(57)【要約】【課題】像様の開口部にメッシュを有する構造のメタルマスクスクリーン版であって、印刷画像のより一層の薄膜化と、ラインの精細な再現を実現し得るメタルマスクスクリーン版、およびかかるメタルマスクスクリーン版を容易に得ることができる製造方法を提供すること。【解決手段】金属板２にパターン状の孔８が設けられ、かつ、当該孔８に、金属板２よりも薄膜のメッシュ４が形成されてなり、その一方の面において、メッシュ４が金属板２と面一になるように配され、当該面がスキージ面を構成することを特徴とするメタルマスクスクリーン版。および、本発明のメタルマスクスクリーン版２０を製造するのに適した、２段階のメッキ処理の工程により１層目のメッキ層で金属板２の１部およびメッシュ４を形成し、２層目のメッキ層で金属板２を積層して完成させるメタルマスクスクリーン版の製造方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板にパターン状の孔が設けられ、かつ、当該孔に、前記金属板よりも薄膜のメッシュが形成されてなり、その一方の面において、前記メッシュが前記金属板と面一になるように配され、当該面がスキージ面を構成することを特徴とするメタルマスクスクリーン版。
【請求項２】
前記メッシュの被印刷物側の面に、当該面から垂直に垂下し、かつその端部が前記金属板の被印刷物側の面と略揃う長さのポストが複数配されてなることを特徴とする請求項１に記載のメタルマスクスクリーン版。
【請求項３】
前記金属板と前記メッシュとが、一体成形されてなることを特徴とする請求項１または２に記載のメタルマスクスクリーン版。
【請求項４】
前記金属板および前記メッシュの材質が、ニッケルまたはその合金であることを特徴とする請求項３に記載のメタルマスクスクリーン版。
【請求項５】
前記金属板、前記メッシュおよび前記ポストが、一体成形されてなることを特徴とする請求項２に記載のメタルマスクスクリーン版。
【請求項６】
前記金属板、前記メッシュおよび前記ポストの材質が、ニッケルまたはその合金であることを特徴とする請求項５に記載のメタルマスクスクリーン版。
【請求項７】
前記金属板の外周が、帯状の弾性張架帯を介して版枠に固定されてなることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のメタルマスクスクリーン版。
【請求項８】
前記弾性張架帯が、紗であることを特徴とする請求項７に記載のメタルマスクスクリーン版。
【請求項９】
平面を有する金属母材の当該平面に対して、メッシュのネガ像からなる所望のパターン状のレジストを形成する第１レジスト形成工程と、
金属母材のレジストが形成された面に金属メッキを施す第１メッキ工程と、
金属母材の金属メッキ層が形成された面に、メッシュのネガ像を含まない前記パターン状のレジストを形成する第２レジスト形成工程と、
金属母材のレジストが形成された面に、再び前記金属メッキと同一材質の金属メッキを施す第２メッキ工程と、
残存する前記レジストを剥離する剥離工程と、
金属母材から、積層されたメッキ層を脱型してメタルマスクスクリーン版を得る脱型工程と、
を含むことを特徴とするメタルマスクスクリーン版の製造方法。
【請求項１０】
第２レジスト形成工程において、前記パターン状のレジスト中における、第１レジスト形成工程で形成したメッシュのネガ像に対するポジ像の、いずれかの直線成分と略直交する直線状の貫通孔が複数形成されるように、レジストを形成することを特徴とする請求項９に記載のメタルマスクスクリーン版の製造方法。
【請求項１１】
前記金属メッキが、ニッケルメッキまたはその合金メッキであることを特徴とする請求項９または１０に記載のメタルマスクスクリーン版の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高精度なパターン印刷を可能にさせるスクリーン印刷用の版材であるメタルマスクスクリーン版およびその製造方法に関し、詳しくは、メタルマスク（金属板）におけるパターン状の開口部にメッシュが存在する構造のメタルマスクスクリーン版およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば各種の電子部品等の実装のために、プリント配線基板にハンダペースト、導体ペースト等を塗布形成するに際し、高精度なパターン印刷を可能にさせるスクリーン印刷が採用されている。特に高精度なパターン印刷が望まれる場合には、スクリーン印刷用の版材として、メタルマスクスクリーン版が用いられる（例えば、特許文献１および特許文献２参照）。
【０００３】
メタルマスクスクリーン版を用いたスクリーン印刷は、被印刷体面から僅かに離れて位置するメタルマスクスクリーン版の一方の面から他方の面に、ドクターやローラー等で被印刷体面に押し付けながら、印刷インキその他の付着材料を押し出すことで、被印刷体表面に印刷が行われる。この印刷方法は、被印刷体が硬質で平板状である場合に好適である。
【０００４】
メタルマスクスクリーン版には、伸縮性のあるメッシュ（紗）と、貫通パターン孔を有するメタルマスク（パターン成形層）とを貼り合わせたもの（一般に、「サスペンドメタルマスク版」あるいは「サスペンドメタルマスクスクリーン版」等と称される。）、および、メッシュ孔がないメタルマスクそのものからなり、貫通パターン孔を通してインキがストレートに押し出されるものがある。後者は、パターン中に孔で囲まれた島が存在する場合には採用することが困難であるか、あるいは複数回に分けて印刷作業を行う必要があるため、かかるパターンにおいても１度の印刷作業で高精細なパターンを形成することが可能な、前者の方が一般的には有利である。
【０００５】
かかるメッシュを有するメタルマスクスクリーン版（以下、単に「メタルマスクスクリーン版」という場合には、開口部にメッシュを有する物を指すものとする。）を製造するには、一般にメタルマスクとメッシュとを貼り合わせる必要があるが、両者それぞれの厚みがあるため、全体としてある程度以上の厚みとなってしまう。両者の厚みは、両者が貼り合わされる前の別体の状態で自立している事が要求されるため、両者が貼り合わされた状態で自立可能な程度まで薄くすることはできず、全体としての厚みの低減には制限がある。特にメタルマスクは、それ自体で印刷版としての実用性ないし耐久性に見合った自立性が要求されるため、ある程度の堅牢さが必要であり、厚さ低減の限界は自ずと知れている。
【０００６】
印刷パターンの膜厚は、メタルマスクおよびメッシュの厚み、言い換えればメタルマスクスクリーン版全体の厚みの影響を受けるため、従来のメタルマスクスクリーン版では、印刷パターンの薄膜化に制限があった。特に、繊維を編んだ構造のメッシュは、薄膜化の制限も大きく、メタルマスクスクリーン版全体として薄膜化をしようとすると、メタルマスクよりもメッシュの方が厚くなってしまうこともある。
【０００７】
しかし、より高精細なパターン、より緻密なパターンを形成するためには、印刷パターンのより一層の薄膜化が望まれている。例えば、各種電気・電子製品ないし部品の小型化が進んでいる中で、そのプリント配線基板に形成するハンダペースト、導体ペースト等のパターン印刷では、より緻密なパターン印刷を実現するべく、より一層の薄膜化が望まれている。
【０００８】
また、メタルマスクスクリーン版全体をできるだけ薄くして、メタルマスクの厚みをできる限り小さくした場合、比較的厚みの大きく目の粗いメッシュが被印刷物と接近し、当該粗い目の影響を受けて、印刷パターンにおけるラインの直線性劣化を招いてしまうことがある。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−７８２０３号公報
【特許文献２】特開平１１−１５７０４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
したがって、本発明は、パターン状の開口部にメッシュを有する構造のメタルマスクスクリーン版であって、印刷パターンのより一層の薄膜化と、ラインの精細な再現を実現し得るメタルマスクスクリーン版、およびかかるメタルマスクスクリーン版を容易に得ることができる製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的は、以下の本発明により達成される。すなわち本発明のメタルマスクスクリーン版は、金属板にパターン状の孔が設けられ、かつ、当該孔に、前記金属板よりも薄膜のメッシュが形成されてなり、その一方の面において、前記メッシュが前記金属板と面一になるように配され、当該面がスキージ面を構成することを特徴とする。
【００１２】
メタルマスクスクリーン版の厚さは、メタルマスクの厚みとメッシュの厚みとの合計になるのが一般であるが、本発明のメタルマスクスクリーン版は、メタルマスクに相当する金属板のパターン状の孔に、当該金属板よりも薄膜のメッシュが形成されているため、その厚さが前記金属板の厚さと同一となる。そのため、全体として厚さを低減することができ、印刷パターンの薄膜化を実現することができる。
【００１３】
さらに、前記メッシュが前記金属板よりも薄く、その被印刷物側の面が被印刷物から距離が保たれているため、メッシュの繊維がある場所と無い場所による影響を抑制することができ、印刷パターンにおけるラインの直線性を良好に保つことができる。
【００１４】
本発明では、通常のメタルマスクスクリーン版と同様、メタルマスクに相当する金属板の開口部に縦横繊維を有するメッシュが配されているため、スキージ面をドクター等で押圧されて擦られる等、使用により前記開口部が引っ張られても、開口部の形状が変形することがなく、長期にわたり高精密な印刷パターンを得ることができる。
【００１５】
また、通常のメタルマスクスクリーン版では、スキージ面全面がメッシュであり、その平面性が確保されているが、本発明のメタルマスクスクリーン版でも、前記メッシュと前記金属板とが面一になっているため、スキージ面の平面性が確保されている。そのため、ドクター等でスキージして印刷する際にスムーズであり、不具合が生じることが無い。
【００１６】
さらに、本発明のメタルマスクスクリーン版は、後述する本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法により製造することとすれば、既製のメッシュを貼り付けるのではなく、メッキにより新たにメッシュを形成しているので、インクの厚みを大きくしたい場所はメッシュの密度を小さくし、小さくしたい場所はメッシュの密度を大きくする等、形成しようとする画像に応じて、メッシュの密度、メッシュの厚さ、メッシュの形状、繊維の太さ等を部位により変えることができる。
【００１７】
本発明のメタルマスクスクリーン版においては、前記メッシュの被印刷物側の面に、当該面から垂直に垂下し、かつその端部が前記金属板の被印刷物側の面と略揃う長さのポストが複数配されてなることが好ましい。
本発明のメタルマスクスクリーン版の被印刷物側の面においては、メッシュが被印刷物から離れて位置し、インク溜まりを形成して所望の膜厚の印刷パターンが得られるようになっているが、メッシュと被印刷物とが離れて位置しているがために当該部分が浮いた状態となってしまい、スキージ面側からドクターやローラー等でインクを押し出す際に負荷が掛かってしまう。しかし、上記構成のポストが配されることで、当該ポストがメッシュの浮きを支える足となり、メッシュへの負荷を軽減し、メタルマスクスクリーン版としての耐久性を向上させることができる。
【００１８】
本発明のメタルマスクスクリーン版においては、前記金属板および前記メッシュ、また前記ポストが配される場合には当該ポストについて、一体成形されてなることが好ましい。一体成形されることで、メタルマスクスクリーン版としての耐久性をより向上させることができる。また、一体成形されることで、前記メッシュと前記金属板とで構成されるスキージ面の平面性を高い次元で実現することができる。
【００１９】
なお、本発明において、「一体成形」とは、後述する本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法のように、２段階のメッキ工程により層形成して成形する方法についても概念に含めることにする。すなわち、メッキにより層を積層することは、（厚膜化を企図する場合等では特に）メッキの業界では日常的に為されている行為であるが、形成された各層の間に材質的差異がなく、先に形成された層と後に形成された層とが一体的なものとして形成されるのであれば、メッキ工程という１つの工程により１つの層を形成していると捉えられるためである。
これら一体成形されるメタルマスクスクリーン版の材質としては、ニッケルまたはその合金であることが好ましい。ニッケルまたはその合金を材料とすることで、特に細線印刷時の耐久性がより一層向上する。
【００２０】
本発明のメタルマスクスクリーン版は、前記金属板の外周が、帯状の弾性張架帯を介して版枠に固定されてことで、通常のスクリーン印刷に供し得る印刷版とすることができる。このとき、前記弾性張架帯としては、紗であることが好ましい。勿論、当該弾性張架帯としてのメッシュは、前記金属板の孔に設けられるメッシュと同一材質である必要も同一構造である必要もなく、一般的にメタルマスクスクリーン版でメッシュ（紗）として用いられる材質・構造のもので構わない。
【００２１】
一方、本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法は、
（１−Ａ）  平面を有する金属母材の当該平面に対して、メッシュのネガ像からなる所望のパターン状のレジストを形成する第１レジスト形成工程と、
（１−Ｂ）  金属母材のレジストが形成された面に金属メッキを施す第１メッキ工程と、
（２−Ａ）  金属母材の金属メッキ層が形成された面に、メッシュのネガ像を含まない前記パターン状のレジストを形成する第２レジスト形成工程と、
（２−Ｂ）  金属母材のレジストが形成された面に、再び前記金属メッキと同一材質の金属メッキを施す第２メッキ工程と、
（２−Ｃ）  残存する前記レジストを剥離する剥離工程と、
（３）  金属母材から、積層されたメッキ層を脱型してメタルマスクスクリーン版を得る脱型工程と、
を含むことを特徴とする。
【００２２】
本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法によれば、薄膜である等優れた特徴を有する本発明のメタルマスクスクリーン版を容易に製造することができる。本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法によれば、２回のメッキ処理を施すことにより、高性能なメタルマスクスクリーン版を高精度で簡単に製造できるため、印刷物の高精細化と共に、低コスト化をも実現することができる。
【００２３】
また、本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法によれば、既製のメッシュを貼り付けるのではなく、メッキにより新たにメッシュを形成するので、形成しようとする画像に応じて、メッシュの密度、メッシュの厚さ、メッシュの形状、繊維の太さ等を部位により変えることができる。
【００２４】
第２レジスト形成工程においては、前記パターン状のレジスト中における、第１レジスト形成工程で形成したメッシュのネガ像に対するポジ像の、いずれかの直線成分と略直交する直線状の貫通孔が複数形成されるように、レジストを形成することが好ましい。
【００２５】
かかる形状のレジストを第２レジスト形成工程において形成すれば、次工程の第２メッキ工程で、第１レジスト形成工程で形成されたメッシュのいずれかの直線成分と略直交する部分にのみメッキが形成されるので、角柱状のポストを簡便に形成することができる。第２レジスト形成工程において形成すべき貫通孔は、第１レジスト形成工程で形成されたメッシュのいずれかの繊維と略直交する様に直線状に形成すれば十分であり、形成しようとするポストごとに位置合わせする必要がない。すなわち第２レジスト形成工程で形成するレジストにおける貫通孔の位置の制御が、高い精度を要求しないため、簡便であり製造適性に極めて優れている。
【００２６】
前記金属メッキとしては、ニッケルメッキまたはその合金メッキであることが好ましい。ニッケルまたはその合金をメッキ材料とすることで、製造されるメタルマスクスクリーン版における特に細線印刷時の耐久性が向上する。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、パターン状の開口部にメッシュを有する構造のメタルマスクスクリーン版であって、印刷パターンのより一層の薄膜化と、ラインの精細な再現を実現し得るメタルマスクスクリーン版を提供することができる。また、本発明によれば、かかる優れた特徴を有するメタルマスクスクリーン版を容易に得ることができる製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明を図面に則して詳細に説明する。
［本発明のメタルマスクスクリーン版］
＜第１の実施形態＞
図１（ａ）は、本発明の例示的一態様である第１の実施形態のメタルマスクスクリーン版を模式的に表す模式平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１（ｃ）は図１（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。図１に示されように、本実施形態のメタルマスクスクリーン版２０は、金属板２の中央に矩形の開口部（パターン状の孔）８が設けられ、当該開口部８にはメッシュ４が配されている。当該図１においては、図１（ａ）の平面図では被印刷物側の面が上を向いた状態であるが、図１（ｂ）および図１（ｃ）では、スキージ面が上方を向いている（以降の図においても、特に指定がない限り同様である。）。
【００２９】
本実施形態のメタルマスクスクリーン版２０において本発明に特徴的な構成としては、開口部８に配されたメッシュ４が金属板２とスキージ面で面一になるように配されている点である。ここで「面一」とは、複数の部材ないし要素が平面部を有し、かつ、当該平面部が同一平面に位置することを意味し、本発明においては、すなわち、スキージ面においてメッシュ（４）と金属板（２）とが同一平面上に位置するように配置されることを意味する。
図１におけるメッシュ４と金属板２との関係を見れば明らかなように、本実施形態においても、スキージ面（図１（ａ）および（ｂ）における上方側の面）で両者が同一平面上に位置しており、両者が面一の状態に配置されていると言い得る。
【００３０】
図２を用いて、従来のメタルマスクスクリーン版と本実施形態のメタルマスクスクリーン版の構造的相違を説明する。ここで、図２（ｘ）が従来のメタルマスクスクリーン版２０’、図２（ｙ）が本実施形態のメタルマスクスクリーン版２０を示す模式断面図である。これらは、図１におけるＢ−Ｂ断面に相当する断面図である。ただし、図２（ｘ）では、メッシュ４’をより模式化して描いている。
【００３１】
図２（ｘ）に示されるように、従来のメタルマスクスクリーン版２０’は、パターン状の開口部８’を有するメタルマスク２’に、それとは別体のメッシュ４’を貼り合わせてなるものである。このように従来のメタルマスクスクリーン版２０’においては、メタルマスク２’の厚さＴ１とメッシュ４’の厚さＴ２’との合計（Ｔ１＋Ｔ２’）が版全体の厚さとなり、全体としてある程度以上の厚みとなってしまう。
【００３２】
メタルマスク２’およびメッシュ４’の厚みは、両者が貼り合わされる前の別体の状態で自立している事が要求されるため、両者が貼り合わされた状態で自立可能な程度まで薄くすることはできず、全体としての厚みの低減には制限がある。特にメタルマスク２’は、それ自体で版としての実用性ないし耐久性に見合った自立性が要求されるため、ある程度の堅牢さが必要であり、厚さＴ１を低減することは限界がある。
【００３３】
それに対して、本実施形態のメタルマスクスクリーン版２０は、図２（ｙ）に示されるように、従来例のメタルマスク２’に相当する金属板２の開口部（パターン状の孔）８に、金属板２よりも薄膜のメッシュ４が形成されているため、版全体の厚さにメッシュ４の厚さＴ２は影響を与えず、金属板２の厚さＴ１と版全体の厚さとが同一になる。そのため、版全体として厚さを低減することができる。
【００３４】
図３は、従来および本実施形態のメタルマスクスクリーン版を用いて、印刷している様子を示す模式図であり、図３（ｘ）が従来のメタルマスクスクリーン版２０’の場合、図３（ｙ）が本実施形態のメタルマスクスクリーン版２０の場合である。
図３（ｘ）および（ｙ）に示されるように、スキージ面Ｓを上方、被印刷物側面Ｈを下方の被印刷物２２に向けた状態で固定し、ドクター１８をそれぞれのメタルマスクスクリーン版２０’，２０のスキージ面Ｓに押し付けながら矢印Ａ方向にスライドさせ、スキージ面から被印刷物２２にハンダ等のインク１４を押し出している状態がそれぞれ描かれている。
【００３５】
インク１４は開口部８’，８を通過して被印刷物２２表面に印刷されるが、このとき斜めの網掛け部分の領域Ｄ’，Ｄに押し出されたインク１４の量が印刷パターンの厚みを決定付ける。すなわち、この領域Ｄ’，Ｄの厚み（より正確には、メッシュ４’，４の体積を減じた開口部８’，８の単位面積当たりの体積）により印刷パターンの厚みが決まる。
【００３６】
図３（ｘ）および（ｙ）を見ればわかるように、従来のメタルマスクスクリーン版２０’ の場合における領域Ｄ’の厚みは、メタルマスク２’とメッシュ４’の合計の厚さとなるのに対して、本実施形態のメタルマスクスクリーン版２０の場合における領域Ｄの厚みは、従来例のメタルマスク２’に相当する金属板２のみの厚さとなる。従って、本実施形態では、領域Ｄの厚みを従来例の領域Ｄ’の厚みに比して大幅に低減することができ、印刷パターンの薄膜化を実現することができる。
【００３７】
また、本実施形態では、メッシュ４としては、それ自身での自立性が要求されないため、従来例におけるメッシュ４’と比して薄くすることができ、金属板２よりも十分に薄く、結果目（メッシュ）も細かくなり、その被印刷物側面Ｈが被印刷物２２から距離が保たれているため、印刷パターンにおけるラインの直線性に対しての影響を抑制することができる。
【００３８】
さらに、従来例のメタルマスクスクリーン版２０’では、スキージ面Ｓ全面がメッシュ４’であり、その平面性が確保されているが、本実施形態のメタルマスクスクリーン版２０’でも、メッシュ４と金属板２とが面一になっているため、スキージ面Ｓの平面性が確保されている。そのため、ドクター１８でスキージして印刷する際にスムーズであり、不具合が生じることが無い。
【００３９】
＜第２の実施形態＞
次に、本発明の他の例示的一態様である第２の実施形態のメタルマスクスクリーン版について説明する。図４（ａ）は、第２の実施形態のメタルマスクスクリーン版を模式的に表す模式平面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図４（ｃ）は図４（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。本実施形態のメタルマスクスクリーン版は、図１に示す第１の実施形態のメタルマスクスクリーン版に対して、ポスト６が設けられている点のみが異なり、他は基本的に同一の構成である。そのため、図４において、同一の機能の部材には図１と同一の符号を付して、その詳細な説明は、省略することにする。
【００４０】
本実施形態のメタルマスクスクリーン版３０は、メッシュ４の被印刷物側の面に、当該面から垂直に垂下し、かつその端部が金属板２の被印刷物側の面と略揃う長さ（換言すれば、その端部が金属板２の被印刷物側の面と「面一」となる長さ）のポスト６が複数配されている。なお、図面上は、金属板２やメッシュ４との区別のため、ポスト６を黒ベタ塗りで表しているが、ポスト６だけが材質等において他と異なる特徴があることを意味するものではない。逆にむしろ、これら全ての材質が同一であることが好ましい。金属板２、メッシュ４およびポスト６の構成材料の詳細は、後述することにする。
【００４１】
図３（ｙ）を見てもわかるように、本発明のメタルマスクスクリーン版（図３においては符号２０）の被印刷物側面（同Ｈ）においては、メッシュ（同４）が被印刷物（同２２）から離れて位置し、インク溜まり（同Ｄ）を形成して所望の膜厚の印刷パターンが得られるようになっている。メッシュ（同４）と被印刷物（同２２）とが離れて位置しているがために当該部分が浮いた状態となってしまい、スキージ面側からドクター等（同１８）でインク（同１４）を押し出す際に負荷が掛かってしまう。
【００４２】
これに対して、本実施形態のメタルマスクスクリーン版３０においては、図４に示されるような構成のポスト６が配されることで、当該ポスト６がメッシュ４の浮きを支える足となっている。そのため、ドクター等でスキージ面をスキージしてもメッシュ４が撓むことが無く、メッシュ４への負荷が軽減され、メタルマスクスクリーン版３０としての耐久性向上が実現される。
【００４３】
図４を見てもわかるように、本実施形態のメタルマスクスクリーン版３０において、ポスト６は、メッシュ４の縦横繊維の一方の繊維（図４で言えば横繊維）における縦横繊維交点部分間の中点全てに配されている。ただし、ポスト６は、当該中点全てに配される必要は無く、当該中点部分に１個置き、例えば千鳥状に配されていても構わないし、より密度が少なくても多くても構わない。また、中点部分では無く、縦横繊維交点部分あるいは縦繊維部分や、横繊維の前記中点以外の部分に配されていても構わない。これらの場合、メッシュ４全面においてできるだけ均等に配することが望ましい。
勿論、本実施形態のメタルマスクスクリーン版３０においては、第１の実施形態のメタルマスクスクリーン版２０において説明した各種特徴（効果）は全て有している。
【００４４】
＜構成部材の詳細＞
次に、本発明のメタルマスクスクリーン版を構成する各部材について、詳細に説明する。
【００４５】
（金属板）
本発明において金属板の材料としては、特に制限はなく、従来からメタルマスクスクリーン版におけるメタルマスクの材料として用いられてきた各種金属を問題なく使用することができる。具体的には例えば、ニッケル、鉄、銅、およびこれらの金属を含む合金が挙げられる。加工性や経済性の観点から、これらの中でもニッケルおよびその合金が好ましい。
【００４６】
本発明において金属板の厚みとしては、特に制限はないが、ある程度の耐久性を確保するためには、１０μｍ以上であることが好ましく、１２μｍ以上であることがより好ましい。一方、当該金属板の厚みの上限としては、目的に応じて適宜厚膜とすることもできるが、高精細な画像を得るためには、４０μｍ以下であることが好ましく、３５μｍ以下であることがより好ましい。
本発明において金属板の大きさとしては、印刷しようとする面の面積に依存し、特に制限はないが、一般的には一辺が２００ｍｍ〜６５０ｍｍの範囲内の矩形状のものが選択される。勿論、メタルマスクの形状としては、矩形に制限されるものではない。
【００４７】
（メッシュ）
本発明においてメッシュの材料としては、特に制限はない。ただし、後述するように、メッシュは前記金属板や後述するポストと一体成形することが、製造適性から好ましく、その観点からは、前記金属板や後述するポストと同一の材料とすることが望ましい。
【００４８】
本発明において、メッシュの厚さとしては、少なくとも前記金属板よりも薄膜であることが要求され、前記金属板の厚さにもよるが、下限は７μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましい。また、前記メッシュの厚さの上限は、前記金属板を厚膜とした場合、それに応じて適宜厚膜とすることができるが、高精細な画像を得るためには、３０μｍ以下であることが好ましく、２５μｍ以下であることがより好ましい。
【００４９】
本発明において、メッシュを構成する繊維の太さとしては、メタルマスクスクリーン版としての機能を損なわない程度に細く、また、印刷時のある程度の柔軟性と耐久性とを確保するために、７μｍ〜２５μｍの範囲から選択することが好ましく、１０μｍ〜２０μｍの範囲から選択することがより好ましい。
【００５０】
本発明において、メッシュを構成する繊維の密度（いわゆる「メッシュ」）としては、高精細な画像を形成するためには大きい（目が細かい）方が好ましいが、あまり大きすぎる（目が細かすぎる）とインキ等の付着部材の成分を十分に透過させることができなくなる場合がある。したがって、１ｍｍ当たり２７．６〜２７６本（７０〜７００メッシュ）程度の範囲から選択される。
【００５１】
また、後述する製造方法によれば、既製のメッシュを貼り付けるのではなく、メッキにより新たにメッシュを形成するので、例えば、インク（印刷パターン）の厚みを大きくしたい場所はメッシュの密度を小さくし、小さくしたい場所はメッシュの密度を大きくする等、形成しようとするパターンに応じて、メッシュの密度、メッシュの厚さ、メッシュの形状、繊維の太さ等を部位により異なるものとしてもよい。
【００５２】
メッシュの孔の形状としては、図面上は全て縦横繊維が等間隔で直交してなる正方形となっているが、本発明においてはこれに限定されるものではない。後述する製造方法によれば、メッシュの孔の形状を任意に設定することができるため、あらゆる形状、例えば、正三角形、正方形、長方形、ひし形、正六角形、その他多角形（正多角形および変形多角形を含む。）、円形、楕円形、不定形等いずれの形状にしてもよく、種々の条件等を勘案して、最適の形状を選択すればよい。
【００５３】
図５に、正方形の開口部に形成されたメッシュの孔の形状が、円形の場合（Ａ）と六角形の場合（Ｂ）の具体例を模式平面図にて示す。図５において、正方形の枠がパターン状の孔となる開口部であり、その内側の斜線部がメッシュ、白抜き部がメッシュの孔である（図６および図７においても同様。）。
【００５４】
図５（Ａ）に示されるようにメッシュの孔が円形であっても、メッシュの孔相互間の距離を近づて千鳥状に配することで、開口部にメッシュの孔を比較的密に配することができる。
また、図５（Ｂ）に示されるようにメッシュの孔が六角形の場合には、メッシュの孔をいわゆるハニカム状（蜂の巣状）に配することができ、開口部にメッシュの孔を最密充填することができる。
特に後者の場合には、ハニカム状であることから、開口部に対するメッシュの孔の面積を大きく取りながらその強度（特に引張強度）の高いメッシュを形成することができる。
【００５５】
図６に、正方形の開口部に形成されたメッシュの孔の形状が、正方形の場合（Ａ）（Ｂ）と長方形の場合（Ｃ）の具体例を模式平面図にて示す。
図６（Ａ）は、既述の第１および第２の実施形態と同様のメッシュの孔の配置であり、正方形の孔が縦横整然と配列されている。図６（Ａ）では、開口部の縦横の辺とメッシュの孔の縦横の辺との角度が一致した例を示しているが、図６（Ｂ）に示されるように両者間に一定の角度を持たせても構わない。図６（Ｂ）は、当該両者間の角度を４５゜傾けた例である。この角度は任意に設定することができる。これらは、メッシュの孔が正方形の場合のみならず、長方形はもちろん、方向性を有する各種形状の孔であっても同様である。
【００５６】
また、図６（Ａ）は、正方形の孔が縦横整然と配列された例を示しているが、図６（Ｃ）に示されるように、長方形の孔が千鳥状（レンガを積み上げた配置）となるように配列しても構わない。なお、図６（Ｃ）は、メッシュの孔が長方形である場合の例であるが、正方形であっても同様である。
【００５７】
図５および図６においては、全てメッシュの孔が二次元的に配されたものを例示しているが、開口部が細いスリット状の場合などは、必ずしも縦横等の二次元的な配列とすることを要しない。
図７（Ａ）は、直線状でスリット状の開口部の長辺同士をメッシュの繊維が平行に橋渡しする状態の具体例を示す模式平面図である。図７（Ａ）の例では、メッシュの繊維は平行に配されるだけであり、直交する方向（さらには一定の角度を持つ方向）に繊維は配されない。したがってこの例においては、長方形のメッシュの孔が一列に、すなわち一次元的に配されている。
【００５８】
このことは、図７（Ｂ）および図７（Ｃ）に示されるような、開口部が曲線状でスリット状の開口部であっても同様である。スリット状の開口部を橋渡す繊維のみが配され、これと一定の角度を持つ方向に繊維は配されない。このときの繊維の配し方としては、図７（Ｂ）に示されるように放射状としたり、図７（Ｃ）に示されるように平行配置としたり等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。図７（Ｂ）および図７（Ｃ）に示される例においては、メッシュの孔の形状は相互に同一ではないが、本発明におけるメッシュの孔の形状としては何ら問題無い。
【００５９】
図７に示されるように、いわゆる「メッシュ状」の概念からは外れる懸念のある状態についても、本発明において何ら問題なく、これらについても本発明におけるメッシュの概念に含めることとする。
以上、図５〜図７を用いて説明したように、本発明のメタルマスクスクリーン版においては、目的や必要に応じてメッシュ（の孔）を各種形状に構成することができる。また、後述する本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法によれば、これら任意の形状のメッシュを容易に形成することができる。
【００６０】
（ポスト）
本発明においてポストの材料としては、特に制限はない。ただし、後述するように、ポストは前記金属板や前記メッシュと一体成形することが、製造適性から好ましく、その観点からは、前記金属板や後述するポストと同一の材料とすることが望ましい。
【００６１】
ポストとしては、図４に示される第２の実施形態のメタルマスクスクリーン版では、角柱状のものを採用しているが、その形状には特に制限は無く、角柱状以外にも、円柱状、載頭円錐状、載頭角錐状、その他不定形等いずれの形状を採用しても構わない。
【００６２】
また、ポストの先端（被印刷物と当接する側）が曲面形状を有しているのも好ましい態様である。例えば、図８に示すように、メッシュ４’から円柱あるいは角柱状に伸びたポスト６’の先端部分がキノコ状になってその笠の部分が曲面形状になっている形状が挙げられる。ここで、図８は、本発明のメタルマスクスクリーン版に形成されるポストの１つの変形例を示す拡大断面図である。このようなキノコ状のポストは、後述する本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法によれば、容易に製造することができる。
ポストの先端が曲面形状を有していれば、印刷時にハンダ等のインクが当該先端部に潜り込んで、インクと被印刷物との間により大きな接触面積が確保され、良好な印刷性を実現することができる。
【００６３】
ポストの径（円柱状以外の形状の場合には、円柱相当径。径が一定でない場合には平均径。）としては、それが設けられるメッシュの太さにも依存するため、一概には言えないが、メッシュの太さと同程度以下であることが望ましい。また、印刷時にメッシュを支えるに十分な強度を有することが望まれることから、前記径としては、７μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましい。
【００６４】
＜使用態様＞
本発明のメタルマスクスクリーン版は、版枠に固定して用いてもよい。通常のスクリーン印刷版ではスキージ側全面に設けられる紗（一般に言うところの「メッシュ」のことを指し、本発明での「メッシュ」とは概念が異なるため、本発明においては、用語を変えて概念分けして用いることとする。）を、メタルマスクの外周まで設けて、これを版枠に固定することでいわゆる「紗張り」している。しかし、本発明のメタルマスクスクリーン版には、この「紗」に相当する部材が無いため、本発明のメタルマスクスクリーン版の金属板の外周（好ましくはスキージ面側）に帯状の弾性張架帯を貼り付け、これを介して版枠に固定すればよい。
【００６５】
当該弾性張架帯は、前記金属板（メタルマスク）の外周においては、通常のスクリーン印刷版で用いられる紗と同等の意義の部材であるため、従来からメタルマスクスクリーン版におけるメッシュ（紗）の材料として用いられてきたものを問題なく使用することができる。具体的には例えば、ステンレス、アルミニウム、鉄、銅、およびこれらの金属を含む合金等の金属メッシュや、ポリエステル（例えばテトロン（登録商標））等の樹脂製メッシュが挙げられる。また、これら樹脂製メッシュの表面を前記金属あるいは合金で被覆した物でも構わない。
【００６６】
ただし、本発明において弾性張架帯として採用可能な紗は、前記開口部に設けられるものではないことから、繊維の太さや繊維の密度（いわゆる「メッシュ」）に何ら制限は無い。通常のスクリーン印刷版においてメタルマスクに相当する「金属板」と版枠との間を、印刷に供するのに適した程度の張力で張り渡すことができる所望の弾性力を有していれば、繊維の太さや繊維の密度は全く任意の値で構わない。また、前記所望の弾性力を有していれば、特に紗に限定されるものではなく、従来公知のシート状ないしフィルム状の部材を前記弾性張架帯として採用することも可能である。耐久性やコストの観点からは、前記弾性張架帯として紗を用いることが最も簡便であり好ましい。
【００６７】
また、使用可能な版枠としては、特に制限はなく、従来からスクリーン印刷版における版枠として用いられてきたものを問題なく使用することができる。前記弾性張架帯を介して前記版枠に固定（いわゆる、「紗張り」）した際、前記弾性張架帯に十分なテンションがかけられ、スクリーン印刷に供する際、十分な形状保持性を有するものであれば、その形状、構造、大きさ、材料に如何なる制限も課されない。具体的な材料としては、ステンレス、アルミニウム、鉄、銅、等の金属材料のほか、各種プラスチック材料でも構わない。
【００６８】
前記金属板と前記弾性張架帯との間の固定、および、前記弾性張架帯と版枠との間の固定は、特に制限は無く、従来公知の一般的な方法によればよい。例えば、接着固定方法の例を挙げれば、溶接による方法、接着剤による方法、メッキによる方法、超音波溶着による方法、ビス止めや押さえ具により加圧しての取り付け等機械的取付方法、等が挙げられ、いずれの方法で行っても全く問題ない。
【００６９】
なお、本発明において、当該版枠は必須の構成要素ではないが、通常のスクリーン印刷においては、版枠に紗張りした状態で用いられることが多い。ただし、印刷装置に直接取り付ける態様のもの等版枠を有しない状態のまま、スクリーン印刷に供しうる場合も想定され、かかる場合においても本発明のメタルマスクスクリーン版は好適に使用することができる。
【００７０】
＜本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法＞
本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法（以下、単に「本発明の製造方法」という場合がある。）は、大きく分けて２度のメッキ処理の工程（１および２）と、剥離工程と、からなる。また、それぞれのメッキ処理の工程は、さらにレジスト形成工程およびメッキ工程、第２のメッキ処理の工程ではさらに剥離工程に分かれ、これらが必須の工程となる。つまり整理すると以下のようになる。
【００７１】
（１）第１のメッキ処理の工程
（１−Ａ）  平面を有する金属母材の当該平面に対して、メッシュのネガ像からなる所望のパターン状のレジストを形成する第１レジスト形成工程。
（１−Ｂ）  金属母材のレジストが形成された面に金属メッキを施す第１メッキ工程。
【００７２】
（２）第２のメッキ処理の工程
（２−Ａ）  金属母材の金属メッキ層が形成された面に、メッシュのネガ像を含まない前記パターン状のレジストを形成する第２レジスト形成工程。
（２−Ｂ）  金属母材のレジストが形成された面に、再び前記金属メッキと同一材質の金属メッキを施す第２メッキ工程。
（２−Ｃ）  残存する前記レジストを剥離する剥離工程。
【００７３】
（３）  金属母材から、積層されたメッキ層を脱型してメタルマスクスクリーン版を得る脱型工程。
【００７４】
なお、（１）第１のメッキ処理の工程の最終工程として、第１レジスト形成工程において形成されたレジストを剥離する（１−Ｃ）予備剥離工程を設けても構わない。
以下、本発明の製造方法を、具体的な例を挙げて各工程ごとに分けて説明する。
【００７５】
［製造方法の具体例１］
本例においては、図１に示す構成の前記第１の実施形態のメタルマスクスクリーン版を製造する製造方法の例を説明する。
【００７６】
（１）第１のメッキ処理の工程
（１−Ａ）第１レジスト形成工程
第１レジスト形成工程とは、平面を有する金属母材の当該平面に対して、メッシュのネガ像からなる所望のパターン状のレジストを形成する工程である。
まず、図９に示されるような平面を有する金属母材１０を用意する。ここで、図９は、本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法の一例を説明するための模式説明図であり、図９（ａ）は、本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法による処理前の金属母材を表す模式平面図であり、図９（ｂ）は図９（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図９（ｃ）は図９（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。なお、図１０〜図１８についても、全て本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法の一例（または他の一例）を説明するための模式説明図である。
【００７７】
金属母材１０としては、形成されるメタルマスクを平面状に保持し得る平面を有するものであれば、特に制限はなく、図９に示されるような平板状のものに限定されるものでは無い。金属母材１０の材料についても特に制限されるものではなく、後述する工程において電解メッキを施す場合には少なくともその表面が導電性を有するものであれば十分であり、耐久性や耐腐食性等の観点から適切なものを選択すればよい。一般的にはステンレスが好適に用いられる。
【００７８】
本工程では、金属母材１０の表面に、メッシュのネガ像からなる所望のパターン状のレジストを形成する。図１０（ａ）は本工程による操作が為された後の金属母材１０表面の状態を示す模式平面図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１０（ｃ）は図１０（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。図１０を見ればわかるように、本工程による操作の後に、メッシュのネガ像からなる長方形のレジスト１２が形成されている。
【００７９】
ここで「メッシュのネガ像」とは、縦横の繊維からなるメッシュの当該繊維以外の部分、換言すればメッシュにおける孔の部分に相当する形状のことを指す。図１０（ａ）に示されるように、個々のレジスト１２の形状は正方形であるけれども、レジスト１２が形成されている領域全体を見ると、レジストが形成されていない部分がメッシュ状になっているのがわかる。このような形状のレジスト像を本発明においては「メッシュのネガ像」と表現している。
【００８０】
また、かかるメッシュのネガ像からなる「所望のパターン状」とは、レジスト１２が形成されている領域全体を見た場合に、当該レジスト１２の部位とメッシュに相当する部位とを含めた全体像が、所望のパターン状となっていることを意味する。図１０（ａ）に示される例で言えば、レジスト１２が形成されている領域全体を見ると、全体として長方形となっている。すなわち、本例では、当該長方形が所望のパターン状であり、最終的に形成されるメタルマスクスクリーン版には、当該長方形の開口部８が形成されることになる。
【００８１】
レジスト１２としては、従来公知の各種レジスト剤を用いることができ、レジスト剤として市販されている物でも、本発明のために新たに調合したものでも、何ら問題なく用いることができる。また、一般的にはレジストとして用いられていないもの（例えば、接着剤等）であっても、電解メッキにおける通電に対して不導体として作用するような材料であれば、いずれも採用可能である。精緻な印刷パターンを形成するためには、感光性のレジスト材料を用いることが望ましい。
【００８２】
感光性のレジスト材料としては、上市されているネガ型あるいはポジ型の市販品を挙げることができる。例えば、各種メーカーから市販されている感光性ドライフォトフィルム（感光性レジスト材、感光性樹脂）を挙げることができる。
【００８３】
感光性のレジスト材料を用いてレジスト１２を形成するには、当該感光性のレジスト材料を金属母材１０の表面に塗布し、現像後にメッシュのネガ像からなる所望のパターン状のレジストが形成されるように、選択したレジスト材料の種類に応じてネガ状ないしポジ状に光を照射した後に、所定の現像を施せばよい。
【００８４】
（１−Ｂ）第１メッキ工程
第１メッキ工程とは、第１レジスト形成工程においてレジストが形成された金属母材の面に、金属メッキを施す工程である。
図１０に示されるような、表面にレジスト１２が形成された金属母材１０の当該表面に、最終的に求めるメタルマスクスクリーン版を構成すべき材料の金属メッキを施すと、図１１に示されるように、金属母材１０表面のうちレジスト１２が形成された部位以外の部位に、金属板２となる金属メッキ層が形成される。ここで、図１１（ａ）は本工程による操作が為された後の金属母材１０表面の状態を示す模式平面図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１１（ｃ）は図１１（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【００８５】
本工程において施されるメッキ方法としては、後述する（２−Ｂ）第２メッキ工程共々、製造工程、製造設備、作業環境等を考慮すると一般的な電解メッキが好ましいが、高硬度の層と板厚の均一性を成し得る無電解メッキも目的によっては好適であるし、その他各種メッキ方法を適宜採用することができる。また、本工程と後述する（２−Ｂ）第２メッキ工程とで同一のメッキ方法としても構わないし、異なるメッキ方法としても構わない。
【００８６】
例えば、金属メッキとして電解メッキを採用した場合、不導体として作用するレジスト１２の部分には、メッキが施されない。また、それ以外のメッキ方法を採用した場合にも、レジスト１２の部分には、メッキが施されないか、あるいはレジスト１２の上にメッキされ、金属母材１０表面に直接メッキが施されることは無い。
【００８７】
電解メッキによりメッキ処理する金属としては、各種金属およびその合金が挙げられ、本発明における金属板の材料として挙げた金属ないし合金を用いることができる。中でもニッケルおよびその合金は、細線印刷時の耐久性がより一層向上するため好ましく、また、加工性や経済性の観点からも好ましい。
本工程により形成すべき金属メッキの厚みとしては、最終的に開口部８に設けられるメッシュ４の厚みになるため、当該厚みを所望の値とする程度にすればよい。
【００８８】
（１−Ｃ）予備剥離工程
予備剥離工程とは、第１レジスト形成工程において形成されたレジストを、第１メッキ工程の操作の後に剥離する工程である。
第１メッキ工程の操作が終了すると、図１１に示されるように、金属母材１０表面には、レジスト１２と金属メッキ層（金属板２）とが混在した状態で存在している。本工程においては、このレジスト１２を除去する。
【００８９】
図１２（ａ）は本工程による操作が為された後の金属母材１０表面の状態を示す模式平面図であり、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１２（ｃ）は図１２（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
図１２に示されるように、本工程の操作が終了した時点で、金属母材１０表面における開口部８には、当該開口部８のパターン状（長方形）のメッシュ４が形成される。
【００９０】
レジスト１２の除去は、レジスト材料の種類に応じて最適な方法を採用すればよく、例えば、アルカリ液やその他有機・無機の各種溶剤を用いて除去すればよい。いずれにしても、従来公知の方法に行えば問題ないため、詳細な説明は割愛する。なお、当該工程は任意の工程であり、残存するレジストをその状態のまま後述する（２）第２のメッキ処理の工程の操作を継続し、当該工程の最終工程である（２−Ｃ）剥離工程で、全てのレジストを一度に剥離しても構わない。
【００９１】
（２）第２のメッキ処理の工程
（２−Ａ）第２レジスト形成工程
第２レジスト形成工程とは、「（１）第１のメッキ処理の工程」の操作が終了した後、金属母材の金属メッキ層が（（１−Ｃ）予備剥離工程の操作を省略している場合には、残存するレジストとともに）形成された面に、メッシュのネガ像を含まない前記パターン状のレジストを形成する工程である。つまり、（１−Ａ）第１レジスト形成工程とは、形成するレジストにおいて、メッシュのネガ像を含まない点のみが異なる。
【００９２】
図１３（ａ）は本工程による操作が為された後の金属母材１０表面の状態を示す模式平面図であり、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１３（ｃ）は図１３（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。図１３を見ればわかるように、本工程で形成されるレジスト１２は、図１０に示されるようなメッシュのネガ像ではなく、単なる開口部８に相当する長方形のベタ像となっている。
その他、レジスト１２の材料や形成方法等は、「（１−Ａ）第１レジスト形成工程」の場合と同一であるため、その詳細な説明は省略する。
【００９３】
（２−Ｂ）第２メッキ工程
第２メッキ工程とは、第２レジスト形成工程においてレジストが形成された金属母材の面に、再び、前記第１メッキ工程における金属メッキと同一材質の金属メッキを施す工程である。
【００９４】
図１３に示されるような、表面に金属メッキ層（金属板２）およびレジスト１２が形成された金属母材１０の当該表面に、さらに金属メッキを施すと、図１４に示されるように、金属母材１０表面のうちレジスト１２が形成された部位以外の部位に金属メッキ層が積層される。ここで、図１４（ａ）は本工程による操作が為された後の金属母材１０表面の状態を示す模式平面図であり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１４（ｃ）は図１４（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【００９５】
つまり、本工程の金属メッキによれば、開口部８には金属メッキが為されず、それ以外の部位に積層される状態となる。すなわち、開口部８以外の金属メッキ層（金属板２）は、境界Ｌ１を境に、第１と第２の２つのメッキ処理の工程で積層されて、厚さが増して全体として、本発明における「金属板」として要求されるに十分な厚みが確保される。そして、開口部８においては、第１のメッキ処理の工程で形成されたメッシュ４が薄膜のまま保持される。
【００９６】
なお、金属メッキ層（金属板２）は、図１４においては境界Ｌ１において上下に分断されているように表されているが、実際には、第１と第２の２つのメッキ処理の工程で積層されたこの上下のメッキ層は融合して、１つの膜を形成した状態となっている。その点、既述のように、両者を積層する２つのメッキ処理の工程を有していても、これら工程は一体で捉えることができ、本例の製造方法は、本発明に言う「一体成形」の概念から外れるものではない。これは、後述する［製造方法の具体例２］においても同様である。
【００９７】
本工程において積層する金属メッキ層の厚みは、（１−Ｂ）第１メッキ工程で形成された金属メッキ層との合計である金属メッキ層（金属板２）全体の厚みとして、最終的に得られるメタルマスクスクリーン版の金属板に要求される厚さになるように、適宜調整してやればよい。すなわち、例えば、全体として１５μｍの厚さで、メッシュ４を５μｍの厚さにすることを望む場合、（１−Ｂ）第１メッキ工程で５μｍ、そして本工程（第２メッキ工程）で１０μｍの金属メッキを施せばよい。
【００９８】
また、最終的に得られるメタルマスクスクリーン版にて印刷した時の印刷体（印刷されたハンダ等のインク）の厚みを薄膜化するべく、メッシュ４を１０μｍの厚さにすることを望む場合、（１−Ｂ）第１メッキ工程で１０μｍ、本工程（第２メッキ工程）で５μｍの金属メッキを施せばよい。
その他、金属メッキ層におけるメッキ材料やメッキ方法等は、「（１−Ｂ）第１メッキ工程」の場合と同一であるため、その詳細な説明は省略する。
【００９９】
（２−Ｃ）剥離工程
剥離工程とは、第２メッキ工程の操作終了後に残存する２つ目の前記レジストを剥離する工程である。
第２メッキ工程の操作が終了すると、図１４に示されるように、金属母材１０表面には、レジスト１２と金属メッキ層である金属板２とが混在した状態で存在している。特に、レジスト１２は、開口部８を埋めるような状態で残存している。本工程においては、このレジスト１２を除去する。
【０１００】
図１５（ａ）は本工程による操作が為された後の金属母材１０表面の状態を示す模式平面図であり、図１５（ｂ）は図１５（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１５（ｃ）は図１５（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
図１５に示されるように、本工程の操作が終了した時点で、金属母材１０表面における開口部８には、所望のパターン状（長方形）のメッシュ４が形成されているとともに、当該部位の下方（被印刷物側）には、空間部が形成されている。
その他、レジスト１２の除去方法等は、「（１−Ｃ）予備剥離工程」の場合と同一であるため、その詳細な説明は省略する。
【０１０１】
（３）脱型工程
脱型工程とは、「（２）第２のメッキ処理の工程」の操作が終了した後、金属母材から、積層されたメッキ層を脱型してメタルマスクスクリーン版を得る工程である。すなわち、図１５に示される状態となった金属メッキ層２を、本工程において金属母材１０から引き剥がすことで脱型し、目的の図１に示す構成の前記第１の実施形態のメタルマスクスクリーン版を得る。
【０１０２】
この際の引き剥がす方法（脱型方法）としては、特に制限は無いが、ステンレス製の金属母材からニッケルないしその合金製の成型物を剥離しようとする場合のように、両者異なる金属材料である場合には、通常、引き剥がすことは困難ではなく、手や器具を用いて、単に物理的な脱型作業を行えばよい。脱型が困難な場合には、従来公知の各種剥離手法により脱型を行えばよい。また、脱型を容易にするべく、例えば有機溶剤に浸漬する等の操作により、残存するレジスト１２を完全に溶解してから脱型の操作を行うことも好ましい。
【０１０３】
以上のようにして、薄膜である等優れた特徴を有する本発明のメタルマスクスクリーン版を製造することができる。すなわち、（１）第１のメッキ処理の工程によって、金属板２のスキージ面側とメッシュ４とを同時にメッキ処理により形成すれば、それらの表面は自ずと面一になり、（２）第２のメッキ処理の工程によって、金属板２のみメッキ処理によってメッキ層を積層すれば、金属板２のみを所望の厚みとし、それよりも薄膜のメッシュ４とすることができ、本発明のメタルマスクスクリーン版を容易に製造することができる。
【０１０４】
本例の製造方法によれば、２回のメッキ処理を施すことにより、高性能なメタルマスクスクリーン版を高精度で簡単に製造できるため、印刷物の高精細化と共に、低コスト化をも実現することができる。
また、本例の製造方法では、メッキ処理の両工程において用いるメッキ材料を同一のものとしているため、金属板２とメッシュ４とが一体成形されてなるメタルマスクスクリーン版を容易に製造することができる。
【０１０５】
［製造方法の具体例２］
本例においては、図４に示す構成の前記第２の実施形態のメタルマスクスクリーン版を製造する製造方法の例を説明する。
本例の製造方法は、「（１）第１のメッキ処理の工程」については、図９〜図１１を用いて説明した（１−Ａ）第１レジスト形成工程〜（１−Ｂ）第１メッキ工程と全く同一である。ただし、本例の製造方法では、図１２を用いて説明した（１−Ｃ）予備剥離工程による操作を決して行わない点が、［製造方法の具体例１］における（１）第１のメッキ処理の工程とは異なる。
【０１０６】
したがって、本例では、「（２）第２のメッキ処理の工程」以降の工程から説明するが、これは［製造方法の具体例１］における（１−Ｂ）第１メッキ工程に引き続いて施すべき操作である。すなわち、本例で用いる図１６〜図１８は、図９〜図１１に続く工程を説明するための模式説明図である。
【０１０７】
（２）第２のメッキ処理の工程
（２−Ａ）第２レジスト形成工程
本例における第２レジスト形成工程とは、［製造方法の具体例１］と同様、「（１）第１のメッキ処理の工程」の操作が終了した後、金属母材の金属メッキ層が形成された面に、メッシュのネガ像を含まない前記パターン状のレジストを形成する工程である。しかし、本例では、前記パターン状のレジスト中における、第１レジスト形成工程で形成したメッシュのネガ像に対するポジ像部分の、メッシュ状に直交する直線の一方と略直交し、かつ他方の直線と交わらない直線状の貫通孔が複数形成されるように、レジストを形成するところが特徴的である。
【０１０８】
ここで「メッシュのネガ像に対するポジ像部分」とは、第１レジスト形成工程で形成した「メッシュのネガ像」（すなわち、最終的にメッシュの孔となるべき部分であって、第１レジスト形成工程ではレジストが形成される部分）に対してのポジ像部分であるので、換言すれば、最終的にメッシュの縦横繊維となるべき部分のことを指す。
【０１０９】
図１０で説明すると、第１レジスト形成工程で形成したメッシュのネガ像とは、碁盤目状にレジスト１２が形成されている箇所を指し、それに対するポジ像部分とは、個々の正方形のレジスト１２相互間に位置する縦横に直交する空白部分を指す。
【０１１０】
また、「ポジ像のメッシュ状に直交する直線」とは、すなわち、メッシュの縦横繊維となるべき直線のことを指す。したがって、第２レジスト形成工程では、この縦横繊維のいずれかと直交し、他方とは交わらないような直線状の貫通孔が複数形成される。本例における「（２−Ａ）第２レジスト形成工程」では、図１０で説明すると、縦横に直交する空白部分における左右方向の直線に対して直交し、上下方向の直線と交わらないような、直線状の貫通孔が形成されるように第２のレジストを形成する。
【０１１１】
図１６（ａ）は、本工程による操作が為された後の金属母材１０表面の状態を示す模式平面図であり、図１６（ｂ）は図１６（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１６（ｃ）は図１６（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。図１６を見ればわかるように、図１１に示される被印刷物側の面に形成されたレジスト１２および金属メッキ層（金属板２）の表面に、本工程による操作によって、複数の直線状の貫通孔１６を含む長方形のレジスト１２’が積層されて形成される。なお、［製造方法の具体例１］における「（２−Ａ）第２レジスト形成工程」と同様、レジスト１２’には、メッシュのネガ像は含まれない。
【０１１２】
なお、貫通孔１６は、図１０で説明すると、縦横に直交する空白部分における左右方向の直線に対して直交しているが、本発明においてポストを設ける場合、必ずしも完全に直交していることが要求されるわけでは無い。
図１９は、当該貫通孔と、最終的にメッシュとなる「メッシュのネガ像に対するポジ像」の直交する直線と、の関係を示す説明図である。直線Ｌ１およびＬ２は「メッシュのネガ像に対するポジ像」の直交する直線を表し、１６Ａ〜１６Ｄは、前記ポストを設ける場合の「（２−Ａ）第２レジスト形成工程」における貫通孔の各種態様である。
【０１１３】
貫通孔１６Ａのように、直線Ｌ１と完全に直交し、直線Ｌ２とは交わらなければ、このように直線Ｌ２の間で位置が偏っていても「（２−Ａ）第２レジスト形成工程」において形成される貫通孔として全く問題ない。
また、貫通孔１６Ｂや１６Ｃのように、多少傾いていたとしても、直線Ｌ２と交わらなければ、ほぼ直線Ｌ１と直交しているものと認められ、「（２−Ａ）第２レジスト形成工程」において形成される貫通孔として全く問題ない。
言い換えると、貫通孔１６Ｂや１６Ｃのような多少の傾きは、Ｌ１に対して「略直交」の概念に含めて解釈するものとする。
【０１１４】
ただし、傾きが貫通孔１６Ｂや１６Ｃと同じ程度であったとしても、貫通孔１６ＤのようにＬ２と交わる部位（下方参照）があれば、「（２−Ａ）第２レジスト形成工程」において形成される貫通孔として、最良のものではない。ただし、そのような貫通孔であっても、いずれかの直線成分と略直交する直線状の貫通孔に相当するため、本発明において、前記ポストを形成するための貫通孔として問題なく機能する。
その他、レジスト１２の材料や形成方法等は、［製造方法の具体例１］における「（１−Ａ）第１レジスト形成工程」の場合と同一であるため、その詳細な説明は省略する。
【０１１５】
（２−Ｂ）第２メッキ工程
本例における第２メッキ工程においても、第２レジスト形成工程においてレジストが形成された金属母材の面に、再び、前記第１メッキ工程における金属メッキと同一材質の金属メッキが施される。
【０１１６】
図１６に示されるような、表面に金属メッキ層（金属板２）およびレジスト１２，１２’が形成された金属母材１０の当該表面に、さらに金属メッキを施すと、図１７に示されるように、表面に金属メッキ層（２および４）が現れている部位にのみ金属メッキ層が積層され（２’および６）、第１レジスト形成工程において形成されたレジスト１２や、第２レジスト形成工程において形成されたレジスト１２’が表出している部位にはメッキが施されない。ここで、図１７（ａ）は本工程による操作が為された後の金属母材１０表面の状態を示す模式平面図であり、図１７（ｂ）は図１７（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１７（ｃ）は図１７（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【０１１７】
つまり、本工程の金属メッキによれば、開口部８においては、メッシュ４と貫通孔１６との交点部分にのみメッキ処理が為される（当該部位が、後述するポスト６となる。）。また、開口部８におけるそれ以外の部位には、金属が表出していないので金属メッキが為されず、開口部８を除く金属板２には金属メッキ（２’）が積層される状態となる。
【０１１８】
すなわち、開口部８以外の金属メッキ層（金属板２，２’）は、境界Ｌ１を境に、第１と第２の２つのメッキ処理の工程で積層されて、厚さが増して全体として、本発明における「金属板」として要求されるに十分な厚みが確保され、一方、開口部８においては、第１のメッキ処理の工程で形成されたメッシュ４が薄膜のまま保持されつつ、ポスト６に相当する金属メッキが施された状態となる。
【０１１９】
その他、金属メッキ層におけるメッキ材料やメッキ方法等は、［製造方法の具体例１］における「（１−Ｂ）第１メッキ工程」の場合と同一であり、金属メッキの積層に関する意義は、同様に「（２−Ｂ）第２メッキ工程」の場合と同一であるため、その詳細な説明は省略する。
【０１２０】
なお、図１７（ｃ）に示される通り、本工程において形成するメッキの厚さは本例においてレジスト１２’の厚さと同程度であり、被印刷物側の面（図１７（ｃ）における下側の面）が、レジスト１２’とポスト６に相当する金属メッキとで面一となって（同一平面を形成して）いる。
【０１２１】
これに対して、本工程におけるメッキ処理時間を調整し、図１７（ｃ）に示される状態よりもメッキを進行させることによって、レジスト１２’の厚さよりも厚いメッキを形成することができ、レジスト１２’より高く先端が曲面形状のポスト、すなわち、既述の図８に拡大断面図にて示す形状のポスト（６’）を容易に形成することができる。
【０１２２】
この場合、第２メッキ層の厚さがレジスト１２’の厚さよりも厚くなるので、（２−Ａ）第２レジスト形成工程においてレジスト１２’を形成する際、必要に応じて予め薄めにしておくことが好ましい。やや薄めに形成したレジスト１２’に対して、過剰にメッキ処理を施すことで所望の厚みのメッキとして、同時に図８に示される形状の先端が曲面形状を有するポストを形成することができる。
【０１２３】
（２−Ｃ）剥離工程
本例においても、［製造方法の具体例１］と同様に、第２メッキ工程の操作終了後に残存する前記レジストを剥離する剥離工程の操作を為す。
第２メッキ工程の操作が終了すると、図１８に示されるように、金属母材１０表面には、レジスト１２，１２’と金属板２，２’およびポスト６となるべき金属メッキ層とが混在した状態で存在している。特に、レジスト１２，１２’は、メッシュ４およびポスト６となるべき部位を除き開口部８を埋めるような状態で残存している。本工程においては、このレジスト１２，１２’を除去する。
【０１２４】
図１８（ａ）は本工程による操作が為された後の金属母材１０表面の状態を示す模式平面図であり、図１８（ｂ）は図１８（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１８（ｃ）は図１８（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
図１８に示されるように、本工程の操作が終了した時点で、金属母材１０表面における開口部８には、所望のパターン状（長方形）のメッシュ４が形成されているとともに、当該部位の下方（被印刷物側）には、ポスト６が点在する空間部が形成されている。
その他、レジスト１２の除去方法等は、［製造方法の具体例１］における「（１−Ｃ）第１剥離工程」の場合と同一であるため、その詳細な説明は省略する。
【０１２５】
（３）脱型工程
本例においても、［製造方法の具体例１］と同様に、剥離工程の操作終了後に、脱型工程の操作を為す。すなわち、図１８に示される状態となった金属メッキ層（金属板２、メッシュ４およびポスト６）を、本工程において金属母材１０から引き剥がすことで脱型し、目的の図４に示す構成の前記第２の実施形態のメタルマスクスクリーン版を得る。
脱型方法等は、［製造方法の具体例１］における「（３）脱型工程」の場合と同一であるため、その詳細な説明は省略する。
【０１２６】
以上のようにして、薄膜である等優れた特徴と共に、より一層高い耐久性を有する本発明のメタルマスクスクリーン版を製造することができる。すなわち、上記［製造方法の具体例１］と同様に、金属板２のスキージ面側とメッシュ４とが面一になり、金属板２を所望の厚みとし、それよりも薄膜のメッシュ４とすることができるとともに、印刷時にこのメッシュ４の浮きを支える足となるポスト６が形成された、本発明のメタルマスクスクリーン版を容易に製造することができる。
【０１２７】
本例において形成されるポスト６は、金属板２として積層される金属メッキと同時にメッキ処理されて得られるので、その端部は、自ずと金属板２の被印刷物側の面と略揃う長さになる。
本例の製造方法によれば、２回のメッキ処理を施すことにより、高性能なメタルマスクスクリーン版を高精度で簡単に製造できるため、印刷物の高精細化および低コスト化と共に、高耐久性をも実現することができる。
【０１２８】
また、本例の製造方法では、メッキ処理の両工程において用いるメッキ材料を同一のものとしているため、金属板２、メッシュ４およびポスト６が一体成形されてなるメタルマスクスクリーン版を容易に製造することができる。
さらに、本例の製造方法では、ポスト形成のための貫通孔の位置合わせが極めて容易であり、高い精度を要求しないため、簡便であり製造適性に極めて優れている。
【０１２９】
図２０に、本例の製造方法と類似の方法により製造した本発明のメタルマスクスクリーン版におけるメッシュの表面（被印刷物側の面）の電子顕微鏡拡大写真（ＳＥＭ写真：５００倍）を示す（なお、写真の倍率は、引き伸ばしの程度により実際とは値が異なる場合がある。）。図２０のＳＥＭ写真から、メッシュの縦横繊維の交点と交点との中間あたりに、角柱状のポストが形成されていることがわかる。
【０１３０】
このＳＥＭ写真のメタルマスクスクリーン版は、本例の貫通孔１６の場合のように、メッシュ４の縦横繊維の一方と直交し他方と交わらない複数の平行の直線のみではなく、メッシュ４の縦横繊維の前記他方と直交し（すなわち、貫通孔１６に対しても直交し）、メッシュ４の縦横繊維の前記一方と交わらない複数の平行の直線を貫通孔として、第２レジスト形成工程において形成するレジストに設けている。
【０１３１】
すなわち、設けられる貫通孔は、縦横に直交した碁盤目状をしており、それぞれの貫通孔が、メッシュの縦横繊維のいずれかと交わっている。そのため、図２０のＳＥＭ写真を見てもわかる通り、ポストはメッシュの縦横繊維のそれぞれに形成されている。このように、第２レジスト形成工程において形成するレジストに設ける貫通孔は、メッシュの縦横繊維のいずれか一方と直交する成分を含めば足りるが、他方の成分に直交する成分も有して、縦横に直交した碁盤目状となっていても構わない。
【０１３２】
図２０のＳＥＭ写真を見てもわかる通り、それぞれのポストは、上方（被印刷物側の方）すなわちポストの足に向かって、若干太くなっている。これは、レジストによりマスクされた部位が多く、電解メッキを施した際に、露出した金属部位に電流が集中してしまうために起こる現象である。ポストを形成するために、所望のポストの形状をしたホールをレジストに設けた場合、この電流の集中により、ポストが長さ方向に過成長してしまい、長くなり過ぎてしまう可能性がある。
【０１３３】
しかし、本例の製造方法では、レジストに形成される貫通孔は、ポストが形成されない部位にも及ぶように直線状に設けられている。そのため、電流集中による過成長を、ポストの長さが長くなる縦方向ではなく、太さが太くなる横方向に逃がしてやることができ、ポストを所望の長さに揃えることができる。
【０１３４】
すなわち、本例の製造方法は、既述の如く、ポスト形成のための貫通孔の位置合わせが極めて容易で高い精度を要求しないという製造適性上のメリットの他、ポストの長さを均一にすることができるという、仕上がり品の寸法精度上のメリットをも有するものである。
【０１３５】
ところで、本発明のメタルマスクスクリーン版において、メッシュの孔の形状としては、既述の通り縦横繊維が等間隔で直交してなる正方形には限定されない。本例においては、メッシュの孔の形状が正方形であり、また、図１９を用いて説明した「貫通孔」の態様は、いずれもメッシュの孔の形状が正方形（ないし長方形）の場合のものであるが、本発明において、メッシュの孔の形状は、その他各種形状を取り得る。
【０１３６】
メッシュの孔の形状が四角形以外の形状の場合、貫通孔は、メッシュのいずれかの直線成分と略直交する直線状であれば構わない。直線成分と略直交する直線状に貫通孔を設ければ、メッシュのいずれかの直線成分と略直交する部位に、所望のポストが形成される。
【０１３７】
以上、本発明のメタルマスクスクリーン版およびその製造方法について、好ましい実施形態および具体例を挙げて詳細に説明してきたが、本発明は、以上の実施形態および例に限定されるものではなく、当業者は公知の知見により本発明の構成に変更・改良を加えることができる。
【０１３８】
例えば、第１および第２のメッキ工程の２段のメッキ処理が行われているが、メッシュおよび／または金属板の厚みを確保する等の目的で、それぞれの工程において２段以上のメッキ処理を施すことにより、全体として３回以上のメッキ処理の操作が為されていても構わない。この場合は、単にそれぞれのメッキ工程の中で便宜上２回以上メッキ処理の操作が為されているのみであり、複数回のメッキ処理が１つの工程の中で為されているものと解される。
【図面の簡単な説明】
【０１３９】
【図１】本発明のメタルマスクスクリーン版の一例を模式的に表す図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図２】（ｘ）は従来のメタルマスクスクリーン版であり、（ｙ）は図１のメタルマスクスクリーン版を示す模式断面図である。
【図３】メタルマスクスクリーン版を用いて印刷している様子を示す模式図であり、（ｘ）が従来のメタルマスクスクリーン版の場合、図３（ｙ）が図１のメタルマスクスクリーン版２０の場合である。
【図４】本発明のメタルマスクスクリーン版の他の一例を模式的に表す図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図５】本発明のメタルマスクスクリーン版における開口部の態様を例示的に示す模式平面図であり、（Ａ）は正方形の開口部に形成されたメッシュの孔の形状が円形の場合の例示であり、（Ｂ）は六角形の場合の例示である。
【図６】本発明のメタルマスクスクリーン版における開口部の態様を例示的に示す模式平面図であり、（Ａ）は図１および図４の開口部の場合であり、（Ｂ）は（Ａ）におけるメッシュが開口部に対して４５゜傾いた場合の例示であり、（Ｃ）は正方形の開口部に長方形のメッシュの孔が千鳥状に配された場合の例示である。
【図７】本発明のメタルマスクスクリーン版における開口部の態様を例示的に示す模式平面図であり、（Ａ）は直線状でスリット状の開口部の長辺同士をメッシュの繊維が平行に橋渡しした場合の例示であり、（Ｂ）は曲線状でスリット状の開口部を放射状に橋渡しした場合の例示であり、（Ｃ）は曲線状でスリット状の開口部を平行に橋渡しした場合の例示である。
【図８】本発明のメタルマスクスクリーン版に形成されるポストの１つの変形例を示す拡大断面図である。
【図９】本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法の一例による処理前の金属母材を表す模式説明図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１０】第１レジスト形成工程による操作が為された後の金属母材表面の状態を示す模式説明図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１１】第１メッキ工程による操作が為された後の金属母材表面の状態を示す模式説明図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１２】予備剥離工程による操作が為された後の金属母材表面の状態を示す模式説明図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１３】第２レジスト形成工程による操作が為された後の金属母材表面の状態を示す模式説明図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１４】第２メッキ工程による操作が為された後の金属母材表面の状態を示す模式説明図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１５】剥離工程による操作が為された後の金属母材表面の状態を示す模式説明図であり、（ａ）は模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１６】本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法の他の一例を説明するための模式説明図であり、（ａ）は、第２レジスト形成工程による操作が為された後の金属母材表面の状態を示す模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１７】本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法の他の一例を説明するための模式説明図であり、（ａ）は、第２メッキ工程による操作が為された後の金属母材表面の状態を示す模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１８】本発明のメタルマスクスクリーン版の製造方法の他の一例を説明するための模式説明図であり、（ａ）は、剥離工程による操作が為された後の金属母材表面の状態を示す模式平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１９】第２レジスト形成工程で形成するレジストに配する貫通孔と、最終的にメッシュとなる「メッシュのネガ像に対するポジ像」の直交する直線と、の関係を示す説明図である。
【図２０】ポストが配された本発明のメタルマスクスクリーン版におけるメッシュの表面（被印刷物側の面）の電子顕微鏡拡大写真（ＳＥＭ写真：５００倍）である。
【符号の説明】
【０１４０】
２：金属板
４，４’：メッシュ
６，６’：ポスト
８：開口部
１０：金属母材
１２：レジスト
１４：インク
１６：貫通孔
１８：ドクター
２０，３０：メタルマスクスクリーン版
２２：被印刷物
【図１】
2007118589.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2007118589.tif 000018
【図１７】
2007118589.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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