(57)【要約】【課題】隔壁を備えた基板が伸縮し寸法精度の低い基板でも、着弾位置がずれることなく描画できる、機能液滴を所望の量にコントロールし描画が可能となる塗工装置の制御方法を提供することである。【解決手段】配列された複数のインク吐出部と、直交する方向にステージ上の基板とインク吐出部を相対移動させ、一定距離移動する毎に、データトリガー信号が出力され、各インク吐出部から、インクを吐出するともに、仮想的に分離された個別領域毎にインク吐出位置を補正及びインク吐出量を補正するようにしたインクを吐出する塗工装置の制御方法であって、特定の個別領域のインク吐出に際、基板上に形成したパターンの位置情報を抜き出し、位置のズレ量及びインク吐出領域の面積のズレ量の特徴値を演算、記憶された特徴値に基づいてインク吐出位置及びインク吐出量を補正し、塗工するカラーフィルタ用の塗工装置の制御方法。【選択図】図１
2007268322.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の方向に配列されたインクを吐出する複数のインク吐出口を含むインク吐出部と、前記第一の方向に直交する第二の方向に沿って、ステージ上の基板とインク吐出部を相対移動させ、インク吐出部が一定距離移動する毎に、データのトリガー信号が出力され、このデータのトリガー信号により、各インク吐出部に配列されたインク吐出口から、インクを選択的に吐出することにより着色インク層を形成するようにするとともに、仮想的に分離された個別領域毎にインク吐出口の位置を補正する及びインク吐出量を補正するようにしたインクを吐出するカラーフィルタの製造に用いる塗工装置の制御方法であって、
特定の個別領域のインク吐出に際して、その個別領域の予め基板上に形成したパターンの位置情報を抜き出し、
その位置情報に基づいて、特定の個別領域の位置のズレ量及びインク吐出領域の面積のズレ量の特徴値を演算して記憶し、
記憶された特徴値に基づいて特定の個別領域のインク吐出位置及びインク吐出量を補正し、
補正したインク吐出位置に、補正したインク吐出量を特定の個別領域に塗工することを特徴とする塗工装置の制御方法。
【請求項２】
前記塗工装置の制御方法は、少なくとも下記の手順を含む構成により特定の個別領域の特徴値の情報に基づいて、特定の個別領域を塗工することを特徴とする請求項１記載の塗工装置の制御方法。
（ａ）予め基板上に形成したパターンの位置の測定情報を入力する手順。
（ｂ）前記パターンの位置の測定情報を仮想的に分離された個別領域に分割する手順。
（ｃ）前記個別領域毎に、前記パターンの位置の測定情報と、塗工データからのビットマップデータとを照合し、位置のズレ量及びインク吐出領域の面積のズレ量の特徴値を演算する手順。
（ｄ）前記位置のズレ量及びインク吐出領域の面積のズレ量の特徴値よりの情報のトリガー信号を生成する手順。
【請求項３】
前記インク吐出部が一定距離移動する毎に、特定の個別領域毎の特徴値からの情報のトリガー信号の有、若しくは無を確認し、情報のトリガー信号の有の場合のみ、インク吐出部に対し情報のトリガー信号が出力され、前記データのトリガー信号が情報のトリガー信号に変更され、この情報のトリガー信号により、特定の個別領域の特徴値の情報に基づいて、特定の個別領域を塗工することを特徴とする請求項１、又は２記載の塗工装置の制御方法。
【請求項４】
前記予め基板上に形成したパターンの位置情報は、隔壁のパターンの位置情報であり、仮想的に分離された個別領域が隣会う隔壁間の領域であることを特徴する請求項１乃至３のいずれか１項記載の塗工装置の制御方法。
【請求項５】
前記位置のズレ量は、基板の膨張率パラメータから生成され、その温度伸縮のデータも加味して特徴値を演算することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の塗工装置の制御方法。
【請求項６】
第一の方向に配列されたインクを吐出する複数のインク吐出口を含むインク吐出部と、前記第一の方向に直交する第二の方向に沿って、ステージ上に載置した基板とインク吐出部を相対移動させ、前記インク吐出部が一定距離移動する毎に、データのトリガー信号が出力され、このデータのトリガー信号により、各インク吐出部に配列されたインク吐出口から、インクを選択的に吐出することにより着色インク層を形成するようにするとともに、仮想的に分離された個別領域毎にインク吐出口の位置を補正する及びインク吐出量を補
正するようにしたインクを吐出するカラーフィルタの製造に用いる塗工装置であって、
前記請求項１乃至５のいずれか１項記載の塗工装置の制御方法を装備したことを特徴とする塗工装置。
【請求項７】
第一の方向に配列されたインクを吐出する複数のインク吐出口を含むインク吐出部と、前記第一の方向にほぼ直交する第二の方向に沿って、ステージ上に載置した基板とインク吐出部を相対移動させ、インク吐出部が一定距離移動する毎に、データのトリガー信号が出力され、このデータのトリガー信号により、各インク吐出部に配列されたインク吐出口から、インクを選択的に吐出することにより着色インク層を形成するようにするとともに、仮想的に分離された個別領域毎にインク吐出口の位置を補正する及びインク吐出量を補正するようにしたインクを吐出する塗工装置を用いて製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記請求項６記載の塗工装置を用いてカラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムベースのカラーフィルタ製造方法、ガラスベースのカラーフィルタ製造方法、ＥＬ製造方法、薄膜電子回路基板の製造方法に係わり、基板の大きさに係わらず、製造できる手段を提供する塗工装置の制御方法及びそれを用いた塗工装置及びカラーフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の塗工装置は、複数の機能液滴吐出ヘッドを配設したキャリッジ（インクジェットヘッド）と、基板が相対的に移動し、移動するインクジェットヘッドを連続的に位置検出し、吐出信号のトリガー信号を生成し、その信号に基づいて液滴吐出を行っていた。
【０００３】
従来の塗工装置の吐出方法では、正確な温度管理のもとで正確な露光がなされたガラス基板上に隔壁が配置された基板に液滴吐出を行う場合、相対移動における基板の位置検出から生成された吐出信号に基づいて液滴吐出を行えば、着弾位置はずれることはない。
【０００４】
図５は、従来の制御例であり、基板上の隔壁が精度良く配置された結果、着弾位置にずれが生じていないことを示す側断面図である。
【０００５】
図５では、予め基板上に形成された隔壁２４が精度良く配置された結果、データ（ビットマップデータ）よりのトリガー信号が隔壁の位置精度に合致し、その結果、各々吐出したインクは、所定の位置の隔壁間に形成されている。図５上のｔ0〜ｔ1の隔壁間の距離は正常な距離であり、正常なインキ厚であり、ｔ1〜ｔ2の隔壁間の距離も正常であり、正常なインキ厚のインキ皮膜である。
【０００６】
しかし、従来方法では、理想的な露光や温度管理は望めず基板が伸縮し、あるいは隔壁が露光された時点でのズレから生ずる寸法精度の悪い隔壁を有する基板に対しては、正確な着弾を望めない。
【０００７】
図６は、従来の制御例であり、基板上の隔壁が精度悪く配置された結果、着弾位置にずれが生じていることを示す側断面図である。
【０００８】
図６では、予め基板２２上に形成された隔壁２４が精度悪く配置された被吐出基板である。その結果、データ（ビットマップデータ）よりのデータのトリガー信号３６が隔壁の位置精度に一致しない。その結果、前記データのトリガー信号を受信し、各々吐出したインクは、隔壁の所定位置からズレが生じて、各々隔壁間に形成されていない。すなわち隔壁と吐出膜の合わせ不良となる品質低下の製品である。図６上ｔ0〜ｔ1の隔壁間の距離は正常な距離であり、正常なインキ厚であり、ｔ1〜ｔ2の隔壁間の距離は伸長した距離であり、隔壁間の中央に吐出されず、異常なインキ厚のインキ皮膜である。
【０００９】
従来の塗工装置を構成する機能ブロックでは、メインコントローラ１及びステージコンローラ２、トリガーコントローラ３、エンコーダコントローラ４と連携し、塗工装置の全体を制御する部位である。従来の機能ブロックでは、パターンデータ（ビットマップデータ）をトリガーコントローラ３及びエンコーダコントローラ４に送信し、そのデータによりトリガーコントローラ３はトリガー信号３６（データのトリガー信号）を生成し、エンコーダコントローラ４は、前記トリガー信号３６を受信した後、吐出タイミング波形３５を生成する。従って、トリガー信号３６と吐出タイミング波形３５とは同じタイミングと
なり、基板２２上の隔壁の位置によるタイミングと不同期となる場合がある（図１の部分を参照）。
【００１０】
すなわち、従来方法では温度により伸縮する材料をベースとした基板に対しての機能液滴吐出による描画によって、カラーフィルタの製造はできない。
【００１１】
また、基板の伸縮を皆無にすることは非常に困難である。
【００１２】
このため、ベース材料が伸縮し寸法精度の悪い隔壁を有する基板に対して、所望の位置に着弾する方法が必要になる。
【００１３】
また、機能液滴が色を表現することが目的であった場合において，面の位置がＣＡＤなどデジタル情報と相違がある場合、機能液滴が一率であると、隔壁に無用な着弾を生じてしまい、製造物の色特性の品質の劣化を招いてしまう。
【００１４】
以下に公知文献を記す。
【特許文献１】特開２００３−２６６６７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明の課題は、あらかじめ隔壁を備えた基板が伸縮し寸法精度の低い基板に対しても、着弾位置がずれることなく描画できる、あらかじめ隔壁を備えた基板が伸縮し寸法精度の低い基板に対しても、機能液滴を所望の量にコントロールし描画が可能となる塗工装置の制御方法を提供することであり、それを用いた塗工装置及びカラーフィルタの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の請求項１に係る発明は、第一の方向に配列されたインクを吐出する複数のインク吐出口を含むインク吐出部と、前記第一の方向に直交する第二の方向に沿って、ステージ上の基板とインク吐出部を相対移動させ、インク吐出部が一定距離移動する毎に、データのトリガー信号が出力され、このデータのトリガー信号により、各インク吐出部に配列されたインク吐出口から、インクを選択的に吐出することにより着色インク層を形成するようにするとともに、仮想的に分離された個別領域毎にインク吐出口の位置を補正する及びインク吐出量を補正するようにしたインクを吐出するカラーフィルタの製造に用いる塗工装置の制御方法であって、
特定の個別領域のインク吐出に際してその個別領域の予め基板上に形成したパターンの位置情報を抜き出し、
その位置情報に基づいて該特定の個別領域の位置のズレ量及びインク吐出領域の面積のズレ量の特徴値を演算して記憶し、
記憶された特徴値に基づいて特定の個別領域のインク吐出位置及びインク吐出量を補正し、
補正したインク吐出位置に、補正したインク吐出量を特定の個別領域に塗工することを特徴とする塗工装置の制御方法である。
【００１７】
本発明の請求項２に係る発明は、前記塗工装置の制御方法は、少なくとも下記の手順を含む構成により特定の個別領域の特徴値の情報に基づいて、特定の個別領域を塗工することを特徴とする請求項１記載の塗工装置の制御方法である。
（ａ）予め基板上に形成したパターンの位置の測定情報を入力する手順。
（ｂ）前記パターンの位置の測定情報を仮想的に分離された個別領域に分割する手順。
（ｃ）前記個別領域毎に、前記パターンの位置の測定情報と、塗工データからのビットマップデータとを照合し、位置のズレ量及びインク吐出領域の面積のズレ量の特徴値を演算する手順。
（ｄ）前記位置のズレ量及びインク吐出領域の面積のズレ量の特徴値よりの情報のトリガー信号を生成する手順。
【００１８】
本発明の請求項３に係る発明は、前記インク吐出部が一定距離移動する毎に、特定の個別領域毎の特徴値からの情報のトリガー信号の有、若しくは無を確認し、情報のトリガー信号の有の場合のみ、インク吐出部に対し情報のトリガー信号が出力され、前記データのトリガー信号が情報のトリガー信号に変更され、この情報のトリガー信号により、特定の個別領域の特徴値の情報に基づいて、特定の個別領域を塗工することを特徴とする請求項１、又は２記載の塗工装置の制御方法である。
【００１９】
本発明の請求項４に係る発明は、前記予め基板上に形成したパターンの位置情報は、隔壁のパターンの位置情報であり、仮想的に分離された個別領域が隣会う隔壁間の領域であることを特徴する請求項１乃至３のいずれか１項記載の塗工装置の制御方法である。
【００２０】
本発明の請求項５に係る発明は、前記位置のズレ量は、基板の膨張率パラメータから生成され、その温度伸縮のデータも加味して特徴値を演算することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の塗工装置の制御方法である。
【００２１】
本発明の請求項６に係る発明は、第一の方向に配列されたインクを吐出する複数のインク吐出口を含むインク吐出部と、前記第一の方向に直交する第二の方向に沿って、ステージ上に載置した基板とインク吐出部を相対移動させ、前記インク吐出部が一定距離移動する毎に、データのトリガー信号が出力され、このデータのトリガー信号により、各インク吐出部に配列されたインク吐出口から、インクを選択的に吐出することにより着色インク層を形成するようにするとともに、仮想的に分離された個別領域毎にインク吐出口の位置を補正する及びインク吐出量を補正するようにしたインクを吐出するカラーフィルタの製造に用いる塗工装置であって、
前記請求項１乃至５のいずれか１項記載の塗工装置の制御方法を装備したことを特徴とする塗工装置である。
【００２２】
本発明の請求項７に係る発明は、第一の方向に配列されたインクを吐出する複数のインク吐出口を含むインク吐出部と、前記第一の方向にほぼ直交する第二の方向に沿って、ステージ上に載置した基板とインク吐出部を相対移動させ、インク吐出部が一定距離移動する毎に、データのトリガー信号が出力され、このデータのトリガー信号により、各インク吐出部に配列されたインク吐出口から、インクを選択的に吐出することにより着色インク層を形成するようにするとともに、仮想的に分離された個別領域毎にインク吐出口の位置を補正する及びインク吐出量を補正するようにしたインクを吐出する塗工装置を用いて製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記請求項６記載の塗工装置を用いてカラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【００２３】
本発明の請求項に係る発明では、あらかじめ隔壁を備えた基板が伸縮し寸法精度の低い基板に対しても、着弾位置がずれることなくインク吐出する描画が可能となる。
【００２４】
また、本発明の請求項に係る発明では、隔壁のパターン位置等の情報を基に、インクジェットヘッド駆動電圧を変動させることにより、あらかじめ隔壁を備えた基板が伸縮し寸法精度の低い基板に対しても、機能液滴を所望の量にコントロールしインク吐出する描画が可能となる。
【００２５】
すなわち、本発明の請求項に係る発明では、Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向に移動可能なステージを備え、機能液滴を吐出可能なインクジェットヘッドを備え、温度情報と露光時のズレ情報を取り込む入力手段と演算機能を備え、それに基づいて、情報のトリガー信号を生成し、エンコーダ信号から吐出信号を生成し、インク吐出する描画を行うことができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、あらかじめ隔壁を備えた基板が伸縮し寸法精度の低い基板に対しても、着弾位置がずれることなく描画できることが可能となる。
【００２７】
また、本発明によれば、あらかじめ隔壁を備えた基板が伸縮し寸法精度の低い基板に対しても、機能液滴を所望の量にコントロールし描画が可能となる。
【００２８】
本発明によれば、Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向に移動可能なステージを備え、機能液滴を吐出可能なインクジェットヘッドを備え、温度情報と露光時のズレ情報を取り込む入力手段と演算機能を備え、それに基づいて、情報のトリガー信号を生成し、エンコーダ信号から吐出信号を生成し、描画を行う塗工装置の制御方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明の塗工装置の制御方法を一実施形態に基づいて以下説明する。
【００３０】
図１は、本発明の実施の形態に係る塗工装置の一実施例の構成図であり、（ａ）は、機能ブロック図であり、（ｂ）は、演算ユニットの詳細機能図である。
【００３１】
図１（ａ）に示すように、メインコントローラ１は、ファンクションジェネレータ５及びステージコンローラ２と、トリガーコントローラ３、エンコーダコントローラ４と連携し、塗工装置の全体を制御する部位である。ビットマップデータをヘッドドライバー１８へ送信した後に、パターンデータ上からの吐出位置で、ステージコンローラ２を経由してトリガーコントローラ３へ送信し、同時にトリガーコントローラ３はトリガー信号（データのトリガー信号）を生成し、インキ吐出の開始となるデータトリガー信号をヘッドドライバー１８が受信し、前記パターンデータ上からの吐出位置に所定量のインクを吐出する。本発明では、機能ブロックに演算ユニット８を付設した。演算ユニット８は、補正のための特徴値の情報を算出するユニットであり、予め基板上に形成したパターンの位置情報等の特徴値を記録する情報メモリー７とを付設している。また、演算ユニット８は、温度情報や露光時のズレ情報から、補正した位置、距離を算出し、その補正データを用いてトリガーコントローラ３は補正したトリガー信号（情報トリガー信号）を生成する。なお、吐出開始命令であるトリガー信号は、毎回時に生成されるが、本発明では、パターンデータ上から生成されるトリガー信号をデータのトリガー信号とし、ズレ量等の特徴値の情報上から生成するトリガー信号は、情報のトリガー信号とした。
【００３２】
本発明のカラーフィルタの製造に用いる塗工装置の制御方法では、ステージ上の基板とインク吐出部が相対移動し、前記インク吐出部が一定距離移動する毎に、トリガーコントローラ３よりデータのトリガー信号が出力され、このデータのトリガー信号により、ヘッドドライバー１８がジェットヘッド１９の複数のインク吐出口から、インクを選択的に吐出し着色インク層を形成するようにするとともに、仮想的に分離された個別領域毎、すなわち前記一定距離移動する毎に、インク吐出口の位置を補正する及びインク吐出量を補正するようにしたインクを吐出し着色インク層を形成する方法である。
【００３３】
図１（ｂ）は、演算ユニット８の詳細な機能図であり、メインコントローラ１よりデータと情報を受信後、領域分割ユニット８０で仮想的に分離された個別領域に分割され、分
割データ１１と分割情報８１を照合し、その差（ズレ）の特徴値を演算、抽出８３する。前記特徴値は、順番に情報メモリー７に記憶する。前記情報メモリー７は、特徴値の情報、例えば距離情報と吐出量をトリガーコントローラ３、及びヘッドドライバー１８へ送信する。
【００３４】
図２は、本発明の実施の形態に係る塗工装置の全体構成例を示す外形図である。
【００３５】
本発明の塗工装置は、第一の方向に配列されたインクを吐出する複数のインク吐出口を備えた吐出部を含むインクジェットヘッド１９と、第一の方向に直交する第二の方向に沿って、基板２２を載置するステージ１３と、基板２２とインクジェットヘッド１９を相対移動させ、インクジェットヘッド１９の位置を連続的に位置を検出して、前記インク吐出部が一定距離移動する毎に、トリガー信号が出力され、又は必要な場合にインク吐出口の位置の補正及びインク吐出量の補正をするトリガー信号が出力され、複数のインク吐出部に配列されたインク吐出口からインクを選択的に吐出することにより着色インク層を形成するカラーフィルタの製造に用いる装置である。本発明の塗工装置では、画像処理部１７に位置情報７０を入力、及び特徴値を算出する演算ユニット８を付設している。
【００３６】
本発明の塗工装置は、特定の個別領域の特徴値の情報に基づいて、特定の個別領域を塗工する塗工装置の制御方法を備えている。図２（ｂ）を用いて以下説明する。手順（Ｓ２―ａ）では、予め基板上に形成したパターンの位置の測定情報を入力する。次いで、手順（Ｓ２―ｂ）では、前記パターンの位置の測定情報を仮想的に分離された個別領域に分割する。例えば所定のピッチ毎に配置した互いに隣り合う特定パターン間を仮想的に分離された個別領域とし、境界を前記パターンの中心線とする。次いで、手順（Ｓ３―ｃ）では、前記個別領域毎に、前記パターンの位置の測定情報と、パターンデータからのビットマップデータとを照合し、位置のズレ量及びインク吐出領域の面積のズレ量の特徴値を演算する。次いで、手順（Ｓ３―ｄ）前記位置のズレ量及びインク吐出領域の面積のズレ量の特徴値よりの情報のトリガー信号を生成する。以上の手順（ａ）〜（ｄ）により、被吐出基板上に形成したパターン位置に補正した情報のトリガー信号を生成することができる。
【００３７】
前記データのトリガー信号、又は情報のトリガー信号の変更方法について以下に説明する。前記データの、又は情報のトリガー信号は、インク吐出部が一定距離移動する毎に、生成される。そのため、特定の個別領域毎の特徴値からの情報のトリガー信号の有、若しくは無を確認したあと（図２（ｂ）Ｓ１３―ｅ参照）、情報のトリガー信号の有の場合のみ、すなわち位置等の補正が必要な場合のみインク吐出部に対し情報のトリガー信号が出力され、前記データのトリガー信号が情報のトリガー信号に変更され、この情報のトリガー信号により、前記特定の個別領域に塗工する制御方法である（図２（ｂ）Ｓ１３―ｆ参照）。従って、一定距離移動する毎に、必ずデータのトリガー信号、又は情報のトリガー信号のいずれか一方のトリガー信号がインク吐出部に送信される制御方法である。なお、本発明では、すべて情報のトリガー信号に変更する場合もあり、各々を適宜に最適化することが好ましい（図２（ｂ）Ｓ１３―ｇ参照）。
【００３８】
次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット印刷の塗工装置の動作について図３に示すフローチャートを用いて説明する。
【００３９】
図３は、本発明の実施の形態に係る塗工装置の制御例を示すフローチャートである。
【００４０】
図３のフローチャートに示した処理の流れは、あくまで一実施例であり、この処理の流れの一部を変形または追加した処理についても、特許請求の範囲の発明された技術的思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００４１】
本発明の実施の形態に係る塗工装置を動作させるためには、メインコントローラ１からステージの初期化を行う（Ｓ１参照）。
【００４２】
次に、温度情報、基板情報、予め基板上に形成するパターンの露光時のズレ等の情報を入力する（Ｓ２参照）。
【００４３】
次に、前記情報とパターンデータと照合し、その位置のズレ量、距離のズレ等の特徴値の演算を行う（Ｓ３参照）。
【００４４】
次に、前記演算された特徴値（位置のズレ、距離のズレの特徴値の情報）を基に情報のトリガー信号を生成する（Ｓ４参照）。
【００４５】
次に、ステージコントローラ、トリガーコントローラ、エンコーダコントローラにパラメータをセットする（Ｓ５参照）。
【００４６】
次に、塗工動作パラメータをセットする（Ｓ６参照）。
【００４７】
次に、描画パターンのビットマップデータを生成し、ヘッドドライバーに格納する（Ｓ７参照）。
【００４８】
次に、ステージを移動し、基板上の塗工開始位置をあわせる（Ｓ８参照）。
【００４９】
次に、前記塗工開始位置のステージの座標値を読み込む（Ｓ９参照）。
【００５０】
次に、インクジェットヘッドを開始位置になるようにステージを移動する（Ｓ１０参照）。
【００５１】
次に、インクジェットヘッドの精度状態を良好にするためフラッシングを行う（Ｓ１１参照）。
【００５２】
次に、ステージをＹ方向に移動を行い、ステップＳ９で読み込んだ位置で、ステージコントローラ２から、トリガーコントローラ３を経由して、ヘッドドライバー１８に対して、吐出開始を指示する信号である情報、又はデータのトリガー信号を有効、すなわち発信する（Ｓ１３参照）。
【００５３】
前記発信と同時に、エンコーダ信号に同期してインクジェットヘッド１９は基板に対して吐出動作を行う（Ｓ１４参照）。
【００５４】
次に、描画エリアに対して、吐出が終われば動作は終了する。
【００５５】
図４は、本発明の制御例であり、本発明による情報のトリガー信号を用いて生成した吐出信号を基に吐出した結果、着弾位置にずれが生じていないことを示す側断面図である。
【００５６】
本発明による情報のトリガー信号を用いて生成した吐出信号を基にインクを吐出した結果を説明する側断面図である。図４は、隔壁２４を形成した基板２２はステージ上に載置されている。基板の直上にインクジェットヘッド１９が移動し、情報のトリガー信号を受信と同時に吐出タイミング波形３５を同期させ、インクジェットヘッド１９により基板への吐出動作を開始する。前記情報のトリガー信号は、基板に形成した隔壁位置に同調するように補正されたタイミングで情報のトリガー信号を発信する。吐出したインク皮膜２５
は、各々の隔壁間の中央近傍の着弾し、隔壁間の正常位置に均一な膜厚のインク皮膜を形成する。さらに、隔壁の間隔を算出し、その距離の遠近のズレよりのインク吐出量を補正し、各々の隔壁間のインク皮膜が同一の膜厚に形成され、色特性も同一の品質に形成される。ｔ0〜ｔ1の隔壁間の距離は正常な距離であり、正常なインキ厚であり、ｔ1〜ｔ2の隔壁間の距離は伸長した距離であり、吐出インキ量を増加させて正常なインキ厚に調整したインキ皮膜である。
【００５７】
図４の基板２２は、複数の隔壁２４が形成され、ｔ0、ｔ1、ｔ2の位置に配置されている。ｔ1に形成した隔壁２４はｔ0〜ｔ1間の距離のズレが発生し、そのズレ量はｄ1〜ｔ1の距離である。なお、ｄ1、ｄ2パターンデータからの隔壁の指示位置である。本発明の仮想的に分離された個別領域は、ｔ0、ｔ1、ｔ2で分割された領域であり、すなわち隔壁２４間毎に分割された個別領域とした。本発明の一定の距離の移動は、各隔壁２４と次の隔壁の形成位置めでとし、各々隔壁から次の隔壁まで移動毎に情報トリガー信号を生成し、当該の隔壁間の最適位置に、最適量のインクを吐出する。従って、本発明の制御方法では、隔壁が精度悪く形成された基板であっても、隔壁毎に、当該隔壁とインク皮膜２５の形成位置が正常となる。
【００５８】
本発明の実施例を図４の参照して、以下に説明する。
【実施例１】
【００５９】
実施例１では、０．１ｍｍ厚のフイルムを用いて、３００ｍｍ×３００ｍｍの基板上に、ストライプ形状の隔壁を形成した。隔壁は、幅４μｍ、長さ６０μｍ、高さ５μｍの形状であり、配置ピッチを２０μｍにして、隔壁間のピッチは、２０μｍを平均値として、＋０．０２５〜―０．２５μｍの範囲の数値をランダム発生させ、該数値を誤差として加算したランダムピッチで、各々の位置に隔壁を形成した。公知の材料、製造方法を用いて形成した。
【００６０】
座標測定装置を用いて、隔壁の位置を測定した。その実測値を用いて情報のトリガー信号３６を算出した。次いで、データ（ビットマップデータ）からのデータのトリガー信号を生成した。
【００６１】
前記隔壁を形成した基板にインク吐出させ、厚さ２．５μｍのインク皮膜を形成し、実施例１の資料を作成した。前記実施例１の資料上の隔壁間をランダムの１０箇所抽出し、その隔壁間の中心位置と、インク皮膜の中心位置を測定し、そのズレを測定した。同時にインク皮膜の膜厚を測定した。
【００６２】
測定した結果は、位置のズレ量は、最大値で０．０３μｍ、膜厚のばらつき幅で０．０７５μｍであり、良好な品質で形成された。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施の形態に係る塗工装置の構成例を示す機能ブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る塗工装置の全体構成例を示す外形図である。
【図３】本発明の塗工装置の実施の形態に係る手順を示すフローチャート図である。
【図４】本発明の塗工装置の制御方法の一実施例であり、生成した情報のトリガー信号を基に吐出した結果、着弾位置にずれが生じていないことを示す側断面図である。
【図５】従来の塗工装置の制御例であり、基板上の隔壁が精度良く配置された結果、着弾位置にずれが生じていないことを示す側断面図である。
【図６】従来の塗工装置の制御例であり、基板上の隔壁が精度悪く配置された結果、着弾位置にずれが生じていることを示す側断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１…メインコントローラ
２…ステージコントローラ
３…トリガーコントローラ
４…エンコーダコントローラ
６…パターンデータメモリー
７…情報メモリー
８…演算ユニット
１１…（領域）分割データ
１３…ステージ
１６…ＣＣＤセンサ
１７…画像処理部
１８…ヘッドドライバー
１９…インクジェットヘッド
２２…基板
２４…隔壁
２５…インク皮膜
３５…吐出タイミング波形（ステージのエンコーダから）
３６…（情報、又はデータの）トリガー信号
７０…位置情報
８０…領域分割ユニット
８１…（領域）分割情報
８３…特徴値抽出ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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