(57)【要約】【課題】  研磨ローラの研磨面に凸部があってもワークの表面に傷を残しにくい研磨装置を提供する。【解決手段】  研磨装置１０は、研磨面１２ａを有する研磨ローラ１２を備えている。長尺シート状のワーク１１は、送りローラ１４、巻き取りローラ１５およびガイドローラ１６、１７によって搬送される。これらのガイドローラは、研磨ローラの両側でワークの一方の主面１１ａを支持する。ワークの他方の主面１１ｂは、研磨ローラの回転軸線１２ｅに平行な平面内でその回転軸線に対して傾斜した方向に搬送されながら研磨面に面接触させられる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺シート状のワークを搬送する搬送手段と、
研磨面を有する研磨ローラと、
を備える研磨装置であって、
前記搬送手段は、前記研磨ローラの回転軸線に平行な平面内で該回転軸線に対して傾斜した方向に前記ワークを搬送しながら該ワークを前記研磨面に面接触させる、研磨装置。
【請求項２】
前記搬送手段は、前記ワークを前記研磨面に面接触するように支持するガイド手段と、前記研磨ローラによって研磨された前記ワークを巻き取る巻き取りローラとを含んでおり、
前記研磨ローラおよび前記巻き取りローラは、それぞれ水平な回転軸線を中心として回転自在であり、
前記研磨ローラの回転軸線は、前記巻き取りローラの回転軸線に対して傾斜している、請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記ガイド手段は、前記研磨ローラの両側で前記ワークの一方の主面を支持する一対のガイドローラを含んでおり、
該一対のガイドローラは、前記ワークの他方の主面を前記研磨面に面接触させる、請求項１または２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記一対のガイドローラの各々は、水平な回転軸線を中心として回転自在であり、
各前記ガイドローラの回転軸線は、巻き取りローラの回転軸線に対して傾斜しており、
各前記ガイドローラの回転軸線が前記巻き取りローラの回転軸線となす鋭角は、前記研磨ローラの回転軸線が前記巻き取りローラの回転軸線となす鋭角よりも小さい、請求項３に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記搬送手段は、前記ワークにバックテンションを加えながら前記ワークを搬送し、
前記一対のガイドローラは、前記ワークを前記研磨面に向けて押圧するように付勢されている、
請求項３または４に記載の研磨装置。
【請求項６】
研磨面を有する研磨ローラを用いて長尺シート状のワークを研磨する方法であって、
前記研磨ローラの回転軸線に平行な平面内で該回転軸線に対して傾斜した方向に前記ワークを搬送すると共に、前記ワークを前記研磨面に面接触させながら前記研磨ローラを回転させて前記ワークを研磨する第１工程を備える研磨方法。
【請求項７】
前記研磨ローラによって研磨された前記ワークを、巻き取りローラを用いて巻き取る第２工程を更に備え、
前記研磨ローラおよび前記巻き取りローラは、それぞれ水平な回転軸線を中心として回転自在であり、
前記研磨ローラの回転軸は、前記巻き取りローラの回転軸線に対して傾斜している、請求項６に記載の研磨方法。
【請求項８】
前記第１工程は、前記研磨ローラの両側で前記ワークの一方の主面を支持する一対のガイドローラを用いて、前記ワークの他方の主面を前記研磨面に面接触させる、請求項６または７に記載の研磨方法。
【請求項９】
前記一対のガイドローラの各々は、水平な回転軸線を中心として回転自在であり、
各前記ガイドローラの回転軸線は、巻き取りローラの回転軸線に対して傾斜しており、
各前記ガイドローラの回転軸線が前記巻き取りローラの回転軸線となす鋭角は、前記研磨ローラの回転軸線が前記巻き取りローラの回転軸線となす鋭角よりも小さい、請求項８に記載の研磨方法。
【請求項１０】
前記第１工程は、前記ワークにバックテンションを加え、かつ前記ワークを前記研磨面に向けて押圧しながら前記ワークを搬送する、請求項８または９に記載の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、長尺シート状のワーク（被加工物）を研磨する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１〜３には、ワークの下面をバックアップロールで支えながら、ワークの上面をバフ研磨ローラで研磨する研磨装置が開示されている。これらの研磨装置は、研磨ローラとバックアップロールとで板状のワークを上下から挟み付けながら研磨ローラを回転させることにより研磨を行う。よって円筒状の研磨面と板状のワークとは線で接触する。研磨ローラが回転すると、その線上においてワークが研磨されることになる。
【特許文献１】特開平６−９１５１５号公報
【特許文献２】特開平６−１２６６１１号公報
【特許文献３】特開２００３−２６６２９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記の従来技術では、ワークは搬送用のローラに乗せられて研磨ローラに送られる。研磨面の欠陥や研磨面への異物の付着のために研磨面に異常な凸部がある場合、研磨ローラとバックアップロールとに挟まれるワークの表面には、その凸部に対応した傷（凹み）が形成されてしまう。研磨ローラが回転し、ワークが搬送されるに伴い、このような傷がワークの表面で点線状に連なって形成されることになり、好ましくない。
【０００４】
そこで、本発明は、研磨ローラの研磨面に凸部があってもワークの表面に傷を残しにくい研磨装置および研磨方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一つの側面は、研磨装置に関する。この研磨装置は、長尺シート状のワークを搬送する搬送手段と、研磨面を有する研磨ローラとを備えている。搬送手段は、研磨ローラの回転軸線に平行な平面内で該回転軸線に対して傾斜した方向にワークを搬送しながらワークを研磨面に面接触させる。
【０００６】
研磨面の欠陥や異物の付着により研磨ローラの研磨面に異常な凸部が生じ、その凸部によってワークの表面に傷が形成されても、研磨ローラの回転軸線に平行な平面内で該回転軸線に対して傾斜した方向にワークが搬送されるに伴い、研磨面の正常な部分によって傷を含む領域が研磨され、平滑化される。したがって、ワークの表面に傷が残りにくい。
【０００７】
搬送手段は、ワークを研磨面に面接触するように支持するガイド手段と、研磨ローラによって研磨されたワークを巻き取る巻き取りローラとを含んでいてもよい。研磨ローラおよび巻き取りローラは、それぞれ水平な回転軸線を中心として回転自在であってもよい。研磨ローラの回転軸線は、巻き取りローラの回転軸線に対して傾斜していてもよい。
【０００８】
研磨ローラの回転軸線をこのように傾斜させることにより、その回転軸線に対して傾斜した方向にワークを容易に搬送できるようになる。
【０００９】
ガイド手段は、研磨ローラの両側でワークの一方の主面を支持する一対のガイドローラを含んでいてもよい。これら一対のガイドローラは、ワークの他方の主面を研磨面に面接触させてもよい。
【００１０】
これらのガイドローラによってワークが研磨ローラの両側で支持されるため、バックアップロールを用いて研磨ローラとの間にワークを狭み付けながらワークを研磨する必要はない。このため、研磨面の凸部によってワークの表面に傷が比較的つきにくく、したがって、ワークの表面にいっそう傷が残りにくい。
【００１１】
各ガイドローラは、水平な回転軸線を中心として回転自在であり、この各回転軸線は、巻き取りローラの回転軸線に対して傾斜していてもよい。各ガイドローラの回転軸線が巻き取りローラの回転軸線となす鋭角は、研磨ローラの回転軸が巻き取りローラの回転軸線となす鋭角よりも小さくてもよい。
【００１２】
研磨ローラの回転軸線よりも傾斜の小さな回転軸線を有するガイドローラを用いることで、研磨ローラでワークに湾曲が生じても、その湾曲をガイドローラで緩和することができる。これにより、ワークの巻き取りを円滑に行うと共に、ワークの歪みを抑えることができる。
【００１３】
搬送手段は、ワークにバックテンションを加えながらワークを搬送してもよい。上述した一対のガイドローラは、ワークを研磨面に向けて押圧するように付勢されていてもよい。
【００１４】
バックテンションを加えることで、ワークを研磨面に密着させて均一に研磨することが容易になる。
【００１５】
本発明の別の側面は、研磨面を有する研磨ローラを用いて長尺シート状のワークを研磨する方法に関する。この研磨方法は、研磨ローラの回転軸線に平行な平面内で該回転軸線に対して傾斜した方向にワークを搬送すると共に、ワークを研磨面に面接触させながら研磨ローラを回転させてワークを研磨する第１工程を備えている。
【００１６】
研磨ローラの研磨面の凸部によってワークの表面に傷が形成されても、研磨ローラの回転軸線に平行な平面内で該回転軸線に対して傾斜した方向にワークが搬送されるに伴い、研磨面の正常な部分によって傷を含む領域が研磨され、平滑化される。したがって、ワークの表面に傷が残りにくい。
【００１７】
この研磨方法は、研磨ローラによって研磨されたワークを、巻き取りローラを用いて巻き取る第２工程を更に備えていてもよい。研磨ローラおよび巻き取りローラは、それぞれ水平な回転軸線を中心として回転自在であり、研磨ローラの回転軸線は、巻き取りローラの回転軸線に対して傾斜していてもよい。
【００１８】
研磨ローラの回転軸線をこのように傾斜させることにより、その回転軸線に対して傾斜した方向にワークを容易に搬送できるようになる。
【００１９】
第１工程は、研磨ローラの両側でワークの一方の主面を支持する一対のガイドローラを用いて、ワークの他方の主面を研磨面に面接触させてもよい。
【００２０】
これらのガイドローラを用いてワークを研磨ローラの両側で支持するため、バックアップロールを用いて研磨ローラとの間にワークを狭み付けながらワークを研磨する必要はない。このため、研磨面の凸部によってワークの表面に傷が比較的つきにくい。
【００２１】
各ガイドローラは、水平な回転軸線を中心として回転自在であり、この各回転軸線は、巻き取りローラの回転軸線に対して傾斜していてもよい。各ガイドローラの回転軸線が巻き取りローラの回転軸線となす鋭角は、研磨ローラの回転軸が巻き取りローラの回転軸線となす鋭角よりも小さくてもよい。
【００２２】
研磨ローラの回転軸線よりも傾斜の小さな回転軸線を有するガイドローラを用いることで、研磨ローラでワークに湾曲が生じても、その湾曲をガイドローラで緩和することができる。これにより、ワークの巻き取りを円滑に行うと共に、ワークの歪みを抑えることができる。
【００２３】
第１工程は、ワークにバックテンションを加え、かつワークを研磨面に向けて押圧しながらワークを搬送してもよい。
【００２４】
バックテンションを加えることで、ワークを研磨面に密着させて均一に研磨することが容易になる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の研磨装置および研磨方法は、研磨ローラの研磨面に凸部があってもワークの表面に傷を残しにくい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２７】
図１および図２は、本実施形態に係る研磨装置１０を示す概略側面図および概略平面図である。研磨装置１０は、研磨ローラ１２を用いて長尺シート状のワーク１１を研磨する。ワーク１１は、例えば電子部品の製造に使用される金属箔である。
【００２８】
研磨ローラ１２は、円筒状の研磨面１２ａを有する研磨ロール１２ｂと、その研磨ロール１２ｂの中心孔に通された円柱状の回転軸１２ｃを有している。この回転軸１２ｃは水平に配置されている。図２に示されるように、回転軸１２ｃには研磨用モータ２０が接続されており、この研磨用モータ２０が駆動すると、研磨ローラ１２が回転軸１２ｃを中心として回転する。図２において１２ｅは、回転軸１２ｃの軸線、すなわち研磨ローラ１２の回転軸線を表す。なお、図１では、研磨用モータ２０の図示が省略されている。
【００２９】
研磨ロール１２ｂは、例えば、砥石ロールやバフロールである。研磨ロール１２ｂとしてバフロールを使用する場合は、酸性またはアルカリ性の水溶液にアルミナなどの遊離砥粒を分散させたスラリー（顕濁液）を研磨面１２ａに供給することで、ワーク１１の化学機械研磨（ＣＭＰ）が可能になる。
【００３０】
ワーク１１は、送りローラ１４、巻き取りローラ１５、ならびにガイドローラ１６および１７を含む搬送機構によって搬送される。送りローラ１４は、ワーク１１を研磨ローラ１２に向けて送り出し、巻き取りローラ１５は、研磨ローラ１２によって研磨されたワーク１１を巻き取る。
【００３１】
これらのローラ１４、１５は、それぞれ円柱状の回転軸１４ａ、１５ａを有しており、それぞれの回転軸を中心として回転自在である。回転軸１４ａ、１５ａは互いに平行であり、共に水平に延びている。図２において１４ｂは、回転軸１４ａの軸線、すなわち送りローラ１４の回転軸線を表し、１５ｂは、回転軸１４ａの軸線、すなわち巻き取りローラ１５の回転軸線を表す。研磨ローラ１２の回転軸線１２ｅは、水平面内でこれらの回転軸線１４ｂ、１５ｂに対して鋭角α１で傾斜している。
【００３２】
図２に示されるように、回転軸１５ａには巻き取りモータ１８が接続されている。なお、図１では、巻き取りモータ１８の図示が省略されている。巻き取りモータ１８が駆動することにより巻き取りローラ１５が回転し、ワーク１１を巻き取る。これに伴い、送りローラ１４が回転軸１４ａを中心として回転し、ワーク１１を送り出す。こうして、送りローラ１４と巻き取りローラ１５の間で、ワーク１１がその長手方向に沿って搬送される。
【００３３】
図２に示されるように、送りローラ１４の回転軸１４ａには、バックテンション用モータ１９が接続されている。なお、図１では、バックテンション用モータ１９の図示が省略されている。バックテンション用モータ１９が駆動すると、巻き取りローラ１５に加わるトルクと反対方向のトルクが送りローラ１４に加わる。これにより、ワーク１１にバックテンション、すなわち搬送方向と逆向きの張力が加わる。
【００３４】
巻き取りモータ１８、バックテンション用モータ１９および研磨用モータ２０は、これらのモータの回転速度を制御するモータ制御装置（図示せず）に接続されている。モータ制御装置を用いて巻き取りモータ１８の回転速度を調節することにより、ワーク１１の搬送速度を３０〜３５０ｍｍ／分の範囲で変更することができる。また、モータ制御装置を用いてバックテンション用モータ１９の回転速度を調節することにより、ワーク１１のバックテンションを１０〜５０Ｎの範囲で変更することができる。更に、モータ制御装置を用いて研磨用モータ２０の回転速度を調節することにより、研磨ローラ１２の回転速度を２００〜８００ｒｐｍの範囲で変更することができる。モータ制御装置は、研磨ローラ１２の回転方向を反転させることもできる。すなわち、研磨ローラ１２の回転方向は、ワーク１１の搬送方向に対して順行する方向にすることもできるし、搬送方向に対して逆行する方向にすることもできる。
【００３５】
なお、上述したローラ１２、１４および１５の各々は、図示しない支持部材によって支持されている。
【００３６】
送りローラ１４と研磨ローラ１２の間には第１のガイドローラ１６が設置され、研磨ローラ１２と巻き取りローラ１５の間には第２のガイドローラ１７が設置されている。これらのガイドローラ１６、１７は、それぞれ円柱状の回転軸１６ａ、１７ａを有している。これらの回転軸１６ａ、１７ａは水平に配置されている。ガイドローラ１６、１７は、ワーク１１の搬送に伴って回転軸１６ａ、１７ａを中心として回転し、ワーク１１を巻き取りローラ１５に向けて送り出す。
【００３７】
これらの回転軸１６ａ、１７ａは、互いに平行であり、水平面内で送りローラ１４の回転軸１４ａおよび巻き取りローラ１５の回転軸１５ａに対して傾斜している。図２において１６ｂは、回転軸１６ａの軸線、すなわちガイドローラ１６の回転軸線を表し、１７ｂは、回転軸１７ａの軸線、すなわちガイドローラ１７の回転軸線を表す。これらの回転軸線１６ｂ、１７ｂが巻き取りローラ１５の回転軸線１５ｂとなす鋭角α２は、研磨ローラ１２の回転軸線１２ｅが巻き取りローラ１５の回転軸線１５ｂとなす鋭角α１よりも小さい。言い換えると、研磨ローラ１２の回転軸１２ｃの方が、より大きな角度で傾斜している。本実施形態では、α１を１５度に設定し、α２を８度に設定した。
【００３８】
図１に示されるように、ガイドローラ１６、１７は、研磨ローラ１２の両側でワーク１１の一方の主面、すなわち下面１１ａを支持し、他方の主面、すなわち上面１１ｂを研磨ローラ１２の研磨面１２ａに面接触させる。研磨面１２ａのうちワーク１１と接触する領域１２ｄは、研磨ローラ１２の回転軸線１２ｅを中心とする円筒の両端をその回転軸線１２ｅに対して斜めに切り取り、更に回転軸線１２ｅと平行な平面で切断した形状を概ね有している。
【００３９】
ワーク１１は、研磨ローラ１２の回転軸線１２ｅに平行な平面内で回転軸線１２ｅに対して傾斜した方向に搬送されながら研磨面１２ａに面接触する。研磨ローラ１２を回転させると、研磨面１２ａに接触するワーク１１の上面１１ｂが研磨される。
【００４０】
ガイドローラ１６、１７は、それらの回転軸線１６ｂ、１７ｂに垂直で接触領域１２ｄから遠ざかる方向（鉛直上向き）に付勢されている。付勢のための手段としては、エアシリンダーやバネなどが挙げられる。この付勢により、ワーク１１が研磨面１２ａの接触領域１２ｄに向けて押圧される。
【００４１】
図２に示されるように、ガイドローラ１６および１７には、移動機構２２が取り付けられている。なお、図１では、移動機構２２の図示が省略されている。移動機構２２は、ガイドローラ１６、１７を移動させて、接触領域１２ｄの面積を調節することができる。接触領域１２ｄを回転軸線１２ｅに対して垂直に切った断面は円弧となる。本実施形態では、この円弧の角度θ（図１を参照）を約２０度〜約１８０度の範囲で変更することができる。
【００４２】
以下では、図３を参照しながら本実施形態の利点を説明する。ここで、図３は、ワーク１１の研磨の様子を示す概略平面図である。この図では、研磨ローラ１２を二点鎖線で示し、ガイドローラ１６、１７は省略している。また、矢印２３は、ワーク１１のうち研磨面１２ａと接触する部分が搬送される方向を示している。
【００４３】
一般に、研磨面１２ａの欠陥や研磨面１２ａへの異物の付着のために、研磨面１２ａに異常な凸部が生じることがある。この場合、図３（ａ）に示されるように、ワーク１１の上面１１ｂには、研磨ローラ１２の回転に伴い、研磨面１２ａの凸部によって傷２４ａが形成されてしまう。この傷２４ａは、研磨ローラ１２の回転軸線１２ｅとほぼ垂直に延びる。
【００４４】
しかしながら、ワーク１１のうち研磨面１２ａと接触する部分は、研磨ローラ１２の回転軸線１２ｅに対して斜めに搬送されるため、ワーク１１の搬送に伴い、研磨面１２ａのうち凸部を有しない正常な部分によって傷２４ａが研磨されることになる（図３（ｂ）を参照）。ワーク１１の搬送に伴って更に研磨が進み、傷２４ａが平滑化される。こうして、傷２４ａを消すことができる（図３（ｃ）を参照）。
【００４５】
図３（ｂ）における２４ｂ、および図３（ｃ）における２４ｃは、研磨面１２ａの凸部によってワーク１１に新たに形成された傷を表す。これらの傷２４ｂ、２４ｃも、傷２４ａと同様に、ワーク１１の搬送に伴って正常な部分により研磨され、平滑化される。したがって、研磨ローラ１２の研磨面１２に凸部があってもワーク１１の上面１１ｂに傷が残りにくい。
【００４６】
研磨ローラ１２の回転軸線１２ｅが巻き取りローラ１５の回転軸線１５ｂに対して傾斜しているので、研磨ローラ１２の回転軸線１２ｅに対して傾斜した方向にワーク１１を容易に搬送することができる。
【００４７】
従来技術の研磨装置では、ワークがバックアップロールに押し付けられながら研磨されるため、研磨面の凸部によってワークの表面に傷がつきやすい。これに対し、本実施形態では、ガイドローラ１６、１７によってワーク１１が研磨ローラ１２の両側で支持されるため、バックアップロールを用いて研磨ローラとの間にワークを狭み付けながらワークを研磨する必要はない。このため、研磨面１２ａの凸部によってワーク１１の上面１１ｂに傷が比較的つきにくく、したがって、ワーク１１の上面１１ｂにいっそう傷が残りにくい。
【００４８】
本実施形態では、ワーク１１を研磨ローラ１２の回転軸線１２ｅに対して斜めに搬送しながら研磨面１２ａに面接触させる一方で、ワーク１１の長手方向が巻き取りローラ１５の回転軸線１５ｂとほぼ垂直になるようにワーク１１を巻き取る。このため、ワーク１１は、研磨ローラ１２の付近において、水平面内である程度湾曲する。しかしながら、研磨ローラ１２の回転軸線１２ｅに比べて傾斜角度の小さな回転軸線１６ｂ、１７ｂを有するガイドローラ１６、１７が送りローラ１４と巻き取りローラ１５の間に配置されているので、ワーク１１の水平面内での湾曲を緩和することができる。これにより、ワーク１１の巻き取りを円滑に行うと共に、ワーク１１の歪みを抑えることができる。
【００４９】
ワーク１１が研磨面１２ａに線ではなく面で接触するため、単一の研磨ローラ１２を用いてワーク１１を効率良く研磨することができる。上述のように、研磨面１２ａの接触領域１２ｄを回転軸１２ｃの中心軸線に対して垂直に切った断面は円弧となるが、良好な研磨効率を得るためには、この円弧状断面の角度θが３０度以上であることが好ましい。また、ワーク１１の搬送を円滑に行うためには、角度θが１５０度以下であることが好ましい。
【００５０】
バックテンションを加えながらワーク１１が搬送されるので、ワーク１１を均一な圧力で研磨面１２ａに密着させることができる。これにより、ワーク１１を均一に研磨することができる。
【００５１】
また、巻き取りローラ１５により、研磨されたワーク１１が順次に巻き取られるので、長尺シート状のワーク１１をその全長にわたって円滑に研磨することができる。
【００５２】
以上、本発明をその実施形態に基づいて詳細に説明した。しかし、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
【００５３】
上記実施形態では二つのガイドローラの回転軸線が互いに平行に配置されているが、これらは非平行に配置されていてもよい。
【００５４】
上記の実施形態では、研磨ローラの研磨面は、研磨面全体において同じ直径を有する円筒状であるが、他の形状であってもよい。例えば、研磨面は、研磨ローラの中央部における直径が研磨ローラの両端部における直径よりも大きな筒状であってもよく、研磨ローラの中央部における直径が研磨ローラの両端部における直径よりも小さな筒状であってもよい。更に、研磨面は、研磨ローラの回転軸に沿った一方の端部における直径が、他方の端部における直径よりも大きな筒状であってもよい。これらの研磨面は、研磨ローラの回転軸線に対して回転対称である。均一な直径を有する円筒状の研磨面は、ワークに加わるバックテンションがワークの搬送方向と垂直な方向に沿って均一な場合に適しており、ワークを均一に研磨することができる。一方、バックテンションがワークの搬送方向と垂直な方向に沿って不均一な場合でも、それに対応して不均一な直径を有する筒状の研磨面を使用することで、ワークを均一に研磨することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施形態に係る研磨装置を示す概略側面図である。
【図２】実施形態に係る研磨装置を示す概略平面図である。
【図３】ワークの研磨の様子を示す概略平面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０…研磨装置、１２…研磨ローラ、１２ａ…研磨面、１２ｅ…回転軸線、１４…送りローラ、１４ｂ…回転軸線、１５…巻き取りローラ、１５ｂ…回転軸線、１６、１７…ガイドローラ、１６ｂ、１７ｂ…回転軸線、１８…巻き取りモータ、１９…バックテンション用モータ、２０…研磨用モータ、２２…移動機構、２４ａ、２４ｂおよび２４ｃ…傷
【図１】
2007268618.tif 000003
【図２】
2007268618.tif 000004
【図３】
2007268618.tif 000005