(57)【要約】【課題】  本発明は構成の簡素化及び製造が容易な駆動方式を有することを課題とする。【解決手段】  平面移動装置１０は、ベース１２の平面上に対向配置された移動体１４を水平方向に移動させる装置であり、永久磁石を回転させることによりベース１２との相対移動によってベース１２に発生する渦電流による磁極と永久磁石の磁束の変化との磁気的な作用で生じる推力を駆動力として用いる。移動体１４は、平板状に形成されたフレーム２０と、永久磁石を有する４個のドライブヘッド２４ａ〜２４ｄと、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄの夫々を個別に回転駆動するDCモータ２６ａ〜２６ｄと、移動方向に応じてDCモータ２６ａ〜２６ｄを駆動制御する制御ボックス２８とを有する。移動体１４は、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄをベース１２と非接触状態で回転させることにより、磁気的な推力を得て移動する。【選択図】  図１
2007074790.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導体からなり、平面を有するベースと、
外周が前記ベースに非接触で対向するように配置された回転体と、
該回転体に設けられた永久磁石と、
前記回転体を回転駆動するモータと、
を備え、
前記回転体が前記モータにより回転駆動されることで前記永久磁石が前記ベース近くを通過するのに伴い前記ベースに渦電流が発生し、該渦電流と前記永久磁石の磁束とによって発生する推力を得ることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記回転体は、複数の永久磁石が所定間隔で外周に設けられたことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記回転体は、回転中心に永久磁石が設けられ、該回転中心から半径方向に放射状に延在する複数の延在部を有する磁性体が設けられたことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
導体からなり、平面を有するベースと、
該ベースの平面に沿って移動する移動体と、
外周が前記ベースの平面に非接触で対向するように前記移動体に設けられた回転体と、
該回転体に設けられた永久磁石と、
前記移動体に搭載され、前記回転体を回転駆動するモータと、
を備え、
前記回転体が前記モータにより回転駆動されることで前記永久磁石が前記ベース近くを通過するのに伴い前記ベースに渦電流が発生し、該渦電流と前記永久磁石の磁束とによって発生する推力を得ることを特徴とする平面移動装置。
【請求項５】
前記移動体は、異なる方向の回転軸により回転可能に支持された複数の回転体と、
該複数の回転体を夫々個別に回転駆動する複数のモータと、
前記複数のモータの回転駆動を制御する制御部と、
を有し、前記複数の回転体の回転に伴う推力の合力により前記平面に対して任意の方向の駆動力を得ることを特徴とする請求項４に記載の平面移動装置。
【請求項６】
前記制御部は、
外部から送信された無線信号を受信する受信部と、
該無線信号に基づいて前記モータへの供給電圧を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする請求項５に記載の平面移動装置。
【請求項７】
前記モータは、ＤＣモータからなり、前記移動体に搭載された電池からの電流供給により前記回転体を回転駆動することを特徴とする請求項４または５の何れかに記載の平面移動装置。
【請求項８】
前記回転体は、複数の永久磁石が所定間隔で外周に設けられたことを特徴とする請求項４または５の何れかに記載の平面移動装置。
【請求項９】
前記回転体は、回転中心に永久磁石が設けられ、該回転中心から半径方向に放射状に延在する複数の延在部を有する磁性体が設けられたことを特徴とする請求項４または５の何れかに記載の平面移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は平面移動方向の推力を得るように構成されたアクチュエータ及び平面移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
平面上を移動する移動体の駆動方式としては、移動体に設けられた車輪をモータで回転駆動して移動体を走行させる方式が一般的に用いられている。
【０００３】
しかしながら、このような車輪を駆動させる方式では、十分な駆動力を得るのに車輪と平面との間に摩擦が必要であるが、移動体が軽量で且つ車輪及び平面が金属のような剛性の高い材料により製作された場合には車輪に十分な摩擦が得られず、車輪をゴム等の弾性材により形成した場合には、平面に対する摩擦を確保できる反面、剛性が低く応答性や位置精度が劣るという問題があった。また、発塵を嫌うような環境では、弾性材からの磨耗粉が問題となる。
【０００４】
上記のような摩擦による駆動力の伝達ロスや発塵の問題が生じない駆動方式としては、コイルと永久磁石とを平面上に対向配置させる平面モータがある（例えば、特許文献１、２参照）。
【特許文献１】特開平４−１８９４３６号公報
【特許文献２】特開平９−３０８２１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１、２に記載された平面モータを用いた従来の駆動方式は、構成が複雑であり、且つ複数のコイルへの電圧印加を制御するための大掛かりな制御装置が必要となる。
【０００６】
また、従来は、移動体を駆動制御するためには、移動体に搭載されたコイルに接続された動力線や移動体に搭載された制御部に接続された信号線などの複数のケーブルを邪魔にならないように配線することが難しいという問題がある。
【０００７】
また、特許文献１に記載された装置では、ベース面に各動作方向の複数のコイルを配置したり、複数のコイルに対向するように永久磁石を配置させるため、装置自体が複雑、且つ大掛かりな構成となり、組立作業にも多くの時間を要してした。
【０００８】
さらに、特許文献２に記載された装置では、移動体が対向するベース平面に磁性材の表面に格子状の溝を形成し、この溝内に非磁性のエポキシ樹脂を充填し、その後、格子状に充填された樹脂層と樹脂層に囲まれた磁性材の凸部とを研磨して平面精度を得るため、加工工程に多くの労力を要する。
【０００９】
そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、部品点数が少なく単純な構成で組立作業が容易に行なえるよう構成されたアクチュエータ及び平面移動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。
【００１１】
請求項１記載の発明は、導体からなり、平面を有するベースと、外周が前記ベースに非接触で対向するように配置された回転体と、該回転体に設けられた永久磁石と、前記回転体を回転駆動するモータと、を備え、前記回転体が前記モータにより回転駆動されることで前記永久磁石が前記ベース近くを通過するのに伴い前記ベースに渦電流が発生し、該渦電流と前記永久磁石の磁束とによって発生する推力を得ることを特徴とするアクチュエータである。
【００１２】
請求項２記載の発明は、前記回転体は、複数の永久磁石が所定間隔で外周に設けられたことを特徴とするアクチュエータである。
【００１３】
請求項３記載の発明は、前記回転体は、回転中心に永久磁石が設けられ、該回転中心から半径方向に放射状に延在する複数の延在部を有する磁性体が設けられたことを特徴とするアクチュエータである。
【００１４】
請求項４記載の発明は、導体からなり、平面を有するベースと、該ベースの平面に沿って移動する移動体と、外周が前記ベースの平面に非接触で対向するように前記移動体に設けられた回転体と、該回転体に設けられた永久磁石と、前記移動体に搭載され、前記回転体を回転駆動するモータと、を備え、前記回転体が前記モータにより回転駆動されることで前記永久磁石が前記ベース近くを通過するのに伴い前記ベースに渦電流が発生し、該渦電流と前記永久磁石の磁束とによって発生する推力を得ることを特徴とする平面移動装置である。
【００１５】
請求項５記載の発明は、前記移動体は、異なる方向の回転軸により回転可能に支持された複数の回転体と、該複数の回転体を夫々個別に回転駆動する複数のモータと、前記複数のモータの回転駆動を制御する制御部と、を有し、前記複数の回転体の回転に伴う推力の合力により前記平面に対して任意の方向の駆動力を得ることを特徴とする平面移動装置である。
【００１６】
請求項６記載の発明は、前記制御部は、外部から送信された無線信号を受信する受信部と、該無線信号に基づいて前記モータへの供給電圧を制御する制御手段と、を有することを特徴とする平面移動装置である。
【００１７】
請求項７記載の発明は、前記モータは、ＤＣモータからなり、前記移動体に搭載された電池からの電流供給により前記回転体を回転駆動することを特徴とする平面移動装置である。
【００１８】
請求項８記載の発明は、前記回転体は、複数の永久磁石が所定間隔で外周に設けられたことを特徴とする平面移動装置である。
【００１９】
請求項９記載の発明は、前記回転体は、回転中心に永久磁石が設けられ、該回転中心から半径方向に放射状に延在する複数の延在部を有する磁性体が設けられたことを特徴とする平面移動装置である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、回転体が回転駆動されることで永久磁石がベース近くを通過するのに伴いベースに渦電流が発生し、渦電流と永久磁石の磁束とによって発生する推力を得るため、部品点数が少なくて済み、組立作業も容易に行えると共に、非接触駆動なため発塵を嫌う環境下でも適用可能である。
【００２１】
また、本発明によれば、移動体に設けられた回転体をモータで回転させ、渦電流と永久磁石の磁束とによって発生する推力で移動体を移動させるため、移動体の構成が簡略化されて移動体の小型化、軽量化を図ることができ、移動体の駆動効率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【実施例１】
【００２３】
図１は本発明によるアクチュエータの一実施例が適用された平面移動装置を示す斜視図である。図２は平面移動装置を側面図である。図３は平面移動装置の平面図である。図１乃至図３に示されるように、平面移動装置１０は、ベース１２の平面上に対向配置された移動体１４を水平方向に移動させる装置であり、後述するように永久磁石を回転させることによりベース１２との相対移動によってベース１２に発生する渦電流による磁極と永久磁石の磁束の変化との磁気的な作用で生じる推力を駆動力として用いる。
【００２４】
ベース１２は、表面が光を反射しやすいように明るい色の反射膜がコーティングされており、導電性を有する金属板（例えば、鉄など）により形成されている。また、ベース１２の表面に格子パターンや等間隔のドットパターンを印刷することで移動体１４の位置計測精度を向上させることも可能である。
【００２５】
移動体１４は、平板状に形成されたフレーム２０と、フレーム２０の下面角部に設けられた４個のベアリング２２と、フレーム２０の４辺中央に設けられた４個のドライブヘッド２４ａ〜２４ｄと、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄの夫々を個別に回転駆動するDCモータ２６ａ〜２６ｄと、移動方向に応じてDCモータ２６ａ〜２６ｄを選択的に駆動制御する制御ボックス２８とを有する。
【００２６】
ベアリング２２は、ベース１２の平面上を低摩擦で摺動するように表面に４フッ化エチレン樹脂層がコーティングされている。また、上記樹脂層の代わりにオイル等の塗膜を形成して摩擦係数を下げるようにしても良い。また、ベース１２の上面に所定ピッチの小孔を多数設け、この小孔から空気を吹き付けてベアリング２２を浮上させることで摺動抵抗を軽減することも可能である。
【００２７】
ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄは、夫々フレーム２０の各辺と対向するようにフレーム２０のX軸、Y軸と直交する向きに支持されており、夫々X軸、Y軸上に設けられたDCモータ２６ａ〜２６ｄにより回転駆動される。尚、DCモータ２６ａ〜２６ｄは、制御ボックス２８に収納された電池（図示せず）からの電源供給により回転駆動されるため、複雑な駆動回路を設ける必要がない。
【００２８】
また、移動体１４は、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄが直接DCモータ２６ａ〜２６ｄにより回転駆動されるため、駆動機構が簡素化されており、駆動系の部品点数が大幅に削減されている。これにより、移動体１４の組立作業が短時間で行うことが可能になり、製造コストも大幅に削減することができる。
【００２９】
また、移動体１４は、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄを回転させることで、後述するように渦電流による推力を得ることが可能なため、大掛かりな機構が不要であり、その分構成が簡略化されて移動体の小型化、軽量化を図ることができ、駆動効率を高めることが可能になる。
【００３０】
図４に示されるように、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄは、非磁性材（例えば、アルミや銅など）により円盤状に形成された回転体３０の外周から中心に向かって延在形成された凹部に永久磁石３２が取り付けられている。そして、永久磁石３２は、ほぼ直方体に形成されており、後述するようにドライブヘッド２４ａ〜２４ｄの内側と外側でＳ極、またはＮ極に着磁されている。
【００３１】
図５は移動体１４の移動を制御する制御系を示すブロック図である。図５に示されるように、制御ボックス２８には、制御回路４０、電源４１、受信アンテナ４２、レーザ回路４３、レーザダイオード４４、位置計測ユニット４８が収納されている。制御回路４０は、受信アンテナ４２を介して受信した電圧指令に基づいて上記DCモータ２６ａ〜２６ｄを駆動制御する。
【００３２】
また、レーザ回路４３は、予め設定された所定の周期でレーザダイオード４４からレーザ光を発光させる。レーザダイオード４４は、光を反射するための反射膜がコーティングされたベース１２の上面に向かってレーザ光を照射する。位置計測ユニット４８は、ベース１２で反射したレーザ光を受光して位置情報を出力する。
【００３３】
位置計測ユニット４８は、受光素子（レーザセンサ）４５と、センサ回路４６と、送信アンテナ４７とを有する。センサ回路４６は、受光素子４５から得られた受光信号の波形変化に基づいて移動体１４の移動方向及び移動位置を演算し、移動位置の無線信号を送信アンテナ４７から送信される。
【００３４】
移動体１４を遠隔操作するコントローラ５０は、無線受信機４９を介して位置計測ユニット４８から送信された移動位置の無線信号を受信すると、移動体１４の位置を認識する。また、コントローラ５０は、ホストコンピュータ５１からの動作パターンの指令を受けると、メモリ５３に記憶された位置情報（X-Y座標位置）を読み出し、移動体１４に対して現在位置を基点とする移動方向及び移動速度の指令を無線送信機５２より無線信号で送信する。そして、移動体１４の制御回路４０は、受信アンテナ４２で受信された指令信号が入力されると、DCモータ２６ａ〜２６ｄに供給する電圧信号を出力してDCモータ２６ａ〜２６ｄの駆動を制御する。
【００３５】
ここで、上記移動体１４の駆動方式について図６乃至図８を参照して説明する。図６乃至図８に示されるように、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄは、DCモータ２６ａ〜２６ｄにより永久磁石３２をＡ方向に回転する方向に駆動されると、ベース１２を通過する磁束分布が変化する。永久磁石３２の一方の側面から出た磁束６０は、ベース１２を横切って他方の側面に戻る経路を形成する。そして、永久磁石３２がＡ方向に移動することにより、ベース１２には、磁束６０の回りに渦電流６２が誘導電流として発生する。
【００３６】
このようにベース１２に渦電流６２が発生すると、渦電流６２による磁極が形成される。従って、渦電流６２により形成される電極と永久磁石３２との間には、磁気的な力が発生する。この磁気的な力の方向は、永久磁石３２がＡ方向に移動する場合、ベース１２に対して永久磁石３２の移動方向（Ａ方向）となり、永久磁石３２に対しては永久磁石３２の移動方向と逆方向（Ｆ方向）となる。このため、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄは、永久磁石３２の移動方向と逆方向（Ｆ方向）の力を受ける。
【００３７】
移動体１４は、ベアリング２２によってベース１２に平行に案内されている。このため、移動体１４は、永久磁石３２の移動方向と逆方向（Ａ方向と１８０度逆の方向）の力の水平成分(Ｆ方向)を推力として得る。
【００３８】
すなわち、移動体１４は、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄを車輪として回転させるのではなく、回転体３０をベース１２から離間した位置で回転させることにより永久磁石３２とベース１２との間に相対的な動きを生じさせる。これによりベース１２に渦電流６２が誘導されるため、永久磁石３２とベース１２との間にはすべりを生じさせる必要がある。
【００３９】
ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄは、夫々上記回転体３０に永久磁石３２を取り付け構成であるので、DCモータ２６ａ〜２６ｄにより回転駆動されると、渦電流６２と永久磁石３２の磁束との磁気的な作用によって生じる推力を受けて移動体１４を移動させることができる。
【００４０】
ここで、４個のドライブヘッド２４ａ〜２４ｄが同時に時計方向に回転駆動されると、フレーム２０の中心を軸とする回転力が作用する。そのため、移動体１４は、Ｚ軸回りのθＺ方向に旋回することができる。また、４個のドライブヘッド２４ａ〜２４ｄを同時に反時計方向に回転駆動した場合は、移動体１４をＺ軸回りの逆方向に旋回することができる。
【００４１】
また、移動体１４をＹ方向に直進させる場合には、Ｘ軸のDCモータ２６ａ，２６ｃのみを回転駆動させ、ドライブヘッド２４ａ，２４ｃを夫々互いに逆方向となる向き（一方が時計方向、他方が反時計方向）で回転駆動することにより、ドライブヘッド２４ａ，２４ｃに対してＦｙ方向の推力が作用する。これにより、移動体１４は、左右両側に作用する一対のＦｙ方向の推力によってＹ方向に駆動される。
【００４２】
また、移動体１４をＸ方向に直進させる場合には、Ｙ軸のDCモータ２６ｂ，２６ｄのみを回転駆動させ、ドライブヘッド２４ｂ，２４ｄを互いに逆方向となる向き（一方が時計方向、他方が反時計方向）で回転駆動することにより、ドライブヘッド２４ｂ，２４ｄに対してＦｘ方向の推力が作用する。これにより、移動体１４は、前後両側に作用する一対のＦｘ方向の推力によってＸ方向に駆動される。
【００４３】
このように、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄが回転駆動されることでベース１２に渦電流６２が発生し、渦電流６２と永久磁石３２の磁束との磁気的な作用によって推力を得るため、移動体１４の部品点数が少なくて済み、組立作業も容易に行えると共に、非接触駆動なため発塵を嫌う環境下でも適用可能である。
【００４４】
ここで、図９のフローチャートを参照して無線信号を用いた遠隔操作により移動体１４の移動制御の手順について説明する。図９に示されるように、ホストコンピュータ５１からコントローラ５０へ移動体１４の動作パターンを指令する（手順１）。移動体１４の動作パターンとしては、複数の動作パターンデータが予めホストコンピュータ５１に登録されており、ホストコンピュータ５１では、予め設定された動作パターンデータの中から任意の動作パターンデータを読み出してコントローラ５０へ伝送する。
【００４５】
次に、ベース１２上で反射したレーザダイオード４４からのレーザ光が受光素子４５で受光され、センサ回路４６において、検出された受光パターン変化から移動体１４の現在位置を示す位置情報（例えば、ＸＹ座標）を演算する（手順２）。そして、演算により求められた位置情報を無線信号によりコントローラ５１に伝送する（手順３）。コントローラ５０は、無線受信機４９を介して受信した位置情報とホストコンピュータ５１から指令された動作パターンデータとからDCモータ２６ａ〜２６ｄの回転方向及び回転速度を演算する（手順４）。
【００４６】
さらに、コントローラ５０は、演算された回転方向及び回転速度に応じたDCモータ２６ａ〜２６ｄへの電圧指令を演算する（手順５）。この後、コントローラ５０から移動体１４に搭載された制御回路４０に電圧指令を無線信号により伝送する（手順６）。受信アンテナ４２を介して電圧指令を受信した制御回路４０は、DCモータ２６ａ〜２６ｄに電圧指令に応じた電圧を供給する（手順７）。
【００４７】
このように、DCモータ２６ａ〜２６ｄが駆動制御されることにより、ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄが回転駆動されるため、移動体１４は、前述した渦電流６２と永久磁石３２の磁束との磁気的な作用によって生じる推力を受けて移動する。
【００４８】
図１０はドライブヘッドの変形例１を示す図あり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平面図、（Ｃ）は側面図である。図１０（Ａ）〜（Ｃ）に示されるように、ドライブヘッド７０は、非磁性材（例えば、アルミや銅など）により円盤状に形成された回転体３０の外周に４個の永久磁石３２ａ〜３２ｄが９０度間隔で取り付けられている。このように、複数の永久磁石３２ａ〜３２ｄを設ける場合には、隣あう磁石同士の磁界が相殺される傾向になるため、ドライブヘッド７０の大きさ(直径)に応じて磁石設置数を適切な数に選択する。尚、永久磁石３２の配置数は、４個に限らず、２×ｎ個(偶数個)であれば良い。
【００４９】
図１１はドライブヘッドの変形例２を示す図であり、（A）は正面図、（B）は側面図である。図１１に示されるように、ドライブヘッド８０は、一対の回転体８２，８２の中心に永久磁石３２を挟持させる構成である。回転体８２は、扇状に形成された非磁性材８４と、十字形状に形成された磁性材８６とを一体化するように組み合わせたものである。
【００５０】
永久磁石３２の両側は、磁性材８６の中心に当接しており、磁性材８６の半径方向に放射状に延在する腕部８６ａ〜８６ｄが永久磁石３２からの磁束が通過する磁路として機能する。従って、ドライブヘッド８０は、腕部８６ａ〜８６ｄの端部間に磁界が形成される。
【００５１】
このドライブヘッド８０は、ベース１２が磁性体により形成されている場合に有効である。すなわち、ドライブヘッド８０においては、回転体８２の外周に位置する腕部８６ａ〜８６ｄの端部がベース１２に近づいた状態になると、一方の回転体８２の腕部８６ａ〜８６ｄの端部からベース１２を通過し、他方の回転体８２の腕部８６ａ〜８６ｄへ戻る磁路が形成される。そのため、回転体８２の中心に永久磁石３２が配されたドライブヘッド８０では、ベース１２を通過する磁束が大きくなり、より大きな推力が得られる。
【００５２】
また、回転体８２の腕部８６ａ〜８６ｄの数を増やすことにより、１回転当たりの磁界の変化する回数が増えるため、回転体８２の回転数が同じでも大きな推力を得ることが可能になる。尚、隣り合う腕部同士が近づくと磁界の強弱が減少する傾向になるため、腕部の数をドライブヘッド８０の大きさ（直径）に応じて適切な数に選択する。
【００５３】
図１２は本発明のアクチュエータを搬送装置に適用した場合を示す側面図である。図１２に示されるように、上記渦電流駆動方式のアクチュエータを搬送装置９０として用いる場合、上記ドライブヘッド７０（または８０）を被搬送体９２の搬送経路に埋設することにより非接触式搬送装置を実現することができる。また、被搬送体９２の搬送経路では、磁気またはエア浮上などを用いてガイドすることで搬送抵抗を軽減することができる。
【００５４】
この変形例では、架台（図示せず）などに固定されたモータがドライブヘッド７０を回転駆動する構成であり、ドライブヘッド７０の回転により前述した原理で被搬送体９２に渦電流６２が発生し、渦電流６２と永久磁石３２の磁束との磁気的な作用によって生じるＦ方向の推力を受けて移動する。このときの被搬送体９２の搬送速度は、ドライブヘッド７０の回転数制御によって調整される。
【００５５】
また、この搬送装置９０では、ドライブヘッド７０が非接触で被搬送体９２を搬送できるので、例えば、表面処理された金属板などを非接触で搬送する場合に適している。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
上記実施例では、移動体１４がベース１２上を移動する構成を一例として説明したが、これに限らず、例えば、複数の移動体１４が夫々異なる方向に移動するように制御することも可能であり、あるいは、複数の移動体１４が同じ方向に移動して移動体１４よりも大きな面積を有する被搬送体を搬送することも可能である。
【００５７】
また、上記実施例では、正方形のフレーム２０の４辺にドライブヘッド２４ａ〜２４ｄを配置する構成を例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば、三角形のフレームの３辺にドライブヘッドを配置するようにしても良い。
【００５８】
また、上記実施例では、ドライブヘッドをDCモータで回転駆動する構成としたが、ACモータでドライブヘッドを回転駆動する構成とすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明によるアクチュエータの一実施例が適用された平面移動装置を示す斜視図である。
【図２】平面移動装置を側面図である。
【図３】平面移動装置の平面図である。
【図４】ドライブヘッド２４ａ〜２４ｄの正面図である。
【図５】移動体１４に搭載された各機器を示すブロック図である。
【図６】移動体１４の駆動方式を説明するための拡大図である。
【図７】移動体１４の駆動方式を説明するための斜視図である。
【図８】移動体１４の駆動方式を説明するための平面図である。
【図９】制御回路４０が実行する移動制御を説明するためのフローチャートである。
【図１０】ドライブヘッドの変形例１を示す正面図である。
【図１１】ドライブヘッドの変形例２を示す図であり、（A）は正面図、（B）は側面図である。
【図１２】本発明のアクチュエータを搬送装置に適用した場合を示す側面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  平面移動装置
１２  ベース
１４  移動体
２０  フレーム
２２  ベアリング
２４ａ〜２４ｄ，７０，８０  ドライブヘッド
２６ａ〜２６ｄ  DCモータ
２８  制御ボックス
３０，８２  回転体
３２  永久磁石
４０  制御回路
４２  受信アンテナ
４４  レーザダイオード
４６  レーザセンサ
４８  メモリ
５０  コントローラ
６０  磁束
６２  渦電流
８６  磁性材
８４  非磁性材
８６ａ〜８６ｄ  腕部
９０  搬送装置
９２  被搬送体
【図１】
2007074790.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007074790.tif 000009
【図８】
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【図９】
2007074790.tif 000011
【図１０】
2007074790.tif 000012
【図１１】
2007074790.tif 000013
【図１２】
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