(57)【要約】【課題】電磁波障害（ＥＭＩ）の低減に配慮されたヘッドユニット、および液体吐出装置を提供すること。【解決手段】ヘッドユニット２００は、ノズルプレート２０、流路形成部、金属製のケース２３０が積層されてなる複数の液体吐出ヘッド２２０と、液体吐出ヘッド２２０を保護するための金属製のカバー部材２４０とを備えており、カバー部材２４０はキャリッジ内のアース端子と接触している。各液体吐出ヘッド２２０間の外形寸法のばらつきを吸収する空間として、液体吐出ヘッド２２０の側面部２２１，２２２とカバー部材２４０の側面保護部２４４，２４５との間には間隙が設けられている。ケース２３０とカバー部材２４０とは導電性部材を介して導通しており、ケース２３０は、アース電極として電磁波障害の低減に寄与する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体をなす金属製のケースと、ノズルが穿設されたノズルプレートと、前記ノズルと連通する流路を形成する流路形成部と、吐出に係る駆動を行うための制御回路とを有する液体吐出ヘッドが、並列された状態でフレーム部材に保持されてなるヘッドユニットであって、
前記ノズルプレートの周縁部を覆うと共に、前記液体吐出ヘッドにおける前記ノズルプレートのなす面に対する側面部を間隙を介して覆う導電性のカバー部材と、
前記ケースと前記フレーム部材との接合面に沿って、前記間隙をまたぐように張り出して配設された導電性部材と、を備え、
前記カバー部材は、前記導電性部材との接点を形成する接点部を有することを特徴とするヘッドユニット。
【請求項２】
前記導電性部材は、前記並列された液体吐出ヘッド間にまたがって一体に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニット。
【請求項３】
前記接点部は、バネ性を有することを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドユニット。
【請求項４】
前記導電性部材は、導電性接着材であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載のヘッドユニット。
【請求項５】
前記導電性部材は、弾性を有する部材であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載のヘッドユニット。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載のヘッドユニットを搭載する液体吐出装置であって、
前記ケースが、前記カバー部材を介してアースされていることを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録装置、ディスプレー製造装置、電極形成装置、あるいは、バイオチップ製造装置など、微小なノズルから液体を吐出して描画等を行う液体吐出装置、および液体吐出装置に搭載するヘッドユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体吐出装置として、紙への印刷に適したインクジェットプリンタ等が知られており、一般的には、液体（インク）を吐出する液体吐出ヘッドを、紙に対向した状態で移動可能に配した構成である。この構成において、単位時間あたりの吐出能力を高めるため、複数の液体吐出ヘッドを集合させてユニット化したもの（ヘッドユニット）が用いられることも多い。
【０００３】
ヘッドユニットの具体的な構成例として、複数の液体吐出ヘッドがフレーム部材に取り付けられ、液体吐出ヘッドにおけるノズル形成面の周縁部がカバー部材で覆われたものが特許文献１に開示されている。このカバー部材は、複数の液体吐出ヘッド間の相対位置を固定する役割も果たしている。
【０００４】
特許文献１に係る液体吐出ヘッドは、ノズルが穿設されたノズルプレートと、ノズルと連通する微細な流路を形成する流路形成部と、基体をなすケースとが積層された構成となっている。また、液体吐出ヘッドは、インクの吐出に係るパワーを発生させる駆動素子や、駆動素子の制御を行う制御ＩＣなどを備えている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−６７１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のような制御ＩＣを搭載したヘッドユニットにおいては、電磁波障害（ＥＭＩ）の対策は重要な技術課題の一つである。とりわけ上記ケースが金属製の場合には、浮遊電極となったケースがアンテナの役割を果たしてＥＭＩの影響が深刻になることがある。
【０００７】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、電磁波障害（ＥＭＩ）の低減に配慮されたヘッドユニット、および液体吐出装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、基体をなす金属製のケースと、ノズルが穿設されたノズルプレートと、前記ノズルと連通する流路を形成する流路形成部と、吐出に係る駆動を行うための制御回路とを有する液体吐出ヘッドが、並列された状態でフレーム部材に保持されてなるヘッドユニットであって、外部のアース端子と電気的に接続するための接続端子部を備え、前記接続端子部と前記ケースとが導通していることを特徴とする。
【０００９】
この発明のヘッドユニットによれば、接続端子部を介して液体吐出ヘッド内のケースがアースされ、周囲の電磁波がアースされた当該ケースによって好適に吸収されるので、制御回路に係るＥＭＩが好適に低減される。
【００１０】
本発明は、基体をなす金属製のケースと、ノズルが穿設されたノズルプレートと、前記ノズルと連通する流路を形成する流路形成部と、吐出に係る駆動を行うための制御回路とを有する液体吐出ヘッドが、並列された状態でフレーム部材に保持されてなるヘッドユニットであって、前記ノズルプレートの周縁部を覆うと共に、前記液体吐出ヘッドにおける前記ノズルプレートのなす面に対する側面部を間隙を介して覆う導電性のカバー部材と、前記ケースと前記フレーム部材との接合面に沿って、前記間隙をまたぐように張り出して配設された導電性部材と、を備え、前記カバー部材は、前記導電性部材との接点を形成する接点部を有することを特徴とする。
【００１１】
この発明におけるカバー部材は、液体吐出ヘッドのノズルプレートの外縁部および側面部を覆うように形成されており、各液体吐出ヘッド間の外形寸法のばらつきを吸収する空間として、当該側面部とカバー部材との間には間隙が設けられている。
この発明のヘッドユニットによれば、当該間隙が存在するにも関わらず、比較的簡易な構成でケースとカバー部材との導通が確保される。このとき、ケースとカバー部材との間には直接的なストレスが働くことがないため、液体吐出ヘッドとカバー部材との固定状態を安定的に保つことができる。
かくして、導電性部材およびカバー部材を介して液体吐出ヘッド内のケースをアースすることで、周囲の電磁波がアースされた当該ケースによって好適に吸収され、制御回路に係るＥＭＩを好適に低減することができる。
【００１２】
また好ましくは、前記ヘッドユニットにおいて、前記導電性部材は、前記並列された液体吐出ヘッド間にまたがって一体に形成されていることを特徴とする。
この発明のヘッドユニットによれば、導電性部材とカバー部材との接点を各ケース毎に設ける必要がないので、簡易な構成とすることができる。
【００１３】
また好ましくは、前記ヘッドユニットにおいて、前記接点部は、バネ性を有することを特徴とする。
この発明のヘッドユニットによれば、接点部と導電性部材との接点における接触抵抗を好適に低減することができる。
【００１４】
また好ましくは、前記ヘッドユニットにおいて、前記導電性部材は、導電性接着材であることを特徴とする。
この発明のヘッドユニットによれば、導電性部材がケースおよびカバー部材と互いに密着するように形成されるため、接点における接触抵抗を好適に低減できる。また、導電性部材により、並列された液体吐出ヘッド間における外形寸法のばらつきを好適に吸収することができる。
【００１５】
また好ましくは、前記ヘッドユニットにおいて、前記導電性部材は、弾性を有する部材であることを特徴とする。
この発明のヘッドユニットによれば、導電性部材がケースおよびカバー部材と互いに密着するように変形するため、接点における接触抵抗を好適に低減できる。また、導電性部材により、並列された液体吐出ヘッド間における外形寸法のばらつきを好適に吸収することができる。
【００１６】
本発明は、前記ヘッドユニットを搭載する液体吐出装置であって、前記ケースが、前記カバー部材を介してアースされていることを特徴とする。
この発明の液体吐出装置によれば、周囲における電磁波がアースされたケースによって好適に吸収されるので、制御回路に係るＥＭＩが低減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図では、図示の便宜上、各部材の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表している。
【００１８】
図１は、液体吐出装置の全体構成を示す概略斜視図である。図２は、ヘッドユニットの全体構成を示す分解斜視図である。図３は、液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図４は、ヘッドユニットの要部を示す一部破断の側面図である。
【００１９】
図１において、液体吐出装置としてのプリンタ１は、スチール板等で形成されたガイドフレーム２と、用紙３を搬送する搬送ローラ４と、微小なノズルが並設されたノズル面２００ａを有するヘッドユニット２００と、ヘッドユニット２００のノズルメンテナンスを行うためのメンテナンスユニット５と、を備えている。ヘッドユニット２００は、キャリッジ６に搭載されて、ガイドロッド７に沿って往復動（走査）されるようになっている。ガイドフレーム２は、その剛性と重量によって装置全体の土台をなすと共に、電気的なアースとしての機能も果たしている。
【００２０】
キャリッジ６には、液体としての８色の着色インク（インク）をそれぞれ収容するインクカートリッジ８が搭載されており、ヘッドユニット２００にはこれら各色の着色インクがそれぞれ供給される。そして、キャリッジ６の走査および用紙３の搬送に同期してヘッドユニット２００のノズル毎の吐出制御が行われ、液滴化されたインクによって用紙３上に画像等が形成される。
【００２１】
メンテナンスユニット５は、ヘッドユニット２００のノズル面２００ａを封止可能なキャップ部材５ａと、ゴム等で形成された板状部材であるワイパブレード５ｂとを備えている。キャップ部材５ａは、ノズルを粉塵や乾燥などから保護する役割を果たすほか、キャップ内に負圧を発生させてノズルからインクを吸引する目的にも用いられる。また、ワイパブレード５ｂは、ノズル面２００ａに付着したインク等を払拭するのに用いられる。
【００２２】
ヘッドユニット２００のノズル面２００ａは、ごく短い間隙を介して用紙３と対向しているため、ノズル面２００ａと用紙３との間で静電気の放電が生じた場合に、ヘッドユニット２００内の制御回路が破壊される虞がある。このような不具合を未然に防ぐため、ノズル面２００ａは、ガイドロッド７を介してアースされたキャリッジ６内の端子部材９と接触するようになっている。すなわち、端子部材９は、本発明のアース端子としての役割を果たしている。
【００２３】
図２に示すように、ヘッドユニット２００は、インクカートリッジ８（図１参照）の導出部と結合する針部材２１３を有するフレーム部材２１０と、フレーム部材２１０に保持された４つの液体吐出ヘッド２２０と、液体吐出ヘッド２２０を保護するためのカバー部材２４０とを備えている。
【００２４】
フレーム部材２１０の内部には、針部材２１３と連通する流路が形成されており、その一端の開口が、液体吐出ヘッド２２０に形成された導入口２３１と結合している。針部材２１３やフレーム部材２１０内の流路は各色のインクごとに設けられており、液体吐出ヘッド２２０の個々に２つずつ設けられた導入口２３１のそれぞれに、各色のインクが供給されるようになっている。
【００２５】
このような複数の液体吐出ヘッド２２０で構成されるヘッドユニット２００は、液体吐出ヘッド２２０の単位で不良品の選別がなされるため、歩留まりの点において有利である。
【００２６】
液体吐出ヘッド２２０は、図３に示すように、ノズル２１が穿設されたノズルプレート２０と、流路形成部を構成する第１〜第３流路形成基板１０，３０，４０と、基体をなすケース２３０とを備えており、これらの各部材１０，２０，３０，４０，２３０が積層された構成となっている。また、ノズル２１はライン状に配列されており、ノズル列２１Ａ，２１Ａを構成している。
【００２７】
本実施形態では、ノズルプレート２０、第３流路形成基板４０、ケース２３０は金属（ＳＵＳ等）で、第１、第２流路形成基板１０，３０はシリコンの単結晶基板で形成されている。このような各部材１０，２０，３０，４０，２３０の材質は、加工性と熱膨張係数の調和に鑑みて選択されたものである。またこれらの部材には、接合時における位置合わせに鑑みて、位置決め用の貫通孔２３４が形成されている。
【００２８】
各ノズル２１は、第１流路形成基板１０に形成された圧力発生室１２と連通している。圧力発生室１２の天蓋部は可撓性を有するように薄く形成されており、当該天蓋部上には、チタン酸ジルコン酸鉛等の圧電体層を電極層で挟み込んでなる圧電素子３００が配設されている。圧力発生室１２は、対応するノズル列２１Ａごとに、共通室であるリザーバ１３と連通している。
【００２９】
リザーバ１３は、第１および第２流路形成基板１０，３０を貫通するように形成された中抜き部分と、第３流路形成基板４０の下面側に貼付されたシート状の可撓性膜４３とによって構成されている。リザーバ１３内へのインクの供給は、ケース２３０に設けられた導入口２３１から、第３流路形成基板４０に形成された連通路４４を通って行われる。
【００３０】
リザーバ１３は、圧力発生室１２にインクを供給するための液溜めの役割を果たしており、インクの流量（消費量）変化に依存した内圧変動を抑えるために、適度なコンプライアンス（圧力吸収性）を持つことが要求されている。上述した可撓性膜４３は、このコンプライアンスの付与を目的として設けられているものである。
【００３１】
圧電素子３００は、第２流路形成基板３０の上面に配置される制御ＩＣ１１０と図示しないボンディングワイヤによって接続されている。また、制御ＩＣ１１０は、可撓性を有するフレキシブル配線基板１１１と接続されている。圧電素子３００は、フレキシブル配線基板１１１を介して伝送される電気信号によって駆動され、当該駆動により圧力発生室１２の天蓋部が変形することで、室内のインクがノズル２１から吐出される。尚、第２流路形成基板３０の下面における圧電素子３００と重なる領域には、圧電素子３００の変形（駆動）を阻害しないように凹部が形成されている。
【００３２】
図２、図４において、カバー部材２４０は、ノズルプレート２０の周縁部を覆うノズル面保護部２４３と、液体吐出ヘッド２２０の側面部２２１，２２２を覆う側面保護部２４４，２４５とを有している。また、カバー部材２４０は、水平方向に張り出して形成されたフランジ部２４６を有しており、フランジ部２４６には位置決め用の貫通孔２４７が設けられている。このようなカバー部材２４０は、金属板（ＳＵＳ板など）をプレス加工するなどして形成される。
【００３３】
カバー部材２４０は、並設されるノズルプレート２０間の隙間を塞いで略平滑なノズル面２００ａを形成すると共に、液体吐出ヘッド２２０の側面部２２１，２２２を保護する役割を果たしている。これにより、ワイパブレード５ｂ（図１参照）によってノズル面２００ａの払拭が行われる際に、液体吐出ヘッド２２０の側面部２２１，２２２にインクが回り込んだり、部材１０，２０，３０，４０，２３０の接合部に過度な力が加わったりしないようにされている。
【００３４】
各液体吐出ヘッド２２０のノズルプレート２０は、ノズル面保護部２４３の内面に接着材（図示せず）等により接合される。これにより、並設された各ノズルプレート２０の高さ方向における位置は、ノズル面保護部２４３のなす面を基準として固定される。尚、ノズルプレート２０とカバー部材２４０とは、その接合面に接着材（図示せず）を有しながらも、カバー部材２４０の形成時に発生したバリ部分において直接的に接触し、これにより両者間の導通がとられている。
【００３５】
また、ノズルプレート２０とカバー部材２４０との接合の際には、各液体吐出ヘッド２２０の水平方向における位置合わせも行われる。具体的には、カバー部材の貫通孔２４７を基準として、所定の相対位置に各液体吐出ヘッド２２０のノズル列２１Ａ（図３参照）が重なるようにアライメント調整を行いつつ上記の接合を行うようになっている。これにより、並列された各ノズル列２１Ａ（図３参照）間の相対位置は所定条件の下に固定される。
【００３６】
このように、カバー部材２４０は、液体吐出ヘッド２２０の保護機能だけではなく、複数の液体吐出ヘッド２２０間の高さ方向および水平方向の相対位置を固定する役割も担っている。ヘッドユニット２００に搭載される個々の液体吐出ヘッド２２０は、その外形寸法に関してそれぞれ公差内のばらつきを有しているため、ノズル２１（図３参照）のアライメント調整とその固定手段が必要なわけである。
【００３７】
各液体吐出ヘッド２２０は、カバー部材２４０に対して上記のような位置固定がなされた状態で、接着材２５１を介してフレーム部材２１０に接合される。また、カバー部材２４０は、フレーム部材２１０の突起部２１１をフランジ部２４６の貫通孔２４７に挿嵌させた状態で当該突起部２１１を加熱によりかしめることで、フレーム部材２１０に固定される。
【００３８】
各液体吐出ヘッド２２０間における外形寸法のばらつきは、高さ方向に関しては、フレーム部材２１０におけるケース２３０との接合面にやや厚く塗布される接着材２５１によって吸収される。また、水平方向に関しては、液体吐出ヘッド２２０の側面部２２１，２２２とカバー部材２４０の側面保護部２４４，２４５との間に設けられる間隙２５２によって吸収される。このことに鑑みて、カバー部材２４０は、液体吐出ヘッド２２０の側面部２２１，２２２と干渉しないように、水平方向にやや大きめの寸法で形成されている。
【００３９】
間隙２５２内には、ケース２３０とカバー部材２４０との間に挟持されるように導電性部材２５３が形成されており、これにより、ケース２３０とカバー部材２４５との導通がとられている。導電性部材２５３は、並列された各ケース２３０のそれぞれに対応して設けられている。
【００４０】
導電性部材２５３は、カバー部材２４０とノズルプレート２０との接合後において、導電性接着材や半田などを間隙２５２内に流入、固化させて形成されることが好ましい。導電性部材２５３が間隙２５２の形状に合わせて成形され、ケース２３０およびカバー部材２４０と好適に密着することで、接点における電気抵抗が好適に低減されるからである。また、ケース２３０とカバー部材２４０との間において、導電性部材２５３を介した間隙２５２を押し広げようとするストレスが発生しないため、液体吐出ヘッド２２０とカバー部材２４０との固定状態を安定的に保つことができるからである。液体吐出ヘッド２２０とカバー部材２４０との固定は、ノズル列２１Ａ（図３参照）のアライメントに関わる要素であるため重要である。
【００４１】
カバー部材２４０は、フランジ部２４６において端子部材９（図１参照）と接触することでアースされる。すなわち、カバー部材２４０は、本発明の接続端子部としての機能を有している。これにより、ヘッドユニット２００のノズル面２００ａ（図１参照）はアースされ、用紙３から静電気放電を受けた場合に制御ＩＣ１１０の破壊を防ぐことができる。また、制御ＩＣ１１０を収容するケース２３０も、導電性部材２５３、カバー部材２４０を介してアースされるため、当該アースされたケース２３０が制御ＩＣ１１０の周囲の電磁波を好適に吸収して、電磁波障害（ＥＭＩ）を低減する。
【００４２】
（変形例１）
次に、変形例１について、図５を参照しながら、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図５は、変形例１に係るヘッドユニットの要部を示す一部破断の側面図である。
【００４３】
この変形例１においては、液体吐出ヘッド２２０のケース２３０は、接着材（図示せず）を介して接合された二つの金属部材２３０ａ，２３０ｂにより構成されている。また、ケース２３０とカバー部材２４０との間には弾性を有する導電性部材２５３が挟持されている。導電性部材２５３は、例えば、導電性スポンジ、カーボンシールなどの部材を間隙２５２の幅よりもやや厚い寸法で成形したものである。あるいは、このような成形された部材に代えて、ケース２３０とカバー部材２４０との間に金属の板バネを挟み込むようにしてもよい。
【００４４】
導電性部材２５３は、ケース２３０の全体がアースされるように、金属部材２３０ａ，２３０ｂの両方と接触するようにされている。ただし、言うまでもなく、金属部材２３０ａ，２３０ｂどうしの接合が拡散接合などにより行われていて、両者間の導通がとれていれば、導電性部材２５３はいずれか一方の部材と接触していれば十分である。
【００４５】
導電性部材２５３は、その弾性により間隙２５２の幅に合わせて変形するので、ケース２３０およびカバー部材２４０と好適に密着し、接点における電気抵抗が好適に低減される。また、ケース２３０とカバー部材２４０との間において、導電性部材２５３を介した間隙２５２を押し広げようとするストレスが過度に発生しないため、液体吐出ヘッド２２０とカバー部材２４０との固定状態を比較的安定的に保つことができる。このような液体吐出ヘッド２２０とカバー部材２４０との固定状態に鑑みて、導電性部材２５３の弾性や初期的な厚み寸法は、ノズルプレート２０とカバー部材２４０との接合強度を考慮して設計されることが好ましい。
【００４６】
（変形例２）
次に、変形例２について、図６、図７を参照しながら、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図６は、変形例２に係るヘッドユニットの全体構成を示す分解斜視図である。図７は、変形例２に係るヘッドユニットの要部を示す一部破断の側面図である。
【００４７】
この変形例２では、並列された液体吐出ヘッド２２０のそれぞれは、板状の導電性部材２５４（図６では図示を省略）を介してフレーム部材２１０に接合されている。導電性部材２５４は、並列された液体吐出ヘッド２２０間にまたがって一体に、また、間隙２５２をまたぐように張り出して形成されている。導電性部材２５４と液体吐出ヘッド２２０のケース２３０とは接着材（図示せず）を介して接合されているが、直接的な接触箇所も部分的に有しており、これにより両者間の導通がとられている。
【００４８】
カバー部材２４０は、側面保護部２４５から延出して端部が湾曲した形状を持つ接点部２４８を備えており、この接点部２４８は、導電性部材２５４の下面に当接して導電性部材２５４との電気的な接点を形成している。接点部２４８は適度なバネ性を有しているため、当該接点における接触抵抗は小さく抑えられる。
【００４９】
かくして、ケース２３０は、導電性部材２５４、カバー部材２４０を介してアースされる。この変形例２の態様は、先の実施形態や変形例１のように間隙２５２内に導電性部材が存在せず、ケース２３０とカバー部材２４０との間で直接的なストレスが発生しないので、液体吐出ヘッド２２０とカバー部材２４０との固定状態を安定的に保つことができる点で優れている。
【００５０】
導電性部材２５４には、例えば、導電性スポンジ、カーボンシールなどの弾性を有するものが用いられることが好ましい。その変形によって、接点部２４８との当接部分における接触抵抗の低減を図ることができ、また、並列された液体吐出ヘッド２２０間における高さ方向に係る外形寸法のばらつきを好適に吸収することができるからである。あるいは、このような弾性を有する部材に代えて、導電性接着材を用いることでも、同様の効果を得ることができる。ただし、このことは、金属等の剛体による導電性部材２５４の排除を意味するものではない。
【００５１】
（変形例３）
次に、変形例３について、図８を参照しながら、変形例２との相違点を中心に説明する。
図８は、変形例３に係るヘッドユニットの要部を示す一部破断の側面図である。
【００５２】
この変形例３では、接点部２４８が導電性部材２５４の側面に当接して、導電性部材２５４とカバー部材２４０との導通がとられる構成となっている。
【００５３】
（変形例４）
次に、変形例４について、図３を参照しながら、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００５４】
この変形例４では、液体吐出ヘッド２２０を構成する各部材１０，２０，３０，４０，２３０に設けられた貫通孔２３４に、導電性のピン（図示せず）が挿嵌されている。かくして、ケース２３０は、当該ピン、ノズルプレート２０、カバー部材２４０（図２参照）を介してアースされる。
【００５５】
本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、カバー部材２４０を介さずに、ケース２３０から端子部材９への別の導通手段を設けることで、ケース２３０をアースさせることも可能である。
また、各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他の構成と組み合わせたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】液体吐出装置の全体構成を示す概略斜視図。
【図２】ヘッドユニットの全体構成を示す分解斜視図。
【図３】液体吐出ヘッドの分解斜視図。
【図４】ヘッドユニットの要部を示す一部破断の側面図。
【図５】変形例１に係るヘッドユニットの要部を示す一部破断の側面図。
【図６】変形例２に係るヘッドユニットの全体構成を示す分解斜視図。
【図７】変形例２に係るヘッドユニットの要部を示す一部破断の側面図。
【図８】変形例３に係るヘッドユニットの要部を示す一部破断の側面図。
【符号の説明】
【００５７】
１…液体吐出装置としてのプリンタ、２…ガイドフレーム、６…キャリッジ、７…ガイドロッド、９…アース端子としての端子部材、１０…流路形成部を構成する第１流路形成基板、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、２１Ａ…ノズル列、３０…流路形成部を構成する第２流路形成基板、４０…流路形成部を構成する第３流路形成基板、１１０…制御ＩＣ、２００…ヘッドユニット、２００ａ…ノズル面、２１０…フレーム部材、２２０…液体吐出ヘッド、２２１，２２２…側面部、２３０…ケース、２３１…導入口、２４０…接続端子部としてのカバー部材、２４３…ノズル面保護部、２４４，２４５…側面保護部、２４６…フランジ部、２４７…貫通孔、２４８…接点部、２５１…接着材、２５２…間隙、２５３…導電性部材、２５４…導電性部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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