(57)【要約】【課題】密閉空間の内部を排気管で所定の真空度に減圧する排気処理中、あるいは排気処理して排気管ＥＸＣをチップオフした後も、その真空度を測定可能とする。【解決手段】複数の信号線ｄＬと、複数の走査線ｓＬとの交叉部近傍に設けられた複数の電子源を有する背面基板ＳＵＢ1と、電子源のそれぞれと対をなして該電子源から取り出される電子の励起で発光する複数色の蛍光体ＰＨからなる蛍光面および陽極ＡＤとを有して、背面基板ＳＵＢ1と所定の間隔をもって対向する前面基板ＳＵＢ２とを具備し、背面基板の電子源形成面、あるいは前面基板の蛍光面形成面に、密閉空間の真空度を測定するためのガス比測定電極ＭＥＬを設けた。【選択図】図１
2007305440.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の信号線と、この信号線とは絶縁されて交差して配置された複数の走査線と、前記信号線と前記走査線との交叉部近傍に設けられた複数の電子源とを有する背面基板と、
前記背面基板の前記電子源のそれぞれと対をなして該電子源から取り出される電子の励起で発光する複数色の蛍光体からなる蛍光面および陽極とを有して、前記背面基板と所定の間隔をもって対向する前面基板と、
前記背面基板と前記前面基板との対向周辺に介挿され、密閉空間を構成する封止枠と、  
前記背面基板と前記前面基板との対向間隙に植立されて前記所定の間隔を保持するスペーサとを具備し、
前記密閉空間の内部に、前記密閉空間の真空度を測定するためのガス比測定電極を有することを特徴とする表示装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記ガス比測定電極を、前記背面基板の前記電子源形成面に設けたことを特徴とする表示装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記ガス比測定電極を、前記前面基板の前記蛍光面形成面に設けたことを特徴とする表示装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、
前記封止枠の外側に、前記ガス比測定電極と接続して該ガス比測定電極に測定用の電圧を印加するための引き出し端子を有することを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラット・パネル型表示装置に係り、薄膜型電子源を用いた自発光型表示装置に好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
薄膜型電子源を用いたフラット・パネル型表示装置の一つにＭＩＭ型電子放出素子を電子源とした表示装置がある。図３は、ＭＩＭ型電子放出素子を電子源とした表示装置（以下、パネルとも称する）の構成例を説明する一部破断して内部を示した斜視図である。また、図４は、図３のＡ−Ａ'線で切断した断面図である。このパネルは、背面基板ＳＵＢ1の面に電子源構造を形成した背面パネルＰＮＬ１と、前面基板の面に電子の励起で発光する蛍光面を形成した前面パネルＰＮＬ２、および背面パネルＰＮＬ１と前面パネルＰＮＬ２の対向周縁に介挿されてスペーサＳＰＣで間隔が規制される背面パネルＰＮＬ１と前面パネルＰＮＬ２の対峙領域に密封空間を形成する封止枠ＭＦＬを一体化して構成される。
【０００３】
背面パネルＰＮＬ１は、ガラスを好適とする背面基板ＳＵＢ1に複数のデータ線ｄＬとこのデータ線ｄＬに絶縁層を介して交差する複数の走査線ｓＬが敷設される。データ線ｄＬの走査線ｓＬ近傍には電子源が形成されている。前面パネルＰＮＬ２は、透明ガラスを好適とする前面基板ＳＵＢ２に遮光膜（ブラックマトリクス）ＢＭの開口（ＢＭ開口）に塗布された複数の蛍光体ＰＨと陽極（メタルバック）ＡＤからなる蛍光面が形成されている。電子源から放出された電子は、陽極ＡＤに印加される加速電圧で加速され、電子ビームとなって蛍光体に射突し、これを励起して発光される。
【０００４】
背面パネルＰＮＬ１と前面パネルＰＮＬ２の対向周縁に介挿される封止枠ＭＦＬもガラスが多く用いられる。また、この構成ではスペーサＳＰＣは各走査線ｓＬの上に３分割された状態で植立されている。これらの各構造部品はフリットガラスで接着される。データ線ｄＬの端部はデータ線引き出し端子ｄＬＴとして、また走査線ｓＬの端部は走査線引き出し端子ｓＬＴとして封止枠ＭＦＬの外に引き出されている。密閉空間の内部は排気管ＥＸＣで所定の真空度に減圧される。なお、この種の表示装置は、特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００４−３６３０７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この種の表示装置では、前記密閉空間の内部を排気管ＥＸＣで所定の真空度に減圧する排気処理中、あるいは排気処理して排気管ＥＸＣをチップオフした後に真空度が所定の値にあるかどうかを測定する必要がある。従来は、排気処理中、あるいは排気処理した後のチップオフ前に、排気管に接続した真空度測定装置、あるいは基板に別途形成した測定用穴に接続した真空度測定装置で真空度を測定していた。
【０００６】
しかし、この方法では、排気管や測定用穴に測定用の管を介して真空度測定装置を接続する必要があるため、接続作業や加工に手間がかかり、コスト削減の障害の一つとなっていた。また、このような真空度測定装置による真空度の測定は、排気管をチップオフした後では不可能であるため、その後の真空度を把握することができない。
【０００７】
本発明の目的は、密閉空間の内部を排気管で所定の真空度に減圧する排気処理中、あるいは排気処理して排気管ＥＸＣをチップオフした後も、その真空度を測定可能とした表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の自発光型表示装置は、複数の信号線と、この信号線とは絶縁されて交差して配置された複数の走査線と、前記信号線と前記走査線との交叉部近傍に設けられた複数の電子源とを有する背面基板と、
前記背面基板の前記電子源のそれぞれと対をなして該電子源から取り出される電子の励起で発光する複数色の蛍光体からなる蛍光面および陽極とを有して、前記背面基板と所定の間隔をもって対向する前面基板と、
前記背面基板と前記前面基板との対向周辺に介挿され、密閉空間を構成する封止枠と、  前記背面基板と前記前面基板との対向間隙に植立されて前記所定の間隔を保持するスペーサとを具備する。
【０００９】
そして、本発明では、上記目的を達成するために、背面基板の電子源形成面、あるいは前面基板の蛍光面形成面に、前記密閉空間の真空度を測定するためのガス比測定電極を設けた。
【００１０】
また、本発明は、封止枠の外側に、上記ガス比測定電極と接続して該ガス比測定電極に測定用の電圧を外部から印加するための引き出し端子を設けた。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、密閉空間の内部を排気管で所定の真空度に減圧する排気処理中、あるいは排気処理して排気管ＥＸＣをチップオフした後も、その真空度が測定可能となり、フラット・パネル型表示装置の密閉空間内部の真空度を定量的に測定し、把握することが可能となり、信頼性の改善にも有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の最良の実施形態について、実施例を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１は、本発明による表示装置の実施例１を説明する要部断面図である。この表示装置は、背面基板ＳＵＢ1の面には一方向に延在してこの一方向と直交する他方向に並設された複数の信号線ｄＬと、この信号線ｄＬと交差して延在し、一方向に並設された複数の走査線ｓＬを有する。信号線ｄＬと走査線ｓＬはフィールド絶縁層ＩＮＳ−Ｆで絶縁され、信号線ｄＬの一部に形成された下部電極ＤＥＬと、下部電極ＤＥＬ上に形成されたトンネル絶縁層ＩＮＳ−Ｔと、このトンネル絶縁層ＩＮＳ−Ｔの上層に成膜されて走査線ｓＬに接続する上部電極ＵＥＬとで電子放出素子（電子源）が形成される。
【００１４】
なお、走査線ｓＬは、上層電極ｓＬ１とバス電極ｓＬ２および下層電極ｓＬ３の３層構造となっている。上部電極ＵＥＬはコンタクト電極ＣＴＬで走査線ｓＬと確実に接続している。そして、この背面基板ＳＵＢ1の内面にガス比測定電極ＭＦＬが形成され、封止枠の外部に測定電圧印加用の引き出し線ＬＬが接続されている。
【００１５】
前面基板ＳＵＢ２の面には、ブラックマトリクスＢＭで区画された蛍光体ＰＨが形成され、この上にメタルバックすなわち陽極ＡＤが成膜されている。各蛍光体は電子源と対面している。
【００１６】
この構成において、信号線ｄＬと陽極ＡＤ間には動作電圧Ｅｄが印加される。また、信号線ｄＬ（下部電極ＤＥＬ）と上部電極ＵＥＬの間には、電子放出のための電圧Ｅｎが印加され、放出された電子ｅは動作電圧Ｅｄによって加速され、電子ビームとなって蛍光体ＰＨに射突し、これを励起して発光させる。
【００１７】
真空度を測定するために、実施例１ではガス比測定電極ＭＦＬに流れるイオン電流の比によりガス比を算出し、「真空度―ガス比の校正カーブ」から真空度を得る。すなわち、このイオン電流を測定する場合、まず、動作電圧Ｅｄを印加し、スイッチＳＷを投入して表示装置を標準動作させる。ガス比測定電極ＭＦＬには負の電位を与える。このとき、電子源と陽極の間に流れる電流Ｉｄを測定する。次に、スイッチＳＷを開放し、密閉空間内の残留ガスによりガス比測定電極ＭＦＬに流れるイオン電流Ｉｇを測定する。そして、「真空度―ガス比の校正カーブ」から真空度を得る。
【実施例２】
【００１８】
図２は、本発明による表示装置の実施例２を説明する要部断面図である。この表示装置は、ガス比測定電極ＭＦＬを前面基板ＳＵＢ２の内面に設けた点を除いて、実施例１と同様である。すなわち、まず、動作電圧Ｅｄを印加し、スイッチＳＷを投入して表示装置を標準動作させる。ガス比測定電極ＭＦＬには負の電位を与える。このとき、電子源と陽極の間に流れる電流Ｉｄを測定する。次に、スイッチＳＷを開放し、密閉空間内の残留ガスによりガス比測定電極ＭＦＬに流れるイオン電流Ｉｇを測定する。そして、「真空度―ガス比の校正カーブ」から真空度を得る。
【００１９】
本発明によれば、密閉空間の内部を排気管で所定の真空度に減圧する排気処理中、あるいは排気処理して排気管ＥＸＣをチップオフした後も、その真空度が測定可能となり、フラット・パネル型表示装置の密閉空間内部の真空度を定量的に測定し、把握することが可能となり、信頼性の改善に資する。
【００２０】
本発明は、電子源としてＭＩＭ素子を用いた表示装置に限らず、いわゆるＳＥＤ、ＢＳＤ、ＨＥＥＤ、ＭＯＳなどを用いた表示装置にも適用できることは言うまでもない
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明によるフラット・パネル型表示装置の実施例１を説明する平面図である。
【図２】本発明によるフラット・パネル型表示装置の実施例２を説明する平面図である。
【図３】ＭＩＭ型電子放出素子を電子源とした表示装置の構成例を説明する一部破断して内部を示した斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ'線で切断した断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
ＳＵＢ1・・・背面基板、ＳＵＢ２・・・前面基板、ｓＬ・・・走査線、ｄＬ・・・信号線、ＭＦＬ・・・ガス比測定電極、ＢＭ・・・ブラックマトリクス、ＰＨ・・・蛍光体。
【図１】
2007305440.tif 000003
【図２】
2007305440.tif 000004
【図３】
2007305440.tif 000005
【図４】
2007305440.tif 000006