(57)【要約】      （修正有）【課題】内研砥石軸の撓みを防止し、ドレッシング精度を向上させる内研用砥石のドレッシング装置および同ドレッシング方法を提供する。【解決手段】内研用砥石１をドレッサ４でドレッシングすると、抵抗力によって内研砥石軸２が撓まされてドレッシング研削精度を下げるので、これを防止するため、内研砥石軸ホルダ７を設けて内研砥石軸２の撓みを無くする。上記内研砥石軸ホルダ７の位置は、内研砥石軸ホルダ調節機構８によって精密に調節される。自動制御装置ＣＰＵは、位置センサの検出信号を入力されて、内研砥石軸ホルダ調節機構８に対して指令信号を与える。【選択図】図１
2007190618.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内研用砥石（１）の砥石軸（２）を把持して回転させながら、該内研用砥石にドレッサ（４）を接触させてドレッシングを行なう装置において、
上記内研用砥石の砥石軸の中央部付近を支承するホルダ（７）が設けられていることを特徴とする、内研用砥石のドレッシング装置。
【請求項２】
前記の内研砥石軸ホルダ（７）が、気体を用い、またはドレッシング用の研削液と同じ液体を用いて、流体の圧力により軸を支持する構造であることを特徴とする、請求項１に記載した内研用砥石のドレッシング装置。
【請求項３】
前記の内研砥石軸ホルダ（７）が砥石軸（２）の全周を包囲することなく、１８０度以内の周面に対向して該砥石軸を支承していることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載した内研用砥石のドレッシング装置。
【請求項４】
前記の内研砥石軸ホルダ（７）が、内研砥石軸（２）の位置を調節し得る内研砥石軸ホルダ調節機構（８）を備えていることを特徴とする、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載した内研用砥石のドレッシング装置。
【請求項５】
前記の内研砥石軸ホルダ（７）が静圧軸受によって構成されており、その気圧または液圧を調節して気膜または液膜の厚さ寸法を制御し得る構造であり、
前記内研砥石軸ホルダ調節機構（８）が上記の気圧または液圧を制御する構造であることを特徴とする、請求項４に記載した内研用砥石のドレッシング装置。
【請求項６】
前記内研砥石軸ホルダ（７）による内研砥石軸（２）の支承位置が、前記内研砥石軸ホルダ調節機構（８）によって、内研砥石軸（２）の中心線に対して直角な面に沿って移動せしめられる構造であることを特徴とする、請求項４に記載した内研用砥石のドレッシング装置。
【請求項７】
前記内研用砥石（１）または内研砥石軸（２）の位置を計測して電気信号を出力する内研砥石位置センサ（９）と、
上記の電気信号を入力され、内研砥石軸ホルダ調節機構（８）に対して指令信号を与える自動制御装置（ＣＰＵ）とを具備していることを特徴とする、請求項５ないし請求項６のいずれかに記載した内研用砥石のドレッシング装置。
【請求項８】
内研用砥石（１）の砥石軸（２）を把持して回転させながら、該内研用砥石にドレッサ（４）を接触させてドレッシングする方法において、
上記内研用砥石の砥石軸の中央部付近を、内研砥石軸ホルダ（７）で支承することにより、ドレッシング操作に起因する内研砥石軸（２）の撓みを防止することを特徴とする、内研用砥石のレッシング方法。
【請求項９】
前記軸受部材として、砥石軸の半周以内の区域に対向する静圧軸受を用いるとともに、
該静圧軸受の作動流体として、気体を用い、またはドレッシング用の研削液と同じ液体を用いることを特徴とする、請求項８に記載した内研用砥石のドレッシング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内研用砥石をドレッシングする技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
内面研削盤の工具として用いられる内研用砥石は、内研砥石軸の先端に砥石車を固着した構造である。
上記の内研用砥石を用いて内面研削を行なう場合は、予めツルーイングしなければならない。
また、内面研削を行なったために該内研用砥石が損耗すると、研削作業の途中でドレッシングしなければならない。
【０００３】
厳密に言うと、ツルーイングとは「砥石のマクロな形状を所望のとおりに整えること」であり、ドレッシングとは「損耗した砥石のミクロな表面状態を修正して、砥石の切れ味を復元させること」である。
しかし、当業界の慣習としてドレッシングとツルーイングとが混用されている。
本発明においてドレッシングとは、ツルーイングを含む意である。特にドレッサとは、「ツルーイングおよび／またはドレッシングを行ない得る機械装置」を意味するものとする。
【特許文献１】特開２００５−５９１７６号公報
【特許文献２】特開２００１−１６２５３０号公報
【特許文献３】特開平８−３１８４５６号公報
【特許文献４】特開平６−２３３６６６号公報
【特許文献５】特開平１０−２６３９７０号公報
【特許文献６】特開２００３−１１０２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
内研用砥石の特徴は、被加工物の孔の中へ挿入されるため、内研砥石軸が比較的に長いことである。
その上、砥石径が小さい場合や特殊な内面研削においては、内研砥石軸と被加工物との干渉を避けるために内研砥石軸を細くしなければならない場合も有る。
内研砥石軸が比較的に細長い内研用砥石をドレッシング（ツルーイングを含む。以下同様）する場合、内研砥石軸がドレッシング抵抗の反力によって撓まされる。
内研砥石軸が撓むと、ドレッシング精度が悪くなる。ドレッシング精度が悪くなると、当然に内研精度が悪くなる。
【０００５】
ここで留意すべきは、「内研砥石軸を撓ませようとする力が、ドレッシング条件によって変化する」ということである。とりわけ、ドレッサの切り込み速さによって大きく変わる。
すなわち、いま仮に、ドレッサの切り込み速さを遅くした場合について考えてみると、
切り込み速さを低下させるに従ってドレッシング抵抗が減少し、内研砥石軸の撓みは小さくなる。
切り込み速さ減少の極限状態として、ドレッサの切り込み動作を停止させれば、内研砥石軸の撓みがゼロになるであろうことは容易に推察できよう。しかし、切り込みを停止すればドレッシング作業が進捗しなくなる。
以上の考察から理解し得るように、比喩的に言えば、他の条件が一定ならば、『内研砥石軸の撓みは、ドレッシング作業能率と比例する』。
【０００６】
本発明は以上に述べた事情に鑑みて為されたものであって、その目的とするところは、ドレッシング作業の能率を低下させることなく内研砥石軸の撓みを防止し、しかもドレッシング精度を向上せしめ得る技術を提供するにある。
これを分解して考察すると、本発明の適用により、従来例のドレッシングに比較して、
イ．同じレベルのドレッシング作業能率で、ドレッシング精度を飛躍的に向上せしめることも可能であり、
ロ．同じレベルのドレッシング精度で、ドレッシング作業の能率（ドレッシング切込み）を格段に向上せしめることも可能になる。
ハ．これらを総合して、能率・精度ともに向上せしめることも可能である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため本発明者らは、内研砥石をドレッシングする際の内研砥石軸の撓み状態について実験研究を行なった。
図２は上記実験の説明図である。
図２（Ａ）は実験装置の模式的な斜視図である。説明の便宜上、直交３軸Ｘ−Ｙ−Ｚを設定する。Ｚ軸は垂直軸、Ｙ，Ｘ軸は水平軸である。
【０００８】
内研用砥石１は内研砥石軸２に固着され、内研砥石駆動部３に取り付けられてＸ軸方向に支承され、円弧矢印ａ方向に回転している。
ロータリドレッサ４はＹ軸方向にセットされている。
実験は、ＧＣ♯６００のロータリドレッサ４を円弧矢印ｂ方向に４７００ｒｐｍで回転させたり、円弧矢印ｃ方向に４７００ｒｐｍで回転させたりしながら、１２００ｒｐｍで回転しているＣＢＮ♯４００の内研用砥石１に接触させてドレッシングをシミュレーションし、それぞれの状態を観察し、計測した。
【０００９】
上記シミュレーション条件は、ロータリドレッサ４を速度Ｖｆで往復させながら、１往復ごとにδずつ切り込んだ。
Ｖｆ＝１０ミリメートル／秒
δ＝５０マイクロメートル／サイクル
である。
図２（Ｂ）は、ロータリドレッサ４を円弧矢印ｂ方向に回転させた場合のドレッシング研削抵抗力を３軸それぞれに分解して表示したグラフであり、（Ｃ）は同じく円弧矢印ｃ方向に回転させた場合を表示している。横軸は時間、縦軸は力である。
【００１０】
回転方向が円弧矢印ｂ方向のときと、円弧矢印ｃ方向のときとのそれぞれについて、計測されたドレッシング抵抗を次に示す。
イ．ｂ方向のとき
Ｘ軸方向分力            Ｙ軸方向分力            Ｚ軸方向分力
０ｍＮ              ７３５ｍＮ              ４４１ｍＮ
ロ．ｃ方向のとき
Ｘ軸方向分力            Ｙ軸方向分力            Ｚ軸方向分力
０ｍＮ              ７８４ｍＮ              ４９０ｍＮ
【００１１】
ドレッシング抵抗力の方向は、ｂ方向回転のとき、水平よりも上向きに３１度。
ｃ方向回転のとき、水平よりも下向きに３２度であった。
上記二つの力の開き角が３１＋３２＝６３度であり、すなわち開き角＜＜１８０度であるということは本発明の構成にとって重要な根拠の一つである。すなわち、この抵抗力を支承しようとする場合、１８０度の範囲を支承すれば、ドレッシング抵抗力が種々に変化しても安定な支承が可能であることを意味している。
【００１２】
ドレッシング（ツルーイングを含む）条件が変化しても、研削抵抗の方向変化が１８０度の範囲内であるということは、本発明の構成にとって重要であるから、次のように確認試験を行なった。
図３（Ａ）、（Ｂ）、及び（Ｃ）に代表的な抵抗角度グラフを三つ示す。これらの３例に共通してツルーイング条件は次の通りである。
【００１３】
ロータリドレッサ……………………ＳＧ＃８０
ロータリドレッサ回転速度…………４７００ｒｐｍ
内研用砥石……………………………ＣＢＮ＃４００（φ５）
内研用砥石回転速度…………………４００〜１６００ｒｐｍ
切込み量………………………………１〜１０μｍ
送り速度………………………………５〜２０ｍｍ／ｓ
【００１４】
内研用砥石回転速度            Ｙ軸方向抵抗        Ｚ軸方向抵抗          角度  
４００ｒｐｍ              ７９６ｍＮ          ３６８ｍＮ        ２５度
８００ｒｐｍ              ７３５ｍＮ          ３６８ｍＮ        ２７度  
１２００ｒｐｍ              ７３５ｍＮ          ３６８ｍＮ        ２７度
１６００ｒｐｍ              ７３５ｍＮ          ３６８ｍＮ        ２７度
【００１５】
送り速度              Ｙ軸方向抵抗        Ｚ軸方向抵抗          角度
５ｍｍ／ｓ                ５５１ｍＮ          ２４５ｍＮ        ２４度
１０ｍｍ／ｓ                ７３５ｍＮ          ３６７ｍＮ        ２７度
１５ｍｍ／ｓ                ７９６ｍＮ          ３６８ｍＮ        ２５度
２０ｍｍ／ｓ                ９８０ｍＮ          ４２９ｍＮ        ２４度
【００１６】
切込み量              Ｙ軸方向抵抗        Ｚ軸方向抵抗          角度
２．５μｍ                ３６８ｍＮ          １２３ｍＮ        １８度
５μｍ                ７３５ｍＮ          ３６８ｍＮ        ２７度
１０μｍ                ７９６ｍＮ          ４２９ｍＮ        ２８度
【００１７】
上述の実験で得られた知見に基づいて、請求項１に係る内研用砥石のドレッシング装置の構成は、（図１参照）、
内研用砥石（１）の砥石軸（２）を把持して回転させながら、該内研用砥石にドレッサ（４）を接触させてドレッシングを行なう装置において、
上記内研用砥石の砥石軸の中央部付近を支承するホルダ（７）が設けられていることを特徴とする。ただし、上記の「中央部付近」とは、「両端を除く」というほどの意味であって、中央から何センチ以内といった制限は無い。なるべくは内研用砥石に近い箇所が望ましい。
図１に例示したドレッサ（４）はロータリドレッサであるが、本発明を実施する際、ドレッサの様式は問わない（例えばダイアモンンド単石ドレッサであっても良い）。
【００１８】
請求項２の発明に係るドレッシング装置の発明装置の構成は、前記請求項１の発明装置の構成要件に加えて、前記の内研砥石軸ホルダ（７）が、気体を用い、またはドレッシング用の研削液と同じ液体を用い、流体の圧力によって軸を支持する構造であることを特徴とする。
【００１９】
請求項３の発明に係るドレッシング装置の構成は、前記請求項１または請求項２の発明装置の構成要件に加えて、（図１参照）、
前記の内研砥石軸ホルダ（７）が砥石軸（２）の全周を包囲することなく、１８０度以内の周面に対向して該砥石軸を支承していることを特徴とする。
【００２０】
請求項４の発明に係るドレッシング装置の構成は、前記請求項１ないし請求項３の内の何れか１つの発明装置の構成要件に加えて、（図１参照）、前記の内研砥石軸ホルダ（７）が、内研砥石軸（２）の位置を調節し得る内研砥石軸ホルダ調節機構（８）を備えていることを特徴とする。
【００２１】
請求項５の発明に係るドレッシング装置の構成は、前記請求項４の発明装置の構成要件に加えて、（図１参照）、前記の内研砥石軸ホルダ（７）が静圧軸受によって構成されており、その気圧または液圧を調節して気膜または液膜の厚さ寸法を制御し得る構造であり、
前記内研砥石軸ホルダ調節機構（８）が上記の気圧または液圧を制御する構造であることを特徴とする。
【００２２】
請求項６の発明に係るドレッシング装置の構成は、前記請求項４の発明装置の構成要件に加えて、
（図１参照）前記内研砥石軸ホルダ（７）による内研砥石軸２の支承位置が、前記内研砥石軸ホルダ調節機構（８）によって、内研砥石軸（２）の中心線に対して直角方向（Ｙ−Ｚ面内の方向）に移動せしめられる構造であることを特徴とする。
【００２３】
請求項７の発明に係るドレッシング装置の構成は、前記請求項５または請求項６の発明装置の構成要件に加えて、（図１参照）
前記内研用砥石（１）の位置を、非接触方式で、または接触方式で計測して電気信号を出力する内研砥石位置センサ（９）と、
上記の電気信号を入力され、内研砥石軸ホルダ調節機構（８）に対して指令信号を与える自動制御装置（ＣＰＵ）とを具備していることを特徴とする。
【００２４】
請求項８の発明に係るドレッシング方法の構成は、
（図１参照）内研用砥石（１）の砥石軸（２）を把持して回転させながら、該内研用砥石にドレッサ（４）を接触させてドレッシングする方法において、
上記内研用砥石の砥石軸の中央部付近（両端を除く箇所）を、内研砥石軸ホルダ（７）で支承することにより、ドレッシング抵抗の反力による内研砥石軸（２）の撓みを防止することを特徴とする。
【００２５】
請求項９の発明に係るドレッシング方法の構成は、前記請求項８の発明方法の構成要件に加えて、
前記軸受部材として、砥石軸の半周以内の区域に対向する静圧軸受を用いるとともに、
該静圧軸受の作動流体として気体を用い、またはドレッシング用の研削液と同じ液体を用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
請求項１の発明装置を適用すると、ドレッシング抵抗の反力によって内研砥石軸が撓もうとしても、内研砥石軸ホルダによって支承されているので撓み得ない。このため、高能率のドレッシングを行っても内研砥石軸の撓みに因るドレッシング誤差を生じない。その結果、高精度の内面研削が可能となる。  
【００２７】
請求項２発明を前記請求項１の発明装置に併せて実施すると、内研砥石軸の回転に対して与える摩擦抵抗が微小であり、しかも静圧軸受の作動流体がドレッシング液（クーラント）に混入してトラブルを招く虞れが無い。
【００２８】
請求項３の発明を前記請求項１または請求項２の発明装置に併せて実施すると、ドレッシング作業における内研用砥石の着脱操作（より具体的には内研砥石軸の着脱操作）を妨げる虞れが無い。しかも、ドレッシング条件が変化しても内研砥石軸ホルダの設置箇所を再調節する必要が無いので好都合である。
【００２９】
請求項４の発明を前記請求項１ないし請求項３の発明装置に併せて実施すると、本発明装置による内研砥石軸の撓み防止効果をいっそう向上させて、内研砥石軸位置を高精度に制御することができる。
【００３０】
請求項５の発明を前記請求項４の発明装置に併せて実施すると、静圧軸受の作動流体の圧力を調節することによって内研砥石軸の位置を制御することができる。
静圧軸受の作動流体圧力調節によって被支承軸（内研砥石軸）の位置を調節し得る寸法は、マイクロメートルオーダーの極微小であるが、本発明が取り扱う内研砥石軸の撓みはマイクロメートルオーダーの極微小寸法であるから、静圧軸受の作動流体圧力調節は、所望の効果を発揮するに足る。
【００３１】
請求項６の発明を前記請求項４の発明装置に併せて実施すると、内研砥石軸ホルダ調節機構の位置をＹ−Ｚ面内で移動させることによって、内研砥石軸の位置を高精度に制御し得る。
前記内研砥石軸はＸ軸に沿って片持ち形に支持されているので、その先端に固着されている内研用砥石はＹ−Ｚ面内で移動しようとする。このため本請求項６を適用して、内研砥石軸ホルダをＹ−Ｚ面内で移動させることが有効である。
【００３２】
請求項７の発明を前記請求項５または請求項６の発明装置に併せて実施すると、単に消極的な撓み防止を越えて、積極的に内研砥石軸ホルダの位置調節を行ない、内研砥石軸の位置を超高精度に制御することができる。
【００３３】
請求項８の発明に係るドレッシング方法を適用すると、ドレッシング抵抗の反力によって内研砥石軸が撓もうとしても、内研砥石軸ホルダで該内研砥石軸を支承して、撓みを防止する。このため、高能率のドレッシングを行っても内研砥石軸の撓みに因るドレッシング誤差を生じない。その結果、高能率・高精度の内面研削が可能となる。
【００３４】
請求項９の発明を前記請求項８の発明方法に併せて実施すると、静圧軸受で内研砥石軸を支承するので、該内研砥石軸の回転に対して摩擦抵抗を与える虞れがほとんど無い。しかも、前記静圧軸受が半割り形であるから、内研用砥石の着脱交換を妨げない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
図１は、本発明装置の実施形態を模式的に描いた斜視図である。ただし、模式化してあるので、実施形態の写実的な投影図ではない。
内研用砥石１の内研砥石軸２は内研砥石駆動部３に取り付けられて、Ｘ軸周りに回転している。ロータリドレッサ軸５に取り付けられたロータリドレッサ４は、回転しながら前記内研用砥石１に接触してドレッシング（先に述べたように、ツルーイングを含む）を行なう。図示を省略するが、ロータリドレッサ４に代えてダイアモンンド単石ドレッサを用いても良い。
図１を参照して本段落（００３１）で述べた事項は従来例と同じである。
【００３６】
説明の便宜上、本図１に付記したごとくＹ軸およびＺ軸について、＋，−の方向性を設定する。
この例においては、ロータリドレッサ４が＋Ｙ方向に切り込まれ、内研用砥石１は＋Ｙ方向の力を受ける。
このため、内研砥石軸２が＋Ｙ軸方向に押されて撓もうとする。
ただし、ロータリドレッサ４も内研用砥石１も回転しているので、単純なＹ軸方向の力ではない。
【００３７】
ロータリドレッサ４は回転しながら内研用砥石１に押し付けられて該内研用砥石１をドレッシングするので、ドレッシング抵抗を受ける。
内研用砥石１はドレッシング抵抗の反力に耐えて、その位置を保たねばならない。すなわち内研用砥石はドレッシング抵抗の反力でその位置を移動せしめられようとし、内研砥石軸２はドレッシング抵抗の反力で撓まされようとする。
この場合「ドレッシング抵抗の反力で撓まされる」を簡略にすれば「ドレッシング力で撓まされる」となる。本発明において「ドレッシング操作に起因する内研砥石軸の撓み（請求項８）」とは、これらの表現を包括した広義の意味である。
【００３８】
種々のドレッシング条件の変化、すなわち、ロータリドレッサ４の回転方向・回転速度、内研用砥石１の回転方向・回転速度、ロータリドレッサ４の切り込み速さ、などにより、前記内研砥石軸２が撓まされようとする方向が変わる。しかし本発明者らの研究により、上記の方向は（図１参照）＋Ｚ方向から＋Ｙ方向を経て−Ｚ方向に至る角θの範囲を出でないことが確認されている。そこで、＋Ｙ方向を中心として１８０度を支承し得る形状の半割り形の内研砥石軸ホルダ７を設けた。
【００３９】
本発明を実施する際、１８０度以内の任意の角度範囲を支承するように構成することができる。
この支承角度範囲が１８０度以内であれば、内研砥石駆動部３に対して内研砥石軸２を着脱する操作を妨げないので好都合である。
１８０度以上の角度範囲を支承するように構成することも不可能ではないが、内研砥石軸２を着脱する際、該内研砥石軸を一々内研砥石軸ホルダに挿通しなければならないので手数が掛かる。
【００４０】
上記内研砥石軸ホルダ７はプレーンメタルでも良いが、静圧軸受を利用すると、摩擦抵抗が少ないので望ましい。本発明において静圧軸受とは「ポンプによる圧送に依存することなく、流体の圧力によって軸を支持する構造の軸受部材」をいう。
ドレッシング作業中、多くの場合、研削液（クーラント）が注ぎ掛けられているので、
静圧軸受の作動流体と混合しないように、
イ．気体（例えば空気）を静圧軸受の作動流体として用いるか、あるいは、
ロ．研削液（クーラント）と同種の液体を、静圧軸受の作動流体として用いることが望ましい。
【００４１】
本発明者らの試作実験によれば、内研砥石軸ホルダ７で内研砥石軸２を高精度に支承することは、机上で考えるほど容易ではない。その理由は次のごとくである。
考察を簡単にするため、プレーンメタル製の内研砥石軸ホルダで内研砥石軸を支承するものとする。
クリアランス無しにピッタリ当接させようとすると、当接圧力により、内研砥石軸２が＋Ｙ方向に撓ませてしまう。この場合、軸とホルダとの間の油膜の厚ささえも誤差の要因となる（サブミクロンの制御は、それほどまでに敏感である）。
油膜が存在すると、内研砥石軸２の回転によって油の動圧を生じるので、内研砥石軸２を−Ｙ方向へ押してしまう。
【００４２】
上述の難問を解決するため本実施形態においては、前記内研砥石軸ホルダ７を、内研砥石軸ホルダ調節機構８に取り付けて支持した。
本発明者らは、上記の内研砥石軸ホルダ調節機構８として、機械式と流体式とを試作したところ、いずれも実用的価値が認められた。
ａ．機械式は内研砥石軸ホルダ７をＹ−Ｚ面内で移動させる構造である。駆動量が極微小であるから、歯車やネジを用いた通常の駆動機構では必要精度が得られない。ピエゾ素子の利用が推奨される。
ｂ．流体式は、内研砥石軸ホルダ７を形成している静圧軸受の作動流体圧力を調節する構造である。圧力を上げると気膜または油膜の厚さが変わるので、内研砥石軸ホルダ７自体を静止させておいても「内研砥石軸ホルダ７によって支承される内研砥石軸２の位置」を変化させることができる。  
【００４３】
内研用砥石１のＸ軸方向の位置を検出する位置センサ９ｘ，及び、Ｙ軸方向の位置を検出する位置センサ９ｙを設けて、内研用砥石１の変位すなわち内研砥石軸２の撓みを検知し、出力信号を自動制御装置ＣＰＵに入力させる。
本発明を実施する際、公知の各種位置センサを適用することができる。
例えば、ロータリドレッサ４によるドレッシング研削をドライ状態で行なっているときは、レーザ式のセンサを用いると好適である。
【００４４】
しかし、ドレッシング液（クーラント）を注加しているときはレーザ式センサを使い難いので、静電容量式もしくは超音波式非接触式センサ、あるいは接触式の位置センサを用いることも可能である。また、被検出部が導電性であれば渦電流式センサを用いることもできる。
いずれにせよ、内研用砥石１または内研砥石軸２の位置を電気的信号に変換して出力する機能を有するセンサを用いる。
接触式の位置センサを用いる場合、接触子が早期に摩耗しないよう、該接触子を内研用砥石１に触れさせずに内研砥石軸２に触れさせることが望ましい。
【００４５】
位置センサ９ｘ，９ｙから検出信号Ｓｘ．Ｓｙを入力された自動制御装置ＣＰＵは、内研砥石軸ホルダ調節機構８に対して指令信号Ｓｏを出力する。
指令信号Ｓｏを入力された内研砥石軸ホルダ調節機構８は、前記内研砥石軸ホルダ７をＹ−Ｚ方向に駆動制御し、もしくは、内研砥石軸ホルダ７の作動流体圧力を増減制御して、内研砥石軸２の中心線をＸ軸と同心に揃える。
【００４６】
１個の内研用砥石をドレッシングする際、ドレッシング抵抗力は変化する。例えば、
イ）内研用砥石の円柱面ｆをドレッシングしているときに比して、円錐面ｇをドレッシングする際は当然に抵抗力が変化する。
ロ）ロータリドレッサ４をトラバース（Ｘ軸方向の移動）させて複雑なプロファイルを形成（ツルーイング）する際は、抵抗力が時々刻々に変化する。
上記の抵抗力変化に応じて、自動制御装置ＣＰＵは即時的に指令信号Ｓｏを出力し、内研砥石軸２の撓みをゼロならしめるように自動的に制御する。これにより、ドレッシング抵抗に起因する内研砥石軸２の撓みが防止され、超高精度のドレッシング作業が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明装置の実施形態を模式的に描いた斜視図
【図２】（Ａ）は従来例のドレッシング装置を用いて抵抗力を測定している状態の斜視図、（Ｂ）および（Ｃ）は計測結果を示す図表
【図３】ドレッシング（ツルーイング）における抵抗角度を示す図表
【符号の説明】
【００４８】
１…内研用砥石
２…内研砥石軸
３…内研砥石駆動部
４…ロータリドレッサ    ５…ロータリドレッサ軸
６…ロータリドレッサ駆動部
７…内研砥石軸ホルダ
８…内研砥石軸ホルダ調節機構 
９ｘ，９ｙ…内研砥石位置センサ 
ｆ…円柱面
ｇ…円錐面
Ｓｏ…指令信号 
Ｓｘ，Ｓｙ…検出信号 
ＣＰＵ…自動制御装置
【図１】
2007190618.tif 000003
【図２】
2007190618.tif 000004
【図３】
2007190618.tif 000005