(57)【要約】【課題】指定された座標に試料ステージを移動して試料を観察する観察装置において、迅速かつ確実に観察視野に試料が入るように座標補正する方法を提供する。【解決手段】本発明による観察装置は、検査装置によって予め算出された座標に、試料ステージを移動して試料を観察する観察装置において、検査装置によって予め算出された座標値と観察装置が検出する真の試料位置とのズレを補正する座標補正テーブルを複数保持する機能を有し、複数の座標補正テーブルの補正精度を評価して、評価値が最大の座標補正テーブルを適用する。【選択図】図４
2007317508.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め算出された座標に、試料ステージを移動して試料を観察する観察装置であって、
座標値を算出した装置とその座標の算出条件の組合せを特定する特定手段と、
前記座標値を算出した装置と前記座標の算出条件の組合せに対応して設けられた複数の座標補正テーブルと、
前記特定手段によって特定した前記装置と前記算出条件の組合せに基づき、前記座標補正テーブルを選択するテーブル選択手段と、
前記テーブル選択手段によって選択された前記座標補正テーブルによって、前記座標値を算出した装置によって算出された座標を補正する座標補正手段と、を備えることを特徴とする観察装置。
【請求項２】
前記テーブル選択手段は、前記座標値を算出した装置と前記算出条件の組合せに一致する座標補正テーブルが無い場合には、前記装置と前記算出条件のうち何れか１つが一致する座標補正テーブルを選択することを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
【請求項３】
予め算出された座標に、試料ステージを移動して試料を観察する観察装置であって、
予め算出された座標値と前記観察装置における試料位置とのズレを補正するための複数の座標補正テーブルと、
前記複数の座標補正テーブルの補正精度を評価する座標補正テーブル評価手段と、
前記テーブル評価手段による評価結果に基づいて、前記複数の座標テーブルを切り換えるテーブル切換手段と、
前記テーブル切換手段によって切り換えられ、選択された座標補正テーブルを用いて前記予め算出された座標値を補正する座標補正手段と、
を備えることを特徴とする観察装置。
【請求項４】
前記座標補正テーブル評価手段は、各座標補正テーブルによって補正された座標値と前記観察装置が検出した座標値とのズレを算出することにより、前記複数の座標補正テーブルの補正精度を評価することを特徴とする請求項３に記載の観察装置。
【請求項５】
前記座標補正テーブル評価手段は、前記予め算出された座標が複数ある場合に、各座標補正テーブルによって複数の点について補正された座標値と前記観察装置が検出した複数の座標値とのズレをそれぞれ算出し、得られたズレ量に対して重み付けをすることにより前記複数の座標補正テーブルの補正精度を評価することを特徴とする請求項３に記載の観察装置。
【請求項６】
さらに、前記座標補正テーブル評価手段によって前記補正精度の評価結果が最良の座標補正テーブルを次回の観察における初期補正テーブルとして設定する初期補正テーブル設定手段を備えることを特徴とする請求項３に記載の観察装置。
【請求項７】
予め算出された座標に、試料ステージを移動して試料を観察する観察装置であって、
予め算出された座標値と前記観察装置における試料位置とのズレを評価する評価手段と、
前記ズレの傾向と座標値を算出した装置とその座標値を算出したときの条件と試料が視野から外れないために必要な倍率と試料が視野から外れないために必要な視野の大きさのうち、複数を組合せて表示する表示手段と、
を備えることを特徴とする観察装置。
【請求項８】
さらに、前記ズレの傾向が設定した基準値以上に変化した場合に、前記座標値を算出した装置、又は前記座標値を算出した装置を管理するシステムに対して、前記ズレの傾向を通知する通知手段を備えることを特徴とする請求項７に記載の観察装置。
【請求項９】
試料上の欠陥を検出する検査装置が算出した前記欠陥の座標に、試料ステージを移動して前記試料を観察する観察装置であって、
前記検査装置が算出した欠陥の座標値と前記観察装置が検出した前記欠陥の座標値とのズレを補正するための複数の座標補正テーブルと、
前記複数の座標補正テーブルの補正精度を、各テーブルによって補正された座標値と前記観察装置が検出した欠陥の座標値とのズレを算出することにより評価する座標補正テーブル評価手段と、
前記テーブル評価手段による評価結果に基づいて、前記複数の座標テーブルを前記欠陥毎に選択するテーブル選択手段と、
前記テーブル選択手段によって選択された座標補正テーブルを用いて前記予め算出された座標値を補正する座標補正手段と、
を備えることを特徴とする観察装置。
【請求項１０】
試料上の欠陥を検出し、その欠陥の座標を算出する検査装置と、試料ステージを移動して前記試料を観察する観察装置とを有する観察システムであって、
前記検査装置は、前記検出した欠陥の座標値を前記観察装置に送信する手段を備え、
前記観察装置は、前記検査装置によって送信されてきた前記欠陥の座標値と前記観察装置が検出した欠陥の位置とのズレを補正するための複数の座標補正テーブルと、前記複数の座標補正テーブルの補正精度を評価する座標補正テーブル評価手段と、前記テーブル評価手段による評価結果に基づいて、前記複数の座標テーブルを切り換えるテーブル切換手段と、前記テーブル切換手段によって切り換えられ、選択された座標補正テーブルを用いて前記予め算出された座標値を補正する座標補正手段と、を備える
ことを特徴とする観察システム。
【請求項１１】
予め算出された座標に、試料ステージを移動して試料を観察する観察装置を制御する制御方法であって、
予め算出された座標値と前記観察装置における試料位置とのズレを補正するための複数の座標補正テーブルの補正精度を評価する座標補正テーブル評価工程と、
前記テーブル評価工程における評価結果に基づいて、前記複数の座標テーブルを切り換えるテーブル切換工程と、
前記テーブル切換工程において切り換えられ、選択された座標補正テーブルを用いて前記予め算出された座標値を補正する座標補正工程と、
を備えることを特徴とする制御方法。
【請求項１２】
コンピュータを請求項１乃至９の何れか１項に記載の観察装置として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、指定された座標に試料ステージを移動して試料を観察する観察装置において、観察視野に試料が入るように座標補正する方法および装置に関するものである。特に、ＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）式欠陥観察装置のように、上位の検査装置で検出した欠陥位置情報をもとに観察位置を決定する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造において、高い歩留を確保するためには、製造工程で発生する欠陥を早期に発見して、対策を施すことが重要である。近年、半導体の微細化にともない、微小な欠陥であっても歩留まりに与える影響を無視できなくなり、観察対象となる欠陥サイズの微小化が進んでいる。
【０００３】
ＳＥＭ式欠陥観察装置は、このような微小な欠陥を観察するための装置であり、一般に光学式検査装置で検出した欠陥位置をもとに、欠陥を観察するものである。このように、ＳＥＭ式欠陥観察装置は検査装置が検出した欠陥を詳細に観察するものであり、検査装置による欠陥検出処理が前処理として実行されるため、ここでは検出装置を「上位の」装置として位置づけることとする。
【０００４】
ＳＥＭ式欠陥観察装置により手動で欠陥を観察する場合には、上位の検査装置が出力した座標に試料ステージを移動して低倍率（視野が広い）で撮像し、欠陥位置を目視で確認した後、欠陥位置が視野中心に来るように試料ステージを移動させ、高倍率（視野が狭い）で欠陥画像を取得する。この工程を自動化したものが、ＡＤＲ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｄｅｆｅｃｔ  Ｒｅｖｉｅｗ）である。ＡＤＲでは、低倍画像の視野内に出現した欠陥を画像処理により検出し、検出した欠陥を視野の中心にくるように試料ステージを移動させ、欠陥の詳細が観察しやすい適切な倍率で高倍画像を取得する。このとき、画像処理の観点からは、低倍画像は欠陥が大きく見える高倍率であることが好ましいが、倍率を上げすぎると位置ズレの程度によっては欠陥が視野内に入ってこなくなる可能性がある。このため、ＡＤＲの設定において、低倍画像の倍率設定は設定が困難なパラメータとなっており、ユーザの経験を必要とするものとなっている。これではＡＤＲの工程が利用者の経験に基づく技能に左右されることとなり、好ましくない。
【０００５】
そこで、特許文献１は、低倍画像の倍率設定作業を効率よく行う方法として、上位の検査装置が出力した欠陥位置とＡＤＲで検出した欠陥位置のズレをウェーハマップ上にベクトル表示して視覚化する機能、ズレが最小になるように座標系を補正する機能、検出したズレ量に応じて低倍画像の倍率を最適化する機能を提案している。これらの機能により、ズレを視覚化し、補正テーブルを最適化し、低倍画像の倍率を最適化することが可能となる。
【特許文献１】特開２００１−３３８６０１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、複数の上位検査装置がある場合、あるいは、一台の検査装置であっても、例えば、検査条件によりズレの傾向が異なる場合、または、経時変化によりズレの傾向が変化する場合には、一つの補正テーブルでは、最適な補正結果を得ることはできない。
【０００７】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、指定された座標に試料ステージを移動して試料を観察する観察装置において、確実かつ迅速に試料が観察視野に入るように座標補正する方法、および装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題点を解決するために本発明は、複数の座標補正テーブルを保持し、観察時に座標補正テーブルの補正性能を評価し、最適な補正テーブルに切り替えて観察することを最も主要な特徴とする。
【０００９】
より詳しくは、本発明は、例えば検査装置によって予め算出された座標（ウェーハ上の欠陥位置）に、試料ステージを移動して試料を観察する観察装置に関するものである。本発明による観察装置においては、座標値を算出した検査装置とその座標を算出するための条件（例えば、検査モード）の組合せを特定する。この特定した前記装置と前記算出条件の組合せに基づいて、前記検査装置と前記座標の算出条件の組合せに対応して設けられた複数の座標補正テーブルを選択する。そして、選択された前記座標補正テーブルによって、前記検査装置によって算出された座標を補正する。このようにすることにより、従来のような検査装置ＩＤのみから補正テーブルを切り換える場合よりも最適な補正結果を迅速にかつ確実に得ることができるようになる。
【００１０】
また、本発明は、例えば検査装置によって予め算出された座標（ウェーハ上の欠陥位置）に、試料ステージを移動して試料を観察する観察装置であって、予め算出された座標値と前記観察装置における試料位置とのズレを補正するための複数の座標補正テーブルと、前記複数の座標補正テーブルの補正精度を評価する座標補正テーブル評価手段を有している。そして、前記テーブル評価手段による評価結果に基づいて、前記複数の座標テーブルを切り換え、選択された座標補正テーブルを用いて前記予め算出された座標値を補正する。このようにすることにより、経時変化によって検査装置ＩＤと検査モードの組み合わせから選択した座標補正テーブルが最適なものではなくなってもより適したテーブルによって上記ズレ量を補正することができるようになる。
【００１１】
さらなる本発明の特徴は、以下本発明を実施するための最良の形態および添付図面によって明らかになるものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、複数の座標補正テーブルから最適な座標補正テーブルを自動的に選択して使用することができるので、座標補正テーブルが不適切であるために、観察対象が観察視野に入ってこない現象の発生頻度を低減することができる。更に、最適な補正テーブルを使用することで、ズレ量を減少させることが可能となり、欠陥位置を特定するための観察倍率を上げることができるため、特に、ＡＤＲにおいて低倍（欠陥の位置を検出するための倍率）倍率を上げて欠陥検出性能を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下添付図面を用いて、本発明による実施形態について説明する。第１の実施形態による観察装置は、複数の座標補正テーブルを用意しておき、検査装置とその検査モードによって静的に座標補正テーブルを切り換えるものである。また、第２の実施形態による観察装置は、複数の座標補正テーブルを用意しておき、観察と並行して評価して常に最適と評価した座標補正テーブルに動的に切り換えることにより、より良好な補正結果を得ることができるようにするものである。
【００１４】
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の一実施形態であるＳＥＭ式欠陥レビュー装置（観察装置）の構成を示す断面図である。図１に示すＳＥＭ式欠陥レビュー装置は、電子銃１０１、レンズ１０２、偏向器１０３、対物レンズ１０４、試料１０５、ステージ１０６、二次粒子検出器１０９、電子光学系制御部１１０、Ａ／Ｄ変換部１１１、ステージ制御部１１２、全体制御部１１３、画像処理部１１４、ディスプレイ１１５、キーボード１１６、記憶装置１１７、マウス１１８等で構成されている。
【００１５】
電子銃１０１から発射された電子ビーム１０７は、レンズ１０２で集束され、偏向器１０３で偏向された後、対物レンズ１０４で集束されて、試料１０５に照射される。電子ビーム１０７が照射された試料１０５から、試料の形状や材質に応じて二次電子や反射電子等の二次粒子１０８が発生する。発生した二次粒子１０８は、二次粒子検出器１０９で検出され、Ａ／Ｄ変換部１１１でデジタル信号に変換されて、ＳＥＭ画像が形成される。生成したＳＥＭ画像を使用して、欠陥検出などの画像処理が画像処理部１１４で実行される。レンズ１０２、偏向器１０３、対物レンズ１０４の制御は、電子光学系制御部１１０で行われる。試料の位置制御は、ステージ制御部１１２で制御されたステージ１０６で実行される。全体制御部１１３は、キーボード１１６、マウス１１８、記憶装置１１７からの入力を解釈し、電子光学系制御部１１０、ステージ制御部１１２、画像処理部１１４等を制御して、必要に応じてディスプレイ１１５、記憶装置１１７に処理内容を出力する。また、記憶装置１１７には、後述のように座標補正テーブル、図４及び６のフローチャートによる制御プログラムが格納されている。
【００１６】
図２は、本発明の一実施形態である上位検査装置と観察装置とのネットワーク接続図である。ネットワーク（２０１）に、検査装置ＩＤ：１（２０２）、検査装置ＩＤ：２（２０３）、検査装置ＩＤ：３（２０４）と、観察装置（２０５）が接続されている。複数台の観察装置が接続されていてもよい。観察装置には記憶装置（２０６）が接続されている。記憶装置は観察装置と一体でも、観察装置とは独立にネットワーク接続してもよい。記憶装置には各検査装置に対応した座標補正テーブル（２０７、２０８、２０９）が保存されており、観察実行時には、検査装置のＩＤに基づき最適な座標補正テーブルに切り換える。図２において座標補正テーブルと検査装置は１対１に対応しており、例えば、検査装置ＩＤ：１を用いて欠陥を検出した場合には座標補正テーブルＡが、検査装置ＩＤ：２を用いて欠陥を検出した場合には座標補正テーブルＢが、検査装置ＩＤ：３を用いて欠陥を検出した場合には座標補正テーブルＣが、それぞれ選択されるようになっている。このように検査装置と座標補正テーブルは１対１に対応しているので、何れかの検査装置から欠陥位置情報と検査装置ＩＤとが少なくとも観察装置に送信され、観察装置はその検査装置ＩＤから対応する座標補正テーブルを選択することになる。
【００１７】
図３は、上位検査装置の検査モードにより検出座標のズレの傾向が異なる場合の処理を説明するための図である。ここで、検査モードとは欠陥を検出する方式を意味し、例えば、ウェーハに対して斜めから光を当てて欠陥を検出するモード、ウェーハを上から見て欠陥を検出するモード（さらにＸＹ座標でウェーハをスキャンさせて欠陥を検出するモードや回転座標上でウェーハをスキャンさせて欠陥を検出するモード）等がある。図３Ａは、上位検査装置の検出座標値と観察装置で検出した座標値の差分をベクトル表示した一例である（特許文献１にも開示されている）。図３Ａにおいて、例えば検査モード１（３０１）では、ウェーハ中心から離れるほど、ウェーハ外周方向にズレが大きくなる傾向があること、検査モード２（３０２）では、ウェーハの左側ほど、左方向にズレが大きくなる傾向があることが示されている。このような事例では、検査装置のＩＤのみに基づき座標補正テーブルを切り換えても、両方の検査モードにおいて良好な補正結果を得ることは困難である。なぜなら、同じ検査装置であっても検査モードによって座標のズレの傾向が異なるからである。
【００１８】
そこで、本実施形態では、検査装置のＩＤに基づき座標補正テーブルを切り換える機能に加えて、検査装置の検査モードに応じて座標補正テーブルを切り換える機能を有している。ここでは、検査モードによりズレの傾向が異なる事例を想定しているが、検査モードによりズレの傾向が異なるのは、検査装置の欠陥位置特定アルゴリズムによる違い、あるいは、検査装置の試料ステージの動作方式の違いなどが考えられる。また、経時変化により、検査装置の欠陥位置検出精度は低下する場合があり、定期的にメンテナンスするのが一般的である。
【００１９】
図３Ｂは、検査モード（検査装置が欠陥を検出し、その座標を算出するために設定された条件）に応じて補正テーブルを切り換える機能の説明図である。検査装置（３０４）と観察装置（３０８）がネットワーク３０３に接続されている。観察装置には、記憶装置（３０９）が接続されている。記憶装置は観察装置と一体でも、観察装置とは独立にネットワーク接続してもよい。検査装置３０４は、欠陥の検出座標と検査モード情報をセットにして観察装置に送る。ここで検査モード情報には、例えば上述の、ウェーハに対して斜めから光を当てて欠陥を検出するモード、ウェーハを上から見て欠陥を検出するモード（さらにＸＹ座標でウェーハをスキャンさせて欠陥を検出するモードや回転座標上でウェーハをスキャンさせて欠陥を検出するモード）等の情報、検査装置の検出感度に関する情報、検出装置のシリアル番号の情報等が含まれている。
【００２０】
観察装置３０８は、検査装置３０４から検査モード情報を受け取り、その情報から検査装置の検査モードを判定する。そして、観察装置３０８は、判定した検査モードに応じて座標補正テーブル（３１０、３１１、３１２）を切り換える。なお、各座標補正テーブルは各検査モードに最適に座標補正を行えるように設定されたテーブルであり、例えば、検査装置の各検査モードで実際に検出された座標と観察装置で検出した座標とのズレを統計的に処理して得るようにする。
【００２１】
このように所定の検査装置の所定の検査モードに応じて補正テーブルを切り換えることにより、検査モード毎にズレの傾向が異なる事例に対しても、良好な補正結果を得ることができる。
【００２２】
＜第２の実施形態＞
上述のように、第１の実施形態の観察装置によれば、検査装置の検査モードに対応して静的に座標補正テーブルを選択するようにしている。つまり、検査装置と検査モードが決まれば一意に座標補正テーブルが決まる。
【００２３】
しかし、装置の経時変化等によって検査モードによって一意に決定した座標補正テーブルが常に最適なテーブルであるとは限らない。上述のように経時変化に対しては定期的なメンテナンスでも対応できるが、その工程は相当程度煩雑なものとなるのは避けられない。
【００２４】
そこで、第２の実施形態では、経時変化により一定の傾向をもって検査装置及び／又は観察装置に変化が生じる場合にも、経時変化に対応した座標補正テーブルを複数用意しておき、或いは、単に複数の検査モードに対応した座標補正テーブルを複数用意しておき、これら複数の座標補正テーブルを観察と並行して評価して、常に最適と評価した座標補正テーブルに切り換えることにより、より良好な補正結果を得ることができるようにしている。
【００２５】
システムの構成（図２）及び観察装置の構成（図３）は、第１の実施形態と同様なのでここでは説明を省略する。
【００２６】
図４は、座標補正テーブル自動切換え機能を説明するためのフローチャートである。なお、本機能の動作主体は、特に断らない限り、全体制御部１１３である。また、座標補正テーブルの切り換えは、ユーザが設定することができるが、ここでは自動で切り換えられるようにしている。つまり、本実施形態は、検査装置が出力した座標値と観察中に検出した試料位置座標値からズレの傾向を評価し、観察中に最適な座標補正テーブルに切り換えることを特徴としている。
【００２７】
図４において、観察開始時（４０１）には、初期設定の座標補正テーブルが適用（４０２）されている。初期設定の座標補正テーブルは任意のテーブルに設定しても良いし、後述のように前回の処理結果に基づいて設定しても良い（図６参照）。
【００２８】
観察中（４０３〜４０９）に座標補正テーブル切換機能が有効（機能がＯＮの状態）になっている場合（４０４）、各座標補正テーブルの評価値を算出し（４０５）、更に最大評価値を算出して（４０６）、最大評価値の座標補正テーブルに切り換える（４０７）。これにより、デフォルトの座標補正テーブルと傾向が異なる場合であっても、最適な座標補正テーブルを用いた観察が可能となる。
【００２９】
数式（１）は、座標補正テーブル評価値Ｅの算出式の一例である。座標補正テーブルによる補正後のズレ量Ｄが小さいほど評価値は高くなるように定義されている。一般にスループット向上のために、ステージ移動量が最小となるように観察順を決定することが多く、このような場合には、近くにある試料から順に観察することになる。
【００３０】
【数１】
2007317508.tif 000003
【００３１】
また、ズレの傾向は局所的であることが多いため、近くにある試料はズレの傾向も近いことが多い。そこで、移動距離が最小となる観察順の場合には、直近のズレの傾向をより重視した評価値が有効である。このような場合には、重み係数Ｗを観察順に対する増加関数とするのが効果的である。例えば、直近の数点より古いズレ量は無視するような工夫が有効である。あるいは、処理時間を含めた計算コストに余裕がある場合には、重み関数を、評価値を算出したい観察点と、過去にズレ量を算出した観察点の距離の関数とするのが有効である。
【００３２】
図５は、このような重み係数を考慮した座標補正テーブル切換の一例を示す図である。図５Ａのように、ウェーハ上に観察点が７点あるものとする。ウェーハ上の点は検査装置が出力した検査座標（ｘ０，  ｙ０）であり、矢印の先が観察装置で検出した検出座標（ｘ，  ｙ）である。ここでは、評価対象とする座標補正テーブルは２つとし、それぞれ補正座標１（ｘ１，  ｙ１）、補正座標（ｘ２，  ｙ２）とする。ここでは簡単のため、各補正テーブルの補正式も単純化しており、補正座標１は数式（２）から、補正座標２は数式（３）から算出する。
【００３３】
【数２】
2007317508.tif 000004
【００３４】
【数３】
2007317508.tif 000005
重み係数Ｗを、直前の２点に関して、それぞれ１／２とし、３点以上前のズレの傾向は無視するものとすると、数式（４）となる。
【００３５】
【数４】
2007317508.tif 000006
【００３６】
補正テーブルの評価値Ｅは、数式（１）と数式（４）から数式（５）となる。但し、Ｄ０＝０とする。
【００３７】
【数５】
2007317508.tif 000007
【００３８】
図５Ｂは、検査装置及び観察装置による検査座標、数式（２）及び（３）から算出された補正座標、及び数式（５）によって算出された評価値の具体的な数値例を示している。初期補正テーブルをテーブル１（数式（２））とすると、１点目から５点目までは補正テーブル１を用いて観察を実行し、評価値が逆転した５点目の次の点、すなわち６点目からは補正テーブル２に切り換えて使用することになる。
【００３９】
図６を用いて、より概念的にテーブルの切り換えについて説明する。図６は、横軸にレビュー順（６０１）を、縦軸にズレ量（６０２）をとった場合の、各座標補正テーブルＡ（６０４）、Ｂ（６０５）、Ｃ（６０６）採用時の補正結果を表すグラフの一例である。縦軸のズレ量（６０２）の代わりに評価値（６０３）の逆数をとってもグラフ傾向は一致する。初期テーブルとして座標補正テーブルＡ（６０４）を選択していた場合は、１点目の評価結果から、２点目以降は座標補正テーブルＣ（６０６）に切り換える。更に、交差点（６０７）での評価結果から、交差点（６０７）の次の点からは座標補正テーブルＢ（６０５）に切り換える。また、初期テーブルとして座標補正テーブルＣ（６０６）を選択していた場合には、交差点（６０７）までは座標補正テーブルＣ（６０６）を適用しつづけ、交差点（６０７）での評価結果から、交差点（６０７）の次の点からは座標補正テーブルＢ（６０５）に切り換える。さらに、初期テーブルとして座標補正テーブルＣ（６０６）を選択していた場合には、１点目の評価結果から、２点目以降も座標補正テーブルＣ（６０６）を使い続け、交差点（６０７）での評価結果から、交差点（６０７）の次の点からは座標補正テーブルＢ（６０５）に切り換える。このように、観察中に最適な補正テーブルに切り換えることにより、ズレ量が最小な状態で欠陥を検索することができる。また、この座標補正テーブルの比較評価処理の演算量は軽微であるため、ＡＤＲのスループットを低下させることなく実行できる。
【００４０】
図７は、初期補正テーブルの自動更新機能を説明するためのフローチャートである。なお、本機能の動作主体は、特に断らない限り、全体制御部１１３である。
【００４１】
図７において、ＡＤＲ終了時（７０１）、座標補正テーブルの自動更新機能（７０２）が有効となっている場合、比較対象の各座標補正テーブルの評価値を算出する（７０３）。次に、各座標補正テーブルの中から評価値が最大の座標補正テーブルを算出し（７０４）、次のＡＤＲの初期座標補正テーブルに設定する（７０５）。比較対象となる座標補正テーブルとして、直前のＡＤＲで測定してズレの傾向に基づき、新規に作成した座標補正テーブルを追加してもよいし、既存の座標補正テーブルに測定データを追加して更新した座標補正テーブルを追加しても良い。座標補正方式および座標補正テーブルの作成方式は、特許文献１に記載でも、他の方式でもよい。数式６は、座標補正テーブルの自動更新のための評価値の算出式の一例である。数式１と比較すると、試料位置を反映した重み係数Ｗを一定（＝１）にしたものである。
【００４２】
【数６】
2007317508.tif 000008
【００４３】
図８は、座標補正テーブル評価結果表示画面の一例を示している。評価対象の検査装置名称またはＩＤが８０１に、検査条件が８０２に表示されている。評価対象の座標補正テーブルは８０３で選択することができ、８０４にズレの傾向がウェーハマップ上にベクトル表示される。８０５にはズレ量の平均値が、８０６には３σ（分散の３倍）値（統計的に３σの範囲内に大部分の情報が含まれる）が表示される。８０７には３σ値から求めた推奨視野サイズを表すＦＯＶ（Ｆｉｅｌｄ  ｏｆ  Ｖｉｅｗ）値が表示される。さらに、８０８には推奨ＦＯＶに対応する推奨倍率が表示されている。
【００４４】
これらの情報を検査装置に通知する場合には、送信ボタン８０９を押す。送信機能は自動送信である方が望ましいが、利用者が必要なときに送信ボタン８０９を押すことにより検査装置に通知しても良い。自動送信の場合、ある一定値以上のズレがあった場合、あるいは、前回のズレとの差が一定値以上あった場合など、条件を満たした場合にのみ送信すれば、検査装置のメンテナンス要否の判断に利用できる。ここでは、座標を算出した検査装置に直接通知する例をとって説明しているが、検査装置を管理するシステムに対して通知しても同様の効果が得られる。
【００４５】
以上説明したように、第２の実施形態による観察装置によれば、検査装置や観察装置の経時変化等によって当初選択されていた座標補正テーブルによっても所望の補正結果が現れないような場合であっても、変化に対応して動的に座標補正テーブルを切り換えているので、良好な補正結果を得ることができる。
【００４６】
また、第２の実施形態では座標補正テーブルを自動的に更新するようにしているので、座標補正処理を開始した時点から最適な補正テーブルを使うことができ、最初から良好な補正結果を得ることができる。
【００４７】
さらに、第２の実施形態では検査装置と観察装置との欠陥検出位置に関するズレ量を検査装置に通知するようにしているので、そのズレ量が大き過ぎる場合等には、管理者は検査装置をメンテナンスすることもできるようになる。
【００４８】
なお、実施形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードによっても本発明は実現できる。この場合、プログラムコードを記録した記憶媒体をシステム或は装置に提供し、そのシステム或は装置のコンピュータ（又はＣＰＵやＭＰＵ）が記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出す。この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が前述した実施形態の機能を実現することになり、そのプログラムコード自体、及びそれを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。このようなプログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、フロッピィ（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−Ｒ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭなどが用いられる。
【００４９】
また、プログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているＯＳ（オペレーティングシステム）などが実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって前述した実施の形態の機能が実現されるようにしてもよい。さらに、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータ上のメモリに書きこまれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータのＣＰＵなどが実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって前述した実施の形態の機能が実現されるようにしてもよい。
【００５０】
また、実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードがネットワークを介して配信されることにより、システム又は装置のハードディスクやメモリ等の記憶手段又はＣＤ−ＲＷ、ＣＤ−Ｒ等の記憶媒体に格納され、そのシステム又は装置のコンピュータ（又はＣＰＵやＭＰＵ）が当該記憶手段や当該記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行することによっても、達成されるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】ＳＥＭ式半導体欠陥レビュー装置の基本構成を示す断面図である。
【図２】検査装置と観察装置とのネットワーク接続図である。
【図３】検査モードによりズレの傾向が異なる場合の説明図である。図３Ａは、ズレの傾向を示すベクトル表示事例であり、図３Ｂは、検査装置と観察装置とのネットワーク接続図である。
【図４】座標補正テーブル自動切換え機能のフロー図である。
【図５】重み係数を考慮した座標補正テーブル切換の一例を示す図である。
【図６】各座標補正テーブルの補正結果を表すグラフである。
【図７】補正テーブル自動更新機能のフロー図である。
【図８】補正テーブル評価結果表示画面である。
【符号の説明】
【００５２】
１０１…電子銃、１０２…レンズ、１０３…偏向器、１０４…対物レンズ、１０５…試料、１０６…ステージ、１０７…電子ビーム、１０８…二次粒子、１０９…二次粒子検出器、１１０…電子光学系制御部、１１１…Ａ／  Ｄ変換部、１１２…ステージ制御部、１１３…全体制御部、１１４…画像処理部、１１５…ディスプレイ、１１６…キーボード、１１７…記憶装置、１１８…マウス、２０１…ネットワーク、２０２、２０３、２０４…検査装置、２０５…観察装置、２０６…補正テーブルのデータベース、２０７、２０８、２０９…補正テーブル、３０１…検査モード１におけるズレ傾向を示すウェーハマップ、３０２…検査モード２におけるズレ傾向を示すウェーハマップ、３０３…ネットワーク、３０４…検査装置、３０５、３０６、３０７…検出座標情報、３０８…観察装置、３０９…補正テーブルのデータベース、３１０、３１１、３１２…検査装置および検査モード別に管理された補正テーブル、８０１…検査装置ＩＤ、８０２…検査モード、８０３…補正テーブル名称、８０４…ズレ傾向を示すウェーハマップ、８０５…ズレ量の平均値、８０６…ズレ量の３σ、８０７…推奨ＦＯＶ、８０８…推奨倍率、８０９…検査装置への送信ボタン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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