(57)【要約】      （修正有）【課題】異なる幅の基板に対応できるうえに、計測位置に設定された基板の振動を抑止し、計測時に基板に生じる振動を効果的に抑えて正しい計測結果を得る。【解決手段】基板Ｐの幅に応じて任意に間隔を設定できる一対のベルトコンベア２，２と、ベルトコンベア２，２によって搬送されるプリント基板Ｐの表面を計測するために計測位置でこの基板Ｐの対向する一対の端縁１０，１０を保持するクランプ手段とを備える基板搬送装置１において、計測時に計測位置に設定されたプリント基板Ｐの裏面に当接してこの基板Ｐの振動を抑止する振動抑止手段と、この振動抑止手段を備え、計測位置に設定されたプリント基板Ｐの下方に設けられるとともに、一対のベルトコンベア２，２の間隔変更に連動することにより一対のベルトコンベア２，２の間の所定位置に振動抑止手段を設定するリンク機構２５とを具備する。【選択図】図１
2007180184.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板（Ｐ）の幅に応じて任意に間隔を設定できる一対の搬送手段（２，２）と、前記搬送手段によって搬送される前記基板の表面を計測するために計測位置で前記基板の対向する一対の端縁（１０，１０）を保持するクランプ手段（１１）とを備える基板搬送装置（１）において、
計測時に前記計測位置に設定された前記基板の裏面に当接して該基板の振動を抑止する振動抑止手段（２１，３１，４１）と、
前記振動抑止手段を備え、前記計測位置に設定された前記基板の下方に設けられるとともに、前記一対の搬送手段の間隔変更に連動することにより前記一対の搬送手段の間の所定位置に前記振動抑止手段を設定する相対位置保持手段（２５，３５，５１）と、
を具備することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記振動抑止手段（３１）が複数設けられることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記振動抑止手段（２１）が設けられる前記所定位置は、前記一対の搬送手段（２，２）の間の中間位置であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記振動抑止手段（２１）は、前記基板（Ｐ）の裏面に当接して前記基板に上向きの力を加えることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記振動抑止手段（２１）は、前記基板（Ｐ）の裏面に当接して前記基板に上向きの力を加えることにより、前記基板が上方に略凸状に変形することを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記クランプ手段（１１）と前記相対位置保持手段（２５，３５）とを連動して上方に移動させるための駆動手段（１４）を備え、
前記クランプ手段が上方に移動することで、前記基板（Ｐ）の前記一対の端縁（１０，１０）を固定し、
前記相対位置保持手段が上方に移動することで、前記クランプ手段によって固定された前記基板の裏面に前記振動抑止手段（２１，３１）が当接することを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記クランプ手段（１１）を上方に移動させるための第１の駆動手段（４７）と、
前記第１の駆動手段の駆動に関連して前記振動抑止手段（４１）を上方に移動させるための第２の駆動手段（４８）とを備え、
前記クランプ手段が上方に移動することで、前記基板（Ｐ）の前記一対の端縁（１０，１０）を固定し、
前記振動抑止手段が上方に移動することで、前記クランプ手段によって固定された前記基板の裏面に当接することを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の幅に応じて任意に間隔を設定できる一対の搬送手段を有した基板搬送装置に係り、特に、基板表面の計測を行うために基板を計測位置に位置決めする基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、プリント基板製造ラインには、製造ライン上の所定位置で基板表面の計測を行う計測工程を設けている。ここでは、光センサなどを用いて基板の表面側を計測し、半田印刷の状態（欠損の有無、半田の高さなど）を検査する。
【０００３】
上述したようなプリント基板製造ラインなどでは、基板の幅に応じて間隔を任意に設定できる一対の搬送手段を有した基板搬送装置が採用されている。
【０００４】
例えば、下記特許文献１に開示される印刷半田検査装置では、図１２，１３に示すような搬送手段１０２が配設されている。この搬送手段１０２は、図１３中Ｙ軸方向に所定幅を有して配置された一対のレール１０３（１０３ａ，１０３ｂ）及びベルト１０４（１０４ａ，１０４ｂ）を有している。一対のレール１０３（１０３ａ，１０３ｂ）のうち一方は固定レール１０３ａである。ベルト１０４ａは固定レール１０３ａを移動する無端状に形成されている。また、他方は前記固定レール１０３ａと平行な可動レール１０３ｂであり、固定レール１０３ａと同様に無端ベルト１０４ｂを有している。各ベルト１０４ａ，１０４ｂはそれぞれ両端が回転軸１０５で軸支され、モータ１０６の回転によってプリント基板ＰをＸ軸方向に搬送する。
【０００５】
固定レール１０３ａ及び可動レール１０３ｂは、Ｙ軸方向に延びる複数の支軸、ボールネジ及びモータからなるＹ軸移動手段１０８によってＹ軸方向に移動自在なＹ軸テーブル１０７上に設けられている。さらに、Ｙ軸テーブル１０７上には、支軸、ボールネジ及びモータからなるＷ軸移動手段１１０が設けられ、可動レール１０３ｂをＷ軸方向に移動自在に支持している。これにより、可動レール１０３ｂは固定レール１０３ａに対してＹ軸方向に移動し、互いの間隔が可変自在となり、搬送するプリント基板Ｐの幅に対応することができる。
【０００６】
さらに、この印刷半田検査装置１０１は、Ｙ軸テーブル１０７の上方位置にプリント基板Ｐを検査する検査手段１１２を有している。この検査手段１１２のセンサヘッド１２０にはレーザ変位計が用いられ、プリント基板Ｐ表面の半田の突起（高さ方向Ｚの変位量）を検出する。また、センサヘッド１２０は、プリント基板Ｐ上をＸ軸、Ｙ軸方向に移動走査する。
【０００７】
なお、検査位置に停止したプリント基板Ｐは、図示しない矯正機構によって両端部を長手方向に渡って挟持されている。
【特許文献１】特開２００２−２６５１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した上記特許文献１における搬送手段１０２では、検査位置でプリント基板Ｐの両端部を挟持する矯正機構を設けたことにより基板Ｐの振動を抑止することも可能となるが、プリント基板Ｐ上をセンサヘッド１２０が走査移動することで生じる基板Ｐの振動を抑えることはできなかった。このため、計測結果にノイズが乗ってしまい、正しい計測が行えないという問題があった。
【０００９】
そこで本発明は、上記状況に鑑みてなされたもので、基板の幅に応じて一対の搬送手段の間隔を設定できるうえに計測位置に設定された基板の振動を抑止することが可能となり、特に、基板上をセンサヘッドが走査移動することで生じる基板の振動を効果的に抑えて正しい計測結果が得られる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
次に、上記の課題を解決するための手段を、実施の形態に対応する図面を参照して説明する。
本発明の請求項１記載の基板搬送装置１は、基板Ｐの幅に応じて任意に間隔を設定できる一対の搬送手段２，２と、前記搬送手段２，２によって搬送される前記基板Ｐの表面を計測するために計測位置で前記基板Ｐの対向する一対の端縁１０，１０を保持するクランプ手段１１とを備える基板搬送装置１において、
計測時に前記計測位置に設定された前記基板Ｐの裏面に当接して該基板Ｐの振動を抑止する振動抑止手段２１（３１，４１）と、
前記振動抑止手段２１（３１，４１）を備え、前記計測位置に設定された前記基板Ｐの下方に設けられるとともに、前記一対の搬送手段２，２の間隔変更に連動することにより前記一対の搬送手段２，２の間の所定位置に前記振動抑止手段２１（３１，４１）を設定する相対位置保持手段２５（３５，５１）と、
を具備することを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の基板搬送装置１は、前記振動抑止手段３１が複数設けられることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の基板搬送装置１は、前記振動抑止手段２１が設けられる前記所定位置は、前記一対の搬送手段２，２の間の中間位置であることを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載の基板搬送装置１は、前記振動抑止手段２１は、前記基板Ｐの裏面に当接して前記基板Ｐに上向きの力を加えることを特徴とする。
【００１４】
請求項５記載の基板搬送装置１は、前記振動抑止手段２１は、前記基板Ｐの裏面に当接して前記基板Ｐに上向きの力を加えることにより、前記基板Ｐが上方に略凸状に変形することを特徴とする。
【００１５】
請求項６記載の基板搬送装置１は、前記クランプ手段１１と前記相対位置保持手段２５（３５）とを連動して上方に移動させるための駆動手段１４を備え、
前記クランプ手段１１が上方に移動することで、前記基板Ｐの前記一対の端縁１０，１０を固定し、
前記相対位置保持手段２５（３５）が上方に移動することで、前記クランプ手段１１によって固定された前記基板Ｐの裏面に前記振動抑止手段２１（３１）が当接することを特徴とする。
【００１６】
請求項７記載の基板搬送装置１は、前記クランプ手段１１を上方に移動させるための第１の駆動手段４７と、
前記第１の駆動手段４７の駆動に関連して前記振動抑止手段４１を上方に移動させるための第２の駆動手段４８とを備え、
前記クランプ手段１１が上方に移動することで、前記基板Ｐの前記一対の端縁１０，１０を固定し、
前記振動抑止手段４１が上方に移動することで、前記クランプ手段１１によって固定された前記基板Ｐの裏面に当接することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明による請求項１記載の基板搬送装置によれば、計測位置に設定された基板の一対の端縁をクランプ手段で固定し、且つ振動抑止手段が基板の裏面に当接することにより、基板は一対の端縁とその間の所定位置との少なくとも３箇所で保持される。これにより、基板の振動を確実に抑止できるようになる。特に、計測手段のセンサヘッドなどが基板上を走査移動することで生じる基板の振動を効果的に抑えることが可能となり、計測結果にノイズが乗ることを防止できる。
【００１８】
また、振動抑止手段が一対の搬送手段の間隔変更に連動して所定位置に設定可能に構成されたことにより、基板の幅に応じて一対の搬送手段の間隔が変更されても、一対の搬送手段の幅方向における振動抑止手段の相対的な位置は常に一定に維持される。つまり、異なる幅の基板に対しても、基板の幅方向における相対的に同一の位置に常に振動抑止手段を当接させることができる。この場合、例えば、基板の幅方向において常に幅サイズの半分の位置で当接するように構成することもできるし、基板の幅方向において一方の端縁から幅サイズの１／３の位置で当接するように構成することもできる。このような当接位置の選択は、基板の振動特性などに応じて任意に定めることができる。
【００１９】
さらに、請求項２記載の基板搬送装置によれば、基板が３箇所以上で保持され、基板の振動を更に確実に抑止することが可能となる。
【００２０】
また、請求項３記載の基板搬送装置によれば、基板上をセンサヘッドが走査移動することにより生じる基板の振動を最も効果的に抑えることが可能となる。
【００２１】
さらに、請求項４記載の基板搬送装置によれば、計測位置に設定されるとともに両端縁が固定された基板に上向きの力を加えることで基板は固定されて振動しない。この結果、基板の振動を確実に抑止することが可能となる。
【００２２】
また、請求項５記載の基板搬送装置によれば、計測位置に設定されるとともに両端縁が固定された基板に上向きの力を加えて上方に略凸状になるまで湾曲させることで更に基板は振動しない。この結果、上記請求項４による効果よりも更に確実に基板の振動を抑えることが可能となる。
【００２３】
さらに、請求項６記載の基板搬送装置によれば、クランプ手段と相対位置保持手段（及び振動抑止手段）の移動方向が共通な上昇方向となり、両者の駆動源（駆動手段）を同一として構成することが可能となる。
【００２４】
また、請求項７記載の基板搬送装置によれば、クランプ手段の駆動源（第１の駆動手段）と振動抑止手段の駆動源（第２の駆動手段）とを別々に設けたことで各駆動手段ごとに駆動速度や駆動量などを適宜調節することが可能となり、基板の特性に適合したクランプ手段及び振動抑止手段による各押圧力を容易に得ることができるようになる。具体的には、例えば、衝撃に弱い電子部品が基板裏面に半田付けされている場合などには、第２の駆動手段を低速でゆっくり駆動させることができる。逆に、電子部品が半田付けされていない場合などには、第２の駆動手段を高速で駆動させて検査工程のタクトタイムを短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明による基板搬送装置を各実施の形態ごとに図面を参照して具体的に説明する。
【００２６】
まず、第１の実施の形態について説明する。
図１は本発明による基板搬送装置の第１の実施の形態を示す平面図、図２は図１におけるＡ−Ａ矢視図、図３は同実施の形態を構成する一対の搬送手段の動作を示す平面図、図４（ａ）は同実施の形態を構成するクランプ手段と振動抑止手段が基板を固定した状態を示す正面図、図４（ｂ）は図４（ａ）における一点鎖線部分の拡大図である。
【００２７】
この第１の実施の形態の基板搬送装置は、図１，２に示すように、一対の搬送手段２，２と、クランプ手段１１と、振動抑止手段２１と、相対位置保持手段２５とで略構成されている。
【００２８】
図１に示すように、一対の搬送手段２，２は幅方向Ｗに対向して配置されている。本例では、搬送手段としてベルトコンベア２が採用され、搬送ベルト３にはウレタンゴムなどのエラストマーを素材とした無端状のものが用いられている。また、この無端ベルト３の下面中央には突起部３ａが設けられている（図４（ｂ）参照）。なお、図示しないが、この突起部３ａは、無端ベルト３の長手方向に沿って等間隔に並んで設けられている。
【００２９】
ベルトコンベア２は、搬送方向Ｘに延びて形成されたフレーム４の長手方向の両端部に設けられた図示しないプーリ間に無端ベルト３が掛け回されて略構成されている。また、フレーム４の両端部のいずれか一方には、プーリを駆動するための駆動モータ５が設けられている。駆動モータ５には図示しない駆動プーリが連結されている。そして、駆動モータ５が駆動プーリを駆動し、フレーム４の一端部のプーリが連動駆動して無端ベルト３を搬送方向Ｘに走行させる。図２に示すように、一対のベルトコンベア２，２の向かい合う側面である内方側面６，６にはそれぞれガイドレール７，７が設けられ、無端ベルト３の走行をガイドしている。さらに、ガイドレール７の上部には略鉤状の上部ガイド８が設けられている。
【００３０】
一対のベルトコンベア２，２の幅方向Ｗの間隔は、異なる幅サイズのプリント基板Ｐに応じて任意に設定できるものである。この場合、前段及び後段装置との兼合いから一対のベルトコンベア２，２のいずれか一方を固定側コンベア２ａとして動かさず、他方を可動側コンベア２ｂとして幅方向Ｗに可動する。
【００３１】
図１に示すように、固定側コンベア２ａには、後述する基板Ｐを計測位置に停止させるためのストッパーピン９が設けられている。このストッパーピン９は、後端部がエアシリンダなどに連結されて幅方向Ｗに進退自在となり、先端部が固定側コンベア２ａの内方側面６から幅方向Ｗに突出して搬送されてきた基板Ｐを計測位置に設定する。
【００３２】
なお、一対のベルトコンベア２，２が搬送する前述した基板Ｐは、表面及び裏面の両面に半田が印刷されたり電子部品が実装されたプリント基板であり、このプリント基板Ｐの幅方向Ｗの一対の端縁１０，１０を各ベルトコンベア２，２の無端ベルト３，３上に載置する。
【００３３】
また、図１に示すプリント基板Ｐの位置は、本例の基板搬送装置１よりなる搬送ライン上に設けられたプリント基板Ｐの表面の計測を行うための計測位置である。この計測位置では、プリント基板Ｐと、これまでこの基板Ｐを搬送してきた無端ベルト３とが動作的に切り離されており、プリント基板Ｐは無端ベルト３の走行動作に関わらずこの位置に停止する。
【００３４】
さらに、計測位置の上方には、プリント基板Ｐの表面を光センサなどで計測するための図示しない計測手段が設けられている。計測手段にはセンサヘッドが設けられ、搬送方向ＸとなるＸ軸方向と、このＸ軸方向（搬送方向Ｘ）に対して搬送面内で直交するＹ軸方向とに移動走査する。これにより得られたプリント基板Ｐの３次元データなどの計測結果を図示しない処理手段に出力し、例えば、プリント基板Ｐの表面に印刷された半田の体積などを検査する。
【００３５】
図２に示すように、クランプ手段１１は、長手方向が少なくとも計測位置に許容可能なプリント基板Ｐの最大長さよりやや長い略矩形のクランプ板１２を有している。クランプ板１２は、ベルトコンベア２の内方側面６と対面して配置されるとともに、この内方側面６に沿って上下方向に移動可能に設けられている。（図４（ｂ）参照）。クランプ板１２の下部は、上下方向に駆動力を伝達するエアシリンダなどの駆動手段１４に連結されている。
【００３６】
図１に示すように、振動抑止手段２１は、搬送方向Ｘに沿って所定長さに形成された長体状の部材であり、一対のベルトコンベア２，２の間の幅方向Ｗにおける中間位置に設定されるとともに、計測位置の下方に配設されている。第１の実施の形態では、振動抑止手段２１の長さはクランプ板１２の長手方向の長さと略同等であり、計測位置にて許容可能なプリント基板Ｐの最大長さよりやや長く形成されている。なお、振動抑止手段２１はプリント基板Ｐに対して必ずしも全面が当接しなくても基板Ｐの振動を抑えることができるため、例えば、円柱状の部材などが振動抑止手段２１の上面に長手方向に沿って一定間隔ごとに並設された構成とし、各円柱部材の上面がプリント基板Ｐに当接するようにしてもよい。また、振動抑止手段２１は、後述する相対位置保持手段２５を構成するリンクアーム２７の端部２７ｂと搬送面内を回動自在に連結されている。振動抑止手段２１は、初期位置において、計測位置に搬送されてきたプリント基板Ｐの裏面の下方に設定されている。なお、この振動抑止部材２１にはゴムやスポンジなどの振動抑止のための弾性体を設けておくことが好ましい。
【００３７】
また、図２に示すように、振動抑止手段２１は、下部に設けられたボルトなどの調節部材２２によって高さを調節したり付け外しが可能となっている。これにより、振動抑止手段２１を搬送する基板Ｐの特性に応じて高さを調節して好適な押圧力を得ることができたり、最適な素材のものと取り換えたりすることが可能となる。
【００３８】
図１に示すように、一対のベルトコンベア２，２の間には、これらコンベア２，２の間隔変更に連動して振動抑止手段２１を幅方向Ｗにおける相対的に一定の位置に維持するための前述した相対位置保持手段であるリンク機構２５が設けられている。
【００３９】
このリンク機構２５は、基台部２６と、リンクアーム２７とで略構成され、前記振動抑止手段２１を備えている。基台部２６は、一対のベルトコンベア２，２のそれぞれの内方側面６，６の更に内方側に搬送方向Ｘに沿って設けられている。基台部２６には、２本のリンクアーム２７の一方の端部２７ａが搬送面内を回動自在に連結されている。これらリンクアーム２７は基台部２６の長手方向に並んでいるとともに、平行に配置されている。なお、この第１の実施の形態では、固定側コンベア２ａの２本のリンクアーム２７，２７と、可動側コンベア２ｂの２本のリンクアーム２７，２７とは、１本１本のリンクアーム２７が互い違いとなって配置されているが、これに限定されず、リンクアーム２７は任意の配置状態で配置でき、その本数も２本（合計４本）に限定されることはない。また、リンクアーム２７の他方の端部２７ｂは、前述したように、振動抑止手段２１の長手方向に並んで搬送面内を回動自在に連結されている。
【００４０】
このリンク機構２５（振動抑止手段２１を含む）は、前記駆動手段１４によって上昇方向に駆動する。クランプ手段１１のクランプ板１２とリンク機構２５とが下方で連結されているために、駆動手段１４による上昇方向への駆動によってクランプ板１２、振動抑止手段２１、リンク機構２５とが同時に駆動する。
【００４１】
図３に示すように、一対のベルトコンベア２，２は、可動側コンベア２ｂが固定側コンベア２ａに向けて近接・隔離することにより、異なる幅サイズのプリント基板Ｐを搬送する場合であっても可動側コンベア２ｂと固定側コンベア２ａの間隔を基板Ｐの幅サイズにあわせて設定でき、且つ振動抑止手段２１が計測位置に停止したプリント基板Ｐの幅方向Ｗにおける中間位置に常に設定されるようになる。
【００４２】
次に、図４を参照してこの第１の実施の形態による基板搬送装置における計測位置に停止したプリント基板を固定するときのクランプ手段と振動抑止手段の動作について説明する。
【００４３】
図４（ａ）に示すように、計測位置に搬送されてきたプリント基板Ｐがストッパーピン９によって停止されると直ちに駆動手段１４が駆動してクランプ手段１１のクランプ板１２を上昇方向に押し上げると同時に、リンク機構２５ごと振動抑止手段２１を上昇方向に押し上げる。これにより、図４（ｂ）に示すように、プリント基板Ｐの一対の端縁１０，１０がクランプ板１２の上端部１３とガイドレール７の上部ガイド８とに上下に挟まれて固定され、プリント基板Ｐの幅方向Ｗにおける中間位置が振動抑止手段２１によって押し上げられる。このとき、振動抑止手段２１は、プリント基板Ｐが上方にやや略凸状となるように湾曲する程度の押圧力で裏面に当接することが好ましい。
【００４４】
この第１の実施の形態によれば、計測位置に設定されたプリント基板Ｐの一対の端縁１０，１０をクランプ手段１１で固定し、且つ振動抑止手段２１が基板Ｐの裏面における幅方向Ｗの中間位置に当接することにより、このプリント基板Ｐは一対の端縁１０，１０と幅方向Ｗにおける中間位置の３箇所で保持される。これにより、計測位置に設定されたプリント基板Ｐの振動を確実に抑止できるようになる。特に、計測時における計測手段のセンサヘッドがプリント基板Ｐ上をＸ軸、Ｙ軸方向に走査移動することで生じる基板Ｐの振動を抑えることが可能となる。
【００４５】
また、振動抑止手段２１が一対のベルトコンベア２，２の間隔変更に連動してプリント基板Ｐの幅方向Ｗの中間位置に設定されることにより、プリント基板Ｐの幅サイズに応じて一対のベルトコンベア２，２の間隔が変更されても、この一対のベルトコンベア２，２の幅方向Ｗにおける振動抑止手段２１の相対的な位置は常に一定に維持される。つまり、異なる幅のプリント基板Ｐに対しても、基板Ｐの幅方向Ｗにおける中間位置に常に振動抑止手段２１を当接させることができる。
【００４６】
さらに、振動抑止手段２１が、プリント基板Ｐの幅方向Ｗにおける中間位置に設定されることにより、センサヘッドがプリント基板Ｐ上をＸ軸、Ｙ軸方向に走査移動することで生じる基板Ｐの振動を更に効果的に抑えることが可能となる。
【００４７】
また、プリント基板Ｐが上方にやや略凸状に湾曲する程度の押圧力で基板Ｐ裏面に振動抑止手段２１が当接することでプリント基板Ｐの振動を確実に抑止できるようになる。
【００４８】
さらに、クランプ板１２の上昇方向への移動によるクランプ動作に連動して振動抑止手段２１が上昇してプリント基板Ｐの裏面に当接する構成としたことでクランプ手段１１と振動抑止手段２１との駆動源を同一として構成することが可能となる。これにより、装置１構成を簡略化することができる。
【００４９】
次に、第２の実施の形態について説明する。
図５は本発明による基板搬送装置の第２の実施の形態を示す平面図、図６は図５におけるＢ−Ｂ矢視図、図７は同実施の形態を構成する一対の搬送手段の動作を示す平面図である。
なお、以下で説明する第２の実施の形態において、上述した第１の実施の形態と同等あるいは同一箇所には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００５０】
この第２の実施の形態の基板搬送装置は、図５，６に示すように、一対の搬送手段２，２と、クランプ手段１１と、振動抑止手段３１と、相対位置保持手段３５とで略構成されている。
【００５１】
図５に示すように、振動抑止手段３１，３１は、搬送方向Ｘに沿って所定長さに形成された一対の長体状の部材であり、一対のベルトコンベア２，２の間の幅方向Ｗの等距離の位置に設定されるとともに、計測位置の下方に配設されている。振動抑止手段３１の長さは、クランプ板１２の長手方向の長さと略同等である。つまり、計測位置にて許容可能なプリント基板Ｐの最大長さよりやや長く形成されている。なお、振動抑止手段３１は、上述した第１の実施の形態のように、例えば、円柱状の部材などが振動抑止手段３１の上面に長手方向に沿って一定間隔ごとに並設された構成としてもよい。また、振動抑止手段３１は、後述する相対位置保持手段３５を構成するリンクアーム２７の中途位置に回動自在に連結されている。振動抑止手段３１は、初期位置において、計測位置に搬送されてきたプリント基板Ｐの裏面の下方にある。なお、この振動抑止部材３１にはゴムやスポンジなどの振動抑止のための弾性体を設けておくことが好ましい。
【００５２】
図５に示すように、一対のベルトコンベア２，２の間には、これらコンベア２，２の間隔変更に連動して振動抑止手段３１，３１を幅方向Ｗにおける相対的に一定の位置に維持するための前述した相対位置保持手段であるリンク機構３５が設けられている。
【００５３】
このリンク機構３５は、基台部２６と、リンクアーム２７とで略構成され、前記一対の振動抑止手段３１，３１を備えている。基台部２６は、一対のベルトコンベア２，２のそれぞれの内方側面６，６の更に内方側に搬送方向Ｘに沿って設けられている。リンクアーム２７の他方の端部２７ｂは、幅方向Ｗにおける中間位置に設定された連結部材３６の長手方向に並んで搬送面内を回動自在に連結されている。この連結部材３６は、振動抑止手段３１と略同等の長さに形成された部材である。
【００５４】
図７に示すように、一対のベルトコンベア２，２は、可動側コンベア２ｂが固定側コンベア２ａに向けて近接・隔離することにより、異なる幅サイズのプリント基板Ｐを搬送する場合であっても可動側コンベア２ｂと固定側コンベア２ａの間隔を基板Ｐの幅サイズにあわせて設定でき、且つ振動抑止手段３１が計測位置に停止したプリント基板Ｐの幅方向Ｗにおける相対的に同一の位置に常に設定されるようになる。
【００５５】
次に、この第２の実施の形態による基板搬送装置における計測位置に停止したプリント基板を固定するときのクランプ手段と振動抑止手段の動作について説明する。
【００５６】
計測位置に搬送されてきたプリント基板Ｐがストッパーピン９によって停止されると直ちに駆動手段１４が駆動してクランプ手段１１のクランプ板１２を上昇方向に押し上げると同時に、リンク機構３５ごと振動抑止手段３１，３１を上昇方向に押し上げる。これにより、プリント基板Ｐの一対の端縁１０，１０がクランプ板１２の上端部１３とガイドレール７の上部ガイド８とに上下に挟まれて固定され、プリント基板Ｐの幅方向Ｗにおける端縁１０，１０から等距離となる位置が振動抑止手段３１によって押し上げられる。このとき、振動抑止手段３１は、プリント基板Ｐが上方にやや略凸状となるように湾曲する程度の押圧力で裏面に当接することが好ましい。
【００５７】
この第２の実施の形態によれば、計測位置に設定されたプリント基板Ｐの一対の端縁１０，１０をクランプ板１２で固定し、且つ一対の振動抑止手段３１，３１が基板Ｐ裏面の幅方向Ｗにおける端縁１０，１０から当距離の位置に当接し、このプリント基板Ｐは一対の端縁１０，１０と幅方向Ｗにおける２箇所の合計４箇所で保持される。これにより、上述した第１の実施の形態よりも更に確実にプリント基板Ｐの振動を抑止できるようになる。そして、計測時における計測手段のセンサヘッドがプリント基板Ｐ上をＸ軸、Ｙ軸方向に走査移動することで生じる基板Ｐの振動をより効果的に抑えることが可能となる。
【００５８】
また、振動抑止手段３１，３１が一対のベルトコンベア２，２の間隔変更に連動して基板Ｐの幅方向Ｗの相対的に同一の位置に設定されることにより、プリント基板Ｐの幅サイズに応じて一対のベルトコンベア２，２の間隔が変更されても、この一対のベルトコンベア２，２の幅方向Ｗにおける振動抑止手段２１の相対的な位置は常に一定に維持される。つまり、異なる幅のプリント基板Ｐに対しても、基板Ｐの幅方向Ｗにおける同一の位置に振動抑止手段３１，３１を当接させることができる。
【００５９】
さらに、振動抑止手段３１を複数設けたことで、上述した第１の実施の形態よりも更に確実に基板の振動を抑止することが可能となる。
【００６０】
また、プリント基板Ｐが上方にやや略凸状に湾曲する程度の押圧力で基板Ｐ裏面に振動抑止手段３１，３１が当接することで、上述した第１の実施の形態と同様に、プリント基板Ｐの振動を確実に抑止できるようになる。
【００６１】
さらに、クランプ板１２の上昇方向への移動によるクランプ動作に連動して振動抑止手段３１，３１が上昇してプリント基板Ｐの裏面に当接する構成としたことで、上述した第１の実施の形態と同様に、クランプ手段１１と振動抑止手段３１，３１との駆動源を同一として構成することが可能となる。
【００６２】
次に、第３の実施の形態について説明する。
図８は本発明による基板搬送装置の第３の実施の形態を示す平面図、図９は図８におけるＣ−Ｃ矢視図、図１０（ａ），（ｂ）は同実施の形態を構成する相対位置保持手段の主要部の動作を示す概略断面図、図１１は同実施の形態を構成する一対の搬送手段の動作を示す平面図である。
なお、以下で説明する第３の実施の形態において、上述した第１及び第２の実施の形態と同等あるいは同一箇所には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００６３】
この第３の実施の形態の基板搬送装置は、図８，９に示すように、一対の搬送手段２，２と、クランプ手段１１と、振動抑止手段４１と、相対位置保持手段５１とで略構成されている。
【００６４】
図８に示すように、振動抑止手段４１は、搬送方向Ｘに沿って所定長さに形成された長体状の部材であり、一対のベルトコンベア２，２の間の幅方向Ｗにおける中間位置に設定されるとともに、計測位置の下方に配設されている。なお、振動抑止手段４１の長さは、クランプ板１２の長手方向の長さと略同等である。つまり、計測位置にて許容可能なプリント基板Ｐの最大長さよりやや長く形成されている。なお、振動抑止手段４１には、上述した第１及び第２の実施の形態のように、例えば、円柱状の部材などが振動抑止手段４１の上面に長手方向に沿って一定間隔ごとに並設された構成としてもよい。
【００６５】
また、振動抑止手段４１の長手方向（搬送方向Ｘ）の両端部における下部には挿通部４２，４２が設けられ、後述する相対位置保持手段５１を構成する支持軸５２，５２が挿通される。さらに、振動抑止手段４１の長手方向Ｘの中央近傍における下部にはネジ孔４３及びナット体４４が設けられ、後述するボールネジ５３及び可動ネジ５５に螺合される。振動抑止手段４１は、初期位置において、計測位置に搬送されてきたプリント基板Ｐの裏面の下方に設定されている。なお、この振動抑止部材４１にはゴムやスポンジなどの振動抑止のための弾性体を設けておくことが好ましい。
【００６６】
図９に示すように、振動抑止手段４１は、下部に設けられた調節部材４６にて高さを調節したり付け外しが可能となっている。これにより、振動抑止手段４１を搬送する基板Ｐの特性に応じて高さを調節して好適な押圧力を得ることができたり、最適な素材のものと取り換えたりすることが可能となる。
【００６７】
図９に示すように、クランプ板１２の下部には、上下方向に駆動力を伝達するエアシリンダなどの第１の駆動手段４７が設けられている。この第１の駆動手段４７は、上述した第１及び第２の実施の形態の駆動手段１４と同様に、クランプ板１２を上下方向に移動させる。また、振動抑止手段４１の下部には、前記第１の駆動手段４７と同じく上下方向に駆動力を伝達するエアシリンダなどの第２の駆動手段４８が設けられている。この第２の駆動手段４８は、第１の駆動手段４７の駆動に関連して駆動する。このとき、例えば、第２の駆動手段４８は、第１の駆動手段４７の駆動開始と同時か又は所定時間遅れて駆動を始めたり、第１の駆動手段４７より駆動速度が低速に設定されることで、クランプ板１２によるプリント基板Ｐの一対の端縁１０，１０の固定より先に振動抑止手段４１が基板Ｐ裏面に当接するという事故を防ぐことができる。
【００６８】
図８に示すように、一対のベルトコンベア２，２の間には、これらコンベア２，２の間隔変更に連動して振動抑止手段４１を幅方向Ｗにおける相対的に一定の位置に維持するための相対位置保持手段５１が設けられている。
【００６９】
相対位置保持手段５１は、前述した支持軸５２，５２と、ボールネジ５３，５３と、可動ネジ５５とで略構成され、前記振動抑止手段４１を備えている。支持軸５２，５２は、計測位置の搬送方向Ｘの両端付近に設けられ、一対のベルトコンベアを幅方向Ｗに移動可能に連結するように設けられている。また、ボールネジ５３，５３は、支持軸５２，５２の間に該支持軸５２同様に幅方向Ｗに沿って設けられている。これら支持軸５２，５２及びボールネジ５３，５３の幅方向Ｗの一端には規制板５４が設けられ、可動側コンベア２ｂが幅方向Ｗに移動するときの抜脱を防止している。さらに、支持軸５２，５２及びボールネジ５３，５３の他端は固定側コンベア２ａのフレーム４に固着されている。
【００７０】
また、ボールネジ５３，５３のうち何れか一方には略円筒状の可動ネジ５５が取り付けられている。図１０（ａ），（ｂ）に示すように、可動ネジ５５の外周面には前記ナット体４４に螺合するための雄ネジが形成され、内周面には前記ボールネジ５３に螺合するための雌ネジが形成されている。ここで、可動ネジ５５の外周面に形成された雄ネジのピッチは、ボールネジ５３のピッチに対して１／２に形成されている。このように可動ネジ５５の外周面のピッチを内周面のピッチの１／２とすることで、振動抑止手段４１は可動側コンベア２ａの移動量の常に半分の移動量で移動する。これにより、可動側コンベア２ａが幅方向Ｗに移動したときに、振動抑止手段４１を常に幅方向Ｗの中間位置に設定することができる。
【００７１】
図１１に示すように、一対のベルトコンベア２，２は、可動側コンベア２ｂが固定側コンベア２ａに向けて近接・隔離することにより、異なる幅サイズのプリント基板Ｐを搬送する場合であっても可動側コンベア２ｂと固定側コンベア２ａの間隔を基板Ｐの幅サイズにあわせて設定でき、且つ振動抑止手段４１が計測位置に停止したプリント基板Ｐの幅方向Ｗにおける中間位置に常に設定されるようになる。
【００７２】
次に、この第３の実施の形態による基板搬送装置における計測位置に停止したプリント基板を固定するときのクランプ手段と振動抑止手段の動作について説明する。
【００７３】
計測位置に搬送されてきたプリント基板Ｐがストッパーピン９によって停止されると直ちに駆動手段１４が駆動してクランプ手段１１のクランプ板１２を上昇方向に押し上げると同時か又は所定時間遅れて振動抑止手段４１を上昇方向に押し上げる。これにより、プリント基板Ｐの一対の端縁１０，１０がクランプ板１２の上端部１３とガイドレール７の上部ガイド８とに上下に挟まれて固定され、プリント基板Ｐの幅方向Ｗにおける中間位置が振動抑止手段４１によって押し上げられる。このとき、振動抑止手段４１は、プリント基板Ｐが上方にやや略凸状となるように湾曲する程度の押圧力で裏面に当接することが好ましい。
【００７４】
この第３の実施の形態によれば、上述した第１の実施の形態と同様に、計測位置に設定されたプリント基板Ｐの一対の端縁１０，１０をクランプ板１２で固定し、且つ振動抑止手段４１が基板Ｐの裏面における幅方向Ｗの中間位置に当接することにより、このプリント基板Ｐは一対の端縁１０，１０と幅方向Ｗにおける中間位置の３箇所で保持される。これにより、計測位置に設定されたプリント基板Ｐの振動を確実に抑止できるようになる。特に、計測時における計測手段のセンサヘッドがプリント基板Ｐ上をＸ軸、Ｙ軸方向に走査移動することで生じる基板Ｐの振動を抑えることが可能となる。
【００７５】
また、振動抑止手段４１が一対のベルトコンベア２，２の間隔変更に連動して基板Ｐの幅方向Ｗの中間位置に設定されることにより、プリント基板Ｐの幅サイズに応じて一対のベルトコンベア２，２の間隔が変更されても、この一対のベルトコンベア２，２の幅方向Ｗにおける振動抑止手段４１の相対的な位置は常に一定に維持される。つまり、異なる幅の基板Ｐに対しても、基板Ｐの幅方向Ｗにおける中間位置に常に振動抑止手段４１を当接させることができる。
【００７６】
さらに、振動抑止手段４１が、プリント基板Ｐの幅方向Ｗにおける中間位置に設定されることにより、センサヘッドがプリント基板Ｐ上をＸ軸、Ｙ軸方向に走査移動することで生じる基板Ｐの振動を更に効果的に抑えることが可能となる。
【００７７】
また、プリント基板Ｐが上方にやや略凸状に湾曲する程度の押圧力で基板Ｐ裏面に振動抑止手段４１が当接することでプリント基板Ｐの振動を確実に抑止できるようになる。
【００７８】
さらに、クランプ板１２を移動させる第１の駆動手段４７と、振動抑止手段４１を移動させる第２の駆動手段４８とを設けたことで各駆動手段４７，４８ごとに駆動速度や駆動量などを適宜調節することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明による基板搬送装置の第１の実施の形態を示す平面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ矢視図である。
【図３】同実施の形態を構成する一対の搬送手段の動作を示す平面図である。
【図４】（ａ）同実施の形態を構成するクランプ手段と振動抑止手段が基板を固定した状態を示す正面図である。  （ｂ）（ａ）における一点鎖線部分の拡大図である。
【図５】本発明による基板搬送装置の第２の実施の形態を示す平面図である。
【図６】図５におけるＢ−Ｂ矢視図である。
【図７】同実施の形態を構成する一対の搬送手段の動作を示す平面図である。
【図８】本発明による基板搬送装置の第３の実施の形態を示す平面図である。
【図９】図８におけるＣ−Ｃ矢視図である。
【図１０】（ａ）同実施の形態を構成する相対位置保持手段の主要部の動作を示す概略断面図である。  （ｂ）同実施の形態を構成する相対位置保持手段の主要部の動作を示す概略断面図である。
【図１１】同実施の形態を構成する一対の搬送手段の動作を示す平面図である。
【図１２】従来の印刷半田検査装置（搬送手段を含む）を示す正面図である。
【図１３】従来の印刷半田検査装置（搬送手段を含む）を示す平面図である。
【符号の説明】
【００８０】
１…基板搬送装置
２…搬送手段としてのベルトコンベア
１０…基板の端縁
１１…クランプ手段
１４…駆動手段
２１，３１．４１…振動抑止手段
２５，３５．５１…相対位置保持手段
４７…第１の駆動手段
４８…第２の駆動手段
Ｐ…プリント基板（基板）
【図１】
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【図２】
2007180184.tif 000004
【図３】
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【図４】
2007180184.tif 000006
【図５】
2007180184.tif 000007
【図６】
2007180184.tif 000008
【図７】
2007180184.tif 000009
【図８】
2007180184.tif 000010
【図９】
2007180184.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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