(57)【要約】【課題】複数のノズル列の間の着弾誤差を吸収すること。【解決手段】所定方向に所定間隔を持つ第１のノズルと第２のノズルを用いてターゲットに液滴を吐出する液滴配置方法が、前記第１のノズルおよび前記第２のノズルを前記ターゲットに対して、前記所定方向に相対移動させる走査工程と、前記第１のノズルが前記ターゲット上の第１の位置に達した時に、前記第１のノズルから液滴を吐出する第１吐出工程と、前記第２のノズルが前記ターゲット上の第２の位置に達した時に、前記第２のノズルから液滴を吐出する第２吐出工程と、を有し、前記第１の位置と前記第２の位置との間の前記所定方向に沿った距離は、前記所定間隔と、前記第２のノズルによる着弾誤差と、を打消すように設定されている。【選択図】図１
2007130606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向に所定間隔を持つ第１のノズルと第２のノズルを用いてターゲットに液滴を吐
出する液滴配置方法であって、
前記第１のノズルおよび前記第２のノズルを前記ターゲットに対して、前記所定方向に
相対移動させる走査工程と、
前記第１のノズルが前記ターゲット上の第１の位置に達した時に、前記第１のノズルか
ら液滴を吐出する第１吐出工程と、
前記第２のノズルが前記ターゲット上の第２の位置に達した時に、前記第２のノズルか
ら液滴を吐出する第２吐出工程と、
を有し、
前記第１の位置と前記第２の位置との間の前記所定方向に沿った距離は、前記所定間隔
と、前記第２のノズルによる着弾誤差と、を打消すように設定されていることを特徴とし
た液滴配置方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴配置方法であって、
前記第１のノズルは第１のノズル列に属するとともに、前記第２のノズルは第２のノズ
ル列に属し、
前記第１のノズル列と前記第２のノズル列とは、どちらも前記所定方向とは略直交する
第２の方向に配列している、
ことを特徴とする液滴配置方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴配置方法であって、
前記第１吐出工程および前記第２吐出工程で吐出する前記液滴は、前記所定方向と略直
交する第２の方向に沿って並ぶように設定されている、
ことを特徴とする液滴配置方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一つに記載の液滴配置方法であって、
前記第１のノズルおよび前記第２のノズルは、インクジェット方式であることを特徴と
する液滴配置方法。
【請求項５】
ターゲットに対して液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
第１のノズルと、
前記第１のノズルとは所定方向に所定間隔離れた第２のノズルと、
前記第１のノズルおよび前記第２のノズルを前記ターゲットに対して、前記所定方向に
相対移動させる走査機構と、
前記走査機構による前記相対移動中に前記第１のノズルが前記第１の位置に達した時に
、前記第１のノズルから液滴を吐出させるとともに、前記走査機構による前記相対移動中
に前記第２のノズルが前記第２の位置に達した時に、前記第２のノズルから液滴を吐出さ
せる制御部と、
を備え、
前記第１の位置と前記第２の位置との間の前記所定方向に沿った距離は、前記第１のノ
ズルと前記第２のノズルが持つ前記所定間隔と、前記第２のノズルによる着弾誤差と、を
打消すように前記制御部にて制御する、
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出装置であって、
前記第１のノズルは第１のノズル列に属するとともに、前記第２のノズルは第２のノズ
ル列に属し、
前記第１のノズル列と前記第２のノズル列は、どちらも前記所定方向とは略直交する第
２の方向に延びている、
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載の液滴吐出装置であって、
前記第１のノズルが前記第１の位置上で吐出する液滴と、前記第２のノズルが前記第２
の位置上で吐出する液滴とが、前記所定方向に略直交する第２の方向に沿って並ぶように
前記第１の位置と前記第２の位置との間の前記所定方向に沿った距離を前記制御部にて制
御する、
ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項５から７のいずれか一つに記載の液滴吐出装置であって、
前記第１のノズルおよび前記第２のノズルは、インクジェット方式であることを特徴と
する液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴配置方法および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプロセスを利用して、カラーフィルタのフィルタエレメントを設ける技
術が知られている（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２７３８６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
インクジェットヘッドの製造誤差に起因して、異なるノズル列に属する２つのノズルの
間で、吐出される液滴の速度に差が生じることがある。このような差が生じる場合には、
２つのノズルから吐出された液滴の間で、吐出されてからターゲットの表面に着弾するま
での時間に差が生まれる。ここで、液滴吐出装置では、このような２つのノズルに対して
、ターゲットがほぼ一定の速度で相対移動するので、着弾位置がずれることになる。
【０００５】
本発明は上記課題を鑑みてなされ、その目的の一つは、複数のノズル列の間での着弾誤
差を吸収できる液滴配置方法および液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴配置方法によれば、所定方向に所定間隔を持つ第１のノズルと第２のノズ
ルを用いてターゲットに液滴を吐出する。上記液滴配置方法は、前記第１のノズルおよび
前記第２のノズルを前記ターゲットに対して、前記所定方向に相対移動させる走査工程と
、前記第１のノズルが前記ターゲット上の第１の位置に達した時に、前記第１のノズルか
ら液滴を吐出する第１吐出工程と、前記第２のノズルが前記ターゲット上の第２の位置に
達した時に、前記第２のノズルから液滴を吐出する第２吐出工程と、を有し、前記第１の
位置と前記第２の位置との間の前記所定方向に沿った距離は、前記所定間隔と、前記第２
のノズルによる着弾誤差と、を打消すように設定されている。
【０００７】
本発明のある態様では、前記第１のノズルは第１のノズル列に属するとともに、前記第
２のノズルは第２のノズル列に属し、前記第１のノズル列と前記第２のノズル列とは、ど
ちらも前記所定方向とは略直交する第２の方向に配列している。
【０００８】
好ましくは、前記第１吐出工程および前記第２吐出工程で吐出する前記液滴は、前記所
定方向と略直交する第２の方向に沿って並ぶように設定されている。
【０００９】
さらに好ましくは、前記第１のノズルおよび前記第２のノズルは、インクジェット方式
である。
【００１０】
本発明によれば、インクジェットヘッド上のノズル列の間での着弾誤差を吸収できる液
滴配置方法が得られる。
【００１１】
本発明によれば、ターゲットに対して液滴を吐出する液滴吐出装置が、第１のノズルと
、前記第１のノズルとは所定方向に所定間隔離れた第２のノズルと、前記第１のノズルお
よび前記第２のノズルを前記ターゲットに対して、前記所定方向に相対移動させる走査機
構と、前記走査機構による前記相対移動中に前記第１のノズルが前記第１の位置に達した
時に、前記第１のノズルから液滴を吐出させるとともに、前記走査機構による前記相対移
動中に前記第２のノズルが前記第２の位置に達した時に、前記第２のノズルから液滴を吐
出させる制御部と、を備えている。そして、上記液滴吐出装置が、前記第１の位置と前記
第２の位置との間の前記所定方向に沿った距離は、前記第１のノズルと前記第２のノズル
が持つ前記所定間隔と、前記第２のノズルによる着弾誤差と、を打消すように前記制御部
にて制御する。
【００１２】
本発明のある態様によれば、前記第１のノズルは第１のノズル列に属するとともに、前
記第２のノズルは第２のノズル列に属し、前記第１のノズル列と前記第２のノズル列は、
どちらも前記所定方向とは略直交する第２の方向に延びている。
【００１３】
好ましくは、上記液滴吐出装置が、前記第１のノズルが前記第１の位置上で吐出する液
滴と、前記第２のノズルが前記第２の位置上で吐出する液滴とが、前記所定方向に略直交
する第２の方向に沿って並ぶように前記第１の位置と前記第２の位置との間の前記所定方
向に沿った距離を前記制御部にて制御する。
【００１４】
さらに好ましくは、前記第１のノズルおよび前記第２のノズルは、インクジェット方式
である。
【００１５】
本発明によれば、インクジェットヘッド上のノズル列の間での着弾誤差を吸収できる液
滴吐出装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（Ａ．吐出開始位置の補正の概要）
図１（ａ）から（ｄ）は、ターゲット１０の表面と、インクジェットヘッド１と、の間
の位置関係を示す平面図である。ターゲット１０とは、インクジェットヘッド１から吐出
される液滴が着弾する対象物のことである。
【００１７】
図１（ａ）に示すように、インクジェットヘッド１は、複数のノズル５を有している。
ここでのノズル５は、インクジェットヘッド１のノズルプレートによって規定される開口
部である。そして、これら複数のノズル５のそれぞれを介して、インクジェットヘッド１
はそれぞれの液滴を吐出する。なお、インクジェットヘッド１は、これら複数のノズル５
がターゲット１０側を向くように、配向されている。
【００１８】
インクジェットヘッド１上で、これら複数のノズル５は、互いに平行な２つのノズル列
ＮＲ１，ＮＲ２を構成している。ここで、ノズル列ＮＲ１またはノズル列ＮＲ２が延びる
方向を「ノズル列方向」とも表記する。そして、本実施形態では、「ノズル列方向」はＸ
軸方向に平行である。ノズル列ＮＲ１と、ノズル列ＮＲ２と、の間の距離ＧＮは、約２．
５ｍｍである。距離ＧＮは、「ノズル列方向」に垂直な方向に沿った距離でもある。なお
、距離ＧＮは「ノズル列間物理距離」とも呼ばれる。
【００１９】
さらに、インクジェットヘッド１は、複数のノズル５のそれぞれに対応した複数の「吐
出素子」（不図示）を備えている。本実施形態の吐出素子は、ピエゾ素子である。後述す
るように、選択回路２２Ａ，２２Ｂ（図８）を介してピエゾ素子に駆動波形ＤＶが印加さ
れると、そのピエゾ素子に対応するノズル５から機能液が液滴として吐出される。なお、
選択回路２２Ａ，２２Ｂは、ピエゾ素子へ駆動波形ＤＶを伝播または遮断する機能を有し
ている。
【００２０】
以下では、説明の便宜上、「ノズル列に駆動波形ＤＶを与える」との表現が用いられる
。この表現は、「ノズル列を構成する複数のノズルのそれぞれに駆動波形ＤＶを与える」
ことを意味している。ここで、「ノズルに駆動波形ＤＶを与える」との表現は、「ノズル
に対応した吐出素子に選択回路を介して駆動波形ＤＶを与える」ことに対応している。
【００２１】
本実施形態では、同じノズル列に属する複数のノズル５のそれぞれには、同位相の駆動
波形ＤＶが供給される。このため、一つのノズル列を構成するすべてのノズル５から液滴
が吐出されるように選択回路が機能する場合には、それら複数のノズル５のすべてから同
一のタイミングで液滴が吐出されることになる。
【００２２】
図１（ｂ）、（ｃ）および（ｄ）は、インクジェットヘッド１に対してターゲット１０
が相対移動している期間中に、ノズル列ＮＲ１，ＮＲ２のそれぞれから液滴を吐出した結
果を示している。いずれの場合にも、ターゲット１０は同じスタート位置から相対移動し
始める。そして、ターゲット１０が相対移動し始めた時点から時間期間ΔＴＳ（図２）後
に、ノズル列ＮＲ１に駆動波形ＤＶが与えられる。なお、この場合、ターゲット１０に対
してインクジェットヘッド１がＸ軸方向の正方向に相対移動する。また、Ｘ軸方向を「主
走査方向」とも表記する。
【００２３】
図１（ｂ）は、図２（ａ）に示す駆動信号ＤＶＲ１，ＤＶＲ２が用いられた場合の結果
を示している。具体的には、図２（ａ）に示すように、ノズル列ＮＲ１，ＮＲ２のそれぞ
れには、互いに同じ位相の駆動信号ＤＶＲ１，ＤＶＲ２がそれぞれ与えられている。ここ
で、図２（ａ）の駆動信号ＤＶＲ１，ＤＶＲ２のそれぞれには、連続する３つの駆動波形
ＤＶが現れているが、図１（ｂ）には、最初（最も左）の駆動波形ＤＶによって吐出され
た液滴のみが描かれている。また、図２の横軸は時間軸である。
【００２４】
図１（ｂ）に示すように、ノズル列ＮＲ１を構成するノズル５からの液滴によって、タ
ーゲット１０上に複数の着弾滴ＣＰ１が形成される。ここで、複数の着弾滴ＣＰ１は列を
構成しており、この列を着弾列ＣＰＲ１と表記する。また、ノズル列ＮＲ２を構成するノ
ズル５からの液滴によって、ターゲット１０上に複数の着弾滴ＣＰ２が形成される。ここ
で、複数の着弾滴ＣＰ２は列を構成しており、この列を着弾列ＣＰＲ２と表記する。なお
、着弾列ＣＰＲ１，ＣＰＲ２が延びる方向は、ノズル列方向と同じである。
【００２５】
着弾列ＣＰＲ１と着弾列ＣＰＲ２との間の距離は、距離ＧＮから相対着弾誤差Δｆ（後
述）を引いた値になる。ここで、仮に、ノズル列ＮＲ１による液滴の吐出性能と、ノズル
列ＮＲ２による液滴の吐出性能とが、完全に一致するならば、２つの着弾列ＣＰＲ１，Ｃ
ＰＲ２の間の距離は、距離ＧＮになる。ここでの「吐出性能」とは、ノズル５から吐出さ
れる液滴の速度と、ノズル５から吐出される液滴の向きと、によって記述される。なお、
本実施形態では、同じノズル列に属する複数のノズル５の間での「吐出性能」の差は、無
視できる。また、後述するように、相対着弾誤差Δｆは、正の値だけでなく、負の値も取
り得る。
【００２６】
図１（ｃ）は、図２（ｂ）に示す駆動信号ＤＶＲ１，ＤＶＲ２が用いられた場合の結果
を示している。図２（ｂ）のように、駆動信号ＤＶＲ１に対して、駆動信号ＤＶＲ２は、
距離ＧＮに対応する時間期間ΔＴＮ（＝φ１）だけ遅延している。このため、図１（ｃ）
に示すように、２つの着弾列ＣＰＲ１，ＣＰＲ２の間の距離は、相対着弾誤差Δｆだけに
なる。なお、この場合、ノズル列ＮＲ１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ１の
相対ｘ座標と、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対ｘ座
標とは一致する。言い換えると、ノズル列ＮＲ１に駆動波形ＤＶが与えられる時点でのノ
ズル列ＮＲ２の相対ｘ座標に対して、ノズル列ＮＲ２に駆動波形ＤＶが与えられる時点で
のノズル列ＮＲ２の相対ｘ座標は、距離ＧＮだけ正方向にずれている。
【００２７】
ここで、「相対ｘ座標」とは、特に断らない限り、ターゲット１０上に固定された座標
系のｘ座標である。本実施形態のように距離ＧＮが２．５ｍｍであり、相対移動速度が２
００ｍｍ／ｓである場合には、時間期間ΔＴＮ（＝φ１）は、１２．５ｍｓ（＝２．５ｍ
ｍ／２００ｍｍ／ｓ）である。
【００２８】
図１（ｄ）は、図２（ｃ）に示す駆動信号ＤＶＲ１，ＤＶＲ２が用いられた場合の結果
を示している。図２（ｃ）のように、駆動信号ＤＶＲ１に対して、駆動信号ＤＶＲ２は、
距離ＧＮと、相対着弾誤差Δｆと、を吸収するだけの時間期間ΔＴＮ（＝φ２）だけ遅延
している。このため、図１（ｄ）に示すように、着弾列ＣＰＲ１，ＣＰＲ２との間の距離
は、実質的にゼロになり、この結果、着弾列ＣＰＲ１と着弾列ＣＰＲ２とは、一列に並ぶ
。
【００２９】
そして、図１（ｄ）および図２（ｃ）の場合には、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始め
る時点での相対ｘ座標は、図１（ｂ）および図２（ａ）の場合にノズル列ＮＲ２が液滴を
吐出し始める時点での相対ｘ座標に対して、相対着弾誤差Δｆだけ負方向にずれている。
【００３０】
本実施形態では、ターゲット１０の相対移動速度が２００ｍｍ／ｓであり、距離ＧＮが
２．５ｍｍである。このため、例えば、相対着弾誤差Δｆが「＋２．５μｍ」の場合には
、駆動信号ＤＶＲ２を駆動信号ＤＶＲ１に対して、時間期間ΔＴＮ（＝φ２）として、１
２．４８７５ｍｓだけ遅延させればよい。遅延された後、駆動信号ＤＶＲ２には、駆動信
号ＤＶＲ１において駆動波形ＤＶが現れる周波数と同じ周波数で、駆動波形ＤＶが現れる
。
【００３１】
（Ｂ．相対着弾誤差Δｆについて）
相対着弾誤差Δｆが生じる原因の一つは、吐出される液滴の速度がノズル列毎に異なる
ことである。本実施形態では、ノズル列ＮＲ１に属するノズル５から吐出される液滴の速
度は、８ｍ／ｓである。一方、ノズル列ＮＲ２に属するノズル５から吐出される液滴の速
度は、６ｍ／ｓである。
【００３２】
そして、相対着弾誤差Δｆは、「走査条件」に応じて異なる。ここで、「走査条件」と
は、「ヘッドギャップ」と、「主走査速度」と、「主走査の方向（正方向または負方向）
」と、によって決まる。「ヘッドギャップ」は、ノズル５と、ターゲット１０の表面と、
の間の距離であり、インクジェットヘッド１上の複数のノズル５のそれぞれについて同じ
である。「主走査速度」は、ターゲット１０に対するインクジェットヘッド１の相対速度
である。「主走査の方向」は、ターゲット１０に対してインクジェットヘッド１が主走査
方向（Ｘ軸方向）に相対移動する向きであり、正方向と負方向とのどちらかである。
【００３３】
以下では、４つの異なる走査条件を例示しながら、走査条件に応じて相対着弾誤差Δｆ
がどのように変わるかを説明する。
【００３４】
（Ｂ１．第１の走査条件下での試験）
第１の走査条件では、「ヘッドギャップ」は０．３ｍｍである。「主走査速度」は２０
０ｍｍ／ｓである。そして、「主走査の方向」は正方向である。つまり、ターゲット１０
に対してインクジェットヘッド１が、正方向に相対移動する。ここで、インクジェットヘ
ッド１上で、ノズル列ＮＲ１はノズル列ＮＲ２よりも正方向に位置している。このため、
ターゲット１０に対してノズル列ＮＲ１が、ノズル列ＮＲ２よりも先行して相対移動する
ことになる。
【００３５】
この試験で用いられる駆動信号ＤＶＲ１と駆動信号ＤＶＲ２との関係は、図２（ｂ）の
状態にある。つまり、ノズル列ＮＲ１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ１の相
対ｘ座標と、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対ｘ座標
と、が一致するように、駆動信号ＤＶＲ１に対して駆動信号ＤＶＲ２が、距離ＧＮ（２．
５ｍｍ）に対応する時間期間ΔＴＮだけ遅延している。そしてこの関係は、以下の第２の
走査条件下での試験と、第３の走査条件下での試験と、についても同じである。
【００３６】
駆動信号ＤＶＲ１，ＤＶＲ２の関係が図２（ｂ）の状態にあるので、仮に相対着弾誤差
Δｆが０（ゼロ）であれば、２つのノズル列ＮＲ１，ＮＲ２からの液滴は、ターゲット１
０上で、１つの着弾列を形成するはずである。なお、上述のように、「相対ｘ座標」とは
、ターゲット１０上に固定された座標系のｘ座標である。
【００３７】
しかしながら、上述のようにノズル列ＮＲ１からの液滴の速度と、ノズル列ＮＲ２から
の液滴の速度と、が違う。具体的には、ノズル列ＮＲ１に属するノズル５から吐出された
液滴については、吐出された時点からからターゲット１０の表面に着弾する時点までの時
間期間が３７．５μｓである。一方で、ノズル列ＮＲ２に属するノズル５から吐出された
液滴については、吐出された時点からターゲット１０の表面に着弾する時点までの時間期
間が５０．０μｓである。つまり、ノズル列ＮＲ２からの液滴は、ノズル列ＮＲ１からの
液滴よりも、１２．５μｓだけ長く飛翔する。そして、１２．５μｓの時間期間中にも、
飛翔中の液滴が２００ｍｍ／ｓの速さで正方向に相対移動しているので、ノズル列ＮＲ２
からの液滴の着弾列ＣＰＲ２は、「＋２．５μｍ」だけノズル列ＮＲ１による着弾列ＣＰ
Ｒ１からずれる。
【００３８】
したがって、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対ｘ座
標を、ノズル列ＮＲ１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ１の相対ｘ座標から「
＋２．５μｍ」だけ引いて得られる座標にすればよい。また、この場合、駆動信号ＤＶＲ
１に対して、駆動信号ＤＶＲ２を、時間期間ΔＴＮ＝１２．４８７５ｍｓだけ遅延すれば
よい。そして、これらの補正によって、着弾列ＣＰＲ１と着弾列ＣＰＲ２とは、一列に並
ぶ。
【００３９】
（Ｂ２．第２の走査条件下での試験）
第２の走査条件では、「ヘッドギャップ」が０．４ｍｍである点を除いて、第１の走査
条件と同じである。つまり、「主走査速度」が２００ｍｍ／ｓであり、「主走査の方向」
は正方向である。
【００４０】
第２の走査条件によれば、ノズル列ＮＲ１に属するノズル５から吐出された液滴につい
ては、吐出された時点からからターゲット１０の表面に着弾する時点までの時間期間が５
０．０μｓである。一方で、ノズル列ＮＲ２に属するノズル５から吐出された液滴につい
ては、吐出された時点からターゲット１０の表面に着弾する時点までの時間期間が６６．
７μｓである。つまり、ノズル列ＮＲ２からの液滴は、ノズル列ＮＲ１からの液滴よりも
、１６．７μｓの時間期間だけ長く飛翔する。そして、１６．７μｓの時間期間中にも、
飛翔中の液滴が２００ｍｍ／ｓの速さで正方向に相対移動しているので、ノズル列ＮＲ２
からの液滴の着弾列ＣＰＲ２は、「＋３．３３３μｍ」だけノズル列ＮＲ１による着弾列
ＣＰＲ１からずれる。
【００４１】
したがって、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対ｘ座
標を、ノズル列ＮＲ１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ１の相対ｘ座標から「
＋３．３３３μｍ」だけ引いて得られる座標にすればよい。また、この場合、駆動信号Ｄ
ＶＲ１に対して駆動信号ＤＶＲ２を、時間期間ΔＴＮ＝１２．４８３５ｍｓだけ遅延すれ
ばよい。そして、これらの補正によって、着弾列ＣＰＲ１と着弾列ＣＰＲ２とは、一列に
並ぶ。
【００４２】
なお、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対ｘ座標とし
て、第１の走査条件に対して補正されたノズル列ＮＲ２の相対ｘ座標から「＋０．８μｍ
」だけ引いて得られる座標が用いられても、結果は同じである。つまり、着弾列ＣＰＲ１
と着弾列ＣＰＲ２とは、一列に並ぶ。
【００４３】
（Ｂ３．第３の走査条件下での試験）
第３の走査条件では、「主走査速度」が３００ｍｍ／ｓである点を除いて、第１の走査
条件と同じである。つまり、「ヘッドギャップ」が０．３ｍｍであり、「主走査の方向」
は、正方向である。
【００４４】
第３の走査条件によれば、ノズル列ＮＲ１に属するノズル５から吐出された液滴につい
ては、吐出された時点からからターゲット１０の表面に着弾する時点までの時間期間が３
７．５μｓである。一方で、ノズル列ＮＲ２に属するノズル５から吐出された液滴につい
ては、吐出された時点からターゲット１０の表面に着弾する時点までの時間期間が５０．
０μｓである。つまり、ノズル列ＮＲ２からの液滴は、ノズル列ＮＲ１からの液滴よりも
、１２．５μｓの時間期間だけ長く飛翔する。そして、１２．５μｓの時間期間中にも、
飛翔中の液滴が３００ｍｍ／ｓの速さで正方向に相対移動しているので、ノズル列ＮＲ２
からの液滴による着弾列ＣＰＲ２は、「＋３．７５μｍ」だけノズル列ＮＲ１による着弾
列ＣＰＲ１からずれる。
【００４５】
したがって、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対ｘ座
標を、ノズル列ＮＲ１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ１の相対ｘ座標から「
＋３．７５μｍ」だけ引いて得られる座標にすればよい。また、この場合、駆動信号ＤＶ
Ｒ１に対して、駆動信号ＤＶＲ２を、時間期間ΔＴＮ＝８．３２１ｍｓだけ遅延すればよ
い。そして、これらの補正によって、着弾列ＣＰＲ１と着弾列ＣＰＲ２とは、一列になら
ぶ。
【００４６】
なお、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対ｘ座標を、
第１の走査条件に対して補正されたノズル列ＮＲ２の相対ｘ座標から「＋１．３μｍ」だ
け引いて得られる相対ｘ座標としても、結果は同じである。
【００４７】
（第４の走査条件）
第４の走査条件は、「主走査の方向」が負方向である点を除いて、第１の走査条件と同
じである。つまり、「ヘッドギャップ」が０．３ｍｍであり、「主走査速度」が２００ｍ
ｍ／ｓである。
【００４８】
ただし、「主走査の方向」が負方向であることは、ターゲット１０に対してインクジェ
ットヘッド１が負方向に相対移動することなので、第１の走査条件とは異なり、ノズル列
ＮＲ２がノズル列ＮＲ１に先行して相対移動する。
【００４９】
また、ノズル列ＮＲ１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ１の相対ｘ座標と、
ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対ｘ座標と、が一致す
るように、駆動信号ＤＶＲ１に対して駆動信号ＤＶＲ２は、距離ＧＮ（２．５ｍｍ）に対
応する時間期間ΔＴＮだけ先行されている。このため、仮に相対着弾誤差Δｒが０（ゼロ
）であれば、２つのノズル列ＮＲ１，ＮＲ２による着弾列ＣＰＲ１，ＣＰＲ２は、ターゲ
ット１０上で、一列にならぶはずである。なお、「主走査の方向」が負方向の場合には、
相対着弾誤差の符号を「Δｒ」と表記して、正方向の場合の符号「Δｆ」から区別してい
る。
【００５０】
第４の走査条件によれば、ノズル列ＮＲ１に属するノズル５から吐出された液滴につい
ては、吐出された時点からからターゲット１０の表面に着弾する時点までの時間期間が３
７．５μｓである。一方、ノズル列ＮＲ２に属するノズル５から吐出された液滴について
は、吐出された時点からターゲット１０の表面に着弾する時点までの時間期間が５０．０
μｓである。つまり、ノズル列ＮＲ２からの液滴は、ノズル列ＮＲ１からの液滴よりも、
１２．５μｓの時間期間だけ長く飛翔する。そして、１２．５μｓの時間期間中にも、飛
翔中の液滴が２００ｍｍ／ｓの速さで負方向に相対移動しているので、ノズル列ＮＲ２か
らの液滴による着弾列ＣＰＲ２は、「−２．５μｍ」だけノズル列ＮＲ１による着弾列Ｃ
ＰＲ１からずれる。
【００５１】
したがって、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対ｘ座
標を、ノズル列ＮＲ１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ１の相対ｘ座標から「
−２．５μｍ」だけ引いて得られる座標とすればよい。また、この場合、駆動信号ＤＶＲ
１に対して駆動信号ＤＶＲ２を、時間期間ΔＴＮ＝１２．５１２５ｍｓだけ先行すればよ
い。そして、これらの補正によって、着弾列ＣＰＲ１と着弾列ＣＰＲ２とは、一列になら
ぶ。
【００５２】
（Ｃ．相対着弾誤差Δｆ，Δｒの計測）
図３、図４、および図５を参照しながら、相対着弾誤差Δｆ，Δｒの計測方法を説明す
る。
【００５３】
図３に示す複数の基準パターンＴＰ１，ＴＰ２を有するテスト基板１０Ｔをターゲット
１０として準備する。複数の基準パターンＴＰ１，ＴＰ２は、複数のノズル５のそれぞれ
に対応して位置している。具体的には、複数の基準パターンＴＰ１，ＴＰ２は、互いに平
行な２つの基準列ＴＰＲ１，ＴＰＲ２を構成している。基準列ＴＰＲ１における基準パタ
ーンＴＰ１のピッチは、ノズル列ＮＲ１におけるノズル５のピッチと同じである。同様に
、基準列ＴＰＲ２における基準パターンＴＰ２のピッチは、ノズル列ＮＲ２におけるノズ
ル５のピッチと同じである。ただし、基準列ＴＰＲ１と基準列ＴＰＲ２との間の距離は３
００ｍｍである。
【００５４】
まず、液滴吐出装置のステージ上にテスト基板１０Ｔをセットする。この場合、基準列
ＴＰＲ１，ＴＰＲ２の方向が、ノズル列方向に一致するように、テスト基板１０Ｔが配置
される。なお、上述のように、ノズル列方向は、主走査方向に垂直である。
【００５５】
次に、走査条件を決める。具体的には、上述の「ヘッドギャップ」と、「主走査速度」
と、「主走査の方向」と、をそれぞれ設定する。「主走査の方向」が正方向である場合に
は、以下のような手順で検査を行う。なお、以下では、「主走査の方向」が正方向である
場合の相対移動を「往路スキャン」とも呼ぶ。また、「主走査の方向」が負方向である場
合の相対移動を「復路スキャン」とも呼ぶ。
【００５６】
（Ｃ１．往路スキャンによる相対着弾誤差Δｆの計測）
図４の上部に描かれているように、まず、インクジェットヘッド１をスタート位置ＦＳ
にセットする。さらに、ノズル列ＮＲ１に属するノズル５の相対ｙ座標が基準パターンＴ
Ｐ１の相対ｙ座標に一致するとともに、ノズル列ＮＲ２に属するノズル５の相対ｙ座標が
基準パターンＴＰ２の相対ｙ座標に一致するように、インクジェットヘッド１のＹ軸方向
の位置をセットする。なお、インクジェットヘッド１の相対ｘ座標は、ノズル列ＮＲ１の
相対ｘ座標で表されてよい。
【００５７】
そして、ターゲット１０に対してインクジェットヘッド１を正方向に相対移動させる。
本実施形態では、静止したインクジェットヘッド１に対してターゲット１０を負方向に移
動させる。ノズル列ＮＲ１はノズル列ＮＲ２よりも正方向側に位置しているので、この相
対移動によって、ノズル列ＮＲ１がノズル列ＮＲ２よりも先行して相対移動する。
【００５８】
往路スキャンによって、ノズル列ＮＲ１のノズル５の相対ｘ座標が、基準パターンＴＰ
１の相対ｘ座標に一致した時点で、ノズル列ＮＲ１に駆動波形ＤＶを与える。そうすると
、ノズル列ＮＲ１のノズル５から液滴が吐出される。ここで、ノズル列ＮＲ１のノズル５
から吐出された液滴は、速度ＶＮ１で飛翔するとする。そうすると、吐出された液滴は、
吐出の時点から速度ＶＮ１に対応した時間期間だけ遅れた時点にターゲット１０に着弾す
る。そして、ターゲット１０上に着弾した液滴は、着弾滴ＣＰ１となる。
【００５９】
また、往路スキャンによって、ノズル列ＮＲ２のノズル５の相対ｘ座標が基準パターン
ＴＰ２の相対ｘ座標に一致した時点で、ノズル列ＮＲ２に駆動波形ＤＶを与える。そうす
ると、ノズル列ＮＲ２のノズル５から液滴が吐出される。ここで、ノズル列ＮＲ２のノズ
ル５から吐出された液滴は、速度ＶＮ２で飛翔するとする。そうすると、吐出された液滴
は、吐出の時点から速度ＶＮ２に対応した時間期間だけ遅れた時点にターゲット１０に着
弾する。そして、ターゲット１０上に着弾した液滴は、着弾滴ＣＰ２となる。
【００６０】
なお、インクジェットヘッド１のスタート位置ＦＳと、基準パターンＴＰ１と、の間の
距離は既知である。また、インクジェットヘッド１のスタート位置ＦＳと、基準パターン
ＴＰ２と、の間の距離も既知である。
【００６１】
ここで、テスト基板１０Ｔを載せたステージは、後述するステージ駆動装置におけるモ
ータによって、２００ｍｍ／ｓの速度で移動させられる。一方で、ステージ駆動装置は、
上記モータに加えて、ステージの移動距離を検出するエンコーダを有している。このエン
コーダは、ステージの移動距離に対応したエンコーダパルス信号ＥＮＰを出力するように
構成されており、本実施形態では、ステージが０．１μｍだけ移動すると、エンコーダパ
ルス信号ＥＮＰにおいて１つのパルスが現れる。上述のように、テスト基板１０Ｔは２０
０ｍｍ／ｓの速度で移動するので、エンコーダパルスＥＮＰの周波数は２ＭＨｚになる。
なお、エンコーダパルスＥＮＰを「ステージ位置検出信号」とも表記する。
【００６２】
また、エンコーダパルス信号ＥＮＰにおけるパルスの数をカウントすることで、ターゲ
ット１０に対するノズル列ＮＲ１またはノズル列ＮＲ２の相対ｘ座標は導出できる。また
は、このエンコーダパルス信号ＥＮＰにおけるパルスの数そのものを、相対ｘ座標として
扱ってもよい。
【００６３】
往路スキャンを終えると、ＣＣＤなどの撮像素子で、基準パターンＴＰ１，ＴＰ２と、
着弾滴ＣＰ１，ＣＰ２とを撮像する。そして、撮像によって得られる画像に基づいて、基
準パターンＴＰ１と着弾滴ＣＰ１との間の距離δ１ｆを計測する。同様に、基準パターン
ＴＰ２と着弾滴ＣＰ２との間の距離δ２ｆを計測する。ここで、距離δ１ｆおよび距離δ
２ｆは、どちらも絶対値、すなわち正の数、である。
【００６４】
そして、距離δ２ｆから距離δ１ｆを引いて得られる値を、上述の相対着弾誤差Δｆと
する。つまり、相対着弾誤差Δｆは下記（式１）で表される。
Δｆ＝δ２ｆ−δ１ｆ…（式１）
なお、上記（式１）から明らかなように、相対着弾誤差Δｆがゼロ（Δｆ＝０）の場合に
は、速度ＶＮ２と速度ＶＮ１とは等しい。そして、相対着弾誤差Δｆが正（Δｆ＞０）の
場合には、速度ＶＮ２が速度ＶＮ１より小さい。また、相対着弾誤差Δｆが負（Δｆ＜０
）の場合には、速度ＶＮ２は速度ＶＮ１より大きい。
【００６５】
そして、得られた相対着弾誤差Δｆを、後述の補正のために記録する。
【００６６】
次に、インクジェットヘッド１をスタート位置ＦＳに戻してから、新しいテスト基板１
０Ｔを用いて異なる走査条件について、相対着弾誤差Δｆを計測して、計測された相対着
弾誤差Δｆを記録する。なお、上記（式１）から明らかなように、相対着弾誤差Δｆは、
ノズル列ＮＲ１の吐出性能に対するノズル列ＮＲ２の吐出性能の差であるとも言える。
【００６７】
（Ｃ２．復路スキャンによる相対着弾誤差Δｒの計測）
図５の下部に描かれているように、まず、インクジェットヘッド１をスタート位置ＲＳ
にセットする。そして、往路スキャンの場合と同様に、ノズル列ＮＲ１に属するノズル５
の相対ｙ座標が基準パターンＴＰ１の相対ｙ座標に一致するとともに、ノズル列ＮＲ２に
属するノズル５の相対ｙ座標が基準パターンＴＰ２の相対ｙ座標に一致するように、イン
クジェットヘッド１のＹ軸方向の位置をセットする。
【００６８】
そして、ターゲット１０に対してインクジェットヘッド１を負方向に相対移動させる。
ただし、本実施形態では、静止したインクジェットヘッド１に対してターゲット１０を正
方向に移動させる。ここで、ノズル列ＮＲ１はノズル列ＮＲ２よりも正方向側に位置して
いるので、往路スキャンの場合とは異なり、復路スキャンでは、ノズル列ＮＲ２がノズル
列ＮＲ１よりも先行して相対移動する。
【００６９】
往路スキャンによって、ノズル列ＮＲ２の相対ｘ座標が基準パターンＴＰ２の相対ｘ座
標に一致した時点で、ノズル列ＮＲ２に駆動波形ＤＶを与える。そうすると、ノズル列Ｎ
Ｒ２のノズル５から液滴が吐出される。ここで、ノズル列ＮＲ２のノズル５から吐出され
た液滴は、上述の速度ＶＮ２で飛翔する。したがって、吐出された液滴は、吐出の時点か
ら速度ＶＮ２に対応した時間期間だけ遅れた時点にターゲット１０に着弾する。そして、
ターゲット１０上に着弾した液滴は、着弾滴ＣＰ２’となる。
【００７０】
復路スキャンによって、ノズル列ＮＲ１の相対ｘ座標が、基準パターンＴＰ１の相対ｘ
座標に一致した時点で、ノズル列ＮＲ１に駆動波形ＤＶを与える。そうすると、ノズル列
ＮＲ１のノズル５から液滴が吐出される。ここで、ノズル列ＮＲ１のノズル５から吐出さ
れた液滴は、上述の速度ＶＮ１で飛翔する。したがって、吐出された液滴は、吐出の時点
から速度ＶＮ１に対応した時間期間だけ遅れた時点にターゲット１０に着弾する。そして
、ターゲット１０上に着弾した液滴は、着弾滴ＣＰ１’となる。
【００７１】
なお、インクジェットヘッド１のスタート位置ＲＳと、基準パターンＴＰ１と、の間の
距離は既知である。また、インクジェットヘッド１のスタート位置と、基準パターンＴＰ
２と、の間の距離も既知である。なお、スタート位置ＲＳは、ノズル列ＮＲ１の相対ｘ座
標を用いて表されてよい。
【００７２】
復路スキャンを終えると、ＣＣＤなどの撮像素子で、基準パターンＴＰ１，ＴＰ２と、
着弾滴ＣＰ１’，ＣＰ２’とを撮像する。そして、撮像によって得られた画像に基づいて
、基準パターンＴＰ１と着弾滴ＣＰ１’との間の距離δ１ｒを計測する。同様に、基準パ
ターンＴＰ２と着弾滴ＣＰ２’との間の距離δ２ｒ’を計測する。ここで、距離δ１ｒお
よび距離δ２ｒは、どちらも絶対値、すなわち正の数、である。
【００７３】
そして、距離δ２ｒから距離δ１ｒを引いて得られる値を、上述の相対着弾誤差Δｒと
する。つまり、相対着弾誤差Δｒは下記（式２）で表される。
Δｒ＝δ２ｒ−δ１ｒ…（式２）
なお、上記（式２）から明らかなように、相対着弾誤差Δｒがゼロ（Δｒ＝０）の場合に
は、速度ＶＮ２と速度ＶＮ１とは等しい。そして、相対着弾誤差Δｒが正（Δｒ＞０）の
場合には、速度ＶＮ２が速度ＶＮ１より小さい。相対着弾誤差Δｒが負（Δｒ＜０）の場
合には、速度ＶＮ２は速度ＶＮ１より大きい。
【００７４】
そして、得られた相対着弾誤差Δｒを、後述の補正のために記録する。
【００７５】
次に、インクジェットヘッド１をスタート位置ＲＳに戻してから、新しいテスト基板１
０Ｔを用いて異なる走査条件について、相対着弾誤差Δｒを計測して、計測された相対着
弾誤差Δｒを記録する。上記（式２）から明らかなように、相対着弾誤差Δｒは、ノズル
列ＮＲ１の吐出性能に対するノズル列ＮＲ２の吐出性能の差であるとも言える。
【００７６】
（Ｄ．吐出開始座標の補正）
相対着弾誤差Δｆおよび相対着弾誤差Δｒを打ち消す、または吸収する補正方法を説明
する。以下では、ノズル列ＮＲ１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ１の相対ｘ
座標とノズル列ＮＲ２の相対ｘ座標とを、それぞれＰ（ＮＲ１）とＰ（ＮＲ２）で表記す
る。そして、ノズル列ＮＲ２の補正後の吐出開始座標をＰ’（ＮＲ２）で表記する。上述
のように、用語「相対ｘ座標」は、ターゲット１０に固定された座標系のｘ座標である。
【００７７】
（Ｄ１．往路スキャンの場合の吐出開始位置の補正）
まず、走査条件に基づいて相対着弾誤差Δｆを特定する。そして、特定された相対着弾
誤差Δｆに応じて、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対
ｘ座標を決める。具体的には、ノズル列ＮＲ２が下記（式３）または（式４）で表される
相対ｘ座標に達した時点に、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始めればよい。
Ｐ’（ＮＲ２）＝Ｐ（ＮＲ１）−Δｆ…（式３）
Ｐ’（ＮＲ２）＝Ｐ（ＮＲ２）＋ＧＮ−Δｆ…（式４）
【００７８】
上記（式３）が示すように、ノズル列ＮＲ２の補正後の吐出開始座標は、ノズル列ＮＲ
１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ１の相対ｘ座標から、相対着弾誤差Δｆを
引いて得られる座標である。または、上記（式４）が示すように、ノズル列ＮＲ２の補正
後の吐出開始座標は、ノズル列ＮＲ１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相
対ｘ座標に、距離ＧＮと相対着弾誤差Δｆとの間の差、を加えて得られる座標である。
【００７９】
そして、ノズル列ＮＲ２が（式３）または（式４）で示す相対ｘ座標（Ｐ’（ＮＲ２）
）に達した時点で、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始めれば、着弾列ＣＰＲ１と着弾列Ｃ
ＰＲ２とは、一列に並ぶ。つまり、着弾列ＣＰＲ１と着弾列ＣＰＲ２との間の距離はゼロ
になる。
【００８０】
（Ｄ２．復路スキャンの場合の吐出開始位置の補正）
まず、走査条件に基づいて相対着弾誤差Δｒを特定する。そして、特定された相対着弾
誤差Δｒに応じて、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相対
ｘ座標を決める。具体的には、ノズル列ＮＲ２が下記（式５）または（式６）で表される
相対ｘ座標に達した時点に、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始めればよい。
Ｐ’（ＮＲ２）＝Ｐ（ＮＲ１）−Δｒ…（式５）
Ｐ’（ＮＲ２）＝Ｐ（ＮＲ２）−ＧＮ−Δｒ…（式６）
【００８１】
上記（式５）が示すように、ノズル列ＮＲ２の補正後の吐出開始座標は、ノズル列ＮＲ
１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ１の相対ｘ座標から、相対着弾誤差Δｒを
引いて得られる座標である。または、上記（式６）が示すように、ノズル列ＮＲ２の補正
後の吐出開始座標は、ノズル列ＮＲ１が液滴を吐出し始める時点でのノズル列ＮＲ２の相
対ｘ座標から、距離ＧＮと相対着弾誤差Δｆとを引いて得られる座標である。
【００８２】
そして、ノズル列ＮＲ２が（式５）または（式６）で示す相対ｘ座標（Ｐ’（ＮＲ２）
）に達した時点で、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出し始めれば、着弾列ＣＰＲ１と着弾列Ｃ
ＰＲ２とは、一列に並ぶ。つまり、着弾列ＣＰＲ１と着弾列ＣＰＲ２との間の距離はゼロ
になる。
【００８３】
（Ｆ．液滴吐出装置）
距離ＧＮと、相対着弾誤差Δｆ，Δｒと、に起因する位置ずれを補正する液滴吐出装置
を説明する。
【００８４】
（１．液滴吐出装置の全体構成）
図６に示す液滴吐出装置１００は、基本的にはインクジェット装置である。より具体的
には、液滴吐出装置１００は、機能液１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０
と、グランドステージＧＳと、キャリッジ１０３と、ステージ１０６と、ヘッド位置制御
装置１０４と、ステージ駆動装置１０８と、制御部１１２と、支持部１４と、を備えてい
る。
【００８５】
キャリッジ１０３は、インクジェットヘッド１を保持している。このインクジェットヘ
ッド１は、制御部１１２からの信号に応じて、機能液１１１の液滴を吐出する。なお、キ
ャリッジ１０３におけるインクジェットヘッド１は、チューブ１１０によってタンク１０
１に連結されており、このため、タンク１０１からインクジェットヘッド１に機能液１１
１が供給される。なお、本実施形態の機能液１１１は、カラーフィルタ用のカラーフィル
タ材料を含有している。
【００８６】
ステージ１０６はターゲット１０を固定するための平面を有している。さらにステージ
１０６は、吸引力を用いてターゲット１０の位置を固定する機能も有する。
【００８７】
ヘッド位置制御装置１０４は、支持部１４によって、グランドステージＧＳから所定の
高さの位置に固定されている。このヘッド位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信
号に応じて、キャリッジ１０３をＹ軸方向と、Ｙ軸方向に直交するＺ軸方向と、に沿って
移動させる機能を有する。さらに、ヘッド位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回り
でキャリッジ１０３を回転させる機能も有する。ここで、本実施形態では、Ｚ軸方向は、
鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。
【００８８】
ステージ駆動装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、ステージ１０６をグラ
ンドステージＧＳ上でＸ軸方向に移動させる。ここで、Ｘ軸方向は、Ｙ軸方向およびＺ軸
方向の双方と直交する方向である。
【００８９】
上記のような機能を有するヘッド位置制御装置１０４の構成とステージ駆動装置１０８
の構成とは、リニアモータやサーボモータを利用した公知のＸＹロボットを用いて実現で
きる。このため、ここでは、それらの詳細な構成の説明を省略する。なお、本明細書では
、ヘッド位置制御装置１０４およびステージ駆動装置１０８を、「ロボット」または「走
査部」とも表記する。
【００９０】
さて上述のように、ヘッド位置制御装置１０４によって、キャリッジ１０３はＹ軸方向
に移動する。そして、ステージ駆動装置１０８によって、ターゲット１０はステージ１０
６と共にＸ軸方向に移動する。これらの結果、ターゲット１０に対するインクジェットヘ
ッド１の相対位置が変わる。より具体的には、これらの動作によって、キャリッジ１０３
、インクジェットヘッド１、またはノズル５は、ターゲット１０に対して、Ｚ軸方向に所
定の距離を保ちながら、Ｙ軸方向およびＸ軸方向に相対的に移動する。
【００９１】
上記構成を有する液滴吐出装置１００は、吐出データに応じて、インクジェットヘッド
１のノズル５をターゲット１０に対して相対移動させるとともに、ターゲット１０に向け
てノズル５から機能液１１１を吐出する。
【００９２】
図７に示す制御部１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶部２０２と、処理部２
０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、これらを通信可能に接続するバス
（不図示）と、を備えている。走査駆動部２０６は、ステージ駆動装置１０８に通信可能
に接続されている。ヘッド駆動部２０８は、インクジェットヘッド１に駆動信号ＤＶＲ１
，２（吐出信号）をパラレルに供給するように構成されている。
【００９３】
入力バッファメモリ２００は、液滴吐出装置１００の外部に位置するホストコンピュー
タ１８０から、液滴を吐出するための吐出データを受け取る。入力バッファメモリ２００
は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶部２０２に格
納する。なお、記憶部２０２はＲＡＭである。
【００９４】
走査駆動部２０６は、ステージ駆動装置１０８によるステージ１０６の移動を制御する
。具体的には、走査駆動部２０６は、ステージ１０６の移動の開始タイミングと、ステー
ジ１０６の移動の終了タイミングと、ステージ１０６の移動速度と、ステージ１０６の移
動方向と、を制御する。本実施形態では、走査駆動部２０６は、ステージ１０６が２００
ｍｍ／ｓまたは３００ｍｍ／ｓで移動するように、ステージ駆動装置１０８を制御してい
る。
【００９５】
制御部１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、バスを含んだコンピュータである。このた
め、制御部１１２の上記機能は、ＲＯＭに格納されたコンピュータプログラムがＣＰＵに
よって実行されることで実現される。もちろん、制御部１１２は、専用の回路（ハードウ
ェア）によって実現されてもよい。
【００９６】
ステージ駆動装置１０８は、走査駆動部２０６からの制御信号に応じてステージを移動
する。ステージ駆動装置１０８は、ステージを移動するモータと、ステージの移動距離を
計測するエンコーダ１０８Ｔと、を備えている。エンコーダ１０８Ａは、ステージの移動
距離を示すエンコーダパルス信号ＥＮＰを生成する回路である。本実施形態のエンコーダ
１０８Ａは、ステージが０．１μｍ進む毎に、エンコーダパルス信号ＥＮＰにおいて１つ
のパルスを生成する。したがって、ステージが２００ｍｍ／ｓの速度で相対移動する場合
には、エンコーダパルス信号ＥＮＰの周波数は、２ＭＨｚになる。
【００９７】
図８に示すように、ヘッド駆動部２０８は、タイミング生成回路２０と、２つの駆動信
号生成回路２１Ａ，２１Ｂと、選択回路２２Ａ，２２Ｂと、を備えている。タイミング生
成回路２０には、エンコーダパルスＥＮＰが供給されている。タイミング生成回路２０は
、エンコーダパルス信号に応じて、２つのタイミング信号ＣＬＫ１，ＣＬＫ２を生成する
。ただし、図９および図１０に示すように、２つのタイミング信号ＣＬＫ１，ＣＬＫ２の
間には、図２（ｃ）の時間期間ΔＴＮに対応した位相差ある。
【００９８】
タイミング信号ＣＬＫ１は、駆動信号生成回路２１Ａに供給されている。駆動信号生成
回路２１Ａは、タイミング信号ＣＬＫ１に応じて駆動信号ＤＶＲ１を生成する。具体的に
は、駆動信号生成回路２１Ａは、タイミング信号ＣＬＫ１においてパルスが現れる毎に、
駆動信号ＤＶＲ１において駆動波形ＤＶを出力する。駆動信号生成回路２１Ａからの駆動
信号ＤＶＲ１は、選択回路２２Ａを介して、ノズル列ＮＲ１に対応する複数のピエゾ素子
にパラレルに供給される。
【００９９】
一方、タイミング信号ＣＬＫ２は、駆動信号生成回路２１Ｂに供給されている。駆動信
号生成回路２１Ａは、タイミング信号ＣＬＫ１に応じて駆動信号ＤＶＲ２を生成する。具
体的には、駆動信号生成回路２１Ｂは、タイミング信号ＣＬＫ２においてパルスが現れる
毎に、駆動信号ＤＶＲ２に駆動波形ＤＶを出力する。駆動信号生成回路２１Ｂからの駆動
信号ＤＶＲ２は、選択回路２２Ｂを介して、ノズル列ＮＲ２に対応する複数のピエゾ素子
にパラレルに供給される。
【０１００】
図示はされていないが、駆動信号生成回路２１Ａ，２１Ｂは、どちらも、微小時間期間
毎の駆動波形の傾き値を記憶するＲＡＭと、第１のラッチ回路と、上記傾き値同士を加算
する加算器と、第２のラッチ回路と、Ｄ−Ａ変換器と、電圧増幅器と、電流増幅器と、を
備えている。これらの回路要素は、駆動信号生成回路２１Ａ，２１Ｂのそれぞれにおいて
、上記の順序で、直列に接続されている。なお、駆動信号生成回路２１Ａ，２１Ｂの構成
と動作とは、特開２００１−５８４３４号公報の図５および図６に対応する記載に説明さ
れているように公知なので、これ以上の詳しい説明を省略する。なお、上記公報の図５の
装置を駆動信号生成回路２１Ａ，２１Ｂのそれぞれに応用する場合には、タイミング信号
ＣＬＫ１（ＣＬＫ２）を分周したクロック信号を、上記公報の図５における第２のクロッ
ク信号ＣＬＫ２として用いればよい。
【０１０１】
駆動信号ＤＶＲ１の周波数と駆動信号ＤＶＲ２の周波数とは、互いに同じである。本実
施形態では、駆動信号ＤＶＲ１の周波数と駆動信号ＤＶＲ２の周波数とは、どちらも２０
ＫＨｚに設定されている。
【０１０２】
ただし、図９および図１０に示すように、タイミング信号ＣＬＫ１とタイミング信号Ｃ
ＬＫ２との間に、時間期間ΔＴＮに対応した位相差があるため、駆動信号ＤＶＲ１と駆動
信号ＤＶＲ１との間にも、時間期間ΔＴＮに対応した位相差がある。
【０１０３】
本実施形態では、タイミング生成回路２０がエンコーダパルス信号ＥＮＰにおけるパル
スの数をカウントすることで、タイミング信号ＣＬＫ１とタイミング信号ＣＬＫ２との間
に時間期間ΔＴＮを設けている。
【０１０４】
（Ｆ１．往路スキャンの場合）
図２および上記（式４）から明らかなように、往路スキャンの場合の時間期間ΔＴＮは
、ターゲット１０に対してインクジェットヘッド１が（ＧＮ−Δｆ）の距離だけ相対移動
する時間期間に等しい。このため、エンコーダパルス信号ＥＮＰの１パルス当たりの移動
距離をＤｐと表記すると、時間期間ΔＴＮに相当するパルス数Ｐｎは、下記（式７）で表
される。
Ｐｎ＝（ＧＮ−Δｆ）／Ｄｐ…（式７）
【０１０５】
したがって、図９に示すように、タイミング生成回路２０は、ＣＬＫ１を発生した後に
、エンコーダパルス信号ＥＮＰにおいてＰｎ個のパルスが現れた時点でＣＬＫ２を発生す
ればよい。そうすれば、ノズル列ＮＲ１による着弾列ＣＰＲ１と、ノズル列ＮＲ２による
着弾列ＣＰＲ２と、の間の距離は０（ゼロ）になり、これらは一列に並ぶ。
【０１０６】
上記（式６）から明らかなように、復路スキャンの場合の時間期間ΔＴＮは、ターゲッ
ト１０に対してインクジェットヘッド１が（−ＧＮ−Δｒ）だけ相対移動する時間期間に
等しい。このため、時間期間ΔＴＮに相当するパルス数Ｐｎ’は、下記（式８）で表され
る。
Ｐｎ’＝（−ＧＮ−Δｒ）／Ｄｐ…（式８）
【０１０７】
したがって、図１０に示すように、タイミング生成回路２０は、ＣＬＫ１を発生する時
点よりも、エンコーダパルス信号ＥＮＰにおいてＰｎ’個のパルスだけ先行する時点で、
ＣＬＫ２を発生すればよい。そうすれば、ノズル列ＮＲ１による着弾列ＣＰＲ１と、ノズ
ル列ＮＲ２による着弾列ＣＰＲ２と、の間の距離は０（ゼロ）になり、これらは一列に並
ぶ。
【０１０８】
ここで、上記（式８）によれば、Ｐｎ’が負の値になる場合が多いが、負の値は、ＣＬ
Ｋ２をＣＬＫ１よりも先に発生させることを意味する。そして、この場合、実際には、タ
イミング発生回路は、ＣＬＫ２を発生した後で、エンコーダパルスＥＮＰにおいてＰｎ’
個のパルスが現れた時点でＣＬＫ１を発生させればよい。
【０１０９】
参照テーブル２０２Ｔは、記憶部２０２の記憶領域の一部に設けられている。参照テー
ブルには、複数の異なる走査条件のそれぞれを示すそれぞれの識別子と、それぞれの識別
子に関連付けられたパルス数ＰｎまたはＰｎ’とが、格納されている。そして、処理部２
０４は、ユーザが指定した走査条件に関連付けられたパルス数ＰｎまたはＰｎ’を参照テ
ーブル２０２Ｔから読み出して、タイミング生成回路２０にセットする。このため、走査
条件が変わっても、ノズル列ＮＲ２が液滴を吐出する時点でのノズル列ＮＲ２の相対ｘ座
標を補正できるので、ノズル列ＮＲ１による着弾列ＣＰＲ１と、ノズル列ＮＲ２による着
弾列ＣＰＲ２と、の間の距離は０（ゼロ）になり、これらは一列に並ぶ。
【０１１０】
（変形例１）本実施形態のインクジェットヘッドは、吐出素子としてピエゾ素子を有し
ているが、ピエゾ素子に代えて、吐出素子として熱抵抗素子または電気熱変換素子を有し
ていてもよい。
【０１１１】
（変形例２）本実施形態の機能液はカラーフィルタ材料を含有している。ただし、機能
液は、カラーフィルタ材料に代えて、エレクトロルミネッセンス材料、導電配線を形成す
るための導電性材料、または絶縁層を形成するための絶縁材料を含有していてもよい。要
するに、目的とするパターンまたは層の種類に応じて、機能液が含有する材料は変わって
よい。また、インクジェットプリンタに、本発明が応用されても、上記の効果と同じ効果
が得られる。
【０１１２】
（変形例３）本実施形態によれば、互いに異なるｘ座標を有する２つのノズル列が、１
つのインクジェットヘッドに設けられている。ただし、このような構成に代えて、２つの
ノズル列のそれぞれが、それぞれのインクジェットヘッドに設けられていてもよい。この
場合には、１つのインクジェットヘッドが有するノズル列の数は１つである。また、イン
クジェットヘッドが有するノズル列の数は、３つ以上でもよい。
【０１１３】
（変形例４）異なるｘ座標上に位置するノズル列の数は、３つ以上でもよい。異なるｘ
座標上に位置するノズル列の数が３つ以上の場合には、タイミング生成回路が、エンコー
ダパルス信号ＥＮＰに応じて、３つの以上のタイミング信号を生成するようにすればよい
。また、このようなノズル列の数に等しい駆動信号生成回路を設ければよい。そして、そ
れぞれのノズル列から液滴を吐出する時点を、それぞれ対応する時間期間ΔＴＮだけずら
せばよい。そうすれば、このような３つ以上のノズル列からの液滴による着弾列の間の距
離が０（ゼロ）になり、これら着弾列は一列に並ぶ。
【０１１４】
（変形例５）本実施形態によれば、異なるｘ座標上に位置するノズル列の数と、駆動信
号生成回路の数とは、同じである。ただし、このような構成に代えて、駆動信号生成回路
を一つだけにしてもよい。この場合には、このような一つの駆動信号生成回路が出力する
駆動信号を、例えば２つに分岐すればよい。そして、ディレイアンプなどの遅延装置によ
って、分岐によって得られた２つの駆動信号の一方を他方に対して遅延することで、この
ような２つの駆動信号の間に図２（ｃ）の時間期間ΔＴＮに対応した位相差を設けること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】（ａ）は、インクジェットヘッド上のノズル列を示す平面図であり、（ｂ）から（ｄ）は、２つのノズル列からの液滴の吐出による着弾列を示す平面図である。
【図２】２つのノズル列に与えられる２つの駆動波形の間の時間差を関係を示しており、（ａ）は図１（ｂ）の吐出に対応し、（ｂ）は図１（ｃ）に対応し、（ｃ）は図１（ｄ）に対応する。
【図３】相対誤差を計測する際に用いられるテスト基板を示す模式図。
【図４】往路スキャンの場合の相対誤差を計測する方法を説明する模式図。
【図５】復路スキャンの場合の相対誤差を計測する方法を説明する模式図。
【図６】液滴吐出装置を示す模式図。
【図７】液滴吐出装置の制御部の機能ブロック図。
【図８】制御部におけるヘッド駆動部を示す模式図。
【図９】往路スキャンの場合について、タイミング生成回路のタイミングチャートを示す図。
【図１０】復路スキャンの場合について、タイミング生成回路のタイミングチャートを示す図。
【符号の説明】
【０１１６】
ＮＲ１，ＮＲ２…ノズル列、１…インクジェットヘッド、５…ノズル、１０…ターゲッ
ト、１００…液滴吐出装置、１０３…キャリッジ、１０４…ヘッド位置制御装置、１４…
支持部、１０６…ステージ、１０８…ステージ駆動装置、１１０…チューブ、１１１…液
状材料、１１２…制御部、２０２…記憶部、２０２Ｔ…参照テーブル、２０４…処理部、
２０６…走査駆動部、２０８…ヘッド駆動部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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