(57)【要約】【課題】使い勝手がよい流量設定ツールを備え、簡便に最適な演算パラメータを短時間で設定可能なマルチバリアブル質量流量伝送器システムを提供する。【解決手段】ネットワークに接続されるマルチバリアブル質量流量伝送器と、前記ネットワークを介して前記マルチバリアブル質量流量伝送器内の質量流量演算部の設定を行う流量設定ツールとを備えるマルチバリアブル質量流量伝送器システムにおいて、前記流量設定ツールは、前記質量流量演算の演算パラメータを生成するパラメータ生成部と、診断条件を入力する条件入力部と、前記演算パラメータを前記ネットワークに送信し前記質量流量演算部の演算結果を受信するインターフェース部と、前記診断条件に基づく質量流量の値を算出する模擬演算部と、前記模擬演算部の出力の値を表示する模擬演算質量流量表示部と、前記演算結果を表示する伝送器質量流量表示部と、前記模擬演算質量流量表示部と前記伝送器質量流量表示部とを同一画面上に表示する診断表示画面とを備える。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワークに接続されるマルチバリアブル質量流量伝送器と、前記ネットワークを介して前記マルチバリアブル質量流量伝送器内の質量流量演算部の設定を行う流量設定ツールとを備えるマルチバリアブル質量流量伝送器システムにおいて、
前記流量設定ツールは、
前記質量流量演算の演算パラメータを生成するパラメータ生成部と、
診断条件を入力する条件入力部と、
前記演算パラメータを前記ネットワークに送信し前記質量流量演算部の演算結果を受信するインターフェース部と、
前記診断条件に基づく質量流量の値を算出する模擬演算部と、
前記模擬演算部の出力の値を表示する模擬演算質量流量表示部と、
前記演算結果を表示する伝送器質量流量表示部と、
前記模擬演算質量流量表示部と前記伝送器質量流量表示部とを同一画面上に表示する診断表示画面と
を備えることを特徴とするマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
【請求項２】
前記模擬演算部は、前記条件入力部に入力された診断条件から所定の数に自動で分割された複数の診断条件に基づく質量流量の値をそれぞれ算出する
ことを特徴とする請求項１記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
【請求項３】
前記診断表示画面は、前記模擬演算部の出力の値と前記演算結果との差異に基づく値を表示する
ことを特徴とする請求項２記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
【請求項４】
前記マルチバリアブル質量流量伝送器内の質量流量演算部は、
前記流量設定ツールから送信される演算パラメータを入力するシミュレーションモード演算部と、
前記マルチバリアブル質量流量伝送器に入力されるプロセスの実データを入力する実入力モード演算部と、
を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
【請求項５】
前記伝送器質量流量表示部は、前記シミュレーションモード演算部の演算結果または前記実入力モード演算部の演算結果を前記マルチバリアブル質量流量伝送器より受信して選択的に表示する、シミュレーションモード表示部及び実入力モード表示部を備えることを特徴とする請求項４記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
【請求項６】
前記模擬演算質量流量表示部は、前記シミュレーションモードにおける前記模擬演算部の出力の値または前記実入力モードにおける前記模擬演算部の出力の値を選択的に表示する、シミュレーションモード表示部及び実入力モード表示部を備えることを特徴とする請求項４記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
【請求項７】
前記模擬演算部は、前記マルチバリアブル質量流量伝送器よりプロセスの実データを取得して前記実入力モードにおける模擬演算を実行することを特徴とする請求項６記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マルチバリアブル質量流量伝送器（多変数伝送器）を備えるマルチバリアブル質量流量伝送器システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
プロセスより検出された差圧と静圧と温度とから質量流量を算出しネットワークに伝送するマルチバリアブル質量流量伝送器がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、マルチバリアブル質量流量伝送器は、低消費電力で動作することが要求され、限られた演算能力で高度な計算をリアルタイムで実行しなくてはいけない。このようなことから、マルチバリアブル質量流量伝送器内の質量流量演算部は、簡略化した流体の密度・粘度の計算式を使用して質量流量を算出する。
【０００４】
具体的には、例えば、質量流量演算部は、簡略化した計算式を使用して質量流量を算出する。そして、マルチバリアブル質量流量伝送器の外部の流量設定ツールを用いて、質量流量演算部の計算式の演算パラメータの設定を行う。さらに、独自の演算方法を採用することで、高速・高精度であり、オリフィス、ノズル、ベンチュリ管などの多数の流量規格、一般気体、蒸気表、天然ガスなどの流体種に対応する。具体的には、レイノルズ数補正を行い、気体の断熱膨張による影響を補正し、静圧と温度とから密度を補正する。
【０００５】
このことから分かるように、マルチバリアブル質量流量伝送器の能力を有効に活用するためには、流量設定ツールの使い勝手が大変重要である。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１９０４６１号公報
【非特許文献１】伊藤、他著「マルチバリアブル伝送器ＥＪＸ９１０」横河技報Ｖｏｌ．５０  Ｎｏ．２（２００６年４月２０日発行）、ｐ．６５−６８．
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、流量設定ツールの設定や伝送器の設定に問題があるとマルチバリアブル質量流量伝送器は正確な質量流量が算出できない、という課題がある。
【０００８】
例えば、流量設定ツールにおいて、静圧、温度の範囲が広すぎる診断条件で演算パラメータを生成した場合、マルチバリアブル質量流量伝送器が算出する質量流量の精度が低下する。
【０００９】
また、伝送器の設定において、温度ケーブル配線に異常があったり、プロセスより検出された差圧と静圧と温度とが設定した範囲を超えたりするとアラームが発生し質量流量が算出できない。つまり、流量設定ツールの問題だけでなく、伝送器側の設定の問題が原因の場合もある。
【００１０】
さらに、流量設定ツールで演算パラメータを生成し、この演算パラメータをマルチバリアブル質量流量伝送器にダウンロードし、マルチバリアブル質量流量伝送器の質量流量演算部の演算結果を取り出し、この演算結果を診断するという作業は、煩雑であり、時間・工数を要するという課題がある。また、適正な設定を行うためには、このような作業を複数回繰り返す必要がある。
【００１１】
本発明の目的は、以上説明した課題を解決するものであり、使い勝手がよい流量設定ツールを備え、簡便に最適な演算パラメータを短時間で設定可能なマルチバリアブル質量流量伝送器システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的を達成する本発明は、次の通りである。
（１）ネットワークに接続されるマルチバリアブル質量流量伝送器と、前記ネットワークを介して前記マルチバリアブル質量流量伝送器内の質量流量演算部の設定を行う流量設定ツールとを備えるマルチバリアブル質量流量伝送器システムにおいて、前記流量設定ツールは、前記質量流量演算の演算パラメータを生成するパラメータ生成部と、診断条件を入力する条件入力部と、前記演算パラメータを前記ネットワークに送信し前記質量流量演算部の演算結果を受信するインターフェース部と、前記診断条件に基づく質量流量の値を算出する模擬演算部と、前記模擬演算部の出力の値を表示する模擬演算質量流量表示部と、前記演算結果を表示する伝送器質量流量表示部と、前記模擬演算質量流量表示部と前記伝送器質量流量表示部とを同一画面上に表示する診断表示画面とを備えることを特徴とするマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
（２）前記模擬演算部は、前記条件入力部に入力された診断条件から所定の数に自動で分割された複数の診断条件に基づく質量流量の値をそれぞれ算出する
ことを特徴とする（１）記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
（３）前記診断表示画面は、前記模擬演算部の出力の値と前記演算結果との差異に基づく値を表示することを特徴とする（２）記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
（４）前記マルチバリアブル質量流量伝送器内の質量流量演算部は、
前記流量設定ツールから送信される演算パラメータを入力するシミュレーションモード演算部と、
前記マルチバリアブル質量流量伝送器に入力されるプロセスの実データを入力する実入力モード演算部と、
を備えることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
（５）前記伝送器質量流量表示部は、前記シミュレーションモード演算部の演算結果または前記実入力モード演算部の演算結果を前記マルチバリアブル質量流量伝送器より受信して選択的に表示する、シミュレーションモード表示部及び実入力モード表示部を備えることを特徴とする（４）記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
（６）前記模擬演算質量流量表示部は、前記シミュレーションモードにおける前記模擬演算部の出力の値または前記実入力モードにおける前記模擬演算部の出力の値を選択的に表示する、シミュレーションモード表示部及び実入力モード表示部を備えることを特徴とする（４）記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
（７）前記模擬演算部は、前記マルチバリアブル質量流量伝送器よりプロセスの実データを取得して前記実入力モードにおける模擬演算を実行することを特徴とする（６）記載のマルチバリアブル質量流量伝送器システム。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば次のような効果がある。
（１）本発明によれば、簡便に最適な演算パラメータを短時間で設定可能なマルチバリアブル質量流量伝送器システムを提供できる。そして、本発明によれば、質量流量の演算結果を容易に診断できる。
（２）本発明によれば、実入力モードでの診断を実行することにより、診断の信頼性向上に貢献することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に図１に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例を示す構成図である。
【００１５】
マルチバリアブル伝送器１０と流量設定ツール２０とは、それぞれ、ネットワーク３０に接続される。
【００１６】
マルチバリアブル伝送器１０は、プロセス４０の配管等に設置され、その内部に伝送器インターフェース（Ｉ／Ｆ）部１１と質量流量演算部１２とを備える。そして、質量流量演算部１２は、簡略化した計算式を使用して、プロセスより検出された差圧と静圧と温度とから質量流量をリアルタイムで算出する。
【００１７】
さらに、伝送器インターフェース部１１は、質量流量演算部１２の計算式の演算パラメータをネットワーク３０から受信し、質量流量演算部１２の演算結果をネットワーク３０に送信する。
【００１８】
また、流量設定ツール２０は、例えば、パーソナルコンピュータ上のソフトウエアを用いて実現する。この流量設定ツール２０内の構成を以下に詳しく説明する。
【００１９】
条件入力部２１は、診断条件を入力する。具体的には、キーボード等により静圧、温度その他の診断条件を入力する。
【００２０】
さらに、パラメータ生成部２２は、静圧、温度その他の条件に基づく質量流量演算の演算パラメータ（Ｋ１，Ｋ２，・・・）を生成する。なお、パラメータ生成部２２は、診断の設定とは別である。
【００２１】
また、ツールインターフェース（Ｉ／Ｆ）部（インターフェース部）２３は、演算パラメータＫ１，Ｋ２，・・・）をネットワーク３０に送信する。さらにまた、ツールインターフェース部２３は、マルチバリアブル伝送器１０の質量流量演算部１２の演算結果Ａを受信する。
【００２２】
さらに、模擬演算部２４は、差圧、静圧、温度その他の診断条件に基づき、詳細な質量流量の値を算出する。具体的には、例えば、模擬演算部２４は、浮動小数点演算等の高精度の演算を行い、基準となる質量流量の値Ｂを算出する。
【００２３】
また、模擬演算質量流量表示部２５は、模擬演算部２４の出力の値Ｂを表示する。さらに、伝送器質量流量表示部２６は、演算結果Ａを表示する。
【００２４】
そして、例えば、オペレータが、値Ｂと演算結果Ａとの差異を確認し、診断する。具体的には、この差異が所定の範囲内であれば、「ＯＫ」と診断する。
【００２５】
以下に図２に基づいて図１の実施例の動作を詳細に説明する。図２は、図１の実施例の動作を示すフローチャートである。
【００２６】
まず、図１の実施例のパラメータ生成部２２において、前記質量流量演算の演算パラメータ（Ｋ１，Ｋ２，・・・）を生成する。そして、この演算パラメータ（Ｋ１，Ｋ２，・・・）をマルチバリアブル質量流量伝送器にダウンロードする。つまり、最初にパラメータをダウンロードする。
【００２７】
次に、図１の実施例の条件入力部２１において、密度診断モードを選択するステップＳ２を実行する。そして、例えば、１個の条件指定であるのか、ｎ個の条件指定であるのか、範囲指定であるのかを選択する。
【００２８】
また、その次に、図１の実施例の条件入力部２１において、診断条件を入力するステップＳ３を実行する。そして、例えば、静圧の値、温度の値、診断判定閾値その他の診断条件を入力する。
【００２９】
さらに、その次に、図１の実施例の質量流量演算部１２において、質量流量の演算を行うステップＳ４を実行する。そして、質量流量演算部１２の演算結果Ａを流量設定ツール２０に伝達する。さらにまた、図１の実施例の模擬演算部２４は、診断条件に基づき質量流量の値Ｂを算出する。
【００３０】
また、その次に、質量流量の演算を診断するステップＳ５を実行する。詳しくは、模擬演算部の出力の値Ｂと演算結果Ａとの差と診断判定閾値とを比較する。
【００３１】
最後に、診断の結果を表示するステップＳ６を実行する。また、例えば、模擬演算部の出力の値と演算結果とをそれぞれ表示し、模擬演算部の出力の値と演算結果との差をパーセント表示する。
【００３２】
このような図１の実施例の表示画面について、図３から図６を用いて詳しく説明する。図４のから図６において、診断表示画面７０は、図１の実施例の模擬演算質量流量表示部２５と伝送器質量流量表示部２６とを同一画面上に表示し、また、模擬演算部２４の出力と演算結果との差異に基づく値を表示する。
【００３３】
図３は、図１の実施例の診断条件入力画面５０を示す図である。
診断条件入力画面５０は、図２のフローチャートのステップＳ２に対応する。また、密度診断モード選択５１、１個の条件指定５２、ｎ個の条件指定５３、個数の指定５４、範囲指定５５が表示される。
【００３４】
そして、１個の条件指定５２、ｎ個の条件指定５３、範囲指定５５のいずれかのチェックボックスがオンとなる。さらに、ｎ個の条件指定５３が選択された場合は、個数の指定５４の値が入力される。
【００３５】
図４は、図１の実施例の診断条件入力画面６０及び診断結果表示画面７０を示す図であり、ステップＳ２で１個の条件指定を選択した場合に対応する。
【００３６】
また、診断条件入力画面６０において、条件６１、静圧６２、温度６３、診断判定閾値変更６４、診断判定閾値６５、診断実行ボタン６６が表示され、図２のフローチャートのステップＳ３に対応する。そして、静圧、温度の入力と診断判定閾値の変更を行い、診断実行ボタンを選択する。
【００３７】
さらに、診断結果表示画面７０において、条件７１、静圧７２、温度７３、図１の実施例の質量流量演算部１２の演算結果Ａ（伝送器の流体密度演算値）７４、図１の実施例の模擬演算部２４の出力の値Ｂ（物性ＤＢの流体密度）７５、演算結果Ａと値Ｂとの差と値Ｂとの商７６、診断結果７７が表示され、図２のフローチャートのステップＳ３からステップＳ６に対応する。
【００３８】
図５は、図１の実施例の診断条件入力画面６０及び診断結果表示画面７０を示す図であり、ステップＳ１でｎ個の条件指定を選択した場合に対応する。
【００３９】
また、診断条件入力画面６０において、条件６１、静圧６２、温度６３がそれぞれ複数組表示され、診断判定閾値変更６４、診断判定閾値６５、診断実行ボタン６６が表示され、図２のフローチャートのステップＳ３に対応する。そして、静圧、温度の入力をそれぞれ行い、診断判定閾値の変更を行い、診断実行ボタンを選択する。
【００４０】
さらに、診断結果表示画面７０において、条件７１、静圧７２、温度７３、図１の実施例の質量流量演算部１２の演算結果Ａ（伝送器の流体密度演算値）７４、図１の実施例の模擬演算部２４の出力の値Ｂ（物性ＤＢの流体密度）７５、演算結果Ａと値Ｂとの差と値Ｂとの商７６、診断結果７７がそれぞれ複数組表示され、図２のフローチャートのステップＳ４からステップＳ６が複数回繰り返されたものに対応する。
【００４１】
図６は、図１の実施例の診断条件入力画面６０及び診断結果表示画面７０を示す図であり、ステップＳ２で範囲指定を選択した場合に対応する。
【００４２】
また、診断条件入力画面６０において、範囲６０１、範囲変更６０２、第１の静圧６２１、第１の温度６３１、第２の静圧６２２、第２の温度６３２、分割数変更６０３、静圧分割数６０４、温度分割数６０５、診断判定閾値変更６４、診断判定閾値６５、診断実行ボタン６６が表示され、図２のフローチャートのステップＳ２に対応する。そして、静圧、温度の入力をそれぞれ行い、範囲と分割数との変更を行い、診断判定閾値の変更を行い、診断実行ボタンを選択する。
【００４３】
そして、例えば、第１の静圧６２１から第２の静圧６２２の範囲が、静圧分割数６０４に基づいて自動で等分割される。また、例えば、第１の温度６３１から第２の温度６３２の範囲が、温度分割数６０５に基づいて自動で等分割される。
【００４４】
さらに、診断結果表示画面７０において、条件７１、静圧７２、温度７３、図１の実施例の質量流量演算部１２の演算結果Ａ（伝送器の流体密度演算値）７４、図１の実施例の模擬演算部２４の出力の値Ｂ（物性ＤＢの流体密度）７５、演算結果Ａと値Ｂとの差と値Ｂとの商７６、診断結果７７がそれぞれ複数組表示され、図２のフローチャートのステップＳ４からステップＳ６が複数回繰り返されたものに対応する。
【００４５】
次に、図７から図１１を用いて、機能拡張された本発明の他の実施形態を説明する。図７は、本発明の他の実施例を示す構成図である。以下、図１の実施例に対して拡張された特徴部を説明する。
【００４６】
マルチバリアブル伝送器１０において、質量流量演算部１２は、流量設定ツール２０から送信される演算パラメータを入力するシミュレーションモード演算部１２１と、マルチバリアブル伝送器１０に入力されるプロセスの実データを入力する実入力モード演算部１２２とを備える。
【００４７】
流量設定ツール２０において、伝送器質量流量表示部２６は、シミュレーションモード演算部１２１の演算結果または前記実入力モード演算部１２２の演算結果を前記マルチバリアブル伝送器より受信して選択的に表示する、シミュレーションモード表示部２６１及び実入力モード表示部２６２を備える。
【００４８】
流量設定ツール２０において、模擬演算質量流量表示部２５は、シミュレーションモードにおける模擬演算部２４の出力の値または実入力モードにおける模擬演算部２４の出力の値を選択的に表示する、シミュレーションモード表示部２５１及び実入力モード表示部２５２を備える。
【００４９】
模擬演算部２４は、実入力モードにおける模擬演算を実行する場合には、マルチバリアブル伝送器１０の実入力モード演算部１２２に入力されるプロセスの実データと同一データをマルチバリアブル伝送器１０より取得して模擬演算を実行する。
【００５０】
図８は、図７の実施例の動作を示すフローチャートである。図２のフローチャートとの相違点は、ステップＳ２の流量係数診断モード選択ステップであり、他のステップは同一である。
【００５１】
図９は、図７の実施例の診断条件入力画面８０を示す図である。この実施例の診断モードでは、シミュレーションモード並びに実入力モードにおけるマルチバリアブル伝送器の質量流量演算結果と、流量設定ツールの模擬演算結果とを対比させる流量係数診断モードで示す。
【００５２】
診断条件入力画面８０は、図８のフローチャートのステップＳ２に対応する。画面８０において、流量係数診断モード選択８１により、シミュレーションモードまたは実入力モードを選択することで、シミュレーションモードチェックボックス８２または実入力モードチェックボックス８３がオンとなる。
【００５３】
シミュレーションモード選択時には、条件個別指定チェックボックス８４または範囲指定チェックボックス８５がオンとなる。更に、条件個別指定が選択された場合には、診断対象ポイントの個数の指定８６により個数の指定値を入力する。実入力モード選択時には、対象ポイント数指定８７で個数の指定値を入力する。
【００５４】
図１０は、図９の診断条件入力画面８０でシミュレーションモードが選択された場合における、複数条件を入力する入力画面９０及び診断結果表示画面１００を示す図であり、図８のフローチャートのステップＳ２でシミュレーションモードでのｎ個の条件指定を選択した場合に対応する。
【００５５】
入力画面９０において、ｎ個の条件９１、各条件に対応する差圧９２、静圧９３、温度９４が表示され、診断判定閾値変更９５、診断判定閾値９６、診断実行ボタン９７が表示される。この画面は、図８のフローチャートのステップＳ３に対応する。そして、差圧、静圧、温度の入力を夫々行い、診断判定閾値の変更を行い、診断実行ボタンを選択する。
【００５６】
更に、診断結果表示画面１００において、条件１０１、差圧１０２、静圧１０３、温度１０４、マルチバリアブル伝送器１０のシミュレーションモード演算部１２１の係数演算値（結果Ａ）１０５、流量設定ツール２０のシミュレーションモードでの模擬演算部２４の出力値（値Ｂ）１０６、結果Ａと値Ｂとの差と値Ｂとの商１０７、診断結果１０８が条件個数ｎ組で表示される。この画面表示は、図８のフローチャートでステップＳ４からステップＳ６がｎ回繰り返されたものに対応する。
【００５７】
Ａ
図１１は、図９の診断条件入力画面８０で範囲指定をした場合に表示される診断条件入力画面９０であり、図８のフローチャートのステップＳ２でシミュレーションモードでの範囲指定を選択した場合に対応する。
【００５８】
診断条件入力画面９０において、範囲９０１、範囲変更９０２、第１の差圧９２１、第１の静圧９３１、第１の温度９４１、第２の差圧９２２、第２の静圧９３２、第２の温度９４２、分割数変更９０３、差圧分割数９０４、静圧分割数９０５、温度分割数９０６、診断判定閾値変更９５、診断判定閾値９６、診断実行ボタン９７が表示される。
【００５９】
この表示画面９０は、図８のフローチャートのステップＳ３に対応する。そして、差圧、静圧、温度の入力を夫々行い、範囲と分割数との変更を行い、診断判定閾値の変更を行い、診断実行ボタンを選択する。
【００６０】
そして、第１の差圧９２１から第２の差圧９２２の範囲が、差圧分割数９０４に基づいて自動的に分割される。同様に、第１の静圧９３１から第２の静圧９３２の範囲が、静圧分割数９０５に基づいて自動的に分割される。同様に、第１の温度９４１から第２の温度９４２の範囲が、温度分割数９０６に基づいて自動的に分割される。
【００６１】
この範囲選択によるシミュレーションモードの診断結果表示画面は、図１０の条件個数指定によるシミュレーションモードの診断結果表示画面１００と同一であるため、説明を省く。
【００６２】
図１２は、図９の診断条件入力画面８０で実入力モードを指定した場合に表示される診断条件入力画面９０であり、図８のフローチャートのステップＳ２で実入力モードを選択した場合に対応する。
【００６３】
診断条件入力画面９０において、診断判定閾値変更９５、診断判定閾値９６、診断実行ボタン９７が表示される。この画面は、図８のフローチャートのステップＳ３に対応する。そして、診断判定閾値の変更を行い、診断実行ボタンを選択する。
【００６４】
この実入力モードの診断結果表示画面は、図１０の条件個数指定によるシミュレーションモードの診断結果表示画面１００と同一であるため、説明を省く。但し、伝送器の流量係数結果Ａ及び模擬演算部の出力値Ｂは、実入力モードでの演算値である。
【００６５】
このような図１及び図７の実施例は、伝送器の密度演算値と物性データベースの流体密度、流量係数演算値が誤差率とあわせて同一画面上で容易に比較できる。また、設定されている診断閾値にしたがって、診断結果が自動的に表示される。さらに、温度、圧力範囲、分割数で自動的に診断が可能である。また、分割数を変更するだけでより細かい条件での診断が可能である。また、任意の静圧、温度条件を入力しての診断も実行可能である。
【００６６】
よって、図１の実施例によれば、マルチバリアブル質量流量伝送器１０の質量流量の演算が正常であることの診断が容易になり、異常のときのトラブルシュートの効率がアップする。
【００６７】
さらに、上述の実施例は、模擬演算部２４が流量設定ツール２０内に形成されるものであったが、これとは別に、模擬演算部に対応する構成要素がマルチバリアブル伝送器１０内に形成されるものであっても、同等の構成となり、同等の作用効果がある。
【００６８】
また、本発明は、上述の実施例に限定されることなく、その本質を逸脱しない範囲でさらに多くの変更及び変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】図１の実施例の動作を示すフローチャートである。
【図３】図１の実施例の診断条件入力画面５０を示す図である。
【図４】図１の実施例の診断条件入力画面６０及び診断結果表示画面７０を示す図である。
【図５】図１の実施例の診断条件入力画面６０及び診断結果表示画面７０を示す図である。
【図６】図１の実施例の診断条件入力画面６０及び診断結果表示画面７０を示す図である。
【図７】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図８】図７の実施例の動作を示すフローチャートである。
【図９】図７の実施例の診断条件入力画面８０を示す図である。
【図１０】図７の実施例の診断条件入力画面９０及び診断結果表示画面１００を示す図である。
【図１１】図７の実施例の診断条件入力画面９０を示す図である。
【図１２】図７の実施例の診断条件入力画面９０を示す図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０  マルチバリアブル伝送器
１１  伝送器インターフェース（Ｉ／Ｆ）部
１２  質量流量演算部
２０  流量設定ツール
２１  条件入力部
２２  パラメータ生成部
２３  ツールインターフェース（Ｉ／Ｆ）部
２４  模擬演算部
２５  模擬演算質量流量演算部
２６  伝送器質量流量表示部
３０  ネットワーク
４０  プロセス
５０，６０  診断条件入力画面
７０  診断結果表示画面
【図１】
2007293791.tif 000003
【図２】
2007293791.tif 000004
【図３】
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【図４】
2007293791.tif 000006
【図５】
2007293791.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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