(57)【要約】【課題】排液量および廃棄物量を低減した合成樹脂洗浄排水の処理工程を提供する。【解決手段】合成樹脂を溶剤含有水溶液で洗浄した際に生成する洗浄排水を濾過槽３５に送液し、フィルタ装置２３にて濾過する。濾過速度が低下した場合、未使用アルカリ性水溶液貯留槽２４から未使用アルカリ性水溶液２６をフィルタ装置２３の中空部内に送液する。フィルタ装置２３のフィルタ膜から付着物が剥離したのち、フィルタ装置２３の中空部からフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液を抜き取り、回収槽２０へ回収する。再度濾過を行い、また濾過速度が低下した場合、ポンプ４６を作動させてフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液２２を回収槽２０から送液し、ポンプ４２を作動させて未使用アルカリ性水溶液貯留槽２４から未使用アルカリ性水溶液２６を送液し、両者を合流させてフィルタ装置２３の中空部内に送液する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
合成樹脂を洗浄する際に発生する洗浄排水を濾別する濾過槽を有する合成樹脂洗浄排水の処理装置であって、
前記濾過槽は、
フィルタ膜間に中空部が設けられ前記中空部から濾液が吸引される濾過膜と、
前記濾過膜の中空部内にフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給するアルカリ性水溶液供給手段と、
を有することを特徴とする合成樹脂洗浄排水の処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の合成樹脂洗浄排水の処理装置において、
前記アルカリ性水溶液供給手段は、
未使用アルカリ性水溶液を貯留する未使用アルカリ性水溶液貯留槽と、
前記中空部内のフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液を回収し貯留する回収槽と、
前記回収槽内のフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液のｐＨを測定するｐＨ測定器と、
前記ｐＨ測定器によって測定されたフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液のｐＨ値に基づき、前記回収槽から前記中空部に供給されるフィルタ膜再生使用済みアルカリ水溶液の量と、前記未使用アルカリ性水溶液貯留槽から前記中空部に供給される未使用アルカリ性水溶液の量とを算出する算出手段と、
を有することを特徴とする合成樹脂洗浄排水の処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の合成樹脂洗浄排水の処理装置において、
前記アルカリ性水溶液供給手段は、前記フィルタ膜表面がｐＨ７以上になるようにフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給することを特徴とする合成樹脂洗浄排水の処理装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の合成樹脂洗浄排水の処理装置において、
前記フィルタ膜再生用アルカリ性水溶液は、アルカリイオン水、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、水酸化アンモニウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液、水酸化マグネシウム水溶液からなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする合成樹脂洗浄排水の処理装置。
【請求項５】
合成樹脂を洗浄する際に発生する洗浄排水を濾過膜によって濾別する濾別工程と、
フィルタ膜間に中空部が設けられた前記濾過膜の中空部にフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給し前記濾過膜表面の付着物を剥離させる剥離工程と、
を有することを特徴とする合成樹脂洗浄排水の処理方法。
【請求項６】
請求項５に記載の合成樹脂洗浄排水の処理方法において、
前記剥離工程は、
前記濾過膜の中空部に未使用のフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給する初期供給工程と、
前記濾過膜表面の付着物が剥離したのち前記濾過膜の中空部からフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液を回収する回収工程と、
回収された前記フィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液に未使用のフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を添加して所定ｐＨ値のフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を前記中空部に供給する供給工程と、
を有することを特徴とする合成樹脂洗浄排水の処理方法。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の合成樹脂洗浄排水の処理方法において、
前記初期供給工程及び前記供給工程は、前記フィルタ膜表面がｐＨ７以上になるようにフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給することを特徴とする合成樹脂洗浄排水の処理方法。
【請求項８】
請求項５から請求項７のいずれか１項に記載の合成樹脂洗浄排水の処理方法において、
前記フィルタ膜再生用アルカリ性水溶液は、アルカリイオン水、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、水酸化アンモニウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液、水酸化マグネシウム水溶液からなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする合成樹脂洗浄排水の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に製造された合成樹脂を洗浄する際に発生する排水の処理における合成樹脂洗浄排水の処理装置および処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
合成樹脂を製造する際に、意図しない不純物も生成し、そのため、製造された合成樹脂に少量の不純物が付着している可能性がある。一方、近年、合成樹脂を使用する分野が拡大するにしたがって、高純度の合成樹脂、すなわち極力不純物を含まない合成樹脂の要請が高まっている。
【０００３】
そこで、近年、高純度の合成樹脂を製品化するために、合成した合成樹脂を溶剤を含有する水溶液で洗浄している。例えば、図５に示すように、合成した合成樹脂を、例えばイソプロパノールなどの溶剤を含有する水溶液によって合成樹脂洗浄槽１０内で洗浄した後、フィルタ１２を介して、洗浄済み樹脂と排水との濾別することによって、高純度の合成樹脂を製造している。
【０００４】
しかしながら、図５に示すように、合成樹脂の純度を上げるために、合成樹脂に対して多量の溶剤含有水溶液が必要となるため、フィルタ１２により濾別された洗浄後の排水も、必然的に多量となる。したがって、上記排水は、ポンプによって移送され、一旦廃棄貯留槽６０に貯留され、後日廃棄処分される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、洗浄後の排水内に、合成樹脂原料由来の物質が少量含まれるため、ポンプを常時稼働させている場合には、さほど問題にはならないが、ポンプを間欠的に稼働させる場合には、ポンプ内にて上記合成樹脂原料由来の物質が一部反応してポンプを詰まらせる原因になるおそれがあった。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、合成樹脂洗浄液を再利用可能するとともに洗浄排水量を大幅に低減可能な合成樹脂洗浄排水の処理装置および処理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の特徴は、以下の通りである。
【０００８】
（１）合成樹脂を洗浄する際に発生する洗浄排水を濾別する濾過槽を有する合成樹脂洗浄排水の処理装置であって、前記濾過槽は、フィルタ膜間に中空部が設けられ前記中空部から濾液が吸引される濾過膜と、前記濾過膜の中空部内にフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給するアルカリ性水溶液供給手段と、を有する合成樹脂洗浄排水の処理装置である。
【０００９】
濾過膜の中空部にフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給することによって、濾過膜の内部から表面にアルカリ性水溶液が染み出し、濾過膜表面に付着した洗浄排水中の不純物を剥離することができる。これによって、濾過膜を再生させながら、長期に亘って、洗浄排水処理を行うことができる。また、上記濾過槽にて合成樹脂原料由来の物質は濾別され、ほぼ溶剤含有水溶液の組成と同じ濾液が得られるため、この濾液を、例えば蒸留することによって、再度合成樹脂の洗浄に利用することができ、排液量を大幅に低減することができる。
【００１０】
（２）上記（１）に記載の合成樹脂洗浄排水の処理装置において、前記アルカリ性水溶液供給手段は、未使用アルカリ性水溶液を貯留する未使用アルカリ性水溶液貯留槽と、前記中空部内のフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液を回収し貯留する回収槽と、前記回収槽内のフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液のｐＨを測定するｐＨ測定器と、前記ｐＨ測定器によって測定されたフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液のｐＨ値に基づき、前記回収槽から前記中空部に供給されるフィルタ膜再生使用済みアルカリ水溶液の量と、前記未使用アルカリ性水溶液貯留槽から前記中空部に供給される未使用アルカリ性水溶液の量とを算出する算出手段と、を有する。
【００１１】
上記構成により、常時所定のｐＨのアルカリ性水溶液を濾過膜の中空部に供給することができ、安定して濾過膜表面に付着した不純物を濾過膜表面から剥離させ、濾過膜を再生させることができる。さらに、上述のように使用済みアルカリ性水溶液を再度再生用に使用するため、使用済みアルカリ性水溶液量を大幅に低減することができ、その結果、廃棄物量も大幅に低減することができる。
【００１２】
（３）上記（１）または（２）に記載の合成樹脂洗浄排水の処理装置において、前記アルカリ性水溶液供給手段は、前記フィルタ膜表面がｐＨ７以上になるようにフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給する。
【００１３】
フィルタ膜表面をｐＨ７以上の中性からアルカリ性にすることによって、濾過膜表面に付着した不純物を濾過膜表面から剥離させることができる。
【００１４】
（４）上記（１）から（３）のいずれか１つに記載の合成樹脂洗浄排水の処理装置において、前記フィルタ膜再生用アルカリ性水溶液は、アルカリイオン水、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、水酸化アンモニウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液、水酸化マグネシウム水溶液からなる群から選択される少なくとも１種である。
【００１５】
（５）合成樹脂を洗浄する際に発生する洗浄排水を濾過膜によって濾別する濾別工程と、フィルタ膜間に中空部が設けられた前記濾過膜の中空部にフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給し前記濾過膜表面の付着物を剥離させる剥離工程と、を有する合成樹脂洗浄排水の処理方法である。
【００１６】
濾過膜の中空部にフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給することによって、濾過膜の内部から表面にアルカリ性水溶液が染み出し、濾過膜表面に付着した洗浄排水中の不純物を剥離することができる。これにより、濾過膜を再生させながら、長期に亘って、洗浄排水処理を行うことができる。また、上記濾過槽にて合成樹脂原料由来の物質は濾別され、ほぼ溶剤含有水溶液の組成と同じ濾液が得られるため、この濾液を、例えば蒸留することによって、再度合成樹脂の洗浄に利用することができ、排液量を大幅に低減することができる。
【００１７】
（６）上記（５）に記載の合成樹脂洗浄排水の処理方法において、前記剥離工程は、前記濾過膜の中空部に未使用のフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給する初期供給工程と、前記濾過膜表面の付着物が剥離したのち前記濾過膜の中空部からフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液を回収する回収工程と、回収された前記フィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液に未使用のフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を添加して所定ｐＨ値のフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を前記中空部に供給する供給工程と、を有する。
【００１８】
上記処理方法によれば、常時所定のｐＨのアルカリ性水溶液を濾過膜の中空部に供給することができ、安定して濾過膜表面に付着した不純物を濾過膜表面から剥離させ、濾過膜を再生させることができる。さらに、上述のように使用済みアルカリ性水溶液を再度再生用に使用するため、使用済みアルカリ性水溶液量を大幅に低減することができ、廃棄物量も大幅に低減することができる。
【００１９】
（７）上記（５）または（６）に記載の合成樹脂洗浄排水の処理方法において、前記初期供給工程及び前記供給工程は、前記フィルタ膜表面がｐＨ７以上になるようにフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給する。
【００２０】
フィルタ膜表面をｐＨ７以上の中性からアルカリ性にすることによって、濾過膜表面に付着した不純物を濾過膜表面から剥離させることができ、その結果、剥離工程を短時間で終えることができるため、洗浄排水助留時間を短時間化することができる。
【００２１】
（８）上記（５）から（７）のいずれか１つに記載の合成樹脂洗浄排水の処理方法において、前記フィルタ膜再生用アルカリ性水溶液は、アルカリイオン水、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、水酸化アンモニウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液、水酸化マグネシウム水溶液からなる群から選択される少なくとも１種である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、合成樹脂洗浄排水から合成樹脂原料由来の物質をほぼ安定的に濾別することができ、さらに濾別された後の濾液は、ほぼ溶剤含有水溶液と同じ組成になることから、この濾液を、例えば蒸留することによって、再度合成樹脂の洗浄に利用することができ、排液量を大幅に低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明の好適な実施の形態を説明する。
【００２４】
本発明の合成樹脂洗浄排水の処理装置（以下「処理装置」という）の一例について、図１から図３を用いて以下に説明する。
【００２５】
図３に示すように、本発明の一例の処理装置１００は、合成により洗浄された合成樹脂を洗浄する合成樹脂洗浄槽１０と、合成樹脂洗浄槽１０から輸送された合成樹脂含有洗浄液を洗浄排水と洗浄済み合成樹脂とに濾別するフィルタ１２と、フィルタ１２から排出される洗浄排水を濾過する濾過槽３５とを有する。
【００２６】
さらに、処理装置１００は、濾過槽３５内に浸漬され後述するフィルタ膜間に中空部が設けられ中空部から濾液が吸引される濾過膜から成るフィルタ装置２３と、フィルタ装置２３のフィルタ膜表面を再生するためにフィルタ装置２３の中空部内にフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液を供給するアルカリ性水溶液供給手段と、を有する。
【００２７】
上記アルカリ性水溶液供給手段には、未使用アルカリ性水溶液２６を貯留する未使用アルカリ性水溶液貯留槽２４と、フィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液２２が回収され貯留されている回収槽２０と、回収槽２０に設けられ貯留されているフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液２２のｐＨを測定するｐＨ測定器１４とが設けられている。
【００２８】
さらに、未使用アルカリ性水溶液貯留槽２４は、ポンプ４２、三方弁５０を介してフィルタ装置２３のパイプ３４に配管によって接続されている。また、回収槽２０は、ポンプ４６、三方弁５０を介して配管によりフィルタ装置２３のパイプ３４に接続され、回収槽２０内のフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液２２がフィルタ装置２３の中空部に送液され、一方、フィルタ装置２３のパイプ３４と回収槽２０とは、三方弁５０，５２およびポンプ４４を介して配管によって接続され、これにより、フィルタ装置２３の中空部内にフィルタ膜表面を再生するために注入されたフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液２２を回収槽２０に回収することができる。
【００２９】
さらに、図示しないコントローラによって、回収槽２０に設けられたｐＨ測定器１４によって測定されたフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液のｐＨ値に基づき、回収槽２０からフィルタ装置２３の中空部に供給されるフィルタ膜再生使用済みアルカリ水溶液２２の量と、未使用アルカリ性水溶液貯留槽２４からフィルタ装置２３の中空部に供給される未使用アルカリ性水溶液２６の量とを算出して、ポンプ４２，４６を制御して、所定のｐＨ値のアルカリ性水溶液をフィルタ装置２３の中空部に送液する。
【００３０】
また、洗浄排水を濾別処理する際にフィルタ装置２３の中空部からパイプ３４を介して排出される濾液は、三方弁５０，５２を介し、ポンプ４０によって例えば蒸留器に送液される。
【００３１】
さらに、濾過槽３５には、フィルタ装置２３の下方には散気装置３６が設けられ、フィルタ装置２３のフィルタ膜の再生動作の際に、散気装置３６から気泡をフィルタ装置２３のフィルタ膜に供給することによって、後述するフィルタ膜の表面に付着しアルカリ性水溶液によって付着面が改質された付着物を剥離させることができ、フィルタ膜の閉塞を抑制し、濾過速度または濾過量を再度ほぼ初期の濾過速度または濾過量に回復させることができる。散気装置３６から発生される気体としては、例えば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、窒素等の不活性ガスが用いられる。
【００３２】
次に、図１および図２を用いて、フィルタ装置２３の一例について説明する。
【００３３】
図１に示すように、本発明に用いられるフィルタ装置２３は、額縁の如き形状のフレーム３０を有し、フレーム３０によってフィルタ装置２３全体が支持されている。このフレーム３０の両側には、対峙するようにフィルタ膜３１，３２が貼られて固定されている。そして、フレーム３０およびフィルタ膜３１，３２で囲まれた内側には、中空部３３が設けられ、中空部３３と連結するようにフレーム３０の一部に、パイプ３４が設けられている。このパイプ３４を吸引することにより、フィルタ膜３１，３２により濾過された濾液がフィルタ装置２３の外部に送液される。なお、フィルタ膜３１，３２とフレーム３０は、被処理水がフィルタ膜３１，３２以外から中空部３３に侵入しないように完全にシールされている。
【００３４】
図１に示すフィルタ膜３１，３２は、薄い樹脂膜であるため、吸引されると内側に反り、破壊に至る可能性もあり、これを解決したフィルタ装置２３の他の例が、図２に示されている。図２に示すように、中空部３３が９個しか示されていないが、実際は数多く形成される。また実際に採用したフィルタ膜３１は、約０．１ｍｍ厚さのポリオレフィン系の高分子膜である。更に、図２に示すように、薄いフィルタ膜が袋状に形成されており、ここではＦＴで示した。この袋状のフィルタＦＴの中に、パイプ３４が一体化されたフレーム３０が挿入され、フレーム３０とフィルタＦＴが貼り合わされている。押さえ手段ＲＧによって、フィルタＦＴが貼り合わされた枠を両側から押さえられている。そして押さえ手段のＲＧの開口部ＯＰからは、フィルタＦＴが露出している。
【００３５】
そして、図１，２のいずれのフィルタ膜３１，３２も、開口率が６０〜８０％であって、細孔径は０．２０〜０．２５μｍであることが好ましい。
【００３６】
次に、本発明の処理方法について、図３および図４を用いて説明する。
【００３７】
まず、合成した合成樹脂を、例えばイソプロパノールなどの溶剤を含有する水溶液によって合成樹脂洗浄槽１０内で洗浄する。次いで、合成樹脂洗浄槽１０から排出された合成樹脂含有洗浄液を、フィルタ１２によって、洗浄排水と洗浄済み合成樹脂とに濾別する。
次に、フィルタ１２から排出される洗浄排水を濾過する濾過槽３５に送液する。
【００３８】
次に、濾過工程として、三方弁５０，５２を蒸留ラインが開状態になるように開けて、ポンプ４０を作動させ、フィルタ装置２３を用いて濾過を開始する。この濾過工程により、合成樹脂原料由来の物質を主成分とする固形分（またはゲル状物質）と濾液に分別される。ここで、濾液は、例えば、蒸留し、更なる不純物を除去することにより、再度合成樹脂洗浄槽１０にて、合成樹脂の洗浄液として用いることができる。
【００３９】
上記濾過工程において、濾過処理を行っていくと、フィルタ装置２３のフィルタ膜表面に合成樹脂原料由来の物質が付着してゆき、図４に示す容易に、濾過初期に比べ濾過量（または濾過速度）が低下してくる。
【００４０】
上述のような現象が発生した場合には、フィルタ装置２３のフィルタ膜に付着する付着物をフィルタ膜より剥離する剥離工程を行う。
【００４１】
この剥離工程において、上記所定値まで濾過量（または濾過速度）が低下した場合には、まず初期の場合、ポンプ４０を停止させ、三方弁５０によって蒸留ラインを閉状態にする。そののち、三方弁５０をアルカリ性水溶液送液可能な状態に開状態にし、ポンプ４２を作動させて未使用アルカリ性水溶液貯留槽２４から未使用アルカリ性水溶液２６をパイプ３４を介しフィルタ装置２３の中空部内に送液する（初期供給工程）。
【００４２】
ここで、送液後にフィルタ膜表面は、ｐＨ７以上である必要がある。フィルタ膜表面が中性からアルカリ性になることによって付着物が剥離する。ここで、送液されたフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液は、フィルタ装置２３の中空部からフィルタ膜の表面に染み出し、フィルタ装置２３のフィルタ膜に付着している合成樹脂原料由来の物質のフィルタ膜と接触する界面部分が、一部改質される。これにより、改質された合成樹脂原料由来の物質の接触面とフィルタ膜表面との親和性が低くなり、その結果、合成樹脂原料由来の物質を主成分とする付着物が、フィルタ膜表面から剥離される。これによって、フィルタ装置２３のフィルタ膜が再生される。
【００４３】
上記アルカリ性水溶液としては、フィルタ膜表面をｐＨ７以上の中性からアルカリ性にするアルカリ性水溶液であれば、いかなるアルカリ性水溶液でも良いが、例えば、アルカリイオン水、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、水酸化アンモニウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液、水酸化マグネシウム水溶液からなる群から選択される少なくとも１種であることが好ましい。また、上記アルカリ水溶液のｐＨが高い程、ほぼ瞬時に、フィルタ膜表面から付着物を剥離することができ、瞬時に剥離する場合には、例えば、ｐＨ１２以上のアルカリ性水溶液を用いることが望ましい。
【００４４】
ここで、濾過槽３５内の散気装置３６を用いて散気することによって、フィルタ膜から付着物をより容易に剥離させることができ、また剥離した付着物の再付着も抑制することができる。
【００４５】
次に、フィルタ装置２３のフィルタ膜から付着物が剥離したことを確認したのち、ポンプ４２を停止させ、三方弁５０により未使用アルカリ性水溶液貯留槽２４からの送液ラインを閉状態にし、一方、三方弁５０，５２によって、フィルタ装置２３の中空部から回収槽２０へフィルタ再生使用済みアルカリ性水溶液を戻すラインを開状態にして、ポンプ４４を作動させて、フィルタ装置２３の中空部からフィルタ再生使用済みアルカリ性水溶液を抜き取る（回収工程）。
【００４６】
上記回収工程ののち、上述した濾過工程を行う。すなわち、ポンプ４４を停止させ、三方弁５０，５２を蒸留ラインが開状態になるように開けて、ポンプ４０を作動させ、フィルタ装置２３を用いて濾過を行う。濾過処理は、上述したように経時で図４に示すように、再度濾過量（または濾過速度）が低下してくる。
【００４７】
このような現象が発生した場合には、再度剥離工程を実施する。まず、ポンプ４０を停止させ、三方弁５０によって蒸留ラインを閉状態にする。そののち、三方弁５０をアルカリ性水溶液送液可能な状態に開状態にし、ポンプ４６を作動させてフィルタ膜再生用アルカリ性水溶液２２（上記「フィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液」に相当）を回収槽２０から送液し、一方、ポンプ４２を作動させて未使用アルカリ性水溶液貯留槽２４から未使用アルカリ性水溶液２６を送液し、上記フィルタ膜再生用アルカリ性水溶液２２と未使用アルカリ性水溶液２６を合流させて、所定のｐＨ値以上のアルカリ性水溶液として、パイプ３４を介してフィルタ装置２３の中空部内に送液する（供給工程）。なお、これに限らず、フィルタ装置２３の中空部内に送液されるアルカリ性水溶液のｐＨが所定値以上になるのであれば、フィルタ再生アルカリ性水溶液２２と未使用アルカリ性水溶液２６とを別々にフィルタ装置２３の中空部内に送液してもよい。
【００４８】
上述したように、フィルタ膜に付着した付着物質の界面改質には、フィルタ膜表面がｐＨ７以上にする必要がある。さらにほぼ瞬時に付着物を剥離させるためには、中空部内のアルカリ性水溶液のｐＨが１２以上であることが好ましい。そこで、初期以降のアルカリ性水溶液の供給工程では、予め、回収槽２０に設けられたｐＨ測定器１４により測定されたフィルタ膜再生使用済みアルカリ性水溶液のｐＨ値に基づき、回収槽２０からフィルタ装置２３の中空部に供給されるフィルタ膜再生使用済みアルカリ水溶液２２の量と、未使用アルカリ性水溶液貯留槽２４からフィルタ装置２３の中空部に供給される未使用アルカリ性水溶液２６の量とが、図示しないコントローラにより算出され、このコントローラによりポンプ４２，４６の流量制御がなされ、所定のｐＨ値のアルカリ性水溶液がフィルタ装置２３の中空部に送液される。
【００４９】
上記剥離処理ののち、上述したように、濾過槽３５内の散気装置３６を用いて散気することによって、フィルタ膜から付着物をより容易に剥離させることができ、また剥離した付着物の再付着も抑制することができる。
【００５０】
次いで、フィルタ装置２３のフィルタ膜から付着物が剥離したことを確認したのち、ポンプ４２を停止させ、三方弁５０により未使用アルカリ性水溶液貯留槽２４からの送液ラインを閉状態にし、一方、三方弁５０，５２によって、フィルタ装置２３の中空部から回収槽２０へフィルタ再生使用済みアルカリ性水溶液を戻すラインを開状態にして、ポンプ４４を作動させて、フィルタ装置２３の中空部からフィルタ再生使用済みアルカリ性水溶液を抜き取る（回収工程）。
【００５１】
この回収工程ののち、上述した濾過工程を行うことができる。
【００５２】
なお、上記剥離工程にて剥離された付着物は、濾過槽３５より排出され、適宜脱水されて廃棄される。
【００５３】
本発明において洗浄処理される合成樹脂としては、例えば、ポリイミド樹脂などが挙げられる。特に、ポリイミド樹脂は、半導体装置のパッシべーション膜として用いられるため、高純度であることが要求される。
【００５４】
以上、本発明の合成樹脂洗浄排水の処置装置および処理方法によれば、フィルタ装置２３のフィルタ膜表面に付着した洗浄排水中の不純物を随時剥離することができるので、フィルタ膜を再生させながら、長期に亘って、洗浄排水処理を行うことができる。また、上記濾過槽３５にて合成樹脂原料由来の物質は濾別され、ほぼ溶剤含有水溶液の組成と同じ濾液が得られるため、この濾液を、例えば蒸留することによって、再度合成樹脂の洗浄に利用することができ、排液量を大幅に低減することができる。
【００５５】
また、フィルタ膜を再生させるためのアルカリ性水溶液は回収され、ｐＨ調整されて再利用されるため、使用済みアルカリ性水溶液量を大幅に低減することができ、その結果、廃棄物量も大幅に低減することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明の合成樹脂洗浄排水の処理装置および処理方法は、合成樹脂の純度を向上させるための洗浄工程を有する分野であれば、いかなる分野にも適用することができるが、例えば、半導体装置に使用する合成樹脂の洗浄工程を有する分野に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明における濾過槽に用いるフィルタ装置の一例の構成を説明する図である。
【図２】本発明における濾過槽に用いるフィルタ装置の他の一例の構成を説明する図である。
【図３】本発明における合成樹脂洗浄排水の処理装置の一例の構成を説明する図である。
【図４】濾過処理の低下とフィルタ膜再生処理のタイミングを説明するグラフである。
【図５】従来の合成樹脂洗浄排水の処理の一例を説明する図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０  合成樹脂洗浄槽、１２  フィルタ、１４  ｐＨ測定器、２２  フィルタ膜再生用アルカリ性水溶液、２３  フィルタ装置、２４  未使用アルカリ性水溶液貯留槽、２６  未使用アルカリ性水溶液、３０  フレーム、３１，３２  フィルタ膜、３３  中空部、３４  パイプ、３５  濾過槽、３６  散気装置、４０，４２，４６  ポンプ、５０，５２  三方弁、１００  処理装置。
【図１】
2007090170.tif 000003
【図２】
2007090170.tif 000004
【図３】
2007090170.tif 000005
【図４】
2007090170.tif 000006
【図５】
2007090170.tif 000007