(57)【要約】【課題】レーザー溶接装置による溶接工程と、溶接部の接合強度の品質検査が行われる工程とを同一工程（同一装置）において行うことができ、時間・コストを削減することができるレーザー溶接装置及びレーザー溶接方法を提供すること。【解決手段】重なり合った状態のリボン材１１（第一の被溶接部材）及びバスバー１２（第二の被溶接部材）に対し、リボン材１１側から、溶接する部分（溶接箇所３）にレーザー光を照射することで、リボン材１１とバスバー１２とをレーザー溶接するレーザー溶接装置であって、リボン材１１とバスバー１２とを相対的に移動させて溶接した部分に引っ張り力を加えることにより、溶接した部分の接合強度の検査を行うための検査手段（係合棒１０等）を備える構成とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
重なり合った状態の第一の被溶接部材及び第二の被溶接部材に対し、第一の被溶接部材側から、溶接する部分にレーザー光を照射することで、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とをレーザー溶接するレーザー溶接装置であって、
第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させて溶接した部分に引っ張り力を加えることにより、溶接した部分の接合強度の検査を行うための検査手段を備えることを特徴とするレーザー溶接装置。
【請求項２】
前記レーザー光は、前記レーザー溶接装置に備えられるノズル体内部を通過して前記第１の被溶接部材に照射され、
前記ノズル体は、溶接する部分に第一の被溶接部材側から近接する近接動作、及び溶接された部分から離間する離間動作を行い、
前記検査手段は、前記ノズル体の移動にともなって移動するとともに、前記ノズル体の近接動作により第一の被溶接部材に係合する係合手段を有し、
前記係合手段は、前記ノズル体の離間動作によって第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させることを特徴とする請求項１に記載のレーザー溶接装置。
【請求項３】
前記検査手段は、第二の被溶接部材側から第一の被溶接部材に係合する係合部材と、該係合部材を移動させる移動部材と、を有し、
前記移動部材を移動させることにより、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させることを特徴とする請求項１に記載のレーザー溶接装置。
【請求項４】
前記検査手段は、第一の被溶接部材側から該第一の被溶接部材に対して近接離間方向に移動可能に設けられ第一の被溶接部材の一部を押圧する押圧手段と、
第一の被溶接部材に当接して、前記押圧手段の押圧による第一の被溶接部材の変形が溶接された部分に引っ張り力を加えるものとなるように第一の被溶接部材をガイドするガイド部材と、を有し、
前記押圧手段により、前記ガイド部材を当接させた第一の被溶接部材の非溶接部の一部を押圧することにより、前記第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させることを特徴とする請求項１に記載のレーザー溶接装置。
【請求項５】
重なり合った状態の第一の被溶接部材及び第二の被溶接部材に対し、第一の被溶接部材側から、溶接する部分にレーザー光を照射することで、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とをレーザー溶接するレーザー溶接方法であって、
第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させて溶接した部分に引っ張り力を加えることにより、溶接した部分の接合強度の検査を行うことを特徴とするレーザー溶接方法。
【請求項６】
前記レーザー光は、前記レーザー溶接装置に備えられるノズル体内部を通過して前記第１の被溶接部材に照射され、
前記ノズル体は、溶接する部分に第一の被溶接部材側から近接する近接動作、及び溶接された部分から離間する離間動作を行い、
前記ノズル体の移動にともなって移動する係合手段を、前記ノズル体の近接動作により第一の被溶接部材に係合させ、前記ノズル体の離間動作によって第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させることを特徴とする請求項５に記載のレーザー溶接方法。
【請求項７】
第二の被溶接部材側から第一の被溶接部材に係合する係合部材を、予め第一の被溶接部材に係合させ、前記係合部材を移動させることで、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させることを特徴とする請求項５に記載のレーザー溶接方法。
【請求項８】
第一の被溶接部材側から該第一の被溶接部材の非溶接部の一部を押圧するとともに、該押圧による第一の被溶接部材の変形が溶接された部分に引っ張り力を加えるものとなるように第一の被溶接部材をガイドすることにより、前記第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させることを特徴とする請求項５に記載のレーザー溶接方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造過程などにおいてリボン材を溶接する際に用いて好適なレーザー溶接装置及びレーザー溶接方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体装置などの製品において、素子とバスバーあるいはパッド等とを接続して電気を導通させるためボンディングされるワイヤやリボン材などの被接合部材の接合強度に関し、その強度を確認して品質検査を行う必要性がある。このため、従来から、被接合部材を引っ張ることによりその接合強度を検査して確認する引っ張り試験や、被接合部材の接合部分に対して水平方向の力を加えることで接合強度を検査して確認するシェア試験などが行われている（例えば、特許文献１参照。）。
特許文献１には、レーザー光を用いてその照射対象である測定対象物の異常振動などを検出することにより、ワイヤ等の接合の良否を判定するワイヤボンディング装置の接合良否検査システムが開示されている。
【０００３】
一方、近年、金属材などの接合においてレーザー溶接が用いられている。レーザー溶接は、互いに溶接される被溶接部材を重ね合わせた状態で、一方の被溶接部材側から溶接箇所にレーザー光を照射することにより、その部分の被溶接部材を溶融させて被溶接部材同士を溶接するというものである。
こうしたレーザー溶接によって部材同士が接合される構成において、前述したような接合強度の品質検査は、従来、次のようにして行われていた。
【０００４】
従来におけるレーザー溶接の接合強度の品質検査について、図１３を用いて説明する。なお、次においては、半導体装置などの製造過程において、銅などにより構成されるリボン材１０１が基板上のハウジング等に配設されるバスバー１０２に溶接される際に行われるレーザー溶接を例に説明する。
【０００５】
図１３（ａ）に示す溶接工程においては、レーザー溶接装置によるレーザー溶接が行われる。すなわち、バスバー１０２上における所定の位置にリボン材１０１がセットされることにより、バスバー１０２とリボン材１０１とが重なり合った状態から、溶接する部分（以下、「溶接箇所」という。）１０３に対して、リボン材１０１側から加圧ノズル１０６を通じてレーザー光１０４が照射される。ここで、レーザー光１０４は、図示せぬレーザー発振器から発振され、集光レンズ等によって集光される等して溶接部に照射される。また、加圧ノズル１０６は、溶接箇所１０３に圧接することによりリボン材１０１とバスバー１０２とを密着させる。
つまり、この溶接工程においては、加圧ノズル１０６が下降することでリボン材１０１側から溶接箇所１０３に近接して該溶接箇所１０３に圧接するとともにレーザー光１０４が照射され、レーザー溶接が行われる。
【０００６】
リボン材１０１がバスバー１０２に対してレーザー溶接された後、図１３（ｂ）に示す強度品質検査工程（引っ張り工程）において、溶接された部分（以下、「溶接部」という。）１０５の強度品質検査が行われる。
溶接部１０５の強度品質検査は、バスバー１０２に溶接されたリボン材１０１が引っ張られることにより接合強度が確認される引っ張り試験により行われる。すなわち、溶接部１０５の強度品質検査が行われるためには、該溶接部１０５に引っ張り力（テンション）が加えられる必要があるところ、バスバー１０２に対して溶接部１０５において接合されたリボン材１０１が、引っ張り装置１１１により端部などが挟持されて剥がされるように引っ張られる。これにより、溶接部１０５に引っ張り力が加わり、該溶接部１０５においてリボン材１０１の破壊強度分の接合強度が検査される。
【０００７】
このように、従来においては、レーザー溶接装置による溶接工程が行われた後に、引っ張り試験が行われる強度品質検査工程が行われ、溶接工程と強度品質検査工程とが別工程（別装置）により行われていた。言い換えると、レーザー溶接された溶接部の強度品質検査を行うには、溶接工程とは別の工程を追加する必要があった。
【特許文献１】特開２０００−１３７０２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
溶接部の接合強度の品質検査を行うには、前記のとおり溶接部に引っ張り力を加える必要があるところ、従来においては、溶接工程と同工程（溶接工程内）において溶接部に引っ張り力を加える装置・方法がなかった。このため、前述したように、レーザー溶接装置による溶接工程と溶接部の接合強度の品質検査が行われる工程とが別工程とならざるを得なかった。
このように、溶接工程と強度品質検査工程とが別工程であったため、溶接部の接合強度の品質検査を行うに際して工程が増加することとなり、時間・コストがかかっていた。このため、レーザー溶接が行われる製品に関し、製造過程におけるサイクルタイムの短縮化や低コスト化を図ることが困難であった。
【０００９】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、レーザー溶接装置による溶接工程と、溶接部の接合強度の品質検査が行われる工程とを同一工程（同一装置）において行うことができ、時間・コストを削減することができるレーザー溶接装置及びレーザー溶接方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１１】
即ち、請求項１においては、重なり合った状態の第一の被溶接部材及び第二の被溶接部材に対し、第一の被溶接部材側から、溶接する部分にレーザー光を照射することで、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とをレーザー溶接するレーザー溶接装置であって、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させて溶接した部分に引っ張り力を加えることにより、溶接した部分の接合強度の検査を行うための検査手段を備えるものである。
【００１２】
請求項２においては、前記レーザー光は、前記レーザー溶接装置に備えられるノズル体内部を通過して前記第１の被溶接部材に照射され、前記ノズル体は、溶接する部分に第一の被溶接部材側から近接する近接動作、及び溶接された部分から離間する離間動作を行い、前記検査手段は、前記ノズル体の移動にともなって移動するとともに、前記ノズル体の近接動作により第一の被溶接部材に係合する係合手段を有し、前記係合手段は、前記ノズル体の離間動作によって第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させるものである。
【００１３】
請求項３においては、前記検査手段は、第二の被溶接部材側から第一の被溶接部材に係合する係合部材と、該係合部材を移動させる移動部材と、を有し、前記移動部材を移動させることにより、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させるものである。
【００１４】
請求項４においては、前記検査手段は、第一の被溶接部材側から該第一の被溶接部材に対して近接離間方向に移動可能に設けられ第一の被溶接部材の一部を押圧する押圧手段と、第一の被溶接部材に当接して、前記押圧手段の押圧による第一の被溶接部材の変形が溶接された部分に引っ張り力を加えるものとなるように第一の被溶接部材をガイドするガイド部材と、を有し、前記押圧手段により、前記ガイド部材を当接させた第一の被溶接部材の非溶接部の一部を押圧することにより、前記第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させるものである。
【００１５】
請求項５においては、重なり合った状態の第一の被溶接部材及び第二の被溶接部材に対し、第一の被溶接部材側から、溶接する部分にレーザー光を照射することで、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とをレーザー溶接するレーザー溶接方法であって、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させて溶接した部分に引っ張り力を加えることにより、溶接した部分の接合強度の検査を行うものである。
【００１６】
請求項６においては、前記レーザー光は、前記レーザー溶接装置に備えられるノズル体内部を通過して前記第１の被溶接部材に照射され、前記ノズル体は、溶接する部分に第一の被溶接部材側から近接する近接動作、及び溶接された部分から離間する離間動作を行い、前記ノズル体の移動にともなって移動する係合手段を、前記ノズル体の近接動作により第一の被溶接部材に係合させ、前記ノズル体の離間動作によって第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させるものである。
【００１７】
請求項７においては、第二の被溶接部材側から第一の被溶接部材に係合する係合部材を、予め第一の被溶接部材に係合させ、前記係合部材を移動させることで、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させるものである。
【００１８】
請求項８においては、第一の被溶接部材側から該第一の被溶接部材の非溶接部の一部を押圧するとともに、該押圧による第一の被溶接部材の変形が溶接された部分に引っ張り力を加えるものとなるように第一の被溶接部材をガイドすることにより、前記第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させるものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００２０】
請求項１においては、レーザー溶接装置による溶接工程と、溶接部の接合強度の品質検査が行われる工程とを同一工程（同一装置）において行うことができ、時間・コストを削減することができる。
【００２１】
請求項２においては、簡単な構成により、別途工程を追加することなくレーザー溶接装置による溶接工程において、溶接部の接合強度の品質検査を行うことができる。
【００２２】
請求項３においては、簡単な構成により、別途工程を追加することなくレーザー溶接装置による溶接工程において、溶接部の接合強度の品質検査を行うことができる。
【００２３】
請求項４においては、簡単な構成により、別途工程を追加することなくレーザー溶接装置による溶接工程において、溶接部の接合強度の品質検査を行うことができる。
【００２４】
請求項５においては、レーザー溶接装置による溶接工程と、溶接部の接合強度の品質検査が行われる工程とを同一工程（同一装置）において行うことができ、時間・コストを削減することができる。
【００２５】
請求項６においては、簡単な構成により、別途工程を追加することなくレーザー溶接装置による溶接工程において、溶接部の接合強度の品質検査を行うことができる。
【００２６】
請求項７においては、簡単な構成により、別途工程を追加することなくレーザー溶接装置による溶接工程において、溶接部の接合強度の品質検査を行うことができる。
【００２７】
請求項８においては、簡単な構成により、別途工程を追加することなくレーザー溶接装置による溶接工程において、溶接部の接合強度の品質検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に、発明の実施の形態を説明する。
本発明に係るレーザー溶接装置は、重なり合った状態の第一の被溶接部材及び第二の被溶接部材に対し、第一の溶接部材側から、溶接する部分にレーザー光を照射することで、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とをレーザー溶接するものである。
そして、本発明に係るレーザー溶接装置は、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させて溶接した部分に引っ張り力（テンション）を加えることにより、溶接した部分の接合強度の検査を行うための検査手段を備えている。
【００２９】
すなわち、レーザー溶接装置においては、重なり合った状態の被溶接部材に対し、その一側から、溶接する部分（以下、「溶接箇所」という。）にレーザー光が照射されることで、レーザー光が照射された部分の被溶接部材が溶融しその部分が溶接される。
レーザー溶接された部分（以下、「溶接部」という。）の接合強度の品質保証を行うには、溶接部に引っ張り力を加える必要があるところ、本発明に係るレーザー溶接装置は、溶接部に引っ張り力を加えてその接合強度の検査を行うための検査手段を備えている。
【００３０】
前記検査手段は、互いに溶接された第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させて溶接部に引っ張り力を加えるものであり、これにより、溶接部の接合強度の検査を行う。
ここで、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを「相対的に移動させ」るとは、第一の被溶接部材及び第二の被溶接部材の一方または両方を移動させるかあるいは移動させる方向に力を加えることにより、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させること、あるいは移動させる方向に力を加えることであり、それによって溶接部に引っ張り力が加わるものを指す。
つまり、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とが相対的に移動されることにより、溶接部に引っ張り力が加わり、溶接部における溶接が不良である場合は、引っ張り力により溶接部における部材同士の接合が分離することとなる。
第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とが相対的に移動されることとしては、例えば、溶接される一方の部材が、帯状あるいは板状の部材であれば、その部材を他方の部材から剥がす方向に移動させたり力を加えることや、溶接面（接合面）に沿う方向に一方の部材を他方の部材に対して移動させたり力を加えること等がある。
【００３１】
このように、レーザー溶接装置において、第一の被溶接部材と第二の被溶接部材とを相対的に移動させて溶接した部分に引っ張り力を加えることによりによって溶接した部分の接合強度の検査を行うための検査手段を設けることにより、従来は別工程で行われていたレーザー溶接装置による溶接工程と、溶接部の接合強度の品質検査が行われる工程とを同一工程において行うことができ、時間・コストを削減することができる。これにより、レーザー溶接が行われる製品に関し、製造過程におけるサイクルタイムの短縮化や低コスト化を図ることができる。
以下、本発明に係るレーザー溶接装置の具体的な実施形態について説明する。
【００３２】
まず、以下に説明するレーザー溶接装置が備える構成について説明する。
本発明に係るレーザー溶接装置は、例えば半導体装置の製造過程などにおいて用いられるものであり、図１や図２等に示すように、重なり合った状態の第一の被溶接部材としてのリボン材１１及び第二の被溶接部材としてのバスバー１２に対し、リボン材１１側から、溶接箇所にレーザー光４を照射することで、リボン材１１とバスバー１２とをレーザー溶接するものである。
バスバー１２に溶接されて接合されるリボン材１１は、バスバー１２と他の部材（例えば素子のパッド等）とを接続して電気を導通させるものであり、例えば、すずメッキが施された銅などにより構成される幅約２ｍｍ、厚さ約０．１ｍｍのリボン状の部材である。
【００３３】
すなわち、本発明に係るレーザー溶接装置は、光源としてのレーザー発振器（図示略）を備え、このレーザー発振器から発振されるレーザー光４が、集光レンズ等により構成される集光系により集光されたり反射鏡などにより光路が変更されたりして、溶接箇所３に照射される。これにより、レーザー光４が照射された部分のリボン材１１及びバスバー１２が、該レーザー光４の熱エネルギーによって溶融してレーザー溶接される。つまり、レーザー溶接された後は、溶接部５においてリボン材１１とバスバー１２とが接合される（図３参照）。
【００３４】
溶接部５の接合強度の検査を行うための検査手段の第一実施形態について、図１〜図４を用いて説明する。
本実施形態に係るレーザー溶接装置は、レーザー光４を通過させるとともに溶接箇所３に圧接するノズル体としての加圧ノズル６を備える。つまり、溶接箇所３に照射されるレーザー光４は、レーザー溶接装置に備えられるノズル６内部を通過してリボン材１１に照射される。
加圧ノズル６は、図示せぬシリンダ装置などにより溶接対象（リボン材１１及びバスバー１２）に対して近接離間方向（図１（ａ）等において上下方向）及びレーザー光照射面（リボン材１１の上面）に対して平行方向（図１（ａ）等において左右方向等）に移動可能に構成される治具７から突設され、基部側から先端側にかけて縮径する略円錐形状を有する。
また、加圧ノズル６は、レーザー光４を通過させるための光路孔６ａを備えるとともに、溶接箇所３に圧接する押圧面６ｂを備える。つまり、押圧面６ｂは略円環状の面となる。
【００３５】
加圧ノズル６は、溶接箇所３にリボン材１１側から近接する近接動作を行い、レーザー光４を通過させた後、溶接部５から離間する離間動作を行う。
すなわち、加圧ノズル６は、治具７の移動にともなってリボン材１１側から溶接箇所３に近接し、その押圧面６ｂによって溶接箇所３に圧接することによりリボン材１１とバスバー１２とを密着させる（図１参照）。加圧ノズル６が溶接箇所３に圧接するとともに、レーザー発振器から発振されるレーザー光４が加圧ノズル６の光路孔６ａを通過して溶接箇所３に照射される（図２参照）。これにより、レーザー溶接が行われ、リボン材１１とバスバー１２とが接合され溶接部５が形成される。そして、レーザー光４を通過させた加圧ノズル６は、治具７の移動にともなって溶接部５から離間して元の位置へと戻る（図３参照）。
【００３６】
そして、本実施形態においては、溶接部５の接合強度の検査を行うための検査手段は、加圧ノズル６の移動にともなって移動するとともに、該加圧ノズル６の近接動作によりリボン材１１に係合する係合手段としての係合棒１０を有する。そして、加圧ノズル６の離間動作によってリボン材１１とバスバー１２とを相対的に移動させる。
【００３７】
係合棒１０は、治具７から加圧ノズル６の突設方向と略同じ方向に突設される棒状の部材であり、加圧ノズル６がその押圧面６ｂを介してリボン材１１に圧接した状態（図２に示す状態）でリボン材１１を貫通できる長さを有し、その先端部に係合部１０ａを有する。
係合部１０ａは、係合棒１０がその先端部において、例えば鉤状に折り曲げられたり突部が設けられたりして構成される。
この係合部１０ａを有する係合棒１０に対し、リボン材１１においては、バスバー１２の端部から突出してバスバー１２と重ならない部分となる突出部１１ａが設けられ、この突出部１１ａにおいて、加圧ノズル６の近接動作にともなって係合棒１０を貫通させるための孔部１１ｂが設けられている。
つまり、係合棒１０の係合部１０ａが、リボン材１１の孔部１１ｂに対して引っかかることができる構成となっている。
【００３８】
このような構成により、溶接部５の接合強度の検査は次のようにして行われる。
まず、図１に示すように、前記のとおり加圧ノズル６の近接動作が行われ、図２に示すように、加圧ノズル６がリボン材１に圧接した状態となると、係合棒１０が孔部１１ｂを介してリボン材１１を貫通する。この状態で、係合棒１０の係合部１０ａはリボン材１１から突出した状態となる。
加圧ノズル６がリボン材１１に圧接した状態で溶接箇所３にレーザー光４が照射されて溶接が行われると、加圧ノズル６は、その離間動作を行う前に、レーザー光照射面に対して平行方向（図２（ｂ）において例えば左方向）に移動する。つまり、ここでの加圧ノズル６の移動は、治具７を介して係合棒１０を移動させるものであり、加圧ノズル６の離間動作にともなう係合棒１０の移動（上昇）によって該係合棒１０の係合部１０ａとリボン材１１とが孔部１１ｂを介して係合するように係合棒１０の位置をずらすものである。
【００３９】
そして、図３に示すように、加圧ノズル６の離間動作が行われると、これにともなう係合棒１０の移動によってリボン材１１がその孔部１１ｂの部分から引っ張られる。ここで、リボン材１１が引っ張られることにより、バスバー１２に対して溶接部５において接合しているリボン材１１が剥がされる方向に移動されることとなり、溶接部５に引っ張り力が加わることとなる。これにより、溶接部５の接合強度の検査が行われる。
【００４０】
すなわち、リボン材１１が係合棒１０によって引っ張られて溶接部５に引っ張り力が加わることにより、溶接部５における接合強度が、係合棒１０により引っ張られることによるリボン材１１の破壊強度を上回る場合は、リボン材１１がその孔部１１ｂから端部にかけて破れることとなり（図３参照）、逆に、溶接部５における接合強度が前記破壊強度を下回る場合は、溶接部５におけるリボン材１１とバスバー１２との接合が分離することとなる。
したがって、本実施形態においては、リボン材１１が係合棒１０により引っ張られることによる破壊強度分の接合強度が、溶接部５の接合強度として保証されることとなる。
このため、本実施形態において保証される溶接部５の接合強度は、リボン材１１の厚さや材質、孔部１１ｂを設ける位置などによって調整される。
図３においては、溶接部５における接合強度が前記破壊強度を上回ってリボン材１１が破れた状態を示している。つまり、リボン材１１が、溶接部５に対して引っ張られることにより、その孔部１１ｂから端部にかけて係合棒１０の移動によって破られた破れ部１１ｃが生じた状態となる。
【００４１】
このように、本実施形態においては、溶接部５において接合されるリボン材２１が、バスバー１２に対して剥がされる方向に移動されることが、リボン材２１とバスバー１２とが相対的に移動されることとなり、これにより、溶接部５に引っ張り力が加わることとなる。
【００４２】
以上のように、レーザー溶接装置に備えられる加圧ノズル６の動作にともなって、溶接部５の接合強度の検査を行う構成とすることにより、簡単な構成により、別途工程を追加することなくレーザー溶接装置による溶接工程において、溶接部５の接合強度の品質検査を行うことができる。
【００４３】
また、前述したように、溶接部５における接合強度がリボン材１１の破壊強度を上回っている場合に生じるリボン材１１の破れ部１１ｃ近傍においては、係合棒１０に引っ張られた方向に沿ったり曲がったりする変形が生じる場合がある。このため、図４に示すように、リボン材１１の変形した部分が元の状態（引っ張られる前の状態）、あるいは図示は省略するがバスバー１２側に折り込んだ状態に整えられることが外観上好ましい。
リボン材１１の変形した部分を整える方法としては、例えば、図４中二点鎖線で示す領域９などを、加圧ノズル６あるいは別途設けられる押さえ部材などにより押さえることが考えられる。
また、リボン材１１の変形した部分を整える方法としては、リボン材１１の突出部１１ａにおいて破れ部１１ｃを含む変形した部分を切断する構成とすることも考えられる。
【００４４】
なお、本実施形態においては、加圧ノズル６の移動にともなって移動し該加圧ノズル６の近接動作によりリボン材１１に係合する係合手段として、棒状の部材である係合棒１０が孔部１１ｂを介してリボン材１１に係合する構成を例に説明したが、これに限定されず、例えば、係合手段を板状の部材で構成したり、リボン材１１側においてループ状の引っかけ部を形成したりしてもよい。
【００４５】
次に、検査手段の第二実施形態について、図５及び図６を用いて説明する。なお、以下に説明する各実施形態において、すでに説明した実施形態と共通する部分については、同一の符号を付して適宜その説明を省略する。
本実施形態において、溶接部５の接合強度の検査を行うための検査手段は、加圧ノズル６の移動にともなって移動するとともに、該加圧ノズル６の近接動作によりリボン材２１に係合する係合手段としての係合板２０を有する。そして、加圧ノズル６の離間動作によってリボン材２１とバスバー１２とを相対的に移動させる。
【００４６】
係合板２０は、治具７から加圧ノズル６の突設方向と略同じ方向に突設される板状の部材であり、加圧ノズル６がその押圧面６ｂを介してリボン材２１に圧接した状態（図５に示す状態）でリボン材２１に接する長さを有し、その先端面２０ａがリボン材２１の上面２１ａに接着される。
すなわち、係合板２０の先端面２０ａ、あるいはリボン材２１の上面２１ａにおける前記先端面２０ａが接する部分の少なくともいずれかに予め接着剤２３が塗布されること等により、係合板２０は加圧ノズル６とともにリボン材２１に接することで該リボン材２１の上面２１ａに接着される。
【００４７】
このような構成により、溶接部５の接合強度の検査は次のようにして行われる。
まず、前記のとおり加圧ノズル６の近接動作が行われ、図５に示すように、加圧ノズル６がリボン材２１に圧接した状態となると、これとともに係合板２０もリボン材２１に当接し、接着剤２３によりリボン材２１に接着される。
この状態から、レーザー光４が照射されて溶接が行われ、加圧ノズル６の離間動作が行われる。
【００４８】
そして、図６に示すように、加圧ノズル６の離間動作が行われると、これにともなう係合板２０の移動によってリボン材２１が接着剤２３による接着部分から引っ張られる。ここで、接着剤２３の接着力（粘着力）によってリボン材２１が引っ張られることにより、バスバー１２に対して溶接部５において接合しているリボン材２１が引っ張られることとなり、溶接部５に引っ張り力が加わることとなる。これにより、溶接部５の接合強度の検査が行われる。
【００４９】
すなわち、リボン材２１が係合板２０によって引っ張られて溶接部５に引っ張り力が加わることにより、溶接部５における接合強度が、係合板２０により引っ張られることによる接着剤２３の接着強度を上回る場合は、係合板２０が接着剤２３による接着力に抗してリボン材２１から離脱することとなり（図６参照）、逆に、溶接部５における接合強度が前記接着強度を下回る場合は、溶接部５におけるリボン材２１とバスバー１２との接合が分離することとなる。
したがって、本実施形態においては、リボン材２１が係合板２０により引っ張られることに対する接着強度が、溶接部５の接合強度として保証されることとなる。
このため、本実施形態において保証される溶接部５の接合強度は、係合板２０のリボン材２１に対する接着面積や接着剤２３の種類などによって調整される。
図６においては、溶接部５における接合強度が前記接着強度を上回って係合板２０がリボン材２１から離脱した状態を示している。つまり、リボン材２１が、係合板２０によって溶接部５に対して引っ張られることにより、引っ張られた方向に曲がって変形した状態となる。
【００５０】
このように、本実施形態においては、溶接部５において接合されるリボン材２１が、バスバー１２に対して剥がされる方向に移動されることが、リボン材２１とバスバー１２とが相対的に移動されることとなり、これにより、溶接部５に引っ張り力が加わることとなる。
なお、本実施形態においても第一実施形態と同様、係合板２０により引っ張られることで変形したリボン材２１の部分は、元の状態などに整えられることが外観上好ましい。
【００５１】
また、本実施形態においては、加圧ノズル６の移動にともなって移動し該加圧ノズル６の近接動作によりリボン材２１に係合する係合手段として、板状の部材である係合板２０を例に説明したが、これに限定されず、例えば、係合手段を棒状の部材などで構成してもよく、リボン材２１に対する所望の接着強度が得られればよい。
【００５２】
続いて、検査手段の第三実施形態について、図７及び図８を用いて説明する。
本実施形態においては、図７に示すように、半導体装置において両端側でレーザー溶接されるリボン材３１を例に説明する。
すなわち、リボン材３１の一端側が溶接部５にて溶接されるバスバー３２は、半導体装置における基板３３上に設けられるハウジング３４の上面に配される。また、リボン材３１の他端側は、同じく基板３３上において半導体素子（図示略）に対して設けられるパッド３６に溶接部３５にてレーザー溶接される。つまり本実施形態においては、第一の被溶接部材としてのリボン材３１に対し、第二の被溶接部材は前記バスバー３２及びパッド３６となる。
【００５３】
ここで、リボン材３１は、バスバー３２やパッド３６の配置関係などの理由から、屈曲される等して予め所定の形状に成形された状態で配されて溶接される。
本実施形態においては、図７に示すように、リボン材３１は、溶接される両端側においてバスバー３２またはパッド３６に沿う水平部３１ａ・３１ｂを有するとともに、これら水平部３１ａ・３１ｂの間で上方に突出して山型を形成する突出部３１ｃを有し、全体として略ハット状に形成される。
【００５４】
このようにして溶接部５・３５において両端側が溶接されるリボン材３１に対して、両溶接部５・３５間の部分を引っ張る構成とする。
このため、リボン材３１には、その突出部３１ｃの上端部において、短手方向（幅方向）略中央部に長手方向（長さ方向）に所定長さの切れ目３１ｄが形成される。この切れ目３１ｄにより分離される幅方向の両側の部分が、リボン材３１の厚さ方向に離間されて（広げられて）アーチ形状とされ引っ掛け部３１ｅが予め構成される。
【００５５】
すなわち、本実施形態において、溶接部５・３５の接合強度の検査を行うための検査手段は、加圧ノズル６の移動にともなって移動するとともに、該加圧ノズル６の近接動作によりリボン材３１に係合する係合手段として、リボン材３１の引っ掛け部３１ｅに係合する係合棒３０を有する。そして、加圧ノズル６の離間動作にともなってリボン材３１とバスバー３２及びパッド３６とを相対的に移動させる。
【００５６】
係合棒３０は、治具７から加圧ノズル６の突設方向と略同じ方向に突設される棒状の部材であり、先端部に係合部３０ａを有し、加圧ノズル６がその押圧面６ｂを介してリボン材３１に圧接した状態（図７に示す状態）で、係合部３０ａによりリボン材３１の引っ掛け部３１ｅに係合できる長さを有する。
係合部３０ａは、係合棒３０がその先端部において、例えば鉤状に折り曲げられたり突部が設けられたりして構成され、リボン材３１の引っ掛け部３１ｅに対して引っかかることができる構成となっている。
【００５７】
このような構成により、溶接部５・３５の接合強度の検査は次のようにして行われる。
まず、前記のとおり加圧ノズル６の近接動作が行われ、図７に示すように、加圧ノズル６がリボン材３１に圧接した状態となると、係合棒３０がリボン材３１の引っ掛け部３１ｅに係合可能な状態となる。
この状態から、レーザー光４が照射されて溶接が行われ、加圧ノズル６の離間動作が行われる。
【００５８】
そして、図８に示すように、加圧ノズル６の離間動作が行われると、これにともなう係合棒３０の移動によってリボン材３１がその引っ掛け部３１ｅの部分から引っ張られる。ここで、リボン材３１が引っ張られることにより、バスバー３２及びパッド３６に対して溶接部５・３５において接合しているリボン材３１が剥がされる方向に移動されることとなり、溶接部５・３５に引っ張り力が加わることとなる。これにより、溶接部５・３５の接合強度の検査が行われる。
【００５９】
すなわち、リボン材３１が係合棒３０によって引っ張られて溶接部５・３５に引っ張り力が加わることにより、溶接部５・３５における接合強度が、係合棒３０により引っ張られることによるリボン材３１の破壊強度を上回る場合は、リボン材３１がその引っ掛け部３１ｅから千切れることとなり（図８参照）、逆に、溶接部５・３５における接合強度がリボン材３１の破壊強度を下回る場合は、溶接部５・３５におけるリボン材３１とバスバー３２またはパッド３６との接合が分離することとなる。
したがって、本実施形態においては、リボン材３１が係合棒３０により引っ張られることによる破壊強度分の接合強度が、溶接部５・３５の接合強度として保証されることとなる。
このため、本実施形態において保証される溶接部５・３５の接合強度は、リボン材３１の厚さや材質、切れ目３１ｄを設ける位置などによって調整される。
図８においては、溶接部５・３５における接合強度がリボン材３１の破壊強度を上回ってリボン材３１が千切れた状態を示している。つまり、リボン材３１が、溶接部５・３５に対して引っ張られることにより、その引っ掛け部３１ｅから係合棒３０の移動によって破断部３１ｆが生じた状態となる。
【００６０】
このように、本実施形態においては、溶接部５・３５においてそれぞれ接合されるリボン材３１が、バスバー３２及びパッド３６それぞれに対して剥がされる方向に移動されることが、リボン材３１とバスバー３２及びパッド３６とが相対的に移動されることとなり、これにより、溶接部５・３５に引っ張り力が加わることとなる。
なお、本実施形態においても前述した各実施形態と同様、係合棒３０により引っ張られることで変形した破断部３１ｆを含むリボン材３１の部分は、元の状態などに整えられることが外観上好ましい。
【００６１】
以上のように、本実施形態においては、両端側でレーザー溶接されるリボン材３１において、両溶接部５・３５の接合強度の検査を同時に行うことができる。
したがって、パッド３６側の溶接部３５は、係合棒３０の移動をともなう加圧ノズル６によってバスバー３２側の溶接部５が溶接される前に、該加圧ノズル６あるいは別途設けられる加圧ノズルが用いられて予め溶接されるか、または、バスバー３２側の溶接部５と同時に加圧ノズル６とは別に設けられる加圧ノズルが用いられて溶接される。
つまり、係合棒３０とともに近接動作する加圧ノズル６によるバスバー３２側の溶接が行われ、該加圧ノズル６が離間動作する際には、両方の溶接部５・３５が形成された状態となる。言い換えると、パッド３６側の溶接がバスバー３２側の溶接よりも後に行われる構成の場合は、係合棒３０は、パッド３６側の溶接が行われ、該パッド３６側の溶接に用いられる加圧ノズルの移動とともに移動するように設けられることとなる。さらに言うと、係合棒３０の移動をともなう加圧ノズルが用いられ、両溶接部５・３５の少なくともいずれかが形成されて加圧ノズルの離間動作により係合棒３０によってリボン材３１が引っ張られる際には、リボン材３１において両方の溶接部５・３５が生じている状態となる。
【００６２】
以上説明した各実施形態について、加圧ノズル６の移動にともなって移動し該加圧ノズル６の近接動作によりリボン材に係合する係合手段と、その設けられる位置（リボン材における係合位置）とは、種々の組合せが可能である。
例えば、第一実施形態における係合構成（係合棒１０及びリボン材１１の孔部１１ｂ）を、第三実施形態のように両端が溶接されるリボン材３１において両側の溶接部５・３５の間（両方の溶接部に引っ張り力を加える位置）に設けたり、第三実施形態における係合構成（係合棒３０及び引っ掛け部３１ｅ）を、リボン材の端部（一方の溶接部に引っ張り力を加える位置）に設けたりしてもよい。
【００６３】
引き続き、検査手段の第四実施形態について、図９及び図１０を用いて説明する。
本実施形態において、溶接部５の接合強度の検査を行うための検査手段は、第二の被溶接部材であるバスバー４２側から第一の被溶接部材であるリボン材４１に係合する係合部材としての係合ピン４０と、この係合ピン４０を移動させる移動部材としての移動片４３とを有する。そして、移動片４３を移動させることにより、リボン材４１とバスバー４２とを相対的に移動させる。
【００６４】
移動片４３は、バスバー４２の一部により構成される。すなわち、移動片４３は、バスバー４２のうち、リボン材４１に対する溶接部５を含まない部分であって溶接されるリボン材４１と重なる部分を含む部分が、バスバー４２の本体（バスバー４２の溶接部５を含む部分）に対して移動可能（スライド可能）に分離形成されることにより構成される。
本実施形態においては、図９及び図１０に示すように、バスバー４２の端部において、リボン材４１の一端部が重なった状態で溶接される（溶接部５参照）。そして、バスバー４２のうち、溶接部５を含まずリボン材４１の先端部と重なる部分を含む部分が、バスバー４２の長手方向に沿って分離されることにより移動片４３が構成されている。本実施形態においては、バスバー４２がその幅方向（図９における左右方向）略中央部において略矩形状に分離形成されることにより移動片４３が構成されている。
【００６５】
移動片４３は、前記のとおりバスバー４２の本体に対してスライド可能に構成される。
移動片４３をスライドさせる構成としては、例えば、シリンダ装置などによって移動片４３が引っ張られる構成や、移動片４３がバスバー４２の本体に対して移動可能な台などの移動体に設けられることによりこの移動体の移動にともなってスライドさせる構成などが考えられる。
なお、バスバー４２の本体部分（移動片４３以外の部分）により、該バスバー４２が半導体装置などにおいて通電させる電流の必要な容量が確保される場合は、移動片４３は、バスバー４２とは別の部材（例えば、樹脂など）により構成することもできる。
【００６６】
移動片４３には、前記係合ピン４０が立設される。係合ピン４０は移動片４３におけるリボン材４１と重なる部分に設けられる。
この係合ピン４０に対し、リボン材４１においては係合ピン４０を貫通させるための孔部４１ａが設けられている。
【００６７】
このような構成により、溶接部５の接合強度の検査は次のようにして行われる。
まず、図９に示すように、レーザー光が照射されて溶接される前の段階で、係合ピン４０が、予めリボン材４１に係合される。つまり、リボン材４１がその孔部４１ａに係合ピン４０を貫通させた状態となる。
そして、前述したように、加圧ノズル等が用いられることによってリボン材４１が押圧されるとともに溶接箇所３にレーザー光が照射されてレーザー溶接が行われ、溶接部５が形成される（図１０参照）。
【００６８】
その後、移動片４３が溶接部５から遠ざかる方向に移動（スライド）される。これにともなう係合ピン４０の移動によってリボン材４１がその孔部４１ａの部分から引っ張られる。ここで、リボン材４１が引っ張られることにより、バスバー４２に対して溶接部５において接合しているリボン材４１が接合面に対して略平行方向に移動されることとなり、溶接部５に引っ張り力が加わることとなる。これにより、溶接部５の接合強度の検査が行われる。
【００６９】
すなわち、リボン材４１が移動片４３によって係合ピン４０を介して引っ張られて溶接部５に引っ張り力が加わることにより、溶接部５における接合強度が、係合ピン４０により引っ張られることによるリボン材４１の破壊強度を上回る場合は、リボン材４１がその孔部４１ａから端部にかけて破れることとなり（図１０参照）、逆に、溶接部５における接合強度がリボン材４１の破壊強度を下回る場合は、溶接部５におけるリボン材４１とバスバー４２との接合が分離することとなる。
したがって、本実施形態においては、リボン材４１が係合ピン４０により引っ張られることによる破壊強度分の接合強度が、溶接部５の接合強度として保証されることとなる。
このため、本実施形態において保証される溶接部５の接合強度は、リボン材４１の厚さや材質、孔部４１ａを設ける位置などによって調整される。
図１０においては、溶接部５における接合強度がリボン材４１の破壊強度を上回ってリボン材４１が破れた状態を示している。つまり、リボン材４１が、溶接部５に対して引っ張られることにより、その孔部４１ａから端部にかけて係合ピン４０の移動によって破られた破れ部４１ｂが生じた状態となる。
【００７０】
このように、本実施形態においては、溶接部５において接合されるリボン材４１が、バスバー４２に対する接合面に略平行方向に移動されることが、リボン材４１とバスバー４２とが相対的に移動されることとなり、これにより、溶接部５に引っ張り力が加わることとなる。
このような構成においても、簡単な構成により、別途工程を追加することなくレーザー溶接装置による溶接工程において、溶接部５の接合強度の品質検査を行うことができる。
【００７１】
次に、検査手段の第五実施形態について、図１１及び図１２を用いて説明する。
本実施形態においては、前記第三実施形態と同様、半導体装置において両端側でレーザー溶接されるリボン材５１を例に説明する。
すなわち、図１１に示すように、本実施形態に係るリボン材５１は、溶接される両端側においてバスバー３２またはパッド３６に沿う水平部５１ａ・５１ｂを有するとともに、これら水平部５１ａ・５１ｂの間で上方に突出して山型を形成する突出部５１ｃを有し、全体として略ハット状に形成される。
【００７２】
本実施形態において、溶接部５・３５の接合強度の検査を行うための検査手段は、リボン材５１側から該リボン材５１に対して近接離間方向に移動可能に設けられ、リボン材５１の一部を押圧する押圧手段としての押圧棒５０と、リボン材５１に当接して押圧棒５０の押圧によるリボン材５１の変形が溶接部５・３５に引っ張り力を加えるもとのなるようにリボン材５１をガイドするガイド部材としてのガイド体５３とを有する。そして、押圧棒５０により、ガイド体５３と当接させたリボン材５１の非溶接部の一部を押圧することにより、リボン材５１とバスバー３２及びパッド３６とを相対的に移動させる。
【００７３】
押圧棒５０は、治具７から加圧ノズル６の突出方向と略同じ方向に突出可能（出没可能）に設けられる棒状の部材であり、治具７から突出することによりリボン材５１の一部を押圧することができる長さを有する。
押圧棒５０により押圧されるリボン材５１の部分は、前記のとおり非溶接部の一部であり、押圧棒５０による押圧によってリボン材５１が変形することができる部分、つまりバスバー３２またはパッド３６と重なってないリボン材５１の部分であり、本実施形態においては前記突出部５１ｃの一部となる。
【００７４】
押圧棒５０をリボン材５１に対して突出可能に設けるための構成としては、例えば、シリンダ装置などを用いて治具７に対して出没させる構成や、ポンプ等によって吸引することで所定の位置に保持するとともにその吸引を解除することによって突出させる構成が考えられる。
また、レーザー溶接装置において、例えば図１１及び図１２において二点鎖線で示すように、リボン材５１を所定の溶接位置に搬送するための吸着ノズル５６が治具７に設けられる構成の場合は、この吸着ノズル５６を用いて押圧棒５０を突出可能に構成することができる。つまりこの場合、吸着ノズル５６におけるリボン材５１を吸着するための吸引力を用いることにより、押圧棒５０を所定の位置に保持するとともにその吸引を解除することによって突出させる。このようにして既存の構成を用いて押圧棒５０を突出可能に構成することができる。
【００７５】
そして、前記ガイド体５３により、押圧棒５０によってリボン材５１が押圧されることにより、リボン材５１の両溶接部５・３５に引っ張り力が加わるようにその変形がガイドされる。
つまり、ガイド体５３は、押圧棒５０の押圧によるリボン材５１の変形によって該リボン材５１が両溶接部５・３５に対して引っ張られるようにリボン材５１の変形をガイドする。
【００７６】
ガイド体５３は、基板３３上に設けられ、リボン材５１における押圧棒５０により押圧される部分に対して、押圧される側の反対側（バスバー３２やパッド３６に接する側）から当接する当接部５３ａ・５３ｂを有する。これら当接部５３ａ・５３ｂが、リボン材５１における押圧棒５０により押圧される部分に対する長手方向両側において当接することにより、押圧棒５０の押圧によるリボン材５１の変形がガイドされる。
つまり、リボン材５１において、両当接部５３ａ・５３ｂが当接する部分の間の部分が、押圧棒５０により押圧されることにより、これら当接部５３ａ・５３ｂによってリボン材５１の変形がガイドされ、バスバー３２側の溶接部５及びパッド３６側の溶接部３５に対して引っ張り力が加わることとなる。
なお、基板３３上に設けられるガイド体５３は、半導体装置における電流の流れ等への影響を避けるため絶縁物により構成される。
【００７７】
このような構成により、溶接部５・３５の接合強度の検査は次のようにして行われる。
まず、前記のとおり加圧ノズル６の近接動作が行われ、図１１に示すように、加圧ノズル６がリボン材５１に圧接した状態となる。
この状態から、レーザー光４が照射されて溶接が行われ、加圧ノズル６の離間動作が行われる。ここで、前記第三実施形態において述べたように、加圧ノズル６が離間動作する際には、パッド３６側も溶接され溶接部３５が生じている状態となる。
【００７８】
そして、図１２に示すように、加圧ノズル６の離間動作が行われるとともに、あるいは加圧ノズル６が元の位置に戻った後、押圧棒５０が突出される。これにより、リボン材５１が押圧されるとともにガイド体５３によりガイドされ、バスバー３２及びパッド３６に対して溶接部５・３５において接合しているリボン材５１が接合面に対して略平行方向に移動されることとなり、溶接部５・３５に引っ張り力が加わることとなる。これにより、溶接部５・３５の接合強度の検査が行われる。
【００７９】
すなわち、リボン材５１が押圧棒５０による押圧によってよって引っ張られて溶接部５・３５に引っ張り力が加わることにより、溶接部５・３５における接合強度が、押圧棒５０により押圧されて引っ張られることによるリボン材５１の破壊強度を上回る場合は、リボン材５１がその押圧部分から千切れることとなり（図１２参照）、逆に、溶接部５・３５における接合強度がリボン材５１の破壊強度を下回る場合は、溶接部５・３５におけるリボン材５１とバスバー３２またはパッド３６との接合が分離することとなる。
したがって、本実施形態においては、リボン材５１が押圧棒５０により押圧されて引っ張られることによる破壊強度分の接合強度が、溶接部５・３５の接合強度として保証されることとなる。
このため、本実施形態において保証される溶接部５・３５の接合強度は、リボン材５１の厚さや材質、押圧棒５０による押圧具合などによって調整される。
図１２においては、溶接部５・３５における接合強度がリボン材５１の破壊強度を上回ってリボン材５１が千切れた状態を示している。つまり、リボン材５１が、溶接部５・３５に対して引っ張られることにより、その押圧部分から押圧棒５０の押圧によって破断部５１ｄが生じた状態となる。
【００８０】
このように、本実施形態においては、溶接部５・３５においてそれぞれ接合されるリボン材５１が、バスバー３２及びパッド３６それぞれに対する接合面に略平行方向に移動されることが、リボン材５１とバスバー３２及びパッド３６とが相対的に移動されることとなり、これにより、溶接部５・３５に引っ張り力が加わることとなる。
なお、本実施形態においては、リボン材５１の一部を押圧する押圧手段として、棒状の部材である押圧棒５０を例に説明したが、これに限定されず、例えば、板状の部材などで構成してもよく、リボン材５１に対する所望の押圧力が得られればよい。
【００８１】
以上のように、本実施形態においては、両端側でレーザー溶接されるリボン材５１において、両溶接部５・３５の接合強度の検査を同時に行うことができる。
そして、このような構成においても、簡単な構成により、別途工程を追加することなくレーザー溶接装置による溶接工程において、溶接部５・３５の接合強度の品質検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】検出手段の第一実施形態における加圧ノズルの近接動作を示す図。（ａ）は一部断面側面図。（ｂ）は斜視図。
【図２】同じく加圧ノズルの圧接状態を示す図。（ａ）は一部断面側面図。（ｂ）は斜視図。
【図３】同じく加圧ノズルの離間動作を示す図。（ａ）は一部断面側面図。（ｂ）は斜視図。
【図４】同じくリボン材の変形修正状態を示す斜視図。
【図５】検出手段の第二実施形態における加圧ノズルの圧接状態を示す図。（ａ）は一部断面側面図。（ｂ）は斜視図。
【図６】同じく加圧ノズルの離間動作を示す図。（ａ）は一部断面側面図。（ｂ）は斜視図。
【図７】検出手段の第三実施形態における加圧ノズルの圧接状態を示す一部断面側面図。
【図８】同じく加圧ノズルの離間動作を示す一部断面側面図。
【図９】検出手段の第四実施形態における溶接前の状態を示す斜視図。
【図１０】同じく溶接部の接合強度の検査後の状態を示す斜視図。
【図１１】検出手段の第五実施形態における加圧ノズルの圧接状態を示す一部断面側面図。
【図１２】同じく加圧ノズルの離間動作を示す一部断面側面図。
【図１３】従来におけるレーザー溶接の接合強度品質検査を説明する図。（ａ）は溶接工程を示す図。（ｂ）は強度品質検査工程（引っ張り工程）を示す図。
【符号の説明】
【００８３】
３      溶接箇所
４      レーザー光
５      溶接部
６      加圧ノズル（ノズル体）
１０    係合棒（係合手段）
１１    リボン材（第一の被溶接部材）
１２    バスバー（第二の被溶接部材）
２０    係合板（係合手段）
３０    係合棒（係合手段）
４０    係合ピン（係合部材）
４３    移動片（移動部材）
５０    押圧棒（押圧手段）
５３    ガイド体（ガイド部材）
【図１】
2007203356.tif 000003
【図２】
2007203356.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2007203356.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2007203356.tif 000015