(57)【要約】      （修正有）【課題】光ファイバに入射するレーザ光の光軸ずれ調整を、複雑な構成を用いることなく容易に行うことができる構成を提供する。【解決手段】レーザ加工装置は、レーザ光源からのレーザ光が、光ファイバ１２０の一端部から導入可能な位置で、光ファイバの一端部を、レーザ光源から出力されるレーザ光の光軸ＬＢと交差する方向に移動可能に保持する保持部１００を備えている。保持部には、光ファイバを保持する３つのブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃが設けられ、このブロック部材には、ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃがそれぞれ接続されている。ＳＭＡばねは、ブロック部材におけるレーザ光源からのレーザ光によって発熱した部分を外側に移動させるように作用する。【選択図】図５
2007118049.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザ光を一端部から取り入れて、他端部から出射する光ファイバと、
を備え、
前記光ファイバの前記他端部から出射されたレーザ光を被加工対象物に照射させて加工を行うレーザ加工装置であって、
前記レーザ光源からのレーザ光が、前記光ファイバの前記一端部から導入可能な位置で、前記光ファイバの前記一端部を、前記レーザ光源から出力されるレーザ光の光軸と交差する方向に移動可能に保持する保持手段を備え、
前記保持手段は、
前記光ファイバの前記一端部を保持する熱伝導性を有する熱伝導部材と、
前記熱伝導部材からの伝熱を受けると共に、前記熱伝導部材における前記レーザ光源からのレーザ光によって発熱した部分を外側に移動させるように、前記光ファイバを変位させる変位手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記変位手段は、前記熱伝導部材からの伝熱を受けるように当該熱伝導部材にそれぞれ接続され、その伝熱に応じて変形する少なくとも３以上の変形部材を有し、これら複数の変形部材が、前記熱伝導部材に沿って略均等間隔で配置されていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記変形部材は、前記熱伝導部材を光ファイバ側に付勢する付勢部材からなることを特徴とする請求項２に記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
前記変形部材は、形状記憶合金からなることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のレーザ加工装置。
【請求項５】
前記熱伝導部材は、前記光ファイバの外周部に沿って配置される複数のブロック部材からなり、
各ブロック部材に対応して前記変形部材が設けられていることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれかに記載のレーザ加工装置。
【請求項６】
複数の前記ブロック部材は、前記レーザ光源から出力されるレーザ光のスポット径よりも小さい間隔をもって互いに隣接して配置され、これら複数の前記ブロック部材により、前記光ファイバが周方向全体に亘って覆われていることを特徴とする請求項５に記載のレーザ加工装置。
【請求項７】
外部操作が可能な操作部と、
前記操作部の操作に基づき、前記光ファイバを、前記レーザ光源の光軸方向と交差する平面に沿って２次元的に移動可能な調整手段と、
を有することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、レーザ光源から出射されたレーザ光を加工用途に応じた光学系に導き、被加工対象物に照射することで、レーザ加工を行うレーザ加工装置が提供されている。このようなレーザ加工装置の一例として、レーザ光源と光学系との接続に光ファイバを用いた方式があり、この方式のものは、一般的にレーザ光源から出射された高エネルギーのレーザ光を光ファイバに入射させて伝送する構成をなしており、レーザ光源と加工を行う光学系とを分離しやすいという特徴を有している。
【特許文献１】実開平６−６９９１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記のようなレーザ加工装置では、設計的な誤差や、使用時の振動等の原因により、レーザ光源から出射されるレーザ光と光ファイバとの光軸ずれが生じることがある。このような光軸ずれが生じてレーザ光源から出射されるレーザ光が光ファイバから外れると、外れたレーザ光は光ファイバの外周部（コアの周囲のクラッドや被覆）に照射され、伝送されずに洩れることになる。このようにレーザ光が光ファイバに正常に入射されずに漏れが生じると、光ファイバ−の焼損や加工の際の出力低下を招いてしまう。
【０００４】
一方、この光軸ずれを抑制しうる技術として特許文献１のようなものが提供されている。この技術では、入射側の端部の径を大きく構成してレーザ光が入射されやすくしている。しかしながら、この技術では、入射されやすいという特質は有しているものの、光軸ずれが生じた場合の調整機能がなく、光軸ずれが生じてしまった場合の対処が困難であった。
【０００５】
他方、光軸ずれを調整する技術としてはパワーメータ等のレーザ光の光量を測定する機器を用いて調整する方法も考えられる。一例としては、光ファイバをねじ調整可能なホルダなどで保持し、レーザ光の光量を見ながら光芒が光ファイバの内部に取り込まれるように調整する方法などが挙げられる。しかしながら、この方法ではパワーメータなどの機器を必要とするため調整作業が大掛かりなものとなってしまい、かつ作業性が困難であるという問題がある。
【０００６】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、光ファイバに入射するレーザ光の位置ずれ調整を、複雑な構成を用いることなく容易に行うことができる構成を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、
レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザ光を一端部から取り入れて、他端部から出射する光ファイバと、
を備え、
前記光ファイバの前記他端部から出射されたレーザ光を被加工対象物に照射させて加工を行うレーザ加工装置であって、
前記レーザ光源からのレーザ光が、前記光ファイバの前記一端部から導入可能な位置で、前記光ファイバの前記一端部を、前記レーザ光源から出力されるレーザ光の光軸と交差する方向に移動可能に保持する保持手段を備え、
前記保持手段は、
前記光ファイバの前記一端部を保持すると共に、前記レーザ光源からのレーザ光が照射されることによって少なくとも一部が発熱するように構成され、かつその発生した熱を他部材に伝導する熱伝導部材と、
前記熱伝導部材からの伝熱を受けると共に、前記熱伝導部材における前記レーザ光源からのレーザ光によって発熱した部分を外側に移動させるように、前記光ファイバを変位させる変位手段と、
を備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１に記載のレーザ加工装置において、
前記変位手段は、前記熱伝導部材からの伝熱を受けるように当該熱伝導部材にそれぞれ接続され、その伝熱に応じて変形する少なくとも３以上の変形部材を有してなることを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項２に記載のレーザ加工装置において、
前記変形部材は、前記熱伝導部材を光ファイバ側に付勢する付勢部材からなることを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項２又は請求項３に記載のレーザ加工装置において、
前記変形部材は、形状記憶合金からなることを特徴とする。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項２ないし請求項４のいずれかに記載のレーザ加工装置において、
前記熱伝導部材は、前記光ファイバの外周部に沿って配置される複数のブロック部材からなり、
各ブロック部材に対応して前記変形部材が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項５に記載のレーザ加工装置において、
複数の前記ブロック部材により、前記光ファイバの周方向全体に亘って覆われていることを特徴とする。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のレーザ加工装置において、
前記保持手段は、
作業者による操作が可能な操作部と、
前記操作部の操作に基づき、前記光ファイバを、前記レーザ光源の光軸方向と交差する平面に沿って２次元的に移動可能な調整手段と、
を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
＜請求項１の発明＞
請求項１の発明によれば、熱伝導部材におけるレーザ光源からのレーザ光によって発熱した部分が変位手段により外側に移動されるため、レーザ光が相対的に光ファイバの中心側に移動することとなる。従って、レーザ光に対する光ファイバの位置ずれを良好に調整できることとなる。
【００１５】
＜請求項２の発明＞
請求項２の発明によれば、伝熱に応じて変形する変形部材によって位置ずれを調整できるため、部品点数を多くすることなく簡易な構成で光軸ずれ調整機能をもたせることができる。
【００１６】
＜請求項３の発明＞
請求項３の発明によれば、付勢手段による付勢作用により光ファイバが安定的に保持されるようになり、かつ、その付勢手段を位置ずれ調整に兼用できるようになる。
【００１７】
＜請求項４の発明＞
請求項４の発明によれば、熱伝導部材の発熱に応じて当該熱伝導部材を変位させうる好適例となる。
【００１８】
＜請求項５の発明＞
請求項５の発明によれば、レーザ光が照射されるブロック部材に熱が集中しやすくなるため当該ブロック部材が移動しやすくなり、それ以外のブロック部材はレーザ光による熱が伝わりにくいため移動しにくくなる。従って、位置ずれをより効果的に調整できることとなる。
【００１９】
＜請求項６の発明＞
請求項６の構成によれば、ブロック部材が光ファイバの周方向全体を網羅するようになるため、光軸ずれが生じた際にずれたレーザ光がブロック部材に照射されやすくなり、より良好に調整作用が生じることとなる。
【００２０】
＜請求項７の発明＞
請求項７の構成によれば、変位手段による自動調整機構と、操作部の操作による手動調整機構とが併用されるようになる。従って、より精度高い効果的なずれ調整が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１のレーザ加工装置１を、図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態に係るレーザ加工装置を例示する一部断面概略図であり、図２は、発振部１０の内部構成を例示する一部断面概略図である。
【００２２】
１．全体構成
本実施形態のレーザ加工装置１は、図１に図示するように、発振部１０とヘッド部２０とによって構成されている。
図２に示すように、発振部１０のハウジング１１の内部にはレーザ光を出射するレーザ光源１４が備えられている。このレーザ光源１４は、例えば、ＣＯ２レーザ光源によって構成され、前方側の壁部１４ａに設けられた出射口１４ｂよりレーザ光を出射する。また、ベース部１２の上面には調整用ブロック１６が設けられており、この上にレーザ光源１４が載置されている。なお、レーザ光源１４は、図示しないＣＰＵ及び駆動回路などによって構成される公知の制御手段によりレーザ光の出力が制御されるようになっている。
【００２３】
ハウジング１１の内部には、レーザ光源１４の壁部１４ａと対向するように、支持台１０９に支持された保持部１００と、当該保持部１００に支持される光ファイバ１２０とが配置されており、レーザ光源１４からのレーザ光が光ファイバ１２０の一端部１２０ａから入射されるようになっている。保持部１００の具体的構成については後述する。なお、本実施形態では、レーザ光源１４と光ファイバ１２０の一端部１２０ａとの間に収束レンズを設けない構成を例示しているが、レーザ光源１４からのレーザ光路上において、レーザ光源１４と光ファイバ１２０の一端部１２０ａとの間に、一端部１２０ａで焦点が結ばれるように収束レンズ（具体的には単焦点レンズ）を配設する構成であってもよい。このようにすれば、レーザ光を光ファイバ１２０の一端部１２０ａに効率よく導くことができる好適な構成となる。なお、このように収束レンズを用いる構成は後述する実施形態２や変形例においても同様に適用できる。
【００２４】
図１に示すように、ヘッド部２０は、ハウジング２１を有しており、このハウジング２１は、ベース部１７と、保護カバー１８とによって構成されている。また、ハウジング２１内部には、ガルバノミラー装置２４、ｆθレンズ２５が設けられており、光ファイバ１２０を通って入射されたレーザ光を、ガルバノミラー装置２４を介して向きを変更し、ｆθレンズ２５によって収束光とするように構成されている。この収束光は、ワークＷ（ワークＷは被加工対象物に相当する）の印字領域上に照射されるようになっている。
【００２５】
レーザ光の照射位置は、ガルバノミラー装置２４に備えられているガルバノミラー２４Ａ，２４Ｂの回動角によって決まり、所望の文字・記号・図形等のマーキング情報に基づいてこのガルバノミラー２４Ａ，２４Ｂを回動動作させることにより、収束光を印字領域上で走査させてマーキング情報を印字するように構成されている。
【００２６】
また、図１に図示するように、ハウジング部２１内部には、ビームエキスパンダ３０が備えられている。このビームエキスパンダ３０は、円筒状をなすハウジング内にコリメータレンズ３３と、発散レンズ３４とを備えている。このハウジングは、コリメータレンズ３３を収容する第１のレンズホルダ３１と、発散レンズ３４を収容する第２のレンズホルダ３２とによって構成されており、第２のレンズホルダ３２に第１のレンズホルダ３１が同軸状に嵌合されている。第２のレンズホルダ３２は、第１のレンズホルダ３１を嵌合した状態で、図示しない支持部材によって、光ファイバ１２０から出射されるレーザ光の光軸とビームエキスパンダの中心軸とが一致するように配置される。
【００２７】
また、図示するように、シャッター４０が、ビームエキスパンダ３０とガルバノミラー装置２４との間に設けられている。このシャッター４０は、ハウジング２１の外部に延び出る図示しない操作レバーが連結されたシャフト４２の先端に固定されている。このシャッター４０は、操作レバー（図示略）の回動操作に応じたシャフト４２の回動により開閉される。図中のシャッター４０は、閉鎖状態であり、レーザ光を遮断している。なお、シャッタ４０は、例えばソレノイド等のアクチュエータを用い、外部信号に応じて制御により開閉できるようにしてもよい。
【００２８】
シャッター４０とガルバノミラー装置２４との間には、シャッター支持部材５０が板状のベース部材２９に立設されている。シャッター４０は一面に板状部材４５が固着され、この板状部材４５が、前記支持部材５０に固着された係止部材５１に係止される。シャッター４０は、板状部材４５が係止部材５１に係止されることにより、閉鎖状態となる。なお、操作レバー４１を回動操作してシャッター４０をレーザ光が遮断されない開放状態にさせると、レーザ光は、ガルバノミラー２４Ａ，２４Ｂに誘導されてワークＷの印字領域上に照射されることとなる。
【００２９】
次に、ガルバノミラー装置２４の構成を、図１、図３、図４を用いて説明する。ガルバノミラー装置２４は、一対のガルバノミラー２４Ａ，２４Ｂと、それぞれのガルバノミラー２４Ａ，２４Ｂを軸支して回転駆動させる一対の駆動モータＭ１，Ｍ２とを備えている。両駆動モータＭ１，Ｍ２は、同一形状をなしており、図３に一方の駆動モータＭ１を示したように、円筒形の本体部分からその中心軸に沿って一方へ同じく円筒形の細径部６０が突出されている。細径部６０からは、さらにその中心軸に沿って回転軸が突設され、その先端部にガルバノミラー２４Ａ，２４Ｂが取りつけられている。
【００３０】
ガルバノミラー２４Ａ及び駆動モータＭ１は、後述するモータマウント７０によって、ガルバノミラー２４Ａ側を下に向けて回転軸を垂直方向から所定の角度だけ傾けた姿勢で支持固定される。もう一方のガルバノミラー２４Ｂ及び駆動モータＭ２は、モータマウント８０によって回転軸を水平にした姿勢で支持固定される。
【００３１】
モータマウント７０，８０は、共に金属部材によって形成され、図４に示すように、所定の厚さ寸法を有している。モータマウント７０は、図示するように、水平姿勢から所定の角度だけ傾けた姿勢をなしており、一端部７１Ａが、その端面をシャッター支持部材５０の一面に突き合わせた状態で、その一面の裏側から一対のねじ７２を締め付けることでシャッター支持部材５０に固定されている。また、この一端部７１Ａとは反対側の他端部７１Ｂは、以下に述べるモータマウント８０の上面にねじ７３によって固定されている。
【００３２】
また、モータマウント７０には、一端部７１Ａと他端部７１Ｂとの間に挟まれた位置に、厚み方向に開口する保持孔７４が設けられており、ここには駆動モータＭ１の細径部６０を差し込み可能となっている。このモータマウント７０には、図示するように、保持孔７４とこのマウント７０の端縁部と間に、モータ保持用ねじ孔７５が貫設されている。駆動モータＭ１は、ねじをモータマウント７０の下側より上側へ向けてＹ方向から所定の角度だけ傾けた方向に締め付けてモータ保持用ねじ孔７５及びモータ本体穿孔部７７（図３参照。）を螺合させることにより、このマウント７０に保持される。
【００３３】
一方、モータマウント８０は、垂直姿勢をなしており、その下部８１Ａが、その底面をベース部材２９の上面に突き合わせた状態で、このベース部材２９の下側から一対のねじ８２を締め付けることによってベース部材２９に固定されている。また、モータマウント８０の上部８１Ｂは、上述したようにモータマウント７０の他端部７１Ｂにねじ止め固定されている。また、モータマウント８０には、上部８１Ｂと下部８１Ａとの間に挟まれた位置に、厚み方向に貫通する保持孔８３が設けられている。このモータマウント８０には、前記モータマウント７０と同様に、保持孔８３とこのマウント８０の端縁部との間に、モータ保持用ねじ孔８５が貫設されている。駆動モータＭ２には、駆動モータＭ１と同様に、モータ本体穿孔部が形成されている。この駆動モータＭ２は、ねじをモータマウント８０のシャッター支持部材５０側からＸ方向に締め付けてモータ保持用ねじ孔８５及び前記モータ本体穿孔部を螺合させることにより、このマウント８０に保持される。
【００３４】
２．光軸ずれ調整機構
図５は、本実施形態に係る保持部１００について図２のＡ−Ａ位置で切断したＡ−Ａ断面図であり、図６は保持部１００全体を図５のＢ−Ｂ位置で切断した断面図である。
上述したように、レーザ加工装置１は、レーザ光を出力するレーザ光源１４と、レーザ光源１４から出力されたレーザ光を一端部１２０ａから取り入れて、他端部１２０ｂから出射する光ファイバ１２０とを備え、光ファイバ１２０の他端部１２０ｂから出射されたレーザ光をワークＷ（被加工対象物）に照射させて加工を行う構成をなしている。なお、図５ないじ図７では、光ファイバ１２０を概略的に示しているが、実際にはコアや被覆など多層構造の外壁を有する公知の光ファイバが用いられる。
【００３５】
本実施形態に係る構成では、さらに、レーザ光源１４からのレーザ光が、光ファイバ１２０の一端部１２０ａから導入可能な位置で、光ファイバ１２０の一端部１２０ａを、レーザ光源１４から出力されるレーザ光の光軸ＬＢと交差する方向に移動可能に保持する保持部１００を備えている。なお、保持部１００は、保持手段に相当する。
【００３６】
この保持部１００には、光ファイバ１２０の一端部１２０ａを保持する熱伝導性を有する熱伝導部材１１０が設けられている。この熱伝導部材１１０は、レーザ光源１４からのレーザ光が照射されることによって少なくとも一部が発熱するように構成され、かつその発生した熱を他部材に伝導する伝熱部材として機能している。
【００３７】
具体的には、熱伝導部材１１０は、光ファイバ１２０の外周部に沿って配置される３つのブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃによって構成されている。これら３つのブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃは、光ファイバ１２０の周方向全体を覆うように互いに隣接して配置されている。
【００３８】
熱伝導部材１１０を構成する各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃには、変形部材１３０が接続されている。変形部材１３０は、熱伝導部材１１０からの伝熱を受けるように当該熱伝導部材１１０にそれぞれ接続され、その伝熱に応じて変形する３つのＳＭＡ（Shape Memory Alloy）ばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ（ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃは付勢部材に相当する）によって構成されている。より詳しくは、各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃにそれぞれ一対一に対応してＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃが接続されている。ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃは、形状記憶合金からなるコイルばねであり、温度が加わると通常時よりも縮むようになっている。
【００３９】
ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃは、保持部１００のベース部材１０１に形成された凹部１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃにそれぞれ収容されており、ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃのそれぞれの一端は、凹部１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃのそれぞれの底部に固定されており、他端が、各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃに溶接或いは係合などによって固定されている。
【００４０】
図５のように各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃが光ファイバ１２０を保持した自然状態では、各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃとベース部材１０１に形成された孔部１０５の内壁部との間に隙間が形成されており、ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃの変形に応じて、各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ及び光ファイバ１２０が、ベース部材１０１の中心Ｐと交差する方向に一体的に移動できるようになっている。
【００４１】
図７はＳＭＡばね１３０ａが温度によって縮み、それに伴ってＳＭＡばね１３０ｂ，１３０ｃが伸びた状態を示している。図７は、図５の光芒位置ＳＰにレーザ光が照射されたときの作用を示している。図５のＳＰに示すように、熱伝導部材１１０にレーザ光が照射されると、その照射される部分の付近はレーザ光のエネルギーによって発熱する。そして、照射される部分に相当するブロック部材１１０ａは、ＳＭＡばね１０３ａに熱を伝え、それに伴って、ＳＭＡばね１０３ａが収縮状態に変形する。
【００４２】
図７のように発熱したブロック部材１１０ａに対応したＳＭＡばね１０３ａが収縮すると、ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ及び光ファイバ１２０がその収縮するＳＭＡばね１０３ａ側に移動し、レーザ光の全部または略全部が光ファイバ１２０の内部に導入されることとなる。図７では、このような作用によってレーザ光の光芒ＳＰが光ファイバ１２０の内部に納まる様子を示している。
【００４３】
以上のように、本実施形態に係る構成では、熱伝導部材１１０におけるレーザ光源からのレーザ光によって発熱した部分が変位手段たるＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃにより外側に移動されるため、レーザ光が相対的に光ファイバの中心側に移動することとなる。従って、レーザ光に対する光ファイバの位置ずれを良好に調整できることとなる。
【００４４】
また、伝熱に応じて変形する変形部材１３０によって位置ずれを調整できるため、部品点数を多くすることなく簡易な構成で光軸ずれ調整機能をもたせることができる。
【００４５】
また、付勢手段たるＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃによる付勢作用により光ファイバ１２０が安定的に保持されるようになり、かつ、その付勢手段を位置ずれ調整に兼用できるようになっている。
【００４６】
また、熱伝導部材１１０が、光ファイバ１２０の外周部に沿って配置される複数のブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃからなり、各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃに対応して変形部材たるＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃが設けられているため、レーザ光が照射されるブロック部材が移動しやすく、それ以外のブロック部材はレーザ光による熱が伝わりにくいため移動しにくくなっている。従って、位置ずれをより効果的に調整できることとなる。
【００４７】
また、ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃが光ファイバ１２０の周方向全体を網羅しているため、光軸ずれが生じた際にずれたレーザ光がいずれかのブロック部材に照射されやすくなり、より良好に調整作用が生じることとなる。
＜実施形態２＞
次に、図８及び図９を参照して実施形態２について説明する。本実施形態は、図９に示すように、支持台１０９に支持される部分が実施形態１と異なり（図４参照）それ以外の部分は実施形態１と同一である。従って、支持台１０９に支持される部分以外については実施形態１と同一の符号を付し詳細な説明は省略する。
【００４８】
本実施形態では、実施形態１と同様の保持部１００と、当該保持部１００を保持する調整ベース部１５１とによって保持ユニット１５０が構成されており、この保持ユニット１５０が保持手段に相当している。
【００４９】
保持ユニット１５０には、作業者による操作が可能な調整ねじ１６１，１６２（調整ねじ１６１、１６２が操作部に相当する）が設けられており、調整ベース部１５１は、調整ねじ１６１，１６２の操作に基づき、光ファイバ１２０を、レーザ光源の光軸方向と交差する平面に沿って２次元的に移動可能な調整機構として機能している。即ち、保持部１００による自動調整機構と、調整ねじ１６１，１６２の操作による手動調整機構とが併用されており、より精度高い効果的なずれ調整が可能となっている。
【００５０】
具体的には、図８に示すように、調整ベース部１５１の本体部材１５１ａにおいて、調整ねじ１６１と螺合可能なねじ溝が形成されており、調整ねじ１６１の操作に応じて当該調整ねじ１６１が本体部材１５１ａに対し相対的に変位し、ブロック１５２ａを押し出すように構成されている。また、保持部１００を挟んだブロック１５２ａの反対側にはブロック１５２ｃが設けられ、このブロック１５２ｃは、コイルバネ１５４により保持部１００側に付勢されている。つまり、コイルバネ１５４及び調整ねじ１６１によりブロック１５２ａ、１５２ｃが保持部１００側に押圧されており、これらブロック１５２ａ、１５２ｃにより保持部１００が挟持されている。
【００５１】
同様に、調整ベース部１５１の本体部材１５１ａにおいて、調整ねじ１６２と螺合可能なねじ溝が形成されており、調整ねじ１６２の操作に応じて当該調整ねじ１６２が本体部材１５１ａに対し相対的に変位し、ブロック１５２ｂを押し出すように構成されている。また、保持部１００を挟んだブロック１５２ｂの反対側にはブロック１５２ｄが設けられ、このブロック１５２ｄは、コイルバネ１５５により保持部１００側に付勢されている。つまり、コイルバネ１５５及び調整ねじ１６２によりブロック１５２ｂ、１５２ｄが保持部１００側に押圧されており、これらブロック１５２ｂ、１５２ｄにより保持部１００が挟持されている。
【００５２】
このような構成により、調整ねじ１６１，１６２の操作に応じて保持部１００が第１の方向（ブロック１５２ａ、１５２ｃの対向方向）と第２の方向（ブロック１５２ｂ、１５２ｄの対向方向）に移動するようになっている。
【００５３】
なお、本実施形態でも、実施形態１と同様に、レーザ加工装置１は、レーザ光を出力するレーザ光源１４と、レーザ光源１４から出力されたレーザ光を一端部１２０ａから取り入れて、他端部１２０ｂから出射する光ファイバ１２０とを備え、光ファイバ１２０の他端部１２０ｂから出射されたレーザ光をワークＷ（被加工対象物）に照射させて加工を行う構成をなしている。そして、レーザ光源１４からのレーザ光が、光ファイバ１２０の一端部１２０ａから導入可能な位置で、光ファイバ１２０の一端部１２０ａを、レーザ光源１４から出力されるレーザ光の光軸ＬＢと交差する方向に移動可能に保持する保持部１００を備えている。
【００５４】
そして、この保持部１００には、光ファイバ１２０の一端部１２０ａを保持する熱伝導部材１１０が設けられている。この熱伝導部材１１０は、レーザ光源１４からのレーザ光が照射されることによって少なくとも一部が発熱するように構成され、かつその発生した熱を他部材に伝導する構成をなしている。
【００５５】
熱伝導部材１１０は、実施形態１と同様に、光ファイバ１２０の外周部に沿って配置される３つのブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃによって構成されている。これら３つのブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃは、光ファイバ１２０の周方向全体を覆うように互いに隣接して配置されている。
【００５６】
また、実施形態１と同様に、熱伝導部材１１０を構成する各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃには、変形部材１３０が接続されている。変形部材１３０は、熱伝導部材１１０からの伝熱を受けるように当該熱伝導部材１１０にそれぞれ接続され、その伝熱に応じて変形する３つのＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ（ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃは付勢部材に相当する）によって構成されている。ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃは、各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃにそれぞれ一対一に対応して接続されており、それぞれ形状記憶合金からなるコイルばねとして構成され、実施形態１と同様に温度が加わると通常時よりも縮むようになっている。
【００５７】
また、ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃは、保持部１００のベース部材１０１に形成された凹部１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃにそれぞれ収容されており、ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃのそれぞれの一端は、凹部１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃのそれぞれの底部に固定されており、他端が、各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃに溶接或いは係合などによって固定されている。
【００５８】
各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃが光ファイバ１２０を保持した自然状態では、各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃとベース部材１０１に形成された孔部１０５の内壁部との間に隙間が形成されており、ＳＭＡばね１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃの変形に応じて、各ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ及び光ファイバ１２０が、ベース部材１０１の中心Ｐと交差する方向に一体的に移動できるようになっている。
【００５９】
作用も実施形態１と同様であり、熱伝導部材１１０にレーザ光が照射されると、その照射される部分の付近はレーザ光のエネルギーによって発熱する。そして、照射される部分に相当するブロック部材は、ＳＭＡばねに熱を伝え、それに伴って、ＳＭＡばねが収縮状態に変形する。発熱したブロック部材に対応したＳＭＡばねが収縮すると、ブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ及び光ファイバ１２０がその収縮するＳＭＡばね側に移動し、レーザ光の全部または略全部が光ファイバ１２０の内部に導入されることとなる。
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施形態では、熱伝導部材が複数のブロック部材によって構成される例を示したが、図１０のように単一の熱伝導部材１７０によって光ファイバ１２０を保持するようにしてもよい。
（２）上記実施形態では、複数のブロック部材によって、光ファイバの周方向全体に亘って覆われる例を示したが、図１１に示すように、周方向の一部分を覆うようにブロック部材１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃが配置されていてもよい。
（３）上記実施形態では、３つのブロック部材によって熱伝導部材が構成されていたが、４以上のブロック部材によって熱伝導部材を構成するようにしてもよい。
（４）上記実施形態では、２枚のガルバノミラーを用いたガルバノスキャン方式に係るレーザ加工装置を例示したが、例えば、ポリゴン式や他の方式（ガルバノミラーが１枚の方式）においても本発明の概念を同様に適用できる。なお、このような走査手段を備えない構成においても同様に適用できることはいうまでもない。
（５）上記実施形態では、光ファイバ１２０の端部がレーザ光源側に露出する構成を例示したが、光ファイバ１２０の端部の一部又は全部を、熱伝導部材１１０によって覆うようにしてもよい。図１２は、その一例を示している。なお、図１２は図６を変形したものであり、熱伝導部材１１０の形状と、当該熱伝導部材１１０による光ファイバ１２０の支持構成以外は実施形態１の構成（即ち図５、図６の構成）と同様である。
図１２の例では、熱伝導部材１１０を構成する各ブロック１１０ａ，１１０ｃ及び図示しないもう１つのブロック（図５の１１０ｂ参照）の端部の内周壁に段部１１１（図１２では、ブロック１１０ａの段部は１１１ａであり、ブロック１１０ｃの段部は１１１ｃである。図示しないもう１つのブロック（図５のブロック１１０ｂ参照）にも同様の段部が形成されている）が設けられ、この段部１１１にて光ファイバ１２０が支持されている。また、各ブロック１１０にはカバー部１１２（ブロック１１０ａのカバー部は１１２ａであり、ブロック１１０ｃのカバー部は１１２ｃである。図示しないもう１つのブロック（図５のブロック１１０ｂ参照）にも同様のカバー部が形成されている）が形成され、このカバー部１１２によって光ファイバ１２０の一端部１２０ａのレーザ光源１４側の部位が覆われている。このようにすると、レーザ光が光ファイバ１２０の端部に照射されにくくなり、焼損等を効果的に防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施形態１に係るレーザ加工装置を例示する一部断面概略図
【図２】図１のレーザ加工装置の発振部の内部構成を例示する一部断面概略図
【図３】ガルバノミラー及び駆動モータの正面図
【図４】モータマウントの取付構造を示す斜視図
【図５】実施形態１に係る保持部１００について図２のＡ−Ａ位置で切断したＡ−Ａ断面図
【図６】保持部を図５のＢ−Ｂ位置で切断した断面図
【図７】光軸ずれ調整を説明する説明図
【図８】実施形態２の保持ユニット１５０について説明するものであり、図９のＣ−Ｃ位置で切断したＣ−Ｃ断面図
【図９】実施形態２のレーザ加工装置の発振部の内部構成を例示する一部断面概略図
【図１０】保持部の変形例１を示す断面図
【図１１】保持部の変形例２を示す断面図
【図１２】保持部の変形例３を示す断面図
【符号の説明】
【００６１】
１…レーザ加工装置
１４…レーザ光源
２０…ヘッド部
１００…保持部（保持手段）
１１０…熱伝導部材
１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ…ブロック部材
１２０…光ファイバ
１２０ａ…光ファイバの一端部
１２０ｂ…光ファイバの他端部
１３０…変形部材
１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ…ＳＭＡばね（付勢部材）
１５１…調整ベース部（調整手段）
１６１，１６２…調整ねじ（操作部）
ＬＢ…レーザ光の光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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