(57)【要約】【課題】正確な同芯流を形成できると共に、特殊な加工技術を必要とせず機械加工で製作できるので、製作が容易であり製作コストが安価な流体デバイスの製作方法を提供することができる。【解決手段】流体デバイス１２を構成する同芯整流部は、同芯整流部２４の最終的に必要な径よりも大径に製作する原形体製作工程と、製作した原形体９０を長手方向に伸長して最終的に必要な径寸法になるように原形体９０の断面積を縮小する伸長工程と、伸長した原形体９０‘を同芯整流部２４の必要長さに切断する切断する切断工程とにより製作される。【選択図】  図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給された複数の流体を同芯流が形成されるように整流する同芯整流部と、該同芯整流部から流出した同芯流を所望の処理を目的として流通させる流体流通部とを備えた流体デバイスの製作方法において、
前記流体デバイスのうち前記同芯整流部の製作は、
２重管以上の多重管構造において外側に位置する大径管と該大径管の内側に位置する小径管との間の環状隙間に、複数本の芯出し管を前記環状隙間に沿って配置させて前記大径管の中心軸と前記小径管の中心軸とを一致させた構造の原形体を、前記同芯整流部の最終的に必要な径よりも大径に製作する原形体製作工程と、
製作した原形体を長手方向に伸長して前記最終的に必要な径寸法になるように前記原形体の断面積を縮小する伸長工程と、
伸長した原形体を前記同芯整流部の必要長さに切断する切断する切断工程と、を含むことを特徴とする流体デバイスの製作方法。
【請求項２】
前記大径管、前記小径管、及び前記芯出し管は断面形状が円形な円管であることを特徴とする請求項１の流体デバイスの製作方法。
【請求項３】
前記大径管、前記小径管、及び前記芯出し管は断面形状が正多角径な多角管であることを特徴とする請求項１の流体デバイスの製作方法。
【請求項４】
前記多角管は正方形な角管であることを特徴とする請求項３の流体デバイスの製作方法。
【請求項５】
前記環状隙間に前記芯出し管が密に配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１の流体デバイスの製作方法。
【請求項６】
供給された複数の流体を同芯流が形成されるように整流する同芯整流部と、該同芯整流部から流出した同芯流を所望の処理を目的として流通させる流体流通部とを備えた流体デバイスの製作方法において、
前記流体デバイスのうち同芯整流部の製作は、
大径管内に同径な多数本の小径管が密集して収納された構造であって、前記多数本の小径管のうち１本が前記大径管の中心軸と同軸上に配置されると共に、該中心に位置する１本の小径管の外側に残りの小径管を環状に配列した管環状群が少なくとも１層以上積層された構造の原形体を、前記同芯整流部の最終的に必要な径よりも大径に製作する原形体製作工程と、
製作した原形体を長手方向に伸長して前記最終的に必要な径寸法になるように前記原形体の断面積を縮小する伸長工程と、
伸長した原形体を前記同芯整流部の必要長さに切断する切断する切断工程と、を含むことを特徴とする流体デバイスの製作方法。
【請求項７】
前記大径管及び前記小径管は断面形状が円形な円管であることを特徴とする請求項６の流体デバイスの製作方法。
【請求項８】
前記大径管及び前記小径管は断面形状が正多角径な多角管であることを特徴とする請求項６の流体デバイスの製作方法。
【請求項９】
前記多角管は正方形な角管であることを特徴とする請求項８の流体デバイスの製作方法。
【請求項１０】
前記伸長工程では、前記同芯整流部が層流の同芯流を形成可能な断面積になるように、前記原形体を伸長することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１の流体デバイスの製作方法。
【請求項１１】
前記伸長工程では、前記原形体の径寸法の１／５〜１／２５の範囲になるように伸長することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１の流体デバイスの製作方法。
【請求項１２】
前記伸長工程では、前記原形体を多段階で伸長することを特徴とする１〜１１のいずれか１の流体デバイスの製作方法。
【請求項１３】
供給された複数の流体を同芯流が形成されるように整流する同芯整流部と、該同芯整流部から流出した同芯流を所望の処理を目的として流通させる流体流通部とを備えた流体デバイスの製作方法において、
前記流体デバイスのうち前記同芯整流部の製作は、
２重管以上の多重管構造において外側に位置する大径管と該大径管の内側に位置する小径管との間の環状隙間に、複数本の芯出し管を前記環状隙間に沿って配置させて前記大径管の中心軸と前記小径管の中心軸とを一致させた構造の原形体を製作する原形体製作工程と、
前記原形体を前記同芯整流部の必要長さに切断する切断する切断工程と、を含むことを特徴とする流体デバイスの製作方法。
【請求項１４】
供給された複数の流体を同芯流が形成されるように整流する同芯整流部と、該同芯整流部から流出した同芯流を所望の処理を目的として流通させる流体流通部とを備えた流体デバイスの製作方法において、
前記流体デバイスのうち同芯整流部の製作は、
大径管内に同径な多数本の小径管が密集して収納された構造であって、前記多数本の小径管のうち１本が前記大径管の中心軸と同軸上に配置されると共に、該中心に位置する１本の小径管の外側に残りの小径管を環状に配列した管環状群が少なくとも１層以上積層された構造の原形体を製作する原形体製作工程と、
前記原形体を前記同芯整流部の必要長さに切断する切断する切断工程と、を含むことを特徴とする流体デバイスの製作方法。
【請求項１５】
前記製作した同芯整流部を、前記流体流通部を形成する外郭管の入口部内に着脱自在に嵌入することを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１の流体デバイスの製作方法。
【請求項１６】
前記流体流通部を流れる流体を同芯流として分離する同芯分離部を、前記同芯整流部と同様に製作し、製作した同芯分離部を、前記外郭管の出口部内に着脱自在に嵌合することを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１の流体デバイスの製作方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体デバイスの製作方法に係り、特に、供給された複数の流体を流体流通部に流出する際に、同芯流を正確に形成できる同芯整流部を製作する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、化学工業、或いは医薬品・試薬等の製造を行う医薬品工業等の分野において、１本の流路に複数の流体を流して反応をさせることで化学物質を製造する技術が脚光をあびており、その代表例としてマイクロリアクター等の流体デバイスがある。流体デバイスは、微小な流路断面を有する流路に複数の流体を層流状態で流通させながら反応させることで反応生成物である化学物質を連続製造する技術である。この方法は、攪拌タンク等を用いたバッチ式の反応とは異なり、微小空間である流路内を連続的に流れる流体の界面において流体中の反応分子同士が出会うことによって反応が起こるため、反応効率が著しく向上すると共に、微細粒子で単分散性に優れた化学物質を製造することができる。
【０００３】
流体デバイスの一形態としては、複数の流体を同芯流状態で流路に流通させる同芯流タイプがあり、この同芯流タイプの流体デバイスは反応生成物の流路壁面への付着防止に有用である。
【０００４】
同芯流タイプの流体デバイスとしては、例えば特許文献１や特許文献２がある。
【０００５】
特許文献１には、反応流路への導入流路を、３重管構造とした流体デバイスが開示され、３重管はその基端部において支持されている。そして、３重管構造の最内側を流れる流体と最外側を流れる流体に相互に反応する流体を用い、この２つの流体の間に不活性な流体を流すことで、導入流路の流出口に反応による生成物が付着しにくくなるようにしている。
【０００６】
また、特許文献２は、それぞれ円板状の形態の供給プレート、合流プレート、排出プレートで構成された同芯流を形成するための流体デバイスが開示されている。この流体デバイスは上述の各プレートに分解できることから、生成物の付着等による流路不良が発生しても分解して簡単に洗浄することができる。また、分解した後で再び組み立てる場合でも、各プレートは位置決めピン又はインロー構造により互いに位置決めできるようになっている。
【特許文献１】特開２００２−２９２２７４号公報
【特許文献２】特開２００３−１６４７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のように、導入流路の流出口反対側の基端部において内管を外管に支持する構造では、内管を支持する部分が少なく、内管と外管との中心軸を一致させるための位置決め精度を出しにくいという欠点がある。内管と外管との中心軸を一致させる位置決め精度が悪いと、正確な同芯流を形成することができない。この結果、同芯流に乱れが生じるために、反応流路において層流の同芯流を精度良く得ることができず、流体同士の界面における拡散が不均一になる。これにより、均等な拡散が行われないので、生成される化学物質の純度が悪くなったり、歩留りが悪くなったりするという問題がある。
【０００８】
また、内管を外管に基端部で支持する以外に、内管と外管との間にブロック状のスペーサを部分的に介在させることもあるが、基端部とスペーサとによる位置決めズレや、スペーサを介在させる位置や偏り等により内管と外管との中心軸にズレが生じ易く、根本的な解決にはならない。
【０００９】
特許文献２の場合には、特許文献１に比べて正確な同芯流を形成し易いが、機械加工での形成が容易でなく、特殊な加工方法、例えば微細放電加工等を必要とする。これにより、流体デバイスの製作が容易でないという共に製作コストが高くなるという問題がある。また、円板状の各プレートの厚みに制限があるため、高アスペクト比（流路長／等価直径）の流体デバイスを作成するには、複数枚のプレートの積層が必要であり、積層数が多くなると組み付けの際の位置精度が低下するので、正確な同芯流が得られにくくなる。
【００１０】
同芯流が正確に形成できない場合の問題は、上記した化学反応のように反応操作を行う場合に限ったものではなく、流路により流体の単位操作（例えば混合、抽出、分離、加熱、冷却、熱交換、晶析、吸収）を行う装置も同様である。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、正確な同芯流を形成できると共に、高いメンテナンス性や所望のアスペクト比を容易に得ることができ、しかも特殊な加工技術を必要とせず機械加工で製作できるので、製作が容易であり製作コストが安価な流体デバイスの製作方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１の発明は前記目的を達成するために、供給された複数の流体を同芯流が形成されるように整流する同芯整流部と、該同芯整流部から流出した同芯流を所望の処理を目的として流通させる流体流通部とを備えた流体デバイスの製作方法において、前記流体デバイスのうち前記同芯整流部の製作は、２重管以上の多重管構造において外側に位置する大径管と該大径管の内側に位置する小径管との間の環状隙間に、複数本の芯出し管を前記環状隙間に沿って配置させて前記大径管の中心軸と前記小径管の中心軸とを一致させた構造の原形体を、前記同芯整流部の最終的に必要な径よりも大径に製作する原形体製作工程と、製作した原形体を長手方向に伸長して前記最終的に必要な径寸法になるように前記原形体の断面積を縮小する伸長工程と、伸長した原形体を前記同芯整流部の必要長さに切断する切断する切断工程と、を含むことを特徴とする流体デバイスの製作方法を提供する。
【００１３】
ここで、単に管の径というときには、管の外径を意味する。また、２重管以上の多重管構造を構成する管のうちの外側に位置する大径管と該大径管の内側に位置する小径管との記載において、大径管と小径管とは相対的な関係を意味し、２重管構造に限定した意味ではない。従って、例えば３重管構造の場合には、最外側の管と真ん中の管との関係では、最外側の管が大径管になり真ん中の管が小径管となる。また、３重管構造の真ん中の管と最内側の管との関係では、真ん中の管が大径管となり最内側の管が小径管となる。多重管構造においても同様である。また、以下の説明において、３重管構造においては、真ん中の管を中径管として説明する場合もある。  
【００１４】
本発明は、実際に使用する同芯整流部の径よりも大径で且つ正確な同芯流を形成できる同芯整流部の原形体を製作し、この原形体を正確に縮小することで、マイクロレベルの径でありながら同芯流を正確に形成でき同芯整流部を製作するものである。
【００１５】
本発明の請求項１によれば、先ず、原形体製作工程において、同芯流を正確に形成できる構造の同芯整流部の原形体を、前記同芯整流部の最終的に必要な径よりも大径に製作する。この原形体は、２重管以上の多重管構造を構成する管のうちの外側に位置する大径管と該大径管の内側に位置する小径管との間の環状隙間に、芯出し管を環状隙間に沿って密に配置させて、大径管の中心軸と小径管の中心軸とを一致させた構造に形成される。また、芯出し管は、大径管と小径管の長さ方向の一部分を支持する従来のスペーサとは異なり、長さ方向全体を支持するので、原形体の長さ方向の何れの位置を径方向に切断しても、大径管と小径管との中心軸が一致する。
【００１６】
本発明を２重管構造の例で説明すると、大径管と小径管の２重管構造の環状の隙間に複数の芯出し管を配置し、小径管内に流体Ａを流し、環状に配置された複数の芯出し管内に流体Ｂを流せば、流体流通部に流体Ａと流体Ｂの２層同芯流を正確に形成することができる。２重管構造以上の多重管構造の場合にも同様である。
【００１７】
次に、伸長工程において、製作した原形体を長手方向に伸長して最終的に必要な径寸法になるように原形体の断面積を縮小する。これにより、伸長原形体を製作する。この場合、原形体を使用した部材材質の融点以下に温度をかけて伸長することが好ましい。以下に登場する伸長工程でも同様である。
【００１８】
次に、切断工程では、伸長原形体を同芯整流部の必要長さに切断する。これにより、マイクロレベルの径でありながら同芯流を正確に形成でき同芯整流部を製作することができる。また、マイクロレベルの径の同芯整流部であっても、機械加工により容易に製作することができ、特殊な加工方法、例えば微細放電加工等を必要としない。従って、マイクロな流路を有する流体デバイスを容易且つ低コストで製作することができる。また、原形体を伸長工程で伸長する伸長率を変えることによって、同芯整流部の径寸法を所望の径寸法に簡単に変えることができる。更には、高アスペクト比（流路長／等価直径）の同芯整流部を作成する場合には、伸長工程での伸長率と切断工程で切断する切断長さを調整することで容易に対応することができる。
【００１９】
尚、大径管、小径管、及び芯出し管は、円管や正多角管（例えば正四角管）を好ましく使用できるが、大径管と小径管との間に芯出し管を配置することで、大径管と小径管との中心軸を一致させることのできる大径管、小径管、及び芯出し管の相互の関係であれば、どのような管でもよい。
【００２０】
請求項２は請求項１において、前記大径管、前記小径管、及び前記芯出し管は断面形状が円形な円管であることを特徴とする。
【００２１】
請求項２は、大径管、小径管、及び芯出し管として円管を使用することが好ましいからである。
【００２２】
請求項３は請求項１において、前記大径管、前記小径管、及び前記芯出し管は断面形状が正多角径な多角管であることを特徴とする。
【００２３】
請求項３は、大径管、小径管、及び芯出し管として多角管を使用することが好ましいからである。
【００２４】
請求項４は請求項３において、前記多角管は正方形な角管であることを特徴とする。
【００２５】
請求項４は多角管のうちの正方形な角管を使用する場合である。
【００２６】
請求項５は請求項１〜４のいずれか１において、前記環状隙間に前記芯出し管が密に配置されていることを特徴とする。
【００２７】
環状隙間に芯出し管が密に配置されていれば、伸長工程において原形体をバランス良く伸長することができる。しかし、環状隙間に芯出し管が密に配置されてない場合も本発明は適用できる。この場合には、環状隙間の空間を例えば溶媒に可溶な樹脂等で埋めておき、同芯整流部を製作した後で、樹脂を溶媒で解かしたり、エッチング処理したりすることで対応できる。
【００２８】
請求項６の発明は前記目的を達成するために、供給された複数の流体を同芯流が形成されるように整流する同芯整流部と、該同芯整流部から流出した同芯流を所望の処理を目的として流通させる流体流通部とを備えた流体デバイスの製作方法において、前記流体デバイスのうち同芯整流部の製作は、大径管内に同径な多数本の小径管が密集して収納された構造であって、前記多数本の小径管のうち１本が前記大径管の中心軸と同軸上に配置されると共に、該中心に位置する１本の小径管の外側に残りの小径管を環状に配列した管環状群が少なくとも１層以上積層された構造の原形体を、前記同芯整流部の最終的に必要な径よりも大径に製作する原形体製作工程と、製作した原形体を長手方向に伸長して前記最終的に必要な径寸法になるように前記原形体の断面積を縮小する伸長工程と、伸長した原形体を前記同芯整流部の必要長さに切断する切断する切断工程と、を含むことを特徴とする流体デバイスの製作方法を提供する。
【００２９】
請求項６によれば、原形体を、大径管内に同径な多数本の小径管が密集して収納された構造であって、多数本の小径管のうち１本が大径管の中心軸と同軸上に配置されると共に、該中心に位置する１本の小径管の外側に残りの小径管を環状に配列した管環状群が少なくとも１層以上積層された構造に形成したので、この原形体を、伸長程及び切断工程において上述のように加工することで、マイクロレベルの径でありながら同芯流を正確に形成でき同芯整流部を製作することができる。
【００３０】
尚、大径管、小径管、及び芯出し管は、円管や正多角管（例えば正四角管）を好ましく使用できるが、大径管、小径管、及び管環状群の中心軸を一致させることのできる大径管、小径管、及び管環状群の相互の関係であれば、どのような管でもよい。
【００３１】
請求項７は請求項６において、前記大径管及び前記小径管は断面形状が円形な円管であることを特徴とする。大径管及び小径管として円管を使用することが好ましいからである。
【００３２】
請求項８は請求項６において、前記大径管及び前記小径管は断面形状が正多角径な多角管であることを特徴とする。大径管及び小径管として多角管を使用することが好ましいからである。
【００３３】
請求項９は請求項８において、前記多角管は正方形な角管であることを特徴とする。
【００３４】
多角管として正方形な角管を使用する場合である。
【００３５】
請求項１０は請求項１〜９の何れか１において、前記伸長工程では、前記同芯整流部が層流の同芯流を形成可能な断面積になるように、前記原形体を伸長することを特徴とする。
【００３６】
これは、同芯流を正確に形成できる本発明は、層流において一層効果を発揮するからである。製作される同芯整流部の内径は、流体の流速、粘度等により多少変化するが、１０ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ以下がより好ましい。
【００３７】
請求項１１は請求項１〜１０の何れか１において、前記伸長工程では、前記原形体の径寸法の１／５〜１／２５の範囲になるように伸長することを特徴とする。
【００３８】
これは、伸長工程での原形体の伸長率が小さい場合には、原形体の径を細くしなくてはならず、正確な同芯流を形成する構造を精度良く作りにくい。また、伸長工程での原形体の伸長率が大きすぎる場合には、伸長工程中に軸芯にズレが生じやすくなる。これらを勘案して、原形体の径寸法の１／５〜１／２５の範囲になるように伸長することが好ましい。
【００３９】
請求項１２は請求項１〜１１において、前記伸長工程では、前記原形体を多段階で伸長することを特徴とする。
【００４０】
伸長工程での原形体の伸長は、一度に目標の伸長率まで伸長しなくても、多段階で伸長してもよい。例えば、１回目の伸長で原形体の径寸法の１／５とし、この１／５に伸長された原形体を次の伸長で更に径寸法の１／５になるように伸長する。これにより、元の原形体の径寸法の１／２５に伸長することができる。
【００４１】
請求項１３の発明は前記目的を達成するために、供給された複数の流体を同芯流が形成されるように整流する同芯整流部と、該同芯整流部から流出した同芯流を所望の処理を目的として流通させる流体流通部とを備えた流体デバイスの製作方法において、前記流体デバイスのうち前記同芯整流部の製作は、２重管以上の多重管構造において外側に位置する大径管と該大径管の内側に位置する小径管との間の環状隙間に、複数本の芯出し管を前記環状隙間に沿って配置させて前記大径管の中心軸と前記小径管の中心軸とを一致させた構造の原形体を製作する原形体製作工程と、前記原形体を前記同芯整流部の必要長さに切断する切断する切断工程と、を含むことを特徴とする流体デバイスの製作方法を提供する。
【００４２】
請求項１３の発明は、最終的に製作する同芯整流部の細さの細管を使用した場合であり、この場合には伸長工程を省略することができる。同芯整流部の径が比較的太い場合に有効な製作方法である。
【００４３】
請求項１４の発明は前記目的を達成するために、供給された複数の流体を同芯流が形成されるように整流する同芯整流部と、該同芯整流部から流出した同芯流を所望の処理を目的として流通させる流体流通部とを備えた流体デバイスの製作方法において、前記流体デバイスのうち同芯整流部の製作は、大径管内に同径な多数本の小径管が密集して収納された構造であって、前記多数本の小径管のうち１本が前記大径管の中心軸と同軸上に配置されると共に、該中心に位置する１本の小径管の外側に残りの小径管を環状に配列した管環状群が少なくとも１層以上積層された構造の原形体を製作する原形体製作工程と、前記原形体を前記同芯整流部の必要長さに切断する切断する切断工程と、を含むことを特徴とする流体デバイスの製作方法を提供する。
【００４４】
請求項１４の発明も最終的に製作する同芯整流部の細さの細管を使用した場合であり、原形体の構造が請求項１３とは異なる場合である。
【００４５】
請求項１５は請求項１〜１４のいずれか１において、前記製作した同芯整流部を、前記流体流通部を形成する外郭管の入口部内に着脱自在に嵌入することを特徴とする。
【００４６】
請求項１〜１４の何れかにより製作された同芯整流部を、流体流通部を形成する外郭管の入口部内に着脱自在に嵌入することにより、流体デバイスが製作される。このように、同芯整流部を外郭管に対して着脱自在に嵌合することで、同芯整流部に流通不良が発生した場合には、外郭管から取り外して簡単に洗浄することができる。これにより、高いメンテナンス性を得ることができる。更には、流体数に合わせて簡単に同芯整流部を交換できて便利である。
【００４７】
請求項１６は請求項１〜１５において、前記流体流通部を流れる流体を同芯流として分離する同芯分離部を、前記同芯整流部と同様に製作し、製作した同芯分離部を、前記外郭管の出口部内に着脱時自在に嵌合することを特徴とする。
【００４８】
これにより、流体流通部を流れる流体を同芯流として分離することのできる流体デバイスを製作することができる。
【００４９】
また、同芯整流部と同芯分離部との中心軸を一致させることができるので、流体流通部を流れる流体を同芯分離部で同芯流に分離する場合、同芯整流部と同じ中心軸基準で同芯流を分離することができる。即ち、同芯整流部によって例えば正確な３層同芯流を流体流通部に流通させ、３層同芯流の中間層部分に生成物が生成された場合に、生成物を分離する際に同芯分離部の中心軸が同芯整流部の中心軸とズレていたのでは、中間層部分のみを精度良く分離することはできない。請求項１６では、同芯整流部と同芯分離部との中心軸を一致させることができるので、中間層部分のみを精度良く分離することができる。この場合、同芯整流部で形成可能な同芯流の層数と、同芯分離部で分離可能な同芯流の層数を異なるようにしてもよい。例えば、同芯整流部で２流体により２層同芯流を形成したが、同芯分離部では３層の同芯流として分離したい場合には、同芯分離部として３層分離可能な構造のものを配置するとよい。更には、同芯分離部も外郭管に着脱自在に嵌合されていることが好ましく、流路不良等が発生したときに簡単に外郭管から取り外して洗浄することができる。
【発明の効果】
【００５０】
以上説明したように、本発明によれば、正確な同芯流を形成できると共に、高いメンテナンス性や所望のアスペクト比を容易に得ることのでき、しかも特殊な加工技術を必要とせず機械加工で製作できるので、製作が容易であり製作コストが安価な流体デバイスの製作方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５１】
以下添付図面に従って本発明に係る流体デバイスの製作方法の好ましい実施の形態について詳説する。
【００５２】
本発明の製作方法は、流体デバイスを構成する同芯整流部や同芯分離部の構造が重要になるので、先ず本発明の製作方法で製作される流体デバイス、特に同芯整流部の構造を説明し、その後で本発明の製作方法を説明することにする。
【００５３】
図１は、流体デバイスを複数本（図１では５本）１組としてユニット化した流体デバイスユニットの全体構成を説明する分解図である。尚、図１で使用する流体デバイスは２種類の流体Ｌ１，Ｌ２で２層同芯流を形成するタイプの例である。
【００５４】
図１に示すように、流体デバイスユニット１０は、主として、複数本の流体デバイス１２、１２…を支持する四角形状な支持ケース１４と、支持ケース１４の上側開口１４Ａと下側開口１４Ｂとに蓋をする一対の蓋板１６，１６と、支持ケース１４の前側（流体デバイス１２の流体供給側）に組み付けられ、２種類の流体Ｌ１，Ｌ２を複数本の流体デバイス１２に供給する供給ヘッダ１８と、支持ケース１４の後側（流体デバイス１２の流体排出側）に組み付けられ、複数本の流体デバイス１２から排出される処理流体を排出する排出ヘッダ２０と、で構成される。図１の矢印Ｆは流体Ｌ１，Ｌ２の流れ方向を示す。
【００５５】
図２に示すように、流体デバイス１２は、円筒状の外郭管２２の入口部内に同芯整流部２４が着脱自在に嵌合される共に、出口部内に同芯分離部２６が着脱自在に嵌合される。これにより、同芯整流部２４と同芯分離部２６との間の外郭管２２内に、同芯整流部２４から流出した同芯流を所望の処理を目的として流通させる流体流通部２８が形成される。
【００５６】
このように、外郭管２２に対して同芯整流部２４及び同芯分離部２６を着脱自在に嵌合することで、同芯整流部２４や同芯分離部２６に流路不良が発生したときに、外郭管２２から簡単に取り外して清浄することができる。また、同芯整流部２４や同芯分離部２６を外郭管２２から取り外せることで、外郭管２２の洗浄も容易になる。これにより、高いメンテナンス性を得ることができる。尚、同芯整流部２４及び同芯分離部２６は必ず着脱自在に限定するものではなく、着脱する必要がない場合には接着剤等で固定してもよい。
【００５７】
ここで、所望の処理とは、流体同士が反応する反応操作、及び流体の単位操作（例えば混合、抽出、分離、加熱、冷却、熱交換、晶析、吸収）を意味する。尚、流体流通部２８に同芯整流部２４と同芯分離部２６とを１対設けることに限定されるものではなく、同芯整流部２４と同芯分離部２６の一対を複数個設けて、整流と分離を多段で行ってもよい。
【００５８】
同芯整流部２４及び同芯分離部２６は、同様の構造に形成され、２重管構造を構成する円管のうちの外側に位置する大径円管３０と小径円管３２との間の円環状隙間３４に、複数の芯出し円管３６（図２では８本）を密に配置した構造に形成される。従って、円環状隙間３４に複数の芯出し円管３６が密に配置されるように、大径円管３０、小径円管３２、芯出し円管３６の径が設定されていることが必要である。そして、同芯整流部２４の中心に位置する小径円管３２に連結用供給管３８が接続されると共に、同芯分離部２６の中心に位置する小径円管３２に連結用排出管４０が接続される。ここで、複数の芯出し円管３６のグループを環状グループ管４２と言うことにする。図２は、かかる構造に形成された流体デバイス１２において、同芯整流部２４の中心に位置する小径円管３２内に流体Ｌ１を供給し、環状グループ管４２に流体Ｌ２を供給する場合である。また、図３に示すように、外郭管２２を２分割可能な構造として、同芯整流部２４や同芯分離部２６を外郭管２２に着脱する際に、外郭管２２を２分割できると更にメンテナンスにおいて便利である。即ち、外郭管２２分割した一方の半円片２２Ａと他方の半円片２２Ｂとの嵌合部にそれぞれ凸部２２ａと凹部２２ｂとを形成し、凸部２２ａと凹部２２ｂとを嵌め合わせるようにするとよい。嵌合して外郭管２２を形成した後、外郭管２２の長さ方向における前後位置をリング状の固定部材２９で固定するとよい。しかし嵌め合わせ構造及び固定部材は、これに限定するものではなく、要は外郭管２２から流体が漏洩しない構造であればよい。
【００５９】
図１に示す支持ケース１４の前側面と後側面にはそれぞれ、流体デバイス１２の数に対応する複数個の丸孔４４が開口されており、この丸孔４４に流体デバイス１２の前後部分が嵌合する。これにより、複数本の流体デバイス１２が支持ケース１４の前側面と後側面から部分的に突出した状態で、支持ケース１４に支持される。この状態で、一対の蓋板１６がパッキン１７を介して支持ケース１４の上側開口１４Ａと下側開口１４Ｂに被せられてボルト４６で締結される。また、支持ケース１４の前側と後側に供給ヘッダ１８と排出ヘッダ２０とがパッキン１９を介して被せられ、ボルト４８により接続される。これにより、支持ケース１４内に水密な密封空間が形成される。
【００６０】
供給ヘッダ１８は、支持ケース１４側の面が開放された箱形状をしており、支持ケース１４の反対面には、前述した連結用供給管３８が貫通する丸孔５０が流体デバイス１２の数に対応して複数個開口されている。この丸孔５０から連結用供給管３８が突出され、連結用供給管３８に第１カプラー（ワンタッチジョイント）の雄部材５２が接続される。そして、流体Ｌ１を供給する流体ポンプ（図示せず）から延設された供給チューブ（図示せず）先端に設けられた第１カプラーの雌部材（図示せず）を連結することで、同芯整流部２４の中心に位置する小径円管３２に流体Ｌ１が供給される。また、供給ヘッダ１８の側面に形成された丸孔５４には、第２カプラーの雄部材５６が接続され、流体Ｌ２を供給する流体ポンプ（図示せず）から延設された供給チューブ（図示せず）先端に設けられた第２カプラーの雌部材（図示せず）を連結することで、供給ヘッダ１８内を介して同芯整流部２４の環状グループ管４２に流体Ｌ２が供給される。
【００６１】
排出ヘッダ２０は、その構造が供給ヘッダ１８と同様に形成される。即ち、排出ヘッダ２０は支持ケース１４側の面が開放された箱形状をしており、支持ケース１４の反対面には、上述した連結用排出管４０が貫通する丸孔５８が流体デバイス１２の数に対応して複数個開口されている。この丸孔５８から連結用排出管４０が突出され、連結用排出管４０に第３カプラーの雄部材６０が接続される。そして、排出チューブ（図示せず）の先端に設けた第３カプラーの雌部材（図示せず）が連結される。これにより、流体流通部２８を流通して化学反応等の所望の処理が成された処理流体は同芯分離部２６において同芯流として分離され、分離された同芯流のうちの内層を形成する流体Ｌ３が排出される。また、排出ヘッダ２０の側面に形成された丸孔６２には、第４カプラーの雄部材６４が接続され、排出チューブ（図示せず）の先端に設けた第４カプラーの雌部材（図示せず）を連結することで、同芯分離部２６で同芯流として分離された外層の流体Ｌ４が排出ヘッダ２０内を介して排出される。
【００６２】
また、上述した水密性を有する支持ケース１４の側面２カ所に丸孔６６が形成され、一方の丸孔６６に第５カプラーの雄部材６８が設けられると共に、他方の丸孔６６に第６カプラーの雄部材６８が設けられる。そして、図示しない熱媒体循環装置からの一対のチューブ（図示せず）先端にそれぞれ取り付けられた第５カプラー及び第６カプラーの雌部材（図示せず）が雄部材６８接続される。これにより、所定温度の熱媒体を支持ケース１４内と媒体循環装置との間で循環して、流体デバイス１２を温調するための温調用循環ラインが形成される。
【００６３】
上記の如く構成された流体デバイスユニット１０において、流体デバイス１２の同芯整流部２４を、２重管構造を構成する円管のうち外側に位置する大径円管３０と内側に位置する小径円管３２との間の円環状隙間３４に、複数の芯出し円管３６を密に配置した構造に形成したので、大径円管３０と小径円管３２との中心軸Ｐが一致するように、大径円管３０と小径円管３２とを精度良く位置決めすることができる。即ち、円環状隙間３４に同径な芯出し円管３６を密に配置することで、全方向において径が一定な芯出し円管３６の芯出し作用が働く。これにより、大径円管３０と小径円管３２との間隔は円環状隙間３４の何れの位置においても芯出し円管３６の径に一致するので、大径円管３０と小径円管３２とは同じ中心軸Ｐ上に配置されることになる。しかも、同芯整流部２４の長さ方向（軸方向）の何れの位置で同芯整流部２４を径方向に切断しても、その断面における大径円管３０と小径円管３２との中心軸Ｐは一致する。このように、同芯整流部２４の長さ方向の何れの位置でも大径円管３０と小径円管３２との中心軸Ｐを一致させることで、図４に示すように、Ｌ１（内層）とＬ２（外層）とから成る正確な２層同芯流を形成することができる。この場合、同芯整流部２４と同芯分離部２６との中心軸Ｐ上に、同芯整流部２４と同芯分離部２６とをつなぐ貫通管７２を設けると、図５のように、Ｌ１（内層）の厚みを薄くできるので、Ｌ１（内層）とＬ２（外層）との間の拡散効率が良くなる。
【００６４】
正確な同芯流を形成するには、同芯整流部の長さ方向の何れの位置で切断しても、大径円管３０と小径円管３２との同芯度（互いの円管の中心軸Ｐのズレ量）が１００μｍ以内であることが好ましく、５０μｍ以内がより、１０μｍ以内が特に好ましい。前記同芯度は、径精度の高い円管を使用して同芯整流部２４を上記した構造に形成することで達成できる。これにより、流体流通部２８を流れる同芯流に乱れが発生しないので、層流の同芯流を精度良く得ることができる。従って、流体Ｌ１、Ｌ２同士の界面における拡散が均一に行われるので、例えば化学反応操作の場合には生成される化学物質の純度や歩留りが向上する。
【００６５】
また、同芯整流部２４と同様の構造を有する同芯分離部２６を外郭管２２の出口部内に設けることで、流体流通部２８を流れる流体を同芯流として分離することができる。この場合に、同芯整流部と２４同芯分離部２６との中心軸Ｐを一致させることができるので、流体流通部２８を流れる流体を同芯分離部２６で同芯流に分離する際に、同芯整流部２４と同じ中心軸基準で分離することができる。即ち、同芯整流部２４によって例えば正確な３層同芯流を流体流通部２８に流通させ、３層同芯流の中間層部分に生成物が生成された場合に、生成物を分離する際に同芯分離部２６の中心軸Ｐが同芯整流部２４の中心軸Ｐに対してズレがあると、中間層部分のみを精度良く分離することはできない。しかし、本発明のように、同芯整流部２４と同芯分離部２６との中心軸Ｐを一致させることができるので、中間層部分を精度良く分離することができる。これは、３層同芯流の内層や外層を精度良く分離したい場合も同様であり、多層同芯流に適用できる。この場合、図６に示すように、同芯整流部２４と同芯分離部２６において、中心に位置する小径円管３２を環状グループ管４２の流出口の位置からズラして流体流通部側に突出させるようにすると、流れが安定化し、安定した同芯流が形成される。また、同芯分離部２６での分離性能も向上する。
【００６６】
尚、図６では、中心に位置する小径円管３２を流体流通部側に突出させるようにしたが、逆に環状グループ管４２の流出口の位置より凹ますようにしてもよい。更には、同芯整流部２４では小径円管３２を突出させ、同芯分離部２６では小径円管３２を凹ましてもよく、あるいは同芯整流部２４では小径円管３２を凹ませ、同芯分離部２６では小径円管３２を突出させてもよい。
【００６７】
上述した本発明における同芯整流部２４と同芯分離部２６との特徴は、化学反応に限らず、流体の単位操作（例えば混合、抽出、分離、加熱、冷却、熱交換、晶析、吸収）を行う際にも適用できる。また、上述の同芯整流部４は２層同芯流を形成するタイプであるが、多層同芯流を形成する場合も考え方は同じである。
【００６８】
次に、図７〜図１０において、同芯整流部２４の好ましい各種の態様を説明するが、同芯分離部２６として使用してもよい。
【００６９】
図７の同芯整流部２４は、既に図６で説明したように同芯整流部２４の中心に位置する小径円管３２を環状グループ管４２の流出口の位置からズラして流体流通部側に突出させた態様であり、図８は小径円管を環状グループ管４２の流出口の位置から凹ませた態様である。
【００７０】
図９の同芯整流部２４は、３種類の流体（Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３）により３層同芯流を形成するのに好適な態様であり、大径円管３０、中径円管７４、小径円管３２とで構成される３重管構造における２つの円環状隙間３４、３４（大径円管３０と中径円管７４の間、及び中径円管７４と小径円管３２の間）に、同径（外径が同型）な複数本（図９では８本と１２本）の芯出し円管３６を円環状隙間３４、３４に沿って密に配置した場合である。また、図１０の同芯整流部２４は、図９の２つの円環状隙間３４、３４に芯出し円管３６を９０°間隔でそれぞれ４本配置した場合である。この場合、芯出し円管３６の最小本数は１２０°間隔で３本である。また、大径円管３０、中径円管７４、小径円管３２、及び芯出し円管３６は互いに動かないように固定されている。固定方法としては、接着剤、拡散接合の他、大径円管３０、中径円管７４、小径円管３２、及び芯出し円管３６のそれぞれに軸芯方向の凸条部と凹条部を相対的に形成し、この凸条部と凹条部とを嵌め合うことで固定してもよい。また、円環状隙間３４における芯出し円管３６同士の間の空間に流体Ｌ２又は流体Ｌ３を供給してもよい。また、流体Ｌ１の供給量に対して流体Ｌ２や流体Ｌ３の供給量を多くしたい場合には、芯出し円管３６内と空間の両方に流体Ｌ２や流体Ｌ３を供給してもよい。
【００７１】
尚、図１０以外の図７〜図１３の同芯整流部２４の場合、円管や角管が密に詰まっており動かないものは固定しなくても、図１０と同様に接着剤、拡散接合、嵌合等の固定手段で固定してもよく、いずれでもよい。
【００７２】
図１１の同芯整流部２４は、３流体Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３の流出口の位置をズラすと共に、中心に位置する小径円管３２の流出口を先細形状にして径を絞り、更には小径円管３２と中径円管７４との間の円環状隙間３４に配置された芯出し円管７４の流出口がテーパ状に切断されるようにした態様である。このように、３流体Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３の流出口の位置をズラすことで流れが安定化し、安定した同芯流が形成される。また、中心に位置する小径円管３２の流出口を絞ったり、芯出し円管７４の流出口がテーパ状に切断されることで流出される流体の流れを安定化でき、より安定な同芯流を形成できる。
【００７３】
尚、図９〜図１１は、３種類の流体Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３の３層同芯流を形成するのに好適な態様であるが、３種類の流体に限定するものではなく、２種類の流体の同芯流を形成する場合にも適用できる。即ち、上記した３流体Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３のうち、流体Ｌ１と流体Ｌ２に同じ種類の流体を使用することで２層同芯流としてもよく、流体Ｌ２と流体Ｌ３に同じ種類の流体を使用することで２層同芯流を形成してもよい。これにより、２層同芯流を構成する際の各層の厚みを変えることができる。
【００７４】
図１２の同芯整流部は、大径円管３０内に、多数本の同径な小径円管３２、３２…が密集して収納された構造であって、多数本の小径円管３２のうち１本が大径円管３０の中心軸Ｐと同軸上に配置されると共に、該中心に位置する１本の小径円管３２Ａの外側に残りの小径円管３２Ｂを円環状に配列した円管環状群３１が少なくとも１層以上積層された構造に形成される。
【００７５】
このように、同芯整流部２４を構成した場合、中心に位置する小径円管３０Ａの中心と、第１の円管環状群３１Ａを構成する各小径円管３２Ｂの中心を結ぶ第１仮想円（点線７６）の中心とは一致する。更には第２の円管環状群３１Ｂを構成する各小径円管３２Ｂの中心を結ぶ第２仮想円（点線７８）の中心とは一致する。円管環状群３１Ａ，３１Ｂが更に増えた場合も同様である。これにより、中心に位置する小径円管３２Ａと、第１円管環状群３１Ａ、第２円管環状群３１Ｂは同じ中心軸Ｐ上に配置されることになるので、中心位置の小径円管３２Ａ内に流体Ｌ１を供給し、第１円管環状群３１Ａに流体Ｌ２を供給し、第２円管環状群３１Ｂに流体Ｌ３を供給すれば、正確な３層同芯流を流体流通部２８流出させることができる。
【００７６】
図１３の同芯整流部２４は、正多角形な同芯流を形成する同芯整流部２４の一例として、３種類の流体Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３で正方形な３層同芯流を形成する場合である。この同芯整流部２４は、径方向断面が正方形な大径角管８０、中径角管８２、小径角管８４とで構成される３重管構造における２つの正方形環状隙間８６、８６（大径角管８０と中径角管８２の間、及び中径角管８２と小径角管８４の間）に、径方向断面が正方形で同径（外径が同径）な複数本（図１３では８本と２０本）の芯出し角管８８を正方形環状隙間８６、８６に沿って密に配置した場合である。このような構造の同芯整流部２４の場合にも、大径角管８０、中径角管８２、小径角管８４は同じ中心軸Ｐ上に配置されることになるので、正確な正方形の３層同芯流を流体流通部２８に流出できる。この場合、流体流通部２８を形成する外郭管２２も正方形な角管であることが必要である。尚、図示しなかったが、大径角管内に同径（外径が同径）な小径角管が密集して収納することにより、大径角管内に格子状の流路を形成するようにしてもよい。
【００７７】
尚、同芯整流部２４と同芯分離部２６とは同じ構造である必要はなく、例えば円環状の同芯流を形成する場合、図２〜図１２で説明した構造のものを任意に組み合わせることができる。
【００７８】
次に、図２の２層同芯流を形成する流体デバイス１２の例で、本発明の流体デバイス１２を製作する工程について説明する。図１４（Ａ）〜図１４（Ｃ）は同芯整流部２４及び同芯整流部２６を製作する工程であり、図１４（Ｄ）は製作した同芯整流部２４と同芯分離部２６とを流体流通部２８を形成する外郭管２２に組み付けた図である。尚、同芯整流部２４と同芯分離部２６とは、基本的に構造が同じあり、同じ製作方法で製作するので、ここでは同芯整流部２４を製作する例で説明する。
【００７９】
同芯整流部２４の製作は、主として、原形体製作工程と、伸長工程と、切断工程とで構成される。
【００８０】
原形体製作工程では、図１４（Ａ）に示すように、２重管構造において外側に位置する大径円管３０と小径円管３２との間の円環状隙間３４に、複数の同径（外径が同径）な芯出し円管３６、３６…を円環状隙間３４に沿って密に配置させた構造の原形体９０を製作する。この原形体９０は、同芯整流部２４の最終的に必要な径よりも大径に予め製作する。かかる構造の原形体９０は、図１４（Ａ）から分かるように、大径円管３０内に小径円管３２及び芯出し円管３６が密に収納されており、しかも大径円管９０の中心軸を中心として小径円管３２及び芯出し円管３６が同芯上に配置されている。従って、次の伸長工程で伸長しても全体が細くなるだけで、径方向の断面形状は同じになる。原形体９０における大径円管３０の径としては、例えば１０ｍｍ〜５０ｍｍ程度の範囲であることが好ましい。管の材質としては金属（例えばスレンレス材）、樹脂、ガラス等を好適に使用できる。
【００８１】
次に、伸長工程では、図１４（Ｂ）に示すように、製作した原形体９０を長手方向に伸長して最終的に必要な径寸法になるように原形体９０の断面積を縮小する。この場合、使用する管の材質、例えばステンレス材、樹脂材、ガラス材等により、原形体９０を伸長し易い温度に加熱しておくとよい。これにより、伸長原形体９０‘を製作する。この伸長原形体９０’の径としては、流体流通部２８において層流の同芯流を形成できる径寸法であることが好ましく、伸長後の大径円管３０‘において１０ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ以下がより好ましい。
【００８２】
次に、切断工程では、図１４（Ｃ）に示すように、伸長原形体９０‘を同芯整流部２４の必要長さに切断する。これにより、同芯整流部２４が製作される。同芯整流部２４は複数製作されるので、その中の一つを同芯分離部２６として使用してもよく、上述した図７〜図１２で示した別の態様のものを同芯整流部２６として使用してもよい。
【００８３】
そして、図１４（Ｄ）に示すように、製作した同芯整流部２４を、外郭管２２の入口部内に着脱自在に嵌合すると共に、外郭管２２の出口部内に同芯分離部２６を着脱自在に嵌合する。これにより、流体デバイス１２が製作される。
【００８４】
上記した同芯整流部２４の製作方法は、原形体９０を精度良く伸長する関係上、一番外側の管（例えば大径円管）に内側の管（例えば小径円管、芯出し円管）が密に充満されている構造であれば円管でなくてもよく、図１３のように正四角管を使用してもよい。    
【００８５】
これにより、径が１０ｍｍ以下のマイクロな同芯整流部２４や同芯流２６であっても、機械加工により容易に製作することができ、特殊な加工方法、例えば微細放電加工等を必要としない。従って、マイクロな流路を有する流体デバイス１２を容易且つ低コストで製作することができる。また、原形体９０を伸長工程で伸長する伸長率を変えることによって、同芯整流部２４や同芯分離部２６の径寸法を簡単に変えることができる。更には、高アスペクト比（流路長／等価直径）の流体デバイス１２を作成する場合には、伸長工程での伸長率と切断工程で切断する切断長さを調整することで容易に対応することができる。
【００８６】
尚、本実施の形態では、原形体９０は、同芯整流部２４の最終的に必要な径よりも大径に予め製作し、伸長工程で最終的に必要な径まで細くすることで説明した。しかし、原形体９０を同芯整流部２４の最終的に必要な径になるように製作する場合には、伸長工程を省略することができ、原形体９０を切断工程で必要な長さに切断すればよい。
【実施例】
【００８７】
次に、３種類の流体Ｌ１（内層）、Ｌ２（中間層）、Ｌ３（外層）で３層同芯流を形成する例で本発明の実施例を説明する。流体デバイス１２は、流体流通部２８を形成する外郭管２２の入口部内と出口部内とに、図９に示した構造の同芯整流部２４と同芯分離部２６とをそれぞれ嵌合させたものを使用した。同芯整流部２４と同芯分離部２６は、上記製作方法により製作し、切断工程では伸長した伸長原形体９０‘を長さ５ｍｍに切断した。製作された同芯整流部２４及び同芯分離部２６は、大径円管３０が外径２．５ｍｍ、内径２．０ｍｍ、小径円管３２が外径０．９２５ｍｍ、内径０．７１ｍｍ、芯出し円管（８本使用）が外径０．５４ｍｍ、内径０．３５ｍｍであった。管の材質はＳＵＳ３１６を使用した。
【００８８】
製作された同芯整流部２４と同芯分離部２６について特に精密位置決めすることなく、長さ方向の複数箇所で切断して、大径円管３０と小径円管３２との同芯度（互いの円管の中心軸Ｐのズレ量）を測定したところ、５μｍ以内であった。
【００８９】
そして、５本の流体デバイス１２を支持ケース１４に組み付け、流体デバイスユニット１０を完成させ、感光性乳剤を製造する試験を行った。
【００９０】
試験において、流体Ｌ１として硝酸銀水溶液、流体Ｌ２としてゼラチン水溶液、流体Ｌ３としてハロゲン塩水溶液を使用した。硝酸銀水溶液Ｌ１とハロゲン塩水溶液Ｌ３とは、体積換算で１：１の比で反応が完結する濃度に調整した。また、同芯整流部２４から流出して流体流通部２８を層流化された同芯流として流れる各流体Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３において、硝酸銀水溶液Ｌ１とハロゲン塩水溶液Ｌ３とが、同じ流速且つ同じタイミングでゼラチン水溶液Ｌ２との反応を完結するように設定した。また各流体Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３の粘度の影響や、流体流通部２８の内壁面との間に生じる剪断抵抗力等により、硝酸銀水溶液Ｌ１とハロゲン塩水溶液Ｌ３とに流速差が生じる場合には、濃度や流体を供給する圧力を調整してゼラチン水溶液Ｌ２での反応条件を最適化した。
【００９１】
このように実施された実施例によれば、同芯整流部２４により、各流体Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３は正確な層流の３層同芯流として流体流通部２８に流出され、流体流通部２８を流れていく過程で、３層同芯流を構成する内層の硝酸銀水溶液Ｌ１と外層のハロゲン塩水溶液Ｌ３とが、中間層のゼラチン水溶液Ｌ２に拡散して反応し、反応物である感光性乳剤を生成した。同芯分離部２６では、内層、中間層、外層の３層を同芯流として分離し、中間層部分に高純度の感光性乳剤を得ることができた。
【００９２】
また、感光性乳剤を生成する際に、同芯整流部２４の流出口や流体流通部２８の内壁に生成された感光性乳剤が付着することがなく、安定した製造を行うことができた。
【００９３】
更には、本発明の３流体タイプの流体デバイス１２と、従来技術の特許文献２で説明した流体デバイスとの製作コスト比較では、本発明の流体デバイス１２は約１／２であることから、低コストで感光性乳剤を製造することができた。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明で製作された流体デバイスを複数本組み付けた流体デバイスユニットの全体構成を説明する分解図
【図２】流体デバイスの一例であり、２種類の流体に好適な流体デバイスの説明図
【図３】流体流通部を形成する外郭管を２分割構造にした説明図
【図４】内層と外層の２層同芯流の説明図
【図５】同芯整流部と同芯分離部との中心軸を貫通する貫通管を設けた場合の流体流通部の断面図
【図６】流体デバイスの別の態様を説明する説明図
【図７】円管を使用した同芯整流部の一態様を説明する説明図
【図８】円管を使用した同芯整流部の別の態様を説明する説明図
【図９】同芯整流部の更に別の態様を説明する説明図
【図１０】円管を使用した同芯整流部の更に別の態様を説明する説明図
【図１１】円管を使用した同芯整流部の更に別の態様を説明する説明図
【図１２】円管を使用した同芯整流部の更に別の態様を説明する説明図
【図１３】正四角管を使用した同芯整流部の更に別の態様を説明する説明図
【図１４】本発明の流体デバイスの製作方法を説明する説明図
【符号の説明】
【００９５】
１０…流体デバイスユニット、１２…流体デバイス、１４…支持ケース、１６…蓋板、１８…供給ヘッダ、２０…排出ヘッダ、２２…外郭管、２４…同芯整流部、２６…同芯分離部、２８…流体流通部、３０…大径円管、３２…小径円管、３４…円環状隙間、３６…芯出し円管、３８…連結用供給管、４０…連結用排出管、４２…環状グループ管、４４…、５０、５４、５８、６２、６６…丸孔、４６、４８…ボルト、５２、５６、６０、６４、６８、７０…カプラーの雄部材、８０…大径角管、８２…中径角管、８４…小径角管、８６…正方形環状隙間、８８…芯出し角管、９０…原形体、９０‘…伸長原形体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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