(57)【要約】【課題】構成部材をコータユニット側から取り外すことなくスリット内を洗浄することができるスリットコータの提供。【解決手段】対となって配置されるリップ部１２，２２相互間に塗布液吐出用のスリット３２を介在させてなるスリットコータ１１において、いずれか一方のリップ部１２は、コータユニット側に対し基準となるべき固定側リップ部１３として位置固定され、他方のリップ部２２は、使用される塗布液との関係で耐性を備える素材からなるシール材４２を介して吐出口３２ａを除くスリット３２の内部空間３３を外部から封止しつつ固定側リップ部１３に対し取り外し可能な着脱側リップ部２３として配置した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対となって配置されるリップ部相互間に塗布液吐出用のスリットを介在させてなるスリットコータにおいて、
いずれか一方の前記リップ部は、コータユニット側に対し基準となるべき固定側リップ部として位置固定され、
他方の前記リップ部は、使用される塗布液との関係で耐性を備える素材からなるシール材を介して吐出口を除く前記スリットの内部空間を外部から封止しつつ前記固定側リップ部に対し取り外し可能な着脱側リップ部として配置したことを特徴とするスリットコータ。
【請求項２】
前記スリットは、フィードバックされる前記塗布液の塗布膜厚データとの関係でその幅を自動調整が自在な可変幅とした請求項１に記載のスリットコータ。
【請求項３】
前記固定側リップ部は、前記着脱側リップ部を支持する支台部を備え、該支台部と前記着脱側リップ部の対向面との間には前記シール材を介在させた請求項１または２に記載のスリットコータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリット内に目詰まり等が発生しないようにするための洗浄を含むメンテナンス作業を簡単に行うことができるようにしたスリットコータに関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタ製造などの分野においては、塗布方向の長さが比較的短尺の基板に塗料を薄く、かつ、均一に塗布することが求められている。この要請に対しては、基板を１枚ずつ供給して、塗布を繰り返し行う毎葉塗布装置を用いることで対応が図られている。
【０００３】
上記毎葉塗布装置に採用される手法としては、スピンコータ、ロールコータ、およびバーコータを挙げることができる。このうち、スピンコータは、回転する基板に塗布液を滴下し、回転数や塗布液の濃度、流動特性によって基板上に均一な厚さの塗布膜を形成する手法である。該手法は、塗布膜として基板上に残る塗布液に対して２０〜１００倍もの塗布液を使用する必要があることから、塗布液の使用効率に劣るという問題がある。また、スピンコータを採用する場合には、裏回りと称される基板の裏面側への塗布液の付着が回避できず、品質上問題があった。
【０００４】
ロールコータは、ゴムロールや金属ロールを介して塗布液を基板に転写する手法であり、ゴムロールや金属ロールの模様が出やすいという問題がある。また、ロールコータにおける塗布液は、パンと称される開放型の液溜めに収容した上で使用されていくので、基板に塗布されるまでの空気との接触時間が長く、吸湿、酸化、溶媒の蒸発による変質をきたしやすい。さらに、液溜めは、開放型であることから、塗布膜欠陥の原因となる異物が混入しやすい問題もあった。
【０００５】
バーコータは、ロッドと称される金属棒に細い金属ワイヤを巻いたバーを用いて基板上に塗布膜を形成する手法である。この手法による場合には、ワイヤが基板または基板上の塗布膜に接触するため、基板または基板上の塗布膜に傷がつきやすかったり、塗布膜にスジが入りやすいという問題があった。
【０００６】
一方、スリットダイコータは、コータヘッドに設けられたスリットから所定間隔離間して基板を設置し、スリットから塗布液を吐出しつつコータヘッドを相対的に移動させて塗布膜を形成する手法である。該手法による場合には、塗布液の無駄使いや裏回りの問題を解決することができるほか、塗布液の供給経路も密閉系にでき、さらには基板とノズルとを所定の間隙を保って相対的に移動させることができるので、基板または塗布膜に傷をつけることをなくすこともできる。
【０００７】
しかし、スリットダイコータは、本来、数ｍ以上の長尺基板に連続的に塗布膜を形成する手法であることから、毎葉塗布装置には不向きであるとされてきた。また、塗布液が主としてポリマー、顔料、溶剤からなる場合には、間隙が数十μｍと狭いスリット内側のランド部において、剪断応力などのために顔料が凝集、沈着して、塗布膜にスジが発生する原因となることがあった。
【０００８】
下記特許文献１に開示されている技術は、スリットダイコータにみられた上記問題に鑑み、スリット内をその吐出口に至るまで塗布液を安定的に導いて均一な厚さの塗膜を安定して形成することができるスリットダイコータ等を提供しようとするものである。
【特許文献１】特開平９−２５３５５５号公報
【０００９】
図２は、上記特許文献１に開示されているスリットダイコータの断面構造を模式的に示す説明図であり、スリットダイコータ１は、基板の送り出し方向でみて前側に配置される一側リップ部２と、後側に配置される他側リップ部３とを備えており、これら一側リップ部２と他側リップ部３とはシム５を介在させて相互に図示しない連結ボルトにより一体的に結合されている。
【００１０】
この場合、シム５は、マニホールドの下方部分に対応した部分が切り欠かれていることから、一側リップ部２と他側リップ部３との間にマニホールドと連通する垂直なスリット４を形成するスペーサとしての役割を担っている。
【００１１】
このため、スリットダイコータ１には、シム５を介して確保されるスリット４の開放端面側に塗布液のための吐出口４ａが形成され、該吐出口４ａから塗布液を吐出させることで基板の被塗布面に対し均一な厚さの塗膜を安定して形成することができることになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、特許文献１に開示されているスリットダイコータ１は、一側リップ部２とシム５と他側リップ部３とが連結ボルトにより一体的に結合されているので、例えばスリット４内を洗浄する際にはこれらの構成部材をコータユニット側から取り外す必要があり、作業的に煩雑であるという不都合があった。
【００１３】
本発明は、特許文献１を含む従来からあるスリットダイコータにみられた上記課題に鑑み、構成部材をコータユニット側から取り外すことなくスリット内を洗浄することができるスリットコータを提供することに目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、対となって配置されるリップ部相互間に塗布液吐出用のスリットを介在させてなるスリットコータにおいて、いずれか一方の前記リップ部は、コータユニット側に対し基準となるべき固定側リップ部として位置固定され、他方の前記リップ部は、使用される塗布液との関係で耐性を備える素材からなるシール材を介して吐出口を除く前記スリットの内部空間を外部から封止しつつ前記固定側リップ部に対し取り外し可能な着脱側リップ部として配置したことを最も主要な特徴とする。
【００１５】
この場合、前記スリットは、フィードバックされる前記塗布液の塗布膜厚データとの関係でその幅を自動調整が自在な可変幅としておくのが好ましい。また、前記固定側リップ部は、前記着脱側リップ部を支持する支台部を備え、該支台部と前記着脱側リップ部の対向面との間には前記シール材を介在させるものであってもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、目詰まりが生じたスリット内を洗浄するなどの各種のメンテナンスは、コータユニットともども装置本体側から取り出し、さらにスリットコータ自体を分解するという作業を経ることなく簡単に行うことができる。このとき、スリットをフィードバックされる前記塗布液の塗布膜厚データとの関係でその幅を自動調整が自在な可変幅としてある場合には、その時々に応じた最適条件のスリット幅のもとで塗布液をスリットから吐出させて、基板の被塗布面に対し常に一定量を塗布することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は、本発明の一例についての断面構造を模式的に示す説明図である。
【００１８】
同図によれば、スリットコータ１１は、対となって配置されるリップ部１２，２２相互間に塗布液吐出用のスリット３２を介在させて形成されている。また、これらリップ部１２，２２は、スリット３２の吐出口３２ａ側に位置する先端部１２ａ，２２ａが相互に左右対称となる配置関係のもとで略截頭直角三角形を呈して形成されている。なお、図中の符号２５は、供給を受けた塗布液をスリット幅方向に拡散させることを目的として設けられたマニホールドを示す。
【００１９】
この場合、図示例では左側に位置している一方のリップ部１２は、図示しないコータユニット側に対し基準となるべき固定側リップ部１３として位置固定されている。該固定側リップ部１３は、全体で断面略Ｌ字状を呈するように内方に向けて突設された支台部１４を備えており、該支台部１４を介して着脱側リップ部２３を載置するなどしてこれを支持できるようになっている。
【００２０】
また、図示例では右側に位置している他方のリップ部２２は、使用される塗布液に対し耐性のある素材からなる例えばフッ素樹脂やシリコン樹脂などからなるゴム状のシール材４２を介して吐出口３２ａを除くスリット３２の内部空間３３を外部から封止しつつ，固定側リップ部１３に対し取り外し可能な着脱側リップ部２３として配置されている。
【００２１】
すなわち、固定側リップ部１３の支台部１４上には、シール材４２を配置しておき、さらにその上に着脱側リップ部２３を取り外し可能に配置する。具体的には、着脱側リップ部２３の肩部２４から固定側リップ部１３の支台部１４に設けてある雌ネジ部１５へと向けた挿通孔２４ａを有しており、該挿通孔２４ａを介して送り込んだ螺杆２６を雌ネジ部１５に螺着させることで、固定側リップ部１３側に対し着脱側リップ部２３側が取り外し可能に配置することができる。
【００２２】
この場合、該スリット３２は、フィードバックされる塗布液の塗布膜厚データとの関係でその幅の自動調整が自在な可変幅としておくのが好ましい。具体的には、例えば図示しない毎葉塗布装置に送り込まれる今回塗布処理分の基板の塗布面に形成される塗布膜の厚さをデータとして装置本体側にフィードバックし、該フィードバックデータに基づき駆動制御される駆動機構を介して固定側リップ部１３に対し着脱側リップ部２３を接離させることでスリット３２の幅を可変とすることで、吐出口３２ａからの塗布液の吐出量を自動調整することができるようになっている。
【００２３】
次に、本発明の作用・効果を説明すれば、スリットコータ１１を構成しているリップ部１２，２２のうち、図示例では左側に位置する一方のリップ部１２は、固定側リップ部１３としてコータユニット側に位置固定され、図示例では右側に位置する他方のリップ部２２は、シール材４２を介して固定側リップ部１３に対し取り外し可能な着脱側リップ部２３として配置されている。
【００２４】
このため、スリット３２内に目詰まりが生じてこれを洗浄・除去する必要が生じた際には、固定側リップ部１３をコータユニット側に位置固定したまま、着脱側リップ部２３のみを固定側リップ部１３側から取り外すことができる。
【００２５】
したがって、スリットコータ１１に対して行われる洗浄を含む各種のメンテナンス作業は、着脱側リップ部２３のない固定側リップ部１３と、該固定側リップ部１３側から取り外した着脱側リップ部２３とに対し各別に行うことができる。
【００２６】
つまり、スリットコータ１１に必要な各種のメンテナンスは、スリットコータ１１を図示しないコータユニットともども装置本体側から取り出し、さらにスリットコータ１１自体を分解するという作業を経ることなく簡単に行うことができる。
【００２７】
また、スリットコータ１１に対するメンテナンス作業を終えた後は、改めて再使用するシール材４２を介して固定側リップ部１３側に着脱側リップ部２３を固定することで、直ちに元の状態に復帰させることができる。
【００２８】
したがって、スリットコータ１１を備える塗布装置に対しては、基板に対し常に最適条件のもとで塗布液を自動塗布する機能を付与することができることになる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明における第１の発明の一例についての断面構造を模式的に示す説明図。
【図２】スリットダイコータの従来例を模式的に示す説明図。
【符号の説明】
【００３０】
１１  スリットコータ
１２  リップ部
１２ａ  先端部
１３  固定側ノズル部
１４  支台部
１５  雌ネジ部
２２  リップ部
２２ａ  先端部
２３  着脱側ノズル部
２４  肩部
２４ａ  挿通孔
２５マニホールド
２６  螺杆
３２  スリット
３２ａ  吐出口
３３  内部空間
４２  シール材
【図１】
2007260650.tif 000003
【図２】
2007260650.tif 000004