(57)【要約】【課題】液の充填や吐出を行うことなく、素子の特性を評価でき、低コストでの製造が可能で電気的特性にも優れた材料を用いることができ、更に、高温・高圧の履歴による寸法精度の低下も回避できる液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置を提供する。【解決手段】振動板(30)上に複数の圧電素子(32)を形成する圧電素子形成工程と、振動板(30)の圧電素子形成面側に、圧電素子(32)を覆うための凹部(34Ａ)と圧電素子(32)への駆動配線(44)とを有する中間板(34)を積層する中間板積層工程と、中間板(34)にＩＣ(36)を接続するＩＣ搭載工程と、を経てアクチュエータ機能ユニット(16)を形成し、このユニットの状態でＩＣ(36)を動作させて、振動板（30）の変位を測定する駆動評価工程を行う。評価工程後、アクチュエータ機能ユニット(16)に対して、複数の圧力室(22)と各圧力室(22)に供給する液を蓄える共通液室(26)を形成するための流路形成部材(14,18)を接合する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板上に複数の圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、
前記振動板の前記圧電素子を形成した面側に、前記圧電素子を覆うための凹部と前記圧電素子への駆動配線とを有する中間板を積層し、前記凹部により前記圧電素子の周囲空間を形成するとともに、前記駆動配線と前記圧電素子との電気的接続を行う中間板積層工程と、
前記中間板に形成された前記駆動配線の前記圧電素子との接続部と反対側の端部に集積回路(ＩＣ)を接続するＩＣ搭載工程と、
前記圧電素子形成工程、前記中間板積層工程及び前記ＩＣ搭載工程を経て、前記振動板、前記圧電素子、前記駆動配線、前記中間板及び前記集積回路とが電気的及び機械的に接合され、前記集積回路を介して前記圧電素子の電気的駆動が可能なアクチュエータ機能ユニットが形成され、前記アクチュエータ機能ユニットの状態で前記集積回路を動作させて、前記振動板の変位を測定する駆動評価工程と、
前記駆動評価工程を経た前記アクチュエータ機能ユニットに対して、複数のノズルに各々連通する複数の圧力室と前記複数の圧力室に供給する液を蓄える共通液室を形成するための流路形成部材を接合する流路形成部材接合工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記流路形成部材接合工程において、前記流路形成部材のうち前記複数の圧力室を形成するための圧力室形成部材は前記アクチュエータ機能ユニットの前記振動板側に接合され、前記流路形成部材のうち前記共通液室を形成するための共通液室形成部材は前記アクチュエータ機能ユニットの前記中間板側に接合されることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記アクチュエータ機能ユニットには、前記中間板及び前記振動板を貫通する液体流路が形成されており、該液体流路を介して前記共通液室と各圧力室とが連通する構造であることを特徴とする請求項２記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記流路形成部材接合工程の前に、前記アクチュエータ機能ユニットを導電性液体に接触させ、液体シール性の評価を行うシール評価工程を実施することを特徴とする請求項２又は３記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記駆動評価工程による評価結果に基づき、液滴吐出口の径及び前記圧力室への液体供給路の径のうち少なくとも一方の径を補正する穴径補正工程を含むことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記駆動評価工程による評価結果に基づき、前記駆動配線の抵抗値を補正する配線抵抗補正工程を含むことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法によって製造される液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置に係り、特に複数の液滴吐出口（ノズル）を２次元的に高密度に配列させて成る液体吐出ヘッドの製造方法及びその液体吐出ヘッドを用いて記録媒体上に画像を形成するインクジェット記録装置などの画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、インク吐出用のノズルを備えた記録ヘッド（印字ヘッド）と記録紙等の記録媒体とを相対的に移動させながら、画像信号に応じて記録ヘッドからインクを吐出させることにより記録媒体上にインク滴を着弾させ、そのインクドットによって画像を形成する。
【０００３】
一般的な記録ヘッドは、ノズルに連通する圧力室にインクを供給し、該圧力室の駆動素子（圧電素子や加熱素子で構成される圧力発生素子）を駆動することで圧力室内の液体に圧力変動を与えてノズルから液滴を吐出させる構造を有している。
【０００４】
近年、インクジェットプリントの分野において写真プリント並みの高画質な画像形成が求められ、吐出液滴の小量化及びノズル配列の高密度化によって高解像度の画像出力を実現する試みがなされている。
【０００５】
特許文献１には、複数の短尺ヘッドモジュールを千鳥配列で並べてフレームに取り付ける構造のインクジェット印刷装置が開示されている。このインクジェット印刷装置は、モジュールの各々がインク詰め替え部を保持することができる各々のリザーバを備え、それによって、同モジュールの組み立て前に各モジュールのインクの射出を試験することができるように構成されている。
【０００６】
特許文献２では、振動板下に形成される電極基板が透明基板で構成され、当該透明基板上にパターニングされる電極も透明導電膜から成ることを特徴とするインクジェット記録装置が開示されている。すなわち、電極基板及び電極を透明とし、レーザドップラ法などの光測定技術により、振動板の変位測定を行うことを提案している。特許文献２に開示された技術によれば、ヘッド内にインクを入れることなく、吐出特性の評価を行うことができる。
【０００７】
特許文献３には、駆動可能な条件で所定電圧を圧電素子に印加して圧電体層の静電容量を測定する工程を実行することにより、その特性を識別することを特徴とするアクチュエータ装置の検査方法が開示されている。
【特許文献１】特開平７−１８６３８６号公報
【特許文献２】特開平６−２３９８０号公報
【特許文献３】特開２００３−３２６７２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
高記録密度（高dpi）のインクジェットヘッド、特にラインヘッドは、非常に多素子となり、また素子の配列並びに配線も高密度となる。従来のインクジェットヘッドの製造工程では、ヘッド内の各素子（圧電素子やサーマル素子）の電気的接続（スイッチＩＣを含む駆動ＩＣなどの回路との接続）は最終工程に近い段階で行われている。例えば、流路構造体を組み上げた工程の最後に、ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）を接続してＩＣ等を接続する工程が実施される。
【０００９】
上記の電気的接続工程において、仮に数千の素子数のうち１つでも接続不良があれば、そのヘッド全体が不良となってしまう。また、不良でなくても、各素子の特性ばらつきが大きくなれば、画像ムラなどの画質劣化要因となるため、各素子の特性を精密に評価する必要もある。
【００１０】
この点、従来の一般的な製造工程では、電気的接続工程の後に、実際にヘッド内にインクを充填し、インクを吐出させる動作を実施して、電気接続、ＩＣ、インク流路及び圧力室などを含めた形で評価している。
【００１１】
特許文献１は、モジュール単位でインク吐出評価を行えるようにしているが、インクを充填して実際に吐出動作を実施して評価を行う点では従来の手法と同様である。
【００１２】
特許文献２は、振動板の動き（変位）を光学的に検出するために、基板や電極を透明にすることを提案しているが、透明基板や透明な導電性材料は一般的ではなく、コスト面、並びに電気的特性も一般の基板・電極に比べて劣る。
【００１３】
特許文献３は、素子の特性を電気的に測定するものであるが、素子の機械的要因（例えば、圧電素子の取り付け状態など）は測定結果に反映されない。
【００１４】
また、一般に電気接続工程は、比較的高い温度や圧力を必要とするものが多い。例えば、半田工法の場合、温度＝約２５０℃程度かそれ以上、ＡＣＦ（異方性導電フィルム）工法の場合は温度＝約１５０℃程度かそれ以上、加える圧力は、１端子当たり１Ｎ程度かそれ以上である。このような、比較的高温、高圧の電気接続工程を最後に行う従来の製造方法では、それまでに形成した圧力室部などにも高い温度や圧力がかかる。この温度・圧力の履歴が影響し、圧力室部等の寸法精度を低下させるという問題がある。
【００１５】
また、多素子のインクジェットヘッドの場合、信頼性向上のために圧力室にセンサを配して圧力センシングを行うことも提案されているが、その場合、樹脂などで構成されるセンサやその配線に高い温度をかけることは望ましくない。
【００１６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、液の充填や吐出を行うことなく、素子の特性を評価でき、低コストでの製造が可能で電気的特性にも優れた材料を用いることができ、更に、高温・高圧の履歴による寸法精度の低下も回避できる液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記目的を達成するために、請求項１記載の発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、振動板上に複数の圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、前記振動板の前記圧電素子を形成した面側に、前記圧電素子を覆うための凹部と前記圧電素子への駆動配線とを有する中間板を積層し、前記凹部により前記圧電素子の周囲空間を形成するとともに、前記駆動配線と前記圧電素子との電気的接続を行う中間板積層工程と、前記中間板に形成された前記駆動配線の前記圧電素子との接続部と反対側の端部に集積回路(ＩＣ)を接続するＩＣ搭載工程と、前記圧電素子形成工程、前記中間板積層工程及び前記ＩＣ搭載工程を経て、前記振動板、前記圧電素子、前記駆動配線、前記中間板及び前記集積回路とが電気的及び機械的に接合され、前記集積回路を介して前記圧電素子の電気的駆動が可能なアクチュエータ機能ユニットが形成され、前記アクチュエータ機能ユニットの状態で前記集積回路を動作させて、前記振動板の変位を測定する駆動評価工程と、前記駆動評価工程を経た前記アクチュエータ機能ユニットに対して、複数のノズルに各々連通する複数の圧力室と前記複数の圧力室に供給する液を蓄える共通液室を形成するための流路形成部材を接合する流路形成部材接合工程と、を含むことを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、振動板、圧電素子、中間板、駆動配線及びＩＣを組み合わせて電気的かつ機械的に接合した「アクチュエータ機能ユニット」を形成し、このユニット状態で圧電素子を駆動可能としている。そして、このアクチュエータ機能ユニットを圧力室や共通液室の流路形成部材と一体化する前に、ユニット単体で圧電素子の駆動特性を評価するため、アクチュエータ機能ユニットに不良がある場合も、ヘッド全体が不良にならず、ヘッド全体での製造の歩留まりが向上する。また、ヘッド内に液体を充填したり、実際に液体を吐出させたりすることなく、圧電素子と振動板の特性を検査・評価できるため、検査（測定）やその分析・評価が比較的容易である。
【００１９】
更に、本発明によれば、振動板の変位を直接観測できるため、透明材料などの特殊な材料を用いる必要がなく、一般的な材料を使用できる。したがって、材料コスト、製造コストを抑えることができるとともに、電気的特性に優れた材料を選択することが可能である。
【００２０】
また、本発明によれば、アクチュエータ機能ユニットを完成させた段階で電気的接続工程が完了するため、その後の工程で圧力室等の流路形成部材に、高温・高圧をかける必要がなく、高温・高圧の影響による寸法精度の低下を回避できる。
【００２１】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の液体吐出ヘッドの製造方法の一態様であり、前記流路形成部材接合工程において、前記流路形成部材のうち前記複数の圧力室を形成するための圧力室形成部材は前記アクチュエータ機能ユニットの前記振動板側に接合され、前記流路形成部材のうち前記共通液室を形成するための共通液室形成部材は前記アクチュエータ機能ユニットの前記中間板側に接合されることを特徴とする。
【００２２】
請求項２の態様によれば、アクチュエータ機能ユニットの振動板側に圧力室形成部材が接合され、その反対側（中間板側）に共通液室形成部材が接合される。すなわち、振動板を挟んで圧力室と反対側に共通液室が形成される。かかる構造により、圧力室（ひいては、これに連通する液滴吐出口）を高密度に配置することが可能である。
【００２３】
請求項３に係る発明は、請求項２記載の液体吐出ヘッドの製造方法の一態様であり、前記アクチュエータ機能ユニットには、前記中間板及び前記振動板を貫通する液体流路が形成されており、該液体流路を介して前記共通液室と各圧力室とが連通する構造であることを特徴とする。
【００２４】
請求項３の態様によれば、アクチュエータ機能ユニットを貫通するように形成された液体流路を通じて、共通液室から各圧力室へ直接的に液体を供給することができるため、液体供給路の流路抵抗を下げることができる。これにより、高粘度液であっても、十分な液体供給量を確保することが可能になり、リフィル性の向上を達成できる。
【００２５】
請求項４に係る発明は、請求項２又は３記載の液体吐出ヘッドの製造方法の一態様であり、前記流路形成部材接合工程の前に、前記アクチュエータ機能ユニットを導電性液体に接触させ、液体シール性の評価を行うシール評価工程を実施することを特徴とする。
【００２６】
液体吐出ヘッドの構造上、アクチュエータ機能ユニットが液体と接する場合には、アクチュエータ機能ユニット内の駆動配線や圧電素子が液体と接触しないことを確認する検査を付加することが好ましい。
【００２７】
請求項５に係る発明は、請求項１乃至４の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法の一態様であり、前記駆動評価工程による評価結果に基づき、液滴吐出口の径及び前記圧力室への液体供給路の径のうち少なくとも一方の径を補正する穴径補正工程を含むことを特徴とする。
【００２８】
駆動評価の結果を利用する態様として、請求項５に示すように、アクチュエータ機能ユニットの特性を補うように、液滴吐出口や液体供給路の断面積を調整することで、ヘッド全体としての吐出性能のばらつきを抑えることが可能になる。
【００２９】
請求項６に係る発明は、請求項１乃至５の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法の一態様であり、前記駆動評価工程による評価結果に基づき、前記駆動配線の抵抗値を補正する配線抵抗補正工程を含むことを特徴とする。
【００３０】
請求項７に係る発明は、請求項１乃至６の何れか１項記載の液体吐出ヘッドの製造方法により製造される液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置を提供する。
【００３１】
請求項７記載の画像形成装置の一態様としてのインクジェット記録装置は、ドットを形成するためのインク液滴を吐出するための液滴吐出口（ノズル）及び吐出圧を発生させる圧力発生手段（圧電素子）を含む液滴吐出素子（インク室ユニット）を高密度に多数配置した液体吐出ヘッド（記録ヘッド）が用いられる。また、入力画像から生成されたインク吐出用データ（ドット画像データ）に基づいて前記液体吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する吐出制御手段とを備え、前記ノズルから吐出した液滴によって記録媒体上に画像を形成する。
【００３２】
かかる印字用の液体吐出ヘッドの構成例として、記録媒体の全幅に対応する長さにわたって複数のノズルを配列させたフルライン型のヘッドを用いることができる。フルライン型のヘッドは、通常、記録媒体の相対的な送り方向（相対的搬送方向）と直交する方向に沿って延在するように配置されるが、搬送方向と直交する方向に対して、ある所定の角度を持たせた斜め方向に沿ってヘッドを配置する態様もあり得る。
【００３３】
インクジェット方式の液体吐出ヘッド（記録ヘッド）を用いてカラー画像を形成する場合は、複数色のインクの色別にヘッドを配置してもよいし、１つのヘッドから複数色のインクを吐出可能な構成としてもよい。
【００３４】
「記録媒体」は、液体吐出ヘッドのノズルから吐出される液の付着を受ける媒体であり、画像形成装置においては、記録紙等の媒体がこれに相当する。すなわち、「記録媒体」は、印字媒体、被画像形成媒体、被記録媒体、受像媒体、被吐出媒体など呼ばれ得るものであり、連続用紙、カット紙、シール用紙、ＯＨＰシート等の樹脂シート、フイルム、布、配線パターン等が形成されるプリント基板、中間転写媒体、その他材質や形状を問わず、様々な媒体を含む。
【００３５】
記録媒体と液体吐出ヘッドを相対的に移動させる搬送手段は、停止した（固定された）ヘッドに対して記録媒体を搬送する態様、停止した記録媒体に対してヘッドを移動させる態様、或いは、ヘッドと記録媒体の両方を移動させる態様の何れをも含む。
【００３６】
インクジェットヘッドによって、カラー画像を形成する場合は、複数色のインク（記録液）の色別に記録ヘッドを配置してもよいし、１つの記録ヘッドから複数色のインクを吐出可能な構成としてもよい。
【００３７】
また、本発明は、上記のフルライン型のヘッドに限らず、シャトルスキャン方式の記録ヘッド（記録媒体の搬送方向に略直交する方向に往復移動しながら打滴を行う記録ヘッド）についても適用可能である。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば、液の充填、吐出を行うことなく、圧電素子と基板の特性を容易に評価することができる。また、ヘッド全体の製造の歩留まりを向上させることができる。更に、本発明によれば、透明材料などの特殊な材料を用いる必要がなく、一般的な材料を使用できるため、材料コスト、製造コストを抑えることができるとともに、電気的特性に優れた材料を選択することが可能である。
【００３９】
また、本発明によれば、高温・高圧を要する電気的接続工程は、アクチュエータ機能ユニットを形成する工程で実施されるため（流路形成部材の接合よりも前の段階で実施されるため）、高温・高圧の影響による圧力室等の寸法精度の低下を回避できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００４１】
〔液体吐出ヘッドの構造例〕
初めに、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法によって製造されるインクジェットヘッド（「液体吐出ヘッド」に相当）の構造例について説明する。
【００４２】
図１は本実施形態によるインクジェットヘッドの構造を示す断面図であり、図２は構成要素を分かりやすく示した分解図である。
【００４３】
これらの図面に示したように、本実施形態のインクジェットヘッド１０は、ノズルプレート１２と、圧力室形成部材（「流路形成部材」に相当）１４と、アクチュエータ機能ユニット１６と、インクプール形成部材（「流路形成部材」及び「共通液室形成部材」に相当）１８と、を接合した層構造により構成されている。
【００４４】
ノズルプレート１２には、インク吐出口に相当する複数のノズル２１の穴が形成されている。また、吐出安定性並びに吐出面（ノズル面１２Ａ）のクリーニング性を向上させる等の観点から、ノズル面１２Ａには撥液層（不図示）が設けられている。ノズル面１２Ａに撥液性を付与する方法（撥液処理方法）は、特に限定されず、例えば、フッ素系の撥液材を塗布する方法や、フッ素系高分子粒子（ＰＴＦＥ）等の撥液材を真空中で蒸着し表面に薄層を形成する方法等がある。
【００４５】
圧力室形成部材１４は、圧力室２２の空間と、該圧力室２２からノズル２１へと繋がる連通路（ノズル流路）２４と、インク供給側のインクプール（「共通液室」に相当）２６から圧力室２２にインクを導く個別供給路２８の一部とを形成する流路形成部材である。
【００４６】
圧力室形成部材１４は、１枚のプレート部材に所定の流路形状部（開口や溝など）を形成した単一のプレート部材で構成されてもよいし、所定の流路形状部を形作るための開口や溝（凹部）を形成した複数枚のプレート部材を積層接合した積層体で構成されてもよい。
【００４７】
アクチュエータ機能ユニット１６は、振動板３０と、圧電素子３２と、中間板３４と、駆動ＩＣ（「集積回路」に相当）３６とを組み合わせてユニット化した構造体である。振動板３０は、圧力室２２の一部の面（図１において天面）を構成する部材であるとともに、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などの導電性材料から成り、複数の圧電素子３２の共通電極を兼ねる。なお、樹脂などの非導電性材料によって振動板を形成する態様も可能であり、この場合は、振動板の表面に金属などの導電材料による共通電極層が形成される。
【００４８】
振動板３０の圧力室２２側と反対側（図１において上側）の表面には、各圧力室２２に対応する位置に、圧電体３８が設けられており、該圧電体３８の上面（共通電極を兼ねる振動板３０に接する面と反対側の面）に個別電極３９が形成されている。この個別電極３９と、これに対向する共通電極（振動板３０が兼ねる）と、これら電極間に挟まれるように介在する圧電体３８とで圧電素子（圧電アクチュエータ）３２が構成される。圧電体３８には、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムなどの圧電材料が好適に用いられる。
【００４９】
各圧電素子３２の個別電極３９から圧電体３８の脇に（圧電活性部の外側に）引出し配線４０が延出しており、この引出し配線４０の平坦部（パッド）４１に電気配線（「駆動配線」に相当）４４との接続用のバンプ４６が形成される。なお、引出し配線４０の平坦部４１と振動板３０との間には、絶縁層４８が設けられている。
【００５０】
中間板３４は、各圧電素子３２の個別電極３９と接続される電気配線４４を備える配線板であると同時に、各圧電素子３２の変位空間を確保しつつ、圧電素子３２の上部を覆うスペーサとして機能する。そもそも圧電素子３２は、厚み方向にたわみ変形、または厚み方向の変化をおこすことで振動板３０を変位させる。したがって、圧電素子３２の上部には、その変形を許容する空間が必須である。すなわち、中間板３４には、圧電素子３２に対応する凹部３４Ａが形成されており、この凹部３４Ａによって、圧電素子３２周辺部に所定の空間が確保される。
【００５１】
また、中間板３４には、所定の形状にパターニングされた電気配線（内部配線）４４が配設されている。この電気配線４４は、凹部３４Ａの底面層（図１において、個別電極３９の上面と向かい合う天面）に沿って形成されている。
【００５２】
電気配線４４の一端は、上記のとおり、バンプ４６を介して個別電極３９と電気的に接続される。電気配線４４の他端は、当該インクジェットヘッド１０の端部（図１において右端）に導かれ、バンプ５２，５３を介して駆動ＩＣ３６と電気的に接続される。
【００５３】
なお、符号５２で示したバンプは、中間板３４の電気配線４４側に形成されるバンプ（配線側バンプ）であり、符号５３で示したバンプは駆動ＩＣ３６側に形成されるバンプ（ＩＣ側バンプ）である。また、これらバンプ５２，５３の接続部の周囲には、絶縁性の樹脂（アンダーフィル樹脂）５４が充填される。
【００５４】
圧電素子３２の個別電極３９と電気配線４４の接続形態は、この例に限定されない。例えば、引出し配線４０を設けずに、圧電体３８上の個別電極３９に直接バンプを形成して電気配線４４との接続を行うことも可能である。また、図１では、個別電極３９の電極面から一段下がった位置（高さ）に引出し配線４０の平坦部４１を設けているが、この段差形状を無くして両者を同一平面とする（引出し配線４０の平坦部４１を個別電極３９と同一面上に形成する）構成も可能である。
【００５５】
本実施形態における中間板３４は、インクプール２６の一部の面を構成する部材（図１においてインクプール２６の底面を構成する床壁部材）となる。インクプール２６から各圧力室２２に対してインクを供給するために、各圧力室２２の位置に対応させて中間板３４と振動板３０とを貫通する穴（「液体流路」に相当するインク流路５６）が形成されている。このインク流路５６は、振動板３０の面に対して略垂直に形成されており、該インク流路５６を介してインクプール２６と圧力室２２とが連通する。
【００５６】
なお、中間板３４の表面でインクプール２６内のインクに接液する部分には、耐液性の観点から、例えば、樹脂等で構成される絶縁保護膜（不図示）が形成される。
【００５７】
上記した中間板３４の上面に（振動板３０側と反対の面に）インクプール形成部材１８が接合される。インクプール形成部材１８は、各圧力室２２に供給するインクを蓄えるインクプール２６の空間を形成する凹部１８Ａを備えた流路形成部材（壁部材）である。
【００５８】
符号１８Ｂは、インクプール２６内にインクを導き入れるための供給系接続口であり、この供給系接続口１８Ｂに所要の管路（不図示）を介してインクタンクが接続される。
【００５９】
インクプール形成部材１８は、１枚のプレート部材に所定の流路形状部（開口や溝など）を形成した単一のプレート部材で構成されてもよいし、所定の流路形状部を形作るための開口や溝（凹部）を形成した複数枚のプレート部材を積層接合した積層体で構成されてもよい。
【００６０】
上記の如く構成されたインクジェットヘッド１０によれば、駆動ＩＣ３６を動作させて、個別電極３９と共通電極（振動板３０で兼用）と間に駆動電圧を印加することによって圧電素子３２が変形して圧力室２２の容積が変化し、これに伴う圧力変化によりノズル２１からインクが吐出される。インク吐出後、圧電素子３２の変位が元に戻る際に、インクプール２６からインク流路５６を通って新しいインクが圧力室２２に再充填される。
【００６１】
このように、インクプール２６を振動板３０の上側（圧力室２２と反対側）に配置し、振動板面に対して略垂直に貫通するインク流路５６を通じて下方の各圧力室２２へインクを供給する構造のため、供給側の流路抵抗を小さくでき、インクのリフィル性を向上させることができる。
【００６２】
ここに示したインクプール２６は、全ての圧力室２２に対してインクを供給するように、圧力室２２が形成された全領域にわたって形成される１つの大きな空間となっているが、インクプール２６は、このように１つの空間として形成されるものには限定されず、いくつかの領域に分かれて複数に形成されていてもよいし、インクの流れを規制し得る所定の流路構造を有していてもよい。
【００６３】
本例のインクジェットヘッド１０によれば、高密度のノズル配置を実現できるとともに、リフィル性の向上を達成でき、比較的高粘度のインク（例えば、２０ｃｐ〜５０ｃｐ程度）であっても、十分なインク供給量を確保することができる。
【００６４】
〔液体吐出ヘッドの製造方法〕
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法の例について説明する。図３〜図７は、図１及び図２で説明したインクジェットヘッド１０の製造方法を示している。本例のインクジェトヘッド１０は、以下に示す手順（工程１〜１２）で製造される。
【００６５】
[工程１：振動板上への圧電体形成工程]
図３（ａ）に示すように、まず、振動板３０上に圧電体３８を形成する。なお、この工程以降、圧力室形成部材１４との接合工程（図７の（ｊ））までは、何らかの保持部材上に仮接着するなどして、部材を保持し、各工程の実施を行うことが望ましい。部材単体では非常に薄く、工程及び工程間のハンドリングが難しいためである。ただし、説明の便宜上、図３（ａ）においてのみ保持部材６０を明示するが、以降の図では、図示を簡単にするため、保持部材６０を図示しないものとする。
【００６６】
[工程２：個別電極形成工程]
次に、図３（ｂ）に示すように、圧電体３８の上面に個別電極３９を形成するとともに、絶縁層４８及び引出し電極４０を形成する。本例では、上記の[工程１]〜[工程３]が「圧電素子形成工程」に相当する。
【００６７】
[工程３：バンプ形成工程]
その後、図３（ｃ）に示すように、引出し電極４０の平坦部４１上にバンプ４６を形成する。
【００６８】
[工程４：第１の中間シート積層工程]
続いて、図４の（ｄ）に示すように、振動板３０上に第１の中間シート６２を重ね、所定の温度及び圧力で加熱・加圧して振動板３０上に接合する。この第１の中間シート６２は、各圧電素子３２の変位空間を確保する開口６２Ａ（図１で説明した凹部３４Ａに相当する部分）を有するスペーサであり、後述する樹脂配線シート（第２の中間シート）６４とともに中間板３４を構成する部材である。第１の中間シート６２は、樹脂配線シート（第２の中間シート）６４を重ねたときに圧電素子３２の個別電極３９上方に所定の空間が形成されるよう、所定の厚み寸法を有している。
【００６９】
なお、ここでは、圧電素子３２に対応させて位置合わせをして、第１の中間シート６２を振動板３０に重ねておくだけとし、接着は次の（ｄ）の工程の加熱・加圧で同時に行うようにしてもよい。
【００７０】
[工程５：第２の中間シート積層及び電気接続工程]
次に、図４（ｅ）に示すように、予め電気配線４４とＩＣ接続用バンプ５２などを形成しておいた樹脂配線シート（第２の中間シート）６４を第１の中間シート６２に重ね、加熱・加圧してバンプ４６と電気配線４４との電気的接続を行うとともに、第１の中間シート６２の開口６２Ａの上面を封止して凹部３４Ａ内に圧電素子３２を納めた状態で密閉する。圧電素子３２の変位を拘束しないように、凹部３４Ａによって圧電素子３２の変位に必要な所定の空間が確保される。本例では、上記の[工程４]〜[工程５]が「中間板積層工程」に相当する。
【００７１】
なお、樹脂配線シート６４上への電気配線４４の形成には、銅箔のエッチング（一般的なプリント基板配線の形成と同じ手法）、めっき、導電ペーストの印刷などの方法がある。
【００７２】
配線層を図示のように樹脂配線シート６４の片面一層だけとする構成の場合、配線が一平面内で完結できるという特徴がある。本例のように配線層は片面一層だけでもよいが、必要に応じてスルーホールなどの垂直配線技術を用いて多層化してもよい。その場合は駆動ＩＣの搭載を反対面にすることも可能である。
【００７３】
[工程６：ＩＣ搭載（電気接続）工程]
続いて、図５の（ｆ）に示すように、ＩＣ接続用バンプ５２の位置に合わせて駆動ＩＣ３６を配置し、加熱・加圧して駆動ＩＣ３６と電気配線４４との電気的接続（接合）を行う。接続の後、この接続部（バンプ５２，５３の周囲）は、絶縁性の樹脂５４でアンダーフィル（充填）される（図５（ｇ）参照）。本例では、上記の[工程６]が「ＩＣ接続工程」に相当する。
【００７４】
[工程７：インク流路穴あけ工程]
次に、図５（ｇ）に示すように、中間板３４と振動板３０とを貫通するインク流路５６の穴を形成する。こうして、この状態で圧電素子３２の駆動が可能な「アクチュエータ機能ユニット」が出来上がる。なお、インク流路５６の穴あけ工程は、この段階（工程７）で行う態様に限らず、工程４，５の積層前の中間シート（６２，６４）に対して穴をあけておいてもよい。
【００７５】
[工程８：駆動評価工程]
上記工程を経てアクチュエータ機能ユニット１６が完成した段階で、ユニット単体での駆動評価を行う。すなわち、図５（ｈ）に示すように、駆動ＩＣ３６を動作させて、圧電素子３２を駆動して、振動板３０の変位を測定するなど、各種の検査・評価を行う。駆動ＩＣ３６を駆動制御する信号線は素子数に比べて少ない。仮に、振動板上の圧電素子を個々に検査しようとすると、素子数分の端子が必要となるが、本例のようなユニット状態でのＩＣ駆動制御信号であれば、素子数２００〜５００に対して、制御信号性は１０〜２０本程度で済む。駆動評価の具体的な例については後述する。本例では、上記の[工程８が「駆動評価工程」に相当する。
【００７６】
[工程９：インクシール評価工程]
次に、上記のユニット状態で、インクシール機能（配線や圧電素子とインクが接触しないこと）の検査・評価を行う。図６の（ｉ）に示すように、適宜の容器７０内に保持された導電性の液体７２中にアクチュエータ機能ユニット１６を浸し、駆動ＩＣ３６を通じて圧電素子３２に電圧をかけて、液体７２の電位又は液体７２からＧＮＤに流れる電流を測定する。同図では、電流計７４によって電流を測定する例が示されている。アクチュエータ機能ユニット１６のインクシールが完全であれば、電流は流れないが、インクシールに不十分な部分があれば、そこから電流が流れることで、シール性を判定できる。
【００７７】
なお、アクチュエータ機能ユニット１６のうち、少なくともインクと接する部分については、液体７２と接触させてインクシール機能を検査する。本例では、上記の[工程９]が「シール評価工程」に相当する。
【００７８】
[工程１０：圧力室形成部材との接合工程]
上記の工程９，１０での評価工程を終了したアクチュエータ機能ユニット１６に対して、図７の（ｊ）に示すように、別途作成しておいた圧力室形成部材１４を接合する。
【００７９】
[工程１１：ノズルプレート接合工程]
また、図７（ｋ）に示すように、圧力室形成部材１４の吐出面側にノズルプレート１２を接合する。
【００８０】
[工程１２：インクプール形成部材接合工程]
更に、図７（l）に示すようにアクチュエータ機能ユニット１６の上側（圧力室２２と反対側）にインクプール形成部材１８を接合し、図１で説明したインクジェットヘッド１０として完成させる。なお、図７（ｊ）〜（ｌ）の接合工程の作業順番は特に限定されない。本例では、上記の[工程１０]〜[工程１２]が「流路形成部材接合工程」に相当する。
【００８１】
ここで、工程８における駆動評価の具体的内容の例について説明する。
【００８２】
駆動評価工程においては、例えば、振動板３０の変位の計測が行われる。振動板の変位を測定する手法に関して、数μｍ以下の微小変位を計測する技術としては、例えば、レーザドップラなどの手法がある。
【００８３】
レーザによる計測では、対象物にレーザを照射しその反射を計測するが、光のビームであるので、ミラー（ガルバノミラーやポリゴンミラー）などにより、１次元或いは２次元方向に走査することが可能である。
【００８４】
したがって，本実施形態によるアクチュエータ機能ユニット１６の各圧電素子部の変位計測においても、ミラーによるスキャンニングを用いることで平面状に並んだ素子部の変位や速度を、高速でスキャンして測定することも可能である。
【００８５】
また、このスキャンニングを微小な領域で行えば、各素子に対応する振動板の、素子内での変位の分布を測定することも可能であり、振動板の変位状態をより精密に測定することも可能である。
【００８６】
上述のように振動板の変位を計測することにより、次のような事項を把握できる。すなわち、振動板が動作しない場合には、圧電素子３２或いは駆動ＩＣ３６若しくは配線の不良と判断できる。
【００８７】
また、各素子ごとの、振動板の駆動能力（圧電素子と振動板の効率と、ＩＣの素子ごとの駆動能力ばらつきの総和）や、各素子ごとの周波数特性を確認できる（周波数特性の把握には、駆動周波数をスイープして、振動板の変位を測定すればよい）。
【００８８】
計測結果の利用の仕方は様々な態様が考えられるが、例えば、圧電素子単位の補正やユニット単位の補正に利用される。
【００８９】
圧電素子単位の補正例を以下に列記する。
【００９０】
<1>  駆動ＩＣが、各圧電素子ごとの駆動量を制御できる場合には、計測結果に応じてＩＣへの駆動量（ゲイン）を設定する。
【００９１】
<2>  各素子ごとに、配線部に設けた抵抗素子を選択することで駆動量を調整する。図８にその例を示す。図８は、アクチュエータ機能ユニット１６の駆動ＩＣ接続部分周辺を駆動ＩＣ側から見た様子を模式的に描いた平面図である。
【００９２】
図示のように、駆動ＩＣ３６に繋がる電気配線４４の一部（露出している部分の一部）に高抵抗材料で配線した抵抗部８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃを複数設け、これらのうち必要な抵抗部だけが接続されるように配線を切断する（レーザトリミング）などの方法で抵抗値を調整する。図８では、符号８１Ａの抵抗部の配線が切断された例が示されている。
【００９３】
上記のような配線抵抗補正工程を、製造プロセス中に付加することにより、素子単位での補正が可能である。
【００９４】
<3>  各素子に対応するノズルの径を、各素子の特性に合わせて調整する。例えば、駆動力の小さい素子に対応するノズル穴を大きくする。レーザによるノズル穴の加工時（ノズルプレートの穴加工時）に、素子の特性に合わせて、ノズル径をノズル毎に変える。振動板の駆動変位が小さい素子のノズルはノズル径を大きくして、液滴サイズを均一にする。また、基本的な穴加工はエッチングや型による加工で行っておき、素子の特性に応じた調整のみ、レーザなどで穴径を大きくする加工で行ってもよい。
【００９５】
<4>   上記の<3>と同様に、インク供給孔（供給絞り）の径を各素子ごとに調整する。例えば、駆動力の小さい素子の供給孔を大きくする。上述のノズル径の調整と同様に、レーザ加工によって径を調整することができる。
【００９６】
上記の<3>，<4>による補正工程が「穴径補正工程」に相当する。
【００９７】
また、ユニット単位で補正する例としては、ユニット全体での特性の平均値を算出し、平均値に対して、振動板の変位の大きいユニット（平均した値で評価）に、圧力室サイズの小さい下部ユニット（圧力室形成部材）を組み合わせるという態様がある。このように、振動板の変位や、圧力室サイズなどの、それぞれの製造ばらつきが大きくても、これらの大小のばらつきを上手く組み合わせることで（特性の合うユニット同士を組み合わせることで）、トータルでのばらつきを小さくできる。
【００９８】
上述した本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、圧電素子３２と圧力室２２等の流路形成部材とを一体化する前に、振動板３０、圧電素子３２、電気配線４４、及び駆動ＩＣ３６の実装・接続を行い、アクチュエータ機能ユニット１６単体での駆動検査・評価を行うようにしたので、液体（インク）を充填、吐出することなく、圧電素子３２の動作並びに振動板３０の変位などの検査・評価が可能である。圧電素子３２と振動板３０を実際に駆動し、振動板３０の変位そのものを観測できるため、圧電素子３２と振動板３０の特性のみを抽出して測定できる。
【００９９】
つまり、インクを充填・吐出して評価する場合（特許文献１）は、複数の要因が関与するため評価結果の分析が複雑となるが、本例では実際の吐出特性に近い圧電素子３２と振動板３０の特性のみを抽出して測定でき、複数の要因が関与しないので、評価結果の分析が容易であり、各部材の製造工程へのフィードバックが容易である。
【０１００】
測定（検査）・評価の対象に関して、特許文献３では圧電体の静電容量を電気的に測定することにより、特性を評価しているが、静電容量には圧電体の電気−機械変換の特性は反映されないため、静電容量よりも、振動板の変位の方がインクジェットヘッドの特性として、より実際の吐出特性に近いパラメータである。
【０１０１】
また、本実施形態によれば、アクチュエータ機能ユニット１６の状態で振動板３０の動きを直接観測できるため、透明材料などの特殊な材料を用いる必要がなく、一般的な材料を使用できる。したがって、材料コスト、製造コストを抑えることができるとともに、電気的特性に優れた材料を選択することが可能である。なお、本例では、アクチュエータ機能ユニット１６の状態で振動板３０が露出している例を示したが、本発明の実施に際しては、必ずしも振動板３０が露出している例に限定されず、振動板３０の動きを容易に観察可能な状態であればよい。
【０１０２】
更に、本実施形態によれば、アクチュエータ機能ユニット１６の検査・評価の段階で、仮に特性不良などがあった場合でも、ヘッド全体が不良にならない。不良の見つかったアクチュエータ機能ユニットのみを廃棄すればよく、ヘッド全体での歩留まりを下げることなく製造できる。
【０１０３】
これは、特に次のようなヘッドの構成をとる場合に有効である。すなわち、圧力室、又は圧力室とノズルを、ヘッド幅の一体構造として形成し、その圧力室部に短尺（例えば、１インチ〜２インチ）の「アクチュエータ機能ユニット」を複数並べてヘッドを構成する場合に特に有効である。
【０１０４】
また、本実施形態によれば、圧力室形成部材１４と接合する前に、アクチュエータ機能ユニット１６単体で圧電素子３２及び振動板３０の電気・機械的特性を評価できることにより、特性の合った圧力室形成部材１４を選別してアクチュエータ機能ユニット１６と接合したり、或いはまた、圧力室形成部材１４に補正的な加工を施し、特性を合わせたりするなどして、ヘッド全体の特性をより均一化することができる。
【０１０５】
更に、本実施形態によれば、アクチュエータ機能ユニット１６完成時には、電気的接続工程は完了しているので、その後の工程で、圧力室形成部材１４やノズルプレート１２などに高温・高圧をかける必要がない。したがって、圧力室形成部材１４などの耐熱性、温度特性（熱膨張率など）への要求（設計上の制約）を緩和できる。また、圧力室形成部材１４への付加的機能の組み込み（センサや配線の内蔵）が容易になる。
【０１０６】
なお、上述の実施形態では、振動板３０を挟んで圧力室２２と反対側にインクプール２６が形成される構造を例示したが、圧力室とインクプールの配置関係は本例に限定されず、インクプールと圧力室を振動板に対して同じ側に配置する態様も可能である。この場合、インクプールを形成する流路形成部材と圧力室を形成する流路形成部材は、別々の部材で構成されてもよいし、同じ部材で構成されてもよい。
【０１０７】
〔インクジェット記録装置への適用例〕
図９は、本発明に係る画像形成装置の一実施形態を示すインクジェット記録装置の全体構成図である。同図に示すように、このインクジェット記録装置１１０は、黒（Ｋ），シアン（Ｃ），マゼンタ（Ｍ），イエロー（Ｙ）の各インクに対応して設けられた複数のインクジェットヘッド（以下、「ヘッド」という。）１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙを有する印字部１１２と、各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１１４と、記録媒体たる記録紙１１６を供給する給紙部１１８と、記録紙１１６のカールを除去するデカール処理部１２０と、前記印字部１１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１１６の平面性を保持しながら記録紙１１６を搬送するベルト搬送部１２２と、印字部１１２による印字結果を読み取る印字検出部１２４と、記録済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部１２６とを備えている。
【０１０８】
印字部１１２の各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙとして、図１〜図８で説明したインクジェットヘッド１０が用いられる。
【０１０９】
図９に示したインク貯蔵／装填部１１４は、各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するインクタンクを有し、各タンクは所要の管路を介してヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【０１１０】
図９では、給紙部１１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【０１１１】
複数種類の記録媒体（メディア）を利用可能な構成にした場合、メディアの種類情報を記録したバーコード或いは無線タグなどの情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される記録媒体の種類（メディア種）を自動的に判別し、メディア種に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【０１１２】
給紙部１１８から送り出される記録紙１１６はマガジンに装填されていたことによる巻きクセが残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部１２０においてマガジンの巻きクセ方向と逆方向に加熱ドラム１３０で記録紙１１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【０１１３】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図９のように、裁断用のカッター（第１のカッター）１２８が設けられており、該カッター１２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。なお、カット紙を使用する場合には、カッター１２８は不要である。
【０１１４】
デカール処理後、カットされた記録紙１１６は、ベルト搬送部１２２へと送られる。ベルト搬送部１２２は、ローラ１３１、１３２間に無端状のベルト１３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１１２のノズル面及び印字検出部１２４のセンサ面に対向する部分が水平面（フラット面）をなすように構成されている。
【０１１５】
ベルト１３３は、記録紙１１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引穴（不図示）が形成されている。図９に示したとおり、ローラ１３１、１３２間に掛け渡されたベルト１３３の内側において印字部１１２のノズル面及び印字検出部１２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバ１３４が設けられており、この吸着チャンバ１３４をファン１３５で吸引して負圧にすることによって記録紙１１６がベルト１３３上に吸着保持される。なお、吸引吸着方式に代えて、静電吸着方式を採用してもよい。
【０１１６】
ベルト１３３が巻かれているローラ１３１、１３２の少なくとも一方に不図示のモータの動力が伝達されることにより、ベルト１３３は図９上の時計回り方向に駆動され、ベルト１３３上に保持された記録紙１１６は図９の左から右へと搬送される。
【０１１７】
縁無しプリント等を印字するとベルト１３３上にもインクが付着するので、ベルト１３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部１３６が設けられている。ベルト清掃部１３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、或いはこれらの組合せなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラ線速度を変えると清掃効果が大きい。
【０１１８】
なお、ベルト搬送部１２２に代えて、ローラ・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラ・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面をローラが接触するので画像が滲み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面を接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【０１１９】
ベルト搬送部１２２により形成される用紙搬送路上において印字部１１２の上流側には、加熱ファン１４０が設けられている。加熱ファン１４０は、印字前の記録紙１１６に加熱空気を吹き付け、記録紙１１６を加熱する。印字直前に記録紙１１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【０１２０】
印字部１１２の各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙは、当該インクジェット記録装置１１０が対象とする記録紙１１６の最大紙幅に対応する長さを有し、そのノズル面には最大サイズの記録媒体の少なくとも一辺を超える長さ（描画可能範囲の全幅）にわたりインク吐出用のノズルが複数配列されたフルライン型のヘッドとなっている。
【０１２１】
ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙは、記録紙１１６の送り方向に沿って上流側から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の色順に配置され、それぞれのヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙが記録紙１１６の搬送方向と略直交する方向に沿って延在するように固定設置される。
【０１２２】
ベルト搬送部１２２により記録紙１１６を搬送しつつ各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙからそれぞれ異色のインクを吐出することにより記録紙１１６上にカラー画像を形成し得る。
【０１２３】
このように、紙幅の全域をカバーするノズル列を有するフルライン型のヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙを色別に設ける構成によれば、紙送り方向（副走査方向）について記録紙１１６と印字部１１２を相対的に移動させる動作を１回行うだけで（すなわち１回の副走査で）、記録紙１１６の全面に画像を記録することができる。これにより、記録ヘッドが紙搬送方向と直交する方向に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【０１２４】
本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組合せについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インク、特別色インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出するインクジェットヘッドを追加する構成も可能である。また、各色ヘッドの配置順序も特に限定はない。
【０１２５】
図９に示した印字検出部１２４は、印字部１１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ又はエリアセンサ）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からドット相互の依存関係やドット変位量を測定する手段として機能するとともに、ノズルの目詰まりや着弾位置ずれなどの吐出不良をチェックする手段として機能する。各色のヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙにより印字されたテストパターン又は実技画像が印字検出部１２４により読み取られ、各ヘッドの吐出判定が行われる。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定などで構成される。
【０１２６】
印字検出部１２４の後段には後乾燥部１４２が設けられている。後乾燥部１４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹き付ける方式が好ましい。
【０１２７】
多孔質のペーパーに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパーの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【０１２８】
後乾燥部１４２の後段には、加熱・加圧部１４４が設けられている。加熱・加圧部１４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ１４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【０１２９】
こうして生成されたプリント物は排紙部１２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部１２６Ａ、１２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える不図示の選別手段が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）１４８によってテスト印字の部分を切り離す。また、図９には示さないが、本画像の排出部１２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられる。
【０１３０】
〔ヘッドの構造〕
次に、ヘッドの構造について説明する。色別の各ヘッド１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号１５０によってヘッドを示すものとする。
【０１３１】
図１０はヘッド１５０の構造例を示す平面透視図であり、図１１はその要部拡大図である。
【０１３２】
図１０に示すように、このヘッド１５０は、インク吐出口であるノズル２１と、ノズル２１に対応する圧力室２２を含んで構成される複数のインク室ユニット（１ノズルに対応した記録素子単位となる液滴吐出素子）２３をマトリクス状に２次元配列させた構造を有している。これにより、記録媒体（記録紙１１６）の送り方向（矢印Ｓ方向；副走査方向）と略直交する方向（矢印Ｍ方向；主走査方向）に記録媒体（記録紙１１６）の全幅Ｗm に対応する長さ以上のノズル列が構成されている。
【０１３３】
図示のマトリクス配列について、説明の便宜上、図１０の横方向を行方向（主走査方向）、図１０の縦方向（副走査方向）を列方向とする。
【０１３４】
各ノズル２１に対応して設けられている圧力室２２は、その平面形状が概略正方形となっており、頂点付近の隅部の１箇所にノズル２１への流出口（図１で説明したノズル流路２４への連通口）が設けられる。なお、供給インクの流入口（図１で説明した個別供給路２８との連通口）は図１０に示されていないが、圧力室２２の他の頂点付近の隅部、好ましくは、ノズル２１との対角線上の隅部に設けられる。
【０１３５】
圧力室２２の形状は、本例に限定されず、平面形状が四角形（菱形、長方形など）、五角形、六角形その他の多角形、円形、楕円形など、多様な形態があり得る。
【０１３６】
図１１に示すように、本例のヘッド１５０は、複数のインク室ユニット２３を、行方向と、該行方向に対して直交しない斜めの列方向（図１１の略縦方向）とに沿って一定の配列パターンでマトリクス状に（斜めの格子状に）配置させた構造によって、高密度ノズル配列ヘッドが実現されている。
【０１３７】
すなわち、主走査方向方向（行方向）に対してある角度θの方向に沿ってインク室ユニット２３を一定のピッチｄで複数配列する構造により、主走査方向に並ぶように投影されたノズルのピッチＰはｄ× cosθとなり、主走査方向については、各ノズル２１が一定のピッチＰで直線状に配列されたものと等価的に取り扱うことができる。このような構成により、主走査方向に並ぶように投影されるノズル列が１インチ当たり2400個（2400ノズル／インチ）におよぶ高密度のノズル構成を実現することが可能になる。
【０１３８】
図示の２次元配列を別の観点で表現すると、主走査方向（行方向）に並ぶノズル２１のノズル列内のノズル間隔ＮLmは一定であるとし（各行の主走査方向ノズル間隔は全て同じＮLmとし）、各行のノズル２１-ij は主走査方向に沿って互いのノズル位置を行間で異ならせながら千鳥状に配置される。すなわち、ノズル面（吐出面）内における２次元ノズル配列の主走査方向ノズル列のノズル行数（副走査方向のノズル数）をｎ（図１１の場合、ｎ＝６）、記録媒体上で主走査方向に沿って並ぶドットを打滴するノズルの実質的な主走査方向ノズル間ピッチをＰとすると、ＮLm＝ｎ×Ｐ の関係を満たす。また、副走査方向（ノズル配列の列方向）について各行の行間隔（副走査方向のノズル間距離）Ｌs は一定である。
【０１３９】
なお、印字可能幅の全幅に対応した長さのノズル列を有するフルラインヘッドで、ノズルを駆動する時には、（１）全ノズルを同時に駆動する、（２）ノズルを片方から他方に向かって順次駆動する、（３）ノズルをブロックに分割して、ブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動する等が行われ、用紙の幅方向（用紙の搬送方向と直交する方向）に１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）を印字するようなノズルの駆動を主走査と定義する。
【０１４０】
特に、図２に示すようなマトリクス状に配置されたノズル２１を駆動する場合は、上記（３）のような主走査が好ましい。すなわち、ノズル２１-11 、２１-12 、２１-13 、２１-14 、２１-15 、２１-16 を１つのブロックとし（他にはノズル２１-21 、…、２１-26 を１つのブロック、ノズル２１-31 、…、２１-36 を１つのブロック、…として）、記録媒体の搬送速度に応じてノズル２１-11 、２１-12 、…、２１-16 を順次駆動することで記録媒体の幅方向に１ラインを印字する。
【０１４１】
一方、上述したフルラインヘッドと記録媒体とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字を繰り返し行うことを副走査と定義する。
【０１４２】
そして、上述の主走査によって記録される１ライン（或いは帯状領域の長手方向）の示す方向を主走査方向といい、上述の副走査を行う方向を副走査方向という。すなわち、本実施形態では、記録媒体の搬送方向が副走査方向であり、それに直交する方向が主走査方向ということになる。
【０１４３】
本発明の実施に際してノズルの配置構造は図示の例に限定されない。また、本例では、行方向に沿ってノズル２１が並ぶノズル列を列方向に６列並べた構成を示すが、本発明の実施に際して、ノズル列の数（行数）ｎは特に限定されない。ただし、高密度化を達成すべく、ｎは３以上の整数（３列以上）であることを前提とする。
【０１４４】
なお、フルライン型のヘッドを構成する形態は、図１０のように１ヘッドで記録媒体の送り方向と略直交する方向に記録媒体の全幅Ｗmに対応する長さにわたるノズル列を構成する形態に限定されない。例えば、図１０の構成に代えて、図１２に示すように、複数のノズル１２が２次元に配列された短尺のヘッドモジュール１５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせることで記録媒体の全幅に対応する長さのノズル列を有するラインヘッドを構成してもよい。
【０１４５】
上記の実施形態では、フルライン型のヘッドを用いたインクジェット記録装置を例示したが、本発明の適用範囲はこれに限定されない。例えば、シャトルスキャン方式のように、記録媒体（記録紙１１６その他の印字媒体）の幅寸法に満たない長さのヘッドを用いて、複数回走査して画像形成する場合にも本発明は適用可能である。
【０１４６】
また、上述の説明では、インクジェット記録装置を例示したが、本発明の適用範囲はこれに限定されない。例えば、印画紙に非接触で現像液等を塗布する液体吐出ヘッドを備えた写真画像形成装置についても本発明の液体吐出ヘッドを適用できる。更に、本発明の適用範囲は画像形成装置に限定されず、液体吐出ヘッドを用いて処理液その他各種の液体を被吐出媒体に向けて噴射する各種の装置（塗装装置、塗布装置、配線描画装置など）について本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１４７】
【図１】本実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法により製造されるインクジェットヘッドの構造を示す断面図
【図２】図１に示したインクジェットヘッドの分解図
【図３】本例のインクジェットヘッドの製造工程を示す図
【図４】本例のインクジェットヘッドの製造工程を示す図
【図５】本例のインクジェットヘッドの製造工程を示す図
【図６】本例のインクジェットヘッドの製造工程を示す図
【図７】本例のインクジェットヘッドの製造工程を示す図
【図８】配線部に設けた抵抗素子の抵抗値を調整する方法の一例を示した図
【図９】本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の全体構図
【図１０】ヘッドの構造例を示す平面透視図
【図１１】図１０に示したヘッドのノズル配列を示す拡大図
【図１２】フルラインヘッドの他の構造例を示す平面図
【符号の説明】
【０１４８】
１０…インクジェットヘッド、１２…ノズルプレート、１４…圧力室形成部材、１６…アクチュエータ機能ユニット、１８…インクプール形成部材、２１…ノズル、２２…圧力室、２６…インクプール、３０…振動板、３２…圧電素子、３４…中間板、３４Ａ…凹部、３６…駆動ＩＣ、３８…圧電体、３９…個別電極、４０…引出し配線、４４…電気配線、４６，５２，５３…バンプ、５６…インク流路、８１Ａ，８１Ｂ，８１Ｃ…抵抗部、１１０…インクジェット記録装置、１１２…印字部、１１２Ｋ，１１２Ｃ，１１２Ｍ，１１２Ｙ…ヘッド、１１４…インク貯蔵／装填部、１１６…記録紙、１２２…ベルト搬送部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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