(57)【要約】【課題】  単純な構造でありながら、可動弁の応答性や流量の低下を抑制し、より少ない電力でも応答性を向上させると同時に所要の出力を得ることができる弁装置を提供する。【解決手段】  ソレノイド２１内に配置した固定鉄心１０の一端に可動弁５を吸着するための磁気吸着面を有するソレノイド部２、ソレノイド部と連設し、その連設部に加圧流体の入力流路３３及び出力流路３６を開口させた弁ボディ部３、出力流路の周りの弁座３９を開閉する常磁性材の遊動可能な可動弁５を備える。可動弁により弁ボディ部３の出力流路を開閉する際の開閉ストロークを、該可動弁５の互いに対向する両端部において相違させる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイル内に配置した固定鉄心の一端に可動弁を吸着するための磁気吸着面を設けると共に、その他端側からコイルの周囲を上記磁気吸着面側に延びる磁気フレームを設けたソレノイド部と、該ソレノイド部と連設し、その連設部に加圧流体の入力流路及び出力流路を開口させた弁ボディ部と、上記出力流路の周りの弁座を開閉する常磁性材の遊動可能な可動弁を備え、上記ソレノイド部の作動に応じて可動弁により上記弁座の開閉を行う弁装置において、
上記可動弁により弁ボディ部の出力流路を開閉する際の開閉ストロークを、該可動弁の互いに対向する両端部において相違させた、
ことを特徴とする弁装置。
【請求項２】
上記ソレノイド部と弁ボディ部をストローク調整手段を介して連設した、
ことを特徴とする請求項１に記載の弁装置。
【請求項３】
上記ストローク調整手段を、上記可動弁の互いに対向する両端部に対応する部位の高さが相違するスペーサで構成した、
ことを特徴とする請求項２に記載の弁装置。
【請求項４】
上記ストローク調整手段を、該ソレノイド部あるいは弁ボディ部の連設面における上記可動弁の互いに対向する両端部に対応する部位の高さを相違させて構成した、
ことを特徴とする請求項２に記載の弁装置。
【請求項５】
上記可動弁の磁気吸着面側における該可動弁の互いに対向する両端部の高さを相違させて構成した、
ことを特徴とする請求項１に記載の弁装置。
【請求項６】
上記ソレノイド部における固定鉄心の磁気吸着面を略長方形状として、上記可動弁を該固定鉄心の磁気吸着面を覆う略長方形状に形成した、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の弁装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、構造が単純でありながら省電力で応答性が良好な２ポートの弁装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、可動鉄心を有するソレノイド部と、このソレノイド部に連設し、加圧流体の入力流路及び出力流路を有するとともに、それらの流路間の弁座を前記可動鉄心で駆動される弁体で開閉するようにしたボディ部とを備えた弁装置において、前記ソレノイド部の可動鉄心のストロークをできるだけ小さくし、それによってソレノイド部を小型化できるようにした技術が開示されている。
また、特許文献２には、電磁力等で駆動される板状の弁体により出力側流路の開口を開閉するようにした開閉弁において、小ストロークで流量を大きくしながら装置全体を小型化できるようにした技術が開示されている。
これらの開閉弁は、可動鉄心の小ストロークで全開するため、応答性において優れたものである。
【０００３】
前記特許文献１及び特許文献２の開閉弁のように、小型のソレノイドで開閉のストロークをできるだけ小さくし、それによって弁の開閉の応答性を改善した弁装置では、その多数を密に並列配置して全体的にコンパクト化しようとすると、弁ボディ部の幅を可及的に小さくすると同時に、小型化しているソレノイドの一層の小型化が必要になり、応答性や流量の低下を抑止しながらそれらを実現するためには、何らかの大幅な構造的な改変を考慮する必要がある。
【０００４】
上述のような問題点を解決するものとして、特許文献３には、加圧流体の出力流路の開閉を行うソレノイド弁装置において、固定鉄心の一端の吸着面を同一平面に隣接して配列させた複数のソレノイドと、それらのソレノイドを覆う共通の磁気フレームとを有し、通電時に隣接するソレノイドの固定鉄心に生じる磁束の極性が逆向きまたは同方向になるように配線されたソレノイド部、弁座が上記複数のソレノイドの配列方向に長く形成された弁ボディ部、並びにその弁座を開閉する常磁性体の可動弁を備えたものが開示されている。この弁装置は、小ストロークの開閉弁で、応答性や流量の低下を抑制しながらも所要の出力が得られる点で極めて有効なものである。
【０００５】
ところで、近年、経済的な観点からは勿論、環境保護の観点からも省電力化が急務となっている。然るに、前記特許文献３に記載されているようなソレノイド弁装置では、ソレノイドの固定鉄心から弁座を開閉する可動弁に作用する吸引力は、当然のことながら固定鉄心と可動弁とのストロークが短い方が強くなり、すなわち応答性が向上し、またソレノイドにおける消費電力も少なくて済むが、可動弁と弁座（出力開口）との間のクリアランスも小さくなるため、結果的に所要の出力を確保することができないという問題点がある。一方、固定鉄心と可動弁との間のストロークを長くすると、所要の出力は確保できるものの、ストロークが短い場合と同じ電力では吸引力が低下し応答性が低下することとなり、応答性の低下を抑制するためにはより多くの電力が必要となる。また、吸引力を強くすることで、可動弁の開弁時に固定鉄心等の磁気吸着面に強く衝突することになるため、大きな衝突音が発生するばかりでなく、当該弁装置の寿命も短くなってしまう。
而して、応答性や流量の低下を抑制しながらも、より小さな吸引力、すなわち少ない電力で所要の出力が得られ、しかも静かで寿命の長い弁装置が要望されている。
【０００６】
【特許文献１】実公昭５８−３３３３４号公報
【特許文献２】実公平５−１１４０９号公報
【特許文献３】特開２００４−３３２８７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
如上に鑑み、本発明の技術的課題は、単純な構造でありながら、可動弁の応答性や流量の低下を抑制し、より少ない電力でも応答性を向上させると同時に所要の出力を得ることができる弁装置を提供することにある。
本発明の他の技術的課題は、単純な構造として組立を容易にすることにより、品質が安定し信頼性の高い弁装置を安価に提供することにある。
本発明の他の技術的課題は、可動弁の開弁時に固定鉄心等の磁気吸着面に衝当する際の衝撃を緩和し、静かで寿命の長い弁装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明は、コイル内に配置した固定鉄心の一端に可動弁を吸着するための磁気吸着面を設けると共に、その他端側からコイルの周囲を上記磁気吸着面側に延びる磁気フレームを設けたソレノイド部と、該ソレノイド部と連設し、その連設部に加圧流体の入力流路及び出力流路を開口させた弁ボディ部と、上記出力流路の周りの弁座を開閉する常磁性材の遊動可能な可動弁を備え、上記ソレノイド部の作動に応じて可動弁により上記弁座の開閉を行う弁装置において、上記可動弁により弁ボディ部の出力流路を開閉する際の開閉ストロークを、該可動弁の互いに対向する両端部において相違させたことを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の弁装置の好ましい実施形態においては、上記ソレノイド部と弁ボディ部をストローク調整手段を介して連設するのが適切であり、この場合、上記ストローク調整手段を、上記可動弁の互いに対向する両端部に対応する部位の高さが相違するスペーサで構成するか、若しくは、該ソレノイド部あるいは弁ボディ部の連設面における上記可動弁の互いに対向する両端部に対応する部位の高さを相違させて構成することができる。
また、本発明の弁装置の他の好ましい実施形態においては、上記可動弁の磁気吸着面側における該可動弁の互いに対向する両端部の高さを相違させて構成するのが適切である。
さらに、本発明の弁装置においては、上記ソレノイド部における固定鉄心の磁気吸着面を略長方形状として、上記可動弁を該固定鉄心の磁気吸着面を覆う略長方形状に形成するのが有効である。
【発明の効果】
【００１０】
以上に詳述した本発明によれば、単純な構造でありながら、より省電力で応答性を向上させることができると同時に所要の出力を得ることができる。また、可動弁の開閉ストロークを該可動弁の対向する両端部において相違させるという単純な構造としているため、弁装置自体の組立が容易であり、したがって品質が安定し信頼性の高い弁装置を安価に提供することができる。さらに、開弁時において、可動弁が開閉ストロークの短い側の端部と長い側の端部とで２段階にストロークするため、該可動弁が固定鉄心等の磁気吸着面に衝当する際の衝撃が緩和されると同時にその衝突音も抑制され、静かで寿命の長い弁装置を得ることができ、特に可動弁の開閉ストロークの短い側の端部の存在により応答性が改善される。一方、閉弁時においても、上記ストロークの差異に基づいて可動弁における上記開閉ストロークの短い側の動作が早く、結果的に、開弁及び閉弁時ともに可動弁の応答速度が向上することになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいてさらに詳しく説明する。
図１乃至図４は、本発明に係る弁装置の実施例を示すもので、この弁装置１は、概略的には、ソレノイド部２と、このソレノイド部２に連設され、加圧流体の入力流路３３及び出力流路３６を有する弁ボディ部３と、上記ソレノイド部２の作動に応じて上記弁ボディ部３における出力流路３６の開閉動作をするところの常磁性体からなる板状の可動弁５と、ソレノイド部２と弁ボディ部３との間に介装されて上記可動弁５のストローク調整手段を構成するスペーサ４とを備えている。
【００１２】
上記ソレノイド部２は、ボビン２３にコイル２２を巻回することにより形成したソレノイド２１を有し、該ソレノイド２１は、ボビン２３内に配設した断面が略長方形状の固定鉄心１０を備え、該固定鉄心１０は、その一端に可動弁５を吸着するための略長方形の磁気吸着面１４を備えている。また、該ソレノイド２１を覆うように磁気フレーム２４が設けられている。この磁気フレーム２４は、具体的には、その天板部２４ａが固定鉄心１０の磁気吸着面１４と反対側の端面に接していて、そこにかしめることにより固定され、その天板部２４ａの両端からコイル２２の周囲を上記磁気吸着面１４側に向かって、先端面が該吸着面１４とほぼ同一面になるところまで延伸され、側板部２４ｂの下端部と固定鉄心１０の上記磁気吸着面１４との間は、上記ソレノイド２１の厚さ分だけの空間が形成され、それらの間は磁気的に直接接合しないようにしている。
【００１３】
上記磁気フレーム２４は、図１に示すように、前記天板部２４ａ及びその両端側の側板部２４ｂにより、ソレノイド２１を覆う断面コ字状の常磁性材からなるものであるが、磁路断面を拡大する必要がある場合には、図１におけるソレノイド２１の前後面を覆う側板部をも当該磁気フレーム２４の一部として構成することができる。
【００１４】
上記磁気フレーム２４の外周は、前記天板部２４ａ及びその両端側の側板部２４ｂまでの全体が、合成樹脂材からなる封止材２９で覆われ、該封止材２９の上部から、図１乃至図３に示すように、ソレノイド２１のコイルと電気的に接続した２本のコイル端子５０，５０を立設している。上記封止材２９の上面は合成樹脂製のカバー５５で覆われ、該カバー５５内において上記コイル端子５０，５０にそれぞれ通電回路に導通するリード線５４を接続している。該リード線５４は、カバー５５の長手方向の一端に設けた導出口５６より外部に導出されている。該カバー５５は、それに一体に付設した一対のフック５７を封止材２９に設けた係止穴５８内の座部に弾性的に係止させることにより（図２参照）、封止材２９に固定されるものである。
なお、上記ソレノイド２１への通電のための構成は、上述のものに限定されるものではなく、例えば、封止材２９の上面に別途プリント基板を配設して、該プリント基板上に受電端子を立設し、該受電端子をカバー５５に設けた端子筒に収めるようにしたコネクタ方式等とすることができる。
【００１５】
また、図４に明瞭に示すように、上記封止材２９の下面には、上記可動弁５の周辺部に位置する平面状の接合用周辺部２９ａが形設され、その内側に沿って、該可動弁５が開弁時に当接する複数の凸部２９ｂ，２９ｂ・・を適宜間隔で設けている。これらの凸部２９ｂは、前記固定鉄心１０の磁気吸着面１４及びフレーム２４の側板部２４ｂの下端面と略同一面上であるが若干に突出するように設けられ、上記可動弁５の開弁時にそれが該磁気吸着面１４や磁気フレーム２４の側板部２４ｂに衝突して衝突音が発生し、あるいは、磁気吸着面１４等への可動弁５の密着で閉弁の応答性が低下するのを抑止している。
【００１６】
一方、上記ソレノイド部２にスペーサ４を介して連設される弁ボディ部３は、図１乃至図３に示すように、圧縮空気の入力流路３３及び出力流路３６、並びにそれらの流路間に位置するところの弁座３９を有するボディ３７を備え、また、上記弁ボディ部３の底面には、上記入力流路３３に連通して圧縮空気を供給する入力口３１を設けるとともに、上記出力流路３６に連通して圧縮空気を出力する出力口３５を設け、それらを適宜ベース４０に設けた流路に連通させるようにしている。
なお、上記弁ボディ部３のボディ３７は、上記入力口３１及び出力口３５に代えて、入力流路３３及び出力流路３６に直接配管するための接続ポートを形成したものでもよい。
【００１７】
上記出力流路３６は、弁ボディ部３の長手方向に長い長円形の弁座３９内に開口させ、しかも、それが上記入力流路３３に囲まれるように、入力流路３３の中央部に開口させている。
そして、上記弁座３９は、ソレノイド２１における固定鉄心１０の吸着面１４に対向する位置に設けられ、弁ボディ部３のボディ３７とソレノイド部２との間には、該ソレノイド部２への通電時に固定鉄心１０及び磁気フレーム２４の側板部２４ｂに吸着される前記可動弁５を収容するように形成し、該可動弁５により弁座３９が開閉される。
【００１８】
上記ソレノイド部２と弁ボディ部３との間に介装されるスペーサ４は、上記可動弁５のストローク調整機構を構成するもので、図２に示すように、該可動弁５の長手方向の両側の側方端部５ａ，５ｂにおける開閉ストロークＴａ，Ｔｂに差を付けるため、可動弁５の上記側方端部５ａ，５ｂに近接位置する当該スペーサ４の側方端部４ａ，４ｂの高さ（厚さ）Ｈａ，Ｈｂを相違させ、即ち該スペーサ４の側方端部４ａ，４ｂの高さがＨａ＞Ｈｂとなるように、該スペーサ４にテーパーを付することにより、可動弁５の長手方向両側の側方端部５ａ，５ｂにおける開閉ストロークが、Ｔａ＞Ｔｂとなるように構成している。
なお、上記スペーサ４に設けたピン４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈは、該スペーサ４の組付け時にそれらを封止材２９及びボディ３７に設けた位置決め穴に嵌入させて該スペーサ４の位置決めを行うためのものである。
【００１９】
上記可動弁５は、図３に示すように、上記ソレノイド部２における固定鉄心１０の磁気吸着面１４を及び磁気フレーム２４の一対の側板部２４ｂ覆い、且つ上記弁座３９をカバーできる常磁性の鉄片により略長方形板状に形成され、その形態の中に固定鉄心１０とその両側の磁気フレーム２４の側板部２４ｂに吸引される部分を有している。また、該可動弁５は、ソレノイド部２とボディ３７との間において、周縁の一部をスペーサ４にガイドさせて弁座３９の開閉方向に遊動自在に設置されている。そのため、この可動弁５の周囲には、入力流路３３から該可動弁５とソレノイド部２との間に圧縮空気が流れる流路が形成されている。
【００２０】
この可動弁５は、ソレノイド２１への通電時には固定鉄心１０の吸着面１４及び磁気フレーム２４の一対の側板部２４ｂとの間に発生する磁気吸引力によって、弁座３９から離間して開弁するものである。さらに詳細には、上述したように、可動弁５の開閉ストロークをその長手方向両側の側方端部５ａ，５ｂで相違させているから、通電時においては、開閉ストロークが短い側の該可動弁５の側方端部５ｂに、より強い磁気吸引力が作用し、固定鉄心１０の吸着面１４及び磁気フレーム２４の側板部２４ｂにより該側方端部５ｂが引起され、先に可動弁５の側方端部５ｂ側における弁座３９が開放される。すると、そこから出力流路３６への圧縮空気の流出が始まり、入力流路３３より可動弁５の上面に流入して該可動弁５を閉弁方向に押圧する圧縮空気の押圧力が低下するとともに、開閉ストロークが長い側の可動弁５の側方端部５ａ側も固定鉄心１０の吸着面１４及び磁気フレーム２４の側板部２４ｂ先端との間の距離がより近接するため、それらの間の吸引力が増加し、弁座３９における可動弁５の側方端部５ａ側が一気に開弁する。すなわち、可動弁５の吸引による開弁時に、てこの原理を作用させることで、瞬時ではあるが２段階的に、小さな吸引力で安定的にしかも応答性よく弁座３９が開放される。
【００２１】
上記通電時においては、該可動弁５の開閉ストロークが短い側方端部５ｂ側では、他方の開閉ストロークが長い側方端部５ａ側に比べて開放量が絞られているので流速が大きく、そのため、上記通電を解除してソレノイド２１による吸引力がなくなった時点では、可動弁５における上記側方端部５ｂ側の圧力が低くなっているので、該可動弁５を弁座３９側に引き込む作用力が大きく、従って、可動弁５は該側方端部５ｂ側から閉弁動作を開始する。これにより、可動弁５における吸着面側に隙間が生じると、入力流路３３を通じて可動弁５の吸着面側に流入した圧縮空気により該可動弁５が押圧されて一気に弁座３９に押し付けられ、出力流路３６が閉鎖されてる。
【００２２】
この可動弁５の開閉ストロークは、非常にわずかなものであるが、弁座３９の平面形状を開口面積に対して開口周長が長い長円形状とすることで、応答性良く圧縮空気の大きい流量を確保することができる。
なお、この実施例においては、可動弁５を弁座３９に着座させるための手段として、上記入力流路３３から可動弁５上に達した流体の圧力を利用しているが、バネ等の他の手段を用い、あるいはそれらを併用することができる。
【００２３】
このように構成されたソレノイド部２、弁ボディ部３、及びスペーサ４は、図１乃至図３に示すように、ソレノイド部２における封止材２９とスペーサ４との連設面、及び弁ボディ部３におけるボディ３７とスペーサ４との連設面に刻設された溝に、それぞれ第１シール部材４１及び第２シール部材４２が装着され、また、ボディ３７の下面の溝にも第３シール部材４３が装着され、そして、弁ボディ部３とスペーサ４とソレノイド部２とは、それらに形成されたボルト穴６２に固定ボルト６１を挿通し、それによって気密状に結合一体化される。なお、上記弁ボディ部３、スペーサ４及び封止材２９を固定ボルト１でカバー５５に固定してもよい。このときは、カバー５５に形成されるフック５７は必ずしも必要でない。
また、この一体化した弁装置１は、入力口３１及び出力口３５に連通する流路を備えたベース４０の取付面に、カバー５５、封止材２９、スペーサ４及びボディ３７に形成されたボルト穴６４に固定ボルト６３を挿通することによって、気密状に取り付けられるものである。
【００２４】
図５及び図６は、本発明における可動弁５の他の構成例を示すもので、可動弁５における弁ボディ部３の弁座３９を開閉する側の面に、該弁座３９を覆う程度の大きさのゴムライニングにより形成したクッション材５１を付設することにより、可動弁５の閉弁時に該可動弁５が弁座３９に衝突する際の衝撃を吸収すると共に、衝突時に衝突音が発生するのを抑制し、しかも、弁座３９のシール性を改善している。
なお、上記クッション材５１の付設は、ゴムライニングに限るものではなく、各種シール材の貼着によることもできる。また、図５の弁装置におけるその他の構成及び作用は、前記図１乃至図４の実施例と変わるところがないので、主要部分に同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００２５】
また、図７並びに図８の（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明における可動弁５の更に別の構成例を示すもので、可動弁５に設けるクッション部５２を、可動弁５における弁ボディ部３の弁座３９に対向する側の面に設けるところの、該弁座３９を覆う程度の大きさのゴムライニングによるクッション部５２ａと、固定鉄心１０の磁気吸着面１４側の面に設けるところの、ソレノイドによる吸着時に封止材２９の下面に当接するクッション部５２ｂとを有するものとし、それらのクッション部５２ａ，５２ｂを、クッション部５２ａの長手方向両端部において可動弁５の穴５３を通じて一体的に成形することにより構成している。この場合、前記封止材２９には必ずしも凸部２９ｂを設ける必要はない。
【００２６】
このように構成することにより、可動弁５の閉弁時に該可動弁５が弁座３９に衝突する際の衝撃を吸収すると共に、衝突時に衝突音が発生するのを抑制し、しかも、弁座３９のシール性が改善され、また、可動弁５の開弁時に該可動弁５が固定鉄心１０や磁気フレーム２４等に衝突して衝突音が発生するのを抑制することができる。
なお、図７の弁装置におけるその他の構成及び作用は、前記図１乃至図４の実施例と変わるところがないので、主要部分に同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００２７】
上記実施例の弁装置１においては、上記可動弁５により弁ボディ部３の出力流路３６を開閉する際の開閉ストロークを該可動弁５の互いに対向する両端部において相違させるための手段として、スペーサ４に、その両側方端部４ａ，４ｂの高さが異なるようにするためのテーパーを付しているが、本発明における上記手段は、かかる実施例の態様に限定されるものではなく、以下に説明する各種実施の態様をとることができる。
【００２８】
先ず、上記スペーサ４におけるテーパーを付する方向を図１乃至図４に示す実施例の場合と直交する方向にすることができ、即ち、図９に他の実施例として例示するように、可動弁５の長手方向両端側の端部５ｃ，５ｄにおける開閉ストロークに差をもたせるべく、スペーサ４に、その両端部４ｃ，４ｄの高さが異なるようにするためのテーパーを付し、該スペーサ４の端部４ｃ，４ｄの高さ（厚さ）Ｈｃ，ＨｄがＨｃ＞Ｈｄとなるようにして、可動弁５の長手方向両端側の端部５ｃ，５ｄの開閉ストロークが、Ｔｃ＞Ｔｄとなるように構成することができる。
【００２９】
なお、この実施例における上記以外の構成は、図１乃至図４の実施例と変わるところがなく、また、この実施例における作用は、図１乃至図４の実施例と比べて、可動弁５の開弁動作が先の実施例と直交する方向に変わるだけで、その他の点においては差異がないので、同一または相当部分に同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【００３０】
また、上記可動弁５の開閉ストロークを該可動弁５の互いに対向する両端部において相違させるための手段として、上記実施例においては、可動弁５の互いに対向する両端部に対応する部位の高さが相違するスペーサ４を用いているが、別に成形したスペーサ４を用いる必要はなく、それを予めソレノイド部２の封止材２９と一体的に形成しておくことができ、あるいは、上記スペーサ４を予め弁ボディ部３におけるボディ３７と一体的に形成しておくこともできる。即ち、該ソレノイド部２あるいは弁ボディ部３の連設面における上記可動弁５の互いに対向する両端部５ａ，５ｂ、または５ｃ，５ｄに対応する部位の高さを相違させて構成することができる。
【００３１】
さらに、上記可動弁５の開閉ストロークを該可動弁５の互いに対向する両端部において相違させるための手段として、例えば、可動弁５自体の磁気吸着面側における該可動弁５の互いに対向する長手方向両側の側方端部５ａ，５ｂ（図２）の高さ寸法を相違させ、あるいは、可動弁５自体の長手方向両端側の端部５ｃ，５ｄ（図９）の高さ寸法を相違させてもよい。この高さ寸法を変化させるためには、可動弁５に必要なテーパーを付し、または、可動弁５の上面（吸着面）に段差を付することができる。
【００３２】
上述した弁装置１は、穀類や半導体チップなどの粒子状物体に含まれる不純物を吹き飛ばして除去する選別装置等に利用するのに適し、その場合、特に、多数の弁装置１を並設して多数の粒子状物体を一挙に処理できるようにするために、単純な構造でありながら可動弁の応答性や流量の低下を抑制し、より省電力でも応答性を向上させると同時に所要の出力を得ることができるようにしたことは、機能的にも経済的にも極めて有効である。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に係る弁装置の実施例を示す断面図である。
【図２】同側断面図である。
【図３】同分解斜視図である。
【図４】上記実施例におけるソレノイド部の下面図である。
【図５】上記実施例とは異なる可動弁を備えた弁装置の構成例を示す断面図である。
【図６】上記可動弁の下面側の斜視図である。
【図７】図５の場合とは異なる可動弁を備えた弁装置の構成例を示す断面図である。
【図８】（Ａ）は図７の可動弁を下面側から見た斜視図、（Ｂ）は同上面側の斜視図である。
【図９】本発明の他の実施例の要部断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１    弁装置
２    ソレノイド部
３    弁ボディ部
４    スペーサ
５    可動弁
５ａ，５ｂ    側方端部
５ｃ，５ｄ    端部
１０    固定鉄心
１４    磁気吸着面
２２    コイル
３３    入力流路
３６    出力流路
３９    弁座
Ｔａ，Ｔｂ  開閉ストローク
【図１】
2007016824.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2007016824.tif 000006
【図５】
2007016824.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007016824.tif 000009
【図８】
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【図９】
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