(57)【要約】【課題】検査対象物の傾斜状態に応じた合焦範囲を確保して外観検査を行うことを可能とする。【解決手段】チップ１を撮像するカメラ本体１２及び対物レンズ６５及び／またはチップ１を傾けるカメラ回動部５１と、カメラ本体１２及び対物レンズ６５及び又はチップ１を直線移動させるＸテーブル１３，Ｙテーブル１４及び微動調整部６４と、カメラ回動部５１及びＸテーブル１３，Ｙテーブル１４及び微動調整部６４を制御する制御部７０とを備え、予め測定したチップ１のカメラ本体１２及び対物レンズ６５に対する傾斜に対応するように、カメラ回動部５１、Ｘテーブル１３，Ｙテーブル１４及び微動調整部６４を制御する。【選択図】図１
2007317965.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を撮像する撮像部を前記検査対象物に対して相対的に傾ける傾け部と、
前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に移動させる移動部と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記傾け部と前記移動部とを制御する制御部とを備えた、対象物検査装置の傾き調整機構。
【請求項２】
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御部は、
Ｚ−Ｘ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角β成分だけ傾くように、前記傾け部の制御を行い、かつ、
前記Ｙ軸周り順方向に前記回転角β成分だけ前記Ｘ−Ｙ平面を回転させたＸ′−Ｙ平面をさらにそのＸ′軸周り順方向に前記回転角α成分だけ回転させてなるＸ′−Ｙ′面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｙ′軸方向に相対的に並進させるように前記移動部の制御を行う、請求項１に記載の対象物検査装置の傾き調整機構。
【請求項３】
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御部は、
Ｚ−Ｘ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角β成分だけ傾くように、前記傾け部の制御を行い、かつ、
前記Ｙ軸周り順方向に前記回転角β成分だけ前記Ｘ−Ｙ平面を回転させたＸ′−Ｙ平面をさらにそのＸ′軸周り順方向に前記回転角α成分だけ回転させてなるＸ′−Ｙ′面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｙ′軸方向に相対的に並進させるように前記移動部の制御を行う、
請求項１に記載の対象物検査装置の傾き調整機構。
【請求項４】
前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に移動させる移動部と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記移動部とを制御する制御部とを備え、
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとした場合に、
前記制御部は、
前記Ｘ−Ｙ平面を前記Ｙ軸周り順方向に前記回転角β成分だけ回転させたＸ′−Ｙ平面をさらにそのＸ′軸周り順方向に前記回転角α成分だけ回転させてなるＸ′−Ｙ′面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し相対的に並進させるように前記移動部の制御を行う、対象物検査装置の傾き調整機構。
【請求項５】
前記移動部は、
前記撮像部を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｚ軸方向に移動し、
前記検査対象物を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｘ軸方向に移動する
ことにより、前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に並進させる、請求項２から４のいずれかに記載の対象物検査装置の傾き調整機構。
【請求項６】
前記移動部は、
前記撮像部を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｚ軸方向及び前記Ｘ軸方向に移動する
ことにより、前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に並進させる、請求項２から４のいずれかに記載の対象物検査装置の傾き調整機構。
【請求項７】
前記移動部は、
前記撮像部を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｘ軸方向に移動し、
前記検査対象物を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｚ軸方向に移動する
ことにより、前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に並進させる、請求項２から４のいずれかに記載の対象物検査装置の傾き調整機構。
【請求項８】
前記移動部は、
前記撮像対象物を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｚ軸方向及び前記Ｘ軸方向に移動する
ことにより、前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に並進させる、請求項２から４のいずれかに記載の対象物検査装置の傾き調整機構。
【請求項９】
検査対象物を撮像する撮像部を前記検査対象物に対して相対的に傾ける傾け部と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記傾け部とを制御する制御部とを備え、
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御部は、
（Ａ）Ｚ−Ｘ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角β成分だけ傾くように、前記傾け部の制御を行い、かつＺ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角α成分だけ傾くように、
又は、
（Ｂ）Ｚ−Ｘ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて、前記検査対象物が前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角β成分だけ傾くように、前記傾け部を制御し、かつＺ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて、前記検査対象物が前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角α成分だけ傾くように、
前記傾け部の制御を行う、対象物検査装置の傾き調整機構。
【請求項１０】
検査対象物を撮像する撮像部を前記検査対象物に対して相対的に傾ける傾け部と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記傾け部とを制御する制御部とを備え、
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御部は、
Ｚ−Ｘ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角β成分だけ傾くように、前記傾け部の制御を行い、かつ
Ｚ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて、前記検査対象物が前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角α成分だけ傾くように、
前記傾け部の制御を行う、対象物検査装置の傾き調整機構。
【請求項１１】
検査対象物を所定の位置に配置する配置部と
前記検査対象物を撮像する前記撮像部と、
請求項１から１０のいずれかに記載の対象物検査装置の傾き調整機構とを備え、
前記移動部は、前記配置部を移動することにより、前記検査対象物を移動させるものである、対象物検査装置。
【請求項１２】
前記配置部は、前記検査対象物を吸着保持するものであり、
前記吸着の動作は、前記検査対象物の形状に応じて自動又は手動で行うことが可能な、請求項１１に記載の対象物検査装置。
【請求項１３】
検査対象物を撮像する撮像部を前記検査対象物に対して相対的に傾ける傾け工程と、
前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に移動させる移動工程と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記傾け工程と前記移動工程とを制御する制御工程とを備えた、対象物検査装置の傾き調整方法であって、
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御工程は、
Ｚ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角α成分だけ傾くように、前記傾け工程の制御を行い、かつ、
前記Ｘ軸周り順方向に前記回転角α成分だけ前記Ｘ−Ｙ平面を回転させたＸ′−Ｙ′平面をさらにそのＹ′軸周り順方向に前記回転角β成分だけ回転させてなる面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｘ軸方向に相対的に並進させるように前記移動工程の制御を行う、対象物検査装置の傾き調整方法。
【請求項１４】
検査対象物を撮像する撮像部を前記検査対象物に対して相対的に傾ける傾け工程と、
前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に移動させる移動工程と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記傾け工程と前記移動工程とを制御する制御工程とを備えた、対象物検査装置の傾き調整方法であって、
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角
β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御工程は、
Ｚ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて、前記検査対象物が前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角α成分だけ傾くように、前記傾け工程を制御し、
前記Ｘ−Ｙ平面を前記Ｙ軸周り順方向の前記回転角β成分だけ回転させてなる面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｘ軸方向に相対的に並進させるように前記移動工程の制御を行う、対象物検査装置の傾き調整方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の対象物検査装置の傾き調整方法の、前記Ｚ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角α成分だけ傾くように、前記傾け工程の制御を行い、かつ、
前記Ｘ軸周り順方向に前記回転角α成分だけ前記Ｘ−Ｙ平面を回転させたＸ′−Ｙ′平面をさらにそのＹ′軸周り順方向に前記回転角β成分だけ回転させてなる面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｘ軸方向に相対的に並進させるように前記移動工程の制御を行う前記制御工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１６】
請求項１４に記載の対象物検査装置の傾き調整方法の、前記Ｚ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて、前記検査対象物が前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角α成分だけ傾くように、前記傾け工程を制御し、
前記Ｘ−Ｙ平面を前記Ｙ軸周り順方向の前記回転角β成分だけ回転させてなる面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｘ軸方向に相対的に並進させるように前記移動工程の制御を行う前記制御工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１７】
請求項１５又は１６の記載のプログラムを記録した記録媒体であって、コンピュータにより処理可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品上に付着した異物を検査する対象物検査装置の傾き調整機構、対象物検査装置、対象物検査装置の傾き調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１１は、カメラ等の撮像部を用い、目視等の手段により部品の検査を行う検査装置の構成図である（例えば、特許文献１参照）。検査装置３００は、検査対象物である部品を撮像する撮像部３０１と、撮像部３０１をその光軸であるＺ方向、すなわち部品の高さ方向に移動させる高さ調整部３０２と、撮像部３０１の光軸に対して垂直なＸ−Ｙ面上に設けられた、部品を配置する配置部３０３と、配置部３０３を撮像部３０１の光軸に対して垂直な面内にて移動させる移動部３０４と、配置部３０３の平面度を計測する平面度計測部３０５と、平面度計測部３０５が測定した平面度に対応する配置部３０３の座標を記憶する平面度データ記憶部３０６とを有している。
【０００３】
この検査装置は、配置部３０３を移動部３０４により移動させ、その座標位置での高さを平面度計測部３０５により計測し、配置部３０３の移動毎で記憶した平面度データに基づき高さ調整部３０２により撮像部３０１の高さを調整し、撮像部３０１の焦点位置を合わせるようにしている。
【０００４】
次に、図１２（ａ）〜（ｄ）は、上記部品を含む製品の生産ラインを模式的に示す図である。図１２（ａ）に示すように、部品の一例であるチップ１はダイシングシート３上に張り付けられた半導体ウェハであるウェハ４をダイシングにより個々に分割して形成されたもので、分割されたチップ１は、図１２（ｂ）に示すように、個別に分離され、トレー２に収納される。さらにチップ１は、図１２（ｃ）に示すように、バンプボンダ５に供給され、電気接続用のバンプが設けられた後、再度トレー２に収納される。トレー２に収納されたバンプ付きのチップ１は、組み付け物４０２として、先に生産ライン４０５に乗せられた機材４００に対し，組み付け物４０２に次いで組みつけられて製品４０３として完成する。なお、製品４０３の一例としてはＣＣＤカメラで、組み付け物４０１はガラス板、チップ１はＣＣＤセンサとした。
【特許文献１】特開２００５−１６６７４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記図１２（ａ）〜（ｄ）に示すような生産ラインにおいては、ウェハ４、ウェハ４をダイシングした後のチップ１、トレー２へ配置後のチップ１、さらにバンプ形成後トレー２に再配置したチップ１に対し検査を行う必要がある。ウェハ４からチップ１へのダイシング、ダイシングしたチップ１のトレー２への再配置等という各工程において、ダイシング時に生ずる破片や、外部から侵入するゴミ等の異物がウェハ４やチップ１に付着してしまうからである。ＣＣＤのような部品の場合、微細な多数の画素に対応した光導電素子が搭載されており、１μｍ程度の超微細な異物の付着でも不良品となってしまう。ＣＣＤセンサの場合、近年は、画素サイズが２．８μｍから２．２μｍへと微細化しており、１μｍオーダーの超微細な異物が付着しているだけでも、画像読み取りの阻害の原因となり、ＣＣＤを不良品としてしまうため、作業毎の検査は欠かせないものとなっている。
【０００６】
これら検査は図１１に示す検査装置３００を用いて行うが、このとき、以下のような課題が生ずることとなった。
【０００７】
すなわち、異物の検査を行うためには、検査対象物に付着した異物に焦点を合わせて拡大し十分な精度での外観検査を行う必要があるが、チップ１の画素や、チップ１に付着した異物は超微細であるため、撮像部３０１の被写界深度は極端に浅くなる。
【０００８】
一方、図１２（ａ）に示すように、ウェハ４は一枚のダイシングシート３上に張り付けられた状態で扱われるものであり、ダイシングしてチップ単位に分割した場合も、ダイシングシート３に張り付けられた状態を保つが、個々のチップ毎に、ダイシングシート３の厚みの公差分だけ微細な高さの変動が生じてしまう。
【０００９】
また、図１２（ｂ）（ｃ）に示すように、チップ１をトレー詰めするときは、トレー２内に再配置されるため、このトレー２の厚みの公差分だけ個々のチップ１毎に微細な高さの変動が生じる。
【００１０】
これら高さの変動は、撮像部３０１の光軸に対するチップ１の傾斜として現れ、撮像部３０１の被写体深度に比して無視できない大きさとなっている。一例として、ダイシングシート３の厚みの交差が±１０μｍであるのに対し、被写体深度は±４μｍとなる。
【００１１】
したがって、高さ調整部３０２によって焦点が合わせられていても、傾斜が生じたチップ１に対して、撮像部３０１はその撮像範囲全てを合焦することはできず、異物を含めた検査対象物を合焦範囲内にとらえることができなくなってしまっていた。
【００１２】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、各部品の検査において、検査対象物の傾斜状態に応じた合焦範囲を確保して外観検査を行うことができる、対象物検査装置の傾き調整機構及びそれを備えた対象物検査装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目的を達成するために、第１の本発明は、検査対象物を撮像する撮像部を前記検査対象物に対して相対的に傾ける傾け部と、
前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に移動させる移動部と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記傾け部と前記移動部とを制御する制御部とを備えた、対象物検査装置の傾き調整機構である。
【００１４】
また、第２の本発明は、前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御部は、
Ｚ−Ｘ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角β成分だけ傾くように、前記傾け部の制御を行い、かつ、
前記Ｙ軸周り順方向に前記回転角β成分だけ前記Ｘ−Ｙ平面を回転させたＸ′−Ｙ平面をさらにそのＸ′軸周り順方向に前記回転角α成分だけ回転させてなるＸ′−Ｙ′面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｙ′軸方向に相対的に並進させるように前記移動部の制御を行う、第１の本発明の対象物検査装置の傾き調整機構である。
【００１５】
また、第３の本発明は、前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御部は、
Ｚ−Ｘ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角β成分だけ傾くように、前記傾け部の制御を行い、かつ、
前記Ｙ軸周り順方向に前記回転角β成分だけ前記Ｘ−Ｙ平面を回転させたＸ′−Ｙ平面をさらにそのＸ′軸周り順方向に前記回転角α成分だけ回転させてなるＸ′−Ｙ′面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｙ′軸方向に相対的に並進させるように前記移動部の制御を行う、
第１の本発明の対象物検査装置の傾き調整機構である。
【００１６】
また、第４の本発明は、前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に移動させる移動部と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記移動部とを制御する制御部とを備え、
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとした場合に、
前記制御部は、
前記Ｘ−Ｙ平面を前記Ｙ軸周り順方向に前記回転角β成分だけ回転させたＸ′−Ｙ平面をさらにそのＸ′軸周り順方向に前記回転角α成分だけ回転させてなるＸ′−Ｙ′面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し相対的に並進させるように前記移動部の制御を行う、対象物検査装置の傾き調整機構である。
【００１７】
また、第５の本発明は、前記移動部は、
前記撮像部を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｚ軸方向に移動し、
前記検査対象物を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｘ軸方向に移動する
ことにより、前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に並進させる、第２から第４のいずれかの本発明の対象物検査装置の傾き調整機構である。
【００１８】
また、第６の本発明は、前記移動部は、
前記撮像部を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｚ軸方向及び前記Ｘ軸方向に移動する
ことにより、前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に並進させる、第２から第４のいずれかの本発明の対象物検査装置の傾き調整機構である。
【００１９】
また、第７の本発明は、前記移動部は、
前記撮像部を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｘ軸方向に移動し、
前記検査対象物を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｚ軸方向に移動する
ことにより、前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に並進させる、第２から第４のいずれかの本発明の対象物検査装置の傾き調整機構である。
【００２０】
また、第８の本発明は、前記移動部は、
前記撮像対象物を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の前記Ｚ軸方向及び前記Ｘ軸方向に移動する
ことにより、前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に並進させる、第２から第４のいずれかの本発明の対象物検査装置の傾き調整機構である。
【００２１】
また、第９の本発明は、検査対象物を撮像する撮像部を前記検査対象物に対して相対的に傾ける傾け部と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記傾け部とを制御する制御部とを備え、
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御部は、
（Ａ）Ｚ−Ｘ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角β成分だけ傾くように、前記傾け部の制御を行い、かつＺ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角α成分だけ傾くように、
又は、
（Ｂ）Ｚ−Ｘ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて、前記検査対象物が前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角β成分だけ傾くように、前記傾け部を制御し、かつＺ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて、前記検査対象物が前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角α成分だけ傾くように、
前記傾け部の制御を行う、対象物検査装置の傾き調整機構である。
【００２２】
また、第１０の本発明は、検査対象物を撮像する撮像部を前記検査対象物に対して相対的に傾ける傾け部と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記傾け部とを制御する制御部とを備え、
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御部は、
Ｚ−Ｘ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角β成分だけ傾くように、前記傾け部の制御を行い、かつ
Ｚ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて、前記検査対象物が前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角α成分だけ傾くように、
前記傾け部の制御を行う、対象物検査装置の傾き調整機構である。  
【００２３】
また、第１１の本発明は、検査対象物を所定の位置に配置する配置部と
前記検査対象物を撮像する前記撮像部と、
第１から第１０のいずれかの本発明の対象物検査装置の傾き調整機構とを備え、
前記移動部は、前記配置部を移動することにより、前記検査対象物を移動させるものである、対象物検査装置である。  
【００２４】
また、第１２の本発明は、前記配置部は、前記検査対象物を吸着保持するものであり、
前記吸着の動作は、前記検査対象物の形状に応じて自動又は手動で行うことが可能な、第１１の本発明の対象物検査装置である。  
【００２５】
また、第１３の本発明は、検査対象物を撮像する撮像部を前記検査対象物に対して相対的に傾ける傾け工程と、
前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に移動させる移動工程と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記傾け工程と前記移動工程とを制御する制御工程とを備えた、対象物検査装置の傾き調整方法であって、
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御工程は、
Ｚ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角α成分だけ傾くように、前記傾け工程の制御を行い、かつ、
前記Ｘ軸周り順方向に前記回転角α成分だけ前記Ｘ−Ｙ平面を回転させたＸ′−Ｙ′平面をさらにそのＹ′軸周り順方向に前記回転角β成分だけ回転させてなる面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｘ軸方向に相対的に並進させるように前記移動工程の制御を行う、対象物検査装置の傾き調整方法である。  
【００２６】
また、第１４の本発明は、検査対象物を撮像する撮像部を前記検査対象物に対して相対的に傾ける傾け工程と、
前記撮像部を前記検査対象物に対して相対的に移動させる移動工程と、
予め測定した前記検査対象物の前記撮像部に対する傾斜に対応するように、前記傾け工程と前記移動工程とを制御する制御工程とを備えた、対象物検査装置の傾き調整方法であって、
前記予め測定した前記検査対象物の前記傾斜は、所定のＸ−Ｙ−Ｚ空間のＸ−Ｙ平面に対する傾斜であって、そのＸ軸周り順方向の回転角α成分とそのＹ軸周り順方向の回転角
β成分との合成であるとし、前記撮像部の光軸が前記Ｘ−Ｙ平面に垂直であるとした場合に、
前記制御工程は、
Ｚ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて、前記検査対象物が前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角α成分だけ傾くように、前記傾け工程を制御し、
前記Ｘ−Ｙ平面を前記Ｙ軸周り順方向の前記回転角β成分だけ回転させてなる面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｘ軸方向に相対的に並進させるように前記移動工程の制御を行う、対象物検査装置の傾き調整方法である。  
【００２７】
また、第１５の本発明は、第１３の本発明の対象物検査装置の傾き調整方法の、前記Ｚ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて前記撮像部の光軸が、前記回転角α成分だけ傾くように、前記傾け工程の制御を行い、かつ、
前記Ｘ軸周り順方向に前記回転角α成分だけ前記Ｘ−Ｙ平面を回転させたＸ′−Ｙ′平面をさらにそのＹ′軸周り順方向に前記回転角β成分だけ回転させてなる面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｘ軸方向に相対的に並進させるように前記移動工程の制御を行う前記制御工程をコンピュータに実行させるためのプログラムである。  
【００２８】
また、第１６の本発明は、第１４の本発明の対象物検査装置の傾き調整方法の、前記Ｚ−Ｙ平面に平行な、前記光軸を含む所定の平面内にて、前記検査対象物が前記Ｘ軸周り逆方向に前記回転角α成分だけ傾くように、前記傾け工程を制御し、
前記Ｘ−Ｙ平面を前記Ｙ軸周り順方向の前記回転角β成分だけ回転させてなる面に沿って、前記撮像部が前記検査対象物に対し前記Ｘ軸方向に相対的に並進させるように前記移動工程の制御を行う前記制御工程をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
【００２９】
また、第１７の本発明は、第１５又は第１６のいずれかの本発明のプログラムを記録した記録媒体であって、コンピュータにより処理可能な記録媒体である。  
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、検査対象物の傾斜状態に応じた合焦範囲を確保して外観検査を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。しかし、以下の説明は本発明の具体事例であって特許請求の範囲を限定するものではない。
【００３２】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１による、傾き調整機構を備えた検査装置の構成図である。
【００３３】
図１に示すように、検査装置１００は、検査対象物を移動させるための検査対象物移動ユニット１１０、検査対象物を撮像するための検査対象物撮像ユニット１２０と、及び検査対象物の傾きを測定する傾き測定ユニット１３０とから構成される。
【００３４】
検査対象物移動ユニット１１０は、ウェハ４を吸引載置するウェハ用プレート３２と、ウェハ用プレート３２が載置されるθテーブル１９と、θテーブル１９を、ウェハ用プレート３２の主面と平行なＸ−Ｙ平面上に移動させるためのＸテーブル１３及びＹテーブル１４とを備える。
【００３５】
ウェハ用プレート３２の上部には、吸引面３１がさらに配置される。吸引面３１の主面上には、フレームリング２０内に設けられたダイシングシート３上に接着されたウェハ４が載置され、吸引口３４からの空気吸引により、ウェハ４は吸引面３１の主面上に密着する。
【００３６】
また、θテーブル１９は、その底面に内蔵されたθモータ２１により、Ｘ−Ｙ平面に平行な面上を回転することが可能である。また、Ｘテーブル１３にはＸ軸モータ１５及びＸ軸モータ１５と接続されたＸネジ軸１６が設けられており、Ｘ軸モータ１５の駆動によりθテーブル１９をＸ方向に駆動させることができる。同様に、Ｙテーブル１４は、Ｙ軸モータ１７及びＹ軸モータ１７と接続されたＹネジ軸１８を備えたことによりθテーブル１９をＹ方向に駆動させることができる。
【００３７】
なお、ウェハ４やトレー２の移動を伴うチップ１の位置決めは、吸引面３１等によるウェハ４やトレー２の吸着保持により行われるが、θテーブル１９を回転させた場合、カメラ本体１２の光軸１２ａに対して位置決めしたチップ１のＸ、Ｙ方向にて位置ずれが生じることがある。このような位置ずれ量はθテーブル１９の回転の補正量とウェハ４やトレー２の軸線３０からからチップ１までの距離との相関によって一義的に決まるので、プログラム上のデータ設定によって自動的に補正し対応することができる。
【００３８】
一方、検査対象物撮像ユニット１２０は、ウェハ４を撮像するためのカメラ本体１２と、カメラ本体１２に光学的に接続された対物レンズ６５と、カメラ本体１２が固定されたカメラ回動部５１と、カメラ回動部５１ごとカメラ本体を、Ｘ−Ｙ平面に垂直なＺ方向へ移動させるＺガイド６３とを備える。Ｚガイド６３にはＺ軸モータ６１及びＺ軸モータ６１と接続されたＺネジ軸６２とが設けられており、Ｚ軸モータ６１の駆動によりＺガイド６３をＺ方向に駆動させることができる。さらに対物レンズ６５は、微動調整部６４によってカメラ本体１２に対してＺ軸に沿って移動可能となっている。
【００３９】
また、傾き測定ユニット１３０は、ウェハ４に対してレーザ光を用いたレーザ変位計である、Ｚ軸方向の距離を検出する距離検出器１３１と接続されている。
【００４０】
検査対象物撮像ユニット１２０及び傾き測定ユニット１３０は、図中Ｘ−Ｙ−Ｚ空間に対して固定位置にあるベース１２１上に設けられている。
【００４１】
また、カメラ回動部５１，θモータ２１，Ｘ軸モータ１５，Ｙ軸モータ１７及び微動調整部６４は制御部７０の制御により動作する。
【００４２】
なお、上記の構成において、検査装置１００は本発明の対象物検査装置に相当し、ウェハ用プレート３２及び吸引面３１は本発明の配置部に相当し、カメラ本体１２は本発明の撮像部に相当する。また、カメラ回動部５１は本発明の傾け部に相当し、Ｚ軸モータ６１、Ｚネジ軸６２及びＺガイド６３、並びに微動調整部６４、Ｘテーブル１３、Ｘ軸モータ１５及びＸネジ軸１６、又はＹテーブル１４、Ｙ軸モータ１７、Ｙネジ軸１８は本発明の移動部に相当する。また、傾き測定ユニット１３０は本発明の傾き測定部に相当する。また制御部７０は本発明の制御部に相当する。
【００４３】
以上のような構成を有する検査装置の動作を説明するとともに、これにより、本発明の対象物検査装置の傾き調整方法の一実施の形態も併せて説明する。
【００４４】
本実施の形態１の検査装置は、従来例と同様に、検査対象物移動ユニット１１０は検査対象物を図中Ｘ−Ｙ平面と平行な面上にて移動させることができる。すなわち、Ｘテーブル１３，Ｙテーブル１４上にθテーブル１９を移動させることにより、ウェハ４上の検査対象物をカメラ本体１２の光軸１２ａに対してＸ、Ｙの２方向に位置決めし、検査対象の中心をカメラ視野の中心、つまり光軸１２ａ上に一致させることにより、カメラ本体１２により検査対象物を撮像し、撮像データに基づき検査を行う。
【００４５】
さらに本実施の形態１は、従来例にて説明したような、ダイシング後にチップ１として分離したウェハ４をチップ毎に検査する場合における、チップ１の傾斜に対応して、カメラ本体１２の合焦範囲を確保したことを特徴とする。
【００４６】
図２に示すように、ダイシング後のウェハ４はダイシングライン４１に沿ってチップ１に分離されているが、このときダイシングシート３の厚みに起因して、チップ１はθテーブル１９の平面、つまりＸ−Ｙ平面と平行な面に対して傾斜していることがある。
【００４７】
このようなチップ１に対し、まず傾き測定ユニット１３０の距離検出器１３１を用いて傾きの程度を測定する。具体的には、図２に示すように、測定対象となるチップ１の複数の地点にレーザ光を照射して、その反射光に基づき各点の距離検出器１３１からの距離を検出、各距離の差分を求めることにより、傾きを検出する。距離検出の対象となる点Ａ、Ｂ、Ｃを、同一直線上に配置されずに各点が三角形の頂点となるように配置することで、各距離の差分からチップ１の傾斜を３次元的に把握することが可能となる。なお、傾き測定の方法はこれに限定されるものではない。照射したレーザ光の各地点における焦点の大きさの差分を利用しても良い。また、レーザ光の代わりに画像撮像を行い、合焦位置からの差分を利用するようにしても良く、その他公知の方法を用いればよい。
【００４８】
図２においては、互いに直交する線分ＡＢ、ＡＣがそれぞれ形成されるように、点Ａ、Ｂ、Ｃを定めて、距離の検出を行った。これにより、チップ１の傾斜は、線分ＡＢと距離検出器１３１のレーザ光の光軸とがなす平面に射影された角度成分と、線分ＡＣと距離検出器１３１のレーザ光の光軸とがなす平面とに射影された角度成分との合成と考えることができる。
【００４９】
又、距離検出器１３１のレーザ光はカメラ本体１２の光軸１２ａと平行なので、チップ１の傾斜は、カメラ本体１２の光軸と平行な互いに直交する２平面上に射影できることになる。
【００５０】
この線分ＡＢ（を含む平面）、ＡＣ（を含む平面）を、Ｘテーブル１３による移動が生じるＸ方向、Ｙテーブル１４による移動が生じるＹ方向にそれぞれ対応させることによって、図３（ａ）に示すチップ１の、傾斜がないとした場合の位置１′からの傾斜を、図１中のＺ−Ｙ平面におけるＸ軸周り順方向の回転角α（図３（ｂ）参照）と、同図中のＺ−Ｘ平面におけるＹ軸周り順方向の回転角β（図３（ｃ）参照）との２方向に分解して測定することができる。
【００５１】
ところで、チップ１の傾斜が、Ｚ−Ｙ平面又はＺ−Ｘ平面のいずれか一方においてのみ測定されるものであれば、チップ１の傾斜は、チップ１のＺ軸又はＹ軸周りの回転角成分のみで表される。
【００５２】
すなわち、図４（ａ）に示すようにチップ１の傾斜が図中Ｚ−Ｙ平面のみにて測定された場合を例にとると、図４（ｂ）に示すように、チップ１の傾斜はＺ−Ｙ平面内におけるチップ１のＸ軸周りの回転角（イ）成分として得られる。
【００５３】
この場合においては、回転角（イ）成分を有するチップ１の傾斜に対して、以下に示す二通りの方法によって、カメラ本体１２の対物レンズ６５の合焦範囲を確保することが可能となる。
【００５４】
第１の方法は、図４（ｃ）に示すように、対物レンズ６５の光軸を、Ｚ軸に平行な初期状態から、チップ１の傾斜方向に追従する方向にチップ１の回転角（イ）だけ傾ける。  
【００５５】
これにより、対物レンズ６５とチップ１の主面とは平行が保たれ、両者の位置関係はチップ１が傾斜していない場合と同一となるため、カメラ本体１２の撮像範囲の被写体深度は一定となり、合焦範囲は対物レンズ６５の撮像範囲全体となる。
【００５６】
第２の方法は、図４（ｄ）に示すように、チップ１の回転角（イ）と同一の仰角にてチップ１上で対物レンズ６５をＹ軸方向に並進させる。このとき、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、対物レンズ６５の並進につれて、対物レンズ６５による撮像範囲ＲＰがチップ１の主面上を順次走査することになる。なお並進の基準は対物レンズ６５の光軸１２ａとした。
【００５７】
この場合、撮像範囲ＲＣの全てを合焦範囲とすることはできないが、並進の基準となる対物レンズ６５の光軸の周囲に、被写体深度が一定となる帯状の合焦範囲ＲＦが形成される。対物レンズ６５の移動につれて合焦範囲ＲＦは撮像範囲ＲＰとともにチップ１上の主面を走査するため、合焦範囲ＲＦ内の画像を撮像することにより、検査に必要な画像を得ることが可能となる。
【００５８】
以上の説明は図中Ｚ−Ｙ平面のみ（Ｚ−Ｘ平面のみの場合も同様）において生じたチップ１の傾斜の場合としたが、実際のチップ１の傾斜は図中Ｚ−Ｙ平面及びＺ−Ｘ平面の両方に現れ、各回転角成分が測定される。
【００５９】
したがって、検査対象物移動ユニット１１０及び検査対象物撮像ユニット１２０の制御は、Ｚ−Ｙ平面側のＸ軸周り順方向の回転角α成分、及びＺ−Ｘ平面側のＹ軸周り順方向の回転角β成分のそれぞれに対し、以上の２通りの調整方法をそれぞれ用いた傾き調整を行うことにより、対物レンズ６５の合焦範囲を確保する。
【００６０】
第１の動作として、Ｚ−Ｘ平面側の回転角β成分の傾斜を解消する動作を説明する。
【００６１】
検査対象移動ユニット１１０においては、θテーブル１９を回転させて、チップ１上の線分ＡＢと検査対象物撮像ユニット１２０のカメラ回動部５１の回動面とが平行となるような位置に位置決めを行う。
【００６２】
次に、検査対象物撮像ユニット１２０においては、カメラ回動部５１が、カメラ本体１２を角度φだけ回動させる。このとき回動角φは、先に検出したチップ１のＹ軸周りの回転角βと大きさにおいて一致させる。また回動の向きは回転角βの生じた方向に追従する方向となるようにする。
【００６３】
したがってカメラ回動部５１は、図中Ｚ−Ｘ平面に平行な平面上をＹ軸に平行な軸を中心にして回動し、Ｙ軸周り順方向に回転角β＝φだけ傾く。
【００６４】
これにより、図６（ｃ）に示すように、Ｚ−Ｘ平面から見た場合において、カメラ本体１２の対物レンズ１２は、チップ１の表面と平行な位置に保たれ、回転角β成分の傾斜が解消される。このときチップ１の表面は、Ｘ−Ｙ平面をＹ軸周り順方向に回転角αだけ回転してなるＸ′−Ｙ面と一致している。
【００６５】
次に第２の動作として、Ｚ−Ｙ平面側の回転角α成分の傾斜を解消する動作を説明する。
【００６６】
カメラ回動部５１が上記回動角φでカメラ本体１２を固定した状態で、検査対象移動ユニット１１０においては、Ｙテーブル１４を駆動させて、θテーブル１９をＹ軸方向へ移動させる。対物レンズ６５はチップ１の直線ＡＣと平行に移動するが、微動調整部６４はこの移動に追従して対物レンズ６５を平行移動させる。
【００６７】
このとき、対物レンズ６５はＹ軸周り順方向に回転角φ（＝β）だけ傾いているため、チップ１の傾斜のＺ−Ｙ平面側のＸ軸周り順方向の回転角α成分は、検査対象移動ユニット１１０の動作に関しては、図中Ｘ−Ｙ−Ｚ空間をＹ軸周りに回転角φだけ回転させたＸ′−Ｙ−Ｚ′空間のＺ′−Ｙ平面上のＸ′軸周り順方向の回転角α成分となる。
【００６８】
すなわち、対物レンズ６５は、図６（ｂ）に示すように、Ｙテーブル１４及び微動調整部６４の駆動の組み合わせで、Ｙ軸方向に平行移動するとともに、その光軸１２ａをＺ′軸と平行にして、チップ１に対し一定距離Ｌを保ちながら移動することにより、チップ１の表面を、その一端から他端まで走査する。このときチップ１の表面は、Ｘ′−Ｙ平面を、Ｘ′軸周り順方向に回転角αだけ回転してなるＸ′−Ｙ′平面と一致し、Ｚ′−Ｙ平面から見た場合、チップ１の表面走査時における対物レンズ６５は、このＸ′−Ｙ′平面に対して並進している。これにより、図５（ａ）〜（ｃ）に示す帯状の合焦範囲ＲＦが得られている。
【００６９】
以上の調整により、カメラ本体１２の撮像範囲内において被写体深度が一定となる合掌範囲が常に確保される。したがって、チップ１が３次元的傾きを持つ場合であっても、カメラ本体１２を走査させながらその撮像範囲において焦点を合わせて撮像することが可能となり、撮像範囲内の異物に焦点を合わせて十分な精度で外観検査を実施することができる。
【００７０】
なお、上記の説明においては、検査対象物撮像ユニット１２０にカメラ回動部５１を設けて、カメラ本体１２及び対物レンズ６５を傾け制御するものとしたが、検査対象物撮像ユニット１２０からはカメラ回動部５１を省略して、検査対象物移動ユニット１１０に、吸引面３１を傾ける機構を設けるようにしてもよい。
【００７１】
この場合、上記第１の動作は、吸引面３１を、チップ１のＹ軸周りの回転角βと同一回転角であって、回転角βの生じた方向と逆方向となるように傾ける。
【００７２】
これにより、図６（ｃ）に示すように、Ｚ−Ｘ平面から見た場合、カメラ本体１２の対物レンズ６５はチップ１と平行な位置に保たれ、チップ１の傾斜が解消される。
【００７３】
次に上記第２の動作については、以下のようになる。すなわち、対物レンズ６５はＹ軸周りの傾きが生じていないため、チップ１の傾斜のＺ−Ｙ平面側の回転角α成分は、検査対象移動ユニット１１０の動作に関しては、第１の動作と同様Ｚ−Ｙ平面上の回転角αとして扱うことができる。したがって、対物レンズ６５は、図４（ｄ）に示すように、Ｙテーブル１４及び微動調整部６４の駆動の組み合わせで、Ｙ軸方向に平行移動するとともに、その光軸１２ａをＺ軸と平行にして、チップ１に対し一定距離Ｌを保ちながら移動することにより、チップ１の表面を、その一端から他端まで走査し、合焦範囲ＲＦを得る。
【００７４】
なお、チップ１の横幅が、図５（ａ）〜（ｃ）に示すカメラ本体１２の撮像範囲内に形成される合焦範囲ＲＦに全て含まれるものであれば、θテーブル１９のＹ方向の走査を一度行うことにより、チップ１の全体を検査することができる。又、チップ１の横幅が合焦範囲ＲＦより大きい場合は、カメラ本体１２により、チップ１をＸ軸方向にシフトさせながら、Ｙ方向への走査を繰り返し行うことにより、チップ１全体を検査することができる。
【００７５】
（実施の形態２）
次に、図７は、本発明の実施の形態２による、傾き調整機構を備えた検査装置の構成図である。図７において、図１と同一または相当部には、同一符号を付し、詳細な説明は省略する。本実施の形態２による検査装置２００は、カメラ回動部５１を省略したことを特徴とする。本実施の形態２においては、カメラ回動部５１が無いため、カメラ本体１２を傾けることはできない。
【００７６】
そこで本実施の形態２は、検査対象物移動ユニット１１０及び検査対象物撮像ユニット１２０の制御は、Ｚ−Ｙ平面側のＸ軸周り順方向の回転角α成分、及びＺ−Ｘ平面側のＹ軸周り順方向の回転角β成分のそれぞれに対し、図４（ｄ）に示した第２の方法のみを用いて合焦範囲を確保する。
【００７７】
以下、説明を行う。θテーブル１９を回転させ、チップ１の直線ＡＢとＸテーブル１３の向きとを平行に配置する。これにより、チップ１の直線ＡＣとＹテーブル１４も平行に配置される。
【００７８】
次いで対物レンズ６５をチップ１の直線ＡＢと平行に移動させるとともに、微動調整部６４はこの移動に追従して対物レンズ６５を移動させる。対物レンズの移動量をＺ−Ｘ平面に平行な面内のＹ軸周り順方向の回転角β成分を与える高さの変位量ｄ′と同一とすることにより、対物レンズ６５はチップ１の表面に対し一定距離を保ったままチップ１の表面を走査することになり、Ｚ−Ｘ平面から見た場合、チップ１の表面走査時における対物レンズ６５においては、図５（ａ）〜（ｃ）に示す帯状の合焦範囲ＲＦが得られる。
【００７９】
次に、対物レンズ６５をチップ１の直線ＡＣと平行に移動させるとともに、微動調整部６４はこの移動に追従して対物レンズ６５を移動させる。対物レンズの移動量をＺ−Ｙ平面に平行な面内のＸ軸周り順方向の回転角α成分を与える高さの変位量ｄと同一とすることにより、対物レンズ６５はチップ１の表面に対し一定距離を保ったままチップ１の表面を走査することになり、Ｚ−Ｙ平面から見た場合、チップ１の表面走査時における対物レンズ６５においては、図５（ａ）〜（ｃ）に示す帯状の合焦範囲ＲＦが得られる。
【００８０】
以上の動作においては、チップ１の焦点範囲をＸ軸、Ｙ軸両方向毎に逐次走査することになり、カメラ本体１２の撮像範囲内を一挙して走査することができないが、検査対象物撮像ユニット１２０を簡略化した構成とすることができる利点がある。また、チップ１の傾斜が２次元的傾き、すなわちＸ軸周り又はＹ軸周りのいずれかの回転角成分のみに近似して測定される場合に有効である。
【００８１】
さらに、次のような制御を行っても良い。すなわち、微動調整部６４、Ｘテーブル１３及びＹテーブル１４を同時に動作させて、対物レンズ６５が、Ｘ−Ｙ平面上を走査する。対物レンズ６５は測定された傾きに応じてＸ軸、Ｙ軸に交差する方向に移動し、かつ測定したチップ１のＸ−Ｙ平面に対する傾斜角をそのまま仰角として並進させる。
【００８２】
このとき、対物レンズ６５の移動は、図６（ａ）を参照して、以下のようになる。つまり、チップ１の表面は、図中Ｘ−Ｙ平面を、Ｘ軸周り順方向に回転角α成分だけ回転させたＸ−Ｙ′平面をさらに前記Ｙ′軸周り逆方向の前記回転角β成分だけ回転させてなるＸ′−Ｙ′面と同一となっており、対物レンズ６５は、この面に対し並進している。
【００８３】
これにより、対物レンズ６５は傾斜したチップ１の表面に対し、一定距離を保ったまま移動することとなり、実施の形態１と同様、チップ１の表面走査時において一定の合焦範囲ＲＦを得ることができ、撮像範囲内の異物に焦点を合わせた十分な精度での外観検査を実施することができる。
【００８４】
なお、本実施の形態においては、微動調整部６４、Ｘテーブル１３、Ｘ軸モータ１５及びＸネジ軸１６、又はＹテーブル１４、Ｙ軸モータ１７、Ｙネジ軸１８は本発明の移動部に相当する。ただしこの構成に限定されるものではない。対物レンズ６５の移動は検査対象物撮像ユニット１２０の微動調整部６４を省略して、検査対象物移動ユニット１１０側で図中Ｚ軸方向に吸引面３１を移動させる構成としても良い。
【００８５】
（実施の形態３）
次に、図８は、本実施の形態３による、傾き調整機構を備えた検査装置の検査対象物撮像ユニット１２０の他の構成例を示す図である。図において、図１と同一または相当部には、同一符号を付し、詳細な説明は省略する。また、検査装置の他のユニットの構成は、実施の形態１と同様である。
【００８６】
本実施の形態は、実施の形態１とは、カメラ本体１２を回動させるカメラ回動部５１とＺガイド６３との間に第２のカメラ回動部５２を設け、微動調整部６４を省いた構成とした点が異なる。第２のカメラ回動部５２は、カメラ回動部５１の回動角φと直交する図中Ｘ軸に平行な軸周りの回動角ωにカメラ回動部５１及びカメラ本体１２を回動させる手段である。第２のカメラ回動部５２の回動角ωは回動角φとＺ軸にて回動の支点を共有し、したがって図中Ｚ−Ｙ平面に平行な面内における角度調整を可能とする。これにより、対物レンズ６５は、実施の形態１の第１の動作を、図６（ｂ）に示す回転角βに対しても行うことが可能となり、検査対象物撮像ユニット１２０側のみの傾き制御によって、チップ１の傾斜に対応することが可能となる。
【００８７】
なお、本実施の形態においては、カメラ回動部５１及び第２のカメラ回動部５２は傾け部に相当するものとなる。
【００８８】
上記の説明においては、検査対象物撮像ユニット１２０にカメラ回動部５１及び第２のカメラ回動部５２を設けて、カメラ本体１２及び対物レンズ６５を傾け制御するものとしたが、検査対象物撮像ユニット１２０からはカメラ回動部５１、第２のカメラ回動部５２を省略して、検査対象物移動ユニット１１０に、吸引面３１を傾ける機構を設けるようにしてもよい。
【００８９】
この場合、吸引面３１を、チップ１のＹ軸周りの回転角βと同一回転角であって、回転角βの生じた方向と逆方向となるように傾け、かつ、チップ１のＸ軸周りの回転角αと同一回転角であって、回転角αの生じた方向と逆方向となるように傾けるように制御する。
【００９０】
さらに、検査対象物撮像ユニット１２０にカメラ回動部を、検査対象物移動ユニット１１０に、吸引面３１を傾ける機構それぞれを設けた構成としてもよい。この場合、カメラ回動部による傾きの方向と吸引面３１の傾きとが、互いに直交するようにする。例えば、カメラ回動部が図中Ｙ軸周りに傾け可能であれば、吸引面３１は図中Ｘ軸周りに傾け可能となるようにする。傾けの方向は、カメラ回動部についてはチップ１の傾斜の向きと同一方向に、吸引面３１についてはチップ１の傾斜の向きと逆方向になるようにする。
【００９１】
なお、微動調整部６４は省略した構成としたが、付加したものとしてもよい。
【００９２】
（実施の形態４）
次に、図９は、本発明の実施の形態４による、傾き調整機構を備えた検査装置の検査対象物の他の例として、ウェハ４の代わりに、トレー２に配置したダイシング後のチップ１を用いた場合を示す図である。吸引面３１に変えた吸引面３３上に、トレー２をマトリックス状に配置し、個別に吸着固定している。この場合でも、実施の形態１と同様に、チップ１に対し個別に傾きを調整して検査を行うことができる。
【００９３】
さらに、ダイシング後のチップ１を扱う場合は、本発明の配置台の他の例として、以下のような構成とすることができる。
【００９４】
図１０は、トレー７２及びその吸着台７３を示す図である。トレー７２は格子を形成する枠体７４が設けられており、各格子の形成する枠部７５内にチップ１を嵌合するように配置する。枠部７５はシリコンゴムなどの弾性材料よりなり、それぞれ貫通孔７５ａが設けられている。
【００９５】
吸着台７３はトレー２を載置する吸引面として、シリコンゴムなどの弾性材料よりなるシール部材７６を有する。シール部材７６は、各枠部７５の貫通孔７５ａに対応する位置に吸引孔７７を有する。吸着台７３はシール部材７６を天井とする内部空間７８を有し、外部に連通する吸引口７９からの吸引により、トレー７２を吸着する。
【００９６】
以上のような構成とすることにより、チップ１が配置されたトレー７２を吸着台７３に載置し、吸着台７３の側面の吸引口７９から吸引すると、吸引力は内部空間７８を通じて吸引穴３１ａに及ぶことで、トレー７２はシール部材７６側に吸着されて保持し不動とされる。
【００９７】
さらに、トレー７２は枠部７５内の貫通孔７５ａを有するため、吸引力は貫通孔７５ａを介してチップ１にも個別に達し、チップ１を個別に枠部７５側へ吸着保持を行うことができる。
【００９８】
このように、トレー７２に加えてチップ１も個別に吸着保持を行うことで、トレー７２およびチップ１を吸着保持するのに保持側、被保持側の面の歪みや波打ち、凹凸などに載置面ががよく馴染んでリークなく確実に吸着保持できるようになり、吸着保持によってトレー２やチップ１にダメージを及ぼすようなことが解消でき、寿命が低下したり損傷するようなことを回避することができる。また、実施の形態１、３で説明した、チップ１の傾け動作にも好適である。
【００９９】
なお、上記の説明においては、吸引面３１，３３と、吸着台７３及びトレー７２の組み合わせとは、それぞれ本発明の配置部に相当する。また、上記の動作において、吸引口３４，７９を利用したウェハ４やトレー２，トレー７２におけるチップ１の吸着は図示しない外部機器との協働により自動的に行っても良いし、利用者が手動で行うようにしてもよい。
【０１００】
また、上記の実施の形態１，２においては、本発明の移動部は微動調整部６４を備えたものとしたが、微動調整部６４と同一方向に移動可能な機構であるＺガイド６３を含めた構成としても良い。この場合、Ｚガイド６３は微動調整部６４より大きな移動分解能を有するので、チップ１の傾きの大きさに応じて、これら二つの機構を使い分けることで、調整幅のばらつきをなくし、より精密な調整を行うことができる。
【０１０１】
また、上記の各実施の形態においては、θテーブル１９を回転させることにより図中Ｘ−Ｙ−Ｚ空間の座標と測定したチップ１の傾斜を定める各点Ａ、Ｂ、Ｃの位置関係とを一致させるようにしたが、本発明は、チップ１の傾斜を直交する２つの回転角成分に分解し、それぞれの成分に応じて、図４（ｂ）（ｄ）にそれぞれ示した方法により傾き調整を行うことができればよい。したがってチップの傾斜の測定を、予め検査対象移動ユニット１１０，検査対象撮像ユニット１２０の各駆動部分の移動方向に沿った座標で行えば、θテーブル１９の回転動作を省略して、本発明を実施することができる。
【０１０２】
なお、本発明にかかるプログラムは、上述した本発明の対象物検査装置の傾き調整方法の全部または一部の工程の動作をコンピュータにより実行させるためのプログラムであって、コンピュータと協働して動作するプログラムであってもよい。
【０１０３】
また、本発明は、上述した本発明の対象物検査装置の傾き調整方法の全部または一部の工程の全部または一部の動作をコンピュータにより実行させるためのプログラムを担持した媒体であり、コンピュータにより読み取り可能且つ、読み取られた前記プログラムが前記コンピュータと協動して前記動作を実行する媒体であってもよい。
【０１０４】
なお、本発明の上記「一部の工程」とは、それらの複数の工程の内の、幾つかの工程を意味し、あるいは、一つの工程の内の、一部のの動作を意味するものである。
【０１０５】
また、本発明のプログラムを記録した、コンピュータに読みとり可能な記録媒体も本発明に含まれる。
【０１０６】
また、本発明のプログラムの一利用形態は、コンピュータにより読み取り可能な記録媒体に記録され、コンピュータと協働して動作する態様であっても良い。
【０１０７】
また、本発明のプログラムの一利用形態は、伝送媒体中を伝送し、コンピュータにより読みとられ、コンピュータと協働して動作する態様であっても良い。
【０１０８】
また、記録媒体としては、ＲＯＭ等も含まれる。
【０１０９】
また、上述した本発明のコンピュータは、ＣＰＵ等の純然たるハードウェアに限らず、ファームウェアや、ＯＳ、更に周辺機器を含むものであっても良い。
【０１１０】
なお、以上説明した様に、本発明の構成は、ソフトウェア的に実現しても良いし、ハードウェア的に実現しても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１１１】
本発明にかかる対象物検査装置の傾き調整機構及びそれを用いた対象物検査装置等は、検査対象物の傾斜状態に応じた合焦範囲を確保して外観検査を行うことができる効果を有し、部品上に付着した異物を検査する対象物検査装置の傾き調整機構、対象物検査装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構を用いた検査装置の構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における傾き測定を説明するための図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における傾きの測定を説明するための図である。
【図４】（ａ）本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における傾きの調整方法を説明するための図である。（ｂ）本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における傾きの調整方法を説明するための図である。（ｃ）本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における傾きの調整方法を説明するための図である。（ｄ）本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における傾きの調整方法を説明するための図である。
【図５】（ａ）本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における撮像範囲内の合焦位置を説明するための図である。（ｂ）本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における撮像範囲内の合焦位置を説明するための図である。（ｃ）本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における撮像範囲内の合焦位置を説明するための図である。
【図６】（ａ）本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における傾きの調整方法を説明するための図である。（ｂ）本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における傾きの調整方法を説明するための図である。（ｃ）本発明の実施の形態１による対象物検査装置の傾き調整機構における傾きの調整方法を説明するための図である。
【図７】本発明の実施の形態２による対象物検査装置の傾き調整機構を用いた検査装置の構成図である。
【図８】本発明の実施の形態３による対象物検査装置の傾き調整機構を用いた検査装置の構成図である。
【図９】本発明の実施の形態４による検査装置の吸着台の構成を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態４による検査装置の吸着台の他の構成を示す図である。
【図１１】従来の技術による検査装置の構成図である。
【図１２】（ａ）ダイシング済みウェハを模式的に示す図である。（ｂ）ダイスピック工程を模式的に示す図である。（ｃ）バンプ形成工程を模式的に示す図である。（ｄ）検査工程を含む製品の生産ラインを模式的に示す図である。
【符号の説明】
【０１１３】
１  チップ
２  トレー
３  ダイシングシート
４  ウェハ
５  フレームリング
１２  カメラ本体
１３  Ｘテーブル
１４  Ｙテーブル
１９  θテーブル
２０  フレームリング
５１  カメラ回動部
６４  微動調整部
７０  制御部
１００  検査装置
１１０  検査対象物移動ユニット
１２０  検査対象物撮像ユニット
１３０  傾き測定ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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