(57)【要約】【課題】誘導加熱の部材配置の変更といったコストの掛からない改造を行って入熱分布を均一でなくすることにより発熱体と蒸気との全伝熱効率・蒸気の加熱効率を向上させる。【解決手段】飽和蒸気５を導入する導入部１１と、その飽和蒸気５を加熱して過熱蒸気６にする加熱部１２と、その過熱蒸気６を吐出する吐出部１６と、加熱部１２において断熱材１８を介して発熱管体１３に捲回された誘導コイル３１とを備えた過熱蒸気発生装置３０において、導入部１１寄りでは誘導コイル３１を粗に捲回し、吐出部１６寄りでは誘導コイル３１を密に捲回する。【選択図】        図１
2007024336.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
飽和蒸気を導入する導入部と、その飽和蒸気を加熱して過熱蒸気にするための、複数の導電性の管体を並列配置し各管体の中空部を蒸気流路とするとともに各管体自体に誘導加熱発熱体を兼ねさせる構成とした加熱部と、その過熱蒸気を吐出する吐出部と、前記加熱部に捲回された誘導コイルとを備えた過熱蒸気発生装置において、前記加熱部の蒸気流路に前記管体から管内蒸気への伝熱を増進させるための蒸気流乱流化手段が配備されており、この乱流化手段は前記吐出部寄りで大きな乱流化をもたらすものであることを特徴とする過熱蒸気発生装置。
【請求項２】
前記乱流化手段は前記加熱部の蒸気流路の中に設けられた波板等の曲折部材であり、この曲折部材の曲折のピッチが前記導入部から前記吐出部に向かって粗から密に推移していることを特徴とする請求項１記載の過熱蒸気発生装置。
【請求項３】
前記乱流化手段は、前記管体の前記吐出部寄りの部分を構成している管壁が賦形されて成る蛇腹状の管壁であることを特徴とする請求項１又は２記載の過熱蒸気発生装置。
【請求項４】
前記誘導コイルの捲回密度が前記導入部から前記吐出部に向かって粗から密に推移していることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載された過熱蒸気発生装置。
【請求項５】
前記加熱部の前記管体で構成される発熱体の温度を検出するための、前記管体に検出端が取付けられた発熱体温度計と、その検出温度が発熱体目標温度に収束するように前記誘導コイルの通電制御を行う発熱体温度フィードバック制御回路と、前記吐出部に又はその下流に検出端が配置された吐出蒸気温度計と、その検出温度が吐出蒸気目標温度に収束するように前記誘導コイルの通電制御を行う吐出蒸気温度フィードバック制御回路と、前記吐出蒸気温度計の検出温度が前記吐出蒸気目標温度から遠いときには前記誘導コイルの通電制御に前記発熱体温度フィードバック制御回路を採択して前記吐出蒸気温度フィードバック制御回路は外したモードとし前記吐出蒸気温度計の検出温度が前記吐出蒸気目標温度に近づいたときには前記誘導コイルの通電制御から前記発熱体温度フィードバック制御回路は外して前記吐出蒸気温度フィードバック制御回路を採択したモードとする発熱体吐出蒸気制御モード切替手段とを備えていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載された過熱蒸気発生装置。
【請求項６】
前記吐出部の下流に設けられた又は設けられるべき処理部に検出端を配置して付設される処理部温度計と、その検出温度が処理部目標温度に収束するように前記誘導コイルの通電制御を行う処理部温度フィードバック制御回路と、前記処理部温度計の検出温度が前記処理部目標温度から遠いときには前記誘導コイルの通電制御に前記発熱体吐出蒸気制御モード切替手段の採択結果を採択して前記処理部温度フィードバック制御回路は外したモードとし前記処理部温度計の検出温度が前記処理部目標温度に近づいたときには前記誘導コイルの通電制御から前記発熱体吐出蒸気制御モード切替手段は外して前記処理部温度フィードバック制御回路を採択したモードとする発熱体吐出蒸気処理部制御モード切替手段とを備えていることを特徴とする請求項５記載の過熱蒸気発生装置。
【請求項７】
前記加熱部の前記管体で構成される発熱体の温度を検出するための、前記管体に検出端が取付けられた発熱体温度計と、その検出温度が発熱体目標温度に収束するように前記誘導コイルの通電制御を行う発熱体温度フィードバック制御回路と、前記吐出部の下流に設けられた又は設けられるべき処理部に検出端を配して付設される処理部温度計と、その検出温度が処理部目標温度に収束するように前記誘導コイルの通電制御を行う処理部温度フィードバック制御回路と、前記処理部温度計の検出温度が前記処理部目標温度から遠いときには前記誘導コイルの通電制御に前記発熱体温度フィードバック制御回路を採択して前記処理部温度フィードバック制御回路は外したモードとし前記処理部温度計の検出温度が前記処理部目標温度に近づいたときには前記誘導コイルの通電制御から前記発熱体温度フィードバック制御回路は外して前記処理部温度フィードバック制御回路を採択したモードとする発熱体処理部制御モード切替手段とを備えていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の過熱蒸気発生装置。
【請求項８】
前記発熱体温度フィードバック制御回路は外して前記吐出蒸気温度フィードバック制御回路および前記処理部温度フィードバック制御回路のうち何れか一方を採択している状況下にて、前記発熱体温度計の検出温度が前記発熱体目標温度の管理範囲を上方に外れたときには前記発熱体温度フィードバック制御回路を採択して前記吐出蒸気温度フィードバック制御回路および前記処理部温度フィードバック制御回路は外す、発熱体上限制御モード切替手段を備えていることを特徴とする請求項５乃至請求項７の何れかに記載の過熱蒸気発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、水蒸気等の飽和蒸気を更に加熱して過熱蒸気を発生する過熱蒸気発生装置に関し、詳しくは、並列配置した複数の導電性管体を誘導加熱して発熱させ管体内を流れる蒸気を管体からの伝熱によって加熱する形式の加熱部を備えた過熱蒸気発生装置に関する。さらには発熱体や蒸気の温度制御にも関する。
【背景技術】
【０００２】
上記構成の過熱蒸気発生装置としては例えば特許文献１記載の装置が知られている。図１１は、その装置の一例であって、並列配置された複数管体を、各中空部を蒸気流路として且つ各管体自体を発熱体として用いる過熱蒸気発生装置の本体１０の構造を示し、（ａ）が左側面図、（ｂ）が断熱材を外したところの正面図、（ｃ）が発熱体としての管体１３及び邪魔体としての波板１５の縦断正面図である。
【０００３】
この過熱蒸気発生装置の本体１０は（図１１（ａ），（ｂ）参照）、飽和蒸気を導入する導入部１１と、その飽和蒸気を加熱して過熱蒸気にする加熱部１２と、その過熱蒸気を吐出する吐出部１６とからなる。導入部１１及び吐出部１６は、蒸気流路径を変えるため、ロート状・ラッパ状の筒体からなる。加熱部１２は、平行に配置された複数の管体１３と、図示しない断熱材を介して管体１３の群に包括的に捲回された誘導コイル１７とを具えている。管体１３は、誘導コイル１７への高周波通電によって誘導加熱される導電材からなり、一端が導入部１１に連通接続され、他端が吐出部１６に連通接続されて、中空部１４が蒸気流路になっている。なお、上記過熱蒸気発生装置の本体１０では、管体群のうちの外周領域に位置するものを非磁性ステンレス鋼製とし、内奥領域に位置するものを強磁性の炭素鋼製にするといった材質編成により、誘導コイル１７による誘導加熱作用の均等化が図られている。
【０００４】
管体１３の中空部１４には（図１１（ｃ）参照）、その蒸気流路の中の流れを乱す邪魔体（乱流化手段）として、波板１５が設けられている。波板１５は、管体１３のほぼ全長に亘って等ピッチ且つ等角で繰り返し折り曲げられている。
誘導コイル１７も（図１１（ｂ）参照）加熱部１２のほぼ全長に亘って等ピッチで捲回されている。なお、水蒸気発生機能と水蒸気過熱機能とを一続きのゾーンに収めた装置もあるが（例えば特許文献２参照）、上例の装置では、誘導コイルの捲回密度を、蒸発潜熱の供給を要する帯水ゾーンでは増しているものの、通過する水蒸気を更に加熱して過熱蒸気にする空間ゾーンでは誘導コイルが等ピッチで捲回されている。
【０００５】
このような過熱蒸気発生装置の本体１０は、過熱蒸気の利用が拡大しつつある例えば廃油や，廃プラスチック，生ゴミ，食品，器材等を対象とした乾燥や，減容，調理，殺菌等の処理のための過熱蒸気源として使用され、多くの場合、使用目的に適した温度の過熱蒸気を供給するために温度制御回路が付設される。温度制御は、制御対象が単一のときに使い易いＰＩＤ演算（比例・積分・微分）によるフィードバック制御が行われ、制御対象の温度を検出してその検出温度が目標温度になるように誘導コイル１７の通電制御を行うようになっている。上記温度制御の対象は、大抵は、吐出蒸気温度か、吐出部の後段に設置される処理部の温度である。
【０００６】
図１２は、吐出蒸気温度をフィードバック制御する場合の一例を示し、（ａ）が温度制御回路や他の連携装置も含めた全体ブロック図、（ｂ）が温度制御回路のブロック図、（ｃ）が加熱開始後の温度変化のタイムチャートである。
【０００７】
この過熱蒸気発生装置の本体１０には（図１２（ａ）参照）発熱体温度計２１と吐出蒸気温度計２２と温度制御回路２３とが付設されている。発熱体温度計２１は、例えば熱電対からなり、発熱体である管体１３の外周面に対して軸方向のほぼ中央位置に取り付けられて、発熱体の温度を検出し、この検出温度Ｔａを温度制御回路２３に送出する。吐出蒸気温度計２２も例えば熱電対からなり、これは、吐出部１６に取り付けられて或いはその直ぐ下流の過熱蒸気供給管等に取り付けられて、過熱蒸気発生装置の本体１０から吐出される過熱蒸気の温度を検出し、この検出温度Ｔｂを温度制御回路２３に送出するようになっている。
【０００８】
温度制御回路２３は（図１２（ｂ）参照）、発報用の比較演算回路（CMP.）と追従制御用のＰＩＤ演算回路(PID）とがワンパッケージに組み込まれた温度調節器（例えば市販の電子温度調節器）を用いて簡便に具現化されている。この温度調節器は、手動の基準温度設定手段と外部信号の入力手段とを二個ずつ具えており、一つの設定値と一つの外部信号とを比較演算回路に入力し、他の設定値と他の外部信号とをＰＩＤ演算回路に入力するようになっている。ＰＩＤ演算回路のＰＩＤ定数すなわち比例係数・積分項の係数・微分項の係数も手動で又は自動（オートチューニング）で設定できるようになっている。
【０００９】
そして、これを採用した温度制御回路２３は、比較演算回路への設定温度（設定値）を発熱体上限温度Ｓａとし、比較演算回路への外部信号を発熱体温度計２１の検出温度Ｔａとして、検出温度Ｔａが発熱体上限温度Ｓａを超えると比較演算回路から警報信号Ａａが出力されるようになっている。また、温度制御回路２３は、ＰＩＤ演算回路への設定温度を吐出蒸気目標温度Ｇｂとし、ＰＩＤ演算回路への外部信号を吐出蒸気温度計２２の検出温度Ｔｂとして、検出温度Ｔｂを吐出蒸気目標温度Ｇｂに近づけるようなコイル電流Ｉｂを高周波電源２４に出力させる通電指令Ｉａが比較演算回路から出力されるようになっている。
【００１０】
通電指令Ｉａ及び警報信号Ａａは、温度制御回路２３から高周波電源２４に送出され、高周波電源２４は、通電指令Ｉａに応じたコイル電流Ｉｂを過熱蒸気発生装置の本体１０の加熱部１２の誘導コイル３１に出力するとともに、警報信号Ａａが有意になったときにはコイル電流Ｉｂの出力を強制的に停止するようになっている。
その他（図１２（ａ）参照）、過熱蒸気発生装置の本体１０の上流には飽和蒸気を供給してくれる飽和蒸気発生装置２５が設置され、過熱蒸気発生装置の本体１０の下流には過熱蒸気を用いて処理を行う過熱蒸気処理装置の処理部２６が設置される。
【００１１】
このような過熱蒸気発生装置の本体１０等を作動させるときには、先ず温度制御回路２３に発熱体上限温度Ｓａと吐出蒸気目標温度ＧｂとＰＩＤ定数を設定する。発熱体上限温度Ｓａは、管体１３の材質等で決まり、汎用のオーステナイト系ステンレスや炭素鋼を用いた場合、例えば６００℃〜６５０℃程度に設定される。吐出蒸気目標温度Ｇｂは、過熱蒸気処理装置２６の要求仕様で決まり、発熱体上限温度Ｓａよりは低い範囲内で、利用目的や使用状況に応じて、例えば２００℃〜５００℃程度に設定される。ＰＩＤ定数は、基本的には過熱蒸気発生装置の本体１０や高周波電源２４の動作特性に基づいて決まるが、飽和蒸気発生装置２５の蒸気供給量や過熱蒸気処理装置２６への吐出蒸気温度の影響も受けるので、現場でも調整される。
【００１２】
そして、過熱蒸気発生装置の本体１０等を作動させると、飽和蒸気が飽和蒸気発生装置２５から過熱蒸気発生装置の本体１０へ供給され、その飽和蒸気が過熱蒸気発生装置の本体１０で加熱されて過熱蒸気になり、その過熱蒸気が過熱蒸気発生装置の本体１０から過熱蒸気処理装置２６に供給され、過熱蒸気処理装置２６で所望の過熱蒸気処理が行われる。
そのとき（図１２（ｃ）参照）、ＰＩＤ定数が適切に設定され且つ蒸気量が適正範囲であれば、温度制御回路２３から高周波電源２４に適切な通電指令Ｉａが出され、高周波電源２４から過熱蒸気発生装置の本体１０の誘導コイル３１に適度なコイル電流Ｉｂが流されて、吐出蒸気温度計２２の検出温度Ｔｂが吐出蒸気目標温度Ｇｂになり、吐出蒸気目標温度Ｇｂに無理のない限り、発熱体温度計２１の検出温度Ｔａは発熱体上限温度Ｓａ未満にとどまる（図１２（ｃ）実線グラフ参照）。
【００１３】
図１３は、処理部温度をフィードバック制御する場合の一例を示し、（ａ）が温度制御回路や他の連携装置も含めた全体ブロック図、（ｂ）が温度制御回路のブロック図、（ｃ）が加熱開始後の温度変化のタイムチャートである。
【００１４】
これが上述（図１２）のものと相違するのは、制御対象が吐出蒸気温度から処理部温度に変更されたことに対応して、吐出蒸気温度計２２に代えて処理部温度計２７が設けられた点と、温度制御回路２３が温度制御回路２８になった点である。
処理部温度計２７も例えば熱電対からなるが、これは（図１３（ａ）参照）、過熱蒸気処理装置２６に付設されて、例えば処理室内の蒸気温度やそれに代わる処理室の壁温を検出し、この検出温度Ｔｃを温度制御回路２８に送出するようになっている。
【００１５】
温度制御回路２８も（図１３（ｂ）参照）温度制御回路２３と同じ温度調節器で具現化されており、発報用比較演算回路（CMP.）の利用も同じであるが、追従制御用ＰＩＤ演算回路の利用が異なる。すなわち、比較演算回路については設定温度が発熱体上限温度Ｓａのままであり外部信号が検出温度Ｔａのままであり検出温度Ｔａが発熱体上限温度Ｓａを超えると警報信号Ａａが出力されるようになっているが、ＰＩＤ演算回路については、設定温度が処理部目標温度Ｇｃになり、外部信号が処理部温度計２７の検出温度Ｔｃになっていて、検出温度Ｔｃを処理部目標温度Ｇｃにするようなコイル電流Ｉｂを高周波電源２４に出力させる通電指令ＩａがＰＩＤ演算回路から出力されるようになっている。その指令等Ｉａ，Ａａが高周波電源２４に送出されるのは上例と同じである（図１３（ａ）参照）。
【００１６】
この場合も、過熱蒸気発生装置の本体１０等を作動させると飽和蒸気発生装置２５から飽和蒸気が供給され過熱蒸気発生装置の本体１０から過熱蒸気が供給され過熱蒸気処理装置２６で過熱蒸気処理が行われるが、その際（図１３（ｃ）参照）、温度制御回路２８のＰＩＤ定数が適切に設定されており且つ蒸気量が適正範囲に収まっていれば、温度制御回路２８から高周波電源２４に適切な通電指令Ｉａが出され、高周波電源２４から過熱蒸気発生装置の本体１０の誘導コイル３１に適度なコイル電流Ｉｂが流されて、処理部温度計２７の検出温度Ｔｂが処理部目標温度Ｇｃになり、発熱体温度計２１の検出温度Ｔａは発熱体上限温度Ｓａ未満にとどまる（図１３（ｃ）実線グラフ参照）。
【００１７】
【特許文献１】特開２００２−２７０３５１号公報  （第１頁、図３）
【特許文献２】特開２００３−２９７５３７号公報  （第１頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
このような従来の過熱蒸気発生装置では、発熱管体の複数並列配置等により誘導加熱が高能率に行えて装置の小型化が可能になるとともに、フィードバック制御の併用により過熱蒸気の温度が安定するようになったので、好評を博している。
一方、この装置の用途は多岐に亘っていて、使用形態も吐出蒸気の最高温度をはじめとする要求性能もまちまちであるから、標準仕様の装置では要求を満たせないケースが稀ではない。しかし、このようなケースでも、採算性を抜きにしてコストを無視すれば、上市資材で実現できる範囲に限られるものの、概ね一定の方針で解決策を講じることができる。これは、例えば、発熱体（加熱部管体）の材質を、ハステロイのような高耐熱材も視野に入れて選定することで発熱体の上限温度Ｓａを十分高位に確保した上で誘導加熱パワーも十分に確保して所望の最高温度を実現するというものである。或いは、類例のない新規用途について、ユーザー側での蒸気利用形態までを含めたトータル制御システムを新規に設計構築して精度，応答性，安定動作を実現するというものである。
【００１９】
しかしながら、上記対応は現実に受け入れられる装置価格に見合わないばかりか、高耐熱材の特注や制御システムの新規構築に係る納期負荷という販売上・保守上の不利を伴っており、ユーザー側にも不利をもたらしかねない。
ついては、価格設定や保守に無理を生じないハード構成の範囲内で吐出蒸気温度を可及的に高めること、言い換えれば、加熱部管体の発熱を如何に効率よく管内蒸気に伝えるかという伝熱効率向上指向が改めて必要となるものである。加えて、実現された高位の伝熱効率を吐出蒸気温度等の装置性能に十分に反映させ、しかも、新規用途の短期対応も含めて装置の安定動作をもたらすことのできる汎用的な制御システムの創出が望まれる。
【００２０】
そこで、先ず、伝熱の問題に対処するために、加熱部管体内の、導入部から吐出部に至る間の蒸気温度（Ｔ）の推移を調べたところ、導入部から吐出部に向かう道のり（ｘ）に沿った方向の昇温（ｄＴ／ｄｘ）が、吐出部に向かうにつれて大きく減少しており、その減少度合が予想を上回っていることが判った。これは管体（発熱体）から管内蒸気への伝熱量が吐出部に向かうにつれて大幅に減少していることを示すものである。
【００２１】
上記減少の一因として、管内蒸気のｘ方向温度上昇に伴う管体−管内蒸気間温度差すなわち伝熱駆動力の減少が考えられるから、これを補うべく上記温度差をｘ方向に向かって強めて行くことが考えられるが、そのためには、Ａ：管体温度の上昇、Ｂ：管内蒸気温度の下降、の少なくとも一方が要件となるものであり、Ａを顕著に奏功させようとすれば前記発熱体上限温度Ｓａとの間の温度余裕が極度に縮まって現実的な温度制御が適わなくなり、一方、Ｂについては、上記伝熱効率向上指向が、本来、管内蒸気温度を上昇させるための指向であることと原理的に相容れない、という矛盾に直ちに突き当たる。
すなわち、管体（発熱体）温度の上昇を必須要件とせずに管体から管内蒸気への伝熱量を向上させ、延いては吐出蒸気温度の高位化を図ることのできる方策の提供が第一の課題となる。
【００２２】
次に、新規用途への短期対応をも可能とする汎用的な制御システムについて考えてみる。
従来装置にあっては、前述のように、Ａ：発熱体である管体が上限温度を超えないようにするための警報システムによって装置の損壊を防止し、また、Ｂ：吐出蒸気温度をＰＩＤ制御によって安定化させるという、二本立の単一制御システムによる制御を行ってきた。この制御システムは、Ｂの制御そのものに関しては何ら問題がない。しかしながら、Ａ，Ｂ両システムが相互に独立しており、ＢシステムのデータがＡシステムにフィードバックされることはないため、不測の条件変動（例えば、供給蒸気の不足）により管体温度が発熱体上限温度Ｓａに達する事態に至ったとするとＢシステムとは無関係にＡシステムが作動して誘導コイルへの通電が停止して、過熱蒸気による処理作業が中断することとなる。
【００２３】
このような中断が頻発するのは無論好ましくないが、過昇温防止システム（上記Ａシステムもその一例である）自体は、装置保護と安全のためであるから除外するわけにはいかない。また、ＡシステムとＢシステムの基準温度に一定の温度差が確保できている限りは、通常レベルの条件変動によってＡシステムが作動することは稀である。但し、あくまでも「稀」であって、原理的に皆無というものではない。
そこで、Ａ，Ｂ両システムを相互関連動作させる多重制御システムとすることが考えられるが、両システムのフィードバック特性に明確な差がないことによる両システム間の不所望な干渉を防止する処置が必要となるため、シンプルな形では実現し難く、得策とは云えない。
すなわち、イ：管体（発熱体）の過昇温防止制御、ならびに、ロ：吐出蒸気の温度制御、あるいは、ハ：処理部の温度制御が夫々の制御目的を相互に損わない形で必要に応じて随時機能できる制御システムの提供が第二の課題となる。
【００２４】
因みに、この制御システムはアナログ制御方式によるものであることが好ましい。何故なら、本発明装置のような過熱蒸気発生装置が、エンジン清浄用スチームガンのように単独で用いられるケースは稀であって、多くの場合、吐出部の後段に処理部が接続された形で用いられ、しかも、その処理部がユーザー側で調えられたものであることが多いからである。すなわち、その処理部に固有の制御システムが既に設けられている場合には、本件装置の制御システムとの何らかの形での連携（合流）が必要となり、また、既設制御システムがない場合でも前述の多岐に亘る用途に応じて制御対象項目はまちまちである。ついては、これら種々のケースに適合できるコンピュータ制御システムは、多分にコスト高となる割には無用に帰する機能が多く、操作性にも優れないものとなる。その点、アナログ制御方式であれば、処理部制御システムとの後付け的取合が自在且つ簡潔に行える上、目的に見合ったコストで済み、好都合である。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明の過熱蒸気発生装置（請求項１）は、このような課題を解決するために創案されたものであり、飽和蒸気を導入する導入部と、その飽和蒸気を加熱して過熱蒸気にするための、複数の導電性の管体を並列配置し各管体の中空部を蒸気流路とするとともに各管体自体に誘導加熱発熱体を兼ねさせる構成とした加熱部と、その過熱蒸気を吐出する吐出部と、前記加熱部に捲回された誘導コイルとを備えた過熱蒸気発生装置において、前記加熱部の蒸気流路に前記管体から管内蒸気への伝熱を増進させるための蒸気流乱流化手段が配備されており、この乱流化手段は前記吐出部寄りで大きな乱流化をもたらすものであることを特徴とする。
【００２６】
また、本発明の過熱蒸気発生装置（請求項２）は、上記の請求項１記載の過熱蒸気発生装置であって更に、前記乱流化手段は前記加熱部の蒸気流路の中に設けられた波板等の曲折部材であり、この曲折部材の曲折のピッチが前記導入部から前記吐出部に向かって粗から密に推移していることを特徴とする。
【００２７】
さらに、本発明の過熱蒸気発生装置（請求項３）は、上記の請求項１，請求項２記載の過熱蒸気発生装置であって更に、前記乱流化手段は、前記管体の前記吐出部寄りの部分を構成している管壁が賦形されて成る蛇腹状の管壁であることを特徴とする。
【００２８】
また、本発明の過熱蒸気発生装置（請求項４）は、上記の請求項１〜請求項３記載の過熱蒸気発生装置であって更に、前記誘導コイルの捲回密度が前記導入部から前記吐出部に向かって粗から密に推移していることを特徴とする。
【００２９】
また、本発明の過熱蒸気発生装置（請求項５）は、上記の請求項１〜請求項４記載の過熱蒸気発生装置であって更に、前記加熱部の前記管体で構成される発熱体の温度を検出するための、前記管体に検出端が取付けられた発熱体温度計と、その検出温度が発熱体目標温度に収束するように前記誘導コイルの通電制御を行う発熱体温度フィードバック制御回路（第１仕様のフィードバック制御回路）と、前記吐出部に又はその下流に検出端が配置された吐出蒸気温度計と、その検出温度が吐出蒸気目標温度に収束するように前記誘導コイルの通電制御を行う吐出蒸気温度フィードバック制御回路（第２仕様のフィードバック制御回路）と、前記吐出蒸気温度計の検出温度が前記吐出蒸気目標温度から遠いときには前記誘導コイルの通電制御に前記発熱体温度フィードバック制御回路を採択して前記吐出蒸気温度フィードバック制御回路は外したモードとし前記吐出蒸気温度計の検出温度が前記吐出蒸気目標温度に近づいたときには前記誘導コイルの通電制御から前記発熱体温度フィードバック制御回路は外して前記吐出蒸気温度フィードバック制御回路を採択したモードとする発熱体吐出蒸気制御モード切替手段（１番目の仕様の制御モード切替手段）とを備えていることを特徴とする。
【００３０】
なお、ここで、「目標温度から遠い」か「目標温度に近づいた」かは、適切な値に設定された閾値である目標近傍温度を下回っているか上回ったか等で判別されるが、「目標温度から遠い」とは、加熱部における昇温が目標昇温代（例えば、１００℃から５００℃に至るまでの４００℃の昇温スパン）の９０％〜９５％（３６０℃〜３８０℃）に満たない状況を、また、「目標温度に近づく」とは、逆に上記昇温が９０％〜９５％を超えた状況を、それぞれ目安として指すものとする。この９０％〜９５％という値は、加熱部の昇温スパン及び本発明装置の熱的特性（熱容量や伝熱効率あるいは制御の応答時間など）や昇温特性により適宜変更されて良い。
【００３１】
例えば、切替えポイント（閾値，目標近傍温度）付近での発熱体検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）が吐出蒸気検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）の１．５倍以下の場合は、上記切替えポイント付近での発熱体検出温度と吐出蒸気検出温度との温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）に大きな差がないため、上記切替えポイントは低温側（例えば、昇温スパンの９０％寄り）にて設定しても、吐出蒸気検出温度が昇温スパンの９０％から吐出蒸気目標温度に到達するまでの間に発熱体検出温度が上限温度を超えることはまず無い。また、昇温スパンの９０％にて切替えを行うことで、より昇温時間の速い安定した温度制御が達成できる。
【００３２】
逆に上記切替えポイント付近での発熱体検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）が吐出蒸気検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）の１．５倍以上の場合は、上記切替えポイント付近での発熱体検出温度と吐出蒸気検出温度との温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）に大きな差があるため、上記切替えポイントを低温側（例えば、昇温スパンの９０％寄り）に設定すると吐出蒸気検出温度が昇温スパンの９０％から吐出蒸気目標温度に到達するまでの間に発熱体検出温度が上限温度を超える虞があるので、上記切替えポイントは高温側（例えば、昇温スパンの９５％寄り）にて設定することが好ましい。このように昇温特性に合わせて上記切替えポイントを設定することで発熱体検出温度が上限温度を超えず、昇温時間が速い安定した温度制御が実現できる。
【００３３】
また、本発明の過熱蒸気発生装置（請求項６）は、上記の請求項５記載の過熱蒸気発生装置であって更に、前記吐出部の下流に設けられた又は設けられるべき処理部に検出端を配置して付設される処理部温度計と、その検出温度が処理部目標温度に収束するように前記誘導コイルの通電制御を行う処理部温度フィードバック制御回路（第３仕様のフィードバック制御回路）と、前記処理部温度計の検出温度が前記処理部目標温度から遠いときには前記誘導コイルの通電制御に前記発熱体吐出蒸気制御モード切替手段の採択結果を採択して前記処理部温度フィードバック制御回路は外したモードとし前記処理部温度計の検出温度が前記処理部目標温度に近づいたときには前記誘導コイルの通電制御から前記発熱体吐出蒸気制御モード切替手段は外して前記処理部温度フィードバック制御回路を採択したモードとする発熱体吐出蒸気処理部制御モード切替手段（２番目の仕様の制御モード切替手段）とを備えていることを特徴とする。
【００３４】
なお、ここで、「目標温度から遠い」か「目標温度に近づいた」かは、適切な値に設定された閾値である目標近傍温度を下回っているか上回ったか等で判別されるが、「目標温度から遠い」とは、処理部における昇温が目標昇温代（例えば、１００℃から４００℃に至るまでの３００℃の昇温スパン）の９０％〜９８％（２７０℃〜２８４℃）に満たない状況を、また、「目標温度に近づく」とは、逆に上記昇温が９０％〜９８％を超えた状況を、それぞれ目安として指すものとする。この９０％〜９８％という値は、加熱部の昇温スパン、熱的特性（熱容量や伝熱効率あるいは制御の応答時間など）及び処理室の構造、容積により適宜変更されて良い。
【００３５】
例えば、切替えポイント（閾値，目標近傍温度）付近での発熱体検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）が処理部検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）の１．５倍以下の場合は、上記切替えポイント付近での発熱体検出温度と処理部検出温度との温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）に大きな差がないため、上記切替えポイントは低温側（例えば、昇温スパンの９０％寄り）にて設定しても、処理部検出温度が昇温スパンの９０％から処理部目標温度に到達するまでの間に発熱体検出温度が上限温度を超えることはまず無い。また、昇温スパンの９０％にて切替えを行うことで、より昇温時間の速い安定した温度制御が達成できる。
【００３６】
逆に上記切替えポイント付近での発熱体検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）が処理部検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）の１．５倍以上の場合は、上記切替えポイント付近での発熱体検出温度と処理部検出温度との温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）に大きな差があるため、上記切替えポイントを低温側（例えば、昇温スパンの９０％寄り）に設定すると処理部検出温度が昇温スパンの９０％から処理部目標温度に到達するまでの間に発熱体検出温度が上限温度を超える虞があるので、上記切替えポイントは高温側（例えば、昇温スパンの９８％寄り）にて設定することが好ましい。このように昇温特性に合わせて上記切替えポイントを設定することで発熱体検出温度が上限温度を超えず、昇温時間が速い安定した温度制御が実現できる。
【００３７】
また、本発明の過熱蒸気発生装置（請求項７）は、上記の請求項１〜請求項４記載の過熱蒸気発生装置であって更に、前記加熱部の前記管体で構成される発熱体の温度を検出するための、前記管体に検出端が取付けられた発熱体温度計と、その検出温度が発熱体目標温度に収束するように前記誘導コイルの通電制御を行う発熱体温度フィードバック制御回路（第１仕様のフィードバック制御回路）と、前記吐出部の下流に設けられた又は設けられるべき処理部に検出端を配して付設される処理部温度計と、その検出温度が処理部目標温度に収束するように前記誘導コイルの通電制御を行う処理部温度フィードバック制御回路（第３仕様のフィードバック制御回路）と、前記処理部温度計の検出温度が前記処理部目標温度から遠いときには前記誘導コイルの通電制御に前記発熱体温度フィードバック制御回路を採択して前記処理部温度フィードバック制御回路は外したモードとし前記処理部温度計の検出温度が前記処理部目標温度に近づいたときには前記誘導コイルの通電制御から前記発熱体温度フィードバック制御回路は外して前記処理部温度フィードバック制御回路を採択したモードとする発熱体処理部制御モード切替手段（３番目の仕様の制御モード切替手段）とを備えていることを特徴とする。
【００３８】
本制御方式は、吐出部と処理部との距離が短い場合または処理部の容積が小さい場合など、切替えポイント付近での発熱体検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）と処理部検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）とに大きな差が無い場合に適用されることが好ましい。なぜなら、上記切替えポイント付近での発熱体検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）と処理部検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）とに大きな差がある場合は、処理部検出温度の温度変化量に対して、発熱体検出温度が大きく変動し、発熱体上限温度を超えるおそれがあるからであり、この場合は、請求項５又は請求項６の制御方式によることが推奨される。
【００３９】
なお、ここで、「目標温度から遠い」か「目標温度に近づいた」かは、適切な値に設定された閾値である目標近傍温度を下回っているか上回ったか等で判別されるが、「目標温度から遠い」とは、処理部における昇温が目標昇温代（例えば、１００℃から４００℃に至るまでの３００℃の昇温スパン）の９０％〜９８％（２７０℃〜２８４℃）に満たない状況を、また、「目標温度に近づく」とは、逆に上記昇温が９０％〜９８％を超えた状況を、それぞれ目安として指すものとする。この９０％〜９８％という値は、加熱部の昇温スパン、熱的特性（熱容量や伝熱効率あるいは制御の応答時間など）及び処理室の構造、容積により適宜変更されて良い。
【００４０】
例えば、切替えポイント（閾値，目標近傍温度）付近での発熱体検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）が処理部検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）の１．５倍以下の場合は、上記切替えポイント付近での発熱体検出温度と処理部検出温度との温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）に大きな差がないため、上記切替えポイントは低温側（例えば、昇温スパンの９０％寄り）にて設定しても、処理部検出温度が昇温スパンの９０％から処理部目標温度に到達するまでの間に発熱体検出温度が上限温度を超えることはまず無い。また、昇温スパンの９０％にて切替えを行うことで、より昇温時間の速い安定した温度制御が達成できる。
【００４１】
逆に上記切替えポイント付近での発熱体検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）が処理部検出温度の単位時間当たりの温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）の１．５倍以上の場合は、上記切替えポイント付近での発熱体検出温度と処理部検出温度との温度変化量（ｄＴ／ｄｔ）に大きな差があるため、上記切替えポイントを低温側（例えば、昇温スパンの９０％寄り）に設定すると処理部検出温度が昇温スパンの９０％から処理部目標温度に到達するまでの間に発熱体検出温度が上限温度を超える虞があるので、上記切替えポイントは高温側（例えば、昇温スパンの９８％寄り）にて設定することが好ましい。このように昇温特性に合わせて上記切替えポイントを設定することで発熱体検出温度が上限温度を超えず、昇温時間が速い安定した温度制御が実現できる。
【００４２】
また、本発明の過熱蒸気発生装置（請求項８）は、上記の請求項５〜請求項７記載の過熱蒸気発生装置であって更に、前記誘導コイルの通電制御から前記発熱体温度フィードバック制御回路（第１仕様のフィードバック制御回路）は外して前記吐出蒸気温度フィードバック制御回路（第２仕様のフィードバック制御回路）および前記処理部温度フィードバック制御回路（第３仕様のフィードバック制御回路）のうち何れか一方を前記誘導コイルの通電制御に採択している状況下にて、前記発熱体温度計の検出温度が前記発熱体目標温度の管理範囲を上方に外れたときには前記誘導コイルの通電制御に前記発熱体温度フィードバック制御回路を採択して前記吐出蒸気温度フィードバック制御回路および前記処理部温度フィードバック制御回路は前記誘導コイルの通電制御から外すようになっている発熱体上限制御モード切替手段（４番目の仕様の制御モード切替手段）を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００４３】
請求項１〜３の発明によれば、吐出部寄りで大きな乱流化をもたらす乱流化手段により、乱流化が増強された吐出部寄りにおける管体（発熱体）から管内蒸気への伝熱性（伝熱に係る熱抵抗の逆数）が導入部寄りよりも増進される。その結果、管体への誘導加熱入熱量が一定（即ち消費電力が一定）である場合には、管内蒸気への伝熱量が伝熱性に比例して増加し、その分、吐出蒸気温度を上昇させることができる。そして、その際、管体温度は出力伝熱量が増した分だけ低下する。すなわち、吐出蒸気温度の上昇が、管体温度がむしろ低下した状態で適い、前記本発明の第一の課題が一定の解決を見る。
【００４４】
次いで、請求項４の発明によれば、吐出部寄りで誘導コイルの捲回密度が増していることにより、その分だけ管体への誘導加熱入熱量が増す。ついては、上述の請求項１〜３の発明の作用による管体温度の低下を補うだけの誘導加熱入熱増が果せれば、管体温度は上記の伝熱量増加起因の温度低下以前の元の管体温度に復元され、同時に、管体から管内蒸気への伝熱量の増加が、延いては吐出蒸気温度の上昇が、上記の管体への入熱増に倣った量目を以て上積みされる。すなわち、吐出蒸気温度の更なる上昇が、管体温度は一定のままで適うことになり、前記第一の課題が更に高度に解決されるのである。
【００４５】
さらに、請求項５〜８の発明にあっては、発熱体部及び吐出蒸気部並びに処理部の各部にＰＩＤ演算回路等の温度制御フィードバック回路を設け、作動開始時は発熱体温度フィードバック制御回路（第１仕様のフィードバック制御回路）にて発熱体温度のフィードバック制御を行って発熱体を目標温度に維持し、吐出蒸気温度が目標温度に近づいた時に制御対象を発熱体温度から吐出蒸気温度に切替えた上で吐出蒸気温度フィードバック制御回路（第２仕様のフィードバック制御回路）にて、吐出蒸気温度のフィードバック制御を行って吐出蒸気温度を目標温度に維持し、更に処理部の温度が目標温度に近づいた時に制御対象を吐出蒸気温度から処理部の温度に切替えた上で処理部温度フィードバック制御回路（第３仕様のフィードバック制御回路）にて、処理部の温度のフィードバック制御を行って処理部の温度を目標温度に維持する。
【００４６】
または、特に請求項７〜８の発明にあっては吐出蒸気温度フィードバック制御回路（第２仕様のフィードバック制御回路）が省かれているので、作動開始時は発熱体温度フィードバック制御回路（第１仕様のフィードバック制御回路）にて発熱体温度のフィードバック制御を行い、発熱体を目標温度に維持し、処理部の温度が目標温度に近づいた時に制御対象を発熱体温度から処理部の温度に切替えた上で処理部温度フィードバック制御回路（第３仕様のフィードバック制御回路）にて、処理部の温度のフィードバック制御を行って処理部の温度を目標温度に維持する。
【００４７】
フィードバック制御対象が発熱体吐出蒸気制御モード切替手段（１番目の仕様の制御モード切替手段），発熱体吐出蒸気処理部制御モード切替手段（２番目），又は発熱体処理部制御モード切替手段（３番目）により発熱体温度から吐出蒸気温度あるいは処理部温度に切り替わった時に、発熱体温度はフィードバック対象外となるが、切り替り直前には発熱体温度が安定状態になっているためフィードバック対象外となっても温度変動が少なく、発熱体温度が上限温度を超えるおそれは先ずない。
このように所望各所に温度フィードバック制御回路を設け、目標温度到達の順でフィードバック制御の対象を切替えることにより、作動開始後の初期昇温時や不測の条件変動（蒸気供給不足や蒸気供給停止など）が生じた場合でも発熱体温度が上限温度を超えることなく、かつ所望各部にてＰＩＤ制御等のフィードバック制御を行うため、応答性の良い温度制御が達成でき、処理部以降に制御対象が追加された場合でも、制御システム全体を再構築するのではなく、ＰＩＤ演算回路等の温度制御フィードバック回路を追加するという後付け的処置により、容易に応答性の良い温度制御が達成できる。
このように、本発明によれば、温度制御の応答性や使い勝手が良く、発熱体の過熱を適切に防止できる過熱蒸気発生装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
本発明の過熱蒸気発生装置の一実施形態（第１形態）について、その構成を、図面を引用して説明する。図１は、（ａ）が左側面図、（ｂ）が断熱材を外したところの正面図、（ｃ）が縦断左側面図、（ｄ）が縦断正面図である。
なお、それらの図示に際し従来と同様の構成要素には同一の符号を付して示したので、重複する再度の説明は割愛し、以下、従来との相違点を中心に説明する。
【００４９】
この過熱蒸気発生装置３０が既述した図１１（ａ），（ｂ）の従来装置１０と相違するのは、誘導コイル１７が捲回状態の異なる誘導コイル３１になった点である。なお、図１（ｃ），（ｄ）には誘導コイル３１の内外に巻かれた断熱材１８が図示されているが、これは従来から設けられていたものである。
誘導コイル３１は、従来同様たとえば水冷可能な銅管などからなり、加熱部１２において管体１３の外周に捲回されているが、その捲回密度が、均一でなくなり、導入部１１寄りでは粗に吐出部１６寄りでは密になっている。その比は、飽和蒸気と過熱蒸気の温度差等にもよるが、例えば１：２〜４程度が好適である。
【００５０】
この実施形態（第１形態）の過熱蒸気発生装置３０について、その使用態様及び動作を、図面を引用して説明する。図１（ｅ）は蒸気の流れを示す要部の縦断正面図である。
【００５１】
このような過熱蒸気発生装置の本体１０は、上流の図示しない飽和蒸気発生装置から飽和蒸気５が供給されると、これを導入部１１で取り込み、加熱部１２では管体１３の中空部１４を通過させながら飽和蒸気５を加熱して過熱蒸気６にし、その過熱蒸気６を吐出部１６から吐出して下流の図示しない過熱蒸気処理装置等へ供給する。加熱部１２での加熱は、誘導コイル３１への高周波通電によって管体１３が誘導加熱され、その熱が管体１３から中空部１４の蒸気に伝達されることで行われる。
【００５２】
この場合、誘導コイル３１の捲回の粗密に基づいて、誘導加熱による入熱量が導入部１１寄りで少なく吐出部１６寄りで多くなり、そのため管体１３から中空部１４の蒸気への伝熱効率が向上して、加熱部１２全体の加熱効率も良くなる。具体例を挙げると、１００℃の飽和水蒸気を５００℃の過熱水蒸気に加熱するとき、その蒸気は、比熱が約１．２倍になり、密度が約半分になって流速がほぼ２倍になる。管体１３の長さが５００mmであり、それに誘導コイル１７を巻いたときには２０ｋＷの電力が投入され蒸気が５０msで管体１３を通過していたが、管体１３に誘導コイル３１を巻数比１：２で巻いたときには、飽和蒸気５が２５msで管体１３を通過して所望の過熱蒸気６になり、投入電力は従来より少ない１８ｋＷで済む。
【００５３】
本発明の過熱蒸気発生装置の他の実施形態（第２形態）について、その構成を、図面を引用して説明する。図２は、管体と邪魔体の部分構造を示し、（ａ）が左側面図、（ｂ）が縦断正面図である。
【００５４】
この過熱蒸気発生装置が既述した従来装置１０と相違するのは、邪魔体として管体１３の中空部１４に納められた波板１５が折り曲げ状態の異なる波板３２になった点である。
波板３２は、従来同様に帯状の板体をジグザグに折り曲げて作られるが、導入部１１寄りでは粗に吐出部１６寄りでは密に折り曲げられている。例えば、導入部１１側の端部では数ｃｍ毎に折り曲げられているのに対し、吐出部１６側の端部では数ｍｍ毎に折り曲げられている。
【００５５】
このような波板３２は、従来の波板１５とほとんど同じコストで製造することができ、加熱部１２の蒸気流路の中では、導入部１１寄りよりも吐出部１６寄りで蒸気の流れに大きな乱れを引き起こすものとなる。
そのため、加熱部１２において管体１３の中空部１４を通過させながら飽和蒸気５を加熱して過熱蒸気６にするとき、吐出部１６寄りの伝熱効率・加熱効率が一段と向上する。その他は、上述した過熱蒸気発生装置３０と同様である。
【００５６】
本発明の過熱蒸気発生装置の他の実施形態（第３形態）について、その構成を、図面を引用して説明する。図３は、管体と邪魔体の部分構造を示し、（ａ）が左側面図、（ｂ）が縦断正面図である。
【００５７】
この管体１３には、専用の邪魔体として邪魔棒３３が組み入れられ、兼用の邪魔体として蛇腹状部材３４が連結されている。何れの邪魔体３３，３４も、管体１３の端部のうち吐出部１６側のところに設けられている。すなわち、邪魔棒３３は、管体１３の吐出部１６側の端部の中空部１４において十字状に取り付けられ、蛇腹状部材３４は、伸縮性に富む例えばベローズ管からなり、管体１３の吐出部１６側の端面に対し管体１３を延長する形で取り付けられている。
【００５８】
この場合、加熱部１２の蒸気流路を成す管体１３に延長部分として蛇腹状部材３４が組み込まれているので、管体１３が発熱して伸びたとき、それで押された蛇腹状部材３４が縮むので、管体１３の熱膨張の影響が蛇腹状部材３４によって解消・緩和される。
また、邪魔棒３３と蛇腹状部材３４によって、加熱部１２のうち吐出部１６寄りのところで蒸気の流れに大きな乱れが引き起こされる。そのため、加熱部１２において管体１３の中空部１４を通過させながら飽和蒸気５を加熱して過熱蒸気６にするとき、吐出部１６寄りの加熱効率が一段と向上する。その他は、上述した過熱蒸気発生装置３０と同様である。
【００５９】
本発明の過熱蒸気発生装置の他の実施形態（第４形態）について、その構成を、図面を引用して説明する。図４は、（ａ）が要部の縦断左側面図、（ｂ）が縦断正面図である。また、図５は、（ａ）が温度制御回路や他の連携装置も含めた全体ブロック図、（ｂ）が温度制御回路のブロック図である。
【００６０】
この過熱蒸気発生装置４０が上述した図１の過熱蒸気発生装置３０と相違するのは、発熱体温度計２１が取付位置の異なる発熱体温度計４１になった点である（図４参照）。
また、この過熱蒸気発生装置４０に付設された温度制御回路５０が、三個の温度調節器５１，５２，５３を切替回路５４，５５で切り替えながらフィードバック制御するようになったことも相違点である（図５参照）。
【００６１】
発熱体温度計４１も例えば発熱体温度計２１と同じ熱電対からなるが、発熱体温度計４１は、管体１３の外周面に対して吐出部１６寄りのところで取り付けられて（図４参照）、発熱体である管体１３の温度を検出し、この検出温度Ｔａを温度制御回路５０に送出するようになっている（図５（ａ）参照）。発熱体温度計４１の取付位置は、吐出部１６寄りのうちでも、誘導コイル３１の捲回密度の最高位置が望ましい（図４（ｂ）参照）。発熱体温度計４１の他、既述した吐出蒸気温度計２２と処理部温度計２７も並設され、それらの検出温度Ｔｂ，Ｔｃも温度制御回路５０に送出されるようになっている（図５（ａ）参照）。
【００６２】
温度制御回路５０は（図５（ｂ）参照）、発熱体温度に係る発報とフィードバック制御とを担う温度調節器５１と、吐出蒸気温度に係るフィードバック制御とその採択判定とを担う温度調節器５２と、処理部温度に係るフィードバック制御とその採択判定とを担う温度調節器５３と、温度調節器５２の判定に従って採択を実行するために例えばリレー回路等からなり二入力一出力のセレクタとして動作する切替回路５４と、温度調節器５３の判定に従って採択を実行するために例えばリレー回路等からなり二入力一出力のセレクタとして動作する切替回路５５とからなる。
【００６３】
温度調節器５１，５２，５３は、何れも、個々に見れば温度制御回路２３，２８に関して既述したのと同じ温度調節器であるが、設定温度や外部信号の割付が改められている。具体的には、温度調節器５１は、比較演算回路（CMP.）及びＰＩＤ演算回路(PID）への外部信号を発熱体温度計４１の検出温度Ｔａにしたうえで、ＰＩＤ演算回路への設定温度を発熱体目標温度Ｇａとしたことにより検出温度Ｔａを発熱体目標温度Ｇａにするようなコイル電流Ｉｂを高周波電源２４に出力させる通電指令ＩａがＰＩＤ演算回路から出力されるようになっており（発熱体温度フィードバック制御回路、第１仕様のフィードバック制御回路）、さらに比較演算回路への設定温度を発熱体上限温度Ｓａとしたことにより検出温度Ｔａが発熱体上限温度Ｓａを超えると比較演算回路から警報信号Ａａが出力されるようになっている。発熱体目標温度Ｇａは、発熱体上限温度Ｓａから管体１３の温度変動分および安全見込み分たとえば５０℃〜１００℃を引いた値にされ、発熱体上限温度Ｓａより低い温度である。
【００６４】
温度調節器５２は、比較演算回路およびＰＩＤ演算回路への外部信号を吐出蒸気温度計２２の検出温度Ｔｂにしたうえで、ＰＩＤ演算回路への設定温度を吐出蒸気目標温度Ｇｂとしたことにより検出温度Ｔｂを吐出蒸気目標温度Ｇｂにするようなコイル電流Ｉｂを高周波電源２４に出力させる通電指令ＩａがＰＩＤ演算回路から出力されるようになっており（吐出蒸気温度フィードバック制御回路、第２仕様のフィードバック制御回路）、さらに比較演算回路への設定温度を目標近傍温度Ｓｂとしたことにより検出温度Ｔｂが目標近傍温度Ｓｂを超えると比較演算回路から採択判定信号Ａｂが出力されるようになっている。目標近傍温度Ｓｂは、吐出蒸気目標温度Ｇｂより少しだけ例えば１０℃〜２０℃ほど低い値にされ、この程度の温度差であれば管体１３の過熱を招くことなく速やかにフィードバック制御で吐出蒸気温度を上昇させ温度差を解消されられるものとなっている。
【００６５】
温度調節器５３は、比較演算回路およびＰＩＤ演算回路への外部信号を処理部温度計２７の検出温度Ｔｃにしたうえで、ＰＩＤ演算回路への設定温度を処理部目標温度Ｇｃとしたことにより検出温度Ｔｃを処理部目標温度Ｇｃにするようなコイル電流Ｉｂを高周波電源２４に出力させる通電指令ＩａがＰＩＤ演算回路から出力されるようになっており（処理部温度フィードバック制御回路、第３仕様のフィードバック制御回路）、さらに比較演算回路への設定温度を目標近傍温度Ｓｃとしたことにより検出温度Ｔｃが目標近傍温度Ｓｃを超えると比較演算回路から採択判定信号Ａｃが出力されるようになっている。目標近傍温度Ｓｃは、処理部目標温度Ｇｃよりより少しだけ例えば１０℃〜２０℃ほど低い値にされ、この程度の温度差であれば管体１３の過熱を招くことなく速やかにフィードバック制御で処理部温度を上昇させ温度差を解消されられるものとなっている。
【００６６】
切替回路５４は、温度調節器５１，５２のＰＩＤ演算回路の出力を信号入力とし、温度調節器５２の比較演算回路の出力する採択判定信号Ａｂを制御入力として、採択判定信号Ａｂが有意でないときには温度調節器５１のＰＩＤ演算回路の出力を採択して出力し、採択判定信号Ａｂが有意のときには温度調節器５２のＰＩＤ演算回路の出力を採択して出力するものである。このような切替回路５４と温度調節器５２の比較演算回路とで発熱体吐出蒸気制御モード切替手段（１番目の仕様の制御モード切替手段）が構成され、これによって、吐出蒸気温度計２２の検出温度Ｔｂが目標近傍温度Ｓｂ以下で吐出蒸気目標温度Ｇｂから遠いときは、誘導コイル３１の通電制御に、温度調節器５１のＰＩＤ演算回路による発熱体温度フィードバック制御回路が採択されて、温度調節器５２のＰＩＤ演算回路による吐出蒸気温度フィードバック制御回路は外されるようになっている。また、吐出蒸気温度計２２の検出温度Ｔｂが目標近傍温度Ｓｂを上回って吐出蒸気目標温度Ｇｂに近づいたときには、誘導コイル３１の通電制御から発熱体温度フィードバック制御回路が外され、その代わりに吐出蒸気温度フィードバック制御回路が誘導コイル３１の通電制御に採択されるようになっている。
【００６７】
切替回路５５は、切替回路５４の出力と温度調節器５３のＰＩＤ演算回路の出力とを信号入力とし、温度調節器５３の比較演算回路の出力する採択判定信号Ａｃを制御入力として、採択判定信号Ａｃが有意でないときには切替回路５４の出力を採択して出力し、採択判定信号Ａｃが有意のときには温度調節器５３のＰＩＤ演算回路の出力を採択して出力するものである。このような切替回路５５と温度調節器５３の比較演算回路とで発熱体吐出蒸気処理部制御モード切替手段（２番目の仕様の制御モード切替手段）が構成され、これによって、処理部温度計２７の検出温度Ｔｃが目標近傍温度Ｓｃ以下で処理部目標温度Ｇｃから遠いときは、誘導コイル３１の通電制御に、切替回路５４の採択結果が採択されて、温度調節器５３のＰＩＤ演算回路による処理部温度フィードバック制御回路は外されるようになっている。また、処理部温度計２７の検出温度Ｔｃが目標近傍温度Ｓｃを上回って処理部目標温度Ｇｃに近づいたときには、誘導コイル３１の通電制御から切替回路５４の採択結果すなわち発熱体温度フィードバック制御回路，吐出蒸気温度フィードバック制御回路が何れも外され、その代わりに処理部温度フィードバック制御回路が誘導コイル３１の通電制御に採択されるようになっている。
【００６８】
この実施形態（第４形態）の過熱蒸気発生装置４０について、その使用態様及び動作を、図面を引用して説明する。図６は温度変化のタイムチャートである。
【００６９】
このような過熱蒸気発生装置４０も、上流の飽和蒸気発生装置２５から飽和蒸気が供給されると、これを導入部１１で取り込み、加熱部１２では管体１３の中空部１４を通過させながら飽和蒸気を加熱して過熱蒸気にし、その過熱蒸気を吐出部１６から吐出して下流の過熱蒸気処理装置２６へ供給する。加熱部１２での加熱も、誘導コイル３１への高周波通電によって管体１３が誘導加熱され、その熱が管体１３から中空部１４の蒸気に伝達されることで行われ、誘導コイル３１の捲回の粗密に基づいて誘導加熱による入熱量が導入部１１寄りで少なく吐出部１６寄りで多くなり、効率良く行われる。
【００７０】
その際、管体１３では導入部１１側よりも吐出部１６側が高温になるが、そこの温度が発熱体温度計４１によって検出され、この検出温度Ｔａが温度制御回路５０によるフィードバック制御や温度制御回路５０の温度調節器５１の比較演算回路による過熱監視に供されるので、発熱体である管体１３が異常に加熱される可能性は小さいうえ、例え過熱が生じかけた場合でも、発熱体温度計４１の検出温度Ｔａが発熱体上限温度Ｓａを上回ると、直ちに温度制御回路５０から高周波電源２４へ警報信号Ａａが送出されるので、管体１３等の損傷は未然に防止される。
【００７１】
また、温度制御回路５０による温度制御では、発熱体温度フィードバック制御回路と吐出蒸気温度フィードバック制御回路と処理部温度フィードバック制御回路が使い分けられる。具体的には、過熱蒸気発生装置の本体１０等を作動させると（図６の時刻ｔ０参照）、その時点では、検出温度Ｔｂが目標近傍温度Ｓｂ以下で、検出温度Ｔｃが目標近傍温度Ｓｃ以下なので、先ず発熱体温度フィードバック制御回路が採択され、これによって発熱体温度計４１の検出温度Ｔａを発熱体目標温度Ｇａに上昇させて維持する制御が行われる。その制御が継続している間は（時刻ｔ０〜ｔ１）、発熱体温度が発熱体上限温度Ｓａを超えない範囲で、誘導コイル３１へ高周波通電が行われるので、吐出蒸気温度計２２の検出温度Ｔｂも処理部温度計２７の検出温度Ｔｃも上昇し続ける。
【００７２】
そして、検出温度Ｔｂが吐出蒸気目標温度Ｇｂに近づいて目標近傍温度Ｓｂを上回ると（図６の時刻ｔ１参照）、発熱体温度フィードバック制御回路に代わって吐出蒸気温度フィードバック制御回路が採択され、これによって吐出蒸気温度計２２の検出温度Ｔｂを吐出蒸気目標温度Ｇｂに上昇させて維持する制御が行われる（時刻ｔ１〜ｔ２）。切替の直後はコイル電流Ｉｂが増加して発熱体温度計４１の検出温度Ｔａが上昇するが、まもなく吐出蒸気温度計２２の検出温度Ｔｂが吐出蒸気目標温度Ｇｂに達すると、コイル電流Ｉｂが減少するので発熱体温度計４１の検出温度Ｔａも発熱体上限温度Ｓａを超えることなく落ち着く。
【００７３】
それから、処理部温度計２７の検出温度Ｔｃが処理部目標温度Ｇｃに近づいて目標近傍温度Ｓｃを上回ると（図６の時刻ｔ２参照）、吐出蒸気温度フィードバック制御回路に代わって処理部温度フィードバック制御回路が採択され、これによって処理部温度計２７の検出温度Ｔｃを処理部目標温度Ｇｃに上昇させて維持する制御が行われる（時刻ｔ２〜）。ここでも切替の直後はコイル電流Ｉｂが増加して発熱体温度計４１の検出温度Ｔａが上昇するが、まもなく処理部温度計２７の検出温度Ｔｃが処理部目標温度Ｇｃに達すると、コイル電流Ｉｂが減少するので発熱体温度計４１の検出温度Ｔａも発熱体上限温度Ｓａを超えることなく落ち着く。それ以後は、そのフィードバック制御が継続されて、過熱蒸気処理装置２６に所望の温度の過熱蒸気が供給される。
【００７４】
このように、温度制御回路５０付き過熱蒸気発生装置４０にあっては、最初は温度調節器５１のＰＩＤ演算回路による発熱体温度のフィードバック制御が行われて発熱体の過熱を回避しながら発熱体の昇温が迅速になされ、次いで発熱体の過熱の虞が無くなったら温度調節器５２のＰＩＤ演算回路による吐出蒸気温度のフィードバック制御が行われて吐出蒸気の昇温が迅速になされ、さらに、やはり発熱体の過熱の虞が無くなったら温度調節器５３のＰＩＤ演算回路による処理部温度のフィードバック制御が行われて処理部温度の昇温が迅速になされ、その後も処理部温度がフィードバック制御で目標温度に保たれる。
【００７５】
すなわち、三重の開閉式フィードバックループから順次選択された一つのループだけが閉じて温度制御を遂行する。そのため、温度調節器５１，５２，５３のＰＩＤ演算回路のＰＩＤ定数を設定するときに、それぞれ単独のフィードバックループしかないものとして他のフィードバックループとの干渉を考慮せずに設定温度を決められるので、種々のアプリケーションに対して従来と同じく簡便に適応させることができる。
【００７６】
更に他の実施形態（第５形態）について、その構成を図面を引用して説明する。この実施形態の過熱水蒸気発生装置は、図４記載の基本装置構成に加えて、図１３記載の処理部温度計２７並びに、その検出温度Ｔｃに基づいて処理部温度の制御を行う図５記載の温度調節器５３を配した処理部温度フィードバック制御回路（第３仕様のフィードバック制御回路）を備えている。発熱体温度計４１の検出温度Ｔａに基づいて発熱体温度の制御を行う図５記載の温度調節器５１を配した発熱体温度フィードバック制御回路（第１仕様のフィードバック制御回路）も備えている。
【００７７】
図７（ａ）は、その全体ブロック図で、図７（ｂ）は、温度制御回路５８のブロック図である。処理部温度計２７や発熱体温度計４１は残っているが、吐出蒸気温度計２２が省かれているので、温度制御回路５８は、上述した温度制御回路５０から温度調節器５２と切替回路５４とを省いたものとなっている。切替回路５５は、切替回路５４の省略に伴い入力が変更されて、次のような切替回路５６になっている。すなわち、切替回路５６は、温度調節器５１，５３のＰＩＤ演算回路の出力を信号入力とし、温度調節器５３の比較演算回路の出力する採択判定信号Ａｃを制御入力として、採択判定信号Ａｃが有意でないときには温度調節器５１のＰＩＤ演算回路の出力を採択して出力し、採択判定信号Ａｃが有意のときには温度調節器５３のＰＩＤ演算回路の出力を採択して出力する。
【００７８】
このような切替回路５６と温度調節器５３の比較演算回路とで発熱体処理部制御モード切替手段（３番目の仕様の制御モード切替手段）が構成され、これによって、処理部温度計２７の検出温度Ｔｃが目標近傍温度Ｓｃ以下で処理部目標温度Ｇｃから遠いときは、誘導コイル３１の通電制御に、温度調節器５１のＰＩＤ演算回路による発熱体温度フィードバック制御回路が採択されて、温度調節器５３のＰＩＤ演算回路による処理部温度フィードバック制御回路は外されるようになっている。また、処理部温度計２７の検出温度Ｔｃが目標近傍温度Ｓｃを上回って処理部目標温度Ｇｃに近づいたときには、誘導コイル３１の通電制御から発熱体温度フィードバック制御回路が外され、その代わりに処理部温度フィードバック制御回路が誘導コイル３１の通電制御に採択されるようになっている。
【００７９】
この制御回路の動作は図６における検出温度Ｔａ，Ｔｃに係る動作と概ね同じである。すなわち、温度制御回路５８付き過熱蒸気発生装置４０にあっては、最初は温度調節器５１のＰＩＤ演算回路による発熱体温度のフィードバック制御が行われて発熱体の過熱を回避しながら発熱体の昇温が迅速になされ、次いで発熱体の過熱の虞が無くなったら温度調節器５３のＰＩＤ演算回路による処理部温度のフィードバック制御が行われて処理部温度の昇温が迅速になされ、その後も処理部温度がフィードバック制御で目標温度に保たれる。このように二重の開閉式フィードバックループから順次選択された一つのループだけが閉じて温度制御を遂行するため、温度調節器５１，５３のＰＩＤ演算回路のＰＩＤ定数を設定するときに、それぞれ単独のフィードバックループしかないものとして他のフィードバックループとの干渉を考慮せずに設定温度を決められるので、種々のアプリケーションに対して従来と同じく簡便に適応させることができる。
【００８０】
更に他の実施形態（第６形態）について、その構成を図面を引用して説明する。この実施形態の過熱蒸気発生装置は、前記第４形態の装置を図８（ａ）に示す全体制御回路および図８（ｂ）に示す温度制御回路６０によって制御するものである。
この第６形態が上述した第４形態と相違するのは温度制御回路５０が温度制御回路６０になった点であり、温度制御回路６０が上述した温度制御回路５０と相違するのは、温度制御回路５０に加えて発熱体上限制御モード切替手段５７＋６４（４番目の仕様の制御モード切替手段）が付設されている点である（その詳述は次の第７形態の説明で行う）。
【００８１】
更に他の実施形態（第７形態）についても、その構成を図面を引用して説明する。この実施形態の過熱蒸気発生装置は、前記第５形態の装置を図９（ａ）に示す全体制御回路および図９（ｂ）に示す温度制御回路７０によって制御するものである。
この第７形態が上述した第５形態と相違するのは温度制御回路５８が温度制御回路７０になった点であり、温度制御回路７０が上述した温度制御回路５８と相違するのは、温度制御回路５８に加えて発熱体上限制御モード切替手段５７＋６４（４番目の仕様の制御モード切替手段）が付設されている点である。発熱体上限制御モード切替手段５７＋６４は、以下の比較演算回路５７と切替回路６４とで構成されている。
【００８２】
温度制御回路６０，７０では（図８（ｂ），図９（ｂ）参照）温度調節器５１が機能拡張されて温度調節器６１になっており、温度調節器６１は、発熱体温度に係る発報とフィードバック制御とを担う温度調節器５１に比較演算回路５７（CMP.）を追加した回路である。比較演算回路５７は、比較対象の一方となる外部信号を発熱体温度計４１の検出温度Ｔａとし、比較対象の他方となる設定温度を発熱体上方管理温度Ｌａとしたものであり、検出温度Ｔａが発熱体上方管理温度Ｌａを超えると比較演算回路５７から採択判定信号Ａａ１が出力されるようになっている。発熱体上方管理温度Ｌａは（図１０参照）、発熱体温度計４１の検出温度Ｔａが発熱体目標温度Ｇａを超えて不所望な発熱体上限温度Ｓａにまで上昇するのを防止するために、発熱体目標温度Ｇａと発熱体上限温度Ｓａとの間の適宜温度に設定されている。
【００８３】
切替回路６４は（図８（ｂ），図９（ｂ）参照）、温度調節器６１のＰＩＤ演算回路の出力と切替回路５５の出力とを信号入力とし（図８（ｂ）参照）あるいは温度調節器６１のＰＩＤ演算回路の出力と切替回路５６の出力とを信号入力とし（図９（ｂ）参照）、比較演算回路５７の出力する採択判定信号Ａａ１を制御入力として、採択判定信号Ａａ１が有意でないときには切替回路５５，５６の出力を採択して出力し、採択判定信号Ａａ１が有意のときには温度調節器６１のＰＩＤ演算回路の出力を採択して出力するものである。
【００８４】
このような切替回路６４と温度調節器６１の比較演算回路５７とで発熱体上限制御モード切替手段５７＋６４（４番目の仕様の制御モード切替手段）が構成され、これによって、誘導コイル３１の通電制御に発熱体温度フィードバック制御回路は外されて吐出蒸気温度フィードバック制御回路および処理部温度フィードバック制御回路の何れか一方が採択されている状況下であっても、発熱体温度計４１の検出温度Ｔａが発熱体目標温度Ｇａの管理範囲を上方に外れたとき（即ち発熱体上方管理温度Ｌａを超えたとき）には、誘導コイル３１の通電制御に発熱体温度フィードバック制御回路が採択され、吐出蒸気温度フィードバック制御回路および処理部温度フィードバック制御回路は誘導コイル３１の通電制御から外されるようになっている。
【００８５】
この発熱体上限制御モード切替手段５７＋６４を設けたことにより、例えば吐出蒸気温度フィードバック制御回路や処理部温度フィードバック制御回路を誘導コイル３１の通電制御に採択している状況下にて運転中に、飽和蒸気発生装置２５からの飽和蒸気が通気停止するなどの事情により、発熱体温度が発熱体上限温度Ｓａを超えるおそれが生じた場合でも、発熱体温度計４１の検出温度Ｔａが発熱体上方管理温度Ｌａを超えると、誘導コイル３１の通電制御に発熱体温度フィードバック制御回路が採択されて、発熱体温度計４１の検出温度Ｔａが発熱体目標温度Ｇａに向かうように誘導コイル３１の通電制御がなされるので、発熱体温度が発熱体上限温度Ｓａを超えること無く、通電を持続できる。
【００８６】
この制御回路の動作を図１０に示す。図１０において吐出蒸気温度フィードバック制御回路か処理部温度フィードバック制御回路かが採択されている状況下にて、飽和蒸気発生装置２５からの飽和蒸気が通気停止した場合（時刻ｔ３参照）を例にとって説明するならば、過熱蒸気発生装置４０には蒸気が通気していないために、吐出蒸気温度あるいは処理部温度には低下傾向が生じるが、それぞれが目標近傍温度Ｓｂ，目標近傍温度Ｓｃに到達しない限りは吐出蒸気温度フィードバック制御回路あるいは処理部温度フィードバック制御回路による通電制御が維持される。しかしながら、過熱蒸気発生装置４０に蒸気が通気していないために、制御対象部の温度は、それぞれ目標温度Ｇｂ，Ｇｃに向わないまま推移し、この間に発熱体温度計４１の検出温度Ｔａが発熱体上限温度Ｓａを超える可能性が高い。
【００８７】
このため、発熱体目標温度Ｇａと発熱体上限温度Ｓａとの間の温度に発熱体上方管理温度Ｌａを設定し、発熱体温度計４１の検出温度Ｔａが発熱体上方管理温度Ｌａを超えた場合には、吐出蒸気温度フィードバック制御回路や処理部温度フィードバック制御回路は誘導コイル３１の通電制御から外して、誘導コイル３１の通電制御に発熱体温度フィードバック制御回路を採択することにより、発熱体温度が発熱体上限温度Ｓａを超えることは無くなる。そして、この間に蒸気系統の修復を図る等の処置を講じることもできる。
【００８８】
［その他］
上記各形態では、加熱部の蒸気流路を複数管体で構成するようになっていたが、本発明の適用は、それに限られる訳でなく、単一管体の蒸気流路にも適用することができる。
上記の第４，第６形態では、温度制御対象が発熱体温度と吐出蒸気温度と処理部温度との三つであり、第５，第７形態では、温度制御対象が発熱体温度と処理部温度との二つであったが、温度制御対象は、更に下流の温度を加えた四つ以上でも良く、何れの場合でも、本発明のフィードバック制御回路の順次切替方式を適用することができる。また、フィードバック制御の演算例としてＰＩＤ演算を挙げたがアプリケーションによってはＰＩ演算やＰ演算でも良い。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の一実施形態（第１形態）について、過熱蒸気発生装置の構造等を示し、（ａ）が左側面図、（ｂ）が断熱材を外したところの正面図、（ｃ）が縦断左側面図、（ｄ）が縦断正面図、（ｅ）が蒸気流路等の縦断正面図である。
【図２】本発明の他の実施形態（第２形態）について、管体と邪魔体の部分構造を示し、（ａ）が左側面図、（ｂ）が縦断正面図である。
【図３】本発明の他の実施形態（第３形態）について、管体と邪魔体の部分構造を示し、（ａ）が左側面図、（ｂ）が縦断正面図である。
【図４】本発明の他の実施形態（第４形態）について、過熱蒸気発生装置の要部構造を示し、（ａ）が縦断左側面図、（ｂ）が縦断正面図である。
【図５】（ａ）が温度制御回路や他の連携装置も含めた全体ブロック図、（ｂ）が温度制御回路のブロック図である。
【図６】温度変化のタイムチャートである。
【図７】本発明の他の実施形態（第５形態）について、過熱蒸気発生装置の制御構造を示し、（ａ）が温度制御回路や他の連携装置も含めた全体ブロック図、（ｂ）が温度制御回路のブロック図である。
【図８】本発明の他の実施形態（第６形態）について、過熱蒸気発生装置の制御構造を示し、（ａ）が温度制御回路や他の連携装置も含めた全体ブロック図、（ｂ）が温度制御回路のブロック図である。
【図９】本発明の他の実施形態（第７形態）について、過熱蒸気発生装置の制御構造を示し、（ａ）が温度制御回路や他の連携装置も含めた全体ブロック図、（ｂ）が温度制御回路のブロック図である。
【図１０】温度変化のタイムチャートである。
【図１１】従来の過熱蒸気発生装置の構造を示し、（ａ）が左側面図、（ｂ）が断熱材を外したところの正面図、（ｃ）が管体と邪魔体の部分の縦断正面図である。
【図１２】（ａ）が温度制御回路や他の連携装置も含めた全体ブロック図、（ｂ）が温度制御回路のブロック図、（ｃ）が温度変化のタイムチャートである。
【図１３】（ａ）が温度制御回路や他の連携装置も含めた全体ブロック図、（ｂ）が温度制御回路のブロック図、（ｃ）が温度変化のタイムチャートである。
【符号の説明】
【００９０】
５…飽和蒸気、６…過熱蒸気、
１０…過熱蒸気発生装置の本体、１１…導入部、１２…加熱部、
１３…管体（発熱体）、１４…中空部（蒸気流路）、１５…波板、
１６…吐出部、１７…誘導コイル、１８…断熱材、
２１…発熱体温度計、２２…吐出蒸気温度計、２３…温度制御回路、
２４…高周波電源、２５…飽和蒸気発生装置、２６…過熱蒸気処理装置、
２７…処理部温度計、２８…温度制御回路、
３０…過熱蒸気発生装置、
３１…誘導コイル、３２…波板、３３…邪魔棒、３４…蛇腹状部材、
４０…過熱蒸気発生装置、４１…発熱体温度計、５０…温度制御回路、
５１，５２，５３…温度調節器、５４，５５，５６…切替回路、
５７…比較演算回路、５８，６０…温度制御回路、
６１…温度調節器、６４…切替回路、７０…温度制御回路、
Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ…検出温度、Ｓａ…発熱体上限温度、
Ｓｂ，Ｓｃ…目標近傍温度、Ｌａ…発熱体上方管理温度Ｌａ、
Ｇａ…発熱体目標温度、Ｇｂ…吐出蒸気目標温度、Ｇｃ…処理部目標温度、
Ａａ…警報信号、Ｉａ…通電指令、Ｉｂ…コイル電流
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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