(57)【要約】【課題】  ステージを移送するとともに、その移送方向についての各位置毎のステージの位置変動情報を取得するステージ位置変動情報取得方法および装置において、小型化およびコストの削減を図る。【解決手段】  予め設定された基準マーク位置情報に基づいて基準マーク８０ａを移動ステージ移送方向に所定の間隔を空けて配置した基準マーク列を、移動ステージ移送方向に直交する方向に所定の間隔を空けてそれぞれ設けたガラスチャート８０を移動ステージ１４上に設置し、ガラスチャート８０に設けられた基準マーク列の基準マーク８０ａを移動ステージ１４の移送とともに基準位置マーク位置情報に応じたタイミングでカメラ２６によって順次撮像し、撮像された基準マーク８０ａの画像の位置に基づいて検出位置情報を順次取得し、その取得された検出位置情報と基準マーク位置情報とに基づいて移動ステージの位置変動情報を取得する。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ上を撮像する撮像手段に対して前記ステージを相対的に移送するとともに、該移送方向についての各位置毎の前記ステージの相対的位置変動情報を取得するステージ位置変動情報取得方法において、
予め設定された基準マーク位置情報に基づいて基準マークを前記移送方向に所定の間隔を空けて配置した基準マーク列を、前記移送方向に直交する方向に所定の間隔を空けてそれぞれ設けたチャート部材を前記ステージ上に設置し、
前記チャート部材に設けられた前記複数の基準マーク列のそれぞれの基準マークを前記移送とともに前記基準位置マーク位置情報に応じたタイミングで前記撮像手段によって順次撮像し、
該撮像された基準マークの画像の位置に基づいて検出位置情報を順次取得し、
該取得された検出位置情報と前記基準マーク位置情報とに基づいて前記ステージの相対的位置変動情報を取得することを特徴とするステージ位置変動情報取得方法。
【請求項２】
前記ステージの相対的位置変動情報として、少なくとも前記ステージの回転情報を取得することを特徴とする請求項１記載のステージ位置変動情報取得方法。
【請求項３】
前記チャート部材の前記移送方向についての長さを前記ステージの移送距離よりも長さよりも短くし、
前記チャート部材を前記ステージ上の前記移送方向について順次異なる位置に配置して各位置毎について前記基準マークの撮像を行い、
前記各位置毎の撮像によって取得された前記検出位置情報に基づいて前記相対的位置変動情報を取得することを特徴とする請求項１または２記載のステージ位置変動情報取得方法。
【請求項４】
前記ステージ上に載置された描画対象に対して描画を行う描画手段と前記撮像手段との前記移送方向についての位置が異なる場合において、
前記チャート部材を、前記ステージ上の描画対象における前記撮像手段が設けられた側の描画領域端部位置から少なくとも前記描画手段と前記撮像手段との距離だけ前記撮像手段が設けられた側に平行移動させて設置し、
前記描画手段による描画位置が前記撮像手段が設けられた側の描画領域端部位置を通過する時点を含めて前記基準マークの撮像を行うことを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載のステージ位置変動情報取得方法。
【請求項５】
前記チャート部材に、複数の前記基準マーク列を前記移送方向に直交する方向に所定の間隔を空けてそれぞれ設け、
一方の前記複数の基準マーク列のいずれかの基準マーク列と他方の前記複数の基準マーク列のいずれかの基準マーク列とを組み合わせた複数の基準マーク列の組の各組毎の前記検出位置情報に基づいて複数の前記ステージの相対的位置変動情報を取得することを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載のステージ位置変動情報取得方法。
【請求項６】
前記チャート部材を、少なくとも一列の前記基準マーク列をそれぞれ設けた、前記移送方向に延びる複数の長尺部材から構成することを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載のステージ位置変動情報取得方法。
【請求項７】
前記チャート部材を、少なくとも一列の前記基準マーク列を設けた、前記移送方向に延びる長尺部材から構成し、
該長尺部材を前記ステージ上において置き換えて設置して前記基準マークの撮像を行うことを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載のステージ位置変動情報取得方法。
【請求項８】
１つの前記基準マークを前記撮像手段によって複数回撮像することを特徴とする請求項１から７いずれか１項記載のステージ位置変動情報取得方法。
【請求項９】
ステージ上を撮像する撮像手段に対して前記ステージを相対的に移送するとともに、該移送方向についての各位置毎の前記ステージの相対的位置変動情報を取得するステージ位置変動情報取得装置において、
予め設定された基準マーク位置情報に基づいて基準マークが前記移送方向に所定の間隔を空けて配置された基準マーク列が、前記移送方向に直交する方向に所定の間隔を空けてそれぞれ設けられたチャート部材と、
前記ステージの移送とともに前記基準マーク位置情報に応じたタイミングで前記撮像手段により撮像された前記基準マーク列のそれぞれの基準マークの画像の位置に基づいて検出位置情報を順次取得する検出位置情報取得部と、
前記検出位置情報取得部により取得された検出位置情報と前記基準マーク位置情報とに基づいて前記ステージの相対的位置変動情報を取得するステージ位置変動情報取得部とを備えたことを特徴とするステージ位置変動情報取得装置。
【請求項１０】
前記ステージ位置変動情報取得部が、前記ステージの相対的位置変動情報として、少なくとも前記ステージの回転情報を取得するものであることを特徴とする請求項９記載のステージ位置変動情報取得装置。
【請求項１１】
前記チャート部材の前記移送方向についての長さが前記ステージの移送距離よりも短く、
前記チャート部材が、前記ステージ上の前記移送方向について順次異なる位置に配置されるものであり、
前記ステージ位置変動情報取得部が、前記各位置毎のチャート部材の撮像によって取得された前記検出位置情報に基づいて前記相対的位置変動情報を取得するものであることを特徴とする請求項９または１０記載のステージ位置変動情報取得装置。
【請求項１２】
前記ステージ上に載置された描画対象に対して描画を行う描画手段と前記撮像手段とが前記移送方向について異なる位置に設けられており、
前記チャート部材が、前記ステージ上の描画対象における前記撮像手段が設けられた側の描画領域端部位置から少なくとも前記描画手段と前記撮像手段との距離だけ前記撮像手段が設けられた側に平行移動させて設置されるものであり、
前記撮像手段が、前記描画手段による描画位置が前記撮像手段が設けられた側の描画領域端部位置を通過する時点を含めて前記基準マークの撮像を行うものであることを特徴とする請求項９から１１いずれか１項記載のステージ位置変動情報取得装置。
【請求項１３】
前記チャート部材に、複数の前記基準マーク列が前記移送方向に直交する方向に所定の間隔を空けてそれぞれ設けられており、
前記ステージ位置変動情報取得部が、一方の前記複数の基準マーク列のいずれかの基準マーク列と他方の前記複数の基準マーク列のいずれかの基準マーク列とを組み合わせた複数の基準マーク列の組の各組毎の前記検出位置情報に基づいて複数の前記ステージの相対的位置変動情報を取得するものであることを特徴とする請求項９から１２いずれか１項記載のステージ位置変動情報取得装置。
【請求項１４】
前記チャート部材が、少なくとも一列の前記基準マーク列がそれぞれ設けられた、前記移送方向に延びる複数の長尺部材から構成されていることを特徴とする請求項９から１３いずれか１項記載のステージ位置変動情報取得装置。
【請求項１５】
前記チャート部材が、少なくとも一列の前記基準マーク列が設けられた、前記移送方向に延びる長尺部材から構成されているとともに、該長尺部材が、前記ステージ上において置き換えて設置されるものであることを特徴とする請求項９から１３いずれか１項記載のステージ位置変動情報取得装置。
【請求項１６】
前記撮像手段が、１つの前記基準マークを複数回撮像するものであることを特徴とする請求項９から１５いずれか１項記載のステージ位置変動情報取得装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージを移送するとともに、その移送方向についての各位置毎のステージの位置変動情報を取得するステージ位置変動情報取得方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント配線板や液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの基板に所定のパターンを記録する装置として、フォトリソグラフの技術を利用した露光装置が種々提案されている。
【０００３】
上記のような露光装置としては、たとえば、フォトレジストが塗布された基板上に光ビームを主走査および副走査方向に走査させるとともに、その光ビームを、露光パターンを表す露光画像データに基づいて変調することにより露光パターンを形成する露光装置が提案されている。
【０００４】
また、上記のような露光装置として、たとえば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（以下、ＤＭＤという）等の空間光変調素子を利用し、露光画像データに応じて空間光変調素子により光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。
【０００５】
そして、上記のようなＤＭＤを用いた露光装置としては、たとえば、基板が載置されたステージをＤＭＤに対して所定の走査方向に移送するとともに、その移送に応じてＤＭＤに露光画像データを入力し、ＤＭＤのマイクロミラーに対応した露光点群を時系列に順次形成することにより所望の露光パターンを基板に形成する露光装置が提案されている（たとえば特許文献１参照）。
【０００６】
ここで、上記露光装置のようにステージの移送にともなって露光を行う場合、ステージを移送する所定の移送機構の機械的な制御精度などの影響により、ステージが蛇行してしまう場合がある。なお、上記蛇行とは、ステージの移送方向に直交する方向への位置ずれをいう。
【０００７】
また、ステージの移送の際には、上記のような蛇行だけでなくヨーイングも発生するため、ステージの蛇行だけを補正しても上記ヨーイングによりやはり露光パターンに歪みを生じるおそれがある。
【０００８】
また、ステージの移送の際には、上記ヨーイングだけでなくピッチング振動が生じる場合があり、上記のようなピッチング振動によってもステージの移送方向についての位置ずれが生じてしまうため、これを検出して補正する必要がある。
【０００９】
そこで、上記のようなステージのヨーイングやピッチングを検出する方法として、一般的には、レーザ測長器を用いた方法が提案されている。
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−２３３７１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記のようにレーザ測長器によりヨーイングやピッチングを検出したのでは、装置が大型化、複雑化してしまい、また、これらの装置は高価であるためコストアップにもなる。
【００１２】
本発明は、上記事情に鑑み、上記のようなステージの蛇行、ヨーイングおよびピッチングなどのステージの位置変動情報を取得するステージ位置変動情報取得方法および装置において、より小型化できるとともに、より安価に構成することができるステージ位置変動情報取得方法および装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のステージ位置変動情報取得方法は、ステージ上を撮像する撮像手段に対してステージを相対的に移送するとともに、その移送方向についての各位置毎のステージの相対的位置変動情報を取得するステージ位置変動情報取得方法において、予め設定された基準マーク位置情報に基づいて基準マークを上記移送方向に所定の間隔を空けて配置した基準マーク列を、上記移送方向に直交する方向に所定の間隔を空けてそれぞれ設けたチャート部材をステージ上に設置し、チャート部材に設けられた複数の基準マーク列のそれぞれの基準マークを上記移送とともに基準位置マーク位置情報に応じたタイミングで撮像手段によって順次撮像し、撮像された基準マークの画像の位置に基づいて検出位置情報を順次取得し、その取得された検出位置情報と基準マーク位置情報とに基づいてステージの相対的位置変動情報を取得することを特徴とする。
【００１４】
また、上記本発明のステージ位置変動情報取得方法においては、ステージの相対的位置変動情報として、少なくともステージの回転情報を取得するようにすることができる。
【００１５】
また、チャート部材の上記移送方向についての長さをステージの移送距離よりも短くし、チャート部材をステージ上の上記移送方向について順次異なる位置に配置して各位置毎について基準マークの撮像を行い、各位置毎の撮像によって取得された検出位置情報に基づいて相対的位置変動情報を取得するようにすることができる。
【００１６】
また、ステージ上に載置された描画対象に対して描画を行う描画手段と撮像手段との上記移送方向についての位置が異なる場合において、チャート部材を、ステージ上の描画対象における撮像手段が設けられた側の描画領域端部位置から少なくとも描画手段と撮像手段との距離だけ撮像手段が設けられた側に平行移動させて設置し、描画手段による描画位置が撮像手段が設けられた側の描画領域端部位置を通過する時点を含めて基準マークの撮像を行うようにすることができる。
【００１７】
また、ステージ上に載置された描画対象に対して描画を行う描画手段を、撮像手段に対してステージの移送の初期位置側に設ける場合において、チャート部材を、ステージ上の描画対象における描画開始位置から少なくとも描画手段と撮像手段との距離だけ上記移送方向側に突出させて設置し、描画手段による描画位置が描画開始位置を通過する時点から基準マークの撮像を行うようにすることができる。
【００１８】
また、チャート部材に、複数の基準マーク列を上記移送方向に直交する方向に所定の間隔を空けてそれぞれ設け、一方の複数の基準マーク列のいずれかの基準マーク列と他方の複数の基準マーク列のいずれかの基準マーク列とを組み合わせた複数の基準マーク列の組の各組毎の検出位置情報に基づいて複数のステージの相対的位置変動情報を取得するようにすることができる。
【００１９】
また、チャート部材を、少なくとも一列の基準マーク列をそれぞれ設けた、上記移送方向に延びる複数の長尺部材から構成するようにすることができる。
【００２０】
また、チャート部材を、少なくとも一列の基準マーク列を設けた、上記移送方向に延びる長尺部材から構成し、その長尺部材をステージ上において置き換えて設置して基準マークの撮像を行うようにすることができる。
【００２１】
また、１つの基準マークを撮像手段によって複数回撮像するようにすることができる。
【００２２】
また、ステージ上を撮像する撮像手段に対してステージを相対的に移送するとともに、その移送方向についての各位置毎のステージの相対的位置変動情報を取得するステージ位置変動情報取得装置において、予め設定された基準マーク位置情報に基づいて基準マークが上記移送方向に所定の間隔を空けて配置された基準マーク列が、上記移送方向に直交する方向に所定の間隔を空けてそれぞれ設けられたチャート部材と、ステージの移送とともに基準マーク位置情報に応じたタイミングで撮像手段により撮像された基準マーク列のそれぞれの基準マークの画像の位置に基づいて検出位置情報を順次取得する検出位置情報取得部と、検出位置情報取得部により取得された検出位置情報と基準マーク位置情報とに基づいてステージの相対的位置変動情報を取得するステージ位置変動情報取得部とを備えたことを特徴とする。
【００２３】
また、上記本発明のステージ位置変動情報取得装置においては、ステージ位置変動情報取得部を、ステージの相対的位置変動情報として、少なくともステージの回転情報を取得するものとすることができる。
【００２４】
また、チャート部材の上記移送方向についての長さをステージの移送距離よりも短くし、チャート部材を、ステージ上の上記移送方向について順次異なる位置に配置されるものとし、ステージ位置変動情報取得部を、各位置毎のチャート部材の撮像によって取得された検出位置情報に基づいて相対的位置変動情報を取得するものとすることができる。
【００２５】
また、ステージ上に載置された描画対象に対して描画を行う描画手段と撮像手段とを上記移送方向について異なる位置に設けるようにし、チャート部材を、ステージ上の描画対象における撮像手段が設けられた側の描画領域端部位置から少なくとも描画手段と撮像手段との距離だけ撮像手段が設けられた側に平行移動させて設置し、撮像手段を、描画手段による描画位置が撮像手段が設けられた側の描画領域端部位置を通過する時点を含めて基準マークの撮像を行うものとすることができる。
【００２６】
また、ステージ上に載置された描画対象に対して描画を行う描画手段を、撮像手段に対してステージの移送の初期位置側に設け、チャート部材を、ステージ上の描画対象における描画開始位置から少なくとも描画手段と撮像手段との距離だけ上記移送方向側に突出させて設置されるものとし、撮像手段を、描画手段による描画位置が描画開始位置を通過する時点から基準マークの撮像を行うものとすることができる。
【００２７】
また、チャート部材に、複数の基準マーク列が移送方向に直交する方向に所定の間隔を空けてそれぞれ設け、ステージ位置変動情報取得部を、一方の複数の基準マーク列のいずれかの基準マーク列と他方の複数の基準マーク列のいずれかの基準マーク列とを組み合わせた複数の基準マーク列の組の各組毎の検出位置情報に基づいて複数のステージの相対的位置変動情報を取得するものとすることができる。
【００２８】
また、チャート部材を、少なくとも一列の基準マーク列がそれぞれ設けられた、上記移送方向に延びる複数の長尺部材から構成するようにすることができる。
【００２９】
また、チャート部材を、少なくとも一列の基準マーク列が設けられた、上記移送方向に延びる長尺部材から構成するとともに、その長尺部材を、ステージ上において置き換えて設置されるものとすることができる。
【００３０】
また、撮像手段を、１つの基準マークを複数回撮像するものすることができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明のステージ位置変動情報取得方法および装置によれば、予め設定された基準マーク位置情報に基づいて、基準マークを上記移送方向に所定の間隔を空けて配置した基準マーク列を、上記移送方向に直交する方向に所定の間隔を空けてそれぞれ少なくとも１列ずつ設けたチャート部材をステージ上に設置し、チャート部材に設けられた複数の基準マーク列のそれぞれの基準マークを上記移送とともに順次撮像手段によって撮像し、その撮像された基準マークの画像の位置に基づいて順次検出位置情報を取得し、その取得された検出位置情報と基準マーク位置情報とに基づいて、上記移送方向についての各位置毎のステージの相対的位置変動情報を取得するようにしたので、ステージの蛇行、ヨーイングおよびピッチングなどのステージの位置変動情報を、より小型かつ簡易な構成で取得することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照して本発明のステージ位置変動情報取得方法および装置の一実施形態を用いた露光装置について詳細に説明する。本露光装置は、基板が設置されたステージを所定の移送方向に移送するとともに、その移送にともなって上記ステージ上の基板に対して所定の露光パターンを露光する露光装置であって、特に、上記移送方向についての各位置毎のステージの位置変動情報を取得し、そのステージの位置情報に基づいて補正された露光パターンを露光する露光装置である。まずは、本露光装置の概略構成について説明する。図１は、本露光装置の概略構成を示す斜視図である。
【００３３】
露光装置１０は、図１（Ａ）に示すように、基板１２を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１４を備えている。そして、４本の脚部１６に支持された厚い板状の設置台１８の上面には、ステージ移送方向（Ｙ方向）に沿って延びた２本のガイド２０が設置され、移動ステージ１４はガイド２０によって往復移送可能に支持されている。そして、移動ステージ１４には、基板１２だけでなくガラスチャート８０が設置される。
【００３４】
ガラスチャート８０は、図１（Ｂ）に示すように、ガラスによって形成された長尺な部材の上面に基準マーク８０ａが設けられたものであり、移動ステージ１４上に着脱可能なように構成されている。基準マーク８０ａは、ガラス部材の上面に所定の間隔（たとえば、１０．０ｍｍ間隔）を空けて設けられている。そして、ガラスチャート８０は、図１（Ａ）に示すように、基準マーク８０ａの列の延びる方向がステージ移送方向と一致するように移動ステージ１４上に設置される。なお、ガラスチャートの設置方法およびその用途については後で詳述する。
【００３５】
設置台１８の中央部には、移動ステージ１４の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート２２が設けられている。コの字状のゲート２２の端部の各々は、設置台１８の両側面に固定されている。このゲート２２を挟んで一方の側には後述するスキャナ２４が設けられ、他方の側には基板１２の先端および後端と、ガラスチャート８０の基準マークとを撮像するための複数のカメラ２６が設けられている。
【００３６】
スキャナ２４およびカメラ２６はゲート２２に各々取り付けられて、移動ステージ１４の移動経路の上方に固定配置されている。スキャナ２４およびカメラ２６は、これらを制御する後述するコントローラに接続されている。
【００３７】
スキャナ２４は、図２および図３（Ｂ）に示すように、２行５列の略マトリックス状に配列された１０個の露光ヘッド３０（３０Ａ〜３０Ｊ）を備えている。
【００３８】
各露光ヘッド３０の内部には、図４に示すように、入射された光ビームを空間変調する空間光変調素子（ＳＬＭ）であるデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）３６が設けられている。ＤＭＤ３６は、マイクロミラー３８が直交する方向に２次元状に多数配列されたものであり、そのマイクロミラー３８の列方向が走査方向と所定の設定傾斜角度θをなすように取り付けられている。したがって、各露光ヘッド３０による露光エリア３２Ａ〜３２Ｊは、図３（Ａ）に示すように、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。そして、ステージ１４の移動に伴い、基板１２には露光ヘッド３０ごとに帯状の露光済み領域３４が形成される。なお、各露光ヘッド３０に光ビームを入射する光源については図示省略してあるが、たとえば、レーザ光源などを利用することができる。
【００３９】
露光ヘッド３０の各々に設けられたＤＭＤ３６は、マイクロミラー３８単位でオン/オフ制御され、基板１２には、ＤＭＤ３６のマイクロミラー３８に対応したドットパターン（黒/白）が露光される。前述した帯状の露光済み領域３４は、図４に示すマイクロミラー３８に対応した２次元配列されたドットによって形成される。二次元配列のドットパターンは、走査方向に対して傾斜されていることで、走査方向に並ぶドットが、走査方向と交差する方向に並ぶドット間を通過するようになっており、実質的なドット間ピッチを狭めることができ、高解像度化を図ることができる。
【００４０】
また、図３（Ａ）および（Ｂ）に示すように、帯状の露光済み領域３４のそれぞれが、隣接する露光済み領域３４と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド３０の各々は、その配列方向に所定間隔ずらして配置されている。このため、たとえば、１行目の最も左側に位置する露光エリア３２Ａ、露光エリア３２Ａの右隣に位置する露光エリア３２Ｃとの間の露光できない部分は、２行目の最も左側に位置する露光エリア３２Ｂにより露光される。同様に、露光エリア３２Ｂと、露光エリア３２Ｂの右隣に位置する露光エリア３２Ｄとの間の露光できない部分は、露光エリア３２Ｃにより露光される。
【００４１】
次に、露光装置１０の電気的構成について説明する。
【００４２】
露光装置１０は、図５に示すように、ＣＡＭ（Computer Aided Manufacturing）ステーションを有するデータ作成装置４０から出力された、露光すべき露光パターンを表わすベクトルデータを受け付け、このベクトルデータをラスター変換するラスター変換部５０と、カメラ２６により撮影されたガラスチャート８０の基準マーク８０ａの撮影画像に基づいて基準マーク８０ａの検出位置情報を取得する検出位置情報取得部５２と、検出位置情報取得部５２により取得された検出位置情報に基づいて、所定位置における移動ステージ１４の位置変動情報を取得するステージ位置変動情報取得部５４と、ステージ位置変動情報取得部５４により取得された移動ステージ１４の位置変動情報に基づいて、露光すべき露光パターンを表わす露光画像データを補正する画像データ補正部５６と、画像データ補正部５６において補正された露光画像データに基づいて、各露光ヘッド３０の各ＤＭＤ３６に供給される制御信号を生成し、その制御信号を各露光ヘッド３０に出力する露光ヘッド制御部５８と、移動ステージ１４をステージ移送方向へ移送する移送機構６０と、移送機構６０による移動ステージ１４の移送距離情報を取得するリニアエンコーダ６２と、本露光装置全体を制御するコントローラ７０とを備えている。なお、移動機構６０は、移動ステージ１４をガイド２０に沿って往復移動させるものであれば如何なる既知の構成を採用してもよい。また、上記各構成要素の作用については後で詳述する。
【００４３】
次に、本露光装置１０の作用について図面を参照しながら説明する。
【００４４】
本露光装置１０は、上述したように基板１２が設置された移動ステージ１４をステージ移送方向に移送し、その移送にともなって順次露光ヘッド制御部５８から露光ヘッド３０に制御信号を出力し、各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６により移動ステージ１４上の基板１２に時系列に露光点を形成することによって所望の露光パターンを基板１２上に露光するものである。
【００４５】
ここで、上記のようにして移動ステージ１４を移送しながら露光を行う際、移送機構６０の機械的な制御精度などに起因して移動ステージ１４が蛇行し、移動ステージ１４上の基板１２に露光される露光パターンに歪みが生じてしまう場合がある。
【００４６】
また、移動ステージ１４の移送の際には、上記のような蛇行だけでなくヨーイングやピッチング振動も発生するため、これらを検出して補正する必要がある。
【００４７】
そこで、本露光装置１０においては、上記蛇行などによる移動ステージ１４の位置変動情報を予め取得し、その位置変動情報に応じて露光画像データを補正し、その補正済露光画像データに基づいて露光を行うことによって、上記のような露光パターンの歪みを抑制する。
【００４８】
まずは移動ステージ１４の位置変動情報の取得方法について説明する。
【００４９】
[移動ステージの位置変動情報取得方法について]
まず、図１（Ａ）および図６（Ａ）に示すように、移動ステージ１４のＸ方向についての一方の端部近傍の上面にガラスチャート８０が設置される。なお、移動ステージ１４の位置変動情報取得の際は、基板１２は設置していてもよいし、設置していなくてもよい。そして、移動ステージ１４は、図１（Ａ）に示す位置から上流端へ一旦移送された後、下流側に向けて所望の速度で移送される。なお、上記上流側とは、図１（Ａ）における右側、つまりゲート２２に対してスキャナ２４が設置されている側のことであり、上記下流側とは、図１（Ｂ）における左側、つまりゲート２２に対してカメラ２６が設置されている側のことである。
【００５０】
そして、移動ステージ１４の下流側への移送にともなって、リニアエンコーダ６２によりパルス信号がカウントされ、移送機構６０による移動ステージ１４の移送距離情報が上記パルス信号のカウント数として取得され、そのカウント数がコントローラ７０に出力される。
【００５１】
そして、コントローラ７０は、予め設定されたカウント数毎に撮像制御信号をカメラ２６に出力し、カメラ２６は上記撮像制御信号に応じてガラスチャート８０上の基準マーク８０ａを順次撮像する。なお、撮像制御信号が出力されるタイミングを示す上記カウント数は、ガラスチャート８０に設けられた基準マーク８０ａの間隔に対応するカウント数に設定されている。たとえば、リニアエンコーダ６２が０．１μｍの移送距離毎に１パルスカウントするものであり、基準マーク８０ａが１０．０ｍｍ間隔でガラスチャート８０上に設けられている場合には、１０００００パルス（１０．０ｍｍ/０．１μｍ）カウントされる毎にコントローラ７０から撮像制御信号が出力される。上記のように制御することにより基準マーク８０ａの間隔に応じた撮像が可能となる。
【００５２】
そして、図７に示すような、基準マーク８０ａの基準マーク画像８０ｂを含む視野画像８０ｃが基準マーク８０毎に順次撮像され、その視野画像データは検出位置情報取得部５２に出力される。
【００５３】
そして、図６（Ａ）のようにガラスチャート８０を設置した状態で、全ての基準マーク８０ａの撮像が終了すると、移動ステージ１４は再び上流端まで戻される。そして、次に、図６（Ｂ）に示すように、移動ステージ１４のＸ方向についての他方の端部近傍の上面にガラスチャート８０が設置され、上記と同様にして基準マーク８０ａの撮像が行われ、その視野画像データが検出位置情報取得部５２に出力される。なお、カメラ２６は、その視野内にガラスチャート８０の基準マーク８０ａが位置するように設置されているが、カメラ２６をＸ方向に移動可能に支持し、カメラ２６を、その視野内に基準マーク８０ａが位置するように移動させるようにしてもよい。
【００５４】
ここで、検出位置情報取得部５２には、図７に示すように、視野画像８０ｃ内の基準位置８０ｄが予め設定されている。そして、検出位置情報取得部５２は、移動ステージ１４の各位置の各視野画像８０ｃ毎について、上記基準位置８０ｄと実際に撮像された基準マーク画像８０ｂとの位置ずれ量（ｘ１,ｙ１）を取得する。なお、上記基準位置８０ｄは、上述したように基準マーク８０ａの撮像前に予め設定されるものであるが、その設定方法については後で詳述する。
【００５５】
なお、上記のようにして基準マーク８０ａの撮像を行って位置ずれ量（ｘ１,ｙ１）を取得する際、ガラスチャート８０における基準マーク８０ａが、ガラスチャート８０上の予め設定された位置（たとえば、１０．０ｍｍ間隔）に設けられているか否かを予め既知の測定装置により測定しておき、基準マーク８０ａの位置が、予め設定された位置に対してずれている場合には、そのずれ量も考慮して上記位置ずれ量（ｘ１,ｙ１）を算出して取得することが望ましい。
【００５６】
そして、上記のようにして検出位置情報取得部５２において取得された各視野画像８０ｃ毎の基準マーク画像８０ｂの位置ずれ量が、各基準マーク８０ａの検出位置情報としてステージ位置変動情報取得部５４に出力される。
【００５７】
そして、ステージ位置変動情報取得部５４には、図８に示すように、移動ステージ１４が蛇行などしなかった場合における、つまり移動ステージ１４が理想的な状態で移送された場合における基準マーク８０ａの位置情報８０ｅ（以下「基準マーク位置情報」という。）の座標値が予め設定されており、この基準マーク位置情報８０ｅの座標値と上記位置ずれ情報とに基づいて、実際の撮像された基準マーク８０ａの座標位置情報８０ｆが取得される。なお、図８における縦軸は移動ステージ１４上におけるＸ方向についての位置を示しており、横軸は移動ステージ１４のＹ方向についての移送距離位置を示している。
【００５８】
そして、上記のようにして取得された座標位置情報８０ｆの座標値に基づいて、所定の移送距離位置に位置する移動ステージ１４の位置変動情報が取得される。以下に、たとえば、図８に示す移送距離位置Ｐの位置に移動ステージ１４が位置する場合におけるその位置変動情報の算出方法を具体的に説明する。
【００５９】
移送距離位置Ｐにおける移動ステージ１４の位置変動情報は、Ｘ方向についての移動ステージ１４の位置変動量（以下「Ｘ方向位置変動量」という。）、Ｙ方向についての移動ステージ１４の位置変動量（以下「Ｙ方向位置変動量」という。）、回転方向（θ方向）についての移動ステージ１４の位置変動量（以下「θ方向位置変動量」という。）として取得される。
【００６０】
具体的には、Ｙ方向位置変動量を求める際には、まず、座標位置情報Ａと座標位置情報Ｂとを結ぶ直線Ｌが求められるとともに、座標位置情報Ｃと座標位置情報Ｄとを結ぶ直線Ｍが求められる。そして、座標位置情報Ａと座標位置情報Ｂとの中点Ｃ１と、座標位置情報Ｃと座標位置情報Ｄとの中点Ｃ２との距離ｄＹが求められる。このｄＹの値がＹ方向位置変動量となる。なお、ステージの位置を定義する点を、座標位置情報Ａと座標位置情報Ｄとを通る直線と、座標位置情報Ｂと座標位置情報Ｃとを通る直線とから等距離の位置と仮定した場合には、ｄＹは、たとえば、下式によって算出することができる。
【００６１】
ｄＹ ＝ （Ｄ１＋Ｄ２）/２
ただし、Ｄ１：座標位置情報Ｃのｙ座標値から座標位置情報Ｂのｙ座標値を減算した値
Ｄ２：座標位置情報Ｄのｙ座標値から座標位置情報Ａのｙ座標値を減算した値
一般にステージ上の基準マークの位置は、ステージのθ方向の位置変動量の影響を受けるが、ステージの移動定義点から等距離に配置したマーク位置の平均位置を計算することで、θ方向位置変動量に起因するマーク位置変動が相殺され、Ｙ方向の純粋な位置変動量を算出することができる。
【００６２】
そして、θ方向位置変動量を求める際には、座標位置情報Ｂを通過するとともに、直線Ｍと同じ傾きを有する直線Ｎが求められる。そして、直線Ｎと直線Ｌとがなす角ｄθが求められる。ｄθは、たとえば、下式によって近似値を算出することができる。このｄθの値がθ方向位置変動量となる。
【００６３】
ｄθ ＝ （Ｄ２−Ｄ１）/Ｅ
ただし、Ｄ１：座標位置情報Ｃのｙ座標値から座標位置情報Ｂのｙ座標値を減算した値
Ｄ２：座標位置情報Ｄのｙ座標値から座標位置情報Ａのｙ座標値を減算した値
Ｅ：座標位置情報Ｄのｘ座標値から座標位置情報Ｃのｘ座標値を減算した値
さらに、Ｘ方向位置変動量を求める際には、まず、中点Ｃ２のｘ座標から中点Ｃ１のｘ座標を減算した値ｄＸ’が求められる。そして、次に下式によってｄＸが算出される。このｄＸがＸ方向位置変動量となる。
【００６４】
ｄＸ ＝ ｄＸ’− （Ｄｙ−Ｙ０）・ｓｉｎ（ｄθ）
ただし、Ｄｙ：座標位置情報Ｄのｙ座標値
Ｙ０：ステージの位置を定義する点Ｒのｙ座標値
なお、ｄＸ’から（Ｄｙ−Ｙ０）・ｓｉｎ（ｄθ）を減算しているのは、移動ステージ１４の回転によるＸ方向についての位置変動量を減算するためである。
【００６５】
上記のようにして移送距離位置Ｐにおける移動ステージ１４の位置変動情報が、ｄＹ,ｄθ、ｄＸとして取得される。
【００６６】
そして、上記と同様にして、各基準マーク位置情報８０ｅの各移送距離位置における移動ステージ１４の位置変動量がそれぞれ算出される。
【００６７】
ここで、基準マーク８０ａは所定の間隔（たとえば１０．０ｍｍ）で配置されているため位置変動量はＹ方向について離散的に取得され、連続的に取得することができない。したがって、ステージ位置変動情報取得部５４においては、各移送距離位置毎に取得された位置変動情報について補間処理を行って、基準マーク８０ａ間の移送距離位置における位置変動情報を算出する。具体的には、ステージ位置変動情報取得部５４は、図９に示すように、Ｘ方向位置変動量ｄＸ、Ｙ方向位置変動量ｄＹおよびθ方向位置変動量のそれぞれについて、各移送距離位置について取得された位置変動情報（×印）を通過する蛇行曲線を求め、この蛇行曲線に基づいて基準マーク８０ａ間の移送距離位置における位置変動情報を算出する。なお、本実施形態においては上記のように蛇行曲線を求めるようにしたが、その他如何なる補間処理を用いてもよい。
【００６８】
そして、上記のようにしてステージ位置変動情報取得部５４において取得された位置変動情報は、画像データ補正部５６に出力される。
【００６９】
なお、上記実施形態においては、移動ステージ１４の位置変動情報を取得する際、図６および図１０（Ａ）に示すように、ガラスチャート８０を移動ステージ１４の範囲内に収まるように設置して基準マーク８０ａの撮像を行うようにしたので、たとえば、上記実施形態の露光装置のように、上流側に露光ヘッド３９が設置され、下流側にカメラ２６が設置されるような場合には、露光ヘッド３０が移動ステージ１４上の基板１２の露光開始位置まできていてもカメラの視野内にガラスチャート８０の基準マーク８０ａが到達していないため、図１０（Ａ）に示す間隔Ｄにおける移動ステージ１４の位置変動情報を取得することができず、移動ステージ１４の位置変動情報に応じた露光を行うことができない。
【００７０】
そこで、たとえば、図１０（Ｂ）および図１１に示すように、ガラスチャート８０を、移動ステージ１４上の基板１２の露光開始位置から少なくとも露光ヘッド３０とカメラ２６との間隔ＤだけＹ方向下流側に突出させて設置し、露光ヘッド３０による露光位置が露光開始位置を通過する時点からの基準マーク８０ａの撮像を行うようにしてもよい。なお、この場合においても、上記と同様に、図１１（Ａ）のようにガラスチャート８０を設置して基準マーク８０ａの撮像を行った後、図１１（Ｂ）のようにガラスチャート８０を置き換えて基準マーク８０ａの撮像を行う必要がある。
【００７１】
また、上記のようにガラスチャート８０を移動ステージ１４の先端から突出させて基準マーク８０ａを撮像するようにするのではなく、図１１に示すように、カメラ２６を露光ヘッド３０行にＸ方向について隣接させて配置するようにしてもよい。
【００７２】
また、上記実施形態においては、１本のガラスチャート８０を移動ステージ１４上の２箇所について置き換えて基準マーク８０ａの撮像を行うようにしたが、２本のガラスチャート８０を用いて、これらを移動ステージ１４上の上記２箇所に設置して基準マーク８０ａの撮像を行うようにしてもよい。なお、上記実施形態のように１本のガラスチャート８０を置き換えて使用した方が、ガラスチャート毎の基準マーク８０ａの配置のばらつきを吸収することができるので、より高精度な位置変動情報の取得が可能である。
【００７３】
または、移動ステージ１４のＸ方向についての幅と同等の幅を有する１枚のガラス板上に複数の基準マーク８０ａ列を設けてガラスチャート８０を構成するようにしてもよいが、上記実施形態のように、長尺部材によりガラスチャート８０を構成するようにした方が持ち運びには便利である。
【００７４】
また、上記実施形態においては、ガラスチャート８０として、その長さが移動ステージのＹ方向の長さと同等のものを用いるようにしたが、移動ステージ１４のＹ方向についての移送距離よりも短いガラスチャートを用い、このガラスチャートをＹ方向についてずらして設置するとともに、それぞれの設置箇所について基準マーク８０ａの撮像を行い、この各設置における撮像によって取得された基準マーク画像の位置を接続するようにしてもよい。上記のようにガラスチャート８０を短くした方が持ち運びに便利である。なお、上記移送距離とはＹ方向について露光する距離である。
【００７５】
また、上記実施形態においては、移動ステージ１４のＸ方向についての両端部近傍の上面にそれぞれ１本のガラスチャート８０を設置して基準マーク８０ａの撮像を行うようにしたが、図１３（Ａ）,（Ｂ）に示すように、複数本のガラスチャート８０を移動ステージ１４上にそれぞれ設置して基準マーク８０ａの撮像を行うようにしてもよい。上記のようにガラスチャート８０を複数本設置する場合には、たとえば、外側に位置するガラスチャート８０の基準マーク８０ａに基づいて、移動ステージ１４の第１の位置変動情報を取得するとともに、内側に位置するガラスチャート８０の基準マーク８０に基づいて、移動ステージ１４の第２の位置変動情報を取得し、第１の位置変動情報と第２の位置変動情報との平均などの統計量をとるようにすればよい。上記のように複数の位置変動情報の統計量を取得することによってより高精度な位置変動情報を取得することができる。
【００７６】
そして、上記のようにして移動ステージ１４の位置変動情報が取得された後、画像データ補正部５６において、入力された位置変動情報に基づいて露光画像データに補正処理が施され、その補正済露光画像データに基づいて露光ヘッド３０により露光が行われるが、上記露光処理の説明の前に、基準マーク画像８０の位置ずれ量（ｘ１,ｙ１）を算出する際に用いられる基準位置８０ｄの取得方法について説明する。
【００７７】
[基準位置取得方法について]
まず、図１４（Ａ）に示すように、移動ステージ１４のＹ方向下流側の先端に基準位置取得用スケール９０が設置される。基準位置取得用スケール９０は、基準位置取得用マーク９０ａが長尺部材の上面にその長さ方向に沿って一列に配置されて設けられたものであり、基準位置取得用マーク９０ａがＹ方向に直交する方向に並ぶように移動ステージ１４に設置される。なお、基準位置取得用スケール９０は移動ステージ１４に固定するようにしてもよいし、着脱可能に設置するようにしてもよい。
【００７８】
そして、図１４（Ａ）のように基準位置取得用スケール９０が設けられた移動ステージ１４が、Ｙ方向上流側から下流側に向けて所望の速度で移送される。そして、基準位置取得用マーク９０ａがカメラ２６の視野内に位置する位置であって、予め設定された移送距離位置まで移動ステージ１４が移送された時点において、カメラ２６により基準位置取得用マーク９０ａが撮像される。
【００７９】
そして、上記のようにして撮像された基準位置取得用マーク９０ａの基準位置取得用マーク画像を含む視野画像８１ｃ（図７参照）が検出位置情報取得部５２に出力され、検出位置情報取得部５２における基準位置設定部５２ａにおいて、上記視野画像８１ｃにおける基準位置取得用マーク画像の位置が仮基準位置として取得される。
【００８０】
なお、上記基準位置取得用マーク画像が、上記視野画像８１ｃ内に複数存在する場合には、所定の設定規則に基づいていずれか１つの基準位置取得用マーク画像を選択するようにすればよいが、たとえば、視野画像８１ｃの重心位置に最も近い基準位置取得用マーク画像の位置を仮基準位置として取得するようにすればよい。また、基準位置取得用マーク９０ａを、カメラ２６の視野内に１つしか存在しないような間隔で設けるようにしてもよい。
【００８１】
また、仮基準位置は、図６（Ａ）に示すようにガラスチャート８０が設置された場合における基準マーク列（以下「第１の基準マーク列」という。）と、図６（Ｂ）に示すようにガラスチャート８０が設置された場合における基準マーク列（以下「第２の基準マーク列」という。）とに対応してそれぞれ設定される。本実施形態においては、上記第１の基準マーク列と第２の基準マーク列とが、別個のカメラ２６で撮像されるので、各カメラ２６毎にそれぞれ仮基準位置が設定される。なお、以下第１の基準マーク列に対応して設定された仮基準位置を「第１の仮基準位置」といい、第２の基準マーク列に対応して設定された仮基準位置を「第２の仮基準位置」という。
【００８２】
ここで、基準位置取得用スケール９０における基準位置取得用マーク９０ａが、Ｙ方向に対して直交する方向、つまりＸ方向に沿って並んでいる場合には、上記のようにして取得した仮基準位置をそのまま基準位置８０ｄとすればよいが、たとえば、基準位置取得用スケール９０に基準位置取得用マーク９０ａを設ける際の設置精度または移動ステージ１４に基準位置取得用スケール９０を設置する際の設置精度などに起因して、たとえば、図１４（Ｂ）に示すように、基準位置取得用マーク９０ａが、Ｘ方向に対して角度αだけ傾いて設置される場合がある。なお、図１４（Ｂ）に示すＣ線は基準位置取得用マーク９０ａ列の中心軸である。
【００８３】
上記のように基準位置取得用マーク９０ａ列の延びる方向が、Ｘ方向に対して傾いてしまうと、移動ステージ１４上に配設された基準マークの正確な位置情報を取得できない。
【００８４】
より具体的には、上記のように基準位置取得用マーク９０ａ列の延びる方向が、Ｘ方向に対して傾くと、図１５に示すように、本来、Ｙ方向について同じ位置に存在する基準マーク８０ａの座標位置情報８０ｆ同士（たとえば、ｐ１とｐ２、ｐ３とｐ４）が、Ｙ方向についてずれた位置となり、移動ステージ１４上に配設された基準マークの正確な位置情報を取得することができない。
【００８５】
そこで、上記のような基準位置取得用マーク９０ａ列の延びる方向のＸ方向に対する角度ずれ量αを取得し、この角度ずれ量αに基づいて仮基準位置を補正し、その補正された仮基準位置を基準位置８０ｄとする。
【００８６】
角度ずれ量αの取得方法としては、まず、図１６（Ａ）に示すように基準位置補正用ガラスチャート８１を、Ｙ方向（Ｘ方向）に対して所定の角度だけ傾けて配置し、移動ステージ１４をＹ方向上流側から下流側に向けて所望の速度で移送する。そして、基準位置補正用ガラスチャート８１における所定の２点の基準位置補正用マーク８１ａをカメラ２６により撮像する。なお、撮像対象の基準位置補正用マーク８１ａは、基準位置補正用ガラスチャート８１の長さ方向についての端部近傍に位置するものであることが望ましい。
【００８７】
そして、次に、図１６（Ｂ）に示すように、図１６（Ａ）に示す位置に対してＹ方向に延びる軸Ｙ１について対称となるように基準位置補正用ガラスチャート８１が設置され、上記と同様にして、基準位置補正用ガラスチャート８１における、上記所定の２点に対応する２点の基準位置補正用マーク８１ａをカメラ２６による撮像する。なお、上記軸Ｙ１はＸ方向についての中心軸である。また、図１６（Ａ）に示す状態で撮像される２点の基準位置補正用マーク８１ａと図１６（Ｂ）に示す状態で撮像される２点の基準位置補正用マーク８１ａとは同じものである。また、撮像対象の４つの基準位置補正用マーク８１ａのＸ方向およびＹ方向についての位置は、基準位置補正用マーク位置情報として後述する基準位置ずれ量取得部５２ｂに予め設定されている。
【００８８】
上記のようにして予め設定された四角形Ｓの頂点となる基準位置補正用マーク８０ａの撮像が行われる。
【００８９】
そして、上記のようにして撮像された４点の基準位置補正用マーク８１ａを含む視野画像が検出位置情報取得部５２に出力され、検出位置情報取得部５２において、上記視野画像における、基準位置補正用マーク画像の位置と基準位置設定部５２ａに上記のようにして設定された仮基準位置との位置ずれ量が算出される。なお、このとき、上記第１の基準マーク列に沿った辺ｓ１の両端の基準位置補正用マーク８１ａについては、上記第１の仮基準位置に基づいて位置ずれ量が算出され、上記第２の基準マーク列に沿った辺ｓ２の両端の基準位置補正用マーク８１ａについては、上記第２の仮基準位置に基づいて位置ずれ量が算出される。
【００９０】
そして、上記のようにして取得された位置ずれ量は、基準位置ずれ量取得部５２ｂに出力され、基準位置ずれ量取得部５２ｂにおいては、入力された位置ずれ量と予め設定された基準位置補正用マーク位置情報とに基づいて、図１７に示すような、各基準位置補正用マーク８１ａ毎の基準位置補正用マーク検出位置情報８１ｂが取得される。
【００９１】
そして、基準位置ずれ量取得部５２ｂにおいて、下式に基づいて角度ずれ量αが取得される。
【００９２】
α ＝ Ａｒｃｔａｎ（Ｄ/ＤＸ） ≒ Ｄ/ＤＸ ＝｛（Ｌ２２−Ｌ１２）/（４×ＤＹ）｝/ＤＸ
ただし、Ｌ１：基準位置補正用マーク検出位置情報ｒ１と
基準位置補正用マーク検出位置情報ｒ４との距離
Ｌ２：基準位置補正用マーク検出位置情報ｒ２と
基準位置補正用マーク検出位置情報ｒ３との距離
ＤＹ：基準位置補正用マーク検出位置情報ｒ３のｙ座標値から基準位置補正用
マーク検出位置情報ｒ１のｙ座標値を減算した値
ＤＸ：基準位置補正用マーク検出位置情報ｒ３のｘ座標値から基準位置補正用
マーク検出位置情報ｒ４のｘ座標値を減算した値
そして、上記のようにして取得された角度ずれ量αに基づいて、検出位置情報取得部において基準位置設定部５２ａに設定された第１および第２の仮基準位置が補正されて正しい基準位置８０ｄとして設定される。
【００９３】
なお、上記実施形態においては、上記のように角度ずれ量αを取得することによって第１の仮基準位置と第２の仮基準位置のＹ方向についてのずれ量を取得し、このずれ量に基づいて第１および第２の仮基準位置を補正して正しい基準位置８０ｄを取得するようにしたが、たとえば、上記第１および第２の仮基準位置を用いて、上記と同様にして、移動ステージ１４の位置変動情報を取得し、この位置変動情報を上記角度ずれ量αに基づいて補正するようにしてもよい。また、上記角度ずれ量αに基づいて、基準マーク８０ａの検出位置情報または座標位置情報８０ｆを補正するようにしてもよい。
【００９４】
また、上記実施形態においては、基準位置補正用ガラスチャート８１を上記のように長尺部材から構成するようにしたが、これに限らず、たとえば、１枚のガラス板に４つ基準位置補正用マーク８１ａを設け、そのガラス板を移動ステージ１４上に設置するようにしてもよい。なお、上記実施形態のように長尺部材から構成するようにした方が持ち運びなどが便利である。
【００９５】
また、上記実施形態においては、１本の基準位置補正用ガラスチャート８１を移動ステー１４上で置き換えて４つの基準位置補正用マーク８１ａの撮像を行うようにしたが、これに限らず、２本の別個の基準位置補正用ガラスチャート８１を用い、それぞれを移動ステージ１４上において置き換えて４つの基準位置補正用マーク８１ａの撮像を行うようにしてもよい。この場合、２本の基準位置補正用ガラスチャート８１は、撮像対象の基準位置補正用マーク８１ａのＸ方向およびＹ方向についての位置さえわかっていれば、必ずしも同じものでなくてもよい。なお、上記実施形態のように１本の基準位置補正用ガラスチャート８１を用いるようにした方が、対角線上の２つの基準位置補正用マーク８１ａの距離のばらつきを吸収することができる。
【００９６】
また、移動ステージ１４の位置変動情報を取得する際に用いたガラスチャート８０を、基準位置補正用ガラスチャート８１とし、ガラスチャート８０の一部の基準マーク８１ａを基準位置補正用マーク８１ａとして利用するようにしてもよい。上記のようにすれば持ち運びも便利であり、コストの削減も図ることができる。
【００９７】
また、基準位置補正用ガラスチャート８１は、必ずしもガラスで形成する必要はないが、低熱膨張素材で形成することが望ましい。
【００９８】
次に、上記のようにして補正された基準位置８０ｄに基づいて取得された移動ステージ１４の位置変動情報を用いて基板１２上に露光パターンを露光する方法について説明する。
【００９９】
[露光処理について]
まず、データ作成装置４０において、基板１２に露光される露光パターンを表すベクトルデータが作成され、そのベクトルデータはラスター変換部５０に出力され、ラスター変換部５０においてラスター変換され、ビットマップ形式の露光画像データにされた後、画像データ補正部５６に出力され、一時記憶される。
【０１００】
そして、画像データ補正部５６は、一時記憶された露光画像データに対し、入力された移動ステージ１４の位置変動情報に基づいて補正処理を施し、その補正済露光画像データを露光ヘッド制御部５８に出力する。
【０１０１】
上記補正処理とは、具体的には、たとえば、Ｘ方向位置変動量ｄＸおよびＹ方向位置変動量ｄＹに対しては、そのｄＸおよびｄＹに応じた量だけ露光画像データをＸ方向およびＹ方向にシフト処理するようにすればよい。また、θ方向位置変動量ｄθに対しては、そのｄθに応じた角度だけ回転処理を施すようにすればよい。また、回転処理を行うのではなく、ｄθの成分をＸ方向およびＹ方向の成分に分解し、その成分だけさらにＸ方向およびＹ方向にシフト処理を施すようにしてもよい。なお、上記Ｘ方向位置変動量ｄＸ、Ｙ方向位置変動量ｄＹおよびθ方向位置変動量ｄθを相殺するような補正処理であれば、上記のようなシフト処理や回転処理に限らず如何なる既知の演算処理を施すようにしてもよい。
【０１０２】
そして、上記のようにして補正処理の施された補正済露光画像データは、露光ヘッド制御部５８に出力される。
【０１０３】
なお、本実施形態においては、ベクトルデータをラスター変換した後、補正処理を施すようにしたが、ベクトル形式の露光画像データに補正処理を施した後、ラスター変換するようにしてもよい。
【０１０４】
そして、移動ステージ１４の位置変動情報が取得された後、再び移動ステージ１４は上流端に移送される。そして、下流側に向けて所望の速度で移送され、基板１２の先端がカメラ２６により検出されると露光が開始される。
【０１０５】
具体的には、露光ヘッド制御部５８から各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６に上記露光画像データに基づいた制御信号が出力され、露光ヘッド３０は入力された制御信号に基づいてＤＭＤ３６のマイクロミラーをオン・オフさせて基板１２を露光する。なお、露光ヘッド制御部５８から各露光ヘッド３０へ制御信号が出力される際には、基板１２に対する各露光ヘッド３０の各位置に対応した制御信号が、移動ステージ１４の移送にともなって順次露光ヘッド制御部５８から各露光ヘッド３０に出力される。
【０１０６】
また、上記実施形態においては、移動ステージ１４の位置変動情報に基づいて露光画像データに補正を施すようにしたが、露光画像データに補正を施すのではなく、上記位置変動情報に基づいて、Ｘ方向位置変動量ｄＸ、Ｙ方向位置変動量ｄＹおよびθ方向位置変動量ｄθを相殺するように露光ヘッド３０および移動ステージを相対的に移動させるようにしてもよい。
【０１０７】
また、図１８（Ａ）,（Ｂ）に示すように、透明なガラス板８５と、このガラス板８５を支持するガラス枠８６と、ガラス枠８６の一端をＹ方向軸周りに回転可能に支持する、Ｙ方向に延設された回転軸８７と、ガラス枠８６の他端をＸ−Ｙ平面に直交する方向（Ｚ方向）に移動させる偏心カム８８と、偏心カム８８を軸支して回転させる電動モータ８９とを設け、電動モータ８９を制御して偏心カム８８を回転させることによって、ガラス枠８６をＹ方向軸周りに回転させ、露光ヘッド３０から射出される露光ビームＬｅの位置をＸ方向に移動させてＸ方向位置変動量ｄＸについての補正を行うようにしてもよい。
【０１０８】
また、上記と同様の機構を用いてガラス枠８６をＸ方向軸周りに回転させることによって、露光ビームＬｅの位置をＹ方向に移動させてＹ方向位置変動量ｄＹについての補正を行うようにしてもよい。
【０１０９】
また、上記実施形態において、ガラスチャート８０における基準マーク８０ａ、基準位置取得用マーク９０ａおよび基準位置補正用マーク８１ａを撮像する際、１つのマークについて複数回の撮像を行い、複数のマーク画像の位置について平均など統計量を取得するようにしてもよい。上記のように平均化などすることによりカメラ２６による撮像誤差をより小さくすることができる。
【０１１０】
また、上記実施形態では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた露光装置について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子を使用することもできる。
【０１１１】
また、上記実施形態では、露光ヘッド３０およびカメラ２６に対して、移動ステージ１４が移送される場合における移動ステージ１４の位置変動情報の取得方法および装置について説明したが、ステージを固定とし、そのステージに対して露光ヘッド３０およびカメラ２６を移送する場合においても、上記同様にして、露光ヘッド３０およびカメラ２６に対するステージの相対的位置変動情報を取得することができる。
【０１１２】
また、本発明におけるステージ位置変動情報取得方法および装置は、上記のような露光装置に限らず、描画対象が設置されたステージを描画ヘッドに対して相対的に移送して描画を行う描画装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】（Ａ）本発明のステージ位置変動情報取得方法および装置の一実施形態を用いた露光装置の概略構成を示す斜視図,（Ｂ）本発明のステージ位置変動情報取得方法および装置において用いられるガラスチャートの斜視図
【図２】図１の露光装置のスキャナの構成を示す斜視図
【図３】（Ａ）は基板の露光面上に形成される露光済み領域を示す平面図、（Ｂ）は各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す平面図
【図４】図１の露光装置の露光ヘッドにおけるＤＭＤを示す図
【図５】本発明の一実施形態を用いた露光装置の電気的構成を示すブロック図
【図６】本発明の一実施形態を用いた露光装置において移動ステージの位置変動情報を取得する方法を説明するための図
【図７】カメラにより撮像された視野画像を示す図
【図８】基準マークの検出位置情報に基づいて移動ステージの位置変動情報を取得する方法を説明するための図
【図９】移動ステージの位置変動情報を示す図
【図１０】移動ステージの位置変動情報取得方法のその他の実施形態を説明するための図
【図１１】移動ステージの位置変動情報取得方法のその他の実施形態を説明するための図
【図１２】移動ステージの位置変動情報取得方法のその他の実施形態を説明するための図
【図１３】移動ステージの位置変動情報取得方法のその他の実施形態を説明するための図
【図１４】基準マークの検出位置情報を取得する際に用いられる基準位置の取得方法を説明するための図
【図１５】基準位置を取得するための基準位置取得用マーク列がＸ方向に対して角度αだけ傾いて配置されている場合に取得される基準マークの座標位置情報を示す図
【図１６】基準位置取得方法を説明するための図
【図１７】基準位置取得方法を説明するための図
【図１８】移動ステージの位置変動情報に基づいて機械的に露光パターンを補正する方法の一例を説明するための図
【符号の説明】
【０１１４】
１０    露光装置
１２    基板
１４    移動ステージ
１８    設置台
２０    ガイド
２２    ゲート
２４    スキャナ
２６    カメラ
３０    露光ヘッド
３２    露光エリア
３６    ＤＭＤ
５２    検出位置情報取得部
５２ａ  基準位置設定部
５２ｂ  基準位置ずれ量取得部
５４    ステージ位置変動情報取得部
８０    ガラスチャート
８０ａ  基準マーク８０ａ
８０ｂ  基準マーク画像
８０ｃ  視野画像
８０ｄ  基準位置
８０ｅ  基準マーク位置情報
８０ｆ  基準マークの座標位置情報
８１    基準位置補正用ガラスチャート
８１ａ  基準位置補正用マーク
８１ｂ  基準位置補正用マーク検出位置情報
８５    ガラス板
８６    ガラス枠
８７    回転軸
８８    偏心カム
８９    電動モータ
９０    基準位置取得用スケール
９０ａ  基準位置取得用マーク
【図１】
2007034168.tif 000003
【図２】
2007034168.tif 000004
【図３】
2007034168.tif 000005
【図４】
2007034168.tif 000006
【図５】
2007034168.tif 000007
【図６】
2007034168.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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