(57)【要約】      （修正有）【課題】光ピックアップを光学的にジャストフォーカス状態にして、光ピックアップの受光部の光軸方向のずれを検出するとともに、戻り光の光学特性を検出することのできる、光ピックアップ調整方法を提供する。【解決手段】光ピックアップ７の対物レンズの焦点位置に回折格子１０を配置し、前記光ピックアップ７の光源から出射した光を前記回折格子１０で反射させた後、前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を集光させたスポットを予め入力された基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うことを特徴とする光ピックアップ調整方法を用いる。【選択図】図１
2007213666.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ピックアップの光源から出射した光を前記光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置された回折格子で反射させた後、前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を集光させたスポットを基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うこと
を特徴とする光ピックアップ調整方法。
【請求項２】
光ピックアップの受光部で反射した光を集光させたスポットの形状を基準スポット形状と比較し、比較結果を用いて光ピックアップ内の光路の調整を行うこと
を特徴とする請求項１記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項３】
光ピックアップの受光部で反射した光を集光させたスポットの位置を基準スポット位置と比較し、比較結果を用いて光ピックアップの受光部の位置調整を行うこと
を特徴とする請求項１記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項４】
光ピックアップの光源から出射した光を１／４λ波長板を介して回折格子で反射させた後、１／４λ波長板を介して前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を１／４λ波長板を介して集光させたスポットを基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うこと
を特徴とする請求項１から３いずれか記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項５】
回折格子の格子溝が未形成の領域を用いて請求項１から４いずれか記載の調整を行うこと
を特徴とする光ピックアップ調整方法。
【請求項６】
反射率が４０％以上６０％以下の反射膜が形成された回折格子の反射面を光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置すること
を特徴とする請求項１から５いずれか記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項７】
回折格子を挟んで光ピックアップの反対側から照明光を前記光ピックアップの受光部に照射しながら、前記光ピックアップの受光部で反射した光を集光させたスポットを計測すること
を特徴とする請求項１から６いずれか記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項８】
照明光の波長と光ピックアップの光源から出射する光の波長とが異なる大きさであり、且つ照明光の波長と光ピックアップの光源から出射する光の波長との差は±１％以内であること
を特徴とする請求項７記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項９】
光ピックアップの光源から出射する光を回折格子で回折し、回折した光のシェアリング干渉像を測定し、前記干渉像が消える位置まで動かすことで前記回折格子を光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置すること
を特徴とする請求項１から８記載の光ピックアップ調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスク方式の情報記録媒体に情報を読み書きする光ピックアップを調整する方法に関するもので、特に、光ピックアップの光学特性を検査した後に調整するする光ピックアップ調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ディスク方式の情報記録媒体から情報を読み取り、またこの情報記録媒体に情報を記録するためには、光源から出射された光を目的の場所に正確に照射できる光学系が必要である。
【０００３】
この光学系として用いられるものに光ピックアップがある。図従１に従来の光ピックアップ検査装置の構成図を示す。
【０００４】
図１３において、検査対象の光ピックアップ１の光源２から出射されるレーザ・ビーム３を受光して、非点収差生成用のシリンドリカルレンズ４を通過させ、このシリンドリカルレンズ４を通過したレーザ・ビーム３を、受光面が上下左右に配置された四つの受光領域Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄに分割された光電子集積回路５によって形成される受光素子６に入射させ、その受光素子に入射する光を用いて電気出力信号の値を比較することにより、光ピックアップ内の光軸ズレや、光ピックアップと光ディスクとのフォーカス状態の検出を行っている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また光ピックアップの出射光の検査の他の方法としては、光ディスクの代わりに回折格子を用い、レンズから出射した光を回折させてシェアリング干渉光とし、その干渉光を集光レンズと受像体受像を用いて受像し、受像した干渉縞を検出することで光ピックアップ出射光の収差情報の検出を行っている方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００５−１２１４４８号公報
【特許文献２】特開２００２−２１６３８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の光ピックアップの調整方法では、光ピックアップの受光部を取り外して評価する必要がある。併せて、従来の方法では、光ピックアップの光源の劣化状態や、光ピックアップの受光素子への戻り光の解析といった光学特性を切り分けて検出できないため、光ピックアップの不良の発生要因が特定できないという課題がある。
【０００７】
本発明は前記従来の課題を解決するためのもので、光ピックアップの受光系に不良がある時にその不良原因を切り分けることができる方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の光ピックアップ調整方法は、光ピックアップの光源から出射した光を前記光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置された回折格子で反射させた後、前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を集光させたスポットを基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように、本発明の光ピックアップ調整方法によれば、光ピックアップの受光部を取り外すことなく、光ピックアップを調整することができる。
【００１０】
また、光ピックアップの光源の劣化状態や、光ピックアップの受光素子への戻り光の解析による光ピックアップの光軸の問題を切り分けて検出できるため、光ピックアップの不良の切り分け、その問題に応じた調整を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら説明する。
【００１２】
（実施の形態１）
図１は、本発明の光ピックアップ検査装置の概略図である。図１では、紙面に垂直な方向をＺ方向、紙面に平行な上下方向をＸ方向、紙面に垂直な左右方向をＹ方向とする。
【００１３】
図１において、本発明の光ピックアップ検査装置は、概略として、光ピックアップ７、フリンジ光学系８、観察光学系９、回折格子１０と、回折格子１０を移動させる移動装置１１より構成される。ここで、観察光学系９は、回折格子１０の反射面を挟んで、光ピックアップ７と共役な光学系となるように形成されている。
【００１４】
最初に、検査対象物となる光ピックアップ７の構成について説明する。
【００１５】
図２に、光ピックアップ７の構成の概略図を示す。
【００１６】
図２において、半導体レーザを平行光にして出射する光源１２からの出射光１３は、光源１２からの出射方向の光軸１４を有する。出射光１３は、ほぼ直線偏光で、紙面に対して垂直方向の偏光を有する。出射光１３は、光分割面が光軸１４に対して４５度になるように配置された偏光ビームスプリッタ１５において、入射光の内のＸ方向の偏光成分は透過し、Ｚ方向の偏光成分は光軸１４に対して９０度方向に反射する。偏光ビームスプリッタ１５で反射した光の光軸１６が、コリメートレンズ１７の中心軸を通るように調整されており、光源１２の位置はコリメートレンズ１７の前側焦点となるように調整する。１／４λ波長板１８は、光軸１６上に配置され、位相が進む方向である進相軸を＋４５度方向に回転させる。
【００１７】
対物レンズ１９は、光軸１６が中心軸となるように配置する。検出レンズ２０として本実施の形態ではシリンドリカルレンズを用い、検出レンズ２０の位置は光軸１６を中心軸とする。検出レンズ２０を透過した光には、非点収差が与えられる。これは、非点収差法により、光ピックアップ７と回折格子１０とのフォーカスを検出するためである。ここで、非点収差法とは、非点収差をもった光学系で結像した点像の歪を検出することで、光軸方向の変位を非接触で検出する方法である。
【００１８】
受光部２１は、その受光素子面に光軸１６が垂直に通るようにして、受光部２１の受光素子面がコリメートレンズ１７と検出レンズ２０の後側合焦点となる位置に配置する。受光部２１の受光素子はシリコンで形成されており、その反射率は３０％程度である。光検出手段２２は、受光部２１からの信号を処理して、受光部２１において受光した光の解析を行うためのものである。
【００１９】
ここで、１／４λ波長板１８の機能を説明するために、図３に１／４λ波長板１８の軸と回転方向を示す図を示す。
【００２０】
図３において、Ｚ方向の時計回りを＋方向とすると、光軸１６上に配置された１／４λ波長板１８は、位相が進む方向である進相軸２３と位相が遅れる方向である遅相軸２４を有する。入射光の直線偏光方向のうち、＋４５度、−４５度を図３に示す。ここで、進相軸２３は＋４５度方向となり、遅相軸２４は−４５度方向となる。
【００２１】
次に、シェアリング干渉光を用いて光ピックアップ７と回折格子１０とのフォーカスズレを検出するためのフリンジ光学系８の構成について説明するための過程として、フリンジ光学系８の構成の概略図を示す。
【００２２】
図４において、対物レンズ２５と１／４λ波長板２６は、光軸１６がその中心を垂直に通るように配置し、１／４λ波長板２６の進相軸は、Ｘ方向に対し＋４５度方向となるように配置する。偏光ビームスプリッタ２７は、その光分割面が光軸１６に対してほぼ４５度になるように配置し、入射光のうち、Ｚ方向の偏光成分を透過し、Ｘ方向の偏光成分を光軸１６から９０度方向に反射する。光軸１６を中心軸とする集光レンズ２８の後側焦点の位置に、受像装置２９を配置する。受像装置２９に接続された処理装置３０は、受像装置２９で受像した光の信号処理及び解析を行う。処理装置３０の解析結果は、モニタ３１に表示される。
【００２３】
次に、対物レンズ１９からの出射光を観察するための観察光学系９の構成について説明する過程として、図５に、観察光学系９の構成の概略図を示す。
【００２４】
図５において、偏光板３２は、光軸１６と垂直な光軸３３上で、かつ透過偏光方向がＺ方向になるように配置される。ハーフミラー３４は、光分割面が光軸３３に対してほぼ４５度になるように配置されている。集光レンズ３５とシリンドリカルレンズである収差補正用レンズ３６とは、光軸３３がその中心を垂直に通るように配置する。
【００２５】
収差補正用レンズ３６は、Ｙ方向に曲率面、Ｚ方向に平面を有し、入射光に対してＹ方向の光軸３３方向のみの光に変化を与える。受像装置３８は、光軸３３が受像装置３８の受像面に垂直に通るようにする。
【００２６】
受像装置３８は、受像面が集光レンズ３５の後側焦点位置になるように配置し、収差補正用レンズ３６は、Ｙ方向断面での光が集光レンズ３５と収差補正用レンズ３６を透過して受像装置３８の受像面に集光する位置に配置される。受像装置３８に接続された処理装置３９は、受像装置３８で受像した光の信号処理及び解析を行う。モニタ４０は、処理装置３９での処理結果を表示する。
【００２７】
また、ハロゲン光源である照明光源４１は、光軸３７をその出射方向とし、本実施の形態においては、装置の上部からＺ方向に光を照射する落斜照明を行う。干渉フィルターである波長制限フィルター４２は、照明光源４１からのうち、光ピックアップ７の光源１２から出射される光の波長に対し、±１％以内の波長の光のみを透過する性質を有する。
【００２８】
ここで、集光レンズ３５と収差補正用レンズ３６との位置関係について説明するために、図６に、集光レンズ３５と収差補正用レンズ３６と受像装置３８との位置関係を示す図を示す。ここで、図６（ａ）は、集光レンズ３５と収差補正用レンズ３６と受像装置３８との位置関係のＹ方向の断面について示す図であり、図６（ｂ）は、集光レンズ３５と収差補正用レンズ３６と受像装置３８との位置関係のＺ方向の断面について示す図である。なお、本実施の形態では、レンズの厚みによる球面収差は発生しないと仮定し、その影響を考慮していない。
【００２９】
ここで、集光レンズ３５と収差補正用レンズ３６と受像装置３８の位置関係について、図６（ａ）〜（ｂ）を用いて説明する。
【００３０】
図６（ａ）〜（ｂ）において、焦点距離ｆ１は、対物レンズ２５の焦点距離であり、焦点距離ｆ２は、集光レンズ３５の焦点距離である。回折格子１０の反射面に集光した光は、Ｙ方向の断面とＺ方向の断面とで集光する位置が微小に異なる。これは、検出レンズ２０により生じる非点収差の影響による。図６（ａ）に示すように、Ｙ方向の断面では、光ピックアップ７からの出射光の集光位置と対物レンズ２５との距離が対物レンズ２５の焦点距離よりも微小に短くなるため、対物レンズ２５を透過した光は拡大光となる。しかし、図６（ｂ）に示すように、Ｚ方向の断面では、光ピックアップ７からの出射光の集光位置と対物レンズ２５との距離が対物レンズ２５の焦点距離と等しくなるため、対物レンズ２５を透過した光は平行光となり、集光レンズ３５で集光する。
【００３１】
次に、回折格子１０の光学系について説明する。
【００３２】
図７は、回折格子１０を介した回折光を示す図である。
【００３３】
図７において、回折格子１０は、半透過基板に格子溝を有するものであり、移動手段１１によって、光軸１６上を移動するものである。回折格子１０は、片面の一部に凹部と凸部を交互に配置した格子溝４３を備えており、光は回折格子１０の格子溝４３が存在しない面より入射する。
【００３４】
格子溝４３は半透過性の反射膜４４で覆われ、反射膜４４は、回折格子１０に入射した光の一部を反射し、一部を透過する性質を有する。反射膜４４の反射率は、４０〜６０％とすると、受光部２１の反射率は２０〜４０％程度が望ましい。これは、本実施の形態において、光源１２から１ｍＷの光を出射した時の戻り光を受像装置３８で十分な光の強度を保ちながら受像し、且つ光ピックアップ７を実際に使用する状況では反射率を出来る限り抑えるために有効な反射率である。光ピックアップ７を実際に使用する状況での受光部２１での反射光は、ディスクの読み取り時に迷光となるためエラー要因である。ここで、戻り光とは、光源１２からの出射光が偏光ビームスプリッタ１５で反射した後に回折格子１０で反射し、偏光ビームスプリッタ１５を透過した後に受光部２１に戻り、更に受光部２１で反射して回折格子１０を透過する光である。また、格子溝４３の形状寸法は、回折格子１０から得られた０次光と＋１次光、０次光と−１次光とが、それぞれ対物レンズ２５の瞳面上でシェアリング干渉するように設計されている。対物レンズ２５の瞳面上でシェアリング干渉した光は、干渉領域４５、４６を形成する。
【００３５】
また４７は、回折格子１０の格子溝４３が形成された面と同じ面に位置し、且つ格子溝が形成されていない非回折領域である。
【００３６】
以下、本実施の形態における光ピックアップの検査工程について説明する。
【００３７】
図８は、光ピックアップの検査工程図である。
【００３８】
図８において、先ず工程Ｓ１にて、回折格子１０と対物レンズ２５との位置関係を調整し、固定する。回折格子１０の格子溝４３の凸部の中央に対物レンズ２５の前側焦点を位置させるために、回折格子１０と対物レンズ２５との相対距離を調整する。この時に調整するための方法としては、回折格子１０と対物レンズ２５との関係を目視や撮像によって測定して調整する方法や、回折格子１０での反射光を用いて調整する方法等が考えられる。対物レンズ２５の前側焦点位置に回折格子１０の凸部が位置するように、対物レンズ２５と回折格子１０の相対位置を調整した後、回折格子１０と対物レンズ２５との位置関係を固定する。
【００３９】
次に、工程Ｓ２にて、光ピックアップ７の受光部２１の位置を調整し、固定する。回折格子１０の反射膜４４が光ピックアップ７の対物レンズ１９の前側焦点となる位置、すなわち対物レンズ１９のジャストフォーカス位置に回折格子１０が配置される位置まで移動させる。そのために、光ピックアップ７の光源１２からの光を偏光ビームスプリッタ１５で反射させ、対物レンズ１９から出射して回折格子１０で回折され、フリンジ光学系８の対物レンズ２５の瞳面上で発生したシェアリング干渉縞を受像装置２９で受像し、受像した干渉像を測定することで、光ピックアップ７と回折格子１０との位置ズレ（デフォーカス）を検出する。光ピックアップ７の位置が正規の位置よりずれている（デフォーカス状態）だと、対物レンズ２５の瞳面で干渉縞が表れる。光ピックアップ７を正規の位置とするために、干渉縞が表れなくなる状態まで、光ピックアップ７と回折格子１０との相対位置を調整する。ここで、受像装置２９の干渉縞の受像結果からジャストフォーカス位置を測定する方法について、図９を用いて説明する。
【００４０】
図９に受像装置２９で受像する干渉縞の一例を示す図を示す。図９（ａ）は、ジャストフォーカス状態での干渉縞を示す図であり、図９（ｂ）はデフォーカス状態での干渉縞を示す図である。
【００４１】
図９（ａ）に示すようなジャストフォーカス状態では、回折格子１０の位置が対物レンズ１９の焦点に正確に一致しているため、干渉領域４５、４６に干渉縞は表れない。しかし、図９（ｂ）に示すようなデフォーカス状態では、回折格子１０の位置が対物レンズ１９の焦点からずれているため、干渉領域４５、４６に干渉縞が表れる。受像装置２９で受像する干渉領域４５、４６を、モニタ３１に表示し、回折格子１０がジャストフォーカス状態になるように、光ピックアップ７の受光部２１の位置を、光軸１６上において調整する。
【００４２】
以上、工程Ｓ１〜Ｓ２により、光ピックアップ７の位置調整が終了する。
【００４３】
続いて、光ピックアップ７の内部の機構の不良についての検査を行う。
【００４４】
先ず工程Ｓ３で、光ピックアップ７内部の受光部２１の状態についての検査を行う。光ピックアップ７内部の光源１２からの戻り光を、回折格子１０を透過させて観察光学系９の受像装置３８で受光する。ここで、処理装置３９には、予め、受像装置３８において目標となるスポット形状が入力されており、その目標形状と受像装置３８で受光した光のスポット形状とのズレから、光ピックアップ７の受光部２１の光軸１６方向の位置ズレを検出する。受光部２１の光軸１６方向の位置ズレを調整しているので、光ピックアップ７と回折格子１０とが光軸１６上でジャストフォーカスになっている。具体的には、戻り光形状は歪まずに真円に近い形状になるように受光部２１の光軸１６方向の位置を調整している。ここで、受光部２１の光軸１６方向の位置ズレが検出された場合は、受光部２１の位置ズレを調整した後、工程Ｓ２を介して、再び工程Ｓ３を行う。
【００４５】
次に工程Ｓ４で、光ピックアップ７内部の光路の不良の検出行う。本実施の形態における光ピックアップ７内の光路の不良とは、光ピックアップ７内部の光学部品の配置ズレや混入物による屈折による受光部２１の目標位置（４分割の受光素子のクロス位置）からのズレや、光ピックアップ７内部の光学部品の汚れ等によるスポットの光強度のバラツキが発生している状態をいう。光ピックアップ７の光源１２からの戻り光が回折格子１０を透過した透過光を、観察光学系９の受像装置３８で受像する。ここで、受像装置３８に表れるスポットの状態について図１０を用いて説明する。
【００４６】
図１０に受像装置３８におけるスポット形状を示す図を示す。図１０（ａ）は、コリメートレンズ３６に収束光が入射した状態を示す図であり、図１０（ｂ）は、コリメートレンズ３６に平行光が入射した状態を示す図であり、図１０（ｃ）は、コリメートレンズ３６に拡大光が入射した状態を示す図である。
【００４７】
図１０（ａ）〜（ｃ）において、光ピックアップ７内の受光部２１は、４分割の受光素子からなり、各分割された面において受光素子の出力を検出できるようになっている。各分割された面の光強度を測定することで、分割面毎の光強度を測定することができる。その測定結果より、光ピックアップ７内の光路の検査を行い、光路の不良が判明した場合は、その光路に不良があるとして、光路の調整を行う。その調整が終了した後、工程Ｓ２を介して、再び工程Ｓ５を行う。
【００４８】
このようにして、光ピックアップ７の不良の原因を切り分けてそれぞれの調整を行うことで、従来の方法では必要であった余分な工程を減らすことができる。それにより本発明は、従来よりも効率的で調整時間の短い光ピックアップの製造を実現することができる。
【００４９】
また、従来の方法では切り分けることの出来なかった光ピックアップの不良項目を切り分けて検査することができるため、それぞれの光ピックアップの用途に応じた検査のみを行うこともできる。
【００５０】
ここで、光ピックアップ７の光源１２からの光を、偏光ビームスプリッタ１５を一度介しただけの光と、受光部２１で反射した戻り光とに分け、それらを分離して検査を行える原理についての説明を行う。
【００５１】
図１１に、光ピックアップからの出射光の偏光状態を示す図を示す。図１１（ａ）は、光源光の偏光状態を示す図であり、図１１（ｂ）は、戻り光の偏光状態を示す図である。
【００５２】
図１１（ａ）〜（ｂ）において、二重丸や左右矢印は直線偏光を示す記号であり、時計回りの矢印を有する輪は右回りの円偏光を示す記号であり、反時計回りの矢印を有する輪は左回りの円偏光を示す記号である。
【００５３】
図１１（ａ）において、光源１２から出射したＺ方向の直線偏光の光は、偏光ビームスプリッタ１５で反射し、コリメートレンズ１７を透過して平行光となり、１／４λ波長板１８を透過して光軸１６に対し右回りの円偏光となり、対物レンズ１９より出射する。その出射光の内、一部は右回りの円偏光のまま回折格子１０を透過する。
【００５４】
続いて、図１１（ｂ）において、対物レンズ１９より出射し、回折格子１０で反射した戻り光は、右回りの円偏光の状態で、１／４λ波長板１８を透過してＸ方向の直線偏光となる。その後、コリメートレンズ１７、偏光ビームスプリッタ１５、検出レンズ２０を透過して、受光部２１に入射する。受光部２１に入射した光の内の一部は、受光部２１の受光素子面で反射し、前述とは逆に、検出レンズ２０、偏光ビームスプリッタ１５、コリメートレンズ１７を透過した後、１／４λ波長板１８を透過して、光軸１６に対して左回りの円偏光となる。その後、対物レンズ１９により集光し、一部の光が左回りの円偏光のまま回折格子１０を透過する。
【００５５】
このように、同じ回折格子１０を透過した光にも、光源１２から受光部２１を介さずに出射された光である光源光と、受光部２１で反射した後に出射された反射戻り光があり、それぞれ偏光状態は異なる。
【００５６】
続いて、図１２は、観察光学系９での偏光状態を示す図である。
【００５７】
図１２において、光ピックアップ７から出射され、偏光ビームスプリッタ２７で反射した反射戻り光は、偏光板３２、ハーフミラー３４、集光レンズ３５を透過し、収差補正用レンズ３６に入射する。収差補正用レンズ３６は、光ピックアップ７の検出レンズ２０による光学特性への影響を除去するものであり、検出レンズ２０と同じ性質のものが用いられる。
【００５８】
また、照明光源４１からの照明光は、波長制限フィルター４２を透過してハーフミラー３４で反射し、偏光板３２を透過してＺ方向の直線偏光になり、偏光ビームスプリッタ２７で反射し、１／４λ波長板２６を透過して光軸１６に対し左回りの円偏光になり、対物レンズ２５を透過して、回折格子１０に入射し、一部の光は透過し、その他の光は反射する。回折格子１０で反射した照明光は元の光路を逆に辿るが、１／４λ波長板２６を透過してＹ方向の直線偏光となっているため、偏光ビームスプリッタ２７で反射せず、受像装置３８には入射しないようになっている。また、回折格子１０を透過した照明光は、光ピックアップ７の対物レンズ１９を透過し、１／４λ波長板１８でＸ方向の直線偏光になり、コリメートレンズ１７と偏光ビームスプリッタ１５を透過して、受光部２１の受光素子に到達する。このようにして、光ピックアップ７の受光部２１に照明光を照射することで、光ピックアップ７の受光部２１を明確な状態で見ることが出来る。
【００５９】
なお、収差補正用レンズ３６は、光ピックアップ７の検出レンズ２０の影響を除去するものとしたが、光ピックアップ７内に球面収差補正機能がある場合は、球面収差の影響を除去する機能も持たせる。
【００６０】
なお、照明光源４１はハロゲン光源としたが、他の白色光源や、半導体レーザ、レーザダイオードでもよい。
【００６１】
なお、波長制限フィルター４２は干渉フィルターとしたが、任意の波長を取り出すことのできる分光素子であればよい。
【００６２】
なお、波長制限フィルター４２による波長制限幅は、光ピックアップ７の光源１２の波長に対して±１％以内としたが、照明光源の光量によっては±２％以内でもよい場合もある。
【００６３】
なお、波長制限フィルター４２の透過の有無に係わらず、照明光源４１からの照明光が光ピックアップ７の光源１２と同じ波長を有していると、同じ波長の光同士が干渉して、外乱が大きくなるため、照明光源４１からの照明光と光ピックアップ７の光源１２からの光の波長は、少なくとも異なっている必要がある。
【００６４】
なお、照明光源４１からの照明光が、光源１２からの光よりも大きいエネルギーを有していると、照明光によって、光源１２からの光が打ち消されてしまうため、光源１２からの光よりも照明光源４１からの光は、エネルギーが小さくなければならない。具体的には、光源１２で１ｍＷだとすると、照明光源４１では０．５ｍＷ程度が望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明の光ピックアップ調整方法によれば、光ピックアップの不良を切り分けて検出することができる。そのため、ＢＤやＨＤ−ＤＶＤ等のより高精度の光ピックアップの調整にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】光ピックアップ検査装置の概略図
【図２】光ピックアップ７の構成の概略図
【図３】１／４λ波長板１８の軸と回転方向を示す図
【図４】フリンジ光学系８の構成の概略図
【図５】観察光学系９の構成の概略図
【図６】集光レンズ３５と収差補正用レンズ３６と受像装置３８との位置関係を示す図（ａ）集光レンズ３５と収差補正用レンズ３６と受像装置３８との位置関係のＹ方向の断面について示す図（ｂ）集光レンズ３５と収差補正用レンズ３６と受像装置３８との位置関係のＺ方向の断面について示す図
【図７】回折格子１０を介した回折光を示す図
【図８】光ピックアップの検査工程図
【図９】受像装置２９で受像する干渉縞の一例を示す図（ａ）ジャストフォーカス状態での干渉縞を示す図（ｂ）デフォーカス状態での干渉縞を示す図
【図１０】受像装置３８におけるスポット形状を示す図（ａ）収束光が入射した状態を示す図（ｂ）平行光が入射した状態を示す図（ｃ）拡大光が入射した状態を示す図
【図１１】光ピックアップ７からの出射光の偏光状態を示す図（ａ）光源光の偏光状態を示す図（ｂ）戻り光の偏光状態を示す図
【図１２】観察光学系９での偏光状態を示す図
【図１３】従来の光ピックアップ検査装置の構成図
【符号の説明】
【００６７】
７    光ピックアップ
８    フリンジ光学系
９    観察光学系
１０  回折格子
１１  移動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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