(57)【要約】【課題】空気清浄ユニットにおいて、定期的に交換が必要なケミカルフィルタの交換をクリーン空間に入らずに、かつ、塵埃除去フィルタを外すことなく行えることを目的とする。【解決手段】ファン１とモーター２のファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、その下方にケミカルフィルタ５および塵埃除去フィルタ６を設け、塵埃除去フィルタ６両側面には支持台１２が固定され、支持台１２上には支持金具１３が取り付けられ、可動レバー１５を貫通した支持ピン１４が支持金具１３に固定され、チャンバー４の両側面には受け金具１６を介し固定ピン１７を設け、塵埃除去フィルタ６とチャンバー４との片面にはヒンジ１１が配置される。可動レバー１５を左右に引くことで固定ピン１７を介してチャンバー４をケミカルフィルタ５と密着・開放させ、着脱可能となる。【選択図】図１
2007313383.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記塵埃除去フィルタと前記チャンバーとの片面をヒンジで介し、前記塵埃除去フィルタの両側面に支持台を備え、前記支持台上に支持金具と可動レバーを貫通する支持ピンとで駆動部を構成し、前記チャンバー両側面へ受け金具に取り付けた固定ピンを備え、前記駆動部を左右に引くことにより前記固定ピンを介して前記チャンバーを前記ケミカルフィルタと密着・開放させ、前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置。
【請求項２】
前記可動レバーに前記固定ピンを落とし込む逆戻り防止切欠きを設けたことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項３】
前記可動レバーに前記固定ピンを仮置きさせるための切欠きを持つことを特徴とする請求項１または２記載のフィルタ交換装置。
【請求項４】
前記可動レバーに手で握り易くするための窪みを設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のフィルタ交換装置。
【請求項５】
前記チャンバーに前記ケミカルフィルタをスライドさせるガイドレールを持つことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のフィルタ交換装置。
【請求項６】
前記受け金具と前記可動レバーとの間に位置決め用スペーサを持ったことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のフィルタ交換装置。
【請求項７】
ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記塵埃除去フィルタと前記チャンバーとの片面をヒンジで介し、前記塵埃除去フィルタの両側面に支持金具を備えた支持台を設け、前記チャンバー両側面に固定ピンを備えた受け金具を設け、前記支持金具と前記固定ピンを伸縮性のステーで固定することを特徴とするフィルタ交換装置。
【請求項８】
前記チャンバー両側面に持ち上げ用取っ手を装着させたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のフィルタ交換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用される空気清浄ユニットのフィルタ交換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットのフィルタ交換装置は、クリーンルーム内側方向からアプローチして着脱可能に構成している（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−８４３２６号公報（段落００２９〜００３０、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のフィルタ交換装置ではクリーンな環境を保つべきクリーン空間内に人が入ってケミカルフィルタの交換作業をおこなうことになり、内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。
【０００４】
また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内のメンテナンススペースの確保が困難なため、クリーン空間の中に入らず、ケミカルフィルタを交換できることが要求されている。
【０００５】
また、ケミカルフィルタの交換作業についても製造装置等の稼動時間に制約を与えるために、可能な限り短時間で行なえることが要求されている。
【０００６】
また、ケミカルフィルタを交換する際に外部空間からクリーン空間へ塵埃の侵入する課題があるため、塵埃除去フィルタを外さずにケミカルフィルタの交換をおこなうことが要求されている。
【０００７】
本発明は、このような従来のフィルタ交換装置の課題を解決するものであり、クリーン空間に入ることなくケミカルフィルタの交換ができ、また、短時間に外部の塵埃をクリーン空間内に侵入させることなく交換がおこなえるフィルタ交換装置を提供する事を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のフィルタ交換装置は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記塵埃除去フィルタと前記チャンバーとの片面をヒンジで介し、前記塵埃除去フィルタの両側面に支持台を備え、前記支持台上に支持金具と可動レバーを貫通する支持ピンとで駆動部を構成し、前記チャンバー両側面へ受け金具に取り付けた固定ピンを備え、前記駆動部を左右に引くことにより前記固定ピンを介して前記チャンバーを前記ケミカルフィルタと密着・開放させ、前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置である。
【０００９】
上記構成により、前記可動レバーを左右に引くことにより、前記固定ピンを介して前記チャンバーを前記ケミカルフィルタと密着・開放させ、開放した後に前記塵埃除去フィルタから前記チャンバーをヒンジを中心として上昇させ、前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せるようにしたものである。
【００１０】
また、他の手段は、前記可動レバーに前記固定ピンを落とし込む逆戻り防止切欠きを設けたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１１】
上記構成により、可動レバーを左右に引くことにより支持ピンを支点として、てこの原理により固定ピンを徐々にスライドさせ、へこみ部分に支持ピンを保持させることによりケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００１２】
また、他の手段は、前記可動レバーに前記固定ピンを仮置きさせるための切欠きを持つことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１３】
上記構成により、固定ピンを可動レバーの切欠きに仮置きさせ、チャンバーを支持することなくケミカルフィルタの交換を容易にさせたものである。
【００１４】
また、他の手段は、前記可動レバーに手で握り易くするための窪みを設けたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１５】
上記構成により、可動レバーの握り力を強化する機能を付加したものである。
【００１６】
また、他の手段は、前記チャンバーに前記ケミカルフィルタをスライドさせるガイドレールを持つことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１７】
上記構成により、チャンバーにケミカルフィルタガイドレールを設け、スライド位置を規制し、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００１８】
また、他の手段は、前記受け金具と前記可動レバーとの間に位置決め用スペーサを持ったことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１９】
上記構成により、可動レバーの位置を規制し前後することなく左右に引くことになり、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００２０】
また、他の手段は、支持金具と固定ピンを伸縮性のステーで固定することを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２１】
上記構成により、ワンタッチでチャンバーを位置規制しながら仮置きし、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００２２】
また、他の手段は、前記チャンバー両側面に持ち上げ用取っ手を装着させたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２３】
上記構成により、チャンバー両側面に取っ手を設け、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記塵埃除去フィルタと前記チャンバーとの片面をヒンジで介し、前記塵埃除去フィルタの両側面に支持台を備え、前記支持台上に支持金具と可動レバーを貫通する支持ピンとで駆動部を構成し、前記チャンバー両側面へ受け金具に取り付けた固定ピンを備え、前記駆動部を左右に引くことにより前記固定ピンを介して前記チャンバーを前記ケミカルフィルタと密着・開放させ、前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せるようにしたことによりクリーン空間に入ることなくケミカルフィルタの交換が可能になる効果が得られる。
【００２５】
また、本発明によれば、可動レバーに前記固定ピンスライド用切欠きを設けることにより、ケミカルフィルタの密着をスムース且つ確実に行なえるという効果が得られる。
【００２６】
また、本発明によれば、可動レバーに仮置きさせるための切欠きを設けることにより、チャンバーを仮置きすることができ、自分で支持することなくケミカルフィルタを交換できるという効果が得られる。
【００２７】
また、本発明によれば、可動レバーに手で握り易くするための窪みを設けることにより、可動レバーを確実にすべることなく可動させることができるという効果が得られる。
【００２８】
また、本発明によれば、チャンバーに前記ケミカルフィルタをスライドさせるガイドレールを設けることにより、ケミカルフィルタの装着位置が正確になるという効果が得られる。
【００２９】
また、本発明によれば、受け金具と可動レバーとの間に位置決め用スペーサを持つことにより、可動レバーが倒れることなくスムースに可動できるという効果が得られる。
【００３０】
また、本発明によれば、駆動部を自在ステーとすることにより、ワンタッチでスピーディにチャンバーを仮置きすることができるという効果が得られる。
【００３１】
また、本発明によれば、チャンバー両側面に取っ手を装着することにより、チャンバーの持ち上げ作業が容易になるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記塵埃除去フィルタと前記チャンバーとの片面をヒンジで介し、前記塵埃除去フィルタの両側面に支持台を備え、前記支持台上に支持金具と可動レバーを貫通する支持ピンとで駆動部を構成し、前記チャンバー両側面へ受け金具に取り付けた固定ピンを備え、前記駆動部を左右に引くことにより前記固定ピンを介して前記チャンバーを前記ケミカルフィルタと密着・開放させ、前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタを容易に交換できるという作用を有する。
【００３３】
また、本発明の請求項２記載の発明は、可動レバーに前記固定ピンを落とし込む逆戻り防止切欠きを持つフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタの密着をスムース且つ確実に行なえるという作用を有する。
【００３４】
また、本発明の請求項３記載の発明は、可動レバーに仮置きさせるための切欠きを設けたフィルタ交換装置であり、チャンバーを仮置きすることができ、自分で支持することなくケミカルフィルタを交換できるという作用を有する。
【００３５】
また、本発明の請求項４記載の発明は、可動レバーに手で握り易くするための窪みを設けたフィルタ交換装置であり、可動レバーをすべることなく確実に可動させるという作用を有する。
【００３６】
また、本発明の請求項５記載の発明は、チャンバーに前記ケミカルフィルタをスライドさせるガイドレールを設けたフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタの装着位置が正確になるという作用を有する。
【００３７】
また、本発明の請求項６記載の発明は、受け金具と可動レバーとの間に位置決め用スペーサを有するフィルタ交換装置であり、可動レバーが倒れることなくスムースに可動できるという作用を有する。
【００３８】
また、本発明の請求項７記載の発明は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記塵埃除去フィルタと前記チャンバーとの片面をヒンジで介し、前記塵埃除去フィルタの両側面に支持金具を備えた支持台を設け、前記チャンバー両側面に固定ピンを備えた受け金具を設け、前記支持金具と前記固定ピンを伸縮性のステーで固定するフィルタ交換装置であり、チャンバーをワンタッチでスピーディに仮置きできるという作用を有する。
【００３９】
また、本発明の請求項８記載の発明は、チャンバー両側面に取っ手を装着したフィルタ交換装置であり、チャンバーの持ち上げ作業を容易にできるという作用を有する。
【００４０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００４１】
（実施の形態１）
本発明の第１の実施の形態による空気清浄ユニットは、図１に示すように、ファン１とモーター２のファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、その下方にケミカルフィルタ５および塵埃除去フィルタ６を設けられる。また、チャンバー４とケミカルフィルタ５のシールをするケミカルフィルタ上面パッキン７、ケミカルフィルタ５と塵埃除去フィルタ６をシールする塵埃除去フィルタ上面パッキン８、塵埃除去フィルタ６と設置枠１０をシールする塵埃除去フィルタ下面パッキン９を備えている。塵埃除去フィルタ６とチャンバー４との片面にはヒンジ１１を備えている。塵埃除去フィルタ６の両側面に支持台１２が取り付けられる。支持台１２には支持金具１３が取り付けられ、両端にあいている穴に支持ピン１４が可動レバー１５を回動可能に貫通し固定される。チャンバー４の両端には、固定ピン１７取付け用の受け金具１６が取り付けられる。
【００４２】
可動レバー１５には、固定ピン１７を嵌める切欠き１８を設けてある。切欠き１８は奥側が狭くなるよう上辺にテーパー形状を有している。固定ピン１７は切欠き１８の上辺に圧接してケミカルフィルタ５を挟んでチャンバー４と塵埃除去フィルタ６を一体に固定する。
【００４３】
上記構成において、可動レバー１５を左右に引くことにより、固定ピン１７を介してチャンバー４をケミカルフィルタ５と密着・開放し、ケミカルフィルタ５を着脱することができる。
【００４４】
（実施の形態２）
図２に示すように可動レバー１５の切欠き１８のテーパ形状の末端に逆戻り防止用形状の切欠き２１を設ける。
【００４５】
上記構成において可動レバー１５を左右させ、固定ピン１７がテーパ形状に沿って移動し、逆戻り防止用形状の切欠き２１へ移動し、チャンバー４とケミカルフィルタ５を密着保持することができ、可動レバー１５ははずれ難くなる。
【００４６】
（実施の形態３）
図２に示すように可動レバー１５に仮固定用のＬ字形切欠き３１を設ける。Ｌ字形切欠き３１は、切欠きの奥の下側（フィルタ側）に窪みを持つような形状を有する。
【００４７】
上記構成においてチャンバー４を引き上げた際、固定ピン１７をＬ字形切欠き３１に引っ掛けることにより、チャンバー４を仮置きすることができ、ケミカルフィルタ５の交換作業を容易に行うことができる。
【００４８】
（実施の形態４）
図２に示すように可動レバー１５の上端に波形の切欠き４１を設ける。
【００４９】
上記構成において、波形の切欠き４１の窪みにあわせて可動レバー１５を握ることができるため、可動レバー１５をしっかり確実に持つことができ、固定ピン１７を確実にスライドさせ、固定することができる。
【００５０】
（実施の形態５）
図３に示すように、チャンバー４の両側面にチャンバースライドガイド５１を介してレール５２を設ける。ケミカルフィルタ５の両側面にはレール５２の内側に入るようなケミカルフィルタスライドガイド５３を配置する。
【００５１】
上記構成において、ケミカルフィルタ５を交換するとき、レール５２に沿って移動し、幅方向の位置決めとしても働き、正確に装着することができる。
【００５２】
（実施の形態６）
図４に示すように、可動レバー１５と受け金具１６の間にスペーサ−６１を配置する。
【００５３】
上記構成において、可動レバー１５を左右させるとき、受け金具１６との空間による倒れを防止し、可動位置を規制することができる。
【００５４】
（実施の形態７）
図５に示すように、支持台１２とチャンバー４両側面に設けられたステー固定金具７２との間に伸縮性のワンタッチステー７１を配置する。ワンタッチステー７１の一方の端は支持台に設けられた支持金具１３に固定され、他方の端はステー固定金具７２に引っ掛けるように固定する。このワンタッチステー７１は、伸縮性を持ち、通常の寸法は、支持台１２とステー固定金具７２との正規の寸法よりも短い。そのため、ワンタッチステー７１を支持金具１３とステー固定金具７２との間に張った際にチャンバー４と塵埃除去フィルタ６を固定することができる。
【００５５】
上記構成において、チャンバー４をワンタッチで引き上げ仮固定することができ、スムース且つスピーディにケミカルフィルタ５を交換することができる。
【００５６】
（実施の形態８）
図６に示すように、チャンバー４の両側面に取っ手８１を対に配置する。
【００５７】
上記構成において、チャンバー４を確実に引き上げ下げすることが可能となり、作業性が容易となる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
以上のように本発明によれば、塵埃除去フィルタの両側面に可動レバーを有し、チャンバー両側面に受け金具と固定ピンを有し、塵埃除去フィルタとチャンバーとの片面にはヒンジを有し、可動レバーを左右に引くことで固定ピンを介してチャンバーをケミカルフィルタと密着・開放させ容易に着脱が可能となり、クリーンルーム内で用いられる空気清浄ユニットのフィルタ交換装置の用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示す図（（ａ）正面図、（ｂ）側面図）
【図２】本発明の実施の形態２、３、４の可動レバーの正面図
【図３】本発明の実施の形態５のチャンバースライドガイドの構成を示す側面図
【図４】本発明の実施の形態６のスペーサーの構成を示す側面図
【図５】本発明の実施の形態７のワンタッチステーの構成を示す側面図
【図６】本発明の実施の形態８の取っ手の構成を示す正面図
【符号の説明】
【００６０】
１    ファン
２    モーター
３    ファンユニット
４    チャンバー
５    ケミカルフィルタ
６    塵埃除去フィルタ
７    ケミカルフィルタ上面パッキン
８    塵埃除去フィルタ上面パッキン
９    塵埃除去フィルタ下面パッキン
１０  設置枠
１１  ヒンジ
１２  支持台
１３  支持金具
１４  支持ピン
１５  可動レバー
１６  受け金具
１７  固定ピン
２１  逆戻り防止用形状の切欠き
３１  Ｌ字形切欠き
４１  波形の切欠き
５１  チャンバースライドガイド
５２  レール
５３  ケミカルフィルタスライドガイド
６１  スペーサ−
７１  ワンタッチステー
７２  ステー固定金具
８１  取っ手
【図１】
2007313383.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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