(57)【要約】【課題】  被検査物の外観検査、特に外形が円形である被検査物の長さ寸法及び各端面の表面粗さなど複数の外観検査を一回の操作の中で同時に行えるようにして、検査方法の簡素化と検査時間の短縮を図れるようにした外観検査装置を提供することである。【解決手段】  本発明の外観検査装置は、円筒管１を定位置で回転させる駆動手段２と、前記円筒管１の軸方向の両側に配置され、前記円筒管１の両端面４にそれぞれレーザ光を照射しその反射光を検出する一対の変位計３と、前記変位計３から得られた各端面４の変位に基づいて円筒管１の長さ寸法、端面４の表面粗さ及び端面４の面取り部７ａ，７ｂを検査する制御装置５とを備える。【選択図】      図２
2007010336.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外形が円形をした被検査物の両端面に円周方向に沿ってレーザ光を照射し、各端面からの反射光を検出して各端面の変位を求め、この変位値に基づいて被検査物の長さ寸法及び端面の表面粗さを検査することを特徴とする外観検査方法。
【請求項２】
外形が円形をした被検査物の両端面に円周方向に沿ってレーザ光を照射すると共に、被検査物の両端面の周縁部に直径方向に沿ってレーザ光を照射し、各端面からの反射光を検出して各端面の変位を求め、この変位値に基づいて被検査物の長さ寸法、端面の表面粗さ及び端面形状を検査することを特徴とする外観検査方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の外観検査方法において、前記被検査物が円筒体又は円柱体であることを特徴とする外観検査方法。
【請求項４】
請求項１又は２記載の外観検査方法において、前記被検査物を回転させながら両端面にレーザ光を照射することを特徴とする外観検査方法。
【請求項５】
請求項２記載の外観検査方法において、前記被検査物の両端面の周縁部に直径方向にレーザ光を移動させながら照射することを特徴とする外観検査方法。
【請求項６】
請求項２記載の外観検査方法において、前記被検査物の端面形状が端面の周縁部に形成された面取り部の形状であることを特徴とする外観検査方法。
【請求項７】
請求項１又は２記載の外観検査方法において、レーザ光の照射によって求められた各端面の変位と予め設定された公差とを比較することで被検査物の良否を判定することを特徴とする外観検査方法。
【請求項８】
外形が円形をした被検査物を定位置で回転させる駆動手段と、
前記被検査物の軸方向の両側に配置され、前記被検査物の両端面にそれぞれレーザ光を照射しその反射光を検出する一対の変位計と、
前記変位計から得られた各端面の変位に基づいて被検査物の長さ寸法及び端面の表面粗さを検査する検査手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項９】
外形が円形をした被検査物を定位置で回転させる駆動手段と、
前記被検査物の軸方向の両側に配置され、前記被検査物の両端面にそれぞれレーザ光を照射しその反射光を検出する一対の変位計と、
前記変位計から得られた各端面の変位に基づいて被検査物の長さ寸法、端面の表面粗さ及び端面形状を検査する検査手段とを備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項１０】
請求項８又は９記載の外観検査装置において、前記検査手段が、前記変位計から得られた各端面の変位と、予め設定された公差とを比較して被検査物の良否を判定する比較判定回路を備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項１１】
請求項９記載の外観検査装置において、前記変位計は被検査物の直径方向に移動可能に設置されていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項１２】
請求項８又は９記載の外観検査装置において、被検査物を定位置に供給するためのフィーダが、円弧状の載置面を有することを特徴とする外観検査装置。
【請求項１３】
請求項１２記載の外観検査装置において、フィーダが半円筒状のハーフパイプによって形成されていることを特徴とする外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円筒体や円柱体など外形が円形である被検査物の長さ寸法や端面の表面粗さなどを検査するための外観検査方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来この種の外観検査方法としては、例えば、円筒体の表面に光ビームを照射し、その反射光を光センサで検出し、その光センサの出力を演算回路により基準値と比較することにより円筒体の寸法を測定する方法が知られている（特許文献１）。また、直進又は回動する基板に、その一方の端面外部から他方の端面外側まで光ビームを走査させ、基板の表面及び端面から反射する反射光を受光センサで受光し、受光センサからの出力信号を処理することで基板表面や端面の欠陥を検査する方法も知られている（特許文献２）。
【０００３】
しかしながら、上記のように光ビームを利用した外観検査方法については既に知られているが、これらの検査方法では検査する項目が一つに限られているため、例えば円筒体の寸法測定と端面の欠陥について外観検査しようとする場合には別々に検査しなければならず、面倒であると共に検査時間が掛かってしまうという問題があった。
【特許文献１】特開２００１−２５５１１９
【特許文献２】特開２００２−１８１７１７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、被検査物の外観検査、特に外形が円形である被検査物の長さ寸法及び各端面の表面粗さなど複数の外観検査を一回の操作の中で同時に行えるようにして、検査方法の簡素化と検査時間の短縮を図れるようにした外観検査方法及びその装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
かかる目的を達成するために、本発明に係る外観検査方法は、外形が円形をした被検査物の両端面に円周方向に沿ってレーザ光を照射し、各端面からの反射光を検出して各端面の変位を求め、この変位値に基づいて被検査物の長さ寸法及び端面の表面粗さを検査することを特徴とする。
【０００６】
また、本発明に係る他の外観検査方法は、外形が円形をした被検査物の両端面に円周方向に沿ってレーザ光を照射すると共に、被検査物の両端面の周縁部に直径方向に沿ってレーザ光を照射し、各端面からの反射光を検出して各端面の変位を求め、この変位値に基づいて被検査物の長さ寸法、端面の表面粗さ及び端面形状を検査することを特徴とする。
【０００７】
また、本発明に係る外観検査装置は、外形が円形をした被検査物を定位置で回転させる駆動手段と、前記被検査物の軸方向の両側に配置され、前記被検査物の両端面にそれぞれレーザ光を照射しその反射光を検出する一対の変位計と、前記変位計から得られた各端面の変位値に基づいて被検査物の長さ寸法及び端面の表面粗さを検査する検査手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る他の外観検査装置は、外形が円形をした被検査物を定位置で回転させる駆動手段と、前記被検査物の軸方向の両側に配置され、前記被検査物の両端面にそれぞれレーザ光を照射しその反射光を検出する一対の変位計と、前記変位計から得られた各端面の変位値に基づいて被検査物の長さ寸法、端面の表面粗さ及び端面形状を検査する検査手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の外観検査方法は、被検査物の外観検査、特に外形が円形である被検査物の長さ寸法及び各端面の表面粗さなど複数の外観検査を一回の操作で行うことができるので、検査方法の簡素化と検査時間の短縮が図れるようになった。
【００１０】
また、本発明の外観検査装置は、上記外観検査方法を極めて簡易な手段で実行することができるといった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付図面に基づいて、本発明に係る外観検査方法及びその装置の実施形態を詳細に説明する。図１乃至図４には本発明に係る外観検査装置の主要部である検査ユニットが示されている。この検査ユニットは、外形が円形をした被検査物（この例では円筒管１）を定位置で回転させる駆動手段２と、前記円筒管１の軸方向の両側に配置される一対の変位計３と、この変位計３から得られた円筒管１の各端面４の変位データに基づいて円筒管１の長さ寸法及び端面４の表面粗さ等が予め設定された検査条件に合致するか否かを比較判定する検査手段としての制御装置５とを備える。
【００１２】
前記円筒管１は、前記検査ユニットにセットされる前工程において、所定の形状に加工される。例えば、長い棒状の円筒管素材を所定寸法ごとに切断し、その切断した円筒管１の端面４をバイトによって切削して端面４の外周縁及び筒孔６の内周縁に面取り部７ａ，７ｂを形成したものである。このように加工された円筒管１は、例えば図３及び図４に示したようなワーク供給部１０を介して検査ユニットに供給される。ワーク供給部１０ではは、半円筒状のハーフパイプで形成されたフィーダ１１によって円筒管１を漸次移動し、フィーダ１１から繰り出し部１２に一個ずつ送り出す。繰り出し部１２は、上下２段の載置部１３，１４を備え、前記フィーダ１１の先端から下段の載置部１３に送り出された円筒管１は規制板１５に当たって位置決めされた後、上段の載置部１４に繰り出される。上段の載置部１４ではその脇に配置されたエアー噴射装置１６から円筒管１の筒孔６に向けてエアーが噴射され、筒孔６の内周面や両端面４に付着しているバイト滓が吹き飛ばされる。その後、円筒管１は上段の載置部１４から前記検査ユニットに繰り出され、所定位置にセットされて検査が開始される。なお、前記フィーダ１１はハーフパイプによって形成されているために、円筒管１を整列させながら漸次移動させることができる。即ち、フィーダ１１のワーク載置面１７が円弧状に形成されているために、円筒管１はワーク載置面１７の最下点１７ａで安定した姿勢をとり、図４に示されるように、フィーダ１１上の円筒管１は左右方向の位置ズレがほとんどない状態で整列される。なお、フィーダ１１は、ワーク載置面１７が円弧状に形成されていれば、この実施形態のようなハーフパイプである必要はない。
【００１３】
検査ユニットでは、円筒管１の長さ寸法が所定の許容範囲内に入っているかどうか、また、円筒管１の端面４の表面粗さが所定の粗さ以下であるかどうか、さらには端面４に形成した面取り部７ａ，７ｂの大きさが所定の許容範囲内にあるかどうかなどを検査する。前記制御装置５は変位計３でサンプリングした形状データを処理して変位値を演算し、この変位値が予め入力してある検査条件としての公差内にあるかどうかを比較して良否を判定する比較判定回路を備える他、検査条件などを設定するためのコントロールパネルや表示パネルなどを備えている。
【００１４】
前記円筒管１を定位置で回転させるための駆動手段２は、円筒管１が検査ユニットにセットされた時に円筒管１の下面２箇所を支持する一対の下部ローラ２０ａ，２０ｂと、一方の下部ローラ２０ａに回転力を付与するモータ２１と、円筒管１の上面１箇所を支持する上部ローラ２２とを備える。前記下部ローラ２０ａ，２０ｂは、前記繰り出し部１２から繰り出された円筒管１を検査ユニットに導くための傾斜ガイド板２３の下側に配置され、その一部が傾斜ガイド板２３に開設された孔部２４から上方に突出している。一方、上部ローラ２２は、下部ローラ２０ａ，２０ｂに支持された円筒管１の鉛直線上に位置し、回転時には円筒管１の最上点に接触する。上部ローラ２２は両端部がホルダ２７によって支持され、また、ホルダ２７には上部ローラ２２を上下動するリフト装置の腕部２８が連結されている。このように、円筒管１は回転時には一対の下部ローラ２０ａ，２０ｂ及び上部ローラ２２で三点支持されるが、更に、円筒管１を確実に支持するために、孔部２４の前端上方には上下動可能なストッパ板２５が配置されている。このストッパ板２５は、円筒管１の検査時には孔部２４の近傍位置まで下降し、円筒管１の前方近傍を遮蔽することで円筒管１が上記ローラ２０，２０ｂ、２２から外れるのを防止する。
【００１５】
したがって、前記繰り出し部１２から傾斜ガイド板２３の上面に繰り出された円筒管１は、手前側の下部ローラ２０ｂを乗り越え、図１及び図３に示したように、一対の下部ローラ２０ａ，２０ｂの間に載置される。次いで、上部ローラ２２が下降して円筒管１の最上部に接触する。このようにして、円筒管１は下部ローラ２０ａ，２０ｂと上部ローラ２２とによって支持されると共に、ストッパ板２５が定位置まで下降する。次いで、モータ２１の駆動によって下部ローラ２０ａが回転し、円筒管１に回転力が付与される。円筒管１から他方の下部ローラ２０ｂ及び上部ローラ２２に回転力が付与されることで、円筒管１には安定した回転が得られる。このようにして、円筒管１は。検査時には図３に矢印で示した方向に一定スピードで回転し続ける。なお、図３図において、符号２９は検査終了後に円筒管１を下部ローラ２０ａ，２０ｂの間から排出するための突き上げ棒である。
【００１６】
前記円筒管１の軸方向の両側には、前記円筒管１の両方の端面４にそれぞれレーザ光を照射しその反射光を検出する一対の変位計３が配置される。この変位計３は、円筒管１の各端面４に対向する面にそれぞれ投光部３０と受光部３１とを備えており、投光部３０から円筒管１の端面４に向けてレーザ光を照射すると共に、各端面４から受光部３１に戻ってくる反射光を検出して各端面の変位を求めるものである。また、この変位計３は、図２に示したように、左右方向（Ａ方向）及び上下方向（Ｂ方向）に移動可能となるよう設置されている。変位計３は、円筒管１の長さに応じて左右方向に調整され、円筒管１の太さに応じて上下方向に調整される。また、円筒管１の端面４に形成された面取り部７ａ，７ｂの形状を検査する際には変位計３を上下方向に移動させながら検出する。
【００１７】
次に、図５に基づいて、前記変位計３の検出原理を簡単に説明する。この図に示されるように、変位計３の検出原理は、変位計３の投光部３０から射出するレーザ光３２を被検査体３４に照射し、その時に戻ってくる反射光３３を受光部３１で検出するものである。先ず、被検査体３４を基準位置Ｐ１で検査した時の受光部３１での受光位置をＱ１とする。次に、被検査体３４が基準位置Ｐ１からＰ２に変位した時の受光部３１での受光位置をＱ２する。このように、被検査体３４が基準位置Ｐ１からＰ２に変位したことに対応して受光部２１では受光位置がＱ１からＱ２に距離ｂだけずれて検出されるので、このずれ量ｂに基づいて被検査体２４の基準位置Ｐ１からＰ２への変位量ａを求めることができる。そして、ここで求めた変位量ａと予め設定された検査条件としての公差とを比較し、前記変位量ａが検査条件の公差内、即ち許容された変位量の範囲内にあるかどうかの判定が行われる。
【００１８】
図６は上述した変位計３の検出原理に基づいて、円筒管１の長さ寸法を検査する場合を示したものである。Ｌ１は左右に配設された変位計３の間の距離を示し、Ｌ２は予め設定された円筒管１の基準長さ寸法を示す。各変位計３と円筒管１の各端面４までの距離をｌ１，ｌ２とする。各変位計３は固定しておき、円筒体１を定位置で回転させながらレーザ光３２を円筒管１の端面４に照射し、円筒管１を一回転させたときの端面形状のデータをサンプリングする。端面４に照射するレーザ光３２の位置は特に制約を受けないが、好ましくは端面４の中心付近である。また、サンプリングの回数は適宜である。そして、このサンプリングした形状データを処理して変位量を演算し、その変位量が予め設定してある公差内にあるかどうかを比較し、公差内にあれば円筒管１の基準長さ寸法Ｌ２の許容範囲内にあるとして良品として判定され、逆に公差外であれば円筒管１の基準長さ寸法Ｌ２より長すぎるか又は短すぎるとして不良品として判定される。具体的にはサンプリングした複数の測長データから測長の平均値を求め、この測長平均値と基準長さ寸法Ｌ２との差分が予め入力した公差の範囲内にあるか否かで判定する。なお、円筒管１を回転させながら測定するために、円筒管１が左右方向に多少横ぶれする恐れがあるが、それに伴う変位を左右の変位計３が相対的な変位として検出するために、その変位を相殺する補正回路を設けることで対応することができる。
【００１９】
また、前記でサンプリングした円筒管１の端面形状のデータに基づいて、端面４の表面粗さについての検査も同時に行うことができる。即ち、円筒管１の端面４に凹凸があった場合、それらは変位計３で測定した時の変位量として検出されるので、これらの変位量が予め設定されている検査条件の公差内にあるかどうかを比較し、公差内にあれば端面４が平滑であるとして判定される。具体的には前記複数の測長データの各々が予め入力した公差の範囲内に入っている割合（％）で判定する。この割合は、製品に求める精度との関係で個別に設定することができる。また、前記表面粗さの公差の許容値も、製品に求める精度との関係で、前記長さ寸法の公差の許容値と同一範囲とすることも、異なる範囲とすることもできる。端面４の表面粗さの検査は、円筒管１の端面４全体について形状データをサンプリングする必要はない。図７（ａ）にレーザ光の軌跡Ｔ１で示したように、円筒管１の端面４の中心付近を一周サンプリングすることで端面４の全体傾向が分かるので、上記の検査方法で判定しても実質上は問題がない。勿論、図７（ｂ）にレーザ光の軌跡Ｔ２で示したように、端面４の内側付近から外側付近に螺旋を描くようにして形状データをサンプリングしてもよい。
【００２０】
図８は円筒管１の端面４の外周縁および内周縁に形成された一対の面取り部７ａ，７ｂの形状検査について説明したものである。図８に示される外周縁の面取り部７ａの検査では、面取り部７ａの所定角度θが正確に出ているか否かを、面取り部７ａの深さ寸法ｄを測定することで判定している。この場合には円筒管１の回転を停止した状態で変位計３を端面４と平行に円筒管１の外側に向かって移動させ、面取り部７ａの形状データをサンプリングし、そのサンプリングした形状データを処理して変位を演算し、その変位量と予め設定してある検査条件としての公差とを比較し、変位が公差内にあれば面取り部７ａの深さが適正であり、結局面取り部７ａの所定角度θが正確に出ているとして判定される。前記面取り部７ａ，７ｂは、チャックした円筒管１にバイトを当てて円筒管１を回転させながら一定角度で切削して形成するために、全周に亘ってほぼ一定の角度で面取りされる。したがって、上述したように、一箇所を検査すれば面取り部７ａ，７ｂの全体の傾向が分かるので、実質上は上記の検査方法で問題がない。なお、内周縁の面取り部７ｂの検査も同様の手段で行うことができる。
【００２１】
図９は上述した外観検査装置を用いて円筒管１の端面４の形状を検査する場合のフローチャートを示したものである。先ず、外観検査装置の電源を投入して装置を初期化した後、検査条件を入力する。この検査条件は円筒管１の長さ寸法の公差、端面４の表面凹凸寸法の公差、端面４の外周縁及び内周縁に形成される面取り部７ａ，７ｂの深さ寸法の公差などである。次いで、変位計３を検査開始位置に移動したのち、前記検査条件の追加もしくは変更等があればメニュー操作を行う。前記の検査開始位置は、例えば円筒管１の筒孔６内において面取り部７ｂに近い位置に設定される。
【００２２】
次に、シーケンサから円筒管１の位置決め信号が入ることで変位計３が前記検査開始位置から円筒管１の端面４の中心位置（図６において符号Ｓで示した位置）に向かって移動を開始する。その際、円筒管１は検査ユニットの所定位置で駆動手段２（駆動ローラ２及び従動ローラ１２ａ，１２ｂ）とストッパ板１５によって位置決めされているが、回転を停止した状態で検査される。変位計３の移動に伴って円筒管１の面取り部７ａの形状データをサンプリングし、その形状データを処理して面取り部形状の変位を演算する。そして、その変位値が検査条件として入力した公差内にあるかどうかの比較を行い、公差内であれば次の検査に進み、公差から外れている場合には不良品であると判定して不良信号を出力し、図９中（イ）の位置に戻る。その際、不良信号の出力に基づいて検査ユニットの上部ローラ２２を円筒管１から離間すると共に、ストッパ板２５を引き上げ、さらに突き上げ棒２９で円筒管１を押し上げて下部ローラ２０ａを乗り越えさせ、傾斜ガイド板２３上に転がり落とす。転がり落ちた円筒管１は不良品として回収される。
【００２３】
前記検査をパスした円筒管１には駆動手段２によって回転力が付与される。変位計３は、定位置で回転する円筒管１の端面４のほぼ中心位置を照射しながら円周上に沿って一周分の形状データのサンプリングし、その形状データを処理して端面４の凹凸形状の変位を演算する。そして、前記と同様、その変位値が検査条件として入力した公差内にあるかどうかの比較を行い、公差内であれば次の検査に進み、公差から外れている場合には不良品であると判定して不良信号を出力し再び（イ）の位置に戻る。ここでの判定は、円筒管１の長さ寸法が所定の公差内に収まっているかどうか、端面４の表面粗さが所定の公差内に収まっているかどうかの２項目について行うことになる。いずれか一方が公差内であっても、他方が外れていれば不良品として判定される。
【００２４】
次の検査では、モータ２１を停止して円筒管１の回転を止めた状態で行う。その状態で変位計３を円筒管１の端面４の中心位置から外側に向けて移動させ、端面４の外周縁に形成された面取り部７ａの形状を検査する。内周縁の面取り部７ｂと同様、面取り部７ａの形状データをサンプリングすると共に、その形状データを処理して面取り部形状の変位を演算する。そして、その変位値が検査条件として入力した公差内にあるか否かの比較を行い、そのデータが検査条件の公差内にあるか否かの判定を行い、公差内にあれば良品信号を出力し、公差から外れていれば不良品信号を出力する。この検査で一つの円筒管１に対する一連の検査が終了するので、良品信号及び不良信号のいずれを問わずフローチャートの（イ）の位置に戻る。また、検査の終わった円筒管１は、上記と同様、上部ローラ２２が離間され、ストッパ板２５が引き上げられると共に突き上げ棒２９によって下部ローラ２０ａを乗り越え、傾斜ガイド板２３から転がり落ちて良品と不良品とに仕分けられる。
【００２５】
なお、上記の実施形態では円筒管１の検査方法について説明したが、本発明は円柱状のワークについても同様の検査を行うことができる。また、上記の実施形態では端面形状として面取り部の形状について説明したが、本発明は面取り部に限定されないことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る外観検査装置の検査ユニットを示す斜視図である。
【図２】上記検査ユニットの正面図である。
【図３】本発明に係る外観検査装置の側面図である。
【図４】本発明に係る外観検査装置のワーク供給部を示す平面図である。
【図５】本発明に係る外観検査方法の変位計による検出原理を示す説明図である。
【図６】本発明に係る外観検査方法を示す概念図である。
【図７】円筒管の端面におけるレーザ光の軌跡を示す説明図である。
【図８】本発明に係る外観検査方法において円筒管の面取り部の検査方法を示す概念図である。
【図９】本発明に係る外観検査方法のフローチャート図である。
【符号の説明】
【００２７】
１  円筒管
２  駆動手段
３  変位計
４  端面
５  制御装置（検査手段）
７ａ，７ｂ  面取り部
１１  フィーダ
１７  ワーク載置面
２０ａ，２０ｂ  下部ローラ
２２  上部ローラ
２５  ストッパ板
３０  投光部
３１  受光部
３２  レーザ光
３３  反射光
【図１】
2007010336.tif 000003
【図２】
2007010336.tif 000004
【図３】
2007010336.tif 000005
【図４】
2007010336.tif 000006
【図５】
2007010336.tif 000007
【図６】
2007010336.tif 000008
【図７】
2007010336.tif 000009
【図８】
2007010336.tif 000010
【図９】
2007010336.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月21日(2005.7.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2007010336.tif 000012
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2007010336.tif 000013
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2007010336.tif 000014
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2007010336.tif 000015
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2007010336.tif 000016
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2007010336.tif 000017
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2007010336.tif 000018
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2007010336.tif 000019