(57)【要約】【課題】  画素電極から読み出される電気信号にノイズが発生するのを抑制することができる放射線検出器を提供する。【解決手段】  X線検出器１では、絶縁性凸部２１に包囲された電圧供給パッド１５の一部に電圧供給線２２が固定され、絶縁性凸部２１の内側に絶縁性封止部材２８が充填されていると共に、光導電層１７及び共通電極１８を覆うように絶縁性の有機膜２７が形成されている。従って、電圧供給線２２を介して電圧供給パッド１５に高電圧が印加されても、電圧供給パッド１５と電圧供給線２２との固定部から信号読出し用のボンディングパッドや信号線等に漏れ電流が流れるのを防止することができ、画素電極７から読み出される電気信号にノイズが発生するのを抑制することが可能となる。【選択図】  図２
2007208063.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線を検出するための放射線検出器であって、
複数の画素電極が基板の一方の面上に１次元又は２次元に配列されてなる信号読出し基板と、
前記信号読出し基板の一方の面上に形成された光導電層と、
前記光導電層の一方の面上に形成された共通電極と、
前記信号読出し基板に形成された電圧供給パッドと、
前記共通電極と前記電圧供給パッドとを電気的に接続するために、前記共通電極と前記電圧供給パッドとに掛け渡された接続部材と、
前記電圧供給パッドの少なくとも一部を包囲するように前記信号読出し基板に形成された絶縁性凸部と、
前記電圧供給パッドと電圧電源とを電気的に接続するために、前記絶縁性凸部に包囲された前記電圧供給パッドの少なくとも一部に固定された電圧供給線と、
前記絶縁性凸部の内側に充填された絶縁性封止部材と、を備えることを特徴とする放射線検出器。
【請求項２】
前記絶縁性凸部は、前記接続部材を覆うように形成されていることを特徴とする請求項１記載の放射線検出器。
【請求項３】
前記光導電層及び前記共通電極を覆うように形成された絶縁性保護層を更に備えることを特徴とする請求項１記載の放射線検出器。
【請求項４】
前記絶縁性封止部材は、前記絶縁性保護層の縁部に接触していることを特徴とする請求項３記載の放射線検出器。
【請求項５】
前記絶縁性封止部材は、前記絶縁性保護層より絶縁性が高い材料からなることを特徴とする請求項３又は４記載の放射線検出器。
【請求項６】
放射線を検出するための放射線検出器の製造方法であって、
複数の画素電極が基板の一方の面上に１次元又は２次元に配列されてなる信号読出し基板の一方の面上に、光導電層を形成する工程と、
前記光導電層の一方の面上に、共通電極を形成する工程と、
前記共通電極と、前記信号読出し基板に形成された電圧供給パッドとを電気的に接続するために、前記共通電極と前記電圧供給パッドとに接続部材を掛け渡す工程と、
前記電圧供給パッドの少なくとも一部を包囲するように絶縁性凸部を前記信号読出し基板に形成する工程と、
前記光導電層、前記共通電極、前記電圧供給パッド、前記接続部材、前記絶縁性凸部及び前記信号読出し基板を覆うように絶縁性保護層を形成する工程と、
前記絶縁性凸部に沿って環状に切込みを入れることにより前記切込みの内側の前記絶縁性保護層を剥離して、前記絶縁性凸部に包囲された前記電圧供給パッドの少なくとも一部を露出させる工程と、
前記電圧供給パッドと電圧電源とを電気的に接続するために、露出させられた前記電圧供給パッドの少なくとも一部に電圧供給線を固定する工程と、
前記絶縁性凸部の内側に絶縁性封止部材を充填する工程と、を含むことを特徴とする放射線検出器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、X線等の放射線を検出するための放射線検出器、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の放射線検出器として、直接変換型と称されるものが知られている。直接変換型の放射線検出器とは、例えば、複数の画素電極が基板上に２次元に配列されてなる信号読出し基板と、信号読出し基板上に形成された光導電層と、光導電層上に形成された共通電極とを備えるものである（例えば、特許文献1参照）。特許文献１記載の放射線検出器では、電圧電源と電気的に接続するための電圧供給線の一端が共通電極に固定されている。
【特許文献１】特開平１１−２１１８３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１記載の放射線検出器にあっては、電圧電源から電圧供給線を介して共通電極に高電圧が印加されると、共通電極と電圧供給線との固定部が露出しているため、いわゆる漏れ電流がその固定部から流れるなどして、画素電極から読み出される電気信号にノイズが発生するおそれがある。
【０００４】
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、画素電極から読み出される電気信号にノイズが発生するのを抑制することができる放射線検出器、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明に係る放射線検出器は、放射線を検出するための放射線検出器であって、複数の画素電極が基板の一方の面上に１次元又は２次元に配列されてなる信号読出し基板と、信号読出し基板の一方の面上に形成された光導電層と、光導電層の一方の面上に形成された共通電極と、信号読出し基板に形成された電圧供給パッドと、共通電極と電圧供給パッドとを電気的に接続するために、共通電極と電圧供給パッドとに掛け渡された接続部材と、電圧供給パッドの少なくとも一部を包囲するように信号読出し基板に形成された絶縁性凸部と、電圧供給パッドと電圧電源とを電気的に接続するために、絶縁性凸部に包囲された電圧供給パッドの少なくとも一部に固定された電圧供給線と、絶縁性凸部の内側に充填された絶縁性封止部材と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
この放射線検出器では、絶縁性凸部に包囲された電圧供給パッドの少なくとも一部に電圧供給線が固定され、絶縁性凸部の内側に絶縁性封止部材が充填されている。従って、電圧供給線を介して電圧供給パッドに高電圧が印加されても、電圧供給パッドと電圧供給線との固定部から漏れ電流が流れるのを防止することができ、画素電極から読み出される電気信号にノイズが発生するのを抑制することが可能となる。なお、絶縁性とは、電気絶縁性を意味する。
【０００７】
本発明に係る放射線検出器においては、絶縁性凸部は、接続部材を覆うように形成されていることが好ましい。これにより、共通電極と電圧供給パッドとの電気的及び機械的な接続の安定性を向上させることができる。
【０００８】
また、本発明に係る放射線検出器は、光導電層及び共通電極を覆うように形成された絶縁性保護層を更に備えることが好ましい。これにより、電圧供給パッドと電圧供給線との固定部からの漏れ電流の発生や放電の誘発を確実に防止することができる。
【０００９】
本発明に係る放射線検出器においては、絶縁性封止部材は、絶縁性保護層の縁部に接触していることが好ましい。これにより、絶縁性保護層の縁部が剥離するのを防止することができる。
【００１０】
本発明に係る放射線検出器においては、絶縁性封止部材は、絶縁性保護層より絶縁性が高い材料からなることが好ましい。これにより、電圧供給パッドと電圧供給線との固定部からの漏れ電流の発生や放電の誘発をより一層確実に防止することができる。
【００１１】
本発明に係る放射線検出器の製造方法は、放射線を検出するための放射線検出器の製造方法であって、複数の画素電極が基板の一方の面上に１次元又は２次元に配列されてなる信号読出し基板の一方の面上に、光導電層を形成する工程と、光導電層の一方の面上に、共通電極を形成する工程と、共通電極と、信号読出し基板に形成された電圧供給パッドとを電気的に接続するために、共通電極と電圧供給パッドとに接続部材を掛け渡す工程と、電圧供給パッドの少なくとも一部を包囲するように絶縁性凸部を信号読出し基板に形成する工程と、光導電層、共通電極、電圧供給パッド、接続部材、絶縁性凸部及び信号読出し基板を覆うように絶縁性保護層を形成する工程と、絶縁性凸部に沿って環状に切込みを入れることにより切込みの内側の絶縁性保護層を剥離して、絶縁性凸部に包囲された電圧供給パッドの少なくとも一部を露出させる工程と、電圧供給パッドと電圧電源とを電気的に接続するために、露出させられた電圧供給パッドの少なくとも一部に電圧供給線を固定する工程と、絶縁性凸部の内側に絶縁性封止部材を充填する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１２】
この放射線検出器の製造方法によれば、画素電極から読み出される電気信号にノイズが発生するのを抑制することができる放射線検出器を容易且つ確実に製造することが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、画素電極から読み出される電気信号にノイズが発生するのを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１５】
図１〜図３に示されるように、X線検出器（放射線検出器）１は、前方（図２及び図３において上方）から入射したX線を検出するためのものであり、信号読出し基板２を備えている。信号読出し基板２は、ガラスからなる矩形状の基板３の前面（一方の面）３ａに画定された矩形状の有効画素領域Ｒに、多数の画素ユニット４が２次元マトリックス状に配列されて構成されている。基板３の前面３ａにおける有効画素領域Ｒの外側の領域には、基板３の一辺に沿って複数のボンディングパッド５が形成されており、更に、同領域には、基板３の対向する二辺のそれぞれに沿って複数のボンディングパッド６が形成されている。
【００１６】
図４に示されるように、各画素ユニット４は、電荷を収集するための画素電極７、画素電極７に収集された電荷を蓄積するための蓄積キャパシタ８、及び蓄積キャパシタ８に蓄積された電荷を読み出すためのスイッチング素子９を有している。これにより、信号読出し基板２においては、多数の画素電極７が基板３の前面３ａに２次元マトリックス状に配列されることになる。なお、スイッチング素子９は、例えば薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）であり、基板３がシリコンからなる場合には、例えばＣ−ＭＯＳトランジスタである。
【００１７】
各スイッチング素子９は、信号線１１によってボンディングパッド５と電気的に接続されており、更に、スイッチング素子９のＯＮ／ＯＦＦを行うゲートドライバ１２とフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等によって電気的に接続されている。また、各蓄積キャパシタ８は、スイッチング素子９を介して信号線１３によってボンディングパッド６と電気的に接続されており、更に、蓄積キャパシタ８に蓄積された電荷を増幅するチャージアンプ１４とＦＰＣ等によって電気的に接続されている。
【００１８】
図１〜図３に示されるように、基板３の前面３ａにおける有効画素領域Ｒの外側の領域には、有効画素領域Ｒを挟んでボンディングパッド５と対向するように電圧供給パッド１５が形成されている。そして、基板３の前面３ａには、画素電極７、ボンディングパッド５，６及び電圧供給パッド１５の前面が露出し、且つ信号線１１，１３等が埋設されるように、絶縁性の平坦化膜１６が形成されている。
【００１９】
信号読出し基板２の前面（一方の面）２ａには、前方（すなわち、基板３の前面３ａと直交する方向）から見て有効画素領域Ｒを含むように（すなわち、全ての画素電極７を含むように）、金属ハロゲン化物、例えばヨウ化鉛からなる結晶性の光導電層１７が形成されており、各画素電極７と電気的に接続されている。光導電層１７は、前方から見て有効画素領域Ｒを含む矩形状の前面（一方の面）１７ａ、及び傾斜面である側面１７ｂを有する四角錐台状に形成されている。これは、マスクを用いて信号読出し基板２の前面２ａに光導電層１７を堆積する際には、前面２ａにマスクを接触させておくと、前面２ａからマスクを剥離すると同時に光導電層１７の縁部も剥離してしまうため、前面２ａからマスクを離間させておく必要があり、その結果、ヨウ化鉛の一部がマスク下に回り込むからである。
【００２０】
光導電層１７の前面１７ａには、前方から見て有効画素領域Ｒを含み（すなわち、全ての画素電極７を含み）且つ光導電層１７の前面１７ａに含まれるように、矩形状の共通電極１８が形成されている。より詳細には、共通電極１８は、光導電層１７の傾斜面である側面１７ｂには到らないように、光導電層１７の前面１７ａに形成されている。共通電極１８と電圧供給パッド１５とには、光導電層１７の側面１７ｂに接触するように、導電性樹脂からなる接続部材１９が掛け渡されている。これにより、共通電極１８と電圧供給パッド１５とが電気的に接続されることになる。なお、接続部材１９と共通電極１８との接点は、撮像領域を狭めることがないよう、有効画素領域Ｒ外（詳しくは、前方から見た場合に共通電極１８において有効画素領域Ｒを包囲する外縁領域）に配置されている。
【００２１】
信号読出し基板２の前面２ａには、電圧供給パッド１５の一部を開放するように包囲し且つ接続部材１９の全体を覆うように、電圧供給パッド１５、平坦化膜１６及び接続部材１９への接着性が良好な絶縁性樹脂、例えばＵＶ硬化型アクリル系樹脂（協立化学産業株式会社製  ＷＯＲＬＤ  ＲＯＣＫ  Ｎｏ．８０１−ＳＥＴ２等）からなる矩形環状の絶縁性凸部２１が形成されている。絶縁性凸部２１に包囲された電圧供給パッド１５の一部（開放部）には、半田付けにより或いは導電性接着剤で電圧供給線２２の一端が固定されている。これにより、電圧供給パッド１５と電圧電源２３とが電気的に接続されることになる。
【００２２】
なお、電圧供給線２２は、導電性部材を絶縁性部材で包囲した一般的な電気的接続用導線であり、電圧供給線２２の一端の固定部において導電性部材を露出させ、それを電圧供給パッド１５と電気的接続している。絶縁性凸部２１の高さは、電圧供給線２２の一端の固定部、つまり電圧供給パッド１５上の導電性部材からなる電気的接続部の高さよりも高く、電圧供給パッド１５及び接続部に対する絶縁障壁としての機能を高めている。
【００２３】
更に、信号読出し基板２の前面２ａには、光導電層１７及び絶縁性凸部２１を包囲するように、平坦化膜１６への接着性が良好な絶縁性樹脂、例えば絶縁性凸部２１と同じＵＶ硬化型アクリル系樹脂からなる矩形環状の絶縁性凸部２４が形成されている。絶縁性凸部２４の内側の領域には、絶縁性凸部２１の内側の領域を除いて、光導電層１７及び共通電極１８を覆うように、絶縁性凸部２１，２４の頂部に至る保護層２５が形成されている。保護層２５は、無機膜２６が有機膜（絶縁性保護層）２７で挟まれることにより構成されている。無機膜２６は、Ｘ線の吸収が少なく、可視光を遮光する材料、例えばアルミニウムからなる。また、有機膜２７は、絶縁性を有し、耐湿性に優れた材料、例えばポリパラキシリレン樹脂（スリーボンド社製  商品名：パリレン等）からなる。よって、保護層２５は、無機膜２６と有機膜２７とが組み合わされることにより、可視光の遮断によるノイズの減少、絶縁性の確保による取扱いの容易性の向上、外部雰囲気中の水蒸気やガスの遮断による光導電層１７の特性の劣化の防止等の効果を奏することになる。
【００２４】
絶縁性凸部２１の内側には、電圧供給パッド１５と電圧供給線２２との固定部を外部雰囲気から封止するように、有機膜２７より絶縁性が高く、絶縁性凸部２１への接着性が良好な樹脂、例えばシリコーンゴム（ＧＥシリコーンズ社製  ＲＴＶ−１１等）からなる絶縁性封止部材２８が充填されている。
【００２５】
この絶縁性封止部材２８の充填によって、電気的には、電圧供給パッド１５からの漏れ電流の発生を効果的に抑制できると共に、撮像時のＸ線照射によって生じた外部雰囲気由来のイオンによる電圧供給パッド１５での放電誘発、及び外部雰囲気や撮像時のＸ線照射による固定部の導通性の劣化も抑制することができる。また、固定部を覆うことによる機械的強度の向上、特に固定部と共に電圧供給線２２の固定部側端の一部をも覆っているために、X線検出器１の配置の際に電圧供給線２２を曲げるような場合にも、曲げ応力は固定部には及びにくくなっている。更に、外部雰囲気や撮像時のＸ線照射による固定部の機械的劣化も抑制することができる。
【００２６】
そして、絶縁性封止部材２８は、絶縁性凸部２１の頂部に至り、保護層２５の内側の縁部２５ａを覆っている。これにより、絶縁性封止部材２８は、保護層２５の剥離を防止すると共に、有機膜２７の内側の縁部に接触することになるので、電圧供給パッド１５や光導電層１７、共通電極１８、接続部材１９を絶縁部材で覆うことになり、より一層、電気的な安定性を得ることが可能となる。また、無機膜２６の露出端部も絶縁性封止部材２８で覆われているために、無機膜２６としてアルミニウムのような導電性材料も、問題なく使用することができる。
【００２７】
なお、保護層２５の外側の縁部２５ｂが剥離するのを防止するために、絶縁性凸部２４の頂部には、絶縁性凸部２４及び有機膜２７への接着性が良好な材料、例えば絶縁性凸部２１と同じＵＶ硬化型アクリル系樹脂からなる絶縁性固定部材２９が矩形環状に配置され、保護層２５の外側の縁部２５ｂを覆っている。
【００２８】
以上のように構成されたＸ線検出器１の動作について説明する。図４に示されるように、前方から光導電層１７にX線が入射すると、光導電層１７ではX線が吸収されて、吸収されたX線量に比例する電荷が生成される。このとき、共通電極１８には、電圧電源２３によってバイアス電圧Ｖｂ（５００Ｖ〜１０００Ｖ程度の高電圧）が印加されているため、光導電層１７で生成された電荷は、光導電層１７中を電界に沿って移動し、画素電極７に収集されて蓄積キャパシタ８に蓄積される。そして、ゲートドライバ１２によって各スイッチング素子９のＯＮ／ＯＦＦが順次行われ、各蓄積キャパシタ８に蓄積されていた電荷がチャージアンプ１４に順次読み出されて増幅されることにより、２次元X線画像が得られる。
【００２９】
以上説明したように、X線検出器１では、絶縁性凸部２１に包囲された電圧供給パッド１５の一部に電圧供給線２２が固定され、絶縁性凸部２１の内側に絶縁性封止部材２８が充填されていると共に、光導電層１７及び共通電極１８を覆うように絶縁性の有機膜２７が形成されている。しかも、X線検出器１では、電圧供給パッド１５は、光導電層１７を囲む基板３上の領域のうち、ボンディングパッド５、６との沿面距離が最大となるような位置（具体的には、基板３の四辺のうち、複数のボンディングパッド５が形成された一辺に対向し、複数のボンディングパッド６が形成された対向する二辺に挟まれた一辺、つまりボンディングパッド５、６の形成されていない辺の略中心）に設けられている。従って、電圧供給線２２を介して電圧供給パッド１５に高電圧が印加されても、電圧供給パッド１５や、電圧供給パッド１５と電圧供給線２２との固定部から信号読出し用のボンディングパッド６や信号線１３等に漏れ電流が流れることによる、画素電極７から読み出される電気信号へのノイズの発生等を抑制することが可能となる。
【００３０】
また、X線検出器１では、絶縁性凸部２１が、接続部材１９を覆うように形成されている。これにより、電圧供給パッド１５や、電圧供給パッド１５と電圧供給線２２との固定部に対する絶縁性封止部材２８の効果と同様の効果に加え、接続部材１９の据わりが良くなるため、共通電極１８と電圧供給パッド１５との電気的及び機械的な接続の安定性を向上させることができる。
【００３１】
また、X線検出器１では、絶縁性封止部材２８が、保護層２５の内側の縁部２５ａを覆っている。これにより、保護層２５の内側の縁部２５ａが剥離するのを防止することができる。
【００３２】
更に、X線検出器１では、絶縁性封止部材２８が、有機膜２７より絶縁性が高い材料から形成されている。これにより、電圧供給パッド１５と電圧供給線２２との固定部からの漏れ電流の発生や放電の誘発をより一層確実に防止することができる。
【００３３】
次に、上述したX線検出器１の製造方法について説明する。
【００３４】
まず、図５に示されるように、電圧供給パッド１５が形成された信号読出し基板２の前面２ａに、前方から見て有効画素領域Ｒを含むように（すなわち、全ての画素電極７を含むように）光導電層１７を形成する。続いて、図６に示されるように、光導電層１７の前面１７ａに、前方から見て有効画素領域Ｒを含むように（すなわち、全ての画素電極７を含むように）共通電極１８を形成する。
【００３５】
共通電極１８を形成した後、図７に示されるように、共通電極１８と電圧供給パッド１５とを電気的に接続するために、共通電極１８と電圧供給パッド１５とに接続部材１９を掛け渡す。続いて、図８に示されるように、信号読出し基板２の前面２ａに、電圧供給パッド１５の一部を包囲するように絶縁性凸部２１を形成すると共に、信号読出し基板２の前面２ａに、光導電層１７及び絶縁性凸部２１を包囲するように絶縁性凸部２４を形成する。
【００３６】
絶縁性凸部２１，２４を形成した後、図９に示されるように、光導電層１７、共通電極１８、電圧供給パッド１５、絶縁性凸部２１，２４及び信号読出し基板２を覆うように保護層２５を形成する。続いて、図１０に示されるように、絶縁性凸部２１に沿って環状に切込み２１ａを入れることにより切込み２１ａの内側の保護層２５を剥離して、絶縁性凸部２１に包囲された電圧供給パッド１５の一部を露出させる。また、絶縁性凸部２４に沿って環状に切込み２４ａを入れることにより切込み２４ａの外側の保護層２５を剥離する。つまり、絶縁性凸部２１及び絶縁性凸部２４は絶縁障壁としての機能以外にも、切り込みの際の構成部材保護部材、例えば接続部材１９の保護部材の役割も兼ねている。
【００３７】
保護層２５の所定の部分を剥離した後、図２に示されるように、電圧供給パッド１５と電圧電源２３とを電気的に接続するために、露出させられた電圧供給パッド１５の一部に電圧供給線２２を固定する。続いて、絶縁性凸部２１の内側に絶縁性封止部材２８を充填して保護層２５の内側の縁部２５ａを覆うと共に、絶縁性凸部２４の頂部に絶縁性固定部材２９を矩形環状に配置して保護層２５の外側の縁部２５ｂを覆うことにより、X線検出器１を完成させる。
【００３８】
以上のX線検出器１の製造方法によれば、画素電極７から読み出される電気信号にノイズが発生するのを抑制することができるX線検出器１を容易且つ確実に製造することが可能となる。
【００３９】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。
【００４０】
例えば、本発明に係る放射線検出器は、X線検出器に限定されず、波長領域の異なる電磁波（γ線等）や、その他の光を検出するためのものであってもよい。
【００４１】
また、信号読出し基板は、複数の画素電極が基板の前面に２次元に配列されてなるものに限定されず、複数の画素電極が基板の前面に１次元に配列されてなるものであってもよい。
【００４２】
また、光導電層は、信号読出し基板の前面に直接形成される場合に限定されず、信号読出し基板と光導電層との間に電荷注入阻止層等の中間層を形成してもよい。同様に、共通電極と光導電層との間にも、電荷注入阻止層等の中間層を形成してもよい。
【００４３】
また、光導電層は、ヨウ化鉛やヨウ化水銀、ヨウ化ビスマス等の金属ハロゲン化物に限定されず、放射線の入射により導電性を示す他の材料（アモルファスセレン等）を用いてもよい。
【００４４】
また、各絶縁性凸部や絶縁性封止部材に用いる材料は、絶縁性やそれぞれの接触部材への接着性等の条件を満たせば、共通の材料であってもよいし、異なる材料であってもよい。
【００４５】
また、絶縁性封止部材として別途設ける以外にも、保護膜の有機膜を絶縁性封止部材としてもよい。この際、無機膜が導電性部材からなる場合には、無機膜形成時に絶縁性封止部材としての領域にはマスクをする等の処理を施すことにより、無機膜を形成しないようにする。
【００４６】
また、図１１に示されるように、絶縁性凸部２１の頂部に絶縁性固定部材３１を矩形環状に配置して保護層２５の内側の縁部２５ａを覆うことにより、保護層２５の内側の縁部２５ａが剥離するのを防止してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係る放射線検出器の一実施形態の平面図である。
【図２】図１に示されたII−II線に沿っての断面図である。
【図３】図１に示されたIII−III線に沿っての断面図である。
【図４】図１に示された放射線検出器の概念図である。
【図５】図１に示された放射線検出器の第１の製造工程を示す断面図である。
【図６】図１に示された放射線検出器の第２の製造工程を示す断面図である。
【図７】図１に示された放射線検出器の第３の製造工程を示す断面図である。
【図８】図１に示された放射線検出器の第４の製造工程を示す断面図である。
【図９】図１に示された放射線検出器の第５の製造工程を示す断面図である。
【図１０】図１に示された放射線検出器の第６の製造工程を示す断面図である。
【図１１】本発明に係る放射線検出器の他の実施形態の断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１…X線検出器（放射線検出器）、２…信号読出し基板、２ａ…前面（一方の面）、３…基板、３ａ…前面（一方の面）、７…画素電極、１５…電圧供給パッド、１７…光導電層、１７ａ…前面（一方の面）、１８…共通電極、１９…接続部材、２１…絶縁性凸部、２２…電圧供給線、２３…電圧電源、２７…有機膜（絶縁性保護層）、２８…絶縁性封止部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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