(57)【要約】【課題】液体噴射ヘッドの内部の液体流路間の液漏れを検出することが可能な液漏れ検出方法、及び、液漏れ検出装置を提供する。【解決手段】粘着フィルム４８をノズル形成面に貼着することにより全ノズル開口を仮封止し、偶数ノズル列に対応するインク導入口１５を大気開放した状態で奇数ノズル列のインク導入口を通じてインク流路内を吸引ポンプ４３によって減圧したときの第１チューブ部材４２Ａ内を流れる空気流量を第１流量センサ４４Ａにより第１流量情報として取得し、奇数ノズル列に対応するインク導入口を大気開放した状態で偶数ノズル列のインク導入口を通じてインク流路内を減圧したときの第２チューブ部材４２Ｂ内を流れる空気の流量を第２流量センサ４４Ｂにより第２流量情報として取得し、第１流量情報及び第２流量情報と流量閾値との比較により、記録ヘッドのインク流路の液漏れを検出する。【選択図】図４
2007190890.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口を列設してなる複数のノズル列、及び、液体導入口から共通液体室及び圧力室を通りノズル開口に至るまでの一連の液体流路をノズル列毎に有し、圧力室内に導入した液体をノズル開口から液滴として吐出する液体噴射ヘッドの液漏れ検出方法であって、
液体噴射ヘッドの全ノズル開口を仮封止し、
隣り合うノズル列のうちの一方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で他方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を減圧したときの流体の流量を第１流量情報として取得し、
前記他方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で前記一方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を減圧したときの流体の流量を第２流量情報として取得し、
取得した第１流量情報及び第２流量情報と、液漏れ検出基準として設定された流量閾値との比較により、液体噴射ヘッドの液体流路の液漏れを検出することを特徴とする液体噴射ヘッドの液漏れ検出方法。
【請求項２】
前記第１流量情報及び前記第２流量情報の両方が前記流量閾値以上である場合、隣り合うノズル列間の液体流路同士の液漏れであると判定することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの液漏れ検出方法。
【請求項３】
前記第１流量情報又は前記第２流量情報の何れか一方のみが前記流量閾値以上である場合、液体流路とヘッド外部との間の液漏れであると判定することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの液漏れ検出方法。
【請求項４】
ノズル開口を列設してなる複数のノズル列、及び、液体導入口から共通液体室及び圧力室を通りノズル開口に至るまでの一連の液体流路をノズル列毎に有し、圧力室内に導入した液体をノズル開口から液滴として吐出する液体噴射ヘッドの液漏れ検出装置であって、
内部に流体流路を有する連結部材を介して液体噴射ヘッドの液体導入口と気密状態で接続され、連結部材を通じて液体噴射ヘッドの液体流路内を減圧可能な吸引機構と、
前記連結部材の途中に配置され、当該連結部材の流体流路を流れる流体の流量を検出する流量センサと、を備え、
粘着面を有する封止部材を液体噴射ヘッドのノズル形成面に貼着することにより全ノズル開口を仮封止し、
隣り合うノズル列のうちの一方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で、他方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を吸引機構によって減圧したときの流体の流量を流量センサによって第１流量情報として取得し、
前記他方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で、前記一方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を吸引機構によって減圧したときの流体の流量を流量センサによって第２流量情報として取得し、
取得した第１流量情報及び第２流量情報と、液漏れ検出基準として設定された流量閾値との比較により、液体噴射ヘッドの液体流路の液漏れを検出可能としたことを特徴とする液漏れ検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液漏れ検出方法、及び、液漏れ検出装置に関し、特に、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドの液体流路内で発生した液漏れを検出可能な液漏れ検出方法、及び、液漏れ検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（以下、プリンタ）等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
【０００３】
上記の記録ヘッドには、複数のノズル開口を列設してなるノズル列や、インク導入口から共通インク室及び圧力室を通ってノズル開口に至る一連のインク流路等を備え、圧電振動子などの圧力発生手段によって圧力室内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用してノズル開口からインク滴を吐出するように構成されたものがある。この記録ヘッドは複数の構成部品を組み付けることで作製されている（特許文献１参照）。例えば、流路ユニットは、上記のノズル列が形成されたノズルプレート、圧力室や共通液体室となる空部が形成された流路形成基板、この流路形成基板の流路基部の開口を封止する封止板（振動板）を積層状態で接着して一体化することにより作製されている。また、この流路ユニットは、ヘッドケースの底面に接着等によって接合される。
【０００４】
そして、上記の流路ユニットやヘッドケースには、インク流路がノズル列毎に形成されている。例えば、ヘッドケースにはインクカートリッジ等の液体供給源と流路ユニットの共通インク室との間を連通するケース流路（インク供給路）が、また、流路ユニットには共通インク室から各圧力室に分岐してノズル開口に至る個別流路が、それぞれノズル列に対応する数だけ設けられている。
【０００５】
上記のノズルプレート、流路形成基板、及び封止板からなる流路ユニットの構成部材は、接着剤を構成部材同士の間に介在させ、この接着剤を加熱して硬化させることで接合される。ところが、流路形成基板がシリコンで作製され、ノズルプレートや封止板がステンレス鋼等の金属製の板材で作製されている場合には、これらの構成部材の基材間に膨張率の差があるため、接合時の温度変化によって相対的な伸縮差が生じ、これにより流路形成基板にクラックが入る場合がある。このような場合、このクラックを通じて記録ヘッドの外部にインクが漏洩する等の不具合が生じる虞がある。このため、上記の記録ヘッドでは、各部材を組み付けた段階で、上記のような液漏れが生じていないか否かを検査することが行われている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−０９４６８４号公報（図２、図１２等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図６は、従来の液漏れ検査における装置構成を説明する模式図である。この液漏れ検査では、検査対象の記録ヘッドは、各ノズル列５１Ａ〜５１Ｆに対応するインク流路の入口（つまり、インクカートリッジからのインクが流入する側）である各インク導入口５２がシールゴム５３によって封止されると共に、ノズル開口が開設されたノズル面がキャップ部材５４で一様に覆われてノズル面が封止される。このキャップ部材５４には、チューブ部材５５が接続され、このチューブ部材５５は、圧力制御バルブ５６を介して吸引ポンプ５７と接続されている。この吸引ポンプ５７を作動させることにより、キャップ部材内を通じて記録ヘッド内部のインク流路が減圧される。このときの空気圧は、チューブ部材５５の途中に配設された圧力センサ５８によって検出される。そして、圧力センサ５８から検出される空気圧が一定の圧力（例えば、−５０ｋＰａ）となるように圧力制御バルブ５６が制御され、その後、数秒間静置したときの圧力変化に基づいて液漏れの有無が検出される。例えば、図６においてＬｋ１で示す部分に、ノズル列５１Ａに対応するインク流路と記録ヘッド外部との間の液漏れがあった場合、インク流路を減圧した際に外部からインク流路内に空気が流入するので、液漏れが生じていない場合と比較して圧力が上昇する。
【０００８】
ところが、この構成では、インク流路を減圧したときの圧力変化は比較的緩慢であるため、その分、判定までに時間を要するという問題があった。また、全てのノズル列に対応するインク流路を同時に減圧するので、図６においてＬｋ２で示す部分、即ち、隣り合うノズル列同士のインク流路間に、流路形成基板クラックや部材間の接着不良に基づく液漏れがあったとしても、インク流路全体としての圧力変化は現れない。したがって、当該構成では、記録ヘッド内部のインク流路間の液漏れを発見することができないという問題があった。
【０００９】
このようなインク流路間の液漏れを発見できなかった場合、例えば、互いに異なる色に対応するインク流路間で液漏れが生じているときには、漏洩したインクが、他の色のノズル列に対応するインク流路に浸入して混色が生じる虞がある。また、インク滴の吐出する際の圧力損失が生じて、インク滴の吐出特性が変わる虞もある。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体噴射ヘッドの内部の液体流路間の液漏れを検出することが可能な液漏れ検出方法、及び、液漏れ検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液漏れ検出方法は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル開口を列設してなる複数のノズル列、及び、液体導入口から共通液体室及び圧力室を通りノズル開口に至るまでの一連の液体流路をノズル列毎に有し、圧力室内に導入した液体をノズル開口から液滴として吐出する液体噴射ヘッドの液漏れ検出方法であって、
液体噴射ヘッドの全ノズル開口を仮封止し、
隣り合うノズル列のうちの一方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で他方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を減圧したときの流体の流量を第１流量情報として取得し、
前記他方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で前記一方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を減圧したときの流体の流量を第２流量情報として取得し、
取得した第１流量情報及び第２流量情報と、液漏れ検出基準として設定された流量閾値との比較により、液体噴射ヘッドの液体流路の液漏れを検出することを特徴とする。
なお、「液漏れ」とは、液体噴射ヘッド内部で生じたクラックやヘッド部材間の接着不良等に起因して、ある液体流路がヘッド外部又は隣り合う他の液体流路との間で連通することにより、液体の漏出或いは流入、又は液滴吐出時の圧力損失が発生する虞がある状態を意味する。
また、「流量情報」とは、流体の流量に応じて出力される流量センサの検出信号を含む概念である。
【００１２】
上記構成によれば、液体噴射ヘッドの全ノズル開口を仮封止し、隣り合うノズル列のうちの一方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で他方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を減圧したときの第１流量情報を取得し、他方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で一方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を減圧したときの第２流量情報を取得し、取得した第１流量情報及び第２流量情報と、流量閾値との比較により、液体噴射ヘッドの液体流路の液漏れを検出するので、液体噴射ヘッド内の液体流路とヘッド外部との間の液漏れだけでなく、近接して隣り合うインク流路同士の間で生じた液漏れについても検出することが可能となる。これにより、種類の異なる液体に対応する液体流路間で液体が混ざり合ったり、液体流路間で吐出時の圧力損失が生じたりする虞がある液体噴射ヘッドを未然に発見することができる。
また、液体流路内を減圧したときの流体の流量に基づいて液漏れの判定を行うので、従来の圧力変化に基づいて液漏れの判定を行う構成よりも迅速に液漏れ判定を行うことができる。
【００１３】
上記構成において、前記第１流量情報及び前記第２流量情報の両方が前記流量閾値以上である場合、隣り合うノズル列間の液漏れであると判定することが望ましい。
【００１４】
また、上記構成において、前記第１流量情報又は前記第２流量情報の何れか一方のみが前記流量閾値以上である場合、当該ノズル列に対応する液体流路とヘッド外部との間の液漏れであると判定することが望ましい。
【００１５】
また、本発明の液漏れ検出装置は、ノズル開口を列設してなる複数のノズル列、及び、液体導入口から共通液体室及び圧力室を通りノズル開口に至るまでの一連の液体流路をノズル列毎に有し、圧力室内に導入した液体をノズル開口から液滴として吐出する液体噴射ヘッドの液漏れ検出装置であって、
内部に流体流路を有する連結部材を介して液体噴射ヘッドの液体導入口と気密状態で接続され、連結部材を通じて液体噴射ヘッドの液体流路内を減圧可能な吸引機構と、
前記連結部材の途中に配置され、当該連結部材の流体流路を流れる流体の流量を検出する流量センサと、を備え、
粘着面を有する封止部材を液体噴射ヘッドのノズル形成面に貼着することにより全ノズル開口を仮封止し、
隣り合うノズル列のうちの一方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で、他方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を吸引機構によって減圧したときの流体の流量を流量センサによって第１流量情報として取得し、
前記他方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で、前記一方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を吸引機構によって減圧したときの流体の流量を流量センサによって第２流量情報として取得し、
取得した第１流量情報及び第２流量情報と、液漏れ検出基準として設定された流量閾値との比較により、液体噴射ヘッドの液体流路の液漏れを検出可能としたことを特徴とする。
【００１６】
上記構成によれば、液体噴射ヘッドの全ノズル開口を封止部材によって仮封止し、隣り合うノズル列のうちの一方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で他方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を吸引機構によって減圧したときの第１流量情報を流量センサによって取得し、他方のノズル列に対応する液体導入口を大気開放した状態で一方のノズル列に対応する液体導入口を通じて液体流路内を吸引機構によって減圧したときの第２流量情報を流量センサによって取得し、取得した第１流量情報及び第２流量情報と、流量閾値との比較により、液体噴射ヘッドの液体流路の液漏れを検出するので、液体噴射ヘッド内の液体流路とヘッド外部との間の液漏れだけでなく、近接して隣り合うインク流路同士の間で生じた液漏れについても検出することが可能となる。これにより、種類の異なる液体に対応する液体流路間で液体が混ざり合ったり、液体流路間で吐出時の圧力損失が生じたりする虞がある液体噴射ヘッドを未然に発見することができる。
また、液体流路内を減圧したときに連結部材を流れる流体の流量を流量センサによって流量情報として取得し、この流量情報に基づいて液漏れの判定を行うので、従来の圧力変化に基づいて液漏れの判定を行う構成よりも迅速に液漏れ判定を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、検査対象の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置（プリンタ）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。
【００１８】
図１は、記録ヘッド１の構成を説明する分解斜視図、図２は記録ヘッド１の要部断面図である。例示した記録ヘッド１は、導入針ユニット２、配線基板５、ヘッドケース１０、流路ユニット１１、及び、振動子ユニット１２を、主な構成要素としている。
【００１９】
導入針ユニット２は、例えば、エポキシ系樹脂等の合成樹脂によって成型されており、その上面にはフィルタ３を介在させた状態でインク導入針４が複数取り付けられている。本実施形態における記録ヘッド１は、６色のインクを吐出可能に構成されており、各色に対応して合計６本のインク導入針４が導入針ユニット２に横並びで立設されている。このインク導入針４は、合成樹脂で成型された中空針状の部材であり、その内部空間は、図示しないインクカートリッジやサブタンク等の液体貯留部材内のインク（本発明における液体の一種）が導入される針流路７となっている。このインク導入針４の尖端部分には、針流路７と連通する導入孔８が開設されており、インク導入針４が液体貯留部材の内部に挿入されると、この導入孔８を通じて液体貯留部材内のインクが針流路７内に導入されるようになっている。また、導入針ユニット２の内部には、各インク導入針４に対応したインク導入路９が形成されている。このインク導入路９の上端はフィルタ３を介してインク導入針４に連通し、下端はパッキン１３を介してヘッドケース１０内部に形成されたケース流路１４の上流側開口であるインク導入口１５（本発明における液体導入口に相当）と液密状態で連通する。
【００２０】
上記配線基板５は、図示せぬプリンタ本体側からの駆動信号を受け、この駆動信号をフレキシブルケーブル１６を通じて圧電振動子１８へ供給するための配線パターンが形成された基板である。この配線基板５は、図１に示すように、プリンタ本体側との接続のためのコネクタ２０や電子部品２１等を実装している。コネクタ２０にはＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の配線部材が接続され、配線基板５は、このＦＦＣを介してプリンタ本体側から駆動信号を受けるようになっている。そして、この配線基板５は、ヘッドケース１０の上面に配設される。
【００２１】
ヘッドケース１０は、合成樹脂製の中空箱体状部材であり、その下面には流路ユニット１１を接合し、内部に形成された収容室２３内に振動子ユニット１２を収容し、流路ユニット１１側とは反対側の上面に、パッキン１３及び配線基板５を間に介在させた状態で導入針ユニット２が取り付けられるようになっている。このヘッドケース１０の内部には、高さ方向を貫通してケース流路１４が形成されている。このケース流路１４は、各インク導入針４（また、後述するノズル列毎）に対応して設けられており、その上流端はヘッドケース１０の上面にインク導入口１５として開口し、導入針ユニット２の対応するインク導入路９と連通するようになっている。また、ケース流路１４の下流端は、後述する流路ユニット１１内の共通インク室２５に連通するようになっている。したがって、インク導入針４から導入されたインクは、インク導入路９及びケース流路１４を通じて共通インク室２５側に供給される。
【００２２】
ヘッドケース１０の収容室２３に収容される振動子ユニット１２は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子１８（圧力発生素子の一種）と、この圧電振動子１８が接合される固定板２７等から構成される。各圧電振動子１８は、固定端部側が固定板２７上に接合され、自由端部側が固定板２７の先端面よりも外側に突出して所謂片持ち梁の状態となっている。また、各圧電振動子１８を支持する固定板２７は、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。そして、振動子ユニット１２は、収容室２３を区画するケース内壁面に固定板２７の背面を接着することで収容室２３内に収納・固定されている。
【００２３】
流路ユニット１１は、封止板２９、流路形成基板３０、及びノズル基板３１からなる流路ユニット構成部材を積層した状態で接着剤で接合して一体化することにより作製されており、共通インク室２５（共通液体室）からインク供給口３２を通じて各圧力室３３に分岐してノズル開口３４に至るまでの一連の個別流路４０を形成する部材である。この個別流路４０は、各色に対応するノズル列毎に形成されている。圧力室３３は、ノズル開口３４の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成されている。また、共通インク室２５は、上記のケース流路１４と連通し、インク導入針４側からのインクが導入される室である。そして、この共通インク室２５に導入されたインクは、インク供給口３２を通じて各圧力室３３に分配供給される。即ち、流路ユニット１１における個別流路４０は、上記ヘッドケース１８の対応するケース流路１４と連通して、本発明における液体流路を構成する。
【００２４】
流路ユニット１１の最下部に配置されるノズル基板３１は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数（例えば１８０個）のノズル開口３４を列状に開設した金属製の薄い板材である。本実施形態のノズル基板３１は、ステンレス鋼の板材によって作製され、ノズル開口３４の列（ノズル列）が記録ヘッド１の走査方向に複数並べて設けられている。本実施形態においては、図３に示すように、６色のインクに対応して６列の第１ノズル列２８Ａ〜第６ノズル列２８Ｆが設けられている。そして、第１ノズル列２８Ａ及び第２ノズル列２８Ｂ、第３ノズル列２８Ｃ及び第４ノズル列２８Ｄ、第５ノズル列２８Ｅ及び第６ノズル列２８Ｆは、それぞれ近接状態で隣り合わせに配置されている。
【００２５】
ノズル基板３１と封止板２９との間に配置される流路形成基板３０は、上記の個別流路となる流路基部となる圧力室３３を少なくとも備え、本実施形態では、この圧力室３３の他に、共通インク室２５、インク供給口３２となる空部をも区画形成された板状の部材である。本実施形態において、流路形成基板３０は、結晶性を有する基材であるシリコンウェハーを異方性エッチング処理することによって作製されている。
【００２６】
流路形成基板３０の流路基部開口面を封止する封止板２９は、ステンレス鋼等の金属製の支持板３５上に弾性フィルム３６をラミネート加工した二重構造の複合板材である。この封止板２９の圧力室３３に対応する部分には、エッチングなどによって支持板３５を環状に除去することで、圧電振動子１８の自由端部の先端面を接合するための島部３７が形成されており、この部分はダイヤフラム部として機能する。即ち、この封止板２９は、圧電振動子１８の作動に応じて島部３７の周囲の弾性フィルム３６が弾性変形するように構成されている。また、封止板２９は、流路形成基板３０の一方の開口面を封止し、コンプライアンス部３８としても機能する。このコンプライアンス部３８に相当する部分についてはダイヤフラム部と同様にエッチングなどにより支持板３５を除去して弾性フィルム３６だけにしている。さらに、封止板２９には、インク導入穴３９が、支持板３５と弾性フィルム３６を貫通した状態で開設されている。このインク導入穴３９は、流路形成基板３０との接合状態で共通インク室２５と連通し、また、ヘッドケース１０との接合状態でケース流路１４と連通する。即ち、このインク導入穴３９は、ヘッドケース１０のケース流路１４側から流下してくるインクを共通インク室２５側に導入するための貫通穴である。
【００２７】
そして、この記録ヘッド１において、上記駆動用基板５からフレキシブルケーブル１６を通じて圧電振動子１８に駆動信号が供給されると、この圧電振動子１８が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部３７が圧力室３３に近接する方向或いは離隔する方向に変位する。これにより、圧力室３３の容積が変化し、圧力室３３内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル開口３４からインク滴（液滴の一種）が吐出される。
【００２８】
次に、上記構成の記録ヘッド１に対する液漏れ（インク漏れ）検査について説明する。
図４は、本発明に係る液漏れ検出装置の構成の一例を説明する模式図である。本実施形態における液漏れ検出装置４１は、検査対象の記録ヘッド１内のインク流路（即ち、ケース流路１４及び個別流路４０）を減圧するための吸引ポンプ４３（本発明における吸引機構の一種）と、この吸引ポンプ４３と記録ヘッド１のインク流路とを接続するチューブ部材４２（本発明における連結部材の一種）と、チューブ部材４２内の流路（流体流路）を流れる空気（流体の一種）の流量を検出する流量センサ４４とを備え、図示しない制御部によって各部が制御される。
【００２９】
チューブ部材４２は、例えばシリコーンゴム等の可撓性材料により作製され、その内部空間は、気体や液体等の流体が流れる流体流路となっている。本実施形態においては、奇数ノズル列２８Ａ，２８Ｃ，２８Ｅの各インク流路（以下、奇数インク流路）に対応する第１チューブ部材４２Ａと、偶数ノズル列２８Ｂ，２８Ｄ，２８Ｆの各インク流路（以下、偶数インク流路）に対応する第２チューブ部材４２Ｂとの合計２本のチューブ部材が用いられる。第１チューブ部材４２Ａの一端側は途中から３本に分岐しており、それぞれ、第１ノズル列２８Ａ、第３ノズル列２８Ｃ、第５ノズル列２８Ｅに対応するインク導入口１５に気密状態で接続される。また、第１チューブ部材４２Ａの他端は、第１切替弁（三方弁）４５Ａを介して第１吸引ポンプ４３Ａに接続されている。同様に、第２チューブ部材４２Ｂの一端側は３本に分岐して、それぞれ、第２ノズル列２８Ｂ、第４ノズル列２８Ｄ、第６ノズル列２８Ｆに対応するインク導入口１５に気密状態で接続され、第２チューブ部材４２Ｂの他端は、第２切替弁４５Ｂを介して第２吸引ポンプ４３Ｂに接続されている。
【００３０】
上記吸引ポンプ４３Ａ，４３Ｂは、例えば電磁式のエアポンプで構成され、その圧力は制御部によって適宜調整される。そして、一方の第１吸引ポンプ４１Ａは、第１チューブ部材４２Ａを通じて、上記奇数インク流路内を減圧するようになっている。また、他方の第２吸引ポンプ４１Ｂは、第２チューブ部材４２Ｂを通じて、上記偶数インク流路内を減圧するように構成されている。なお、この吸引ポンプ４３としては、上記電磁式には限らず、種々の方式のものを用いることができる。
【００３１】
上記の切替弁４５Ａ，４５Ｂには、チューブ部材４２及び吸引ポンプ４３の他に、一端が大気開放した大気開放管４６Ａ，４６Ｂの他端が接続されている。即ち、本実施形態における液漏れ検出装置４１は、切替弁４５を切り替えることによって、チューブ部材４２と大気開放管４６を通じて記録ヘッド１内のインク流路を大気開放することが可能となっている。
【００３２】
上記流量センサ４４は、記録ヘッド１と吸引ポンプ４３（又は大気開放管４６）とを接続するチューブ部材４２の途中に配設され、チューブ部材４２内の流体流路を流れる空気の流量に応じた信号を出力する。本実施形態において、第１チューブ部材４２Ａには第１流路センサ４４Ａが、第２チューブ部材４２Ｂには第２流路センサ４４Ｂが、それぞれ取り付けられており、各流量センサ４４Ａ，４４Ｂは、各々対応するチューブ部材４２Ａ，４２Ｂの流量に応じた検出信号を出力する。流量センサ４４から出力される検出信号は、波形が増幅されると共に平滑化された後、制御部に入力される。
【００３３】
上記の液漏れ検出装置４１を用いた液漏れ検査では、記録ヘッド１内のインク流路とヘッド外部との間の液漏れだけでなく、近接して隣り合う奇数インク流路と偶数インク流路との間で生じた液漏れについても検出可能としていることを特徴としている。以下、液漏れ検出装置４１を用いた液漏れ検査について説明する。
【００３４】
まず、検査対象の記録ヘッド１のノズル基板３１におけるノズル形成面に粘着フィルム４８（本発明における封止部材の一種）を貼着することにより全ノズル開口３４を仮封止する。この粘着フィルム４８は、ポリプロピレン等から成るフィルム基材の一方の面に粘着層を設けた封止部材である。この粘着フィルム４８としては、ノズル形成面に密着して各ノズル開口３４を気密状態で封止することができ、また、ノズル形成面から剥がした後においても粘着剤が当該ノズル形成面に残り難いものを採用することが望ましい。
【００３５】
次に、近接して隣り合うノズル列２８のうち一方の偶数ノズル列２８Ｂ，２８Ｄ，２８Ｆに対応するインク導入口１５を大気開放した状態、換言すると、偶数インク流路を大気開放した状態で、他方の奇数ノズル列２８Ａ，２８Ｃ，２８Ｅに対応するインク導入口１５を通じて奇数インク流路内を減圧する。即ち、制御部は、第２切替弁４５Ｂを大気開放管４６Ｂ側に切り替える一方、第１切替弁４５Ａを第１吸引ポンプ４３Ａ側に切り替え、この第１吸引ポンプ４３Ａを作動させることにより、第１チューブ部材４２Ａを通じて奇数インク流路内を減圧する。このときの空気圧は、例えば−数十ｋＰａに調整される。また、第１流量センサ４４Ａは、第１チューブ部材４２Ａを流れる空気の流量を検出し、その検出信号を制御部側に第１流量情報として出力する。これにより、制御部は、第１流量センサ４４Ａから第１流量情報を取得する。
【００３６】
ここで、もし、何れかの奇数インク流路に液漏れが生じている場合には、当該奇数インク流路を減圧した際に、記録ヘッド１の外部、或いは、大気開放された偶数インク流路側から奇数インク流路内に空気が流入するため、液漏れが発生していない状態と比較して第１チューブ部材４２Ａを流れる空気の流量が増加し、この増加分が検出信号（第１流量情報）の電圧の上昇として現れる。この時点では、万一液漏れが発生していても、奇数インク流路と記録ヘッド１の外部との間の液漏れなのか、又は、奇数インク流路とこれに隣り合う偶数インク流路との間の液漏れかは判断されない。この液漏れの判定の詳細については後述する。
【００３７】
奇数インク流路についての第１流量情報を取得したならば、続いて、奇数ノズル列２８Ａ，２８Ｃ，２８Ｅに対応するインク導入口１５を大気開放した状態、換言すると、奇数インク流路を大気開放した状態で、偶数ノズル列２８Ｂ，２８Ｄ，２８Ｆに対応するインク導入口１５を通じて偶数インク流路内を減圧する。即ち、制御部は、第１切替弁４５Ａを大気開放管４６Ａ側に切り替える一方、第２切替弁４５Ｂを第２吸引ポンプ４３Ｂ側に切り替えてこの第２吸引ポンプ４３Ｂを作動させることにより、奇数インク流路の場合と同様に、第２チューブ部材４２Ｂを通じて偶数インク流路を一定の圧力まで減圧する。また、第２流量センサ４４Ｂは、第１チューブ部材４２Ｂを流れる空気の流量を検出し、その検出信号を制御部側に第２流量情報として出力する。これにより、制御部は、第２流量センサ４４Ｂから第２流量情報を取得する。
なお、流量情報を取得する順番としては例示したものには限らず、先に偶数インク流路について第２流量情報を取得した後、次に奇数インク流路について第１流量情報を取得するようにしても良い。
【００３８】
このようにして、奇数インク流路についての第１流量情報と、偶数インク流路についての第２流量情報とを取得したならば、制御部は、取得した第１流量情報及び第２流量情報と、液漏れ検出基準として設定された流量閾値との比較により、インク流路の液漏れの判定を行う。
【００３９】
ここで、図５は、流量センサ４４Ａ，４４Ｂから流量情報として出力される検出信号の波形の例を示す図である。なお、同図において横軸は時間（ｔ）、縦軸は検出信号の電圧（ｖ）を示している。また、２つの略矩形状の検出信号のうち、前半（左側）に発生する第１検出信号ＰＡは、奇数インク流路を減圧した際の空気流量に対応する第１流路センサ４４Ａの検出信号（即ち、第１流量情報）であり、後半（右側）に発生する第２検出信号ＰＢは、偶数インク流路を減圧した際の空気流量に対応する第２流路センサ４４Ｂの検出信号（即ち、第２流量情報）である。
【００４０】
図５に示すように、流路センサ４４Ａ，４４Ｂからの検出信号ＰＡ，ＰＢは、インク流路の減圧を開始した直後の時間ｔａ１，ｔｂ１に発生する略矩形状の波形要素ＰＡ１，ＰＢ１と、その後の時間ｔａ２，ｔｂ２に発生する平坦な波形要素ＰＡ２，ＰＢ２とにより構成される。液漏れの判定は、流量が安定した時間ｔａ２，ｔｂ２における波形要素ＰＡ２，ＰＢ２の電圧が流量閾値として設定された閾電圧Ｔｖを超えているか否かに基づいて判定される。例えば、インク流路に液漏れが発生していない場合、時間ｔａ２，ｔｂ２においてチューブ部材４２を流れる空気の流量は極く僅かであるため、この場合における波形要素ＰＡ２，ＰＢ２の電圧は、ほぼ０（ｖ）を示す。なお、このときの波形要素ＰＡ２，ＰＢ２の電圧変動のピークは０．３（ｖ）を下回る。一方、インク流路に液漏れが発生している場合、インク流路を減圧した際の空気流量が、液漏れが生じていない場合よりも増加し、これに応じて波形要素ＰＡ２，ＰＢ２の電圧が０．３（ｖ）よりも高い値を示す。したがって、本実施形態において、上記の閾電圧Ｔｖは０．３（ｖ）に設定されている（勿論、この閾電圧Ｔｖは、必要に応じて任意の値に設定することができる）。
【００４１】
例えば、図５（ａ）に示すように、検出信号ＰＡ，ＰＢの波形要素ＰＡ２，ＰＢ２の電圧が何れも閾電圧Ｔｖよりも低い場合、制御部は、奇数インク流路及び偶数インク流路の何れにも液漏れが発生していないと判定する。また、図５（ｂ）に示すように、検出信号ＰＡの波形要素ＰＡ２又は検出信号ＰＢの波形要素ＰＢ２の何れか一方の電圧のみが閾電圧Ｔｖよりも高く、他方の電圧が閾電圧Ｔｖよりも低い場合、制御部は、電圧が閾電圧Ｔｖよりも高い方の検出信号に対応するインク流路とヘッド外部との間の液漏れであると判定する。即ち、図５（ｂ）の例では、検出信号ＰＡの波形要素ＰＡ２の電圧が閾電圧Ｔｖよりも高く、検出信号ＰＢの波形要素ＰＢ２の電圧が閾電圧Ｔｖよりも低いので、制御部は、奇数インク流路と記録ヘッド１の外部との間における液漏れであると判定する。
【００４２】
さらに、図５（ｃ）に示すように、検出信号ＰＡ，ＰＢの波形要素ＰＡ２，ＰＢ２の電圧が共に閾電圧Ｔｖよりも高い場合には、制御部は、隣り合うインク流路同士における液漏れであると判定する。即ち、例えば、図４においてＬｋで示すように、奇数ノズル列の１つである第１ノズル列２８Ａに対応するインク流路と、偶数ノズル列の１つである第２ノズル列２８Ｂに対応するインク流路との間に両者を連通するクラックが存在し、各インク流路の減圧時に、このクラックを通じてインク流路同士の間で空気の流入出が生じている場合には、波形要素ＰＡ２，ＰＢ２の電圧が共に閾電圧Ｔｖよりも高くなるので、制御部は、隣り合うインク流路の間で液漏れが生じていると判定する。
【００４３】
以上のようにして、記録ヘッド１の全ノズル開口３４を仮封止し、偶数インク流路を大気開放した状態で奇数インク流路内を減圧したときの第１流量情報（検出信号ＰＡ）を取得した後、奇数インク流路を大気開放した状態で偶数インク流路内を減圧したときの第２流量情報（検出信号ＰＢ）を取得し、取得した第１流量情報及び第２流量情報と、流量閾値（閾電圧Ｔｖ）との比較により、記録ヘッド１のインク流路の液漏れを検出するので、インク流路とヘッド外部との間の液漏れだけでなく、インク流路同士における液漏れを検出することが可能となる。これにより、異なる色に対応するインク流路間で混色が発生したり、吐出時の圧力損失が生じたりする虞がある記録ヘッド１を未然に発見することができる。また、インク流路内を減圧したときのチューブ部材を流れる空気の流量に基づいて液漏れの判定を行うので、圧力変化に基づいて液漏れの判定を行う従来の構成よりも迅速に液漏れ判定を行うことができる。
【００４４】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００４５】
例えば、上記実施形態においては、インク流路を減圧した際の空気の流量を流量情報として取得する構成を例示したが、これには限られない。例えば、加圧機構によってインク流路を加圧した際の空気の流量を流量情報として取得し、取得した流量情報に基づいてインク漏れを検出することも可能である。
また、空気の替わりにインク等の液体（流体の一種）をインク流路に通液し、この液体の流量を流量情報として取得することも可能である。
【００４６】
また、以上では、液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録ヘッド１を例に挙げて説明したが、複数の液体流路を有するものであれば、本発明は他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。
【図２】記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図３】ノズル基板の構成を説明する平面図である。
【図４】液漏れ検出装置の構成の一例を説明する模式図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は流量センサから流量情報として出力される検出信号の例を説明する波形図である。
【図６】従来における液漏れ検出装置の構成を説明する模式図である。
【符号の説明】
【００４８】
１…記録ヘッド，１０…ヘッドケース，１１…流路ユニット，１４…ケース流路，１５…インク導入口，１８…圧電振動子，２８…ノズル列，２９…封止板，３０…流路形成基板，３１…ノズル基板，３４…ノズル開口，４０…個別流路，４１…液漏れ検出装置，４２…チューブ部材，４３…吸引ポンプ，４４…流量センサ，４５…切替弁，４６…大気開放管，４８…粘着フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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