(57)【要約】【課題】  被検レンズの光学的な性能を少ないスペースで、且つ効率良く検査できるようにする。【解決手段】  レンズ性能検査装置１は、被検レンズ１１を保持するベース部を有し、ベース部には、２次元撮像素子１４が位置移動機構１５によって移動自在に保持されている。被検レンズ１１を挟むようにして２次元撮像素子１４に対向する位置には、検査用チャート１２が配置されており、被検レンズ１１の軸外にある軸外検査用チャート１２１，１３１は、隣り合う他のレンズ性能検査装置２，３と共有される。【選択図】    図１
2007010328.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検レンズの中心軸上及び中心軸外に配設される検査用チャートと、
前記被検レンズにより結像した前記検査用チャートの像を撮像する撮像手段とを備え、
前記撮像手段から出力される前記検査用チャートの像に対応する光強度分布信号の演算処理により前記被検レンズの光学性能を検査するレンズ性能検査装置において、
軸外の前記検査用チャートを複数の前記撮像手段で共有することを特徴とするレンズ性能検査装置。
【請求項２】
被検レンズの中心軸上及び中心軸外に配設される検査用チャートの像を前記被検レンズによって撮像手段に結像させ、前記検査用チャートの像に対応する光強度分布信号の演算処理により前記被検レンズの光学性能を検査するレンズ性能検査方法において、
軸外に配置され、他の前記撮像手段と共用する前記検査用チャートを用いて前記被検レンズの光学性能を検査することを特徴とするレンズ性能検査方法。
【請求項３】
被検レンズの中心軸上及び中心軸外に配設される検査用チャートと、
前記被検レンズにより結像した前記検査用チャート像を撮像する撮像手段とを備え、
前記撮像手段から出力される前記検査用チャートの像に対応する光強度分布信号の演算処理により前記被検レンズの光学性能を検査するレンズ性能検査装置において、
前記検査用チャートは、広角用と、望遠用とにそれぞれ複数有し、広角用の前記検査用チャートのうち、中心軸上に配置される前記検査用チャートと、望遠用の前記検査用チャートのうち、中心軸上に配置される前記検査用チャートと、前記被検レンズの中心軸とを一致させたことを特徴とするレンズ性能検査装置。
【請求項４】
被検レンズの中心軸上及び中心軸外に配設される検査用チャートの像を前記被検レンズによって撮像手段に結像させ、前記検査用チャートの像に対応する光強度分布信号の演算処理により前記被検レンズの光学性能を検査するレンズ性能検査方法において、
前記被検レンズの中心軸線方向に前後して配置された広角側検査用チャートと、望遠側検査用チャートとを用いて順番に前記被検レンズの光学性能を検査し、中心軸上の前記望遠側検査用チャートを用いて検査するときには、中心軸上の前記広角側検査用チャートを待避させることを特徴とするレンズ性能検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検レンズの光学性能を検査するレンズ性能検査装置、レンズ性能検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学系（例えば、被検レンズ）を評価する際には、チャート板にスリットを形成し、スリット背面側に設けられたランプの光を、被検レンズを介して一次元アレイセンサ又は固体撮像素子（以下、一次元アレイセンサ等とする）に入射させ、スリット画像を一次元アレイセンサ等で撮像し、この撮像画像に基づいて被検光学系のＭＦＴ（Modulation Transfer Function）値を演算するＭＦＴ測定装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
また、カメラなどに用いられるレンズのピント調整を行う方法としては、チャート紙に描画された中心チャート部及び周辺チャート部を、検査対象であるカメラの撮像レンズを介して撮像手段で撮像し、この撮像手段の撮像画像に基づいてＭＦＴ値を演算するピント調整装置が用いられている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平３−２２５２４９号公報
【特許文献２】特開２００２−２６７９２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のＭＴＦ測定装置は、被検レンズから任意の距離に置かれた検査用チャートを、被検レンズを介して撮像し、その撮像画像に基づいてＭＴＦ値を演算しているので、被検レンズの軸外のＭＴＦ値を測定する場合には、その方向で中心から離れた位置に検査用チャートを設ける必要がある。
【０００４】
ここで、カメラなどの撮像レンズの軸外のＭＴＦ値を測定する場合、像高が６０〜９０％となる位置でのＭＴＦ値を測定することが一般的である。さらに、カメラなどの撮像レンズは、その最小の焦点距離が０．５〜２ｍ程度になる。その結果、従来のＭＴＦ測定装置を用いて、カメラなどの撮像レンズのＭＴＦ値を測定する場合には、非常に大きな測定場所を確保する必要がある。例えば、最小焦点距離が２ｍで、画角が±４５°であるカメラの撮像レンズの９０％像高でのＭＴＦ値を測定する場合には、検査用チャートと被検レンズの間隔として２ｍ、軸外同士の検査用チャートの間隔として３．６（＝０．９×２×２）ｍが必要になるので、少なくとも７．２ｍ２の測定場所が必要になる。このため、大量生産されるカメラの撮像レンズなどを全て検査する場合には、複数のＭＴＦ測定装置を導入する必要があり、ＭＴＦ測定装置の占有面積の大きさが問題になる。
【０００５】
また、ズームレンズの場合には、広角側と望遠側とで異なる有限の距離で性能を検査することが一般的になっており、それぞれの状態で単独のＭＴＦ測定装置を用いて性能検査が行われている。このため、大量生産されるカメラの撮像レンズなどの全てを検査する場合には、占有面積の異なるＭＴＦ測定装置が複数台設置されることになり、工場のレイアウトが煩雑になると共に、占有面積の大きさが問題になる。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、被検レンズの光学的な性能を少ないスペースで、且つ効率良く検査できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決する本発明の請求項１に係る発明は、被検レンズの中心軸上及び中心軸外に配設される検査用チャートと、前記被検レンズにより結像した前記検査用チャートの像を撮像する撮像手段とを備え、前記撮像手段から出力される前記検査用チャートの像に対応する光強度分布信号の演算処理により前記被検レンズの光学性能を検査するレンズ性能検査装置において、軸外の前記検査用チャートを複数の前記撮像手段で共有することを特徴とするレンズ性能検査装置とした。
【０００７】
請求項２に係る発明は、被検レンズの中心軸上及び中心軸外に配設される検査用チャートの像を前記被検レンズによって撮像手段に結像させ、前記検査用チャートの像に対応する光強度分布信号の演算処理により前記被検レンズの光学性能を検査するレンズ性能検査方法において、軸外に配置され、他の前記撮像手段と共用する前記検査用チャートを用いて前記被検レンズの光学性能を検査することを特徴とするレンズ性能検査方法とした。
【０００８】
被検レンズの光学性能を検査する際には、被検レンズによって結像される検査用チャートの物体像を、撮像手段に取り込ませ、撮像手段の撮像素子において電気信号に変換させる。撮像素子から出力された電気信号は、ＦＦＴ（高速フーリエ変換）されることでＭＴＦ値が算出され、その結果に基づいて被検レンズの光学性能が評価される。この場合において、軸外の検査用チャートを複数の装置で共有しているので、実際に複数の装置を配設する場合に比べて少ないスペースになる。
【０００９】
請求項３に係る発明は、被検レンズの中心軸上及び中心軸外に配設される検査用チャートと、前記被検レンズにより結像した前記検査用チャート像を撮像する撮像手段とを備え、前記撮像手段から出力される前記検査用チャートの像に対応する光強度分布信号の演算処理により前記被検レンズの光学性能を検査するレンズ性能検査装置において、前記検査用チャートは、広角用と、望遠用とにそれぞれ複数有し、広角用の前記検査用チャートのうち、中心軸上に配置される前記検査用チャートと、望遠用の前記検査用チャートのうち、中心軸上に配置される前記検査用チャートと、前記被検レンズの中心軸とを一致させたことを特徴とするレンズ性能検査装置とした。
【００１０】
請求項４に係る発明は、被検レンズの中心軸上及び中心軸外に配設される検査用チャートの像を前記被検レンズによって撮像手段に結像させ、前記検査用チャートの像に対応する光強度分布信号の演算処理により前記被検レンズの光学性能を検査するレンズ性能検査方法において、前記被検レンズの中心軸線方向に前後して配置された広角側検査用チャートと、望遠側検査用チャートとを用いて順番に前記被検レンズの光学性能を検査し、中心軸上の前記望遠側検査用チャートを用いて検査するときには、中心軸上の前記広角側検査用チャートを待避させることを特徴とするレンズ性能検査方法とした。
【００１１】
被検レンズの広角側の光学性能を測定する場合には、広角側の測定に適した距離に設置された中心軸上及び中心軸外の検査用チャートの被検レンズによって結像される検査用チャートの物体像を、撮像手段で取り込む。撮像手段の撮像素子から出力される電気信号は、ＦＦＴされることでＭＴＦ値が算出され、その結果に基づいて被検レンズの広角側の光学性能が評価される。一方、レンズの望遠側の光学性能を測定する場合には、最初に被検レンズの広角側の中心検査用チャートを待避させ、その後に望遠側の測定に適した距離に設置された中心軸上及び中心軸外の検査用チャートの物体像を被検レンズによって撮像手段に取り込ませる。撮像手段の撮像素子から出力される電気信号は、ＦＦＴされることでＭＴＦ値が算出され、その結果に基づいて被検レンズの望遠側の光学性能が評価される。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１又は請求項２に係る発明によれば、中心軸外の検査用チャートを複数の撮像手段で共有するので、実際に複数の装置を配設する場合に比べて少ないスペースになり、被検レンズの性能評価が行える。さらに、複数の撮像手段で軸外チャートを共有するので、軸外の検査用チャートのチャート交換や、照明用光源のランプ交換などのメンテナンスに要する時間を短縮できる。
請求項３又は請求項４に係る発明によれば、広角側及び望遠側の検査用チャートのそれぞれ別々に配設した場合に比べて少ないスペースで被検レンズの性能を評価することが可能になる。さらに、被検レンズにより結像したチャート像を解析する撮像素子や電気信号を解析するハードウェアなどは、広角側と望遠側と共有されるので、装置をより安価にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
（第１の実施の形態）
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は本実施の形態に係るレンズ性能検査装置の構成を示す平面図である。なお、図１においては、中心にレンズ性能検査装置１、図１でレンズ性能検査装置１の上側にレンズ性能検査装置２、同じくレンズ性能検査装置１の下側にレンズ性能検査装置３、合計３つのレンズ性能検査装置が並列に配置されることでレンズ性能検査システムが構築されているが、レンズ性能検査装置の配列数は、２つ以上であれば良く、３つに限定されない。
【００１４】
レンズ性能検査装置１は、床面などに設置されるベース部１０を有し、ベース部１０上には、検査対象となる被検レンズ１１が不図示のレンズホルダによって位置決めして固定されている。被検レンズ１１の軸線方向であるＸ方向において被検レンズ１１を挟むように、中心検査用チャート１２及び軸外検査用チャート１２１，１３１と、位置移動機構１５とが配置されている。中心検査用チャート１２は、被検レンズ１１の光軸（図１に示す中心軸Ｌ１）上に設置されている。軸外検査用チャート１２１，１３１は、中心検査用チャート１２から、Ｘ方向と直交するＹ方向に所定距離だけ離れた位置に配置されている。各検査用チャート１２，１２１，１３１の配設間隔は、被検レンズ１１の大きさや、焦点距離によって異なる値が設定される。さらに、中心検査用チャート１２及び軸外検査用チャート１２１，１３１を照明する光源１３，１２２，１３２が背面側（図１において右側）に配置されている。
【００１５】
位置移動機構１５は、ベース部１０上に設置されており、位置移動機構１５上には、被検レンズ１１を通して得られる各検査用チャート１２，１２１，１３１の像を撮影可能な撮像手段として、２次元撮像素子１４が取り付けられ、位置移動機構１５によって２次元撮像素子１４は被検レンズ１１に対して移動自在になっている。位置移動機構１５は、中心検査用チャート１２及び軸外検査用チャート１２１，１３１と、２次元撮像素子１４との相対位置を変化させるもので、例えば、中心軸Ｌ１線に直交する横方向（Ｙ方向）、上下方向（Ｚ方向）、Ｚ方向の軸線回り（θ方向）に移動可能な多軸ステージから構成されている。また、２次元撮像素子１４を中心軸Ｌ１線に沿って、被検レンズ１１に近接隔離させる方向（Ｘ方向）にも移動可能な構成でも良い。このような位置移動機構１５は、ケーブル１８を介して制御処理手段１６に接続されている。また、２次元撮像素子１４は、ケーブル１７を介して制御処理手段１６に接続されている。
【００１６】
制御処理手段１６は、２次元撮像素子１４の出力信号を取り込むと共に、位置移動機構１５の駆動制御を行うものである。図２に具体的な構成例を示すように、制御処理手段１６は、全体の制御を行う制御部５１と、予め検査対象となる像高の値や、被検レンズ１１の合否判定をするための規格値（ＭＴＦ値）を格納している記憶部５２と、ＭＴＦ値の演算等の各種演算を行う演算部５３と、各種データを表示する表示部５４と、ラベリング（粒子解析による特徴量抽出）処理等の画像処理を行う画像処理部５５と、制御部５１の制御の下に位置移動機構１５を駆動する駆動部５６とを有している。
【００１７】
また、図１に示すように、レンズ性能検査装置２，３は、レンズ性能検査装置１と同様の装置構成になっている。すなわち、レンズ性能検査装置２は、ベース部２０上に被検レンズ２１を保持し、被検レンズ２１を中心軸Ｌ２方向で挟むように、位置移動機構２５と、中心検査用チャート２２及び軸外検査用チャート１２１，１２３とが配置されている。各チャート２２，１２１，１２３の背面側には、光源２３，１２２，１２４が配置されている。位置移動機構２５上には、２次元撮像素子２４が取り付けられ、位置移動機構２５によって２次元撮像素子２４は被検レンズ２１に対してＹＺθ方向（及びＸ方向）に移動自在となっている。位置移動機構２５は、ケーブル２８を介して制御処理手段２６に接続されている。２次元撮像素子２４は、ケーブル２７を介して制御処理手段２６に接続されている。
【００１８】
レンズ性能検査装置３は、ベース部３０上の被検レンズ３１を中心軸Ｌ３方向で挟むように、位置移動機構３５と、中心検査用チャート３２及び軸外検査用チャート１３１，１３３とが配置され、各チャート３２，１３１，１３３の背面側には、光源３３，１３２，１３４が配置されている。位置移動機構３５上には、２次元撮像素子３４が取り付けられ、位置移動機構３５によって２次元撮像素子３４は被検レンズ３１に対してＹＺθ方向（及びＸ方向）に移動自在となっている。位置移動機構３５は、ケーブル３８を介して制御処理手段３６に接続されている。２次元撮像素子３４は、ケーブル３７を介して制御処理手段３６に接続されている。位置移動機構２５，３５、制御処理手段２６，３６の構成及び機能は、それぞれ位置移動機構１５、制御処理手段１６と同じ構成になっている。
【００１９】
ここで、軸外検査用チャート１２１及びこれを照明する光源１２２は、レンズ性能検査装置１とレンズ性能検査装置２で共有されている。また、軸外検査用チャート１３１及びこれを照明する光源１３２は、レンズ性能検査装置１とレンズ性能検査装置３で共有されている。
【００２０】
次に、この実施の形態の作用を説明する。
まず、レンズ性能検査装置１で被検レンズ１１の性能検査を行う場合には、２次元撮像素子１４を光軸上に配置し、光源１３によって照明された中心検査用チャート１２の像を被検レンズ１１によって結像させ、被検レンズ１１の中心の性能検査を行う。この像は、２次元撮像素子１４によって光強度分布に対応した電気信号に変換され、ケーブル１７を介して制御処理手段１６に２次元画像データとして取り込まれる。この２次元画像データは、２次元撮像素子１４の画素配置と一対一の対応関係になっていて、光強度が強い箇所ほど大きな値となる光強度分布をデジタル化したデータになっている。この２次元画像データは、演算部５３においてＦＦＴ（高速フーリエ変換）演算され、これによって被検レンズ１１の中心のＭＴＦ値が算出される。
【００２１】
また、被検レンズ１１の軸外の性能検査を行うときには、軸外検査用チャート１２１又は軸外検査用チャート１３１を使用する。軸外検査用チャート１２１を使用するときには、光源１２２で軸外検査用チャート１２１を照明する。位置移動機構１５を駆動して、被検レンズ１１を通して得られる軸外検査用チャート１２１の像が結像する位置に２次元撮像素子１４を移動させる。２次元撮像素子１４上に結像した軸外検査用チャート１２１の像は、前記と同様に制御処理手段１６で演算を行って被検レンズ１１の軸外の位置でのＭＴＦ値を算出する。同様に、軸外検査用チャート１３１を用い、２次元撮像素子１４の位置を調整して軸外検査用チャート１３１の像を取得し、制御処理手段１６で演算を行って被検レンズ１１の軸外の位置でのＭＴＦ値を算出する。そして、制御処理手段１６の制御部５１は、演算部５３にて算出した各ＭＴＦ値を予め記憶部５２に格納している合否判定の規格値と比較判定し、合否結果を画像処理部５５を介して表示部５４に表示し、作業者に呈示する。
【００２２】
このレンズ性能検査装置１の隣に平行に設置されたレンズ性能検査装置２も同様なフローでＭＴＦの算出が行われる。被検レンズ２１の軸外の性能検査のうち被検レンズ２１からみて右側の軸外の性能検査を行う際には、隣り合うレンズ性能検査装置１と共有している軸外検査用チャート１２１及びこれを照明する光源１２２を使用する。光源１２２によって照明された軸外検査用チャート１２１の像は、被検レンズ２１によって結像するので、位置移動機構２５で２次元撮像素子２４を移動させ、軸外検査用チャート１２１の像を撮像する。２次元撮像素子２４上に結像した軸外検査用チャート１２１の像は、２次元撮像素子２４によって光強度分布に対応した電気信号に変換され、ケーブル２７を介して制御処理手段２６に２次元画像データとして取り込まれる。この２次元画像データは、２次元撮像素子２４の画素配置と一対一の対応関係になっていて、光強度が強い箇所ほど大きな値となる光強度分布をデジタル化したデータになっている。この２次元画像データは、演算部５３においてＦＦＴ（高速フーリエ変換）演算され、これによって被検レンズ２１の軸外のＭＴＦ値が算出される。
【００２３】
さらに、レンズ性能検査装置１の隣に平行に設置されたレンズ性能検査装置３も同様なフローでＭＴＦの算出を行う。被検レンズ３１の軸外の性能検査のうち被検レンズ３１からみて左側の軸外の性能検査を行う際には、隣り合うレンズ性能検査装置１と共有している軸外検査用チャート１３１及びこれを照明する光源１３２を使用する。光源１３２によって照明された軸外検査用チャート１３１の像は、被検レンズ３１によって結像するので、位置移動機構３５で２次元撮像素子３４を移動させ、軸外検査用チャート１３１の像を撮像する。２次元撮像素子３４上に結像した軸外検査用チャート１３１の像は、２次元撮像素子３４によって光強度分布に対応した電気信号に変換され、ケーブル３７を介して制御処理手段３６に２次元画像データとして取り込まれる。この２次元画像データは、２次元撮像素子３４の画素配置と一対一の対応関係になっていて、光強度が強い箇所ほど大きな値となる光強度分布をデジタル化したデータになっている。この２次元画像データは、演算部５３においてＦＦＴ（高速フーリエ変換）演算され、これによって被検レンズ３１の軸外のＭＴＦ値が算出される。
【００２４】
この実施の形態によれば、レンズ性能検査装置１，２，３を並列に配置し、隣り合うレンズ性能検査装置１，２，３で使用する軸外検査用チャート１２１，１３１を共有するようにしたので、従来のように複数のレンズ性能検査装置を別々に配設する場合に比べて、少ないスペースでレンズの性能評価をすることができる。さらに、複数のレンズ性能検査装置１，２，３で軸外検査用チャート１２１，１３１を共有するため、軸外検査用チャート１２１，１３１の交換や、光源１２２，１３２のランプ交換といったメンテナンスに要する時間を短縮できる。
【００２５】
なお、共有される軸外検査用チャート１２１，１３１を使用する際には、共有する２つのレンズ性能検査装置１，２，３で同時にその軸外検査用チャート１２１，１３１を使用するように２次元撮像素子１４，２４，３４を制御すると、検査をさらに効率的に行うことが可能になる。また、対応する光源１２２，１３２の点灯時間を節約することができるので、ランプ交換の頻度を少なくすることができる。
【００２６】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について図２及び図３を参照して説明する。なお、第１の実施の形態と同じ構成要素には同一の符号を付してある。また、重複する説明は省略する。
図３に示すように、このレンズ性能検査装置５９は、ベース部６０に検査対象となる被検ズームレンズ６１（被検レンズ）が位置決めして固定されている。この被検ズームレンズ６１を挟むように、広角側中心検査用チャート６２及び望遠側中心検査用チャート６６と、これらの像を撮像する撮像手段である２次元撮像素子７０とが配置されている。
【００２７】
広角側中心検査用チャート６２と、望遠側中心検査用チャート６６とは、被検ズームレンズ６１の中心軸Ｌ４上に配置されており、広角側中心検査用チャート６２の方が被検ズームレンズ６１に近い位置に配置されている。ここで、広角側中心検査用チャート６２を挟むようにＹ方向に所定距離だけ離れた位置には、広角側軸外検査用チャート６４Ａ，６４Ｂが配置されている。これら広角側の検査用チャート６２，６４Ａ，６４Ｂは、被検ズームレンズ６１を広角モードで使用する場合の光学性能を評価するために配設されている。また、望遠側中心検査用チャート６６を挟むようにＹ方向に所定距離だけ離れた位置には、望遠側軸外検査用チャート６８Ａ，６８Ｂが配置されている。これら望遠側の検査用チャート６６，６８Ａ，６８Ｂは、被検ズームレンズ６１を望遠モードで使用する場合の光学性能を評価するために配設されている。
【００２８】
さらに、広角側の各検査用チャート６２，６４Ａ，６４Ｂの背面側（被検ズームレンズ６１から離れる方向）のそれぞれには、照明用の光源６３，６５Ａ，６５Ｂが配置されている。同様に、望遠側の各検査用チャート６６，６８Ａ，６８Ｂの背面側のそれぞれには、照明用の光源６７，６９Ａ，６９Ｂが配置されている。ここで、広角側中心検査用チャート６２及び光源６３は、望遠側の測定の際、光源６７により照明された望遠側中心検査用チャート６６からの光束を遮らない位置へ待避する待避機構７５に支持されている。待避機構７５は、制御処理手段７２に接続されており駆動制御されるようになっている。
【００２９】
２次元撮像素子７０は、ベース部６０上に設置された位置移動機構７１に取り付けられ、位置移動機構７１によって被検ズームレンズ６１に対してＹＺθ方向（及びＸ方向）に移動自在になっている。位置移動機構７１の構成は、第１の実施の形態の位置移動機構１５に略等しい。さらに、制御処理手段７２のその他の構成及び機能は、第１の実施の形態の制御処理手段１６と同じである。すなわち、制御処理手段７２には、ケーブル７３，７４を介して２次元撮像素子７０、位置移動機構７１に接続されており、２次元撮像素子７０の出力信号を取り込むと共に、位置移動機構７１の駆動制御を行うようになっている。
【００３０】
次に、この実施の形態の作用について説明する。
被検ズームレンズ６１の広角側の性能検査では、光源６３によって照明された広角側中心検査用チャート６２の像は、広角側にズーム駆動された被検ズームレンズ６１によって結像するので、位置移動機構７１を駆動して２次元撮像素子７０上に広角側中心検査用チャート６２の像を結像させる。この像は、２次元撮像素子７０によって光強度分布に対応した電気信号に変換され、ケーブル７３を介して制御処理手段７２に２次元画像データとして取り込まれる。この２次元画像データは、２次元撮像素子７０の画素配置と一対一の対応関係になっていて、光強度が強い箇所ほど大きな値となる光強度分布をデジタル化したデータになっている。この２次元画像データは、演算部５３においてＦＦＴ（高速フーリエ変換）演算され、これによって被検ズームレンズ６１の広角側の中心のＭＴＦ値が算出される。
【００３１】
また、広角側の軸外の性能検査では、広角側軸外検査用チャート６４Ａ、広角側軸外検査用チャート６４Ｂを順番に使用して測定を行う。光源６５Ａ，６５Ｂによって照明された広角側軸外検査用チャート６４Ａ又は、広角側軸外検査用チャート６４Ｂの像は、被検ズームレンズ６１によって結像するので、その結像位置に、２次元撮像素子７０を位置移動機構７１で順番に移動させる。この後は中心の測定時と同様の処理を実施し、広角側の軸外のＭＴＦ値を算出する。制御部５１は、演算部５３にて算出したＭＴＦ値を予め記憶部５２に格納している合否判定の規格値と比較判定し、合否結果を表示部５４に表示して作業者に呈示する。
【００３２】
被検ズームレンズ６１の望遠側の性能検査では、待避機構７５を駆動させて広角側中心検査用チャート６２及び光源６３を中心軸Ｌ４上から待避させる。光源６７によって照明された望遠側中心検査用チャート６６の像は、望遠側にズーム駆動された被検ズームレンズ６１によって結像するので、位置移動機構７１を駆動して２次元撮像素子７０上に望遠側中心検査用チャート６６の像を結像させる。この像は、２次元撮像素子７０によって光強度分布に対応した電気信号に変換され、ケーブル７３を介して制御処理手段７２に２次元画像データとして取り込まれる。この２次元画像データは、２次元撮像素子７０の画素配置と一対一の対応関係になっていて、光強度が強い箇所ほど大きな値となる光強度分布をデジタル化したデータになっている。この２次元画像データは、演算部５３においてＦＦＴ（高速フーリエ変換）演算され、これによって被検ズームレンズ６１の望遠側の中心のＭＴＦ値が算出される。
【００３３】
また、望遠側の軸外の性能検査では、望遠側軸外検査用チャート６８Ａ、望遠側軸外検査用チャート６８Ｂを順番に使用して測定を行う。光源６９Ａ，６９Ｂによって照明された望遠側軸外検査用チャート６８Ａ又は、望遠側軸外検査用チャート６８Ｂの像は、被検ズームレンズ６１によって結像するので、その結像位置に、２次元撮像素子７０を位置移動機構７１で順番に移動させる。この後は中心の測定時と同様の処理を実施し、望遠側の軸外のＭＴＦ値を算出する。制御部５１は、演算部５３にて算出したＭＴＦ値を予め記憶部５２に格納している合否判定の規格値と比較判定し、合否結果を表示部５４に表示して作業者に呈示する。
【００３４】
この実施の形態によれば、広角用と望遠用の検査用チャート６２，６６を中心軸Ｌ４方向に前後して配置したので、従来のように広角用及び望遠用のそれぞれの検査用チャートを別々に配設する場合に比べて、少ないスペースで被検ズームレンズ６１の性能を評価することが出来る。さらに、被検ズームレンズ６１により結像したチャート像を解析する２次元撮像素子７０や、電気信号を解析する制御処理手段７２を広角用の検査と、望遠用の検査とで共用することが可能になり、装置をより安価にすることができる。
【００３５】
なお、本発明は、前記の各実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、第２の実施の形態に係るレンズ性能検査装置５９を並列に複数配設し、隣り合うレンズ性能検査装置５９のいずれかの広角側軸外検査用チャート６４Ａ，６４Ｂと、いずれかの望遠側軸外検査用チャート６８Ａ，６８Ｂと、対応する光源６５Ａ，６５Ｂ，６９Ａ，６９Ｂと、を共有させても良い。この場合には、各実施の形態の作用及び効果が得られる。
また、隣り合うレンズ性能検査装置１，２，３，５９で、中心の検査用チャート１２，２２，３２，６２，６６と、いずれかの軸外の検査用チャート１２１，１３１，６４Ａ，６４Ｂ，６８Ａ，６８Ｂとの２つを共有しても良い。この場合には、２つのレンズ性能検査装置１，２，３，５９の配置間隔をさらに狭くすることができる。
撮像手段である２次元撮像素子１４，２４，３４，７０を、検査位置に対応させてＹ方向に複数配置しても良い。このようにすると、位置移動機構１５，２５，３５，７１の構成を簡略化することができると共に、測定時間をさらに短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態に係るレンズ性能検査装置の構成を示す平面図である。
【図２】制御処理手段の概略構成を示す図である。
【図３】レンズ性能検査装置の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１，２，３，５９    レンズ性能検査装置
１１，２１，３１    被検レンズ
１２，２２，３１    中心検査用チャート
１４，２４，３４    ２次元撮像素子（撮像手段）
６１    被検ズームレンズ（被検レンズ）
６２    広角側中心検査用チャート
６４Ａ，６４Ｂ    広角側軸外検査用チャート
６６    望遠側中心検査用チャート
６８Ａ，６８Ｂ    望遠側軸外検査用チャート
１２１，１３１    軸外検査用チャート
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４    中心軸
【図１】
2007010328.tif 000003
【図２】
2007010328.tif 000004
【図３】
2007010328.tif 000005