(57)【要約】【課題】検査等の処理対象となるガラス基板の大型化に対して、簡単な透明な構造材の組み合わせで透過型支持テーブルの製造を可能とし、その結果、低コスト化、製造納期の短縮化を図ることが可能であると共に、破損時のメンテナンス性を向上させることが可能な液晶用ガラス基板の支持装置を提供する。【解決手段】下部フレーム１と、下部フレーム１に支持されると共に透光性を有する支持テーブル２とを備える。下部フレーム１においては、上方に開口すると共に内部に補助光源４が配置された概略箱形の照明ボックス３の複数個が所定の間隔で略並行に配置されている。支持テーブル２は、複数枚に分割構成されると共に上記照明ボックス３上に支持されて成り、上記照明ボックス３の下方に移動式光源５を配置している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部フレーム（１）と、下部フレーム（１）に支持されると共に透光性を有する支持テーブル（２）とを備え、上記下部フレーム（１）においては、上方に開口すると共に内部に補助光源（４）が配置された概略箱形の照明ボックス（３）の複数個が所定の間隔で略並行に配置され、上記支持テーブル（２）は、複数枚に分割構成されると共に上記照明ボックス（３）上に支持されて成り、上記照明ボックス（３）の下方に移動式光源（５）を配置したことを特徴とする液晶用ガラス基板の支持装置。
【請求項２】
上記支持テーブル（２）は、上記照明ボックス（３）の開口部を覆うように配置された第１支持テーブル（１０）から成り、この第１支持テーブル（１０）に液晶用ガラス基板を吸着するための吸着孔（１３）が形成されていることを特徴とする請求項１の液晶用ガラス基板の支持装置。
【請求項３】
上記補助光源（４）を、第1支持テーブル（１０）の吸着孔（１３）の直下にしたことを特徴とする請求項２の液晶用ガラス基板の支持装置。
【請求項４】
上記支持テーブル（２）は、さらに、上記照明ボックス（３）（３）間に架設された第２支持テーブル（２０）を有し、この第２支持テーブル（２０）に液晶用ガラス基板を移動させるための昇降ピン挿通孔（２１）が形成されていることを特徴とする請求項２又は請求項３のいずれかの液晶用ガラス基板の支持装置。
【請求項５】
上記移動式光源（５）と補助光源（４）とを線状のＬＥＤ光源としていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかの液晶用ガラス基板の支持装置。
【請求項６】
上記ＬＥＤ光源の光強度制御、及び点滅制御をブロック別に制御可能としたことを特徴とする請求項５の液晶用ガラス基板の支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば液晶用ガラス基板に対し、光を透過させた状態で、検査、計測、修正、その他の処理を行う際に用いる液晶用ガラス基板の支持装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶用の大形透明ガラス基板の透過観察、検査、計測を、基板の全面に近い領域に対して実施するためには、大きな基板を支えると共に、最大の透過領域を得る必要がある。そのために、ガラス基板の下方からの照射光の透過を許容すると共に、ガラス基板を平坦に保持可能な剛性を有するものとしてガラス製の支持テーブルを備えた支持装置が用いられてきた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、近年、ガラス基板の大形化が顕著になっている。例えば、基板サイズ１５００×１８５０（ｍｍ）程度のガラスサイズで、２００ミクロン程度の平坦なガラス製の支持テーブルを製造するためには、２０ｍｍ以上の厚さを有するガラス板が必要となる。また、ガラス製の支持テーブルには、対象ガラス基板を固定するための吸着孔の加工が必要であるが、ガラス板に対する孔加工は、厚さの増加と共に難易度が高くなり、コストが高くなる。低コスト化、軽量化のため、アクリル板と組み合わせて使用したり、ガラスを分割したり、移動するサポートバーを使用したりすることによって対処しようとしているが、この場合には、構造的に複雑となり、また製造納期、製造原価の面で不利であった。
【０００４】
この発明は、上記した従来の欠点を解決するためになされたのもであって、その目的は、検査等の処理対象となるガラス基板の大型化に対して、簡単な透明な構造材の組み合わせで透過型支持テーブルの製造を可能とし、その結果、低コスト化、製造納期の短縮化を図ることが可能であると共に、破損時のメンテナンス性を向上させることが可能な液晶用ガラス基板の支持装置を提供することにある。また、照明用の光源としてＬＥＤを使用し、必要な部分だけの照明を行うことにより、光源の長寿命化と省電力を実現することが可能な液晶用ガラス基板の支持装置を提供することもこの発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、この発明の液晶用ガラス基板の支持装置は、下部フレーム１と、下部フレーム１に支持されると共に透光性を有する支持テーブル２とを備え、上記下部フレーム１においては、上方に開口すると共に内部に補助光源４が配置された概略箱形の照明ボックス３の複数個が所定の間隔で略並行に配置され、上記支持テーブル２は、複数枚に分割構成されると共に上記照明ボックス３上に支持されて成り、上記照明ボックス３の下方に移動式光源５を配置したことを特徴としている。
【０００６】
そして、上記支持テーブル２は、上記照明ボックス３の開口部を覆うように配置された第１支持テーブル１０から成り、この第１支持テーブル１０に液晶用ガラス基板を吸着するための吸着孔１３が形成されている。補助光源４は、第1支持テーブル１０の吸着孔１３の直下に配置する。
【０００７】
上記支持テーブル２は、さらに上記照明ボックス３、３間に架設された第２支持テーブル２０を有し、上記第２支持テーブル２０に液晶用ガラス基板を移動させるための昇降ピン挿通孔２１が形成されている。
【０００８】
さらに、上記移動式光源５と補助光源４とを線状のＬＥＤ光源としている。また、これらＬＥＤ光源の光強度制御、及び点滅制御をブロック別に制御可能とする。
【発明の効果】
【０００９】
この発明の液晶用ガラス基板の支持装置においては、支持テーブル２の上に、検査等の処理対象物である液晶用ガラス基板を載置し、移動式光源５及び補助光源４を点灯し、移動式光源５を移動させることで、液晶用ガラス基板の透過観察、検査、計測等を、基板の全面に近い領域に対して実施することができる。この際、照明ボックス３によって、移動式光源５からの照射光が遮られることになるが、照明ボックス３に補助光源４を設けているので、移動式光源５からの照射光が遮られた部分については、補助光源４からの照射光が透過可能となり、液晶用ガラス基板の全面に近い領域に対しての検査等の実施が可能となる。
【００１０】
また、支持テーブル２を分割構成しているので、液晶用ガラス基板が大形化しても、支持テーブル２をそれに応じて大形化する必要はない。従って、装置の低コスト化、製造納期の短縮化を図ることが可能であると共に、破損時のメンテナンス性を向上させることが可能な液晶用ガラス基板の支持装置を提供することができる。
【００１１】
上記支持テーブル２を、照明ボックス３の開口部を覆うように配置された第１支持テーブル１０とし、この第１支持テーブル１０に液晶用ガラス基板を吸着するための吸着孔１３を形成しているので、装置を簡素化できると共に、液晶用ガラス基板を確実に吸着でき、各種処理作業を確実に、かつ高精度に実施することが可能となる。このとき、補助光源４は、第1支持テーブル１０の吸着孔１３の直下に配置すれば、吸着孔１３の影の影響を軽減でき、精度の良い検査等の実施が可能となる。
【００１２】
上記支持テーブル２が、さらに上記照明ボックス３、３間に架設された第２支持テーブル２０を有し、上記第２支持テーブル２０に液晶用ガラス基板を移動させるための昇降ピン挿通孔２１が形成されている場合には、修正作業のように上部から加圧を行う必要のある作業に供する場合において、支持テーブル２の剛性を向上することができるので、高精度の作業を行うことができる。また、液晶用ガラス基板の昇降作業を行え、その利便性が向上する。
【００１３】
さらに、上記移動式光源５と補助光源４とを線状のＬＥＤ光源としたり、また、これらＬＥＤ光源の光強度制御、及び点滅制御をブロック別に制御可能としたりすれば、必要な部分だけの照明を行うことが可能となり、消費電力の低減、各光源４、５の長寿命化、光源装置の容量低下を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、この発明の液晶用ガラス基板の支持装置について、その具体的な実施の形態を図面を参照しつつ詳細に説明する。この発明の一実施形態に係る液晶用ガラス基板の支持装置は、検査等の処理対象物である液晶用ガラス基板の透過観察、検査、計測、修正等を、基板の全面に近い領域に対して実施するためのものである。図１及び図２に示すように、この装置は、基部Ｂ、Ｂ間に架設状態で据え付けられる下部フレーム１と、下部フレーム１に支持されると共に透光性を有する支持テーブル２とを備えている。上記支持テーブル２の略全体は、透明なガラス製である。下部フレーム１は、その上部に、複数個の照明ボックス３を備えている。各照明ボックス３は、アルミニウム材を引き抜き加工することによって安価に得られるもので、上方に開口した概略箱形のものである。そして、複数個の照明ボックス３が所定の間隔で略並行に配置され、この照明ボックス３の上部に上記支持テーブル２が載置、支持されている。そして、上記支持テーブル２は、上記照明ボックス３の開口部を覆うように配置された第１支持テーブル１０と、上記照明ボックス３間に架設された第２支持テーブル２０とに分割構成されている。また、上記照明ボックス３内には、線状のＬＥＤ光源より成る補助光源４が配置されている。
【００１５】
上記第1支持テーブル１０は、液晶用ガラス基板を吸着するための吸着機構を有するものであって、3組のガラス板を上下方向に積層することによって構成されている。下層は、平板状のガラス板１１から成り、中間層は、一対のガラス板１２、１２を所定の間隔を置いて配置して成り、上層は、複数の吸着孔１３が所定の間隔を置いて穿設されたガラス板１４から成る。そして、中間層のガラス板１２、１２の間が、上記吸着孔１３と連通する吸着溝１５として機能する。すなわち、上記吸着溝１５を、その両側から、あるいは片側から真空ポンプ等の真空手段によって吸引することによって、吸着孔１３に吸着力を付与することが可能となる。また、上記吸着孔１３の直下（真下）の位置に、上記照明ボックス３内の線状ＬＥＤ光源より成る補助光源４を配置する。
【００１６】
上記第1支持テーブル１０は、照明ボックス３上に配置されるが、その際、第1支持テーブル１０の幅を、照明ボックス３の全幅よりもやや狭幅にしておき、照明ボックス３の両側に、第２支持テーブル２０を載置する部分が残るか、あるいは載置可能なように照明ボックス３又は下部フレーム１に最小限の幅で載置部を付加するようにしておく。そして、この部分を利用して、相隣接する照明ボックス３、３間に、第２支持テーブル２０を架設する。この第２支持テーブル２０は、ガラス製のものであって、液晶用ガラス基板を移動させるための昇降ピン挿通孔２１が複数個、所定の間隔で穿設されている。そして、上記照明ボックス３を保持する下部フレーム１の下方に移動式光源５を配置する。この移動式光源５も線状のＬＥＤ光源としている。
【００１７】
上記液晶用ガラス基板の支持装置においては、支持テーブル２の上に、検査等の処理対象物である液晶用ガラス基板を載置し、移動式光源５及び補助光源４を点灯し、移動式光源５を移動させることで、液晶用ガラス基板の透過観察、検査、計測等を、基板の全面に近い領域に対して実施することができる。この際、照明ボックス３によって、移動式光源５からの照射光が遮られることになるが、照明ボックス３に補助光源４を設けているので、移動式光源５からの照射光が遮られた部分については、補助光源４からの照射光が透過可能となり、液晶用ガラス基板の全面に近い領域に対しての検査等の実施が可能となる。この場合、吸着孔１３の直下の位置に補助光源４を配置しているので、吸着孔１３の影の影響を軽減でき、精度の良い検査等の実施が可能となる。
【００１８】
上記検査等を実施する際には、移動式光源５と補助光源４（ＬＥＤ光源）の光強度制御、及び点滅制御をブロック別に制御可能としておくのが好ましい。このようにすれば、必要な部分だけの照明を行うことが可能となり、消費電力の低減、各光源４、５の長寿命化、光源装置の容量低下を期待することができる。
【００１９】
上記液晶用ガラス基板の支持装置においては、支持テーブル２を分割構成しているので、液晶用ガラス基板が大形化しても、支持テーブル２をそれに応じて大形化する必要はない。従って、装置の低コスト化、製造納期の短縮化を図ることが可能であると共に、破損時のメンテナンス性を向上させることが可能な液晶用ガラス基板の支持装置を提供することができる。
【００２０】
また、上記においては、支持テーブル２を、照明ボックス３の開口部を覆うように配置された第１支持テーブル１０と、上記照明ボックス３間に架設された第２支持テーブル２０とで構成しているが、第２支持テーブル２０を省略して実施することもある。すなわち、修正作業のように上部から加圧を行う必要のある作業に供する場合には、支持テーブル２の剛性が必要となるので、実施形態のように第１支持テーブル１０と第２支持テーブル２０との両者を併用するのが好ましいが、支持テーブル２の剛性をあまり必要としない測定、観察作業に供する場合には、第２支持テーブル２０は必要としないので、第１支持テーブル１０だけを使用する。このような実施の形態も本願請求項１に包含される。
【００２１】
以上にこの発明の実施形態について説明したが、この発明は上記形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することができる。例えば、移動式光源としては、ＬＥＤ光源による線状照明の他、スポット照明、リング照明等、処理対象物である液晶用ガラス基板に適した他の照明方法を適宜、採用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の一実施形態に係る液晶用ガラス基板の支持装置の平面図である。
【図２】上記液晶用ガラス基板の支持装置のＡ−Ａ線に沿う拡大断面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１・・下部フレーム、２・・支持テーブル、３・・照明ボックス、４・・補助光源、５・・移動光源、１０・・第１支持テーブル、１３・・吸着孔、２０・・第２支持テーブル、２１・・昇降ピン挿通孔
【図１】
2007279090.tif 000003
【図２】
2007279090.tif 000004