｄに、別のディスク基板Ｄを貼り合せる構成を有している。貼り合せ部１６の機構としては、従来の構成のものを使用することができる。
【００２２】
紫外線照射部１８は、貼り合せ部１６で貼り合わされた一対のディスク基板Ｄに対してターンテーブル１１の下方から紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させることでディスク基板Ｄ同士を接着させて一枚のディスクとする。
【００２３】
搬出部１９は、紫外線の照射後、図示しないロボットアームによって、ターンテーブル１１の各支持部１２から順にディスク基板Ｄを取り出し、別の搬送機構や、収納部にディスク基板Ｄを搬送する。
【００２４】
本実施形態の貼り合せ装置１０は、エア吹き付け部２０を備えている。図３は、貼り合せ装置のエア吹き付け部を示す側面図である。エア吹き付け部２０は、ターンテーブル１１の上方で、且つ、ディスク基板Ｄが載置されていない状態にある支持部１２の近傍に設けられたエアノズル２１を備えている。エアノズル２１は、図示しないエア供給部からエアが供給され、所定のタイミングで支持面１２ａに対してエアを吹き付ける。エアノズル２１が複数設けられ、支持面１２ａの周方向及び／又は径方向に対して並んで配置されていてもよい。エア吹き付け部２０は、ディスク基板Ｄを載置する前に、支持部１２の、ディスク基板Ｄを支持する支持面１２ａにエアを吹き付けて付着した紫外線硬化樹脂を除去する。
【００２５】
エア吹き付け部２０は、エアに電荷を印加して発生させた静電エアを支持部１２に供給する構成とすることが好ましい。こうすれば、支持部１２に付着した紫外線硬化樹脂をより効果的に除去することができる。
【００２６】
また、本実施形態の貼り合せ装置１０は、支持部１２の支持面１２ａを撮影する撮影部３０を備えている。図４は、貼り合せ装置の撮影部を示す側面図である。撮影部３０は、ターンテーブル１１の上方であって、ディスク基板Ｄが載置されていない状態にある支持部１２の近傍に設けられている。撮影部３０は、撮影した支持面１２ａの画像に基づいて支持面１２ａにおける紫外線線硬化樹脂の付着の有無を判別する。撮影部３０としては、ＣＣＤカメラやＣＭＯＳイメージセンサを使用することができる。
【００２７】
貼り合せ装置１０は、撮影部３０によって撮影された画像に基づいて、後述するように画像処理を行うことで、支持面１２ａ上に紫外線硬化樹脂が付着しているか否か判別する。
【００２８】
撮影部３０は、その撮影方向を適宜変更することができる。例えば、図４に示すように、支持部１２の支持面１２ａの垂直方向に撮影するように設けられていてもよく、又は、支持面１２ａに対して水平方向に撮影するように設けられていてもよい。
【００２９】
次に、本実施形態の貼り合せ装置における画像処理の制御系を説明する。図５は、貼り合せ装置における画像処理の制御系を説明するブロック図である。図５に示すように、本実施形態の貼り合せ装置１０は、撮影部３０で撮影された支持面１２ａの画像が電気信号として入力され、入力された信号に基づいて、支持面１２ａに付着している紫外線硬化樹脂の有無やその位置を解析する画像処理部３１と、画像処理部３１で解析された情報に応じて支持面１２ａ上に紫外線硬化樹脂が存在するかを判定し、また、紫外線硬化樹脂が存在する場合、支持面１２ａ上のどの位置かを特定する判別部３２とを備えている。
【００３０】
判別部３２にはモニタ等の表示部３３が電気的に接続されている。表示部３３は、判別部３２において支持面１２ａに紫外線硬化樹脂が付着していると判定された場合に、貼り合せ装置１０の使用者に対して、視覚的に認識させるために支持面が異常状態である旨を通知する異常警告等を表示する。また、支持面１２ａに紫外線硬化樹脂の付着等の異常があった場合には、ターンテーブル１１やその他のディスク基板Ｄを移送する機構を直ちに停止させる機構が備えていることが好ましい。
【００３１】
図６は、本発明に係る貼り合せ方法の手順を示すフロー図である。なお、貼り合せ方法は、上記実施形態の貼り合せ装置を使用することで好適に実施することができる。
最初に、貼り合せ装置１０を起動させ、ディスク基板Ｄの搬送を開始するとともに、エア吹き付け部２０によって、エアの吹き付けを開始する（ステップS１１）。
【００３２】
また、貼り合せ装置１０の起動とともに、撮影部３０による支持面１２ａの撮影を開始し、各支持面１２ａごとにその画像を検査する（ステップＳ１２）。撮影部３０によって撮影された支持面１２ａの画像に基づいて、画像処理部３１で画像を解析し、判別部３２によって支持面１２ａに紫外線硬化樹脂の付着等の異常がないか否かを判別する（ステップＳ１３）。
【００３３】
支持面１２ａに異常があると判別された場合には、直ちに貼り合せ工程を停止する旨の指示信号が、判別部３２から貼り合せ装置１０の制御機構に出力され（ステップＳ１４）、貼り合せ工程が停止される（ステップＳ１５）。
【００３４】
支持面１２ａに異常が認められてない場合には、貼り合せ工程が継続して実行される。
【００３５】
本発明に係る貼り合せ装置１０のように、エア吹き付け部２０を備えた構成とすれば、ディスク基板Ｄをターンテーブル（搬送部材）１１の支持部１２に載置する前に、支持部１２の支持面１２ａに付着した紫外線線硬化樹脂をエアによって除去することができる。こうすれば、支持部１２の支持面１２ａの平面性が劣化することがなく、載置されたディスク基板Ｄを適正な状態で支持することができるため、紫外線硬化樹脂を硬化させてディスク基板同士を貼り合わせる際に、ディスク基板に反り等が生じて機械特性が劣化することを防止することができる。
【００３６】
また、上記の貼り合せ装置１０が更に撮影部３０を備える構成においては、エア吹き付け部２０によってエアを吹き付けた後、撮影部３０により撮影された画像に基づいて支持面１２ａ上にエアで除去しきれなかった紫外線硬化樹脂の有無を確認することができる。
【００３７】
なお、上記実施形態の貼り合せ装置１０は、エア吹き付け部２０と撮影部３０とを両方備えた構成としたが、撮影部３０のみを備えた構成としてもよい。こうすれば、支持部１２を撮影部３０で撮影し、紫外線硬化樹脂の付着の有無を確認した後に、ディスク基板Ｄの貼り合せを行うか否かを判別することができ、貼り合わされたディスク基板Ｄの機械特性の劣化を未然に防止することができる。
【００３８】
また、本発明に係る貼り合せ方法によれば、ディスク基板Ｄの貼り合せを行う前に、支持部１２にエアの吹き付けを行っているため、支持面１２ａに付着した紫外線硬化樹脂の付着を予め除去できる。このため、ディスク基板Ｄの貼り合わせを行う際に、支持面１２ａを良好な平面性に維持することができ、ディスク基板Ｄの機械特性が劣化することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係る光ディスクの貼り合せ装置を示す図である。
【図２】ターンテーブルの支持部にディスク基板を載置する状態を説明する斜視図である。
【図３】貼り合せ装置のエア吹き付け部を示す側面図である。
【図４】貼り合せ装置の撮影部を示す側面図である。
【図５】貼り合せ装置における画像処理の制御系を説明するブロック図である。
【図６】本発明に係る貼り合せ方法の手順を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０    貼り合せ装置
１１    ターンテーブル（搬送部材）
１２    支持部
１２ａ    支持面
１６    貼り合せ部
１８    紫外線照射部（エネルギ線照射部）
２０    エア吹き付け部
３０    撮影部
Ｄ    ディスク基板
【図１】
2007207400.tif 000003
【図２】
2007207400.tif 000004
【図３】
2007207400.tif 000005
【図４】
2007207400.tif 000006
【図５】
2007207400.tif 000007
【図６】
2007207400.tif 000008