(57)【要約】【課題】テストヘッドの移動中に電源からの電力供給が強制的に停止された場合であっても、テストヘッドが初期位置に戻ったり自重で落下したりすることによる不具合を防ぐ。【解決手段】半導体電子デバイスを試験する半導体試験装置であって、半導体電子デバイスに対して試験信号を入出力するテストヘッドと、電力の供給に基づいてテストヘッドを移動させるヘッド移動部とを備え、ヘッド移動部は、電力の供給が強制的に停止された場合に、電力の供給が強制的に停止された時点のテストヘッドの位置を保持する電源断保持部を有する。【選択図】図１
2007010547.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体電子デバイスを試験する半導体試験装置であって、
前記半導体電子デバイスに対して試験信号を入出力するテストヘッドと、
電力の供給に基づいて前記テストヘッドを移動させるヘッド移動部と
を備え、
前記ヘッド移動部は、電力の供給が強制的に停止された場合に、電力の供給が強制的に停止された時点の前記テストヘッドの位置を保持する電源断保持部を有する半導体試験装置。
【請求項２】
前記電源断保持部は、電力の供給が停止された後に再び供給された場合に、外部から前記テストヘッドを移動すべき旨の入力を受け付けるまで、電力の供給が停止された時点での前記テストヘッドの位置を保持する請求項１に記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記ヘッド移動部は、電力の供給が停止されても情報を保持するメモリを有し、前記テストヘッドの位置を特定する情報を、電力が供給されている間の所定時間毎に前記メモリに書き込んで更新し、電力の供給が停止された時点での前記テストヘッドの位置を、前記メモリに書き込まれた情報に基づいて特定する請求項１または２に記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体試験装置に関する。特に、本発明はテストヘッドを移動させる半導体試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体試験装置において、テストヘッドをハンドラに対して移動可能に保持する形態が知られている（例えば、特許文献１）。テストヘッドは数百キログラムの重さがあるので、この形態において、電動、即ち、電力の供給に基づいてテストヘッドを移動するヘッド移動部を設けることが好ましい。
【特許文献１】特開平６−３００８１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、断線や停電等によってヘッド移動部への電力の供給が強制的に停止された場合に、ヘッド移動部の駆動力が失われることによりテストヘッドが移動自在になると、テストヘッドの自重によりテストヘッドが落下するという不具合がある。また、ヘッド移動部は、テストヘッドの移動量または位置を把握すべく、初期位置を設定しているが、上記電力の供給が強制的に停止された後に再供給された場合に、ヘッド移動部が原点復帰すべくテストヘッドを初期位置へ移動し、ユーザの意図しない移動が生じるという不具合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、半導体電子デバイスを試験する半導体試験装置であって、半導体電子デバイスに対して試験信号を入出力するテストヘッドと、電力の供給に基づいてテストヘッドを移動させるヘッド移動部とを備え、ヘッド移動部は、電力の供給が強制的に停止された場合に、電力の供給が強制的に停止された時点のテストヘッドの位置を保持する電源断保持部を有する。
【０００５】
上記半導体試験装置において、電源断保持部は、電力の供給が停止された後に再び供給された場合に、外部からテストヘッドを移動すべき旨の入力を受け付けるまで、電力の供給が停止された時点でのテストヘッドの位置を保持してもよい。
【０００６】
上記半導体装置において、ヘッド移動部は、電力の供給が停止されても情報を保持するメモリを有し、テストヘッドの位置を特定する情報を、電力が供給されている間の所定時間毎にメモリに書き込んで更新し、電力の供給が停止された時点でのテストヘッドの位置を、メモリに書き込まれた情報に基づいて特定してもよい。
【０００７】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明の効果】
【０００８】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、テストヘッドの移動中に電源からの電力供給が強制的に停止された場合であっても、テストヘッドが初期位置に戻ったり自重で落下したりすることによる不具合を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１０】
図１は、本発明の一実施形態に係る半導体試験装置１０の構成を示し、図２は、ヘッド移動部２００がテストヘッド１００を上方に移動した状態を示す。半導体試験装置１０は、試験装置本体３００、テストヘッド１００、ヘッド移動部２００、接続ケーブル４００、及び、ハンドラ６００を備える。本発明の半導体試験装置１０は、テストヘッド１００の移動中に電力の供給が停止された場合に、テストヘッド１００が移動することを禁止することを目的とする。
【００１１】
試験装置本体３００は、試験される半導体デバイス１０６に与えるテストパターンを生成する。また、試験装置本体３００は、テストパターンに応じて半導体デバイス１０６が出力した出力信号を受け取り、期待値と比較することにより、半導体デバイス１０６の良否を判定する。
【００１２】
接続ケーブル４００は、テストヘッド１００及び試験装置本体３００に接続され、試験装置本体３００からテストヘッド１００へテストパターンを受け渡す。また、接続ケーブル４００は、テストパターンに応じて半導体デバイス１０６が出力した出力信号を、テストヘッド１００から試験装置本体３００へ受け渡す。
【００１３】
テストヘッド１００は、複数枚のピンエレクトロニクス基板と、当該ピンエレクトロニクス基板に接続されたデバイスインターフェース１０８とを備える。デバイスインターフェース１０８は、半導体デバイス１０６と電気的にコンタクトする複数個のＩＣソケット１０９を備える。
【００１４】
ハンドラ６００は、テストヘッド１００の上方に延伸している。このハンドラ６００は、試験されるべき半導体デバイス１０６を図示しないトレイから搬送する。また、ヘッド移動部２００は、テストヘッド１００をハンドラ６００に対して移動可能に支持する。図１に示す形態において、ヘッド移動部２００は、テストヘッド１００を上下方向に移動可能に支持する。
【００１５】
図２に示すように、ヘッド移動部２００がテストヘッド１００を上方に移動することにより、テストヘッド１００のデバイスインターフェース１０８がハンドラ６００へ機械的に位置決めされて結合される。この結合状態で、ハンドラ６００内において半導体デバイス１０６が搬送されて、ＩＣソケット１０９へ電気的に接続されてデバイス試験が行われる。
【００１６】
テストヘッド１００は試験する半導体デバイス１０６の品種が変わる場合、これに対応したデバイスインターフェース１０８に交換される。また、保守点検作業を行う場合にもデバイスインターフェース１０８が着脱される。この場合に、図２に示す状態から図１に示す状態まで、ヘッド移動部２００がテストヘッド１００を下方に移動する。これにより、デバイスインターフェース１０８の上方に作業空間が確保されて、デバイスインターフェース１０８が着脱される。
【００１７】
図３は、ヘッド移動部２００の機能を模式的に示す模式図である。図３において、機械的な構成は省略して示した。図３に示す形態において、ヘッド移動部２００は、本体部２０２、ヘッド連結部２０４を有する。ヘッド移動部２００は、更に、ヘッド連結部２０４を本体部２０２に対して移動する駆動部２２０及び歯車２２２、駆動部２２０を制御する制御部２４０、制御部２４０により読み書きされるメモリ２３０、並びに、ヘッド連結部２０４の移動を禁止して保持する電源断保持部２５０を有する。
【００１８】
制御部２４０は外部の電源２１０、例えば商用電源から電力を供給されて動作し、駆動部２２０及び電源断保持部２５０にも電力を供給する。制御部２４０は、外部からの指示、例えば半導体試験装置１０のユーザからの指示、に基づいて、駆動部２２０を駆動する。
【００１９】
駆動部２２０の一例はモータであり、制御部２４０を介して電源２１０から供給される電力に基づいて発生した回転力を歯車２２２に伝える。ヘッド連結部２０４には、ラック２０６が配されており、歯車２２２と噛み合う。これにより、歯車２２２に伝達された回転力が、ラック２０６の噛み合いを通じて、ヘッド連結部２０４の上下運動に変換される。
【００２０】
さらに、制御部２４０は、テストヘッド１００の位置を特定する情報を、電力が供給されている間の所定時間毎にメモリ２３０に書き込んで更新する。この場合に、制御部２４０はメモリ２３０に予め初期位置を設定して書き込んでおき、この初期位置からのずれ量を、テストヘッド１００を特定する位置として書き込んでもよい。例えば、図３に示す形態において、ヘッド連結部２０４が本体部２０２に対して許容される最下点を初期位置としてもよい。ここで、メモリ２３０は、電力の供給が停止されても情報を保持するメモリであり、たとえばフラッシュメモリである。
【００２１】
電源断保持部２５０は、ソレノイド２５２及び係止片２５４を有する。ソレノイド２５２は、制御部２４０を介して電源２１０から電力の供給を受けている場合にアクチュエータが引っ込んでおり、電力の供給が停止されている場合にアクチュエータが延伸する。ソレノイド２５２のアクチュエータの先端には、係止片２５４が配されている。また、ヘッド連結部２０４は係止片２５４と対向して係合部２０８を有する。
【００２２】
この構成により、電源２１０の電力の供給が強制的に停止された場合に、ソレノイド２５２のアクチュエータが延伸して係止片２５４を係合部２０８に係止する。これにより、電源２１０の電力の供給が強制的に停止されて駆動部２２０からの駆動力が止まった後も、電力の供給が強制的に停止された時点の前記テストヘッド１００の位置が保持される。
【００２３】
また、制御部２４０は、電力の供給が停止された後に再び供給された場合に、外部からテストヘッド１００を移動すべき旨の入力を受け付けるまで、電力の供給が停止された時点でのテストヘッド１００の位置を保持する。図３に示す形態において、制御部２４０は、制御部２４０は、電力の供給が停止された後に再び供給された場合に、ソレノイド２５２への電力供給を停止した状態を保つ。その後、ユーザ等の外部からテストヘッド１００を移動すべき旨の指示があった場合に、駆動部２２０を駆動すると共に、ソレノイド２５２に電力を供給してソレノイド２５２のアクチュエータを退避させる。これにより、ヘッド連結部２０４が本体部２０２に対して移動を再開することができる。なお、外部からの指示は、ヘッド移動部２００に設けたリセットボタンが押し下げられることにより入力されてもよい。この場合に、リセットボタンが押し下げられた旨が入力されると、ヘッド移動部２００は、テストヘッド１００を予め設定された初期位置に移動する。
【００２４】
さらに、制御部２４０は、電力の供給が停止された後に再び供給された場合に、電力の供給が停止された時点でのテストヘッド１００の位置を、メモリ２３０に書き込まれた情報に基づいて特定してもよい。これにより、初期位置への復帰を容易にすることができる。
【００２５】
以上、本実施形態によれば、テストヘッド１００の移動中に電源２１０からの電力供給が強制的に停止された場合であっても、テストヘッド１００が初期位置に戻ったり自重で落下したりすることによる不具合を防ぐことができる。
【００２６】
上記実施形態において、ヘッド移動部２００は、ラック２０６及び歯車２２２によりハンドラ６００に対してテストヘッド１００を上下に移動するが、ヘッド移動部２００における移動の形態はこれに限られない。他に、ボールネジ、エアシリンダ、液体シリンダ等であってもよい。また、上記実施形態において、ヘッド移動部２００は、ハンドラ６００に対してテストヘッド１００を上下に移動するが、移動の方向はこれに限られない。ヘッド移動部２００は、テストヘッド１００を水平方向に移動するようにしてもよいし、テストヘッド１００を回転移動してもよい。
【００２７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態に係る半導体試験装置１０の構成を示す。
【図２】ヘッド移動部２００がテストヘッド１００を上方に移動した状態を示す。
【図３】ヘッド移動部２００の機能を概略的に示す模式図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０  半導体試験装置
１００  テストヘッド
１０６  半導体デバイス
１０８  デバイスインターフェース
１０９  ＩＣソケット
２００  ヘッド移動部
２０２  本体部
２０４  ヘッド連結部
２０６  ラック
２０８  係合部
２１０  電源
２２０  駆動部
２２２  歯車
２３０  メモリ
２４０  制御部
２５０  電源断保持部
２５２  ソレノイド
２５４  係止片
３００  試験装置本体
４００  接続ケーブル
６００  ハンドラ
【図１】
2007010547.tif 000003
【図２】
2007010547.tif 000004
【図３】
2007010547.tif 000005