(57)【要約】      （修正有）【課題】接続用バンプを備える例えば集積回路などのマイクロデバイスの改良された接続方法、及びその製造方法を提供する。【解決手段】マイクロデバイスの互いに反対の２つの面に接続用バンプを備える。第１の面の微細構造に到達する溝部を第２の面に形成し、溝部を金属で満たして接続用バンプとし、接続用バンプを介して第１のマイクロデバイスと第２のマイクロデバイスとを積層する、マイクロデバイスの積層体も提供される。【選択図】図７
2007110106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接続用バンプが少なくとも２つの面に形成されていることを特徴とするマイクロデバイス。
【請求項２】
前記マイクロデバイスは集積回路であることを特徴とする請求項１に記載のマイクロデバイス。
【請求項３】
前記接続用バンプははんだを含むことを特徴とする請求項１に記載のマイクロデバイス。
【請求項４】
前記接続用バンプは金を含むことを特徴とする請求項１に記載のマイクロデバイス。
【請求項５】
前記接続用バンプは実質的に球状であることを特徴とする請求項１に記載のマイクロデバイス。
【請求項６】
請求項１に記載されたマイクロデバイスを備えるケーシングであって、金属の脚部が形成されていることを特徴とするケーシング。
【請求項７】
前記金属の脚部は前記接続用バンプに接続されることを特徴とする請求項６に記載のケーシング。
【請求項８】
２つ以上のマイクロデバイスを積層させることを含む方法であって、前記２つ以上のマイクロデバイスの少なくとも１つが、接続用バンプが形成されている少なくとも２つの面を有するマイクロデバイスであることを特徴とする方法。
【請求項９】
第１のマイクロデバイスと第２のマイクロデバイスとを備えるマイクロデバイスの積層体であって、前記第１のマイクロデバイスと前記第２のマイクロデバイスとは接続用バンプを介して接続されていることを特徴とするマイクロデバイスの積層体。
【請求項１０】
前記第１のマイクロデバイス及び前記第２のマイクロデバイスはそれぞれ少なくとも１つの面に接続用バンプが形成されており、前記第１のマイクロデバイスの１つの面の接続用バンプが前記第２のマイクロデバイスの１つの面に形成されている接続用バンプに接続されていることを特徴とする請求項９に記載の積層体。
【請求項１１】
前記第１のマイクロデバイスは接続用バンプが形成されている１つの面を含み、
前記第２のマイクロデバイスは基板上に形成されており、当該基板は前記第２のマイクロデバイスとは反対側の面に形成されている複数の溝部を有し、
前記接続用バンプが１つ以上の前記溝部を介して前記第２のマイクロデバイスに接続されていることを特徴とする請求項９に記載の積層体。
【請求項１２】
２つより多くのマイクロデバイスが積層されていることを特徴とする請求項９に記載の積層体。
【請求項１３】
集積回路を製造する方法であって、
基板の第１の面にアライメントマークを形成し、
前記アライメントマークに対して位置合わせされている複数のパターン層であって集積回路を構成する複数のパターン層を前記基板の第２の面に形成し、
前記アライメントマークに対して位置合わせされている溝部を第１のパターン層が露出されるまで前記基板の前記第１の面にエッチングにより形成し、
前記第１のパターン層に接触する接続用バンプを前記溝部の内部に形成することを含む特徴とする方法。
【請求項１４】
前記アライメントマークとエッチングされるべき前記溝部の位置とが同一のリソグラフィー工程において規定されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記アライメントマークとエッチングされるべき前記溝部の位置とが別々のリソグラフィー工程において規定されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記基板の前記第２の面に前記パターン層が形成されるのに先立って前記溝部がエッチングされ、当該エッチングにおいては前記基板の半分以上の厚みがエッチングされることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
前記基板の前記第２の面に前記パターン層が形成された後に前記溝部がエッチングされ、当該エッチングにおいては前記パターン層の１つにまでエッチングされることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１８】
前記基板の前記第１の面にも接続用バンプが形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１９】
基板の前記第１の面の前記アライメントマークに対する前記基板の前記第２の面の前記複数のパターン層のアライメントが、前記基板の第２の面の上方に配置されているアライメント用検出器と、前記アライメント用検出器により前記アライメントマークを光学的に検出可能とする光学系とを備えるアライメントシステムを使用して実行されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項２０】
集積回路を構成する複数のパターン層が形成されている基板であって、最内部のパターン層が電気的に接続されるように、基板の溝部に配置される一群の接続用バンプが形成されていることを特徴とする基板。
【請求項２１】
最外部のパターン層の上面に配置され、かつ当該最外部のパターン層が電気的に接続されている第２の一群の接続用バンプが形成されていることを特徴とする請求項２０に記載の基板。
【請求項２２】
前記基板は複数の基板のうちの１つであって、各々の接続用バンプを通じて互いに通電される状態である前記複数の基板は互いを接続することを特徴とする請求項２１に記載の基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロデバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
露光装置は、所望のパターンを基板に、通常は基板のターゲット部分に転写する機械である。露光装置は、例えば、集積回路などのマイクロデバイスの製造に用いられる。例えばレチクルなどのパターニング用デバイスが、集積回路の各層に対応した回路パターンを形成するために使用され得る。このパターンが基板（例えばシリコンウエハ）のターゲット部分（例えばダイの一部、あるいは１つまたは複数のダイ）に転写されることになる。パターンの転写は典型的には、基板に塗布された照射感応材料（レジスト）層への像形成により行われる。一般には一枚の基板には、連続してパターン形成される隣接するターゲット部分のネットワークが含まれる。公知の露光装置にはいわゆるステッパとスキャナとがある。ステッパにおいては、ターゲット部分にパターン全体が一度に露光されるように各ターゲット部分は照射を受ける。スキャナにおいては、所与の方向（スキャン方向）に放射ビームを介してパターンを走査するとともに基板をスキャン方向に平行または非平行に同期させて走査するようにして各ターゲット部分は照射を受ける。また、パターンを基板にインプリントすることにより、パターニング用デバイスから基板にパターンを転写することも可能である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
通常は基板に複数層にわたってパターンが形成されて、微細構造（例えば回路）が三次元的に形成される。この工程が完了すると、集積回路は普通「封止」される。封止は、例えば、導電性の脚が複数ついたプラスチックのケーシングの内部に集積回路を配置することにより行われる。封止の際には、集積回路の各回路と導電性の脚との間に接続が構築される。集積回路の各回路と導電性の脚との間の接続を改良することが継続して望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
一実施形態においては、マイクロデバイス（例えば集積回路）には、接続用バンプが少なくとも２つの面（例えば互いに反対の面）に形成されている。
【０００５】
一実施形態においては、
基板の第１の面に微細構造を形成し、前記基板は前記第１の面とは反対側に第２の面を有しており、
前記微細構造に到達する溝部が前記第２の面にエッチングにより形成され、
前記溝部が金属で満たされて接続用バンプが形成されることを含む方法が提供される。
【０００６】
また、第１のマイクロデバイスと第２のマイクロデバイスとを備えるマイクロデバイスの積層体が提供される。前記第１のマイクロデバイスと前記第２のマイクロデバイスとは接続用バンプを介して接続される。
【０００７】
更に、集積回路などのマイクロデバイスを製造する方法が提供される。この方法は、
基板の第１の面にアライメントマークを形成し、
前記アライメントマークに対して位置合わせされている複数のパターン層であって集積回路を構成する複数のパターン層を前記基板の第２の面に形成し、
前記アライメントマークに対して位置合わせされている溝部を第１のパターン層が露出されるまで前記基板の前記第１の面にエッチングにより形成し、
前記第１のパターン層に接触する接続用バンプを前記溝部の内部に形成することを含む。
【０００８】
更に、集積回路などのマイクロデバイスを構成する複数のパターン層が形成されている基板が提供される。この基板には、最内部のパターン層が電気的に接続されるように、基板の溝部に配置される一群の接続用バンプが形成されている。
【０００９】
また、サンドイッチ状に結合される３つ以上の基板の一群が提供される。各基板には集積回路等のマイクロデバイスが形成され、両面に接続用バンプを有する。これにより隣接する基板が互いに電気的に接続され、かつ当該一群の基板が外部に接続されるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の実施形態が添付の模式的な図面を参照してあくまでも一例として以下に記述される。
【００１１】
本発明の一実施形態によれば、接続用バンプを有するマイクロデバイスが提供される。まず図１〜５を参照して本発明に係るマイクロデバイスを作製するのに用いられ得る装置の一例を説明する。
【００１２】
図１は、本発明の一実施形態に係る露光装置を模式的に示す図である。この装置は、
・放射ビームＢ（例えば紫外（ＵＶ）光または極紫外（ＥＵＶ）光）を調整するよう構成されている照明系（照明器）ＩＬと、
・パターニング用デバイス（例えばマスク）Ｍを支持するよう構成され、所定のパラメータに従って正確に位置決めするよう構成されている第１のポジショナＰＭに接続されている支持構造部（例えばマスクテーブル）ＭＴと、
・基板（例えばレジストでコーティングされた基板）Ｗを支持するよう構成され、所定のパラメータに従って正確に位置決めするよう構成されている第２のポジショナＰＷに接続されている基板テーブル（例えば基板テーブル）ＷＴと、
・パターニング用デバイスＭＡにより放射ビームＢに付与されたパターンを基板Ｗのターゲット部分Ｃ（例えば１つ以上のダイを含む）に投影するよう構成されている投影系（例えば屈折投影レンズ系）ＰＳと、を備える。
【００１３】
照明系は、放射の方向や形状の調整または制御用に、各種の光学要素、例えば屈折、反射、磁気的、電磁気的、静電的、または他の各種光学要素、あるいはこれらの任意の組み合わせといった各種の光学要素を含んでもよい。
【００１４】
支持構造部はパターニング用デバイスを支持する。支持構造部は例えばパターニング用デバイスの荷重を支える。支持構造部は、パターニング用デバイスの向きや露光装置の構成、あるいはパターニング用デバイスが真空環境下で保持されるか否かなどの他の条件に応じた形でパターニング用デバイスを保持する。支持構造部においては、パターニング用デバイスを保持するために、機械的、真空、静電、あるいは他の固定用技術が用いられる。支持構造部はフレームまたはテーブルであってよく、例えば必要に応じて固定されていてもよいし移動可能であってもよい。支持構造部は、パターニング用デバイスを、例えば投影系に対して所望の位置に位置決めできるようにしてもよい。本明細書では「レチクル」または「マスク」という用語を用いた場合には、より一般的な用語である「パターニング用デバイス」に同義であるとみなされるものとする。
【００１５】
本明細書では「パターニング用デバイス」という用語は、例えば基板のターゲット部分にパターンを形成すべく放射ビームの断面にパターンを付与するために使用され得るいかなるデバイスをも指し示すよう広く解釈されるべきである。放射ビームに与えられるパターンは、例えば仮に放射ビームのパターンが位相シフトフィーチャあるいはいわゆるアシストフィーチャを含む場合には、基板のターゲット部分に所望されるパターンと厳密に対応していなくてもよい。一般に、放射ビームに付与されるパターンは、ターゲット部分に形成される集積回路などのデバイスの特定の機能層に対応する。
【００１６】
パターニング用デバイスは透過型であっても反射型であってもよい。パターニング用デバイスの例としては、例えばマスクやプログラマブルミラーアレイ、プログラマブルＬＣＤパネルなどがある。マスクはリソグラフィーの分野では周知であり、バイナリマスクやレベンソン型位相シフトマスク、ハーフトーン型位相シフトマスク、更に各種のハイブリッド型マスクが含まれる。プログラマブルミラーアレイの一例としては、小型のミラーがマトリックス状に配列され、各ミラーが入射してくる放射ビームを異なる方向に反射するように独立に傾斜されるというものがある。これらの傾斜ミラーにより、マトリックス状ミラーで反射された放射ビームにパターンが付与される。
【００１７】
本明細書では「投影系」という用語は、使用される露光光あるいは浸漬液や真空の利用などの他の要因に関して適切とされるいかなる投影系をも包含するよう広く解釈されるべきである。投影系には例えば屈折、反射、反射屈折、磁気的、電磁気的、静電的光学系、またはこれらの任意の組み合わせなどが含まれる。以下では「投影レンズ」という用語は、より一般的な用語である「投影系」と同義に用いられ得る。
【００１８】
本発明の一実施形態としては、（例えば透過型マスクを用いる）透過型露光装置である。これに代えて、（例えばプログラマブルミラーアレイあるいは反射型マスクを用いる）反射型露光装置を用いることもできる。
【００１９】
露光装置は２つ以上（２つの場合にはデュアルステージと呼ばれる）の基板ステージ（及び／または２つ以上のマスクテーブル）を備えてもよい。このような多重ステージ型の装置においては追加されたテーブルは並行して使用されるか、あるいは１以上のテーブルで露光が行われている間に他の１以上のテーブルで準備工程を実行するようにしてもよい。
【００２０】
露光装置は、基板の少なくとも一部が液体で覆われるものであってもよい。この液体は比較的高い屈折率を有する例えば水のような液体であり、投影系と基板との間の空隙を満たす。液浸露光用の液体は、例えばマスクと投影系との間のような露光装置の他の空間に適用されるものであってもよい。液浸技術は投影系の開口数を増大させる技術として周知である。本明細書では「液浸」という用語は、基板等の構造体が液体に完全に浸されているということを意味するのではなく、露光の際に投影系と基板との間に液体が存在するということを意味するに過ぎない。
【００２１】
図１に示されるように照明器ＩＬは放射源ＳＯから放射ビームを受け取る。例えば放射源がエキシマレーザである場合には、放射源と露光装置とは別体であってもよい。この場合、放射源は露光装置の一部を構成しているとはみなされなく、放射ビームは放射源ＳＯから照明器ＩＬへとビーム搬送系ＢＤを介して受け渡される。ビーム搬送系ＢＤは例えば適当なダイレクトミラー及び／またはビームエキスパンダを含んで構成される。あるいは放射源が水銀ランプである場合には、放射源は露光装置に一体に構成されていてもよい。放射源ＳＯと照明器ＩＬとは、またビーム搬送系ＢＤが必要とされる場合にはこれも合わせて、放射系と総称される。
【００２２】
照明器ＩＬは放射ビームの角強度を調整するためのアジャスタＡＤを備えてもよい。一般にはアジャスタＡＤにより、照明器ＩＬの瞳面における強度分布の少なくとも半径方向外周部及び／または内周部での量（通常それぞれ「シグマ−アウタ（σ−ｏｕｔｅｒ）」、「シグマ−インナ（σ−ｉｎｎｅｒ）」と呼ばれる）が調整される。加えて照明器ＩＬは、インテグレータＩＮ及びコンデンサＣＯなどの他の要素を備えてもよい。照明器はビーム断面における所望の均一性及び強度分布を得るべく放射ビームを調整するために用いられる。
【００２３】
放射ビームＢは、支持構造部（例えばマスクテーブルＭＴ）に保持されるパターニング用デバイス（例えばマスクＭＡ）に入射して、当該パターニング用デバイスによりパターンが付与される。マスクＭＡを横切った放射ビームＢは投影系ＰＳを通過する。投影系ＰＳはビームを基板Ｗのターゲット部分Ｃで合焦させる。一実施例においては基板上にレジスト層が形成される。一実施例においては、基板Ｗはウエハであり、例えば半導体ウエハである。一実施例ではウエハの材料は、Ｓｉ（ケイ素）、ＳｉＧｅ（シリコンゲルマニウム），ＳｉＧｅＣ（シリコンゲルマニウムカーボン）、ＳｉＣ(炭化ケイ素)、Ｇｅ（ゲルマニウム）、ＧａＡｓ(ガリウムヒ素)、ＩｎＰ（インジウムリン）、ＩｎＡｓ（インジウムヒ素）から成るグループから選択される。一実施例ではウエハはＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体ウエハである。一実施例ではウエハはシリコンウエハである。一実施例では基板はセラミック基板である。一実施例では基板はガラス基板である。ガラス基板は例えばフラットパネルディスプレイや液晶ディスプレイの製造に有用である。一実施例では基板はプラスチック基板である。一実施例では基板は柔軟である。一実施例では基板は（ヒトの裸眼で）透明である。一実施例では基板は有色である。一実施例では基板は無色である。
【００２４】
第２のポジショナＰＷと位置センサＩＦ（例えば、干渉計、リニアエンコーダ、静電容量センサなど）により基板テーブルＷＴを正確に移動させることができる。基板テーブルＷＴは例えば放射ビームＢの経路に異なるターゲット部分Ｃを位置決めするように移動される。同様に、第１のポジショナＰＭと（図１には図示されていない）他の位置センサとにより放射ビームＢの経路に対してマスクＭＡを正確に位置決めすることができる。この位置決めは例えばマスクライブラリからの機械的修正後や走査中に行われる。一般にマスクテーブルＭＴの移動は、第１のポジショナＰＭの一部を構成するロングストロークモジュール（粗い位置決め用）及びショートストロークモジュール（精細な位置決め用）により実現される。同様に基板テーブルＷＴの移動は、第２のポジショナＰＷの一部を構成するロングストロークモジュール及びショートストロークモジュールにより実現される。ステッパでは（スキャナとは反対に）、マスクテーブルＭＴはショートストロークのアクチュエータにのみ接続されているか、あるいは固定されていてもよい。マスクＭＡと基板Ｗとは、マスクアライメントマークＭ１、Ｍ２及び基板アライメントマークＰ１、Ｐ２を用いてアライメントされてもよい。図においては基板アライメントマークが専用のターゲット部分を占拠しているが、アライメントマークはターゲット部分間のスペースに配置されてもよい（これはスクライブライン・アライメントマークとして公知である）。同様に、マスクＭＡに１つ以上のダイがある場合にはマスクアライメントマークをダイの間に配置してもよい。
【００２５】
図示の装置は例えば次のうちの１つ以上のモードで使用することができる。
１．ステップモードにおいては、放射ビームに付与されたパターンの全体が１回の照射（すなわち単一静的露光）でターゲット部分Ｃに投影される間、マスクテーブルＭＴ及び基板テーブルＷＴは実質的に静止状態とされる。そして基板テーブルがＸ及び／またはＹ方向に移動されて、異なるターゲット部分Cが露光される。ステップモードでは露光領域の最大サイズが単一静的露光で転写されるターゲット部分Ｃのサイズを制限することになる。
２．スキャンモードにおいては、放射ビームに付与されたパターンがターゲット部分Ｃに投影される間（すなわち単一動的露光の間）、マスクテーブルＭＴ及び基板テーブルＷＴは同期して走査される。マスクテーブルＭＴに対する基板テーブルＷＴの速度及び方向は、投影系ＰＳの拡大（縮小）特性及び像反転特性により定められる。スキャンモードでは露光領域の最大サイズが単一動的露光でのターゲット部分の（非走査方向の）幅を制限し、スキャン移動距離がターゲット部分の（走査方向の）長さを決定する。
３．更に他のモードにおいては、マスクテーブルＭＴはプログラム可能なパターニング用デバイスを保持して実質的に静止状態とされ、基板テーブルＷＴは、放射ビームに付与されたパターンがターゲット部分Ｃに投影されている間、移動されるか走査される。このモードにおいては、一般にパルス放射源が用いられ、プログラム可能なパターニング用デバイスは、基板テーブルＷＴの各移動後にあるいは走査中の連続するパルス照射の間に必要に応じて更新される。このモードは、例えば上述のプログラマブルミラーアレイなどのプログラム可能なパターニング用デバイスを使用するマスクレス（マスクを使わない）露光に適用し得る。
【００２６】
上記で記載したモードを組み合わせて動作させてもよいし、モードに変更を加えて動作させてもよく、さらに全く別のモードで使用してもよい。
【００２７】
図２は基板テーブルＷＴ上の基板Ｗを示す。基板Ｗの第１の面（前面）には基板マークＷＭ３及びＷＭ４が設けられている。マークＷＭ３及びＷＭ４の上方に矢印により示されるように、これらのマークから光が反射される。これらのマークは、アライメントシステム（図示せず）によりマスク上のマークとともにアライメントに用いられる。このような前面アライメントの一例は、２００３年１２月１７日出願の米国特許出願番号２００５−０１３３７４３号に更に詳細に言及されている。この文献の全体を本明細書に引用する。
【００２８】
基板Ｗの第２の面（背面）には基板マークＷＭ１及びＷＭ２が設けられている。本明細書において基板Ｗの背面とは、露光中に放射にさらされる面とは反対側の面を指し示すものとする。図２に示される実施例においては基板の両面にアライメントマークが示されているが、一実施例としては基板の片方の面にのみマークを設けるようにしてもよい。例えば、一方の面に設けられているマークをまず最初に前面用のマークとして前面アライメントに用い、それから基板をひっくり返して同じマークを背面用のマークとして用いてもよい（あるいはこの逆でもよい）。
【００２９】
基板Ｗの背面側の基板マークＷＭ１及びＷＭ２に光学的にアクセスすることができるように基板テーブルＷＴに光学系が組み込まれている。光学系は、一組のアーム部１０ａ、１０ｂを備える。各アーム部は、２つのミラー１２、１４、及び２つのレンズ１６、１８を含んで構成される。各アーム部のミラー１２、１４は、各ミラーが水平面に対してなす角度の合計が９０度となるように傾斜して配置されている。これにより、一方のミラーに鉛直方向に入射した光ビームが、他方のミラーに反射されたのちでも鉛直方向のままとなる。もちろん、光の進行方向を１８０度変更するための他の方法を用いることも可能である。例えば、全体として１８０度の方向変更をもたらす光学系である限り、レンズ及びマウンティングが大部分の方向変更を担うように設計されるようにしてもよい。
【００３０】
使用に際しては、基板テーブルＷＴの上方から光がミラー１２に向けて入射し、レンズ１６及び１８を介してミラー１４に入射し、更に各基板マークＷＭ１、ＷＭ２に入射する。光は基板マークの一部により反射され、光学系の上述のアーム部に沿って戻る。つまりミラー１４、レンズ１８及び１６、ミラー１２を通じて戻る。ミラー１２、１４及びレンズ１６、１８は、基板Ｗの前面に設けられている基板マークＷＭ３、ＷＭ４の鉛直方向の位置に対応して基板マークＷＭ１、ＷＭ２の像２０ａ、２０ｂが基板Ｗの前面（前面の最上面）に相当する平面に形成されるように構成配置されている。レンズ１６、１８及びミラー１２、１４の順序は、光学系に応じて適切に異ならせるようにしてもよい。例えば、レンズ１８を基板Ｗとミラー１４との間に配置するようにしてもよい（後述の実施例を見よ）。
【００３１】
基板マークＷＭ１、ＷＭ２の像２０ａ、２０ｂは仮想的な基板マークとして機能し、基板Ｗの前面（最上面）に設けられる実物の基板マークとまったく同じように従前からのアライメントシステム（図示せず）によるアライメントに用いることができる。
【００３２】
図２に示されるように、この光学系のアーム部１０ａ、１０ｂは基板Ｗの側部のほうに変位した位置に像２０ａ、２０ｂを生成する。このため、これらの像は基板Ｗ上方のアライメントシステムにより観察され得る。この光学系のアーム部１０ａ、１０ｂの２つの好ましい平面配置が図３及び図４に示されている。図３及び図４は、ＸＹ平面に関する基板Ｗの平面図である。わかりやすくするために図３及び図４から基板テーブルＷＴは省略されている。図３においては、光学系のアーム部１０ａ、１０ｂは、Ｘ軸に沿って配置されている。図４においては、光学系のアーム部１０ａ、１０ｂは、Ｙ軸に平行に配置されている。両方とも基板マークＷＭ１、ＷＭ２はＸ軸上に設けられている。基板マークＷＭ１、ＷＭ２は基板Ｗの下面側に位置しているため、基板Ｗの上面側の視点から見て反転される。しかし、この光学系のアーム部のミラー１２、１４は、基板マークＷＭ１、ＷＭ２の像２０ａ、２０ｂが正しい向きに戻すように構成されてもよい。これにより、形成される像は、基板Ｗの上面に基板マークが設けられているのと全く同様に見える。また、光学系は、基板マークＷＭ１、ＷＭ２とそれらの像２０ａ、２０ｂとが１：１に、つまり拡大も縮小もされないように構成されていてもよい。その結果、像２０ａ、２０ｂは、基板Ｗの前面に実際に設けられている基板マークであるかのように用いることができる。マスクに設けられた共通のアライメントパターンあるいはアライメントキーは、実際の基板マークとともにアライメントすべく用いることも可能であるし、仮想的な基板マークとともにアライメントすべく用いることも可能である。
【００３３】
今回の実施例では、図２に示されるように、基板Ｗの前面及び背面の双方の対応する位置に基板マークが形成されている。図３及び図４においては、わかりやすくするために基板Ｗの背面側の基板マークだけが示されている。この構成によれば、基板Ｗがひっくり返されたときにはＸ軸またはＹ軸まわりの回転により基板Ｗ上面にあった基板マークが今度は基板Ｗの下面側に位置することになるが、このとき基板マークは、光学系のアーム部１０ａ、１０ｂにより結像され得る位置に配置される。
【００３４】
上述のミラー配置によれば、光学系のアーム部１０ａ、１０ｂに平行な方向に基板Ｗが変位したときに、基板下面の基板マークＷＭ１、ＷＭ２の像２０ａ、２０ｂは反対方向に変位するという点に留意されたい。例えば図３においては、仮に基板Ｗが右側に変位した場合には、像２０ａ、２０ｂは左側に変位するであろう。アライメントシステムの制御ソフトウェアは、これを考慮に入れて基板マークＷＭ１、ＷＭ２の位置を決定したり、あるいはアライメントを実行する際に基板Ｗとマスクとの相対位置を調整したりしてもよい。２つの光学系のアーム部１０ａ、１０ｂが対称である場合には、像２０ａ、２０ｂの間隔は基板が変位しても実は一定に保たれる。
【００３５】
本発明の代替例としては、基板マークＷＭ１、ＷＭ２の移動に対して像２０ａ、２０ｂの移動方向が変わらないようなミラー構成を備える基板テーブルＷＴを用いてもよい。
【００３６】
基板Ｗの表面には少なくとも２つの基板マークが形成されてもよい。マークが１カ所である場合には基板の特定点に対するマスクの特定点の像の相対位置に関する情報を得ることができるものの、方向に関するアライメント及び倍率を正確に知るためには少なくとも２つのマークを使用することが好ましい。
【００３７】
図５は、基板テーブルＷＴの断面の一部を示す図である。本発明の一実施形態によれば、基板背面上の基板マークを結像させるための光学系１０ａ、１０ｂが、ある特定の形式で基板テーブルＷＴに組み込まれていてもよい。図５に示されるように、光学系のアーム部のミラー１２、１４は別体の要素としては構成されていなくともよく、基板テーブルＷＴに一体に構成されていてもよい。ミラー１２、１４を形成するために、基板テーブルＷＴが機械加工されて適切な表面を形成し、反射性を高めるためにこの表面にコーティングを施してもよい。光学系は、熱膨張率が非常に低く、良好なアライメント精度を得るのに役立つように、例えばゼロデュアー（Ｚｅｒｏｄｕｒ（商標））などの基板テーブルと同一の素材から形成されていてもよい。
【００３８】
基板マークＷＭ１、ＷＭ２、ＷＭ３、ＷＭ４は、パターンが付与された投影ビームに対して基板Ｗをアライメントできるように基板Ｗ上に形成されていてもよい。アライメントにより基板Ｗの異なる層が互いに適切に位置決めされることが望ましい。一枚の基板Ｗは、露光により一層ずつ当該基板Ｗに形成される複数の層から構成されているものであってもよい。複数の異なる層が１つのデバイスを構成する場合には、異なる露光が互いに最適にアライメントされるべきである。
【００３９】
図１ないし図５を参照して説明した上述の露光装置は、集積回路などのマイクロデバイスの入力あるいは出力用の接続部の製造に用いられる。集積回路は、導電性の脚部とともにブラスチックケースを備えるパッケージ構造で実装され得る。導電性の脚部により、集積回路を例えばプリント基板などに容易に接続することができる。実装の一例としては、いわゆるフリップチップ実装というものがある。フリップチップ実装においては、集積回路の上面から突き出す一群のはんだ球を形成するためにリソグラフィーが使われる。はんだ球は、集積回路への電気接続が必要な箇所に配置される。集積回路はひっくり返されてベース上に搭載される。ベースは、はんだ球との電気接続をとるべく構成されている接続領域を有する導電性脚部を備える。例えばはんだが加熱されてベースの導電性脚部に溶解することにより接続がとられる。代替例としてははんだの代わりに例えば金を用いてもよい。金とベースの導電性脚部とは例えば金に圧をかけることにより接続をとることが可能である。
【００４０】
本発明の一実施形態においては、集積回路の第１の面及び第２の面の例えば金属の接続用バンプを形成するために図１ないし図５を参照して説明した露光装置を用いることができる。図６は、このバンプを形成するためのプロセスの一例を模式的に示す図である。
【００４１】
図６ａに示されるように、基板３１上にレジスト層３０が形成されている。図６に示されるように基板３１はこのプロセスの途中で反転されるので、説明しやすいように基板の両面に符号を付す。図６ａにおいてレジスト層が形成されているほうの基板３１の面（すなわち図６ａでの前面）をＡ面と称することとする。図６ａで最下面となる基板３１の面（すなわち図６ａでの背面）をＢ面と称することとする。
【００４２】
図６ｂに示されるように、図１に模式的に示される露光装置を例えば用いて、レジスト層３０にアライメントマーク３２が露光される。それとともに接続用バンプが形成されることになる領域も露光される。この領域を以下では接続エリア３３と呼ぶ。アライメントマーク３２及び接続エリア３３を露光するには、適当ないかなる露光装置でも使用可能であるものと理解されたい。光学的なリソグラフィーを用いることは本質的ではなく、例えばインプリントリソグラフィーを用いてもよい。実際のところ、インプリントリソグラフィーはアライメントマーク３２及び接続エリア３３を形成するのによく適している。それは、アライメントマーク３２及び接続エリア３３の形成には他の先行して形成された層とのアライメントが必要ないからである（インプリントリソグラフィーでは層間のアライメントを精度よく行うのが比較的面倒である）。アライメントマーク３２及び接続エリア３３は、単一の工程で露光（あるいはインプリント）されるようにしてもよい。また、これらは異なる工程で露光（あるいはインプリント）されるようにしてもよい。例えば、アライメントマーク３２をまず露光して、接続エリア３３を露光すべき正確な位置を決定するためにこのアライメントマーク３２を用いてもよい。
【００４３】
図６ｃに示されるように、例えば公知の方法で露光済のレジストが現像される。次いで、例えば公知のエッチング剤でレジストがエッチングされる。エッチング剤はレジストが露光されている領域だけをエッチングする。この実施例に示されるようにエッチングは比較的短時間に行われる。このため、基板３１がエッチングされる深さ、つまり露光されていないレジスト上面から測定される深さは、例えば１６０ｎｍである。
【００４４】
図６ｄに示されるように、アライメントマーク３２はレジスト層に覆われる。このあと基板３１は再度エッチングされるが、このエッチングは接続エリア３３でのみ行われることになる（アライメントマーク３２がエッチングされないのは、当該箇所のレジストが露光されていないからである）。この実施例に示されるように、基板３１の大部分が削られるまで、例えば基板の残りが１００ミクロン以下の厚さとなるまでエッチングは続けられる。一実施例では基板の残りの厚さは５０ミクロン以下、例えば２０ミクロン以下である。図６ｅにおいては、接続エリア３３は、更にエッチングされて、接続用凹部３３ａと称されている。
【００４５】
図６ｆに示されるように、基板３１は反転されて（ひっくり返されて）、Ｂ面が基板３１の前面となっている。これに続いて基板３１は図１ないし図５に示される露光装置に導入（再導入）される。露光装置を用いて、基板３１のＢ面にパターンを付与された層が投影される。このパターン層は、基板３１のＡ面のアライメントマーク３２に対してアライメントされる。基板３１のＡ面はこの工程では基板の背面となっており、アライメントマーク３２に対するアライメントは、アライメントマークＷＭ１、ＷＭ２を用いる上述の方法と等価な方法で行われる。
【００４６】
基板３１上面のパターン層が基板背面のアライメントマーク３２と位置合わせされるので、パターン層は基板背面の接続用凹部３３ａに対しても位置合わせされる。これにより、接続用凹部３３ａの直上にパターンの適切な部位が位置するようにすることができる。例えば、接続をとることが望ましいパターン領域を接続用凹部３３ａの直上に位置させてもよい。
【００４７】
図６ｇに例示されるように、基板３１の前面（Ｂ面）にいくつかのパターン層３４を形成することも可能であろう。前述のように、これらの各層は基板３１の背面（Ａ面）に形成されているアライメントマーク３２に対して位置合わせされてもよい。代替的にあるいは追加的に、基板の上面（Ｂ面）に形成されているアライメントマークに対して位置合わせされるパターン層があってもよい。適当なアライメントマークは基板３１の上面にパターン層を１層以上露光するのに合わせて形成されるようにしてもよい。
【００４８】
パターン層の露光及び処理が完了すると、例えばはんだなどの導電性材料３５のバンプが基板３１の前面（Ｂ面）に適切な位置に形成される。パターン層の上部にレジストの厚膜を形成し、例えば図１ないし図５に示される上述の露光装置により当該レジストを露光することによって、はんだバンプが製作される。ここでレジストは、はんだバンプの形成されるべき位置が露光される。次いで公知の方法で露光済のレジストがエッチングにより取り除かれる。はんだは基板に電気メッキされ、エッチングにより形成された溝部の内部にだけはんだが残るように公知の方法で処理される。それからレジストが基板から公知の方法で剥離され、基板から上方に突き出したはんだの塊が残される。そしてはんだは制限された所定時間加熱され球状に溶解して、その後硬化する。これははんだのリフローとも呼ばれる。この結果として得られた球状の接続用バンプ３５が図６ｇに示されている。
【００４９】
図６ｈに示されるように、接続用凹部３３ａの内部に残されていた基板３１の厚みを除去すべくエッチングが行われる。この結果、最も下側のパターン層の下面が露出される。次いで基板３１は反転される（今度はＡ面がＢ面の上となる）。基板３１の前面（Ａ面）にはんだが電気メッキされ、接続用凹部から上方に向けてはんだが少し突き出した状態で接続用凹部３３ａの内部にはんだが残されるように処理される。これらを図６ｉに示すように接続用バンプ３６と呼ぶ。図６から明らかなように、基板の一方の面の接続用バンプは、基板の他方の面の接続用バンプからデバイス層により分離されている。また、基板の一方の面の接続用バンプは、基板の他方の面の接続用バンプに対して正確に反対側に位置することは必要とされない。
【００５０】
基板３１は、基板３１のＡ面の球状接続用バンプ３５に接続し、基板のＢ面に形成された接続用バンプ３６に接続する導電性脚部を有する実装構造により実装されてもよい。これは、例えば２つのベースを用いることにより実現される。ここで２つのベースのそれぞれは導電性脚部と関連する接続領域とを有し、第１のベースは基板３１のＡ面に固定され、第２のベースは基板のＢ面に固定される。
【００５１】
基板３１の両面で接続を取ることにより、基板への接続をより多く得られるという利点がある。また、複数の基板上の集積回路が互いに電気的に接続されるように、各基板が他の基板と互いに接続された状態で、１つ以上の基板を一緒に結合することもできる。一例を図７Ａ、図７Ｂに示す。
【００５２】
図８Ａ〜Ｃに更なる実施例を示す。図８Ａでは、第１の基板が接続用バンプを備えており、第２の基板が溝部を備えている。この溝部はバンプに対して位置合わせされており、図８Ｂに示されるように、溝部はバンプに覆いかぶさるように配置される。図８Ｃは、引き続いてバンプに加熱処理が施されたときの状況を示す。図７及び図８に示される実施例は２つの基板あるいはマイクロデバイスに関するものであるが、本発明は更に多くの基板またはマイクロデバイスを積層させる場合にも適用することができる。例えば、図８の第２の基板は溝部とは反対側の面にバンプを備えてもよい。この場合、第２の基板が第１の基板に対して配置されたのと同様にして、溝部を有する第３の基板を第２の基板に対して配置させることができる。
【００５３】
本発明は接続部の形成に主としてはんだを使用すると説明しているが、接続部形成用に適する導電性材料を適宜用いることができる（例えば金や他の適当な金属を用いることができる）。また、本発明は主として球形状のバンプであると説明しているが、例えば長方形や正方形などの多角形形状などの適宜の形状を用いてもよい。
【００５４】
本発明の実施形態では図６ａから図６ｉに示される工程が特定の順序で実行されるように説明されているが、これらの工程を異なる順序で実行するようにしてもよい。例えば、接続用溝部３３ａのエッチングを、パターン層３４が基板３１に形成された後に行うようにしてもよい。この場合には、接続用溝部３３ａのエッチングはパターン層３４のうちの一層まで行われるようにしてもよい（通常は基板３１に形成されている最初の（第１の）パターン層まで行われるであろう）。これらの工程の実行順に関する他の変更も当業者にとっては明らかであろう。
【００５５】
３枚以上の基板がサンドイッチ状に結合されている場合には、中間の基板に形成されている集積回路などのマイクロデバイスには直接接続できないこともあり得る。このため、最上部及び最下部のマイクロデバイスは、適切に位置決めされた接続部を介して中間のマイクロデバイスに適切にアクセスすることができるように形成されていることが望ましい。例えば電圧源は、外側のマイクロデバイスの１つから接続部を介して中間のマイクロデバイスに接続されてもよい。
【００５６】
ここでは特にＩＣの製造における露光装置の使用を例として説明しているが、ここで記述されたシステムは他の用途にも適用可能である。例えば光集積回路システムや磁区メモリ用ガイダンスおよび検出パターン、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、薄膜磁気ヘッドなどの製造に用いることが可能である。当業者であればこれらの他の適用に際して、本明細書における「ウエハ」あるいは「ダイ」という用語がそれぞれ「基板」あるいは「ターゲット部分」という、より一般的な用語と同義であるとみなされると理解することができるであろう。
【００５７】
ここでは特に光学的なリソグラフィーを本発明に係る実施形態に適用したものを例として説明しているが、本発明は他にも適用な可能であり、例えばインプリントリソグラフィーなど文脈が許す限り光学的なリソグラフィーに限られるものではない。インプリントリソグラフィーでは、パターニング用デバイスの局所的な凹凸（トポグラフィー）が  基板に生成されるパターンを決める。パターニング用デバイスのトポグラフィーが基板に塗布されているレジスト層に押し付けられ、電磁放射や熱、圧力、あるいはこれらの組み合わせによってレジストが硬化される。レジストが硬化されてから、パターニング用デバイスは、パターンが生成されたレジストから外部に移動される。
【００５８】
本明細書において「放射」及び「ビーム」という用語は、紫外（ＵＶ）放射（例えば４３６ｎｍ、３６５ｎｍ、３５５ｎｍ、２４８ｎｍ、１９３ｎｍ、１５７ｎｍ、または１２６ｎｍの波長を有する）、及び極紫外（ＥＵＶ）放射（例えば５〜２０ｎｍの範囲の波長を有する）、更にイオンビームや電子ビームなどの粒子ビームを含むあらゆる種類の電磁放射を示す。
【００５９】
「レンズ」という用語は、文脈が許す限り、１つまたは各種の光学要素の組み合わせを指し示すものであってもよい。ここでの光学要素は、例えば屈折、反射、磁気的、電磁気的、及び静電的光学要素のいずれかを含むものであってもよい。
【００６０】
本発明の他の実施例、使用態様、及び効果は、ここに開示される本発明に係る明細書及び技術常識に照らして当業者に明らかであろう。本明細書は一例を説明するためのものであると理解されるべきであり、発明の範囲は請求項によってのみ定められることを意図するものである。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の一実施形態に係る露光装置を示す図である。
【図２】両側でのアライメントのための光学系の２つの枝部が組み込まれている基板テーブルの断面を模式的に示す図である。
【図３】両側でのアライメントのための光学系の位置と方向を示す基板の平面図である。
【図４】両側でのアライメントのための光学系の位置と方向の代替例を示す平面図である。
【図５】一体化された光学要素を有する基板テーブルの一部分の断面図である。
【図６】基板の断面図を示し、本発明の一実施形態を模式的に示す図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るマイクロデバイスの積層の代表例を模式的に示す図である。
【図８】本発明の一実施形態に係るマイクロデバイスの積層の代表例を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００６２】
１０  光学系、  １２  ミラー、  １４  ミラー、  １６  レンズ、  １８  レンズ、  ２０  像、  ３０  レジスト層、  ３１  基板、  ３２  アライメントマーク、  ３３  接続エリア、  ３３ａ  接続用溝部、  ３４  パターン層、  ３５  接続用バンプ、  ３６  接続用バンプ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【外国語明細書】
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