(57)【要約】【課題】効果的な磁気特性を確保することができるヘリカルコイルの薄膜磁気ヘッドを提供する。【解決手段】均一幅下部コイルパターン片７４、漸増下部コイルパターン片７５、接続コイルパターン片７３、均一幅上部コイルパターン片７６および漸増上部コイルパターン片７７で磁気コイル５８が形成される。こうした磁気コイル５８では、均一幅下部コイルパターン片７４および均一幅上部コイルパターン片７６で最小の幅が規定される。磁極５６は均一幅下部コイルパターン片７４および均一幅上部コイルパターン片７６を横切る。均一幅下部コイルパターン片７４および均一幅上部コイルパターン片７６の長さは必要最小限に規定されることができる。磁気コイル５８の抵抗はできる限り低減されることができる。磁気コイル５８ではインダクタンスは低減されることができる。その結果、薄膜磁気ヘッド４４では効果的な磁気特性が確保される。【選択図】図５
2007213749.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
均一幅で延び、媒体対向面に直交する方向に配列される複数本の均一幅下部コイルパターン片と、絶縁層で均一幅下部コイルパターン片から隔てられつつ均一幅で延び、媒体対向面に直交する方向に配列される複数本の均一幅上部コイルパターン片と、均一幅下部コイルパターン片の両端にそれぞれ接続されて、均一幅下部コイルパターン片から遠ざかるにつれて広がる幅で延びる漸増下部コイルパターン片と、均一幅上部コイルパターン片の両端にそれぞれ接続されて、均一幅上部コイルパターン片から遠ざかるにつれて広がる幅で延びる漸増上部コイルパターン片と、漸増下部コイルパターン片の外端から立ち上がって、上端で対応の漸増上部コイルパターン片の外端に接続される接続コイルパターン片と、媒体対向面で露出する先端から後方に向かって絶縁層内で延び、均一幅下部コイルパターン片および均一幅上部コイルパターン片を横切る磁極とを備えることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、媒体対向面に近い漸増上部コイルパターン片および漸増下部コイルパターン片の少なくともいずれか一方は、媒体対向面に平行に広がる仮想平面から後方に膨らむことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、接続コイルパターン片の断面では、媒体対向面に直交する方向に測定される大きさに比べて、媒体対向面に平行な方向に測定される大きさが大きく設定されることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項４】
請求項１に記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、前記漸増下部コイルパターンおよび漸増上部コイルパターンの輪郭は湾曲線で規定されることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気情報の書き込みにあたって用いられる薄膜磁気ヘッドに関し、特に、いわゆるヘリカルコイルの薄膜磁気ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に開示されるように、ヘリカルコイルの薄膜磁気ヘッドは広く知られる。この薄膜磁気ヘッドでは、下層の下部コイルパターン片と上層の上部コイルパターン片との接続にあたって接続コイルパターン片が形成される。接続コイルパターン片は下部コイルパターン片や上部コイルパターン片の拡大部に接続される。接続面積の増大に基づき接続コイルパターン片および下部コイルパターン片や接続コイルパターンおよび上部コイルパターン片の接続状態は良好に維持されることができる。
【特許文献１】特開平５−２５０６３６号公報
【特許文献２】特開２００４−３６２６６８号公報
【特許文献３】特開２００５−１１６１０１号公報
【特許文献４】特開２００５−２８５２３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
下部コイルパターン片や上部コイルパターン片には均一幅の狭小幅コイルパターンが規定される。磁極はこれら狭小幅コイルパターンを横切る。このとき、狭小幅コイルパターンは磁極の幅よりも著しく長く延びることから、狭小幅コイルパターンは電流の流通を妨げる。薄膜磁気ヘッドではインダクタンスが増加する。その結果、応答性は悪化する。同時に、発熱は促進されてしまう。
【０００４】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、効果的な磁気特性を確保することができるヘリカルコイルの薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明によれば、均一幅で延び、媒体対向面に直交する方向に配列される複数本の均一幅下部コイルパターン片と、絶縁層で均一幅下部コイルパターン片から隔てられつつ均一幅で延び、媒体対向面に直交する方向に配列される複数本の均一幅上部コイルパターン片と、均一幅下部コイルパターン片の両端にそれぞれ接続されて、均一幅下部コイルパターン片から遠ざかるにつれて広がる幅で延びる漸増下部コイルパターン片と、均一幅上部コイルパターン片の両端にそれぞれ接続されて、均一幅上部コイルパターン片から遠ざかるにつれて広がる幅で延びる漸増上部コイルパターン片と、漸増下部コイルパターン片の外端から立ち上がって、上端で対応の漸増上部コイルパターン片の外端に接続される接続コイルパターン片と、媒体対向面で露出する先端から後方に向かって絶縁層内で延び、均一幅下部コイルパターン片および均一幅上部コイルパターン片を横切る磁極とを備えることを特徴とする薄膜磁気ヘッドが提供される。
【０００６】
こうした薄膜磁気ヘッドでは、均一幅下部コイルパターン片、漸増下部コイルパターン片、接続コイルパターン片、均一幅上部コイルパターン片および漸増上部コイルパターン片で磁気コイルが形成される。こうした磁気コイルでは、均一幅下部コイルパターン片および均一幅上部コイルパターン片で最小の幅が規定される。磁極は均一幅下部コイルパターン片および均一幅上部コイルパターン片を横切る。媒体対向面から後方に向かって磁極の長さはできる限り短縮されることができる。同時に、均一幅下部コイルパターン片および均一幅上部コイルパターン片の長さは必要最小限に規定されることができる。薄膜磁気ヘッドでは磁気コイルの抵抗はできる限り低減されることができる。磁気コイルではインダクタンスは低減されることができる。その結果、薄膜磁気ヘッドでは効果的な磁気特性が確保されることができる。しかも、発熱は抑制される。
【０００７】
以上のような薄膜磁気ヘッドでは、媒体対向面に近い漸増上部コイルパターン片および漸増下部コイルパターン片の少なくともいずれか一方は、媒体対向面に平行に広がる仮想平面から後方に膨らめばよい。こうした薄膜磁気ヘッドによれば、均一幅上部コイルパターン片や均一幅下部コイルパターン片はできる限り媒体対向面に近接して配置されることができる。その結果、媒体対向面から後方に向かって磁極の長さはできる限り短縮されることができる。
【０００８】
その一方で、接続コイルパターン片の断面では、媒体対向面に直交する方向に測定される大きさに比べて、媒体対向面に平行な方向に測定される大きさが大きく設定されてもよい。こういった薄膜磁気ヘッドによれば、接続コイルパターン片はできる限り媒体対向面に近い位置に配置されることができると同時に、接続コイルパターン片ではできる限り大きな断面積は確保される。磁気コイルの全長は短縮されることができる。
【０００９】
薄膜磁気ヘッドでは、漸増下部コイルパターンおよび漸増上部コイルパターンの輪郭は湾曲線で規定されてもよい。こうした薄膜磁気ヘッドでは輪郭に角が形成されない。その結果、ノイズの放射が回避される。薄膜磁気ヘッドに組み合わせられる読み出しヘッドは良好に磁気情報を読み出すことができる。その一方で、輪郭に角が存在すると、角から放射されるノイズに基づき読み出しヘッドでは磁気情報の読み出しは阻害されてしまう。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように本発明によれば、効果的な磁気特性を確保することができるヘリカルコイルの薄膜磁気ヘッドが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
【００１２】
図１は記録媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は箱形の筐体すなわちハウジング１２を備える。ハウジング１２は、例えば平たい直方体の内部空間すなわち収容空間を区画する箱形のベース１３を備える。ベース１３は例えばアルミニウムといった金属材料から鋳造に基づき成形されればよい。ベース１３には蓋体すなわちカバー（図示されず）が結合される。カバーとベース１３との間で収容空間は密閉される。カバーは例えばプレス加工に基づき１枚の板材から成形されればよい。
【００１３】
収容空間には、記録媒体としての１枚以上の磁気ディスク１４が収容される。磁気ディスク１４はいわゆる垂直磁気記録媒体を構成する。磁気ディスク１４はスピンドルモータ１５の回転軸に装着される。スピンドルモータ１５は例えば５４００ｒｐｍや７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍ、１５０００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１４を回転させることができる。
【００１４】
収容空間にはヘッドアクチュエータ部材すなわちキャリッジ１６がさらに収容される。キャリッジ１６はキャリッジブロック１７を備える。キャリッジブロック１７は、垂直方向に延びる支軸１８に回転自在に連結される。キャリッジブロック１７には、支軸１８から水平方向に延びる複数のキャリッジアーム１９が区画される。キャリッジブロック１７は例えば押し出し成形に基づきアルミニウムから成型されればよい。
【００１５】
個々のキャリッジアーム１９の先端には、キャリッジアーム１９から前方に延びるヘッドサスペンション２１が取り付けられる。ヘッドサスペンション２１の先端にはいわゆるジンバルばね（図示されず）が接続される。ジンバルばねの表面に浮上ヘッドスライダ２２は固定される。こうしたジンバルばねの働きで浮上ヘッドスライダ２２はヘッドサスペンション２１に対してその姿勢を変化させることができる。後述されるように、浮上ヘッドスライダ２２には磁気ヘッドすなわち電磁変換素子が搭載される。
【００１６】
磁気ディスク１４の回転に基づき磁気ディスク１４の表面で気流が生成されると、気流の働きで浮上ヘッドスライダ２２には正圧すなわち浮力および負圧が作用する。浮力および負圧とヘッドサスペンション２１の押し付け力とが釣り合うことで磁気ディスク１４の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２２は浮上し続けることができる。
【００１７】
こういった浮上ヘッドスライダ２２の浮上中にキャリッジ１６が支軸１８回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１４の半径線に沿って移動することができる。その結果、浮上ヘッドスライダ２２上の電磁変換素子は最内周記録トラックと最外周記録トラックとの間でデータゾーンを横切ることができる。こうして浮上ヘッドスライダ２２上の電磁変換素子は目標の記録トラック上に位置決めされる。
【００１８】
キャリッジブロック１７には例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２３といった動力源が接続される。このＶＣＭ２３の働きでキャリッジブロック１７は支軸１８回りで回転することができる。こうしたキャリッジブロック１７の回転に基づきキャリッジアーム１９およびヘッドサスペンション２１の揺動は実現される。
【００１９】
図２は浮上ヘッドスライダ２２の一具体例を示す。この浮上ヘッドスライダ２２は、例えば平たい直方体に形成されるスライダ本体３１を備える。このスライダ本体３１は媒体対向面すなわち浮上面３２で磁気ディスク１４に向き合う。浮上面３２には平坦なベース面すなわち基準面が規定される。磁気ディスク１４が回転すると、スライダ本体３１の前端から後端に向かって浮上面３２には気流３３が作用する。スライダ本体３１は、例えばＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ（アルチック）製の母材３４と、この母材３４の空気流出側端面に積層され、Ａｌ２Ｏ３（アルミナ）から構成されるヘッド素子内蔵膜３５とで構成されればよい。
【００２０】
スライダ本体３１の浮上面３２には、前述の気流３３の上流側すなわち空気流入側でベース面から立ち上がる１筋のフロントレール３６と、気流３３の下流側すなわち空気流出側でベース面から立ち上がるリアレール３７とが形成される。フロントレール３６およびリアレール３７の頂上面にはいわゆるＡＢＳ（空気軸受け面）３８、３９が規定される。ＡＢＳ３８、３９の空気流入端は段差４１、４２でレール３６、３７の頂上面に接続される。
【００２１】
磁気ディスク１４の回転に基づき生成される気流３３は浮上面３２に受け止められる。このとき、段差４１、４２の働きでＡＢＳ３８、３９には比較的に大きな正圧すなわち浮力が生成される。しかも、フロントレール３６の後方すなわち背後には大きな負圧が生成される。これら浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダ２２の浮上姿勢は確立される。
【００２２】
スライダ本体３１には前述の電磁変換素子すなわち読み出し書き込みヘッド素子４３が搭載される。この読み出し書き込みヘッド素子４３はスライダ本体３１のヘッド素子保護膜３５内に埋め込まれる。読み出し書き込みヘッド素子４３の読み出しギャップや書き込みギャップはリアレール３７のＡＢＳ３９で露出する。ただし、ＡＢＳ３９の表面には、読み出し書き込みヘッド素子４３の前端に覆い被さるＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）保護膜が形成されてもよい。読み出し書き込みヘッド素子４３の詳細は後述される。なお、浮上ヘッドスライダ２２の形態はこういった形態に限られるものではない。
【００２３】
図３は浮上面３２すなわちＡＢＳ３９の様子を詳細に示す。読み出し書き込みヘッド素子４３は、薄膜磁気ヘッドすなわち単磁極ヘッド４４と読み出しヘッド素子４５とを備える。単磁極ヘッド４４は、周知の通り、例えば磁気コイルで生起される磁界を利用して磁気ディスク１４に２値情報を書き込むことができる。読み出しヘッド素子４５には、例えば巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子やトンネル接合磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子といった磁気抵抗効果（ＭＲ）素子が用いられればよい。読み出しヘッド素子４５は、周知の通り、磁気ディスク１４から作用する磁界に応じて変化する抵抗に基づき２値情報を検出することができる。
【００２４】
単磁極ヘッド４４および読み出しヘッド素子４５は、前述のヘッド素子内蔵膜３５の上側半層すなわちオーバーコート膜を構成するＡｌ２Ｏ３膜４６と、下側半層すなわちアンダーコート膜を構成するＡｌ２Ｏ３膜４７との間に挟み込まれる。
【００２５】
読み出しヘッド素子４５では、トンネル接合膜といった磁気抵抗効果膜４８が上下１対の導電層すなわち上部および下部シールド層４９、５１に挟み込まれる。磁気抵抗効果膜４８は、下部シールド層５１の表面に覆い被さる例えばＡｌ２Ｏ３製の絶縁層５２内に埋め込まれる。上部シールド層４９は絶縁層５２の表面に沿って広がる。上部および下部シールド層４９、５１は例えばＦｅＮやＮｉＦｅといった磁性材料から形成されればよい。上部および下部シールド層４９、５１同士の間隔は磁気ディスク１４上で記録トラックの線方向に磁気記録の分解能を決定する。
【００２６】
単磁極ヘッド４４は、上部シールド層４９上で任意の基準平面５３に沿って広がる補助磁極５４を備える。補助磁極５４は、ＡＢＳ３９で露出する先端から後方に向かって延びる。こうした補助磁極５４は例えばＦｅＮやＮｉＦｅから形成されればよい。基準平面５３は、上部シールド層４９上に均一な厚みで積層形成される例えばＡｌ２Ｏ３製の非磁性層５５の表面で規定される。非磁性層５５は上部シールド層４９と補助磁極５４との間で磁気的な結合を断ち切る。
【００２７】
補助磁極５４上には、後述されるように、Ａｌ２Ｏ３膜４６内に主磁極５６が埋め込まれる。主磁極５６は、ＡＢＳ３９で露出する先端から後方に向かって延びる。主磁極５６の後端は補助磁極５４の後端に磁気的に連結される。こうして主磁極５６と補助磁極５４とは磁性コアを構成する。こうした主磁極５６は例えばＦｅＮやＮｉＦｅから形成されればよい。
【００２８】
図４に示されるように、補助磁極５４の表面には絶縁層５７が形成される。絶縁層５７上には磁気コイル５８が形成される。後述のように、磁気コイル５８はヘリカルコイルを構成する。絶縁層５７の表面には絶縁層５９および前述の主磁極５６が形成される。主磁極５６の表面には絶縁層６１、６２が形成される。磁気コイル５８は絶縁層５９、６１、６２に埋め込まれる。絶縁層５７、６１は例えばＡｌ２Ｏ３から形成されればよい。絶縁層５９、６２は例えばフォトレジスト材料といった樹脂材料から形成されればよい。
【００２９】
周知の通り、磁気コイル５８で磁界が生起されると、主磁極５６の先端から磁気ディスク１４に向かって磁束は漏れ出る。こうして漏れ出る磁束が記録磁界を形成する。磁束は、磁気ディスク１４の表面に直交する垂直方向に沿って磁気ディスク１４の裏打ち層まで導かれる。裏打ち層で磁束は磁気ディスク１４の面内方向に流通する。その後、磁束は裏打ち層から補助磁極５４に向かって垂直方向に流通する。こうして磁気ディスク１４の磁気記録層では垂直方向に磁化は確立される。
【００３０】
図５に示されるように、磁気コイル５８は、相互に並列に延びる複数本の下部コイルパターン片７１、７１…と、同様に相互に並列に延びる複数本の上部コイルパターン片７２、７２…とを備える。下部コイルパターン片７１および上部コイルパターン片７２は前述の絶縁層５９、６１で隔てられる。下部コイルパターン片７１の外端および上部コイルパターン片７２の外端は接続コイルパターン片７３に接続される。磁気コイル５８は例えばＣｕといった導電材料から形成されればよい。
【００３１】
図６を併せて参照し、各下部コイルパターン片７１は、均一幅で延びる均一幅下部コイルパターン片７４を備える。均一幅下部コイルパターン片７４、７４…は、ＡＢＳ３９に直交する方向に配列される。均一幅下部コイルパターン片７４の幅は下部コイルパターン片７１で最小の幅に設定されればよい。主磁極５６は均一幅下部コイルパターン片７４を横切る。ここでは、主磁極５６の幅は均一幅下部コイルパターン片７４の長さに揃えられればよい。
【００３２】
均一幅下部コイルパターン片７４の両端には漸増下部コイルパターン片７５、７５がそれぞれ接続される。漸増下部コイルパターン片７５は、均一幅下部コイルパターン片７４から遠ざかるにつれて広がる幅で延びる。漸増下部コイルパターン片７５の輪郭は湾曲線で規定される。漸増下部コイルパターン片７５は均一幅下部コイルパターン片７４から遠ざかるにつれてＡＢＳ３９から遠ざかる。漸増下部コイルパターン片７５の外端には前述の接続コイルパターン片７３が接続される。下部コイルパターン片７１では接続コイルパターン片７３の下端を受け止める領域で最大の幅が規定される。
【００３３】
その一方で、図７を併せて参照し、各上部コイルパターン片７２は、均一幅で延びる均一幅上部コイルパターン片７６を備える。均一幅上部コイルパターン片７６、７６…は、ＡＢＳ３９に直交する方向に配列される。均一幅上部コイルパターン片７６の幅は上部コイルパターン片７２で最小の幅に設定されればよい。主磁極５６は均一幅上部コイルパターン片７６を横切る。ここでは、主磁極５６の幅は均一幅上部コイルパターン片７６の長さに揃えられればよい。
【００３４】
均一幅上部コイルパターン片７６の両端には漸増上部コイルパターン片７７、７７がそれぞれ接続される。漸増上部コイルパターン片７７は、均一幅上部コイルパターン７７から遠ざかるにつれて広がる幅で延びる。漸増上部コイルパターン片７７の輪郭は湾曲線で規定される。漸増上部コイルパターン片７７は均一幅上部コイルパターン片７６から遠ざかるにつれてＡＢＳ３９から遠ざかる。漸増下部コイルパターン片７５の外端には前述の接続コイルパターン片７３が接続される。上部コイルパターン片７１では接続コイルパターン片７３の上端に受け止められる領域で最大の幅が規定される。
【００３５】
ここで、均一幅下部コイルパターン片７４や漸増下部コイルパターン片７５、均一幅上部コイルパターン７６、漸増上部コイルパターン片７７の「幅」は、例えばＡＢＳ３９に直交しつつＡＢＳ３９から遠ざかる方向で規定される幅で特定されればよい。
【００３６】
図５から明らかなように、接続コイルパターン片７３は漸増下部コイルパターン片７５の外端から立ち上がる。接続コイルパターン片７３は上端で対応の漸増上部コイルパターン片７７の外端に接続される。その結果、ＡＢＳ３９に最も近い漸増上部コイルパターン片７７から、ＡＢＳ３９から最も遠ざかる漸増下部コイルパターン片７５までの間は螺旋状に接続される。こうして下部コイルパターン片７１、上部コイルパターン片７２および接続コイルパターン片７３で電流の流通路が区画される。
【００３７】
図６および図７から明らかなように、ＡＢＳ３９に最も近い上部コイルパターン片７２の一端にはリード配線７８が接続される。その一方で、ＡＢＳ３９から最も遠ざかる下部コイルパターン片７１の一端にはリード配線７９が接続される。こうしたリード配線７８、７９の一方から電流が供給される。こうした電流の供給に基づき磁気コイル５８では磁界が生起される。主磁極５６および補助磁極５４に磁束の循環経路が形成される。
【００３８】
磁気コイル５８では、ＡＢＳ３９に近い漸増下部コイルパターン片７５や漸増上部コイルパターン片７７はＡＢＳ３９に平行に広がる仮想平面８１から後方に膨らむ。こうして漸増下部コイルパターン片７５や漸増上部コイルパターン片７７はできる限りＡＢＳ３９に近接して配置されることができる。その結果、ＡＢＳ３９から後方に主磁極５６の長さはできる限り短縮されることができる。
【００３９】
図６および図７から明らかなように、接続コイルパターン片７３の断面では、ＡＢＳ３９に直交する方向に測定される大きさに比べて、ＡＢＳ３９に平行な方向に測定される大きさが大きく設定される。こうして接続コイルパターン片７３はできる限りＡＢＳ３９に近い位置に配置されることができると同時に、接続コイルパターン片７３ではできる限り大きな断面積は確保される。磁気コイル５８の全長は短縮されることができる。
【００４０】
以上のような薄膜書き込みヘッド素子４４では、均一幅下部コイルパターン片７４および均一幅上部コイルパターン片７６で最小の幅が規定される。主磁極５６は均一幅下部コイルパターン片７４および均一幅上部コイルパターン片７６を横切る。主磁極５６および補助磁極５４はＡＢＳ３９からできる限り近接した位置で連結されることができる。同時に、均一幅下部コイルパターン片７４および均一幅上部コイルパターン片７６の長さは必要最小限に規定されることができる。磁気コイル５８では抵抗はできる限り低減されることができる。磁気コイル５８ではインダクタンスは低減される。その結果、薄膜書き込みヘッド素子４４では効果的な磁気特性が確保されることができる。加えて、発熱は抑制される。
【００４１】
しかも、前述されるように、漸増下部コイルパターン片７５の輪郭や漸増上部コイルパターン片７７の輪郭は湾曲線で規定される。その結果、漸増下部コイルパターン片７５の輪郭や漸増上部コイルパターン片７７の輪郭には角は形成されない。ノイズの放射は回避される。単磁極ヘッド４４に組み合わせられる読み出しヘッド素子４５は良好に磁気情報を読み出すことができる。その一方で、輪郭に角が存在すると、角から放射されるノイズに基づき読み出しヘッド素子４５の読み出しは阻害されてしまう。
【００４２】
次に、以上のような書き込み読み出し磁気ヘッド素子４３の製造方法を簡単に説明する。製造にあたって例えばＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ製のウエハが用意される。ウエハの表面には、周知の通り、Ａｌ２Ｏ３膜４７、下部シールド層５１、ＭＲ素子４８、絶縁層５２、上部シールド層４９および非磁性層５５が積層形成される。こうして、読み取りヘッド素子４５が形成される。
【００４３】
その後、非磁性層５５の表面には補助磁極５４が積層形成される。補助磁極５４の表面には主磁極５６との連結部が形成される。同様に、補助磁極５４の表面にはＡｌ２Ｏ３製の絶縁層５７が積層形成される。絶縁層５７の表面には下部コイルパターン片７１が積層形成される。下部コイルパターン片７１の隙間にはフォトレジスト材料が充填される。こうしたフォトレジスト材料に基づき絶縁層５９が形成される。
【００４４】
絶縁層５９の表面には主磁極５６が積層形成される。主磁極５６はＡｌ２Ｏ３製の絶縁層６１で覆われる。その後、絶縁層５９、６１には窪みが形成される。窪みは絶縁層５９、６１を貫通する。窪み内で下部コイルパターン片７１の表面は露出する。窪みは接続コイルパターン片７３の輪郭に象られる。窪みには導電材料が充填される。こうして接続コイルパターン片７３は形成される。
【００４５】
その後、絶縁層６１の表面には上部コイルパターン片７２が積層形成される。上部コイルパターン片７２は接続コイルパターン片７３に接続される。こうして磁気コイル５８が形成される。上部コイルパターン片７２の隙間にはフォトレジスト材料が充填される。こうしたフォトレジスト材料に基づき絶縁層６２が形成される。こうして単磁極ヘッド４４が形成される。
【００４６】
本発明者はシミュレーションに基づき磁気コイル５８の効果を検証した。検証にあたって具体例および比較例が用意された。具体例には前述の単磁極ヘッド４４が用いられた。比較例には従来の単磁極ヘッドが用いられた。従来の単磁極ヘッドでは上部コイルパターン片、下部コイルパターン片および接続コイルパターン片はすべて均一幅に設定された。有限要素法に基づき磁気コイルの抵抗が評価された。
【００４７】
その結果、具体例に係る単磁極ヘッド４４は１．４Ω程度の抵抗値を示した。比較例に係る単磁極ヘッドは２．１Ω程度の抵抗値を示した。比較例に係る単磁極ヘッドに比べて本発明の具体例に係る単磁極ヘッド４４では３５％程度にわたって抵抗値が低減されることが確認された。本発明の単磁極ヘッド４４では効率的に十分な磁力を維持することができることが確認された。
【００４８】
その他、図８に示されるように、読み出し書き込みヘッド素子４３には、単磁極ヘッド４４に代えて面内記録用の薄膜磁気ヘッド４４ａが組み込まれてもよい。薄膜磁気ヘッド４４ａは上部磁極５６ａおよび下部磁極５４ａを備える。絶縁層５７はギャップ層を構成する。この薄膜磁気ヘッド４４ａでは前述の単磁極ヘッド４４に比べてギャップ層の厚みは減少する。こういった薄膜磁気ヘッド４４ａが組み込まれるとき、磁気ディスク１４はいわゆる面内磁気記録媒体から構成されればよい。その他、前述の実施形態と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。こうした薄膜磁気ヘッド４４ａによれば、前述の単磁極ヘッド４４と同様の作用効果が実現されることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】記録媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を概略的に示す平面図である。
【図２】一具体例に係る浮上ヘッドスライダの拡大斜視図である。
【図３】媒体対向面すなわち空気軸受け面（ＡＢＳ）から観察される読み出し書き込みヘッドの拡大正面図である。
【図４】図３の４−４線に沿った断面図である。
【図５】本発明の一具体例に係る薄膜磁気ヘッドの構造を概略的に示す部分透視斜視図である。
【図６】図４の６−６線に沿った断面図である。
【図７】図４の７−７線に沿った断面図である。
【図８】図４に対応し、他の具体例に係る薄膜磁気ヘッドの構造を概略的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
３９  媒体対向面（空気軸受け面）、４４  薄膜磁気ヘッド（単磁極ヘッド）、４４ａ  薄膜磁気ヘッド、５６  磁極（単磁極）、５６ａ  磁極（上部磁極）、５９  絶縁層、６１  絶縁層、６２  絶縁層、７３  接続コイルパターン片、７４  均一幅下部コイルパターン片、７５  漸増下部コイルパターン片、７６  均一幅上部コイルパターン片、７７  漸増上部コイルパターン片、８１  仮想平面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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