(57)【要約】【課題】データ変換に要する時間を短縮する。【解決手段】データ変換装置におけるデータ変換作業では、セル名とセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースが予め用意されており、処理対象データ要素に対応する処理済データ要素が処理データベースにおいて検索される（ステップＳ１６）。そして、処理済データ要素が検出された場合（ステップＳ１７）、処理対象データ要素に対して矩形分割処理を行って処理済データ要素を生成する代わりに、処理対象データ要素と検出された処理済データ要素との同名異形チェックが行われた後に当該処理済データ要素が出力データに追加される（ステップＳ１７１，Ｓ１９）。これにより、入力データに含まれる複数のセルデータ要素に対して行われる矩形分割処理の回数を減らすことができ、データ変換作業に要する時間を短縮することができる。【選択図】図７．Ｂ
2007208057.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換するデータ変換方法であって、
ａ）入力データから一の図形データ要素を処理対象データ要素として取り出す工程と、
ｂ）図形データ要素が示すパターンを特定する各識別子と前記図形データ要素に対して所定の図形処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、
ｃ）前記ｂ）工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理済データ要素を出力データに含め、前記ｂ）工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程と、
ｄ）前記入力データに含まれる複数の図形データ要素に対して前記ａ）工程ないし前記ｃ）工程を順次繰り返す工程と、
を備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項２】
請求項１に記載のデータ変換方法であって、
前記ｂ）工程と前記ｃ）工程との間に、
前記ｂ）工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理対象データ要素が示す対象パターンと検出された前記処理済データ要素が示す参照パターンとを比較し、前記対象パターンが前記参照パターンと異なる場合に前記処理対象データの前記識別子を変更して前記ｂ）工程に戻る工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のデータ変換方法であって、
前記ｂ）工程と前記ｃ）工程との間に、
前記ｂ）工程において処理済データが検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素が示す対象パターンと前記処理データベースに含まれる処理済データ要素が示す参照パターンとを順次比較し、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に、前記ｃ）工程に代えて、検出された前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記ｃ）工程において前記処理対象データ要素に対する前記図形処理が行われた場合、前記処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の前記識別子と生成された前記処理済データ要素とを関連づける工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
ｅ）前記ａ）工程よりも前に、前記処理データベースに処理済データ要素を登録する工程をさらに備え、
前記ｅ）工程が、
ｅ１）登録対象となる図形データ要素を登録対象データ要素として準備する工程と、
ｅ２）前記処理データベースにおいて、前記登録対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、
ｅ３）前記ｅ２）工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記登録対象データ要素が示す対象パターンと検出された前記処理済データ要素が示す参照パターンとを比較し、前記対象パターンが前記参照パターンと異なる場合に前記登録対象データ要素の前記識別子を変更して前記ｅ２）工程に戻り、前記ｅ２）工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記登録対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理データベースにおいて、前記登録対象データ要素の前記識別子と前記処理済データ要素とを関連づける工程と、
を備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項６】
請求項５に記載のデータ変換方法であって、
前記ｅ２）工程と前記ｅ３）工程との間に、
ｅ４）前記ｅ２）工程において処理済データ要素が検出されなかった場合、前記登録対象データ要素が示す対象パターンと前記処理データベースに含まれる処理済データ要素が示す参照パターンとを順次比較し、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に、前記ｅ３）工程を取りやめる工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項７】
請求項６に記載のデータ変換方法であって、
前記ｅ４）工程において、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された場合、前記処理済データ要素に関連づけられた識別子を代表識別子として前記代表識別子と前記登録対象データ要素の前記識別子との関連づけを示す情報を異名同形リストに登録し、
前記ａ）工程と前記ｂ）工程との間に、前記異名同形リストにおいて前記処理対象データ要素の前記識別子に関連づけられた代表識別子を検索し、代表識別子が検出された場合に、前記処理対象データ要素の前記識別子を検出された前記代表識別子に変更する工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項８】
請求項５ないし７のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記複数の図形データ要素が、一の図形データ要素が他の一の図形データ要素を参照する階層構造を形成し、前記ｅ１）工程において、所定の登録条件を満たす図形データ要素のみが登録対象データ要素として準備されることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項９】
請求項８に記載のデータ変換方法であって、
前記登録条件が、図形データ要素が示すパターンが所定の大きさ以下である条件、図形データ要素が示すパターンの頂点数が所定の個数以上である条件、および、図形データ要素の他の図形データ要素からの参照回数が所定の回数以上である条件の少なくともいずれか１つを含むことを特徴とするデータ変換方法。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記出力データが、基板に描画される前記複数の図形データ要素が示すパターンの形状、および、各パターンの前記基板上の位置を示す描画データであることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載のデータ変換方法であって、
前記ａ）工程と前記ｂ）工程との間に、ブロック描画が可能なブロックパターンを示す複数のブロックデータ要素を含むブロックパターンデータベースを参照し、前記処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が前記ブロックパターンデータベースに含まれている場合に、前記ｂ）工程および前記ｃ）工程に代えて、前記ブロックデータ要素のブロック描画を指示するデータを前記出力データに含める工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載のデータ変換方法であって、
前記基板が半導体集積回路用の基板であることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記図形処理が、図形データ要素が示すパターンを複数の矩形に分割する矩形分割処理であることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項１４】
請求項１ないし１２のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記処理済データ要素が、ラスタデータであることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項１５】
請求項１ないし１２のいずれかに記載のデータ変換方法であって、
前記処理済データ要素が、ランレングスデータであることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項１６】
複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換させるプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
ａ）入力データから一の図形データ要素を処理対象データ要素として取り出す工程と、
ｂ）図形データ要素が示すパターンを特定する各識別子と前記図形データ要素に対して所定の図形処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、
ｃ）前記ｂ）工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理済データ要素を出力データに含め、前記ｂ）工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程と、
ｄ）前記入力データに含まれる複数の図形データ要素に対して前記ａ）工程ないし前記ｃ）工程を順次繰り返す工程と、
を実行させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入力データに対して所定の図形処理を行って出力データに変換する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体基板（以下、「基板」という。）に形成されるＬＳＩ（Large Scale Integrated Circuit）の高集積化に伴い、電子ビームを照射してパターンを描画するパターン描画装置（電子ビーム露光装置とも呼ばれる。）が利用されている。パターン描画装置では、基板に描画される描画パターンを示す複数の描画図形のそれぞれが、複数の矩形図形に分割され、分割後の複数の矩形図形に合わせて電子ビームの断面形状を変更しつつ描画が行われる。また、パターン描画装置における描画の高速化を図るため、特許文献１に示すように、所定の定形図形に合わせた開口パターンを有するマスクを準備し、描画パターン中の定形図形についてはマスクを利用して描画する技術（いわゆる、ブロック露光）も採用されている。
【特許文献１】特開２００２−５７０８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、ＬＳＩの回路パターンは通常、ストリームフォーマットまたはＧＤＳＩＩと呼ばれる階層構造を有するセルデータ要素の集合として表現され、各セルデータ要素は、１つ以上の図形や他のセルデータ要素が示す図形を参照するための情報を含む。パターンの描画では、ストリームフォーマット等により表現されている回路パターンのデータを、パターン描画装置が利用可能な形式に変換する必要がある。
【０００４】
特許文献１のように、ブロック露光と矩形分割露光とが組み合わされて行われる場合、回路パターンを示す複数のセルデータ要素の一部はブロック露光用のデータに変換され、残りのセルデータ要素が示す図形に対しては矩形分割処理が施されて矩形分割露光用のデータに変換される。
【０００５】
ここで、ブロック露光をするためには予めマスクを準備しておく必要があるため、あまり多種類のセルデータ要素が示す図形に対してブロック露光を適用しようとすると、パターン描画装置において多数のマスクを準備する必要があり、装置の製造コストが上昇してしまう。また、装置構造の観点からも、あまり多数のマスクを利用することは難しい。一方で、矩形分割処理には比較的多大な処理時間が必要となるため、矩形分割処理を施すべきセルデータ要素が多いと、データ変換に要する時間が増大してしまう。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、データ変換に要する時間を短縮することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換するデータ変換方法であって、ａ）入力データから一の図形データ要素を処理対象データ要素として取り出す工程と、ｂ）図形データ要素が示すパターンを特定する各識別子と前記図形データ要素に対して所定の図形処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、ｃ）前記ｂ）工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理済データ要素を出力データに含め、前記ｂ）工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程と、ｄ）前記入力データに含まれる複数の図形データ要素に対して前記ａ）工程ないし前記ｃ）工程を順次繰り返す工程とを備える。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のデータ変換方法であって、前記ｂ）工程と前記ｃ）工程との間に、前記ｂ）工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理対象データ要素が示す対象パターンと検出された前記処理済データ要素が示す参照パターンとを比較し、前記対象パターンが前記参照パターンと異なる場合に前記処理対象データの前記識別子を変更して前記ｂ）工程に戻る工程をさらに備える。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のデータ変換方法であって、前記ｂ）工程と前記ｃ）工程との間に、前記ｂ）工程において処理済データが検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素が示す対象パターンと前記処理データベースに含まれる処理済データ要素が示す参照パターンとを順次比較し、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に、前記ｃ）工程に代えて、検出された前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程をさらに備える。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記ｃ）工程において前記処理対象データ要素に対する前記図形処理が行われた場合、前記処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の前記識別子と生成された前記処理済データ要素とを関連づける工程をさらに備える。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載のデータ変換方法であって、ｅ）前記ａ）工程よりも前に、前記処理データベースに処理済データ要素を登録する工程をさらに備え、前記ｅ）工程が、ｅ１）登録対象となる図形データ要素を登録対象データ要素として準備する工程と、ｅ２）前記処理データベースにおいて、前記登録対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、ｅ３）前記ｅ２）工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記登録対象データ要素が示す対象パターンと検出された前記処理済データ要素が示す参照パターンとを比較し、前記対象パターンが前記参照パターンと異なる場合に前記登録対象データ要素の前記識別子を変更して前記ｅ２）工程に戻り、前記ｅ２）工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記登録対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理データベースにおいて、前記登録対象データ要素の前記識別子と前記処理済データ要素とを関連づける工程とを備える。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のデータ変換方法であって、前記ｅ２）工程と前記ｅ３）工程との間に、ｅ４）前記ｅ２）工程において処理済データ要素が検出されなかった場合、前記登録対象データ要素が示す対象パターンと前記処理データベースに含まれる処理済データ要素が示す参照パターンとを順次比較し、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に、前記ｅ３）工程を取りやめる工程をさらに備える。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のデータ変換方法であって、前記ｅ４）工程において、前記対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された場合、前記処理済データ要素に関連づけられた識別子を代表識別子として前記代表識別子と前記登録対象データ要素の前記識別子との関連づけを示す情報を異名同形リストに登録し、前記ａ）工程と前記ｂ）工程との間に、前記異名同形リストにおいて前記処理対象データ要素の前記識別子に関連づけられた代表識別子を検索し、代表識別子が検出された場合に、前記処理対象データ要素の前記識別子を検出された前記代表識別子に変更する工程をさらに備える。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、請求項５ないし７のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記複数の図形データ要素が、一の図形データ要素が他の一の図形データ要素を参照する階層構造を形成し、前記ｅ１）工程において、所定の登録条件を満たす図形データ要素のみが登録対象データ要素として準備される。
【００１５】
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載のデータ変換方法であって、前記登録条件が、図形データ要素が示すパターンが所定の大きさ以下である条件、図形データ要素が示すパターンの頂点数が所定の個数以上である条件、および、図形データ要素の他の図形データ要素からの参照回数が所定の回数以上である条件の少なくともいずれか１つを含む。
【００１６】
請求項１０に記載の発明は、請求項１ないし９のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記出力データが、基板に描画される前記複数の図形データ要素が示すパターンの形状、および、各パターンの前記基板上の位置を示す描画データである。
【００１７】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載のデータ変換方法であって、前記ａ）工程と前記ｂ）工程との間に、ブロック描画が可能なブロックパターンを示す複数のブロックデータ要素を含むブロックパターンデータベースを参照し、前記処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が前記ブロックパターンデータベースに含まれている場合に、前記ｂ）工程および前記ｃ）工程に代えて、前記ブロックデータ要素のブロック描画を指示するデータを前記出力データに含める工程をさらに備える。
【００１８】
請求項１２に記載の発明は、請求項１０または１１に記載のデータ変換方法であって、前記基板が半導体集積回路用の基板である。
【００１９】
請求項１３に記載の発明は、請求項１ないし１２のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記図形処理が、図形データ要素が示すパターンを複数の矩形に分割する矩形分割処理である。
【００２０】
請求項１４に記載の発明は、請求項１ないし１２のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記処理済データ要素が、ラスタデータである。
【００２１】
請求項１５に記載の発明は、請求項１ないし１２のいずれかに記載のデータ変換方法であって、前記処理済データ要素が、ランレングスデータである。
【００２２】
請求項１６に記載の発明は、複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換させるプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）入力データから一の図形データ要素を処理対象データ要素として取り出す工程と、ｂ）図形データ要素が示すパターンを特定する各識別子と前記図形データ要素に対して所定の図形処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベースにおいて、前記処理対象データ要素の識別子に関連づけられた処理済データ要素を検索する工程と、ｃ）前記ｂ）工程において処理済データ要素が検出された場合に、前記処理済データ要素を出力データに含め、前記ｂ）工程において処理済データ要素が検出されなかった場合に、前記処理対象データ要素に前記図形処理を行って処理済データ要素を生成し、前記処理済データ要素を前記出力データに含める工程と、ｄ）前記入力データに含まれる複数の図形データ要素に対して前記ａ）工程ないし前記ｃ）工程を順次繰り返す工程とを実行させる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明では、データ変換に要する時間を短縮することができる。請求項２および３の発明では、データ変換に要する時間をより短縮することができる。請求項２の発明では、入力データを出力データに正確に変換することもできる。
【００２４】
請求項４の発明では、データ変換作業と並行して処理データベースを容易に更新することができる。請求項５の発明では、未登録のパターンを示す図形データ要素を確実に処理データベースに登録することができる。請求項６の発明では、処理済データ要素が示すパターンと同じパターンを示す図形データ要素を処理データベースに重複して登録することを防止することができる。請求項８の発明では、処理データベースの容量増加を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るデータ変換装置１の構成を示す図である。データ変換装置１は、複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換する装置である。
【００２６】
本実施の形態では、入力データは、半導体集積回路であるＬＳＩ（Large Scale Integration）用の基板上に形成される回路パターンをストリームフォーマットにて表すデータであり、回路パターンを回路要素（すなわち、セル）の集合として捉えた上で、各セルの形状を示す図形データ要素（以下、「セルデータ要素」という。）、および、各セルの基板上の位置等を示す位置データ要素の集合として表現される（第２の実施の形態においても同様）。
【００２７】
各セルデータ要素には、セルに含まれる１つ以上の図形（以下、「パターン」という。）の形状を表すベクトルデータ、並びに、当該パターンを特定する識別子（以下、「セル名」という。）を含む。入力データでは、複数のセルデータ要素が、一のセルデータ要素が他の一のセルデータ要素を参照する階層構造を形成する。すなわち、一のセルデータ要素に含まれるパターンの形状の一部が、他のセルデータ要素のパターンの形状と同一である場合、一のセルデータ要素において当該他のセルデータ要素を参照しつつパターンの形状が表現される。これにより、入力データの表現が簡素化される。
【００２８】
出力データは、基板に描画される複数のセルデータ要素が示すパターンの形状、および、各パターンの基板上の位置等を示す描画データであり、基板に対する回路パターンの描画を行う描画装置では、当該出力データに基づいて基板の露光が行われることにより、基板上に複数のセル（すなわち、回路パターン）が描画される。データ変換装置１では、図２に示すように、セルデータ要素が示すパターンであるセル９０１に対して所定の図形処理（すなわち、矩形分割処理）が行われることによりセル９０１が複数の矩形９１１に分割され、複数の矩形９１１を示すデータ要素（以下、「処理済データ要素」という。）が得られる。そして処理済データ要素の集合として出力データが生成される。
【００２９】
基板に対する回路パターンの描画では、使用頻度が高いセルが予めブロックパターンとして登録されており、ブロックパターンに対応する開口が設けられたマスクが描画装置に準備されている。そして、当該マスクを介して基板に電子ビームが照射されることにより、ブロックパターンが一括して露光される。一方、対応するマスクが形成されていないセルは、セルに含まれる多角形が上述のように複数の矩形領域に分割された上で、変形可能な矩形の照射領域を有する電子ビーム（いわゆる、ＶＳＢ（Variable Shaped Beam））が、当該複数の矩形領域のそれぞれと同一形状となるように照射領域を変形させつつ各矩形領域に順次照射される。
【００３０】
図１に示すように、データ変換装置１は、通常のコンピュータと同様に、各種演算処理を行うＣＰＵ１１、実行されるプログラムを記憶したり演算処理の作業領域となるＲＡＭ１２、基本プログラムを記憶するＲＯＭ１３、各種情報を記憶する固定ディスク１４、作業者に各種情報を表示するディスプレイ１５、および、キーボードやマウス等の入力部１６等を接続した構成となっている。固定ディスク１４内には、データ変換装置１により実行されるプログラム１４１、および、後述する各種データベース等が記憶される。プログラム１４１は、複数の図形データ要素を含む入力データを所定の図形処理が施された出力データに変換させるプログラムである。
【００３１】
図３は、データ変換装置１のＣＰＵ１１（図１参照）等がプログラム１４１に従って演算処理を行うことにより実現される機能を他の構成と共に示すブロック図であり、図３中のデータ受付部２、データ変換部３、データベース更新部４およびデータ出力部５が、ＣＰＵ１１等により実現される機能に相当する。なお、これらの機能は複数台のコンピュータにより実現されてもよい。
【００３２】
データ変換部３は、ＣＰＵ１１（図１参照）等より実現される機能として、代表セル名検出部３１、ブロックパターン検出部３２、処理済データ検出部３３、同名異形チェック部３４、セル名変更部３５、図形処理部３６および出力データ生成部３７を有する。データベース更新部４は、登録条件チェック部４１、処理済データ検出部４２、同名異形チェック部４３、セル名変更部４４、異名同形チェック部４５、図形処理部４６およびデータ登録部４７を有する。これらの機能の詳細については後述する。
【００３３】
固定ディスク１４内には、処理データベース６１、ブロックパターンデータベース６２、および、異名同形リスト６３が記憶される。図４は、処理データベース６１の構造を示す図である。図４に示すように、処理データベース６１は、セル（すなわち、セルデータ要素が示すパターン）を識別するためのセル名６１１とセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って得られる処理済データ要素６１２とが関連づけられたレコード６１０の集合であり、セル名６１１と処理済データ要素６１２との関連づけを示す。実際の処理データベース６１では、矩形分割されたセルを示すベクトルデータが処理済データ要素６１２として格納されているが、図４では、矩形分割されたセルそのもの（すなわち、処理済データ要素が示すパターン）を図示している。
【００３４】
図５．Ａは、ブロックパターンデータベース６２の構造を示す図である。図５．Ａに示すように、ブロックパターンデータベース６２は複数のレコード６２０を含み、各レコード６２０は、セル名６２１およびセル名６２１に関連づけられるブロックデータ要素６２２を含む。ブロックデータ要素６２２が示すブロックパターンとは、基板に対する描画においてマスクを介して一括露光することができる（すなわち、ブロック描画が可能な）セルであり、ブロックデータ要素６２２は、ブロックパターンの形状に対応する開口を有するマスクの識別子（マスクＩＤ）等、ブロック描画を指示するデータを含む。図５．Ｂは、ブロックパターン９０２，９０３を示す図であり、ブロックパターン９０２，９０３はそれぞれ、セル名６２１が「ＣＥＬＬ＿Ｍ１」および「ＣＥＬＬ＿Ｍ２」であるレコード６２０のブロックデータ要素６２２が示すデータにより描画されるセルである。
【００３５】
図６は、異名同形リスト６３を示す図である。図６に示すように、異名同形リスト６３は、セル名は異なるがセルの形状が同一の複数のセルデータ要素のセル名のリストである。異名同形リスト６３は、一のセルデータ要素のセル名を代表セル名（すなわち、代表識別子であり、図６中ではリスト中の最も左側に図示される。）として、当該代表セル名と他のセルデータ要素のセル名との関連づけを示す情報（以下、「異名同形情報」という。）を有する。図６中では、ＣＥＬＬ＿Ａが代表セル名に相当し、ＣＥＬＬ＿ＢおよびＣＥＬＬ＿ＣがＣＥＬＬ＿Ａに関連づけられる。
【００３６】
次に、データ変換装置１によるデータ変換の流れについて説明する。図７．Ａおよび図７．Ｂは、データ変換装置１によるデータ変換の流れを示す図である。データ変換装置１では、まず、図３に示すデータ受付部２により入力データが受け付けられてデータ変換部３へと送られる。図８は、入力データが示す回路パターンを示す図である。図８に示すセル９１ａ〜９１ｄのセル名は、「ＣＥＬＬ＿Ａ」〜「ＣＥＬＬ＿Ｄ」であり、セル９２，９３のセル名は、「ＣＥＬＬ＿Ｍ１」，「ＣＥＬＬ＿Ｍ２」である。また、セル９１ａおよびセル９１ｂの形状は同一である。なお、実際の入力データは、図８に示す個数よりも多くのセルを示すセルデータ要素を含む。
【００３７】
続いて、入力データから、図８中のセル９１ａに対応する一のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ａであるセルデータ要素）が、処理対象データ要素として取り出される（ステップＳ１１）。処理対象データ要素が取り出されると、データ変換部３の代表セル名検出部３１により、図６に示す異名同形リスト６３において処理対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ａ」に関連づけられた（すなわち、処理対象データ要素に対応する）代表セル名が検索される（ステップＳ１２）。図６に示すように、異名同形リスト６３では「ＣＥＬＬ＿Ａ」自身が代表セル名であるため、処理対象データ要素に対応する代表セル名は検出されない（ステップＳ１３）。
【００３８】
次に、ブロックパターン検出部３２により図５．Ａに示すブロックパターンデータベース６２が参照され、処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素６２２が検索される（ステップＳ１４）。図５．Ａに示すように、ブロックパターンデータベース６２には、セル名６２１が「ＣＥＬＬ＿Ａ」であるレコードは含まれていないため、処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素は検出されない（ステップＳ１５）。
【００３９】
データ変換部３では、ブロックデータ要素が検出されない場合、処理済データ検出部３３により、図４に示す処理データベース６１において、処理対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ａ」に関連づけられた（すなわち、処理対象データ要素に対応する）処理済データ要素６１２が検索される（ステップＳ１６）。そして、処理データベース６１からセル名６１１が「ＣＥＬＬ＿Ａ」である処理済データ要素６１２が検出される（ステップＳ１７）。
【００４０】
処理済データ要素が検出されると、同名異形チェック部３４により、処理対象データ要素が示す対象パターン（すなわち、図８中のセル９１ａ）と、検出された処理済データ要素が示す参照パターン（すなわち、図４中のＣＥＬＬ＿Ａに関連づけられたセル）とが比較される（ステップＳ１７１）。これにより、セル名が同一である処理対象データ要素および処理済データ要素がそれぞれ示すパターンが同一であるか否かが確認される（すなわち、同名異形チェックが行われる。）。
【００４１】
同名異形チェックが行われる際には、まず、処理対象データ要素が他のセルデータ要素を参照しているか否かが確認される。そして、参照している場合には処理対象データ要素が展開されて参照関係が解除された上で、処理対象データ要素に含まれる複数の図形のＯＲ処理（すなわち、図形間の境界における図形同士の接触や重なりを除去する処理であり、マージ処理ともいう。）が行われる。続いて、処理済データ要素に含まれる複数の矩形のＯＲ処理が行われた後、処理対象データ要素が示す対象パターンと処理済データ要素が示す参照パターンとのＸＯＲ（排他的論理和）が求められ、ＸＯＲ処理の結果、図形が存在していれば２つのパターンが同一でない（すなわち、同名異形）と判断され、図形が存在していなければ２つのパターンが同一であると判断される。ここで、対象パターンであるセル９１ａと参照パターンであるＣＥＬＬ＿Ａに関連づけられたセルとは、図４および図８に示すように同一である。
【００４２】
同名異形チェック部３４により、処理対象データ要素が示す対象パターンと処理済データ要素が示す参照パターンとが同一である（すなわち、同名同形）と判断されると、当該処理済データ要素が出力データ生成部３７に送られて出力データに追加される（換言すれば、処理済データ要素が出力データに含められる）（ステップＳ１９）。出力データ内には、処理対象データ要素が示すパターンの基板上の位置等を示す位置データが含まれており、処理済データ要素が位置データに関連づけられる。これにより、セル名がＣＥＬＬ＿Ａであるセルデータ要素に対するデータ変換作業が終了し、処理対象データ要素が示すセル９１ａについて、図８中に破線にて示すように矩形分割された処理済データ要素が出力データ内に準備される。
【００４３】
そして、入力データに未変換のセルデータ要素が残っているか否かが確認され（ステップＳ２０）、次のセルデータ要素があるため、ステップＳ１１に戻って次のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ｂであるセルデータ要素）が、２番目の処理対象データ要素として取り出される（ステップＳ１１）。
【００４４】
続いて、代表セル名検出部３１により、図６に示す異名同形リスト６３において処理対象データ要素に対応する代表セル名が検索される（ステップＳ１２）。「ＣＥＬＬ＿Ｂ」に対応する代表セル名として「ＣＥＬＬ＿Ａ」が検出されると、処理対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ｂ」が代表セル名である「ＣＥＬＬ＿Ａ」に変更される（ステップＳ１３，Ｓ１３１）。
【００４５】
処理対象データ要素のセル名が変更されると、１番目の処理対象データ要素の場合と同様に、ブロックパターンデータベース６２において処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が検出されることなく（ステップＳ１４，Ｓ１５）、処理データベース６１において処理対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ａ」に関連づけられた処理済データ要素が検出される（ステップＳ１６，Ｓ１７）。その後、同名異形チェックが行われ、同名同形であることが確認された後、処理済データ要素が出力データに追加されて２番目の処理対象データ要素に対するデータ変換作業が終了する（ステップＳ１７１，Ｓ１９）。これにより、２番目の処理対象データ要素が示すセル９１ｂについても、図８中に破線にて示すように矩形分割された処理済データ要素が出力データ内に準備される。
【００４６】
データ変換部３では、再び入力データに未変換のセルデータ要素が残っているか否かが確認され（ステップＳ２０）、ステップＳ１１に戻って次のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ｃであるセルデータ要素）が、３番目の処理対象データ要素として取り出される（ステップＳ１１）。
【００４７】
３番目の処理対象データ要素に対しても異名同形リスト６３における代表セル名の検索が行われ、処理対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ｃ」が代表セル名である「ＣＥＬＬ＿Ａ」に変更される（ステップＳ１２，Ｓ１３，Ｓ１３１）。そして、１番目の処理対象データ要素の場合と同様に、ブロックパターンデータベース６２において処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が検出されることなく（ステップＳ１４，Ｓ１５）、処理データベース６１において処理対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ａ」に関連づけられた処理済データ要素が検出される（ステップＳ１６，Ｓ１７）。
【００４８】
処理済データ要素が検出されると、同名異形チェック部３４により、３番目の処理対象データ要素が示す対象パターン（すなわち、図８中のセル９１ｃ）と、検出された処理済データ要素が示す参照パターン（すなわち、図４中のＣＥＬＬ＿Ａに関連づけられたセル）とが比較される（ステップＳ１７１）。ここで、対象パターンであるセル９１ｃ（図８参照）と参照パターンであるＣＥＬＬ＿Ａに関連づけられたセル（図４参照）とは異なっている。データ変換装置１では、対象パターンと参照パターンとが異なっている場合、セル名変更部３５により処理対象データ要素のセル名の末尾に「？」が付加されてセル名が「ＣＥＬＬ＿Ａ？」に変更される（ステップＳ１７２）。すなわち、３番目の処理対象データ要素のセル名は、「ＣＥＬＬ＿Ｃ」から「ＣＥＬＬ＿Ａ」に変更され、さらに、「ＣＥＬＬ＿Ａ？」に変更されたことになる。
【００４９】
そして、ステップＳ１６に戻って、処理データベース６１において処理対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ａ？」に関連づけられた処理済データ要素が検索され、図４に示すように、処理対象データ要素に対応する処理済データ要素が処理データベース６１に含まれていないことが確認される（ステップＳ１６，Ｓ１７）。続いて、図形処理部３６により、処理対象データ要素に対する矩形分割処理が行われて処理済データ要素が生成される（ステップＳ１８）。
【００５０】
生成された処理済データ要素は出力データ生成部３７に送られて出力データに追加され（換言すれば、処理済データ要素が出力データに含められ）、３番目の処理対象データ要素に対するデータ変換作業が終了する（ステップＳ１９）。これにより、処理対象データ要素が示すセル９１ｃについて、図８中に破線にて示すように矩形分割された処理済データ要素が出力データ内に準備される。
【００５１】
続いて、再び入力データに未変換のセルデータ要素が残っているか否かが確認され（ステップＳ２０）、ステップＳ１１に戻って次のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ｄであるセルデータ要素）が、４番目の処理対象データ要素として取り出される（ステップＳ１１）。
【００５２】
４番目の処理対象データ要素に対しても、１番目の処理対象データ要素と同様に、代表セル名およびブロックデータ要素が検出されることなく（ステップＳ１２〜Ｓ１５）、処理データベース６１が検索され、処理対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ｄ」に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース６１に存在しないことが確認される（ステップＳ１６，Ｓ１７）。そして、処理対象データ要素に対する矩形分割処理が行われて処理済データ要素が生成されて出力データに追加され、４番目の処理対象データ要素に対するデータ変換作業が終了する（ステップＳ１８，Ｓ１９）。これにより、処理対象データ要素が示すセル９１ｄについて、図８中に破線にて示すように矩形分割された処理済データ要素が出力データ内に準備される。
【００５３】
データ変換部３では、再び入力データに未変換のセルデータ要素が残っているか否かが確認され（ステップＳ２０）、ステップＳ１１に戻って次のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ｍ１であるセルデータ要素）が、５番目の処理対象データ要素として取り出される（ステップＳ１１）。
【００５４】
５番目の処理対象データ要素に対しても、１番目の処理対象データ要素と同様に、代表セル名は検出されない（ステップＳ１２，Ｓ１３）。続いて、ブロックパターン検出部３２により図５．Ａに示すブロックパターンデータベース６２が検索され（ステップＳ１４）、処理対象データ要素に対応する（すなわち、処理対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ｍ１」に関連づけられた）ブロックデータ要素６２２が検出される（ステップＳ１５）。
【００５５】
ブロックデータ要素が検出されると、ステップＳ１６〜Ｓ１９に代えて、ブロックパターン検出部３２により当該ブロックデータ要素が出力データ生成部３７に送られて出力データに追加され（換言すれば、処理済データ要素が出力データに含められ）、５番目の処理対象データ要素に対するデータ変換作業が終了する（ステップＳ１５１）。
【００５６】
次に、再び入力データに未変換のセルデータ要素が残っているか否かが確認され（ステップＳ２０）、ステップＳ１１に戻って次のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ｍ２であるセルデータ要素）が、６番目の処理対象データ要素として取り出される（ステップＳ１１）。
【００５７】
６番目の処理対象データ要素に対しても、５番目の処理対象データ要素と同様の流れで作業が行われ、６番目の処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が出力データに追加されて６番目の処理対象データ要素に対するデータ変換作業が終了する（ステップＳ１２〜Ｓ１５，Ｓ１５１）。
【００５８】
データ変換装置１では、入力データに含まれる複数のセルデータ要素の全てに対して上記データ変換作業が順次繰り返され、変換されるべき次のデータがない場合に、入力データに対する一連のデータ変換作業が終了する（ステップＳ２０）。入力データに対するデータ変換作業が終了すると、出力データ生成部３７において生成された出力データが、データ出力部５により露光装置に送られ、当該出力データに基づいて基板の露光が行われる。露光装置では、セル９２およびセル９３がそれぞれマスクを介して一括露光され、セル９１ａ〜９１ｄが矩形の照射領域を有する電子ビームの照射により描画される。
【００５９】
データ変換装置１では、上述のデータ変換作業よりも前に、処理データベース６１に対する処理済データ要素の登録が行われる。以下では、処理済データ要素の処理データベース６１への登録作業について説明する。図９．Ａないし図９．Ｃは、処理済データ要素の登録の流れを示す図である。
【００６０】
データ変換装置１では、まず、複数のセルデータ要素を含む登録データが、図３に示すデータ受付部２により受け付けられてデータベース更新部４へと送られる。本実施の形態では、上述の入力データと同様に、登録データの複数のセルデータ要素が、一のセルデータ要素が他の一のセルデータ要素を参照する階層構造を形成する。
【００６１】
続いて、登録データから一のセルデータ要素が取り出され、データベース更新部４の登録条件チェック部４１により所定の登録条件を満たすか否かが確認される。登録条件チェック部４１においてチェックされる登録条件は、セルデータ要素が示すパターンが所定の大きさ以下である条件、セルデータ要素が示すパターンの頂点数が所定の個数（例えば、５個）以上である条件、およびセルデータ要素の他のセルデータ要素からの参照回数が所定の回数以上である条件の少なくとも１つ以上を含む。
【００６２】
登録条件チェック部４１では、登録データ内の全セルデータ要素について登録条件を満たすか否かが確認され、所定の登録条件を満たすセルデータ要素のみが登録対象として選抜される（ステップＳ３１）。以下、登録対象となるセルデータ要素の集合を「二次登録データ」という。図１０は、二次登録データが示す回路パターンを示す図である。図１０に示すセル９１ａおよびセル９１ｅ〜９１ｇのセル名は、「ＣＥＬＬ＿Ａ」および「ＣＥＬＬ＿Ｅ」〜「ＣＥＬＬ＿Ｇ」であり、セル９１ａ，９１ｆ，９１ｇの形状は同一である。また、図４に示す処理データベース６１には、セル名が「ＣＥＬＬ＿Ａ」および「ＣＥＬＬ＿Ｅ」であるレコード６１０のみが登録されており、図６に示す異名同形リスト６３には、「ＣＥＬＬ＿Ａ＝ＣＥＬＬ＿Ｂ＝ＣＥＬＬ＿Ｃ」という異名同形情報のみが登録されているものとする。
【００６３】
二次登録データが生成されると、二次登録データから図１０中のセル９１ａに対応する一のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ａであるセルデータ要素）が取り出され、登録対象データ要素として準備される（ステップＳ３２）。次に、処理済データ検出部４２により、図４に示す処理データベース６１において、登録対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ａ」に関連づけられた（すなわち、登録対象データ要素に対応する）処理済データ要素６１２が検索される（ステップＳ３３）。そして、処理データベース６１からセル名６１１が「ＣＥＬＬ＿Ａ」である処理済データ要素６１２が検出される（ステップＳ３４）。
【００６４】
処理済データ要素が検出されると、同名異形チェック部４３により、登録対象データ要素が示す対象パターン（すなわち、図１０中のセル９１ａ）と、検出された処理済データ要素が示す参照パターン（すなわち、図４中のＣＥＬＬ＿Ａに関連づけられたセル）とが比較される（ステップＳ３４１）。これにより、セル名が同一である登録対象データ要素および処理済データ要素がそれぞれ示すパターンが同一であるか否かが確認される。同名異形チェックの方法は、既述のデータ変換作業における同名異形チェック（ステップＳ１７１）と同様である。
【００６５】
登録対象データ要素が示す対象パターンと処理済データ要素が示す参照パターンとが同一である（すなわち、同名同形である）場合、同名異形チェック部４３により登録対象データ要素の登録が不要であると判断され、図１０中のセル９１ａに対応するセルデータ要素のデータ登録作業が終了する。
【００６６】
データベース更新部４では、二次登録データに未処理のセルデータ要素が残っているか否かが確認され（ステップＳ３６）、次のセルデータ要素があるため、ステップＳ３２に戻って次のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ｅであるセルデータ要素）が、２番目の登録対象データ要素として二次登録データから取り出される（ステップＳ３２）。
【００６７】
続いて、１番目の登録対象データ要素と同様に、図４に示す処理データベース６１において、登録対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ｅ」に関連づけられた処理済データ要素６１２が検索され、セル名６１１が「ＣＥＬＬ＿Ｅ」である処理済データ要素６１２が検出される（ステップＳ３３，Ｓ３４）。
【００６８】
処理済データ要素が検出されると、同名異形チェック部４３により、登録対象データ要素が示す対象パターン（すなわち、図１０中のセル９１ｅ）と、検出された処理済データ要素が示す参照パターン（すなわち、図４中のＣＥＬＬ＿Ｅに関連づけられたセル）とが比較される（ステップＳ３４１）。ここで、対象パターンであるセル９１ｅ（図１０参照）と参照パターンであるＣＥＬＬ＿Ｅに関連づけられたセル（図４参照）とは異なっている。データ変換装置１では、対象パターンと参照パターンとが異なっている場合、セル名変更部４４により登録対象データ要素のセル名の末尾に「？」が付加されてセル名が「ＣＥＬＬ＿Ｅ？」に変更される（ステップＳ３４２）。
【００６９】
そして、ステップＳ３３に戻って、処理データベース６１において登録対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ｅ？」に関連づけられた処理済データ要素が検索され、登録対象データ要素に対応する処理済データ要素が処理データベース６１に存在しないことが確認されると、当該２番目の登録対象データ要素が三次登録データとしてデータベース更新部４に記憶される（ステップＳ３３〜Ｓ３５）。
【００７０】
次に、再び二次登録データに未処理のセルデータ要素が残っているか否かが確認され（ステップＳ３６）、ステップＳ３２に戻って次のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ｆであるセルデータ要素）が、３番目の登録対象データ要素として取り出される（ステップＳ３２）。
【００７１】
３番目の登録対象データ要素に対しても、１番目の登録対象データ要素と同様に、処理データベース６１が検索される（ステップＳ３３）。そして、登録対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ｆ」に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース６１に存在しないことが確認されると（ステップＳ３４）、当該３番目の登録対象データ要素が三次登録データに追加される（ステップＳ３５）。
【００７２】
データベース更新部４では、再び二次登録データに未処理のセルデータ要素が残っているか否かが確認され（ステップＳ３６）、ステップＳ３２に戻って次のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ｇであるセルデータ要素）が、４番目の登録対象データ要素として取り出される（ステップＳ３２）。
【００７３】
４番目の登録対象データ要素に対しても、処理データベース６１が検索されて登録対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ｇ」に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース６１に存在しないことが確認された後、当該４番目の登録対象データ要素が三次登録データに追加される（ステップＳ３３〜Ｓ３５）。
【００７４】
データ変換装置１では、二次登録データに含まれる全てのセルデータ要素に対してステップＳ３２〜Ｓ３５に示す作業が繰り返されて三次登録データの生成が終了する（ステップＳ３６）。図１１は、三次登録データが示す回路パターンを示す図である。図１１に示すように、三次登録データにはセル９１ｅ〜９１ｇに対応するセルデータ要素が登録されており、セル９１ｅ〜９１ｇのセル名は、「ＣＥＬＬ＿Ｅ？」、「ＣＥＬＬ＿Ｆ」、「ＣＥＬＬ＿Ｇ」である。
【００７５】
三次登録データの生成が終了すると、異名同形チェック部４５により、三次登録データに含まれる各セルデータ要素が示すパターンが、他のセルデータ要素が示すパターンと比較される。これにより、セル名が互いに異なる複数のセルデータ要素において、それぞれが示すパターンも互いに異なるか否かが確認される。換言すれば、三次登録データ内において異名同形チェックが行われる（ステップＳ３７）。そして、パターンが同一のセルデータ要素が検出された場合、一方のセルデータ要素のセル名を代表セル名として、代表セル名と他方のセルデータ要素のセル名との関連づけを示す異名同形情報が異名同形リスト６３（図６参照）に登録される。
【００７６】
図１１に示すように、三次登録データでは、セル９１ｆおよびセル９１ｇの形状が同一であるため、セル名が「ＣＥＬＬ＿Ｆ」および「ＣＥＬＬ＿Ｇ」である２つのセルデータ要素が異名同形として検出される（ステップＳ３８）。そして、代表セル名を「ＣＥＬＬ＿Ｆ」として、当該代表セル名と「ＣＥＬＬ＿Ｇ」との関連づけを示す情報、すなわち、「ＣＥＬＬ＿Ｆ＝ＣＥＬＬ＿Ｇ」という異名同形情報が異名同形リスト６３に登録されるとともに、三次登録データから、セル名が「ＣＥＬＬ＿Ｇ」であるセルデータ要素が削除される（ステップＳ３８１）。これにより、三次登録データが含むセルデータ要素は、セル９１ｅ，９１ｆに対応する２つのみとなる。
【００７７】
次に、三次登録データからセル９１ｅに対応する一のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ｅ？であるセルデータ要素）が取り出され、登録対象データ要素として準備される（ステップＳ３９）。続いて、異名同形チェック部４５により、登録対象データ要素が示す対象パターン（すなわち、図１１中のセル９１ｅ）と、処理データベース６１に含まれる複数の処理済データ要素が示す参照パターン（すなわち、図４中のＣＥＬＬ＿ＡおよびＣＥＬＬ＿Ｅにそれぞれ関連づけられたセル）とが順次比較され、登録対象データ要素と処理データベース６１に含まれる処理済データ要素との間で異名同形チェックが行われる（ステップＳ４０）。
【００７８】
そして、異名同形チェック部４５により、登録対象データ要素が示す対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出されないこと（換言すれば、登録対象データ要素と異名同形である処理済データ要素が処理データベース６１に含まれていないこと）が確認される（ステップＳ４１）。続いて、図形処理部４６により、登録対象データ要素に対する矩形分割処理が行われて処理済データ要素が生成され（ステップＳ４２）、データ登録部４７により、登録対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ｅ？」と生成された処理済データ要素とを関連づけるレコードが処理データベース６１に追加される（ステップＳ４３）。
【００７９】
データベース更新部４では、三次登録データに未処理のセルデータ要素が残っているか否かが確認され（ステップＳ４４）、次のセルデータ要素があるため、ステップＳ３９に戻って次のセルデータ要素（すなわち、セル名がＣＥＬＬ＿Ｆであるセルデータ要素）が、２番目の登録対象データ要素として三次登録データから取り出される（ステップＳ３９）。
【００８０】
続いて、１番目の登録対象データ要素と同様に、登録対象データ要素が示す対象パターン（すなわち、図１１中のセル９１ｆ）と、処理データベース６１に含まれる複数の処理済データ要素が示す参照パターン（すなわち、図４中のＣＥＬＬ＿ＡおよびＣＥＬＬ＿Ｅにそれぞれ関連づけられたセル）とが順次比較され、登録対象データ要素と処理データベース６１に含まれる処理済データ要素との間で異名同形チェックが行われる（ステップＳ４０）。
【００８１】
そして、異名同形チェック部４５により、セル９１ｆ（図１１参照）と同一の参照パターンを示す処理済データ要素（すなわち、図４中のＣＥＬＬ＿Ａに関連づけられたセル）が処理データベース６１から検出される（ステップＳ４１）。このように、登録対象データ要素とセル名は異なるが同一のパターンを示す処理済データ要素（すなわち、異名同形の処理済データ要素）が処理データベース６１に既に登録されている場合、登録対象データ要素に対する矩形分割処理および処理データベース６１への登録は取りやめられる。
【００８２】
異名同形の処理済データ要素が検出されると、検出された処理済データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ａ」を代表セル名として、当該代表セル名と登録対象データ要素のセル名「ＣＥＬＬ＿Ｆ」との関連づけを示す情報、すなわち、「ＣＥＬＬ＿Ａ＝ＣＥＬＬ＿Ｆ」という異名同形情報が異名同形リスト６３に送られる。そして、ステップＳ３８１にて既に登録されている「ＣＥＬＬ＿Ｆ＝ＣＥＬＬ＿Ｇ」という異名同形情報と合わせて「ＣＥＬＬ＿Ａ＝ＣＥＬＬ＿Ｆ＝ＣＥＬＬ＿Ｇ」という異名同形情報として異名同形リスト６３に登録される（ステップＳ４１１）。その後、三次登録データに未処理のセルデータ要素が残っていないことが確認され、全てのセルデータ要素に対するデータ登録作業が終了する（ステップＳ４４）。
【００８３】
以上に説明したように、データ変換装置１におけるデータ変換作業では、セル名とセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って得られる処理済データ要素との関連づけを示す処理データベース６１が予め用意されており、入力データに含まれるセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って処理済データ要素を生成する代わりに、当該セルデータ要素に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース６１から検出されて出力データに含められる。これにより、入力データに含まれる複数のセルデータ要素に対して行われる矩形分割処理の回数を減らすことができ、データ変換作業に要する時間を短縮することができる。
【００８４】
ところで、ＬＳＩの回路パターンを表す入力データでは、セルデータ要素に対するセル名の付与基準が統一されていないため、セルデータ要素と処理データベース６１内の処理済データ要素とでセル名が同一であってもパターンが異なる場合がある。データ変換装置１では、処理データベース６１から処理対象データ要素と同名の処理済データ要素が検出された場合に、同名異形チェック部３４により処理対象データ要素と処理済データ要素との同名異形チェックを行うことにより、入力データを正確に出力データに変換することができる。また、同名異形の処理済データ要素が検出された処理対象データ要素のセル名を変更して当該処理対象データ要素に対応する処理済データ要素を処理データベース６１において再検索することにより、矩形分割処理を行う回数をさらに減少させてデータ変換作業に要する時間をより短縮することができる。
【００８５】
データ変換装置１によるデータ変換作業では、処理対象データ要素のセル名が異名同形リスト６３に基づいて代表セル名に変更されることにより、処理データベース６１に登録済みの処理済データ要素とセル名は異なるがパターンが同一である処理対象データ要素に対して、矩形分割処理を行うことなく処理済データ要素を得ることができるため、データ変換作業に要する時間をさらに短縮することができる。
【００８６】
また、処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素がブロックパターンデータベース６２に含まれている場合に、処理対象データ要素に対する矩形分割処理を行うことなく当該ブロックデータ要素を出力データに追加することにより、データ変換作業に要する時間をより一層短縮することができる。さらには、後工程である基板に対する描画の際に、描画装置においてブロックパターンを一括して露光することにより、パターンの描画に要する時間を短縮することもできる。
【００８７】
データ変換装置１では、対応する処理済データ要素およびブロックデータ要素がデータベースに登録されていない処理対象データ要素に対して矩形分割処理が行われることにより、複数の矩形図形の集合を示す処理済データ要素がベクトルデータとして生成されるが、処理対象データ要素に対する図形処理は必ずしも矩形分割処理には限定されず、また、処理済データ要素も必ずしもベクトルデータには限定されない。
【００８８】
データ変換装置の他の好ましい例では、処理済データ要素は、処理対象データ要素に対して拡大等の所定の図形処理を行って得られたラスタデータとされる。この場合、処理データベースに含まれる各処理済データ要素もラスタデータとして表現される。また、処理対象データ要素に対して所定の図形処理を行って得られた処理済データ要素、および、処理データベースに含まれる処理済データ要素は、例えばランレングスデータであってもよい。
【００８９】
データ変換装置１によるデータ登録作業では、登録対象データ要素が示す対象パターンと、処理データベース６１において登録対象データ要素のセル名と関連づけられた処理済データ要素が示す参照パターンとが異なる場合に（すなわち、登録対象データ要素と処理済データ要素とが同名異形である場合に）、登録対象データ要素のセル名を変更して当該登録対象データ要素に対応する処理済データ要素を処理データベース６１において再検索することにより、未登録のパターンを示す登録対象データ要素を確実に処理データベース６１に登録することができる。
【００９０】
データ変換装置１によるデータ登録作業では、登録対象データ要素とセル名が同一の処理済データ要素が処理データベース６１において検出されなかった場合に、登録対象データ要素が示す対象パターンと処理データベース６１に含まれる複数の処理済データ要素が示す参照パターンとが順次比較され、対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に（すなわち、登録対象データ要素と異名同形の処理済データ要素が検出された際に）、登録対象データ要素の登録が取りやめられる。これにより、処理済データ要素が示すパターンと同じパターンを示すセルデータ要素を処理データベース６１に重複して登録することを防止することができる。
【００９１】
また、三次登録データ内において異名同形チェックを行うことにより、三次登録データに含まれるセルデータ要素の数を減らし、上述の登録対象データ要素と処理データベース６１との間における異名同形チェック等の後工程の繰り返し回数を減らすことができる。その結果、データ登録作業に要する時間を短縮することができる。
【００９２】
データ登録作業では、所定の登録条件を満たすセルデータ要素のみが処理データベース６１に対する登録対象データ要素とされることにより、処理データベース６１の容量増加を抑制することができる。このとき、セルデータ要素が示すパターンが所定の大きさ以下であることが登録条件とされることにより、処理データベース６１に登録されるレコードの容量が過剰に大きくなることを防止することができる。また、セルデータ要素が示すパターンの頂点数が所定の個数（例えば、５個）以上であることが登録条件とされることにより、頂点数が多く矩形分割処理に長時間を要するセルデータ要素のみが登録されるため、処理データベース６１の容量増加をより抑制しつつデータ変換作業を効率的に行うことができる。さらには、セルデータ要素の他のセルデータ要素からの参照回数が所定の回数以上であることが登録条件とされることにより、入力データにおいて出現頻度が高いセルデータ要素のみが登録されるため、処理データベース６１の容量増加をさらに抑制しつつデータ変換作業をより効率的に行うことができる。
【００９３】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るデータ変換装置について説明する。第２の実施の形態に係るデータ変換装置の構成は第１の実施の形態と同様であり、装置により処理される入力データ、出力データおよび登録データの形式および構造も同様である。
【００９４】
図１２は、第２の実施の形態に係るデータ変換装置のＣＰＵ等がプログラムに従って演算処理を行うことにより実現される機能を他の構成と共に示すブロック図である。図１２に示すように、第２の実施の形態に係るデータ変換装置では、図３に示すデータ変換装置１の機能に加えて、データ変換部３に登録条件チェック部３８１、異名同形チェック部３８２およびデータ登録部３９がさらに設けられる。その他の構成は図３と同様であり、以下の説明において同符号を付す。
【００９５】
図１３は、第２の実施の形態に係るデータ変換装置におけるデータ変換の流れの一部を示す図である。図３に示す工程の前後の工程（すなわち、図７．Ａおよび図７．Ｂに示すステップＳ１１〜Ｓ１６およびステップＳ１９，Ｓ２０）は、第１の実施の形態と同様である。以下、図７．Ａ、図７．Ｂおよび図１３を参照しつつ第２の実施の形態に係るデータ変換装置におけるデータ変換の流れについて説明する。なお、第２の実施の形態に係るデータ変換装置におけるデータ登録の流れは第１の実施の形態と同様であるため、説明を省略する。
【００９６】
第２の実施の形態に係るデータ変換装置では、第１の実施の形態と同様に、データ受付部２により受け付けられた入力データがデータ変換部３へと送られ、一のセルデータ要素が処理対象データ要素として入力データから取り出される（図７．Ａ：ステップＳ１１）。続いて、異名同形リスト６３（図６参照）において処理対象データ要素のセル名に関連づけられた代表セル名が検索され、代表セル名が検出された場合には、処理対象データ要素のセル名が代表セル名に変更される（ステップＳ１２，Ｓ１３，Ｓ１３１）。
【００９７】
次に、ブロックパターンデータベース６２（図５．Ａ参照）において処理対象データ要素に対応するブロックデータ要素が検索され（ステップＳ１４）、ブロックデータ要素が検出された場合には当該ブロックデータ要素が出力データに追加される（ステップＳ１５，Ｓ１５１）。また、ブロックデータ要素が検出されなかった場合には、処理データベース６１（図４参照）において処理対象データ要素に対応する処理済データ要素が検索される（ステップＳ１５，Ｓ１６）。
【００９８】
処理済データ要素が検出された場合には、処理対象データ要素が示す対象パターンと処理済データ要素が示す参照パターンとが比較されて同名異形チェックが行われ（ステップＳ１７，Ｓ１７１）、処理対象データ要素および処理済データ要素が同名異形であると判断されると、処理対象データ要素のセル名の末尾に「？」が付与されてセル名が変更され（ステップＳ１７２）、ステップＳ１６に戻って処理データベース６１における検索が再度行われる。同名同形であると判断されると、検出された処理済データ要素が出力データに追加される（ステップＳ１７１，Ｓ１９）。
【００９９】
一方、処理データベース６１において処理対象データ要素に対応する処理済データ要素が検出されなかった場合には、図１２に示す登録条件チェック部３８１により、処理対象データ要素が処理データベース６１に規定されている既述の登録条件（例えば、セルデータ要素が示すパターンが所定の大きさ以下であること等）を満たすか否かが確認される（図１３：ステップＳ１７３）。
【０１００】
上述のように、ＬＳＩの回路パターンを表す入力データでは、セルデータ要素に対するセル名の付与基準が統一されていないため、処理対象データ要素とセル名は異なるがパターンが同一の処理済データ要素が処理データベース６１に登録されている可能性がある。そこで、処理対象データ要素が処理データベース６１の登録条件を満たしている場合には、異名同形チェック部３８２により、処理対象データ要素が示す対象パターンと処理データベース６１に含まれる複数の処理済データ要素が示す参照パターンとが順次比較されて処理対象データ要素と処理データベース６１との間で異名同形チェックが行われる（ステップＳ１７４）。
【０１０１】
データ変換部３では、異名同形チェックにおいて対象パターンと同一の参照パターンを示す処理済データ要素が検出された際に（ステップＳ１７５）、検出された当該処理済データ要素が出力データ生成部３７により出力データに追加される（すなわち、出力データに含められる。）（ステップＳ１９）。また、処理対象データ要素と異名同形の処理済データ要素が検出されなかった場合には、第１の実施の形態と同様に、図形処理部３６による処理対象データ要素に対する矩形分割処理が行われて処理済データ要素が生成される（ステップＳ１８）。そして、データ登録部３９により、処理対象データ要素のセル名と生成された処理済データ要素とを関連づけるレコードが処理データベース６１に追加され（ステップＳ１８１）、その後、当該処理済データ要素が出力データ生成部３７により出力データに追加される（ステップＳ１９）。なお、図形処理部３６により生成された処理済データ要素の処理データベース６１への登録（ステップＳ１８１）は、当該処理済データ要素の出力データへの追加（ステップＳ１９）よりも後に行われてもよい。
【０１０２】
ステップＳ１７３における登録条件のチェックにおいて、処理対象データ要素が処理データベース６１の登録条件を満たしていない場合には、処理対象データ要素と異名同形の処理済データ要素が処理データベース６１に含まれている可能性はないため、処理対象データ要素に対する矩形分割処理が行われ、処理済データ要素が生成されて出力データに追加される（ステップＳ１７６，Ｓ１９）。
【０１０３】
以上に説明したように、第２の実施の形態に係るデータ変換装置におけるデータ変換作業では、第１の実施の形態と同様に、入力データに含まれるセルデータ要素に対して矩形分割処理を行って処理済データ要素を生成する代わりに、当該セルデータ要素に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース６１から検出される。これにより、入力データに含まれる複数のセルデータ要素に対して行われる矩形分割処理の回数を減らすことができ、データ変換作業に要する時間を短縮することができる。
【０１０４】
また、処理データベース６１から処理済データ要素が検出された場合に、処理対象データ要素と処理済データ要素との同名異形チェックを行うことにより、入力データをより正確に出力データに変換することができる。さらには、同名異形とされた処理対象データ要素のセル名を変更して対応する処理済データ要素を再検索することにより、データ変換作業に要する時間をより短縮することができる。その上、ブロックパターンデータベース６２を利用することにより、データ変換作業に要する時間をより一層短縮することができる。
【０１０５】
第２の実施の形態に係るデータ変換装置では、特に、処理対象データ要素のセル名に関連づけられた処理済データ要素が処理データベース６１から検出されなかった場合に、処理対象データ要素が示す対象パターンと処理データベース６１に含まれる処理済データ要素が示す参照パターンとを順次比較し、処理対象データ要素と異名同形の処理済データ要素が検出された場合に、矩形分割処理による処理済データ要素の生成を行うことなく、検出された処理済データ要素が出力データに追加される。データ変換装置では、セル名が処理データベース６１に登録されていないセルデータ要素に対応する処理済データ要素をパターンの比較により処理データベース６１から検出する作業に要する時間が、セルデータ要素に対して矩形分割処理を施して処理済データ要素を生成する作業に要する時間よりも短いため、処理対象データ要素と処理データベース６１との間で異名同形チェックを行うことにより、矩形分割処理を行う回数を減らしてデータ変換作業に要する時間をより短縮することができる。
【０１０６】
また、第２の実施の形態に係るデータ変換装置では、第１の実施の形態と同様に、処理対象データ要素のセル名が異名同形リスト６３に基づいて代表セル名に変更されることにより、データ変換作業に要する時間をさらに短縮することができる。第２の実施の形態に係るデータ変換装置では、特に、セル名の代表セル名への変更により、上述の処理対象データ要素と処理データベース６１との間の異名同形チェックの対象となるセルデータ要素を減らすことができるため、データ変換作業に要する時間をより一層短縮することができる。
【０１０７】
第２の実施の形態に係るデータ変換装置では、図形処理部３６により矩形分割処理が施された処理対象データ要素のセル名と、当該矩形分割処理により生成された処理済データ要素とを関連づけるレコードが処理データベース６１に追加されることにより、データ変換作業と並行して処理データベース６１を容易に更新することができる。その結果、以後のデータ変換作業に要する時間を短縮することができる。
【０１０８】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【０１０９】
上記実施の形態に係るデータ変換装置では、処理データベースに対するレコードの登録において、三次登録データ内において行われる異名同形チェック（ステップＳ３７，Ｓ３８）が省略されてもよい。この場合であっても、効率は低下するが、ステップＳ３９〜Ｓ４４の工程が三次登録データ内の全セルデータ要素に対して繰り返されることにより、同一の処理済データ要素が処理データベースに重複して登録されることが防止される。
【０１１０】
処理データベースに対する処理済データ要素の登録では、登録データとしてデータ変換の対象である入力データが利用されてもよい。入力データがスタンダードセルライブラリに含まれるセルデータ要素を含んでいる場合、このような汎用的なセルデータ要素は他の入力データにおいても使用される可能性が高いため、入力データを利用して処理済データ要素を登録することによりデータ変換作業を効率化することができる。また、登録データは、必ずしも階層構造を有する必要はなく、さらには、セルデータ要素を１つだけ含むものであってもよい。入力データも同様に、必ずしも階層構造を有する必要はない。
【０１１１】
入力データは、各セルの形状を示すセルデータ要素、および、各セルの基板上の位置等を示す位置データ要素の集合であるが、当該位置データ要素は、例えば、一のセルに対する複写、配列、回転等の論理情報を含んでいてもよい。また、データ変換装置による図形処理は、上述の矩形分割処理やラスタライズ時の拡大等には限定されず、処理対象データ要素および登録対象データ要素に対して様々な図形処理が行われてよい。
【０１１２】
データ変換装置により生成される出力データは、必ずしもＬＳＩ用の基板に描画される回路パターンの描画データには限定されず、例えば、他の回路基板や半導体基板、または、プラズマ表示装置や液晶表示装置等のフラットパネル表示装置若しくはフォトマスク用のガラス基板等に対するパターンの描画に利用される描画データであってもよい。また、他の様々な目的に利用されるデータが、入力データからの変換の結果として生成されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】第１の実施の形態に係るデータ変換装置の構成を示す図である。
【図２】セルに対する矩形分割の様子を示す図である。
【図３】データ変換装置の機能を示すブロック図である。
【図４】処理データベースの構造を示す図である。
【図５．Ａ】ブロックパターンデータベースの構造を示す図である。
【図５．Ｂ】ブロックパターンを示す図である。
【図６】異名同形リストを示す図である。
【図７．Ａ】データ変換の流れを示す図である。
【図７．Ｂ】データ変換の流れを示す図である。
【図８】入力データが示す回路パターンを示す図である。
【図９．Ａ】処理済データ要素の登録の流れを示す図である。
【図９．Ｂ】処理済データ要素の登録の流れを示す図である。
【図９．Ｃ】処理済データ要素の登録の流れを示す図である。
【図１０】二次登録データが示す回路パターンを示す図である。
【図１１】三次登録データが示す回路パターンを示す図である。
【図１２】第２の実施の形態に係るデータ変換装置の機能を示すブロック図である。
【図１３】データ変換の流れの一部を示す図である。
【符号の説明】
【０１１４】
１    データ変換装置
６１    処理データベース
６２    ブロックパターンデータベース
６３    異名同形リスト
９１ａ〜９１ｇ，９２，９３，９０１    セル
１４１    プログラム
６１０    レコード
６１１    セル名
６１２    処理済データ要素
６２２    ブロックデータ要素
９０２，９０３    ブロックパターン
９１１    矩形
Ｓ１１〜Ｓ２０，Ｓ３１〜Ｓ４４，Ｓ１３１，Ｓ１５１，Ｓ１７１〜Ｓ１７６，Ｓ１８１，Ｓ３４１，Ｓ３４２，Ｓ３８１，Ｓ４１１    ステップ
【図１】
2007208057.tif 000003
【図２】
2007208057.tif 000004
【図３】
2007208057.tif 000005
【図４】
2007208057.tif 000006
【図５．Ａ】
2007208057.tif 000007
【図５．Ｂ】
2007208057.tif 000008
【図６】
2007208057.tif 000009
【図７．Ａ】
2007208057.tif 000010
【図７．Ｂ】
2007208057.tif 000011
【図８】
2007208057.tif 000012
【図９．Ａ】
2007208057.tif 000013
【図９．Ｂ】
2007208057.tif 000014
【図９．Ｃ】
2007208057.tif 000015
【図１０】
2007208057.tif 000016
【図１１】
2007208057.tif 000017
【図１２】
2007208057.tif 000018
【図１３】
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