(57)【要約】【課題】シートに熱伝導性を発揮させつつ、シート同士が粘着する現象を抑制することができるとともに、シートに優れた難燃性を付与することが容易な熱伝導性シートを提供する。【解決手段】熱伝導性シートは、基材シートと、基材シートの少なくとも片面に付着された粉体とを備えている。基材シートは、有機高分子をマトリックスとする基材と、その基材に難燃性及び熱伝導性を付与する充填剤とを含む。充填剤は、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種である。粉体は、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種の粉体である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートと、該基材シートの少なくとも片面に付着された粉体とを備える熱伝導性シートにおいて、
前記基材シートは、有機高分子をマトリックスとする基材と、該基材に対して難燃性及び熱伝導性を付与する充填剤とを含み、
前記充填剤は、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種であるとともに、
前記粉体は、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種の粉体であることを特徴とする熱伝導性シート。
【請求項２】
前記粉体が水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムの少なくとも一種の粉体である請求項１に記載の熱伝導性シート。
【請求項３】
前記充填剤が、水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムの少なくとも一種である請求項１又は請求項２に記載の熱伝導性シート。
【請求項４】
前記粉体の平均粒径が、１〜５０μｍである請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の熱伝導性シート。
【請求項５】
前記基材シートに対する前記粉体の付着量が、０．１〜１．０ｇ／ｍ２である請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の熱伝導性シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品から冷却部品へ熱を伝導する熱伝導性シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器に実装されるＣＰＵ等の電子部品には、電子部品の冷却を促進するために、ヒートシンク等の冷却部品が装着されている。このような冷却部品は、電子部品から冷却部品への熱伝導を促進するために、熱伝導性シートを介して取着されている。この熱伝導性シートによって、電子部品から冷却部品への熱伝導に寄与する伝熱面積が増大されるため、その熱伝導の効率を高めることができる。
【０００３】
熱伝導性シートは、電子部品及び冷却部品に対する追従性、密着性等を考慮すると、柔軟性を有する基材を備えることが好適である。ところが、そのような基材を用いた熱伝導性シートは通常粘着性を有するため、例えば熱伝導性シートの保管時において複数の熱伝導性シートを積層した場合、そのシートの粘着性によってシート同士が粘着し易いため、積層された複数の熱伝導性シートから一枚ずつ熱伝導性シートを取り出すことが困難となる。このように、柔軟性を有する基材からなる熱伝導性シートでは、その取り扱い性が低下するという問題があった。こうした実情に鑑み、シートの表面に、窒化ホウ素粉体（ボロンナイトライド粉体）を付着させた熱伝導性シートが提案されている（特許文献１参照）。この熱伝導性シートでは、窒化ホウ素粉体によって、熱伝導性シートの表面における粘着性が抑制されるため、シート同士の粘着が抑制されている。
【特許文献１】特開平０６−９６６１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一方、この種の熱伝導性シートでは、発熱する電子部品に装着されることから、火災についての安全性に配慮することが好ましい。このため、熱伝導性シートには、難燃性が付与されていることが好ましい。熱伝導性シートに難燃性を付与するには、難燃剤として機能する充填剤を配合することが考えられる。そして、熱伝導性シート中における充填剤の配合量を増大させることにより、熱伝導性シートの難燃性を高めることができる。ところが、熱伝導性シートに配合する充填剤の増量には、熱伝導性シートの成形性、熱伝導性シートの機械的物性等を維持するという観点から限界がある。このため、充填剤の配合量を増大することによって難燃性を高めることは困難であった。また、上述した窒化ホウ素粉体を付着した場合、シートの熱伝導性を維持しつつ、シートの粘着が抑制されるものの、その窒化ホウ素粉体の付着によって難燃性を付与するまでには至らない。すなわち、熱伝導性を発揮させつつ、難燃性を高めるとともに、シートの粘着を抑制することは困難であった。
【０００５】
本発明は、こうした従来の実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、シートに熱伝導性を発揮させつつ、シート同士が粘着する現象を抑制することができるとともに、シートに優れた難燃性を付与することが容易な熱伝導性シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために請求項１に記載の発明は、基材シートと、該基材シートの少なくとも片面に付着された粉体とを備える熱伝導性シートにおいて、前記基材シートは、有機高分子をマトリックスとする基材と、該基材に対して難燃性及び熱伝導性を付与する充填剤とを含み、前記充填剤は、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種であるとともに、前記粉体は、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種の粉体であることを要旨とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記粉体が水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムの少なくとも一種の粉体であることを要旨とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記充填剤が、水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムの少なくとも一種であることを要旨とする。
【０００８】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記粉体の平均粒径が、１〜５０μｍであることを要旨とする。
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記基材シートに対する前記粉体の付着量が、０．１〜１．０ｇ／ｍ２であることを要旨とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、シートに熱伝導性を発揮させつつ、シート同士が粘着する現象を抑制することができるとともに、シートに優れた難燃性を付与することが容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明を具体化した熱伝導性シートを詳細に説明する。
熱伝導性シートは、柔軟性を有する基材シートと、この基材シートの少なくとも片面に付着された粉体とを備えている。基材シートは、有機高分子をマトリックスとする基材と、その基材に難燃性及び熱伝導性を付与する充填剤とを含有する。充填剤は、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種である。粉体は、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種の粉体である。この熱伝導性シートは、電子機器に実装されるＣＰＵ等の電子部品と、ヒートシンク、筐体等の冷却部品との間に介在される。そして、この熱伝導性シートによって、電子部品から冷却部品への熱伝導に寄与する伝熱面積が増大されるため、その熱伝導の効率が高められる。
【００１１】
基材のマトリックスである有機高分子は、基材シートに要求される性能に応じて適宜選択することができる。基材シートに要求される性能としては、例えば機械的強度、耐熱性、耐久性等が挙げられる。有機高分子としては、電子部品及び冷却部品の形状への追従性を考慮すると、高分子ゲル、ゴム、熱可塑性エラストマー等が好適である。高分子ゲルとしては、例えばシリコーンゲル、又はポリウレタンゲルが挙げられる。ゴムとしては、例えば天然ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合ゴム、ニトリルゴム、水添ニトリルゴム、クロロプレンゴム、エチレン−プロピレン共重合ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、ブチルゴム、ハロゲン化ブチルゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、ポリイソブチレンゴム、及びアクリルゴムが挙げられる。
【００１２】
熱可塑性エラストマーとしては、例えばスチレン−ブタジエンブロック共重合体及びその水添ポリマー、スチレン−イソプレンブロック共重合体及びその水添ポリマー、スチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマー、塩化ビニル系熱可塑性エラストマー、ポリエステル系熱可塑性エラストマー、ポリウレタン系熱可塑性エラストマー、及びポリアミド系熱可塑性エラストマーが挙げられる。有機高分子は、単独種を使用してもよいし、複数種を組み合わせて使用してもよい。また、熱硬化性の有機高分子を使用する場合には、シート状に成形するに際して架橋剤等を配合して硬化させればよい。有機高分子の中でも、電子部品への密着性、追従性等に優れるという観点から、好ましくはシリコーンゲル、ポリイソブチレンゴム、及びアクリルゴムから選ばれる少なくとも一種、より好ましくシリコーンゲル及びポリイソブチレンゴムの少なくとも一種、さらに好ましくはシリコーンゲルである。
【００１３】
基材には、基材シートに要求される性能に応じて、例えば可塑剤、補強材、着色剤、耐熱向上剤、粘着剤等を配合してもよい。
基材シートには、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種の充填剤が含有される。この充填剤は、難燃性を付与する機能に優れることに加え、熱伝導性にも優れる。このため、基材に対して難燃性及び熱伝導性が付与されることで、難燃性及び熱伝導性を有する基材シートが構成される。金属水酸化物としては、例えば水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、及び水酸化カルシウムが挙げられる。充填剤の形状としては、球状、繊維状、塊状、鱗片状等の粉体の他、粉体よりも平均粒径の大きい粒体であってもよい。この充填剤は、単独種を使用してもよいし、複数種を組み合わせて使用してもよい。この充填剤の中でも、難燃剤としての機能に優れるとともに熱伝導性に優れるため、基材シートに優れた難燃性及び優れた熱伝導性を付与することがさらに容易であるという観点から、水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムの少なくとも一種がより好ましい。
【００１４】
充填剤の配合量は、基材の種類、基材の組成等に応じて適宜設定される。充填剤の配合量は、基材シートの全体積に対して、好ましくは５〜６０体積％である。充填剤の配合量が５体積％未満の場合、優れた難燃性及び優れた熱伝導性が得られ難くなる。一方、この配合量が６０体積％を超える場合、原料組成物の粘度が高まるため、シート状に成形することが困難となるおそれがある。
【００１５】
基材シートには、上記充填剤以外の充填剤が配合されていてもよい。その充填剤としては、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属ホウ化物、及び炭素等の充填剤等が挙げられる。上記充填剤以外の充填剤を配合する場合においても、上述の理由から、基材シート中における充填剤の合計の配合量は、基材シートの全体積に対して、６０体積％以下に設定することが好ましい。
【００１６】
基材シートの少なくとも片面に付着されている粉体は、その片面における粘着性を抑制する。粉体は、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種の粉体であるため、基材シートの熱伝導性を維持しつつ、基材シートには難燃性が付与される。金属水酸化物としては、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、及び水酸化カルシウムが挙げられる。粉体の形状としては、特に限定されず、例えば球状、繊維状、塊状、鱗片状等が挙げられる。この粉体の中でも、難燃剤としての機能に優れるため、基材シートに優れた難燃性を付与することがさらに容易であるという観点から、水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムの少なくとも一種がより好ましい。
【００１７】
粉体の平均粒径は、１〜５０μｍであることが好ましい。この平均粒径が１μｍ未満である場合、基材シートに付着させるに際して、粉体が飛散し易いため、作業性が低下するおそれがある。一方、平均粒径が５０μｍを超えると、粉体を付着させた面における平滑性の低下に伴って、電子部品及び冷却部品に対する熱伝導性シートの密着性が低下するおそれがある。
【００１８】
粉体は、基材シートの両面に付着されていてもよいし、片面のみに付着されていてもよい。粉体を基材シートの片面のみに付着させた熱伝導性シートでは、粉体が付着している面の裏面は粘着性を有しているため、その粘着性を利用して、電子部品、冷却部品等に装着することができる。さらに、粉体は基材シートの片面において、部分的に付着されていてもよいし、その片面全体に付着されていてもよい。また、基材シートの面において、粉体は、例えば格子状、螺旋状、多点状等の形状をなすようにして、付着させてもよい。
【００１９】
基材シートの片面全体における粘着性を抑制するとともに、より優れた難燃性を付与するという観点から、粉体は少なくとも片面全体に付着されていることが好ましく、少なくとも片面全体に均一に存在するように散布されていることが最も好ましい。基材シートに対する粉体の付着量は、粉体が基材シートから脱落しない範囲に適宜設定される。基材シートに対する粉体の付着量は、０．１〜１．０ｇ／ｍ２の範囲であることが好適である。
【００２０】
このように構成された熱伝導性シートの熱伝導率は、電子部品の熱を効率的に伝導するという観点から、１．０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好ましい。また、熱伝導性シートの硬度は、日本工業規格ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３に記載のタイプＥにおいて、５０以下であることが好ましい。この硬度が５０を超える場合、電子部品及び冷却部品の形状への追従性が十分に得られないおそれがある。この硬度が５０以下の場合には、電子部品及び冷却部品の表面が凹凸状をなす場合であっても、その形状への追従性が良好になるため、電子部品及び冷却部品への密着性を十分に確保することができる。さらに、この硬度が５０以下の場合には、熱伝導性シートの柔軟性が確保されることによって電子部品を好適に保護することができる。
【００２１】
熱伝導性シートの厚さは、０．１〜５ｍｍであることが好適である。この厚さが０．１ｍｍ未満である場合、所望の強度が得られ難くなったり、製造が困難になることで生産性が低下するため、コストの上昇を招いたりするおそれがある。一方、この厚さが５ｍｍを超える場合、シートの厚さ方向における熱抵抗が高まるため、所望の熱伝導性を得ることが困難になったり、シートの面積当たりの重さが増加することから、熱伝導性シートの低コスト化及び電子機器の軽量化を妨げたりするおそれがある。
【００２２】
熱伝導性シートを製造するには、まず基材に充填剤を配合した原料組成物を調製する。原料組成物の調製には、周知の攪拌機を用いることができる。次に、原料組成物をシート状に成形することにより、基材シートを製造する。原料組成物から基材シートを成形する成形法は、特に限定されず、バーコーター法、ドクターブレード法、カレンダー成形法、Ｔダイ等を用いた押出成形法等の周知の成形方法が挙げられる。続いて、基材シートの少なくとも片面に粉体を付着させる。粉体を付着させる方法としては、基材シート上に粉体を落下させる方法、粉体を基材シートにスプレーする方法等が挙げられる。粉体は基材シートの粘着性によって基材シート上に付着される。なお、基材シートの未硬化時又は軟化時に粉体を付着させ、その後基材シートを硬化させてもよい。これによって、粉体が基材シート上に部分的に埋設され、粉体の脱離を抑制することができる。また、基材シートに対する粉体の付着量を増大させる場合には、粉体を接着剤によって基材シートに固着させてもよい。基材シートに粉体を付着させた後、基材シートに完全に付着していない粉体等、不必要な粉体を除去する工程を必要に応じて実施してもよい。また、粉体を付着させた面を加圧する処理を行うことにより粉体の付着力を高めることで、粉体の脱離を抑制したり、粉体が付着した面の平滑性を向上させたりしてもよい。
【００２３】
このようにして製造された熱伝導性シートは、電子機器に装着されるまで保管される。このとき、熱伝導性シートは、粉体が付着された面を有しているため、その面の粘着性は抑制されている。このため、複数の熱伝導性シートを積層して保管するに際し、熱伝導性シート同士が自己粘着性によって粘着する現象を抑制することができる。従って、例えば熱伝導性シートを個別に梱包したり、熱伝導性シートを電子部品に装着したりする使用時において、積層されている複数の熱伝導性シートから、熱伝導性シートを一枚ずつ簡単に取り出すことができる。
【００２４】
そして、電子部品に冷却部品が装着されるに際して、冷却部品は熱伝導性シートを介して取着される。このようにして電子部品と冷却部品との間に介在された熱伝導性シートは、基材シートに配合されている充填剤によって熱抵抗が低減されているため、電子部品から冷却部品へ熱を伝導する機能を発揮する。さらに、この熱伝導性シートでは、基材シートに配合されている充填剤に加えて、基材シートに付着されている粉体によって難燃性が付与されているため、優れた難燃性が発揮され易い。
【００２５】
本実施形態によって発揮される効果について、以下に記載する。
（１）  基材シートには、金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種の充填剤が配合されているとともに、基材シートの少なくとも片面には金属水酸化物及びホウ酸亜鉛の少なくとも一種の粉体が付着されている。例えば、熱伝導性シートにおける難燃性を、充填剤の配合量を増大させることによって高めようとした場合、熱伝導性シートの成形性及び機械的物性の低下を招くという不具合が生じ易い。このため、そうした不具合を考慮すると、充填剤の増量には限界があるため、優れた難燃性を有する熱伝導性シートを提供することは困難であった。一方、有機系の難燃剤を多量に配合した場合においては、熱伝導性シートから難燃剤がブリードするおそれがあるため、電子部品に対する信頼性が低下するおそれがあった。
【００２６】
本実施形態の基材シートに付着されている粉体は、難燃剤として機能する粉体であるため、熱伝導性シートの難燃性は、基材シートに含有する充填剤に加えて、そうした粉体によって付与されている。さらに基材シートに付着された粉体は、基材シートの成形性に対して影響を与えることはなく、熱伝導性シートの機械的物性に対しても影響を与え難い。このため、優れた難燃性を容易に付与することができる。加えて上記粉体は、基材シートの熱伝導性を好適に維持することができる粉体であるため、充填剤によって付与されている熱伝導性が発揮され易い。さらにこの熱伝導性シートでは、基材シートの少なくとも片面に付着されている粉体によって、シートの粘着性が抑制されるため、複数の熱伝導性シートを積層するに際し、シート同士が粘着する現象を抑制することができる。このため、複数の熱伝導性シートを積層して保管した後、その複数の熱伝導性シートから、一枚ずつ熱伝導性シートを取り出すに際して、簡単に取り出すことができる。従って、この熱伝導性シートによれば、梱包したり、電子機器に装着したりする際の取り扱い性を改善することができる。
【００２７】
（２）  粉体は、水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムの少なくとも一種の粉体であることが好ましい。水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムは、難燃剤としての機能に優れるため、熱伝導性シートに優れた難燃性をさらに容易に付与することができる。
【００２８】
（３）  充填剤は、水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムの少なくとも一種であることが好ましい。水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムは、基材シートに対して、熱伝導性を付与する機能と、難燃性を付与する機能のいずれにも優れるため、基材に対する充填剤の配合量を削減することができる。このため、基材シートの成形性及び基材シートの機械的物性を確保しつつ、熱伝導性及び難燃性をさらに容易に付与することができる。
【００２９】
（４）  粉体の平均粒径が１〜５０μｍの範囲であることにより、基材シートに粉体を付着させる際の作業性が良好であるとともに、熱伝導性シートの表面における平滑性が確保され易いことから、電子部品及び冷却部品に対する熱伝導性シートの密着性を良好にすることができる。
【００３０】
（５）  基材シートに対する粉体の付着量が、０．１〜１．０ｇ／ｍ２であることにより、粉体による難燃性を付与する機能が十分に発揮され易くなるととともに、基材シートから粉体が脱落する現象を容易に抑制することができる。
【００３１】
なお、前記実施形態を次のように変更して構成することもできる。
・  前記基材シート内に、熱伝導性及び難燃性を考慮した上で、繊維シート、樹脂フィルム等の補強材料を埋設させてもよい。こうした補強材料を介装させることにより、電子部品等に装着するに際して、作業性を改善することができる。また、基材シートの片面に粉体を付着させた熱伝導性シートでは、粉体を付着させた面の裏面に上記補強材料を積層してもよい。
【００３２】
・  前記充填剤には、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤等により表面処理が施されていてもよい。
・  前記基材シートには、リン系難燃剤、ハロゲン系難燃剤等の難燃剤をさらに含有させてもよい。
【実施例】
【００３３】
次に、実施例及び比較例を挙げて前記実施形態をさらに具体的に説明する。
各例では、以下に示す基材シートＡ〜Ｄのいずれかの基材シートを使用した。
（基材シートＡ）
末端にアリル基を有するポリイソブチレン（株式会社カネカ製「ＥＰ２００Ａ」、数平均分子量＝５０００）１００質量部に対して、可塑剤としてパラフィンオイル（出光興産株式会社製「ＰＷ−９０」）３００質量部、有機物で変性されたジメチルシロキサン構造を有する硬化剤（株式会社カネカ製「ＣＲ３００」）５質量部、老化防止剤（大内新興化学工業株式会社製「ノクラックＮＳ−７」）１質量部、及び白金触媒（Ｆｅｒｒｏ社（米国）製「ＰＴ−ＣＳ−３．２ＣＳ」）０．１質量部を配合することにより、基材を調製した。この基材に対して、平均粒径４４μｍの水酸化アルミニウム８００質量部、及び平均粒径８μｍの水酸化アルミニウム４００質量部を配合した後、振動攪拌機にて混合することにより、原料組成物を調製した。この原料組成物を真空脱泡した後、厚さ０．５ｍｍのシート状に成形し、１３０℃雰囲気下で１時間加熱することにより基材シートＡを作製した。この基材シートＡに含まれる充填剤は、基材シートの全体積に対して５４体積％である。
【００３４】
（基材シートＢ）
付加型の液状シリコーンゲル（東レダウコーニングシリコーン社製「ＣＹ５２−２９１Ａ＆Ｂ」）１００質量部の基材に対して、平均粒径４４μｍの水酸化アルミニウム２００質量部、及び平均粒径８μｍの水酸化アルミニウム１００質量部を配合するとともに振動攪拌機にて混合することにより、原料組成物を調製した。この原料組成物を真空脱泡した後、厚さ０．５ｍｍのシート状に成形し、１３０℃雰囲気下で１時間加熱することにより基材シートＤを作製した。この基材シートＢに含まれる充填剤は、基材シートの全体積に対して５５体積％である。
【００３５】
（基材シートＣ）
付加型の液状シリコーンゲル（東レダウコーニングシリコーン社製「ＣＹ５２−２９１Ａ＆Ｂ」）１００質量部の基材に対して、平均粒径７０μｍの酸化アルミニウム２００質量部、及び平均粒径８μｍの水酸化アルミニウム２００質量部を配合するとともに振動攪拌機にて混合することにより、原料組成物を調製した。この原料組成物を真空脱泡した後、厚さ０．５ｍｍのシート状に成形し、１３０℃雰囲気下で１時間加熱することにより基材シートＣを作製した。この基材シートＣに含まれる充填剤は、基材シートの全体積に対して５８体積％である。
【００３６】
（基材シートＤ）
付加型の液状シリコーンゲル（東レダウコーニングシリコーン社製「ＣＹ５２−２９１Ａ＆Ｂ」）１００質量部の基材に対して、平均粒径が４５μｍである球状酸化アルミニウム２００質量部、及び平均粒径が３μｍの非球状酸化アルミニウム粉体１００質量部を配合するとともに振動攪拌機にて混合することにより、原料組成物を調製した。この原料組成物を真空脱泡した後、厚さ０．５ｍｍのシート状に成形し、１３０℃雰囲気下で１時間加熱することにより基材シートＤを作製した。この基材シートＤに含まれる充填剤は、基材シートの全体積に対して４４体積％である。
【００３７】
（実施例及び比較例）
表１〜表３に示すように各実施例では、各基材シートに対して、水酸化アルミニウム粉体又は水酸化マグネシウム粉体を付着させることにより、熱伝導性シートを製造した。各比較例は、各基材シート、若しくは各基材シートにアルミニウム粉体又は窒化ホウ素（ボロンナイトライド）粉体を付着させたシートである。粉体の付着は、基材シートの片面に粉体を落下させて散布することによって行った。その後、過剰な粉体をエアガンで飛散させて除去することで、粉体の付着量を調整した。表１に示される実施例Ａ１〜Ａ３及び比較例Ａ１〜Ａ３で使用した基材シートは、上記基材シートＡである。表２に示される実施例Ｂ１〜Ｂ３及び比較例Ｂ１〜Ｂ３で使用した基材シートは、上記基材シートＢである。表３に示される実施例Ｃ１〜Ｃ３及び比較例Ｃ１〜Ｃ３で使用した基材シートは、上記基材シートＣである。表４に示される比較例Ｄ１〜Ｄ６で使用した基材シートは、上記基材シートＤである。
【００３８】
【表１】
2007246664.tif 000002
【００３９】
【表２】
2007246664.tif 000003
【００４０】
【表３】
2007246664.tif 000004
【００４１】
【表４】
2007246664.tif 000005
＜熱抵抗値の測定＞
各例のシートを縦１０ｍｍ×横１０ｍｍにカットすることにより、試料を作製した。各例の試料を発熱基板（発熱量Ｑ：２５Ｗ）とヒートシンク（株式会社アルファ製「ＦＨ６０−３０」）との間に挟み、ヒートシンクに一定の荷重（４ｋｇｆ／ｃｍ２）を加えた。このヒートシンクの上部には、冷却ファン（風量０．０１ｋｇ／ｓｅｃ、風圧４９Ｐａ）が取り付けられており、ヒートシンク及び発熱基板には温度センサが接続されている。冷却ファンを作動させた状態で、発熱基板に通電する。通電の開始後、５分経過した時点で、発熱基板の温度（Ｔ１）及びヒートシンクの温度（Ｔ２）を測定し、各温度を下記式に代入することにより熱抵抗値を算出した。
【００４２】
熱抵抗値（℃／Ｗ）＝（Ｔ１−Ｔ２）／発熱量Ｑ
なお、下記の関係式によって熱抵抗値から熱伝導率へ換算することができる。
熱抵抗値（℃／Ｗ）＝熱通過方向厚み（ｍ）／（熱通過断面積（ｍ２）×熱伝導率（Ｗ／ｍ・Ｋ））
＜難燃性の評価＞
各例におけるシートについて、米国アンダー・ライターズ・ラボラトリーズ・インク（Ｕｎｄｅｒ  Ｗｒｉｔｅｒｓ  Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ  Ｉｎｃ）によって制定された燃焼試験（ＵＬ９４）によって、難燃性の評価を行った。各例におけるシートの試験片（長さ１２７ｍｍ×幅１２．７ｍｍ×厚さ１ｍｍ又は０．５ｍｍ）を、試験片の長手方向が鉛直方向となるように固定用クランプに保持した状態で、バーナー（口径：１０ｍｍ、長さ：約１０ｃｍ）の炎に１０秒間接炎した後、炎から離して各試験片の燃焼時間を記録した。さらに、二度目の接炎後における火種の保持時間（グローイング時間）と、試験片の下方に配置されている脱脂綿を発火させる滴下物の有無とを記録した。以上の操作を各試験片について、５回１組として行った。得られた結果を下記の表５に示される判定基準によって、「Ｖ−０」又は「Ｖ−１」について合否を判定した。なお、この難燃性の判定基準は、「Ｖ−０」の方が「Ｖ−１」よりも難燃性が高いことを示し、「Ｖ−１」の判定基準が不合格であった試験片については、難燃性がないと判定した。
【００４３】
【表５】
2007246664.tif 000006
＜粘着力の測定＞
各例におけるシートの粘着力は、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７：２０００「粘着テープ・粘着シート試験方法」の９０度引きはがし粘着力の測定方法に準じて、被着体にアルミニウム板を用いて測定した。
【００４４】
（評価結果）
熱抵抗値の測定、難燃性の評価、及び粘着力の測定の結果を表１〜表４に併記する。この結果から明らかなように、各実施例の熱抵抗値は、比較例に示される基材シートの熱抵抗値と同等の値を示している。さらに、各実施例の難燃性は、ＵＬ９４におけるＶ−０レベルを達成しているため、優れた難燃性が発揮されることがわかる。加えて、各実施例における粘着力の測定結果から、粉体の付着によって粘着性が抑制されているため、取り扱い性の良好な熱伝導性シートであることがわかる。これに対して、比較例Ａ１では粉体が付着されていないため、粘着性の抑制効果が得られない。比較例Ａ２及び比較例Ａ３では、酸化アルミニウム又は窒化ホウ素の粉体が付着されているため、ＵＬ９４の燃焼試験における難燃性を有していない。すなわち、実施例Ａ１〜Ａ３では、粘着性の抑制効果又は難燃性について、比較例Ａ２及び比較例Ａ３よりも優れることがわかる。同様に、実施例Ｂ１〜実施例Ｂ３においても、粘着性の抑制効果又は難燃性について、比較例Ｂ１〜比較例Ｂ３よりも優れることがわかる。また同様に実施例Ｃ１〜実施例Ｃ３においても、粘着性の抑制効果又は難燃性について、比較例Ｃ１〜比較例Ｃ３よりも優れることがわかる。比較例Ｄ１〜比較例Ｄ６では、基材シートに含有される充填剤が酸化アルミニウムであるため、ＵＬ９４の燃焼試験における難燃性を有していない。