(57)【要約】      （修正有）【課題】多層配線板の製造プロセスにおいてドリル穴明け加工を行う際、２枚以上の基板を重ねてドリル穴明け加工を行っても、穴の内壁粗さが小さく、優れた品質の多層配線板を効率よく製造することが可能な多層配線板の製造方法を提供する。【解決手段】２枚以上の基板を重ねてドリル穴明け加工を行う工程を含む多層配線板の製造方法において、マージン長さｌｍが０．６０ｍｍ以下のドリルを用いて前記ドリル穴明け加工を行うことを特徴とする多層配線板の製造方法。【選択図】図１
2007288126.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚以上の基板を重ねてドリル穴明け加工を行う工程を含む多層配線板の製造方法において、マージン長さが０．６０ｍｍ以下のドリルを用いて前記ドリル穴明け加工を行うことを特徴とする多層配線板の製造方法。
【請求項２】
前記ドリル穴明け加工を、樹脂被覆アルミ当て板を用いて行うことを特徴とする請求項１記載の多層配線板の製造方法。
【請求項３】
前記ドリルの先端角が、１３０〜１４０度であることを特徴とする請求項１又は２記載の多層配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多層配線板の製造方法に関し、より詳しくは、スルーホールやビアホールとなる穴の内壁粗さを小さくすることができ、なおかつ生産性に優れた多層配線板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な多層配線板は、その製造プロセスにおいて、内層回路基板の上に絶縁層を形成し、銅箔を重ねた後、その銅箔（配線）と内層回路を接続するためにドリル穴明け加工を銅箔上から行い、穴内壁を金属化することが行われている。
【０００３】
近年では、多層配線板における価格競争力の強化のために、その生産性を向上させる製造方法が重視されており、例えば、ドリルの送り速度を向上させるのに適したドリルを用いて層間接続のための穴明けを行い、多層配線板の生産性を向上させることが特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００５−１１８９２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、さらなる多層化や生産性向上のために、内装回路基板の重ね枚数を増やして一括穴明けを行うと、穴加工時の基板壁面とドリル接触部との間に摩擦熱が発生し易く、その結果、得られる穴の内壁粗さが大きくなってしまい、多層配線板の品質が悪化してしまうという問題が生じる。
【０００５】
上記を鑑みて、本発明は、多層配線板の製造プロセスにおいてドリル穴明け加工を行う際、２枚以上の基板を重ねてドリル穴明け加工を行っても、穴の内壁粗さが小さく、優れた品質の多層配線板を効率よく製造することが可能な多層配線板の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち、本発明は、下記（１）〜（３）の事項をその特徴とするものである。
【０００７】
（１）２枚以上の基板を重ねてドリル穴明け加工を行う工程を含む多層配線板の製造方法において、マージン長さが０．６０ｍｍ以下のドリルを用いて前記ドリル穴明け加工を行うことを特徴とする多層配線板の製造方法。
【０００８】
（２）前記ドリル穴明け加工を、樹脂被覆アルミ当て板を用いて行うことを特徴とする上記（１）記載の多層配線板の製造方法。
【０００９】
（３）前記ドリルの先端角が、１３０〜１４０度であることを特徴とする上記（１）又は（２）記載の多層配線板の製造方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、多層配線板の製造プロセスにおけるドリル穴明け加工を行う際、２枚以上の基板を重ねてドリル穴明け加工を行っても、それにより形成された穴の内壁粗さが小さく、優れた品質の多層配線板を効率よく製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明は、２枚以上の基板を重ねてドリル穴明け加工を行う工程を含む多層配線板の製造方法であって、マージン長さが０．６０ｍｍ以下のドリルを用いて前記ドリル穴明け加工を行うことを特徴とする多層配線板の製造方法であり、特に直径０．３０ｍｍ程度の穴明け加工を行う場合に好適である。なお、本発明において穴明け加工対象となる上記基板としては、特に限定されないが、例えば、一般的な多層配線板を構成するプリプレグや内装回路基板等を適用することができ、また、基板一枚あたりの厚みも特に限定されない。
【００１２】
以下、本発明に用いられる穴明けドリルについて説明する。
【００１３】
図１は、本発明に用いられる穴明けドリルの一実施形態を示す側面図である。この穴明けドリル１は、螺旋状に溝１１が切られた刃部２１と、工作機器に取り付けるためのシャンク部２２とを有している。以下、穴明けドリル１の直径をドリル径ｄ、マージン長さをｌｍ、先端の開き角を先端角α、溝１１が側面上で軸方向となす角をネジレ角θと称する。
【００１４】
本発明においては、穴明けドリル１のマージン長さｌｍを０．６０ｍｍ以下とし、好ましくは、０．５０〜０．６０ｍｍの範囲であり、より好ましくは、０．５０〜０．５５ｍｍの範囲である。従来の一般的な穴明けドリルのマージン長さは、０．６５ｍｍ程度である。マージン長さが０．６０ｍｍより長いと、穴加工時に穴内壁面とドリル外周部分との接触面積が大きくなり、摩擦熱が発生し易くなるため、外周磨耗が進行し、切粉排出性が低下する傾向にある。なお、本発明において、上記マージン長さの「マージン」は、ＪＩＳ  Ｂ  ０１７１（用語番号２０２７）で規定されているとおりの意味である。
【００１５】
また、穴明けドリル１の先端角αは１３０〜１４０度程度の範囲が適切である。これは、ドリル先端部の強度を確保し、かつドリルの食いつき性を向上させるためである。先端角が１３０度より小さいと、ドリル先端付近の強度が低くなる傾向にあり、逆に１４０度より大きいと、穴明け初期に発生する切り屑の排出を阻害する可能性がある。
【００１６】
また、穴明けドリル１のネジレ角θは４０度〜４５度の範囲が適切である。ネジレ角が４０度より小さいと、切粉をスムーズに排出することができず、穴内壁粗さが大きくなり、多層配線板の品質が悪化してしまう傾向にある。逆に４５度より大きいと、ドリルに当て板の切り屑が巻きつき、ドリル折損にいたる恐れがある。
【００１７】
また、穴明けドリル１のウェブ厚（芯厚）ｗは、ドリル径ｄに対して０．３０〜０．４０倍程度の範囲が適切である。ウェブ厚のドリル径に対する倍率を０．４より大きくした場合、重ね枚数を増やし基板の厚みを厚くして加工する際に、切粉が詰まり易く、内壁粗さが大きくなる傾向にあり、ウェブ厚を０．３より小さくした場合、ドリルの剛性が低下し、ドリル折損にいたる可能性がある。
【００１８】
また、穴明けドリル１の、溝幅ｂの溝間幅ａに対する比率は、１．８〜２．２程度の範囲が適切である。従来の一般的な穴明けドリルではこの比率はもっと小さく１．６程度である。上記比率を１．８より大きくすることで、切粉の蓄えられるスペース、すなわちチップポケットを十分に確保することができ、切粉詰まりによる内壁粗さの増大を効果的に防ぐことが可能となる。逆に、上記比率が２．２より大きいと、ドリルの剛性が低下し、ドリル折損にいたる可能性が高くなる。
【００１９】
本発明の多層配線板の製造方法は、上記のような特定のマージン長さを有するドリルを用いて、２枚以上重ねられた基板の穴明け加工を行う工程を有するものであり、その他の、配線形成や積層等の工程については、従来公知の手段を適用することができ、特に限定されない。また、ドリル回転数やドリル送り速度等の穴明け条件は、基板の重ね枚数や対象基板を構成する材料などに応じて適宜決定すればよく、特に限定されないが、穴明け時に、アルミ当て板や樹脂被覆アルミ当て板等の上当て板を用いることが好ましい。穴明け加工時の基板温度上昇を抑え、ドリルの磨耗を抑えることができるという観点では、樹脂被覆アルミ当て板を用いることがより好ましい。
【実施例】
【００２０】
以下、本発明の実施例により説明するが、本発明は、当該実施例の記載により限定されるものではない。
【００２１】
（実施例１及び比較例１）
図１および表１に示す形状を有する穴明けドリルを使用し、下記の条件で対象基板の穴明けを行った後、下記の方法で穴内壁粗さを測定した。結果を図３に示す。
【００２２】
【表１】
2007288126.tif 000003
【００２３】
（ドリル穴明け加工）
対象基板：ＦＲ―４相当のプリプレグ（日立化成工業（株）製、Ｅ６７）と厚さ１８μｍの銅箔を交互に積層、一体化したもの（板厚：ｔ＝１．３ｍｍ、銅箔層数１０層）を３枚重ねてなる基板。  
上当て板：樹脂被覆アルミ当て板
ドリルの回転数：１００ｋｒｐｍ
ドリル送り速度：２．０ｍ／ｍｉｎ
【００２４】
（穴内壁粗さ測定）
マイクロセクションし、金属顕微鏡を用いて穴内壁面の観察を行った。
【００２５】
図３に示すように、比較例１（従来品）のドリルを使用して穴明けを行った場合、穴内壁粗さが２０μｍを越えてしまう結果となったが、実施例１（本発明品）のドリルを使用して穴明けを行った場合には、穴内壁粗さを２０μｍ以下に抑えることができた。
【００２６】
以上、本発明によれば、多層配線板の製造プロセスにおいて、基板の重ね枚数を増やして穴明け加工を行った際にも、穴内壁粗さが小さな多層配線板を生産性よく提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に用いられる穴明けドリルの一実施形態を説明するための側面図である。
【図２】図１の穴明けドリルを先端から見た図である。
【図３】穴明け加工試験での穴内壁粗さを測定した結果を示すグラフである。なお、横軸の単位「ｈｉｔ」は「ドリルｈｉｔ数」のことである。
【符号の説明】
【００２８】
１  穴明けドリル
１１  溝
１２  溝間
２１  刃部
２２  シャンク部
ｌｍ  マージン長さ
ｄ  ドリル径
ｗ  ウェブ厚（芯厚）
ａ  溝間幅
ｂ  溝幅
α  先端角
θ  ネジレ角
Ｌ  刃長
Ｍ  溝長
【図１】
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【図２】
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【図３】
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