(57)【要約】【課題】揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドについて、液滴の着弾位置を適切に検査する。【解決手段】検査用ワークＷｃ上に、ノズル列の列長に対応する領域幅の描画領域ＲｄＡを設定すると共に、描画領域ＲｄＡの中央部に検査領域ＲｃＡを設定し、描画領域ＲｄＡに、ノズル列に対応し且つ主走査方向に所定の描画ピッチで並ぶ複数の描画列Ａ１〜Ａ１４を設定し、複数の描画列のうち、検査領域ＲｃＡに含まれる実検査描画列Ａ１１〜Ａ１４以外の非検査描画列Ａ１〜Ａ１０に吐出・着弾を行った後、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１４に吐出・着弾を行い、検査領域ＲｃＡに着弾した液滴の着弾位置を画像認識する。【選択図】図６
2007130597.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査用ワークに対し、複数のノズルから成るノズル列を有すると共に揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対移動させながら、検査用の描画を行うと共にその描画結果を検査する液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法において、
前記検査用ワーク上に、前記ノズル列の列長に対応する領域幅の描画領域を設定すると共に、前記描画領域の中央部に検査領域を設定する領域設定工程と、
前記描画領域に、前記ノズル列に対応し且つ前記主走査方向に所定の描画ピッチで並ぶ複数の描画列を設定する描画列設定工程と、
前記液滴吐出ヘッドのノズル列から、前記描画領域の各描画列に対し、液滴を吐出・着弾させる描画工程と、
前記検査領域に着弾した液滴の着弾位置を画像認識する画像認識工程と、を備え、
前記描画工程において、前記複数の描画列のうち、前記検査領域に含まれる実検査描画列以外の非検査描画列に吐出・着弾を行った後、前記実検査描画列に吐出・着弾を行うことを特徴とする液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法。
【請求項２】
前記描画工程において、前記非検査描画列に吐出・着弾を行う場合、
前記検査領域に向かって往動方向の外側の前記非検査描画列から順に吐出・着弾を行った後、前記検査領域に向かって復動方向の外側の前記非検査描画列から順に吐出・着弾を行うことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法。
【請求項３】
検査用ワークに対し、それぞれが複数のノズルから成る２列のノズル列を有すると共に揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対移動させながら、前記２列のノズル列により検査用の描画を行うと共にその描画結果を検査する液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法において、
前記検査用ワーク上に、前記２列のノズル列の列長に対応する領域幅の描画領域を設定すると共に、前記描画領域の中央部に検査領域を設定する領域設定工程と、
前記描画領域に、前記各ノズル列に対応し且つ前記各ノズル列について前記主走査方向に所定の描画ピッチで並ぶ複数の描画列を設定する描画列設定工程と、
前記液滴吐出ヘッドの２列のノズル列から、前記描画領域の各描画列に対し、液滴を吐出・着弾させる描画工程と、
前記検査領域に着弾した液滴の着弾位置を画像認識する画像認識工程と、を備え、
前記描画工程において前記各ノズル列は、対応する前記複数の描画列のうち、前記検査領域に含まれる実検査描画列以外の非検査描画列に吐出・着弾を行った後、前記実検査描画列に吐出・着弾を行うことを特徴とする液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法。
【請求項４】
前記描画列設定工程において、前記描画ピッチを、前記２列のノズル列間距離よりも短く設定し、
前記描画工程において、前記２列のノズル列が前記検査領域を跨いだ状態から、一方の前記ノズル列が前記検査領域に向かって往動方向の外側の前記非検査描画列から前記検査領域の半部の前記実検査描画列まで順に吐出・着弾するように前記２列のノズル列から吐出・着弾を行った後、他方の前記ノズル列により前記検査領域の残り半部の前記実検査描画列に吐出・着弾を行うことを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法。
【請求項５】
前記ノズル列は、中間部に位置して、ワークに対する実描画処理において液滴を吐出する複数の実吐出ノズルと、両端部に位置して、前記実描画処理において液滴を不吐出とする複数の不吐出ノズルと、から構成され、
前記検査領域設定工程において、前記検査領域を、前記複数の実吐出ノズルに対応させて設定することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法。
【請求項６】
前記描画工程における前記ノズル列からの液滴の吐出・着弾を、前記液滴吐出ヘッドと前記検査用ワークとを静止させた状態で行わせることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法。
【請求項７】
前記描画列設定工程において、前記実検査描画列を、１の前記ノズル列につき複数列設定し、
前記画像認識工程において、前記各ノズルに対応する複数の液滴を画像認識し、複数の着弾位置データをノズル毎に平均化することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法。
【請求項８】
前記画像認識工程において、同軸落射照明付きの撮像手段を用いて、前記検査領域に着弾した液滴を撮像することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法。
【請求項９】
検査用ワークに対し、複数のノズルから成るノズル列を有すると共に揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対移動させながら、検査用の描画を行うと共にその描画結果を検査する液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置において、
前記検査用ワークに対し、前記液滴吐出ヘッドを前記主走査方向に相対移動させる移動手段と、
前記検査用ワーク上に、前記ノズル列の列長に対応する領域幅の描画領域を設定すると共に、前記描画領域の中央部に検査領域を設定する領域設定手段と、
前記描画領域に、前記ノズル列に対応し且つ前記主走査方向に所定の描画ピッチで並ぶ複数の描画列を設定する描画列設定手段と、
前記液滴吐出ヘッドおよび前記移動手段を制御して、前記液滴吐出ヘッドのノズル列から、前記描画領域の各描画列に対し、液滴を吐出・着弾させる制御手段と、
前記検査領域に着弾した液滴の着弾位置を画像認識する画像認識手段と、を備え、
前記制御手段は、前記複数の描画列のうち、前記検査領域に含まれる実検査描画列以外の非検査描画列に吐出・着弾させた後、前記実検査描画列に吐出・着弾させることを特徴とする液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置。
【請求項１０】
検査用ワークに対し、それぞれが複数のノズルから成る２列のノズル列を有すると共に揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対移動させながら、前記２列のノズル列により検査用の描画を行うと共にその描画結果を検査する液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置において、
前記検査用ワークに対し、前記液滴吐出ヘッドを前記主走査方向に相対移動させる移動手段と、
前記検査用ワーク上に、前記２列のノズル列の列長に対応する領域幅の描画領域を設定すると共に、前記描画領域の中央部に検査領域を設定する領域設定手段と、
前記描画領域に、前記各ノズル列に対応し且つ前記各ノズル列について前記主走査方向に所定の描画ピッチで並ぶ複数の描画列を設定する描画列設定手段と、
前記液滴吐出ヘッドおよび前記移動手段を制御して、前記液滴吐出ヘッドの２列のノズル列から、前記描画領域の各描画列に対し、液滴を吐出・着弾させる制御手段と、
前記検査領域に着弾した液滴の着弾位置を画像認識する画像認識手段と、を備え、
前記制御手段は、前記各ノズル列を制御して、対応する前記複数の描画列のうち、前記検査領域に含まれる実検査描画列以外の非検査描画列に吐出・着弾させた後、前記実検査描画列に吐出・着弾させることを特徴とする液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置。
【請求項１１】
請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法により検査した液滴吐出ヘッドを用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法により検査した液滴吐出ヘッドを用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１２に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式により液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法、液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、アライメントマスク（検査用ワーク）に対し、機能液（液体）を導入した液滴吐出ヘッドから検査用の機能液滴を着弾させ、着弾位置を画像認識して機能液滴の着弾位置を検査する液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１４１７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、液滴吐出ヘッドに導入する液体として、溶媒に揮発性の溶剤（有機溶媒）を用いた揮発性のものが用いられることがある。この場合、検査用ワークに着弾した液滴からは、着弾後即座に溶剤が揮発する。このため、従来の着弾位置検査方法では、着弾した液滴を適切に画像認識することができず、着弾位置を精度良く測定することができなかった。特に、溶質として無色透明のものを用いた場合には、溶剤が揮発した後は、無色透明の溶質が残るだけであるため、これを画像認識することが非常に困難であった。
【０００４】
本発明は、揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドについて、液滴の着弾位置を適切に検査することができる液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法、液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法は、検査用ワークに対し、複数のノズルから成るノズル列を有すると共に揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対移動させながら、検査用の描画を行うと共にその描画結果を検査する液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法において、検査用ワーク上に、ノズル列の列長に対応する領域幅の描画領域を設定すると共に、描画領域の中央部に検査領域を設定する領域設定工程と、描画領域に、ノズル列に対応し且つ主走査方向に所定の描画ピッチで並ぶ複数の描画列を設定する描画列設定工程と、液滴吐出ヘッドのノズル列から、描画領域の各描画列に対し、液滴を吐出・着弾させる描画工程と、検査領域に着弾した液滴の着弾位置を画像認識する画像認識工程と、を備え、描画工程において、複数の描画列のうち、検査領域に含まれる実検査描画列以外の非検査描画列に吐出・着弾を行った後、実検査描画列に吐出・着弾を行うことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置は、検査用ワークに対し、複数のノズルから成るノズル列を有すると共に揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対移動させながら、検査用の描画を行うと共にその描画結果を検査する液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置において、検査用ワークに対し、液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対移動させる移動手段と、検査用ワーク上に、ノズル列の列長に対応する領域幅の描画領域を設定すると共に、描画領域の中央部に検査領域を設定する領域設定手段と、描画領域に、ノズル列に対応し且つ主走査方向に所定の描画ピッチで並ぶ複数の描画列を設定する描画列設定手段と、液滴吐出ヘッドおよび移動手段を制御して、液滴吐出ヘッドのノズル列から、描画領域の各描画列に対し、液滴を吐出・着弾させる制御手段と、検査領域に着弾した液滴の着弾位置を画像認識する画像認識手段と、を備え、制御手段は、複数の描画列のうち、検査領域に含まれる実検査描画列以外の非検査描画列に吐出・着弾させた後、実検査描画列に吐出・着弾させることを特徴とする。
【０００７】
これらの構成によれば、実検査描画列に液滴を吐出・着弾させる前に、非検査描画列に液滴を着弾させることで、非検査描画列に着弾した液滴から溶剤が揮発するため、描画領域上の雰囲気中の溶剤濃度を高めた状態で、実検査描画列に液滴を吐出・着弾させることができる。このため、実検査描画列に着弾した液滴からの溶剤の揮発速度を遅くすることができ、その着弾位置を適切に画像認識することができる。したがって、揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドについて、液滴の着弾位置を適切に検査することができる。なお、所定の描画ピッチは、等ピッチでなくともよい。
【０００８】
さらに、揮発性の溶剤に無色透明の溶質を溶解させた溶液の場合、溶剤が揮発すると無色透明の溶質が残るだけであるため、本発明は特に有用である。なお、揮発性の液体とは、溶質が溶解していない揮発性の溶剤自身を含む概念であり、溶剤が揮発すると何も残らないため、この場合も本発明は特に有用である。
【０００９】
上記の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法において、描画工程において、非検査描画列に吐出・着弾を行う場合、検査領域に向かって往動方向の外側の非検査描画列から順に吐出・着弾を行った後、検査領域に向かって復動方向の外側の非検査描画列から順に吐出・着弾を行うことが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、往動時および復動時に、外側（検査領域から遠い）の非検査描画列から内側（検査領域に近い）の非検査描画列に向かって順に液滴を吐出・着弾させる。このため、比較的内側の非検査描画列に着弾した液滴から揮発した溶剤は、その外側にはすでに溶媒雰囲気が形成されているため、外側に拡散することなく、検査領域に集中的に拡散することになる。したがって、検査領域上の雰囲気中の溶剤濃度を効果的に高めることができ、実検査描画列に着弾した液滴の揮発速度をより遅くすることができる。
【００１１】
本発明の他の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法は、検査用ワークに対し、それぞれが複数のノズルから成る２列のノズル列を有すると共に揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対移動させながら、２列のノズル列により検査用の描画を行うと共にその描画結果を検査する液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法において、検査用ワーク上に、２列のノズル列の列長に対応する領域幅の描画領域を設定すると共に、描画領域の中央部に検査領域を設定する領域設定工程と、描画領域に、各ノズル列に対応し且つ各ノズル列について主走査方向に所定の描画ピッチで並ぶ複数の描画列を設定する描画列設定工程と、液滴吐出ヘッドの２列のノズル列から、描画領域の各描画列に対し、液滴を吐出・着弾させる描画工程と、検査領域に着弾した液滴の着弾位置を画像認識する画像認識工程と、を備え、描画工程において各ノズル列は、対応する複数の描画列のうち、検査領域に含まれる実検査描画列以外の非検査描画列に吐出・着弾を行った後、実検査描画列に吐出・着弾を行うことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置は、検査用ワークに対し、それぞれが複数のノズルから成る２列のノズル列を有すると共に揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対移動させながら、２列のノズル列により検査用の描画を行うと共にその描画結果を検査する液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置において、検査用ワークに対し、液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対移動させる移動手段と、検査用ワーク上に、２列のノズル列の列長に対応する領域幅の描画領域を設定すると共に、描画領域の中央部に検査領域を設定する領域設定手段と、描画領域に、各ノズル列に対応し且つ各ノズル列について主走査方向に所定の描画ピッチで並ぶ複数の描画列を設定する描画列設定手段と、液滴吐出ヘッドおよび移動手段を制御して、液滴吐出ヘッドの２列のノズル列から、描画領域の各描画列に対し、液滴を吐出・着弾させる制御手段と、検査領域に着弾した液滴の着弾位置を画像認識する画像認識手段と、を備え、制御手段は、各ノズル列を制御して、対応する複数の描画列のうち、検査領域に含まれる実検査描画列以外の非検査描画列に吐出・着弾させた後、実検査描画列に吐出・着弾させることを特徴とする。
【００１３】
これらの構成によれば、実検査描画列に液滴を吐出・着弾させる前に、非検査描画列に液滴を着弾させることで、非検査描画列に着弾した液滴から溶剤が揮発するため、描画領域上の雰囲気中の溶剤濃度を高めた状態で、実検査描画列に液滴を吐出・着弾させることができる。このため、実検査描画列に着弾した液滴からの溶剤の揮発速度を遅くすることができ、その着弾位置を適切に画像認識することができる。したがって、揮発性の液体を導入した２列のノズル列を有する液滴吐出ヘッドについても、液滴の着弾位置を適切に検査することができる。
【００１４】
上記の液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法において、描画列設定工程において、描画ピッチを、２列のノズル列間距離よりも短く設定し、描画工程において、２列のノズル列が検査領域を跨いだ状態から、一方のノズル列が検査領域に向かって往動方向の外側の非検査描画列から検査領域の半部の実検査描画列まで順に吐出・着弾するように２列のノズル列から吐出・着弾を行った後、他方のノズル列により検査領域の残り半部の実検査描画列に吐出・着弾を行うことが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、往動時に、外側の非検査描画列から内側の非検査描画列に向かって順に液滴を吐出・着弾させる。このため、比較的内側の非検査描画列に着弾した液滴から揮発した溶剤は、その外側にはすでに溶媒雰囲気が形成されているため、外側に拡散することなく、検査領域に集中的に拡散することになる。したがって、検査領域上の雰囲気中の溶剤濃度を効果的に高めることができ、実検査描画列に着弾した液滴の揮発速度をより遅くすることができる。しかも、実検査描画列に対し、２列のノズル列からそれぞれ吐出・着弾させるため、両ノズル列を同時に検査することができ、検査の時間を短縮することができる。
【００１６】
これらの場合、ノズル列は、中間部に位置して、ワークに対する実描画処理において液滴を吐出する複数の実吐出ノズルと、両端部に位置して、実描画処理において液滴を不吐出とする複数の不吐出ノズルと、から構成され、検査領域設定工程において、検査領域を、複数の実吐出ノズルに対応させて設定することが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、検査領域に対して複数の実吐出ノズルから液滴を吐出・着弾させるのに同期して、検査領域の主走査方向に直交する方向の両外側に、着弾位置精度を検査する必要のない複数の不吐出ノズルから液滴を吐出・着弾させることができる。このため、実検査描画列に着弾した液滴の揮発速度をより遅くすることができる。
なお、ワークに対する実描画処理において、全ノズルを吐出ノズルとする場合には、描画領域の主走査方向に直交する方向の両外側に、予備描画領域を設定し、描画領域に対し液滴を吐出・着弾させる前に、予備描画領域に対し液滴を吐出・着弾させることが好ましい。
【００１８】
これらの場合、描画工程におけるノズル列からの液滴の吐出・着弾を、液滴吐出ヘッドと検査用ワークとを静止させた状態で行わせることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、液滴の着弾位置がずれてしまうことを防止できるため、正確な検査を行うことができる。すなわち、液滴吐出ヘッドと検査用ワークとを相対移動させながら液滴を吐出・着弾させる場合には、液滴吐出ヘッドのノズル面と検査用ワークの表面との間にエアーの流れが生ずるため、液滴の着弾位置がずれてしまうおそれがあるが、本発明によれば、そのようなことがない。
【００２０】
これらの場合、描画列設定工程において、実検査描画列を、１のノズル列につき複数列設定し、画像認識工程において、各ノズルに対応する複数の液滴を画像認識し、複数の着弾位置データをノズル毎に平均化することが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、ノズル毎に平均化した着弾位置データを用いることで、着弾位置測定の精度を向上させることができる。
【００２２】
これらの場合、画像認識工程において、同軸落射照明付きの撮像手段を用いて、検査領域に着弾した液滴を撮像することが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、液滴の中央部に照射された光は、真っ直ぐに（撮像手段のレンズに向かって）反射するものの、液滴の周縁部に照射された光は、斜めに反射するため、画像としては周縁部が黒く中央部が反射して白いドーナツ状に映る。そして、画像処理により、中央部の白い部分を塗りつぶすことで液滴（ドット）全体の領域を検出することができる。このため、着弾した液滴が無色透明の場合であっても、これを適切に撮像することができる。
【００２４】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法により検査した液滴吐出ヘッドを用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２５】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法により検査した液滴吐出ヘッドを用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２６】
これらの構成によれば、揮発性の液体を導入した液滴吐出ヘッドについて、液滴の着弾位置を適切に検査することができる液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法により検査した機能液滴吐出ヘッドを用いることで、信頼性の高い電気光学装置を製造することができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２７】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２８】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、添付の図面を参照して、本発明に係る機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査方法について説明する。この着弾位置検査方法は、例えば、複数の機能液滴吐出ヘッドを装着したヘッドユニットの組付け時において、組付け精度を検査するために実施されるものであり、ヘッドユニットを搭載して基板（ワーク）に機能液滴を吐出（描画）する液滴吐出装置を用いて行われる。すなわち、本実施形態の液滴吐出装置は、基板に対する実描画処理を行うと共に、検査用ワークに対し検査用の描画をして、着弾位置検査処理を行うものである。そこで、まず、実施形態に係る液滴吐出装置およびこれによる実描画処理について説明する。
【００３０】
図１に示すように、液滴吐出装置１（着弾位置検査装置）は、機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置２と、図示省略したメンテナンス装置とを備え、メンテナンス装置により機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンス処理（機能維持・回復）を行うと共に、描画装置２により基板Ｗ（ワーク）上に機能液滴を吐出させる描画処理を行うようにしている。また、この液滴吐出装置１には、各部を統括制御するコントローラ３（制御手段、図４参照）等が組み込まれている。
【００３１】
描画装置２は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に個々に移動自在に取り付けられた２個のキャリッジ１４と、各キャリッジ１４に垂設され、複数（４個）の機能液滴吐出ヘッド１７を装着したヘッドユニット１５（図２参照）と、基板Ｗ、ヘッドユニット１５や描画結果等を画像認識する画像認識手段１６とを備えている。
【００３２】
そして、Ｘ軸テーブル１２による基板Ｗの移動軌跡と、Ｙ軸テーブル１３によるキャリッジ１４の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリアとなり、また、Ｙ軸テーブル１３によるヘッドユニット１５の移動軌跡上のＸ軸テーブル１２から外側（図示右側）に外れた領域が、メンテナンスエリアとなっており、このメンテナンスエリアにメンテナンス装置の一部が設置されている。一方、Ｘ軸テーブル１２の手前側の領域は、液滴吐出装置１に対する基板Ｗの搬出入を行う基板搬出入エリアとなっている。
【００３３】
Ｘ軸テーブル１２は、描画対象となる基板Ｗのほか、着弾位置検査処理において用いられる検査用ワークＷｃ等の各種ワークをセットしてＸ軸方向に移動させるものである。図示省略したが、Ｘ軸テーブル１２は、床上に直接載置されており、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダを有し、これに各種ワークを吸着セットする吸着テーブルおよび基板θ軸テーブル等から成るセットテーブル２１を移動自在に搭載して、構成されている。そして、Ｘ軸スライダをＸ軸方向に移動すると、セットテーブル２１上にセットされた各種ワークがＸ軸方向に移動する。なお、Ｘ軸テーブル１２には、吸着テーブルの移動位置を検出するためのＸ軸リニアスケール２２（図４参照）が設けられている。
【００３４】
Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２を跨ぐようにして、床上に立設した左右の支柱（図示省略）に支持されており、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ（図示省略）を２組有し、各組のＹ軸スライダに上記のキャリッジ１４を介してヘッドユニット１５を移動自在に搭載して、構成されている。２個のキャリッジ１４は、個別にＹ軸方向へ移動させることができると共に、当然ではあるが、これらを一括してＹ軸方向に移動させることもできる。なお、Ｙ軸テーブル１３には、各キャリッジ１４（ヘッドユニット１５）の移動位置を検出するＹ軸リニアスケール２４（図４参照）が設けられている。
【００３５】
各キャリッジ１４は、ヘッドユニット１５を保持すると共に、モータ駆動でヘッドユニット１５のθ位置を微調整（回転補正）するヘッドθ軸テーブル２６を有している。なお、本実施形態では、２個のキャリッジ１４（ヘッドユニット１５）を備えているが、その個数は任意である。
【００３６】
２個のヘッドユニット１５には、共通の機能液が導入されており、基板Ｗのサイズに応じて、稼動させるヘッドユニット１５の個数を増減させるようになっている。もっとも、相異なる機能液を導入し、各ヘッドユニット１５を、別々の描画処理に用いるようにしてもよい。
【００３７】
図２に示すように、各ヘッドユニット１５は、４個の機能液滴吐出ヘッド１７と、これを位置決めして装着するヘッドプレート３１と、ヘッドプレート３１に突設した２個の基準ピン３２とから構成されており、ヘッドプレート３１を介してキャリッジ１４に搭載される。２個の基準ピン３２は、画像認識を前提として、各ヘッドユニット１５を位置決めするためのものである。なお、同図の符号３３は、ヘッドθ軸テーブル２６によるヘッドユニット１５の回転中心である。
【００３８】
４個の機能液滴吐出ヘッド１７は、後述するノズル列４２の列方向が相互に平行になるように装着されており、キャリッジ１４に搭載された状態では、各ノズル列４２がＹ軸方向と平行になるようになっている。なお、以下では、図示左側から数えてｎ番目の機能液滴吐出ヘッド１７を、「第ｎヘッド」とよぶ。
【００３９】
第１ヘッド１７ａおよび第２ヘッド１７ｂは、複数のノズル４３がＹ軸方向に連続するように、Ｘ軸方向にずらしながら階段状に配設され、第３ヘッド１７ｃおよび第４ヘッド１７ｄは、機能液滴吐出ヘッド１７間の物理的干渉を避けるべく、第１ヘッド１７ａおよび第２ヘッドに対しＹ軸方向に列替えすると共に間隙（略５ヘッド分）を存して、上記と同様の階段状に配設されている。すなわち、第１ヘッド１７ａと第３ヘッド１７ｃとがＹ軸方向に並んでおり、同様に、第２ヘッド１７ｂと第４ヘッド１７ｄとがＹ軸方向に並んでいる。
【００４０】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、図示しない機能液パック等から機能液が供給され、インクジェット方式（例えば圧電素子駆動）で機能液を吐出するものであって、ノズル面４１に相互に平行に形成した２列のノズル列４２（Ａ列４２ＡおよびＢ列４２Ｂ）を有している。
【００４１】
各ノズル列４２は、複数（例えば１８０個）のノズル４３が等ピッチ（例えば１４１・ｍ）で並べられて構成されている。１８０個のノズル４３のうち、両端部に位置するそれぞれ１０個のノズル４３は、機能液滴吐出ヘッド１７の構造上、中間部に位置するノズル４３に比べて吐出量が多いため、基板Ｗに対する実描画処理においては、機能液滴を吐出しない不吐出ノズル４３となっている。すなわち、中間部に位置する１６０個のノズル４３が、実描画処理において機能液滴を吐出・着弾させる実吐出ノズル４３となっている。
【００４２】
そして、両ノズル列４２は、互いにノズル列４２の列方向に半ピッチ（７０・ｍ）分ずれている。すなわち、２列のノズル列４２によるノズルピッチが、７０・ｍとなっている。また、２列のノズル列４２間の距離（ノズル列間距離）は、例えば２．２ｍｍである。そして、後述するヘッドドライバ１１１から駆動波形を印加することにより、各ノズル４３から機能液が吐出される。
【００４３】
メンテナンス装置は、図示しないが、メンテナンスエリアに、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル４３から機能液を吸引する吸引ユニット、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４１を払拭するワイピングユニットと、機能液滴の飛行状態を観測する飛行観測ユニット等を備えている。また、吸着テーブルの前後両側には、フラッシング（捨て吐出）を行うための一対の描画前フラッシングボックスが配設されている。
【００４４】
画像認識手段１６は、基板搬出入エリアの前後両側に臨むように配設され、基板Ｗの２つの基板アライメントマーク（図示省略）をそれぞれ画像認識する２台の基板認識カメラ５１（図４参照）と、Ｘ軸テーブル１２のＸ軸スライダに連結され、各ヘッドユニット１５の２つの基準ピン３２を画像認識するヘッド認識カメラ５２と、基板Ｗ等に吐出された機能液滴を画像認識する同軸落射照明付きの描画認識カメラ５３と、Ｙ軸テーブル１３と平行に配設され、モータ駆動でヘッド認識カメラ５２をＹ軸方向に移動させるカメラ移動機構５４とを有している。
【００４５】
Ｘ軸テーブル１２により基板Ｗを基板搬出入エリアに移動させることで、各基板認識カメラ５１が基板アライメントマークに臨み、これを撮像する。また、Ｘ軸テーブル１２によりヘッド認識カメラ５２を描画エリアに移動させると共に、Ｙ軸テーブル１３によりヘッドユニット１５をＹ軸方向に移動させることで、ヘッド認識カメラ５２が２個のヘッドユニット１５に順次臨み、これらを撮像する。さらに、Ｘ軸テーブル１２により基板Ｗをヘッド認識カメラ５２の移動軌跡上に移動させると共に、カメラ移動機構５４によりヘッド認識カメラ５２をＹ軸方向に移動させることで、ヘッド認識カメラ５２が各種ワークに着弾した機能液滴に臨み、これらを撮像する。
【００４６】
次に、図４を参照して、液滴吐出装置１全体の制御系について説明する。液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、各種データを入力する操作パネル４を有する入力部１０１と、画像認識手段１６の各種カメラを有して基板Ｗや各ヘッドユニット１５の位置認識を行う位置検出部１０２と、Ｘ軸リニアスケール２２およびＹ軸リニアスケール２４を有して吸着テーブルおよび各ヘッドユニット１５の刻々の位置を検出する移動検出部１０３と、機能液滴吐出ヘッド１７、ＸＹ移動機構１１等を駆動する各種ドライバを有する駆動部１０４と、これら各部を含め液滴吐出装置１を統括制御する制御部１０５（コントローラ３）とを備えている。
【００４７】
駆動部１０４は、機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動制御するヘッドドライバ１１１と、ＸＹ移動機構１１の各モータをそれぞれ駆動制御するモータドライバ１１２とを有している。ヘッドドライバ１１１は、制御部１０５の指示に従って所定の駆動波形を生成・印加して、機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動制御する。また、モータドライバ１１２は、Ｘ軸モータドライバ１１３、Ｙ軸モータドライバ１１４、基板θ軸モータドライバ１１５およびヘッドθ軸モータドライバ１１６を有し、これらは制御部１０５の指示に従って、Ｘ軸テーブル１２、Ｙ軸テーブル１３、基板θ軸テーブルおよびヘッドθ軸テーブル２６の各駆動モータを駆動制御する。
【００４８】
制御部１０５は、ＣＰＵ１２１と、ＲＯＭ１２２と、ＲＡＭ１２３と、Ｐ−ＣＯＮ１２４とを備え、これらは互いにバス１２５を介して接続されている。ＲＯＭ１２２は、ＣＰＵ１２１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画処理や画像認識を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００４９】
ＲＡＭ１２３は、各種レジスタ群のほか、描画処理を行うための描画データ領域、後述する着弾位置検査処理を行うための位置検査データ領域、画像データを一時的に記憶する画像データ領域、基板Ｗや各ヘッドユニット１５を位置補正するための補正データを記憶する補正データ領域等を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
【００５０】
Ｐ−ＣＯＮ１２４には、ＣＰＵ１２１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ１２４は、画像データや入力部１０１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス１２５に取り込むと共に、ＣＰＵ１２１と連動して、ＣＰＵ１２１等からバス１２５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部１０４に出力する。
【００５１】
そして、ＣＰＵ１２１は、ＲＯＭ１２２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１２４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１２３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１２４を介して駆動部１０４等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。例えば、ＣＰＵ１２１は、機能液滴吐出ヘッド１７、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３を制御して、所定の液滴吐出条件および所定の移動条件で基板Ｗに描画を行う。
【００５２】
ここで、液滴吐出装置１による基板Ｗへの一連の描画動作について簡単に説明する。まず、基板搬出入エリアに移動させたセットテーブル２１に基板Ｗをセットすると共に、機能液滴を吐出する前の準備として、基板アライメント動作を行う。すなわち、２台の基板認識カメラ５１により基板Ｗ上の２つの基板アライメントマークが画像認識され、その画像認識結果に基づいて、基板θ軸テーブルによるθ軸方向の位置補正と、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置データ補正とが行われ、基板Ｗの位置補正が為される。
【００５３】
この基板アライメント動作と相前後して、２個のヘッドユニット１５の相対位置を補正するヘッドアライメント動作を行う。すなわち、ヘッド認識カメラ５２により各ヘッドユニット１５の２つの基準ピン３２が画像認識され、その画像認識結果に基づいて、ヘッドθ軸テーブル２６によるθ軸方向の位置補正およびＹ軸テーブル１３によるＹ軸方向の位置補正と、ヘッドユニット１５のＸ軸方向の位置データ補正とが行われ、各ヘッドユニット１５の位置補正が為される。もっとも、このヘッドアライメント動作は、基板Ｗの描画毎（基板Ｗの交換毎）に行う必要はなく、タクトタイムを短縮すべく、ツーリング時やヘッド交換時のみに行ってもよい。
【００５４】
このようにして、基板Ｗおよびヘッドユニット１５のアライメントを行った上で、基板Ｗに対する機能液の吐出を行う。すなわち、Ｘ軸テーブル１２により基板ＷをＸ軸方向に移動させながら、基板Ｗに対して複数の機能液滴吐出ヘッド１７から機能液滴をそれぞれ吐出・着弾させる主走査と、Ｙ軸テーブル１３により２個のヘッドユニット１５をＹ軸方向に移動させる副走査とを繰り返し行って、基板Ｗの全域に描画処理を行う。
【００５５】
図５ないし図７を参照して、本実施形態に係る液滴吐出装置１を用いた着弾位置検査処理について詳細に説明する。この着弾位置検査処理は、機能液滴吐出ヘッド１７に揮発性の機能液を導入した場合に行われるものであって、上述したように、例えばヘッドユニット１５の組付け精度を検査するために実施されるものである。揮発性の機能液としては、例えば、ブチルアルコールに透明のコート剤を溶解したクリアコートインクが使用される。
【００５６】
着弾位置検査処理は、描画対象となる基板Ｗに代えて、検査用ワークＷｃをセットテーブル２１にセットして行われる。検査用ワークＷｃの表面は、撥水処理が施されており、着弾した機能液滴が略半球（冠球）形状を呈するようになっている。
【００５７】
まず、制御部１０５により、検査用ワークＷｃ上に、ノズル列４２のＡ列４２ＡおよびＢ列にそれぞれ対応する２つの描画領域ＲｄＡ，ＲｄＢを設定すると共に、２つの描画領域ＲｄＡ，ＲｄＢの中央部にそれぞれ検査領域ＲｃＡ，ＲｃＢを設定する（図５のＳ１１）。各描画領域ＲｄＡ，ＲｄＢは、各ノズル列４２の列長に対応する領域幅を有し、機能液滴を吐出・着弾させる領域となる。また、各検査領域ＲｃＡ，ＲｃＢは、各列１６０個の実吐出ノズル４３に対応して設定されており、着弾した機能液滴を描画認識カメラ５３により画像認識させる領域となる。
【００５８】
さらに、制御部１０５により、描画領域ＲｄＡに、Ａ列４２Ａに対応する１４列の描画列Ａ１〜Ａ１４を設定すると共に、描画領域ＲｄＢに、Ｂ列４２Ｂに対応する１４列の描画列Ｂ１〜Ｂ１４を設定する（Ｓ１２）。各１４列の描画列Ａ１〜Ａ１４，Ｂ１〜Ｂ１４は、Ｘ軸方向（主走査方向）に所定の描画ピッチ（例えば０．１５ｍｍ）で並ぶ。
【００５９】
それぞれ１４列の描画列Ａ１〜Ａ１４，Ｂ１〜Ｂ１４のうち、検査領域ＲｃＡ，ＲｃＢに含まれるものを実検査描画列Ａ１１〜Ａ１４，Ｂ１１〜Ｂ１４といい、それ以外のものを非検査描画列Ａ１〜Ａ１０，Ｂ１〜Ｂ１０という。
【００６０】
次に、Ｘ軸テーブル１２により検査用ワークＷｃをＸ軸方向に移動させながら、検査用ワークＷｃに対し、Ａ列４２Ａから、描画列Ａ１〜Ａ１４に機能液滴を吐出・着弾させると同時に，Ｂ列４２Ｂから、描画列Ｂ１〜Ｂ１４に機能液滴を吐出・着弾させて検査用の描画を行う。このとき、Ａ列４２Ａは、１４列の描画列Ａ１〜Ａ１４のうち、非検査描画列Ａ１〜Ａ１０に吐出・着弾を行った後（Ｓ１３）、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１４に吐出・着弾を行い（Ｓ１４）、Ｂ列４２Ｂも同様に、１４列の描画列Ｂ１〜Ｂ１４のうち、非検査描画列Ｂ１〜Ｂ１０に吐出・着弾を行った後（Ｓ１３）、実検査描画列Ｂ１１〜Ｂ１４に吐出・着弾を行う（Ｓ１４）。
【００６１】
すなわち、Ａ列４２Ａは、検査領域ＲｃＡに向かって往動方向の外側の非検査描画列Ａ１から非検査描画列Ａ５まで順に吐出・着弾を行った後、検査領域ＲｃＡに向かって復動方向の外側の非検査描画列Ａ６から非検査描画列Ａ１０まで順に吐出・着弾を行い、さらに、実検査描画列Ａ１１から実検査描画列Ａ１４まで順に吐出・着弾を行う。このとき、上記のように、検査領域ＲｃＡは、Ａ列の１６０個の実吐出ノズル４３に対応して設定されているため、検査領域ＲｃＡに対して、１６０個の実吐出ノズル４３から機能液滴が吐出・着弾され、これに同期して、検査領域のＹ軸方向の両外側に、不吐出ノズル４３から機能液滴が吐出・着弾される。Ｂ列４２Ｂも同様にして、機能液滴を吐出・着弾させる。
【００６２】
また、以上の検査用の描画は、Ｘ軸テーブル１２により検査用ワークＷｃを移動させながら行われるが、各ノズル列４２から機能液滴を吐出・着弾させるときは、検査用ワークＷｃを静止させておく。つまり、各ノズル列４２からの機能液滴を吐出・着弾は、機能液滴吐出ヘッド１７と検査用ワークＷｃとを静止させた状態で行うようにする。これによれば、機能液滴の着弾位置がずれてしまうことを防止できるため、正確な検査を行うことができる。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１７と検査用ワークＷｃとを相対移動させながら液滴を吐出・着弾させる場合には、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４１と検査用ワークＷｃの表面との間にエアーの流れが生ずるため、機能液滴の着弾位置がずれてしまうおそれがあるが、本実施形態によれば、そのようなことがない。
【００６３】
次に、描画認識カメラ５３を各検査領域ＲｃＡ，ＲｃＢに順に臨ませ、着弾した機能液滴をＹ軸方向に数ドット単位で順に撮像し、着弾位置を画像認識する（Ｓ１５）。１回の撮像で、例えば実検査描画列Ａ１１〜Ａ１５：４列×８ドット＝３２ドットを撮像する（図７参照）。
【００６４】
このとき、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１４，Ｂ１１〜Ｂ１４に機能液滴を吐出・着弾させる前に、非検査描画列Ａ１〜Ａ１０，Ｂ１〜Ｂ１０に機能液滴を着弾させることで、非検査描画列Ａ１〜Ａ１０，Ｂ１〜Ｂ１０に着弾した機能液滴から溶剤（ブチルアルコール）が揮発するため、各描画領域ＲｄＡ，ＲｄＢ上の雰囲気中の溶剤濃度を高めた状態で、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１４，Ｂ１１〜Ｂ１４に機能液滴を吐出・着弾させることができる。このため、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１４，Ｂ１１〜Ｂ１４に着弾した機能液滴からの溶剤の揮発速度を遅くすることができ、その着弾位置を適切に画像認識することができる。
【００６５】
さらに、往動時に、外側の非検査描画列Ａ１，Ｂ１から内側の非検査描画列Ａ５，Ｂ５に向かって順に液滴を吐出・着弾させ、復動時に、外側の非検査描画列Ａ６，Ｂ６から内側の非検査描画列Ａ１０，Ｂ１０に向かって順に機能液滴を吐出・着弾させる。このため、比較的内側の非検査描画列に着弾した機能液滴から揮発した溶剤は、その外側にはすでに溶媒雰囲気が形成されているため、外側に拡散することなく、各検査領域ＲｃＡ，ＲｃＢに集中的に拡散することになる。したがって、各検査領域ＲｃＡ，ＲｃＢ上の雰囲気中の溶剤濃度を効果的に高めることができ、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１４，Ｂ１１〜Ｂ１４に着弾した液滴の揮発速度をより遅くすることができる。
【００６６】
また、このとき、同軸落射照明を行って、着弾した機能液滴を撮像する。これによれば、機能液滴の中央部に照射された光は、真っ直ぐに（描画認識カメラ５３のレンズに向かって）反射するものの、機能液滴の周縁部に照射された光は、斜めに反射するため、画像としては周縁部が黒く中央部が反射して白いドーナツ状に映る。そして、画像処理により、中央部の白い部分を塗りつぶすことで機能液滴（ドット）全体の領域を検出することができる。このため、着弾した機能液滴（クリアコートインク）は無色透明であるが、これを適切に撮像することができる。
【００６７】
そして、予め記憶した理想着弾位置と、画像認識した着弾位置とを比較して、着弾誤差をＸ軸方向およびＹ軸方向のずれ量として認識する。各ノズル４３に対応する４個の着弾誤差（着弾位置データ）をノズル４３毎に平均化して、各ノズル４３のＸ軸方向およびＹ軸方向のズレ量を取得する。これによれば、ノズル４３毎に平均化した着弾位置データを用いることで、着弾位置測定の精度を向上させることができる。
【００６８】
さらに、取得した各ノズル４３のＸ軸方向およびＹ軸方向のズレ量を機能液滴吐出ヘッド１７毎に平均化して、機能液滴吐出ヘッド１７のＸ軸方向およびＹ軸方向の組付け誤差を取得することができる。また、少なくとも２個のノズル４３のＸ軸方向およびＹ軸方向のズレ量から、機能液滴吐出ヘッド１７のθ軸方向の組付け誤差を取得できる。なお、本実施形態では、各ノズル列４２の全実吐出ノズル４３の着弾位置を測定したが、組付け誤差を取得するためには、すべての実吐出ノズル４３について行う必要はない。もっとも、全実吐出ノズル４３の着弾位置を測定することで、各実吐出ノズル４３の吐出特性（飛行曲がりの有無等）を把握することができるため、有用である。
【００６９】
なお、理想着弾位置は、図示しないが、機能液滴の理想的な着弾位置を示す複数の基準マークを形成したガラスマスクを用いて、個々の理想的な（設計上の）機能液滴の着弾位置座標を取得し、記憶したものである。もっとも、このガラスマスクを検査用ワークＷｃとして用い、着弾した機能液滴の画像認識と並行して複数の基準マークを画像認識するようにしてもよい。
【００７０】
このような着弾位置検査処理を、ヘッドユニット１５のすべての機能液滴吐出ヘッド１７についてそれぞれ行うことで、全機能液滴吐出ヘッド１７の組付け精度を検査することができる。また、実際に機能液滴を吐出・着弾させることで、機能液滴の飛行特性、すなわち、機能液滴吐出ヘッド１７が鉛直方向に取り付けられ、ノズルから吐出された機能液滴が真下に飛行するか否かを含めて検査できる。
【００７１】
次に、図８を参照して、着弾位置検査処理の他の実施形態について説明する。第２実施形態の着弾位置検査処理では、基本的な構成は上記の実施形態と同様であるが、ノズル列４２のＡ列４２ＡおよびＢ列４２Ｂを同時に検査する点で、上記の実施形態と相違する。以下、上記の実施形態と異なる点を中心に説明する
【００７２】
まず、制御部１０５により、検査用ワークＷｃ上に、ノズル列４２のＡ列４２ＡおよびＢ列に共通の描画領域Ｒｄを設定すると共に、描画領域Ｒｄの中央部に検査領域Ｒｃを設定する（Ｓ１１）。描画領域Ｒｄは、２列のノズル列４２の列長に対応する領域幅を有し、検査領域Ｒｃは、各列１６０個の実吐出ノズル４３に対応して設定されている。
【００７３】
さらに、制御部１０５により、描画領域Ｒｄに、Ａ列４２Ａに対応する１５列の描画列Ａ１〜Ａ１５を設定すると共に、Ｂ列４２Ｂに対応する１５列の描画列Ｂ１〜Ｂ１５を設定する（Ｓ１２）。各１５列の描画列Ａ１〜Ａ１５，Ｂ１〜Ｂ１５は、Ｘ軸方向（主走査方向）に上記のノズル列間距離よりも短い所定の描画ピッチ（例えば０．１５ｍｍ）で並ぶ。もっとも、描画列Ａ１と描画列Ａ１３との間隔は、０．１０ｍｍであり、同様に、描画列Ｂ１と描画列Ｂ１３との間隔は、０．１０ｍｍである。このため、描画列Ａ１２と描画列Ｂ１５との間隔が、０．１５ｍｍとなる。
【００７４】
それぞれ１５列の描画列Ａ１〜Ａ１５，Ｂ１〜Ｂ１５のうち、検査領域Ｒｃに含まれるものを実検査描画列Ａ１１〜Ａ１２，Ｂ１４〜Ｂ１５といい、それ以外のものを非検査描画列Ａ１〜Ａ１０，Ａ１３〜Ａ１５，Ｂ１〜Ｂ１３という。
【００７５】
次に、Ｘ軸テーブル１２により検査用ワークＷｃをＸ軸方向に移動させながら、検査用ワークＷｃに対し、Ａ列４２Ａから、描画列Ａ１〜Ａ１５に機能液滴を吐出・着弾させると同時に，Ｂ列４２Ｂから、描画列Ｂ１〜Ｂ１５に機能液滴を吐出・着弾させて検査用の描画を行う。このとき、ノズル列４２のＡ列４２Ａは、１５列の描画列Ａ１〜Ａ１５のうち、非検査描画列Ａ１〜Ａ１０に吐出・着弾を行った後（Ｓ１３）、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１２に吐出・着弾を行い（Ｓ１４）、Ｂ列は、１５列の描画列Ｂ１〜Ｂ１５のうち、非検査描画列Ｂ１〜Ｂ１３に吐出・着弾を行った後（Ｓ１３）、実検査描画列Ｂ１４〜Ｂ１５に吐出・着弾を行う（Ｓ１４）。
【００７６】
すなわち、Ａ列４２ＡおよびＢ列４２Ｂが検査領域Ｒｃを跨いだ状態から、Ａ列４２Ａが検査領域Ｒｃに向かって往動方向の外側の非検査描画列Ａ１から検査領域Ｒｃの半部の実検査描画列Ａ１２まで順に吐出・着弾するように、Ａ列４２ＡおよびＢ列４２Ｂから吐出・着弾を行った後、Ｂ列４２Ｂが検査領域Ｒｃの残りの半部の実検査描画列Ｂ１４〜Ｂ１５に吐出・着弾するように、Ａ列４２ＡおよびＢ列４２Ｂから吐出・着弾を行う。
【００７７】
次に、描画認識カメラ５３を検査領域Ｒｃに臨ませ、着弾した機能液滴をＹ軸方向に数ドット単位で順に撮像し、着弾位置を画像認識する（Ｓ１５）。１回の撮像で、例えば実検査描画列Ａ１１，Ａ１２，Ｂ１４，Ｂ１５：４列×８ドット＝３２ドットを撮像する。このように、実検査描画列Ａ１１，Ａ１２，Ｂ１４，Ｂ１５に対し、２列のノズル列４２からそれぞれ吐出・着弾させることで、両ノズル列４２を同時に検査することができ、検査の時間を短縮することができる。
【００７８】
このとき、上記と同様に、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１２，Ｂ１４〜Ｂ１５に機能液滴を吐出・着弾させる前に、非検査描画列Ａ１〜Ａ１０，Ｂ１〜Ｂ１３に機能液滴を着弾させることで、非検査描画列Ａ１〜Ａ１０，Ｂ１〜Ｂ１３に着弾した機能液滴から溶剤（ブチルアルコール）が揮発するため、描画領域Ｒｄ上の雰囲気中の溶剤濃度を高めた状態で、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１２，Ｂ１４〜Ｂ１５に機能液滴を吐出・着弾させることができる。このため、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１２，Ｂ１４〜Ｂ１５に着弾した機能液滴からの溶剤の揮発速度を遅くすることができ、その着弾位置を適切に画像認識することができる。
【００７９】
さらに、往動時に、外側の非検査描画列Ａ１から内側の非検査描画列Ａ１０に向かって順に液滴を吐出・着弾させる。このため、比較的内側の非検査描画列に着弾した機能液滴から揮発した溶剤は、その外側にはすでに溶媒雰囲気が形成されているため、外側に拡散することなく、検査領域Ｒｃに集中的に拡散することになる。したがって、検査領域Ｒｃ上の雰囲気中の溶剤濃度を効果的に高めることができ、実検査描画列Ａ１１〜Ａ１２，Ｂ１４〜Ｂ１５に着弾した液滴の揮発速度をより遅くすることができる。
【００８０】
以下、上記と同様にして、各ノズル４３のＸ軸方向およびＹ軸方向のズレ量を取得し、それに基づいて、機能液滴吐出ヘッド１７の組付け誤差を取得することができる。
【００８１】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１（着弾位置検査装置）によれば、揮発性の機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド１７について、機能液滴の着弾位置を適切に検査することができる。
【００８２】
なお、本実施形態では、透明の機能液（クリアコートインク）について説明したが、透明でなくとも、揮発性の機能液であれば、検査領域Ｒｃに着弾した機能液滴の揮発を防止することができ、着弾位置の画像認識を正確に行うことができるため、有用である。もっとも、本実施形態のように、透明の機能液であれば、溶剤が揮発して何も見えなくなることを回避できるため、特に有用である。その他、揮発してしまうと画像認識が困難になってしまう機能液として、液晶用の配向膜インクが挙げられる。さらに、溶質が溶解していない揮発性の溶剤自身であってもよい。
【００８３】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００８４】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図９は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１０は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１０（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００８５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１０（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１０（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００８６】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００８７】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１０（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１０（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００８９】
図１１は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１０に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００９０】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００９１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１１において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００９２】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９３】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００９４】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００９５】
図１２は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００９６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００９７】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９８】
図１３は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００９９】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１００】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１０１】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１０２】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１０３】
次に、図１４は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１０４】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１０５】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１０６】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１０７】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１０８】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１０９】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１１０】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１１１】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１１２】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１１３】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１１４】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１１５】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１５〜図２３を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１５に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１１６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１６に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１７に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１１７】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１１８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１１９】
図１８に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１９に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１２０】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１２１】
そして次に、図２０に示すように、各色のうちのいずれか（図２０の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１２２】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２１に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１２３】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２２に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１２４】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１２５】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２３に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１２６】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１２７】
次に、図２４は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１２８】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１２９】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１３０】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３１】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１３２】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１３３】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１３４】
次に、図２５は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１３５】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１３６】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１３７】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３８】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１３９】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２６（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２６（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１４０】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】液滴吐出装置に搭載したヘッドユニットの平面模式図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドをノズル面側から見た模式図である。
【図４】液滴吐出装置の制御系について説明したブロック図である。
【図５】液滴吐出装置の着弾位置検査処理を示すフローチャートである。
【図６】液滴吐出装置の着弾位置検査処理を説明する概念図である。
【図７】検査用ワークに着弾した機能液滴を撮像した状態を示す図である。
【図８】液滴吐出装置の他の着弾位置検査処理を説明する概念図である。
【図９】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１０】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１６】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１７】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２４】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２５】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２６】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１４２】
１…液滴吐出装置  ３…コントローラ  １２…Ｘ軸テーブル  １７…機能液滴吐出ヘッド  ４２…ノズル列  ４３…ノズル  ５３…描画認識カメラ  Ｒｃ…検査領域  Ｒｄ…描画領域  Ｗｃ…検査用ワーク
【図１】
2007130597.tif 000003
【図２】
2007130597.tif 000004
【図３】
2007130597.tif 000005
【図４】
2007130597.tif 000006
【図５】
2007130597.tif 000007
【図６】
2007130597.tif 000008
【図７】
2007130597.tif 000009
【図８】
2007130597.tif 000010
【図９】
2007130597.tif 000011
【図１０】
2007130597.tif 000012
【図１１】
2007130597.tif 000013
【図１２】
2007130597.tif 000014
【図１３】
2007130597.tif 000015
【図１４】
2007130597.tif 000016
【図１５】
2007130597.tif 000017
【図１６】
2007130597.tif 000018
【図１７】
2007130597.tif 000019
【図１８】
2007130597.tif 000020
【図１９】
2007130597.tif 000021
【図２０】
2007130597.tif 000022
【図２１】
2007130597.tif 000023
【図２２】
2007130597.tif 000024
【図２３】
2007130597.tif 000025
【図２４】
2007130597.tif 000026
【図２５】
2007130597.tif 000027
【図２６】
2007130597.tif 000028