(57)【要約】【課題】基板に蒸着材料を真空蒸着する場合に、マスクと基板とが完全に密着することができる蒸着装置を提供する。【解決手段】額縁状のマスクフレーム２４と、マスクフレーム２４の枠部に張設されたシート状のマスク２６と、マスク２６に対応する面に基板１０の一主面を配し、基板１０を介してマスク２６の裏面側に配された押さえ板２２と、マスクフレーム２４との間で基板１０と押さえ板２２とを挟持するマグネット板２０と、基板１０に対応する押さえ板２２の面の外周部に配されたリング状の弾性部材３０と有する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一主面に蒸着材料を真空蒸着する蒸着装置であって、
額縁状のマスクフレームと、
前記マスクフレームの枠部に張設されたシート状のマスクと、
前記マスクに対応する面に前記基板の一主面を配し、前記基板を介して前記マスクの裏面側に配された押さえ板と、
前記マスクフレームとの間で前記基板と前記押さえ板とを挟持するマグネット板と、
前記基板に対応する押さえ板の面の外周部に配されたリング状の弾性部材と、
を有する
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
前記押さえ板は、前記弾性部材の下方に貼り付き防止板を有する
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記リング状の弾性部材が、細長く連続して配されたひも状である
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記リング状の弾性部材が、所定間隔毎に前記押さえ板の外周部に配された不連続のひも状である
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記弾性部材がゴム製であり、
前記マスクフレームがステンレス製であり、
前記押さえ板がアルミニウム製、または、カッパー製であり、
前記マスクが鉄−クロム合金製のマスクである
ことを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、坩堝の上方に支持した基板に、蒸着材料を真空蒸着する蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ装置において基板に有機層を形成するために、蒸着材料を真空蒸着している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この蒸着材料を基板に真空蒸着する場合には、真空雰囲気中で、基板をマスクと共に支持し、この基板の下方に坩堝を配し、坩堝を加熱させつつ、基板の縦方向に所定速度で移動させることにより、マスク以外の基板の下面に蒸着材料を真空蒸着している。
【特許文献１】特開平９−２２７８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板を真空蒸着する場合に、基板を坩堝の上方に支持する従来の蒸着装置１００について、図６に基づいて説明する。
【０００５】
蒸着装置は、基板１１０を裁置する額縁状のマスクフレーム１０６と、この上方に配された押さえ板１０４と、この押さえ板１０４の上方で上下動するマグネット板１０２とより構成されている。マスクフレーム１０６の枠部の内部にはマスク１０８が張設されている。基板１１０は押さえ板１０４によってマスクフレーム１０６に押圧されている。そして、マグネット板１０２の磁力によってマスク１０８を吸引することによって、基板１１０の下面にマスク１０８が密着する。蒸着装置１００の下方には、上記したように坩堝１１２が配されている。
【０００６】
上記のような蒸着装置１００においては、額縁状のマスクフレーム１０６の上方に押さえ板１０４と基板１１０が配されている構造であるため、押さえ板１０４がその重みによって中央部が下方に撓み、密着しなければならないはずのマスク１０８との間に、隙間が生じる場合がある。図６に示すように、中央部分についてはマスク１０８が密着するが、中央部以外の部分については隙間が形成され、基板１１０の下面に設計通りの寸法でパターンが形成されないという問題点がある。
【０００７】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、蒸着装置によって基板とマスクを支持した場合に、マスクと基板の下面とが完全に密着することができる発明を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、基板の一主面に蒸着材料を真空蒸着する蒸着装置であって、額縁状のマスクフレームと、前記マスクフレームの枠部に張設されたシート状のマスクと、前記マスクに対応する面に前記基板の一主面を配し、前記基板を介して前記マスクの裏面側に配された押さえ板と、前記マスクフレームとの間で前記基板と前記押さえ板とを挟持するマグネット板と、前記基板に対応する押さえ板の面の外周部に配されたリング状の弾性部材と、と有することを特徴とする蒸着装置である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明においては、マスクフレームに基板を押さえ込むことができ、基板の下面にマスクを完全に密着させることができる。また、弾性部材の厚みの分だけ、基板と押さえ板の間に隙間が生じているため、押さえ板の中央部が下方に撓んでもその隙間で吸収され、基板は水平な状態で保持される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態について、図１〜図４に基づいて説明する。
【００１１】
本実施形態は、有機ＥＬ装置に用いられる基板１０に正孔注入層、正孔輸送層、ＥＬ層、電子輸送層等よりなる有機層を積層するための蒸着装置に関し、真空雰囲気中を実現すチャンバー内部に基板１０を配し、真空蒸着を行なう。
【００１２】
（１）真空蒸着装置の構成
以下、図４に基づいて、長方形の基板１０の下面にα−ＮＰＤ層（正孔輸送層）を形成するときに蒸着材料を真空蒸着する蒸着装置１２について説明する。なお、基板１０の長手方向を縦方向、短手方向を横方向という。
【００１３】
基板１０（例えば、縦方向の寸法が８０ｃｍ、横方向の寸法が６０ｃｍ）は、チャンバー内部の真空雰囲気中において蒸着装置１２によって支持され、基板１０の下方には、所定間隔（例えば、１５０ｍｍである）を開けて坩堝２２が平行に配されている。坩堝１４は、直方体の箱形であって基板１０の横方向の寸法とほぼ同じであり、基板１０の縦方向に一定速度（例えば、１０〜２０ｍｍ／秒である）で移動可能となっている。
【００１４】
坩堝１４内部に蒸着材料が貯留され、その上面には、昇華した蒸着材料が吹出すための吹出口１６が複数開口している。また、坩堝１４の両側壁には、ヒータ１８が配され、貯留されている蒸着材料を加熱する。
【００１５】
そして、所定速度で坩堝１４を基板１０の縦方向に移動させると、加熱により昇華した蒸着材料が基板１０の下面に蒸着される。
【００１６】
（２）蒸着装置１２の構造
次に、蒸着装置１２の構造について、図１から図３に基づいて説明する。
【００１７】
蒸着装置１２は、基板１０を裁置する額縁状のステンレス製のマスクフレーム２４と、この上方に配されたアルミニウム製、または、カッパー製の押さえ板２２と、この押さえ板２２の上方で上下動するマグネット板２０とより構成されている。マスクフレーム２４内周側上面には、鉄−クロム合金製のマスク２６が張設されている。
【００１８】
押さえ板２２は板状であり、その重量が約２５ｋｇであり、また、図３に示すように押さえ板２２の下面の外周部に沿って幅２．５ｍｍ、深さ２ｍｍの溝２８がリング状に設けられ、図１、図２に示すように溝２８の内部にゴム製の柔軟性のある材料で形成した直径２．５ｍｍの連続した紐状の弾性部材３０が埋め込まれ、その一部が溝２８から突出している。
【００１９】
この弾性部材３０が設けられている位置は、図１及び図２に示すように、マスクフレーム２４に相当する位置であり、この弾性部材３０とマスクフレーム２４によって基板１０を挟持できる。
【００２０】
さらに、押さえ板２２の下面には、ステンレス製の厚さ０．１ｍｍの貼り付き防止板３２が配されている。この貼り付き防止板３２は、図１及び図２に示すように、弾性部材３０の下方に配され、弾性部材３０に基板１０が直接接触しない。
【００２１】
この基板１０を蒸着装置１２で支持する場合には、マスクフレーム２４に基板１０を裁置し、押さえ板２２を基板１０の上に置く。この場合に、図１及び図２に示すように、弾性部材３０が、貼り付き防止板３２を介して、基板１０の外周部を押圧する。これによって、重量が２５ｋｇの押さえ板２２が、弾性部材３０のみを介して基板１０の外周部をマスクフレーム２４に押圧する。そして、マグネット板２０によってマスク２６を吸引すると、マスク２６が基板１０の下面に密着し、基板１０とマスク２６との間には隙間ができず、設計通りのパターンが基板１０の下面に蒸着される。
【００２２】
真空蒸着が終了すると、マグネット板２０を引き上げる。この場合に、基板１０は押さえ板２２によって押圧されているため、マグネット板２０の磁力で共に上昇することがない。
【００２３】
次に、押さえ板２２を上昇させても、基板１０と弾性部材３０との間には貼り付き防止板３２が配されているため、基板１０の上面に弾性部材３０が密着することがなく、押さえ板２２と共に基板１０が上昇することがない。
【００２４】
そして、この真空蒸着作業が終了すると搬送ロボットによってチャンバーから基板１０を搬出する。
【００２５】
（第２の実施形態）
第１の実施形態では、図３に示すようにリング状の弾性部材３０は、押さえ板２２の下面に細長く連続して紐状で設けられていたが、本実施形態では図５に示すように、不連続の紐状の弾性部材３０によって形成されている。例えば、１０〜１５ｍｍ毎に紐状の弾性部材３０を配する。
【００２６】
本実施形態であっても、基板１０の外周部にのみ押さえ板の押圧力が働き、マスク２４を基板１０の下面に密着させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１の実施形態の蒸着装置において、マスクフレームに基板を載置しようとしている状態の縦断面図である。
【図２】同じくマグネット板によってマスクを吸着した状態の縦断面図である。
【図３】押さえ板の底面図である。
【図４】真空蒸着する場合の斜視図である。
【図５】第２の実施形態の押さえ板の底面図である。
【図６】従来のマグネット板によってマスクを吸着した状態の縦断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０  基板
１２  蒸着装置
２０  マグネット板
２２  押さえ板
２４  マスクフレーム
２６  マスク
２８  溝
３０  弾性部材
３２  貼り付き防止板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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