(57)【要約】【課題】前処理工程を停止させることなしにウェーハをカセットに連続的に収納する。【解決手段】カセット搬送装置（１０）が、第一カセット（４０）を水平方向および鉛直方向に搬送する第一搬送手段（２０）と、第二カセット（５０）を水平方向および鉛直方向に搬送する第二搬送手段（３０）とを含む。カセット搬送装置（１０）によって、第一カセットおよび第二カセットは、ウェーハ（２）をカセットに収納する所定のウェーハ収納位置（Ｐ１）と複数のウェーハを収納したカセットを空のカセットに交換する所定のカセット交換位置（Ｐ０）との間で循環される。【選択図】図５
2007305862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一カセットを水平方向および鉛直方向に搬送する第一搬送手段と、
第二カセットを水平方向および鉛直方向に搬送する第二搬送手段とを具備し、
被加工物を前記カセットに収納する被加工物収納位置と複数の被加工物が収納された前記カセットを空のカセットに交換するカセット交換位置との間で前記第一カセットおよび第二カセットを前記第一搬送手段および前記第二搬送手段によって循環するようにしたカセット搬送装置。
【請求項２】
前記第一搬送手段は、第一水平レールと、該第一水平レール上を摺動する第一水平スライダと、該第一水平スライダに取付けられている第一鉛直レールと、該第一鉛直レール上を摺動する第一鉛直スライダと、該第一鉛直スライダに取付けられていて前記第一カセットがその頂面に設置される第一テーブルとを具備し、
前記第二搬送手段は、前記第一水平レールに対して平行に配置された第二水平レールと、該第二水平レール上を摺動する第二水平スライダと、該第二水平スライダに取付けられている第二鉛直レールと、該第二鉛直レール上を摺動する第二鉛直スライダと、該第二鉛直スライダに取付けられていて前記第二カセットがその頂面に設置される第二テーブルとを具備する請求項１に記載のカセット搬送装置。
【請求項３】
前記第一テーブルは前記第二水平レールに向かって延びており、
前記第二テーブルは前記第一水平レールに向かって延びており、
前記第一テーブルおよび前記第二テーブルは前記第一水平レールおよび前記第二水平レールに対して垂直な面内において少なくとも部分的に重なり合うことができる請求項１に記載のカセット搬送装置。
【請求項４】
第一テーブルおよび第二テーブルが対応する鉛直スライダから延びる距離は、前記第一水平レールと前記第二水平レールとの間の距離よりもわずかながら小さいようにした請求項３に記載のカセット搬送装置。
【請求項５】
前記第一鉛直レールおよび前記第二鉛直レールの長さは、前記第一鉛直スライダが前記第一鉛直レールの最下方に位置すると共に前記第二鉛直スライダが前記第二鉛直レールの最上方に位置するときに前記第二テーブルおよび前記第二カセットが前記第一テーブルの下方を通過することのできるように設定される請求項２から４のいずれか一項に記載のカセット搬送装置。
【請求項６】
前記第一鉛直レールおよび前記第二鉛直レールの長さは、前記第一鉛直スライダが前記第一鉛直レールの最下方に位置すると共に前記第二鉛直スライダが前記第二鉛直レールの最上方に位置するときに前記第二テーブルおよび前記第二カセットが前記第一テーブルの下方を通過することができる最小限の長さである請求項２から４のいずれか一項に記載のカセット搬送装置。
【請求項７】
被加工物をカセットに収納する被加工物収納位置において前記被加工物を第一カセットに収納する第一収納工程と、
複数の被加工物が収納されたカセットを空のカセットに交換するカセット交換位置まで前記第一カセット搬送すると共に、前記カセット交換位置において交換された第二カセットを前記被加工物収納位置まで搬送する第一搬送工程と、
前記被加工物収納位置において前記被加工物を前記第二カセットに収納する第二収納工程と、
複数の被加工物が収納された前記第二カセットを前記カセット交換位置まで搬送すると共に、前記カセット交換位置において交換された第一カセットを前記被加工物収納位置まで搬送する第二搬送工程と、を含み、
前記第一収納工程、前記第一搬送工程、前記第二収納工程および前記第二搬送工程を繰返すようにしたカセット搬送方法。
【請求項８】
前記被加工物収納位置において前記カセットは一つの被加工物を収容する毎に所定距離だけ下降するようになっており、
前記複数の被加工物の全ての収納が完了した前記カセットは前記被加工物収納位置よりも下方に位置するようになっており、
前記第一搬送工程および前記第二搬送工程において、前記カセット交換位置から前記被加工物収納位置まで搬送される第一および第二のカセットのうちの一方のカセットは、前記被加工物収納位置から前記カセット交換位置まで搬送される他方のカセットよりも上方を通過するようにした請求項７に記載のカセット搬送方法。
【請求項９】
前記第一搬送工程および前記第二搬送工程において前記他方のカセットを上昇させる行程を含む請求項８に記載のカセット搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造分野において複数のウェーハが収納されるカセットを搬送するカセット搬送方法およびこの方法を実施するカセット搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野においてはウェーハが年々大型化する傾向にあり、また、実装密度を高めるためにウェーハの薄葉化が進んでいる。ウェーハを薄葉化するために、半導体ウェーハの裏面を研削するバックグラインドが行われている。バックグラインドが終了すると、ウェーハの裏面にはダイシングテープが貼付けられることによってウェーハがマウントフレームと一体化される。
【０００３】
その後、ウェーハの表面に予め貼付けられた表面保護フィルムが剥離される。次いで、ウェーハの表面に形成されたＩＤ番号を読取り、当該ＩＤ番号に対応したバーコードラベルが貼付けられた後で、ウェーハはカセットに収容される（特許文献１を参照されたい）。また、特許文献２には、マウントフレームと一体化されていないものの、所定の処理が施されたウェーハをカセットに収容することが開示されている。
【０００４】
図６（ａ）から図６（ｃ）は、例えば特許文献１に記載されるような従来技術のカセットの動作を示す略断面図である。図６（ａ）の矢印ａ１により示されるように、第一カセット４００は処理装置１００の開口部１１１を通じて処理装置１００内の所定場所ｐ０まで搬送手段（図示しない）により搬送される。
【０００５】
一方、処理装置１００の処理ユニット１５０において最終的な処理、例えばバーコードラベルの貼付けが行われたウェーハ２はロボットハンド（図示しない）により矢印ａ２で示されるように第一カセット４００に収納される。第一カセット４００は一つのウェーハ２を収容する毎に所定量だけ下降し、次のウェーハ２を順次収容する。所定の複数のウェーハ２が収容された第一カセット４００は所定位置まで下降した状態になる。その後、第一カセット４００は水平方向に搬送されて、第一ストック位置ｐ１に一時的に保管される（矢印ａ３を参照されたい）。
【０００６】
次いで、図６（ｂ）に示されるように、第二カセット５００が開口部１１１を通じて所定場所ｐ０まで搬送される。第二カセット５００には、第一カセット４００と同様に、ウェーハ２が収納され、次いで、第一カセット４００は第一ストック位置ｐ１の下方に位置する第二ストック位置ｐ２まで搬送される（矢印ａ４〜矢印ａ５を参照されたい）。
【０００７】
カセット４００、５００が二つのストック位置ｐ１、ｐ２に充填されると、処理ユニット１５０を一旦停止させる。そして、図６（ｃ）において矢印ａ７で示されるように、開口部１１１を通じて第一カセット４００を処理装置１００の外部まで排出し、次いで矢印ａ８で示されるように第二カセット５００を同様に処理装置１００の外部まで排出する。これら二つの第一カセット４００、５００の外部への搬送後に、新たな空のカセットを所定場所ｐ０まで搬送し、処理ユニット１５０を再び駆動して、同様にウェーハ２を新たなカセットに収納する。
【特許文献１】特願２００６−３５２５９号
【特許文献２】特開平５−８２６２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、図６（ａ）から図６（ｃ）に示されるような従来技術のカセット搬送動作において第一カセット４００および第二カセット５００の両方にウェーハ２が収容された場合には、新たなカセットを使用する前に処理ユニット１５０を一旦停止させて、二つのカセット４００、５００を処理装置１００から取出す必要がある。
【０００９】
つまり、第二カセット５００にウェーハ２を収容してから新たなカセットを所定場所ｐ０に搬送するまでの間は、処理ユニット１５０を停止する必要があるので、ウェーハ２の処理はその分だけ遅れることになる。特に近年の半導体製造分野においては、高い生産能力が要求されるので、このような処理時間の遅れを可能な限り排除するのが望ましい。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、前処理工程を停止させることなしにウェーハをカセットに連続的に収納することのできるカセット搬送方法およびこの方法を実施するカセット搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述した目的を達成するために１番目の発明によれば、第一カセットを水平方向および鉛直方向に搬送する第一搬送手段と、第二カセットを水平方向および鉛直方向に搬送する第二搬送手段とを具備し、被加工物を前記カセットに収納する被加工物収納位置と複数の被加工物が収納された前記カセットを空のカセットに交換するカセット交換位置との間で前記第一カセットおよび第二カセットを前記第一搬送手段および前記第二搬送手段によって循環するようにしたカセット搬送装置が提供される。
【００１２】
すなわち１番目の発明においては、一方のカセットを被加工物収納位置に配置しているときに他方のカセットをカセット交換位置において交換し、一方のカセットでの収納完了後に、交換された他方の新たなカセットを被加工物収納位置に搬送して被加工物、例えばウェーハの収納を継続できる。これにより、前処理工程を停止させることなしに、被加工物、例えばウェーハをカセットに連続的に収納することができる。
【００１３】
２番目の発明によれば、１番目の発明において、前記第一搬送手段は、第一水平レールと、該第一水平レール上を摺動する第一水平スライダと、該第一水平スライダに取付けられている第一鉛直レールと、該第一鉛直レール上を摺動する第一鉛直スライダと、該第一鉛直スライダに取付けられていて前記第一カセットがその頂面に設置される第一テーブルとを具備し、前記第二搬送手段は、前記第一水平レールに対して平行に配置された第二水平レールと、該第二水平レール上を摺動する第二水平スライダと、該第二水平スライダに取付けられている第二鉛直レールと、該第二鉛直レール上を摺動する第二鉛直スライダと、該第二鉛直スライダに取付けられていて前記第二カセットがその頂面に設置される第二テーブルとを具備する。
すなわち２番目の発明においては、比較的簡易な構成によって第一搬送手段および第二搬送手段を形成することができる。
【００１４】
３番目の発明によれば、２番目の発明において、前記第一テーブルは前記第二水平レールに向かって延びており、前記第二テーブルは前記第一水平レールに向かって延びており、前記第一テーブルおよび前記第二テーブルは前記第一水平レールおよび前記第二水平レールに対して垂直な面内において少なくとも部分的に重なり合うことができる。
すなわち３番目の発明においては、第一テーブルと第二テーブルとが重なり合っている部分だけ、カセット搬送装置の幅を小さくすることができる。
【００１５】
４番目の発明によれば、３番目の発明において、第一テーブルおよび第二テーブルが対応する鉛直スライダから延びる距離は、前記第一水平レールと前記第二水平レールとの間の距離よりもわずかながら小さいようにした。
すなわち４番目の発明においては、カセット搬送装置の幅を最も小さくできる。
【００１６】
５番目の発明によれば、２番目から４番目のいずれかの発明において、前記第一鉛直レールおよび前記第二鉛直レールの長さは、前記第一鉛直スライダが前記第一鉛直レールの最下方に位置すると共に前記第二鉛直スライダが前記第二鉛直レールの最上方に位置するときに前記第二テーブルおよび前記第二カセットが前記第一テーブルの下方を通過することのできるように設定される。
すなわち５番目の発明においては、一方のカセットが他方のカセットの上方を通過するようにこれらカセットを搬送させられるので、第一カセットの搬送と第二カセットの搬送とを同時に行うことができる。
【００１７】
６番目の発明によれば、２番目から４番目のいずれかの発明において、前記第一鉛直レールおよび前記第二鉛直レールの長さは、前記第一鉛直スライダが前記第一鉛直レールの最下方に位置すると共に前記第二鉛直スライダが前記第二鉛直レールの最上方に位置するときに前記第二テーブルおよび前記第二カセットが前記第一テーブルの下方を通過することができる最小限の長さである。
すなわち６番目の発明においては、第一鉛直レールおよび第二鉛直レールの長さを最小限に抑えることができる。
【００１８】
７番目の発明によれば、被加工物をカセットに収納する被加工物収納位置において前記被加工物を第一カセットに収納する第一収納工程と、複数の被加工物が収納されたカセットを空のカセットに交換するカセット交換位置まで前記第一カセット搬送すると共に、前記カセット交換位置において交換された第二カセットを前記被加工物収納位置まで搬送する第一搬送工程と、前記被加工物収納位置において前記被加工物を前記第二カセットに収納する第二収納工程と、複数の被加工物が収納された前記第二カセットを前記カセット交換位置まで搬送すると共に、前記カセット交換位置において交換された第一カセットを前記被加工物収納位置まで搬送する第二搬送工程と、を含み、前記第一収納工程、前記第一搬送工程、前記第二収納工程および前記第二搬送工程を繰返すようにしたカセット搬送方法が提供される。
【００１９】
すなわち７番目の発明においては、一方のカセットを被加工物収納位置に配置しているときに他方のカセットをカセット交換位置において交換し、一方のカセットでの収納完了後に、交換された他方の新たなカセットを被加工物収納位置に搬送して被加工物、例えばウェーハの収納を継続できる。これにより、前処理工程を停止させることなしに、被加工物、例えばウェーハをカセットに連続的に収納することができる。
【００２０】
８番目の発明によれば、７番目の発明において、前記被加工物収納位置において前記カセットは一つの被加工物を収容する毎に所定距離だけ下降するようになっており、前記複数の被加工物の全ての収納が完了した前記カセットは前記被加工物収納位置よりも下方に位置するようになっており、前記第一搬送工程および前記第二搬送工程において、前記カセット交換位置から前記被加工物収納位置まで搬送される第一および第二のカセットのうちの一方のカセットは、前記被加工物収納位置から前記カセット交換位置まで搬送される他方のカセットよりも上方を通過するようにした。
すなわち８番目の発明においては、一方のカセットを他方のカセットの上方に通過させるので、カセット搬送方法に必要とされる寸法を小さくすることができる。また、これにより、第一カセットの搬送と第二カセットの搬送とを同時に行うことができる。
【００２１】
９番目の発明によれば、８番目の発明において、前記第一搬送工程および前記第二搬送工程において前記他方のカセットを上昇させる行程を含む。
すなわち９番目の発明においては、被加工物収納位置とカセット交換位置とが概ね同一平面に在るときに特に有利である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図１は本発明に基づくカセット搬送装置の側面図である。さらに、図２および図３は、図１に示されるカセット搬送装置のそれぞれ平面図および部分拡大正面図である。これら図面に示されるように、本発明に基づくカセット搬送装置１０は、第一カセット４０を鉛直方向および水平方向に搬送する第一搬送手段２０と、第二カセット５０を鉛直方向および水平方向に搬送する第二搬送手段３０とを主に含んでいる。これら搬送動作は、第一搬送手段２０および第二搬送手段３０にそれぞれ含まれるモータ２９、３９により行われるものとする。
【００２３】
図１に示されるように、カセット搬送装置１０のハウジング１１には、蓋部１２が軸部１２ａ回りに回動可能に設けられている。また、図１においてカセット搬送装置１０の右方には、処理ユニット１５が配置されている。処理ユニット１５はウェーハ２に対する所定の処理、例えばバーコードラベル（図示しない）の貼付けを行うことができる。ただし、他の処理を行う処理ユニット１５が設けられていてもよい。
【００２４】
なお、本発明において処理ユニット１５に供給されるウェーハ２はその裏面が研削されており、厚さが大幅に小さくされている。また、ウェーハ２の裏面にはダイシングテープ３が貼付けられておりマウントフレーム５８と一体化されている。さらに、処理ユニット１５に供給されたときには、ウェーハ２の表面に貼付けられた表面保護フィルムは既に剥離されているものとする。なお、図示しない実施形態においては、マウントフレーム５８と一体化されていなくて、他の処理を受けたウェーハ２が処理ユニット１５に供給されていてもよい。
【００２５】
特に図３に示されるように、第一搬送手段２０は水平方向に延びる第一水平レール２１を含んでおり、第一水平スライダ２２が第一水平レール２１上を摺動するようになっている。また、第一水平スライダ２２には鉛直方向に延びる第一鉛直レール２３が取付けられている。この第一鉛直レール２３には、第一鉛直スライダ２４が摺動するようになっている。さらに、頂面２６に第一カセット４０を設置できる腕木型の第一テーブル２５が第一鉛直スライダ２４から水平方向に延びている。
【００２６】
同様に、第二搬送手段３０は第一水平レール２１に対して平行に延びる第二水平レール３１を含んでおり、第二水平スライダ３２が第二水平レール３１上を摺動するようになっている。また、第二水平スライダ３２には鉛直方向に延びる第二鉛直レール３３が取付けられている。この第二鉛直レール３３には、第二鉛直スライダ３４が摺動するようになっている。さらに、頂面３６に第二カセット５０を設置できる腕木型の第二テーブル３５が第二鉛直スライダ３４から水平方向に延びている。
【００２７】
図２および図３から分かるように、第一テーブル２５は第一鉛直スライダ２４から第二水平レール３１に向かう方向に延びており、第二テーブル３５は第二鉛直スライダ３４から第一水平レール２１に向かう方向に延びている。これら第一テーブル２５および第二テーブル３５はそれぞれ第一カセット４０および第二カセット５０をその頂面に備えるのに十分な寸法を有している。
【００２８】
図２および図３に示される実施形態においては、第一テーブル２５および第二テーブル３５が延びる距離は第一水平レール２１と第二水平レール３１との間の距離よりもわずかながら小さくなっている。従って、本実施形態においては、カセット搬送装置１０の幅を最小限にすることができる。
【００２９】
さらに図３から分かるように、第一テーブル２５が第一鉛直レール２３の最上方に位置すると共に第二テーブル３５が第二鉛直レール３３の最下方に位置するときには、第二カセット５０を通過させることのできる隙間が第一テーブル２５と第二テーブル３５との間に形成されている。図３に示されるこの隙間は第二カセット５０を通過させることのできる最小限の寸法であり、この場合には第一鉛直レール２３および第二鉛直レール３３は最小限の長さになる。つまり、この場合には、カセット搬送装置１０の高さを最小限にできる。
【００３０】
また、図３に示されるように、第一カセット４０および第二カセット５０のそれぞれの側部内面には互いに対面する複数のスリット４１、５１がそれぞれ形成されている。本実施形態においては、互いに対面するスリットの間の距離はウェーハ２と一体化されたマウントフレーム５８の外径に概ね等しい。ただし、マウントフレーム５８を使用しない実施形態においては、互いに対面するスリットの間の距離はウェーハ２の外径に概ね等しいものとする。
【００３１】
再び図１を参照すると、第一カセット４０は第一鉛直レール２３の最上方に位置決めされている。図示されるように、この位置Ｐ１は処理ユニット１５に隣接している。この位置Ｐ１においては、処理ユニット１５において処理されたウェーハ２が図示しないロボットハンドによって処理ユニット１５から第一カセット４０まで搬送されて、第一カセット４０のスリット４１に収納されるものとする。ウェーハ２をカセットに収容することのできる位置Ｐ１を、以下、ウェーハ収納位置Ｐ１と呼ぶ。
【００３２】
また、図１においては、第二カセット５０も第二鉛直レール３３の最上方に位置決めされており、この位置Ｐ０はウェーハ収納位置Ｐ１と同一高さであってウェーハ収納位置Ｐ１の左方に位置している。図１から分かるように、この位置Ｐ０に配置されるカセットは、蓋部１２を開放することによりカセット搬送装置１０から取出すことができる。そして、別のカセット（図示しない）をテーブルに設置できる。このように、カセットを他のカセットに交換することのできる位置Ｐ０を、以下、カセット交換位置Ｐ０と呼ぶ。
【００３３】
さらに、図１等には示さないものの、カセット搬送装置１０は第一搬送手段２０および第二搬送手段３０に接続された制御装置を含んでいる。動作フローを示す図４およびカセット搬送装置１０の動作を示す略断面図である図５（ａ）から図５（ｄ）に基づいて、制御装置はカセット搬送装置１０を制御する。
【００３４】
以下、図４および図５（ａ）から図５（ｄ）を参照しつつ、本発明に基づくカセット搬送装置１０の動作について説明する。なお、カセット搬送装置１０の動作初期には、図１に示されるように、第一カセット４０および第二カセット５０の両方が空の状態でそれぞれウェーハ収納位置Ｐ１およびカセット交換位置Ｐ０に配置されているものとする。さらに、ハウジング１１の蓋部１２は閉鎖されているものとする。
【００３５】
図４のステップ１０１においては、処理ユニット１５および関連するロボットアームを駆動して、ウェーハ２を処理ユニット１５から第一カセット４０まで搬送する。ウェーハ２は第一カセット４０における最下段のスリット４１に収容される。
【００３６】
次いで、第一カセット４０を支持する第一テーブル２５の第一鉛直スライダ２４がスリット４１一つ分だけ第一鉛直レール２３に沿って下降し、その位置で停止する。これにより、処理ユニット１５において続いて処理されたウェーハ２が最下段のスリットよりも一つ上のスリット４１に収容される。
【００３７】
その後、第一テーブル２５はスリット４１一つ分だけさらに下降して、次ぎのウェーハ２が収容される（図５（ａ）の矢印Ａ１を参照されたい）。このような動作を繰返すことにより、複数のウェーハ２が第一カセット４０の複数のスリット４１に順次収容される。そして、ステップ１０２において、全てのスリット４１にウェーハ２が収容されると、第一カセット４０における収納動作が完了する。
【００３８】
第一カセット４０は一つのウェーハ２を収納する毎に所定量だけ下降するので、第一カセット４０における収納動作が完了すると、第一カセット４０はカセット交換位置Ｐ０に位置する第二カセット５０の第二テーブル３５よりも下方に位置するようになる（図５（ａ）を参照されたい）。
【００３９】
以下、図３を参照して分かるように、本願明細書においては、第一鉛直レール２３（または第二鉛直レール３３）の最上方に位置するカセットが含まれる領域を上方領域Ｚ１と呼ぶ。さらに、上方領域Ｚ１に位置するカセットのテーブルよりも下方に位置する領域を下方領域Ｚ０と呼ぶ。
【００４０】
次いで、図５（ｂ）において矢印Ａ２で示されるように、第一水平スライダ２２を第一水平レール２１に沿って左方に摺動させ、それにより、第一カセット４０を下方領域Ｚ０において後退させる（ステップ１０３）。つまり、第一カセット４０がウェーハ収納位置Ｐ１から離間するように搬送される。
【００４１】
これと同時に、矢印Ａ３で示されるように、第二水平スライダ３２を第二水平レール３１に沿って右方に摺動させ、それにより、第二カセット５０を上方領域Ｚ１において前進させる。すなわち、この場合には、第二カセット５０がカセット交換位置Ｐ０からウェーハ収納位置Ｐ１まで搬送される。
【００４２】
第二カセット５０がウェーハ収納位置Ｐ１に到達したときには、第一カセット４０はカセット交換位置Ｐ０の直下に位置している。次いで、図５（ｃ）の矢印Ａ４で示されるように、第一カセット４０の第一鉛直スライダ２４を第一鉛直レール２３に沿って上昇させ（ステップ１０４）、それにより、第一カセット４０がカセット交換位置Ｐ０まで搬送されるようになる。
【００４３】
その後、蓋部１２を開放して、第一カセット４０をカセット搬送装置１０から取出し、空の別の第一カセット４０（図示しない）を第二テーブル３５に設置する。第一カセット４０（または第二カセット５０）の取出作業および交換作業は操作者が手動で行うか、または図示しないロボットが自動的に行うものとする。
【００４４】
ステップ１０４における第一カセット４０の上昇動作の後または上昇動作と同時に、ステップ１０５において第二カセット５０によるウェーハ２の収納を開始する。この場合にも、第一カセット４０の場合と同様に、ウェーハ２を収容する毎に第二カセット５０を所定量ずつ下降させる（図５（ｄ）の矢印Ａ５を参照されたい）。
【００４５】
次いで、複数のウェーハ２の全てが第二カセット５０に収納されて第二カセット５０の収納が完了すると、第二カセット５０は下方領域Ｚ０まで下降したことになる。
【００４６】
その後、図面には示さないものの、ステップ１０７において、第二水平スライダ３２を第二水平レール３１に沿って左方に摺動させ、それにより、第二カセット５０を下方領域Ｚ０において後退させる。同時に、第一水平スライダ２２を第一水平レール２１に沿って右方に摺動させ、それにより、第二カセット５０を上方領域Ｚ１において前進させる。次いで、ステップ１０８において、第二鉛直スライダ３４を第二鉛直レール３３に沿って上昇させて、カセット交換位置Ｐ０まで搬送し、他の第二カセット５０に交換する。
【００４７】
次いで、ステップ１０１に戻り、ウェーハ収納位置Ｐ１に到達した第一カセット４０に、ウェーハ２を順次収納する。その後、前述したステップ１０１〜ステップ１０８が繰返れる。
【００４８】
つまり、本発明においては、第一カセット４０と第二カセット５０とはウェーハ収納位置Ｐ１とカセット交換位置Ｐ０との間で交互に循環される。そして、一方のカセットがウェーハ収納位置Ｐ１に配置されるときには他方のカセットはカセット交換位置Ｐ０において取出し／交換でき、他方のカセットがウェーハ収納位置Ｐ１に配置されるときには一方のカセットはカセット交換位置Ｐ０において取出し／交換できる。
【００４９】
すなわち、本発明のカセット搬送装置１０においては、ウェーハ２をいずれかのカセットに常に収納することができる。それゆえ、本発明においては、前工程である処理ユニット１５を停止させる必要がない。このため、本発明においては、処理ユニット１５の停止に伴う時間遅れは発生せず、高い生産能力を呈することが可能となる。
【００５０】
前述した実施形態においてはウェーハ収納位置Ｐ１およびカセット交換位置Ｐ０の両方が上方領域Ｚ１内に位置している。しかしながら、ウェーハ収納位置Ｐ１およびカセット交換位置Ｐ０のいずれか一方が他の位置、例えば下方領域Ｚ０にある場合であっても、本発明のカセット搬送装置１０を使用することによって同様な効果を得ることができる。
【００５１】
さらに、前述した実施形態においては、例えば第一搬送手段２０が第一水平レール２１、第一水平スライダ２２、第一鉛直レール２３、第一鉛直スライダ２４および第一テーブル２５を含んでいる。しかしながら、第一カセット４０（および第二カセット５０）を水平方向および鉛直方向に搬送することのできる他の搬送手段を採用してもよく、そのような場合であっても本発明の範囲に含まれるものとする。
【００５２】
さらに、図面を参照して説明した実施形態においては一方のカセットが搬送される領域Ｚ１は他方のカセットが搬送される領域Ｚ０よりも上方に位置している。しかしながら、カセットが搬送される二つの領域Ｚ１、Ｚ０が同一平面に在るようにしてもよい。この場合には、図３において搬送途中にある第一カセット４０の右方または左方に第二カセット５０が表されるものとする。このような場合であっても、本発明の範囲に含まれるものとする。
また、マウントフレーム５８と一体化されたウェーハ２を収容するカセットの搬送について説明したが、ウェーハ２のみを収容するカセットを搬送する場合にも本発明のカセット搬送装置および搬送方法を適用することができる。言い換えれば、本発明のカセット搬送装置が他の装置、例えば表面保護テープをウェーハ２の表面に貼付ける貼付装置、ウェーハ２の表面に貼付けられた表面保護テープを剥離する剥離装置に組入れられていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に基づくカセット搬送装置の側面図である。
【図２】図１に示されるカセット搬送装置の平面図である。
【図３】図１に示されるカセット搬送装置の部分拡大正面図である。
【図４】本発明に基づくカセット搬送装置の動作フローを示す図である。
【図５】（ａ）本発明に基づくカセット搬送装置の動作を示す第一の略断面図である。（ｂ）本発明に基づくカセット搬送装置の動作を示す第二の略断面図である。（ｃ）本発明に基づくカセット搬送装置の動作を示す第三の略断面図である。（ｄ）本発明に基づくカセット搬送装置の動作を示す第四の略断面図である。
【図６】（ａ）従来技術においてカセットの搬送動作を示す第一の略断面図である。（ｂ）従来技術においてカセットの搬送動作を示す第二の略断面図である。（ｃ）従来技術においてカセットの搬送動作を示す第三の略断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
２    ウェーハ
３    ダイシングテープ
１０    カセット搬送装置
１１    ハウジング
１２    蓋部
１２ａ    軸部
１５    処理ユニット
２０    第一搬送手段
２１    第一水平レール
２２    第一水平スライダ
２３    第一鉛直レール
２４    第一鉛直スライダ
２５    第一テーブル
２６    頂面
２９、３９    モータ
３０    第二搬送手段
３１    第二水平レール
３２    第二水平スライダ
３３    第二鉛直レール
３４    第二鉛直スライダ
３５    第二テーブル
３６    頂面
４０    第一カセット
４１    スリット
５０    第二カセット
５１    スリット
５８    マウントフレーム
Ｐ０    カセット交換位置
Ｐ１    ウェーハ収納位置
Ｚ０    下方領域
Ｚ１    上方領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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