(57)【要約】【課題】波長分解能とともに空間分解能の高い分光器を提供すること。【解決手段】入射スリット１１２と、入射スリット１１２を通った光を平行光とするコリメータ鏡１１４と、コリメータ鏡１１４からの平行光を受けて、波長に応じて異なる角度へ光を出力する回折格子１１８と、回折格子１１８からの出力光を平行光とする第一凹面鏡１２０と、第一凹面鏡１２０からの平行光を集光する第二凹面鏡１２２と、第二凹面鏡１２２で集光された光が結像される受光面１２４ａを有する受光手段１２４とを備え、受光手段１２４の受光面１２４ａ上に入射スリット１１２の分散光像を結像させることでスペクトル測定を行うことを特徴とする分光器１１０。【選択図】図２
2007121087.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射スリットと、
前記入射スリットを通った光を平行光とするコリメータ鏡と、
前記コリメータ鏡からの平行光を受けて、波長に応じて異なる角度へ光を出力する回折格子と、
前記回折格子からの出力光を受ける第一凹面鏡と、
前記第一凹面鏡からの光を集光する第二凹面鏡と、
前記第二凹面鏡で集光された光が結像される受光面を有する受光手段と、を備え、前記受光手段の受光面上に前記入射スリットの分散光像を結像させることでスペクトル測定を行うことを特徴とする分光器。
【請求項２】
請求項１記載の分光器において、
前記コリメータ鏡をトロイダル鏡にて構成したことを特徴とする分光器。
【請求項３】
請求項１記載の分光器において、
前記第一凹面鏡、および第二凹面鏡を球面鏡にて構成したことを特徴とする分光器。
【請求項４】
分光器に取り付けられ、測定に使用する回折格子の切換えを行う回折格子切換え装置であって、
回折格子を保持する回折格子ホルダを、複数個載置するターンテーブルと、
前記ターンテーブルの略中央を中心軸として、該ターンテーブルを水平方向に回転駆動し、使用する回折格子の切換えを行う駆動手段と、
前記ターンテーブル上に設けられ、各回折格子ホルダをその素子面が前記中心軸を中心とした円の半径方向外側を向いた状態で、前記ターンテーブル上での前記回折格子ホルダの載置位置を固定する位置固定手段と、
を備え、
前記ターンテーブルに、あらかじめ調整した前記複数の回折格子ホルダを個別に着脱可能であることを特徴とする回折格子切換え装置。
【請求項５】
請求項４に記載の回折格子切換え装置において、
前記各回折格子ホルダの下部は略直方体形状であり、
前記位置固定手段は、前記各回折格子ホルダ下部側面の前記半径方向に略直角な面の両側を挟み込むように設置された一対の位置固定用押し当て部材として構成され、該一対の位置固定用押し当て部材の一方を前記回折格子ホルダ下部側面の半径方向外側に向いた面、他方を内側に向いた面に押し当てることで、前記各回折格子ホルダのターンテーブル上での位置を固定したことを特徴とする回折格子切換え装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載の回折格子切換え装置において、
前記ターンテーブル上に設けられ、前記各回折格子ホルダに保持された回折格子の波長方向の角度を微調整するための姿勢調整手段を、さらに備えたことを特徴とする回折格子切換え装置。
【請求項７】
請求項６に記載の回折格子切換え装置において、
前記姿勢調整手段は、前記各回折格子ホルダの下部側面の前記半径方向に略直角な面以外の二面を両側から挟み込むように設置された一対の姿勢調整用押し当て部材として構成され、該一対の姿勢調整用押し当て部材は、一方の押し当て部材の前記各回折格子ホルダ下部側面への当接点の前記中心軸からの距離と、他方の押し当て部材の記各回折格子ホルダ下部側面への当接点の前記中心軸からの距離とが互いに異なるように配置され、前記姿勢調整用押し当て部材の押し当て量を変えることで回折格子ホルダに保持された回折格子の波長方向の角度が調整可能であることを特徴とする回折格子切換え装置。
【請求項８】
請求項４から７のいずれかに記載の回折格子切換え装置において、
前記駆動手段はステッピングモータで構成され、
前記ステッピングモータは、前記ターンテーブルの下面の略中央部に設けられた回転軸と直結されていることを特徴とする回折格子切換え装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はポリクロメータ方式の分光器、特にその空間分解能の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１に従来のポリクロメータ型の分光器の概略構成図を示す。図１の分光器１０は、入射スリット１２と、入射スリット１２を通過した光を平行光とするコリメータ鏡（球面鏡１４）と、その平行光を受けて波長に応じた角度へ光を出力する回折格子１８と、回折格子１８からの出力光を集光するカメラ鏡２０と、カメラ鏡２０で集光された光を受光する二次元受光面２２ａを有する二次元検出器２２と、を備える。
入射スリット１２を通過した光は、球面鏡１４により平行光とされ、該平行光は平面鏡１６により反射されて回折格子１８に向う。回折格子１８へ入射した平行光は、波長に応じた角度で出射し、この出射光はカメラ鏡２０により二次元検出器２２の受光面２２ａに集光される。受光面２２ａに結像した波長分散された入射スリット像を二次元検出器２２にて検出することで入射スリット１２へ入射した光のスペクトル測定を行う。つまり、受光面２２ａ上で入射スリット像のスリット幅方向（スリット長さ方向と直角方向）における位置が、光の波長に応じて変わるため、入射スリット像の結像位置を測定することにより入射光のスペクトルを測定することができる。
【０００３】
しかしながら、カメラ鏡２０として球面鏡を用いた場合、非点収差（スリット長さ方向の焦点（縦焦点）の位置と横方向スリット幅方向の焦点（横焦点）の位置との差）のため、受光面の中央部での結像性と周辺部での結像性とが異なるという問題点があった。つまり、受光面の中央部へ結像するスリット像に比較して、受光面の周辺部へ結像するスリット像（中央部へ結像する光の波長よりも長波長側および短波長側にはずれた波長の光の像）がスリット長さ方向へ広がり、受光面の周辺部では低い空間分解能（スリット長さ方向の分解能）しか得られなかった。この問題点を改良するため、特許文献１ではカメラ鏡２０としてトロイダル鏡を使用し、非点収差の補正を行っている。
【特許文献１】特開２００３−４２８４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の構成でも受光面周辺部でのスリット像の広がりを抑えるのに十分でなく、満足のいく空間分解能を有しているとは言えなかった。
また、広い波長域でスペクトル測定を行いたい場合、使用する回折格子を切換えて測定を行う必要がある。このため、複数の回折格子を備えた回折格子切換え装置を分光器に取り付け、測定ごとに使用する回折格子を切換えることが行われている。しかし、従来の回折格子切換え装置では、回折格子を取り換えたときに、回折格子の位置や姿勢（素子面の波長方向の角度等）などがずれてしまい、脱着再現性に乏しく、脱着時の回折格子の調整が煩雑になるという問題点があった。
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、本発明の第１の目的は、波長分解能とともに空間分解能の高い分光器を提供することにある。また、本発明の第２の目的は、測定に使用する回折格子の取り換えを容易に行うことのできる回折格子切換装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明にかかる分光器は、入射スリットと、前記入射スリットを通った光を平行光とするコリメータ鏡と、前記コリメータ鏡からの平行光を受けて、波長に応じて異なる角度へ光を出力する回折格子と、前記回折格子からの出力光を受ける第一凹面鏡と、前記第一凹面鏡からの光を集光する第二凹面鏡と、前記第二凹面鏡で集光された光が結像される受光面を有する受光手段と、を備え、前記受光手段の受光面上に前記入射スリットの分散光像を結像させることでスペクトル測定を行うことを特徴とする。
上記の分光器において、前記コリメータ鏡をトロイダル鏡にて構成することが好適である。
上記の分光器において、前記第一凹面鏡、および第二凹面鏡を球面鏡にて構成したことが好適である。
【０００６】
本発明にかかる回折格子切換え装置は、分光器に取り付けられ、測定に使用する回折格子の切換えを行う回折格子切換え装置であって、回折格子を保持する回折格子ホルダを、複数個載置するターンテーブルと、前記ターンテーブルの略中央を中心軸として、該ターンテーブルを水平方向に回転駆動し、使用する回折格子の切換えを行う駆動手段と、前記ターンテーブル上に設けられ、各回折格子ホルダをその素子面が前記中心軸を中心とした円の半径方向外側を向いた状態で、前記ターンテーブル上での前記回折格子ホルダの載置位置を固定する位置固定手段と、を備え、前記ターンテーブルに、あらかじめ調整した前記複数の回折格子ホルダを個別に着脱可能であることを特徴とする。
【０００７】
上記の回折格子切換え装置において、前記各回折格子ホルダの下部は略直方体形状であり、前記位置固定手段は、前記各回折格子ホルダ下部側面の前記半径方向に略直角な面の両側を挟み込むように設置された一対の位置固定用押し当て部材として構成されることが好適である。該一対の位置固定用押し当て部材の一方を前記回折格子ホルダ下部側面の半径方向外側に向いた面、他方を内側に向いた面に押し当てることで、前記各回折格子ホルダのターンテーブル上での位置を固定する。
【０００８】
上記の回折格子切換え装置において、前記ターンテーブル上に設けられ、前記各回折格子ホルダに保持された回折格子の波長方向の角度を微調整するための姿勢調整手段を、さらに備えることが好適である。
上記の回折格子切換え装置において、前記姿勢調整手段は、前記各回折格子ホルダの下部側面の前記半径方向に略直角な面以外の二面を両側から挟み込むように設置された一対の姿勢調整用押し当て部材として構成されることが好適である。該一対の姿勢調整用押し当て部材は、一方の押し当て部材の前記各回折格子ホルダ下部側面への当接点の前記中心軸からの距離と、他方の押し当て部材の記各回折格子ホルダ下部側面への当接点の前記中心軸からの距離とが互いに異なるように配置され、前記姿勢調整用押し当て部材の押し当て量を変えることで回折格子ホルダに保持された回折格子の波長方向の角度が調整可能である。
【０００９】
上記の回折格子切換え装置において、前記駆動手段はステッピングモータで構成され、前記ステッピングモータは、前記ターンテーブルの下面の略中央部に設けられた回転軸と直結されていることが好適である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる分光器によれば、回折格子の後段に第一球面鏡と第二球面鏡とを設置し、第一球面鏡により回折格子からの出力光を擬似平行光としたのち、第二球面鏡にて集光して受光面にスリット像を結像させる構成としているため、中心波長から外れた波長でのスリット分散像の広がりを抑えることができ、波長分解能、空間分解能に優れたポリクロメータ方式の分光器とすることができる。
【００１１】
また、本発明にかかる回折格子切換え装置によれば、回折格子ホルダを載置するターンテーブル上に各回折格子ホルダを固定する位置固定手段を設けたため、回折格子を装置から取り外した状態でホルダに取り付けた回折格子の調整を行うことができ、回折格子の取り換え、調整が容易となる。さらにターンテーブル上に載置した各回折格子ホルダの姿勢調整手段を設けることで、回折格子の脱着再現性がさらに向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に図面を参照して本発明にかかる好適な実施形態について説明する。
図２に本発明の実施形態にかかる分光器の概略構成を示す。図２の分光器１１０は、入射スリット１１２、入射スリット１１２を通った光を平行光とするコリメータ鏡１１４と、平行光を受けて、波長に応じて異なる角度へ光を出力する平面回折格子１１８と、平面回折格子１１８からの出力光を擬似平行光とする第一凹面鏡１２０と、第一凹面鏡１２０からの擬似平行光を集光する第二凹面鏡１２２と、第二凹面鏡１２２で集光された光を検出する二次元受光面１２４ａを有する受光手段１２４と、を備える。なお、受光手段１２４としてはＣＣＤ検出器等を用いればよい。また、本実施形態では、第一凹面鏡１２０、第二凹面鏡１２２として球面鏡を用いているが、これに限定されず、第一凹面鏡１２０、第二凹面鏡１２２を非球面鏡（例えば、トロイダル鏡）によって構成してもよい。
【００１３】
入射スリット１１２から入射した光は、コリメータ鏡１１４により平行光とされ、平面鏡１１６にて折り返されたのち、平面回折格子１１８へと向う。平面回折格子１１８では波長に応じて異なる角度へ光を出力する。平面回折格子１１８からの出力光は第一凹面鏡１２０により擬似平行光とされ、第一凹面鏡からの擬似平行光は第二凹面鏡１２２により集光されて、受光手段１２４の受光面１２４ａ上に結像される。
【００１４】
平面回折格子１１８から出力される光は、個々の単色光自体は平行光となっているが、波長の違いにより平面回折格子１１８から出力される光の角度が異なるため、測定する波長域全体の光をみると平行光とはならない。つまり、図３に示すように、中心波長（受光面の中央部に結像させる波長の光）より長波長また短波長の光は中心波長の光に対して±αの角度分異なる方向へ出力される。そこで、本実施形態の分光器においては平面回折格子１１８からの出力光を一つの発散光と考えて第一凹面鏡１２０で一度擬似平行光に変換した後、この擬似平行光を第二凹面鏡１２２により集光し、受光面に結像されるような構成とした。この結果、非点収差が改善され、中心波長からはずれた波長の光の像の広がりを抑えることができた。
なお、コマ収差の影響を少なくするため、第一凹面鏡１２０、第二凹面鏡１２２の軸はずし角β、γ（図２参照）はできるだけ小さい方が望ましい。
【００１５】
また、受光手段１２４は、その受光面１２４ａの法線が第二凹面鏡１２２の中心と受光面１２４ａの中心とを結ぶ直線に対して、０でない角度δを持つように設置される。ここで、上記の角度はスリット長さ方向（図２中、紙面に垂直な方向）を回転軸としたときの角度（波長方向の角度）である。つまり、波長の違い（回折格子からの出光する角度の違い）に応じて結像位置が異なるため、それを考慮して受光面１２４ａに傾きδを与えている。
【００１６】
さらに、本実施形態の分光器では入射スリット１１２からの光を平行光とするためのコリメータ鏡１１４として、トロイダル鏡を用いている。コリメータ鏡としてトロイダル鏡を使用することによって、非点収差を補正し最適な平行光束を入射させることができる。
【００１７】
以上のように、本発明の実施形態にかかる分光器では回折格子１１８の後段に、二つの凹面鏡（第一凹面鏡１２０、第二凹面鏡１２２）を設置し、回折格子１１８からの出力光を受光面１２４ａに結像させているため、受光面の周辺部での入射スリット像の結像性を向上させることができ、波長分解能、空間分解能ともに良好な性能を達成することができた。
【００１８】
さらに、コリメータ鏡、第一、第二凹面鏡としてトロイダル鏡を用いることで、さらに良好な性能を達成することができる。また、上記の第一凹面鏡１２０、第二凹面鏡として安価な球面鏡を用いた場合、コストを低く抑えつつ、十分な性能を有する分光器を提供することができる。
【００１９】
分光器の性能試験
図１に示した従来の分光器と、図２に示した本発明の実施形態にかかる分光器との性能を比較する試験を行った。入射スリット（スリット幅：250μｍ）に光ファイバ（クラッド径：250μｍ、コア径：200μｍ）を１０本隣接して並べ、これらの光ファイバを通して光源からの光を分光器に導光して、分散光像の測定を行った（ただし、光ファイバのうちの一本には光を通していない）。
図４、図５に従来の分光器で結像、図６、図７に本発明の実施形態にかかる分光器での結像を示す。図４、図６は離散スペクトルを有する光源として、低圧水銀ランプを用いたもの、図５、図７は連続スペクトルを有する光源として、ハロゲンランプを用いたものである。
【００２０】
図４、５から分かるように、従来の分光器では中心波長からはずれた部分では空間分解能が低下し、個々の光ファイバからの像が広がり、互いに重なりあってしまっていた。一方、本発明の実施形態にかかる分光器では、図６、図７から分かるように、中心波長から外れた部分でも個々の光ファイバからの像が広がることなく、個々の光ファイバからの像が明瞭に観察できた。
【００２１】
また、図８に従来の分光器にて測定したスペクトル（図４に対応、ただし、入射スリット幅：１０μｍ）、図９に本発明の実施形態にかかる分光器によりスペクトル（図６に対応、ただし、スリット幅１０μｍ）を示す。図８と図9から、本発明の実施形態にかかる分光器は、十分な波長分解能も有していることが分かる。これらの結果から、本発明の実施形態にかかる分光器では、波長分解能を犠牲にすることなく、従来のものと比べて優れた空間分解能を有することが確認された。
【００２２】
回折格子切換え装置
次に図１０〜１３を参照して本発明の実施形態の回折格子切換え装置について説明する。図１０は、回折格子切換え装置を分光器１１０に取り付けたときの概略構成図、図１１は回折格子切り替え装置の斜視図、図１２は上面図、図１３は装置の一部の側面図である。
図１０に示したように、回折格子切換え装置３０は、分光器１１０に取り付けられ、測定に使用する回折格子（３８ａ〜３８ｃ）を切換えるためのものである。測定に使用する回折格子を切換えることで、広い波長領域に渡ったスペクトル測定等が可能となる。ここでは分光器として図２に示した分光器を例として示しているが、本発明の実施形態にかかる回折格子切換え装置が適用可能な分光器はこれに限定されない。
【００２３】
本実施形態にかかる回折格子切換え装置３０は、複数の回折格子ホルダ３２ａ〜３２ｃが載置されて固定されるターンテーブル３４と、ターンテーブル３４の略中央を中心軸としてターンテーブル３４を水平方向に回転駆動する駆動手段３６と、を備えている。各回折格子３８ａ〜３８ｃはそれぞれ、素子面を鉛直にした状態で各回折格子ホルダ３２ａ〜３２ｃに保持されている。
【００２４】
本実施形態では、円形のターンテーブル３４上に、３つの回折格子ホルダ３２ａ〜３２ｂを、回折格子３８ａ〜３８ｃの素子面が、回転の中心軸を中心とした円の半径方向外側を向くように設置している。
駆動手段３６はステッピングモータで構成され、ステッピングモータはターンテーブル３４下面の中央に設けられた回転軸（図１３の符号４０）に直結されている。駆動手段３６によりターンテーブル３４を回転させることで、測定に使用する回折格子の素子面が測定光を受光できる方向に向くように、回折格子の位置を変更する。
【００２５】
本実施形態ではターンテーブル３４とステッピングモータ（駆動手段３６）とを直結してターンテーブル３４を駆動するため、構造が簡単で、かつ十分な精度を達成することができる。また、構造が簡単であるため回折格子ホルダの設置スペースを広くとることができる。さらに、各回折格子ホルダをターンテーブル３４に載置した状態で固定するため、各回折格子ホルダを容易に着脱することができる。このため、各回折格子ホルダを切換え装置３０からはずした状態で、回折格子ホルダに対する回折格子の位置や姿勢（素子面の波長方向の角度等の調整を行うことができ、作業が容易となる。
【００２６】
駆動手段３６として用いるステッピングモータは、基本ステップ角が所定の値に設定されている。しかし、回折格子の光軸に対する角度の設定は高い精度が必要とされるため、基本ステップ角以下での回折格子の角度設定ができなければならない。また、回折格子ホルダに対する回折格子の姿勢は、ホルダを切換え装置に取り付ける前に一度調整されているため、装置へのホルダの取り付け自体に高い精度が要求される。そこで、本発明の実施形態にかかる回折格子切換え装置では、次に説明するようなターンテーブル上への回折格子ホルダの取り付け機構を採用した。
【００２７】
図１２、１３に示したように、回折格子ホルダ３２の下部は略直方体の台座部分４２となっており、台座部分４２の底部をターンテーブル３４面上に密着させて保持される。ターンテーブル３４上には、回折格子ホルダ３２の載置位置を固定する位置固定手段と、回折格子ホルダ３２の保持された回折格子３８の素子面の波長方向の角度を微調整するための姿勢調整手段と、が設けられている。
各回折格子ホルダの載置位置を固定する位置固定手段は、一対の位置固定用押し当て部材（位置決めストッパー４４、固定用ツマミネジ４６）として構成されている。位置決めストッパー４４ターンテーブルの略中央に設けられ、固定用ツマミネジ４６ターンテーブル３４の周上に設けられている。固定用ツマミネジ４６は、ターンテーブル３４に載置する回折格子ホルダの個数分（本実施形態では３個）だけ設けられている。位置決めストッパー４４と固定用ツマミネジ４６とは、回折格子ホルダ３２の台座部分４２側面の半径方向に略直角な面の両側を挟み込むように設けられており、固定用ツマミネジの先端を台座部分４２側面の半径方向外側に向いた面、位置決めストッパー４４を台座部分４２の内側に向いた面に押し当てることで、回折格子ホルダ３２のターンテーブル３４上での位置を固定している。
【００２８】
図１３に示すように、位置決めストッパー４４は略円柱形状であり、その側面はターンテーブル３４面に対し斜めに加工されており、位置決めストッパー４４の側面とターンテーブル３４面とにより溝部５２が形成されている。回折格子ホルダ３２の台座部分４２背面（回折格子３８の素子面が向いた側と反対側）の下部には上記の溝部５２と対応する凸部５４が形成されている。凸部５４は、台座部分４２の背面の斜めに加工された部分と、台座部分４２の底面とて形成されている。回折格子ホルダ３２は、この凸部５４を位置決めストッパー４４の溝部５２に嵌め合わせた形で、固定用ツマミネジ４６によって位置決めストッパー４４に押し付けられて固定される。このような構成することで、回折格子ホルダ３２の台座部分４２をテーブル面に密着させることができ、回折格子３８の高さ方向の位置決めを精度よく行うことができる。また、固定ツマミネジ４６の先端部分（台座部分４２に接触する部分）はトガリとなっており、固定した後に位置ズレしにくい。
【００２９】
また、回折格子ホルダの波長方向の角度を微調整する姿勢調整手段は、各回折格子ホルダの載置位置に設けられた一対の姿勢調整用押し当て部材（位置決めピン４８と、位置決めネジ５０）として構成されている。つまり、ターンテーブル４２の各回折格子ホルダの取り付け部分に、回折格子ホルダの姿勢調整用押し当て部材として、略円柱状の位置決めピン４８と、位置決めネジ５０とが設けられている。位置決めピン４８、位置決めネジ５０は台座部分４２の左右側面（半径方向に略直角な面以外の二面）を挟みこむように設置されており、台座部分４２の左右側面にそれぞれ当接させて、回折格子ホルダ３２に保持された回折格子３８の波長方向の角度を調整する。
位置決めピン４８はテーブル面上に固定され、位置決めネジ５０を調整することにより、半径方向に対する回折格子３８の素子面の向き（回転軸を鉛直方向（紙面に垂直な方向）とした角度位置）の微調整を行う。つまり、図１４に示すように、位置決めピン４８の台座部分４２側面への当接位置は位置決めネジ５０が台座部分４２のもう一方の側面へ当接する位置よりも半径方向外側（ターンテーブルの中心から測った距離が大きい）にあり、位置決めネジ５０の台座部分４２側面への押し当て量を変えることで回折格子の向きが調整可能である。このため、本実施形態の回折格子切換え装置によれば、各回折格子ホルダを取り換えたときも容易に調整ができ、良好な取り付け再現性が得られる。
【００３０】
また、位置決めピン４８は、回折格子の素子面とターンテーブル３４面との交線上に設置することが好適である。このようにすることで、位置決めネジ５０による回折格子の向きの微調整の際に、回折格子の回転の中心軸が回折格子の素子面中心付近を通るようにすることができ、精度よく調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】従来の分光器の概略光路図
【図２】本発明の実施形態にかかる分光器の概略光路図
【図３】図２の本実施形態にかかる分光器の説明図
【図４】従来の分光器における受光面への分散像（離散スペクトル）
【図５】従来の分光器における受光面への分散像（連続スペクトル）
【図６】本発明の実施形態にかかる分光器における受光面への分散像（離散スペクトル）
【図７】本発明の実施形態にかかる分光器における受光面への分散像（連続スペクトル）
【図８】従来の分光器で取得したスペクトルのグラフ
【図９】本発明の実施形態にかかる分光器で取得したスペクトルのグラフ
【図１０】本発明の実施形態にかかる回折格子切換え装置を分光器に取り付けたときの説明図
【図１１】本発明の実施形態にかかる回折格子切換え装置の斜視図
【図１２】本発明の実施形態にかかる回折格子切換え装置の上面図
【図１３】本発明の実施形態にかかる回折格子切換え装置の一部の側面図
【図１４】回折格子の姿勢調整の説明図
【符号の説明】
【００３２】
１１０        分光器
１１２        入射スリット
１１４        コリメータ鏡
１１６        平面鏡
１１８        平面回折格子
１２０        第一凹面鏡
１２２        第二凹面鏡
１２４        受光手段
１２４ａ      受光面
【図１】
2007121087.tif 000003
【図２】
2007121087.tif 000004
【図３】
2007121087.tif 000005
【図８】
2007121087.tif 000006
【図９】
2007121087.tif 000007
【図１０】
2007121087.tif 000008
【図１１】
2007121087.tif 000009
【図１２】
2007121087.tif 000010
【図１３】
2007121087.tif 000011
【図１４】
2007121087.tif 000012
【図４】
2007121087.tif 000013
【図５】
2007121087.tif 000014
【図６】
2007121087.tif 000015
【図７】
2007121087.tif 000016