(57)【要約】【課題】  ガスの流れを検知して試料ガスを分析する例えば赤外線ガス分析計において、ノイズ要因である外部振動の影響を減少させ、高い精度で流量の変化を検出しうる検出器方式を提供する。【解決手段】  赤外線ガス分析計は、測定光線路に配置され、赤外線吸収を行う被分析ガスを含む試料ガス中を通過した測定光線が入射する測定室と、比較光線路に配置され、赤外線吸収を実質的に受けない比較光線が入射する比較室と、前記測定室及び比較室を連通するガス通路と、  前記ガス通路に対向流路を形成し、該対向流路の折り返し位置に支持部を軸にした翼からなるカンチレバーを配置し、前記測定室及び比較室内に前記被分析ガスと同種類のガスを充填すると共に、前記測定光線及び比較光線を周期的に断続して前記測定室及び比較室にそれぞれ入射させ、その際に生じる前記測定室及び比較室の圧力変動に基づく前記対向流路内のガスの流れ方向により前記翼を弾性変位させ、該翼の弾性変位を検出するガス検出手段と、を備えたことである。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス通路中のガスの流れを検出するガス検出装置であって、
前記ガス通路に対向流路を形成し、該対向流路の折り返し位置に支持部を軸にした翼からなるカンチレバーを配置し、前記対向流路を通過するガスの流れに基づく前記翼の弾性変位を検出するガス検出手段を備えたことを特徴とするガス検出装置。
【請求項２】
前記対向流路の折り返し前後のそれぞれの流路にガスの動圧を検知する前記翼が配置され、これらの翼が一体型に連結されたカンチレバー構造であることを特徴とする請求項１に記載のガス検出装置。
【請求項３】
前記翼の弾性変位を検出するガス検出手段は、容量変化、抵抗値変化、磁気量変化、光反射方向変化、光干渉効果の何れか又はその組み合わせで検知することを特徴とする請求項１に記載のガス検出装置。
【請求項４】
前記カンチレバー及び前記対向流路構造が、半導体微細加工により一括形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載のガス検出装置。
【請求項５】
測定光線路に配置され、赤外線吸収を行う被分析ガスを含む試料ガス中を通過した測定光線が入射する測定室と、
比較光線路に配置され、赤外線吸収を実質的に受けない比較光線が入射する比較室と、
前記測定室及び比較室を連通するガス通路と、
前記ガス通路に対向流路を形成し、該対向流路の折り返し位置に支持部を軸にした翼からなるカンチレバーを配置し、前記測定室及び比較室内に前記被分析ガスと同種類のガスを充填すると共に、前記測定光線及び比較光線を周期的に断続して前記測定室及び比較室にそれぞれ入射させ、その際に生じる前記測定室及び比較室の圧力変動に基づく前記対向流路内のガスの流れ方向により前記翼を弾性変位させ、該翼の弾性変位を検出するガス検出手段と、
を備えたことを特徴とする赤外線ガス分析計。
【請求項６】
前記対向流路の折り返し前後のそれぞれの流路にガスの動圧を検知する前記翼が配置され、これらの翼が一体型に連結されたカンチレバー構造であることを特徴とする請求項５に記載の赤外線ガス分析計。
【請求項７】
前記翼の弾性変位を検出するガス検出手段は、容量変化、抵抗値変化、磁気量変化、光反射方向変化、光干渉効果の何れか又はその組み合わせで検知することを特徴とする請求項５に記載の赤外線ガス分析計。
【請求項８】
前記カンチレバー及び前記対向流路構造が、半導体微細加工により一括形成されたものであることを特徴とする請求項５に記載の赤外線ガス分析計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス検出装置及び赤外線ガス分析計に関し、詳しくはノイズ要因である外部振動の影響を減少させ、高い精度でガス流量の変化を検出しうる検出器方式に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術における赤外線ガス分析計は、図６に示すように、赤外線を発生させるための駆動電源１１０と、赤外線を出射させる赤外線光源１１１と、この赤外線光源１１１から発せられる赤外線光束を周期的に同時に、若しくは交互に断続させるモータ１２０で回転駆動される回転セクタ１２１と、回転セクタ１２１で断続されている赤外線光束を分配する分配セル１１２と、分配セル１１２の一方側に接続され測定光源として案内して測定光線路を形成する測定セル１１４と、分配セル１１２の他方側に接続され比較光源として案内して比較光線路を形成する比較セル１１３と、測定セル１１４及び比較セル１１３の出力側に配置され、両者の光線を受け入れる測定室１１７及び比較室１１６を持つガスセル検出器１１５と、測定室１１７及び比較室１１６の連通した流通路１１８に備えたガスの流通を検出するサーマルフローセンサ１１９と、このサーマルフローセンサ１１９で検出した信号を増幅して濃度信号を生成する交流電圧増幅器１２２と、から大略構成されている。
【０００３】
このような構成からなる分析計において、先ず、駆動電源１１０により駆動する赤外線光源１１１から発せられた赤外線が分配セル１１２により２つに分割され、それぞれ比較セル１１３、測定セル１１４に入射する。比較セル１１３には不活性ガスなど測定対象成分を含まないガスが充填されている。また、測定セル１１４には測定試料が流通する。分配セル１１２で２つに分けられた赤外線は測定セル１１４でのみ測定対象成分による吸収を受けガスセル検出器１１５に到達する。
【０００４】
ガスセル検出器１１５は、比較セル１１３からの赤外光と測定セル１１４からの赤外光を受ける２室（比較室１１６、測定室１１７）からなっており、その２室が流通路１１８でつながる構造をしており、その流通路１１８にガスの行き来を検出するためのサーマルフローセンサ１１９が取り付けられている。このガスセル検出器１１５の比較室１１６及び測定室１１７内には測定対象と同じ成分を含むガスが充填されており、比較セル１１３、測定セル１１４からの赤外線が照射されると測定対象成分ガスが赤外線を吸収することで、その中でガスが熱膨張する。
【０００５】
測定セル１１４内の測定試料に測定対象成分が多く含まれると、赤外線はそこで多くが吸収されるため、ガスセル検出器１１５では比較室１１６に多くの赤外線が照射され、よりガスが膨張する。赤外線は回転セクタ１２１で遮断、照射を繰り返しており、遮断されたときは比較室１１６、測定室１１７とも赤外線が照射されないのでガスは膨張せず、赤外線が照射されるとガスセル検出器１１５の測定室１１７には測定セル１１４内の測定対象成分濃度に応じた赤外線が照射され、測定室１１７には試料中の測定対象成分濃度に応じた赤外線が照射されるため、試料中の測定対象成分の濃度に応じて両室の間に差圧が生じ、両室間の間に設けられた流通器１１８をガスが行き来することとなる。そのガスの挙動をサーマルフローセンサ１１９で検出し、交流電圧増幅器１２２で交流電圧増幅し、濃度信号として出力する。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−９８７７８号公報（第５頁〜第６頁  第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来技術で説明した赤外線ガス分析計においては、回転セクタによる赤外線の断続により、ガスセル検出器の比較室と測定室に同期した断続赤外光が入射する。測定室側の光路上に測定セルがありガス吸収成分が存在すると、測定室側の赤外光量が減少し、その結果、ガスセル検出器の中でガス温度のアンバランスが生じ、その結果比較室側から測定室側に微小なガス移動が発生する。回転セクタが赤外光を全閉すると、ガスセル検出器中のアンバランスは解消され、元の状態に戻る。この微小なガスの移動は、ガスセル検出器内に設置されたサーマルフローセンサにより検知される。
【０００８】
ところで、この構成の赤外線ガス分析計の、ノイズ主要因は設置場所の外部振動であることが知られている。
即ち、図６に示すように、外部振動の方向（点線矢印方向）が、サーマルフローセンサが設置された流通路の方向（黒抜き矢印方向）と同じ方向成分を有すると、ガスセル検出器の振動によってもサーマルフローセンサはガス移動量を感じる。これはフローセンサ周りのガス慣性によるもので、ガス吸収信号の元となるガス移動に対しノイズ成分となる。
【０００９】
サーマルフローセンサの動作回路で説明すれば、図７に示すように、ガス流通路にブリッジを組んだ抵抗体のなかに第１サーマルフローセンサ１１９ａ、第２サーマルフローセンサ１１９ｂを組み込んだ構成のセンサであるときに、ガスの流れ方向が、本来の信号を生成するガス移動Ｕｓｉｇと外部振動によるガス移動Ｕｖｉｂが同一方向であると、信号とノイズとなるガス移動Ｕｖｉｂを取り除くことが不可能であるために、信号とノイズが分離できないという問題がある。
【００１０】
このノイズについて、信号が発生しているときのノイズと、信号が発生していないときのノイズとでは同じように、分析計に加振動を加えることで発生する。
【００１１】
図８は、実際に赤外線ガス分析計に対して、外部振動を加えた時の信号波形の乱れ（ノイズ）を測定したものであり、信号を得たときに、外部振動を加えると、その信号ラインに重畳してノイズが発生する様子が理解できる。
【００１２】
図９は、赤外光の入射を止めた状態で、分析計に外部振動を印加した時のベースラインの乱れ（ノイズ）を測定したものであり、外部振動を加えると、そのベースラインに重畳してノイズが発生する様子が理解できる。
【００１３】
これらの図８及び図９に示した波形の乱れは、ほぼ同じ振幅、位相、接続時間を示しており、この乱れが同一原因により発生し、本来の信号波形とは独立のものであることを示している。
【００１４】
従って、ガスの流れを検知して試料ガスを分析する例えば赤外線ガス分析計において、ノイズ要因である外部振動の影響を減少させ、高い精度で流量の変化を検出しうる検出器方式を提供することに解決しなければならない課題を有する。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本願発明のガス検出装置及び赤外線ガス分析計は、次に示す構成にしたことである。
【００１６】
（１）ガス検出装置は、ガス通路中のガスの流れを検出するガス検出装置であって、前記ガス通路に対向流路を形成し、該対向流路の折り返し位置に支持部を軸にした翼からなるカンチレバーを配置し、前記対向流路を通過するガスの流れに基づく前記翼の弾性変位を検出するガス検出手段を備えたことである。
（２）前記対向流路の折り返し前後のそれぞれの流路にガスの動圧を検知する前記翼が配置され、これらの翼が一体型に連結されたカンチレバー構造であることを特徴とする（１）に記載のガス検出装置。
（３）前記翼の弾性変位を検出するガス検出手段は、容量変化、抵抗値変化、磁気量変化、光反射方向変化、光干渉効果の何れか又はその組み合わせで検知することを特徴とする（１）に記載のガス検出装置。
（４）前記カンチレバー及び前記対向流路構造が、半導体微細加工により一括形成されたものであることを特徴とする（１）に記載のガス検出装置。
【００１７】
（５）赤外線ガス分析計は、測定光線路に配置され、赤外線吸収を行う被分析ガスを含む試料ガス中を通過した測定光線が入射する測定室と、比較光線路に配置され、赤外線吸収を実質的に受けない比較光線が入射する比較室と、前記測定室及び比較室を連通するガス通路と、前記ガス通路に対向流路を形成し、該対向流路の折り返し位置に支持部を軸にした翼からなるカンチレバーを配置し、前記測定室及び比較室内に前記被分析ガスと同種類のガスを充填すると共に、前記測定光線及び比較光線を周期的に断続して前記測定室及び比較室にそれぞれ入射させ、その際に生じる前記測定室及び比較室の圧力変動に基づく前記対向流路内のガスの流れ方向により前記翼を弾性変位させ、該翼の弾性変位を検出するガス検出手段と、を備えたことである。
（６）前記対向流路の折り返し前後のそれぞれの流路にガスの動圧を検知する前記翼が配置され、これらの翼が一体型に連結されたカンチレバー構造であることを特徴とする（５）に記載の赤外線ガス分析計。
（７）前記翼の弾性変位を検出するガス検出手段は、容量変化、抵抗値変化、磁気量変化、光反射方向変化、光干渉効果の何れか又はその組み合わせで検知することを特徴とする（５）に記載の赤外線ガス分析計。
（８）前記カンチレバー及び前記対向流路構造が、半導体微細加工により一括形成されたものであることを特徴とする（５）に記載の赤外線ガス分析計。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、
（１）設置環境で不可避的に発生する振動によるノイズの影響を、対称性の高いカンチレバー構造体の曲げ応力に変換することで、本質的に高いＳ／Ｎ比を有する検知方式が得られる。
（２）センサ構造体自体で、振動ノイズの影響を除去するため、センサ以降の回路系において補償回路を準備する必要がなく、構成が単純化され、コストもかからない。少ない部品でローコストで、大きなノイズ低減効果が得られる。
（３）半導体微細加工技術により、微小なカンチレバー及び変位検出センサを集約的に一括製作すれば、特性が均一でローコスト、高精度、耐ノイズの高いガス検出器を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本願発明に係るガス検出装置及び赤外線ガス分析計の実施形態について、図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００２０】
本願発明に係るガス検出装置は、ガス通路に対向流路を形成し、この対向流路の折り返し位置に支持部を軸にした翼からなるカンチレバーを配置し、対向流路を通過するガスの流れに基づく翼の弾性変位を検出するガス検出手段を備えた構成になっている。
【００２１】
図１は、本提案の検出器内部の構造を原理的に示したものである。ガス通路３１は、断面が矩形或は円形などをなしており、検出部中央で１８０度正反対方向に折り返される形状の対向流路３２を形成している。従って、図１において左より流入したガス（矢印Ｐ１）は、折り返し流路の左半分では図１で上方へ流れ（矢印Ｐ２）、右半分では図１で下方に流れ（矢印Ｐ３）、この部分に関しては対向流（矢印Ｐ２、Ｐ３）となり、入力した方向（矢印Ｐ１）と同方向（矢印Ｐ４）となりガス通路３３から流れ出る。
【００２２】
対向流路３２の折り返し部には、カンチレバー３４が取り付けられている。
カンチレバー３４は中央に支持部３７を有し、この支持部３７は折り返し流路の管路壁３８に取り付けられている。カンチレバー３４の両端には、ガス流による動圧を受けるように設計された風受け翼である第１及び第２翼３５ａ、３５ｂが形成されており、且つその面上に第１及び第２可動電極３６ａ、３６ｂが形成されている。
【００２３】
ガス流により、カンチレバー３４の左側の第１翼３５ａは上方に力を受け、カンチレバー３４の右側の第２翼３５ｂは下方に力を受ける。従って、カンチレバー３４はガス動圧により右回りのトルクを発生し、支持部３７の弾性変形により、図１のようにカンチレバー３４全体が右下がりの変位を起こす。
つまり、本提案のガス流検出装置は、ガス流をカンチレバーの回転量に変換している構造といえる。
【００２４】
第１及び第２可動電極３６ａ、３６ｂに対向する形で容量検出用の第１及び第２固定電極３９ａ、３９ｂが設置されており、ガス流による第１及び第２可動電極３６ａ、３６ｂの変位が容量変化として検出できる構造となっている。図１では差動型容量検出の構造を示しており、第１及び第２可動電極３６ａ、３６ｂの変位によりガス上流側では容量が増し、ガス下流側では容量が減少する。差動型の検出回路を用いれば、ガスの誘電率に依存せずに第１及び第２可動電極３６ａ、３６ｂの変位量を電位変化として検出することができる。
【００２５】
以上のように、本方式によればガス流をカンチレバー３４の回転量として検出することができるのである。
実施例においては、第１及び第２翼３５ａ、３５ｂの弾性変位を検出するガス検出手段は、容量検出用の電極により容量変化として検出できる構造になっているが、これに限定されることなく、抵抗値変化、光反射方向変化、光干渉効果、磁気量変化を利用したものでもよく、又これらを組み合わせてもよい。
【００２６】
抵抗値変化は、支持部３７のせん断変形部分に、ピエゾ抵抗体を形成し、抵抗値変化で検出するものであり、光反射方向変化は、カンチレバー表面に形成した反射面を用いて、光反射軸の変位で検出するものであり、光干渉効果は、カンチレバー表面に形成した反射面を用いて、光干渉による変位を検出するものであり、磁気量変化は、永久磁石或はコイルにより発生する磁界を用いて変位を検出するもの或は磁気抵抗素子により変位を検出するものである。
【００２７】
さて、ここで、カンチレバー３４を用いた検出手法が外乱振動に強いことの説明をする。
外部振動の影響により、ある瞬間にガス検出装置が図１の下方に移動したと仮定する。検出器を基準に見て相対的にガス流は図１に示すように、折り返し流路の左側も右側も、共に上方へ流れる（白抜き矢印Ｐ５、Ｐ６方向）成分が発生する。
【００２８】
振動によるカンチレバー３４への影響は、ガス上流側の第１翼３５ａと下流側の第２翼３５ｂで、共に上方への力を受ける。従って、本構造において振動の影響は、カンチレバー３４全体への曲げ応力として現れる。
カンチレバー３４の剛性は、振動等によるガス流動圧よりも十分大きく設計が可能で、曲げが無視しうる剛性を持たせることは容易である。従って、振動に起因した図１のガス流の影響を、検出部が全く受けないことが可能となる。
【００２９】
また、外部振動の影響により、図１の下方以外の方向に移動した場合も、同様にガス流の影響を検出部が全く受けないことが分かる。
以上のように、本方式は対向流路３２とカンチレバー３４の組み合わせにより、外部に補償回路等の付加要素なしに振動の影響を受けない新しい検出方法となるのである。
【実施例２】
【００３０】
次に、カンチレバー構造を半導体微細加工技術により形成することについて、図２及び図３を参照して説明する。
先ず、シリコン基板４１の中央位置に、対称なコ字型形状にくり抜いて、中央の繰り抜かない部分を支持部４２とし、繰り抜いた左右の部分が第１及び第２翼４３ａ、４３ｂになる。
【００３１】
このようにして作成されたカンチレバーは、左上方向にガスが流れると、左の第１翼４３ａが上方向に変位し、その分右の第２翼４３ｂが下方向に変位する。この変位を上記した容量検出等の検出手段により検出することでガス流の状態を検出することができるのである。
【実施例３】
【００３２】
次に、このカンチレバーを採用した赤外線ガス分析計についての実施例について、図面を参照して説明する。
【００３３】
赤外線ガス分析計は、図４に示すように、赤外線を発生させるための駆動電源１０と、赤外線を出射させる赤外線光源１１と、この赤外線光源１１から発せられる赤外線光束を周期的に同時に、若しくは交互に断続させるモータ２０で回転駆動される回転セクタ２１と、回転セクタ２１で断続されている赤外線光束を分配する分配セル１２と、分配セル１２の一方側に接続され測定光源として案内して測定光線路を形成する測定セル１４と、分配セル１２の他方側に接続され比較光源として案内して比較光線路を形成する比較セル１３と、測定セル１４及び比較セル１３の出力側に配置され、両者の光線を受け入れる測定室１７及び比較室１６を持つガスセル検出器１５と、測定室１７及び比較室１６の連通した流通路１８に対向流路３２を形成し、この対向流路３２の折り返し位置に支持部３７を軸にした第１及び第２翼３５ａ、３５ｂからなるカンチレバー３４を配置し、測定室１７及び比較室１６内及び流通路１８も含めて被分析ガスと同種類のガスを充填すると共に、測定光線及び比較光線を周期的に断続して測定室１７及び比較室１６にそれぞれ入射させ、その際に生じる測定室１７及び比較室１６の圧力変動に基づく対向流路３２内のガスの流れ方向により第１及び第２翼３５ａ、３５ｂを弾性変位させ、この第１及び第２翼３５ａ、３５ｂの弾性変位を検出するガス検出手段２３と、を備えた構成になっている。
【００３４】
ガス検出手段２３は、対向流路３２におけるガス流を検出するもので、それは容量検出によるものであり、第１及び第２翼３５ａ、３５ｂに第１及び第２可動電極３６ａ、３６ｂを備え、その第１及び第２翼３５ａ、３５ｂに対向する位置に第１及び第２固定電極３９ａ、３９ｂを備えた構成になっている。
【００３５】
このような構成からなる赤外線ガス分析計において、先ず、駆動電源１０により駆動する赤外線光源１１から発せられた赤外線が分配セル１２により２つに分割され、それぞれ比較セル１３、測定セル１４に入射する。比較セル１３には不活性ガスなど測定対象成分を含まないガスが充填されている。また、測定セル１４には測定試料が流通する。分配セル１２で２つに分けられた赤外線は測定セル１４でのみ測定対象成分による吸収を受けガスセル検出器１５に到達する。
【００３６】
ガスセル検出器１５は、比較セル１３からの赤外光と測定セル１４からの赤外光を受ける２室（比較室１６、測定室１７）からなっており、その２室が流通路１８でつながる構造をしており、その流通路１８は対向流路３２に形成され、カンチレバー３４が備えられている。
このガスセル検出器１５の比較室１６及び測定室１７内には測定対象と同じ成分を含むガスが充填されており、比較セル１３、測定セル１４からの赤外線が照射されると測定対象成分ガスが赤外線を吸収することで、その中でガスが熱膨張する。
【００３７】
測定セル１４内の測定試料に測定対象成分が多く含まれると、赤外線はそこで多くが吸収されるため、ガスセル検出器１５では比較室１６に多くの赤外線が照射され、よりガスが膨張する。赤外線は回転セクタ２１で遮断、照射を繰り返しており、遮断されたときは比較室１６、測定室１７とも赤外線が照射されないのでガスは膨張せず、赤外線が照射されるとガスセル検出器１５の測定室１７には測定セル１４内の測定対象成分濃度に応じた赤外線が照射され、測定室１７には試料中の測定対象成分濃度に応じた赤外線が照射されるため、試料中の測定対象成分の濃度に応じて両室１６、１７の間に差圧が生じ、両室１６、１７間の間に設けられた対向流路３２をガスが行き来することとなる。そのガスの挙動を第１及び第２翼３５ａ、３５ｂが変位することで、第１及び第２可動電極３６ａ、３６ｂが第１及び第２固定電極３９ａ、３９ｂ方向に遠近することで、その容量変化を検知する。
【実施例４】
【００３８】
次に、対向流路にカンチレバーを備えた構造の赤外線ガス分析計の他の実施例について図面を参照にして説明する。
図５に示すものは、ガス流通路に設けた対向流路にカンチレバーを取り付けたガスセル検出器の構造を示し、其の他の測定セル等は実施例３で説明したものと同じであるため省略されている。
【００３９】
測定室１７に赤外光を入射するための赤外入射窓２５、比較室１６に赤外光を入射するための赤外入射窓２６を備え、これらの測定室１７及び比較室１６との間にガス通路３１、３３を備え、このガス通路３１、３３が対向流路３２に形成されている。対向流路３２の折り返す空間は幅広に形成され、その中間位置にカンチレバー３４を配置する支軸２７を備え、支軸２７に支持部３７を取り付け、支持部３７を中心にして両側に第１及び第２翼３５ａ、３５ｂを設けた構成になっている。この第１及び第２翼３５ａ、３５ｂには第１及び第２可動電極３６ａ、３６ｂが設置され、この第１及び第２可動電極３６ａ、３６ｂに対向する位置に第１及び第２固定電極３９ａ、３９ｂがシール蓋２８に固定されて配置されている。この電極は容量検出式のもので、第１及び第２翼３５ａ、３５ｂがガス流の変化に応じて変位したときにその第１及び第２可動電極３６ａ、３６ｂが第１及び第２固定電極３９ａ、３９ｂ方向に遠近することでその静電容量の変化を検知することにより、ガス流の変化を検知する。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
測定室と比較室からなるガスセル検出器において、測定室と比較室との間のガス流通路に対向流路を形成し、その折り返し位置にカンチレバーを配置することで、翼の変位具合からガス流を検知する構成のガス検出装置及びこの原理を備えた赤外線ガス分析計を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本願発明のガス検出装置の原理を示した説明図である。
【図２】カンチレバーを半導体微細加工技術で一体形成した様子を示した説明図である。
【図３】カンチレバーを半導体微細加工技術で一体形成した様子を示した説明図である。
【図４】本願発明のカンチレバーを備えた赤外線ガス分析計のブロック図である。
【図５】本願発明のカンチレバーを備えた他の例の赤外線ガス分析計のブロック図である。
【図６】従来技術における赤外線ガス分析計を略示的に示したブロック図である。
【図７】同、サーマルフローセンサーの構造を示した説明図である。
【図８】同、信号が存在するときの外部振動により発生するノイズ成分を示したグラフである。
【図９】同、信号が存在しないときの外部振動により発生するノイズ成分を示したグラフである。
【符号の説明】
【００４２】
１０      駆動電源
１１      赤外線光源
１２      分配セル
１３      比較セル
１４      測定セル
１５      ガスセル検出器
１６      比較室
１７      測定室
１８      流通路
２０      モータ
２１      回転セクタ
２３      ガス検知手段
２５      赤外入射窓
２６      赤外入射窓
２７      支軸
２８      シール蓋
３１      ガス通路
３２      対向流路
３３      ガス通路
３４      カンチレバー
３５ａ    第１翼
３５ｂ    第２翼
３６ａ    第１可動電極
３６ｂ    第２可動電極
３７      支持部
３８      管路壁
３９ａ    第１固定電極
３９ｂ    第２固定電極
４１      シリコン基板
４２      支持部
４３ａ    第１翼
４３ｂ    第２翼。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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