(57)【要約】【課題】副通路の開口断面またはコンダクタンスを簡易な方法で調整できる真空バルブを提供する。【解決手段】真空バルブは、入口２と出口３とを繋ぐ主通路が通る内腔部４を有するバルブ本体１と、主通路の周囲に設けられた主弁座部６と、内腔部４において、主弁座部６から持ち上げられて主通路を開く開位置と主弁座部６に密着して主通路を閉じる閉位置との間を移動可能な主閉鎖部材５であって、副通路が通る内腔部１０と該副通路の周囲に設けられた副弁座部１４とを有する主閉鎖部材５と、内腔部１０において、副弁座部１４から持ち上げられて副通路を開く開位置と副弁座部１４に密着して副通路を閉じる閉位置との間を移動可能な副閉鎖部材１１とを備え、副通路は、主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１との間の可変仲介空間を通り、該可変仲介空間は、主閉鎖部材５に対して副閉鎖部材１１を回転させることによって可変である。【選択図】図２
2007016996.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入口と出口とを繋ぐ主通路が通る内腔部を有するバルブ本体と、
前記主通路の周囲に設けられた主弁座部と、
前記バルブ本体の内腔部において、前記主弁座部から持ち上げられて前記主通路を開く開位置と前記主弁座部に密着して前記主通路を閉じる閉位置との間を移動可能な主閉鎖部材であって、副通路が通る内腔部と該副通路の周囲に設けられた副弁座部とを有する主閉鎖部材と、
前記主閉鎖部材の内腔部において、前記副弁座部から持ち上げられて前記副通路を開く開位置と前記副弁座部に密着して副通路を閉じる前記閉位置との間を移動可能な副閉鎖部材とを備え、
前記副通路は、前記主閉鎖部材と前記副閉鎖部材との間の可変仲介空間を通り、該可変仲介空間は、前記主閉鎖部材に対して前記副閉鎖部材を回転させることによって可変であることを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
請求項１記載の真空バルブにおいて、
前記副閉鎖部材は、その移動方向において開位置と閉位置との間で変位可能であり、前記主閉鎖部材に対して、前記副閉鎖部材はその変位方向と平行な軸の周りに回転するようになっていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
請求項２記載の真空バルブにおいて、
前記主閉鎖部材は、その変位方向が前記副閉鎖部材の変更方向と平行となるように開位置と閉位置との間で移動可能であることを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
請求項１記載の真空バルブにおいて、
前記主閉鎖部材は、前記バルブ本体に対して回転可能でないことを特徴とする真空バルブ。
【請求項５】
請求項１記載の真空バルブにおいて、
前記可変仲介空間は、前記主閉鎖部材の前記内腔部を形成する前記主閉鎖部材の内壁部分と、前記副閉鎖部材の外壁部分との間に位置し、その外壁と前記副閉鎖部材が前記主閉鎖部材に対して回転する回転軸との間の距離は、前記副閉鎖部材の周方向に変化することを特徴とする真空バルブ。
【請求項６】
請求項５記載の真空バルブにおいて、
前記外壁と前記回転軸との間の距離は、前記副閉鎖部材の周方向において最大の初期値から最小の終値まで連続的に減少することを特徴とする真空バルブ。
【請求項７】
請求項１記載の真空バルブにおいて、
前記副閉鎖部材は、長軸回りに回転可能に取り付けられたバルブロッドに配置され、
該バルブロッドは、長軸の周りに回転したときに前記副閉鎖部材と共に作動し、前記主閉鎖部材に対して前記副閉鎖部材を回転させることを特徴とする真空バルブ。
【請求項８】
請求項７記載の真空バルブにおいて、
前記バルブロッドは、その長軸方向に、前記主閉鎖部材および前記副閉鎖部材が各々の閉位置にある前端位置と、前記主閉鎖部材が閉位置にあり前記副閉鎖部材が開位置にある中間位置と、前記主閉鎖部材と前記副閉鎖部材が各々の開位置にある後端位置との間で、作動機構によって調整可能であり、
前記中間位置は、前記前端位置と前記後端位置との間で定められた位置にある
ことを特徴とする真空バルブ。
【請求項９】
請求項８記載の真空バルブにおいて、前記作動機構は、
長軸方向に動かないように前記バルブロッドに連結され、前端位置と後端位置との間で変位可能なように主シリンダ空間に配置された主作動ピストンと、
前端位置と後端位置との間で変位可能なように副シリンダ空間に配置された副作動ピストンとを有し、
前記バルブロッドは、その長軸方向において前記副作動ピストンに対して変位可能であり、
前記副作動ピストンは、その前端位置と後端位置との間を変位するときに、前記主作動ピストンをその中間位置に変位させ、該中間位置では前記バルブロッドがその中間位置にあり、前記副作動ピストンは前記主作動ピストンに接触して、その前端位置で繋がっていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１０】
請求項８記載の真空バルブは、前記主閉鎖部材の閉位置で前記主閉鎖部材に作用する主閉鎖スプリングと、前記副閉鎖部材の閉位置で前記副閉鎖部材に作用する副閉鎖スプリングとを備え、
前記主閉鎖スプリングは、前記副閉鎖スプリングが前記副閉鎖部材に作用する閉鎖力よりも大きな閉鎖力を前記主閉鎖部材に作用させることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１１】
請求項１０記載の真空バルブにおいて、
前記主閉鎖部材は、前記副閉鎖部材が前記副弁座部から持ち上げられることを規制するストッパーを有することを特徴とする真空バルブ。
【請求項１２】
請求項７記載の真空バルブにおいて、
前記バルブロッドは、前記バルブ本体の前記内腔部内で、一端が前記バルブ本体にしっかりと連結され、他端が前記主閉鎖部材にしっかりと連結されたブートに囲まれていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１３】
請求項１記載の真空バルブにおいて、
前記副閉鎖部材は、その外壁に設けられた柔軟性のある封止リングによって、前記閉鎖部材に対して密閉されることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１４】
請求項９記載の真空バルブにおいて、
前記主作動ピストンは、前記主シリンダ空間において回転しないように取り付けられることを特徴とする。
【請求項１５】
請求項１４記載の真空バルブにおいて、
前記主作動ピストンは、円形を拡大変形した周輪郭を有し、
前記主シリンダ空間は、対応する内壁部分が円形を拡大変形した周輪郭を有することを特徴とする真空バルブ。
【請求項１６】
請求項７記載の真空バルブは、前記バルブロッドの回転位置を固定するためのスナップ式のロック部材を備えることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１７】
請求項１６記載の真空バルブにおいて、
前記スナップ式のロック部材は、前記バルブロッドに対して回転しないように連結されるロックプレートであって、前記主作動ピストンに接続されて前記主作動ピストンに対して回転可能であり、前記主作動ピストンを異なる回転位置で固定できるロックプレートを備えることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１８】
請求項１７記載の真空バルブにおいて、
前記主作動部材は、前記ロックプレートの穴と協動する少なくとも１つのスナップ式のボールを備えることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１９】
入口と出口とを繋ぐ主通路が通る第１の内腔部を有するバルブ本体と、
前記主通路の周囲に設けられた主弁座部と、
バルブ本体で副通路が通る第２の内腔部と、
前記副通路の周囲に設けられた副弁座部と、
前記バルブ本体の第１の内腔部において、前記主弁座部から持ち上げられて前記主通路を開く開位置と前記主弁座部に密着して前記主通路を閉じる閉位置との間を移動可能な主閉鎖部材と、
前記バルブ本体の第２の内腔部において、前記副弁座部から持ち上げられて前記副通路を開く開位置と前記副弁座部に密着して副通路を閉じる前記閉位置との間を移動可能な副閉鎖部材とを備え、
前記副通路は、前記バルブ本体と前記副閉鎖部材との間の可変仲介空間を通り、該可変仲介空間は、前記バルブ本体に対して前記副閉鎖部材を回転させることによって可変であることを特徴とする真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２ポートバルブ、ソフトスタートバルブやソフトポンプバルブ等の真空バルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空バルブとしては、入口と出口とを繋ぐ主通路が通る内腔部を有するバルブ本体と、主通路の周囲に設けられた主弁座部と、バルブ本体の内腔部において主弁座部から持ち上げられて主通路を開く開位置と主弁座部に密着して主通路を閉じる閉位置との間を移動可能な主閉鎖部材であって、副通路が通る内腔部と該副通路の周囲に設けられた副弁座部とを有する主閉鎖部材と、主閉鎖部材の内腔部において副弁座部から持ち上げられて副通路を開く開位置と副弁座部に密着して副通路を閉じる閉位置との間を移動可能な副閉鎖部材とを備えるものが知られている。
【０００３】
例えば、この種の真空バルブとしては、副閉鎖部材を副弁座部から所望の量持ち上げて、開口断面または副通路のコンダクタンスを調整可能としたものが知られている（特許文献１参照）。しかしながら、かかる真空バルブにおいては、開口断面または副通路のコンダクタンスの大きさを調整することは難しい。
【０００４】
また、この種の真空バルブとして、副閉鎖部材を副弁座部から持ち上げて所望の量まで持ち上げるのを調整可能としたものが知られている（特許文献２参照）。
【０００５】
一方、ソフトスタート真空バルブとしては、中間位置から一方または他方に作動ピストンを移動させることによって、主通路と副通路を開くものが知られている（特許文献３参照。）
また、副通路の開口断面またはコンダクタンスを隔膜によって調整可能としたソフトバルブも知られている。
【０００６】
さらに、真空バルブの他の形態として、低コンダクタンスの真空バルブの状態を、円錐形の延長部を有する唯１つの閉鎖部材を設けることによって実現するものであって、この閉鎖部材が弁座部から少し持ち上げられると、バルブ本体と閉鎖部材との間に比較的小さな間隙が形成されるようにしたものが知られている（特許文献４および５参照）
【特許文献１】米国特許第５，１７２，７２２号
【特許文献２】米国特許第６，８１４，３３８号
【特許文献３】米国特許第６，２８９，９３２号
【特許文献４】米国特許出願第２００３／０１９７１４１号
【特許文献５】米国特許出願第２００４／０２３２３６９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の主要な目的は、上述した形態の真空バルブにおいて、副通路の開口断面またはコンダクタンスを簡易な方法で調整できる真空バルブを提供することである。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、上述した形態の真空バルブにおいて、副通路のコンダクタンスを規定の再現可能な方法で、種々の大きさに調整できる真空バルブを提供することである。
【０００９】
また、本発明の他の目的は、上述した形態の真空バルブにおいて、副通路のコンダクタンスを所定の絶対値に調整できる真空バルブを提供することである。
【００１０】
また、本発明の他の目的は、上述した形態の真空バルブにおいて、経済的に製造および操作し得る真空バルブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の真空バルブは、入口と出口とを繋ぐ主通路が通る内腔部を有するバルブ本体と、主通路の周囲に設けられた主弁座部と、バルブ本体の内腔部において、主弁座部から持ち上げられて主通路を開く開位置と主弁座部に密着して主通路を閉じる閉位置との間を移動可能な主閉鎖部材であって、副通路が通る内腔部と該副通路の周囲に設けられた副弁座部とを有する主閉鎖部材と、主閉鎖部材の内腔部において、副弁座部から持ち上げられて副通路を開く開位置と副弁座部に密着して副通路を閉じる閉位置との間を移動可能な副閉鎖部材とを備え、副通路は、主閉鎖部材と副閉鎖部材との間の可変仲介空間を通り、該可変仲介空間は、主閉鎖部材に対して副閉鎖部材を回転させることによって可変であることを特徴とする。
【００１２】
本発明の真空バルブによれば、副閉鎖部材を主閉鎖部材に対して回転させるという簡易な方法で、副通路のコンダクタンスを変更することできる。主閉鎖部材に対する副閉鎖部材の回転位置に、目印および／またはスナップ式のロック部材を設けることで、副通路のコンダクタンスを再現可能な方法で調整することができる。これらの調整によって、副通路のコンダクタンスを規定の絶対値に合わせることもできる。
【００１３】
また、本発明の有利な実施形態において、主閉鎖部材がバルブ本体に回転しないように取り付けられるとともに、副閉鎖部材が副通路のコンダクタンスを調整するために、回転するように取り付けられている。かかる副閉鎖部材の回転は、副閉鎖部材が取り付けられるバルブロッドが回転することによって有利に実現される。この場合において、バルブロッドの長軸が副閉鎖部材の回転の回転軸となる。副閉鎖部材は、外面に設けられ、シリンダの周方向に延びる凹部が設けられたシリンダ形状の部分を有する。この場合において、溝の深さが最小の初期値から最大の終値まで連続的に変化する。副閉鎖部材のこの部分の外壁によって、主閉鎖部材と副閉鎖部材との間の可変仲介空間が規定される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、上述した本発明の目的を達成する実施形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１５】
図１に示すように、一実施形態の真空バルブは、入口（入口開口部）２と出口（出口開口部）３とを有するバルブ本体（バルブ筺体）１を備える。また、図示の実施形態では、真空バルブはコーナーのバルブとして構成されている。すなわち、入口２と出口３は互いに直角になっている。
【００１６】
バルブ本体１は、入口２と出口３とを繋ぐ内腔部４を有する。内腔部４には、図２および図３に示す閉位置と図４に示す開位置との間で移動可能な主閉鎖部材５が設けられている。この移動方向は、図２に矢印で示されている。
【００１７】
前記開位置において、主閉鎖部材５は、入口２と出口３との間を流れるガスの主通路を開く。この主通路は、バルブ本体１の内腔部４を通っている。また、ガスは反対方向に流すこともできる。そのため、図面において、入口２として示されている開口部が出口を形成し、出口３として示されている開口部が入口を形成してもよい。
【００１８】
バルブ本体１において内腔部４を規定する内壁部分で形成される主弁座部６が、主通路の周囲に設けられている。前記閉位置において、主閉鎖部材５の前端部が主弁座部６に密着し、主閉鎖部材５はバルブ本体１に対して密閉される。図示の実施形態において、主閉鎖部材５には、密閉のために、主弁座部６の密着面と当接する可撓性の封止リング７が設けられている。なお、主弁座部６に封止リング７を取り付け、主閉鎖部材５に密着面を形成するようにしてもよい。
【００１９】
また、周囲に主弁座部６が設けられた主通路の周囲部分は、真空バルブの主開口部のもなっている。
【００２０】
図示の実施形態では、封止リング７によって形成されるが、主弁座部６に配置された封止リングと接する封止面によっても形成されてもよい主閉鎖部材５の封止領域は、主閉鎖部材５の入口２に近い入口側に設けられた領域８と、主閉鎖部材５の出口３に近い出口側に設けられた領域９との間にある。
【００２１】
主閉鎖部材５は内腔部１０を有する。この内腔部には、副閉鎖部材１１が設けられ、副閉鎖部材は、図２に示す閉位置と図３（図４に示す真空バルブにおいては、副閉鎖部材１１も開いている）に示す開位置との間で移動可能である。図示の実施形態においては、副閉鎖部材１１の移動方向は、主閉鎖部材５の移動方向２１と平行である。
【００２２】
前記開位置において、副閉鎖部材１１は、ガスが流れる副通路を開く。この副通路は、バルブ本体１の入口２と入口２に接続されたバルブ本体の内腔部４とを通り、主閉鎖部５の入口開口部１２から内腔部１０を通り、主閉鎖部材５の内腔部１０から出口開口部１３を通ってバルブ本体１の内腔部４へ達し、バルブ本体１の出口３へ通じている。上述のように、ガスは反対方向に流すこともできる。そのため、副通路は前記説明と逆方向に通じていてもよい。この場合、図に入口開口部１２として示されている開口部が出口開口部を形成し、出口開口部１３として示されている開口部が入口開口部を形成する。
【００２３】
主閉鎖部材５は、副通路の周囲に設けられた副弁座部１４を有している。副弁座部１４は、内腔部１０を規定する主閉鎖部材５の内壁部分に形成されている。
【００２４】
前記閉鎖位置において、副閉鎖部材１１の前端部が主閉鎖部材５の副弁座部１４に密着して、主閉鎖部材５との間を密閉する。そのために、図示の実施形態において、副弁座部１４の密着面に当接する可撓性の封止リング１５が副閉鎖部材１１に取り付けられている。また、副弁座部１４に封止リング１５を取り付け、副閉鎖部材１１が閉位置でそのリングに当接して密着面を形成するようにしてもよい。
【００２５】
前述の場合と同様、副弁座部１４が周囲に設けられた副通路の部分は、副閉鎖部材１１によって閉じられる副開口部を形成している。図示の実施形態において、該副開口部は主閉鎖部材５の入口開口部１２の近傍に位置している。
【００２６】
図示の実施形態において、主閉鎖部材５は、ベース部材１６とネジ１８によってベース部材１６にねじ止めされたプレート部材１７とを備える。部材１６，１７は、これらの間に位置する封止リング１９を介して互いに密着している。入口開口部１２は、プレート部材１７によって形成され、プレート部材１７は副閉鎖部材１４を形成している。
【００２７】
主閉鎖部材５の内腔部１０において、入口開口部１２は、主閉鎖部材５の外面である入口側部分８に設けられている。また、主閉鎖部材５の内腔部１０から通じている出口開口部１３は、主閉鎖部材５の外面である出口側部分９に設けられている。
【００２８】
副閉鎖部材１１は、封止リング２０によって、主閉鎖部材５の内腔部１０を形成する内壁部分に密着する。また、副閉鎖部材１１は、主閉鎖部材５の内壁部分に密着するように、その閉位置と開位置との間で内腔部１０内を変位可能となっている。主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１の移動方向２１において、封止リング２０は、出口開口部１３からよりも入口開口部１２からの距離が大きい位置にある。
【００２９】
副閉鎖部材１１は、バルブロッド２２に取り付けられ、バルブロッド２２に対して回転しないようにその後端部がバルブロッド２２に連結されている。バルブロッド２２は、バルブ本体１にしっかりと連結されたシリンダ２３に変位可能に支持されている。ここで、バルブロッド２２は、バルブ本体１内で密閉された滑り路を通っている。密閉された滑り路は、シリンダの滑り路に設けられた溝に嵌め込まれ、バルブロッド２２の外面に密着する可撓性の封止リング２４によって実現されている。
【００３０】
図示の実施形態において、シリンダ２３は、シリンダ２３側に開口しているバルブ本体１の内腔部４を密閉する。そのために、可撓性のリングがシリンダ２３とバルブ本体１との間に設けられている。シリンダ２３には着脱可能なシリンダカバー４０を備えている。
【００３１】
バルブ本体１の内腔部４では、以下に示すように、バルブロッド２２の周囲にはブート２５が設けられている。すなわち、ブート２５の一端がバルブ本体１にしっかりと連結され、他端が主閉鎖部材５にしっかりと連結されている。図２から図４、および図９において、ブート２５は、長軸方向に沿って延びる部分が示され、残りの部分は部分的に図示されている。
【００３２】
バルブロッド２２は、副閉鎖部材１１の前端から離れた後端に作用する。副閉鎖部材１１の後端が位置する主閉鎖部材５の内腔部１０の領域は、封止リング２０によって、副通路が通る内腔部１０の領域に対して密閉されている。
【００３３】
バルブロッド２２は、作動機構２７によって、主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１の移動方向２１に平行な長軸方向２６に、移動可能に設けられている。バルブロッド２２は、主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１の各々が閉位置である図２に示す前端位置と、主閉鎖部材５が閉位置にあり、副閉鎖部材１１が開位置にある中間位置（図３参照）と、主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１の各々が開位置にある図４に示す後端位置との間で作動機構２７によって調整される。中間位置は、前端位置と後端位置との間の位置として規定される。
【００３４】
作動機構２７は、主作動ピストン２８を備える。主作動ピストン２８は、シリンダ２３のシリンダ空間２９に設けられ、図２に示す前端位置と、図４に示すように、バルブロッド２２がシリンダカバー４０を突き抜ける後端位置との間で変位可能となっている。主作動ピストン２８は、長軸方向に動かないようにバルブロッド２２に連結されている。そのために、固定リング３０，３１がバルブロッド２２に設けられており、以下に示すように、これらの固定リング３０，３１の間には主作動ピストン２８とロックプレート３２とが取り付けられている。
【００３５】
バルブロッド２２は、主作動ピストン２８に対して長軸方向２６回りに回転可能になっている。可撓性の封止リング３３は、バルブロッド２２と主作動ピストン２８との間を密閉するために用いられている。
【００３６】
作動機構２７は、さらに副作動ピストン３４を備える。副作動ピストン３４は、副シリンダ空間３５に設けられ、図２に示す前端位置と図３および図４に示す後端位置との間で変位可能となっている。副作動ピストン３４は、バルブロッド２２に対して長軸方向２６に変位可能となっている。封止リング３６は、バルブロッド２２と副作動ピストン３４との間を密閉するために用いられている。ここで、前記後端位置において、副作動ピストン３４は、シリンダ２３に嵌め込まれた固定リングからなるストッパー５５に当接する。
【００３７】
副作動ピストン３４は、主作動ピストン２８側に突出したスリーブ状の延設部３７を備えている。主作動ピストン２８がその前端位置にあり、副作動ピストン３４がその前端位置から後端位置に移動可能であるとき、延設部３７は、変位を同じくして主作動ピストン２８を後端方向に押圧し、バルブロッド２２がこれに従って移動する。バルブロッド２２がその中間位置にあるとき、副作動ピストン３４が後端位置にあり、延設部３７が主作動ピストン２８に当接する（図３参照）。主作動ピストン２８がその前端位置にあるとき（図２参照）、バルブロッド２２はその前端位置にある。主作動ピストン２８がその後端位置にあるとき（図４参照）、バルブロッド２２は後端位置にある。
【００３８】
延設部３７を副作動ピストン３４に設ける代わりに、延設部を副作動ピストン３４側に突出する主作動ピストン２８に設けてもよい。
【００３９】
主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１とは、各々の閉位置において、それぞれスプリング３８，３９によって予め圧迫される。主閉鎖スプリング３８は、バルブ本体１又はバルブ本体１にしっかりと連結されたシリンダ２３と、主閉鎖部材５との間に配置されている。尚、シリンダカバー４０と主作動ピストン２８との間の配置は、これ以外の配置であってもよい。副閉鎖スプリング３９は、主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１との間に配置されている。主閉鎖スプリング３８が主閉鎖部材５に作用する閉鎖力は、副閉鎖スプリング３９が副閉鎖部材１１に作用する閉鎖力よりも大きい。
【００４０】
ここで、副作動ピストン３４と主作動ピストン２８をそれぞれ後端位置へ変位させるために、好ましくは圧縮空気であるところの圧力媒体が用いられる。圧力媒体は、それぞれのピストン２８，３４のバルブ本体１側のシリンダ空間２９，３５に導入される。尚、圧力媒体が導入される経路や導入口は図示を省略する。図１にのみ示す、コントロールバルブ４１，４２が、圧力媒体を調節するために用いられる。
【００４１】
図３に示すように、バルブロッド２２がその前端位置から副作動ピストン３４によって中間位置へ動かされると、副閉鎖スプリング３９の閉鎖力は比較的小さいため、まず、副閉鎖部材１１は副弁座部１４から持ち上げられて、副通路が開く。さらに、バルブロッド２２がその後端位置へと変位すると、副閉鎖部材１１は、主閉鎖部材５のストッパー５４に当たる。その結果、バルブロッド２２の後端位置への更なる変位によって、主閉鎖部材５４は、その開位置まで主弁座部６から持ち上げられる（図４参照）。
【００４２】
前述のように、バルブロッド２２は、長軸２６の回りに、少なくとも予め設定された角度範囲で回転可能になっている。バルブロッド２２が長軸２６回りに回転すると、副閉鎖部材１１は、特にバルブロッド２２の長軸２６を回転軸として、バルブロッド２２に合わせて、主閉鎖部材５に対して回転する。これによって、副通路が通る、主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１との間の可変仲介空間４３の大きさが変化する（図３および図５参照）。可変仲介空間４３は、主閉鎖部材５の内腔部１０を形成する内壁の一部分４４と、副閉鎖部材１１の一部分４６である外壁４５との間に位置する。図５から明らかなように、外壁４５と回転軸４７との間の距離が、副閉鎖部材１１の全周に渡って、周方向で変化している。この距離は、最大の初期値から最小の終値まで連続的に減少する。
【００４３】
言い換えれば、副閉鎖部材１１の前記一部分４６は、シリンダの外壁の周方向に、深さが変化する凹部を有するシリンダ形状を有している。この凹部は、図５から図７より明らかなように、好ましくは全周の一部分にのみ設けられる。
【００４４】
この結果、副通路の流れ易さ（横断面における開口の大きさ）は、主閉鎖部材５の内壁の一部分４４に対する、副閉鎖部材１１の一部分４６である外壁４５の位置に応じて変化する。
【００４５】
図示の実施形態において、再現可能な方法で副通路の流れ易さを段階的に調整するために、スナップ式のロック部材が設けられている。スナップ式のロック部材は、バルブロッド２２に回転しないように連結されたロックプレート３２を備える。図８から明らかなように、ロックプレート３２は、仮想円上に設けられた複数の穴を有する。主作動ピストン２８に設けられたスナップ式のボール４９（図９参照）がこれらの穴４８と協動する。さらに、ロックプレート３２は、主作動ピストン２８から突出するように設けられたストッパーボルト５０が挿通する半円状の案内孔を有する。これにより、主作動ピストン２８に対してロックプレート３２の回転が制限される。
【００４６】
主作動ピストン２８は、バルブロッド２２の長軸２２の回りに回転しないように、シリンダ空間２９に取り付けられている。そのために、図示の実施形態において、主作動ピストン２８は外形形状５１を有している。外形形状５１は、円形を拡大変形した形状であって、図８から明らかなように、円形を拡大変形した内側の形状を有する主作動ピストン２９と対応して協動する。その結果、主閉鎖部材５に対する副閉鎖部材１１の回転位置は、主作動ピストン２８に対するロックプレート３２の固定位置によって定めることができる。
【００４７】
主閉鎖部材５が開位置でシリンダ２３から突出するハンドル部材５２を回転させることによって、バルブロッド２２が回転する。
【００４８】
図示の実施形態のブート２５はまた、バルブ本体１に対して回転しないように、主閉鎖部材５を保持するために用いられる。ブート２５の代わりに、密閉された滑り路が主閉鎖部材５とバルブ本体１との間に設けられてもよい。この場合、主閉鎖部材５は、回転することを防ぐための対応手段が設けられる必要がある。
【００４９】
また、本発明の真空バルブは、上述のコーナーバルブの形状以外の形状であってもよい。例えば、入口２と出口３が同一軸線上に配置されるものであってもよい。この場合、主弁座部６は、この軸に対して傾斜するようにバルブ本体１に設けられ、この軸に対し傾斜して延びる貫通部を通してバルブ本体１から出るバルブロッド２２を案内することができる。
【００５０】
また、分離した複数のバルブロッドが主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１との間に設けられてもよい。そして、これらのバルブロッドの各々が独自の作動機構によって移動可能となっている。この場合の発明の実施形態として、主閉鎖部材に設けられた少なくとも１つのバルブロッドと、副閉鎖部材に設けられたもう１つのバルブロッドとが、好ましくは、これらの長軸方向に移動可能であり、これらのバルブロッドの長軸が互いに平行となっている。主閉鎖部材５と副閉鎖部材１１が閉位置から、副閉鎖部材１１がその開位置へ移動できる。開位置では、それ自体のシリンダに設けられた副作動ピストンの変位によって、副閉鎖部材１１が主閉鎖部材５のストッパーに当接する。これにより、シリンダ内の副作動ピストンの変位が制限される。バルブを完全に開くためには、それ自体のシリンダに設けられた少なくとも１つの主作動ピストンの変位によって、主閉鎖部材に設けられた少なくとも１つのバルブロッドが変位する。副作動ピストンは、この目的のために対応する長さを有する副シリンダ内を移動する。このような構造は、特に、大きな開口を有するバルブに適している。
【００５１】
本発明の他の実施形態として、バルブ本体１が第１および第２の内腔部を有してもよい。この場合において、第１の内腔部によってバルブを通る主通路が形成され、第１の内腔部の周囲には主弁座部が設けられている。第２の内腔部によってバルブを通る副通路が形成され、第２の内腔部の周囲には副弁座部が設けられている。主閉鎖部材は、第１の内腔部において、主弁座部から持ち上げられて主通路を開く開位置と主弁座部にしっかりと当接して主通路を閉じる閉位置との間を移動可能となっている。副閉鎖部材は、第２の内腔部において、副弁座部から持ち上げられて副通路を開く開位置と副弁座部にしっかりと当接して副通路を閉じる前記閉位置との間を移動可能となっている。この場合、主閉鎖部材と副閉鎖部材の移動はまた、分離した複数のバルブロッドによって実現される。分離した複数のバルブロッドには主閉鎖部材と副閉鎖部材とが取り付けられ、分離したバルブロッドは、好ましくは、ピストン―シリンダユニットであるところの対応する作動機構によって移動可能になっている。
【００５２】
したがって、後者の実施形態において、副通路は、主通路に対する一種のバイパスとなっている。また、主閉鎖部材によって閉じられる主通路と、副閉鎖部材によって閉じられる副通路とが、一方の後に他方が配置されるか、直列に接続されてもよい。この場合、バルブ本体はまた、２つの部分によって形成することができる。この場合において、第１のハウジングは主閉鎖部材が配置される第１の内腔部を有し、第２のハウジングは副閉鎖部材が配置される第２の内腔部を有している。
【００５３】
バルブ本体が、一方に主閉鎖部材が配置され、他方に副閉鎖部材が配置される第１および第２の内腔部を備える実施形態において、バルブ本体と副閉鎖部材との間には、副通路が通る可変仲介空間が存在している。副閉鎖部材は、上述の説明および図示した方法によって構成することができるとともに、副閉鎖部材は、可変仲介空間の大きさを変更可能とするために設けられたバルブロッドの回転によって回転可能になっている。
【００５４】
以上説明してきたように、本発明の技術的範囲は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明およびそのすべての均等物によって定められる。
【００５５】
以上の説明および図面から、当業者であれば、本発明の技術的思想から離れることなく、様々な変更を施して実施できることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の真空バルブを示す斜視図。
【図２】主閉鎖部材および副閉鎖部材が閉位置にあるときの図１記載の真空バルブの長手方向断面図（図５におけるＢ−Ｂ断面線参照）。
【図３】主閉鎖部材が閉位置にあり、副閉鎖部材が開位置にあるときの図２に対応した長手方向断面図。
【図４】主閉鎖部材および副閉鎖部材が開位置にあるときの図２に対応した長手方向断面図。
【図５】図２のＡ−Ａ線に沿った横断面図。
【図６】副閉鎖部材の後端にバルブロッドが取り付けられた状態の斜視図。
【図７】図６のバルブロッドを異なる回転位置から見た斜視図。
【図８】図２の真空バルブをシリンダカバーが外した状態でＣ方向から見た上面図。
【図９】図８のＤ−Ｄ線に沿った断面図。
【符号の説明】
【００５７】
１…バルブ本体、２…入口、３…出口、４…内腔部、５…主閉鎖部材、６…主弁座部、７…封止リング、８…入口側領域、９…出口側領域、１０…内腔部、１１…副閉鎖部材、１２…入口開口部、１３…出口開口部、１４…副弁座部、１５…封止リング、１６…ベース部材、１７…プレート部材、１８…ネジ、１９…封止リング、２０…封止リング、２１…移動方向、２２…バルブロッド、２３…シリンダ、２４…封止リング、２５…ブート、２６…長軸、２７…作動機構、２８…主作動ピストン、２９…主シリンダ空間、３０…固定リング、３１…固定リング、３２…ロックプレート、３３…封止リング、３４…副作動ピストン、３５…副シリンダ空間、３６…封止リング、３７…延設部、３８…主閉鎖スプリング、３９…副閉鎖スプリング、４０…シリンダカバー、４１…コントロールバルブ、４２…コントロールバルブ、４３…仲介スペース、４４…一部分、４５…外壁、４６…一部分、４７…回転軸、４８…穴、４９…スナップ式のボール、５０…ストッパーボルト、５１…外側形状、５２…ハンドル部材、５３…ガイド開口、５４…ストッパー、５５…ストッパー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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