(57)【要約】【課題】液晶の滴下量を良好に調整でき、不要な液晶の滴下を抑制して、所望の品質が得られる液晶装置の製造装置を提供する。【解決手段】製造装置は、一対の基板どうしの間の空間に液晶を供給可能な供給口を有するノズル部材と、供給口に供給流路を介して接続され、液晶を収容する収容槽と、収容槽の液晶の表面に接触し、収容槽内で移動することによって、供給口より液晶を押し出す移動部材とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板どうしの間の空間に満たされる液晶を有する液晶装置の製造装置において、
前記空間に前記液晶を供給可能な供給口を有するノズル部材と、
前記供給口に供給流路を介して接続され、前記液晶を収容する収容槽と、
前記収容槽の前記液晶の表面に接触し、前記収容槽内で移動することによって、前記供給口より前記液晶を押し出す移動部材と、を備えた製造装置。
【請求項２】
前記移動部材の移動量を制御することによって、前記供給口から押し出され、前記空間に供給される前記液晶の量を調整する制御装置を備えた請求項１記載の製造装置。
【請求項３】
前記供給口は、前記空間に接続する注入口を介して前記空間に前記液晶を供給する請求項１又は２記載の製造装置。
【請求項４】
前記供給流路に残留する前記液晶を回収する回収装置を備えた請求項１〜３のいずれか一項記載の製造装置。
【請求項５】
前記回収装置は、前記ノズル部材の外側で、前記供給口に接続可能な回収用空間を形成する回収槽と、
前記回収用空間の気体を吸引する吸引装置とを有する請求項４記載の製造装置。
【請求項６】
前記回収装置は、回収した液晶を前記収容槽に戻す請求項４又は５記載の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶装置の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置は、アレイ基板と対向基板との間の空間に満たされる液晶を有しており、アレイ基板と対向基板との間には、液晶の流出を防止するためのシール材が配置される。アレイ基板と対向基板との間の空間に液晶を供給するための手法の一つとして、下記特許文献１に開示されているような、シール材の一部に設けられた注入口近傍に真空雰囲気下で液晶を滴下し、その状態で真空雰囲気を解除することにより、注入口から空間に液晶を注入させる技術が知られている。
【特許文献１】特開平１１−３３７９５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
液晶を滴下することでアレイ基板と対向基板との間の空間に液晶を供給する場合、液晶を滴下する量（滴下量）を精度良く調整できることが好ましい。また、液晶装置を良好に製造するために、不要な液晶の滴下を抑制することが好ましい。
【０００４】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたもので、液晶の滴下量を良好に調整でき、不要な液晶の滴下を抑制して、所望の品質が得られる液晶装置の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するため、本発明は、一対の基板どうしの間の空間に満たされる液晶を有する液晶装置の製造装置において、前記空間に前記液晶を供給可能な供給口を有するノズル部材と、前記供給口に供給流路を介して接続され、前記液晶を収容する収容槽と、前記収容槽の前記液晶の表面に接触し、前記収容槽内で移動することによって、前記供給口より前記液晶を押し出す移動部材と、を備えた製造装置を提供する。
【０００６】
本発明によれば、液晶の滴下量を良好に調整でき、不要な液晶の滴下を抑制できる。
【０００７】
本発明の製造装置において、前記移動部材の移動量を制御することによって、前記供給口から押し出され、前記空間に供給される前記液晶の量を調整する制御装置を備えた構成を採用することができる。これにより、移動部材の移動量を制御することで、液晶の滴下量を良好に調整でき、不要な液晶の滴下を抑制できる。
【０００８】
本発明の製造装置において、前記供給口は、前記空間に接続する注入口を介して前記空間に前記液晶を供給する構成を採用することができる。これにより、注入口から空間に効率良く液晶を供給することができる。
【０００９】
本発明の製造装置において、前記供給流路に残留する前記液晶を回収する回収装置を備えた構成を採用することができる。これにより、供給流路に液晶が残留することを抑制することができる。
【００１０】
本発明の製造装置において、前記回収装置は、前記ノズル部材の外側で、前記供給口に接続可能な回収用空間を形成する回収槽と、前記回収用空間の気体を吸引する吸引装置とを有する構成を採用することができる。これにより、吸引装置で回収用空間の気体を吸引することで回収用空間を負圧にすることができ、その圧力作用によって、供給流路に残留する液晶を回収用空間に流出させて回収することができる。
【００１１】
本発明の製造装置において、前記回収装置は、回収した液晶を前記収容槽に戻す構成を採用することができる。これにより、回収した液晶を再利用することができ、材料の無駄を省くことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内における所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態に係る液晶装置６０の製造装置ＬＳを示す概略構成図、図２は、製造装置ＬＳの液晶注入装置１０を示す斜視図である。図１において、本実施形態に係る製造装置ＬＳは、一対の基板１、２どうしの間の空間３に液晶４を注入するための液晶注入装置１０と、液晶４を回収可能な回収装置２０と、製造装置ＬＳの動作を制御する制御装置３０とを備えている。
【００１４】
図１及び図２に示すように、液晶注入装置１０は、一対の基板１、２どうしの間の空間３に液晶４を供給可能な供給口５を有するノズル部材６と、供給口５に供給流路７を介して接続され、液晶４を収容する収容槽８と、収容槽８の液晶４の表面４Ａに接触可能であり、収容槽８内で移動することによって、供給口５より液晶４を押し出す移動部材９とを備えている。
【００１５】
本実施形態においては、図２に示すように、ノズル部材６は複数設けられている。供給口５は、ノズル部材６のそれぞれに１つずつ設けられている。本実施形態においては、一例として、ノズル部材６は３つ設けられているが、もちろん、任意の複数設けることができる。また、供給流路７及び収容槽８も、ノズル部材６に対応するように複数（３つ）設けられている。収容槽８のそれぞれは、収容部材８０の上面に形成されており、Ｘ軸方向に沿うように形成されている。また、収容槽８のそれぞれのその上部は開口している。また、本実施形態においては、収容槽８のＸＹ方向の形状は円形状である。
【００１６】
供給流路７は、収容部材８０の上面においてＹ軸方向に延びるように形成された溝７Ａと、収容部材８０及びノズル部材６をＺ軸方向に貫通する孔７Ｂとを含む。溝７Ａは、収容槽８の上部と孔７Ｂの上端とを接続するように形成されている。
【００１７】
移動部材９は、ＸＹ方向に関して円形状であり、収容槽８の内側に配置可能な大きさを有している。移動部材９は、収容槽８の上部の開口より、その収容槽８の内側に配置可能である。また、移動部材９の下面９Ａと、収容槽８に収容されている液晶４の表面（上面）４Ａとは接触可能である。
【００１８】
製造装置ＬＳは、移動部材９を少なくともＺ軸方向に移動する駆動装置１１を備えている。駆動装置１１の動作は制御装置３０に制御される。制御装置３０は、移動部材９の移動量（Ｚ軸方向の移動量）を制御することによって、供給口５から押し出され、空間３に供給される液晶４の量を調整可能である。
【００１９】
基板１、２は、基板保持装置１２に保持されている。基板保持装置１２は、不図示の駆動装置により、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６自由度の方向に移動可能である。また、収容部材８０も、不図示の駆動装置によって６自由度の方向に移動可能である。また、本実施形態においては、複数の収容槽８は、１つの収容部材８０に形成されているが、複数の収容槽８のそれぞれが別々の部材に形成されていてもよい。
【００２０】
また、図１に示すように、本実施形態の製造装置ＬＳは、供給流路７に残留する液晶４を回収する回収装置２０を備えている。回収装置２０は、ノズル部材６の外側で、供給口５に接続可能な回収用空間２１を形成する回収槽２２と、回収用空間２１の気体を吸引する真空ポンプ等を含む吸引装置２３とを有している。回収槽２２は、回収部材２４の上面に形成されている。また、回収装置２０は、回収した液晶４を収容槽８に戻す。
【００２１】
図３〜図５は、液晶装置６０の製造方法の一例を示す模式図である。液晶装置６０は、アレイ基板１と対向基板２とを有する。液晶装置６０を製造するに際し、まず、アレイ基板１を製造する工程と、対向基板２を製造する工程とが実行される。アレイ基板（ＴＦＴアレイ基板）１を製造する工程では、ガラス基板上に、画素電極、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、及び蓄積コンデンサ等を含む画素部分と、画素に電気信号等を供給する配線部分とが、例えばフォトリソグラフィ法、あるいはインクジェット法等の所定の手法を用いて形成される。アレイ基板１は、ガラス基板上に形成された種々の金属膜、絶縁膜、半導体層、及び不純物層等を含む。
【００２２】
対向基板（カラーフィルタ基板）２を製造する工程では、ガラス基板上に、ブラックマトリクス、着色パターン（カラーフィルタ）、保護膜、及び電極等が、例えばフォトリソグラフィ法、あるいはインクジェット法等の所定の手法を用いて形成される。
【００２３】
基板作成工程の後、洗浄工程が行われる。洗浄工程では、形成されたアレイ基板１と対向基板２とが洗浄される。洗浄工程では、ウエット洗浄処理及びドライ洗浄処理の少なくとも一方が実行される。ウエット洗浄処理は、例えば、洗浄液を用いて基板を洗浄する動作、純水等でリンスする動作、及び超音波等を用いて微粒子を除去する動作を含む。ドライ洗浄処理は、例えば基板に紫外光を照射する動作を含む。
【００２４】
洗浄工程が終了した後、基板上に残留している水分を除去するために、乾燥処理が実行される。乾燥処理は、例えばホットプレートを用いて基板を乾燥する動作、及び基板に遠赤外光等を照射してその基板を乾燥する動作等を含む。乾燥処理された後の基板は、温度調整（冷却）される。
【００２５】
次いで、アレイ基板１上に無機配向膜を形成する工程が実行される。本実施形態においては、製造装置ＬＳは、例えば特開平１１−１６０７１１号公報、特開２０００−４７２１１号公報等に開示されているような、斜方蒸着法によって、アレイ基板１の表面に無機配向膜を形成する。無機配向膜は、ＳｉＯ２、ＳｉＯ等の珪素酸化物、Ａｌ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＭｇＯ、及びＩＴＯ等の金属酸化物等を含む無機材料により形成される。同様に、対向基板２上にも無機配向膜を形成する工程が実行される。
【００２６】
なおここでは、製造装置ＬＳは、斜方蒸着法によって無機配向膜を形成しているが、例えばイオンビームスパッタ法、マグネトロンスパッタ法等のスパッタ法、蒸着法、ゾルゲル法、自己組織化法等の所定の手法を用いて無機配向膜を形成してもよい。
【００２７】
また、配向膜としては、無機配向膜に限られず、ポリイミド等の有機材料を含む配向膜であってもよい。
【００２８】
次いで、アレイ基板１上の無機配向膜の表面を処理する工程（表面処理工程）が実行される。無機配向膜の表面処理は、例えば特開平１１−１６０７１１号公報、特開２０００−４７２１１号公報等に開示されているような、その無機配向膜の表面に、アルコールを供給するアルコール処理を含む。また、無機配向膜の表面処理は、例えば特開２００６−３０６４６号公報等に開示されているような、フルオロアルコール、イソプロピルアルコール、オクタノール、ヘプタデカノール、ベンジルアルコール、エトキシシラン系材料、及びメトキシシラン系材料を供給する処理を含むものであってもよい。そして、これらアルコール類を用いて無機配向膜を表面処理することにより、無機配向膜を撥水性にすることができる。すなわち、上述のアルコールを含む撥水性有機材料により、無機配向膜の表面を撥水性にすることができる。
【００２９】
また、無機配向膜の表面処理は、シランカップリング剤を無機配向膜の表面に供給する処理を含むものであってもよい。
【００３０】
同様に、対向基板２上の無機配向膜の表面を処理する工程（表面処理工程）も実行される。
【００３１】
次に、表面処理された無機配向膜を有するアレイ基板１及び表面処理された無機配向膜を有する対向基板２を用いて、組み立て工程が実行される。
【００３２】
組み立て工程は、アレイ基板１と対向基板２との貼り合わせ工程、貼り合わせた基板どうしを所望の大きさに切断する工程等を含む。貼り合わせ工程は、貼り合わせた後のアレイ基板１と対向基板２とのギャップを規定するためのスペーサ部材６３を配置する工程と、アレイ基板１と対向基板２とのギャップからの液晶４の流出を防止するためのシール材６４を配置する工程とを含む。例えば、図３の模式図に示すように、アレイ基板１上及び対向基板２上の少なくとも一方に、スペーサ部材６３と、シール部材６４とが配置され、アレイ基板１と対向基板２とが貼り合わせられる。アレイ基板１と対向基板２とは、アレイ基板１の表面に形成された無機配向膜６１と、対向基板２の表面に形成された無機配向膜６２とが対向するように、貼り合わせられる。
【００３３】
そして、図４の模式図に示すように、注入口６５より、アレイ基板１と対向基板２との間の空間３に液晶４が注入される。液晶４の注入は、図１及び図２に示した液晶注入装置（液晶滴下装置）１０によって行われる。空間３に液晶４が注入された後、注入口６５が封止される。そして、図５の模式図に示すように、アレイ基板１の裏面に偏光板６６が設けられるとともに、対向基板２の裏面に偏光板６７が設けられる。
【００３４】
次に、図６を参照しながら、液晶注入装置１０を用いて、空間３に液晶４を供給する動作について説明する。液晶注入装置１０の供給口５は、空間３に接続する注入口６５を介して空間３に液晶４を供給する。
【００３５】
空間３に液晶４を供給する動作、すなわち移動部材９による液晶４の押し出し動作は、真空雰囲気下で行われる。液晶注入装置１０は、不図示のチャンバ装置内に収容されており、液晶注入装置１０を用いて空間３に液晶４を供給する動作を実行するとき、制御装置３０は、チャンバ装置内を真空にする。また、制御装置３０は、ノズル部材６（収容部材８０）及び基板保持装置１２の少なくとも一方を動かして、空間３に接続する注入口６５と、ノズル部材６の供給口５とを位置合わせする。
【００３６】
図６（Ａ）は、移動部材９による押し出し動作が実行される前の状態を示す模式図である。移動部材９が収容槽８に配置されていない状態では、液晶４は収容槽８に収容されており、供給流路７（溝７Ａ）には流入していない。したがって、図６（Ａ）の状態では、供給口５から液晶４は押し出されない。
【００３７】
図６（Ｂ）は、移動部材９の下面９Ａと収容槽８内の液晶４の表面４Ａとが接触するとともに、収容槽８内において、移動部材９が下方（−Ｚ方向）に所定量だけ移動した状態を示す図である。制御装置３０は、駆動装置１１を用いて、収容槽８内において、液晶４の表面４Ａに接触した移動部材９を−Ｚ方向に所定量だけ移動する。これにより、収容槽８内の液晶４は、収容槽８より供給流路７の溝７Ａに流出する。供給流路７の溝７Ａに流出した液晶４は、供給流路７の孔７Ｂを通過した後、供給口５からノズル部材６の外部に押し出される。供給口５からノズル部材６の外部に押し出された液晶４は、シール材６４の一部に設けられた注入口６５近傍に供給（滴下）される。制御装置３０は、供給口５から注入口６５近傍に液晶４を供給した状態で、チャンバ装置の真空雰囲気を解除し、ほぼ大気圧に戻す。これにより、空間３とその外側の空間との間に圧力差が生じ、注入口６５近傍に供給された液晶４は、その圧力差の作用によって、注入口６５を介して空間３に供給（流入）される。
【００３８】
ここで、真空雰囲気下において供給口５から注入口６５近傍に供給（滴下）される液晶４の量（滴下量）は、移動部材９の−Ｚ方向への移動量（押し込み量）に応じて定められる。すなわち、移動部材９の−Ｚ方向への移動量が小さいほど、真空雰囲気下において供給口５から注入口６５近傍に供給（滴下）される液晶４の量（滴下量）は少なくなり、図６（Ｃ）に示すように、移動部材９の−Ｚ方向への移動量が大きいほど、真空雰囲気下において供給口５から注入口６５近傍に供給（滴下）される液晶４の量（滴下量）は多くなる。
【００３９】
制御装置３０は、移動部材９の−Ｚ方向への移動量（あるいは基準位置に対する移動部材９のＺ軸方向の位置）と、供給口５から供給される（押し出される）液晶４の量との関係を予め記憶している。移動部材９の−Ｚ方向への移動量（あるいは基準位置に対する移動部材９のＺ軸方向の位置）と、供給口５から供給される（押し出される）液晶４の量との関係は、例えば実験又はシミュレーションにより予め求めることができ、制御装置３０に記憶することができる。
【００４０】
したがって、制御装置３０は、所望量の液晶４を供給口５から供給（滴下）するための移動部材９の移動量（Ｚ軸方向の位置）を、上述の記憶情報に基づいて定めることができる。制御装置３０は、その定めた移動量（Ｚ軸方向の位置）に基づいて、駆動装置１１を制御して、移動部材９を移動することで、供給口５から所望量の液晶４を注入口６５近傍に供給（滴下）することができる。注入口６５近傍に供給（滴下）された液晶４は、ほぼ全て、空間３に供給（流入）される。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態においては、移動部材９の移動量を調整することで、供給口５より所望量の液晶４を注入口６５近傍に供給することができる。そのため、例えば注入口６５近傍に液晶４が過剰に供給されてしまうことに起因する液晶材料の無駄を抑えることができる。また、空間３に供給される液晶４が不足し、製品不良が発生することを抑えることもでき、必要十分な液晶４を供給することができる。したがって、所望の品質を有する液晶装置６０を製造することができる。
【００４２】
次に、図７を参照して、回収装置２０の動作について説明する。回収装置２０は、供給流路７に残留する液晶４を回収することができる。供給流路７に残留する液晶４を回収するために、制御装置３０は、回収部材２４及び収容部材８０の少なくとも一方を移動し、回収槽２２によって形成される回収用空間２１の内側に、ノズル部材６を配置する。回収槽２２の上部は開口しており、ノズル部材６は、その開口を介して、回収槽２２の内側の回収用空間２１に配置可能である。
【００４３】
制御装置３０は、回収槽２２の上面に配置されたＯリングなどのシール部材２６と、収容部材８０の下面とを接触させ、回収槽２２と収容部材８０とで形成される空間（回収用空間２１）を密閉する。ノズル部材６に形成された供給口５は、回収用空間２１の内側に配置される。
【００４４】
そして、制御装置３０は、回収用空間２１を密閉した状態で、真空ポンプを含む吸引装置２３を駆動する。吸引装置２３と回収用空間２１とは流路２５を介して接続されており、吸引装置２３は、その流路２５を介して回収用空間２１の気体を吸引可能である。吸引装置２３は、回収用空間２１の気体を吸引することによって、その回収用空間２１の圧力を低下させる（負圧にする）。供給口５に接続する供給流路７に残留している液晶４は、回収用空間２１が負圧にされたことにより、その圧力作用によって、回収用空間２１に流出する。これにより、供給流路７に残留していた液晶４は、回収装置２０によって回収される。回収された液晶４は、回収槽２２に溜まる。
【００４５】
回収装置２０は、回収した液晶４を収容槽８に戻す。図７に示すように、回収槽２２には、その回収槽２２と収容槽８とを接続する流路２７が形成されており、制御装置３０は、回収槽２２の液晶４を、流路２７を介して収容槽８に送ることができる。流路２７の途中には、不図示のポンプ及びバルブ機構２８等が設けられており、制御装置３０は、それらポンプ及びバルブ機構２８を制御することによって、回収槽２２から収容槽８への液晶４の供給及び供給停止を制御することができる。回収槽２２から収容槽８へ供給された（戻された）液晶４は、再利用される。
【００４６】
このように、回収装置２０を設けたことにより、液晶４の無駄を省き、材料を有効に利用することができる。
【００４７】
図８は、本実施形態に係る製造方法を用いて製造された液晶装置を備えたプロジェクタを示す図である。図８に示すプロジェクタＰＪは、上述の実施形態に係る液晶装置６０を光変調手段として備えたものである。
【００４８】
図８において、プロジェクタＰＪは、光源８１０と、ダイクロイックミラー８１３、８１４と、反射ミラー８１５、８１６、８１７と、入射レンズ８１８と、リレーレンズ８１９と、射出レンズ８２０と、液晶装置６０からなる光変調手段８２２、８２３、８２４と、クロスダイクロイックプリズム８２５と、投射レンズ８２６とを備えている。光源８１０は、メタルハライド等のランプ８１１とランプの光を反射するリフレクタ８１２とを含む。
【００４９】
ダイクロイックミラー８１３は、光源８１０からの白色光に含まれる赤色光を透過させるとともに、青色光と緑色光とを反射する。透過した赤色光は反射ミラー８１７で反射して、赤色光用光変調手段８２２に入射される。また、ダイクロイックミラー８１３で反射した緑色光は、ダイクロイックミラー８１４によって反射し、緑色光用光変調手段８２３に入射する。さらに、ダイクロイックミラー８１３で反射した青色光は、ダイクロイックミラー８１４を透過する。青色光に対しては、長い光路による光損失を防ぐため、入射レンズ８１８、リレーレンズ８１９および射出レンズ８２０を含むリレーレンズ系からなる導光手段８２１が設けられている。この導光手段８２１を介して、青色光が青色光用光変調手段８２４に入射される。
【００５０】
各光変調手段８２２、８２３、８２４により変調された３つの色光は、クロスダイクロイックプリズム８２５に入射する。このクロスダイクロイックプリズム８２５は４つの直角プリズムを貼り合わせたものであり、その界面には赤光を反射する誘電体多層膜と青光を反射する誘電体多層膜とがＸ字状に形成されている。これらの誘電体多層膜により３つの色光が合成されて、カラー画像を表す光が形成される。合成された光は、投射レンズ８２６によってスクリーン８２７上に投影され、スクリーン８２７上に画像を形成する。
【００５１】
このような構成を有するプロジェクタＰＪは、上述の液晶装置６０を光変調手段として備えている。この液晶装置６０は、空間３に所望状態で満たされた液晶４を備えており、耐光性および耐熱性に優れた無機配向膜６１、６２を備えているので、画像を良好に形成することができ、光源８１０から照射される強い光や熱による劣化を抑制することができる。
【００５２】
なお、本発明の技術的範囲は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、上述の実施形態に種々の変更を加えたものを含む。例えば、上述の実施形態においては、スイッチング素子としてＴＦＴを備えた液晶装置を例にして説明したが、スイッチング素子として薄膜ダイオード（Thin Film Diode）等の二端子型素子を備えた液晶装置に本発明を適用することも可能である。また、液晶装置としては、透過型液晶装置であってもよいし、反射型液晶装置であってもよい。
【００５３】
また、液晶装置としては、ＴＮ（Twisted Nematic）モードで機能する液晶装置であってもよいし、ＶＡ（Vertical Alignment）モードで機能する液晶装置であってもよい。
【００５４】
また、上述の実施形態では、３板式の投射型表示装置（プロジェクタ）を例にして説明したが、単板式の投射型表示装置や直視型表示装置に本発明を適用することも可能である。
【００５５】
また、上述の液晶装置６０を、プロジェクタ以外の電子機器に適用することも可能である。その具体例として、携帯電話を挙げることができる。この携帯電話は、上述の実施形態、またはその変形例に係る液晶装置を表示部に備えたものである。また、その他の電子機器としては、例えばＩＣカード、ビデオカメラ、パーソナルコンピュータ、ヘッドマウントディスプレイ、さらに表示機能付きファックス装置、デジタルカメラのファインダ、携帯型ＴＶ、ＤＳＰ装置、ＰＤＡ、電子手帳、電光掲示盤、宣伝公告用ディスプレイ等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本実施形態に係る液晶装置の製造装置を示す概略構成図である。
【図２】本実施形態に係る製造装置の液晶注入装置を示す斜視図である。
【図３】本実施形態に係る液晶装置の製造方法を説明するための模式図である。
【図４】本実施形態に係る液晶装置の製造方法を説明するための模式図である。
【図５】本実施形態に係る液晶装置の製造方法を説明するための模式図である。
【図６】本実施形態に係る液晶装置の製造方法を説明するための模式図である。
【図７】本実施形態に係る液晶装置の製造方法を説明するための模式図である。
【図８】プロジェクタの要部を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００５７】
１…アレイ基板、２…対向基板、３…空間、４…液晶、４Ａ…表面、５…供給口、６…ノズル部材、７…供給流路、８…収容槽、９…移動部材、１０…液晶注入装置、１１…駆動装置、２０…回収装置、２１…回収用空間、３０…制御装置、６０…液晶装置、６５…注入口、ＬＳ…製造装置
【図１】
2007279497.tif 000003
【図２】
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【図３】
2007279497.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007279497.tif 000007
【図６】
2007279497.tif 000008
【図７】
2007279497.tif 000009
【図８】
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