(57)【要約】【課題】  ＨＤＩの発生時においてスライダの振動を最小化して、スライダの浮上高さの変化を抑制し、スライダの動作を安定化させる。【解決手段】  フレクシュア１は、ベース部１０と一体的に、縦軸４０方向に延在する一対のアウトリガー３０，３０と、アウトリガー３０，３０に直交する一対のクロスバー５０，５０と、クロスバー５０，５０に支持されたスライダ接着パッド部６０とを備える。スライダ３００は、その振動中心７０がスライダ接着パッド６０への固着部の直下であって、クロスバー５０，５０の共通の中心軸（横軸）の実質的に直下になるよう、配置されている。ＨＤＩによりスライダ３００に対して衝撃が発生すると、クロスバー５０，５０においてピッチ方向のねじれが生じ、アウトリガー３０，３０では曲がりが生じてエネルギーを吸収する。【選択図】    図２
2007213793.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハードディスクドライブに用いられるスライダ実装体であって、
縦軸に関して対称形状を有すると共に、前記ハードディスクに対向する下面を有するロードビームと、
前記ロードビームの下面への固定部を有すると共に、前記固定部から縦軸方向に延在し、かつ互いに横軸方向に分離した一対のアウトリガーと、前記アウトリガーそれぞれの末端に形成されると共に前記アウトリガーに直交する、ねじれ可能な一対のクロスバーと、前記クロスバーの間に一体的に形成されたスライダ接着パッド部とを含むフレクシュアと、
前記フレクシュアの表面全体に形成された第１の絶縁層と、
前記第１の絶縁層上に前記フレクシュアのアウトリガーおよびクロスバーに沿って形成された一対の導電層と、
前記導電層の一部を覆う第２の絶縁層と、
前記ロードビームの縦軸方向の対称性に合わせて縦軸方向に対称性を有すると共に、振動中心およびＡＢＳを有し、前記ＡＢＳの反対側の面において前記スライダ接着パッド部の前記第１の絶縁層上に接着されたスライダとを備え、
前記スライダの振動中心が、前記スライダの前記スライダ接着パッドへの固着部の直下であって、前記一対のクロスバーの共通の中心軸（横軸）の実質的に直下に存在すると共に、
前記ロードビームの底面側に突部を有し、前記突部が前記スライダあるいは前記フレクシュアに接触している
ことを特徴とするスライダ実装体。
【請求項２】
前記スライダの振動中心が、前記一対のクロスバーの共通の中心軸（横軸）に対して実質的に垂直な位置であって、前記ロードビームの縦軸の直下の位置に存在し、ＨＤＩの発生時において、前記フレクシュアへのエネルギーの伝達量を最小化する
ことを特徴とする請求項１記載のスライダ実装体。
【請求項３】
前記クロスバーが主として前記スライダのピッチ（縦）方向へのねじれの動きに適応し、前記アウトリガーが前記ピッチ方向への曲げに適応する
ことを特徴とする請求項１記載のスライダ実装体。
【請求項４】
前記フレクシュアは、更に、前記フレクシュアが前記ロードビームに固定される部分であって、前記ロードビームに沿って実質的に縦軸方向に整列する側端を有するベース部を備え、
前記アウトリガーは前記ベース部の側端から他端方向に延在し、
前記一対のクロスバーは、前記アウトリガーの他端から横軸方向に延在すると共に、互いに実質的に同じ長さを有し、かつ、前記ベース部および前記アウトリガーとともに前記フレクシュア内にキャビティを形成している
ことを特徴とする請求項１記載のスライダ実装体。
【請求項５】
前記フレクシュアを構成する一対のアウトリガーおよびクロスバーは、互いに共通平面を形成している
ことを特徴とする請求項４記載のスライダ実装体。
【請求項６】
前記クロスバーと前記スライダ接着パッド部は、前記フレクシュアのアウトリガーおよびベース部との間にオフセットを有する
ことを特徴とする請求項４記載のスライダ実装体。
【請求項７】
前記スライダ接続パッド部は、前記クロスバーの横軸を横切って実質的に対称的に拡がる形状、または前記クロスバーの横軸を横切って前記ベース部とは反対側にのみ拡がる形状を有する
ことを特徴とする請求項４記載のスライダ実装体。
【請求項８】
前記スライダ接続パッド部は開口を含み、前記突部は前記開口を通して前記スライダの表面に接触可能である
ことを特徴とする請求項４記載のスライダ実装体。
【請求項９】
前記アウトリガーは前記クロスバーを超えて先端方向に延在する延長部を有する
ことを特徴とする請求項４記載のスライダ実装体。
【請求項１０】
前記アウトリガーの延長部は、主要な振動モードの波長の約１／４倍の長さを有する
ことを特徴とする請求項９記載のスライダ実装体。
【請求項１１】
前記アウトリガーの延長部は、前記スライダが稼動していない間、ディスクドライブ内のロード／アンロードランプ上にあるときに、衝撃からスライダを保護する機能を有する
ことを特徴とする請求項９記載のスライダ実装体。
【請求項１２】
前記一対の導電層は、前記縦軸の近傍の対称位置に設けられると共に、前記第１の絶縁層の上で、前記アウトリガー，クロスバーおよびベース部に沿って設けられ、かつ先端部に前記スライダに電気的に接続させるためのコンタクト部を含むようパターン化されており、かつ、
前記導電層を部分的に覆う薄く、フレキシブルな接地層を有し、
前記第２の絶縁層は、前記導電層および前記接地層の一部を覆うが、前記スライダ接着パッド部の全体は覆っていない
ことを特徴とする請求項４記載のスライダ実装体。
【請求項１３】
前記フレクシュアは、ステンレススチールにより形成されると共に、１５μｍ〜２０μｍの厚みを有する
ことを特徴とする請求項１記載のスライダ実装体。
【請求項１４】
前記アウトリガーおよびクロスバーはそれぞれ少なくとも０．１ｍｍの幅を有し、前記ベース部全体の幅は約４ｍｍ以下である
ことを特徴とする請求項１記載のスライダ実装体。
【請求項１５】
前記第１の絶縁層および第２の絶縁層は、それぞれポリイミドにより形成され、５μｍの厚みを有する
ことを特徴とする請求項１記載のスライダ実装体。
【請求項１６】
前記スライダは実質的に均一な質量密度を有し、局部的な振動振幅の二乗平均が最小化され、運動エネルギーの伝達が最小化される
ことを特徴とする請求項１記載のスライダ実装体。
【請求項１７】
前記スライダは不均一な質量密度を有し、局部的な密度と振動振幅との乗積の二乗平均が最小化され、運動エネルギーの伝達が最小化される
ことを特徴とする請求項１記載のスライダ実装体。
【請求項１８】
前記フレクシュアは、その一部がスポット溶接またはエポキシ接着剤によって前記ロードビームに固着されている
ことを特徴とする請求項１記載のスライダ実装体。
【請求項１９】
縦軸に関して対称性を有するロードビームを用意するステップと、
ベース部と、前記ベース部に一体化されると共に横軸方向に分離し、縦軸方向に延在する一対のアウトリガーと、前記アウトリガーそれぞれの末端に形成され、前記アウトリガーに直交する一対のクロスバーと、前記クロスバーの間に一体的に形成されたスライダ接着パッド部とを含むフレクシュアを用意するステップと、
前記フレクシュアの前面に第１の絶縁層を形成するステップと、
前記第１の絶縁層上に、前記フレクシュアのアウトリガーおよびクロスバーに沿って一対の導電層を形成するステップと、
前記導電層上の一部分に第２の絶縁層を形成するステップと、
前記フレクシュアのスライダ接着パッド部に、振動中心を有すると共に縦軸方向に対称性を有するスライダを、前記振動中心が、前記スライダ接着パッド部への固定部の下の実質的に垂直な位置になるように、かつ前記ロードビームの縦軸方向の対称性に合わせて固定するステップと、
前記スライダが実装されたフレクシュアを、前記ベース部において、前記ロードビームの下面に部分的に固定すると共に、前記ロードビームに対して前記固定点から前記ロードビームの縦軸方向に延在するよう配置するステップと
を含むことを特徴とするスライダ実装体の製造方法。
【請求項２０】
前記振動中心の配置により前記スライダはＨＤＩによる衝撃に応答して変位する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項２１】
前記振動中心の位置を、前記スライダ実装のフレクシュアの機械的モデルを用いて計算する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項２２】
前記フレクシュアの質量密度と支配的な振動モードの二乗振幅の乗積を最小化することにより、前記スライダが実装されるフレクシュアの形状および質量の配分を最適化し、ＨＤＩによる蓄えられる振動エネルギーを最小化する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項２３】
前記フレクシュアをステンレススチールにより１５μｍ〜２０μｍの厚みに形成する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項２４】
前記アウトリガーおよびクロスバーのそれぞれの幅を少なくとも０．１ｍｍ、前記ベース部全体の幅を４ｍｍ以下とする
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項２５】
前記第１の絶縁層および第２の絶縁層を、それぞれポリイミドにより５μｍの厚みに形成する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項２６】
前記スライダが実質的に均一な質量密度を有し、局部的な振動振幅の二乗平均を最小化することにより、運動エネルギーの伝達を最小化する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項２７】
前記スライダは不均一な質量密度を有し、局部的な密度と振動振幅との乗積の二乗平均を最小化することにより、運動エネルギーの伝達を最小化する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項２８】
前記フレクシュアを、スポット溶接またはエポキシ接着剤によって前記ロードビームに固着する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項２９】
更に、前記導電層と前記第２の絶縁体層との間に接地層を形成する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項３０】
前記接地層を１０7 〜１０9 Ω・ｃｍの電気抵抗を有する材料により形成する
ことを特徴とする請求項２９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項３１】
前記アウトリガーに、前記クロスバーを超えて縦方向に拡がる延長部を設け、それにより前記スライダ上の振動を低減させる
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項３２】
前記延長部の長さを支配的な振動モードの波長の約１／４倍とする
ことを特徴とする請求項３１記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項３３】
前記アウトリガーの延長部が、前記スライダが稼動していない間、ディスクドライブ内のロード／アンロードランプ上にあるときに、衝撃からスライダを保護する機能を有する
ことを特徴とする請求項３１記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項３４】
前記導電層を、めっき法により前記第１の絶縁層上に形成する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【請求項３５】
前記導電層を、前記第１の絶縁層上に導電材料を堆積しパターニングすることによって形成する
ことを特徴とする請求項１９記載のスライダ実装体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスクドライブ用のスライダを実装したスライダ実装体に係り、特に、ヘッド・ディスク・インタフェース（ＨＤＩ）の激しいニアコンタクト記録方式のディスクドライブに好適なスライダ実装体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ）では、薄いフィルム状の磁気リード／ライトヘッド（スライダ）が用いられ、これにより磁気ディスクからのデータの読み取りや磁気ディスクへのデータの記録を行う。このスライダはエアベアリング面（ＡＢＳ）を有しており、ヘッド・ジンバル・アセンブリ（ＨＧＡ）に実装される。磁気ディスクはスピンドルモータによって高速で回転されるので、流体力学的な圧力がスライダのＡＢＳとディスク表面との間に空気の流れを生ずる。この空気の流れによってスライダはディスクの表面の空気層上に浮上する。ＨＧＡは、このスライダが実装されるフレクシュア（可撓性部材）、およびこのフレクシュアを支持するロードビーム（サスペンション）を含んでいる。フレクシュアは、スライダのＡＢＳを磁気ディスクの表面に実質的に平行にさせる機能を有する。
【０００３】
従来、この種のフレクシュアは、例えばビィレット（Villette） (特許文献１) およびキング（King）( 特許文献２) などに開示されている。また、カーン（Khan）ら（特許文献３）にはジンバルタイプのフレクシュアが開示されている。このようなフレクシュアでは、ピッチ（縦揺れ）や回転のモーメントが作用すると、スライダの浮上高さが変化するということが知られている。また、フレクシュアが半径方向（ディスクのデータトラックに対して横方向）に剛性を有することは、ターゲットトラックへのアクセスの間、リード／ライトヘッドの位置を正確に維持するために必要であることもまた知られている。
【０００４】
そのような剛性の要求はいわゆるワッツラウス（Watrous ）（特許文献４）によるフレクシュアによって達成された。このフレクシュアでは、スライダはフレクシュアの端部側に偏って実装されている。また、フレクシュアは浮上している間に適切なピッチモーメントが必要であるが、「リング−ジンバル」型のフレクシュアはこの目的のために開発されたものである（特許文献１）。
【特許文献１】米国特許公報No. ４，２８０，１５６
【特許文献２】米国特許公報No. ４，３９９，４７６
【特許文献３】米国特許公報No. ５，１１５，３６３
【特許文献４】米国特許公報No. ５，５６８，３３２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように，従来の種々の形態のフレクシュアが提案されているが、いずれにおいても次のような問題が未解決であった。すなわち、記録媒体であるディスクの表面は、完全に平坦ではなく、テクスチャ，うねり，アスペリィティ（隆起）が存在する。一方、スライダは、周回空気圧、衝撃、風の励振、ディスクの形やトラックの接近による振動の影響を受けやすく、そのためスライダの浮上高さは安定しない。それゆえ、スライダとディスク表面との間に一時的な接触、すなわちヘッド・ディスク・インターフェイス（ＨＤＩ）がときおり発生する。このようなＨＤＩが発生すると安定した記録／書き込みを行うことができない。そのため、スライダの浮上高さを安定化させるために、ディスクの表面状態に関わらず、スライダの振動を最小化することのできる適正な可撓性を有するフレクシュアの実現が望まれていた。
【０００６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、ＨＤＩの発生時およびその後においても、スライダの振動を最小化することができ、その浮上高さの変化を抑制し、スライダの動作を安定化することのできるスライダ実装体およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のスライダ実装体は、ハードディスクドライブに用いられるスライダ実装体であって、縦軸に関して対称形状を有すると共に、前記ハードディスクに対向する下面を有するロードビームと、前記ロードビームの下面への固定部を有すると共に、前記固定部から縦軸方向に延在し、かつ互いに横軸方向に分離した一対のアウトリガーと、前記アウトリガーそれぞれの末端に形成されると共に前記アウトリガーに直交する、ねじれ可能な一対のクロスバーと、前記クロスバーの間に一体的に形成されたスライダ接着パッド部とを含むフレクシュアと、を備えている。このスライダ実装体は、更に、前記フレクシュアの表面全体に形成された第１の絶縁層と、前記第１の絶縁層上に前記フレクシュアのアウトリガーおよびクロスバーに沿って形成された一対の導電層と、前記導電層の一部を覆う第２の絶縁層と、前記ロードビームの縦軸方向の対称性に合わせて縦軸方向に対称性を有すると共に、振動中心およびＡＢＳを有し、前記ＡＢＳの反対側の面において前記スライダ接着パッド部の前記第１の絶縁層上に接着されたスライダとを備え、前記スライダの振動中心が、前記スライダの前記スライダ接着パッドへの固着部の直下であって、前記一対のクロスバーの共通の中心軸（横軸）の実質的に直下に存在すると共に、前記ロードビームの底面側に突部を有し、前記突部が前記スライダあるいは前記フレクシュアに接触している、構成を有する。
【０００８】
このスライダ実装体では、スライダは、その振動中心がスライダ接着パッドへの固着部の直下であって、一対のクロスバーの共通の中心軸（横軸）の実質的に直下になるよう、配置されているため、ＨＤＩによりスライダに対して衝撃が発生しても、フレクシュアではクロスバーにおいてピッチ方向のねじれが生じ、一方、アウトリガーでは曲がりが生じてエネルギーを吸収する。そのためフレクシュアに過度の動きを発生させることなく、ディスクの表面に凹凸などの非平坦部があったとしても、スライダは安定した浮上高さを確保しつつ円滑に通過する。
【０００９】
本発明のスライダ実装体の製造方法は、縦軸に関して対称性を有するロードビームを用意するステップと、ベース部と、前記ベース部に一体化されると共に横軸方向に分離し、縦軸方向に延在する一対のアウトリガーと、前記アウトリガーそれぞれの末端に形成され、前記アウトリガーに直交する一対のクロスバーと、前記クロスバーの間に一体的に形成されたスライダ接着パッド部とを含むフレクシュアを用意するステップと、前記フレクシュアの前面に第１の絶縁層を形成するステップと、前記第１の絶縁層上に、前記フレクシュアのアウトリガーおよびクロスバーに沿って一対の導電層を形成するステップと、前記導電層上の一部分に第２の絶縁層を形成するステップと、前記フレクシュアのスライダ接着パッド部に、振動中心を有すると共に縦軸方向に対称性を有するスライダを、前記振動中心が、前記スライダ接着パッド部への固定部の下の実質的に垂直な位置になるように、かつ前記ロードビームの縦軸方向の対称性に合わせて固定するステップと、前記スライダが実装されたフレクシュアを、前記ベース部において、前記ロードビームの下面に部分的に固定すると共に、前記ロードビームに対して前記固定点から前記ロードビームの縦軸方向に延在するよう配置するステップと、を含むものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のスライダ実装体によれば、フレクシュアに対してスライダをその振動中心が適正位置となるように実装すると共に、フレクシュアのクロスバーにピッチ方向のねじれ、アウトリガーに曲がりが生ずるようにしたので、ＨＤＩの発生時においてスライダの振動を最小化でき、よってスライダの浮上高さの変化を抑制し、スライダの動作を安定化することができる。
【００１１】
本発明のスライダ実装体の製造方法によれば、上記スライダ実装体を容易に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
図１（Ａ）は、本発明の一実施の形態に係るスライダ実装体のスライダ実装前の状態をを表すものである。このスライダ実装体は、スライダ（図示せず）が実装されたフレクシュア（可撓性部材）１をロードビーム（サスペンション）１５の下面に取り付けたものである。なお、この図は、スライダが実装されたとき、スライダのＡＢＳをディスク表面側から見上げた図である。
【００１４】
ロードビーム１５は、図１において横方向の縦軸４０に関して対称形状を有しており、その下面（図の表面）がハードディスクに対向している。
【００１５】
フレクシュア１は、略矩形状のベース部１０と、ベース部１０に一体化されると共に横軸（図１の縦軸４０）方向に分離し、縦軸４０方向に延在する一対のアウトリガー３０，３０と、アウトリガー３０，３０それぞれの末端に形成され、アウトリガー３０，３０に直交する一対のクロスバー５０，５０と、クロスバー５０，５０の間に一体的に形成されたスライダ接着パッド部６０とを主たる要素として備えている。このフレクシュア１は、ベース部１０において例えば溶接によりロードビーム１５の下面に固定されると共に、アウトリガー３０，３０がロードビーム１５の縦軸４０に沿うよう配置されている。スライダ接着パッド部６０には開口６１が設けられている。
【００１６】
フレクシュア１は、例えば１５〜２０μｍ程度の可撓性を有する薄いステンレススチールにより形成されており、アウトリガー３０，３０やクロスバー５０，５０などの形状は好ましくはエッチングにより形成される。フレクシュア１は、その平面のいずれの位置に負荷がかかった場合でも柔軟性を持っていることが好ましい。
【００１７】
フレクシュア１の上には絶縁層２００（第１の絶縁層）が形成され（図１（Ｂ））、この絶縁層２００の上には先端にコンタクト部２５５を有する配線（信号線，導電層）２５０が形成されている（図１（Ｃ））。スライダ接着パッド部６０では、配線２５０に比して相対的に薄い接地層２７０が配線２５０を部分的に覆っており、これにより組立時や動作時においてＥＳＤ（静電放電によるダメージ）の発生を防止できるようになっている（図２（Ａ））。接地層２７０は、１０7 〜１０9 Ω・ｃｍの伝導材料と絶縁材料との間の中間の抵抗値を有する材料により形成されているが、その存在によってフレクシュア１に剛性を付与することのない程度の厚みを有し、これによりフレクシュア１の可撓性を保証している。また、導電層２５０および接地層２７０の一部は矩形状の絶縁層２６０（第２の絶縁層）により覆われている。この絶縁層２６０は、スライダ接着パッド部６０全体を覆うものではなく部分的なものであり、それにより導電層２５０、接地層２７０、絶縁層２００，２６０が一体化されていても、フレクシュア１の可撓性を確保している。
【００１８】
スライダ接着パッド部６０にはスライダ３００が接着される（図２（Ｂ））。スライダ３００が実装されたフレクシュア１は、図３に示したように、反転してロードビーム１５の下面に実装される。
【００１９】
配線２５０は、スライダ３００と外部回路間とを電気的に接続させて信号を伝送するだけでなく、フレクシュア１の他の要素とともに、本発明の目的を達成する程度の柔軟性を持たせる機能を有する。
【００２０】
フレクシュア１のベース部１０の幅は約４ｍｍ以下である。ベース部１０は、例えば縦軸４０に対して左右対称に４箇所においてスポット溶接２０によりロードビーム１５に対してしっかりと固着されている。なお、スポット溶接２０に代えて、エポキシ樹脂や他の方法によって固着するようにしてもよい。
【００２１】
一対のアウトリガー３０，３０の幅は、例えば０．１ｍｍ以下であり、それぞれベース部１０から縦軸４０に平行に延在している。一対のクロスバー５０，５０はアウトリガー３０，３０の各先端部から横軸５５に沿って互いに対向するよう延在しており、その幅は、例えば０．１ｍｍであり、ＨＤＩの発生時においてねじれが可能となっている。
【００２２】
スライダ３００が実装されるスライダ接着パッド部６０はこれらクロスバー５０，５０と一体的に形成されると共にクロスバー５０，５０によって支持されている。本実施の形態では、スライダ接着パッド部６０は、クロスバー５０，５０から縦軸４０に対して左右対称に拡幅されている。なお、スライダ接着パッド部６０は、クロスバー５０，５０の横軸５５については左右対称である必要はない。スライダ接着パッド部６０の開口６１は、縦軸４０と横軸５５とが交差する位置に設けられている。
【００２３】
このスライダ接着パッド部６０の開口６１に対向してロードビーム１５の下面には、図３に示したように、突部２１０が設けられている。この突部２１０は動作の中心点として機能するもので、開口６１を介してスライダ３００の背面（ＡＢＳと反対側の面）に直接接触可能となっている。なお、開口６１は必須のものではなく、突部２１０がスライダ接着パッド部６０に接触するような構成としてもよい。
【００２４】
クロスバー５０，５０はピッチ方向のねじれ（横軸５５に対してのねじれ）を生じ易く、一方、アウトリガー３０，３０は同方向への曲がりが生じ易くなっている。それによりスライダ３００がフレクシュア１に過度の動きを発生させることなく、ディスクの表面に凹凸などの非平坦部があっても、スライダ３００は安定した浮上高さを確保しつつ円滑に通過することが可能となっている。
【００２５】
以下、図１（Ａ）〜（Ｃ），図２（Ａ），（Ｂ）を参照して本実施の形態のスライダ実装体の製造工程について説明する。
【００２６】
図１（Ａ）に示した形状を有するフレクシュア１の上に、図１（Ｂ）に示したように、絶縁層２００を形成する。絶縁層２００は例えばポリイミドであり、その厚みは例えば５μｍである。絶縁層２００は開口６１およびキャビィティ１１０を除いてフレクシュア１の表面全体をしっかり覆うようにする。
【００２７】
次に、図１（Ｃ）に示したように、ベース部１０、アウトリガー３０，３０，クロスバー５０，５０およびスライダ接着パッド部６０の絶縁層２００の上に配線２５０のパターンを形成する。配線２５０は、まず例えば銅（Ｃｕ）の真空蒸着法により形成し、そののちめっき法によって作り上げられる。めっきの代わりに銅層を蒸着形成したのち、エッチングにより銅層の不要部分を選択的に除去するようにしてもよい。
【００２８】
配線２５０の一端部は外部回路（図示せず）に電気的に接続される。配線２５０の他端部はコンタクト部２５５を通じてスライダ３００（図２（Ｂ））側に対向して形成されたコンタクト部に対して、例えば金または半田のボールボンディングにより電気的に接続される。配線２５０は電気的接続のためだけでなく、フレクシュア全体の機械的強度を適正に保つ機能も有している。
【００２９】
次に、図２（Ａ）に示したように、スライダ接着パッド部６０上の配線２５０の一部を覆うように接地層２７０を形成すると共に、この接地層２７０を覆うように矩形状の絶縁層２６０（第２の絶縁層）を形成する。絶縁層２６０は例えば５μｍの厚みのポリイミド層とし、例えばポッティング（potting ）法により形成することができる。
【００３０】
絶縁層２６０は、ディスクドライブの製造時において配線２５０が組立ツールに晒される箇所に形成され、配線２５０および接地層２７０を保護する。絶縁層２６０はまた、配線２５０がスライダ基板に接触して電気的短絡および機械的ダメージが発生するのを防止するために、配線２５０の末端上に形成される。
【００３１】
次に、図２（Ｂ）に示したように、スライダ３００をスライダ接着パッド部６０の絶縁体２００の上に接着させると共に、スライダ３００側のコンタクト部（図示せず）をコンタクト部２５５（図２（Ａ）と電気的に接続させる。ここで、スライダ３００のスライダ接着パッド部６０への実装は、その振動中心７０が、スライダ接着パッド部６０への固着点の直下であって、ロードビーム１５の縦軸４０の直下であり、かつクロスバー５０，５０の中心軸（横軸５５）の実質的に直下になるようにする。
【００３２】
図３は、本実施の形態のスライダ実装体の側面構造を模式的に表したもので、フレクシュア１のベース部１０がスポット溶接２０によってロードビーム１５の下面に固定された状態を示している。ここではスポット溶接２０を小円で誇張して記載しているが、実際は無視できる程度に薄い。前述のように、ロードビーム１５の下面には突部２１０が設けられ、この突部２１０はフレクシュア１のスライダ接着パッド部６０に形成された小さな開口６１を通してスライダ３００の背面に接触している。なお、突部２１０は、フレクシュア１の厚み（４０μｍ以下）より高くなるよう、例えば５０μｍとする。突部２１０はスライダ３００の動作の中心点として機能する。なお、この突部２１０は必ずしもスライダ３００に直接に接触する必要はなく、フレクシュア１に接触するようにしてもよい（図４）。
【００３３】
図３では、フレクシュア１はスライダ接着パッド部６０においてわずかに屈曲しており、ベース部１０とスライダ接着パッド部６０との間に垂直方向にオフセットが設けられている。これは本発明に必須のものではなく、図４に示したよう屈曲部を形成することなく、突部２１０がフレクシュア１の表面に接触するような構成としてもよい。
【００３４】
図３に示したように突部２１０をスライダ３００の背面に直接接触させる構成とした場合には、ロードビーム１５の突部２１０とスライダ３００のＡＢＳとの距離がスライダ３００の厚みに相当するものとなり、その距離が短くなる利点がある。突部２１０とＡＢＳとの距離は、流体力学的流れによって生ずるＡＢＳ上の摩擦力によって発生するトルクを生じるモーメントアーム（もしくはレバーアーム）を表しており、この距離が短いとそのトルクを低減でき、システムを安定化させることができる。一方、図４に示したように突部２１０がフレクシュア１の背面に接触するような態様では、構造がシンプルになり、製造が容易となる。なお、図５は、スライダ３００とフレクシュア１との間の配線２５０の一例を表している。この図は厳密には図１および図２とは対応していない。
【００３５】
本実施の形態では、スライダ３００の振動中心の位置を特定することによって、ＨＤＩの発生時において、スライダ３００からフレクシュア１へのエネルギー伝達を最小化できる。以下、図６に示した、スライダ３００とフレクシュア１の単純な機械的モデルを用いて説明する。なお、このモデルの例は図３および図４に示した具体例の側面図とは厳密には同一ではない。
【００３６】
スライダ３００は、このスライダ３００に硬く付着されている全ての材料の慣性と共に、クロスで示した質量中心６５に質量が集中した剛体として扱うことができる。なお、ＨＤＩが発生したとき、その衝撃は、殆どの場合ではスライダ３００とロードビーム１５との間において、突部２１０の接触にずれが生じない程度に穏やかである。そのため、ＨＤＩの発生時のロードビーム１５の実効的な質量は、スライダ３００の、ロードビーム１５の突部２１０を含む垂直線上のクロスで示す一点３３０ａに集中すると考えられる。スライダ３００は振動中心７０を有し、本実施の形態では、この振動中心７０は図２（Ｂ）にも示したようにフレクシュア１のスライダ接着パッド６０へのへの取り付け点の真下にある。そして、この振動中心７０は、ここでは図示しないがフレクシュア１のクロスバー５０，５０の延長線（中心線）とロードビーム１５の縦軸４０とが交差する点の直下にある。スライダ３００のエアベアリング層はハードディスク（図示せず）からスライダ３００の底面（ＡＢＳ）まで延在する質量ゼロのばねとして取り扱うことができる。
【００３７】
このような機械的モデルにおいて、ＨＤＩが発生している間においては、通常は矢印５００で示したようにスライダ３００のトレーリングエッジ（trailing edge)に衝撃が発生する。その衝撃によってスライダ３００には回転（矢印６００）や垂直移動（矢印７００）の運動の組み合わせが発生する。このときスライダ３００の振動中心７０は変位することはない。図６には示されていないが、スライダ３００が実装されたフレクシュア１は、ＨＤＩが発生すると、スライダ３００の応答によって種々の機械的モードうちのあるモードで振動する。特に、フレクシュア１のスライダ３００に接触している部分は、スライダ３００の動きによって振動し始める。具体的には、フレクシュア１には、スライダ３００が固着された部分の変位（translation)あるいは回転によって、波（振動の動き）が発生する。スライダ３００は剛体であるので、その回転は一定であるが、スライダ３００の変位はフレクシュア１への固着点に依存する。本実施の形態では、スライダ３００のフレクシュア１への接着点がスライダ３００の振動中心７０に対向するよう、その位置関係を設定しているので、フレクシュア１へのエネルギー伝達を最小限にすることができる。
【００３８】
フレクシュア１のスライダ３００側の端部は振動するが、ベース部１０は相対的に大きなロードビーム１５に固着されているため固定状態を保持している。フレクシュア１に蓄えられるエネルギーは振動モードに依存する。質量中心６５，振動中心７０の位置に関わらず、フレクシュア１に蓄えられるエネルギーは、その振動モードの局部振幅の二乗に比例する。フレクシュア１が均一であるとすると、フレクシュア１の全体に蓄えられたエネルギーを最小限にするためには、そのモードの形を局部振動の２乗平均が最小になるように最適化する必要がある。フレクシュア１の全体が均一でなければ、局部密度によって重み付けした局部振幅の二乗平均を最小化すれはよい。
【００３９】
本実施の形態のフレクシュア１は、図１に示したように互いに垂直の位置関係にある２つの主たる要素を有する。フレクシュア１のクロスバー５０，５０はスライダ３００の振動軸に沿って整列した可撓性部材である。スライダ３００の変位しない振動中心７０と同軸上にあるため、クロスバー５０，５０には振動のねじりモードのみが発生する。アウトリガー３０，３０には曲げモードが発生し、そのため変位が発生する。クロスバー５０，５０およびアウトリガー３０，３０はともにその形状によってＨＤＩに適合するために必要なピッチ方向での可撓性を持たせる機能を有している。なお、ピッチ方向に可撓性を持たせるためにクロスバー５０，５０に要求されるエネルギーはアウトリガー３０，３０のそれに比べて少ない。クロスバー５０，５０では、さほどエネルギーを必要とすることなく、ＨＤＩの発生により生じたピッチ（縦振動）への応答に対する負担の大部分を担うことができるので、殆どのねじれを吸収する。
【００４０】
これに対して、前述の先行技術では、本発明の目的は達し得ない。例えば、ヴィレット（特許文献１）は、二対のクロスバーを有する。クロスバーの一方の対はスライダのトレーリングエッジに沿って整列しており、それゆえ変位に追随する。もう一方の対は振動中心の近傍に配置されているように見えるが、このクロスバーの対は可撓性のリングに付着され、スライダの両方の先端に順番に結合されている。ヴィレットではスライダが衝撃に晒されたときにリングが振動する。それゆえ、このクロスバーの対は振動中心の近傍にあるにも関わらず、振動によって変位が生ずる。キング（特許文献２）には、３つのグループからなるクロスバーを有している。真ん中の対の２つは、質量中心に沿って配置されているが、スライダの振動中心に対向してはいない。このペアは短く硬すぎる。また、前述の大部分の先行技術のフレクシュアは、ねじれのみを生ずるクロスバー上に実質的に多くの振動を生ずる部材が存在する。
【００４１】
先行技術の大部分では、信号線（導電層）は全て省略されているか、その存在によってフレクシュアが可撓性を損なっていると推測される。それゆえ、従来ではフレクシュアは信号層を機械的に考慮して単純に設計されており、信号線が存在することによって、静的ピッチ（縦揺れ）および静的ロール（横揺れ）に対する剛性が付与されている。フレクシュア振動エネルギーに対する信号線の寄与は、フレクシュアを構成するステンレススチールのそれに相当するか、あるいはそれ以上かも知れない。
【００４２】
本実施の形態では、信号線（配線２５０）は機械的構造に不可欠な要素として設計されている。図１および図２に示したように、アウトリガー３０，３０およびクロスバー５０，５０は、電気的接合のための経路を形成するために最初に配列され、それから１つもしくはそれ以上の絶縁層によって保護されている。接地層２７０は必要に応じて形成される。配線２５０はアウトリガー３０，３０およびクロスバー５０，５０の上に形成される。そのため、アウトリガー３０，３０およびクロスバー５０，５０は複数の信号線および機械的な動きに寄与する複数の絶縁層を含んでいる。
【００４３】
ステンレススチール（フレクシュア）の層には、密度や剛性を減少させるために、開口（窓）が形成されるが、組み立ての間にＥＳＤを防ぐため、すなわち接地を容易にするために電気的に連続的であることが好ましい。第１の絶縁層２００は、配線２５０および接地層２７０をスライダ基板から離間させ、組立工程において、外部物体から保護するために必要である。配線２５０および接地層２７０の絶縁分離が確保できているならば、これら配線２５０と接地層２７０との間の電気容量を削減するために、絶縁層２００、２６０は省略してもよく、あるいは絶縁層２００、２６０を格子パターンに形成するようにしてもよい。
【００４４】
なお、ＨＤＩによる衝撃は、摩擦があるために、必ずしもディスク表面に対して垂直に作用するものではない。また、スライダ３００の振動中心７０というのは、本実施の形態のように、フレクシュア１の一部を構成し、実質的に質量を持つ付加材料を含めてのスライダ３００の振動中心を意味している。その付加材料の実質的な質量は、ディジタルコンピュータでなければ見積もることは難しい。しかし、ＡＮＳＹＳのような商用の数値シミュレーションプログラムをもってすれば、真の振動中心を容易に特定することができる。ＨＤＩによる衝撃がスライダ３００に生じても横軸５５では変位が生じない。
【００４５】
以上のように本実施の形態のスライダ実装体では、ＨＤＩ時のスライダ３００への衝撃を効果的に吸収し、運動エネルギーの伝達を最小限とし、フレクシュア１の変位を最小化することができるので、スライダ３００はディスクの凹凸上を円滑に移動することができ、スライダ３００の安定した動作を確保することができる。その結果、スライダ３００およびディスク双方の磨耗を最小限に抑えることができる。また、ＨＤＩののちの減衰中においても、スライダ３００の浮上高さを維持することができる。
【００４６】
次に、図７は本実施の形態の変形例に係るフレクシュア１の平面構成を表したものである。１またはそれ以上のＨＤＩによる衝撃の後、フレクシュアの振動モードは定常波となる。この場合、スライダ３００は周期的な力の影響を受けやすくなり、そのため浮上高さが変化して、次には付加的なＨＤＩの状態を招くおそれがある。
【００４７】
本実施の形態では、アウトリガー３０，３０に、クロスバー５０，５０およびスライダ接着パッド部６０を超えて延在する延長部３５，３５を設けたものであり、これら延長部３５，３５によって上記不要な振動の発生を抑制する。なお、延長部３５，３５の中心には、図では開口が形成されていないが、開口を形成するようにしてもよい。
【００４８】
延長部３５，３５は、特に振動を抑制するための動力吸収体に似ているが、それらは「エンド共鳴」と言われる異なる原理で作用する。延長部３５，３５長さは、振動の基本モードの波長の１／４倍である。動的吸収体と異なり、延長部３５，３５では、抑制したい振動数を正確に調整する必要はない。これら延長部３５，３５の横軸５５方向の幅はアウトリガー３０，３０のそれと同じであるが、異なっていてもよい。
【００４９】
延長部３５，３５はその他の目的、例えばスライダ３００が稼動していない間、ディスクドライブ内のロード／アンロードランプ上にあるときに、衝撃からスライダを保護する目的で用いることができる。
【００５０】
図８は本実施の形態の更に他の変形例を表すものである。本変形励では、フレクシュア１は、図１〜図３とは幾何学的に異なる形状のスライダ接着パッド部６０Ａを有している。スライダの接着パッド部６０Ａ内には図１に示したような開口６１は存在しない。よって、ロードバー１５の突部２１０（図３）はスライダ３００ではなく、スライダ接着パッド部６０Ａの背面に接触する。
【００５１】
図７および図８の変形例において、他の構成および条件等は上記実施の形態と同様であり、それに伴う作用効果も同じであるので、その説明は省略する。
【００５２】
なお、本発明は上記実施の形態および変形例に限定されるものではなく、種々変形可能である。例えば、スライダ接着パッド部の形状は他の形状のものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施の形態に係るスライダ実装体のスライダを実装する前のフレクシュアの構成をディスク側から上向きに見た状態、および製作過程を説明するための図である。
【図２】図１に続く製作過程を説明するための図である。
【図３】スライダの実装状態を説明するための側面図である。
【図４】スライダの他の実装状態を説明するための側面図である。
【図５】スライダとフレクシュアとの間の配線の一例を表す図である。
【図６】図１のスライダ実装体の効果を説明するための機械的モデルを示した図である。
【図７】本発明の変形例に係るフレクシュアの構成図である。
【図８】本発明の他の変形例に係るフレクシュアの構成図である。
【符号の説明】
【００５４】
１…フレクシュア、１０…ベース部、１５…ロードビーム、２０…スポット溶接部、３０…アウトリガー、３５…延長部、４０…縦軸（左右対称軸）、５０…クロスバー、５５…横軸、６０…スライダ接着パッド部、６１…開口、６５…質量中心、７０…振動中心、１１０…キャビティ、２００…第１の絶縁層、２１０…突部、２５０…配線（導電層）、２５５…コンタクト部、２６０…第２の絶縁層、２７０…接地層、３００…スライダ、５００…衝撃、６００…回転、７００…垂直変位。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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