(57)【要約】【課題】  短時間で、高精度な検査をすることができる発光素子アレイの検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】  発光素子アレイ２５の検査装置４０は、有機ＥＬ素子を有する発光素子アレイ２５を撮像するラインセンサカメラ４８と、発光素子アレイ２５を搬送して、ラインセンサカメラ４８の撮像範囲内に有機ＥＬ素子を配置する移動テーブル４２、搬送機構４３を備える。また、検査装置４０に備えられる検査端末には、有機ＥＬ素子を撮像したデジタル画像データを画像処理し、有機ＥＬ素子の発光状態の良否を判断する画像プロセッサが備えられている。【選択図】      図５
2007090814.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子を有する発光素子アレイを撮像装置で撮像するとともに、
前記撮像装置による撮像データに基づき画像処理を行って、前記発光素子の発光状態を判別することを特徴とする発光素子アレイの検査方法。
【請求項２】
発光素子を有する発光素子アレイを撮像する撮像装置と、
前記発光素子アレイを搬送して、前記撮像装置の撮像範囲内に前記発光素子を配置する搬送手段と、
前記発光素子を撮像した撮像データを画像処理する画像処理手段と、
前記画像処理手段に基づいて、前記発光素子の発光状態を判別する判断手段と
を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の検査装置において、
前記判断手段は、前記発光素子による発光領域の面積又は形状が、所定の面積又は形状を満たすか否かを判断することにより、前記発光素子の発光状態の良否を判断することを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の検査装置において、
前記判断手段は、前記画像処理手段による画像処理結果に基づいて、前記発光素子の複数の発光不良状態をそれぞれ判別することを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記発光素子の光パワーを測定する測定手段をさらに備えることを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光素子アレイの検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、高集積化及び低コスト化を図るため、電子写真方式のプリンタに、有機ＥＬ素子を配列した発光素子アレイを設けた露光ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この露光ヘッドの製造工程では、露光ヘッドに設けられたドライバユニットに所定の電圧を印加して、その発光素子の発光状態を目視する検査工程が設けられている。
【特許文献１】特開２００３−２９１４０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、目視による検査工程は、検査担当者によって検査結果にばらつきが生じたり、目視検査に時間がかかる問題がある。特に、露光ヘッドには、有機ＥＬ素子が多数配列されているので、誤判断や、検査に時間がかかる傾向がある。また、露光ヘッドの検査工程においては、例えば、全点灯状態の際に消灯している素子の有無を判断するだけでなく、点灯はしているものの、異物混入等による発光不良が生じている素子の有無を判断しなければならない。このため、短時間で、多数の発光素子の発光状態の良否を判断することは、検査担当者に負担となるばかりか、検査の精度低下を招来する可能性がある。
【０００４】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、短時間で、高精度な検査をすることができる発光素子アレイの検査方法及び検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の発光素子アレイの検査方法は、発光素子を有する発光素子アレイを撮像装置で撮像するとともに、前記撮像装置による撮像データに基づき画像処理を行って、前記発光素子の発光状態を判別する。
【０００６】
これによれば、発光素子を有する発光素子アレイを撮像装置で撮像し、撮像データに基づいて、発光素子の発光領域に対して画像処理を行って、発光状態の良否を判断する。このため、目視検査では見落とし易い、発光不良も検出することができるので、検査の精度を向上することができる。
【０００７】
本発明の検査装置は、発光素子を有する発光素子アレイを撮像する撮像装置と、前記発光素子アレイを搬送して、前記撮像装置の撮像範囲内に前記発光素子を配置する搬送手段と、前記発光素子を撮像した撮像データを画像処理する画像処理手段と、前記画像処理手段に基づいて、前記発光素子の発光状態を判別する判断手段とを備えた。
【０００８】
これによれば、発光素子を有する発光素子アレイを撮像装置の撮像範囲内に配置し、撮像装置で撮像する。そして、撮像データに基づいて、発光素子の発光領域に対して画像処理を行って、発光状態の良否を判断する。このため、目視検査では見落とし易い、発光不良も検出することができるので、検査の精度を向上することができる。
【０００９】
この検査装置において、前記判断手段は、前記発光素子による発光領域の面積又は形状が、所定の面積又は形状を満たすか否かを判断することにより、前記発光素子の発光状態の良否を判断する。
【００１０】
これによれば、判断手段は、発光素子による発光領域の面積又は形状が、所定の面積又は形状を満たすか否かを判断する。このため、目視検査では判別し難い、発光不良も検出することができるので、検査の精度を向上することができる。
【００１１】
この検査装置において、前記判断手段は、前記画像処理手段による画像処理結果に基づいて、前記発光素子の複数の発光不良状態をそれぞれ判別する。
これによれば、判断手段は、複数の発光不良状態を判別する。このため、目視検査では判別し難い複数の発光不良状態を容易に判別することができる。
【００１２】
この検査装置において、前記発光素子の光パワーを測定する測定手段をさらに備える。
これによれば、発光素子の光パワーを測定する測定手段をさらに備える。このため、発光素子の発光不良の検出と合わせて、光パワーも測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図７に従って説明する。図１は、電子写真式の光プリンタ１の内部構造を説明する概略図である。
図１に示すように、光プリンタ１は、外郭ケースＣ内に、４個の露光ヘッド２Ｙ，２Ｍ，２Ｃ，２Ｋ及び感光ドラム３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋを備えている。各露光ヘッド２Ｙ，２Ｍ，２Ｃ，２Ｋは、各感光ドラム３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋの外周面に対峙する露光位置にそれぞれ配置されている。尚、各露光ヘッド２Ｙ，２Ｍ，２Ｃ，２Ｋ、各感光ドラム３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋをそれぞれ区別しない場合には、単に露光ヘッド２、感光ドラム３として説明する。
【００１４】
また、各感光ドラム３の下方には、駆動ローラ４、従動ローラ５、テンションローラ６が配設されている。各ローラ４〜６には、中間転写ベルト７がテンションを加えられて張架されている。さらに、各感光ドラム３の上方には、コロナ帯電体８Ｙ，８Ｍ，８Ｃ，８Ｋが配設されている。各コロナ帯電体８Ｙ，８Ｍ，８Ｃ，８Ｋは、各感光ドラム３の外周面と対峙した位置に配置され、各感光ドラム３の外周面を一様に帯電させる。さらに、各コロナ帯電体８Ｙ，８Ｍ，８Ｃ，８Ｋの近傍には、各色のトナーを収容した現像装置９Ｙ，９Ｍ，９Ｃ，９Ｋが設けられている。現像装置９Ｙ，９Ｍ，９Ｃ，９Ｋは、それぞれ、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの単色トナーをそれぞれ収容し、各感光ドラム３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋの外周面に、各色のトナーを付着させる。
【００１５】
さらに、中間転写ベルト７の下方には、ピックアップローラ１６及びゲートローラ１７が設けられている。ピックアップローラ１６は、図示しない給紙トレイに収容された紙等の記録シートＰを一枚ずつ給送し、ゲートローラ１７は、二次転写ローラ１８への記録シートＰの供給タイミングを規定する。
【００１６】
そして、各露光ヘッド２Ｙ，２Ｍ，２Ｃ，２Ｋは、各感光ドラム３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋの回転に同期して、その帯電した外周面に対して順次ライン走査し、各感光ドラム３の外周面に静電潜像を形成する。各現像装置９Ｙ，９Ｍ，９Ｃ，９Ｋは、静電潜像が形成された各感光ドラム３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋの外周面に対し、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各色トナーを供給し、各感光ドラム３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋの外周面にトナー像を形成する。
【００１７】
各感光ドラム３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋに形成された、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各トナー像は、各一次転写ローラ１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０Ｋに印加された一次転写バイアスにより、中間転写ベルト７に、順次、一次転写される。また、一次転写後、各感光ドラム３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋに残留したトナーは、各クリーニング装置１１Ｙ，１１Ｍ，１１Ｃ，１１Ｋにより除去される。
【００１８】
一次転写により、中間転写ベルト７の上で重ね合わされてフルカラーとなったトナー像は、二次転写ローラ１８において、給送された記録シートＰに二次転写され、定着ローラ１２を通ることで、記録シートＰに定着される。この後、記録シートＰは、排紙ローラ対１３によって、外郭ケースＣ上面に形成された排紙トレイ（図示せず）に排紙される。
【００１９】
次に、光プリンタ１の各露光ヘッド２について、図２及び図３に従って説明する。図２に示すように、各露光ヘッド２は、枠体２１と、光学部材２２とをそれぞれ有している。枠体２１は、長尺に形成され、断面略コの字状をなしている。また、枠体２１は、その長手方向が、中間転写ベルト７の搬送方向に略直交する方向となるように配置されている。さらに、枠体２１の内側の底面には、発光素子アレイ２５が固定されている。
【００２０】
図３（ａ）に示すように、発光素子アレイ２５は、長尺状の基板２６を備えている。基板２６には、２５５６個の発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子３０という）からなる列が、基板２６の長手方向に沿って２列形成されている。各列を構成する有機ＥＬ素子３０は、隣接する他の列の有機ＥＬ素子３０と、基板２６の長手方向に半ピッチだけ互いにずれるようにして形成され、千鳥格子状に配列されている。これらの各有機ＥＬ素子３０には、アドレスがそれぞれ割り振られている。例えば、発光素子アレイ２５の一端から他端に向って順番に番号を付与し、左列に配置された有機ＥＬ素子３０には奇数番号を、右列に配置された有機ＥＬ素子３０には偶数番号を割り振っても良い。また、左列の有機ＥＬ素子３０に、開始番号から連続番号を付与し、右列の有機ＥＬ素子３０には、左列の終端番号の次の番号から連続番号を付与するようにしてもよい。
【００２１】
図３（ｂ）の断面図に示すように、基板２６上には、略円形状の各画素電極３１が２列形成されている。この画素電極３１は、等間隔に配置され、隣接する他の列の画素電極３１と半ピッチだけずれるようにして形成されている。各画素電極３１は、それぞれに独立した配線を介して、図示しないデータ信号出力駆動回路に接続されている。そして、このデータ信号出力駆動回路から出力された描画データ信号が各画素電極３１に供給されるようになっている。
【００２２】
また、基板２６には、各画素電極３１を被覆するように、正孔注入層３２が形成されている。この正孔注入層３２上には、発光層３３が形成されている。発光層３３は、赤色の光を出射する高分子系の発光性有機材料から構成されている。発光層３３上には、図示しない電子注入層を介して、陰極３４が形成されている。陰極３４の上には、空間を介して、透明樹脂からなる封止部材３５が形成されている。
【００２３】
そして、このように構成された発光素子アレイ２５は、上記したデータ信号出力駆動回路から出力される各種制御信号によって、陰極３４側から図２の光学部材２２に対して赤色の光を出射する。発光素子アレイ２５から出射された光は、ロッドレンズ等からなる光学部材２２を介して、各感光ドラム３に集光される。
【００２４】
次に、上記のように構成した発光素子アレイ２５の検査装置４０について、図４及び図５に従って説明する。図４に示すように、検査装置４０は、搬送手段を構成する移動テーブル４２及び搬送機構４３を備えている。図５に示すように、移動テーブル４２は、略長方形状の平板であって、その底面に１対の係合突部４２ａを備え、上面には、発光素子アレイ２５を載置する。搬送機構４３は、図５に示すように、移動テーブル４２に螺合したネジ軸４４と、移動テーブル４２を載置する搬送台４５と、ネジ軸４４の回転動作の駆動源であるＸ軸モータ４６（図６参照）等を備えている。また、移動テーブル４２は、ネジ軸４４の回転に従動しないように、不図示の規制部材によって回転規制されている。搬送
台４５には、その上面に移動テーブル４２の係合突部４２ａと係合する案内溝４５ａが形成されている。案内溝４５ａは、Ｘ矢印方向に延びており、移動テーブル４２をＸ矢印方向及び半Ｘ矢印方向にガイドする。Ｘ軸モータ４６は、例えばステッピングモータである。そして、Ｘ軸モータ４６が正逆回転することによって、移動テーブル４２は、搬送台４５上をネジ軸４４に沿ってＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に移動する。
【００２５】
また、検査装置４０は、移動テーブル４２に載置された発光素子アレイ２５を発光又は消光させる発光コントローラ４７（図４参照）を備えている。発光コントローラ４７は、図示しないフレキシブル基板等を介して、発光素子アレイ２５の上記したデータ信号出力駆動回路に接続されている。そして、各有機ＥＬ素子３０を、全点灯状態及び全消灯状態にして、暗点検査及び明点検査を行う。
【００２６】
また、移動テーブル４２の鉛直方向（Ｙ矢印方向）上方には、撮像装置としてのラインセンサカメラ４８が、その光軸を搬送台４５の上面に向けて固定されている。ラインセンサカメラ４８は、ＣＣＤイメージセンサ素子、レンズ等の光学機構を有し、移動テーブル４２に載置された発光素子アレイ２５のうち、撮像範囲に含まれる所定個数の各有機ＥＬ素子３０を撮像する。そして、ラインセンサカメラ４８は、ＣＣＤイメージセンサ素子に結像した光を電気信号に変換し、さらにアナログ／デジタル変換した撮像データとしてのデジタル画像データＧを、図４に示す検査端末４９に出力する。検査端末４９は、ラインセンサカメラ４８から入力したデジタル画像データＧに基づき、画像処理を行って発光素子アレイ２５の発光状態の良否を判断し、検査結果をディスプレイＤに出力する。
【００２７】
検査端末４９は、図６に示すように、ＣＰＵ５０、ＲＡＭ５１、ＲＯＭ５２、画像処理手段及び判断手段としての画像プロセッサ５３、画像メモリ５４を備えている。ＣＰＵ５０は、Ｉ／Ｆ５５を介して、Ｘ軸モータ４６に接続されたモータ駆動回路５６を制御し、Ｘ軸モータ４６に所定のパルス信号を出力する。Ｘ軸モータ４６は、パルス信号に基づいた回転方向に、入力パルス数に応じた回転数だけ回転する。これにより、Ｘ軸モータ４６の回転は、図示しない伝達機構を介して、ネジ軸４４に伝達される。ネジ軸４４は、Ｘ軸モータ４６の回転数に応じて回転して、移動テーブル４２を、Ｘ軸モータ４６に入力されたパルス数に応じた移動量だけ移動させるようになっている。
【００２８】
移動テーブル４２がラインセンサカメラ４８の下方に到達すると、ＣＰＵ５０は、発光コントローラ４７を介して、発光素子アレイ２５の各有機ＥＬ素子３０を所定時間全点灯させる。さらに、ＣＰＵ５０は、有機ＥＬ素子３０が全点灯状態であるとき、ラインセンサカメラ４８を駆動させて、移動テーブル４２に載置された発光素子アレイ２５の所定個数の有機ＥＬ素子３０を撮像させる。そして、ラインセンサカメラ４８から入力したデジタル画像データＧを、画像メモリ５４に一時記憶する。画像プロセッサ５３は、画像メモリ５４に蓄積されたデジタル画像データＧに基づき、発光した有機ＥＬ素子３０の発光状態を判断するための画像処理を行う。また、発光コントローラ４７を介して各有機ＥＬ素子３０を全消灯させたときにも、ＣＰＵ５０は、ラインセンサカメラ４８を駆動して発光素子アレイ２５を撮像する。そして、画像プロセッサ５３にて明点検査用の画像処理を行う。
【００２９】
詳述すると、画像プロセッサ５３は、有機ＥＬ素子３０を全点灯させた暗点検査の際に撮像されたデジタル画像データＧに基づき、パターン検査を行い、消灯している有機ＥＬ素子３０があるか否かを判断する。例えば、画像プロセッサ５３は、図７（ａ）の画像６０に模式的に示すようなデジタル画像データＧを２値化する等して、基板２６を撮像した背景部分と、有機ＥＬ素子３０を撮像したパターン部分とに分ける。有機ＥＬ素子３０が点灯している場合には、発光した有機ＥＬ素子３０を撮像した、デジタル画像データＧの画素領域（発光領域）は、パターン部３０ａとして認識される。一方、有機ＥＬ素子３０
が消灯している場合には、その有機ＥＬ素子３０を撮像した画素領域は、背景部３０ｂに含まれる。そして、２値化したデータとＲＯＭ５２に格納された設計情報とに基づき、パターン部３０ａが、所定の数であって、予め定められたピッチごとに配列しているか否かを判断する。ここで、所定の個数とは、ラインセンサカメラ４８の撮像範囲に含まれる有機ＥＬ素子３０の個数である。
【００３０】
画像プロセッサ５３が、パターン部３０ａが所定数があり、且つ所定ピッチで配列していると判断した場合、消灯している有機ＥＬ素子３０が無いと判断し、暗点検査において発光不良無しと判断する。一方、例えば、図７（ｂ）の画像６１に模式的に示すデジタル画像データＧのように、左列のパターン部３０ａが所定のピッチで配列していない場合には、その所定のピッチとならない背景部３０ｂに、発光不良の有機ＥＬ素子３０があると判断する。発光不良の有機ＥＬ素子３０があると判断した場合には、その有機ＥＬ素子３０のアドレスをＲＡＭ５１に格納する。
【００３１】
さらに、画像プロセッサ５３は、デジタル画像データＧに基づき、発光した有機ＥＬ素子３０を撮像したパターン部３０ａの面積を算出する。この画像処理方法としては、公知の方法を用いることができるが、例えば、グレースケールのデジタル画像データＧに基づき、エッジ検出処理を行い、その円形状のエッジの半径を計測して、エッジ内の面積を算出する。そして、面積が所定面積範囲内に含まれず、過大又は過小である場合には、異常発光であって、発光不良の有機ＥＬ素子３０があると判断する。さらに、画像プロセッサ５３は、デジタル画像データＧを２値化する等して、各パターン部３０ａを構成する、デジタル画像データＧの画素数が、所定範囲内に含まれるか否かを判断し、有機ＥＬ素子３０の輝度が正常であるか否かを判断する。即ち、有機ＥＬ素子３０の輝度が過大である場合には、各パターン部３０ａを構成する画素数が所定範囲を超え、輝度が過小である場合には、各パターン部３０ａを構成する画素数が所定範囲を下回る。
【００３２】
また、画像プロセッサ５３は、デジタル画像データＧに基づき画像処理を行って、パターン部３０ａの形状が所定の形状を満たすか否かを判断し、異物混入、封止不良等の発光不良の有無を判断する。この画像処理には、公知の方法を用いることができる。例えば、画像プロセッサ５３は、ＲＯＭ５２に格納された図示しないテンプレートを用いて、パターン検査を行う。テンプレートは、発光不良の無い所定個数の有機ＥＬ素子３０を予め撮像した画像データである。画像プロセッサ５３は、テンプレートと、デジタル画像データＧとを合わせ、所定の方向に移動させる。そして、テンプレートとデジタル画像データＧとの差分が最も小さくなる位置を検出する。さらに、その位置で、テンプレートとデジタル画像データＧとの合致しきれない部分を、欠陥部３０ｃとする。例えば、図７（ｃ）の画像６２に模式的に示すデジタル画像データＧのように、画素電極３１の形状不良等により、発光領域に欠けが生じている有機ＥＬ素子３０を撮像したパターン部３０ａがある場合、その欠けた部分を欠陥部３０ｃとして判断する。また、図７（ｄ）の画像６３及び図７（ｅ）の画像６４に模式的に示すように、パターン部３０ａ内に部分的に発光していない部分がある場合には、その部分を欠陥部３０ｃとして認識する。また、図７（ｆ）の画像６５に示すように、発光層３３等の封止不良が生じ、内部に酸素等が混入することにより発光不良が生じた場合には、欠陥部３０ｃとして判断する。そして、発光不良の有機ＥＬ素子３０があると判断した場合には、その有機ＥＬ素子３０のアドレスをＲＡＭ５１に格納する。さらに、欠陥部３０ｃの形状及び位置に基づき、発光不良の類型（異物混入、封止不良等）も関連付けて格納する。
【００３３】
また、図４に示すように、検査装置４０は、発光素子アレイ２５の有機ＥＬ素子３０の光パワーを測定する、測定手段としての光パワー測定部５７を備えている。光パワー測定部５７は、図５に示すように、ラインセンサカメラ４８のＸ矢印方向に固定されている。ＣＰＵ５０は、光パワー測定部５７を駆動して、移動テーブル４２に配置された発光素子
アレイ２５の光パワーを適宜測定する。
【００３４】
次に、本実施形態の検査方法について説明する。まず、検査対象となる発光素子アレイ２５が移動テーブル４２上に載置されると、検査端末４９のＣＰＵ５０は、図示しないアライメント機構を制御して、発光素子アレイ２５の位置を検出する。そして、ＣＰＵ５０は、発光素子アレイ２５を初期位置に配置するため、モータ駆動回路５６を介してＸ軸モータ４６を駆動する。発光素子アレイ２５が初期位置に配置されたとき、ラインセンサカメラ４８の撮像範囲に、その発光領域が全て含まれる有機ＥＬ素子３０を第１群とする。
【００３５】
ＣＰＵ５０は、発光コントローラ４７を駆動して、発光素子アレイ２５の各有機ＥＬ素子３０を全点灯する。その後、ＣＰＵ５０は、ラインセンサカメラ４８を制御して、第１群の有機ＥＬ素子３０を撮像する。そして、デジタル画像データＧを画像メモリ５４に記憶する。画像プロセッサ５３は、生成された第１群のデジタル画像データＧに基づき、上記したように発光状態の良否を判断する。そして、全点灯しているにも関わらず消灯している発光不良の有機ＥＬ素子３０、異物混入や封止不良により発光不良となった有機ＥＬ素子３０が検出された場合、その有機ＥＬ素子３０のアドレスをＲＡＭ５１に格納する。有機ＥＬ素子３０のアドレスは、デジタル画像データＧに基づき、第１群に含まれるパターン部３０ａの位置によって算出する。また、発光不良の有機ＥＬ素子３０のアドレスに関連付けて、消灯、異物混入、封止不良等の発光状態を関連付けてＲＡＭ５１に格納する。
【００３６】
第１群の有機ＥＬ素子３０を撮像すると、ＣＰＵ５０は、モータ駆動回路５６を介して、Ｘ軸モータ４６に所定パルス数の駆動信号を出力する。Ｘ軸モータ４６は、その駆動信号に基づき、その駆動軸を所定回転数だけ回転する。駆動軸の回転力は、ネジ軸４４に伝達され、ネジ軸４４は所定回転数だけ回転する。その結果、移動テーブル４２がＸ矢印方向に所定量だけ移動する。これにより、第２群の有機ＥＬ素子３０が、ラインセンサカメラ４８の撮像範囲内に含まれた状態になる。
【００３７】
そして、ＣＰＵ５０は、第２群の有機ＥＬ素子３０をラインセンサカメラ４８により撮像し、画像プロセッサ５３により各有機ＥＬ素子３０の発光状態の良否を判断する。そして、ＣＰＵ５０は、移動テーブル４２を所定量だけＸ矢印方向に移動する。このように、有機ＥＬ素子３０の撮像及び発光状態の良否の判断、移動テーブル４２の移動を繰り返し、最終の第ｎ群の有機ＥＬ素子３０まで撮像する。
【００３８】
また、光パワー測定部５７は、その下方に有機ＥＬ素子３０が搬送されると、有機ＥＬ素子３０の光パワーを測定する。そして、測定値が所定範囲内であるか否かを判断し、光パワーが所定範囲外である場合には、ＣＰＵ５０は、その有機ＥＬ素子３０のアドレスをＲＡＭ５１に格納する。
【００３９】
全ての有機ＥＬ素子３０に対して検査が完了すると、ＣＰＵ５０は、ＲＡＭ５１に格納された有機ＥＬ素子３０のアドレス、発光不良の要因をディスプレイＤに出力して、検査工程を終了する。
【００４０】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態では、検査装置４０は、有機ＥＬ素子３０を有する発光素子アレイ２５を撮像するラインセンサカメラ４８と、発光素子アレイ２５を搬送して、ラインセンサカメラ４８の撮像範囲内に、発光素子アレイ２５の有機ＥＬ素子３０を配置する移動テーブル４２及び搬送機構４３とを備えるようにした。さらに、ラインセンサカメラ４８が生成したデジタル画像データＧを画像処理し、有機ＥＬ素子３０の発光状態の良否を判断する画像プロセッサ５３を備えるようにした。このため、数千個の有機ＥＬ素子３０に対
し、画像処理により検査を行うので、見落としや誤判断が生じやすい目視検査に比べ、短時間で精度の良い検査を行うことができる。
【００４１】
（２）上記実施形態では、画像プロセッサ５３は、デジタル画像データＧに基づき、有機ＥＬ素子３０の発光領域（パターン部３０ａ）の面積又は形状が、所定の面積又は形状を満たすか否かを判断するようにした。このため、目視検査では判別し難い、僅かな面積の差異、微細な形状の差異も短時間で検出することができる。
【００４２】
（３）上記実施形態では、画像プロセッサ５３は、デジタル画像データＧに基づき、有機ＥＬ素子３０の異物混入、封止不良、異常発光等の複数の発光不良状態を判別するようにした。そして、その発光不良が生じた有機ＥＬ素子３０のアドレスと、その検査結果を検査端末４９のＲＡＭ５１に一時格納するようにした。そして、発光不良が生じた有機ＥＬ素子３０のアドレス、発光不良の要因をディスプレイＤに表示するようにした。このため、目視検査では判別し難く、時間がかかる発光状態の検査を、容易に且つ短時間で行うことができる。
【００４３】
（４）上記実施形態では、検査装置４０は、有機ＥＬ素子３０の光パワーを測定する光パワー測定部５７を備えるようにした。このため、有機ＥＬ素子３０の発光不良の検出と合わせて、光パワーも測定することができる。
【００４４】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、画像プロセッサ５３は、デジタル画像データＧの２値化、テンプレートマッチング等の画像処理方法を用いるようにしたが、上記した画像処理方法以外の画像処理方法で行っても良い。
【００４５】
・上記実施形態では、光パワー測定部５７を省略しても良い。
・上記実施形態では、搬送機構４３を、ネジ軸４４及び搬送台４５等から構成するようにしたが、これ以外の構成でもよい。
【００４６】
・上記実施形態では、検査端末４９の画像プロセッサ５３の画像処理結果に基づき、ＣＰＵ５０が、有機ＥＬ素子３０の発光状態の良否を判断するようにしても良い。この場合、ＣＰＵ５０が、判断手段を構成する。
【００４７】
・上記実施形態では、露光ヘッド２をタンデム式の光プリンタ１に搭載したが、１ドラム式のプリンタ等に搭載してもよい。
・上記実施形態では、発光素子アレイを、有機ＥＬ素子を有する有機ＥＬディスプレイとして具体化してもよい。そして、有機ＥＬディスプレイを移動テーブル４２に載置して、ラインセンサカメラ４８により撮像を行って検査を行うようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施形態の光プリンタの概略図。
【図２】本実施形態の露光ヘッドの斜視図。
【図３】（ａ）は、本実施形態の発光素子アレイの正面図、（ｂ）は断面図。
【図４】本実施形態の検査装置の正面図。
【図５】同検査装置の要部模式図。
【図６】本実施形態の検査端末のブロック図。
【図７】（ａ）は有機ＥＬ素子の正常発光、（ｂ）〜（ｆ）は発光不良状態を説明する模式図。
【符号の説明】
【００４９】
１…光プリンタ、２…露光ヘッド、２５…発光素子アレイ、３０…発光素子としての有機ＥＬ素子、３０ａ…発光領域としてのパターン部、４０…検査装置、４２…搬送手段を構成する移動テーブル、４３…搬送手段を構成する搬送機構、４８…撮像装置としてのラインセンサカメラ、５３…画像処理手段、判断手段としての画像プロセッサ、５７…測定手段としての光パワー測定部、Ｇ…撮像データとしてのデジタル画像データ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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