(57)【要約】      （修正有）【課題】簡易な構成において電子部品の外形を精度良く短時間で認識できる電子部品の画像処理装置および電子部品の画像処理方法を提供する。【解決手段】電子部品の外形を認識する画像処理装置１であって、電子部品の外形を認識する際に電子部品が配置される部品認識位置２を通る光軸１９を有する撮像手段７と、撮像手段７の光軸１９に対して傾斜する角度をなす光軸を有し、部品認識位置２の斜め下方から照射する照明手段９，１１と、部品認識位置２より上方に配置され、照明手段９，１１からの光線を下方へ反射する反射部材１７と、を備え、部品認識位置２に配置された電子部品は、照明手段９，１１から照射された光線の照射範囲外にあり、反射部材１７により反射された光線により形成される電子部品の陰影を撮像手段７により撮像し電子部品の外形を認識する画像処理装置１。【選択図】図１
2007173430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の外形を認識する画像処理装置であって、
前記電子部品の外形を認識する際に電子部品が配置される部品認識位置を通る光軸を有する撮像手段と、
前記撮像手段の光軸に対して傾斜する角度をなす光軸を有し、部品認識位置の斜め下方から照射する照明手段と、
前記部品認識位置より上方に配置され、前記照明手段からの光線を下方へ反射する反射部材と、を備え、
前記部品認識位置に配置された前記電子部品は、前記照明手段から照射された光線の照射範囲外にあり、前記反射部材により反射された光線により形成される前記電子部品の陰影を撮像手段により撮像し電子部品の外形を認識する画像処理装置。
【請求項２】
さらに、前記電子部品を吸着保持するための吸着部材を備え、前記反射部材は前記吸着部材に設けられている請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記照明手段の光軸が傾斜する角度は、約２９度〜約３３度の範囲である請求項１又は２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記吸着部材を移動する駆動手段を備え、前記電子部品を吸着保持する前記吸着部材が前記駆動手段により移動する際、前記電子部品及び前記吸着部材の移動範囲外に前記撮像手段及び前記照明手段が配置されている請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項５】
電子部品の上面から光線を照射し、前記電子部品の陰影により前記電子部品の外形を撮像装置で認識する画像処理方法であって、
前記電子部品の外形を認識する際に電子部品が配置される部品認識位置に前記電子部品を配置し、
前記撮像手段の光軸に対して傾斜する光軸を有する照射部材を用い、前記部品認識位置の斜め下方から照射し、
前記部品認識位置の上方に配置された反射部材により、前記照明手段からの光線を下方へ反射し、
前記反射部材により反射された光線により形成される前記電子部品の陰影を撮像手段により撮像し、
前記部品認識位置に配置された前記電子部品は、前記照明手段から照射された光線の照射範囲外にあることを特徴とする電子部品の外形を認識する画像処理方法。
【請求項６】
さらに、吸着部材に吸着保持された前記電子部品を移動し、
前記吸着部材に吸着された電子部品及び前記吸着部材の移動範囲外に前記撮像手段及び前記照明手段が配置されている電子部品の外形を認識する画像処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を位置決めする際に用いられる電子部品の画像処理装置及び画像処理方法に関し、特に微小な電子部品に対して背面から光を照射し、電子部品の陰影を撮像することにより外形を認識する画像処理装置及び画像処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から電子部品の位置決めをする際に、電子部品に光線を照射して電子部品に反射した光を撮像することにより電子部品の外形を認識する反射型の電子部品画像処理装置や、電子部品の背面側から光線を透過させて撮像することにより、電子部品の位置を認識する透過型の電子部品の画像処理装置が知られている。以下に、従来の電子部品の画像処理装置について図面を参照して説明する。
【０００３】
図３は、従来の透過型の電子部品の画像処理装置の一部を示す断面図である。この画像処理装置２０１は、電子部品２０３の上方から光線を照射し、電子部品の透過像を撮像し、電子部品２０３の外形を認識する装置である。
【０００４】
画像処理装置２０１は、吸引力を付与することにより電子部品を把持する、独楽型の電子部品把持部２３９と、電子部品把持部２３９に装着され２つの光源２４１を備える円環部材２４３と、電子部品把持部２３９の外周側面に装着された第１反射部材２４５と、円環部材２４３のテーパ側面に配置されている第２反射部材２４７と、電子部品２０３の下方に配置され、電子部品２０３を透過した光線を反射させるための反射鏡２４９と、反射鏡２４９から電子部品２０３の陰影を撮像する撮像装置２５１と、を備える。
【０００５】
上記構成において、光源２４１の光は、第１反射部材２４７を反射し、反射した光線は、第２反射部材２４５に反射され、電子部品２０３に到達し、電子部品２０３を透過した光線による陰影が形成される。その陰影に基づき電子部品２０３の外形が認識される。
【０００６】
図４は、従来の反射型の電子部品の画像処理装置の一部を示す正面図である。この電子部品の画像処理装置３０１は、電子部品３０３を保持するための吸着ノズル３３９と、吸着ノズル３３９の周囲に配置された円筒状の光吸収板３２１と、吸着された電子部品３０３を照明するための第１の光源３４１及び第２の光源３４２と、撮像装置３４３と、を備え、吸着ノズル３３９の先端には、光拡散用のテーパ面３１５が設けられている。さらに、第１の光源３４１及び第２の光源３４２から適宜光線を照射し、電子部品３０３を反射した光線を撮像装置３４３で撮像し、電子部品３０３の形状を認識する。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−３１３１９７号公報
【特許文献２】特開平１１−７４６９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記した図３の電子部品の画像処理装置では、電子部品の吸着部材２３９に光源２４１を有する環状部材２４３が装着されている。従って、電子部品２０３を吸着保持する吸着部材２３９を移動し、電子部品２０３を次の工程に搬送する場合には、まず、環状部材２４３を吸着部材２３９から離間させた後に吸着部材２３９を移動させるか、照明部材２４１を備える環状部材２４３と共に吸着部材２３９を移動させる必要がある。
【０００９】
従って、前者の場合には吸着部材２３９を移動する際、環状部材２４３を離間させる工程が不可欠であるため、電子部品２０３の外形を認識し、次の工程に搬送するために要する時間を短縮することが難しい。後者の場合のように、環状部材２４３が吸着部材２３９に固定されている場合には、光源２４１の配線部材の存在により吸着部材２３９の移動が制限されることや、吸着部材の構成が複雑化する傾向がある。
【００１０】
他方、図４の電子部品の画像処理装置では、第２の光源３４２を用いて反射照明方式により電子部品３０３を撮像する場合には、電子部品３０３の表面に接着剤３５１やワックス等が付着していると、接着剤３５１やワックス等により光線が乱反射し、撮像装置３４３により撮像された電子部品３０３の外形画像が安定しない。
【００１１】
本発明は、上記従来の電子部品の位置決め装置の課題を鑑み、簡易な構成において電子部品の外形を精度良く短時間で認識できる構成の電子部品の画像処理装置および電子部品の画像処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の画像処理装置の第１の態様は、前記電子部品の外形を認識する際に電子部品が配置される部品認識位置を通る光軸を有する撮像手段と、前記撮像手段の光軸に対して傾斜する角度をなす光軸を有し、部品認識位置の斜め下方から照射する照明手段と、前記部品認識位置より上方に配置され、前記照明手段からの光線を下方へ反射する反射部材と、を備え、前記部品認識位置に配置された前記電子部品は、前記照明手段から照射された光線の照射範囲外にあり、前記反射部材により反射された光線により形成される前記電子部品の陰影を撮像手段により撮像し電子部品の外形を認識する画像処理装置である。
【００１３】
本発明の画像処理装置の第２の態様によれば、前記電子部品を吸着保持するための吸着部材を備え、前記反射部材は前記吸着部材に設けられている。
【００１４】
本発明の画像処理装置の第３の態様によれば、前記照明手段の光軸が傾斜する角度は、約２９度〜約３３度の範囲である。
【００１５】
本発明の画像処理装置の第４の態様によれば、前記吸着部材を移動する駆動手段を備え、前記吸着部材を吸着保持する前記吸着部材が前記駆動手段により移動する際、前記電子部品及び前記吸着部材の移動範囲外に前記撮像手段及び前記照明手段が配置されている。
【００１６】
上記課題を解決するために、本発明の画像処理方法の態様は、電子部品の上面から光線を照射し、前記電子部品の陰影により前記電子部品の外形を撮像装置で認識する画像処理方法であって、前記電子部品の外形を認識する際に電子部品が配置される部品認識位置に前記電子部品を配置し、前記撮像手段の光軸に対して傾斜する光軸を有する照射部材を用い、前記部品認識位置の斜め下方から照射し、前記部品認識位置の上方に配置された反射部材により、前記照明手段からの光線を下方へ反射し、前記反射部材により反射された光線により形成される前記電子部品の陰影を撮像手段により撮像し、前記部品認識位置に配置された前記電子部品は、前記照明手段から照射された光線の照射範囲外にある。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の電子部品の画像処理装置及び電子部品の画像処理方法によれば、電子部品が位置する部品認識位置より下方に、照射手段を配置しているので、画像認識を行う工程へ搬送したり、次の工程へ搬送することが容易かつ短時間でできる。また、透過式の照射方法を採用しているので、電子部品の表面に接着剤等が残存している場合であっても、接着剤の影響を排除し、電子部品の外形を正確に認識できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明による電子部品の画像処理装置及び電子部品の画像処理方法の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１９】
図１は、本発明の実施形態による画像処理装置の要部を示す正面図である。電子部品である磁気ヘッドスライダ（以下、スライダと称す。）５の外形を認識する画像処理装置１は、スライダ５が撮像される際にスライダ５の中心が位置付けられる部品認識位置２から鉛直方向下方に所定距離離れて配置され、スライダ５を撮像する撮像手段、すなわち撮像カメラ７と、部品認識位置２の斜め下方に配置され、光線を照射する照明手段、すなわち第１及び第２の光源９、１１と、第１及び第２の光源９、１１からの光線を反射させ、吸着ノズル３に吸着保持されたスライダ５の上面へ光線を導く反射部材と、を備える。本実施形態の反射部材は、後述するノズル先端部１３の外周面１３ａと反射板１７から構成される。なお、反射板１７はアルミナ板などの、明度が高く、表面が適度に乱反射するものが好ましい。
【００２０】
さらに、本発明の必須の構成ではないが、本実施形態では、スライダ５を保持し搬送する保持手段として吸着ノズル３を使用する。吸着ノズル３を用いてスライダ５を部品認識位置２に搬送し、吸着ノズル３にスライダ５を保持した状態で、本実施形態の画像処理装置によりスライダ５の画像認識を行った後、次の工程にスライダ５が搬送される。
【００２１】
吸着ノズル３は、先端に開口を有するノズル先端部１３と、ノズル先端部１３を支持するノズル本体部１５と、ノズル先端部１３の開口に連通し、スライダ５に対して吸引力を付与する真空源（不図示）と、を備える。ノズル先端部１３は先細りの円筒形状である。さらに、吸着ノズルは３は、不図示の駆動手段（図２の６５、７１、７５参照。）により、ｘ方向（図１の左右方向）、ｙ方向（図１の表裏方向）及び、ｚ方向（図１の上下方向）に移動可能な構成である。従って、前工程においてスライダ５を吸着保持し、画像処理装置による位置認識工程にスライダ５を導入し、また、位置認識工程から次の工程にスライダ５を移動することが可能である。
【００２２】
反射部材を構成する円環状の反射板１７は、ノズル本体部１５の図中下端部に装着されている。反射板１７は、第１及び第２の光源９、１１からの光線を反射させてノズル先端部５に吸着保持されているスライダ５の上面５ａ（ノズル先端部１３に当接する面）に光線を導くためのものである。さらに、ノズル先端部１３のテーパ形状の外周面１３ａも、第１及び第２の光源９、１１からの光線を反射させ、スライダ５の上面５ａに構成を導くことができる材料及び形状からなる。
【００２３】
本実施形態では、反射部材を、ノズル先端部１３の外周面１３ａと反射板１７から構成したが、この構成に本発明の画像処理装置が限定されるものではない。すなわち、部品認識位置２に位置付けられたスライダ５の上面５ａに第１及び第２の光源９、１１からの光線を反射することができる材料及び形状からなる反射部材であればよい。
【００２４】
撮像手段である撮像カメラ７は、部品認識位置２から鉛直方向（ｚ方向）下方に配置され、鉛直方向において下方から上方を撮像する構成である。また、本実施形態では、撮像装置の光軸１９が部品認識位置２を通るように配置され、さらに光軸１９と部品認識位置２を通る鉛直方向線とが一致するような位置関係である。また、本実施形態では、反射部材１３、１７、部品認識位置２、撮像カメラ７は、光軸１９に沿って配置されている。
【００２５】
２つの光源９、１１は、撮像カメラ７の光軸１９に対して、線対称になるように配置されている。光源９、１１の光軸２２は、撮像カメラ７の光軸１９に対して約３０度傾斜するように配置されている。
【００２６】
なお、光源９、１１の光軸が傾斜する角度（θ）は、撮像する対象の寸法や形状により異なるが、光線の照射領域内に、スライダ５の表面５ｂ（撮像カメラ７に対面している面）が存在しないよう規定すればよい。
【００２７】
さらに、部品認識位置２を通る水平線２０より下方に第１及び第２光源９、１１が配置されている。すなわち、第１及び第２光源９、１１や撮像カメラ７が、スライダ５を吸着保持した吸着ノズル３が移動（Ｙ方向やＸ方向）する移動範囲の外に配置されている。よって、第１及び第２光源９、１１や撮像カメラ７がスライダ５と干渉することがなく、吸着ノズル３の搬送方向の自由度を大きくできる。
【００２８】
上記構成の電子部品認識装置１における画像処理方法は、第１及び第２の光源９、１１から、所定の指向角（Ｄ）で照射された光線は、反射部材である反射板１７及びノズル先端部１３の外周面１３ａを反射し、吸着ノズル３により吸着保持される（部品認識位置２に位置決めされた）スライダ５の方向へ方向付けられる。そして、スライダ５を透過した光線が撮像カメラ７に到達し、スライダ５の外形が陰影として認識される。
【００２９】
ここで、スライダ５が配置される部品認識位置２は、第１及び第２の光源９、１１からの光線の照射範囲外にあり、スライダ５には、光源９、１１から直接光線が照射されないような位置関係である。
【００３０】
上記構成のように、透過型の構成を採用することにより、接着剤等がスライダ５の下面５ｂに残留している場合であっても、スライダ５の上面５ａ側から透過した光線により形成される陰影に影響を及ぼさない。よって、確実にスライダの外形を撮像に認識することができる。特に撮像カメラ７で得られた情報を２値化処理する場合、スライダ５の下面５ｂを反射した光線により撮像する反射型では、下面５ｂに付着したごみ、接着剤等により乱反射が生じ、スライダの領域とその他の領域において光強度に関するコントラストが得られない。しかし、上記実施形態によれば、撮像カメラ７に入射する透過光についての光強度に関しスライダに対応する領域とその他の領域との間で十分なコントラストが得られ、所定の閾値で２値化処理した場合でもスライダの外形を正確に識別できる。
【００３１】
なお、ここで言うコントラストは、単なる光線同士の干渉による明暗差だけではなく、光源の光強度のムラによる明暗差を含む。従って、光源の光強度ムラに起因し、反射光の光強度にムラがあると、ムラの暗部が撮像状態に影響を与えることになるので、反射光の光強度の平均値を上げてムラの発生を抑えると、スライダの外形をより正確に識別することができる。
【実施例】
【００３２】
以下に、上記実施形態によるスライダ保持状態保持ユニットの実施例について説明する。図１（ｂ）は、撮像カメラの光軸１９に対して光源の光軸２２が傾斜する傾斜角θを横軸にとり、コントラストの値を縦軸にとり、両者の関係を示す。
【００３３】
本実施例におけるスライダの撮像試験は以下の条件で行った。第１及び第２光源９、１１からスライダ５の下面５ｂまでの鉛直方向距離ａを約３ｍｍとし、スライダ５の下面５ｂと反射板１７との距離ｂを約７ｍｍ程度にした。なお、光源としては、指向角Ｄが約７０度のライトガイドを使用した。また、幅が約０．８ｍｍ、高さが約０．２ｍｍ、奥行きが約１．２ｍｍの外形寸法であるスライダを使用した。
【００３４】
上記条件では、撮像カメラの光軸１９と光源の光軸２２との間の傾斜角θの角度は、２９度〜３３度が望ましい（図１（ｂ）参照）。傾斜角が２９度より小さい場合には、反射部材により反射された光線がスライダ５の上面５ａに十分に到達しないため、スライダ５のコントラストが得られない。また、傾斜角が３３度より大きい場合には、スライダ５の下面５ｂを反射する光線の量が多くなり、反射部材により反射してスライダ５を透過する光線の量が比較的少なくなり、透過する光線の光強度のコントラストが得られない。
【００３５】
（スライダ分離・選別装置）
以下に、図１に示した画像処理装置を適用したスライダ分離・選別装置の実施例について説明する。図２は、スライダ分離・選別装置を上面から見た概略構成図である。
【００３６】
スライダ分離・選別装置５１は、治具に固定されたスライダを分離し、スライダの品質に従ってトレイに収納するための装置である。
【００３７】
なお、スライダはセラミックからなるウエハ上の基板に対して半導体製造工程に類似する薄膜形成・加工処理を施すことにより、複数個が同時に製造されるものである。複数個のスライダとしてウエハから切り出されて、複数個のスライダが所定方向に並んだ棒状の中間体と作成する。中間体は所定の治具に接着剤等で固定し、成形処理等がなされる。そして、治具に固定された中間体を、単一のスライダを含む個片へと切断した後に、スライダの治具からの分離と、スライダの品質に従って選別が行われ、磁気ヘッド装置の組立工程に供せられる。
【００３８】
従来、スライダの治具からの分離は、いわゆるケミカル法を用い、スライダが接着されている治具を溶剤中に浸漬し、接着剤を溶解してその粘着力を低下させ、手作業により治具からスライダを取り外していた。さらに、治具より取り外されたスライダは、洗浄工程により洗浄される。その後、スライダの電気的特性が判断され、そのスライダの品質に従って選別され手作業により所定のトレイに載置される。
【００３９】
このように、従来の分離・選別工程の速度および選別精度は、この操作を行う作業者の能力に依存している。よって、分離・選別工程の高速化や正確性を高めることが困難であった。また、分離・選別工程では、手作業が介在するため静電気によりスライダが破損する恐れがある。
【００４０】
実施例は、上記課題を解決するためのものであり、図１の画像処理装置を分離・選別装置に適用することにより、分離・選別工程の高速化や高精度化、そして自動化に寄与する。具体的には、分離・選別工程内において、選別されたスライダを所定のトレイ内に収容する際に、スライダを搬送する前に吸着部材によるスライダの保持状態を認識するために、図１の画像処理装置を用いた実施例である。
【００４１】
以下に、スライダ分離・選別装置５１について説明する。スライダ分離・選別装置５１は、スライダ分離装置５２と、２つのピックアップ装置５３、５５と、スライダ保持状態検知装置（画像処理装置）５７と、スライダ選別ユニット５９と、マーク認識カメラ６１がスライダ分離・選別装置の基台６３上に配置されている。
【００４２】
分離装置５２は、後述する第１吸着ノズル６３の下方に配置され、スライダを固定している接着剤を溶融するまで加熱する加熱手段と、スライダを押圧し、治具からスライダを分離する押圧部材とを備える。
【００４３】
第１のピックアップ装置５３は、吸着ノズル６３と、Ｚ方向駆動源６５、吸着ノズル支持アーム６７、Ｙ方向駆動レール６９、Ｙ方向駆動源７１、Ｘ方向駆動レール７３、Ｘ方向駆動源７５を有している。吸着ノズル６３は、Ｚ方向駆動源６５に連結され、Ｚ方向（図面の表裏方向）に吸着ノズル６３が移動可能である。また、吸着ノズル６３は、吸着ノズル支持アーム６７上に載置され、さらに、吸着ノズル支持アーム６７は、Ｙ方向駆動レール６９に摺動可能に装着され、Ｙ方向駆動源７１によりＹ方向駆動レール６９上を移動できる。Ｙ方向駆動レール６９、及びＹ方向駆動源７１は、Ｘ方向駆動レール７３に摺動可能に装着され、Ｘ方向駆動源７５によりＸ方向駆動レール７３上を移動する。
【００４４】
また、第２のピックアップ装置５５は、Ｙ方向に関し第１のピックアップ装置５３に対向して配置され、その構成も第１のピックアップ装置５５とほぼ同様の構成であり、第２のピックアップ装置５５は、吸着ノズル７７と、Ｚ方向駆動源７９と、吸着ノズル支持アーム８１と、Ｙ方向駆動レール８３と、Ｙ方向駆動源８５と、Ｘ方向駆動レール８７と、Ｙ方向駆動源８９と、を有している。
【００４５】
また、第１の及び第２のピックアップ装置５３、５５のＹ方向駆動レール６９、８３は、互いにほぼ平行に延在し、さらに、Ｘ方向駆動レール７３、８７も互いにほぼ平行に延在する。
【００４６】
吸着ノズル６３、７７は、不図示の吸引源に連結され、吸引力をスライダ５に付与することでスライダを吸着保持する。
【００４７】
トレイ載置ステージ８９は、基台６２のほぼ中央において、Ｙ方向に関し第１及び第２のピックアップユニット間に挟まれるように配置されている。
【００４８】
本実施例において、治具に固定されたスライダ２の各々については、予め電気特性、寸法精度等が測定されており、スライダとしての品質が、治具上の配置と共に管理番号に関連付けされ不図示の記憶装置に記録されている。スライダは、その品質により、上級品、中級品、及び下級品の三種類に選別することとしており、選別用トレイとして、上級用トレイ８９ａ、中級用トレイ８９ｂ、及び下級用トレイ８９ｃが用いられる。これらのトレイ８９ａ〜８９ｃは、トレイ載置ステージ８９上の所定に位置に配置されている。
【００４９】
また、図示していないが、これらのトレイ８９ａ〜８９ｃの上面には、各々のスライダ５を個別に収容できる凹部が複数設けられている。
【００５０】
マーク認識カメラ６１は、基台６２に固定され、治具に固定された状態にあるスライダ５を側方から撮影し、スライダの側面に印字された管理番号を撮影する。マーク認識カメラ６１は、微小な文字を認識する必要性から、顕微機能を備えたＯＣＲカメラから構成されることが好ましい。
【００５１】
スライダ保持状態検知装置１（図１の画像処理装置に対応）は、第１のピックアップユニットの吸着ノズル６３に保持されたスライダ５を下方から撮影可能とする撮像カメラ７と、スライダ５を異なる方向から照射する光源９、１１を備える。スライダ５を吸着保持した吸着ノズル６３は、スライダ５を上記トレイ８９ａ〜８９ｃへ搬送する過程において、撮像カメラ７上にて一旦停止する。図１に関して説明したように、吸着ノズル６３が停止した状態で撮像カメラ７によりスライダ５の陰影を撮像し、撮像カメラ７により得られた画像と、所望の保持状態とのずれを検出する。ずれが検出された場合、第１のピックアップユニットは、検出されたずれを補正した上で、所定のトレイ８９ａ〜８９ｃの所定の凹部に載置する。
【００５２】
次に、以上のスライダ分離・選別装置を用いて、スライダの分離及び選別を行う工程について説明する。なお、本実施例では、２つのピックアップユニット５３、５５を備えるが、両者の動作は同じであるので、第１のピックアップユニット５３を用いて、スライダの分離及び選別の工程を述べる。
【００５３】
まず、分離工程では、治具が、分離装置５２の加熱手段６の所定位置に載置され、スライダ５を治具に固定している接着剤を溶融するまで接着剤が加熱される。また、押圧部材により、治具とスライダの接着面と平行な方向にスライダが押圧され、スライダが治具から分離される。
【００５４】
分離されたスライダは、ピックアップユニット５３、５５によりスライダ保持状態検知装置１に搬送される。吸引ノズル６３は、Ｘ方向駆動源７５、Ｙ方向駆動源６９、Ｚ方向駆動源６５を適宜作動させることにより、吸着ノズル６３をスライダの上面に当接させる。吸着ノズル６３に連結された不図示の吸引源を作動することにより、吸引力をスライダに作用させることにより、スライダを吸着する（図１を参照。）。
【００５５】
さらに、Ｘ方向駆動源７５、Ｙ方向駆動源７１、Ｚ方向駆動源６５を作動することにより、スライダ保持状態検知装置（図１の画像処理装置に対応）１の撮像カメラ７から所定距離離れた部品認識位置（図１の参照符号２を参照。）に吸着ノズル６３を移動させる。実施形態において詳述したように、第１及び第２光源９、１１から光線を吸着ノズル６３に設けられた反射部材（図１の１３ａ、１７参照）に照射させ、その反射光により形成されるスライダ５の陰影を撮像カメラ７により撮影する。撮影された陰影と、スライダの所望の位置を比較し、ずれ量を求める。求めたずれ量を補正すべく、不図示のθ方向駆動機構、Ｘ方向駆動源７５、Ｙ方向駆動源７１を作動することにより、スライダのずれ量を補正し、スライダの姿勢の制御を行う。
【００５６】
さらに、スライダ５をトレイ載置ステージ８９の所定のトレイ８９ａ〜８９ｃに搬送する。先に、吸着されたスライダ５の管理番号に関連付けされた品質に基づき、所定のトレイ８９ａ〜８９ｃの所定位置に載置され、トレイへの収納が完了する。また、治具に固定されている他のスライダに対しても、上記した分離・選別の手順を行う。
【００５７】
上記した分離・選別工程によれば、従来のケミカル法を利用する必要がなく、スライダの分離から選別完了までに要する時間を短縮できる。また、ケミカル法において、人手によって行われていた選別・分離作業を、画像処理を用いて完全に自動化することが可能となる。これにより、生産速度が増し、均一な品質のスライダを得ることができる。
【００５８】
また、図３、図４に示す画像処理装置に比べても、吸着ノズルによる搬送に要する時間を短縮化できるとともに、画像処理を高精度に行うことができる。
【００５９】
なお、上述の実施例では、２つのピックアップユニット５３、５５を備え、３つのトレイにより選別する構成とした。しかし、ピックアップユニットの数や、選別する種類は、適宜変更できることは言うまでもない。
【００６０】
本実施形態及び実施例において、照明手段として、電球、ＬＥＤ、ＥＬ、蛍光ランプ、メタルハライドランプ等を利用できる。
【００６１】
本実施形態及び実施例においては、画像処理の対象物としてスライダを用いたが、スライダに限定されることはなく、セラミックコンデンサ等の電子部品についても画像処理を行うことができる。
【００６２】
本実施形態及び実施例においては、反射部材としての代表例としてアルミナ板を挙げたが、明度が高く、表面が適度に乱反射するものであれば、白色樹脂や梨地アルミ、セラミックなども利用できる。
【００６３】
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】（ａ）は本発明の画像処理装置の実施形態であり、（ｂ）は、光源の光軸の傾斜角度と、コントラストとの関係を示すグラフである。
【図２】図１の画像処理装置をスライダ分離・選別装置に適用した実施例の概略構成図である。
【図３】従来の透過型の電子部品位置決め装置の部分的断面図である。
【図４】従来の反射型の電子部品位置決め装置の部分的断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１          画像処理装置
２          部品認識位置
３          吸着ノズル
５          スライダ
７          撮像カメラ
９、１１    光源
１７        反射板
【図１】
2007173430.tif 000003
【図２】
2007173430.tif 000004
【図３】
2007173430.tif 000005
【図４】
2007173430.tif 000006