(57)【要約】【課題】ボールがねじ溝を転動するときの振動や騒音が小さいボールねじ装置を提供する。【解決手段】ボールナット３２に、ボール転動路（ねじ溝７）の両端部とボール戻し孔５とを連通する２つのガイド通路を設ける。ボールナット３２を、ねじ溝７の両端部７ａ，７ａと中央部７ｂとの間に形成された２箇所の段差部のうち少なくとも一方の段差部がボールねじ軸３３の軸心を通る水平面より下方に位置付けられるようにスライダ２４に取付けた。【選択図】  図３
2007127152.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボールねじ軸と、
このボールねじ軸を水平状態としてその軸線方向への移動が規制されるように回転自在に支持するフレームと、
前記ボールねじ軸を回転させる駆動装置と、
前記ボールねじ軸にボールを介して装着されたボールナットと、
このボールナットが取付けられたスライダとを備えたボールねじ装置において、
前記ボールナットは、
ボールねじ軸が挿通される貫通孔およびボール戻し孔とが形成されたボールナット本体と、
前記貫通孔の孔壁面に形成され、前記ボールねじ軸のねじ溝と協働して螺旋状のボール転動路を形成するナット側ねじ溝と、
前記ボールナット本体の両端部に取付けられたエンドキャップと、
このエンドキャップと前記ボールナット本体とに形成され、前記ボール転動路の両端部と前記ボール戻し孔とを連通する２つのガイド通路とを有し、
ボールナットは、前記ナット側ねじ溝の両端部と中央部との間に形成された２箇所の段差部のうち少なくとも一方の段差部がボールねじ軸の軸心を通る水平面より下方に位置付けられるようにスライダに取付けられていることを特徴とするボールねじ装置。
【請求項２】
請求項１記載のボールねじ装置において、
フレームは、ボールねじ軸を側方から囲む一対の縦壁と、これらの縦壁間においてボールねじ軸と平行に延びる開口部とを有し、
ボールナットは、ボールナット本体の外面に取付けられたグリースニップルからボール転動路側へグリースを供給する給油構造を備え、
前記グリースニップルは、前記開口部の下方に位置付けられているボールねじ装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載のボールねじ装置を水平に支持する基台と、
前記ボールねじ装置のスライダに支持されたヘッドユニットと、
このヘッドユニットに昇降可能に設けられ、下端部に吸着ノズルを有する吸着ヘッドとを備えた電子部品移載装置。
【請求項４】
請求項３記載の電子部品移載装置によって電子部品をプリント配線板に移載する表面実装機。
【請求項５】
請求項３記載の電子部品移載装置によって検査用電子部品を検査用ソケットに装填するＩＣハンドラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンドキャップ式のボールナットを使用したボールねじ装置、このボールねじ装置を使用した部品移載装置、表面実装機およびＩＣハンドラーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、工業用ロボットなどにおいて、ワークまたはツールを平行に移動させるための装置としてボールねじ装置がある。従来のボールねじ装置は、モータによって回転駆動されるボールねじ軸と、このボールねじ軸に螺合するとともにスライダなどの被移動部材に取付けられたボールナットとから構成されている。
【０００３】
従来のボールナットとしては、例えば特許文献１〜特許文献３に記載されたものがある。これらの特許文献に示されたボールナットは、ボールねじ軸が貫通する貫通孔の孔壁面に螺旋状のねじ溝が形成されている。このねじ溝は、ボールねじ軸の外周部に形成された螺旋状のねじ溝と協働して螺旋状のボール転動路を構成している。前記ボールナットは、このボール転動路内に装填されたボールを介してボールねじ軸に回転自在に支持されている。すなわち、ボールナットに加えられられたワークやツールの重量は、ボールナットから前記ボールを介してボールねじ軸に伝達されることになる。
【０００４】
また、前記ボールナットには、前記ボール転動路の一端から他端へボールを移動させるためのボール戻し通路が設けられている。
特許文献１および特許文献２に示されているボールナットのボール戻し通路は、ボールナットの両端部に前記ボール転動路からボールねじ軸の径方向の外側へ延びるように形成された一対のガイド通路と、これらのガイド通路の延在側端部にそれぞれ接続されてボールナット内をボールねじ軸と平行に延びるボール戻し孔とから構成されている。特許文献３に示されているボールナットの前記ボール戻し通路は、ボール転動路内に端部が臨むパイプによって構成されている。
【０００５】
特許文献１，２に示されている前記ガイド通路は、ボールナットの本体部分（以下、この部材をボールナット本体という）に形成された断面半円状のガイド溝と、ボールナット本体の両端部に取付けられた通路形成用部材に前記ガイド溝と対向するように形成された断面半円状のガイド溝とから構成されている。特許文献１に示すボールナットに用いられている前記通路形成用部材は、複数の部材を組み合わせることによって構成され、特許文献２に示すボールナットに用いられている前記通路形成用部材は、ボールナット本体の両端部にそれぞれ取付けられたエンドキャップによって構成されている。
【０００６】
この種の従来のボールナットの製造方法を図１２ないし図１７によって説明する。
図１２は鍛造後のボールナット本体を示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面図である。図１３は孔開け加工後のボールナット本体を示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面図である。図１４は溝加工後のボールナット本体を示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面図である。図１５はねじ溝の研磨後のボールナット本体の断面図である。図１６はエンドキャップをボールナット本体に取付けた組立状態の断面図で、同図は図１４（ａ）における組立状態でのXVI−XVI線断面図である。図１７は図１６におけるXVII−XVII線断面図である。
【０００７】
従来のボールナットのボールナット本体を製造するためには、先ず、図１２（ａ），（ｂ）に示すように、ボールナット本体１を鍛造によって所定の形状に形成する。このボールナット本体１には、円柱２とフランジ３とが一体に形成されている。次に、ボールナット本体１の外表面を所定の寸法、形状となるように切削し、図１３に示すように、ボールナット本体１に貫通孔４と、ボール戻し孔５およびフランジ３の取付孔６とをそれぞれ切削加工により穿設する。
【０００８】
その後、図１４に示すように、前記貫通孔４の孔壁面に螺旋状のねじ溝７を切削加工により形成するとともに、このねじ溝７の両端部と前記ボール戻し孔５とを接続するためのガイド溝８を切削加工により形成する。
前記ねじ溝７におけるガイド溝８に接続する前記両端部７ａは、図１４（ｂ）に示すように、ボールナット本体１の内側に位置する中央部７ｂに較べて谷径（貫通孔４の軸心からねじ溝７の底までの距離）が相対的に大きくなるように形成されている。
【０００９】
また、ねじ溝７の前記中央部７ｂは、後述する研磨工程において研磨するときの研磨代が残るように、言い換えれば、最終的な溝形状より浅くなるように、すなわちねじ溝７の谷径が相対的に小さくなるように形成されている。
前記ガイド溝８は、図１６に示すように、ボールナット本体１の両端部に取付けられたエンドキャップ９のガイド溝１０と協働して前記ガイド通路１１を構成している。このガイド通路１１と、前記ボール戻し孔５とによって、ボール戻し通路１２が構成されている。
【００１０】
このように孔開け加工や切削加工が施されたボールナット本体１は、浸炭や窒化などの熱処理が施され、熱処理後にねじ溝７の仕上加工が施される。この仕上加工は、貫通孔４内に嵌合させたラッピング治具（図示せず）を回転させながら軸線方向に移動させることによって行われる。このラッピングにより、ねじ溝７の中央部７ｂが研磨され、その谷径と溝幅とが拡げられて最終的な形状、寸法に形成される。
【００１１】
すなわち、上述した従来のボールナットにおいて、ねじ溝７は、図１５に示すように、ボールナット本体１の両端部にガイド溝８に接続するように研削によって形成された研削溝１３と、これらの研削溝１３，１３どうしの間に研磨によって形成された研磨溝１４とから構成されている。
ボールナット本体１は、上述したように各種の溝加工や研磨が終了した後、図１６に示すように、エンドキャップ９が取付けられ、図示していないボールねじ軸に組付けられるとともにボール１５が装填される。
【特許文献１】特開２００５−７６８４４号公報
【特許文献２】特開２００３−１１３９２２号公報
【特許文献３】特開２００５−２３３４１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上述したように構成された従来のボールナットにおいては、図１７に示すように、ねじ溝７の研削溝１３と研磨溝１４との境界部分に段差部１６が形成されてしまうという問題があった。この段差部１６は、前記研磨溝１４の谷径ｄ１（図１４参照）より前記研削溝１３の谷径ｄ２が大きくなることに起因して生じたものである。
【００１３】
ボールナット本体１のねじ溝７は、ボール１５が荷重を受けながら転動する部分である。このため、従来のボールナットのようにねじ溝７に段差部１６が形成されているため、ボール１５が段差部１６を通過するときにボールナットに振動や騒音が発生するおそれがある。
【００１４】
このように構成されたボールナットを有するボールねじ装置によって例えば電子部品を平行移動させる構成の電子部品移載装置においては、ボールナットに生じる振動が減衰されていない状態で電子部品を移載させると、電子部品を移載する位置の精度が低下するおそれがある。
【００１５】
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、ボールがねじ溝を転動するときの振動や騒音が小さいボールねじ装置を提供することを第１の目的とし、このボールねじ装置を使用することにより精度の向上が図られた電子部品移載装置、表面実装機およびＩＣハンドラーを提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この目的を達成するために、本発明に係るボールねじ装置は、ボールねじ軸と、このボールねじ軸を水平状態としてその軸線方向への移動が規制されるように回転自在に支持するフレームと、前記ボールねじ軸を回転させる駆動装置と、前記ボールねじ軸にボールを介して装着されたボールナットと、このボールナットが取付けられたスライダとを備えたボールねじ装置において、前記ボールナットに、ボールねじ軸が挿通される貫通孔およびボール戻し孔とが形成されたボールナット本体と、前記貫通孔の孔壁面に形成され、前記ボールねじ軸のねじ溝と協働して螺旋状のボール転動路を形成するナット側ねじ溝と、前記ボールナット本体の両端部に取付けられたエンドキャップと、このエンドキャップと前記ボールナット本体とに形成され前記ボール転動路と前記ボール戻し孔とを連通するガイド通路とを備えさせ、ボールナットを、前記ナット側ねじ溝の両端部と中央部との間に形成された２箇所の段差部のうち少なくとも一方の段差部がボールねじ軸の軸心を通る水平面より下方に位置付けられるようにスライダに取付けたものである。
【００１７】
請求項２に記載した発明に係るボールねじ装置は、請求項１に記載したボールねじ装置において、フレームに、ボールねじ軸を側方から囲む一対の縦壁と、これらの縦壁間においてボールねじ軸と平行に延びる開口部とを設け、ボールナットに、ボールナット本体の外面に取付けられたグリースニップルからボール転動路側へグリースを供給する給油構造を備えさせ、前記グリースニップルを、前記開口部の下方に位置付けたものである。
【００１８】
請求項３に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１または請求項２に記載したボールねじ装置を水平に支持する基台と、前記ボールねじ装置のスライダに支持されたヘッドユニットと、このヘッドユニットに昇降可能に設けられ、下端部に吸着ノズルを有する吸着ヘッドとを備えているものである。
【００１９】
請求項４に記載した発明に係る表面実装機は、請求項３に記載した電子部品移載装置によって電子部品をプリント配線板に移載するものである。
【００２０】
請求項５に記載した発明に係るＩＣハンドラーは、請求項３に記載した電子部品移載装置によって検査用電子部品を検査用ソケットに装填するものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係るボールねじ装置において、スライダの荷重のうちボールねじ軸によって支えられる荷重は、ボールねじ軸の軸心より上側に位置するボールを介してボールナットからボールねじ軸に伝達される。
したがって、本発明によれば、ボールナットのねじ溝の両端部と中央部との間に形成されている２箇所の段差部のうち少なくとも一方の段差部には、前記荷重が伝達されることがなくなる。このため、本発明に係るボールねじ装置は、２箇所の前記段差部に前記荷重がそれぞれ伝達される構造のボールねじ装置に較べて、ボールがボールナット内で転動するときに生じる振動や騒音を低減することができる。
【００２２】
請求項２記載の発明によれば、グリースニップルがフレームの開口部の下方に露出することになるから、グリースを補給するに当ってグリースガンをフレームの開口部を通してグリースニップルに接続することができる。したがって、本発明によれば、グリースの補給を容易に行うことができるボールねじ装置を提供することができる。
【００２３】
請求項３記載の発明によれば、ボールナットの動作時の振動が小さいボールねじ装置によってヘッドユニットが駆動されるから、電子部品を移載するときの位置ずれが発生し難い電子部品移載装置を提供することができる。しかも、この電子部品移載装置は、動作時の騒音が小さいボールねじ装置を使用しているから、電子部品を静かに移動させることができる。
【００２４】
請求項４記載の発明によれば、電子部品を高い精度で位置決めしてプリント配線板に実装ができるとともに動作時の騒音が小さい表面実装機を提供することができる。
【００２５】
請求項５記載の発明によれば、電子部品を高い精度で位置決めして検査用ソケットに装填できるとともに動作時の騒音が小さいＩＣハンドラーを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
（第１の実施の形態）
以下、本発明に係るボールナットの一実施の形態を図１ないし図８によって詳細に説明する。ここでは本発明に係るボールねじ装置を単軸ロボットに装備する場合について説明する。
図１は本発明に係るボールねじ装置を装備した単軸ロボットの平面図、図２は図１におけるII−II線断面図、図３は図１におけるIII−III線断面図である。図４はボールナットの側面図、図５はボールナット本体の背面図、図６は同じく側面図、図７は同じく正面図、図８は図５におけるボールナット本体のVIII−VIII線断面図である。
【００２７】
これらの図において、符号２１で示すものは、この実施の形態によるボールねじ装置２２を装備した単軸ロボットを示す。この単軸ロボット２１は、図１〜図３に示すように、上方に向けて解放する断面コ字状のフレーム２３と、このフレーム２３の上に移動自在に支持されたスライダ２４と、このスライダ２４を駆動するボールねじ装置２２とから構成されている。
【００２８】
前記フレーム２３は、図３に示すように、後述するボールねじ装置２２を側方から囲む一対の縦壁部材２５，２５と、これらの縦壁部材２５，２５どうしを接続する底部材２６とから構成され、水平方向（後述するボールねじ装置２２の軸線方向）に延びるように形成されている。また、このフレーム２３には、図１および図２に示すように、前記縦壁部材２５，２５間においてボールねじ装置２２の軸線方向に延びる開口部２７が形成されている。
【００２９】
前記２つの縦壁部材２５の上端面には、ガイドレール２８がそれぞれ設けられている。
前記スライダ２４は、前記一対のガイドレール２８にスライド部材２９を介してそれぞれ移動自在に支持されたテーブル３０と、このテーブル３０の移動方向の一端部に下方に延びるように設けられたブラケット３１とから構成されている。このブラケット３１は、板状に形え成されており、図２に示すように、その一方の主面３１ａがテーブル３０の一端面３０ａと同一平面上に位置するようにテーブル３０に取付けられている。
【００３０】
前記ボールねじ装置２２は、前記ブラケット３１に取付けられたボールナット３２と、このボールナット３２に螺合するボールねじ軸３３と、このボールねじ軸３３の一端部に接続された回転駆動用モータ３４と、前記ボールねじ軸３３の他端部を回転自在に支持する軸受部材３５とから構成されている。前記モータ３４と軸受部材３５とは、前記フレーム２３の底部材２６に固定されている。
【００３１】
前記ボールナット３２は、前記図１２〜図１７に示したボールナットとは後述するように給油構造が異なる他は同じ構造となるように形成されている。このため、この実施の形態によるボールナット３２において、図１２〜図１７に示したボールナットと同一または同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
【００３２】
この実施の形態によるボールナット３２のフランジ３は、図５および図７に示すように、ボールねじ軸３３の軸線方向から見て長方形の板状であって、ボール戻し孔５が対角線の近傍に位置するように形成されている。なお、フランジ３には、図５および図７に示すように、エンドキャップ９をボールナット本体１に取付けるためのねじ孔３６と、エンドキャップ９を位置決めするためのピン孔３７とが穿設されている。
【００３３】
前記フランジ３におけるボール戻し孔５とは反対側に位置する側面３ａには、グリースニップル４１が取付けられている。このグリースニップル４１内の油路（図示せず）は、フランジ３内に穿設された油孔４２によって貫通孔４に接続されている。このグリースニップル４１のフランジ３に対する取付角度は、図６に示すように、先端部の注油口４１ａがボールナット本体１における大径円筒部１ａとは反対側を指向するように設定されている。このようにグリースニップル４１が取付けられたボールナット３２においては、図７に示すように、グリースニップル４１を有するフランジ３の側面３ａと直交する中心線Ｃに対して、一方側（図７においては右側）にボール戻し孔５と、ねじ溝７の一方の端部７ａと中央部７ｂとの間に形成された一方の段差部１６（図１７参照）とが位置し、他方側にねじ溝７の他端部７ａと中央部７ｂとの間に形成された他方の段差部１６が位置するようになる。
【００３４】
前記フランジ３は、図１〜図３に示すように、前記スライダ２４のブラケット３１におけるモータ３４と対向する前記主面３１ａに取付けられている。フランジ３をブラケット３１に取付けるときの角度は、図３に示すように、前記グリースニップル４１がフランジ３から水平方向に突出するとともに、ボール戻し孔５が上に位置するように設定されている。
【００３５】
このようにフランジ３をブラケット３１に取付けることにより、図１に示すように、上方から見てグリースニップル４１がフレーム２３の開口部２７内に露出することになる。また、このようにブラケット３１に取付けられたボールナット３２においては、ボール戻し孔５と、ねじ溝７の一方の端部７ａと中央部７ｂとの間（切削溝１３と研磨溝１４との境界部）に形成された一方の段差部１６とがボールねじ軸３３の軸心を通る水平面より上に位置し、ねじ溝７の他端部７ａと中央部７ｂとの間に形成された他方の段差部１６が前記水平面より下に位置することになる。
【００３６】
このように構成されたボールねじ装置２２において、スライダ２４の荷重のうちボールねじ軸３３によって支えられる荷重は、ボールねじ軸３３の軸心より上側に位置するボールを介してボールナット３２からボールねじ軸３３に伝達される。
したがって、このボールねじ装置２２によれば、ボールナット３２のねじ溝７の両端部７ａ，７ａと中央部７ｂとの間に形成された２箇所の段差部１６，１６のうち一方の段差部１６がボールねじ軸３３の軸心より下に位置しているから、前記２箇所の段差部１６，１６のうち少なくとも一方の段差部１６には、前記荷重が伝達されることがなくなる。このため、このボールねじ装置２２は、２箇所の前記段差部１６，１６に前記荷重がそれぞれ伝達される構造のボールねじ装置に較べて、ボール１５がボールナット３２内で転動するときに生じる振動や騒音を低減することができる。
【００３７】
また、この実施の形態によるボールねじ装置２２においては、グリースニップル４１がフレーム２３の開口部２７の下方に露出することになるから、グリースを補給するに当ってグリースガン（図示せず）をフレーム２３の開口部２７を通してグリースニップル４１に接続することができる。このため、このボールねじ装置２２においては、グリースの補給を容易に行うことができる。
【００３８】
（第２の実施の形態）
第１の実施の形態で示したボールねじ装置を用いる表面実装機の一実施の形態を図９によって詳細に説明する。
図９は表面実装機の平面図である。同図において、前記図１〜図８によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。
【００３９】
図８に示す表面実装機５１は、基台５２と、この基台５２の上にＸ方向（図９においては左右方向）に延びるように設けられたコンベア５３と、基台５２のＹ方向（図９においては上下方向）の端部に装着された多数のテープフィーダー５４と、このテープフィーダー５４からコンベア５３上のプリント配線板５５に電子部品（図示せず）を移載するための電子部品移載装置５６などを備えている。
【００４０】
前記電子部品移載装置５６は、前記図１〜図３に示した単軸ロボット２１と同じ構造の単軸ロボットを３台装備している。すなわち、この電子部品移載装置５６は、Ｙ方向に延びるように形成されて基台５２のＸ方向の両端部に設けられた一対のＹ方向駆動装置５７，５７（単軸ロボット）と、これらのＹ方向駆動装置５７，５７どうしの間に横架された支持部材５８と、この支持部材５８にＸ方向へ移動可能に支持されたヘッドユニット５９と、このヘッドユニット５９をＸ方向に移動させるＸ方向駆動装置６０（単軸ロボット）と、前記ヘッドユニット５９に昇降可能かつ上下方向の軸線回りに回転可能に設けられ、下端部に吸着ノズル（図示せず）を有する複数の吸着ヘッド６１とから構成されている。
【００４１】
前記Ｙ方向駆動装置５７は、基台５２に回転自在に支持されたボールねじ軸３３と、このボールねじ軸３３に螺合するとともに支持部材５８の両端部に固定されたボールナット３２と、前記ボールねじ軸３３を回転させるモータ６２などによって構成されている。前記Ｘ方向駆動装置６０は、支持部材５８に回転自在に支持されたボールねじ軸３３と、このボールねじ軸３３に螺合するとともにヘッドユニット５９に固定されたボールナット３２と、前記ボールねじ軸３３を回転させるモータ６３などによって構成されている。
【００４２】
このように構成された電子部品移載装置５６を備えた表面実装機５１によれば、動作時の振動が小さいボールねじ装置２２を有するＹ方向駆動装置５７とＸ方向駆動装置６０とによってヘッドユニット５９が駆動されるから、電子部品をプリント配線板５５に高い精度で位置決めして実装することができる。また、この表面実装機５１は、動作時の騒音が小さいボールねじ装置２２を使用しているから実装時の動作音が小さいものとなる。
【００４３】
（第３の実施の形態）
第１の実施の形態で示したボールねじ装置を用いるＩＣハンドラーの一実施の形態を図１０によって詳細に説明する。
図１０はＩＣハンドラーの平面図である。同図において、前記図１〜図８によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。
【００４４】
図１０に示すＩＣハンドラー７１は、基台７２の一端部に設けられた検査用ソケット７３と、基台７２に設けられた４台のパレット用昇降テーブル７４〜７７と、これらの昇降テーブル７４〜７７と前記検査用ソケット７３との間に設けられた部品認識カメラ７８と、前記パレット用昇降テーブル上のパレット７９と前記検査用ソケット７３との間で電子部品を移動させるための電子部品移載装置８０と、パレット用昇降テーブル間でパレット７９を移動させるための吸着式パレット移載装置８１とを備えている。
【００４５】
前記検査用ソケット７３は、電子部品（図示せず）に対して電気的な検査を行うためのもので、電子部品が一つ装填されるように構成されている。
前記パレット用昇降テーブル７４〜７７は、多数の電子部品を収納した複数のパレット７９を上下方向に重ねた状態で支持するとともに、これらのパレット７９を昇降させることができるように構成されている。
前記部品認識カメラ７８は、電子部品を下方から撮像し、後述する電子部品移載装置８０の吸着ノズル（図示せず）に対する電子部品の位置を画像処理によって検出するためのものである。
【００４６】
前記電子部品移載装置８０は、図１〜図３に示した単軸ロボット２１と同じ構造の単軸ロボットを３台装備し、パレット移載装置８１は、前記単軸ロボットを２台装備している。前記電子部品移載装置８０は、基台７２上にＹ方向に延びるように設けられた一対のＹ方向駆動装置８２，８２（単軸ロボット）と、これらのＹ方向駆動装置８２，８２どうしの間に横架された支持部材８３と、この支持部材８３にＸ方向へ移動可能に支持されたヘッドユニット８４と、このヘッドユニット８４をＸ方向に移動させるＸ方向駆動装置８５（単軸ロボット）と、前記ヘッドユニット８４に昇降可能かつ上下方向の軸線回りに回転可能に設けられ、下端部に吸着ノズル（図示せず）を有する吸着ヘッド８６とから構成されている。
【００４７】
前記パレット移載装置８１は、一対のＹ方向駆動装置９１，９１（単軸ロボット）と、これらのＹ方向駆動装置９１，９１間に横架された支持部材９２と、この支持部材９２に昇降可能に設けられるとともに下端部に吸着ノズル（図示せず）が設けられたパレット用吸着ヘッド９３などによって構成されている。
この実施の形態においては、前記Ｙ方向駆動装置８２，９１とＸ方向駆動装置８５とに本発明に係るボールねじ装置２２が装備されている。
【００４８】
このように構成された電子部品移載装置を備えたＩＣハンドラー７１によれば、動作時の振動が小さいボールねじ装置２２を有するＹ方向駆動装置８２とＸ方向駆動装置８５とによってヘッドユニット８４が駆動されるから、電子部品を検査用ソケット７３に高い精度で位置決めし装填することができる。また、このＩＣハンドラー７１は、動作時の騒音が小さいボールねじ装置２２を使用しているから電子部品を移動させるときの動作音が小さいものとなる。
【００４９】
（第４の実施の形態）
ボールナットは図１１に示すように形成することができる。
図１１はボールナット本体の正面図である。同図において、前記図１〜図８および図１２〜図１７によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。
【００５０】
図１１に示すボールナット本体１のボール戻し孔５は、ボールナット３２をスライダ２４（図３参照）に取付けた状態で貫通孔４の中心線の直下に位置するように形成されている。また、このボールナット本体１のねじ溝７の両端部７ａ，７ａは、スライダ２４に取付けられた状態における水平方向の中心線Ｃより下に位置付けられている。
【００５１】
このように構成されたボールナット本体１を有するボールねじ装置２２においては、ボールナット３２の動作時に生じる振動や騒音をほとんどなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に係るボールねじ装置を装備した単軸ロボットの平面図である。
【図２】図１におけるII−II線断面図である。
【図３】図１におけるIII−III線断面図である。
【図４】ボールナットの側面図である。
【図５】ボールナット本体の背面図である。
【図６】ボールナット本体の側面図である。
【図７】ボールナット本体の正面図である。
【図８】図５におけるボールナット本体のVIII−VIII線断面図である。
【図９】表面実装機の平面図である。
【図１０】ＩＣハンドラーの平面図である。
【図１１】ボールナット本体の正面図である。
【図１２】鍛造後のボールナット本体を示す図である。
【図１３】孔開け加工後のボールナット本体を示す図である。
【図１４】溝加工後のボールナット本体を示す図である。
【図１５】ねじ溝の研磨後のボールナット本体の断面図である。
【図１６】エンドキャップをボールナット本体に取付けた組立状態の断面図である。
【図１７】図１５におけるXVII−XVII線断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…ボールナット本体、５…ボール戻し孔、７…ねじ溝、７ａ…端部、８…ガイド溝、１２…ボール戻し通路、１３…研削溝、１４…研磨溝、１５…ボール、２１…単軸ロボット、２３…フレーム、２４…スライダ、３２…ボールナット、３３…ボールねじ軸、４１…グリースニップル、５１…表面実装機、５６，８０…電子部品移載装置、５７，８２，９１…Ｙ方向駆動装置、５９，８４…ヘッドユニット、６０，８５…Ｘ方向駆動装置、６１，８６…吸着ヘッド、７１…ＩＣハンドラー、７３…検査用ソケット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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