(57)【要約】【課題】ノズルデューティの変化に依存した吐出量の変動を好適に低減することができる液滴吐出方法および液滴吐出装置、並びに当該液滴吐出方法を用いて製造された電気光学装置、電子機器を提供すること。【解決手段】制御部１２０は、各吐出タイミングに係るノズルデータ信号（ＳＩ）および駆動信号（ＣＯＭ）を、各ノズル列単位で次のように生成する。すなわち、ＣＰＵ１２３は、描画パターンデータ（ビットマップデータ）をデコードしてノズル毎のＯＮ／ＯＦＦ情報であるノズルデータを生成すると共に、このノズルデータに対応したノズルデューティに係る情報（デューティパラメータ）を算出（取得）する。また、駆動信号生成回路１２７は、ＣＰＵ１２３が算出したデューティパラメータに基づいて駆動信号（ＣＯＭ）の設定（電圧成分の設定）および生成を行う。【選択図】図４
2007130604.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的な駆動信号によりノズルから液状体を吐出する液滴吐出方法であって、
一の吐出タイミングにおける所定のノズル群についてのノズルデューティに係る情報を
取得するノズルデューティ取得ステップと、
取得した前記情報に基づいて、当該一の吐出タイミングにおける当該ノズル群に係る前
記駆動信号の設定を行う駆動信号設定ステップと、を有することを特徴とする液滴吐出方
法。
【請求項２】
前記所定のノズル群は、共通の連通室を有する前記ノズルで構成されることを特徴とす
る請求項１に記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
前記ノズルデューティに係る情報には、前記ノズル群における駆動に係る前記ノズルの
数が含まれていることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出方法。
【請求項４】
前記ノズルデューティに係る情報には、前記ノズル群における駆動に係る前記ノズル間
の近接度が含まれていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の液滴
吐出方法。
【請求項５】
電気的な駆動信号によりノズルから液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、
一の吐出タイミングにおける所定のノズル群についてのノズルデューティに係る情報を
取得するノズルデューティ取得手段と、
生成された前記情報に基づいて、当該一の吐出タイミングにおける当該ノズル群に係る
前記駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、を備える液滴吐出装置。
【請求項６】
電気的な駆動信号によりノズルから前記基板上に液状体を吐出し、当該吐出された液状
体の固化により形成された機能性膜を構成要素として備える電気光学装置であって、
前記液状体の吐出にあたり、一の吐出タイミングにおける所定のノズル群についてのノ
ズルデューティに係る情報が取得され、
取得された前記情報に基づいて、当該一の吐出タイミングにおける当該ノズル群に係る
前記駆動信号の設定が行われていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
請求項６に記載の電気光学装置を備える電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を液滴化して吐出する液滴吐出方法および液滴吐出装置、並びに当該
液滴吐出方法を用いて製造された電気光学装置、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電気光学装置等の製造において、その構成要素となる機能性膜を液滴吐出方法を
用いて形成するという手法が注目されており、例えば、特許文献１には、液滴吐出方法を
用いて液晶表示装置のカラーフィルタを製造する方法が示されている。これは、基板上を
走査する液滴吐出ヘッドの微細ノズルから色材を含む液状体を吐出させて、当該基板上に
パターン化された液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥等により固化
させて着色膜を形成するものである。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１５９７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、液滴吐出ヘッドには、近接ノズル間の構造的なクロストークが原因となって
、吐出量が変動するという特性がある。そしてこれに起因して、吐出時の駆動ノズルの分
布（以下、ノズルデューティとする）が各吐出タイミング毎に変化するのに連動して、吐
出量が吐出タイミング間でばらついてしまうという問題が発生する。すなわち、ほとんど
全てのノズルから液状体が吐出される場合とまばらなノズルからしか液状体が吐出されな
い場合とでは、吐出量に差が生じ、これが描画パターン内のムラ（描画ムラ）となってし
まうわけである。
【０００５】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、ノズルデューティの変化に依
存した吐出量の変動を好適に低減することができる液滴吐出方法および液滴吐出装置、並
びに当該液滴吐出方法を用いて製造された電気光学装置、電子機器を提供することを目的
としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、電気的な駆動信号によりノズルから液状体を吐出する液滴吐出方法であって
、一の吐出タイミングにおける所定のノズル群についてのノズルデューティに係る情報を
取得するノズルデューティ取得ステップと、取得した前記情報に基づいて、当該一の吐出
タイミングにおける当該ノズル群に係る前記駆動信号の設定を行う駆動信号設定ステップ
と、を有することを特徴とする。
【０００７】
この発明の液滴吐出方法によれば、一の吐出タイミングにおいてノズルデューティに依
存した吐出量の変動を補償するように駆動信号の設定を行うようになっているので、吐出
量の安定化を図ることができる。
【０００８】
また好ましくは、前記液滴吐出方法において、前記所定のノズル群は、共通の連通室を
有する前記ノズルで構成されることを特徴とする。
この発明の液滴吐出方法によれば、ノズル間クロストークの影響の大きい共通の連通室
を有するノズルで駆動信号の設定を行うノズル群が構成されるので、上述の効果を好適に
引き出すことができる。
【０００９】
また好ましくは、前記液滴吐出方法において、前記ノズルデューティに係る情報には、
前記ノズル群における駆動に係る前記ノズルの数が含まれていることを特徴とする。
この発明の液滴吐出方法によれば、ノズル間クロストークの影響を好適に反映した駆動
信号の設定を行うことができる。
【００１０】
また好ましくは、前記液滴吐出方法において、前記ノズルデューティに係る情報には、
前記ノズル群における駆動に係る前記ノズル間の近接度が含まれていることを特徴とする
。
この発明の液滴吐出方法によれば、ノズル間クロストークの影響を好適に反映した駆動
信号の設定を行うことができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置は、電気的な駆動信号によりノズルから液状体を吐出する液滴吐
出ヘッドと、一の吐出タイミングにおける所定のノズル群についてのノズルデューティに
係る情報を取得するノズルデューティ取得手段と、生成された前記情報に基づいて、当該
一の吐出タイミングにおける当該ノズル群に係る前記駆動信号を生成する駆動信号生成手
段と、を備える。
【００１２】
この発明の液滴吐出装置によれば、一の吐出タイミングにおいてノズルデューティに依
存した吐出量の変動を補償するように駆動信号の設定を行うようになっているので、吐出
量の安定化を図ることができる。
【００１３】
本発明は、電気的な駆動信号によりノズルから前記基板上に液状体を吐出し、当該吐出
された液状体の固化により形成された機能性膜を構成要素として備える電気光学装置であ
って、前記液状体の吐出にあたり、一の吐出タイミングにおける所定のノズル群について
のノズルデューティに係る情報が取得され、取得された前記情報に基づいて、当該一の吐
出タイミングにおける当該ノズル群に係る前記駆動信号の設定が行われていることを特徴
とする。
【００１４】
この発明の電気光学装置においては、構成要素である機能性膜が、一の吐出タイミング
においてノズルデューティに依存した吐出量の変動を補償するように設定された駆動信号
を用いた液滴吐出方法により形成されている。このため、機能性膜のプロファイルが良好
であり、このような機能性膜を備えた電気光学装置は高品質である。
【００１５】
本発明の電子機器は、前記電気光学装置を備えることを特徴とする。
この発明の電子機器は、上記電気光学装置を備えているので高品質である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好まし
い種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定
する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参
照する図では、図示の便宜上、各層や各部材の縮尺を実際のものとは異なるように表して
いる。
【００１７】
（液滴吐出装置）
まずは、図１、図２、図３を参照して、本発明に係る液滴吐出装置の機械的構成につい
て説明する。
図１は、液滴吐出装置の全体構成を示す概略図である。図２は、ヘッド部の吐出面を示
す平面図である。図３は、ヘッドモジュールの内部構造の一例を示す要部断面図である。
【００１８】
図１において、液滴吐出装置１００は、基板１０１を載置するための載置台１０２と、
吐出面１０３ａから液状体を吐出可能な液滴吐出ヘッドとしてのヘッド部１０３と、ヘッ
ド部１０３に液状体を供給する液状体供給手段１０６と、を備えている。ヘッド部１０３
は、吐出面１０３ａを載置台１０２に対向させた状態でＸ軸方向に往復動（主走査）可能
なように、主走査手段１０４を介して本体部（図示せず）に取り付けられている。また、
載置台１０２は、Ｙ軸方向に往復動（副走査）可能なように、副走査手段１０５を介して
本体部（図示せず）に取り付けられている。
【００１９】
液滴吐出装置１００は、液状体を基板１０１上に任意のパターンで配置（描画）するの
に用いられ、液状体としては、液体のほか、液体中に個体微粒子を分散させたものなども
用いることができる。また、液滴吐出装置１００は、複数種の液状体を同時に供給して吐
出可能な構成とすることもできる。
【００２０】
ヘッド部１０３の吐出面１０３ａには、図２に示すように、複数のヘッドモジュール１
１ａ，１１ｂ，１１ｃが取り付けられており、各ヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃは、ラ
イン状の配列をなすノズル１７からなる２列ずつのノズル列１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１
６ｄ，１６ｅ，１６ｆを備えている。本実施形態のノズル列１６ａ〜１６ｆはそれぞれ１
６０個のノズルで構成されており、また、ノズル列１６ａ〜１６ｆの両端側には網掛け部
を重ねて図示するノズルが存在するが、これらは使用しないダミーノズルとなっている。
【００２１】
ノズル列１６ａ〜１６ｆは、それぞれ１４２μｍのノズルピッチ構成となっており、ヘ
ッド部１０３がＸ軸方向に主走査された場合において、互いに補完し合って連続した７１
μｍピッチのライン軌跡を描くような位置関係とされている。
【００２２】
ヘッドモジュール１１ａの内部構造は、図３に示すようになっている。すなわち、ヘッ
ドモジュール１１ａは、隔壁１４１で仕切られて並設されているキャビティ１４０と、各
キャビティ１４０と供給路１４６を介して連通する共通の液室であるリザーバ１４５とを
備えている。キャビティ１４０はノズル列１６ａの各ノズル１７とそれぞれ連通する液室
であり、リザーバ１４５は、供給口１４７を通して液状体供給手段１０６から供給された
液状体を一時的に貯留する液室となっている。
【００２３】
キャビティ１４０の上面側は、容易に撓むことができるように薄く板状に形成された振
動板１４３となっている。また、振動板１４３上の各キャビティ１４０に対応する位置に
は、圧電材料片と一対の電極（図示せず）とから構成される圧電素子１４２が配設されて
いる。かくして、圧電素子１４２の電極間に駆動信号（図５参照）が印加されると、圧電
素子１４２の直下の振動板１４３が変形し、キャビティ１４０内の液状体が加圧されて、
ノズル１７から液滴１５０が吐出される。
【００２４】
あるノズル１７について吐出の駆動がなされる場合、当該駆動に伴う機械的振動ないし
液状体の圧力振動などは、振動板１４３やリザーバ１４５を介して近接するノズル１７の
領域にも伝播し、その吐出特性に影響（クロストーク）を及ぼす。そして、このような構
造的なクロストークの発生は、キャビティ１４０が互いに近接し、共通するリザーバ１４
５を有する同一ノズル列内において顕著である。このようなクロストークの影響により、
各ノズル列１６ａ〜１６ｆのノズル１７から吐出される液滴量（吐出量）は、その吐出時
に同時に駆動されるノズルの分布（以下、ノズルデューティとする）によって、変動する
という性質がある。
【００２５】
尚、ヘッド部１０３におけるノズルの配列構成や内部構造は、上述した態様に限定され
るものではない。例えば、ノズルピッチを変更したり、一つのヘッドモジュールのみを用
いてヘッド部１０３を構成することも可能であるし、圧電素子に変えて電磁素子などの電
気機械素子を用いることもできる。また、液状体を加圧する駆動方式として、駆動信号を
熱に変換して圧力を発生させるいわゆるサーマル方式などを採用することもできる。
【００２６】
次に、図４、図５を参照して、液滴吐出装置の電気的構成および吐出制御方法について
説明する。
図４は、液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図である。図５は、駆動信号および
制御信号の一例を示すタイミング図である。
【００２７】
図４において、液滴吐出装置１００は、走査制御および、各ノズル列１６ａ〜１６ｆ（
図２参照）毎の吐出制御を行う制御部１２０を備えている。制御部１２０は、外部インタ
ーフェース（Ｉ／Ｆ）１２１を介してホストコンピュータ１０７と接続され、また内部Ｉ
／Ｆ１２２を介して、各ノズル列１６ａ〜１６ｆごとに設けられた吐出駆動回路１３１お
よび主走査手段１０４、副走査手段１０５と接続されている。
【００２８】
制御部１２０は、ＣＰＵ１２３と、ＣＰＵ１２３のワークメモリや吐出制御に係るデー
タのバッファメモリとして機能するＲＡＭ１２４と、各種制御情報を記憶するＲＯＭ１２
５と、クロック信号（ＣＫ）を生成する発信回路１２６と、駆動信号（ＣＯＭ）を生成す
る駆動信号生成回路１２７と、を備えている。
【００２９】
吐出駆動回路１３１は、シフトレジスタ１３２からなるシフトレジスタ回路と、ラッチ
回路１３３と、レベルシフタ１３４と、スイッチ１３５とを備え、圧電素子１４２の個々
に選択的に駆動信号（ＣＯＭ）を印加できるように構成されている。
【００３０】
ホストコンピュータ１０７は、描画対象面における液滴の配置を表したいわゆるビット
マップ形式の描画パターンデータを制御部１２０に伝送する。そして制御部１２０は、こ
の描画パターンデータに基づいて、ノズルデータ信号（ＳＩ）や駆動信号（ＣＯＭ）を、
各ノズル列１６ａ〜１６ｆ単位毎に次のように生成する。
【００３１】
すなわち、ノズルデューティ取得手段としてのＣＰＵ１２３は、描画パターンデータを
デコードしてノズル毎のＯＮ／ＯＦＦ情報であるノズルデータを生成すると共に、このノ
ズルデータに対応したノズルデューティに係る情報（以下、デューティパラメータとする
）を算出（取得）する（ノズルデューティ取得ステップ）。また、駆動信号生成手段とし
ての駆動信号生成回路１２７は、ＣＰＵ１２３が算出したデューティパラメータに基づい
て駆動信号（ＣＯＭ）の設定（駆動信号設定ステップ）および生成を行う。
【００３２】
ノズルデータをシリアル信号化したノズルデータ信号（ＳＩ）は、クロック信号（ＣＫ
）に同期してシフトレジスタ回路に伝送され、各ノズル毎のＯＮ／ＯＦＦ情報がそれぞれ
シフトレジスタ１３２に記憶される。そして、ＣＰＵ１２３で生成されたラッチ信号（Ｌ
ＡＴ）が各ラッチ回路１３３に入力されることで、ノズルデータがラッチされる。ラッチ
されたノズルデータはレベルシフタ１３４によって増幅され、ノズルデータが「ＯＮ」の
場合には所定の電圧がスイッチ１３５に供給される。また、ノズルデータが「ＯＦＦ」の
場合には、スイッチ１３５への電圧供給は行われない。
【００３３】
かくして、レベルシフタ１３４で昇圧された電圧がスイッチ１３５に供給されている間
は、圧電素子１４２に駆動信号（ＣＯＭ）が印加され、液滴１５０がノズル１７から吐出
される（図３参照）。
【００３４】
このような吐出制御は、ヘッド部１０３（図１参照）の移動（主走査）と同期して、図
５に示すように周期的な吐出タイミングで行われる。
【００３５】
図５に示すように、駆動信号（ＣＯＭ）は、放電パルス５０１、充電パルス５０２、放
電パルス５０３を有する一連のパルス群５００−１，５００−２…が中間電位５０４で接
続された構成となっている。そして、一つのパルス群によって、次のように一つの液滴を
吐出するようになっている。
【００３６】
すなわち、放電パルス５０１によって、電位レベルを降下させると共にノズル１７（図
３参照）内の液状体を内方に引き込む。次に、急峻な充電パルス５０２によって、キャビ
ティ１４０（図３参照）内の液状体を急激に加圧し、液状体をノズル１７（図３参照）か
ら押し出して液滴化する（吐出）。最後に放電パルス５０３によって、上昇した電位レベ
ルを中間電位５０４に戻すと共に、充電パルス５０２によって生じたキャビティ１４０（
図３参照）内の圧力振動（固有振動）を打ち消す。
【００３７】
駆動信号（ＣＯＭ）における電圧成分Ｖｃ，Ｖｈや時間成分（パルスの傾きやパルス間
の接続間隔など）などは、吐出量や吐出安定性などに大きく関わっているパラメータであ
り、あらかじめ適切な設計を要するものである。しかしながら、本実施形態に係る液滴吐
出装置１００では、パルス群５００−１，５００−２…の電圧成分は、各吐出タイミング
毎に独立して設定されるようになっている。具体的には、Ｖｃ／Ｖｈの比率を一定に保っ
たまま、吐出タイミングごとにＶｈが設定されるようになっている。
【００３８】
このような吐出タイミング毎（パルス群５００−１，５００−２…毎）のＶｈの設定は
、上述したデューティパラメータに基づいてなされる。これは、ノズルデューティに依存
して吐出量が変動するというヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃの性質に鑑みて、当該吐出
量の変動をＶｈにより補償し、吐出量の安定化を図るための制御である。ノズルデューテ
ィに依存した吐出量の変動はクロストークの影響の大きい同一ノズル列内において顕著で
あるため、デューティパラメータの取得やＶｈの設定（駆動信号の生成）は、各ノズル列
１６ａ〜１６ｆごとに独立して行われるようになっている。
【００３９】
尚、本実施形態ではＶｈによりノズルデューティに依存した吐出量の変動を補償する態
様としているが、変形例として、パルス群５００−１，５００−２…の時間成分により、
このような吐出量の変動の補償を行うようにすることも可能である。
【００４０】
（液晶表示装置）
次に、図６を参照して、本発明に係る電気光学装置の一例としての液晶表示装置につい
て説明する。
図６は、液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図である。
【００４１】
図６に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置２５０は、パッシブマトリクス
型液晶表示装置であって、複数の着色膜２６４を有するカラーフィルタ基板（ＣＦ基板）
２６１と、複数の電極２６８を有する対向基板２７１と、ＣＦ基板２６１と対向基板２７
１との間に狭持された液晶２７０とを備えた液晶表示パネル２６０を有している。このよ
うな液晶表示装置２５０は、受光型の表示装置であるため、例えば対向基板２７１の背面
側にＬＥＤ素子、ＥＬ、冷陰極管などの光源を有する照明装置（図示を省略）を備えてい
る。尚、本実施形態の液晶表示装置２５０は、これに限定されず、例えば対向基板２７１
にＴＦＴやＴＦＤなどのスイッチング素子を備えたアクティブマトリクス型液晶表示装置
であってもよい。
【００４２】
対向基板２７１は、例えば透明な樹脂またはガラス基板を用いており、ＣＦ基板２６１
との対向面側にＩＴＯからなる透明な複数の電極２６８を有している。電極２６８は、対
向するＣＦ基板２６１に設けられたＩＴＯからなる透明な電極２６６と直交してＹ方向に
延在している。すなわち、液晶表示パネル２６０は、互いに対向すると共に直交して格子
状に配置された電極２６６と電極２６８とを有している。そして電極２６６と電極２６８
とが直交して重なった部分が表示用の画素領域となっている。
【００４３】
ＣＦ基板２６１は、例えば透明な樹脂またはガラス基板を用いており、所定のパターン
で形成された遮光膜２６２と、遮光膜２６２の上に形成されたバンク２６３とを備えてい
る。また、遮光膜２６２およびバンク２６３によって区画された区画領域にＲ（赤色）、
Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）に対応する着色膜２６４と、着色膜２６４とバンク２６３を覆う
平坦化層としてのＯＣ（オーバーコート）膜２６５とを備えている。電極２６６はＯＣ膜
２６５上に形成されている。尚、電極２６６との密着性を確保するために、ＯＣ膜２６５
の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成するようにしてもよい。
【００４４】
液晶表示パネル２６０は、このようなＣＦ基板２６１と対向基板２７１とをギャップ材
２７２を介して所定の間隔で対向配置させ、両基板２６１，２７１の間に図示しないシー
ル材により液晶２７０を封止したものである。基板２６１，２７１における液晶２７０の
封入面側には、液晶２７０の分子を所定の方向に配向させる配向膜２６７，２６９が設け
られている。
【００４５】
尚、液晶表示パネル２６０の前面側と背面側の表面には、通常、入射あるいは出射する
光を偏向させる偏光板や、視角等を改善するための光学機能性フィルムとしての位相差フ
ィルム等が配設されるが、これらは省略している。
【００４６】
遮光膜２６２は、ＣＦ基板２６１上に、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいは
これらの金属の酸化物等の化合物を材料として、気相法とフォトリソグラフィー法を用い
て製造することができる。
【００４７】
バンク２６３は、遮光膜２６２が形成されたＣＦ基板２６１上に、ロールコート法やス
ピンコート法により厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成した後、フォトリソグラフ
ィー法によりパターニングを施して得ることができる。
【００４８】
機能性膜としての着色膜２６４Ｂ，２６４Ｇ，２６４Ｒは、それぞれＢ，Ｇ，Ｒに対応
する三色の色材（有機顔料）を含む液状体を用い、上述した液滴吐出装置１００を用いて
形成することができる。より具体的には、液状体をバンク２６３により区画された区画領
域内に配置（充填）し、配置された液状体を乾燥により膜化させることにより形成するこ
とができる。
【００４９】
機能性膜としてのＯＣ膜２６５は、透明なアクリル系樹脂を含む液状体を用いて、スピ
ンコート法、オフセット印刷により形成することができるほか、上述した液滴吐出装置１
００を用いても形成することができる。
【００５０】
機能性膜としての電極２６６，２６８は、気相法およびフォトリソグラフィー法を用い
て形成することができるほか、上述した液滴吐出装置１００を用いて、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ
等の金属微粒子の分散液をパターン配置して形成することもできる。
【００５１】
機能性膜としての配向膜２６７，２６９は、上述した液滴吐出装置１００を用いてポリ
イミド樹脂等を含む液状体をパターン配置して樹脂膜を形成した後、ラビング処理により
配向性を付与して形成することができる。
【００５２】
上述した液滴吐出装置１００は、ノズルデューティに依存した吐出量の変動が抑えられ
ていて描画ムラが少ない。このため、この液滴吐出装置１００を用いて形成された上記機
能性膜は良好なプロファイルを有しており、また当該機能性膜を備える液晶表示装置２５
０は高い表示品質を備えている。
【００５３】
（電子機器）
次に、図７を参照して、本発明に係る電子機器の一例としての携帯型情報処理装置につ
いて説明する。
図７は、携帯型情報処理装置を示す概略斜視図である。
【００５４】
図７に示すように、電子機器としての携帯型情報処理装置３００は、入力用のキーボー
ド３０１を有する情報処理装置本体３０３と、表示部３０２とを備えている。表示部３０
２には、液晶表示装置２５０が用いられている。この携帯型情報処理装置３００は、上記
液晶表示装置２５０を備えているので、高品質である。
【００５５】
（描画動作）
次に、図８、図９、図１０を参照して、描画動作の具体例を、ＣＦ基板の着色膜の形成
に係る描画動作を例に説明する。
【００５６】
図８（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、第１パス〜第４パスにおける基板に対するヘッドモジ
ュール１１ａ〜１１ｃの走査位置を示す平面図である。図９（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、
第１パス〜第４パスにおける、区画領域に対する吐出時のノズル位置を示す平面図である
。図１０は、デューティパラメータとＶｈとの関係を示す図である。
尚、図８において、仮想線で示す領域は、着色膜２６４（図６参照）の形成領域を表し
ている。また、図９において、塗りつぶして表示されているノズル１７は吐出時に駆動さ
れるノズル（駆動ノズル）を、白抜きで表示されているノズル１７は吐出時に駆動されな
いノズル（非駆動ノズル）を表している。
【００５７】
描画動作は、図８に示すように、ヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃの主走査（パス）と
ＣＦ基板２６１の所定量の移動（副走査）とを交互に繰り返すことで行われる。本実施形
態の例では、ＣＦ基板２６１上の局所領域（例えば、図９に示す領域）に対する液状体の
吐出は、第１〜第４の４回のパスに分割されて、それぞれヘッドモジュール１１ａ〜１１
ｃの異なるノズルにより行われる。
【００５８】
液状体の吐出は、図９に示すように、バンク２６３により形成された区画領域１９Ｂ，
１９Ｇ，１９Ｒ内に対して行われる。ここで、区画領域１９Ｂ，１９Ｇ，１９Ｒはそれぞ
れ、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）、Ｒ（赤色）の着色膜２６４（図６参照）に対応して設けら
れた区画領域であり、液晶表示装置２５０（図６参照）に用いられた状態においていわゆ
るストライプ型の画素配列を構成するようになっている。描画動作を行うにあたっては、
区画領域１９Ｂ，１９Ｇ，１９Ｒの配列の周期方向は、液滴吐出装置１００（図１参照）
の走査方向（ＸＹ軸方向）と一致するようにされる。
【００５９】
液状体の吐出は、各ノズル列１６ａ〜１６ｆの主走査位置に同期した周期的なタイミン
グで行われ、図では、Ｂ（青色）の色材を含む液状体を吐出する例を示している。本実施
形態では、互いに同一のヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃ（図２参照）に含まれるノズル
列１６ａと１６ｂ、ノズル列１６ｃと１６ｄ、ノズル列１６ｅと１６ｆが、それぞれ対を
なして各区画領域１９Ｂへの吐出を行う。また、区画領域１９Ｂから外れた領域に係るノ
ズル１７からは、液状体の吐出は行われないようになっている。
【００６０】
第１〜第４パスでは、一つの区画領域１９Ｂに対して各パスごとに異なるノズル１７で
液状体の吐出が行われる。これは、吐出量のノズル間ばらつきを分散させて、充填される
液状体の量を各区画領域間で均一化するための配慮である。また、区画領域１９Ｂに対す
る吐出位置（吐出時のノズル位置）は、各パス間で互いにいくらかオフセットされるよう
になっている。これは、区画領域１９Ｂ内の全域に液状体を均一に充填するようにするた
めの配慮である。
【００６１】
区画領域１９Ｂは、主走査方向に周期的な配列をなしているため、一のパス内における
ノズル列１６ａ〜１６ｆのノズルデューティは、連続する各吐出タイミング間で変化しな
い。このため、デューティパラメータに基づいて各吐出タイミング毎に設定される駆動信
号のＶｈ（図５参照）は、結局、同一パス内で一定となる。このような同一パス内におい
てノズルデューティが変化しないような描画動作については、Ｖｈ（図５参照）の設定を
吐出タイミング毎ではなく、パス毎に行うようにすることも可能である。
【００６２】
本実施形態では、各ノズル列１６ａ〜１６ｆ毎における駆動ノズルの数をデューティパ
ラメータとして採用しており、例えば、ヘッドモジュール１１ｂ（図８参照）に設けられ
たノズル列１６ｃの第１〜第４パスのデューティパラメータ（ＤＰ）は、表１のようにな
っている。また、デューティパラメータとそれに基づいて設定されるＶｈ（図５参照）と
の関係は、図１０に示すようになっている。すなわち本実施形態では、ノズル列１６ｃに
ついての第３、第４パスにおけるＶｈ（図５参照）は、第２パスにおけるＶｈ（図５参照
）よりも高く設定されることになる。尚、同一パス内において、ノズルデューティはノズ
ル列１６ａ〜１６ｆ毎にそれぞれ異なるため（図８参照）、設定されるＶｈもまたノズル
列１６ａ〜１６ｆ毎に異なることになる。
【００６３】
【表１】
2007130604.tif 000003
【００６４】
先にも説明したように、デューティパラメータに基づいたＶｈの設定は、ノズルデュー
ティに依存した吐出量の変動をＶｈにより補償し、吐出量の安定化を図るために行ってい
るものである。一般的な傾向として、ノズル列内における駆動ノズルの数が増えるほど当
該駆動ノズルからの吐出量（の平均値）は減少するが、図１０に示すデューティパラメー
タとＶｈとの関係はこのような傾向を反映したものとなっている。
【００６５】
ノズルデューティに依存した吐出量の変動をより好適に補償するためには、吐出量の変
動との相関性に優れたデューティパラメータを採用することが好ましいが、この点からす
ると、駆動ノズルの数そのものをデューティパラメータとすることは必ずしも有効である
とは言い難い。吐出量の変動は近接ノズルのクロストークにより生じるものなので、駆動
ノズル同士が密集している場合と、駆動ノズルがまばらに分散している場合とでは、駆動
ノズルの数が同じであっても吐出量に反映されるクロストークの程度が異なってくるから
である。すなわち、吐出量の変動との相関性に関して、デューティパラメータには駆動ノ
ズルの近接度が含まれていることが好ましいと言える。
【００６６】
このことに鑑みて、例えば、第１隣接（最隣接）ノズルの駆動の有無に応じた重み付け
係数（表２参照）を用いてデューティパラメータを算出することも可能である。すなわち
、ある駆動ノズルについて片側の第１隣接ノズルが駆動されている場合には１．２ノズル
相当と、両側の第１隣接ノズルが駆動されている場合には１．４ノズル相当として駆動ノ
ズルの数を合計することで、吐出量への影響度を勘案したデューティパラメータを取得す
ることが可能である。尚、同様に、第２、第３隣接ノズルの駆動の有無も考慮してデュー
ティパラメータの算出を行うようにすることもできる。
【００６７】
【表２】
2007130604.tif 000004
【００６８】
また、吐出量の変動は近接ノズルのクロストークにより生じるものなので、ノズルデュ
ーティの変化による吐出量の変動をより好適に補償するためには、デューティパラメータ
の取得およびＶｈ（図５参照）の補正は、できるだけ狭い領域内のノズル群単位で行われ
ることが好ましい。このことに鑑みて、ノズルデータ信号（ＳＩ）や駆動信号（ＣＯＭ）
の生成を（図４参照）、ノズル列内のさらに細分化されたノズル群単位で行うようにする
ことも可能である。
【００６９】
本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、上述した描画方法を用いて形成される機能性膜の別の例として、例えば、有機
ＥＬ表示装置における発光膜、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜、電気回路全般
における導電膜（導電配線）や高抵抗膜（抵抗素子）などが挙げられる。
また、各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他
の構成と組み合わせたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】液滴吐出装置の全体構成を示す概略図。
【図２】ヘッド部の吐出面を示す平面図。
【図３】ヘッドモジュールの内部構造の一例を示す要部断面図。
【図４】液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図。
【図５】駆動信号および制御信号の一例を示すタイミング図。
【図６】液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図７】携帯型情報処理装置を示す概略斜視図。
【図８】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、第１パス〜第４パスにおける基板に対するヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃの走査位置を示す平面図。
【図９】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ、第１パス〜第４パスにおける、区画領域に対する吐出時のノズル位置を示す平面図。
【図１０】デューティパラメータとＶｈとの関係を示す図。
【符号の説明】
【００７１】
１１ａ〜１１ｃ…ヘッドモジュール、１６ａ〜１６ｆ…ノズル群としてのノズル列、１
７…ノズル、１９Ｂ，１９Ｇ，１９Ｒ…区画領域、１００…液滴吐出装置、１０１…基板
、１０２…載置台、１０３…液滴吐出ヘッドとしてのヘッド部、１０３ａ…吐出面、１０
４…主走査手段、１０５…副走査手段、１０６…液状体供給手段、１０７…ホストコンピ
ュータ、１２０…制御部、１２１…外部Ｉ／Ｆ、１２２…内部Ｉ／Ｆ、１２３…ノズルデ
ューティ取得手段としてのＣＰＵ、１２４…ＲＡＭ、１２５…ＲＯＭ、１２６…発信回路
、１２７…駆動信号生成手段としての駆動信号生成回路、１３１…吐出駆動回路、１３２
…シフトレジスタ、１３３…ラッチ回路、１３４…レベルシフタ、１３５…スイッチ、１
４０…キャビティ、１４１…隔壁、１４２…圧電素子、１４３…振動板、１４５…リザー
バ、１４６…供給路、１４７…供給口、１５０…液滴、２５０…電気光学装置としての液
晶表示装置、２６０…液晶表示パネル、２６１…ＣＦ基板、２６３…バンク、２６４…機
能性膜としての着色膜、２６５…機能性膜としてのＯＣ膜、２６７，２６９…機能性膜と
しての配向膜、３００…電子機器としての携帯型情報処理装置、５００…パルス群、５０
１…放電パルス、５０２…充電パルス、５０３…放電パルス、５０４…中間電位。
【図１】
2007130604.tif 000005
【図２】
2007130604.tif 000006
【図３】
2007130604.tif 000007
【図４】
2007130604.tif 000008
【図５】
2007130604.tif 000009
【図６】
2007130604.tif 000010
【図７】
2007130604.tif 000011
【図８】
2007130604.tif 000012
【図９】
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【図１０】
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