(57)【要約】【課題】容易に位置決めを実施することができ、取扱いを容易にする。【解決手段】被着体Ａに接着する接着テープ１において、加圧されることにより接着剤層２１の接着剤が多孔膜３１の孔Ｈから被着体Ａへ移動し、その被着体Ａに接着するように構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に接着する接着テープであって、
接着剤と、
複数の孔が形成されている多孔膜と
を有し、
加圧されることにより前記接着剤が前記多孔膜の前記孔から前記被着体へ移動し、前記被着体に接着する
接着テープ。
【請求項２】
前記多孔膜は、前記被着体に接着する側の一方の面から他方の面へ貫通するように前記孔が形成されており、
前記接着剤は、前記多孔膜の前記他方の面の側に層状に形成されている
請求項１に記載の接着テープ。
【請求項３】
前記多孔膜は、前記被着体に接着する側の一方の面が開口すると共に他方の面が連続するように、複数の孔が形成されており、
前記接着剤は、前記多孔膜の前記複数の孔に収容されている
請求項１に記載の接着テープ。
【請求項４】
前記多孔膜を支持する基板
を有し、
前記基板が、前記多孔膜の前記他方の面の側に配置されている
請求項２または３に記載の接着テープ。
【請求項５】
前記多孔膜は、平均開口率が２０％以上であって７０％以下である
請求項１から４のいずれかに記載の接着テープ。
【請求項６】
前記多孔膜は、平均孔径が０．１μｍ以上，１００μｍ以下である
請求項１から５のいずれかに記載の接着テープ。
【請求項７】
前記多孔膜は、内部に水を有する、両親媒性物質からなる逆ミセルが分散していると共に疎水性有機ポリマーが溶解されている有機溶媒溶液を塗布した後に、当該塗布された有機溶媒溶液を乾燥させることによって形成されている
請求項１から６までのいずれかに記載の接着テープ。
【請求項８】
前記接着剤は、熱または光を加えることによって硬化する硬化性材料によって形成されている請求項１から７までのいずれかに記載の接着テープ。
【請求項９】
接着剤と、複数の孔が形成されている多孔膜とを有し、熱または光を加えることにより硬化する硬化性材料によって前記接着剤が形成されている接着テープの使用方法であって、
加圧により前記接着剤が前記多孔膜の前記孔から被着体へ移動することによって前記被着体に接着された前記接着テープを剥離する剥離ステップ
を有し、
前記剥離ステップにおいては、前記被着体に接着された前記接着テープに熱または光を加えて前記接着剤を硬化させることによって前記被着体から前記接着テープを剥離する、
接着テープの使用方法。
【請求項１０】
前記被着体に接着する側の一方の面から他方の面へ貫通するように複数の孔が形成されている多孔膜と、前記多孔膜の前記他方の面の側に層状に形成されている接着剤層とを有し、加圧されることにより前記接着剤が前記多孔膜の前記孔から前記被着体へ移動し、前記被着体に接着する接着テープの粘着力制御方法であって、
前記多孔膜の平均孔径と平均開口率を制御することによる接着テープの粘着力制御方法。
【請求項１１】
前記被着体に接着する側の一方の面が開口すると共に他方の面が連続するように、前記複数の孔が形成されている多孔膜と、前記多孔膜の複数の孔に収容されている接着剤とを有し、加圧されることにより前記接着剤が前記多孔膜の前記孔から前記被着体へ移動し、前記被着体に接着する接着テープの粘着力制御方法であって、
前記多孔膜の平均孔径と平均開口率を制御することによる接着テープの粘着力制御方法。
【請求項１２】
請求項１０、請求項１１に記載の接着テープの粘着力制御方法を用いて、接着テープを被着体に接着した後、接着テープと被着体を圧着する前に、被着体又は接着テープを動かして位置合せする接着テープの位置合せ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着テープ、およびその粘着力制御方法、位置決め方法ならびにその使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
接着テープは、被着体に接着し固定する材料として、さまざまな分野において利用されている。
【０００３】
たとえば、半導体装置を製造する際のダイシング工程においては、回路パターンが形成された半導体ウエハとウエハ支持台とに接着テープが接着し、半導体ウエハをウエハ支持台に固定する。その後、その接着テープにより固定された半導体ウエハをダイシングし、個々の半導体チップに分離する。
【０００４】
このような用途において、接着テープは、ダイシングを実施する際には、半導体ウエハから剥離しないように大きな接着力が必要となるのに対し、そのダイシングの実施終了後においては、その接着テープを容易に剥離できることが好ましい。このため、さまざまな接着テープが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２５６７９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のように接着テープを使用する場合において、接着テープを被着体に接着させる位置を決める際には、大きな接着力を有する接着剤が接着面の全面に露出しているために、その位置に接着テープを合わせることが容易ではなく、取扱いが容易ではない場合があった。
また、接着テープは、その用途に応じて様々な接着力が要求される。そのため、用途に応じた接着力を有する接着剤を用いて接着テープが製造されているが、要求される接着力ごとに異なる接着剤を用いると製造が高コストになるという問題があった。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、位置決めが容易に実施可能であって、取扱いが容易であり、さらに容易に接着力が制御可能な接着テープ、およびその粘着力制御方法、位置決め方法ならびにその使用方法を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の接着テープは、被着体に接着する接着テープであって、接着剤と、複数の孔が形成されている多孔膜とを有し、加圧されることにより前記接着剤が前記多孔膜の前記複数の孔から前記被着体へ移動し、前記被着体に接着する。
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の接着テープの使用方法は、接着剤と、複数の孔が形成されている多孔膜とを有し、熱または光を加えることにより硬化する硬化性材料によって前記接着剤が形成されている接着テープの使用方法であって、加圧により前記接着剤が前記多孔膜の前記孔から被着体へ移動することによって前記被着体に接着された前記接着テープを剥離する剥離ステップを有し、前記剥離ステップにおいては、前記被着体に接着された前記接着テープに熱または光を加えて前記接着剤を硬化させることによって前記被着体から前記接着テープを剥離する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、位置決めが容易に実施可能であって、取扱いが容易であり、さらに容易に接着力が制御可能な接着テープおよび、およびその粘着力制御方法、位置決め方法ならびにその使用方法を実現することにある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
＜実施形態１＞
本発明にかかる実施形態１について説明する。
【００１２】
（構成）
図１は、本発明にかかる実施形態１における接着テープ１を示す断面図である。
【００１３】
図１に示すように、本実施形態の接着テープ１は、基材１１と、接着剤層２１と、多孔膜３１とを有する。各部について順次説明する。
【００１４】
まず、基材１１について説明する。
【００１５】
基材１１は、図１に示すように、フィルム状に形成されており、接着剤層２１と、多孔膜３１とを支持している。基材１１は、たとえば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、アイオノマー、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリウレタン、スチレン−エチレン−ブテン共重合体等の樹脂によって構成されるフィルムであり、これらを複数選択して混合したフィルムや、複数種類のフィルムを重ね合わせて複層化されたものであってもよい。また、基材１１は、厚みが５０〜２００μｍの範囲であることが好ましい。
【００１６】
つぎに、接着剤層２１について説明する。
【００１７】
接着剤層２１は、図１に示すように、基材１１の一方の面に層状に形成されている。この接着剤層２１は、基材１１の一方の面に接着剤が塗布されることによって形成される。そして、接着剤層２１は、基材１１側の面と反対側の面に多孔膜３１が形成されている。本実施形態においては、接着剤層２１は、熱または光を加えることによって硬化する硬化性の接着材料によって形成されている。たとえば、接着剤層２１は、接着剤と、光重合性化合物と、光重合開始剤との混合液を基材１１に塗布し、乾燥することによって形成される。そして、熱または光が加えられることによって、硬化収縮し、接着力が低減する。
【００１８】
ここで、接着剤としては、たとえば、エポキシ樹脂や、アクリル樹脂が好適である。たとえば、アクリル酸エステルとして、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸グリシジル、アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどを、モノマーとして形成されたアクリル樹脂が好適である。また、接着性や凝集力を制御する目的で、アクリル酸、メタクリル酸、アクリロニトリル、酢酸ビニルなどのモノマーを共重合させたものを用いてもよい。
【００１９】
また、光重合性化合物としては、たとえば、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートあるいは１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレートなどを用いることが好適である。
【００２０】
また、光重合開始剤としては、たとえば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノンなどを用いることが好適である。この光重合開始剤は、光重合性化合物に対して、０．１〜１０重量％の割合で含有される。
【００２１】
つぎに、多孔膜３１について説明する。
【００２２】
多孔膜３１は、有機ポリマーを含み、図１に示すように、複数の孔Ｈが形成されている。そして、この多孔膜３１においては、その孔Ｈから、接着剤層２１の接着剤が被着体へ移動する。本実施形態においては、多孔膜３１は、図１に示すように、被着体に接着する側の一方の面から他方の面へ貫通するように孔Ｈが形成されている。また、多孔膜３１は、その他方の面の側においては、接着剤層２１と基材１１とが順次配置されている。
【００２３】
この多孔膜３１を構成する有機ポリマーとしては、たとえば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ−４−メチルペンテン−１、シクロポリオレフィン等のオレフィン系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどの塩素系樹脂、ポリアルキレンオキサイド、ポリビニルアルコール、エチレンビニルアルコール共重合樹脂等のアルコール系樹脂、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン樹脂等のスチレン系樹脂、ポリメタクリル酸エステル、ポリアクリル酸エステル等のアクリル系樹脂、ポリアミド６、ポリアミド４６、ポリアミド６６等のポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等の熱可塑性ポリエステル、ポリアセタール、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテルなどの有機高分子材料が好適である。その他に、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ酢酸ビニル、セルロース系プラスチック、熱可塑性エラストマーなどの熱可塑性樹脂、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルフォン、非晶ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリエステル、ポリアミドイミド、ポリイミド等も使用可能である。ここでは、これらのうちの１種を用いることの他、複数種を選択して用いてもよい。特に、上記の有機ポリマーにおいて、コストを低くする目的を達成するためには、ポリスチレン、アクリル系樹脂を用いることが好ましく、透明性を向上させるためには、ポリカーボネート、シクロポリオレフィン、フッ素系樹脂を用いることが好ましい。また、耐熱性を向上させるためには、ポリアミド、ポリイミドを用いることが好ましい。また、ポリスチレン、ポリカーボネート、シクロポリオレフィンについては、クロロホルムなどの有機溶媒に溶けやすく、膜状の多孔質構造体を容易に得ることができるため、好適である。
【００２４】
この多孔膜３１は、たとえば、逆ミセル法により形成される。詳細な製造工程については後述するが、逆ミセル法においては、上記のような有機ポリマーを疎水性の有機溶媒に溶解させると共に、その有機溶媒中に水が逆ミセル化されて分散するように塗布液を調合した後に、その塗布液を塗布し乾燥させることによって、多孔膜３１を形成する。
【００２５】
この多孔膜３１においては、平均開口率が２０％以上であって７０％以下になるように形成されていることが好ましい。この範囲より小さい場合には、接着剤と被着体との接触面積が著しく小さくなるため、接着テープとしての十分な接着性が得られない場合がある。また、この範囲より大きい場合には、被着体と多孔膜との接触部分が小さくなるため、多孔膜の孔部の上にある被着体がたわみ、加圧により接着剤が多孔膜の孔から被着体へ移動する過程の前に、被着体と接着剤が接触し、位置決めが困難になることがあるためである。特に、被着体が柔軟性を有する物質である場合には、このような不具合が顕在化する場合がある。なお、この平均開口率は、以下のようにして測定される。まず、走査型電子顕微鏡により多孔膜表面を観察し、膜表面上のある部分５０μｍ×５０μｍにおける、孔部面積が膜表面積に占める割合を開口率とする。そして、多孔膜内の無作為に抽出した５つの部分について開口率を測定し、その平均値を平均開口率とする。
【００２６】
また、この多孔膜３１においては、平均孔径が０．１μｍ以上であって１００μｍ以下となるように形成されていることが好ましい。この範囲より小さい場合には、接着テープ１を基板１１の側から加圧しても、孔Ｈから接着剤層２１の接着剤が被着体へ移動せず、接着テープとしての十分な接着性が得られない場合がある。また、この範囲より大きい場合には、被着体の大きさが孔径より小さくなることがあり、加圧により接着剤が多孔膜の孔から被着体へ移動する過程の前に、被着体と接着剤が接触し、位置決めが困難になることがある。なお、この平均孔径は、走査型電子顕微鏡により多孔膜表面を観察し、膜表面上の孔２０点を無作為に抽出して孔径を測定し、その平均値を求めることによって算出される。
【００２７】
ここで、前記被着体に接着する側の一方の面から他方の面へ貫通するように複数の孔Ｈが形成されている多孔膜３１と、前記多孔膜３１の前記他方の面の側に層状に形成されている接着剤層２１とを有し、加圧されることにより前記接着剤２１が前記多孔膜３１の前記孔から前記被着体へ移動する前記被着体に接着する接着テープの粘着力を、前記多孔膜３１の平均孔径を０．１μｍ以上、１００μｍ以下とし、さらに平均開口率が２０％以上であって７０％以下とすることにより制御し、接着テープの位置合せ（位置決め）が可能になる。
【００２８】
さらに、前記被着体に接着する側の一方の面が開口すると共に他方の面が連続するように、前記複数の孔Ｈが形成されている多孔膜３１と、前記多孔膜３１の複数の孔Ｈに収容されている接着剤２１とを有し、加圧されることにより前記接着剤２１が前記多孔膜３１の前記孔から前記被着体へ移動し、前記被着体に接着する接着テープの粘着力を、前記多孔膜３１の平均孔径を０．１μｍ以上、１００μｍ以下とし、さらに平均開口率が２０％以上であって７０％以下とすることにより制御し、接着テープの位置合せが可能になる。
【００２９】
（製造方法）
以下より、上記した本実施形態の接着テープ１を製造する方法について説明する。
【００３０】
図２は、本発明にかかる実施形態１において、接着テープ１を製造する際の各工程における断面図である。図２においては、図２（ａ），図２（ｂ），図２（ｃ）の順に、その各工程での断面図を示している。
【００３１】
まず、図２（ａ）に示すように、剥離フィルム１０１に多孔膜３１を形成する。
【００３２】
ここでは、逆ミセル法によって剥離フィルム１０１上に多孔膜３１を形成する。つまり、有機ポリマーを疎水性の有機溶媒に溶解させると共に、その有機溶媒中に水を逆ミセル化させて分散させて、塗布液を調合した後に、その塗布液を塗布し乾燥させることによって、多孔膜３１を形成する。
【００３３】
この多孔膜３１を形成する工程について、詳細に説明する。
【００３４】
図３は、本発明にかかる実施形態１において、多孔膜３１を形成する工程を示すフロー図である。
【００３５】
多孔膜３１を形成する際においては、図３に示すように、まず、有機ポリマーを疎水性の有機溶媒に溶解させると共に、その有機溶媒中に内部に水を有する逆ミセルを分散させることによって、塗布液を調製する（Ｓ１１１）。
【００３６】
本工程においては、疎水性の有機ポリマーと両親媒性物質と水とを、疎水性の有機溶媒に投入した後に混合撹拌し、その有機溶媒中に逆ミセルを形成する。
【００３７】
具体的には、まず、これらの成分を容器に投入する。ここでは、両親媒性物質、有機ポリマー、水及び有機溶媒の配合順序は任意である。そして、マグネチックスターラー、回転翼、超音波などによって、その混合液を容器中で撹拌する。特に、超音波を利用して撹拌することによって、微細であって均一な逆ミセルを形成できる。
【００３８】
ここでは、有機ポリマーとしては、上述したように、任意の樹脂を用いることができる。
【００３９】
また、両親媒性物質としては、以下に示すように、任意のものを使用できる。たとえば、イオン性両親媒性物質において、親水基を構成する陰イオンとして、−ＣＯＯ−、−ＳＯ３−等を含むものや、陽イオンとして、ジメチルアンモニウムイオン、トリメチルアンモニウムイオン、ピリジニウムイオンなどを含むものが使用できる。また、非イオン性両親媒性物質において、親水基として、水酸基、エーテル結合などを含むものが使用できる。具体的には、下記の化学式１に示すビス（２−エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウム）の他、ジオクチルスルホコハク酸ナトリウム、ジイソブチルスルホコハク酸ナトリウム、ジシクロヘキシルスルホコハク酸ナトリウム、ジヘキシルスルホコハク酸ナトリウムを使用することができる。また、その他に、下記の化学式２で示すジヘキサデシルジメチルアンモニウムとポリスチレンスルホン酸のポリイオンコンプレックスの他、エチレングリコールとプロピレングリコールから得られるブロックコポリマー、エチレンオキサイドとプロピレンオキサイドから得られるブロックコポリマーを用いることができる。なお、これらを複数種、組み合わせて使用してもよい。
【００４０】
【化１】
2007314728.tif 000003
【００４１】
また、有機溶媒としては、高い疎水性を有すると共に、疎水性の有機ポリマーを溶解するものを用いることができる。特に、有機溶媒としては、蒸気圧が水よりも高いものが好ましいため、沸点が水より低い有機溶媒が好ましい。有機溶媒を、その有機溶媒中に逆ミセルとして含まれる水より早く蒸発させた方が、多孔質の孔Ｈを高精度に形成できるからである。しかしながら、水より沸点の高い有機溶媒を用いた場合においても、塗布液において有機溶媒が蒸発する過程において、逆ミセルを維持可能な程度まで塗布液の液粘度が上昇することで、多孔質の孔Ｈを高精度に形成することができる。このような場合においては、トルエンやキシレンなどのように、水より高い沸点である有機溶媒を使用できる。なお、親水性が高い有機溶媒は、逆ミセルを形成することが困難であるため、好適ではない場合がある。
【００４２】
この有機溶媒の比重については、有機ポリマーが溶解された状態において、逆ミセル形成部より大きくなるものが好ましい。塗布後において逆ミセル形成部が上方に分布させることによって容易に水を蒸発させることができるためである。ここでは、逆ミセル形成部のみの比重を測定することは困難な場合が多いため、有機ポリマーが溶解した有機溶媒の比重が、水の比重よりも大きいものを選択する。ポリエチレンとポリプロピレン等の一部のポリオレフィンを除いて、一般に比重は有機ポリマーが水よりも大きいため、水より軽い有機溶媒を選択してもよい。なお、比重が水よりも小さい有機ポリマーと有機溶媒とを組合せて使用し、有機溶媒溶液において逆ミセルが下方に多く分布する場合においては、次工程において塗布する基材を多孔質材料にすることによって、その基材の下部方向から水を蒸発させることができる。
【００４３】
有機溶媒の具体例としては、比重が水よりも大きいものとして、ジクロルメタン、クロロホルム、四塩化炭素、１，２−ジクロルエタン、１，１，２，２−テトラクロルエタン、１，２ジクロルエチレン、トリクロルエチレン等の塩素系溶媒や二硫化炭素を適宜使用することができる。また、比重が水よりも軽い有機溶媒として、ｎ−ペンタン、ｎ−ヘキサン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン等を適宜使用することができる。これらの有機溶媒は、単独で用いても、複数種を混合して使用してもよい。
【００４４】
また、親水性物質としては、水を使用することが好適である。しかし、塗布液において有機溶媒との相溶性が小さければ、これに限定されない。
【００４５】
本工程にて塗布液を調製する際においては、両親媒性物質に対する水の重量比Ｒｗ（水の重量／両親媒性物質の重量）が、０．５以上であって、１５以下であることが好ましい。このＲｗが０．５以上になるように塗布液を調製した場合には、塗布液中に逆ミセルを容易に形成できる。一方で、Ｒｗが１５以下になるように調製した場合には、塗布液中において形成される逆ミセルが不可逆的に凝集することを防止できる。また、塗布液を調整する際においては、このＲｗを大きくすることで逆ミセルの径を大きくすることができ、一方で、このＲｗを小さくすることで逆ミセルの径を小さくすることができる。
【００４６】
また、有機ポリマーを有機溶媒に対して０．０１以上，１０質量％以下含有するように溶解させることが好ましく、特に、０．０５以上，５質量％以下で含有することが好ましい。このような範囲で有機ポリマーを有機溶媒に溶解させることにより、多孔膜３１のそれぞれの孔Ｈの孔径を均一化すると共に、それぞれの孔Ｈを規則的に配列することができる。
【００４７】
そして、有機ポリマーと両親媒性物質とを合計した総重量において有機ポリマーの重量が占める割合Ｒｐ（有機ポリマー／｛有機ポリマー＋両親媒性物質｝）が０．１以上であって、０．６以下であることが好ましい。このように、塗布液において、Ｒｐを上記範囲の割合に調製することによって、逆ミセルを容易に形成できる。
【００４８】
また、水と有機ポリマーと両親媒性物質の相対的濃度を調整することで、多孔質膜３１において単位表面積あたりに孔Ｈが占める割合（開口率）が所望の値になるように形成することができる。たとえば、水と有機ポリマーと両親媒性物質とを合計した溶質全体の重量に対して水の重量が占める割合（水／（水＋有機ポリマー＋両親媒性物質））を大きくすることによって、開口率を相対的に大きくすることができる。ここでは、有機ポリマーと両親媒性物質との濃度を一定にすることによって孔径を大きくさせながら孔Ｈの中心間距離を小さく、すなわち開口率を大きくすることができ、一方、水の濃度とともに両親媒性物質の濃度も大きくし、Ｒｗを一定にすることによって、孔径を一定のまま孔Ｈの中心間距離を小さく、すなわち開口率を大きくすることができる。
また、Ｒｗによる孔径制御、有機ポリマーの濃度と基板上にキャストする溶液の厚みを調整することで多孔膜３１の膜厚が制御できるため、多孔質膜３１の孔Ｈを、貫通孔もしくは非貫通孔として形成できる。具体的には、膜厚を孔径以下とすることで貫通孔となり、膜厚を孔径以上とすることで非貫通孔となる。
【００４９】
本実施形態においては、図１に示すように、多孔膜３１の孔Ｈが貫通孔になるように、有機ポリマー、両親媒性物質、有機溶媒、水を、所定の割合で配合し混合撹拌して、逆ミセルが形成された塗布液を調整する。
【００５０】
具体的には、貫通孔として多孔膜３１の孔Ｈを形成するように、以下に示すような条件に従って、塗布液を調整する。
【００５１】
貫通孔を作製するには、孔径を膜厚より大きくする必要がある。そのため、Ｒｗ＝０．５〜１５の範囲で凝集を防止して孔径を制御し、また、塗布液の塗布厚により膜厚を調整する。例えば、塗布液中の固形分が２０％の場合、塗布液の塗布厚のおよそ２０％の厚みの膜を形成できる。このようにして、孔径が膜厚より大きくなるような条件に調整する。
【００５２】
つぎに、図３に示すように、塗布液を剥離フィルム１０１に塗布する（Ｓ１２１）。
【００５３】
ここでは、ブレードコーターなどの塗布機を用いて塗布液を剥離フィルム１０１に塗布する。たとえば、塗布液の厚みが、０．０１ｍｍ以上であって５ｍｍ以下になるように塗布する。特に、０．０５ｍｍ以上であって１ｍｍ以下の厚さになるように塗布液を塗布することが好ましい。この厚みの範囲になるように塗布液を塗布することによって、有機溶媒を短時間で蒸発させると共に、その蒸発によって得られる多孔膜３１に十分な機械的強度を付与できる。また、多孔膜３１において形成される孔Ｈの密度と孔Ｈの配列を制御できる。
【００５４】
なお、剥離フィルム１０１としては、たとえば、シリコンによって離型処理が施されたＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムを用いる。また、この他に、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエーテルケトン、ポリフッ化エチレン等の樹脂フィルムや、ガラス、金属、シリコン酸化物等の基板を使用してもよい。たとえば、紫外線などの光の照射により硬化する硬化性材料によって形成されている接着テープ１を使用する場合には、剥離フィルムは、照射光に対し透過性を有している必要がある。
【００５５】
つぎに、図３に示すように、剥離フィルム１０１に塗布された塗布液を乾燥し、多孔膜３１を形成する（Ｓ１３１）。
【００５６】
ここでは、剥離フィルム１０１に塗布されている塗布液へ送風することによって、有機溶媒と水とを蒸発させて、多孔膜３１を形成する。つまり、この蒸発によって、逆ミセルは、それぞれにおけるファンデルワールス力，静電気力や、逆ミセルと基板との摩擦力、毛細管力などの作用により、自己組織的に規則配列する。このため、その逆ミセルが鋳型となり、孔Ｈが規則的に配列される。
【００５７】
本工程においては、周囲の温度と圧力を調整することで、孔Ｈを規則的に配列することができる。具体的には、温度を低下させて溶媒の蒸発速度を下げることによって、逆ミセルが自己組織的に配列するに費やされる時間が長くなるため、より規則正しく孔Ｈを配列させることができる。また、同様に、圧力を上げて溶媒の蒸発を抑制することによって、より規則正しく孔Ｈを配列させることができる。また、超音波を与えることによっても、同様な効果を得ることができる。
【００５８】
また、乾燥方法については、乾燥空気又は乾燥不活性ガスを、塗布液へ送風する方法が好ましい。この時、塗布液表面への結露の影響を防ぐために、たとえば、相対湿度が７０％以下であることが好ましく、特に、相対湿度が３０％以下にすることが、より好ましい。なお、乾燥は、減圧下、常圧下、及び加圧下のいずれでも行うことができる。
【００５９】
以上のようにして多孔膜３１を形成する。
【００６０】
つぎに、図２（ｂ）に示すように、基材１１に接着剤層２１を形成する。
【００６１】
ここでは、接着剤を有機溶媒に溶解させて接着剤液を調整した後に、その接着剤液を基板１１に塗布する。その後、その基板１１に塗布された接着剤液を乾燥させて、接着剤層２１を形成する。
【００６２】
つぎに、図２（ｃ）に示すように、接着剤層２１と多孔膜３１とを対面させる。
【００６３】
ここでは、剥離フィルム１０１と基板１１とのそれぞれにおいて、多孔膜３１と接着剤層２１とのそれぞれが形成された面を互いに対面させて重ね合わせる。そして、ロールラミネータを用いて貼り合わせる。
【００６４】
つぎに、図２（ｄ）に示すように、接着剤層２１の上に多孔膜３１を形成する。
【００６５】
ここでは、互いに貼り合わされた接着剤層２１と多孔膜３１とから剥離フィルム１０１を剥離することによって、接着剤層２１の上に多孔膜３１を形成する。
【００６６】
（使用方法）
以下より、本実施形態の接着テープ１の使用方法について説明する。ここでは、接着剤層２１と、複数の孔Ｈが形成されている多孔膜３１とを有し、その接着剤層２１が、紫外線などの光の照射により硬化する硬化性材料によって形成されている接着テープ１を、使用する場合について説明する。
【００６７】
図４は、本発明にかかる実施形態１において、接着テープ１を使用する際の各ステップにおける断面図である。ここでは、図４（ａ），図４（ｂ），図４（ｃ）の順で各ステップが進行する。
【００６８】
まず、図４（ａ）に示すように、接着テープ１を被着体Ａにおいて接着する位置に位置合わせする。
【００６９】
ここでは、接着テープ１において多孔膜３１が形成されている面を、被着体Ａの側に向けて、位置合わせを行なう。多孔膜３１の表面には、接着剤３１が存在しないため、位置合わせを容易にすることができる。
【００７０】
つぎに、図４（ｂ）に示すように、接着テープ１において多孔膜３１が形成されている面を被着体Ａに接着する。
【００７１】
ここでは、接着テープ１を基板１１の側から加圧し、接着剤層３１の接着剤を多孔膜３１の孔Ｈから被着体Ａへ移動させることによって、その接着テープ１を被着体Ａに接着する。この際、接着剤は孔Ｈ部分を通してのみ被着体Ａに接着されるため、単位表面積あたりに孔Ｈが占める割合（開口率）を制御することにより接着テープの被着体に対する接着力が制御される。
【００７２】
そして、接着テープ１を被着体Ａから剥離する場合には、図４（ｃ）に示すように実施する。
【００７３】
ここでは、被着体Ａに接着された接着テープ１に紫外線などの光を照射することによって、接着剤層３１を硬化させて収縮させる。これにより、接着力が低下するために、接着テープ１が自己剥離する。
【００７４】
以上のように、本実施形態の接着テープ１は、加圧されることにより接着層２１の接着剤が多孔膜３１の孔Ｈから被着体Ａへ移動し、被着体Ａに接着する。ここでは、多孔膜３１は、被着体Ｈに接着する側の一方の面から他方の面へ貫通するように、その孔が形成されている。そして、接着剤層２１は、接着剤によって多孔膜３１の他方の面の側に層状に形成されている。よって、接着面の表面に多孔膜３１が形成され、接着剤が露出していない。このため、容易に接着テープ１を位置決めすることができる。
【００７５】
また、本実施形態の接着テープ１を使用する際においては、接着層２１の接着剤を多孔膜３１の孔Ｈから被着体Ａへ移動させて被着体Ａに接着テープ１を接着させる。その後、その接着テープ１を被着体Ａから剥離する際には、その被着体Ａに接着された接着テープ１に紫外線などの光を加えて接着剤３１を硬化させ収縮させる。これによって、接着剤３１の接着力が低下するために、被着体Ａから接着テープが自己剥離する。よって、本実施形態は、接着テープ１を容易に剥離することができる。
【００７６】
したがって、本実施形態は、容易に位置決めを実施することができ、取扱いを容易にでき、さらに容易に接着力制御可能となる。
【００７７】
＜実施形態２＞
本発明にかかる実施形態２について説明する。
【００７８】
（構成）
図５は、本発明にかかる実施形態２において、接着テープ１ｂを示す断面図である。
【００７９】
本実施形態の接着テープ１ｂは、図５に示すように、実施形態１と異なり、接着剤層２１が無く、多孔膜３１の形状が異なる。そして、接着剤３２を有する。この点を除き、実施形態１と同様である。このため、本実施形態において、実施形態１と重複する個所については、記載を省略する。
【００８０】
多孔膜３１は、図５に示すように、被着体Ａに接着する側の一方の面が開口すると共に、その他方の面が連続するように、孔Ｈが形成されている。つまり、本実施形態においては、多孔膜３１の孔Ｈは、非貫通孔として形成されている。
【００８１】
接着剤３２は、図５に示すように、その多孔膜３１の孔Ｈに収容されている。ここでは、接着剤３２は、多孔膜３１の孔Ｈの開口から露出しないように形成されている。
【００８２】
（製造方法）
以下より、上記した本実施形態の接着テープ１ｂを製造する方法について説明する。
【００８３】
図６は、本発明にかかる実施形態２において、接着テープ１を製造する際の各工程における断面図である。図６においては、図６（ａ），図６（ｂ）の順に、その各工程での断面図を示している。
【００８４】
まず、図６（ａ）に示すように、基材１１に多孔膜３１を形成する（Ｓ３１１）。
【００８５】
ここでは、逆ミセル法によって基材１１に多孔膜３１を形成する。本実施形態においては、図５に示すように、多孔膜３１の孔Ｈを非貫通孔として形成するように、有機ポリマー、両親媒性物質、有機溶媒、水を所定の割合で配合した後に、混合撹拌し、逆ミセルが形成された塗布液を調整する。
【００８６】
具体的には、以下に示すような条件に従って、非貫通孔として多孔膜３１の孔Ｈを形成するように、塗布液を調整する。その後、その塗布液を塗布し乾燥させることによって、多孔膜３１を形成する。
【００８７】
ここでは、クロロホルムのように水よりも比重の大きい溶媒を用いることにより、ミセルが液面に浮いて存在するため、非貫通孔が形成される。さらに、非貫通孔を作製するには、孔径を膜厚より小さくする必要がある。そのため、Ｒｗ＝０．５〜１５の範囲で凝集を防止して孔径を制御し、また、塗布液の塗布厚により膜厚を調整する。例えば、塗布液中の固形分が２０％の場合、塗布液の塗布厚のおよそ２０％の厚みの膜を形成できる。このようにして、孔径が膜厚より小さくなるような条件に調整する。
【００８８】
つぎに、図６（ｂ）に示すように、多孔層３１の孔Ｈに接着剤３２を収容する（Ｓ３２１）。
【００８９】
ここでは、実施形態１と同様に、接着剤を有機溶媒に溶解させて接着剤液を調整する。その後、その接着剤液を多孔層３１に塗布する。そして、その基材１１に塗布された接着剤液を乾燥させる。具体的には、接着剤液を多孔層３１に塗布した後、多孔層３１の表面部分に付着した接着剤液を、金属ブレードなどでワイプし除去する。これにより、接着剤を多孔層の孔部のみに収容することができる。
【００９０】
このようにして、本実施形態の接着テープ１ｂを製造する。
【００９１】
以上のように、本実施形態の接着テープ１ｂは、実施形態１と同様に、多孔膜３１の孔Ｈから接着剤が被着体Ａへ移動することによって被着体Ａに接着する。そして、本実施形態の接着テープ１ｂを使用する際においては、実施形態１と同様に、接着および剥離を実施する。したがって、本実施形態は、容易に位置決めを実施することができ、取扱いを容易できる。
【００９２】
また、本実施形態の接着テープ１ｂは、実施形態１と異なり、多孔膜３１は、被着体Ａに接着する側の一方の面が開口すると共に他方の面が連続するように、孔Ｈが形成されており、接着剤３２は、その多孔膜３１の孔Ｈに収容されている。したがって、本実施形態は、実施形態１と異なり、接着剤３２がそれぞれ独立した孔内に一定量ずつ存在しているため、面内の場所による接着力のばらつきを小さくすることができる。
【００９３】
＜実施形態３＞
本発明にかかる実施形態３について説明する。
【００９４】
図７は、本発明にかかる実施形態３において、接着テープ１ｃを示す断面図である。
【００９５】
本実施形態の接着テープ１ｃは、図７に示すように、実施形態２と異なり、基材１１が配置されていない。この点を除き、実施形態２と同様である。このため、本実施形態において、実施形態２と重複する個所については、記載を省略する。
【００９６】
（製造方法）
以下より、上記した本実施形態の接着テープ１ｃを製造する方法について説明する。
【００９７】
図８は、本発明にかかる実施形態３において、接着テープ１ｃを製造する際の各工程における断面図である。図８においては、図８（ａ），図８（ｂ），図８（ｃ）の順に、各工程での断面図を示している。
【００９８】
まず、図８（ａ）に示すように、剥離フィルム１０１に多孔膜３１を形成する。
【００９９】
ここでは、逆ミセル法によって剥離フィルム１０１に多孔膜３１を形成する。本実施形態においては、実施形態２と同様に、非貫通孔として多孔膜３１の孔Ｈを形成するように、有機ポリマー、両親媒性物質、有機溶媒、水を所定の割合で配合して混合撹拌し、逆ミセルが形成された塗布液を調整する。その後、その塗布液を塗布し乾燥させることによって、多孔膜３１を形成する。
【０１００】
つぎに、図８（ｂ）に示すように、多孔層３１の孔Ｈに接着剤３２を収容する。
【０１０１】
ここでは、実施形態２と同様に、接着剤を有機溶媒に溶解させて接着剤液を調整した後に、その接着剤液を多孔層３１に塗布する。その後、その多孔層３１に塗布された接着剤液を乾燥させる。
【０１０２】
つぎに、図８（ｃ）に示すように、剥離フィルム１０１を剥離する。
【０１０３】
このようにして、本実施形態の接着テープ１ｃを製造する。
【０１０４】
以上のように、本実施形態の接着テープ１ｃは、実施形態１と実施形態２とのそれぞれと同様に、多孔膜３１の孔Ｈから接着剤が被着体Ａへ移動することによって被着体に接着する。そして、本実施形態の接着テープ１ｃを使用する際においては、実施形態１および実施形態２と同様に、接着および剥離を実施する。したがって、本実施形態は、基材１１が配置されていないが、実施形態１および実施形態２と同様に、容易に位置決めを実施することができ、取扱いを容易にできる。
【０１０５】
＜実施例＞
以下より、本発明にかかる実施例について説明する。
【０１０６】
［実施例１］
本実施例においては、図１にて実施形態１として示した接着テープ１のように、貫通孔として多孔膜３１の孔Ｈを形成するために、以下のように、有機ポリマー、両親媒性物質、有機溶媒、水を配合し、３分間、超音波で撹拌することによって、逆ミセルが形成された塗布液を調整した。
【０１０７】
（塗布液）
有機ポリマー：ポリウレタン樹脂                                    １．０ｇ
両親媒性物質：ビス（２−エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウム）  ０．６ｇ
有機溶媒：トルエン                                                ２０ｍｌ
水                                                              ３．０ｍｌ
【０１０８】
そして、ブレードコータを用いて、この塗布液を剥離フィルム１０１に塗布した後に、乾燥空気（温度２５℃，相対湿度１７％）を流速３Ｌ／ｍｉｎ．で送風して乾燥させた。これによって、剥離フィルム１０１上に厚さが４．８μｍの多孔膜３１を形成した。
【０１０９】
つぎに、以下のように接着剤液を調整した。その後、ブレードコータを用いて、その接着剤液を基板１１に塗布し、乾燥させた。
【０１１０】
これによって、基材１１に１５μｍの接着剤層２１を形成した。
【０１１１】
（接着剤液）
接着剤：エポキシ樹脂                                          １００重量部
光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート      １５０重量部
光重合開始剤：ベンゾインイソプロピルエーテル                      ３重量部
硬化剤：ポリイソシアネート化合物                                  ４重量部
有機溶媒：酢酸エチルを加え固形分が３５重量％となるよう混合。
【０１１２】
つぎに、剥離フィルム１０１と基板１１とのそれぞれにおいて、多孔膜３１と接着剤層２１とのそれぞれが形成された面を互いに対面させて重ね合わせた。そして、ロールラミネータを用いて貼り合わせた。たとえば、３ｋｇ／ｃｍの圧力を加えてラミネートした。そして、互いに貼り合わされた接着剤層２１と多孔膜３１とから、剥離フィルム１０１を剥離することによって、接着剤層２１の上に多孔膜３１を形成し、実施例１の接着テープ１を完成させた。
【０１１３】
［実施例２］
本実施例においては、実施例１と異なり、以下のように塗布液を調整した。そして、実施例１と同様に、この塗布液を塗布することによって、厚さが６．４μｍの多孔膜３１を形成した。この点を除き、本実施例は実施例１と同様である。
【０１１４】
（塗布液）
有機ポリマー：ポリウレタン樹脂                                    １．０ｇ
両親媒性物質：ビス（２−エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウム）  ０．６ｇ
有機溶媒：トルエン                                                ２０ｍｌ
水                                                              １．５ｍｌ
【０１１５】
［実施例３］
本実施例においては、実施例１と異なり、以下のように塗布液を調整した。そして、実施例１と同様に、この塗布液を塗布することによって、厚さが５．１μｍの多孔膜３１を形成した。この点を除き、本実施例は実施例１と同様である。
【０１１６】
（塗布液）
有機ポリマー：ポリウレタン樹脂                                    １．０ｇ
両親媒性物質：ビス（２−エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウム）  ０．６ｇ
有機溶媒：トルエン                                                ２０ｍｌ
水                                                              ０．５ｍｌ
【０１１７】
［実施例４］
本実施例においては、図５にて実施形態２として示した接着テープ１ｂのように、非貫通孔として多孔膜３１の孔Ｈを形成するために、以下のように、有機ポリマー、両親媒性物質、有機溶媒、水を配合し、３分間、超音波で撹拌することによって、逆ミセルが形成された塗布液を調整した。
【０１１８】
（塗布液）
有機ポリマー：ポリウレタン樹脂                                    １．０ｇ
両親媒性物質：ビス（２−エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウム）  ０．６ｇ
有機溶媒：クロロホルム                                            ２０ｍｌ
水                                                              ０．５ｍｌ
【０１１９】
つぎに、ブレードコータを用いて、この塗布液を基材１１に塗布した後に、乾燥空気（温度２５℃，相対湿度１７％）を、流速３Ｌ／ｍｉｎ．で送風することで、乾燥させた。これによって、基材１１上に厚さが６．１μｍの多孔膜３１を形成した。
【０１２０】
つぎに、実施例１と同様に接着剤液を調整した後、その接着剤液を基板１１上に形成された多孔膜３１に塗布した。そして、その塗布した塗布液を乾燥させることによって、多孔膜３１の孔Ｈに接着剤２１を収容させて、実施例２の接着テープ１ｂを完成させた。
【０１２１】
［実施例５］
本実施例においては、図７にて実施形態３として示した接着テープ１ｃに示すように、非貫通孔として多孔膜３１の孔Ｈを形成するために、実施例２と同様に、塗布液を調整した。
【０１２２】
そして、実施例２と同様にして、この塗布液を剥離フィルム１０１に塗布後、乾燥させた。
【０１２３】
つぎに、実施例２と同様にして、接着剤液を調整後、その接着剤液を、剥離フィルム１０１に形成された多孔膜３１に塗布し乾燥させた。
【０１２４】
つぎに、剥離フィルム１０１を剥離して、本実施例の接着フィルム１ｃを完成させた。
【０１２５】
［実施例６］
本実施例においては、実施例１と異なり、以下のように塗布液を調整した。そして、実施例１と同様に、この塗布液を塗布することによって、厚さが５．８μｍの多孔膜３１を形成した。この点を除き、本実施例は実施例１と同様である。
【０１２６】
（塗布液）
有機ポリマー：ポリウレタン樹脂                                    １．０ｇ
両親媒性物質：ビス（２−エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウム）  ０．６ｇ
有機溶媒：トルエン                                                ２０ｍｌ
水                                                              ５．０ｍｌ
【０１２７】
［実施例７］
本実施例においては、実施例１と異なり、以下のように塗布液を調整した。そして、実施例１と同様に、この塗布液を塗布することによって、厚さが６．１μｍの多孔膜３１を形成した。この点を除き、本実施例は実施例１と同様である。
【０１２８】
（塗布液）
有機ポリマー：ポリウレタン樹脂                                    １．０ｇ
両親媒性物質：ビス（２−エチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウム）  ０．６ｇ
有機溶媒：トルエン                                                ２０ｍｌ
水                                                              ０．２ｍｌ
【０１２９】
［比較例１］
実施例１と同様に接着剤液を調整した後、この接着剤液を剥離フィルム１０１に塗布後、乾燥させ、接着フィルムを完成させた。
【０１３０】
実施例１〜７における、平均孔径と平均開口率、紫外線照射前と照射後の粘着力、位置決め性について、以下の表１に示す。なお、ここでは、各特性を以下のように測定した。
【０１３１】
粘着力：ＪＩＳ  Ｚ−０２３７に準じ、紫外線照射前後の粘着力を測定した（９０゜剥離、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）。紫外線照射は高圧水銀ランプを用いて、１０００ｍＪ／ｃｍ２の照射量で照射した。
【０１３２】
位置決め性：被着体として予めトルエンにて洗浄したステンレス板（ＳＵＳ３０４）を用い、接着テープを被着体上に配置した後、接着テープと被着体を圧着する前に被着体もしくは接着テープを容易に自由に動かして位置合わせすることが可能であったものを○、この動作が可能であったものを△、この動作が不可能であったものを×とした。
【０１３３】
【表１】
2007314728.tif 000004
【０１３４】
表１に示すように、実施例１から実施例７の各実施例は比較例に比べ、位置決め性に優れ、一応実用範囲の特性を示している。
平均開口率が２０％以上、７０％以下の実施例１から実施例５は、位置決め性と粘着力の両特性がともに優れている。これに対して、平均開口率が８１％の実施例６は、実施例１から実施例５に比べて、位置決め性に劣る。また平均開口率が１２％の実施例７は、実施例１から実施例５に比べて、粘着力がやや低い。以上のように、実施例６または実施例７は、実施例１から実施例５に比べて、位置決め性か粘着力のいずれかの特性が劣っている。
【０１３５】
なお、上記の実施形態において、接着テープ１，１ｂ，１ｃは、本発明の接着テープに相当する。また、上記の実施形態において、基材１１は、本発明の基材に相当する。また、上記の実施形態において、接着剤層２１，接着剤３２は、本発明の接着剤に相当する。また、上記の実施形態において、多孔膜３１は、本発明の多孔膜に相当する。
【０１３６】
また、本発明の実施に際しては、上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変形形態を採用することができる。
【０１３７】
たとえば、上記の実施形態においては、紫外線硬化性樹脂を接着剤として用いた場合について説明したが、これに限定されない。たとえば、熱硬化性樹脂を接着剤として用いてもよい。また、接着剤を硬化させて自己剥離させない場合においては、硬化性材料を用いずに、可塑性を有する接着剤を用いればよい。
【０１３８】
また、上記の実施形態においては、多孔膜を逆ミセル法によって形成する場合について説明したが、これに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【０１３９】
【図１】図１は、本発明にかかる実施形態１における接着テープ１を示す断面図である。
【図２】図２は、本発明にかかる実施形態１において、接着テープ１を製造する際の各工程における断面図である。
【図３】図３は、本発明にかかる実施形態１において、多孔膜３１を形成する工程を示すフロー図である。
【図４】図４は、本発明にかかる実施形態１において、接着テープ１を使用する際の各ステップにおける断面図である。
【図５】図５は、本発明にかかる実施形態２において、接着テープ１ｂを示す断面図である。
【図６】図６は、本発明にかかる実施形態２において、接着テープ１ｂを製造する際の各工程における断面図である。
【図７】図７は、本発明にかかる実施形態３において、接着テープ１ｃを示す断面図である。
【図８】図８は、本発明にかかる実施形態３において、接着テープ１ｃを製造する際の各工程における断面図である。
【符号の説明】
【０１４０】
１，１ｂ，１ｃ…接着テープ、
１１…基材、
２１…接着剤層、
３１…多孔膜、
３２…接着剤
【図１】
2007314728.tif 000005
【図２】
2007314728.tif 000006
【図３】
2007314728.tif 000007
【図４】
2007314728.tif 000008
【図５】
2007314728.tif 000009
【図６】
2007314728.tif 000010
【図７】
2007314728.tif 000011
【図８】
2007314728.tif 000012