(57)【要約】【課題】ガラス部材の凹面に形成した多層反射膜を反射膜とする反射鏡を用いた光源装置が、反射鏡の多層反射膜の絶縁性が低下し導電性を有するようになった場合の問題点を解決し、光源ランプに印加される電圧に対し絶縁性の確保された光源装置を提供する。【解決手段】光源ランプが発する光を反射し、光源装置の金属枠体に開口端部において当接する光源装置の反射鏡が、光源装置の金属枠体が当接した場合に、この金属枠体と前記凹状反射面に形成された反射膜とが電気的に絶縁されるように、反射鏡の反射膜と導線との間あるいは反射膜と貫通孔を貫通する導線との電気的絶縁を行う。【選択図】図１
2007173011.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を発する光源ランプと、
反射鏡の貫通孔を貫通し、前記光源ランプに給電を行う導線と
凹状の反射面を有するガラス基体、このガラス基体の表面に形成され、前記導線または金属枠体の少なくとも一方との間に電気的絶縁処理がなされている反射膜、前記反射面に形成され前記導線を貫通させる貫通孔、および金属枠体と当接する開口端部を有し、前記光源ランプが発する光を反射する反射鏡と、
前記反射鏡と前記開口端部にて当接し、装置の外形を構成する金属枠体と
を備えたことを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記反射膜の電気的絶縁処理が、前記開口端部において前記金属枠体との間でなされていることを特徴とする請求項１記載の光源装置。
【請求項３】
前記反射膜と前記金属枠体との間の電気的絶縁処理が、前記開口端部において、前記反射面と前記反射面の開口端部との角部の面取りによりなされていることを特徴とする請求項２記載の反射鏡。
【請求項４】
前記反射膜と前記金属枠体との間の電気的絶縁処理が、前記反射面の開口端部における前記金属枠体との接触面を研削することによりなされていることを特徴とする請求項２記載の光源装置。
【請求項５】
前記反射膜と前記金属枠体との間の電気的絶縁処理が、前記反射面の開口端部における前記金属枠体との接触面に絶縁材料を設けることによりなされていることを特徴とする請求項２記載の光源装置。
【請求項６】
前記反射面の開口端部における前記金属枠体との接触面に設ける絶縁材料が、前記反射面の開口端部における前記金属枠体との接触面に塗布された絶縁塗料であることを特徴とする請求項５記載の光源装置。
【請求項７】
前記絶縁塗料が、ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液であることを特徴とする請求項６記載の光源装置。
【請求項８】
前記反射面の開口端部における前記金属枠体との接触面に設ける絶縁材料が、前記反射面の開口端部における前記金属枠体との接触面に挟み込まれた絶縁シートであることを特徴とする請求項５記載の光源装置。
【請求項９】
前記反射膜の電気的絶縁処理が、前記貫通孔において前記導線との間でなされていることを特徴とする請求項１記載の光源装置。
【請求項１０】
前記反射膜と前記導線との間の電気的絶縁処理が、前記貫通孔周辺の反射膜を除去することによってなされていることを特徴とする請求項９記載の光源装置。
【請求項１１】
前記反射膜と前記導線との間の電気的絶縁処理が、前記貫通孔周辺の反射膜と前記導線との間に絶縁体が介在することによってなされていることを特徴とする請求項９記載の光源装置。
【請求項１２】
前記絶縁体が、貫通孔周辺の反射膜に塗布された絶縁塗料であることによりなされていることを特徴とする請求項１１記載の光源装置。
【請求項１３】
前記絶縁塗料が、ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液であることを特徴とする請求項１２記載の反射鏡。
【請求項１４】
前記絶縁体が、前記貫通孔周辺の反射膜を被覆する前記貫通孔に挿入された絶縁管であることによりなされていることを特徴とする請求項１１記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶プロジェクタなどの投影機器や照明機器に用いる光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
投影機器や照明機器などの光源装置では、背面に向かった光を反射させ前方に向ける反射鏡が重要な役割を果している。光源装置の反射鏡には、例えば特許文献１に記載されているように金属を用いるものや、特許文献２に記載されているようなガラスを用いたものがある。ガラスを用いた反射鏡は、回転放物面や回転楕円面をなす凹面を持つガラス基材のこの凹面に、例えばＳｉＯ２膜とＴｉＯ２膜が交互に２５ないし５０層積層された誘電体多層反射膜がスパッタリングや真空蒸着などの方法によって成膜されることにより、反射面が形成されている。この反射鏡の中央の首にあたる位置（首部）には、光源ランプの取り付け孔が形成され、またこの反射鏡の側部には、光源ランプに電圧を供給する導線を貫通させる貫通孔が形成されている。
【０００３】
光源ランプに対しては、貫通孔を貫通する導線と光源ランプの取り付け孔の背後に設けた電極に接続した導線を通じて光源ランプに給電することにより、光源ランプを点灯する。光源ランプが点灯すると、加熱により急激な温度上昇が生じるので、導線にはガラス部材と熱膨張係数のほぼ等しい導線として、例えばモリブデンの裸線が用いられる。
【０００４】
ところで、ガラス部材を用いた反射鏡を設けた光源装置では、ガラス部材が絶縁性であり、ガラス部材の凹面にＳｉＯ２膜やＴｉＯ２膜の誘電体多層反射膜が形成されると、これらの誘電体多層反射膜も従来から絶縁性と考えられてきたことから、これら誘電体多層反射膜と導線との間には電気的な絶縁を設ける必要はないとされ、実際、これらに電気的な絶縁はなされてこなかった。
【０００５】
本発明者らは、上記誘電体多層反射膜の性質について詳細に研究を行った結果、上記誘電体多層反射膜は、投影装置を長期間使用することによる光源ランプの熱の影響や成膜条件等により、反射膜に空孔が生じる場合がある。そして多少の空孔がある反射膜が湿度の高い環境に配置された場合などには、その空孔に水分が吸着することにより、絶縁性が低下し、導電性を示すようになり得ることを見出した。
【０００６】
ガラス部材の凹面に形成した誘電体多層反射膜を用いた従来の反射鏡の構成においては、誘電体多層反射膜が導電性を示すようになると、反射膜を通じ、導線と光源装置の金属枠体との間に導通が生じる可能性がある。光源ランプには比較的高い電圧が印加されるので、たとえ誘電体多層反射膜が導電性を示した場合でも、これらの間に導通が生じないよう、絶縁性を確保しておくことが肝要である。
【特許文献１】特開２００４−３０３４６８号公報
【特許文献２】特開２００４−３１３０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、誘電体多層反射膜が導電性になり得るという新しい知見に基いたものであって、これによって生じ得る新しい問題点に着目し、ガラス部材の凹面に形成した誘電体多層反射膜を反射膜とする反射鏡を用いた光源装置において、反射鏡の誘電体多層反射膜の絶縁性が低下し導電性を有した場合にも、絶縁性がよく確保された光源装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の光源装置は、光を発する光源ランプと、反射鏡の貫通孔を貫通し、前記光源ランプに給電を行う導線と、凹状の反射面を有するガラス基体、このガラス基体の表面に形成され、前記導線または金属枠体の少なくとも一方との間に電気的絶縁処理がなされている反射膜、前記反射面に形成され前記導線を貫通させる貫通孔、および金属枠体と当接する開口端部を有し、光源ランプが発する光を反射する反射鏡と、この反射鏡とこの反射鏡の開口端部にて当接し、装置の外形を構成する金属枠体とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の光源装置において、反射膜の電気的絶縁処理が、開口端部において金属枠体との間でなされていればよい。
【００１０】
この反射膜と前記金属枠体との間の電気的絶縁処理は、開口端部において、反射面と反射面の開口端部との角部の面取りによってなされていればよい。
【００１１】
また、この反射膜と前記金属枠体との間の電気的絶縁処理は、反射面の開口端部における金属枠体との接触面を研削することによってなされていてもよい。
【００１２】
また、この反射膜と前記金属枠体との間の電気的絶縁処理は、反射面の開口端部における前記金属枠体との接触面に絶縁材料を設けることによりなされていてもよい。この絶縁材料は、反射面の開口端部における金属枠体との接触面に塗布された絶縁塗料であってもよい。この絶縁塗料には、ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液を好ましく用いることができる。
【００１３】
また、絶縁材料は、反射面の開口端部における金属枠体との接触面に挟み込まれた絶縁シートであってもよい。
【００１４】
本発明の光源装置において、反射膜の電気的絶縁処理が、貫通孔において導線との間でなされていてもよい。
【００１５】
この反射膜と導線との間の電気的絶縁処理は、貫通孔周辺の反射膜を除去することによってなされていればよい。
【００１６】
また、この反射膜と導線との間の電気的絶縁処理は、貫通孔周辺の反射膜と前記導線との間に絶縁体が介在することによってなされていればよい。この絶縁体は、貫通孔周辺の反射膜に塗布された絶縁塗料であってもよい。その絶縁塗料として、ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液を好ましく用いることができる。
【００１７】
また、絶縁体は、貫通孔周辺の反射膜を被覆する貫通孔に挿入された絶縁管であってもよい。
【発明の効果】
【００１８】
上述したように、本発明の光源装置は、反射鏡のガラス基体の凹状の反射面に誘電体多層反射膜を設けてなる反射鏡を用い、この反射鏡の反射膜光源ランプに電圧を印加するための導線との間の絶縁が確保され、あるいは金属枠体と反射鏡の反射面に形成された反射膜とが電気的に絶縁されて反射鏡に当接されているので、反射膜の絶縁性が低下し導電性を有する場合にも、反射膜を通じ電流が光源装置の金属枠体に漏れることがない。このため、安全性が高く、光源ランプには電圧を安定に供給することができる。なお、これらの電気絶縁処理は、光源装置の照度に寄与する凹状反射面上の反射膜に電気絶縁処理を行わないため、光源装置としての性能を低下させるおそれはない。また、反射鏡の凹状反射面上の貫通孔近くに電気絶縁処理を行う場合も、反射鏡としての性能への影響は少ない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を具体的に説明する。
【００２０】
図１の（ａ）〜（e）は、本発明の反射鏡及び反射鏡が用いられた光源装置１００の一実施形態を模式的に示した図であって、図１の（ａ）はその全体図であり、（ｂ）および（ｃ）はそれぞれ、反射鏡１の開口端部９の付近および貫通孔６の付近を拡大した図であり、（ｄ）および（ｅ）はそれぞれ本発明の実施例を示したものである。
【００２１】
図１（ａ）において、光源装置１００は、反射鏡１、反射鏡１の中央の首部に固定された光源ランプ２、光源ランプ２に電圧を供給するための導線３ａ，３ｂ、および反射鏡を当接し固定する金属枠体４を有している。なお、反射鏡１の凹状の反射面５には、光源ランプの導線３ａを貫通させる貫通孔６が設けられている。
【００２２】
この反射鏡１は、ホウケイ酸ガラスをプレス成形したガラス基体７の凹状の反射面５に反射膜８を設けたものである。また反射膜８は、ＴｉＯ2とＳｉＯ2を交互に３０層積層した多層にすることにより、可視光線を反射する誘電体多層反射膜である。この反射膜８は、反射面５に成膜されるが、その際に一部は反射面５の開口端部９にも成膜される。ここに開口端部９は、反射面５の最外周に位置する環状の部分であり、反射鏡１はこの開口端部９において金属枠体４と当接して固定されている。
【００２３】
また光源ランプ２の導線３ａ，３ｂのうちの３ａは、反射鏡の貫通孔６を通り、貫通孔６にかしめられた金属製の端子１０に固定され、図には示されていない点灯装置に接続されている。
【００２４】
本発明の反射鏡１のガラス基体７には、上記のプレス成形したホウケイ酸ガラスのほかに、結晶化ガラスやアルミノシリケートガラスなどの耐熱性の高いガラスを使用することができる。
【００２５】
また反射膜８には、上記のＴｉＯ2とＳｉＯ2を交互に成膜した多層膜のほか、Ｔａ2Ｏ5／ＳｉＯ2系やＮｂ2Ｏ5／ＳｉＯ2系などの多層膜を使用することかできる。
【００２６】
また光源ランプ２には、高圧水銀放電光源ランプや高圧キセノン放電光源ランプなどが用いられる。また端子１０は省略され、貫通孔６だけであってもよい。
【００２７】
例えば多少の空孔を有する反射膜８が、湿度の高い環境に配置されると空孔に水分が吸湿して電気的な絶縁性が低くなり、導電性を示すようになる。こうした状況のもとでは、光源ランプ２の点灯のために導線３ａを通じてパルス高電圧が印加されると、導線３ａから端子１０へ、端子１０から反射膜８へ、さらに反射膜８から金属枠体４へと電流が流れるようになる。このようにして電流が流れると、安全を確保する上で問題が生じ、また光源ランプを点灯させるために必要な電圧も十分に確保されなる。パルス高電圧を印加する際には、この導線側を低電位側にすることにより、光源装置の外側を占める金属枠体４が高電位にならないようにできるものの、安全を確保する上から、導線３ａと金属枠体との間の絶縁性を確保しておくことが求められる。
【００２８】
図１の（ｂ）に示したように、反射鏡１の反射面５に成膜された反射膜８の延長が、反射鏡１の開口端部９を覆うように成膜されており、これに金属枠体４が当接されると、金属枠体４が反射膜８に接続される。従って導線３ａが貫通孔にて反射膜８に接続されており、反射膜８が導電性を持つようになると、金属枠体４は導線３ａと同電位を示すようなる可能性がある。
【００２９】
そこで図１の（ｅ）に示したように、貫通孔の周囲に成膜された反射膜を除去した反射膜除去部１２を設けることにより、導線３ａと反射面５に形成された反射膜８とを電気的に絶縁することができる。
【００３０】
貫通孔６の周囲に成膜された反射膜を除去することにより、導線３ａと反射面５の反射膜８とを電気的に絶縁する方法は、上記の反射膜を除去する方法のほか、絶縁塗料を塗布する方法、貫通孔に絶縁管を取り付ける方法など、さまざまな方法を用いることができる。
【００３１】
また、図１の（ｄ）に示したように、反射鏡の開口端部に成膜された反射膜の少なくとも一部を除去することにより、金属枠体４と反射面５に形成された反射膜８とを電気的に絶縁することができる。
【００３２】
金属枠体４と反射面５に形成された反射膜８とを電気的に絶縁するための開口端部に成膜された反射膜の除去方法は、どのような方法であってもよく、例えば図に示した縁の部分を面取りするほか、金属枠体４が当接される面を研削するなどの方法を用いることができる。
【００３３】
（実施例１）
ホウケイ酸ガラスをプレス成形したガラス基体に、反射膜８として、ＴｉＯ2とＳｉＯ2の交互３０層の多層可視光線反射膜を真空蒸着法によって成膜することにより、図１に反射鏡１として示された構成のものを得た。この反射鏡１の反射膜８は、ガラス基体の凹状反射面に対し成膜を行ったものであるが、その際に凹状反射面の開口端部９にも成膜された。
【００３４】
この反射鏡の開口端部９の金属枠体に当接する面を研削し、この部分に成膜された反射膜を除去した。図２は、実施例１における反射膜除去の状況を模式的に示した図であり、反射鏡１の開口端部９の金属枠体４に当接する面を面研削し、この部分に形成された反射膜を除去した状況を模式的に示したものである。この面研削は、反射鏡１の開口端部９を回転砥石に押し付けることによって行い、反射膜を除去した。この面研削加工においては、膜除去時に研削粉が反射鏡１に付着するので、研削粉をクリーンな高圧エアによって吹き飛ばし、さらに洗浄機にて洗浄処理した。この結果、図２において、反射膜８と金属枠体４の間の接触が除かれた。
【００３５】
（実施例２）
実施例１と同じ方法で製作した反射鏡１について、開口端部の面取り加工を行った。図３は実施例２において、反射面５と開口端部９との境界部を開口端部の全周にわたり１ｍｍ面取りした状況を模式的に示したものである。面取りは、砥石の先端工具を取り付けた小型のハンドリューターを使用して行った。この面取り加工の場合にも、研削粉が反射鏡１に付着するため、これをクリーンな高圧エアによって吹き飛ばし、さらに洗浄機にて洗浄処理した。
【００３６】
図３において、開口端部に形成された反射膜と金属枠体４の面状の接触はそのままであるが、反射面５の反射膜８と金属枠体４との直接の接触は除かれている。
【００３７】
（実施例３、実施例４）
実施例１と同じ方法で製作した反射鏡１について、開口端部の面取り加工を行った。図４および図５はそれぞれ実施例３および実施例４の状況を模式的に示した図である。これらは、実施例２における面取り量が１ｍｍであるのに対し、面取り量をそれぞれ２ｍｍおよび３ｍｍと変えることにより、反射面５と開口端部９との境界部を面取りした形となったものである。
【００３８】
（実施例５）
実施例１と同じ方法で製作した反射鏡１について、開口端部９の面研削と面取り加工との両方を行った。図６はこの実施例５の状況を模式的に示した図であって、実施例１に示した面研削と実施例２に示した面取り１ｍｍとの両方を施した状況を模式的に示した。
【００３９】
（比較例１）
上記した各実施例のような加工による開口端部の電気絶縁処理を行わない場合の反射鏡を上記各実施例に対する比較例とした。
【００４０】
これら実施例１〜５で加工した各反射鏡および比較例の反射鏡１を、図１に示した構造の光源装置の反射鏡１として組み込み、この反射鏡１を金属枠体４にセットし、絶縁抵抗測定を行った。絶縁抵抗計の一方（クリップ側の低電位側）を金属枠体４に挟み、もう一方（プローブ側の高電位側）を反射膜８の貫通孔６にかしめた端子１０に当てることによって測定した。この測定では、横河Ｍ＆C社のデジタル絶縁抵抗計２４０６Ｄ.を使用した。
【００４１】
以上の各実施例および比較例１についての測定結果を表１に示す。
【表１】
2007173011.tif 000003
【００４２】
反射鏡の開口端部９の電気絶縁処理を行わない比較例１では、絶縁抵抗が低いのに対し、開口端部９の反射膜に対して電気絶縁処理を行った実施例１〜５では、いずれも反射膜８と金属枠体４との間の高い絶縁抵抗値を得ることができ、反射膜除去などによる絶縁の効果を確認することができた。これらの電気絶縁処理により、光源装置の安全性が高まり、またランプを点灯させるために必要な電圧が確保されて点灯状態も安定することがわかった。
【００４３】
なお、表１には、このようにして求めた絶縁抵抗値のほかに、各実施例における反射鏡１個あたりの開口端部の加工処理（面研削または除去処理）に要する時間を計測し、これを処理時間として示した。この処理時間は実験段階のものであるが、いずれも短時間で処理できることがわかり、専用除去装置を製作して加工すれば、処理時間がさらに短縮でき、より効果の高い加工方法を適用することが可能となるものと考えられる。
【００４４】
（実施例６）  
実施例１と同じ方法で製作した反射鏡１について、図７に示したように開口端部９に絶縁塗料（ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液）を1度塗布し、硬化させて絶縁層１１を設けた。こうすることにより、金属枠体４が当接されても、反射鏡１の反射膜と金属枠体４との間が絶縁されるようにした。
【００４５】
この実施例６で加工した反射鏡を金属枠体にセットし、先の実施例１〜５の場合と同じ装置を用い、同じ方法にて、絶縁抵抗の測定を行った。その結果、１回の塗布で厚さ０．７μｍの厚さの絶縁層を得たものでは、絶縁抵抗として５３０ＭΩが得られ、また、２回の塗布で厚さ１．３μｍの厚さの絶縁層を得たものでは絶縁抵抗として６１０ＭΩが得られた。さらに塗膜の代わりに絶縁膜としてシリコーンゴムのシートを用いた場合とフッ素ゴムのシートを用いた場合についても、測定を行った結果、それぞれ１８００ＭΩと１７００ＭΩの絶縁抵抗が得られた。
【００４６】
（実施例７）
図８は実施例７における反射鏡の貫通孔６の近くを図示したものである。図８に示されているように、反射鏡１の反射面５に成膜された反射膜８のうち、貫通孔６から２ｍｍの範囲の反射膜だけを除去して、反射膜除去部１２を設けた。除去方法として、ボール盤を用い、反射膜が除去できる程度のザグリ加工を行った。この反射膜除去部１２を設けることによって、端子と反射膜とが接触していない状態にした。
【００４７】
（実施例８）
図９は実施例８における反射鏡の貫通孔６の近くを模式的に図示したものである。図９において、貫通孔６周辺の周囲２ｍｍの範囲の反射膜上に、凹状の反射面５の側と反射鏡１の外側の両側から、絶縁塗料（ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液）を1度塗布し、絶縁塗料層１３を設けた。
【００４８】
（実施例９）
実施例８における貫通孔６周辺への絶縁塗料塗布を２回に増した。即ち、反射膜上の周囲幅２ｍｍの範囲に、凹状の反射面５の側と反射鏡１の外側の両側に、絶縁塗料（ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液）を２度塗布した。
【００４９】
（実施例１０）
貫通孔６周辺の周囲２ｍｍの範囲の反射膜上に、凹状の反射面５の側と反射鏡１の外側の両側から、絶縁塗料（チタン系セラミックス樹脂塗料の有機溶媒溶液）を1度塗布し、図９の絶縁塗料層１３を設けた。
【００５０】
（実施例１１）
図１０は実施例１１における反射鏡の貫通孔６の近くを模式的に図示したものである。図１０において、貫通孔６に絶縁管（フッ素樹脂ＰＦＡ製チューブ）１４を挿入した。
【００５１】
（比較例２）
実施例６〜１１に対する比較例として、実施例６〜１１と同じ条件で製作を行い、絶縁処理をしていない反射鏡を用意した。
【００５２】
実施例８および実施例９で用いた絶縁塗料（ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液）は、この溶液を塗布、硬化することにより、シリカ膜を形成することができる。実施例８および実施例９では、ＡＺ  エレクトロニックマテリアルズ社製のアクアミカ  ＮＬ１２０Ａを用いた。塗布方法は、綿棒を用いた塗布を行い、電気炉で３００℃×１時間熱処理し、硬化膜を形成した。実施例８の絶縁塗料の硬化膜は、凹状の反射面部側で０．６μｍであった。また、実施例９の絶縁塗料の硬化膜は、凹状反射面部５側で１．２μｍであった。なお、端子は絶縁塗料の硬化膜を形成後に取り付けた。
【００５３】
実施例１０で用いた絶縁塗料は、オキツモ社製のチラノコート  ＴＹＲ−ＥＩ−１００である。実施例８と同様の方法で絶縁塗料の硬化膜を形成した。実施例１１では、端子と反射膜とが接触しないよう、絶縁管を貫通孔に挿入し、端子を絶縁管に挿入してから、かしめて取り付けた。
【００５４】
これら実施例７〜１１で加工した各反射鏡および比較例の反射鏡１を、図１に示した構造の光源装置の反射鏡１として組み込み、この反射鏡１を金属枠体４にセットし、絶縁抵抗測定を行った。絶縁抵抗計の一方（クリップ側の低電位側）を金属枠体４に挟み、もう一方（プローブ側の高電位側）を反射膜８の貫通孔６にかしめた端子１０に当てることによって測定した。この測定では、横河Ｍ＆C社のデジタル絶縁抵抗計２４０６Dを使用した。
【００５５】
以上の各実施例および比較例についての測定結果を表２に示す。
【表２】
2007173011.tif 000004
【００５６】
反射鏡の貫通孔の電気絶縁処理を行わない比較例２では、反射膜８と金属枠体４との間の絶縁抵抗が低いのに対し、貫通孔の電気絶縁処理を行った実施例７〜１１では、いずれも反射膜８と金属枠体４との間の高い絶縁抵抗値を得ることができ、反射膜除去などによる絶縁の効果を確認することができた。これらの電気絶縁処理により、金属枠体４が光源ランプの電源に対し絶縁され、光源装置の安全性が高まることがわかった。
【００５７】
（実施例１２）
実施例７で実施したと同様に、反射鏡１の反射面５に成膜された反射膜８のうち、貫通孔６から２ｍｍの範囲の反射膜だけを除去したことに加えて、反射鏡の開口端部の金属枠体と当接する面に成膜されている反射膜を面研削によって除去した。ここで行った面研削は、反射鏡１の開口端部の金属枠体と当接する面を回転砥石に押し付ける方法によって行った。
【００５８】
（実施例１３）
実施例７で実施したと同様に、反射鏡１の反射面５に成膜された反射膜８のうち、貫通孔６から２ｍｍの範囲の反射膜だけを除去したことに加えて、反射鏡の開口端部の金属枠体との当接部に絶縁塗料を塗布した。
【００５９】
ここで用いた絶縁塗料は、ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液（ＡＺ  エレクトロニックマテリアルズ社製のアクアミカ  ＮＬ１２０Ａ）であり、この溶液を塗布、硬化することにより、シリカ膜を形成することができた。塗布には綿棒を用い、電気炉で３００℃にて１時間熱処理して硬化を行い、硬化膜（０．６μｍ）を形成した。
【００６０】
（実施例１４）
実施例７で実施したと同様に、反射鏡１の反射面５に成膜された反射膜８のうち、貫通孔６から２ｍｍの範囲の反射膜だけを除去したことに加えて、開口端部９の反射面５と開口端部９との境界部を開口端部の全周にわたり１ｍｍ面取りした。面取り加工は、砥石の先端工具を取り付けた小型のハンドリューターを使用して行った。
【００６１】
これら実施例１２〜１４で製作した反射鏡を、先と同じ条件にて図１に示した構造の光源装置の反射鏡１として組み込み、絶縁抵抗測定を行った。
【００６２】
この結果を表３に示す。
【表３】
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【００６３】
実施例１２〜１４の結果から、貫通孔における電気絶縁処理と併せて、反射鏡の開口端部と金属枠体との当接部に、絶縁塗料を塗布したり、開口端部の反射膜を除去したり、開口端部の反射膜を面取りした反射鏡を用いることにより、絶縁抵抗値をより大きくすることが可能となり、導線の光源装置の金属枠体との間の電気絶縁が確保できることがわかった。
【００６４】
また、実施例１３では、反射鏡の開口端部に成膜されている反射膜の上に、絶縁塗料を塗布することにより、反射膜と金属枠体との間の絶縁を行ったが、絶縁塗料の代わりに、絶縁シートを挿入することによっても、同等の効果を得ることができる。
【００６５】
上記実施例で用いた絶縁塗料以外に、耐熱性は少しシリカ膜には劣るものの、フッ素樹脂系やシリコーン樹脂系、ポリイミド系の塗料も用いることができる。
【００６６】
また上記実施例では、反射鏡の外面側にまで絶縁塗料や絶縁管を設ける絶縁処理を行ったが、端子もしくは外部リード線と反射膜とが直接接しないようにに、少なくとも反射膜を被覆することができれば、同等の効果が得られる。例えば端子を用いない場合には、絶縁塗料を貫通孔周辺の反射膜上から貫通孔内面の厚さ方向の中間部まで塗布し、反射鏡の外側までは塗布しない場合でも、十分な効果が得ることが可能である。また、絶縁管の場合も同様であって、反射膜と導線もしくは端子が接触しない程度の絶縁管の大きさであれば、その長さが貫通孔内面の厚さ方向の中間部までの長さであっても同様の効果を得ることが可能である。
【００６７】
（実施例１５）
実施例１１と同様に貫通孔６に絶縁管（フッ素樹脂ＰＦＡ製チューブ）を挿入したほか、反射鏡の開口端部の金属枠体と当接する個所に絶縁塗料を塗布した。ここでは絶縁塗料として、ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液（ＡＺ  エレクトロニックマテリアルズ社製のアクアミカ  ＮＬ１２０Ａ）を用い、この溶液を塗布し硬化することにより、シリカ膜を形成した。塗布方法は、綿棒にて行い、電気炉にて３００℃で１時間熱処理して硬化を行い、硬化膜（０．６μｍ）を形成した。
【００６８】
（実施例１６）
実施例８と同様に、貫通孔６周辺の反射膜上の周囲幅２ｍｍの範囲に、反射鏡１の反射面５側と反射鏡１の外側の両側に、絶縁塗料（ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液）を1度塗布したのに加えて、反射面５と開口端部９との境界部を開口端部の全周にわたり１ｍｍ面取りした。面取り加工は、砥石の先端工具を取り付けた小型のハンドリューターを使用して行った。
【００６９】
これら実施例１５〜１６で製作した反射鏡を、先と同じ条件にて図１に示した構造の光源装置の反射鏡１として組み込み、絶縁抵抗測定を行った。
【００７０】
この結果を表４に示す。
【表４】
2007173011.tif 000006
【００７１】
実施例１５〜１６の結果より、絶縁塗料や絶縁管等を用いた貫通孔における電気絶縁処理とあわせて、反射鏡の開口端部と金属枠体との当接部に、絶縁塗料を塗布したり、開口端部の反射膜を面取りした反射鏡を用いることにより、絶縁抵抗値をより大きくすることが可能となり、導線の光源装置の金属枠体との間の電気絶縁が確保できることがわかった。
【００７２】
また、実施例１５では、反射鏡の開口端部の反射膜上に絶縁塗料を塗布することにより、反射膜と金属枠体との間の絶縁を行ったが、絶縁塗料の代わりに、絶縁シートを挿入することにより、同等の効果を得ることができる。
【００７３】
（実施例１７）
実施例１で行った開口端部９の面研削加工に加えて、実施例８と同様に貫通孔６周辺に絶縁塗料を塗布し、反射膜８と導線３ａとの間の絶縁を行った。
【００７４】
（実施例１８）
実施例２で行った開口端部９の面取り加工に加えて、実施例８と同様に貫通孔６周辺に絶縁塗料を塗布し、反射膜８と導線３ａとの間の絶縁を行った。
【００７５】
実施例１７及び実施例１８では、貫通孔６周辺に塗布し絶縁する絶縁塗料として、ペルヒドロポリシラザンの有機溶媒溶液（ＡＺ  エレクトロニックマテリアルズ社製のアクアミカ  ＮＬ１２０Ａ）を用いた。この溶液を綿棒を用いて貫通孔６周辺に塗布し、電気炉にて３００℃×１時間熱処理を行って硬化することにより、シリカ膜の硬化膜（０．６μｍ）を形成した。
【００７６】
（実施例１９）
実施例１で行った開口端部９の面研削加工に加え、実施例１１と同様に貫通孔６にフッ素樹脂ＰＦＡ製絶縁管を挿入し、反射膜８と導線３ａとの間の絶縁を行った。
【００７７】
（実施例２０）
実施例２で行った開口端部９の面取り加工に加え、実施例１１と同様に貫通孔６にフッ素樹脂ＰＦＡ製絶縁管を挿入し、反射膜８と導線３ａとの間の絶縁を行った。
【００７８】
実施例１９および実施例２０では、端子と反射膜とが接触しないよう、絶縁管を貫通孔に挿入し、端子を絶縁管に挿入してから、かしめて取り付けた。
【００７９】
（実施例２１）
実施例１で行った開口端部９の面研削加工に加え、実施例７と同様に貫通孔の外側周辺の２ｍｍの反射膜を除去し、反射膜８と導線３ａとの間の絶縁を行った。
【００８０】
（実施例２２）
実施例２で行った開口端部９の面取り加工に加え、実施例７と同様に貫通孔の外側周辺の２ｍｍの反射膜を除去した。
【００８１】
実施例２１及び実施例２２では、ボール盤を用いて、反射膜が除去できる程度のザグリ加工を行った。
【００８２】
実施例１７〜２２で加工した各反射鏡を金属枠体にセットし、先の実施例１〜５の場合と同じ装置を用い、同じ方法にて、絶縁抵抗の測定を行った。測定結果を表５に示す。
【表５】
2007173011.tif 000007
【００８３】
表５に示されている通り、実施例１７〜実施例２２の結果から、開口端部の面研削や面取り等の反射膜と金属枠体との電気絶縁処理と併せて、貫通孔周辺の反射膜と導線との電気絶縁処理を行うことにより、絶縁抵抗値をさらに大きくすることができることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明によれば、ガラス基体の反射面に誘電体多層反射膜を設けた反射鏡の反射膜と反射鏡に当接する金属枠体との間の電気的絶縁性が確保される。このため、反射膜の絶縁性が低下し導電性を有した場合にも、光源ランプに電圧を印加した際に反射膜を通じ電流が光源装置の金属枠体に漏れることがないので、安全性が高く、光源ランプに対しては電圧を安定して印加することができる。従って産業上の利用可能性は大きい。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の反射鏡及び反射鏡が用いられる光源装置の一実施形態を模式的に示した図である。
【図２】実施例１における反射膜除去の状況を示した図であって、反射鏡の開口端部の金属枠体に当接する面を面研削し、この部分に形成された反射膜を除去した状況を模式的に示した図である。
【図３】実施例２における開口端部の反射面との境界部を１ｍｍ面取りした状況を模式的に示した図である。
【図４】実施例３の状況を模式的に示した図である。
【図５】実施例４の状況を模式的に示した図である。
【図６】実施例５の状況を模式的に示した図である。
【図７】実施例６の状況を模式的に示した図である。
【図８】実施例７における反射鏡の貫通孔付近の状況を図示したものである。
【図９】実施例８における反射鏡の貫通孔付近の状況を図示したものである。
【図１０】実施例１１における反射鏡の貫通孔付近の状況を図示したものである。
【符号の説明】
【００８６】
１…反射鏡、２…光源ランプ、３…導線、４…金属枠体、５…反射面、６…貫通孔、７…ガラス基体、８…反射膜、９…開口端部、１０…端子、１１…絶縁層、１２…反射膜除去部、１３…絶縁塗料層、１４…絶縁管、１００…光源装置。
【図１】
2007173011.tif 000008
【図２】
2007173011.tif 000009
【図３】
2007173011.tif 000010
【図４】
2007173011.tif 000011
【図５】
2007173011.tif 000012
【図６】
2007173011.tif 000013
【図７】
2007173011.tif 000014
【図８】
2007173011.tif 000015
【図９】
2007173011.tif 000016
【図１０】
2007173011.tif 000017