(57)【要約】【課題】フレキシブルテープ状基板１に銅箔４を加圧接合する際、上記基板１の幅方向の一方（上）端側と他方（下）端側とで生じる長手方向の位置ズレを最小限度に収めること。【解決手段】フレキシブルテープ状基板１に銅箔４を一対のローラ１０２、１０３間で加圧接合し排出するサンプルラミネート工程と、上記基板１の幅方向の上端側と下端側とで生じる長手方向での位置ズレを測定する位置ズレ測定工程と、上記位置ズレに応じて下ローラ１０３の回転軸の一方端を移動して回転軸を傾斜させる位置ズレ矯正工程と、位置ズレが矯正された前記ローラ１０２、１０３でラミネートする製品ラミネート工程を有する。またそのラミネート装置。従って、上記位置ズレ量は減少する。【選択図】図９
2007130904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板厚に形成された合成樹脂からなるフレキシブルテープ状基板と金属箔とが加熱下で一対のローラ間で加圧されることにより両者が接合されるフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法であって、
前記フレキシブルテープ状基板のサンプルと金属箔を用いて前記一対の各ローラの回転軸軸線が平面視でほぼ平行に配置された前記一対のローラ間で加圧接合され搬出されるサンプルラミネート工程と、
前記サンプルラミネート工程で排出された金属箔付きフレキシブルテープ状基板のサンプルが、平面視で幅方向の一方端側と他方端側とで排出方向に生じる位置ズレ状態を判定する位置ズレ判定工程と、
前記位置ズレ判定工程において前記位置ズレが生じている場合には、前記一対のローラのうち少なくとも一方のローラの回転軸軸線を、前記位置ズレを矯正する平面視の矯正方向に傾斜させる位置ズレ矯正工程と、
前記位置ズレ矯正工程で矯正された前記一対のローラ間で、製品となる前記フレキシブルテープ状基板と金属箔とが加圧接合され排出される製品ラミネート工程と、
を備えていることを特徴とするフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法。
【請求項２】
請求項１に記載のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法であって、前記位置ズレ判定工程において、前記位置ズレが、金属箔付きフレキシブルテープ状基板の平面視で幅方向の前記一方端側の位置が前記他方端側の位置に対し前記排出方向である進み側に移動して生じている場合は、前記位置ズレ矯正工程において、平面視で前記一対のローラ同士が接する接線の前記一方端側に対して前記他方端側が前記排出方向である進み側に移動する様に前記一対のローラの少なくとも一方の回転軸を傾斜させることを特徴とするフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法。
【請求項３】
請求項２に記載のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法であって、前記位置ズレ矯正工程において、前記一対のローラのうち下ローラの回転軸は、平面視で前記一方端側は移動せず、前記他方端側は前記排出方向である進み側に移動されることを特徴とするフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法。
【請求項４】
請求項２に記載のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法であって、前記位置ズレ矯正工程において、前記一対のローラのうち下ローラの回転軸は、平面視で前記他方端側は移動せず、前記一方端側は前記排出方向とは逆方向の戻し方向に移動することを特徴とするフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法であって、前記サンプルラミネート工程において、前記フレキシブルテープ状基板のサンプルは、製品となる前記フレキシブルテープ状基板の一部から得たものであることを特徴とするフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法であって、前記位置ズレは、金属箔付きフレキシブルテープ状基板における平面視の前記一方端側と前記他方端側に設けられた複数個のスプロケット孔において判定されることを特徴とするフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法であって、前記フレキシブルテープ状基板と前記金属箔は接着剤を介して接合されることを特徴とするフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法。
【請求項８】
薄板厚に形成された合成樹脂からなるフレキシブルテープ状基板と金属箔との両者を接合するフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート装置であって、
前記フレキシブルテープ状基板と金属箔との両者を上ローラと下ローラとの間を通過させることにより加圧接合し排出する一対のローラと、
前記フレキシブルテープ状基板と金属箔のサンプルとが加熱下で前記一対のローラ間を通過し排出されて両者が接合されるにあたり、前記一対のローラの回転軸の軸線が平面視でほぼ平行に配置された場合に、前記排出接合された金属箔付きフレキシブルテープ状基板において平面視の幅方向の一方端側と他方端側とで排出方向に位置ズレが生じている場合は、前記一対のローラの回転軸の軸線を前記ズレを矯正する方向にズラせる様に前記上ローラまたは下ローラの少なくとも一方のローラにおいて、その回転軸の平面視の前記一方端側と前記他方端側の少なくとも一方を前記排出方向とその逆方向に移動できる回転軸端部移動調整部と、
前記一対のローラを加熱する加熱部と、
を備えていることを特徴とするフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート装置。
【請求項９】
請求項８に記載のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート装置において、上ローラと下ローラの一方は金属からなり、他方のローラはシリコン樹脂からなり、前記過熱部は前記金属からなるローラを過熱することを特徴とするフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート装置。
【請求項１０】
請求項８に記載のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート装置において、前記回転軸端部移動調整部は、断面視で前記金属箔の表面側に配置されたローラとは反対側に配置され、かつ前記フレキシブルテープ状基板の裏面側に配置されたローラの回転軸において平面視での前記一方端側と前記他方端側の少なくとも一方側を軸受する軸受部に設けられていることを特徴とするフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を実装した回路ブロックを構成する回路基板等に用いられる金属箔付きフレキシブル基板を作り出すための、フレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法およびそれに用いられるラミネート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電子部品を実装して回路ブロックを構成するためには、まずフレキシブルなテープ状（フィルム状）基板に銅箔等の金属箔を接合し、その金属箔をパターニングにて配線とし、各金属箔パターン（導線部分）とテープ状基板上に実装された電子部品の各端子とを接合して、また必要に応じて合成樹脂による樹脂封止を施すものであった。
【０００３】
その際、上記フレキシブルなテープ状基板に銅箔等の金属箔を接合する場合は、例えばポリイミド樹脂のテープ材の表面に接着剤を付着し、その接着材に銅箔を接着して張り付け（ラミネート）するものである。そのラミネートにおいては、上記接着剤が表面に付着されたポリイミド樹脂テープと、接着剤側に対向するような位置に配置された銅箔テープとが上ローラと下ローラの間に挿入されて、各ローラから排出された際には、両者が接合されるものである。上記ローラは、１４０度Ｃ程度に加熱されており、上記ローラから排出されると、接着剤が両者を強力に接合するものである。
【０００４】
このような上記フレキシブルなテープ状基板に銅箔等の金属箔を接合する方法は、特許文献１（特に図２、図４）、特許文献２（特に図２）に開示されている。
【０００５】
上記特許文献１には、従来のフレキシブルプリント配線板では金属パンチングによる孔開け加工のために金型の位置精度にて開孔されているものの、その後の加熱ローラによる銅箔ラミネートによって銅箔と接着層とポリイミドテープの各材料の熱膨張差に起因した開口部の位置ズレが発生していたため、その解決手段として、図２、図４に図示されているように、上記ラミネート工程を加熱温度の異なる熱圧着条件にて少なくとも２回以上に分割して多段加熱することが開示されている。
【０００６】
また、特許文献２には、電子部品実装用キャリアテープの製造方法において、同テープにおける絶縁テープ状基板と導体層の長手方向の熱膨張係数を略同等に整えて後、配線パターンを形成後、電子部品を実装する前に上記キャリアテープの幅方向に亘って生じた配線パターン側の面が凹面となる反りを矯正するための応力を付与する第１の反り取り工程と、同テープの長手方向に亘って生じた配線パターン側の面が凹面となる反りを矯正するための応力を付与する第２の反り取り工程とを行うことが開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２０４０４７号広報
【特許文献２】特開２００４−１４６６５８号広報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら上記特許文献１、特許文献２には、上記フレキシブルなテープ状基板自体の製造過程、特に厚板材から薄板材に圧延される過程での内部応力によって惹き起こされる長手方向の変形に伴うフレキシブルなテープ状基板の幅方向における一方端側（以下、上端側と称す）と他方端側（以下、下端側と称す）との位置ズレに対しては着目されていない。特に精密な位置精度が要求される金属箔付きフレキシブル基板には不向きである観点については、何ら指摘していない。
【０００９】
本発明者は、精密な位置精度が要求される回路基板に用いられる場合に好ましい金属箔付きフレキシブル基板を得るために、種々解析を行うことによって、次の様な問題点を発見した。
すなわち、上記フレキシブルなテープ状基板に銅箔等の金属箔を接合するにあたり、ポリイミド樹脂のテープ状基板の表面に接着剤を付着し、その接着材に銅箔を接着し張り付け（ラミネート）する際に、上記接着剤が表面に付着されたポリイミド樹脂テープと、銅箔テープとを加熱下において上ローラと下ローラの間に挿入し、それらのローラから排出されるとポリイミド樹脂テープ基板表面に銅箔が接合されるものである。その後、銅箔が接合された金属箔付きフレキシブル基板において、幅方向の上端側の開孔部と対応する下端側の開孔部とが、金属箔付きフレキシブル基板の長手方向において位置ズレが生じていることを発見した。この長手方向の位置ズレは数十μｍにも達しているものがあり、その位置ズレにより後ほど銅箔に形成される例えば導体パターンの位置ズレを惹き起こし、細密実装が不可能になり、あるいは電子部品との導通信頼性が損なわれてしまうことになる。
【００１０】
上記位置ズレの状況は、次の通りである。
まず上記ポリイミド樹脂テープ状基板を製造するには、図１に図示されるように予め厚く形成された半生状態のポリイミド樹脂テープ状基板原料材１００Ａを上方ローラ１５１と下方ローラ１５２により圧延し、所定の薄さに整えた幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００が排出される。この幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００は、硬化後に図２の一点鎖線位置において切断されて幅７０ｍｍの１２本の各ポリイミド樹脂テープ状基板１が形成される。この後、図３に図示されるように、ポリイミド樹脂テープ状基板１の表面であって、上端側と下端側に後ほど形成される予定のスプロケット孔２部分を除いた中央側領域に接着剤３を付着する。しかる後、各ポリイミド樹脂テープ状基板１の幅方向の上端側と下端側に、スプロケット孔２が多数、長手方向Ａに等間隔にプレス形成される。上端側スプロケット孔２ａと下端側スプロケット孔２ｂとは、長手方向Ａにおいて同じ位置に配置される。このスプロケット孔２は、後工程の基準位置となり、また搬送機の搬送爪が挿入してポリイミド樹脂テープ状基板１を搬送するためのものである。次に、接着剤付着後のポリイミド樹脂テープ状基板１と上記接着剤３とほぼ同程度の幅に整えられた銅箔４とを、図４（断面図）、図５（図４の平面図）に図示される様に、銅箔接合用の上ローラ１０２と下ローラ１０３とにより加熱圧延してポリイミド樹脂テープ状基板１と銅箔４とを接合し、銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５を排出するものである。図６にその接合後の銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５の断面図が図示されている。
【００１１】
この様にして得られた銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５において、上端側スプロケット孔２ａと下端側スプロケット孔２ｂとの長手方向Ａにおける位置を測定してみると、図７の様に、上端側スプロケット孔２ａが下端側スプロケット孔２ｂに対して長手方向Ａの搬送方向Ａ１側にズレており、その位置ズレ量Ｃは、多い場合は数十μｍ以上にも達していることが判明した。しかも、このズレの方向や位置ズレ量Ｃは、ポリイミド樹脂テープ状基板１のロットによりまちまちであることも判明した。
【００１２】
本発明者は、鋭意実験と解析を重ねることによって、上記ズレの発生は、次の様にして惹き起こされるものであると推測するに至った。
まず、図１、図２に図示される様に、予め厚く形成された半生状態のポリイミド樹脂テープ状基板原料材１００Ａは、上方ローラ１５１と下方ローラ１５２により圧延され、所定の薄さに整えられて幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００として排出される。なお、上記上方ローラ１５１と下方ローラ１５２による圧延は、予め厚く形成された半生状態ではないポリイミド樹脂テープ状基板原料材１００Ａが、上方ローラ１５１と下方ローラ１５２により加熱されて半生状態となり、この状態で圧延され、所定の薄さに整えられて幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００として排出される場合もあり得る。
【００１３】
この各ローラから排出された幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００には、図２の各矢印で図示されているように、まず、上記長手方向Ａにおいては、各ローラによる圧延力（実線で図示）に対抗する反力としての内部応力（鎖線で図示）が内在している。その圧延力と内部応力は、次の様に作用するものと考えられる。上方ローラ１５１と下方ローラ１５２から搬出された幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００には、まず上記長手方向Ａにおいてローラによる圧延力Ｄが搬送方向Ａ１とは反対側に作用しており、言わば幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００が搬送方向Ａ１とは反対側に引っ張り力を受けたことになる。その反作用力として、搬送方向Ａ１に押し戻す内部応力Ｆ（鎖線矢印）が内在していることになる。他方、長手方向Ａと直行する方向である幅方向Ｂにおいても、搬出された幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００には、ローラによる圧延力Ｇが幅方向における中心１００Ｄから、上方外端部１００Ｂ、及び下方外端部１００Ｃ側に向かって作用しており、言わば幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００が上方外端部１００Ｂ、下方外端部１００Ｃ側に向かってに引っ張り力を受けたことになる。その反作用力として幅方向の中心１００Ｄ側に押し戻す内部応力Ｈ（鎖線矢印）が内在していることになる。
【００１４】
上記の場合、幅方向の中心１００Ｄに近い部分と遠い部分（外端部側）とを比較・精査すると、まず長手方向Ａでの圧延力Ｄは、中心１００Ｄ側が小さく、上方外端部１００Ｂ、及び下方外端部１００Ｃ側では大きくなっている。それは、図１の圧延ローラの上方ローラ１５１、下方ローラ１５２により、中心１００Ｄ付近の原料の厚肉が搬送方向Ａ１とは逆方向の長手方向に押し戻されるが、押し戻されきれない原料肉は、幅方向Ｂの両外端部にも流れるため両外端部側では、もともとの原料厚肉と中心１００Ｄ側から流されてきた原料肉とが合算されてより大きな圧延力で搬送方向Ａ１とは逆方向の長手方向に押し戻されることになる。このため、上記逆方向での圧延力Ｄは、必然的に中心１００Ｄ側が小さく、上方外端部１００Ｂ、及び下方外端部１００Ｃ側では大きくなっている。従って、長手方向Ａの内部応力も、中心１００Ｄ側が小さく、上方外端部１００Ｂ、及び下方外端部１００Ｃ側では大きくなっている。
【００１５】
一方、幅方向Ｂの圧延力Ｇは、上記上方ローラ１５１、下方１５２により直接加えられる原料肉が押される方向が搬送方向Ａ１とは逆方向であるので、それとは直行する幅方向Ｂにおける圧延力Ｇは、幅方向の中心１００Ｄに近い部分に対して両外端側が大きめにはなるものの、ほとんど大差はないものと思われる。なお、幅方向Ｂの圧延力Ｇ（実線矢印）は、幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００の中心１００Ｄを基準として図２の上側領域と下側領域とにおいて、反対方向となる。
従って、長手方向Ａの圧延力Ｄにおいて、上方外端部１００Ｂ側、及び下方端部１００Ｃ側の各圧延力Ｄ１、Ｄ３は、上記中心１００Ｄ側の圧延力Ｄ２、Ｄ４より大きい。よって、長手方向Ａの内部応力Ｆにおいても、上方外端部１００Ｂ、及び下方端部１００Ｃ側の内部応力Ｆ１、Ｆ３は、上記中心１００Ｄ側の内部応力Ｆ２、Ｆ４よりも大きくなる。また、各内部応力Ｆ１〜Ｆ４の方向は同一となり、搬送方向Ａ１となる。
【００１６】
一方、幅方向Ｂでの圧延力Ｇと内部応力Ｈにおいては、上方外端部１００Ｂ、下方外端部１００Ｃ側の圧延力Ｇ１、Ｇ３及び内部応力Ｈ１、Ｈ３は、上記中心１００Ｄ側の圧延力Ｇ２、Ｇ４及び内部応力Ｈ２、Ｈ４とほぼ同一となる。なお、Ｇ１、Ｇ２は、Ｇ３、Ｇ４とは逆方向となり、Ｈ１、Ｈ２は、Ｈ３、Ｈ４とは逆方向となるものである。
【００１７】
この状態の幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００を、１２本の幅狭の７０ｍｍテープにカットして各ポリイミド樹脂テープ状基板１が形成される。この後、前述の接着剤３が付着され、しかる後、図３の様に各ポリイミド樹脂テープ状基板１の幅方向Ｂの上端側と下端側にスプロケット孔２が多数プレス形成される。この後、ラミネートローラ部の断面図である図４、図４の平面図である図５の様に、銅箔接合用の上ローラ１０２と下ローラ１０３とにより加熱圧延してポリイミド樹脂テープ基板１と銅箔４とを接合し、銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５を排出方向Ａ１に排出するものである。
上記ポリイミド樹脂テープ状基板１は、上記上ローラ１０２と下ローラ１０３とにより加熱・圧延されると、上述した内部応力が加熱により現出作用することになって、図７の様に、上端側スプロケット孔２ａが下端側スプロケット孔２ｂに対して長手方向Ａの搬送方向Ａ１側にズレており、位置ズレ量Ｃは多い場合は数十μｍ以上にも達することが判明した。図７で図示したポリイミド樹脂テープ状基板１は、図２の幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００において、中心１００Ｄの上側領域からカットされたものと推察される。
【００１８】
そこで、本発明は、上記のフレキシブルテープ状基板材に銅箔等の金属箔が一対のローラ間で加圧接合（ラミネート）し排出された際に、金属箔接合後のフレキシブルテープ状基板において平面視の幅方向の上端側と下端側とで、前記排出方向での位置ズレを最小限度にとどめることができるラミネート方法を提供することを目的とする。さらにそのラミネート方法を実現するラミネート装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法は、薄板厚に形成された合成樹脂からなるフレキシブルテープ状基板と金属箔とが加熱下で一対のローラ間で加圧されることにより両者が接合されるフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法であって、前記フレキシブルテープ状基板のサンプルと金属箔を用いて前記一対の各ローラの回転軸軸線が平面視でほぼ平行に配置された前記一対のローラ間で加圧接合され搬出されるサンプルラミネート工程と、前記サンプルラミネート工程で排出された金属箔付きフレキシブルテープ状基板のサンプルが、平面視で幅方向の一方端側と他方端側とで排出方向に生じる位置ズレ状態を判定する位置ズレ判定工程と、前記位置ズレ判定工程において前記位置ズレが生じている場合には、前記一対のローラのうち少なくとも一方のローラの回転軸軸線を、前記位置ズレを矯正する平面視の矯正方向に傾斜させる位置ズレ矯正工程と、前記位置ズレ矯正工程で矯正された前記一対のローラ間で、製品となる前記フレキシブルテープ状基板と金属箔とが加圧接合され排出される製品ラミネート工程と、
を備えていることを特徴とする。
【００２０】
上記構成により、前記サンプルラミネート工程で生じた上記排出方向に生じる位置ズレ状態を上記位置ズレ判定工程によって判定することができるので、とかくフレキシブルテープ状基板が異なればバラツキやすい上記位置ズレを実際の製品となる前記フレキシブルテープ状基板に近い状態で判定することができ、実際に製造される金属箔ラミネートフレキシブルテープ状基板の上記位置ズレの向きと位置ズレ量を矯正する際の信頼性を高めることができる。この際、上記位置ズレ判定工程で判定された上記位置ズレ状態、例えば位置ズレの向きと位置ズレ量に基づいて、前記一対のラミネート用ローラのうち少なくとも一方のローラの回転軸軸線を、前記位置ズレを矯正する平面視の矯正方向に傾斜させるという簡単な方法で位置ズレ矯正工程を実施するだけで良く、引続いて行う上記製品ラミネート工程により上記位置ズレが矯正された金属箔ラミネートフレキシブルテープ状基板が容易に得られるものである。
【００２１】
なお、金属箔が接合される前の段階の合成樹脂からなるフレキシブルテープ状基板が薄板厚に形成されるとは、例えば、厚い半生状態または非半生状態のフレキシブルテープ状原料基板が、非加熱下または加熱下において一対のローラ間に加圧圧延されて薄厚に圧延されることにより所定の薄さに形成される場合や、上記厚い半生状態または非半生状態のフレキシブルテープ状原料基板が非加熱下または加熱下でプレス装置により押圧されて所定の薄さに形成される場合、その他、厚いフレキシブルテープ状原料基板が非加熱下または加熱下において所定の薄さに形成される場合が含まれる。それらの場合は、所定の薄さに圧延されたフレキシブルテープ状基板（原板）において、上記所定の薄さに圧延されることに伴い、平面視で中央部より幅方向の上端側、及び下端側に至るに従って上記圧延方向での内部応力が高くなるものである。よって、金属箔が、上記所定の薄さに圧延されたフレキシブルテープ状基板（原板）に一対のローラによりラミネートされる際の加熱押圧力により、上記排出方向の位置ズレが生じるようになる。なお、上記ラミネートされる際のフレキシブルテープ状基板は、上記所定の薄さに圧延されたフレキシブルテープ状基板（原板）を所定の幅に切断されて得られることが好ましい。
【００２２】
また、合成樹脂からなるフレキシブルテープ状基板の材質は、代表的にはポリイミド樹脂が好ましいが、その他の実装用等の基板としてふさわしい合成樹脂であればどのような材質でもよく、たとえば、ポリエーテルイミド、ＰＥＴ、等でも良い。上記テープ状とは、ロールに巻き取り可能なテープを含むが、その他、短冊状に形成されていても良く、その場合はロールに巻き取られるほどに長くはないことになる。
【００２３】
なお、上記金属箔は、導通材に用いられるものであればどのようなものでも良く、代表的には銅系、金系、銀系、アルミニューム系が好ましい。
また、前記サンプルラミネート工程におけるフレキシブルテープ状基板のサンプルとは、製品となるフレキシブルテープ状基板の内の一部を用いる場合が好ましい。しかし、それに限定されることは無く、製品のフレキシブルテープ状基板の上記位置ズレを想定できるサンプルならばどのようなサンプルでも良い。例えば、上記所定の薄さに圧延されたフレキシブルテープ状基板（原板）の幅方向の複数位置毎に上記位置ズレを前もって測定しておき、しかる後に、上記製品となるフレキシブルテープ状基板が上記所定の薄さに圧延されたフレキシブルテープ状基板（原板）のどの幅方向位置から切断されたものであるかを予め把握しておくことによって、上記製品となるフレキシブルテープ状基板の上記位置ズレを推測することができるが、その場合の上記サンプルとは、上記製品となるフレキシブルテープ状基板に対応する上記複数位置毎の上記所定薄さに圧延されたフレキシブルテープ状基板（原板）部分を指すか、または上記所定薄さに圧延されたフレキシブルテープ状基板（原板）を所定の幅にカットして得られたフレキシブルテープ状基板を指す。
【００２４】
以上から、本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法を言い換えれば、薄板厚に形成されたフレキシブルテープ状基板と金属箔とが加熱下で一対のローラ間で加圧されることにより両者が接合されるフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法であって、前記一対のローラの回転軸の軸線が平面視においてほぼ平行に配置された前記一対のローラ間から排出された金属箔付きフレキシブルテープ状基板において、平面視で幅方向の一方端側と他方端側とで排出方向に位置ズレが生じている場合に、前記一対のローラの回転軸の軸線を前記位置ズレを矯正する方向に傾斜させてから前記フレキシブルテープ状基板と金属箔とを前記一対のローラ間で加圧し排出させるラミネート方法であるとも言えるものである。
【００２５】
さらに、本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法は、前記位置ズレ判定工程において、前記位置ズレが、金属箔付きフレキシブルテープ状基板の平面視で幅方向の前記一方端側の位置が前記他方端側の位置に対し前記排出方向である進み側に移動して生じている場合は、前記位置ズレ矯正工程において、平面視で前記一対のローラ同士が接する接線の前記一方端側に対して前記他方端側が前記排出方向である進み側に移動する様に前記一対のローラの少なくとも一方の回転軸を傾斜させることを特徴とする。
【００２６】
上記構成は、前記位置ズレ判定工程における前記位置ズレ状態と、前記位置ズレ矯正工程における前記一対のローラの回転軸軸線の傾斜の仕方との関係を具体化しているものである。すなわち、前記位置ズレが、金属箔付きフレキシブルテープ状基板の平面視で幅方向の前記一方端側の位置が前記他方の位置に対し前記排出方向である進み側に移動して生じている場合は、平面視で前記一対のローラ同士が接する接線の前記一方端側に対して前記他方端側が前記排出方向である進み側に移動する様に前記一対のローラの少なくとも一方の回転軸を傾斜させるものである。
【００２７】
また、本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法は、前記位置ズレ矯正工程において、前記一対のローラのうち下ローラの回転軸は、平面視で前記一方端側は移動せず、前記他方端側は前記排出方向である進み側に移動されることを特徴とする。
この構成により、下ローラは、前記他方端側を前記排出方向である進み側に移動するという単純な操作により下ローラの回転軸を容易に上記のように傾斜させることができるものである。
【００２８】
また、本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法は、前記位置ズレ矯正工程において、前記一対のローラのうち下ローラの回転軸は、平面視で前記他方端側は移動せず、前記一方端側は前記排出方向とは逆方向の戻し方向に移動することを特徴とする。
この構成により、下ローラは、前記他方端側を前記排出方向とは逆方向の戻し方向に移動するという単純な操作により下ローラの回転軸を容易に上記矯正方向に傾斜させることができるものである。
【００２９】
さらに、本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法は、前記サンプルラミネート工程において、前記フレキシブルテープ状基板のサンプルは、製品となる前記フレキシブルテープ状基板の一部から得たものであることを特徴とする。
この構成により、前記フレキシブルテープ状基板のサンプルが、製品となる前記フレキシブルテープ状基板の一部から得るようにしているので、製品となる前記フレキシブルテープ状基板の内部効力と上記位置ズレを、上記サンプルにおいて正確に判定することができ、上記ローラの傾きを適正に行なうことができる。
【００３０】
この場合の前記フレキシブルテープ状基板のサンプルとは、製品となる前記フレキシブルテープ状基板の一部から得るならばどのような形態でもよい。例えば、ラミネート用の一対のローラに挿入される前記フレキシブルテープ状基板の先頭部分をサンプルとし製品部分と一体に連続されていてもよい。この場合は、前記先頭部分にて前記サンプルラミネート工程を実施する。一方、上記先頭部分を切断してサンプルとし、このサンプルだけで前記サンプルラミネート工程を実施しても良い。前記サンプルラミネート工程を実施した部分は、製品としては採用しない。
【００３１】
なお、前記サンプルラミネート工程において、ラミネートされる金属箔は、製品となる金属箔の一部を用いることは必ずしも必要としない。その理由は、金属箔は、製品ラミネート工程での加熱や加圧によっても内部応力が作用することがほとんど無く、合成樹脂からなる前記フレキシブルテープ状基板の様に排出方向での上記位置ズレは、ほとんど生じないからである。しかし、前記サンプルラミネート工程において、前記フレキシブルテープ状基板と同様にテープ状金属箔でも製品となる原料箔の一部を用い、製品となる前記フレキシブルテープ状基板の一部および金属箔の一部を用いて前記サンプルラミネート工程を行うようにしても良い。
【００３２】
また、本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法は、前記位置ズレは、金属箔付きフレキシブルテープ状基板における平面視の前記一方端側と前記他方端側に設けられた複数個のスプロケット孔において判定されることを特徴とする。
この構成によれば、上記スプロケット孔は、上記フレキシブルテープ状基板を搬送するための搬送機の送り爪が挿入する上で必要となり、金属箔のラミネート、及び後の金属箔への導体パターン作業、又は接着剤の付着等の後工程において位置出し基準に必要となる。このような上記スプロケット孔は、上記フレキシブルテープ状基板の幅方向の前記一方端側と前記他方端側に形成されているので、幅方向の長さを十分に確保でき、しかも、正確な寸法に形成されているので、上記の位置ズレを精度良く測定することができる。
なお、前記位置ズレ判定部分は、前記一方端側と前記他方端側に設けられた複数個のスプロケット孔に限定されるものではなく、上記フレキシブルテープ状基板の幅方向の前記一方端側と前記他方端側ならばどこでもよく、例えば、前記一方端辺と前記他方端側端辺に設けた凹部でもよい。
【００３３】
また、本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法は、前記フレキシブルテープ状基板と前記金属箔は接着剤を介して接合されることを特徴とする。
フレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネートは、接着剤を介して接合される様にすることにより、両者が強固に接合されるものである。なお、上記接着剤は、ラミネート時に加熱されることから熱硬化性接着剤が好ましいが、それに限定されるものではなく、熱可塑性でも、光硬化性でも適用できる。
なお、上記接着剤は、必ずしも必須ではない。例えば、加熱により金属箔と接合する粘性が高くなる特性を備えた合成樹脂を用いたフレキシブルテープ状基板の場合は、上記接着剤を必要としない。
【００３４】
本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート装置は、薄板厚に形成された合成樹脂からなるフレキシブルテープ状基板と金属箔との両者を接合するフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート装置であって、前記フレキシブルテープ状基板と金属箔との両者を上ローラと下ローラとの間を通過させることにより加圧接合し排出する一対のローラと、前記フレキシブルテープ状基板と金属箔のサンプルとが加熱下で前記一対のローラ間を通過し排出されて両者が接合されるにあたり、前記一対のローラの回転軸の軸線が平面視でほぼ平行に配置された場合に、前記排出接合された金属箔付きフレキシブルテープ状基板において平面視の幅方向の一方端側と他方端側とで排出方向に位置ズレが生じている場合は、前記一対のローラの回転軸の軸線を前記ズレを矯正する方向にズラせる様に前記上ローラまたは下ローラの少なくとも一方のローラにおいて、その回転軸の平面視の前記一方端側と前記他方端側の少なくとも一方を前記排出方向とその逆方向に移動できる回転軸端部移動調整部と、前記一対のローラを加熱する加熱部と、を備えていることを特徴とする。
【００３５】
この構成により、前述した位置ズレを減少することができるが、特に、前記上ローラまたは下ローラの少なくとも一方のローラにおいてその回転軸の平面視での前記一方端側と前記他方端側の少なくとも一方を前記排出方向とその逆方向に移動できる回転軸端部移動調整部を設けるという簡単な構造で良いので、装置を作りやすく、信頼性の高いラミネート装置が得られる。
【００３６】
また、本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート装置は、上ローラと下ローラの一方は金属からなり、他方のローラはシリコン樹脂からなり、前記過熱部は前記金属からなるローラを過熱することを特徴とする。
この構成によれば、上ローラと下ローラの一方は金属からなり、他方のローラはシリコン樹脂からなるので、上記金属ローラによりローラ表面を高硬度で平滑に形成でき、しかも他方のローラからの圧接力を受け止めることができる十分な強度を有する。更に、上記金属ローラであるので、前記過熱部により加熱してもその変質・変形を防止でき、計時変化もなく、より高い信頼性をもたらす。他方のローラがシリコン樹脂からなるので、合成樹脂のフレキシブルテープ状基板を押圧してもフレキシブルテープ状基板に損傷を加えることを防止できる。
【００３７】
また、本発明のフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート装置は、前記回転軸端部移動調整部は、断面視で前記金属箔の表面側に配置されたローラとは反対側に配置され、かつ前記フレキシブルテープ状基板の裏面側に配置されたローラの回転軸において平面視での前記一方端側と前記他方端側の少なくとも一方側を軸受する軸受部に設けられていることを特徴とする。
この構成により、断面視で前記金属箔の表面側に配置されたローラは、その回転軸を傾斜する必要がないので前記金属箔に傾斜力を与えることがなく、金属箔を排出方向に平行に無理なく排出することが出来、スムーズなラミネートが実現できる。さらに、前記回転軸端部移動調整部は、断面視で前記金属箔の表面側に配置されたローラとは反対側に配置され、かつ前記フレキシブルテープ状基板の裏面側に配置されたローラの回転軸に設けられているので、前記裏面側に配置されたローラは上記フレキシブルテープ状基板の断面視で下面側を押圧し排出させるため、上記フレキシブルテープ状基板に対して有効な傾斜排出力を与えることが出来、上記フレキシブルテープ状基板の上記位置ズレを効果的に減少させることができる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明は、上記のフレキシブルテープ状基板材に銅箔等の金属箔が一対のローラ間で加圧接合され、それらが排出された際に、金属箔接合後のフレキシブルテープ状基板において平面視の幅方向の一方端側と他方端側とで、前記排出方向の位置ズレを最小限度にとどめることができるラミネート方法を提供できる。またそのラミネート方法を実現するラミネート装置を、簡単な構造により提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔第１実施形態〕
本発明の第1実施形態であるフレキシブルテープ状基板への金属箔のラミネート方法を、下記順序で行われる工程毎に説明する。
【００４０】
＜薄板厚の合成樹脂からなるフレキシブルテープ状基板の形成工程＞
まず合成樹脂からなるフレキシブルテープ状基板の材質は、代表的にはポリイミド樹脂が好ましいが、その他の実装用等の基板としてふさわしい合成樹脂であればどのような材質でもよく、たとえば、ポリエーテルイミド、ＰＥＴ、等でも良い。上記テープ状とは、ロールに巻き取り可能なテープを含むが、その他、短冊状に形成されていても良く、その場合はロールに巻き取られるほどに長くはない。
【００４１】
以下、代表的なポリイミド樹脂テープ状基板１を製造する工程について詳述すると、次の通りである。
図１に図示されるように予め厚く形成された半生状態のポリイミド樹脂テープ状基板原料材１００Ａを上方ローラ１５１と下方ローラ１５２により圧延し、所定の薄さである１３０μｍ（１２５〜１３５μｍ）に整え、幅寸法が約９００ｍｍ以上である幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００が排出される。上記上方ローラ１５１と下方ローラ１５２により圧延する場合は、ポリイミド樹脂テープ状基板原料材１００Ａ、又は上記上方ローラ１５１或いは下方ローラ１５２を加熱するようにしても良い。その際のポリイミド樹脂テープ状基板原料材１００Ａは、非半生状態のものであってもよい。
【００４２】
この幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００は、硬化後に図２の一点鎖線位置において切断されて幅７０ｍｍの１２本の各ポリイミド樹脂テープ状基板１が形成される。上記テープ状基板１は、ローラに巻き取り可能な程に長く形成されている。この後、前述のポリイミド樹脂テープ状基板１の表面に、後でスプロケット孔２が形成される予定の平面視で上端側（一方端側）と下端側（他方端側）を除いた中央側領域に接着剤３を付着させる。この接着剤の付着は、予めシート状に形成されたシート状接着剤を張り付けることにより行われる。但し、その接着剤の付着は、どのように行ってもよく、たとえば、液状接着剤をロールコータ法により塗布し乾燥するようにして形成してもよい。この接着剤３は、熱硬化性接着剤、熱可塑性接着剤、光硬化性接着剤などどのようでも良い。但し、加熱下で接着されることを考慮すると、熱硬化性接着材が最も好ましい。この後、図３に図示されるように、各ポリイミド樹脂テープ状基板１の幅方向の上端側と下端側にスプロケット孔２が多数、長手方向Ａに等間隔にプレス形成される。上端側スプロケット孔２ａと下端側スプロケット孔２ｂとは、長手方向Ａの同一位置に配置される。つまり、上端側スプロケット孔２ａと下端側スプロケット孔２ｂとは、各ポリイミド樹脂テープ状基板１の幅方向の中心線に対して互いに対象位置に配置されることになる。このスプロケット孔２は、後工程の基準位置となり、また搬送機の搬送爪が挿入してポリイミド樹脂テープ状基板１を搬送する。上記スプロケット孔２ａ、２ｂは、一辺が１.９８ｍｍの四角に形成され、隣接のスプロケット孔２ａ、２ａ、または２ｂ、２ｂとは、４.７５ｍｍ離れて配置されている。
【００４３】
＜前記フレキシブルテープ状基板への金属箔のサンプルラミネート工程＞
まず、本発明のサンプルラミネート工程の前提となるポリイミド樹脂テープ状基板１への金属箔のミネート方法を説明する。
ここで、上記金属箔は、導通材に用いられるものであればどのようなものでも良く、代表的には銅系、金系、銀系、アルミニューム系が好ましい。ここでは、代表的な銅箔を用いた例に基づいて説明する。
【００４４】
上記接着剤とほぼ同程度の幅である６８ｍｍに整えられたテープ状の銅箔４を、前述の接着剤が付着されたポリイミド樹脂テープ状基板１の幅方向Ｂの中心領域に配置し、ポリイミド樹脂テープ状基板１と共に一対の上記ローラ１０２、１０３の間に挿入する。
上記一対のローラ装置は、その断面図が図４に、図４の平面図が図５に示されている通りである。上記一対のローラは、上ローラ１０２と下ローラ１０３とを備えており、上ローラ１０２は、表面が高炭素鋼等の高硬度の表面を有した金属からなり、その表面は平滑な円筒面に形成されている。この上ローラ１０２の回転軸は、ローラ基台に固定された軸受に軸受けされており、一方の回転軸は、モータにより一方方向に回転駆動される。この上ローラ１０２の表面より内部側にはヒータ巻き線が埋設されており通電しているので、上ローラ１０２の表面は、約１４０度Ｃ前後（１２０〜１５０度Ｃ）に保持されている。なお、上ローラ１０２の加熱方法としては、その回転軸の内部に高温の油が注入・排出されて、循環供給されるようにしても、また他の方法でも良い。また、下ローラ１０３は、表面がシリコン樹脂からなり、下方から約２ｋｇのバネ力を受けて上ローラ１０２に押圧されており、その回転軸は上記バネ力を受けて上下方向に移動可能に軸受に支持されている（詳細は後述する）。
【００４５】
このような一対のローラ間に、図４、図５の様に前記ポリイミド樹脂テープ状基板１と前記銅箔４とが挿入される。上ローラ１０２側に前記銅箔４が、下ローラ１０３側に前記ポリイミド樹脂テープ状基板１が配置されており、前記ポリイミド樹脂テープ状基板１における上ローラ１０２側表面には、前記接着剤３が付着されている。上ローラ１０２がモータＭにより回転することにより、前記ポリイミド樹脂テープ状基板１と前記銅箔４とを搬送方向Ａ１に送り出すのであり、その際に１４０度Ｃの高温の元で両者を圧接するから、前記ローラ１０２，１０３により両者が強力に接合し、前記ローラ１０２，１０３から銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５が排出されることになる。上記搬送速度は、３ｍ／分程度である。図６にその接合後の銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５の断面図が図示されている。図６において、銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５は、厚みが約１３０μｍの前記ポリイミド樹脂テープ状基板１と、その上表面に形成されて厚みが約１５μｍの接着剤３と、接着剤３の表面に接合され厚み約３５μｍでの銅箔４とを有し、総厚みが約１８０μｍとなっている。
【００４６】
次に本発明のサンプルラミネート工程を説明する。
前述したフレキシブルテープ状基板１の形成工程の後、本発明のサンプルラミネート工程を行う。その場合、前記した一対のラミネート用ローラにおいて、上ローラ１０２と下ローラ１０３の両回転軸の軸線が、平面視で前記排出方向Ａ１に対し直行する方向で且つ互いに平行となるように配置している。前述した前記ポリイミド樹脂テープ状基板１と前記テープ状の銅箔４の各々の先頭部分（先頭から約１ｍ以内）を切断してサンプルとし、このサンプルのみを前記一対のラミネート用ローラ１０２、１０３の間に挿入し、サンプルの両者を圧延接合して排出する。排出されたサンプルは、銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板サンプル５ａと称する。銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板サンプル５ａは、ポリイミド樹脂テープ状基板サンプル１ａに接着剤を介して銅箔サンプル４ａが接合されているものである。
【００４７】
＜位置ズレ判定工程＞
この様にして得られた銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板サンプル５ａにおいて、上端側スプロケット孔２ａと対応する下端側スプロケット孔２ｂとの長手方向Ａにおける位置を測定する。この測定方法は、光学顕微鏡による測定でもよく、光学的拡大投影により測定する方法でも、その他の測定方法でも良い。
【００４８】
その測定の結果、図７の様に、上端側スプロケット孔２ａが下端側スプロケット孔２ｂに対して長手方向Ａの搬送方向Ａ１側（図７の右側）にズレている場合があり、その位置ズレ量Ｃは多い場合は数十μｍ以上に達している。上記位置ズレの原因は、前述した通りであると推測されるが、幅７０ｍｍの銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板サンプル５ａにおいても、図８の作用線に図示されている様に、上端側の内部応力Ｆ１が下端側の内部応力Ｆ２より大きくなっており、上記サンプルラミネート工程における加熱下での加圧接合により内部応力が現出作用したためと思われる。従って、前記ポリイミド樹脂テープ状基板１は、図２の幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００において、中心１００Ｄに対して上側外端部１００Ｂ側領域から取り出されたものと考えられる。
【００４９】
また、図７とは逆に、上端側スプロケット孔２ａが下端側スプロケット孔２ｂに対して長手方向Ａの搬送方向Ａ１側とは逆方向（図７の左側）にズレている場合があり、そのズレ量は多い場合は数十μｍ以上に達している。上記位置ズレの原因は、前述した通りであると推測されるが、幅７０ｍｍの銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板サンプル５ａにおいても、下端側の内部応力Ｆ３が上端側の内部応力Ｆ４より大きくなっており、上記サンプルラミネート工程における加熱下での加圧接合により内部応力が現出作用したためと思われる。従って、この場合の前記ポリイミド樹脂テープ状基板１は、図２の幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００において、中心１００Ｄに対して下側外端部１００Ｃ領域から取り出されたものと考えられる。
【００５０】
なお、上端側スプロケット孔２ａが下端側スプロケット孔２ｂに対して長手方向Ａの搬送方向Ａ１側（図７の右側）に実質的にズレていない場合もある。この場合は、幅７０ｍｍの銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板サンプル５ａにおいて、下端側の内部応力と上端側の内部応力とがほとんど同等になっているものと思われる。この場合の前記ポリイミド樹脂テープ状基板１は、図２の幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００において、中心１００Ｄの近傍領域から取り出されているものと考えられる。
【００５１】
＜位置ズレ矯正工程＞
上記位置ズレ判定工程により、上端側スプロケット孔２ａが下端側スプロケット孔２ｂに対して長手方向Ａの搬送方向Ａ１側（図７の右側）またはその逆方向（図７の左側）にズレていることが判定されると、前記ラミネート用一対のローラは少なくとも一方の回転軸は、前記位置ズレを減少させる方向に傾斜させる。
【００５２】
すなわち、図７の様に、上端側スプロケット孔２ａが下端側スプロケット孔２ｂに対して長手方向Ａの搬送方向Ａ１側（図７の右側）にズレていることが判定されると、一対のローラ部の平面図である図９の様に、下ローラ１０３の回転軸において、上端側回転軸１０３ａ（軸受けされる部分）は平面視で移動せず、下端側回転軸１０３ｂ（軸受けされる部分）が平面視で前記排出方向Ａ１（進み方向）に移動する。その移動量αにより、下ローラの回転軸の軸線１０３ｃは上ローラの回転軸の軸線１０２ｃ（搬送方向Ａ１に直行）に対し傾斜し傾斜角βを形成する。従って、上ローラ１０２と下ローラ１０３との接触線（前記ポリイミド樹脂テープ状基板１と前記銅箔４が両ローラの間に挿入されていない状態にて）は、回転軸の軸線１０２ｃに対して傾斜角βを有して傾斜することになる。図１０は、図９の下端側回転軸の側方から見た側面図である。
【００５３】
次に、図７とは逆に、上端側スプロケット孔２ａが下端側スプロケット孔２ｂに対して長手方向Ａの搬送方向Ａ１とは逆方向（図７の左側）にズレていることが判定されると、
上記とは逆の向きとなるように、下ローラ１０２の下端側回転軸１０３ｂを移動させ、その移動量−（マイナス）αにより、上記とは逆向きの傾斜角−βを形成する。  
また、上端側スプロケット孔２ａが下端側スプロケット孔２ｂに対して長手方向Ａの搬送方向Ａ１において、実質的にズレていないことが判定されると、前記下ローラ１０３の前記下端側回転軸１０３ｂの軸線を移動することなく、従って前述の移動量α及び傾斜角βをゼロに設定する。
【００５４】
＜製品ラミネート工程＞
上記位置ズレ判定工程で判定された上記位置ズレに応じ、上記位置ズレ矯正工程で一対のローラの回転軸の軸線が傾斜された状態で、当該一対の前記ローラ１０２、１０３の間に、製品となる上記ポリイミド樹脂テープ状基板１と前記テープ状の銅箔４の残された両テープ状部分を挿入し、両者を圧延接合して排出する。上記一対のローラの回転軸の軸線を傾斜させる以外は、上記サンプルラミネート工程と同じラミネート条件とした。排出されると銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５として製品となる。この銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５は、ポリイミド樹脂テープ状基板１に接着剤３を介して銅箔４が接合されているものである。
この銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５において、幅方向での上端側のスプロケット孔２ａと下端側のスプロケット孔２ｂの排出方向Ａ１での位置ズレ量Ｃを測定すると、上記位置ズレ矯正工程前のサンプルラミネート工程の場合に比べ減少していることが判明した。
【００５５】
上記第１実施形態の条件で各種実験と測定を行った結果、上記サンプルラミネート工程において上記上端側スプロケット孔２ａと下端側スプロケット孔２ｂの排出方向Ａ１での位置ズレ量Ｃ１の測定値（μｍ）、上記位置ズレ矯正工程において下ローラ１０３の下端側回転軸１０３ｂが平面視で前記排出方向Ａ１（進み方向）に移動する際の移動量α（ｍｍ）、製品ラミネート工程において上記スプロケット孔２ａと下端側のスプロケット孔２ｂの排出方向Ａ１での位置ズレ量Ｃ２（μｍ）と称する場合、上記Ｃ１、上記α、上記Ｃ２の関係は、次の表１の通りとなった。全資料数は３５個のデータに基づいている。
【００５６】
【表１】
2007130904.tif 000003
【００５７】
表１において、Ｃ１欄とＣ２欄の左側の数値は平均値を、右側の括弧内の数値は各資料の数値範囲を示す。このため、上記Ｃ２の値は、バラツキを考慮しても要望されている±３０μｍ以内にほぼ納める見通しが立てられた。
実際の量産時での位置ズレ矯正工程においては、位置ズレ判定工程で判定された測定値Ｃ１の範囲を設定しておき、その設定範囲における前記の移動量αを表２の通りとした。すなわち、上記サンプルラミネート工程後の位置ズレ判定工程において、上記位置ズレ量Ｃ１が表２の各設定範囲に該当する場合は、下ローラ１０３の下端側回転軸１０３ｂを、表２で対応する移動量αだけ移動するようにして、量産時の上記移動量を管理しやすくしている。
【００５８】
【表２】
2007130904.tif 000004
【００５９】
なお、上記製品ラミネート工程において、上記位置ズレ量Ｃ２のバラツキを更に小さくしたい場合は、表２の位置ズレ量Ｃ１の各区分毎の数値幅を小さくし、それに対応する移動量αの設定範囲の数値幅も小さくすればよい。例えば、Ｃ１が−２０μｍから−１０μｍの範囲ではαを−１.０ｍｍから−０.５ｍｍに設定し、Ｃ１が−１０μｍから０の範囲ではαを−０.５ｍｍから０に設定し、Ｃ１が０から＋１０μｍの範囲ではαを.０から＋０.５ｍｍに設定し、Ｃ１が＋１０μｍから＋２０μｍの範囲ではαを. ＋０.５ｍｍから＋１.０ｍｍに設定し、・・・と言うように設定することになる。
なお、前記位置ズレ矯正工程後の前記製品ラミネート工程においての上記位置ズレ量Ｃが、上記サンプルラミネート工程で測定された上記位置ズレ量Ｃに対して減少するのは、次の２つの作用が相乗作用しているものと推測される。
【００６０】
第１の作用は、次の通りである。
図１１には、図２において説明した搬送方向Ａ１の内部応力Ｆ、幅方向の中心１００Ｄ側に向かう内部応力Ｈ、サンプルラミネート工程において下ローラ１０３の下端側回転軸１０３ｂが移動していない時の下ローラ１０３から受ける圧延力Ｊ、上記位置ズレ矯正工程において下ローラ１０３の下端側回転軸１０３ｂが移動量αだけ移動した場合に下ローラ１０３から受ける圧延力Ｌの関係を、図示している。図１１において、図１１−（ａ）は、図７の上端側スプロケット孔２ａでの作用を図示したもので、図１１−（ｂ）は、図７の下端側スプロケット孔２ｂでの作用を図示したものである。
【００６１】
上記図１１−（ａ）に図示される上端側スプロケット孔２ａにおいては、次の通りである。その（１）に図示されているように、搬送方向Ａ１の内部応力Ｆ１と幅方向の中心側（下端側）に向かう内部応力Ｈ１の合力である内部応力合力Ｉ１が鎖線のように作用している。
ここで、サンプルラミネート工程において下ローラ１０３の下端側回転軸１０３ｂが移動していない時の下ローラ１０３から受ける圧延力Ｊ１と上記内部応力合力Ｉ１が合成されると、サンプルラミネート工程合成力Ｋ１が（２）に図示される様に作用する。
【００６２】
一方、上記位置ズレ矯正工程において下ローラ１０３の下端側回転軸１０３ｂが移動量αだけ搬送方向Ａ１に移動した状態、すなわち下端側回転軸１０３ｂが角度βだけ傾斜して製品ラミネート工程が実施されると、下ローラ１０３から受ける圧延力Ｌ１と前記上記内部応力合力Ｉ１が合成され製品ラミネート工程合成力Ｍ１が（２）に図示されている様に作用する。ここで、上記サンプルラミネート工程合成力Ｋ１と製品ラミネート工程合成力Ｍ１を比較すると、上記製品ラミネート工程合成力Ｍ１は前記サンプルラミネート工程合成力Ｋ１に対して前記搬送方向Ａ１の逆方向に移動している、つまり上端側スプロケット孔２ａが前記搬送方向Ａ１の逆方向に戻されるように作用していることが判る。
【００６３】
一方、上記図１１−（ｂ）に図示される下端側スプロケット孔２ｂにおいて、上述と同様に図示したものが（３）と（４）である。この（４）において、上記位置ズレ矯正工程において下ローラ１０３の下端側回転軸１０３ｂが移動量αだけ搬送方向Ａ１に移動した状態、すなわち下端側回転軸１０３ｂが角度βだけ傾斜して製品ラミネート工程が実施されると、下ローラ１０３から受ける圧延力Ｌ２と前記上記内部応力合力Ｉ２が合成され製品ラミネート工程合成力Ｍ２が（４）に図示されている様に作用する。ここで、上記サンプルラミネート工程合成力Ｋ２と製品ラミネート工程合成力Ｍ２を比較すると、上記製品ラミネート工程合成力Ｍ２は前記サンプルラミネート工程合成力Ｋ２に対して前記搬送方向Ａ１側に移動している、つまり下端側スプロケット孔２ｂが前記搬送方向Ａ１側に押し出されるように作用していることが判る。
【００６４】
従って、上記製品ラミネート工程での上記移動量αに伴う傾斜角βによって、上記それぞれの作用力により、上端側スプロケット孔２ａと下端側スプロケット孔２ｂとの搬送方向Ａ１での位置ズレが減少されることになる。
なお、上記（２）と（４）の上記製品ラミネート工程合成力Ｍ１とＭ２とにおいて、上記幅方向Ｂの成分量に変化が無いことから、上端側スプロケット孔２ａと下端側スプロケット孔２ｂとの幅方向Ｂでの位置ズレは生じない。
【００６５】
第２の作用は、次の通りである。
前記製品ラミネート工程におけるラミネートローラ部１０２、１０３周辺の断面図が図１０に図示されている。ここで、下ローラ１０３の回転軸の下端側回転軸１０３ｂが移動量αだけ搬送方向Ａに移動して回転しているから、上ローラ１０２との接触点１０３ｄ（銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５が挿入されていない場合）は、搬送方向Ａに多少なりとも移動する。このため、銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５は多少くびれることになり、このくびれ部５ｂには下ローラ１０３により搬送方向Ａに引き伸ばされる作用力が生じると考えられる。よって、銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５の下端側では、搬送方向Ａ側に多少でも移動することになり、この移動が生じない上端側に対して上記位置ズレが減少するようになる。
【００６６】
反対に、下ローラ１０３の回転軸の下端側回転軸１０３ｂが移動量αだけ搬送方向Ａとは逆方向に移動して回転する場合は、上記上ローラ１０２との接触点１０３ｄは、上記逆方向に多少なりとも移動する。このため、銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５は多少くびれることになり、このくびれ部５ｂには下ローラ１０３により搬送方向Ａに押し付ける作用力が生じると考えられる。よって、銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５の下端側では、上記搬送方向Ａ側に搬送する量が多少でも少なくなり、この変化が生じない上端側に対して上記位置ズレが減少するようになる。
【００６７】
〔変形例１〕
上記位置ズレ矯正工程において、下ローラ１０３の回転軸における下端側回転軸１０３ｂは平面視で移動させず、上端側回転軸１０３ａは平面視で前記排出方向Ａ１とは逆方向（後退方向）に移動させて前述の傾斜角βが確保されるようにしても良い。
なお、上記傾斜角βが確保されるならば、下ローラ１０３の回転軸は移動せず、上ローラ１０２の回転軸の少なくとも一方を移動させて前記傾斜角βを作り出すようにしても良い。あるいは、上ローラ１０２の回転軸の少なくとも一方および下ローラ１０３の回転軸の少なくとも他方を移動して、前記傾斜角βを作り出すようにしても良い。
【００６８】
〔変形例２〕
上記実施形態１では、前記サンプルラミネート工程におけるフレキシブルテープ状基板のサンプルとして、製品となるフレキシブルテープ状基板の内の一部を切断して用いていたが、切断することなく製品フレキシブルテープ状基板および製品テープ状銅箔４の各々を切断することなく各々の先頭部分をサンプルとして使用してもよい。前記位置ズレ矯正工程と製品ラミネート工程を行った際には、そのサンプル部分を製品として使用してはならない。
【００６９】
〔変形例３〕
上記実施形態１では、前記サンプルラミネート工程におけるフレキシブルテープ状基板のサンプルとして、製品となるフレキシブルテープ状基板の内の一部を用いていたが、製品のフレキシブルテープ状基板の上記位置ズレを想定できるサンプルならばどのようなサンプルでも良い。例えば、上記所定の薄さに圧延された幅広フレキシブルテープ状基板１００（原板）の幅方向の位置（複数位置毎）における上記位置ズレ方向と位置ズレ量とを前もって測定しておき、しかる後に、上記製品となるフレキシブルテープ状基板１が上記幅広フレキシブルテープ状基板１００（原板）のどの幅方向位置から切断したものであるかを予め把握しておく（対応付けておく）ことによって、上記製品となるフレキシブルテープ状基板１の上記位置ズレを推測するようにしても良い。その場合は、前記前記サンプルラミネート工程と位置ズレ判定工程とを予め行っていることになるので、製品ラミネート工程を即実施することができ、量産性を高めることができる。
【００７０】
〔第2実施形態〕
第２実施形態として、本発明のラミネートローラ装置を説明する。
図１２は、本発明のラミネートローラ装置の主要部を示す図で、図１２−（ａ）はその主要部の断面図、図１２−（ｂ）は図１２−（ａ）の左側面図（モータを図示せず）、図１２−（ｃ）は図１２−（ａ）の右側面図、図１２−（ｄ）は図１２−（ａ）の右側に配置された移動量表示板を示した側面図である。
【００７１】
各図において、１０２は上ローラで図１２の各図の紙面の上方側に配置されており、１０３は下ローラで図１２の各図の紙面の下方側に配置されており、それらのローラは前述した材料からなると共に前述した表面処理が施されている。それら上ローラ１０２、下ローラ１０３は、基枠１０４に保持されている。上ローラ１０２の回転軸は基枠１０４に保持されたモータ１０５により回転駆動される。上ローラ１０２の回転軸は、基枠１０４に固定された軸受部に保持されている。このため、上ローラ１０２の回転軸は上下左右に移動できない。なお、上ローラ１０２の内部には、ヒータ１１４が内臓されており、上ローラ１０２の表面を約１４０度Ｃに保持するように通電している。
【００７２】
これに対して下ローラ１０３は、基枠１０４に対して図１２−（ａ）の左右には移動できないが上下方向には移動できる様に基枠１０４に保持されている。すなわち、下ローラ１０３の左回転軸１０３ｅ（図９の上側回転軸１０３ａに相当）は、図１２−（ａ）と図１２−（ｂ）に図示されている様に、基枠１０４の左側壁部に設けられた縦長案内溝内を上下方向に移動可能な左軸受片１０６に軸受けされており、この左軸受片１０６の下方に配置された左押上げバネ１０７により上方に押し上げられて、下ローラ１０３が上ローラ１０２の表面に押圧されている。
【００７３】
一方、下ローラ１０３の右回転軸１０３ｆ（図９の下側回転軸１０３ｂに相当）は、図１２−（ａ）と図１２−（ｃ）とに図示されている様に、右軸受片１０９に軸受けされている。この右軸受片１０９は、基枠１０４の右側壁部に配置され且つ上ローラ１０２の回転軸１０２ｄを中心位置として上記右側壁部に突出形成されたパイプ状突起部に回転可能に軸受けされた軸受レバー１０８の下方に形成された縦長案内溝内を上下方向に移動可能に配置されている。上記右軸受片１０９の下方の軸受レバー１０８内には右押上げバネ１１０が配置されており、この右押上げバネ１１０により上記右軸受片１０９が上方に押し上げられて、下ローラ１０３が上ローラ１０２の表面に押圧されている。上記左押上げバネ１０７と右押上げバネ１１０により、下ローラ１０３が上ローラ１０２の表面に約２ｋｇの圧力で押圧されるように設定されている。さらに、基枠１０４の右側壁部の外表面側には、上ローラ１０２の回転軸１０２ｄを中心とし上記右側壁部に突出形成されたパイプ状突起部に案内開口部が挿入された前記軸受レバー１０８を覆う透明材からなる移動量測定板１１１が配置されている。この移動量測定板１１１は、上記右側壁部の外表面に小ネジ１１５がねじ込まれて固定されている。さらに、上記軸受レバー１０８は、図１２−（ｃ）に図示されているように上記右側壁部の外表面に配置され、上記移動量測定板１１１の右側壁内面と軸受レバー１０８の右側壁との間に挿入された移動量測定板バネ１１２により左方向に押圧されている。同時に、上記軸受レバー１０８は、その左側方に配置され上記移動量測定板１１１の左側壁にネジ込まれその先端が上記軸受レバー１０８の左側面に当接している移動量調節ネジ１１３により移動量が調節されるように構成されている。
【００７４】
従って、上記位置ズレ矯正工程において、下ローラ１０３の下端側回転軸１０３ｂを移動する際、その移動量は上記移動量測定板１１１にて把握し調整できるようになる。すなわち、上記移動量測定板１１１の表面には、図１２−（ｄ）に図示されているように、目盛り線が表示されている。この目盛り線は、基準目盛り線１１１ａと、この基準目盛り線１１１ａの左右に等間隔に複数個表示された移動量目盛り線１１１ｂが表示されている。上記
基準目盛り線１１１ａは、上ローラ１０２の回転軸１０２ｄの中心から図１２各図紙面の真下（垂直）に下がった位置に引かれており、上記移動量がゼロの位置に相当する。移動量目盛り線１１１ｂは、図１２各図紙面の右方と左方に各々０.５μｍ毎に１０μｍまで表示されている。
【００７５】
第１実施形態におけるサンプルラミネート工程では、上記軸受レバー１０８は上記移動量がゼロの位置に配置されるように移動量調節ネジ１１３によって設定される。また第１実施形態における位置ズレ矯正工程では、位置ズレ判定工程で得られた位置ズレ方向量及び位置ズレ量とに基づいて表２で求められた位置ズレ量Ｃ２に一致するように移動量調節ネジ１１３を回転して前記軸受レバー１０８を移動するようにするものである。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、回路実装用のＴＡＢ等に利用できる。その他、金属箔が接合されたフレキシブルテープ状基板を用いるならば、どのような用途でも良いものである。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】ポリイミド樹脂テープ状基板原料材が加熱圧延される上ローラと下ローラ部の断面図。
【図２】上ローラと下ローラにより圧延された幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材の平面図。
【図３】幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材が平面視で幅狭にカットされたポリイミド樹脂テープ状基板の平面図。
【図４】ポリイミド樹脂テープ状基板と銅箔とがラミネートされるラミネート用上ローラと下ローラ部の断面図。
【図５】図４の平面図であって、ポリイミド樹脂テープ状基板と銅箔とがラミネートされるラミネート用上ローラと下ローラ部の平面図。
【図６】ラミネート後の銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板の断面図。
【図７】ラミネート後の銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板の平面図。
【図８】サンプルラミネート工程における上端側スプロケット孔と下端側スプロケット孔におけるの各力の作用図。
【図９】本発明のラミネート用一対のローラ部の平面図。
【図１０】図９の下端側回転軸側から見た側面図。
【図１１−（ａ）】サンプルラミネート工程と製品ラミネート工程での各力の作用図で、上端側スプロケット孔での作用図。
【図１１−（ｂ）】サンプルラミネート工程と製品ラミネート工程での各力の作用図で、下端側スプロケット孔での作用図。
【図１２−（ａ）】本発明のラミネートローラ装置の各部を示す図で、その主要部の断面図、
【図１２−（ｂ）】本発明のラミネートローラ装置の各部を示す図で、図１２−（ａ）の左側面図（モータを図示せず）
【図１２−（ｃ）】本発明のラミネートローラ装置の各部を示す図で、図１２−（ａ）の右側面図
【図１２−（ｄ）】本発明のラミネートローラ装置の各部を示す図で、図１２−（ａ）の移動量表示板部の側面図。
【符号の説明】
【００７８】
１：ポリイミド樹脂テープ状基板、２：スプロケット孔、２ａ：上端側スプロケット孔、２ｂ：下端側スプロケット孔、３：接着剤、4：銅箔、４ａ：銅箔サンプル、５：銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板、５ａ：銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板サンプル、５ｂ：銅箔付きポリイミド樹脂テープ状基板５のくびれ部、１００：幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材、１００Ａ：ポリイミド樹脂テープ状基板原料材、１００Ｂ：幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材１００の幅方向の上方外端部、１００Ｃ：幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材の幅方向の下方外端部、１００Ｄ：幅広ポリイミド樹脂テープ状基板材の幅方向の中心、１０２：上ローラ、１０２ｄ：上ローラ１０３の回転軸、１０２ｃ：上ローラの回転軸の軸線、１０３：下ローラ、１０３ａ：下ローラの回転軸の上端側回転軸、１０３ｂ：下ローラの回転軸の下端側回転軸、１０３ｃ：下ローラの回転軸の軸線、１０３ｄ：下ローラ１０３の下端側回転軸１０３ｂが移動量αだけ移動して場合の上ローラ１０２との接触点、１０３ｅ：下ローラ１０３の左回転軸、１０３ｆ：下ローラ１０３の右回転軸、１０４：基枠、１０５：モータ、１０６：左軸受片、１０７：左押上げバネ、１０８：軸受レバー、１０９：右軸受片、１１０：右押上げバネ、１１１：移動量測定板、１１１ａ：基準目盛り線、１１１ｂ：移動量目盛り線、１１２：移動量測定板バネ、１１３：移動量調節ネジ、１１４：ヒータ、１１５：移動量測定板１１１の固定用小ネジ、１５１：上方ローラ、１５２：下方ローラ、
Ａ：長手方向、Ａ１：搬送方向、Ｂ：幅方向、Ｃ：位置ズレ量、Ｄ：ローラによる長手方向の圧延力、Ｄ１：上方外端部１００Ｂ側の圧延力、Ｄ２：中心１００Ｄ側の圧延力、Ｄ３：下方端部１００Ｃ側の圧延力、Ｄ４：中心１００Ｄ側の圧延力、Ｆ：長手方向圧延力に対抗する内部応力、Ｆ１：上方外端部１００Ｂ側の内部応力、Ｆ２：中心１００Ｄ側の内部応力、Ｆ３：下方外端部１００Ｃ側の内部応力、Ｆ４：中心１００Ｄ側の内部応力、Ｇ：ローラによる幅方向の圧延力、Ｇ１：上方外端部１００Ｂ側の圧延力、Ｇ２：中心１００Ｄ側の圧延力、Ｇ３：下方端部１００Ｃ側の圧延力、Ｇ４：中心１００Ｄ側の圧延力、Ｈ：幅方向圧延力に対抗する内部応力、Ｈ１：上方外端部１００Ｂの内部応力、Ｈ２：中心１００Ｄ側の内部応力、Ｈ３：下方外端部１００Ｃの内部応力、Ｈ４：中心１００Ｄ側の内部応力
α：下ローラ１０３の下端側回転軸１０３ｂにおける前記排出方向Ａ１（進み方向）での移動量、β：下ローラ１０３の回転軸の軸線１０３ｃの傾斜角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１−（ａ）】
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【図１１−（ｂ）】
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【図１２−（ａ）】
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【図１２−（ｂ）】
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【図１２−（ｃ）】
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【図１２−（ｄ）】
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