(57)【要約】【課題】位置合わせ用孔を透過した透過光を明確に視認することができ、これにより、基体の位置合わせを容易かつ確実に行う。【解決手段】透明基板３およびメタルマスク１を対向して配置し、メタルマスク１に、透明基板３との非対向面側から照射されるマスク側照射光８を透明基板３側に透過する位置合わせ用孔６を形成し、透明基板３に、メタルマスク１との非対向面側から照射されることにより透明基板３の非対向面側から視認され、位置合わせ用孔６を透過した透過光１８との位置合わせの基準とされる透光可能な位置合わせ用マーク１０を形成し、メタルマスク１のうち透明基板３との対向面における位置合わせ用孔６の周縁部に、黒色の光吸収材１６を設ける。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射面を有する第１基体が、透光性の第２基体に前記反射面を対向させて配置され、
前記第１基体に、前記第２基体との非対向面側から照射される照射光を前記第２基体側に透過する位置合わせ用孔が形成され、
前記第２基体に、前記第１基体との非対向面側から照射されることにより前記第２基体の非対向面側から視認され、前記位置合わせ用孔を透過した透過光との位置合わせの基準とされる透光可能な位置合わせ用マークが形成され、
前記第１基体のうち前記第２基体との対向面における前記位置合わせ用孔の周縁部に、光吸収処理が施されていることを特徴とする基体の位置合わせ構造。
【請求項２】
前記第１基体は、スクリーン印刷用のメタルマスクである請求項１に記載の基体の位置合わせ構造。
【請求項３】
前記光吸収処理として、黒色の光吸収材が設けられている請求項１または２に記載の基体の位置合わせ構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対向して配置される２つの基体の位置合わせを行う基体の位置合わせ構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、表示パネルを構成する一対の透明基板を一体に貼着するためのシール材を、前記透明基板における所望の位置に塗布する手段として、所望の形状にパターニング形成されたマスクを介してシール材を塗布するスクリーン印刷方法が多用されている。そして、このようなスクリーン印刷方法においては、シール材を透明基板における所望の位置に正確に塗布するために、透明基板とマスクとの位置合わせが行われている。
【０００３】
図３は、従来の透明基板とマスクとの位置合わせ構造を示す模式的断面図である。
【０００４】
図３に示すように、対向して配置される透明基板２１とマスク２２には、位置合わせ用孔２３が形成されており、この位置合わせ用孔２３は、マスク２２における透明基板２１との非対向面側から照射されたマスク側照射光２４を透明基板２１側に透過するようになっている。
【０００５】
また、透明基板２１におけるマスク２２の位置合わせ用孔２３に対応する位置には、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウムスズ酸化物）等の透光可能な材料からなる位置合わせ用マーク２６が形成されており、位置合わせ用マーク２６は、透明基板２１におけるマスク２２との非対向面側から照射される透明基板側照射光２７に照射され、これにより、前記透明基板２１の非対向面側からＣＣＤカメラ２８を用いて視認可能となっている。
【０００６】
このような透明基板２１とマスク２２との位置合わせ構造においては、透明基板２１の非対向面側からＣＣＤカメラ２８によって位置合わせ用マーク２６を視認するとともに、位置合わせ用孔２３を透過した透過光３０を視認し、位置合わせ用マーク２６と透過光３０との位置を合わせることによって、透明基板２１とマスク２２との位置合わせを行うようになっている。
【０００７】
しかし、前述のような透明基板２１とマスク２２との位置合わせ構造においては、透明基板側照射光２７が、マスク２２における透明基板２１との対向面で反射してしまうことがあった。このような場合には、この反射光３１が透明基板２１および位置合わせ用マーク２６を透過してＣＣＤカメラ２８によって視認されてしまうので、反射光３１と位置合わせ用孔２３からの透過光３０との判別が困難となって透過光３０が視認しづらくなってしまい、この結果、位置合わせ用マーク２６と透過光３０との位置を合わせることが困難になってしまうという問題を有していた。
【０００８】
さらに、スクリーン印刷方法においては、透明基板２１とマスク２２とが接触してしまうこともあるが、例えば、液晶表示パネルを構成する透明基板２１にスクリーン印刷方法によってシール材を塗布するにあたり、表面が粗面状のマスク２２を用いた場合、配向膜が配設された透明基板２１にマスク２２が接触して、粗面状のマスク２２によって前記配向膜が損傷してしまうことがある。このような配向膜が損傷してしまった透明基板２１は、液晶表示パネルを構成する透明基板２１として使用することができなくなってしまうことから、マスク２２の表面が配向膜に接触しても配向膜に損傷が発生してしまうのを防止するため、液晶表示パネルを構成する透明基板２１に対してスクリーン印刷方法によりシール材を塗布する場合には、表面に凹凸がない鏡面状のメタルマスクが多く用いられている。
【０００９】
しかし、前記透明基板２１とマスク２２との位置合わせ構造において、マスク２２としてメタルマスクを用いた場合、鏡面状の表面において透明基板側照射光２７がより反射しやすくなり、位置合わせ用マーク２６と透過光３０との位置を合わせることが一層困難となってしまっていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、位置合わせ用孔を透過した透過光を明確に視認することができ、これにより、基体の位置合わせを容易かつ確実に行うことができる基体の位置合わせ構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するため、請求項１に記載の発明に係る基体の位置合わせ構造の特徴は、反射面を有する第１基体が、透光性の第２基体に前記反射面を対向させて配置され、前記第１基体に、前記第２基体との非対向面側から照射される照射光を前記第２基体側に透過する位置合わせ用孔が形成され、前記第２基体に、前記第１基体との非対向面側から照射されることにより、前記第２基体の非対向面側から視認され、前記位置合わせ用孔を透過した透過光との位置合わせの基準とされる透光可能な位置合わせ用マークが形成され、前記第１基体のうち前記第２基体との対向面における前記位置合わせ用孔の周縁部に、光吸収処理が施されている点にある。
【００１２】
この請求項１に記載の発明によれば、位置合わせ用マークを透過して、第１基体における位置合わせ用孔の周縁部に照射された照射光は、位置合わせ用孔の周縁部に施された光吸収処理によって吸収されるので、第２基体側から照射された照射光が、第１基体の反射面において反射してしまうのを防止することができる。このため、位置合わせ用孔を透過した透過光を、第２基体における非対向面側から明確に視認することができる。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明に係る基体の位置合わせ構造の特徴は、前記第１基体が、スクリーン印刷用のメタルマスクである点にある。
【００１４】
この請求項２に記載の発明によれば、第１基体がメタルマスクであっても、メタルマスクにおける位置合わせ用孔の周縁部に照射された照射光は吸収されるので、位置合わせ用孔を透過した透過光を、第２基体における非対向面側から明確に視認することができる。
【００１５】
さらに、請求項３に記載の発明に係る基体の位置合わせ構造の特徴は、前記光吸収処理として、黒色の光吸収材が設けられている点にある。
【００１６】
この請求項３に記載の発明によれば、位置合わせ用孔の周縁部分に照射された照射光を、光吸収材によって確実に吸収することができるので、位置合わせ用孔を透過した透過光を、第２基体における非対向面側から明確に視認することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上述べたように、本発明に係る基体の位置合わせ構造によれば、第２基体の非対向面側から、位置合わせ用孔を透過した透過光を明確に視認することができるので、透過光と位置合わせ用マークとの位置を容易かつ確実に合わせることができ、ひいては、第１基体と第２基体との位置合わせを容易かつ確実に行うことができる。また、第１基体と第２基体との位置合わせにかかる時間を短縮することができ、効率よく位置合わせを行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る基体の位置合わせ構造の一実施形態を図１および図２を参照して説明する。
【００１９】
ここで、本実施形態においては、基体として、表示パネルを構成する透光性のガラス等からなる透明基板と、透明基板に対してシール材を塗布するためのスクリーン印刷に用いられるメタルマスクとを用いて説明する。なお、このメタルマスクは、前述したように、透明基板との対向面が鏡面状の反射面を有している。
【００２０】
図１は、本実施形態に係る透明基板とメタルマスクとの位置合わせ構造を示す模式的断面図である。
【００２１】
図１に示すように、シール材をスクリーン印刷するため、メタルマスク１は、載置台２に載置された透明基板３に対向して配置されており、メタルマスク１の透明基板３との非対向面における周縁部は、支持体４により支持されている。
【００２２】
また、図２は、メタルマスク１の透明基板３との対向面を示す模式的平面図であり、図２に示すように、メタルマスク１は、平面形状が矩形状であって所定の形状にパターニング形成されている。メタルマスク１における対向する２辺の周縁部分の中央部には、メタルマスク１を貫通する位置合わせ用孔６が形成されており、各位置合わせ用孔６は、メタルマスク１における透明基板３との非対向面側に配置されたマスク側光源７から照射されたマスク側照射光８を、透明基板３側に透過するようになっている。
【００２３】
透明基板３における平面形状において位置合わせ用孔６に対応する位置には、ＩＴＯ等の透光可能な材料からなる位置合わせ用マーク１０が形成されている。また、透明基板３を載置する載置台２のうち位置合わせ用マーク１０に対応する位置には、貫通孔１１が形成されている。そして、位置合わせ用マーク１０には、透明基板３におけるメタルマスク１との非対向面側に配置された透明基板側光源１２からの透明基板側照射光１３が、貫通孔１１を介して照射されるようになっており、これにより、位置合わせ用マーク１０は、前記透明基板３の非対向面側に配置されたＣＣＤカメラ１４を用い、前記貫通孔１１を介して視認可能となっている。
【００２４】
また、メタルマスク１のうち透明基板３との対向面における位置合わせ用孔６の周縁部には、透明基板側光源１２から透明基板３および位置合わせ用マーク１０を介してメタルマスク１に照射される透明基板側照射光１３を吸収する光吸収処理が施されている。ここで、位置合わせ用孔６の周縁部とは、透明基板３とメタルマスク１との位置合わせの際に、載置台２の貫通孔１１、透明基板３および位置合わせ用マーク１０を透過して透明基板側照射光１３がメタルマスク１に照射される範囲をいう。本実施形態においては、光吸収処理として、位置合わせ用孔６の周縁部に、黒色の光吸収材１６が配設されており、この光吸収材１６によって、メタルマスク１に照射された透明基板側照射光１３を吸収することができるようになっている。
【００２５】
なお、本実施形態においては、光吸収処理として、黒色の光吸収材１６が配設されているが、これに限定されるものではなく、例えば、メタルマスク１の対向面における位置合わせ用孔６の周縁部のメタルめっきを剥離すること等により光吸収処理を施してもよい。また、光吸収材１６の色も、黒色ではなく、茶、紺等の暗色であってもよい。さらに、光吸収材１６は、印刷等で形成された膜であってもよいし、テープ状の部材を貼付してもよい。
【００２６】
次に、本実施形態の作用について説明する。
【００２７】
まず、位置合わせ用マーク１０を貫通孔１１の形成位置に合わせながら、透明基板３を載置台２上に載置するとともに、メタルマスク１を透明基板３に対向して配置させる。
【００２８】
続いて、マスク側光源７から位置合わせ用孔６にマスク側照射光８を照射するとともに、透明基板側光源１２から位置合わせ用マーク１０に透明基板側照射光１３を照射する。
【００２９】
このとき、透明基板側照射光１３は、透明基板３および位置合わせ用マーク１０に照射されるとともに、その一部は、位置合わせ用マーク１０に反射してＣＣＤカメラ１４に照射され、他の一部は、透明基板３および位置合わせ用マーク１０を透過して、メタルマスク１における位置合わせ用孔６の周縁部に照射され、この一部透過した透明基板側照射光１３は、位置合わせ用孔６の周縁部に配設された光吸収材１６に吸収される。
【００３０】
その後、ＣＣＤカメラ１４により透明基板３の非対向面側から貫通孔１１を介して、位置合わせ用マーク１０を視認するとともに、位置合わせ用孔６を透過した透過光１８を視認し、位置合わせ用マーク１０と透過光１８との位置を合わせることによって、透明基板３とメタルマスク１との位置合わせを行う。
【００３１】
本実施形態によれば、透明基板３および位置合わせ用マーク１０を一部透過して、メタルマスク１における位置合わせ用孔６の周縁部分に照射された透明基板側照射光１３は、位置合わせ用孔６の周縁部分に配設された光吸収材１６に吸収されるので、透明基板側照射光１３が、メタルマスク１において反射してしまうのを防止することができる。このため、ＣＣＤカメラ１４によって、位置合わせ用孔６から透過した透過光１８を明確に視認することができる。
【００３２】
したがって、ＣＣＤカメラ１４によって透過光１８を明確に視認することができるので、透過光１８と位置合わせ用マーク１０との位置を容易かつ確実に合わせることができ、ひいては、透明基板３とメタルマスク１との位置合わせを容易かつ確実に行うことができる。
【００３３】
また、透明基板３とメタルマスク１との位置合わせにかかる時間を短縮することができ、効率よく位置合わせを行うことができる。
【００３４】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々変更することが可能である。
【００３５】
例えば、本実施形態においては、基体として、表示パネルを構成する透明基板３、およびスクリーン印刷に用いられるメタルマスク１を用いて説明しているが、これに限定されるものではなく、種々の基体の位置合わせ構造に用いることができる。例えば、フォトリソ工程におけるフォトマスクとレジスト付基板の位置合わせにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に係る基体の位置合わせ構造の一実施形態を示す模式的断面図
【図２】図１の第１基体における第２基体との対向面を示す模式的平面図
【図３】従来の基体の位置合わせ構造の一例を示す模式的断面図
【符号の説明】
【００３７】
１  メタルマスク
２  載置台
３  透明基板
４  支持体
６  位置合わせ用孔
７  マスク側光源
８  マスク側照射光
１０  位置合わせ用マーク
１１  貫通孔
１２  透明基板側光源
１３  透明基板側照射光
１４  ＣＣＤカメラ
１６  光吸収材
１８  透過光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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