(57)【要約】【課題】導電性付与剤を含有するうアルミナ質焼結体を特に磁気ヘッド加工組立用治具として用いた場合、体積固有抵抗は低くすることができるものの、機械的強度を高いものとすることができず、磁気ヘッド加工組立用治具に繰り返し外圧が掛かると、破損しやすい。【解決手段】本発明のアルミナ質焼結体は、粒界相にマグネリ相酸化チタンを有しており、このマグネリ相酸化チタンは定比の酸化チタン（ＴｉＯ２）より高い導電性を備えるとともに、化学的安定性、特に腐食しやすい雰囲気下における耐食性が高いという特徴も備えているため、粒界相は腐食されにくいため、導電性を維持しつつ、高い強度を備え、特に、磁気ヘッド加工組立用治具として用いた場合、磁気ヘッドに帯電した電荷を速やかに逃がすことができるとともに、磁気ヘッド加工組立用治具に繰り返し外圧が掛かっても、磁気ヘッド加工組立用治具は破損することがなく、長期間信頼性の高いものとすることができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミナを主結晶相とし、粒界相にマグネリ相酸化チタンを有することを特徴とするアルミナ質焼結体。
【請求項２】
前記マグネリ相酸化チタンは、５〜１０質量％含有することを特徴とする請求項１に記載のアルミナ質焼結体。
【請求項３】
請求項１または請求項２のいずれかに記載のアルミナ質焼結体からなり、磁気ヘッド用基板から磁気ヘッドを作製するための加工工程または組立工程で前記磁気ヘッド用基板を保持する磁気ヘッド加工組立用治具であって、体積固有抵抗が１０６〜１０９Ω・ｃｍであることを特徴とする磁気ヘッド加工組立用治具。
【請求項４】
表面におけるＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間におけるクロマティクネス指数ｂ＊が−１０以下であることを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッド加工組立用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的な導電性を有するアルミナ質焼結体より機械的特性が高く、静電気を適度な速度で逃がすことができる静電気除去作用を有するアルミナ質焼結体に関するものであって、特に、高密度記録装置であるハードディスクドライブやテープドライブ等に用いられる磁気抵抗効果（ＭＲ）ヘッドや巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）ヘッドの加工工程または組立工程で用いられる磁気ヘッド加工組立用治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
アルミナ質焼結体は、一般に高融点、高強度、高硬度、電気絶縁性、高熱伝導性を有し、
かつ化学的に安定であることから、耐熱材料、構造用材料、研削・研磨材料、生体材料、ＩＣ基板パッケージなどの電気絶縁材料等の広範な用途に用いられている。このようなアルミナ質焼結体は、通常１０１４Ω・ｃｍ程度の電気絶縁性を有しているが、機械的特性や化学的特性を生かし、種々の用途に展開することを目的に導電性を付与する試みが種々提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１では、アルミナ粒子７７〜９６体積％と、炭化チタン、窒化チタン、炭化ジルコニウム、窒化ジルコニウム、炭化ハフニウム、窒化ハフニウム、炭化ニオブ、窒化ニオブ、炭化タンタルおよび窒化タンタルからなる群から選ばれる１種以上の導電性化合物粒子４〜２３体積％とを含み、アルミナ粒子と前記導電性化合物粒子の平均粒径がいずれも５μｍ以下であって、表面抵抗率が１０６〜１０１０Ω／ｃｍ２であるアルミナ質焼結体が提案されている。
【０００４】
また、特許文献２では、窒化チタンを２５〜１０質量％含み、アルミナの結晶粒内に窒化チタン超微粒子が均一分散した、相対密度が９６％以上、かつ体積固有抵抗が１×１０４〜５×１０６Ω・ｃｍであるアルミナ質焼結体が提案されている。
【０００５】
また、特許文献３では、酸化チタンを０．６〜３質量％含み、表面抵抗率が１０４〜１０１１Ω／□であるアルミナ質焼結体が提案されている。
【０００６】
特許文献４では、体積固有抵抗が１０６〜１０9Ω・ｃｍであるアルミナ質焼結体を磁気ヘッド加工組立用治具に用いたことが記載されている。
【特許文献１】特許３３１３３８０号公報
【特許文献２】特開平８−１１９７２２号公報
【特許文献３】特開２００４−３５２５７２号公報
【特許文献４】特開平１１−２５４１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のアルミナ質焼結体は、帯電した電子部品の帯電除去用としては効果的であるものの、密度、強度とも低いため、磁気ヘッドを作製するための加工工程または組立工程で前記磁気ヘッド用基板を保持する磁気ヘッド加工組立用治具として用いた場合、脱粒しやすい、また磁気ヘッド加工組立用治具に繰り返し外圧が掛かると、磁気ヘッド加工組立用治具が破損しやすいという問題を有していた。
【０００８】
また、特許文献２のアルミナ質焼結体は、体積固有抵抗が１×１０４〜５×１０６Ω・ｃｍとできるものの、機械的強度が４００ＭＰａ程度であり、磁気ヘッド加工組立用治具として用いた場合、特許文献１のアルミナ質焼結体と同様の問題を有していた。
【０００９】
また、特許文献３のアルミナ質焼結体は、酸化チタンを含み、表面抵抗を１０４〜１０１１Ω／□とし、耐熱衝撃性も改善されてはいるものの、機械的強度が３００〜５００ＭＰａと低く、また耐摩耗性も低いという問題を有していた。
【００１０】
さらに、特許文献４の磁気ヘッド加工組立用治具は、炭化チタンを含有しており、また黒色を呈しているため、アルミナ−炭化チタン系複合焼結体からなる磁気ヘッド用基板を治具に貼り付けて研磨加工する場合、アルミナ−炭化チタン系複合焼結体は治具と同色の黒色を呈するため、検査工程で自動外観検査機が治具と磁気ヘッド用基板を誤って認識することが多く、作業効率の低下を誘発していた。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のアルミナ焼結体は、アルミナを主結晶相とし、粒界相にマグネリ相酸化チタンを有することを特徴とする。
【００１２】
また、前記マグネリ相酸化チタンを５〜１０質量％含んでいることを特徴とする。
【００１３】
さらに、前記アルミナ質焼結体からなり、磁気ヘッド用基板から磁気ヘッドを作製するための加工工程または組立工程で前記磁気ヘッド用基板を保持する磁気ヘッド加工組立用治具であって、体積固有抵抗が１０６〜１０９Ω・ｃｍであることを特徴とする。
【００１４】
またさらに、表面におけるＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間におけるクロマティクネス指数ｂ＊が−１０以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は上述のような問題を解決するためになされたものであり、導電性を維持しつつ、機械的特性を向上させたアルミナ質焼結体およびこれを用いた磁気ヘッド加工組立用治具を提供すること、また、本発明の磁気ヘッド加工組立用治具に用いた場合には、自動外観検査機による磁気ヘッド加工組立用治具と磁気ヘッド用基板との誤認識を防止し、作業効率の低下を抑制することも目的とするものである。
【００１６】
本発明のアルミナ質焼結体は、粒界相にマグネリ相酸化チタンを含有しており、このマグネリ相酸化チタンは定比の酸化チタン（ＴｉＯ２）より高い導電性を備えるとともに、化学的安定性、特に腐食しやすい雰囲気下における耐食性が高いという特徴も備えているため、粒界相は腐食されにくい。従って、導電性を維持しつつ、高い強度を備えたアルミナ焼結体とすることができる。
【００１７】
また、マグネリ相酸化チタンを５〜１０質量％含有することにより、上述の効果に加え、体積固有抵抗値が安定したアルミナ焼結体とすることができる。
【００１８】
本発明の磁気ヘッド加工組立用治具は、前記アルミナ質焼結体からなり、その体積固有抵抗が１０６〜１０９Ω・ｃｍであることから、導電性を維持しつつ、高い強度を備えるため、磁気ヘッドに帯電した電荷を速やかに逃がすことができるとともに、磁気ヘッド加工組立用治具に外圧が繰り返し掛かっても、磁気ヘッド加工組立用治具は破損することはない。
【００１９】
また、磁気ヘッド加工組立用治具は、その表面のＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間におけるクロマティクネス指数ｂ＊を−１０以下とすることで、青色の強い色調となって黒色を呈するアルミナ−炭化チタン系焼結体からなる磁気ヘッド用基板との識別を容易にし、作業効率の低下を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて説明する。
【００２１】
図１は、本発明のアルミナ質焼結体の結晶構造を示す模式図である。
【００２２】
本発明のアルミナ焼結体１は、結晶相としてアルミナ粒子２からなり、その粒界相にマグネリ相酸化チタン３を有するものである。
【００２３】
前記粒界相は、マグネリ相酸化チタンを有するものであり、アルミナの有する機械的強度、耐摩耗性及び耐熱性を維持したまま、導電性化合物であるマグネリ相酸化チタンにより速やかに焼結体中の電荷を除去することができるため、特に磁気ヘッド加工用治具として用いた場合、高い強度を備えるため、磁気ヘッドに帯電した電荷を速やかに逃がすことができるとともに、磁気ヘッド加工組立用治具に外圧が繰り返し掛かっても、磁気ヘッド加工組立用治具は破損することはない。
【００２４】
ここで、マグネリ相酸化チタンとは、分子式ＴｉｎＯ２ｎ−１（ｎ＝３〜１０）で示されるものであって、酸化腐食雰囲気における耐久性が高く、定比の酸化チタン（ＴｉＯ２）より導電性が高いという特徴を有する。粒界相に含有されたマグネリ相酸化チタンは、アルミナ焼結体をイオンミリング装置により薄片状に加工した試料の粒界相を透過電子顕微鏡で観察し、エネルギー分散型Ｘ線分光分析（ＥＤＳ）でマグネリ相酸化チタンを構成する元素Ｔｉ，Ｏの比率を算出することにより、Ｔｉ，Ｏを容易に同定することができる。
【００２５】
より具体的には、試料の粒界相を透過電子顕微鏡で観察する場合、試料に印加する加速電圧を２００ｋＶとし、元素Ｔｉ，Ｏの比率をエネルギー分散型Ｘ線分光分析（ＥＤＳ）で算出する場合、スポット径１ｎｍ、測定時間５０秒、測定エネルギー幅０．１２〜２０．４８ｋｅＶとし、薄膜近似法により元素Ｔｉ，Ｏの比率を半定量計算して、マグネリ相酸化チタンを構成する原子の数を求めればよい。
【００２６】
このようなマグネリ相酸化チタンのアルミナ焼結体における比率は、機械的強度、耐摩耗性および導電性に影響を及ぼし、マグネリ相酸化チタンは導電性を有するものの、アルミナより強度や硬度は低い。従って、マグネリ相酸化チタンの比率が高いと機械的強度や耐摩耗性は低くなり、比率が低いと導電性は低くなる。機械的強度、耐摩耗性および導電性を兼ね備えたアルミナ質焼結体を得ようとすると、マグネリ相酸化チタンのアルミナ焼結体における比率を５〜１０質量％とすることが好適で、比率をこの範囲にすることで、３点曲げ強度を５００ＭＰａ以上、体積固有抵抗を１０６〜１０９Ω・ｃｍとすることができ、以下の条件で研磨した場合の単位時間当たりの研磨量を６μｍ／時間以下と耐摩耗性の高い焼結体とすることができる。
【００２７】
一方、マグネリ相酸化チタンのアルミナ焼結体における比率が５質量％未満では、体積固有抵抗が１０９Ω・ｃｍを超える場合があり、１０質量％を超えると、３点曲げ強度が５００ＭＰａ未満になったり、単位時間当たりの研磨量が６μｍ／時間を超えたりする場合がある。さらにはマグネリ相酸化チタンの含有量を７〜１０質量％とすることがより好ましい。
【００２８】
なお、３点曲げ強度、体積固有抵抗についてはそれぞれＪＩＳ  Ｒ  １６０１−１９９５，ＪＩＳ  Ｃ  ２１４１−１９９２に準拠して求めることができる。
【００２９】
また、単位時間当たりの研磨量は図２に示す研磨装置を用いて測定することができ、図２はこの研磨装置の概略構成図を示すものである。研磨盤５は、スラリー状の研磨液６が容器７から供給された状態で、駆動部（不図示）により回転し、円形形状の研磨治具８に配置されたアルミナ焼結体１は研磨盤５上で所定の圧力を受けながら、回転、研磨される構成となっている。なお、研磨条件は、平均粒径０．１μｍのダイヤモンド砥粒を濃度０．５ｇ／ｌで分散させたｐＨ８．１のスラリー状の研磨液６と、平坦度１０μｍ以下、ビッカース硬度（Ｈｖ）７８ＭＰａの錫製の研磨盤５と、円板形状の研磨治具８とを使用し、表面の大きさを１０ｍｍ×１０ｍｍの基板状にしたアルミナ焼結体を図３に示すように研磨冶具８に３０枚等間隔で円周状に配置して、研磨液６を研磨盤５に供給しながら圧力０．０８ＭＰａ、周速０．５ｍ／秒とする。また、研磨装置４はラップマスターＳＦＴ社製９型、研磨盤は矩形状の溝を螺旋状に形成し、隣り合う溝の間隔を０．３ｍｍとしたものを用いる。
【００３０】
このようなアルミナ焼結体は、磁気ヘッド用基板から磁気ヘッドを作製するための加工工程で磁気ヘッド用基板を保持し、加工するのに好適に用いることができる。
【００３１】
図４は、本発明の磁気ヘッド加工組立用治具の一実施形態であるトランスファーツールを示す斜視図であり、図５はこのトランスファーツールの使用状態を示す斜視図である。
【００３２】
この治具はトランスファーツール９と呼ばれるもので、異形の貫通孔１０を有する板状体からなり、アルミナ−炭化チタン系複合焼結体からなる磁気ヘッド用基板（以下、単に基板という）１１の研磨に用いられるものである。
【００３３】
トランスファーツール９の下面１２に基板１１を接着した状態で、上面１３側を保持し、回転する研磨盤５に押し当てて研磨すると、貫通孔１０によって基板１１を弾性的に押圧することができ、基板１１の厚みを均一に調整することができる。このトランスファーツール９以外、基板１１をイオンミリングで加工する際に保持するための治具や、作製された磁気ヘッドを装置に組立てる際に保持するための治具としても好適に用いることができる。これは、磁気ヘッド組立加工用治具を介して磁気ヘッドに帯電した電荷を速やかに逃がすことができるからである。また、磁気ヘッド加工組立用治具がトランスファーツールである場合、下面１２には外圧が繰り返し掛かるが、磁気ヘッド加工組立用治具は破損することがない。
【００３４】
特に、マグネリ相酸化チタンを５〜１０％質量含むアルミナ質焼結体１を磁気ヘッド加工組立用治具に用いることが好ましく、機械的強度、耐摩耗性および導電性を兼ね備えた磁気ヘッド加工組立用治具とすることができるからである。
【００３５】
ところで、アルミナ−炭化チタン系複合焼結体からなる磁気ヘッド用基板やこの磁気ヘッド用基板から得られる磁気ヘッドは、黒色を呈するため、磁気ヘッド加工組立用治具が黒色以外の有彩色であると、自動外観検査機による誤認識が起こらず、作業効率の低下を抑制することができる。
【００３６】
特に、前記磁気ヘッド加工組立用治具の表面のＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間におけるクロマティクネス指数ｂ＊を−１０以下とすることが好適で、青色の強い色調となって黒色を呈するアルミナ−炭化チタン系複合焼結体からなる磁気ヘッド用基板との識別を容易にし、作業効率の低下を抑制することができる。
【００３７】
なお、磁気ヘッド加工組立用治具の表面のＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間におけるクロマティクネス指数ｂ＊の値は、ＪＩＳ  Ｚ  ８７２２−２０００に準拠して測定することで求められる。例えば、分光測色計（コニカミノルタホールディングス社（製）ＣＲ−２００）を用い、光源をＣＩＥ標準光源Ｄ６５、測定径を８ｍｍに設定して測定することができる。
【００３８】
特に、磁気ヘッド加工組立用治具の表面のＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における明度指数Ｌ＊は３２〜３６であり、クロマティクネス指数ａ＊，ｂ＊はそれぞれ０．２〜−０．５，−１０〜−１２であることが美観の点より好適で、明度指数Ｌ＊，クロマティクネス指数ａ＊とも上述と同じ方法で測定することができる。
【００３９】
なお、本発明の磁気ヘッド加工組立用治具は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、種々の変更は可能であり、例えば図６に示すように基板９を挟むピンセット１１としても用いることができる。
【００４０】
次に、本発明のアルミナ質焼結体の製造方法について説明する。
【００４１】
本発明のアルミナ焼結体を得るには、平均粒径０．３〜０．７μｍのアルミナ粉末７０〜９０質量％と平均粒径１０〜１００ｎｍの酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末１０〜３０質量％を調合して調合原料とし、ボールミル、振動ミル、コロイドミル、アトライター、高速ミキサー等で均一に混合する。また、焼結を促進してより緻密にするために、調合原料に対しＹｂ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、ＭｇＯの少なくともいずれか１種を０．１〜０．２質量％加えてもよい。
【００４２】
なお、上述の酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末以外、最初からマグネリ相酸化チタン粉末を用いてもよい。
【００４３】
アルミナ粉末の平均粒径の大きさは、成形性や焼結性に影響し、アルミナ粉末の平均粒径を０．３〜０．７μｍとしたのは、アルミナの平均粒径が０．７μｍを超えると、焼結体の緻密化が不十分となって、強度が低下するからり、０．３μｍ未満では成形性が低下しやすく、そのため焼結における制御も難しくなるからである。アルミナ粉末の平均粒径を０．３〜０．７μｍとすることで、緻密化は促進され、機械的強度を上げることができる。
【００４４】
また、酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末の平均粒径は焼結性、導電性および分散性に影響し、酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末の平均粒径を１０〜１００ｎｍとしたのは、平均粒径が１０ｎｍ未満では、酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末の凝集力が強過ぎるため、凝集体が形成されやすくなるからであり、１００ｎｍを超えると、低温での焼結性が悪化する傾向にあるからである。導電性化合物粉末の平均粒径を１０〜１００ｎｍとすることで、凝集体が形成されず、低温での焼結性も良好にすることができる。同時に、酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末の平均粒径を１０〜１００ｎｍにすると、体積固有抵抗を安定させることができるからである。
【００４５】
なお、上記アルミナ粉末、酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末の各平均粒径は液相沈降法、光投下法、レーザー散乱回折法等により測定することができる。
【００４６】
次に、調合原料に結合剤、分散剤等の成形助剤を添加して均一に混合した後、転動造粒機、スプレードライヤー、圧縮造粒機、押し出し造粒機等の各種造粒機を用いて顆粒にする。
【００４７】
その後、得られた顆粒を乾式加圧成形、冷間等方静水圧成形等の成形手段で所望の形状に成形して成形体とした後、酸素分圧を制御した還元性雰囲気中、１１５０〜１２５０℃で加圧焼結することで本発明のアルミナ質焼結体とすることができる。酸素分圧を制御することで定比の酸化チタン（ＴｉＯ２）から酸素原子が脱離してマグネリ相酸化チタン（ＴｉｎＯ２ｎ−１）（ｎ＝３〜１０）は生成される。酸素分圧を高くすればｎの値は小さく、酸素分圧を低くすればｎの値は大きくなり、マグネリ相酸化チタンＴｉ８Ｏ１５を得るには、例えば、酸素分圧を３×１０−６Ｐａとすればよい。
【００４８】
また、加圧焼結温度はアルミナ質焼結体の焼結性やマグネリ相酸化チタンの分散性に影響するため、その温度を１１５０〜１２５０℃とすることが重要である。１１５０℃未満では、十分焼結させることができないからであり、１２５０℃を超えると、マグネリ相酸化チタンが凝集しやすく、マグネリ相酸化チタンが本来備えている機能を十分に発揮することができないからである。加圧焼結温度を１１５０〜１２５０℃とすることで、マグネリ相酸化チタンを均一に分散することができるとともに、緻密な焼結体が得られるからである。
【００４９】
なお、焼結方法のうち、加圧焼結を選択したのは、緻密化を促進し、磁気ヘッド加工組立用治具として求められる強度を得るためであり、加圧力は３０ＭＰａ以上とすることが好適である。
【実施例】
【００５０】
以下、本発明の実施例を説明する。
【００５１】
（実施例１）
先ず、比率が調整されたアルミナ粉末および酸化チタン（ＴｉＯ２）粉末とからなる調合原料、結合剤及び分散剤を均一に混合し、スラリーを作製した。このスラリーを噴霧乾燥機に投入し、顆粒とした後、乾式加圧成形にて成形体を得た。次に、この成形体を所定の金型に配置し、窒素雰囲気中、表１に示す酸素分圧で加圧焼結して、アルミナ質焼結体からなる試料Ｎｏ．１〜１６を作製した。
【００５２】
なお、上述の方法で作製した試料におけるアルミナ、チタン酸化物の比率は、表１に示す通りである。
【００５３】
各試料の体積固有抵抗、３点曲げ強度についてはそれぞれＪＩＳ  Ｃ  ２１４１−１９９２、ＪＩＳ  Ｒ  １６０１−１９９５に準拠して測定した。
【００５４】
また、イオンミリング装置により薄片状に加工した試料の粒界相を透過電子顕微鏡で観察し、エネルギー分散型Ｘ線分光分析（ＥＤＳ）で粒界相に含まれる元素の比率を算出して、各元素を同定した。
【００５５】
より具体的には、透過電子顕微鏡による観察では試料に印加する加速電圧を２００ｋＶ、エネルギー分散型Ｘ線分光分析（ＥＤＳ）による元素Ｔｉ，Ｏの算出では、スポット径１ｎｍ、測定時間５０秒、測定エネルギー幅０．１２〜２０．４８ｋｅＶとし、薄膜近似法により各元素の比率を半定量計算して、マグネリ相酸化チタンおよび窒化チタンを構成する原子の数を求め、その分子式を表１に示した。
【００５６】
単位時間当たりの研磨量（以下、ラップレートという。）は図２に示す研磨装置を用いて測定した。研磨条件は、平均粒径０．１μｍのダイヤモンド砥粒を濃度０．５ｇ／ｌで分散させたｐＨ８．１のスラリー状の研磨液６と、平坦度１０μｍ以下、ビッカース硬度（Ｈｖ）７８ＭＰａの錫製の研磨盤５と、円板形状の研磨治具８とを使用し、表面の大きさを１０ｍｍ×１０ｍｍの基板状にしたアルミナ焼結体を図３に示すように研磨冶具８に３０枚等間隔で円周状に配置して、研磨液６を研磨盤５に供給しながら圧力０．０８ＭＰａ、周速０．５ｍ／秒とした。また、研磨装置４はラップマスターＳＦＴ社製９“型、研磨盤は矩形状の溝を螺旋状に形成し、隣り合う溝の間隔は０．３ｍｍとした。
【００５７】
ラップレートが低ければ、耐摩耗性が高く、ラップレートが高ければ、耐摩耗性が低いことを意味する。
【００５８】
また、研磨加工した表面のＣＩＥ１９７６Ｌ＊ａ＊ｂ＊色空間における明度指数Ｌ＊、クロマティクネス指数ａ＊，ｂ＊の値は、ＪＩＳ  Ｚ  ８７２２−２０００に準拠して測定した。より具体的には、分光測色計（コニカミノルタホールディングス社（製）ＣＲ−２００）を用い、光源をＣＩＥ標準光源Ｄ６５、測定径を８ｍｍに設定して測定した。
【表１】
2007223842.tif 000003
【００５９】
表１に示す通り、粒界相に酸化チタン（ＴｉＯ２）を含む試料Ｎｏ．１６は、体積固有抵抗、ラップレートはそれぞれ１×１０Ω・ｃｍ、１３μｍ／時間と高く、３点曲げ強度も４１０ＭＰａと低く、磁気ヘッド加工組立用治具に用いるには不適である。
【００６０】
一方、本発明のアルミナ質焼結体である試料Ｎｏ．１〜１５は、粒界相にマグネリ相酸化チタンを含んでいるため、体積固有抵抗は１×１０６〜５×１０９Ω・ｃｍ、３点曲げ強度も４８９Ｐａ以上と高い上、ラップレートは７μｍ／時間以下と低いため、磁気ヘッド加工組立用治具に用いるには良好である。
【００６１】
特に、マグネリ相酸化チタンを５〜１０質量％含む試料Ｎｏ．２〜４，７〜９，１１〜１４は、体積固有抵抗が１０８Ω・ｃｍ台で安定している上、ラップレートは６μｍ／時間以下と低く、好適であるといえる。
【００６２】
さらに、試料Ｎｏ．２〜５，７〜１５は、体積固有抵抗が１×１０６〜１×１０９Ω・ｃｍであるので、磁気ヘッドに帯電した電荷を徐々に放出することができ、導通短絡が発生することもない。
【００６３】
また、試料Ｎｏ．２〜５，７〜１５は、クロマティクネス指数ｂ＊が−１０以下なので、黒色を呈するアルミナ−炭化チタン系焼結体からなる磁気ヘッド用基板との識別を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明のアルミナ焼結体の組織構造を示す模式図である。
【図２】本発明のアルミナ焼結体の研磨に用いる研磨装置の概略構成図である。
【図３】本発明のアルミナ焼結体を研磨治具に配置した状態を示す斜視図である。
【図４】本発明の磁気ヘッド加工組立用治具の一実施形態であるトランスファーツールを示す斜視図である。
【図５】本発明の磁気ヘッド加工組立用治具の一実施形態であるトランスファーツールの使用状態を示す斜視図である。
【図６】本発明の磁気ヘッド加工組立用治具の一実施形態であるピンセットの使用状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６５】
１：アルミナ焼結体
２：アルミナ粒子
３：マグネリ相酸化チタン
４：研磨装置
５：研磨盤
６：研磨液
７：容器
８：研磨治具
９：トランスファーツール
１０：貫通孔
１１：磁気ヘッド用基板
１２：下面
１３：上面
１４：ピンセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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