(57)【要約】【課題】ユニットの位置調整時などにおける作業性を向上させる。【解決手段】センサユニット１０を載せたブラケット２０は、プレート部材４０に対して固定されており、プレート部材４０は、プレート固定金具５０により支持部材３０に対して固定されている。センサユニット１０の取付位置を調整する際には、プレート固定金具５０及びネジ５５によるプレート部材４０の支持部材３０に対する固定を解除し、センサユニット１０が固定された状態のプレート部材４０の位置を調整した後、再びプレート固定金具５０及びネジ５５によりプレート部材４０を固定する。これにより、調整作業の作業性が向上する。【選択図】図１
2007298389.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに間隔を隔てて配列された複数の板状部材をそれぞれ検出するための板状部材検出装置であって、
所定の検出領域に向けて光を出射する投光手段、及び、その投光手段から出射され前記検出領域内に位置する前記各板状部材の表面又は裏面で反射した反射光または前記各板状部材を透過した透過光を受光する受光手段を有する複数のセンサユニットと、
前記板状部材の配列方向に延びる支持部材と、
前記支持部材の長手方向に沿って延び、かつ前記支持部材に対する取付位置を変更可能な板状のプレート部材と、
個々の前記センサユニットを前記プレート部材に対してその長手方向に間隔を隔てて固定するユニット固定手段と、
前記ユニット固定手段とは独立して設けられ、前記プレート部材の両端部近傍を前記支持部材に対して固定可能で、かつその固定を解除可能なプレート固定手段と、
を備えていることを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項２】
前記プレート部材には、前記ユニット固定手段を異なるピッチで位置決め可能な複数の位置決め孔が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の板状部材検出装置。
【請求項３】
前記支持部材は、前記プレート部材が配置される面と異なる面に、その長手方向に延び、かつ前記センサユニットから延出する電線を収容可能な電線収容溝を備え、
前記プレート固定手段は、前記支持部材における前記電線収容溝を有する面側に延出するカバー保持部を有し、
前記カバー保持部によって前記支持部材における前記電線収容溝を有する面との間に前記電線を挿通可能な隙間を空けた状態で保持されるとともに、前記電線収容溝をその長手方向に沿って覆う電線カバーを備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の板状部材検出装置。
【請求項４】
前記受光手段は、前記各板状部材の表面又は裏面で反射した反射光を受光することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の板状部材検出装置。
【請求項５】
前記ユニット固定手段は、前記センサユニットを支持する板状のブラケットを備えるとともに、このブラケットは、少なくとも隣りのセンサユニットの前記投光手段による光の出射方向に対向する側の面が、前記隣りのセンサユニットの前記受光手段にて受光可能なレベルの光を反射しない構成であることを特徴とする請求項４に記載の板状部材検出装置。
【請求項６】
前記ブラケットにおける前記投光手段による光の出射方向に対向する側の面は、前記隣りのセンサユニットの前記受光手段にて受光可能なレベルの光を反射しない低反射率の面であることを特徴とする請求項５に記載の板状部材検出装置。
【請求項７】
所定の検出領域を挟んで配置される投光器及び受光器を備え、前記投光器には互いに間隔を隔てて配列され前記検出領域に向けて光を出射する複数の投光ユニットが設けられ、前記受光器には前記各投光ユニットと対をなして対向配置される複数の受光ユニットが設けられて構成される多光軸光電センサであって、
前記投光器及び前記受光器は、それぞれ、
前記ユニットの配列方向に延びる支持部材と、
前記支持部材の長手方向に沿って延び、かつ前記支持部材に対する取付位置を変更可能な板状のプレート部材と、
個々の前記ユニットを前記プレート部材に対してその長手方向に間隔を隔てて固定するユニット固定手段と、
前記ユニット固定手段とは独立して設けられ、前記プレート部材の両端部近傍を前記支持部材に対して固定可能で、かつその固定を解除可能なプレート固定手段と、
を備えていることを特徴とする多光軸光電センサ。
【請求項８】
前記プレート部材には、前記ユニット固定手段を位置決めする位置決め孔が複数一定ピッチで並んだ位置決め孔群が複数組設けられるとともに、各組の位置決め孔群は互いにピッチが異なることを特徴とする請求項７に記載の多光軸光電センサ。
【請求項９】
前記支持部材は、前記プレート部材が配置される面と異なる面に、その長手方向に延び、かつ前記ユニットから延出する電線を収容可能な電線収容溝を備え、
前記プレート固定手段は、前記支持部材における前記電線収容溝を有する面側に延出するカバー保持部を有し、
前記カバー保持部によって前記支持部材における前記電線収容溝を有する面との間に前記電線を挿通可能な隙間を空けた状態で保持されるとともに、前記電線収容溝をその長手方向に沿って覆う電線カバーを備えていることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の多光軸光電センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状部材検出装置及び多光軸光電センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、カセット内に所定間隔隔てて配列された複数のウエハの有無を複数のセンサユニットによってそれぞれ検出するウエハ検出装置が開示されている。このものは、図８に示すように、上下に延びた角柱状の支持部材１０１における４つの側面に溝部１０２が設けられており、そのうち一つの溝部１０２内に細長い板状のプレート部材１０３が収容されている。各センサユニット１０４が固定された各ブラケット１０５は、上下に一定間隔を空けてそれぞれプレート部材１０３に対してねじ止めされており、ブラケット１０５とプレート部材１０３との間に溝部１０２の開口縁部を緊密に挟み付けることで、ブラケット１０５が支持部材１０１に対して固定されている。また、支持部材１０１におけるプレート部材１０３が収容された溝部１０２の隣りの溝部１０２には、各センサユニット１０４から延出される電線１０６が収容され、その電線１０６は、溝部１０２に装着された電線カバー１０６により覆われている。
【特許文献１】特開２００６−４６９５８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記のような構成において、センサユニット１０４の高さ方向の位置調整を行う場合には、まず各ブラケット１０５とプレート部材１０３間の全てのねじを緩め、プレート部材１０３を上下にずらして位置を合わせた後に、再び全てのねじを締め直す必要があり、調整作業に手間が掛かることになっていた。
【０００４】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、ユニットの位置調整時などにおける作業性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明に係る板状部材検出装置は、互いに間隔を隔てて配列された複数の板状部材をそれぞれ検出するための板状部材検出装置であって、所定の検出領域に向けて光を出射する投光手段、及び、その投光手段から出射され前記検出領域内に位置する前記各板状部材の表面又は裏面で反射した反射光または前記各板状部材を透過した透過光を受光する受光手段を有する複数のセンサユニットと、前記板状部材の配列方向に延びる支持部材と、前記支持部材の長手方向に沿って延び、かつ前記支持部材に対する取付位置を変更可能な板状のプレート部材と、個々の前記センサユニットを前記プレート部材に対してその長手方向に間隔を隔てて固定するユニット固定手段と、前記ユニット固定手段とは独立して設けられ、前記プレート部材の両端部近傍を前記支持部材に対して固定可能で、かつその固定を解除可能なプレート固定手段と、を備えているところに特徴を有する。
【０００６】
請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記プレート部材には、前記ユニット固定手段を異なるピッチで位置決め可能な複数の位置決め孔が設けられているところに特徴を有する。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載のものにおいて、前記支持部材は、前記プレート部材が配置される面と異なる面に、その長手方向に延び、かつ前記センサユニットから延出する電線を収容可能な電線収容溝を備え、前記プレート固定手段は、前記支持部材における前記電線収容溝を有する面側に延出するカバー保持部を有し、前記カバー保持部によって前記支持部材における前記電線収容溝を有する面との間に前記電線を挿通可能な隙間を空けた状態で保持されるとともに、前記電線収容溝をその長手方向に沿って覆う電線カバーを備えているところに特徴を有する。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記受光手段は、前記各板状部材の表面又は裏面で反射した反射光を受光するところに特徴を有する。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項４に記載のものにおいて、前記ユニット固定手段は、前記センサユニットを支持する板状のブラケットを備えるとともに、このブラケットは、少なくとも隣りのセンサユニットの前記投光手段による光の出射方向に対向する側の面が、前記隣りのセンサユニットの前記受光手段にて受光可能なレベルの光を反射しない構成であるところに特徴を有する。
【００１０】
請求項６の発明は、請求項５に記載のものにおいて、前記ブラケットにおける前記投光手段による光の出射方向に対向する側の面は、前記隣りのセンサユニットの前記受光手段にて受光可能なレベルの光を反射しない低反射率の面であるところに特徴を有する。
【００１１】
請求項７の発明に係る多光軸光電センサは、所定の検出領域を挟んで配置される投光器及び受光器を備え、前記投光器には互いに間隔を隔てて配列され前記検出領域に向けて光を出射する複数の投光ユニットが設けられ、前記受光器には前記各投光ユニットと対をなして対向配置される複数の受光ユニットが設けられて構成される多光軸光電センサであって、前記投光器及び前記受光器は、それぞれ、前記ユニットの配列方向に延びる支持部材と、前記支持部材の長手方向に沿って延び、かつ前記支持部材に対する取付位置を変更可能な板状のプレート部材と、個々の前記ユニットを前記プレート部材に対してその長手方向に間隔を隔てて固定するユニット固定手段と、前記ユニット固定手段とは独立して設けられ、前記プレート部材の両端部近傍を前記支持部材に対して固定可能で、かつその固定を解除可能なプレート固定手段と、を備えているところに特徴を有する。
【００１２】
請求項８の発明は、請求項７に記載のものにおいて、前記プレート部材には、前記ユニット固定手段を位置決めする位置決め孔が複数一定ピッチで並んだ位置決め孔群が複数組設けられるとともに、各組の位置決め孔群は互いにピッチが異なるところに特徴を有する。
【００１３】
請求項９の発明は、請求項７または請求項８に記載のものにおいて、前記支持部材は、前記プレート部材が配置される面と異なる面に、その長手方向に延び、かつ前記ユニットから延出する電線を収容可能な電線収容溝を備え、前記プレート固定手段は、前記支持部材における前記電線収容溝を有する面側に延出するカバー保持部を有し、前記カバー保持部によって前記支持部材における前記電線収容溝を有する面との間に前記電線を挿通可能な隙間を空けた状態で保持されるとともに、前記電線収容溝をその長手方向に沿って覆う電線カバーを備えているところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００１４】
＜請求項１及び請求項７の発明＞
本構成によれば、センサユニットの取付位置を調整する際には、プレート固定手段によるプレート部材の支持部材に対する固定を解除し、センサユニットが固定された状態のプレート部材の位置を調整した後、再びプレート固定手段によりプレート部材を固定する。これにより、調整作業の作業性が向上する。
【００１５】
＜請求項２及び請求項８の発明＞
一枚のプレート部材を用いて、複数のセンサユニットを異なるピッチで固定することが可能になる。
【００１６】
＜請求項３及び請求項９の発明＞
従来の構造では、多数のセンサユニットの電線を電線カバーで覆うためには、例えば上下に複数個に分割し、上下の電線カバー間から電線を溝部内に導き入れる必要があり、部品点数が増えて組付作業に手間が掛かっていた。これに対し、本構成では、電線カバーが支持部材の側面に対し隙間を空けた状態で保持されるため、一枚の電線カバーによりガイド溝の広い範囲を隙間なく覆う構成とすることができ、これにより部品点数を削減でき、組み付けの作業性を向上することができる。さらに、プレート固定手段が電線カバーを保持する部品を兼ねるため、部品点数を削減できる。
【００１７】
＜請求項４の発明＞
反射光を受光するものは、透過光を受光するものに比べて、センサユニットの配列ピッチを小さく配置することができるため、検出装置全体の小型化を図ることができる。
【００１８】
＜請求項５及び請求項６の発明＞
センサユニットを支持するブラケットは、隣りのセンサユニットの投光手段による光の出射方向に対向する側の面が、隣りのセンサユニットの受光手段にて受光可能なレベルの光を反射しない構成であるため、誤検知の発生を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１について図１〜図５を参照しつつ説明する。
本実施形態に係るウエハ検出装置１（本発明の「板状部材検出装置」に相当）は、図示しないカセットに間隔を隔てて一列状に配列された複数の円盤状の半導体ウエハＷ（本発明の「板状部材」に相当）を一括検出するためのものである。
【００２０】
１．ウエハ検出装置の全体構成
図１は、本実施形態に係るウエハ検出装置１の上端部を示す斜視図であり、図２は、ウエハ検出装置１の上端部の分解斜視図である。このウエハ検出装置１は、複数のセンサユニット１０（図１，２ではそのうちの２台のみ図示）と、それら複数のセンサユニット１０のそれぞれに対応して設けられた複数のブラケット２０と、１本の支持部材３０と、１枚のプレート部材４０と、複数のプレート固定金具５０と、一対の電線カバー６０等を備えて構成されている。
【００２１】
（１）センサユニット
各センサユニット１０は、それぞれが検出対象とする半導体ウエハＷが存在し得る位置の下方に入り込んで上方に向けて光を出射し、半導体ウエハＷの裏面での反射光の有無に応じて変化する反射光の受光量に応じた受光信号を出力する、いわゆる反射型の光電センサである。各センサユニット１０からの受光信号は、図示しない制御装置に与えられ、ここで所定の閾値と比較されることで各センサユニット１０における半導体ウエハＷの検出の有無を判断するようになっている。
【００２２】
より具体的には、各センサユニット１０は、図１，２に示すように、全体として扁平箱形状のケース１１に覆われ、そのケース１１の先端側（図１，２の紙面左側）上面に投受光窓１２が設けられている。そして、この投受光窓１２の下方に位置するケース１１内部には、光軸を当該投受光窓１２に向けて並設された１組の投光素子１３（本発明の「投光手段」に相当）及び受光素子１４（本発明の「受光手段」に相当）が設けられている。また、ケース１１内部には、上記投光素子１３を駆動させるための投光回路（図示せず）と、受光素子１４から出力される受光量に応じた受光信号を増幅して出力する受光回路（図示せず）が設けられている。
ケース１１の後端面からは上記投光回路及び受光回路に電気的に接続された電線１５が導出されている。また、ケース１１の両側部には、上下に貫通した貫通孔１７が一対形成されている（図２参照）。
【００２３】
なお、本実施形態では、図２に示すように、各センサユニット１０は、電線１５の端部に対してコネクタ１８を介して着脱可能になっている。勿論、電線１５に対して着脱不能な構成であってもよいが、本実施形態のような構成であれば、例えば、故障などでセンサユニット１０を交換したり、センサユニット１０を清掃したりする場合に、当該センサユニット１０のみを電線１５から取り外すことができ、作業性向上を図ることができる。
【００２４】
（２）ブラケット
各ブラケット２０は、金属板をＬ字状に折り曲げてなり、水平な略矩形平板状のユニット載置部２１と、ユニット載置部２１の端縁部２１Ａ（支持部材３０側の端縁）から下方に延出したプレート側取付部２２とを備えている。ユニット載置部２１には、左右一対のネジ孔２３が設けられ、その上面に載置されたセンサユニット１０の各貫通孔１７に挿通された一対のネジ２４をネジ孔２３に締めることで、センサユニット１０がブラケット２０に対して固定されている。一方、プレート側取付部２２は、ユニット載置部２１の端縁部２１Ａよりやや支持部材３０側へ突出して設けられている。そして、プレート側取付部２２は、ネジ２５が挿通される貫通孔２６を一個備えており、このブラケット２０とネジ２５とが本発明の「ユニット固定手段」に相当する。なお、ブラケット２０は、少なくともユニット載置部２１の下面（下側に位置するセンサユニット１０における投光素子１３による光の出射方向に対向する側の面）が黒色系の樹脂材によって覆われている。このため、このブラケット２０の下面は、下側のセンサユニット１０の投光素子１３の光が照射されたときに、下側のセンサユニット１０の受光素子１４に対してその受光素子１４が受光可能なレベルの光が反射しないような低反射率の面となっている。
【００２５】
（３）支持部材
支持部材３０は、上下方向（本発明の「配列方向」に相当）に延びる略角柱状をなしている。この支持部材３０は、図２及び図５に示すように、上下に延びる中心軸周りに点対称構造をなしている。そして、支持部材３０の４つの各側面３０Ａ〜３０Ｄには、互いに同形のガイド溝３１（本発明の「電線収容溝」に相当）が支持部材３０の全長に亘って形成されている。ガイド溝３１は、支持部材３０の各側面３０Ａ〜３０Ｄにおける幅方向中央に開口部３１Ａを備えており、その開口部３１Ａの幅ｄ１がそれより奥側部分の幅ｄ２よりも狭く形成されている。そして、開口部３１Ａには、上記ブラケット２０のプレート側取付部２２が幅方向について僅かな隙間を空けて挿入されるようになっている。なお、支持部材３０の上下両端部には、樹脂材や合成ゴム等の弾力性を有する部材からなるキャップ３３が嵌着される。
【００２６】
（４）プレート部材
支持部材３０が有する４つのガイド溝３１のうちの一つには、上下に細長い平板状をなすプレート部材４０が挿入されている。プレート部材４０には、幅方向の中央に、複数の位置決め孔４１が上下方向に一定ピッチで並んで貫通形成されている。なお、位置決め孔４１は、少なくともプレート部材４０の上下両端部近傍に一対設けられている。このプレート部材４０の表面に各ブラケット２０のプレート側取付部２２を当てて、各位置決め孔４１にプレート側取付部２２の貫通孔２６に挿通したネジ２５を締めることで、ブラケット２０が上下に一定の間隔を空けた状態でプレート部材４０に対して固定される。このとき、ユニット載置部２１の側縁部２１Ａとプレート部材４０との間隙には、支持部材３０におけるガイド溝３１の開口縁部分が位置するが、この間隙はガイド溝３１の開口縁部分の厚さ寸法よりもやや大きい（遊びがある）状態となっている。また、プレート部材４０には、次に述べるプレート固定金具５０を固定するためのネジ孔４２が複数貫通形成されている。このネジ孔４２は、位置決め孔４１の配列と同一直線状に設けられ、かつ位置決め孔４１の配列ピッチよりも隣り合うネジ孔４２間の間隔が大きくなるように配置されている。即ち、ネジ孔４２の個数は、位置決め孔４１の個数よりも少なくなっている。
【００２７】
（５）プレート固定金具
プレート固定金具５０は、細長い金属板をコの字形状に折り曲げてなり、中央のプレート取付部５１と両端のカバー保持部５２とを備えている。各カバー保持部５２には、それぞれ内向きに突出する一対の突起５３が設けられており、プレート固定金具５０は、プレート取付部５１を支持部材３０の側面３０Ａに当てると共に、両カバー保持部５２の各突起５３を両側面３０Ｂ，３０Ｃに当てることにより支持部材３０を一対のプレート取付部５１で挟むようにして支持部材３０に対して装着される。プレート取付部５１には、中央に貫通孔５４が一つ設けられ、この貫通孔５４に挿通されたネジ５５をプレート部材４０のネジ孔４２に緊密に締めることで、プレート取付部５１とプレート部材４０との間にガイド溝３１の開口縁部分が緊密に挟まれ、それによりプレート部材４０が支持部材３０に対して固定される。なお、プレート固定金具５０とネジ５５とは、本発明の「プレート固定手段」に相当する。また、各カバー保持部５２には、次の電線カバー６０を固定するためのネジ孔５６が一つずつ設けられている。
【００２８】
（６）電線カバー
電線カバー６０は、上下に細長い金属板の両側縁部を内向きに直角に折り曲げてなる。電線カバー６０は、各プレート固定金具５０のカバー保持部５２の外面に重ねられ、ネジ孔５６と対応する位置に設けられた貫通孔６１に挿通されたネジ６２をネジ孔５６に締めることで、支持部材３０の側面３０Ｂ，３０Ｃのほぼ全体を覆うように固定される。電線カバー６０は、支持部材３０の側面３０Ｂ，３０Ｃとの間には、突起５３を含めたカバー保持部５２の厚さ寸法に対応した隙間Ｓが空いている。また、電線カバー６０のセンサユニット１０側の端部は、支持部材３０の側面３０Ａよりも外側に張り出しており、センサユニット１０から引き出された電線１５を隙間Ｓ内に挿通することができるようになっている。
【００２９】
２．組付手順及び調整手順
次にこのウエハ検出装置１の組付手順を説明する。
ウエハ検出装置１を組み付けるには、図２に示すように、まず各ブラケット２０のユニット載置部２１上面にセンサユニット１０を載せ、一対のネジ２４を用いて固定する。そして、図３に示すように、各ブラケット２０のプレート側取付部２２をガイド溝３１内に挿入したプレート部材４０の各位置決め孔４１にネジ２５を用いて固定する。こうして、全てのセンサユニット１０をブラケット２０を介してプレート部材４０に対して固定する。
【００３０】
続いて、図４に示すように、各プレート固定金具５０をネジ５５を用いてプレート部材４０のネジ孔４２に固定する。これにより、各センサユニット１０、各ブラケット２０及びプレート部材４０が支持部材３０に対して固定される。そして、各センサユニット１０から引き出された電線１５を支持部材３０の側面３０Ｂまたは３０Ｃに設けられたガイド溝３１内に収容し、その電線１５をガイド溝３１に沿って支持部材３０の下方へ導く。そして、電線１５を収容したガイド溝３１を隠すように、各電線カバー６０を支持部材３０の側面３０Ｂ，３０Ｃに覆い付け、ネジ６２を用いてプレート固定金具５０に固定する。最後に、支持部材３０の端部にキャップ３３を嵌着することで、図１，５に示すように、ウエハ検出装置１の組み付けが完了する。
【００３１】
ウエハ検出装置１において、センサユニット１０の高さ位置を調整する場合には、まずプレート部材４０と各プレート固定金具５０との間に締められた各ネジ５５を緩める。プレート部材４０の支持部材３０に対する固定が解除され、プレート部材４０（及びセンサユニット１０、ブラケット２０、プレート固定金具５０）が上下にスライド可能となる。この状態で、各センサユニット１０が適切な高さ位置になるようにプレート部材４０を移動して、再びネジ５５を締めてプレート部材４０を固定すれば、調整作業が完了する。
【００３２】
３．本実施形態の効果
本構成によれば、センサユニット１０の取付位置を調整する際には、プレート固定金具５０及びネジ５５によるプレート部材４０の支持部材３０に対する固定を解除し、センサユニット１０が固定された状態のプレート部材４０の位置を調整した後、再びプレート固定金具５０及びネジ５５によりプレート部材４０を固定する。これにより、調整作業の作業性が向上する。
【００３３】
また、従来の構造では、多数のセンサユニット１０４の電線１０６を電線カバー１０７で覆うためには、例えば上下に複数個に分割し、上下の電線カバー１０７間から電線１０６を溝部１０２内に導き入れる必要があり、部品点数が増えて組付作業に手間が掛かっていた。これに対し、本構成では、電線カバー６０が支持部材３０の側面に対し隙間Ｓを空けた状態で保持されるため、一枚の電線カバー６０によりガイド溝３１の広い領域を隙間なく覆うことができ、これにより部品点数を削減でき、組み付けの作業性を向上することができる。さらに、プレート固定部材３０が電線カバー６０を保持する部品を兼ねるため、部品点数を削減できる。
【００３４】
また、センサユニット１０を支持するブラケット２０は、下側に位置するセンサユニット１０の光の出射方向に対向する側の面が黒色系であるため、光の反射が押さえられ、誤検知の発生を抑制することができる。
【００３５】
＜実施形態２＞
次に本発明の実施形態２を図６を参照して説明する。
本実施形態では、実施形態１に対して、プレート部材４０に設ける孔の位置のみが異なり、その他の点は実施形態１と同様である。そのため、以下の説明では、実施形態１と同様の構成には、同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００３６】
プレート部材４０は、ブラケット２０の取付位置を位置決めする位置決め孔４１が複数一定ピッチで並んで構成される位置決め孔群が２組設けられている。即ち、図６において、上から位置決め孔４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｂ，４１Ａで構成される位置決め孔群は、Ｌ１のピッチで配置され、この位置決め孔群を用いてブラケット２０を組み付けた場合には、センサユニット１０がＬ１のピッチで配列されることになる。また、上から位置決め孔４１Ａ、４１Ｃ，４１Ａで構成される位置決め孔群は、Ｌ２のピッチで配置され、この位置決め孔群を用いてブラケット２０を組み付けた場合に非Ａ、センサユニット１０がＬ２のピッチで配置されることになる。
【００３７】
本実施形態によれば、一枚のプレート部材４０を用いて、複数のセンサユニット１０を異なるピッチで固定することが可能になる。
【００３８】
＜実施形態３＞
図７は、上記実施形態１の構成を、互いに対向配置される投光器８１及び受光器８２を備える多光軸光電センサ８０に適用した例を示す図である。この多光軸光電センサ８０は、投光器８１と受光器８２との間の検出対象物Ｗ’の有無を検出するものである。投光器８１及び受光器８２は、センサユニットの構成を除くと実施形態１とほぼ同じ構成である。投光器８１側のセンサユニットは、対向する受光器８２側に光を出射する投光素子８３を備える投光ユニット８５である。一方、受光器８２側のセンサユニットは、対向する投光器８１の各投光ユニット８５からの光を受光する受光素子８４を備える受光ユニット８６である。
【００３９】
このような構成により、投光ユニット８５または受光ユニット８６の取付位置を調整する際の作業性が向上することができるなど、実施形態１と同様の効果を得ることができる。なお、本実施形態に上記実施形態２の構成を適用してもよい。
【００４０】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記各実施形態では、センサユニットとブラケットとの固定、ブラケットとプレート部材との固定、プレート部材とプレート固定金具との固定、プレート固定金具と電線カバーとの固定にネジを用いたが、このような部材の固定方法は、ネジに限られず、例えば、ボルトとナットを用いても良く、あるいは、一方の開口に他方の突部を嵌合させたり、一方に設けた爪状の係合部を他方に係合させるようにしても良い。
【００４１】
（２）上記実施形態１，２では、板状部材としての半導体ウエハＷ（ウエハ）を被検出対象とした具体例を例示したが、例えば磁気ディスク基板、電子回路基板、ガラス基板であってもよい。要するに、平板状であって、厚さが様々であったり、異なる配列間隔で配置され得るものであればよい。また、板状部材は、電気製品に用いられる基板に限られるものではなく、板状でありさえすれば、例えば、板ガラス、液晶ガラス、時計の文字盤や、ケースに備えた平板状の蓋体、プーリ、ワッシャ等であってもよい。
【００４２】
（３）プレート固定金具のプレート部材に対する取付位置は、少なくともプレート部材の両端部近傍であれば良く、必要に応じてその中間位置を固定するようにすれば良い。なお、プレート固定金具を中間位置を取り付けた場合には、プレート固定金具を電線が電線収容溝から出るのを押さえる電線押さえとして機能させることができる。
【００４３】
（４）上記実施形態１では、ブラケットの下面を黒色系の樹脂材によって覆ったものを示したが、本発明によれば、ブラケットの下面（即ち隣りのセンサユニットの投光素子の光の出射方向に対向する側の面）は、受光手段にて受光可能なレベルの光を反射しないような低反射率であれば、青や緑等の黒色以外の色としても良い。また、受光手段にて受光可能なレベルの光を反射させないための構成として、ブラケットの下面を粗面にして光を散乱させるようにしても良く、あるいは反射光が受光手段に当たらないようにブラケットの下面に角度を付けて配置しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態１に係るウエハ検出装置の斜視図
【図２】ウエハ検出装置を分解した状態を示す斜視図
【図３】センサユニットを支持するブラケットをプレート部材に取り付けた状態を示す斜視図
【図４】プレート固定金具によりプレート部材を支持部材に対して固定した状態を示す斜視図
【図５】ウエハ検出装置の断面図
【図６】実施形態２のプレート部材を例示した正面図
【図７】実施形態３に係る多光軸光電センサの全体構成を示す簡略図
【図８】従来のウエハ検出装置の斜視図
【符号の説明】
【００４５】
１…ウエハ検出装置（板状部材検出装置）
１０…センサユニット
１３…投光素子（投光手段）
１４…受光素子（受光手段）
１５…電線
２０…ブラケット（ユニット固定手段）
２５…ネジ（ユニット固定手段）
３０…支持部材
４０…プレート部材
４１，４１Ａ〜４１Ｃ…位置決め孔
５０…プレート固定金具（プレート固定手段）
５２…カバー保持部
５５…ネジ（プレート固定手段）
６０…電線カバー
８０…多光軸光電センサ
８１…投光器
８２…受光器
８５…投光ユニット
８６…受光ユニット
Ｗ…ウエハ（板状部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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