(57)【要約】【課題】レーザ光のパワーを調整可能としながら、立ち上がり応答特性の不具合を抑えることができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザマーキング装置は、電流、及び発振周波数により決定される発振条件に基づいてレーザ光を出射するレーザ発振器を有し、レーザ光を加工対象物に照射して加工を行う。そして、レーザマーキング装置は、レーザ発振器１から出射されたレーザ光の光軸上で該光軸に沿った軸中心で回動可能に設けられその回動角度に応じて同レーザ光の偏光方向を変える１／２波長板２と、１／２波長板２を回動させるためのモータ３と、１／２波長板２を通過したレーザ光の内、所定の偏光方向のレーザ光のみを通過させる偏光板４とを備え、モータ３によって１／２波長板２を回動させることで、偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーを調整可能とされている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電流、及び発振周波数により決定される発振条件に基づいてレーザ光を出射するレーザ発振器を有し、レーザ光を加工対象物に照射して加工を行うレーザ加工装置において、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光の光軸上で該光軸に沿った軸を中心とした前記レーザ発振器との相対的な回動角度に応じて同レーザ光の偏光方向を変える波長板と、
前記波長板を通過したレーザ光の内、所定の偏光方向のレーザ光のみを通過させる偏光部材と、
前記レーザ発振器、前記波長板及び前記偏光部材の内の少なくとも１つをレーザ光の光軸に沿った軸中心で回動させるための回動手段と
を備え、前記回動手段によって前記レーザ発振器、前記波長板及び前記偏光部材の内の少なくとも１つを回動させることで、前記偏光部材を通過し前記加工対象物に照射するためのレーザ光のパワーを調整可能としたことを特徴としたレーザ加工装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ加工装置において、
前記レーザ発振器は、可視領域の波長を有するレーザ光を出射するものであり、
前記偏光部材は、そのベースが樹脂製であることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のレーザ加工装置において、
前記レーザ発振器、前記波長板及び前記偏光部材の内の少なくとも１つをレーザ光の光軸に沿った軸中心で回動させることでレーザ光の偏光方向を基準方向に設定するためのものであって外部操作不能な内部調整機構を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のレーザ加工装置において、
前記波長板は、１／２波長板であることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のレーザ加工装置において、
前記加工対象物の種類を設定するための設定手段を備え、
前記回動手段は、前記レーザ発振器、前記波長板及び前記偏光部材の内の少なくとも１つを、前記設定手段で設定された前記加工対象物の種類に応じた回動角度に回動制御可能な電動駆動手段であることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のレーザ加工装置において、
レーザ光を走査すべく駆動されるガルバノミラーを備え、
前記回動手段は、前記レーザ発振器、前記波長板及び前記偏光部材の内の少なくとも１つを、前記ガルバノミラーが駆動を開始して予め設定された駆動速度に達するまで前記加工対象物に照射するためのレーザ光のパワーが徐々に大きくなるように回動制御可能な速度対応電動駆動手段であることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載のレーザ加工装置において、
前記偏光部材を通過せず該偏光部材にて反射されたレーザ光を吸収するためのダンパを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を加工対象物に照射して加工を行うレーザ加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ光を加工対象物に照射して加工を行うレーザ加工装置がある（例えば、特許文献１参照）。そして、レーザ加工装置の１つであるレーザマーキング装置は、金属、樹脂、セラミック、半導体、紙、ガラスなどの多種多様の素材からなる加工対象物表面に、多種多様な文字・記号・図形などのマーキングを行うことができる。このようなレーザマーキング装置は、加工対象物の素材の種類等に応じて加工対象物に照射するレーザ光のパワー（出力）を調整可能とされ、加工対象物の素材の種類等に応じた最適なマーキング濃度でマーキングを行うことができる。そして、一般的に、レーザマーキング装置（レーザ加工装置）は、電流、及び発振（繰り返し）周波数により決定される発振条件に基づいてレーザ光を出射するレーザ発振器を有し、前記発振条件を変更することで出射するレーザ光のパワーを調整している。
【特許文献１】特許第２７２７９３５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のように発振条件（電流及び発振周波数）を変更することで出射するレーザ光のパワーを調整するものでは、その発振条件に応じて立ち上がり応答特性がばらつき、その応答特性によっては不具合が生じてしまうという問題がある。例えば、図２（ａ）に示すように、特定の発振条件では、パワーが速やかに所望の値となり安定するが、他のパワーに変更すべく異なる発振条件とした場合、図２（ｂ）に示すように、パワーが所望の値を大きく超えた後に所望の値となったり、図２（ｃ）に示すように、パワーが所望の値となるまでに長い時間を要してしまう。即ち、図２（ｂ）に示す場合では、加工としてマーキングを行う際に書き出し部分でマーキング濃度が濃くなったり、加工として光軸直交方向に連続して長い凹部を形成する際にその最初の部分で凹部が深くなるといった不具合が生じてしまう。又、逆に、図２（ｃ）に示す場合では、加工としてマーキングを行う際に書き出し部分でマーキング濃度が薄くなったり、加工として光軸直交方向に連続して長い凹部を形成する際にその最初の部分で凹部が浅くなるといった不具合が生じてしまう。
【０００４】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、レーザ光のパワーを調整可能としながら、立ち上がり応答特性の不具合を抑えることができるレーザ加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の発明では、電流、及び発振周波数により決定される発振条件に基づいてレーザ光を出射するレーザ発振器を有し、レーザ光を加工対象物に照射して加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザ発振器から出射されたレーザ光の光軸上で該光軸に沿った軸を中心とした前記レーザ発振器との相対的な回動角度に応じて同レーザ光の偏光方向を変える波長板と、前記波長板を通過したレーザ光の内、所定の偏光方向のレーザ光のみを通過させる偏光部材と、前記レーザ発振器、前記波長板及び前記偏光部材の内の少なくとも１つをレーザ光の光軸に沿った軸中心で回動させるための回動手段とを備え、前記回動手段によって前記レーザ発振器、前記波長板及び前記偏光部材の内の少なくとも１つを回動させることで、前記偏光部材を通過し前記加工対象物に照射するためのレーザ光のパワーを調整可能とした。
【０００６】
同構成によれば、回動手段によってレーザ発振器、波長板及び偏光部材の内の少なくとも１つがレーザ光の光軸に沿った軸中心で回動されると、それらの（相対）回動角度に応じて偏光部材を通過し加工対象物に照射するためのレーザ光のパワーが変更（調整）される。例えば、回動手段によって波長板が回動されると、その回動角度に応じてレーザ発振器から出射されたレーザ光の偏光方向が変わる。そして、波長板を通過したレーザ光の内、所定の偏光方向の（その成分を有する）レーザ光のみが偏光部材を通過する。よって、回動手段によって波長板が回動されると、偏光部材を通過し加工対象物に照射するためのレーザ光のパワーが変更（調整）される。よって、電流、及び発振周波数により決定される発振条件を変更することでレーザ光のパワーを調整するもので発生する立ち上がり応答特性の不具合を抑えることができ、例えば、加工としてマーキングを行う際に書き出し部分でマーキング濃度が濃くなったり、薄くなったりすることを低減することができる。
【０００７】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載のレーザ加工装置において、前記レーザ発振器は、可視領域の波長を有するレーザ光を出射するものであり、前記偏光部材は、そのベースが樹脂製である。
【０００８】
同構成によれば、レーザ発振器は、可視領域の波長を有するレーザ光を出射するものであり、偏光部材は、そのベースが樹脂製であるため、例えば、偏光部材のベースがガラス製や石英製のものに比べて、レーザ加工装置を安価とすることができる。
【０００９】
請求項３に記載の発明では、請求項１又は２に記載のレーザ加工装置において、前記レーザ発振器、前記波長板及び前記偏光部材の内の少なくとも１つをレーザ光の光軸に沿った軸中心で回動させることでレーザ光の偏光方向を基準方向に設定するためのものであって外部操作不能な内部調整機構を備えた。
【００１０】
同構成によれば、外部操作不能な内部調整機構を操作（調整）することによって、レーザ発振器、波長板及び偏光部材の内の少なくとも１つをレーザ光の光軸に沿った軸中心で回動させることでレーザ光の偏光方向を基準方向に設定することができる。即ち、レーザ加工装置の製造途中において、レーザ発振器、波長板及び偏光部材の組み付け誤差等が生じても内部調整機構を操作（調整）することによって、レーザ光のパワーが所望の（計算した）パワーと異なってしまうといったことを容易に防止することができる。
【００１１】
請求項４に記載の発明では、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のレーザ加工装置において、前記波長板は、１／２波長板である。
同構成によれば、波長板は、１／２波長板であるため、０°から４５°回動させることでレーザ光のパワーを容易に大幅に（１００％から０％まで）変更することができる。
【００１２】
請求項５に記載の発明では、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のレーザ加工装置において、前記加工対象物の種類を設定するための設定手段を備え、前記回動手段は、前記レーザ発振器、前記波長板及び前記偏光部材の内の少なくとも１つを、前記設定手段で設定された前記加工対象物の種類に応じた回動角度に回動制御可能な電動駆動手段であることを特徴とする。
【００１３】
同構成によれば、回動手段は、レーザ発振器、波長板及び偏光部材の内の少なくとも１つを、設定手段で設定された前記加工対象物の種類に応じた回動角度に回動制御可能な電動駆動手段であるため、加工対象物の種類に応じて、容易且つ高精度に波長板を回動させることができる。
【００１４】
請求項６に記載の発明では、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のレーザ加工装置において、レーザ光を走査すべく駆動されるガルバノミラーを備え、前記回動手段は、前記レーザ発振器、前記波長板及び前記偏光部材の内の少なくとも１つを、前記ガルバノミラーが駆動を開始して予め設定された駆動速度に達するまで前記加工対象物に照射するためのレーザ光のパワーが徐々に大きくなるように回動制御可能な速度対応電動駆動手段であることを特徴とする。
【００１５】
同構成によれば、回動手段は、レーザ発振器、波長板及び偏光部材の内の少なくとも１つを、ガルバノミラーが駆動を開始して予め設定された駆動速度に達するまで（即ち加速中）前記加工対象物に照射するためのレーザ光のパワーが徐々に大きくなるように回動制御可能な速度対応電動駆動手段であるため、例えば、加工としてマーキングを行う際に書き出し部分でガルバノミラーの駆動速度に基づいてマーキング濃度が濃くなるといったことを防止することができる。
【００１６】
請求項７に記載の発明では、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のレーザ加工装置において、前記偏光部材を通過せず該偏光部材にて反射されたレーザ光を吸収するためのダンパを備えた。
【００１７】
同構成によれば、偏光部材を通過せず該偏光部材にて反射されたレーザ光は、ダンパに吸収されるため、例えば、偏光部材にて反射されたレーザ光が他の部材に悪影響を与えるといったことが防止される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、レーザ光のパワーを調整可能としながら、立ち上がり応答特性の不具合を抑えることができるレーザ加工装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明をレーザマーキング装置に具体化した一実施の形態を図１及び図２に従って説明する。
図１に示すように、レーザマーキング装置は、レーザ発振器１、波長板としての１／２波長板２、回動手段、電動駆動手段及び速度対応電動駆動手段としてのモータ３、偏光部材としての偏光板４、及びダンパ５等を備えている。
【００２０】
レーザ発振器１は、電流、及び発振（繰り返し）周波数により決定される発振条件に基づいてレーザ光を出射する。本実施の形態のレーザ発振器１は、前記発振条件が一定とされ、その出射するレーザ光のパワーが一定とされている。尚、一定である前記発振条件は、図２（ａ）に示すように、パワーが速やかに所望の値となり安定する特定の発振条件であって、本実施の形態の前記所望の値は１０［Ｗ］に設定されている。又、本実施の形態のレーザ発振器１は、可視領域の波長を有するレーザ光を出射するものであって、前記波長は５３２［ｎｍ］に設定されている。
【００２１】
１／２波長板２は、レーザ発振器１から出射されたレーザ光の光軸上で該光軸に沿った軸中心で回動可能に設けられ、その回動角度（レーザ発振器１との相対的な回動角度）に応じて同レーザ光の偏光方向（向き）を変える。例えば、１／２波長板２は、０°から４５°回動されることで直線偏光（レーザ発振器１から出射されたレーザ光）の偏光面の角度を０°から９０°に変え水平な直線偏光（レーザ発振器１から出射されたレーザ光）を垂直な直線偏光に変える。
【００２２】
モータ３は、１／２波長板２を回動制御可能な駆動源であって、例えば、図示しない設定手段としての操作スイッチの操作による設定に応じて駆動電流が供給され、１／２波長板２を前記操作（設定）に応じた回動角度に回動させる。詳しくは、本実施の形態の操作スイッチは、加工対象物１１の種類に応じて操作され該種類を設定するものであって、前記種類は、素材や厚み等を含む。そして、モータ３は、１／２波長板２を前記操作スイッチで設定された前記加工対象物１１の種類に応じた回動角度に回動させることになる。
【００２３】
偏光板４は、前記１／２波長板２を通過したレーザ光の内、所定の偏光方向のレーザ光のみを通過させる。又、偏光板４は、所定の偏光方向以外のレーザ光を通過させず該レーザ光を予め設定した反射方向（図１中、下方）に反射する。本実施の形態の偏光板４は、針状結晶を透明のベースで支持（挟持）したものであって、そのベースがガラス製とされている。
【００２４】
又、本実施の形態の偏光板４は、前記１／２波長板２を通過したレーザ光の光軸上で該光軸に沿った軸中心で回動可能とされている。そして、本実施の形態のレーザマーキング装置は、１／２波長板２及び偏光板４の内の少なくとも１つを回動させることでレーザ光の偏光方向を基準方向に設定するための外部操作不能な内部調整機構を備える。即ち、レーザマーキング装置の製造途中において、レーザ発振器１、１／２波長板２及び偏光板４の各間に組み付け誤差等が生じることで偏光板４を通過したレーザ光のパワーが所望のパワーを得られない場合等、内部調整機構を操作（調整）して１／２波長板２や偏光板４を回動させることで前記所望のパワーを得られるように構成されている。尚、本実施の形態における前記基準方向は、回動不能に設けられたレーザ発振器１が出射するレーザ光に基づいた方向である。又、内部調整機構の操作（調整）に基づく１／２波長板２の回動は、前記操作スイッチの操作に基づく回動の基準位置を決定すべく行うものである。又、前記外部操作不能とは、製造が完了した製品の状態のレーザマーキング装置において外部から操作（調整）が不能であるということである。
【００２５】
ダンパ５は、前記予め設定した反射方向に配置され、前記偏光板４を通過せず該偏光板４にて反射されたレーザ光を吸収するためのものである。ダンパ５は、レーザ光を良好に吸収すべく、つや消し黒色系金属よりなる。
【００２６】
上記のように構成されたレーザマーキング装置は、モータ３によって１／２波長板２を回動させることで、偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワー（出力）を調整可能とされている。詳しくは、加工対象物１１の素材の種類等に応じて前記操作スイッチが操作され設定がなされると、モータ３によって１／２波長板２が前記操作（設定）に応じた回動角度に回動され、その回動角度に応じてレーザ発振器１から出射されたレーザ光の偏光方向が変わる。そして、１／２波長板２を通過したレーザ光の内、所定の偏光方向の（その成分を有する）レーザ光のみが偏光板４を通過する。よって、偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーが変更（調整）される。尚、偏光板４を通過せず該偏光板４にて反射されたレーザ光はダンパ５に吸収される。又、偏光板４と加工対象物１１との間にはレーザ光を走査すべく駆動される図示しないガルバノミラーやレーザ光を加工対象物１１上に収束させるための対物レンズ等が介在され、それらの機能によって多種多様な文字・記号・図形などのマーキングが行われる。又、本実施の形態のモータ３は、前記ガルバノミラーの駆動速度に応じて駆動電流が供給され、１／２波長板２を前記ガルバノミラーの駆動速度に応じた回動角度に回動させる。詳しくは、ガルバノミラーは、駆動連結された駆動源（例えばモータ）によって駆動されるものであって、その駆動速度は駆動を開始してから予め設定された一定の駆動速度に達するまで、即ちマーキングを行う際の書き出し部分で変化（加速）する。そして、モータ３はガルバノミラーの駆動速度が前記一定の駆動速度に達するまでの加速中は、レーザ光のパワーが前記操作スイッチの操作（即ち加工対象物１１の種類）に対応したレーザ光のパワーまで徐々に大きくなるように１／２波長板２を（前記操作スイッチの操作に応じた回動角度まで徐々に）回動させるようになっている。言い換えると、モータ３はガルバノミラーの駆動速度が前記一定の駆動速度となるまでの加速中は、加工対象物１１上でのマーキング濃度が全ての箇所で均一となるように１／２波長板２を回動させるようになっている。
【００２７】
次に、上記実施の形態の特徴的な作用効果を以下に記載する。
（１）レーザ発振器１は、電流、及び発振周波数により決定される発振条件が、図２（ａ）に示すように、パワーが速やかに所望の値となり安定する特定の発振条件で一定とされている。そして、１／２波長板２を回動させることで、偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーが変更（調整）される。よって、電流、及び発振周波数により決定される発振条件を変更することでレーザ光のパワーを調整するもので発生する立ち上がり応答特性の不具合を抑えることができる。その結果、マーキングを行う際に書き出し部分でマーキング濃度が濃くなったり、薄くなったりすることを低減することができる。
【００２８】
（２）外部操作不能な内部調整機構を操作（調整）することによって、１／２波長板２及び偏光板４の内の少なくとも１つを回動させることでレーザ光の偏光方向を基準方向に設定することができる。即ち、レーザマーキング装置の製造途中において、レーザ発振器１、１／２波長板２及び偏光板４の各間に組み付け誤差等が生じても内部調整機構を操作（調整）することによって、レーザ光のパワーが所望の（計算した）パワーと異なってしまうといったことを容易に防止することができる。
【００２９】
（３）波長板として１／２波長板２を用いたため、０°から４５°回動させることで偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーを容易に大幅に（１００％から０％まで）変更することができる。
【００３０】
（４）１／２波長板２を回動させるための回動手段として、操作スイッチで設定された加工対象物１１の種類に応じた回動角度に１／２波長板２を回動制御可能なモータ３を用いたため、加工対象物１１の種類に応じて、容易且つ高精度に１／２波長板２を回動させることができる。
【００３１】
（５）１／２波長板２を回動させるための回動手段として、ガルバノミラーが駆動を開始して予め設定された一定の駆動速度に達するまで（即ち加速中）加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーが徐々に大きくなるように１／２波長板２を回動制御可能なモータ３を用いたため、マーキングを行う際に書き出し部分でガルバノミラーの駆動速度に基づいてマーキング濃度が濃くなるといったことを防止することができる。
【００３２】
（６）偏光板４を通過せず該偏光板４にて反射されたレーザ光はダンパ５に吸収されるため、例えば、偏光板４にて反射されたレーザ光が他の部材に悪影響を与えるといったことが防止される。
【００３３】
上記実施の形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施の形態では、レーザ発振器１は、可視領域の波長（５３２［ｎｍ］）を有するレーザ光を出射するものであるとしたが、他の波長のレーザ光を出射するものに変更してもよい。
【００３４】
・上記実施の形態では、偏光板４は、そのベースがガラス製であるとしたが、これに限定されず、他の材質のものに変更してもよい。例えば、偏光板のベースを石英製としてもよい。又、例えば、偏光板のベースを樹脂製としてもよい。このように偏光板（偏光部材）のベースを樹脂製とした場合では、例えば、偏光板（偏光部材）のベースがガラス製や石英製のものに比べて、レーザ加工装置を安価とすることができる。
【００３５】
・上記実施の形態では、１／２波長板２及び偏光板４の内の少なくとも１つを回動させることでレーザ光の偏光方向を基準方向に設定するための外部操作不能な内部調整機構を備えるとしたが、これに限定されず、例えば、他の構成の内部調整機構としてもよい。例えば、レーザ発振器１をも回動可能に設けて、レーザ発振器１、１／２波長板２及び偏光板４の内の少なくとも１つをレーザ光の光軸に沿った軸中心で回動させることでレーザ光の偏光方向を基準方向に設定する（揃える）ための外部操作不能な内部調整機構としてもよい。
【００３６】
・上記実施の形態では、波長板として１／２波長板２を用いたが、これに限定されず、例えば、１／４波長板等の他の波長板に変更してもよい。尚、この場合、１／４波長板を０°から９０°回動させることで偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーを大幅に（１００％から０％まで）変更することができる。
【００３７】
・上記実施の形態では、１／２波長板２を回動させることで偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーを変更（調整）するとしたが、これに限定されず、レーザ発振器１、１／２波長板２及び偏光板４の内の少なくとも１つを回動させることで、前記パワーを変更（調整）するようにしてもよい。例えば、レーザ発振器１を（１／２波長板２に対して）回動可能に設け、レーザ発振器１を回動させることで偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーを変更（調整）するようにしてもよい。尚、この場合、レーザ発振器１を０°から４５°回動させることで偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーを大幅に（１００％から０％まで）変更することができる。又、例えば、偏光板４（偏光部材）を（１／２波長板２に対して）回動可能に設け、偏光板４（偏光部材）を回動させることで偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーを変更（調整）するようにしてもよい。尚、この場合、偏光板４（偏光部材）を０°から９０°回動させることで偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーを大幅に（１００％から０％まで）変更することができる。
【００３８】
・上記実施の形態では、１／２波長板２を回動させるための回動手段として、操作スイッチで設定された加工対象物１１の種類に応じた回動角度に１／２波長板２を回動制御可能なモータ３を用いたが、これに限定されず、例えば、モータ３以外の電動駆動手段に変更してもよい。又、例えば、前記操作スイッチ（設定手段）は、加工対象物１１の種類を設定するだけのものに限らず、例えば、更に加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーを直接数値で設定する機能を有していてもよい。又、例えば、回動手段は、手動で（機械的に）操作するレバー等の手動回動手段に変更してもよい。
【００３９】
・上記実施の形態では、１／２波長板２を回動させるための回動手段として、ガルバノミラーが駆動を開始して予め設定された一定の駆動速度に達するまで（即ち加速中）加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーが徐々に大きくなるように１／２波長板２を回動制御可能なモータ３を用いたが、これに限定されず、この機能を持たない、即ち、ガルバノミラーの駆動速度（加速中）に関わらず１／２波長板２を回動制御するものとしてもよい。
【００４０】
・上記実施の形態では、偏光部材として偏光板を用いたが、１／２波長板２を通過したレーザ光の内、所定の偏光方向のレーザ光のみを通過させることができれば、他の構成の偏光部材に変更してもよい。
【００４１】
・上記実施の形態では、レーザ発振器１は、電流、及び発振周波数により決定される発振条件が、図２（ａ）に示すように、パワーが速やかに所望の値となり安定する特定の発振条件で一定とされるとしたが、これに限定されず、例えば、１／２波長板２を回動させることに加えて前記発振条件を変更することで偏光板４を通過し加工対象物１１に照射するためのレーザ光のパワーを変更（調整）するようにしてもよい。尚、このようにすると、例えば、前記立ち上がり応答特性の不具合を（例えば製品として合格する範囲の最低限度に）抑えるとともに、ダンパ５に吸収させるレーザ光のパワーを少なくしてエネルギーロスを極力抑えるといったことが可能となる。
【００４２】
・上記実施の形態では、本発明をレーザマーキング装置に具体化したが、加工として例えば、光軸直交方向に連続して長い凹部を形成するもの等、他のレーザ加工装置に変更してもよい。尚、光軸直交方向に連続して長い凹部を形成するレーザ加工装置に具体化した場合では、その加工の最初の部分で凹部が深くなったり、浅くなったりすることを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本実施の形態におけるレーザマーキング装置の概略構成図。
【図２】（ａ）特定の発振条件での時間−パワー特性図。（ｂ）特定の発振条件と異なる発振条件での時間−パワー特性図。（ｃ）特定の発振条件と異なる発振条件での時間−パワー特性図。
【符号の説明】
【００４４】
１…レーザ発振器、２…１／２波長板、３…モータ（回動手段、電動駆動手段及び速度対応電動駆動手段）、４…偏光板（偏光部材）、５…ダンパ、１１…加工対象物。
【図１】
2007268581.tif 000003
【図２】
2007268581.tif 000004