(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体ウエハ処理システムにおける堆積物の堆積を防止するパージガス供給用部材について、容易かつ安価に交換し得るパージガス供給用部材及びそれを備えている反応装置を提供する。【解決手段】環状の枠体を有し、この枠体に外周側から内周側にパージガスを流入させるための貫通孔が設けられているパージリング１であって、前記枠体が分離可能な複数の半リング体２ａ・２ｂからなっている。また半リング体２ａ・２ｂの端部同士は嵌脱自在に嵌合されている。【選択図】図１
2007119879.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状の枠体を有し、この枠体に外周側から内周側にパージガスを流入させるための貫通孔が設けられているパージガス供給用部材であって、
前記枠体が分離可能な複数の枠状片からなっていることを特徴とするパージガス供給用部材。
【請求項２】
前記枠状片は円弧状片であることを特徴とする請求項１に記載のパージガス供給用部材。
【請求項３】
前記枠状片は２つの半円状片であることを特徴とする請求項１記載のパージガス供給用部材。
【請求項４】
前記枠状片の端部同士は嵌脱自在に嵌合されていることを特徴とする請求項１記載のパージガス供給用部材。
【請求項５】
前記枠状片の端部同士は締結部材によって連結されていることを特徴とする請求項１記載のパージガス供給用部材。
【請求項６】
環状の枠体を有し、この枠体に外周側から内周側にパージガスを流入させるための貫通孔が設けられているパージガス供給用部材であって、
前記枠体が複数の枠状片からなり、隣り合う枠状片の端部同士が回動自在に連結されており、かつ隣り合う少なくとも一組の枠状片の端部同士が分離可能になっていることを特徴とするパージガス供給用部材。
【請求項７】
環状の枠体を有し、この枠体に外周側から内周側にパージガスを流入させるための貫通孔が設けられているパージガス供給用部材であって、
前記枠体が弾性体からなっており、１箇所にて分断されていることを特徴とするパージガス供給用部材。
【請求項８】
上面に開口部を有し、内部に攪拌機が設けられ、前記開口部に前記攪拌機の回転軸が配置されている釜と、
前記釜の上面と前記回転軸との間の空間をシールするドライシールと、
前記釜の上面と前記ドライシールとの間に配置されている請求項１〜７のいずれか１項に記載のパージガス供給用部材とを備えていることを特徴とする反応装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、堆積物の堆積を防止するパージガス供給用部材及びそれを備えている反応装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
パージガス供給用部材とは、環状の枠体を有し、この枠体に外周側から内周側にパージガスを流入させるための貫通孔が設けられたものであり、具体例としては、特許文献１に開示されているように、ウエハの上に薄膜を形成させる半導体ウエハ処理システムにおいて、パージガス供給用部材としてパージリングが用いられている。
【０００３】
通常、ウエハ上に化学気相成長（ＣＶＤ）等のプロセスを用いて薄膜を形成する場合、薄膜を形成する目標であるウエハの上面以外の部分にも薄膜の材料になっている物質が堆積する。
【０００４】
上記堆積が生じる部分としては、上記ウエハ処理システムの処理チャンバの内面上、又は処理チャンバ内の半導体基板以外の構成要素上があげられる。
【０００５】
また、上記堆積物はウエハの薄膜を形成させる処理又は移送中に剥がれ落ちてウエハ上に堆積する。
【０００６】
そして、剥がれ落ちて堆積した上記堆積物は、製作した半導体デバイスの歩留まりと信頼性との両方に悪影響を与える。
【０００７】
特許文献１に開示のウエハ処理システムに用いられているパージリングは、半導体基板の上面以外への上記堆積を防止するために設けられている。
【０００８】
詳しくは、パージリングの内辺部に設けられた開口を通してパージガス（窒素等）がウエハの支持体（ウエハ支持ペデスタル）の周縁部に流れをつくるように送出されるよう形成されており、ウエハ支持ペデスタルを環状に囲むように配置されている。
【０００９】
その結果、パージリングは、ウエハ支持ペデスタルの周縁部にパージガスの連続的な流れを生じさせることによってウエハ支持ペデスタルの周縁部に蓄積する堆積物を減少させる。
【特許文献１】特開２０００−２９９３１５号公報（平成１２年１０月２４日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
化学反応に用いる材料の反応、及び攪拌を行う反応装置（反応釜）においては、モータなどの攪拌駆動部、攪拌駆動部の近傍のドライシール部、攪拌駆動部の攪拌棒のモータ近傍部分、又は反応釜の外部などに反応釜の内容物を飛散させないと共に、反応釜内部への異物の混入を防ぐ目的でパージガス供給用部材が汎用されている。しかしながら、反応釜にパージガス供給用部材を用いる場合には、パージガス供給用部材の交換が困難であるという問題点が生じる。
【００１１】
詳しくは、上記反応釜に装着されたパージガス供給用部材を交換する場合には、反応釜に攪拌駆動部、及び攪拌棒が存在するために、攪拌機の攪拌棒の部分などが邪魔になってパージガス供給用部材をそのまま抜き取ることができない。
【００１２】
よって、上記従来のパージガス供給用部材としてのパージリングを反応釜に用いる場合には、磨耗又は破損等によってパージリングの交換作業を行うことが必要になった際、パージリングを取り外すために反応釜本体から攪拌機を分解してパージリングを取り外す必要があった。
【００１３】
従って、パージガス供給用部材の交換に、反応釜本体を分解して再度組み立てるための多大な時間がかかるという問題点を有していた。
【００１４】
また、上記反応釜本体を分解する作業には多額の費用がかかるという問題点も有していた。
【００１５】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、容易かつ安価に交換し得るパージガス供給用部材及びそれを備えている反応装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明のパージガス供給用部材は、上記課題を解決するために、環状の枠体を有し、この枠体に外周側から内周側にパージガスを流入させるための貫通孔が設けられているパージガス供給用部材であって、前記枠体が分離可能な複数の枠状片からなっていることを特徴としている。
【００１７】
上記の発明によれば、パージガス供給用部材が複数の分離可能な枠状片からなっているので複数に分離可能である。
【００１８】
よって、反応釜等のパージガス供給用部材を挿入する対象にパージガス供給用部材を挿入したまま、パージガス供給用部材を分離するだけで反応釜からパージガス供給用部材を抜き取ることが可能になる。
【００１９】
従って、反応釜等のパージガス供給用部材を挿入する対象を分解して、挿入されていたパージガス供給用部材を抜き取る必要がない。
【００２０】
また、パージガス供給用部材は複数の分離可能な枠状片からなっているので反応釜等のパージガス供給用部材を挿入する対象を挟んで複数の枠状片を合わせるだけで反応釜等のパージガス供給用部材を挿入する対象を分解しなくてもパージガス供給用部材を挿入することができる。
【００２１】
つまり、時間と費用とが多く費やされる反応釜等のパージガス供給用部材を挿入する対象の分解を行わなくてもパージガス供給用部材を交換することが可能になる。
【００２２】
その結果、容易かつ安価にパージガス供給用部材を交換することができる。
【００２３】
また、本発明のパージガス供給用部材では、前記枠状片は円弧状片であることが好ましい。
【００２４】
これにより、円弧状片を合わせると円環状になることからパージガス供給用部材を円環状にすることができる。
【００２５】
また、本発明のパージガス供給用部材では、前記枠状片は２つの半円状片であることが好ましい。
【００２６】
これにより、分離可能な半円状片が２つしかないので２つの半円状片を合わせるだけで一体化したパージガス供給用部材になる。
【００２７】
２つ以上の枠状片からパージガス供給用部材がなっている場合には、枠状片が増える程、枠状片を環状の枠体の状態に一体化させる手間かかる。
【００２８】
従って、半円状片が２つしかない場合には、パージガス供給用部材の状態に一体化させる手間がより少なくなる。つまり、パージガス供給用部材の交換の手間が少なくなる。よって、より容易なパージガス供給用部材の交換が可能になる。
【００２９】
また、本発明のパージガス供給用部材では、前記枠状片の端部同士は嵌脱自在に嵌合されていることが好ましい。
【００３０】
これにより、枠状片の端部同士は嵌め合わされているだけなので、枠状片の端部同士は嵌めたり、外したりといった作業を容易に行うことが可能である。
【００３１】
よって、枠状片を環状の枠体の状態に一体化させたり、一体化した環状の枠体の状態から枠状片へと分離させたりすることが容易になる。従って、パージガス供給用部材の交換が容易になる。
【００３２】
また、本発明のパージガス供給用部材では、前記枠状片の端部同士は締結部材によって連結されていることが好ましい。
【００３３】
これにより、枠状片の端部同士は締結部材によって分離可能に連接されることになる。よって、締結部材によって連結される場合には締結部材を除かない限り、枠状片同士は分離されない。つまり、枠状片を環状の枠体の状態に一体化させた場合に、締結部材を除かない限り容易に分離しなくなる。
【００３４】
従って、枠状片を環状の枠体の状態に一体化させた状態で強固に保持することが可能になる。
【００３５】
本発明のパージガス供給用部材は、上記課題を解決するために、環状の枠体を有し、この枠体に外周側から内周側にパージガスを流入させるための貫通孔が設けられているパージガス供給用部材であって、前記枠体が弾性体からなっており、１箇所にて分断されていることを特徴としている。
【００３６】
上記の発明によれば、上記枠体が１箇所で分断されている弾性体からなっている。よって、枠体の分断されている箇所を拡げるように引っ張ることによって枠体が伸びて拡がる。よって、枠体の分断されている箇所を拡げることによってパージガス供給用部材を開閉することが可能になる。
【００３７】
つまり、反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象にパージガス供給用部材を装着したまま、パージガス供給用部材の分断されている箇所を拡げるように引っ張るだけで、パージガス供給部材を開いて反応釜からパージガス供給用部材を抜き取ることが可能になる。従って、反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象を分解して、装着されていたパージガス供給用部材を抜き取る必要がない。
【００３８】
また、パージガス供給用部材の分断されている箇所を拡げるように引っ張ることによって開いたパージガス供給用部材を、反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象を挟んで閉じていくだけで、反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象を分解しなくてもパージガス供給用部材を装着することができる。
【００３９】
つまり、時間と費用とが多く費やされる反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象の分解を行わなくてもパージガス供給用部材を交換することが可能になる。その結果、容易かつ安価にパージガス供給用部材を交換することができる。
【００４０】
本発明のパージガス供給用部材は、上記課題を解決するために、環状の枠体を有し、この枠体に外周側から内周側にパージガスを流入させるための貫通孔が設けられているパージガス供給用部材であって、前記枠体が複数の枠状片からなり、隣り合う枠状片の端部同士が回動自在に連結されており、かつ隣り合う少なくとも一組の枠状片の端部同士が分離可能になっていることを特徴としている。
【００４１】
上記の発明によれば、回動自在に連結されている複数の枠状片が分離可能であることになる。よって、分離可能な部分をつけたり、外したりしながら、連結部を中心にパージガス供給用部材を開閉することが可能になる。
【００４２】
よって、反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象にパージガス供給用部材を装着したまま、パージガス供給用部材の連結部を中心にパージガス供給用部材を開くだけで反応釜からパージガス供給用部材を抜き取ることが可能になる。従って、反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象を分解して、装着されていたパージガス供給用部材を抜き取る必要がない。
【００４３】
また、連結部を中心に開いたパージガス供給用部材を、反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象を挟んで連結部を中心にして閉じていくだけで反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象を分解しなくてもパージガス供給用部材を装着することができる。
【００４４】
つまり、時間と費用とが多く費やされる反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象の分解を行わなくてもパージガス供給用部材を交換することが可能になる。その結果、容易かつ安価にパージガス供給用部材を交換することができる。
【００４５】
本発明の反応装置は、上記課題を解決するために、上面に開口部を有し、内部に攪拌機が設けられ、前記開口部に前記攪拌機の回転軸が配置されている釜と、
前記釜の上面と前記回転軸との間の空間をシールするドライシールと、
前記釜の上面と前記ドライシールとの間に配置されている前記のいずれかのパージガス供給用部材とを備えていることを特徴とするとしている。
【００４６】
上記の発明によれば、パージガス供給用部材の働きによって、ドライシールと釜との間から内容物が漏出することを防ぐことができる。
【００４７】
また、ドライシールと釜との間にパージガス供給用部材が配置されているのでドライシールと釜とが固着することを防ぐことができる
攪拌機を有する反応装置の釜では、攪拌機の攪拌棒の部分が邪魔になるため、釜から攪拌機を外さなければ釜からパージガス供給用部材を抜き取ることができない。しかし、本発明の反応装置に備えられているパージガス供給用部材は複数の分離可能な枠状片からなっているので複数に分離可能である。よって、反応装置にパージガス供給用部材を装着したまま、パージガス供給用部材を分離するだけで反応釜からパージリングを抜き取ることが可能になる。
【００４８】
従って、反応装置の釜から攪拌機を外して、装着されていたパージガス供給用部材を抜き取る必要がない。
【００４９】
また、パージガス供給用部材は複数の分離可能な枠状片からなっているので反応装置を挟んで複数の枠状片を合わせるだけで反応装置の釜から攪拌機を外さなくてもパージガス供給用部材を装着することができる。
【００５０】
さらに、本発明の反応装置に備えられているパージガス供給用部材は回動自在に連結されている複数の枠状片が分離可能である。よって、反応装置の釜にパージガス供給用部材を装着したまま、パージガス供給用部材の連結部を中心にパージガス供給用部材を開くだけで反応装置の釜からパージガス供給用部材を抜き取ることが可能になる。
【００５１】
また、本発明の反応装置に備えられているパージガス供給用部材は回動自在に連結されている複数の枠状片が分離可能である。よって、連結部を中心に開いたパージガス供給用部材を連結部を中心にして閉じていくだけで反応装置を分解しなくても反応装置の釜にパージガス供給用部材を装着することができる。
【００５２】
さらに、本発明の反応装置が備えられているパージガス供給用部材は、分断されている箇所を拡げるように引っ張るだけでパージガス供給部材を開くことができる。よって、反応装置の釜にパージガス供給用部材を装着したまま、パージガス供給用部材の分断されている箇所を拡げるように引っ張るだけで、反応装置の釜からパージガス供給用部材を抜き取ることが可能になる。
【００５３】
また、本発明の反応装置が備えられているパージガス供給用部材は、分断されている箇所を拡げるように引っ張ることで開いたパージガス供給用部材を、反応装置の釜を挟んで閉じていくだけで反応装置を分解しなくてもパージガス供給用部材を装着することができる。
【００５４】
つまり、時間と費用とが多く費やされる釜から蓋部材及び攪拌機を外す作業を行わなくてもパージガス供給用部材を交換することが可能になる。
【００５５】
その結果、容易かつ安価にパージガス供給用部材を交換することができる反応装置を提供することが可能になる。
【発明の効果】
【００５６】
本発明によれば、パージガス供給用部材が複数の分離可能な枠状片からなっているので複数に分離可能である。
【００５７】
また、本発明によれば、回動自在に連結されている複数の枠状片が分離可能であるので、分離可能な部分をつけたり、外したりしながら、連結部を中心にパージガス供給用部材を開閉することが可能になる。
【００５８】
さらに、発明によれば、上記枠体が１箇所で分断されている弾性体からなっているため、分断されている箇所を拡げるように引っ張ることによって枠体が伸びて拡がり、パージガス供給用部材を開閉することが可能になる。
【００５９】
よって、反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象を分解しなくてもパージガス供給用部材を装着したり、抜き取ったりすることが可能になる。
【００６０】
つまり、時間と費用とが多く費やされる反応釜等のパージガス供給用部材を装着する対象の分解を行わなくてもパージガス供給用部材を交換することが可能になる。
【００６１】
したがって、容易かつ安価に交換し得るパージガス供給用部材及びそれを備えている反応装置を提供するという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６２】
〔実施の形態１〕
本発明の一実施形態について図１（ａ）ないし図２（ｂ）に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００６３】
本実施の形態のパージリング（パージガス供給用部材）１は、図１（ａ）に示すように環状のリング体を半円状に２分割した２個の半リング体（枠状片）２ａ・２ｂからなっている。
【００６４】
また、半リング体２ａ・２ｂの基端部には半リング体２ａ・２ｂがお互い嵌脱自在なように凸部と凹部とをそれぞれに設けている。
【００６５】
それぞれ半リング体２ａの２箇所ある基端部の一方に１つの凸部が設けており、残った一方に１つの凹部が設けている。
【００６６】
また、半リング体２ｂの２箇所ある基端部の一方に１つの凹部が設けており、残った一方に１つの凸部が設けている。
【００６７】
そして、上記凸凹部が嵌合することによって図１（ｂ）に示すような一体化したパージリング１になる。
【００６８】
また、半リング体２ａ・２ｂにはそれぞれ１つずつ半リング体の外周面側から内周面側へと貫通するパージ孔（貫通孔）３を設けている。
【００６９】
なお、本実施の形態においては半リング体２ａ・２ｂの基端部の一方に凸部を１つ設けており、もう一方に凹部を１つ設けているが、必ずしもこれに限定されない。
【００７０】
例えば、半リング体２ａの２箇所の基端部の両方に凸部を設け、半リング体２ｂの２箇所の基端部の両方に凹部を設けてもよい。
【００７１】
また、半リング体２ａの２箇所の基端部の両方に凹部を設け、半リング体２ｂの２箇所の基端部の両方に凸部を設けてもよい。
【００７２】
さらに、半リング体２ａの２箇所の基端部の一方だけに凸部を設け、半リング体２ｂの２箇所の基端部の一方だけに凹部を設けてもよいし、半リング体２ａの２箇所の基端部の一方だけに凹部を設け、半リング体２ｂの２箇所の基端部の一方だけに凸部を設けてもよい。
【００７３】
また、半リング体２ａ・２ｂの基端部に設ける凸凹部は、半リング体２ａと半リング体２ｂとが嵌脱自在でありさえすれば、基端部に１つ設けていてもよいし、複数設けていてもよい。
【００７４】
なお、本実施の形態においては半リング体２ａ・２ｂにそれぞれ１つずつパージ孔３を設けているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、１つよりも多く設けていてもよい。
【００７５】
また、半リング体２ａ・２ｂでそれぞれ同数設けていなくてもよいし、半リング体２ａ・２ｂの一方に１つも設けなくても構わない。
【００７６】
次に、図２（ａ）及び図２（ｂ）を用いて半リング体２ａ・２ｂを反応釜へ装着する場合の説明を行う。
【００７７】
反応釜（反応装置）は上部蓋（釜）４、下部容器（釜）５、ドライシール７及びパージリング１を備えている。
【００７８】
上部蓋４は上下に開口した漏斗状の形状をしており、下部容器５は上面が開口した円柱状の形状をしている。
【００７９】
上部蓋４の上下にある開口のうち、漏斗の受け口側にあたる下部に開口した側と下部容器５の開口した側とを合わせてできる内部空間が反応釜の内容物の反応、及び攪拌を行う場所になる。
【００８０】
また、上部蓋と下部容器５との間の密封にはパッキン８を用いて行っている。
【００８１】
攪拌機６は、モータ１５、攪拌軸（回転軸）１６及び攪拌翼１７からなっている。
【００８２】
モータ１５は反応釜の外に配置するが、攪拌軸１６の攪拌翼１７を取り付けてある先端側は反応釜の内部に配置する。これにより、攪拌軸１６がモータ１５によって回転駆動することにより、攪拌軸１６の先端に取り付けられている攪拌翼１７が反応釜の内部で回転し、反応釜内部の内容物の攪拌を行うことになる。
【００８３】
ドライシール７は反応釜の上部蓋４と攪拌機６との間の密封及び反応釜内部への異物の混入の防止をするために備えているリング状のものでテフロン（Ｄｕ  Ｐｏｎｔ社の登録商標）、又は樹脂等によって形成している。
【００８４】
ドライシール７は固定環２５と回転環２６との２つの部材から構成されている。固定環２５は上部蓋４の上部に固定して配置し、回転環２６は攪拌軸１６と一体化して回転駆動なように固定環２５の上部に配置する。
【００８５】
パージリング１は、ドライシール７の固定環２５と上部蓋４との間の固着を防止するための目的とドライシール７の固定環２５と回転環２６との間からの反応釜の内容物の漏出、及び反応釜外部からの異物の混入を防ぐための目的とで装着（挿入）しているものである。
【００８６】
つまり、回転環２６が固定環２５の上部で回転駆動可能なようになっており、ドライシール７の固定環２５と回転環２６との間の密封が完全でないため、パージリング１を用いている。
【００８７】
パージリング１はテフロン（Ｄｕ  Ｐｏｎｔ社の登録商標）によって形成されているものであって、パージ孔３を通してパージリング１の外周側から内周側へと窒素ガスを送出することによって、ドライシール７の固定環２５と回転環２６との間からの反応釜の内容物の漏出、及び反応釜外部からの異物の混入を防いでいる。
【００８８】
また、固定環２５、回転環２６、及びパージリング１が反応釜に装着されている順番は、上から順番に回転環２６、固定環２５、パージリング１、上部蓋４となるように装着されている。
【００８９】
続いて、パージリング１の反応釜への挿入方法と抜き取り方法との説明を行う。
【００９０】
パージリング１を反応釜に挿入する場合には、図２（ｂ）に示すように、まず２つに分割した半リング体２ａと半リング体２ｂとをそれぞれ攪拌軸１６を間に挟むような対角線上に位置させる。
【００９１】
そして、半リング体２ａと半リング体２ｂとを攪拌軸１６を挟み込むようにして嵌合するとパージリング１が反応釜に挿入されることになる。
【００９２】
逆に、反応釜からパージリング１を抜き取る場合には、反応釜に挿入しているパージリング１の半リング体２ａの部分と半リング体２ｂの部分とをそれぞれ掴み、半リング体２ａと半リング体２ｂとをそれぞれ逆方向に引っ張る。
【００９３】
そして、半リング体２ａと半リング体２ｂとをそれぞれ逆方向に引っ張ることによって、嵌合していた半リング体２ａと半リング体２ｂとが離れ、反応釜からパージリング１が２つに分割された半リング体２ａ・２ｂの状態になって抜き取られることになる。
【００９４】
なお、本実施の形態においては、パージリング１をテフロン（Ｄｕ  Ｐｏｎｔ社の登録商標）などのフッ素樹脂によって形成しているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、セラミック、アルミニウム、チタン鋼、ステンレス鋼、鉄等の金属材料、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン等の樹脂材料、シリコーンゴム等の弾性の材料等によって形成することも可能である。
【００９５】
パージリング１をシリコーンゴム（弾性体）によって形成する場合には、半リング体２ａ・２ｂの一方の端部同士が一体化していても、分離可能なもう一方の端部同士を分離しながら引っ張ることによってパージリング１を開くことができる。また、引っ張るのをやめさえすれば、弾性体の性質によってパージリング１は元の形状に戻る。よってパージリング１が閉じることができる。
【００９６】
つまり、分離可能なもう一方の端部同士を分離しながら引っ張ったり、引っ張るのをやめたりすることによってパージリング１の開閉を行い、反応釜を分解せずに反応釜にパージリング１を挿入したり、抜き取ったりすることが可能になる。
【００９７】
また、本実施の形態においては、パージ孔３から窒素ガスを送出しているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、エアー等用途に応じては活性ガス、非活性ガスのどちらを送出することも可能である。
【００９８】
なお、本実施の形態においては、パージリング１は２つの半リング体２ａ・２ｂからなっているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、２つよりも多くすることも可能である。
【００９９】
また、本実施の形態においては、上部蓋４と下部容器５とが別々に設けられているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、上部蓋４と下部容器５とが一体化していてもよい。
【０１００】
なお、本実施の形態においては、反応釜の側面の形状は円柱状になっているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、四角柱状でもよく、反応釜の側面の形態はこれ以外の形状であってもよい。
【０１０１】
また、本実施の形態においては、パージリング１は２つの半リング体２ａ・２ｂからなるリング状の形状をしているが、必ずしもこれに限定されず、シールする容器に沿って１周できる形態であれば、例えば、四角形型、六角形型等の多角形型に環状になった形状であっても他の形状であっても構わない。
【０１０２】
〔実施の形態２〕
本発明の他の実施の形態について図３（ａ）ないし図５（ｂ）に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態１と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態１の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１０３】
図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すパージリング１１はネジ（締結部材）１２によって分離可能に半リング体２ａ・２ｂを連結しているものである。
【０１０４】
また、図４に示すパージリング１１はピン（締結部材）１３によって分離可能に半リング体２ａ・２ｂを連結しているものである。
【０１０５】
さらに、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すパージリング１１では半リング体２ａ・２ｂにそれぞれ設けられている凸凹部によって、半リング体２ａと半リング体２ｂとを嵌合すると共にネジ１２によって連接しているものである。
【０１０６】
以上に示したように、パージリング１１は締結部材によって半リング体２ａ・２ｂを連結していることを特徴としている。
【０１０７】
従って、半リング体２ａ・２ｂをパージリング１１の状態に一体化させた状態で強固に保持することが可能になる。
【０１０８】
なお、本実施の形態においては、締結部材にネジ１２又はピン１３を用いているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、分離可能でありさえすればクリップ、シール等で連結してもよいし、それらを組み合わせて連結することも可能である。
【０１０９】
なお、本実施の形態においては、パージリング１１は２つの半リング体２ａ・２ｂからなっているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、２つよりも多くすることも可能である。
【０１１０】
〔実施の形態３〕
本発明の他の実施の形態について図６（ａ）及び図６（ｂ）に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記実施の形態１と同じである。また、説明の便宜上、前記の実施の形態１の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１１１】
本実施の形態のパージリング２１は、前記実施の形態１のパージリング１の構成に加えて、連結ピン２２を備えていることが異なっている。
【０１１２】
図６（ａ）に示すようにパージリング２１は半リング体２ａの一方の端部のみに凸部を設けており、半リング体２ｂの一方の端部のみに凹部を設けている。
【０１１３】
そして、半リング体２ａ・２ｂの凸凹部を設けていない端部同士を連結ピン２２によって回動自在に連結している。
【０１１４】
また、パージリング２１は半リング体２ａ・２ｂに設けている凸凹部によって嵌脱自在になっている。
【０１１５】
以上に示したように、パージリング２１は締結ピン２２によって回動自在に連結している半リング体２ａ・２ｂが分離可能になっていることを特徴としている。
【０１１６】
よって、反応釜等のパージリング２１を挿入する対象にパージリング２１を挿入したまま、パージリング２１の連結部を中心にパージリング２１を開くだけで反応釜からパージリング２１を抜き取ることが可能になる。
【０１１７】
なお、本実施の形態においてはパージリング２１は２つの半リング体２ａ・２ｂからなっているが、必ずしもこれに限定されず、例えば、図６（ｂ）に示すように２つよりも多くすることも可能である。
【０１１８】
なお、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１１９】
以上のように、本発明のパージガス供給用部材は、容易かつ安価に交換し得るパージガス供給用部材を提供する。したがって、本発明は、パージガス供給用部材を装着する機器に関連する産業分野に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２０】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は本発明におけるパージリングの実施の一形態を示す概略図である。
【図２】（ａ）は上記パージリングを用いた反応釜の概略的構成を示す断面図であり、（ｂ）は上記パージリングの反応釜への着脱の様子を示す図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は本発明におけるパージリングの他の実施の形態を示す概略図である。
【図４】本発明におけるパージリングのさらに他の実施の形態を示す概略図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は本発明におけるパージリングのさらに他の実施の形態を示す概略図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は本発明におけるパージリングのさらに他の実施の形態を示す概略図である。
【符号の説明】
【０１２１】
１    パージリング（パージガス供給用部材）
２ａ  半リング体（枠状片）
２ｂ  半リング体（枠状片）
３    パージ孔（貫通孔）
４    上部蓋（釜）
５    下部容器（釜）
６    攪拌機
７    ドライシール
８    パッキン
１１    パージリング（パージガス供給用部材）
１２    ネジ（締結部材）
１３    ピン（締結部材）
１５    モータ
１６    攪拌軸（回転軸）
１７    攪拌翼
２１    パージリング（パージガス供給用部材）
２２    連結ピン
２５    固定環
２６    回転環
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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