(57)【要約】【課題】圧力室列の内側に配置された共通液室の幅を可能な限り小さくするとともに、この内側共通液室における液体の量が不足するのを防止すること。【解決手段】インクジェットヘッド１は、複数列の圧力室列２１よりも外側に配置された外側マニホールド１７ａと、複数列の圧力室列２１の間に配置された内側マニホールド１７ｂとを有し、外側マニホールド１７ａと内側マニホールド１７ｂは、各圧力室列２１に属する圧力室１４を区画する隔壁２４と重なる位置に形成された連通流路２６を介して連通しており、さらに、連通流路２６は、圧力室１４の配列平面に直交する方向に関して圧力室１４とは異なる位置に形成されており、連通流路２６と圧力室１４とが互いに異なる平面上に配置されている。【選択図】図２
2007190740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面に沿って配列され且つ複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とこれら複数の圧力室に連なる共通液室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に選択的に噴射圧力を付与する噴射圧付与手段を備え、
前記複数の圧力室は所定の第１方向に配列されて、前記第１方向と交差する第２方向に並ぶ複数列の圧力室列を構成しており、
前記共通液室は、
前記平面に直交する方向から見て、前記複数列の圧力室列のうちの前記第２方向に関して最も外側に位置する圧力室列のさらに外側において前記第１方向に延び、前記最も外側に位置する圧力室列に属する前記圧力室に連通する外側共通液室と、
前記平面に直交する方向から見て、互いに隣接する２列の前記圧力室列の間において前記第１方向に延び、前記２列の圧力室列にそれぞれ属する前記圧力室に連通する内側共通液室を少なくとも含んでおり、
前記外側共通液室と前記内側共通液室は、前記平面に直交する方向から見て各圧力室列に属する前記圧力室を区画する隔壁と重なる位置に形成された、液室連通流路を介して互いに連通しており、
さらに、前記液室連通流路は、前記平面に直交する方向に関して、前記圧力室とは異なる位置に形成されていることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
前記液室連通流路は、前記第２方向に延在していることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項３】
前記複数のノズルは、前記複数の圧力室とは異なる平面上に配置されており、
前記液室連通流路は、前記平面に直交する方向に関して、前記圧力室と前記ノズルとを連通させる連通路と同じ位置に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴噴射装置。
【請求項４】
前記液室連通流路の幅が前記隔壁の前記第１方向の長さよりも大きいことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液滴噴射装置。
【請求項５】
前記液室連通流路の、前記外側共通液室及び前記内側共通液室との連通部における幅が、その途中部における幅よりも大きいことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液滴噴射装置。
【請求項６】
前記液室連通流路は、各圧力室列に属する前記圧力室を区画する全ての前記隔壁と重なる位置にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液滴噴射装置。
【請求項７】
前記外側共通液室の幅は、前記内側共通液室の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液滴噴射装置。
【請求項８】
前記流路ユニットは、前記液体流路の一部がそれぞれ形成された複数枚のプレートが積層した構造を有し、
前記液室連通流路は、前記複数枚のプレートのうちの、前記圧力室が形成されたプレート以外のプレートに形成されていることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液滴噴射装置。
【請求項９】
前記液室連通流路は、前記プレートの一方の面に凹状に形成されていることを特徴とする請求項８に記載の液滴噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を噴射する液滴噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルからインクの液滴を噴射するインクジェットヘッドとして、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とこれら複数の圧力室にインクを供給する共通液室とを有し、複数の圧力室内のインクに選択的に圧力を付与することで、その選択された圧力室に連通するノズルから記録用紙に対してインクの液滴を噴射するように構成されているものがある。その中でも、例えば、特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、複数の圧力室（インクキャビティ）がシリアル型ヘッドの長手方向（紙送り方向）に配列されて、複数列（３列）の圧力室列を構成しており、さらに、これら複数列の圧力室列の外側の領域と、内側（隣接する圧力室列の間）の領域には、複数の圧力室にインクを供給する共通液室（インク供給室）がヘッドの長手方向にそれぞれ延在している。
【０００３】
ここで、隣接する２列の圧力室列の内側に配置された共通液室からは、その両側に位置する２列の圧力室列にそれぞれインクが供給される。そのため、多数のノズルから同時にインクを噴射する必要がある場合などに、この内側の共通液室から供給されるべきインクの量が一時的に大きくなるため、各々の圧力室に十分なインクを供給できなくなる虞がある。そこで、特許文献１のインクジェットヘッドにおいては、各圧力室列に属する複数の圧力室を区画する部分（隔壁、あるいは、桁部ともいう）に、内側の共通液室と外側の共通液室とを連通させるインク連通路が設けられている。そして、内側の共通液室から供給されるインクの量が一時的に大きくなったときには、外側の共通液室からインク連通路を介して内側の共通液室へインクが補充されるため、内側の共通液室においてインク不足が生じるのが極力防止される。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２９１３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、前述した特許文献１のインクジェットヘッドでは、内側の共通液室と外側の共通液室とを連通させるインク連通路が、各圧力室列に属する複数の圧力室を区画する隔壁に設けられていることから、各圧力室列における圧力室の間隔が大きくなってしまい、その分、ヘッドが大型化してしまう。
【０００６】
一方で、内側の共通液室において一時的にインク不足が生じるのを防止するには、前述のように、内側の共通液室と外側の共通液室を連通させる他に、内側の共通液室の幅を大きくすることも有効である。しかし、この場合には、この内側の共通液室に連なる２列の圧力室列に対応する２列のノズル列の間隔が大きくなり、それに伴ってヘッドの幅も大きくなることから、やはりヘッドが大型化してしまう。また、記録用紙が正規の送り方向からやや傾いて搬送されてしまった場合には、隣接する２列のノズル列の間隔が大きいほど、その送り方向の傾きに起因して生じる印字のムラ（バンディング）や白すじが大きくなるため、ノズル列の間隔が大きいほど印字品質が低下しやすい。
【０００７】
本発明の目的は、圧力室列の内側に配置された共通液室の幅を可能な限り小さくするとともに、この内側の共通液室における液体量が不足するのを防止することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００８】
第１の発明の液滴噴射装置は、平面に沿って配列され且つ複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とこれら複数の圧力室に連なる共通液室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に選択的に噴射圧力を付与する噴射圧付与手段を備え、前記複数の圧力室は所定の第１方向に配列されて、前記第１方向と交差する第２方向に並ぶ複数列の圧力室列を構成しており、前記共通液室は、前記平面に直交する方向から見て、前記複数列の圧力室列のうちの前記第２方向に関して最も外側に位置する圧力室列のさらに外側において前記第１方向に延び、前記最も外側に位置する圧力室列に属する前記圧力室に連通する外側共通液室と、前記平面に直交する方向から見て、互いに隣接する２列の前記圧力室列の間において前記第１方向に延び、前記２列の圧力室列にそれぞれ属する前記圧力室に連通する内側共通液室を少なくとも含んでおり、前記外側共通液室と前記内側共通液室は、前記平面に直交する方向から見て各圧力室列に属する前記圧力室を区画する隔壁と重なる位置に形成された、液室連通流路を介して互いに連通しており、さらに、前記液室連通流路は、前記平面に直交する方向に関して、前記圧力室とは異なる位置に形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
この液滴噴射装置においては、複数列の圧力室列の外側に配置された外側共通液室と、複数列の圧力室列の間に配置された内側共通液室とから、複数列の圧力室列を構成する圧力室にそれぞれ液体が供給される。そして、噴射圧付与手段により複数の圧力室内の液体に選択的に噴射圧力が付与されて、その噴射圧力が付与された圧力室に連通するノズルから液滴が噴射される。
【００１０】
ここで、外側共通液室と内側共通液室とが液室連通流路を介して連通しているため、多数のノズルから同時に液滴を噴射する場合など内側共通液室から供給される液体の量が多い場合には、外側共通液室から内側共通液室へ液室連通流路を介して液体が補充されることから、内側共通液室において液体不足が生じるのが防止される。そのため、内側共通液室の幅（その延在方向と直交する方向に関する長さ）を小さくして、この内側共通液室に連通する２列の圧力室列の間隔（これら２列の圧力室列にそれぞれ対応する２列のノズル列の間隔）を狭めることが可能となる。さらに、液室連通流路は、複数の圧力室が配列された平面と直交する方向に関して異なる位置に配置されている。つまり、液室連通流路と圧力室とが異なる平面上にそれぞれ配置されていることから、圧力室と液室連通流路を重ねて配置することが可能であり、各圧力室列における圧力室の間隔を大きくすることなく、幅の広い液室連通流路を設けることができる。
【００１１】
第２の発明の液滴噴射装置は、前記第１の発明において、前記液室連通流路は、前記第２方向に延在していることを特徴とするものである。この構成によれば、液室連通流路の長さをさらに短くすることができ、外側共通液室から内側共通液室への液体の補充をより迅速に行うことが可能となる。
【００１２】
第３の発明の液滴噴射装置は、前記第１又は第２の発明において、前記複数のノズルは、前記複数の圧力室とは異なる平面上に配置されており、前記液室連通流路は、前記平面に直交する方向に関して、前記圧力室と前記ノズルとを連通させる連通路と同じ位置に形成されていることを特徴とするものである。この構成によれば、互いに異なる平面上に位置する圧力室とノズルとが連通路を介して連通しており、液室連通流路と連通路とが、圧力室が配列された平面と直交する方向に関して同じ位置に配置されていることから、必然的に液室連通流路と圧力室とが互いに異なる平面上にそれぞれ配置されることになる。
【００１３】
第４の発明の液滴噴射装置は、前記第１〜第３の何れかの発明において、前記液室連通流路の幅が前記隔壁の前記第１方向の長さよりも大きいことを特徴とするものである。液室連通流路は、圧力室が配列された平面とは異なる平面上に配置されていることから、この構成のように、液室連通流路の幅（流路の延在方向と直交する方向に関する長さ）を、圧力室を区画する隔壁よりもさらに大きくして、外側共通液室と内側共通液室との間で液体を確実に流動させることができるようになる。
【００１４】
第５の発明の液滴噴射装置は、前記第１〜第４の何れかの発明において、前記液室連通流路の、前記外側共通液室及び前記内側共通液室との連通部における幅が、その途中部における幅よりも大きいことを特徴とするものである。この構成によれば、外側共通液室及び内側共通液室から液室連通流路へ液体が流れ込みやすくなり、外側共通液室と内側共通液室との間における液体の流動が促進される。
【００１５】
第６の発明の液滴噴射装置は、前記第１〜第５の何れかの発明において、前記液室連通流路は、各圧力室列に属する前記圧力室を区画する全ての前記隔壁と重なる位置にそれぞれ形成されていることを特徴とするものである。この構成によれば、全ての隔壁と重なる位置にそれぞれ液室連通流路が設けられていることから、内側共通液室に局所的な液体不足が生じてしまうのを確実に防止できる。
【００１６】
第７の発明の液滴噴射装置は、前記第１〜第６の何れかの発明において、前記外側共通液室の幅は、前記内側共通液室の幅よりも大きいことを特徴とするものである。この構成によれば、外側共通液室から内側共通液室へ十分な量の液体を供給することが可能になる。
【００１７】
第８の発明の液滴噴射装置は、前記第１〜第７の何れかの発明において、前記流路ユニットは、前記液体流路の一部がそれぞれ形成された複数枚のプレートが積層した構造を有し、前記液室連通流路は、前記複数枚のプレートのうちの、前記圧力室が形成されたプレート以外のプレートに形成されていることを特徴とするものである。この構成によれば、圧力室が形成されたプレートと別のプレートに液室連通流路が形成されていることから、必然的に、液室連通流路と圧力室とが異なる平面上に配置されることになる。
【００１８】
第９の発明の液滴噴射装置は、前記第８の発明において、前記液室連通流路は、前記プレートの一方の面に凹状に形成されていることを特徴とするものである。このように、液室連通流路がプレートの一方の面に凹状に形成されている場合には、液室連通流路がプレートを貫通する形状に形成されている場合とは異なり、液室連通流路によりプレートの各部分が分断されることがないし、また、プレートの剛性もある程度確保されるため、製造時の取り扱いが容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、液滴噴射装置として、記録用紙に対してインクの液滴を噴射するライン型のインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。
【００２０】
まず、本実施形態のインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタ１００の概略構成について説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１００は、記録用紙６の幅方向（走査方向：図１の左右方向）に延びるライン型のインクジェットヘッド１と、記録用紙６を図１の前方へ搬送する搬送ローラ２を備えている。インクジェットヘッド１は、インクタンク３からチューブ４を介して供給されたインクを、その下面において走査方向に配列された複数のノズル２０（図２〜図５参照）から記録用紙６に対して噴射して、所望の文字や画像等を記録用紙６に記録する。また、インクジェットヘッド１により画像等が記録された記録用紙６は、搬送ローラ２により前方（紙送り方向）へ排出される。
【００２１】
次に、インクジェットヘッド１について説明する。図２〜図５に示すように、インクジェットヘッド１は、ノズル２０、圧力室１４、及び、マニホールド１７等のインク流路が形成された流路ユニット７と、この流路ユニット７の上面に配置されて、複数の圧力室１４内のインクに選択的に噴射圧力を付与する圧電アクチュエータ８（噴射圧付与手段）とを備えている。
【００２２】
まず、流路ユニット７について説明する。図４、図５に示すように、流路ユニット７はキャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及びノズルプレート１３を備えており、これら４枚のプレート１０〜１３が積層状態で接合されている。このうち、キャビティプレート１０、ベースプレート１１及びマニホールドプレート１２はステンレス鋼製の板であり、これら３枚のプレート１０〜１２に、後述するマニホールド１７や圧力室１４等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート１３は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート１２の下面に接着される。あるいは、このノズルプレート１３も、３枚のプレート１０〜１２と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。
【００２３】
図２〜図５に示すように、４枚のプレート１０〜１３のうち、最も上方に位置するキャビティプレート１０には、複数の圧力室１４が平面に沿って配列されており、これら複数の圧力室１４は上下両側から後述の振動板３０及びベースプレート１１により覆われている。各圧力室１４は、平面視で紙送り方向（図２の上下方向）に長い、略楕円形状に形成されている。
【００２４】
複数の圧力室１４は、走査方向（図２の上下方向：第１方向）に配列されて、６列の圧力室列２１（２１ａ〜２１ｆ）を構成している。これら６列の圧力室列２１ａ〜２１ｆはそれぞれ走査方向に延びて、紙送り方向（第２方向）に順に並んでいる。尚、図２、図３に示すように、６列の圧力室列２１ａ〜２１ｆは、それらの配列方向（図２、図３の上下方向）に関してピッチＰだけずれて配置されている。また、各圧力室列２１を構成する複数の圧力室１４は隔壁２４により区画されている。
【００２５】
図３、図４に示すように、ベースプレート１１の、平面視で圧力室１４の両端部と重なる位置には、それぞれ連通孔１５，１６が形成されている。また、マニホールドプレート１２には、走査方向（図２の上下方向）に延びる４つのマニホールド１７（１７ａ，１７ｂ）が形成されている。これら４つのマニホールド１７は、後述の振動板３０に形成されたインク供給口１８に連通しており、インクタンク３（図１参照）からインク供給口１８を介してマニホールド１７へインクが供給される。
【００２６】
ここで、図２に示すように、４つのマニホールド１７のうち、２つのマニホールド１７ａ（外側共通液室）は、図２の左右方向（紙送り方向）両端に位置する圧力室列２１ａ，２１ｆよりもさらに外側の領域にそれぞれ配置されている。さらに、これら２つの外側マニホールド１７ａは、平面視で、左右両端の圧力室列２１ａ，２１ｆに属する複数の圧力室１４と部分的に重なっており、連通孔１５を介してこれらの圧力室１４に連通している。一方、残りの２つのマニホールド１７ｂ（内側共通液室）は、左から２列目の圧力室列２１ｂと３列目の圧力室列２１ｃの間の領域と、左から４列目の圧力室列２１ｄと５列目の圧力室列２１ｅの間の領域に、それぞれ配置されている。さらに、各々の内側マニホールド１７ｂは、平面視でその両側に位置する２列の圧力室列２１に属する圧力室１４と部分的に重なっており、連通孔１５を介してこれらの圧力室１４に連通している。また、外側マニホールド１７ａの幅（紙送り方向に関する長さ）は、内側マニホールド１７ｂの幅よりも大きくなっている。
【００２７】
また、図３〜図５に示すように、マニホールドプレート１２の、平面視で複数の圧力室１４のマニホールド１７と反対側の端部と重なる位置には、それぞれ、複数の連通孔１６に連なる複数の連通孔１９が形成されている。
【００２８】
さらに、ノズルプレート１３の、平面視で複数の連通孔１９にそれぞれ重なる位置には、複数のノズル２０が形成されている。図２に示すように、複数のノズル２０は、平面視で４つのマニホールド１７と重ならない領域（１，２列目の圧力室列２１ａ，２１ｂ間、３，４列目の圧力室列２１ｃ，２１ｄ間、及び、５，６列目の圧力室列２１ｅ，２１ｆ間の領域）において、走査方向（図２の上下方向）に配列されており、６列の圧力室列２１ａ〜２１ｆにそれぞれ対応する６列のノズル列２２ａ〜２２ｆを構成している。尚、６列のノズル列２２ａ〜２２ｆは、６列の圧力室列２１ａ〜２１ｆと同様に、それらの配列方向（図２、図３の上下方向）に関してピッチＰだけずれている。
【００２９】
そして、図４に示すように、マニホールド１７は連通孔１５を介して圧力室１４に連通し、さらに、圧力室１４は、連通孔１６，１９を介してノズル２０に連通している。このように、流路ユニット７内には、マニホールド１７から圧力室１４を経てノズル２０に至る個別インク流路２５が複数形成されている。
【００３０】
ところで、隣接するノズル列２２の間隔が大きいと、その分、インクジェットヘッド１の幅が広がることになり、サイズが大きくなってしまう。さらに、図６（ａ），（ｂ）に示すように、記録用紙６が正規の紙送り方向からある角度θだけ傾いて搬送されてしまった場合に、隣接する２列のノズル列２２の間隔が大きいほど（図６（ｂ））、各ノズル２０から噴射されたインクにより形成される線（ドット）の間隔がばらついて、印字のムラ（バンディング）や白すじが大きくなり、印字品質が大きく低下する。そのため、内側マニホールド１７ｂの幅をできるだけ小さくして、ノズル列２２ｂとノズル列２２ｃの間隔、及び、ノズル列２２ｄとノズル列２２ｅの間隔を小さくすることが好ましい。
【００３１】
しかし、その一方で、内側マニホールド１７ｂの幅を小さくすると、この内側マニホールド１７ｂの容積が減るため、１つの内側マニホールド１７ｂからインクが供給される複数のノズル２０から同時にインクが噴射される場合など、供給すべきインクの量が一時的に大きくなる場合に、内側マニホールド１７ｂにインク不足が生じ、各圧力室１４に対して十分な量のインクを供給できなくなる虞がある。
【００３２】
そこで、図２、図３、図５に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド１においては、マニホールドプレート１２に、外側マニホールド１７ａと内側マニホールド１７ｂを連通させる複数の連通流路２６（液室連通流路）が形成されている。図２、図３に示すように、これら複数の連通流路２６は、各圧力室列２１に属する複数の圧力室１４を区画する隔壁２４と重なる位置に配置されている。そのため、内側マニホールド１７ｂのインクが一時的に不足したときには、これらの連通流路２６を介して外側マニホールド１７ａからインクが補充される。尚、内側マニホールド１７ｂに局所的なインク不足が生じるのを確実に防止するために、図２に示すように、連通流路２６は、全ての隔壁２４と重なる位置にそれぞれ配置されていることが好ましい。
【００３３】
尚、各連通流路２６は、紙送り方向（図２、図３の左右方向）に延在している。つまり、外側マニホールド１７ａと内側マニホールド１７ｂを最短距離で結んでおり、外側マニホールド１７ａから内側マニホールド１７ｂへ速やかにインクが供給されるようになっている。また、図３に示すように、各連通流路２６の、外側マニホールド１７ａ及び内側マニホールド１７ｂとの連通部における幅Ｂ１は、その途中部における幅Ｂ２よりも大きくなっている。そのため、外側マニホールド１７ａ及び内側マニホールド１７ｂから連通流路２６へインクが流入しやすくなっており、外側マニホールド１７ａと内側マニホールド１７ｂの間におけるインクの移動が速やかに行われる。
【００３４】
また、図５に示すように、互いに異なる平面上に位置する圧力室１４とノズル２０とがプレートの厚み方向に延びる連通孔１６，１９を介して連通しており、複数の連通流路２６は、連通孔１９（連通路）と、プレート厚み方向（圧力室１４の配列平面と直交する方向）に関して同じ位置に配置されている。言い換えれば、連通流路２６は、圧力室１４が形成されたキャビティプレート１０とは別のプレートである、マニホールドプレート１２に形成されていることから、圧力室１４と連通流路２６はプレートの厚み方向に関する位置が互いに異なっており、圧力室１４と連通流路２６は互いに異なる平面上にそれぞれ配置されている。そのため、連通流路２６と圧力室１４とを、平面視で重なるように配置することが可能となっている。本実施形態においては、図３、図５に示すように、連通流路２６は、平面視で圧力室１４の外縁近傍部と重なるように形成されており、連通流路２６の幅Ｂ１は、隔壁２４の幅Ｂ３よりも大きくなっている。従って、各圧力室列２１における圧力室１４の間隔を極力小さくしてインクジェットヘッド１の小型化を図りつつも、連通流路２６の幅を広く確保して内側マニホールド１７ｂへのインクの補充をさらに促進することが可能になる。
【００３５】
尚、図５に示すように、連通流路２６は、マニホールドプレート１２の上面に、ハーフエッチング等により凹状に形成されている。そのため、連通流路２６がプレート１２を貫通する孔により形成されている場合とは異なり、連通流路２６によってマニホールドプレート１２の各部分が分断されることがないし、また、マニホールドプレート１２の剛性もある程度確保されることから、製造時の取り扱いが容易になる。尚、連通流路２６は、マニホールドプレート１２の下面に凹状に形成されていてもよい。
【００３６】
次に、圧電アクチュエータ８について説明する。図２〜図５に示すように、圧電アクチュエータ８は、流路ユニット７の上面に配置された振動板３０と、この振動板３０の上面に複数の圧力室１４に跨って連続的に形成された圧電層３１と、この圧電層３１の上面に複数の圧力室１４にそれぞれ対応して形成された複数の個別電極３２とを有する。
【００３７】
振動板３０は、平面視で略矩形状の金属材料からなる導電性を有する板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板３０は、キャビティプレート１０の上面に複数の圧力室１４を覆うように配設されて、キャビティプレート１０に接合されている。また、この振動板３０は常にグランド電位に保持されており、複数の個別電極３２に対向して個別電極３２と振動板３０との間の圧電層３１に厚み方向の電界を作用させる共通電極を兼ねている。
【００３８】
振動板３０の上面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電層３１が形成されている。この圧電層３１は、複数の圧力室１４に跨って連続的に形成されている。また、圧電層３１は、例えば、超微粒子材料を高速で衝突させて堆積させるエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）を用いて形成できる。その他、ゾルゲル法、スパッタ法、水熱合成法、あるいは、ＣＶＤ（化学蒸着）法を用いることもできる。さらに、ＰＺＴのグリーンシートを焼成することにより得られた圧電シートを振動板３０の表面に貼り付けて圧電層３１を形成することもできる。
【００３９】
圧電層３１の上面には、圧力室１４よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有する複数の個別電極３２が形成されている。これら個別電極３２は、平面視で対応する圧力室１４の中央部に重なる位置にそれぞれ形成されている。また、個別電極３２は金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタンなどの導電性材料からなる。さらに、複数の個別電極３２の一端部（マニホールド１７側の端部）からは、それぞれ個別電極３２の楕円長軸方向に複数の接点部３５が引き出されている。そして、これら複数の接点部３５には、フレキシブルプリント配線板（Flexible Printed Circuit：ＦＰＣ）等の可撓性を有する配線部材（図示省略）の接点が接合され、この配線部材を介して、複数の個別電極３２に対して選択的に駆動電圧を供給するドライバＩＣ３７と電気的に接続されている。尚、複数の個別電極３２及び複数の接点部３５は、例えば、スクリーン印刷、スパッタ法、あるいは、蒸着法等により形成することができる。
【００４０】
次に、ノズル２０からインクの液滴を噴射させる際の圧電アクチュエータ８の作用について説明する。複数の個別電極３２に対してドライバＩＣ３７から選択的に駆動電圧が印加されると、駆動電圧が印加された圧電層３１上側の個別電極３２とグランド電位に保持されている圧電層３１下側の共通電極としての振動板３０の電位が異なる状態となり、個別電極３２と振動板３０の間に挟まれた圧電層３１に厚み方向の電界が生じる。ここで、圧電層３１の分極方向と電界の方向とが同じ場合には、圧電層３１はその分極方向である厚み方向に伸びて水平方向に収縮する。そして、この圧電層３１の収縮変形に伴って振動板３０が圧力室１４側に凸となるように変形するため、圧力室１４内の容積が減少して圧力室１４内のインクに噴射圧力が付与され、圧力室１４に連通するノズル２０からインクの液滴が噴射される。
【００４１】
ここで、前述したように、インクジェットヘッド１の小型化及び印字品質の向上を実現するために、本実施形態では、隣接する２列の圧力室列２１の間に位置する内側マニホールド１７ｂの幅は狭くなっており、その分、内側マニホールド１７ｂの容積が小さくなって収容されるインクの量は少なくなっている。その一方で、内側マニホールド１７ｂは２列の圧力室列２１にそれぞれ属する圧力室１４に連通しており、１列の圧力室列２１に属する圧力室１４のみに連通している外側マニホールド１７ａよりもインクを供給すべき圧力室１４の数は多い。そのため、多数のノズル２０から一度にインクを噴射する場合や圧電アクチュエータ８の駆動周波数が高い（噴射間隔が短い）場合など、内側マニホールド１７ｂから供給すべきインク量が急激に増大したときに、内側マニホールド１７ｂから各圧力室１４へ十分なインクを供給できなくなる虞がある。
【００４２】
しかし、本実施形態においては、圧力室１４を区画する全ての隔壁２４と重なる位置にそれぞれ複数の連通流路２６が設けられており、外側マニホールド１７ａと内側マニホールド１７ｂとが、これら複数の連通流路２６を介して連通している。従って、内側マニホールド１７ｂからのインク供給量が多いときには、外側マニホールド１７ａから内側マニホールド１７ｂへ速やかにインクが補充されることになり、内側マニホールド１７ｂにインク不足が生じるのを極力防止できる。尚、本実施形態では、外側マニホールド１７ａの幅は、内側マニホールド１７ｂの幅よりも大きいため、外側マニホールド１７ａから内側マニホールド１７ｂへ十分な量のインクを供給することが可能である。
【００４３】
さらに、複数の連通流路２６は、圧力室１４が形成されたキャビティプレート１０とは別のプレートである、マニホールドプレート１２に形成されていることから、圧力室１４と連通流路２６はプレート厚み方向の位置が互いに異なっており、圧力室１４と連通流路２６は互いに異なる平面上に配置されている。そのため、連通流路２６と圧力室１４とを、平面視で重なるように配置することができ、各圧力室列２１に属する圧力室１４の間隔を極力小さくしてインクジェットヘッド１の小型化を図りつつも、連通流路２６の幅（流路面積）を大きくして内側マニホールド１７ｂへのインクの補充をさらに促進することができる。
【００４４】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
１］図７、図８に示すように、連通流路２６Ａが、隔壁２４と重なる領域だけでなく、ノズル２０及び連通孔１６，１９の周囲の領域まで延びて、ノズル２０及び連通孔１６，１９の近傍部を取り囲むように形成されており、複数の連通流路２６Ａが、圧力室１４の下側において互いに連通していてもよい。この構成によれば、外側マニホールド１７ａと内側マニホールド１７ｂとの間で、複数の連通流路２６Ａを介してさらにインクが流動しやすくなるため、外側マニホールド１７ａから内側マニホールド１７ｂへのインクの補充がさらに速やかに行われることになる。
【００４５】
２］前記実施形態では、各圧力室列２１に属する複数の圧力室１４を区画する、全ての隔壁２４と重なる位置に連通流路２６がそれぞれ配置されているが、少なくとも何れか１つの隔壁２４と重なる位置に連通流路２６が設けられていれば、外側マニホールド１７ａから内側マニホールド１７ｂへインクを補充することが可能である。
【００４６】
以上説明した実施形態及びその変更形態は、ライン型のインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、本発明は、所定の一方向に移動しながら記録用紙に対してインクを噴射する、シリアル型のインクジェットヘッドにも適用可能である。
【００４７】
また、インクを噴射するインクジェットヘッド以外の液滴噴射装置に本発明を適用することもできる。例えば、導電ペーストを噴射して基板上に微細な配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に噴射して高精細ディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に噴射して光導波路等の微小光学デバイスを形成する際などに用いられる、種々の液滴噴射装置に本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】ライン型インクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図３】図２のＡ部拡大図である。
【図４】図３のIV-IV線断面図である。
【図５】図３のV-V線断面図である。
【図６】隣接するノズル列の間隔が印字品質に及ぼす影響を示す図であり、（ａ）はノズル列の間隔が狭い場合、（ｂ）はノズル列の間隔が広い場合をそれぞれ示す。
【図７】変更形態のインクジェットヘッドの図３相当の拡大図である。
【図８】図７のVIII-VIII線断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  インクジェットヘッド
７  流路ユニット
８  圧電アクチュエータ
１０  キャビティプレート
１１  ベースプレート
１２  マニホールドプレート
１３  ノズルプレート
１４  圧力室
１７ｂ  内側マニホールド
１７ａ  外側マニホールド
１９  連通孔
２０  ノズル
２１  圧力室列
２４  隔壁
２６，２６Ａ  連通流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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