(57)【要約】【課題】  長時間の作業者トレーニングが必要で高度な熟練を要する手拭き作業を不可欠とせず、小型の光学部品の場合でも、一度に多数の洗浄・乾燥を歩留まりよく行うことが可能な洗浄・乾燥用光学部品保持部品を安価に提供する。【解決手段】  互いに独立した対向して配置する一対の板状の保持板と前記一対の保持板に着脱可能に取り付けられる少なくとも４本の光学部品支持棒とを基本構成とし、光学部品支持棒には光学部品を保持することができる凹部が複数箇所形成されており、前記少なくとも４本の支持棒のうちの２本が前記光学部品を挟んで保持する間隔で前記保持板の上方に配置され、２本が前記光学部品を載置して保持する間隔ならびに位置で前記保持板の下方に取り付けられて光学部品保持部を形成して解決した。【選択図】  図２
2007298232.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品は、対向して配置される互いに独立した一対の板状の保持板と前記一対の保持板に着脱可能に取り付けられる少なくとも４本の光学部品支持棒を基本的構成要素としており、前記光学部品支持棒は被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置もしくは保持することができるＶ字形溝やＵ字形溝の如き凹部を複数箇所に有しており、前記少なくとも４本の支持棒のうちのなくとも２本が前記光学部品を挟んで保持する間隔で前記保持板の相対的に上方に配置され、少なくとも２本が前記光学部品を載置して保持する間隔ならびに位置で前記保持板の相対的に下方に取り付けられ、前記光学部品保持部品は前記一対の保持板に取り付けられた少なくとも４本の光学部品支持棒を用いて光学部品を保持することができる光学部品保持部を有しているとともに非使用時には前記一対の保持板と前記少なくとも４本の光学部品支持棒とに容易に分解されて保存できるようになっており、前記保持板には前記光学部品支持棒を取り付けることができる横長の穴を複数個と縦長の穴が複数個形成されており、前記複数の横長の穴と縦長の穴は前記光学部品支持棒を取り付けて光学部品保持部品にしたときに上方になる部分と下方になる部分に前記横長の穴が形成されており、前記上方の横長の穴が形成されている部分と下方の横長の穴が形成されている部分の間に前記縦長の穴が形成されており、前記保持板の前記光学部品支持棒を取り付けて光学部品保持部品にしたときに外側になる部分の外周が凸部になっており、その内側が凹部になっている板状であり、前記凸部になっている外周部分は前記保持板を一周するように設けられており、前記凸部の下側の前記凹部と接続している部分は１００〜１２０°の角度をなして傾斜していることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２】
請求項１に記載の光学部品保持部品において、前記少なくとも４本の光学部品支持棒が同一の形状・寸法であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３】
請求項１に記載の光学部品保持部品において、前記保持板の上方の横長の穴と下方の横長の穴の少なくとも一方は、当該保持板の上下方向に複数列形成されているとともに、前記上方の横長の穴と下方の横長の穴の少なくとも一方は、同じ列で左右に２つ以上に分かれた穴として形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４】
請求項３に記載の光学部品保持部品において、前記下方の横長の穴の長さが上方の横長の穴の長さの２分の１以下であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記上方の横長の穴が間に小穴を配して左右に一対形成されており、前記下方の横長の穴が当該保持板の横方向の中央部に形成されている小穴を挟んで左右に２つずつ形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項６】
請求項５に記載の光学部品保持部品において、前記間に小穴を配して左右に２つずつ形成されている前記左右各２つの下方の横長の間の最狭部分の寸法が２ｍｍであることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記下方の横長の穴の長さ寸法が３０〜５０ｍｍであることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記下方の横長の穴として、その幅寸法が２．９〜３．１ｍｍの穴と幅寸法が３．８〜４．１ｍｍの穴のいずれかまたは双方が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記下方の横長の穴が当該保持板の横方向の中央部に形成されている縦穴を挟んで左右に２つずつ形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記縦長の穴は、長さが５〜２０ｍｍで幅が３〜５．５ｍｍの穴であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記縦長の穴同士の間隔が、それぞれ穴の中心間距離で表して５〜１５ｍｍであることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記保持板が樹脂を用いた一体成形技術を用いて形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１３】
請求項１２に記載の光学部品保持部品において、前記保持板がポリアセタール樹脂を用いた一体成形技術を用いて形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１４】
請求項１２に記載の光学部品保持部品において、前記保持板がＡＢＳを用いた一体成形技術を用いて形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１５】
請求項１２に記載の光学部品保持部品において、前記保持板がポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂を用いた一体成形技術を用いて形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品はその構成要素として前記一対の保持板に取り付けて前記一対の保持板を補強するコの字形の補強板を一対有しており、前記補強板の光学部品保持部品の高さ方向における寸法は前記保持板の光学部品保持部品の高さ方向における寸法の１／２以下であり、前記補強板は前記保持板に着脱可能であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記保持板の寸法が幅２００ｍｍ以下、高さ７０ｍｍ以下、厚みの最大部分の寸法が７ｍｍ以下、前記光学部品支持棒を取り付けて光学部品保持部品にしたときの前記一対の保持板間の距離が２００ｍｍ以下であることを特徴とする光学部品保持部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持板に取り付けたＶ字形溝やＵ字形溝の如き凹部を複数箇所に有する光学部品支持棒によって光学部品を保持して光学部品の洗浄・乾燥を行う改良された光学部品保持部品（以下、保持部品のことを保持治具ともいう）に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信では、光アイソレーター、サーキュレーター、ＷＤＭ、フィルター等の様々なモジュールが使用されるが  これらのモジュールにはガーネット、水晶、方解石等の結晶や多層膜フィルター等が組み込まれている。
【０００３】
通常、アイソレータ、フィルター等のモジュールは、たとえば光ファイバーからモジュールに入力された光を、たとえば多層膜フィルター等に入力させて、透過、反射、分離、および屈折等の光学現象を利用することにより、モジュールの機能を実現させている。フィルター等の表面が汚れていると、光ファイバーからモジュールに入力された光が汚れたフィルター等の表面で減衰したり乱反射したりして結合損失が増大したり、モジュールの機能を損なってしまうことがある。モジュールに用いる光学部品の表面の清浄度はモジュールの品質上きわめて重要である。また、洗浄・乾燥した光学部品の表面の一部にメタライズ層を真空蒸着等により形成して部品にするものでは、光学部品の表面の清浄度が悪いと蒸着した金属層が、部品として使用するときにあるいは使用してから剥離してしまうという厄介な問題がある。
【０００４】
このため、これらの光学部品の洗浄には多くの工夫が施されてきた。
【０００５】
従来は、たとえば３本の棒状の支持部品等で多数の光学部品を３方向から３点支持（以下、支持を保持ともいう）をしたり、光学部品を光学部品挿入部を有する光学部品保持部品（前記光学部品保持部品は、ケースと呼称するのが適切な場合もあるが、以下、そのような場合も、そして、前記のような３点支持をするように棒状の支持部品を組み合わせて構成した保持部品も、特に必要な場合を除き光学部品保持部品とも称する）に入れて保持して超音波洗浄機で光学部品の汚れを落とし、光学部品の表面を清浄にして後、スピン乾燥機で付着した洗浄液を除去しようとしていた。
【０００６】
ワークの３点支持による保持方法については、たとえば、特開平６−２０８０９３（以下、特許文献１という）、特開２００５−０２４２３６（以下、特許文献２という）、特開２００５−０９５８６２（以下、特許文献３という）にも記載されており、その細部についてはあまり詳細でないが、図と文章からおおむね知ることができる。
【０００７】
以下において、本発明と従来の光学部品保持部品との違いを明確にするため、従来実施されていた洗浄・乾燥方法と光学部品保持部品に関して以下に説明する。
【０００８】
図６は、この乾燥工程に使用される従来から使用されているスピン乾燥機の要部をモデル的に示した図である。
【０００９】
図６で、符号１３０１はスピン乾燥装置、１３０２はスピン乾燥装置１３０１の外枠、１３０３はスピン乾燥装置１３０１を構成する回転させることが出来る回転板を有する回転体、１３１０〜１３１３は回転体１３０３の回転板に取り付けられたホルダで被乾燥物としての光学部品（以下、ワークとも称する）を保持した乾燥用の光学部品保持部品や光学部品保持部品を保持した保持枠（以下、クレードルともいう）（図示せず）を保持するためのホルダ、１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃはそれぞれホルダ１３１０〜１３１３の側壁、１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂはそれぞれ側壁１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ，１３１３ｃに設けられたクレードル設置用溝、１３１５は前記クレードルの位置決めのための支持棒、１３１６は回転方向を示す矢印、１３２０はスピン乾燥装置の蓋、１３２３は蓋１３２０に設けられた送風口、１３２２は送風口に取り付けられているフィルタである。
【００１０】
図６で、ホルダ１３１０〜１３１３は回転体１３０３にネジなどで固定された状態で保持されている。
【００１１】
図６のようなスピン乾燥装置で、洗浄したワークのスピン乾燥を行う際は、ワークを保持した光学部品保持部品を入れたクレードルを、クレードルに設けられた突起部（図７６に図示）をホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれのクレードル設置用溝１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂに挿入してホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれに配置した後に、回転体１３０３をたとえば矢印１３１６の方向に回転させることによってスピン乾燥を行う。このとき、回転体に装着されたクレードルの底面は、図７６のように、回転体の回転により与えられる遠心力に対してクレードルが最も安定に保持されるように、回転体の回転により与えられる遠心力の方向に直交するように前記ホルダに取り付けられるようになっている。
【００１２】
図７〜図１０は、ワークの３点支持による保持方法について説明する図で、特許文献１と全く同じものではないが、本発明の発明者等の分類では同種の技術思想に基づくワークの３点支持による保持方法であるということができるもので、現在光学部品の洗浄・乾燥に使用されているものである。
【００１３】
図７は、ワークの３点支持による保持方法について説明する図である。
【００１４】
図７で、符号１３３１は被乾燥物としてのワーク、１３３２〜１３３４はワーク１３３１を固定するための光学部品支持部品である。
【００１５】
図７で光学部品支持部品１３３２および１３３４は、ワーク１３３１の側面の両辺のおおよそ中央にそれぞれ配置されており、光学部品支持部品１３３３は光学部品支持部品１３３２と１３３４を結ぶ線分の垂直２等分線近傍の光学部品側面に配置されている。
【００１６】
図７において、ワーク１３３１を洗浄・乾燥する際には、ワークを固定するための光学部品支持部品１３３２〜１３３４の接触面積は可能な限り少ない方が良いとされている。
【００１７】
図８〜図１０は、図７の光学部品支持部品の例を説明するための図で、図８は１本の光学部品支持部品の斜視図、図９は図８の光学部品支持部品を図８の直線Ｙ１−Ｙ２で切った断面から斜めに見た図、図１０は図８の光学部品支持部品がワークを保持している状態を説明するための図である。
【００１８】
図８〜図１０で、符号１３４０は従来の光学部品支持部品、１３４１は光学部品支持部品１３４０を構成する支柱、１３４２は支柱１３４１の端部に設けられたネジ、１３４３は光学部品支持部品１３４０を構成する支持板、１３４１ａ，１３４１ｂは支柱１３４１の溝に入れた支持板１３４３をカシメによって固定しているカシメ部分、１３４４は支持板１３４３に形成されたＶ字溝である。
【００１９】
図８および図９に示した光学部品支持部品１３４０には支柱１３４１の先端部にネジ１３４２が設けられており、図示しないが、複数本の光学部品支持部品１３４０を支持部品取り付け枠に光学部品を保持するのに適当な間隔で固定できるように形成して洗浄・乾燥用の光学部品保持部品が構成されている。また、支持板１３４３はフッ素樹脂で形成されており、ある程度の弾力性を有しており、形状が図示の如くＶ字型の溝を有するノコギリの刃状に形成されている。前記Ｖ字型の溝は、同一形状・寸法の溝が、同一光学部品保持部品として使用する全ての支柱１３４１の長手方向の同じ位置に設けられている。
【００２０】
図１０で、ワーク１３３１は、水平方向の左右に２つとそれに直交する方向の１つの計３つの方向から３つの光学部品支持部品１３４０の支持板１３４３のＶ字形の溝部分によって支えられている。
【００２１】
図８〜図１０を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワーク１３３１を固定した場合、支持板１３４３のワークを支持する部分がＶ字型の溝形状に形成されているために、ワーク１３３１は３方の側面の稜線部分だけが支持板１３４３のＶ字型の溝に支持されており、支持板１３４３との接触面積が比較的小さいように緩く固定される。
【００２２】
しかし、図８〜図１０を用いて説明したような光学部品支持部品１３４０の支持板１３４３は、フッ素樹脂であるテトラフルオロエチレンで形成されていることなどから、一辺が１０ｍｍ以上のあまり重くないワークしか固定することが出来ず、これ以下の小さいワークに関しては別の方法で保持しなければならなかった。
【００２３】
図１１および図１２は光学部品支持部品の図８〜図１０を用いて説明した例とは別の従来例を説明する図で、特許文献１とは異なるものということができるものである。
【００２４】
図１１は１本の光学部品支持部品の斜視図、図１２は図１１の光学部品支持部品３本によってワークが固定（緩く固定）されている状態を説明するための図である。
【００２５】
図１１および図１２で、符号１３５０は光学部品支持部品、１３５１は光学部品支持部品１３５０を構成する支柱、１３５３は支柱１３５１に設けられたワークを固定するためのＶ字形の溝である。
【００２６】
図１１で、支柱１３５１は円柱形であり、直径はφ６ｍｍ〜１０ｍｍである。また、溝１３５３は同一形状・寸法の溝が一定の間隔で支柱１３５１に、支柱１３５１の長さ方向に切った断面がＶ字形の溝として設けられている。
【００２７】
図１２で、ワーク１３３１は支柱１３５１に形成された溝１３５３の部分にワーク１３３１の一部を入れることによって緩く固定されている。この場合、図中のワーク１３３１の左右の辺は、中央より少し上の方を支持されている。この緩く固定されているという状態は、ワークをピンセットなどで注意して持ち、たとえば、３点支持の光学部品支持部品として組み上げられた３本の支柱１３５１に形成された溝１３５３の部分にワーク１３３１の一部を入れて保持したとき、ワークを超音波洗浄したり、スピン乾燥したりしたときに、ワークが溝１３５３の部分から抜け出すことはないが、ワークをピンセットなどで持って溝１３５３の部分から取り出したり、ワークを溝１３５３の部分に挿入したりすることが出来る程度に固定されているという意味である。以下、３点支持の記述において、特に断らない場合には、このような緩く固定することを、単に、固定するあるいは束縛するともいう。図１０と図１２に示した保持の状態も、この緩く固定した状態である。
【００２８】
図１３は、ワーク１３３１が光学部品支持部品によって固定されているときのワークと光学部品支持部品との接触状態を説明するための図であり、図１１の矢印１３５５の方向から見た図である。
【００２９】
図１３でワーク１３３１は、支柱１３５１に形成された溝１３５３が作る斜面に接することによって緩く固定されている。
【００３０】
図１１および図１２を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワークを固定した場合、支柱１３５１が円柱形に構成されているため、溝１３５３の部分も円柱形となっており、ワークとの接触面積が極めて少なくて済む。しかし、ワークの一辺が８ｍｍ以下である場合、図１３からもわかるように支柱１３５１がワークに非常に近い位置にある状態でワークを固定することになるため、洗浄する際にワークに支柱１３５１の影の部分になる部分が生じ、超音波を効果的にワークに当てることが出来ず、洗浄自体がうまくいかないという欠点があった。
【００３１】
支持板１３４３をカシメによって固定する支柱１３４１や溝１３５３が形成された支柱１３５１は、機械加工によって１本ずつ加工されているのが現状である。支柱の材料としてはステンレス鋼や、加工によって溝をつけた金属に樹脂をコーティングしたものが多く用いられている。樹脂だけでつくった支柱は、強度に問題があり、溝を付けた金属や溝を付けた金属に樹脂をコートしたものが主に用いられていた。
【００３２】
以上説明したように、従来は、ワークが小さい場合は光学部品支持部品によってワークを固定できなかったり、固定できた場合でもワークを効果的に洗浄することが出来ないという大きな問題があった。
【００３３】
そのため、小さなワークを洗浄・乾燥する際には、通常、ワークを洗浄治具に収納した後に、洗浄治具をクレードルなどに入れて、スピン乾燥装置に装着して洗浄・乾燥する方法が採られている。
【００３４】
図１４は、従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の斜視図である。
【００３５】
図１４で、符号１３５５は従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品、１３５６はワークを入れるための光学部品挿入部である。光学部品挿入部１３５６は穴状になっており、穴の底部の周縁部にはそこに挿入した光学部品を保持するための光学部品載置枠１３５６ａが設けられており、その内側に洗浄液を通過させるための貫通孔１３５６ｂが設けられている。この貫通孔１３５６ｂの直径はワークより十分小さく、光学部品載置枠１３５６ａの中央部に設けられている。
【００３６】
図１４からも推察できるように、光学部品保持部品１３５５の基本的な技術思想は、光学部品を３点支持のように緩く固定せずに光学部品載置枠１３５６ａに載置し、洗浄・乾燥中に光学部品の特に重要なところである光学面の重要部分を貫通孔１３５６ｂのところで周囲のものと非接触に保つことができるように考慮しているところにある。
【００３７】
図１４のような洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を用いて洗浄と乾燥を行うときは、光学部品挿入部にワークを入れて、光学部品保持部品ごとクレードルなどに入れて洗浄装置やスピン乾燥装置の所定位置に載置する。
【００３８】
図１７は、図１１〜図１３で説明した光学部品支持部品１３５０を被洗浄物である光学部品１３３１の大きさに適した間隔に保持枠１３５０ｂに取り付け、光学部品支持部品１３５０の溝１３５３に光学部品１３３１を装着して後、装着した光学部品１３３１が洗浄・乾燥工程中に脱落しないような状態に各光学部品支持部品１３５０の間隔を微調整して保持枠１３５０ｂに固定した状態の従来の光学部品保持部品１３５０ａを示す図で、図１８は、図１７の光学部品保持部品を真上から見たものを拡大した平面図である。
【００３９】
保持枠は、図示のように、上板と底板のない４辺からなり強度が十分にある箱形の枠になっており、４方向を平板で囲まれた一体の枠に、支持棒を取り付ける対向する一対の辺には上下に横長の穴が形成されており、その上から支持棒取付のための横長の穴が上下に形成された支持棒取付板がネジ止めされている。支持棒を取り付けない一対の側辺は穴のない平板で構成されている。
【００４０】
前記の寸法形状の光学部品を従来の方法で超音波洗浄によって洗浄する場合、図１７に示したような３点支持による保持方法によって光学部品を光学部品保持部品１３５０ａに装着して、洗洗剤中での超音波洗浄と超純水中での超音波洗浄を適宜繰り返し、スピン乾燥によって乾燥するという一連の洗浄工程で光学部品を洗浄する。
【００４１】
しかし、前記のような従来の光学部品保持部品と洗浄・乾燥装置を用いて小型で薄い光学板を大量に超音波洗浄しスピン乾燥しようとすると、洗浄残液を完全に取り去ることが出来ず、そのままでは光学部品の汚れとして残ってしまい、後工程の蒸着などで不良品となってしまうという問題があった。
【００４２】
特に、光学部品の最大面の大きさが８ｍｍ角（すなわち、一辺の寸法が８ｍｍの正方形）以下のような小さいものを洗浄する際には、従来の３点支持をする治具で光学部品を支持して洗浄すると、支持部品で光学部品を確実に支持するには支持部品の強度を保つために支持部品をあまり細くすることができないため、超音波洗浄するときに、光学部品の支持部品の陰になった部分に超音波が効果的に当たらずに光学部品の汚れが残ってしまったり、洗浄中や洗浄後の乾燥時に光学部品が欠落することがある上に、洗浄の仕上げ工程としてのいわゆる水切り工程、すなわち光学部品に付着した洗浄液を除去する乾燥工程で、洗浄残液を完全に取り去ることが出来ず、そのままでは光学部品の汚れとして残ってしまい、正常なモジュールを構成するのに用いることができない光学部品が多発してしまうという問題があった。
【００４３】
そのため、実際には、光学部品をモジュールに実装するときに、あるいは洗浄・乾燥後に、１個ずつ専用のピンセットなどで光学部品を持ち、その表面を溶剤を浸したクリーニングペーパーや綿棒などで拭き上げる手拭き作業に頼らざるを得なかった。
【００４４】
この光学部品の拭き作業は、光学部品を１個ずつピンセットで注意深くつかみ、有機溶剤等をつけたクリーニングペーパーや綿棒で汚れを拭き取る作業で、一辺が１１ｍｍぐらいの大きな光学部品の場合でも高度な熟練を要する難しい時間のかかる作業であるが、特に、表面を清浄にする光学部品の大きさが１ｍｍ角前後のように小さい場合には、非常に高度な熟練を要し、満足な品質特性を有するように光学部品を清浄にすることが出来るようになるためには、少なくとも数ヶ月の訓練が必要であった。この拭き作業は作業効率が悪く、多層膜フィルタの例では、１時間に２０個程度しか清浄にすることが出来なかった。
【００４５】
光学部品の洗浄においては、洗浄液中で光学部品に付着している汚れを除去する工程は当然重要な洗浄工程であるが、洗浄工程のあとに光学部品に付着している洗浄液（超純水も含めて洗浄液または洗剤という）を除去する乾燥工程も洗浄の重要な工程である。
【００４６】
図１５および図１６は従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液のふき取り方法について説明するための模式図である。
【００４７】
図１５および図１６において、符号４００はワーク、５０１は綿棒、５０２，５０３は綿棒５０１の端部、５０４は綿棒の動く方向を示す矢印、５１０はハンドラップ、５１１は有機溶剤、５１２はハンドラップの皿部、５１３はピンセット、５１４は管である。    図１５で、ハンドラップ５１０の内部には有機溶剤５１１が入っており、皿部５１２をたとえば綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３で押し下げると、有機溶剤５１１は管５１４を毛管現象によって皿部５１２まで上がり、綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３に適量の有機溶剤５１１を付けることが出来る。
【００４８】
図１６で、ワーク４００をピンセット５１３によってつまみ、有機溶剤をしみこませた綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３を矢印５０４の方向へ動かしながら、ワーク４００の光学面４０１と４０２を拭いて清浄にすることが出来る。
【００４９】
また、綿棒５０１に有機溶剤を付けないでワーク４００をふき、水分をワーク４００から除去することも出来る。
【００５０】
図１５および図１６を用いて説明したような洗浄・乾燥方法は、前記で説明したような方法では洗浄・乾燥出来ないものの洗浄・乾燥に用いられることが多い。しかし、一辺が８ｍｍ以下のように小さなワーク、たとえば、光通信に通常用いられている光学面が１．４ｍｍ角の薄いフィルタのような場合、ワークが非常に小さくて、これをピンセットで掴みながら水分をふき取ったりする作業は非常に困難な作業である。
【００５１】
【特許文献１】特開平６−２０８０９３
【特許文献２】特開２００５−０２４２３６
【特許文献３】特開２００５−０９５８６２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００５２】
以上説明したように、従来の光学部品保持部品に光学部品を保持して、一度に多数の前記光学部品を超音波洗浄し、スピン乾燥を行っただけでは、要求されるような清浄な光学面を歩留まり良く得ることが難しいという大きな問題があった。
【００５３】
すなわち、従来の光学部品保持部品で保持して超音波洗浄したワーク（光学部品）をスピン乾燥しても、ワークに洗浄液が残ってしまい、清浄な光学面の多層膜フィルターなどを得ることができず、残留洗浄液やそれにより生じたシミを拭き取るために多層膜フィルターなどのワークをピンセットで注意深くつまみ、クリーニングペーパーや綿棒などでそれらを拭き取る手作業を必要としていた。特に、ワークが小型の場合、この拭き作業は避けられなかった。
【００５４】
この拭き作業は、非常に高度な熟練を要し、満足した品質特性を得るためには、数ヶ月の作業者トレーニングが必要であった。そして、この拭き作業を収得した作業者が行った場合でも、作業効率が悪く、たとえば、高々２０個／時間の多層膜フィルターしか清浄にすることが出来なかった。
【００５５】
また、重いブロック状や長い棒状のワークの洗浄・乾燥を一度に多数行うこともできなかった。
【００５６】
また、前記３点支持用の棒状や板状の支柱は、前記のように、機械加工に頼っており、その製造コストが高く、それを取り付ける保持枠も大型で、保管に広い場所を要していた。という問題があった。
【００５７】
そのため、従来のような、長時間の作業者トレーニングが不可欠で高度な熟練を要する拭き作業を必要とせず、一度に多数の光学部品を洗浄・乾燥することが出来て、モジュールの機能を満足に発揮できるような清浄な光学面を有する光学部品を得ることが出来る洗浄・乾燥手段とそれに好適な小型の光学部品保持部品の実現が強く望まれていた。
【００５８】
本発明はこのような点に鑑みて成されたものであり、本発明の目的の一つは、長時間の作業者トレーニングが必要で高度な熟練を要する手拭き作業を不可欠とせず、小型の光学部品の場合でも、一度に多数の洗浄・乾燥を歩留まりよく行うことが可能な洗浄・乾燥に適した光学部品保持部品を提供することにある。また、一度に多数のブロック状や長い光学部品など特殊な光学部品の洗浄・乾燥を可能にする光学部品保持部品を提供することにもある。
【課題を解決するための手段】
【００５９】
本発明は前記の課題を解決せんとしてなされたものである。
【００６０】
光学部品の、洗浄・乾燥品質が良く、歩留まりの良い洗浄・乾燥を実現するため、本発明の発明者等は、洗浄と乾燥の両面から洗浄方法と洗浄装置ならびに乾燥方法と乾燥装置に関して種々の検討を行い、それらの改善を行った。
【００６１】
その結果、従来の３点支持の固定概念から脱し、従来の保持枠のように頑丈な枠にせず、互いに独立した対向して配置する一対の保持板に少なくとも４本の支持棒を取付、ワークとしての各光学部品を上下各２点で緩く保持し、洗浄・乾燥を行い、洗浄・乾燥後は一対の平板と少なくとも４本の支持棒とに分解して保管することができる、小型の安価な光学部品保持部品を提供することができた。
【００６２】
以下、本発明の特徴を具体的に説明する。
【００６３】
前記課題を解決するためになされた本発明の例としての第１の発明による光学部品保持部品（以下、発明１ともいう）は、光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持部品であり、前記光学部品保持部品は、対向して配置される互いに独立した一対の板状の保持板と前記一対の保持板に着脱可能に取り付けられる少なくとも４本の光学部品支持棒を基本的構成要素としており、前記光学部品支持棒は被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置もしくは保持することができるＶ字形溝やＵ字形溝の如き凹部を複数箇所に有しており、前記少なくとも４本の支持棒のうちのなくとも２本が前記光学部品を挟んで保持する間隔で前記保持板の相対的に上方に配置され、少なくとも２本が前記光学部品を載置して保持する間隔ならびに位置で前記保持板の相対的に下方に取り付けられ、前記光学部品保持部品は前記一対の保持板に取り付けられた少なくとも４本の光学部品支持棒を用いて光学部品を保持することができる光学部品保持部を有しているとともに非使用時には前記一対の保持板と前記少なくとも４本の光学部品支持棒とに容易に分解されて保存できるようになっており、前記保持板には前記光学部品支持棒を取り付けることができる横長の穴を複数個と縦長の穴が複数個形成されており、前記複数の横長の穴と縦長の穴は前記光学部品支持棒を取り付けて光学部品保持部品にしたときに上方になる部分と下方になる部分に前記横長の穴が形成されており、前記上方の横長の穴が形成されている部分と下方の横長の穴が形成されている部分の間に前記縦長の穴が形成されており、前記保持板の前記光学部品支持棒を取り付けて光学部品保持部品にしたときに外側になる部分の外周が凸部になっており、その内側が凹部になっている板状であり、前記凸部になっている外周部分は前記保持板を一周するように設けられており、前記凸部の下側の前記凹部と接続している部分は１００〜１２０°の角度をなして傾斜していることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００６４】
発明１を展開してなされた本発明の例としての第２の発明による光学部品保持部品（以下、発明２ともいう）は、発明１に記載の光学部品保持部品において、前記少なくとも４本の光学部品支持棒が同一の形状・寸法であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００６５】
発明１を展開してなされた本発明の例としての第３の発明による光学部品保持部品（以下、発明３ともいう）は、発明１に記載の光学部品保持部品において、前記保持板の上方の横長の穴と下方の横長の穴の少なくとも一方は、当該保持板の上下方向に複数列形成されているとともに、前記上方の横長の穴と下方の横長の穴の少なくとも一方は、同じ列で左右に２つ以上に分かれた穴として形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００６６】
発明３を展開してなされた本発明の例としての第４の発明による光学部品保持部品（以下、発明４ともいう）は、発明３に記載の光学部品保持部品において、前記下方の横長の穴の長さが上方の横長の穴の長さの２分の１以下であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００６７】
発明１〜４を展開してなされた本発明の例としての第５の発明による光学部品保持部品（以下、発明５ともいう）は、発明１〜４のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記上方の横長の穴が間に小穴を配して左右に一対形成されており、前記下方の横長の穴が当該保持板の横方向の中央部に形成されている小穴を挟んで左右に２つずつ形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００６８】
発明５を展開してなされた本発明の例としての第６の発明による光学部品保持部品（以下、発明６ともいう）は、発明５に記載の光学部品保持部品において、前記間に小穴を配して左右に２つずつ形成されている前記左右各２つの下方の横長の間の最狭部分の寸法が２ｍｍであることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００６９】
発明１〜６を展開してなされた本発明の例としての第７の発明による光学部品保持部品（以下、発明７ともいう）は、発明１〜６のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記下方の横長の穴の長さ寸法が３０〜５０ｍｍであることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７０】
発明１〜７を展開してなされた本発明の例としての第８の発明による光学部品保持部品（以下、発明８ともいう）は、発明１〜７のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記下方の横長の穴として、その幅寸法が２．９〜３．１ｍｍの穴と幅寸法が３．８〜４．１ｍｍの穴のいずれかまたは双方が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７１】
発明１〜８を展開してなされた本発明の例としての第９の発明による光学部品保持部品（以下、発明９ともいう）は、発明１〜８のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記下方の横長の穴が当該保持板の横方向の中央部に形成されている縦穴を挟んで左右に２つずつ形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７２】
発明１〜９を展開してなされた本発明の例としての第１０の発明による光学部品保持部品（以下、発明１０ともいう）は、発明１〜９のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記縦長の穴は、長さが５〜２０ｍｍで幅が３〜５．５ｍｍの穴であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７３】
発明１〜１０を展開してなされた本発明の例としての第１１の発明による光学部品保持部品（以下、発明１１ともいう）は、発明１〜１０のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記縦長の穴同士の間隔が、それぞれ穴の中心間距離で表して５〜１５ｍｍであることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７４】
発明１〜１１を展開してなされた本発明の例としての第１２の発明による光学部品保持部品（以下、発明１２ともいう）は、発明１〜１１のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記保持板が樹脂を用いた一体成形技術を用いて形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７５】
発明１２を展開してなされた本発明の例としての第１３の発明による光学部品保持部品（以下、発明１３ともいう）は、発明１２に記載の光学部品保持部品において、前記保持板がポリアセタール樹脂を用いた一体成形技術を用いて形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７６】
発明１２を展開してなされた本発明の例としての第１４の発明による光学部品保持部品（以下、発明１４ともいう）は、発明１２に記載の光学部品保持部品において、前記保持板がＡＢＳを用いた一体成形技術を用いて形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７７】
発明１２を展開してなされた本発明の例としての第１５の発明による光学部品保持部品（以下、発明１５ともいう）は、発明１２に記載の光学部品保持部品において、前記保持板がポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂を用いた一体成形技術を用いて形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７８】
前記発明１３〜１５に記載の樹脂により形成された前記保持板は、薄くて軽く加工精度のよい安価な保持板ある。
【００７９】
発明１〜１５を展開してなされた本発明の例としての第１６の発明による光学部品保持部品（以下、発明１６ともいう）は、発明１〜１５のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品はその構成要素として前記一対の保持板に取り付けて前記一対の保持板を補強するコの字形の補強板を一対有しており、前記補強板の光学部品保持部品の高さ方向における寸法は前記保持板の光学部品保持部品の高さ方向における寸法の１／２以下であり、前記補強板は前記保持板に着脱可能であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８０】
前記コの字形の補強板で光学部品保持部品の強度を大幅に高めることができ、重い光学部品や多数の光学部品を保持して持ち運んでも光学部品保持部品のゆがみを全く心配しなくてもよい。
【００８１】
発明１〜１６を展開してなされた本発明の例としての第１７の発明による光学部品保持部品（以下、発明１７ともいう）は、発明１〜１６のいずれか１項に記載の光学部品保持部品において、前記保持板の寸法が幅２００ｍｍ以下、高さ７０ｍｍ以下、厚みの最大部分の寸法が７ｍｍ以下、前記光学部品支持棒を取り付けて光学部品保持部品にしたときの前記一対の保持板間の距離が２００ｍｍ以下であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【発明の効果】
【００８２】
以上説明したような特徴を有する本発明により、光学部品の超音波洗浄効果が高まり、洗浄した光学部品のスピン乾燥における水切れ効果が大幅に高まり、スピン乾燥によって洗剤や純水などの洗浄液を効果的に除去することができ、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可欠とせずに、一度に大量に短時間で、高い品質で乾燥することができるようになった。
【００８３】
しかも、本発明の光学部品保持部品は、使用後は支持棒と平板の保持板とに簡単に分解することができ、従来、取り扱いにくい要素となっていた光学部品保持部品自体の収納スペースが格段に狭くて済むという効果を奏する。
【００８４】
以上から明らかなように、本発明により、光学部品の信頼性が大幅に高まり、製造コストが大幅に低減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００８５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について説明する。なお、説明に用いる各図は本発明の例を理解できる程度に各構成成分の寸法、形状、配置関係などを概略的に示してある。そして本発明の説明の都合上、部分的に拡大率を変えて図示する場合もあり、本発明の例の説明に用いる図は、必ずしも実施例などの実物や記述と相似形でない場合もある。また、各図において、同様な構成成分については同一の番号を付けて示し、重複する説明を省略することもある。
【００８６】
図１９は、洗浄や乾燥工程において用いるクレードルについて説明する図である。図１９中の（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図で、点線８０１〜８０４でそれらの対応する位置関係を示してある。
【００８７】
図１９で、符号８００はクレードル、８１１〜８１４はクレードルの側壁、８２０と８２１は側壁８１２と８１３の下部につけられているピン、８３０はクレードル８００をもつときに用いる取っ手部分、８５２〜８５５はそれぞれ側壁８１１〜８１４の内側の下方（すなわち、クレードルの底部）に設けられた支柱、８５１は洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を載置する載置部で支柱８５２〜８５４に固定されている。クレードル８００は、たとえばステンレス鋼製のものを用いることができる。
【００８８】
図１９で、光学部品を保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持部品をクレードル８００に入れて洗浄した光学部品のスピン乾燥を行う場合、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を載置部８５１の上に載置して、クレードルをスピン乾燥装置に装着する。載置部８５１は、これに限定されないが、クレードルの下方、たとえばピン８２０，８２１の位置よりわずかに上に形成しておき、平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を用いる場合は、スピン乾燥装置の回転体に装着した状態のクレードルの底面と載置部８５１と平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の表面と裏面がすべて平行になるように形成しておくと取扱上好都合である。
【００８９】
なお、後述の、本発明の光学部品支持部品を構成するのに保持板に取り付けて使用する光学部品支持棒は、その一方の端部から他方の端部の間に、複数の溝が同一位置に形成されている。
【００９０】
図１〜図３は光学部品支持棒複数本を保持板に取り付けて、光学部品を４本の支持棒の溝による４点支持によって保持する本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を説明する図で、図１は光学部品保持部品を上から見た平面図、図２は保持板の正面から見た正面図、図３は保持板の側面から見た側面図である。ただし、図中で、一部、陰になっている部分を、説明の都合上、破線もしくは薄い線で示している。
【００９１】
図１〜図３で、符号２８５は本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品、２７０ａ〜２７０ｇは本発明の光学部品支持部品を構成するのに保持板に取り付けて使用する光学部品支持棒、２７４は支持棒を保持板に取り付けるネジ、２８０は保持板、２８１ａは保持板の光学部品支持部品として組み上げたときに外側になる部分の凸部になっている外周、２８１ｂは保持板の光学部品支持部品として組み上げたときに外側になる部分の前記凸部になっている外周２８１ａの内側の凹部になっている板状の部分、２８０ａと２８０ｂは保持板２８０に設けられた上方の横長の穴（横方向に長く開けられている穴）、２８０ｄ〜２８０ｇは保持板２８０に設けられた下方の横長の穴、２８０ｃは保持板２８０に設けられた上方の横長の穴と下方の横長の穴の間に形成されている縦長の穴（縦方向に長く開けられている穴）、２８０ｈは２つの横長の穴の間に形成されている丸穴、２７６と２７７は被洗浄・乾燥物としての光学部品、Ｕ１〜Ｕ７は各部の寸法を説明する記号である。
【００９２】
図２で、光学部品２７６と２７７の保持板２８０の陰になっているところを、便宜上、破線で示してある。
【００９３】
図１で、光学部品２７６は、その両端部（図１で左端部と右端部）が、本発明による光学部品支持棒２７０ｃと２７０ｂの溝によって左右から緩く挟まれて保持されており、光学部品２７６の図で下側になっている辺は、本発明による光学部品支持棒２７０ｄと２７０ｅの溝に自重で載っている。したがって、光学部品２７６と光学部品支持棒２７０ｄの交差する部分と光学部品２７６と光学部品支持棒２７０ｅの交差する部分は、各光学部品支持棒の部分が光学部品２７６の陰になって、平面図としては見えないわけであるが、便宜上、細い線で各光学部品支持棒の部分も記載してある。光学部品支持棒２７０ｃと２７０ｂの間隔は光学部品２７６を軽く挟むのに適した間隔で、光学部品支持棒２７０ｄと２７０ｅに対して相対的に上の方に配置されており、光学部品支持棒２７０ｄと２７０ｅの間隔は光学部品２７６を載置できるように光学部品２７６の幅よりも狭くなるように取り付けられている。
【００９４】
光学部品２７７とそれを左右から軽く保持している光学部品支持棒２７０ａと２７０ｂの溝の関係および光学部品２７７とそれが載っている光学部品支持棒２７０ｆと２７０ｇの溝の関係も前記光学部品２７６の場合と同様で、同様に記載してある。
【００９５】
各光学部品支持棒には同一箇所に溝が合計３７個形成されている。
【００９６】
つぎに、本発明による光学部品支持棒を組み込んだ光学部品支持部品の組立について説明する。
【００９７】
図１〜図３で、光学部品の寸法等に応じて、使用に適した本発明による光学部品支持棒を決め、１つの光学部品を保持する４本の支持棒を保持板２８０に取り付ける。この例では、洗浄・乾燥対象の光学部品は、保持板に向かって２列に配置することが可能な寸法を有しているので、下方の横長の穴２８０ｄに光学部品支持棒２７０ｄを、下方の横長の穴２８０ｅに光学部品支持棒２７０ｅを、下方の横長の穴２８０ｆに光学部品支持棒２７０ｆを、下方の横長の穴２８０ｇに光学部品支持棒２７０ｇをそれぞれ取付け、上方の横長の穴２８０ａに光学部品支持棒２７０ｃを、上方の横長の穴２８０ｂに光学部品支持棒２７０ａを、２つの上方の横長の穴２８０ａと２８０ｂの間に形成されている丸穴に光学部品支持棒２７０ｂをそれぞれ取付け、各支持棒の位置を決め、ネジ２７４を締めて固定する。光学部品を保持板の上方にどれだけ出すかを決めて、それに応じた位置の下方の横長の穴を選択して用いる。
【００９８】
光学部品２７６や光学部品２７７を前記のように組み上げた光学部品保持部品に装着し、洗浄・
乾燥を行う。
【００９９】
上方の横長の穴に取り付けた光学部品支持棒は、光学部品を左右から軽く挟んで保持する。光学部品の位置によって、この左右から挟んで保持する光学部品支持棒を取り付ける穴は、図示のように、上方の横長の穴を使う場合と、その下方に形成されている縦長の穴２８０ａを用いることが多い。縦長の穴２８０ａを用いる場合、支持棒の高さ方向の位置を細かく調整することができる。
【０１００】
下方の横長の穴に取り付けた光学部品支持棒は、光学部品を安定に載置する必要がある。
光学部品の自重、洗浄・乾燥中に作用される力など、種々の作用力を考慮して、支持棒が動いたり光学部品を支持する条件が必要以上に変動したりしないように保持板２８０に取り付けなければならない。このためには、下方の横長の穴の形状・寸法は極めて重要である。下方の横長の穴が上方の横長の穴の半分以下になっているのは、支持棒を固定して使用したときに、下方の横長の穴の周りの枠が変形しないようにしたことによる。
【０１０１】
上方の横長の穴と下方の横長の穴が、保持板の横方向において２つ以上に分かれた穴として形成されており、下方の横長の穴は前記理由により、４つに別れた穴として形成されている。
【０１０２】
横長の穴は、用いるネジの径によって、２．９ｍｍ〜３．１ｍｍあるいは３．８ｍｍ〜４．１ｍｍの幅にすると、ネジ径が３ｍｍのネジあるいは４ｍｍのネジを用いることができる。
【０１０３】
下方の横長の穴は、前記のように、一列に中央部の丸穴を挟んで左右に２つずつ形成されたものが４列設けられている。この左右に２つずつ形成された下方の横長の穴の前記２つの横長の穴の間の寸法は、２ｍｍ以下にすることが好ましく、このようにすることによって、用途によっては特定の前記２つの穴の間を切り取って用いることもできる。前記下方の横長の穴の長さは、３０〜５０ｍｍが好適である。３０ｍｍより短くすると支持棒を固定するネジ２７４が締めにくくなり、５０ｍｍより長くすると、横長の穴の周囲の部分の強度が弱く、光学部品保持部品としての用途が狭くなる。また、左右に２つずつ形成されている下方の横長の穴の間の丸穴を縦長の穴にしたものを用いることもできる。
【０１０４】
縦長の穴は、使いやすさと正確な支持を行う観点から、長さが５〜２０ｍｍ、幅が３〜５．５ｍｍに形成することが好ましい。縦長の穴同士の間隔は少なくとも５ｍｍにすると、ネジの固定がし易く、支持棒の位置を細かく調整することができる。
【０１０５】
保持板２８０は樹脂の一体成形技術で作成されている。好適な樹脂としては、前記の如き樹脂をあげることができる。
【０１０６】
図１〜図３に図示の各寸法の好適な例は、Ｕ１が１８０ｍｍ、Ｕ２が６０ｍｍ、Ｕ３が１８８ｍｍ、Ｕ４が１７５ｍｍ、Ｕ５が６．５ｍｍ、Ｕ６が２ｍｍ、θ１２が１０５°であり小型軽量で、しかも高い品質の洗浄・乾燥を行うことができる光学部品保持部品を安価に実現することができた。
【０１０７】
角度θ１２は、保持板２８０の、光学部品保持部品に組み立てられたときに、外側になる部分において、その凸部になっている外周２８１ａの、保持板２８０の下方に位置する部分と、外周２８１ａの内側の凹部になっている板状の部分（上方の横長の穴、縦長の穴、下方の横長の穴等が設けられている板状の部分）の下方で外周２８１ａに接続している部分のなす角度で、この角度は、スピン乾燥効果に大きな影響を及ぼす。角度θ１２を不適切に選ぶと、スピン乾燥時の水切れが不十分になり、洗浄液が残ってしまう。角度θ１２の好適な値は１００°〜１２０°である。
【０１０８】
図４と図５は本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品２８５に取り付けることができるコの字形の補強板を説明する図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）の中心線Ｃ１の位置の断面図、（Ｃ）は（Ａ）の補強板を図の下方からみた側面図である。図４と図５で、符号２は補強板、２ａ，２ｂは補強板２の取り付け部、３ａ〜３ｃは補強板２に設けられた穴、４ａ，４ｂは補強板２を保持板２８０の穴２８０ｃと２８０ｄおよび穴２８０ｃと２８０ｇにネジで取り付ける時に使用する穴、Ｓ１〜Ｓ７およびＳ１０〜Ｓ１２は寸法を説明する記号、Ｃ１〜Ｃ４は中心線である。
【０１０９】
本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品２８５は、多数の光学部品を超音波洗浄し、スピン乾燥するのに用いられる場合、超音波洗浄においては、洗浄機の超音波が洗浄物である光学部品に適切にあたって、光学部品に損傷を与えることなく汚れを確実に落とすようにしなければならず、スピン乾燥時には光学部品に付着した洗浄残液を確実に除去しなければならない。補強板の材質、形状、寸法はこの観点から選択され、穴３ａ〜３ｃもこの目的のために設けられている。
【０１１０】
本発明の目的を達成するための好適な寸法の一例は、Ｓ１が１０５ｍｍ、Ｓ２が６０ｍｍ、Ｓ３が２７．４ｍｍ、Ｓ４が１４．４ｍｍ、Ｓ５が８ｍｍ、Ｓ６が２．５ｍｍ、Ｓ７が直径１ｍｍの円弧の一部、Ｓ１０が１．２ｍｍ、Ｓ１１が直径１５ｍｍ、Ｓ１２が直径３ｍｍである。
【０１１１】
本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品２８５と補強板２の寸法は前記例に狭く限定されるものでないが、おおむね前記保持板の寸法が幅２００ｍｍ以下、高さ７０ｍｍ以下、厚みの最大部分の寸法が７ｍｍ以下、前記光学部品支持棒を取り付けて光学部品保持部品にしたときの前記一対の保持板間の距離が２００ｍｍ以下であること、補強板２の寸法Ｓ３（光学部品保持部品として組み立てたときに光学部品保持部品のの高さ方向における寸法）は保持板の寸法Ｕ２（光学部品保持部品として組み立てたときに光学部品保持部品のの高さ方向における寸法）の２分の１以下にすることが好ましい。
【０１１２】
また、本発明の前記各種の光学部品保持部品は、光学部品の洗浄や乾燥のみならず、洗浄・乾燥後に清浄な環境で清浄に、たとえば透明な薄いプラスチック材料などで梱包して、適当な緩衝の梱包をして、納入先などに発送することもでき、その用途は極めて広いものである。
【０１１３】
以上、図面を参照しながら本発明の実施の形態例を説明したが、本発明はこれに狭く限定されるものではなく、多くのバリエーションを可能とするものである。
【産業上の利用可能性】
【０１１４】
以上説明したように、本発明により、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった超音波洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可避とせずに、一度に大量に短時間で高い品質で洗浄・乾燥することができるようになり、光通信分野だけでなく、小型の光学部品を使用する光学機器や電子機器の広い分野で、品質の向上と価格の低減を実現した。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を説明する平面図である。
【図２】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を説明する正面図である。
【図３】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を説明する側面図である。
【図４】本発明の実施の形態例としての補強板を説明する図である。
【図５】本発明の実施の形態例としての補強板を説明する図である。
【図６】従来のスピン乾燥装置の要部をモデル的に示した斜視図である。
【図７】ワークの３点支持による保持方法について説明する図である。
【図８】光学部品支持部品の例を説明する斜視図である。
【図９】図８の光学部品支持部品を直線Ｙ１−Ｙ２の位置で切った断面から斜めに見た図である。
【図１０】図８の光学部品支持部品３本でワークを保持している状態を説明するための図である。
【図１１】光学部品支持部品の例を説明する斜視図である。
【図１２】図１１の光学部品支持部品３本でワークを保持している状態を説明する図である。
【図１３】ワークと支持部品の接触状態を説明するための図である。
【図１４】従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の斜視図である。
【図１５】従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。
【図１６】従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。
【図１７】従来の光学部品保持部品を用いた洗浄方法について説明する斜視図である。
【図１８】従来の光学部品保持部品を用いた洗浄方法について説明する平面図である。
【図１９】クレードルについて説明する図である。
【符号の説明】
【０１１６】
２：補強板
２ａ，２ｂ：補強板の取り付け部
３ａ〜３ｃは補強板に設けられた穴
２８５，１３５５：光学部品保持部品
２７０ａ〜２７０ｇ，１３３２〜１３３４，１３４０，１３５０：光学部品支持部品（光学部品支持棒）
１３５６：光学部品挿入部
２７６，２７７，４００，１３３１：ワーク（光学部品）
２７４：ネジ
２８０：保持板
２８１ａ：保持板の外周
２８１ｂ：保持板の外周の内側の凹部になっている板状の部分
２８０ａ，２８０ｂ：保持板に設けられた上方の横長の穴
２８０ｃ：保持板に設けられた縦長の穴
２８０ｄ〜２８０ｇ：保持板に設けられた下方の横長の穴
２８０ｈ：保持板に設けられた丸穴
５０１：綿棒
５０２，５０３：端部
５０４：矢印
５１０：ハンドラップ
５１１：有機溶剤
５１２：皿部
５１３：ピンセット
５１４：管
１３０３：回転体
１３１０〜１３１３：ホルダ
１３０１：スピン乾燥装置
１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂ：クレードル設置用溝
１３５６ａ：光学部品載置枠
Ｃ１〜Ｃ４：中心線
Ｓ１〜Ｓ７，Ｓ１０〜Ｓ１２，Ｕ１〜Ｕ７：各部の寸法を説明する記号
θ１２：角度
【図１】
2007298232.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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