(57)【要約】【課題】効率よく複雑な表面形状を有する製品を造型することができる焼結方法及び焼結装置を提供する【構成】材料粉末３にはパンチ５ａによって加えられる矢印Ｘ方向の圧縮力と、パンチ５ｂ、ダイス下縁部２ａによって加えられる矢印Ｙ方向の圧縮力がその全体に均一に加えられた状態で目標とする最終形状まで圧縮・焼結して焼結体となすと共にパンチの成形表面の表面形状を焼結体に形状転写する工程後に第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型し、係る離型は焼結工程完了直後に焼結体の温度降下に伴う収縮率が製造目標となる製品形状と焼結体形状の寸法誤差が０．２％以内である時間内に行われ、例えばパンチを介して粉末に加えられる圧力が減圧される過程で離型が行われるようにするので、熱膨張差によるパンチの破損を防止することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の工程より成ることを特徴とする焼結方法。
（１）第一の加圧手段によって成形空間に収納された粉末を加圧する第１工程
（２）第二の加圧手段によって成形空間に収納された粉末を加圧する第２工程
（３）第一の加圧手段の加圧力と第二の加圧手段の加圧力によって成形空間に収納された粉末を圧縮し、焼結して焼結体となす第３工程
（４）第一の加圧手段および／または第二の加圧手段と焼結体とを離型する第４工程
【請求項２】
粉末を収納する成形空間を形成するダイスの成形空間において対抗する第一のパンチと第二のパンチ間に粉末を収納し、前記第一の加圧手段である第一のパンチによってダイスの成形空間に収納された粉末に加圧し、前記第二の加圧手段であるダイスおよび／または第二のパンチによって前記ダイスの成形空間に収納された粉末に加圧する請求項１記載の焼結方法。
【請求項３】
前記第１工程においてダイスの成形空間に収納された粉末及び第一のパンチ及び第二のパンチよりも大きな抵抗の発熱体に通電して発熱させる請求項２記載の焼結方法。
【請求項４】
第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型する第４工程が第３工程完了直後に行われる請求項２記載の焼結方法。
【請求項５】
第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型する第４工程が第３工程後の焼結体の温度降下に伴う焼結体の熱収縮力がパンチの成形表面の強度限界以内である時間内に行われる請求項２記載の焼結方法。
【請求項６】
第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型する第４工程が第３工程後の焼結体の温度降下に伴う収縮率が製造目標となる製品形状と焼結体形状の寸法誤差が０．２％以内である時間内に行われる請求項２記載の焼結方法。
【請求項７】
第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型する第４工程において焼結体がダイスに保持される請求項２乃至請求項６のいずれか一に記載の焼結方法。
【請求項８】
成形空間に収納された粉末に加圧する第一の加圧手段及び第二の加圧手段と、前記第一の加圧手段の加圧力と第二の加圧手段の加圧力を設定する加圧力設定手段が設けられ、前記加圧力設定手段は、第一の加圧手段及び第二の加圧手段の現在位置と単位時間辺りの移動量計測手段と、目標とする最終形状との関係で必要な加圧力の算出手段と、その算出された加圧力の値に基づき第一の加圧手段の加圧力と第二の加圧手段の加圧力とを制御する制御手段とより成る請求項８に記載の焼結装置。
【請求項９】
前記第一の加圧手段が粉末を収納する成形空間を形成するダイスの当該成形空間に配置される第一のパンチであり、前記第二の加圧手段がダイスおよび／または第一のパンチに対抗してダイスの成形空間に配置される第二のパンチである請求項８に記載の焼結装置。
【請求項１０】
前記第一の加圧手段が粉末を収納する成形空間を形成するダイスの成形空間に配置される第一のパンチであり、前記第二の加圧手段が前記第一のパンチと対抗して配置される第二のパンチおよび／またはダイスであって、前記第一のパンチと前記第二のパンチの少なくともいずれか一方に伝熱可能に配置される発熱体と、発熱体に通電するための電極装置とを備えてなる請求項８に記載の焼結装置。
【請求項１１】
前記成形空間で成形された焼結体と前記第一のパンチ及び第二のパンチの少なくともいずれか一方とを離型するための離型機構が設けられてなる請求項１０に記載の焼結装置。
【請求項１２】
前記離型機構は、電極と発熱体とパンチを着脱可能に相互に取り付けるカップリングを有して成り、そのカップリングによって電極を引き離すと共に発熱体及びパンチを焼結体から離型させる請求項１１に記載の焼結装置。
【請求項１３】
前記離型機構は、パンチによって加えられる加圧力に抗して型開き方向へ付勢する離型付勢手段を有してなり、ダイスの成形空間に収納された粉末を加圧し、焼結して焼結体となす過程ではパンチによって加えられる加圧力が前記離型付勢手段による付勢力よりも大なる加圧力に設定されてなる請求項１１または請求項１２に記載の焼結装置。
【請求項１４】
前記ダイスには前記成形空間で成形された焼結体を保持するための保持機構が設けられる請求項９に記載の焼結装置。
【請求項１５】
前記保持機構は、前記ダイスに前記成形空間に開口するように設けられた離型補助孔と、前記成形空間に突出する態様で離型補助孔に装着される離型補助ピンとよりなる請求項１４に記載の焼結装置。
【請求項１６】
前記ダイスは複数のダイス要素を組み合わせて成り、複数のダイス要素を組み合わせてダイスの粉末成形空間に形成される接合線が通過するように粉末成形空間に開口する離型穴が設けられてなる請求項９に記載の焼結装置。
【請求項１７】
前記ダイスには前記成形空間に開口する離型補助穴が設けられ、この離型補助穴を通過する分離線によって前記ダイスが分離可能にされてなる請求項９に記載の焼結装置。
【請求項１８】
ダイスの成形空間を介して加圧方向に沿って対抗する様に前記パンチを複数配置し、前記発熱体が複数配置されたそれぞれのパンチに対して伝熱可能に配置される請求項１１ないし請求項１７のいずれか一に記載の焼結装置。
【請求項１９】
前記パンチが成形空間に収納された粉末に転写する表面形状の成形表面を備えたグラファイトマスタである請求項１１ないし請求項１８のいずれか一に記載の焼結装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の加圧手段の加圧力によって成形空間に収納された粉末を圧縮し、焼結して焼結体となす焼結方法及び焼結装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属粉末に通電しその抵抗により発生するジュール熱により加熱し、加圧装置で加圧する焼結方法及び焼結装置が用いられている。図１３はこのような焼結装置の基本構成を示す。図に示される様に内部に材料粉末３を入れる空間を有する円筒状のダイス２には、材料粉末３に電流と圧力を伝達するパンチ５ａ，５ｂが嵌合している。パンチ５ａ，５ｂを挟んで電極１０ａ，１０ｂが設けられ、電源装置８に接続している。上部電極１０ａの上部には油圧装置が設けられ、電極１０ａ，１０ｂ、パンチ５ａ，５ｂを介して材料粉末３を加圧するようになっている。ダイス２やパンチ５ａ，５ｂは高温強度に優れ、材料粉末３が着きにくい黒鉛で構成されている。なお、ダイス２、パンチ５ａ，５ｂ、電極１０ａ，１０ｂ等は真空チャンバ１４内に設けられ、焼結作業は、真空、不活性ガスや還元ガス等の非酸化雰囲気で行われる。
【０００３】
このような態様の焼結方法は通電加熱焼結方法とも呼称され、係る通電加熱焼結方法及び通電加熱焼結装置を適用して例えばアルミニウムダイカスト金型等を製造する場合、予め必要な量の金属粉末をジュール熱により、短時間に焼結して製品が得られることから、きわめて効率よく精度の高いアルミニウムダイカスト金型の製造が可能となることが期待されている。
【０００４】
係る通電加熱焼結方法及び通電加熱焼結装置に関し、特許文献１には試料の温度を精度よく制御するという課題の下に、図１４に示す様に、ダイス２に粉末状の材料粉末３を入れこの材料粉末３の上下に設けた電極１０ａ，１０ｂにより通電する焼結装置の材料粉末３の上下のいずれかと電極１０ａ，１０ｂの間に材料粉末３より大きな抵抗の発熱体９を設けるという通電加熱焼結方法及び通電加熱焼結装置が開示された。
【０００５】
しかし、以上の特許文献１に開示された通電加熱焼結方法若しくは通電加熱焼結装置やその他の従来の焼結方法及び焼結装置では、ただ単にパンチ５ａ，５ｂから材料粉末３に加圧力を加えて材料粉末３に対する加圧、圧縮を行うのみであり、この手法では焼結体が特に凹凸のない基本的な円盤若しくは円柱形状である場合にはほぼ全体として均一密度の焼結体を製造することができる。しかし、焼結体がコップ状の凹凸のある焼結体（リブ付き焼結体）である場合には、パンチ５ａ，５ｂ側に段差を設け、焼結体の側壁と底面を同時に成形するため、得られる焼結体の底面部分は十分に圧縮することができるとしても、側壁部分は十分に圧縮することはできない。その結果、底面部はほぼ１００％近い相対密度となったとしても、側壁部はせいぜい６０〜７０％の密度しか得られない結果となる。
【０００６】
すなわち特許文献１に記載の従来の通電加熱焼結方法若しくは通電加熱焼結装置ではリブ等を有する複雑形状の焼結体を製造する場合には一軸の加圧である結果として、材料粉末３内の圧力分布を均一とすることはできず、凹部を形成し圧縮量の多い材料粉末３は当然に高密度となり、リブ部分等の凸部分となる圧縮量の少ない材料粉末３は不可避的に低密度となっていた。
すなわち従来の焼結法及び焼結装置では、一軸の加圧による単純な加圧しかできないため、局所的に密度の低い部分ができるなど、均一な密度の焼結体を得ることができず、複雑な形状、例えば高低差の大きい焼結体を均一な高密度に仕上げると言うことは困難であった
【０００７】
さらに特に高精度高機能製品であるアルミニウムダイカスト金型についてはこれを通電加熱焼結方法で制作する場合には材料粉末３を直接加圧して金型の造型表面を造型するための母型となるパンチ５ａ，５ｂには黒鉛を主成分とするグラファイトマスタが適用される。
一方、アルミニウムダイカスト金型自体は金型としての高強度が必要であることから材料粉末３として主としてＳＫＤ６１等の熱間工具鋼が用いられなければならない。
【０００８】
したがって黒鉛を主成分とするグラファイトマスタと材料粉末３を焼結後に得られる焼結体とには熱膨張率に大きな差異が存し、この熱膨張率の違いという問題に起因して特許文献１に開示された通電加熱焼結方法若しくは通電加熱焼結装置を適用してアルミニウムダイカスト金型等の金属材料製品を製造する場合には、焼結後にグラファイトマスタとして反復使用が期待されるパンチ５ａ，５ｂが破損し、これが生産効率の低下と生産コスト増加の原因となるだけでなく、上述した通電加熱焼結方法を適用してアルミニウムダイカスト金型等を製造する利益が失われるという問題がある。
【特許文献１】特開２０００−７３１０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、以上の従来技術の問題に鑑みてなされたものであって、効率よく複雑な表面形状を有する製品を造型することができる焼結方法及び焼結装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以上の目的を達成する本発明の焼結方法は以下の工程より成ることを特徴とする。
（１）第一の加圧手段によって成形空間に収納された粉末を加圧する第１工程
（２）第１工程で成形空間に収納された粉末を第二の加圧手段によって加圧する第２工程
（３）第一の加圧手段の加圧力と第二の加圧手段の加圧力によって成形空間に収納された粉末を圧縮し、焼結して焼結体となす第３工程
（４）第一の加圧手段および／または第二の加圧手段と焼結体とを離型する第４工程
【００１１】
本発明の焼結方法では、粉末を収納する成形空間を形成するダイスの成形空間において対抗する第一のパンチと第二のパンチ間に粉末を収納し、前記第一の加圧手段である第一のパンチによってダイスの成形空間に収納された粉末に加圧し、前記第二の加圧手段であるダイスおよび／または第二のパンチによって前記ダイスの成形空間に収納された粉末に加圧するようにすることができる。
【００１２】
以上の本発明の焼結法で、前記第一の加圧手段である第一のパンチと第二の加圧手段であるダイスおよび／または第二のパンチとの加圧力は例えば、第一のパンチ及び第二のパンチの現在位置と単位時間辺りの移動量計測手段と、目標とする最終形状との関係で必要な加圧力を設定する様にすることができる。
【００１３】
また焼結初期と焼結後期では必要な加圧力が異なることから、焼結初期には前記第一の加圧手段である第一のパンチによる加圧のみを行うようにして焼結効率を向上することもできる。
【００１４】
前記第１工程においてダイスの成形空間に収納された粉末及び第一のパンチ及び第二のパンチよりも大きな抵抗の発熱体に通電して発熱させるようにしてもよい。
【００１５】
以上の本発明の焼結方法では第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型する第４工程は第３工程完了直後に行われる。
【００１６】
以上の本発明の焼結方法では第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型する第４工程が第３工程後の焼結体の温度降下に伴う焼結体の熱収縮力がパンチの成形表面の強度限界以内である時間内に行われる。
【００１７】
ここで、パンチの成形表面の強度限界はパンチの材質と表面形状に応じて決定され、パンチの材質特性から算出し、予め設定される。
【００１８】
また以上の本発明の焼結方法では第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型する第４工程が第３工程後の焼結体の温度降下に伴う収縮率が製造目標となる製品形状と焼結体形状の寸法誤差が０．２％以内である時間内に行われる。
【００１９】
ここで、製造目標となる製品形状と焼結体形状の寸法誤差は焼結時に温度センサから得られる測定温度によって計測される様にすることができる。
また製造目標となる製品形状と焼結体形状の寸法誤差が０．２％以内である時間はコンピュータシュミレーション等の方法を用いて焼結体の材質等のデータに基づき予め設定することができる。
【００２０】
以上の本発明の焼結方法では第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型する第４工程において焼結体がダイスに保持される。
【００２１】
また以上の課題を達成する本発明の焼結装置は  成形空間に収納された粉末に加圧する第一の加圧手段及び第二の加圧手段と、前記第一の加圧手段の加圧力と第二の加圧手段の加圧力を設定する加圧力設定手段が設けられてなることを特徴とする。
【００２２】
前記加圧力設定手段は、第一の加圧手段及び第二の加圧手段の現在位置と単位時間辺りの移動量計測手段と、目標とする最終形状との関係で必要な加圧力の算出手段と、その算出された加圧力の値に基づき第一の加圧手段の加圧力と第二の加圧手段の加圧力を制御する制御手段を備える。
【００２３】
以上の本発明の焼結装置は前記第一の加圧手段が粉末を収納する成形空間を形成するダイスの当該成形空間に配置される第一のパンチであり、前記第二の加圧手段がダイスおよび／または第一のパンチに対抗してダイスの成形空間に配置される第二のパンチとすることができる。
【００２４】
さらに本発明の焼結装置は前記第一の加圧手段が粉末を収納する成形空間を形成するダイスの成形空間に配置される第一のパンチであり、前記第二の加圧手段が前記第一のパンチと対抗して配置される第二のパンチおよび／またはダイスであって、前記第一のパンチと前記第二のパンチの少なくともいずれか一方に伝熱可能に配置される発熱体と、発熱体に通電するための電極装置とを備えてなるようにすることができる。
【００２５】
前記成形空間で成形された焼結体と前記第一のパンチ及び第二のパンチの少なくともいずれか一方とを離型するための離型機構を設けることができる。
【００２６】
以上の本発明の焼結装置では、前記離型機構は、電極と発熱体とパンチを着脱可能に相互に取り付けるカップリングを有して成り、そのカップリングによって電極を引き離すと共に発熱体及びパンチを焼結体から離型させる。
【００２７】
以上の本発明の焼結装置では、前記離型機構は、パンチによって加えられる加圧力に抗して型開き方向へ付勢する離型付勢手段を有してなり、ダイスの成形空間に収納された粉末を加圧し、焼結して焼結体となす過程ではパンチによって加えられる加圧力が前記離型付勢手段による付勢力よりも大なる加圧力に設定されてなる。
【００２８】
また前記ダイスには前記成形空間で成形された焼結体を保持するための保持機構を設けることができる。
【００２９】
前記保持機構は、前記ダイスに前記成形空間に開口するように設けられた離型補助孔と、前記成形空間に突出する態様で離型補助孔に装着される離型補助ピンとより構成することができる。
【００３０】
また前記ダイスは複数のダイス要素を組み合わせて成り、複数のダイス要素を組み合わせてダイスの粉末成形空間に形成される接合線が通過するように粉末成形空間に開口する離型穴が設けられてなるようにすることができる。
【００３１】
また前記ダイスには前記成形空間に開口する離型補助穴が設けられ、この離型補助穴を通過する分離線によって前記ダイスが分離可能にされてなるようにすることができる。
【００３２】
以上の本発明の焼結装置では、ダイスの成形空間を介して加圧方向に沿って対抗する様に前記パンチを複数配置し、前記発熱体が複数配置されたそれぞれのパンチに対して伝熱可能に配置されるようにすることができる。
【００３３】
以上の本発明の焼結装置では、前記パンチは成形空間に収納された粉末に転写する表面形状の成形表面を備えたグラファイトマスタである。
【００３４】
［作用］
以上の本発明の焼結方法及びその装置によればダイスの成形空間に収納された粉末を加圧し、焼結して焼結体となす過程で焼結の進行状況に合わせて加圧することによって、効率よく必要な部位に圧力を加え、均一な密度の焼結体の製造を促進することができる。また複数の加圧軸を配置し、複合的に協調動作させた場合には、複雑形状の焼結体の作成を効率よく行うことができる。
【００３５】
またそれと共に焼結工程後に第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型し、係る離型は焼結工程完了直後に焼結体の温度降下に伴う収縮率が製造目標となる製品形状と焼結体形状の寸法誤差が０．２％以内である時間内に行われ、例えばパンチを介して粉末に加えられる圧力が減圧される過程で離型が行われるようにするので、熱膨張差によるパンチの破損を防止することができる。
また、以上の本発明の焼結方法では第一のパンチおよび／または第二のパンチと焼結体とを離型する工程において焼結体がダイスに保持されるので、効率よく離型を行うことができる。
【発明の効果】
【００３６】
以上説明したように、本発明によれば、部位によって大きな高低差のある焼結体も、複数の加圧軸を配置し、複合的に協調動作させることによって均一な密度に作成することができ、しかもグラファイトマスタとして構成されるパンチを反復使用可能にして経済的に焼結方法を適用して精密な表面形状を有する製品を造型することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
［実施の形態１］
以下、本発明の実施の形態１の焼結装置を図面に基づいて説明する。
図１〜図３は本発明の実施の形態に係る焼結装置の概略構成図である。
図１に示すように、焼結装置１はグラファイトによって構成されている円筒状のダイス２を備え、このダイス２は材料粉末３を加圧成形するための成形空間４を有する。このダイス２の成型空間４に材料粉末３が充填された状態でダイス２内側には上下方向からパンチ５ａ，５ｂがはまり込んでいる。
【００３８】
パンチ５ａ，５ｂの上下には円柱形状の発熱体９が設けられている。すなわちパンチ５ａの上側面に伝熱可能に接して上側発熱体９ａが配置され、パンチ５ａとの間でこの上側発熱体９ａを狭持する様に電極１０ａが配置される。一方、パンチ５ｂの下側面に伝熱可能に接して下側発熱体９ｂが配置され、パンチ５ｂとの間でこの下側発熱体９ｂを狭持する様に電極１０ｂが設けられる。発熱体９の外周は円筒状断熱材１１で拘束されこれによって外部への熱放射が防止される。
【００３９】
前記電極１０ａと電極１０ｂは共に良導体であり、また電極１０ａ，１０ｂには油圧装置１ａが取り付けられており、この油圧装置１ａによって電極１０ａ，１０ｂ、発熱体９ａ，９ｂ、パンチ５ａ，５ｂを介して材料粉末３が上下方向から加圧される。また、電極１０ａ，１０ｂには電源装置８と制御装置７が接続されており、電源装置８には、商用電源、或いは直流電源を用いることができる。
【００４０】
制御装置７の制御に応じて電源装置８から電極１０ａ，１０ｂに通電され、これにより電極１０ａ，１０ｂの端面に接触して配置された上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂを介して、パンチ５ａ，５ｂ、ダイス２、材料粉末３という通電回路が形成される。これによりその回路上の上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂから発生するジュール熱によってパンチ５ａ，５ｂを介してダイス２、材料粉末３が加熱されて焼結が進行する。なお、ダイス２には温度センサ６が取り付けられており、この温度センサ６によって検知される温度に基づき制御装置７によって電源装置８をコントロールして、ダイス２、材料粉末３に加えられる熱量が制御される。また、ダイス２にはパンチ５ｂ外側方に突出するダイス下縁部２ａが設けられており、したがって成型空間４はダイス２の本体部分とダイス下縁部２ａ及びパンチ５ａ，５ｂによって形成される。さらにダイス２にはアタッチメント２ｃが装着され、このアタッチメント２ｃを介してダイス２にはダイス加圧手段２ｂによって油圧装置１ａの油圧が加えられる。
【００４１】
さらに制御装置７には電極１０ａ，１０ｂ、発熱体９ａ，９ｂ、パンチ５ａ，５ｂを加圧する油圧装置１ａから常時パンチ５ａ，５ｂの位置情報が入力されており、他方、制御装置７からは油圧装置１ａに電極１０ａ，１０ｂ、発熱体９ａ，９ｂ、パンチ５ａ，５ｂに対する加圧の程度・速度等の制御情報が入力される。
【００４２】
ダイス２の外側には断熱材１２、金属サポート１３が設けられる。金属サポート１３はダイス２外径よりも大なる内側部直径を有する２つ割りの円筒状に形成される。断熱材１２をダイス２外側を取り巻く様に配置した状態でその断熱材１２外側に金属サポート１３が配置されると共に２つ割りの各部が締結されて、内側の断熱材１２を介してダイス２が外部から均一に加圧されて、焼結中のダイス２の破損が防止される。
【００４３】
また、断熱材１２は金属サポート１３とダイス２間に配置されて、焼結時にダイス２から発生する熱の放出を遮断して金属サポート１３が熱により軟化するのを防止する。このように、断熱材１２を介して金属サポート１３によってダイス２を外部から均一に加圧保持して強度を補完することにより、ダイス２自体を薄肉化その熱容量を低減することができるため、焼結に必要な熱量を減らすことができる。換言すれば発熱体９によって発生される熱が効率的に材料粉末３に加えられる様にすることができる。
【００４４】
なお、図示される様に電極１０ａ，１０ｂ、上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂ、パンチ５ａ，５ｂ、ダイス２は、真空チャンバ１４内に収容される。
【００４５】
前記ダイス２の材料としては、高温時の強度が高く、且つ材料粉末３等が付着し難いグラファイトが一般に用いられている。
一方、前記上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂには、前記ダイス２を構成している黒鉛に対して高い電気抵抗を有する炭化珪素（ＳｉＣ）発熱体が用いられる。この上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂは大きな電気抵抗を有し、大型の焼結体を製造するために径を大きくしたパンチ５ａとパンチ５ｂを用いても、材料粉末３を速やかに昇温させるに足る十分なジュール熱を得ることができる。
【００４６】
ここで、上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂにおける発熱量は、電源装置８からの電流値が等しければ、直列回路全体の抵抗を高くすることによって総発熱量を高くすることができる。したがって炭化珪素（ＳｉＣ）を用いることによって抵抗値を大きくした上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂからの発熱量は高電圧を印加して低電流値を維持することによって高くすることができる。換言すれば抵抗値を大きくした炭化珪素発熱体を用いることによって高電圧・低電流によって高い発熱量を得ることが可能となる。すなわち、一般的な放電プラズマ焼結装置を用いるよりも、本実施形態の炭化珪素発熱体９ａ，９ｂを用いる方が高電圧・低電流によって発熱量を大きくすることができる。
【００４７】
したがって発熱体９ａ，９ｂは、パンチ５ａ及びパンチ５ｂ以上の電気抵抗を有している必要があり、上述した炭化珪素の他に窒化珪素、アルミナ、ジルコニア、ムライト等の材料が用いられる。
【００４８】
また、前記発熱体９ａ，９ｂによって発生される熱は、パンチ５ａ，５ｂの伝熱により材料粉末３に伝えられ、材料粉末３を均一に加熱することができる。
更に、上記パンチ５ａ，５ｂは、ダイス２の成形空間４に密に嵌合する形状を有していて、材料粉末３が上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂとダイス２との間に材料粉末３が侵入するのを防止するようにしており、このために、前記パンチ５ａ，５ｂは黒鉛にて形成されているダイスと略同等の熱膨張率を有する構成にする。
【００４９】
次に本発明の焼結装置における離型機構について説明する。
図２〜図４は材料粉末３を焼結後に得られる焼結体１５からパンチ５ａ，５ｂをばねを利用して押し離す仕組みの離型機構の詳細を示す。
図２〜図４に示される方式では、パンチ５ａ，５ｂ、発熱体９、電極１０ａ，１０ｂは連結されておらず、電極１０ａ，１０ｂによる加圧によって接触状態を保っている。パンチ５ａ，５ｂには発熱体９に接触する部分にそれぞれパンチ鍔部１６ａ，１６ｂが設けられている。
【００５０】
離型機構はフランジ１７ａ，１７ｂと金属サポート１３の外側に金属サポート１３から張りだす態様で設けられたサポート部１３ａとフランジ１７ａ，１７ｂ−サポート部１３ａ間に設けられたスプリング２３とより構成される。
フランジ１７ａ，１７ｂ内側には、パンチ５ａ，５ｂを挿通するパンチ孔部１８ａ，１８ｂが設けられ、そのパンチ孔部１８ａ，１８ｂ内側にはパンチ係合段部１９ａ，１９ｂが設けられて、そのパンチ係合段部１９ａ，１９ｂにパンチ５ａ，５ｂのパンチ鍔部１６ａ，１６ｂが係合する。
【００５１】
フランジ１７ａ，１７ｂとサポート部１３ａには相互に対応する位置に中心を共通にしてフランジ孔部２０ａ，２０ｂ及びサポート部孔部２１ａ，２１ｂが設けられる。このフランジ孔部２０ａにはストッパー２２の軸部２２ａが挿通され、ストッパー２２はその先端２２ｂがサポート部孔部２１ａに螺合されると共に基端部２２ｃがフランジ１７ａ外側面に保持される。
【００５２】
このようにストッパー２２で連結することでフランジ１７ａ，１７ｂ−サポート部１３ａすなわち金属サポート１３間の最大幅を制限している。また、フランジ１７ａ，１７ｂ−金属サポート１３のサポート部１３ａ間にはスプリング２３が設けられており、フランジ１７ａ，１７ｂと金属サポート１３のサポート部１３ａ間がスプリング２３の長さよりも狭くなった場合、フランジ１７ａ，１７ｂは常にスプリング２３によって型開き方向へ加圧される。このとき、スプリング２３はストッパー２２をガイドとしてストッパー２２の軸方向のみに弾性的に伸縮し、したがって金属サポート１３のサポート部１３ａとフランジ１７ａ，１７ｂとの間隔を増減させる方向にのみスプリング２３による弾性的付勢が行われる。
【００５３】
図２〜図４に示されるように、フランジ１７ａの両側面のフランジ孔部２０ａの開口部周縁及びフランジ１７ｂの両側面のフランジ孔部２０ｂの開口部周縁には絶縁体２５が設けられ、これによって上下のフランジ１７ａ，１７ｂとストッパー２２及びスプリング２３間が絶縁される。これによりフランジ１７ａ，１７ｂとストッパー２２、スプリング２３間での直接的な通電及び放電が防止され、フランジ１７ａ，１７ｂと金属サポート１３とは電気的に絶縁される。
【００５４】
絶縁体２５は留め金２４によってフランジ２０に固定される。具体的には絶縁体２５はワッシャー形状をしたマイカ板で、ストッパー２２基端部２２ｃの首下（下面）とフランジ孔部２０ａの間に狭持される。したがって留め金２４によって絶縁体２５はフランジ１７ａ外側面に保持され、フランジ１７ａが下方に位置してその外側面がストッパー２２の基端部２２ｃから離隔している状態でもストッパー２２の軸部２２ａをフランジ孔部２０ａ，２０ｂの中心付近に拘束して位置決めする。
【００５５】
なお、フランジ１７ａ，１７ｂ、ストッパー２２及び金属サポート１３間の抵抗はパンチ５ａ，５ｂ、ダイス２の電気抵抗値と同等、あるいはそれ以下であり、抵抗値に大きな差異がないことから、上下のフランジ１７ａ，１７ｂとストッパー２２及びスプリング２３間が短絡し若しくは通電が発生した場合、パンチ５ａ，５ｂ、ダイス２によって構成される通電回路の電流が不足し、上側発熱体９ａと下側発熱体９ｂにおける発熱量が不十分となり、焼結に必要な熱量が不足して焼結不良が発生する原因となる。
【００５６】
ダイス２のパンチ５ａ，５ｂによる加圧方向の中心付近であってパンチ５ａ，５ｂが挿入されて材料粉末３を加圧成形するための成形空間４を形成する領域には離型補助孔２６が設けられる。この離型補助孔２６はダイス２の内側から外側に向けてパンチ５ａ，５ｂによる加圧方向と垂直方向に延出して開口し、さらに断熱材１２に設けられる貫通孔２６ａと連通する。また金属サポート１３にはその内側からサポート部１３ａに向けて貫通する貫通孔２６ｂが設けられ、ダイス２、断熱材１２及び金属サポート１３は離型補助孔２６、貫通孔２６ａ及び貫通孔２６ｂが連通する位置関係で配置されて組み付けられる。
【００５７】
そのように離型補助孔２６、貫通孔２６ａ及び貫通孔２６ｂが連通する位置関係でダイス２、断熱材１２及び金属サポート１３を配置した状態で離型補助孔２６、貫通孔２６ａ及び貫通孔２６ｂには離型補助ピン２７が挿通される。その離型補助ピン２７の補助ピン先端２７ａはダイス２内側にパンチ５ａ，５ｂが挿入されて形成される成形空間４に突出する。
【００５８】
次に図６〜図９を参照して以上の本発明の実施の形態１の焼結装置を用いて行われる焼結方法につき説明する。
まず、ダイス２の成形空間４に下側発熱体９ｂを挿入してパンチ５ｂ及び下側発熱体９ｂを電極１０ｂによって支持した状態において、金属やセラミック等の材料粉末３を上方から前記成形空間４内に供給する（Ｓｔｅｐ１）。そして、成形空間４に上方からパンチ５ａ及び上側発熱体９ａを挿入する（Ｓｔｅｐ２）。
【００５９】
この状態において上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂ、パンチ５ａ，５ｂ及びダイス２を収納した真空チャンバ１４内を真空状態、または不活性ガス雰囲気、あるいは水素ガス等の還元ガス雰囲気とする（Ｓｔｅｐ３）。
【００６０】
この状態で、電極１０ａ、上側発熱体９ａ、パンチ５ａを図示しない油圧装置１ａによって図１上矢印Xで示す方向に移動して材料粉末３に対する加圧を行う（Ｓｔｅｐ４）。
【００６１】
また、図６に示す様に電源装置８を用いて、上側発熱体９ａと下側発熱体９ｂの間に電圧を印加することにより、上側発熱体９ａと下側発熱体９ｂを通してパンチ５ａ，５ｂ及びダイス２内の材料粉末３に電流を流し、該電流によって、上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂのジュール発熱、更には材料粉末３自身のジュール発熱により、材料粉末３を高温に加熱する（Ｓｔｅｐ５）。これにより、材料粉末３は加圧されるとともに高温に加熱されて結合し易い状態となり、焼結されて加圧焼結体となる。
【００６２】
以上の材料粉末３を高温に加熱すると共に加圧するＳｔｅｐ５の焼結過程においては本発明の焼結方法では次の様にして加圧力の設定が行われる。
図７に示す様に、Ｓｔｅｐ５の焼結過程における加圧開始後、パンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の現在位置を計測（Ｓｔｅｐ５−１）し、パンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２のＳｔｅｐ５の焼結過程における移動開始時から現在までの時間に基づきパンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の単位時間辺りの移動量を算出する（Ｓｔｅｐ５−２）。その単位時間辺りのパンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の移動量に基づき、焼結が終了する時点として設定された時点におけるパンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の位置を算出して焼結が終了する時点までに到達する形状を算出する（Ｓｔｅｐ５−３）。
【００６３】
次いでパンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の単位時間辺りの移動量に基づき算出された焼結が終了する時点までに到達する形状と目標とする最終形状との誤差に基づき、パンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の単位時間辺りの移動量の修正に必要な加圧力を算出する（Ｓｔｅｐ５−４）。その算出された加圧力に基づきパンチ５ｂ及びダイス下縁部２ａによって加える必要のある加圧力を設定し、電極１０ｂ、下側発熱体９ｂ、パンチ５ｂを図上矢印Yで示す方向に移動する（Ｓｔｅｐ５−５）。
【００６４】
これによってパンチ５ｂ及びダイス２による加圧を開始して材料粉末３に対する加圧を行う。
以上の加圧過程では制御装置７からの制御信号に基づき油圧装置１ａによって、電極１０ａ，１０ｂ、発熱体９ａ，９ｂを介してパンチ５ａ，５ｂが加圧され、それと同時にパンチ５ａ，５ｂのパンチ鍔部１６ａ，１６ｂに係合するパンチ係合段部１９ａ，１９ｂを介してフランジ１７ａ，１７ｂも材料粉末３の加圧方向に加圧される。
【００６５】
その様にフランジ１７ａ，１７ｂが加圧される結果、フランジ１７ａ，１７ｂとサポート部１３ａ間に配設されるスプリング２３が圧縮され、スプリング２３によってフランジ１７ａ，１７ｂとサポート部１３ａ間を広げる方向の反発力が生じる。しかし、このスプリング２３の反発力に上回る加圧力が油圧装置１ａによって電極１０ａ，１０ｂ、上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂ、パンチ５ａ，５ｂ、ダイス２に加えられて材料粉末３にパンチ５ａ，５ｂ、ダイス２によって十分な圧力を加えることができ、十分な加圧焼結を行うことができる。
【００６６】
ここでダイス２にはアタッチメント２ｃが装着され、このアタッチメント２ｃを介してダイス加圧手段２ｂによって油圧装置１ａの油圧が加えられる。またダイス２にはパンチ５ｂ外側方に突出するダイス下縁部２ａが設けられており、スプリング２３の反発力に上回る加圧力が油圧装置１ａによって電極１０ｂ、下側発熱体９ｂ、パンチ５ｂ、ダイス下縁部２ａに加えられる。その結果、材料粉末３にはパンチ５ａによって加えられる矢印Ｘ方向の圧縮力と、パンチ５ｂによって加えられる矢印Ｙ方向の圧縮力（ｙ１）が加えられ、それと同時にダイス下縁部２ａによって加えられる矢印Ｙ方向の圧縮力（ｙ２）が加えられる。
これによって、材料粉末３はパンチ５ａ，５ｂ間の加圧（Ｘ，ｙ１）とパンチ５ａ，ダイス下縁部２ａ間の加圧（Ｘ，ｙ２）が加えられた状態で目標とする最終形状まで焼結過程で圧縮され、最終形状に到達する。
【００６７】
以上の図７に示す材料粉末３の焼結・加圧過程において、パンチ５ａによって加えられる矢印Ｘ方向の圧縮力は材料粉末３の上部全面に対する加圧力であるのに対し、パンチ５ｂによって加えられる矢印Ｙ方向の圧縮力（ｙ１）は材料粉末３の下面部中央部分に対する加圧力であり、さらにダイス下縁部２ａによって加えられる矢印Ｙ方向の圧縮力（ｙ２）は材料粉末３の下面部外縁部分に対する加圧力とされる。したがって以上の実施の形態の焼結方法による加圧の態様は、目標とする最終形状に応じて相互に異なる３方向からの３軸加圧として構成される。
【００６８】
以上の焼結過程では、前述の如く、電源装置８により電極１０ａ，１０ｂに電圧を印加すると、上側発熱体９ａ、パンチ５ａ、材料粉末３、ダイス２、パンチ５ｂ、下側発熱体９ｂという経路で電流が流れる。
【００６９】
このとき上述したように、大きなジュール熱が上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂで得られるので、材料粉末３の容積が大きくても十分にこの材料粉末３を加熱することができる。また、前記上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂからの熱がパンチ５ａ，５ｂによって径方向に分散されることにより、材料粉末３を均一に加熱することができる。
【００７０】
またその際、パンチ５ａ，５ｂの材料粉末３を直接加圧する表面には金型としての表面形状が造型されており、その表面形状が材料粉末３の加熱加圧焼結よって得られる焼結体１５に転写され、焼結体１５はパンチ５ａ，５ｂの金型としての表面形状が転写された精密形状を有する焼結体となる（Ｓｔｅｐ６）。
【００７１】
焼結終了後の冷却過程では、油圧装置１ａによって電極１０ａ，１０ｂ、上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂ、パンチ５ａ，５ｂに加えられる加圧力を下げて行き、この加圧力がスプリング２３の反発力よりも小さくなった時点で、フランジ１７ａ，１７ｂ、パンチ５ａ，５ｂ、発熱体９ａ，９ｂ、電極１０ａ，１０ｂがスプリング２３の反発力によって材料粉末３に対する加圧方向とは逆方向である型開き方向へ加圧される（Ｓｔｅｐ７）。次に、焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂとの離型の際の離型抵抗及び油圧装置１ａによって電極１０ａ，１０ｂに加えられる加圧力よりもスプリング２３の反発力が大きくなった時点で、焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂの離型が行われる（Ｓｔｅｐ８）。
【００７２】
なお、スプリング２３の反発力はフランジ１７ａ，１７ｂとサポート部１３ａ間における圧縮量によって変化するため、焼結時のスプリング２３圧縮量と電極１０ａ，１０ｂの加圧力及び焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂとの離型抵抗に応じてスプリング２３の反発力すなわち弾性係数等の弾性的性質は適切に設定する必要がある。
【００７３】
以上の焼結後の離型過程において本発明の焼結装置によれば上述した様に、離型補助孔２６、断熱材１２に設けられる貫通孔２６ａ、貫通孔２６ｂ、離型補助ピン２７によって構成される焼結体１５の保持機構によって離型過程における焼結体１５の保持が行われる。
【００７４】
具体的には、上述した様に材料粉末３の焼結過程において離型補助ピン２７の補助ピン先端２７ａはダイス２内側にパンチ５ａ，５ｂが挿入されて形成される成形空間４に突出しており、その結果、材料粉末３の焼結過程において補助ピン先端２７ａが焼結体１５中に突設して配置された状態となり、離型補助ピン２７の補助ピン先端２７ａによって焼結体１５がダイス２内側に保持された状態となる。その様に焼結体１５をダイス２内側に保持することで焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂとの離型を確実に行うことができる。また図５に模式的に示す様に離型後は離型補助ピン２７を離型補助孔２６から引き抜いて焼結体１５をダイス２から簡単に取り外すことができる。
【００７５】
このように焼結体１５がダイス２内側に固定されていない場合、焼結体１５からの離型の際に上側パンチ５ａと下側パンチ５ｂのうちで離型抵抗のより大きい側に焼結体１５が付着した状態で焼結後の離型過程が進行し、上側パンチ５ａと下側パンチ５ｂのうちいずれか一方の離型ができなくなる。
【００７６】
次いで以上の様に焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂの離型が行われるた状態で必要に応じて焼結体１５を取り出し、さらに真空チャンバ１４内の真空状態を解除し（Ｓｔｅｐ９）、上側パンチ５ａを引き出し（Ｓｔｅｐ１０）、焼結工程を終了する。
【００７７】
図８は以上の焼結過程におけるダイス２内側における温度を上側パンチ５ａと下側パンチ５ｂに加わる加圧力と真空チャンバ１４内の真空度の変化を示すタイムチャートである。図８に示される様にダイス２の成形空間４に下側発熱体９ｂを挿入してパンチ５ｂ及び下側発熱体９ｂを電極１０ｂによって支持した状態において、金属やセラミック等の材料粉末３を上方から前記成形空間４内に供給し（Ｓｔｅｐ１）、成形空間４に上方からパンチ５ａ及び上側発熱体９ａを挿入した（Ｓｔｅｐ２）状態で真空チャンバ１４が減圧されて真空チャンバ１４内の真空度が上昇し、十分な真空度が得られた状態で材料粉末３に対する加圧が開始される（Ｓｔｅｐ４）。
【００７８】
次に材料粉末３に対して十分な加圧が行われた状態で、電源装置８による上側発熱体９ａと下側発熱体９ｂ間の電圧印加を開始し、上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂのジュール発熱により、材料粉末３を高温に加熱して（Ｓｔｅｐ５）一定時間保持し、焼結が終了して冷却が開始すると共に離型機構が作動して（Ｓｔｅｐ７）焼結体１５に対するパンチ５ａ，５ｂによる加圧力が解除される。
【００７９】
次に、焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂとの離型の際の離型抵抗及び油圧装置１ａによって電極１０ａ，１０ｂに加えられる加圧力よりもスプリング２３の反発力が大きくなった時点で、焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂの離型が行われる（Ｓｔｅｐ９、Ｓｔｅｐ１０）。その後ダイス２内側温度が２５０〜３００℃程度に降下した時点で、真空チャンバ１４内の真空状態が解除されパンチ５ａ，５ｂ（グラファイト型）と共に焼結体１５が取り出されて所定の熱処理工程に供される。
【００８０】
以上の図８に示されるタイムチャートの態様では焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂ等の取り扱い上の安全性の観点と高温状態で真空チャンバ１４内の真空解除を行うと、パンチ５ａ，５ｂ（グラファイト型）の酸化、真空チャンバ１４の熱による劣化が発生し、これを防止する必要があることから焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂの取り出し温度が２５０〜３００℃とされている。
【００８１】
従って、焼結体１５の劣化の防止と高精度化を実現するという目的で焼結直後に焼結体１５に熱処理を行う場合には図９のタイムチャートに示される焼結工程が実施される。
図９のタイムチャートに示される焼結工程では前述の図８に示されるタイムチャートの態様とは異なり、焼結体１５に対するパンチ５ａ，５ｂによる加圧力が解除されると同時にダイス２内側温度が８００〜９００℃程度の高温である時点で焼結体１５の取り出し及び設処理工程への移送が行われ、一方、真空チャンバ１４内の真空状態は可能な範囲で維持されて、その後ダイス２内側温度が２５０〜３００℃程度に降下した時点で、真空チャンバ１４内の真空状態が解除される。
【００８２】
これにより焼結体１５が真空チャンバ１４内にダイス２内側温度が２５０〜３００℃程度まで降下するまで保持されることによる特性の劣化を可及的に防止すると共に高温状態で真空チャンバ１４内の真空が解除されることによるパンチ５ａ，５ｂ（グラファイト型）の酸化、真空チャンバ１４の熱による劣化が防止される。
【００８３】
以上の実施の形態の焼結装置によれば、特に、リブ付き焼結体１５を製造する場合には底面を加圧するパンチ５ａ，５ｂとリブ付き焼結体１５の側壁部分を加圧するダイス下縁部２ａとによってそれぞれ独立して粉末を加圧することができる結果、このパンチ５ａ，５ｂとダイス下縁部２ａの相対位置関係、すなわちパンチ５ａ，５ｂとダイス下縁部２ａのそれぞれによって加えられる加圧力を適切に制御することによって全体として均一な密度のリブ付き焼結体１５を製造することができる。
【００８４】
［実施の形態２］
図１０は本発明の実施の形態２としてダイス２内側にパンチ５ａ，５ｂが挿入されて形成される成形空間４の領域でダイス２が上下の部分に分割される様にすると共に、その分割部分のダイス２の内側部に保持凹部２８が形成される様にした焼結体１５の保持機構についての概念図を示す。
【００８５】
この保持機構によれば、焼結体１５に保持凹部２８に突出する保持突部１５ａが形成され、この保持突部１５ａがダイス２の保持凹部２８に係合した状態で焼結体１５からのパンチ５ａ，５ｂの離型が行われるので、焼結体１５からのパンチ５ａ，５ｂの離型を確実に行うことができる。また離型後はダイス２を上下の部分に分割して焼結体１５をダイス２から取り外すことができる。
【００８６】
［実施の形態３］
図１１及び図１２は本発明の実施の形態３の焼結装置を示す。この実施の形態３の焼結装置は、上下電極１０ａ，１０ｂとパンチ５ａ，５ｂをカップリング２９によって組み付けることにより、焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂの離型を可能としている。
【００８７】
実施の形態３の焼結装置では、図に示す様に電極１０ａ，１０ｂの端部に電極鍔部３０ａ，３０ｂが設けられ、一方パンチ５ａ，５ｂの端部には電極鍔部３０ａ，３０ｂとほぼ同径のパンチ鍔部３１ａ，３１ｂが設けられる。その電極鍔部３０ａ，３０ｂとパンチ鍔部３１ａ，３１ｂとの間に発熱体９ａ，９ｂを配置し、電極鍔部３０ａ，３０ｂとパンチ鍔部３１ａ，３１ｂをカップリング２９によって挟み込み、電極鍔部３０ａ，３０ｂとパンチ鍔部３１ａ，３１ｂとの間に発熱体９ａ，９ｂを挟持した状態で電極１０ａ，１０ｂと発熱体９ａ，９ｂとパンチ５ａ，５ｂとがカップリング２９によって組み付けられて一体化される。
【００８８】
従ってその様に組み付けられた状態では、油圧装置１ａによって電極１０ａ，１０ｂが昇降されると電極１０ａ，１０ｂと一体となって発熱体９ａ，９ｂとパンチ５ａ，５ｂとが昇降し、油圧装置１ａによる電極１０ａ，１０ｂの昇降によって材料粉末３の加圧焼結及び焼結体１５からのパンチ５ａ，５ｂの離型が行われる。すなわち電極１０ａ，１０ｂを油圧装置１ａによって型開き方向に引き離す動きに伴い上側発熱体９ａ及び下側発熱体９ｂ、パンチ５ａ，５ｂを型開き方向に移動させ、これによってパンチ５ａ，５ｂを焼結体１５から離型させることができる。
【００８９】
以上の実施の形態３の焼結装置では電極１０ａ，１０ｂとカップリング２９、パンチ５ａ，５ｂとカップリング２９との間には絶縁体２５が配置されて、その間が短絡して発熱体９ａ，９ｂへの通電が阻害されることを防止している。この場合に絶縁処理したカップリング２９を設ける様にすることもできる。
【００９０】
なおこの実施の形態３の焼結装置でも実施の形態１、実施の形態２の焼結装置と同様に、離型補助孔２６、断熱材１２に設けられる貫通孔２６ａ、貫通孔２６ｂ、離型補助ピン２７によって構成される焼結体１５の保持機構によって離型過程における焼結体１５の保持が行われる。
【００９１】
具体的には、上述した様に材料粉末３の焼結過程において離型補助ピン２７の補助ピン先端２７ａはダイス２内側にパンチ５ａ，５ｂが挿入されて形成される成形空間４に突出しており、その結果、材料粉末３の焼結過程において補助ピン先端２７ａが焼結体１５中に突設して配置された状態となり、離型補助ピン２７の補助ピン先端２７ａによって焼結体１５がダイス２内側に保持された状態となる。その様に焼結体１５をダイス２内側に保持することで焼結体１５とパンチ５ａ，５ｂとの離型を確実に行うことができる。また図１０に模式的に示す様に離型後は離型補助ピン２７を離型補助孔２６から引き抜いて焼結体１５をダイス２から簡単に取り外すことができる。
【００９２】
また、この実施の形態３の焼結装置でも実施の形態１、実施の形態２の焼結装置と同様に、電極１０ａ、上側発熱体９ａ、パンチ５ａを図示しない油圧装置１ａによって図１１上矢印Xで示す方向に移動して材料粉末３に対する加圧を行い（Ｓｔｅｐ４）、それと共に材料粉末３を高温に加熱する（Ｓｔｅｐ５）。次いで図７に示す様に、Ｓｔｅｐ５の焼結過程における加圧開始後、パンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の現在位置を計測（Ｓｔｅｐ５−１）し、パンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２のＳｔｅｐ５の焼結過程における移動開始時から現在までの時間に基づきパンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の単位時間辺りの移動量を算出する（Ｓｔｅｐ５−２）。
【００９３】
その単位時間辺りのパンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の移動量に基づき、焼結が終了する時点として設定された時点におけるパンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の位置を算出して焼結が終了する時点までに到達する形状を算出する（Ｓｔｅｐ５−３）。    次いでパンチ５ａ及びパンチ５b及びダイス２の単位時間辺りの移動量に基づき算出された焼結が終了する時点までに到達する形状と目標とする最終形状との誤差に基づき、パンチ５ｂ及びダイス下縁部２ａによって加える必要のある加圧力を設定し、電極１０ｂ、下側発熱体９ｂ、パンチ５ｂ及びダイス加圧手段２を図上矢印Yで示す方向に移動する（Ｓｔｅｐ５−５）。
【００９４】
これによってパンチ５ｂ及びダイス下縁部２ａによる加圧を開始して材料粉末３に対する加圧を行い、その結果、材料粉末３にはパンチ５ａによって加えられる矢印Ｘ方向の圧縮力と、パンチ５ｂによって加えられる矢印Ｙ方向の圧縮力（ｙ１）が加えられ、それと同時にダイス下縁部２ａによって加えられる矢印Ｙ方向の圧縮力（ｙ２）が加えられる。
したがって以上の実施の形態の焼結方法による焼結過程における加圧の態様も目標とする最終形状に応じて相互に異なる３方向からの３軸加圧として構成される。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明の焼結方法及び焼結装置は例えばアルミニウムダイカスト金型の焼結に好適に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の実施の形態に係る焼結装置の概略構成図である。
【図２】図１Ｂ−Ｂ断面図である。
【図３】図１Ａ−Ａ断面図である。
【図４】図１に示す焼結装置の部分拡大図である。
【図５】図１に示す焼結装置の動作を示す模式図である。
【図６】図１に示す焼結装置を用いて行う本発明の実施の形態に係る焼結方法のフローチャートである。
【図７】図６に示すフローチャートをさらに詳細に展開したフローチャートである。
【図８】図１に示す焼結装置を用いて行う本発明の実施の形態に係る焼結方法のタイムチャートである。
【図９】図１に示す焼結装置を用いて行う本発明の実施の形態に係る焼結方法の他のタイムチャートである。
【図１０】本発明の他の実施の形態に係る焼結装置の模式図である。
【図１１】本発明の他の実施の形態に係る焼結装置の概略構成図である。
【図１２】図１１に示す焼結装置の部分拡大図である。
【図１３】従来の焼結装置の概略構成図である。
【図１４】従来の焼結装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００９７】
１・・・焼結装置、２・・・ダイス、２ａ・・・ダイス下縁部、２ｂ・・・ダイス加圧手段、３・・・材料粉末、４・・・成形空間、５・・・パンチ、６・・・温度センサ、７・・・制御装置  、８・・・電源装置、９・・・発熱体、１０・・・電極、１１・・・円筒状断熱材、１２・・・断熱材、１３・・・金属サポート、１４・・・真空チャンバ、１５・・・焼結体、１６・・・パンチ鍔部、１７・・・フランジ、１８・・・パンチ孔部、１９・・・パンチ係合段部段部、２０・・・フランジ孔部、２１・・・サポート部孔部、２２・・・ストッパー、２３・・・スプリング・・・、２４・・・留め金、２５・・・絶縁体  、２６・・・離型補助孔、２７・・・離型補助ピン、２８・・・保持凹部、２９・・・カップリング、３０・・・電極鍔部、３１・・・パンチ鍔部。
【図１】
2007246992.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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