(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の製造工程で、ＲＦ−ＩＤタグを貼り付けた基板を用いた際に発生している記憶ミスによる誤ったケースへの収納といった問題を解消させる基板把持用ハンドラーを提供する。【解決手段】固定アーム１１Ａと第一ヒンジ部１４に設けられた一対の可動アーム１１Ｂ、可動アーム内側面に設けられた一対の係止部１２、第二ヒンジ部１７に設けられたＬ字状のレバー１３、レバー１３に架設されスプリング、固定アーム１１Ａを保持するハンドル１６、及び可動アーム１１Ｂを回動させる機構で構成し、アンテナ部２１、コントロールボード部２２、表示部２３で構成される読み取り手段２０を設けた。【選択図】図２
2007173538.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板把持用ハンドラーであって、基板に貼付けたＲＦ−ＩＤタグの情報を読み取る、アンテナ部、コントロールボード部、表示部からなる読み取り手段を設けたことを特徴とする基板把持用ハンドラー。
【請求項２】
請求項１記載の基板把持用ハンドラーにおいて、
Ａ）該基板把持用ハンドラーは少なくとも、１）Ｔ字状の固定アーム、該Ｔ字状の固定アームの両端部に設けられた第一ヒンジ部において該Ｔ字状の固定アームに対し水平面を回動自在に設けられた一対の直線状の可動アーム、
２）上記一対の直線状の可動アームの各内側面に設けられた一対の係止部、
３）上記Ｔ字状の固定アームの中央部からＴ字における下方に位置する部位に設けられた第二ヒンジ部において上記Ｔ字における下方に位置する部位に対し垂直面を回動自在に設けられたＬ字状のレバー、
４）上記Ｔ字における下方に位置する部位近傍と該Ｌ字状のレバーとに架設され、該Ｌ字状のレバーを上記係止部の方へ付勢しているスプリング、
５）上記Ｔ字における下方に位置する部位近傍を保持するハンドル、
６）ａ）上記Ｌ字状のレバーを該ハンドルの方へ引き寄せることにより、上記一対の直線状の可動アームを該可動アームの外側方向へ回動させ、ｂ）上記Ｌ字状のレバーを開放することにより、上記一対の直線状の可動アームを該可動アームの内側方向へ回動させて基板を把持する機構で構成され、
Ｂ）１）前記一対の直線状の可動アームの少なくとも一方の内側面の、基板を把持した際に基板に貼付けたＲＦ−ＩＤタグと対向する位置に、前記読み取り手段のコントロールボード部に結線されているアンテナ部を設け、
２）前記ハンドルの係止部側の上部に、前記読み取り手段のコントロールボード部が内蔵されている表示部を設けたことを特徴とする基板把持用ハンドラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路の製造に用いるフォトマスクを取り扱う基板把持用ハンドラーに関するものであり、特に、ＲＦ−ＩＤタグを貼付けた基板を取り扱う際に、基板の得意先名、品名を正確に確認しながら取り扱うことのできる基板把持用ハンドラーに関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトマスクブランクスの製造工程、及びフォトマスクの製造工程においては、フォトマスクブランクスやフォトマスクへの異物の付着を防止するために、持ち運びなどでフォトマスクブランクスやフォトマスクを取り扱う際には、フォトマスクブランクスやフォトマスクを把持する基板把持用ハンドラーを使用している。以降、本願においては、フォトマスクブランクス及びフォトマスクを基板と称することとする。
【０００３】
図１は、従来の基板把持用ハンドラーの一例を示す斜視図である。図１において、（１）はＬ字状に屈曲したアーム、（２）はアーム（１）の一端側で基板を係止する係止部、（３）はアーム（１）の他端側に設けられたヒンジ部（４）においてアーム（１）に対して回動自在に設けられたＶ字状のレバー、（７）はＶ字状のレバー（３）の一方側に固定された係止部である。
（５）はアーム（１）とレバー（３）の一方側（３ａ）との架設されたスプリングであって、スプリング（５）はレバー（３）を係止部（２）の方へ付勢している。また、（６）はアーム（１）を保持するハンドルである。
【０００４】
先ず、作業者はハンドル（６）を把持した状態でレバー（３）の他方側（３ｂ）をハンドル（６）の方へ引き寄せ、係止部（７）をハンドル（６）の方へ回動させて、係止部（２）と係止部（７）との間隔を広げた状態で、係止部（２）と係止部（７）を基板（Ａ）の両側方に位置せしめる。次に、レバー（３）の他方側（３ｂ）を開放し、係止部（２）と係止部（７）とによって基板（Ａ）を挟持する。
【０００５】
基板の製造工程内では、基板はケースに収納された状態で各処理工程間を搬送される。基板をケースから取り出す際、或いは、基板をケースへ収納する際などに、このような基板把持用ハンドラーを使用している。
【０００６】
基板の製造工程における各処理工程では、先ず、作業者は基板に描画されている得意先名、品名を読み取り、次に、基板の製造に関する情報が記載されているロットカードを見て、読み取った基板の処理条件を確認し、その処理条件にて基板の処理を行っている。
【０００７】
しかし、この基板に描画されている得意先名、品名の目視による読み取りは、読み取りにくいことからして、読み取りの際に読み取りミスを起こすことがある。目視による読み取りミスは、基板の取り違いといった問題、或いは、誤ったケースへの収納といった問題を引き起こすことになる。
【０００８】
このような、読み取りミスによる基板の取り違い、或いは、誤ったケースへの収納といった問題の発生を防止するために、近年、外部からの電波通信により基板への情報の書き込み、基板からの情報の読み取りを非接触で行うことができるＲＦ−ＩＤタグ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ−Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ：電子タグ）を所定位置に貼り付けた基板が使用されるようになってきた。
このＲＦ−ＩＤタグには、前記ロットカードに記載されている基板の製造に関する情報が
書き込まれるようになっている。
【０００９】
このＲＦ−ＩＤタグを所定位置に貼り付けた基板を用いた際の、基板の製造工程における各処理工程では、作業者はロットカードに代わり、書き込み／読み取り装置で、基板を取り扱う前に、例えば、基板がケースに収納されている状態で、予めＲＦ−ＩＤタグに書き込まれている得意先名、品名、処理条件を確認することになる。
【００１０】
作業者は、この得意先名、品名、処理条件の確認後に、この処理条件にて基板への処理を行うのであるが、記憶の違いなどの記憶ミスが起こることある。
この記憶ミスは、前記読み取りミスにおける、基板の取り違いによって引き起こされる問題と同様な内容の問題、或いは、誤ったケースへの収納といった問題を引き起こすことになる。
すなわち、ＲＦ−ＩＤタグの採用によって前記読み取りミスによる問題は解消されたが、記憶ミスによる問題が新たに発生している。
【特許文献１】実開平６−２６２６１号公報
【特許文献２】特開２００５−９１９８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、基板の製造工程における各処理工程で、ＲＦ−ＩＤタグを貼り付けた基板を用いた際に、ＲＦ−ＩＤタグを用いた際に発生している記憶ミスによる基板の取り違いによって引き起こされる問題と同様な内容の問題、或いは、誤ったケースへの収納といった問題を解消させることのできる基板把持用ハンドラーを提供することを課題とするものである。
すなわち、例えば、基板の得意先名、品名を正確に確認しながら基板を取り扱うことのできる基板把持用ハンドラーを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、基板把持用ハンドラーであって、基板に貼付けたＲＦ−ＩＤタグの情報を読み取る、アンテナ部、コントロールボード部、表示部からなる読み取り手段を設けたことを特徴とする基板把持用ハンドラーである。
【００１３】
また、本発明は、請求項１記載の基板把持用ハンドラーにおいて、
Ａ）該基板把持用ハンドラーは少なくとも、１）Ｔ字状の固定アーム、該Ｔ字状の固定アームの両端部に設けられた第一ヒンジ部において該Ｔ字状の固定アームに対し水平面を回動自在に設けられた一対の直線状の可動アーム、
２）上記一対の直線状の可動アームの各内側面に設けられた一対の係止部、
３）上記Ｔ字状の固定アームの中央部からＴ字における下方に位置する部位に設けられた第二ヒンジ部において上記Ｔ字における下方に位置する部位に対し垂直面を回動自在に設けられたＬ字状のレバー、
４）上記Ｔ字における下方に位置する部位近傍と該Ｌ字状のレバーとに架設され、該Ｌ字状のレバーを上記係止部の方へ付勢しているスプリング、
５）上記Ｔ字における下方に位置する部位近傍を保持するハンドル、
６）ａ）上記Ｌ字状のレバーを該ハンドルの方へ引き寄せることにより、上記一対の直線状の可動アームを該可動アームの外側方向へ回動させ、ｂ）上記Ｌ字状のレバーを開放することにより、上記一対の直線状の可動アームを該可動アームの内側方向へ回動させて基板を把持する機構で構成され、
Ｂ）１）前記一対の直線状の可動アームの少なくとも一方の内側面の、基板を把持した際
に基板に貼付けたＲＦ−ＩＤタグと対向する位置に、前記読み取り手段のコントロールボード部に結線されているアンテナ部を設け、
２）前記ハンドルの係止部側の上部に、前記読み取り手段のコントロールボード部が内蔵されている表示部を設けたことを特徴とする基板把持用ハンドラーである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、Ａ）１）Ｔ字状の固定アームと第一ヒンジ部に設けられた一対の直線状の可動アーム、２）可動アーム内側面に設けられた一対の係止部、３）第二ヒンジ部に設けられたＬ字状のレバー、４）Ｌ字状のレバーに架設されスプリング、５）Ｔ字状の固定アームを保持するハンドル、６）可動アームを回動させる機構で構成され、Ｂ）アンテナ部、コントロールボード部、表示部で構成される読み取り手段のコントロールボード部は、表示部の筐体内に内蔵され、アンテナ部はコントロールボード部に結線されている基板把持用ハンドラーであるので、基板の製造工程における各処理工程で、ＲＦ−ＩＤタグを貼り付けた基板を用いた際に、基板の得意先名、品名を正確に確認しながら基板を取り扱うことができ、ＲＦ−ＩＤタグを用いた際に発生している記憶ミスによる問題を解消させることのできる基板把持用ハンドラーとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明による基板把持用ハンドラーを、その実施形態に基づいて説明する。
図２は、本発明による基板把持用ハンドラーの一実施例の平面図である。図２は基板の保持状態を説明するものである。また、図３は側面図である。
【００１６】
図２、及び図３に示すように、基板把持用ハンドラーは、１）Ｔ字状の固定アーム（１１Ａ）と、Ｔ字状の固定アームの両端部に設けられた第一ヒンジ部（１４）においてＴ字状の固定アームに対し水平面を回動自在に設けられた一対の直線状の可動アーム（１１Ｂ）、２）一対の直線状の可動アーム（１１Ｂ）の各内側面に設けられた一対の係止部（１２）、３）Ｔ字状の固定アーム（１１Ａ）の中央部からＴ字における下方に位置する部位に設けられた第二ヒンジ部（１７）においてＴ字における下方に位置する部位に対し垂直面を回動自在に設けられたＬ字状のレバー（１３）、
及び、４）Ｔ字における下方に位置する部位近傍とＬ字状のレバー（１３）とに架設され、Ｌ字状のレバー（１３）を係止部（１２）の方へ付勢しているスプリング（１５）、５）Ｔ字における下方に位置する部位近傍を保持するハンドル（１６）、６）Ｌ字状のレバー（１３）をハンドル（１６）の方へ引き寄せることにより、一対の直線状の可動アーム（１１Ｂ）を可動アームの外側方向へ回動させ、Ｌ字状のレバー（１３）を開放することにより、一対の直線状の可動アーム（１１Ｂ）を可動アームの内側方向へ回動させて基板（Ａ）を把持する機構で構成されている。
【００１７】
上記構成の基板把持用ハンドラーを使用して基板（Ａ）を取り扱う際には、先ず、作業者はハンドル（１６）を把持した状態でレバー（１３）をハンドル（１６）の方へ引き寄せ、一対の直線状の可動アーム（１１Ｂ）を可動アームの外側方向へ矢印で示すように回動させ、図２に点線で示すように一対の係止部（１２）の間隔を広げた状態にする。
次に、この状態で一対の係止部（１２）を基板（Ａ）の両側方に位置せしめ、レバー（１３）を開放し、一対の係止部（１２）によって基板（Ａ）を挟持する。
図２に実線で示す基板（Ａ）は、一対の係止部（１２）によって挟持された状態を表している。
【００１８】
ＲＦ−ＩＤタグの情報を読み取る、本発明における読み取り手段（２０）は、アンテナ部（２１）、コントロールボード部（２２）（図示せず）、表示部（２３）で構成されている。コントロールボード部（２２）は、表示部（２３）の筐体内に内蔵されており、アンテナ部（２１）は、コントロールボード部（２２）に結線されている。
【００１９】
図４は、図２に示すアンテナ部（２１）を拡大して説明する側面図である。アンテナ部（２１）は、一対の直線状の可動アーム（１１Ｂ）の少なくとも一方の内側面に設けられている。このアンテナ部（２１）の位置は基板（Ａ）を把持した際に、基板に貼り付けたＲＦ−ＩＤタグ（Ｂ）と対向する位置である。アンテナ部（２１）は結線（２４）によってコントロールボード部（２２）と接続している。
【００２０】
また、表示部（２３）は、ハンドル（１６）の係止部（１２）側の上部に設けられている。表示部（２３）を観視する方向は、白太矢印で示す方向からである。すなわち、表示部（２３）は作業者がハンドル（１６）を把持した状態で随時、良好に観視できるように設けられている。
【００２１】
図２、及び図３に示す基板（Ａ）は、ＲＦ−ＩＤタグ（Ｂ）を基板の側面に貼付けた例である。このＲＦ−ＩＤタグ（Ｂ）には、前記ロットカードに記載されている情報、例えば、得意先名、品名、管理番号、基板仕様、処理条件、作業者名や検査データなどの工程履歴、納期等々、基板の製造に関する情報を書き込むことが可能である。また、読み取り手段（２０）は、これら情報を随時に読み取ることができる。
【００２２】
従って、本発明による基板把持用ハンドラーを使用することによって、基板の製造工程、例えば、フォトリソグラフィ工程での各処理工程では、作業者は基板の識別、確認を容易に正確に行いながら基板を取り扱うことができる。
これにより、ＲＦ−ＩＤタグを用いた基板を取り扱う際に発生していた記憶ミスによる基板の取り違いによって引き起こされる問題と同様な内容の問題、或いは、誤ったケースへの収納といった問題は解消される。
【００２３】
また、基板の製造工程では、現品の識別、確認をするだけでなく、上記処理条件、作業者名、検査データなどの工程履歴、納期等々も読み取ることが可能であるので、製造工程における進行管理、品質管理、事故管理、等々のツールとしての利用展開を行うこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】従来の基板把持用ハンドラーの一例を示す斜視図である。
【図２】本発明による基板把持用ハンドラーの一実施例の平面図である。
【図３】本発明による基板把持用ハンドラーの一実施例の側面図である。
【図４】図２に示すアンテナ部を拡大して説明する側面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１・・・Ｌ字状に屈曲したアーム
２、７、１２・・・係止部
３・・・レバー
４・・・ヒンジ部
５、１５・・・スプリング
６、１６・・・ハンドル
１１Ａ・・・Ｔ字状の固定アーム
１１Ｂ・・・直線状の可動アーム
１３・・・Ｌ字状のレバー
１４・・・第一ヒンジ部
１７・・・第二ヒンジ部
２０・・・読み取り手段
２１・・・アンテナ部
２２・・・コントロールボード部
２３・・・表示部
２４・・・結線
Ａ・・・基板
Ｂ・・・ＲＦ−ＩＤタグ
【図１】
2007173538.tif 000003
【図２】
2007173538.tif 000004
【図３】
2007173538.tif 000005
【図４】
2007173538.tif 000006