(57)【要約】【課題】  放電が磁気ヘッドを破壊することを防止する。【解決手段】  電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブル１０の一端が、磁気ヘッド研磨装置３０の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に配置される。その同軸ケーブル１０に接続された放電検出装置２０が、磁気ヘッド研磨装置３０における磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する。このようにすると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。【選択図】  図１
2007010386.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電を検出する放電検出システムにおいて、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置と、
前記磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルに接続され、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出装置と、
を有することを特徴とする放電検出システム。
【請求項２】
前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれ、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれて一部が外に露出していることを特徴とする請求項１記載の放電検出システム。
【請求項３】
前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれて一部が外に露出し、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれていることを特徴とする請求項１記載の放電検出システム。
【請求項４】
前記電気信号は、前記電気信号を増幅する増幅器を介し、前記放電検出装置に伝わることを特徴とする請求項１記載の放電検出システム。
【請求項５】
放電を検出する放電検出方法において、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に同軸ケーブルの一端を配置し、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を前記同軸ケーブルを介して検出することを特徴とする放電検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電を検出する放電検出システム、及び、放電検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気テープ型の磁気記録媒体に対する信号の記録、もしくは、再生を実行する装置として、例えば、回転ドラムを用いたヘリカルスキャン方式の装置が存在している。この装置の回転ドラムに、ＭＲ(Magneto Resistive)ヘッドやＧＭＲ(Giant Magneto Resistive)ヘッド等の磁気ヘッドが搭載されている。これらのＭＲヘッドやＧＭＲヘッドには、薄膜プロセスで形成される薄膜ヘッド素子が搭載されている。この信号の記録、もしくは、再生を実行する装置において、磁気ヘッドと磁気テープとを回転ドラムの外周面において接触させ、信号の記録、もしくは、再生を実行している。
【０００３】
ここで、磁気ヘッドの製造工程には磁気ヘッドを研磨する研磨工程が存在し、重要となっている。この研磨工程において、摩擦による微小な放電が生じてしまい、この放電を制御することが磁気ヘッドの品質を向上させる上で重要となっている。
【０００４】
なお、これに関連した技術として、電力ケーブルに発生する部分放電を検出する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平６−６６８７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、磁気ヘッドを研磨する研磨工程において、摩擦による微小な放電で生じる放射ノイズが発生してしまう。この放射ノイズの原因である放電が、磁気ヘッドを破壊してしまう。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、放電が磁気ヘッドを破壊することを防止する放電検出システム、及び、放電検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明では、上記課題を解決するために、図１に例示するように、放電を検出する放電検出システムにおいて、磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置３０と、磁気ヘッド研磨装置３０の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブル１０と、同軸ケーブル１０に接続され、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出装置２０と、を有することを特徴とする放電検出システムが提供される。
【０００８】
このような放電検出システムによると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。
また、本発明では、上記課題を解決するために、図１に例示するように、放電を検出する放電検出方法において、磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置３０の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に同軸ケーブル１０の一端を配置し、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を同軸ケーブル１０を介して検出することを特徴とする放電検出方法が提供される。
【０００９】
このような放電検出方法によると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を、同軸ケーブルを介して検出するようにする。
このようにすると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。よって、放電が磁気ヘッドを破壊することを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。本発明の実施の形態は、磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置に適用したものである。
まず、磁気ヘッド研磨装置に対し、放電検出システムを構築する場合について説明する。図１は、磁気ヘッド研磨装置に対する放電検出システムを示す図である。
【００１２】
放電検出システムは、同軸ケーブル１０、放電検出装置２０、及び、磁気ヘッド研磨装置３０を有している。また、この磁気ヘッド研磨装置３０は、回転治具３１、及び、回転定盤３２を有している。
【００１３】
ここで、同軸ケーブル１０は、一端が磁気ヘッド研磨装置３０の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に配置され、他の一端が放電検出装置２０に接続される。また、同軸ケーブル１０は、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材を内部から順に配置して形成される。放電検出装置２０は、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を同軸ケーブル１０を介して検出する。磁気ヘッド研磨装置３０は、研磨対象の磁気ヘッドを搭載した回転治具３１と回転定盤３２とを回転させ、磁気ヘッドを研磨する。
【００１４】
このような磁気ヘッド研磨装置３０に対する放電検出システムにおいて、磁気ヘッドを研磨する研磨工程等で、研磨対象の磁気ヘッドを搭載した回転治具３１と回転定盤３２とが回転し、その磁気ヘッドは研磨される。これらの回転治具３１と回転定盤３２との界面で、摩擦による微小な静電気放電で生じる放射ノイズが発生する。その放射ノイズは、同軸ケーブル１０を介して検出される。ここでの検出結果は、スペクトラムアナライザ等の放電検出装置２０により、周波数帯域毎に振幅が計測されて表示される。この計測結果により、静電気放電が確認される。
【００１５】
次に、第１の実施の形態で使用される同軸ケーブル１０について説明する。図２は、第１の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。
同軸ケーブル１０は、絶縁材１１に包み込まれて一部が外に露出したシールド材１２を有している。このシールド材１２は、網状に撚った構造の網組線となっている。また、同軸ケーブル１０は、シールド材１２に包み込まれた絶縁体１３を有している。また、同軸ケーブル１０は、絶縁体１３に包み込まれて一部が外に露出した芯線１４を有している。この芯線１４の露出した部分の長さは、数ｍｍである。
【００１６】
ここで、絶縁材１１は、外部から同軸ケーブル１０を電気的に絶縁する。また、絶縁材１１は、同軸ケーブル１０を保護し、形状を維持する。シールド材１２は、芯線１４に伝わる電気信号による電磁波を、外部に漏らさないようにする。また、シールド材１２は、外部から電磁波を侵入させないようにする。絶縁体１３は、シールド材１２と芯線１４とを電気的に絶縁する。また、絶縁体１３は、芯線１４を保護し、形状を維持する。芯線１４は、電気信号を伝える。また、芯線１４は、露出した部分の長さを調節することで、放電検出装置２０の感度を調節する。
【００１７】
このような同軸ケーブル１０において、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した芯線１４の長さを調節し、放電検出装置２０の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した芯線１４の長さを長くし、放電検出装置２０の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した芯線１４の長さを短くし、放電検出装置２０の感度を低下させる。
【００１８】
なお、露出した芯線１４の一部をシールド材１２で包み込むことで、放電検出装置２０の感度を調節してもよい。
次に、同軸ケーブル１０に付属されるシールド治具について説明する。図３は、第１の実施の形態のシールド治具を示す図である。
【００１９】
シールド治具１５は、金属製の筒状の形状であり、絶縁材１１、シールド材１２、絶縁体１３、及び、芯線１４の中の全部、もしくは、一部を被うように配置される。このシールド治具１５は、絶縁材１１と平行方向に、位置を移動できる。
【００２０】
このようなシールド治具１５において、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した芯線１４をシールド治具１５が被う長さを調節し、放電検出装置２０の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した芯線１４をシールド治具１５が被う長さを短くし、放電検出装置２０の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した芯線１４をシールド治具１５が被う長さを長くし、放電検出装置２０の感度を低下させる。
【００２１】
次に、第２の実施の形態で使用される同軸ケーブル１０ａについて説明する。図４は、第２の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。
同軸ケーブル１０ａは、絶縁材１１ａに包み込まれて一部が外に露出したシールド材１２ａを有している。このシールド材１２ａは、網状に撚った構造の網組線となっている。また、同軸ケーブル１０ａは、シールド材１２ａに包み込まれて一部が外に露出した絶縁体１３ａを有している。この絶縁体１３ａの露出した部分の長さは、数ｍｍである。また、同軸ケーブル１０ａは、絶縁体１３ａに包み込まれた芯線１４ａを有している。
【００２２】
ここで、絶縁材１１ａは、外部から同軸ケーブル１０ａを電気的に絶縁する。また、絶縁材１１ａは、同軸ケーブル１０ａを保護し、形状を維持する。シールド材１２ａは、芯線１４ａに伝わる電気信号による電磁波を、外部に漏らさないようにする。また、シールド材１２ａは、外部から電磁波を侵入させないようにする。絶縁体１３ａは、シールド材１２ａと芯線１４ａとを電気的に絶縁する。また、絶縁体１３ａは、芯線１４ａを保護し、形状を維持する。また、絶縁体１３ａは、露出した部分の長さを調節することで、放電検出装置２０の感度を調節する。また、絶縁体１３ａは、芯線１４ａと検出対象の装置とが接触することによるノイズの発生、及び、芯線１４ａに対する電流の流入を防止する。芯線１４ａは、電気信号を伝える。
【００２３】
このような同軸ケーブル１０ａにおいて、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した絶縁体１３ａの長さを調節し、放電検出装置２０の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した絶縁体１３ａの長さを長くし、放電検出装置２０の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した絶縁体１３ａの長さを短くし、放電検出装置２０の感度を低下させる。
【００２４】
なお、絶縁体１３ａに包み込まれた芯線１４ａの一部をシールド材１２ａで包み込むことで、放電検出装置２０の感度を調節してもよい。
次に、同軸ケーブル１０ａに付属されるシールド治具について説明する。図５は、第２の実施の形態のシールド治具を示す図である。
【００２５】
シールド治具１５ａは、金属製の筒状の形状であり、絶縁材１１ａ、シールド材１２ａ、絶縁体１３ａ、及び、芯線１４ａの中の全部、もしくは、一部を被うように配置される。このシールド治具１５ａは、絶縁材１１ａと平行方向に、位置を移動できる。
【００２６】
このようなシールド治具１５ａにおいて、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した絶縁材１１ａをシールド治具１５ａが被う長さを調節し、放電検出装置２０の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した絶縁材１１ａをシールド治具１５ａが被う長さを短くし、放電検出装置２０の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した絶縁材１１ａをシールド治具１５ａが被う長さを長くし、放電検出装置２０の感度を低下させる。
【００２７】
以上の各実施の形態によると、磁気ヘッドを研磨することで発生する静電気放電を同軸ケーブル１０、１０ａを介して検出し、静電気放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。具体的には、その放電が減少するように、回転治具３１と回転定盤３２との電圧値を最適化する。また、回転治具３１と回転定盤３２との回転数を最適化する。また、回転治具３１と回転定盤３２との間に配置する潤滑油の種類を最適化する。また、磁気ヘッドを研磨するために回転定盤３２に配置されたダイヤモンド等の種類、及び、個数を最適化する。よって、摩擦による微小な静電気放電で生じる放射ノイズが、磁気ヘッドを破壊することを防止できる。
【００２８】
また、磁気ヘッドを研磨する研磨工程等において、周囲の装置からの放射ノイズに応じて放電検出装置２０の感度を調節するので、周囲の装置からの放射ノイズか摩擦による微小な静電気放電で生じる放射ノイズかを判別できる。
【００２９】
なお、研磨工程以外の他の所定の製造工程において、微小な静電気放電で生じる放射ノイズが発生する場合でも、その静電気放電を検出することができる。
また、磁気ヘッド研磨装置３０以外の他の所定の装置において、微小な静電気放電で生じる放射ノイズが発生する場合でも、その静電気放電を検出することができる。
【００３０】
また、増幅器（図示せず）により、放射ノイズから変換された電気信号を増幅することができる。
（付記１）  放電を検出する放電検出システムにおいて、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置と、
前記磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルに接続され、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出装置と、
を有することを特徴とする放電検出システム。
【００３１】
（付記２）  前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれ、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれて一部が外に露出していることを特徴とする付記１記載の放電検出システム。
【００３２】
（付記３）  前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれて一部が外に露出し、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれていることを特徴とする付記１記載の放電検出システム。
【００３３】
（付記４）  前記電気信号は、前記電気信号を増幅する増幅器を介し、前記放電検出装置に伝わることを特徴とする付記１記載の放電検出システム。
（付記５）  放電を検出する放電検出方法において、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に同軸ケーブルの一端を配置し、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を前記同軸ケーブルを介して検出することを特徴とする放電検出方法。
【００３４】
（付記６）  放電を検出する放電検出装置において、
磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルに接続され、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出手段と、
を有することを特徴とする放電検出装置。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】磁気ヘッド研磨装置に対する放電検出システムを示す図である。
【図２】第１の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。
【図３】第１の実施の形態のシールド治具を示す図である。
【図４】第２の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。
【図５】第２の実施の形態のシールド治具を示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０  同軸ケーブル
２０  放電検出装置
３０  磁気ヘッド研磨装置
３１  回転治具
３２  回転定盤
【図１】
2007010386.tif 000003
【図２】
2007010386.tif 000004
【図３】
2007010386.tif 000005
【図４】
2007010386.tif 000006
【図５】
2007010386.tif 000007