(57)【要約】【課題】スケールに対するセンサヘッドの位置調整を専門知識や経験を必要とすることなく容易に且つ短時間で行えるようにすること。【解決手段】センサヘッド１０を収容する空間を有し、該空間内で２つの調整ネジ２４、支点部２４及び２つの板ばね２４の５点でセンサヘッド１０を支持する取付けブラケット２と、センサヘッド１０からの位置検出信号を取り込み、該信号を調整作業者が視認できる表示形式でモニタ画面上に表示すると共に、該信号の振幅を測定して位置調整具合を調整作業者が視認できる表示形式でモニタ画面上に表示する処理を実行するパソコン４とを備える。これにより、オシロスコープなどを使用してセンサヘッド１０の位置検出信号の波形を観察しながら位置決め調整する従来技術と比べて、専門知識や経験を必要とすることなく容易に且つ短時間で行うことが可能となる。【選択図】図１
2007127530.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置情報パターンを有するスケールと、前記スケールの位置情報パターンを光学的に読み取って位置検出信号を出力するセンサヘッドとを備えた光学式リニアエンコーダの組立調整システムであって、
前記スケールの位置情報パターン面に対して平行な面内で前記センサヘッドを回転自在に支持すると共に任意の位置で固定する回転方向調整手段と、
前記センサヘッドから出力される位置検出信号を入力し、当該位置検出信号の信号振幅に基づいて前記スケールと前記センサヘッドとの位置決め調整具合を表示する調整具合表示装置と、
を具備したことを特徴とする光学式リニアエンコーダの組立調整システム。
【請求項２】
前記調整具合表示装置は、位置検出信号の信号振幅が目標範囲内であれば調整状態が「可」である旨を表示し、信号振幅が目標範囲外であれば調整状態が「不可」である旨を表示することを特徴とする請求項１記載の光学式リニアエンコーダの組立調整システム。
【請求項３】
前記調整具合表示装置は、位置検出信号の信号振幅が目標範囲からどの程度ずれているかの情報を表示することを特徴とする請求項１記載の光学式リニアエンコーダの組立調整システム。
【請求項４】
前記調整具合表示装置は、位置検出信号の信号波形を表示すると共に、目標範囲となるＯＫ領域と目標範囲外となるＮＧ領域と現在の調整状態を示すインジケータとを対比させて表示することを特徴とする請求項１記載の光学式リニアエンコーダの組立調整システム。
【請求項５】
前記回転方向調整手段は、その一部分が前記センサヘッドを収容する枠体となっており、この枠体内に、前記センサヘッドの中央線上を支持する支持部と、この支持部から両側に離間したそれぞれの位置で前記センサヘッドを付勢する複数の弾性部材と、複数の前記弾性部材それぞれと対向する位置で前記センサヘッドに圧力をかける複数の調整ネジとを有し、これらによって前記センサヘッドを回転自在に支持することを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の光学式リニアエンコーダの組立調整システム。
【請求項６】
位置情報パターンを有するスケールと、前記スケールの位置情報パターンを光学的に読み取って位置検出信号を出力するセンサヘッドとを備えた光学式リニアエンコーダの調整方法であって、
前記センサヘッドを回転自在に支持すると共に回転方向の調整機能を備えた回転方向調整手段に収容し、
前記スケールと前記センサヘッドとのギャップを所定の厚さを有する調整用スペーサを用いて調整し、
前記センサヘッドから出力される位置検出信号を調整具合表示装置へ入力して前記スケールと前記センサヘッドとの位置決め調整具合を表示し、
前記回転方向調整手段を用いて前記センサヘッドの回転方向を調整する、
ことを特徴とする光学式リニアエンコーダの調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体検査装置・製造装置や工作機械などに用いられ、高精度な位置決め、速度の制御を可能とする光学式リニアエンコーダの組立調整時に用いて好適な光学式リニアエンコーダ組立調整システム及び調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高精度な位置決め、速度の制御を可能とする光学式リニアエンコーダの組立調整においては、スケールとセンサヘッドの位置調整が重要となる。従来、スケールとセンサヘッドの位置調整は、センサヘッドにオシロスコープなどの波形測定装置を接続して、センサヘッドの位置検出信号の波形を観察しながらセンサヘッドの位置を調整するようにしている。
【０００３】
センサヘッドの位置調整には、スケールとセンサヘッドの間隔（以下、ギャップと呼ぶ）調整の他に、スケールに対して直角方向を軸とする回転方向の調整がある。従来、スケールとセンサヘッドのギャップを調整する方法として、スケールとセンサヘッドの間に最適な間隔を与える厚さを有するスペーサを用意し、これをエンコーダ組立時にスケールとセンサヘッドの間に配置するようにしたものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−０６９４２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の光学式リニアエンコーダの組立調整方法においては、スケールとセンサヘッドのギャップ調整については特許文献１でも開示されているように、スペーサを使用することで容易に行うことができるが、センサヘッドの回転方向調整については専門知識と経験が必要となり、調整に時間がかかるという問題がある。すなわち、この調整にはオシロスコープなどの波形測定装置を扱うことが前提となり、また波形測定装置を扱うことができても調整の元となる情報が位置信号波形しかないため、波形を理解して最適な位置決め調整を行うには経験が必要となる。特に、精度の高い高価なエンコーダでは微妙な調整になるので、相当の経験が必要となる。なお、特許文献１では、センサヘッドの回転方向調整までは言及されていない。
【０００５】
本発明は、以上のような実情に鑑みてなされたもので、スケールに対するセンサヘッドの位置調整を専門知識や経験を必要とすることなく容易に且つ短時間で行うことができる光学式リニアエンコーダ組立調整システム及び調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の光学式リニアエンコーダの組立調整システムは、位置情報パターンを有するスケールと、前記スケールの位置情報パターンを光学的に読み取って位置検出信号を出力するセンサヘッドとを備えた光学式リニアエンコーダの組立調整システムであって、前記スケールの位置情報パターン面に対して平行な面内で前記センサヘッドを回転自在に支持すると共に任意の位置で固定する回転方向調整手段と、前記センサヘッドから出力される位置検出信号を入力し、当該位置検出信号の信号振幅に基づいて前記スケールと前記センサヘッドとの位置決め調整具合を表示する調整具合表示装置と、を具備することを特徴とする。
【０００７】
このように構成された光学式リニアエンコーダの組立調整システムによれば、センサヘッドの位置調整具合を表示するので、調整作業者は、それらの表示を見ながらセンサヘッドの位置決め調整を行うことができる。したがって、オシロスコープなどを使用してセンサヘッドの位置検出信号の波形を観察しながら位置決め調整する従来技術と比べて、専門知識や経験を必要とすることなく容易に且つ短時間で行うことが可能となる。
【０００８】
上記組立調整システムにおいて、調整具合表示装置は、位置検出信号の信号振幅が目標範囲内であれば調整状態が「可」である旨を表示し、信号振幅が目標範囲外であれば調整状態が「不可」である旨を表示することが望ましい。
【０００９】
これにより、センサヘッドの調整具合が可／不可の形式で表示されるので、オシロスコープなどを使用してセンサヘッドの位置検出信号の波形を観察しながら位置決め調整する従来技術と比べて、容易に組立て調整できるものとなる。
【００１０】
上記組立調整システムにおいて、調整具合表示装置は、位置検出信号の信号振幅が目標範囲からどの程度ずれているかの情報を表示することが望ましい。
【００１１】
これにより、単に調整具合が可／不可であるかが判明するだけでなく、残りの調整量まで知ることができ調整作業の簡易化が図られる。
【００１２】
上記組立調整システムにおいて、調整具合表示装置は、位置検出信号の信号波形を表示すると共に、目標範囲となるＯＫ領域と目標範囲外となるＮＧ領域と現在の調整状態を示すインジケータとを対比させて表示することが望ましい。
【００１３】
これにより、経験豊富な作業者であれば位置検出信号の信号波形を観察しながら高精度に位置調整可能であり、また経験の浅い作業者であれば調整具合表示領域を観察しながら簡易に調整することができる。
【００１４】
なお、回転方向調整手段は、その一部分が前記センサヘッドを収容する枠体となっており、この枠体内に、前記センサヘッドの中央線上を支持する支持部と、この支持部から両側に離間したそれぞれの位置で前記センサヘッドを付勢する複数の弾性部材と、これら前記弾性部材それぞれと対向する位置で前記センサヘッドに圧力をかける複数の調整ネジとを有し、これらによって前記センサヘッドを回転自在に支持することを特徴とする。これにより、センサヘッドの回転方向の調整を容易に行える。
【００１５】
また本発明の光学式リニアエンコーダの調整方法は、位置情報パターンを有するスケールと、前記スケールの位置情報パターンを光学的に読み取って位置検出信号を出力するセンサヘッドとを備えた光学式リニアエンコーダの調整方法であって、前記センサヘッドを回転自在に支持すると共に回転方向の調整機能を備えた回転方向調整手段に収容し、前記スケールと前記センサヘッドとのギャップを所定の厚さを有する調整用スペーサを用いて調整し、前記センサヘッドから出力される位置検出信号を調整具合表示装置へ入力して前記スケールと前記センサヘッドとの位置決め調整具合を表示し、前記回転方向調整手段を用いて前記センサヘッドの回転方向を調整する、ことを特徴とする。
【００１６】
これにより、センサヘッドの位置調整具合を表示するので、調整作業者は、それらの表示を見ながらセンサヘッドの位置決め調整を行うことができ、専門知識や経験を必要とすることなく容易に且つ短時間で行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、光学式リニアエンコーダにおけるスケールに対するセンサヘッドの位置調整を専門知識や経験を必要とすることなく容易に且つ短時間で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら具体的に説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムを示す斜視図である。
【００１９】
本実施の形態において組立て調整の対象となる光学式リニアエンコーダの概略について説明する。本光学式リニアエンコーダは、発光素子、受光素子及び回路基板が搭載されたセンサヘッド１０と、当該センサヘッド１０に対して対向配置され発光素子との対向面に位置情報パターンが形成されたスケール１１とを備え、センサヘッド１０とスケール１１とがスケール長手方向へ相対移動可能に構成されている。
【００２０】
図１において、本実施に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システム１は、光学式リニアエンコーダのセンサヘッド１０を支持する取付けブラケット２と、光学式リニアエンコーダのセンサヘッド１０とスケール１１の間のギャップ調整を行うためのギャップ調整用スペーサ３と、センサヘッド１０から出力される位置検出信号を受信して視認可能な表示形式に変換し、それをモニタ画面４１上に表示するパーソナルコンピュータ４とを備えて構成される。
【００２１】
図２は取付けブラケット２を拡大した斜視図である。この図に示すように取付けブラケット２は外形がＬ字アングル状をなしており、図に示す下側にあたる部分がセンサヘッド１０を収容する四角形状の枠体２３となっている。また、取付けブラケット２の上側にあたる部分には２つの細長のネジ孔２１と２つの円形のネジ孔２２が形成されている。これらのネジ孔２１，２２のうち、細長のネジ孔２１は、取付けブラケット２を位置検出対象の可動部（例えばリニアモータの可動子）１２に固定するためのものであり、細長状とすることで取付けブラケット２を可動部１２に対して前後動可能にしている。すなわち、センサヘッド１０とスケール１１の間のギャップ調整を可能としている。ネジ孔２１にはネジ溝が切られておらず、ボルトを挿入してナットで固定するようになっている。他方、円形のネジ孔２２は、センサヘッド１０の回転方向の調整を行うための調整ネジ２４−１，２４−２を取り付けるためのものである。このネジ孔２２にはネジ溝が切られており、調整ネジ２４−１，２４−２の捩じ込み／戻しによってセンサヘッド１０の微妙な位置調整を可能にしている。
【００２２】
取付けブラケット２に形成された枠体２３の内周側における底面中央部分には三角形状の支点部２５が形成されており、また支点部２５の両側に離間して一対の板ばね２６−１、２６−２がそれぞれに取り付けられている。これらの支点部２５及び２つの板ばね２６−１、２６−２と上記した２つの調整ネジ２４−１，２４−２の５点でセンサヘッド１０を支持し、２つの調整ネジ２４の捩じ込み／戻しによるセンサヘッド１０の回転方向即ち回転角度θの調整を可能としている。
【００２３】
図３は取付けブラケット２にセンサヘッド１０を取り付けた状態を示す図である。同図に示すように、センサヘッド１０の下面ほぼ中央が支点部２５の頂点で支持され、センサヘッド１０の下面の両側が板ばね２６−１、２６−２によって弾性的に支持される。センサヘッド１０の上面の両側に対して調整ネジ２４−１，２４−２の先端部が当接する。左側の調整ネジ２４−１を捩じ込むと共に右側の調整ネジ２４を捩じ戻す。左側の調整ネジ２４−１の先端でセンサヘッド１０の上面の左側が下方に押されると共に右側の調整ネジ２４−２の先端が上方に退避する。その結果、左側の板ばね２６-１がセンサヘッド１０の左側下面で押されて沈み込むと共にセンサヘッド１０の右側下面が右側の板ばね２６−２から上方に付勢力を受けて右側の調整ネジ２４を捩じ戻した分だけ上方へ移動する。このようにして、センサヘッド１０は下面中央部の支点部２５を支点として反時計回りに回転する。逆に、右側の調整ネジ２４−２を捩じ込むと共に左側の調整ネジ２４−１を捩じ戻せば、センサヘッド１０は下面中央部の支点部２５を支点として時計回りに回転する。このようにしてセンサヘッド１０の回転角度θの調整ができる。
【００２４】
なお、本実施の形態では、板ばね２６−１、２６−２を使用しているが、これに限定されるものではなく、コイルばね、ゴムなどの弾性部材であれば如何なるものでも使用可能である。また、本実施の形態では、調整ネジを２個使用しているが、この数に限定はない。例えば支点部２５の頂点と対向する位置に先端が尖った調整ネジを設けることで、この調整ネジと支点部２５とでセンサヘッド１０の縦方向の中心線上を支持が可能となり、よりバランスの良い調整が可能となる。
【００２５】
図１に戻り、ギャップ調整用スペーサ３は、光学式リニアエンコーダのセンサヘッド１０とスケール１１のギャップ調整に使用するための治具であり、センサヘッド１０とスケール１１の間に最適なギャップを与える厚さを有し、光学式リニアエンコーダの組立時に図４に示すように、センサヘッド１０とスケール１１の間に挿入する。ギャップ調整用スペーサ３の形状は、図４に示すように、全体的に略Ｌ字状を成し、図面手前側の端部にはギャップ調整用スペーサ３をセンサヘッド１０とスケール１１の間に挿入した際に取付けブラケット２に係止する係止部３１が形成されている。また、ギャップ調整用スペーサ３のスケール１１と接する側の面の中央部分には本体の長さ方向に沿って溝部３２が形成されている。この溝部３２の幅は、スケール１１が摺動自在に嵌合するようにスケール１１の幅よりも僅かに大きくなっている。
【００２６】
図５（ａ）、（ｂ）はセンサヘッド１０の概略的な構成を示す図である。同図に示すように、センサヘッド１０は発光素子１０１、受光素子１０２、図示していないマイクロコンピュータユニット等の電子部品を搭載した回路基板１０３を備えて構成される。スケール１１は、同図に示す矢印７及び８方向へ移動可能になっている。発光素子１０１から出射した光がスケール１１で反射して受光素子１０２へ入射するように受光素子１０２とスケール１０とが対向配置されている。スケール１１には位置情報パターンが形成されている。スケール１１とプリント基板１０３とが矢印７又は８方向へ相対移動すると、センサヘッド１０からスケール１１の位置情報パターンに基づく位置検出信号（図９、図１０参照）が出力される。受光素子１０２から出力される検出信号は回路基板１０３に作り込まれたマイクロコンピュータユニットに取り込まれる。本実施の形態では、回路基板１０３上のマイクロコンピュータユニットに取り込まれる検出信号を途中から分岐して後述するパーソナルコンピュータへ入力する。回路基板１０３にはパーソナルコンピュータへ入力する検出信号を取り出すための端子が設けられている。
【００２７】
再び図１に戻り、パーソナルコンピュータ（以下、パソコンと呼ぶ）４は、図示せぬＣＰＵ(Central  Processing  Unit)と、プログラムを展開するためのプログラムメモリと、ＣＰＵの動作において使用されるワークメモリと、グラフィック処理部と、ハードディスク等の記憶装置と、外部機器との間で信号の授受を行うインタフェース部と、液晶ディスプレイ等のモニタとを備えて構成される。本実施の形態では、上記記憶装置には、基本ＯＳ（オペレーティングシステム）と、スケール１１に対するセンサヘッド１０の位置調整を行うための調整補助ソフトウェアが格納されている。調整補助ソフトウェアは、パソコン４の起動後に調整作業者が選択することで起動する。
【００２８】
パソコン４は、調整補助ソフトウェアに従って動作を開始すると、センサヘッド１０からの位置検出信号を取り込み、それを調整作業者が視認できる表示形式に変換してパソコン４のモニタ画面４１上に表示し、さらに位置検出信号の振幅を測定してセンサヘッド１０の位置調整具合を調整作業者が視認できる表示形式に変換してモニタ画面４１上に表示する。パソコン４はこの処理を位置調整が終了するまで継続して行う。
【００２９】
図６はモニタ画面４１上の表示例である。信号波形表示領域５０には現在の位置検出信号Ｓｐが表示され、位置調整具合表示領域５１にはセンサヘッド１０の位置調整具合がグラフィック形式で表示される。特に、位置調整具合を示すグラフィック表示は、調整不良を表すＮＧレベル帯５２と、調整合格を表すＯＫレベル帯５３と、現在の調整状況を示す矢印５４とからなる。矢印５４は、位置調整が合って行くに従いＮＧレベル帯５２からＯＫレベル帯５３へ移動する。位置調整具合は、センサヘッド１０とスケール１１の間のギャップと、センサヘッド１０の回転方向θによって変化する。
【００３０】
次に、図６〜図１０を参照してスケール１１に対するセンサヘッド１０の位置調整について説明する。
【００３１】
図７は、スケール１１に対するセンサヘッド１０の位置調整手順を示す工程図である。同図において、まずスケール１１の取付けを行い、次いで取付けブラケット２を可動部１２に仮固定する（工程１）。すなわち、取付けブラケット２の２つのネジ孔２１のそれぞれにボルトを通し、ナットで軽く仮締めする。次に、取付けブラケット２の枠体２３内にセンサヘッド１０を仮固定する（工程２）。すなわち、２つのネジ孔２２のそれぞれに調整ネジ２４−１，２４−２を捩じ込み、それぞれがセンサヘッド１０に当接した時点で止めておく。このようにして取付けブラケット２にセンサヘッド１０を仮固定した後、センサヘッド１０とスケール１１の間にギャップ調整用スペーサ３を挿入する（図４参照、工程３）。
【００３２】
そして、センサヘッド１０とスケール１１をギャップ調整用スペーサ３に密着させ、その状態で取付けブラケット２を可動部１２に完全に固定する。すなわち、取付けブラケット２の各ネジ孔２１に通したボルトとナットを強固に締め込む。取付けブラケット２を可動部１２に完全に固定した後、ギャップ調整用スペーサ３を取り除く（工程４）。これでスケール１１とセンサヘッド１０の間のギャップ調整が終了する。
【００３３】
次にセンサヘッド１０にパソコン４を接続する。回路基板１０３に設けた上記端子とパソコン４の入力端子とを信号ケーブルで接続する。センサヘッド１０にパソコン４を接続した後、調整補助ソフトウェアを起動させる（工程５）。調整補助ソフトウェアを起動させた後、パソコン４が位置検出信号をモニタ画面４１上に表示するとともに、センサヘッド１０の位置調整具合をモニタ画面４１上に表示するので、モニタ画面４１上に表示された位置検出信号及び調整具合表示を見ながら、取付けブラケット２の各調整ネジ２４−１，２４−２に対して捩じ込み／戻しを行い、センサヘッド１０の回転方向θを調整する（工程６）。
【００３４】
スケール１１の位置情報パターンはスケール長手方向に対して垂直方向に形成されたスリット状の反射領域で構成される一方、受光素子１０２の受光セルはセンサヘッド移動方向に対して垂直方向に形成された長方形の感帯部で構成される。このため、スケール１１に対してセンサヘッド１０が傾いていると、受光素子１０２の受光量が低下することとなる。センサヘッド１０の位置調整が適当な場合は、図９に示すように位置検出信号Ｓｐの振幅が大きくなるが、位置調整が不適当な場合は、図１０に示すようにセンサヘッド１０からの位置検出信号Ｓｐの振幅が小さくなる。
【００３５】
そこで、モニタ画面４１に表示された位置検出信号Ｓｐの振幅が大きくなるように、各調整ネジ２４−１，２４−２に対して捩じ込み／戻しを行う。調整具合を示す矢印５４（図６参照）がＯＫレベル帯５３内に入ると、各調整ネジ２４−１，２４−２に対する捩じ込み／戻しを終える（工程７）。なお、振動などによって各調整ネジ２４−１，２４−２が緩まないように、ネジ止め用の塗料などを塗布しておくと良い。以上の工程により、スケール１１に対するセンサヘッド１０の位置決め調整が完了する。
【００３６】
次に、上記調整補助ソフトウェアに基づくパソコン４の動作について図８に示すフローチャートを参照して説明する。
【００３７】
調整補助ソフトウェアの起動後、まずセンサヘッド１０からの位置検出信号を取込む（ステップＳＴ１０）。次いで、取込んだ位置検出信号を調整作業者が視認できる表示形式（正弦波状の波形）に変換してモニタ画面４１上に表示する（ステップＳＴ１１）。次に、位置検出信号の振幅を測定し（ステップＳＴ１２）、その結果に基づいて位置調整具合を調整作業者が視認できる表示形式でモニタ画面４１上に表示する（ステップＳＴ１３）。
【００３８】
本実施の形態では、信号振幅値に応じてインジケータとなる矢印５４の表示位置を位置調整具合表示領域５１の中で変化させる。具体的には、位置調整具合表示領域５１における下方ほど信号振幅が大きく、上方ほど信号振幅が小さいことを示すようにしている。したがって、矢印５４とＯＫレベル帯５３とを比較して、矢印５４がＯＫレベル帯５３からどの程度ずれているかで調整ネジ２４−１，２４−２による調整量を判断することができる。
【００３９】
そして、位置調整が終了したかどうかを判定し（ステップＳＴ１４）、位置調整が継続中である場合はステップＳＴ１４からステップＳＴ１０に戻り、位置調整が終了した場合は本処理を終了する。
【００４０】
このように、本実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システム１によれば、センサヘッド１０のスケール１１の最適なギャップ位置を設定可能な厚みを有するギャップ調整用スペーサ３と、センサヘッド１０を収容する枠体２３を有し、該枠体２３内で２つの調整ネジ２４−１，２４−２、支点部２４及び２つの板ばね２６−１，２６−２の５点でセンサヘッド１０を支持する取付けブラケット２と、センサヘッド１０からの位置検出信号を取り込み、該位置検出信号を調整作業者が視認できる表示形式に変換してモニタ画面４１上に表示すると共に、位置検出信号の振幅を測定して位置調整具合を調整作業者が視認できる表示形式に変換してモニタ画面４１上に表示する処理を実行するパソコン４とを備えるので、オシロスコープなどの波形測定装置を使用してセンサヘッド１０の位置検出信号の波形を観察しながらセンサヘッド１０の位置決め調整する従来技術と比べて、専門知識や経験を必要とすることなく容易に且つ短時間で行うことが可能となる。
【００４１】
以上の説明では位置調整具合をＮＧレベル帯５２、ＯＫレベル帯５３及び矢印５４を用いて表示しているが、単にＯＫ／ＮＧだけを表示したりデジタル数字で表示するようにしても良い。
【００４２】
以上説明した本実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムにて組立調整した光学式リニアエンコーダを用いて高精度な位置決め・速度制御を実現する半導体検査装置、製造装置、工作機械その他の移動装置とすることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明の光学式リニアエンコーダ組立調整システムは、半導体装置、製造装置、工作機械等において直線位置の絶対変位量を計測する光学式リニアセンサのセンサヘッド位置調整用として適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】一実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムの概略構成図
【図２】一実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムの取付けブラケットの斜視図
【図３】一実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムにおけるセンサヘッドの調整方法を説明するための図
【図４】一実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムにおけるギャップ調整方法を説明するための図
【図５】光学式リニアエンコーダが備える発光部と受光部の概略構成図
【図６】一実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムにおける調整補助ソフトウェアの画面構成図
【図７】一実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムにおける調整工程を説明するための図
【図８】一実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムにおける調整補助ソフトウェアに基づくパーソナルコンピュータの動作フロー図
【図９】一実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムにおける位置検出信号の波形図
【図１０】一実施の形態に係る光学式リニアエンコーダ組立調整システムにおける位置検出信号の波形図
【符号の説明】
【００４５】
１  光学式リニアエンコーダ組立調整システム
２  取付けブラケット
３  ギャップ調整用スペーサ
４  パーソナルコンピュータ
１０  センサヘッド
１１  スケール
１２  可動部
２１，２２  ネジ孔
２３  枠体
２４−１，２４−２  調整ネジ
２５  支点部
２６−１，２６−２  板ばね
４１  モニタ画面
５０  信号波形表示領域
５１  位置調整具合表示領域
５２  ＮＧレベル帯
５３  ＯＫレベル帯
１０１  発光素子
１０２  受光素子
１０３  回路基板
【図１】
2007127530.tif 000003
【図２】
2007127530.tif 000004
【図３】
2007127530.tif 000005
【図４】
2007127530.tif 000006
【図５】
2007127530.tif 000007
【図６】
2007127530.tif 000008
【図７】
2007127530.tif 000009
【図８】
2007127530.tif 000010
【図９】
2007127530.tif 000011
【図１０】
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