(57)【要約】      （修正有）【課題】板状被処理材の昇降自由度の拡大、加重に対する緩衝変形量の低減と取り扱い重量制限の大幅な緩和、載置姿勢の安定維持、各種取り扱い動作の所定姿勢・高さ・平面・位置調整精度の向上により、高効率、高稼働率、安全搬送処理を実現させる。【解決手段】レール式搬送走行装置１００の基部に、円形レール式旋回装置２００を介して、平行昇降リフト装置３００を設け、これに多段水平ステージのテレスコープ式平面前後動装置４００を装着し、その最前水平ステージ４０４に、板状被処理材の載置用の一対の固定水平アームとその間に接近離間可能にした一対の可動水平アーム５０１、５０２を装着し、これらアームの上面に板状被処理材の下面を稜線支持する載置コマ５０３、５０４を複数装備した。【選択図】図１
2007119111.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レール式搬送走行装置の基部に、円形レール式旋回装置を介して、平行昇降リフト装置を設け、これに多段水平ステージのテレスコープ式平面前後動装置を装着し、その最前水平ステージに、板状被処理材の載置用の一対の可動水平アームを接近離間可能にした装着し、この可動水平アームに板状被処理材の下面を稜線支持する載置コマを複数装備したことを特徴とする移載装置。
【請求項２】
前記載置コマを水平アーム単位で少なくとも一対設け、この載置コマを水平アーム長手方向で対向接近離間可能にしたことを特徴とする請求項１に記載の移載装置。
【請求項３】
前記載置コマを板状被処理材の下面の稜線を支持する上面テーパーブロックにしたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被処理材を、前工程から受け取り、それを所定の処理ポジションに受け渡し、処理を施し後に次工程に渡す等の移載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
板状の被処理材を多数の連続処理工程で所定の処理を自動的に順次施すには、各工程における該被処理材の所定の姿勢、高さ等に正確に調整し且つ維持しながら移載し、受け渡し、搬送する所謂移載装置が不可欠である。
例えば、板状の被処理材を、前工程から受け取り、それを所定の各処理ポジションに受け渡し、各種の処理を施した後に後工程に渡す等の移載装置は、前工程と後工程間において、(1),前工程のローダー部と後工程のアンローダー部に対して所定サイズの被処理材を直接載置部に移載するための載置部平面拡縮動作と昇降動作、(2), 前工程と後工程間の被処理材搬送走行動作、(3),被処理材を処理ポジションに受け渡しするための旋回動作、昇降動作、前後動作などの精密動作機能が要求される。
【０００３】
従来の前記移載装置の代表例は、レール式搬送走行装置の基部中央に、旋回用回転縦軸装置を介して、平行シフトリンク機構式昇降装置を設け、これの上部リンク軸支持部材にパンタグラフリンク式平面前後動装置の後部軸着部材を装着し、拡縮リンク（パンタグラフ）式平面前後動装置の全部軸着部材に板状被処理材の載置用水平アーム２本の後部を片支持装着したものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記した従来例の移載装置は、図１３の側面図と図１４の平面図に示す通り、走行レールＲに挟持ガイドＧを摺動装着した走行台車0100に設けた平行シフトリンク機構式昇降装置02とそれの上に旋回用回転縦軸装置01とが複雑構造でそれ自体の高さ占有領域が大きいため、載置用の一対の水平アーム03の昇降下限位置がこれで制約を受け走行フロアレベル04から大きく離れた高い位置となり昇降デッドゾーンが大きく昇降自由度が狭い。
また平行シフトリンク機構式昇降装置02は、上中下3本の水平主軸05、06、07で上下主リンク棹08、09を連結し、各主リンク棹08、09に平行な上下補助リンク棹010、011を対応する上中下部リンク軸支持部材012、013、014、015に各1本の水平補助軸、016、017、018、019で連結した複雑な機構であるため、上方の載置用水平アーム03に板状被処理材020を載置した際の加重に対する緩衝変形量が大きく、載置用水平アーム03を前傾変位させる結果、板状被処理材020の取り扱い重量が大きく制約される。このことは左右各一対の前後リンク棹021、022を接近離間用の鉛直主軸023、024、025で連結した拡縮リンク式平面前後動装置030によっても同様な問題が発生するため該重量制限が更に厳しくなる。
上記の構造に起因する問題は、移載装置自体の搬送走行動作、旋回動作、昇降動作、前後動作などによる該被処理材020の姿勢、高さ調整精度の低下に繋がり、正確に所定値にすること及びそれを維持することが困難であり、板状被処理材の不安定な取り扱いを余儀なくされる。
【０００５】
そこで本発明の課題は次の通りである。
(1)、昇降デッドゾーンを低くし、昇降自由度を広くすること。
(2)、板状被処理材を載置した際の加重に対する緩衝変形量を極めて小さくし、板状被処理材の取り扱い重量制限を大幅に緩和し、載置用水平アーム姿勢を水平に安定維持させること。
(3)、移載装置自体の搬送走行動作、旋回動作、昇降動作、前後動作などによる該被処理材の姿勢、高さ調整精度を向上させ、正確に所定位置及び姿勢値にすること及びそれを維持し、板状被処理材の極めて安定したしかも精度の良い各種取り扱い動作を可能にすること。
(4)、さらに取り扱う板状被処理材の平面サイズ構成を格段に広げて載置可能領域を幅広く確保すること。
(5)、更に載置コマによる板状被処理材の下面の支持の際、板状被処理材の平面への支持跡や支持汚れを確実に防止すること。
(6)、しかも載置コマによる板状被処理材の載置姿勢をその自重で前後位置変位を拘束することができ、安全で迅速な載置走行搬送、水平旋回移動、水平前後移動、上下移動を可能にすること。
(7)、載置コマは、載置コマの位置調整余裕代を確保し、載置位置の制御精度を緩和させること。
(8)、載置用の可動水平アームの断面形状をコの字又はロの字などにしてアーム時自身の剛性を上げると共に内空部に載置コマの拡縮用の移動機構を内蔵してアームと共に載置コマも離間拡縮可能にすること。
(9)、可動水平アーム及び載置コマを耐熱材にて製作し、可動水平アームを断面形状をコの字にした場合は、開放スリット部に耐熱材の蓋を施すことにより、例えば２００℃前後の高温雰囲気内にもアクセスでき、高温度の被処理材の搬送を可能にすること。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記問題を解決すべく開発したものであり、その特徴とするところは、次の(1)〜(3)の通りである。
(1).  レール式搬送走行装置の基部に、円形レール式旋回装置を介して、平行昇降リフト装置を設け、これに多段水平ステージのテレスコープ式平面前後動装置を装着し、その最前水平ステージに、板状被処理材の載置用の一対の可動水平アームを接近離間可能にした装着し、この可動水平アームに板状被処理材の下面を稜線支持する載置コマを複数装備したことを特徴とする移載装置。
(2). 載置コマを水平アーム単位で少なくとも一対設け、この載置コマを水平アーム長手方向で対対向接近離間可能にした上記(1)に記載の移載装置。  
(3). 載置コマを板状被処理材の下面の稜線を支持する上面テーパーブロックにした上記(1) 又は(2)に記載の移載装置。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の移載装置は、次の優れた効果を呈するものである。
(1)、本発明の移載装置は、レール式搬送走行装置の基部に、円形レール式旋回装置を介して、平行昇降リフト装置を設け、これの枠体内につまり円形レール式旋回装置の直上に多段水平ステージのテレスコープ式平面前後動装置を平行昇降可能に装着したので、高さ占有領域が小さく載置用水平アームの昇降下限位置が走行フロアレベルから小さく離れた低い位置となり昇降デッドゾーンが小さく昇降自由度が広い。
(2)、また平行昇降リフト装置は枠体に設けた縦ガイドと後部の縦スクリュー駆動軸よりテレスコーオプ式平面前後動装置の最後段ステージを水平姿勢状態に装着する機構のため、テレスコープ式平面前後動装置の最前ステージに設けた板状被処理材載置用水平アームに板状被処理材を載置した際の加重に対する緩衝変形量が極めて小さく、載置用水平アーム姿勢を水平に安定維持させる結果、板状被処理材の取り扱い重量制限が大幅に緩和される。このことはテレスコープ式平面前後動装置の各段水平ステージが前後伸縮移動しても、各段水平ステージが互いに水平ガイドとこれを把持する摺動ガイドで連結しているので該重量制限緩和効果を維持することができる。
(3)、上記の構造に起因する効果は、移載装置自体の搬送走行動作、旋回動作、昇降動作、前後動作などによる該被処理材の姿勢、高さ調整精度の向上に繋がり、正確に所定位置及び姿勢値にすること及びそれを維持することができ、板状被処理材の極めて安定したしかも精度の良い各種取り扱い動作を可能にするものである。
(4)、さらに最前ステージの前部に、板状被処理材の載置用の一対の接近離間可能にした可動水平アームを装着し、しかも載置コマを複数対装備し位置移動可能にしたので、取り扱う板状被処理材の平面サイズ構成を格段に広げて載置可能領域を幅広く確保するものである。
(5)、更にこれらアームの上面の載置コマは上面テーパーブロックとして板状被処理材の下面の稜線を支持するので、板状被処理材の平面への支持跡や支持汚れを確実に防止する。
(6)、しかも載置コマの上面テーパー領域の全域を稜線支持面にし且つ板状被処理材の載置姿勢をその自重で拘束することができ取り扱い中に横滑りを発生させることなく安全で迅速な載置走行搬送、水平旋回移動、水平前後移動、上下移動を可能にしたものである。
(7)、載置コマの上面テーパは、載置コマの位置調整余裕代ともなり載置位置の制御精度を緩和させる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の移載装置は、例えば、板ガラス等の板状の被処理材を、前工程から受け取り、それを所定の各処理ポジションに載置状態で又は受け渡ししながら、熱処理、転写処理、加工処理などの各種の処理を施した後に後工程に渡すものである。
例えば、幾種類ものサイズが混合しあう液晶用のマスク基板の製造プロセスラインにおいて、上位システムコンピューターからの制御信号により個々のサイズに合った位置に自動的に載置用の水平アームと載置コマを移動させて正確に前工程から指定マスク基板を安全に受け取り、それを所定の高さと向きのポジションにし、例えば200℃前後の高温雰囲気を有する熱処理炉や、汚れや埃が厳禁である転写装置などの各種加工処理装置に随時受け渡し、そして一連の加工処理終了後に、後工程に受け渡す作業を、全自動にて対応可能なものである。
【０００９】
本発明において、レール式搬送走行装置は、前工程と後工程間において、前工程と後工程間を被処理材搬送走行するものである。例えば２本の走行用レールとこのレールと平行にラックギヤーを固定敷設し、走行本体側には掴ガイドと駆動ピニオン装置設け、掴ガイドをレールに沿ってのみ摺動自在に装着し、駆動ピニオンをラックギヤーに噛み合わせ装着するなど、車輪の無い低姿勢で走行本体の浮き上がりを防止し、かつ正確な走行・停止位置決めを可能にする機構を採用する。
【００１０】
円形レール式旋回装置は、前工程から受けた被処理材を処理ポジションに受け渡しするための旋回動作および被処理材を後工程に渡すための旋回動作を行うものである。レール式搬送走行装置の基部上に円形レールと回転駆動機構を配置し、円形や多角形の回転台の底部に円形レール用の掴ガイドと回転伝達具を設け、掴ガイドを円形レールに摺動自在に掴み装着し、回転伝達具を上記回転駆動機構に連結装着して、堅牢化と低姿勢化を可能にする。
【００１１】
平行昇降リフト装置は、被処理材を処理ポジションに受け渡しするためにテレスコープ式平面前後動装置を枠内に収容し、水平姿勢状態にして昇降動作させるものである。前記円形レール式旋回装置の回転台上の両側と後部に亘るコの字枠体を竪設し、コの字枠体に縦ガイドレールと縦スクリュー駆動軸装置を設け、縦ガイドレールと、テレスコーオプ式平面前後動装置の最後段ステージの両側と後部の被ガイド掴みレールとを摺動自在に装着し、縦スクリュー駆動軸装置を最後段ステージの後部に水平昇降移動可能に装着する。
【００１２】
テレスコープ式平面前後動装置は、前工程からの被処理材の受け取りや、後工程への被処理材渡し、他に処理ポジションへの被処理材の受け渡しするために多段ステージを前後に伸縮駆動するものである。多段ステージは、各々両側に梁板を立上げ、前進後退駆動機構を搭載した最後段ステージから上重ね収容式に、または下吊収容重ね式に、或はこれらを適宜に組み合わせて高強度化及び重ね高さを低減して複数段ステージの連設を可能にし、各ステージ間は、互いに水平ガイドレールとそれに摺動自在に装着する被ガイド掴みレールと、ラックピニオン式相対移動機構により連結し、最後段ステージの次のステージを前進後退駆動機構で前後動させることで、低い重ね状態で各段ステージを相対的に等量の伸縮移動を可能にし、円滑且つ変位の無い平面前後伸縮動作をする。
【００１３】
載置用の水平アームは、断面四角やコの字の高剛性アームにし、前工程のローダー部と後工程のアンローダー部に対して各種サイズの被処理材を直接載置部に移載するための載置部平面拡縮動作を行うものである。テレスコープ式平面前後動装置の最前ステージの前部に、一対の可動水平アームを装着し、この可動水平アームに、板状被処理材の下面を稜線支持する載置コマを複数装備する。載置コマは、各水平アーム単位で少なくとも一対設け、この載置コマをアーム長手方向で対向接近・離間可能にし、しかも板状被処理材の下面の稜線を支持する上面テーパーブロックにすることが好ましい。
【実施例１】
【００１４】
図１は、本実施例の概略側面説明図である。
図２は、図１の概略平面説明図である。
図３は、図１の詳細説明図である。
図４は、レール式搬送走行装置100の側面説明図である。
図５は、円形レール式旋回装置200の下から見た背面説明図である。
図６は、円形レール式旋回装置200の回転駆動部を示す平面説明図である。
図７は、平行昇降リフト装置300の背面説明図である。
図８は、平行昇降リフト装置300とテレスコープ式平面前後動装置400の平面説明図である。
図９は、の1部省略の側面説明図である。
図１０は、テレスコープ式平面前後動装置400の要部縦断面の説明図である。
図１１は、テレスコープ式平面前後動装置400の伸張状態を示す側面説明図である。
図１２は、テレスコープ式平面前後動装置400上の載置装置500を示す平面説明図である。
【００１５】
本例の移載装置は、図１、図２において、板状の被処理材Ｗを、前工程から受け取り、それを所定の各処理ポジションに受け渡し、各種の処理を施した後に後工程に渡すものである。
本例の移載装置は、レール式搬送走行装置100の基部に、円形レール式旋回装置200を介して、平行昇降リフト装置300を設け、これに４段のステージ401、402、403、404のテレスコープ式平面前後動装置400を装着し、板状被処理材Ｗの載置用の一対の可動水平アーム501、502を有し、これらアーム501、502に板状被処理材Ｗの下面を稜線支持する２対の載置コマ503、504を装備してなる載置装置500を、最前ステージ404に装着したものである。
【００１６】
レール式搬送走行装置100は、前工程と後工程間において、前工程と後工程間を被処理材搬送走行するものである。
詳細に示す図３と図４において、レール式搬送走行装置100は、２本の走行用レール101とこのレール101と平行に縦型ラックギヤー102を固定敷設し、走行本体103側には掴ガイド104と駆動ピニオン装置105設け、掴ガイド104をレール101に沿って摺動自在に装着し、駆動ピニオン106を縦型ラックギヤー102に噛み合わせて装着し、これにより駆動ピニオン装置105のサーボモーター108の回転駆動によりベベルギヤー107を介して走行本体103を低姿勢で浮き上がりを防止しながら精度良く走行させる。
【００１７】
円形レール式旋回装置200は、前工程から受けた被処理材を処理ポジションに受け渡しするための旋回動作および被処理材を後工程に渡すための旋回動作を行うものである。
詳細に示す図３、図５、図６において、円形レール式旋回装置200は、上記レール式搬送走行装置100の走行本体103の基部上に円形レール201と回転駆動機構202を配置し、回転台203の底部に円形レール用の掴ガイド204と回転作動盤205を設け、円弧状の掴ガイド204を円形レール201に摺動自在に掴み装着し、回転作動盤205を上記回転駆動機構202の回転駆動ギヤー207と回転方向変更ギヤー機構208を介してサーボモータ206に連結装着し、堅牢化と低姿勢化した。
図５中208は給電線用と信号専用のケーブルベアである。
【００１８】
平行昇降リフト装置300は、被処理材Ｗを処理ポジションに受け渡しするためにテレスコープ式平面前後動装置400を枠内に収容し、水平姿勢状態にして昇降動作させるものである。
詳細に示す図３、図７、図８、図９において、平行昇降リフト装置300は、前記円形レール式旋回装置200の回転台203上の両側と後部に亘るコの字枠体301、302、303を竪設し、コの字枠体301、302、303に4本の縦ガイドレール304を設け、後部枠体302の中央部高さ方向に縦スクリュー駆動軸装置305を配置し、縦ガイドレール304と、テレスコーオプ式平面前後動装置400の最後段ステージ401の両側に設けた被ガイドレール405とを上下摺動自在に装着し、縦スクリュー駆動軸装置305のスクリュー軸306を最後段ステージ401の後部に設けたスクリュー部受け装置406に装着しこのスクリュー軸306の回転駆動によりテレスコーオプ式平面前後動装置400全体を水平状態を維持して昇降移動させる。
縦スクリュー駆動軸装置305における、307は後部枠体302上梁上に固定したサーボモータ、308は、後部枠体302の上梁と下梁に装着したスクリュー軸端の支持具、309は給電線用と信号専用のケーブルベアである。
【００１９】
テレスコープ式平面前後動装置400は、前工程からの被処理材の受け取りや、後工程への被処理材渡し、他に処理ポジションへの被処理材の受け渡しするために多段ステージを前後に伸縮駆動する。
詳細に示す図３、図８、図９、図１０、図１１において、テレスコープ式平面前後動装置400は、各ステージ両側に梁板を有する上開放の断面コの字型にした多段ステージ式で、最後段ステージ401から上重ね収容式に、４段のステージ402、403、404を連設し、最後段ステージ401に前進後退駆動用のサーボモータ式スクリュー装置407を搭載し、各ステージ間は、互いに水平ガイドレール408、409、410とそれに摺動自在に装着する被ガイド掴みレール411、412、413と、ラックピニオン式相対移動機構414、415により連結する。  
ラックピニオン式相対移動機構414は、ステージ401の上面側に竪型ラックギアー416を固定し、これに下ギアー部を噛み合うピニオンギアー417をステージ402に回転可能に枢着し、竪ピニオンギアー417の上ギアー部に噛み合う竪型ラックギアー418をステージ403の下面側に固定する。ラックピニオン式相対移動機構415は、ステージ402の上面側に竪型ラックギアー419を固定し、これに下ギアー部を噛み合うピニオンギアー420をステージ403に回転可能に枢着し、ピニオンギアー420の上ギアー部に噛み合うを竪型ラックギアー421をステージ404の下面側に固定する。これによりステージ402をサーボモータ式スクリュー装置407でステージ402を前後動させることで、図９と図１１に示す如く、各段ステージ421、402、403、404を同時に相対的に等量の伸縮移動量を維持して平面前後伸縮作動する。
図１０と図１１中の430は給電線用と信号線用のケーブルベアである。
【００２０】
被処理材を直接載置部に移載する載置装置500は、前工程のローダー部と後工程のアンローダー部に対して各種サイズの被処理材を直接載置部に移載するための載置部平面拡縮動作を行うものである。
詳細に示す図３、図１２において、載置装置500は、最前ステージ404の内部に固定装着したもので、被処理材載置用の一対の可動水平アーム501、502を、断面四角で上部に載置コマ移動用の細スリットを開けた高剛性アームにし、これらアーム501、502には板状被処理材Ｗの下面を稜線支持する２対の載置コマ503、504をアームに沿って摺動移動可能に装備する。
可動水平アーム501、502は、最前ステージ404に設けたサーボモータ式アーム接近・離間機構507で支持して、アーム間隔を拡縮セット可能にする。載置コマ503、503は、可動水平アーム501、502に設けたサーボモータ式コマ接近・離間機構508により対向コマ同志の接近・離間動作を可能にする。
サーボモータ式アーム接近・離間機構507は、最前ステージ404に、サーボモータ510とベベルギャー511を介して回転するスクリュー軸512、513と2対のアームガイド514、515を取り付け、スクリュー軸512、513を可動水平アーム501、502のスクリュー軸受け516、517に螺合し、アームガイド514、515を可動水平アーム501、502の被ガイド518、519に摺動移動可能に枢着する。
これによりサーボモータ510の駆動で可動水平アーム501、502は接近・離間動作する。
サーボモータ式コマ接近・離間機構508は、可動水平アーム501、502内に
サーボモータ520、521と２螺合方向スクリュー軸522、523を設け、２螺合方向スクリュー軸522、523を載置コマ503、503、504、504に螺合させ２螺合方向スクリュー軸の回転駆動で対向同志の載置コマは接近・離間動作する。
載置コマ503、503、504、504は、板状被処理材の下面を稜線支持する上面テーパーブロックにしてある。
本実施例の移載装置は、以上の構成により前記した各種優れた効果を確実に得ることができた。
これによって、板状被処理材Ｗの昇降自由度が拡大し、加重に対する緩衝変形量の低減と取り扱い重量制限が大幅に緩和し、載置姿勢の安定維持、各種取り扱い動作の所定姿勢・高さ・平面・位置調整精度が格段に向上して、高効率、高稼働率、安全搬送処理を実現させることができた。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明の移載装置は、前記の如く次の優れた効果を呈し、この種産業上の有効利用は多大なものがある。
(1)、昇降デッドゾーンが低く昇降自由度が広い。
(2)、また板状被処理材を載置した際の加重に対する緩衝変形量が極めて小さく、板状被処理材の取り扱い重量制限が大幅に緩和され、載置用水平アーム姿勢を水平に安定維持させる。
(3)、移載装置自体の搬送走行動作、旋回動作、昇降動作、前後動作などによる該被処理材の姿勢、高さ調整精度が向上し、正確に所定位置及び姿勢値にすること及びそれを維持し、板状被処理材の極めて安定したしかも精度の良い各種取り扱い動作を可能にする。
(4)、さらに取り扱う板状被処理材の平面サイズ構成を格段に広げて載置可能領域を幅広く確保する。
(5)、更に載置コマは板状被処理材の下面の稜線支持のため、板状被処理材の平面への支持跡や支持汚れを確実に防止する。
(6)、しかも載置コマの上面テーパー領域の全域を稜線支持面範囲にし且つ板状被処理材の載置姿勢をその自重で前後位置変位を拘束することができ、安全で迅速な載置走行搬送、水平旋回移動、水平前後移動、上下移動を可能にする。
(7)、載置コマの上面テーパは、載置コマの位置調整余裕代ともなり載置位置の制御精度を緩和させる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施例の概略側面説明図である。
【図２】図１の概略平面説明図である。
【図３】図１の詳細説明図である。
【図４】レール式搬送走行装置100の側面説明図である。
【図５】円形レール式旋回装置200の下から見た背面説明図である。
【図６】円形レール式旋回装置200の回転駆動部を示す平面説明図である。
【図７】平行昇降リフト装置300の背面説明図である。
【図８】平行昇降リフト装置300とテレスコープ式平面前後動装置400の平面説明図である。
【図９】図８の1部省略の側面説明図である。
【図１０】テレスコープ式平面前後動装置400の要部縦断面の説明図である。
【図１１】テレスコープ式平面前後動装置400の伸張状態を示す側面説明図である。
【図１２】テレスコープ式平面前後動装置400上の載置装置500を示す平面説明図である。
【図１３】従来装置例を示す側断面説明図ある。
【図１４】図１３の平面説明図ある。
【符号の説明】
【００２３】
100                   レール式搬送走行装置
101                   ２本の走行用レール
102                   竪型ラックギヤー
103                   走行本体
104                   掴ガイド
105                   駆動ピニオン装置
106                   駆動ピニオン
107                   ベベルギヤー
108                   サーボモーター  
200                   円形レール式旋回装置
201                   円形レール
202                   回転駆動機構
203                   回転台
204                   円形レール用の掴ガイド
205                   回転作動盤
207                  回転駆動ギヤー
208                  回転方向変更ギヤー機構
206                  サーボモータ
208                  給電線用と信号専用のケーブルベア
300                  平行昇降リフト装置
301、302、303       コの字枠体
304                  縦ガイドレール
305                  縦スクリュー駆動軸装置
306                  スクリュー軸
307                  サーボモータ
308                  スクリュー軸端の支持具
309                  給電線用と信号専用のケーブルベア
400                  テレスコープ式平面前後動装置
401、402、403、404  格段横梁板付の４段ステージ
405                  被ガイドレール
406                  スクリュー部受け装置
407                  サーボモータ式スクリュー装置
408、409、410        水平ガイドレール
411、412、413       被ガイド掴みレール
414、415            ラックピニオン式相対移動機構
416                  竪型ラックギアー
417                  竪ピニオンギアー
418                  竪型ラックギアー
419                  竪型ラックギアー
420                  ピニオンギアー
421                  竪型ラックギアー
500                  載置装置
501、502             一対の可動水平アーム
503、504             ２対の載置コマ
507                  サーボモータ式アーム接近・離間機構
508                  サーボモータ式コマ接近・離間機構
510                  サーボモータ
511                  ベベルギャー
512、513            スクリュー軸
514、515            2対のアームガイド
516、517            スクリュー軸受け
518、519            被ガイド
520、521            サーボモータ
522、523            ２螺合方向スクリュー軸
Ｗ                   板状被処理材
【図１】
2007119111.tif 000003
【図２】
2007119111.tif 000004
【図３】
2007119111.tif 000005
【図４】
2007119111.tif 000006
【図５】
2007119111.tif 000007
【図６】
2007119111.tif 000008
【図７】
2007119111.tif 000009
【図８】
2007119111.tif 000010
【図９】
2007119111.tif 000011
【図１０】
2007119111.tif 000012
【図１１】
2007119111.tif 000013
【図１２】
2007119111.tif 000014
【図１３】
2007119111.tif 000015
【図１４】
2007119111.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月14日(2006.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
(1)、横行レール101上に装着した走行本体103に平面円形レール201を設けたレール式搬送走行装置100と、
(2)、前記平面円形レール201に回転作動盤205を平面回転可能に装着した円形レール式旋回装置200と、
(3)、両側枠体301、303と後部枠体302の各々に縦ガイドレールを設けたコの字枠体を前記回転作動盤上に竪設しコの字枠体の後部枠体302の中央部高さ方向に縦スクリュー駆動軸装置305を配置した平行昇降リフト装置300と、
(4)、前記コの字枠体内に多段のステージ401、402、403、404を収容し、その最後段ステージ401にはその上段のステージ402に連結する前進後退駆動用のサーボモータ式スクリュー装置407と前記平行昇降リフト装置300の縦スクリュー駆動軸装置305のスクリュー軸306に装着するクリュー部受け装置406を設けると共に前記コの字枠体の縦ガイドレール304に昇降可能に装着する被ガイドレール405を設け、多段のステージは上記サーボモータ式スクリュー装置407により相互に同時前後進可能にラックピニオン式相対移動機構414、415と水平ガイド機構により支持連結してなるテレスコーオプ式平面前後動装置400と、
(5)、前記多段ステージの最前段ステージ404に設けたサーボモータ式アーム接近・離間機構507の一対のスクュリュー軸512、513に同時接・近離間可能に装着したアームであって、アームには板状被処理材Ｗの下面の両側稜線を支持する上面テーパーの一対の載置コマ503、503、504、504をサーボモータ式コマ接近・離間機構508の２螺合方向スクリュー軸522、523に同時接近・離間可能に装着した一対の可動水平アーム501、502と、
からなることを特徴とする移載装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被処理材を、前工程から受け取り、それを所定の処理ポジションに受け渡し、処理を施し後に次工程に渡す等の移載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
板状の被処理材を多数の連続処理工程で所定の処理を自動的に順次施すには、各工程における該被処理材の所定の姿勢、高さ等に正確に調整し且つ維持しながら移載し、受け渡し、搬送する所謂移載装置が不可欠である。
例えば、板状の被処理材を、前工程から受け取り、それを所定の各処理ポジションに受け渡し、各種の処理を施した後に後工程に渡す等の移載装置は、前工程と後工程間において、(1),前工程のローダー部と後工程のアンローダー部に対して所定サイズの被処理材を直接載置部に移載するための載置部平面拡縮動作と昇降動作、(2), 前工程と後工程間の被処理材搬送走行動作、(3),被処理材を処理ポジションに受け渡しするための旋回動作、昇降動作、前後動作などの精密動作機能が要求される。
【０００３】
従来の前記移載装置の代表例は、レール式搬送走行装置の基部中央に、旋回用回転縦軸装置を介して、平行シフトリンク機構式昇降装置を設け、これの上部リンク軸支持部材にパンタグラフリンク式平面前後動装置の後部軸着部材を装着し、拡縮リンク（パンタグラフ）式平面前後動装置の全部軸着部材に板状被処理材の載置用水平アーム２本の後部を片支持装着したものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記した従来例の移載装置は、図１３の側面図と図１４の平面図に示す通り、走行レールＲに挟持ガイドＧを摺動装着した走行台車0100に設けた平行シフトリンク機構式昇降装置02とそれの上に旋回用回転縦軸装置01とが複雑構造でそれ自体の高さ占有領域が大きいため、載置用の一対の水平アーム03の昇降下限位置がこれで制約を受け走行フロアレベル04から大きく離れた高い位置となり昇降デッドゾーンが大きく昇降自由度が狭い。
また平行シフトリンク機構式昇降装置02は、上中下3本の水平主軸05、06、07で上下主リンク棹08、09を連結し、各主リンク棹08、09に平行な上下補助リンク棹010、011を対応する上中下部リンク軸支持部材012、013、014、015に各1本の水平補助軸、016、017、018、019で連結した複雑な機構であるため、上方の載置用水平アーム03に板状被処理材020を載置した際の加重に対する緩衝変形量が大きく、載置用水平アーム03を前傾変位させる結果、板状被処理材020の取り扱い重量が大きく制約される。このことは左右各一対の前後リンク棹021、022を接近離間用の鉛直主軸023、024、025で連結した拡縮リンク式平面前後動装置030によっても同様な問題が発生するため該重量制限が更に厳しくなる。
上記の構造に起因する問題は、移載装置自体の搬送走行動作、旋回動作、昇降動作、前後動作などによる該被処理材020の姿勢、高さ調整精度の低下に繋がり、正確に所定値にすること及びそれを維持することが困難であり、板状被処理材の不安定な取り扱いを余儀なくされる。
【０００５】
そこで本発明の課題は次の通りである。
(1)、可動水平アームの昇降デッドゾーンを低くし、昇降自由度を広くし、装置全体の高さを低くすること。
(2)、板状被処理材を載置した際の加重に対する装置全体の前後左右上下の変位量及び変形量を極めて小さくし、板状被処理材の取り扱い重量制限を大幅に緩和し、載置用水平アーム姿勢を水平に安定維持させること。
(3)、移載装置自体の搬送走行動作、旋回動作、昇降動作、前後動作などによる該被処理材の姿勢、位置調整精度を向上させ載置コマへの稜線載置を確実にすること。
(4)、さらに取り扱う板状被処理材の平面サイズ構成を広げて載置可能領域を幅広く確保すること。
(5)、更に載置コマによる板状被処理材の下面の支持の際、板状被処理材の平面への支持跡や支持汚れを確実に防止すること。
(6)、しかも載置コマによる板状被処理材の載置姿勢をその自重で前後位置変位を拘束し、安全で迅速な載置走行搬送、水平旋回移動、水平前後移動、上下移動を可能にすること。
(7)、載置コマは、載置コマの位置調整余裕代を確保し、載置位置の制御精度を緩和させること。
(8)、載置用の可動水平アームの断面形状をコの字又はロの字などにしてアーム自身の剛性を上げると共に内空部に載置コマの拡縮用の移動機構を内蔵してアームと共に載置コマも離間拡縮可能にすること。
(9)、可動水平アーム及び載置コマを耐熱材にて製作し、可動水平アームを断面形状をコの字にした場合は、開放スリット部に耐熱材の蓋を施すことにより、例えば２００℃前後の高温雰囲気内にもアクセスでき、高温度の被処理材の搬送を可能にすること。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記問題を解決すべく開発したものであり、その特徴とするところは、実施例に示す具体例の記号を付して記載すると次の通りである。
(1)、横行レール101上に装着した走行本体103に平面円形レール201を設けたレール式搬送走行装置100と、
(2)、前記平面円形レール201に回転作動盤205を平面回転可能に装着した円形レール式旋回装置200と、
(3)、両側枠体301、303と後部枠体302の各々に縦ガイドレールを設けたコの字枠体を前記回転作動盤上に竪設しコの字枠体の後部枠体302の中央部高さ方向に縦スクリュー駆動軸装置305を配置した平行昇降リフト装置300と、
(4)、前記コの字枠体内に多段のステージ401、402、403、404を収容し、その最後段ステージ401にはその上段のステージ402に連結する前進後退駆動用のサーボモータ式スクリュー装置407と前記平行昇降リフト装置300の縦スクリュー駆動軸装置305のスクリュー軸306に装着するクリュー部受け装置406を設けると共に前記コの字枠体の縦ガイドレール304に昇降可能に装着する被ガイドレール405を設け、多段のステージは上記サーボモータ式スクリュー装置407により相互に同時前後進可能にラックピニオン式相対移動機構414、415と水平ガイド機構により支持連結してなるテレスコーオプ式平面前後動装置400と、
(5)、前記多段ステージの最前段ステージ404に設けたサーボモータ式アーム接近・離間機構507の一対のスクュリュー軸512、513に同時接・近離間可能に装着したアームであって、アームには板状被処理材Ｗの下面の両側稜線を支持する上面テーパーの一対の載置コマ503、503、504、504をサーボモータ式コマ接近・離間機構508の２螺合方向スクリュー軸522、523に同時接近・離間可能に装着した一対の可動水平アーム501、502と、
からなることを特徴とする移載装置。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の移載装置は、次の優れた効果を呈するものである。
(1)、本発明の移載装置は、レール式搬送走行装置の基部に円形レール式旋回装置の回転作動盤を配置し、回転作動盤に固定したコの字枠体内に多段ステージを配置するため、載置用水平アームの昇降下限位置を低レベルにして昇降デッドゾーンを小さくし昇降自由度つまり載置用水平アームが支持するワークの取り扱い昇降範囲を大幅に広くした。またステージ間の駆動伝達は一台のサーボモータ式駆動でラックピニオン機構連結にしたので、多段ステージ全体の厚み高さを最低にし且つ迅速に同時相対前後動を可能にしながら堅牢化が計れ変位を防止した。またコの字枠の高さを載置用水平アームの必要な昇降高さにして装置全体の高さ占有領域を低くした。しかも該被処理材の姿勢、位置調整精度を向上させ載置コマへの稜線載置を確実に可能にした。
(2)、また前記レール式搬送走行装置と円形レール式旋回装置は大径の円形レールで連結し且つ平行昇降リフト装置はコの字枠体の両側に設けた縦ガイドと後部の縦スクリュー駆動軸よりテレスコーオプ式平面前後動装置の最後段ステージを水平姿勢状態に装着する機構にしたため、これらの前後左右方向の変位及び各段ステージが前後伸縮移動して重心が変位することによる上下方向の浮き上がり等の変位を確実に防止する。よってテレスコープ式平面前後動装置の最前ステージに設けた板状被処理材載置用水平アームに板状被処理材を載置した際の加重に対する装置全体の変位量及び変形量を極めて小さくし、載置用水平アーム姿勢を水平に安定維持させる結果、板状被処理材の取り扱い重量制限が大幅に緩和される。
(3)、上記の構造に起因する効果は、移載装置自体の搬送走行動作、旋回動作、昇降動作、前後動作などによる該被処理材の姿勢、高さ調整精度の向上に繋がり、正確に所定位置及び姿勢値にすること及びそれを維持することができ、板状被処理材の極めて安定したしかも精度の良い各種取り扱い動作を可能にするものである。
(4)、さらに最前ステージに、板状被処理材の載置用の一対の接近離間可能にした可動水平アームを装着し、しかも載置コマを複数対装備し位置移動可能にしたので、取り扱う板状被処理材の平面サイズ構成を格段に広げて載置可能領域を幅広く確保するものである。
(5)、更にこれらアームの上面の載置コマは上面テーパブロックとして板状被処理材の下面の稜線を支持するので、板状被処理材の平面への支持跡や支持汚れを確実に防止する。
(6)、しかも載置コマの上面テーパ領域の全域を稜線支持面にし且つ板状被処理材の載置姿勢をその自重で拘束することができ取り扱い中に横滑りを発生させることなく安全で迅速な載置走行搬送、水平旋回移動、水平前後移動、上下移動を可能にしたものである。
(7)、載置コマの上面テーパは、載置コマの位置調整余裕代ともなり載置位置の制御精度を緩和させる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の移載装置は、例えば、板ガラス等の板状の被処理材を、前工程から受け取り、それを所定の各処理ポジションに載置状態で又は受け渡ししながら、熱処理、転写処理、加工処理などの各種の処理を施した後に後工程に渡すものである。
例えば、幾種類ものサイズが混合しあう液晶用のマスク基板の製造プロセスラインにおいて、上位システムコンピューターからの制御信号により個々のサイズに合った位置に自動的に載置用の水平アームと載置コマを移動させて正確に前工程から指定マスク基板を安全に受け取り、それを所定の高さと向きのポジションにし、例えば200℃前後の高温雰囲気を有する熱処理炉や、汚れや埃が厳禁である転写装置などの各種加工処理装置に随時受け渡し、そして一連の加工処理終了後に、後工程に受け渡す作業を、全自動にて対応可能なものである。
【０００９】
本発明において、レール式搬送走行装置は、前工程と後工程間において、前工程と後工程間を被処理材搬送走行するものである。例えば２本の走行用レールとこのレールと平行にラックギヤーを固定敷設し、走行本体側には掴ガイドと駆動ピニオン装置設け、掴ガイドをレールに沿ってのみ摺動自在に装着し、駆動ピニオンをラックギヤーに噛み合わせ装着するなど、車輪の無い低姿勢で走行本体の左右上下（浮き上がり）前後方向等への変位を防止し、かつ正確な走行・停止位置決めを可能にする機構を採用する。
【００１０】
円形レール式旋回装置は、前工程から受けた被処理材を処理ポジションに受け渡しするための旋回動作および被処理材を後工程に渡すための旋回動作を行うものである。レール式搬送走行装置の基部上に円形レールと回転駆動機構を配置し、円形や多角形の回転台の底部に円形レール用の掴ガイドと回転伝達具を設け、掴ガイドを円形レールに摺動自在に掴み装着し、回転伝達具を上記回転駆動機構に連結装着して、左右上下前後方向等への変位の無い堅牢化と低姿勢化を可能にする。
【００１１】
平行昇降リフト装置は、被処理材を処理ポジションに受け渡しするためにテレスコープ式平面前後動装置を枠内に収容し、水平姿勢状態にして昇降動作させるものである。前記円形レール式旋回装置の回転台上の両側と後部に亘るコの字枠体を竪設し、コの字枠体の両側と後部に縦ガイドレールを設け、後部に縦スクリュー駆動軸装置を設け、該縦ガイドレールと、テレスコーオプ式平面前後動装置の最後段ステージの両側と後部の被ガイド掴みレールとを摺動自在に装着し、縦スクリュー駆動軸装置を最後段ステージの後部に水平昇降移動可能に装着し、テレスコーオプ式平面前後動装置の左右上下前後方向等への変位を確実に防止する。
【００１２】
テレスコープ式平面前後動装置は、前工程からの被処理材の受け取りや、後工程への被処理材渡し、他に処理ポジションへの被処理材の受け渡しするために多段ステージを前後に同時に相対伸縮駆動するものである。多段ステージは、各々両側に梁板を立上げ、前進後退駆動機構を搭載した最後段ステージから上重ね収容式に、または下吊収容重ね式に、或はこれらを適宜に組み合わせて高強度化及び重ね高さを低減して複数段ステージの連設を可能にし、各ステージ間は、互いに水平ガイドレールとそれに摺動自在に装着する被ガイド掴みレールと、ラックピニオン式相対移動機構により連結し、最後段ステージの次のステージを前進後退駆動機構で前後動させることで、低い重ね状態で各段ステージを同時に相対的に等量の伸縮移動を可能にして、円滑且つ変位の無い平面前後伸縮動作を可能にする。
【００１３】
載置用の水平アームは、断面四角やコの字の高剛性アームにし、前工程のローダー部と後工程のアンローダー部に対して各種サイズの被処理材を直接載置部に移載するための載置部平面拡縮動作を行うものである。テレスコープ式平面前後動装置の最前ステージの前部に、一対の可動水平アームを装着し、この可動水平アームに、板状被処理材の下面を稜線支持する載置コマを複数装備する。載置コマは、各水平アーム単位で少なくとも一対設け、この載置コマをアーム長手方向で対向接近・離間可能にし、しかも板状被処理材の下面の稜線を支持する上面テーパーブロックにすることが好ましい。
【実施例１】
【００１４】
図１は、本実施例の概略側面説明図である。
図２は、図１の概略平面説明図である。
図３は、図１の詳細説明図である。
図４は、レール式搬送走行装置100の側面説明図である。
図５は、円形レール式旋回装置200の下から見た背面説明図である。
図６は、円形レール式旋回装置200の回転駆動部を示す平面説明図である。
図７は、平行昇降リフト装置300の背面説明図である。
図８は、平行昇降リフト装置300とテレスコープ式平面前後動装置400の平面説明図である。
図９は、の1部省略の側面説明図である。
図１０は、テレスコープ式平面前後動装置400の要部縦断面の説明図である。
図１１は、テレスコープ式平面前後動装置400の伸張状態を示す側面説明図である。
図１２は、テレスコープ式平面前後動装置400上の載置装置500を示す平面説明図である。
【００１５】
本例の移載装置は、図１、図２において、板状の被処理材Ｗを、前工程から受け取り、それを所定の各処理ポジションに受け渡し、各種の処理を施した後に後工程に渡すものである。
本例の移載装置は、レール式搬送走行装置100の基部に、円形レール式旋回装置200を介して、平行昇降リフト装置300を設け、これに４段のステージ401、402、403、404のテレスコープ式平面前後動装置400を装着し、板状被処理材Ｗの載置用の一対の可動水平アーム501、502を有し、これらアーム501、502に板状被処理材Ｗの下面を稜線支持する２対の載置コマ503、504を装備してなる載置装置500を、最前ステージ404に装着したものである。
【００１６】
レール式搬送走行装置100は、前工程と後工程間において、前工程と後工程間を被処理材搬送走行するものである。
詳細に示す図３と図４において、レール式搬送走行装置100は、２本の走行用レール101とこのレール101と平行に縦型ラックギヤー102を固定敷設し、走行本体103側には掴ガイド104と駆動ピニオン装置105設け、掴ガイド104をレール101に沿って摺動自在に装着し、駆動ピニオン106を縦型ラックギヤー102に噛み合わせて装着し、これにより駆動ピニオン装置105のサーボモーター108の回転駆動によりベベルギヤー107を介して走行本体103を低姿勢で浮き上がりを防止しながら精度良く走行させる。
【００１７】
円形レール式旋回装置200は、前工程から受けた被処理材を処理ポジションに受け渡しするための旋回動作および被処理材を後工程に渡すための旋回動作を行うものである。
詳細に示す図３、図５、図６において、円形レール式旋回装置200は、上記レール式搬送走行装置100の走行本体103の基部上に円形レール201と回転駆動機構202を配置し、回転台203の底部に円形レール用の掴ガイド204と回転作動盤205を設け、円弧状の掴ガイド204を円形レール201に摺動自在に掴み装着し、回転作動盤205を上記回転駆動機構202の回転駆動ギヤー207と回転方向変更ギヤー機構208を介してサーボモータ206に連結装着し、堅牢化と低姿勢化した。
図５中208は給電線用と信号専用のケーブルベアである。
【００１８】
平行昇降リフト装置300は、被処理材Ｗを処理ポジションに受け渡しするためにテレスコープ式平面前後動装置400を枠内に収容し、水平姿勢状態にして昇降動作させるものである。
詳細に示す図３、図７、図８、図９において、平行昇降リフト装置300は、前記円形レール式旋回装置200の回転台203上の両側と後部に亘るコの字枠体301、302、303を竪設し、コの字枠体301、302、303に4本の縦ガイドレール304を設け、後部枠体302の中央部高さ方向に縦スクリュー駆動軸装置305を配置し、縦ガイドレール304と、テレスコーオプ式平面前後動装置400の最後段ステージ401の両側に設けた被ガイドレール405とを上下摺動自在に装着し、縦スクリュー駆動軸装置305のスクリュー軸306を最後段ステージ401の後部に設けたスクリュー部受け装置406に装着しこのスクリュー軸306の回転駆動によりテレスコーオプ式平面前後動装置400全体を水平状態を維持して昇降移動させる。
縦スクリュー駆動軸装置305における、307は後部枠体302上梁上に固定したサーボモータ、308は、後部枠体302の上梁と下梁に装着したスクリュー軸端の支持具、309は給電線用と信号専用のケーブルベアである。
【００１９】
テレスコープ式平面前後動装置400は、前工程からの被処理材の受け取りや、後工程への被処理材渡し、他に処理ポジションへの被処理材の受け渡しするために多段ステージを前後に伸縮駆動する。
詳細に示す図３、図８、図９、図１０、図１１において、テレスコープ式平面前後動装置400は、各ステージ両側に梁板を有する上開放の断面コの字型にした多段ステージ式で、最後段ステージ401から上重ね収容式に、４段のステージ401、402、403、404を連設し、最後段ステージ401に前進後退駆動用のサーボモータ式スクリュー装置407を搭載し、各ステージ間は、互いに水平ガイドレール408、409、410とそれに摺動自在に装着する被ガイド掴みレール411、412、413と、ラックピニオン式相対移動機構414、415により連結する。  
ラックピニオン式相対移動機構414は、ステージ401の上面側に竪型ラックギアー416を固定し、これに下ギアー部を噛み合うピニオンギアー417をステージ402に回転可能に枢着し、竪ピニオンギアー417の上ギアー部に噛み合う竪型ラックギアー418をステージ403の下面側に固定する。ラックピニオン式相対移動機構415は、ステージ402の上面側に竪型ラックギアー419を固定し、これに下ギアー部を噛み合うピニオンギアー420をステージ403に回転可能に枢着し、ピニオンギアー420の上ギアー部に噛み合うを竪型ラックギアー421をステージ404の下面側に固定する。これによりステージ402をサーボモータ式スクリュー装置407でステージ402を前後動させることで、図９と図１１に示す如く、各段ステージ421、402、403、404を同時に相対的に等量の伸縮移動量を維持して平面前後伸縮作動する。
図１０と図１１中の430は給電線用と信号線用のケーブルベアである。
【００２０】
被処理材を直接載置部に移載する載置装置500は、前工程のローダー部と後工程のアンローダー部に対して各種サイズの被処理材を直接載置部に移載するための載置部平面拡縮動作を行うものである。
詳細に示す図３、図１２において、載置装置500は、最前ステージ404の内部に固定装着したもので、被処理材載置用の一対の可動水平アーム501、502を、断面四角で上部に載置コマ移動用の細スリットを開けた高剛性アームにし、これらアーム501、502には板状被処理材Ｗの下面を稜線支持する２対の載置コマ503、504をアームに沿って摺動移動可能に装備する。
可動水平アーム501、502は、最前ステージ404に設けたサーボモータ式アーム接近・離間機構507で支持して、アーム間隔を拡縮セット可能にする。載置コマ503、503は、可動水平アーム501、502に設けたサーボモータ式コマ接近・離間機構508により対向コマ同志の接近・離間動作を可能にする。
サーボモータ式アーム接近・離間機構507は、最前ステージ404に、サーボモータ510とベベルギャー511を介して回転する一対のスクリュー軸512、513と2対のアームガイド514、515を取り付け、スクリュー軸512、513を可動水平アーム501、502のスクリュー軸受け516、517に螺合し、アームガイド514、515を可動水平アーム501、502の被ガイド518、519に摺動移動可能に枢着する。
これによりサーボモータ510の駆動で可動水平アーム501、502は接近・離間動作する。
サーボモータ式コマ接近・離間機構508は、可動水平アーム501、502内に
サーボモータ520、521と２螺合方向スクリュー軸522、523を設け、２螺合方向スクリュー軸522、523を載置コマ503、503、504、504に螺合させ２螺合方向スクリュー軸522、523の回転駆動で対向同志の載置コマは同時に接近・離間動作する。
載置コマ503、503、504、504は、板状被処理材の下面を稜線支持する上面テーパーブロックにしてある。
本実施例の移載装置は、以上の構成により前記した各種優れた効果を確実に得ることができた。
これによって、板状被処理材Ｗの昇降自由度が拡大し、装置全体及び板状被処理材の加重に対する装置全体の左右前後上下方向等の変位を確実に防止して、しかも板状被処理材の加重による緩衝変形量を数ミリオーダーに低減して、取り扱い重量制限を大幅に緩和し、載置姿勢の安定維持、各種取り扱い動作の所定姿勢・高さ・平面・位置調整制御精度を格段に向上して、高効率、高稼働率、安全搬送処理を実現させることができた。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明の移載装置は、前記の如く次の優れた効果を呈し、この種産業上の有効利用は多大なものがある。
(1)、昇降デッドゾーンが低く昇降自由度が広い。
(2)、また板状被処理材を載置した際の加重に対する緩衝変形量が極めて小さく、板状被処理材の取り扱い重量制限が大幅に緩和され、載置用水平アーム姿勢を水平に安定維持させる。
(3)、移載装置自体の搬送走行動作、旋回動作、昇降動作、前後動作などによる該被処理材の姿勢、高さ調整精度が向上し、正確に所定位置及び姿勢値にすること及びそれを維持し、板状被処理材の極めて安定したしかも精度の良い各種取り扱い動作を可能にする。
(4)、さらに取り扱う板状被処理材の平面サイズ構成を格段に広げて載置可能領域を幅広く確保する。
(5)、更に載置コマは板状被処理材の下面の稜線支持のため、板状被処理材の平面への支持跡や支持汚れを確実に防止する。
(6)、しかも載置コマの上面テーパー領域の全域を稜線支持面範囲にし且つ板状被処理材の載置姿勢をその自重で前後位置変位を拘束することができ、安全で迅速な載置走行搬送、水平旋回移動、水平前後移動、上下移動を可能にする。
(7)、載置コマの上面テーパは、載置コマの位置調整余裕代ともなり載置位置の制御精度を緩和させる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施例の概略側面説明図である。
【図２】図１の概略平面説明図である。
【図３】図１の詳細説明図である。
【図４】レール式搬送走行装置100の側面説明図である。
【図５】円形レール式旋回装置200の下から見た背面説明図である。
【図６】円形レール式旋回装置200の回転駆動部を示す平面説明図である。
【図７】平行昇降リフト装置300の背面説明図である。
【図８】平行昇降リフト装置300とテレスコープ式平面前後動装置400の平面説明図である。
【図９】図８の1部省略の側面説明図である。
【図１０】テレスコープ式平面前後動装置400の要部縦断面の説明図である。
【図１１】テレスコープ式平面前後動装置400の伸張状態を示す側面説明図である。
【図１２】テレスコープ式平面前後動装置400上の載置装置500を示す平面説明図である。
【図１３】従来装置例を示す側断面説明図ある。
【図１４】図１３の平面説明図ある。
【符号の説明】
【００２３】
100                   レール式搬送走行装置
101                   ２本の走行用レール
102                   竪型ラックギヤー
103                   走行本体
104                   掴ガイド
105                   駆動ピニオン装置
106                   駆動ピニオン
107                   ベベルギヤー
108                   サーボモーター  
200                   円形レール式旋回装置
201                   円形レール
202                   回転駆動機構
203                   回転台
204                   円形レール用の掴ガイド
205                   回転作動盤
207                  回転駆動ギヤー
208                  回転方向変更ギヤー機構
206                  サーボモータ
208                  給電線用と信号専用のケーブルベア
300                  平行昇降リフト装置
301、302、303       コの字枠体
304                  縦ガイドレール
305                  縦スクリュー駆動軸装置
306                  スクリュー軸
307                  サーボモータ
308                  スクリュー軸端の支持具
309                  給電線用と信号専用のケーブルベア
400                  テレスコープ式平面前後動装置
401、402、403、404  格段横梁板付の４段ステージ
405                  被ガイドレール
406                  スクリュー部受け装置
407                  サーボモータ式スクリュー装置
408、409、410        水平ガイドレール
411、412、413       被ガイド掴みレール
414、415            ラックピニオン式相対移動機構
416                  竪型ラックギアー
417                  竪ピニオンギアー
418                  竪型ラックギアー
419                  竪型ラックギアー
420                  ピニオンギアー
421                  竪型ラックギアー
500                  載置装置
501、502             一対の可動水平アーム
503、504             ２対の載置コマ
507                  サーボモータ式アーム接近・離間機構
508                  サーボモータ式コマ接近・離間機構
510                  サーボモータ
511                  ベベルギャー
512、513            スクリュー軸
514、515            2対のアームガイド
516、517            スクリュー軸受け
518、519            被ガイド
520、521            サーボモータ
522、523            ２螺合方向スクリュー軸
Ｗ                   板状被処理材