(57)【要約】【課題】  中間のビデオカメラの撮影領域内の欠陥画素のアドレスを求めることができるようにすることにある。【解決手段】  処理装置は、表示用パネルを受けてこれを点灯させるパネル受け装置と、該パネル受け装置に受けられたパネルをこれに対し角度を有する第１の方向から撮影する複数のビデオカメラであってパネルと平行の第２の方向に整列された複数のビデオカメラとを含む。パネル受け装置は、パネルを受けるパネル受けと、該パネル受けに受けられたパネルに通電する少なくとも1つのプローブユニットと、プローブユニットに配置された少なくとも1つのマーカーであって第２の方向に隣り合う２つのビデオカメラで撮影可能の座標位置参照用マークを有するマーカーとを備える。【選択図】図１
2007298787.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示用パネルを受けてこれを点灯させるパネル受け装置と、該パネル受け装置に受けられたパネルをこれに対し角度を有する第１の方向から撮影する複数のビデオカメラであって前記パネルと平行の第２の方向に整列された複数のビデオカメラとを含み、
前記パネル受け装置は、パネルを受けるパネル受けと、該パネル受けに受けられたパネルに通電する少なくとも1つのプローブユニットと、前記プローブユニットに配置された少なくとも1つのマーカーであって前記第２の方向に隣り合う２つのビデオカメラで撮影可能の座標位置参照用マークを有するマーカーとを備える、表示用パネルの処理装置。
【請求項２】
前記マーカーは、前記第１及び第２の方向と交差する第３の方向に突出する先端部を有しており、この先端部に前記マークを有する、請求項１に記載の表示用パネルの処理装置。
【請求項３】
前記マーカーは、これを前記第１の方向に貫通しかつ前記第２の方向に長い長穴を有しており、また前記長穴を貫通して前記プローブユニットに螺合されたねじ部材により前記プローブユニットに取り付けられている、請求項１に記載の表示用パネルの処理装置。
【請求項４】
前記第１の方向における前記マークの位置は、前記パネル受けに受けられたパネルの同方向における位置とほぼ同じである、請求項１に記載の表示用パネルの処理装置。
【請求項５】
前記マークは、パネルに設けられた電極の配置位置にあって前記電極に対し前記ビデオカメラの側に位置されている、請求項１に記載の表示用パネルの処理装置。
【請求項６】
前記プローブユニットは、前記第２の方向に長いプローブベースと、該プローブベースにこれの長手方向に間隔をおいて配置された複数のプローブブロックであって各プローブブロックがパネルの電極に接触される複数の接触子を備えた複数のプローブブロックとを備え、
前記マーカーは、前記第１及び第２の方向と交差する第３の方向に突出する状態に隣り合うプローブブロックの間にあって前記プローブベースに取り付けられたマークホルダと、該マークホルダに取り付けられた板部材であって前記マークが形成された板部材とを備える、請求項１に記載の表示用パネルの処理装置。
【請求項７】
少なくとも第１，第２及び第３のビデオカメラを含み、これらビデオカメラによる前記第２の方向における撮影可能領域は、前記第２の方向における一端に位置された第１のビデオカメラは、少なくとも前記パネルの一端縁から前記マークの位置までであり、前記第２の方向における他端に位置された第２のビデオカメラは、少なくとも前記パネルの他端縁から前記マークの位置に向かう途中の位置までであり、前記第２の方向における中間に位置された第３のビデオカメラは、少なくとも前記マークの位置から前記第２のビデオカメラによる撮影領域の前記第２の方向における一端側の位置までである、請求項１に記載の表示用パネルの処理装置。
【請求項８】
それぞれが前記マークを有する、前記第２の方向に間隔をおいた少なくとも第１及び第２のマーカーと、少なくとも第１，第２及び第３のビデオカメラを含み、これらビデオカメラによる前記第２の方向における撮影可能領域は、前記第２の方向における一端に位置された第１のビデオカメラは、少なくとも前記パネルの一端縁から前記第２の方向における一方側に位置する第１のマークの位置までであり、前記第２の方向における他端に位置された第２のビデオカメラは、少なくとも前記パネルの他端縁から前記第２の方向における他方側に位置された第２のマークの位置に向かう途中の位置までであり、前記第２の方向における中間に位置された第３のビデオカメラは、少なくとも前記第１のマークの位置から前記第２のマークの位置までである、請求項１に記載の表示用パネルの処理装置。
【請求項９】
さらに、前記パネル受け装置及び前記ビデオカメラを支持する筐体を含む、請求項１に記載の表示用パネルの処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような表示用パネルの少なくとも欠陥画素アドレスを求めるための処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような表示用パネルは、一般に、そのパネルにその背面から光を照射すると共に表示画素に通電して、パネルを点灯させ、各表示画素が正常に点灯されたか否かを確認する点灯検査をされる。
【０００３】
そのような点灯検査には、点灯されたパネルの点灯状態を作業者の肉眼により確認する目視点灯検査と、点灯されたパネルの点灯状態をビデオカメラにより撮影し、その出力信号を用いて画像処理することにより確認する自動点灯検査とがある。
【０００４】
いずれの点灯処理装置においても、欠陥画素の存在が確認されると、その欠陥画素はリペア装置において修理される。この修理の際には、欠陥画素をそのアドレスで特定するから、欠陥画素のアドレスを知る必要がある。
【０００５】
自動点灯検査装置の１つとして、各表示画素を点灯させて、その点灯状態をビデオカメラで撮影し、その画像信号を処理し、それにより欠陥画素の有無を確認するものがある（特許文献１）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−３３３２１４号公報
【０００７】
近年のパネルは、その大型化にともなって、表示画素数が多くなってきている。そのようなパネルは、ビデオカメラの撮影画素数が表示画素数の増大ほどには多くなっていないため、１つのパネルを１つのビデオカメラで撮影することができない。
【０００８】
上記のことから、１つのパネルを一方向に整列された少なくとも３つのビデオカメラで分割して撮影することが考えられている。
【０００９】
多数の表示画素を同時に点灯させる簡易型の自動点灯検査装置において、複数のビデオカメラを用いる場合、両端縁に位置する２つのビデオカメラは、パネルの端縁を視野内すなわち撮影領域内に入れ、それらの撮影領域内の欠陥画素がパネルの端縁から何番目の画素に相当するかを確認することにより、各撮影領域内の欠陥画素のアドレスを求めることができる。
【００１０】
しかし、中間に位置するビデオカメラは、パネルの端縁をその撮影領域内に入れることができない。このため、中間のビデオカメラの撮影領域内の欠陥画素のアドレスを求めることはできない。
【００１１】
また、目視点灯検査により欠陥画素の存在を確認したパネルも、欠陥画素のアドレスを知ることができないから、欠陥画素の修理を行う前に、欠陥画素のアドレスを求めなければならない。
【００１２】
上記のように欠陥画素のアドレスを求めることは、自動点灯検査装置のみならず、目視点灯検査装置、リペア装置等の他の処理装置においても要求される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の目的は、中間のビデオカメラの撮影領域内の欠陥画素のアドレスを求めることができるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る処理装置は、表示用パネルを受けてこれを点灯させるパネル受け装置と、該パネル受け装置に受けられたパネルをこれに対し角度を有する第１の方向から撮影する複数のビデオカメラであって前記パネルと平行の第２の方向に整列された複数のビデオカメラとを含む。前記パネル受け装置は、パネルを受けるパネル受けと、該パネル受けに受けられたパネルに通電する少なくとも1つのプローブユニットと、前記プローブユニットに配置された少なくとも1つのマーカーであって前記第２の方向に隣り合う２つのビデオカメラで撮影可能の座標位置参照用マークを有するマーカーとを備える。
【００１５】
前記マーカーは、前記第１及び第２の方向と交差する第３の方向に突出する先端部を有しており、この先端部に前記マークを有することができる。そのようにすれば、マークが第３の方向においてパネルに接近するから、第３の方向におけるビデオカメラの撮影領域を有効に利用することができる。
【００１６】
前記マーカーは、これを前記第１の方向に貫通しかつ前記第２の方向に長い長穴を有しており、また前記長穴を貫通して前記プローブユニットに螺合されたねじ部材により前記プローブユニットに取り付けられていてもよい。そのようにすれば、ねじ部材による締め付けを緩めて、マークホルダをプローブユニットに対し長穴の長さの範囲内で第２の方向に変位させることにより、第２の方向におけるマークの位置を調整することができる。
【００１７】
前記第１の方向における前記マークの位置は、前記パネル受けに受けられたパネルの同方向における位置とほぼ同じとすることができる。そのようにすれば、第２の方向に隣り合う２つのビデオカメラの焦点をパネルに合わせるだけで、それらビデオカメラの焦点がマークにも合わされる。
【００１８】
前記マークは、パネルに設けられた電極の配置位置にあって前記電極に対し前記ビデオカメラの側に位置されていてもよい。
【００１９】
前記プローブユニットは、前記第２の方向に長いプローブベースと、該プローブベースにこれの長手方向に間隔をおいて配置された複数のプローブブロックであって各プローブブロックがパネルの電極に接触される複数の接触子を備えた複数のプローブブロックとを備えることができる。
【００２０】
前記マーカーは、前記第１及び第２の方向と交差する第３の方向に突出する状態に前記プローブベースに取り付けられたマークホルダと、該マークホルダに取り付けられた板部材であって前記マークが形成された板部材とを備えることができる。
【００２１】
本発明に係る処理装置は、少なくとも第１，第２及び第３のビデオカメラを含むことができ、またこれらビデオカメラによる前記第２の方向における撮影可能領域は、前記第２の方向における一端に位置された第１のビデオカメラは、少なくとも前記パネルの一端縁から前記マークの位置まで、前記第２の方向における他端に位置された第２のビデオカメラは、少なくとも前記パネルの他端縁から前記マークの位置に向かう途中の位置まで、前記第２の方向における中間に位置された第３のビデオカメラは、少なくとも前記マークの位置から前記第２のビデオカメラによる撮影領域の前記第２の方向における一端側の位置までとすることができる。
【００２２】
本発明に係る処理装置は、それぞれが前記マークを有する、前記第２の方向に間隔をおいた少なくとも第１及び第２のマーカーと、少なくとも第１，第２及び第３のビデオカメラを含むことができ、またこれらビデオカメラによる前記第２の方向における撮影可能領域は、前記第２の方向における一端に位置された第１のビデオカメラは、少なくとも前記パネルの一端縁から前記第２の方向における一方側に位置する第１のマークの位置まで、前記第２の方向における他端に位置された第２のビデオカメラは、少なくとも前記パネルの他端縁から前記第２の方向における他方側に位置された第２のマークの位置に向かう途中の位置まで、前記第２の方向における中間に位置された第３のビデオカメラは、少なくとも前記第１のマークの位置から前記第２のマークの位置までとすることができる。
【００２３】
本発明に係る処理装置は、さらに、前記パネル受け装置及び前記ビデオカメラを支持する筐体を含むことができる。
【発明の効果】
【００２４】
［欠陥画素の第２の方向におけるアドレス］
【００２５】
第２の方向に隣り合うビデオカメラで共通のマークを撮影可能であると、例えば、一方のビデオカメラは少なくとも第２の方向におけるパネルの端縁又はそれに対応する箇所や端縁の画素を指し示す他のマークから本発明でいうマークの位置までを視野すなわち撮影領域とし、他方のビデオカメラは少なくとも第２の方向におけるマークの位置からパネルの他端縁側の箇所までを撮影領域とすることができる。
【００２６】
これにより、第２の方向に隣り合うビデオカメラのうち、一方のビデオカメラの撮影領域内の欠陥画素の第２の方向におけるアドレスは、例えば、その欠陥画素が第２の方向におけるパネルの端縁又は他のマークから何番目の画素列に存在するかを確認することにより、特定することができる。
【００２７】
これに対し、他方のビデオカメラの撮影領域内の欠陥画素の第２の方向におけるアドレスは、例えば、本発明でいうマークの位置に対応する画素が第２の方向におけるパネルの端縁又は他のマークから何番目の画素列に存在するかを確認すると共に、他方のビデオカメラの撮影領域内の欠陥画素が第２の方向におけるマークの位置に対応する画素列から何番目の画素列に存在するかを確認することにより、特定することができる。
【００２８】
［第３の方向におけるアドレス］
【００２９】
各ビデオカメラの撮影領域内の欠陥画素の第３の方向におけるアドレスは、第３の方向におけるパネルの端縁が第２の方向に隣り合う各ビデオカメラの撮影領域内に入っていれば、その欠陥画素が第３の方向におけるパネルの端縁から何番目の画素列に存在するかを確認することにより、特定することができる。
【００３０】
しかし、パネルを第３の方向においても複数のビデオカメラで分割して撮影し、しかもその中の少なくとも１つのビデオカメラの撮影領域内に第３の方向におけるパネルの端縁が含まれない場合が考えられる。その場合は、上記のようなマーカーを第３の方向に隣り合うビデオカメラで重複して撮影可能に配置し、上記第２の方向におけるアドレスと同様にして第３の方向における欠陥画素のアドレスを求めればよい。
【００３１】
［他の請求項の効果］
【００３２】
マーカーが第３の方向に突出する先端部にマークを有していると、マークが第３の方向においてパネルに接近するから、第３の方向におけるビデオカメラの撮影領域を有効に利用することができる。
【００３３】
マーカーが、これを第１の方向に貫通しかつ第２の方向に長い長穴を有しており、また長穴を貫通してプローブユニットに螺合されたねじ部材によりプローブユニットに取り付けられていると、ねじ部材によるプローブユニットへのマーカーの締め付けを緩めて、マーカーをプローブユニットに対し長穴の長さの範囲内で第２の方向に変位させることにより、第２の方向におけるマークの位置を調整することができる。
【００３４】
第１の方向におけるマーカーの位置は、パネル受けに受けられたパネルの同方向における位置とほぼ同じであると、第２の方向に隣り合う２つのビデオカメラの焦点をパネルに合わせるだけで、それらビデオカメラの焦点がマークにも合わされる。
【００３５】
一般に、パネルは、一対のガラス基板を第１の方向に間隔をおいており、また電極をビデオカメラと反対の側のガラス基板のビデオカメラ側の面に設けていると共に、ビデオカメラ側のガラス基板をその反対側のガラス基板より電極の配置領域分だけ小さくして、電極をビデオカメラの側に露出させている。このため、マークが電極の配置位置にあって電極に対しビデオカメラの側に位置されていると、マークが第３の方向においてパネルに接近するから、第３の方向におけるビデオカメラの撮影領域を有効に利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
［用語について］
【００３７】
本発明においては、図１において、上下方向を上下方向又はＺ方向（第１の方向）といい、左右方向をＸ方向又は左右方向（第２の方向）といい、紙背方向を前後方向又はＹ方向（第３の方向）という。しかし、それらの方向は、被検査体を処理装置に配置する姿勢、すなわち処理装置に配置された被検査体の姿勢により異なる。
【００３８】
したがって、上記の方向は、実際の処理装置に応じて、Ｘ方向及びＹ方向が、水平面、水平面に対し傾斜する傾斜面、及び水平面に垂直の垂直面のいずれかの面内となるように決定してもよいし、それらの面の組み合わせとなるように決定してもよい。
【実施例】
【００３９】
図１〜図６を参照するに、処理装置１０は、表示用パネル１２を通電回路に接続して、点灯検査のような通電試験すると共に、欠陥画素のアドレスを求める自動点灯処理装置として用いられる。
【００４０】
表示用パネル１２は、矩形の形状を有しており、また矩形の辺のいくつかに対応する縁部の各々に複数の電極を備える。図示の例では、表示用パネル１２は、液晶を封入した液晶表示パネルであり、また隣り合う２つの縁部の各々に複数の電極を対応する縁部の長手方向に間隔をおいて有している。
【００４１】
図６に示すように、パネル１２は、液晶を２つのガラス板１４，１６の間に封入している。下側のガラス基板１４は、薄膜トランジスタを上側のガラス基板１６の側の面（上面）に設けており、その同じ面の隣り合う２つの縁部に複数の電極を配置している。上側のガラス基板１６は、下側ガラス基板１４の側と反対側の面（上面）を表示面としており、また下側ガラス基板１４より電極の配置領域１８の分だけ小さくして、電極を露出させている。
【００４２】
処理装置１０は、筐体フレーム２０に取り付けられた検査ステージ２２を含む。検査ステージ２２は、支持台２４をステージ本体２６の上に取り付け、支持台２４にバックライトユニット２８を配置し、パネル１２を受けるパネル受け３０を支持台２４の上に取り付けている。
【００４３】
支持台２４は、矩形の板の形状を有する支持ベース３２と矩形の板の形状を有する受けベース３４とを、これらが上下方向に間隔をおいて平行する状態に、複数の支柱３６により組み付けている。
【００４４】
受けベース３４は、これの中央領域を厚さ方向に貫通する矩形の開口（図示せず）により、板枠状に形成されている。これにより、開口を介して上方に開放する空間が支持台２４に形成されている。開口は、検査すべきパネル１２とほぼ同じ大きさを有する。
【００４５】
ステージ本体２６は、支持台２４及びパネル受け３０を、Ｘ、Ｙ及びＺの三方向に（三次元的に）変位させると共に、Ｚ方向に伸びるθ軸線の周りに角度的に回転させるＸＹＺθステージである。
【００４６】
バックライトユニット２８は、白色電球や白色蛍光灯のような複数のバックライト（図示せず）を上方に開放する収納容器３８に収容している。収納容器３８は、支持台２４の上記空間に配置されて、支持ベース３２に取り付けられている。
【００４７】
パネル受け３０は、短い四角筒状をした受け部４０と、受け部４０の下部に設けられた四角いフランジ部４２とを有するチャックトップであり、受け部４０が上下方向に開放するように、フランジ部４２において受けベース３４に取り付けられている。受け部４０は、パネル１２を解除可能に吸着するように真空源に接続された吸着溝を上面に有している。
【００４８】
処理装置１０は、また、パネル受け３０に受けられたパネル１２に通電する２つのプローブユニット４４，４６と、一方のプローブユニット４４にＸ方向に間隔をおいて配置された２つのマーカー４８，５０と、パネル受け３０に受けられたパネル１２を上方から撮影する少なくとも３つのビデオカメラ５２，５４，５６と、これらビデオカメラ５２，５４，５６の出力信号を用いて表示画素の正否を判定する画像処理装置５８とを含む。
【００４９】
プローブユニット４４及び４６のそれぞれは、複数のプローブブロック６０をＸ方向又はＹ方向に長い板状のプローブベース６２にＸ方向又はＹ方向に間隔をおいて配置し、Ｘ方向又はＹ方向に長い板状のプローブベース６２をＸ方向又はＹ方向に長いプローブステージ６４に支持させている。
【００５０】
各プローブブロック６０は、パネル１２の電極に接触される複数の接触子６６をプローブベース６２に支持されたブロック本体６８に取り付けた公知のものである。図示の例では、プローブユニット４４はＸ方向に間隔をおいた４つのプローブブロック６０を備えており、プローブユニット４６はＹ方向に間隔をおいた２つのプローブブロック６０を備えている。
【００５１】
各プローブステージ６４は、これの長手方向における位置を手動で調整可能に筐体フレーム２０にねじ止めされている。プローブユニット４４，４６は、接触子６６がパネル１２の電極に接触可能であるように、プローブステージ６４において筐体フレーム２０に支持されている。
【００５２】
プローブユニット４４は、また、１つのアライメントカメラ７０を備えており、プローブユニット４４は、また、２つのアライメントカメラ７０を備えている。各アライメントカメラ７０は、パネル１２に設けられているアライメントマークを撮影するように、対応するプローブベース６２に取り付けられている。
【００５３】
各アライメントカメラ７０の出力信号は、図示しない制御装置において、パネル１２のアライメントマークが対応するアライメントカメラ７０の視野内すなわち撮影領域内の所定の位置（基準位置）となるように、パネル１２を検査ステージ２２で変位させる信号の発生に用いられる。
【００５４】
マーカー４８，５０のそれぞれは、クランク状に曲げられた取り付けベース７２と、取り付けベース７２の先端部下側に取り付けられた板状の固定部材７４と、固定部材７４に取り付けられた長方形の板部材７６と、板部材７６の先端部上面に設けられたマーク７８とを備える。
【００５５】
マーク７８は、表示画素の座標位置の参照に用いられるものであり、板部材７６の先端部上面と異なる光学的特性を有している。マーク７８は、フォトリソグラフィー技術、電気メッキ技術、エレクトロフォーミング技術等を利用して形成することができる。
【００５６】
図示の例では、マーク７８は、三角形の形状を有しており、また三角形の頂点（頂角）がパネル１２の表示画素を指し示すように、頂点を表示画素の側に向けている。しかし、マーク７８は、矢印のような他のマークであってもよい。
【００５７】
板部材７６は、透明、半透明又は不透明のガラス板であり、マーク７８が固定部材７４から前方に突出した状態に固定部材７４の下面に接着されている。固定部材７４は、マーク７８が取り付けベース７２から前方に突出した状態に取り付けベース７２の下側に複数のねじ部材８０により取り付けられている。
【００５８】
マーカー４８，５０のそれぞれは、取り付けベース７２がＸ方向に隣り合う２つのプローブブロック６０の間に位置すると共に、マーク７８をＸ方向に隣り合う２つのビデオカメラ５２，５４又は５４，５６で撮影可能に、取り付けベース７２の後端部において複数のねじ部材８２によりプローブベース６２に取り付けられている。
【００５９】
マーク７８は、対応するマーカー４８又は５０がプローブベース６２に取り付けられた状態において、パネル受け３０に受けられたパネル１２の表示面のＺ方向における高さ位置とほぼ同じ高さ位置と、パネル１２の電極の配置位置１８のビデオカメラ５２，５４，５６の側の位置とに維持される。
【００６０】
各ねじ部材８２は、取り付けベース７２に設けられた長穴８４（図３及び４を参照）を貫通して、プローブベース６２に螺合されている。各長穴８４は、Ｘ方向に長い。このため、プローブベース６２へのねじ部材８２によるマーカーの締め付けを緩めて、マーカー４８又は５０をプローブベース６２に対し長穴８４の長さの範囲内でＸ方向に変位させることにより、Ｘ方向におけるマーク７８の位置を容易にかつ正確に調整することができる。
【００６１】
ビデオカメラ５２，５４，５６は、図７〜図９に示すように、パネル受け３０に受けられたパネル１２のＹ方向の全範囲が視野すなわち撮影領域に入り、Ｘ方向の一端及び他端に位置する表示画素９０及び９２がＸ方向の両端に位置するビデオカメラ５２及び５６の撮影領域５２ａ及び５６ａに入り、両マーカー４８及び５０のマーク７８がそれぞれビデオカメラ５２，５４及び５４，５６の撮影領域５２ａ，５４ａ及び５４ａ，５６ａに入る状態に、Ｘ方向に間隔をおいて筐体フレーム２０に取り付けられている。
【００６２】
上記の結果、Ｘ隣り合う２つのビデオカメラ５２及び５４又は５４及び５６の撮影領域５２ａ．５４ａ又は５４ａ，５６ａの一部が重複する。
【００６３】
図７〜図９に、Ｘ方向に隣り合う２つのビデオカメラ５２，５４及び５４，５６の重複撮影領域をそれぞれ符号８６及び８８で示す範囲で示し、Ｘ方向におけるビデオカメラ５２，５４及び５６の撮影領域５２ａ，５４ａ及び５６ａの範囲をそれぞれ符号５２ｂ，５４ｂ及び５６ｂで示す。
【００６４】
マーカー４８及び５０は、それぞれ、それらのマーク７８が重複撮影領域８６及び８８に入るように、Ｘ方向における位置を調整される。
【００６５】
Ｘ方向におけるマーカー４８及び５０の位置調整は、検査ステージ２２とプローブユニット４４及び４６と、ビデオカメラ５２，５４，５６とが筐体フレーム２０に取り付けられた状態において、以下のようにして行われる。
【００６６】
先ず、プローブベース６２への両ねじ部材８２のねじ込み量が少なくされて、ねじ部材８２によるプローブベース６２への取り付けベース７２の締め付けが緩められる。
【００６７】
次いで、図８及び図９に示すように、マーク７８がＸ方向に隣り合う２つのビデオカメラ５２，５４（又は、５４，５６）の重複撮影領域範囲８６（又は、８８）内の特定の表示画素９４（又は、９６）を指し示す位置に、マーカー４８（又は、５０）が変位される。
【００６８】
その後、両ねじ部材８２がプローブベース６２にねじ込まれる。
【００６９】
ビデオカメラ５２，５４，５６の撮影領域及びマーカー４８，５０の位置が上記のように調整された後、パネル１２の検査が以下のとおり実行される。
【００７０】
先ず、パネル１２がパネル受け３０に載置され、その状態でパネル１２に設けられたアライメントマークがアライメントカメラ７０により撮影される。各アライメントカメラ７０の出力信号は画像処理装置５８に送られて、画像処理をされる。
【００７１】
次いで、それらのアライメントマークが対応するアライメントカメラ７０の撮影領域内の所定の位置に位置するように、パネル１２が検査ステージ２２により変位される。これにより、各接触子６６の針先がパネル１２の電極の上方に位置される。
【００７２】
次いで、バックライトユニットの各バックライトが点灯され、パネル１２が検査ステージ２２により上昇されて、その電極が接触子６６の針先に押圧される。この際、マーカー４８，５０がＸ方向に隣り合うプローブブロック６０の間に配置されているから、マーカー４８，５０が電極と針先との押圧の妨げにならない。
【００７３】
次いで、上記状態で、パネル１２の全ての表示画素又は多数の表示画素が接触子６６を介して同時に通電される。これにより、パネル１２が点灯される。このため、検査ステージ２２とプローブユニット４４及び４６は、表示用パネルを受けてこれを点灯させるパネル受け装置の一構成要素として作用する。
【００７４】
次いで、パネル１２の点灯状態が、マーク７８と共に、ビデオカメラ５２，５４，５６により撮影される。
【００７５】
ビデオカメラ５２，５４，５６による撮影の際、Ｚ方向におけるマーク７８の位置がパネル１２、特にその表示画面の同方向における位置とほぼ同じであるから、ビデオカメラ５２，５４，５６の焦点をパネル１２、特にその表示画面に合わせるだけで、それらビデオカメラ５２，５４，５６の焦点がマーク７８にも合わされる。
【００７６】
また、ビデオカメラ５２，５４，５６による撮影の際、マーカー４８，５０がＹ方向に突出する先端部にマーク７８を有しているから、マーク７８がＹ方向においてパネル１２に接近させることができ、それによりＹ方向におけるビデオカメラ５２，５４，５６の撮影領域を有効に利用することができる。
【００７７】
さらに、ビデオカメラ５２，５４，５６による撮影の際、マーク７８が電極の配置位置１８にあって電極に対しビデオカメラ５２，５４，５６の側に位置されているから、マーク７８がＹ方向においてパネル１２に接近し、その結果Ｙ方向におけるビデオカメラ５２，５４，５６の撮影領域をも有効に利用することができる。
【００７８】
デオカメラ５２，５４，５６の出力信号は、欠陥画素の有無の確認のために、画像処理装置５８に送られて、画像処理をされる。欠陥画素の有無の確認は、輝度や色相が周囲と異なる箇所が存在するか否かの簡易検査をすることにより、行うことができる。
【００７９】
欠陥画素が存在すると、次にその画素のＸ及びＹアドレス（二次元座標位置）が画像処理装置５８により求められる。
【００８０】
［欠陥画素のＸアドレス］
【００８１】
欠陥画素がビデオカメラ５２の撮影領域５２ａ内の画素であるときは、Ｘアドレスは、パネル１２の最左端縁から欠陥画素が含まれる画素列までの画素列数を計数する、すなわち欠陥画素が含まれる画素列からパネル１２の左端縁までに存在する画素列数を計数することにより、求めることができる。
【００８２】
欠陥画素がビデオカメラ５４の撮影領域５４ａ内の画素９８（図８を参照）であるときは、Ｘアドレスは、先ず、撮影領域５２ａ内においてパネル１２の最左端縁からマーク７８により指し示された画素９４が含まれる画素列までに存在する画素列数を計数し、次いで撮影領域５４ａ内においてマーク７８により指し示された画素９４が含まれる画素列から欠陥画素９８が含まれる画素列までに存在する画素列数を計数し、計数した両画素列数を加算することにより、求めることができる。
【００８３】
欠陥画素がビデオカメラ５６の撮影領域５６ａ内の画素であるときは、Ｘアドレスは、パネル１２の最右端縁から欠陥画素が含まれる画素列までの画素列数を計数することにより、求めることができる。
【００８４】
欠陥画素がビデオカメラ５４の撮影領域５４ａ内の画素９８（図８を参照）である場合、求めたＸアドレスの正否は、先ず、撮影領域５６ａ内においてパネル１２の最右端縁からマーク７８により指し示された画素９４が含まれる画素列までに存在する画素列数を計数し、次いで撮影領域５４ａ内においてマーク７８により指し示された画素９４が含まれる画素列から欠陥画素９８が含まれる画素列までに存在する画素列数を計数し、計数した両画素列数を加算することにより、確認することができる。
【００８５】
求めたＸアドレスの正否の確認をしない場合には、一方のマーカー４８又は５８を用いなくてもよい。この場合、マーカー４８又は５０を介して２つの隣り合うビデオカメラによりマーク７８を重複して撮影すればよい。
【００８６】
［欠陥画素のＹアドレス］
【００８７】
ビデオカメラ５２，５４，５６の撮影領域内の欠陥画素のＹアドレスは、Ｙ方向におけるパネル１２の端縁がビデオカメラ５２，５４，５６の撮影領域内に入っていれば、Ｙ方向におけるパネル１２の端縁から欠陥画素がが含まれる画素列までの画素列数を計数することにより、求めることができる。
【００８８】
しかし、パネル１２をＹ方向においても複数のビデオカメラで分割して撮影し、しかもその中の少なくとも１つのビデオカメラの撮影領域内に第３の方向におけるパネルの端縁が含まれない場合が考えられる。その場合は、上記のようなマーカーをＹ方向に隣り合うビデオカメラで重複して撮影可能に配置し、上記第Ｘアドレスと同様にして欠陥画素のＹアドレスを求めればよい。
【００８９】
欠陥画素のアドレスは、ビデオカメラ５２，５６によりパネル１２の端縁を撮影して、それらの撮影領域内におけるパネル端縁から欠陥画素までの画素列数を計数することにより、求める代わりに、パネルの端縁又は端縁に位置する画素を指し示すマークを有する他のマーカーをプローブユニット４４又は４６に設けておき、ビデオカメラ５２又は５６により他のマーカーのマークを撮影して、それらの撮影領域内における他のマーカーのマークから欠陥画素までの画素列数を計数することにより、求めるようにしてもよい。
【００９０】
本発明は、パネルの一端縁及び他端縁のいずれをも撮影しないマーク７８を撮影する少なくとも１つのビデオカメラと、マーク７８を撮影する少なくとも１つの他のビデオカメラとをＸ方向又はＹ方向に備えた処理装置に適用することができるのみならず、４つ以上のビデオカメラを備える処理装置にも適用することができる。
【００９１】
本発明は、また、自動点灯検査装置のみなならず、目視点灯検査装置、リペア装置等の他の処理装置にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の係る処理装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】図１に示す処理装置を筐体フレームを除去した状態で示す平面図である。
【図３】プローブユニットの一実施例を示す斜視図である。
【図４】マーカー近傍の一実施例を示す、一部を分解した斜視図である。
【図５】プローブユニット及びマーカーとパネルとの関係を示す平面図である。
【図６】図５における６−６線に沿って得た断面図である。
【図７】ビデオカメラの撮影領域を説明するための図である。
【図８】アドレスの特定方法を説明するための図であって、（Ａ）は隣り合うビデオカメラの一方の撮影領域とパネルとの一部を示し、（Ｂ）は隣り合うビデオカメラの他方の撮影領域とパネルとの一部を示す。
【図９】マークと表示画素の位置関係を説明するための図であってｒ、（Ａ）はビデオカメラの撮影領域とパネルとの一部を示し、（Ｂ）は（Ａ）における９Ｂ部分の拡大図である。
【符号の説明】
【００９４】
１０  処理装置
１２  表示用のパネル
１４，１６ガラス基板
１８  電極の配置領域
２０  筐体フレーム
２２  検査ステージ
２４  支持台
２６  ステージ本体
２８  バックライトユニット
３０  パネル受け
３２  支持ベース
３４  受けベース
３６  支柱
３８  収納容器
４０  受け部
４２フランジ部
４４，４６  プローブユニット
４８，５０  マーカー
５２，５４，５６  ビデオカメラ
５２ａ，５４ａ，５６ａ  撮影領域
５２ｂ，５４ｂ，５６ｂ  重複撮影領域
５８  画像処理装置
６０  プローブブロック
６２  プローブベース
６４  プローブステージ
６６  接触子
６８  ブロック本体
７０  アライメントカメラ
７２  取り付けベース
７４  固定部材
７６  板部材
７８  マーク
８０，８２  ねじ部材
８４  長穴
８６，８８  重複撮影領域
９０，９２，９４，９６  表示画素
９８  欠陥画素
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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