(57)【要約】【課題】複数の処理ユニットを備えた基板処理装置において、各処理ユニットから取得されるデータの項目リストを効率よくかつ間違いなく作成できる技術を提供する。【解決手段】統一のフォーマットで構成されたワークシート上に各ユニット担当者が書き込みを行い、作成された複数のワークシートをメインパネル担当者が１つのリストファイルにまとめる。このため、処理ユニットごとに作成されたワークシートを１つのファイル内に貼り付けるだけでリストファイルが作成され、基板処理装置全体の項目リストを効率よくかつ間違いなく作成することができる。また、各ワークシートは第１領域と第２領域とに分けられており、第２領域には第１領域の各項目に対応した記入欄が設けられている。このため、メインパネル担当者は、追加の情報を効率よくかつ間違いなく書き込むことができる。【選択図】図３
2007305914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置に含まれる複数の処理ユニットのそれぞれにおいて取得される複数項目のデータをまとめて所定の報告先へ報告するために、前記データの項目リストを作成するリスト作成方法であって、
前記処理ユニットごとに、所定のフォーマットで構成されたシート上の第１領域に各処理ユニットにおいて取得されるデータの項目を書き込む第１工程と、
前記第１工程において前記処理ユニットごとに作成された複数のシートを１つのリストファイルにまとめる第２工程と、
前記リストファイルに含まれる前記複数のシート上の第２領域に、前記項目ごとに追加の情報を書き込む第３工程と、
を備えることを特徴とするリスト作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載のリスト作成方法であって、
前記第１工程は、前記処理ユニットごとに用意された複数のコンピュータにおいて個別に実行され、
前記第２工程および前記第３工程は、前記基板処理装置全体に対して用意された他の１つのコンピュータにおいて実行され、
前記第１工程と前記第２工程との間に、前記複数のコンピュータのそれぞれから前記１つのコンピュータへ前記シートを転送する第４工程を更に備えることを特徴とするリスト作成方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のリスト作成方法であって、
前記第１工程においては、前記複数の処理ユニットのそれぞれにおいて取得される信号中の前記データの位置を規定するデータ位置情報を、前記項目ごとに書き込むことを特徴とするリスト作成方法。
【請求項４】
請求項３に記載のリスト作成方法であって、
前記リストファイルに基づいて、前記データ位置情報の正否をチェックするためのチェックファイルを作成する第５工程を更に備えることを特徴とするリスト作成方法。
【請求項５】
請求項４に記載のリスト作成方法であって、
前記第５工程においては、前記リストファイル中に組み込まれたチェックファイル作成ボタンを操作することにより、前記チェックファイルを作成することを特徴とするリスト作成方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれかに記載のリスト作成方法であって、
前記リストファイルに基づいて、前記複数の処理ユニットのそれぞれにおいて取得されるデータを読み取り前記報告先へ報告するためのパラメータファイルを作成する第６工程を更に備えることを特徴とするリスト作成方法。
【請求項７】
請求項６に記載のリスト作成方法であって、
前記第６工程においては、前記リストファイル中に組み込まれたパラメータファイル作成ボタンを操作することにより、前記パラメータファイルを作成することを特徴とするリスト作成方法。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれかに記載のリスト作成方法であって、
前記リストファイルに基づいて、前記項目リストが所定の書式で記載された資料ファイルを作成する第７工程を更に備えることを特徴とするリスト作成方法。
【請求項９】
請求項８に記載のリスト作成方法であって、
前記第７工程においては、前記リストファイル中に組み込まれた資料ファイル作成ボタンを操作することにより、前記資料ファイルを作成することを特徴とするリスト作成方法。
【請求項１０】
請求項１から請求項９までのいずれかに記載のリスト作成方法であって、
前記複数項目のデータは、前記複数の処理ユニットのそれぞれにおいて基板を処理した結果として得られるアクチャルデータを含むことを特徴とするリスト作成方法。
【請求項１１】
請求項１から請求項９までのいずれかに記載のリスト作成方法であって、
前記複数項目のデータは、前記複数の処理ユニットから所定時間毎に取得されて前記基板処理装置の所定の記憶部に記憶され、所定の要求に応じて前記記憶部から読み出される現在値データを含むことを特徴とするリスト作成方法。
【請求項１２】
請求項１から請求項９までのいずれかに記載のリスト作成方法であって、
前記複数項目のデータは、前記複数の処理ユニットから所定の取得時間毎に取得されて前記基板処理装置の所定の記憶部に記憶され、所定の報告時間毎に前記記憶部から読み出されるトレースデータを含むことを特徴とするリスト作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置用ガラス基板や半導体ウエハ等の基板を処理する基板処理装置において取得される複数項目のデータを所定の報告先へ報告するために、データの項目リストを作成するリスト作成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基板の製造工程においては、複数の処理ユニットを備えた基板処理装置が使用されている。例えば、基板のフォトリソグラフィ工程において使用されるコータ・デベロッパ装置は、基板を洗浄する洗浄ユニット、基板の表面にフォトレジスト液を塗布する塗布ユニット、露光後の基板を現像する現像ユニット等の複数の処理ユニットを備えている。このような基板処理装置では、各処理ユニットにおいて温度や圧力などの複数項目のデータが取得され、取得されたデータが所定の記憶部に蓄積される。そして、記憶部に蓄積されたデータは、基板の製造工程全体を管理するホスト部へ必要に応じて報告される。
【０００３】
複数の処理ユニットを備えた従来の基板処理装置については、例えば特許文献１に開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２３６５１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような基板処理装置では、各処理ユニットにおいて取得される複数項目のデータをホスト部へ報告するために、データの項目リストが作成される。データの項目リストを作成するときには、まず、各処理ユニットを管理する担当者（ユニット担当者）がそれぞれの処理ユニットにおいて取得されるデータの項目リストを作成する。そして、基板処理装置全体を管理する担当者（装置担当者）が、各ユニット担当者から提出された項目リストに基づいて基板処理装置全体の項目リストを作成する。
【０００６】
しかしながら、従来では、各ユニット担当者がそれぞれ別個のフォーマットで項目リストを作成し、装置担当者へ提出していた。このため、装置担当者は装置全体の項目リストを作成する際に、改めて項目の入力作業を行わなければならず、作業効率が悪かった。また、ユニット担当者と装置担当者とが二重に入力作業を行うことにより、入力ミスが発生する恐れが高かった。特に、近年の基板処理装置では、項目リストに挙げるべきデータの項目数が増加しているため、上記の問題はより深刻化している。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、複数の処理ユニットを備えた基板処理装置において、各処理ユニットから取得されるデータの項目リストを効率よくかつ間違いなく作成できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、基板処理装置に含まれる複数の処理ユニットのそれぞれにおいて取得される複数項目のデータをまとめて所定の報告先へ報告するために、前記データの項目リストを作成するリスト作成方法であって、前記処理ユニットごとに、所定のフォーマットで構成されたシート上の第１領域に各処理ユニットにおいて取得されるデータの項目を書き込む第１工程と、前記第１工程において前記処理ユニットごとに作成された複数のシートを１つのリストファイルにまとめる第２工程と、前記リストファイルに含まれる前記複数のシート上の第２領域に、前記項目ごとに追加の情報を書き込む第３工程と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載のリスト作成方法であって、前記第１工程は、前記処理ユニットごとに用意された複数のコンピュータにおいて個別に実行され、前記第２工程および前記第３工程は、前記基板処理装置全体に対して用意された他の１つのコンピュータにおいて実行され、前記第１工程と前記第２工程との間に、前記複数のコンピュータのそれぞれから前記１つのコンピュータへ前記シートを転送する第４工程を更に備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載のリスト作成方法であって、前記第１工程においては、前記複数の処理ユニットのそれぞれにおいて取得される信号中の前記データの位置を規定するデータ位置情報を、前記項目ごとに書き込むことを特徴とする。
【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項３に記載のリスト作成方法であって、前記リストファイルに基づいて、前記データ位置情報の正否をチェックするためのチェックファイルを作成する第５工程を更に備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に係る発明は、請求項４に記載のリスト作成方法であって、前記第５工程においては、前記リストファイル中に組み込まれたチェックファイル作成ボタンを操作することにより、前記チェックファイルを作成することを特徴とする。
【００１３】
請求項６に係る発明は、請求項１から請求項５までのいずれかに記載のリスト作成方法であって、前記リストファイルに基づいて、前記複数の処理ユニットのそれぞれにおいて取得されるデータを読み取り前記報告先へ報告するためのパラメータファイルを作成する第６工程を更に備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項７に係る発明は、請求項６に記載のリスト作成方法であって、前記第６工程においては、前記リストファイル中に組み込まれたパラメータファイル作成ボタンを操作することにより、前記パラメータファイルを作成することを特徴とする。
【００１５】
請求項８に係る発明は、請求項１から請求項７までのいずれかに記載のリスト作成方法であって、前記リストファイルに基づいて、前記項目リストが所定の書式で記載された資料ファイルを作成する第７工程を更に備えることを特徴とする。
【００１６】
請求項９に係る発明は、請求項８に記載のリスト作成方法であって、前記第７工程においては、前記リストファイル中に組み込まれた資料ファイル作成ボタンを操作することにより、前記資料ファイルを作成することを特徴とする。
【００１７】
請求項１０に係る発明は、請求項１から請求項９までのいずれかに記載のリスト作成方法であって、前記複数項目のデータは、前記複数の処理ユニットのそれぞれにおいて基板を処理した結果として得られるアクチャルデータを含むことを特徴とする。
【００１８】
請求項１１に係る発明は、請求項１から請求項９までのいずれかに記載のリスト作成方法であって、前記複数項目のデータは、前記複数の処理ユニットから所定時間毎に取得されて前記基板処理装置の所定の記憶部に記憶され、所定の要求に応じて前記記憶部から読み出される現在値データを含むことを特徴とする。
【００１９】
請求項１２に係る発明は、請求項１から請求項９までのいずれかに記載のリスト作成方法であって、前記複数項目のデータは、前記複数の処理ユニットから所定の取得時間毎に取得されて前記基板処理装置の所定の記憶部に記憶され、所定の報告時間毎に前記記憶部から読み出されるトレースデータを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１〜１２に記載の発明によれば、リスト作成方法は、所定のフォーマットで構成されたシート上の第１領域に各処理ユニットにおいて取得されるデータの項目を書き込む第１工程と、第１工程において処理ユニットごとに作成された複数のシートを１つのリストファイルにまとめる第２工程と、リストファイルに含まれる複数のシート上の第２領域に項目ごとに追加の情報を書き込む第３工程と、を備える。このため、処理ユニットごとに作成されたシートを１つのファイル内にまとめるだけでリストファイルが作成され、基板処理装置全体の項目リストを効率よくかつ間違いなく作成することができる。また、各シートは第１領域と第２領域とに分けられており、第２領域では第１領域の各項目ごとに追加の情報を書き込むため、追加の情報を効率よくかつ間違いなく書き込むことができる。
【００２１】
特に、請求項２に記載の発明によれば、第１工程は、処理ユニットごとに用意された複数のコンピュータにおいて個別に実行され、第２工程および前記第３工程は、基板処理装置全体に対して用意された他の１つのコンピュータにおいて実行される。このため、複数の担当者により作業を分担して行うことができ、項目リストを更に効率よく作成することができる。
【００２２】
特に、請求項３に記載の発明によれば、第１工程においては、複数の処理ユニットのそれぞれにおいて取得される信号中のデータの位置を規定するためのデータ位置情報を、項目ごとに書き込む。このため、各処理ユニットにおいて取得される信号から複数項目のデータを適切に読み取ることができる。
【００２３】
特に、請求項４に記載の発明によれば、リスト作成方法は、リストファイルに基づいて、データ位置情報の正否をチェックするためのチェックファイルを作成する第５工程を更に備える。このため、チェックファイルを一から作成する必要はなく、チェックファイルを容易に作成することができる。
【００２４】
特に、請求項５に記載の発明によれば、第５工程においては、リストファイル中に組み込まれたチェックファイル作成ボタンを操作することにより、チェックファイルを作成する。このため、リストファイルからチェックファイルを容易に作成することができる。
【００２５】
特に、請求項６に記載の発明によれば、リスト作成方法は、リストファイルに基づいて、複数の処理ユニットのそれぞれにおいて取得されるデータを読み取り報告先へ報告するためのパラメータファイルを作成する第６工程を更に備える。このため、パラメータファイルを一から作成する必要はなく、パラメータファイルを容易に作成することができる。
【００２６】
特に、請求項７に記載の発明によれば、第６工程においては、リストファイル中に組み込まれたパラメータファイル作成ボタンを操作することにより、パラメータファイルを作成する。このため、リストファイルからパラメータファイルを容易に作成することができる。
【００２７】
特に、請求項８に記載の発明によれば、リスト作成方法は、リストファイルに基づいて、項目リストが所定の書式で記載された資料ファイルを作成する第７工程を更に備える。このため、資料ファイルを一から作成する必要はなく、資料ファイルを容易に作成することができる。
【００２８】
特に、請求項９に記載の発明によれば、第７工程においては、リストファイル中に組み込まれた資料ファイル作成ボタンを操作することにより、資料ファイルを作成する。このため、リストファイルから資料ファイルを容易に作成することができる。
【００２９】
特に、請求項１０に記載の発明によれば、複数項目のデータは、複数の処理ユニットのそれぞれにおいて基板を処理した結果として得られるアクチャルデータを含む。このため、アクチャルデータの項目リストを、効率よくかつ間違いなく作成することができる。
【００３０】
特に、請求項１１に記載の発明によれば、複数項目のデータは、複数の処理ユニットから所定時間毎に取得されて基板処理装置の所定の記憶部に記憶され、所定の要求に応じて記憶部から読み出される現在値データを含む。このため、現在値データの項目リストを、効率よくかつ間違いなく作成することができる。
【００３１】
特に、請求項１２に記載の発明によれば、複数項目のデータは、複数の処理ユニットから所定の取得時間毎に取得されて基板処理装置の所定の記憶部に記憶され、所定の報告時間毎に記憶部から読み出されるトレースデータを含む。このため、トレースデータの項目リストを、効率よくかつ間違いなく作成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００３３】
＜１．基板処理装置の全体構成＞
図１は、本発明の一実施形態に係るリスト作成方法が実行される基板処理システム１００の構成を示した図である。図１に示したように、基板処理システム１００は、基板処理装置１と、メインパネル２と、ホスト部３と、複数のコンピュータ４ａ〜４ｊとを備えている。基板処理装置１は、液晶表示装置用の角形ガラス基板（以下、単に「基板」という）に対して洗浄、レジスト塗布、現像等の処理を行ういわゆるコータ・デベロッパ装置であり、複数の処理ユニット１０〜９０を備えている。
【００３４】
図２は、基板処理装置１の詳細な構成を示した平面図である。図２に示したように、基板処理装置１は、洗浄ユニット１０、脱水ベークユニット２０、塗布ユニット３０、プリベークユニット４０、Ｉ／Ｆユニット５０、現像ユニット６０、ポストベークユニット７０、コンベアユニット８０、インデクサユニット９０、および搬送ロボット５，６，８を備えている。基板は、インデクサユニット９０にセットされたカセットＣから取り出され、各処理ユニットに搬送されて処理を受ける。そして、処理後の基板は、インデクサユニット９０に帰還して再びカセットＣへ収納される。
【００３５】
洗浄ユニット１０は、インデクサユニットに隣接した位置に配置され、基板に対して洗浄処理を行うための処理ユニットである。洗浄ユニット１０には、搬入部１１、洗浄部１２、乾燥部１３、および搬出部１４が設けられている。インデクサユニット９０においてカセットＣから取り出された基板は、洗浄ユニット１０の搬入部１１へ搬送される。洗浄ユニット１０内においては、基板は搬入部１１から搬出部１４までローラコンベアにより搬送され、搬送途中の洗浄部１２および乾燥部１３において洗浄処理および乾燥処理を受ける。洗浄部１２では、洗浄液を用いたブラシ、超音波、高圧スプレー等による洗浄処理が行われる。また、乾燥部１３においては、基板の表面に付着した液滴が乾燥ガスにより除去される。
【００３６】
脱水ベークユニット２０は、レジスト塗布前の基板に対して加熱や冷却等の熱処理を行うための処理ユニットである。脱水ベークユニット２０は、搬送ロボット５を挟んで２つの積層体２０Ｘ，２０Ｙを備えている。各積層体２０Ｘ，２０Ｙには、基板を加熱するための加熱部や基板を冷却するための冷却部等の複数の処理部が多段に積層配置されている。具体的には、塗布ユニット３０に隣接する積層体２０Ｘには、下から順に冷却部、搬入部、搬出部、加熱部、加熱部の５つの処理部が積層配置されている。一方、現像ユニット６０に隣接する積層体２０Ｙには、下から順に冷却部、通過部、冷却部、加熱部の４つの処理部が積層配置されている。洗浄ユニット１０から搬出され、ポストベークユニット７０の通過部（後述）を経由して脱水ベークユニット２０の搬入部に搬入された基板は、搬送ロボット５によって脱水ベークユニット２０内の加熱部や冷却部へ搬送され、加熱処理や冷却処理を受ける。また、処理後の基板は、搬出部から塗布ユニット３０へ搬送される。
【００３７】
塗布ユニット３０は、基板の表面にフォトレジスト液を塗布するための処理ユニットである。塗布ユニット３０は、洗浄ユニット１０および積層体２０Ｘと同じく往路側に配置されている。塗布ユニット３０には、搬入部３１、レジスト塗布部３２、乾燥部３３、エッジリンス部３４、および搬出部３５が設けられている。脱水ベークユニット２０の搬出部から搬出された基板は、塗布ユニット３０の搬入部３１へ搬入される。塗布ユニット３０内においては、基板は搬入部３１から搬出部３５までスライダにより移送され、途中のレジスト塗布部３２、乾燥部３３、およびエッジリンス部３４において、それぞれレジスト塗布処理、乾燥処理、およびエッジリンス処理を受ける。レジスト塗布部３２では、スリット状の吐出部を有するノズルから基板の表面にフォトレジスト液が塗布される。
【００３８】
プリベークユニット４０は、露光前の基板に対して加熱や冷却等の熱処理を行うための処理ユニットである。プリベークユニット４０は、搬送ロボット６を挟んで２つの積層体４０Ｘ，４０Ｙを備えている。各積層体４０Ｘ，４０Ｙには、基板を加熱するための加熱部や基板を冷却するための冷却部等の複数の処理部が多段に積層配置されている。具体的には、塗布ユニット３０に隣接する積層体４０Ｘには、下から順に冷却部、搬入部、加熱部、加熱部の４つの処理部が積層配置されている。一方、現像ユニット６０に隣接する積層体４０Ｙには、下から順に冷却部、通過部、加熱部、加熱部の４つの処理部が積層配置されている。塗布ユニット３０から搬出されてプリベークユニット４０の搬入部に搬入された基板は、搬送ロボット６によってプリベークユニット４０内の加熱部や冷却部へ搬送され、加熱処理や冷却処理を受ける。また、処理後の基板は、搬送ロボット６により取り出されて、隣接するＩ／Ｆユニット５０へ搬送される。
【００３９】
Ｉ／Ｆユニット５０は、露光装置７に対する基板の搬送タイミングを調整するための処理ユニットである。Ｉ／Ｆユニット５０は、基板を搬送するための搬送部５１と、基板を一時的に保管するためのバッファ部５２とを備えている。プリベークユニット４０から搬出された基板は、搬送部５１を経由してバッファ部５２へ搬送される。そして、バッファ部５２に保管されている基板は、所定のタイミングでバッファ部５２から取り出され、搬送部５１を経由して露光装置７へ搬出される。
【００４０】
現像ユニット６０は、露光処理後の基板に対して現像処理を行うための処理ユニットである。現像ユニット６０は、積層体４０Ｙと積層体２０Ｙとの間に配置されている。現像ユニット６０には、搬入部６１、現像部６２、水洗部６３、乾燥部６４、および搬出部６５が設けられている。露光装置７から搬出された基板は、Ｉ／Ｆユニット５０の搬送部５１およびプリベークユニット４０の通過部を経由して現像ユニット６０の搬入部６１へ搬送される。現像ユニット６０内においては、基板は搬入部６１から搬出部６５までローラコンベアにより搬送され、搬送途中の現像部６２、水洗部６３、および乾燥部６４において、それぞれ現像処理、水洗処理、および乾燥処理を受ける。現像部６２では、所定のノズルから基板の表面に現像液が塗布される。
【００４１】
ポストベークユニット７０は、現像処理後の基板に対して加熱や冷却等の熱処理を行うための処理ユニットである。ポストベークユニット７０は、搬送ロボット８を挟んで２つの積層体７０Ｘ，７０Ｙを備えている。各積層体７０Ｘ，７０Ｙには、基板を加熱するための加熱部や基板を冷却するための冷却部等の複数の処理部が多段に積層配置されている。具体的には、洗浄ユニット１０に隣接する積層体７０Ｘには、下から順に冷却部、通過部、加熱部の３つの処理部が積層配置されている。一方、コンベアユニット８０に隣接する積層体７０Ｙには、下から順に搬入部、搬出部、加熱部、加熱部の４つの処理部が積層配置されている。現像ユニット６０から搬出され、脱水ベークユニット２０の通過部を経由してポストベークユニット７０の搬入部に搬入された基板は、搬送ロボット８によってポストベークユニット７０内の加熱部や冷却部へ搬送され、加熱処理や冷却処理を受ける。また、処理後の基板は、搬出部からコンベアユニット８０へ搬送される。
【００４２】
コンベアユニット８０は、ポストベークユニット７０からインデクサユニット９０へ基板を搬送するための処理ユニットである。コンベアユニット８０は、積層体７０Ｙとインデクサユニット９０との間に配置されており、ポストベークユニット７０の搬出部とインデクサユニット９０との間に掛け渡されたコンベアを有している。ポストベークユニット７０の搬出部からコンベア上に送り出された基板は、コンベアによってインデクサユニット９０まで搬送される。
【００４３】
インデクサユニット９０は、基板処理装置１における基板の搬入および搬出を行うための処理ユニットである。インデクサユニット９０には、カセットＣを載置するための載置台と、インデクサロボット９０Ｒとが配置されている。インデクサロボット９０Ｒは、載置台にセットされたカセットＣから基板を取り出し、洗浄ユニット１０の搬入部１１へ基板を搬送する。また、インデクサロボット９０Ｒは、コンベアユニット８０から搬送された基板を載置台上のカセットＣへ収納する。
【００４４】
図１に戻り、各処理ユニット１０〜９０には、種々のデータを取得するためのデータ取得部１０ａ〜９０ａが設けられている。データ取得部１０ａ〜９０ａは、処理ユニット１０〜９０内の各所に設置された種々のセンサや計器により構成される。データ取得部１０ａ〜９０ａは、例えば、処理部の温度、処理部の圧力、洗浄液の流量、洗浄液の吐出圧力、乾燥ガスの流量、レジスト液の流量、現像液の流量、基板の搬送速度、処理時間等の複数項目のデータを取得する。
【００４５】
メインパネル２は、各処理ユニット１０〜９０と通信を行うことにより、基板処理装置１の動作を制御するための制御装置である。メインパネル２は、ＣＰＵやメモリを有する一般的なパーソナルコンピュータにより構成されている。メインパネル２は、各処理ユニット１０〜９０のデータ取得部１０ａ〜９０ａと所定の通信線を介して接続されている。メインパネル２は、各データ取得部１０ａ〜９０ａに対してデータ要求信号を送信し、データ要求信号に応じて各データ取得部１０ａ〜９０ａから返信されるデータ信号を受信する。データ信号には、各データ取得部１０ａ〜９０ａにおいて取得された複数項目のデータが含まれている。メインパネル２は、データ信号に含まれる複数項目のデータを読み取り、記憶部２ａに記憶する。
【００４６】
ホスト部３は、基板処理装置１を含む基板処理工程全体の管理を行うためのデータ処理部である。ホスト部３とメインパネル２との間は所定の通信線を介して接続されている。メインパネル２は、記憶部２ａに記憶されているデータを必要に応じてホスト部３へ報告する。また、ホスト部３は、メインパネル２から報告されたデータに基づいて基板処理装置１の管理を行う。
【００４７】
メインパネル２からホスト部３へ報告されるデータには、「アクチャルデータ」、「現在値データ」、「トレースデータ」の３種類のデータがある。アクチャルデータは、各処理ユニット１０〜９０において基板処理に伴って取得されるデータであり、当該基板に対する処理状態を示すデータである。アクチャルデータは、各処理ユニット１０〜９０において基板の処理が実行されたときに取得されてメインパネル２へ転送され、メインパネル２の記憶部２ａに記憶される。そして、アクチャルデータは、基板処理装置１における基板の処理が終了したとき（基板がカセットＣに収納されたとき）に記憶部２ａから読み出されてホスト部３へ報告される。
【００４８】
現在値データは、所定時刻における各処理ユニットの状態を示すデータである。現在値データは、各処理ユニット１０〜９０から一定の取得時間（例えば５秒）おきに取得されてメインパネル２の記憶部２ａに記憶され、ホスト部３からの要求に応じて記憶部２ａから読み出されてホスト部３へ報告される。トレースデータは、各処理ユニットの状態を経時的に示すデータである。トレースデータは、各処理ユニット１０〜９０から一定の取得時間（例えば５秒）おきに取得されてメインパネル２の記憶部２ａに記憶され、一定の報告時間（例えば１０秒）おきに記憶部２ａから読み出されてホスト部３へ報告される。
【００４９】
複数のコンピュータ４ａ〜４ｊは、基板処理装置１において取得される複数項目のデータに関する項目リストを作成するためのコンピュータシステムである。複数のコンピュータ４ａ〜４ｊには、メインパネル２に対応して用意された１つのコンピュータ４ａと、処理ユニット１０〜９０のそれぞれに対応して用意された複数のコンピュータ４ｂ〜４ｊとが含まれている。コンピュータ４ａは、メインパネル２を管理する担当者（以下「メインパネル担当者」という）により操作され、コンピュータ４ｂ〜４ｊは、各処理ユニット１０〜９０を管理する担当者（以下「ユニット担当者」という）により操作される。すなわち、各コンピュータ４ａ〜４ｊは、複数の担当者により分担して操作される。各コンピュータ４ａ〜４ｊは、ＬＡＮ等の通信線４ｋを介して相互に接続されており、各コンピュータ４ａ〜４ｊの間でファイルやデータのやりとりが可能となっている。また、メインパネル２と各コンピュータ４ａ〜４ｊとの間も通信線４ｋを介して接続されている。項目リストの作成を行うときには、コンピュータ４ａとコンピュータ４ｂ〜４ｊとの間でファイルやメッセージのやりとりを行いつつ、作業が進行する。
【００５０】
＜２．リスト作成処理の流れ＞
続いて、上記の基板処理装置１において取得される複数項目のデータに関する項目リストを作成する処理の流れについて、図３のフローチャートを参照しつつ説明する。項目リストを作成するときには、まず、メインパネル担当者は、コンピュータ４ａを操作し、他の各コンピュータ４ｂ〜４ｊへリスト作成依頼のメッセージを送信する。このとき、リスト作成依頼のメッセージとともに、項目リストの原紙となる書式ファイルが、コンピュータ４ａから各コンピュータ４ｂ〜４ｊへ送信される（ステップＳ１）。各コンピュータ４ｂ〜４ｊに送信される書式ファイルには、統一のフォーマットにより構成されたワークシート９が含まれている。
【００５１】
図４は、書式ファイルに含まれるワークシート９の例を示した図である。ワークシート９には、ユニット担当者が書き込みを行うための第１領域９ａと、メインパネル担当者が書き込みを行うための第２領域９ａとが設けられている。各コンピュータ４ａ〜４ｊにおいてワークシート９を表示したときには、第１領域９ａと第２領域９ｂとは画面上に同時に表示される。なお、このようなワークシート９を含む書式ファイルは、表計算用のソフトウエアにより読み取り可能な電子ファイルとして作成することができる。
【００５２】
各コンピュータ４ｂ〜４ｊにリスト作成依頼のメッセージおよび書式ファイルが届くと（ステップＳ２）、各ユニット担当者は、それぞれのコンピュータを操作し、書式ファイルを開いてワークシート９内の第１領域９ａに書き込みを行う（ステップＳ３）。図５は、ユニット担当者により書き込みがされたワークシート９の例を示した図である。図５に示したように、ワークシート９の第１領域９ａには、各ユニット担当者の担当する処理ユニットにおいて取得されるデータの項目が列記される。図５は洗浄ユニット１０の例を示しており、「洗浄液流量」、「圧力」、「乾燥ガス流量」、「処理時間」、「搬送速度」の各項目が列記されている。また、第１領域９ａには、項目ごとにｗｏｒｄ数（データ信号中におけるデータの位置）、データ名称、単位、読み取り（メインパネル２におけるデータ読み取りの要否）の各情報が書き込まれている。各ユニット担当者は、第１領域９ａへの書き込みを終えると、そのワークシート９を含む書式ファイルをコンピュータ４ａへ送信する（ステップＳ４）。
【００５３】
各コンピュータ４ｂ〜４ｊからコンピュータ４ａに書式ファイルが届くと（ステップＳ５）、メインパネル担当者は、コンピュータ４ａを操作し、各書式ファイルに含まれるワークシート９を集めて１つのリストファイルＬＦを作成する（ステップＳ６）。リストファイルＬＦは、各コンピュータ４ｂ〜４ｊにおいて書き込みがされたワークシート９をコピーして、１つのファイル内に貼り付けることにより作成される。このため、メインパネル担当者は、各ユニット担当者により書き込まれた内容を再度入力する必要はなく、迅速にリストファイルＬＦを作成することができる。
【００５４】
また、メインパネル担当者は、コンピュータ４ａを操作し、リストファイルＬＦ中に貼り付けられた各ワークシート９の第２領域９ｂに追加の情報を書き込む（ステップＳ７）。図６は、このようにして作成されたリストファイルＬＦの例を示した図である。リストファイルＬＦには、各処理ユニット１０〜９０に対応する複数のワークシート９と、後続のステップＳ１０〜Ｓ１２において使用されるワークシートＷ１〜Ｗ３とが含まれている。ワークシート９内の第２領域９ｂには、列記された項目ごとに、報告順（ホスト部３に対する報告順序）、報告要否（メインパネル２からホスト部３への報告の要否）、表示順（メインパネル２上における表示順序）、ＮＡＭＥ（ホスト部３へ報告されるときの項目の名称）、種別（メインパネル２におけるデータの読み取り種別）の各情報が書き込まれている。第１領域９ａの読み取り欄に「●」印の付いた項目は、メインパネル２においてデータの読み取りがされる項目であるため、少なくとも「●」印の付いた項目については、第２領域９ｂに書き込みを行う。メインパネル担当者は、各ワークシート９の第２領域９ｂへの書き込みを終えると、コンピュータ４ａを操作し、リストファイルＬＦをコピーして一部を手元に残すとともに同一のリストファイルＬＦを各コンピュータ４ｂ〜４ｊへ送信する（ステップＳ８）。
【００５５】
各コンピュータ４ｂ〜４ｊにリストファイルＬＦが届くと（ステップＳ９）、各ユニット担当者は、それぞれのコンピュータを操作し、リストファイルＬＦを開いてチェックファイル作成用のワークシートＷ１を選択する。チェックファイルは、各ワークシート９に書き込まれたｗｏｒｄ数の値にずれがないかどうかをチェックするためのファイルである。図７は、チェックファイル作成用のワークシートＷ１を示した図である。チェックファイル作成用のワークシートＷ１には、担当者名記入欄ｃ１と、処理ユニット指定欄ｃ２と、データ指定欄ｃ３と、シート名指定欄ｃ４と、チェックファイル作成ボタンＢ１とが設けられている。このような欄やボタンは、例えば、表計算用のソフトウエアが有するマクロ機能を利用して構成することができる。
【００５６】
ユニット担当者は、担当者名記入欄ｃ１に自己の氏名を記入し、チェック対象となる処理ユニットを処理ユニット指定欄ｃ２において選択する。処理ユニットの選択肢は、同リストファイルＬＦに含まれる各ワークシート９に対応しており、プルダウンメニューによって選択可能となっている。また、ユニット担当者は、メインパネル２の記憶部２ａに記憶されたチェック対象となるデータをデータ指定欄ｃ３において指定し、また、作成されるチェックファイル中のワークシート名をシート名指定欄ｃ４において指定する。以上の設定を行った後、ユニット担当者はチェックファイル作成ボタンＢ１をクリックし、チェックファイルを作成する（ステップＳ１０）。
【００５７】
図８は、作成されたチェックファイルＣＦの例を示した図である。チェックファイルＣＦには、データ項目ごとに取得されたデータが記載されている。各項目に記載されたデータは、メインパネル２に転送されたデータ信号のｗｏｒｄ数欄に示された位置において読み取られたデータである。また、チェックファイルＣＦには、データ項目ごとに確認欄ｃ５が設けられている。ユニット担当者は、作成されたこのようなチェックファイルＣＦを使用して、項目ごとにデータの値の妥当性を検討し、ｗｏｒｄ数の値にずれがないかどうかをチェックする。チェックの結果、ｗｏｒｄ数の値にずれがあると判断された場合には、上記のステップＳ３に戻り、ｗｏｒｄ数の修正を行う。また、ｗｏｒｄ数の値にずれがないと判断された場合には、その旨のメッセージをメインパネル担当者へ送信する。
【００５８】
一方、メインパネル担当者は、コンピュータ４ａを操作し、リストファイルＬＦを開いてパラメータファイル作成用のワークシートＷ２を選択する。パラメータファイルは、各処理ユニット１０〜９０において取得されるデータ信号からデータを読み取り、ホスト部３へ報告するための諸情報を含むテキストファイルである。図９は、パラメータファイル作成用のワークシートＷ２を示した図である。パラメータファイル作成用のワークシートＷ２には、文字数指定欄ｃ６と、装置名称記入欄ｃ７と、言語指定欄ｃ８と、出力項目指定欄ｃ９と、パラメータファイル作成ボタンＢ２とが設けられている。このような欄やボタンは、例えば、表計算用のソフトウエアが有するマクロ機能を利用して構成することができる。
【００５９】
メインパネル担当者は、ホスト部３へ報告される項目名称の制限文字数を文字数欄ｃ６に記入し、装置の名称を装置名称記入欄ｃ７に記入する。また、メインパネル担当者は、報告時に使用する言語を言語指定欄ｃ７において選択する。図９の例では、日本語と英語とが選択できるようになっている。また、メインパネル担当者は、メインパネル２からホスト部３へ報告を行う項目を出力項目指定欄ｃ８において指定する。以上の設定を行った後、メインパネル担当者はパラメータファイル作成ボタンＢ２をクリックし、パラメータファイルを作成する（ステップＳ１１）。パラメータファイルが作成されるときには、同時に、各シート９のＮＡＭＥ欄に記載された文字数が文字数指定欄ｃ６の値を超えていないか、各シート９のＮＡＭＥ欄に記載された項目名称が重複していないか、言語指定欄ｃ７において選択された言語で使用できない文字が含まれていないか、等が自動的にチェックされ、問題がある場合には警告される。作成されたパラメータファイルは、コンピュータ４ａからメインパネル２へ送信される。
【００６０】
その後、メインパネル担当者は、コンピュータ４ａを操作し、リストファイルＬＦを開いて資料ファイル作成用のワークシートＷ３を選択する。資料ファイルは、データの項目リストを所定の書式で記載したファイルであり、所定の提出先へ提出するためのファイルである。図１０は、資料ファイル作成用のワークシートＷ３を示した図である。資料ファイル作成用のワークシートＷ３には、資料ファイル作成ボタンＢ３が設けられている。資料ファイル作成ボタンＢ３は、例えば、表計算用のソフトウエアが有するマクロ機能を利用して構成することができる。
【００６１】
メインパネル担当者は、ワークシートＷ３において資料ファイル作成ボタンＢ３をクリックし、資料ファイルを作成する（ステップＳ１２）。資料ファイルは、例えば、表計算用のソフトウエアにより読み取り可能な電子ファイルとして作成される。メインパネル担当者は、作成された資料ファイルを必要に応じて加工して体裁を整え、所定の提出先へ提出する。
【００６２】
以上のように、この基板処理システム１００では、統一のフォーマットで構成されたワークシート９上に各ユニット担当者が書き込みを行い、作成された複数のワークシート９をメインパネル担当者が１つのリストファイルＬＦにまとめる。このため、処理ユニットごとに作成されたワークシート９を１つのファイル内に貼り付けるだけでリストファイルＬＦが作成され、基板処理装置１全体の項目リストを効率よくかつ間違いなく作成することができる。また、各ワークシート９は第１領域９ａと第２領域９ｂとに分けられており、第２領域９ｂには第１領域９ａの各項目に対応した記入欄が設けられている。このため、メインパネル担当者は、追加の情報を効率よくかつ間違いなく書き込むことができる。
【００６３】
また、この基板処理システム１００では、中間ファイルとして作成されるリストファイルＬＦに基づいて、チェックファイル、パラメータファイル、および資料ファイルが作成される。このため、チェックファイル、パラメータファイル、および資料ファイルを一から作成する必要はなく、これらのファイルを容易に作成することができる。また、これらのファイルは、リストファイルＬＦ中に組み込まれたチェックファイル作成ボタンＢ１、パラメータファイル作成ボタンＢ２、および資料ファイル作成ボタンＢ３をクリックすることにより作成される。このため、リストファイルＬＦからチェックファイル、パラメータファイル、および資料ファイルを極めて容易に作成することができる。
【００６４】
また、この基板処理システム１００では、メインパネル担当者はコンピュータ４ａにおいて作業を行い、ユニット担当者は、処理ユニットごとに用意された複数のコンピュータ４ｂ〜４ｊにおいて個別に作業を行う。このため、複数の担当者により分担して作業を進めることができ、項目リストを更に効率よく作成することができる。
【００６５】
＜３．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではない。上記の例では、メインパネル２とコンピュータ４ａ〜４ｊとの間のデータのやりとりや、コンピュータ４ａとコンピュータ４ｂ〜４ｊとの間のファイルのやりとりを、通信線４ｋを介して行ったが、フロッピーディスク（登録商標）等の情報記録媒体を介してデータやファイルのやりとりを行ってもよい。
【００６６】
また、ワークシート９においてデータ項目ごとに書き込まれる情報は、上記のｗｏｒｄ数、データ名称、単位、読み取り、報告順、報告要否、表示順、ＮＡＭＥ、種別に限定されるものではない。例えば、処理ユニット内の処理部の名称、データのレンジ、表示画面上におけるデータ名称等の欄がワークシート９内に設けられ、データ項目ごとに書き込まれるようにしてもよい。
【００６７】
また、基板処理装置１に含まれる処理ユニットの数や種類は、上記の例に限定されるものではない。また、処理対象となる基板も液晶表示装置用の角形ガラス基板に限定されるものではなく、半導体ウエハ等の他の基板であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】基板処理システムの構成を示した図である。
【図２】基板処理装置の詳細な構成を示した平面図である。
【図３】項目リスト作成処理の流れを示したフローチャートである。
【図４】書式ファイルに含まれるワークシートの例を示した図である。
【図５】第１領域に書き込みがされたワークシートの例を示した図である。
【図６】第２領域に書き込みがされたワークシートを含むリストファイルの例を示した図である。
【図７】チェックファイル作成用のワークシートを示した図である。
【図８】チェックファイルの例を示した図である。
【図９】パラメータファイル作成用のワークシートを示した図である。
【図１０】資料ファイル作成用のワークシートを示した図である。
【符号の説明】
【００６９】
１    基板処理装置
２    メインパネル
２ａ    記憶部
３    ホスト部
４ａ〜４ｊ    コンピュータ
９    ワークシート
９ａ    第１領域
９ｂ    第２領域
１０〜９０    処理ユニット
１００    基板処理システム
Ｂ１    チェックファイル作成ボタン
Ｂ２    パラメータファイル作成ボタン
Ｂ３    資料ファイル作成ボタン
ＣＦ    チェックファイル
ＬＦ    リストファイル
Ｗ１〜Ｗ３    ワークシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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