(57)【要約】【課題】微細なサテライト液滴の着弾位置精度の低下を抑制可能な液滴噴射装置を提供すること。【解決手段】インクジェットプリンタは、記録用紙に対してメイン液滴を噴射可能で、さらに、メイン液滴の噴射動作に伴ってメイン液滴よりも液滴体積の小さいサテライト液滴を噴射可能なノズル２０を有するインクジェットヘッド１と、メイン液滴のみを捕捉するメイン液滴捕捉部３０を有し且つノズル２０から噴射されたサテライト液滴が飛翔する空間２８をその周囲から遮蔽するカバー部材４０とを備えている。そのため、空気の流れなどの影響によりサテライト液滴の飛翔軌道が変化して、その着弾位置精度が低下するのを抑制できる。【選択図】図３
2007118586.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体に対して、メイン液滴及び前記メイン液滴よりも液滴体積の小さいサテライト液滴を噴射する液滴噴射装置であって、
ノズルと、
前記ノズルから噴射される前記メイン液滴が飛翔する軌道と前記サテライト液滴が飛翔する軌道を設定する飛翔軌道設定機構と、
前記ノズルから噴射された前記サテライト液滴が飛翔する空間を覆う遮蔽体と、
前記空間において、前記ノズルから噴射された前記メイン液滴には接触し且つ前記サテライト液滴には接触しない位置に配置され、前記メイン液滴のみを捕捉するメイン液滴捕捉部と、
を備えることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
前記メイン液滴捕捉部は、前記遮蔽体と一体で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項３】
前記遮蔽体の、前記空間を前記物体側から覆う領域に、前記サテライト液滴のみを通す通過孔が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴噴射装置。
【請求項４】
前記遮蔽体の、前記通過孔を画成する内壁が導電性材料で形成され、前記内壁は、前記ノズルから噴射される前記サテライト液滴の電位と同じ電位に保持されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴噴射装置。
【請求項５】
前記飛翔軌道設定機構は、前記サテライト液滴が飛翔する軌道と、前記メイン液滴が飛翔する軌道とを異なる軌道に設定することを特徴とする請求項３に記載の液滴噴射装置。
【請求項６】
前記通過孔は、前記遮蔽体の、前記メイン液滴捕捉部と近接する領域に形成され、
前記遮蔽体の、前記通過孔と前記メイン液滴捕捉部との間の領域には、前記メイン液滴捕捉部により捕捉されたメイン液滴が前記通過孔に流入するのを防止する突起が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の液滴噴射装置。
【請求項７】
前記遮蔽体の、前記通過孔と前記メイン液滴捕捉部との間の領域に、前記メイン液滴捕捉部よりも高い撥液性を有する高撥液領域が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の液滴噴射装置。
【請求項８】
前記高撥液領域の面積は、前記メイン液滴捕捉部側ほど小さいことを特徴とする請求項７に記載の液滴噴射装置。
【請求項９】
前記高撥液領域の撥液性は、前記メイン液滴捕捉部側ほど低いことを特徴とする請求項７に記載の液滴噴射装置。
【請求項１０】
前記飛翔軌道設定機構は、前記サテライト液滴が飛翔する軌道と前記メイン液滴が飛翔する軌道とを同じ軌道に設定し、
前記メイン液滴捕捉部の先端部は、前記空間の、前記ノズルの軸線方向から見て、前記メイン液滴と部分的に重なり、且つ、前記サテライト液滴とは重ならない領域に配置されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液滴噴射装置。
【請求項１１】
さらに、前記ノズルに連なる液体流路を備え、
前記メイン液滴捕捉部には、前記液体流路に連通し、捕捉した前記メイン液滴を前記液体流路に戻す回収流路が形成されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の液滴噴射装置。
【請求項１２】
物体に対して、メイン液滴及び前記メイン液滴よりも液滴体積の小さいサテライト液滴を噴射する液滴噴射装置であって、
ノズルと、
前記ノズルから噴射される前記メイン液滴が飛翔する軌道と前記サテライト液滴が飛翔する軌道をそれぞれ設定する飛翔軌道設定機構と、
前記ノズルから前記物体に向かって飛翔する前記サテライト液滴の直進性を維持する飛翔直進性維持機構と、
前記ノズルから噴射された前記メイン液滴には接触し且つ前記サテライト液滴には接触しない位置に配置された、前記メイン液滴のみを捕捉するメイン液滴捕捉部と、
を備えることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項１３】
物体に対して、メイン液滴及び前記メイン液滴よりも液滴体積の小さいサテライト液滴を噴射する液滴噴射装置であって、
ノズル、及び前記ノズルに連通する液体流路と、
前記ノズルから噴射された前記サテライト液滴が飛翔する空間を覆う遮蔽体と
前記空間において、前記ノズルから噴射された前記メイン液滴には接触し且つ前記サテライト液滴には接触しない位置に配置され、前記メイン液滴のみを捕捉するメイン液滴捕捉部とを備え、
前記遮蔽体には、前記サテライト液滴のみを通過させる孔が形成されていることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項１４】
前記メイン液滴捕捉部が、前記遮蔽体と一体で形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の液滴噴射装置。
【請求項１５】
前記孔は、前記遮蔽体の、前記メイン捕捉部と近接する領域に形成され、
前記遮蔽体の、前記孔と前記メイン液滴捕捉部との間の領域には、前記メイン液滴捕捉部により捕捉されたメイン液滴が前記孔に流入するのを防止する突起が形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の液滴噴射装置。
【請求項１６】
前記遮蔽体の、前記孔と前記メイン液滴捕捉部との間の領域に、前記メイン液滴捕捉部よりも高い撥液性を有する高撥液領域が形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の液滴噴射装置。
【請求項１７】
前記高撥液性領域の面積は、前記メイン液滴捕捉部側ほど小さいことを特徴とする請求項１６に記載の液滴噴射装置。
【請求項１８】
前記高撥液領域の撥液性は、前記メイン液滴捕捉部側ほど低いことを特徴とする請求項１６に記載の液滴噴射装置。
【請求項１９】
前記メイン液滴捕捉部に、前記液体流路に連通し、捕捉した前記メイン液滴を前記液体流路に戻す回収流路が形成されていることを特徴とする請求項１３〜１８のいずれかに記載の液滴噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を噴射する液滴噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ノズルから液滴を噴射する液滴噴射装置の分野において、微小な液滴を噴射する技術が求められている。例えば、記録用紙に対してインクを噴射するインクジェットヘッドにおいては、高画質の画像等を記録するために、微小なインク滴を噴射する技術が要求されている。また、導電ペーストを噴射して基板上に微細な配線パターンを形成する場合、有機発光体を基板に噴射して高精細ディスプレイを形成する場合、又は、光学樹脂を基板に噴射して光導波路等の微小光学デバイスを形成する場合などにも、非常に小さな液滴を噴射する技術が求められている。
【０００３】
本願発明者は、ノズルから大きな液滴（メイン液滴）が噴射されたときにこのメイン液滴の噴射動作に伴って噴射される、メイン液滴よりも小さな液滴（サテライト液滴）だけを記録用紙などの記録媒体に着弾させることにより、記録媒体に非常に小さなドットを形成することが可能な液滴噴射装置を提案している（例えば、特許文献１参照）。この液滴噴射装置は、それぞれ液滴を噴射可能な２つの液滴噴射部を備えており、これら２つの液滴噴射部は、それぞれのノズルから噴射された液滴の飛翔軌道が互いに交差するように配置されている。そして、一方の液滴噴射部から同じ方向にメイン液滴とサテライト液滴が噴射された後に、このメイン液滴に他方の液滴噴射部から噴射された液滴を衝突させて、メイン液滴の飛翔方向を変化させてサテライト液滴の飛翔方向と異ならせることにより、小さなサテライト液滴だけを記録媒体に着弾させることが可能である。
【特許文献１】特開２００４-１２２７７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
サテライト液滴の体積及び重量は非常に小さいため、サテライト液滴がノズルから噴射体に達するまでの間に、その周囲の空間に存在する気体の流れや飛散する塵等により、サテライト液滴の飛翔軌道が変化しやすくなる。そのため、サテライト液滴の着弾位置精度が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、サテライト液滴の着弾位置精度の低下を抑制可能な液滴噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
本発明の第１の態様に従えば、物体に対して、メイン液滴及び前記メイン液滴よりも液滴体積の小さいサテライト液滴を噴射する液滴噴射装置であって、ノズルと、前記ノズルから噴射される前記メイン液滴が飛翔する軌道と前記サテライト液滴が飛翔する軌道を設定する飛翔軌道設定機構と、前記ノズルから噴射された前記サテライト液滴が飛翔する空間を覆う遮蔽体と、前記空間において、前記ノズルから噴射された前記メイン液滴には接触し且つ前記サテライト液滴には接触しない位置に配置され、前記メイン液滴のみを捕捉するメイン液滴捕捉部と、を備える液滴噴射装置が提供される。
【０００７】
本発明の第１の態様によれば、メイン液滴とこのメイン液滴よりも液滴体積の小さいサテライト液滴をノズルから噴射させた後、メイン液滴捕捉部によりメイン液滴のみを捕捉して、液滴体積の小さなサテライト液滴だけを物体（記録媒体）に着弾させることができるため、記録媒体に非常に小さなドットを形成することが可能になる。さらに、サテライト液滴が飛翔する空間が遮蔽体により遮蔽されているため、その周囲に存在する空気等の気体の流れなどの影響によりサテライト液滴の飛翔軌道が変化して、その着弾位置精度が低下するのを抑制できる。さらに、メイン液滴が捕捉されるメイン液滴捕捉部も遮蔽体に覆われているので、遮蔽体に覆われた空間の湿度が高く保たれ、メイン液滴捕捉部に着弾したメイン液滴が乾燥するのが防止される。そのため、メイン液滴の流動性が高くなるので、例えば、メイン液滴捕捉部に着弾したメイン液滴を回収して再利用することが容易となる。
【０００８】
本発明の液滴噴射装置において、前記メイン液滴捕捉部は、前記遮蔽体と一体で形成されていてもよい。この場合には、部品点数が減るため、製造コストの低減が可能になる。また、メイン液滴捕捉部と遮蔽体とを、コンパクトなサイズで形成することが容易となるため、ノズルと記録媒体との距離を短くすることができ、液滴噴射装置のサイズを小型化できる。
【０００９】
本発明の液滴噴射装置において、前記遮蔽体の、前記空間を前記物体側から覆う領域に、前記サテライト液滴のみを通す通過孔が形成されていてもよい。この場合には、サテライト液滴が飛翔する空間は、遮蔽体によって、記録媒体側からも覆われており、飛翔するサテライト液滴の周囲の気体の流れは小さい。そのため、サテライト液滴の着弾位置精度の低下が抑えられる。遮蔽体にはサテライト液滴のみを通す通過孔が形成されているため、サテライト液滴が飛翔する空間が遮蔽体により覆われていても、ノズルから噴射されたサテライト液滴は通過孔を通って記録媒体に確実に着弾される。
【００１０】
本発明の液滴噴射装置において、前記遮蔽体の、前記通過孔を画成する内壁が導電性材料で形成され、前記内壁は、前記ノズルから噴射される前記サテライト液滴の電位と同じ電位に保持されていてもよい。この場合には、ノズルから噴射されたサテライト液滴が通過孔を通過する際に、サテライト液滴と通過孔を画成する内壁との間に静電気力が働かない。従って、サテライト液滴が飛翔する軌道は変化せず、サテライト液滴の飛翔の直進性が維持される。
【００１１】
本発明の液滴噴射装置において、前記飛翔軌道設定機構は、前記サテライト液滴が飛翔する軌道と、前記メイン液滴が飛翔する軌道とを異なる軌道に設定する。この場合には、メイン液滴捕捉部によって、メイン液滴のみを容易に捕捉することができる。
【００１２】
本発明の液滴噴射装置において、前記通過孔は、前記遮蔽体の、前記メイン液滴捕捉部と近接する領域に形成され、前記遮蔽体の、前記通過孔と前記メイン液滴捕捉部との間の領域には、前記メイン液滴捕捉部により捕捉されたメイン液滴が前記通過孔に流入するのを防止する突起が形成されていてもよい。この場合には、メイン液滴捕捉部により捕捉されたメイン液滴は突起により遮られて通過孔へ移動できなくなるため、メイン液滴が通過孔に流入するのを確実に防止することができる。
【００１３】
本発明の液滴噴射装置において、前記遮蔽体の、前記通過孔と前記メイン液滴捕捉部との間の領域に、前記メイン液滴捕捉部よりも高い撥液性を有する高撥液領域が形成されていてもよい。この場合には、メイン液滴捕捉部により捕捉されたメイン液滴は高撥液領域を越えて通過孔へ移動できないため、メイン液滴が通過孔に流入するのを確実に防止することができる。
【００１４】
本発明の液滴噴射装置において、前記高撥液領域の面積は、前記メイン液滴捕捉部側ほど小さくてもよい。この場合には、メイン液滴の一部が高撥液領域に付着したときに、このメイン液滴は、高撥液領域の面積が小さく、撥液性が低い領域の面積が大きいメイン液滴捕捉部側へ移動するため、メイン液滴が通過孔へ流れるのが確実に防止される。
【００１５】
本発明の液滴噴射装置において、前記高撥液領域の撥液性は、前記メイン液滴捕捉部側ほど低い。この場合には、メイン液滴の一部が高撥液領域に付着したときに、このメイン液滴は、撥液性の低いメイン液滴捕捉部側へ移動するため、メイン液滴が通過孔へ流れるのを確実に防止できる。
【００１６】
本発明の液滴噴射装置において、前記飛翔軌道設定機構は、前記サテライト液滴が飛翔する軌道と前記メイン液滴が飛翔する軌道とを同じ軌道に設定し、
前記メイン液滴捕捉部の先端部は、前記空間の、前記ノズルの軸線方向から見て、前記メイン液滴と部分的に重なり、且つ、前記サテライト液滴とは重ならない領域に配置されていてもよい。この場合には、、メイン液滴捕捉部によりメイン液滴のみを捕捉するために、メイン液滴の飛翔軌道とサテライト液滴の飛翔軌道とを異ならせる必要がなく、液滴噴射装置の構成が簡単になる。
【００１７】
本発明の液滴噴射装置は、さらに前記ノズルに連なる液体流路を備え、前記メイン液滴捕捉部には、前記液体流路に連通し、捕捉した前記メイン液滴を前記液体流路に戻す回収流路が形成されていてもよい。この場合には、メイン液滴捕捉部により捕捉されたメイン液滴を廃棄することなく再利用でき、液体の消費量を少なくすることができる。
【００１８】
本発明の第２の態様に従えば、物体に対して、メイン液滴及び前記メイン液滴よりも液滴体積の小さいサテライト液滴を噴射する液滴噴射装置であって、ノズルと、前記ノズルから噴射される前記メイン液滴が飛翔する軌道と前記サテライト液滴が飛翔する軌道をそれぞれ設定する飛翔軌道設定機構と、前記ノズルから前記物体に向かって飛翔する前記サテライト液滴の直進性を維持する飛翔直進性維持機構と、前記ノズルから噴射された前記メイン液滴には接触し且つ前記サテライト液滴には接触しない位置に配置された、前記メイン液滴のみを捕捉するメイン液滴捕捉部とを備える液滴噴射装置が提供される。
【００１９】
本発明の第２の態様によれば、飛翔直進性維持機構によりサテライト液滴の直進性が維持されるため、サテライト液滴の飛翔軌道が変化して、物体（記録媒体）に対するサテライト液滴の着弾位置精度が低下するのを抑制できる。
【００２０】
本発明の第３の態様に従えば、物体に対して、メイン液滴及び前記メイン液滴よりも液滴体積の小さいサテライト液滴を噴射する液滴噴射装置であって、ノズルと、前記ノズルと前記物体との間の、前記ノズルから噴射された前記サテライト液滴が飛翔する空間を覆う遮蔽体と前記空間の、前記ノズルから噴射された前記メイン液滴には接触し且つ前記サテライト液滴には接触しない位置に配置された、前記メイン液滴のみを捕捉するメイン液滴捕捉部とを備え、前記遮蔽体の、前記ノズル及び前記物体と対向する領域には、前記サテライト液滴のみを通過させる孔が形成されている液滴噴射装置が提供される。
【００２１】
本発明の第３の態様によれば、ノズルと物体（記録媒体）との間の、ノズルから噴射されたサテライト液滴が飛翔する空間を覆う遮蔽体には、サテライト液滴のみを通過させる孔が形成されているので、記録媒体にサテライト液滴のみを着弾でき、記録媒体に微小なドットを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、液滴噴射装置として、ノズルから記録用紙（物体、記録媒体）に対してインクを噴射するインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタに本発明を適用した一例である。
【００２３】
まず、インクジェットプリンタ１００について説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１００は、走査方向（図１の左右方向）に移動可能なキャリッジ１０１と、このキャリッジ１０１に設けられて記録用紙Ｐに対してインクを噴射するシリアル式のインクジェットヘッド１と、記録用紙Ｐを紙送り方向（図１の前方）へ搬送する搬送ローラ１０２を備えている。インクジェットヘッド１は、キャリッジ１０１と一体的に走査方向へ移動して、キャリッジ１０１の下面に形成されたノズル２０（図２〜図６参照）の出射口２４から記録用紙Ｐに対してインクを噴射する。そして、インクジェットヘッド１により記録された記録用紙Ｐは、搬送ローラ１０２により紙送り方向へ排出される。
【００２４】
次に、インクジェットヘッド１について説明する。図２〜図５に示すように、インクジェットヘッド１は、ノズル２０及び圧力室１４を含むインク流路が形成された流路ユニット２と、この流路ユニット２の上面に配置されて、圧力室１４内のインクに噴射圧力を付与する圧電アクチュエータ３とを備えている。
【００２５】
まず、流路ユニット２について説明する。図３に示すように、流路ユニット２はキャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及びノズルプレート１３を備えており、これら４枚のプレート１０〜１３が積層状態で接着されている。また、これら４枚のプレート１０〜１３はそれぞれステンレス鋼製の板である。これら４枚のプレート１０〜１３に、後述するマニホールド１７、圧力室１４及びノズル２０等を含むインク流路をエッチング又はプレス加工などにより容易に形成することができる。
【００２６】
図２〜図５に示すように、キャビティプレート１０には、平面に沿って配列された複数の圧力室１４が貫通孔として形成されている。これら複数の圧力室１４は上下両側から後述の振動板３０及びベースプレート１１によりそれぞれ覆われている。各圧力室１４は、平面視で略楕円形状に形成されており、その長軸方向が走査方向となるように配置されている。さらに、複数の圧力室１４は、紙送り方向（図２の上下方向）に２列に配列されている。
【００２７】
ベースプレート１１の、平面視で圧力室１４の両端部と重なる位置には、それぞれ連通孔１５，１６が形成されている。また、マニホールドプレート１２には、紙送り方向に延びるマニホールド１７が形成されている。また、図２に示すように、マニホールド１７は、平面視で、左側に配列された圧力室１４の左半分、及び、右側に配列された圧力室１４の右半分とそれぞれ重なるように配置されている。さらに、このマニホールド１７は、後述の振動板３０に形成されたインク供給口１８に連通しており、インクタンク（図示省略）からインク供給口１８を介してマニホールド１７へインクが供給される。また、マニホールドプレート１２の、平面視で複数の圧力室１４のマニホールド１７と反対側の端部と重なる位置には、それぞれ、連通孔１６に連なる連通孔１９も形成されている。
【００２８】
さらに、ノズルプレート１３の、平面視で複数の連通孔１９にそれぞれ重なる位置には、複数のノズル２０が形成されている。図２に示すように、複数のノズル２０は、２列に配列された複数の圧力室１４のマニホールド１７と反対側の端部と重なっており、インクジェットヘッド１の左右方向略中央部において、紙送り方向に等間隔のピッチで２列に配列されている。尚、図６Ａに示すように、ノズル２０の出射口２４が形成されたノズルプレート１３の下面には、ノズル２０から噴射されたインクが出射口２４付近に付着するのを防止する撥液膜２５が全面的に形成されている。
【００２９】
そして、図５に示すように、マニホールド１７は連通孔１５を介して圧力室１４に連通し、圧力室１４は、連通孔１６，１９を介してノズル２０に連通している。このように、流路ユニット２内には、マニホールド１７から圧力室１４を経てノズル２０に至る複数の個別インク流路２１が形成されている。
【００３０】
ここで、図５、図６Ａ，Ｂに示すように、各ノズル２０の水平断面は略円形に形成され、鉛直断面はテーパー状に形成されている。各ノズル２０の軸線Ｌは鉛直方向に対して平行である。また、各ノズル２０の内壁には、深さ方向がノズルの径方向外側（図６の左方）であって、ノズル２０の下端の出射口２４からノズル２０の上端に亙って延在する切欠部２２が形成されている。つまり、図６Ｂに示すように、ノズル２０の出射口２４の一部は、平面視で、円形の縁から、ノズル２０の軸線Ｌから離れるように、ノズル２０の径方向外側（図６Ｂの左方）へ向かって膨らんだ形状に形成されている。ノズル２０は、液滴体積の比較的大きなメイン液滴を噴射し、さらに、このメイン液滴の噴射に伴ってメイン液滴よりも液滴体積の小さいサテライト液滴を噴射することが可能である。即ち、メイン液滴が、ノズル２０からノズル２０の軸線Ｌに沿って噴射されたときには、このメイン液滴の基端部が切欠部２２に引っ張られてメイン液滴から分離する。この分離した部分が、メイン液滴よりも液滴体積の小さなサテライト液滴となって、切欠部２２の延在方向、即ち、軸線Ｌに対して所定角度傾いた方向に沿って、軸線Ｌから離れるように飛翔する（図１０参照）。つまり、サテライト液滴の飛翔軌道は、メイン液滴の飛翔軌道と異なる。このように、メイン液滴の飛翔軌道とサテライト液滴の飛翔軌道が異なっているため、後述するように、メイン液滴のみを捕捉してサテライト液滴だけを記録用紙Ｐに着弾させることを容易に実現することができる。尚、切欠部２２を有するノズル２０は、本願発明に用いられる飛翔軌道設定機構に相当する。
【００３１】
次に、圧電アクチュエータ３について説明する。図２〜図５に示すように、圧電アクチュエータ３は、流路ユニット２の上面に配置された振動板３０と、この振動板３０の上面に複数の圧力室１４に跨って連続的に形成された圧電層３１と、この圧電層３１の上面に複数の圧力室１４にそれぞれ対応して形成された複数の個別電極３２とを有する。
【００３２】
振動板３０は、平面視で略矩形状の、導電性を有する金属板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板３０は、キャビティプレート１０の上面に複数の圧力室１４を覆うように配設され、キャビティプレート１０の上面に接合されている。また、この振動板３０は常にグランド電位に保持されており、複数の個別電極３２に対向して個別電極３２と振動板３０との間の圧電層３１に厚み方向の電界を作用させる共通電極を兼ねている。
【００３３】
振動板３０の表面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電層３１が形成されている。この圧電層３１は、複数の圧力室１４に跨って連続的に形成されている。この圧電層３１は、例えば、超微粒子材料を高速で衝突させて堆積させるエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）を用いて形成できる。その他、ゾルゲル法、スパッタ法、水熱合成法、あるいは、ＣＶＤ（化学蒸着）法を用いることもできる。さらに、ＰＺＴのグリーンシートを焼成することにより得られた圧電シートを振動板３０の表面に貼り付けて圧電層３１を形成することもできる。
【００３４】
圧電層３１の上面には、圧力室１４に対応して、圧力室１４よりも一回り小さい略楕円形の個別電極３２がそれぞれ形成されている。個別電極３２は、平面視で、対応する圧力室１４の中央部に重なる位置に形成されている。また、個別電極３２は金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタンなどの導電性材料からなる。複数の個別電極３２の一端部（マニホールド１７側の端部）からは、それぞれ、複数の接点部３５が個別電極３２の長軸方向に引き出されている。これら複数の接点部３５には、Flexible Printed Circuit（ＦＰＣ）等の可撓性を有する配線部材（図示省略）の接点が接合される。複数の個別電極３２は、この配線部材を介して、複数の個別電極３２に対して選択的に駆動電圧を供給する駆動回路（図示省略）と電気的に接続されている。尚、複数の個別電極３２及び複数の接点部３５は、例えば、スクリーン印刷、スパッタ法、あるいは、蒸着等により形成することができる。
【００３５】
次に、インク噴射時における圧電アクチュエータ３の作用について説明する。複数の個別電極３２に対して駆動回路から選択的に駆動電圧が印加されると、駆動電圧が供給された圧電層３１上側の個別電極３２とグランド電位に保持されている圧電層３１下側の共通電極（振動板３０）の電位が異なる状態となる。このとき、個別電極３２と振動板３０との間に挟まれた圧電層３１に、圧電層の厚み方向の電界が生じる。ここで、圧電層３１の分極方向と電界の方向とが同じ場合には、圧電層はその分極方向である厚み方向に伸びて、水平方向に収縮する。そして、この圧電層３１の収縮変形に伴って振動板３０が圧力室１４側に凸となるように変形する。そのため、圧力室１４内の容積が減少して圧力室１４内のインクに圧力が付与され、圧力室１４に連通するノズル２０からインクの液滴が噴射される。
【００３６】
ところで、前述のように、ノズル２０は、液滴体積が大きなメイン液滴を噴射するとともに、このメイン液滴の噴射動作に伴ってメイン液滴よりも液滴体積の小さいサテライト液滴を噴射する。しかし、記録用紙Ｐに高画質の画像等を形成するために、液滴体積の小さなサテライト液滴だけを記録用紙Ｐに着弾させるには、ノズル２０と記録用紙Ｐとの間において、液滴体積の大きなメイン液滴を捕捉する構成が必要になる。
【００３７】
また、インクジェットヘッド１が搭載されたキャリッジ１０１（図１参照）の往復動作などに起因して、ノズル２０の出射口２４が形成されたノズルプレート１３の下面と記録用紙Ｐとの間の、サテライト液滴が飛翔する空間２８に空気の流れが生じたときに、サテライト液滴の体積（及び重量）が非常に小さいために、サテライト液滴が気流に流されてその飛翔方向が変化してしまう虞がある。また、サテライト液滴が飛翔する空間２８に外部から塵等の異物が飛散してきたときに、この異物にサテライト液滴が衝突して飛翔方向が変わってしまう虞もある。サテライト液滴の飛翔方向が変化すると、記録用紙Ｐ上での液滴の着弾位置が、所望の位置からずれて、印字品質が低下してしまう。
【００３８】
そこで、図２、図３、図５、及び、図７〜図９に示すように、複数のノズル２０が形成されたノズルプレート１３と記録用紙Ｐとの間には、メイン液滴のみを捕捉し、ノズル２０から噴射されたサテライト液滴が飛翔する空間２８を画成するカバー部材４０（遮蔽体）が設けられている。サテライト液滴は、カバー部材４０によって、空間２８の外側の空間から遮蔽されている。
【００３９】
カバー部材４０は、サテライト液滴が飛翔する空間２８を下方（記録用紙Ｐ側）から覆う底壁部４１と、空間２８を側方（四方）から取り囲む側壁部４２とが一体形成された金属材料によって形成され、平面視で略矩形の、箱状の構造を有する。図２、図３、図７に示すように、側壁部４２は、２列のノズル２０の列が配置された領域が平面視でカバー部材４０内に収まるように、ノズルプレート１３の下面に接合されている。尚、金属製の流路ユニット２（ノズルプレート１３）とカバー部材４０は導電性接着剤を介して接合されており、これら流路ユニット２とカバー部材４０は互いに同じ電位になっている。また、これら流路ユニット２とカバー部材４０は図示しない部分において接地される。
【００４０】
図５、図７〜図９に示すように、底壁部４１の上面の、２列のノズル２０の列とそれぞれ対向する位置には、ノズル２０の配列方向（紙送り方向）に延びる２つの平坦なメイン液滴捕捉部４３がそれぞれ形成されている。ここで、メイン液滴捕捉部４３はノズル２０の軸線Ｌ（図９における破線の矢印）上に位置している。そのため、ノズル２０の軸線Ｌに沿って飛翔するメイン液滴はメイン液滴捕捉部４３に接触するが、ノズル２０の軸線Ｌに対して所定角度傾いた方向に飛翔するサテライト液滴はメイン液滴捕捉部４３に接触しない。
【００４１】
また、底壁部４１の、２つのメイン液滴捕捉部４３の内側の領域には、これらメイン液滴捕捉部４３に近接する複数の通過孔４４が、複数のノズル２０にそれぞれ対応して形成されている。図７に示すように、これら複数の通過孔４４は、２列のノズル２０の列にそれぞれ対応して、それらの配列方向に沿って２列に配列されている。各通過孔４４は、底壁部４１の、ノズル２０の軸線Ｌに対して所定角度傾いた方向に沿って飛翔するサテライト液滴の飛翔軌道（図９における実線の矢印）上の位置において、サテライト液滴の飛翔軌道に沿って底壁部４１を貫通する貫通孔として形成されている。また、底壁部４１の、メイン液滴捕捉部４３と通過孔４４の列の間には、上方へ突出する突起部４５が、メイン液滴捕捉部４３と平行に形成されており、メイン液滴捕捉部４３と、底壁部４１の通過孔４４が形成された領域とが突起部４５により隔てられている。
【００４２】
そして、圧電アクチュエータ３により圧力室１４内のインクに圧力が付与されると、図１０Ａに示すように、まず、ノズル２０から、液滴体積の大きいメイン液滴Ｄａがノズル２０の軸線Ｌに沿って噴射される。さらに、図１０Ｂに示すように、このメイン液滴Ｄａの基端部（上端部）が切欠部２２に引っ張られてメイン液滴Ｄａから分離する。そして、図１０Ｃに示すように、この分離した部分がメイン液滴Ｄａよりも液滴体積の小さなサテライト液滴Ｄｂとなって、切欠部２２が延びる方向に沿って（ノズル２０の軸線Ｌに対して所定角度傾いた方向に沿って）飛翔する。
【００４３】
ここで、メイン液滴Ｄａは軸線Ｌに沿って飛翔するため、この軸線Ｌ上に位置するメイン液滴捕捉部４３に捕捉される。そのため、メイン液滴Ｄａは記録用紙Ｐには着弾しない。一方、サテライト液滴Ｄｂは、切欠部２２が延びる方向（軸線Ｌに対してに所定角度傾いた方向）に向かって飛翔する。従って、サテライト液滴Ｄｂは、軸線Ｌ上にあるメイン液滴捕捉部４３に接触することはなく、切欠部２２が延びる方向において、メイン液滴捕捉部４３に近接して形成された通過孔４４を通過して、記録用紙Ｐに到達する。つまり、図１０Ｄに示すように、液滴体積の小さなサテライト液滴Ｄｂだけが通過孔４４を通って記録用紙Ｐに着弾し、記録用紙Ｐに小さなドットが形成される。尚、メイン液滴捕捉部４３と、底壁部４１の通過孔４４が形成された領域とは突起部４５により隔てられているため、メイン液滴捕捉部４３に捕捉された（着弾した）メイン液滴Ｄａは突起部４５に遮られて通過孔４４内へ移動できない。そのため、メイン液滴Ｄａが通過孔４４に流入するのが確実に防止される。
【００４４】
また、図３、図５、図７〜図９に示すように、カバー部材４０には、メイン液滴捕捉部４３により捕捉されたメイン液滴を流路ユニット２内のインク流路に戻す回収流路４６が形成されている。この回収流路４６は、底壁部４１内に形成され、メイン液滴捕捉部４３に連なる水平流路４７と、側壁部４２内に形成され、水平流路４７に連なる鉛直流路４８とを有する。図７、図９に示すように、底壁部４１には、水平面に沿って、紙送り方向（図７の上下方向）に延びるメイン液滴捕捉部４３から走査方向（図７の左右方向）両側に位置する側壁部４２まで延在する２つの水平流路４７が形成されており、各水平流路４７の流路面積は側壁部４２に向かうほど狭い。また、走査方向両側に位置する側壁部４２には、それぞれ、水平流路４７に連通し且つ鉛直方向に延びる鉛直流路４８が３つずつ形成されている。図３、図５に示すように、これら鉛直流路４８はそれぞれマニホールド１７に連通している。
【００４５】
そして、メイン液滴がメイン液滴捕捉部４３に捕捉されたときには、このメイン液滴は毛管力により水平流路４７内に引き込まれ、鉛直流路４８を介してマニホールド１７に戻される。従って、メイン液滴捕捉部４３で捕捉されたメイン液滴を廃棄することなく再利用することができるため、インクの消費量を減らすことができる。尚、マニホールド１７とカバー部材４０の回収流路４６との間に、マニホールド１７から回収流路４６へインクが逆流するのを防止する、逆止弁又はポンプなどの逆流防止機構が設けられていてもよい。
【００４６】
以上説明したように、カバー部材４０は、ノズルプレート１３と記録用紙Ｐとの間の、サテライト液滴が飛翔する空間２８の周囲（側方及び下方）を、通過孔４４の部分を除いて完全に遮蔽している。そのため、この空間２８と、空間２８の外部との間で空気の流出及び流入が制限され、空間２８内の空気の流れが生じにくくなる。また、空間２８の外部から塵等の異物が飛散してくるのも抑制される。従って、サテライト液滴の飛翔軌道の直進性が維持されることから、その着弾位置精度の低下が抑制される。尚、このカバー部材４０が本願発明に用いられる飛翔直進性維持機構に相当する。また、サテライト液滴が飛翔する空間２８をその周囲から遮蔽する部分（底壁部４１及び側壁部４２）と、メイン液滴捕捉部４３とが一体形成されているため、これらが別々の部材で構成されている場合に比べて部品点数が少なくなり、製造コストの低減が可能になる。
【００４７】
尚、前述したように、金属製の流路ユニット２（ノズルプレート１３）とカバー部材４０は導電性接着剤を介して接合されている。使用されるインクが、例えば水を主成分とするような、導電性を有するインクである場合には、流路ユニット２内のインクとカバー部材４０とは同じ電位である。つまり、サテライト液滴と通過孔４４の内壁とが同じ電位であることから、サテライト液滴が通過孔４４を通過する際に、サテライト液滴と通過孔４４の内壁との間に静電気力が働かず、サテライト液滴の飛翔軌道の直進性が確実に維持される。
【００４８】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００４９】
〈第１変更形態〉
前記実施形態では、メイン液滴捕捉部４３により捕捉されたメイン液滴が通過孔４４に流入するのを防止することを目的として、メイン液滴捕捉部４３と通過孔４４の間に突起部４５が形成されている（例えば、図５参照）。しかしながら、図１１、図１２に示すように、カバー部材４０Ａの底壁部４１Ａの上面の、メイン液滴捕捉部４３と通過孔４４の間に、前述の突起部４５の代わりに、メイン液滴捕捉部４３よりも撥液性が高い高撥液領域５０が形成されていてもよい。この構成でも、メイン液滴捕捉部４３に着弾したメイン液滴は高撥液領域５０を越えて通過孔４４へ移動することができないため、メイン液滴が通過孔４４に流入するのが確実に防止される。
【００５０】
〈第２変更形態〉
さらに、この第１変更形態において、高撥液領域の面積が、メイン液滴捕捉部側の領域ほど少なくなるように形成されていてもよく、例えば、図１３に示すように、高撥液領域５０Ｂのメイン液滴捕捉部４３側の部分が、尖鋭な角部を有するジグザグの形状に形成されて、メイン液滴捕捉部４３側ほど高撥液領域５０Ｂの面積が小さくなっていてもよい。
【００５１】
〈第３変更形態〉
高撥液領域の撥液性が、メイン液滴捕捉部側の領域ほど低くてもよい。図１４に示すように、高撥液領域５０Ｃのメイン液滴捕捉部４３側の部分に複数の穴５１が形成されており、メイン液滴捕捉部４３側ほど高撥液領域５０Ｃの面積が減少するように、複数の穴５１がメイン液滴捕捉部４３側ほど密集して配置されていてもよい。
【００５２】
〈第４変更形態〉
図１５に示すように、高撥液領域５０Ｄが、走査方向（図１５の左右方向）に隣接して配置された２種類の領域（第１高撥液領域５２及び第２高撥液領域５３）を有し、メイン液滴捕捉部４３側に位置する第２高撥液領域５３の撥液性が、第１高撥液領域５２の撥液性よりも低くてもよい。第２変更形態から第４変更形態の構成によれば、メイン液滴がメイン液滴捕捉部４３と高撥液領域５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄの両方に着弾したときなど、メイン液滴の一部が高撥液領域５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄに付着したときに、このメイン液滴は、撥液性の小さいメイン液滴捕捉部４３側へ移動する。そのため、メイン液滴が通過孔４４へ流れるのが確実に防止される。
【００５３】
〈第５変更形態〉
メイン液滴とサテライト液滴を噴射するインクジェットヘッドとしては、前記実施形態及び前記変更形態の構成のインクジェットヘッドに限られない。例えば、図１６に示す第５変更形態のインクジェットヘッド１Ｅの流路ユニット２Ｅは、１つの圧力室１４に連通する２つのノズル６０，６１を有する。２つのノズル６０，６１は、走査方向（図１６の左右方向）に近接して配置されており、これら２つのノズル６０，６１の軸線（即ち、２つのノズル６０，６１からそれぞれ噴射される液滴の飛翔軌道）は互いに交差している。また、カバー部材４０Ｅの底壁部４１Ｅの、２つのノズル６０，６１と対向する位置には平坦なメイン液滴捕捉部４３Ｅが形成されている。また、メイン液滴捕捉部４３Ｅの走査方向一方側（図１６の左側）の、ノズル６０の軸線（図１６の矢印）上の位置には、この軸線に沿って底壁部４１Ｅを貫通する通過孔４４Ｅが形成されている。
【００５４】
この第５変更形態のインクジェットヘッド１Ｅのインク噴射動作について説明する。圧電アクチュエータ３により圧力室１４内のインクに圧力が付与されると、図１６の右側に位置するノズル６０からメイン液滴Ｄａが噴射され、さらに、このメイン液滴Ｄａの噴射動作に伴ってノズル６０からサテライト液滴Ｄｂも噴射される。同時に、図１６の左側に位置するノズル６１からも液滴Ｄｃが噴射され、２つのノズル６０，６１からそれぞれ噴射された液滴Ｄａと液滴Ｄｃが衝突して合体する。このとき、ノズル６０から噴射されたメイン液滴Ｄａの飛翔方向が破線の矢印方向に変化して、サテライト液滴Ｄｂの飛翔方向（実線の矢印）と異なる。メイン液滴Ｄａはカバー部材４０Ｅのメイン液滴捕捉部４３Ｅに着弾して、メイン液滴捕捉部４３Ｅに捕捉される。一方、ノズル６０から噴射されたサテライト液滴Ｄｂは、ノズル６０の軸線に沿って飛翔して通過孔４４Ｅを通過し、メイン液滴捕捉部３３Ｅに接触することはない。従って、サテライト液滴Ｄｂだけが記録用紙Ｐに着弾して、記録用紙Ｐに小さなドットが形成される。尚、メイン液滴Ｄａとサテライト液滴Ｄｂを異なる飛翔軌道で飛翔させる２つのノズル６０，６１が、本願発明に用いられる飛翔軌道設定機構に相当する。また、この第５変更形態においても、前述の第１変更形態と同様に、底壁部４１Ｅの、メイン液滴捕捉部４３Ｅと通過孔４４Ｅの間には、メイン液滴捕捉部４３Ｅよりも撥液性の高い高撥液領域５０が形成されており、メイン液滴捕捉部４３Ｅに捕捉されたメイン液滴Ｄａが通過孔４４Ｅに流入するのが防止される。
【００５５】
〈第６変更形態〉
前記実施形態では、メイン液滴が飛翔する軌道とサテライト液滴が飛翔する軌道は互いに異なる。しかしながら、メイン液滴が飛翔する軌道とサテライト液滴の飛翔軌道が同じであっても、メイン液滴のみを捕捉し、サテライト液滴だけを記録用紙Ｐに着弾させることは可能である。例えば、図１７に示す第６変更形態のインクジェットヘッド１Ｆにおいては、ノズル２０Ｆの水平断面形状は円形であり、ノズル２０Ｆの鉛直断面形状はテーパー状であり、ノズル２０Ｆの軸線Ｌは鉛直方向に延びている。そのため、図１８に示すように、ノズル２０Ｆから噴射されたメイン液滴Ｄａとサテライト液滴Ｄｂは共に鉛直方向下方に飛翔する。
【００５６】
図１７〜図１９に示すように、カバー部材４０Ｆの底壁部４１Ｆには、図１７の右方から、ノズル２０Ｆの下側の、ノズル２０Ｆの軸線Ｌの近傍まで水平に突出したメイン液滴捕捉部４３Ｆが設けられている。このメイン液滴捕捉部４３Ｆの先端部は、液滴の飛翔方向である下方ほどノズル２０Ｆの軸線Ｌから離れる方向に傾斜しており、さらに、メイン液滴捕捉部４３Ｆは、カバー部材４０Ｆの内部に形成された回収流路４６Ｆに連なっている。また、図１８に示すように、軸線Ｌの方向から見て、メイン液滴捕捉部４３Ｆの先端は、その中心がノズル２０Ｆの軸線Ｌと一致した状態で飛翔するメイン液滴Ｄａとは部分的に重なるが、その中心がノズル２０Ｆの軸線Ｌと一致した状態で飛翔するサテライト液滴Ｄｂとは重ならない領域に配置されている。即ち、メイン液滴捕捉部４３Ｆは、メイン液滴Ｄａには接触するが、サテライト液滴Ｄｂには接触しない位置に配置されている。このような配置は、サテライト液滴Ｄｂの体積がメイン液滴Ｄａの体積よりも非常に小さく（例えば、数十分の一以下）、液滴径も小さくなることから実現可能である。一方、図１７に示すように、底壁部４１Ｆの、メイン液滴捕捉部４３Ｆより左側の、ノズル２０Ｆの軸線上の位置には、軸線Ｌに平行な通過孔４４Ｆが形成されている。
【００５７】
この第６変更形態のインクジェットヘッド１Ｆのインク噴射動作について説明する。圧電アクチュエータ３により圧力室１４内のインクに圧力が付与されると、図２０Ａに示すように、まず、ノズル２０Ｆから、液滴体積の大きいメイン液滴Ｄａが、ノズル２０Ｆの軸線Ｌに沿って下方へ噴射される。このとき、メイン液滴Ｄａの基端部がノズル２０Ｆ側へ引っ張られて分離する。図２０Ｂに示すように、この分離した部分がサテライト液滴Ｄｂとなってメイン液滴Ｄａと同じくノズル２０Ｆの軸線Ｌに沿って下方へ飛翔する。
【００５８】
ここで、メイン液滴捕捉部４３Ｆの先端部は、底壁部４１Ｆの、ノズル２０Ｆの軸線Ｌに沿って飛翔するメイン液滴Ｄａと部分的に重なるが、ノズル２０Ｆの軸線Ｌに沿って飛翔するサテライト液滴Ｄｂとは重ならない領域に配置されている。そのため、図２０Ｂに示すように、液滴径の大きいメイン液滴Ｄａはメイン液滴捕捉部４３Ｆの先端部に捕捉されるが、図２０Ｃに示すように、液滴径の小さいサテライト液滴Ｄｂは捕捉されない。
【００５９】
さらに、メイン液滴捕捉部４３Ｆの先端部は、液滴の飛翔方向である下方ほどノズル２０Ｆの軸線Ｌから離れる方向に傾斜している。そのため、先にノズル２０Ｆから噴射されて、メイン液滴捕捉部４３Ｆの先端部に捕捉されたメイン液滴Ｄａは、図２０Ｂに矢印に示すように、ノズル２０Ｆの軸線Ｌから離れる方向に移動して回収流路４６Ｆにより回収される。従って、メイン液滴Ｄａに続いて飛翔するサテライト液滴Ｄｂがメイン液滴Ｄａから影響を受けることはなく、図２０Ｄに示すように、サテライト液滴Ｄｂが通過孔４４Ｆを通って記録用紙Ｐに着弾する。尚、第６変更形態において、メイン液滴Ｄａとサテライト液滴Ｄｂを同じ飛翔軌道で飛翔させるノズル２０Ｆが本願発明に用いられる飛翔軌道設定機構に相当する。第６変更形態の構成によれば、メイン液滴のみを捕捉するために、メイン液滴の飛翔軌道とサテライト液滴の飛翔軌道とが異なる必要がなく、インクジェットヘッドの構成が簡単になる。
【００６０】
前記実施形態及び前記変更形態では、カバー部材４０は、サテライト液滴が飛翔するノズルプレート１３の下側の空間２８を側方と下方から、完全に取り囲んでいる（図３参照）。しかしながら、空間２８を側方から取り囲むだけでも、空間２８内に気流が生じたり、あるいは、外部から異物が飛翔してきたりするのをかなり抑制でき、サテライト液滴の直進性を維持する効果が十分得られる。さらには、少なくとも側方の一方から空間２８を板状の部材で遮蔽するだけでも、ある程度の効果は得られる。
【００６１】
カバー部材４０内の空間２８とカバー部材４０の外に飛び出したサテライト液滴Ｄｂが記録用紙Ｐに着弾するまでに飛翔する空間とを減圧してもよい。例えば、インクジェットプリンタが、インクジェットヘッド１と記録用紙Ｐが搬送される空間とを遮蔽するサブシャーシと、このサブシャーシ内の空間を減圧するポンプとを有し、少なくとも記録用紙Ｐへの記録中にポンプが作動させるように構成されていてもよい。この構成では、サテライト液滴Ｄｂが飛翔する空間内において、サテライト液滴Ｄｂの飛翔軌道に影響を及ぼす気体の流れが小さくなるため、着弾精度の低下を抑制することが可能になる。また、インクジェットプリンタ全体が減圧室内に設置された状態で記録を行うように構成されていてもよい。
【００６２】
上記実施形態及び変更形態ではノズルプレート１３は導電性を有する金属材料で形成されているが、ノズルプレート１３がポリイミドなどの合成樹脂材料で形成されていてもよい。この場合には、エキシマレーザー等を用いたレーザー加工により複数のノズルを容易に形成することができる。尚、前記実施形態のように、インクの液滴とカバー部材４０の通過孔４４の内壁の電位を等しくして両者の間に静電気力が生じるのを防止する必要がある場合には、カバー部材４０をノズルプレート１３以外の金属プレート１０〜１２と導通させるか、あるいは、カバー部材４０を直接接地すればよい。また、カバー部材４０の全体が導電性材料で形成されている必要もなく、少なくとも通過孔４４の内壁部分だけが導電性材料で形成されていてもよい。この場合には、通過孔４４の内壁部分が、導電性を有する流路ユニット２と導通されたり、あるいは、直接接地されるなどして、インクと同じ電位に保持されていればよい。
【００６３】
上記実施形態及び変更形態では、各ノズルに対応して、カバー部材にそれぞれ通過孔が形成されているが、通過孔の配置、形状は任意であり、例えば、複数のノズルに対応して、例えばノズルの配列方向に細長い１つの通過孔が形成されていてもよい。また、上記実施形態及び変更形態では、インクジェットヘッドは、１つのカバー部材を有しているが、カバー部材の数は任意にし得る。例えば、例えば、インクジェットヘッドは、インクの色に対応した複数のカバー部材を有していてもよく、あるいは、各ノズル毎に対応するカバー部材、又は複数のノズルのグループ毎に対応したカバー部材を有していてもよい。また、カバー部材に形成された通過孔は、ノズルの軸方向に対して傾いていてもよく、ノズルの軸方向と平行であってもよい。さらに、通過孔の断面形状は、液滴の進行方向に向かって開いた形状であってもよく、逆に、進行方向に向かって先細りの形状であってもよい。カバー部材に形成された通過孔の、液滴の進行方向の出口側の開口の周囲に、高撥液性の領域（液体の濡れ角が９０°以上である領域）が形成されていてもよい。この場合には、開口付近に付着した液滴が、通過孔に進入するのが防止される。さらに、カバー部材は、流路ユニットに対して、例えば嵌合機構などによって着脱可能に設けられていてもよい。その際、カバー部材を取り外した際に、マニホールドが外気にさらされないように、逆止弁などが設けられていることが望ましい。このように、カバー部材が着脱可能である場合には、例えばメンテナンスの際に、ノズル近傍に付着したインクや埃などを容易に除去することができる。
【００６４】
以上説明した実施形態及びその変更形態は、シリアル式のインクジェットプリンタに本発明を適用した一例であるが、記録用紙の幅方向に長いライン式のインクジェットプリンタに本発明を適用することもできる。
【００６５】
また、インクジェットプリンタ以外の液滴噴射装置に本発明を適用することもできる。例えば、導電ペーストを噴射して基板上に微細な配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に噴射して高精細ディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に噴射して光導波路等の微小光学デバイスを形成する場合にも、非常に小さな液滴を噴射する、種々の液滴噴射装置に本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２のIII-III線断面図である。
【図４】図２の一部拡大図である。
【図５】図４のV-V線断面図である。
【図６】ノズル周辺部の拡大図であり、図６Ａは断面図、図７Ｂは下方から見た図をそれぞれ示す。
【図７】カバー部材の平面図である。
【図８】図７の一部拡大図である。
【図９】カバー部材の一部拡大斜視図である。
【図１０】ノズルからの液滴の噴出動作を説明する説明図であり、図１０Ａはインク噴出開始時の状態、図１０Ｂはサテライト液滴が飛翔する直前の状態、図１０Ｃはメイン液滴が捕捉されて回収されたときの状態、図１０Ｄはサテライト液滴が記録用紙に着弾したときの状態をそれぞれ示す。
【図１１】第１変更形態のインクジェットヘッドの図５相当の断面図である。
【図１２】第１変更形態のカバー部材の一部拡大図である。
【図１３】第２変更形態のカバー部材の一部拡大図である。
【図１４】第３変更形態のカバー部材の一部拡大図である。
【図１５】第４変更形態のカバー部材の一部拡大図である。
【図１６】第５変更形態のインクジェットヘッドのインク噴射動作を示す図である。
【図１７】第６変更形態のインクジェットヘッドの図５相当の断面図である。
【図１８】ノズル周辺部の拡大図であり、図１８Ａは断面図、図１８Ｂは下方から見た図をそれぞれ示す。
【図１９】第６変更形態のカバー部材の一部拡大斜視図である。
【図２０】ノズルからの液滴の噴出動作を説明する説明図であり、図２０Ａはインク噴出開始時の状態、図２０Ｂはメイン液滴がメイン液滴捕捉部に絡んだ状態、図２０Ｃはメイン液滴が回収流路内に回収されたときの状態、図２０Ｄはサテライト液滴が記録用紙に着弾したときの状態をそれぞれ示す。
【符号の説明】
【００６７】
１，１Ｅ，１Ｆ インクジェットヘッド
２０，２０Ｆ ノズル
２２ 切欠部
２８ 空間
４０，４０Ａ，４０Ｅ，４０Ｆ カバー部材
４３，４３Ｅ，４３Ｆ メイン液滴捕捉部
４４，４４Ｅ，４４Ｆ 通過孔
４５ 突起部
４６，４６Ｆ 回収流路
５０，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ 高撥液領域
６０，６１ ノズル
１００ インクジェットプリンタ
【図１】
2007118586.tif 000003
【図２】
2007118586.tif 000004
【図３】
2007118586.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2007118586.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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