(57)【要約】      （修正有）【課題】基板収納装置内の基板の撓みを抑制して基板の収納間隙を可及的に広くすることができる基板収納装置を提供する。【解決手段】基板２１を搬送する基板搬送ロボットによって搬入出された基板２１を載置する棚２２を複数段備え前記基板２１を収納する基板収納装置２において、前記基板収納装置２の基板２１を載置する棚２２に開口部２４を設け、前記基板２１を浮上させるためのエアを前記開口部２４から噴射させるエア供給源と、前記基板２１と前記開口部２４とを吸着させるために前記開口部２４からエアを吸入するエア吸入源と、前記開口部２４と前記エア供給源及びエア吸入源とを連通させる配管２３ａ、２３ｂとを設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する基板搬送ロボットによって搬入出された基板を載置する棚を複数段備え前記基板を収納する基板収納装置において、
前記基板収納装置の基板を載置する棚に開口部を設け、
前記基板を浮上させるためのエアを前記開口部から噴射させるエア供給源と、
前記基板と前記開口部とを吸着させるために前記開口部からエアを吸入するエア吸入源と、
前記開口部と前記エア供給源及びエア吸入源とを連通させる配管とを設けた基板収納装置。
【請求項２】
前記配管が前記基板を収納する基板収納装置に内蔵された請求項１に記載の基板収納装置。
【請求項３】
前記基板が大形の液晶基板からなる請求項１又は２に記載の基板収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの製造工程において、液晶基板（以下基板という）を多段に収納する基板収納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造工程には、基板に、薄膜形成処理、洗浄処理、レジスト塗布等の基板処理を行なう工程がある。
基板処理工程において基板を搬送する基板搬送ロボットは、例えば、基板を処理する基板処理装置から基板処理装置、または基板処理装置から基板を収納する基板収納装置に基板を搬入出する。
【０００３】
図５は、基板搬送ロボット１が基板収納装置２０から基板２１を搬入出するときの基板収納装置２０及び基板搬送ロボット１の斜視図である。
基板搬送ロボット１は、例えば、図５に示すように、ベース機構１１と昇降機構１２と１組のアーム機構１３とアーム機構の先端に軸支されたハンド部材１４とを備えている。
【０００４】
ベース機構１１は、内部に図示しない複数のモータを備えていて昇降機構１２を昇降させると共に昇降機構１２をＺ軸の軸心周りに回動させることができる。
アーム機構１３は、昇降機構に軸支された第１のアーム１３ａと第２のアーム１３ｂとハンド部材１４とが連結されて、そのハンド部材１４をＸ１またはＸ２の方向に移動させる機構である。このアーム機構１３もベース機構１１内に備えられたモータによって駆動される。
【０００５】
また、ハンド部材１４は、図示しない真空吸着等の手段によってハンド部材１４の上面に基板２１を載せて固定させることができる。
【特許文献１】特開２００４−４２９８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
基板搬送ロボットによって基板を基板収納装置から搬入出する場合、基板収納装置には基板を載置するための棚が設けられてあり、この棚に基板を載置する。
図６及び図７は、図５の装置に用いる基板収納装置の概略模式図であって、基板収納部の断面拡大図である。図６及び図７に示すように基板２１の収納間隙は４．７ｍｍないし６．３ｍｍ程度と狭く、その狭い間隙に基板をすくい上げて取り出す（または搬入する）ための基板搬送ロボット先端に備えたハンド部材１４を挿入し、かつ少し持ち上げた状態で出し入れすることが必要となる。このハンド部材１４は、強度や基板受け面の平坦性を確保するために２〜３ｍｍ程度の厚さが必要であり、また基板の出し入れ時に基板収納装置２０と摺れ合わないように基板を０．２ 〜０．５ｍｍ程度基板収納装置の基板を載置する棚から浮かした状態で出し入れすることが必要となる。さらに液晶用ガラス基板のサイズは１５００ｍｍ×１８００ｍｍ、１８００ｍｍ×２２００ｍｍ等であって非常に大きなものであり、基板搬送ロボットは２〜３ｍｍ程度の極めて狭い間隙余裕の中を２０００ｍｍ程の距離を移動しなければならない。
【０００７】
近年、液晶基板を用いた装置の大型化にともない、基板のサイズも大型化している。
図６に示すように基板２１を搬送する基板搬送ロボットのハンド部材１４上に載置された基板２１は、基板２１の自重によって撓んだ状態となる。基板のサイズが大きく、基板の厚みが薄くなるほど撓みも大きくなる。
また、図７に示すように、基板２１を収納する基板収納装置２０の棚に基板２１が載置された時も同様に基板の自重によって撓むこととなる。
そのために、基板収納装置に収納された基板と基板との収納間隙はさらに狭くなる。
したがって基板搬送ロボットを用いて基板をこの基板収納装置の棚に載置することは極めて困難な作業となる。
【０００８】
本発明は以上のような問題点を改善するべく基板収納装置内の基板の撓みを抑制して基板の収納間隙を可及的に広くすることができる基板収納装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、第１の発明は、基板を搬送する基板搬送ロボットによって搬入出された基板を載置する棚を複数段備え前記基板を収納する基板収納装置において、
前記基板収納装置の基板を載置する棚に開口部を設け、前記基板を浮上させるためのエアを前記開口部から噴射させるエア供給源と、前記基板と前記開口部とを吸着させるために前記開口部からエアを吸入するエア吸入源と、前記開口部と前記エア供給源及びエア吸入源とを連通させる配管とを設けたことを特徴とする基板収納装置である。
【００１０】
上記目的を達成するために、第２の発明は、前記配管が前記基板を収納する基板収納装置に内蔵されたことを特徴とする基板収納装置である。
【００１１】
上記目的を達成するために、第３の発明は、前記基板が大形の液晶基板からなることを特徴とする基板収納装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本願発明は、基板収納装置の基板を載置する棚に基板を浮上又は吸着させるためのエアを噴射または吸入するための開口部を設けて、基板を棚に載置するまでは開口部から噴射するエアによって基板を浮上させて基板の撓みを抑制し、基板を棚に載置した時には基板を棚に吸着させることで基板を水平方向に引っ張った状態として基板の自重による撓みを抑制することができる。そのために、収納間隙を可及的に広くすることができ、基板の搬入出作業をよりスムーズに行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
［実施の形態１］
発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。
図１は本発明の基板収納装置の正面断面図であって、部分拡大断面図である。
同図に示すように、基板収納装置２には、エアを循環させるための配管２３ａ、２３ｂが内蔵されており、棚２２の基板載置面には基板２１の下面にエアを噴射する開口部２４が設けられている。その他の構成は従来技術で示した図５に記載の基板処理装置２０と同様である。
以上のような構成において、基板搬送ロボットのハンド部材１４によって基板２１を基板収納装置２の棚２２に載置する場合は、図示を省略したエア供給源からエアを供給して、基板２１の下面に備えた開口部２４からエアを噴射し基板２１の撓みを抑制する。これによって、基板の撓みがエアによって抑制され基板の搬入出の際の基板の間隙を可及的に広くすることができ、基板の搬入出をスムーズに行なうことができる。
【００１４】
図２は図１と同様に本発明の基板収納装置の正面断面図であって、部分拡大断面図である。
同図に示すように、基板収納装置２には、エアを循環させるための配管２３ａ、２３ｂが内蔵されており、棚２２の基板載置面には基板２１の下面にエアを吸入する開口部２４が設けられている。その他の構成は図１に記載の基板処理装置２と同様である。
以上のような構成において、基板搬送ロボットのハンド部材１４によって基板２１を基板収納装置２の棚２２に載置すると、図示を省略したエア吸入源によって配管２３ａ、２３ｂ内のエアを吸入する。ここで、基板２１の下面に備えた開口部２４上には基板２１が載置された状態であり、配管内に滞留するエアは配管内から吸出されるように図示を省略したエア吸入源に吸入される。すなわち、配管内のエアが吸出されると引き続きエア吸入源の吸入力によって開口部２４から外部のエアを吸い込むこととなるが、開口部２４は基板２１と接触しており、その結果、開口部２４と基板２１は吸着した状態となる。
基板２１は開口部２４に吸着した状態となることで、水平方向（Ｙ１及びＹ２の方向）に引っ張った状態を維持することとなる。したがって、基板の自重による撓みを抑制して、収納間隙を可及的に広くすることができ、基板の搬入出をスムーズに行なうことができる。
【００１５】
図３は図２の矢印Ａ−Ａ断面図であり、図４は図２のＹ１方向から基板収納装置２を見たときの側面図であって、一部省略部分拡大図である。
図３及び図４に示すように、例えば、矢印Ｂから図示を省略したエア供給源によってエアが供給されると、エアは配管２３ａから配管２３ｂ、配管２３ｃと循環して、開口部２４から噴出される。
一方、矢印Ｃからは、図示を省略したエア吸入源によって、配管２３ａ、２３ｂ、２３ｃ内のエアを吸入する。配管内のエアが吸入されると開口部２４からはエアの流れに従って外部のエアを吸い込むこととなる。
以上のように開口部２４からはエアが噴射または吸入されが、図３及び図４に示すように、配管２３ｂと２３ｃとの間には各々バルブ２５ａ、２５ｂが設けられており、このバルブ２５ａ、２５ｂによって開口部２４にエアを噴射又は吸入させることができる。
すなわち、棚２２に基板が載置されると基板２１と開口部２４とを吸着させるため、エア吸入源からエアを吸入するように、例えば図４に示す矢印Ｃの方向にエアが吸入されて、配管２３ａに連通したバルブ２５ａを開とし、エア供給源に連通したバルブ２５ｂを閉とする。
逆に基板２１を棚２２上に搬入出する際は、基板２１に開口部２４からエアを噴射させるために、例えば図４の矢印Ｂから配管２３ａを介してエア供給源に連通したバルブ２５ｂを開とし、エア吸入源に連通したバルブ２５ａを閉とする。
【００１６】
ここで、基板搬送ロボットは図示を省略した制御装置によって駆動制御されて、ハンド部材１４に載置された基板２１を搬入出するが、予め定められた制御プログラムによって基板２１を基板収納装置内に搬入出すること及び基板を棚に載置することは制御装置に記憶されており、この制御装置によって前述したバルブの開閉も制御することができる。
したがって、基板を載置した基板搬送ロボットのハンド部材１４が基板収納装置に搬入出すると図示を省略した制御装置によって基板２１に開口部２４からエアを噴射させるためにエア供給源に連通したバルブ２５ｂを開とし、エア吸入源に連通したバルブ２５ａを閉とする。
基板が棚２２に載置されると、基板２１と開口部２４とを吸着させるため、図示を省略した制御装置によってエア吸入源にエアを吸入するように、エア吸入源に連通したバルブ２５ａを開とし、エア供給源に連通したバルブ２５ｂを閉とする。
【００１７】
なお、本願発明は前述した実施形態に限定されるものではない。
棚２２の上面に開口した開口部２４は、基板の大きさ、重量等によって適宜の個数を設けることができる。
また、基板処理装置に内蔵された配管は実施形態の位置に限定させるものではなく、基板処理装置の大きさ、形状等によって適宜配設することができ、基板処理装置に内蔵することなく外部に設けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の基板収納装置の正面断面図である。
【図２】本発明の基板収納装置の正面断面図である。
【図３】図２の矢印Ａ−Ａ断面図である。
【図４】図２の基板収納装置の側面図である。
【図５】基板収納装置及び基板搬送ロボットの斜視図である。
【図６】基板収納装置の概略模式図である。
【図７】基板収納装置の概略模式図である。
【符号の説明】
【００１９】
１        基板搬送ロボット
１１      ベース機構
１２      昇降機構
１３      アーム機構
１３ａ    第１アーム
１３ｂ    第２アーム
１４      ハンド部材
２        基板収納装置
２０      基板収納装置
２１      基板
２２      棚
２３ａ    配管
２３ｂ    配管
２３ｃ    配管
２４      開口部
２５ａ    バルブ
２５ｂ    バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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