(57)【要約】      （修正有）【課題】封着された一対のガラス基板を切断する方法において、工程を簡略化することができる切断方法を提供する。【解決手段】保持アーム１１によって一対のガラス基板１、２を空中に浮かせた状態で、スクライバーによりガラス基板１、２に切断溝６、７を形成する。その後、ガラス基板１、２を空中に浮かせた状態のまま、アライメントマークを読み込み、そのアライメントマークに基づいて、ブレイク刃２１、２２を切断溝６、７に対してアライメントする。次に、ブレイク刃２１、２２によって切断溝６、７を押圧することによって、一対のガラス基板１、２を同時に切断する。【選択図】図３
2007314369.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
封着された一対のガラス基板を切断する基板切断方法において、
前記一対のガラス基板の両方に切断溝を形成する切断溝形成工程と、
前記一対のガラス基板を空中に浮かせた状態で保持部材によって保持し、前記ガラス基板に形成されたアライメントマークに基づいて、一方のガラス基板をブレイクするための第１ブレイク刃と、他方のガラス基板をブレイクするための第２ブレイク刃とを前記切断溝に対してアライメントするアライメント工程と、
前記一対のガラス基板を空中に浮かせた状態のままで、前記第１ブレイク刃及び前記第２ブレイク刃によって前記一対のガラス基板を前記切断溝に沿って切断する切断工程とを備えたことを特徴とする基板切断方法。
【請求項２】
前記切断工程では、前記一対のガラス基板を同時に切断することを特徴とする請求項１に記載の基板切断方法。
【請求項３】
前記切断工程では、前記切断溝を跨ぐように且つ互いに対向するように配置された一対の固定部材により前記一対のガラス基板を固定した状態で切断が行われることを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の基板切断方法。
【請求項４】
前記切断溝形成工程においても、前記保持部材によって前記一対のガラス基板を空中に浮かせた状態で前記切断溝を形成することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板切断方法。
【請求項５】
封着された一対のガラス基板を切断するための基板切断装置において、
前記一対のガラス基板を空中に浮かせるための保持部材と、
前記保持部材によって空中に浮かされた前記一対のガラス基板を挟み、両側から切断可能な少なくとも一対のブレイク刃を備えたことを特徴とする基板切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、封着された一対のガラス基板を切断する基板切断方法及び基板切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ等に用いられる封着された一対のガラス基板を切断するための基板切断方法及び基板切断装置が知られている。例えば、ガラス基板の表面にスクライバーによって切断溝を形成した後、ブレイク刃によってガラス基板を切断溝に沿って押圧することにより、ガラス基板を切断する基板切断方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この基板切断方法は、具体的には、まず、封着された一対の第１及び第２ガラス基板をステージ上に設置し、上側に配置された第１ガラス基板の所望の位置に切断溝を形成する。そして、第１ガラス基板上に形成されたアライメントマークに基づいてブレイク刃を上側の第１ガラス基板の切断溝上にアライメントした後、ブレイク刃により切断溝上を押圧することによって、切断溝に沿って第１ガラス基板を切断する。
【０００４】
次に、ステージ上から第１及び第２ガラス基板を一度取り外し、第２ガラス基板が上側になるように裏返してステージ上に再度第１及び第２ガラス基板を設置した後、第２ガラス基板上の所望の位置に切断溝を形成する。そして、第２ガラス基板上に形成されたアライメントマークに基づいてブレイク刃を上側の第２ガラス基板の切断溝上にアライメントした後、ブレイク刃により切断溝上を押圧することによって、切断溝に沿って第２ガラス基板を切断する。
【特許文献１】特開平９−３０９７３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した基板切断方法では、ステージ上に固定した状態で各ガラス基板を切断するので、ガラス基板を裏返すことなく、第１ガラス基板及び第２ガラス基板を切断することができない。従って、ガラス基板を切断するためには、少なくとも各ガラス基板の切断箇所ごとに１回ずつ、合計２回、アライメントマークを読み込んでブレイク刃のアライメントをしなくてはならない。また、第１ガラス基板を切断した後、ガラス基板を裏返して、第２ガラス基板を上側にした後、再度ステージ上に両ガラス基板を設置して、第２ガラス基板を切断しなくてはならない。これらの要因によって、上記の基板切断方法では、工程が複雑化するといった問題がある。
【０００６】
本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、工程を簡略化することができる基板切断方法及び基板切断装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、封着された一対のガラス基板を切断する基板切断方法において、前記一対のガラス基板の両方に切断溝を形成する切断溝形成工程と、前記一対のガラス基板を空中に浮かせた状態で保持部材によって保持し、前記ガラス基板に形成されたアライメントマークに基づいて、一方のガラス基板をブレイクするための第１ブレイク刃と、他方のガラス基板をブレイクするための第２ブレイク刃とを前記切断溝に対してアライメントするアライメント工程と、前記一対のガラス基板を空中に浮かせた状態のままで、前記第１ブレイク刃及び前記第２ブレイク刃によって前記一対のガラス基板を前記切断溝に沿って切断する切断工程とを備えたことを特徴とする基板切断方法である。
【０００８】
また、請求項２記載の発明は、前記切断工程では、前記一対のガラス基板を同時に切断することを特徴とする請求項１に記載の基板切断方法である。
【０００９】
また、請求項３記載の発明は、前記切断工程では、前記切断溝を跨ぐように且つ互いに対向するように配置された一対の固定部材により前記一対のガラス基板を固定した状態で切断が行われることを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の基板切断方法である。
【００１０】
また、請求項４記載の発明は、前記切断溝形成工程においても、前記保持部材によって前記一対のガラス基板を空中に浮かせた状態で前記切断溝を形成することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板切断方法である。
【００１１】
また、請求項５記載の発明は、封着された一対のガラス基板を切断するための基板切断装置において、前記一対のガラス基板を空中に浮かせるための保持部材と、前記保持部材によって空中に浮かされた前記一対のガラス基板を挟み、両側から切断可能な少なくとも一対のブレイク刃を備えたことを特徴とする基板切断装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の基板切断方法によれば、保持部材によって一対のガラス基板を空中に浮かせた状態で、アライメントマークに基づいて第１及び第２ブレイク刃をアライメントしているので、一度のアライメントマークの読み込みによって、第１及び第２ブレイク刃を一対のガラス基板の両側にアライメントすることができる。これによって、第１及び第２ブレイク刃のアライメントを簡略化することができる。
【００１３】
また、保持部材によって一対のガラス基板を空中に浮かせた状態で、ガラス基板を第１及び第２ブレイク刃によって切断するので、ガラス基板の両側から切断することができる。これによって、ステージに固定してガラス基板を１枚ずつ切断する基板切断方法のように、一方のガラス基板を切断した後、他方のガラス基板を切断するために必要な一対のガラス基板を裏返す工程を省略することができる。更に、ガラス基板を裏返さずに切断することによって、次の工程へ搬送する際にもガラス基板を裏返す必要がなくなるので、製造ラインの自動化を促進することができる。
【００１４】
このように、第１及び第２ブレイク刃のアライメントを簡略化すると共に、ガラス基板を切断する際のガラス基板を裏返す工程を省略することによって、ガラス基板の切断工程を簡略化することができる。これらの結果、ガラス基板を用いた製品の生産性を向上させることができる。
【００１５】
また、一対のガラス基板を同時に切断しているので、第１及び第２ブレイク刃が互いに一対のガラス基板を両側から押圧することになる。これによって、第１及び第２ブレイク刃による押圧力によって、第１及び第２ガラス基板の位置ずれを防ぐことができるので、正確に所望の位置でガラス基板を切断することができる。
【００１６】
また、固定部材によって一対のガラス基板を固定した状態で切断するので、ガラス基板の位置ずれを防ぐことができ、より正確にガラス基板を切断することができる。
【００１７】
また、一対のガラス基板を浮かせた状態で切断溝をも形成することによって、切断溝を形成する際にも一対のガラス基板を裏返す工程を省略することができるので、より切断工程を簡略化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明を液晶ディスプレイに用いられるガラス基板の基板切断方法に適用した一実施形態を説明する。
【００１９】
図１〜図４は、本実施形態による基板切断方法の各工程を説明するための図である。尚、図１は、斜視図である。また、図２〜図４は、図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【００２０】
まず、図１に示すように、封着された一対のガラス基板１、２を作製する。ここで、図１に示す一点鎖線は切断予定線Ｌを示し、この切断予定線Ｌに沿って一対のガラス基板１、２が切断される。各切断予定線Ｌによって区画された各領域Ｓには、ガラス基板１、２を封着するための封着材３が設けられている。また、封着材３の内側には、液晶を備え画像を表示するための表示部４が形成されている。また、ガラス基板１の上面の一端部には、アライメントのための一対のアライメントマーク５が形成されている。
【００２１】
そして、これら切断予定線Ｌによって区画された各領域Ｓの中央部を、基板切断装置の二対の保持アーム（請求項記載の保持部材に相当）１１によって、空中に浮かせた状態で保持する。尚、保持アーム１１のガラス基板１、２と接する部分には、ガラス基板１、２の破損を防ぐためのゴムが設けられている。
【００２２】
次に、図２に示すように、保持アーム１１によって一対のガラス基板１、２を浮かせて保持した状態で、ＣＣＤカメラによってアライメントマーク５を撮像し、読み込む。そして、そのアライメントマーク５に基づいて、一対のガラス基板１、２の切断予定線Ｌ上に、基板切断装置の一対のスクライバー１３、１４をアライメントする。尚、スクライバー１３、１４は、回転軸１５、１６に回転可能に支持された回転刃１７、１８を備えている。
【００２３】
そして、各スクライバー１３、１４の回転刃１７、１８に一定の圧力を作用させた状態でガラス基板１、２上を走らせて、切断溝６、７を形成する。その後、アライメントマーク５に基づいて隣接する切断予定線Ｌ上にスクライバー１３、１４を移動させて、同様に切断溝６、７を全ての切断予定線Ｌ上に形成する。
【００２４】
次に、図３に示すように、保持アーム１１によって一対のガラス基板１、２を浮かせた状態のままで、アライメントマーク５をＣＣＤカメラによって撮像し、読み込む。そして、そのアライメントマーク５に基づいて、基板切断装置の一対のブレイク刃２１、２２及び一対の固定部材２３、２４を、各ガラス基板１、２の切断溝６、７に対応させてアライメントを行う。
【００２５】
ここで、ブレイク刃２１、２２は、ウレタンゴム等からなり、切断溝６、７と略同じ長さに構成されている。また、ブレイク刃２１、２２は、ガラス基板１、２の表面の垂直方向に移動可能に構成されている。
【００２６】
また、固定部材２３、２４は、切断溝６、７と略同じ長さを有し、切断溝６、７及びブレイク刃２１、２２を跨ぐように且つ互いに対向するように配置されている。そして、固定部材２３、２４は、互いに近づく方向にガラス基板１、２を押圧することによって、ガラス基板１、２を固定している。尚、ガラス基板１、２と接触する固定部材２３、２４の下端部２３ａ、２４ａは、ガラス基板１、２の破損を防ぐために樹脂によって覆われている。
【００２７】
次に、図４に示すように、一対のブレイク刃２１、２２を同時にガラス基板１、２側へと移動させ、ブレイク刃２１、２２によりガラス基板１、２を両側から同時に押圧することによって、切断溝６、７に沿ってガラス基板１、２を切断する。
【００２８】
以下同様に、隣接する切断溝６、７へと固定部材２３、２４及びブレイク刃２１、２２を移動させて、切断溝６、７に沿ってガラス基板１、２の切断を繰り返す。そして、全ての切断溝６、７に沿ってガラス基板１、２を切断することによって、基板切断工程が終了する。
【００２９】
上述したように、本実施形態による基板切断方法では、保持アーム１１によって一対のガラス基板１、２を空中に浮かせた状態で、一対のブレイク刃２１、２２をアライメントしているので、アライメントマーク５を一度読み込むことによって、一対のブレイク刃２１、２２をガラス基板１、２に対してアライメントすることができる。これによって、ブレイク刃２１、２２のアライメントを簡略化することができる。
【００３０】
また、保持アーム１１によって一対のガラス基板１、２を空中に浮かせた状態で、スクライバー１３、１４のアライメントを行うことによって、上述したブレイク刃２１、２２のアライメントと同じ理由により、スクライバー１３、１４のアライメントを簡略化することができる。
【００３１】
また、保持アーム１１によって一対のガラス基板１、２を空中に浮かせた状態で、ガラス基板１、２をブレイク刃２１、２２によって切断するので、ガラス基板１、２の両側をブレイク刃２１、２２により押圧して、両ガラス基板１、２を切断することができる。これによって、ステージに固定してガラス基板を切断する際のように、一方のガラス基板を切断した後、他方のガラス基板を切断するために必要な一対のガラス基板を裏返す工程を省略することができる。更に、ガラス基板１、２を裏返さずに切断することによって、次の工程へ搬送する際にもガラス基板１、２を裏返す必要がなくなるので、製造ラインの自動化を促進することができる。
【００３２】
このように、ブレイク刃２１、２２及びスクライバー１３、１４のアライメントを簡略化すると共に、ガラス基板を切断する際のガラス基板を裏返す工程を省略することによって、ガラス基板１、２を切断するための工程を簡略化することができる。これらの結果、ガラス基板１、２を用いた液晶ディスプレイの生産性を向上させることができる。
【００３３】
更に、一対のガラス基板１、２を両側から同時にブレイク刃２１、２２によって押圧して切断しているので、互いの押圧力によってガラス基板１、２を支持しつつ切断することができる。これによって、ブレイク刃２１、２２の押圧力によってガラス基板１、２の位置ずれを防ぐことができるので、正確に所望の位置でガラス基板１、２を切断することができる。
【００３４】
また、一対の固定部材２３、２４が切断溝６、７を跨ぐように且つ互いに対向するように一対のガラス基板１、２の両側に配置された状態で、ガラス基板１、２を押圧している。これにより、ブレイク刃２１、２２によってガラス基板１、２を押圧してもガラス基板１、２の位置ずれを防ぐことができるので、より正確にガラス基板１、２を切断することができる。
【００３５】
以上、上記実施形態を用いて本発明を詳細に説明したが、本発明が本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではないということは明らかである。本発明は、特許請求の範囲の記載により定まる本発明の趣旨及び範囲内で変更して実施することができる。即ち、本明細書の記載は、一例であり、本発明を何ら限定的な意味に解釈させるものではない。以下、上記実施形態を一部変更した変更形態について説明する。
【００３６】
例えば、上述の実施形態では、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板１、２の基板切断方法について説明したが、液晶ディスプレイ以外に用いられる一対のガラス基板の基板切断方法について適用してもよい。例えば、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）、有機ＥＬディスプレイ等に用いられる一対のガラス基板の基板切断方法に適用してもよい。
【００３７】
また、上述の実施形態では、ブレイク刃２１、２２により同時に一対のガラス基板１、２を押圧することによって、ガラス基板１、２を切断したが、必ずしも同時に切断しなくてはならないものでない。従って、所望の時間ずらして、ブレイク刃２１、２２によりガラス基板１、２を押圧して切断してもよい。
【００３８】
また、上述の実施形態では、一対のブレイク刃２１、２２によって、一対のガラス基板１、２を切断したが、切断溝６、７の数と同数のブレイク刃によって同時に全ての切断を行ってよい。同様に、切断溝６、７と同数のスクライバーによって全ての切断溝６、７を同時に形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】基板切断方法の各工程を説明するための図である。
【図２】基板切断方法の各工程を説明するための図である。
【図３】基板切断方法の各工程を説明するための図である。
【図４】基板切断方法の各工程を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４０】
１、２    ガラス基板
３    封着材
４    表示部
５    アライメントマーク
６、７    切断溝
１１  保持アーム
１３、１４   スクライバー
１５、１６   回転軸
１７、１８   回転刃
２１、２２   ブレイク刃
２３、２４   固定部材
２３ａ、２４ａ    下端部
Ｌ    切断予定線
Ｓ    領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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