(57)【要約】【課題】センサを用いることなく、搬送装置の振動部の振幅を高精度に制御する。【解決手段】振動速度を測定するセンサからの出力に基づいて振動部に与える加振力Ｆを制御するいわゆる速度フィードバック制御を、センサを設けない開ループ制御によって模擬的に実現する。疑似速度フィードバック制御であるノッチモデル制御では、ノッチフィルタを用いた演算により加振力Ｆを求め、求めた加振力Ｆを振動部に与えることにより、振動部の振幅を制御する。【選択図】図１８
2007246236.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動によって物品を搬送する搬送装置であって、
物品が載置されるとともに、与えられる加振力によって振動する振動部と、
前記振動部に与える加振力を発生させる加振手段と、
前記振動部の目標振幅に基づいて速度フィードバックを模擬して前記加振手段を開ループ制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送装置であって、
前記制御手段は、ノッチフィルタを用いた演算に基づいて前記加振手段を制御することを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
請求項１に記載の搬送装置であって、
前記制御手段は、前記振動部を加振するための第１加振力成分と、前記振動部を定常振動させるための第２加振力成分とに基づいて前記加振手段を制御することを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の搬送装置であって、
前記加振手段は、
電磁場を発生させる電磁石と、
前記電磁石により発生した電磁場によって電磁力が作用する作用体と、
を備え、
前記制御手段は、
前記電磁石に電流を供給する電力供給手段と、
前記振動部が振動する間において、前記電流の電流値が連続的に変化するように、前記電流の電流値の周期および振幅を設定する設定手段と、
を備え、
前記加振手段は、前記電磁力を加振力とすることを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれかに記載の搬送装置であって、
前記加振手段は、前記振動部に与える加振力を発生させる電磁石を備え、
前記制御手段は、
前記電磁石に電流を供給する電力供給手段と、
前記振動部が振動する間において、前記電流の電流値がパルス状に変化する間欠電流となるように、前記電流の供給開始時間、供給継続時間および電流値を設定する設定手段と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項６】
請求項５に記載の搬送装置であって、
前記設定手段は、個々のパルス状の電流ごとに、供給開始時間および供給継続時間を独立して設定可能であることを特徴とする搬送装置。
【請求項７】
請求項６に記載の搬送装置であって、
前記設定手段は、前記振動部の振動が定常振動に収束するまでの間に設定する複数のパルス状の電流についてはそれぞれの供給開始時間および供給継続時間を独立して設定し、前記振動部の振動が定常振動に収束している間に設定する複数のパルス状の電流については周期的に設定することを特徴とする搬送装置。
【請求項８】
請求項６または７に記載の搬送装置であって、
前記設定手段は、前記振動部の振動を停止させる際に設定する複数のパルス状の電流についてはそれぞれの供給開始時間および供給継続時間を独立して設定することを特徴とする搬送装置。
【請求項９】
請求項５ないし８のいずれかに記載の搬送装置であって、
前記設定手段は、電圧パルス列によって前記電流の供給開始時間、供給継続時間および電流値を設定することを特徴とする搬送装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の搬送装置であって、
前記制御手段は、前記振動部を加振する際の加振力に基づいて、前記振動部を減振させる際の加振力を求めることを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動によって物品を搬送する技術に関する。より詳しくは、物品の搬送速度を高精度に制御する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、物品が載置されるトラフ（振動部）を振動させて物品を所定の方向に向かって搬送する搬送装置が提案されている。このような搬送装置が、例えば特許文献１に記載されている。
【０００３】
特許文献１に記載されている搬送装置は、電磁石に電力を供給し、電磁石と振動部との間に作用する電磁力を、振動部に与える加振力とする。すなわち、電磁力によって加振することにより、振動部を振動させる。
【０００４】
一方、このような搬送装置では、物品の搬送速度（単位時間あたりの搬送重量）を高精度に制御したいという要求がある。搬送装置において、物品の搬送速度は、主に振動部の振動振幅に依存するため、これを精度よく制御する必要がある。そして振動部の振動は、電磁石から与えられる加振力によって制御され、加振力は電磁石に供給される電力によって制御される。したがって、特許文献１に記載されている搬送装置の搬送速度を高精度に制御するためには、電磁石に供給する電力を高精度に制御する必要がある。
【０００５】
搬送装置の振動を高精度に制御する技術として、例えば、特許文献２には、振動部の振動速度を検出する振動速度検出器を設け、この振動速度検出器（センサ）から得られる振動速度に基づいて電磁石に供給する電力を制御する技術（いわゆる速度フィードバック制御）が記載されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平０９−２３５０１６号公報
【特許文献２】特開平１０−０３５８５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献２に記載されている技術では、振動部の振動を検出するセンサが必要であり、装置全体のコストが上昇するという問題があった。また、センサの出力に基づいた速度フィードバック制御では、必ず時間遅れが生じるという問題もあった。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、センサを用いることなく、搬送装置の振動部の振幅を高精度に制御することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、振動によって物品を搬送する搬送装置であって、物品が載置されるとともに、与えられる加振力によって振動する振動部と、前記振動部に与える加振力を発生させる加振手段と、前記振動部の目標振幅に基づいて速度フィードバックを模擬して前記加振手段を開ループ制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る搬送装置であって、前記制御手段は、ノッチフィルタを用いた演算に基づいて前記加振手段を制御することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３の発明は、請求項１の発明に係る搬送装置であって、前記制御手段は、前記振動部を加振するための第１加振力成分と、前記振動部を定常振動させるための第２加振力成分とに基づいて前記加振手段を制御することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかの発明に係る搬送装置であって、前記加振手段は、電磁場を発生させる電磁石と、前記電磁石により発生した電磁場によって電磁力が作用する作用体とを備え、前記制御手段は、前記電磁石に電流を供給する電力供給手段と、前記振動部が振動する間において、前記電流の電流値が連続的に変化するように、前記電流の電流値の周期および振幅を設定する設定手段とを備え、前記加振手段は、前記電磁力を加振力とすることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項５の発明は、請求項１ないし３のいずれかの発明に係る搬送装置であって、前記加振手段は、前記振動部に与える加振力を発生させる電磁石を備え、前記制御手段は、前記電磁石に電流を供給する電力供給手段と、前記振動部が振動する間において、前記電流の電流値がパルス状に変化する間欠電流となるように、前記電流の供給開始時間、供給継続時間および電流値を設定する設定手段とを備えることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項６の発明は、請求項５の発明に係る搬送装置であって、前記設定手段は、個々のパルス状の電流ごとに、供給開始時間および供給継続時間を独立して設定可能であることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項７の発明は、請求項６の発明に係る搬送装置であって、前記設定手段は、前記振動部の振動が定常振動に収束するまでの間に設定する複数のパルス状の電流についてはそれぞれの供給開始時間および供給継続時間を独立して設定し、前記振動部の振動が定常振動に収束している間に設定する複数のパルス状の電流については周期的に設定することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項８の発明は、請求項６または７の発明に係る搬送装置であって、前記設定手段は、前記振動部の振動を停止させる際に設定する複数のパルス状の電流についてはそれぞれの供給開始時間および供給継続時間を独立して設定することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項９の発明は、請求項５ないし８のいずれかの発明に係る搬送装置であって、前記設定手段は、電圧パルス列によって前記電流の供給開始時間、供給継続時間および電流値を設定することを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１０の発明は、請求項１ないし９のいずれかの発明に係る搬送装置であって、前記制御手段は、前記振動部を加振する際の加振力に基づいて、前記振動部を減振させる際の加振力を求めることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１に記載の発明では、振動部の目標振幅に基づいて速度フィードバックを模擬して加振手段を開ループ制御することにより、振動部の振幅を計測するセンサを設けなくても、速度フィードバック制御とほぼ等価な制御を実現できる。したがって、コストを抑制しつつ振動部を高精度に制御できる。
【００２０】
請求項２に記載の発明では、ノッチフィルタを用いた演算に基づいて加振手段を制御することにより、疑似速度フィードバック制御を実現するための加振力を容易に演算することができる。
【００２１】
請求項３に記載の発明では、振動部を加振するための第１加振力成分と、振動部を定常振動させるための第２加振力成分とに基づいて加振手段を制御することにより、請求項２に記載の発明と同等の制御を実現するための加振力を、さらに容易に演算することができる。
【００２２】
請求項９に記載の発明では、電圧パルス列によって電流の供給開始時間、供給継続時間および電流値を設定することにより、電流を直接制御するよりも容易に制御できる。
【００２３】
請求項１０に記載の発明では、振動部を加振する際の加振力に基づいて、振動部を減振させる際の加振力を求めることにより、制御手段における演算量が減るので、制御手段の負担が軽減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２５】
＜１．  第１の実施の形態＞
図１は、本発明に係る搬送装置１を示す図である。図１に示すように、搬送装置１は、搬送装置１の各構成の基台となるベース１０、振動部２、加振部３および制御部４を備えている。
【００２６】
振動部２は、主にフィーダ２０および一対の板バネ２１を備える。
【００２７】
フィーダ２０は後述する加振力によって、図１において左右方向に主に振動し、その上面には搬送装置１によって搬送しようとする物品が載置される。すなわち、物品が載置された状態のフィーダ２０を振動させることによって、搬送装置１は所定の方向に物品を搬送する。
【００２８】
一対の板バネ２１は、図１において左右方向に主に振動する部材である。板バネ２１の上端はフィーダ２０に固定され、下端はベース１０に固定される。
【００２９】
加振部３は、主に電磁石３０と、作用体としての可動鉄心３１とを備える。
【００３０】
電磁石３０は、図示しないコイルと鉄心とを備えており、ベース１０に固定されている。また、電磁石３０はコイルに電流（後述する制御電流）が供給されることによって、電磁場を発生させる。
【００３１】
可動鉄心３１は鉄（Ｆｅ）を主成分とする部材であって、振動部２に固定される。可動鉄心３１は、電磁石３０との相互作用によって電磁力を発生させ、かつ、発生した電磁力を振動部２に伝達する機能を有する。すなわち、可動鉄心３１が振動部２に固定されているので、電磁石３０が発生させる電磁場によって、可動鉄心３１に電磁力が作用し、この電磁力が振動部２に加振力として与えられる。
【００３２】
以下、本明細書では、可動鉄心３１に作用する電磁力を「加振力」と総称し、必要に応じて、その目的別に、成長加振力、補完加振力および抑制加振力と呼んで区別する。成長加振力とは振動部２の振動を成長させ、増幅するために加えられる加振力であり、補完加振力とは、自然減衰に逆らって、振動部２の振動を維持するために加えられる加振力である。さらに、抑制加振力とは振動部２の振動を停止させるために加えられる加振力である。
【００３３】
したがって、搬送装置１では、振動を成長させるときの加振力は、振幅を増幅させるための成長加振力と、すでに成長している振幅が減衰しないように維持するための補完加振力との合成力となる。また、定常状態で振動しているときの加振力は、成長加振力は不要であるので、定常状態の振幅を維持するための補完加振力のみである。さらに、振動を停止させるときは補完加振力を止めるので、このときの加振力は、振幅を減少させるための抑制加振力のみである。
【００３４】
図２は、制御部４の構成を示すブロック図である。制御部４は、設定部５および電力供給部６を備える。
【００３５】
設定部５は、ＣＰＵ５０、ＲＯＭ５１およびＲＡＭ５２を備え、一般的なマイクロコンピュータとしての機能を備えている。すなわち、ＣＰＵ５０は、ＲＯＭ５１に格納されているプログラムやデータ（設定値やパラメータ等）に基づいて、ＲＡＭ５２をワーキングエリアとして使用しつつ演算を行い、必要な制御信号をする。
【００３６】
特に、設定部５は、振動部２が振動する間において、電力供給部６が電磁石３０に供給する電流の電流値が連続的に変化するように、電流の電流値の周期および振幅を設定する。さらに、設定部５は、設定した電流の周期および振幅に基づいて制御信号を生成し、これを電力供給部６に伝達することによって電力供給部６を制御する。
【００３７】
電力供給部６は、一般的な電源であって、設定部５からの制御信号に基づいて、電磁石３０に電流を供給する。以下の説明では、電力供給部６が供給する電流を「制御電流」と称する。
【００３８】
以上のような構成により、制御部４は、電力供給部６から電磁石３０に制御電流を供給することによって加振部３を制御し、振動部２に与えられる加振力を制御する。
【００３９】
搬送装置１において、振動部２の振動は、振動部２に与えられる加振力によって制御される。この加振力は可動鉄心３１に作用する電磁力であるから、加振力は制御電流（より詳しくは制御電流の時間変化）によって制御される。逆に言えば、必要な加振力が決まれば、設定部５は必要な制御電流を決定することができる。
【００４０】
詳細は後述するが、本実施の形態における設定部５は、速度フィードバック制御を模擬的に実現するために必要な制御力（制御力Ｆｃ）を求め、これに基づいて加振力Ｆおよび制御電流を決定する。
【００４１】
＜速度フィードバック制御＞
ここで、従来の搬送装置における速度フィードバック制御について説明する。なお、速度フィードバック制御とは、センサによってフィーダの振動速度を計測して、この値をフィードバックして加振力を制御することにより、フィーダの振幅Ｘを目標振幅Ｒとなるように制御する制御方法であると定義する。したがって、ここで言う速度フィードバック制御の「速度」とは、フィーダの振動速度のことであり、例えば物品の搬送速度等を意味するものではない。
【００４２】
搬送装置では、厳密には振動部のみが振動するわけではなく、他の構成もフィーダの振動に影響を与える。したがって、振動に影響を与える構成を便宜上「機械系」と呼ぶ。さらに、以下の説明において、機械系の固有振動数を予測固有振動数ｆｎ、搬送装置１が物品を搬送するときの実際の固有振動数を実固有振動数ｆｒ、搬送装置１を駆動させるときの振動数を駆動振動数ｆｍとおく。実固有振動数ｆｒについては後述するが、予測固有振動数ｆｎは予め実験により求め、記憶させておくことができる値である。また、駆動振動数ｆｍは任意に設定できる値である。
【００４３】
図３は、速度フィードバック制御を行った場合のブロック線図である。なお、機械系の減衰比ζ、見かけの機械系の減衰比ζ’とおくと、本実施の形態では、ζ’＝５０×ζとなるようにＫｖを決定する。
【００４４】
速度フィードバック制御における運動方程式は、数１となり、速度フィードバック制御における加振力Ｆから、速度フィードバック制御におけるフィーダの振幅Ｘは数２で表される。
【００４５】
【数１】
2007246236.tif 000003
【００４６】
【数２】
2007246236.tif 000004
【００４７】
図４は、振幅倍率（Ｘ／Ｘｓｔ）と、無次元振動数Ωとの関係を示す図である。図５は、位相差φと無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【００４８】
位相差φとは加振力と変位との位相のズレであり、無次元振動数Ωとは駆動振動数ｆｍと予測固有振動数ｆｎとの比であって、Ω＝ｆｍ／ｆｎで表される無次元の変数である。なお、図４および図５は、いずれも予測固有振動数ｆｎが実固有振動数ｆｒと等しいとして示す。
【００４９】
図４および図５において、グラフＧＰ１，ＧＰ４は速度フィードバック制御を行わない場合の加振力Ｆで速度フィードバック制御を行ったときの結果を示す。また、グラフＧＰ２，ＧＰ５は速度フィードバック制御を行わないとき（以下、「非制御のとき」と略する）の結果を示す。また、グラフＧＰ３，ＧＰ６は加振力ＦをゲインＫ倍して速度フィードバック制御を行ったときの結果を示す。
【００５０】
グラフＧＰ２を見れば明らかなように、駆動振動数ｆｍを予測固有振動数ｆｎと等しくした場合に振幅倍率が最も大きくなる。したがって、予測固有振動数ｆｎが実固有振動数ｆｒと等しいと仮定すれば、搬送装置１を効率よく駆動するためには、駆動振動数ｆｍを予測固有振動数ｆｎと等しい値（すなわち、Ω＝ｆｍ／ｆｎ＝１）に設定するのが好ましい。以下、本実施の形態では、駆動振動数ｆｍを予測固有振動数ｆｎと等しい値に設定して制御する手法を、説明の便宜上、「同一振動数制御」と称する。
【００５１】
一方、グラフＧＰ１とグラフＧＰ２とを比較すれば明らかなように、速度フィードバック制御を行わない場合の加振力Ｆで速度フィードバック制御を行うと、非制御のときに比べて、振幅倍率が小さくなる。この現象は、同一振動数制御を行う場合に、特に顕著である。
【００５２】
したがって、非制御のときと同等の振幅を得るためには、速度フィードバック制御では、加振力ＦをゲインＫ倍とする必要があることがわかる。すなわち、非制御のときの加振力Ｆから速度フィードバック制御を行う場合の加振力への変換は、数３で表される。
【００５３】
【数３】
2007246236.tif 000005
【００５４】
なお、グラフＧＰ４，ＧＰ６が重なっていることから、速度フィードバック制御を行った場合の位相差φは常に一致し、無次元振動数Ωが「１」となる駆動振動数ｆｍにおいては、グラフＧＰ４，ＧＰ５，ＧＰ６が一致することから、同一振動数制御においては速度フィードバック制御と非制御との結果も一致する。
【００５５】
ここで、非制御のときの振幅Ｘは数４で表される。
【００５６】
【数４】
2007246236.tif 000006
【００５７】
非制御のときの振幅Ｘ（数４の振幅Ｘ）は、当然、目標振幅Ｒとなるように設定され、速度フィードバック制御においても、ゲインＫは振幅Ｘ（数３における振幅Ｘ）が、目標振幅Ｒとなるように設定される。したがって、数３および数４から、数５が得られ、ゲインＫは数６で表される。
【００５８】
【数５】
2007246236.tif 000007
【００５９】
【数６】
2007246236.tif 000008
【００６０】
ここで、機械系の予測固有角振動数をωｎとおくと、数７，８が成立し、見かけの減衰比ζ’から数９が求まる。これらの式を用いて、数６を無次元化すると、数１０が得られる。
【００６１】
【数７】
2007246236.tif 000009
【００６２】
【数８】
2007246236.tif 000010
【００６３】
【数９】
2007246236.tif 000011
【００６４】
【数１０】
2007246236.tif 000012
【００６５】
数４からバネ力で無次元化した制御力Ｆｃは数１１で表すことができる。
【００６６】
【数１１】
2007246236.tif 000013
【００６７】
ここで、同一振動数制御（ｆｍ＝ｆｎ）の特性について説明する。
【００６８】
例えば、搬送装置１に物品（ワーク）を搬送させる場合を考えると、フィーダ２０の上面には搬送する物品が載置される。搬送装置１が搬送する物品は任意であるから、物品の質量を予め計測して設定することはできない。また、物品の量は常に均等であるとは限らないので、搬送中に随時変化し、これに伴って質量も随時変化する。したがって、搬送装置１を駆動して物品を搬送すると、搬送装置１の見かけの質量（機械系の見かけの質量）が変化し、実際の固有振動数である実固有振動数ｆｒは、予め予測した予測固有振動数ｆｎ（一般には物品のない状態で計測する）と異なる値となる。
【００６９】
図６は、非制御のときの振幅倍率と無次元振動数Ωとの関係を示す図である。図７は、非制御のときの位相差φと無次元振動数Ωとの関係を示す図である。図６におけるグラフＧＰ７は図４におけるグラフＧＰ２と同じグラフであり、いずれも実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しい場合（ｆｒ＝ｆｎ）を示している。また、図７におけるグラフＧＰ９は図５におけるグラフＧＰ５と同じグラフであり、いずれも実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しい場合（ｆｒ＝ｆｎ）を示している。
【００７０】
一方、図６におけるグラフＧＰ８は、実固有振動数ｆｒが予測固有振動数ｆｎと異なる場合（ｆｒ＝１．００５ｆｎ）を示しており、図７におけるグラフＧＰ１０は、実固有振動数ｆｒが予測固有振動数ｆｎと異なる場合（ｆｒ＝１．００５ｆｎ）を示している。
【００７１】
グラフＧＰ７から明らかなように、実固有振動数ｆｒが予測固有振動数ｆｎと等しい場合、駆動振動数ｆｍを予測固有振動数ｆｎと等しい値に設定すれば、振幅倍率は最も大きくなる（図６に示す例では約２５０倍）。すなわち、振幅を大きくして搬送力（搬送速度）を向上させるためには、同一振動数制御（ｆｍ＝ｆｎ）が最も効率がよいことがわかる。
【００７２】
しかし、グラフＧＰ８から明らかなように、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが、わずか０．５％ずれただけで、同一振動数制御の振幅倍率は大きく減少してしまう（図６に示す例では約９４倍にまで低下する）。
【００７３】
また、グラフＧＰ９とグラフＧＰ１０とを比較すれば明らかなように、同一振動数制御では、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しい場合（グラフＧＰ９）と、異なる場合（グラフＧＰ１０）とによって大きく位相差φの値が異なる（図７に示す例では、位相差φの値は、−９０［ｄｅｇ］から−２２［ｄｅｇ］に変化している）。
【００７４】
このように、駆動振動数ｆｍを予測固有振動数ｆｎと等しい値として設定して搬送装置１を駆動した場合（すなわち同一振動数制御を行った場合）、実固有振動数ｆｒがわずかでも予測固有振動数ｆｎとずれると、フィーダ２０の実際の挙動は予想と大きく異なってしまうことがわかる。図６に示す例では、実固有振動数ｆｒがわずか０．５％ずれただけで、振幅は予定の約３８％にまで減少する（（９４／２５０）×１００＝３７．６）。
【００７５】
そして、先述のように、機械系の固有振動数はフィーダ２０に載置される物品の質量の影響を受けるので、通常実固有振動数ｆｒは予測固有振動数ｆｎと異なる値となる。したがって、同一振動数制御を行いつつ、目標振幅Ｒとなるように他のパラメータを設定したとしても、実際の振幅が大きく異なってしまい、振幅の制御精度が低下する。
【００７６】
すなわち、物品を搬送しているときの実固有振動数ｆｒを求めることができる場合（例えばセンサを設ける、あるいは搬送する物品が常に質量既知の物品である等の場合）には、ｆｍ＝ｆｎ＝ｆｒとおいて、同一振動数制御を行えば、振幅の精度が低下することなく最も効率のよい駆動を実現できる。しかし、実固有振動数ｆｒを求めることができず、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なる場合には、同一振動数制御は精度が低下するという問題がある。
【００７７】
以上が同一振動数制御（ｆｍ＝ｆｎ）の特性に関する説明である。
【００７８】
予測固有振動数ｆｎは機械系に固有の値であるから、搬送装置が製造された後（例えば、搬送する物品が決定したとき）に、任意に設定することはできない。また、搬送装置が実固有振動数ｆｒを測定しない場合には、これも不知の値である。
【００７９】
そこで、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なった値であっても、振幅の制御精度を低下させないために、駆動振動数ｆｍを適切に設定することを考える。
【００８０】
図６および図７に示すグラフＧＰ７とグラフＧＰ９とは予め予測可能なグラフである。すなわち、グラフＧＰ７，ＧＰ９とのズレが少ない方が、より振動（振幅）を高精度に制御可能であることを示している。
【００８１】
したがって、グラフＧＰ７とグラフＧＰ８とにおいて振幅倍率（Ｘ／Ｘｓｔ）の値の差が小さくなり、かつ、グラフＧＰ９とグラフＧＰ１０とにおいて位相差φの値の差が小さくなる駆動振動数ｆｍを設定すれば、振動を高精度に制御できる。図６および図７から明らかなように、このような駆動振動数ｆｍは、いずれも無次元振動数Ωの値が「１」に比べて充分に小さいか、あるいは充分に大きい場合である。
【００８２】
駆動振動数ｆｍと予測固有振動数ｆｎとのずれ量をΔｆとおくと、駆動振動数ｆｍは、ｆｍ＝ｆｎ＋Δｆと表すことができる。搬送装置１は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なることを考慮して、ｆｍ＝ｆｎ＋Δｆとおき、駆動振動数ｆｍを、予測固有振動数ｆｎからΔｆだけわざとずらして設定する。このような制御方法を、以下、説明の便宜上、「異振動数制御」と称し、Δｆを「振動数差」と称する。
【００８３】
図６および図７から明らかなように、異振動数制御において、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとがたまたま近似すると、制御精度が低下する。しかし、物品を載置していない状態（空状態）の固有振動数を測定して予測固有振動数ｆｎとすれば、物品を搬送している状態の実固有振動数ｆｒは、必ず予測固有振動数ｆｎと異なった値となる。また、一般に物品を搬送していない状態における振動を高精度に制御する必要性は低いので、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが近似してしまうことによる精度低下の問題を考慮する必要性は低い。
【００８４】
図６および図７に示す例では、Δｆ＝０．０３ｆｎの場合（ｆｍ＝１．０３ｆｎ、すなわちΩ＝１．０３の場合）には、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なることによる影響が充分小さいことがわかる。したがって、本実施の形態の異振動数制御では、以下、振動数差Δｆを「０．０３ｆｎ」に固定して制御結果を示すが、振動数差Δｆの値はもちろんこれに限られるものではなく、必要な精度・効率に応じて任意に設定すればよい。
【００８５】
なお、搬送装置１の制御部４は、例えばオペレータからの指示入力に基づいて、同一振動数制御を行うか、異振動数制御を行うかを切り替えるものとする。
【００８６】
再び、速度フィードバック制御について説明する。以下では、主に速度フィードバック制御の評価を行う。
【００８７】
図８は、速度フィードバック制御において、同一振動数制御を行う場合に必要な制御力Ｆｃを例示する図である。また、図９は、図８に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【００８８】
一方、図１０は、速度フィードバック制御において、異振動数制御を行う場合に必要な制御力Ｆｃを例示する図である。また、図１１は、図１０に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【００８９】
なお、図８ないし図１１では、いずれも実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しい場合を示す。また、図９および図１１では、目標振幅Ｒを「１ｍｍ」に設定した場合を示す。
【００９０】
図９および図１１から明らかなように、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しければ、いずれの制御方法でも、振動の振幅は目標振幅Ｒまで急激に成長することがわかる。すなわち、短時間で目標振幅Ｒに達し、その後、定常状態に安定することがわかる。
【００９１】
また、詳細は省略するが、非制御において、異振動数制御を行うと、過渡状態で「うなり」を生じ、振幅が目標振幅Ｒを超えてしまうことがある。そして、このような「うなり」が発生すると、搬送速度の精度が低下するのみならず、機械系を破損させる可能性もある。しかし、図１１から明らかなように、速度フィードバック制御を行うと、このような「うなり」を生じることもないことがわかる。
【００９２】
また、図８と図１０とを比較すれば明らかなように、同一振動数制御（図８）の方が、異振動数制御（図１０）よりも必要な制御力Ｆｃが小さく、加振力の効率がよいことがわかる。
【００９３】
図１２は、速度フィードバック制御における振幅倍率と無次元振動数Ωとの関係を示す図である。また、図１３は、速度フィードバック制御における位相差φと無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【００９４】
グラフＧＰ１１，ＧＰ１３は、いずれも実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しい場合を示す。グラフＧＰ１２，ＧＰ１４は、いずれも実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なる場合（ｆｒ＝１．００５ｆｎの場合）を示す。なお、グラフＧＰ１１は、図４に示すグラフＧＰ３と同じグラフである。また、グラフ１３は、図５に示すグラフＧＰ６と同じグラフである。
【００９５】
図１２から明らかなように、グラフＧＰ１１とグラフＧＰ１２とはほぼ一致している。また、図１３から明らかなように、グラフＧＰ１３とグラフＧＰ１４とはほぼ一致している。このように、速度フィードバック制御を行うと、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なっていても、これによる影響は少ないことを示している。
【００９６】
図１４ないし図１７は、いずれも実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なる場合（ｆｒ＝１．００５ｆｎの場合）を示す。
【００９７】
図１４は、速度フィードバック制御において、同一振動数制御を行う場合に必要な制御力Ｆｃを例示する図である。また、図１５は、図１４に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【００９８】
一方、図１６は、速度フィードバック制御において、異振動数制御を行う場合に必要な制御力Ｆｃを例示する図である。また、図１７は、図１６に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【００９９】
同一振動数制御を行う場合、図８と図１４とを比較すれば明らかなように、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なるために、図１４に示す例では図８に示す例に比べて必要な制御力Ｆｃが増加している。
【０１００】
異振動数制御を行う場合、図１０と図１６とを比較すれば明らかなように、実固有振動数ｆｒと駆動振動数ｆｍとの差が減少するので、図１６に示す例では図１０に示す例に比べて必要な制御力Ｆｃが減少している。
【０１０１】
図１７に示すように、速度フィードバック制御において、異振動数制御を行うと、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なっていたとしても、振幅を高精度に制御できることがわかる。また、図１５と図１７とを比較することにより、速度フィードバック制御は、同一振動数制御を行ったとしても、それほど精度を低下させることなく、効率よく振幅を制御できることがわかる。
【０１０２】
＜疑似速度フィードバック制御＞
以上のように、速度フィードバック制御は、振動によって物品を搬送する搬送装置において、目標振幅Ｒに基づいてフィーダの振動を制御する場合に適した制御手法である。しかし、速度フィードバック制御を実現するには、搬送中の振動速度を測定するセンサが必要であり、装置コストが増大するという問題がある。
【０１０３】
そこで、本実施の形態における搬送装置１の制御部４は、疑似速度フィードバック制御を行う。疑似速度フィードバック制御とは、目標振幅に基づいてフィーダの振幅を制御する手法であって、速度フィードバック制御の挙動を指標とし、これを模擬的に実現する開ループ制御である。疑似速度フィードバック制御では、振動速度センサや振幅測定センサ等のセンサからの入力によらず、目標振幅を入力として制御が行われる。
【０１０４】
疑似速度フィードバック制御の精度を向上させるためには、正確に速度フィードバック制御を再現（トレース）する必要がある。例えば、条件を変更しつつ速度フィードバック制御の挙動を調べて、これによって入力として与える様々なパラメータを決定するようにしてもよい。
【０１０５】
＜ノッチモデル制御＞
本実施の形態における搬送装置１の制御部４が、疑似速度フィードバック制御を実現するために採用するノッチモデル制御について説明する。
【０１０６】
まず、速度フィードバック制御の加振力Ｆから変位ｘまでの関係を調べる。速度フィードバック制御の運動方程式は数１２となる。そして、数１２をラプラス変換すると、速度フィードバック制御における伝達関数が数１３のように求まる。
【０１０７】
【数１２】
2007246236.tif 000014
【０１０８】
【数１３】
2007246236.tif 000015
【０１０９】
制御力Ｆｃから変位ｘまでの伝達関数は、図３に示すブロック線図より、数１４と表せる。
【０１１０】
【数１４】
2007246236.tif 000016
【０１１１】
したがって、速度フィードバック制御の加振力Ｆから制御力Ｆｃまでの伝達関数は、数１３および数１４から数１５となる。
【０１１２】
【数１５】
2007246236.tif 000017
【０１１３】
数１５を見れば明らかなように、速度フィードバック制御における加振力Ｆから制御力Ｆｃまでの伝達関数は、いわゆるノッチフィルタとなっていることがわかる。
【０１１４】
図１８は、速度フィードバック制御をノッチフィルタを用いた開ループ制御（ノッチモデル制御）に変換する様子を示すブロック線図である。図１８に破線で囲む部分は、速度フィードバック制御とノッチモデル制御とにおいて、異なるところはない（装置構成が同じでよいことを示す）。したがって、ノッチモデル制御に必要な装置構成は、速度フィードバック制御におけるセンサをノッチフィルタに置き換えるだけで実現でき、比較的高価なセンサが不要になることがわかる。
【０１１５】
次に、本実施の形態における搬送装置１が実行するノッチモデル制御について評価を行う。
【０１１６】
ここで、ノッチモデル制御における制御力Ｆｃを、非制御における加振力Ｆと見れば、数１６が求まる。
【０１１７】
【数１６】
2007246236.tif 000018
【０１１８】
ノッチモデル制御における加振力Ｆから制御力Ｆｃまでの伝達関数は、図１８に示すノッチモデル制御のブロック線図から数１５と同等である（そのようなノッチフィルタを用いるからである）。したがって、数１６に数１５を代入すれば、ノッチモデル制御における伝達関数が数１７のように求まる。
【０１１９】
【数１７】
2007246236.tif 000019
【０１２０】
速度フィードバック制御における伝達関数を示す数１３と、数１７とを比較すれば、ノッチモデル制御の伝達関数は、適切なノッチフィルタを用いることにより、速度フィードバック制御における伝達関数と一致することがわかる。
【０１２１】
図１９は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎが等しいという条件で、ノッチモデル制御における振幅倍率と無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【０１２２】
図１９のグラフＧＰ１５は非制御の場合を示しており、図４におけるグラフＧＰ２および図６におけるグラフＧＰ７と同じグラフである。また、図１９のグラフＧＰ１６は速度フィードバック制御の場合を示しており、図４におけるグラフＧＰ３および図１２におけるグラフＧＰ１１と同じグラフである。ただし、図１９では縦軸のスケールが、図４、図６および図１２における縦軸のスケールと変更されている。さらに、グラフＧＰ１７は、ノッチモデル制御の場合を示しており、グラフＧＰ１８はノッチフィルタの場合を示している。
【０１２３】
図１９から明らかなように、ノッチモデル制御の場合を示すグラフＧＰ１７は、速度フィードバック制御の場合を示すグラフＧＰ１６と一致している。
【０１２４】
図２０は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎが等しいという条件で、ノッチモデル制御における位相差φと無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【０１２５】
図２０のグラフＧＰ１９は非制御の場合を示しており、図５におけるグラフＧＰ５および図７におけるグラフＧＰ９と同じグラフである。また、図２０のグラフＧＰ２０は速度フィードバック制御の場合を示しており、図５におけるグラフＧＰ６および図１３におけるグラフＧＰ１３と同じグラフである。さらに、グラフＧＰ２１は、ノッチモデル制御の場合を示しており、グラフＧＰ２２はノッチフィルタを示している。
【０１２６】
図２０からも明らかなように、ノッチモデル制御の場合を示すグラフＧＰ２１は、速度フィードバック制御の場合を示すグラフＧＰ２０と一致している。
【０１２７】
図２１は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎが等しいという条件で、ノッチモデル制御において、同一振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。また、図２２は、図２１に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【０１２８】
一方、図２３は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎが等しいという条件で、ノッチモデル制御において、異振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。また、図２４は、図２３に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【０１２９】
図２１ないし図２４は、いずれも図８ないし図１１とそれぞれ一致している。すなわち、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しいとき、ノッチモデル制御は、速度フィードバック制御と一致し、疑似速度フィードバック制御を高精度に達成できることがわかる。
【０１３０】
図２５は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎが異なるという条件で、ノッチモデル制御における振幅倍率と無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【０１３１】
図２５のグラフＧＰ２３は非制御の場合を示しており、図６におけるグラフＧＰ８と同じグラフである。また、図２５のグラフＧＰ２４は速度フィードバック制御の場合を示しており、図１２におけるグラフＧＰ１２と同じグラフである。ただし、図２５では縦軸のスケールが、図６および図１２における縦軸のスケールと変更されている。さらに、グラフＧＰ２５は、ノッチモデル制御の場合を示しており、グラフＧＰ２６はノッチフィルタを示している。
【０１３２】
図１９におけるグラフＧＰ１８と、図２５におけるグラフＧＰ２６を比較すれば明らかなように、グラフＧＰ１８とグラフＧＰ２６とは一致しており、ノッチフィルタは、振幅倍率について、実固有振動数ｆｒが予測固有振動数ｆｎと等しいか否かの影響を受けない。
【０１３３】
一方、ノッチモデル制御では、ノッチフィルタ以外の構成（図１８に破線で囲む部分）は、非制御のときの構成と等価である。したがって、図６に示したのと同様に、実固有振動数ｆｒが予測固有振動数ｆｎと等しいか否かの影響を受け、グラフＧＰ１５に比べてグラフＧＰ２３はピーク位置が移動する。
【０１３４】
したがって、図２５に示すように、ノッチモデル制御を示すグラフＧＰ２５は、速度フィードバック制御を示すグラフＧＰ２４と完全には一致せず、特に、同一振動数制御（Ω＝１）の近傍において、不一致が顕著となる。
【０１３５】
図２６は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎが異なるという条件で、ノッチモデル制御における位相差φと無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【０１３６】
図２６のグラフＧＰ２７は非制御の場合を示しており、図７におけるグラフＧＰ１０と同じグラフである。また、図２６のグラフＧＰ２８は速度フィードバック制御の場合を示しており、図１３におけるグラフＧＰ１４と同じグラフである。さらに、グラフＧＰ２９は、ノッチモデル制御の場合を示しており、グラフＧＰ３０はノッチフィルタを示している。
【０１３７】
図２０におけるグラフＧＰ２２と、図２６におけるグラフＧＰ３０を比較すれば明らかなように、グラフＧＰ２２とグラフＧＰ３０とは一致している。したがって、ノッチフィルタは、振幅倍率と同様に、位相差φについても、実固有振動数ｆｒが予測固有振動数ｆｎと等しいか否かの影響を受けない。
【０１３８】
一方、ノッチモデル制御では、ノッチフィルタ以外の構成（図１８に破線で囲む部分）は、非制御のときの構成と等価であるから、図７に示したのと同様に、実固有振動数ｆｒが予測固有振動数ｆｎと等しいか否かの影響を受け、グラフＧＰ１９に比べてグラフＧＰ２７はピーク位置が移動する。
【０１３９】
したがって、図２６に示すように、ノッチモデル制御を示すグラフＧＰ２９は、速度フィードバック制御を示すグラフＧＰ２８と完全には一致せず、特に、同一振動数制御（Ω＝１）の近傍において、不一致が顕著となる。
【０１４０】
しかし、図２５および図２６を見れば、異振動数制御（例えばｆｍ＝１．０３ｆｎ）では、グラフＧＰ２４とグラフＧＰ２５との差、およびグラフＧＰ２８とグラフＧＰ２９との差は、いずれも小さい。すなわち、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なる場合には、ノッチモデル制御は異振動数制御を実行することによって精度が向上することがわかる。
【０１４１】
図２７は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎが異なるという条件で、ノッチモデル制御において、同一振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。また、図２８は、図２７に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【０１４２】
一方、図２９は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎが異なるという条件で、ノッチモデル制御において、異振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。また、図３０は、図２９に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【０１４３】
実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なる場合において、ノッチモデル制御で、かつ、同一振動数制御を行うと、図２８に示すように、定常状態における振幅が、小さくなることがわかる。図２８に示す例では、目標振幅Ｒ「１ｍｍ」に対して、定常状態の振幅は「０．４ｍｍ」にまで低下しており、その差が大きいことがわかる。
【０１４４】
また、実固有振動数ｆｒが予測固有振動数ｆｎとが異なる場合において、ノッチモデル制御で、かつ、異振動数制御を行うと、図３０に示すように、定常状態における振幅が、大きくなることがわかる。図３０に示す例では、目標振幅Ｒ「１ｍｍ」に対して、定常状態の振幅は「１．２ｍｍ」に増加しており、その差は同一振動数制御に比べて小さいことがわかる。
【０１４５】
また、図３０から明らかなように、実固有振動数ｆｒが予測固有振動数ｆｎとが異なる場合において、ノッチモデル制御で、かつ、異振動数制御を行うと、過渡状態において「うなり」が生じ、このときの振幅は目標振幅Ｒ「１ｍｍ」に対して「１．３ｍｍ」であることがわかる。
【０１４６】
図３１は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なるという条件で、非制御かつ異振動数制御を行った場合の変位ｘを例示する図である。非制御において、異振動数制御を行うと、図３１に示すように、「うなり」による振幅は目標振幅Ｒの２倍以上にも達する。このような「うなり」が発生する状態では、機械の破損を防止するために、機械強度に対して半分以下の目標振幅Ｒしか設定することができない。
【０１４７】
一方、速度フィードバック制御における状態を示す図１７とノッチモデル制御における状態を示す図３０とを比較すれば、ノッチモデル制御は「うなり」が発生する。したがって、速度フィードバック制御に比べて、ノッチモデル制御は過渡状態における問題があると言える。しかし、非制御における状態を示す図３１と比較すれば、ノッチモデル制御は、非制御のときと比べて、「うなり」が抑制されていることがわかる。
【０１４８】
次に、ノッチモデル制御において、搬送装置１を間欠駆動させる場合について評価を行う。本実施の形態では、１秒間駆動した後、１秒間停止させる場合を例に、間欠駆動を評価する。
【０１４９】
図３２は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しいという条件で、ノッチモデル制御において、同一振動数制御でかつ間欠駆動させる場合の制御力Ｆｃを例示する図である。また、図３３は、図３２に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【０１５０】
図３４は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しいという条件で、ノッチモデル制御において、異振動数制御でかつ間欠駆動させる場合の制御力Ｆｃを例示する図である。また、図３５は、図３４に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【０１５１】
なお、図３２における「駆動」の区間における制御力Ｆｃは、図２１に示す制御力Ｆｃとなっている。また、図３４における「駆動」の区間における制御力Ｆｃは、図２３に示す制御力Ｆｃとなっている。さらに、図３２および図３４における「停止」の区間における制御力Ｆｃは、目標振幅Ｒを「０」として演算した制御力Ｆｃであり、抑制加振力によるものである。
【０１５２】
図３３および図３５から明らかなように、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しいという条件では、ノッチモデル制御は、同一振動数制御と異振動数制御との違いは少なく、いずれも間欠駆動が高精度に実現可能であることがわかる。
【０１５３】
図３６は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なるという条件で、ノッチモデル制御において、同一振動数制御でかつ間欠駆動させる場合の制御力Ｆｃを例示する図である。また、図３７は、図３６に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【０１５４】
図３８は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なるという条件で、ノッチモデル制御において、異振動数制御でかつ間欠駆動させる場合の制御力Ｆｃを例示する図である。また、図３９は、図３８に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【０１５５】
なお、図３６における「駆動」の区間における制御力Ｆｃは、図２７に示す制御力Ｆｃとなっている。また、図３８における「駆動」の区間における制御力Ｆｃは、図２９に示す制御力Ｆｃとなっている。さらに、図３６および図３８における「停止」の区間における制御力Ｆｃは、目標振幅Ｒを「０」として演算した制御力Ｆｃであり、抑制加振力によるものである。
【０１５６】
図３７から明らかなように、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なるという条件では、ノッチモデル制御を同一振動数制御で実行すると、搬送装置１は間欠駆動できないことがわかる。一方、図３９から明らかなように、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なるという条件では、ノッチモデル制御を異振動数制御で実行すると、振幅の成長と減衰とが完全ではないものの、一応の間欠駆動が実現できることがわかる。
【０１５７】
物品を複数のグループに分けて計量し、個々に計量したグループの中から選択されたグループに含まれる物品のみを組合せて、その重量が所望の重量にする組合せ計量装置が提案されている。このような組合せ計量装置では、物品をグループごとに搬送するために、個々のグループに対応した複数の搬送装置が用いられ、個々の搬送装置は組合せサイクルに応じて間欠駆動される。このような組合せ計量装置で用いられる搬送装置は、組合せ計量装置における組合せ効率を向上させるために、間欠駆動を高精度に制御できることが要求される。本実施の形態における搬送装置１は、例えば、図３３や図３９に示すように、間欠駆動を高精度に制御することができるので、組合せ計量装置において、特に優れた効果を奏する。
【０１５８】
以上のように、本実施の形態における搬送装置１は、速度フィードバック制御を模擬的に実現した疑似速度フィードバック制御を行うことによって、振動速度センサ等の構成が不要であるため、装置コストを抑制することができる。
【０１５９】
また、疑似速度フィードバック制御を実現するために、ノッチフィルタを用いた開ループ制御（ノッチモデル制御）を行うことにより、疑似速度フィードバック制御を容易に、かつ高精度に実現することができる。
【０１６０】
特に、搬送時の振動における実固有振動数ｆｒを高精度に予測（あるいは測定）できる場合には、駆動振動数ｆｍを予測固有振動数ｆｎと等しくなるように設定して制御（同一振動数制御に切り替えて制御）することにより、小さい加振力（制御力）で効率よく、かつ高精度の疑似速度フィードバック制御を実現できる（図２２および図３３）。
【０１６１】
また、搬送時の振動における実固有振動数ｆｒを高精度に予測（あるいは測定）できない場合には、駆動振動数ｆｍを予測固有振動数ｆｎからずらして設定して制御（異振動数制御に切り替えて制御）することにより、高精度の疑似速度フィードバック制御を実現できる（図３０および図３９）。
【０１６２】
＜２．  第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、速度フィードバック制御を、ノッチフィルタを用いた開ループ制御（ノッチモデル制御）によって模擬的に実現する手法について説明したが、速度フィードバック制御を模擬する手法はこれに限られるものではない。
【０１６３】
まず、加振力Ｆを角周波数ω、振幅Ｆｏの正弦波とすると、ラプラス変換により数１５から、数１８が求まる。
【０１６４】
【数１８】
2007246236.tif 000020
【０１６５】
数１８をラプラス逆変換すると数１９が求まる。
【０１６６】
【数１９】
2007246236.tif 000021
【０１６７】
ただし、係数αは数２０で求まり、粘性減衰系の固有振動数ωｄは数２１で求まる。
【０１６８】
【数２０】
2007246236.tif 000022
【０１６９】
【数２１】
2007246236.tif 000023
【０１７０】
ここで、係数Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄについて、数２２ないし数２５とおくと、ノッチモデル制御における制御力Ｆｃは数２６で表せる。
【０１７１】
【数２２】
2007246236.tif 000024
【０１７２】
【数２３】
2007246236.tif 000025
【０１７３】
【数２４】
2007246236.tif 000026
【０１７４】
【数２５】
2007246236.tif 000027
【０１７５】
【数２６】
2007246236.tif 000028
【０１７６】
数２６における係数Ｅ，Ｇは振動の大きさを表し、θ，ψは入力正弦波との位相差を表している。このように、ノッチモデル制御の制御力Ｆｃは、２つの成分の足し合わせで表される。数２６の第１項は成長加振力に関する成分（振幅を増加させるための成分、以下「第１成分」と称する）であり、第２項は補完加振力に関する成分（駆動しつづけるための成分、以下「第２成分」と称する）である。
【０１７７】
以下、２つの成分の足し合わせによって制御する手法を、説明の便宜上、「成分加算制御」と称する。
【０１７８】
図４０は、ノッチモデル制御を成分加算制御に変換する様子を示すブロック線図である。成分加算制御はノッチフィルタを用いない制御手法であり、図４０（数２６）に示すように、各成分を決定すれば、第１の実施の形態で説明したノッチモデル制御とほぼ等価な制御を実現できる。すなわち、成分加算制御も、速度フィードバック制御を模擬的に実現する疑似速度フィードバック制御である。
【０１７９】
なお、係数Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは数１８と数２６を係数比較することで算出可能で、その結果、成分加算制御（数２６）における振幅Ｅ，Ｇおよび位相差θ，ψを決定することができる。
【０１８０】
図４１は、成分加算制御における第１成分の制御力を例示する図である。また、図４２は、成分加算制御における第２成分の制御力を例示する図である。なお、図４１および図４２は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しいという条件で、同一振動数制御を行う場合を示す。
【０１８１】
成分加算制御における制御力Ｆｃの第１成分は位相が遅れた（図４１に示す例では約１６ｄｅｇ）粘性減衰正弦波となり、制御力Ｆｃの第２成分は位相が進んだ（図４２に示す例では約７０ｄｅｇ）正弦波となる。
【０１８２】
図４３は、図４１に示す制御力による変位ｘを例示する図である。また、図４４は、図４２に示す制御力による変位ｘを例示する図である。さらに、図４５は、図４３および図４４に示す変位ｘを足し合わせた変位ｘを例示する図である。すなわち、図４５は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しいという条件で、成分加算制御において同一振動数制御を行う場合の変位ｘを示している。
【０１８３】
図４６は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しいという条件で、成分加算制御において異振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。また、図４７は、図４６に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【０１８４】
図４５に示す結果は、図１５および図２２に示す結果と一致している。また、図４６に示す結果は、図１６および図２３に示す結果と一致している。さらに、図４７に示す結果は、図１７および図２４に示す結果と一致している。
【０１８５】
このことから、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しいという条件において、成分加算制御は、速度フィードバック制御を高精度に実現する疑似速度フィードバック制御であり、かつ、ノッチモデル制御と等価な制御となる。
【０１８６】
図４８は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なるという条件で、成分加算制御において異振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。また、図４９は、図４８に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【０１８７】
図４８に示す結果は、図２９に示す結果と一致している。また、図４９に示す結果は、図３０に示す結果と一致している。
【０１８８】
このことから、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが異なるという条件において、成分加算制御は、ノッチモデル制御と等価な制御となる。したがって、成分加算制御は、速度フィードバック制御を、ノッチモデル制御と同等の精度で実現する疑似速度フィードバック制御と言える。
【０１８９】
以上のことから、第２の実施の形態における搬送装置１のように、成分加算制御を行った場合にも、第１の実施の形態と同等の効果を得ることができる。
【０１９０】
＜３．  第３の実施の形態＞
振動している振動部２に与える加振力を「０」にするだけでは、振動は減衰振動となるため、停止するまでに比較的長時間を要する。しだかって、振動を停止させるためには抑制加振力が必要となる。上記実施の形態では、抑制加振力を求める場合に、目標振幅Ｒを「０」とおいて演算するとして説明した。しかし、抑制加振力を求める手法はこれに限られるものではない。
【０１９１】
第３の実施の形態における搬送装置１は、制御力Ｆｃ（駆動開始時に与えた制御力、以下「制御力Ｆｏｎ」と称する）の逆位相を、停止時に与える制御力（以下、「制御力Ｆｏｆｆ」と称する）とする。このとき、制御力Ｆｏｆｆを与えるタイミングは、制御力Ｆｏｎの周期に基づいて決定する。以下において、第２の実施の形態における成分加算制御において、抑制加振力を求める例について具体的に説明する。
【０１９２】
図４１に示すように、成分加算制御における第１成分は急速に減衰する。これにより、成分加算制御において振動を停止させる時点では、すでに第１成分の影響は小さいとみなす。したがって、制御部４は、第２成分の周期に基づいて制御力Ｆｏｆｆを与えるタイミングを決定する。
【０１９３】
まず、整数をＮとすると、間欠駆動における駆動時間Ｔｏｎは、Ｔｏｎ＝Ｎ／ｆｍで表すことができる。これにより、制御力Ｆｏｆｆの位相遅れは、Ｔｏｎ×ω＝２πＮとなり、間欠駆動における制御力Ｆｃは、数２７で表される。
【０１９４】
【数２７】
2007246236.tif 000029
【０１９５】
図５０は、間欠駆動における制御力Ｆｃを例示する図である。また、図５１は、図５０に示す制御力Ｆｃの停止区間における状態を詳細に示す図である。図５０および図５１は、実固有振動数ｆｒと予測固有振動数ｆｎとが等しいという条件で、成分加算制御を異振動数制御で実行した場合を示す。
【０１９６】
グラフＧＰ３１は、制御力Ｆｏｆｆがない場合の制御力Ｆｏｎを示すグラフである。また、グラフＧＰ３２は、制御力Ｆｏｆｆを示すグラフである。さらに、グラフＧＰ３３は、図５０の制御力Ｆｃを示すグラフである。
【０１９７】
図５１を見れば、制御力Ｆｏｎの逆位相である制御力Ｆｏｆｆが与えられることによって、制御力Ｆｏｎの第２成分は、制御力Ｆｏｆｆの第２成分によって打ち消されることがわかる。すなわち、これによって、いわば補完加振力を停止する（「０」とする）効果が得られている。
【０１９８】
図５０および図５１から明らかなように、停止区間では、制御力Ｆｏｎの第１成分はすでに減衰しており、制御力Ｆｏｆｆの第１成分が制御力Ｆｃにおいて支配的となる。また、制御力Ｆｏｆｆの第１成分は、制御力Ｆｏｎの第１成分と同様に急激に減衰するため、制御力Ｆｃも急激に減衰することがわかる。
【０１９９】
図５２は、図５０に示した制御力Ｆｃと、速度フィードバック制御における制御力Ｆｃとを例示する図である。また、図５３は、図５０に示した制御力Ｆｃによる変位ｘと、速度フィードバック制御における変位ｘとを例示する図である。なお、グラフＧＰ３４は図５０の制御力Ｆｃを示すグラフであり、グラフＧＰ３５は速度フィードバック制御における制御力Ｆｃを示すグラフである。また、グラフＧＰ３６は図５０の制御力Ｆｃによる変位ｘを示すグラフであり、グラフＧＰ３７は速度フィードバック制御における変位ｘを示すグラフである。
【０２００】
図５２から明らかなように、グラフＧＰ３４とグラフＧＰ３５とが一致しており、図５３から明らかなように、グラフＧＰ３６とグラフＧＰ３７とが一致している。
【０２０１】
すなわち、第３の実施の形態における搬送装置１のように、駆動時に必要な制御力Ｆｏｎに対する逆位相の制御力Ｆｏｆｆを、停止時に与えることによって、速度フィードバック制御と同等の制御（疑似速度フィードバック制御）が実現できることがわかる。
【０２０２】
以上のように、第３の実施の形態における制御部４は、振動部２を加振する際の加振力に基づいて、振動部２を減振させる際の加振力を求める。これにより、制御部４における演算量が減るので、制御部４の負担が軽減される。
【０２０３】
＜４．  第４の実施の形態＞
上記実施の形態では、設定部５は、制御電流が連続的に変化するように、制御電流に関するパラメータを設定すると説明した。
【０２０４】
しかし、振動部２が振動する間において、制御電流は必ずしも連続的に与えられる必要はない。また、制御電流を決定するためには、電力供給部６の電圧を決定すればよいので、設定部５は電力供給部６の電圧を決定するパラメータを設定することによって、制御電流に関するパラメータを間接的に設定してもよい。
【０２０５】
図５４は、設定部５が設定した電圧パルス列を例示する図である。図５５は、図５４に示す電圧パルス列によって電磁石３０に流れる制御電流を例示する図である。図５６は、図５５に示す制御電流による振動部２の振動加速度を示す図である。
【０２０６】
図５７ないし図５９は、図５４ないし図５６の駆動開始時間ｔ０の前後を拡大して示す図である。図５４ないし図５９では、駆動開始時間ｔ０を「０」として示している。
【０２０７】
本実施の形態における設定部５が、図５４に示すような電圧パルス列を電力供給部６に伝達することにより、図５５に示すように、制御電流は複数のパルス状の電流からなる間欠電流となる。
【０２０８】
ここでは、間欠電流のＮ番目のパルス状電流の供給開始時間をＩＰＴｓＮ、供給継続時間をＩＰＴＮ、電流値をＩＰＮとする（１番目のパルス状電流については図５８に示す）。
【０２０９】
なお、１番目のパルス状電流の供給開始時間ＩＰＴｓ１は、振動部２が振動を開始する時間であるから、駆動開始時間ｔ０である。また、供給開始時間をＩＰＴｓＮは、各パルス状電流のパルス間隔を決定するパラメータである。
【０２１０】
本実施の形態における設定部５は、振動部２が振動する間において、制御電流の電流値がパルス状に変化する間欠電流となるように、制御電流の各パルス状電流について供給開始時間ＩＰＴｓＮ、供給継続時間ＩＰＴＮおよび電流値ＩＰＮを設定する。
【０２１１】
まず、設定部５は、上記実施の形態に示めした演算手法に従って、振動部２に与える加振力を求め、これに基づいて電磁石３０に供給する制御電流を求める。本実施の形態ではパルス状電流によって加振力を与えるので、ｎ番目のパルス状電流のパラメータを次のようにして求める。
【０２１２】
供給開始時間ＩＰＴｓＮは、必要とする精度に基づいて任意に設定する（ただし、供給開始時間ＩＰＴｓ１は常にｔ０）。すなわち、個々のパルス状電流について独立して設定する。
【０２１３】
次に、ｎ−１番目のパルス状電流を供給してからｎ番目のパルス状電流を与えるまでの間（パルス間隔：ＩＰＴｓｎ−ＩＰＴｓ（ｎ−１））に、加振部３が振動部２に与えるべき力積を演算する。この力積は、例えば、パルス間隔における加振力の積分として求めることができるが、当然、個々のパルス状電流ごとに値が異なる。設定部５は、このようにして求めた力積に基づいて、ｎ番目のパルス状電流によって与えるべき力積を求め、これに基づいてｎ番目のパルス状電流の供給継続時間ＩＰＴｎおよび電流値ＩＰｎを決定する。すなわち、個々のパルス状電流の供給継続時間ＩＰＴｎおよび電流値ＩＰｎは独立して設定される。
【０２１４】
このように、設定部５は、個々のパルス状電流ごとに、供給開始時間ＩＰＴｓＮ、供給継続時間ＩＰＴＮおよび電流値ＩＰＮをそれぞれ独立して設定可能である。したがって、加振力の制御精度を向上できる。
【０２１５】
例えば、振動部２の振動が定常振動に収束するまでの間のように、振動部２が過渡状態にあり、制御電流について比較的精度が要求される場面では、設定部５は、各パルス状電流の間隔を縮めるように個々独立に設定する。図５８に示すように、１番目のパルス状電流と２番目のパルス状電流との時間間隔は、２番目のパルス状電流と３番目のパルス状電流との時間間隔に比べて狭くなっている。
【０２１６】
一方、図５５に示すように、後半のパルス状電流（定常状態における制御電流）については、個々のパルス状電流の供給継続時間ＩＰＴＮを互いに同一に設定し、かつ、パルス間隔も同一となるように供給開始時間ＩＰＴｓＮを設定する。
【０２１７】
このように、設定部５は、振動部２の振動が定常振動に収束するまでの間に設定する複数のパルス状の電流についてはそれぞれの供給開始時間ＩＰＴｓＮおよび供給継続時間ＩＰＴＮを独立して設定し、振動部２の振動が定常振動に収束している間に設定する複数のパルス状の電流については周期的に設定する。
【０２１８】
また、設定部５は、振動部２の振動が定常振動に収束するまでの過渡状態において設定する複数のパルス状電流についてはそれぞれの電流値ＩＰＮを互いに異なるように設定し、振動部２の振動が定常振動に収束している間に設定する複数のパルス状電流についてはそれぞれの電流値ＩＰＮを互いに等しくなるように設定する。
【０２１９】
これによって、比較的精度が要求される過渡状態では、パルス状電流が個々独立して制御されるので、この間の制御電流を高精度に制御できる。一方、振動部２が定常状態にあるときのように、必要とされる個々のパルス状電流が互いに似た状態の場合には、同一のパルス状電流を周期的に与えることにより、振動部２に与えられる加振力の精度の低下を抑制しつつ、設定部５の演算量を抑制できる。
【０２２０】
以上のようにして、設定部５は、個々のパルス状電流に関するパラメータを設定することによって、間欠電流（例えば、図５５および図５８）である制御電流を求める。
【０２２１】
必要な制御電流が求まると、設定部５は、求めた制御電流を供給するための電圧を求める。本実施の形態では、制御電流がパルス状電流であるため、電圧も電圧パルス列で設定することができる。
【０２２２】
設定部５は、各パルス状電流に対応したパルス状電圧を求めて電圧パルス列を設定し、これを表す信号パルス（例えば、図５４および図５７）を求めて電力供給部６に伝達する。
【０２２３】
このように、設定部５は、電圧パルス列を示す信号パルス列によって電力供給部６を制御し、この信号パルス列に基づいて電力供給部６が電圧パルス列を決定し、これにより電力供給部６から制御電流が加振部３に供給される。すなわち、設定部５が信号パルス列を設定することによって、振動部２に与えられる加振力が制御される。
【０２２４】
＜５．  第５の実施の形態＞
上記第４の実施の形態では、振動の立ち上げ時の加振力（成長加振力および補完加振力）を制御する場合に、間欠電流を供給する例について説明したが、振動を停止するときの加振力（抑制加振力）を制御する場合にも間欠電流を供給することができる。
【０２２５】
図６０は、本実施の形態における設定部が設定した電圧パルス列（信号パルス列）を例示する図である。また、図６１は、図６０に示す電圧パルス列によって電磁石３０に流れる制御電流を例示する図である。さらに図６２は、図６１に示す制御電流による振動部２の振動加速度を示す図である。
【０２２６】
図６０に示すように、本実施の形態における設定部５は、振動部２の振動を停止させるときに、停止パルスＳＴＰを設定する。
【０２２７】
停止パルスＳＴＰは、第４の実施の形態と同様に、抑制加振力に基づいて演算される。
【０２２８】
図６１に示すように、停止パルスＳＴＰによって、電磁石３０には、パルス状電流ＳＴＩＰが供給される。なお、パルス状電流ＳＴＩＰの供給開始時間、供給継続時間および電流値は停止パルスＳＴＰにより決定されている。
【０２２９】
パルス状電流ＳＴＩＰが電磁石３０に供給されると、加振部３には抑制加振力が発生し、これが振動部２に与えられるため、図６２に示すように、振動部２の加速度は、停止パルスＳＴＰが設定された後、急激に減衰している。一方、停止パルスＳＴＰによって抑制加振力を与えない場合には、図５６に示すように、パルス状電流を停止した後も、振動部２の加速度は直ちに「０」とはならず、長時間振動が継続する。
【０２３０】
なお、本実施の形態では、停止パルスＳＴＰとして、１つの信号パルスのみ設定する例について説明したが、停止パルスＳＴＰの数はこれに限られるものではなく、もちろん複数であってもよい。
【０２３１】
このように、設定部５は、振動部２の振動を停止させる際に設定する複数のパルス状の電流（パルス状電流ＳＴＩＰ）についてはそれぞれの供給開始時間、供給継続時間および電流値を、停止パルスＳＴＰによって個々独立して設定する。
【０２３２】
＜６．  変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【０２３３】
例えば、第１ないし第３の実施の形態では、設定部５は電力供給部６の制御電流を直接制御するように説明した。しかし、電力供給部６の電圧を決定すれば電流が決定されることは、電流を連続的に変化させる場合であっても同様である。したがって、第１ないし第４の実施の形態においても、第４の実施の形態と同様に、設定部５は、電力供給部６の電圧を直接制御することにより、制御電流を間接的に制御してもよい。
【０２３４】
また、上記実施の形態では、疑似速度フィードバック制御において、個々のパルス状電流の供給開始時間および供給継続時間を独立して制御する例を説明した。しかし、個々のパルス状電流の供給開始時間および供給継続時間を独立して制御するのは、疑似速度フィードバック制御に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【０２３５】
【図１】本発明に係る搬送装置を示す図である。
【図２】制御部の構成を示すブロック図である。
【図３】速度フィードバック制御を示すブロック線図である。
【図４】振幅倍率（Ｘ／Ｘｓｔ）と、無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【図５】位相差φと無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【図６】非制御のときの振幅倍率と無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【図７】非制御のときの位相差φと無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【図８】速度フィードバック制御において、同一振動数制御を行う場合に必要な制御力Ｆｃを例示する図である。
【図９】図８に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図１０】速度フィードバック制御において、異振動数制御を行う場合に必要な制御力Ｆｃを例示する図である。
【図１１】図１０に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図１２】速度フィードバック制御における振幅倍率と無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【図１３】速度フィードバック制御における位相差φと無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【図１４】速度フィードバック制御において、同一振動数制御を行う場合に必要な制御力Ｆｃを例示する図である。
【図１５】図１４に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図１６】速度フィードバック制御において、異振動数制御を行う場合に必要な制御力Ｆｃを例示する図である。
【図１７】図１６に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図１８】速度フィードバック制御を疑似速度フィードバック制御であるノッチモデルに変換する様子を示すブロック線図である。
【図１９】ｆｒ＝ｆｎという条件で、ノッチモデル制御を行った場合における振幅倍率と無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【図２０】ｆｒ＝ｆｎという条件で、ノッチモデル制御を行った場合における位相差φと無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【図２１】ｆｒ＝ｆｎという条件で、ノッチモデル制御において同一振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。
【図２２】図２１に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図２３】ｆｒ＝ｆｎという条件で、ノッチモデル制御において異振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。
【図２４】図２３に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図２５】ｆｒ≠ｆｎという条件で、ノッチモデル制御における振幅倍率と無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【図２６】ｆｒ≠ｆｎという条件で、ノッチモデル制御における位相差φと無次元振動数Ωとの関係を示す図である。
【図２７】ｆｒ≠ｆｎという条件で、ノッチモデル制御において、同一振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。
【図２８】図２７に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図２９】ｆｒ≠ｆｎという条件で、ノッチモデル制御において、異振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。
【図３０】図２９に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図３１】ｆｒ≠ｆｎという条件で、非制御において異振動数制御を行った場合の変位ｘを例示する図である。
【図３２】図２１と同一条件で間欠駆動させる場合の制御力Ｆｃを例示する図である。
【図３３】図３２に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図３４】図２３と同一条件で間欠駆動させる場合の制御力Ｆｃを例示する図である。
【図３５】図３４に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図３６】図２７と同一条件で間欠駆動させる場合の制御力Ｆｃを例示する図である。
【図３７】図３６に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図３８】図２９と同一条件で間欠駆動させる場合の制御力Ｆｃを例示する図である。
【図３９】図３８に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図４０】ノッチモデル制御を、第２の実施の形態における成分加算制御に変換する様子を示すブロック線図である。
【図４１】第２の実施の形態の成分加算制御における第１成分の制御力を例示する図である。
【図４２】第２の実施の形態の成分加算制御における第２成分の制御力を例示する図である。
【図４３】図４１に示す制御力による変位ｘを例示する図である。
【図４４】図４２に示す制御力による変位ｘを例示する図である。
【図４５】図４３および図４４に示す変位ｘを足し合わせた変位ｘを例示する図である。
【図４６】ｆｒ≠ｆｎという条件で、成分加算制御において異振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。
【図４７】図４６に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図４８】ｆｒ≠ｆｎという条件で、成分加算制御において異振動数制御を行うために必要な制御力Ｆｃを例示する図である。
【図４９】図４８に示す制御力Ｆｃによる変位ｘを例示する図である。
【図５０】第３の実施の形態に係る間欠駆動における制御力Ｆｃを例示する図である。
【図５１】図５０に示す制御力Ｆｃの停止区間における状態を詳細に示す図である。
【図５２】図５０に示した制御力Ｆｃと、速度フィードバック制御における制御力Ｆｃとを例示する図である。
【図５３】図５０に示した制御力Ｆｃによる変位ｘと、速度フィードバック制御における変位ｘとを例示する図である。
【図５４】第４の実施の形態における設定部が設定した電圧パルス列（信号パルス列）を例示する図である。
【図５５】図５４に示す電圧パルス列によって電磁石に流れる制御電流を例示する図である。
【図５６】図５５に示す制御電流による振動部の振動加速度を示す図である。
【図５７】図５４の駆動開始時間ｔ０の前後を拡大して示す図である。
【図５８】図５５の駆動開始時間ｔ０の前後を拡大して示す図である。
【図５９】図５６の駆動開始時間ｔ０の前後を拡大して示す図である。
【図６０】第５の実施の形態における設定部が設定した電圧パルス列（信号パルス列）を例示する図である。
【図６１】図６０に示す電圧パルス列によって電磁石に流れる制御電流を例示する図である。
【図６２】図６１に示す制御電流による振動部の振動加速度を示す図である。
【符号の説明】
【０２３６】
１  搬送装置
２  振動部
２０  フィーダ
３  加振部
３０  電磁石
３１  可動鉄心
４  制御部
５  設定部
６  電力供給部
Ｆ  加振力
ＩＰＮ  電流値
ＩＰＴＮ  供給継続時間
ＩＰＴｓＮ  供給開始時間
Ｒ  目標振幅
ｆｍ  駆動振動数
ｆｎ  予測固有振動数
ｆｒ  実固有振動数
【図１】
2007246236.tif 000030
【図２】
2007246236.tif 000031
【図３】
2007246236.tif 000032
【図４】
2007246236.tif 000033
【図５】
2007246236.tif 000034
【図６】
2007246236.tif 000035
【図７】
2007246236.tif 000036
【図８】
2007246236.tif 000037
【図９】
2007246236.tif 000038
【図１０】
2007246236.tif 000039
【図１１】
2007246236.tif 000040
【図１２】
2007246236.tif 000041
【図１３】
2007246236.tif 000042
【図１４】
2007246236.tif 000043
【図１５】
2007246236.tif 000044
【図１６】
2007246236.tif 000045
【図１７】
2007246236.tif 000046
【図１８】
2007246236.tif 000047
【図１９】
2007246236.tif 000048
【図２０】
2007246236.tif 000049
【図２１】
2007246236.tif 000050
【図２２】
2007246236.tif 000051
【図２３】
2007246236.tif 000052
【図２４】
2007246236.tif 000053
【図２５】
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【図２６】
2007246236.tif 000055
【図２７】
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【図２８】
2007246236.tif 000057
【図２９】
2007246236.tif 000058
【図３０】
2007246236.tif 000059
【図３１】
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【図３２】
2007246236.tif 000061
【図３３】
2007246236.tif 000062
【図３４】
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【図３５】
2007246236.tif 000064
【図３６】
2007246236.tif 000065
【図３７】
2007246236.tif 000066
【図３８】
2007246236.tif 000067
【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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