(57)【要約】【課題】液滴噴射装置において、ノズルの形成を容易にする。【解決手段】インクジェットヘッドの基材２５に複数のノズル列群を形成するには、まず、基材２５の１つのノズル列群が形成される位置の上方に、２列に配置された複数の孔５１ａが形成されたマスキング材５１及びレーザ照射源を配置する（マスキング材移動工程）。次に、マスキング材５１の上方からマスキング材５１に紫外線レーザを照射する（レーザ照射工程）。照射された紫外線レーザは孔５１ａを通過し、基材２５に照射される。基材２５の紫外線レーザが照射された部分には２列のノズル列からなり１つのノズル列群を構成する複数のノズル１５が一度に形成される。そして、マスキング材移動工程とレーザ照射工程とを繰り返し行うことにより基材２５に複数のノズル列群が形成される。【選択図】図８
2007118585.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルプレートの製造方法であって、
第１の方向に配列された複数のマスク孔によって複数のマスク孔列が形成され、第１の方向に直交する第２の方向に並んだ前記複数のマスク孔列によってマスク孔列群が形成されたマスキング材と、基材とを設ける工程と、
前記マスキング材を、前記基材の表面の所定の位置の上方に移動するマスキング材移動工程と、
前記マスキング材の前記基材と反対側から前記基材の前記表面にレーザを照射するレーザ照射工程を含み、前記基材に、第１の方向に列状に並んだ複数のノズルを有する複数のノズル列を、第２の方向に並べて形成された複数のノズル列群を形成するノズル列群形成工程とを含むノズルプレートの製造方法。
【請求項２】
前記マスキング材移動工程と前記ノズル列群形成工程とを繰り返し行うことにより前記複数のノズル列群を形成する請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項３】
前記ノズル列群形成工程において、紫外線レーザを用いて前記ノズル列群を形成する請求項１又は２に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項４】
前記マスキング材の前記マスク孔列群の第２方向の長さが２ｍｍ以下である請求項３に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項５】
前記ノズル列群形成工程は、
前記レーザ照射工程と、
次に、前記マスキング材を前記第１の方向に移動させてから前記レーザ照射工程を行う工程を１又は複数回繰り返す工程とを含み、
第１の方向について前記ノズル列群よりも長いノズル列群を形成する請求項１〜４のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項６】
前記基材がポリイミドである請求項１〜５のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
前記レーザがエキシマレーザである請求項１〜７のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項８】
前記マスキング材の前記マスク孔列群の第１方向の長さが２０ｍｍ以下である請求項３又は４に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項９】
前記マスキング材は、石英製のガラス基板及び前記ガラス基板の表面に形成されたクロム層を有し、前記マスク孔は前記クロム層に形成されている請求項１〜８のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１０】
前記各マスク孔列の前記マスク孔は、第１の方向ついて一定の間隔で形成され、
前記マスク孔列は、第１の方向について互いにずれて配置されている請求項１〜９のいずれかに記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１１】
前記マスク孔列は、隣接する前記マスク列と、第１の方向について、前記一定の間隔の１／４だけずれている請求項１０に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１２】
液滴噴射装置の製造方法であって、
第１の板材を設ける工程と、
第１の板材に複数の前記ノズルに対応して複数の圧力室を形成し、請求項１に記載のノズルプレートの製造方法により製造されたノズルプレートと第１の板材とを接合して、前記複数のノズル及びこれら複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が形成された流路ユニットを形成する工程と、
前記複数の圧力室を覆うように第２の板材を配置する工程と、
第２の板材の圧力室と反対側に圧電層を形成する工程と、
前記圧電層の前記圧力室と反対側の面において、前記複数の圧力室にそれぞれ対向して複数の個別電極を形成し、前記複数の個別電極から前記圧力室と対向しない領域までそれぞれ複数の第１接点を同じ方向に引き出す工程と、
前記圧電層の前記圧力室側の面において、前記複数の個別電極と対向する共通電極を形成する工程と、
複数の第２接点を有し、前記複数の個別電極にそれぞれ駆動電圧を供給する配線部材を、前記複数の第１接点にそれぞれ接続する工程とを含む液滴噴射装置の製造方法。
【請求項１３】
前記マスキング材移動工程と前記ノズル列群形成工程とを繰り返し行うことにより前記複数のノズル列群を形成する請求項１２に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項１４】
前記ノズル列群形成工程において、紫外線レーザを用いて前記ノズル列群を形成する請求項１２又は１３に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項１５】
前記マスキング材の前記マスク孔列群の第２方向の長さが２ｍｍ以下である請求項１２〜１４のいずれかに記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項１６】
前記基材がポリイミドである請求項１２〜１５のいずれかに記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項１７】
前記レーザがエキシマレーザである請求項１２〜１６のいずれかに記載の液滴噴射装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液滴を噴射する液滴噴射装置の製造方法、及び、液滴噴射装置を構成するノズルプレートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドにおいて、複数のノズルが所定の一方向にそれぞれ延びる複数の列を形成するように配置されたインクジェットヘッドがある。例えば、特許文献１に記載のインクジェットプリンタヘッド（インクジェットヘッド）では、合成樹脂材料からなるノズルプレートに、複数のノズルが一方向に沿って配列されることによって２つのノズル列が形成されており、２つのノズル列は互いに近接して配置されている。そして、これら複数のノズルは、エキシマレーザ、ＹＡＧレーザ、炭酸ガスレーザ等によるレーザ加工により形成されている。
【特許文献１】特開２００３−２５１８１１号（図１１、図１２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいて、レーザ加工によりノズルを１つずつ個別に形成していくと、ノズルを形成するのに手間がかかる。そして、各ノズル列に含まれるノズルの数及び／又はノズル列の数が多くなるほど、ノズルを形成する手間がかかる。
【０００４】
本発明の目的は、製造工程が簡単な液滴噴射装置の製造方法、製造工程が簡単なノズルプレートの製造方法、製造が容易なノズルプレート、及び、製造が容易な液滴噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００５】
本発明の第１の態様に従えば、ノズルプレートの製造方法であって、第１の方向に配列された複数のマスク孔によって複数のマスク孔列が形成され、第１の方向に直交する第２の方向に並んだ前記複数のマスク孔列によってマスク孔列群が形成されたマスキング材と、基材とを設ける工程と、前記マスキング材を、前記基材の表面の所定の位置の上方に移動するマスキング材移動工程と、
前記マスキング材の前記基材と反対側から前記基材の前記表面にレーザを照射するレーザ照射工程を含み、前記基材に、第１の方向に列状に並んだ複数のノズルを有する複数のノズル列を、第２の方向に並べて形成された複数のノズル列群を形成するノズル列群形成工程とを含むノズルプレートの製造方法が提供される。
【０００６】
これによると、ノズル列群形成工程により、１つのノズル列群に含まれる複数のノズル列が同時に形成される。そのため、列状に並んだ複数のノズルを有する複数のノズル列を、列方向と直交する方向に並べて形成されたノズル列群を備えるノズルプレートを容易に形成できる。
【０００７】
本発明のノズルプレートの製造方法において、前記マスキング材移動工程と前記ノズル列群形成工程とを繰り返し行うことにより前記複数のノズル列群を形成してもよい。この場合には、マスキング材移動工程とノズル列群形成工程とを繰り返し行うことによって、複数のノズル列群を効率よく形成することができる。そのため、ノズル列群を容易に形成できる。
【０００８】
本発明のノズルプレートの製造方法では、前記ノズル列群形成工程において、紫外線レーザを用いて前記ノズル列群を形成してもよい。これによると、紫外線レーザを用いることにより比較的広い領域に、均一なエネルギー密度でレーザの照射を行うことができるので、レーザ照射工程においてノズル列群に含まれる複数のノズル列を精度よく形成することができる。
【０００９】
本発明のノズルプレートの製造方法において、前記マスキング材の前記マスク孔列群の第２方向の長さが２ｍｍ以下であってもよい。あるいは、前記マスキング材の前記マスク孔列群の第１方向の長さが２０ｍｍ以下であってもよい。これら場合には、マスキング材の複数のマスク孔列のマスク孔に対してほぼ均一なエネルギー密度でレーザが照射されるため、ノズル列群を精度よく形成することができる。
【００１０】
本発明のノズルプレートの製造方法において、前記ノズル列群形成工程は、前記レーザ照射工程と、次に、前記マスキング材を前記第１の方向に移動させてから前記レーザ照射工程を行う工程を１又は複数回繰り返す工程とを含み、第１の方向について前記ノズル列群よりも長いノズル列群を形成してもよい。この場合には、第１の方向に関して、レーザを均一なエネルギー密度で照射可能なある限界の長さよりも長いノズル列群を形成する場合、即ち、１回のレーザ照射工程では、そのような長いノズル列群全体を一度に形成することができない場合であっても、ノズル列群形成工程においてノズル列群を容易に形成することができる。
【００１１】
本発明のノズルプレートの製造方法において、前記基材がポリイミドであってもよい。この場合には、基材の加工が容易であり、特にレーザ照射工程において容易にノズルを形成できる。
【００１２】
本発明のノズルプレートの製造方法において、前記レーザがエキシマレーザであってもよい。この場合には、エネルギー密度の高い紫外線レーザを基材に照射することができるため、基材の加工が容易となる。
【００１３】
本発明のノズルプレートの製造方法において、前記マスキング材は、石英製のガラス基板及び前記ガラス基板の表面に形成されたクロム層を有し、前記マスク孔は前記クロム層に形成されていてもよい。この場合には、フォトリソグラフィによってマスク孔を精度よく形成できる。
【００１４】
本発明のノズルプレートの製造方法において、前記各マスク孔列の前記マスク孔は、第１の方向ついて一定の間隔で形成され、前記マスク孔列は、第１の方向について互いにずれて配置されていてもよい。この場合には、第１の方向について、高密度に配置されたノズルを形成できる。
【００１５】
本発明のノズルプレートの製造方法において、前記マスク孔列は、第１の方向について、隣接する前記マスク列と前記一定の間隔の１／４だけずれていてもよい。この場合には、第１の方向について、高密度に配置され、且つ、等間隔に配置されたノズルを形成できる。
【００１６】
本発明の第２の態様に従えば、第１の板材を設ける工程と、第１の板材に複数の前記ノズルに対応して複数の圧力室を形成し、本発明のノズルプレートの製造方法により製造されたノズルプレートと第１の板材とを接合して、前記複数のノズル及びこれら複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が形成された流路ユニットを形成する工程と、前記複数の圧力室を覆うように第２の板材を配置する工程と、第２の板材の圧力室と反対側に圧電層を形成する工程と、前記圧電層の前記圧力室と反対側の面において、前記複数の圧力室にそれぞれ対向して複数の個別電極を形成し、前記複数の個別電極から前記圧力室と対向しない領域までそれぞれ複数の第１接点を同じ方向に引き出す工程と、前記圧電層の前記圧力室側の面において、前記複数の個別電極と対向する共通電極を形成する工程と、複数の第２接点を有し、前記複数の個別電極にそれぞれ駆動電圧を供給する配線部材を、前記複数の第１接点にそれぞれ接続する工程とを含む液滴噴射装置の製造方法が提供される。
【００１７】
この場合には、複数の個別電極の第１接点が全て同じ方向に引き出されているため、第１接点の間隔が局所的に小さくなることはない。そのため、第１接点に対応して設けられる配線部材の第２接点や配線パターンが局所的に密集して配置されるのを避けることができ、配線部材の製造コストを下げることが可能となる。また、個別電極の第１接点と配線部材の第２接点との接続が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施の形態は、本発明をノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドの製造に適用した一例である。
【００１９】
図１は、本実施の形態に係るインクジェットプリンタの概略斜視図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、走査方向（図１の左右方向）に移動可能なキャリッジ２、キャリッジ２に取り付けられ、記録用紙Ｐにインクを噴射するシリアル式のインクジェットヘッド３、記録用紙Ｐを図１の前方（紙送り方向）に搬送する用紙搬送ローラ４を備えている。インクジェットヘッド３はキャリッジ２と一体的に移動しつつ、キャリッジ２の下面のノズル１５（図２参照）からインクを噴射して記録用紙Ｐに印字する。また、インクジェットヘッド３により印字された記録用紙Ｐは、用紙搬送ローラ４によって紙送り方向に排出される。
【００２０】
次に、インクジェットヘッド３について図２〜図５を用いて説明する。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド３は、複数の圧力室１０をそれぞれ含む複数の個別インク流路が形成された流路ユニット３１と、流路ユニット３１の上面に配置され、圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ３２とを有する。
【００２１】
流路ユニット３１は、キャビティプレート２０、ベースプレート２１、マニホールドプレート２２及びノズルプレート２３を有し、これら４枚のプレート２０〜２３が積層状態で接合されている。このうち、ノズルプレート２３を除く３枚のプレート２０〜２２は、ステンレス鋼などの金属材料により構成されており、後述する圧力室１０、マニホールド流路１１などのインク流路がエッチングなどの方法より形成されている。また、ノズルプレート２３はポリイミド等の合成樹脂材料により構成されており、マニホールドプレート２２の下面に接着されている。
【００２２】
図２〜図４に示すように、キャビティプレート２０には、複数の圧力室１０が形成されており、複数の圧力室１０は紙送り方向（図２の上下方向）に配列された４列の圧力室列を形成している。各圧力室１０は、走査方向（図２の左右方向）に長い略長円形状となっている。ベースプレート２１には、平面視で、図２の左から１列目及び３列目の圧力室列に属する圧力室１０の長手方向の左端部に重なる位置、並びに、図２の左から２列目及び４列目の圧力室列に属する圧力室１０の長手方向の右端部に重なる位置に連通孔１２が形成されている。また、ベースプレート２１には、平面視で圧力室１０の長手方向の連通孔１２と反対側の端部に重なる位置に連通孔１３が形成されている。
【００２３】
マニホールドプレート２２には、紙送り方向に３つに分かれて延びたマニホールド流路１１が形成されている。これらのうち、図２の右端及び左端のマニホールド流路１１は、それぞれ平面視で図２の左から１列目の圧力室列に属する圧力室１０の略左半分及び４列目の圧力室列に属する圧力室１０の略右半分に重なるように配置されている。図２の中央のマニホールド流路１１は、平面視で図２の左から２列目の圧力室列に属する圧力室１０の略右半分と３列目の圧力室列に属する圧力室１０の略左半分とに重なるように配置されている。また、中央のマニホールド流路１１の幅は、両端の２つのマニホールド流路１１よりも大きい。そして、マニホールド流路１１には後述する振動板４０に形成されたインク供給口９からインクが供給される。また、マニホールドプレート２２には、平面視で連通孔１３と重なる領域に連通孔１４が形成されている。
【００２４】
ノズルプレート２３には、平面視で連通孔１４と重なる領域に複数のノズル１５が形成されている。複数のノズル１５は紙送り方向（図５の上下方向、第１の方向）に間隔Ｐで配列されて４列のノズル列１６ａ〜１６ｄを形成している。さらに、ノズル列１６ａとノズル列１６ｂ、及び、ノズル列１６ｃとノズル列１６ｄとは走査方向（図５の左右方向、第２の方向）に関して互いに近接して配置されており、それぞれ、ノズル列群１７ａ及びノズル列群１７ｂを形成している。また、図５に示すように、ノズル列１６ａに含まれる複数のノズル１５及びノズル列１６ｂに含まれる複数のノズル１５と、ノズル列１６ｃに含まれる複数のノズル１５及びノズル列１６ｄに含まれる複数のノズル１５とは、それぞれ紙送り方向に関してＰ／４だけずれて配置されている。加えて、図５に示すように、隣接するノズル列群１７ａとノズル列群１７ｂとは走査方向に関して互いに離隔して配置され、ノズル列群１７ａ、１７ｂに含まれる複数のノズル１５は、紙送り方向に関して互いにＰ／２だけずれて配置されている。このように、紙送り方向に関してＰ／４毎のピッチでノズル１５が配置されることになるため、４列のノズル列間で、紙送り方向に関するノズル１５の位置が一致している場合と比べてノズル１５が紙送り方向に関して高密度に配置される。このような複数のノズル１５は、後述するように、ノズルプレート２３にエキシマレーザなどの紫外線レーザを照射することにより形成することができる。
【００２５】
そして、図３に示すように、マニホールド流路１１は、連通孔１２を介して圧力室１０にそれぞれ連通しており、圧力室１０は、連通孔１３、１４を介してノズル１５に連通している。このように、流路ユニット３１には、マニホールド流路１１から各圧力室１０を経て各ノズル１５に至る、複数の個別インク流路が形成されている。
【００２６】
次に、圧電アクチュエータ３２について説明する。圧電アクチュエータ３２は、流路ユニット３１の上面に配置された振動板４０と、振動板４０の上面に形成された圧電層４１と、圧電層４１の上面に複数の圧力室１０に対応してそれぞれ形成された複数の個別電極４２とを有する。
【００２７】
振動板４０は、平面視で略矩形状の板状体であり、例えば、ステンレス鋼などの鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金あるいはチタン系合金などからなる。振動板４０はキャビティプレート２０の上面に、複数の圧力室１０を覆うように配置され、キャビティプレート２０に接合されている。金属製の振動板４０は導電性を有し、個別電極４２との間に挟まれる圧電層４１に電界を作用させるための共通電極を兼ねており、常にグランド電位に保持されている。
【００２８】
図３、図４に示すように、振動板４０の上面には、チタン酸鉛とグルコン酸鉛との固溶体であるチタン酸グルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電層４１が形成されている。圧電層４１は複数の圧力室１０にわたって連続的に形成されている。圧電層４１は、例えば、非常に小さい圧電材料の粒子を、基板に吹き付けて高速で衝突させることにより基板の表面に堆積させるエアロゾルデポジション（ＡＤ法）により形成することができる。また、圧電層４１は、スパッタ法、化学蒸着（ＣＶＤ法）、ゾルゲル法、水熱合成法によっても形成することができる。あるいは、ＰＺＴのグリーンシートを焼成することによって得られる圧電シートを所定の大きさに切断し、振動板４０の上面に貼り付けることによっても形成することができる。
【００２９】
圧電層４１の上面には、平面視で複数の圧力室１０に重なる位置に、圧力室１０よりも一回り小さい略長円形状の複数の個別電極４２が形成されている。個別電極４２は、金、銅、銀、パラジウム、白金、チタンなどの導電性材料からなる。複数の個別電極４２の図２の左側の端部は、平面視で圧力室１０と重ならない領域まで、それぞれ同じ距離だけ引き出されており、この部分が接点（第１接点）４２ａを形成している。個別電極４２及び接点４２ａはスクリーン印刷、スパッタ法などにより形成される。
【００３０】
圧電アクチュエータ３２の上面には、図６に示すようなフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）（配線部材）４５が配置されている。ＦＰＣ４５には、平面視で接点４２ａと重なる部分に接点４２ａとの電気的接続を行う略矩形状の接点（第２接点）４６と、各接点４６から図６の左側に延びた配線４７とが形成されている。配線４７は図示しないドライバＩＣと電気的に接続されており、ドライバＩＣにより配線４７及び接点４６を介して個別電極４２の電位が制御される。つまり、ドライバＩＣにより、個別電極４２に対して駆動電圧が供給される。
【００３１】
ここで、接点４２ａは、各個別電極４２から同じ方向に同じ距離だけ引き出されている。図２に示すように、接点４２ａが均等に配置されているので、接点４２ａの間隔が局所的に狭く配置されることはない。したがって、図６に示すように、圧電アクチュエータ３２の上面に配置されるＦＰＣ４５において、接点４２ａに接続される接点４６及び／又は接点４６に接続される配線４７が、局所的に密集して配置されるのを避けることができ、ＦＰＣ４５の製造コストを下げることが可能となる。また、個別電極４２の接点４２ａとＦＰＣ４５の接点４６との接続も容易になる。
【００３２】
次に、インクジェットヘッド３の動作について説明する。ドライバＩＣにより選択的に個別電極４２に所定の電位が付与されると、所定の電位が付与された個別電極４２とグランド電位に保持された共通電極としての振動板４０との間に電位差が発生する。このとき、この個別電極４２の振動板４０との間に挟まれた部分の圧電層４１に、厚み方向の電界が作用する。このとき、圧電層４１の分極方向と電界の方向が同じである場合には、圧電層４１は厚み方向と直交する水平方向に関して収縮する。この圧電層４１の収縮に伴って、振動板４０が圧力室１０側に凸になるように変形し、圧力室１０の体積が減少する。これにより圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが噴射される。
【００３３】
次に、このようなインクジェットヘッド３の製造方法について図７〜図９を用いて説明する。
【００３４】
インクジェットヘッド３を製造するには、まず、図７（ａ）、図８（ａ）に示すように、ノズルプレート２３となる基材２５のノズル列群１７ａが形成される部分の上方に、図８の上下方向に２列に配列された複数の孔５１ａが形成されたマスキング材５１及びレーザを照射するためのレーザ照射源（１５０）を配置する（マスキング材移動工程）。なお、マスキング材５１とレーザ照射源（１５０）とは互いの位置関係を保持した状態で移動できる。
【００３５】
次に、図７（ｂ）に示すように、マスキング材５１の上方（ノズルプレート２３と反対側）からマスキング材５１に向かってレーザを照射する（レーザ照射工程、ノズル列群形成形成工程）。レーザ光は孔（マスク孔）５１ａを通過して基材２５の上面に照射される。基材２５のレーザが照射された部分には、図８の上下方向に２列に配列された複数のノズル１５（ノズル列、ノズル列群１７ａ（図５参照））が形成される。
【００３６】
ここで、ノズル１５を形成するのに炭酸ガスレーザやＹＡＧレーザなどの赤外領域の波長を有するレーザを用いる場合、ビームを細く絞って基材に照射し、基材を溶融、蒸発させてノズル１５を１つずつ形成する必要があり、ノズル１５の形成に手間がかかる。そこで、本実施の形態ではエキシマレーザなどの紫外線レーザを用いる。この場合には、基材２５にエネルギーを瞬時に吸収させて、分子間結合を断ち切り、基材２５をガス化、極微粒子化させることができる。そのため、ビームを細く絞る必要がなく、所定の面積にわたって、均一なエネルギー密度でレーザを照射することが可能である。これにより、マスキング材５１の複数の孔５１ａが全てこの領域内に収まっていれば、一度のレーザ照射で複数の孔５１ａに対応する複数のノズル１５を同時に形成することができる。なお、エキシマレーザの場合、均一なエネルギー密度で照射可能な領域の面積は、例えば、幅２ｍｍ×長さ２０ｍｍ程度である。したがって、図９（ａ）に示すように、マスキング材５１の２列の孔５１ａの全幅Ｗ、つまり、マスキング材５１に２列に形成された孔５１ａ（マスク孔列）のうち、左側の列に形成されている孔５１ａの左端と、右側の列に形成されている孔５１ａの右端との間の、図９（ａ）の左右方向に関する距離は２ｍｍ以下であることが好ましく、図９（ａ）の左側の孔５１ａの列の上端と図９の右側の孔５１ａの列の下端との間の図９（ａ）の上下方向に関する長さＬは２０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００３７】
図９（ｂ）に示すように、マスキング材５１は、マスクブランクルと呼ばれる透明な石英製のガラス基板１５１ａの表面に、クロム層１５２ｂが形成されており、このクロムメッキ層１５１ｂに、孔５１ａが形成されている。このマスキング材５１に紫外線レーザを照射した場合には、マスキング材５１の、クロム層１５２ｂが形成された領域においては、レーザが遮られ、孔５１が形成された領域においてはレーザが透過する。なお、孔５１ａは、例えば電子ビーム露光を用いたリソグラフィ法により形成される。
【００３８】
次に、図７（ａ）、図８（ｂ）に示すように、基材２５のノズル列群１７ｂ（図５参照）が形成される部分の上方に、マスキング材５１とレーザ照射源（１５０）とを移動させる（マスキング材移動工程）。このとき、ノズル列群１７ａ（図５参照）に含まれる複数のノズル１５とノズル列群１７ｂ（図５参照）に含まれる複数のノズル１５とはノズル１５の配列方向に関してずれた位置に配置されている。従って、マスキング材５１は、図８（ｂ）の右下方に移動させる。そして、図７（ｂ）に示すように、マスキング材５１の上方からレーザを照射し（レーザ照射工程）、ノズル列群１７ｂ（図５参照）に含まれる複数のノズル１５を形成する。
【００３９】
このように、マスキング材移動工程とレーザ照射工程（ノズル列群形成工程）とを２回繰り返し行うことにより２つのノズル列群１７ａ、１７ｂ（図５参照）を順次形成する。
【００４０】
図７（ｃ）に示すように、２つのノズル列群１７ａ、１７ｂ（図５参照）に含まれる複数のノズル１５が形成されたノズルプレート２３と、前述のプレート２０〜２２とを積層させて互いに接合することにより流路ユニット３１を形成する。図７（ｄ）に示すように、流路ユニット３１の上面に振動板４０を配置して、ＡＤ法により圧電層４１を形成する。図７（ｅ）に示すように、圧電層４１の圧力室と反対側の面に、個別電極４２及び個別電極４２から引き出された接点４２ａを形成し、接点４２ａとＦＰＣ４５の接点４６を接続して圧電アクチュエータ３２を形成する。以上で、インクジェットヘッド３の製造工程が完了する。なお、本実施形態のおいては、振動板は金属であるため、振動板が共通電極を兼ねていたが、振動板が絶縁性の材料で形成されている場合には、振動板の一面に、例えば蒸着などにより金属などの導電性の層を形成する必要がある。
【００４１】
以上に説明した実施の形態によると、ノズルプレート２３の上方にマスキング材５１を移動させるマスキング材移動工程と、マスキング材５１の上方から紫外線レーザを照射するレーザ照射工程とにより１つのノズル列群を構成する複数のノズル１５を一度に形成することができる。また、マスキング材形成工程とレーザ照射工程とを繰り返し行うことにより２つのノズル列群を容易に形成することができる。
【００４２】
また、エキシマレーザなどの紫外線レーザを用いることにより、比較的広い領域にエネルギー密度が均一なレーザを照射することができるので、レーザ照射工程においてノズル列群１７ａ、１７ｂに属する複数のノズル列１６ａ〜１６ｄ（複数のノズル１５）を精度よく且つ効率的に形成することができる。
【００４３】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００４４】
〈第１変更形態〉
前述したように、紫外線レーザを用いれば、比較的広い領域に均一なエネルギー密度でレーザを照射することができるが、ノズル列群の長さがその領域よりも長い場合には、一度のレーザ照射工程でノズル列群全体を形成することができない。その場合には、まず、マスキング材移動工程において、マスキング材５１を１つのノズル列群が形成される部分の上方の一部に位置するように配置して、実施の形態と同様にしてレーザ照射工程を行った後、マスキング材５１をノズルの配列方向に移動させ、マスキング材５１の上方からレーザを照射する。このような一連の動作を１又は複数回繰り返すことにより１つのノズル列群を形成してもよい。一例として、図１０に示すように、ノズル列６６ａ、６６ｂにより構成されるノズル列群６７ａ及びノズル列６６ｃ、６６ｄにより構成されるノズル列群６７ｂの長さが、この方向に関する紫外線レーザにより均一なエネルギー密度でレーザを照射可能な領域の限界長さ（例えば２０ｍｍ）の２倍程度である場合について説明する。
【００４５】
この場合には、まず、図１０（ａ）に示すように、基材６３の上方において、マスキング材５１及びレーザ照射源を平面視でノズル列群６７ａの上半分に重なる位置に配置する（マスキング材移動工程）。実施の形態と同様にして、マスキング材５１の上方からマスキング材５１にエキシマレーザなどの紫外線レーザを照射して、ノズル列群６７ａの半分を形成する（レーザ照射工程）。次に、図１０（ｂ）に示すように、図１０（ｂ）の下方向（第１の方向）に、マスキング材５１及びレーザ照射源を平面視でノズル列群６７ａの下半分に重なる位置まで移動させ、マスキング材５１の上方からマスキング材５１に向かって紫外線レーザを照射して、ノズル列群６７ａの下半分（残りの部分）を形成する。
【００４６】
次に、図１０（ｃ）に示すように、マスキング材５１及びレーザ照射源１５０を、隣接するノズル列群６７ｂの対応する位置に移動させる。つまり、マスキング材５１及びレーザ照射源を、平面視でノズル列群６７ｂの下半分に重なる位置に移動させる（マスキング材移動工程）。そして、マスキング材５１の上方から、マスキング材５１に紫外線レーザを照射してノズル列群６７ｂの上半分を形成する。マスキング材移動工程において、平面視でノズル列群６７ｂの上半分に重なる位置にマスキング材５１を移動させてもよい。しかしながら、ノズル列群６７ｂの対応する位置、つまり、ノズル列群６７ｂの下半分に重なる位置にマスキング材５１を移動させる場合のほうが、前述の場合よりも、マスキング材５１及びレーザ照射源の移動距離が短いため、マスキング材移動工程に要する時間を短縮することができ、効率よくノズル６５の形成を行うことができる。
【００４７】
次に、図１０（ｄ）に示すように、マスキング材５１及びレーザ照射源を図１０（ｄ）の上方向（第１の方向）に移動させて、平面視でノズル列群６７ｂ上半分に重なる位置に配置する。マスキング材５１の上方からマスキング材５１に紫外線レーザを照射して、ノズル列群６７ｂの上半分（残りの部分）を形成する。
【００４８】
このように、ノズル列群６７ａ、６７ｂの長さが大きい場合でも、マスキング移動工程及びレーザ照射工程の後、マスキング材５１及びレーザ照射源をノズル６５の配列方向に移動させ、マスキング材５１の上方から紫外線レーザを照射することによりノズル列群６７ａ、６７ｂを容易に形成することができる。なお、ノズル列群の長さが図１０のノズル列群６７ａ、６７ｂよりも長い場合には、マスキング材移動工程及びレーザ照射工程の後、マスキング材５１をノズル６５の配列方向に移動させ、マスキング材５１の上方からマスキング材５１に向かって紫外線レーザを照射する。このような一連の工程を複数回繰り返して、ノズル列群の残りの部分を形成すればよい。また、この変形例においては、最初のレーザ照射工程と、その後に１又は複数回繰り返されるマスキング材移動工程及びレーザ照射工程とを含む一連の工程がノズル列群形成工程となる。
【００４９】
〈第２変更形態〉
複数の色のインクを噴射するインクジェットヘッドの場合、各色のインクを噴射するノズルの配列方向に関する位置が一致していてもよい。この場合には、各色のインクについて、記録用紙Ｐ（図１参照）への着弾位置を一致させることができる。例えば、図１１のようにブラック（Ｋ）インクとシアン（Ｃ）インクの２色のインクを噴射するインクジェットヘッドの場合を例に挙げて説明する。ノズルプレート７３において、ブラックインクを噴射するノズル列７６ａとノズル列７６ｃとに含まれる複数のノズル７５は、図１１の上下方向に関してＰ／２だけずれて配置され、シアンインクを噴射するノズル列７６ｂとノズル列７６ｄとに含まれるノズル７５が、図１１の上下方向に関してＰ／２だけずれて配置されている。ノズル列７６ａ及びノズル列７６ｂに含まれる複数のノズル７５、と、ノズル列７６ｃ及びノズル列７６ｄに含まれる複数のノズル７５は、図１１の上下方向に関して同じ位置に配置されていてもよい。この場合、同色のインクを噴射するノズル７５が図１１の上下方向に関して、Ｐ／２のピッチで配置されている。従って、ノズル列７６ａ及び７６ｃの間と、ノズル列７６ｂ及び７６ｄの間とでノズル７５の図１１の上下方向に関する位置が一致している場合よりも図１１の上下方向に関してノズル７５が高密度に配置される。また、本変更形態においては、ブラック、シアン以外の色のインクが噴射されてもよい。
【００５０】
〈第３変更形態〉
図１２に示すように、列状に配置されている圧力室１０に対応する個別電極８２の接点８２ａが、個別電極８２から左下に延び、その接点８２ａの端部が、この個別電極８２及び、この個別電極８２の下、左上及び左下においてそれぞれこの個別電極８２に隣接する３つの個別電極８２により囲まれる領域の中央に位置していてもよい。なお、図１２において、各圧力室列の最も下側の圧力室に対応する個別電極８２の接点部８２ａ、及び、最も左の圧力室列に属する圧力室１０に対応する個別電極８２の接点部８２ａにおいても、これ以外の個別電極８２の接点８２ａと同じ方向に、同じ長さだけ延びている。
【００５１】
この場合、各接点８２ａとその周囲に位置する個別電極８２との離間距離が均一になり、接点８２ａとその周囲に位置する個別電極８２との離隔距離が局所的に小さくなることはない。これにより、ＦＰＣとの接続の際に、ハンダなどがこれらの個別電極８２まで流れて接点８２ａとその周囲に配置された個別電極８２とが誤って接続されてしまうことが防止され、接点８２ａとＦＰＣとが容易に接続される。
【００５２】
なお、インクジェットヘッドが３つ以上のノズル列群を有していてもよい。この場合には、マスキング材移動工程とレーザ照射工程とを３回以上繰り返すことにより複数のノズル列群を形成することができる。
【００５３】
また、各ノズル列群が３列以上のノズル列により構成されていてもよい。この場合には、ノズル列に対応する３列以上の孔５１ａが形成されたマスキング材５１をノズルプレート２３の基材の上方に配置し、マスキング材５１の上方から紫外線レーザの照射を行うことにより、複数のノズル列を同時に形成することができる。ただし、実施の形態の場合のように、各ノズル列群が２つのノズル列を有している場合には、ノズル列に連通する圧力室１０などの流路をこのノズル列に近接して配置されたノズル列と反対側に形成することができるため、各ノズル列群が３列以上のノズル列を有している場合よりも流路の構成が簡単になる（図３参照）。これにより、プレートの積層枚数が少なくてすみ、製造コストを低減させることができるという利点がある。
【００５４】
本実施の形態では、マスキング材５１の孔５１ａを通過した紫外線レーザを直接ノズルプレート２３に照射してノズル１５を形成したが、マスキング材５１とノズルプレート２３との間にレンズなどの縮小光学系を配置し、孔５１ａを通過した紫外線レーザを、縮小光学系を介して基材２５に照射させてもよい。この場合、基材２５に形成されるノズル１５の径は孔５１ａよりも小さくなり、ノズル１５同士の間隔は孔５１ａ同士の間隔よりも小さくなる。したがって、マスキング材５１にはノズル１５の径よりも大きい径の孔５１ａを、ノズル１５同士の間隔よりも大きな間隔で形成すればよく、孔５１ａの形成が容易になる。このとき、マスキング材５１にパターンを形成するときに生じたパターンの誤差の大きさも、縮小されるため、形成されるノズルの径の誤差を小さく抑えることができる。
【００５５】
本実施の形態では、本発明をインクジェットヘッドに適用した一例について説明したが、このほか、試薬、生体溶液、配線材料溶液、電子材料溶液、冷媒用、燃料用などインク以外の液体を噴射する液滴噴射装置に適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明における実施の形態に係るインクジェットプリンタの概略斜視図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】図２のIV−IV線断面図である。
【図５】図３のノズルプレートの平面図である。
【図６】図２のインクジェットヘッドの上面に配置されるＦＰＣの平面図である。
【図７】図２のインクジェットヘッドの製造工程を表す断面図であり、図７（ａ）は、マスキング材移動工程を表す図であり、図７（ｂ）は、ノズル列群形成工程を表す図であり、図７（ｃ）は、流路ユニットを形成する工程を表す図であり、図７（ｄ）は、振動板を配置し、圧電層を形成する工程を表す図であり、図７（ｅ）は、個別電極を形成し、配線部材を接続する工程を表す図である。
【図８】図２のインクジェットヘッドの製造工程を表す平面図であり、図８（ａ）は１回目のマスキング材移動工程を表す図であり、図８（ｂ）は、２回目のマスキング材移動工程を表す図である。
【図９】図９（ａ）は、図７のマスキング材の拡大平面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＩＸＢ−ＩＸＢ線断面図である。
【図１０】第１変更形態の製造工程を表す平面図であり、図１０（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、１〜４回目のマスキング材移動工程を表す図である。
【図１１】第２変更形態の図５相当の平面図である。
【図１２】第３変更形態の図２相当の平面図である。
【符号の説明】
【００５７】
３  インクジェットヘッド
１０  圧力室
１５  ノズル
１６ａ〜１６ｄ  ノズル列
１７ａ、１７ｂ  ノズル列群
２３  ノズルプレート
２５  基材
３１  流路ユニット
３２  圧電アクチュエータ
４０  振動板
４１  圧電層
４２  個別電極
４２ａ  接点
４５  ＦＰＣ
４６  接点
５１  マスキング材
５１ａ  孔
６３  基材
６５  ノズル
６６ａ〜６６ｄ  ノズル列
６７ａ、６７ｂ  ノズル列群
７３  ノズルプレート
７５  ノズル
７６ａ〜７６ｄ  ノズル列
８２  個別電極
８２ａ  接点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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