(57)【要約】【課題】構成部品が少なく、小型で安価な高エネルギ短光パルス発生装置を提供すること。【解決手段】希土類元素ドープファイバ利得媒質を備え、短光パルスを発生するモードロックファイバレーザ装置１と、ポンプ光パルスを発生するポンプ光源２と、前記ポンプ光パルスでポンプして前記短光パルスを増幅する色素利得媒質３と、を有することを特徴とする高エネルギ短光パルス発生装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
希土類元素ドープファイバ利得媒質を備え、短光パルスを発生するモードロックファイバレーザ装置と、
ポンプ光パルスを発生するポンプ光源と、
前記ポンプ光パルスでポンプして前記短光パルスを増幅する色素利得媒質と、を有することを特徴とする高エネルギ短光パルス発生装置。
【請求項２】
前記ポンプ光源は、高調波発生手段を備えるＱスイッチYAGレーザ装置、窒素レーザ装置、エキシマレーザ装置、パルス発振半導体レーザ装置のいずれか一つであることを特徴とする請求項１に記載の高エネルギ短光パルス発生装置。
【請求項３】
前記ポンプ光源が発生する前記ポンプ光パルスのタイミングジッタが該ポンプ光パルスのパルス幅の半値全幅の４０％以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の高エネルギ短光パルス発生装置。
【請求項４】
前記ポンプ光源の繰り返し周波数が１００Ｈｚ以下であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の高エネルギ短光パルス発生装置。
【請求項５】
前記ポンプ光パルスのパルス幅の半値全幅が１〜１０ｎｓの範囲であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の高エネルギ短光パルス発生装置。
【請求項６】
前記モードロックファイバレーザ装置は、非線形光ファイバ及び／又は高調波発生手段を備えることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の高エネルギ短光パルス発生装置。
【請求項７】
前記色素利得媒質の中で前記短光パルスと前記ポンプ光パルスとが直交するように、該色素利得媒質を前記モードロックファイバレーザ装置と前記ポンプ光源との間に配設することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の高エネルギ短光パルス発生装置。
【請求項８】
前記色素利得媒質の前に前記短光パルスと前記ポンプ光パルスとを同軸に結合する結合光学系を有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の高エネルギ短光パルス発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、モードロックファイバレーザ装置から発生される短光パルスを増幅して高エネルギ短光パルスを発生させる高エネルギ短光パルス発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
これまで、高エネルギ（高パワー）でパルス幅がｆｓ〜ｐｓオーダの短光パルスを発生させる高エネルギ短光パルス発生装置として、ＦＣＰＡ（Fiber Chirp Pulse Amplification）技術を用いた装置が知られている（たとえば、非特許文献１、特許文献１参照）。これは、ファイバ増幅器での非線形現象や光損傷を防ぐために、モードロックファイバレーザからの短光パルスをチャープファイバ伸長器でチャープ（光パルスの波長λ（周波数ν＝ｃ／λ、ｃは光速）が時間と共に変化）したパルス幅の広い光パルスを作り、ファイバ増幅器で増幅したのち、圧縮器で圧縮して高エネルギ短光パルスを発生させるものである。
【特許文献１】特開平８−４６２７６号公報
【非特許文献１】吉田睦、“加工産業用フェムト秒ファイバレーザ”、第６５回レーザ加工学会講演論文集、２００５年１２月、ｐ．１７５−１８９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来のＦＣＰＡ技術を用いる高エネルギ短光パルス発生装置は、伸長器、増幅器、圧縮器及び増幅器での自然放出光除去のための光学ゲートを必要とし、且つ高エネルギを発生させるためには、増幅器を多段にする必要がある。したがって、構成部品が多く、光学調整に時間がかかり、高コストであるといった問題を有していた。
【０００４】
本発明は、上記従来の高エネルギ短光パルス発生装置の問題に鑑みてなされたものであり、構成部品が少なく、小型で安価な高エネルギ短光パルス発生装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
課題を解決するためになされた本発明の高エネルギ短光パルス発生装置は、希土類元素ドープファイバ利得媒質を備え、短光パルスを発生するモードロックファイバレーザ装置と、ポンプ光パルスを発生するポンプ光源と、前記ポンプ光パルスで励起して前記短光パルスを増幅する色素利得媒質と、を有することを特徴としている。
【０００６】
構成部品がモードロックファイバレーザ装置とポンプ光源でポンプされる色素利得媒質だけであり、構成部品が少なく小型化、低コスト化することができる。
【０００７】
前記ポンプ光源を、高調波発生手段を備えるＱスイッチYAGレーザ装置、窒素レーザ装置、エキシマレーザ装置、パルス発振半導体レーザ装置のいずれか一つとしてもよい。
【０００８】
高調波発生手段を備えるＱスイッチYAGレーザ装置、窒素レーザ装置、エキシマレーザ装置、パルス発振半導体レーザ装置のいずれか一つからは紫外〜近赤外域のポンプ光パルスが得られ、モードロックファイバレーザ装置からの短光パルスの波長とポンプ（励起）波長及び蛍光波長の異なる色素利得媒質の組み合わせが可能となる。その結果様々な波長の高エネルギ短光パルスを発生することができる。
【０００９】
また、前記ポンプ光源が発生する前記ポンプ光パルスのタイミングジッタが該ポンプ光パルスのパルス幅の半値全幅の４０％以下であることが望ましい。
【００１０】
これにより、モードロックファイバレーザ装置からの短光パルスを高い利得で増幅することができる。
【００１１】
また、前記励起光源の繰り返し周波数が１００Ｈｚ以下であることが望ましい。
【００１２】
これにより、色素利得媒質の温度上昇を低く抑えることができ、色素溶液の循環が不要になる。
【００１３】
また、前記励起光のパルス幅の半値全幅が１〜１０ｎｓの範囲であることが望ましい。
【００１４】
これにより、色素利得媒質の温度上昇を低く抑えることができ、且つ利得の変動が少ない時間幅を広くすることができる。その結果、安定した増幅が行われ、高エネルギ短光パルスを安定して発生させることができる。
【００１５】
また、前記モードロックファイバレーザ装置は、非線形光ファイバ及び／又は高調波発生手段を備えようにするとよい。
【００１６】
非線形光ファイバに短光パルスが入射すると、自己位相変調とラマン散乱効果により入射パルスの長波長側に新たな短光パルスが生成されるので、モードロックファイバレーザ装置から発生される短光パルスの波長範囲を長波長側に広げることができる。また、高調波発生手段を備えることで、モードロックファイバレーザ装置から発生される短光パルスの波長範囲を短波長側に広げることができる。
【００１７】
また、前記色素利得媒質の中で前記短光パルスと前記ポンプ光パルスとが直交するように、該色素利得媒質を前記モードロックファイバレーザ装置と前記ポンプ光源との間に配設するようにするとよい。
【００１８】
これにより、ポンプ効率を上げることができる。
【００１９】
また、前記色素利得媒質の前に前記短光パルスと前記ポンプ光パルスとを同軸に結合する結合光学系を有するようにするとよい。
【００２０】
これにより、増幅された短光パルスのビーム品質をよくすることができる。
【００２１】
高エネルギ短光パルス発生装置が、土類元素ドープファイバ利得媒質を備え、基本波短光パルスと高調波短光パルスとを発生するモードロックファイバレーザ装置と、前記高調波短光パルスで励起して前記基本波短光パルスを増幅する色素利得媒質と、を有するようにしてもよい。
【００２２】
ポンプ光源を別途必要としないので、より一層構成部品が少なく、小型化、低コスト化が図れる。
【００２３】
また、前記モードロックファイバレーザ装置は、非線形光ファイバを備えるようにするとよい。
【００２４】
これにより、モードロックファイバレーザ装置から発生される短光パルスの波長範囲を長波長側に広げることができる。
【発明の効果】
【００２５】
構成部品がモードロックファイバレーザ装置とポンプ光源でポンプされる色素利得媒質だけであり、構成部品が少なく小型化、低コスト化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
（実施形態１）本発明の実施形態１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１の高エネルギ短光パルス発生装置の概略構成図である。図２及び３は、実施形態１の高エネルギ短光パルス発生装置の時間分解利得測定結果である。
【００２７】
実施形態１の高エネルギ短光パルス発生装置は、モードロックファイバレーザ装置１と、ポンプ光源２と、色素利得媒質３と、を備えている。
【００２８】
モードロックファイバレーザ装置１は、例えばErドープファイバ利得媒質と、第２高調波発生結晶とを備え、波長１５６０ｎｍ、パルス時間幅（半値全幅）１００ｆｓ、繰り返し周波数５０ＭＨｚ、パルスエネルギ０．６ｎＪの基本波パルスと、波長７８０ｎｍ、パルス時間幅（半値全幅）１００ｆｓ、繰り返し周波数５０ＭＨｚ、パルスエネルギ０．４ｎＪの第２高調波パルスを発生する。
【００２９】
６は、２色ミラーで、モードロックファイバレーザ装置１からの第２高調波パルスを透過し、基本波パルスを反射する。
【００３０】
色素利得媒質３は、蛍光スペクトルが波長７８０ｎｍをカバーする色素溶液が封入された例えば長さ１０ｍｍのセルである。そのような色素として、例えば、カルボシアニン沃化物などのポリメチン系色素、或いは、市販品（米国Exciton社製）のOXAZINE750、DOTC、LDS821を用いることができる。色素溶液は、前記色素を水、アルコール、アセトン、その他の溶液に溶かし、１０−３〜１０−６モル／リッター程度の濃度にしたものである。
【００３１】
ポンプ光源２は、色素利得媒質のポンプ（励起）スペクトル内の波長のポンプ光パルスを発生する光源で、たとえば、波長３３７．１ｎｍのポンプ光パルスを発生する窒素レーザ装置、第２高調波発生結晶を備え波長５３２ｎｍのポンプ光パルスを発生するＱスイッチYAGレーザ装置、波長３０８ｎｍのポンプ光パルスを発生するXeClエキシマレーザ装置、波長８００ｎｍのポンプ光パルスを発生するパルス発振半導体レーザ装置である。
【００３２】
７は、集光レンズ、８a〜８cは光検出器である。５は分周回路で、たとえば、光検出器８aからの５０ＭＨｚの信号を１Ｈｚの信号に分周する。４は、時間同期装置で、ポンプ光源２からの１Ｈｚのポンプ光パルスを色素利得媒質３に入射させるタイミングを調整する。９は、ビームスプリッタで、ポンプ光パルスを一部取り出し光検出器８cで検出する。なお、本実施形態の高エネルギ短光パルス発生装置は、増幅される短光パルスとポンプ光パルスとが、色素利得媒質３で直交するように構成されている。
【００３３】
次に、ポンプ光源２に波長５３２ｎｍのポンプ光パルスを発生するＱスイッチYAGレーザ装置を、色素利得媒質３の色素にDOTCを用いた場合の動作について説明する。
【００３４】
モードロックファイバレーザ装置１から繰り返し周波数５０ＭＨｚ、波長７８０ｎｍの短光パルスと、波長１５６０ｎｍの短光パルスが発生される。１５６０ｎｍの短光パルスは、２色ミラー６で反射され、光検出器８aに入射し、５０ＭＨｚの電気信号パルスに変換される。５０ＭＨｚの電気信号は分周回路５に入力され１Ｈｚの信号に変換される。時間同期装置４は、分周回路５からの１Ｈｚの信号でポンプ光源２からのポンプ光パルスの発生を制御する。ポンプ光源２から発生された１Ｈｚのポンプ光パルスは色素利得媒質３をポンプする。一方、７８０ｎｍの短光パルスは２色ミラー６を透過し、集光レンズ７で色素利得媒質３に集光照射される。色素利得媒質３は、波長５３２ｎｍのポンプ光パルスを吸収して励起されているので、そこに７８０ｎｍの短光パルスが入射すると、誘導放出を起こし、増幅された１Ｈｚ、７８０ｎｍの短光パルスが出射する。
【００３５】
次に実施形態１の高エネルギ短光パルス発生装置の時間分解利得測定結果について説明する。
【００３６】
図２Aは、色素利得媒質３が濃度１．１×１０−３モル／リッターのOXAZINE750色素溶液で、ポンプ光源２が波長３３７．１ｎｍ、パルス幅０．６ｎｓ、繰り返し周波数１Ｈｚ、パルスエネルギ２００μＪ、ジッタ±５００ｎｓのポンプ光パルスを発生する窒素レーザ装置の場合の時間分解利得である。図２Bは、色素利得媒質３が濃度１．２×１０−３モル／リッターのDOTC色素溶液で、ポンプ光源２は図２Aと同じ場合の時間分解利得である。図２Cは、ポンプ光パルスのパルス幅が６ｎｓである以外は、図２Bと同じ場合の、時間分解利得である。
【００３７】
図２から、先ず、いずれの場合も色素利得媒質３で利得が観測され、モードロックファイバレーザ装置１からの短光パルスを色素利得媒質３で増幅できることがわかる。また、ポンプ条件が同じで、色素が異なる図２Aと図２Bを比較すると、図２Bの方が利得の変動が少ない幅が広いことがわかる。利得の変動が少ない時間幅が広い方が安定した増幅が行われるので、OXAZINE750よりDOTCが好ましいことがわかる。さらに、色素が同じで、ポンプ光パルスのパルス幅が異なる図２Bと図２Cを比較すると、ポンプ光パルスのパルス幅が６ｎｓと１桁長い図２Cの方が、利得の変動の少ない時間幅が広く、したがってポンプ光パルスのパルス幅が長い方がよい。しかし、ポンプ光パルスの時間幅が長くなりすぎると、次の短光パルスが入射してくる（本実施形態ではモードロックファイバレーザ装置１の繰り返し周波数が５０ＭＨｚであるので、２０ｎｓ後に次のパルスが入射してくる）し、色素溶液が温度上昇するので、１０ｎｓ程度が上限である。
【００３８】
図３は、いずれもポンプ光源２が波長５３２ｎｍ、パルス幅５ｎｓ、繰り返し周波数１Ｈｚ、パルスエネルギ１５０μＪ、ジッタ±１ｎｓのポンプ光パルスを発生する第２高調波発生結晶を備えたＱスイッチYAGレーザ装置で、図３Aは、色素利得媒質３が濃度２．５×１０−５モル／リッターのLDS821色素溶液、図３Bは、色素利得媒質３が濃度１．５６×１０−４モル／リッターのDOTC溶液、図３Cは、色素利得媒質３が濃度２．６×１０−３モル／リッターのOXAZINE750色素溶液である。
【００３９】
図３から、先ず、いずれの場合も色素利得媒質３で利得が観測され、モードロックファイバレーザ装置１からの短光パルスを色素利得媒質３で増幅できることがわかる。また、利得の時間波形が立ち上がりと立ち下がりでほぼ対称で、利得の変動が少ない時間幅が２．０〜３．０ｎｓと広く、いずれの色素溶液でも安定して増幅できることがわかる。これは、ポンプ光源２のジッターが±１ｎｓと小さいためである。ジッターはポンプ光パルスのパルス幅が長ければ、大きくてもよく、許容されるジッターとポンプ光パルスのパルス幅は相対関係にある。ポンプ光パルスのパルス幅が５ｎｓのとき、利得の変動が少ない時間幅が広くなるジッターが±２ｎｓであるので、ジッターを少なくともポンプ光パルスのパルス幅の４０％以下にするとよいことがわかる。
【００４０】
次に、高エネルギ短光パルス発生結果の一例を説明する。色素利得媒質３が濃度１．５６×１０−４モル／リッターのDOTC溶液で、ポンプ光源２が波長５３２ｎｍ、パルス幅５ｎｓ、繰り返し周波数１Ｈｚ、パルスエネルギ１５０μＪ、ジッタ±１ｎｓのポンプ光パルスを発生する第２高調波発生結晶を備えたＱスイッチYAGレーザ装置の場合、パルスエネルギ０．４ｎＪの短光パルスが１μＪのパルスエネルギに増幅された。また、増幅された短光パルスの時間幅をマイケルソン干渉計を用いた自己相関法により測定した結果、１６０ｆｓであった。
【００４１】
（実施形態２）図４に実施形態２の高エネルギ短光パルス発生装置の概略構成を示す。本実施形態の装置では、色素利得媒質３の前に被増幅短光パルスとポンプ光パルスとを結合する結合光学系（ビームスプリッタ）１０を挿入した。結合光学系１０を挿入した以外は、実施形態１の装置と同じであり、同一の構成要素には同一の符号が付してある。
【００４２】
本実施形態の高エネルギ短光パルス発生装置は、モードロックファイバレーザ装置１から発生された被増幅短光パルスとポンプ光源２から発生されたポンプ光パルスとが結合光学系１０で結合されて色素利得媒質３に同軸で入射されるので、色素利得媒質３で増幅されて出てくる短光パルスのビーム品質が増幅される前と同じである。すなわち、モードロックファイバレーザ装置１から発生される短光パルスは、シングルモードに近く、Ｍ２≒１であるが、増幅された短光パルスもＭ２≒１である。
【００４３】
（実施形態３）図５に実施形態３の高エネルギ短光パルス発生装置の概略構成を示す。本実施形態のモードロックファイバレーザ装置１は、モードロックファイバ発振器１１と非線形光ファイバ１２と高調波発生手段１３とを備えている。６′は、ビームスプリッタで、それ以外は、実施形態１と基本的に同じである。
【００４４】
モードロックファイバ発振器１１は、例えばErドープファイバ利得媒質を備え、中心波長１５５９ｎｍ、パルス時間幅（半値全幅）１９０ｆｓ、繰り返し周波数５０ＭＨｚ、平均パワー最大３６ｍＷ（１０〜３６ｍＷの間可変）の短光パルスを発生する。
【００４５】
非線形光ファイバ１２は、例えばコア径５．５μｍ、長さ７５ｍの光ファイバである。
【００４６】
高調波発生手段１３は、例えば第２高調波を発生するＳＨＧ結晶である。  
【００４７】
色素利得媒質３は、モードロックファイバレーザ装置１から発生される短光パルスの波長をカバーする蛍光を発生する色素溶液である。
【００４８】
ポンプ光源３は、色素利得媒質３の色素から蛍光を発生させることができる波長のポンプ光パルスを発生する光源で、高調波発生手段を備えるＱスイッチYAGレーザ装置、窒素レーザ装置、エキシマレーザ装置、パルス発振半導体レーザ装置のいずれか一つである。
【００４９】
なお、図５でＲはモードロックファイバ発振器１１から発生される波長１５５９ｎｍの短光パルス（励起パルス）、Ｓは非線形光ファイバ１２で生成されるソリトンパルス、Ｄは高調波発生手段１３で生成される第２高調波パルスである。
【００５０】
次に、本実施形態の高エネルギ短光パルス発生装置の動作を説明する。モードロックファイバ発振器１１から出力される波長１５５９ｎｍの短光パルス（励起パルスＲ）が非線形光ファイバ１２に入射される。このとき例えば平均パワーが２０ｍＷとすると、励起パルスＲのピークパワーは約２ｋＷになる。このようなピークパワーの大きい励起パルスＲが光ファイバ１２に入射すると、誘導ラマン散乱によって入射パルスの長波長側に新たな光パルスが生成される。この生成された光パルスは、自己位相変調と波長分散の相互作用であるソリトン効果によって、パルスの時間波形とスペクトル波形がｓｅｃｈ２型をとる理想的なソリトンパルスＳになっていく。このソリトンパルスＳは、光ファイバ１２を伝搬するに伴い、ラマン散乱効果によってスペクトルの中心が長波長側にシフトしていく（これをソリトン自己周波数シフトという）。このとき、周波数のシフト量はファイバ１２の長さや入射光パルスの強度に依存するため、両者を変化させることで波長のシフト量を調整することができる。したがって、本実施形態では、平均パワーを１０〜３６ｍＷの間変化させることで、例えば１５６０〜２０００ｎｍの範囲のソリトンパルスＳが生成される。
【００５１】
光ファイバ１２から出射されるソリトンパルスＳをＳＨＧ結晶１３に入射させることで、１５６０〜２０００ｎｍのソリトンパルスＳから７８０〜１０００ｎｍの波長の第２高調波短光パルスＤが生成される。
【００５２】
例えば、色素利得媒質３にＬＤＳ８２１色素溶液を用い、ポンプ光源２にＳＨＧ結晶を備えるＱスイッチYAGレーザ装置を用いることで、７８０〜８４０ｎｍ範囲の第２高調波短光パルスＤが増幅される。すなわち、このような高エネルギ短光パルス発生装置から７８０〜８４０ｎｍの範囲の波長の高エネルギ短光パルスが発生される。なお、色素利得媒質３の色素溶液とポンプ光源２を適当に変えることで、７８０〜１０００ｎｍの高エネルギ短光パルスを発生させることができる。
【００５３】
なお、本実施形態では高調波発生手段をＳＨＧ結晶とし、生成される高調波を第２高調波としたが、LBO、BBO、PPLN、といつたＳＨＧ結晶を複数用いる第３高調波発生、第４、第５高調波発生とすることもできる。これによりさらに発生される高エネルギ短光パルスの波長範囲を紫外線領域にまで広げることができる。
【００５４】
（実施形態４）図６に実施形態３の高エネルギ短光パルス発生装置の概略構成を示す。本実施形態の高エネルギ短光パルス発生装置は、基本波短光パルスと高調波短光パルスを発生するモードロックファイバレーザ装置１と、色素利得媒質３とを有している。６は２色ミラー、１０a、１０bは全反射ミラーである。
【００５５】
モードロックファイバレーザ装置１は、例えば、Ｙｂドープファイバ利得媒質を備えるモードロックファイバ発振器とＳＨＧ結晶を有し、中心波長１０４５ｎｍの基本波短光パルスと、波長５２２．５ｎｍの第２高調波短光パルスを発生する。
【００５６】
色素利得媒質３は、例えば、蛍光スペクトルが１０４５ｎｍをカバーするポリメチン系色素溶液である。
【００５７】
モードロックファイバレーザ装置１から発生された５２２．５ｎｍの第２高調波短光パルスは、２色ミラー６を透過し全反射ミラー１０bで折り曲げられ、色素利得媒質３に入射される。一方、１０４５ｎｍの基本波短光パルスは、２色ミラー６で反射され、全反射ミラー１０aで折り曲げられ、色素利得媒質３に入射される。ここで、２色ミラー６から全反射ミラー１０bを経由して色素利得媒質３に至る光路長と、２色ミラー６から全反射ミラー１０aを経由して色素利得媒質３に至る光路長とは等しいか、前者が後者より短かく構成されている。すなわち、ポンプ光パルスである第２高調波短光パルスが被増幅光パルスである基本波短光パルスより少し早く色素利得媒質３に達してポンプするか同時に達してポンプする。したがって、被増幅光パルスである基本波短光パルスは、色素利得媒質３を通過することで増幅される。
【００５８】
本実施形態では、ポンプ光源のジッターが問題とならず、分周回路、時間同期装置等を必要とせず、高エネルギ短光パルス発生装置をより一層小型化、低コスト化することできる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
精密機械産業や電子機器産業における部品の微細加工、トリミングなどに利用される可能性が極めて高い。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】実施形態１の高エネルギ短光パルス発生装置の概略構成図である。
【図２】実施形態１の高エネルギ短光パルス発生装置の時間分解利得測定結果である。
【図３】実施形態１の高エネルギ短光パルス発生装置の時間分解利得測定結果である。
【図４】実施形態２の高エネルギ短光パルス発生装置の概略構成図である。
【図５】実施形態３の高エネルギ短光パルス発生装置の概略構成図である。
【図６】実施形態４の高エネルギ短光パルス発生装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６１】
１・・・・・・・モードロックファイバレーザ装置
２・・・・・・・ポンプ光源
３・・・・・・・色素利得媒質
１０・・・・・・結合光学系
１２・・・・・・非線形光ファイバ
１３・・・・・・高調波発生手段
１４・・・・・・結合光学系
【図１】
2007317709.tif 000003
【図２】
2007317709.tif 000004
【図３】
2007317709.tif 000005
【図４】
2007317709.tif 000006
【図５】
2007317709.tif 000007
【図６】
2007317709.tif 000008