(57)【要約】 【課題】従来の電子線照射装置と比べると、コンパクト化、低価格化が可能である電子線照射装置を提供する。【解決手段】真空チャンバ２０と、真空チャンバ２０内に設置された電子線源１０とを含み、真空チャンバ２０の開口枠部２１に電子線照射窓部３０を備えており、電子線照射窓部３０は、窓枠部材３１と、窓枠部材３１の電子線透過用開口部３１２を覆う窓箔３３と、窓箔押さえ部材３２とを有し、窓箔押さえ部材３２は、窓箔３３に冷却用ガスを吹きつけるためのノズル３２２を有している電子線照射装置であって、窓枠部材３１内部に、ノズル３２２に連通し、該ノズルへ冷却用ガスを供給するダクト部５が一体的に形成されている電子線照射装置Ａ。【選択図】図１
2007010450.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバと、該真空チャンバ内に設置された電子線源とを含み、該真空チャンバは、該電子線源から放出される電子線を透過させて真空チャンバ外の被照射物に照射するための電子線照射窓部を備えており、該電子線照射窓部は、該真空チャンバの電子線照射用開口部に取り付けられた、電子線透過用開口部を有する窓枠部材と、該窓枠部材の電子線透過用開口部を覆う電子線透過可能の窓箔部材と、該窓箔部材を該窓枠部材との間に挟み込んで該窓枠部材に取り付けられた窓箔押さえ部材とを有し、該窓箔押さえ部材は、前記窓箔部材に冷却用ガスを吹きつけるためのノズルを有している電子線照射装置であって、前記窓枠部材内部に、該ノズルに連通し、該ノズルへ冷却用ガスを供給するダクト部が一体的に形成されていることを特徴とする電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子線照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子線照射装置は、電線被覆材料等の高分子材料の電子線照射による改質（架橋等）、電子線照射による塗膜等のキュアリング、電子線照射による医療品等の殺菌などに利用されている。
【０００３】
電子線照射装置には幾つかのタイプのものがあるが、その中に、真空チャンバと、真空チャンバ内に設置された電子線源とを含み、真空チャンバに、電子線源から放出される電子線を透過させて真空チャンバ外の被照射物に照射するための電子線照射窓部を設けたものがある。
【０００４】
かかる電子線照射窓部としては、真空チャンバの、電子線源に臨む開口部に取り付けられた窓枠部材と、窓枠部材の電子線透過用開口部を覆う電子線透過可能の窓箔部材と、窓箔部材を窓枠部材との間に挟み込み保持する窓箔押さえ部材とを有しているものが知られている（例えば、特開２００２−２４３８９９号公報参照）。
また、窓箔押さえ部材が、窓箔部材に冷却用ガスを吹きつけるためのノズルを有しているものも知られている（例えば、特許第３５８０３８７号公報参照）。
【０００５】
ここで、窓箔押さえ部材が窓箔部材に冷却用ガスを吹きつけるためのノズルを有している電子線照射装置の従来例について図５から図８を参照して説明する。
図５は従来例の電子線照射装置Ａ’の断面図である。図５に示す電子線照射装置Ａ’は、真空チャンバ２０と、真空チャンバ２０内に設置された電子線源１０と、真空チャンバ２０に取り付けられた電子線照射窓部３０’を含んでいる。
【０００６】
電子線源１０は、熱電子放出用のフィラメント１１と、フィラメント１１に臨設された電子引出し電極１２とを有している。さらに、フィラメント１１及び電子引出し電極１２を囲むとともに電子引出し電極１２に対向する位置に電子取り出し用の開口１３２を有するシールド電極１３と、該シールド電極開口１３２に取り付けられた電子加速電極板１４を有している。
【０００７】
真空チャンバ２０は、両端を閉じた断面円形状の筒体形状のものである。チャンバ２０は、チャンバ長手方向（チャンバ奥行き方向）に沿って、チャンバの下部に、電子線源１０から放出される電子線を通過させるとともに電子線照射窓部３０’を取り付けるための開口部（図示例では枠形態の開口枠部）２１’を有している。
【０００８】
開口枠部２１’は、下方から見ると、図６に示すように長方形状を呈しており、中央部に電子線照射窓部３０’のサポート部２１１’を一体的に形成したものである。サポート部２１１’は、真空チャンバ２０の長手方向と同方向に延び、開口枠部２１’の開口を二つの同じ大きさの開口部２１２、２１２に分割している。
【０００９】
電子線源１０のフィラメント１１は、図６に示すように、真空チャンバ２０の長手方向（奥行き方向）に複数列（図示例では４列）配設されている。各列において、複数本のフィラメント１１は互い平行に配列されており、いずれの列のフィラメントも同じ面内に配設されている。電子引出し電極１２は各列のフィラメント群に対応させて４枚設けてある。
【００１０】
シールド電極１３は、電子加速電極板１４を設けた部分が開口１３２となっている全体がボックス形状のもので、真空チャンバ長手方向（奥行き方向）に延びるトンネル状部分１３１の両端（図面上では手前側の端及び奥側の端）を図示省略の側板で閉じた形態のものである。
【００１１】
電子引出し電極１２、電子加速電極板１４には、電子ｅを通過させる多数の貫通孔を形成してある。
図示を省略しているが、この電子線照射装置は、フィラメント１１等へ通電する電源装置、真空チャンバ２０内を減圧する排気装置等も含んでいる。
【００１２】
電子線照射窓部３０’は、電子線源１０から放出される電子線を透過させて真空チャンバ外の被照射物（図示例では走行する被照射物Ｗ）に照射するための窓部である。
窓部３０’は、真空チャンバ２０の電子線照射用開口枠部２１’にボルトＢ１で取り付けられた、グリッドウインドとも称されている窓枠部材３１’、窓枠部材３１’にボルトＢ２で取り付けられた窓箔押さえ部材３２’、窓枠部材３１’と窓箔押さえ部材３２’の間に挟み込まれた窓箔３３を有している。
【００１３】
窓枠部材３１’は、真空チャンバ２０の開口枠部２１’の各開口部２１２に対し一つずつ配置されており、合計二つある。各窓枠部材３１’は、下方から見ると、図７に示すように、全体形状が環状、且つ、長方形状を呈しており、中央に真空チャンバ２０の長手方向と同方向に延びる中央部分３１１を一体的に形成したものである。中央部分３１１は、窓枠部材の開口を二つの同じ大きさの開口部３１２、３１２に分割している。各開口部３１２には、前記フィラメント１１と同じ方向の桟部材３１３を所定間隔で渡し設けてある。
【００１４】
なお、図７において、３１４はボルトＢ１を通すボルト通し孔である。また、図６の真空チャンバ開口枠部２１’における２１３はボルトＢ１を螺合させるネジ孔である。
各窓枠部材３１’には、電子線照射による窓枠部材３１’の昇温を抑制するための冷却液（通常は冷却水）を通す冷却液通路３１５も設けてある。
【００１５】
窓箔３３はチタン箔、アルミニウム箔等の電子線透過可能の箔材料からなる、膜状の部材であり、各窓枠部材３１’の各開口部３１２を覆うように張設され、窓箔押さえ部材３２’で該部材３２’と部材３１’との間に挟み込まれて保持されている。
【００１６】
窓枠部材３１’における前記桟部材３１３は、電子線照射装置使用時に真空チャンバ２０内が減圧されるとき、窓箔３３が外気圧でチャンバ内側方向へ押圧されて破損することを防止するための窓箔支えとして機能する。
【００１７】
窓箔押さえ部材３２’は、各窓枠部材３１’に対し一つずつ設けられている。各押さえ部材３２’は、下方から見ると、図８に示すように、全体形状が環状、且つ、長方形状を呈しており、開口部３２１を有している。開口部３２１は、前記窓枠部材３１’の二つの開口部３１２の双方に対応する開口面積を有している。
【００１８】
各窓箔押さえ部材３２’は、真空チャンバ２０の長手方向と同じ方向に延びる左右部分のそれぞれに、所定間隔で分散形成されたノズル３２２を有している。
窓箔押さえ部材３２’は、窓枠部材３１’との間に窓箔３３を挟んだ状態で、既述のとおりボルトＢ２で窓枠部材３１’に留められるが、図８において、３２３は該ボルトＢ２を通す孔であり、図７の窓枠部材３１’における３１６は、該ボルトＢ２を螺合させるネジ孔である。
【００１９】
図５に示すように、窓枠部材３１’と窓箔押さえ部材３２’との間には気密シール部材Ｓが配置されている。また、窓箔押さえ部材３２’にも冷却液通路３２４が形成されている。
また、図５に示すように、電子線照射窓部３０’には、窒素ガス等の冷却用ガスを窓箔押さえ部材３２’の各ノズル３２２へ供給するダクト４が付設されている。
ダクト４は、二つの窓枠部材３１’のうち、一方のものの外側、他方のものの外側、両者の間にそれぞれ付設されている。
【００２０】
各窓枠部材３１’の外側のダクト４はボルトＢ３で真空チャンバ２０の開口枠部２１’に固定されている。図６の開口枠部２１’における２１４はボルトＢ３を螺合させるネジ孔である。
二つの窓枠部材３１’の間のダクト４は図示省略の固定手段で、真空チャンバ開口枠部２１’の中央サポート部２１１’に固定されている。
各ダクト４は窓枠部材３１’及び窓箔押さえ部材３２’に添わせて設けられており、部材３２’における各ノズル３２２に連通している。
【００２１】
以上説明した電子線照射装置Ａ’によると、フィラメント１１から放出された電子ｅは、引出し電極１２で引き出され、加速電極板１４で加速されて電子線源１０から照射窓部３０’へ向かい、その窓箔３３を透過して、窓部３０’の下方に配置された被照射物Ｗに照射される。
【００２２】
この電子線照射処理中、各窓枠部材３１’の各冷却液通路３１５に図示省略の冷却液供給手段にて冷却液が流され、それにより、電子線に触れる窓枠部材３１’の昇温及び該窓枠部材３１’に接触している窓箔３３の部分及びシール部材Ｓの部分の昇温が抑制される。また、各窓箔押さえ部材３２’の各冷却液通路３２４にも冷却液が流され、それにより、部材３２’の昇温及び該部材３２’に接触している窓箔３３の部分及びシール部材Ｓの部分の昇温も抑制される。
【００２３】
さらに、各ダクト４に図示省略の冷却用ガス供給手段から冷却用ガス（例えば窒素ガス）が供給され、各ダクト４から、それが連通している、窓箔押さえ部材３２’のノズル３２２へ該ガスが供給され、ノズル３２２から窓箔３３へ吹きつけられる。ノズル３２２は、図８に示すように、窓箔押さえ部材３２’の真空チャンバ長手方向に延びる、図上左右の部分のそれぞれに配列されているから、窓枠部材３１’の、図７上左右の開口部３１２のそれぞれを覆っている（従って電子線照射を受ける）窓箔部分にそれぞれ冷却用ガスが吹きつけられる。
かくして、電子線照射により昇温しようとする窓箔３３は、電子線照射されるものの、全面的に冷却される。
【００２４】
このように窓箔３３が冷却されることで、昇温に起因する窓箔３３の破損が抑制される。
また、部材３１’，３２’が、ひいては該部材に接触している窓箔部分やシール材Ｓの部分が冷却液によって冷却されるので、それら部材の膨張に起因する真空チャンバ２０の気密性の低下も抑制される。
【００２５】
【特許文献１】特開２００２−２４３８９９号公報
【特許文献２】特許第３５８０３８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
しかしながら、かかる図５から図８に示す電子線照射装置Ａ’によると、窓箔３３を冷却するためのノズル３２２へ冷却用ガスを供給するダクト４は、窓枠部材３１’、窓箔押さえ部材３２’及び窓箔３３とは別個に製作され、それらに外側から添わせて設けられるので次のような問題がある。
【００２７】
(1) 電子線照射窓部３０’を真空チャンバ２０に設けるにあたって扱わなければならない部品点数が多く、それらの組み立て及び真空チャンバ２０への取付け作業の手間が煩雑で、コスト高につき、ひいては電子線照射装置がそれだけコスト高につく。
【００２８】
(2) ダクト４は、ノズル３２２へ冷却用ガスを供給できるように、また、不必要なダクト４への電子線照射を避けるために、少なくとも、窓枠部材３１’の外側に配置される。従って、図５に示すように、ダクト４も含めた電子線照射窓部３０’の、真空チャンバ長手方向を横切る方向の幅寸法がＬ’と大きくなってしまい、電子線照射装置のコンパクト化が妨げられる。
【００２９】
(3) ダクト４を窓枠部材３１’の外側に配置するにあたって、できるだけコンパクトに該ダクトを配置するために、図５に示すように、ダクト４を貫通するボルトＢ３を用いて、また、ダクト４の変形を防止する部材ｍをダクト４内に配置して、真空チャンバ開口枠部２１’に取り付けると、ダクト４内のガス通路断面積がそれだけ狭められ、ダクト４の大きさの割りには、ノズル３２２への冷却用ガス供給量が少なくなり、これを解決しようとしてダクトを大型化すると、ますます、前記寸法Ｌ’が大きくなってしまう。
【００３０】
(4) 電子線照射能力の大きい電子線照射装置を得るために、図５に例示されるように、窓枠部材３１’を複数個採用すると、隣り合う窓枠部材３１’間にもダクト４を配置しなければならず、該ダクト４等を支えるために、図５に示すような、サポート部分２１１’を真空チャンバ開口枠部２１’に設けなければならず、かかるサポート部分２１１’は、真空チャンバ開口枠部２１’の構造の簡素化、低価格化の妨げとなる。
【００３１】
(5) また、窓枠部材３１’を複数個採用する場合において、構造の簡素化、コンパクト化のために、例えば、図５に示す隣り合う二つの窓枠部材３１’を一体化しょうとすると、両者間に配置されていたダクト４の配置が困難になり、結局、かかる二つの窓枠部材３１’の一体化は困難である。
【００３２】
かかる問題は、図５に例示する電子線照射装置に限らず、真空チャンバ、該チャンバに内蔵された電子線源、該チャンバに設けられた電子線照射窓部（窓箔に冷却用ガスを吹きつけるノズルを有し、該ノズルへ冷却用ガスを供給するダクトが付設された窓部）を有するタイプの電子線照射装置に生じる問題である。
【００３３】
そこで本発明は、真空チャンバと、該真空チャンバ内に設置された電子線源とを含み、該真空チャンバは、該電子線源から放出される電子線を透過させて真空チャンバ外の被照射物に照射するための電子線照射窓部を備えており、該電子線照射窓部は、該真空チャンバの電子線照射用開口部に取り付けられた、電子線透過用開口部を有する窓枠部材と、該窓枠部材の電子線透過用開口部を覆う電子線透過可能の窓箔部材と、該窓箔部材を該窓枠部材との間に挟み込んで該窓枠部材に取り付けられた窓箔押さえ部材とを有し、該窓箔押さえ部材は、前記窓箔部材に冷却用ガスを吹きつけるためのノズルを有している電子線照射装置であって、従来のこの種の電子線照射装置と比べると、コンパクト化、低価格化が可能である電子線照射装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００３４】
前記課題を解決するため本発明は、真空チャンバと、該真空チャンバ内に設置された電子線源とを含み、該真空チャンバは、該電子線源から放出される電子線を透過させて真空チャンバ外の被照射物に照射するための電子線照射窓部を備えており、該電子線照射窓部は、該真空チャンバの電子線照射用開口部に取り付けられた、電子線透過用開口部を有する窓枠部材と、該窓枠部材の電子線透過用開口部を覆う電子線透過可能の窓箔部材と、該窓箔部材を該窓枠部材との間に挟み込んで該窓枠部材に取り付けられた窓箔押さえ部材とを有し、該窓箔押さえ部材は、前記窓箔部材に冷却用ガスを吹きつけるためのノズルを有している電子線照射装置であって、前記窓枠部材内部に、該ノズルに連通し、該ノズルへ冷却用ガスを供給するダクト部が一体的に形成されている電子線照射装置を提供する。
【００３５】
本発明に係る電子線照射装置によると、窓箔押さえ部材に設けられたノズルへ冷却用ガスを供給するためのダクト部は、従来のように、窓枠部材及び窓箔押さえ部材の外側に付設されるのではなく、窓枠部材内部に、該ノズルに連通し、該ノズルへ冷却用ガスを供給できるように、一体的に形成されるので、次のような利点がある。
【００３６】
(1) 電子線照射窓部を真空チャンバに設けるにあたって扱わなければならない部品点数が従来より少なくなり、それらの組み立て及び真空チャンバへの取付け作業の手間が従来より容易に、安価に行うことができ、ひいては電子線照射装置をそれだけコスト安に提供できる。
【００３７】
(2) 従来、窓枠部材の外側に配置されていたダクトが不要になるので、その分、電子線照射窓部の、真空チャンバ長手方向を横切る方向の幅寸法を低減することができ、しかも、窓箔押さえ部材のノズルへの冷却用ガス供給に支障のないように低減することができ、それだけ電子線照射装置のコンパクト化が可能になる。
【００３８】
(3) 例えば、図５に示す従来例装置のように、窓枠部材（３１’）を複数個採用する場合、隣り合う窓枠部材（３１’）間にもダクト（４）を配置しなければならところ、かかるダクトが不要になるので、少なくとも一組の隣り合う窓枠部材を一体化、コンパクト化でき、また、それにより真空チャンバの、電子線照射窓部を取り付ける開口部における、従来例の窓枠部材（３１’）及び該部材間のダクト（４）を支持するためのサポート部分（２１１’）のようなサポート部を省略でき、かくして、真空チャンバの電子線照射窓を取り付ける開口部構造の簡素化及び電子線照射窓部を構成する窓枠部材のコンパクト化が可能となり、それだけ、電子線照射装置をコスト安に提供できる。
【００３９】
これらにより、従来の同種の電子線照射装置と比べると、コンパクト化、低価格化が可能である電子線照射装置を提供することができる。
なお、電子線照射窓部を構成する窓枠部材及び窓箔押さえ部材の数の点については、それぞれ一つでも複数でもよい。複数採用する場合でも、従来よりコンパクト化が可能である。
【発明の効果】
【００４０】
以上説明したように本発明によると、真空チャンバと、該真空チャンバ内に設置された電子線源とを含み、該真空チャンバは、該電子線源から放出される電子線を透過させて真空チャンバ外の被照射物に照射するための電子線照射窓部を備えており、該電子線照射窓部は、該真空チャンバの電子線照射用開口部に取り付けられた、電子線透過用開口部を有する窓枠部材と、該窓枠部材の電子線透過用開口部を覆う電子線透過可能の窓箔部材と、該窓箔部材を該窓枠部材との間に挟み込んで該窓枠部材に取り付けられた窓箔押さえ部材とを有し、該窓箔押さえ部材は、前記窓箔部材に冷却用ガスを吹きつけるためのノズルを有している電子線照射装置であって、従来のこの種の電子線照射装置と比べると、コンパクト化、低価格化が可能である電子線照射装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、本発明に係る電子線照射装置の１例Ａを図１から図４を参照して説明する。
図１は電子線照射装置Ａの断面図である。図１に示す電子線照射装置Ａは、真空チャンバ２０と、真空チャンバ２０内に設置された電子線源１０と、真空チャンバ２０に取り付けられた電子線照射窓部３０を含んでいる。
【００４２】
電子線源１０は、図５に示す装置Ａ’における電子線源１０と同構成、作用を示すのものである。図５に示す電子線源と同じ部品、部分には図５と同じ参照符号を付してある。      
【００４３】
真空チャンバ２０は、電子線照射窓部３０を取り付ける開口部（本例では枠形態の開口枠部）２１の点を除けば、装置Ａ’の真空チャンバ２０と同じものである。図２は、開口枠部２１を下方から見た図である。図１及び図２に示されるように、開口枠部２１は、全体として環状形態を呈しており、電子線源１０に臨む一つの大きい開口部２１０を有している。装置Ａ’における開口枠部２１’のように中央サポート部分２１１’は備えておらず、それだけ構造簡素に形成されている。なお図２において１１は電子線源１０のフィラメントを示している。
【００４４】
この電子線照射装置Ａも、図示を省略しているが、フィラメント１１等へ通電する電源装置、真空チャンバ２０内を減圧する排気装置等を含んでいる。
【００４５】
電子線照射窓部３０は、真空チャンバ２０の開口枠部２１にボルトＢ１で取り付けられた、窓枠部材（グリッドウインド）３１、窓枠部材３１にボルトＢ２で取り付けられた窓箔押さえ部材３２、窓枠部材３１と窓箔押さえ部材３２の間に挟み込まれた窓箔３３を有している。
【００４６】
窓枠部材３１は、図５に示す装置Ａ’における、隣り合う二つの窓枠部材３１’を一つにまとめて一体化したような形態を呈している。すなわち装置Ａでは、窓枠部材２１はコンパクト化された一個のものである。
【００４７】
窓枠部材３１は、下方から見ると、図３に示すように、全体が矩形形状を呈しており、中央に真空チャンバ２０の長手方向と同方向に延びる太い中央部分３１０が一体的に形成されており、該中央部分３１０の両側には開口があり、該各開口はその中央に設けられた、真空チャンバ２０の長手方向と同方向に延びる部材３１１で、二つの同じ大きさの左右開口部３１２、３１２に分割されている。各開口部３１２には、前記フィラメント１１と同じ方向の桟部材３１３を所定間隔で渡し設けてある。
【００４８】
かかる窓枠部材３１における、中央部分３１０は、装置Ａ’に於ける二つの隣り合う窓枠部材３１’における互いに隣り合う部分、すなわち、中央のダクト４を間にして隣り合う部分を一体化した如き部分であり、ここには、真空チャンバ２０の長手方向と同方向に、左右の冷却液通路３１５が形成されているとともに、それらの間にダクト部５が形成されている。この中央ダクト部５は、装置Ａ’における中央ダクト４に相当するものであり、窓枠部材３１内部に一体的に形成されている。
【００４９】
窓枠部材３１の、図１において左側部分及び右側部分のそれぞれに、冷却液通路３１５が形成されているとともに、その外側にダクト部５が形成されている。これら左右のダクト部５は、装置Ａ’において窓枠部材３１’外側に配置されたダクト４に相当する。
【００５０】
窓枠部材３１の中央部分３１０の、図１において左側にある二つの開口部３１２は、装置Ａ’における左側の窓枠部材３１’の二つの開口部３１２に相当する。
窓枠部材３１の中央部分３１０の、図１において右側にある二つの開口部３１２は、装置Ａ’における右側の窓枠部材３１’の二つの開口部３１２に相当する。
すなわち、この窓枠部材２１は、装置Ａ’の二つの窓枠部材３１’と同じく、合計して四つの電子線透過用開口部３１２を有している。
【００５１】
なお、図３において、３１４はボルトＢ１を通すボルト通し孔である。また、図２の真空チャンバ開口枠部２１における２１３はボルトＢ１を螺合させるネジ孔である。
【００５２】
窓箔３３はチタン箔、アルミニウム箔等の電子線透過可能の箔材料からなる、膜状の部材であり、窓枠部材３１の各開口部３１２を覆うように張設され、窓箔押さえ部材３２で該部材３２と部材３１との間に挟み込まれて保持されている。
【００５３】
窓枠部材３１における桟部材３１３は、電子線照射装置使用時に真空チャンバ２０内が減圧されるとき、窓箔３３が外気圧でチャンバ内側方向へ押圧されて破損することを防止するための窓箔支えとして機能する。
【００５４】
窓箔押さえ部材３２は、窓枠部材３１の、図１において左側で互いに隣り合う二つの開口部３１２に対して一つ、図１において右側で互いに隣り合う二つの開口部３１２に対して一つ、合計二つ設けられている。各押さえ部材３２は、下方から見ると、図４に示すように、全体形状が環状、且つ、長方形状を呈しており、開口部３２１を有している。
【００５５】
各窓箔押さえ部材３２は、真空チャンバ２０の長手方向と同じ方向に延びる左右部分のそれぞれに、所定間隔で分散形成されたノズル３２２を有している。
このように窓箔押さえ部材３２は、装置Ａ’における窓箔押さえ部材３２’と実質上同構造である。
【００５６】
窓箔押さえ部材３２は、窓枠部材３１との間に窓箔３３を挟んだ状態で、既述のとおりボルトＢ２で窓枠部材３１に留められるが、図４において、３２３は該ボルトＢ２を通す孔であり、図３の窓枠部材３１における３１６は、該ボルトＢ２を螺合させるネジ孔である。
【００５７】
図３に示すように、窓枠部材３１には、窓箔押さえ部材３２のノズル３２２にダクト部５を連通させる通気孔５１を配列形成してある。窓箔押さえ部材３２を、窓枠部材３１との間に窓箔３３を挟み込むようにしてボルトＢ２で該窓枠部材３１に取り付けると、通気孔５１を介して、ダクト部５がノズル３２２に連通し、ダクト部５からノズル３２２へ冷却用ガスを供給し、ノズル３２２から該ガスを窓箔３３へ吹きつけさせることができる。  通気孔５１は、図示例では列状に分散形成されているが、スリット状に連続させてノズル３２２に連通させてもよい。
【００５８】
図１に示すように、装置Ａ’の場合と同様に、窓枠部材３１と窓箔押さえ部材３２との間には気密シール部材Ｓが配置されている。また、窓箔押さえ部材３２にも冷却液通路３２４が形成されている。
【００５９】
以上説明した電子線照射装置Ａによると、フィラメント１１から放出された電子ｅは、引出し電極１２で引き出され、加速電極板１４で加速されて電子線源１０から照射窓部３０へ向かい、その窓箔３３を透過して、窓部３０の下方に配置された被照射物Ｗに照射される。
【００６０】
この電子線照射処理中、窓枠部材３１の各冷却液通路３１５に図示省略の冷却液供給手段にて冷却液が流され、それにより、電子線に触れる窓枠部材３１の昇温及び該窓枠部材３１に接触している窓箔３３の部分及びシール部材Ｓの部分の昇温が抑制される。また、各窓箔押さえ部材３２の各冷却液通路３２４にも冷却液が流され、それにより、部材３２の昇温及び該部材３２に接触している窓箔３３の部分及びシール部材Ｓの部分の昇温も抑制される。
【００６１】
さらに、各ダクト部５に図示省略の冷却用ガス供給手段から冷却用ガス（例えば窒素ガス）が供給され、各ダクト部５から、それが連通している、窓箔押さえ部材３２のノズル３２２へ供給され、装置Ａ’の場合と同様に、ノズル３２２から、電子線照射される窓箔３３の部分へ吹きつけられる。かくして、電子線照射により昇温しようとする窓箔３３は、電子線照射されるが冷却される。
【００６２】
このように窓箔３３が冷却されることで、昇温に起因する窓箔３３の破損が抑制される。
また、部材３１、３２が、ひいては該部材に接触している窓箔部分やシール部材Ｓの部分が冷却液によって冷却されるので、それら部材の膨張に起因する真空チャンバ２０の気密性の低下も抑制される。
【００６３】
以上説明した電子線照射装置Ａによると、窓箔押さえ部材３２に設けられたノズル３２２へ冷却用ガスを供給するためのダクト部５は、従来のように、窓枠部材及び窓箔押さえ部材の外側に付設されるのではなく、窓枠部材２１の内部に、該ノズルに連通し、該ノズルへ冷却用ガスを供給できるように、一体的に形成されているので、次のような利点がある。
【００６４】
電子線照射窓部３０を真空チャンバ２０に設けるにあたって扱わなければならない部品点数が従来より少なくなり、それらの組み立て及び真空チャンバ２０への取付け作業の手間が従来より容易に、安価に行うことができ、ひいては電子線照射装置Ａをそれだけコスト安に提供できる。
【００６５】
従来、窓枠部材の外側に配置されていたダクトが不要になるので、その分、電子線照射窓部３０の、真空チャンバ長手方向を横切る方向の幅寸法Ｌ（図１参照）を低減することができ、しかも、窓箔押さえ部材３２のノズル３２２への冷却用ガス供給に支障のないように低減することができ、それだけ電子線照射装置Ａのコンパクト化が可能である。
【００６６】
例えば、図５に示す従来例装置のように、窓枠部材３１’を複数個採用する場合、隣り合う窓枠部材３１’間にもダクト４を配置しなければならところ、かかるダクトが不要になるので、隣り合う窓枠部材を一体化、コンパクト化でき、また、それにより真空チャンバ２０の、電子線照射窓部３０を取り付ける開口枠部２１の構造の簡素化及び電子線照射窓部３０を構成する窓枠部材３１のコンパクト化が可能となり、それだけ、電子線照射装置Ａをコスト安に提供できる。
【００６７】
これらにより、従来の同種の電子線照射装置と比べると、コンパクト化、低価格化が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明に係る電子線照射装置は、電線被覆材料等の高分子材料の架橋、塗膜等のキュアング、医療品の殺菌等に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明に係る電子線照射装置の１例の断面図である。
【図２】図１の装置における真空チャンバの開口枠部を下方から見た図である。
【図３】図１の装置における電子線照射窓部の窓枠部材を下方から見た図である。
【図４】図１の装置における電子線照射窓部の窓箔押さえ部材を下方から見た図である。
【図５】電子線照射装置の従来例の断面図である。
【図６】図５の装置における真空チャンバの開口枠部を下方から見た図である。
【図７】図５の装置における電子線照射窓部の窓枠部材を下方から見た図である。
【図８】図５の装置における電子線照射窓部の窓箔押さえ部材を下方から見た図である。
【符号の説明】
【００７０】
Ａ、Ａ’  電子線照射装置
１０  電子線源
１１  フィラメント
１２  電子引出し電極
１３  シールド電極
１３１  電極１３のトンネル状部分
１３２  シールド電極開口部
１４  電子加速電極板
２０  真空チャンバ
２１、２１’  真空チャンバの開口枠部
２１０        開口部
２１１’  枠部２１’におけるサポート部分
２１２  開口部
２１３、２１４  ネジ孔
Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３  ボルト
３１、３１’  窓枠部材
３１０  中央部分
３１１  開口部３１２を得る開口分割部材
３１２  開口部
３１３  桟部材
３１４  ボルト通し孔
３１５  冷却液通路
３１６  ネジ孔
３２  窓箔押さえ部材
３２１  開口部
３２２  ノズル
３２３  ボルト通し孔
３２４  冷却液通路
３３  窓箔
４  ダクト
５  ダクト部
５１  通気孔
Ｓ  気密シール部材
Ｌ、Ｌ’  電子線照射窓部の横幅寸法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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