(57)【要約】【課題】大気圧変動又は衝撃等に対する磁気ヘッドの接触力の変動を抑制することで、安定したヘッドロードを可能とする接触型磁気ヘッドスライダを提供する。【解決手段】接触型の磁気ヘッドスライダ２１の正圧発生領域７ａ、７ｂは、接触パッド部５と共に最高位の段に属しこの接触パッド部５との間で、最低位の段に属する面を挟んで設けられている。また、正圧発生部８と接触パッド部５との間の最低位の段に属する領域を挟むように、空気の流れの方向に沿ってスクイーズパッド領域８ｃ、８ｄが設けられている。さらに、正圧発生領域７ａ、７ｂとスクイーズパッド領域８ｃ、８ｄとを分断するように負圧制御領域６ｄ、６ｅが設けられている。また、正圧発生領域７ａ、ｂは、中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域８ｃ、８ｄ及び最低位の段に属する負圧制御領域６ｄ、６ｅが各々設けられた位置よりも、空気流入端２側にのみ設けられている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能に設けられた情報記録媒体上で情報の記録再生を行う磁極素子を搭載した接触型磁気ヘッドスライダにおいて、
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの動圧効果により発生する流体力が作用する面を有するスライダ部と、前記磁極素子が前記情報記録媒体と対向する面が該情報記録媒体と接触するように該磁極素子を支持する接触部とを有し、
前記スライダ部の流体力作用面が複数の段差を介して複数の領域に区分され、
これら複数の領域が、
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側に前記接触部との間に最低位の段に属する領域を少なくとも挟んで設けられた、前記接触部とともに最高位の段に属する正圧発生領域と、
前記正圧発生領域と前記接触部との間の最低位の段に属する領域を挟むように、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に沿って設けられた、前記最高位の段と前記最低位の段との中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域と、
前記正圧発生領域と前記スクイーズパッド領域とを分断するように設けられた、前記最低位の段に属する負圧制御領域と、
を具備し、
さらに、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向において、前記正圧発生領域は、前記スクイーズパッド領域及び前記負圧制御領域が各々設けられた位置よりも、前記流れの方向の入側にのみ設けられている
ことを特徴とする接触型磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
前記負圧制御領域には、空気の流入量を調整するためのテーパが付けられていることを特徴とする請求項１記載の接触型磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記負圧制御領域と前記正圧発生領域との間に挟まれるように設けられた、前記中間の段に属する第２の負圧制御領域をさらに具備することを特徴とする請求項１又は２記載の接触型磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側である前方の空気流入端から後方の空気流出端へ向かう方向に沿って前記正圧発生領域を分断するように設けられた、前記最低位の段に属する第３の負圧制御領域をさらに具備することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の接触型磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
回転可能に設けられた情報記録媒体上で情報の記録再生を行う磁極素子が搭載された接触型磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置において、
前記接触型磁気ヘッドスライダは、
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの動圧効果により発生する流体力が作用する面を有するスライダ部と、前記磁極素子が前記情報記録媒体と対向する面が該情報記録媒体と接触するように該磁極素子を支持する接触部とを有し、
前記スライダ部の流体力作用面が複数の段差を介して複数の領域に区分され、
これら複数の領域が、
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側に前記接触部との間に最低位の段に属する領域を少なくとも挟んで設けられた、前記接触部とともに最高位の段に属する正圧発生領域と、
前記正圧発生領域と前記接触部との間の最低位の段に属する領域を挟むように、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に沿って設けられた、前記最高位の段と前記最低位の段との中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域と、
前記正圧発生領域と前記スクイーズパッド領域とを分断するように設けられた、前記最低位の段に属する負圧制御領域と、
を具備し、
さらに、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向において、前記正圧発生領域は、前記スクイーズパッド領域及び前記負圧制御領域が各々設けられた位置よりも、前記流れの方向の入側にのみ設けられている
ことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項６】
前記負圧制御領域には、空気の流入量を調整するためのテーパが付けられていることを特徴とする請求項５記載の磁気ディスク装置。
【請求項７】
前記負圧制御領域と前記正圧発生領域との間に挟まれるように設けられた、前記中間の段に属する第２の負圧制御領域をさらに具備することを特徴とする請求項５又は６記載の磁気ディスク装置。
【請求項８】
前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側である前方の空気流入端から後方の空気流出端へ向かう方向に沿って前記正圧発生領域を分断するように設けられた、前記最低位の段に属する第３の負圧制御領域をさらに具備することを特徴とする請求項５ないし７のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報記録媒体である磁気ディスク上に、磁気ヘッドが接触した状態で情報の記録再生を行う磁気ディスク装置に係り、特に、磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触状態を低荷重で且つ安定に保つことが可能な接触型磁気ヘッドスライダ及びこの磁気ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録再生装置における記録密度向上に関する技術開発が盛んに行われている。磁気ディスク装置にあっては、記録密度の向上にともなって、情報記録媒体である磁気ディスク（以下「ディスク」という）と、ディスク上で情報の記録再生を行う磁気ヘッド（以下「ヘッド」という）とのスペーシングが狭まる傾向にあり、ディスクとヘッドとが接触した状態で記録再生を行うスライダ接触方式へと移行しつつある。
【０００３】
磁気ヘッドスライダ（以下「スライダ」という）は、ディスクと対向する側にスライダ面を持ち、スライダ面には、ディスクとスライダとの相対運動にともなって両者間に生ずる流れ（例えば空気流）の動圧による効果（流体動圧効果）による圧力が作用する。スライダ接触方式は、このスライダ面にかかる圧力の作用によって、スライダの後端、即ち、スライダのディスク進行方向側の端部の一部をディスクと接触させた状態で情報の記録再生を行う方式である。
【０００４】
図１７に示すように、スライダ１００は、並進方向１０１、ローリング方向１０３、及びピッチング方向１０２の３自由度をもつと考えられる。そこで流体動圧効果によってディスクとスライダとの隙間に形成される流体膜の剛性は、これらの３自由度に関し、外乱に対してスライダを安定に保つように設計されなければならない。
【０００５】
ここで、ディスクのうねりや振動、装置に加わる衝撃等によってスライダに作用する慣性力の影響について図１８を参照しつつ説明する。
【０００６】
慣性力の作用点は、スライダ１００の質量分布とピボット位置におけるサスペンションの等価質量から決まる重心Ｇである。重心Ｇは、スライダ１００のみの重心Ｇｈと、サスペンションの等価質量が集中的に作用するピボット位置Ｇｐとを結ぶ線上に位置する。慣性力ｆｇは流体力の変動ｄｆｈと接触力の変動ｄｆｃに配分され、接触部１０４と重心Ｇとの距離をｌｇとすれば、
【数１】
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なる関係が成り立つ。従って、接触力の変動ｄｆｃを小さくするためには、流体力作用位置１０５と接触部１０４との距離をなるべく大きくし、流体力作用位置１０５と重心Ｇはなるべく近づけた方がよい。
【０００７】
このような理由から、図１９（ａ）、（ｂ）に示すような前方に正圧発生部１０６、後方に磁気ヘッド１０７を設けたスライダ形状が提案されている。このスライダ形状は、ディスクの回転にともなって発生する流体の流入側の広域に正圧発生部を配設し、流体の流出側に接触パッド部を配設することによって、流体力作用位置と接触部との距離を大きくし、かつ流体力作用位置と重心Ｇとを近づけてなるものである。なお、図１９（ａ）において、塗りつぶしパターンの違いは相対的に高さの異なる領域を表しており、図１９（ｂ）に、その塗りつぶしパターンと高さとの相関を示す。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで近年、磁気ディスク装置は、例えばノート型パソコンなどの可搬性を有する機器への組み込みが一般となってきている。したがって、機器に加わる衝撃等に対し、スライダの接触力の変動をこれまで以上に強力に抑制することへの要望が高まってきているとともに、大気圧変動に伴うスライダ接触力の変動を抑止することへの期待も高まっている。
【０００９】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、衝撃等に対するスライダ接触力の変動を抑え、安定したヘッドロードを可能にすることに併せて大気圧変動に伴うスライダ接触力の変動を抑制することのできる接触型磁気ヘッドスライダ及びこれを備えた磁気ディスク装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明に係る接触型磁気ヘッドスライダは、回転可能に設けられた情報記録媒体上で情報の記録再生を行う磁極素子を搭載した接触型磁気ヘッドスライダにおいて、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの動圧効果により発生する流体力が作用する面を有するスライダ部と、前記磁極素子が前記情報記録媒体と対向する面が該情報記録媒体と接触するように該磁極素子を支持する接触部とを有し、前記スライダ部の流体力作用面が複数の段差を介して複数の領域に区分され、これら複数の領域が、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側に前記接触部との間に最低位の段に属する領域を少なくとも挟んで設けられた、前記接触部とともに最高位の段に属する正圧発生領域と、前記正圧発生領域と前記接触部との間の最低位の段に属する領域を挟むように、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に沿って設けられた、前記最高位の段と前記最低位の段との中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域と、前記正圧発生領域と前記スクイーズパッド領域とを分断するように設けられた、前記最低位の段に属する負圧制御領域と、を具備し、さらに、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向において、前記正圧発生領域は、前記スクイーズパッド領域及び前記負圧制御領域が各々設けられた位置よりも、前記流れの方向の入側にのみ設けられていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る磁気ディスク装置は、回転可能に設けられた情報記録媒体上で情報の記録再生を行う磁極素子が搭載された接触型磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置において、前記接触型磁気ヘッドスライダは、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの動圧効果により発生する流体力が作用する面を有するスライダ部と、前記磁極素子が前記情報記録媒体と対向する面が該情報記録媒体と接触するように該磁極素子を支持する接触部とを有し、前記スライダ部の流体力作用面が複数の段差を介して複数の領域に区分され、これら複数の領域が、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの入側に前記接触部との間に最低位の段に属する領域を少なくとも挟んで設けられた、前記接触部とともに最高位の段に属する正圧発生領域と、前記正圧発生領域と前記接触部との間の最低位の段に属する領域を挟むように、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向に沿って設けられた、前記最高位の段と前記最低位の段との中間の段にのみ属するスクイーズパッド領域と、前記正圧発生領域と前記スクイーズパッド領域とを分断するように設けられた、前記最低位の段に属する負圧制御領域と、を具備し、さらに、前記情報記録媒体の回転に伴う流れの方向において、前記正圧発生領域は、前記スクイーズパッド領域及び前記負圧制御領域が各々設けられた位置よりも、前記流れの方向の入側にのみ設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、衝撃等に対するスライダ接触力の変動を抑え、安定したヘッドロードを可能にすることに併せて大気圧変動に伴うスライダ接触力の変動を抑制することの可能な接触型磁気ヘッドスライダ及びこれを備えた磁気ディスク装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の実施形態に係る磁気ヘッドスライダが搭載された磁気ディスク装置を示す斜視図、図２はこの磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【００１４】
これらの図に示すように、磁気ディスク装置１７は、装置本体の筐体であるベース（上蓋図示せず）１２と、磁気ディスク１３と、磁気ディスク１３よりデータのリード／ライトを行うための磁気ヘッド（磁極素子）を備えた磁気ヘッドスライダ１と、磁気ヘッドスライダ１を磁気ディスク３の配設位置との間で移動可能に支持するキャリッジ１５と、磁気ディスク１３を回転駆動するスピンドルモータ１６とから構成されている。
【００１５】
次に、磁気ディスクに対して接触しつつ情報のリードライトを行う接触型のスライダである本実施形態の磁気ヘッドスライダ１について詳述する。
【００１６】
図３は、磁気ヘッドスライダ１を磁気ディスク１３と対向する側の面からみた平面図、図４は、図３の磁気ヘッドスライダ１の各部位を塗りつぶしている塗りつぶしパターンとディスク面からの各部位の相対的な高さとの相関を示す図、図５は、磁気ディスク１３の回転によって磁気ヘッドスライダ１に起こる作用を説明するための図である。
【００１７】
これらの図において、２は空気流入端、３は空気流出端、４は磁気ヘッド、５は高さが最高位の段に属する面１領域で形成された接触パッド部、７は前記同様、高さが最高位の段に属する面１領域で形成された正圧発生領域、６は、高さが最低位の段に属する面３領域、８は高さが中間の段となる面２領域に属するスクイーズパッド領域である。
【００１８】
すなわち、正圧発生領域７、スクイーズパッド領域８、及び面３領域である領域６は、段差を介して区分され、磁気ディスク１３の回転に伴う流れの動圧効果により流体力を発生させるスライダ部を構成する。
【００１９】
また、接触パッド部５は、磁気ヘッド４が磁気ディスクと対向する面が当該磁気ディスクと接触するように磁気ヘッド４を支持する。
【００２０】
正圧発生領域７は、磁気ディスク１３の回転に伴う流れの入側に設けられ、且つ接触パッド部５との間で、最低位の段に属する面３領域を挟んで設けられている。正圧発生領域７は、接触パッド部５とともに最高位の段である面１領域に属する。
【００２１】
また、スクイーズパッド領域８は、ディスク回転方向（磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向）に沿って前方から後方に延びる部位を備え、ほぼＵ字形状に形成されている。すなわち、スクイーズパッド領域８は、正圧発生部８と接触パッド部５との間の最低位の段に属する面３領域を挟むように、磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向に沿って設けられている。また、スクイーズパッド領域８は、最高位の段である面１領域と最低位の段である面３領域との中間の段である面２領域に属する。
【００２２】
このような磁気ヘッドスライダ１は、ディスク面に比較的近い面で形成されたスクイーズパッド領域８を多く配置したことにより発生するスクイーズ効果、すなわち磁気ディスク１３と磁気ヘッドスライダ１に挟まれた空気膜から受けるスライダ運動に反発する力を利用することで、磁気ディスク１３と磁気ヘッド４との接触力変動を抑制することができる。
【００２３】
ところで、ディスク面に近い面を形成すると正圧が発生する。特にスライダ後方に、ディスク面に近い面を多く配置した場合、正圧が大きく発生してしまうことになる。したがって、例えば、従来技術のような前方のみで正圧を発生させるスライダでは、安定した接触力を得ることはできない。しかしながら、本実施形態の磁気ヘッドスライダ１は、スクイーズパッド領域８が、中間の段に属する面２領域で形成されていることで、正圧発生を回避するとともにスクイーズ効果を得ることができる。
【００２４】
したがって、本実施形態の磁気ヘッドスライダ１によれば、正圧発生を抑えたまま、スクイーズ効果が得られることから、安定したヘッドスライダロードおよび衝撃よる加振動に伴う接触変動を抑制することができ、これにより、磁気ディスク１３に対する磁気ヘッド４の安定した接触力を保つことができる。
【００２５】
（第２の実施形態）
本実施形態には、図５に示すように、第１の実施形態の磁気ヘッドスライダ１の正圧発生領域７を分断した磁気ヘッドスライダ１１が適用されている。
【００２６】
図５において、６ｃは、高さが前記面３領域で形成された第１の負圧制御領域、２０ａ、２０ｂは面２領域、８ａ、８ｂは面２領域で形成されたスクイーズパッド領域、７ａ、７ｂは、面１領域で形成された正圧発生領域である。
【００２７】
すなわち、この磁気ヘッドスライダ１１は、第１の実施形態の磁気ヘッドスライダ１の正圧発生領域を、磁気ディスク１３の回転によって発生する空気の流れの方向（前方の空気流入端２から後方の空気流出端３へ向かう方向）に沿って分断するように第１の負圧制御領域６ｃが設けられている。
【００２８】
ここで、第１の実施形態の磁気ヘッドスライダ１では、スクイーズパッド領域８を設けたことにより、正圧発生部７及びスクイーズパッド領域８に包囲される面３領域に負圧が発生する（図３参照）。負圧は、空気流速度依存性が大きいため、磁気ディスク１３の半径方向における磁気ヘッド４の位置の違いで、磁気ディスク１３への磁気ヘッド４の接触力がこの半径位置により変動する原因となる。そこで、より小さな接触力を安定に保つためには正圧発生部７、面８部後方での負圧発生を抑制することが好ましい。
【００２９】
したがって、正圧発生部を分断する第１の負圧制御領域６ｃを備えた本実施形態の磁気ヘッドスライダ１１は、流入端２から空気が流れ込み、正圧発生領域７ａ、ｂの後方での負圧の発生が抑制され、磁気ディスク１３の半径方向における磁気ヘッド４の位置に左右されることのない接触力を得ることができる。
【００３０】
さらに、本実施形態の磁気ヘッドスライダ１１の第１の負圧制御領域６ｃには、磁気ディスク１３の回転によって発生する空気の流れの方向、すなわち前方から後方に向けて負圧制御領域（面３領域）が狭くなるようにテーパを付けた空気流入制御部９ａ、９ｂが設けられている。
【００３１】
これにより、第１の負圧制御領域６ｃからの流入空気が後方に向かい圧縮され、正圧発生部７ａ、ｂ後方では高い正圧となるため、正圧発生部７ａ、ｂ後方での負圧発生をさらに抑制することができる。
【００３２】
（第３の実施形態）
本実施形態には、図６に示すように、第２の実施形態の磁気ヘッドスライダ１１の正圧発生部７ａ、ｂとスクイーズパッド領域８とを分断した磁気ヘッドスライダ２１が適用されている。
【００３３】
図６において、６ｄ、６ｅは、高さが前記面３領域で形成された第２の負圧制御領域である。
【００３４】
すなわち、この磁気ヘッドスライダ２１は、第２の実施形態の磁気ヘッドスライダ１１の正圧発生部７ａ、ｂとスクイーズパッド領域８ｃ、８ｄとを、磁気ディスク１３の回転によって発生する空気の流れの方向における前方（空気流入端２側）と後方（空気流出端３へ向かう方向）とに分断するように第２の負圧制御領域６ｄ、６ｅが設けられている。さらに、第２の負圧制御領域６ｄ、６ｅには、形成されるテーパ角度により空気流入量を調整可能な空気流入制御部１０ａ、１０ｂが設けられている。
【００３５】
これにより、本実施形態の磁気ヘッドスライダ２１によれば、第２の負圧制御領域６ｄ、６ｅからの空気流入を行うことができ、正圧発生部の後方での負圧の発生をさらに抑制することができる。
【００３６】
（第４の実施形態）
本実施形態には、図７の斜視図及び図８の平面図にそれぞれ示すように、第３の実施形態の磁気ヘッドスライダ２１に代えて磁気ヘッドスライダ３１が適用されている。
【００３７】
この磁気ヘッドスライダ３１は、正圧発生部７ａ、７ｂの後方、つまり正圧発生部７ａ、７ｂと第２の負圧制御領域６ｄ、ｅとの間に挟まれるように第３の負圧制御領域２０ｃ、２０ｄが、面２領域の高さで設けられている。さらに、第３の負圧制御領域２０ｃ、２０ｄには、形成されるテーパ角度により空気流入量を調整可能な空気流入制御部１０ｃ、１０ｄが設けられている。これらの構成により、第２の負圧制御領域６ｄ、ｅの設計的な自由度が広がり、空気流入をより緻密に制御することが可能となる。つまり、磁気ヘッドスライダ３１は、空気の流速に対し、より安定な磁気ヘッド４の接触力を得ることができる。
【００３８】
次に、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ３１の流体動圧作用について図９乃至図１２に基づき考察する。
【００３９】
磁気ヘッドスライダは、図９（ａ）に示すように、並進方向１０１、ピッチング方向１０２、及びローリング方向１０３の３自由度を持つ。さらに、磁気ヘッドスライダには、姿勢変動に伴って、空気膜からの反力又は反トルクが働く。
【００４０】
図９（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）はそれぞれ並進方向１０１の変動速度Ｖｚ及び反力Ｃｚｚと、ピッチング方向１０２の変動速度Ｖθｐ及び反トルクＣｐｐと、ローリング方向の変動速度Ｖθｒ及び反トルクＣｒｒの流体動圧作用を示している。
【００４１】
図１０乃至図１２は、スクイーズパッド効果を示すグラフであって、並進方向１０１、ピッチング方向１０２、ローリング方向１０３に単位振幅にて各周波数で本実施形態の磁気ヘッドスライダ３１と図１９に示した従来の磁気ヘッドスライダ１００とをそれぞれ振動させた際に個々のスライダに働く反力または反トルクを示している。図１０乃至図１２の各グラフの横軸は、振動周波数[Hz](1Hz〜1MHz)を示し、図１０の縦軸は、並進方向１０１に単位振幅で振動した際スライダに働く反力[mN/mm]を示している。図１１及び図１２示すグラフの縦軸は、単位振幅で振動した際スライダに働く反トルク[mNmm/rad]を示している。
【００４２】
これらのグラフから明らかなように、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ３１は、振動した際に、従来の磁気ヘッドスライダ１００よりも、振動を抑制する大きな反力および反トルクを受けることにより、安定した姿勢を保つことができる。
【００４３】
（第５の実施形態）
本実施形態では、第４の実施形態に係る磁気ヘッドスライダ３１に代えて、図１３に示すように磁気ヘッドスライダ４１が適用されている。
【００４４】
すなわち、磁気ヘッドスライダ４１は、スクイーズパッド領域８ｅ、８ｆが、ディスク回転方向に沿った方向において第１乃至第４の実施形態のスクイーズパッド領域よりも短く、しかもディスク回転方向に沿った方向から直行する方向に傾けて形成されている。
【００４５】
ところで、第１乃至第４の実施形態において、磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向、すなわち、ディスク回転方向に沿った形状のスクイーズパッド領域８、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄは、大気圧低下時において接触力が増加する場合がある。
【００４６】
スクイーズパッド領域８が、第１乃至第４の実施形態のスライダに設けられた形状のように、ディスク回転方向（磁気ディスク１３の回転に伴う空気の流れの方向）に沿った長い形状の場合、その長さの分だけ空気が圧縮され、スクイーズパッド領域後方で正圧が発生した状態で、接触姿勢を保っている。したがって、大気圧低下時においてはスクイーズパッド領域後方の正圧が小さくなるため接触力の増加となる。大気圧低下時においても、スライダ姿勢の変動を小さくすることができる。
【００４７】
これに対し、本実施形態の磁気ヘッドスライダ４１は、スクイーズパッド領域８ｅ、８ｆが、ディスク回転方向において短い形状であるため、このスクイーズパッド領域８ｅ、８ｆでの正圧発生が抑えられるとともに、ディスク回転方向に直行する方向に傾いた方向に長い形状であるため、スクイーズパッド領域８ｅ、８ｆ後方で負圧が発生する。この負圧はスクイーズパッド領域８ｅ、８ｆで発生した正圧を打ち消すこととなる。さらに、この場合、大気圧低下時おけるスクイーズパッド領域８ｅ、８ｆの正圧の変動と同時に、後方の負圧が変化することにより、その変動を抑えることとなり、磁気ヘッドの接触力の変動を防ぐことができる。
【００４８】
次に、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ４１の流体動圧作用を図１４に基づき説明する。
【００４９】
図１４（ａ）に示すように、第４の実施形態に係るヘッドスライダ３１では、スライダに加わる力は、図示しないサスペンションからの荷重Ｆ、流体力ｆｈ、磁気ヘッドの接触力ｆｃ、スクイーズパッド領域に発生する正圧ｆｐである。圧力低下時には正圧ｆｐは小さくなるため、接触力ｆｃは大きく増加することになる。
【００５０】
一方、図１４（ｂ）に示すように、第５の実施形態に係るヘッドスライダ４１では、スクイーズパッド形状をディスク回転方向と直行する方向に傾けた形状を持つことにより、スクイーズパッド領域には、正圧ｆｐと共にその後方に負圧ｆｎが発生する。大気圧低下時にはスライダ３１と同様ｆｐが変動すると同時に、それを打ち消す負圧ｆｎも変動し、スクイーズパッド領域に作用する合力は大気圧低下前とほぼ同様にすることが可能である。したがって、大気圧低下時の接触力ｆｃの変動を小さくすることができる。
【００５１】
したがって、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダ４１によれば、磁気ディスクに対して磁気ヘッドの接触力の変動を確実に防ぐことができる。
【００５２】
（第６の実施形態）
本実施形態では、第５の実施形態に係る磁気ヘッドスライダ４１に代えて、図１５に示すように磁気ヘッドスライダ５１が適用されている。
【００５３】
すなわち、磁気ヘッドスライダ５１は、スクイーズパッド領域が、ディスク回転方向に沿った方向において第１乃至第４の実施形態のスクイーズパッド領域よりも短く、当該ディスク回転方向に対し、前方の領域と後方の領域とを互い異なる方向に傾けたスクイーズパッド領域８ｇ、８ｈ、８ｉ、８ｊが設けられている。
【００５４】
この構成により、正圧発生を抑え、スクイーズパッド領域の面積を大きくすることができるとともに、大気圧低下時の接触力変動をより小さく制御でき、同時により大きなスクイーズ効果を得ることができる。
【００５５】
ここで、本実施形態に係る磁気ヘッドスライダについて図１６に基づき考察する。
【００５６】
前述した第４の実施形態の磁気ヘッドスライダ３１において、スライダに加わる力は、図示しないサスペンションからの荷重Ｆ、流体力ｆｈ、接触力ｆｃ、スクイーズパッド領域に発生する正圧ｆｐである。圧力低下時には正圧ｆｐは小さくなるため、接触力ｆｃは大きく増加することになる。
【００５７】
磁気ヘッドスライダ５１は、ディスク回転方向に対し、前方の領域と後方の領域とを互い異なる方向に傾けたスクイーズパッド領域８ｇ、８ｈ、８ｉ、８ｊが配置されているので、このスクイーズパッド領域には、正圧ｆｐ１、ｆｐ２と共にその後方に負圧ｆｎ１、ｆｎ２が発生する。
【００５８】
さらに、磁気ヘッドスライダ５１は、第４の実施形態の磁気ヘッドスライダ３１と同様、ｆｐ１、ｆｐ２が変動すると同時に、それを打ち消す負圧ｆｎ１、ｆｎ２も変動し、スクイーズパッド領域に作用する合力は大気圧低下前とほぼ同様にすることが可能である。したがって、磁気ヘッドスライダ５１は、大気圧低下時の磁気ヘッドの接触力ｆｃの変動を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る磁気ヘッドスライダが搭載された磁気ディスク装置を示す斜視図である。
【図２】図１の磁気ディスク装置が備える磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【図３】図２の磁気ヘッドスライダを磁気ディスクと対向する側の面からみた平面図である。
【図４】図３の磁気ヘッドスライダの各部位を塗りつぶしている塗りつぶしパターンとディスク面からの各部位の相対的な高さとの相関を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【図８】図７の磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図９】流体動圧作用を受ける図７の磁気ヘッドスライダの姿勢を説明するための図である。
【図１０】図７の磁気ヘッドスライダの並進方向のスクイーズパッド効果を示す図である。
【図１１】図７の磁気ヘッドスライダのピッチング方向のスクイーズパッド効果を示す図である。
【図１２】図７の磁気ヘッドスライダのローリング方向のスクイーズパッド効果を示す図である。
【図１３】本発明の第５の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１４】図１３の磁気ヘッドスライダによるスクイーズパッド効果を説明するための図である。
【図１５】本発明の第６の実施形態に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１６】図１５の磁気ヘッドスライダによるスクイーズパッド効果を説明するための図である。
【図１７】流体動圧作用を受ける磁気ヘッドスライダの姿勢を説明するための図である。
【図１８】衝撃等によって磁気ヘッドスライダに作用する慣性力の影響を説明するための図である。
【図１９】従来の磁気ヘッドスライダを示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１，１１，２１，３１，４１，５１…磁気ヘッドスライダ、２…空気流入端、３…空気流出端、４…磁気ヘッド、５…接触パッド部、６ｃ…第１の負圧制御領域、６ｄ、６ｅ…第２の負圧制御領域、７，７ａ，７ｂ…正圧発生領域、８，８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，８ｅ，８ｆ，８ｇ，８ｈ，８ｉ，８ｊ…スクイーズパッド領域、２０ｃ，２０ｄ…第３の負圧制御領域、９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ…空気流入制御部、１３…磁気ディスク、１６…スピンドルモータ、１７…磁気ディスク装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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