(57)【要約】【課題】電極ポスト間に配線を多く引き回すことができ、ポスト電極の部分を単純な柱状にすると共に、台座との重ね合わせ精度による形状のばらつきをなくす。【解決手段】ウエハ上の配線３に設けられる台座４ｂの径をポスト電極５の径より小さく形成して、台座４ｂがポスト電極５の下に埋没して隠れるようにした。【選択図】図１
2007305694.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された複数の配線と、
各配線の端部に形成された台座と、
各台座上に形成された電極とを備え、
前記電極は一列に配置されていて、隣り合う電極間に台座が電極から露出しないように形成されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記台座の径を前記電極の径より小さくしたことを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項２に記載の半導体装置において、
前記台座の径と前記電極の径の差は、ホトリソグラフィーによる電極形成時のマスク合わせ精度より大きくしたことを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
端部に台座複数の配線を基板上に形成し、各台座上に電極を形成する半導体装置の製造方法において、
複数形成される電極の少なくとも１つの電極の台座を、他の電極ポストの台座と異なる形状とし、その異なる形状の台座を位置決めマークとして、ホトリソグラフィーによる電極形成時に前記位置決めマークを基準にしてマスク合わせを行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の半導体装置の製造方法において、
前記位置決めマークとする台座の形状を十字形としたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッケージ化された半導体装置、特にウエハレベルＣＳＰ(チップサイズパッケージ)と称する半導体装置とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の半導体装置及びその製造方法として、特許文献１等に示されるものがあり、その技術の一例を図４により説明する。
図４は従来の半導体装置におけるポスト電極部分を示す図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
図において１は図示しない集積回路が形成されたウエハのパッシペーション層上に形成された有機絶縁膜である。
【０００３】
２はウエハ全面にスパッタリングによって形成されたシード層で、主として後述する配線やポスト電極のめっき加工のときにホトリソグラフィーで形成したパターンにめっき電流を流すために用いられる。
３は配線で、ホトリソグラフィーによってレジストによる配線パターンを形成し、シード層２を介して供給される電流によって配線パターン内にめっきを施すことで形成される。配線３の形成後レジストは除去される。
【０００４】
この配線３は、主として集積回路のパッドと後述するポスト電極を電気的に接続するために用いられるもので、その一端に例えば８角形の台座４ａを有している。
５は台座４ａ上に形成された円柱状のポスト電極で、ホトリソグラフィーによってレジストによるポスト電極パターンを台座４ａ上に形成し、シード層２を介して供給される電流によってポスト電極パターン内にめっきを施すことで形成される。
【０００５】
このポスト電極５は、外部電極である図示しないはんだ端子と配線３を電気的に接続するために形成される。
ポスト電極５形成後、レジストは除去され、そして配線３間に露出するシード層２がエッチングされ、これにより各配線３は電気的に分離される。
６は配線３及びポスト電極５が形成された面を覆うようにモールデングされた封止樹脂で、モールデング後、ポスト電極５の頭頂部を露出させるように研削されている。
【０００６】
露出したポスト電極５の頭頂部には、図示しないはんだ端子が形成され、このはんだ端子形成後、ウエハ全体を研削で任意の厚さに仕上げ、ダイシング加工にてよりパッケージ単位に分離切断することで、半導体装置は完成される。
このような構成による半導体装置において、配線３の台座４ａの径はポスト電極５の径より大きく設計され、平面で表わすと図４（ｂ）のようになる。
【０００７】
台座４ａ及びポスト電極５の径の差は、ポスト電極形成時のホトリソグラフィーの重ね合わせ寸法に依存するもので、ポスト電極５の形成時にレジストパターンの形成誤差等によって台座４ａ上にポスト電極５がはみ出すことなく乗るように台座４ａの寸法が設定されている。
【特許文献１】特開２０００−１８３０９０号公報（段落「００１６」〜段落「００２１」、図１〜図７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した従来の技術においては、ポスト電極の径に比較して台座の径が大きいいため、ポスト電極間に引き回される配線数が制限されるという問題がある。
また、配線数を確保するために配線を微細にすると形成が困難になり、かつポスト電極周囲の構造が複雑になるため、形状にばらつきが生じるという問題がある。
また、電極ポスト形成のためのレジストパターン形成時には、ホトリソグラフィーでマスク合せを行うため、マスク合わせ用の位置あわせマークをウエハ上に設けるための領域が必要となり、しかもこの位置あわせマークが最終構造で痕跡として残るという問題もある。
【０００９】
本発明は、このような問題を解決することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そのため、本発明の半導体装置は、各配線の端部に形成された台座と、各台座上に形成された電極とを備え、前記電極は一列に配置されていて、隣り合う電極間に台座が電極から露出しないように形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
このようにした本発明は、隣り合う電極間に台座が電極から露出しないようにしているため、電極間の配線スペースが広くなり、電極ポスト間に配線を多く引き回すことができるという効果が得られる。
また、電極の形成後は、台座が電極の下に埋まるため、電極の部分は台座を含めて単純な柱状になり、台座との重ね合わせ精度による形状のばらつきがなくなるという効果も得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明による半導体装置及びその製造方法の実施例を説明する。
【実施例】
【００１３】
図１は第１の実施例のポスト電極部分を示す図であって、ポスト電極形成後でかつシード層エッチング前の状態を示しており、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
尚従来のものと同一の部分は同一の符号を用いて説明する。
図において１は図示しない集積回路が形成されたウエハ（基板）のパッシペーション層上に形成された有機絶縁膜で、この有機絶縁膜１としてはポリイミド樹脂、ＢＣＢ樹脂、ＰＢＯ樹脂が用いられる。
【００１４】
２はチタン、タングステン、ニッケル、クロム等で形成されたシード層で、主として配線やポスト電極のめっき加工のときにホトリソグラフィーで形成したパターンにめっき電流を流すために用いられる。
３は台座４ｂを有する配線で、主として図示しない集積回路のパッドと後述するポスト電極を電気的に接続するために用いられる。この配線３としては、配線抵抗を下げるために銅が用いられるが、金、銀、アルミを用いることも可能である。
【００１５】
本実施例における台座４ｂは後述するポスト電極の径より小さい径で円形に形成されている。
５は台座４ｂ上に形成された円柱状のポスト電極で、このポスト電極５は半導体装置の最終的な構造において封止樹脂６（図４参照）を貫通し、外部電極である図示しないはんだ端子と配線３を電気的に接続するために形成される。
【００１６】
このような構成を有する半導体装置は以下のように製造される。
まず、半導体回路が形成されかつパッド上のパッシベーション膜が開口された状態にあるウエハを準備し、そのパッシベーション膜上に有機絶縁膜１を被覆し、パッド上のパッシベーション膜の開口部に重複して有機絶縁膜１の開口部を形成する。
次に、ウエハ全面にスパッタリングによってシード層２を形成した後、ホトリソグラフィーによってレジストによる配線パターンを形成し、シード層２を介して供給される電流によって配線パターン内にめっきを施すことで端部に台座４ａを有する配線３を形成した後、レジストを除去する。
【００１７】
この台座４ｂを有する配線３は複数本（図１では１本のみを示す）平行に形成されていて、各台座４ｂは一列に形成されており、また各配線の台座４ｂと反対側の端部が有機絶縁膜１の開口部を介して図示しない集積回路のパッドと接続されている。
次に、ホトリソグラフィーによってレジストによるポスト電極パターンを台座４ｂ上に形成し、シード層２を介して供給される電流によってポスト電極パターン内にめっきを施すことで台座４ａ上にポスト電極５を形成した後、レジストを除去する。
【００１８】
本実施例において台座４ｂは後述するポスト電極５の径より小さい径で形成されているため、形成されたポスト電極５の下に埋没するものとなる。
次に、配線３間に露出するシード層２をエッチングして、各配線３を電気的に分離する。
そして、配線３及びポスト電極５が形成された面を封止樹脂６で覆うようにウエハレベルで樹脂モールデングした後、樹脂封止面を研削してポスト電極５の頭頂部を露出させる。
【００１９】
その後、露出したポスト電極５の頭頂部に図示しないはんだ端子を形成し、最後にウエハ全体を研削で任意の厚さに仕上げ、ダイシング加工にてよりパッケージ単位に分離切断して半導体装置を完成させる。
このように製造された半導体装置は、ポスト電極５が封止樹脂６を貫通して外部電極であるはんだ端子と配線３とを電気的に接続した構造となっており、そしてこの配線３は上述したように台座４ｂと反対側の端部が有機絶縁膜１の開口部を介して図示しない集積回路のパッドと接続されているので、集積回路のパッドは、電気的に外部電極であるはんだ端子と接続されたものとなる。
【００２０】
本実施例の特徴は、配線３に設けられる台座４ｂがポスト電極５の下に埋没して隠れるようにしたことであり、そのため台座４ｂの径をポスト電極５の径よりも小さく形成している。
台座４ｂの径とポスト電極５の径の差は、ホトリソグラフィーによりポスト電極５を形成する時のマスク合わせ精度より大きく設計し、これにより台座４ｂは、少なくともポスト電極５形成時のホトリソグラフィーで必要な重ね寸法分だけ小さく形成しているため、ポスト電極５をめっきにより形成するときにこの台座４ｂはポスト電極５の下に埋まり、ポスト電極５の周囲に台座４ｂが露出しないものとなる。
【００２１】
ポスト電極５は、一般的な通則により外部はんだ端子のピッチの半分を直径とする。例えば、外部はんだ端子のピッチが０.５０ｍｍである場合、ポスト電極５の径は０.２５ｍｍである。
以上説明した第１の実施例によると、以下の効果が得られる。
図２は従来と実施例のポスト電極間の配線スペースを示す平面図で、（ａ）は従来の構造、（ｂ）本実施例の構造である。
【００２２】
図２（ａ）に示す従来のものは台座４ａ間の間隔Ｌ１が配線スペースとなるのに対し、図２（ｂ）に示す実施例のものは、ポスト電極５の下に形成される台座４ｂがポスト電極５の下に埋まって隣り合うポスト電極５間には、ポスト電極５から台座４ｂが露出しない構造としているため、ポスト電極５の間隔Ｌ２が配線スペースとなり、そのため配線スペースが従来のものに比べて広くなり、電極ポスト５間に配線３をより多く引き回すことができるという効果が得られる。
【００２３】
また、ポスト電極５の形成後は、台座４ｂがポスト電極５の下に埋まるため、ポスト電極５の部分は台座４ｂを含めて単純な柱状になり、従来構造と比較して、台座部分との重ね合わせ精度による形状のばらつきがなくなり、品質的に均一なポスト電極５を得ることができるという効果も得られる。
図３は本発明の第２の実施例を示す図であって、（ａ）はポスト電極形成直前の側面図、（ｂ）はその平面図である。
【００２４】
尚、上述した第１の実施例と同様の部分は、同一の符号を用いて説明する。
１はウエハの集積回路パッシペーション層上に形成された有機絶縁膜、２はシード層である。
３はシード層２上に形成された配線、４ｃは配線３に設けられた台座であり、本実施例はこの台座４ｃをポスト電極形成のためのホトリソ加工においてマスク合わせに使用するための位置決めマークとするもので、そのため台座４ｃを他の台座４ｂ（図１参照）の形状と異なるユニークな形状、例えば図３（ｂ）に示したように十字形のパターンとして形成したものである。
【００２５】
７はホトリソグラフィーのためにウエハ上に塗布したレジストで、このレジスト７上で十字形のパターンとした台座４ｃを位置決めマークとし、この位置決めマークを基準にしてマスク合わせが行われ、露光後、台座４ｃ、４ｂ上のレジスト７を除去することでレジストパターン８を形成する。
このレジストパターン８は十字形に形成された台座４ｃが内側に収まるように形成され、このレジストパターン８内にメッキを施すことでポスト電極５（図１参照）が形成される。
【００２６】
尚、十字形のパターンを持つ台座４ｃは、複数列複数行形成されるポスト電極５のうちの少なくとも１つのポスト電極５の台座に適用すればよい。
以上説明したように第２の実施例では、少なくとも１つのポスト電極５の台座４ｃの形状を他のポスト電極の台座４ｂの形状と異なるユニークなパターンとすることで、ポスト電極形成のためのレジストパターン形成に使用するマスクの位置決めマークとしているため、マスク合わせのための位置決めマークを誤認識することがなくなり、また位置決めマークとして使用した台座４ｃは同じ材料のポスト電極下に埋没するため、位置決めマークを設けるための領域が不要で、かつ最終構造上に痕跡が残らないという効果が得られる。
【００２７】
位置決めマークを埋設する方法として、有機絶縁膜１上に凹凸等によるパターンを形成する方法が考えられるが、このようにすると位置決めマークを形成した部分の有機絶縁膜１の構造に差異が生じ、構造のばらつきの原因となるが、本実施例によれば、このような構造のばらつきを防ぐことも可能になる。
以上、第１、第２の実施例について説明したが、ポスト電極５の形状や、ポスト電極下に埋没する配線３の台座４ｂ、４ｃの形状は、第１、第２の実施例のものに限られるものではない。
【００２８】
例えば、ポスト電極５の形状は、実施例で示した円柱状ではなく八角柱状等でもよい。また、台座４ｂの形状も円形ではなく八角形等とすることも可能であり、更に台座４ｃも十字形ではなく台座４ｂの形状との相違を確実に認識できれば他の任意の形状としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１の実施例のポスト電極部分を示す図
【図２】従来と実施例のポスト電極間の配線スペースを示す平面図
【図３】第２の実施例を示す図
【図４】従来例のポスト電極部分を示す図
【符号の説明】
【００３０】
１  有機絶縁膜
２  シード層
３  配線
４ａ〜４ｃ  台座
５  ポスト電極
６  封止樹脂
７  レジスト
８  レジストパターン
【図１】
2007305694.tif 000003
【図２】
2007305694.tif 000004
【図３】
2007305694.tif 000005
【図４】
2007305694.tif 000006