(57)【要約】【課題】    各ＬＥＤの発光タイミングのバラツキを小さくすることができる露光装置を得る。【解決手段】  コントローラ部５４に設けた発光時間測定部８８に、露光ステージに設けられストロボ３８Ｃの出射口からの光量を測定する光量測定センサ８０を接続させ、各ＬＥＤモジュールの発光トリガから各出射口からの光が所定光量に到るまでの時間ｔを測定する。この測定結果は、コントローラ部５４に設けた発光タイミング補正部９０へ入力され、時間ｔの差をなくすように補正される。つまり、発光タイミング補正部９０のデータを基にストロボ発光制御部５７によって、各ＬＥＤモジュール毎に発光トリガの時間をずらすように制御される。これにより、各出射口の発光タイミングを略一致させることができ、感光材料の位置決め用のマークＭの位置を正確に読み取ることができる。【選択図】    図１４
2007010734.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像情報に応じて変調された光ビームにより感光材料を露光する露光手段と、
前記感光材料を載置し前記露光手段に対して感光材料を相対移動させる移動手段と、
前記感光材料上に設けられた位置決めマークを読み取るマーク読取手段と、
複数の発光ダイオードで発光した光を出射口から出射し、前記位置決めマークを照射する照射手段と、
前記照射手段の各出射口からの出射タイミングが同じになるように発光ダイオードの発光トリガの時間を補正する出射タイミング補正手段と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
画像情報に応じて変調された光ビームにより感光材料を露光する露光手段と、
前記感光材料を載置し前記露光手段に対して感光材料を相対移動させる移動手段と、
前記感光材料上に設けられた位置決めマークを読み取るマーク読取手段と、
複数の発光ダイオードで構成されて、前記位置決めマークを照射する照射手段と、
を備え、
前記照射手段の各発光ダイオードに、前記位置決めマークに照射する際の電流よりも小さい電流を予め流しておくことを特徴とする露光装置。
【請求項３】
前記照射手段の各出射口は、複数の発光ダイオードから発する光を集光させた状態で入射させた光ファイバから光を出射させることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像情報に応じて変調された光ビームにより感光材料を露光する露光手段を備えた露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子（ＳＬＭ）を利用し、画像データ（画像情報）に応じて変調された光ビームで画像を記録する露光装置が種々提案されている。
【０００３】
例えば、ＤＭＤは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーが、シリコン等の半導体基板上に２次元状に配列されたミラーデバイスであり、このＤＭＤを用いた従来のデジタル走査記録方式の露光装置（例えば、特許文献１）では、レーザ光を照射する光源、光源から照射されたレーザ光をコリメートするレンズ系、レンズ系の略焦点位置に配置されたＤＭＤ、ＤＭＤで反射されたレーザ光を走査面上に結像するレンズ系、を備えた露光ヘッド（スキャナ）により、画像データ等に応じて生成した制御信号によりＤＭＤのマイクロミラーの各々をオンオフ制御してレーザ光を変調し、変調されたレーザ光で、ステージ上にセットされ走査方向に沿って移動される感光材料に対し画像記録を行っている。
【０００４】
ところで、上記のような複数の光ビームを同時に走査するための走査光学系の形態としては、定盤上を摺動可能な記録ステージを設け、感光材料を前記記録ステージ上に平面的に位置決めして、前記記録ヘッドから照射される光ビームの発光点の配列方向（ｘ方向）に対して略直交する方向（ｙ方向）に記録ステージを移動（走査）しながら、固定配置された記録ヘッドからの光ビームを照射する構造が好ましい。
【０００５】
この場合、解像度を高くしようとすればするほど、光ビームの走査位置の精度を上げなければならず、記録ステージの移動直進性はもちろん、記録ステージへの感光材料の位置決めが重要となる。このため、記録ヘッドによる画像記録とは別に、感光材料に設けた位置決め用マークを読み取るためのマーク読取手段（例えば、カメラユニット）を配設し、カメラユニットによって読み取った位置決め用マークの位置情報に基づいて、電気的に画像記録位置を補正することが必要となる。
【０００６】
しかしながら、カメラユニットで高倍率のレンズを使用した場合、視野が暗くなるため、走査速度を上げて撮影するとなると高輝度な照明が必要となる。このため、複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）を集光させてストロボ撮影することが考えられるが、このストロボ撮影を行う場合、ＬＥＤの発光タイミングがずれると、位置決め用マークの読取り時に該位置決め用マークの位置がずれた状態で読み取られることになってしまうので、ＬＥＤの発光タイミングが重要となってくる。
【特許文献１】特許第３３０５４４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記事実を考慮し、各ＬＥＤの発光タイミングのバラツキを小さくすることができる露光装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、露光装置において、画像情報に応じて変調された光ビームにより感光材料を露光する露光手段と、前記感光材料を載置し前記露光手段に対して感光材料を相対移動させる移動手段と、前記感光材料上に設けられた位置決めマークを読み取るマーク読取手段と、複数の発光ダイオードで発光した光を出射口から出射し、前記位置決めマークを照射する照射手段と前記照射手段の各出射口からの出射タイミングが同じになるように発光ダイオードの発光トリガの時間を補正する出射タイミング補正手段と、を有することを特徴とする。
【０００９】
請求項１に記載の発明では、複数の発光ダイオードで構成する照射手段を設けており、この照射手段によって位置決めマークを照射する。これにより、マーク読取手段に高倍率のレンズを使用した場合でも、視野を明るくすることができる。このため、相対移動速度を上げて位置決めマークを読取る場合でも、該位置決めマークを確実に読み取ることができる。
【００１０】
また、出射タイミング補正手段によって、照射手段の各出射口からの出射タイミングが同じになるように発光ダイオードの発光トリガの時間を補正することで、照射手段の各出射口からの出射タイミング（発光タイミング）のバラツキをなくし、位置決めマークの位置を正確に読み取ることができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、露光装置において、画像情報に応じて変調された光ビームにより感光材料を露光する露光手段と、前記感光材料を載置し前記露光手段に対して感光材料を相対移動させる移動手段と、前記感光材料上に設けられた位置決めマークを読み取るマーク読取手段と、前記マーク読取手段に設けられ、複数の発光ダイオードで構成されて、前記位置決めマークを照射する照射手段と、を備え、前記各発光ダイオードに、前記位置決めマークに照射する際の電流よりも小さい電流を予め流しておくことを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載の発明では、マーク読取手段の各発光ダイオードに、位置決めマークを照射するよりも小さい電流（発光ダイオードが発光しない程度の電流が望ましい）を予め流しておくことで、発光トリガから所定光量（発光）に到るまでの時間を短くすることができる。つまり、発光ダイオードに予め電流を流していない場合と比較して、各発光ダイオードの発光タイミングのバラツキを小さくすることができる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の露光装置において、前記照射手段の各出射口は、複数の発光ダイオードから発する光を集光させた状態で入射させた光ファイバから光を出射させることを特徴とする。
【００１４】
請求項３に記載の発明では、複数の発光ダイオードから発する光を集光させた状態で入射させる光ファイバを複数配設し、各光ファイバから光を出射させることで、発光ダイオードによる光源が高出力となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は上記構成としたので、照射手段の各出射口からの出射タイミングのバラツキをなくし、位置決めマークの位置を正確に読み取ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１乃至図３には、本実施の形態に係るフラッドベッドタイプの露光装置１０が示されている。
【００１７】
露光装置１０は、棒状の角パイプを枠状に組み付けて構成された矩形状の枠体１２に各部が収容されて構成されている。なお、枠体１２には、図示しないパネルが張り付けられることで、内外を遮断している。
【００１８】
枠体１２は、背高の筐体部１２Ａと、この筐体部１２Ａの一側面から突出するように設けられたステージ部１２Ｂと、で構成されている。
【００１９】
ステージ部１２Ｂは、その上面が筐体部１２Ａよりも低位とされ、作業者がこのステージ部１２Ｂの前に立ったときに、ほぼ腰高の位置となっている。
【００２０】
ステージ部１２Ｂの上面には、開閉蓋１４が設けられている。開閉蓋１４の筐体部１２Ａ側の一辺には、図示しない蝶番が取付けられており、この一辺を中心として、開閉動作が可能となっている。
【００２１】
開閉蓋１４を開放した状態のステージ部１２Ｂの上面には、露光ステージ１６（図４参照）が露出可能となっている。
【００２２】
露光ステージ１６の下面には、断面略コ字型の脚部１６Ａ（図４参照）が取り付けられており、この脚部１６Ａは、このステージ部１２Ｂから筐体部１２Ａまで延設された定盤１８に対して、該露光ステージ１６を摺動可能に支持すると共に、互いに平行、かつ定盤１８の長手方向に沿って配設された一対の摺動レール２０を介して支持されている。
【００２３】
露光ステージ１６は、摺動レール２０に支持されることで、ほとんど摩擦抵抗なく（ベアリング等を介している場合は、そのベアリングの転がり抵抗のみで）ｙ方向へ摺動可能となっている。
【００２４】
この定盤１８の長手方向一端部は、前記ステージ部１２Ｂまで至っており、この位置に露光ステージ１６が位置している状態で、作業者は露光ステージ１６上に感光材料２２を載置、或いは取り出すことができる。
【００２５】
定盤１８は、筐体部１２Ａを構成する角パイプに対して強固に固定された架台２４に支持されており、露光ステージ１６の移動軌跡の基準となっている。また、定盤１８の長手方向に沿って配設された一対の摺動レール２０の間には、リニアモータ部２６が配設されている。
【００２６】
リニアモータ部２６は、周知の如く、ステッピングモータの駆動力を応用した直線型の駆動源であり、定盤１８の長手方向に沿って設けられた棒状のステータ部（磁石部）２６Ａ（図２参照）と、露光ステージ１６の下面側に設けられ前記ステータ部２６Ａとは所定の間隔を持って配置されたコイル部２６Ｂとで、構成されている。
【００２７】
すなわち、露光ステージ１６は、コイル部２６Ｂへの通電によって発生する磁界とステータ部２６Ａの磁界との磁力作用により駆動力を得て、前記摺動レール２０に沿って定盤１８上を、その長手方向（ｙ方向）に移動する構成である。
【００２８】
前述したように、原理はステッピングモータと同様であるため、本実施の形態に係る露光ステージ１６は、定速性、位置決め精度、並びに始動、停止時のトルク変動等、電気的な制御により精度の高い駆動制御が可能となっている。
【００２９】
またリニアモータ部２６には、図示しないリニアエンコーダが付設されており、このリニアエンコーダは、露光ステージ１６と共にコイル部２６Ｂがステータ部２６Ａに対してｙ方向へ相対移動する際に、その往復移動方向に対応する極性のパルス信号を移動量に比例するパルス数だけパルスカウンタへ出力する。このリニアエンコーダからのパルス信号に基づいて、露光ステージ１６の定速移動や反転移動、停止等の移動制御が行われる。
【００３０】
露光ステージ１６には、前述の如く、感光材料２２が載置されるようになっている。露光ステージ１６には、感光材料２２の載置面に複数の溝（図示省略）が設けられており、感光材料２２が所定位置に位置決めされた状態で、バキュームポンプ等によって溝内を負圧とすることで、感光材料２２を密着させることができる。
【００３１】
また、露光ステージ１６の移動方向（ｘ方向）の下流側の端縁部には、後述するアライメントユニット３２に備えられたストロボ３８Ｃからの光量を測定するための光量測定センサ８０（図３参照）が設けられている。
【００３２】
一方、露光ステージ１６における定盤１８上での移動軌跡のほぼ中間位置には、露光ヘッドユニット２８（図４参照）が配設されている。露光ヘッドユニット２８は、定盤１８の幅方向両端部の外側にそれぞれ立設された一対の支柱１８Ａに掛け渡されるように架設されている。すなわち、露光ヘッドユニット２８と定盤１８との間を露光ステージ１６が通過するゲートが形成される構成である。
【００３３】
露光ヘッドユニット２８は、複数のヘッドアッセンブリ２８Ａが定盤１８の幅方向に沿って配列されて構成されており、露光ステージ１６を定速度で移動させながら、所定のタイミングでそれぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａから照射される複数の光ビームを露光ステージ１６上の感光材料２２へ照射することで、感光材料２２を露光することができるようになっている。
【００３４】
図５（Ｂ）に示すように、露光ヘッドユニット２８を構成するヘッドアッセンブリ２８Ａは、ｍ行ｎ列（例えば、２行５列）の略マトリックス状に配列されており、これら複数のヘッドアッセンブリ２８Ａが露光ステージ１６の移動方向（以下走査方向という）と直交する方向に配列される。本実施の形態では、感光材料２２の幅との関係で、２行で合計１０個のヘッドアッセンブリ２８Ａとした。
【００３５】
ここで、１つのヘッドアッセンブリ２８Ａによる露光エリア２８Ｂは、走査方向を短辺とする矩形状で、且つ、走査方向に対して所定の傾斜角で傾斜しており、露光ステージ１６の移動に伴い、感光材料２２にはヘッドアッセンブリ２８Ａ毎に帯状の露光済み領域が形成される（図５（Ａ）参照）。
【００３６】
ところで、図１に示すように、筐体部１２Ａ内には、定盤１８上の露光ステージ１６の移動を妨げない別の場所に光源ユニット３０が配設されている。この光源ユニット３０には複数のレーザー（半導体レーザー）を収容しており、このレーザーから出射する光を光ファイバー（図示省略）を介して、それぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａへ案内している。
【００３７】
それぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａは、該光ファイバーによって案内され、入射された光ビームを空間光変調素子である図示しないデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）によって、ドット単位で制御し、感光材料２２に対してドットパターンを露光する。本実施の形態では、前記複数のドットパターンを用いて１画素の濃度を表現するようになっている。
【００３８】
ここで、ステージ部１２Ｂにおいて、露光ステージ１６上に位置決めされた感光材料２２への露光処理は、露光ステージ１６に感光材料２２を載置し、定盤１８上の摺動レール２０に沿って奥側へ移動するとき（往路）ではなく、一旦、定盤１８の奥側端部へ到達して、ステージ部１２Ｂへ戻るとき（復路）に実行される。
【００３９】
すなわち、往路走行は、露光ステージ１６上の感光材料２２の位置情報を得るための移動であり、この位置情報を得るためのユニットとして、定盤１８上には、アライメントユニット３２（図６参照）が配設されている。
【００４０】
このアライメントユニット３２は、露光ヘッドユニット２８よりも往路方向奥側に配設されており、筐体部１２Ａの一部を構成する一対の梁部３４（図６参照）に固定されている。
【００４１】
また、アライメントユニット３２は、図６に示すように、一対の梁部３４に固定されるベース部３６と、このベース部３６に対して定盤１８の幅方向へ移動可能な複数（本実施の形態では、４台）のカメラ部３８と、で構成されている。
【００４２】
カメラ部３８を保持するカメラベース４２は、それぞれ、ボールねじ機構部４４の駆動によって、定盤１８の幅方向（ｘ方向）へ移動可能となっており、露光ステージ１６の移動と、このボールねじ機構部４４の駆動力による定盤１８の幅方向への移動とによって、感光材料２２の所望の位置にレンズ部３８Ｂの光軸を配置することが可能となっている。すなわち、露光ステージ１６と、感光材料２２とは、作業者が感光材料２２を載置することで、その相対位置関係が決まるため、若干のずれが生じることがある。
【００４３】
そこで、感光材料２２に設けられたマークＭ（８（Ａ）参照）をカメラ本体３８Ａによって撮影する。この撮影によってずれが認識され、露光ステージ１６と既知の相対関係となっている露光ヘッドユニット２８による露光タイミングに補正をかけ、感光材料２２と画像との相対位置を所望の位置としている。
【００４４】
ここで、カメラ本体３８Ａの下面にはレンズ部３８Ｂが設けられ、レンズ部３８Ｂの突出先端部には、リング状のストロボ３８Ｃが取付けられている。
【００４５】
このストロボ３８Ｃの内部には、マルチモード光ファイバ（図示省略）が配設されている。ストロボ３８Ｃの下面には、図７に示すように、ストロボ３８Ｃの周方向に沿って複数の出射口８２が設けられ、この出射口８２からマルチモード光ファイバの一端が露出し、該出射口８２から光が出射されることとなる。
【００４６】
そして、この出射口８２からの光が、露光ステージ１６（図１参照）上の感光材料２２の位置決め用のマークＭへ照射され、その反射光をレンズ部３８Ｂを介してカメラ本体３８Ａに入力させることで、感光材料２２上の位置決め用のマークＭを撮影することができる。
【００４７】
ところで、ストロボ３８Ｃの外周部には、マルチモード光ファイバの他端が集結する接続部７０が設けられており、この接続部７０にはＬＥＤ照射装置７２の光ファイバコネクタ７４が接続される。図９に示すように、ＬＥＤ照射装置７２は、複数のＬＥＤ（発光ダイオード）モジュール７６で構成されており、各ＬＥＤモジュール７６にはマルチモード光ファイバ７８の一端が接続している。
【００４８】
このマルチモード光ファイバ７８の他端には、コア径Ｄ1（図９（Ｂ）参照）がマルチモード光ファイバ７８と同一で、且つクラッド径Ｄ2（図９（Ｂ）参照）がマルチモード光ファイバ７８より小さいマルチモード光ファイバ８４の一端が結合されている。
【００４９】
そして、マルチモード光ファイバ８４の他端に光ファイバコネクタ７４を結合させ、光ファイバコネクタ７４を介して、ストロボ３８Ｃに設けられた接続部７０とマルチモード光ファイバ８４を接続させた状態で、ＬＥＤ照射装置７２に電圧が印加されると、ストロボ３８Ｃの下面周方向に沿って配置された出射口８２から光が出射される。
【００５０】
ところで、ＬＥＤモジュール７６は、図１０に示すように、複数のＬＥＤ１〜ＬＥＤ７で構成されており、この複数のＬＥＤ１〜ＬＥＤ７からの光が１本のマルチモード光ファイバ７８に合波されることとなる。
【００５１】
このため、各ＬＥＤ１〜ＬＥＤ７に対応して、各コリメータレンズＬ１〜Ｌ７が設けられており、該コリメートレンズＬ１〜Ｌ７によって平行光化した光を集光レンズ８６によって集光させ（Ｂ１〜Ｂ７）、マルチモード光ファイバ７８のコア７８Ａの入射端面に収束させる。このように、複数のＬＥＤ１〜ＬＥＤ７からの光を合波させることで、ストロボ３８Ｃによる光源が高出力となるようにしている。
【００５２】
なお、ここでは、ストロボ３８Ｃをリング状としたが、図１１に示すように、同軸落射照明９２を用いても良い。具体的には、同軸落射照明９２を構成する光源部９４の内部にマルチモード光ファイバ（図示省略）を配設し、接続部９５及び光ファイバコネクタ７４を介してＬＥＤ照射装置７２を接続する。そして、ＬＥＤ照射装置７２からの光を反射ミラー９６及びハーフミラー９８によって反射させ、感光材料２２上を照射するようにする。その他にも、図示はしないが、いわゆるドーム照明、バー照明、透過照明などを用いても良い。
（マーク検出制御）
上記構成の露光装置１０におけるアライメントの際に実行される、感光材料２２と、露光ヘッドユニット２８の相対位置関係を把握するための、感光材料２２に付与されたマーク検出制御について説明する。
【００５３】
図１２には、アライメントユニット３２におけるマーク検出のための制御系の機能ブロック図が示されている。
【００５４】
コントローラ部５４のカメラ動作制御部５６では、露光ステージ動作制御信号が入力されると、カメラ部３８に対して起動信号を送出する。この起動信号によりカメラ部３８は起動し撮影待機状態になる。
【００５５】
また、コントローラ部５４のトリガ信号生成部５５では、前述したリニアエンコーダの出力パルスをカウントするパルスカウンタが所定のカウント値をとると（例えば、往路移動する露光ステージ１６に搬送された感光材料２２のマークＭがカメラ部３８の撮影画角内に入った位置に対応するパルス数をカウントした際）、トリガ信号を生成してカメラ動作制御部５６及びストロボ発光制御部５７へ送出する。
【００５６】
このトリガ信号の入力タイミングで、カメラ動作制御部５６ではカメラ部３８に対してタイミング信号を送出し、カメラ部３８は撮影を行う。また、ストロボ発光制御部５７ではストロボ３８Ｃに対してタイミング信号を送出し、ストロボ３８Ｃはカメラ部３８の撮影動作に連動して発光する（後述する）。
【００５７】
この露光ステージ１６の動作タイミング（移動動作）と、カメラ部３８による撮影タイミング及びストロボ３８Ｃの発光タイミングとは同期がとられており、ストロボ３８Ｃからの光によって、露光ステージ１６上の感光材料２２が照射され、その反射光がレンズ部３８Ｂを介してカメラ本体３８Ａに入力されることで、感光材料２２上のマークＭが撮影可能となる。
【００５８】
一方、露光ステージ動作制御信号と共に、サイズデータが幅方向位置設定部５８に入力されると、この幅方向位置設定部５８により、ボールねじ機構部４４の動作が制御され、カメラ部３８の定盤１８に対する幅方向位置が調整される。
【００５９】
カメラ部３８の撮影動作中において、露光ステージ１６は、定盤１８上の往路を定速度移動するため、露光ステージ１６上に載置されている感光材料２２に付与されたマークＭ（図８（Ａ）参照）がカメラ部３８によって撮影される。
【００６０】
撮影されたデータは、撮影データ解析部６０へ送出され、撮影データの解析が行われる。基本的に、撮影された画像データはアナログデータ（光電変換直後は、光量が電圧に変換される）であるため、このアナログデータをデジタル画像データに変換し、デジタル画像データが位置データと共に数値（濃度値）管理される。
【００６１】
撮影データ解析部６０で解析されたデジタル画像データは、マーク抽出部６２へ送出され、マークを抽出し、マーク照合部６４へ送出する。一方、デジタル画像データに対応付けられた位置データは、露光位置補正係数演算部６６へ送出される。
【００６２】
マーク照合部６４では、抽出したマークの画像データと、予めマークデータメモリ６８に記憶されたマークデータとを照合し、一致／不一致を示す信号を露光位置補正係数演算部６６へ送出する。
【００６３】
露光位置補正係数演算部６６では、照合の結果、一致していると判別されたマークデータに対応する位置データと、本来の（設計上の）マークの位置データとの誤差を認識し、露光位置（露光ステージ１６の移動方向における露光開始位置並びに、露光ステージ１６の幅方向におけるドットのシフト位置）の補正係数を演算し、露光制御系へ送出する。
【００６４】
そしてこの補正係数に基づき、感光材料２２上に記録する画像の位置を適正位置に補正するよう、露光ヘッドユニット２８の各ヘッドアッセンブリ２８Ａによる画像記録開始時期等を補正する。
【００６５】
一方、マークデータメモリ６８に記憶するマークデータは、カメラ部３８の撮影環境（シャッタースピード、露光ステージ１６の移動速度等）を加味した画像ＭＬ'（図８（Ｃ）に示す長円形）としている。すなわち、撮影環境下で実際に露光ステージ１６を移動しながら撮影した画像に対応したマークデータを記憶することで、照合の適正化を図っている。
（画像記録の流れ）
感光材料２２を表面に吸着した露光ステージ１６は、リニアモータ部２６の駆動力により、定盤１８の摺動レール２０に沿ってステージ部１２Ｂから筐体部１２Ａの奥側へ一定速度で移動する（往路移動）。ここで露光ステージ１６がアライメントユニット３２を通過する際に、カメラ部３８により感光材料２２に予め付与されたマークＭを検出する。このマークＭは、予め記憶されたマークと照合され、その位置関係に基づいて露光ヘッドユニット２８による露光開始時期等が補正される。
【００６６】
図１３には、露光開始時期補正ルーチンを示すフローチャートが示されている。
【００６７】
ステップ１００では、露光開始指示があったか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１０２へ移行してカメラ部３８を起動させるように指示する。なお、ステップ１００で否定判定の場合は、このルーチンは終了する。
【００６８】
ステップ１０２でカメラ部３８の起動を指示すると、次いでステップ１０４へ移行して感光材料２２のサイズデータが入力されたか否かが判断される。このステップ１０４で肯定判定されると、ステップ１０６へ移行して入力したサイズデータに基づいてカメラ部３８の定盤１８に対する幅方向位置を調整する（ボールねじ機構部４４の駆動制御）。
【００６９】
次に、ステップ１０８では、調整が完了したか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１１０へ移行して露光ステージ１６の往路移動を開始する。この露光ステージ１６の移動は定速度搬送である。
【００７０】
露光ステージ１６が往路移動中、ステップ１１２では、リニアモータ部２６に設けられたリニアエンコーダの出力パルスをパルスカウンタがカウントすることによって露光ステージ１６の位置を確認し（リニアモータ部２６の駆動パルスでも判別可能）、ステップ１１４において撮影タイミングか否かが判断される。すなわち、露光ステージ１６の移動方向先端がアライメントユニット３２の真下を通過する直前の位置か否かを判断し、肯定判定されると、ステップ１１６へ移行して撮影を開始する。
【００７１】
次のステップ１１８では、露光ステージ１６の位置を確認し、ステップ１２０において撮影終了タイミングか否かが判断される。すなわち、露光ステージ１６の移動方向後端がカメラ部３８の真下を通過し終えたか否かを判断し、肯定判定されると、ステップ１２２へ移行して撮影を終了する。
【００７２】
ステップ１２４では、撮影したデータを解析し、次いでステップ１２６へ移行してマークＭに相当する画像データを抽出する。
【００７３】
次いで、ステップ１２８では、マークデータメモリ６８（図１２参照）から基準データを読出し、ステップ１３０において、撮影し、かつ抽出したマーク画像データと基準データとを照合する。
【００７４】
次のステップ１３２では、照合結果に基づいて露光位置補正係数を演算し、ステップ１３４へ移行して露光制御系へ演算した補正係数データを送出し、このルーチンは終了する。
【００７５】
以上の画像記録位置補正（露光開始時期補正）を終えて、露光ステージ１６が往路端まで至ると、折り返してステージ部１２Ｂ方向へ定速度で戻ってくる（復路移動）。この復路移動中に露光ヘッドユニット２８を通過することになる。
【００７６】
露光ヘッドユニット２８では、補正された露光開始時期に基づいて、ＤＭＤにレーザ光が照射され、ＤＭＤのマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光が光学系を介して感光材料２２へと案内され、この感光材料２２上に結像される。
【００７７】
上記のように、本実施の形態の露光装置１０は、露光ステージ１６の往復移動によって、感光材料２２と露光ヘッドユニット２８との相対位置に基づいて、露光開始時期を設定し（往路移動）、露光ヘッドユニット２８による露光処理が実行される（復路移動）構成となっている。
【００７８】
次に、本実施の形態の作用を説明する。
【００７９】
図６〜図８に示すように、本形態では、ストロボ３８Ｃからの光によって、露光ステージ１６上の感光材料２２が照射され、その反射光がレンズ部３８Ｂを介してカメラ本体３８Ａに入力されることで、感光材料２２上のマークＭが撮影可能となるが、ストロボ３８Ｃの各出射口８２の発光タイミング（各出射口８２からの出射タイミング）がずれると、マークＭの読取り時にマークＭの位置がずれた状態で読み取られることになってしまう。
【００８０】
このため、露光装置１０の出荷時、或いは、露光装置１０を所定時間使用した後には、ストロボ３８Ｃの各出射口８２の発光タイミングを略一致させるように補正する必要がある。
【００８１】
例えば、図１４に示すように、コントローラ部５４（図１２参照）に発光時間測定部８８を設け、トリガ信号生成部５５と接続させる。この発光時間測定部８８には、露光ステージ１６に設けられ出射口８２からの光量を測定する光量測定センサ８０を接続させ、各ＬＥＤモジュール７６（図１０参照）の発光トリガから、各出射口８２から出射される光が所定光量に到るまでの時間を測定する。
【００８２】
この測定結果は、コントローラ部５４に設けた発光タイミング補正部９０へ入力され、発光時間測定部８８で測定された、各ＬＥＤモジュール７６の発光トリガから各出射口８２からの光が所定光量に到るまでの時間の差をなくすように補正される。
【００８３】
つまり、発光タイミング補正部９０のデータを基にストロボ発光制御部５７によって、各ＬＥＤモジュール７６毎に発光トリガの時間をずらすように制御される。これにより、各出射口８２の発光タイミングを略一致させることができ、マークＭの位置を正確に読み取ることができる。
【００８４】
なお、ここでは、各ＬＥＤモジュール７６毎に発光トリガの時間をずらすように制御したが、各ＬＥＤモジュール７６による各出射口８２の発光タイミングが同じになればよいため、これに限るものではない。例えば、各ＬＥＤモジュール７６毎で印加する電圧を変えるようにしても良い。
【００８５】
一方、図１５（Ａ）には、ＬＥＤモジュール７６の発光トリガ（矢印で示す位置）から各出射口８２からの光が所定光量に到るまでの時間が実線で示されているが、出射口８２の光量が安定するまでには多少の時間が掛かってしまう。本来、仮想線で示すように、ＬＥＤモジュール７６の発光トリガから一気に所定光量に到達することが望ましい。
【００８６】
このため、各ＬＥＤモジュール７６には、各ＬＥＤ１〜ＬＥＤ７（図１０参照）が発光しない程度に予め電流を流しておいても良い。これにより、図１５（Ｂ）に示すＬＥＤモジュール７６の発光トリガ（矢印で示す位置）から所定光量に到るまでの時間を短くすることができる。つまり、ＬＥＤモジュール７６に予め電流を流していない場合と比較して、各出射口８２の発光タイミングのバラツキを小さくすることができる。
【００８７】
ここで、本形態では、露光ステージ１６に光量測定センサ８０を設け、ストロボ３８Ｃの出射口８２からの光量を光量測定センサ８０で測定すると共に、光量測定センサ８０に発光時間測定部８８を接続し、各ＬＥＤモジュール７６の発光トリガから各出射口８２からの光が所定光量に到るまでの時間を測定するようにしたが、これらは、必ずしも露光装置１０に設ける必要はない。
【００８８】
例えば、ストロボ３８ＣからＬＥＤ照射装置７２を取り外した状態で、予め各ＬＥＤモジュール７６の発光トリガから所定光量に到るまでの時間を測定し、測定されたデータを直接発光タイミング補正部９０へ入力できるようにしても良い。
【００８９】
また、ＬＥＤモジュール７６を、複数のＬＥＤ１〜ＬＥＤ７で構成し、この複数のＬＥＤ１〜ＬＥＤ７からの光を１本のマルチモード光ファイバ７８に合波させたが、必ずしも合波させる必要はなく、ストロボ３８Ｃの内部に複数のＬＥＤを配設し、ＬＥＤの光を直接出射口８２から出射させるようにしても良い。
【００９０】
なお、本実施の形態では、空間変調素子としてＤＭＤを用い、点灯時間を一定にしてオン／オフすることでドットパターンを生成するようにしたが、オン時間比（デューティ）制御によるパルス幅変調を行ってもよい。また、１回の点灯時間を極めて短時間として、点灯回数によってドットパターンを生成してもよい。
【００９１】
さらに、本実施の形態では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えたヘッドアッセンブリ２８Ａについて説明したがこのような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Special Light Modulator）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。
【００９２】
なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Grating Light Valve（ＧＬＶ）を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。
【００９３】
また、上記の実施の形態における光源としては、合波レーザ光源を複数備えたファイバアレイ光源、１個の発光点を有する単一の半導体レーザから入射されたレーザ光を出射する１本の光ファイバを備えたファイバ光源をアレイ化したファイバアレイ光源、複数の発光点が二次元状に配列された光源（たとえば、ＬＤアレイ、有機ＥＬアレイ等）、等が適用可能である。
【００９４】
また、上記の露光装置１０には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ）、固体レーザが使用される。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の実施の形態に係る露光装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る露光装置を示す概略側面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る露光装置を示す概略平面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る露光装置の露光ヘッドユニットの構成を示す斜視図である。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）は、露光ヘッドユニットによる露光領域の配列を説明する図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る露光装置のカメラユニットの斜視図である。
【図７】カメラユニットのストロボを示す斜視図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は、感光材料の上のマークと、基準となるメモリ上のマークとの照合の手順を示す説明図である。
【図９】（Ａ）はＬＥＤ照射装置の構成を示す斜視図であり、（Ｂ）はマルチ光ファイバの出射口における配列を示す平面図である。
【図１０】複数のＬＥＤからの光が合波される状態を示す平面図である。
【図１１】カメラユニットのストロボの変形例を示す斜視図である。
【図１２】カメラユニットにおけるマーク検出のための制御系の機能ブロック図である。
【図１３】露光開始時期補正ルーチンを示す制御フローチャートである。
【図１４】ストロボの発光タイミングを制御するための制御系の機能ブロック図である。
【図１５】（Ａ）はＬＥＤの発光トリガから所定光量に到るまでの時間との関係を示すグラフであり、（Ｂ）はＬＥＤの発光トリガから所定光量に到るまでの電流との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００９６】
１０      露光装置
１６      露光ステージ
２８      露光ヘッドユニット（記録ヘッド）
３８      カメラ部（マーク読取手段）
３８Ｃ    ストロボ（照射手段）
７２      ＬＥＤ照射装置（照射手段）
７６      ＬＥＤモジュール（発光ダイオード）
９０      発光タイミング補正部（出射タイミング補正手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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