(57)【要約】【課題】画像表示装置における列方向配線、行方向配線の最終端部の膜剥がれの防止を図る。【解決手段】列方向及び／または行方向の配線８１が複数の直線部分８１ａに区画されると共に、該複数の直線部分８１ａが変曲部８１ｂを介して連続一体に形成され、配線の長手方向に生じるストレスが変曲部８１ｂで分断されるようにして成る。【選択図】図３
2007109605.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
列方向及び／または行方向の配線が複数の直線部分に区画されると共に、該複数の直線部分が変曲部を介して連続一体に形成され、
前記配線の長手方向に生じるストレスが前記変曲部で分断されるようにして成る
ことを特徴とする画像表示装置。
【請求項２】
前記配線の長手方向の複数箇所の下に凸部が形成され、
前記配線が前記凸部に沿うように形成され、
前記凸部上に対応する配線部分が前記変曲部とされ、
前記各凸部間で前記配線の直線部分が形成されて成る
ことを特徴とする請求項１記載の画像表示装置。
【請求項３】
前記配線を上部配線とし、該上部配線と直交する下部配線が前記凸部の構成要素である
ことを特徴とする請求項２記載の画像表示装置。
【請求項４】
前記凸部がエンボス加工又はインクジェット法で形成されて成る
ことを特徴とする請求項２記載の画像表示装置。
【請求項５】
前記配線が平面的に複数箇所で屈曲しながら一方向に延長して形成され、
前記配線の屈曲部が前記変曲部とされ、
前記各屈曲部間で前記配線の直線部分が形成されて成る
ことを特徴とする請求項１記載の画像表示装置。
【請求項６】
前記配線が長手方向に沿って複数の幅広部分と幅狭部分とを交互に配列するように形成され、
前記幅狭部分が、前記幅広部分の長手方向の中心線を挟んで左右交互に変位して形成され、
前記幅広分で前記配線の直線部分が形成され、
前記幅狭部分が前記変曲部とされて成る
ことを特徴とする請求項１記載の画像表示装置。
【請求項７】
列方向及び／または行方向の配線が、長手方向に２筋の直線部分を有し該２筋の直線部分が長手方向の複数箇所で連結された梯子状に形成されて成る
ことを特徴とする画像表示装置。
【請求項８】
列方向及び／または行方向の配線が、長手方向に沿って複数のスリットを有して成る
ことを特徴とする画像表示装置。
【請求項９】
複数の並列する配線を有し、
前記各配線の両端を連結した状態から該連結部を基板ごと切断することにより、前記各分離された配線が配線端部を基板端部と一致するように形成されて成る
ことを特徴とする画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光体の発光で画像表示する画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
平面表示装置（いわゆるフラットディスプレイ）の一つとして、例えば冷陰極電子放出素子を用いた、いわゆるフィールド・エミッション・ディスプレイ（ＦＥＤ）が知られている。この表示装置は、熱的励起によらず、量子トンネル効果に基づき固体から真空中に電子を放出することを利用したものである。例えばスピント型やエッジ電極型、ＭＩＭ型、ＣＮＴ型などの所謂電界電子放出型素子やあるいは表面伝導型電子放出素子などを用いた表示装置が一般的に知られており、高輝度及び低消費電力の点から注目を集めている。
【０００３】
図１５に、従来のこの種の表示装置の模式的な断面構造を示す。この表示装置１は、基板、例えばガラス基板２の内面に蛍光面３とアノード電極４が形成されたアノードパネル５と、基板、例えばガラス基板１２の内面に電界電子放出素子（以下、電界放出素子という）１３を形成したカソードパネル１４とを相対向して配置し、周縁部分に枠状のシールガラス１５を挟んでフリットガラスにて接合して構成される。
【０００４】
アノードパネル５は、ガラス基板２の有効画面となる領域内面に、電子照射により発光する所定パターンの蛍光体層６（赤色蛍光体層６Ｒ、緑色蛍光体層６Ｇ及び青色蛍光体層６Ｂ）と、各色蛍光体層間に在ってコントラスト向上の遮光として働くブラックマトリックス７とによる蛍光面３を有している。ブラックマトリックス７上には各蛍光体層６を囲むように隔壁８が形成され、蛍光体層６及び隔壁８の表面の全面にわたって低抵抗薄膜（例えばアルミニウム薄膜）によるアノード電極４が形成されている。このアノード電極４は、表示面への発光効率を高める為のいわゆるメタルバック膜となる。
【０００５】
カソードパネル１４内面の電界放出素子１３は、一方向（紙面に平行な方向）に帯状に延び且つ他方向（紙面に直交する方向）に沿って複数平行に配列されたカソード電極１６と、絶縁層１７を介してカソード電極１６と直交するように他方向（紙面に直交する方向）に帯状に延び且つ、一方向（紙面に平行な方向）に沿って複数平行に配列された制御電極、すなわちゲート電極１８と、両電極１６及び１８の交差領域に形成された電子放出部１９とから構成される。カソード電極１６は列方向配線となり、ゲート電極１８は行方向配線となる。
【０００６】
電子放出部１９は、絶縁層１７及びゲート電極１８の開口２０内の底面に臨みカソード電極１６上に形成される。電子放出部１９は、円錐形をなすスピント型に形成される。上記交差領域にはスピント型の電子放出部１９が複数形成される（図１３では模式的に１つの電子放出部１９で代表している）。１画素は、この電子放出部１９の一群と、これらの電子放出部１９の一群に対向した各色の蛍光体層６、本例では赤色（Ｒ）蛍光体層６Ｒ、緑色（Ｇ）蛍光体層６Ｇ、青色（Ｂ）蛍光体層６Ｂとによって構成される。アノードパネル５及びカソードパネル１４を対向させた空間は、電界放出による電子を蛍光面に照射させるために真空に維持される。
また、図示しないが、両パネル５及び１４の空間間隔を保持するために非発光領域にウォールと呼ばれる支柱が設けられ、アノードパネル５及びカソードパネル１４の大気圧による変形、破壊を防ぐようになされている。
【０００７】
カソード電極１６には相対的に負電圧がカソード電極制御回路２１から印加され、ゲート電極１８には相対的に正電圧がゲート電極制御回路２２から印加され、アノード電極４にはゲート電極１８よりも更に高い正電圧（高電圧）がアノード電極制御回路２３から印加される。この表示装置１において表示を行う場合は、例えば、カソード電極１６にカソード電極制御回路２１から画像信号を入力し、ゲート電極１８にゲート電極制御回路２２から走査信号を入力する。カソード電極１６とゲート電極１８との間に電圧を印加した際に生ずる電界により、量子トンネル効果に基づき電子放出部１９から電子が放出され、この電子がアノード電極４に引き付けられ、蛍光体層６に衝突する。その結果、蛍光体層６が励起されて発光し、所望の画像が表示される。特許文献１にはこのような冷陰極電子放出素子を用いた表示装置（ＦＥＤ）の一例が開示されている。
【０００８】
一方、特許文献２には、電子放出素子を用いた画像表示装置において、列方向配線及び行方向配線の長手方向の端部における基板からの剥がれを防止する構成が開示されている。この画像表示装置は、図１６に示すように、基板３１上に列方向配線３２が形成され、これと直交するように層間絶縁膜３３を介して行方向配線３４が形成される。そして、配線３２、３４の終端部の形状をＶ字型にし、その終端部において配線幅Ｗに対して切り込み深さを１／２Ｗ以上として、応力緩和して膜剥がれの防止を図っている。
【０００９】
また、特許文献３には、図１７に示すように、電子放出素子を用いた画像表示装置において、列方向配線４２、行方向配線４４の周辺部４２Ａ，４４Ａを幅広にして絶縁膜４３の露出する領域を狭くして帯電防止を図るようにした構成が開示されている。この構成では、応力緩和や配線の剥がれ対策の目的でないが、結果として配線周辺部４２Ａ，４４が幅広に形成されているので、配線４２、４４の剥がれ防止が図れる。
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−１５８２３２号公報
【特許文献２】特開２００２−２４５９４７号公報
【特許文献３】特開２０００−３２３０７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述したようにＦＥＤにおいて、カソードパネル側の配線は行方向配線（ゲート電極）と列方向配線（ゲート電極）とが直行して形成される。それぞれの配線は長手方向の長さをＬ、配線の幅をＷとすると、Ｌ／Ｗの比率は例えば１００００を超えるなど、非常に大きなものとなる。特に大型の画像表示装置では配線長が長くなるため、この傾向が助長される。
【００１２】
配線は通常金属系材料で形成され、基板にはガラスが用いられているため、この二つの材料の熱膨張率の違いは非常に大きく、熱処理工程で大きな熱応力が発生する。この熱応力はＬ／Ｗ比の大きな配線の終端部での配線膜の剥がれ（いわゆる膜剥がれ）や基板の反りをもたらす。特に前者の膜剥がれは、配線の欠落や、剥がれた部分による配線間の短絡や異常放電の原因となり、致命的な不良をもたらす。
【００１３】
このような問題に対して、前述した特許文献２にあるように、配線の長手方向の終端部をＶ字型にする方法があった。しかしながら、このような方法は、本質的に長手方向の応力を抑えるものではなく、終端部での部分的な膜剥がれや、基板そのものの応力による反りを抑えられない。また、特許文献３においても基板そのものの応力による反りを抑えられない。
【００１４】
本発明は、上述の点に鑑み、少なくとも配線の終端部での膜剥がれを防止できるようにした表示装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係る画像表示装置は、列方向及び／または行方向の配線が複数の直線部分に区画されると共に、該複数の直線部分が変曲部を介して連続一体に形成され、配線の長手方向に生じるストレスが変曲部で分断されるようにして成ることを特徴とする。
【００１６】
本発明の画像表示装置では、細長い配線が変曲部を介して複数の直線部分に区画されるので、基板と配線の熱膨張係数の違いにより発生するストレスが変曲部で分断され、各区画された短い直線部分でのストレスに分割される。これにより、配線の最終端部でのストレス集中が緩和される。
【００１７】
本発明に係る画像表示装置は、列方向及び／または行方向の配線が、長手方向に２筋の直線部分を有し該２筋の直線部分が長手方向の複数箇所で連結された梯子状に形成されて成ることを特徴とする。
【００１８】
本発明の画像表示装置では、細長い配線が梯子状に形成されることにより、配線自体の基板側への接着力が強まり配線の膜剥がれが防止される。
【００１９】
本発明に係る画像表示装置は、列方向及び／または行方向の配線が、長手方向に沿って複数のスリットを有して成ることを特徴とする。
【００２０】
本発明の画像表示装置では、細長い配線に長手方向に沿って複数のスリットを有することにより、基板と配線の熱膨張係数の違いにより発生するストレスがスリットで分断される。これにより、配線の最終端部でのストレス集中が緩和される。
【００２１】
本発明に係る画像表示装置は、複数の並列する配線を有し、各配線の両端を連結した状態から該連結部を基板ごと切断することにより、各分離された配線が配線端部を基板端部と一致するように形成されて成ることを特徴とする。
【００２２】
本発明の画像表示装置では、予め複数の並列する各配線の両端を連結して置くことにより、細長い配線の最終端部の応力集中が緩和され、配線の膜剥がれが防止できる。その後、連結部を基板ごと切断して各分離された配線の端部が基板端部と一致するようにして配線が形成されるので、配線の最終端部で膜剥がれが生じない配線となる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る画像表示装置によれば、細長い配線の最終端部での膜剥がれを防止することができる。あるいは、細長い配線に生じる長手方向のストレスを緩和して配線の最終端部での膜剥がれを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００２５】
図１及び図２に、本発明に係る画像表示装置をフィールド・エミッション・ディスプレイ（ＦＥＤ）に適用した実施の形態の概略構成を示す。本実施の形態に係る画像表示装置５１は、図１に示すように、基板５２の有効画面となる領域内面に蛍光面５３とアノード電極５４が形成されたアノードパネル（アノード基板）５５と、基板６２の有効画面となる領域内面に電界電子放出素子（以下、電界放出素子という）６３を形成したカソードパネル（カソード基板）６４とを相対向して配置し、周縁部分に枠体６５を介して接合されて成る。アノードパネル５５の基板５２は、透光性を有し例えば透明ガラス基板で形成することができる。カソードパネル６４の基板６２も、例えば同様のガラス基板で形成することができる。
【００２６】
カソードパネル６４には、その内面に複数の電子放出部６６を二次元的に配列した電界放出素子６３が形成される。電界放出素子６３は、複数の列方向の電極（いわゆる列方向電極：カラム電極）と複数の行方向の電極（いわゆる行方向電極：ロー電極）を有し、両電極の各交点に対応するような位置に電子放出部６６を形成して構成される。
【００２７】
すなわち、カソードパネル６４内面に形成された電界放出素子６３は、一方向（紙面に平行な方向）に帯状に延び且つ他方向（紙面に直交する方向）に沿って複数平行に配列された列方向電極となるカソード電極（以下、カソード配線という）６７と、カソード配線６７とは層間絶縁膜６８を介してカソード配線６７と直交するように、他方向（紙面に直交する方向）に帯状に延び且つ一方向（紙面に平行な方向）に沿って複数平行に配列された行方向電極となる制御電極、すなわちゲート電極（以下、ゲート配線という）６９と、両配線６７及び６９の交差領域に形成された電子放出部６６とから構成される。カソード配線６７及びゲート配線６９は、配線の長手方向の全長Ｌと配線の幅Ｗの比Ｌ／Ｗが前述したように１００００を超えるなど非常に大きな配線である。
【００２８】
電子放出部６６は、層間絶縁膜６８及びゲート配線６９の開口７０内の底面に臨みカソード配線６９上に形成される。電子放出部６６は、本例では円錐形をなすスピント型に形成される。電子放出部６６が形成される交差領域は、アノードパネル５５側の後述する一画素の蛍光体層５６に対応しており、図２に示すように、交差領域にはスピント型の電子放出部６６が複数形成される（図１では模式的に１つのスピント型の電子放出部６６で代表している）。なお、図示しないが、カソードパネル６４側には電子放出部６６から電界放出された電子を蛍光体層５６に有効に照射するためのフォーカス電極を形成することもできる。
【００２９】
アノードパネル５５及びカソードパネル６４を対向させた空間は、電界放出による電子を蛍光面５３に照射させるために真空に維持される。また、両パネル５５及び６４の空間間隔を保持するために非発光領域に薄板状のスペーサ７２が設けられ、アノードパネル５５及びカソードパネル６４の大気圧による変形、破壊を防ぐようになされている。
【００３０】
電子放出部６６としては、スピント型の他、例えばカーボンナノチューブのような針状の導電材料を用いて形成することもできる。
【００３１】
アノードパネル５５は、基板５２の有効画面となる内面に、電子照射により発光する所定パターン、例えば二次元配列された複数の蛍光体層５６と各蛍光体層５６間にあってコントラスト向上に遮光として働く、いわゆるブラックマトリックス５７とによる蛍光面５３を有している。蛍光体層５６は、例えば赤色蛍光体層５６Ｒ，緑色蛍光体層５６Ｇ及び青色蛍光体層５６Ｂにより形成される。
【００３２】
カソード配線６７には相対的に負電圧がカソード電極制御回路７４から印加され、ゲート配線６９には相対的に正電圧がゲート電極制御回路７５から印加され、アノード電極５４にはゲート配線６９よりも更に高い正電圧（高電圧）がアノード電極制御回路７６から印加される。この画像表示装置５１において表示を行う場合は、前述と同様に、例えば、カソード電極６７にカソード電極制御回路７４から画像信号を入力し、ゲート電極６９にゲート電極制御回路７５から走査信号を入力する。カソード配線６７とゲート配線６９との間に電圧を印加した際に生じる電界により、電子放出部６６から電子が放出され、この電子がアノード電極５４に引き付けられ、蛍光体層５６に衝突する。その結果、蛍光体層６６が励起されて発光し、所望の画像が表示される。
【００３３】
そして、本実施の形態に係る画像表示装置５１においては、特に、カソードパネル６４側の電極を構成する複数のカソード配線６７及び／またはゲート配線６９を、長手方向に関して複数の直線部分に区画すると共に、この複数の直線部分を変曲部を介して連続一体に形成し、電極（すなわち配線）の長手方向に生じるストレスを変曲部で分断するように形成して構成される。この電極構造は、特に横長画面の画像表示装置において、横方向に長く延長する行方向配線であるゲート配線６９に適用するのが好ましい。
【００３４】
図３に、本実施の形態に係るカソードパネル６４側の電極構造の第１実施の形態を示す。本実施の形態では、基本的に配線８１の長手方向の複数箇所の下に凸部８２を形成し、この凸部８２に沿うように配線８１を長手方向に凹凸状に形成する。すなわち、この配線８１は、複数の凸部８２により長手方向に沿って複数の直線部分８１ａに区画される。同時に直線部分８１ａと連続一体である、各凸部８２上に対応する配線部分８１ｂが配線８１の長手方向に生じるストレスの分断を可能にする変曲部として形成される。ここで、配線８１のストレスを分断し、緩和させるために、配線８１の膜厚ｔ２は凸部８２の高さｈ１と同等以下であればよい（ｔ２≦ｈ１）。
【００３５】
凸部８２は所定間隔をもって周期的に形成することが好ましい。また、配線８１の凸部８２間に対応する距離（いわゆる直線部分の長さ）をＬ１、配線の幅（図示しないが、紙面に垂直な方向の幅）をＷとしたとき、直線部分の長さＬ１と配線幅Ｗとの比を、Ｌ１／Ｗ＜１０００となるように規定するのが良い。Ｌ１／Ｗが１０００以上になると、熱処理条件によっては断線や膜ハガレなどの不都合が生じる。Ｌ１は例えば５００μｍ程度とすることができる。
【００３６】
凸部８２としては、下層配線の段差を利用しても良いし、あるいはエンボス加工、インクジェット法により形成することもできる。
【００３７】
第１実施の形態によれば、凸部８２の段差によって配線８１の長手方向の長さが複数の直線部分８１ａに区切られる。これにより、製造プロセスにおける熱工程において、基板８３とその上に形成される配線８１との熱膨張係数に違いにより配線８１に発生するストレス（応力）は凸部８２の段差で分断され、緩和することができる。すなわち、配線８１の各直線部分８１ａの長さに対応したストレスの発生となり、ストレスを緩和することができる。これによって、配線８１の最終端部でのストレスの集中が緩和され、配線最終端部での膜剥がれを防止することができる。配線８１の長手方向のストレスを緩和することができるので、基板８３の反りを抑えることができる。配線８１の膜剥がれが防止されるので、剥がれた膜による二次的な配線短絡や異常放電を防止することができる。
【００３８】
図４及び図５（図４のＡーＡ線上の断面図）に、上記第１実施の形態のうち凸部として下部電極を利用した場合の例を示す。本実施の形態では、ガラス基板６２の内面に複数のカソード配線（カラム配線）６７を形成し、このカソード配線６７の段差を積極的に利用して層間絶縁膜６８を介してゲート配線６９を形成して構成される。ゲート配線６９は、カソード配線６７による凸部に沿うように長手方向に凹凸状に形成される。この場合、好ましくはカソード配線６７の膜厚ｔ１をゲート配線６９の膜厚ｔ２より厚くする（ｔ１＞ｔ２）。
本実施の形態によれば、カソード配線６７の段差を凸部として利用しこの上に層間絶縁膜６７を介してゲート配線６９を形成することにより、ゲート配線６９の長手方向のストレスが各カソード配線６７による凸部で分断される。この結果、前述したようにゲート配線６９の最終端部でのストレ集中が緩和され、配線最終端部での膜剥がれを防止し、またガラス基板６２の反りを抑えることができる。ゲート配線６９の膜剥がれによるゲート配線６９間の短絡、異常放電を防止することができる。
【００３９】
因みに、従来のカソードパネル側の配線では、図６に示すように、ガラス基板１２内面のカソード配線１６上に層間絶縁膜１７を介してゲート配線１８が形成されるが、ゲート配線１８の段差高さがカソード配線１６の膜厚に依存するため、ゲート配線１８の段差部によるオープン不良や抵抗増大を防ぐため、層間絶縁膜１７を平坦化してゲート配線１８の段差部の高さｄを、最小に抑え、ゲート配線１８の膜厚以下にしている。従って、このようなゲート配線構造ではストレス緩和は得られない。
【００４０】
図７Ａ，Ｂ及びＣに、上記第１実施の形態のうち凸部を下地にエンボス加工を行って形成した例を示す。本実施の形態では、ガラス基板６２の内面にエンボス加工により第１の凸部８５及び第２の凸部８６が周期的に形成される。第１の凸部８５の列と第２の凸部８６の列は交互に配置され且つ互いに１／２ピッチずれるように配列される。そして、カソード配線６７は第１の凸部８５上に沿って形成され（図７Ｂ参照）、ゲート配線６９は第２の凸部８６上に沿って形成される（図７Ｃ参照）。各凸部８５、８６の高さと、カソード配線６７及びゲート配線６９の膜厚の関係は前述のように設定する。
本実施の形態によれば、エンボス加工による第１及び第２の凸部８５及び８６を形成し、それぞれの凸部８５、８６上に沿ってカソード配線６７及びゲート配線６９を形成することにより、前述したように、カソード配線６７のストレス、ゲート配線６９のストレスがそれぞれ緩和される。従って、カソード敗戦６７及びゲート配線６９の最終端部でのストレス集中が緩和され、配線最終端部での膜剥がれを防止し、またガラス基板６２の反りを抑えることができる。カソード配線６７及びゲート配線６９の膜剥がれによるカソード配線６７間あるいはゲート配線６９間の短絡、異常放電を防止することができる。
【００４１】
図８に、本実施の形態に係るカソードパネル６４側の電極構造の第２実施の形態を示す。本実施の形態では、図８Ａに示すように、配線８１を平面的に複数箇所で屈曲しながら一方向に延長して形成される。配線８１は、複数の屈曲部８８により複数の直線部分８１ａに区分され、この屈曲部８８が配線８１の長手方向に生じるストレスの分断を可能にする変曲部となる。屈曲部８８は周期的に形成されるのが好ましい。配線８１は、屈曲部８８の長さＤが配線幅Ｗ以上、好ましくは配線幅Ｗより大きくなるように形成される。また、隣合う屈曲部間の距離（直線部分８１ａの長さに相当する）Ｌ２と配線幅Ｗとの比をＬ２／Ｗ≦１０００となるように規定するのが良い。Ｌ２／Ｗが１０００以上になると、熱処理条件によっては断線や膜ハガレなどの不都合が生じる。Ｌ２は例えば５００μｍ程度とすることができる。
【００４２】
図８Ａでは交互に屈曲した直線部分の長さを同じ、あるいは実質的な直線部分を維持して隣合う直線部分の長さを異にした場合で、屈曲部８８は直線部分８１ａから屈曲した部分となる。一方、図８Ｂに示すように、配線８１を周期的に屈曲させるも、実質的に区画する直線部分８１ａに比べて十分短い直線部分をもって屈曲した屈曲部分８１ｂを有するように形成することができる。この場合は屈曲部分８１ｂが変曲部となる。この図８Ａ，Ｂの配線８１の構造は、カソード配線６７、ゲート配線６９に適用される。
【００４３】
第２実施の形態によれば、屈曲部８８または８１ｂによって配線８１の長手方向の長さが複数の直線部分８１ａに区切られる。これにより、製造プロセスにおける熱工程において、基板８３とその上に形成される配線８１との熱膨張係数に違いにより配線８１に発生するストレス（応力）は屈曲部８８あるいは８１ｂで分断され、緩和することができる。すなわち、配線８１の各直線部分８１ａの長さに対応したストレスの発生となり、前述のようにストレスを緩和することができ、配線８１の最終端部での膜剥がれを防止することができる。配線８１の長手方向のストレスを緩和することができるので、基板８３の反りを抑えることができる。配線８１の膜剥がれが防止されるので、剥がれた膜による二次的な配線短絡や異常放電を防止することができる。
【００４４】
図９は、第２実施の形態の変形例である。図８では配線８１を方形状に屈曲させたが、本実施の形態では配線８１を三角形状に屈曲させて構成される。この場合は、屈曲頂部８９が変曲部となり、この屈曲頂部８９により複数の直線部分８１ａが区画される。
図９の実施の形態においても、図８と同様に配線８１のストレスが緩和され、配線８１の最終端部での膜剥がれを防止することができる。ストレスの緩和で、基板８３の反りを抑えることができる。配線８１の膜剥がれが防止されるので、剥がれた膜による二次的な配線短絡や異常放電を防止することができる。
【００４５】
図１０に本実施の形態に係るカソードパネル６４側の電極構造の第３実施の形態を示す。本実施の形態では、配線８１を長手方向に沿って幅広部分８１Ａと幅狭部分（幅広部分の連結部に相当する）８１Ｂとを交互に有して形成される。このとき、各幅広部分８１Ａは中心線９１が同一線上になるように形成され、各幅狭部分８１Ｂは中心線９２ａ，９２ｂが幅広部分８１Ａの幅方向に関して左右交互に変位するように形成される。そして、幅広部分８１Ａを挟む両幅狭部分８１Ｂの中心線９２ａ及び９２ｂ間の距離ｓが幅狭部分８１Ｂの幅ｘより大きくなるように規定される（ｓ＞ｘ）。換言すれば、幅広部分８１Ａを挟む一方の（図１０において上方の）幅狭部分８１Ｂの下端９３が、他方の（図１０において下方の）幅狭部分８１Ｂの上端より上に位置するように、幅狭部分８１Ｂが形成される。ここで、幅広部分８１Ａが上述の直線部分に相当し、幅狭部分８１Ｂが配線８１のストレスの分断を可能にする上述の変曲部に相当する。この配線８１の構造は、カソード配線６７、ゲート配線６９に適用される。
【００４６】
第３実施の形態によれば、幅狭部分８１Ｂによって配線８１の長手方向の長さが複数の幅広部分８１Ａ、すなわち直線部分に区切られる。これにより、製造プロセスにおける熱工程において、基板８３とその上に形成される配線８１との熱膨張係数に違いにより配線８１に発生するストレス（応力）は幅狭部分８１Ｂで分断され、緩和することができる。すなわち、配線８１の幅広部分８１Ａ、すなわち各直線部分の長さに対応したストレスの発生となり、ストレスを緩和することができる。これにより、配線最終端部でのストレス集中が緩和され、配線８１の最終端部での膜剥がれを防止することができる。配線８１の長手方向のストレスを緩和することができるので、基板８３の反りを抑えることができる。配線８１の膜剥がれが防止されるので、剥がれた膜による二次的な配線短絡や異常放電を防止することができる。
【００４７】
図１１に、本実施の形態に係るカソードパネル６４側の電極構造の第４実施の形態を示す。本実施の形態では、配線８１を、長手方向に２筋の直線部分１８Ａ，９４Ｂを有し、この２筋の直線部分９４Ａ，９４Ｂが長手方向の複数箇所、好ましくは周期的に複数箇所で連結部９５によって連結された梯子状に形成して構成される。連結部９５は直線部分９４Ａ，９４Ｂと直交して形成される。この配線８１の構造は、カソード配線６７、ゲート配線６９に適用される。
【００４８】
第４実施の形態によれば、配線８１が長手方向の２筋の直線部分９４Ａ，９４Ｂを連結部９５で梯子状に連結した構造を有しているので、配線８１自体の基板８３等の下地との接着力が強くなり、配線最終端での膜剥がれを防止することができる。
【００４９】
図１２に、本実施の形態に係るカソードパネル６４側の電極構造の第５実施の形態を示す。本実施の形態では、配線８１を、長手方向に沿って複数のスリット９６を有するように、例えば周期的に有するように形成して構成される。この配線８１の構造は、カソード配線６７、ゲート配線６９に適用される。
【００５０】
第５実施の形態によれば、配線８１に長手方向に沿って複数のスリット９６を有することにより、製造プロセスにおける熱工程において、基板８３とその上に形成される配線８１との熱膨張係数に違いにより配線８１に発生するストレス（応力）はスリット９６で分断され、緩和することができる。これにより、配線８１の最終端部での膜剥がれを防止することができる。配線８１の長手方向のストレスを緩和することができるので、基板８３の反りを抑えることができる。配線８１の膜剥がれが防止されるので、剥がれた膜による二次的な配線短絡や異常放電を防止することができる。
【００５１】
図１３に、本実施の形態に係るカソードパネル６４側の電極構造の第６実施の形態を示す。本実施の形態では、図１３Ａに示すように、基板８３上に並列する複数の配線８１を形成すると共に、有効画面９８の外側に位置するパッド部９９より外側で各配線８１を配線連結部１００により連結する。パッド部９９を含んで並列する複数の配線８１とその配線連結部１００は同じ導電材料により同時、一体に形成される。配線８１は、例えばスパッタリング法、ＣＶＤ（化学気相成長）法を用いて形成することができる。次に、図１３Ｂに示すようにカソード側電極の形成工程が終了した後、配線連結部１００を基板８３と共に切断して各配線８１を電気的に分離する。このようにして、カソードパネル６４を、分離された各配線８１がその配線端部を基板８３の端部と一致するように形成して構成される。この配線８１の構造は、カソード配線６７、ゲート配線６９に適用される。
【００５２】
第６実施の形態によれば、予め並列された複数の配線８１を端部において配線連結部１００により転結した状態で形成することにより、配線連結部１００での基板８３に対する接着力が大きくなり、製造プロセスでの配線最終端部のストレス集中を防ぐことができる。その後で配線連結部１００を切断するので、配線８１の膜剥がれを防止することができる。基板８３の反りを抑えることができる。配線８１の膜剥がれが防止されるので、剥がれた膜による二次的な配線短絡や異常放電を防止することができる。
【００５３】
上例では、本発明を、画像表示装置の代表例としてフィールド・エミッション・ディスプレイ（ＦＥＤ）に適用した場合であるが、その他、サーフェス・コンダクション・エレクトロン・ディスプレイ（ＳＥＤ）にも適用できる。上例では電子放出素子としてスピント型が図示されているが、これに限定されるものではなく、例えばエッジ電極型、ＭＩＭ型、ＣＮＴ型、あるいは表面伝導型電子放出素子なども適用できる。また、本発明は背面パネル側に蛍光体層を形成した反射型の画像表示装置であるプラズマ表示装置（ＰＤＰ）にも適用できる。
【００５４】
図１４に、本発明に係る画像表示装置をプラズマ表示装置に適用した実施の形態を示す。本実施の形態に係るプラズマ表示装置１１１は、透明のガラス基板１１２の内面にストライプ状の透明バス電極１１３及び透明表示電極１１４の組が複数配列形成されなる前面パネル１１５と、背面ガラス基板１１７の内面にストライプ状の隔壁１１８及びアドレス電極１１９と蛍光体層１２０を有した背面パネル１２１を備えて成る。バス電極１１３及び表示電極１１４は対をなして複数組、平行配列され、電極１１３、１１４を覆うように誘電体層１２３及び保護層１２４が積層されている。背面パネル１２１の隔壁１１８及びアドレス電極１１９は、前面パネル１１５側の電極１１３、１１４と直交するように形成される。各隔壁１１８間にアドレス電極１１９と蛍光体層、例えば赤、緑、青の３原色の蛍光体層１２０が形成される。隔壁１１８を介して前面パネル１１５及び背面パネル１２１が封止され、放電空間１２２間内に混合ガスが密封される。
このプラズマ表示装置では、対向する電極間に所要の電圧が印加され、放電空間１２２に発生するプラズマ放電に基づき。密封された混合ガスから発生する紫外線により蛍光体層１２０が励起発光されて画像表示が行われる。
【００５５】
そして、本実施の形態においては、上記プラズマ表示装置において、そのバス電極１１３、表示電極１１４及びアドレス電極１１９、あるいはその何れかの電極が、前述した第１実施の形態〜第６実施の形態の何れかの電極構造によって形成される。
本実施の形態のプラズマ表示装置によれば、バス電極１１３、表示電極１１４及びアドレス電極１１９、あるいはその何れかの電極を、前述の実施の形態の電極構造とすることにより、配線の最終端部での膜剥がれを防止し、基板の反りを抑え、剥がれた膜による二次的な配線短絡や異常放電を防止することができる。特に、横長画面のプラズマ表示装置の場合、横方向に延長する電極に本発明の電極構造を適用して好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明に係る画像表示装置をフィールド・エミッション。ディスプレイに適用した実施の形態を示す概略構成図である。
【図２】図１のカソードパネルの要部の斜視図である。
【図３】本発明に係る配線構造の第１実施の形態を示す要部の断面図である。
【図４】第１実施の形態の配線構造の一例を示す斜視図である。
【図５】図４のＡーＡ線上の断面図である。
【図６】比較のための配線構造の断面図である。
【図７】Ａ，Ｂ及びＣ  第１実施の形態の配線構造の他の例の平面図、ＢーＢ線上の断面図及びＣーＣ線上の断面図である。
【図８】Ａ，Ｂ  それぞれ本発明に係る配線構造の第２実施の形態を示す要部の平面図である。
【図９】本発明に係る配線構造の第２実施の形態の他の例を示す要部の平面図である。
【図１０】本発明に係る配線構造の第３実施の形態の要部を示す平面図である。
【図１１】本発明に係る配線構造の第４実施の形態の要部を示す平面図である。
【図１２】本発明に係る配線構造の第５実施の形態の要部を示す平面図である。
【図１３】Ａ〜Ｂ  本発明に係る配線構造の第６実施の形態を製造工程と共に示す平面図である。
【図１４】本発明に係る画像表示装置をプラズマ表示装置に適用した実施の形態を示す斜視図である。
【図１５】従来のフィールド・エミッション・ディスプレイの概略図である。
【図１６】従来の画像表示装置の配線構造の一例を示す平面図である。
【図１７】従来の画像表示装置の配線構造の他の例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５７】
５１・・画像表示装置（ＦＥＤ），５２・・基板、５３・・蛍光面、５４・・アノード電極、５５・・アノードパネル、６２・・基板、６３・・電界放出素子、６４・・カソードパネル、６６・・電子放出部、６７・・カソード電極（配線）、６８・・層間絶縁膜、６９・・ゲート電極（配線）、８１・・配線、８１ａ・・直線部分、８１ｂ・・変曲部、８１Ａ・・幅広部分、８１Ｂ・・幅狭部分、８２・・凸部、８３・・基板、８５・・エンボス凸部、８８・・屈曲部、８９・・三角頂部、９４Ａ，９４Ｂ・・直線部分、９５・・連結部、９６・・スリット、９８・・有効画面、９９・・パッド部、１００・・連結部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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