(57)【要約】【課題】経済性及び保守性を著しく向上させることが可能な塗布膜形成装置用前処理装置を提供すること。【解決手段】塗布膜形成装置用前処理装置１０は、プライミングローラ１６と、循環溶剤供給ノズル１８と、掻取ドクターブレード２０と、吸引手段１２０とを備える。プライミングローラ１６には、塗布液供給ノズル１００から塗布液１１０が吐出される。循環溶剤供給ノズル１８は、プライミングローラ１６上に吐出された塗布液１１０に対して溶剤を供給する。掻取ドクターブレード２０は、その先端がプライミングローラ１６に斜め下方から押しつけられて接触するように配置され、プライミングローラ１６上の塗布液１１０及び溶剤を掻き取る。吸引手段１２０は、吸引口３６及び真空ポンプ５２を有し、掻取ドクターブレード２０によって掻き取られた塗布液１１０及び溶剤を吸引ポンプ５２によって吸引口３６から吸引する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布膜形成装置の塗布液供給ノズルから塗布液が吐出されるプライミングローラと、
前記プライミングローラ上に吐出された塗布液に対して溶剤を供給する溶剤供給手段と、
前記プライミングローラと接触し、前記プライミングローラ上の塗布液及び溶剤を掻き取るドクターブレードと、
前記ドクターブレードによって掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引する吸引手段とを備える塗布膜形成装置用前処理装置。
【請求項２】
前記吸引手段は、前記プライミングローラの全長に亘って延在する前記ドクターブレードと、塗布液が掻き取られる側の前記ドクターブレードの面を覆うように前記プライミングローラの全長に亘って延在する板状体とにより形成される吸引口を有する請求項１に記載された塗布膜形成装置用前処理装置。
【請求項３】
前記吸引手段は、吸引した塗布液及び溶剤を一時的に貯留する一時貯留手段を有しており、
前記塗布膜形成装置用前処理装置は、前記一時貯留手段に一時的に貯留された塗布液及び溶剤を排出する排出手段を更に備える請求項１又は２に記載された塗布膜形成装置用前処理装置。
【請求項４】
塗布膜形成装置の塗布液供給ノズルから塗布液をプライミングローラに対して吐出する吐出工程と、
前記プライミングローラ上に吐出された塗布液に対して溶剤を供給する溶剤供給工程と、
前記プライミングローラ上の塗布液及び溶剤を前記プライミングローラと接触するドクターブレードによって掻き取ると共に、前記ドクターブレードによって掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引する除去工程とを備える塗布膜形成装置用前処理方法。
【請求項５】
塗布液が供給されるグラビアローラと、
前記グラビアローラと接触し、前記グラビアローラ上の塗布液を掻き取るドクターブレードと、
前記ドクターブレードによって掻き取られた塗布液を吸引する吸引手段とを備える塗布膜形成装置。
【請求項６】
前記吸引手段は、前記グラビアローラの全長に亘って延在する前記ドクターブレードと、塗布液が掻き取られる側の前記ドクターブレードの面を覆うように前記グラビアローラの全長に亘って延在する板状体とにより形成される吸引口を有する請求項５に記載された塗布膜形成装置。
【請求項７】
前記吸引手段は、吸引した塗布液を一時的に貯留する一時貯留手段を有しており、
前記塗布膜形成装置は、前記一時貯留手段に一時的に貯留された塗布液を排出する排出手段を更に備える請求項５又は６に記載された塗布膜形成装置。
【請求項８】
塗布液をグラビアローラに対して供給する塗布液供給工程と、
前記グラビアローラ上の塗布液を前記グラビアローラと接触するドクターブレードによって掻き取ると共に、前記ドクターブレードによって掻き取られた塗布液を吸引する除去工程とを備える塗布膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布膜形成装置用前処理装置及び塗布膜形成装置用前処理方法、並びに、塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板に対して均一に溶質と溶媒との混合物である塗布液を塗布するため、基板に塗布液の塗布を行う前にプライミングローラに塗布液を吐出して、塗布膜形成装置の塗布液供給ノズルからの塗布液の突出量を調整する塗布膜形成装置用前処理装置が知られている（例えば、特許文献１〜４参照）。
【特許文献１】特開２００５−３２９３４０号公報
【特許文献２】特開２００４−１６７４７６号公報
【特許文献３】特開２００５−２５２０４５号公報
【特許文献４】特表２００２−５０００９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、塗布膜形成装置用前処理装置では、前に吐出された塗布液がプライミングローラ上に残ってしまったり、残った塗布液が乾燥してその溶質が固化することで異物となってしまったりすると、ノズルからの塗布液の突出量を調整しようとした場合に正しく調整できなくなってしまうため、塗布液を確実にプライミングローラ上から除去することが要求される。そのため、上述した従来の塗布膜形成装置用前処理装置は、プライミングローラの回転方向の順に、プライミングローラ上の塗布液に対して溶剤を供給する溶剤供給ノズルと、プライミングローラ上の塗布液及び溶剤を掻き取るドクターブレードと、プライミングローラを洗浄するための溶剤が貯留された溶剤槽とを備えている。このように、ドクターブレード及び溶剤槽を経ているのは、ドクターブレードのみ又は溶剤槽のみではプライミングローラ上から完全に塗布液を除去することができないためである。なお、この溶剤供給ノズルでは、溶剤槽の溶剤を配管を介して循環させた循環溶剤をプライミングローラ上に供給している。
【０００４】
しかしながら、従来の塗布膜形成装置用前処理装置では、ドクターブレードによって掻き取られなかった一部の塗布液がドクターブレードの裏へと回り込み、その塗布液がプライミングローラ上に大量に残ってしまうことがあった。そうすると、溶剤槽内の溶剤における塗布液中の溶質の濃度がすぐに高まってしまう。そのため、溶剤槽内の溶剤における塗布液中の溶質の濃度を希釈するために新たな溶剤を多量に補充する必要があり、経済性が悪化してしまうという問題があった。
【０００５】
また、同時に、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液中の溶質が固化してドクターブレードの周囲の部材に付着するため、清掃やドクターブレードの交換といったメンテナンス作業を定期的に行う必要があるという問題があった。従って、ドクターブレードの周囲の部材に対する溶質の付着を抑制するために、循環溶剤を大量に使用する必要があった。そうすると、溶剤槽の液面が低下してしまうので、溶剤槽に新たな溶剤を供給する必要が生じ、更なる経済性の悪化を招いていた。この溶剤槽の液面の低下を防止するため、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液を溶剤槽に戻すことも考えられるが、結局溶剤槽内の溶剤における塗布液中の溶質の濃度が高まってしまうから溶剤槽への新たな溶剤の供給が必要となり、経済性の悪化が避けられなかった。
【０００６】
本発明は、経済性及び保守性を著しく向上させることが可能な塗布膜形成装置用前処理装置及び塗布膜形成装置用前処理方法、並びに、塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る塗布膜形成装置用前処理装置は、塗布膜形成装置の塗布液供給ノズルから塗布液が吐出されるプライミングローラと、プライミングローラ上に吐出された塗布液に対して溶剤を供給する溶剤供給手段と、プライミングローラと接触し、プライミングローラ上の塗布液及び溶剤を掻き取るドクターブレードと、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引する吸引手段とを備える。
【０００８】
本発明に係る塗布膜形成装置用前処理装置では、溶剤供給手段によってプライミングローラ上の塗布液に溶剤を供給し、プライミングローラ上の塗布液及び溶剤をドクターブレードによって掻き取りながら、さらにその掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引手段によって吸引している。そのため、掻き取られた塗布液及び溶剤がドクターブレードの裏に回り込みにくくなり、その溶液が続く溶剤槽に持ち越されることがほとんどなくなるから、溶剤槽内の溶剤における塗布液中の溶質の濃度を極めて低い状態に維持できる。その結果、溶剤の補充量を極めて少なくでき、著しく経済性が向上することとなる。また、同時に、掻き取られた塗布液中の溶質が固化してドクターブレードの周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。これにより、溶剤供給手段から供給される溶剤の量についても大幅に削減することができ、更なる経済性の向上が図られる。
【０００９】
ここで、吸引手段は、プライミングローラの全長に亘って延在するドクターブレードと、塗布液が掻き取られる側のドクターブレードの面を覆うようにプライミングローラの全長に亘って延在する板状体とにより形成される吸引口を有することが好ましい。このようにすると、吸引口がドクターブレードと一体となっているから、吸引口の構造を簡単にすることができると共に、塗布液及び溶剤をドクターブレードによって掻き取りながら、掻き取られた塗布液及び溶剤を効率よくより確実に吸引手段によって吸引することができる。
【００１０】
また、吸引手段は、吸引した塗布液及び溶剤を一時的に貯留する一時貯留手段を有しており、塗布膜形成装置用前処理装置は、一時貯留手段に一時的に貯留された塗布液及び溶剤を排出する排出手段を更に備えることが好ましい。
【００１１】
一方、本発明に係る塗布膜形成装置用前処理方法は、塗布膜形成装置の塗布液供給ノズルから塗布液をプライミングローラに対して吐出する吐出工程と、プライミングローラ上に吐出された塗布液に対して溶剤を供給する溶剤供給工程と、プライミングローラ上の塗布液及び溶剤をプライミングローラと接触するドクターブレードによって掻き取ると共に、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引する除去工程とを備える。
【００１２】
本発明に係る塗布膜形成装置用前処理方法では、プライミングローラ上に吐出された塗布液に溶剤を供給し、プライミングローラ上の塗布液及び溶剤をドクターブレードによって掻き取った後、さらに掻き取られた塗布液及び溶剤を吸引している。そのため、掻き取られた塗布液及び溶剤がドクターブレードの裏に回り込みにくくなり、その溶液が続く溶剤槽に持ち越されることがほとんどなくなるから、溶剤槽内の溶剤における塗布液中の溶質の濃度を極めて低い状態に維持できる。その結果、溶剤の補充量を極めて少なくでき、著しく経済性が向上することとなる。また、同時に、掻き取られた塗布液中の溶質が固化してドクターブレードの周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。これにより、溶剤供給手段から供給される溶剤の量についても大幅に削減することができ、更なる経済性の向上が図られる。
【００１３】
また、本発明に係る塗布膜形成装置は、塗布液が供給されるグラビアローラと、グラビアローラと接触し、グラビアローラ上の塗布液を掻き取るドクターブレードと、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液を吸引する吸引手段とを備える。
【００１４】
本発明に係る塗布膜形成装置では、グラビアローラ上に供給された塗布液をドクターブレードによって掻き取りながら、さらにその掻き取られた塗布液を吸引手段によって吸引している。そのため、掻き取られた塗布液がドクターブレードの裏に回り込みにくくなり、その塗布液が持ち越されることがほとんどなくなる。また、同時に、掻き取られた塗布液中の溶質が固化してドクターブレードの周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。
【００１５】
ここで、吸引手段は、グラビアローラの全長に亘って延在するドクターブレードと、塗布液が掻き取られる側のドクターブレードの面を覆うようにグラビアローラの全長に亘って延在する板状体とにより形成される吸引口を有することが好ましい。このようにすると、吸引口がドクターブレードと一体となっているから、吸引口の構造を簡単にすることができると共に、塗布液をドクターブレードによって掻き取りながら、掻き取られた塗布液を効率よくより確実に吸引手段によって吸引することができる。
【００１６】
また、吸引手段は、吸引した塗布液を一時的に貯留する一時貯留手段を有しており、塗布膜形成装置は、一時貯留手段に一時的に貯留された塗布液を排出する排出手段を更に備えることが好ましい。
【００１７】
一方、本発明に係る塗布膜形成方法は、塗布液をグラビアローラに対して供給する塗布液供給工程と、グラビアローラ上の塗布液をグラビアローラと接触するドクターブレードによって掻き取ると共に、ドクターブレードによって掻き取られた塗布液を吸引する除去工程とを備える。
【００１８】
本発明に係る塗布膜形成方法では、グラビアローラ上に供給された塗布液をドクターブレードによって掻き取った後、さらに掻き取られた塗布液を吸引している。そのため、掻き取られた塗布液及び溶剤がドクターブレードの裏に回り込みにくくなり、その塗布液が持ち越されることがほとんどなくなる。また、同時に、掻き取られた塗布液中の溶質が固化してドクターブレードの周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、経済性及び保守性を著しく向上させることが可能な塗布膜形成装置用前処理装置及び塗布膜形成装置用前処理方法、並びに、塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００２１】
（塗布膜形成装置用前処理装置の構成）
図１及び図２を参照して、本実施形態に係る塗布膜形成装置用前処理装置１０の構成について説明する。図１は、本実施形態に係る塗布膜形成装置用前処理装置の全体構成を示す概略図である。図２は、本実施形態に係る塗布膜形成装置用前処理装置の掻取ドクターブレード部分を拡大して示す図である。
【００２２】
塗布膜形成装置用前処理装置１０は、塗布膜形成装置の塗布液供給ノズル１００が図示しない基板上に移動し、その基板に対して塗布液１１０が塗布される前に、塗布膜形成装置の塗布液供給ノズル１００からの塗布液１１０の突出量を調整する装置である。そのために、塗布膜形成装置用前処理装置１０は、塗布液供給ノズル１００から塗布液１１０が吐出される前処理装置本体１２と、塗布液供給ノズル１００から吐出された塗布液１１０を回収して廃棄するための廃液処理部１４とを備えている。なお、本実施形態に用いられる塗布液１１０としては、溶質と溶媒との混合物であればよく、例えばブラックマトリクス形成用塗布液、パターニングレジスト形成用塗布液、着色樹脂領域形成用塗布液、スペーサ形成用塗布液、保護層形成用塗布液、酸素遮断膜形成用塗布液等の樹脂と溶媒との混合物等、種々の塗布液を用いることができる。
【００２３】
前処理装置本体１２は、プライミングローラ１６を中央部に備えており、このプライミングローラ１６の回転方向（図１及び図２に示される矢印Ａ方向）の順に、循環溶剤供給ノズル１８（溶剤供給手段）、掻取ドクターブレード２０、溶剤槽２２、新溶剤供給ノズル２４、液切ドクターブレード２６及び乾燥用ガス噴射ノズル２８を有している。
【００２４】
プライミングローラ１６は、略円柱状の外形を有し、前処理装置本体１２に対して図１及び図２に示される矢印Ａ方向に回転可能に設けられている。プライミングローラ１６は、塗布液供給ノズル１００から吐出された塗布液１１０を回転しながら受け止めることで、塗布液供給ノズル１００の先端部分における塗布液１１０の形状を整える。プライミングローラ１６の全長は、塗布液供給ノズル１００の全長よりもやや長いと好ましい。
【００２５】
循環溶剤供給ノズル１８は、プライミングローラ１６に吐出された塗布液１１０に対し、ポンプ３０によって配管３２，１８ａ内を循環された溶剤槽２２の溶剤（循環溶剤）を供給する。このように、循環溶剤供給ノズル１８によって塗布液１１０に溶剤を供給することで、プライミングローラ１６上に付着している塗布液１１０がプライミングローラ１６から洗い流され、塗布液１１０の掻き取りが容易となると共に、後述する吸引口３６内等において塗布液の溶質が固化して詰まることが防止される。なお、循環溶剤供給ノズル１８では、溶剤の供給口１８ｂがプライミングローラ１６に近接しており、溶剤の蒸発が防がれている。
【００２６】
掻取ドクターブレード２０は、例えばポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ：Poly Ether Ether Keton）やポリエチレン、ポリアセタール、ポリエステル、テフロン（登録商標）等の樹脂材料、又はステンレス、アルミニウム等の金属材料で形成された板状体であり、その先端がプライミングローラ１６に斜め下方から押しつけられて接触するように配置されている。そのため、掻取ドクターブレード２０は、プライミングローラ１６の回転によって掻取ドクターブレード２０に到達した塗布液１１０及び循環溶剤を掻き取ることができるようになっている。この掻取ドクターブレード２０の厚さは、例えば５００μｍ程度とすることができる。なお、掻取ドクターブレード２０は、その先端がプライミングローラ１６に水平方向又は斜め上方から押しつけられて接触するように配置してもよい。また、掻取ドクターブレード２０をポリエチレンによって形成すると、掻取ドクターブレード２０によって軟質でしなやかなドクターリング（掻き取り）をおこなうことができるため好ましい。
【００２７】
掻取ドクターブレード２０の先端の断面形状は、各種形状とすることができる。例えば、具体的には、図３（ａ）に示されるように先端に向けて漸次幅の狭まるベベル形状としてもよく、図３（ｂ）に示されるように階段形状としてもよく、図３（ｃ）に示されるように矩形状としてもよい。図３（ａ）〜（ｃ）に示されるこれらの掻取ドクターブレード２０では、塗布液１１０が掻き取られる側の面（掻取面）Ｓと反対側の面の先端における角部２０Ｃが、プライミングローラ１６と接触する。なお、掻取ドクターブレード２０の先端をベベル形状としたときには、表面が鏡面加工されたプライミングローラ１６に対して密着性が良いために、効率よく塗布液１１０及び溶剤を掻き取ることが可能となり好ましい。このとき、先端の傾斜角度θとしては、例えば１５°程度とすることができる（図３（ａ）参照）。
【００２８】
また、掻取ドクターブレード２０の上部には、塗布液１１０が掻き取られる側の掻取ドクターブレード２０の面（掻取面）Ｓを覆うように、板状体３４が設けられている。この板状体３４は、その先端がプライミングローラ１６と例えば０．３ｍｍ〜０．５ｍｍ程度離間し、掻取ドクターブレード２０と例えば２ｍｍ程度離間するように配置されている。掻取ドクターブレード２０と板状体３４とは、後述する真空ポンプ５２により塗布液１１０及び循環溶剤を吸引するためのスリット状の吸引口３６を形成している（図２参照）。吸引口３６は、配管４０を経由して、後述するトラップタンク４８へと接続されている。なお、掻取ドクターブレード２０及び板状体３４はプライミングローラ１６の全長に亘って延在しており、その全長としては塗布液供給ノズル１００の全長よりもやや長いと好ましい。
【００２９】
溶剤槽２２は、溶剤を貯留するための容体である。溶剤槽２２には、プライミングローラ１６の直径の約１／４が浸かる程度の溶剤が貯留されるようになっている。そのため、掻取ドクターブレード２０によって掻き取られなかった塗布液１１０がプライミングローラ１６上に残存していた場合には、プライミングローラ１６が溶剤槽２２の溶剤に浸かることでプライミングローラ１６の濯ぎが行われ、プライミングローラ１６上から塗布液１１０が除去されることとなる。
【００３０】
新溶剤供給ノズル２４は、新たな溶剤をプライミングローラ１６に対して供給する。そのため、プライミングローラ１６の濯ぎが二重に行われることとなり、プライミングローラ１６の表面がより浄化されることとなる。なお、新溶剤供給ノズル２４によって供給された溶剤は、プライミングローラ１６から流下して溶剤槽２２に貯蔵される。ここで、新溶剤供給ノズル２４では、溶剤槽２２の溶剤がポンプ３０により循環溶剤供給ノズル１８に向けて吸引されて循環溶剤として使用されたときに新たな溶剤を供給しているため、溶剤槽２２における溶剤の量が一定となるようなっている。また、新溶剤供給ノズル２４から供給される溶剤としては、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ｎ−メチル−２−ピロリドン、シクロヘキサノン等が挙げられる。
【００３１】
液切ドクターブレード２６は、新溶剤供給ノズル２４からプライミングローラ１６に対して供給された溶剤の液切りを行う。また、乾燥用ガス噴射ノズル２８は、外部から導入された乾燥用ガスをプライミングローラ１６の表面に対して噴射して、プライミングローラ１６の表面を乾燥する。
【００３２】
ここで、新溶剤供給ノズル２４及び液切ドクターブレード２６についてもプライミングローラ１６の全長に亘って延在しており、それらの全長が塗布液供給ノズル１００の全長よりもやや長いと好ましい。
【００３３】
一方、廃液処理部１４は、トラップタンク（一時貯留手段）４８、廃液タンク５０及び真空ポンプ５２を有している。
【００３４】
トラップタンク４８は、配管４０及びバルブ５４を介して吸引口３６と接続されており、真空ポンプ５２の動作により吸引口３６から吸引された塗布液１１０及び循環溶剤（廃液）を一時的に貯留する。トラップタンク４８は、配管５５、バルブ５６及びポンプ６６を介して廃液タンク５０と接続され、配管５８及びバルブ６０を介して大気と接続され、配管６２及びバルブ６４を介して真空ポンプ５２と接続されている。
【００３５】
廃液タンク５０は、配管５５を通じてポンプ６６によって回収されたトラップタンク４８内の廃液を貯留する。なお、本実施形態においては、配管５４、バルブ５６及びポンプ６６によって排出手段１３０が構成されている。
【００３６】
真空ポンプ５２は、トラップタンク４８に接続された配管６２を介してトラップタンク４８内に負圧を発生させる。そのため、真空ポンプ５２が作動することにより、掻取ドクターブレード２０によって掻き取られた塗布液１１０及び循環溶剤が吸引口３６から配管４０を通じて吸引され、トラップタンク４８へと回収されることとなる。なお、真空ポンプ５２によって、トラップタンク４８内の圧力を例えば１３．３ｋＰａ〜８０．０ｋＰａ程度とすると好適である。また、本実施形態においては、吸引口３６、トラップタンク４８、配管４０，６２、バルブ５４，６４及び真空ポンプ５２によって吸引手段１２０が構成されている。
【００３７】
（塗布膜形成装置用前処理装置の動作）
続いて、以上の構成を有する塗布膜形成装置用前処理装置１０の動作について説明する。
【００３８】
塗布膜形成装置用前処理装置１０では、塗布液供給ノズル１００からプライミングローラ１６に対して塗布液１１０が吐出されて一定時間（例えば、０．１秒〜０．５秒程度）が経過した後、プライミングローラ１６の回転が開始される。プライミングローラ１６の回転が開始されると、バルブ５４，６４が開放され他のバルブが閉鎖された状態で真空ポンプ５２が作動し、循環溶剤供給ノズル１８及び新溶剤供給ノズル２４からプライミングローラ１６上に対して溶剤の供給が行われる。塗布膜形成装置用前処理装置１０によって塗布液供給ノズル１００からの塗布液１１０の突出量が調整されると、塗布液供給ノズル１００は図示しない基板等の塗布対象物上に移動し、塗布対象物に対して塗布液１１０の塗布を行う。
【００３９】
一方、プライミングローラ１６上に吐出された塗布液１１０は、プライミングローラ１６の回転に伴い循環溶剤供給ノズル１８から循環溶剤が供給された状態で、掻取ドクターブレード２０に到達する。そして、塗布液１１０及び溶剤が掻取ドクターブレード２０によってプライミングローラ１６上から掻き取られて掻取面Ｓ上を進むと、真空ポンプ５２の作用によって吸引口３６から塗布液１１０と溶剤とがトラップタンク４８へと吸引される。
【００４０】
吸引口３６から吸引された塗布液１１０及び循環溶剤（廃液）がトラップタンク４８に一時的に貯留されると、バルブ５４，６４が閉鎖される。続いて、バルブ６０が開放され、トラップタンク４８内の気圧を大気圧と等しくする。この状態でバルブ５６を開放し、ポンプ６６を動作させることで、トラップタンク４８内に一時的に貯留された廃液が廃液タンク５０に回収される。
【００４１】
なお、掻取ドクターブレード２０によって掻き取られず、プライミングローラ１６上に僅かに残存した塗布液１１０については、溶剤槽２２の溶剤及び新溶剤供給ノズル２４から供給された溶剤によって、プライミングローラ１６上から除去される。その後、液切ドクターブレード２６による液切り及び乾燥用ガス噴射ノズル２８による乾燥が行われて、プライミングローラ１６の清掃が終了する。塗布膜形成装置用前処理装置１０では、以上の工程が繰り返して行われる。
【００４２】
ここで、本実施形態に係る塗布膜形成装置用前処理装置１０において、経済性及び保守性の向上が図れることを確認するための試験を行った。試験としては、カラーフィルタ用のブラックマトリクス樹脂、赤色着色樹脂、緑色着色樹脂、青色着色樹脂及びオーバコート用樹脂をそれぞれ塗布膜形成装置の塗布液供給ノズル１００から上述の塗布膜形成装置用前処理装置１０のプライミングローラ１６に吐出し、それぞれの樹脂について塗布液供給ノズル１００からの突出量の調整を行った。その後、縦横が３７０ｍｍ×４７０ｍｍ、厚みが０．４〜０．７ｍｍの各種透明基板上に、塗布液供給ノズル１００からの突出量の調整が行われた樹脂をそれぞれ塗布した。このときに、塗布膜形成装置用前処理装置１０において溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用い、以下に示す実施例及び比較例の条件で試験を行った。なお、カラーフィルタ用のブラックマトリクス樹脂、赤色着色樹脂、緑色着色樹脂及び青色着色樹脂としてはアクリル系の感光性樹脂を用い、オーバコート用樹脂としてはアクリル系熱硬化性樹脂を用い、各種透明基板としては無アルカリガラス又はソーダライムガラスを用いた。
【００４３】
（実施例）
実施例では、掻取ドクターブレード２０において掻き取られた各樹脂及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを吸引手段１２０によってトラップタンク４８内の圧力が１３．３〜８０．０ｋＰａ程度となるようにして吸引すると共に、プライミングローラ１６の直径を１００ｍｍ、プライミングローラ１６の回転速度を４０ｍｍ／ｓｅｃに設定して、プライミングローラ１６の清掃を行った。
【００４４】
（比較例）
比較例が実施例と異なる点は、吸引手段１２０が設けられておらず、掻取ドクターブレード２０において掻き取られた各樹脂及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを吸引手段１２０によって吸引していない点である。
【００４５】
（評価結果）
実施例及び比較例について、上記の各樹脂をプライミングローラ１６上に１５００回ずつ吐出したときの溶剤槽２２におけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの着色状態を、目視により観察した。その結果、実施例においては、ブラックマトリクス樹脂、赤色着色樹脂、緑色着色樹脂及び青色着色樹脂の吐出１回あたりにおけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの使用量を１３ｍｌに設定し、オーバコート用樹脂の吐出１回あたりにおけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの使用量を２７ｍｌに設定したが、溶剤槽２２におけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの着色はほとんど見られなかった。一方、比較例においては、ブラックマトリクス樹脂、赤色着色樹脂、緑色着色樹脂及び青色着色樹脂の吐出１回あたりにおけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの使用量を６５ｍｌに設定し、オーバコート用樹脂の吐出１回あたりにおけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの使用量を９０ｍｌに設定したが、溶剤槽２２におけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの着色が著しいものであった。従って、溶剤槽２２におけるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの着色の度合いが高まることは溶剤槽２２のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートにおける塗布液１１０中の溶質の濃度が高まったことを意味することから、本発明に係る実施例では、溶剤槽２２内のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートにおける塗布液１１０中の溶質の濃度が極めて低い状態に維持されているものとなっていることが確認された。また、本発明に係る実施例では、比較例に比べてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの使用量が大きく減少しており、経済性が著しく向上していることが確認された。
【００４６】
また、実施例及び比較例について、上記の各樹脂をプライミングローラ１６上に１５００回ずつ吐出した後に、掻取ドクターブレード２０及び液切ドクターブレード２６の周囲の部材の様子を目視により確認した。その結果、実施例では、掻取ドクターブレード２０及び液切ドクターブレード２６の周囲の部材にほとんど樹脂の付着が見られなかった。一方、比較例では、掻取ドクターブレード２０及び液切ドクターブレード２６の周囲の部材に大量の樹脂が付着していた。従って、本発明に係る実施例では、比較例に比べて、掻取ドクターブレード２０及び液切ドクターブレード２６の部材の周囲に樹脂が付着することがほとんどなくなり、保守性が著しく向上していることが確認された。
【００４７】
以上のように、本実施形態においては、循環溶剤供給ノズル１８から溶剤が供給された塗布液１１０を、掻取ドクターブレード２０によってプライミングローラ１６上から掻き取っている。そして、掻取ドクターブレード２０によって掻き取った塗布液１１０を循環溶剤と共に真空ポンプ５２によって吸引口３６から吸引し、トラップタンク４８を経て廃液タンク５０に回収している。そのため、掻き取られた塗布液１１０及び循環溶剤が掻取ドクターブレード２０の掻取面Ｓの裏に回り込んで溶剤槽２２に持ち越されることがほとんどなくなり、溶剤槽２２内の溶剤における塗布液１１０中の溶質の濃度を極めて低い状態に維持できる。その結果、新溶剤供給ノズル２４からの新たな溶剤の補充量を極めて少なくでき、著しく経済性が向上することとなる。また、同時に、掻き取られた塗布液１１０中の溶質が固化して掻取ドクターブレード２０の周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。
【００４８】
また、本実施形態においては、掻取ドクターブレード２０及び板状体３４がプライミングローラ１６の全長に亘って延在し、板状体３４が掻取ドクターブレード２０の掻取面Ｓを覆うように配設されて、吸引口３６が形成されている。そして、真空ポンプ５２によって、この吸引口３６から廃液が吸引される。そのため、吸引口３６が掻取ドクターブレード２０と一体となっているから、吸引口３６の構造を簡単にすることができると共に、塗布液１１０及び循環溶剤を掻取ドクターブレード２０によって掻き取りながら、掻き取られた塗布液１１０及び循環溶剤を効率よくより確実に吸引手段１２０によって吸引することができる。
【００４９】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、真空ポンプ５２を用いて吸引口３６から掻き取られた塗布液１１０を吸引したが、塗布液１１０を溶剤と共に吸引できるものであれば他の装置についても用いることができる。具体的には、真空ポンプ５２の代わりに工場の局所排気装置、ブロワ、エジェクタ等を接続して吸引を行ってもよく、これらの装置を用いて工場の排気ラインを転用するとさらに経済性を向上させることができるため好ましい。
【００５０】
また、本実施形態では吸引口３６を掻取ドクターブレード２０と一体として構成したが、吸引口３６と掻取ドクターブレード２０とを別体としてもよい。
【００５１】
また、液切ドクターブレード２６についても、掻取ドクターブレード２０と同様に板状体２００を設けて吸引口２１０を形成すると共に吸引手段２２０を構成してもよい（図１参照）。この場合、より効率よくプライミングローラ１６の液切りを行うことが可能となる。このときも、吸引口と液切ドクターブレード２６とを別体としてもよい。
【００５２】
また、図４及び図５に示されるように、塗布膜形成装置３００に本発明を適用してもよい。具体的には、塗布膜形成装置３００は、例えばグラビアコーターであって、ウエブＷに塗布液１１０を塗布するためのグラビアコーター本体３１２と、廃液処理部１４とを備えている。グラビアコーター本体３１２は、表面に一群のセル（図示せず）が形成されたグラビアローラ３１６を備えており、このグラビアローラ３１６の回転方向（図４に示される矢印Ｂ方向）の順に、塗布液槽３２２、塗布用ドクターブレード３２６及び掻取ドクターブレード２０を有している。
【００５３】
グラビアローラ３１６は、略円柱状の外形を有し、グラビアコータ本体３１２に対して図４に示される矢印Ｂ方向に回転可能に設けられている。塗布液槽３２２は、塗布液１１０を貯留するための容体である。塗布液槽３２２には、その側面にグラビアローラ３１６の一部を受け入れる開口部３２２ａを有している。開口部３２２ａの上端はグラビアローラ３１６の表面と塗布用ドクターブレード３２６とによって封止されており、開口部３２２ａの下端はグラビアローラ３１６の表面と掻取ドクターブレード２０とによって封止されている。そのため、塗布液１１０は塗布液槽３２２の内部に密封され、塗布液槽３２２の内部に位置するグラビアローラ３１６の表面には塗布液１１０が供給されることとなる。
【００５４】
塗布用ドクターブレード３２６は、グラビアローラ３１６表面の余剰分の塗布液１１０を掻き落とすためのものである。そのため、ウエブＷには、適量の塗布液１１０が塗布されることとなる。なお、ウエブＷは、グラビアローラ３１６との接触部分において、グラビアローラ３１６の回転方向（図４に示される矢印Ｂ方向）とは反対方向（図４に示される矢印Ｃ方向）に送り出される。
【００５５】
掻取ドクターブレード２０は、ウエブＷに塗布液１１０を塗布した後にグラビアローラ３１６の表面に残っている残存塗布液１１０ａを掻き取ることができるようになっている。掻取ドクターブレード２０の上部には、残存塗布液１１０ａが掻き取られる側の掻取ドクターブレード２０の面（掻取面）Ｓを覆うように、板状体３４が設けられている。掻取ドクターブレード２０と板状体３４とは、真空ポンプ５２により残存塗布液１１０ａを吸引するためのスリット状の吸引口３６を形成している。吸引口３６は、配管４０を経由して、トラップタンク４８へと接続されている（図５参照）。
【００５６】
以上の構成を有する塗布膜形成装置３００においては、残存塗布液１１０ａを、掻取ドクターブレード２０によってグラビアローラ３１６上から掻き取っている。そして、掻取ドクターブレード２０によって掻き取った残存塗布液１１０ａを真空ポンプ５２によって吸引口３６から吸引し、トラップタンク４８を経て廃液タンク５０に回収している。そのため、掻き取られた残存塗布液１１０ａが掻取ドクターブレード２０の掻取面Ｓの裏に回り込んで塗布液槽３２２に持ち越されることがほとんどなくなる。また、同時に、掻き取られた残存塗布液１１０ａ中の溶質が固化して掻取ドクターブレード２０の周囲の部材に付着することがほとんどなくなるため、著しく保守性が向上することとなる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本実施形態に係る塗布膜形成装置用前処理装置の全体構成を示す概略図である。
【図２】本実施形態に係る塗布膜形成装置用前処理装置の掻取ドクターブレード部分を拡大して示す図である。
【図３】ドクターブレードの先端の各種断面形状を示す図である。
【図４】塗布膜形成装置の全体構成を示す概略図である。
【図５】塗布膜形成装置の掻取ドクターブレード部分を拡大して示す図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０…塗布膜形成装置用前処理装置、１２…前処理装置本体、１４…廃液処理部、１６…プライミングローラ、１８…循環溶剤供給ノズル（溶剤供給手段）、２０…掻取ドクターブレード、３４…板状体、３６…吸引口、４８…トラップタンク（一時貯留手段）、５２…真空ポンプ、１００…塗布液供給ノズル、１１０…塗布液、１１０ａ…残存塗布液、１２０…吸引手段、１３０…排出手段、３００…塗布膜形成装置、３１２…グラビアコーター本体、３１６…グラビアローラ、３２２…塗布液槽、Ｗ…ウエブ。
【図１】
2007268521.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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