(57)【要約】【課題】粘着シートを用いて搬送対象物を搬送する搬送治具において、粘着シートの粘着力の設定が容易な構成を備える搬送治具を提供すること。【解決手段】搬送対象物２の保持および保持した搬送対象物２の解放を行って、搬送対象物２を搬送する搬送治具１は、搬送対象物２を保持する粘着面４ａと粘着面４ａとは反対側の面となる裏側面４ｂとを有する粘着シート４と、裏側面４ｂを固定するためのシート固定面５ａを有するとともに裏側面４ｂに向かって圧縮空気を供給するための空気供給孔５ｂが形成される粘着シート固定部材５とを備えている。シート固定面５ａは、裏側面４ｂが固定される固定部と、空気供給孔５ｂに対応する位置に形成され裏側面４ｂが固定されない非固定部とを備えている。【選択図】図１
2007180104.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物の保持および保持した上記搬送対象物の解放を行って、上記搬送対象物を搬送する搬送治具において、
上記搬送対象物を保持する粘着面と該粘着面とは反対側の面となる裏側面とを有する粘着シートと、上記裏側面を固定するためのシート固定面を有するとともに上記裏側面に向かって圧縮空気を供給するための空気供給孔が形成される粘着シート固定部材とを備え、
上記シート固定面は、上記裏側面が固定される固定部と、少なくとも上記空気供給孔に対応する位置に形成され上記裏側面が固定されない非固定部とを備えることを特徴とする搬送治具。
【請求項２】
前記粘着面は、前記固定部に対応する位置の少なくとも一部に形成され粘着力を有する粘着部と、前記非固定部に対応する位置に形成され粘着力を有しない非粘着部とを備えることを特徴とする請求項１記載の搬送治具。
【請求項３】
前記粘着シート固定部材には、分散して配置される複数の前記空気供給孔が形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の搬送治具。
【請求項４】
前記空気供給孔に連通する空気流路が形成される本体部を備え、
前記粘着シート固定部材は、上記本体部とは別体で形成されるとともに上記本体部に着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１から３いずれかに記載の搬送治具。
【請求項５】
前記空気供給孔へ圧縮空気を供給する空気供給手段を備えることを特徴とする請求項１から４いずれかに記載の搬送治具。
【請求項６】
搬送対象物の保持および保持した上記搬送対象物の解放を行って、上記搬送対象物を搬送する搬送治具において、
上記搬送対象物を保持する粘着面と該粘着面とは反対側の面となる裏側面とを有する粘着シートと、上記裏側面を固定するためのシート固定面と上記裏側面を吸引するために窪む空気吸引部とを有する粘着シート固定部材とを備え、
上記シート固定面は、上記裏側面が固定される固定部と、少なくとも上記空気吸引部に対応する位置に形成され上記裏側面が固定されない非固定部とを備え、
上記粘着面は、上記非固定部に対応する位置にのみ粘着力を有することを特徴とする搬送治具。
【請求項７】
前記空気吸引部に連通する空気流路が形成される本体部を備え、
前記粘着シート固定部材は、上記本体部とは別体で形成されるとともに上記本体部に着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項６記載の搬送治具
【請求項８】
前記粘着シートは、シリコンゴムで形成されていることを特徴とする請求項１から７いずれかに記載の搬送治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の搬送対象物を搬送する搬送治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体チップ等の搬送対象物を搬送する搬送治具として、真空ポンプに接続される複数の溝が形成されたヘッド部と、このヘッド部に固定された粘着シートとを備える搬送治具が知られている（たとえば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載された搬送治具は、粘着シートの表側に形成された粘着面で半導体チップを保持し、また、保持した半導体チップを粘着面から解放することで、半導体チップの搬送を行っている。具体的には、この搬送治具では、以下のように半導体チップの保持、解放を行っている。
【０００３】
まず、半導体チップを保持するときには、ヘッド部に形成された溝の圧力とヘッド部の外圧とをほぼ等しく維持し、粘着面を平面状態としている。すなわち、粘着面を平面状態として、半導体チップと粘着シートとの接触面積を大きくすることで、粘着面での半導体チップの保持力を維持している。一方、この搬送治具から半導体チップを解放するときには、真空ポンプの作用で溝の圧力を低くして、粘着シートを溝に向かって吸引し、溝側に窪ませている。すなわち、粘着面を窪ませると粘着シートと半導体チップとの接触面積が小さくなるため、粘着面での半導体チップの保持力が低下して、粘着シートから自重によって半導体チップが外れる。このように、特許文献１に記載された搬送治具では、真空ポンプによって、粘着シートと半導体チップとの接触面積を変えることで、半導体チップの保持、解放を行っている。
【０００４】
なお、特許文献１に記載された搬送治具では、粘着シートの粘着面の全面が所定の粘着力を有している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２３０１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された搬送治具では、搬送対象物である半導体チップと粘着シートとの接触面積を変えるという簡易な構成で、搬送対象物の保持、解放を行い、搬送対象物を搬送することができる。しかしながら、特許文献１に記載された搬送治具では、全面に所定の粘着力を有する粘着面を溝側に窪ませて、搬送対象物の解放を行っているため、粘着シートの粘着力の設定が難しくなる。すなわち、粘着シートの粘着力が強すぎると、粘着面を溝側に窪ませても、搬送対象物の解放ができない。一方、この場合に、搬送対象物の解放ができるように粘着シートの粘着力を弱めると搬送対象物を確実に保持できないという問題が生じうる。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、粘着シートを用いて搬送対象物を搬送する搬送治具において、粘着シートの粘着力の設定が容易な構成を備える搬送治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明は、搬送対象物の保持および保持した搬送対象物の解放を行って、搬送対象物を搬送する搬送治具において、搬送対象物を保持する粘着面と粘着面とは反対側の面となる裏側面とを有する粘着シートと、裏側面を固定するためのシート固定面を有するとともに裏側面に向かって圧縮空気を供給するための空気供給孔が形成される粘着シート固定部材とを備え、シート固定面は、裏側面が固定される固定部と、少なくとも空気供給孔に対応する位置に形成され裏側面が固定されない非固定部とを備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の搬送治具では、シート固定面は、空気供給孔に対応する位置に形成され裏側面が固定されない非固定部を備えている。そのため、空気供給孔から粘着シートの裏側面に向かって供給された圧縮空気によって、粘着シートの、非固定部に配置された部分は粘着面の方向へ向かって膨らむ。この粘着シートの膨らみ量を大きくすれば、粘着シートと搬送対象物との接触状態を限りなく点接触の状態に近づけることも可能になる。すなわち、粘着シートの膨らみ量を大きくすれば、粘着シートと搬送対象物との接触面積を非常に小さくすることができる。したがって、たとえば、粘着シートの粘着面の全面が粘着力を有する場合に、粘着シートの粘着力を強くしても粘着シートから搬送対象物を自重で外すことが可能になる。また、たとえば、粘着シートの粘着面の、非固定部に対応する位置が粘着力を有しない場合には、粘着シートの粘着力を強くしても粘着シートを膨らませることで、粘着シートから搬送対象物を外すことが可能となる。その結果、粘着シートの粘着力を設定する際には、搬送対象物を解放するための条件はそれほど考慮することなく、搬送対象物を確実に保持するための条件を考慮すれば良い。そのため、本発明の搬送治具では、粘着シートの粘着力の設定が容易になる。
【００１０】
本発明において、粘着面は、固定部に対応する位置の少なくとも一部に形成され粘着力を有する粘着部と、非固定部に対応する位置に形成され粘着力を有しない非粘着部とを備えることが好ましい。このように構成すると、粘着シートの裏側面に向かって供給された圧縮空気によって、粘着シートの、非固定部に配置された部分を粘着面の方向へ向かって膨らませることで、すなわち、非粘着部を搬送対象物に向かって膨らませることで、粘着部と搬送対象物とを非接触状態にすることができる。そのため、粘着シートから搬送対象物を容易に外すことができる。
【００１１】
本発明において、粘着シート固定部材には、分散して配置される複数の空気供給孔が形成されていることが好ましい。このように構成すると、粘着面に対向する搬送対象物の対向面に分散した力をかけて粘着シートから搬送対象物を外すことができる。そのため、薄型化して破損しやすい搬送対象物であっても、その破損を防止することができる。
【００１２】
本発明において、空気供給孔に連通する空気流路が形成される本体部を備え、粘着シート固定部材は、本体部とは別体で形成されるとともに本体部に着脱可能に取り付けられていることが好ましい。このように構成すると、粘着シートの粘着力が低下した場合には、古い粘着シートが固定された状態の粘着シート固定部材を、新たな粘着シートが固定された状態の粘着シート固定部材に取り替えることで、搬送治具を継続して使用することができる。すなわち、搬送治具の保守が容易になる。また、本体部から取り外されると、粘着シート固定部材の取扱いが容易になる。そのため、粘着力が低下した粘着シートに再び粘着力を加えて、粘着シートおよび粘着シート固定部材を再利用することが可能となる。
【００１３】
本発明において、空気供給孔へ圧縮空気を供給する空気供給手段を備えることが好ましい。このように構成すると、搬送治具と空気供給手段とを接続するホース等の接続配管が不要になり、搬送治具の取扱いが容易になる。なお、圧縮空気を供給する空気供給手段として、たとえば、注射器等のピストンシリンダといった簡易な構成のものを用いることが可能であるため、搬送治具が空気供給手段を備えていても搬送治具が大型化するのを防止することは可能である。
【００１４】
また、上記の課題を解決するため、本発明は、搬送対象物の保持および保持した搬送対象物の解放を行って、搬送対象物を搬送する搬送治具において、搬送対象物を保持する粘着面と粘着面とは反対側の面となる裏側面とを有する粘着シートと、裏側面を固定するためのシート固定面と裏側面を吸引するために窪む空気吸引部とを有する粘着シート固定部材とを備え、シート固定面は、裏側面が固定される固定部と、少なくとも空気吸引部に対応する位置に形成され裏側面が固定されない非固定部とを備え、粘着面は、非固定部に対応する位置にのみ粘着力を有することを特徴とする。
【００１５】
本発明の搬送治具では、窪んだ空気吸引部に対応する位置に形成され裏側面が固定されない非固定部をシート固定面が備え、粘着面は、非固定部に対応する位置にのみ粘着力を有している。そのため、空気吸引部で粘着シートの裏側面が吸引され、粘着シートの非固定部に配置された部分が空気吸引部側へ向かって窪むと、粘着面の粘着力を有する部分と搬送対象物とが非接触状態となる。したがって、粘着シートの粘着力を強くしても粘着シートから搬送対象物を自重で外すことが可能になる。その結果、粘着シートの粘着力を設定する際には、搬送対象物を解放するための条件はそれほど考慮することなく、搬送対象物を確実に保持するための条件を考慮すれば良い。そのため、本発明の搬送治具では、粘着シートの粘着力の設定が容易になる。
【００１６】
本発明において、空気吸引部に連通する空気流路が形成される本体部を備え、粘着シート固定部材は、本体部とは別体で形成されるとともに本体部に着脱可能に取り付けられていることが好ましい。このように構成すると、搬送治具の保守が容易になる。また、本体部から取り外された粘着シート固定部材の取扱いは容易であるため、粘着力が低下した粘着シートに再び粘着力を加えて、粘着シートおよび粘着シート固定部材を再利用することが可能となる。
【００１７】
本発明において、粘着シートは、シリコンゴムで形成されていることが好ましい。このように構成すると、粘着シートを容易に膨らませたり、窪ませたりすることができる。また、粘着部と非粘着部とを粘着面に形成する場合には、粘着部および非粘着部の位置精度を出しやすくなる。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明にかかる搬送治具では、搬送対象物の搬送に利用する粘着シートの粘着力の設定が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】
［実施の形態１］
（搬送治具の構成）
図１は、本発明の実施の形態１にかかる搬送治具１の概略構成を側面から示す部分断面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から搬送治具１の一部を示す側面図である。図３は、図１のＦ−Ｆ方向から搬送治具１の底面を示す底面図である。図４は、図１のＧ−Ｇ方向から第１本体部９の上面を示す平面図である。図５は、図１に示す粘着シート固定部材５の底面を示す底面図である。図６は、図５のＨ部を拡大して示す拡大図である。図７は、図１のＪ部を拡大して示す拡大断面図であり、（Ａ）は、搬送治具１が半導体ウェハ２を保持した状態を示し、（Ｂ）は、搬送治具１が半導体ウェハ２を解放するときの状態を示す。
【００２１】
実施の形態１の搬送治具１は、所定位置に配置された搬送対象物２を保持し、また、保持した搬送対象物２を他の所定位置で解放することで、搬送対象物２を搬送するものである。本形態の搬送対象物２は半導体ウェハであるため、以下では、搬送対象物２を半導体ウェハ２と表記する。また、本形態の搬送治具１は、ウェハケース３（図３参照）に収納された半導体ウェハ２を作業者が手動で取り出して、所定の作業位置まで搬送するための治具である。この搬送治具１は、図１および図２等に示すように、半導体ウェハ２を保持するための粘着シート４と、粘着シート４が固定される粘着シート固定部材５と、粘着シート固定部材５が取り付けられる本体部６と、本体部６に取り付けられた空気供給手段としてのピストンシリンダ７とを備えている。
【００２２】
本体部６は、図１から図４に示すように、円板状に形成され粘着シート固定部材５が取り付けられる第１本体部９と、第１本体部９の図示上面の略中心に取り付けられた細長い円筒状の第２本体部１０と、第１本体部９の図示上面で第２本体部１０を支持する支持部材１１と、作業者が搬送治具１を持ち上げるための取手１２と、第２本体部１０の図示上端に固定されたＬ形状の配管継手１３と、ウェハケース３の内部へ搬送治具１を案内するための３つのガイド部材１４とを備えている。なお、図１では便宜上、取手１２の図示を省略し、また、図２では便宜上、ガイド部材１４の図示を省略している。
【００２３】
第１本体部９は、上述のように円板状に形成されており、その外径はたとえば１２５ｍｍとなっている。図１に示すように、この第１本体部９の中心には図示上下方向に貫通する貫通孔９ａが形成されている。この貫通孔９ａは、第２本体部１０に形成された後述の貫通孔１０ａとほぼ同じ大きさの内径で形成された丸孔となっている。たとえば、この貫通孔９ａの内径は６ｍｍとなっている。また、図１における粘着シート固定部材５の上面に当接する第１本体部９の底面（図１の下面）には、貫通孔９ａに連通する円形状の浅い凹部９ｂが形成されている。この凹部９ｂの内径は、貫通孔９ａの内径よりも大きくなっており、その内径はたとえば９０ｍｍとなっている。
【００２４】
さらに、第１本体部９の周縁部には、粘着シート固定部材５を第１本体部９に取り付けるためのネジ（図示省略）が配置されるネジ配置孔９ｃが形成されている。このネジ配置孔９ｃは、図４に示すように、略等角度ピッチで６箇所に形成されている。さらにまた、第１本体部９の周縁部の図示上面には、ガイド部材１４を取り付けるためのネジ孔９ｄが形成された取付溝９ｅが略等角度ピッチで３箇所に形成されている。また、第１本体部９の底面における凹部９ｂの径方向外側には、Ｏリング１５が配設される円環状の円環溝９ｆが形成されている。この円環溝９ｆに配設されるＯリング１５によって、第１本体部９と粘着シート固定部材５との当接面からの空気漏れが防止されている。
【００２５】
ガイド部材１４は、ウェハケース３の内周面に当接する当接部１４ａと、長孔１４ｂが形成された基部１４ｃとを備えている。このガイド部材１４は、図４等に示すように、当接部１４ａを径方向外側に向けた状態で、ネジ孔９ｄに螺合された固定ネジ１６（図１参照）によって、第１本体部９の取付溝９ｅに取り付けられている。固定ネジ１６は、ガイド部材１４の長孔１４ｂに挿通された後に、ネジ孔９ｄに螺合される（図４参照）。そのため、第１本体部９に対する当接部１４ａの径方向外側への突出量が調整可能となっている。なお、図４では便宜上、固定ネジ１６の図示を省略している。
【００２６】
第２本体部１０には、図１に示すように、図示上下方向へ貫通する貫通孔１０ａが形成されている。支持部材１１は、図１に示すように、鍔部１１ａを有する鍔付の円筒形状に形成されており、鍔部１１ａが第１本体部９の図示上面に固定されている。また、支持部材１１の内周側には第２本体部１０が挿通され、第２本体部１０の図示下端が第１本体部９の図示上面に当接した状態で、第２本体部１０は、支持部材１１に固定されている。
【００２７】
取手１２は、図２に示すように、搬送治具１を持ち上げるときに作業者が握るグリップ部１２ａを備え、第２本体部１０に図示省略するネジ等の固定手段によって固定されている。
【００２８】
図１に示すように、第１本体部９に形成された貫通孔９ａおよび凹部９ｂと、第２本体部１０に形成された貫通孔１０ａと、配管継手１３に形成された貫通孔１３ａとは連通している。これらの貫通孔９ａ、１０ａ、１３ａおよび凹部９ｂによって、粘着シート固定部材５に形成された後述の空気供給孔５ｂに連通する空気流路が構成されている。
【００２９】
なお、本形態では、第１本体部９と第２本体部１０と支持部材１１と配管継手１３とがそれぞれ別部材として形成されている。この他にも、第１本体部９と第２本体部１０と支持部材１１と配管継手１３との少なくともいずれか２つが一体で形成されても良い。また、第１本体部９、第２本体部１０、支持部材１１および配管継手１３は、強度を確保するためアルミ等の金属部材で形成されても良いし、軽量化を図るため樹脂部材で形成されても良い。
【００３０】
ピストンシリンダ７は、作業者が手動で駆動する手動式のものである。このピストンシリンダ７は、図１に示すように、略円筒状のシリンダケース１７と、シリンダケース１７の内部に配設されるピストン１８と、シリンダケース１７の内部からの空気漏れを防止するためピストン１８の外周側に取り付けられたＯリング１９と、ピストン１８の往復移動を案内するガイド２０と、ピストン１８を往復移動させるためのレバー２１と、レバー２１を動作させる時に作業者が握るグリップ部２２とを備えている。
【００３１】
また、このピストンシリンダ７は、シリンダケース１７の内部に接続される一方弁（図示省略）を備えている。この一方弁は、シリンダケース１７の内部圧力が正圧（搬送治具１の外部圧力より大きな圧力）のときには、シリンダケース１７の内部から空気が流出せず、シリンダケース１７の内部圧力が負圧（搬送治具１の外部圧力より小さな圧力）のときには、シリンダケース１７の内部に空気が流入するように、シリンダケース１７の内部に接続されている。
【００３２】
図１に示すように、シリンダケース１７の内部には、ピストン１８が配設される大径部１７ａと、シリンダケース１７の先端側（図１では左端側）に配置され大径部１７ａよりも内径が小さな小径部１７ｂとが形成されている。このシリンダケース１７の先端側は、配管継手１３に固定され、その基端側（図１では右端側）には、グリップ部２２が固定されている。
【００３３】
ピストン１８は、大径部１７ａに配設されるピストンヘッド１８ａと、ガイド２０によって図示左右方向へ案内されるピストンロッド１８ｂとを備えている。図１に示すように、ピストンヘッド１８ａの外周側には、Ｏリング１９が取り付けられている。また、ピストンロッド１８ｂの図示右端には、連結軸２３が固定されている。
【００３４】
レバー２１は、グリップ部２２に固定された固定軸２４に、この固定軸２４を中心として回動可能に取り付けられている。このレバー２１の図示上端は、連結軸２３に対して揺動可能に取り付けられている。また、図１に示すように、連結軸２３および固定軸２４に腕部が引っ掛けられたねじりコイルバネ２５によって、連結軸２３は図示右側へ付勢されている。
【００３５】
ピストンシリンダ７では、作業者がグリップ部２２を握り、図１におけるレバー２１の下端側を指で右方向へ引くと、ピストン１８が左方向へ移動して、小径部１７ｂから空気が、貫通孔９ａ、１０ａ、１３ａ等によって構成される空気流路に供給される。空気流路に供給された空気は、搬送治具１の外部に漏れないようになっており、そのため、シリンダケース１７や空気流路の内部圧力が正圧となる。また、作業者がレバー２１の下端側から指を外すと、ねじりコイルバネ２５およびシリンダケース１７内部の圧縮空気の反発力によって、ピストン１８が図示右方向へ移動して、シリンダケース１７や空気流路の内部圧力は、搬送治具１の外部圧力とほぼ等しくなる。なお、本形態のピストンシリンダ７は、図１に示すように、グリップ部２２を備える拳銃のような形状をしたものであるが、ピストンシリンダは、注射器と同様の形状のものであっても良い。
【００３６】
粘着シート固定部材５は、アルミ等の金属部材または樹脂部材からなり、図５等に示すように、円板状に形成されている。たとえば、粘着シート固定部材５の外径は、第１本体部９の外径と同じ１２５ｍｍとなっている。この粘着シート固定部材５の底面（図１の下面）は、粘着シート４の後述の裏側面４ｂを固定するためのシート固定面５ａとなっている。また、粘着シート固定部材５には、貫通孔９ａ、１０ａ、１３ａ等によって構成される空気流路から供給される圧縮空気を粘着シート４の裏側面４ｂに向かって供給するための複数の空気供給孔５ｂと、シート固定面５ａから窪むように形成され複数の空気供給孔５ｂがそれぞれ連通する複数の円環状の円環凹部５ｃとが形成されている。
【００３７】
また、粘着シート固定部材５には、第１本体部９のネジ配置孔９ｃに配置されるネジ（図示省略）に螺合する６個のネジ孔５ｄが形成されている。すなわち、粘着シート固定部材５は、ネジ配置孔９ｃに配置されるネジによって、第１本体部９に着脱可能に取り付けられている。
【００３８】
複数の空気供給孔５ｂは、粘着シート固定部材５の上面（図１の上面）から、円環凹部５ｃまで貫通するように形成されている。また、複数の空気供給孔５ｂは、粘着シート４の裏側面４ｂに向かって圧縮空気を供給するため、図１に示すように、第１本体部９に形成された凹部９ｂに連通する位置に形成されている。さらに、空気供給孔５ｂは、図５に示すように、シート固定面５ａに分散した状態で複数形成されている。より具体的には、シート固定面５ａのほぼ全面に略放射状に分散した状態で複数形成されている。
【００３９】
複数の円環凹部５ｃは、上述のように、複数の空気供給孔５ｂのそれぞれに連通しており、図５に示すように、円環凹部５ｃは、空気供給孔５ｂと同様に、略放射状に分散した状態で複数形成されている。また、円環凹部５ｃの内周側は、先端が平面となっている柱状の円形部５ｅとなっている。図１における円形部５ｅの下面は、図１および図７に示すように、シート固定面５ａと同一面となっている。なお、円環凹部５ｃの外側の径は、たとえば、１０ｍｍとなっており、円環凹部５ｃの内側の径（すなわち、円形部５ｅの外径）は、たとえば、５ｍｍとなっている。
【００４０】
シート固定面５ａでは、円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅ以外の面に、粘着シート４の裏側面４ｂが固定される。すなわち、シート固定面５ａでは、空気供給孔５ｂに対応するように形成された円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅは、裏側面４ｂが固定されない非固定部となっている。また、シート固定面５ａでは、円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅ以外の部分は裏側面４ｂが固定される固定部となっている。
【００４１】
粘着シート４は、伸び縮みが可能なシリコンゴムからなり、図３等に示すように円板状に形成されている。粘着シート固定部材５と同様にこの粘着シート４の外径も、たとえば、１２５ｍｍとなっている。本形態の粘着シート４は、具体的には、信越ポリマー社製の「粘着プレート  シンエツＨＳＰ」である。すなわち、本形態の粘着シート４は、電子部品や半導体デバイスの保持や搬送に最適な粘着プレートで形成されている。この粘着シート４のベース材料は、耐熱性や耐薬品性等に優れたシリコンゴムであり、その硬度（デュロメータのタイプＡで測定した硬度）は１０〜７０度の範囲で任意に設定することができる。なお、本形態の粘着シート４の厚さはたとえば、０．３ｍｍ以上（具体的には０．５ｍｍ）となっている。
【００４２】
また、粘着シート４は、半導体ウェハ２を保持する粘着面４ａと、粘着面４ａとは反対側の面となる裏側面４ｂとを備えている。上述のように、裏側面４ｂは粘着シート固定部材５のシート固定面５ａに固定されている。具体的には、シート固定面５ａの固定部に裏側面４ｂが両面テープや接着等によって固定され、シート固定面５ａの非固定部には裏側面４ｂは固定されていない。また、図１に示すように、粘着面４ａが図示下側を向くように配置されている。さらに、シート固定面５ａに固定される際の粘着シート４には外力が加えられておらず、粘着シート４は、伸び縮みしていない状態で、シート固定面５ａに固定されている。なお、粘着シート４と粘着シート固定部材５とを一体成形で形成しても良い。
【００４３】
粘着面４ａでは、図３および図７に示すように、複数の円環凹部５ｃの形成位置に対応する範囲であって、かつ、円環凹部５ｃの外側の径と同じ大きさの直径Ｄの範囲は、粘着力を有しない非粘着部４ｃとなっている。また、粘着面４ａでは、非粘着部４ｃ以外の部分が粘着力を有する粘着部となっている。すなわち、粘着面４ａでは、非固定部となる円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅに対応する位置に非粘着部４ｃが形成され、シート固定面５ａの固定部（円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅ以外の部分）に対応する位置に粘着部が形成されている。なお、粘着部の粘着力の強さは任意に設定することができる。
【００４４】
ピストンシリンダ７から、貫通孔１３ａ、１０ａ、９ａ、凹部９ｂ、空気供給孔５ｂおよび円環凹部５ｃを介して、粘着シート４の裏側面４ｂに向かって圧縮空気が供給されると（すなわち、貫通孔１３ａ、１０ａ、９ａ、凹部９ｂ、空気供給孔５ｂおよび円環凹部５ｃの内部圧力が正圧になると）、図７（Ｂ）に示すように、圧縮空気によって、粘着シート４の、シート固定面５ａに固定されていない部分（シート固定面５ａの非固定部に対応する部分）が図示下側（粘着面４ａ側）に向かって膨らむように構成されている。すなわち、粘着シート４の裏側面４ｂに向かって圧縮空気が供給されると、非固定部となる円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅに対応する位置に形成された非粘着部４ｃが図示下側に向かって膨らむように構成されている。
【００４５】
（半導体ウェハの搬送方法）
以上のように構成された搬送治具１を用いて以下のように半導体ウェハ２の搬送が行われる。以下では、ウェハケース３に収納された半導体ウェハ２を、ウェハケース３から所定の作業位置まで搬送する場合を例に半導体ウェハ２の搬送方法を説明する。
【００４６】
半導体ウェハ２を搬送する際には、まず、作業者が取手１２を持って搬送治具１を持ち上げる。その後、粘着シート４の粘着面４ａを下に向けた状態で、半導体ウェハ２が収納されているウェハケース３に搬送治具１を挿入する。このとき、搬送治具１は、ウェハケース３の内周面に当接するガイド部材１４によってウェハケース３の内部に適切に案内される。
【００４７】
また、このときには、ピストンシリンダ７から圧縮空気が供給されず、貫通孔９ａ、１０ａ、１３ａ等から構成される空気流路、空気供給孔５ｂおよび円環凹部５ｃの内部圧力と、搬送治具１の外部圧力は略等しくなっている。そのため、図７（Ａ）に示すように、粘着面４ａは平面状態となっている。そして、ガイド部材１４によってウェハケース３の内部に適切に案内された搬送治具１の粘着面４ａと、ウェハケース３に収納された半導体ウェハ２とが当接し、粘着面４ａに形成された粘着部に半導体ウェハ２が粘着保持される。
【００４８】
この状態で、搬送治具１をウェハケース３の内部から取り出し、半導体ウェハ２を所定の作業位置まで搬送する。この半導体ウェハ２の搬送時においても、粘着面４ａは平面状態となっている。すなわち、空気流路、空気供給孔５ｂおよび円環凹部５ｃの内部圧力と、搬送治具１の外部圧力は略等しくなっている。なお、搬送治具１をウェハケース３の内部から取り出す際にも、半導体ウェハ２を保持した搬送治具１は、ガイド部材１４によって適切に案内されるため、作業者が人手でウェハケース３から半導体ウェハ２を取り出す場合であっても、半導体ウェハ２の損傷を防止することができる。
【００４９】
半導体ウェハ２を所定の作業位置まで搬送すると、作業者は、半導体ウェハ２が保持された粘着面４ａを下側に向けた状態で、レバー２１の図１の下端側を指でグリップ部２２側（図１の右側）に引く。レバー２１を引くと、内部の空気が圧縮され、ピストンシリンダ７から、空気供給孔５ｂや円環凹部５ｃ等を介して、粘着シート４の裏側面４ｂに向かって圧縮空気が供給される。圧縮空気が供給されると、図７（Ｂ）に示すように、圧縮空気によって、粘着シート４のシート固定面５ａに固定されていない部分、すなわち、非粘着部４ｃが図示下側に向かって膨らむ。非粘着部４ｃが膨らむと、図７（Ｂ）に示すように、粘着面４ａの粘着部から半導体ウェハ２が剥離されるため（粘着面４ａの粘着部と半導体ウェハ２とが非接触状態となるため）、半導体ウェハ２は粘着シート４から外れ、所定の作業位置に配置される。
【００５０】
（実施の形態１の主な効果）
以上説明したように、実施の形態１の搬送治具１では、シート固定面５ａにおける円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅが非固定部となり、シート固定面５ａにおける円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅ以外の部分が固定部となっている。また、粘着シート４の粘着面４ａでは、シート固定面５ａの非固定部に対応する位置に非粘着部４ｃが形成され、シート固定面５ａの固定部に対応する位置に粘着部が形成されている。そのため、粘着シート４の裏側面４ｂに向かって供給された圧縮空気によって、非粘着部４ｃを膨らませて、粘着面４ａの粘着部と半導体ウェハ２とを非接触状態にすることができる。したがって、圧縮空気によって、粘着シート４から半導体ウェハ２を容易に外すことができる。
【００５１】
すなわち、実施の形態１の搬送治具１では、粘着シート４の粘着部の粘着力を強くしても、圧縮空気の供給によって、粘着面４ａの粘着部と半導体ウェハ２とを非接触状態にすることができるため、粘着シート４から半導体ウェハ２を容易に外すことができる。したがって、粘着シート４の粘着部の粘着力を設定する際には、半導体ウェハ２を解放するための条件はそれほど考慮することなく、半導体ウェハ２を確実に保持するための条件を考慮すれば良い。その結果、この搬送治具１では、粘着シート４の粘着力の設定が容易になる。
【００５２】
実施の形態１では、粘着シート固定部材５には、複数の空気供給孔５ｂがシート固定面５ａのほぼ全面に略放射状に分散した状態で複数形成されている。そのため、複数の空気供給孔５ｂに対応するように形成された複数の非粘着部４ｃが圧縮空気で膨らむことによって、粘着面４ａに対向する半導体ウェハ２の対向面（図１の上面）に分散した力をかけて粘着シート４の粘着部から半導体ウェハ２を剥離することができる。そのため、薄型化して破損しやすい半導体ウェハ２であっても、その破損を防止することができる。
【００５３】
実施の形態１では、粘着シート固定部材５は、本体部６とは別体で形成されるとともに第１本体部９に着脱可能に取り付けられている。そのため、粘着シート４の粘着力が低下した場合には、古い粘着シート４が固定された状態の粘着シート固定部材５を、新たな粘着シート４が固定された状態の粘着シート固定部材５に取り替えることで、搬送治具１を継続して使用することができる。すなわち、搬送治具１の保守が容易になる。また、本体部６から取り外されると、粘着シート固定部材５の取扱いが容易になるため、粘着力が低下した粘着シート４に再び粘着力を加えて、粘着シート４および粘着シート固定部材５を再利用することが可能となる。
【００５４】
実施の形態１の搬送治具１では、粘着シート４の裏側面４ｂへ圧縮空気を供給する空気供給手段としてピストンシリンダ７を備えている。そのため、圧縮空気を供給するためのホース等の配管を搬送治具１に接続する必要がなくなり、搬送治具１の取扱いが容易になる。特に本形態の空気供給手段は、シリンダケース１７やピストン１８等からなる簡易な構成のピストンシリンダ７であるため、搬送治具１に空気供給手段を設けても搬送治具１が大型化するのを防止できる。
【００５５】
実施の形態１では、粘着シート４はシリコンゴムで形成されている。そのため、粘着シート４を容易に膨らませることができる。また、粘着シート４はシリコンゴムで形成されているため、非粘着部４ｃの位置精度を出しやすくなる。
【００５６】
（実施の形態１の変形例）
実施の形態１では、粘着シート４の粘着面４ａには、円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅに対応する位置に非粘着部４ｃが形成されている。この他にもたとえば、粘着面４ａには非粘着部４ｃが形成されず、粘着面４ａの全面が粘着部であっても良い。このように構成した場合であっても、粘着シート４の裏側面４ｂに向かって供給される圧縮空気の圧力を大きくして、粘着シート４の、非固定部に配置された部分の膨らみ量を大きくすれば、粘着面４ａと半導体ウェハ２との接触状態を限りなく点接触の状態に近づけることができる。すなわち、粘着シート４の膨らみ量を大きくすれば、粘着シート４と半導体ウェハ２との接触面積を非常に小さくすることができる。したがって、粘着シート４の粘着力を強くしても粘着シート４から半導体ウェハ２を自重で外すことが可能になる。その結果、粘着シート４の粘着力を設定する際には、半導体ウェハ２を解放するための条件はそれほど考慮することなく、半導体ウェハ２を確実に保持するための条件を考慮すれば良い。そのため、この場合であっても、粘着シート４の粘着力の設定が容易になる。
【００５７】
［実施の形態２］
図８は、本発明の実施の形態２にかかる搬送治具における図１のＪ部に相当する部分を拡大して示す拡大断面図であり、（Ａ）は、搬送治具が半導体ウェハ２を保持した状態を示し、（Ｂ）は、搬送治具が半導体ウェハ２を解放するときの状態を示す。
【００５８】
実施の形態１では、圧縮空気によって（すなわち、粘着シート４の裏側面４ｂ側を正圧にして）粘着シート４を粘着面４ａ側に膨らませることで、保持した半導体ウェハ２の解放を行っている。一方、実施の形態２では、図８に示すように、粘着シート５４の裏側面５４ａ側を負圧にして粘着シート５４を裏側面５４ｂ側に窪ませることで、保持した半導体ウェハ２の解放を行っており、この点が実施の形態１との主な相違点となっている。以下、この相違点を中心に実施の形態２にかかる搬送治具を説明する。なお、以下では、実施の形態１の構成と共通する構成については、図面に同一の符号を付するとともに、共通する部分についての詳細な説明は省略する。あるいは、実施の形態１と共通する部分についての図示および説明は省略する。
【００５９】
実施の形態２では、上述した粘着シート固定部材５に相当する粘着シート固定部材５５は、上述したシート固定面５ａに相当するシート固定面５５ａを有するとともに、この粘着シート固定部材５５には、上述した複数の空気供給孔５ｂと同様の複数の空気吸引孔５５ｂが形成されている。この空気吸引孔５５ｂはたとえば、上述した空気供給孔５ｂと同様に、シート固定面５５ａのほぼ全面に略放射状に分散した状態で複数形成されている。
【００６０】
また、粘着シート固定部材５５には、複数の空気吸引孔５５ｂのそれぞれが連通する複数の円形状の円形凹部５５ｃがシート固定面５５ａから窪むように形成されている。空気吸引孔５５ｂは、凹部９ｂ等から構成される空気流路を介して図示を省略する真空ポンプ等の空気吸引手段に接続されている。そして、空気吸引孔５５ｂおよび円形凹部５５ｃによって、上述した粘着シート４の裏側面４ｂに相当する粘着シート５４の裏側面５４ｂを吸引するための空気吸引部が構成されている。
【００６１】
シート固定面５５ａでは、円形凹部５５ｃの形成部分以外の面に、粘着シート５４の裏側面５４ｂが固定される。すなわち、シート固定面５５ａでは、空気吸引孔５５ｂに対応するように形成された円形凹部５５ｃの形成部分は、裏側面５４ｂが固定されない非固定部となっている。また、シート固定面５５ａでは、円形凹部５５ｃの形成部分以外の部分は裏側面５４ｂが固定される固定部となっている。
【００６２】
粘着シート５４は、粘着シート４と同様に、シリコンゴム（具体的には、信越ポリマー社製の「粘着プレート  シンエツＨＳＰ」）で形成されている。また、粘着シート５４は、粘着シート４と同様に、半導体ウェハ２を保持する粘着面５４ａと、粘着面５４ａとは反対側の面となる裏側面５４ｂとを備えている。
【００６３】
粘着面５４ａでは、図８に示すように、複数の円形凹部５５ｃの形成位置に対応する範囲であって、かつ、円形凹部５５ｃの径と同じ大きさの直径Ｄ１の範囲は、粘着力を有する粘着部５４ｄとなっている。また、粘着面５４ａでは、粘着部５４ｄ以外の部分が粘着力を有しない非粘着部となっている。すなわち、粘着面５４ａでは、非固定部となる円形凹部５５ｃの形成部分に対応する位置に粘着部５４ｄが形成され、シート固定面５５ａの固定部に対応する位置に非粘着部が形成されている。
【００６４】
図示を省略する空気吸引手段によって、空気吸引孔５５ｂおよび円形凹部５５ｃを介して、粘着シート５４の裏側面５４ｂが吸引されると（すなわち、裏側面５４ａ側が負圧なると）、図８（Ｂ）に示すように、粘着シート５４の、シート固定面５５ａに固定されていない部分（すなわち、円形凹部５５ｃに対応する部分）が図示上側（裏側面５４ｂ側）に向かって窪む。すなわち、裏側面５４ａ側が負圧なると、非固定部となる円形凹部５５ｃに対応する位置に形成された粘着部５４ｄが図示上側に向かって窪む。
【００６５】
以上のように構成された実施の形態２の搬送治具では、空気吸引手段によって裏側面５４ｂが吸引されていない状態で、すなわち、粘着面５４ａを平面状態として、実施の形態１と同様に、ウェハケース３に収納された半導体ウェハ２を粘着保持し、所定の作業位置まで搬送する。
【００６６】
半導体ウェハ２を所定の作業位置まで搬送すると、半導体ウェハ２が保持された粘着面５４ａを下側に向けた状態で、空気吸引手段によって、粘着シート５４の裏側面５４ｂを吸引する。裏側面５４ｂを吸引すると、図８（Ｂ）に示すように、粘着シート５４のシート固定面５５ａに固定されていない部分、すなわち、粘着部５４ｄが図示上側に向かって窪む。粘着部５４ｄが窪むと、図８（Ｂ）に示すように、粘着部５４ｄから半導体ウェハ２が剥離されるため（粘着部５４ｄと半導体ウェハ２とが非接触状態となるため）、半導体ウェハ２は粘着シート４から外れ、所定の作業位置に配置される。
【００６７】
以上のように、実施の形態２では、シート固定面５４ａは、円形凹部５５ｃに対応する位置に形成された非固定部を備え、粘着面５４ａでは、非固定部に対応する位置に形成された粘着部５４ｄのみが粘着力を有している。そのため、粘着シート５４の裏側面５４ｂが吸引され、粘着シート５４の非固定部に配置された部分が裏側面５４ｂ側へ向かって窪むと、粘着部５４ｄが裏側面５４ｂ側へ向かって窪み、粘着部５４ｄと半導体ウェハ２とが非接触状態となる。したがって、粘着シート５４の粘着力を強くしても粘着シート５４から半導体ウェハ２を自重で外すことができる。その結果、粘着シート５４の粘着力を設定する際には、半導体ウェハ２を解放するための条件はそれほど考慮することなく、半導体ウェハ２を確実に保持するための条件を考慮すれば良い。そのため、粘着シート５４の粘着力の設定が容易になる。
【００６８】
実施の形態２では、空気吸引孔５５ｂおよび円形凹部５５ｃが、シート固定面５５ａのほぼ全面に略放射状に分散した状態で複数形成されている。また、粘着面５４ａでは、複数の円形凹部５５ｃの形成位置に対応する範囲が粘着力を有する粘着部５４ｄとなっている。そのため、粘着シート５４の粘着面５４ａのほぼ全面に分散した状態で複数形成された粘着部５４ｄによって、半導体ウェハ２を安定して保持することができる。
【００６９】
なお、実施の形態２でも、粘着シート固定部材５５は、本体部６とは別体で形成され、第１本体部９に着脱可能に取り付けられている。そのため、搬送治具の保守が容易になる等の実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００７０】
［他の実施の形態］
上述した各形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形可能である。
【００７１】
実施の形態１におけるシート固定面５ａでは、円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅは、裏側面４ｂが固定されない非固定部となっている。この他にもたとえば、シート固定面５ａに粘着シート４を固定できるのであれば、図９（Ａ）に示すように、円環凹部５ｃの形成部分よりも広い範囲が非固定部となっても良い。また、シート固定面５ａの、円環凹部５ｃの形成部分および円形部５ｅ以外の箇所に非固定部を設けても良い。同様に、実施の形態２でも、円形凹部５５ｃの形成部分よりも広い範囲が非固定部となっても良いし、シート固定面５５ａの、円形凹部５５ｃの形成部分以外の箇所に非固定部を設けても良い。
【００７２】
また、実施の形態１では、粘着シート固定部材５には円環状の円環凹部５ｃが形成されている。この他にもたとえば、粘着シート固定部材５には円環凹部５ｃが形成されずに、空気供給孔５ｂが、シート固定面５ａまで貫通するように形成されても良い。この場合には、空気供給孔５ｂから供給される圧縮空気によって粘着シート４が膨らむように、空気供給孔５ｂに対応する位置を、裏側面４ｂが固定されない非固定部とすれば良い。同様に実施の形態２でも、粘着シート固定部材５５に円形凹部５５ｃが形成されずに、空気供給孔５５ｂが、シート固定面５５ａまで貫通するように形成されても良い。
【００７３】
さらに、実施の形態１では、粘着シート固定部材５には円環状の円環凹部５ｃが形成されている。この他にもたとえば、円環凹部５ｃに代えて、空気供給孔５ｂに連通する円形状の凹部、楕円形状の凹部、多角形状の凹部、あるいは、多角環状の凹部が形成されても良い。同様に、実施の形態２でも、円形凹部５５ｃに代えて、楕円形状の凹部や多角形状の凹部が形成されても良い。
【００７４】
さらにまた、実施の形態１における粘着面４ａでは、円環凹部５ｃの外側の径と同じ大きさの直径Ｄの範囲が、粘着力を有しない非粘着部４ｃとなっている。この他にもたとえば、図９（Ｂ）に示すように、直径Ｄの範囲より広い範囲が非粘着部４ｃとなっても良いし、直径Ｄの範囲より狭い範囲が非粘着部４ｃとなっても良い。すなわち、粘着シート４では、シート固定面５ａの非固定部に対応する位置に非粘着部４ｃが形成されれば良い。また、シート固定面５ａの非固定部に対応する位置に加え、シート固定面５ａの固定部に対応する位置に非粘着部４ｃが形成されても良い。さらに、実施の形態２でも、円形凹部５５ｃの径と同じ大きさの直径Ｄ１の範囲よりも広い範囲が粘着部５４ｄとなっても良い。
【００７５】
また、実施の形態１では、搬送治具１が、空気供給手段としてピストンシリンダ７を備えている。この他にもたとえば、ホース等の配管を介して電動コンプレッサー等の空気供給手段に搬送治具を接続しても良い。この場合には、図１０に示すように、第２本体部１０の上端側にクイックカプラー等の配管継手６３を固定して、ホース等の配管を着脱可能に取り付けることが好ましい。また、図１に示すＬ形状の配管継手１３の代わりにＴ形状の配管継手を第２本体部１０の上端側に固定し、Ｔ形状の配管継手の一方にピストンシリンダ７を接続し、他方に他の空気供給手段に接続されたホース等の配管を接続しても良い。また、実施の形態２の搬送治具においても、治具自体が空気吸引手段を有するように構成しても良いし、ホース等の配管を介して搬送治具が空気吸引手段に接続されるように構成しても良い。
【００７６】
さらに、実施の形態１の搬送治具１は、ウェハケース３に収納された半導体ウェハ２を作業者が人手で取り出して、所定の作業位置まで搬送するための治具である。すなわち、搬送治具１は、手動ラインで用いられる搬送治具である。この他にもたとえば、ロボット等の搬送手段に搬送治具１を固定して（たとえば、ロボットハンドに搬送治具１を固定して）、ロボット等の搬送手段によって、半導体ウェハ２を搬送しても良い。すなわち、搬送治具１は、自動ラインで用いられる搬送治具であっても良い。この場合には、搬送治具１は、ガイド部材１４を備えていなくても良い。また、実施の形態２の搬送治具も、手動ラインで用いられる搬送治具であっても良いし、自動ラインで用いられる搬送治具であっても良い。
【００７７】
さらにまた、上述した各形態では、搬送対象物は半導体ウェハ２であるが、搬送対象物は半導体ウェハ２には限定されない。たとえば、搬送対象物は、液晶用のガラス基板のように、半導体ウェハ２よりも大型のものであっても良いし、半導体チップのように、半導体ウェハ２よりも小型のものであっても良い。なお、本発明の搬送治具は、搬送対象物を粘着保持し、かつ、適切に解放することができるため、搬送対象物が液晶用のガラス基板等の大型のものであっても、搬送対象物を精度良く所定位置に配置することができる。
【００７８】
なお、上述した各形態の構成は、ＩＣチップ等の電子部品や半導体ウェハ等を載置するトレイにも応用することができる。たとえば、トレイの枠体をなす箱の内側の底面をシート固定面とし、このシート固定面に固定部と非固定部とを設け、粘着面を上に向けた粘着シートをシート固定面に固定する。また、箱の底面に圧縮空気を供給する空気供給孔を形成し、非固定部へ圧縮空気を供給できるようにする。さらに、粘着シートの粘着面の、固定部に対応する位置を粘着部とし、非固定部に対応する位置を非粘着部とする。このように構成されたトレイでは、非粘着部が電子部品等の中心位置にくるように、かつ、粘着部に電子部品等が接触するように、粘着シートの粘着面に電子部品等を載置する。このトレイでは、粘着シートの粘着部によって電子部品等を確実に保持することができるとともに、粘着部の粘着力によって、トレイ上での電子部品等の正確な位置決めが可能になる。また、非固定部に圧縮空気を供給して非粘着部を膨らませることで、粘着シートから電子部品等を容易に取り外すことができる。
【００７９】
また、たとえば、ＩＣチップ等の電子部品や半導体ウェハ等を載置するトレイを以下のように構成しても良い。すなわち、トレイの枠体をなす箱の内側の底面をシート固定面とし、このシート固定面に固定部と非固定部とを設け、粘着面を上に向けた粘着シートをシート固定面に固定するとともに、非固定部に対応する位置に凹部を形成し、非固定部を吸引して粘着シートを窪ませることができるようにする。さらに、粘着シートの粘着面の、固定部に対応する位置を非粘着部とし、非固定部に対応する位置を粘着部とする。このように構成されたトレイでは、粘着部が電子部品等の中心位置にくるように、かつ、非粘着部に電子部品等が接触するように、粘着シートに電子部品等を載置する。このトレイでは、粘着シートの粘着部によって電子部品等を確実に保持することができるとともに、粘着部の粘着力によって、トレイ上での電子部品等の正確な位置決めが可能になる。また、非固定部を吸引して粘着部を窪ませることで、粘着シートから電子部品等を容易に取り外すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる搬送治具の概略構成を側面から示す部分断面図である。
【図２】図１のＥ−Ｅ方向から搬送治具の一部を示す側面図である。
【図３】図１のＦ−Ｆ方向から搬送治具の底面を示す底面図である。
【図４】図１のＧ−Ｇ方向から第１本体部の上面を示す平面図である。
【図５】図１に示す粘着シート固定部材の底面を示す底面図である。
【図６】図５のＨ部を拡大して示す拡大図である。
【図７】図１のＪ部を拡大して示す拡大断面図であり、（Ａ）は、搬送治具が半導体ウェハを保持した状態を示し、（Ｂ）は、搬送治具が半導体ウェハを解放するときの状態を示す。
【図８】本発明の実施の形態２にかかる搬送治具における図１のＪ部に相当する部分を拡大して示す拡大断面図であり、（Ａ）は、搬送治具が半導体ウェハを保持した状態を示し、（Ｂ）は、搬送治具が半導体ウェハを解放するときの状態を示す。
【図９】本発明の他の形態にかかる円環凹部の周辺を拡大して示す拡大図である。
【図１０】本発明の他の形態にかかる搬送治具の上端部分を示す側面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１  搬送治具
２  半導体ウェハ（搬送対象物）
４、５４  粘着シート
４ａ、５４ａ  粘着面
４ｂ、５４ｂ  裏側面
４ｃ  非粘着部
５、５５  粘着シート固定部材
５ａ、５５ａ  シート固定面
５ｂ  空気供給孔
５ｅ  円形部（非固定部の一部）
６  本体部
７  ピストンシリンダ（空気供給手段）
９  第１本体部（本体部の一部）
９ａ  貫通孔（空気流路の一部）
９ｂ  凹部（空気流路の一部）
１０  第２本体部（本体部の一部）
１０ａ  貫通孔（空気流路の一部）
１３  配管継手（本体部の一部）
１３ａ  貫通孔（空気流路の一部）
５５ｂ  空気吸引孔（空気吸引部の一部）
５５ｃ  円形凹部（空気吸引部の一部）
【図１】
2007180104.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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