(57)【要約】【課題】搬送性能を損なうことなく、台車の構造の単純化および軽量化と制御の単純化を図ることができるワーク搬送装置を提供することをその課題とする。【解決手段】ワークＷを搭載する非自走式の台車２３と、台車２３が走行する一対の走行路２２と、一対の走行路２２に沿って延在し、台車２３を牽引して一対の走行路２２上を走行させる牽引機構と、台車２３および牽引機構の少なくとも一方に組み込まれ、台車２３の走行のために台車２３と牽引機構とを連結すると共に、台車２３の走行停止のために台車２３と牽引機構とを連結解除する連結手段と、連結手段を介して台車２３の走行および走行停止を制御する制御手段と、を備える。【選択図】図２
2007246229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搭載する非自走式の台車と、
前記台車が走行する走行路と、
前記走行路に沿って延在し、前記台車を牽引して前記一対の走行路上を走行させる牽引機構と、
前記台車および前記牽引機構の少なくとも一方に組み込まれ、前記台車の走行のために前記台車と前記牽引機構とを連結すると共に、前記台車の走行停止のために前記台車と前記牽引機構とを連結解除する連結手段と、
前記連結手段を介して前記台車の走行および走行停止を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記牽引機構は、前記走行路に沿って走行すると共に走行方向に列設した複数の牽引係止部を設けたベルト状部材を有し、
前記台車は、前記ベルト状部材の前記各牽引係止部に前記連結および前記連結解除のために係脱する可動係止部と、前記可動係止部を係脱動作させる係脱動作機構を有し、
前記連結手段は、前記複数の牽引係止部を設けたベルト状部材と前記係脱動作機構とで構成されていることを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記可動係止部は、前記走行方向に直交する軸廻りに回動自在に構成され、
前記牽引係止部に対し、反走行方向への回動により係止すると共に走行方向への回動により離脱することを特徴とする請求項２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記走行路は、左右一対のもので構成されており、
前記牽引機構はベルトコンベアで構成され、且つ前記ベルト状部材はコンベアベルトで構成され、
前記牽引機構は、一対の前記走行路の間隙に配設されていることを特徴とする請求項２または３に記載のワーク搬送装置。 
【請求項５】
前記牽引係止部は、前記コンベアベルトに形成した開口で構成され、
前記可動係止部は、フック状部材で構成されていることを特徴とする請求項４に記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記係脱動作機構は、ソレノイドおよびモータのいずれかで構成され、
前記係脱動作機構の電力は、一対の前記走行路から給電されることを特徴とする請求項４または５に記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
前記台車は、４つの車輪と、４つの前記車輪のうちの少なくとも１の前記車輪を制動する制動機構と、を有し、
前記制御手段は、前記制動機構を制御し、前記台車の走行時に制動解除動作させ、前記台車の走行停止時に制動動作させることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
前記台車は、前部に障害物への接近を検出するセンサを有し、
前記制御手段は、前記センサの検出結果に基づいて、前記台車の走行停止を制御することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項９】
ワークはポッドに収容されて前記台車に搭載され、
前記台車は、上面に前記ポッドを位置決め状態で搭載するボディーを有していることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フロントオープン一体型ポッド（Front-Opening Unified Pod：ＦＯＵＰ）に収容して導入された電子デバイスやＭＥＭＳ（マイクロマシン）等の半導体装置の製造ラインに組み込まれるワーク搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のワーク搬送装置として、複数の作業エリア間を跨いで共通の搬送ガイドレール等により走行路を形成し、この走行路上に個別に駆動源を搭載した搬送車（台車）を走らせ、この自走式の搬送車にワークを搭載して自動搬送するものが知られている（特許文献１参照）。
このワーク搬送装置では、搬送要求に応じて所望の作業エリアにワークを搬送するように搬送制御を行っており、各作業エリアにおける処理装置個別の処理条件の変更や前後の工程での処理時間の違い等により前後の工程の処理装置間に稼動率差が生じた場合にも、走行路上に搬送車（ワーク）を処理待ち状態で待機させることで、処理装置間の稼動率差を吸収している。
【特許文献１】特開平６−２０６１４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記ワーク搬送装置では、各搬送車が個別に走行のための駆動源（走行源）を持つため、搬送車がコスト高となると共に制御が複雑になる問題があった。また、搬送車自身の重量が増し可搬重量が大きくなるため、搬送車の走行および走行停止動作の応答性が悪化する問題があった。
【０００４】
本発明は、搬送性能を損なうことなく、台車の構造の単純化および軽量化と制御の単純化を図ることができるワーク搬送装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のワーク搬送装置は、ワークを搭載する非自走式の台車と、台車が走行する一対の走行路と、一対の走行路に沿って延在し、台車を牽引して一対の走行路上を走行させる牽引機構と、台車および牽引機構の少なくとも一方に組み込まれ、台車の走行のために台車と牽引機構とを連結すると共に、台車の走行停止のために台車と牽引機構とを連結解除する連結手段と、連結手段を介して台車の走行および走行停止を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この場合、牽引機構は、走行路に沿って走行すると共に走行方向に列設した複数の牽引係止部を設けたベルト状部材を有し、台車は、ベルト状部材の各牽引係止部に連結および連結解除のために係脱する可動係止部と、可動係止部を係脱動作させる係脱動作機構を有し、連結手段は、複数の牽引係止部を設けたベルト状部材と係脱動作機構とで構成されていることが、好ましい。
【０００７】
この構成によれば、走行するときは牽引係止部に可動係止部を係止（連結）し、停止するときは牽引係止部から可動係止部を離脱（連結解除）させることで、台車の走行・停止を制御することができる。特に前後の工程による稼動率差が生じた場合でも、走行路上に台車を待機させておくことで、製造装置間の稼動率差を吸収することができる。また、非走式の台車が牽引機構により牽引される構成としているため、各台車が走行用の駆動源（走行源）を個々に持つ必要がなく、台車を単純な構造とすることができると共に台車の軽量化を図ることができる。また同時に、台車のコストダウンを図ることができる。さらに、台車の軽量化により、その走行および走行停止の応答性を向上させることができる。一方、牽引機構の駆動に対し、連結手段による連結および連結解除で台車を走行および走行停止させることができるため、制御系を単純化することができる。
【０００８】
この場合、可動係止部は、走行方向に直交する軸廻りに回動自在に構成され、牽引係止部に対し、反走行方向への回動により係止すると共に走行方向への回動により離脱することが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、可動係止部を反走行方向に回動することで、牽引機構が駆動中であっても台車を牽引機構に確実に係止（連結）することができ、また可動係止部を走行方向に回動することで、牽引機構が駆動中であっても台車を牽引機構から確実に離脱（連結解除）させることができる。
【００１０】
この場合、走行路は、左右一対のもので構成されており、牽引機構はベルトコンベアで構成され、且つベルト状部材はコンベアベルトで構成され、牽引機構は、一対の走行路の間隙に配設されていることが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、牽引機構がベルトコンベアで構成されるため、牽引機構の構造を単純化することができると共に、台車の走行安定性を維持することができる。また、ベルトコンベアを一対の走行路の間隙に配設しているため、台車の牽引を安定させることができると共に、装置のスペース効率を向上させることができる。
【００１２】
この場合、牽引係止部は、コンベアベルトに形成した開口で構成され、可動係止部は、フック状部材で構成されていることが、好ましい。
【００１３】
この構成によれば、係脱性能を損なうことなく、極めて単純な構造で牽引係止部および可動係止部を構成することができる。
【００１４】
この場合、係脱動作機構は、ソレノイドおよびモータのいずれかで構成され、係脱動作機構の電力は、一対の走行路から給電されることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、単純な構造で係脱動作機構を構成することができると共に、係脱動作機構への給電のための専用設備を必要としない。
【００１６】
この場合、台車は、４つの車輪と、４つの車輪のうちの少なくとも１の車輪を制動する制動機構と、を有し、制御手段は、制動機構を制御し、台車の走行時に制動解除動作させ、台車の走行停止時に制動動作させることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、台車の走行停止時にオーバーラン等を抑制することができ、台車を精度良く停止させることができる。また、台車の走行開始を円滑に行うことができる。なお、台車の走行速度にもよるが、制動機構は２つ或いは４つとし、２輪制動或いは４輪制動とすることが、好ましい。
【００１８】
この場合、台車は、前部に障害物への接近を検出するセンサを有し、制御手段は、センサの検出結果に基づいて、台車の走行停止を制御することが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、例えば、前方にある台車や障害物への追突を防止することができると共に、台車を精度良く停止させることができる。また、台車を精度良く停止させることで、走行路を、ワークの処理待ちのためのバッファとして機能させることができる。さらに、走行路上で工程投入直前状態を維持できるため、例えば、装置のメンテナンス後の再稼動に対して、時間をロスすることなく台車を装置に投入することができる。
【００２０】
この場合、ワークはポッドに収容されて台車に搭載され、台車は、上面にポッドを位置決め状態で搭載するボディーを有していることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、ワークをポッドに載置したまま搬送することができると共に、ワークの給材および除材を円滑に行うことができる。また、ポッドが位置決め状態で搭載されているため、移載装置等による移載ミスを有効に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付の図面に基づいて、本発明の一実施形態に係るワーク搬送装置について説明する。このワーク搬送装置は、電子デバイスやＭＥＭＳ等の半導体装置の製造ラインにおいて各処理ステーション間のワーク（半導体ウェハ）搬送を行うものであり、処理対象となる半導体ウェハはＦＯＵＰに収容された状態で各処理ステーションの処理装置に搬送される。ここで、ワーク搬送装置を詳細に説明する前に、ＦＯＵＰについて簡単に説明する。
【００２３】
図１に示すように、ＦＯＵＰ４は、半導体ウェハＷを収容するボックス本体１１と、ボックス本体１１の前面（図示右側）に着脱自在に設けられ、ボックス本体１１の内部をクリーンな状態で密閉するフロントドア１２と、で構成されている。ボックス本体１１の内部には、両側壁に、対を為す断面櫛歯状の複数の溝（本実施形態では４段）１１ａが、それぞれ対向するように形成されている。半導体ウェハＷは、その周縁部が一対の溝１１ａ、１１ａに挿入するようにセットされることで、半導体ウェハＷの上面に形成されたチップ形成部分を傷つけないようにＦＯＵＰ４に収容される。また、ボックス本体１１の下面は、下面から下方に突出する位置決め凸部１１ｂを有し、その位置決め凸部１１ｂは、２段階に亘って突出するよう形成されている。
【００２４】
上記のＦＯＵＰ４では、４枚の半導体ウェハＷを収容可能であるが、本実施形態のものは、一枚ずつ半導体ウェハＷを収容して搬送（枚葉搬送）を行っている。これにより、半導体ウェハＷを一枚ずつ処理装置２内で処理し搬入・搬出が行われるので、多品種少量生産化に対応させることができる構成となっている。
【００２５】
続いて図２を参照して、ワーク搬送装置１について説明する。ワーク搬送装置１は、ＦＯＵＰ４を搭載する非自走式の台車２３と、台車２３が走行する一対の走行路２２、２２と、台車２３を牽引して一対の走行路２２、２２上を走行させるベルトコンベア２１と、台車２３の走行および停止を制御する制御手段（図示省略）と、を備えている。ベルトコンベア２１は、一対の走行路２２、２２の間隙に配設され、一対の走行路２２、２２は、独自に支持するようにしてもよいが、本実施形態のものは、後述するベルトコンベア２１の装置フレーム３４に支持されている。
【００２６】
ベルトコンベア２１は、左右一対の走行路２２、２２の間隙に、走行路２２に沿って延在するように配設され、台車２３を牽引するコンベアベルト３１と、コンベアベルト３１が掛け渡された駆動プーリ３２および従動プーリ３３と、駆動プーリ３２を回転駆動する駆動モータ（図示省略）と、これら構成装置を支持する装置フレーム３４と、を有している。コンベアベルト３１には、その幅方向の中心に位置し、且つ走行方向に向かって複数のコンベア開口３１ａが所定のピッチで列を為すように形成されている。このコンベア開口３１ａには、後述する台車２３のフック状部材４７が係止されることで台車２３がベルトコンベア２１に牽引される構成となっている。装置フレーム３４は、一対のサイドフレーム３４ａ、３４ａを有し、各サイドフレーム３４ａの上端には、走行路２２が設けられている。なお、サイドフレーム３４ａと走行路２２とを一体に形成するようにしてもよい。
【００２７】
この構成により、ワーク搬送装置１の構造を単純化することができると共に、台車２３をベルトコンベア２１に中心位置で牽引することかできるため、走行安定性を維持することができる。また、ベルトコンベア２１を一対の走行路２２の間隙に配設し、且つ一対の走行路２２、２２をベルトコンベア２１の装置フレーム３４に支持するようにしているため、台車２３の牽引を安定させることができると共に、装置のスペース効率を向上させることができる。
【００２８】
一対の走行路２２、２２は、相互に平行に且つベルトコンベア２１と略同長に延在しており、各走行路２２の外端部には、脱輪防止用の立上り部２２ａが形成されている（図６参照）。なお、この立上り部２２ａは、各走行路２２の内端部に設けるようにしてもよい。また、一対の走行路２２、２２は、導電性材料で構成されており、それぞれ外部電源（図示省略）に電気的に接続されており、台車２３には、走行路２２を介して給電が行われる。このため、図示では省略したが、サイドフレーム３４ａと走行路２２との間には、絶縁部材が介設されている。もっとも、走行路２２に給電ケーブル（架線）を添わせて設け、台車２３に給電ケーブルに摺接するブラシを設けることにより、台車２３に給電するようにしてもよい。
【００２９】
図３および図４に示すように、台車２３は、シャーシに相当する板状の支持フレーム４１と、支持フレーム４１の四隅に自由回転自在に設けた２つの前輪および２つの後輪からなる４つの車輪４３と、２つの前輪をそれぞれ制動する一対の制動機構４４と、支持フレーム４１の中央部に回動自在に設けられ上記のコンベア開口３１ａに係脱するフック状部材４７と、フック状部材４７の係止動作および離脱動作させる係脱動作機構と、これら構成装置を覆うと共に上面にＦＯＵＰ４を搭載するボディー４２と、を有している。また、支持フレーム４１の走行方向に対して前端部中央には、障害物への接近を検出するセンサ４６が立設されている。
【００３０】
支持フレーム４１には、４隅に４つの車輪４３に対応するように４つの方形の車輪用開口４１ａが形成され、中央且つ走行方向前寄りにフック状部材４７の出入口となる方形状のフック用開口４１ｂが形成されている。また、各車輪用開口４１ａおよびフック用開口４１ｂの走行方向に対して直行方向の両端近傍には、上方に向かって支持フレーム４１の一部を切り起すようにそれぞれ突設した、各一対の車輪用軸受部４１ｃおよび一対のフック状部材用軸受部４１ｄが形成されている。各一対の車輪用軸受部４１ｃには、車輪４３が回転自在に軸支され、一対のフック状部材用軸受部４１ｄには、フック状部材４７が回動自在に軸支されている。
【００３１】
ボディー４２は、ボックス状に形成され、上面に、上記ＦＯＵＰ４の位置決め凸部１１ａに対応する位置決め凹部４２ａが、２段階に亘って窪入形成されている。ボディー４２にＦＯＵＰ４を搭載すると、ＦＯＵＰ４の位置決め凸部１１ｂがボディー４２の位置決め凹部４２ａに嵌合して、ＦＯＵＰ４がボディー４２に前後左右に位置決め状態で載置される（図５参照）。この場合、位置決め凸部１１ｂおよび位置決め凹部は、周縁部を傾斜面として、相補的形状に形成されており、ＦＯＵＰ４がボディー４２に対し不動に且つ精度良く位置決めされる。このように、ボディー４２には、ＦＯＵＰ４が位置決め状態で搭載されるため、後述する移載ユニット３が半導体ウェハＷの給材および除材を円滑に行うことができ、移載ミスを有効に防止することができる。なお、上記の位置決め凸部１１ｂおよび位置決め凹部４２ａに代えて、この位置決め構造をキネマテックピンおよび傾斜溝から成るキネマカップリングで構成することも可能である。
【００３２】
また、ボディー４２の前面下部には、センサ４６に対応する方形の切欠き部４２ｂが形成されており、この切欠き部４２ｂによりボディー４２からセンサ４６が露出するようになっている（図２参照）。さらに、ボディー４２の下面は開放され、且つボディー４２の輪郭は、支持フレーム４１の平面形状に合致している。このため、ボディー４２を支持フレーム４１に閉蓋するように装着すると、台車２３は一体的な形態となる。なお、図示では省略したが、ボディー４２を支持フレーム４１にスナップインで装着するように構成することが好ましい。
【００３３】
フック状部材４７は、側面視扇状に形成された部材本体５２と、部材本体５２がその要部で軸着された駆動軸５３とで構成されており、駆動軸５３により一対のフック状部材用軸受部４１ｄに両持ちで回動自在に支持されている。この場合、フック状部材４７は、上記のフック用開口４１ｂを介してベルトコンベア２１に連結される連結位置と連結解除される連結解除位置（台車２３の内部）との間で回動自在に構成されている。より具体的には、フック状部材４７が前方から後方に向かって反走行方向に回動（斜め下動）し、コンベア開口３１ａに係止することでベルトコンベア２１に対し連結（連結位置）し、また逆にフック状部材４７が後方から前方に向かって走行方向に回動（斜め上動）し、コンベア開口３１ａから離脱することでベルトコンベア２１に対し連結解除（連結解除位置）する。このように、コンベア開口３１ａに対し、フック状部材４７が前方から係脱するようにしているため、走行中のコンベアベルト３１に対し、台車２３を確実に連結および連結解除することができる。
【００３４】
そして、走行するコンベアベルト３１に対し、係脱動作機構によりフック状部材４７が連結位置に回動することで台車２３が走行状態となり、連結解除位置に回動することで台車２３が走行停止状態となる。なお、本実施形態では、台車２３とベルトコンベア２１の連結および連結解除を、フック状部材４７とコンベア開口３１ａとの協働で行うようにしているが、相互に掛け止め可能な突起同士で構成するようにしてもよい。またその際、台車２３側の突起は進退自在に構成することも可能である。
【００３５】
係脱動作機構は、駆動源となるソレノイド４５と、ソレノイド４５の進退動を上記の駆動軸の回動動作に変換するクランク等のリンク機構と、有している。上記の制御手段の走行指令により、係脱動作機構はフック状部材４７を連結位置に回動させ、停止指令により、フック状部材４７を連結解除位置に回動させる。なお、ソレノイド４５に代えて駆動モータで駆動系を構成してもよい。かかる場合には、リンク機構に代えてギヤ列を用いることが好ましい。
【００３６】
４つ車輪４３は、それぞれシャフトを介して車輪用軸受部４１ｃに両持ちで回動自在に支持されている。各車輪４３とそのシャフトとはいずれも導電性材料で構成されており、図示では省略したが、両前輪のシャフトと、係脱動作機構および両制動機構４４とはケーブルで接続されている。これにより、上述した走行路２２および車輪４３を介して、係脱動作機構および両制動機構４４に駆動電力が供給されるようになっている。
【００３７】
制動機構４４は、ディスクブレーキ等で構成されており、シャフトを介して車輪４３と一体に回転するブレーキディスク５１と、ブレーキディスク５１の回転を制動する一対のブレーキパッド（図示省略）と、ブレーキディスク５１を一対のブレーキパッドを介して両側から挟持する挟持機構（図示省略）と、から構成されている。挟持機構は、モータあるいはソレノイドを駆動源とし、リンク機構等を介して一対のブレーキパッドを挟持動作させる。制動機構４４は、制御手段の停止指令に基づいて挟持機構を駆動し、ブレーキディスク５１を介して両前輪を制動し、また走行指令に基づいて挟持機構を駆動し、ブレーキディスク５１を介して両前輪を制動解除する。この場合、係脱動作機構と制動機構４４とは同期するため、停止指令により台車２３は瞬時に停止し、走行指令により台車２３は瞬時に走行を開始する。これにより、台車２３のオーバーラン等を抑制することができ、台車２３を精度良く停止させることができる。なお、本実施形態では２輪制動としたが、４輪制動でも良いし、１の車輪４３を制動する構成としてもよい。
【００３８】
センサ４６は、上段に走行方向前方に向けて光を出射する発光素子６１（発光ダイオード等）と、下段に障害物（台車等）に反射された光を受光する受光素子６２（フォトトランジスタ等）と、を上下２段となるように配設した反射型のもので構成されている。前方に向けて出射された光が、前方の障害物に反射され、反射光を受光素子６２が受光することで障害物との接近状態を検出し、検出結果を制御手段に出力するようにしている。制御手段は、所望の台車が各ステーションに達したときに停止信号を出力する他、このセンサ４６の検出結果に基づいて停止信号を出力する。これにより、各ステーションにおける処理待ちを可能にしている。すなわち、ベルトコンベア２１の一部をバッファとして機能させることができる。
【００３９】
このように、センサ４６の検出結果に基づいて、係脱動作機構および制動機構４４を制御するようにしているため、前方の障害物（例えば、先行する台車２３）への追突を防止することができると共に、台車２３を精度良く停止させることができる。また、走行路２２上で工程投入直前状態を維持できるため、例えば、処理装置２のメンテナンス後の再稼動に対して、時間をロスすることなく台車２３を処理装置２に投入することができる。
【００４０】
次に、図６に示す本実施形態のワーク搬送装置１を用いた製造ラインの一部について説明する。この製造ラインでは、ＦＯＵＰ４（半導体ウェハＷ）を搬送するワーク搬送装置１に臨んで、ＦＯＵＰ４に収容された半導体ウェハＷに処理を行う処理装置２が設けられ、またワーク搬送装置１と処理装置２との間でＦＯＵＰ４の移載を行う移載ユニット３が設けられている。
【００４１】
移載ユニット３は、ワーク搬送装置１と後述する処理装置２のオープンテーブル９５と上方に渡すように架設したガイドレール７１と、ガイドレール７１上をワーク搬送装置１とオープンテーブル９５との間で移動する移載ロボット７２と、を有している。移載ロボット７２は、ＦＯＵＰ４をハンドリングするハンドリング部８１と、ハンドリング部８１を昇降させる昇降機構８２と、から構成されている。移載ロボット７２は、処理装置２に臨んで停止した台車２３に対してハンドリング部８１を上方から臨ませ、ＦＯＵＰ４をハンドリングして上昇すると共に、オープンテーブル９５の上方に移動し、ハンドリング部８１を下降させてオープンテーブル９５上に、ＦＯＵＰ４を載置する。
【００４２】
処理装置２は、半導体ウェハＷに処理を施す処理装置本体（図示省略）と、処理装置本体に対し半導体ウェハＷを搬入・搬出する搬入搬出ロボット９２と、ＦＯＵＰ４のフロントドア１２を開閉する開閉機構９３と、をクリーンブース（チャンバ）９４に収容して、構成されている。クリーンブース９４には、その一の外壁に沿うように突設され、ＦＯＵＰ４が載置されるオープンテーブル９５が設けられている。
【００４３】
開閉機構９３は、ＦＯＵＰ４の搬入搬出口に設置された開閉扉１０１と、開閉扉１０１を先端に有した回動アーム１０２と、から構成され、半導体ウェハＷ搬入時に回動アーム１０２がフロントドア１２と開閉扉１０１とを一体として装置内部に引き込むように回動し、半導体ウェハＷ搬出時に回動アーム１０２がフロントドア１２と開閉扉１０１とを一体として搬入・搬出口に押し出すように回動する。
オープンテーブル９５は、アライメント機構１１１を有し、オープンテーブル９５上に載置されたＦＯＵＰ４は、アライメント機構１１１によりアライメントされた状態で処理装置２に押し付けられる。
【００４４】
そして、開閉機構９３は、オープンテーブル９５によりＦＯＵＰ４が開閉扉１０１に位置決め状態で押し付けられると、ＦＯＵＰ４のフロントドア１２のロックを外し、フロントドア１２と開閉扉１０１とを一体として装置内部に収容する。このようにして、ＦＯＵＰ４のフロントドア１２が開放されると、搬入搬出ロボット９２がＦＯＵＰ４内部に収容された半導体ウェハＷを抜き出すようにして、処理装置本体に移載する。また、逆の手順で、処理後の半導体ウェハＷをＦＯＵＰ４に戻し、さらに台車２３に戻す。ここで、台車２３の走行が開始し次のステーションに移動する。
【００４５】
このようにして、本実施形態のワーク搬送装置１は、走行するときはコンベア開口３１ａにフック状部材４７を係止（連結）し、停止するときはコンベア開口３１ａからフック状部材４７を離脱（連結解除）させることで、台車２３の走行・停止を制御することができる。特に前後の工程による稼動率差が生じた場合でも、走行路２２上に台車２３を待機させておくことで、処理装置２間の稼動率差を吸収することができる。また、非走式の台車２３がベルトコンベア２１により牽引される構成としているため、各台車２３が走行用の駆動源（走行源）を個々に持つ必要がなく、台車２３を単純な構造とすることができると共に台車２３の軽量化を図ることができる。また同時に、台車２３のコストダウンを図ることができる。さらに、台車２３の軽量化により、その走行および停止の応答性を向上させることができる。一方、ベルトコンベア２１の駆動に対し、コンベア開口３１ａおよびフック状部材４７による連結および連結解除で台車２３を走行および停止させることができるため、制御系を単純化することができる。
【００４６】
なお、本実施形態では、一対の走行路２２、２２の間隙にベルトコンベア２１を配設する構成としたが、これに限らず、走行路２２の外側にベルトコンベア２１を配設するようにしてもよい。この場合には、走行路を単一のもので構成することが可能になると共に、台車２３からフック状部材を側方に突出させた形態となる。
【００４７】
また、製造ラインの構成によっては、ベルトコンベア２１を交差させ、これに走行路２２を添設して、台車２３を交差するように走行させることも可能である。この場合、交差点での台車２３の衝突が回避できるため、衝突回避システムを追加せずに、平面上に複数の直線走行路２２を構築することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】（ａ）はＦＯＵＰの正面図であり、（ｂ）はＦＯＵＰの側面図である。
【図２】ワーク搬送装置の全体斜視図である。
【図３】台車の底部の斜視図である。
【図４】台車の全体斜視図である。
【図５】台車の走行時および停止時における動作説明図である。
【図６】本実施形態のワーク搬送装置を用いた製造ラインの一部の模式図である。
【符号の説明】
【００４９】
４…ＦＯＵＰ  ２１…ベルトコンベア  ２２…走行路  ２３…台車  ３１…コンベアベルト  ３１ａ…コンベア開口  ４２…ボディー  ４２ａ…位置決め凹部  ４３…車輪  ４４…制動機構  ４５…ソレノイド  ４６…センサ  ４７…フック状部材  Ｗ…半導体ウェハ
【図１】
2007246229.tif 000003
【図２】
2007246229.tif 000004
【図３】
2007246229.tif 000005
【図４】
2007246229.tif 000006
【図５】
2007246229.tif 000007
【図６】
2007246229.tif 000008