(57)【要約】【課題】コスト増及び信頼性の低下につながるセンサの付加を必要とすることなく効率的に基板を搬送することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。【解決手段】第１の位置から第２の位置を経由して基板３を搬送する搬送機構２１と、基板３が第１の位置に到達したことを検出するとともに第１の位置を通過したことを検出する第１の検出手段２２、３１と、基板３が第２の位置に到達したことを検出する第２の検出手段２３、３１と、搬送機構２１の駆動を制御して基板３の搬送速度を調整する制御部３０とを備え、第１の検出手段２２、３１により基板３が第１の位置を通過したことが検出されると搬送機構２１の駆動を低減し、第２の検出手段２３、３１により基板３が第２の位置に到達したことが検出されると搬送機構２１の駆動を停止する制御を行うようにした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の位置から第２の位置を経由して基板を搬送する搬送手段と、前記基板が前記第１の位置に到達したことを検出するとともに前記第１の位置を通過したことを検出する第１の検出手段と、基板が前記第２の位置に到達したことを検出する第２の検出手段と、前記搬送手段の駆動を制御して基板の搬送速度を調整する制御手段とを備え、
前記制御手段が、前記第１の検出手段により基板が前記第１の位置を通過したことが検出されると前記搬送手段の駆動を低減し、前記第２の検出手段により基板が前記第２の位置に到達したことが検出されると前記搬送手段の駆動を停止する制御を行うことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
基板の搬送方向における長さを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された基板の搬送方向における長さと前記制御手段により調整された前記基板の搬送速度から前記基板が前記第１の位置に到達してから通過するまでの所要時間を演算する演算手段とをさらに備え、
前記制御手段が、前記第１の検出手段により基板が前記第１の位置に到達したことが検出された後、前記演算手段により演算された前記所要時間が経過するまでは前記搬送手段の駆動を維持する制御を行うことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
第１の位置から第２の位置を経過して基板を搬送する搬送手段と、基板が前記第１の位置に到達したことを検出する第１の検出手段と、基板が前記第２の位置に到達したことを検出する第２の検出手段と、前記搬送手段の駆動を制御して基板の搬送速度を調整する制御手段と、前記制御手段により調整された基板の搬送速度から基板が前記第１の位置に到達してから前記第１の位置と前記第２の位置との間に設定された第３の位置に到達するまでの所要時間を演算する演算手段とを備え、
前記制御手段が、前記第１の検出手段により基板が前記第１の位置を通過したことが検出されるとともに前記演算手段により演算された前記所要時間が経過すると前記搬送手段の駆動を低減する制御を行うことを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続的に供給される基板を所定の停止位置に搬送する基板搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
連続的に供給される基板を所定の停止位置まで搬送する基板搬送装置において、基板の搬送速度を高速にして効率化を図るとともに基板を停止させる際に基板に加わる衝撃の低減を図るため、基板の搬送速度を停止位置に至る手前で微速度に調整した後に停止させている。このような基板搬送装置として、停止位置の手前にセンサを配設し、このセンサにより基板が停止位置に接近したことを検知して基板の搬送速度を微速度に調整するものが知られている（特許文献１及び２参照）。
【特許文献１】特開昭６３−２０４８００号公報
【特許文献２】特開２０００−１３８４９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、基板の搬送速度を減速させるための専用のセンサを付加することは、基板搬送装置の製造にかかるコスト増につながり、また、基板搬送装置における電気系の構成が複雑化して信頼性の低下につながっていた。
【０００４】
そこで本発明は、コスト増及び信頼性の低下につながるセンサの付加を必要とすることなく効率的に基板を搬送することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の発明は、第１の位置から第２の位置を経由して基板を搬送する搬送手段と、前記基板が前記第１の位置に到達したことを検出するとともに前記第１の位置を通過したことを検出する第１の検出手段と、基板が前記第２の位置に到達したことを検出する第２の検出手段と、前記搬送手段の駆動を制御して基板の搬送速度を調整する制御手段とを備え、前記制御手段が、前記第１の検出手段により基板が前記第１の位置を通過したことが検出されると前記搬送手段の駆動を低減し、前記第２の検出手段により基板が前記第２の位置に到達したことが検出されると前記搬送手段の駆動を停止する制御を行う。
【０００６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、基板の搬送方向における長さを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された基板の搬送方向における長さと前記制御手段により調整された前記基板の搬送速度から前記基板が前記第１の位置に到達してから通過するまでの所要時間を演算する演算手段とをさらに備え、前記制御手段が、前記第１の検出手段により基板が前記第１の位置に到達したことが検出された後、前記演算手段により演算された前記所要時間が経過するまでは前記搬送手段の駆動を維持する制御を行う。
【０００７】
請求項３記載の発明は、第１の位置から第２の位置を経過して基板を搬送する搬送手段と、基板が前記第１の位置に到達したことを検出する第１の検出手段と、基板が前記第２の位置に到達したことを検出する第２の検出手段と、前記搬送手段の駆動を制御して基板の搬送速度を調整する制御手段と、前記制御手段により調整された基板の搬送速度から基板が前記第１の位置に到達してから前記第１の位置と前記第２の位置との間に設定された第３の位置に到達するまでの所要時間を演算する演算手段とを備え、前記制御手段が、前記第１の検出手段により基板が前記第１の位置を通過したことが検出されるとともに前記
演算手段により演算された前記所要時間が経過すると前記搬送手段の駆動を低減する制御を行う。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、基板の搬送速度を減速させるための専用のセンサを要さずに基板の搬送速度を減速させているので、コスト増及び信頼性の低下を招くことなく効率的に基板を搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態における電子部品実装装置の構成を示す平面図、図２は本発明の一実施の形態における基板搬送装置の構成を示す側面図、図３乃至図８は本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図である。
【００１０】
まず、本発明の一実施の形態における電子部品実装装置の全体構成について説明する。図１において、基台１上の略中央には、基板の搬送を行う３つの基板搬送装置２がＸ方向に一列に配設されており、基板３は３つの基板搬送装置２を経由してＸ方向に搬送される。なお、本発明においては、基板３の搬送方向をＸ方向とし、これに水平面内で直交する方向をＹ方向とする。
【００１１】
基板搬送装置２のＹ方向における両側方には電子部品供給機構４が並設されている。電子部品供給機構４は、例えばテープフィーダやバルクフィーダ等のパーツフィーダにより構成することができる。電子部品供給機構４には複数の電子部品が収納されており、これらの電子部品は供給口５に順次供給される。各電子部品供給機構４には、同一品種又は別品種の電子部品が収納されており、一つの基板３に複数品種の電子部品を実装できるようになっている。
【００１２】
基台１のＸ方向における両端部には一対のＹテーブル６が配設されており、この一対のＹテーブル６上にＸテーブル７が架設されている。Ｘテーブル７には移載ヘッド８が装着されており、Ｙテーブル６及びＸテーブル７の駆動を組み合わせることにより、電子部品供給機構４の供給口５と基板３を含む領域内を移動できるようになっている。移載ヘッド８には複数のノズルユニット９が装着されている。各ノズルユニット９の下端部には図示しないノズルが装着されており、各ノズルは、Ｚ方向に昇降及びθ方向（Ｚ軸周り）に回転可能に構成されている。また、各ノズルには図示しない吸排気機構が備えられており、電子部品のピックアップの際にはノズル内を真空吸引することにより電子部品を吸着保持し、電子部品の実装の際にはノズル内の排気を行うことにより電子部品をリリースするいわゆる吸着破壊を行うようになっている。
【００１３】
移載ヘッド８には、電子部品供給機構４の供給口５に供給された電子部品を撮像する撮像手段としてのカメラ１０が配設されている。カメラ１０により撮像された画像を画像処理することにより電子部品の位置及び姿勢が認識され、この認識結果に基づいてノズルによるピックアップが行われる。
【００１４】
基板搬送装置２と電子部品供給機構４の間には、ノズルに吸着された電子部品を撮像する撮像手段としてのカメラ１１が配設されている。カメラ１１により撮像された画像を画像処理することにより、ノズルに吸着された電子部品の位置及び姿勢が認識され、この認識結果に基づいて基板３の所定の実装位置に所定の実装姿勢で電子部分の実装が行われる。
【００１５】
カメラ１１の側方には、複数品種のノズル１２が収納されたノズルストッカ１３が配設
されている。各ノズル１２は電子部品供給機構４に収納された電子部品の品種に対応したものが用意されている。ノズル１２はノズルユニット９に対して着脱自在となっており、移載ヘッド８がノズルストッカ１３の上方に位置してノズルを昇降させることにより別品種のノズルと交換することも可能であり、オペレータが手動で交換することも可能である。
【００１６】
次に、本発明の一実施の形態における基板搬送装置２の構成について説明する。図２（ａ）は、３つの基板搬送装置２ａ、２ｂ、２ｃがＸ方向に一列に配設されている状態を示す平面図であり、図２（ｂ）はその側面図である。なお、図２（ａ）、（ｂ）において、基板搬送装置２ａ、２ｂ、２ｃは同じ構成であるため、基板搬送装置２ａについてのみ制御系の構成を示している。また、他の基板搬送装置２ｂ、２ｃについては符号を省略している。
【００１７】
図２（ａ）、（ｂ）において、基板搬送装置２ａは、基板３のＸ方向への搬送をガイドする２本のレール２０と、基板３をＸ方向に搬送する搬送機構２１と、Ｘ方向に搬送される基板３を検知する第１のセンサ２２及び第２のセンサ２３と、Ｘ方向に搬送される基板３を強制的に停止させるストッパ２４から構成される。電子部品実装装置に搬入された基板３は、基板搬送装置２ｂにおいて電子部品の実装が行われるため、基板搬送装置２ａを経由して基板搬送装置２ｂに搬送された基板３は図示しないクランプ機構により所定の位置で固定されるようになっている。なお、電子部品実装装置に搬入された基板３は、基板搬送装置２ａにおいて一旦停止して実装を待機する。基板搬送装置２ｂにおいて実装を終えた基板３は、基板搬送装置２ｃに搬送されて一旦停止し、次工程への搬出を待機する。基板搬送装置２ｂに固定されていた基板３が基板搬送装置２ｃに搬送されると、基板搬送装置２ａに待機していた基板３が基板搬送装置２ｂに搬送される。
【００１８】
搬送機構２１は、２本のレール２０の間に配設されたベルトコンベアにより構成され、モータ２５によりローラ２６を回転させることによりローラ２６、２７に調帯されたベルト２８を駆動する。基板３は、２本のレール２０により形成される搬送路をベルト２８の駆動により搬送される。モータ２５は制御部３０により回転駆動量が制御されており、回転駆動量の増減によりベルト２８の駆動量を増減して基板３の搬送速度を調整するようになっている。
【００１９】
第１のセンサ２２及び第２のセンサ２３は、搬送機構２１により搬送される基板３の搬送路の下方に配設されており、上方を通過する基板３により遮光されている間、ＯＮ信号を検出部３１に送信する。検出部３１は、第１のセンサ２２からＯＮ信号を受信すると、基板３が第１のセンサ２２による検知ポイント（後述する第１の位置）に到達したことを検出し、第１のセンサ２２からＯＦＦ信号を受信すると、基板３が第１の位置を通過したことを検出する。また、第２のセンサ２３からＯＮ信号を受信すると、基板３が第２のセンサ２３による検知ポイント（後述する第２の位置）に到達したことを検出する。検出部３１は、これらの検出したＯＮ／ＯＦＦ信号を制御部３０に送信し、制御部３０は予め記憶部３２に設定された制御プログラムに従ってモータ２５の回転駆動量の制御を行う。
【００２０】
ストッパ２４は、基板３を強制的に停止させる機能を有しており、基板３を所定の停止位置に停止させる箇所に配設されている。ストッパ２４はＺ方向に昇降可能に構成されており、上昇位置において基板３の移動を制限し、下降位置において基板３の搬送装置間の移動を許容する。
【００２１】
次に、本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作について、基板３が基板搬送装置２に搬入されて停止するまでの一連の動作により説明する。図３（ａ）乃至（ｅ）は、基板３が基板搬送装置２に搬入されて停止するまでの一連の動作を時系列で示している
。また、図４は、図５（ａ）乃至（ｅ）に示す一連の動作における第１のセンサ２２及び第２のセンサ２３、センサタイマ３４、モータ２５の回転駆動量について基板３の搬送位置との関係を示している。
【００２２】
図３（ａ）において、図示しない基板搬入機構により基板３が基板搬送装置２に搬入される。なお、基板３の搬送方向に直交する方向（Ｙ方向）において、第１のセンサ２２による検知ポイントを第１の位置Ｓ１とし、第２のセンサ２３による検知ポイントを第２の位置Ｓ２としている。
【００２３】
図３（ｂ）において、基板搬送装置２に搬入された基板３はベルト２８の駆動によりＸ方向に搬送される。基板３が第１の位置Ｓ１に到達すると、図４に示す搬送位置Ｐ０において、第１のセンサ２２により遮光状態が検知され、ＯＮ信号が検出部３１に送信される。ＯＮ信号を受信した検知部３１は、基板３が第１の位置Ｓ１に到達したことを検出し、検出信号を制御部３０に送信する。制御部３０は、検出信号を受信して記憶部３２に予め設定された回転駆動量Ｖ１でモータ２５を回転させる。これにより基板３は高速度で搬送される。
【００２４】
図３（ｃ）において、基板３が第１の位置Ｓ１を通過すると、第１のセンサ２２により遮光状態が解除されたことが検知され、図４に示す搬送位置Ｐ１において、ＯＦＦ信号が検出部３１に送信される。ＯＦＦ信号を受信した検知部３１は、基板３が第１の位置Ｓ１を通過したことを検出し、検出信号を制御部３０に送信する。制御部３０は、検出信号を受信して記憶部３２に予め設定された回転駆動量Ｖ２までモータ２５の回転駆動量を低減する。これにより基板３は低速度で搬送される。
【００２５】
図３（ｄ）において、基板３が第２の位置Ｓ２に到達すると、第２のセンサ２３により遮光状態が検知され、図４に示す搬送位置Ｐ２において、ＯＮ信号が検出部３１に送信される。ＯＮ信号を受信した検知部３１は、基板３が第２の位置Ｓ２に到達したことを検出し、検出信号を制御部３０に送信する。制御部３０は、検出信号を受信してモータ２５の回転駆動を停止する。モータ２５の回転駆動が停止しても慣性により基板３は微速度で搬送され、ストッパ２４に当接して停止する。
【００２６】
図３（ｅ）において、基板３はストッパ２４が配設された位置により確定される所定の停止位置に停止する。
【００２７】
以上の基板３の搬送は搬送機構２１により行われ、搬送機構２１は、第１の位置Ｓ１から第２の位置Ｓ２を経由して所定の停止位置に基板３を搬送する搬送手段として機能する。また、第１のセンサ２２と検出部３１は、基板３が第１の位置Ｓ１に到達したことを検出するとともに第１の位置Ｓ１を通過したことを検出する第１の検出手段として機能する。また、第２のセンサ２３と検出部３１は、基板３が第２の位置Ｓ２に到達したことを検出する第２の検出手段として機能する。また、制御部３０は、搬送機構２１の駆動を制御して基板３の搬送速度を調整する制御手段として機能する。
【００２８】
なお、第１のセンサ２２を基板搬送装置における基板の搬入側に近接した位置に配設し、第２のセンサ２３をストッパ２４に近接した位置に配設することで、基板３が高速で搬送される距離が長くなり搬送効率を向上させることができる。このとき、第２のセンサ２３をストッパ２４にあまり近接させ過ぎるとストッパ２４に当接して停止する際の基板３に加わる衝撃が過大になるので、適宜調整して配設する。
【００２９】
このように、本発明の一実施の形態における基板搬送装置によれば、基板３の到達を検知する第１のセンサ２２が、基板３の通過を検知する機能を兼務しているので、基板３の
搬送速度を調整するための新たなセンサを付加することなく搬送速度を低減させることができる。これにより、コストの増加を抑制するとともにセンサの増加による電気系の信頼性低下を抑制することができる。
【００３０】
ところで、図５に示すように基板３に切り欠きがある場合、図５（ｃ）において第１のセンサ２２が基板３の切り欠きを検知して検出部３１にＯＦＦ信号を送信し、基板３が第１の位置Ｓ１を通過していないにも関わらず搬送速度が低減することなる。そのため、第１のセンサ２２からＯＮ信号が送信されてから所定時間が経過するまでは基板３の搬送速度を維持して低減させないようにモータ２５の回転駆動量の制御を行うこともできる。
【００３１】
この場合、記憶部３２に予め基板３の搬送方向（Ｘ方向）における長さを記憶しておき、演算部３３において基板の搬送方向における長さと基板３の搬送速度から基板が第１の位置Ｓ１に到達してから通過するまでの所要時間を演算する。そして、第１のセンサ２２からＯＮ信号が送信される時点と同時にセンサタイマ３４を稼動させ、ＯＮ信号を検出部３１に送信する。センサタイマ３４は演算部３３において演算された所要時間だけＯＮ信号を送信し、検出部３１にセンサタイマ３４からのＯＮ信号が受信されている間は第１のセンサ２２からのＯＦＦ信号を受信してもモータ２５の回転駆動量を低減させないように制御部３０において制御を行う。記憶部３２は、基板３の搬送方向における長さを記憶する記憶手段として機能する。また、演算部３３は、記憶手段に記憶された基板３の搬送方向における長さと基板３の搬送速度から基板３が第１の位置Ｓ１に到達してから通過するまでの所要時間を演算する演算手段として機能する。
【００３２】
図５及び図６を参照して、切り欠き部を有する基板３が基板搬送装置２に搬入されて停止するまでの一連の動作における第１のセンサ２２及び第２のセンサ２３、センサタイマ３４、モータ２５の各動作について説明する。図５（ａ）乃至（ｆ）は、切り欠き部を有する基板３が基板搬送装置２に搬入されて停止するまでの一連の動作を時系列で示している。また、図６は、図５（ａ）乃至（ｆ）に示す一連の動作における第１のセンサ２２及び第２のセンサ２３、センサタイマ３４、モータ２５の回転駆動量について基板３の搬送位置との関係を示している。なお、切り欠き部を有する基板３を例に一連の動作説明を行うが、通常の切り欠きのない基板３においても適用できる。
【００３３】
図５（ａ）において、図示しない基板搬入機構により基板３が基板搬送装置２に搬入される。図５（ｂ）において、基板搬送装置２に搬入された基板３が第１の位置Ｓ１に到達すると、図６に示す搬送位置Ｐ０において、第１のセンサ２２により遮光状態が検知され、ＯＮ信号が検出部３１に送信される。また、同時にセンサタイマ３４からＯＮ信号が検出部３１に送信される。制御部３０は、検出信号を受信して記憶部３２に予め設定された回転駆動量Ｖ１でモータ２５を回転させる。これにより基板３は高速度で搬送される。
【００３４】
図５（ｃ）において、基板３の切り欠き部が第１のセンサ２２の上方に到達すると、第１のセンサ２２により遮光状態が解除されたことが検知され、図６に示す搬送位置Ｐａにおいて、第１のセンサ２２からＯＦＦ信号が検出部３１に送信される。このとき、センサタイマ３４からはＯＮ信号が継続して送信されているので、検出部３１は検出信号を制御部３０に送信しない。これにより、モータ２５の回転駆動量Ｖ１は低減されることなく維持され、基板３の搬送速度が維持される。なお、基板３の切り欠き部が第１のセンサ２２の上方を通過すると、第１のセンサ２２により遮光状態が検知され、図６に示す搬送位置Ｐｂにおいて、第１のセンサ２２からＯＮ信号が検出部３１に送信される。
【００３５】
図５（ｄ）において、基板３が第１の位置Ｓ１を通過すると、第１のセンサ２２により遮光状態が解除されたことが検知され、図６に示す搬送位置Ｐ１において、第１のセンサ２２からＯＦＦ信号が検出部３１に送信される。このとき、基板３が第１の位置Ｓ１に到
達してから通過するまでの所要時間が経過しているので、センサタイマ３４からのＯＮ信号がＯＦＦ信号に変更される。制御部３０は、検出信号を受信して記憶部３２に予め設定された回転駆動量Ｖ２までモータ２５の回転駆動量を低減する。これにより基板３は低速度で搬送される。
【００３６】
図５（ｅ）において、基板３が第２の位置Ｓ２に到達すると、第２のセンサ２３により遮光状態が検知され、図６に示す搬送位置Ｐ２において、第２のセンサ２３からＯＮ信号が検出部３１に送信される。制御部３０は、検出信号を受信してモータ２５の回転駆動を停止する。モータ２５の回転駆動が停止しても慣性により基板３は微速度で搬送され、ストッパ２４に当接して停止する。
【００３７】
図５（ｆ）において、基板３はストッパ２４が配設された位置により確定される所定の停止位置に停止する。
【００３８】
ところで、本発明の一実施の形態における基板搬送装置においては多品種の基板を取り扱うことが可能であるが、基板の品種によっては搬送方向（Ｘ方向）における長さに長短の差が存在する。短い基板は長い基板に比べて早い段階で第１の位置を通過するので、基板が第１の位置を通過した時点で搬送速度を低減させると、減速してから停止するまでの移動距離及びそれに要する時間が長くなる。そのため、基板が第１の位置を通過した時点で搬送速度を低減させるのではなく、基板が第１の位置に到達した時点から演算部において演算された所要時間を経過した時点で搬送速度を低減するようにモータ２５の回転駆動量の制御を行うこともできる。
【００３９】
この場合、第１の位置Ｓ１と第２の位置Ｓ２の間に第３の位置Ｓ３を設定し、基板の搬送速度から基板が前記第１の位置に到達してから第３の位置に到達するまでの所要時間を演算部３３により演算する。そして、第１のセンサ２２からＯＮ信号が送信される時点と同時にセンサタイマ３４を稼動させ、ＯＮ信号を検出部３１に送信する。センサタイマ３４は演算部３３において演算された所要時間だけＯＮ信号を送信し、検出部３１にセンサタイマ３４からのＯＮ信号が受信されている間は第１のセンサ２２からのＯＦＦ信号を受信してもモータ２５の回転駆動量を低減させないように制御部３０において制御を行う。演算部３３は、基板の搬送速度から基板が第１の位置Ｓ１に到達してから第１の位置Ｓ１と第２の位置Ｓ２との間に設定された第３の位置Ｓ３に到達するまでの所要時間を演算する演算手段として機能する。
【００４０】
これにより、基板の長さに関係なく搬送速度を低減する位置を第３の位置に統一することができる。従って、短い基板が長い基板に比べて早い段階で第１の位置を通過することにより、減速してから停止するまでの移動距離及びそれに要する時間が長くなることによる搬送効率の低下を防止することができる。
【００４１】
図７及び図８を参照して、比較的短い基板３が基板搬送装置２に搬入されて停止するまでの一連の動作における第１のセンサ２２及び第２のセンサ２３、センサタイマ３４、モータ２５の各動作について説明する。図７（ａ）乃至（ｆ）は、基板３が基板搬送装置２に搬入されて停止するまでの一連の動作を時系列で示している。また、図８は、図７（ａ）乃至（ｆ）に示す一連の動作における第１のセンサ２２及び第２のセンサ２３、センサタイマ３４、モータ２５の回転駆動量について基板３の搬送位置との関係を示している。
【００４２】
図７（ａ）において、図示しない基板搬入機構により基板３が基板搬送装置２に搬入される。基板搬送装置２には、第１の位置Ｓ１及び第２の位置Ｓ２の他に第３の位置Ｓ３が設定されている。第３の位置Ｓ３は、第１の位置Ｓ１と第２の位置Ｓ２の間の第２の位置Ｓ２寄りに設定されている。
【００４３】
図７（ｂ）において、基板搬送装置２に搬入された基板３が第１の位置Ｓ１に到達すると、図８に示す搬送位置Ｐ０において、第１のセンサ２２により遮光状態が検知され、ＯＮ信号が検出部３１に送信される。制御部３０は、検出信号を受信して記憶部３２に予め設定された回転駆動量Ｖ１でモータ２５を回転させる。これにより基板３は高速度で搬送される。また、同時にセンサタイマ３４からＯＮ信号が検出部３１に送信される。センサタイマ３４は、演算部３３において演算された所要時間だけＯＮ信号を送信し、検出部３１にセンサタイマ３４からのＯＮ信号が受信されている間は第１のセンサ２２からのＯＦＦ信号を受信してもモータ２５の回転駆動量を低減させないように制御部３０において制御を行う。演算部３３は、第１の位置Ｓ１と第３の位置Ｓ３との間の距離と基板３の搬送速度から基板３が第３の位置Ｓ３に到達するまでの所要時間を演算する。
【００４４】
図７（ｃ）において、基板３が第１の位置Ｓ１を通過すると、第１のセンサ２２により遮光状態が解除されたことが検知され、図８に示す搬送位置Ｐｃにおいて、第１のセンサ２２からＯＦＦ信号が検出部３１に送信される。このとき、センサタイマ３４からはＯＮ信号が継続して送信されているので、検出部３１は検出信号を制御部３０に送信しない。これにより、モータ２５の回転駆動量Ｖ１は低減されることなく維持され、基板３の搬送速度が維持される。
【００４５】
図７（ｄ）において、基板３が第３の位置Ｓ３に到達した時点、すなわち演算部３３により演算された所要時間が経過した時点において、センサタイマ３４からのＯＮ信号がＯＦＦ信号に変更され（図８に示す搬送位置Ｐ１参照）、ＯＦＦ信号が検出部３１に送信される。制御部３０は、検出信号を受信して記憶部３２に予め設定された回転駆動量Ｖ２までモータ２５の回転駆動量を低減する。これにより基板３は低速度で搬送される。
【００４６】
図７（ｅ）において、基板３が第２の位置Ｓ２に到達すると、第２のセンサ２３により遮光状態が検知され、図８に示す搬送位置Ｐ２において、第２のセンサ２３からＯＮ信号が検出部３１に送信される。制御部３０は、検出信号を受信してモータ２５の回転駆動を停止する。モータ２５の回転駆動が停止しても慣性により基板３は微速度で搬送され、ストッパ２４に当接して停止する。
【００４７】
図７（ｆ）において、基板３はストッパ２４が配設された位置により確定される所定の停止位置に停止する。
【００４８】
なお、本発明の一実施の形態における基板搬送装置２は、基板搬送装置全体の電気的信頼性を高めるために、図２に示す３つの基板搬送装置２ａ、２ｂ、２ｃの全てに適用することが望ましいが、各基板搬送装置２ａ、２ｂ、２ｃはそれぞれ独立して上述したような効果を奏するので、何れかの基板搬送装置２ａ、２ｂ、２ｃに選択的に適用してもよい。また、電子部品実装装置に搬入される基板３に長短の差があるような場合には、基板搬送装置２ｂに適用することで、基板３の長短に関わりなく効率的に搬送を行って所定の位置に基板を固定することができる。これにより、タクトタイムを短縮して実装効率の向上を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明の基板搬送装置によれば、基板の搬送速度を減速させるための専用のセンサを要さずに基板の搬送速度を減速させているので、コスト増及び信頼性の低下を招くことなく効率的に基板を搬送することができるという利点を有し、連続的に供給される基板に電子部品を実装する分野において特に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施の形態における電子部品実装装置の構成を示す平面図
【図２】本発明の一実施の形態における基板搬送装置の構成を示す側面図
【図３】本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図
【図４】本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図
【図５】本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図
【図６】本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図
【図７】本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図
【図８】本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図
【符号の説明】
【００５１】
２、２ａ、２ｂ、２ｃ  基板搬送装置
３  基板
２１  搬送機構
２２  第１のセンサ
２３  第２のセンサ
２５  モータ
３０  制御部
３１  検出部
３２  記憶部
３３  演算部
Ｓ１  第１の位置
Ｓ２  第２の位置
Ｓ３  第３の位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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