(57)【要約】【課題】通常の搬送系と独立した監視データを収集するシステムを構成し、各種の計測データを記録する際に、計測データと発生場所を制御に使用している搬送の指示や搬送車の位置を追跡するためのトラッキングデータと関連付けて記録し、既に稼動しているシステムに監視システムを追加する際に、制御系のハードウエア、ソフトウエアを変更することなく、監視システムを実現することができる無人搬送車の稼動状況監視システムを提供すること。【解決手段】搬送車統括制御装置５と無人搬送車２ａ、２ｂ、・・・、２ｈが無線を介して搬送の指示を行う無人搬送車の稼動状況監視システムにおいて、無人搬送車２ａ、２ｂ、・・・、２ｈの動作状況を記録する監視システムを設置する無人搬送車と搬送車統括制御装置５の間の無線を傍受し、監視した信号と無人搬送車２ａ、２ｂ、・・・、２ｈの動作状況を関連づけて記録するようにする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送車統括制御装置と無人搬送車が無線を介して搬送の指示を行う無人搬送車の稼動状況監視システムにおいて、無人搬送車の動作状況を記録する監視システムを設置する無人搬送車と搬送車統括制御装置の間の無線を傍受し、監視した信号と無人搬送車の動作状況を関連づけて記録するようにしたことを特徴とする無人搬送車の稼動状況監視システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送車統括制御装置とクリーンルーム内で稼動する無人搬送車が無線を介して搬送の指示を行うようにした無人搬送車の稼動状況監視システムに関し、特に、監視システムを設置する無人搬送車と搬送車統括制御装置の間の無線を傍受し、監視した信号と無人搬送車の動作状況を関連づけて記録するようにした無人搬送車の稼動状況監視システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造あるいは液晶パネル製造工場等のクリーンルーム内で稼動する搬送装置は、無人運転の自動運転を２４時間、連続稼動している。
ところで、このような搬送装置において、無人搬送車の稼動が何らかのトラブルで停止した場合、製造ラインヘのワーク供給が停止し、製造も停止するものとなり、計画生産に大きな支障をもたらすものとなる。
【０００３】
したがって、このようなシステムの停止を未然に防ぐためには、予防保全が欠かせないものとなっており、しかも保全データを採取するために搬送装置を停止することはできず、通常の搬送と並行して稼動状況データや保全データの採取をすることが望まれる。
【０００４】
ところで、従来、システムにトラブルが発生した場合、トラブル発生後のダウンタイムの短縮を図ることが重要であるため、システムの復旧を支援し、速やかにシステムを復旧する手段が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、システムにトラブルが発生した後、ダウンタイムの短縮は可能であってもシステムダウンを未然に防ぐことはできず、製造ラインヘのワーク供給停止、製造停止を完全に防ぐことはできないという問題があった。
【特許文献１】特開２００２−０４１１４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、無人搬送車の稼動監視システムの有する問題点に鑑み、通常の搬送系と独立した監視データを収集するシステムを構成し、各種の計測データを記録する際に、計測データと発生場所を制御に使用している搬送の指示や搬送車の位置を追跡するためのトラッキングデータと関連づけて記録し、既に稼動しているシステムに監視システムを追加する際に、制御系のハードウエア、ソフトウエアを変更することなく、監視システムを実現することができる無人搬送車の稼動状況監視システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の無人搬送車の稼動状況監視システムは、搬送車統括制御装置と無人搬送車が無線を介して搬送の指示を行う無人搬送車の稼動状況監視システムにおいて、無人搬送車の動作状況を記録する監視システムを設置する無人搬送車と搬送車統括制御装置の間の無線を傍受し、監視した信号と無人搬送車の動作状況を関連づけて記録するようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の無人搬送車の稼動状況監視システムによれば、搬送車統括制御装置と搬送車が無線を介して搬送の指示を行う無人搬送車の稼動状況監視システムにおいて、無人搬送車の動作状況を記録する監視システムを設置する無人搬送車と搬送車統括制御装置の間の無線を傍受し、監視した信号と無人搬送車の動作状況を関連づけて記録するようにすることにより、システムにおけるトラブルの発生を未然に防ぐことができるので、システムの停止を防止でき、さらには既に稼動している搬送車制御装置と搬送車統括制御装置の双方のソフトウエアを変更することなく、監視機能を簡易に付加することができるので、既設のシステムに対しても適用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の無人搬送車の稼動状況監視システムの実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１〜図５に、本発明の無人搬送車の稼動状況監視システムの一実施例を示す。
図１に、本発明のシステム全体の構成を示す。
特に限定されるものではないが、例えば、半導体製造、液晶パネル製造工場等のクリーンルーム内において、カセットの保管と工程内へのカセットの供給を行う自動倉庫と工程内搬送装置の両方の機能を具備した複数台数のカセットストッカ１ａ、１ｂ、・・・、１ｊ（図示の実施例では１０カ所であるがこれは限定されない。）を、無人搬送車が搬送する工程に沿って配置する。そして、このカセットストッカ１ａ、１ｂ、・・・、１ｊの工程間搬送を行うために軌道３上に複数台数の無人搬送車２ａ、２ｂ．．．２ｈ（図示の実施例では８台であるがこの数は限定されない。）を配置するが、この各無人搬送車２ａ、２ｂ、・・・、２ｈは、カセットストッカ１ａ、１ｂ、・・・、１ｊ間の工程を接続するようにして敷設した軌道３の上を同一方向に周回するように走行させ、これにより工程間のカセットの搬送を行うようにする。
【００１１】
この無人搬送車２ａ、２ｂ、・・・、２ｈの走行する軌道３の長さは、大規模なクリーンルームでは数１００メートルになるが、この軌道上のどの位置にあっても無人搬送車２ａ、２ｂ、・・・、２ｈに無線通信で指示を与えられよう、軌道３の近傍で、所要の間隔をあけて複数の地上側の無線機４ａ、４ｂ、４ｃ（図示の実施例では３カ所）を配置し、この地上側の無線機４ａ、４ｂ、４ｃに搬送車統括制御装置５と電気的に接続し、これにより、複数の無人搬送車２ａ、２ｂ、・・・、２ｈを、それぞれ個別的に搬送車統括制御装置５により無線を介して制御するようにする。
なお、この複数台の地上側の無線機４ａ、４ｂ、４ｃと搬送車統括制御装置５とにより地上システム１６を構成する。
【００１２】
次に、１台の無人搬送車２ａと地上システム１６の構成を図２に示す。
無人搬送車２ａには、該無人搬送車の制御に必要な制御装置１４と、無人搬送車の状態の監視や保全データの取得を行う監視装置１５とを設置し、この制御装置１４で、搬送車統括制御装置５により無線機４ａ、４ｂ、４ｃを介して指示を受信し、カセット搬送を行うようにする。
なお、他の無人搬送車２ｂ、・・・、２ｈも無人搬送車２ａと同様に構成する。
【００１３】
この制御装置１４は、図２に示すように、無人搬送車の制御装置６に接続した無線機９及び無線機のアンテナ１０と、走行モータ８及び該走行モータ８に指令を与えて駆動するためのモータ制御装置７とより構成する。
また、監視装置１５は、記録装置１１に接続する無線機１２と、該無線機１２のアンテナ１３にて構成する。
【００１４】
無人搬送車の制御装置６には、無人搬送車の走行地位を検出する番地センサ、前方を走行する無人搬送車との車間距離を計測する車間距離計測センサ、停止時に所定の場所に位置決めをするための停止位置検出センサ等のセンサ類を入力し、モータ制御装置７に指令を与え、走行モータ８を駆動するようにするとともに、無人搬送車への指示や状態の報告は無線機９を介して行う。なお、この無線機のアンテナ１０は無人搬送車の車体に取り付けるものとする。
【００１５】
なお、通常の動作に必要な制御装置１４とは別に、無人搬送車の状態の監視や保全データの取得のために監視装置１５を無人搬送車に設置するが、この監視装置１５の記録装置１１には、電源電圧、消費電力、走行速度、モータトルク、温度センサ、荷重センサ、振動加速度センサ、走行軌道のレール段差計測センサ等の情報を入力し記録するようにする。これらのセンサ類は通常の制御系とは独立して一時的に設置するため、監視装置で搬送車がどのような指示を受けているか、あるいはどの場所を走行しているのかを推定するのは困難である。
【００１６】
これらの情報を制御装置６と通信し、制御情報を監視装置に伝送することは可能であるが、本実施例では、制御装置６と記録装置１１の間の通信を行わず、無線機１２とアンテナ１３を監視装置１５に設けて行う構成とする。
なお、記録装置１１に接続する無線機１２は受信専用とし、制御装置の無線機９、搬送車統括制御装置５の間で交わされる無線通信を傍受し、無人搬送車の作業内容、無人搬送車の位置等を記録装置１１にセンサ類の信号記録と並行して記録するようにする。
【００１７】
次に、本発明の無人搬送車の稼動状況監視システムの作用について説明する。
制御装置の無線機９と搬送車統括制御装置５の間で交わされる無線通信の内容を図３に示す。
搬送車制御装置は搬送車統括制御装置５からの搬送指示を受信する。この搬送指示を受信した無人搬送車は周回を中止し、搬送指示で指示されたステーションに行き先を変更する。無人搬送車は軌道上の所定の番地を通過したとき、搬送車位置報告で通過した番地を搬送車統括制御装置５に報告する。
【００１８】
無人搬送車が指示された番地に到着後、カセットを無人搬送車に積載完了した時点で積載報告を行い、カセットを卸す目的の番地に向かって走行を開始する。走行中は所定の番地を通過したとき、搬送車位置報告で通過した番地を搬送車統括制御装置に報告するのは周回中、カセットの積載位置への移動中、カセットの卸位置への移動中にかかわらず同様の報告を行う。
カセット卸位置へ到着後、目的のステーションでカセットを卸した作業の結果を搬送車統括制御装置５に報告する。
【００１９】
その後、次の作業があれば搬送車統括制御装置５はその作業を指示し、当該無人搬送車に割り当てる作業がない場合には周回を指示する。
監視装置での無人搬送車の位置の把握は、監視装置が設置されている当該無人搬送車の位置報告の無線を傍受することで認識できるのは所定の番地を通過したときの離散的な場所の把握になる。
【００２０】
一方、監視装置ではモータ制御装置７のモータ回転数信号、あるいは搬送車の車輪に設置したロータリーエンコーダ等の手段により無人搬送車の走行速度信号を入力し、記録する。速度信号を積分して位置信号を得ることができ、図４に示すように走行速度が変化した場合、速度Ｖを時間で積分することで位置Ｐを得る。積分は積分を開始する位置からの相対位置になる。
搬送車統括制御装置５は制御のため番地と軌道上の位置の対応関係を示すデータを保持している。この同じデータを記録装置にも持つ。
【００２１】
図５に示すように、位置報告の無線傍受により得られた位置、例えば、走行番地Ａを通過した位置報告を受信したとき、速度を積分している位置Ｐの値を、走行番地Ａに対応した位置に更新する。離散的に速度を時間で積分している位置Ｐの値は、速度誤差あるいは積分誤差のより位置の認識に誤差が生じても、所定番地を通過するごとに、その番地に対応した位置に値が更新されるため、通過報告を行う番地の間だけ積分の誤差となり、累積誤差にはならない。
【００２２】
これにより、監視装置で記録している信号に異変が見つかった場合、その場所を軌道上の任意の場所で把握でき、なおかつ、周回中、積載場所への移動中など作業状態の把握、搬送指示を受け取っている場合には搬送するカセットの名称等もセンサ類の信号と並行して記録し、稼動実績の解析、異常や異変を生じた状況の解析に利用することができる。
監視装置のセンサ類は、制御装置と信号を共有する、あるいは独立したセンサ類を設置することを選択し、そのシステムの運用に適した方法を適宜選択する。
【００２３】
監視装置を制御装置と独立して設置する方法は、既設の既に稼動している搬送装置に対し、既に稼動している搬送車制御装置と搬送車統括制御装置の双方のソフトウエアを変更することなく、監視機能を付加することができるが、新設のシステムに対しても適用することもできる。
【００２４】
この場合、監視装置と制御装置が直接に通信を行い、監視装置の受信専用になっている無線を省略する構成にすることも可能である。この場合、既納システムとの互換性を維持することができなくなる反面、通信による時間遅れによる積分誤差の低減、監視装置の無線機のコスト低減を図ることができる。
【００２５】
以上、本発明の無人搬送車の稼動状況監視システムについて、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明の無人搬送車の稼動状況監視システムは、無人搬送車の動作状況を記録する監視システムを設置する無人搬送車と搬送車統括制御装置の間の無線を傍受し、監視した信号と無人搬送車の動作状況を関連づけて記録するという特性を有していることから、半導体工場、液晶工場等のクリーンルーム内の搬送装置の用途に好適に用いることができるほか、例えば、自動倉庫内の無人搬送の用途にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の無人搬送車の稼動状況監視システムの一実施例を示すシステム全体構成の説明図である。
【図２】無人搬送車と地上システムとの構成を示す説明図である。
【図３】制御装置の無線機と搬送車統括制御装置との間で交わされる無線通信の内容を示す説明図である。
【図４】無人搬送車の走行速度と位置との関係を示す説明図で、（Ａ）は走行速度変化を示すグラフ、（Ｂ）は速度を時間で積分することで得る位置を示すグラフである。
【図５】積分の位置補正を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【００２８】
１ａ、１ｂ、・・・、１ｊ  カセットストッカ
２ａ、２ｂ、・・・、２ｈ  無人搬送車
３    軌道
４ａ、４ｂ、４ｃ  地上側の無線機
５    搬送車統括制御装置
６    制御装置
７    モータ制御装置
８    走行モータ
９    制御装置の無線機
１０  アンテナ
１１  記録装置
１２  無線機
１３  アンテナ
１４  制御装置
１５  監視装置
１６  地上システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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