(57)【要約】      （修正有）【課題】少なくとも１つのファンフィルターユニットを用いて換気設備における少なくとも１つの空気特性を維持するためのシステムが提供される。【解決手段】このシステムは、換気設備にさらされる、少なくとも１つの空気特性を検出するための少なくとも１つのセンサ２０９を備えている。少なくとも１つのセンサは、少なくとも１つのファンフィルターユニット２０７に動作自在に接続された制御システムに動作自在に接続される。制御システムは、少なくとも１つのセンサから出力読み取り値を受け取り、その出力読み取り値がある範囲内であるかどうかを判定し、範囲外であった場合は、少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を調整せよとの命令を少なくとも１つのファンフィルターユニットに提供する。対応する方法および装置も開示される。【選択図】図２
2007298263.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのファンフィルターユニットを用いて換気設備における少なくとも１つの空気特性を維持するためのシステムであって、
（ａ）  前記換気設備にさらされる、前記少なくとも１つの空気特性を検出するための少なくとも１つのセンサを備えており、
（ｂ）  前記少なくとも１つのセンサが、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットに動作自在に接続された制御システムに動作自在に接続されており、
（ｃ）  前記制御システムが、前記少なくとも１つのセンサから出力読み取り値を受け取り、前記出力読み取り値がある範囲内であるかどうかを判定し、範囲外であった場合は、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を調整せよとの命令を前記少なくとも１つのファンフィルターユニットに提供する、システム。
【請求項２】
前記少なくとも１つのセンサが、気流速度、空気圧、気温、空中粒子数、および空気湿度から成るグループから選択される少なくとも１つを検出するセンサである、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記少なくとも１つのセンサが、前記換気設備の天井パネルの中、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの中、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの下方、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの上部、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの外部ケーシングに取り付けて、前記天井パネルの上方、壁、作業ベンチ、および作業テーブルから成るグループから選択される少なくとも１つの場所にある、請求項１または２に記載のシステム。
【請求項４】
前記少なくとも１つのセンサが、無線、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットと共通の制御ケーブル、および前記少なくとも１つのファンフィルターユニットと無関係の制御ケーブルから成るグループから選択される１つの手段によって、前記制御システムに動作自在に接続される、請求項１〜３のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項５】
前記制御システムに動作自在に接続された可聴警報をさらに備える、請求項１〜４のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項６】
前記制御システムが複数のサブコントローラを備える、請求項１〜６のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項７】
互いに独立して動作する複数のセンサが存在する、請求項１〜６のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項８】
前記制御システムによって互いに独立して命令される複数のファンフィルターユニットが存在する、請求項１〜７のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項９】
複数のグループを成して配置される複数のファンフィルターユニットが存在する、請求項１〜７のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項１０】
各センサーが、１つのファンフィルターユニットおよび前記複数グループの中の１つのグループの少なくとも１つに動作自在に関連する、複数のセンサが存在する、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
少なくとも１つのファンフィルターユニットを用いて換気設備における少なくとも１つの空気特性を維持するための装置であって、
（ａ）  前記換気設備にさらすことができる、前記少なくとも１つの空気特性を検出するための少なくとも１つのセンサを備えており、
（ｂ）  前記少なくとも１つのセンサが、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットに動作自在に接続可能である制御システムに動作自在に接続されており、
（ｃ）  前記制御システムが、前記少なくとも１つのセンサから出力読み取り値を受け取り、前記出力読み取り値がある範囲内であるかどうかを判定し、範囲外であった場合は、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を調整せよとの命令を前記少なくとも１つのファンフィルターユニットに提供する、装置。
【請求項１２】
前記少なくとも１つのセンサが、気流速度、空気圧、気温、空中粒子数、および空気湿度から成るグループから選択される少なくとも１つを検出するセンサである、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記少なくとも１つのセンサが、前記換気設備の天井パネルの中、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの中、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの下方、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの上部、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの外部ケーシングに取り付けて、前記天井パネルの上方、壁、作業ベンチ、および作業テーブルから成るグループから選択される少なくとも１つの場所に位置決め可能である、請求項１１または１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記少なくとも１つのセンサが、無線、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットと共通の制御ケーブル、および前記少なくとも１つのファンフィルターユニットと無関係の制御ケーブルから成るグループから選択される１つの手段によって、前記制御システムに動作自在に接続される、請求項１１〜１３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１５】
前記制御システムに動作自在に接続することができる可聴警報を前記換気設備内にさらに備える、請求項１１〜１４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１６】
前記制御システムが複数のサブコントローラを備える、請求項１１〜１５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１７】
互いに独立して動作することができる複数のセンサが存在する、請求項１１〜１６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１８】
前記制御システムによって互いに独立して命令されることができる複数のファンフィルターユニットが存在する、請求項１１〜１７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１９】
複数のグループを成して配置される複数のファンフィルターユニットが存在する、請求項１１〜１７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２０】
各センサーが、１つのファンフィルターユニットおよび前記複数グループの中の１つのグループの少なくとも１つに動作自在に関連可能な、複数のセンサが存在する、請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
少なくとも１つのファンフィルターユニットを用いて換気設備における少なくとも１つの空気特性を維持するための方法であって、
（ａ）  前記換気設備にさらされる、前記少なくとも１つの空気特性を検出するための少なくとも１つのセンサを使用するステップを含み、
（ｂ）  前記少なくとも１つのセンサが、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットに動作自在に接続された制御システムに動作自在に接続されており、
（ｃ）  前記制御システムにおいて前記少なくとも１つのセンサから空気特性の出力読み取り値を取得するステップを含み、
（ｄ）  前記出力読み取り値がある範囲内であるかどうかを判定するステップを含み、
（ｅ）  範囲外であった場合は、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を調整せよとの命令を前記少なくとも１つのファンフィルターユニットに提供するステップを含む、方法。
【請求項２２】
前記少なくとも１つのセンサが、気流速度、空気圧、気温、空中粒子数、および空気湿度から成るグループから選択される少なくとも１つの空気特性を検出する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記少なくとも１つのセンサが、前記換気設備の天井パネルの中、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの中、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの下方、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの上部、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの外部ケーシングに取り付けて、前記天井パネルの上方、壁、作業ベンチ、および作業テーブルから成るグループから選択される少なくとも１つの場所に位置決めされる、請求項２１または２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記少なくとも１つのセンサが、無線、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットと共通の制御ケーブル、および前記少なくとも１つのファンフィルターユニットと無関係の制御ケーブルから成るグループから選択される１つの手段によって、前記制御システムに動作自在に接続される、請求項２１〜２３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２５】
可聴警報を設けるステップをさらに含む、請求項２１〜２３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２６】
前記制御システムが複数のサブコントローラを備える、請求項２１〜２５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２７】
前記制御システムによって互いに独立して命令される複数のファンフィルターユニットが存在する、請求項２１〜２６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２８】
複数のグループを成して配置される複数のファンフィルターユニットが存在する、請求項２１〜２６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２９】
互いに独立して動作する複数のセンサが存在する、請求項２１〜２８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３０】
各センサーが、１つのファンフィルターユニットおよび前記複数グループの中の１つのグループの少なくとも１つに動作自在に関連する、複数のセンサが存在する、請求項２８に記載の方法。
【請求項３１】
前記出力読み取り値を取得する前記ステップが、ポーリング、読み取り、および受信から成るグループから選択される１つ以上の手段によって行われる、請求項２１〜３０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３２】
前記出力読み取り値が前記範囲を下回る場合、（ｅ）における前記調整は、前記少なくともファンフィルターユニットの動作速度を上げることであり、前記出力読み取り値が前記範囲を上回る場合、（ｅ）における前記調整は、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を下げることである、請求項２１〜３１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３３】
前記出力読み取り値が前記範囲を下回る場合、（ｅ）における前記調整は、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を下げることであり、前記出力読み取り値が前記範囲を上回る場合、（ｅ）における前記調整は、前記少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を上げることである、請求項２１〜３１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３４】
前記調整が、事前に設定された係数による、請求項３２または３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記調整の方向が前記空気特性によって決まる、請求項３２〜３４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３６】
前記検出が、前記換気設備内の前記少なくとも１つのファンフィルターユニットのすべてを対象とするのか、あるいは局所的な領域または場所向けの前記少なくとも１つのファンフィルターユニットのすべてを対象とする局所的検出であるのかを判断するステップをさらに含む、請求項２１〜３５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３７】
前記判断が肯定的である場合に、前記方法を繰り返す前に所定の時間待機するステップを含む、請求項２１〜３６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３８】
前記調整の後、前記方法を繰り返す前に、事前に設定された期間が経過する、請求項２１〜３７のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の分野】
【０００１】
本発明は、ファンフィルターユニットを用いて換気設備における室内特性を維持するための方法および装置に関する。
【発明の背景】
【０００２】
最新の製造・試験設備では、製造物の品質を保証するために、換気設備内を循環する空気内の粒子を制御することが一般的に行われている。当該の設備の例としてクリーンルームが挙げられる。製造物がウェーハダイ、コンパクトディスク、メモリディスクドライブ、または食品のいずれであれ、換気設備内を循環する空気内の粒子含量を許容レベル以下に維持する必要がある。また、労働者が呼吸できるように空気を循環させる必要もある。
【０００３】
また、換気設備の外部から粒子が入り込む可能性を低減するために、少なくとも１つのファンフィルターユニットを用いて換気設備内の空気に過度の圧力がかけられる。汚れた空気が設備に漏れ込む可能性を低減するために、換気設備の空気圧は通常、天井空間およびその他の外部領域の空気圧よりも高くなっている。この圧力差が大きいほど、設備に空気が漏れ込む可能性が低くなる。
【０００４】
ただし、設備に過度の圧力をもたらすファンフィルターユニットの能力は、例えば、天井空間または、ファンフィルターユニットを接続するダクトからファンフィルターユニットが取り込むことができる空気の量によって決まる。これに影響する要因には、次のようなものがある。
・  例えばビルの遮光性といった、実際の現場の状況
・  給気口から最も遠いファンフィルターユニットへの給気の弱さ
・  給気の速度および量の変動
【０００５】
ファンフィルターユニットが十分な空気を取り込むことができないと、設備の少なくとも一部で正の空気圧が低下し、設備の清浄度が損なわれることがある。
【０００６】
空気圧変動の影響を割り出す１つの方法は、ファンフィルターユニットの直下の気流量または気流速度を測定することである。「気流速度×フィルター表面積＝気流量」という関係が成り立つ。上記の１つ以上の原因によるファンフィルターユニットからの圧力損失が大きいほど、ファンフィルターユニットの下方の気流速度が遅くなる。
【０００７】
正の空気圧を十分確保する既知の方法には、携帯測定器を用いて各場所で1回ずつ、設備の様々な場所で空気圧を測定するという手作業が伴う。その後、必要とされる圧力を確保するように様々なファンフィルターユニットのファン速度を調整するために、試行錯誤手法を用いた時間のかかる手順が必要になる。多くの場合、この手順は、すべてのファンフィルターユニットを最高速度で運転することによって回避される。しかしこのように運転すると、不要に過度な圧力が生じることがあり、エネルギー効率が悪い。
【０００８】
また、設備内の一箇所を周囲空間よりも高い空気圧に保たなければならないことも多い。このために、その場所の気流を強めなければならないこともある。
【０００９】
さらに、例えば、不均一な気流によって歩留まり率が低くなることがあるという理由から、精巧な製造プロセスが必要とされ、閉ざされた空間全体で特定の場所の気流を非常に均一にしなければならないこともある。このことは、例えばコンピュータチップやＴＦＴ液晶など一部の業界で重要である。多くの場合このことは、少数のグループの各ファンフィルターユニットの気流を、各グループで１回ずつ調整することによって回避される。あるグループの調整は、別のグループの気流（気圧）に影響を及ぼす。多くの生産工場において、例えば、信頼性のある生産を確保するために、あらゆる場所で気流が均一であることが不可欠とされるクリーンルームなどの閉ざされた空間に数千ものファンフィルターユニットを装備することは珍しいことではない。気流を均一にするには、試行錯誤手法を用いた調整が何回も必要になるため数週間かかることがある。例えば、１つ以上のファンフィルターユニットの故障など（但しこれに限定されない）、気流の均一性に影響することがある様々な状況が他にも存在する。
【発明の概要】
【００１０】
第１の好ましい形態によれば、少なくとも１つのファンフィルターユニットを用いて換気設備における少なくとも１つの空気特性を維持するためのシステムであって、
（ａ）  換気設備にさらされる、少なくとも１つの空気特性を検出するための少なくとも１つのセンサを備えており、
（ｂ）  少なくとも１つのセンサが、少なくとも１つのファンフィルターユニットに動作自在に接続された制御システムに動作自在に接続されており、
（ｃ）  制御システムが、少なくとも１つのセンサから出力読み取り値を受け取り、出力読み取り値がある範囲内であるかどうかを判定し、範囲外であった場合は、少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を調整せよとの命令を少なくとも１つのファンフィルターユニットに提供する、システムが提供される。
【００１１】
第２の好ましい形態によれば、少なくとも１つのファンフィルターユニットを用いて換気設備における少なくとも１つの空気特性を維持するための方法であって、
（ａ）  換気設備にさらされる、少なくとも１つの空気特性を検出するための少なくとも１つのセンサを使用するステップを含み、
（ｂ）  少なくとも１つのセンサが、少なくとも１つのファンフィルターユニットに動作自在に接続された制御システムに動作自在に接続されており、
（ｃ）  制御システムにおいて少なくとも１つのセンサから空気特性の出力読み取り値を取得するステップを含み、
（ｄ）  出力読み取り値がある範囲内であるかどうかを判定するステップを含み、
（ｅ）  範囲外であった場合は、少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を調整せよとの命令を少なくとも１つのファンフィルターユニットに提供するステップを含む、方法が提供される。
【００１２】
第３の好ましい形態によれば、少なくとも１つのファンフィルターユニットを用いて換気設備における少なくとも１つの空気特性を維持するための装置であって、
（ａ）  換気設備にさらすことができる、少なくとも１つの空気特性を検出するための少なくとも１つのセンサを備えており、
（ｂ）  少なくとも１つのセンサが、少なくとも１つのファンフィルターユニットに動作自在に接続可能である制御システムに動作自在に接続されており、
（ｃ）  制御システムが、少なくとも１つのセンサから出力読み取り値を受け取り、出力読み取り値がある範囲内であるかどうかを判定し、範囲外であった場合は、少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を調整せよとの命令を少なくとも１つのファンフィルターユニットに提供する、装置が提供される。
【００１３】
３つの形態すべてにおいて、少なくとも１つのセンサは、気流速度、空気圧、気温、空中粒子数、および空気湿度の少なくとも１つを検出するセンサであり得る。少なくとも１つのセンサは、換気設備の天井パネルおよび／またはファンフィルターユニットの中に、接して、上方に、または下方に、少なくとも１つのファンフィルターユニットの上部に、少なくとも１つのファンフィルターユニットの外部ケーシングに取り付けて、天井パネルの上方に位置決め可能であり、また、無線、少なくとも１つのファンフィルターユニットと共通の制御ケーブル、または少なくとも１つのファンフィルターユニットと無関係の制御ケーブルのいずれかの手段によって、制御システムに動作自在に接続することができる。また、制御システムに動作自在に接続できる可聴警報を設けることもできる。制御システムは、複数のサブコントローラを含むことができる。互いに独立して動作できる複数のセンサを備えてもよく、制御システムによって互いに独立して命令されることができる複数のファンフィルターユニットを備えてもよい。
【００１４】
３つの形態すべてにおいて、複数のファンフィルターユニットを複数のグループを成すように配置してもよい。別法として、センサが互いに独立して動作することができる。それぞれが、１つのファンフィルターユニットおよび／または１つのグループのファンフィルターユニットにそれぞれ動作自在に関連する複数のセンサを備えてもよい。
【００１５】
出力読み取り値の取得は、ポーリング、読み取り、および受信の１つ以上によって行うことができる。
【００１６】
出力読み取り値が一定の範囲を下回る場合、（ｅ）における調整は、少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を上げることであってもよく、出力読み取り値がある範囲を上回る場合、（ｅ）における調整は、少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を下げることであってもよい。別法として、出力読み取り値がある範囲を下回る場合、（ｅ）における調整は、少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を下げることであってもよく、出力読み取り値がある範囲を上回る場合、（ｅ）における調整は、少なくとも１つのファンフィルターユニットの動作速度を上げることであってもよい。この調整は、事前に設定された係数であってもよい。調整の方向は、空気特性によって決めることができる。この方法は、検出が、少なくとも１つのファンフィルターユニットのすべてを対象とするのか、あるいは局所的な領域または場所向けの少なくとも１つのファンフィルターユニットのすべてを対象とする局所的検出であるのかを判断するステップをさらに含むことができる。この判断が肯定的である場合、この方法を繰り返す前に所定の時間待機するステップを含むことができる。調整後、この方法を繰り返す前に待機するステップを含むことができる。
【００１７】
本発明を十分に理解し容易に実用化できるように、本発明の好ましい実施形態のみを非限定的な例を用い、添付図面を参照して説明する。
【好適な実施形態の詳細な説明】
【００１８】
図１に示したのは、従来技術のシステムである。設備内に部屋１０１があり、部屋１０１は上げ床１０２、天井パネル１０３、および屋根１０４を有している。屋根１０４と天井パネル１０３の間に天井空間１０５がある。空気１０６が空間１０５に供給されそこに沿って流れる。空気１０６は、大気、ろ過された空気、清浄な空気、冷却された空気、加熱された空気、除湿された空気、加湿された空気、および空調された空気の１つ以上であり得る。空間１０５から空気１０６を取り込んで部屋１０１に渡し、ろ過された空気１０８を部屋１０１に提供するために、多くのファンフィルターユニット１０７が天井パネル１０３にまたはその中に取り付けられている。空気１０８の流速によって、部屋１０１内に過度の圧力が生じる。手作業の測定と各ファンフィルターユニットの試行錯誤手法による手作業の調整によってのみ、必要な気流を確保できる。
【００１９】
図２は、好ましい実施形態に従って装備され運用されるときの、同じ部屋を示している。類似の符号数字は類似の構成要素を示しているが、先頭の数値が「１」から「２」に変わっている。この実施形態においても、設備内に部屋２０１があり、部屋２０１は上げ床２０２、天井パネル２０３、および屋根２０４を有している。屋根２０４と天井パネル２０３の間に天井空間２０５がある。空気２０６が空間２０５に供給されそこに沿って流れる。空間２０５から空気２０６を取り込んで部屋２０１に渡し、ろ過された空気２０８を部屋２０１に提供するために、多くのファンフィルターユニット２０７が天井パネル２０３にまたはその中に取り付けられている。空気２０８の流速によって、部屋２０１内に過度の圧力が生じる。
【００２０】
少なくとも１つの圧力センサ２０９が適切な場所に設置されている。この場所は、ファンフィルターユニット２０７の中、ファンフィルターユニット２０７の下方、ファンフィルターユニットの上部、ファンフィルターユニットの外部ケーシングに取り付けて、天井パネル２０３の中、天井パネル２０３の上方、壁２１０、または作業ベンチあるいは作業テーブル２１１の上であり得る。すべての圧力センサ２０９が、部屋２０１内の空気、及び部屋２０１に入るまたは実際に部屋２０１内に入る空気にさらされる。センサ２０９の場所は、部屋２０１の状態、部屋２０１内の機器、および部屋２０１のオペレータの要求によって決まる。センサは、部屋２０１内の様々な場所にあってもよいし、様々な場所にあることが好ましい。部屋２０１内に設置される圧力センサ２０９の数は変化し、部屋２０１内の圧力変化に対する機器の感度または動作条件によって部分的に決まる。圧力センサ２０９の数とファンフィルターユニット２０７の数は同じでなくてもよい。１つのセンサ２０９を、ファンフィルターユニット２０７のグループに動作自在に割り当てることができる。この場合、センサ２０９は、ファンフィルターユニット２０７のグループの境界に近接してまたは境界内に配置される。
【００２１】
各圧力センサ２０９は、無線でまたはケーブル２１３を用いて制御システム２１２に離れて接続される。ケーブル２１３は、ファンフィルターユニット２０９の制御ケーブルから独立していてもよいし、制御ケーブルと一体化していてもよい。必要に応じて多重化を使用することができる。
【００２２】
図３に示したように、制御システム２１２が連続してポーリングするか各圧力センサ２０９から値を読み取る（３０１）、あるいは圧力センサ２０９が定期的に値を制御システム２１２に報告し、制御システム２１２がその値を受信する。
【００２３】
圧力値を受信すると（３０２）、制御システム２１２は、センサ２０９からの圧力値が、部屋２０１内の各領域について使用者が設定できるしきい値またはしきい値範囲に収まるかどうかを判断する（３０３）。これらの値または範囲は制御システム２１２に格納される。値または範囲に収まらない場合（３０６）、制御システム２１２は、圧力値がその範囲または値を上回るのか下回るのか（３１０）を判断し（３０７）、部屋２０１の圧力条件に適合するようにファン速度を調整せよとの命令（３０９、３１１）を、その領域内のファンフィルターユニットに送信する。次に、圧力値が再びチェックされる（３０３）。値または範囲に収まる場合（３０４）、次のセンサがポーリングされ（３０５）、プロセスが続行される。
【００２４】
ファンフィルターユニット２０７のファン速度の調整によって部屋２０１内の圧力を復元できない場合、制御システム２１２は、警告をスタッフに送信することもできる（電子メール、ＳＭＳ、または視覚警報および／または可聴警報２１４によって）。これは、換気システムの他の部品が故障していることを示す警告である。可聴警報２１４は、部屋２０１の中にあってもよいし、制御システム２１２が設置されている制御室（図示していない）の中にあってもよい。
【００２５】
必要または要求に応じて、センサ２０９は、空気圧および／または気流速度および／または気温および／または空気湿度および／または粒子数および／またはその他を検出するセンサであってもよいし、このようなセンサを含んでもよい。このように、センサ２０９は、部屋２０１内の任意の所望の空気特性、すなわち空気圧および／または気流速度および／または気温および／または空気湿度および／または空中粒子数などを検出するためのセンサであり得る。センサ２０９は互いに独立して動作することができ、各ファンフィルターユニット２０７は個別に制御することができる。別法として、センサ２０９および／またはファンフィルターユニット２０９は、各グループ内のセンサ２０９および／またはファンフィルターユニット２０９が個別にではなく集団で動作するようなグループに属していてもよい。例えば、温度センサと粒子数センサを互いに隣り合わせたり組み合わせたりして、様々な特性のセンサ２０９を集団で配置することができる。
【００２６】
図４は、１つの変数にかかわるセンサ２０９を備える、より複雑なシステムを示している。開始（４０１）後、１つのセンサの変数値が読み取られる（４０２）。特性に関する新しい値または新しい値範囲が存在する場合、新しい値範囲も読み取られる（４０３）。次に、変更が局所的に行われるのか（４０５）あるいは大域的に行われるのか（４２３）が判断される（４０４）。例えば、制御システム２１２を用いて部屋２０１全体の温度設定が変更された場合、その変更は大域的である。変更が１つの場所だけの気流速度または空気圧の変更であった場合、その変更は局所的である。局所的という言葉は、局所的な領域または場所向けの個別のファンフィルターユニットまたはファンフィルターユニットのグループを意味する。
【００２７】
変更が局所的である場合（４０５）、変更が行われる場所または領域が読み取られ（４０６）、次にその場所または領域内のすべてのセンサ２０９が読み取られる（４０７）。これは、１つのセンサ２０９であっても複数のセンサ２０９であってもよい。その場所または領域内のセンサ２０９が所要の値範囲に収まる場合（４０８、４０９）、プロセスは開始に戻る（４１０）。再開する前に、例えば１５分、３０分、１時間、２時間などの遅延を含んでもよい。この遅延の長さは、センサ２０９によって検出される特性または変数、部屋２０１、またはその他の所要または所望の要因によって決めてもよい。
【００２８】
（４０４）にて、結果が大域的変更（４２３）である場合、すべてのセンサ２０９が読み取られ（４３９）、プロセスが（４０８）に戻る。
【００２９】
（４０８）にて、１つ以上のセンサ２０９の読み取り値が所要の値範囲に収まらない（４２３）という結果である場合、該当するセンサ２０９の値が読み取られ（４２４）、値が所要の値範囲を上回る（４３２）か下回る（４２６）かが判断される（４２５）。下回る場合（４２６）、現在の係数だけファン速度が上げられ（４２７）、新しい速度が記録される（４２８）。上回る場合（４３２）、事前に設定された係数だけファン速度が下げられ（４３３）、新しい速度が記録される（４２８）。
【００３０】
次に次のセンサ２０９が検討され（４２９）、すべてのセンサ２０９が読み取られたためセンサ２０９の読み取りが終了したかどうかが判断される（４３０）。「はい」の場合（４３４）、事前に設定された期間待機（４３５）した後、変更が大域的（４３８）または局所的（４３７）のいずれであるかが判断される（４３６）。局所的（４３７）である場合、（４０７）に戻る。大域的である場合、（４３９）に戻る。事前に設定された期間は、例えば１５分、３０分、１時間、１．５時間、２時間、３時間など、任意の適切な期間であり得る。
【００３１】
（４２７）および（４３３）において、関連の調整されるファン速度は、該当する１つ以上のセンサ２０９に関連するまたは連結された１つ以上のファンフィルターユニットのファンの速度である。
【００３２】
測定される特性にとって必要であれば、ステップ（４２７）および（４３３）におけるファン速度の変更は逆であってもよい。例えば、暑い気候において強力な空調で設備２０１が冷却されている場合、設備２０１内の温度が所要の範囲を下回るときにファンフィルターユニットの動作速度を下げ、上回るときに動作速度を上げることができる。寒冷な気候において強力な加熱が行われている場合は、この逆が当てはまる。
【００３３】
図５Ａ及び図５Ｂは、２つの異なる変数または特性にかかわるセンサ２０９が存在する場合に、ファンフィルターユニットの動作速度を調整するための、操作システム２１２内のプロセスの動作をより詳細に示している。
【００３４】
開始（５０１）後、１つのセンサの変数値が読み取られる（５０２）。特性に関する新しい値または新しい値範囲が存在する場合、新しい値範囲も読み取られる（５０３）。次に、変更が局所的に行われるのか（５０５）あるいは大域的に行われるのか（５２３）が判断される（５０４）。例えば、制御システム２１２を用いて部屋２０１全体の温度設定が変更された場合、その変更は大域的である。変更が１つの場所だけの気流速度または空気圧の変更であった場合、その変更は局所的である。局所的という言葉は、局所的な領域または場所向けの個別のファンフィルターユニットまたはファンフィルターユニットのグループを意味する。
【００３５】
変更が局所的である場合（５０５）、変更が行われる場所または領域が読み取られ（５０６）、次にその場所または領域内のすべてのセンサ２０９が読み取られる（５０７）。これは、１つのセンサ２０９であっても複数のセンサ２０９であってもよい。その場所または領域内のセンサ２０９が所要の値範囲に収まる場合（５０８、５０９）、さらに変数があるかどうかの判断が行われる（５１０）。「はい」の場合、図５Ｂのプロセスに移る。「いいえ」の場合、（５０１）の開始に戻る。
【００３６】
図５Ｂでは、例えば１５分、３０分、１時間、２時間など所定の時間待機（５１１）した後、その場所または領域内のすべてのセンサ２０９が読み取られる（５１２）。すべてのセンサが所要の値範囲に収まる場合（５１３、５１４）、プロセスは開始（５０１）に戻る。
【００３７】
（５１３）において１つ以上のセンサ２０９が所要の範囲外の値を持つ場合（５１６）、それらのセンサ２０９それぞれの読み取り値がチェックされる（５１７）。読み取り値が一定の範囲または値を上回るか下回る場合（５１８）、例えば５％、１０％、１５％、２０％など事前に設定された係数だけ、ファン速度が上方または下方に調整され（５１９）、さらにセンサ２０９を検討する必要があるかどうかが判断される（５２０）。「はい」の場合（５２１）、プロセスは（５１７）に戻る。「いいえ」の場合（５２２）、プロセスは（５１１）に戻る。
【００３８】
（５０４）において、結果が大域的変更（５２３）である場合、すべてのセンサ２０９が読み取られ（５３９）、プロセスが（５０８）に戻る。
【００３９】
（５０８）において、１つ以上のセンサ２０９の読み取り値が所要の値範囲に収まらない（５２３）という結果である場合、該当するセンサ２０９の値が読み取られ（５２４）、値が所要の値範囲を上回る（５３２）か下回る（５２６）かが判断される（５２５）。下回る場合（５２６）、現在の係数だけファン速度が上げられ（５２７）、新しい速度が記録される（５２８）。上回る場合（５３２）、事前に設定された係数だけファン速度が下げられ（５３３）、新しい速度が記録される（５２８）。
【００４０】
次に次のセンサ２０９が検討され（５２９）、すべてのセンサ２０９が読み取られたためセンサ２０９の読み取りが終了したかどうかが判断される（５３０）。「はい」の場合（５３４）、事前に設定された期間待機（５３５）した後、変更が大域的（５３８）または局所的（５３７）のいずれであるかが判断される（５３６）。局所的（５３７）である場合、（５０７）に戻る。大域的である場合、（５３９）に戻る。事前に設定された期間は、例えば１５分、３０分、１時間、１．５時間、２時間、３時間など、任意の適切な期間であり得る。
【００４１】
（５１９）、（５２７）、および（５３３）において、調整されるファン速度は、該当する１つまたは１つ以上のセンサ２０９に関連するまたは連結された１つまたは１つ以上のファンフィルターユニットのファンの速度である。また、（５１９）において、センサ２０９が粒子数を特定するセンサである場合、数値が所要の値範囲を下回っていれば問題はない。所要の範囲はゼロから始まるため、これが完全な結果だからである。したがって、（５１７）において否定的な応答になるのは、粒子数が所要の値範囲を上回る場合のみである。この場合、（５１９）における処置はファン速度を上げることになる。ただし、その他のすべての特性は、所要の値範囲を有する。
【００４２】
測定される特性にとって必要であれば、ステップ（５２７）および（５３３）におけるファン速度の変更は逆であってもよい。例えば、暑い気候において強力な空調で設備２０１が冷却されている場合、設備２０１内の温度が所要の範囲を下回るときにファンフィルターユニットの動作速度を下げ、上回るときに動作速度を上げることができる。寒冷な気候において強力な加熱が行われている場合は、この逆が当てはまる。
【００４３】
３つ以上の特性または変数を検出および制御する場合、ステップ（５１１）〜（５１５）を各変数または各特性について一度繰り返す。ただし、必要な回数だけ（５１５）を質問（５１０）に置き換える。
【００４４】
大規模なネットワーク制御システムの場合、広い領域用のサブコントローラ（インテリジェントルーターと呼ばれることもある）を備えるのが一般的である。これによりネットワークが分割されて、ポーリングおよびコマンドプロセスの速度が向上する。
【００４５】
主制御システムを介在させることなくファン速度を調整せよとの命令を、サブコントローラの制御下にあるファンフィルターユニットに送信するように、サブコントローラをプログラムすることができる。別法として、サブコントローラがデータを主制御システムに送信し、主制御システムが、各個別ファンフィルターユニットについて設定すべき速度を決めることもできる。
【００４６】
本発明の好ましい実施形態について説明してきたが、本発明から逸脱することなく設計または構造の詳細に多くの変更または修正を施すことができることは、当業者によって了解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】従来技術のシステムの側面略図である。
【図２】好ましい実施形態の概略図である。
【図３】好ましい実施形態の簡易化したシステムの動作を示す流れ図である。
【図４】単一の変数にかかわる第２の好ましい実施形態のより複雑なシステムの動作を示す流れ図である。
【図５Ａ】２つの変数にかかわる別の好ましい実施形態のより複雑なシステムの流れ図である。
【図５Ｂ】図５Ａから分岐した流れ図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０１    部屋
１０２    上げ床
１０３    天井パネル
１０４    屋根
１０５    天井空間、空間
１０６    空気
１０７    ファンフィルターユニット
１０８    ろ過された空気
２０１    部屋、設備
２０２    上げ床
２０３    天井パネル
２０４    屋根
２０５    天井空間、空間
２０６    空気
２０７    ファンフィルターユニット
２０８    ろ過された空気、空気
２０９    圧力センサ、センサ
２１０    壁
２１１    作業ベンチ、作業テーブル
２１２    制御システム、操作システム
２１３    ケーブル
２１４    可聴警報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【外国語明細書】
2007298263000001.pdf