(57)【要約】【課題】検査領域（非検査領域）を効率よく設定することができる検査領域設定装置および外観検査装置を提供する。【解決手段】表示部２は、検査領域または非検査領域の設定対象となる検査対象物上の複数の領域の位置関係を示すマップを表示する。操作部１の操作によって領域が指定された場合に、検査領域情報生成部６は、指定された領域と所定の位置関係にある他の領域、および指定された領域を検査領域または非検査領域に設定するための検査領域情報を生成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査領域または非検査領域の設定対象となる検査対象物上の複数の領域の位置関係を示すマップを表示する表示手段と、
前記検査領域または前記非検査領域となる領域を指定するためにユーザが操作する操作手段と、
前記操作手段の操作によって領域が指定された場合に、指定された領域と所定の位置関係にある他の領域、および前記指定された領域を前記検査領域または前記非検査領域に設定する領域設定手段と、
を備えたことを特徴とする検査領域設定装置。
【請求項２】
前記領域設定手段は、前記マップ上において、指定された領域を含み、縦または横に一列に並んだ複数の領域を前記検査領域または前記非検査領域に設定することを特徴とする請求項１に記載の検査領域設定装置。
【請求項３】
前記領域設定手段は、前記マップ上において、指定された領域を前記検査領域または前記非検査領域に設定すると共に、前記マップ上の所定位置を基準にして、指定された領域と対称な位置にある領域を前記検査領域または前記非検査領域に設定することを特徴とする請求項１に記載の検査領域設定装置。
【請求項４】
検査領域または非検査領域の設定対象となる検査対象物上の複数の領域の位置関係を示すマップを表示する表示手段と、
前記検査領域または前記非検査領域となる領域を指定するためにユーザが操作する操作手段と、
前記操作手段の操作によって前記検査領域または前記非検査領域に設定する範囲を示す数値が指定された場合に、指定された数値に基づいた範囲に少なくとも一部が含まれる複数の領域を前記検査領域または前記非検査領域に設定する領域設定手段と、
を備えたことを特徴とする検査領域設定装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれかに記載の検査領域設定装置を備え、該検査領域設定装置によって設定された前記検査領域を観察するための外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物に検査領域または非検査領域を設定する検査領域設定装置に関する。また、本発明は、本検査領域設定装置を備え、検査対象物の外観を検査するための外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や液晶表示装置の製造工程においては、半導体ウェハや大型ガラス基板等の基板に塗布されたレジスト等の膜ムラや、異物、汚れ、傷等の欠陥の検査が行われている。この検査に用いられる検査装置はＧＵＩ（Graphical User Interface）機能を備えており、ユーザが、画面に表示されるマップ画像（基板上のパターン領域の配列を表すマップの画像）を確認しながら検査領域を設定することが可能である。設定された検査領域を顕微鏡等で観察することによって、検査が行われる。この検査用のレシピを作成するときの検査領域の設定の際には、例えばデフォルトのマップ画像のパターンの形成された領域と、実際のパターンの形成された領域が異なるときなど、ユーザが、検査領域または非検査領域となる領域を複数の領域の中から１つ１つ選択し、設定しなければならない場合がある。
【０００３】
特許文献１には、検査領域を設定するための画面上にＳＥＭ画像を表示し、ユーザがＳＥＭ画像を確認しながら検査領域を設定することが記載されている。
【特許文献１】特開２０００−１６１９４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の検査装置においては、ユーザが、検査領域または非検査領域となる領域を複数の領域の中から１つ１つ選択する必要があるため、効率が悪いという問題があった。特許文献１においても、画面機能が十分に生かされておらず、検査領域または非検査領域となる領域を選択する際の効率の悪さは改善されていない。
【０００５】
本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであって、検査領域（非検査領域）を効率よく設定することができる検査領域設定装置および外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、検査領域または非検査領域の設定対象となる検査対象物上の複数の領域の位置関係を示すマップを表示する表示手段と、前記検査領域または前記非検査領域となる領域を指定するためにユーザが操作する操作手段と、前記操作手段の操作によって領域が指定された場合に、指定された領域と所定の位置関係にある他の領域、および前記指定された領域を前記検査領域または前記非検査領域に設定する領域設定手段とを備えたことを特徴とする検査領域設定装置である。
【０００７】
また、本発明の検査領域設定装置において、前記領域設定手段は、前記マップ上において、指定された領域を含み、縦または横に一列に並んだ複数の領域を前記検査領域または前記非検査領域に設定することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の検査領域設定装置において、前記領域設定手段は、前記マップ上において、指定された領域を前記検査領域または前記非検査領域に設定すると共に、前記マップ上の所定位置を基準にして、指定された領域と対称な位置にある領域を前記検査領域または前記非検査領域に設定することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、検査領域または非検査領域の設定対象となる検査対象物上の複数の領域の位置関係を示すマップを表示する表示手段と、前記検査領域または前記非検査領域となる領域を指定するためにユーザが操作する操作手段と、前記操作手段の操作によって前記検査領域または前記非検査領域に設定する範囲を示す数値が指定された場合に、指定された数値に基づいた範囲に少なくとも一部が含まれる複数の領域を前記検査領域または前記非検査領域に設定する領域設定手段とを備えたことを特徴とする検査領域設定装置である。
【００１０】
また、本発明は、上記の検査領域設定装置を備え、該検査領域設定装置によって設定された前記検査領域を観察するための外観検査装置である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、操作手段の操作によって、１つの領域を指定しただけで、その他の領域を含む複数の領域を検査領域または非検査領域に設定することができるので、検査領域（非検査領域）を効率よく設定することができるという効果が得られる。また、本発明によれば、範囲指定に係る数値の入力を行うだけで複数の領域を検査領域または非検査領域に設定することができるので、検査領域（非検査領域）を効率よく設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。本実施形態では、検査対象物が半導体ウェハであり、ウェハに検査領域（非検査領域）を設定する場合を例として説明する。図１は、本発明の一実施形態による検査領域設定装置の構成を示している。本検査領域設定装置は、入力装置、出力装置、中央処理装置、および記憶装置を備えたコンピュータによって実現可能であるが、本検査領域設定装置が外観検査装置に組み込まれて構築されているのか、それとも外観検査装置と別個に構築されているのかは問わない。
【００１３】
図１において、操作部１は、検査領域または非検査領域となる領域を指定するためやその他の情報を入力するためにユーザが操作するマウス、キーボード、タッチパネル、あるいは外観検査装置に設けられている操作パネル等である。表示部２は、検査領域（非検査領域）を設定するための画像を含む各種の画像を表示する。位置検出部３は、ユーザが操作部１を操作した結果に基づいて、画像上のどの位置を指定して指示が入力されたのかを検出する。例えば、ユーザがマウスでクリックやドラッグを行った位置や、タッチパネル上でタッチした位置が検出され、その位置の情報が入力内容検出部５へ出力される。また、マウス等の動きに合わせて画面内を移動するカーソルの移動位置も位置検出部３によって検出され、その位置の情報が表示データ生成部４へ出力される。
【００１４】
表示データ生成部４は、記憶部７に格納されている画面情報に基づいて、画像の表示に用いる表示データを生成し、表示部２へ出力する。表示部２は、表示データに基づいて画像を表示する。画面情報には、ボタンや文字等の大きさや形状、配置位置、表示色等の画面表示に必要な情報が含まれている。また、表示データ生成部４は現在表示中の画像の情報を入力内容検出部５へ出力する。
【００１５】
入力内容検出部５は、位置検出部３によって検出された、クリックや、ドラッグ、タッチパネルのタッチ等による情報の入力位置と、記憶部７に格納されている機能情報とに基づいて入力内容を検出する。機能情報には、画面内の入力位置と機能との対応関係を示す情報（例えばボタンの位置と、そのボタンに関連付けられた機能とを示す情報）が含まれている。入力内容検出部５は、現在表示中の画像に対応した機能情報を使用して入力内容を検出する。
【００１６】
入力内容検出部５は、検出した入力内容の情報を表示データ生成部４および検査領域情報生成部６へ出力する。表示データ生成部４は、入力内容の情報に従って画面を更新するため、表示データを生成する。検査領域情報生成部６は、入力内容の情報に従って、検査領域および非検査領域の設定内容を示す検査領域情報を生成し、記憶部７に格納する（既に記憶部７に格納されている検査領域情報に新たな検査領域情報を上書きすることにより検査領域情報を更新する場合も含む）。記憶部７は検査領域情報、機能情報、および画面情報等の情報を記憶する。
【００１７】
次に、表示部２に表示される画面（パネル）を説明する。表示部２には、主にレシピパネル、ウェハ条件パネル、ウェハ編集パネル、マクロ移動パネル、ミクロ移動パネル、画像パネル、および検査条件パネルが表示される。
【００１８】
レシピパネルは、ウェハの品種の識別情報（品種名等）と工程の識別情報（工程名等）を検査内容（ウェハの表面検査、裏面周辺の検査、裏面中央の検査、ミクロ検査）や、ウェハが収納されたカセットの情報と関連付けるための画面である。ウェハ条件パネルは、検査対象のウェハの各種条件を設定するための画面である。ウェハの各種条件には、ウェハの大きさや、検査領域の単位であるチップの縦・横の長さ、チップ同士の間隔等が含まれる。ウェハ編集パネルは、検査領域および非検査領域を設定するための画面である。
【００１９】
マクロ移動パネルは、ウェハを揺動させながら目視により表面を検査するマクロ検査の際のウェハの角度等を設定するための画面である。ミクロ移動パネルは、顕微鏡によりウェハ表面の拡大像を用いて観察および検査するミクロ検査の際のステージの移動位置等を設定するための画面である。画像パネルは、検査時に参照するリファレンス画像（ウェハ上の欠陥の画像や正常時のウェハの画像）を登録するための画面である。検査条件パネルは、その他の検査条件を設定するための画面である。
【００２０】
検査には、検査時の条件を定義するレシピが用いられる。上記の各パネルで設定を行うことにより、レシピが作成され、記憶装置に保存される。レシピには検査領域情報も含まれる。検査領域を設定する場合、ウェハ条件パネルを用いてウェハサイズやマップレイアウト等のウェハ条件が設定され、ウェハ条件に従ったウェハマップが描画される。ウェハマップは、検査領域の設定対象となる、所定のパターンが形成されたウェハ上の複数のチップの位置関係（ウェハ上の各チップの配列の様子）を表すものである。ウェハマップが描画されたら、ウェハ編集パネルでユーザがウェハマップを編集することにより、検査領域が設定される。
【００２１】
次に、検査領域の設定方法を説明する。図２は、表示部２の画面に表示されるウェハ編集パネルの例を示している。ウェハマップ２０１は図２では簡略化したものとなっているが、実際には数千チップがウェハ上に存在することもある。保存ボタン２０２は、作成したレシピを保存するためのボタンである。上書保存ボタン２０３は、既に作成したレシピを上書きして最新の状態に更新するためのボタンである。終了ボタン２０４は、ウェハ編集パネル等を閉じてレシピの作成を終了するためのボタンである。
【００２２】
ウェハマップ２０１上の有効チップの中から、検査領域となるチップまたは領域（複数チップ）を指定することにより、検査領域を設定することができる。あるいは、ウェハマップ２０１上の有効チップの中から、非検査領域となるチップまたは領域（複数チップ）を指定することにより、非検査領域を設定することができる。
【００２３】
検査領域または非検査領域を設定するため、編集モードの選択が行われる。縦ボタン２０５は、ウェハマップ２０１上において、ユーザによって指定されたチップを含み、縦（垂直方向）に一列に並んだ複数のチップを検査領域または非検査領域の選択対象として指定するためのボタンである。ユーザが操作部１を操作し、例えば図３のチップ３０１をクリック等により指定すると共に縦ボタン２０５をクリック等すると、領域３０２に含まれる、縦一列に並んだチップが検査領域または非検査領域の選択対象として指定される。
【００２４】
横ボタン２０６は、ウェハマップ２０１上において、ユーザによって指定されたチップを含み、横（水平方向）に一列に並んだ複数のチップを検査領域または非検査領域の選択対象として指定するためのボタンである。ユーザが操作部１を操作し、例えば図４のチップ４０１をクリック等により指定すると共に横ボタン２０６をクリック等すると、領域４０２に含まれる、横一列に並んだチップが検査領域または非検査領域の選択対象として指定される。上記のように、縦ボタン２０５または横ボタン２０６の操作により、ウェハマップ２０１上で指定されたチップを含み、縦または横に一列に並んだ複数のチップを同時に検査領域または非検査領域に設定することができる。
【００２５】
チップボタン２０７は、検査領域または非検査領域の選択対象として指定するチップを個別に選択するためのボタンである。ユーザが操作部１を操作し、チップボタン２０７をクリック等することによって、ウェハマップ２０１上でクリック等により指定したチップのみを検査領域または非検査領域に設定することができる。
【００２６】
範囲ボタン２０８は、エディットボックス２０９で指定された範囲に含まれるチップを検査領域または非検査領域の選択対象として指定するためのボタンである。ユーザが操作部１を操作し、検査領域または非検査領域に設定する範囲を示す数値として、エディットボックス２０９にａ，ｂ（ａ＜ｂ）を入力すると、ウェハマップ２０１の中心と一致する中心を有する半径ａとｂの円に挟まれた領域に含まれる複数のチップが検査領域または非検査領域の選択対象として指定される。
【００２７】
例えば、図５のように、円５０１と５０２に挟まれた領域に含まれる複数のチップ５０３が検査領域または非検査領域の選択対象として同時に指定される。図５では、２つの円に挟まれた領域に全体が含まれるチップが検査領域または非検査領域の選択対象となっているが、２つの円に挟まれた領域に一部のみが含まれるチップも検査領域または非検査領域の選択対象となるようにしてもよい。
【００２８】
対称ボタン２１０は、ウェハマップ２０１上の所定位置を基準にして、ユーザによって指定されたチップと対称な位置にあるチップを検査領域または非検査領域の選択対象として指定するためのボタンである。対称性の条件は、チェックボックス２１１で指定される。チェックボックス２１１の「左右」がチェックされると、ウェハマップ２０１の中心を通る垂直線（例えば図６の垂直線６０１）を基準にして、指定されたチップ（例えば図６のチップ６０２）と線対称（左右対称）な位置にあるチップ（例えば図６のチップ６０３）も検査領域または非検査領域の選択対象として指定される。
【００２９】
また、チェックボックス２１１の「上下」がチェックされると、ウェハマップ２０１の中心を通る水平線（例えば図７の水平線７０１）を基準にして、指定されたチップ（例えば図７のチップ７０２）と線対称（上下対称）な位置にあるチップ（例えば図７のチップ７０３）も検査領域または非検査領域の選択対象として指定される。また、チェックボックス２１１の「中心」がチェックされると、ウェハマップ２０１の中心（図８の中心８０１）を基準にして、指定されたチップ（例えば図８のチップ８０２）と点対称（中心対称）な位置にあるチップ（例えば図８のチップ８０３）も検査領域または非検査領域の選択対象として指定される。なお、各チップが、ウェハの中心点に対して非対称な位置に配置されている場合は、中心点を自由に設定できるようにしてもよい。
【００３０】
指定されたチップに対して所定の対称条件を満たすチップの位置は、入力内容検出部５によって以下のようにして算出される。ウェハマップ２０１を描画するとき、チップの位置をマトリックスとして表したチップ情報のマトリックスが取得される。指定されたチップの位置（図９の指定チップ位置９０１）と左右対称なチップ位置（図９の左右対称チップ位置９０２）、指定されたチップと上下対称なチップ位置（図９の上下対称チップ位置９０３）、指定されたチップと中心対称なチップ位置（図９の中心対称チップ位置９０４）はそれぞれ次の式によって求められる。ただし、各チップ位置は、チップ情報のマトリックスとして表してある。
【００３１】
左右対称チップ位置D[X,Y]＝D[Xcount-Xpos,Ypos]
上下対称チップ位置D[X,Y]＝D[Xpos,Ycount-Ypos]
中心対称チップ位置D[X,Y]＝D[Xcount-Xpos,Ycount-Ypos]
上式において、（Xpos,Ypos）は、指定されたチップの位置（図９の指定チップ位置９０１）を示している。Xcount，Ycountはそれぞれ、X方向のチップの最大数、Y方向のチップの最大数を示している。
【００３２】
検査領域または非検査領域の選択対象となるチップが決定されると、編集操作の選択が行われる。図２のテグボタン２１２は、選択対象となったチップをテスト用のテグダイとして設定するためのボタンである。削除ボタン２１３は、選択対象となっているチップを検査領域から削除（除外）する（非検査領域に設定する）ためのボタンである。追加ボタン２１４は、選択対象となっているチップを検査領域に追加する（検査領域に設定する）ためのボタンである。戻すボタン２１５は、直前の操作を取り消して、その１つ前の操作の直後の状態に画面を戻すためのボタンである。
【００３３】
チェックボックス２１６は、連続操作を行うか否かを設定するためのものである。「連続」がチェックされている場合には、選択された編集モードの条件を満たすチップを連続して検査領域または非検査領域に設定することが可能となる。例えば、チェックボックス２１６の「連続」がチェックされ、縦ボタン２０５がクリック等された場合、ウェハマップ２０１上の複数のチップがクリック等されると、各チップを含み、縦一列に並んだチップからなる各領域が検査領域または非検査領域の選択対象として指定される。また、チェックボックス２１６の「通常」がチェックされている場合には、チップを指定する毎に編集モードの選択を行うことになる。
【００３４】
ユーザが操作部１を操作すると、位置検出部３はカーソルの移動位置や、上記のボタン等のクリック等による指示の入力位置を検出し、各位置の情報を入力内容検出部５へ出力する。入力内容検出部５は、現在表示中の画像（例えばウェハ編集画面）に対応した機能情報と位置の情報とに基づいて、入力内容を検出する。例えば縦ボタン２０５がクリック等された場合、入力内容検出部５は、クリック等が行われた位置の情報と機能情報とから、縦ボタン２０５の位置でクリック等が行われたことを検出すると共に、縦ボタン２０５に関する機能情報に基づいて、検査領域または非検査領域の選択対象となるチップを示す情報を生成し、その情報を入力内容の情報として検査領域情報生成部６へ出力する。
【００３５】
また、例えば削除ボタン２１３がクリック等された場合、入力内容検出部５は、クリック等が行われた位置の情報と機能情報とから、削除ボタン２１３の位置でクリック等が行われたことを検出すると共に、削除ボタン２１３に関する機能情報に基づいて、指定されたチップを検査領域から削除することを示す情報を生成し、その情報を入力内容の情報として検査領域情報生成部６へ出力する。検査領域情報生成部６は、入力内容検出部５から取得した情報に基づいて、検査領域情報を生成し、記憶部７に格納する。この検査領域情報を含むレシピに従った検査の際には、検査領域として設定されたウェハ上の領域が外観検査装置上の顕微鏡等により観察される。
【００３６】
上述したように、本実施形態によれば、操作部１の操作によって領域（チップ）が指定された場合に、指定された領域が検査領域または非検査領域に設定されると共に、指定された領域と所定の位置関係にある他の領域も検査領域または非検査領域に設定される。これによって、１つの領域を指定しただけで、その他の領域を含む複数の領域を検査領域または非検査領域に設定することができるので、検査領域（非検査領域）を効率よく設定することができる。
【００３７】
また、本実施形態によれば、操作部１の操作によって、検査領域または非検査領域に設定する範囲を示す数値が指定された場合に、指定された数値に基づいた範囲に少なくとも一部（一部だけでもよいし、全部でもよい）が含まれる複数の領域（チップ）が検査領域または非検査領域に設定される。これによって、範囲指定に係る数値の入力を行うだけで複数の領域を検査領域または非検査領域に設定することができるので、検査領域（非検査領域）を効率よく設定することができる。
【００３８】
また、本実施形態によれば、マウス等の移動量やクリック回数等が減少するので、操作性を向上させ、レシピの作成時間を短縮することができる。外観検査装置でレシピの作成が行われる場合、レシピを作成しながら別のレシピで検査を行うことはできないため、レシピの作成時間は検査時間に影響を与えることになる。上記のように、操作性の向上によってレシピの作成時間を短縮することができるため、検査時間を短縮することができる。
【００３９】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施形態による検査領域設定装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態におけるウェハ編集パネルの表示例を示す模式図である。
【図３】本発明の一実施形態において、縦一列に並んだチップを検査領域または非検査領域の選択対象として指定する方法を説明するための説明図である。
【図４】本発明の一実施形態において、横一列に並んだチップを検査領域または非検査領域の選択対象として指定する方法を説明するための説明図である。
【図５】本発明の一実施形態において、指定された範囲に含まれるチップを検査領域または非検査領域の選択対象として指定する方法を説明するための説明図である。
【図６】本発明の一実施形態において、指定されたチップと左右対称な位置にあるチップを検査領域または非検査領域の選択対象として指定する方法を説明するための説明図である。
【図７】本発明の一実施形態において、指定されたチップと上下対称な位置にあるチップを検査領域または非検査領域の選択対象として指定する方法を説明するための説明図である。
【図８】本発明の一実施形態において、指定されたチップと中心対称な位置にあるチップを検査領域または非検査領域の選択対象として指定する方法を説明するための説明図である。
【図９】本発明の一実施形態において、指定されたチップに対して所定の対称条件を満たすチップの位置を算出する方法を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１・・・操作部（操作手段）、２・・・表示部（表示手段）、３・・・位置検出部、４・・・表示データ生成部、５・・・入力内容検出部、６・・・検査領域情報生成部（領域設定手段）、７・・・記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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