(57)【要約】【課題】安価な光回路の製造方法を提供する。【解決手段】所定の形状に成形されたコア部材１２、クラッド部材１４ａ〜１４ｃ及び保護部材１６を互いに固着させ、横断面形状が同じである棒状のプリフォーム１８を形成する。このプリフォーム１８を所望の延伸倍率で長手方向に延伸し、プリフォーム１８の横断面と略相似形の横断面を有する延伸体２０を得る。延伸体２０を延伸方向に垂直な面で切断し、所望の厚さの光回路２２を得る。この光回路２２が有する光導波路２３ｄは、延伸前のコア部材１２と略相似形である。プリフォーム１８の形成において、所望の断面形状に形成されるコア部材１２を用いることにより、所望の光導波路２４を有する光回路２２を形成することができる。この製造方法を用いることにより、容易に、安価に光回路２２を製造することが可能になる。【選択図】図２
2007127707.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
側面に外部光を入力する光入射部位、前記光入射部位からの内部光を出力する光出射部位、及びこれら光入射部位と光出射部位を接続する光導波路を有するプラスチック製のコア部材と、このコア部材の側面に配置されるプラスチック製のクラッド部材とを組み合わせて、横断面形状が同じになる棒状のプリフォームを成形する第１工程と、
前記プリフォームを長手方向に加熱延伸し、前記プリフォームの横断面と略相似形の横断面を有する延伸体を成形する第２工程と、
この延伸体を延伸方向に交差する方向でスライスし、前記コア部材と前記クラッド部材とからなる薄片を得る第３工程とを有することを特徴とする光回路の製造方法。
【請求項２】
前記薄片の両面に副薄片を積層する第４工程を備えることを特徴とする請求項１記載の光回路の製造方法。
【請求項３】
前記副薄片を前記クラッド部材と同材質とすることを特徴とする請求項２記載の光回路の製造方法。
【請求項４】
前記コア部材の形状を変えた複数の前記薄片を形成し、これら薄片のコア部材の一部を連結するように積層する第５工程を有することを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の光回路の製造方法。
【請求項５】
前記クラッド部材が導電性を有する電極部を備え、
前記コア部材が、前記電極部間の印加電圧に応じて光学特性が変化する材料から成形されることを特徴とする請求項１ないし４いずれか１項記載の光回路の製造方法。
【請求項６】
前記光学特性が、屈折率、光吸収率、または光散乱率のいずれかであることを特徴とする請求項５項記載の光回路の製造方法。
【請求項７】
保護層が、前記クラッド部材の側面に配置されることを特徴とする請求項１ないし６いずれか１項記載の光回路の製造方法。
【請求項８】
前記薄片が、前記光入射部位及び前記光出射部位を少なくとも１つずつ備えることを特徴とする請求項２ないし７いずれか１項記載の光回路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光回路の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年のパソコンやインターネットの普及に伴い、情報伝送需要が急激に増大している。このため、伝送速度の速い光伝送を、パソコン等の末端の情報処理装置まで普及させることが望まれている。これを実現するには、光インターコネクション用に、高性能な光回路を、安価かつ大量に製造する必要がある。
【０００３】
また、近年では、光回路材料として、石英系材料に加えてプラスチックも検討されている。現状では、プラスチックは透過性能および信頼性において石英よりも劣るが、石英に比べて成形が容易であるという利点がある。また波長６５０ｎｍ以上８５０ｎｍ以下付近の光の透過性能も優れており、非常に有望な光回路材料といえる。プラスチックの光回路材料としては、例えば、透明性に優れたポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）などが知られている。近年ではアクリル系、エポキシ系、あるいはポリイミド系樹脂材料などをベースとして、重水素化やフッ素化が行われている。それにより得られた樹脂材料は、１．３μｍ以上１．５５μｍ以下の波長域の光に対して、低吸収化が図られている。したがって、これらの材料を用いて、伝送特性が優れた光回路を容易に製造することができる。
【０００４】
プラスチック製の光回路の製造方法としては、コア層及び下部クラッド層を塗布後、反応性イオンエッチングを用いて上部クラッド部を形成するＲＩＥ法（例えば、特許文献１及び２参照）、感光性の材料を含有する紫外線硬化樹脂に紫外線を露光し、コアを形成するフォトリソグラフィー法（例えば、特許文献３参照）、さらに、金型を用いて、コア材料を賦型することによりコアを形成する方法（例えば、特許文献４参照）等が提案されている。
【特許文献１】特開２０００−９８１５５号公報
【特許文献２】特開２００２−７１９８９号公報
【特許文献３】特開２００５−６２３６４号公報
【特許文献４】特開２００４−１０９９２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、ＲＩＥ法は、製造工程が複雑であるため、光回路の製造コストが高くなる。また、フォトリソグラフィー法は、コア材料に紫外線硬化樹脂を用いるため、コア形成材料の選択に一定の制約が課される。更に、特許文献４で開示される製造方法では、コアの形状を精度よく形成することが困難である。現在、性能的に優れた実用的な方法は、ＲＩＥ法やフォトリソグラフィー法だけであるが、いずれの方法も、容易に且つ安価な光回路の製造方法としては、十分ではない。
【０００６】
上記問題を鑑みて、本発明は、容易に且つ簡易な光回路の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の光回路の製造方法は、側面に外部光を入力する光入射部位、前記光入射部位からの内部光を出力する光出射部位、及びこれら光入射部位と光出射部位を接続する光導波路を有するプラスチック製のコア部材と、このコア部の側面に配置されるプラスチック製のクラッド部材とを組み合わせて、横断面形状が同じになる棒状のプリフォームを成形する第１工程と、プリフォームを長手方向に加熱延伸し、プリフォームの横断面と略相似形の横断面を有する延伸体を成形する第２工程と、この延伸体を延伸方向に交差する方向でスライスし、コア部材とクラッド部材とからなる薄片を得る第３工程とを有することを特徴とする。
【０００８】
更に、本発明の光回路の製造方法に、薄片の両面に副薄片を積層する第４工程を備えることが好ましく、クラッド部材と同材質の副薄片を用いることが好ましい。或いは、コア部材の形状を変えた複数の薄片を形成し、これら薄片のコア部材の一部を連結するように積層する第５工程を有することが好ましい。
【０００９】
クラッド部材が導電性を有する電極部を備え、コア部材が、電極部間の印加電圧に応じて光学特性が変化する材料から形成されることが好ましい。また、光学特性が、屈折率、光吸収率、または光散乱率のいずれかであることが好ましい。
【００１０】
保護層が、クラッド部材の側面に配置されることが好ましい。
【００１１】
薄片が、光入射部位及び光出射部位を少なくとも１つずつ備えることが好ましい。
【００１２】
このような光回路の前駆体であるプリフォーム形成方法として、コア部材の光入射部位及び光出射部位を露呈するように、クラッド部材をコア部材に固着させることが好ましい。更に、この固着体のクラッド部材の側面に保護部材を固着させることが好ましい。
【００１３】
また、クラッド部材よりも高い屈折率を有するコア層を、横断面の中心近傍に備えるクラッド部材をプリフォームとして用いてもよい。同様にして、コア部材よりも低い屈折率を有するクラッド層を周面に有するコア部材をプリフォームとしてよい。これらコア層やクラッド層を、クラッド部材やコア部材の所定の部位の変性（各部材成形過程における屈折率の調節）により形成してもよい。
【００１４】
また、保護層付き光回路の前駆体であるプリフォームの形成において、クラッド層を周面に備える保護部材を用いることが好ましく、この保護部材の周面の変性処理によりクラッド層を形成することが好ましい。同様にして、保護層を周面に備えるクラッド部材を用いることも可能であり、このクラッド部材の周面の変性処理により保護層を形成することが好ましい。
【００１５】
前述の複数種類のプリフォーム、コア部材、クラッド部材及び保護部材を互いに固着させてなる集合体を加熱延伸することも可能である。
【００１６】
プリフォームの延伸倍率が２倍以上１億倍以下であることが好ましい。また、プリフォームの加熱温度が８０℃以上５００℃以下であることが好ましい。更に、延伸体を延伸方向に垂直な面で切断することが好ましい。
【００１７】
光入射部位と光出射部位を結ぶ光導波路が、直線、曲線、または直線及び曲線の組み合わせのいずれかの形状に形成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の光回路の製造方法によれば、側面に外部光を入力する光入射部位、前記光入射部位からの内部光を出力する光出射部位、及びこれら光入射部位と光出射部位を接続する光導波路を有するプラスチック製のコア部材と、このコア部材の側面に配置されるプラスチック製のクラッド部材とを組み合わせて、横断面形状が同じになる棒状のプリフォームを成形する第１工程と、前記プリフォームを長手方向に加熱延伸し、前記プリフォームの横断面と略相似形の横断面を有する延伸体を成形する第２工程と、この延伸体を延伸方向に交差する方向でスライスし、前記コア部材と前記クラッド部材とからなる薄片を得る第３工程とを有するため、光回路の大量生産が可能となり、安価な光回路を容易に製造することができる。
【００１９】
このプリフォームの加熱延伸工程において、プリフォームを構成するコア部材、クラッド部材または保護部材の固着面に生じる空隙は空隙部を減圧しながら延伸することで収縮消滅させることが可能なので、空隙部を生じないように各部材を固着する必要はない。また、同様の原理で、中空部や間隙を有する各部材を用いても、この加熱延伸工程にて中空部や間隙を収縮消滅させる事ができるため、品質の安定した光回路を製造することが可能である。
【００２０】
また、薄片の両面に副薄片を積層する第４工程から得られる積層体を光回路としてもよい。クラッド部材と同材質の副薄片を用いると、積層体の光導波路の開口数が向上すると同時に、伝送損失が低減する。更に、コア部材の形状を変えた複数の薄片を形成し、これら薄片のコア部材の一部を連結するように積層する第５工程を有するため、積層体の面方向だけでなく、厚み方向の光導波路を有する光回路を製造することも可能である。
【００２１】
クラッド部材が導電性を有する電極部を備え、コア部材が電極部間の印加電圧に応じて光学特性が変化する材料から成形されるため、電極部を有する光回路を製造することが可能になる。この電極部間に印加する電圧によって、コア部材の光学特性（屈折率、光吸収率、または光散乱率など）が変化するため、電圧制御型のスイッチング機能付き光回路を製造することも可能である。
【００２２】
保護層が、クラッド部材の側面に配置されるため、保護層付きの光回路を製造することも可能になる。
【００２３】
薄片が、光入射部位及び光出射部位を少なくとも１つずつ備えるため、分岐点や結合点を有する光回路を製造することができる。また、これらの光入射部位と光出射部位を結ぶ光導波路を、直線、曲線、または直線及び曲線の組み合わせのいずれかの形状に形成可能なため、あらゆる光入出力機器に応じた形状の光導波路を有する光回路を製造することができる。
【００２４】
このようなプリフォームを成形する方法として、コア部材の前記光入射部位及び前記光出射部位を露呈するように、クラッド部材をコア部材に固着させる、或いは、この固着体の前記クラッド部材露呈面に保護部材を固着させるなどがあり、これらの方法により、プリフォームの形成が容易になる。また、固着体を形成する各部材は、射出形成などにより所望の形状に形成することが可能であり、このような各部材を用いることにより、所望の形状の光導波路を有する光回路を容易に製造することができる。
【００２５】
また、前述したコア部材、クラッド部材及び保護部材を組み合わせる方法の他、コア層を有するクラッド部材やクラッド層を有するコア部材をプリフォームとしてもよい。コア部材やクラッド部材の屈折率添加剤の添加条件或いは加熱延伸の条件を適切に選択することにより、所望の屈折率を有するクラッド層やコア層を形成することが可能である。保護層付きの光回路を形成する場合も、同様であり、保護層を有するクラッド部材或いはクラッド層を有する保護部材を、コア部材と組み合わせてプリフォームを形成してもよい。弾性を向上させる材料、難燃性物質及び顔料などをクラッド部材に添加することにより、保護層を有するクラッド部材を形成することが可能である。同様にして、屈折率添加剤を保護層に添加することにより、クラッド層を有する保護部材を形成することも可能である。
【００２６】
複数のプリフォーム、コア部材、クラッド部材及び保護部材を互いに固着させてなる集合体を加熱延伸するため、プリフォームの横断面形状を所望の形状に形成することが可能になる。すなわち、本発明を用いることにより、所望の形状及び所望の寸法の光導波路を有する光回路を形成することができる。
【００２７】
プリフォームの延伸倍率が２倍以上１億倍以下であるため、所望の寸法の光回路を製造することができる。
【００２８】
コア部材、クラッド部材及び保護部材が、プラスチックを含む素材から形成されるため、プリフォーム形成工程、延伸体形成工程、及び切断工程における加工性が向上することができる。プリフォームの加熱温度が８０℃以上５００℃以下であるため、プリフォーム形成材料の選択肢が大きくなる。このように、プリフォームの組成となる材料の選択肢の自由度が高いため、様々な使用環境条件などに適する光回路を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
図１を用いて本発明の第１実施形態である光回路製造工程１０について説明する。最初に、コア部材製造工程１１にてコア部材１２を、クラッド部材製造工程１３にてクラッド部材１４を、そして、保護部材製造工程１５にて保護部材１６を得る。次に、プリフォーム製造工程１７にて、コア部材１２の側面にクラッド部材１４を、そしてクラッド部材１４の側面に保護部材１６をそれぞれ固着し、プリフォーム１８を得る。第３に、このプリフォーム１８は、加熱延伸工程１９にて長手方向に加熱延伸され、プリフォーム１８の横断面と略相似の横断面を有する延伸体２０となる。この延伸体２０は、切断工程２１にて、延伸体２０を延伸方向に垂直な面でスライスし、所望の厚さの光回路２２を得る。
【００３０】
この光回路製造工程１０から得られる光回路２２（図２（Ｄ））は、Ｙ字型に形成され、光の入出射を行う光入出射部位２３ａ〜２３ｃと、光入出射部位２３ａ〜２３ｃ間の光の伝送を行う光導波路２３ｄとからなるコア部２４を有する。部位２３ａを光入射部位とし、部位２３ｃ、２３ｂを光出射部位として光回路２２を用いると、光回路２２は分岐点を有する光回路となり、部位２３ｂ、２３ｃを光入射部位とし、部位２３ａを光出射部位として光回路２２を用いると、光回路２２は合流点を有する光回路となる。クラッド部２５は、光入出射部位２３ａ〜２３ｃを除くコア部２４の周囲に形成される。更に、光導波路２３ｄと隣接しないクラッド部２５の周囲には、保護層２６が形成される。これらコア部２４、クラッド部２５及び保護層２６は互いに密着して、光回路２２を形成する。
【００３１】
次に、光回路製造工程１０の各工程の詳細について説明する。図２（Ａ）に、コア部材製造工程１１、クラッド部材製造工程１３及び保護部材製造工程１５で製造されるコア部材１２、クラッド部材１４ａ〜１４ｃ及び保護部材１６ａ、ｂを示す。コア部材１２は、光の入出射を行う光入出射部位３０ａ〜３０ｃと、光入出射部位３０ａ〜３０ｃ間の光の伝送を行う光導波路３０とを有する。このコア部材１２は、光回路２２のコア部２４の略相似形に形成される。同様にして、コア部材１２よりも低い屈折率を有する材料から形成されるクラッド部材１４ａ〜１４ｃ及び保護部材１６ａ、１６ｂは、光回路２２のクラッド部２５及び保護層２６と略相似形に形成されている。
【００３２】
コア部材１２、クラッド部材１４及び保護部材１６は、プラスチックを主成分とする材質から構成され、射出成形工程または、界面ゲル重合法や溶融押し出し法などのモノマーの重合工程により、所望の形状に形成される。また、コア部材１２は、クラッド部材１４よりも高い屈折率を有する材料から形成される。これらコア部材１２、クラッド部材１４及び保護部材１６の材料の詳細については後述する。
【００３３】
プリフォーム製造工程１７では、これらコア部材１２、クラッド部材１４及び保護部材１６に、接着剤や粘着テープなどを用いて仮止めし、棒状のプリフォーム１８を形成する（図２（Ｂ））。このプリフォーム１８は、いずれの横断面で切断しても一定の形状の横断面が露呈するように形成されており、この横断面は、最終形態である光回路と略相似形になるように形成される。
【００３４】
加熱延伸工程１９では、プリフォーム１８を加熱炉３５内に配置する（図３）。加熱炉３５で加熱するとプリフォーム１８の下部は溶融する。なお、溶融温度は部材を形成する材料の熱特性に依存するが、８０℃〜５００℃の温度であることが好ましく、より好ましくは１２０℃〜３５０℃であり、最も好ましくは１８０℃〜２５０℃である。溶融した箇所の先端部１８ａを始点として線引き（延伸）を行う。この延伸体２０は、線径モニタ３６を通した後に巻取装置３７の芯材３８に巻き取られる。線引きしている際には、線径モニタ３６で延伸体２０の外径をモニタリングして加熱炉３５内のプリフォーム１８の位置や加熱炉３５の温度、巻取装置３７の巻取速度などを適宜調整する。このような加熱延伸工程１９において、プリフォーム１８を長手方向に所望の延伸倍率（プリフォーム１８の横断面の面積を基準としたときの、延伸体２０の横断面の面積の割合）で延伸し、延伸体２０を得る（図２（Ｃ））。この加熱延伸工程１９における延伸倍率は、線径モニタ３６に基づき、引き取り速度あるいは加熱温度によって制御可能であり、これを適切に制御することにより、２倍〜１億倍の範囲から所望の延伸倍率を選択することができる。
【００３５】
切断工程２１では、カッタを有する切断装置を用いて、延伸体２０を延伸方向に垂直な面で切断し、端面を鏡面加工することにより、図２（Ｄ）に示すような、所望の厚さの光回路２２を得ることができる。
【００３６】
なお、コア部材１２及びクラッド部材１４を固着し、この固着体をプリフォームとしてもよい。また、切断工程２１では、延伸体２０の延伸方向に垂直な面で切断すると記載したが、これに限らず、延伸方向と鋭角に交差する面で切断してもよい。
【００３７】
更に、コア部材１２及びクラッド部材１４の替わりに、クラッド層４０ａを有するコア部材４０（図４（Ａ））或いは、コア層４１ａを有するクラッド部材４１（図４（Ｂ））を用いて、プリフォームを構成してもよい。これらのコア部材４０またはクラッド部材４１は、屈折率調整剤を含有し、プラスチックを主成分とする材料から形成され、この屈折率調整剤の濃度分布を制御することにより、所望の屈折率を有するクラッド層４０ａまたはコア層４１ａを形成することができる。
【００３８】
同様にして、クラッド部材１４及び保護部材１６の替わりに、クラッド層４２ａを有する保護部材４２及びクラッド部材４２ｂ（図４（Ｃ））或いは、保護層４３ａを有するクラッド部材４３及びクラッド部材４２ｂ（図４（Ｄ））を用いて、プリフォームを構成してもよい。これら保護部材４２及びクラッド部材４３には、屈折率調整剤の他、光学特性に影響が出ない範囲において機能性添加剤を含有するプラスチックを主成分とする材料から形成される。この保護部材４２に含有される屈折率調整剤の濃度分布を制御することにより、所望の屈折率を有するクラッド層４２ａを形成することができる。同様にして、クラッド部材４３に含有される機能性添加剤の濃度分布を制御することにより、所望の機能を有する保護層４３ａを形成することができる。
【００３９】
上記実施形態では、光回路２２に形成される光導波路２３がＹ字型であると記載したが、これに限らず、光入射部位に入力した光が光出斜部位から出力可能であれば、直線、曲線、或いは直線及び曲線の組み合わせからなる形状の光導波路を用いても同等の効果を得ることができる。例えば、図５（Ａ）に示す光回路４７は、光入出射部位４７ａ、４７ｂを有しており、これらの部位４７ａ、４７ｂを結ぶ光導波路４７ｃは、直線状に形成される。また、図５（Ｂ）に示す光回路４９は、光入出射部位４９ａ、４９ｂを有しており、これらの部位４９ａ、４９ｂを結ぶ光導波路４９ｃは、曲線状に形成される。このような光導波路４７ｃ、４９ｃは、光回路４７、４９に外部デバイス５０が有する光入出射部位の配置位置及び形状に応じて形成されることが好ましい。このような光導波路４７ｃ、４９ｃを有する光回路４７、４９と略相似形の横断面を有するプリフォームを構成し、このプリフォームを所望の延伸倍率で延伸し、所望の厚さに切断することにより、あらゆる外部デバイス５０に応じた光回路を、容易に、且つ安価に製造することができる。
【００４０】
次に、図６を用いて本発明の第２の実施形態である光回路製造工程６０について説明する。なお、ここでは、第１の実施形態と相違点について詳細説明を行い、第１の実施形態と同様の部分の詳細説明は省略する。最初に、コア部材製造工程６１にて棒状のコア部材６２を、クラッド部材製造工程６３にて棒状のクラッド部材６４を、そして、保護部材製造工程６５にて棒状の保護部材６６を得る。次に、プリフォーム製造工程６７にて、これら各部材６２，６４及び６６を固着し、プリフォーム６８を得る。このプリフォーム６８は、いずれの横断面で切断しても一定の形状の横断面が露呈するように形成されており、この横断面は、最終形態である光回路と略相似形になるように形成される。第３に、このプリフォーム６８は、加熱延伸工程６９を経て、プリフォーム６８の横断面と略相似の横断面を有する延伸体７０となる。この延伸体７０は、切断工程７１にて、延伸体を所望の厚さに切断され、光回路７２となる。積層工程７３では、この光回路７２の両面にクラッド薄片７４、７５（図７）を順次積層し、積層光回路７６を得る。
【００４１】
このクラッド薄片７４及び７５は、クラッド部材６４と同質の材料から構成され、プリフォーム６８の横断面の外形形状と略同一の形状を有するプリフォームに、工程６９及び７１の各処理を施すことにより得ることができる。
【００４２】
光回路７２に形成され、外部に露出する光導波路７２ａの露出面７２ｂ、７２ｃとし、クラッド薄片７４、７５を用いて、この露出面７２ｂ、７２ｃを覆うように、クラッド薄片７４、光回路７２、クラッド薄片７５を順次積層し、積層光回路７６を得る（図８）。このように、光回路７２よりも低い屈折率を有するクラッド薄片７４、７５で露出面７２ｂ、７２ｃを覆うことにより、光回路７２の厚さ方向における開口数が向上し、伝送特性に優れた積層光回路７６を製造することができる。
【００４３】
光回路７２及びクラッド薄片７４、７５の固着には、光学特性に影響の出ないような範囲において、加熱加圧法、超音波溶着法、振動溶着法などや、樹脂成形体同士が容易に固着可能な素材を用いてもよい。
【００４４】
なお、図９及び図１０のように、異なる形状の光導波路８０ａ〜８２ａを有する光回路８０〜８２を用いて、光導波路８０ａ〜８２ａの一部が重なるように、光回路８０〜８２を順次積層することにより、厚さ方向の光導波路を有する積層光回路８４を製造することも可能である。この光回路８０〜８２の固着には、光回路８０〜８２と同等の屈折率を有する接着剤を用いる、或いは、光学特性に影響の出ないような範囲において、加熱加圧法、超音波溶着法、振動溶着法などを適用してもよい。
【００４５】
また、電圧印加によって光学特性が変化する材料をコア部材に用いることにより、電圧駆動型のスイッチング機能を有する光回路を製造することも可能である。例えば、図１１に示すように、導電性プラスチックから形成される電極部材８５ａ、８５ｂを有するクラッド部材８６ａ、８６ｂ及び、印加電圧に応じて屈折率が変化する材料から形成されるコア部材８６ｃを固着してなるプリフォーム８６を形成する。このプリフォーム８６は、いずれの横断面で切断しても一定の形状の横断面が露呈するように形成されており、この横断面は、最終形態である光回路と略相似形になるように形成される。電極部材８５ａ、８５ｂは、コア部材８６ｃを介して対向するように配置される。このプリフォーム８６に、工程６９、７１及び７３の各処理を施し、光回路８７を得る（図１２）。光回路８７が有する電極部８７ａ及び８７ｂ間に所定の電圧を印加することにより、電極部８７ａ及び８７ｂに挟まれる光導波路８８の屈折率が変化する。このようにして、電圧駆動型のスイッチング機能を有する光回路８７を製造することができる。
【００４６】
なお、このスイッチング機能を有する光回路は、複数の薄片を積層する方法を用いて製造することも可能である。図１３及び図１４に示す、積層光回路９０は、クラッド薄片９１、光回路９２、クラッド薄片９３が順次積層するように形成される。光回路９２は、印加電圧に応じて屈折率が変化する材料から形成されるコア部材、このコア部材よりも低い屈折率を有するクラッド部材からなるプリフォームを延伸し、切断して得られる。クラッド薄片９１、９３は、クラッド部材及び電極部材のみからなるプリフォームを延伸し、所望の厚さに切断することによって得ることができる。また、クラッド薄片９１及び９３上の電極部９１ａ及び９３ａは、積層光回路９０の形成時に、光回路９２の光導波路９４を介して対向する位置に形成される。このような積層光回路９０の電極部９１ａ及び９３ａの間に所定の電圧を印加することにより、光導波路９４の屈折率を変化することが可能になる。
【００４７】
この印加電圧によって屈折率が変化するコア部材の材料として、例えば、豊田中研R&DレビューVol.34  No.1  （1993.3）３１〜３９頁に記載の電場配向ポリマーなどがあげられる。
【００４８】
なお、コア部材には、印加電圧によって、光吸収率、または光散乱率が変化するような材料を用いてもよい。このようなコア部材の材料として、以下のものが挙げられる。光吸収率が変化する材料としては、一般的なエレクトロクロミック材料がある。
【００４９】
なお、上記実施形態では、コア部の光学特性（屈折率、光吸収率及び光散乱率）を変化させる手段として、コア部を介して対向するように配置される電極部を設け、この電極部間の印加電圧によって所定の光学特性が変化する材料をコア部材に用いると記載したが、これに限らず、電圧以外外部環境の変化を示すパラメータによって光学特性が変化する材料を用いてコア部材を形成してもよい。このパラメータとして好ましいものは、コア部材にかかる加速度（重力などを含む）、コア部材の水圧や気圧などの圧力変化、コア部材の温度変化、コア部材への電磁波（可視光線、赤外線、紫外線や電波など）の照射量変化、特定の気体（水蒸気、酸素、炭酸ガスなど）や液体（アルコールなど）の濃度変化などがあり、これらの変化に応じて光学特性が変化するような材料をコア部材に用いることで同等の効果を得ることができる。更に、各種センサに接続する電圧印加装置を用いて、このセンサが出力する検出信号に応じて、所定の電圧をコア部材に印加することにより、光回路の外部環境の変化に応じたスイッチを作成することも可能である。このセンサには、例えば、加速度（重力なども含む）センサ、圧力センサ（水圧や気圧など）、温度センサ、特定の気体（水蒸気、酸素、炭酸ガスなど）や液体（アルコールなど）の濃度センサなどがあげられる。
【００５０】
次に、プリフォームを構成するコア部、クラッド部、保護層及び電極部に用いられる材料について説明する。基本的には光回路に用いられるものであれば特に規定はされないが、そのうちで好ましいものを以下に述べる。
【００５１】
（コア部）
コア部の原料の重合性モノマーとしては、塊状重合が容易である原料を選択するのが好ましい。また、得られるポリマーが熱可塑性で加工性が良好な、高い光透過性を有するものであれば好ましい。光透過性が高く塊状重合しやすい原料としては例えば、以下のような（メタ）アクリル酸エステル類（フッ素不含（メタ）アクリル酸エステル（ａ），含フッ素（メタ）アクリル酸エステル（ｂ），スチレン系化合物（ｃ），ビニルエステル類（ｄ）等を例示することができ、コア部はこれらのホモポリマー、あるいはこれらモノマーの２種以上からなる共重合体、およびホモポリマー及び／または共重合体の混合物から成形することができる。これらのうち、（メタ）アクリル酸エステル類を重合性モノマーとして含む組成を好ましく用いることができる。
【００５２】
以上に挙げた重合性モノマーとして具体的に、（ａ）フッ素不含メタクリル酸エステルおよびフッ素不含アクリル酸エステルとしては、メタクリル酸メチル（ＭＭＡ）、メタクリル酸エチル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸−ｔｅｒｔ−ブチル、メタクリル酸ベンジル（ＢｚＭＡ）、メタクリル酸フェニル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ジフェニルメチル、トリシクロ［５・２・１・０２，６］デカニルメタクリレート、アダマンチルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート、ノルボルニルメタクリレート等が挙げられ、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸−ｔｅｒｔ−ブチル、アクリル酸フェニル等が挙げられる。また、（ｂ）含フッ素アクリル酸エステルおよび含フッ素メタクリル酸エステルとしては、2,2,2 −トリフルオロエチルメタクリレート、2,2,3,3 −テトラフルオロプロピルメタクリレート、2,2,3,3,3 −ペンタフルオロプロピルメタクリレート、1 −トリフルオロメチル−2,2,2 −トリフルオロエチルメタクリレート、2,2,3,3,4,4,5,5 −オクタフルオロペンチルメタクリレート、2,2,3,3,4,4 −ヘキサフルオロブチルメタクリレート等が挙げられる。さらに、（ｃ）スチレン系化合物としては、スチレン、α−メチルスチレン、クロロスチレン、ブロモスチレン等が挙げられる。さらには、（ｄ）ビニルエステル類としては、ビニルアセテート、ビニルベンゾエート、ビニルフェニルアセテート、ビニルクロロアセテート等が挙げられる。勿論、これらに限定されるものではない。モノマーの単独あるいは共重合体からなるコア部のポリマーの屈折率は、最外周部のそれに比べて同等かあるいはそれ以上になるように構成モノマーの種類，組成比を選択する。特に好ましいポリマーとしては、透明樹脂であるアクリル樹脂（ＰＭＭＡ）が挙げられる。また、耐熱性や低吸湿性などの用途にあわせて、コア部の材料を選択することもできる。
【００５３】
（クラッド部）
コア部を伝送する光がコア部の界面で全反射するために、コア部の外周にクラッド部を設けることが好ましい。クラッド部を設ける場合には、コア部の屈折率より低い屈折率を有し、コア部との密着性が良いものを用いることが好ましい。ただし、素材の選択によってコア部とクラッド部の界面の不整が起こりやすい、もしくは製造適性上好ましくない場合などにおいては、コア部とクラッド部の間にさらに層を設けても良い。例えば、コア部との界面（即ち、中空管の内壁面）に、コア部のマトリックスと同一組成のポリマーからなるアウターコア層を成形することにより、コア部とクラッド部との界面状態を矯正することができる。アウターコア層の詳細については後述する。勿論、アウターコア層を成形せずに、クラッド部そのものを、コア部のマトリックスと同一組成のポリマーから成形することもできる。
【００５４】
クラッド部の素材としては、タフネスに優れ、耐湿熱性にも優れているものが好ましく用いられる。例えば、フッ素含有モノマーの単独重合体または共重合体からなるのが好ましい。フッ素含有モノマーとしてはフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）が好ましく、フッ化ビニリデンを１０質量％以上含有する１種以上の重合性モノマーを重合させて得られるフッ素樹脂が好ましく用いられる。
【００５５】
また、後述の溶融押出法により重合体を成形し、クラッド部を作製する場合は、重合体の溶融粘度が適当であることが必要である。この溶融粘度については、相関する物性として分子量が用いられ特に重量平均分子量との相関がある。本発明においては、重量平均分子量が１万〜１００万の範囲であることが適当であり、より好ましくは５万〜５０万の範囲である。
【００５６】
（重合開始剤）
コア部及び／又はクラッド部が、重合性モノマーから重合されたポリマーから作製される場合、重合の際に重合開始剤が用いられる。重合開始剤としては、用いるモノマーや重合方法に応じて適宜選択することができ、例えば、過酸化ベンゾイル（ＢＰＯ）、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサネート（ＰＢＯ）、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシド（ＰＢＤ）、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート（ＰＢＩ）、ｎ−ブチル−４，４−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）バラレート（ＰＨＶ）などのパーオキサイド系化合物が挙げられる。また、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）、１，１’−アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）、２，２’−アゾビス（２−メチルプロパン）、２，２’−アゾビス（２−メチルブタン）、２，２’−アゾビス（２−メチルペンタン）、２，２’−アゾビス（２，３−ジメチルブタン）、２，２’−アゾビス（２−メチルヘキサン）、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルペンタン）、２，２’−アゾビス（２，３，３−トリメチルブタン）、２，２’−アゾビス（２，４，４−トリメチルペンタン）、３，３’−アゾビス（３−メチルペンタン）、３，３’−アゾビス（３−メチルヘキサン）、３，３’−アゾビス（３，４−ジメチルペンタン）、３，３’−アゾビス（３−エチルペンタン）、ジメチル−２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジエチル−２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）などのアゾ系化合物が挙げられる。なお、重合開始剤は勿論これらに限定されるものではなく、更には２種類以上を併用してもよい。
【００５７】
（連鎖移動剤）
コア部成形用重合性組成物及びクラッド部成形用重合性組成物は、連鎖移動剤を含有していることが好ましい。前記連鎖移動剤は、主に重合体の分子量を調整するために用いられる。クラッド部およびコア部成形用重合性組成物がそれぞれ連鎖移動剤を含有していると、重合性モノマーからポリマーを成形する際に、重合速度および重合度を前記連鎖移動剤によってより制御することができ、重合体の分子量を所望の分子量に調整することができる。例えば、得られたプリフォームを延伸により線引きする際に、分子量を調整することによって延伸時における機械的特性を所望の範囲とすることができ、生産性の向上にも寄与する。
【００５８】
前記連鎖移動剤については、併用する重合性モノマーの種類に応じて、適宜、種類および添加量を選択できる。各モノマーに対する連鎖移動剤の連鎖移動定数は、例えば、ポリマーハンドブック第３版（Ｊ．ＢＲＡＮＤＲＵＰおよびＥ．Ｈ．ＩＭＭＥＲＧＵＴ編、ＪＯＨＮ  ＷＩＬＥＹ＆ＳＯＮ発行）を参照することができる。また、前記連鎖移動定数は大津隆行、木下雅悦共著「高分子合成の実験法」化学同人、昭和４７年刊を参考にして、実験によっても求めることができる。
【００５９】
連鎖移動剤としては、アルキルメルカプタン類（例えば、ｎ−ブチルメルカプタン、ｎ−ペンチルメルカプタン、ｎ−オクチルメルカプタン、ｎ−ラウリルメルカプタン、ｔｅｒｔ−ドデシルメルカプタンなど）、チオフェノール類（例えば、チオフェノール、ｍ−ブロモチオフェノール、ｐ−ブロモチオフェノール、ｍ−トルエンチオール、ｐ−トルエンチオールなど）などを用いることが好ましい。特に、ｎ−オクチルメルカプタン、ｎ−ラウリルメルカプタン、ｔｅｒｔ−ドデシルメルカプタンのアルキルメルカプタンを用いるのが好ましい。また、Ｃ−Ｈ結合の水素原子が重水素原子（Ｄ）やフッ素原子（Ｆ）で置換された連鎖移動剤を用いることもできる。なお、連鎖移動剤は勿論これらに限定されるものではなく、これら連鎖移動剤は２種類以上を併用してもよい。
【００６０】
（屈折率調整剤）
前記コア部用重合性組成物に屈折率調整剤を含有させるのが好ましい。なお、場合によっては、クラッド部重合性組成物に屈折率調整剤を含有させても良い。屈折率調整剤の濃度に分布を持たせることによって、前記濃度の分布に基づいて屈折率分布型のコアを容易に作製することができる。屈折率調整剤を用いなくとも、コア部の成形に２種以上の重合性モノマーを用い、コア部内に共重合比の分布を持たせることによって、屈折率分布構造を導入することもできるが、共重合の組成比制御などと比較して、製造の簡便さなどを鑑みると屈折率調整剤を用いることが好ましい。
【００６１】
屈折率調整剤はドーパントとも称し、併用する前記重合性モノマーの屈折率と異なる化合物である。その屈折率差は０．００５以上であるのが好ましい。ドーパントは、これを含有する重合体が無添加の重合体と比較して、屈折率が高くなるあるいは、低くなる性質を有する。これらは、特許第３３３２９２２号公報や特開平５−１７３０２６号公報に記載されているような、モノマーの合成によって生成される重合体との比較において溶解性パラメータとの差が７（ｃａｌ／ｃｍ３）１／２以内であると共に、屈折率の差が０．００１以上であり、これを含有する重合体が無添加の重合体と比較して屈折率が変化する性質を有し、重合体と安定して共存可能で、且つ前述の原料である重合性モノマーの重合条件（加熱および加圧等の重合条件）下において安定であるものを、いずれも用いることができる。
【００６２】
上記性質を有し、重合体と安定して共存可能で、且つ前述の原料である重合性モノマーの重合条件（加熱および加圧等の重合条件）下において安定であるものを、ドーパントとして用いることができる。本実施形態では、コア部成形用重合性組成物にドーパントを含有させ、コア部を成形する工程において界面ゲル重合法により重合の進行方向を制御し、ドーパントの濃度に傾斜を持たせ、コア部にドーパントの濃度分布に基づく屈折率分布構造を成形する方法を例示する。
【００６３】
ドーパントは重合性化合物であってもよく、重合性化合物のドーパントを用いた場合は、これを共重合成分として含む共重合体がこれを含まない重合体と比較して、屈折率が上昇する性質を有するものを用いる。なお、このような共重合体には、ＭＭＡ−ＢｚＭＡ共重合体などが挙げられる。
【００６４】
前記ドーパントとしては、特許第３３３２９２２号や特開平１１−１４２６５７号公報に記載されている様な、例えば、安息香酸ベンジル（ＢＥＮ）、硫化ジフェニル（ＤＰＳ）、リン酸トリフェニル（ＴＰＰ）、フタル酸ベンジル−ｎ−ブチル（ＢＢＰ）、フタル酸ジフェニル（ＤＰＰ）、ジフェニル（ＤＰ）、ジフェニルメタン（ＤＰＭ）、リン酸トリクレジル（ＴＣＰ）、ジフェニルスルホキシド（ＤＰＳＯ）、硫化ジフェニル誘導体、ジチアン誘導体などが挙げられる。中でも、ＢＥＮ、ＤＰＳ、ＴＰＰ、ＤＰＳＯおよび硫化ジフェニル誘導体、ジチアン誘導体が好ましい。なお、これらの化合物中に存在する水素原子を重水素原子に置換した化合物も広い波長域での透明性を向上させる目的で用いることができる。また、重合性化合物として、例えば、トリブロモフェニルメタクリレート等が挙げられる。屈折率調整成分として重合性化合物を用いる場合は、マトリックスを成形する際に、重合性モノマーと重合性屈折率成分とを共重合させるので、種々の特性（特に光学特性）の制御がより困難となるが、耐熱性の面では有利となる可能性がある。更に、添加による散乱上昇を抑制しながら屈折率を高くすることが可能な無機ナノ粒子をドーパントとして用いることも好ましい。
【００６５】
屈折率調整剤の濃度および分布を調整することによって、プリフォームを構成するコア部またはコア層、及びクラッド部またはクラッド層の屈折率を所望の値に変化させることができる。その添加量は、用途および組み合わされる部材に応じて適宜選ばれる。屈折率調整剤は、複数種類添加してもよい。なお、コア部と、クラッド部の屈折率差が０．０００１以上０．０２以下になるように形成されることが好ましい。
【００６６】
クラッド部に、重合性モノマーであるＭＭＡ、屈折率調整剤である高屈折率の低分子化合物、重合開始剤などの添加剤を入れる。その後に重合を開始させることで外周から中心方向に向けて屈折率が略２乗分布的に高くなるＧＩ型コアを成形することができる。
【００６７】
（その他の添加剤）
その他、コア部、クラッド部もしくはそれらの一部には、光伝送性能を低下させない範囲で、それらを作製する重合性組成物にその他の添加剤を添加することができる。例えば、コア部もしくはその一部に耐候性や耐久性などを向上させる目的で、安定剤を添加することができる。また、光伝送性能の向上を目的として、光信号増幅用の誘導放出機能化合物を添加することもできる。前記誘導放出機能化合物を添加することにより、減衰した信号光を励起光により増幅することができ、伝送距離が向上するので、例えば、光伝送リンクの一部に光ファイバ増幅器として使用することができる。これらの添加剤も、前記原料モノマーに添加した後、重合することによって、コア部、クラッド部もしくはそれらの一部に含有させることができる。
【００６８】
（保護層形成用材料）
コア部及びクラッド部からなる光回路の周囲に保護層を有する保護層付き光回路は、機械的強度が上昇してハンドリングが容易となる。保護層付き光回路に用いられる保護層形成用材料には、被覆する光回路に熱的ダメージ（例えば、変形，変性，熱分解など）を与えないものを選択する。そこで、光回路を形成するポリマーのガラス転移温度Ｔｇ（℃）以下で、かつ（Ｔｇ−５０）℃以上で硬化可能なポリマーを用いることが好ましい。また、生産コストの低減のために、成形時間（材料が硬化する時間）が１秒以上１０分以下、好ましくは１秒以上５分以下であるものを用いることがより好ましい。なお、光回路が複数のポリマーから形成される場合には、それら各ポリマーのガラス転移温度のなかで、最も低い温度のガラス転移温度をＴｇ（℃）とみなす。なお、ＰＶＤＦなどようにガラス転移温度Ｔｇ（℃）が常温以下（例えば、ＰＶＤＦでは約−４０℃）の場合や、ガラス転移温度を有さないポリマーの場合には、他の相転移温度、例えば融点を基準温度とする。
【００６９】
保護層形成用材料としては、ポリエチレン（ＰＥ），ポリプロピレン（ＰＰ）などに代表される一般的なオレフィン系ポリマーや塩化ビニル，ナイロンなどの汎用性の高いポリマーのほかに、具体的に以下の材料を挙げることができる。これらは高い弾性を有しているため、曲げなどの機械的特性付与の観点でも効果がある。まず、ポリマーの一形態であるゴムを挙げることもできる。具体的には、イソプレン系ゴム（例えば、天然ゴム，イソプレンゴムなど），ブタジエン系ゴム（例えば、スチレン−ブタジエン共重合ゴム，ブタジエンゴムなど），ジエン系特殊ゴム（例えば、ニトリルゴム，クロロプレンゴムなど），オレフィン系ゴム（例えば、エチレン−プロピレンゴム，アクリルゴム，ブチルゴム，ハロゲン化ブチルゴムなど），エーテル系ゴム，ポリスルフィド系ゴム，ウレタン系ゴムなどが挙げられる。
【００７０】
また、室温で流動性を示して加熱することにより、その流動性が消失して硬化する液状ゴムを保護層形成用材料として用いることができる。具体的には、ポリジエン系（例えば、基本構造がポリイソプレン，ポリブタジエン，ブタジエン−アクリロニトリル共重合体，ポリクロロプレンなど），ポリオレフィン系（例えば、基本構造がポリオレフィン，ポリイソブチレンなど），ポリエーテル系（例えば、基本構造がポリ（オキシプロピレン）など），ポリスルフィド系（例えば、基本構造がポリ（オキシアルキレンジスフィド）など），ポリシロキサン系（例えば、基本構造がポリ（ジメチルシロキサン）など）などを挙げることができる。
【００７１】
保護層の材料としてはさらには、熱可塑性エラストマー（ＴＰＥ）なども用いることもできる。熱可塑性エラストマーは、室温ではゴム弾性を示し、高温で可塑化されて成形が容易である物質群である。具体的には、スチレン系ＴＰＥ，オレフィン系ＴＰＥ，塩化ビニル系ＴＰＥ，ウレタン系ＴＰＥ，エステル系ＴＰＥ，アミド系ＴＰＥなどが挙げられる。なお、前記列記したポリマーは、光回路のポリマー、特にコア部のポリマーのガラス転移温度Ｔｇ（℃）以下で成形可能なものであれば、特に上記材料に限定されず、各材料間もしくは上記以外の共重合体や混合ポリマーを用いることもできる。
【００７２】
（機能性添加剤）
コア部、クラッド部、及び保護層それぞれの形成用材料に、機能性添加剤を添加する場合がある。この添加剤としては、帯電防止のための導電性物質、難燃性物質、着色用の染料や顔料などが挙げられる。添加剤の具体例を以下にあげるが、これに限定されるものではない。導電性物質としては錫や亜鉛合金粉や銀等の貴金属微粒子、難燃性物質としては水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウムなどの金属水酸化物などが挙げられ、着色の顔料としては、カーボンブラック，酸化チタン，酸化ジルコニウムなどが好ましく用いられる。カーボンブラックは、低コストであり、光ファイバ用被覆材として用いる場合に、着色以外に制電性も有しているので静電気を帯びにくくなる、近赤外域に吸収を持つので外乱光の遮閉性に富むうえ、曲げなどで光ファイバの外部へ放出された光が再度戻ってくる事を抑制することを抑制するなど有利な点が多く、特に好ましい。また、光の漏れる強度が大きくないと推測される場合は、光散乱体を含有するコア部材を用いてノイズ光のパワーを低減することでＳ／Ｎ比を大きく劣化させることなく使用することも可能である。
【００７３】
（電極部）
電極部形成用材料には導電性を有するポリマーを用いることが好ましく、具体的には、熱可塑性樹脂中に銀、鉄やステンレス等の金属粉を含有したポリマー、あるいはカーボンブラックやＣＮＴ（カーボンナノチューブ）を含有したものなどがあげられる。
【実施例１】
【００７４】
ＭＭＡとＩＢＸＭＡとのバルク共重合品から切り出されたコア部材、及びＰＭＭＡの射出成形によって得られるクラッド部を固着し、長さ８０ｍｍ、縦５０ｍｍ横３０ｍｍの長方形の横断面を有する棒状のプリフォームを作成した。加熱炉中で、このプリフォームを約２３０℃で加熱し、プリフォームを延伸倍率略１００００倍で長手方向に延伸し、長さ２００ｍｍ、縦０．５ｍｍ横０．３ｍｍの長方形の横断面を有する延伸体を得た。この延伸体の長手方向に垂直な面で切断し、１つの光入射部位及び２つの光出射部位からなるＹ分岐の光導波路を有する厚さ０．２ｍｍの光回路を作成した。２枚の厚さ０．１５ｍｍのクラッド薄片を用いて、この光回路の両面を挟むように積層し、Ｙ分岐の光導波路を有する積層光回路を作成した。この積層光回路の光入射部位から入射した光は、積層光回路の２つの光出射部位から出射したことを確認した。
【実施例２】
【００７５】
コア部材、保護部材をＰＭＭＡの射出成形によって作成した。保護部材の所定の面に、フッ素系樹脂コーティング処理を施し、クラッド層を有する保護部材を作成した。クラッド層がコア部材に接触するように、コア部材及び保護部材を固着させ、長さ８０ｍｍ、縦５０ｍｍ横３０ｍｍの長方形の横断面を有する棒状のプリフォームを作成した。加熱炉中で、このプリフォームを約２３０℃で加熱し、プリフォームを延伸倍率略１００００倍で長手方向に延伸し、長さ２００ｍｍ、縦０．５ｍｍ横０．３ｍｍの長方形の横断面を有する延伸体を得た。この延伸体の長手方向に垂直な面で切断し、１つの光入射部位及び２つの光出射部位からなるＹ分岐の光導波路を有する厚さ０．２ｍｍの光回路を作成した。片面にクラッド層を有する２枚の保護薄片（厚さ０．１５ｍｍ）を用いて、この光回路をクラッド層で挟むように積層し、Ｙ分岐の光導波路を有する積層光回路を作成した。この積層光回路の光入射部位から入射した光が、積層光回路の２つの光出射部位から出射したことを確認した。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の第１の実施形態の光回路製造工程を示す説明図である。
【図２】図１で示す各工程における成形体を示す説明図である。
【図３】加熱延伸工程で用いられる加熱延伸装置の概要を示す説明図である。
【図４】（Ａ）はクラッド層を有するコア部材の概要を示す斜視図である。（Ｂ）は、コア層を有するクラッド部材、（Ｃ）は、クラッド層を有する保護部材、（Ｄ）は保護層を有するクラッド部材の概要を示す斜視図である。
【図５】（Ａ）は、直線のみから形成される光導波路を有する光回路の概要を示す斜視図である。（Ｂ）は、曲線のみから形成される光導波路を有する光回路の概要を示す斜視図である。
【図６】本発明の第２の実施形態の光回路製造工程を示す説明図である。
【図７】積層工程の概要を示す斜視図である。
【図８】図７に示す面方向の光導波路を有する積層光回路のVIII−VIII’線断面図である。
【図９】厚み方向の光導波路を有する積層光回路の係る積層工程の概要を示す斜視図である。
【図１０】図９に示す厚み方向の光導波路を有する積層光回路のX−X’線断面図である。
【図１１】電極部材を有するクラッド部材及びコア部材から形成されるプリフォームの概要を示す斜視図である。
【図１２】図１１のプリフォームに加熱延伸工程、切断工程の各処理を施して、得られる電極部付の光回路の概要を示す斜視図である。
【図１３】電極部付の積層光回路に係る積層工程の概要を示す斜視図である。
【図１４】図１３に示す電極部付の積層光回路のXIV−XIV’線断面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１０、６０  光回路製造工程
１１、６１  コア部材製造工程
１２、４０、６２、８６ｃ  コア部材
１３、６３  クラッド部材製造工程
１４、４１、４２ｂ、４３、６４、８６ａ、８６ｂ  クラッド部材
１５、６５  保護部材製造工程
１６、４２、６６  保護部材
１７、６７  プリフォーム製造工程
１８、６８、８６  プリフォーム
１９、６９  加熱延伸工程
２０、７０  延伸体
２１、７１  切断工程
２２、４７、４９、７２、７２ａ、８０〜８２、８７、９２  光回路
２３ａ〜２３ｃ、３０ａ〜３０ｃ  ４７ａ、４７ｂ、４９ａ、４９ｂ  光入出射部位
２３ｄ、３０、４７ｃ、４９ｃ、８０ａ〜８２ａ、８８、９４  光導波路
２４  コア部
２５  クラッド部
２６  保護層
３６  線径モニタ
４０ａ  クラッド層
４１ａ  コア層
４２ａ  クラッド層
４３ａ  保護層
７３  積層工程
７４、７５、９１、９３  クラッド薄片
７６、８４、９０  積層光回路
７２ｂ、７２ｃ  露出面
８５ａ、８５ｂ  電極部材
８７ａ、８７ｂ、９１ａ，９３ａ  電極部
【図１】
2007127707.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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