(57)【要約】【課題】色シェーディング特性の劣化させずにカメラを小型化、薄型化することができる固体撮像装置を提供する。【解決手段】本発明の固体撮像装置は、受光面を構成する複数の受光部と、前記複数の受光部に対応する複数のカラーフィルタと、前記複数のカラーフィルタに対応する複数のマイクロレンズとを有する固体撮像装置であって、前記受光面の中央部における前記カラーフィルタは対応する受光部の真上に位置し、前記複数のカラーフィルタは、色が異なる第１の色、第２の色および第３の色のカラーフィルタをそれぞれ複数個含み、前記受光面の周辺部における各カラーフィルタの位置は、対応する受光部の真上の位置から前記中央部方向にずれており、少なくとも第１の色のカラーフィルタのずれ量は、隣接する第２の色または第３色のカラーフィルタのずれ量と異なっている。【選択図】図１
2007288107.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面を構成する複数の受光部と、
前記複数の受光部に対応する複数のカラーフィルタと、
前記複数のカラーフィルタに対応する複数のマイクロレンズとを有する固体撮像装置であって、
前記受光面の中央部における前記カラーフィルタは対応する受光部の真上に位置し、
前記複数のカラーフィルタは、色が異なる第１の色、第２の色および第３の色のカラーフィルタをそれぞれ複数個含み、
前記受光面の周辺部における各カラーフィルタの位置は、対応する受光部の真上の位置から前記中央部方向にずれており、
少なくとも第１の色のカラーフィルタのずれ量は、隣接する第２の色または第３色のカラーフィルタのずれ量と異なっている
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記受光面の中央部における前記マイクロレンズは対応する受光部の真上に位置し、
前記受光面の周辺部における、マイクロレンズの位置は対応する受光部の真上の位置から前記中央部方向にずれており、
少なくとも第１の色のカラーフィルタに対応するマイクロレンズのずれ量は、隣接する他の第２の色のカラーフィルタに対応するマイクロレンズのずれ量と異なっている
ことを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記ずれ量は、第１、第２および第３のカラーフィルタの各色に応じて異なっていることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記ずれ量は、第１、第２および第３のカラーフィルタの各屈折率に応じて異なっていることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記複数のカラーフィルタは第１、第２および第３のカラーフィルタの３種類を含み、
前記第１のカラーフィルタの屈折率は前記第２のカラーフィルタよりも小さく、
前記第２のカラーフィルタの屈折率は前記第３のカラーフィルタよりも小さく、
前記第１のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第２のカラーフィルタよりも小さく、
前記第２のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第３のカラーフィルタよりも小さい
ことを特徴とする請求項１の固体撮像装置。
【請求項６】
前記複数のカラーフィルタは第１、第２および第３のカラーフィルタの３種類を含み、
前記第１のカラーフィルタの屈折率は前記第２のカラーフィルタと同じであり、
前記第２のカラーフィルタの屈折率は前記第３のカラーフィルタよりも小さく、
前記第１のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第２のカラーフィルタと同じであり、
前記第２のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第３のカラーフィルタよりも小さい
ことを特徴とする請求項１の固体撮像装置。
【請求項７】
前記複数のカラーフィルタは第１、第２および第３のカラーフィルタの３種類を含み、
前記第１のカラーフィルタの屈折率は前記第２のカラーフィルタよりも小さく、
前記第２のカラーフィルタの屈折率は前記第３のカラーフィルタと同じであり、
前記第１のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第２のカラーフィルタよりも小さく、
前記第２のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第３のカラーフィルタと同じである
ことを特徴とする請求項１の固体撮像装置。
【請求項８】
前記固体撮像装置は２層以上の金属配線層を有するＭＯＳ型固体撮像装置であることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項９】
請求項１記載の固体撮像装置を備えることを特徴とするカメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シェーディング量、特に色シェーディングを改善した固体撮像装置およびカメラに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ディジタルスチルカメラ（以下、ＤＳＣ）ディジタルムービーカメラ（以下、ムービー）、カメラ付き携帯電話等の小型化、高性能化の要求が高まっている。そのため、固体撮像装置のチップサイズの縮小と画素数の増加とが同時に進行し、さらにカメラの小型化、薄型化が進行し、短射出瞳距離化が進んでいる。ここで射出瞳とは受光面から見たレンズ（あるいは絞り）の虚像をいい、射出瞳距離とはレンズ、受光面から射出瞳までの距離をいう。
【０００３】
以下、図面を参照しながら、特許文献１に記載された固体撮像装置について説明する。
図５は従来技術の固体撮像装置を示した構造断面を示す模式図である。同図は、射出瞳距離と受光部への光入射角との関係を示している。
【０００４】
カメラレンズ１００を介し、光が入射する。光路１０１のようにレンズで集光された光はある点で集光し、その先で固体撮像装置１１０の受光面に入射される。ここで、カメラレンズ１００と固体撮像装置１１０の間に発生する焦点から、カメラレンズ１１０までの距離が射出瞳距離１０２である。この射出瞳距離１０２によって、固体撮像装置１１０の受光面へ入射する光の角度が決定される。受光面の中央部での入射角がほぼ垂直であるのに対して、周辺部への入射角は最外周入射角１０３のように小さくなる。カメラの小型化、薄型化に伴って、この射出瞳距離１０２も短くなる。射出瞳距離１０２が短くなるに従って、最外周入射角１０３はさらに大きくなる。
【０００５】
このように、射出瞳距離が短いほど、最外周入射角が大きくなる。近年のカメラの薄型化に伴い、ますます最外周入射角が大きくなりつつある。
【０００６】
周辺部の画素への光は斜め光になるので、中央部の画素と比べて出力が低下する。有効画素中央に対して周辺画素が出力低下する挙動を"シェーディング"と呼ぶ。シェーディングは画質を著しく低下させる要因となる。
【０００７】
特許文献１に示された従来技術の固体撮像装置は、周辺部におけるカラーフィルタの位置を中央部の方向にずらすことにより、周辺画素の出力低下を低減している。
【０００８】
また、特許文献２にはシェーディング対策としてフィルタごとに屈折率を補正する屈折率補正層を設けた固体撮像装置が示されている。
【特許文献１】特開２００１−１６０９７３
【特許文献２】特開２００５−１０１２６６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
固体撮像装置のカラーフィルタは、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタごとに屈折率が異なることが一般的である。そのため、特許文献１の示された従来技術の固体撮像装置のようにカラーフィルタの位置にずらしを加えても、各カラーフィルタの集光位置が異なるため、各フィルタの出力比率を中央部分に対して合わせることができず、色間のバランスのとれた色シェーディング特性を得ることが出来ないという第１の課題を有している。
【００１０】
この課題に対しては、特許文献２のようにカラーフィルタごとに屈折率を補正する屈折率補正層を設けることも考えられるが、この場合は屈折率補正層によって膜厚が厚くなり、さらに屈折率補正層自身の透過率により光が減衰し感度特性が劣化する場合があるという第２の課題を有している。
【００１１】
上記課題に鑑み本発明は、色シェーディング特性の劣化させずにカメラの小型化、薄型化することができる固体撮像装置およびカメラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため本発明の固体撮像装置は、受光面を構成する複数の受光部と、前記複数の受光部に対応する複数のカラーフィルタと、前記複数のカラーフィルタに対応する複数のマイクロレンズとを有する固体撮像装置であって、前記受光面の中央部における前記カラーフィルタは対応する受光部の真上に位置し、前記複数のカラーフィルタは、色が異なる第１の色、第２の色および第３の色のカラーフィルタをそれぞれ複数個含み、前記受光面の周辺部における各カラーフィルタの位置は、対応する受光部の真上の位置から前記中央部方向にずれており、少なくとも第１の色のカラーフィルタのずれ量は、隣接する第２の色のカラーフィルタのずれ量と異なっている。この構成によれば、受光面の周辺部分において、カラーフィルタのずれ量を色毎に最適に設定できるので、受光部への集光効率を向上させることができる。その結果、色シェーディングの発生を防止することができる。それゆえ、射出瞳距離の短縮を可能にし、カメラの小型化、薄型化を実現できる。
【００１３】
ここで、前記受光面の中央部における前記マイクロレンズは対応する受光部の真上に位置し、前記受光面の周辺部における、マイクロレンズの位置は対応する受光部の真上の位置から前記中央部方向にずれており、少なくとも第１の色のカラーフィルタに対応するマイクロレンズのずれ量は、隣接する他の第２の色のカラーフィルタに対応するマイクロレンズのずれ量と異なっている構成としてもよい。この構成によれば、マイクロレンズのずれ量も対応するカラーフィルタの色毎に最適化するので、色毎に受光部への集光効率を向上させることができる。その結果、色シェーディングの発生を防止することができる。それゆえ、射出瞳距離の短縮を可能にし、カメラの小型化、薄型化を実現できる。
【００１４】
ここで、前記ずれ量は、第１、第２および第３のカラーフィルタの各色に応じて異なっている構成としてもよいし、あるいは第１、第２および第３のカラーフィルタの各屈折率に応じて異なっている構成としてもよい。
【００１５】
ここで、前記複数のカラーフィルタは第１、第２および第３のカラーフィルタの３種類を含み、前記第１のカラーフィルタの屈折率は前記第２のカラーフィルタよりも小さく、前記第２のカラーフィルタの屈折率は前記第３のカラーフィルタよりも小さく、前記第１のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第２のカラーフィルタよりも小さく、前記第２のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第３のカラーフィルタよりも小さいように構成してもよい。
【００１６】
また、前記複数のカラーフィルタは第１、第２および第３のカラーフィルタの３種類を含み、前記第１のカラーフィルタの屈折率は前記第２のカラーフィルタと同じであり、前記第２のカラーフィルタの屈折率は前記第３のカラーフィルタよりも小さく、前記第１のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第２のカラーフィルタと同じであり、前記第２のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第３のカラーフィルタよりも小さいように構成してもよい。
【００１７】
ここで、前記複数のカラーフィルタは第１、第２および第３のカラーフィルタの３種類を含み、前記第１のカラーフィルタの屈折率は前記第２のカラーフィルタよりも小さく、前記第２のカラーフィルタの屈折率は前記第３のカラーフィルタと同じであり、前記第１のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第２のカラーフィルタよりも小さく、前記第２のカラーフィルタの前記ずれ量は前記第３のカラーフィルタと同じであるように構成してもよい。
【００１８】
また、前記固体撮像装置は２層以上の金属配線層を有するＭＯＳ型固体撮像装置であってもよい。
【００１９】
発明のカメラは、上記の固体撮像装置を備えるので、上記と同様の作用効果を奏する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の固体撮像装置においては、有効画素部の周辺部分であっても、どの色も受光部に同じように集光させることができる。その結果、色シェーディングの発生を防止することができる。それゆえ、射出瞳距離の短縮を可能にし、カメラの小型化、薄型化を実現できる。
【００２１】
本発明の固体撮像装置は、カラーフィルタの屈折率の違いに起因する受光部における集光状態の違いを、カラーフィルタ以降の実質的な光の入射角に最適化することが可能であるため、どの色も同じように受光部に集光させることができる。
【００２２】
その結果、周辺部分でも中央と同様の色バランスとなり、色シェーディングの発生を防止することが可能となる。
【００２３】
それゆえ、射出瞳位置の短縮、すなわちカメラの小型化、薄型化に大きく貢献する。
なお、本発明の構造は、受光部が２層以上の金属配線層で構成される場合、特に効果が大きい。
【００２４】
また、本発明の固体撮像装置を搭載したカメラに関しても同様の利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
（第１の実施形態）
本実施形態における固体撮像装置では、受光面の中央部におけるカラーフィルタは対応する受光部の真上に位置し、受光面の周辺部における各カラーフィルタの位置は、対応する受光部の真上の位置から前記中央部方向にずれており、各カラーフィルタのずれ量は、隣接する他の色のカラーフィルタのずれ量と異なっていることを特徴とする。
【００２６】
図１は本発明の固体撮像装置の一例を示す上面図である。同図左側は、固体撮像装置の受光面１０におけるカラーフィルタの配列を示し、同図右側は、左側右下の破線枠部の拡大図を示す。また、図２は、固体撮像装置の一例を示す断面図である。
【００２７】
受光面１０は、光学的黒画素を除く有効画素からなる撮像領域を表す。半導体基板上に形成されマトリクス状に配置された複数の受光部１８と、複数の受光部１８に対応する複数のカラーフィルタからなるカラーフィルタ群１１と、前記複数のカラーフィルタに対応する複数のマイクロレンズ１５とを有する。さらに、図２に示すように、固体撮像装置は、１層部配線１６、２層目配線１７を有する。
【００２８】
カラーフィルタ群１１は、色が異なる第１の色、第２の色および第３の色のカラーフィルタをそれぞれ複数個含み、同図では赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４の三種類からなる。
【００２９】
受光面１０の中央部におけるカラーフィルタは対応する受光部１８の真上に位置する。一方、受光面１０の周辺部における各カラーフィルタの位置は、対応する受光部の真上の位置から中央部の方向（図中のシフト方向）にずれている。すなわち、周辺部の隣接する赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４のずれ量は、同じではなく色毎に異なっている。
【００３０】
さらに、受光面１０の中央部におけるマイクロレンズ１５は対応する受光部１８の真上に位置し、受光面１０の周辺部におけるマイクロレンズ１５の位置は対応する受光部１８の真上の位置から前記中央部方向にずれて配置される。赤フィルタ１２に対応するマイクロレンズ１５のずれ量は、隣接する他の色のカラーフィルタに対応するマイクロレンズ１５のずれ量と異なっている。緑フィルタ１３、青フィルタ１４に対応する各マイクロレンズについても同様である。
【００３１】
このように、ほぼ同じ場所に位置する隣接する異なる色のカラーフィルタおよびマイクロレンズ１５が、色毎に異なるずれ量を持って配置されることにより、本発明の固体撮像装置は、斜め光に対してどの色であっても各受光部１８の中心に集光させることができる。
【００３２】
具体的には本実施形態の固体撮像装置は、各カラーフィルタの屈折率の関係が（数１）の場合の構成を示している。ｎｒ、ｎｇ、ｎｂはそれぞれ赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４の屈折率である。
【００３３】
ｎｒ＞ｎｇ＞ｎｂ                          （数１）
【００３４】
この場合、カラーフィルタのずれ量は（数２ａ）とする。Ｓｒ、Ｓｇ、Ｓｂは、図２に示すようにそれぞれ赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４のずれ量である。このずれ量は、一点鎖線で示す受光部１８の中心とカラーフィルタ（１２、１３又は１４）の中心との水平方向の距離である。
【００３５】
Ｓｒ＞Ｓｇ＞Ｓｂ                          （数２ａ）
【００３６】
さらに、マイクロレンズのずれ量は（数２ｂ）とする。Ｍｒ、Ｍｇ、Ｍｂは、図２に示すようにそれぞれ赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４に対応するマイクロレンズのずれ量である。このずれ量は、一点鎖線で示す受光部１８の中心と二点鎖線で示すマイクロレンズの中心との水平方向の距離である。
【００３７】
Ｍｒ＞Ｍｇ＞Ｍｂ                          （数２ｂ）
【００３８】
また、図２より、本実施形態の固体撮像装置は、各画素の受光部１８の中心に対して、赤フィルタ１２がもっともずれ量が大きい。これにより、前記赤フィルタ１２を通過する光は透過率がもっとも大きな赤フィルタ１２によって変化し、前記受光部１８に集光する。
【００３９】
また、緑フィルタ１３のずれ量は赤フィルタ１２以下とすると、同じく受光部１８の中心に集光する。
【００４０】
また、青フィルタ１４は緑フィルタ１３以下とすると、同じく受光部１８の中心に集光する。
【００４１】
また、カラーフィルタを形成する一般的なアクリル系樹脂は、前記赤フィルタ１２は１．６６、緑フィルタ１３は１．５６、青フィルタ１４は１．５２程度である。
【００４２】
また、各画素にずれ量の変化がなく、例えば前記緑フィルタに１３による受光部１８の集光位置基準にした場合、赤フィルタ１２の集光位置は０．３μｍ、青フィルタ１４の集光位置は０．１μｍのずれることになる。
【００４３】
したがって、画素サイズが３μｍ以上（受光部１．５μｍ以上確保可能）の場合、特にこの屈折率差による集光位置変化は問題になることはない。
【００４４】
しかし一方では画素サイズが２．０μｍ以下となると、受光部１．０μｍを下回るため、上記集光位置変化の影響が大きくなる。
【００４５】
以上より、本発明の実施形態に係る固体撮像装置は、画素サイズが２．０μｍ以下となった場合に特に有効である。
【００４６】
さらに、本発明の実施形態に係る固体撮像装置は、ＣＣＤ型固体撮像装置よりも受光部１８と各カラーフィルまでの距離（厚さ）が長くなるＭＯＳ型固体撮像装置に対して特に特性向上の効果が大きい。
【００４７】
その理由の詳細について図３を用いて説明する。図３はＣＣＤ固体撮像装置とＭＯＳ型固体撮像装置の断面構造比較図である。
【００４８】
図３から、ＣＣＤ固体撮像装置に比べＭＯＳ型固体撮像装置の受光部−カラーフィルタ間距離（厚さ）が長い。これは、受光部−カラーフィルタ間に金属配線層を配置し、各画素の制御および信号伝達を実施するためで、特に、２層以上具備しているものが一般的である。
【００４９】
ここで、光の入射角をθとし、受光部−カラーフィルタ間距離（厚さ）Ｔとすれば、ずれ量Δｄは（数３）となる。
【００５０】
Δｄ  ＝  Ｔ×ｔａｎθ                                              （数３）
【００５１】
すなわち、Ｔの厚膜化に対して、ずれ量Δｄも増加させる必要があることがわかる。
【００５２】
また、カラーフィルタの屈折率差が生じると、受光部までの光路の角度が変化する。
したがって、カラーフィルタの屈折率差に対してシェ−ディング特性の劣化は、受光部−カラーフィルタ間距離（厚さ）が長いＭＯＳ型固体撮像装置が影響を受けやすい。
【００５３】
このため、本発明の固体撮像装置のように、斜め光に対して前記受光部１８の中心に集光するよう各フィルタ、マイクロレンズを所定量ずらし、各カラーフィルタのずれ量を赤フィルタ１２に対応する画素、緑フィルタ１３に対応する画素、青フィルタ１４に対応する画素ごとにずれ量が異なるようにする本発明の固体撮像装置は、ＭＯＳ型固体撮像装置に対して特に特性向上の効果が大きい。
【００５４】
このように、ＣＣＤ型固体撮像装置よりもＭＯＳ型固体撮像装置の方が、本発明の効果が大きい。上記実施形態に係る固体撮像装置は各画素が受光部、受光部に対応するカラーフィルタ、マイクロレンズを具備している固体撮像装置であれば、本発明を適用することができ、各画素の構造、回路形式については限定するものではない。
【００５５】
なお、図１右側において隣り合うカラーフィルタ同士が部分的に重なっているが、重ならない方が望ましい。また、隣り合うカラーフィルタの間にすき間が存在しているが、すき間の下に遮光膜を設けることが望ましい。
【００５６】
（第２の実施形態）
以下に本発明の第２の実施形態に係る固体撮像装置について説明する。
【００５７】
本実施形態の固体撮像装置では、受光面の中央部におけるカラーフィルタは対応する受光部の真上に位置し、受光面の周辺部における各カラーフィルタの位置は、対応する受光部の真上の位置から前記中央部方向にずれており、青色のカラーフィルタのずれ量は、隣接する他の色のカラーフィルタのずれ量と異なっていることを特徴とする。
【００５８】
本実施形態における固体撮像装置の構成は、以下の点を除いて第１の実施形態に係る固体撮像装置と同じであるので、異なる点を中心に説明する。異なる点は、カラーフィルタの屈折率とずれ量とである。
【００５９】
本実施形態は、各カラーフィルタの屈折率の関係は（数４）である。ｎｒ、ｎｇ、ｎｂはそれぞれ赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４の屈折率である。
【００６０】
ｎｒ＝ｎｇ＞ｎｂ                          （数４）
【００６１】
このとき、カラーフィルタのずれ量は（数５ａ）とする。Ｓｒ、Ｓｇ、Ｓｂは、それぞれ赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４のずれ量である。
【００６２】
Ｓｒ＝Ｓｇ＞Ｓｂ                          （数５ａ）
【００６３】
さらにマイクロレンズのずれ量は（数５ｂ）とする。Ｍｒ、Ｍｇ、Ｍｂは、それぞれ赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４に対応するマイクロレンズののずれ量である。
【００６４】
Ｍｒ＝Ｍｇ＞Ｍｂ                          （数５ｂ）
【００６５】
また、赤フィルタ１２に屈折率の低い特別な材料（例えば、屈折率１．５６のアクリル系樹脂）を使用すると、特に赤色の色シェーディングの発生を抑圧することが可能になる。
【００６６】
また逆に、緑フィルタ１３、青フィルタ１４の屈折率をあげてもよい。
【００６７】
（第３の実施形態）
以下に本発明の第３の実施形態に係る固体撮像装置について説明する。
【００６８】
本実施形態の固体撮像装置では、受光面の中央部におけるカラーフィルタは対応する受光部の真上に位置し、受光面の周辺部における各カラーフィルタの位置は、対応する受光部の真上の位置から前記中央部方向にずれており、赤色のカラーフィルタのずれ量は、隣接する他の色のカラーフィルタのずれ量と異なっていることを特徴とする。
【００６９】
本実施形態における固体撮像装置の構成は、以下の点を除いて第１の実施形態に係る固体撮像装置と同じであるので、異なる点を中心に説明する。異なる点は、カラーフィルタの屈折率とずれ量とである。
【００７０】
本実施形態は、各カラーフィルタの屈折率の関係は（数６）である。ｎｒ、ｎｇ、ｎｂはそれぞれ赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４の屈折率である。
【００７１】
ｎｒ＞ｎｇ＝ｎｂ                          （数６）
【００７２】
このとき、カラーフィルタのずれ量は（数７ａ）とする。Ｓｒ、Ｓｇ、Ｓｂは、それぞれ赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４のずれ量である。
【００７３】
Ｓｒ＞Ｓｇ＝Ｓｂ                          （数７ａ）
【００７４】
さらにマイクロレンズのずれ量は（数７ｂ）とする。Ｍｒ、Ｍｇ、Ｍｂは、それぞれ赤フィルタ１２、緑フィルタ１３、青フィルタ１４に対応するマイクロレンズののずれ量である。
【００７５】
Ｍｒ＞Ｍｇ＝Ｍｂ                          （数７ｂ）
【００７６】
また、青フィルタ１４に屈折率の高い特別な材料（例えば、屈折率１．５６のアクリル系樹脂）を使用すると、特に青色の色シェーディングの発生を抑圧することが可能になる。
【００７７】
また逆に、赤フィルタ１２、緑フィルタ１３の屈折率を下げてもよい。
なお、その他の装置構成は、図２に示された第１の実施形態に係る固体撮像装置と同じである。
【００７８】
以上のように、上記各実施形態に係る固体撮像装置は各画素が受光部、受光部に対応するカラーフィルタ、マイクロレンズを具備している固体撮像装置であれば、各画素の構造、回路形式については限定するものではない。しかし、後述するようにＣＣＤ型固体撮像装置よりもＭＯＳ型固体撮像装置である場合は、その効果が大きい。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明は、半導体基板上に形成された複数の受光部の各々にマイクロレンズおよびカラーフィルタを有する固体撮像装置、その固体撮像装置に関するカメラに適しており、特にＭＯＳ型固体撮像装置、ＣＣＤ型固体撮像装置、ディジタルスチルカメラ、カメラ付き携帯電話、ノートパソコンに内臓のカメラ、情報処理機器、および、超小型化を要求される医療用カメラ、カプセルカメラなどに適している。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の第１の実施形態における固体撮像装置の平面図である。
【図２】同実施形態における固体撮像装置の断面図である。
【図３】ＣＣＤ型固体撮像装置とＭＯＳ型固体撮像装置の比較のための断面図である。
【図４】カメラの構成を示すブロック図である。
【図５】従来技術の固体撮像装置を示した構造断面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０  受光面
１１  カラーフィルタ群
１２  赤フィルタ
１３  緑フィルタ
１４  青フィルタ
１５  マイクロレンズ
１６  １層目配線
１７  ２層目配線
１８  受光部
１９  シフトなし時のフィルタ位置
１００  カメラレンズ
１０１  光路
１０２  射出瞳距離
１０３  最外周入射角
１１０  固体撮像装置
【図１】
2007288107.tif 000003
【図２】
2007288107.tif 000004
【図３】
2007288107.tif 000005
【図４】
2007288107.tif 000006
【図５】
2007288107.tif 000007