(57)【要約】      （修正有）【課題】構造が簡単であり、揮発性成分を含む溶液の微小量を適量に安定して供給する液体材料供給装置を提供する。【解決手段】揮発性成分を含む液体材料を収容する容器２１と、一端が毛細管部分であるディスペンサノズル２２と、このディスペンサノズル２２の毛細管部分を容器内２１に出し入れ可能にするディスペンサノズル移動手段２３と、前記ディスペンサノズル２２の圧力を正圧または負圧または大気圧にする圧力調整手段６と、を備える液体材料供給装置であって、容器２１が、ディスペンサノズル２２の毛細管部分を前記液体材料に浸漬可能な深さを有することを特徴とする液体材料供給装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
揮発性成分を含む液体材料を収容する容器と、一端が毛細管部分であるディスペンサノズルと、前記ディスペンサノズルの毛細管部分を前記容器内に出し入れ可能にするディスペンサノズル移動手段と、前記ディスペンサノズル内の圧力を正圧または負圧または大気圧にする圧力調整手段と、を備える液体材料供給装置であって、
前記容器が、前記ディスペンサノズルの毛細管部分を前記液体材料に浸漬可能な深さを有することを特徴とする液体材料供給装置。
【請求項２】
揮発性成分を含む液体材料を収容する第１及び第２の容器と、この第１の容器に対応する、一端が毛細管部分である第１のディスペンサノズルと、この第２の容器に対応する、一端が毛細管部分である第２のディスペンサノズルと、
前記第１及び第２のディスペンサノズルの毛細管部分を、前記第１及び第２の容器内に出し入れ可能にするディスペンサノズル移動手段と、
前記第１及び第２のディスペンサノズル内の圧力を正圧または負圧または大気圧にする圧力調整手段と、を備える液体材料供給装置であって、
前記第１および第２のディスペンサノズルが一体的に、前記第１及び第２の容器の間に配置されていることを特徴とする液体材料供給装置。
【請求項３】
揮発性成分を含む液体材料を収容する容器に、超音波振動子を備えていることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の液体材料供給装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体材料の供給装置に関するものであって、詳しくは揮発性成分を含む液体材料を供給するためのディスペンサノズルを用いた液体材料供給装置に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置（ＬＣＤ）に使用されるカラーフィルタや配向膜の製造過程において、異物の混入（黒欠陥）、カラーフィルタのレジスト等の不足による欠陥（白欠陥）や配向膜の有機材料の不足による欠陥が生じる場合があり、製品歩留まりの向上のため、これらの欠陥部分を補修する必要がある。
従来では、これらの欠陥部分を補修するために、欠陥部分をレーザ光で焼いて、バックライトの光が透過しないようにしたり、欠陥部分に上記レジスト等を供給した後、レーザ照射やベーキングによってレジスト等を固化させる方法がとられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記の修正方法（前者）では、画面が白色であっても、その部分が黒点になってしまうという問題があった。
また、上記の修正方法（後者）における、欠陥部分へのレジスト剤の供給手段では塗布針（例えば特許文献１）、ディスペンサ（例えば特許文献２）やインクジェット（例えば特許文献３）による液体材料供給装置が用いられている。
しかし、レジスト剤は、揮発性成分が極めて短時間に蒸発してしまうため、塗布針の場合は、塗布針の先端でレジスト剤が凝固してしまうことにより、レジスト剤等の供給量が極めて不安定になる問題がある。
また、ディスペンサ装置では揮発性成分が気化して、レジスト剤等がディスペンサノズル内部で凝固しノズルの閉塞を起こしたり、ディスペンサノズル外周における上記溶液の這い上がりしたものが凝固することにより、ディスペンサノズル先端の外径増加し、ディスペンサノズル先端が前記欠陥部分に正確な位置決めができないなどの問題がある。
そして、インクジェット装置では揮発性成分が気化して、レジスト剤等がインクジェットノズル内部で凝固しノズルの閉塞を生じ、安定した補修作業が行えない問題等があった。
【特許文献１】特開平１１−１０８８４９号公報
【特許文献２】特開平９−５４２０６号公報
【特許文献３】特開１１−２７１７５２号公報
【０００４】
本発明は上記事情を鑑みてなされたものであって、構造が簡単であり、揮発性成分を含む液体の微小量を安定して供給する液体材料供給装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
即ち、請求項１に係る液体材料供給装置は、揮発性成分を含む液体材料を収容する容器と、この容器に対応する、一端が毛細管部分であるディスペンサノズルと、前記ディスペンサノズルの毛細管部分を前記容器内に出し入れ可能にするディスペンサノズル移動手段と、前記ディスペンサノズル内の圧力を正圧または負圧または大気圧にする圧力調整手段と、を備える液体材料供給装置であって、前記容器が、前記ディスペンサノズルの毛細管部分を前記液体材料に浸漬可能な深さを有することを特徴としている。
【０００６】
請求項２に係る液体材料供給装置は、揮発性成分を含む液体材料を収容する第１及び第２の容器と、この第１の容器に対応する、一端が毛細管部分である第１のディスペンサノズルと、この第２の容器に対応する、一端が毛細管部分である第２のディスペンサノズルと、
前記第１及び第２のディスペンサノズルの先端部を、前記第１及び第２の容器内に出し入れ可能にするディスペンサノズル移動手段と、前記第１及び第２のディスペンサノズル内の圧力を正圧または負圧または大気圧にする圧力調整手段と、を備える液体材料供給装置であって、前記第１および第２のディスペンサノズルが一体的に、前記第１及び第２の容器の間に配置されていることを特徴としている。
【０００７】
請求項３に係る液体材料供給装置は、請求項１または請求項２に記載の液体材料供給装置の前記液体材料を収容する容器に超音波振動子を備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は以下の優れた効果を奏する。
請求項１に係る発明によれば、前記ディスペンサノズルの一端が毛細管になっているため、この毛細管部分を前記液体材料を収容する容器に浸漬することにより、容易に前記液体材料を前記ディスペンサノズル内に吸上げることができ、その際に前記ディスペンサノズル内に前記レジスト材等（以下、「固化成分」という）が残留していても、吸上げられた前記液体材料に含まれる揮発性成分に再度溶解され、ディスペンサ前記ノズル内で硬化閉塞することが防止される。
【０００９】
そして、前記ディスペンサノズルの外周面に前記固化成分が残留していても、前記液体材料の揮発性成分によって溶解されるため、前記固化成分が前記ディスペンサノズルの外周面で凝固することが防止される。これによって、該ディスペンサノズルの先端部の外形寸法の変化を生じず、該ディスペンサノズルの先端部を被補修箇所に正確に位置決めできる。
【００１０】
さらに、前記液体材料が毛細管現象によって、前記ディスペンサノズル内に吸上げられるため、該ディスペンサノズルを前記液体材料内に長い時間浸漬していても、一定量以上の液体材料がディスペンサノズル内に吸上げられることがなく、更に長時間の上記浸漬により、ディスペンサノズル内外で凝固した固化成分を、前記液体材料に含まれる揮発性成分で十分に溶解し前記液体材料内に吸収することができる。
ディスペンサノズル内の空気を大気と導通することによって、ディスペンサノズル内の空気圧力を特段の制御することなく、前記液体材料を前記ディスペンサノズル内に充填できる。
【００１１】
また、前記容器が、前記ディスペンサノズルの毛細管部分を前記液体材料に浸漬可能な深さを有しているため、前記ディスペンサノズルの外周面に固化成分が残留している部分に合わせて該ディスペンサノズルを前記液体に浸漬することができ、前記ディスペンサノズルの外周面を前記液体材料によって溶解洗浄がおこなえるため、該固化成分が前記ディスペンサノズルの外周面で残留し凝固することを防止できる。
【００１２】
請求項２に係る発明によれば、第１および第２のディスペンサノズルのどちらか一方、例えば、第１のディスペンサノズルを用いて前記液体材料を必要な箇所に吐出供給中に、第２のディスペンサノズルの毛細管部分を第２のディスペンサノズルに対応する第２の容器内の前記液体材料に浸漬した状態で維持できるため、第２の容器内の前記液体材料によって、第２のディスペンサノズルの毛細管部分が洗浄されると共に、毛細管現象によって、該液体材料が、第２のディスペンサノズル内に吸上げられた状態で、第２のディスペンサノズルを待機させることができる。
【００１３】
そして、前記液体材料を吐出供給している第１のディスペンサノズル内の前記液体材料の残量が所定量以下になった場合や、第１のディスペンサノズルの毛細管部分内で、前記固化成分による閉塞が生じた場合に、第１のディスペンサノズルに取り替えて、待機状態の第２のディスペンサノズルを用いて、前記液体材料を継続して吐出供給できる。
【００１４】
請求項３に係る発明によれば、前記液体材料の容器に備えられた超音波振動子の振動によって、前記容器内の前記液体材料の撹拌がなされると共に、この容器内に浸漬した前記ディスペンサノズルの毛細管部分の内面及び外面の洗浄が容易に行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態に係る液体材料供給装置について、添付図面を参照して説明する。
まず、図１は、本発明の第１の実施の形態に係る液体材料供給装置２を備えた補修装置１示す概念図である。
この補修装置１は、液体材料供給装置２とレーザ光学系３と、撮影光学系４と、照明光学系５と、これら液体材料供給装置２、レーザ光学系３、撮影光学系４、照明光学系５を取り付けたベース７と、ベース７の下方に配置されて、液晶基板等の平板状の被補修物１０を載置し、図示しないテーブル駆動機構によってＸＹ（Ｙは図１の紙面に垂直な方向）方向に相対的に移動可能なテーブル１１と、ベース７を被補修物１０に対し直角な方向（Ｚ方向）に移動可能にするベース移動機構８と、後述の液体材料供給装置２のディスペンサノズル２２内の圧力を正圧または負圧または大気圧にする圧力調整手段６と、制御系９と、制御系９に外部信号を入力する外部入力手段（外部ＰＣ）９９と、を備えている。
【００１６】
液晶基板等の平板状の被補修物（以下、「ワーク」という。）１０は、例えば、液晶基板のカラーフィルタや配向膜であり、欠損している部分（以下、「欠陥部」という。）とは、カラーフィルタの所謂白欠陥や黒欠陥等の部分をいい、配向膜では配向膜の欠落部分等をいう。
【００１７】
液体材料供給装置２は、液体材料２１ａ（図３）を収容する容器２１と、ディスペンサノズル２２と、ディスペンサノズル２２をワーク１０の欠陥部の方向（図１の矢印β）に進退させる第１の移動機構２３と、第１の移動機構２３を駆動する第１の駆動モータ２４と、ディスペンサノズル２２の矢印β方向の位置を検出する第１の位置検知手段２５と、を備えている。
そして、ディスペンサノズル２２、第１の移動機構２３、第１の駆動モータ２４、第１の位置検知手段２５と、を取り付けたスライダー２６を前記Ｘ軸方向に平行な方向（矢印α）に移動可能にする第２の移動機構２７と、第２の移動機構２７を駆動する第２の駆動モータ２８と、ディスペンサノズル２２の矢印α方向の位置を検出する第２の位置検知器２９を備えている。
【００１８】
ディスペンサノズル２２（図２）は、一端が所定の長さを有する毛細管部分２２ａで、他端が毛細管部分２２ａより太い胴部２２ｂとから構成され、胴部２２ｂはチューブ６１を介して、圧力調整手段６に接続している。
そして、図３に示すように、ディスペンサノズル２２の毛細管部分２２ａは第１、２の移動機構２３、２７の夫々の駆動モータ２４、２８を駆動することによって、容器２１内の液体材料２１ａに浸漬及び取出しができるようになっており、この浸漬時に、毛細管現象によって液体材料２１ａを毛細管部分２２ａ内に吸上げることができるようになっている。
その際、液体材料２１ａに含まれる揮発性成分によって、毛細管部分２２ａ内に液体材料２１ａの一部が残留している場合であっても、この残留物が、前記揮発性成分で溶解される。
【００１９】
また、容器２１の深さは、毛細管部２２ａの長さを、全て浸漬することができる深さになっており、浸漬深さは第１の駆動モータ２４および第１の検知手段２５によって任意の浸漬深さに調整可能になっている。
更に、毛細間現象によらず、その浸漬長さ分だけを毛細管部２２ａ内に液体材料２１ａを導入できるため、ディスペンサノズル２２への液体材料２１ａの充填量を調整できる。
【００２０】
尚、圧力調整手段６は図４に示すように、切替弁６２、開閉弁６３Ａ、６３Ｂ、空気圧縮機６０Ａ、真空ポンプ６０Ｂを備え、切替弁６２はＯＦＦの状態でディスペンサノズル２２の胴部２２ｂを大気と導通し、ＯＮの状態で胴部２２ｂを空気圧縮機６０ａ及び真空ポンプ６０ｂと夫々開閉弁６３Ａ、６３Ｂを介して導通するようになっている。
尚、開閉弁６３Ａ、６３Ｂは常時閉の状態になっており、制御装置９８からの信号によって、開になるようになっている。
即ち、この圧力調整手段６を作動することによって、胴部２２ｂの空気圧を正圧または負圧または大気圧にすることができ、これによって、毛細管部分２２ａ内の液体材料２１ａを排出、または毛細管部２２ａ内への液体材料２１ａの吸引、排出がおこなえるようになっている。
【００２１】
即ち、切替弁６２をＯＦＦの状態（胴部２２ｂを大気に開放した状態）で、先端部２２ａを容器２１の液体材料２１ａに浸漬することにより、毛細管現象によってディスペンサノズル２２に液体材料２１ａを吸上げることができる。
また、切替弁６２をＯＮの状態にし、空気圧縮機６０Ａを作動させて、開閉弁６３Ａを開にし、ディスペンサノズル２２の胴部２２ｂに正の空気圧（大気圧より高い圧力）を印加することによって、ディスペンサノズル２２の先端部分（毛細管部分２２ａ）から液体材料２１ａを吐出できる。
また、切替弁６２をＯＦＦの状態にし、ディスペンサノズル２２の先端部分を容器２２の液体材料２１ａに浸漬してから、真空ポンプ６０Ｂおよび空気圧縮機６０Ａを作動させて、
開閉弁６３Ａ、６３Ｂを交互に開閉させることにより、ディスペンサノズル２２の先端部分から液体材料２１ａを吸引、排出できるようになっている。
【００２２】
ディスペンサノズル２２の先端部分から吐出する液体材料２１ａの量は、ディスペンサノズル２２に印加される空気の圧力及び印加時間、印加回数によってかえることができるようになっている。
上記空気圧力は空気圧縮機６０Ａ内の図示しない圧力調整弁によって調整でき、印加時間、印加回数は開閉弁６３Ａの開閉時間、開閉回数によって調整できるようになっており、前記圧力調整弁および開閉弁６３Ａは、制御装置９８に接続され、制御装置９８に接続された外部ＰＣ９９からの信号によって制御するようになっている。
【００２３】
レーザ光学系３は、ワーク１０に対向する対物レンズ３３と、対物レンズ３３の光軸（光路Ｌ）上の上方に順に設けられたハーフミラー３５ｂ、結像レンズ３４、ハーフミラー３５ａ、レーザビーム断面形状整形手段３２、レーザ発振器３１とを備えており、ハーフミラー３５ａ、３５ｂは、それぞれ、光路Ｌを撮影光学系４側と照明光学系５側とに分岐するようになっている。
【００２４】
レーザ発振器３１は、前記カラーフィルタの白欠陥や黒欠陥部にレーザ光を照射して、欠陥部分の除去や、トリミングをおこなうためのものであり、例えば、１０６４、５３２、３５５ｎｍ等の波長のパルスレーザ光が放射できるようになっている。
また、レーザビーム断面形状整形手段（以下、「アパーチャ」という）３２は、レーザ発振器３１から放射されるレーザ光のビームの断面形状を前記の白欠陥や黒欠陥部の除去やトリミングの形状に合わせて整形（以下、「ビーム整形」という。）するものであって、図５に示すような、４枚のブレード３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄによって構成され、各ブレードは図示しないアパーチャ駆動機構よって図５の矢印イ、ロの方向に駆動できるようになっており、開口部形状が変更できる。
そして、前記図示しないアパーチャ駆動機構はアパーチャコントローラ９５を介して制御装置９８に接続され、制御装置９８に接続された外部ＰＣ９９からの信号によって制御するようになっている。
【００２５】
そして、アパーチャ３２によってビーム整形されたレーザ光は対物レンズ３３によってワーク１０の被修正箇所に集光照射され、この被修正箇所が所定の形状で除去、トリミングされるようになっている。
尚、配向膜の欠落部の補修等で、上記レーザ光の照射しない場合は、レーザ発振器３１は停止状態にしておく。
【００２６】
撮影光学系４は、ハーフミラー４２と、撮影手段（以下、「ＣＣＤカメラ」という）４１とを備え、ハーフミラー３５ａからワーク１０に至る光路を前記レーザ光学系３の光路Ｌと共通している。
そして、ハーフミラー４２は、ハーフミラー３５ａによってレーザ光学系３の光路Ｌから分岐された光路をＣＣＤカメラ４１側に偏向するようになっている。
【００２７】
そして、後述の照明光学系５の光源５１からの光が照射されたワーク１０上の欠陥部１０ａを含む所定の領域（図６（ａ））を、対物レンズ３３、結像レンズ３４を介して、ＣＣＤカメラ４１によって撮像できるようになっている。
そして、前記ＣＣＤカメラ４１によって撮像されたワーク１０の欠陥部１０ａを含む所定の領域の画像データはＡ／Ｄ変換器９３と、画像処理器９４とを経て制御装置９８に接続されており、欠陥部１０ａの画像データは制御装置９８に接続された外部ＰＣ９９の表示部１００に表示できるようになっている。
【００２８】
照明光学系５は、ハーフミラー３５ｂでレーザ光学系３の光路Ｌから分離された光路上にミラー５２を備えると共に、ミラー５２及びハーフミラー３５ｂと対物レンズ３３を経てワーク１０の欠陥部１０ａを含む所定の領域に所定の光を照射する光源５１を備え、ハーフミラー３５ｂから対物レンズ３３を通してワーク１０に至るまでの光路は、レーザ光学系３の光路Ｌと共通としている。
そして、光源５１は、図示しない白色光源と紫外光源と、これらの光源の図示しない切替スイッチと、を内蔵し、光源コントローラ９６を介して制御装置９８に接続されて、前記切替スイッチの切替と、前記白色光源と紫外光源の光量制御が可能になっている。
【００２９】
ベース移動機構８は、ベース７をＺ方向に移動させるベース駆動用モータ８１と、ベース７のＺ方向位置を検知するＺ方向位置検出器８２とを備えており、Ｚ方向位置検出器８２によって検出された、ベース７のＺ方向位置データと、第１の位置検知手段２５のデータによって、ワーク１０とディスペンサ２２の毛細管部分２２ａの先端との間隔が判るようになっている。
【００３０】
制御系９は、制御装置９８と、ベース駆動用モータ８１、第１の駆動モータ２４、第２の駆動モータ２８を、夫々駆動するモータドライバ９２、９７、９１と、ＣＣＤカメラ４１によって撮像されたワーク１０の欠陥部の画像データをデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器９３と、Ａ／Ｄ変換器９３からのデジタル信号を取り込んで画像処理する画像処理器９４と、光源コントローラ９６と、アパーチャコントローラ９５と、表示部１００を有する外部ＰＣ９９とを備えている。
【００３１】
そして、アパーチャコントローラ９５と、モータドライバ９２、９７、９１と、Ａ／Ｄ変換器９３と、画像処理器９４と、光源コントローラ９６と、外部ＰＣ９９と、圧力調整手段６と、が制御装置９８に接続されている。
尚、図１においては、圧力調整手段６の切替弁６２、開閉弁６３Ａ、６３Ｂ、空気圧縮機６０Ａ、真空ポンプ６０Ｂ、前記図示しない圧力調整弁と制御装置９８の接続を簡便のため１本の線でまとめて表示している。
【００３２】
画像処理器９４はワーク１０の欠陥部１０ａを含む所定の領域の画像データ（図６（ａ））と、図６（ｂ）に示す、欠陥部の存在しないワーク１０の所定の領域の画像データ（基準画像データ）と、を比較して、その差から欠陥部１０ａを抽出し、その欠陥部１０ａの画像データを制御装置９８に送信するようになっている。
【００３３】
そして、制御装置９８は、画像処理器９４からのワーク１０の欠陥部１０ａの画像データを読み取り、この欠陥部１０ａの形状を含む所定のレーザ光照射範囲（図６（ｃ））に前記レーザ光が照射されるように、アパーチャコントローラ９５に信号を送信し、前記アパーチャ３２を作動させるようになっている。
【００３４】
次に、上記のごとく構成された液体材料供給装置１の動作について、まず、液晶表示基板のカラーフィルタの黒欠陥の補修の場合について、図７に示す動作フローチャートに基づいて、基づいて説明する。
ステップ１（Ｓ１）において、図示されない検査工程によって得られた、ワーク１０の検査結果のデータを外部ＰＣに記録する。
そして、光源５１の前記白色光源を作動させてから、このテーブル駆動手段が、ワーク１０の検査結果のデータに含まれる欠陥部１０ａの座標データを受け取ってテーブルユニット１１を前記図示しないテーブル駆動機構によってＸＹ方向に移動制御して、欠陥部１０ａを対物レンズ３３の光路に位置決めした後、制御装置９８によってベース移動機構８のモータドライバ９２を駆動し、ベース駆動用モータ８１を作動させて、ワーク１０の欠陥部１０ａにＣＣＤカメラ４１の撮像のフォーカスを合わせる。
その際、空気圧縮機６０Ａ、真空ポンプ６０Ｂは作動状態にし、開閉弁６３Ａ、６３Ｂは共に閉の状態にしておく。
【００３５】
次に、ステップ２（Ｓ２）において、ＣＣＤカメラ４１によってワーク１０の欠陥部１０ａを含む所定の領域（図６（ａ））を撮像し、それによって得られた、ワーク１０の欠陥部１０ａを含む所定の領域の画像データをＡ／Ｄ変換器９３でデジタルデータに変換後、画像処理器９４に送る。
【００３６】
ステップ３（Ｓ３）において、画像処理器９４はワーク１０の欠陥部１０ａを含む所定の領域の画像データ（図６（ａ））と、予め、無欠陥のワーク１０をＣＣＤカメラ４で撮像して、ＰＣ９９に保存しておいた、図６（ｂ）に示すような欠陥部の存在しない所定の領域の画像データ（基準画像データ）と、を比較してその画像の差からワーク１０の欠陥部１０ａの形状を抽出して得られた欠陥部１０ａの形状データを制御装置９８に送信する。
【００３７】
ステップ４（Ｓ４）において、制御装置９８は、画像処理器９４からの欠陥部１０ａの形状データに基づき、この欠陥部１０ａの領域に前記レーザ光が照射されるようにアパーチャコントローラ９５に信号を送り、アパーチャ３２の開口部形状を欠陥部を含む所定の形状（レーザ光照射範囲）（図６（ｃ））にする。
【００３８】
ステップ５（Ｓ５）において、パルスレーザ発振器３１を作動させて発生したレーザ光を、アパーチャ３２から対物レンズ３３を経てワーク１０の被修正箇所に照射し（図８（ａ））、この欠陥部１０ａを含む所定の領域ハをレーザ光によって除去（図８（ｂ））する。
【００３９】
ステップ６（Ｓ６）において、予め、切替弁６２をＯＦＦの状態にし、開閉弁６３Ａ、６３Ｂを閉の状態にして、容器２１内の液体材料（以下、「補修用インク」という）２１ａに毛細管部分２２ａを浸漬しておいたディスペンサノズル２２を、図３に示すように、第１の駆動用モータ２４を作動させてβ１方向に容器２１から取り出してから、第２の駆動用モータ２８を作動させてディスペンサノズル２２をα１方向に移動させて待機位置γ１（図８（ｃ））に位置させて、その後、再度第１の駆動用モータ２４を作動させてディスペンサノズル２２の先端部をβ２方向に移動させて、待機位置γ２を経て前記レーザ加工された部分に当接または近接させた後、切替弁６２をＯＮにして、開閉弁６３Ａを所定回数開閉し、所定量の補修用インク２１ａを所定の領域ハに供給する（図８（ｄ））。
【００４０】
ステップ７（Ｓ７）において、再び第１の駆動用モータ２４を駆動させて、ディスペンサノズル２２の先端部を（図３のβ３方向）に移動させて待機位置γ１に退避させた後、光源５１の前記白色光源を停止し、紫外光源を作動して、前記補修用インク２１ａを供給した箇所に紫外光を照射して、その補修用インク２１ａを固化する（図８（ｅ））。なお、待機位置γ１は、ディスペンサノズル２２の毛細管部分２２ａに紫外光が照射されない位置である。
その後、第１の駆動用モータ２４、第２の駆動用モータ２８を順次作動しディスペンサノズル２２をα２方向、β４方向に移動させて、ディスペンサノズル２２の毛細管部分２２ａを容器２１内の補修用インク２１ａ内に浸漬をさせて、開閉弁６３Ａ、６３Ｂを閉にした状態のまま、切替弁６２をＯＦＦの状態にして、ディスペンサノズル２２内を大気と導通させ、毛細管現象によって補修用インク２１ａを毛細管部分２２ａに吸い上げると共に、ディスペンサノズル２２の毛細管部分２２ａの内外に残留する補修用インク２１ａを容器２１内の補修用インク２１ａに含まれる揮発性成分によって溶解し、容器２１内の補修用インク２１ａに溶解吸収する。
【００４１】
ステップ８（Ｓ８）において、ディスペンサノズル２２内に保持されている補修用インク２１ａの所定量をワーク１０の欠陥部１０ａに供給したか（外部ＰＣ９９で設定した、圧力調整手段６の開閉弁６３Ａの所定の作動回数に達した場合）、または、ディスペンサノズル２２の胴部２２ｂに正の空気圧を印加しても、ディスペンサノズル２２の毛細管部分２２ａから補修用インク２１ａが、欠陥部１０ａに吐出されない状態（表示器１００に表示される補修箇所への補修用インク２1ａの供給状況を作業者が観察することによって、吐出されないことが確認できる。）であるかを判断する。
【００４２】
そして、外部ＰＣ９９で設定した、圧力調整手段６の開閉弁６３Ａの所定の作動回数に達した場合、または、ディスペンサノズル２２の胴部２２ｂに正の空気圧を印加しても、ディスペンサノズル２２の毛細管部分２２ａから補修用インク２１ａが、欠陥部１０ａに吐出されない状態であれば、前述のように第１の駆動用モータ２４、第２の駆動用モータ２８を順次作動させて、ディスペンサノズル２２の毛細管部分２２ａを容器２１内の補修用インク２１ａ内に浸漬をさせて、ディスペンサノズル２２の毛細管部分２２ａの内外に残留する補修用インク２１ａを容器２１内の補修用インク２１ａに含まれる揮発性成分によって溶解し、容器２１内の補修用インク２１ａに吸収する（ステップ８′（Ｓ８′））。
尚、ステップ８の際、第１の駆動用モータ２４によって、ディスペンサノズル２２の毛細管部分２２ａを容器２１内の補修用インク２１ａ内で矢印β１及びβ４方向に往復運動させてもよい。
【００４３】
ステップ９（Ｓ９）で、外部ＰＣ９９に格納されている前工程のデータから、その他の欠陥部があるか否かをチェックし、その他の欠陥部がある場合は、上記ステップ１（Ｓ１）からステップ８（Ｓ８）を繰り返し、全ての欠陥部を補修した後に、ワーク１０の補修作業を終了する。
【００４４】
以上、本発明の一実施の形態に係る補修装置の動作について、液晶基板のカラーフィルタの黒欠陥の修正について説明をしたが、配向膜の欠落欠陥の場合は、レーザ光による欠陥部の除去、トリミング等はおこなわず、外部ＰＣの表示器１００に表示されたＣＣＤカメラ４１による欠陥部画像を目視で確認しながら、上記ステップ６（Ｓ６）〜ステップ７（Ｓ７）をおこなうこともできる。
【００４５】
図９は、本発明のその他の実施の形態に係る液体材料供給装置２Ａを備えた補修装置１Ａ示す概念図であり、補修装置１と同じ各構成機器については同じ番号を付している。
補修装置１Ａの構成は、液体材料供給２Ａ及び圧力調整手段６Ａが、夫々、補修装置１の液体材料供給２及び圧力調整手段６と異なるが、その他は同じ構成である。
そこで以下、液体材料供給装置２Ａ及び圧力調整手段６Ａについて説明をする。
【００４６】
液体材料供給装置２Ａは、ベース７に取り付けられており、補修用インク２１ａを収容する容器２１Ａ、２１Ｂと、これらの容器２１Ａ、２１Ｂに対応するディスペンサノズル２２Ａ、２２Ｂと、ディスペンサノズル２２Ａ、２２Ｂを一体的に取り付けたスライダー２６Ｂと、ディスペンサノズル２２Ａ、２２Ｂを夫々所定の方向（図９の矢印β）に移動可能にする第１の移動機構２３Ａ、２３Ｂと、第１の移動機構２３Ａ、２３Ｂを駆動する第１の駆動モータ２４Ａ、２４Ｂと、ディスペンサノズル２２Ａ、２２Ｂの矢印β方向の位置を検出する第１の位置検知手段２５Ａ、２５Ｂと、スライダー２６Ａを前記Ｘ軸方向に平行な方向（矢印α）に移動可能にする第２の移動機構２７Ａと、第２の移動機構２７Ａを駆動する第２の駆動モータ２８Ａと、スライダー２６Ａの矢印α方向の位置を検知する位置検知器２９Ａを備えている。を備えている。
【００４７】
そして、位置検知器２９Ａの出力と、位置検知器２５Ａ及び２５Ｂの出力から、ディスペンサノズル２２Ａ及び２２ＢのＸ軸方向の位置を算出するようになっている。
【００４８】
ディスペンサノズル２２Ａ、２２Ｂは、前述の実施例１のディスペンサノズル２２と同様の形状を有しており、それぞれの先端部分は、図１のディスペンサノズル２２と同様に所定の長さを有する毛細管部分２２Ａａ、２２Ｂａであり、胴部２２Ａｂ、２２Ｂｂはチューブ６１Ａ、６１Ｂを介して、圧力調整手段６Ａに接続している。
【００４９】
圧力調整手段６Ａは図１２に示すように、空気圧縮機６０Ａ及び真空ポンプ６０Ｂ、開閉弁６３Ａ、６３Ｂ、６３Ｃ、６３Ｄ及び切替弁６２Ａ、６２Ｂを備え、切替弁６２Ａ、６２Ｂは夫々ディスペンサノズル２２Ａ、２２Ｂの胴部２２Ａｂ、２２Ｂｂに接続している。
そして、ディスペンサノズル２２Ａの胴部２２Ａｂは、切替弁６２ＡがＯＦＦの状態で、大気と導通し、ＯＮの状態で、空気圧縮機６０Ａ及び真空ポンプ６０Ｂと夫々開閉弁６３Ａ、６３Ｂを介して導通するようになっている。
ディスペンサノズル２２Ｂの胴部２２Ｂｂは、切替弁６２ＢがＯＦＦの状態で、大気と導通し、ＯＮの状態で、空気圧縮機６０ａ及び真空ポンプ６０ｂと夫々開閉弁６３Ｃ、６３Ｄを介して導通するようになっている。
【００５０】
第１の駆動モータ２４Ａ、２４Ｂ及び第２の駆動モータ２８Ａを駆動することによって、図１１に示すように、ディスペンサノズル２２Ａの毛細管部分２２Ａａまたはディスペンサノズル２２Ｂの毛細管部分２２Ｂａのどちらか一方を、容器２１Ａまたは２１Ｂ内の補修用インク２１ａに浸漬できるようになっており、浸漬によって、毛細管現象によって補修用インク２１ａが、それぞれの毛細管部分２２Ａａまたは２２Ｂａ内に吸上げられる。（この場合、液体材料２１ａに浸漬するディスペンサノズル２２Ａまたは２２Ｂの切替弁６２Ａまたは６２ＢはＯＦＦの状態にしている。）
その際、補修用インク２１ａに含まれる揮発性成分によって、毛細管部分２２Ａａまたは２２Ｂａ内に補修用インク２１ａの一部が残留している場合であっても、その残留物が、前記揮発性成分で溶解できるようになっている。
【００５１】
さらに、毛細管部分２２Ａａ（又は２２Ｂａ）を補修用インク２１ａに浸漬して、切替弁６２Ａ（又は６２Ｂ）を閉にしたまま、開閉弁６３Ａ、６３Ｂ（又は６３Ｃ、６３Ｄ）を開閉させることによって、胴部２２Ａｂ（又は２２Ｂｂ）の圧力を正負に切替えることによって、毛細管部分２１Ａａ（又は２１Ｂａ）に補修用インク２１ａの吸引、排出をすることによって、毛細管部分２２Ａａ（又は２２Ｂａ）の内面を補修用インク２１ａで洗浄できるようになっている。
【００５２】
スライダー２６Ａに一体的に取り付けられたディスペンサノズル２２Ａとディスペンサノズル２２Ｂの間隔は、ベース７に取り付けられた容器２２Ａと容器２２Ｂの間隔より狭くなっており、ディスペンサノズル２２Ａ及び２２Ｂを、容器２２Ａ及び２２Ｂの上面より高い位置に維持した状態で、ディスペンサノズル２２Ａまたは２２Ｂのどちらか一方、例えばディスペンサノズル２２Ａを、第２の駆動モータ２８Ａを作動させて、待機位置γ１（図１１（ａ））に位置させると、ディスペンサノズル２２Ｂは容器２１Ｂの上方に位置するようになっている。
本実施の形態では、容器２２Ａと容器２２Ｂの間隔は、スライダー２６Ａの矢印α方向のストロークの２倍の長さになっており、対物レンズ３３の光軸（光路Ｌ）が容器２２Ａと容器２２Ｂの間隔の中央になるように配置されている。
【００５３】
そして、第１の駆動モータ２４Ａを再び作動して、ディスペンサノズル２２Ａをβ方向のワーク１０側に移動させることにより、ディスペンサノズル２２Ａの毛細管部分２２Ａａの先端部がワーク１０の欠陥部に近接または当接できるようになっており、その際、第１の駆動モータ２４Ｂを作動させることによって、ディスペンサノズル２２Ｂの毛細管部分２２Ｂａが容器２１Ｂ内の補修用インク２１ａ内に浸漬できるようになっている。
【００５４】
これによって、ディスペンサノズル２２Ａを補修作業に使用している間、ディスペンサノズル２２Ｂの毛細管部分２２Ｂａは、補修用インク２１ａ内に浸漬された状態で維持されるため、ディスペンサノズル２２Ｂが待機状態にあると共に、ディスペンサノズル２２Ｂの毛細管部分２２Ｂａの内外面が補修用インク２１ａで洗浄できるようになっている。
【００５５】
ディスペンサノズル２２Ａ内の補修用インク２１ａが消費された場合や、毛細管部分２２Ａａの内外面で補修用インク２１ａが硬化した場合に、第１の駆動モータ２４Ａ、２４Ｂを作動して、ディスペンサノズル２２Ａをβ方向にワーク１０から離間させると共に、ディスペンサノズル２２Ｂをβ方向に容器２１Ｂから引き出してから、第２の駆動モータ２８Ａを作動させて、ディスペンサノズル２２Ａおよび２２Ｂを一体的に図１１（ｂ）のように移動させて（図９のα方向（右側）に移動させる）、ディスペンサノズル２２Ｂを待機位置γ１に位置させた後、第１の駆動モータ２４Ｂを再び作動して、ディスペンサノズル２２Ｂをβ方向にワーク１０に移動させることにより、ディスペンサノズル２２Ｂを待機位置γ２（図９（ｂ））を経て、毛細管部分２２Ｂａの先端をワーク１０に当接または近接できるようになっている。
【００５６】
そして、ディスペンサノズル２２Ｂの先端部を前記欠陥部１０ａに当接または近接させてから、圧力調整手段６の切替弁６２ＢをＯＮにしてから、開閉弁６３Ｃを開閉さて、胴部２２Ｂｂに正圧の空気圧を印加することによって、ディスペンサノズル２２Ｂから所定量の補修用インク２１ａを欠陥部１０ａに供給できるようになっている。
切替弁６２Ｂ、開閉弁６３Ｃの作動は外部ＰＣ９９からの指令によって制御装置９８によって作動するようになっている。
【００５７】
次に、上記のごとく構成された液体材料供給装置１Ａの動作について、まず、液晶表示基板のカラーフィルタの黒欠陥の補修の場合について、図１０に示す動作フローチャートに基づいて、基づいて説明する。
ステップ１′（Ｓ１′）において、図示されない検査工程によって得られた、ワーク１０の検査結果のデータを外部ＰＣに記録する。
そして、所定光源５１の白色光源を作動させてから、このテーブル駆動手段が、ワーク１０の検査結果のデータに含まれる欠陥部１０ａの座標データを受け取ってテーブルユニット１１を前記図示しないテーブル駆動機構によってＸＹ方向に移動制御して、欠陥部１０ａを対物レンズユニット３３の光路Ｌに位置決めした後、制御装置９８によってベース移動手段８のモータドライバ９２を駆動し、駆動用モータ８１を作動させて、ワーク１０の欠陥部１０ａにＣＣＤカメラ４１の撮像のフォーカスを合わせる。
その際、空気圧縮機６０Ａ、真空ポンプ６０Ｂは作動状態にし、開閉弁６３Ａ、６３Ｂ６３Ｃ、６３Ｄは閉の状態にしておく。
【００５８】
次に、ステップ２′（Ｓ２′）において、ＣＣＤカメラ４１によってワーク１０の欠陥部１０ａを撮像し、それによって得られた、ワーク１０の欠陥部１０ａを含む所定の領域の画像データをＡ／Ｄ変換器９３でデジタルデータに変換後、画像処理器９４に送る。
【００５９】
ステップ３′（Ｓ３′）において、画像処理器９４はワーク１０の欠陥部１０ａを含む所定の領域の画像データ（図６（ａ））と、図６（ｂ）に示すような欠陥部の存在しない所定の領域の基準画像データと、を比較してその差画像データからワーク１０の欠陥部１０ａの形状を抽出して得られた欠陥部１０ａの形状データを制御装置９８に送信する。
【００６０】
ステップ４′（Ｓ４′）において、画像処理器９４からの欠陥部１０ａの形状データに基づき、制御装置９８から、アパーチャコントローラ９５に信号を送り、アパーチャ３２の開口部形状を欠陥部を含む所定の形状（レーザ光照射範囲）（図６（ｃ））にする。
【００６１】
ステップ５′（Ｓ５′）において、パルスレーザ発振器３１を作動させて発生したレーザ光を、アパーチャ３２から対物レンズ３３を経てワーク１０に照射し（図８（ａ））、この欠陥部１０ａを含む所定の領域（図６（ｄ）ハ）がレーザ光によって除去する（図８（ｂ））。
【００６２】
ステップ６′（Ｓ６′）において、予め、切替弁６２ＡをＯＦＦの状態にし、開閉弁６３Ａ、６３Ｂを閉の状態にして、容器２１内の補修用インク２１ａに毛細管部分２２Ａａを浸漬しておいた、ディスペンサノズル２２Ａを第１の駆動用モータ２４Ａを作動させて容器２１Ａから図１１（ｂ）のβ方向に取り出してから、第２の駆動用モータ２８Ａを作動させてディスペンサノズル２２Ａをディスペンサノズル２２Ｂと一体的に図９のα方向の左側に移動させて、待機位置γ１（図１１（ａ））に位置させる。なお、この場合、圧力調整手段６の切替弁６２ＢはＯＦＦの状態で、開閉弁６３Ｃ、６３Ｄは閉の状態に維持されている。
【００６３】
そして、再度第１の駆動用モータ２４Ａを作動して、ディスペンサノズル２２Ａをβ方向でワーク１０に接近する方向に移動させて、毛細管部分２２Ａａの先端部を前記レーザ加工された部分に当接または近接させた後（図８（ｃ））、圧力調整手段６の切替弁６２ＡをＯＮにしてから、開閉弁６３Ａを開にして、所定量の補修用インク２１ａをディスペンサノズル２２Ａの先端部から前記レーザ光で除去された領域ハに供給する（図８ｄ））。
その際、第１の駆動用モータ２４Ｂを作動して、ディスペンサノズル２２Ｂを図１１（ａ）のβ方向の容器２２Ｂ方向に移動させて、毛細管部分２２Ｂａを、容器２２Ｂ内の補修用インク２１ａ内に浸漬する。
【００６４】
ステップ７′（Ｓ７′）において、第１の駆動用モータ２４Ａを作動させて、ディスペンサノズル２２Ａを待機位置γ１の位置に退避させてから、紫外線照射用の光源を作動させて、前記補修用インク２１ａを供給した箇所に紫外線を照射して、補修用インク２１ａを固化する（図８（ｅ））。
なお、待機位置γ１は、ディスペンサノズル２２Ａ、２２Ｂの毛細管部分２２Ａａ、２２Ｂａに紫外光が照射されない位置である。
【００６５】
ステップ８′（Ｓ８′）において、開閉弁６３Ｃの所定の作動回数に達したか否か（ディスペンサノズル２２Ａ内に保持されている補修用インク１２ａの所定量をワーク１０の欠陥部１０ａに供給終了した状態）または、ディスペンサノズル２２Ａの胴部２２Ａｂに正圧の空気圧を印加しても、ディスペンサノズル２２Ａの毛細管部分２２Ａａから補修用インク２１ａが、欠陥部１０ａに吐出されない状態であるか否かを判断する。
【００６６】
そして、外部ＰＣ９９で設定した、空圧装置６の所定の作動回数に達した場合、または、ディスペンサノズル２２Ａの胴部２２Ａｂに正圧の空気圧を印加しても、ディスペンサノズル２２Ａの毛細管部分２２Ａａから補修用インク２１ａが、欠陥部１０ａに吐出されない場合（表示器１００に表示される補修箇所への補修用インク２1ａの供給状況を作業者が観察することによって、吐出されないことが確認できる）は、第１の駆動モータ２４Ａを作動して、ディスペンサノズル２２Ａをβ方向にワーク１０から離間させて待機位置γ１に位置させると共に、第１の駆動モータ２４Ｂを作動して、ディスペンサノズル２２Ｂを容器２１Ｂから引き出して、第２の駆動モータ２８Ａを作動して、ディスペンサノズル２２Ａおよび２２Ｂを一体的にα方向で図９の左側に移動させる。
【００６７】
そして、ディスペンサノズル２２Ｂが待機位置γ１に位置した際、ディスペンサノズル２２Ａの毛細管部分２２Ａａは、容器２１Ａの上方に位置する（図１１（ｂ））。
そして、ディスペンサノズル２２Ｂを待機位置γ２に位置させることにより（図１０（ｂ））、ノズルディスペンサノズル２２Ｂがノズルディスペンサノズル２２Ａと交替する（ステップ８″(Ｓ８″)）。
尚、この時点では、切替弁６２ＢはＯＦＦで、開閉弁６３Ｃ、６３Ｄを共に閉にしておき、ディスペンサノズル２２Ｂの胴部２２Ｂｂは大気圧になっている。
【００６８】
さらに、第１の駆動モータ２４Ｂを再び作動して、ディスペンサノズル２２Ｂをβ方向にワーク１０に移動させて待機位置γ２を経て、ディスペンサノズル２２Ｂの先端部をワークに近接または当接させた後（図８（ｃ））、圧力調整手段６の切替弁６２ＢをＯＮにし、開閉弁６３Ｃを開にして、ディスペンサノズル２２Ｂの毛細管２２Ｂａ内の液体材料２１ａを前記欠陥部への供給（図８（ｄ））を継続する。
【００６９】
さらに、第１の駆動モータ２４Ａを駆動して、ディスペンサノズル２２Ａをβ方向に移動して、切替弁６２ＡをＯＦＦの状態にし、開閉弁６３Ａ、６３Ｂを閉の状態にしてから、毛細管部分２２Ａａを容器２１Ａ内の補修用インク２１ａに浸漬し（図１１（ｂ））、毛細管部分２２Ａａの内外面を、容器２１Ａ内の補修用インク２１ａに含まれる揮発性成分によって洗浄すると共に、毛細管現象によって、補修用インク２１ａを毛細管部分２２Ａａ内に吸上げる。
その際、ディスペンサノズル２２Ａの毛細管部分２２Ａａの外周面に固化性分が残留していても、この残留固化性分が揮発性成分に溶解され、ディスペンサノズル２２Ａの毛細管部分２２Ａａの内外の閉塞や外形の変化を防止できる。
【００７０】
ステップ９′（Ｓ９′）で、外部ＰＣ９９に格納されている前工程のデータから、その他の欠陥部があるか否かをチェックし、その他の欠陥部がある場合は、上記ステップ１（Ｓ１′）からステップ８″（Ｓ８″）を繰り返し、全ての欠陥部を補修した後に、ワーク１０の補修作業を終了する。
【００７１】
上記実施の形態の容器２１Ａ、２１Ｂの下面に超音波振動子を設けてもよく、この超音波振動子を、超音波振動子に接続された図示しない制御機器によって駆動することによって、ディスペンサノズル２２Ａ、２２Ｂの毛細管部分２２Ａａ、２２Ｂａが容器２１Ａ、２１Ｂ内の補修用インク２１ａに浸漬している間に、毛細管部分２２Ａａ、２２Ｂａの内外面の洗浄がよりよく行える。
尚、上記実施の形態では、カラーフィルタの白欠陥、黒欠陥等の補修について本発明に係る液体供給装置を備えた補修装置の使用について述べたが、配向膜の欠損による欠陥部分の補修の場合においては、補修用インクを欠陥部分に供給した後に、欠陥部分を含む所定の領域に紫外光を照射せず、乾燥硬化させることもできる。
【００７２】
以上のごとく、本発明に係る液体供給装置によれば、前記硬化性溶質と揮発性成分の溶媒とからなる補修用インクをディスペンサノズルの毛細管部内に毛細管現象によって一定量を吸い込むため、ディスペンサノズル内に保持される前記補修用インクが少量であり、前記補修作業中において前記ディスペンサノズルの毛細管部分を補修用インク内に浸漬する頻度が高くなる。
その結果、ディスペンサノズル内での前記溶質による閉塞が生じにくく、補修作業を安定的にして実施できる。
さらに、一方のディスペンサノズルによって前記補修作業をしている間に、他の一方のディスペンサノズルの毛細管部分が補修用インク中に浸漬され、補修用インクの充填とディスペンサノズルの洗浄が同時におこなえ、安定した補修作業が係属できる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置を備えた補修装置示す概念図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置のディスペンサノズルの概念図である。
【図３】ディスペンサノズルの動きを説明するための説明図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係る圧力調整手段の構成を説明するための説明図である。
【図５】アパーチャの構成及び動きを説明するための説明図である。
【図６】欠陥のあるワークの形状と欠陥のないワークの基準形状の一例を示す概念図である。
【図７】本発明の一実施の形態に係る液体材料供給装置を備えた補修装置の動作を説明するフロー図である。
【図８】フロー図の各ステップを説明する説明図である。
【図９】本発明のその他の実施の形態に係る液体材料供給装置を備えた補修装置示す概念図である。
【図１０】本発明のその他の実施の形態に係る液体材料供給装置のディスペンサノズルの動きを説明するための説明図である。
【図１１】本発明のその他の実施の形態に係る液体材料供給装置を備えた補修装置の動作を説明するフロー図である。
【図１２】本発明のその他の実施の形態に係る圧力調整手段の構成を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００７４】
１  ：一実施の形態に係る液体材料供給装置を備えた補修装置
１Ａ：その他の実施の形態に係る液体材料供給装置を備えた補修装置
２  ：一実施の形態に係る液体材料供給装置
２Ａ  ：その他の実施の形態に係る液体材料供給装置
３  ：レーザ光学系
４  ：観察光学系
５  ：照明光学系
６  ：圧力調整手段
７  ：ベース
８  ：ベース行動機構
９  ：制御系
１０：ワーク
１１：テーブル
２２：ディスペンサノズル
２３：第１の移動機構
２４、２４Ａ、２４Ｂ：第１の駆動モータ
２５、２５Ａ、２５Ｂ：第１の位置検知手段
２７、２７Ａ：第２の移動機構
２８、２８Ａ：第２の駆動モータ
２９、２９Ａ：第２の位置検知手段
３１：レーザ発振器
３２：アパーチャ
３３：対物レンズ
４１：ＣＣＤカメラ
５１：所定光源
９８：制御装置
９９：外部ＰＣ
１００：表示器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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