(57)【要約】【課題】ロータリアクチュエータの薄型化を達成する。【解決手段】アクチュエータ本体１１には、ピニオン２２に噛み合うラック２０，２１が往復動自在に組み付けられる。また、アクチュエータ本体１１には環状の外輪部材３７が固定されており、この外輪部材３７の内側には、内輪部３９、ピニオン２２およびテーブル１２を一体に備える回動部材３５が配置されている。さらに、外輪部材３７と内輪部３９には軌道溝３７ａ，３９ａが形成され、対向する軌道溝３７ａ，３９ａの間に複数の転動体４０が組み込まれる。このように、アクチュエータ本体１１に固定される外輪部材３７によって、直接的に回動部材３５を支持するようにしたので、テーブル１２とピニオン２２との間に独立した軸受を組み込む必要がなく、ロータリアクチュエータ１０の薄型化を達成することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラックが往復動自在に組み込まれるアクチュエータ本体と、
前記アクチュエータ本体に組み付けられる外輪部材に、転動体を介して回転自在に支持される回動部材とを有し、
前記回動部材は、前記転動体に転がり接触する内輪部と、前記内輪部に一体に形成されて前記ラックに噛み合うピニオンと、前記内輪部に一体に形成されて回動力を出力するテーブルとを備えることを特徴とするロータリアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のロータリアクチュエータにおいて、前記アクチュエータ本体に形成されるシリンダ室に往復動自在に収容されるピストンを有し、前記ピストンによって前記ラックが駆動されることを特徴とするロータリアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２記載のロータリアクチュエータにおいて、前記外輪部材、前記転動体および前記回動部材により、クロスローラ軸受が形成されることを特徴とするロータリアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のロータリアクチュエータにおいて、前記回動部材には軸方向に延びる貫通孔が形成されることを特徴とするロータリアクチュエータ。
【請求項５】
請求項４記載のロータリアクチュエータにおいて、前記回動部材のテーブルには吸着具が取り付けられ、前記吸着具には前記貫通孔を介して真空供給源に接続される真空供給孔が設けられていることを特徴とするロータリアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テーブルを回動させるようにしたロータリアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
空気などの作動流体によって駆動されるロータリアクチュエータには、円筒形のハウジング内に収められた回転軸にベーンを組み付け、ハウジングに作動流体を供給して回転軸を回転させるようにしたベーン型のロータリアクチュエータや、シリンダ室に対する作動流体の供給によって作動するピストンの直線運動を、変換機構によって回転運動に変換するようにしたピストン型のロータリアクチュエータなどがある。
【０００３】
また、ピストン型のロータリアクチュエータには、直線運動を回転運動に変換する機構として、ラックおよびピニオンを組み込むようにしたラックピニオン型のロータリアクチュエータがある(たとえば、特許文献１参照)。このラックピニオン型のロータリアクチュエータは、作動流体の漏れ箇所が少なく長時間の位置保持に適していることなどから、様々な用途に幅広く用いられている。
【０００４】
ラックピニオン型のロータリアクチュエータは、並列となった２つのシリンダ室を有しており、それぞれのシリンダ室に対してピストンが往復動自在に収容されている。また、それぞれのピストンにはラックが設けられており、対面するラック間には双方のラックに噛み合うピニオンが設けられている。そして、双方のシリンダ室に対して交互に作動流体を供給し、それぞれのラックを逆方向に往復させることにより、ピニオンを所定角度で回動させることが可能となる。
【０００５】
また、特許文献１に記載されるように、ピニオンの軸部には、ハウジングに嵌合する軸受が組み付けられるとともに、ワークや治具などが装着されるテーブルが連結されている。このテーブルに対して治具などを取り付けた上で、双方のシリンダ室に交互に作動流体を供給することにより、ワークや治具などを回動させて所定の作業を実行させることが可能となる。
【特許文献１】特開２００２−１３０２０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このようなラックピニオン型のロータリアクチュエータは、様々な生産装置等に取り付けて使用されており、生産装置に対する取付性を向上させるためにも更なる薄型化が望まれている。しかしながら、ピニオンとテーブルとの間に軸受を組み付けるようにすると、ロータリアクチュエータが高さ方向に増大することになるため、ロータリアクチュエータの薄型化を図ることが困難となっていた。
【０００７】
本発明の目的は、ロータリアクチュエータの薄型化を達成することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のロータリアクチュエータは、ラックが往復動自在に組み込まれるアクチュエータ本体と、前記アクチュエータ本体に組み付けられる外輪部材に、転動体を介して回転自在に支持される回動部材とを有し、前記回動部材は、前記転動体に転がり接触する内輪部と、前記内輪部に一体に形成されて前記ラックに噛み合うピニオンと、前記内輪部に一体に形成されて回動力を出力するテーブルとを備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明のロータリアクチュエータは、前記アクチュエータ本体に形成されるシリンダ室に往復動自在に収容されるピストンを有し、前記ピストンによって前記ラックが駆動されることを特徴とする。
【００１０】
本発明のロータリアクチュエータは、前記外輪部材、前記転動体および前記回動部材により、クロスローラ軸受が形成されることを特徴とする。
【００１１】
本発明のロータリアクチュエータは、前記回動部材には軸方向に延びる貫通孔が形成されることを特徴とする。
【００１２】
本発明のロータリアクチュエータは、前記回動部材のテーブルには吸着具が取り付けられ、前記吸着具には前記貫通孔を介して真空供給源に接続される真空供給孔が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、アクチュエータ本体に組み付けられる外輪部材に、転動体を介して回動部材を回転自在に支持するようにしたので、アクチュエータ本体と回動部材との間に独立した軸受を組み込む必要がなく、ロータリアクチュエータの薄型化を達成することが可能となる。つまり、回動部材を構成するピニオンとテーブルとの間に独立した軸受を組み込む必要がないため、ロータリアクチュエータの高さ寸法を抑制することが可能となる。
【００１４】
しかも、外輪部材によって直接的に回動部材を支持することにより、アクチュエータ本体に対する回動部材の取付精度や取付剛性を向上させることが可能となる。つまり、独立した軸受の内輪によって回動部材を支持するのではなく、内輪よりも大径となる外輪部材によって回動部材を支持することにより、回動部材の取付精度や取付剛性を高めることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１６】
図１(Ａ)は本発明の一実施の形態であるロータリアクチュエータ１０を示す平面図である。また、図１(Ｂ)はロータリアクチュエータ１０を示す側面図であり、図１(Ｃ)はロータリアクチュエータ１０を示す底面図である。図１(Ａ)〜(Ｃ)に示すように、ロータリアクチュエータ１０は、ほぼ直方体形状のアクチュエータ本体１１を有しており、アクチュエータ本体１１には、回動力を出力するテーブル１２が上部から突き出すように組み付けられている。そして、複数のネジ孔１３を備えるテーブル１２には、真空圧により吸着パッドでワークを吸着する吸着具や、正圧によりワークを把持するハンドなどの治具が取り付けられており、このテーブル１２を所定角度で回動させることによって、ワーク等の移動作業や位置決め作業を実行することが可能となっている。なお、アクチュエータ本体１１を構成するハウジング１４の上面１４ａ、下面１４ｂ、側面１４ｃ，１４ｄには、複数のネジ孔１５やボルト挿入孔１６が形成されており、様々な方向から生産装置等に対してロータリアクチュエータ１０を取り付けることが可能である。
【００１７】
図２は図１(Ｂ)のａ−ａ線に沿ってロータリアクチュエータ１０を示す拡大断面図である。図２に示すように、図示するロータリアクチュエータ１０は、ラック２０，２１の直線運動をピニオン２２の回転運動に変換するようにしたラックピニオン型のロータリアクチュエータである。アクチュエータ本体１１を構成するハウジング１４には、ほぼ平行となる２つのシリンダ室２３，２４が長手方向に形成されており、ハウジング１４の両端にはシリンダ室２３，２４を閉塞するエンドプレート２５，２６が取り付けられている。また、シリンダ室２３，２４を密閉するため、ハウジング１４とエンドプレート２５，２６との間にはＯリング２７が組み付けられている。
【００１８】
アクチュエータ本体１１内のシリンダ室２３，２４には、円柱材料の一部を切り欠いて形成されるラック２０，２１が往復動自在に収容されており、このラック２０，２１の両端部にはピストン２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂが一体に形成されている。つまり、それぞれのラック２０，２１の両側に位置するように、ピストン２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂ、ハウジング１４、エンドプレート２５，２６によって作動圧室２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂが区画されており、この作動圧室２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂに対して空気などの作動流体を給排制御することにより、シリンダ室２３，２４内でラック２０，２１を往復移動させることが可能となっている。また、これらの作動圧室２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂに作動流体を供給するため、エンドプレート２５には作動圧室２３ａ，２４ｂに連通する給排ポート２８と、作動圧室２３ｂ，２４ａに連通する給排ポート２９とが形成されている。
【００１９】
また、ハウジング１４のほぼ中央にはピニオン２２を回転自在に収容する収容室３０が形成されており、このピニオン２２は双方のラック２０，２１に噛み合うとともに前述したテーブル１２と一体に回転するようになっている。このようにラック２０，２１とピニオン２２とを噛み合わせることにより、給排ポート２８に作動流体を供給したときには、ラック２０を矢印ａ方向に移動させるとともにラック２１を矢印ｂ方向に移動させ、ピニオン２２およびテーブル１２を矢印Ｒ１方向に回動させることが可能となる。一方、給排ポート２９に作動流体を供給したときには、ラック２１を矢印ａ方向に移動させるとともにラック２０を矢印ｂ方向に移動させ、ピニオン２２およびテーブル１２を矢印Ｒ２方向に回動させることが可能となる。
【００２０】
なお、ラック２０，２１には位置検出用のマグネット３１，３２が取り付けられており、このマグネット３１，３２に対向するようにハウジング１４の側面１４ｃ，１４ｄにはセンサ取付溝３３が形成されている。このセンサ取付溝３３に対して磁気センサを装着することにより、ラック２０，２１の移動位置つまりテーブル１２の回動角度を検出することができ、給排ポート２８，２９に対する作動流体の供給制御を的確に実行することが可能となる。また、一方のエンドプレート２６にはゴムダンパ３４が取り付けられており、エンドプレート２６にラック２０，２１が突き当たる際の衝撃を吸収するようにしているが、このゴムダンパ３４に限られることはなく、オイル抵抗を利用して衝撃を吸収させるようにしたショックアブソーバを取り付けるようにしても良い。
【００２１】
続いて、ピニオン２２およびテーブル１２を備える回動部材３５の構造について説明する。ここで、図３は図１(Ｂ)のｂ−ｂ線に沿ってロータリアクチュエータ１０を示す拡大断面図である。図３に示すように、ハウジング１４の上面１４ａに開口する嵌合口３６には、フランジ状の外輪部材３７がネジ部材３８を用いて組み付けられており、環状に形成される外輪部材３７の内側には、内輪部３９、ピニオン２２およびテーブル１２が一体に形成される回動部材３５が組み込まれている。また、外輪部材３７の内周面と内輪部３９の外周面とのそれぞれには軌道溝３７ａ，３９ａが形成されており、対向する軌道溝３７ａ，３９ａの間に円筒形状の転動体４０が組み込まれている。
【００２２】
また、外輪部材３７と内輪部３９との間に配列される複数の転動体４０にあっては、隣り合う転動体４０の回転中心が直角に交差するようになっており、回動部材３５に作用する一方向のスラスト荷重は１つおきに配置される半数の転動体４０によって支持され、逆方向のスラスト荷重は残り半数の転動体４０によって支持される。つまり、回動部材３５、外輪部材３７および転動体４０によってクロスローラ軸受が形成されており、ハウジング１４に対する回動部材３５の取付剛性が高められるようになっている。
【００２３】
なお、回動部材３５のピニオン２２から延びる軸部４１にはハウジング１４に嵌合する軸受４２が取り付けられており、ハウジング１４に対する回動部材３５の取付剛性が更に高められている。また、外輪部材３７には軌道溝３７ａに開口する図示しない挿入口が形成されており、外輪部材３７と回動部材３５との間に転動体４０を組み込む際には、外輪部材３７の挿入口から転動体４０が組み込まれるようになっている。なお、転動体４０を組み込んだ後には、図示しないプラグによって挿入口が塞がれることになる。
【００２４】
また、図３に示すように、回動部材３５には軸方向に沿って貫通孔４３が形成されており、回動部材３５の上端面および下端面には貫通孔４３が開口するようになっている。前述したように、回動部材３５はピニオン２２からテーブル１２にかけて一体に形成されるため、貫通孔４３の内壁面にはつなぎ目による隙間がないので、貫通孔４３を作動流路として機能させることが可能となる。つまり、テーブル１２に装着される治具等に対して貫通孔４３から空気圧や負圧を供給することが可能であり、回動する治具等に対して新たにエアチューブ等を取り付ける必要がないため、アクチュエータ周りの簡素化を達成することが可能となる。なお、貫通孔４３を作動流路として機能させるだけでなく、治具等に配索される配線や配管を貫通孔４３からテーブル１２に向けて案内することにより、アクチュエータ周りの簡素化を図るようにしても良い。
【００２５】
これまで説明したように、ハウジング１４に組み付けられる外輪部材３７によって、直接的に回動部材３５を回転自在に支持するようにしたので、ハウジング１４と回動部材３５との間に独立した軸受を組み込む必要がなく、ロータリアクチュエータ１０の薄型化を図ることが可能となる。つまり、従来のロータリアクチュエータにあっては、ハウジングに対してピニオンおよびテーブルを回転自在に支持するため、テーブルとピニオンとの間に軸部を形成した上で、テーブル、ピニオン、軸受を厚み方向に重ねて配置する必要がある。しかしながら、本発明のロータリアクチュエータ１０にあっては、テーブル１２を軸受の一部を構成する内輪部３９に対して一体に形成し、外輪部材３７によって回動部材３５を直接的に支持するようにしたので、テーブル１２とピニオン２２との間に独立した軸受を組み付ける必要がなく、ロータリアクチュエータ１０の厚み寸法を抑制することが可能となる。
【００２６】
また、ハウジング１４に組み付けられる外輪部材３７によって直接的に回動部材３５を支持するようにしたので、ハウジング１４に対する回動部材３５の取付精度や取付剛性を向上させることが可能となる。つまり、独立した軸受の内輪によって回動部材３５を支持するのではなく、このような内輪よりも大径となる外輪部材３７によって回動部材３５を支持することにより、回動部材３５の取付精度や取付剛性を高めることが可能となる。これにより、ラック２０，２１とピニオン２２との噛み合い精度を高めることができるだけでなく、テーブル１２に対して幅方向から外力が作用した場合であってもテーブル１２の振れなどを防止することができる。しかも、テーブル１２、ピニオン２２および内輪部３９を一体に形成するようにしたので、テーブル１２やピニオン２２をネジ部材やキー部材などを用いて連結する必要がなく、回動部材３５の大型化を回避するとともに回動部材３５の剛性や精度を向上させることが可能となる。
【００２７】
続いて、本発明の他の実施の形態であるロータリアクチュエータ５０について説明する。図４は本発明の他の実施の形態であるロータリアクチュエータ５０を示す断面図であり、ロータリアクチュエータ５０が生産装置等の取付プレート５１に取り付けられた状態を図示している。また、図３に示すロータリアクチュエータ１０と同一の部材については同一の符号を付してその説明を省略する。なお、図４に示すロータリアクチュエータ５０を実際に使用する際には、吸着パッド５５が下向きになるように、図示する状態から上下を反転させて使用するようにしている。同様に、後述する図５、図６、図７、図８のロータリアクチュエータ６５，７５を実際に使用する際にも、吸着パッド５５が下向きになるように、図示する状態から上下を反転させて使用するようにしている。
【００２８】
図４に示すように、生産装置等の取付プレート５１には、ロータリアクチュエータ５０が下面を突き当てて取り付けられている。また、取付プレート５１には、真空供給孔５１ａが形成されるとともに、図示しない真空ポンプやエジェクタ等の真空供給源に接続されるチューブ継手５２が取り付けられている。さらに、ロータリアクチュエータ５０の回動部材５３を構成するテーブル５４には、複数の吸着パッド５５を備えた吸着ユニット(吸着具)５６が取り付けられており、吸着ユニット５６のユニット本体５７には、各吸着パッド５５に連通する真空流路５７ａが形成されている。
【００２９】
このように、真空供給源に接続される真空供給孔５１ａと、吸着パッド５５に連通する真空流路５７ａとは、回動部材５３に形成される貫通孔５８を介して連通するようになっている。そして、吸着パッド５５でワークＷを吸着した状態のもとで真空供給源を作動させることにより、吸着パッド５５によってワークＷを吸着固定することが可能となる。また、空気の漏れを防止するため、回動部材５３の軸部５９を回転自在に支持するハウジング６０の支持孔６０ａにはＯリング６１等の封止部材が組み付けられており、吸着パッド５５内の真空状態を保つことが可能となっている。このように、回動部材５３の貫通孔５８を真空流路として機能させることにより、吸着ユニット５６に対してエアチューブ等を取り付ける必要がないため、アクチュエータ周りの簡素化を達成することが可能となる。
【００３０】
また、図４に示す場合には、取付プレート５１を介してロータリアクチュエータ５０にチューブ継手５２を接続するようにしているが、これに限られることはなく、ロータリアクチュエータ５０に対して直接的にチューブ継手５２を接続するようにしても良い。ここで、図５はチューブ継手５２が直接的に接続されたロータリアクチュエータ６５を示す断面図であり、図４に示す部材と同一の部材については同一の符号を付してその説明を省略する。図５に示すように、ハウジング６０の下面にはチューブ継手５２を備えるアダプタ６６が組み付けられており、このアダプタ６６の真空供給孔６６ａを介してチューブ継手５２と回動部材５３の貫通孔５８とは連通するようになっている。このように、チューブ継手５２を含めてロータリアクチュエータ６５のユニット化を図ることにより、ロータリアクチュエータ６５の取付作業の簡易化を達成することが可能となる。
【００３１】
また、生産装置等の取付プレート６７に対してロータリアクチュエータ６５を取り付ける際に、取付プレート６７に対してハウジング６０の下面を突き当てるだけでなく、ハウジング６０の上面や側面を突き当てるようにしても良い。ここで、図６および図７はロータリアクチュエータ６５の他の取付例を示す断面図であり、図５に示す部材と同一の部材については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００３２】
まず、図１(Ａ)〜(Ｃ)に示すように、ハウジング１４の上面１４ａ、下面１４ｂ、側面１４ｃ，１４ｄには、複数のネジ孔１５やボルト挿入孔１６が形成されており、様々な方向から取付プレートに対してロータリアクチュエータ１０を取り付けることが可能となっている。これらのネジ孔１５やボルト挿入孔１６はハウジング６０に対しても形成されており、ハウジング６０に形成されるネジ孔やボルト挿入孔を使用することによって、図６および図７に示すように、取付プレート６８に対してハウジング６０の側面を突き当てて取り付けたり、取付プレート６９に対してハウジング６０の上面を突き当てて取り付けたりすることが可能となる。このように、様々な方向からロータリアクチュエータ６５を取り付けることができるため、ロータリアクチュエータ６５を設置する際の自由度を増すことが可能となる。なお、図７に示す場合には、取付プレート６９から吸着ユニット７０が突き出るように、吸着ユニット７０のユニット本体７１に軸部７１ａが形成されているが、取付プレート６９の開口部６９ａを拡大することにより、図４〜図６に示す吸着ユニット５６を組み付けるようにしても良い。
【００３３】
また、図５〜図７に示すロータリアクチュエータ６５には、１つの真空供給孔６６ａを備えるアダプタ６６を介してチューブ継手５２が接続されているが、このようなアダプタに対して複数の真空流路を形成するようにしても良い。ここで、図８(Ａ)は本発明の他の実施の形態であるロータリアクチュエータ７５を示す断面図であり、図８(Ｂ)は(Ａ)のａ−ａ線に沿ってロータリアクチュエータ７５を示す断面図である。なお、図５〜図７に示す部材と同一の部材については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００３４】
図８(Ａ)および(Ｂ)に示すように、ハウジング６０と取付プレート７６との間には配管プレート７７が組み込まれており、この配管プレート７７には４つの給排ポート７８と回動部材５３の貫通孔５８とを連通する４本の真空流路７９が形成されている。このように、複数の給排ポート７８を備える配管プレート７７を組み込むことにより、様々な方向からエアチューブをロータリアクチュエータ７５に接続することができ、ロータリアクチュエータ７５を設置する際の自由度を高めることが可能となる。
【００３５】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。たとえば、図示する場合には、アクチュエータ本体１１に逆向きに駆動する一対のラック２０，２１が組み込まれているが、いずれか一方のラックを組み込むことによってピニオン２２を回動させるようにしても良い。また、一対のラック２０，２１を組み込んだ状態のもとで、いずれか一方のラックに対して空気圧を供給するようにしても良い。
【００３６】
また、図示する場合には、回動部材３５，５３、外輪部材３７および転動体４０によってクロスローラ軸受が形成されているが、このクロスローラ軸受に代えて単列深溝玉軸受などを形成するようにしても良い。
【００３７】
また、図４〜図８に示す状態にあっては、吸着ユニット５６，７０が上方を向くように、取付プレート５１，６７〜６９や配管プレート７７に対してロータリアクチュエータ５０，６５，７５が取り付けられているが、この取付方向に限られることはなく、吸着ユニット５６，７０が下方や側方を向くようにしても良い。
【００３８】
なお、ロータリアクチュエータ１０，５０，６５，７５のテーブル１２，５４に取り付けられる治具としては、吸着ユニット５６，７０に限られることはなく、作業内容に応じて正圧によりワークを把持するハンドなどの様々な治具が取り付けられることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】(Ａ)は本発明の一実施の形態であるロータリアクチュエータを示す平面図であり、(Ｂ)はロータリアクチュエータを示す側面図であり、(Ｃ)はロータリアクチュエータを示す底面図である。
【図２】図１(Ｂ)のａ−ａ線に沿ってロータリアクチュエータを示す拡大断面図である。
【図３】図１(Ｂ)のｂ−ｂ線に沿ってロータリアクチュエータを示す拡大断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態であるロータリアクチュエータを示す断面図である。
【図５】チューブ継手が直接的に接続されたロータリアクチュエータを示す断面図である。
【図６】取付プレートに対するロータリアクチュエータの他の取付例を示す断面図である。
【図７】取付プレートに対するロータリアクチュエータの他の取付例を示す断面図である。
【図８】(Ａ)は本発明の他の実施の形態であるロータリアクチュエータを示す断面図であり、(Ｂ)は(Ａ)のａ−ａ線に沿ってロータリアクチュエータを示す断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０    ロータリアクチュエータ
１１    アクチュエータ本体
１２    テーブル
１３    ネジ孔
１４    ハウジング
１４ａ  上面
１４ｂ  下面
１４ｃ，１４ｄ    側面
１５    ネジ孔
１６    ボルト挿入孔
２０，２１    ラック
２０ａ，２０ｂ    ピストン
２１ａ，２１ｂ    ピストン
２２    ピニオン
２３，２４    シリンダ室
２３ａ，２３ｂ    作動圧室
２４ａ，２４ｂ    作動圧室
２５，２６    エンドプレート
２７    Ｏリング
２８，２９    給排ポート
３０    収容室
３１，３２    マグネット
３３    センサ取付溝
３４    ゴムダンパ
３５    回動部材
３６    嵌合口
３７    外輪部材
３７ａ  軌道溝
３８    ネジ部材
３９    内輪部
３９ａ  軌道溝
４０    転動体
４１    軸部
４２    軸受
４３    貫通孔
５０    ロータリアクチュエータ
５１    取付プレート
５１ａ  真空供給孔
５２    チューブ継手
５３    回動部材
５４    テーブル
５５    吸着パッド
５６    吸着ユニット(吸着具)
５７    ユニット本体
５７ａ  真空流路
５８    貫通孔
５９    軸部
６０    ハウジング
６０ａ  支持孔
６１    Ｏリング
６５    ロータリアクチュエータ
６６    アダプタ
６６ａ  真空供給孔
６７〜６９    取付プレート
６９ａ  開口部
７０    吸着ユニット(吸着具)
７１    ユニット本体
７１ａ  軸部
７５    ロータリアクチュエータ
７６    取付プレート
７７    配管プレート
７８    給排ポート
７９    真空流路
Ｗ      ワーク
【図１】
2007127160.tif 000003
【図２】
2007127160.tif 000004
【図３】
2007127160.tif 000005
【図４】
2007127160.tif 000006
【図５】
2007127160.tif 000007
【図６】
2007127160.tif 000008
【図７】
2007127160.tif 000009
【図８】
2007127160.tif 000010