(57)【要約】【課題】ＦＯＵＰ等の被搬送物の搬送時間が長くなることによる搬送量の低下を低減する。【解決手段】駆動することでＦＯＵＰ１０を搬送方向に搬送するローラ２１ａを有する、工程間又は装置間に配置された主搬送路２１と、ローラ２２ａを有し、少なくとも一部が主搬送路２１と平行に配置された副搬送路２２と、ローラ２１ａ・２２ａを駆動した状態で、主搬送路２１上のＦＯＵＰ１０を副搬送路２２に強制的に送り出すプッシャー３と、副搬送路２２上のＦＯＵＰ１０を搬出する移載装置７とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動することで被搬送物を搬送方向に搬送する搬送ローラを有し、工程間又は装置間に配置された主搬送路と、
前記搬送ローラを有し、少なくとも一部が前記主搬送路と平行に配置された副搬送路と、
前記搬送ローラを駆動した状態で、前記主搬送路上の前記被搬送物を前記副搬送路に強制的に送り出す搬送路変更部と、
前記副搬送路上の前記被搬送物を搬出する搬送部と
を備えていることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記搬送部が、
前記被搬送物を前記副搬送路に搬入し、
前記搬送路変更部が、
前記搬送ローラを駆動した状態で、前記副搬送路上の前記被搬送物を前記主搬送路に強制的に送り出す
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記搬送ローラは、
回転する複数のローラを有し、前記ローラの回転によりローラに載置された前記被搬送物を搬送し、
前記搬送路変更部は、
前記ローラに載置された前記被搬送物を前記搬送方向と垂直方向に押し出すことで、前記被搬送物を送り出すことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記被搬送物を送り出す際に、前記被搬送物に対して鉛直方向上向きに空気を射出する射出部をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記副搬送路が、前記主搬送路から分岐しており、
前記搬送路変更部が、
前記分岐する地点に設けられ、前記主搬送路を搬送される前記被搬送物を塞き止めると共に、前記被搬送物を前記副搬送路に導くことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造、液晶製造、ＦＡ（Factory Automation）等において、半導体ウェハ等の被処理物は、一般的にＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるカセット内に複数枚収納され、カセット単位で各処理装置等に搬送されるようになっている。この搬送する方法として、例えば、特許文献１に記載の搬送装置がある。特許文献１の搬送装置は、一対のレールの上面から突出するようにホイールが回転可能に設けられており、ホイールに載置された物品がそのホイールの回転により、レールに沿って搬送されるようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特表２００３−５０６２８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ＦＯＵＰ内の半導体ウェハを取り出し処理を施す処理装置は、搬送路上のＦＯＵＰを把持して内部に取り込む移載装置を有している。そして、移載装置により例えば特許文献１のように搬送されるＦＯＵＰを把持する場合、ＦＯＵＰを確実に把持するために、ホイールの回転を停止しＦＯＵＰを静止させるか、ホイールの回転速度を遅くしてＦＯＵＰの移動速度を遅くする必要がある。このような場合、レール上を移動している他のＦＯＵＰも搬送が中断したりしてしまうため、搬送時間に無駄な時間が生じ、搬送量が低下してしまうという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、ＦＯＵＰ等の被搬送物の搬送時間が長くなることによる搬送量の低下を低減できる搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００６】
上記目的を達成するために、第１の発明は、駆動することで被搬送物を搬送方向に搬送する搬送ローラを有し、工程間又は装置間に配置された主搬送路と、搬送ローラを有し、少なくとも一部が主搬送路と平行に配置された副搬送路と、搬送ローラを駆動した状態で、主搬送路上の被搬送物を副搬送路に強制的に送り出す搬送路変更部と、副搬送路上の被搬送物を搬出する搬送部とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によると、主搬送路上を移動中の被搬送物を副搬送路に強制的に送り出し、その副搬送路において被搬送物を搬出するようになっている。例えば、工程間又は装置間を移動する主搬送路上の被搬送物を処理装置に取り込むために主搬送路から搬出する場合、被搬送物の移動を停止、即ち、主搬送路の搬送ローラを停止する必要がある。しかし、副搬送路を主搬送路に平行に設け、強制的に被搬送物を副搬送路に送り出し、副搬送路上で搬出することで、主搬送路の搬送ローラを停止させることなく、被搬送物を搬出することができるようになる。従って、被搬送物を搬出する度に主搬送路の搬送ローラを停止することで、被搬送物の搬送時間が長くなり、搬送量が低下してしまうおそれを低減することができるようになる。
【０００８】
また、第２の発明は、第１の発明の搬送部が、被搬送物を副搬送路に搬入し、搬送路変更部が、副搬送路上の被搬送物を、搬送ローラを駆動した状態で主搬送路に強制的に送り出すことを特徴とする。
【０００９】
この構成によると、副搬送路に搬入した被搬送物を主搬送路に強制的に送り出すようになっているため、例えば、別の工程や処理装置から主搬送路に被搬送物を搬入する場合において、主搬送路の搬送ローラを停止させることなく、被搬送物を搬入できるようになる。
【００１０】
第３の発明は、第１又は第２の発明の搬送ローラが、回転する複数のローラを有し、ローラの回転によりローラに載置された被搬送物を搬送し、搬送路変更部は、ローラに載置された被搬送物を搬送方向と垂直方向に押し出すことで、被搬送物を送り出すことを特徴とする。
【００１１】
この構成によると、被搬送物をローラに載置するだけで搬送されるようになり、また、被搬送物がローラに載置されているだけの状態であるので、簡単に被搬送物を押し出すことができる。従って、主搬送路から副搬送路、又は副搬送路から主搬送路へと被搬送物を送り出すことが簡単にできる。
【００１２】
第４の発明は、第１〜第３の発明において、被搬送物を送り出す際に、被搬送物に対して鉛直方向上向きに空気を射出する射出部をさらに備えていることを特徴とする。
【００１３】
この構成によると、上向きに射出される空気により被搬送物と搬送路との間の摩擦が小さくなるため、被搬送物を送り出しやすくなる。
【００１４】
第５の発明は、第１又は第２の発明の副搬送路が、主搬送路から分岐しており、搬送路変更部が、分岐する地点に設けられ、主搬送路を搬送される被搬送物を塞き止めると共に、被搬送物を副搬送路に導くことを特徴とする。
【００１５】
この構成によると、搬送路を搬送される被搬送物を簡単に主搬送路から副搬送路へと被搬送物を送り出すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００１７】
（第１の実施形態）
本実施の形態に係る搬送システム１は、半導体製品製造施設のように、工程内や工程間を、処理対象物である半導体を搬送して処理を加えながら最終製品とする搬送システムであり、図１や図２に示すように、主搬送路２１及び副搬送路２２と、プッシャー３・４（搬送路変更部）と、エアー噴射機構５ａ・５ｂ（射出部）と、半導体処理装置６とを備えている。
【００１８】
なお、上記の半導体とは、一般的にＦＯＵＰ１０（被搬送物）と呼ばれるカセット内に複数枚収納された半導体ウェハである。ＦＯＵＰ１０は略立方体の形状を有しており、上面中央に、後述の移載装置７によりＦＯＵＰ１０を把持するためのフランジ１０ａが配設されている。半導体は、カセット単位で搬送され、各半導体処理装置６内でＦＯＵＰ１０から取り出され所定の処理が施されていく。以下の説明において、搬送される半導体をＦＯＵＰ１０として説明する。そして、図示しない制御装置により現在位置等の処理状況がＦＯＵＰ毎に管理されるようになっている。
【００１９】
主搬送路２１は、少なくとも半導体処理装置６の近傍を通過し、半導体処理装置６間や他の工程との間に配設され、複数のローラ２１ａ（搬送ローラ）と、一対のガイド壁２１ｂとを有している。ローラ２１ａは、円筒状であって、中心軸方向（以下、長手方向）がＦＯＵＰ１０の搬送方向と直交するように配設され、モータ駆動により円周方向に回転するようになっている。ローラの中心軸は、ローラの半径方向と直交しており、ローラは、その中心軸を中心に円周方向に回転する。そして、ローラ２１ａに載置されたＦＯＵＰ１０は、ローラ２１ａの回転によって搬送方向に移動するようになっている。また、一対のガイド壁２１ｂは、ローラ２１ａを挟持するように複数のローラ２１ａに沿って設けられている。このガイド壁２１ｂは、ローラ２１ａよりも高くなるように形成されており、ローラ２１ａ上を移動するＦＯＵＰ１０の横ズレを防止するようになっている。
【００２０】
なお、図１に示すように、主搬送路２１における搬送路変更位置にはガイド壁２１ｂは設けられていない。ここで、搬送路変更位置とは、ＦＯＵＰ１０が後述のプッシャー３・４により押し出される位置を言う。また、図１において、図面の都合上、副搬送路２２が並設される部分には、ガイド壁２１ｂを図示していない。
【００２１】
副搬送路２２は、半導体処理装置６と、主搬送路２１における半導体処理装置６の近傍を通過する部分との間に、主搬送路２１と平行に配設されている。副搬送路２２は、主搬送路２１と同様にローラ２２ａを複数有しており、ローラ２２ａに載置されたＦＯＵＰ１０は、ローラ２２ａの回転によって搬送方向に移動するようになっている。なお、図示しないが、副搬送路２２は、上記のガイド壁２１ｂのように、搬送時のＦＯＵＰ１０の横ズレを防止するガイド壁を有している。
【００２２】
ここで、搬送路変更位置におけるローラ２１ａ・２２ａについて詳述する。搬送路変更位置におけるローラ２１ａ・２２ａは、図３に示すように、円筒形状のローラ２３を複数有している。具体的には、図３（ａ）に示すように、ローラ２３の長手方向とローラ２１ａ・２２ａの長手方向とが直交するように一列配置されたローラが、図３（ｂ）に示すように、ローラ２１ａ・２２ａの円周に沿って均等に配置されている。これにより、搬送路変更位置におけるローラ２１ａ・２２ａ上のＦＯＵＰ１０は、回転するローラ２３によりローラ２１ａ・２２ａの長手方向に摺動しやすくなる。なお、ローラ２３を有するローラ２１ａ・２２ａは、ローラ２３を含めた半径方向の幅が、他のローラ２１ａ・２２ａの幅と同じになるようになっている。
【００２３】
なお、主搬送路２１や副搬送路２２は、図示しないが、複数のセンサを有しており、通過するＦＯＵＰ１０を検出するようになっている。これにより、制御装置は、移動するＦＯＵＰ１０の位置等を管理できるようになっている。
【００２４】
プッシャー３は、副搬送路２２の始端側に設けられ、主搬送路２１上のＦＯＵＰ１０を搬送方向に対して垂直に押し、ＦＯＵＰ１０を主搬送路２１から副搬送路２２に送り出す。また、プッシャー４は、副搬送路２２の終端側に設けられ、副搬送路２２上のＦＯＵＰ１０を搬送方向に対して垂直に押し、ＦＯＵＰ１０を副搬送路２２から主搬送路２１に送り出す。
【００２５】
プッシャー３・４は、搬送方向に対して垂直に伸縮するアーム３ａ・４ａと、ＦＯＵＰ１０の側面に押し当てる直方体の押当部３ｂ・４ｂとを有している。押当部３ｂ・４ｂは、アーム３ａ・４ａの先端に設けられ、ＦＯＵＰ１０との当接する面には、回転自在なローラ４ｃ（プッシャー３のローラは図示せず）が設けられている。ＦＯＵＰ１０との当接する面にローラ４ｃを設けることで、ローラ２１ａ・２２ａを回転した状態、即ち、ＦＯＵＰ１０が移動している状態でＦＯＵＰ１０をプッシャー３・４により強制的に押し出す場合であっても、押当部３ｂ・４ｂとＦＯＵＰ１０との間に大きな摩擦が生じなくなるため、ＦＯＵＰ１０のズレを少なくして、スムーズにＦＯＵＰ１０を押し出すことができるようになる。
【００２６】
エアー噴射機構５ａ・５ｂは、副搬送路２２の始端側及び終端側で、ローラ２１ａ・２２ａの下方に夫々設けられ、複数の孔から上方に向かってエアーを噴射する。ＦＯＵＰ１０は、かかるエアーにより上方に僅かに持ち上がるようになり、ＦＯＵＰ１０とローラ２１ａ・２２ａとの間の摩擦を小さくすることができる。従って、ＦＯＵＰ１０をプッシャー３・４により押し出す際に、スムーズに押し出すことができるようになる。
【００２７】
半導体処理装置６は、搬送路２上のＦＯＵＰ１０を内部に取り込み、ＦＯＵＰ１０に格納される半導体ウェハを取り出し、装置毎に所定の処理を施すようになっている。半導体処理装置６は、副搬送路２２上のＦＯＵＰ１０のフランジ１０ａを把持して内部に取り込む移載装置７を有している。
【００２８】
移載装置７は、ＦＯＵＰ１０を把持する把持機構７ａと、把持機構７ａが下方に懸垂して走行するレール７ｂとを有している。把持機構７ａは、レール７ｂを走行する走行機と、走行機のリール（図示せず）に巻回するベルトと、ベルト先端に設けられた昇降体と、昇降体の先端に設けられ、ＦＯＵＰ１０のフランジ１０ａを把持するフィンガ（図示せず）とを有している。レール７ｂは、副搬送路２２の略中央上方の位置（以下、搬出入位置と言う）と、半導体処理装置６の内部にＦＯＵＰ１０を取り込む取込口（図示せず）との間を把持機構７ａが移動するレールである。
【００２９】
そして、副搬送路２２から半導体処理装置６にＦＯＵＰ１０を搬入する場合、把持機構７ａは、搬出入位置に位置すると、フィンガを下降させた後ＦＯＵＰ１０のフランジ１０ａを把持し、ＦＯＵＰ１０を把持した状態で、半導体処理装置６の取込口まで移動するようになっている。また、半導体処理装置６から副搬送路２２にＦＯＵＰ１０を搬出する場合、把持機構７ａは、ＦＯＵＰ１０を把持したまま、搬出入位置まで移動し、下降させて副搬送路２２に載置するようになっている。
【００３０】
上記のように、半導体処理装置６に対してＦＯＵＰ１０を搬出入する際に、副搬送路２２を設けることで、主搬送路２１は、移載装置７の動作に干渉されることがないため、ローラ２１ａを停止させたりする必要がなくなる。
【００３１】
なお、上記の搬送システムは、図示しない制御装置により制御されるようになっている。制御装置は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）からなるマイクロコンピュータを有し、後述の図４及び図５の処理ルーチンを実行したりするようになっている。
【００３２】
（搬出入時の動作）
次に、搬送システムにおける、ＦＯＵＰ１０を半導体処理装置６に搬出入する際の動作について、図４及び図５のフローチャートを参照して説明する。
【００３３】
主搬送路２１を搬送されるＦＯＵＰ１０を半導体処理装置６に搬入する場合、制御装置は、その半導体処理装置６の近傍を通過するＦＯＵＰ１０を検出すると、図４に示す処理ルーチンを実行する。具体的には、主搬送路２１における、ＦＯＵＰを要求している半導体処理装置６の前面に配置される副搬送路２２の始端近傍に設けられたセンサがＦＯＵＰ１０を検出すると、図４に示す処理ルーチンを実行する。まず、検出したＦＯＵＰ１０が、半導体処理装置６が要求するＦＯＵＰであるか否かを判定する（Ａ１）。要求するＦＯＵＰでない場合（Ａ１：ＮＯ）、本ルーチンを終了する。要求するＦＯＵＰである場合（Ａ１：ＹＥＳ）、エアー噴射機構５ａを駆動させ、エアーを噴射すると共に、プッシャー３によりＦＯＵＰ１０を副搬送路２２に送り出す（Ａ２）。
【００３４】
次に、副搬送路２２に送り出したＦＯＵＰ１０が、搬出入位置に位置したか否かを判定する（Ａ３）。ここで、副搬送路２２の搬出入位置とは、上記の移載装置７における搬出入位置と鉛直方向に一致する位置を言う。また、ＦＯＵＰ１０が搬出入位置に位置したか否かは、図示しないセンサ等により検出される。搬出入位置に位置していない場合（Ａ３：ＮＯ）、搬出入位置に位置するまで、Ａ３を繰り返す。搬出入位置に位置した場合（Ａ３：ＹＥＳ）、副搬送路２２のローラ２２ａの回転を停止し、ＦＯＵＰ１０を静止させる（Ａ４）。そして、ＦＯＵＰ１０が、半導体処理装置６の移載装置７により副搬送路２２から搬出されたか否かを判定する（Ａ５）。搬出されていない場合（Ａ５：ＮＯ）、搬出されるまで待機する。搬出された場合（Ａ５：ＹＥＳ）、副搬送路２２のローラ２２ａの回転を開始し（Ａ６）、本ルーチンを終了する。
【００３５】
次に、半導体処理装置６で処理されたＦＯＵＰ１０を主搬送路２１に搬入する場合、半導体処理装置６から信号等を受信した制御装置は、図５に示す処理ルーチンを実行し、まず、副搬送路２２のローラ２２ａの回転を停止する（Ｂ１）。次に、ＦＯＵＰ１０が半導体処理装置６の移載装置７により副搬送路２２の搬出入位置に載置されたか否かを判定する（Ｂ２）。載置されていない場合（Ｂ２：ＮＯ）、載置されるまで待機する。載置された場合（Ｂ２：ＹＥＳ）、副搬送路２２のローラ２２ａの回転を開始する（Ｂ３）。そして、ＦＯＵＰ１０が搬送路変更位置に到達すると、エアー噴射機構５ｂを駆動させ、エアーを噴射すると共に、プッシャー４によりＦＯＵＰ１０を主搬送路２１に送り出し（Ｂ４）、本ルーチンを終了する。
【００３６】
（本実施の形態の概要）
以上のように、本実施形態の搬送システムは、駆動することでＦＯＵＰ１０を搬送方向に搬送するローラ２１ａを有し、工程間又は装置間に配置された主搬送路２１と、ローラ２２ａを有し、少なくとも一部が主搬送路２１と平行に配置された副搬送路２２と、ローラ２１ａ・２２ａを駆動した状態で、主搬送路２１上のＦＯＵＰ１０を副搬送路２２に強制的に送り出すプッシャー３と、副搬送路２２上のＦＯＵＰ１０を搬出する移載装置７とを備えた構成にされている。
【００３７】
この構成によると、主搬送路２１上を移動中のＦＯＵＰ１０を副搬送路２２に強制的に送り出し、その副搬送路２２においてＦＯＵＰ１０を搬出するようになっている。例えば、工程間又は装置間を移動する主搬送路２２上のＦＯＵＰ１０を半導体処理装置６に取り込むために主搬送路２１から搬出する場合、ＦＯＵＰ１０の移動を停止、即ち、主搬送路２１のローラ２１ａを停止する必要がある。しかし、副搬送路２２を主搬送路２１に平行に設け、強制的にＦＯＵＰ１０を副搬送路２２に送り出し、副搬送路２２上で搬出することで、主搬送路２１のローラ２１ａを停止させることなく、ＦＯＵＰ１０を搬出することができるようになる。従って、ＦＯＵＰ１０を搬出する度に主搬送路２１のローラ２１ａを停止することで、ＦＯＵＰ１０の搬送時間が長くなり、搬送量が低下してしまうおそれを低減することができるようになる。
【００３８】
また、本実施の形態は、移載装置７が、ＦＯＵＰ１０を副搬送路２２に搬入し、プッシャー４が、副搬送路２２上のＦＯＵＰ１０を、ローラ２１ａ・２２ａを駆動した状態で主搬送路２１に強制的に送り出す構成にされている。
【００３９】
この構成によると、副搬送路２２に搬入したＦＯＵＰ１０を主搬送路２１に強制的に送り出すようになっているため、例えば、別の工程や処理装置６から主搬送路２１にＦＯＵＰ１０を搬入する場合において、主搬送路２１のローラ２１ａを停止させることなく、ＦＯＵＰ１０を搬入できるようになる。
【００４０】
また、本実施の形態は、回転する複数のローラ２１ａに載置されたＦＯＵＰ１０を搬送し、プッシャー３・４により、ローラ２１ａ・２２ａに載置されたＦＯＵＰ１０を搬送方向と垂直方向に押し出すことで、ＦＯＵＰ１０を送り出す構成にされている。
【００４１】
この構成によると、ＦＯＵＰ１０をローラ２１ａ・２２ａに載置するだけで搬送されるようになり、また、ＦＯＵＰ１０がローラ２１ａ・２２ａに載置されているだけの状態であるので、簡単にＦＯＵＰ１０を押し出すことができる。従って、主搬送路２１から副搬送路２２、又は副搬送路２２から主搬送路２１へとＦＯＵＰ１０を送り出すことが簡単にできる。
【００４２】
さらに、本実施の形態では、ＦＯＵＰ１０を送り出す際に、ＦＯＵＰ１０に対して鉛直方向上向きにエアーを射出するエアー噴射機構５ａ・５ｂをさらに備えた構成にされている。
【００４３】
この構成によると、上向きに射出されるエアーによりＦＯＵＰ１０と搬送路２１・２２との間の摩擦が小さくなるため、ＦＯＵＰ１０を送り出しやすくなる。
【００４４】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。以下の説明において、第１の実施形態と相違する点について説明し、第１の実施形態と同様の部材等については同じ符号を用い、説明は省略する。本実施の形態に係る搬送システムは、主搬送路２３及び副搬送路２４と、経路切替機構８と、半導体処理装置６とを備えている。
【００４５】
本実施の形態の副搬送路２４は、図６に示すように、主搬送路２３から分離し、その後主搬送路２３に合流するように形成されている。具体的には、主搬送路２３は、円筒形状のローラ２３ａと、各ローラの長手方向の長さが段階的に長くなっているローラ群２３ｃと、各ローラの長手方向の長さが段階的に短くなっているローラ群２３ｄと、一対のガイド壁２３ｂとを有している。また、副搬送路２４は、ローラ２３ａと略同一形状及び大きさを有するローラ２４ａと、図示しないガイド壁とを有している。
【００４６】
そして、主搬送路２３は、ローラ２３ａが搬送方向（図中左から右方向）に沿って設けられ、副搬送路２４が分離する分離点で、ローラ群２３ｃが設けられている。ローラ群２３ｃは、長手方向においてローラ２３ａの長さから、略２倍の長さとなるまで段階的に長くなる複数のローラからなっている。そして、ローラ群２３ｃに続いて、ローラ２３ａとローラ２４ａとが平行に設けられる。
【００４７】
さらに、平行に設けられたローラ２３ａとローラ２４ａとに続いて、主搬送路２３と副搬送路２４とが合流する合流点で、ローラ群２３ｄが設けられている。ローラ群２３ｄは、長手方向においてローラ２３ａの略２倍の長さから、ローラ２３ａの長さとなるまで段階的に短くなる複数のローラから構成されている。そして、ローラ群２３ｄに続いて、ローラ２３ａが設けられている。
【００４８】
このように各ローラを設けることにより、副搬送路２４が主搬送路２３から分離し、その後に、合流するように形成される。
【００４９】
また、一対のガイド壁２３ｂは、ローラ２３ａを挟持するように複数のローラ２３ａに沿って設けられており、ローラ２３ａ上を移動するＦＯＵＰ１０の横ズレを防止するようになっている。なお、かかる分岐点、合流点において、主搬送路２３の副搬送路側のガイド壁２３ｂは、設けられておらず、ＦＯＵＰ１０が、主搬送路２３から副搬送路２４、又は、副搬送路２３から主搬送路２３に侵入できるようになっている。また、副搬送路２４のローラ２４ａと平行に配置されたローラ２３ａの副搬送路側のガイド壁は図面の都合上省略している。
【００５０】
さらに、図示していないが、副搬送路２４も、ローラ２４ａを移動するＦＯＵＰ１０の横ズレを防止するガイド壁を有しており、半導体処理装置６側（紙面奥側）のガイド壁は、主搬送路２３のガイド壁２３ｂに接続されて設けられている。
【００５１】
経路切替機構８は、ガイド棒９を有し、分岐点に設けられている。ガイド棒９は、分岐点のローラ群２３ｃを搬送方向に横切り、ローラ２３ａとローラ２４ａとの間を基点に回転するように設けられている。具体的には、ガイド棒９は、主搬送路２３を移動するＦＯＵＰ１０の副搬送路２４への進入を禁止する位置（図中実線部分）と、ＦＯＵＰ１０を副搬送路２４へ進入させる位置（図中破線部分）との間を回動するようように設けられている。ガイド棒９を、ＦＯＵＰ１０の副搬送路２４への進入を禁止する位置にすると、ＦＯＵＰ１０は副搬送路２４に侵入することなく、ガイド棒９に沿って主搬送路２３を直進する。また、ガイド棒９を、ＦＯＵＰ１０を副搬送路２４へ進入させる位置にすると、主搬送路２３を搬送されるＦＯＵＰ１０がガイド棒９に塞き止められて、ガイド棒９に沿って副搬送路２４に進入するようになる。このように、経路切替機構８を設けることにより、ローラ２３ａを停止させることなく、ＦＯＵＰ１０を副搬送路２４に進入させることができる。
【００５２】
なお、副搬送路２４を搬送されるＦＯＵＰ１０は、ローラ群２３ｄが設けられている合流点において、ガイド棒を設けなくても、図示しないガイド壁に沿って主搬送路２３に侵入するようになっている。
【００５３】
（搬出入時の動作）
次に、搬送システムにおける、ＦＯＵＰ１０を半導体処理装置６に搬出入する際の動作について、図７及び図８のフローチャートを参照して説明する。
【００５４】
主搬送路２３を搬送されるＦＯＵＰ１０を半導体処理装置６に搬入する場合、制御装置は、その半導体処理装置６の近傍を通過するＦＯＵＰ１０を検出すると、図７に示す処理ルーチンを実行する。具体的には、主搬送路２３における分岐点近傍に設けられたセンサがＦＯＵＰ１０を検出すると、図７に示す処理ルーチンを実行する。まず、検出したＦＯＵＰ１０が、半導体処理装置６が要求するＦＯＵＰであるか否かを判定する（Ｃ１）。要求するＦＯＵＰでない場合（Ｃ１：ＮＯ）、本ルーチンを終了する。要求するＦＯＵＰである場合（Ｃ１：ＹＥＳ）、経路切替機構８のガイド棒９を、ＦＯＵＰ１０を副搬送路２４へ進入させる位置に切り替える（Ｃ２）。なお、ガイド棒９は、平時は、搬送方向と平行な状態（図中実線部）となっている。
【００５５】
次に、副搬送路２４に送り出したＦＯＵＰ１０が、搬出入位置に位置したか否かを判定する（Ｃ３）。搬出入位置に位置していない場合（Ｃ３：ＮＯ）、搬出入位置に位置するまで、Ｃ３を繰り返す。搬出入位置に位置した場合（Ｃ３：ＹＥＳ）、副搬送路２４のローラ２４ａの回転を停止し、ＦＯＵＰ１０を静止させる（Ｃ４）。そして、ＦＯＵＰ１０が、半導体処理装置６の移載装置７により副搬送路２４から搬出されたか否かを判定する（Ｃ５）。搬出されていない場合（Ｃ５：ＮＯ）、搬出されるまで待機する。搬出された場合（Ｃ５：ＹＥＳ）、副搬送路２４のローラ２４ａの回転を開始し（Ｃ６）、本ルーチンを終了する。
【００５６】
次に、半導体処理装置６で処理されたＦＯＵＰ１０を主搬送路２３に搬入する場合、半導体処理装置６から信号等を受信した制御装置は、図８に示す処理ルーチンを実行し、まず、副搬送路２４のローラ２４ａの回転を停止する（Ｄ１）。次に、ＦＯＵＰ１０が半導体処理装置６の移載装置７により副搬送路２４の搬出入位置に載置されたか否かを判定する（Ｄ２）。載置されていない場合（Ｄ２：ＮＯ）、載置されるまで待機する。載置された場合（Ｄ２：ＹＥＳ）、副搬送路２４のローラ２４ａの回転を開始し（Ｄ３）、本ルーチンを終了する。これにより、副搬送路２４に載置されたＦＯＵＰ１０は図示しないガイド壁に沿って主搬送路２３へと進入し、主搬送路２３上を搬送されるようになる。
【００５７】
（本実施形態の概要）
以上説明したように、本実施の形態の搬送システムは、副搬送路２４が、主搬送路２３から分岐しており、経路切替機構８が、分岐する地点に設けられ、主搬送路２３を搬送されるＦＯＵＰ１０を塞き止めると共に、ＦＯＵＰ１０を副搬送路２４に導く構成にされている。
【００５８】
この構成によると、主搬送路２３を搬送されるＦＯＵＰ１０を簡単に主搬送路から副搬送路へとＦＯＵＰ１０を送り出すことができる。
【００５９】
（変形例）
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。例えば、ＦＯＵＰ１０を強制的に搬送路を変更する場合、プッシャーにより主搬送路２１から副搬送路２２に変更し、経路切替機構により、副搬送路から主搬送路に変更するように構成してもよい。また、上述の実施の形態では、副搬送路上のＦＯＵＰ１０を半導体処理装置６に搬出入する場合について説明しているが、ＦＯＵＰ１０を一時的に保管するための所謂ストッカに搬出入する場合に本発明を適用するようにしてもよい。さらに、移載装置７は、本実施の形態の構成に限定されることない。
【００６０】
また、上述の実施の形態では、移載装置７によりＦＯＵＰ１０を副搬送路に搬出入する際に、副搬送路のローラの回転を停止させているが、停止させずに、回転速度を落とすようにしてもよい。この場合、ＦＯＵＰ１０の移動速度が落ちるため、移載装置７によりＦＯＵＰ１０を把持しやすくなると共に、副搬送路を移動する他のＦＯＵＰが無駄に静止し、搬送時間が長くなってしまうおそれを低減できるようになる。また、移載装置７によりＦＯＵＰを把持する搬出入位置のローラのみを停止するようにしてもよい。
【００６１】
本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の趣旨と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】実施例の搬送システムにおける副搬送路が配置された部分の拡大図（第１実施形態）。
【図２】実施例の搬送システムを表す概略図。
【図３】（ａ）搬送路変更位置のローラを説明するための斜視図。（ｂ）搬送路変更位置のローラを中心軸方向から見た側面図。
【図４】ＦＯＵＰの処理装置への搬入時に実行される動作処理ルーチンのフローチャートを示す図。
【図５】ＦＯＵＰの処理装置からの搬出時に実行される動作処理ルーチンのフローチャートを示す図。
【図６】実施例の搬送システムにおける副搬送路が配置された部分の拡大図（第２実施形態）。
【図７】ＦＯＵＰの処理装置への搬入時に実行される動作処理ルーチンのフローチャートを示す図（第２実施形態）。
【図８】ＦＯＵＰの処理装置からの搬出時に実行される動作処理ルーチンのフローチャートを示す図（第２実施形態）。
【符号の説明】
【００６３】
１    搬送システム
２１  第１搬送路
２２  第２搬送路
３・４  プッシャー
５ａ・５ｂ    エアー噴射機構
６    半導体処理装置
７    移載装置
１０  ＦＯＵＰ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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