(57)【要約】【課題】  試料上の所望の観察位置の高倍率での詳細な観察を簡単な操作で行えるようにする。【解決手段】  鏡筒４には拡大倍率を変更可能な光学系が組み込まれている。カメラ７は、当該光学系による試料の観察像を撮像する。電動Ｘ−Ｙステージ６は、当該試料とカメラ７とを当該光学系の光軸に垂直なＸ−Ｙ平面に沿って相対的に移動させることができる。コンピュータ１３は、カメラ７により撮像した当該試料の画像に対する当該画像上の位置の指示を取得し、当該指示を取得したときに、電動Ｘ−Ｙステージ６及び当該光学系を制御し、当該指示と当該光学系の拡大倍率とに基づいて算出される移動量に相当する相対的な移動をさせると共に、当該拡大倍率を変更する。【選択図】      図１
2007034050.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
拡大倍率を変更可能な光学系と、
前記光学系による試料の観察像を撮像する撮像手段と、
前記試料と前記撮像手段とを、前記光学系の光軸に垂直なＸ−Ｙ平面に沿って相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段及び前記光学系を制御する制御手段と、
前記撮像手段により撮像した前記試料の画像を表示する表示手段と、
前記画像上の位置の指示を取得する指示取得手段と、
を有し、
前記制御手段は、前記指示を取得したときに前記移動手段及び前記光学系を制御し、当該指示と前記光学系の拡大倍率とに基づいて算出される移動量に相当する相対的な前記移動をさせると共に、当該拡大倍率を変更する、
ことを特徴とする観察装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記指示に係る前記画像上の位置が、前記表示手段の表示画面の中心に位置するように前記移動手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の観察装置。
【請求項３】
前記指示は第一の指示と第二の指示とのうちのどちらかであり、
前記制御手段は、前記指示が前記第一の指示である場合には前記拡大倍率を高くする制御を行い、前記指示が前記第二の指示である場合には前記拡大倍率を低くする制御を行う、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の観察装置。
【請求項４】
前記指示は、前記画像上の領域を矩形で囲むことによって行われ、
前記制御手段は、前記矩形によって囲まれた領域についての前記画像に対する相対位置及び範囲に基づいて、前記移動量の設定及び前記拡大倍率の変更量の決定を行う、
ことを特徴とする請求項１記載の観察装置。
【請求項５】
拡大倍率を変更可能な光学系と、当該光学系による試料の観察像を撮像する撮像部と、当該試料と当該撮像部とを当該光学系の光軸に垂直なＸ−Ｙ平面に沿って相対的に移動させる移動機構と、を有する観察装置の制御方法であって、
前記撮像部により撮像した前記試料の画像に対する当該画像上の位置の指示を取得し、
前記指示を取得したときに、前記移動機構及び前記光学系を制御し、当該指示と当該光学系の拡大倍率とに基づいて算出される移動量に相当する相対的な前記移動をさせると共に、当該拡大倍率を変更する、
ことを特徴とする観察装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡の技術に関するものであり、特に、試料の拡大観察像をモニタ装置で表示する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
試料の拡大観察像をＣＲＴ（Cathode Ray Tube）等のモニタに表示する顕微鏡装置としては、一般的な光学顕微鏡にＣＣＤ（Charge Coupled Device ：電荷結合素子）などの撮像デバイスを取り付けたもの、走査型レーザ顕微鏡などのように、レーザビームで試料表面を走査し、試料からの反射光を受光して映像信号を形成し試料表面の画像を生成するもの、等がある。
【０００３】
これらの顕微鏡装置は、光学的な拡大倍率が変更できるように構成されているものが一般的であり、観察者は低い拡大倍率の設定の下で試料の観察位置をまず探し出し、その後高い拡大倍率へと切り替えて当該観察位置をより詳細に観察し、その部分の欠陥や異物の検査を行う。
【０００４】
光学的な拡大倍率の変更手段としては、例えば以下のようなものがある。すなわち、光学顕微鏡においては、倍率の異なる複数の対物レンズを予めレボルバに取り付けておき、そのレボルバを回転させることで光軸に挿入される対物レンズを交換する方式や、対物レンズは固定であるが、中間の光学系がターレット式あるいはズーム式になっていて変倍を行えるようにしている方式がある。また、走査型レーザ顕微鏡においては、光学顕微鏡と同様にレボルバの回転により対物レンズを交換する一方で、レーザの振り角（走査範囲）を変更することでズームを実現する方式がある。
【０００５】
しかしながら、上述したようないずれの方式においても、低倍率での観察により探し出した試料の観察位置が、常に観察画像の中心付近にあるとは限らない。このような状態のままで拡大倍率を高倍率に変更すると、視野が狭まるために、所望の観察位置が視野から外れて見失ってしまうことがある。こうして観察位置を見失ってしまった場合には、観察者は拡大倍率を低倍率へと戻して観察位置を再度捜し出さなければならない。特に、光学顕微鏡で高解像度のＣＣＤカメラを使用している場合や、走査型レーザ顕微鏡を使用している場合では、画像表示のフレームレートが遅いため、一旦見失った観察位置の再探索に長い時間を費やしてしまう場合がある。
【０００６】
このような状況を予め回避するために、観察者は、試料が載置されているＸ−Ｙステージを操作して低い倍率で観察しているときに所望の観察位置を画面中心付近へと移動させておくようにしてから、拡大倍率を高倍率へと切り替えるという操作を行う。ここで、観察を更に詳細に行うには、Ｘ−Ｙステージを操作して所望の観察位置を画面中心付近に移動させる操作と、拡大倍率を高倍率へと切り替える操作とを繰り返すことにより、ようやく可能となる。
【０００７】
このような煩わしい操作を解消する技術として、例えば特許文献１に開示されている技術がある。この技術は、試料の画像上で選択した位置が、表示画面上の中心位置へと移動するように、あるいは表示画面上で選択した位置へと移動するように、試料が載置されている電動Ｘ−Ｙステージの動作制御を行うというものであり、所望の観察位置をより詳細に観察する際に必要としていたＸ−Ｙステージの操作が不要となる。
【特許文献１】特開平９−１９７２８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上掲した特許文献１に開示されている技術では、拡大倍率の変更の操作やその拡大倍率の指定の操作は依然として解消されない。
本発明は上述した問題に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、試料上の所望の観察位置の高倍率での詳細な観察を簡単な操作で行えるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の態様のひとつである観察装置は、拡大倍率を変更可能な光学系と、当該光学系による試料の観察像を撮像する撮像手段と、当該試料と当該撮像手段とを、当該光学系の光軸に垂直なＸ−Ｙ平面に沿って相対的に移動させる移動手段と、当該移動手段及び当該光学系を制御する制御手段と、当該撮像手段により撮像した当該試料の画像を表示する表示手段と、当該画像上の位置の指示を取得する指示取得手段と、を有し、当該制御手段は、当該指示を取得したときに当該移動手段及び当該光学系を制御し、当該指示と当該光学系の拡大倍率とに基づいて算出される移動量に相当する相対的な当該移動をさせると共に、当該拡大倍率を変更する、ことを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。
【００１０】
なお、上述した本発明に係る観察装置において、当該制御手段は、当該指示に係る当該画像上の位置が、当該表示手段の表示画面の中心に位置するように当該移動手段を制御するように構成してもよい。
【００１１】
また、前述した本発明に係る観察装置において、当該指示は第一の指示と第二の指示とのうちのどちらかであり、当該制御手段は、当該指示が当該第一の指示である場合には当該拡大倍率を高くする制御を行い、当該指示が当該第二の指示である場合には当該拡大倍率を低くする制御を行う、ように構成してもよい。
【００１２】
また、前述した本発明に係る観察装置において、当該指示は、当該画像上の領域を矩形で囲むことによって行われ、当該制御手段は、当該矩形によって囲まれた領域についての当該画像に対する相対位置及び範囲に基づいて、当該移動量の設定及び当該拡大倍率の変更量の決定を行う、ように構成してもよい。
【００１３】
本発明の別の態様のひとつである観察装置の制御方法は、拡大倍率を変更可能な光学系と、当該光学系による試料の観察像を撮像する撮像部と、当該試料と当該撮像部とを当該光学系の光軸に垂直なＸ−Ｙ平面に沿って相対的に移動させる移動機構と、を有する観察装置の制御方法であって、当該撮像部により撮像した当該試料の画像に対する当該画像上の位置の指示を取得し、当該指示を取得したときに、当該移動機構及び当該光学系を制御し、当該指示と当該光学系の拡大倍率とに基づいて算出される移動量に相当する相対的な当該移動をさせると共に、当該拡大倍率を変更する、ことを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、以上のようにすることにより、試料上の所望の観察位置の高倍率での詳細な観察が簡単な操作で行えるようになるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１６】
図１は本発明を実施する観察装置の第一の例を示す図である。
同図において、顕微鏡本体１はベース２、コラム３、鏡簡４、対物レンズ５、及び電動Ｘ−Ｙステージ６を備えて構成されている。
【００１７】
鏡筒４には、対物レンズ５を介して得られる試料からの反射光（あるいは透過光）をカメラ７に結像させる光学系と、当該光学系の一部である電動ズーム機構を駆動するためのモータ８と、モータ８を制御するためのズーム制御部９とが組み込まれており、モータ８を回転させることで光学系の拡大倍率の変更を可能としている。ズーム制御部９は、自らの制御値に基づいて、あるいはエンコーダ等の周知の位置読み取り手段を用いることにより、現在の光学倍率の設定状況を読み取ることができるように構成されている。
【００１８】
電動Ｘ−Ｙステージ６には、Ｘ軸及びＹ軸の各々に駆動用のモータ１０及び１１が組み込まれており、電動Ｘ−Ｙステージ６に載置される試料と当該試料の観察像を撮像する撮像手段であるカメラ７とを、光学系の光軸に垂直なＸ−Ｙ平面に沿って相対的に移動させる移動手段として機能する。モータ１０及び１１はステージ制御部１２により各々制御される。ステージ制御部１２は、Ｘ軸及びＹ軸の各々の駆動軸に対する自らの制御値に基づいて、あるいはＸ軸及びＹ軸の各々の駆動軸毎に組み付けられたエンコーダ等の周知の位置読み取り手段を用いることにより、電動Ｘ−Ｙステージ６の現在の位置を読み取ることができるように構成されている。
【００１９】
制御手段であるコンピュータ１３は、接続されているカメラ７からの画像信号を取り込む。その一方で、ズーム制御部９及びステージ制御部１２と接続されており、これらとの双方向の通信ができるように構成されている。従って、ズーム制御部９及びステージ制御部１２に対して命令（コマンド）を発行して送信することで光学系及び電動Ｘ−Ｙステージ６を制御することができる。また、現在の拡大倍率をズーム制御部９から、更に、Ｘ軸及びＹ軸の各々の駆動軸の現在の位置をステージ制御部１２から、それぞれ読み取ることができる。
【００２０】
また、コンピュータ１３には、表示手段であるＣＲＴや液晶表示装置等のディスプレイ１４と、観察者からの各種の指示を取得するための操作機器であるマウス１５及びキーボード１６とが接続されている。更に、コンピュータ１３に備えられている不図示の記憶装置にはアプリケーションソフトウェアがインストールされており、コンピュータ１３に備えられている不図示のＣＰＵ（Central Processing Unit ：中央演算装置）がこのアプリケーションソフトウェアを読み込んで実行することにより、図１に示した観察装置全体に渡る制御を行う。
【００２１】
また、このアプリケーションプログラムを、例えば、コンピュータ１３に外付けの記憶装置や、あるいは、コンピュータ１３に備えられる媒体駆動装置へ挿入することによって記録された制御プログラムを読み出すことのできるフレキシブルディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の携帯可能記録媒体に記憶させておき、このような記録媒体からアプリケーションプログラムをコンピュータ１３に読み込ませて実行させることで、図１に示した観察装置全体に渡る制御をコンピュータ１３に行わせるようにしてもよい。
【００２２】
また、上述した記録媒体としては、通信回線を介してコンピュータ１３と接続される、プログラムサーバとして機能するコンピュータシステムが備えている記憶装置であってもよい。この場合には、アプリケーションプログラムを表現するデータ信号で搬送波を変調して得られる伝送信号を、プログラムサーバから伝送媒体である通信回線を通じてコンピュータ１３へ伝送するようにし、コンピュータ１３では受信した伝送信号を復調してアプリケーションプログラムを再生することでこの制御プログラムをコンピュータ１３のＣＰＵで実行できるようになる。
【００２３】
次に、図１に示した観察装置の動作について説明する。
まず、コンピュータ１３は、光学系の拡大倍率を低倍率に設定した状態で取得された試料表面の画像をディスプレイ１４に映し出す処理を行う。このときディスプレイ１４での画像表示例を図２Ａに示す。
【００２４】
この画像から所望の観察位置を見つけたときには、観察者はマウス１５を操作して画面上の所望の観察位置へとポインタを移動させると共に左クリック操作を行う。すると、この操作を検出したコンピュータ１３は、当該ポインタで指定された試料画像の位置が画面中心となるように電動Ｘ−Ｙステージ６を移動させる制御処理を行う。更にこのとき、光学系のズームを制御して拡大倍率を１段階高める制御処理を併せて行う。この結果、ディスプレイ１４での表示画像は、図２Ａに示したものから図２Ｂに示したものへと変化する。
【００２５】
以上の動作を、図３を用いて更に詳細に説明する。図３は、コンピュータ１３のＣＰＵが上述したアプリケーションプログラムを実行することによって実現される、コンピュータ１３による、図１に示した観察装置の制御処理の処理内容をフローチャートで示したものである。
【００２６】
図３において、まず、Ｓ１０１では、カメラ７によって現在取得されている試料の画像をディスプレイ１４に表示させる処理が行われる。なお、このとき、ポインタをディスプレイ１４に併せて表示する。
【００２７】
Ｓ１０２では、マウス１５に対する操作を監視する処理が行われ、続くＳ１０３において、マウス１５に対する操作を検出したか否かを判定する処理が行われる。ここで、当該操作を検出したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１０４に処理を進める。一方、当該操作を検出していないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１０２へと処理を戻してマウス１５に対する操作の監視処理が繰り返される。
【００２８】
Ｓ１０４では、検出された操作内容が判断される。ここで、ポインタの移動操作を検出していた場合には、Ｓ１０５において、ディスプレイ１４に表示中のポインタを、検出された操作に応じて移動させる処理が行われ、その後はＳ１０２へと処理を戻してマウス１５に対する操作の監視処理が繰り返される。一方、Ｓ１０４において、マウスに対するクリック操作を検出していた場合には、Ｓ１０６に処理を進める。
【００２９】
Ｓ１０６では、ディスプレイ１４の表示画面上におけるポインタの現在位置を観察者からの位置の指示として取得する処理が行われ、続くＳ１０７では、取得したポインタの現在位置とディスプレイ１４の表示画面の中心位置との距離を画素数の単位で算出する処理が行われる。
【００３０】
Ｓ１０８では、光学系の現在の拡大倍率をズーム制御部９から取得する処理が行われる。
Ｓ１０９では、Ｓ１０７で算出された距離と、Ｓ１０８で取得された拡大倍率とに基づいて、ポインタで指示された位置がディスプレイ１４の画面中心に位置するように試料画像を移動させるために必要な電動Ｘ−Ｙステージ６の移動量を求める処理が行われる。この処理は、まず、Ｓ１０８で取得された拡大倍率より、画面上の１画素に相当する電動Ｘ−Ｙステージ６上の距離を求め、この距離と、Ｓ１０７で算出された、距離に相当する画素数とを乗算することにより、算出することができる。
【００３１】
Ｓ１１０では、前ステップの処理によって算出された移動量だけ電動Ｘ−Ｙステージ６を移動させる命令をステージ制御部１２に対して発行する処理が行われ、電動Ｘ−Ｙステージ６を移動させ、試料の画像におけるポインタで指示された位置がディスプレイ１４の画面中心に位置するように試料画像を移動させる。
【００３２】
Ｓ１１１では、Ｓ１０３の処理によって検出されたと判定されたマウス１５に対するクリック操作の向きを判定する処理が行われる。ここで、左クリックが検出されていたときは、観察者からは第一の指示がされていたものとみなし、Ｓ１１２において、Ｓ１０８の処理によって取得されていた光学系の拡大倍率を１段階高くする命令をズーム制御部９に対して発行する処理が行われ、光学系の拡大倍率を１段階高める。一方、Ｓ１１１の処理において、右クリックが検出されていたときは、観察者からは第二の指示がされていたものとみなし、Ｓ１１３において、Ｓ１０８の処理によって取得されていた光学系の拡大倍率を１段階低くする命令をズーム制御部９に対して発行する処理が行われ、光学系の拡大倍率を１段階低下させる。
【００３３】
以上のＳ１１２若しくはＳ１１３の処理を終えた後には、Ｓ１０２へと処理を戻してマウス１５に対する操作の監視処理が繰り返される。
なお、拡大倍率の段階の設定は予めされているものとし、この設定は、例えば観察者が所定の操作をキーボード１６に対して行うことにより、若しくは設定用のアプリケーションプログラムでの操作により、変更可能とする。
【００３４】
このように、本実施例によれば、試料の低倍拡大画像が表示されている画面上で位置を指示することで、指示した位置が画面の中心に位置するように試料が移動すると共に、光学系の拡大倍率が切り替わる。従って、例えば、低倍率で試料上を広く観察してそこから詳細に観察したい場所を探し出し、その後に倍率を徐々に高めてその観察点をより詳細に観察する場合に、表示中の試料画像に対し画面上で観察点を指示するだけで、その場所が画面上の中心となるように試料が移動すると共に拡大倍率が高められて拡大観察が可能となる。その結果、観察者は煩わしい操作をすることなく、また観察位置を見失うことなく、観察点の拡大観察ができるようになる。
【００３５】
以上のように、本実施例によれば、観察者は観察している画面上の所望の観察位置を指定するだけで、指定した位置が画面の中心となるように試料を移動させると共に、その観察位置の更なる拡大観察若しくは低倍率へ切り替えての観察を行えるようになる。
【実施例２】
【００３６】
図４は本発明を実施する観察装置の第二の例を示す図である。なお、同図において、図１に示したものと同様の構成要素については同一番号を付している。
図４において、顕微鏡本体２１はベース２、コラム３、鏡筒２４、対物レンズ５、及び手動式のＸ−Ｙステージ２６を備えて構成されている。
【００３７】
鏡筒２４には、対物レンズ５を介して得られる試料からの反射光（あるいは透過光）をカメラ２７に結像する光学系と、当該光学系の一部である電動ズーム機構を駆動するためのモータ８と、モータ８を制御するためのズーム制御部９とが組み込まれており、モータ８を回転させることで光学系の拡大倍率の変更を可能としている。ズーム制御部９は、自らの制御値に基づいて、あるいはエンコーダ等の周知の位置読み取り手段を用いることにより、現在の光学倍率の設定状況を読み取ることができるように構成されている。
【００３８】
カメラ２７は、Ｘ−Ｙステージ２６に載置される試料観察像を撮像する撮像手段であり、カメラＸ−Ｙステージ２９に取り付けられている。カメラＸ−Ｙステージ２９には、Ｘ軸及びＹ軸の各々に駆動用のモータ３０及び３１が組み込まれており、Ｘ−Ｙステージ２６に載置される試料とカメラ７とを、光学系の光軸に垂直なＸ−Ｙ平面に沿って相対的に移動させる移動手段として機能する。モータ３０及び３１はカメラ位置制御部２８により制御される。カメラ位置制御部２８は、Ｘ軸及びＹ軸の各々の駆動軸に対する自らの制御値に基づいて、あるいはＸ軸及びＹ軸の各々の駆動軸毎に組み付けられたエンコーダ等の周知の位置読み取り手段を用いることにより、カメラＸ−Ｙステージ２９の現在の位置を読み取ることができるように構成されている。
【００３９】
コンピュータ３３は、接続されているカメラ２７からの画像信号を取り込む。その一方で、ズーム制御部９及びカメラ位置制御部２８と接続されており、これらとの双方向の通信により、ズーム制御部９及びカメラ位置制御部２８に対して命令（コマンド）を発行して送信することができ、また、現在の拡大倍率をズーム制御部９から、更に、Ｘ軸とＹ軸の各々の駆動軸の現在の位置をカメラ位置制御部２８から、それぞれ読み取ることができるように構成されている。
【００４０】
また、コンピュータ３３には、表示機器であるＣＲＴや液晶表示装置等のディスプレイ１４と、操作機器であるマウス１５及びキーボード１６とが接続されている。更に、コンピュータ３３に備えられている不図示の記憶装置にはアプリケーションソフトウェアがインストールされており、コンピュータ３３に備えられている不図示のＣＰＵ（Central Processing Unit ：中央演算装置）がこのアプリケーションソフトウェアを読み込んで実行することにより、図１に示した観察装置全体に渡る制御を行う。
【００４１】
以上のように構成された本実施例では、前述した実施例１と同様に、ディスプレイ１４の画面上で指示した試料画像の位置が画面の中心位置とするための必要な移動距離を、指示位置と画面中心との距離、及び光学系の現在の光学倍率よりコンピュータ３３が算出する。但し、本実施例において算出するこの移動距離は、試料を移動させる距離ではなく、カメラ７を移動させる距離とする。
【００４２】
ここで図５について説明する。同図は、コンピュータ３３のＣＰＵが上述したアプリケーションプログラムを実行することによって実現される、コンピュータ３３による、図４に示した観察装置の制御処理の処理内容の一部をフローチャートで示したものである。同図に示す処理を、図３に示した制御処理のうちのＳ１０９及びＳ１１０の処理と置き換えることにより、図４に示した観察装置を図３の制御処理で制御することが可能となる。
【００４３】
図３のＳ１０８に続くＳ２０１では、Ｓ１０７で算出された距離と、Ｓ１０８で取得された拡大倍率とに基づいて、ポインタで指示された位置が画面中心に位置するように試料画像を移動させるために必要なカメラＸ−Ｙステージ２９の移動量を求める処理が行われる。この処理は、まず、Ｓ１０８で取得された拡大倍率より、画面上の１画素に相当するカメラＸ−Ｙステージ２９上の距離を求め、この距離と、Ｓ１０７で算出された、距離に相当する画素数とを乗算することにより、算出することができる。
【００４４】
Ｓ２０１では、前ステップの処理によって算出された移動量だけカメラＸ−Ｙステージ２９を移動させる命令をカメラ位置制御部２８に対して発行する処理が行われ、カメラＸ−Ｙステージ２９を移動させる。その後は図３のＳ１１１に処理を進める。
【００４５】
以上の制御処理をコンピュータ３３が行うことにより、本実施例においても、実施例１と同様に、画面上の任意に点を指示することで、指示した位置が画面の中心に位置するように試料が移動すると共に、光学系の拡大倍率が切り替わる。
【００４６】
更に、本実施例によれば、実施例１のように試料を載せる電動Ｘ−ＹステージによりＸ−Ｙの移動機構を実現させる代わりに、カメラ２７を移動させるカメラＸ−Ｙステージ２９により実現したことで、Ｘ−Ｙ移動機構が小型且つ安価なものになるという利点がある。
【００４７】
以上のように、実施例２によっても、実施例１と同様、観察者は観察している画面上の所望の観察位置を指定するだけで、指定した位置が画面の中心となるように試料を移動させると共に、その観察位置の更なる拡大観察拡大若しくは低倍率へ切り替えての観察を行えるようになる。更に、実施例２によれば、実施例１よりも安価なシステムを実現できる。
【００４８】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した各実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
例えば、光学的な変倍機構はズーム方式に限られるものではなく、例えば対物レンズを複数取り付けたレボルバ方式でもよい。なお、その場合には備えられた対物レンズの倍率に応じて決まる段階の変倍を行うことになる。また、顕微鏡は通常の光学顕微鏡に限らず、例えば走査型レーザ顕微鏡でもよい。
【００４９】
また、光学系の倍率と画面上の画素数とから移動量を求める際に、光学系の倍率として設計値をそのまま使用するのではなく、予めキャリブレーション（校正）を行った値を使用するようにしてもよく、こうすることにより、移動量の算出精度を高めることができる。
【００５０】
また、拡大倍率の高倍率への変更若しくは低倍率への変更の指示は、マウス１５に対する左クリック操作と右クリック操作とにより行う代わりに、例えば、マウス１５に対する左クリック操作のみと、キーボード１６上の特定のキーを押しながらの左クリック操作の組み合わせとにより行うようにしてもよい。
【００５１】
また、ズームによる変倍のステップは、予め固定されたもののみとする代わりに、観察者が設定できるようにしてもよく、こうすることにより、より観察者の好みに合った変倍動作が可能となる。また、例えばダブルクリック操作により倍率を２段階変化させるようにする等、クリックの回数に応じてズームの段階を指定できるようにしてもよい。あるいは、キーボード１６上の特定のキーを押しながらクリック操作を行うことで拡大倍率の変化を２段階、３段階などと選択できるようにしてもよく、こうすることにより、観察者はより短時間で所望の観察倍率とすることができ、便利である。あるいは、図６Ａに示すように、マウス１５を操作して試料の画像上の任意の領域を囲む矩形をディスプレイ１４の画面上に指定すると、コンピュータ１３、３３が、この矩形によって囲まれた領域についての試料画像に対する相対位置及び範囲に基づいて、前述した移動量の設定及び前述した拡大倍率の変更量の決定を行い、図６Ｂに示すように、試料画像のうちその矩形に囲まれた部分が画面全体の大きさとなるように光学倍率を変更し、併せて、指定した矩形の中心の部分がディスプレイ１４の表示画面の中心となるように試料（若しくはカメラ２７）を移動させるようにしてもよい。
【００５２】
また、ディスプレイ１４の画面をタッチパネルとしてもよく、こうすることにより、観察者は観察箇所を直接触るような操作を行うことで試料画像を拡大観察できるようになり、より操作感を向上させることができる。
【００５３】
また、顕微鏡の他の機能、例えば落射照明の明るさや偏射照明の角度などを予め設定しておき、ズーム変倍に連動してこういった機能を制御するようにしてもよく、こうすることにより、観察者を煩わしい操作から解放することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明を実施する観察装置の第一の例を示す図である。
【図２Ａ】ディスプレイでの画像表示例（その１）を示す図である。
【図２Ｂ】ディスプレイでの画像表示例（その２）を示す図である。
【図３】図１に示した観察装置の制御処理の処理内容を示すフローチャートである。
【図４】本発明を実施する観察装置の第二の例を示す図である。
【図５】図４に示した観察装置の制御処理の処理内容を示すフローチャートの一部である。
【図６Ａ】ディスプレイでの画像表示例（その３）を示す図である。
【図６Ｂ】ディスプレイでの画像表示例（その４）を示す図である。
【符号の説明】
【００５５】
１、２１  顕微鏡本体
２  ベース
３  コラム
４、２４  鏡筒
５  対物レンズ
６  電動Ｘ−Ｙステージ
７、２７  カメラ
８、１０、１１、３０、３１  モータ
９  ズーム制御部
１２  ステージ制御部
１３、３３  コンピュータ
１４  ディスプレイ
１５  マウス
１６  キーボード
２６  Ｘ−Ｙステージ
２８  カメラ位置制御部
２９  カメラＸ−Ｙステージ２９
【図１】
2007034050.tif 000003
【図２Ａ】
2007034050.tif 000004
【図２Ｂ】
2007034050.tif 000005
【図３】
2007034050.tif 000006
【図４】
2007034050.tif 000007
【図５】
2007034050.tif 000008
【図６Ａ】
2007034050.tif 000009
【図６Ｂ】
2007034050.tif 000010