(57)【要約】【課題】磁性インクを用いて迅速に微細配線を形成し、吐出されたインク内の金属粒子が均等に分布されるようにしてコーヒームラやマイグレーションが発生されなく電気的な信頼度の優れた配線形成方法及び装置を提供する。また電気伝導度と電気的な信頼度の優れた基板を提供する。【解決手段】基板の一面に磁性インクを吐出して配線を形成する段階にて上記磁性インクに磁気場が及ぶようにする配線形成方法を提供する。磁気場は、基板の他面に磁性インクが吐出される部分に対応して位置する磁気場形成部により提供されてもよい。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）磁性インクに磁気場を及ぼすようにして、基板の一面に磁性インクを吐出して配線を形成する段階と、
（ｂ）前記形成された配線を焼成する段階と、
を含む配線形成方法。
【請求項２】
前記磁気場は、前記基板の他面に前記磁性インクが吐出される部分に対応して位置する磁気場形成部により提供される請求項１に記載の配線形成方法。
【請求項３】
前記磁気場形成部は、前記磁性インクが吐出されるインクジェットヘッドの動きに応じて動く請求項２に記載の配線形成方法。
【請求項４】
前記磁気場形成部は、複数の磁気場源を含む請求項２に記載の配線形成方法。
【請求項５】
（ａ）磁性インクに磁気場を及ぼすようにして、基板の一面に磁性インクを吐出して配線を形成する段階と、
（ｂ）前記形成された配線に磁気場を及ぼすようにして、前記配線を焼成する段階と、
を含む配線形成方法。
【請求項６】
前記磁気場は、前記基板の他面に形成されて、
前記磁性インクが吐出される部分に対応して位置するインク磁気場形成部、及び
形成された配線に対応して位置する配線磁気場形成部を含む磁気場形成部により提供される請求項５に記載の配線形成方法。
【請求項７】
前記段階（ｂ）は、前記基板の他面に形成される焼成部により行われる請求項６に記載の配線形成方法。
【請求項８】
前記配線磁気場形成部は、前記焼成部の少なくとも一部または全体とオーバーラップ（ｏｖｅｒｌａｐ）されるように位置する請求項７に記載の配線形成方法。
【請求項９】
前記インク磁気場形成部は、前記磁性インクが吐出されるインクジェットヘッドの動きに応じて動く請求項６に記載の配線形成方法。
【請求項１０】
前記配線磁気場形成部は、前記形成された配線の動きに応じて動く請求項６に記載の配線形成方法。
【請求項１１】
前記インク磁気場形成部と前記配線磁気場形成部は、それぞれ複数の磁気場源を含む請求項６に記載の配線形成方法。
【請求項１２】
前記複数の磁気場源は、互いに異なる動作制御信号に応じて個別的に動く請求項４または１１に記載の配線形成方法。
【請求項１３】
前記磁気場源は、磁石を含む請求項４または１１に記載の配線形成方法。
【請求項１４】
前記磁気場源は、電源と前記電源から電流の供給を受けて磁気場を形成するコイルを含む請求項４または１１に記載の配線形成方法。
【請求項１５】
前記磁気場は、前記磁性インクが吐出される方向と平行の方向に形成される請求項１または５に記載の配線形成方法。
【請求項１６】
前記磁性インクは、鉄、コバルト、ニッケル、マンガン、またはこれらの合金からなる群から選択される一つ以上の金属ナノ粒子を含む請求項１または５に記載の配線形成方法。
【請求項１７】
請求項１に記載の配線形成方法により形成された配線を含む基板。
【請求項１８】
請求項５に記載の配線形成方法により形成された配線を含む基板。
【請求項１９】
磁性インクを基板の一面に吐出するインクジェットヘッドと、
前記基板の他面の前記インクジェットヘッドに対応して位置して前記磁性インクが吐出されて配線を形成する時、前記磁性インクに磁気場が及ぶようにする磁気場形成部と、
を含む配線形成装置。
【請求項２０】
形成された配線に熱を加える焼成部をさらに含む請求項１９に記載の配線形成装置。
【請求項２１】
前記焼成部は、前記基板の他面に位置する請求項２０に記載の配線形成装置。
【請求項２２】
前記磁気場形成部は、前記焼成部とオーバーラップ（ｏｖｅｒｌａｐ）されないように位置する請求項２１に記載の配線形成装置。
【請求項２３】
前記磁気場形成部は、前記焼成部の少なくとも一部、または全体とオーバーラップ（ｏｖｅｒｌａｐ）されるように位置して焼成時形成された配線に磁気場が及ぶようにする請求項２１に記載の配線形成装置。
【請求項２４】
前記磁気場形成部は、前記インクジェットヘッドの動きに応じて動く請求項１９に記載の配線形成装置。
【請求項２５】
前記磁気場形成部は、複数の磁気場源を含む請求項１９に記載の配線形成装置。
【請求項２６】
前記複数の磁気場源は、互いに異なる動作制御信号に応じて個別的に動く請求項２５に記載の配線形成装置。
【請求項２７】
前記磁気場源は、磁石を含む請求項２５に記載の配線形成装置。
【請求項２８】
前記磁気場源は、電源と前記電源から電流の供給を受けて磁気場を形成する請求項２５に記載のコイルを含む配線形成装置。
【請求項２９】
前記磁気場は、前記磁性インクが吐出される方向と平行な方向に形成される請求項１９に記載の配線形成装置。
【請求項３０】
前記磁性インクは、鉄、コバルト、ニッケル、マンガン、またはこれらの合金からなる群から選択される一つ以上の金属ナノ粒子を含む請求項１９に記載の配線形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線形成方法及び配線形成装置に関するもので、特に微細配線を形成するための配線形成方法及び配線形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近には、インクジェット方式で基板に微細配線を形成する方法が提示されているが、この方法は、選択的に微細配線を形成することができて工程の簡略化による時間的または経済的な側面の長所がある。しかし、電子機器の大きさが漸次小くなることによりさらに微細な配線の形成が要求されている。しかし、この方法によると、軽量化及び小型化の成り行きにより要求されている配線の大きさや配線間の間隔を満足させるのに、印刷技術の解像度に問題点がある。この解像度は、インクジェットヘッドから吐出されるインクの直径とインクの表面張力及び界面張力により決まるが、導電性を有する配線を形成するために金属ナノ粒子を含まなければならないなどの問題によりインクジェットヘッドの大きさと吐出される滴の直径自体を減らすことには限界がある。
【０００３】
また、インクジェット方式でインクを吐出した時の、基板上での広がり性の問題が微細配線を形成することに障害となっている。このような広がり性は、インクの吐出速度、粘度、乾燥速度、インク内の金属粒子の重さの比率、基板の表面性質などの力学性の性質に応じて変わる。
【０００４】
またこのように形成されたインクの液滴が乾燥されながら乾燥される速度差による伝達性の流れに応じて金属粒子が液滴の縁に集中してコーヒームラ（ｃｏｆｆｅｅ ｓｔａｉｎ）現象が発生する。これは配線自体の伝導性や金属のマイグレーション（ｍｉｇｒａｔｉｏｎ）現象を起こして結果的に製品の信頼性に影響を及ぼすことになる。
【０００５】
したがって、このインクジェット方式により微細パターンを形成しながら電気的な信頼性の優れた配線を形成するための多様な努力が試みられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような問題点を解決するために、本発明は、磁性インクを用いて迅速に微細配線を形成する方法を提供する。
【０００７】
本発明は、吐出されたインク内の金属粒子が均等に分布されるようにしてコーヒームラやマイグレーションが発生されなく電気的な信頼度の優れた配線形成方法を提供する。
【０００８】
また本発明は、磁性インクを用いて迅速に微細配線を形成する装置を提供する。
【０００９】
本発明は、コーヒームラやマイグレーションが発生しないので、電気的な信頼度の優れた配線形成装置を提供する。
【００１０】
また本発明は、電気伝導度と電気的な信頼度の優れた基板を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一実施形態によれば、（ａ）磁性インクに磁気場を及ぼすようにして、基板の一面に磁性インクを吐出して配線を形成する段階と、及び（ｂ）上記形成された配線を焼成する段階とを含む配線形成方法を提供することができる。
【００１２】
ここで、上記磁気場は、上記基板の他面の上記磁性インクが吐出される部分に対応して位置する磁気場形成部により提供され得るし、上記磁気場形成部は、上記磁性インクが吐出されるインクジェットヘッドの動きに応じて動くことができる。
【００１３】
好ましい実施例によれば、上記磁気場形成部は、複数の磁気場源を含むことができる。
【００１４】
本発明の別の実施形態によれば、（ａ）磁性インクに磁気場を及ぼすようにして、基板の一面に磁性インクを吐出して配線を形成する段階と、及び（ｂ）上記形成された配線に磁気場を及ぼすようにして、上記配線を焼成する段階とを含む配線形成方法を提供することができる。
【００１５】
ここで、上記磁気場は、上記基板の他面に形成され、上記磁性インクが吐出される部分に対応して位置するインク磁気場形成部及び形成された配線に対応して位置する配線磁気場形成部を含む磁気場形成部により提供され得る。ここで、上記段階（ｂ）は上記基板の他面に形成される焼成部により行うことができる。
【００１６】
好ましい実施例によれば、上記配線磁気場形成部は、上記焼成部の少なくとも一部または全体とオーバーラップ（ｏｖｅｒｌａｐ）されるように位置することができる。また上記インク磁気場形成部は、上記磁性インクが吐出されるインクジェットヘッドの動きに応じて動くことになり、上記配線磁気場形成部は、上記形成された配線の動きに応じて動くことができる。
【００１７】
また好ましい実施例によれば、上記インク磁気場形成部と上記配線磁気場形成部は、それぞれ複数の磁気場源を含み、ここで複数の磁気場源は互いに異なる動作制御信号に応じて個別的に動くことができる。
【００１８】
ここで、磁気場源は、磁石を含むか、電源と上記電源から電流の供給を受けて磁気場を形成するコイルを含むことができる。また、ここで、磁気場は、上記磁性インクが吐出される方向と平行な方向に形成され得るし、磁性インクは、鉄、コバルト、ニッケル、マンガンまたはこれらの合金からなる群から選択される一つ以上の金属ナノ粒子を含むことができる。
【００１９】
本発明のまた別の実施形態によれば、上記配線形成方法により形成された配線を含む基板を提供することができる。
【００２０】
本発明のまた別の実施形態によれば、磁性インクを基板の一面に吐出するインクジェットヘッド及び上記基板の他面の、上記インクジェットヘッドに対応して位置して上記磁性インクが吐出されて配線を形成する時、上記磁性インクに磁気場が及ぶようにする磁気場形成部を含む配線形成装置を提供することができる。
【００２１】
ここで、形成された配線に熱を加える焼成部をさらに含むことができ、好ましい実施例によれば、上記焼成部は上記基板の他面に位置する。
【００２２】
ここで、上記磁気場形成部は、上記焼成部とオーバーラップ（ｏｖｅｒｌａｐ）されないように位置するかまたは、上記焼成部の少なくとも一部または全体とオーバーラップ（ｏｖｅｒｌａｐ）されるように位置して焼成時に形成された配線に磁気場が及ぶようにすることができる。
【００２３】
またここで、上記磁気場形成部は、上記インクジェットヘッドの動きに応じて動くことができるし、複数の磁気場源を含むことができる。好ましい実施例によれば、複数の磁気場源は互いに異なる動作制御信号に応じて個別的に動くことができ、磁石を含むかまたは、電源と上記電源から電流の供給を受けて磁気場を形成するコイルを含むことができる。
【００２４】
またここで、磁気場は、上記磁性インクが吐出される方向と平行な方向に形成され得るし、磁性インクは、鉄、コバルト、ニッケル、マンガンまたはこれらの合金からなる群から選択される一つ以上の金属ナノ粒子を含むことができる。
【発明の効果】
【００２５】
上述したように、本発明は、磁性インクを用いて迅速に微細配線を形成することができるし、吐出されたインク内の金属粒子が均等に分布されるようにしてコーヒームラやマイグレーションが発生されなく、電気的な信頼度の優れた配線形成方法及び配線形成装置を提供する。また本発明は電気伝導度と電気的な信頼度の優れた基板を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明による配線形成装置及び配線形成方法の好ましい実施例を添付図面を参照して詳しく説明する。また、本発明の好ましい実施例を詳しく説明する前に、吐出されたインクより発生され得る現象に対して先に説明する。
【００２７】
図１は、従来技術により基板上に吐出されたインクを示す図面である。図１を参照すると、金属ナノ粒子１１を含むインク１３がノズルを介して基板１２の一面に吐出された時のインク液滴の断面図と吐出されたインク液滴の平面図を示している。このインク１３は、配線パターンの全体がすべて印刷されるまで待機する間、または連続する後工程が行われるまで、インク表面から乾燥が始まる。この時、インク１３の内部的にはインク液滴の縁部分と中心部分の厚さの差により乾燥速度が異なる。例えば、半楕円形の模様に形成される液滴において、厚さの薄い液滴の縁部分が先に乾燥されて厚い液滴の中心部は遅く乾燥される。
【００２８】
これにより、インク内部で伝達性の流れが形成されて、インク内に分散されている金属ナノ粒子１１がインク液滴の縁に移動するピニング（ｐｉｎｎｉｎｇ）現象、またはコーヒームラ現象が発生する。このようなナノ粒子の不均一な分布状態で焼成過程を行うと形成された配線の通電性に問題が発生し、巨視的には製品の電気的な信頼度を落とすことになる。
【００２９】
またインク液滴間、または形成された単位配線内にて金属粒子が縁に集中していて金属のイオン化により陰極から金属が析出されるマイグレーションが発生しやすい。このようなマイグレーション現象も製品の電気的な信頼度を落として不良率を高める一つの要因となる。
【００３０】
本発明では、磁気場を用いることでこのようなコーヒームラ現象やマイグレーションが発生しなく、金属ナノ粒子がインク内で均一に分布されるように配線を形成する方法と装置を提供する。
【００３１】
図２は、本発明の好ましい一実施例により基板上に吐出されたインクを示す図面である。図２を参照すると、磁性を有するインク３３を用いて基板３２の上に配線を形成する場合のインクの吐出方向に磁気場３４を加えた場合を示した。この場合、インク３３の中に分散されていた金属ナノ粒子３１は、インク液滴の下側（基板方向）に移動して、液滴の中心と縁に均一に分布する。この後、インクの表面が乾燥されても金属ナノ粒子３１は磁気場の影響で伝達性の流れに応じて移動しないので、コーヒームラのような問題は発生しない。インク３３が焼成されるまで、このインクに磁気場を及ぼすようにすることが好ましくて、これにより金属ナノ粒子が均一に分散されている配線を得ることができる。このような配線は、電気伝導度が優れて、マイグレーションの起きる虞が少なく、電気信頼度も向上させることができる。
【００３２】
本発明では、磁気場により影響を受けるインク３１を‘磁性インク’と呼ぶ。導電性を有する配線を形成するためのインクは、金属ナノ粒子を含むが、このインクが磁性を有すると制限なしで使用され得る。インクジェット方式で配線を形成するインクに含まれ得る金属ナノ粒子としては、金、銀、銅、ニッケル、亜鉛、白金、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、イリジウム、オスミウム、タングステン、タンタル、チタン、アルミニウム、コバルト、鉄及びこれらの中から二つ以上の金属からなる混合物からなる群から選択される一つ以上の金属を含むナノ粒子を挙げることができる。
【００３３】
このうち、特に強磁性を有する鉄、コバルト、ニッケル、マンガンまたはこれらの合金かなる群から選択される一つ以上の金属を含むインクが好ましい。また、形成された配線が優れた電気伝導度を有するためには、導電性の優れた銀、銅、金、白金、アルミニウムまたはこれらの合金からなる群から選択される一つ以上の金属ナノ粒子をさらに含むインクが特に好ましい。
【００３４】
２００１年４月９日に出願されたアメリカ特許の第６７７３８２３号には、金のような軟磁性コアと鉄のようなシェルを含むコア−シェル構造のナノ粒子が開示されている。このようなナノ粒子を含むインクが本発明の配線形成のために好ましく使用され得る。また、鉄のような強磁性を有するコアと導電性の優れたシェルを含むコア−シェル構造の金属ナノ粒子を含むインクも本発明の配線を形成するための好ましい例として挙げることができる。しかし、本発明の磁性インクがこれに限定されることではない。
【００３５】
本発明ではまた、磁気場を用いてインクの広がり性を改善することにより微細配線を形成し、インクの吐出速度を高めて迅速な工程を行うことができる配線形成方法及び装置を提供する。
【００３６】
図３は、本発明の好ましい一実施例による配線を形成する方法を示す図面である。図３を参照すると、インク３３を基板の一面に吐出して配線を形成する段階と、こうして形成された基板を焼成する段階が示されている。ここで、インクが基板の一面に吐出されて配線を形成する時、この基板の他面の、インクが吐出される部分に対応する位置に磁気場形成部３７を位置させてインクに磁気場が及ぶようにする。この磁気場形成部３７は複数の磁気場源３７０を含むことができる。ここで‘磁気場源’とは、磁気場を発生させる最小単位を言う。よって、複数のインクジェットヘッドを用いてインクを吐出させる場合、各インクジェットヘッドに相応して磁気場をかけることができ、一つのインクジェットヘッドによりインクを吐出する場合、吐出位置に相応して互いに異なる磁気場源を用いて磁気場をかけることもできる。
【００３７】
ここで、焼成は、当該技術分野の通常の知識を有する者が容易く構成することができる焼成方法により焼成することができるし、これに対する制限はない。本発明の好ましい一実施例によれば、基板の他面、すなわち、磁気場形成部３７と同一方向に焼成部３９を位置させて配線の形成された基板を同一平面上に移送させて焼成する方法により配線基板を形成させ得る。
【００３８】
図５は、本発明の好ましい一実施例による配線形成装置を示す図面である。図５を参照すると、インク３３を基板３２の一面に吐出するインクジェットヘッド３６と、この基板の他面に形成された磁気場形成部３７を含む配線形成装置が示されている。この図面には示されていないが、配線の形成された基板を焼成する焼成部をさらに含むことができる。この磁気場形成部３７は、インクジェットヘッド３６に対応して位置してノズル３５を介してインクが吐出されて配線を形成する時、インクに磁気場が及ぶようにする。
【００３９】
このような磁気場によりインクは重力より大きい力で吐出されるので、印刷速度を向上させることができる。
【００４０】
以上で、配線形成方法及び装置を一般的に示した図面で説明したが、以下では、添付図面を参照して、本発明による配線形成方法及び装置を具体的な実施例を基準として説明する。本発明による配線形成方法は、焼成時にも基板に磁気場をかけるのかの可否により二つの実施形態を有する。
【００４１】
図３を参照すると、インクジェットヘッド３６から磁性インクを吐出して配線を形成する時、インクに磁気場が及ぶように磁気場形成部３７を含み、形成された配線を焼成させる時には磁気場をかけない本発明の好ましい一実施例による配線形成方法を示している。磁気場形成部３７は、少なくとも一つ以上の磁気場源３７０と磁性インクが吐出されるインクジェットヘッドの動きに応じて動くようにする磁気場制御部３７９を含む。インクジェットヘッド３６は、所望の配線パターンに応じて配線を形成するようにプログラム化されたインクジェットプリンタ制御部３７８により制御される。このインクジェットプリンタ制御部３７８と磁気場形成部３７を制御する磁気場制御部３７９は、互いに相応して動くようにプログラム化された統合制御部３７４により制御され得る。上述したように、少なくとも一つ以上の磁気場源３７０は、互いに異なる動作制御信号に応じて個別的に動きながら、少なくとも一つ以上のインクジェットヘッド３６の動きに応じて動くことができる。このような磁気場源としては、例えば、磁石または電源とこの電源から電流の供給を受けて磁気場を形成するコイルを含む磁気場源を挙げることができる。しかし、磁気場源はこれに限定されなく、磁気場を発生させ得る多様な種類の磁気場発生装置を応用することができる。
【００４２】
磁気場形成部から提供される磁気場の強さは、インクに含まれている金属ナノ粒子の種類と大きさ、含有量などのインクの磁性により決定される。これに限定されることではないが、磁気場の強さが１０ないし５０ガウス、好ましくは２０ないし３０ガウスを有する磁気場形成部を構成することができる。このような範囲の磁気場の強さであれば、インクジェット方式により吐出されるインクが直進性を有して基板に吐出されることができる。また磁気場は、インクが吐出される方向と平行な方向に形成されることがインクの直進性を向上させ得る。
【００４３】
また、磁気場源により形成された磁気場の及ぶ範囲は、基板の大きさと同一であるかまたはより大きくても良いが、磁気場の強さは、微細配線の形成に好ましくて、インクジェットヘッドや他の金属構成要素に磁気場による激しいロードのかからない範囲内で決定されることが好ましい。例えば、磁気場の幅が配線の幅より小さいかまたは同一であると、インクが基板に吐出される時、インクの液滴と基板間の接触角が大きくなって微細配線を形成することができる。
【００４４】
ここで、焼成は、当該技術分野の通常の知識を有する者が容易く構成することができる焼成方法により焼成することができるし、これに対する制限はない。焼成は、インクに含まれている有機成分を除去し金属粒子間の結合を形成するために要求される過程であり、この段階を経て吐出されたインクにより形成された配線が導電性を有することになる。焼成温度は、配線の幅や広さ、インクに含まれる成分、例えば、金属ナノ粒子、キャッピング分子、分散剤のような添加剤などの性質に応じて異なり、ポリマー基板のような低温融点を有する基板等の、用いられる基板の種類に応じても異なる。必ずこれに限定されることではないが、１２０ないし３５０℃で数秒ないし１時間ぐらい行うことができ、２００℃で３０分間焼成させることが好ましい。
【００４５】
図４は、本発明の好ましい一実施例による配線を形成する方法を示す図面である。図４を参照すると、磁気場形成部３７が焼成部３９とオーバーラップされるように形成されている。この方法によれば、磁性インクで形成された配線に、乾燥される間だけではなく、焼成される間にも持続的に磁気場をかけることによりインク内での金属ナノ粒子の配列の均一性をさらに保障することができる。ここで、磁気場は基板の他面に形成される磁気場形成部３７により提供され、この磁気場形成部３７は、磁性インクが吐出される部分に対応して位置するインク磁気場形成部３７６と形成された配線に対応して位置する配線磁気場形成部３７７を含む。
【００４６】
ここで、インク磁気場形成部３７６は、磁性インクが吐出されるインクジェットヘッドの動きに応じて動くし、配線磁気場形成部３７７は、焼成される配線の動きに応じて動くことができる。このインク磁気場形成部３７６と配線磁気場形成部３７７は、それぞれ複数の磁気場源３７０を含むことができ、この磁気場源は互いに異なる動作制御信号に応じて個別的に動くことができるが、このような動きは磁気場形成部の磁気場制御部３７９から制御され得る。またインクジェットヘッド３６は、所望の配線パターンに応じて配線を形成するようにプログラム化されたインクジェットプリンタ制御部３７８により制御される。このインクジェットプリンタ制御部３７８と磁気場形成部３７を制御する磁気場制御部３７９は互いに相応して動くようにプログラム化された統合制御部３７４により制御され得る。
【００４７】
磁気場源の構成は、上述した通りである。配線磁気場形成部は、基板との間に焼成部をさらに有することができ、この焼成部の所望する作業を邪魔しないで配線に磁気場を形成するためにインク磁気場形成部と異なる強さの磁気場を形成することができる。
【００４８】
焼成段階は、当該技術分野の通常の知識を有する者が実施する方法により行うことができる。発明の好ましい一実施例によれば、基板の他面、すなわち、磁気場形成部３７と同一方向に焼成部３９を置いて配線の形成された基板を同一平面上に移送させて焼成する方法で配線基板を形成させ得る。この時、焼成部は、配線磁気場形成部の少なくとも一部、または全体とオーバーラップされるように位置することができる。
【００４９】
このような配線形成方法により形成された配線を含む基板は、コーヒームラ現象やマイグレーションを発生させなく、電気伝導度と電気信頼度の優れた基板を得ることができる。こうして形成された配線を含む基板は、断層、両面または多層基板の形態に使用することができ、印刷回路基板や半導体実装用基板としても使用することができる。
【００５０】
以上で、配線形成方法に対して詳しく説明したが、以下、配線形成装置に関して詳しく説明する。
【００５１】
本発明の好ましい実施例による配線形成装置を示す図５及び６を参照すると、本発明による配線形成装置は、磁性インク３３を基板３２の一面に吐出するインクジェットヘッド３６、上記基板の他面に位置する磁気場形成部３７を含む。また、この磁気場形成部３７は、インクジェットヘッド３６に対応して位置して、磁性インク３３が吐出される時、この磁性インク３３に磁気場が及ぶようにする。
【００５２】
この時、磁気場形成部は、複数の磁気場源を含むことができるし、この複数の磁気場源は互いに異なる動作制御信号に応じて個別的に動くことができる。このような磁気場源として磁石または、電源と上記電源から電流の供給を受けて磁気場を形成するコイルを含むことができる。図５を参照すると、磁気場形成部３７または磁気場源として磁石３７を用いる場合、インク吐出方向と平行の方向に磁気場を形成するために磁石がインクの吐出方向に整列されることが好ましい。図６を参照すると、磁気場形成部３７は、コイル３７３が電源３７１から供給された電流により電磁石３７５に磁気場を形成させる。この時、形成される磁気場はインク吐出方向と平行であることが好ましい。
【００５３】
また図３または４を参照すると、本発明による配線形成装置は、形成された配線に熱を加える焼成部をさらに含むことができる。この焼成部は、基板の他面、すなわち、磁気場形成部と同一方向に位置することができるが、必ずこれに限定されることではないし、基板の他の方向に位置することもでき、当該技術分野に通常の知識を有する者であれば多様な応用が可能である。本発明の一実施例によれば、磁気場形成部はこの焼成部とオーバーラップされないこともでき、少なくとも一部または全体とオーバーラップされることもできる。
【００５４】
上述のような磁気場形成部は、磁性インクに磁気場が及ぶようにする場合だけではなく、形成された配線に磁気場が及ぶようにする場合にも応用され得る。この時、配線のための磁気場形成部は、形成された配線に対応して位置し、配線の動きに応じて動く。
【００５５】
以上で、インクジェット方式によりインクを吐出させて配線を形成させる装置に関して記載したが、以外にも多様な方法によるインクを吐出させる装置に本発明を適用することができる。
【００５６】
また本発明は、上記実施例に限定されないし、多くの変形が本発明の思想内で当分野に通常の知識を有する者によって可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】従来技術による基板上に吐出されたインクを示す図面である。
【図２】本発明の好ましい一実施例による基板上に吐出されたインクを示す図面である。
【図３】本発明の好ましい一実施例による配線を形成する方法を示す図面である。
【図４】本発明の好ましい別の実施例による配線を形成する方法を示す図面である。
【図５】本発明の好ましい一実施例による配線の形成装置を示す図面である。
【図６】本発明の好ましい別の一実施例による配線の形成装置を示す図面である。
【符号の説明】
【００５８】
１１、３１：金属ナノ粒子
１２、３２：基板
１３、３３：インク
３４：磁気場
３５：ノズル
３６：インクジェットヘッド
３７：磁気場形成部
３９：焼成部
３７０： 磁気場源
３７１：電源
３７３：コイル
３７４：統合制御部
３７５：電磁石
３７６：インク磁気場形成部
３７７：配線磁気場形成部
３７８：インクジェットプリンタ制御部
３７９：磁気場制御部
【図１】
2007116159.tif 000003
【図２】
2007116159.tif 000004
【図３】
2007116159.tif 000005
【図４】
2007116159.tif 000006
【図５】
2007116159.tif 000007
【図６】
2007116159.tif 000008