(57)【要約】【課題】それぞれのバンク毎の色の差が少なくなる液滴塗布方法及び電気光学装置を提供することにある。【解決手段】画素としての被吐出領域Ｒのほぼ中央の領域またはバンク２０に最も近い領域に、液滴としての着色液状材料１１を、Ｘ軸方向の投影ピッチを構成して隣接するノズルで塗布する第１の塗布工程となる。この第１の塗布工程は、キャリッジ３に装着されている第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１又は第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２又は第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３が対応することができる範囲に、基体１０Ａの着色領域Ｒ，Ｇ，Ｂがある場合は１回の走査によって、Ｒのためのバンク２０、Ｇのためのバンク２０、Ｂのためのバンク２０のほぼ中央またはバンク２０に最も近い領域に液滴としての着色液状材料１１を塗布することができる。【選択図】図６
2007190449.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素が設けられた基板と、
前記基板の前記画素に対して液滴を塗布する複数のノズルと、
前記画素に対応する前記複数のノズルのうち、前記画素のほぼ中央に対応し前記複数のノズルの隣接する２つのノズルにより前記液滴を塗布する第１の塗布工程と、
前記第１の塗布工程で塗布された領域以外の領域を塗布する第２の塗布工程と
を少なくとも含むことを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴塗布方法において、前記複数のノズルの少なくともひとつの間隔が他の前記複数のノズルの間隔と異なる間隔であることを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項３】
基板間にカラーフィルタを有する電気光学装置の製造方法であって、
一方の基板にバンクを形成し、前記バンクのほぼ中央の領域に複数のノズルの隣接する２つのノズルにより液滴を塗布し、前記バンクのほぼ中央の領域以外の領域に前記液滴を塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
液滴を吐出する複数のノズルを有する液滴塗布装置であって、
前記複数のノズルの少なくともひとつの間隔が他の前記複数のノズルの間隔と異なる間隔であることを特徴とする液滴塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット法を用いて基板に対して液滴を塗布する液滴塗布方法、電気光学装置の製造方法、及び液滴塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータの進歩、とりわけパーソナルコンピュータの進歩に伴ない、電気光学装置の需要が急増している。これに対応し適正価格で美しいディスプレイを供給する手段の確立が急務となっている。
【０００３】
従来、電気光学装置のひとつである液晶表示装置に用いられているカラーフィルタの製造方法のひとつとして、以下の方法が知られている。
【０００４】
カラーフィルタの基板に設けられた画素に対してインクジェット法を用いたノズルからインクを吐出して画素内を着色する方法として、画素列内に異なる複数のインク吐出ノズルから複数回の走査で吐出するようにしていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２２１６１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の描画方法は、カラーフィルタ内の個々のフィルタエレメントはインクジェットヘッドの１回の走査によって形成されるのではなく、各１個のフィルタエレメントは異なるノズルグループに属する複数のノズルによって重ねてインク吐出を受けることにより所定の膜厚に形成される方法である。
【０００７】
然しながら、この描画方法では、それぞれのフィルタエレメント領域内での描画順序が異なるため、フィルタエレメントによっては、最初にフィルタエレメント領域内にインクが吐出されてから相当な時間が経過してから隣にインクが吐出される場合が生ずる。このような場合は、吐出されたインク同士がうまく混ざり合わない状態が起こり、フィルタエレメント領域内でのムラとなってしまう問題がある。
【０００８】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、画素領域全面に渡りムラなく描画できる液滴塗布方法、電気光学装置の製造方法、及び液滴塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明では、複数の画素が設けられた基板と、前記基板の前記画素に対して液滴を塗布する複数のノズルと、前記画素に対応する前記複数のノズルのうち、前記画素のほぼ中央に対応し前記複数のノズルの隣接する２つのノズルにより前記液滴を塗布する第１の塗布工程と、前記第１の塗布工程で塗布された領域以外の領域を塗布する第２の塗布工程とを少なくとも含むことを要旨とする。
【００１０】
これによれば、複数のノズルを用いて、複数の画素が設けられた基板の画素に対して液滴を塗布する際に、基板の画素に対応する複数のノズルのうち、画素のほぼ中央に対応する複数のノズルの隣接する２つのノズルにより液滴を塗布する第１の塗布工程と、第１の塗布工程で塗布された領域以外の領域を塗布する第２の塗布工程とを少なくとも含むため、全てのバンクに対する塗布順序が一定となり、それぞれのバンク毎の色の差を少なくすることができる。
【００１１】
本発明の液滴塗布方法は、前記複数のノズルの少なくともひとつの間隔が他の前記複数のノズルの間隔と異なる間隔であることを要旨とする。
【００１２】
これによれば、複数のノズルの少なくともひとつの間隔が他の複数のノズルの間隔と異なる間隔であるため、第１の塗布工程において液滴を画素のほぼ中央に塗布する際に、複数のノズルの内、隣接する２つのノズルを形成することができ、２列の塗布をすることができる。また、第２の塗布工程においても、隣接する２つのノズルによって、第１の塗布工程で塗布された領域以外の領域を２列で塗布することができる。
【００１３】
本発明は、基板間にカラーフィルタを有する電気光学装置の製造方法であって、一方の基板にバンクを形成し、前記バンクのほぼ中央の領域に複数のノズルの隣接する２つのノズルにより液滴を塗布し、前記バンクのほぼ中央の領域以外の領域に前記液滴を塗布することを要旨とする。
【００１４】
これによれば、バンクのほぼ中央の領域に複数のノズルの隣接する２つのノズルにより液滴を塗布することにより、画素領域全面に渡りムラなく描画できる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
【００１５】
本発明は、液滴を吐出する複数のノズルを有する液滴塗布装置であって、前記複数のノズルの少なくともひとつの間隔が他の前記複数のノズルの間隔と異なる間隔であることを要旨とする。
【００１６】
これによれば、複数のノズルの少なくともひとつの間隔が他の前記複数のノズルの間隔と異なる間隔であるため、隣接する２つのノズルにより液滴を塗布することができ、画素領域全面に渡りムラなく描画できる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した実施例について図面に従って説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１は、液滴吐出装置１の斜視図を示す。液滴吐出装置１は、着色液状材料１１ａ、着色液状材料１１ｂ、着色液状材料１１ｃを貯留する複数のタンク１２と、それぞれのタンク１２に連結されているチューブ１３と、チューブ１３を介してタンク１２から着色液状材料１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）が供給される吐出走査部２とを備える。吐出走査部２は、液滴吐出ヘッド５１（詳細は、図２に示す）を複数保持するサブキャリッジ５０と、このサブキャリッジ５０を保持するキャリッジ３と、キャリッジ３の位置を制御する第２位置制御装置４と、基板としての基体１０Ａを保持するステージ５と、ステージ５の位置を制御する第１位置制御装置６と、液滴吐出装置制御部７と、メンテナンス装置８と、排液装置９とを少なくとも備えている。タンク１２とキャリッジ３における複数の液滴吐出ヘッド５１とはチューブ１３で連結されており、タンク１２から複数の液滴吐出ヘッド５１のそれぞれに着色液状材料１１ａ，１１ｂ，１１ｃが供給される。
【００１９】
第２位置制御装置４は、液滴吐出装置制御部７からの信号に応じて、キャリッジ３をＸ軸方向、及びＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って相対位置を変更する。さらに、第２位置制御装置４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでキャリッジ３を回転する機能も有する。本実施例では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）にほぼ平行な方向である。第１位置制御装置６は、液滴吐出装置制御部７からの信号に応じて、Ｘ軸方向及びＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ５の相対位置を変更する。さらに、第１位置制御装置６は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ５を回転する機能も有する。なお、本明細書では、第２位置制御装置４及び第１位置制御装置６を「走査部」と表記することもある。
【００２０】
ステージ５は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に略平行な平面を有する。また、ステージ５は、所定の着色液状材料１１ａ，１１ｂ，１１ｃを塗布する基体１０Ａをその平面上に着脱可能に載置、又は保持できるように構成されている。
【００２１】
同図での基体１０Ａは、フォトリソ法等によって製造された複数のバンク２０を有している。また、液滴吐出ヘッド５１より吐出された着色液状材料１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、吐出された直後は液体状態である。それぞれの材料の溶媒によっては、吐出後に加熱処理又は光処理を施して固化させる。
【００２２】
本明細書におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、キャリッジ３及びステージ５のどちらか一方が他方に対して相対位置を変更する方向に一致している。また、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向を規定するＸＹＺ座標系の仮想的な原点は、液滴吐出装置１の基準部分に固定されている。本明細書において、Ｘ座標、Ｙ座標、及びＺ座標とは、このようなＸＹＺ座標系における座標である。なお、上記の仮想的な原点は、ステージ５に固定されていてもよいし、キャリッジ３に固定されていてもよい。
【００２３】
キャリッジ３及びステージ５は上記以外の平行相対位置を変更したり及び回転の自由度をさらに有している。ただし、本実施例では、上記自由度以外の自由度に関する記載は説明を平易にする目的で省略されている。
【００２４】
液滴吐出装置制御部７は、着色液状材料１１ａ，１１ｂ，１１ｃの吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置（図示せず）から受け取るように構成されている。
【００２５】
メンテナンス装置８において、いくつかの液滴吐出ヘッド５１のメンテナンスを行うユニットが設けられ、液滴吐出装置制御部７の制御によりユニットが選択され、キャリッジ３に対応するためにＹ軸方向に相対位置を変更して停止する。液滴吐出ヘッド５１のメンテナンスを実行する場合は、第２位置制御装置４によってキャリッジ３はＸ軸方向にメンテナンス装置８上に相対位置を変更し、所望のユニットがキャリッジ３の位置にくるようにメンテナンス装置８を移動して選択され、液滴吐出ヘッド５１のインク詰まり、インクの汚れ等の除去及び改善が成される。排液装置９は、液滴吐出装置１の各ユニットで回収された着色液状材料１１ａ，１１ｂ，１１ｃをそれぞれの容器に回収するようになっている。
【００２６】
図２（ａ）は、液滴吐出ヘッド５１の全体の断面斜視図、図２（ｂ）は、吐出部の詳細断面図である。それぞれの液滴吐出ヘッド５１は、インクジェット液滴吐出ヘッドである。それぞれの液滴吐出ヘッド５１は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１２からチューブ１３を介して、孔１３１から供給される着色液状材料１１ａ又は着色液状材料１１ｂ又は着色液状材料１１ｃが常に充填される液溜まり１２９が位置している。
【００２７】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル５２に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル５２の数とは同じである。キャビティ１２０には、一対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液溜まり１２９から着色液状材料１１ａ又は着色液状材料１１ｂ又は着色液状材料１１ｃが供給される。
【００２８】
同図（ｂ）では、振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４ｃと、ピエゾ素子１２４ｃを挟む一対の電極１２４ａ，１２４ｂとを含む。この一対の電極１２４ａ，１２４ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル５２から着色液状材料１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）が吐出される。なお、ノズル５２からＺ軸方向（図１参照）に着色液状材料１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）が吐出されるように、ノズル５２の形状が調整されている。
【００２９】
ここで、本明細書において「着色液状材料１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）」とは、ノズルから吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であること油性であることを問わない。ノズルから吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。
【００３０】
本明細書では、ひとつのノズル５２と、ノズル５２に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４と、を含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つの液滴吐出ヘッド５１は、ノズル５２の数と同じ数の吐出部１２７を有する。吐出部１２７は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。
【００３１】
尚、図２（ａ）では、吐出部１２７が１列に配置されているが、隣接する位置に他の吐出部１２７をさらに１列配置することによって、複数列のノズル（以降、複数のノズル列という）を有する液滴吐出ヘッド５１となる。
【００３２】
以下、第１の塗布工程について説明する。
図３は、２列のノズル列を有する液滴吐出ヘッド５１のノズルプレート１２８を示す平面図である。
液滴吐出ヘッド５１のノズルプレート１２８に設けられた、ノズル列ＮＬａとノズル列ＮＬｂとには、それぞれに複数のノズル５２が間隔を持って配置されている。本実施例では、ノズル列ＮＬａのノズル群５２ａと、ノズル列ＮＬｂのノズル群５２ｂは、一定のノズルピッチＰで配設され、ノズル列間距離Ｌ１を隔てて位置されている。また、紙面Ｘ軸方向にノズル相互距離Ｌ２に相当する距離だけ、ノズル群５２ａとノズル群５２ｂとは、Ｘ軸方向にずれて位置している。ノズル列ＮＬａのノズル群５２ａの最も右端のノズル５２を特にノズル列基準ノズル５３ａ、ノズル列ＮＬｂのノズル群５２ｂの最も右端のノズル５２を特にノズル列基準ノズル５３ｂと称する。また、ノズル列ＮＬａのノズル群５２ａの最も左端のノズル５２を特にノズル列基準ノズル５４ａ、ノズル列ＮＬｂのノズル群５２ｂの最も左端のノズル５２を特にノズル列基準ノズル５４ｂと称する。
【００３３】
ノズル相互距離Ｌ２と、ノズル５２から吐出された着色液状材料１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）が基体１０Ａの表面に着弾した際の着弾径Ｄと、の関係は、Ｌ２＜＝Ｄであることが好ましい。詳細は後述する。
【００３４】
また、ノズルプレート１２８に配設されているノズル５２は、全てのノズル５２を使用しなくてもよい。例えば、ノズル列ＮＬａ又はノズル列ＮＬｂの両端のノズル５２の数個を密封して着色液状材料１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）が吐出されないようにする。これは、液滴吐出ヘッド５１の両端近傍のノズル５２では、ノズル５２から吐出される着色液状材料１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）の量が安定しないためである。
【００３５】
この液滴吐出ヘッド５１は、図１で説明したサブキャリッジ５０に複数個保持され、さらにこのサブキャリッジ５０はキャリッジ３に取り付けられて液滴吐出装置１の主要部として機能する。液滴吐出装置１のＸ軸と図３のＸ軸とは同一方向である。したがって、基体１０Ａを保持しているステージ５とキャリッジ３（液滴吐出ヘッド５１）との相対移動方向は、図３のＹ軸方向となる。
【００３６】
このため、図３における紙面手前側から観察される、ノズル列ＮＬａ及びノズル列ＮＬｂの双方にノズルピッチＰの間隔で配置されたノズル５２で構成されるＸ軸方向の投影ピッチＴＰ１と投影ピッチＴＰ２は、基体１０Ａに対する液滴吐出ヘッド５１の実質的なノズル５２のピッチとなる。投影ピッチＴＰ１はノズル相互距離Ｌ２に等しく、投影ピッチＴＰ２はノズルピッチＰからノズル相互距離Ｌ２を差し引いた値と等しい。本実施例では、投影ピッチＴＰ１と投影ピッチＴＰ２とは異なっている。
【００３７】
図４は、複数の液滴吐出ヘッド５１がサブキャリッジ５０及びキャリッジ３に装着された状態を示す模式図である。
複数の液滴吐出ヘッド５１がサブキャリッジ５０に保持されキャリッジ３に装着された状態である。複数の液滴吐出ヘッド５１が、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１、第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２、第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３に区分けされている。第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１〜第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３のそれぞれと、各タンク１２（図１参照）とが個別のチューブ１３（図１参照）で連結されている。
【００３８】
したがって、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１〜第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３のそれぞれが、着色液状材料１１ａ，１１ｂ，１１ｃのひとつを吐出するようになる。本実施例では、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１が着色液状材料１１ａ、第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２が着色液状材料１１ｂ、第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３が着色液状材料１１ｃを吐出するように連結されている。尚、着色液状材料１１ａが赤（Ｒ）、着色液状材料１１ｂが緑（Ｇ）、着色液状材料１１ｃが青（Ｂ）であるとして説明する。
【００３９】
また、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１〜第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３を構成する液滴吐出ヘッド５１には、それぞれ８個のノズル５２が配置されているものとして説明する。実現されているノズル５２の個数は１００個〜３００個である。また、ノズルピッチＰは、ノズル相互距離Ｌ２の３倍に等しいとして説明する。広くは、ノズルピッチＰはノズル相互距離Ｌ２の整数Ｎ倍になっていれば本実施例と同様な効果を得ることができる。
【００４０】
第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１〜第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３の液滴吐出ヘッド５１同士の相対位置は同じため、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１の構成について説明する。第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１は、液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，５１１ｃ，５１１ｄ，５１１ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５１２ａ，５１２ｂ，５１２ｃ，５１２ｄ，５１２ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５１３ａ，５１３ｂ，５１３ｃ，５１３ｄ，５１３ｅ，…との３列の複数の液滴吐出ヘッド５１で構成されている。広くは、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１〜第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３を構成するそれぞれの複数の液滴吐出ヘッド５１の列数は、ノズル相互距離Ｌ２の整数Ｎ倍がノズルピッチＰに等しくなる整数Ｎに相当する列数であれば本実施例と同様な効果を得ることができる。
【００４１】
また、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１を構成している複数の液滴吐出ヘッド５１は、少なくとも基体１０Ａ（図１参照）のＸ軸方向の幅よりも長くなるように配置されている。
【００４２】
液滴吐出ヘッド５１１ａ、液滴吐出ヘッド５１２ａ、液滴吐出ヘッド５１３ａとの関係について説明する。液滴吐出ヘッド５１１ａを基準とした場合に、液滴吐出ヘッド５１２ａはＸ軸方向にノズル相互距離Ｌ２の２倍の距離（以降、液滴吐出ヘッド相互距離という）ＬＨ１に相当する距離分ずらして配置されている。また、Ｙ軸方向の相互距離は、液滴吐出ヘッド５１１ａのノズル列間距離Ｌ１と、液滴吐出ヘッド５１１ａのノズル列ＮＬｂと液滴吐出ヘッド５１２ａのノズル列ＮＬａとの距離である液滴吐出ヘッド間距離Ｌとを加算した距離になっている。液滴吐出ヘッド間距離Ｌは、液滴吐出ヘッド５１の大きさ或いは液滴吐出ヘッド５１とサブキャリッジ５０（図１参照）との装着方法等によって決定される距離である。
【００４３】
また、液滴吐出ヘッド５１１ａを基準とした場合には、液滴吐出ヘッド５１３ａはＸ軸方向にノズル相互距離Ｌ２の４倍の液滴吐出ヘッド相互距離ＬＨ２に相当する距離分ずらして配置されている。また、液滴吐出ヘッド５１２ａを基準とした場合には、液滴吐出ヘッド５１３ａはＸ軸方向にノズル相互距離Ｌ２の２倍の液滴吐出ヘッド相互距離ＬＨ１に相当する距離分ずらして配置されている。
【００４４】
また、Ｙ軸方向の相互距離は、液滴吐出ヘッド５１１ａを基準とした場合に、液滴吐出ヘッド５１１ａのノズル列間距離Ｌ１と、液滴吐出ヘッド５１１ａのノズル列ＮＬｂと液滴吐出ヘッド５１２ａのノズル列ＮＬａとの距離である液滴吐出ヘッド間距離Ｌと、液滴吐出ヘッド５１２ａのノズル列間距離Ｌ１と、液滴吐出ヘッド５１２ａのノズル列ＮＬｂと液滴吐出ヘッド５１３ａのノズル列ＮＬａとの距離である液滴吐出ヘッド間距離Ｌとを加算した距離になっている。
【００４５】
液滴吐出ヘッド５１３ａと液滴吐出ヘッド５１１ｂとの関係について説明する。液滴吐出ヘッド５１１ｂは、液滴吐出ヘッド５１３ａの紙面でのノズル列ＮＬｂ（図３参照）の最も左に位置するノズル列基準ノズル５４ｂ（図３参照）を基準として、Ｘ軸方向にノズル相互距離Ｌ２の２倍の液滴吐出ヘッド相互距離ＬＨ１に相当する距離分ずらして配置されている。また、液滴吐出ヘッド５１１ｂは、液滴吐出ヘッド５１１ａのＹ軸方向の相対位置関係は等しくなっている。違う説明をすれば、液滴吐出ヘッド５１１ｂは、液滴吐出ヘッド５１１ａとＸ軸方向に平行移動した位置となっている。
【００４６】
液滴吐出ヘッド５１１ｂ、液滴吐出ヘッド５１２ｂ、液滴吐出ヘッド５１３ｂとの相対位置関係については、液滴吐出ヘッド５１１ａ、液滴吐出ヘッド５１２ａ、液滴吐出ヘッド５１３ａとの相対位置関係と同様になっている。液滴吐出ヘッド５１３ｂと液滴吐出ヘッド５１１ｃとの相対位置関係は、液滴吐出ヘッド５１３ａと液滴吐出ヘッド５１１ｂとの相対位置関係と同様になっている。
【００４７】
液滴吐出ヘッド５１１ｃ、液滴吐出ヘッド５１２ｃ、液滴吐出ヘッド５１３ｃとの相対位置関係については、液滴吐出ヘッド５１１ａ、液滴吐出ヘッド５１２ａ、液滴吐出ヘッド５１３ａとの相対位置関係と同様になっている。液滴吐出ヘッド５１３ｃと液滴吐出ヘッド５１１ｄとの相対位置関係は、液滴吐出ヘッド５１３ａと液滴吐出ヘッド５１１ｂとの相対位置関係と同様になっている。
【００４８】
液滴吐出ヘッド５１１ｄ、液滴吐出ヘッド５１２ｄ、液滴吐出ヘッド５１３ｄとの相対位置関係については、液滴吐出ヘッド５１１ａ、液滴吐出ヘッド５１２ａ、液滴吐出ヘッド５１３ａとの相対位置関係と同様になっている。液滴吐出ヘッド５１３ｄと液滴吐出ヘッド５１１ｅとの相対位置関係は、液滴吐出ヘッド５１３ａと液滴吐出ヘッド５１１ｂとの相対位置関係と同様になっている。
【００４９】
このように配置された第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１を構成する液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１２ａ，５１３ａ，５１１ｂ，５１２ｂ，５１３ｂ，５１１ｃ，５１２ｃ，５１３ｃ，５１１ｄ，５１２ｄ，５１３ｄ，５１１ｅ，５１２ｅ，５１３ｅのそれぞれのノズル５２をＸ軸方向に投影した場合に、それぞれのノズル５２の間隔は全て投影ピッチＴＰ１（図３参照）又はノズル相互距離Ｌ２となっている。
【００５０】
また、前述したように第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１を構成している複数の液滴吐出ヘッド５１のそれぞれのノズル５２は、少なくとも基体１０Ａ（図１参照）のＸ軸方向の幅よりも長くなるように配置されているため、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１で構成された複数のノズル５２が有する複数の全てのノズル５２は、基体１０Ａの一端から他端までの間に投影ピッチＴＰ１（図３参照）又はノズル相互距離Ｌ２の間隔で配置されたことになる。
【００５１】
本実施例では、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１は前述した通り、着色液状材料１１ａが赤（Ｒ）であるため、複数の液滴吐出ヘッド５１（５１１ａ，５１２ａ，５１３ａ，５１１ｂ，５１２ｂ，５１３ｂ，５１１ｃ，５１２ｃ，５１３ｃ，５１１ｄ，５１２ｄ，５１３ｄ，５１１ｅ，５１２ｅ，５１３ｅ，…）の全てのノズル５２からは、基体１０Ａに向けて着色液状材料１１ａが吐出され、カラーフィルタとしての赤（Ｒ）を発色する着色領域Ｒを形成する。
【００５２】
第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２の構成について説明する。第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２は、液滴吐出ヘッド５２１ａ，５２１ｂ，５２１ｃ，５２１ｄ，５２１ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５２２ａ，５２２ｂ，５２２ｃ，５２２ｄ，５２２ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５２３ａ，５２３ｂ，５２３ｃ，５２３ｄ，５２３ｅ，…との３列の複数の液滴吐出ヘッド５１で構成されている。液滴吐出ヘッド５２１ａと第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１の液滴吐出ヘッド５１１ａとの相対位置関係は、本実施例では液滴吐出ヘッド５２１ａのノズル列基準ノズル５３ａ（図３参照）からＹ軸方向に第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１の液滴吐出ヘッド５１の個数分（本実施例では３個分）のノズル列間距離Ｌ１と液滴吐出ヘッド間距離Ｌとを加算した距離に液滴吐出ヘッド５１３ａと液滴吐出ヘッド５２３ａとの液滴吐出ヘッド間距離Ｌを加算した距離になっている。具体的には、（Ｌ１＋Ｌ）×３＋Ｌで示され、広くは、（Ｌ１＋Ｌ）×整数Ｎ＋Ｌで表される。
【００５３】
第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２の液滴吐出ヘッド５２１ａ，５２１ｂ，５２１ｃ，５２１ｄ，５２１ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５２２ａ，５２２ｂ，５２２ｃ，５２２ｄ，５２２ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５２３ａ，５２３ｂ，５２３ｃ，５２３ｄ，５２３ｅ，…との相対位置関係は、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１の液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，５１１ｃ，５１１ｄ，５１１ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５１２ａ，５１２ｂ，５１２ｃ，５１２ｄ，５１２ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５１３ａ，５１３ｂ，５１３ｃ，５１３ｄ，５１３ｅ，…との相対位置関係と同様である。
【００５４】
第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２を構成している複数の液滴吐出ヘッド５１のそれぞれのノズル５２は、少なくとも基体１０Ａ（図１参照）のＸ軸方向の幅よりも長くなるように配置されているため、第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２で構成された複数のノズル５２が有する複数の全てのノズル５２は、基体１０Ａの一端から他端までの間に投影ピッチＴＰ１（図３参照）又はノズル相互距離Ｌ２の間隔で配置されたことになる。
【００５５】
また、第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２は前述した通り、着色液状材料１１ｂが緑（Ｇ）であるため、複数の液滴吐出ヘッド５１（５２１ａ，５２２ａ，５２３ａ，５２１ｂ，５２２ｂ，５２３ｂ，５２１ｃ，５２２ｃ，５２３ｃ，５２１ｄ，５２２ｄ，５２３ｄ，５２１ｅ，５２２ｅ，５２３ｅ，…）の全てのノズル５２からは、基体１０Ａに向けて着色液状材料１１ｂが吐出され、カラーフィルタとしての緑（Ｇ）を発色する着色領域Ｇを形成する。
【００５６】
第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３の構成について説明する。第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３は、液滴吐出ヘッド５３１ａ，５３１ｂ，５３１ｃ，５３１ｄ，５３１ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５３２ａ，５３２ｂ，５３２ｃ，５３２ｄ，５３２ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５３３ａ，５３３ｂ，５３３ｃ，５３３ｄ，５３３ｅ，…との３列の複数の液滴吐出ヘッド５１で構成されている。液滴吐出ヘッド５２１ａと第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３の液滴吐出ヘッド５３１ａとの相対位置関係は、本実施例では液滴吐出ヘッド５２１ａのノズル列基準ノズル５３ａ（図３参照）からＹ軸方向に第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１及び第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２の液滴吐出ヘッド５１の個数分（本実施例では６個分）のノズル列間距離Ｌ１と液滴吐出ヘッド間距離Ｌとを加算した距離に液滴吐出ヘッド５２３ａと液滴吐出ヘッド５３３ａとの液滴吐出ヘッド間距離Ｌを加算した距離になっている。具体的には、（Ｌ１＋Ｌ）×６＋Ｌで示され、広くは、（Ｌ１＋Ｌ）×整数Ｎ＋Ｌで表される。
【００５７】
第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３の液滴吐出ヘッド５３１ａ，５３１ｂ，５３１ｃ，５３１ｄ，５３１ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５３２ａ，５３２ｂ，５３２ｃ，５３２ｄ，５３２ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５３３ａ，５３３ｂ，５３３ｃ，５３３ｄ，５３３ｅ，…との相対位置関係は、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１の液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，５１１ｃ，５１１ｄ，５１１ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５１２ａ，５１２ｂ，５１２ｃ，５１２ｄ，５１２ｅ，…と、液滴吐出ヘッド５１３ａ，５１３ｂ，５１３ｃ，５１３ｄ，５１３ｅ，…との相対位置関係と同様である。
【００５８】
第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３を構成している複数の液滴吐出ヘッド５１のそれぞれのノズル５２は、少なくとも基体１０Ａ（図１参照）のＸ軸方向の幅よりも長くなるように配置されているため、第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３で構成された複数のノズル５２が有する複数の全てのノズル５２は、基体１０Ａの一端から他端までの間に投影ピッチＴＰ１（図３参照）又はノズル相互距離Ｌ２の間隔で配置されたことになる。
【００５９】
また、第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３は前述した通り、着色液状材料１１ｃが青（Ｂ）であるため、複数の液滴吐出ヘッド５１（５３１ａ，５３２ａ，５３３ａ，５３１ｂ，５３２ｂ，５３３ｂ，５３１ｃ，５３２ｃ，５３３ｃ，５３１ｄ，５３２ｄ，５３３ｄ，５３１ｅ，５３２ｅ，５３３ｅ，…）の全てのノズル５２からは、基体１０Ａに向けて着色液状材料１１ｃが吐出され、カラーフィルタとしての青（Ｂ）を発色する着色領域Ｂを形成する。
【００６０】
図５は、基体１０Ａとサブキャリッジ５０及びキャリッジ３に装着された複数の液滴吐出ヘッド５１のノズル５２から着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図である。
第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１〜第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３（図４参照）の内で第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１の液滴吐出ヘッド５１（５１１ａ，５１２ａ，５１３ａ，５１１ｂ，５１１２ｂ，５１３ｂ）と基体１０Ａに配設されている画素及び被吐出領域としてのバンク２０との間で、着色液状材料１１が液滴吐出ヘッド５１から吐出されストライプ配列の着色領域Ｒ，Ｇ，Ｂを形成する状況について説明する。
【００６１】
ステージ５に載置されて保持されている基体１０Ａに対して、サブキャリッジ５０及びキャリッジ３に保持された複数の液滴吐出ヘッド５１が矢印Ａ方向に相対位置を変更する。この際のＹ軸方向の相対速度Ｖｙは一定とする。また、液滴吐出ヘッド５１１ａ及び液滴吐出ヘッド５１１ｂのノズル列ＮＬａと、基体１０Ａに配設されているバンク２０の内で最もサブキャリッジ５０及びキャリッジ３に近いバンク２０で区画された被吐出領域の中でさらに液滴吐出ヘッド５１１ａ及び液滴吐出ヘッド５１１ｂから吐出された着色液状材料１１ａが着弾する領域の中央部を被吐出領域ＴＧＲ１で示す。前述した通り、着色液状材料１１ａはカラーフィルタとしての赤（Ｒ）を発色する着色領域Ｒを形成する。
【００６２】
また、液滴吐出ヘッド５１が有しているノズル５２について、紙面でのノズル列ＮＬａの最も右に位置しているノズル５２を、ここではノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４とし、紙面でのノズル列ＮＬｂの最も右に位置しているノズル５２を、ここではノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４とする。
【００６３】
液滴吐出ヘッド５１が有しているノズル５２と、基体１０Ａに配設されている被吐出領域ＴＧＲ１とのＺ軸方向（図１参照）の距離を距離Ｌｓとし、着色液状材料１１ａの飛翔速度Ｖｅとする。また、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から被吐出領域ＴＧＲ１までの距離を距離Ｌｔとする。また、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４に対向するピエゾ素子１２４ｃ（図２参照）の電極１２４ａ，１２４ｂに、液滴吐出装置制御部７（図１参照）からの信号が印加され、着色液状材料１１ａがノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から飛翔するまでに遅延する時間として遅延飛翔時間ｔ３とする。遅延飛翔時間ｔ３は、吐出される着色液状材料１１ａの粘度、ピエゾ素子１２４ｃの電圧／変形特性及び液滴吐出ヘッド５１の構造的特性等によって決定される。
【００６４】
この状況で、基体１０Ａとサブキャリッジ５０及びキャリッジ３に装着された複数の液滴吐出ヘッド５１とをＹ軸方向（矢印Ａ方向）に相対移動した場合に、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出された着色液状材料１１ａが、被吐出領域ＴＧＲ１に着弾するためには、現在から経過する時間として経過時間ｔ００を求める必要がある。
【００６５】
経過時間ｔ００を求めると以下のようになる。ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４と基体１０Ａとの間の着色液状材料１１ａの飛翔所要時間は、ｔ１＝Ｌｓ／Ｖｅ＋ｔ３で表され、この間の基体１０Ａとノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４とのＹ軸方向の相対移動距離Ｌｅは、Ｌｅ＝Ｖｙ×ｔ１となる。ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４が被吐出領域ＴＧＲ１の真上に位置するまでの所要時間ｔ２は、ｔ２＝Ｌｔ／Ｖｙとなる。したがって、ｔ００＝ｔ２−ｔ１＝Ｌｔ／Ｖｙ−Ｌｓ／Ｖｅ−ｔ３となる。
【００６６】
さらに、液滴吐出ヘッド５１１ａのノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４から着色液状材料１１ａを吐出して、被吐出領域ＴＧＲ１に吐出するための現在から経過する時間として経過時間ｔ０１を求める。ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４とノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４とのＹ軸方向の距離は、”Ｌ１”であるため、その距離を移動するための所要時間は、ｔ４＝（Ｌｔ＋Ｌ１）／Ｖｙとなる。ノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４から着色液状材料１１ａを吐出して、被吐出領域ＴＧＲ１に着弾するための飛翔所要時間は、ｔ１＝Ｌｓ／Ｖｅ＋ｔ３で表され、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出された場合に等しい。したがって、ｔ０１＝ｔ４−ｔ１＝（Ｌｔ＋Ｌ１）／Ｖｙ−Ｌｓ／Ｖｅ−ｔ３となる。
【００６７】
ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４が吐出してから、ノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４が吐出するまでの吐出相対時間Ｔは、Ｔ＝ｔ０１−ｔ００＝ｔ４−ｔ１−（ｔ２−ｔ１）＝ｔ４−ｔ１−ｔ２＋ｔ１＝ｔ４−ｔ２＝（Ｌｔ＋Ｌ１）／Ｖｙ−Ｌｔ／Ｖｙ＝Ｌ１／Ｖｙとなる。
【００６８】
ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出された着色液状材料１１ａの位置が所定の位置になるように、ステージ５に載置され保持されている基体１０Ａと、サブキャリッジ５０又はキャリッジ３に装着保持されている液滴吐出ヘッド５１１ａのノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４との絶対位置を調整（原点からの座標を移動）することによって、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出された着色液状材料１１ａが着弾する場所は、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４からＹ軸と平行に延長された線分と被吐出領域ＴＧＲ１との交点Ｋａが決定される。
【００６９】
基体１０Ａに対して、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４が最初に吐出する被吐出領域ＴＧＲ１の交点Ｋａが決定されると、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４が吐出されてから吐出相対時間Ｔ後にノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４から着色液状材料１１ａを吐出すれば、ノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４からＹ軸と平行に延長された線分と被吐出領域ＴＧＲ１との交点Ｋｂに着弾する。尚、ノズル５２ａ３とノズル５２ｂ３は、バンク２０と重なるため着色液状材料１１ａの吐出を行わない。これは、製造する基体１０Ａは、製造する機種によってバンク２０の大きさ及び配列が異なるため、予め吐出するデータに着色液状材料１１ａを吐出しないデータを含むようにして対応することができる。
【００７０】
また、例えば、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出された着色液状材料１１ａが最初に着弾した着色液状材料１１ａの中心である被吐出領域ＴＧＲ１と、さらに次にノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出されて着弾する着色液状材料１１ａの中心である被吐出領域ＴＧＲ２との距離を着弾径Ｄに相当する距離だけ離し、双方の着弾同士が外接（着弾した形状同士がお互いに接する状態）するための吐出相対時間Ｔを求める。例えば、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出された着弾径Ｄの着色液状材料１１ａと、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から次に吐出された着弾径Ｄの着色液状材料１１ａとが外接するためには、”Ｔ＝Ｄ／Ｖｙ”にすればよい。また、図５のように最初の着弾と次の着弾とが重なり合うようにするには、”Ｔ＜Ｄ／Ｖｙ”とすればよい。
【００７１】
また、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１を構成している複数の液滴吐出ヘッド５１のＸ軸方向の総長さとしての距離Ｌ３が、基板としての基体１０ＡのＸ軸方向の大きさよりも小さい場合は、液滴吐出装置１（図１参照）の吐出走査部２（図１参照）によってキャリッジ３（図１参照）をＸ軸方向に移動して、基体１０Ａとの相対位置を変更する。
【００７２】
第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１を構成している液滴吐出ヘッド５１１ｂ，５１２ｂ，５１３ｂ，…も液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１２ａ，５１３ａと同様に着色液状材料１１ａを吐出して着色領域Ｒを形成する。
【００７３】
第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２は、着色液状材料１１ｂを吐出して着色領域Ｇを形成し、第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３は、着色液状材料１１ｃを吐出して着色領域Ｂを形成することが異なるが、他は第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１と同様の構成である。また、３色以上の色を使用する場合は、その色に対応する液滴吐出ヘッド群を構成することによって対応することができる。勿論、３色以上の色を使用する場合は、タンク１２から液滴吐出ヘッド群までの、着色液状材料１１を供給する経路を増やさなければならない。
【００７４】
第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２又は、第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３の基体１０Ａに対するＸ軸方向の位置は、液滴吐出装置１（図１参照）の吐出走査部２（図１参照）によって任意に選択することができる。
【００７５】
図６（ａ）〜（ｃ）、図７（ｄ）〜（ｆ）、図８（ｇ）、（ｈ）、図９（ｉ）、（ｊ）、図１０（ｋ）、（ｌ）、図１１（ｍ）、（ｎ）、図１２（ｏ）、（ｐ）、図１３（ｑ）、（ｒ）、図１４（ｓ）、（ｔ）は、図５の方法で基体１０Ａに配設されているバンク２０に着色液状材料１１が吐出される順序を説明する模式図である。
基体１０Ａにフォトリソ法を利用して製造された矩形のバンク２０が複数配列されている。本実施例では、カラーフィルタを構成する色として赤（以降、Ｒという）、緑（以降、Ｇという）、青（以降、Ｂという）の３色で説明する。また、本実施例では、バンク２０の配列はストライプ配列で説明する。
【００７６】
図６（ａ）では、第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１を構成している液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，，５１１ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ１に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。ノズル５２ａ３は、バンク２０の領域に入ってしまうため着色液状材料１１ａを吐出しない。以降、このようなノズルからは着色液状材料１１を吐出しない。
【００７７】
図６（ｂ）では、液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，，５１１ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ２に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４から吐出される。
【００７８】
図６（ｃ）では、液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，，５１１ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ３に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４から吐出される。
【００７９】
このようにして、画素としての被吐出領域Ｒのほぼ中央の領域またはバンク２０に最も近い領域に、液滴としての着色液状材料１１を、Ｘ軸方向の投影ピッチを構成して隣接するノズルで塗布する第１の塗布工程となる。この第１の塗布工程は、キャリッジ３に装着されている第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１又は第２液滴吐出ヘッド群Ｇ５２又は第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３が対応することができる範囲に、基体１０Ａの着色領域Ｒ，Ｇ，Ｂがある場合は１回の走査によって、Ｒのためのバンク２０、Ｇのためのバンク２０、Ｂのためのバンク２０のほぼ中央またはバンク２０に最も近い領域に液滴としての着色液状材料１１を塗布することができる。
【００８０】
また、図４で説明した通り、複数の液滴吐出ヘッド５１が基体１０Ａの幅より大きく配設されているため、表示領域すべてを描画することができる。
【００８１】
以下、第２の塗布工程について説明する。
図７（ｄ）〜（ｆ）、図８（ｇ）、（ｈ）、図９（ｉ）、（ｊ）、図１０（ｋ）、（ｌ）、図１１（ｍ）、（ｎ）、図１２（ｏ）、（ｐ）、図１３（ｑ）、（ｒ）、図１４（ｓ）、（ｔ）は、第１の塗布工程で塗布された領域以外の領域を塗布する第２の塗布工程を説明する模式図である。
図７（ｄ）では、図６（ａ）〜（ｃ）で説明した第１の塗布工程により塗布された領域と隣り合う領域に、液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，，５１１ｃ，…のノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ１に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４から吐出される。ノズル５２ａ３は、バンク２０の領域に入ってしまうため着色液状材料１１ａを吐出しない。以降、このようなノズルからは着色液状材料１１を吐出しない。
【００８２】
図７（ｅ）では、図６（ａ）〜（ｃ）で説明した第１の塗布工程により塗布された領域と隣り合う領域に、液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，，５１１ｃ，…のノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ２に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４から吐出される。
【００８３】
図７（ｆ）では、図６（ａ）〜（ｃ）で説明した第１の塗布工程により塗布された領域と隣り合う領域に、液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，，５１１ｃ，…のノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ２に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４から吐出される。
【００８４】
図８（ｇ）では、液滴吐出ヘッド５１２ａ，５１２ｂ，，５１２ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ１に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。液滴吐出ヘッド５１２ａの場合は、バンク２０の領域と重なるノズルはないため、ノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４の全てから着色液状材料１１ａが吐出される。ただし、他の液滴吐出ヘッド５１では、ノズル５２とバンク２０とが重なる所があるため、この重なったノズル５２からは着色液状材料１１を吐出しない。
【００８５】
図８（ｈ）では、液滴吐出ヘッド５１２ａ，５１２ｂ，，５１２ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ２に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。
【００８６】
図９（ｉ）では、液滴吐出ヘッド５１２ａ，５１２ｂ，，５１２ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ３に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。
【００８７】
図９（ｊ）では、液滴吐出ヘッド５１２ａ，５１２ｂ，，５１２ｃ，…のノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ１に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。
【００８８】
図１０（ｋ）では、液滴吐出ヘッド５１２ａ，５１２ｂ，，５１２ｃ，…のノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ２に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。
【００８９】
図１０（ｌ）では、液滴吐出ヘッド５１２ａ，５１２ｂ，，５１２ｃ，…のノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ３に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。
【００９０】
図１１（ｍ）では、液滴吐出ヘッド５１３ａ，５１３ｂ，，５１３ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ１に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。
【００９１】
図１１（ｎ）では、液滴吐出ヘッド５１３ａ，５１３ｂ，，５１３ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ２に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。
【００９２】
図１２（ｏ）では、液滴吐出ヘッド５１３ａ，５１３ｂ，，５１３ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ３に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。
【００９３】
図１２（ｐ）では、液滴吐出ヘッド５１３ａ，５１３ｂ，，５１３ｃ，…のノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ１に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４から吐出される。
【００９４】
図１３（ｑ）では、液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，，５１１ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４が、次の着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ１に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４から吐出される。ノズル５２ａ３は、バンク２０の領域と重なり合っているため着色液状材料１１ａを吐出しない。
【００９５】
図１３（ｒ）では、液滴吐出ヘッド５１３ａ，５１３ｂ，，５１３ｃ，…のノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ２に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４から吐出される。
【００９６】
図１４（ｓ）では、液滴吐出ヘッド５１１ａ，５１１ｂ，，５１１ｃ，…のノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４が、次の着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ２に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ａ１，５２ａ２，５２ａ４から吐出される。ノズル５２ａ３は、バンク２０の領域と重なり合っているため着色液状材料１１ａを吐出しない。
【００９７】
図１４（ｔ）では、液滴吐出ヘッド５１３ａ，５１３ｂ，，５１３ｃ，…のノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４が、着色領域Ｒの被吐出領域ＴＧＲ３に達した状態で着色液状材料１１ａが黒い丸で示すノズル５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４から吐出される。
【００９８】
このようにして、第２の塗布工程により第１の塗布工程以外の領域を塗布することができる。
【００９９】
また、着色領域Ｇ，Ｂへの塗布方法及び塗布順序は前述した順で同様に塗布すればよい。但し、液滴吐出ヘッド５１のノズル列の距離とバンク２０の大きさ等により、塗布する順序が異なる場合もある。また、図７（ｄ）〜（ｆ）、図８（ｇ）、（ｈ）、図９（ｉ）、（ｊ）、図１０（ｋ）、（ｌ）、図１１（ｍ）、（ｎ）、図１２（ｏ）、（ｐ）、図１３（ｑ）、（ｒ）、図１４（ｓ）、（ｔ）の描画に関し、同時に行っても良いし、複数回の工程に分けて行っても良い。なお、説明を簡略化するために、一画素辺り２つのノズルが当たるように図示及び説明したが、これに限られるものではなく、画素のサイズ及びノズルのレイアウトによりこれより多くのノズルを使用することができれば、対応可能である。特に、画素の中央付近を最初に塗布し、それ以降その他の領域を塗布したが、中央に対し両サイドの領域を同時に描画することも可能である。また、複数回の工程に分けて描画することも可能である。
【０１００】
さらに、本実施例の液滴塗布方法は、液晶表示装置の製造だけでなく、種々の電気光学装置の製造にも適用される。ここでいう「電気光学装置」とは、複屈折性の変化、旋光性の変化、又は光散乱性の変化などの光学的特性の変化（いわゆる電気光学効果）を利用する装置に限定されず、信号電圧の印加に応じて光を射出、透過、又は反射する装置全般を意味する。
【０１０１】
具体的には、電気光学装置とは、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ表示装置、表面伝導型電子放出素子を用いたディスプレイ（ＳＥＤ：Surface-Conduction Electron-Emitter Display）、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ：Field Emission Display）などを含むものである。
【０１０２】
また、本実施例の液滴塗布方法は、上述の電気光学装置に含まれる電気光学素子の製造にも適用される。具体的には、電気光学装置の画素部に形成されるＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子、走査線や信号線等の電気配線、及び画素電極の形成などに適用することができる。
【０１０３】
さらに、本実施例の液滴塗布方法は、種々の電子機器の製造方法に適用され得る。例えば、前述した電気光学装置を備えた携帯電話機の製造方法にも適用され得るし、前述した電気光学装置を備えたパーソナルコンピュータの製造方法にも適用される。
【０１０４】
また、上記の実施例では、カラーフィルタに本発明を適用したが、これに限らず、ＴＦＤ（Thin Film Diode）素子などに本発明を適用しても構わない。
【０１０５】
また、本発明は、例えば、ＦＦＳ（Fringe Field Switching）方式を有する液晶装置、又はＩＰＳ（In Plane Switching）方式を有する液晶装置にも適用することが可能である。その他、本発明は、上記の実施例の構成に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変形をすることが可能である。
【０１０６】
なお、実施例に係る電気光学装置等を適用可能な電子機器としては、パーソナルコンピュータ、携帯電話機、液晶テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ディジタルスチルカメラなどが挙げられる。
【０１０７】
以下、第１の実施例の効果を記載する。
（１）第１の塗布工程で塗布された領域以外の領域を塗布する第２の塗布工程は、第１の塗布工程で塗布された領域に対して、第１の塗布工程で塗布された領域以外の領域に塗布されて、画素及び被吐出領域としてのバンク２０に液滴としての着色液状材料１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）が基板としての基体１０Ａに塗布され、全てのバンク２０に対して着色液状材料１１（１１ａ，１１ｂ，１１ｃ）が塗布され、それぞれのバンク毎の色の差が少なくなる液滴塗布方法及び電気光学装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】液滴吐出装置１の斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッド５１の全体の断面斜視図、（ｂ）は、吐出部の詳細断面図。
【図３】２列のノズル列を有する液滴吐出ヘッド５１のノズルプレート１２８を示す平面図。
【図４】複数の液滴吐出ヘッド５１がサブキャリッジ５０及びキャリッジ３に装着された状態を示す模式図。
【図５】基体１０Ａとサブキャリッジ５０及びキャリッジ３に装着された複数の液滴吐出ヘッド５１のノズル５２から着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図。
【図７】（ｄ）〜（ｆ）は、着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図。
【図８】（ｇ）、（ｈ）は、着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図。
【図９】（ｉ）、（ｊ）は、着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図。
【図１０】（ｋ）、（ｌ）は、着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図。
【図１１】（ｍ）、（ｎ）は、着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図。
【図１２】（ｏ）、（ｐ）は、着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図。
【図１３】（ｑ）、（ｒ）は、着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図。
【図１４】（ｓ）、（ｔ）は、着色液状材料１１を吐出する状況を示す模式図。
【符号の説明】
【０１０９】
１…液滴吐出装置、２…吐出走査部、３…キャリッジ、４…第２位置制御装置、５…ステージ、６…第１位置制御装置、７…液滴吐出装置制御部、８…メンテナンス装置、９…排液装置、１０Ａ…基板としての基体、１１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ…液滴としての着色液状材料、１２…タンク、１３…チューブ、２０…画素及び被吐出領域としてのバンク、５０…サブキャリッジ、５１…第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１〜第３液滴吐出ヘッド群Ｇ５３を構成する液滴吐出ヘッド、５２，５２ａ１，５２ａ２，５２ａ３，５２ａ４，５２ｂ１，５２ｂ２，５２ｂ３，５２ｂ４…ノズル、５２ａ，５２ｂ…ノズル群、５３ａ，５３ｂ，５４ａ，５４ｂ…ノズル列基準ノズル、１２０…キャビティ、１２２…隔壁、１２４…振動子、１２４ａ，１２４ｂ…電極、１２４ｃ…ピエゾ素子、１２６…振動板、１２７…吐出部、１２８…ノズルプレート、１２９…液溜まり、１３０…供給口、１３１…孔、５１１ａ〜５１１ｅ，５１２ａ〜５１２ｅ，５１３ａ〜５１３ｅ…第１液滴吐出ヘッド群Ｇ５１を構成する液滴吐出ヘッド、５２１ａ〜５２１ｅ，５２２ａ〜５２２ｅ，５２３ａ〜５２３ｅ，５３１ａ〜５３１ｅ，５３２ａ〜５３２ｅ…液滴吐出ヘッド、Ａ…矢印、Ｂ，Ｇ，Ｒ…着色領域、Ｄ…着弾径、Ｇ５１…第１液滴吐出ヘッド群、Ｇ５２…第２液滴吐出ヘッド群、Ｇ５３…第３液滴吐出ヘッド群、Ｋａ，Ｋｂ…交点、Ｌ…液滴吐出ヘッド間距離、Ｌ１…ノズル列間距離、Ｌ２…ノズル相互距離、Ｌ３…総長さとしての距離、Ｌｂ…ノズル列Ｎ、Ｌｅ…相対移動距離、ＬＨ１，ＬＨ２…液滴吐出ヘッド相互距離、Ｌｓ，Ｌｔ…距離、Ｎ…整数、ＮＬａ，ＮＬｂ…ノズル列、Ｐ…ノズルピッチ、Ｔ…吐出相対時間、ｔ００，ｔ０１…経過時間、ｔ２…所要時間、ｔ３…遅延飛翔時間、ＴＧＲ１，ＴＧＲ２，ＴＧＲ３…被吐出領域、ＴＰ１，ＴＰ２…投影ピッチ、Ｖｅ…飛翔速度、Ｖｙ…相対速度。
【図１】
2007190449.tif 000003
【図２】
2007190449.tif 000004
【図３】
2007190449.tif 000005
【図４】
2007190449.tif 000006
【図５】
2007190449.tif 000007
【図６】
2007190449.tif 000008
【図７】
2007190449.tif 000009
【図８】
2007190449.tif 000010
【図９】
2007190449.tif 000011
【図１０】
2007190449.tif 000012
【図１１】
2007190449.tif 000013
【図１２】
2007190449.tif 000014
【図１３】
2007190449.tif 000015
【図１４】
2007190449.tif 000016