(57)【要約】  【課題】  従来のバグフィルタとして、粉塵などを含んだ空気をフィルタを通して浄化する乾式のバグフィルタが知られている。しかし、乾式のバグフィルタはミストを含む空気や湿度の高い空気を浄化する場合には、粉塵がフィルタに目詰まりしてしまい、濾過抵抗が上昇してしまうという問題があった。また、乾式のバグフィルタはＨＣｌ、ＨＦ、ＳＯｘ、ＮＨ３などの悪臭ガスや酸性ガスを除去することはできない。  【解決手段】  筒状繊維フィルターの頂部から浄化液を噴出し、フィルター表面で濾過された粉塵を洗い流す。浄化液はまた、水溶性の酸性ガスなどを吸収する役割も有する。フィルターから流れ落ちた浄化液は回収し、再利用することで、フィルターの下部に水がたまって通気度を低下させるのを防止し、省資源化につながる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒内部に導入された排ガスを筒外部に透過させて浄化する筒状繊維フィルターと、
前記筒状繊維フィルターの筒内頂部に設けられ浄化液を噴出するシャワー噴出口と、
前記筒状繊維フィルターの筒内底部から排ガスを導入し、かつ筒内部を滴下する使用済浄化液を回収する導入槽と、
前記筒状繊維フィルターの筒外部から筒状繊維フィルターに対して逆洗圧を印加する逆洗機構と、
を有するウエット式バグフィルター装置。
【請求項２】
筒状繊維フィルターの筒外部へ流出する浄化液を受ける受け皿と、
受け皿に受けた使用済浄化液を前記導入槽に滴下された使用済浄化液とは独立に回収する回収槽と、
をさらに有する請求項１に記載のウエット式バグフィルター装置。
【請求項３】
逆洗圧を印加する逆洗機構は、
高圧タンクを有し、
高圧タンク内の気体を噴射する気体噴射口を筒頂部付近であって、かつシャワー噴射口位置よりも下側に、導入槽方向に向けて配置する
請求項１又は２に記載のウエット式バグフィルター装置。
【請求項４】
筒状繊維フィルターを複数有する請求項１から３のいずれか一に記載のウエット式バグフィルター装置であって、
筒状繊維フィルターと、他の筒状繊維フィルターとの中間位置に気体噴射口を配置する請求項１から３のいずれか一に記載のウエット式バグフィルター装置。
【請求項５】
筒状繊維フィルターによって浄化された排ガスを排出する浄化済排ガス出口と、
浄化済排ガス出口に対して正面から逆洗圧が印加されるのを防止する防圧板と、
を有する請求項１から４のいずれか一に記載のウエット式バグフィルター。
【請求項６】
導入槽は略すり鉢形状であり、その底部に設けられた浄化液回収口と、
側壁に設けられた液高さ調節口とを有する請求項１から５のいずれか一に記載のウエット式バグフィルター装置。
【請求項７】
導入槽の使用済浄化液を再利用するために固液分離する固液分離フィルターと、
固液分離フィルターを通過した使用済浄化液を回収槽に導入する導入管と、
を有する請求項２から６のいずれか一に記載のウエット式バグフィルター装置。
【請求項８】
筒状繊維フィルター全面に浄化液を噴出するシャワー噴出ステップと、
前記筒状繊維フィルターの内底部から排ガスを導入する、排ガス導入ステップと、
前記筒状繊維フィルターの筒内部を滴下する使用済浄化液を回収する回収ステップと、
前記筒状繊維フィルターの筒外部から筒状繊維フィルターに対して逆洗圧を印加する逆洗ステップと、
からなるウェット式排ガス清浄化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は粉塵や酸性ガスなどを含む空気を効率良く清浄化するためのバグフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のバグフィルタとして、粉塵などを含んだ空気をフィルタを通して浄化する乾式のバグフィルタが知られている。しかし、乾式のバグフィルタはミストを含む空気や湿度の高い空気を浄化する場合には、粉塵がフィルタに目詰まりしてしまい、濾過抵抗が上昇してしまうという問題があった。また、乾式のバグフィルタはＨＣｌ、ＨＦ、ＳＯｘ、ＮＨ３など悪臭ガスや酸性ガスを除去することはできない。そこで、特許文献１のようにバグフィルタを通過したガスを充填塔に通し、悪臭ガスや酸性ガスを除去する方法もある。しかし、充填塔はガス中に粉塵が含まれていると詰まり等の問題を起こす。
【０００３】
一方、湿式のバグフィルタでは、特許文献２に示されているように、円筒型のフィルタに水分を供給し粉塵等を除去するものがある。この装置によれば、フィルタに付着した粉塵などを水分で洗浄するため、フィルタの目詰まりを防止することができ、浄化効率を上げることができる。また、洗浄用の水分が水溶性のガスを吸収するため、乾式バグフィルタでは除去できない悪臭ガスや酸性ガス等を除去することもできる。
【特許文献１】特開２００３−０３３６２８
【特許文献２】特開２００４−２６１７６６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に示された装置によってもフィルターの洗浄効率が十分ではなく、フィルターの目詰まりが生じ、浄化効率が十分ではなかった。また、洗浄用の水がフィルター下部から貯まって濾過圧力損失が上昇し、ガスが通過しにくくなるという問題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記課題を解決するため、以下のような発明を提供する。第一の発明は、筒内部に導入された排ガスを筒外部に透過させて浄化する筒状繊維フィルターと、前記筒状繊維フィルターの筒内頂部に設けられ浄化液を噴出するシャワー噴出口と、前記筒状繊維フィルターの筒内底部から排ガスを導入し、かつ筒内部を滴下する使用済浄化液を回収する導入槽と、前記筒状繊維フィルターの筒外部から筒状繊維フィルターに対して逆洗圧を印加する逆洗機構とを有するウエット式バグフィルター装置を提供する。第二の発明は、第一の発明に基づき、筒状繊維フィルターの筒外部へ流出する浄化液を受ける受け皿と、受け皿に受けた使用済浄化液を前記導入槽に滴下された使用済浄化液とは独立に回収する回収槽とをさらに有するウエット式バグフィルター装置を提供する。第三の発明は、第一または第二の発明に基づき、逆洗圧を印加する逆洗機構は、高圧タンクと、高圧タンク内の気体を噴射する気体噴射口を筒頂部付近であって、かつシャワー噴射口位置よりも下側に、導入槽方向に向けて配置するウエット式バグフィルター装置を提供する。第四の発明は、第一から第三の発明に基づき、筒状繊維フィルターを複数有する第一から第三の発明のいずれかのウエット式バグフィルター装置であって、筒状繊維フィルターと、他の筒状繊維フィルターとの中間位置に気体噴射口を配置するウエット式バグフィルター装置を提供する。第五の発明は、第一から第四の発明に基づき、筒状繊維フィルターによって浄化された浄化済排ガス出口と、浄化済排ガス出口に対して正面から逆洗圧が印加されるのを防止する防圧板とを有するウエット式バグフィルターを提供する。第六の発明は、第一から第五の発明に基づき、導入槽は略すり鉢形状であり、その底部に設けられた浄化液回収口と、側壁に設けられた液高さ調節口とを有するウエット式バグフィルター装置を提供する。第七の発明は、第二から第六までの発明に基づき、導入槽の使用済浄化液を再利用するために固液分離する固液分離フィルターと、固液分離フィルターを通過した使用済浄化液を回収槽に導入する導入管とを有するウエット式バグフィルター装置を提供する。第八の発明は、筒状繊維フィルター全面に浄化液を噴出するシャワー噴出ステップと、前記筒状繊維フィルターの内底部から排ガスを導入する排ガス導入ステップと、前記筒状繊維フィルターの筒内部を滴下する使用済浄化液を回収する回収ステップと、前記筒状繊維フィルターの筒外部から筒状繊維フィルターに対して逆洗圧を印加する逆洗ステップとからなるウエット式排ガス清浄化方法を提供する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のウエット式バグフィルター装置により、乾式バグフィルター装置では除去できない悪臭ガス等を除去することができ、かつ排ガスに含まれる粉塵がフィルターに目詰まりすることなく、浄化効率を高くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下に本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、本発明はこれら実施の形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々なる態様で実施し得る。
【０００８】
実施形態１は主に請求項１、３、４、５及び８について説明する。実施形態２は主に請求項６について説明する。実施形態３は主に請求項２について説明する。実施形態４は主に請求項７について説明する。
【０００９】
<実施形態１>
<実施形態１：概念>
本実施形態は、逆洗機構によりフィルターを定期的に洗浄することでフィルターの目詰まりを防止するウエット式バグフィルター装置に関する。
【００１０】
<実施形態１：構成>
図１に本実施形態のウエット式バグフィルター装置の概観図を示す。本実施形態の「ウエット式バグフィルタ装置」（０１００）は、「筒状繊維フィルター」（０１０１）と、「シャワー噴出口」（０１０２）と、「導入槽」（０１０３）と、「逆洗機構」（０１０４）とにより構成される。
【００１１】
「筒状繊維フィルター」（０１０１）は、筒内部に導入された排ガスを筒外部に透過させて浄化する。排ガスに含まれる粉塵や水溶性の酸性ガスなどはフィルター及び浄化液に吸収される。したがって、筒内部に導入された排ガスは、筒外部から透過するときは清浄なガスとなる。筒状繊維フィルター（０１０１）の材質は、浄化液を吸収できるような親水性のある繊維、特にポリエステル、ポリプロピレン、ナイロン、ポリアミドなどが好ましい。また、筒状繊維フィルター（０１０１）の織り方は綾織、朱子織などが好ましい。筒状繊維フィルター（０１０１）の通気度は、排ガスに含まれる粉塵粒径の大きさに応じて、１．０〜１００ｃｃ／ｃｍ２／ｓｅｃまで変化させることができる。通気度が高ければ、排ガスの流量を増やすことができ、浄化速度を速くすることができるが、粒径の小さい粉塵を捕集することができないため、浄化された空気の清浄度が悪化する。したがって、通気度は排ガスに含まれる粉塵の種類に応じて選択するのが好ましい。筒状繊維フィルター（０１０１）の形状は、円筒形であることが好ましい。円筒形とすることで、浄化液をフィルター全面に均一に噴霧することができる。また筒状繊維フィルター（０１０１）の頂部はフィルターまたは他の部材により閉鎖されているのが好ましい。
【００１２】
「シャワー噴出口」（０１０２）は、筒状繊維フィルター（０１０１）の筒内頂部に設けられ浄化液を噴出する。浄化液とは筒状繊維フィルターに付着した粉塵を洗浄するための液体である。また、排ガスが高温ガスであるときは、浄化液により排ガスを冷却するという効果もある。シャワー噴出口（０１０２）を筒状繊維フィルター（０１０１）の内側に設けるのは、排ガスが筒状繊維フィルター（０１０１）の内側から外側へ通過するため、粉塵は筒状繊維フィルター（０１０１）の内側に捕集されやすいからである。また、シャワー噴出口（０１０２）を筒状繊維フィルター（０１０１）の筒内頂部に設けることで、浄化液が重力により流れ落ちる力を利用してフィルターに付着した粉塵を除去することができる。筒状繊維フィルター（０１０１）に均一な水膜を形成するため、浄化液はシャワー噴出口（０１０２）から放射状に噴出される。筒状繊維フィルター（０１０１）が水膜を有することにより、粉塵はフィルター及び水膜の両方に捕集されるため、粉塵の捕集効率を上げることができる。また水溶性の不純ガスは水膜に吸収されるため、排ガスに含まれる有害なガスを清浄化することができる。筒型繊維状フィルター（０１０１）の直径が５０〜３００ｍｍである場合は、シャワー噴出口（０１０２）が浄化液を噴出する水圧は、１〜１０ｋｇ／ｃｍ２程度が好ましい。水圧がこの範囲より低いと筒状繊維フィルター（０１０１）の洗浄効果が低くなるためである。使用する浄化液は水道水、あるいは純水などで良いが、酸性ガスの吸収効率を高めるために、弱アルカリ性となるようにｐH調整を行っても良い。
【００１３】
「導入槽」（０１０３）は、筒状繊維フィルター（０１０１）の筒内底部から排ガスを導入し、かつ筒内部を滴下する使用済浄化液を回収する。すなわち導入槽（０１０３）とは、筒状繊維フィルター（０１０１）の下部にある、排ガスの流路及び筒状繊維フィルター（０１０１）内部から滴下した浄化液を回収する部分である。使用済浄化液はシャワー噴出口（０１０２）から噴出され、、筒状繊維フィルター（０１０１）の内側を伝って流れ落ち、筒状繊維フィルター（０１０１）に付着していた粉塵を含む液体である。
【００１４】
「逆洗機構」（０１０４）は、筒状繊維フィルター（０１０１）の筒外部から筒状繊維フィルター（０１０１）に対して逆洗圧を印加する。逆洗とは、筒状繊維フィルター（０１０１）を通過する排ガスの流れの向きとは逆向きにパルス的なガス圧を印加し、筒状繊維フィルター（０１０１）の内側表面に付着した粉塵を払い落とすことである。また逆洗圧とは逆洗時に印加する気圧のことである。逆洗圧を印加している間は、排ガスの流れを停止するのが好ましい。排ガス流れを停止することにより濾過抵抗が無くなり、その分逆洗圧が有効に働き逆先効果が大きくなるためである。
【００１５】
逆洗圧を印加する逆洗機構（０１０４）は、高圧タンク（０１０５）を有し、高圧タンク内の気体を噴射する気体噴射口（０１０６）を筒頂部付近であって、かつシャワー噴射口（０１０２）位置よりも下側に、導入槽（０１０３）方向に向けて配置されていることが好ましい。このように配置することで、筒状繊維フィルター（０１０１）に付着した粉塵を、逆洗圧と重力の両方で払い落とすことができ、洗浄効果が高くなるためである。高圧タンク（０１０５）には一定量の圧縮空気がためられており、バルブを０．１〜０．３ｓｅｃ程度の間開放することによって、気体噴射口（０１０６）から瞬間的に空気を噴射する。ウエット式バグフィルター（０１００）の導入槽（０１０３）を除いた容積が１〜５ｍ３であるときは、逆洗圧は１．５〜２．５ＫＰａが好ましい。逆洗圧が１．５ＫＰａ以下となると、筒状繊維フィルター（０１０１）に付着した粉塵を十分に払い落とすことができず、２．５ＫＰａ以上では、逆洗圧が強すぎて筒状繊維フィルター（０１０１）を破損させるおそれがあるためである。ウエット式バグフィルター装置（０１００）を連続運転する場合には、逆洗は定期的に行うよう設計されていることが好ましい。
【００１６】
図２は本実施形態のウエット式バグフィルター装置（０２００）を上から見た図である。逆洗により筒状繊維フィルター（０２０１）を全円周にわたって洗浄するためには、フィルターの周りに複数個の気体噴射口（０２０２）を配置することが好ましい。図２の例では１つの筒状繊維フィルター（０２０１）に対して４つの気体噴射口（０２０２）を、それぞれ周方向に９０°ずつずらして配置する。
【００１７】
図３は本実施形態のウエット式バグフィルター装置（０３００）の別の一例を上から見た図である。この例においても、図２と同様に１つの筒状繊維フィルター（０３０１）に４つの気体噴射口（０３０２）を配置する。図２と異なるのは、この例では筒状繊維フィルターと、他の筒状繊維フィルターとの中間位置に気体噴射口を配置するしていることである。図２の例のように配置すると気体噴射口（０３０２）は合計１６個必要となるが、図３に示すように気体噴射口（０３０２）を複数の筒状繊維フィルターで共有すれば、気体噴射口（０３０２）の数を９個と少なくすることができ、構造を単純化することができる。
【００１８】
ウエット式バグフィルター装置（０１００）は、筒状繊維フィルター（０１０１）によって浄化された排ガスを排出する浄化済排ガス出口（０１０７）を有している。浄化済排ガス出口（０１０７）から排出されるガスは、筒状繊維フィルター（０１０１）の外部を通過したガスなので、粉塵や酸性ガスなどをほとんど含まず、室内や外気に排出することができる。浄化済排ガス出口（０１０７）は、ウエット式バグフィルター装置（０１００）の上側に取り付けられているのが好ましい。排ガスは下から上に向かって流れるため、このような構成の方が排ガスが浄化済排ガス出口（０１０７）から排出されやすいためである。また、逆洗圧が加わらないように気体噴射口（０１０６）よりも上側に取り付けられていることがさらに好ましい。
【００１９】
またウエット式バグフィルター装置（０１００）は、浄化済排ガス出口（０１０７）に対して正面から逆洗圧が印加されるのを防止する防圧板（０１０８）を有していることが好ましい。逆洗圧が浄化済排ガス出口（０１０７）に伝わらないようにするためである。
【００２０】
本実施形態のウエット式バグフィルター装置に使用される排ガスは、粉塵がガス中で湿潤状態にあったり、塩化カルシウムのように潮解性の高い粉塵を含むガス、コーヒー豆の焙煎工程、小麦粉の熱変性、生石灰の消化工程等のように蒸気が混在する工程のガス、ガス中に水分ミスト、硫酸ミストのような酸性ミスト、オイルミスト及び粉塵を含むガス、ガス中にＨＣｌ、ＨＦ、ＳＯｘ、NH３等の腐食性ガス、悪臭ガス、粉塵を含むガス、乾燥排ガス、燃焼排ガス、金属溶融炉、焼成炉等の高温排ガス、活性化の高い金属粉末等粉塵爆発を起こす危険性の高い粉塵を含むガスなどである。
【００２１】
<実施形態１：効果>
本実施形態のウエット式バグフィルターは、フィルターを定期的に逆洗することでフィルターに付着した粉塵を払い落とすことができる。したがって、フィルターの通気度が安定して保たれ、ウエット式バグフィルターの浄化効率を向上させることができる。
【００２２】
<実施形態２>
<実施形態２：概念>
本実施形態は、使用済の浄化液をためる導入槽が下向きに凸形状（略すり鉢形状）であり、使用済の浄化液の液量を調節する液高さ調節口を有するウエット式バグフィルター装置に関する。
【００２３】
<実施形態２：構成>
図４に本実施形態のウエット式バグフィルター装置の概観図を示す。本実施形態の「ウエット式バグフィルター装置」（０４００）は、実施形態１の構成に加え、「浄化液回収口」（０４０９）と、「液高さ調節口」（０４１０）とを有する。
【００２４】
「導入槽」（０４０３）は、略すり鉢形状である。略すり鉢形状とは、下向きに凸形状、すなわち底部に向かって径が小さくなる形状である。略すり鉢形状とすることで、粉塵が底部に溜まり、回収された使用済浄化液の上側部分は粉塵の含有率が低くなる。
【００２５】
「浄化液回収口」（０４０９）は、導入槽（０４０３）の底部に設けられている。底部とは、すり鉢形状をした導入槽（０４０３）の先端付近の位置である。浄化液回収口（０４０９）から回収された使用済浄化液は粉塵を多く含むため、再利用せず廃棄される。
【００２６】
「液高さ調節口」（０４１０）は、導入槽（０４０３）の側壁に設けられている。側壁とは、すり鉢形状をした導入槽（０４０３）のうち径がほぼ一定となっている部分である。液高さ調節口（０４１０）から排出される上澄み液は粉塵の少ない液であり、固液分離することによって、再度浄化液として使用することができる。液高さ調節口（０４１０）は、また、使用済浄化液が溜まって排ガス導入口（０４１１）から溢れないように調整する役割もある。
【００２７】
その他の構成については実施形態１と同様である。
【００２８】
<実施形態２：効果>
本実施形態のウエット式バグフィルター装置により、導入槽にたまる粉塵を底部に集めることができる。したがって、導入槽にたまった使用済浄化液の上澄み液に含まれる粉塵の量を少なくすることができ、固液分離することによって再度浄化液として利用することができる。
【００２９】
<実施形態３>
<実施形態３：概念>
本実施形態のウエット式バグフィルター装置は、筒状繊維フィルター外部から流れ出る浄化液を回収することで、筒状繊維フィルター下部に水がたまるのを防止し、通気度を向上させたことを特徴とする。
【００３０】
<実施形態３：構成>
図５に本実施形態のウエット式バグフィルター装置の概観図を示す。本実施形態の「ウエット式バグフィルター装置」（０５００）は、実施形態１の構成に加え、「受け皿」（０５１２）と、「回収槽」（０５１３）とをさらに有する。
【００３１】
「受け皿」（０５１２）は、筒状繊維フィルター（０５０１）の筒外部へ流出する浄化液を受ける。受け皿（０５１２）とは、筒状繊維フィルター（０５０１）の外側かつ導入槽（０５０３）の上側にあるほぼ水平な面である。受け皿（０５１２）にたまった浄化液が回収槽（０５１３）に流れやすくするため、受け皿（０５１２）は回収槽（０５１３）側に若干傾いていても良い。筒外部へ流出する浄化液とは、シャワー噴出口（０５０２）から噴出され、筒状繊維フィルター（０５０１）を伝って流れた浄化液のうち、筒外部から流れ出る浄化液である。受け皿（０５１２）を有することで、浄化液が筒状繊維フィルター（０５０１）にたまらず、ガスの通気度を向上させることができる。
【００３２】
図７に本実施形態のウエット式バグフィルター装置（０７００）を上から見た図を示す。筒状繊維フィルター（０７０１）外部を流れ出た浄化液は、ある程度たまると排出口（０７０３）側に流れ回収槽（０７０４）に落下する。
【００３３】
「回収槽」（０５１３）は、受け皿（０５１２）に受けた使用済浄化液を前記導入槽に滴下された使用済浄化液とは独立に回収する。排ガスに含まれる粉塵が付着するのは筒状繊維フィルター（０５０１）の内側であり、フィルター外側から流出する浄化液は粉塵を含まないので、固液分離せずに浄化液として再度利用できる。受け皿（０５１２）から供給される浄化液ではシャワー噴出口（０５０２）に供給するには不十分なため、回収槽（０５１３）には水道水など他の経路からの浄化液を供給しても良い。また排ガスに酸性ガスが含まれている場合には、使用済浄化液に酸性ガスが含まれているので、浄化液のｐH調整を行い、弱アルカリ性とするのが好ましい。
【００３４】
その他の構成については実施形態２と同様である。
【００３５】
<実施形態３：効果>
本実施形態のウエット式バグフィルターにより、浄化液が筒状繊維フィルター下部にたまることがなく、フィルターの通気度を向上させることができる。また、フィルター外部から流出した浄化液は、粉塵を含むことがないので、固液分離することなく再度浄化液として使用することができ、省資源化及びコスト低下につながる。
【００３６】
<実施形態４>
<実施形態４：概念>
本実施形態は、使用済の浄化液を固液分離フィルターを用いることで粉塵を除去し、浄化液として再利用することのできるウエット式バグフィルター装置に関する。
【００３７】
<実施形態４：構成>
図６に本実施形態のウエット式バグフィルター装置の概観図を示す。本実施形態の「ウエット式バグフィルター装置」（０６００）は、実施形態２の構成に加え、「固液分離フィルター」（０６１４）と、「導入管」（０６１５）とを有する。
【００３８】
「固液分離フィルター」（０６１４）は、導入槽（０６０３）の使用済浄化液を再利用するために固液分離する。ここでの使用済浄化液とは、液高さ調節口（０６１０）から排出された液体である。固液分離とは、使用済浄化液に含まれる粉塵と、液体とを分離することである。固液分離フィルター（０６１４）は通常の濾布を有しており、粉塵は濾布に付着し、液体は濾布を通過し後述する導入管（０６１５）に排出される。
【００３９】
「導入管」（０６１５）は、固液分離フィルター（０６１４）を通過した使用済浄化液を回収槽（０６１３）に導入する。固液分離フィルター（０６１４）を通過した使用済浄化液には、微小な粉塵が残っていることがあるので、導入管（０６１５）の経路にストレーナーを設けても良い。
【００４０】
本実施形態の特徴とするところは、液高さ調節口（０６１０）から流れ出た浄化液と筒状繊維フィルター（０６０１）外部から流れ出た浄化液とを別々に回収する点である。両者を混合して回収した場合には、固液分離フィルターを通過する液量が多くなり処理効率が悪くなる。しかし、筒状繊維フィルター（０６０１）外部から流れ出た浄化液は粉塵の含有量が少ないため、固液分離する必要がない。したがって本実施形態のように、液高さ調節口（０６１０）から流れ出た浄化液のみを固液分離フィルター（０６１４）に通すことにより、処理効率を上げることができる。
【００４１】
その他の構成は実施形態３と同様である。
【００４２】
<実施形態４：効果>
本実施形態のウエット式バグフィルター装置により、使用済浄化液に含まれている粉塵を除去することができ、浄化液として再利用することができる。したがって、省資源化につながるとともに、有害物質を排出せず環境に優しい装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】実施形態１のウエット式バグフィルター装置の概略図の一例。
【図２】実施形態１のウエット式バグフィルター装置を上から見た図。
【図３】実施形態１のウエット式バグフィルター装置の別の一例を上から見た図。
【図４】実施形態２のウエット式バグフィルター装置の概略図の一例。
【図５】実施形態３のウエット式バグフィルター装置の概略図の一例。
【図６】実施形態４のウエット式バグフィルター装置の概略図の一例。
【図７】実施形態３のウエット式バグフィルター装置を上から見た図。
【符号の説明】
【００４４】
０１００  ウエット式バグフィルター装置
０１０１  筒状繊維フィルター
０１０２  シャワー噴出口
０１０３  導入槽
０１０４  逆洗機構
０１０５  高圧タンク
０１０６  気体噴射口
０１０７  浄化済排ガス出口
０１０８  防圧板
【図１】
2007090275.tif 000003
【図２】
2007090275.tif 000004
【図３】
2007090275.tif 000005
【図４】
2007090275.tif 000006
【図５】
2007090275.tif 000007
【図６】
2007090275.tif 000008
【図７】
2007090275.tif 000009