(57)【要約】【課題】高真空環境下で用いることのできる、安価で汎用性の高い耐真空用多極貫通コネクタおよび同コネクタの製造方法を提供する。【解決手段】耐真空用多極貫通コネクタ１４は、カメラ本体側の一方のインシュレータ１４１にエポキシ系接着剤１４５を塗布する工程、接着剤１４５が塗布されたインシュレータ１４１の孔ａ，…に、鍔つきのピンコンタクト１４３，…を嵌挿する工程、インシュレータ１４１の孔ａ，…に嵌挿されたピンコンタクト１４３，…を他方のインシュレータ１４２の孔ａ，…に嵌挿して、一対のインシュレータ１４１，１４２を密着させ、インシュレータ１４１，１４２の間、およびピンコンタクト１４３，…とインシュレータ１４１，１４２との間にエポキシ系接着剤１４５を充填させる工程を経て製造される。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大気側と真空側を隔離する耐真空用多極貫通コネクタであって、
複数の孔を有する一対のインシュレータと、
前記インシュレータの孔を貫通した複数のピンコンタクトと、
前記インシュレータ相互の間に充填された接着剤と
を具備したことを特徴とする耐真空用多極貫通コネクタ。
【請求項２】
少なくとも一方のインシュレータは、凹陥部を有し、この凹陥部に前記接着剤を充填したことを特徴とする請求項１記載の耐真空用多極貫通コネクタ。
【請求項３】
前記凹陥部の底部に前記複数のピンコンタクトが貫通する複数の孔を設けたことを特徴とする請求項２記載の耐真空用多極貫通コネクタ。
【請求項４】
前記接着剤は二液混合型エポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項３記載の耐真空用多極貫通コネクタ。
【請求項５】
前記ピンコンタクトは金メッキ若しくは無電解ニッケルメッキされていることを特徴とする請求項４記載の耐真空用多極貫通コネクタ。
【請求項６】
前記インシュレータは、ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂により成形したことを特徴とする請求項５記載の耐真空用多極貫通コネクタ。
【請求項７】
真空環境に置かれた筐体内に設けられ大気環境で動作するＣＣＤを前記真空環境で回路接続する耐真空用多極貫通コネクタであって、
前記筐体内に露出する面を有する第１のインシュレータと、
前記筐体外に露出する面を有する第２のインシュレータと、
前記第１、第２のインシュレータの前記各面に設けられた複数の孔を貫通して前記インシュレータに立設された複数のピンコンタクトと、
前記前記第１、第２のインシュレータの相互の間に充填されたエポキシ系接着剤と
を具備したことを特徴とする耐真空用多極貫通コネクタ。
【請求項８】
前記第１のインシュレータは、凹陥部を有し、前記凹陥部の底部に前記複数のピンコンタクトが貫通する複数の孔を有して、前記凹陥部に前記接着剤が充填されることを特徴とする請求項７記載の耐真空用多極貫通コネクタ。
【請求項９】
大気側と真空側を隔離する耐真空用多極貫通コネクタの製造方法であって、
複数のピンコンタクトが貫通する孔を有した一対のインシュレータのうち、一方のインシュレータの他方のインシュレータと重ね合わせる面にエポキシ系接着剤を塗布する第１の工程と、
前記接着剤が塗布されたインシュレータの孔に鍔つきのピンコンタクトを嵌挿する第２の工程と、
前記一方のインシュレータの前記孔に嵌挿されたピンコンタクトを前記他方のインシュレータの前記孔に嵌挿して、前記一対のインシュレータを密着させ、前記一対のインシュレータ間および前記ピンコンタクトと前記インシュレータとの間に前記エポキシ系接着剤を充填させる第３の工程と
を具備したことを特徴とする耐真空用多極貫通コネクタの製造方法。
【請求項１０】
前記一対のインシュレータに立設した前記ピンコンタクトを、後に嵌着されるケーブルコネクタに仮嵌着させて前記エポキシ系接着剤を硬化させる第４の工程をさらに具備したことを特徴とする請求項７記載の耐真空用多極貫通コネクタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高真空環境下で用いられる耐真空用多極貫通コネクタおよび同コネクタの製造方法に関する。
【０００２】
さらに本発明は、真空環境に置かれた筐体内に設けられ大気環境で動作するＣＣＤを前記真空環境で回路接続する際に適用して好適な耐真空用多極貫通コネクタに関する。
【背景技術】
【０００３】
大気側と真空側を隔離するコネクタには高い機密性が要求される。例えば真空環境内にて耐真空用テレビカメラを用いる際に、カメラには、ケーブルと接続するためのコネクタの準備が必要であるが、真空環境下では「金属素材および樹脂材からの放出ガス」「嵌め合い隙間からのリークガス」に対してそれぞれ防止策が必要となることから、一般に流通しているコネクタを使用することはできない。一方、耐真空用として使用可能な密封型の特殊なハーメチックコネクタも存在するが、多極のものは外形が大きく、小型カメラへの取付には不向きであり、またグラスシールのため、高価でかつ取付に密封溶接を必要とする等の問題があることから、実用性に乏しいという問題があった。
【特許文献１】特開平１０−１８９０９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したように、従来では、大気側と真空側を隔離する高い機密性が要求される多極コネクタに、安価で汎用性の高いものが存在しないという問題があった。
【０００５】
本発明は上記実情に鑑みなされたもので、高真空環境下で用いることのできる、安価で汎用性の高い耐真空用多極貫通コネクタおよび同コネクタの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、大気側と真空側を隔離する耐真空用多極貫通コネクタであって、複数の孔を有する一対のインシュレータと、前記インシュレータの孔を貫通した複数のピンコンタクトと、前記インシュレータ相互の間に充填された接着剤とを具備したことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明は、真空環境に置かれた筐体内に設けられ大気環境で動作するＣＣＤを前記真空環境で回路接続する耐真空用多極貫通コネクタであって、前記筐体内に露出する面を有する第１のインシュレータと、前記筐体外に露出する面を有する第２のインシュレータと、前記第１、第２のインシュレータの前記各面に設けられた複数の孔を貫通して前記インシュレータに立設された複数のピンコンタクトと、前記前記第１、第２のインシュレータの相互の間に充填されたエポキシ系接着剤とを具備したことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明は、大気側と真空側を隔離する耐真空用多極貫通コネクタの製造方法であって、複数のピンコンタクトが貫通する孔を有した一対のインシュレータのうち、一方のインシュレータの他方のインシュレータと重ね合わせる面にエポキシ系接着剤を塗布する第１の工程と、前記接着剤が塗布されたインシュレータの孔に鍔つきのピンコンタクトを嵌挿する第２の工程と、前記一方のインシュレータの前記孔に嵌挿されたピンコンタクトを前記他方のインシュレータの前記孔に嵌挿して、前記一対のインシュレータを密着させ、前記一対のインシュレータ間および前記ピンコンタクトと前記インシュレータとの間に前記エポキシ系接着剤を充填させる第３の工程とを具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
高真空環境下で用いることのできる、安価で汎用性の高い耐真空用多極貫通コネクタを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下図面を参照して本発明の実施形態を説明する。  
本発明の実施形態に係る耐真空用多極貫通コネクタを用いたカメラ装置全体の構成を図１に示す。  
本発明の実施形態に係る耐真空用カメラ１０は、１０−６［Ｐａ］程度の高真空環境にある真空チャンバー（例えば真空室）１の内部に於いて、耐真空用可撓性複合ケーブル２０を用いることにより、真空室１内で任意の位置および姿勢制御による被検査体（被写体）２の観察（監視）が可能な構造としている。上記耐真空用カメラ１０と、耐真空用可撓性複合ケーブル２０との接続インタフェースに本発明に係る耐真空用多極貫通コネクタが用いられる。また、本発明に係る耐真空用多極貫通コネクタは上記耐真空用可撓性複合ケーブル２０を接続する真空室の接続口（フランジ部）にも適用可能な構造としている。
【００１１】
この耐真空用可撓性複合ケーブル２０を用いた耐真空用カメラ１０により、真空室１内に於いて、被検査体（被写体）２の位置合わせ、アライメント調整等、被検査体近傍での自由な位置取り、角度設定を可能にした観察用テレビカメラを実現可能にしている。また、電気的特性は一般用カメラと同等でありながら、１０−６［Ｐａ］程度の高真空環境下に於いても真空環境へのガス放出がほぼゼロのカメラケーブル付耐真空用カメラを実現している。この耐真空用カメラを実現するため、耐真空用カメラ１０、および耐真空用可撓性複合ケーブル２０は、それぞれ真空度１０−６［Ｐａ］の高真空に晒されても安定に動作し、かつ真空空間への不純物放出（不要ガス放出）を最小限に抑えた構造および材料構成としている。
【００１２】
真空室１には、耐真空用可撓性複合ケーブル２０の接続インタフェースをもつ貫通コネクタ３０を備えた密閉構造のフランジ４０が設けられる。真空室１内に置かれた耐真空用カメラ１０は、耐真空用可撓性複合ケーブル２０、およびフランジ４０に設けられた貫通コネクタ３０を介して真空室１の外部（大気側）に設けられた制御器５０に回路接続される。フランジ４０は真空室１の規格および寸法に準じた形状および強度とする。貫通コネクタ３０は気密性の高い構造とする。制御器５０は、耐真空用カメラ１０に設けられた撮像素子に駆動信号を送出し、撮像素子の出力信号に従う映像信号を外部へ出力する。
【００１３】
真空室１内に設けられる耐真空用カメラ１０は、撮像素子を収容したカメラ筐体と、撮像素子に結像するレンズを装着するレンズマウントと、撮像素子を回路接続する耐真空用多極貫通コネクタおよびこのコネクタを覆うジャケットとを有し、レンズマウントおよびコネクタジャケットを隔壁にカメラ筐体を密閉した構造としている。これにより真空域内に於いてカメラ筐体に収容された撮像素子は大気側の環境に置かれる。
【００１４】
耐真空用カメラ１０の真空中に晒される外筐は、真空中に於いてガス放出が非常に少ない金属材料を用いて構成される。ここでは耐真空用カメラ１０の外筐を構成する、カメラ筐体、レンズマウント、ジャケットをすべてステンレス鋼を用いて構成している。この耐真空用カメラ１０の具体的な構造については図４乃至図１１を参照して後述する。
【００１５】
真空室１内に設けられる耐真空用可撓性複合ケーブル２０は、本発明の実施形態に係る耐真空用多極貫通コネクタ（図７乃至図１１の符号１４参照）に接続される信号ケーブルを構成するもので、真空中での不純物放出を最小限に抑える材料と構造を採用し、定インピーダンスの信号線（同軸芯線）を含んだ多芯ケーブル構造によりカメラ信号（ＣＣＤ直接駆動信号）の理想的伝送を可能にしている。
【００１６】
この耐真空用可撓性複合ケーブル２０の断面構造を図２および図３に示し、ケーブルコネクタを設けた同ケーブルを図８に示している。
【００１７】
耐真空用可撓性複合ケーブル２０は、真空中において線間および芯線に空気溜まりが生じないよう、また不要ガスが放出されないよう線材および製法を考慮して製造されるもので、図２および図３に示すように、編組シールド２１ｃを外皮とし、フッ素系樹脂を中心導体２１ａの絶縁材２１ｂとした同軸芯線２１，２１，…と、フッ素系樹脂を導体２２ａの絶縁材および外皮２２ｂとした他の芯線２２，２２，…とを撚り合わせて編組管２３に通した後、前記編組管２３内で前記同軸芯線２１，２１，…と、他の芯線２２，２２，…との撚りを戻して各芯線間を粗密にし、ベーキング処理を施すことにより製造される。なお、上記各芯線２１，２２は、柔軟性を保ち、かつ長期間の使用に耐えるよう、内部導体２１ａ，２２ａに撚り線を用いた可撓性ケーブル構造であり、大気中で用いられる通常の可撓性ケーブルとほぼ同様の可撓性を有している。また、上記各芯線２１，２２の絶縁材２１ｂ，２２ｂにフッ素系樹脂を用い、各芯線２１，２２の導体２１ａ，２２ａ、編組シールド２１ｃ、編組管２３に銀メッキ線を用いて真空中に不要ガスを放出しない材料構成としている。また、上記ベーキングの処理では、約２００℃で十数時間乃至数十時間の真空ベーキングを行い、樹脂内の不要なガス成分を除去する。
【００１８】
このようにして製造した耐真空用可撓性複合ケーブル２０は、樹脂絶縁のケーブルであり、ケーブル自体が非常に柔らかに撓ることから、大気中において使用される一般的なカメラケーブルと同様な可撓性を実現でき、被写体に合わせた真空室１内でのカメラの移動、ハンドリングが自由に行える。このようなケーブル構造により、経済的に有利な構成で、電気的特性は、一般用のカメラケーブルと同等でありながら、１０−６［Ｐａ］に於いても真空環境へのガス放出がほぼゼロの耐真空用可撓性カメラケーブルが実現できる。
【００１９】
上記した耐真空用可撓性複合ケーブル２０の一端には、図４および図８に示すように、耐真空用カメラ１０の筐体に設けられた耐真空用多極貫通コネクタ（図７乃至図１１の符号１４参照）に結合するケーブルコネクタ２８が設けられ、他端には、フランジ４０の貫通コネクタ３０に結合するケーブルコネクタが設けられる。
【００２０】
上記した耐真空用可撓性複合ケーブル２０とともに真空室１内に設けられる耐真空用カメラ１０の各部の組み立て構造を図４乃至図１１に示している。耐真空用カメラ１０全体の外観構造を図４に示し、耐真空用カメラ１０のカメラヘッド部の組み立て構造を図５および図６に示し、耐真空用多極貫通コネクタおよびこのコネクタを覆うジャケット部の取付構造を図７および図８に示し、耐真空用多極貫通コネクタの組み立て構造を図９乃至図１１に示している。
【００２１】
真空室１内に設けられる耐真空用カメラ１０は、図４乃至図８に示すように、撮像素子（この実施形態ではＣＣＤ）で構成したカメラ本体１１を収容するカメラ筐体１２と、撮像素子に結像するレンズを装着するレンズマウント１３と、撮像素子を回路接続する耐真空用多極貫通コネクタ１４およびこの貫通コネクタ１４を覆うコネクタジャケット（コネクタケース）１５とを有して構成される。
【００２２】
さらにカメラ筐体１２の外周部には、図４に示すように、真空室１内において、耐真空用カメラ１０を図示しないカメラ移動機構（マニピュレータ）に装着するためのクランプ金具１８が取り付けられる。この図４では、コネクタジャケット１５内に設けられた耐真空用多極貫通コネクタ１４に、耐真空用可撓性複合ケーブル２０の一端に設けたケーブルコネクタ２８が嵌着された状態を例示している。
【００２３】
これら耐真空用カメラ１０の外筐を構成するカメラ筐体１２、レンズマウント１３、およびコネクタジャケット１５と、クランプ金具１８、およびケーブルコネクタ２８の外筐等、真空域に晒される金属材部分は、それぞれステンレス鋼により構成される。なお、図ではレンズマウント１３に装着されるレンズおよびレンズケースを示していないが、レンズマウント１３に装着されるレンズケースについてもステンレス鋼により構成される。
【００２４】
図５および図６に示すように、レンズマウント１３の撮像面部１３ｂに、機密保持用のＯリング１３３、フロントガラス１３４、スリップ板１３５を配置してガラス押さえ１３２を撮像面部１３ｂに螺合することで、レンズマウント１３にフロントガラス１３４が取着される。さらにレンズマウント１３の撮像面部１３ｂに、図６に示すように、レンズケース（図示せず）を装着するためのマウントアダプタ１３６を螺合し締め付けねじで固定することにより、レンズマウント１３にマウントアダプタ１３６が取着される。このレンズマウント１３を撮像面側からみた取付状態を図６（ｂ）に示している。
【００２５】
図５及び図６に示すように、カメラ本体１１をレンズマウント１３のカメラ装着部１３ａに嵌挿し、カメラ押さえ１３１をレンズマウント１３に螺合して、レンズマウント１３のカメラ装着部１３ａにカメラ本体１１を装着した後、図７に示すように、レンズマウント１３の筐体接合部１３ｃに、機密保持用のＯリング１３７を介在して、筒状カメラ筐体１２の一端をねじ止めし、カメラ本体１１の周囲にカメラ筐体１２を取り付けることにより、耐真空用カメラ１０のカメラヘッド部が構成される。さらに、図７および図８に示すように、カメラ筐体１２の他端に、機密保持用のＯリング１５１を介在して、耐真空用多極貫通コネクタ１４を設けたコネクタジャケット１５をねじ止めし、カメラ筐体１２にコネクタジャケット１５を取着することにより、カメラ筐体１２を密閉構造にした耐真空用カメラ１０が構成される。なお、図７に示す符号１９は、耐真空用カメラ１０内でカメラ本体１１と耐真空用多極貫通コネクタ１４とを回路接続する内部配線である。
【００２６】
コネクタジャケット１５に設けられる耐真空用多極貫通コネクタ１４は、図９乃至図１１に示すように、複数の孔ａ，…を有する一対のインシュレータ１４１，１４２と、このインシュレータ１４１，１４２の孔ａ，…を貫通した複数のピンコンタクト１４３，…と、インシュレータ１４１，１４２の相互の間に充填された接着剤１４５とにより構成される。インシュレータ１４１，１４２は、ポリエーテル・エーテル・ケトン（ＰＥＥＫ）樹脂により成形される。ピンコンタクト１４３，…には、金メッキ若しくはＳｎ、Ｚｎ成分を含まない無電解ニッケルメッキが施されている。接着剤１４５には二液混合型エポキシ系接着剤が用いられる。
【００２７】
この耐真空用多極貫通コネクタ１４は、複数のピンコンタクトが貫通する孔を有した一対のインシュレータ１４１，１４２のうち、カメラ本体側の一方のインシュレータ１４１にエポキシ系接着剤１４５を塗布する第１の工程と、接着剤１４５が塗布されたインシュレータ１４１の孔ａ，…に、鍔つきのピンコンタクト１４３，…を嵌挿する第２の工程と、インシュレータ１４１の孔ａ，…に嵌挿されたピンコンタクト１４３，…を他方のインシュレータ１４２の孔ａ，…に嵌挿して、一対のインシュレータ１４１，１４２を密着させ、一対のインシュレータ１４１，１４２の間、およびピンコンタクト１４３，…とインシュレータ１４１，１４２との間にエポキシ系接着剤１４５を充填させる第３の工程と、ピンコンタクト１４３，…に付着した接着剤１４５およびインシュレータ１４１，１４２の周部から食み出た接着剤１４５を除去し、接着剤１４５を硬化させる第４の工程とを経ることによって製造される。
【００２８】
上記一対のインシュレータ１４１，１４２のうち、カメラ本体側の一方のインシュレータ１４１には、図９に示すように、他方のインシュレータ１４２と接合する面側に凹陥部Ａが形成され、この凹陥部Ａの底部にピンコンタクト取付用の複数の孔ａ，…が設けられている。凹陥部Ａには高い鍔部Ｂと、低い鍔部Ｃが形成され、鍔部Ｃが、上記凹陥部Ａに塗布した接着剤１４５の余剰分の逃げ溝となる。
【００２９】
上記第１の工程では、インシュレータ１４１の凹陥部Ａに、鍔部Ｃを超える程度の高さまで接着剤１４５を塗布する。
【００３０】
上記第２の工程では、インシュレータ１４１の凹陥部Ａの底部に設けられた孔ａ，…に、鍔つきのピンコンタクト１４３，…を嵌挿する。
【００３１】
上記第３の工程では、ピンコンタクト１４３，…を他方のインシュレータ１４２の孔ａ，…に嵌挿して、一対のインシュレータ１４１，１４２を密着させることにより、一対のインシュレータ１４１，１４２の間、およびピンコンタクト１４３，…とインシュレータ１４１，１４２との間にエポキシ系接着剤１４５が充填されるが、この際、余剰接着剤が鍔部Ｃを逃げ溝にしてインシュレータ１４１，１４２の周部から食み出る。この食み出た接着剤１４５を上記第４工程で拭き取る。さらに第４の工程では、図１１に示すように、耐真空用可撓性複合ケーブル２０に接続して用いるケーブルコネクタ２８を利用して、一対のインシュレータ１４１，１４２の間、およびピンコンタクト１４３，…とインシュレータ１４１，１４２との間の各間隙に充填されたエポキシ系接着剤１４５を硬化させる。これにより、後に嵌着されるケーブルコネクタ２８に馴染んだ、円滑に脱着可能な耐真空用多極貫通コネクタ１４が製造できる。
【００３２】
このような製造工程を経て図１１に示すような耐真空用多極貫通コネクタ１４が製造される。  
この耐真空用多極貫通コネクタ１４のインシュレータ周部にエポキシ系接着剤を塗布し、耐真空用多極貫通コネクタ１４を、図７および図８に示すように、コネクタジャケット１５のコネクタ装着部１５ａに嵌挿して、コネクタ押さえ１５３をコネクタ装着部１５ａに螺合することにより、耐真空用多極貫通コネクタ１４とコネクタ装着部１５ａとの間隙にエポキシ系接着剤が充填された状態で耐真空用多極貫通コネクタ１４がコネクタジャケット１５に取着される。
【００３３】
これにより真空側と大気側とを耐真空用多極貫通コネクタ１４で隔離したコネクタジャケット１５が構成される。なお、上記した耐真空用多極貫通コネクタ１４の構造は、耐真空用カメラ１０の貫通コネクタだけでなく、例えば密閉構造のフランジ４０に設けられた貫通コネクタ３０にも適用することができる。
【００３４】
上記した耐真空用可撓性複合ケーブル２０を用いた耐真空用カメラ１０を真空域内の監視・観察用カメラとして用いることにより、真空域内における被検査体（被写体）の位置合わせ、アライメント調整等、被検査体近傍での自由な位置取り、角度設定を可能にした、経済的に有利な構成の監視・観察用テレビカメラを実現することができる。この耐真空用可撓性複合ケーブル２０を用いた耐真空用カメラ１０は、例えば、真空成膜装置（成膜蒸着、スパッタリングなど）やその他の真空設備など各種の産業用真空装置に適用できる。
【００３５】
上記した実施形態では、耐真空用カメラ１０の外筐を構成する、カメラ本体１２、レンズマウント１３、ジャケット１５をすべてステンレス鋼を用いて構成しているが、真空中に於いてガス放出が非常に少ない、例えばアルミニウム等の金属材料を用いて構成することも可能である。
【００３６】
また、上記耐真空用可撓性複合ケーブル２０に照明用配線を設け、上記耐真空用多極貫通コネクタ１４に照明用配線のピンコンタクトを設け、上記レンズマウント１３にＬＥＤ設けることで、照明機能をもつ耐真空用カメラ１０を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施形態に係る耐真空用多極貫通コネクタを用いた耐真空用カメラの構成を示すブロック図。
【図２】上記実施形態に係る耐真空用多極貫通コネクタに用いられる耐真空用可撓性複合ケーブルの断面構造を示す図。
【図３】上記図２に示す耐真空用可撓性複合ケーブルに含まれる同軸芯線の断面構造を示す図。
【図４】上記実施形態に係る耐真空用カメラの外観構造を示す図。
【図５】上記実施形態に係る耐真空用カメラのカメラヘッド部の組立構造を示す図。
【図６】上記実施形態に係る耐真空用カメラのカメラヘッド部の組立構造を示す図。
【図７】上記実施形態に係る耐真空用カメラの組立構造を示す図。
【図８】上記実施形態に係る耐真空用カメラの組立構造を示す図。
【図９】上記実施形態に係る耐真空用多極貫通コネクタの組立構造を示す図。
【図１０】上記実施形態に係る耐真空用多極貫通コネクタの組立構造を示す図。
【図１１】上記実施形態に係る耐真空用多極貫通コネクタの外観構造を示す図。
【符号の説明】
【００３８】
１…真空チャンバー（例えば真空室）、２…被検査体（被写体）、１０…耐真空用カメラ、１１…カメラ本体（ＣＣＤユニット）、１２…カメラ筐体、１３…レンズマウント、１４…耐真空用多極貫通コネクタ、１５…コネクタジャケット（コネクタケース）、１５ａ…コネクタ装着部、１８…クランプ金具、２０…耐真空用可撓性複合ケーブル、２８…ケーブルコネクタ、３０…貫通コネクタ、４０…フランジ、５０…制御器、１４１，１４２…インシュレータ、１４３…ピンコンタクト、１４５…接着剤（二液混合型エポキシ系接着剤）、１５３…コネクタ押さえ、Ａ…凹陥部、Ｂ…高い鍔部、Ｃ…低い鍔部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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