(57)【要約】【課題】テスターの信頼性を監視するための方法および装置を提供すること。【解決手段】イベントログ管理システムは、少なくとも一つのテスター設定ファイルを保存するデータストアと、少なくとも一つのテスト設定ファイルの一つに関連する少なくとも一つの監視されているテスターからイベントをキャプチャするハードウェア独立イベントキャプチャ機能と、ユーザから課題情報を受け取るグラフィカルユーザインタフェースと、キャプチャイベントの保存や追跡を管理するサーバと、を含む。【選択図】図１
2007293840.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イベントログ管理システムであって、
少なくとも一つのテスター設定ファイルを保存するデータストアと、
前記少なくとも一つのテスト設定ファイルの一つに関連する少なくとも一つの監視されているテスターからイベントをキャプチャするハードウェア独立イベントキャプチャ機能と、
ユーザから課題情報を受け取るグラフィカルユーザインタフェースと、
前記グラフィカルユーザインタフェースから前記課題情報を受け取り、当該課題情報に対応する課題データエレメントを作成し、前記イベントキャプチャ機能からキャプチャイベントを受け取り、当該キャプチャイベントをイベントストアに保存し、キャプチャイベントそれぞれを対応するそれぞれの課題に関連付けるサーバと、を含む、
イベントログ管理システム。
【請求項２】
前記グラフィカルユーザインタフェースがインターネット対応であることを特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項３】
前記ハードウェア独立イベントキャプチャ機能がウェブサービスアプリケーションプログラムインタフェース（ＡＰＩ）を含むこと、
を特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項４】
前記少なくとも一つのテスター設定ファイルがＸＭＬで実施されることを特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項５】
前記少なくとも一つのテスターの特定の一つに関連するイベントを報告する報告機能をさらに含むことを特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項６】
特定の課題に関連するイベントを報告する報告機能をさらに含むことを特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項７】
前記サーバによって作成された前記課題データエレメントがＸＭＬファイルとして実施されることを特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項８】
前記サーバが前記イベントキャプチャ機能から特定のキャプチャイベントを受け取ると、サーバは、特定のキャプチャイベントは課題のうちのどの特定の課題に関連するかを判定し、前記特定のキャプチャイベントを、前記特定の課題に関連する課題データエレメントを含むＸＭＬファイルに保存し、特定のキャプチャイベントがどの課題にも関連しなければ、前記特定のキャプチャイベントを、デフォルト課題に関連するデフォルト課題データエレメントを含むＸＭＬファイルに保存すること、
を特徴とする請求項７記載のシステム。
【請求項９】
少なくとも一つのテスターのイベントを管理する方法であって、
少なくとも一つのテスター設定ファイルを取得するステップと、
ハードウェア独立インタフェースを使用して、前記少なくとも一つのテスト設定ファイルの一つに関連する少なくとも一つの監視されているテスターからイベントを自動的にキャプチャするステップと、
課題情報を受け取るステップと、
前記課題情報に対応する課題データエレメントを作成し、前記キャプチャイベントをイベントストアに保存し、各キャプチャイベントを対応するそれぞれの課題に関連付けるサーバを提供するステップと、を含むこと、
を特徴とする方法。
【請求項１０】
課題情報を受け取る前記ステップが、インターネット対応グラフィカルユーザインタフェースを通じて実行されることを特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１１】
少なくとも一つの監視されているテスターからイベントを自動的にキャプチャする前記ステップが、ハードウェア独立イベントウェブサービスアプリケーションプログラムインタフェース（ＡＰＩ)を使用して、前記少なくとも一つの監視されているテスターからイベントを受け取るステップを含むこと、
を特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１２】
前記少なくとも一つのテスターの特定の一つに関連するイベントをレポートで報告し、当該レポートにおいて、前記少なくとも一つのテスターの特定の一つに関連するテスター設定ファイルに定義されたイベント属性に従って前記イベントをフォーマットするステップをさらに含むこと、
を特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１３】
特定の課題に関連するイベントをレポートで報告し、当該レポートにおいて、前記少なくとも一つのテスターの特定の一つに関連するテスター設定ファイルに定義されたイベント属性に従って前記イベントをフォーマットする報告機能をさらに含むこと、
を特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１４】
前記サーバが前記イベントキャプチャ機能から特定のキャプチャイベントを受け取ると、当該特定のキャプチャイベントは前記課題のうちのどの特定の課題に関連するかを判定し、前記特定のキャプチャイベントを、前記特定の課題に関連するＸＭＬ課題ファイルに保存し、前記特定のキャプチャイベントがどの課題にも関連しなければ、前記特定のキャプチャイベントを、デフォルト課題に関連するＸＭＬデフォルト課題ファイルに保存すること、
を特徴とする請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
イベントログ管理システムであって、
それぞれがＸＭＬで実施され、一つ又はそれより多くのイベントタイプ定義や対応する属性定義を含む少なくとも一つのテスター設定ファイルを保存するデータストアと、
前記少なくとも一つのテスト設定ファイルの一つに関連する少なくとも一つの監視されているテスターからイベントをキャプチャするハードウェア独立イベントキャプチャ機能と、
ユーザからユーザ認識状態に関連する課題情報を受け取るインターネット対応グラフィカルユーザインタフェースと、
ＸＭＬで実施され前記課題情報に対応しこれを包含する課題ファイルを作成し、前記ハードウェア独立イベントキャプチャ機能によってキャプチャされたキャプチャイベントを、当該キャプチャイベントそれぞれが関連するそれぞれの課題に対応するそれぞれの課題ファイルに包含するサーバと、を含むこと、
を特徴とするイベントログ管理システム。
【請求項１６】
前記ハードウェア独立イベントキャプチャ機能がウェブサービスアプリケーションプログラムインタフェース（ＡＰＩ）を含むことを特徴とする請求項１５記載のシステム。
【請求項１７】
前記少なくとも一つのテスターの特定の一つに関連するイベントをＸＭＬレポートファイルで報告する報告機能をさらに含むことを特徴とする請求項１５記載のシステム。
【請求項１８】
特定の課題に関連するイベントをＸＭＬレポートファイルで報告する報告機能をさらに含むことを特徴とする請求項１５記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、広範にはテストシステムの信頼性の監視に関し、より具体的には、アプリケーション特有のイベントログ管理のシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
モデム半導体製造設備では、集積回路デバイスをテストするために自動試験装置（ＡＴＥ）を利用する。ＡＴＥによって集積回路の自動化テストが可能となるため、ＡＴＥはそのようなデバイスの確かな大量生産を実現するために最も重要である。ＡＴＥはウェハプローバに接続し、ダイシングや個々の集積回路デバイスへのパッケージングに先立って半導体ウェハをテストする。ＡＴＥはデバイスハンドラにも接続して、パッケージされたデバイスもテストする。ＡＴＥとウェハプローバおよび／又はデバイスハンドラとの組み合わせを、通常テストセルと呼ぶ。
【０００３】
テストセルは、製造設備に対する半導体メーカーのテスト計画を実施する上での基盤である。集積回路の大量生産の際、テストセルの障害を適切に対処しなければ、この障害が大きな収益の損失につながる可能性がある。もちろん、テストセル障害が起こった後にテストセルを診断して修理するよりも、障害が起こる前に積極的に回避するほうが好ましく、よりコスト効率が高い。
【０００４】
従って、一つ又は複数のターゲットテストセルで取得した測定データに基づくシステム信頼性の監視、予測、向上は、半導体メーカーにとって大変関心の深い事柄である。
【０００５】
分散したテストセルの一群の信頼性の監視に関する問題の一つが、情報の収集プロセスである。現在のところ、テストセルの信頼性に関するデータ取得はほとんどが手作業で行われ、技術者がテストセルの挙動を観察し、具体的な結果を記録し、フロアマネージャのために簡単に要約できるようにデータを集中させる、というような形態である。そのプロセスは非効率的で、不完全な、又はエラーが生じやすいデータとなるおそれがある。
【０００６】
上記の技術に対する改善は、プロセスの収集・報告アスペクトを容易にするように実施されるソフトウェアを使用することである。それで確かに手作業のプロセスよりも改善はされるが、技術者による潜在的なデータ入力エラーは依然として問題である。テストセルデータは、入力前にその正確さを検証するには難解で扱いづらいことが多い。そのような例として、シリアルナンバーや診断測定値がある。
【０００７】
テストセルの信頼性の監視やこれに関連する問題は、一般に全てのテスト装置、特に大量生産設備に流通している自動試験装置（以下では単に「テスター」と呼ぶ）に当てはまる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、テストセルの信頼性の監視や向上を可能にすることで、テストセルが適切に動作している時間を最大限に延ばすことを助ける、基本テストセルデータの識別、取得、保存、分析、報告を行うシステムを有することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の実施形態は、テスターの信頼性を監視するための方法および装置を含む。
【００１０】
一実施の形態において、イベントログ管理システムは、少なくとも一つのテスター設定ファイルを保存するデータストアと、前記少なくとも一つのテスト設定ファイルの一つに関連する少なくとも一つの監視されているテスターからイベントをキャプチャするハードウェア独立イベントキャプチャ機能と、ユーザから課題情報を受け取るグラフィカルユーザインタフェースと、前記グラフィカルユーザインタフェースから前記課題情報を受け取り、当該課題情報に対応する課題データエレメントを作成し、前記イベントキャプチャ機能からキャプチャイベントを受け取り、当該キャプチャイベントをイベントストアに保存し、キャプチャイベントそれぞれを対応するそれぞれの課題に関連付けるサーバと、を含む。
【００１１】
他の実施の形態において、少なくとも一つのテスターのイベントを管理する方法は、少なくとも一つのテスター設定ファイルを取得するステップと、ハードウェア独立インタフェースを使用して、前記少なくとも一つのテスト設定ファイルの一つに関連する少なくとも一つの監視されているテスターからイベントを自動的にキャプチャするステップと、課題情報を受け取るステップと、前記課題情報に対応する課題データエレメントを作成し、前記キャプチャイベントをイベントストアに保存し、各キャプチャイベントを対応するそれぞれの課題に関連付けるサーバを提供するステップと、を含む。
【００１２】
他の実施の形態において、イベントログ管理システムは、それぞれがＸＭＬで実施され、一つ又はそれより多くのイベントタイプ定義や対応する属性定義を含む少なくとも一つのテスター設定ファイルを保存するデータストアと、前記少なくとも一つのテスト設定ファイルの一つに関連する少なくとも一つの監視されているテスターからイベントをキャプチャするハードウェア独立イベントキャプチャ機能と、ユーザからユーザ認識状態に関連する課題情報を受け取るインターネット対応グラフィカルユーザインタフェースと、ＸＭＬで実施され前記課題情報に対応しこれを包含する課題ファイルを作成し、前記ハードウェア独立イベントキャプチャ機能によってキャプチャされたキャプチャイベントを、当該キャプチャイベントそれぞれが関連するそれぞれの課題に対応するそれぞれの課題ファイルに包含するサーバと、を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の更なる認識及び本発明に付随する多くの利点は、添付の図面と共に以下の詳細な説明を参照することで容易に理解され、より良く理解されよう。図面中、同等又は同様の構成要素については、同じ参照番号で示す。
【００１４】
実施形態の以下の詳細な説明において、その一部をなす添付図面を参照する。かかる図面には、本発明が実施される特定の実施形態が例示してある。それらの実施形態は、当業者が本発明を実施できるよう、十分詳細に説明されている。他の実施形態も利用可能であり、構造上の論理的かつ電気的変更を本発明の趣旨および範囲から逸脱せずに行うことができることを理解されたい。従って、以下の詳細な説明は限定的な意味に解釈するものではなく、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によってのみ定められる。
【００１５】
本明細書中に提示する本発明の実施形態は、テスターの信頼性の監視や向上を可能にすることで、テストセルがオンになって通常通りに実行される時間を最大限に延ばすことを助ける、基本テストセルデータの識別、取得、保存、分析、報告のためのシステムおよび方法について説明している。
【００１６】
図１は、複数のテスター１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ、１２０ｅ、１２０ｆを監視するイベントログ管理システム１００ａの使用を示すブロック図である。テスター１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃはサイト１１０ａに配置されており、テスター１２０ｄ、１２０ｅ、１２０ｆはサイト１１０ｂに配置されている。複数のユーザ１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃがウェブブラウザを介してイベントログ管理システム１００ａに接続し、このシステム１００ａと情報のやりとりを行うことができる。
【００１７】
サイトは、物理的なものでも論理的なものでもよい。例えば、サイトは自然地理的な位置でもよいし、および／又はサイトは共通のビジネスコントロール下にある分散した論理的なテスターの一群でもよい。一つ又はそれより多くの追加のイベントログ管理システム１００ｂが別の複数のテスター１２０ｇ、１２０ｈ、１２０ｉを監視することもできる。そのようなテスターを複数の異なるサイト１１０ｃにそれぞれ配置してもよいし、配置しなくてもよい。複数のユーザ１３０ｄ、１３０ｅがウェブブラウザを介してイベントログ管理システム１００ｂと接続し、このシステム１００ｂと情報のやりとりを行うことができる。
【００１８】
図２は、図１の一つ又は複数のイベントログ管理システム１００ａ、１００ｂを実施するイベントログ管理システム２００の例示的な実施形態を示すブロック図である。図示のように、このシステム２００は、イベントキャプチャモジュール２０２、アプリケーションプログラムインタフェース（ＡＰＩ）モジュール２０４、サーバモジュール２０６、ウェブＧＵＩモジュール２０８、イベントストア２１０を含む。一つ又はそれより多くのテスター２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｍがシステム２００によって監視される。このテスター２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｍは、テスター２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｍそれぞれの一つ又はそれより多くのコンポーネントの動作状態を示すイベントを生成する。イベントログ管理システム２００は、イベントをキャプチャし、インデックスを作成し、キャプチャイベントをイベントストア２１０に保存する。ユーザ２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｎは、保存されているイベントに関する種々のレポートを要求でき、イベントデータを手作業で入力できる。
【００１９】
イベントとは、テスターに対応するテスター設定ファイルで定義された所与のテスターの動作状態の具体的な発生である。イベントは、イベントキャプチャモジュール２０２の使用によって自動的にキャプチャできる。イベントは、ユーザがウェブＧＵＩ２０８によってシステムに手作業で入力することもできる。
【００２０】
図３は、例示的なテストシステムイベント３００を図示している。この実施形態では、各テストシステムイベント３００は、日付／時刻スタンプ３１０、システムＩＤ３２０（例えば、ホスト名）、イベントタイプ３３０、位置３４０を含む。イベントは、イベントタイプの値に応じてさらなる属性（図示せず）を含むことができる。
【００２１】
想定されるイベントタイプとそれに対応する属性はアプリケーションごとに異なり、テスター設定ファイルによって設定可能である。このテスター設定ファイルは、例示的な実施形態ではＸＭＬファイルとして実施される。例えば、例示的な実施形態では、所与のイベントのイベントタイプ３３０は、以下のうちの一つである。
−  診断障害  診断テストの失敗。テスト番号、説明、テスト値、限界情報などの診断情報をイベント属性フィールドに提供することができる。
−  キャリブレーション障害  ハードウェアの所与の部分におけるキャリブレーション（例えば、プログラマブル電源（ＰＰＳ）、ピンエレクトロニクス（直流）（ＰＥＤＣ）、ピンエレクトロニクス（交流）（ＰＥＡＣ）、アルゴリズミックパターン発生器（ＡＰＧ）など）の失敗。
−  アプリケーション障害  ハードウェアの所与の部分におけるアプリケーション（例えば、特定のテストを実行するためのカスタマのソフトウェア）の障害。
−  機械的障害  ハードウェアの一部の障害。
−  ソフトウェア障害  テスターソフトウェアの障害。
−  設定スナップショット  現在のシステム設定のスナップショット。
−  設定変更  ハードウェアの一部のタイプ又はシリアルナンバーの変更。
−  ＳＳＩＣ障害  （クーラントの漏れ、空気圧、ドッキング問題などのシステムを監視する）テスターシステムインタフェースコントローラの障害。
【００２２】
例示的な実施形態では、イベントの位置３４０は以下のうちの一つである。
−  システム全体
−  システムクワドラント
−  サブクワドラント
−  サイト
−  サイト内のモジュール
【００２３】
例えば、図１を参照すると、（特定の地理的位置に対応すると思われる）サイト１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃは、システムのセットである。システムは、テストセルなどの特定のテスター１２０ａ、．．．、１２０ｉであり得る。システムは、ＰＰＳ、ＰＥ、ＡＰＧなどの複数のモジュールを含むことができる。モジュールは、幾つかのサブモジュール（例えば、ＰＥモジュールにおける四つのクワドラント）を含むことができる。サブモジュールを、（例えば、サブクワドラントに）さらに区分することができる。
【００２４】
課題とは、一つ又はそれより多くのイベントをより高レベルに抽象化したものである。実質的には、課題はその総合的な兆候（イベント）よりもむしろ実際の問題が何であったかを記述している。言い換えると、課題はイベントを包含している。一例として、所与のテスターが、診断障害イベント、（障害がボードに従うかを調べるためのスワップボードからの）設定変更イベント、そして別の診断障害を生成したと仮定する。そのようなイベントはすべて同じ課題に関係している可能性があり、その課題とは、例えば、サイトモジュールに不具合が生じて交換が必要である、というものである。従って、課題は技術者が調べて対処するものであり、イベントはベンダーが関わる低レベルの詳細である。課題は、ユーザがウェブＧＵＩ２０８を通じて手作業でシステムに入力することができる。
【００２５】
図４は、例示的な課題４００を示す。この実施形態では、課題４００は、日付／時刻４１０、課題ＩＤ４２０、課題の説明４３０、課題の位置４４０、課題に関連する一つ又はそれより多くのイベントのリスト４５０（又はポインタ）などの、一つ又はそれより多くの属性を含む。
【００２６】
〔サーバモジュール〕
サーバ２０６は、イベントおよび課題の詳細を保存するための中央記憶位置であるイベントストア２１０を管理する。
【００２７】
サーバ２０６は、サーバ２０６を使用するように設定されている全てのテスターやユーザクライアントから情報を集める。一実施形態では、一つのサーバ２０６が動作中の全てのクライアントにサービスを提供する。別の実施形態では、複数のサーバ２０６がクライアントのサブセットにサービスを提供する。例えば、一つのサーバ２０６が一つ又はそれより多くの地理的位置にあるクライアントにサービスを提供し、別のサーバ２０６が別の地理的位置にあるクライアントにサービスを提供してもよい。例えば、図１のシステム１００ａはサイト１１０ａと１１０ｂのテスターにサービスを提供し、システム１００ｂはサイト１１０ｃのテスターにサービスを提供することができる。カスタマが複数のサーバ２０６を使用するならば、一実施形態では、一つのサーバ２０６から別のサーバへとデータをエクスポートしたりインポートしたりすることで、データを分析のために一つの論理サーバ２０６に集めることができる。従って、この例を使用すると、イベントおよび課題データをシステム１００ｂからシステム１００ａへとエクスポートでき、その逆も可能である。
【００２８】
サーバ２０６はまた、ユーザにウェブにアクセスさせて新しいイベントや課題に関する詳細な情報を与え、既存の課題を編集および分析する、機能論理も実施する。
【００２９】
〔イベントの識別及びキャプチャ〕
ＡＴＥテストセルなどのテスターを使用してＩＣをテストするプロセスによって、大量のデータが生成される。このデータのいくらかはＩＣ自体の特徴に関係している。このデータの別の部分はＩＣとテストセルとの情報のやりとりに関係しており、このデータのまた別の部分はテストセルの状態や一般的な動作条件に関係している。
【００３０】
テストセルの移行は、ユーザによってセットアップされた特定のプログラムシーケンスに大きく依存する。テストセルの信頼性は、このテストシーケンスにある程度依存する。例えば、あるテストシーケンスが他のテストシーケンスよりもテストセルによりストレスを与えることがあれば、時間と共により多くの障害が現れる可能性がある。
【００３１】
イベントキャプチャモジュール２０２は、あらゆるプログラムされたテストシーケンスに自動的に適応し、任意の選択された時間における監視されているテスターの状態や動作条件を示すイベントを監視されているテスターから自動的にキャプチャする。イベントキャプチャモジュール２０２は、監視されているテスト装置からイベントを受け取るように設定されたソフトウェアコードを含む。監視されているテスト装置それぞれからのイベントはそれぞれ異なるように設定することができ、イベントを生成するテスターに関連するテスター設定ファイルに定義されている。イベントキャプチャ２０２は、ＡＰＩモジュール２０４で実施されているような）公開ＡＰＩを使用して監視されているテスターそれぞれと通信する。
【００３２】
〔ＡＰＩモジュール〕
ＡＰＩモジュールは、アプリケーションプログラムインタフェースを実施する。このアプリケーションプログラムインタフェースによって、アプリケーション又はソフトウェアコンポーネント（例えば、ＡＴＥシステムソフトウェア、ソフトウェアツール又はイベントログ管理システム２００を利用するカスタマアプリケーション）が、詳細な情報を有するイベントをサーバ２０６に記録することができる。
【００３３】
イベントログ管理システムは、データを有効に保存するためにテスターが従わなければならない明確なインタフェースを定義する公開ＡＰＩを利用する。ＡＰＩをカスタマに公開することの利点は、以下の通りである。即ち、もしカスタマが他の種類の装置（ハンドラ、オーブンなど、又は他のテスター）に対してイベントをキャプチャし課題を追跡するためにイベントログ管理システム２００の拡張を望むならば、特定の装置のメーカーは、（種々のイベントタイプや属性を記述した）そのイベントログ管理システム設定ファイルを公開し、そのソフトウェアが確実にＡＰＩに従うようにするのみでよい。
【００３４】
例示的な実施形態では、イベントログ管理システムは「ウェブサービス」、即ちネットワークにわたる相互運用可能な機器間の情報のやりとりをサポートする、周知の世界基準を利用する。一実施形態では、シンプルオブジェクトアクセスプロトコル（ＳＯＡＰ）と拡張マークアップ言語（ＸＭＬ）スキーマと共にウェブサービス記述言語（ＷＳＤＬ）を使用し、インターネットにわたってウェブサービスを提供する。ＷＳＤＬは、ウェブサービスへのパブリックインタフェースを記述する。ＷＳＤＬは、ウェブサービスを使用した通信方法に関するＸＭＬベースのサービス記述、即ち、ディレクトリに挙げられたウェブサービスと情報のやりとりをするために必要なプロトコルバインディングやメッセージフォーマットである。サポートされる動作やメッセージをおおまかに記述し、バインディングして具体的なネットワークプロトコルとメッセージフォーマットにする。ＳＯＡＰは、コンピュータネットワークにわたって、通常はハイパーテキスト転送プロトコル（ＨＴＴＰ）を使用してＸＭＬベースのメッセージを交換し、ワールドワイドウェブ上で情報を転送したり伝達したりするためのプロトコルである。ウェブサービス、ＷＳＤＬ、ＸＭＬ、ＳＯＡＰは当業界でよく知られており、http://en.wikipedia.org/wiki/Web_servicesで詳細に説明されている。
【００３５】
ユーザがイベントに対する追加情報を提供できるように（例えば、技術者がそのイベントに対する注釈を入力できるように）、ＡＰＩ２０４は、イベントに対してウェブＧＵＩ２０８をトリガするフィードバックメカニズムも提供する。
【００３６】
ＡＰＩ２０４は、（例えば、ネットワークの問題によって）サーバ２０６が利用不可能な際に、必須の追跡機能をオフラインにするフェイルバックメカニズムを透過的に提供することもできる。そのためには、サーバ２０６が利用不可能な場合に、イベント生成テスター２２０が生成された各イベントを自身のローカルデータストア（ローカルハードドライブなど）にキャッシュする。イベントが生成されるたびに、テスターはまず全ての「キャッシュされた」イベントをサーバ２０６にパージしようとする。サーバ２０６が利用可能な場合は、キャッシュされたイベントはサーバ２０６にパージされ、キャッシュは空になる。サーバ２０６が利用不可能ならば、テスター２２０はイベントのキャッシュを続ける。
【００３７】
〔ウェブＧＵＩ〕
ウェブＧＵＩ２０８は、ユーザにイベントログ管理システムと情報のやりとりをさせるグラフィカルユーザインタフェースを実施する。好適な実施形態では、ウェブＧＵＩ２０８は、ウェブブラウザとネットワーク接続のみを使用してユーザがシステム２００にアクセスできるように、インターネット対応である。ＧＵＩの機能はサーバ２０６に保存されているのでユーザクライアント２３０ａ、．．．、２３０ｎに特別なソフトウェアが要らなくなる。
【００３８】
ウェブＧＵＩ２０８は、課題／イベントの入力と課題／イベントの報告という、二つの主な目的を果たす。
【００３９】
課題／イベントの入力について述べると、ウェブＧＵＩ２０８によって、ユーザは、サーバ２０６に記録されている課題およびイベントの追加のデータを指定（そしてある程度変更）することができる。例えば、課題がＧＵＩ２０８を通じてセットアップされ入力される。さらに、イベントは、ユーザがそのイベントに関連する追加の注釈を入力できるように注釈属性を含むこともある。さらにサーバ２０６は、監視されているテスターから新しいイベントを受け取ったときに、ユーザがイベントに関する追加情報を提供できるように、又はこのイベントを課題に割り当てられるように、ウェブＧＵＩ２０８をトリガすることができる。
【００４０】
図５は、テスター５００、具体的には、図２のイベントログ管理システム２００によって監視可能な（カリフォルニア州パロアルトにあるアジレントテクノロジーズ社（Agilent Technologies, Inc.）製の）アジレントバーサテスト（Agilent Versatest）V５５００の例示的な実施形態を示す。図示のように、バーサテストV５５００５００は、ＤＵＩ（被試験体）インタフェース５２０を有するテストヘッド５１０と、テストヘッド５１０を位置合わせするためのマニピュレータ５３０と、下にあるＤＵＴインタフェース５２０に接続するＤＵＴボード５５０と、テストヘッド５１０に電力、冷却水、圧縮空気（図示せず）を供給するためのサポートラック５４０と、を含む。
【００４１】
テストヘッド５１０は、ピンエレクトロニクス（ＰＥ）、プログラマブル電源（ＰＰＳ）、アルゴリズミックパターン発生器（ＡＰＧ）、追加のアナログモジュールを含むテスターエレクトロニクスからなる。テストヘッド５１０は、多数のピン、例えば４０９６個のピンで構成される。テストヘッドは、３６個のカードケージを支持する。各カードケージは、９枚のデジタルボード又は九つのアナログモジュールをそれぞれ含むことができる。ＤＵＴはＤＵＴボード５５０に取り付けられ、このボードはＤＵＴインタフェース５２０によってＩ／Ｏチャンネルに接続する。ＤＵＴインタフェース５２０は高性能の同軸ケーブルやスプリングコンタクトピン（ポゴピン）からなり、そのような要素がＤＵＴボード５２０との電気接続を確立する。
【００４２】
汎用マニピュレータ５３０は、テストヘッド５１０を支持しこれを位置合わせすることで、テストヘッド５００とハンドラ又はウェハプローバとの正確かつ繰り返し可能な接続をもたらす。
【００４３】
サポートラック５４０はマニピュレータ５３０に接続されており、テストヘッド５１０とＡＣ電力、冷却水、圧縮空気とのインタフェースとしての役目を果たす。
【００４４】
テスター５００は、ディスプレイ５６２、キーボード５６４、マウス（図示せず）を含むことができ、これらはユーザとテスター５００とのインタフェースとしての役目を果たす。他の出入力装置（図示せず）を、テスター５００と通信可能に接続することもできる。
【００４５】
テストソフトウェアがコンピュータ又はワークステーション５７０で実行されることで、ユーザはテストを設定してセットアップし、テストシステムからダウンロードしたテストステータスとテストデータを観察できる。一実施形態では、図示のように、コンピュータ５７０がテスター５００自体に統合されている。他の実施形態では、コンピュータ５７０はテスター５００（図示せず）と遠隔通信してもよい。全てのテストがテスター５００で実行される。結果は、コンピュータ５７０で実行されるテストソフトウェア５８０によって取り出され、モニタ５６２に表示される。
【００４６】
イベントログ管理システム２００の例示的な実施形態を実施するイベントログ管理ソフトウェア５９０をテスターソフトウェア５８０に統合してもよい。イベントログ管理ソフトウェア５９０は、コンピュータ５７０が読み取り実行するコンピュータ可読プログラム命令を含むソフトウェアアプリケーションとして実施することができる。別の実施形態では、イベントログ管理ソフトウェア５９０を遠隔機器（図示せず）で実行し、テスター５００と遠隔通信することもできる。
【００４７】
イベントログ／報告ソフトウェア５９０のウェブＧＵＩが、ユーザのディスプレイ５６２にウェブページを表示し、ウェブインタフェースを介してユーザ入力を受け取る。
【００４８】
図６は、イベントログ管理ソフトウェア５９０の例示的な実施形態６００の機能論理を示す機能ブロック図である。このソフトウェア６００は、イベントキャプチャモジュール６０２、アプリケーションプログラムインタフェース（ＡＰＩ）モジュール６０４、サーバモジュール６０６、ウェブＧＵＩモジュール６０８、イベントストア６１０を含む。
【００４９】
サーバ６０６は、イベントログ管理システム６００と監視されているテスター６２０ａ、６２０ｂ、６２０ｍとの接続を確立しこれを維持する接続ハンドラ機能６５１を含む。
【００５０】
システム６００によって監視されるテストセルはそれぞれ、これに対応するテスト設定ファイルを有する。従って、例えば、図５のテストセル５００が図６のテスター６２０ａに相当するならば、テスター６２０ａは、図６のイベントストア６１０に保存されている、対応するテスター設定ファイル６４０ａを有する。各テスター設定ファイル６４０ａ、．．．、６４０ｍは対応するテスター６２０ａ、．．．、６２０ｍに特有のものである。好適な実施形態では、テスター設定ファイル６４０ａ、．．．、６４０ｍはＸＭＬファイルとして実施され、このファイルは、所与のテストセルに関連する三つのカテゴリーの情報からなるＸＭＬデータを保存している。
【００５１】
−  イベントタイプのリスト。各テストセルは異なる種類のイベントを生成することができる。各イベントは、固有の特性と属性を有する。多くの特性と属性が特定の種類のイベントに固有であり、イベントログ管理システムは種々のイベントタイプを区別しなければならない。
【００５２】
−  （特定のイベントタイプの）属性のリスト。各イベントは固有の属性又は特性を有しているため、そのような属性や特性の説明が記述される。例えば、特定のイベントタイプの属性名やその属性のとりうる値が列挙される。
【００５３】
−  （各属性の）グラフィック表示情報。テストセル設定ファイルは、プレゼンテーション層がイベント情報をエンドユーザに表示するのを助けるグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）情報を含む。各イベント属性について、設定ファイルは入力フィールドタイプと入力フィールド長を指定する。入力フィールドタイプは、例えば、テキストファイル、テキスト領域、コンボボックス、無線操作などでよい。入力フィールド長は、入力フィールドタイプに対応する。例えば、テキストファイルを含む入力フィールドタイプに対応する入力フィールド長は、テキストフィールドのサイズとなる。同様に、テキスト領域を含む入力フィールドタイプに対応する入力フィールド長は、テキスト領域の寸法になる。
【００５４】
テスター設定ファイル６４０ａ、．．．、６４０ｍは、システム自体のデータベース（即ち、イベントストア６１０）内に直接保存される。
【００５５】
以下は、図５のアジレントバーサテストV５５００システムに関連する例示的な設定ファイルの例示的なＸＭＬファイルである。
【００５６】
TestCell.xml
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<!--This file is a template used for describing events to be recorded on the Versatest v5x00 systems-->
<Tool xmlns="http://www.agilent.com/cstd/rts" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xsi:schemaLocation="http://www.agilent.com/cstd/rts
http://localhost/schema/rts.xsd" name="v4x00">
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【００５７】
コンテンツを記述するＴｅｓｔＣｅｌｌ．ｘｍｌファイルに対するキーを以下の表１に示す。
【００５８】
【表１】
2007293840.tif 000003
【００５９】
ウェブＧＵＩ６０８を実施するロジックは、一つ又は複数のクライアントではなく、サーバ６０６で実行される。従って、エンドユーザはウェブブラウザにアクセスすることでイベントログ管理システム６００にアクセスするのみでよい。ＧＵＩをサーバに集中させることで、ＧＵＩのバージョン管理が簡単かつ共通なものとなり、個々のユーザクライアント６３０ａ、６３０ｂ、６３０ｎではなくサーバのみのバージョンアップのみが必要となる。クライアント６３０ａ、６３０ｂ、６３０ｎは、システム６００にアクセスするための特別なソフトウェアを必要としない。
【００６０】
サーバ６０６は、各キャプチャイベントを、同じテスタークライアントに属する特定の課題に割り当てる。従って、テスター６２０ａがイベントを生成した場合、このイベントを、テスター６２０ａに関連する（即ち、属する）課題に割り当てるのみでよい。サーバ６０６は、課題がアップデートされると、その課題に関する全ての情報をサーバデータベース６１０に保存されているＸＭＬファイルにコピーする。このことによって、ユーザは課題に関する情報を別のアプリケーションで処理できる。
【００６１】
サーバ６０６を、クライアントにつき複数の課題を追跡するように設定してもよい。一実施形態では、所与のテスタークライアント６２０ａ、６２０ｂ、６２０ｍに関連する課題は、サーバイベントストア６１０にある一つ又はそれより多くの対応する一つ又は複数のＸＭＬファイル６４２ａ１、．．．、６４２ａｉ、６４２ｂ１、．．．、６４２ｂｊ、６４２ｍ１、．．．、６４２ｍｋに保存される。
【００６２】
サーバ６０６は、各課題とクライアントに対するペンディングイベントのリストを追跡する。課題は技術者がウェブＧＵＩを通じて手作業でセットアップし記録するため、技術者がイベントの課題を作成する前にシステムがイベントを生成してしまう可能性がある。例えば、技術者が診断障害イベントに関連する課題をセットアップする前に、診断障害がテスター６２０ａで生成され、システム６００に送信されてしまう可能性がある。この場合、この診断障害イベントは、技術者／クライアントによって再度割り当て可能になるまで、割り当てられていない全てのイベントと同様に、特定のテスター６２０ａ、６２０ｂ、６２０ｍに関連するテンポラリ「デフォルト課題」ファイル６４４ａ、６４４ｂ、６４４ｍに保存される。デフォルト課題ファイル６４４ａ、６４４ｂ、６４４ｍに保存されているイベントは、「ペンディング」とみなされる。
【００６３】
サーバ６０６は、無事にサーバ６０６に保存された各イベントに固有のＩＤを割り当てる。
【００６４】
サーバ６０６は、イベント追跡および報告を可能にする追加のユーティリティを含むことができる。例えば、一実施形態では、レポート作成手段６５５が所定の間隔に１回（例えば、月に１回）サマリーＸＭＬファイルを作成し、このサマリーＸＭＬレポートをサーバに保存する。以下は、「サンダークラッカー」と称するアジレントバーサテストV５５００テスターのマンスリーレポートの一例である。
【００６５】
Thundercracker.3-2006.xml
<?xml version="1.0" standalone="yes"?>
<!-- FILTERS USED
.name IN (v5x00)
.name IN (Thundercracker)
-->
<rtsreport timeStamp="2006/03/29 13:22:52">
<company name="Agilent Technologies">
<site name="Santa Clara">
<toolType name="v5x00">
<tool name="Thundercracker" testCellSerial="11111111">
<event id="932AF1B97F000001002DBFC16CDD1860">
<type>Diagnostic Failure</type>
<created>2005/09/26 12:01:33</created>
<modified>2005/10/25 12:37:16</modified>
<automatic>true</automatic>
<description>sdsdsd</description>
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</toolType>
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</company>
</rtsreport>
【００６６】
ユーザは、ウェブＧＵＩ６０８を通じてサーバ報告ユーティリティにアクセスし、報告を実行してその結果をＸＭＬファイルに出力することもできる。
【００６７】
サーバ６０６に保存されているデータに対するイベント報告機能について述べると、ウェブＧＵＩ６０８の報告機能の一つが、サーバ６０６に保存されていてクローズされていない（即ち、未解決）全ての課題を挙げたウェブページである。別の報告は、ユーザにＸＭＬ課題ファイルを提供する。このファイルはダウンロードでき、処理のために別のアプリケーションを使用して開くことができる。
【００６８】
図７は、ウェブＧＵＩ６０８の例示的な実施形態における機能論理動作を示す。プレゼンテーションロジック７４８は、サーバ６０６（図６）で実行されるウェブＧＵＩ６０８によって実施される。プレゼンテーションロジック７４８は、イベント画面７０２を作成しユーザのディスプレイに表示するウェブページ作成手段７０４を含む。そのようなことを行う際、プレゼンテーションロジック７４８は対象のテスターに対応するテスター設定ファイル７４０に定義され保存されている選択されたテスターからのイベントに関連するグラフィカルプレゼンテーション値を利用し、グラフィックスをユーザの画面に作成する。プレゼンテーションロジック７４８は、対象のテストセルに対応するイベントの、イベントストア６１０に保存されている保存イベント属性値７０８を表示する。イベント画面７０２は、ユーザが例えばリスナー７４６を使用して新しいイベント属性値７０６を保存できるようにしたメカニズムを含む。このリスナーは、ユーザ入力を検出して新しいイベント属性値を保存する、サーバ６０６（図６）上のウェブＧＵＩロジック６０８で実施される。ウェブＧＵＩロジックは、新しいイベント属性値のユーザ入力があると、この新しいイベント属性値をイベントストア６１０に保存する（７０６）。
【００６９】
図８は、イベントログ管理ソフトウェアのウェブＧＵＩ６０８のプレゼンテーションロジック７４８（図７）によって表示されるイベントサマリー画面８００の例示的な実施形態を示す。図示のように、イベントサマリー画面８００は、特定のテスターのイベントのリストからなるイベントサマリーを表示する。イベントサマリー画面８００のイベントは特定のテスターに関連しているが、所与の位置（例えば、サイト、システム、モジュール、クワドラント、サブクワドラントなど）に関連するイベントを表示したイベントサマリーを表示できることが理解されよう。図８に示す例示的な実施形態では、イベントサマリー画面８００は、表形式でイベントを表示しており、イベントＩＤ８０２、イベントタイプ８０４、イベントが手作業か自動のどちらで入力されたか８０６、イベントの説明８０８、イベント作成の日付／時刻８１０、イベントに対する最近の変更の日付／時刻８１２が含まれる。イベントサマリー画面８００の各イベントを選択して、そのイベントの詳細を表示することができる。
【００７０】
例えば、図９は、イベントサマリー画面８００から選択されたイベントの詳細を示す、イベントログ管理ソフトウェアのウェブＧＵＩ６０８のプレゼンテーションロジック７４８（図７）によって表示されるイベント詳細画面９００の例示的な実施形態を示す。図示のように、選択されたイベントのタイプは、「診断障害」である。図示のように、イベント詳細画面９００は、イベントＩＤ９０２、イベントタイプ９０４、イベントが手作業か自動のどちらで入力されたか９０６、イベントの説明９０８、イベント作成の日付／時刻９１０、イベントに対する最近の変更の日付／時刻９１２を含めたイベント情報を詳細に示す。イベントタイプ診断障害に関連するイベント詳細属性もイベント詳細画面９００に表示されており、上記のＴｅｓｔＣｅｌｌ．ｘｍｌ設定ファイルに対応している。図示のように、表示されている診断障害イベント属性は、診断番号９１４、障害テキスト９１６、障害状態９１８、注釈９２０、従業員９２２、「不明（Ｎ／Ａ）」、「設置」、「ＰＭ」、「パワーアップ」、「プロービング」、「トラブルシューティング」、「レトロフィット」、「エンジニアリング」、「自動化改善」を含む考えられるオプション値を有する「発見した時」というタイトルのコンボボックス９２４、ソフトウェア更新９２６、「Ｎ／Ａ」、「ＱＡ」、「ＱＢ」、「ＱＣ」、「ＱＤ」、「ＡＣ１」、「ＡＣ２」、「ＡＣ３」などを含む考えられるオプション値を有する「スロット位置」というタイトルのコンボボックス９２８、シリアルナンバー９３０、「ＡＣＣａｌボード」、「ＡＣ／ＤＣ」、「ＡＣＯＳ／ＰＤＵ」、「補助電源」、「バックプレーン」、「ケーブル」、「ＣＢＢ（ケーブルバッファボード）」などを含む考えられるオプション値を有する「パーツの説明」というタイトルのコンボボックス９３２、パーツ番号９３４、修理時刻９３６を含む。
【００７１】
イベントログ管理システムのアーキテクチャによって、ハードウェア独立の自動的なイベントキャプチャ、保存、追跡、そしてユーザにウェブブラウザのみにアクセスさせるハードウェア独立ＧＵＩがもたらされる。兆候（即ち、イベント）を何が起こっているかという全体的な認識（即ち、課題）に直接関連付けられるようにイベントが課題に包含されることで、追跡しているイベントをユーザが理解できるフォーマットで表示し、ユーザが問題の原因、高アクティビティ領域などを指摘し追跡することを助ける。
【００７２】
革新的なサーバアーキテクチャによって、システムの寿命中のいつでも、監視されているテストセル、装置又はモジュールのリストにおけるあらゆるエントリーの追加や変更が可能になる。対応する設定ファイルをサーバデータベースに追加するだけで、新しいエントリーを追加できるだけでなく、ＸＭＬが変数属性リストの保存をサポートするため、そのようなエントリーを記述する属性を変えることができる。
【００７３】
さらに、ウェブＧＵＩを実施するロジックが、一つ又は複数のクライアントではなくシステムサーバで実行されるため、エンドユーザは、イベントログ管理システムにアクセスするためにウェブブラウザとネットワーク接続にアクセスするのみでよい。ＧＵＩをサーバに集中させることで、ＧＵＩのバージョン管理が簡単かつ共通なものとなり、個々のユーザクライアントではなくサーバのみのバージョンアップのみが必要となる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】イベントログ管理システムのネットワークで結ばれた使用を示すブロック図である。
【図２】イベントログ管理システムの例示的な実施形態を示すブロック図である。
【図３】イベントを示す図である。
【図４】課題を示す図である。
【図５】イベントログ管理システムによって監視可能なテスターの斜視図である。
【図６】例示的な実施形態におけるイベントログ管理ソフトウェアの機能論理を示す機能ブロック図である。
【図７】ウェブＧＵＩの例示的な実施形態における機能論理動作を示す機能ブロック図である。
【図８】イベントログ管理システムのウェブＧＵＩによって示されるイベントサマリーレポートの例示的な実施形態の画面を示す図である。
【図９】イベントログ管理システムのウェブＧＵＩによって示されるイベント詳細レポートの例示的な実施形態の画面を示す図である。
【符号の説明】
【００７５】
１００、２００、６００  イベントログ管理システム
１２０、２２０、５００、６２０  テスター
１３０、２３０  ユーザ
２０６、６０６  サーバ
２０８、６０８  ウェブＧＵＩ
２１０  データベース（イベントストア）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【外国語明細書】
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