(57)【要約】【課題】被加熱材の状態に対応した誘導加熱コイルの位置調整を容易にする。【解決手段】第１，第２の導体１７，１９間を上下方向移動可能に接続するとともに、第１，第２の導体１７，１９の冷却水通路１８，２１間をＯリング２２を介して上下方向移動可能にかつ水漏れしないように接続し、第２，第３の導体１９，２３の端部間を左右方向移動可能に接続するとともに、第２，第３の導体１９、２３の冷却水通路２１，２５の端部２１ｂ，２５ａ間をＯリング２６を介して左右方向移動可能にかつ水漏れしないように接続し、第３の導体２３と誘導加熱コイル２７の端部間を前後方向移動可能に接続するとともに、第３の導体２３及び誘導加熱コイル２７の冷却水通路２５，２９の端部２５ｂ，２９ａ間をＯリング３０を介して前後方向移動可能にかつ水漏れしないように接続する。【選択図】図１
2007109623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に高周波電源が他端に被加熱材を加熱する誘導加熱コイルが接続された高周波給電用導体を用いた誘導加熱装置において、被加熱材と誘導加熱コイルとの上下、左右、前後の相対的位置関係を調節できるように、高周波給電用導体を３つの導体で構成し、かつ前記各導体は長孔とボルトの接続構造とするとともに、前記各導体の内部に該導体及び誘導加熱コイルを冷却するための冷却水が通る冷却水通路を形成したことを特徴とする誘導加熱装置。
【請求項２】
冷却水通路の接続構造は、冷却水通路が相対的に移動しても水漏れしないように、一方の冷却水通路の端部形状を丸孔状にするとともに、他方の冷却水通路の端部形状を長孔状とし、冷却水通路の両端部の周囲を囲むように封止部材の溝を設け、該溝に封止部材を取り付けたことを特徴とする請求項１記載の誘導加熱装置。
【請求項３】
冷却水通路をキリ穴加工により形成するとともに、その加工口に非磁性材からなるプラグを螺合したことを特徴とする請求項１又は２記載の誘導加熱装置。
【請求項４】
一端に高周波電源が接続され、他端に真空容器内において被加熱材を加熱する誘導加熱コイルが接続された高周波給電用導体を用いた誘導加熱装置において、高周波給電用導体が気密に挿通した真空容器の周壁の一部を移動自在に支持した位置調整機構と、真空容器の周壁の一部を真空容器に気密にかつ係脱自在に係止したクランプ機構と、高周波給電用導体の大気側端部と固定された高周波電源側との間に接続された可撓性のある水冷銅板とを備え、可撓性のある水冷銅板は、薄く可撓性のある銅板にその長さ方向に対して直角な方向に平行に複数の冷却水を通流させるための銅管をロー付けし、銅管同士及び銅管と給水源との間を可撓性のある配管により接続したことを特徴とする誘導加熱装置。
【請求項５】
位置調整機構又はクランプ機構を遠隔操作可能としたことを特徴とする請求項４記載の誘導加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、誘導加熱装置、特にその高周波給電用導体及び誘導加熱コイルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１においては、真空中で誘導加熱により金属材料を溶解させる真空誘導溶解炉が示されている。これは、真空容器内においてルツボ内に金属材料を収納し、ルツボの周囲に設けた誘導加熱コイルに真空容器を気密に挿通させた高周波給電用導体を介して高周波電流を通電させ、真空中の誘導加熱により金属材料を溶解させるものである。
【０００３】
図１０（ａ），（ｂ）は前述したような従来の誘導加熱装置の要部平面図及び要部正面図を示し、１は真空容器、２は一端が真空容器１に気密に挿入された一対の高周波給電用導体であり、内部に冷却水通路３が形成されるとともに、冷却水の流入口３ａ，３ｂ及び流出口３ａ，３ｂが形成される。各高周波給電用導体２の大気側の一端には高周波電源４が接続され、各高周波給電用導体２の真空側の他端には他の一対の高周波給電用導体５の一端がボルト６により接続され、高周波給電用導体５も内部に冷却水通路が形成されるとともに、冷却水の流入口５ａ及び流出口５ｂが形成される。２ａはボルト６により高周波給電用導体５を接続するための取付孔、２ｂは高周波電源４を接続するための取付孔である。７は被加熱材を誘導加熱する２ターンの誘導加熱コイルであり、冷却水の流入口７ａ及び流出口７ｂを有し、その端部に形成された長孔７ｃに挿通されたボルト８を各高周波給電用導体５の他端のねじ孔に螺合することにより、誘導加熱コイル７の端部は各高周波給電用導体５の他端に左右方向移動可能に接続される。
【０００４】
又、高周波給電用導体２の外周には真空容器１の外面と係合する第１のフランジ部９がロー付けされ、フランジ部９の真空容器１側にはＯリング溝が形成され、このＯリング溝には第１のＯリング１０が嵌合される。フランジ部９には多くの取付孔が設けられ、この取付孔に挿通したボルトを真空容器１の外面に螺着することにより、高周波給電用導体２を真空容器１に気密に取り付ける。
【０００５】
また、各高周波給電用導体２は第１のフランジ９の外面において真空側部分２ｃと大気側部分２ｄとに分割され、それぞれの分割端部からキリ穴加工により冷却水通路３が形成される。又、大気側部分２ｄの分割端部の外周に第２のフランジ部１１がロー付けされるとともに、分割端部における冷却水通路３の端部にはＯリング溝を設け、このＯリング溝に第２のＯリング１２を嵌合する。そして、第１のフランジ部９に第２のフランジ部１１をボルトにより取り付ける。もちろん、第１のフランジ部９を真空容器１に取り付ける際に、一緒に第２のフランジ部１１を取り付けてもよい。このフランジ部９，１１の取付の際に、真空側部分２ｃの冷却水通路３の端部と大気側部分２ｄの冷却水通路３の端部とを第２のＯリング１２を介して水漏れしないように接続する。
【０００６】
ここで、冷却水は、例えば、矢印に示すように、一方の高周波給電用導体２の大気側に位置する流入口３ａから流入し、高周波給電用導体２の内部を通り、真空側の流出口３ｂから流出し、配管１３を介して流入口５ａから一方の高周波給電用導体５内に入り、流出口５ｂから出て、配管１４を通って誘導加熱コイル７内に流入口７ａから流入し、誘導加熱コイル７内を通って流出口７ｂから流出し、配管１５を通って流入口５ａから他方の高周波給電用導体５内に入り、流出口５ｂから出て、配管１６を通り、流入口３ｂから他方の高周波給電用導体２内に入り、他方の高周波給電用導体２内を通って大気側に位置する流出口３ａから流出する。
【０００７】
又、高周波給電用導体としては、前記のような平板状で内部に冷却水通路が形成された高周波給電用導体２，５の他に、銅板に銅管をロー付けし、銅管内に冷却水を流す水冷銅板、ホース内にケーブルを挿入するとともに、ホース内に冷却水を流す水冷ケーブル、特許文献２に示されたようなあみ線状導体からなる内筒と外筒とから構成され、内筒内及び内筒と外筒の間に冷却水を環流させた誘導加熱装置の水冷同軸ケーブル等がある。
【０００８】
その他の先行技術文献情報としては、特許文献３〜８があり、特許文献３では被処理体を真空下において高周波により誘導加熱するものが示され、特許文献４では真空槽内のルツボの周囲に配置された誘導加熱コイルに外部から高周波電力を給電するものが示され、特許文献５では圧力容器に内蔵された溶解炉の誘導コイルと外部の高周波電源とを圧力容器に貫通させた水冷ケーブルを介して接続したものが示されている。又、特許文献６では高周波電源に対する誘導コイルの位置をＸ，Ｙ，Ｚの３方向に調整可能にしたものが示され、特許文献７、８では平板状で可撓性のある給電ケーブルであって、誘導加熱装置以外に使用されるものが示されている。
【特許文献１】特許第２８６７４２９号公報
【特許文献２】特許第２８８１０７４号公報
【特許文献３】特開平６−２９０８６４号公報
【特許文献４】特開平１１−２５７８６７号公報
【特許文献５】特開平２００４−１０８７２５号公報
【特許文献６】特開平６−３２５６２４号公報
【特許文献７】特開２００４−３９５４３号公報
【特許文献８】特許第３４８４９９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図１０に示した従来の誘導加熱装置においては、誘導加熱コイル７により加熱される被加熱材の状態に合わせて誘導加熱コイル７の位置を動かす必要がある。しかしながら、高周波給電用導体２，５は固定的に接続され、高周波給電用導体５と誘導加熱コイル７との接続は長孔７ｃとボルト８により接続されているために左右方向の位置調整は可能であるが、前後方向、上下の位置調整は困難であった。又、配管１３〜１６としては、誘導加熱コイル７の近傍においては２００℃前後まで高温となるため、耐熱性が弱いゴムホース等の可撓性配管を用いることができず、図１１に示すような金属製の配管１３〜１６を用いることとなり、位置調整の度に配管１３〜１６を製作し直さなければならず、製作が容易でなく、配管１３〜１６の存在により組立や位置調整そのものも容易でなかった。
【００１０】
又、高周波給電用導体が前述した水冷銅板の場合の特徴は、銅板同士を近接させることによりインダクタンスを小さくできること、可撓性がないこと、許容周波数が数百ｋＨｚまでであること、銅板幅を広げることにより許容電流が大であること等であり、前述した水冷ケーブルの場合の特徴は、インダクタンスが大、可撓性良好（任意方向に曲げ可能）、許容周波数は１０ｋＨｚまで、ケーブル本数を増やすことにより許容電流大（但し、可撓性が悪くなる。）等であり、前述した水冷同軸ケーブルの特徴は、インダクタンス小、水冷ケーブルに比べて可撓性が悪い（任意方向の曲げは可能）、許容周波数は１０ｋＨｚまで、ケーブル本数を増やすことにより許容電流大（但し、可撓性が悪くなる。）等である。
【００１１】
従って、従来の高周波給電用導体は、高周波大電流（数１０ｋＨｚ、数千〜１万アンペア）を流すことは可能であるが、誘導加熱コイルの被加熱材に対する位置調整を容易に行うことができるものはなかった。
【００１２】
この発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、被加熱材の状態に対応した誘導加熱コイルの位置調整を容易に行うことができるとともに、製作や組立も容易に行うことができる誘導加熱装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明の請求項１に係る誘導加熱装置は、一端に高周波電源が接続され、他端に被加熱材を加熱する誘導加熱コイルが接続された高周波給電用導体を用いた誘導加熱装置において、被加熱材と誘導加熱コイルとの上下、左右、前後の相対的位置関係を調節できるように、高周波給電用導体を３つの導体で構成し、かつ前記導体は長孔とボルトの接続構造とするとともに、前記３つの導体の内部に該導体及び誘導加熱コイルを冷却するための冷却水が通る冷却水通路を形成したものである。
【００１４】
請求項２に係る誘導加熱装置は、冷却水通路の接続構造が、冷却水通路が相対的に移動しても水漏れしないように、一方の冷却水通路の端部形状を丸孔状とするとともに、他方の冷却水通路の端部形状を長孔状とし、冷却水通路の両端部の周囲を囲むように封止部材の溝を設け、該溝に封止部材を取り付けたものである。
【００１５】
請求項３に係る誘導加熱装置は、冷却水通路をキリ穴加工により形成するとともに、その加工口に非磁性材からなるプラグを螺合したものである。
【００１６】
請求項４に係る誘導加熱装置は、一端に高周波電源が接続され、他端に真空容器内において被加熱材を加熱する誘導加熱コイルが接続された高周波給電用導体を用いた誘導加熱装置において、高周波給電用導体が気密に挿通した真空容器の周壁の一部を移動自在に支持した位置調整機構と、真空容器の周壁の一部を真空容器に気密にかつ係脱自在に係止したクランプ機構と、高周波給電用導体の大気側端部と固定された高周波電源側との間に接続された可撓性のある水冷銅板とを備え、可撓性のある水冷銅板は、薄く可撓性のある銅板にその長さ方向に対して直角な方向に平行に複数の冷却水を通流させるための銅管をロー付けし、銅管同士及び銅管と給水源との間を可撓性のある配管により接続したものである。
【００１７】
請求項５に係る誘導加熱装置は、位置調整機構又はクランプ機構を遠隔操作可能としたものである。
【発明の効果】
【００１８】
以上のようにこの発明の請求項１によれば、高周波給電用導体を３つの導体により構成し、かつ前記導体を長孔とボルトの接続構造により接続しており、誘導加熱コイルを上下、左右、前後方向に移動させることができ、あらゆる負荷状況に応じて誘導加熱コイルの位置調整を行うことが出来る。又、冷却水通路の接続に金属製の冷却水配管を用いないので、誘導加熱コイルの位置調整が容易になるとともに、製造、組立も容易になる。
【００１９】
請求項２によれば、冷却水通路の接続において、一方の冷却水通路の端部形状を丸孔状とするとともに、他方の冷却水通路の端部形状を長孔状とし、この冷却水通路の両端部の周囲を囲むように封止部材の溝を設け、該溝に封止部材を取り付けており、高周波給電用導体同士あるいは高周波給電用導体と誘導加熱コイルとをボルトにより接続する際に冷却水通路間が相対的に移動しても水漏れしないように接続することができる。
【００２０】
請求項３によれば、冷却水通路をキリ穴加工により形成するとともに、その加工口に非磁性材からなるプラグを螺合して、加工口の封止をしており、ロー付け作業が不要となり、熱による材料の変形が発生せず、寸法精度が向上し、仕上加工も不要となり、大幅な工数削減が可能となり、熟練者も不要となった。又、プラグが非磁性材により形成されているので、電磁誘導による過熱は生じない。
【００２１】
請求項４によれば、高周波給電用導体の大気側端部と固定された高周波電源側との間を可撓性のある水冷銅板により接続しており、被加熱材の状態により誘導加熱コイルの位置を動かす際に、位置調整機構により真空容器の周壁の一部を動かすことにより誘導加熱コイルを大きく動かすことができ、請求項１，２のような長孔とボルトとの可動範囲を超えて、位置調整範囲を広げることができる。又、高周波給電用導体は可撓性のある水冷銅板を介して高周波電源側と接続しており、水冷銅板は可撓性のある銅板に冷却水を通流させる銅管をロー付けしており、大電流の通電が可能であるとともに、大きなスペースを必要としない。さらに、加熱コイルの位置調整時に、請求項１，２のようにボルトを緩めたり、締付けたりする必要がなく、位置調整が容易であり、かつ冷却水通路の接続に金属製の冷却水配管を用いないので、製造、組立も容易になる。
【００２２】
請求項５によれば、位置調整機構又はクランプ機構は遠隔操作が可能としており、誘導加熱コイルの位置変更を遠隔操作で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
実施最良形態１
以下、この発明を実施するための最良の形態を図面とともに説明する。図１（ａ），（ｂ）はこの発明の実施最良形態１による誘導加熱装置の要部平面図及び要部正面図、図２（ａ），（ｂ）は第１の導体１７の分解平面図及び分解正面図、図３（ａ），（ｂ）は第２の導体１９の平面図及び正面図、図４（ａ），（ｂ）は第３の導体２３の平面図及び正面図を示し、１７は一端が真空容器１に気密に挿入された一対の第１の導体であり、内部に冷却水通路１８が形成されるとともに、その一端１８ａ及び他端１８ｂには冷却水の流入口及び流出口が形成される。各第１の導体１７の大気側の一端には、取付孔１７ａを介して高周波電源４が接続される。又、各導体１７の真空側の他端には一対の第２の導体１９の一端が上下方向（第１の方向）移動可能に接続される。即ち、導体１７の他端には複数の長孔１７ｂが設けられ、この長孔１７ｂに挿通したボルト２０を導体１９に設けたねじ孔１９ａに螺合することにより導体１７，１９が上下方向移動可能に接続される。第２の導体１９も内部に冷却水通路２１が形成され、その一端２１ａは長孔状に形成され、冷却水通路１８の丸孔状に形成された他端１８ｂと突き合わされ、他端１８ｂと一端２１ａの周囲の第２の導体１９にＯリング溝を形成して第１のＯリング２２を嵌合する。そして、ボルト２０の締付により第１及び第２の導体１７，１９及び冷却水通路１８，２１が上下方向移動可能に接続されるとともに、冷却水通路１８，２１は水漏れしないように接続される。なお、冷却水通路１８，２１の端部１８ｂ，２１ａ及び第１のＯリング２２は図１においてはいずれも点線で示すべきものであるが、便宜上実線で示した。
【００２４】
２３は一端が第２の導体１９の他端に左右方向（第２の方向）移動可能に接続された一対の第３の導体であり、その一端に形成された長孔２３ａに挿通したボルト２４を第２の導体１９のねじ孔１９ｂに螺合することにより第３の導体２３を第２の導体１９に左右方向移動自在に接続する。第３の導体２３の内部にも冷却水通路２５が形成され、その丸孔状の一端２５ａが冷却水通路２１の長孔状の他端２１ｂと突き合わされ、その周囲を囲むように第２の導体１９にＯリング溝を形成し、このＯリング溝に第２のＯリング２６を嵌合し、ボルト２４の締付により各導体１９，２３及び冷却水通路２１，２５が左右方向移動可能に接続されるとともに、冷却水通路２１，２５は水漏れしないで接続される。なお、冷却水通路２１，２５の端部２１ｂ，２５ａ及び第２のＯリング２６は図１ではいずれも点線で示すべきものであるが、便宜上実線で示した。又、第１、第２及び第３の導体１７，１９，２３により高周波給電用導体３３が構成される。
【００２５】
２７は両端部が第３の導体２３の他端に前後方向（第３の方向）移動可能に接続され、被加熱材を誘導加熱する誘導加熱コイルであり、第３の導体２３の他端に形成された長孔２３ｂに挿通したボルト２８を誘導加熱コイル２７の両端部に形成されたねじ孔に螺合することにより誘導加熱コイル２７の端部を第３の導体２３に前後方向移動可能に接続する。誘導加熱コイル２７の内部にも冷却水通路２９が形成され、その丸孔状の一端２９ａが冷却水通路２５の長孔状の他端２５ｂと突き合わされ、その周囲を囲むように第３の導体２３にＯリング溝を形成し、このＯリング溝に第３のＯリング３０を嵌合し、ボルト２８の締付により導体２３及び誘導加熱コイル２７と、冷却水通路２５，２９とが前後方向移動可能に接続されるとともに、冷却水通路２５，２９は水漏れしないで接続される。
【００２６】
又、導体１７の外周には真空容器１の外面と係合する第１のフランジ部９がロー付けされ、フランジ部９の真空容器１側にはＯリング溝が形成され、このＯリング溝には第４のＯリング３１が嵌合される。フランジ部９には多くの取付孔が設けられ、この取付孔に挿通したボルトを真空容器１の外面に螺着することにより、導体１７を真空容器１に気密に取り付ける。
【００２７】
また、導体１７は第１のフランジ９の外面において真空側部分１７ｃと大気側部分１７ｄとに分割され、それぞれの分割端部からキリ穴加工により冷却水通路１８が形成される。又、大気側部分１７ｄの分割端部の外周に第２のフランジ部１１がロー付けされるとともに、分割端部における冷却水通路１８の端部にはＯリング溝を設け、このＯリング溝に第５のＯリング３２を嵌合する。そして、第１のフランジ部９に第２のフランジ部１１をボルトにより取り付ける。もちろん、第１のフランジ部９を真空容器１に取り付ける際に、一緒に第２のフランジ部１１を取り付けてもよい。このフランジ部９，１１の取付の際に、真空側部分１７ｃの冷却水通路１８の端部と大気側部分１７ｄの冷却水通路１８の端部とを第５のＯリング３２を介して水漏れしないように接続する。導体１７，１９における冷却水通路１８，２１のキリ穴加工した加工口１８ｃ，２１ｃにはテーパ雌ねじ加工を施し、この加工口１８ｃ，２１ｃには図５（ａ），（ｂ）に示す六角穴付きプラグ４２をシール材を介して螺合して閉塞する。六角穴付きプラグ４２は、非磁性材（真鍮、非磁性ステンレス材等）により製作する。導体２３の冷却水通路２５もキリ穴加工により形成するが、六角穴付きプラグ４２は設けない。各導体１７，１９，２３は全て上下対称構造であり、左右一対のうちのどちらにも使用することができる。
【００２８】
ここで、冷却水は、例えば、矢印に示すように、一方の第１の導体１７の大気側に位置する一端１８ａから流入し、導体１７の内部を通り、真空側の丸孔状の他端１８ｂから流出し、長孔状の端部２１ａから一方の第２の導体１９の冷却水通路２１内に入り、長孔状の端部２１ｂから出て、丸孔状の端部２５ａから一方の第３の導体２３の冷却水通路２５内に入り、その長孔状端部２５ｂ及び丸孔状端部２９ａを通って誘導加熱コイル２７の冷却水通路２９を通る。さらに、冷却水は、他方の第３の導体２３の冷却水通路２５、他方の第２の導体１９の冷却水通路２１及び他方の第１の導体１７の冷却水通路１８を通って、大気側端部１８ａから流出する。
【００２９】
実施最良形態１においては、第１〜第３の導体１７，１９，２３及び誘導加熱コイル２７を順次第１、第２及び第３の方向に移動可能に接続するとともに、それぞれに形成された冷却水通路１８，２１，２５，２９を水漏れしないように接続しており、誘導加熱コイル２７を前後、左右、上下方向に移動させることができ、あらゆる負荷状況に応じて誘導加熱コイル２７の位置調整を行うことができる。又、冷却水通路１８，２１，２５，２９の接続に金属製の冷却水配管を用いないので、誘導加熱コイル２７の位置調整が容易になるとともに、製造、組立も容易となる。又、冷却水通路１８，２１，２５の接続においては、一方の端部１８ｂ，２５ａ，２９ａの形状を丸孔状にするとともに、他方の端部２１ａ，２１ｂ，２５ｂを長孔状とし、これらの端部の周囲を囲んでＯリング溝を設け、これらのＯリング溝のそれぞれにＯリング２２，２６，３０を嵌合しており、冷却水通路１８，２１，２５を相対的に移動させても水漏れしないように接続することができる。さらに、従来では、導体１７，１９のように冷却水通路１８，２１をキリ穴加工した場合、加工口１７ｃ，２１ｃに蓋材をロー付けしたが、実施最良形態１では加工口１７ｃ，２１ｃにプラグ４２を螺合しており、ロー付けが不要となり、ロー付けによる材料伸縮、変形、ソリが発生せず、寸法精度が向上した。又、寸法精度が向上したので、ロー付け後の仕上加工も不要となり、大幅な工数削減が可能となり、熟練者による加工も不要となった。又、プラグ４２は非磁性材により形成されているとともに、冷却水に接し、かつ導体部分に埋まっているので、電磁誘導による過熱は生じない。また、導体１７，１９，２３は上下対称構造であるので、左右共用可能であり、予備品の保有数量を半減することができる。
【００３０】
なお、実施最良形態１においては、上下方向を第１の方向、左右方向を第２の方向、前後方向を第３の方向としたが、これらの方向は任意である。
【００３１】
実施最良形態２
図６（ａ）、（ｂ）及び図７はこの発明の実施最良形態２による誘導加熱装置の要部平面図、要部正面図及び要部側面図を示し、実施最良形態１と同様に高周波給電用導体３３を構成する一対の第１の導体１７は真空容器１の絶縁材からなる周壁の一部１ａに気密に挿通され、また第３の導体２３には真空容器１内において誘導加熱コイル２７が接続される。周壁の一部１ａはクランプ機構３４により真空容器１に気密にかつ係脱自在に係止され、クランプ機構３４は遠隔操作のモータ３５により駆動される。又、周壁の一部１ａはスライドガイド３６により上下動自在に支持されるとともに、遠隔操作のモータ３７により駆動される昇降ジャッキ３８により昇降される。導体１７の大気側端部には可撓性のない銅板３９ａに内部に冷却水を流す銅管３９ｂをロー付けした水冷銅板３９の一端を接続し、水冷銅板３９の他端には可撓性のある水冷銅板４０の一端を接続し、水冷銅板４０の他端には高周波電源側の位置固定の水冷銅板４１が接続される。
【００３２】
図８（ａ），（ｂ）は可撓性のある曲面状の水冷銅板４０の正面図及びそのＡ部拡大図であり、図９（ａ），（ｂ）は水冷銅板４０の側面図及びそのＢ−Ｂ線断面矢視図であり、厚さ１〜２ｍｍの比較的薄く可撓性がある銅板４０ａ間にはテフロン（登録商標）シート等の可撓性のある絶縁材料４０ｂが挟み込まれ、銅板４０ａ上には冷却水を流すための銅管４０ｃが銅板４０ａの長さ方向に対して直角な方向に平行に複数ロー付けされ、銅管４０ｃの端部は内側に曲げられてホース等の可撓性配管４０ｄが接続され、この可撓性配管４０ｄによって配管４０ｃ同士及び配管４０ｃと給水源とが接続される。又、電源側に固定された水冷銅板４１は、銅板４１ａに冷却水を流すための銅管４１ｂをロー付けして形成される。
【００３３】
実施最良形態２においては、高周波給電用導体３３の大気側端部と固定された高周波電源側との間を可撓性のある水冷銅板４０により接続しており、被加熱材の状態により誘導加熱コイル２７の位置を動かす際に、昇降ジャッキ３８により真空容器１の周壁の一部１ａを上下方向に動かすことにより誘導加熱コイル２７を大きく動かすことができ、実施最良形態１のような長孔とボルトとの可動範囲を超えて、位置調整範囲を広げることができる。又、高周波給電用導体３３は可撓性のある水冷銅板４０を介して高周波電源側と接続しており、水冷銅板４０は可撓性のある銅板４０ａに冷却水を通流させる銅管４０ｃをロー付けしており、大電流の通電が可能であるとともに、大きなスペースを必要とせず、また構造簡単で製作が容易である。さらに、誘導加熱コイル７の位置調整時に、実施最良形態１ようにボルトを緩めたり、締付けたりする必要がなく、位置調整が容易であり、かつ冷却水通路の接続に金属製の冷却水配管を用いないので、製造、組立も容易になる。又、昇降ジャッキ３８を駆動するモータ３７及びクランプ機構３４を駆動するモータ３５は遠隔操作が可能としており、誘導加熱コイル２７の位置変更を遠隔操作で行うことができる。
【００３４】
なお、実施最良形態２においては、真空容器１の周壁の一部１ａを上下方向に移動自在としたが、他の方向に移動自在としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】この発明の実施最良形態１による誘導加熱装置の要部平面図及び要部正面図である。
【図２】実施最良形態１による第１の導体の分解平面図及び分解正面図である。
【図３】実施最良形態１による第２の導体の平面図及び正面図である。
【図４】実施最良形態１による第３の導体の平面図及び正面図である。
【図５】実施最良形態１による六角穴付きプラグの平面図及び正面図である。
【図６】実施最良形態２による誘導加熱装置の要部平面図及び要部正面図である。
【図７】実施最良形態２による誘導加熱装置の要部側面図である。
【図８】実施最良形態２による誘導加熱装置の可撓性のある水冷銅板の正面図及びそのＡ部拡大図である。
【図９】実施最良形態２による誘導加熱装置の可撓性のある水冷銅板の側面図及びそのＢ−Ｂ線断面矢視図である。
【図１０】従来の誘導加熱装置の要部平面図及び要部正面図である。
【図１１】従来の誘導加熱装置に用いられる金属製配管の正面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１…真空容器
１ａ…真空容器の周壁の一部
４…高周波電源
１７，１９，２３…導体
１７ｂ，２３ａ，２３ｂ…長孔
１８，２１，２５，２９…冷却水通路
１８ｂ，２５ａ，２９ａ…丸孔状端部
１８ｃ、２１ｃ…加工口
１９ａ，１９ｂ…ねじ孔
２０，２４，２８…ボルト
２１ａ，２１ｂ，２５ｂ…長孔状端部
２２，２６，３０〜３２…Ｏリング
２７…誘導加熱コイル
３３…高周波給電用導体
３４…クランプ機構
３５，３７…モータ
３６…スライドガイド
３８…昇降ジャッキ
４０，４１…水冷銅板
４０ａ…銅板
４０ｃ…銅管
４０ｄ…可撓性配管
４２…六角穴付きプラグ
【図１】
2007109623.tif 000003
【図２】
2007109623.tif 000004
【図３】
2007109623.tif 000005
【図４】
2007109623.tif 000006
【図５】
2007109623.tif 000007
【図６】
2007109623.tif 000008
【図７】
2007109623.tif 000009
【図８】
2007109623.tif 000010
【図９】
2007109623.tif 000011
【図１０】
2007109623.tif 000012
【図１１】
2007109623.tif 000013