(57)【要約】【課題】  射出成形性に優れ、高い機械的強度と耐衝撃性、ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、各種イオン量を低く抑えたシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物、およびそれを使用したシリコンウェーファー搬送治具の提供。【解決手段】  ポリエステルブロック共重合体（Ａ）５〜１００重量部と、芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）９５〜０重量％とからなり、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａであって、そのペレットＹｇ（Ｙは正数）を電気伝導率が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、濾過した抽出水のイオン濃度が、塩素イオン濃度２０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度２０ｐｐｂ以下、ナトリウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たすことを特徴とするシリコンウェーファー搬送冶具用樹脂組成物。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから得られるポリエステル単位からなる高融点結晶性重合体セグメント（ａ）１０〜９９重量％と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる低融点重合体セグメント（ｂ）９０〜１重量％とを主たる構成成分とするポリエステルブロック共重合体（Ａ）５〜１００重量部と、芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）９５〜０重量％とからなり、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａであって、そのペレットＹｇ（Ｙは正数）を電気伝導率が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、抽出水のイオン濃度が、塩素イオン濃度２０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度２０ｐｐｂ以下、ナトリウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たすことを特徴とするシリコンウェーファー搬送冶具用樹脂組成物。
【請求項２】
ポリエステルブロック共重合体（Ａ）の高融点結晶性重合体セグメント（ａ）がポリブチレンテレフタレート単位で構成されることを特徴とする請求項１に記載のシリコンウェーファー搬送冶具用樹脂組成物。
【請求項３】
ポリエステルブロック共重合体（Ａ）の高融点結晶性重合体セグメント（ａ）が、ポリブチレンテレフタレート単位とポリブチレンイソフタレート単位からなるポリエステル共重合体で構成されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシリコンウェーファー搬送冶具用樹脂組成物。
【請求項４】
ポリエステルブロック共重合体（Ａ）の低融点重合体セグメント（ｂ）を構成するポリアルキレングリコール成分が、ポリ（テトラメチレンオキシド）グリコールからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のシリコンウェーファー搬送冶具用樹脂組成物。
【請求項５】
芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）がポリブチレンテレフタレート樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のシリコンウェーファー搬送冶具用樹脂組成物。
【請求項６】
ペレットＹｇ（Ｙは正数）を、電気伝導度が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、抽出水のイオン濃度が、塩素イオン濃度１０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度１０ｐｐｂ、ナトリウムイオン濃度１０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度１０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たす請求項１〜５のいずれか１項に記載のシリコンウェーファー搬送冶具用樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の樹脂組成物を成形してなるシリコンウェーファー搬送治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、射出成形性に優れ、高い機械的強度、ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、各種イオン量を低く抑えたシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステルブロック共重合体組成物およびそれからなるシリコンウェーファー搬送治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコンウェーファー搬送用容器、およびそれに付随した治具に代表される用途においては、容器内に格納されるシリコンウェーファーを汚染しない低汚染性熱可塑性樹脂が求められているが、近年、この汚染性レベルのより低いものが求められるようになってきている。シリコンウェーファーハー表面に付着する汚染物質はシリコンウェーファーの電気特性などの品質に影響を及ぼすものであるが、シリコンウェーファーの大口径化やシリコンウェーファー上に形成される回路の細径化に伴い、シリコンウェーファーの汚染による歩留まりを低く抑える必要がある。また、特に、シリコンウェーファー搬送用容器の治具には、低汚染性でありながら、高い機械的強度と耐衝撃性ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有する素材が要求される。
【０００３】
シリコンウェーファー搬送容器に用いる素材としては、ポリブチレンテレフタレート樹脂とポリエーテルエステルのようなポリエステルエラストマを混合して得られる樹脂組成物が、衝撃強さ、耐屈曲疲労性、耐落下衝撃性に優れることが知られていて（特許文献１、２、３参照）、特に特許文献３には、このような樹脂組成物が家電ハウジング用に適していることが開示されている。
【０００４】
さらに、特定の芳香族ポリエステル樹脂組成物と、特定のポリエーテルエステルブロック共重合体からなり、シリコンウェーファーを汚染する揮発性ガス発生量を低く抑えたシリコンウェーファー搬送用容器に適したハウジング用ポリエステル樹脂組成物も知られている（特許文献４参照）。また、芳香族ポリエステル樹脂とポリエーテルエステルブロック共重合体からなるシリコンウェーファー表面に付着する有機物の量を低く抑えたシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物が知られている（特許文献５参照）。
【０００５】
しかるに、上記特許文献１、２、３に開示された樹脂組成物は、確かに、衝撃強さ、耐屈曲疲労性等に優れているが、低汚染性を考慮されたものではないため、これらの樹脂組成物をシリコンウェーファー搬送治具に使用した場合には、シリコンウェーファー表面に有機物などが付着し汚染してしまう。
【０００６】
また、上記特許文献４で開示された樹脂組成物は触媒残量を少なくすることにより揮発性ガスの発生量を低く抑えられていて、上記特許文献５に開示された樹脂組成物は、溶融混練時に脱気をすることにより、あるいは樹脂組成物を１００℃〜１４０℃の高温で脱気することによりシリコンウェーファー表面付着有機物の量が抑制されていて、シリコンウェーファーへの有機物の汚染はかなり改善されてきた。しかしながら、それでもシリコンウェーファー搬送容器に入れたシリコンウェーファーの表面には汚染物質が存在し、パーティクルが発生するなどの問題が依然起こっている。したがって、これらの汚染が何に起因しており、どのような手段をとれば汚染を防止できるかを検討することが急務となっていた。
【特許文献１】特開昭６０−３５０５０号公報
【特許文献２】特開平９−３３０７号公報
【特許文献３】特開平９−３３０９号公報
【特許文献４】特開２０００−７２９５９号公報
【特許文献５】特開２００４−２１７８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上述した従来技術における問題点の解決を課題として検討した結果なされたものである。
【０００８】
したがって、本発明の目的は、射出成形性に優れ、高い機械的強度と耐衝撃性、ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、かつシリコンウェーファーの汚染を防止したシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物、及びそれからなるシリコンウェーファー搬送治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、上記の目的を達成するために鋭意検討した結果、材料となるポリエステルブロック共重合体のイオン濃度を減らすことによりシリコンウェーファーの汚染が急激に防止されることを見出し次のような本発明に至った。
【００１０】
すなわち、本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物は、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから得られるポリエステル単位からなる高融点結晶性重合体セグメント（ａ）１０〜９９重量％と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる低融点重合体セグメント（ｂ）９０〜１重量％とを主たる構成成分とするポリエステルブロック共重合体（Ａ）５〜１００重量部と、芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）９５〜０重量％とからなり、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａであって、そのペレットＹｇ（Ｙは正数）を電気伝導率が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、抽出水のイオン濃度が、塩素イオン濃度２０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度２０ｐｐｂ以下、ナトリウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たすことを特徴とするものである。
【００１１】
なお、本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物においては、
前記ポリエステルブロック共重合体（Ａ）の高融点結晶性重合体セグメント（ａ）がポリブチレンテレフタレート単位で構成されること、
前記ポリエステルブロック共重合体（Ａ）の高融点結晶性重合体セグメント（ａ）がポリブチレンテレフタレート単位とポリブチレンイソフタレート単位からなるポリエステル共重合体で構成されること、
前記ポリエステルブロック共重合体（Ａ）の低融点重合体セグメント（ｂ）を構成するポリアルキレングリコール成分が、ポリ（テトラメチレンオキシド）グリコールから構成されること、
前記芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）がポリブチレンテレフタレート樹脂であること、
前記ペレットＹｇ（Ｙは正数）を、電気伝導度が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、抽出水のイオン濃度が、塩素イオン濃度１０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度１０ｐｐｂ、ナトリウムイオン濃度１０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度１０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たすこと、
が、いずれも好ましい条件であり、これらの条件を適用することにより、一層優れた効果の取得を期待することができる。
【００１２】
また、本発明のシリコンウェーファー搬送治具は、前記シリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物からなるものが提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、以下に説明するとおり、射出成形性に優れ、高い機械的強度と耐衝撃性、ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、かつシリコンウェーファーの汚染を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明について詳述する。
【００１５】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物は基本的には、ポリエステルブロック共重合体と少量のイオン性物質から構成されるが、そのほかにポリブチレンテレフタレートなどの芳香族ポリエステル樹脂を大量に含むことも好ましい。
【００１６】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物を形成するポリエステルブロック共重合体（Ａ）の高融点結晶性重合体セグメント（ａ）は、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから形成されるポリエステルであり、好ましくはテレフタル酸および／またはジメチルテレフタレートと１，４−ブタンジオールから誘導されるポリブチレンテレフタレートである。この他に、芳香族ジカルボン酸としては、イソフタル酸、フタル酸、ナフタレン−２，６−ジカルボン酸、ナフタレン−２，７−ジカルボン酸、ジフェニル−４，４’−ジカルボン酸、ジフェノキシエタンジカルボン酸、５−スルホイソフタル酸、あるいはこれらのエステル形成性誘導体などを単独で、あるいはテレフタル酸と共に用いることができる。特に、ポリブチレンテレフタレート単位とポリブチレンイソフタレート単位から構成されるポリエステル共重合体は好ましい。また、全ジオール成分のうち１０モル％以下の少量であれば、エチレングリコール、トリメチレングリコール、ペンタメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、ネオペンチルグリコール、デカメチレングリコールなどの分子量が３００以下の脂肪族ジオールを、１，４−ブタンジオールと共に用いることができる。また、３官能以上の多官能カルボン酸成分、多官能オキシ酸成分および多官能ヒドロキシ成分などを５モル％以下の範囲で共重合することも可能である。
【００１７】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物を形成するポリエステルブロック共重合体（Ａ）の低融点重合体セグメント（ｂ）は、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる。このようなポリアルキレングリコールとしては、ポリ（エチレンオキシド）グリコール、ポリ（プロピレンオキシド）グリコール、ポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール、ポリ（ヘキサメチレンオキシド）グリコール、エチレンオキシドとプロピレンオキシドの共重合体、ポリ（プロピレンオキシド）グリコールのエチレンオキシド付加重合体、エチレンオキシドとテトラヒドロフランの共重合体、ネオペンチレンオキシドとテトラメチレンオキシドからなる共重合体などが挙げられる。これらのポリアルキレングリコールのなかで、得られるポリエーテルエステルブロック共重合体の弾性特性からポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール、およびポリ（プロピレンオキシド）グリコールのエチレンオキシド付加物、エチレンオキシドとテトラヒドロフランの共重合体、ネオペンチレンオキシドとテトラメチレンオキシドからなる共重合体が好ましく、ポリ（テトラメチレンオキシド）グリコールが特に好ましい。
【００１８】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物を形成するポリエステルブロック共重合体（Ａ）は、高融点重合体セグメント（ａ）１０〜９９重量％、好ましくは１５〜９７重量％、さらに好ましくは２０〜９５重量と、低融点重合体セグメント（ｂ）９０〜１重量％、好ましくは８５〜３重量％、さらに好ましくは８０〜５重量％を主たる構成成分とする。
【００１９】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物を形成するポリエステルブロック共重合体（Ａ）の好ましい製造方法としては、例えば、ジカルボン酸の低級アルコールジエステル、過剰量の低分子量グリコール、および低融点重合体セグメント成分を、チタン化合物およびヒンダードフェノール化合物の存在下にエステル交換反応せしめ、得られる反応生成物を重縮合する方法。あるいはジカルボン酸と過剰量のグリコールおよび低融点重合体セグメント成分を、チタン化合物、スズ化合物およびヒンダードフェノール化合物の存在下にエステル化反応せしめ、得られる反応生成物を重縮合する方法。また、あらかじめチタン化合物、スズ化合物およびヒンダードフェノール化合物の存在下に高融点結晶性セグメントを作っておき、これに低融点セグメント成分を添加してエステル交換反応によりランダム化せしめる方法などが挙げられる。
【００２０】
本発明に用いるポリエステルブロック共重合体（Ａ）は、液相重縮合反応を行ってペレット化した後に、その融点よりも低い温度で固相重縮合反応を行ってもよい。
【００２１】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物に含まれることができる芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）とは、テレフタル酸やナフタレンジカルボン酸などの芳香族ジカルボン酸、またはそのエステル形成性誘導体と、エチレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，４−ブタンジオールなどの脂肪族ジオールまたはそのエステル形成性誘導体とを主成分とし、重縮合反応によって得られる重合体である。これらの中でもポリブチレンテレフタレート樹脂が好ましく用いられる。
【００２２】
本発明に用いる芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）の好ましい製造方法としては、例えば、ジカルボン酸の低級アルコールジエステル、過剰量の低分子量グリコールを、チタン化合物およびヒンダードフェノール化合物の存在下にエステル交換反応せしめ、得られる反応生成物を重縮合する方法。あるいはジカルボン酸と過剰量のグリコールを、チタン化合物、スズ化合物およびヒンダードフェノール化合物の存在下にエステル化反応せしめ、得られる反応生成物を重縮合する方法などが挙げられる。
【００２３】
本発明に用いる芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）は、液相重縮合反応を行ってペレット化した後に、その融点よりも低い温度で固相重縮合反応を行ってもよい。
【００２４】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物は、ポリエステルブロック共重合体（Ａ）（厳密には各種イオン性物質を含む樹脂組成物であるが、イオン性物質は極めて少ない量であるため量的には無視しうる）５〜１００重量％、好ましくは１０〜１００重量％と、芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）９５〜０重量％、好ましくは９０〜０重量％、から形成される。芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）の配合量が９５重量％を越えると、組成物の曲げ弾性率が高すぎて適度な硬さと適度なクッション性が失われてしまう。
【００２５】
本発明の芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）を含むシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物の製造方法として、溶融混練する方法は特に限定されるものではないが、例えば、ポリエステルブロック共重合体（Ａ）と芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）とを配合した原料をスクリュー型押出機に供給し溶融混練する方法、またスクリュー型押出機に、まず芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）を供給して溶融し、さらに他の供給口よりポリエステルブロック共重合体（Ａ）を供給して混練する方法など、適宜採用することができる。
【００２６】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物は、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａである。この範囲から外れると、シリコンウェーファー搬送治具としての特性が不十分となり、シリコンウェーファーを保持するための搬送治具材料として使用される場合にクッション性が失われる。
【００２７】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物は、そのペレットＹｇ（Ｙは正数）を、電気伝導率が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、水のイオン濃度が、塩素イオン濃度２０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度２０ｐｐｂ以下、ナトリウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たすものである。好ましくは、抽出水のイオン濃度が、塩素イオン濃度１０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度１０ｐｐｂ以下、ナトリウムイオン濃度１０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度１０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たすものである。抽出水のイオン濃度は任意の方法により測定されるが、ｐｐｂオーダーの定量分析が可能なイオンクロマトグラフ法が好ましい。このイオン濃度を測定する分析で使用するペレットは、特に限定されないが、ストランド状の樹脂をペレタイズしたペレット、アンダーウォーターカッターで溶融樹脂をペレタイズしたペレット、数ｍｍ厚でシート状にした樹脂をカットしたペレットなど、があげられる。またペレットの形状は、通常の樹脂ペレットのものであれば特に限定されないが、例えば、円柱状、楕円柱状、球状、楕円球状、四角柱状などのペレット形状があげられ、６ｍｍ×６ｍｍ×６ｍｍの立方体に含まれる大きさのものが好ましく使用される。
【００２８】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物において、ペレットＹｇ（Ｙは正数）を、電気伝導率が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、抽出水のイオン濃度を低下させる方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、ポリエステルブロック共重合体、またはその組成物を水で洗浄し樹脂表面に付着したイオンを除去する方法があげられる。具体的には、例えば、ポリエステルブロック共重合体、またはその組成物のペレットを洗浄する方法、ポリエステルブロック共重合体（Ａ）と芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）を溶融混練した後、冷却固化してからストランドガットを洗浄する方法などがあげられる。その洗浄に使用する水は、工業用水や水道水など特に限定するものではないが、イオン濃度の低い水を使用することが樹脂表面に付着したイオンの除去効率が高く好ましい。洗浄後に樹脂に付着した水は、圧空を吹きかけたり、吸引したりして、強制的除去することで、イオンを水と一緒に除去することができ、樹脂表面の残存イオンを減らすのにさらに好ましい。またポリエステルブロック共重合体、またはその組成物の製造工程で、樹脂の表面にイオンが付着しにくくする方法もあげられるが、例えば、ポリエステルブロック共重合体（Ａ）と芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）を溶融混練した後で、溶融樹脂の冷却にイオン濃度の低い水を使用する方法、ポリエステルブロック共重合体（Ａ）や芳香族ポリエステル（Ｂ）の製造における重縮合反応後の溶融樹脂の冷却水に、イオン濃度を低い水を使用し、原料の製造工程から樹脂表面にイオンを付着しにくくしたりする方法などがあげられる。
【００２９】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物において、製造工程における洗浄や冷却などに使用されるイオン濃度の低い水には、塩素イオン濃度が１００ｐｐｂ以下、および／または硫酸イオン濃度が１００ｐｐｂ以下、および／またはナトリウムイオン濃度が１００ｐｐｂ以下、および／またはカルシウムイオン濃度が１００ｐｐｂ以下の水を用いることが好ましい。このようなイオン濃度の低い水の具体例としては、例えば活性炭を通した水、蒸留水、精密濾過膜（ＭＦ膜）、限界濾過過膜（ＵＦ膜）、ナノ濾過膜（ＮＦ膜）、浸透膜（ＲＯ膜）などの濾過膜を通した濾過水、イオン交換樹脂を通したイオン交換水、またはこれらの純水化の方法を組み合わてなる純水などを用いることかでき、これらの中でもイオン交換樹脂に通したイオン交換水を好ましく用いることができる。イオン交換水を得るために用いられるイオン交換樹脂としては、市販されているものや公知のものであれば特に限定されるものではないが、例えばアニオン交換樹脂およびカチオン交換樹脂を組み合わせたイオン交換樹脂などを用いることができる。
【００３０】
このようにして、本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物に残存する塩素イオン、硫酸イオン、ナトリウムイオン、あるいはカルシウムイオンの各種イオン量は減少させることができるが、さらに硝酸イオン、亜硝酸イオン、カリウムイオン、マグネシウムイオン、アンモニウムイオンなどの他のイオンについても同時に残存量を低くすることもできる。
【００３１】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物は、射出成形性に優れ、シリコンウェーファー搬送治具に適した高い機械的強度と耐衝撃性ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、しかもシリコンウェーファー表面付着有機物の量が低く抑えられているため、シリコンウェーファー搬送治具用途に、極めて有用である。
【００３２】
本発明のシリコンウェーハー搬送冶具用ポリエステル樹脂組成物、およびそれからなるシリコンウェーファーにおいて、本発明の目的を損なわない範囲で種々の添加剤を添加することができる。例えば、公知の結晶核剤や滑剤などの成形助剤、ヒンダードフェノール系化合物、チオエーテル系化合物、亜リン酸系化合物、芳香族アミン系化合物などの酸化防止剤、紫外線吸収剤、ヒンダードアミン系化合物である耐光剤、耐加水分解改良剤、帯電防止剤、導電剤、難燃剤、補強剤、充填剤、可塑剤、離型剤、および着色剤などを任意に含有することができる。
【実施例】
【００３３】
以下に実施例によって本発明の効果を説明する。なお、実施例中の％および部とは、ことわりのない場合すべて重量基準である。また、実施例中に示される物性は次のように測定した。
［相対粘度］
ｏ−クロロフェノールを溶媒とした０．５％のポリマ溶液を温度２５℃で測定した。
［融点］
差動走査熱量計（Du Pont社製DSC-910型）を使用して、窒素ガス雰囲気下で、１０℃／分の昇温速度で加熱した時の融解ピークの頂上温度を測定した。
［溶融粘度指数（ＭＦＲ）］
ＡＳＴＭ  Ｄ−１２３８にしたがって温度２５０℃、荷重２１６０ｇで測定した。
［硬度（ショアＤ）］
ＪＩＳ  Ｋ７２１５に従って測定した。
［曲げ弾性率］
ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した。
［曲げ強さ］
ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した。
［ペレットの抽出水イオン濃度］
ポリエステルブロック共重合体、あるいはその組成物のペレット３０ｇを、電気伝導率が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水３０ｍｌに室温で２４時間静置した後、抽出水のイオン濃度として、塩素イオン濃度、硫酸イオン濃度、ナトリウムイオン濃度、カルシウムイオン濃度を以下のイオンクロマトグラフ法で測定した。
【００３４】
（１）塩素イオン
装置：Ｄｉｏｎｅｘ社製  ＤＸ−３００
試料注入量：０．５ｍＬ
溶離液：２ｍＭ−ＮａＨＣＯ３
分離カラム：４ｍｍφ×２５０ｍｍ  Ｉｏｎ  Ｐａｃ  ＡＳ４Ａ−ＳＣ
検出器：電気伝導度計
（２）硫酸イオン
装置：Ｄｉｏｎｅｘ社製  ＤＸ−５００
試料注入量：０．５ｍＬ
溶離液：２ｍＭ−Ｎａ２ＣＯ３／１ｍＭ−ＮａＨＣＯ３
分離カラム：４ｍｍφ×２５０ｍｍ  Ｉｏｎ  Ｐａｃ  ＡＳ４Ａ−ＳＣ
検出器：電気伝導度計
（３）ナトリウムイオン濃度、カルシウムイオン濃度
装置：Ｄｉｏｎｅｘ社製  ＤＸ−１２０
試料注入量：０．５ｍＬ
溶離液：１０ｍＭ−メタンスルホン酸
分離カラム：４ｍｍφ×２５０ｍｍ  Ｉｏｎ  Ｐａｃ  ＣＳ１４
検出器：電気伝導度計
【００３５】
洗浄水および冷却水
水I：塩素イオン濃度３５００ｐｐｂ、硫酸イオン濃度６２００ｐｐｂ、ナトリウムイオン濃度４１００ｐｐｂ、カルシウムイオン濃度６６００ｐｐｂの工業用水
水II：水Iをカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂を混合したイオン交換樹脂に通して得た、塩素イオン濃度１ｐｐｂ、硫酸イオン濃度１ｐｐｂ、ナトリウムイオン濃度１ｐｐｂ、カルシウムイオン濃度３ｐｐｂのイオン交換水
水III：水IIと同様にして得た、塩素イオン濃度３０ｐｐｂ、硫酸イオン濃度３５ｐｐｂ、ナトリウムイオン濃度２６ｐｐｂ、カルシウムイオン濃度４０ｐｐｂのイオン交換水
【００３６】
参考例１
ジメチルテレフタレート２９０部、１，４−ブタンジオール２４２部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．５部を、ヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、１９０〜２２５℃で３時間加熱して反応で生成するメタノールを系外に留出しながらエステル交換反応を行なった。反応混合物に数平均分子量約１４００のポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール１８３部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．５部と”イルガノックス”１３３０（チバガイギー社製ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤、分子量７７５．２）０．２５部を添加した後、２４５℃に昇温し、次いで５０分かけて系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、その条件下で所定の重合度に達するまで重合を行い、得られたポリマを水I中にストランド状で吐出し、カッティングを行ってペレット化し、ポリエステルブロック共重合体（Ａ−１）を得た。
【００３７】
参考例２
テレフタル酸２２１部、イソフタル酸９５部、１，４−ブタンジオール３０８部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．２５部、およびモノ−ｎ−ブチル−モノヒドロキシスズオキサイド０．０５部を、ヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、１９０〜２２５℃で３時間加熱して反応水を系外に留出しながらエステル化反応を行なった。反応混合物に数平均分子量約１０００のポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール８９部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．９部、および”イルガノックス”１０９８（チバガイギー社製アミド基含有ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤、分子量６３７）０．２５部を添加した後、２４５℃に昇温し、次いで５０分かけて系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、その条件下で所定の重合度に達するまで重合を行い、得られたポリマを水I中にストランド状で吐出し、カッティングを行ってペレット化して、ポリエステルブロック共重合体（Ａ−２）を得た。
【００３８】
参考例３
重合後の溶融樹脂の冷却水に水IIを使用する以外は、参考例１と同様に行い、ポリエステルブロック共重合体（Ａ−３）を得た。
【００３９】
参考例４
ジメチルテレフタレート８１．９部、１，４−ブタンジオール３７．３部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．３部を、ヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、１９０〜２２５℃で３時間加熱して反応で生成するメタノールを系外に留出しながらエステル交換反応を行なった。反応混合物に数平均分子量約１０００のポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール７．８部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．１５部と”イルガノックス”１３３０（チバガイギー社製ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤、分子量７７５．２）０．２５部を添加した後、２４５℃に昇温し、次いで５０分かけて系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、その条件下で所定の重合度に達するまで重合を行い、得られたポリマを水I中にストランド状で吐出し、カッティングを行ってペレット化し、ポリエステルブロック共重合体（Ａ−４）を得た。
【００４０】
参考例５
重合後の溶融樹脂の冷却水に水IIを使用する以外は、参考例４と同様に行い、ポリエステルブロック共重合体（Ａ−５）を得た。
【００４１】
参考例６
テレフタル酸３５７部、１，４−ブタンジオール３４７部、テトラ−ｎ−ブチルチタネート０．２部、およびモノ−ｎ−ブチル−モノヒドロキシスズオキサイド０．２５部を、ヘリカルリボン型撹拌翼を備えた反応容器に仕込み、１９０〜２２５℃で３時間加熱して反応水を系外に留出しながらエステル化反応を行なった。反応混合物にテトラ−ｎ−ブチルチタネート０．２部と”イルガノックス”１０１０（チバガイギー社製ヒンダ−ドフェノ−ル系酸化防止剤、分子量１１７７．７）０．２５部を添加した後、２４５℃に昇温し、次いで５０分かけて系内の圧力を２７Ｐａの減圧とし、その条件下で所定の重合度に達するまで重合を行い、得られたポリマを水I中にストランド状で吐出し、カッティングを行ってペレット化し、芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ−１）を得た。
【００４２】
参考例７
重合後の冷却水に水IIを使用する以外は、参考例６と同様に行い、芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ−２）を得た。
【００４３】
表１に、Ａ−１、Ａ−２、Ａ−３、Ａ−４、Ａ−５、Ｂ−１、Ｂ−２の物性を示す。
【００４４】
【表１】
2007314642.tif 000002
【００４５】
参考例８
８０℃で５時間の熱風乾燥を施したポリエステルブロック共重合体（Ａ−１）と、１３０℃で５時間の熱風乾燥を施した芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ−１）とを表２に示した配合比でドライブレンドし、４５ｍｍφのスクリューを有する二軸押出機を用いて、２５０℃で溶融混練した。その溶融混練したポリエステルブロック共重合体組成物（Ｘ−１）とした。
【００４６】
参考例９および１０
参考例８と同様にして、表２に示すような芳香族ポリエステル樹脂とポリエーテルエステルブロック共重合体の組合せ、および配合比で溶融混練した。その溶融混練したポリエステルブロック重合体組成物をそれぞれ（Ｘ−２）、（Ｘ−３）とした。
【００４７】
【表２】
2007314642.tif 000003
【００４８】
実施例１
ポリエステルブロック共重合体（Ａ−１）と芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ−１）とを溶融混練して押出機のダイスから吐出したポリエステルブロック共重合体組成物（Ｘ−１）の溶融樹脂を、水I中で冷却し、固化したストランドガットをペレタイズして、断面が長軸約３．５ｍｍ、短軸約２．５ｍｍの楕円で、長さ約３．５ｍｍの楕円柱状にペレット化した。それから得られたペレットを水II中に、ペレット５００ｇに対して水II３Ｌの割合で入れ、室温下で１０分間攪拌した。その後、ペレットを容器から取り出し、付着水を圧空を吹きかけて除去した後、９０℃で３時間熱風乾燥してから、ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って、抽出水の各種イオン濃度を測定した。結果を物性とともに表３に示す。
【００４９】
実施例２
ポリエステルブロック共重合体（Ａ−１）と芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ−１）とを溶融混練して押出機のダイスから吐出したポリエステルブロック共重合体組成物（Ｘ−１）の溶融樹脂を、水I中で冷却固化して、表面付着水を圧空を吹きかけて除去したストランドガットを、水IIを入れた水槽に通し表面を洗浄し、それからペレタイズして断面が長軸約３．５ｍｍ、短軸約２．５ｍｍの楕円で、長さ約３．５ｍｍの楕円柱状にペレット化した。そして、９０℃で３時間熱風乾燥してから、ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って、抽出水の各種イオン濃度を測定した。結果を物性とともに表３に示す。
【００５０】
実施例３
ストランドガットの洗浄に水IIIを使用する以外は、実施例２と同様に行った。ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って測定した各種イオン濃度の結果と物性を表３に示す。
【００５１】
実施例４
ポリエステルブロック共重合体（Ａ−１）と芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ−１）とを溶融混練して押出機のダイスから吐出したポリエステルブロック共重合体組成物（Ｘ−１）の溶融樹脂を、水II中で冷却固化して、それから圧空を吹きかけて樹脂表面の付着水を除去したストランドガットをペレタイズして、断面が長軸約３．５ｍｍ、短軸約２．５ｍｍの楕円で、長さ約３．５ｍｍの楕円柱状にペレット化した。そして、９０℃で３時間熱風乾燥してから、ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って、抽出水の各種イオン濃度を測定した。結果を物性とともに表３に示す。
【００５２】
実施例５
ポリエステルブロック共重合体（Ａ−２）と芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ−１）とを溶融混練して押出機のダイスから吐出したポリエステルブロック共重合体組成物（Ｘ−２）を使用する以外は、実施例１と同様にして行った。ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って測定した各種イオン濃度の結果と物性を表３に示す。
【００５３】
実施例６
ポリエステルブロック共重合体（Ａ−３）と芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ−２）とを溶融混練して押出機のダイスから吐出したポリエステルブロック共重合体組成物（Ｘ−３）を使用する以外は、実施例１と同様にして行った。ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って測定した各種イオン濃度の結果と物性を表３に示す。
【００５４】
実施例７
ポリエステルブロック共重合体（Ａ−４）のペレット（断面が長軸約３．５ｍｍ、短軸約２．５ｍｍの楕円で、長さ約３．５ｍｍの楕円柱状の形状ペレット）を、水II中に、ペレット５００ｇに対して水II３Ｌの割合で入れ、室温下で１０分間攪拌した。その後、ペレットを容器から取り出し、付着水を圧空を吹きかけて除去した後、９０℃で３時間熱風乾燥してから、ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って、抽出水の各種イオン濃度を測定した。結果を物性とともに表３に示す。
【００５５】
実施例８
ポリエステルブロック共重合体（Ａ−５）のペレットを使用した以外は、実施例７と同様にして行った。ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って測定した各種イオン濃度の結果と物性を表３に示す。
【００５６】
比較例１
ポリエステルブロック共重合体（Ａ−１）と芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ−１）とを溶融混練して押出機のダイスから吐出したポリエステルブロック共重合体組成物（Ｘ−１）の溶融樹脂を、水I中で冷却し、固化したストランドガットをペレタイズして、断面が長軸約３．５ｍｍ、短軸約２．５ｍｍの楕円で、長さ約３．５ｍｍの楕円柱状にペレット化した。そして、９０℃で３時間熱風乾燥してから、ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って、抽出水の各種イオン濃度を測定した。結果を物性とともに表３に示す。
【００５７】
比較例２
ポリエステルブロック共重合体（Ａ−２）と芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ−１）とを溶融混練して押出機のダイスから吐出したポリエステルブロック共重合体組成物（Ｘ−２）を使用する以外は、比較例１と同様にして行った。ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って測定した各種イオン濃度の結果と物性を表３に示す。
【００５８】
比較例３
ポリエステルブロック共重合体（Ａ−４）のペレット（断面が長軸約３．５ｍｍ、短軸約２．５ｍｍの楕円で、長さ約３．５ｍｍの楕円柱状の形状ペレット）を、９０℃で３時間熱風乾燥してから、ペレットの抽出水イオン濃度の方法に従って、抽出水の各種イオン濃度を測定した。結果を物性とともに表３に示す。
【００５９】
【表３】
2007314642.tif 000004
【００６０】
実施例９〜１１、比較例４および５
表４に示したポリエステルブロック共重合体、あるいはその樹脂組成物を使用して、９０℃で５時間熱風乾燥乾燥してから、射出成形により、８インチサイズのシリコンウェーファー搬送用容器のバネ押さえ（重量７０ｇ）を得た。このバネ押さえをポリエチレン製ポリ袋に、電気伝導率が２５℃で電気伝導率０．１μＳ／ｃｍ未満の水７００ｍｌと一緒に入れてから３分間振り、成形品が浸る状態で２４時間室温下に放置した。その後、水中の塩素イオン濃度、硫酸イオン濃度、ナトリウムイオン濃度、カルシウムイオン濃度をイオンクロマトグラフ法で測定した。結果を表４に示すように、実施例９〜１１の各イオン濃度の１０倍値は、比較例４や５と比較して大幅に減少しており、バネ押さえ材のイオン量が少なく低汚染性となっていることを確認した。
【００６１】
【表４】
2007314642.tif 000005
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明のシリコンウェーファー搬送治具用ポリエステル樹脂組成物は、シリコンウェーファーシリコンウェーファー搬送治具用途に利用することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月8日(2007.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから得られるポリエステル単位からなる高融点結晶性重合体セグメント（ａ）１０〜９９重量％と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる低融点重合体セグメント（ｂ）９０〜１重量％とを主たる構成成分とするポリエステルブロック共重合体（Ａ）５〜１００重量％と、芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）９５〜０重量％とからなり、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａであって、そのペレットＹｇ（Ｙは正数）を電気伝導率が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、抽出水のイオン濃度が、塩素イオン濃度２０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度２０ｐｐｂ以下、ナトリウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たすことを特徴とするシリコンウェーファー搬送冶具用樹脂組成物。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
すなわち、本発明のシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物は、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、１，４−ブタンジオールを主成分とする分子量３００以下の脂肪族ジオールから得られるポリエステル単位からなる高融点結晶性重合体セグメント（ａ）１０〜９９重量％と、芳香族ジカルボン酸またはそのエステル形成性誘導体と、平均分子量６００〜６０００のポリアルキレングリコールから得られる低融点重合体セグメント（ｂ）９０〜１重量％とを主たる構成成分とするポリエステルブロック共重合体（Ａ）５〜１００重量％と、芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）９５〜０重量％とからなり、ＡＳＴＭ  Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａであって、そのペレットＹｇ（Ｙは正数）を電気伝導率が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、抽出水のイオン濃度が、塩素イオン濃度２０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度２０ｐｐｂ以下、ナトリウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たすことを特徴とするものである。