(57)【要約】【課題】本発明の目的は、前駆体を連続露光部においてロール幅方向で蛇行させないで安定に搬送し、全体の生産性の高い導電性パターンの形成装置を提供すること。【解決手段】基材上に少なくとも物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順に有する前駆体を搬送させながら、露光処理、現像処理、およびハロゲン化銀乳剤層の除去処理を施して、基材上に金属銀からなる導電性パターンを形成する装置であって、ロール状の該前駆体の巻き出し部と、該前駆体を搬送しながら露光する連続露光部と、ニップローラ対またはサクションローラのいずれかの該前駆体を牽引する手段と、現像処理部と、該前駆体のハロゲン化銀乳剤層を除去するための水洗処理部と、乾燥部と、乾燥された前駆体をロール状に巻き取るための巻き取り部と、を有することを特徴とする導電性パターンの形成装置を提供する。【選択図】  図１
2007207646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に少なくとも物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順に有する前駆体を搬送させながら、露光処理、現像処理、およびハロゲン化銀乳剤層の除去処理を施して、基材上に金属銀からなる導電性パターンを形成する装置であって、ロール状の該前駆体の巻き出し部と、該前駆体を搬送しながら露光する連続露光部と、ニップローラ対またはサクションローラのいずれかの該前駆体を牽引する手段と、現像処理部と、該前駆体のハロゲン化銀乳剤層を除去するための水洗処理部と、乾燥部と、乾燥された前駆体をロール状に巻き取るための巻き取り部と、を有することを特徴とする導電性パターンの形成装置。
【請求項２】
請求項１記載の連続露光部が、透明円筒体と、該透明円筒体の内周面または外周面に配設されたマスクパターンと、該透明円筒体の内部に配置された露光源と、該露光源から発せられる光を規制する遮光部材と、該透明円筒体の外周に前記前駆体を密着させる密着機構とで構成されている導電性パターンの形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基材上に金属銀からなる導電性パターンを形成するための処理装置に関する。更に詳細には、透明基材上に導電性パターン（例えば格子状のパターン）が形成された、電磁波シールドフィルムやタッチパネル等に用いることができる透明導電性フィルムの処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報化社会が急速に発達するに伴って、情報関連機器に関する技術が急速に進歩し普及してきた。この中で、ディスプレイ装置は、テレビジョン用、パーソナルコンピューター用、駅や空港などの案内表示用、その他各種情報提供用に用いられている。特に、近年プラズマディスプレイが注目されている。
【０００３】
このような情報化社会の中にあって、これらのディスプレイ装置から放射される電磁波の影響が心配されている。例えば、周辺の電子機器への影響や人体への影響が考えられている。特に、人体の健康に及ぼす影響は無視することができないものになっており、人体に照射される電磁界の強度の低減が求められ、このような要求に対して様々の透明導電性フィルム（電磁波シールドフィルム）が開発されている。例えば、特開平９−５３０３０号、同平１１−１２６０２４号、特開２０００−２９４９８０号、同２０００−３５７４１４号、同２０００−３２９９３４号、同２００１−３８８４３号、同２００１−４７５４９号、同２００１−５１６１０号、同２００１−５７１１０号、同２００１−６０４１６号公報等に開示されている。
【０００４】
これらの透明導電性フィルムの製造方法としては、銀、銅、ニッケル、インジウム等の導電性金属をスパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、真空蒸着法、湿式塗工法によって透明樹脂フィルム上に金属薄膜を形成させる方法が一般的に用いられている。近年、透明導電性フィルムの需要が拡大する中にあって、低コストで生産性が高い製造方法が求められている。
【０００５】
上述の事情に鑑み、現像処理によって物理現像核層に金属銀を析出させて導電性パターンを形成する方法（銀錯塩拡散転写法）が、特公昭４２−２３７４５号公報（特許文献１）、特開２００３−７７３５０号公報（特許文献２）に開示されている。更に、金属銀からなる導電性パターンを触媒として金属メッキすることが国際公開第２００４／００７８１０号パンフレット（特許文献３）に開示されている。これらの方法では、導電性パターンを形成するために用いられる元の材料（前駆体という）をロールの形態で準備し、これを露光、現像処理した後ロール状に巻き取るいわゆるロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ−ｔｏ−ｒｏｌｌ）で連続処理できるので生産性が向上する。
【０００６】
上記銀錯塩拡散転写法では、前記前駆体を現像する前に像様に露光処理を行っている。露光方法としては、露光以降の処理と接続して１ラインで処理することが、装置のコンパクト化、処理時間の短縮の観点から好ましく、ロール状の前駆体（以降前駆体ロールと称す）の搬送を停止させることなく露光処理が行える連続露光方式が有用に利用できる。その様な連続露光装置としては、例えば各種レーザー光を利用した平面走査型の露光装置や、実開平０５−０４５６９５号公報に記載される露光ユニットが原稿をスリット状に走査して露光する複写カメラの露光装置を利用することができ、その他には内周面または外周面にマスクパターンが描画された透明円筒体を前駆体ロールの搬送速度に同期させ、該透明円筒体の内部から露光を行う装置が、特開平２−２９３７５４号、特開２０００−３５６７７号、特開２０００−７５４９７号公報（特許文献４〜６）等に開示されている。
【０００７】
本発明が対象とする銀塩拡散転写法を利用した前駆体を、現像処理して導電性パターンを形成する場合、該導電性パターンを安定に基材（プラスチックフィルム等）に現像定着させるために、現像処理中は、ロール等の固形物を導電性パターンが形成される側の膜面に接触させてはならず、また現像処理部以降の水洗、乾燥部においても、ロール等の固形物を導電性パターンが形成される側の膜面に強く接触させないことが好ましく、更には非接触がより好ましい。
【０００８】
しかしながら、現像から乾燥までの工程で、前記前駆体を強く保持しながら搬送させる手段が用いられていないと、該前駆体の基材の製造方法（押出、延伸）に由来する両端部の長さの違いや、該両端部の張力差の影響により、該前駆体が現像処理工程以降で蛇行し易くなり、ロール状に巻き取る際にロールの幅方向への巻きズレが生じる。また、該前駆体の蛇行は、該前駆体の搬送経路が長くなるにつれて大きくなる。したがって、上記銀錯塩拡散転写法を用いた現像処理と、前述した連続露光を連続して行なう場合、前記前駆体のロール幅方向の蛇行が大きくなる。
【０００９】
前述のように該前駆体をロール・ツー・ロールで露光、現像処理を連続して行う場合には、上記蛇行は全体の生産効率を著しく低下させる。すなわち現像処理工程以降で発生する蛇行は、該前駆体の処理長さが長くなるに伴い、より大きくなり、やがては現像処理工程の前工程である露光工程まで、その影響がおよぶ。これにより、連続露光部で連続露光される画像パターンのロール幅方向の位置が定まらず、出来上がった導電性パターンをシート状に切り出す工程が複雑になる。また、最悪の場合、像様に露光されず、出来上がった導電性パターンに寸法の歪みが発生して製品不良となる。
【特許文献１】特公昭４２−２３７４５号公報
【特許文献２】特開２００３−７７３５０号公報
【特許文献３】国際公開第２００４／００７８１０号パンフレット
【特許文献４】特開平２−２９３７５４号公報
【特許文献５】特開２０００−３５６７７号公報
【特許文献６】特開２０００−７５４９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
したがって、本発明の目的は、前駆体が連続露光部においてロール幅方向で蛇行することなく安定に搬送され、全体の生産性の高い導電性パターンの形成装置を提供することである。詳しくは、少なくとも連続露光部はロール幅方向の蛇行がなく、現像処理部もロール幅方向の蛇行が少ない導電性パターンの形成装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の上記目的は、以下の発明によって基本的に達成された。
１）基材上に少なくとも物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順に有する前駆体を搬送させながら、露光処理、現像処理、およびハロゲン化銀乳剤層の除去処理を施して、基材上に金属銀からなる導電性パターンを形成する装置であって、ロール状の該前駆体の巻き出し部と、該前駆体を搬送しながら露光する連続露光部と、ニップローラ対またはサクションローラのいずれかの該前駆体を牽引する手段と、現像処理部と、該前駆体のハロゲン化銀乳剤層を除去するための水洗処理部と、乾燥部と、乾燥された前駆体をロール状に巻き取るための巻き取り部と、を有することを特徴とする導電性パターンの形成装置。２）上記１）記載の連続露光部が、透明円筒体と、該透明円筒体の内周面または外周面に配設されたマスクパターンと、該透明円筒体の内部に配置された露光源と、該露光源から発せられる光を規制する遮光部材と、該透明円筒体の外周に前記前駆体を密着させる密着機構とで構成されている導電性パターンの形成装置。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、連続露光部においてロール幅方向の蛇行がなく、現像処理部もロール幅方向の蛇行が少なく、全体の生産性の高い導電性パターンの形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の装置が対象とする導電性パターンを形成するために用いられる前駆体は、基材上に少なくとも物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順に有する。その様な前駆体としては、前記特許文献１〜３に開示されている前駆体等を挙げることができる。
【００１４】
本発明の装置は、ロール・ツウ・ロール（ｒｏｌｌ−ｔｏ−ｒｏｌｌ）で処理されるようにロール状の該前駆体の巻き出し部と、該前駆体を搬送しながら露光する連続露光部と、ニップローラ対またはサクションローラのいずれかの該前駆体を牽引する手段と、現像処理部と、該前駆体のハロゲン化銀乳剤層を除去するための水洗処理部と、乾燥部と、乾燥された前駆体をロール状に巻き取るための巻き取り部とを有する。ここで、ロール・ツー・ロールで処理するとは、ロール状に巻かれた前駆体Ｆ（以降、前駆体ロールという）を連続的に巻き出し、加工処理した後、再度ロール状に巻き取る方式である。
【００１５】
本発明の装置において、前駆体ロールは、連続露光部で像様に露光され、現像処理部で現像処理され、水洗処理部で不要なハロゲン化銀乳剤層が除去され、乾燥部で乾燥され、巻取り部で巻き取られる。その結果、基材上に導電性パターンが形成される。基材としてプラスチック樹脂フィルムのような透明基材を用いると透明導電性フィルムが得られる。透明導電性フィルムの場合は、金属銀からなる導電性パターン（例えば格子状パターン）を触媒として更に金属メッキを施すことによって更に導電性の高い透明導電性フィルムが得られる。必要に応じて乾燥部後に保護フィルム等を貼り合わせる工程を行なう貼り合わせ部が設けられる。
【００１６】
以下、本発明の好ましい装置の一例を図面を用いて詳細に説明する。図１は、本発明の導電性パターンの形成装置の一実施態様の概略側断面図であり、図２は、前駆体Ｆと透明円筒体１の動作を示す概略側断面図であり、図３（ａ）は密着ローラ４が透明円筒体１の方に押し付けられていない時の連続露光部１０の概略正面図であり、図３（ｂ）は密着ローラ４が透明円筒体１の方に押し付けられていない時の連続露光部１０の概略側面図であり、図３（ｃ）は密着ローラ４が透明円筒体１の方に押し付けられている時の連続露光部１０の概略正面図である。
【００１７】
図１の巻き出し部において、ロール状の前駆体１２は、巻き出し軸１１に装着され、矢印の方向に連続的に巻き出されて搬送される。ロール状の前駆体１２は、内巻き（乳剤層側面を内側にして巻き取られている）になっている。巻き出し軸１１には、張力制御手段１３（図１には符号なし）（例えば、パウダーブレーキ）が接続されており、連続露光部１０において、前駆体Ｆに加えられる張力が制御されている。張力制御手段１３は、連続露光部１０における前駆体Ｆの蛇行を抑制するために、前駆体Ｆに高い張力を加えており、４ｋｇｆ／ｍから１５ｋｇｆ／ｍの範囲が適当である。ロール状の前駆体１２には、最上巻きと最下巻きには、パターンの形成装置の搬送経路の全長に相当する長さのリードフィルムが設けられており、前駆体Ｆの製品部分は常に搬送速度および張力が制御された状態で搬送されるようになっている。
【００１８】
ロール状の前駆体１２から送り出された前駆体Ｆは、粘着性ローラ１５に接触されることよって、その表裏両面に付着した塵が粘着除去され後、連続露光部に送られる。そして、粘着性ローラ１５に付着した塵は図示しないクリーニング手段（例えば一周毎に表面を剥離可能な粘着性ローラ）で定期的に除去され、前駆体Ｆに塵が再付着するのを防いでいる。前駆体Ｆに付着した塵を除去出来れば他の方法でも良く、例えば吸引ノズルにより塵を吸引除去してもよい。
【００１９】
図１、図２、および図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、本発明のパターンの形成装置の連続露光部１０は、少なくとも透明円筒体１、露光源２、遮光部材３、密着ローラ４、軸受け５、バックアップローラ６、支持部材７、押し付けネジ８、搬送ローラ９ａ、および９ｂ、クリーニングローラ１６からなっている。そして、透明円筒体１の内周面または外周面に配設されたマスクパターン（図２では透明円筒体の外周面）に画像パターンＭが形成されている。画像パターンＭの形成方法としては、例えば、画像パターンＭが描画された透過原稿シートを透明円筒体１の外周に巻き付ける方法、透明円筒体１の内周面または外周面に画像パターンを直接描画する方法等がある。
【００２０】
図２に示すように、透明円筒体１の内部には露光源２、および遮光部材３が配置されている。露光源２は、透明円筒体１の軸方向に配置された線状の光源で透明円筒体１の内側から透明円筒体１の半径方向に光を照射する。露光源２としては、例えば前駆体の幅方向に線状に配置された高圧水銀灯、無電極電源、白色発光ダイオード等、および蛍光灯が用いられる。遮光部材３は、露光源２からの照射光を、透明円筒体１の側面の一部分のみに限定させるために、露光源２を覆っている。遮光部材３の内側は、露光源２の光を効率よく利用するために反射板になっている。従って遮光部材３としては、外面をつや消し黒色塗装した、光沢のある鉄板、アルミ板等が用いられるが、上記遮光性、反射性を有していれば他の部材を用いてもよい。
【００２１】
透明円筒体１は、搬送ローラ９ａ、および９ｂの上に回転自在に配置されている。前駆体Ｆは、搬送ローラ９ａの下側を通って、外周面に画像パターンＭが形成されている透明円筒体１の更に外周に巻き付けられ、搬送ローラ９ｂの下側を通って現像槽２０へ搬送される。そして、前駆体Ｆにかけられる張力により透明円筒体が、搬送ローラ９ａ、および９ｂに押し付けられ、前駆体Ｆの動きに合わせて透明円筒体が回転し、光が照射されている透明円筒体１の側面（図２においては範囲指定され露光部分と記載のある部分）で、前駆体Ｆに、画像パターンＭの像様に連続的に露光される。これにより、通常の間欠送り型の露光装置を用いた場合のように、パターンの露光時に前駆体Ｆを静止させる必要が無くなり、次の現像処理部へ連続的に前駆体Ｆを搬送できる。透明円筒体１としては、所望の波長の光が透過できればよく、例えばアクリル樹脂、ガラス等が用いられる。搬送ローラ９ａ、および９ｂは、前駆体Ｆが滑らず、また前駆体Ｆを傷つけない程度の面質であればよく、例えばニトリルゴム（ＮＢＲ）製のローラ等が用いられる。
【００２２】
透明円筒体１の周りには、図３に示すように、搬送ローラ９ａ、９ｂの他に、密着ローラ４、および粘着性ローラ１６が配置されている。図３（ａ）、および（ｂ）に示すように密着ローラ４は中央部が凸のクラウンローラになっており、その両端が軸受け５で軸支されている。透明円筒体１を挟んで対向する位置にバックアップローラ６があり、支持部材７に軸支されている。支持部材７には軸受け５を納めるスロットが切ってあり、軸受け５は、そのスロット内を透明円筒体１の半径方向に直動できる。また、支持部材７には、軸受け５を透明円筒体１の半径方向に押し付けるための押し付けネジ８が取り付けられている。軸受け５を、透明円筒体１の半径方向に押し付けることにより、密着ローラ４が透明円筒体１に押し付けられる機構になっている。従って、押し付けネジ８のねじ込み量を加減することにより、密着ローラ４が透明円筒体１に押し付けられる量が加減される。
【００２３】
密着ローラ４は、少なくとも密着ローラ４の直径が最大となる位置（概ねローラ面長の中央部であり、透明円筒体１の中央部）が透明円筒体１に接触する位置まで押し付ける必要があり、その状態を図３（ａ）に示す。そして、密着ローラ４の押し付け量を増やすことにより、密着ローラ４と透明円筒体１の接触量が透明円筒体１の両幅方向に増え、その状態を図３（ｃ）に示す。上記押し付け機構は、透明円筒体１の周りに複数設けられており、任意の押し付け量で押し付けられているが、前駆体Ｆの搬送方向の上流側から順次、押し付け量を増やすことにより、透明円筒体１と前駆体Ｆの間に残存する空気を透明円筒体１の中央部から両幅方向に逃がすことができ、透明円筒体１と前駆体Ｆの密着性を向上できるので好ましい。上記押し付け機構は、密着ローラ４を透明円筒体１に、透明円筒体１の半径方向に任意の押し付け量で押し付けられればよく、例えば、密着ローラ４の両端をエアシリンダ等で押し付けてもよい。
【００２４】
透明円筒体１の外周における前駆体Ｆが巻かれていない部分には、粘着性ローラ１６が接触配置されており、透明円筒体１、および画像パターンＭに付着した塵を除去している。そして、上述の粘着性ローラ１５に用いられている物と同様のクリーニング機構が付いている。
【００２５】
図１に示すように、ロール状の前駆体１２、粘着性ローラ１５、および露光部１０は、無塵箱（クリーンボックス）１７に覆われているのが好ましい。無塵箱１７には、図示しない送風機とＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ）フィルタが取り付けられており、清浄な空気が送り込まれて無塵箱１７内部は陽圧に保たれ、前駆体Ｆが無塵箱１７から排出される部分にはエアーカーテン（図示せず）が設けれて外部から塵が混入するのを防いでいる。
【００２６】
露光処理された前駆体Ｆは、本発明の特徴であるニップローラ対またはサクションローラのいずれかの該前駆体を牽引する手段を通って現像処理部へ搬送される。なお、図１において、ニップローラ対またはサクションローラのいずれかの該前駆体を牽引する手段は、無塵箱１７の外部に配置されているが、必要に応じて無塵箱１７の内部に収納してもよい。図１においては、ニップローラ対１８が使用されており、ニップローラ対１８によって前駆体Ｆが挟時されることにより、前駆体Ｆがニップローラ対１８のロール幅方向にずれて蛇行するのを防止している。連続露光部１０と現像処理部の間にニップローラ対１８を取り付けることにより、現像処理以降で発生する前駆体Ｆのロール幅方向の蛇行が、連続露光部に伝わらず、連続露光される画像パターンのロール幅方向の位置が一定になる。図１において、ニップローラ対１８は１対であるが、複数用いてもよい。ニップローラ対１８に加えられる圧力は、０．１ＭＰａから１ＭＰａの範囲が適当であり、好ましくは０．２ＭＰａから０．６ＭＰａの範囲である。ニップローラ対１８を用いることにより、少なくとも連続露光部でのロール幅方向の蛇行が防止され、現像処理部以降も蛇行が少ないパターンの形成装置が提供される。このことにより全体の生産性が高い導電性パターンの形成装置を提供することができる。また、前駆体Ｆを牽引する手段として、サクションローラを用いると、ロール状の前駆体１２が柔らかく巻かれていても、サクションローラにてブレーキ張力を掛けることが可能であり、さらに滑り易い前駆体Ｆでも安定した張力バランスを得ることができる。
【００２７】
前駆体Ｆが搬送されて現像槽２０に入る前に、前駆体Ｆは反転ローラ２１で搬送方向が反転される。この反転ローラ２１と後述の反転ローラ２２によって、現像槽中で乳剤層側面は非接触の状態で搬送される。現像槽２０は、図１に示すように縦長で薄型の槽が好ましく、槽内の下部に設けられている反転ローラ２２で前駆体Ｆの裏面を支持しながら搬送方向を反転させることによって、小さい設置スペースで現像時間（現像液に浸漬している時間）を稼ぐことができる。
【００２８】
現像槽２０の容量は、前駆体Ｆの幅寸法によっても異なるが、通常３０〜５０リットル程度が適当である。現像槽２０には現像液２３がほぼ満杯に貯留されており、現像処理によって消費された現像液は、図示しない補充装置で補充されるようになっている。現像槽２０は、図示しない恒温装置で所望の温度範囲に温度調節されるようになっている。本発明において、現像開始時点とは、現像槽２０の現像液２３に前駆体Ｆが浸入した時点である。従って、反転ローラ２１が現像開始前に接触する最後の固体物（ローラ）であり、後述するローラ対４２までは、前駆体Ｆの乳剤層側面は非接触で搬送される。
【００２９】
現像槽２０から搬出された前駆体Ｆは、空中現像部２４で引き続き現像され、水洗処理部３０に搬送される。水洗処理部３０において、前駆体Ｆは、まず、シャワーノズル３１から噴出された温水により、物理現像核層の上の層（ハロゲン化銀乳剤層および必要に応じて設けられる中間層や保護層等）が水洗除去されて、物理現像核に析出した金属銀が露出する。次に、シャワーノズル４１から噴出された温純水により、シャワーノズル３１から噴出される温水で除去しきれなかった不要成分を完全に除去する。シャワーノズル３１とシャワーノズル４１の間には、エアナイフ３２が取り付けられており、シャワーノズル３１から噴出される温水が下流側に流れ込まないようにしている。前駆体Ｆの裏面側にもシャワーノズル３１、シャワーノズル４１が設けられており、裏塗り層を水洗除去するようになっている。
【００３０】
シャワーノズル３１から噴出される温水は、第一水洗槽３３に貯留されており、循環ポンプ３５によって、シャワーノズル３１に供給される。第一水洗槽３３の容量は、３０〜５０リットル程度が適当である。温水の配管経路にはフィルタ３４が設置されており、温水中に浮遊している銀スラッジ等の浮遊物を除去している。第一水洗槽３３には図示しないヒーターが取り付けられており、３５〜４０℃程度に温調されている。
【００３１】
シャワーノズル４１から噴出される温純水は、図示しない温純水タンクより供給され、前駆体Ｆの水洗に使用された後、第二水洗槽４３に貯溜される。第二水洗槽４３の容量は、３０〜５０リットル程度が適当である。第二水洗槽４３には、循環ポンプ４５、フィルタ４４、および図示しないヒーターが取り付けられており、ヒーターで加温できる程度の温水が貯溜されると、温水を第二水洗槽４３内で循環しながら加温する。そして、フィルタ４４で浮遊物を除去している。
【００３２】
第二水洗槽４３にはオーバーフロー口が設けられており、一定量温水が貯留されるとオーバーフローし、第一水洗槽３３に補充される。そして、第一水洗槽３３にもオーバーフロー口が設けられており、オーバーフローした温水は、廃液タンクへ回収される。第二水洗槽４３に貯留された温水を第一水洗槽３３の補充液にすることにより、補充液の省液化を行っている。
【００３３】
不要成分が水洗除去された前駆体Ｆは、ローラ対４２を経て、乾燥部５０で乾燥され、巻き取り軸６１でロール状に巻き取られる。ローラ対４２は、前駆体Ｆに付着した余分の水分を乾燥部５０に持ち込まないために取り付けられている。ローラ対４２は、スポンジ状の柔らかいローラであり、狭持力は弱い。ローラ対４２に加えられる圧力は、０．０５ＭＰａから０．５ＭＰａの範囲が適当であり、好ましくは０．０５ＭＰａから０．２ＭＰａの範囲である。
【００３４】
乾燥部５０には、温風乾燥機５１が設置されており、温風によって前駆体Ｆを乾燥させる。乾燥温度としては、３０℃以上であればよいが、生産性の観点から、４０〜８０℃が適当であり、好ましくは５０〜６５℃が適当である。巻き取り軸６１には、該軸を駆動回転できる張力制御手段６３（例えば、トルクモータ）が取り付けられている。張力制御手段６３は、現像部２０以降の前駆体Ｆの蛇行を抑制するために、前駆体Ｆに高い張力を加えており、４ｋｇｆ／ｍから１５ｋｇｆ／ｍの範囲が適当である。符号６２は、導電性パターンが形成された基材がロール状に巻き取られたものである。
【００３５】
次に本発明における前駆体Ｆについて詳しく説明する。前駆体Ｆは、基材上に少なくとも物理現像核層およびハロゲン化銀乳剤層をこの順で有する。さらには、非感光性層を基材から最も遠い最外層（保護層）および／又は物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層の間（中間層）に有していても良い。非感光性層は、親水性ポリマーを主たるバインダーとする層である。ここでいう親水性ポリマーとは、後述するアルカリ処理液で容易に膨潤し、下層のハロゲン化銀乳剤層までアルカリ処理液を容易に浸透させるものであれば任意のものが選択できる。
【００３６】
具体的には、ゼラチン、アルブミン、カゼイン、ポリビニルアルコール等を用いることができる。特に好ましい親水性バインダーは、ゼラチン、アルブミン、カゼイン等のタンパク質である。本発明の効果を十分に得るためには、この非感光性層のバインダー量としては、ハロゲン化銀乳剤層の総バインダー量に対して２０質量％〜１００質量％の範囲が好ましく、特に３０質量％〜８０質量％が好ましい。
【００３７】
この非感光性層には、必要に応じて写真業界では公知の界面活性剤、ポリマーラテックス、マット剤、滑り剤、などを含有してもよい。また後述するように、セーフライト耐性向上のために染料を含有させることは好ましい。さらに、処理後のハロゲン化銀乳剤層の剥離を妨げない限りにおいて、架橋剤により硬膜させることも可能である。
【００３８】
前駆体における物理現像核層の物理現像核としては、重金属あるいはその硫化物からなる微粒子（粒子サイズは１〜数十ｎｍ程度）が用いられる。例えば、金、銀等のコロイド、パラジウム、亜鉛等の水溶性塩と硫化物を混合した金属流化物等が挙げられる。これらの物理現像核の微粒子層は、真空蒸着法、カソードスパッタリング法、コーティング法によってプラスチック樹脂フィルム上に設けることができる。生産効率の面からコーティング法が好ましく用いられる。物理現像核層における物理現像核の含有量は、固形分で１平方メートル当たり０．１〜１０ｍｇ程度が適当である。
【００３９】
物理現像核層には、親水性バインダーを含有してもよい。親水性バインダー量は物理現像核に対して１０〜５００質量％程度が好ましい。親水性バインダーとしては、ゼラチン、アラビアゴム、セルロース、アルブミン、カゼイン、アルギン酸ナトリウム、各種デンプン、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、アクリルアミドとビニルイミダゾールの共重合体等を用いることができる。好ましい親水性バインダーは、ゼラチン、アルブミン、カゼイン等のタンパク質である。
【００４０】
基材としてプラスチック樹脂フィルムを用いる場合は、基材と物理現像核層との間にタンパク質からなるベース層（タンパク質含有ベース層；以降、単にベース層と云う）を有することは好ましい。基材とベース層の間には、更に塩化ビニリデンやポリウレタン等の易接着層を有することは好ましい。ベース層に用いられるタンパク質としては、ゼラチン、アルブミン、カゼインあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。ベース層におけるタンパク質の含有量は１平方メートル当たり１０〜３００ｍｇが好ましい。
【００４１】
物理現像核層には、例えばクロム明ばんのような無機化合物、ホルマリン、グリオキザール、マレアルデヒド、グルタルアルデヒドのようなアルデヒド類、尿素やエチレン尿素等のＮ−メチロール化合物、ムコクロル酸、２，３−ジヒドロキシ−１，４−ジオキサンの様なアルデヒド類、２，４−ジクロロ−６−ヒドロキシ−ｓ−トリアジン塩や、２，４−ジヒドロキシ−６−クロロートリアジン塩のような活性ハロゲンを有する化合物、ジビニルスルホン、ジビニルケトンやＮ，Ｎ，Ｎ−トリアクロイルヘキサヒドロトリアジン、活性な三員環であるエチレンイミノ基やエポキシ基を分子中に二個以上有する化合物類、高分子硬膜剤としてのジアルデヒド澱粉等の種々タンパク質の架橋剤（硬膜剤）の一種もしくは二種以上を含有することは好ましい。これらの架橋剤の中でも、好ましくは、グリオキザール、グルタルアルデヒド、３−メチルグルタルアルデヒド、サクシンアルデヒド、アジポアルデヒド等のジアルデヒド類であり、より好ましい架橋剤は、グルタルアルデヒドである。架橋剤は、ベース層および物理現像核層に含まれる合計のタンパク質に対して０．１〜３０質量％を物理現像核層に含有させるのが好ましく、特に１〜２０質量％が好ましい。
【００４２】
物理現像核層やベース層の塗布には、例えばディップコーティング、スライドコーティング、カーテンコーティング、バーコーティング、エアーナイフコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティング、スプレーコーティングなどの塗布方式で塗布することができる。
【００４３】
前駆体のハロゲン化銀乳剤層に用いられるハロゲン化銀乳剤粒子の形成には、順混合、逆混合、同時混合等の、当業界では周知の方法が用いられる。なかでも同時混合法の１種で、粒子形成される液相中のｐＡｇを一定に保ついわゆるコントロールドダブルジェット法を用いることが、粒径のそろったハロゲン化銀乳剤粒子が得られる点において好ましい。本発明においては、好ましいハロゲン化銀乳剤粒子の平均粒径は０．２５μｍ以下、特に好ましくは０．０５〜０．２μｍである。本発明に用いられるハロゲン化銀乳剤のハロゲン化物組成には好ましい範囲が存在し、塩化物を８０モル％以上含有するのが好ましく、特に９０モル％以上が塩化物であることが特に好ましい。
【００４４】
ハロゲン化銀乳剤は、必要に応じて粒子の形成あるいは物理熟成の過程において、亜硫酸塩、鉛塩、タリウム塩、ロジウム塩もしくはその錯塩、イリジウム塩もしくはその錯塩を共存させても良い。また、種々の化学増感剤によって増感することができ、イオウ増感法、セレン増感法、貴金属増感法など当業界で一般的な方法を、単独、あるいは組み合わせて用いることができる。
【００４５】
また前駆体のハロゲン化銀乳剤層に含有するハロゲン化銀量とゼラチン量の比率は、ハロゲン化銀（銀換算）とゼラチンとの質量比（銀／ゼラチン）が１．２以上、より好ましくは１．５以上である。
【００４６】
前駆体の各層には、さらに種々の目的のために、公知の写真用添加剤を用いることができる。これらは、Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ  Ｉｔｅｍ  １７６４３（１９７８年１２月）および１８７１６（１９７９年１１月）３０８１１９（１９８９年１２月）に記載、あるいは引用された文献に記載されている。
【００４７】
前駆体に用いられる基材としては、例えばポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリイミド樹脂、セロハン、セルロイド等のプラスチック樹脂フィルムが挙げられる。
【００４８】
次に、現像処理に用いられる現像液について詳しく説明する。現像液は可溶性銀錯塩形成剤および還元剤を含有するアルカリ液である。可溶性銀錯塩形成剤は、ハロゲン化銀を溶解し可溶性の銀錯塩を形成させる化合物であり、還元剤はこの可溶性銀錯塩を還元して物理現像核上に金属銀を析出させるための化合物である。
【００４９】
可溶性銀錯塩形成剤としては、チオ硫酸ナトリウムやチオ硫酸アンモニウムのようなチオ硫酸塩、チオシアン酸ナトリウムやチオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、オキサドリドン類、２−メルカプト安息香酸およびその誘導体、ウラシルのような環状イミド類、アルカノールアミン、ジアミン、特開平９−１７１２５７号公報に記載のメソイオン性化合物、ＵＳＰ５，２００，２９４に記載のようなチオエーテル類、５，５−ジアルキルヒダントイン類、アルキルスルホン類、他に、Ｔ．Ｈ．ジェームス編のザ・セオリー・オブ・ザ・フォトグラフィック・プロセス４版の４７４〜４７５項（１９７７年）に記載されている化合物が挙げられる。
【００５０】
これらのハロゲン化銀溶剤の中でも特に、アルカノールアミンが好ましい。アルカノールアミンを含有する現像液で処理することによって密度の高い金属銀が得られ、導電性が向上する。
【００５１】
アルカノールアミンとしては、例えば２−（２−アミノエチルアミノ）エタノールアミン、ジエタノールアミン、Ｎ−メチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン、エタノールアミン、４−アミノブタノール、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、３−アミノプロパノール、Ｎ，Ｎ−エチル−２，２'−イミノジエタノール、２−メチルアミノエタノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール等が挙げられる。
【００５２】
現像液においては、これらの可溶性銀錯塩形成剤を単独で、または複数組み合わせて使用することができる。
【００５３】
現像液に用いられる還元剤は写真現像の分野で公知の現像主薬を用いることができる。例えば、ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、クロルハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類、アスコルビン酸およびその誘導体、１−フェニル−４，４−ジメチル−３−ピラゾリドン、１−フェニル−３ピラゾリドン、１−フェニル−４−メチル−４−ヒドロキシメチル−３−ピラゾリドン等の３−ピラゾリドン類、パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、パラフェニレンジアミン等が挙げられる。本発明の処理液はこれらの還元剤を単独で、または複数組み合わせて使用することができる。
【００５４】
可溶性銀錯塩形成剤の含有量は、処理液１リットル当たり、０．００１〜５モルが好ましく、より好ましくは０．００５〜１モルの範囲である。還元剤の含有量は処理液１リットル当たり０．０１〜１モルが好ましく、より好ましくは０．０５〜１モルの範囲である。
【００５５】
現像液のｐＨは１０以上が好ましく、更に１１〜１４が好ましい。所望のｐＨに調整するために、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ剤、燐酸、炭酸などの緩衝剤を単独、または組み合わせて含有させる。また、本発明の処理液には、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸カリウム等の保恒剤を含むことが好ましい。
【００５６】
現像液には、臭化カリウム、臭化ナトリウムなどの臭化物を加えることができる。適量の臭化物の存在下で現像を行うと、現像により得られた金属銀の導電性が良化する。好ましい臭化物濃度は１×１０-4モル／Ｌ以上１×１０-2モル／Ｌ以下である。
【００５７】
現像液のカリウムイオン濃度は、処理液中の全アルカリ金属イオンの７０モル％以上であることが好ましい。カリウムイオンはいかなる形態および方法で供給されても良い。例えば、水酸化物塩、亜硫酸塩、炭酸塩、カルボン酸塩等として予め現像液に添加しておく方法が挙げられる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明の処理装置によって得られる導電性パターンは、電磁波シールドフィルムやタッチパネル等の用途に用いられる透明導電性フィルム等に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の処理装置の一例を示す概略側断面図
【図２】本発明の処理装置の前駆体Ｆと透明円筒体１の動作を示す概略側断面図
【図３】本発明の処理装置の露光部の概略図
【符号の説明】
【００６０】
１  透明円筒体
２  露光源
３  遮光部材
４  密着ローラ
１２  ロール状の前駆体
１３  張力制御手段
１８  ニップローラ対
１９  駆動モータ
２０  現像槽
３０  水洗処理部
５０  乾燥部
６２  巻き取りロール
６３  張力制御手段
Ｆ  前駆体
Ｍ  画像パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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