(57)【要約】【課題】色ずれや解像度の悪化を低減する光学部品の製造方法を提供する。【解決手段】光学部品５，１１同士を光硬化性接着剤１７を用いて接着固定してなる光学部品の製造方法において、光硬化性接着剤に対して、光を第１の照度Ｈ１とこの第１の照度よりも低い第２の照度Ｌ１とで交互に照射することによって、光硬化性接着剤を硬化させる。また、光硬化性接着剤に対して、光を複数の異なる方向から照射する。また、光学部品同士を複数の箇所のそれぞれにおいて光硬化性接着剤を用いて接着固定する。【選択図】図８
2007298608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品同士を光硬化性接着剤を用いて接着固定してなる光学部品の製造方法において、
前記光硬化性接着剤に対して、光を第１の照度と該第１の照度よりも低い第２の照度とで交互に照射することによって、前記光硬化性接着剤を硬化させる硬化工程を有することを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項２】
前記硬化工程において、前記光を複数の異なる方向から前記光硬化性接着剤に照射することを特徴とする請求項１記載の光学部品の製造方法。
【請求項３】
光学部品同士を複数の箇所のそれぞれにおいて光硬化性接着剤により接着固定してなる光学部品の製造方法において、
前記各光硬化性接着剤に、光を第１の照度と該第１の照度よりも低い第２の照度とで交互に照射することによって、前記各光硬化性接着剤を硬化させる硬化工程を有することを特徴とする光学部品の製造方法。
【請求項４】
前記硬化工程において、前記光を前記各光硬化性接着剤にそれぞれ複数の異なる方向から照射することを特徴とする請求項３記載の光学部品の製造方法。
【請求項５】
前記硬化工程において、前記各光硬化性接着剤にそれぞれ照射される前記光の所定時間毎の光量を独立に設定可能とすることを特徴とする請求項４記載の光学部品の製造方法。
【請求項６】
前記各光硬化性接着剤が硬化する過程で、前記光学部品の一方に対して他方が一の方向にずれた場合に、該一の方向とは反対の方向に位置する光硬化性接着剤に照射する光の所定時間毎の光量を、前記一の方向に位置する光硬化性接着剤に照射する光の所定時間毎の光量よりも大きくすることを特徴とする請求項５記載の光学部品の製造方法。
【請求項７】
前記硬化工程において、前記光の所定時間毎の光量を、徐々にまたは段階的に大きくすることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光学部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品の製造方法に係り、特にビデオカメラ等の撮像装置に使用される光学部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ビデオカメラ等の撮像装置に使用される光学部品の一形態として、入射光を互いに異なる波長の光、例えば光の３原色｛Ｒ（赤色），Ｇ(緑色)，Ｂ(青色)｝に分解する色分解プリズムと、この色分解プリズムによって色分解された各入射光（Ｒ光、Ｇ光、Ｂ光と称す）を別々に受光する３個の固体撮像素子とを備えた固体撮像素子プリズム組立体がある。
上述の固体撮像素子プリズム組立体が使用されたビデオカメラは、３板式ビデオカメラと称され、この３板式ビデオカメラは、一般的に、カラーフィルタ等を用いて色分解を行い１個の固体撮像素子に受光させるビデオカメラと比較して、色再現性等においてより良好な画質の撮像を行うことができる。
【０００３】
この固体撮像素子プリズム組立体の製造方法の一例が特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開２００５−２２７３６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ビデオカメラ等の撮像装置の高解像度化に伴って、固体撮像素子の高解像度化が要求されている。固体撮像素子の外形を大きくすることなく高解像度化するために、固体撮像素子における画素面積を小さくする検討が行われている。
３板式ビデオカメラの場合、固体撮像素子の画素面積を小さくすると、各固体撮像素子（Ｒ、Ｇ、Ｂ）同士の高い位置合わせ精度が必要になるが、これらの固体撮像素子を色分解プリズムに接着剤等を用いて接着固定する際、接着剤が硬化するときの接着剤の硬化収縮によって予め位置合わせされた固体撮像素子の位置がずれてしまう場合がある。
例えば、１画素のサイズが２．５μｍ角の場合、固体撮像素子同士の位置合わせ精度が±（プラスマイナス）２０％（±０．５μｍに相当する）よりも大きいと、色ずれや解像度の悪化といった問題が発生する場合がある。
【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、色ずれや解像度の悪化を低減する光学部品の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本願各発明は次の手段を有する。
１）光学部品（５，１１）同士を光硬化性接着剤（１７）を用いて接着固定してなる光学部品の製造方法において、前記光硬化性接着剤に対して、光を第１の照度（Ｈ１）と該第１の照度よりも低い第２の照度（Ｌ１）とで交互に照射することによって、前記光硬化性接着剤を硬化させる硬化工程を有することを特徴とする光学部品の製造方法である。
２）前記硬化工程において、前記光を複数の異なる方向から前記光硬化性接着剤に照射することを特徴とする１）項記載の光学部品の製造方法である。
３）光学部品（５，１１）同士を複数の箇所のそれぞれにおいて光硬化性接着剤（１７）により接着固定してなる光学部品の製造方法において、前記各光硬化性接着剤（１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ）に、光を第１の照度（Ｈ１）と該第１の照度よりも低い第２の照度（Ｌ１）とで交互に照射することによって、前記各光硬化性接着剤を硬化させる硬化工程を有することを特徴とする光学部品の製造方法である。
４）前記硬化工程において、前記光を前記各光硬化性接着剤にそれぞれ複数の異なる方向から照射することを特徴とする３）項記載の光学部品の製造方法である。
５）前記硬化工程において、前記各光硬化性接着剤にそれぞれ照射される前記光の所定時間毎の光量を独立に設定可能とすることを特徴とする４）項記載の光学部品の製造方法である。
６）前記各光硬化性接着剤が硬化する過程で、前記光学部品の一方に対して他方が一の方向にずれた場合に、該一の方向とは反対の方向に位置する光硬化性接着剤に照射する光の所定時間毎の光量を、前記一の方向に位置する光硬化性接着剤に照射する光の所定時間毎の光量よりも大きくすることを特徴とする５）項記載の光学部品の製造方法である。
７）前記硬化工程において、前記光の所定時間毎の光量を、徐々にまたは段階的に大きくすることを特徴とする１）項乃至６）項のいずれか１項に記載の光学部品の製造方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明における上記１）項〜６）項に記載の光学部品の製造方法より、色ずれや解像度の悪化を低減可能にするという効果を奏する。
また、本発明における上記７）項に記載の光学部品の製造方法より、色ずれや解像度の悪化を低減可能にすると共に、光硬化性接着剤に光を照射する時間を短縮できるので、生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の実施の形態を、好ましい実施例により図１〜図１０を用いて説明する。
本発明の光学部品の製造方法の実施例において、色分解プリズムに固体撮像素子をそれぞれ異なる接着方法で接着固定する方法を第１〜第３実施例として、以下に説明する。
図１は、本発明の光学部品の製造方法の第１〜第３実施例における固体撮像素子プリズム組立体を説明するための模式的断面図である。
図２及び図３は、本発明の光学部品の製造方法の第１実施例を説明するための模式的断面図及び平面図である。
図４〜図６は、本発明の光学部品の製造方法の第１実施例を説明するための斜視図である。
図７は、固体撮像素子の位置調整方法を説明するための模式図である。
図８は、本発明の光学部品の製造方法の第１実施例を説明するための斜視図及び模式図である。
図９は、本発明の光学部品の製造方法の第２実施例を説明するための平面図である。
図１０は、本発明の光学部品の製造方法の第２実施例を説明するための斜視図及び平面図である。
【０００９】
まず、後述する第１〜第３実施例の各手順により製造された光学部品の一形態である固体撮像素子プリズム組立体５０，１００，１５０の構成について、図１を用いて説明する。
図１に示すように、固体撮像素子プリズム組立体５０，１００，１５０は、３個のプリズム１，２，３が周知の方法で一体に密着接合された色分解プリズム５と、プリズム１の一面１ａ側に接着固定された第１の固体撮像素子９と、プリズム２の一面２ａ側に接着固定された第２の固体撮像素子１０と、プリズム３の一面３ａ側に接着固定された第３の固体撮像素子１１とを有している。
また、各固体撮像素子９，１０，１１は複数の画素が形成された受光領域９ａ，１０ａ，１１ａを有している。
【００１０】
ここで、プリズム１をＧプリズム１、プリズム２をＢプリズム２、プリズム３をＲプリズム３と称す。
また、固体撮像素子９，１０，１１は、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices），ＭＯＳ（Metal Oxide Semiconductor），ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等である。
【００１１】
Ｇプリズム１におけるＢプリズム２と接合する側の面１ｂには、波長が５００ｎｍ付近の領域の緑色光成分（Ｇ光と称する場合がある）のみを反射して他の色の光成分を透過させる第１のダイクロイック膜１３が形成されている。
また、Ｂプリズム２におけるＲプリズム３と接合する側の面２ｂには、波長が４５０ｎｍ付近の領域の青色光成分（Ｂ光と称する場合がある）のみを反射して他の色の光成分を透過させる第２のダイクロイック膜１５が形成されている。
これらの第１，第２のダイクロイック膜１３，１５はそれぞれ周知の方法により形成することができる。
【００１２】
また、３個のプリズム１，２，３の各一面１ａ，２ａ，３ａ側と各固体撮像素子９，１０，１１とは光硬化性接着剤１７によってそれぞれ固定されている。
【００１３】
次に、上述の固体撮像素子プリズム組立体５０，１００，１５０の機能について説明する。
図１に示すように、外部から撮像レンズ１８を透過した入射光Ｌは、Ｇプリズム１の入射面１ｃ側からＧプリズム１の内部に入射する。
そして、このＧプリズム１の内部に入射した入射光Ｌは、第１のダイクロイック膜１３によってＧ光のみが反射され、この第１のダイクロイック膜１３で反射されたＧ光は第１の固体撮像素子９の受光領域９ａに入射する。
また、第１のダイクロイック膜１３を透過した入射光Ｌは緑色光成分を含まない入射光Ｌ１となり、この入射光Ｌ１はＢプリズム２の内部に入射し、第２のダイクロイック膜１５によってＢ光のみが反射され、この第２のダイクロイック膜１５で反射されたＢ光は第２の固体撮像素子１０の受光領域１０ａに入射する。
また、第２のダイクロイック膜１５を透過した入射光Ｌ１は赤色光成分（Ｒ光と称する場合がある）である入射光Ｌ２となり、この入射光Ｌ２はＧプリズム３を透過して第３の固体撮像素子１１の受光領域１１ａに入射する。
【００１４】
そして、各固体撮像素子９，１０，１１は、その受光領域９ａ，１０ａ，１１ａに入射した入射光（Ｇ光，Ｂ光，Ｒ光）を、それぞれ、Ｇ画像信号，Ｂ画像信号，Ｒ画像信号として出力する。
【００１５】
また、上述の固体撮像素子プリズム組立体５０，１００，１５０から出力されたこれらの画像信号を記録媒体に記録したりフルカラー画像として表示することができる。
【００１６】
次に、上述の固体撮像素子プリズム組立体５０の製造方法、特に、色分解プリズムに固体撮像素子を第１の接着方法で接着固定する方法を第１実施例として以下に説明する。
第１実施例では、上述した色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに第３の固体撮像素子１１を第１の接着方法で接着固定する方法について、図２〜図８を用いて説明する。
【００１７】
＜第１実施例＞
まず、図２に示すように、上述した色分解プリズム５を周知の方法により形成する。
次に、図３に示すように、上述した第３の固体撮像素子１１の受光領域１１ａを有する側の面における外周部の４隅近傍に、所定量の液状またはインク状の光硬化性樹脂１７をそれぞれ塗布する。上述の４隅近傍に塗布された光硬化性樹脂１７を、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄと称することとする。
第１実施例では、第３の固体撮像素子１１の外形透視寸法を１０ｍｍ角とし、第３の固体撮像素子１１の中央部に形成された受光領域１１ａの外形寸法を４ｍｍ角とした。
また、光硬化性樹脂１７として、硬化に必要な積算光量が３０００ｍＪ／ｃｍ２〜５０００ｍＪ／ｃｍ２のものを用いた。
【００１８】
第３の固体撮像素子１１に光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄを塗布する際、第３の固体撮像素子１１が色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに接着固定されたときに、第３の固体撮像素子１１の受光領域１１ａに光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄがそれぞれ達しないように、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄの塗布位置及び塗布量を設定することが望ましい。
そこで、第１実施例では、第３の固体撮像素子１１がＲプリズム３の一面３ａに接着固定されたときの光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄの外形透視寸法（図３中の破線部で示された領域の寸法）Ｒ１７ａ，Ｒ１７ｂ，Ｒ１７ｃ，Ｒ１７ｄがそれぞれφ２ｍｍとなると共に、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄと受光領域１１ａとの間隙ｓ１７ａ，ｓ１７ｂ，ｓ１７ｃ，ｓ１７ｄがそれぞれ０．５ｍｍとなるように、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄの塗布位置及び塗布量を設定した。
【００１９】
次に、図４に示す素子接着装置２０を用いて、第３の固体撮像素子１１を色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄで固定する方法について説明する。
図４では、第３の固体撮像素子１１，色分解プリズム５，及び光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄをそれぞれ破線で示している。
【００２０】
まず、素子接着装置２０について説明する。
図４に示すように、素子接着装置２０は、色分解プリズム５を固定するためのステージ２１、第３の固体撮像素子１１を保持する保持部２２、保持部２２を後述するｘ方向，ｙ方向，ｚ方向，θａ方向，θｂ方向，θｃ方向に移動及び回転させる駆動部２３、所定の画像パターンを有するＲ光，Ｇ光，Ｂ光をそれぞれ出射する第１光源部２４、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄにそれぞれ光を照射して光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄを硬化させる照射部２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ、及び各照射部２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄに光を供給する第２光源部２６を有している。
ステージ２１は、Ｇ光，Ｂ光，Ｒ光をそれぞれ透過可能な透明部材からなる。
第１光源部２４は、ステージ２１の色分解プリズム５が固定される側とは反対側に配置されると共に、出射されたＲ光，Ｇ光，Ｂ光が色分解プリズム５に照射されるように配置されている。
照射部２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄは、第３の固体撮像素子１１を色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄで接着固定する際に、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄの各近傍にそれぞれ位置するように配置されている。
【００２１】
次に、この素子接着装置２０を用いて、第３の固体撮像素子１１を色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄで接着固定する方法を図５及び図６を用いて説明する。
【００２２】
まず、図５に示すように、色分解プリズム５をステージ２１に固定し、第３の固体撮像素子１１における受光領域１１ａが形成されている側の面とは反対の側の面を保持部２２で保持する。
次に、図６に示すように、第３の固体撮像素子１１の受光領域１１ａが形成されている側の面と色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａとが略平行となり、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄがＲプリズム３の一面３ａにそれぞれ接触するように保持部２２を移動させる。
【００２３】
その後、第１光源部２４から、所定の画像パターンを有するＲ光を、ステージ２１及び色分解プリズム５を透過させて第３の固体撮像素子１１の受光領域１１ａに照射する。
この受光領域１１ａに照射に照射されたＲ光を画像信号に変換してこの画像パターンを図示しないモニタに表示する。この表示された画像パターンを画像パターン２８Ｒと称す。
そして、この画像パターン２８Ｒが予め設定された基準パターン３０と一致するように、保持部２２を図６に示すｘ方向，ｙ方向，ｚ方向，θａ方向，θｂ方向，θｃ方向に移動及び回転させて、第３の固体撮像素子１１の位置調整を行う。
【００２４】
ここで、固体撮像素子の位置調整方法について図７を用いて説明する。
固体撮像素子の位置調整方法として、例えば以下に示す５項目がある。
（Ａ）水平方向及び垂直方向のシフト調整
図７（ａ）に示すように、基準パターン３０と一致するように画像パターン２８Ｒを水平方向(図７における横方向)及び垂直方向(図７における縦方向)にそれぞれシフトさせる。
上述した素子接着装置２０における保持部２２を図５に示すｘ方向に移動させることにより画像パターンを水平方向にシフトさせることができ、また、ｙ方向に移動させることにより画像パターンを垂直方向にシフトさせることができる。
（Ｂ）ローテーション調整
図７（ｂ）に示すように、基準パターン３０と一致するように画像パターン２８Ｒを矢印の方向に回転させる。
保持部２２を図５に示すθａ方向に回転させることにより画像パターン２８Ｒを図８に示す矢印の方向、または矢印とは反対の方向に回転させることができる。
（Ｃ）レジ調整
第３の固体撮像素子１１の他に、第１の固体撮像素子９及び第２の固体撮像素子１０についてもそれぞれ上述のシフト調整及びローテーション調整を行った後、図７（ｃ）に示すように、各画像パターン（Ｒ画像パターン，Ｇ画像パターン，Ｂ画像パターン）の対応する画素同士を一致させる。
図７（ｃ）では、Ｒ画像パターン２８ＲにＧ画像パターン２８Ｇ及びＢ画像パターン２８Ｂをそれぞれ位置合わせするように示しているが、これに限定されるものではなく、Ｇ画像パターン２８ＧにＲ画像パターン２８Ｒ及びＢ画像パターン２８Ｂをそれぞれ位置合わせしてもよく、また、Ｂ画像パターン２８ＢにＲ画像パターン２８Ｒ及びＧ画像パターン２８Ｇをそれぞれ位置合わせしてもよい。
（Ｄ）バックフォーカス調整
第３の固体撮像素子１１の受光領域１１ａが形成された面が結像面となるように、画像パターン２８Ｒのフォーカス調整を行う。保持部２０を図６に示すｚ方向（Ｇ光の光軸方向に相当する）に移動させることにより画像パターンのフォーカス調整を行うことができる。
（Ｅ）あおり調整
画像パターン２８Ｒの水平方向及び垂直方向のフォーカス調整を行う。保持部２２を図６に示すθｂ方向に移動させることにより画像パターンの水平方向のフォーカス調整を行うことができ、また、θｃ方向に移動させることにより画像パターンの垂直方向のフォーカス調整を行うことができる。
【００２５】
次に、図８（ａ）に示すように、例えば上述した位置調整方法により位置調整された第３の固体撮像素子１１が保持部２２で保持された状態において、照射部２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄから光をそれぞれ照射して光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄを硬化させる。
通常、光硬化性樹脂を硬化させる際には、一定の照度で所定の時間、光を照射するが、第１実施例では、図８（ｂ）に示すように、光を異なる照度Ｈ１，Ｌ１（Ｈ１＞Ｌ１）で交互に照射することによって光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄを硬化させることを特徴の１つとしている。
【００２６】
一定の照度Ｈ１の光を照射する方法は、比較的短時間に光硬化性樹脂を硬化させることができるので生産性の向上に対して有利であるが、硬化の際の硬化収縮量が大きいので、この硬化収縮により硬化後に第３の固体撮像素子１１がずれる場合がある。
一方、照度Ｈ１よりも低い照度（＜Ｈ１）の光を照射する方法は、硬化の際の硬化収縮量が小さいので、この硬化収縮により硬化後に第３の固体撮像素子１１のずれ量を低減できるが、硬化反応が遅くなり所定の積算光量に達しても光硬化性樹脂が十分に硬化されない場合がある。
また、この低い照度の光を照射する方法は、低い照度では架橋反応が起こらない部分が生じるため、照度Ｈ１で硬化させた場合よりも、硬化後の光硬化性樹脂の架橋密度が低くなり、樹脂自体の強度が低下する虞がある。
そこで、発明者らが鋭意実験した結果、光を異なる照度Ｈ１，Ｌ１（Ｈ１＞Ｌ１）で交互に照射することによって、硬化収縮量を低減でき、所定の積算光量で光硬化性樹脂を十分に硬化できることを見出した。
【００２７】
第１実施例では、照度Ｈ１を５００ｍＷ／ｃｍ２、照度Ｌ１を１００ｍＷ／ｃｍ２、照度Ｈ１における照射時間Ｔ１、及び、照度Ｌ１における照射時間Ｔ２をそれぞれ１秒として、積算光量が４０００ｍＪ／ｃｍ２となるように照射した。
【００２８】
また、照度Ｈ１，Ｌ１や照射時間Ｔ１，Ｔ２により、光硬化性樹脂の硬化速度を調整することができる。
例えば、積算光量を一定としたとき、照度Ｈ１，Ｌ１の少なくともいずれかを小さくすることにより、また、照射時間Ｔ１に対する照射時間Ｔ２の比率（Ｔ２／Ｔ１）を大きくすることにより、光硬化性樹脂の硬化速度を遅くすることができる。
また、光硬化性樹脂の硬化速度が遅くなるほど、光硬化性樹脂が硬化するまでの時間が長くなり、生産性を悪化させる原因となるため、生産性と光硬化性樹脂における硬化収縮の収縮量とのバランスをとって、最適な照度Ｈ１，Ｌ１及び照射時間Ｔ１，Ｔ２を設定することが望ましい。
【００２９】
上述した照射方法により光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄをそれぞれ硬化させて、色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに第３の固体撮像素子１１を接着固定する。この状態において、硬化した光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄは、第３の固体撮像素子１１が保持部２２で保持されているため、硬化収縮による残留応力を有している。
その後、第３の固体撮像素子１１を保持していた保持部２２を、固体撮像素子１１から退避させる。その際、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄは各残留応力の働く方向に変形し、この変形に伴って、固体撮像素子１１はＲプリズム３の面３ａ方向にずれる。
しかしながら、硬化後の光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄは、その硬化収縮量が上述した照射方法により低減されているため、硬化収縮による固体撮像素子１１のずれ量は低減する。
第１実施例における照射条件により、Ｒプリズム３の面３ａ方向における固体撮像素子１１のずれ量が０．２μｍであることを確認した。
【００３０】
上述したように、第１実施例では、色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに第３の固体撮像素子１１を固定する方法について説明したが、色分解プリズム５におけるＧプリズム１の一面１ａに第１の固体撮像素子９を固定する方法、及び、色分解プリズム５におけるＢプリズム２の一面２ａに第２の固体撮像素子１０を固定する方法についても、上述した方法と同様の方法を用いることができる。
そして、上述した方法と同様の方法を用いて、さらに、Ｇプリズム１の一面１ａに第１の固体撮像素子９を固定し、Ｂプリズム２の一面２ａに第２の固体撮像素子１０を固定することにより、上述の固体撮像素子プリズム組立体５０を得る。
【００３１】
次に、光学部品の一形態である固体撮像素子プリズム組立体１００の製造方法、特に、色分解プリズムに固体撮像素子を第２の接着方法で接着固定する方法を第２実施例として説明する。
第２実施例では、第１実施例と同様に、色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに第３の固体撮像素子１１を接着固定する方法について、図９を用いて説明する。
図９は、素子接着装置２０における照射部近傍を、図８（ａ）における上方から見たときの透視平面図である。
【００３２】
＜第２実施例＞［図９参照］
第１実施例では、素子接着装置２０において、図９（ａ）に示すように、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄを硬化させるための照射部２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄを、各光硬化性樹脂に対応してそれぞれ１個としたが、第２実施例では、図９（ｂ）に示すように、各光硬化性樹脂に対応してそれぞれ２個とする点で異なり、それ以外の手順及び製造条件については、第１実施例と同じである。
【００３３】
図９（ｂ）に示すように、照射部２５ａ及び照射部６５ａは光硬化性樹脂１７ａに光を照射してこれを硬化させ、また、照射部２５ｂ及び照射部６５ｂは光硬化性樹脂１７ｂに光を照射してこれを硬化させ、また、照射部２５ｃ及び照射部６５ｃは光硬化性樹脂１７ｃに光を照射してこれを硬化させ、照射部２５ｄ及び照射部６５ｄは光硬化性樹脂１７ｄに光を照射してこれを硬化させるものである。
【００３４】
また、照射部２５ａと照射部６５ａとは、光硬化性樹脂１７ａに光を照射する照射方向が、色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに対して略平行方向であると共に互いに直交するように、それぞれ配置されている。
照射部２５ｂと照射部６５ｂとは、光硬化性樹脂１７ｂに光を照射する照射方向が、色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに対して略平行方向であると共に互いに直交するように、それぞれ配置されている。
照射部２５ｃと照射部６５ｃとは、光硬化性樹脂１７ｃに光を照射する照射方向が、色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに対して略平行方向であると共に互いに直交するように、それぞれ配置されている。
照射部２５ｄと照射部６５ｄとは、光硬化性樹脂１７ｄに光を照射する照射方向が、色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに対して略平行方向であると共に互いに直交するように、それぞれ配置されている。
【００３５】
上述した構成を有する素子接着装置２０を用いて、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄを硬化させることにより、即ち、１箇所の光硬化性樹脂に対して複数の異なる方向（第２実施例では異なる２方向）から光を照射することにより、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄをより均一にそれぞれ硬化させることができるので、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄが硬化する際の硬化収縮する方向をそれぞれ分散させることができる。従って、硬化後の光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄにおける収縮応力が一方向に集中することを低減できるため、硬化後の光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄの残留応力を第１実施例よりもさらに低減させることができる。
【００３６】
次に、光学部品の一形態である固体撮像素子プリズム組立体１５０の製造方法、特に、色分解プリズムに固体撮像素子を第３の接着方法で接着固定する方法を第３実施例として説明する。
第３実施例では、第１実施例と同様に、色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに第３の固体撮像素子１１を接着固定する方法について、図１０を用いて説明する。
図１０は、本発明の光学部品の製造方法における第３実施例を説明するための斜視図及び平面図である。
【００３７】
＜第３実施例＞［図１０参照］
第１実施例では、素子接着装置２０において、第２光源部２６を、照射部２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄに光を供給する共通の光源としたが、第３実施例では、照射部２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄに対応してそれぞれ光源７５ａ，７５ｂ，７５ｃ，７５ｄを設ける構成とする点で相違する。
図１０（ａ）に示すように、光源７５ａは照射部２５ａに光を供給する光源であり、光源７５ｂは照射部２５ｂに光を供給する光源であり、光源７５ｃは照射部２５ｃに光を供給する光源であり、光源７５ｄは照射部２５ｄに光を供給する光源である。
また、第１実施例では、第３の固体撮像素子１１を保持部２２で保持した状態で光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄを硬化させたが、第３実施例では、第３の固体撮像素子１１を上述した方法により位置調整した後に保持部２２を第３の固体撮像素子１１から退避させ、その後に光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄをそれぞれ硬化させる点で相違する。
【００３８】
第３実施例における光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄの硬化方法について説明する。
図１０（ａ）に示すように、素子接着装置２０において、第１光源部２４から、所定の画像パターンを有するＲ光を、色分解プリズム５を透過させて第３の固体撮像素子１１の受光領域１１ａに照射する。この受光領域１１ａに照射に照射されたＲ光を画像信号に変換して画像パターンＲ２８として図示しないモニタに表示する。
そして、上述した基準パターン３０に対する画像パターンＲ２８の位置をモニタリングしながら、照射部２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄから光を光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄにそれぞれ照射する。
【００３９】
そして、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄがそれぞれ硬化する過程で、画像パターンＲ２８の位置が基準パターン３０に対してずれた場合、例えば、第３の固体撮像素子１１の位置が照射部２５ｃ，２５ｄ側｛図１０（ｂ）における左側｝にずれた場合、照射部２５ａ，２５ｂから照射される光の積算光量における所定時間毎の光量を、ずれた量に応じて、照射部２５ｃ，２５ｄの同所定時間毎の光量よりも大きくなるように調整する。
この所定時間毎の光量は、図８（ｂ）に示す照度Ｈ１，Ｌ１、照射時間Ｔ１，Ｔ２により調整することができる。例えば、照度Ｈ１，Ｌ１の少なくともいずれかを高くすることにより、また、照射時間Ｔ２に対する照射時間Ｔ１の比率（Ｔ１／Ｔ２）を大きくすることにより、その所定時間（Ｔ１＋Ｔ２）における光量を大きくすることができる。
【００４０】
上述の調整により、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂは光硬化性樹脂１７ｃ，１７ｄよりも硬化がより促進されるので、より硬化収縮する。この硬化収縮量の差によって、第３の固体撮像素子１１の位置を照射部２５ａ，２５ｂ側に移動させることができるので、ずれ量を補正することができる。従って、ずれ量を補正することにより、画像パターンＲ２８を基準パターン３０｛図１０（ｂ）中の破線部の位置に相当する｝と一致させることが可能になる。
【００４１】
上述したように、光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄがそれぞれ硬化する過程で、画像パターンＲ２８の位置が基準パターン３０に対してずれた場合においても、ずれた方向とは反対側に位置する光硬化性樹脂に光を照射する照射部の所定時間毎の光量を、ずれた量に応じて、ずれた側に位置する光硬化性樹脂に光を照射する照射部の同所定時間毎の光量よりも大きくすることによって、このずれを補正しながら光硬化性樹脂１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄを硬化させることができるので、画像パターンＲ２８を基準パターン３０と一致させて、第３の固体撮像素子１１を色分解プリズム５におけるＲプリズム３の一面３ａに接着固定することができる。
【００４２】
同様に、上述した方法を用いて、画像パターンＧ２８の位置を基準パターン３０と一致させて、第１の固体撮像素子９を色分解プリズム５におけるＧプリズム１の一面１ａに接着固定することができ、画像パターンＢ２８の位置を基準パターン３０と一致させて、第２の固体撮像素子１０を色分解プリズム５におけるＢプリズム２の一面２ａに接着固定することができる。
【００４３】
次に、上述した第１〜第３実施例の変形例を図１１を用いて説明する。
図１１は、光学部品の製造方法における第１〜第３実施例の変形例を説明するための模式図である。
【００４４】
＜変形例＞［図１１参照］
第１〜第３実施例では、異なる照度（Ｈ１，Ｌ１）の光を一定時間（Ｔ１，Ｔ２）ごとに交互に照射することによって光硬化性樹脂を硬化させたが、光硬化性樹脂の硬化反応は硬化が開始する初期段階の方が、硬化が完了する後段階よりも積極的に起こるので、一般的に、光硬化性樹脂が硬化収縮する量は硬化が開始する初期段階の方が多い。
そこで、変形例は、光硬化性樹脂を硬化させる際、その硬化過程において、照射される光の積算光量における所定時間(例えば、Ｔ１＋Ｔ２)毎の光量を、徐々にまたは段階的に大きくすることを特徴とする。
上述の硬化方法により、光硬化性樹脂が硬化する際の硬化収縮量を低減できると共に、より短い時間で所定の積算光量とすることができるため、硬化時間を短縮することができるので、生産性を向上させることができる。
【００４５】
例えば、図１１（ａ）に示すように、低い方の照度（低照度と称す）Ｌ１２を一定とし、低照度Ｌ１２における照射時間Ｔ１２と高い方の照度（高照度と称す）Ｈ１１ａ，Ｈ１１ｂ，Ｈ１１ｃにおける照射時間Ｔ１１とを同じとする場合、高照度を段階的に高くする（Ｈ１１ａ＜Ｈ１１ｂ＜Ｈ１１ｃ）ことにより、光硬化性樹脂の硬化速度を、硬化が開始する初期段階では遅く、硬化の進行に合わせて段階的に速くすることができる。
【００４６】
また、図１１（ｂ）に示すように、高照度Ｈ２１を一定とし、低照度Ｌ２２ａ,Ｌ２２ｂ，Ｌ２２ｃ，Ｌ２２ｄ，Ｌ２２ｅにおける照射時間Ｔ２２と高照度Ｈ２１における照射時間Ｔ２１とを同じとする場合、低照度を徐々に高くする（Ｌ２２ａ＜Ｌ２２ｂ＜Ｌ２２ｃ＜Ｌ２２ｄ＜Ｌ２２ｅ）ことにより、光硬化性樹脂の硬化速度を、硬化が開始する初期段階では遅く、硬化の進行に合わせて徐々に速くすることができる。
【００４７】
また、図１１（ｃ）に示すように、高照度Ｈ３１及び低照度Ｌ３２をそれぞれ一定とする場合、高照度Ｈ３１における照射時間Ｔ３１ａ，Ｔ３１ｂ，Ｔ３１ｃ，Ｔ３１ｄ，Ｔ３１ｅ，Ｔ３１ｆ，Ｔ３１ｇ，Ｔ３１ｈ，Ｔ３１ｉを徐々に長く（Ｔ３１ａ＜Ｔ３１ｂ＜Ｔ３１ｃ＜Ｔ３１ｄ＜Ｔ３１ｅ＜Ｔ３１ｆ＜Ｔ３１ｇ＜Ｔ３１ｈ＜Ｔ３１ｉ）し、また、低照度Ｌ３２における照射時間Ｔ３２ａ，Ｔ３２ｂ，Ｔ３２ｃ，Ｔ３２ｄ，Ｔ３２ｅ，Ｔ３２ｆ，Ｔ３２ｇ，Ｔ３２ｈを徐々に短く（Ｔ３２ａ＞Ｔ３２ｂ＞Ｔ３２ｃ＞Ｔ３２ｄ＞Ｔ３２ｅ＞Ｔ３２ｆ＞Ｔ３２ｇ＞Ｔ３２ｈ）することにより、光硬化性樹脂の硬化速度を、硬化が開始する初期段階では遅く、硬化の進行に合わせて徐々に速くすることができる。
【００４８】
本発明の実施例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。
【００４９】
例えば、第１〜第３実施例及び変形例では、固体撮像素子における光硬化性接着剤の塗布位置を４箇所としたが、これに限定されるものではなく、塗布位置を２箇所以上とすることにより、または、固体撮像素子の塗布面の外周に沿って環状に塗布することにより、第１〜第３実施例及び変形例と同様の効果を得ることができる。
【００５０】
また、第１〜第３実施例及び変形例では、固体撮像素子側に光硬化性接着剤を塗布したが、これに限定されるものではなく、プリズム側に光硬化性接着剤を塗布するようにしてもよい。
【００５１】
また、第１〜第３実施例及び変形例では、プリズムの面に対して平行方向から光が照射されるように、各照射部を配置したが、これに限定されるものではなく、光硬化性接着剤が硬化可能な位置及び角度であれば各照射部を任意の位置及び角度に配置することができる。
【００５２】
また、第３実施例では、各照射部それぞれに光源を設けたが、これに限定されるものではなく、１個の光源から出射された光を、例えばメカニカルシャッタ等を用いて各照射部に分配するようにしてもよい。
【００５３】
また、第１〜第３実施例及び変形例では、ＣＣＤ，ＭＯＳ，ＣＭＯＳ等の固体撮像素子の位置決めが必要な光学部品の製造方法について説明したが、例えば、液晶表示装置に用いられる反射型または透過型の液晶表示素子等の位置決めを行う際にも、本発明を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の光学部品の製造方法の第１実施例及び第２実施例における固体撮像素子プリズム組立体を説明するための模式的断面図である。
【図２】本発明の光学部品の製造方法の第１実施例を説明するための模式的断面図及び平面図である。
【図３】本発明の光学部品の製造方法の第１実施例を説明するための模式的断面図及び平面図である。
【図４】本発明の光学部品の製造方法の第１実施例を説明するための斜視図である。
【図５】本発明の光学部品の製造方法の第１実施例を説明するための斜視図である。
【図６】本発明の光学部品の製造方法の第１実施例を説明するための斜視図である。
【図７】固体撮像素子の位置調整方法を説明するための模式図である。
【図８】本発明の光学部品の製造方法の第１実施例を説明するための斜視図及び模式図である。
【図９】本発明の光学部品の製造方法の第２実施例を説明するための平面図である。
【図１０】本発明の光学部品の製造方法の第３実施例を説明するための斜視図及び平面図である。
【図１１】本発明の光学部品の製造方法の第１〜第３実施例の変形例を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００５５】
１，２，３  プリズム、  １ａ，２ａ，３ａ  面、  ５  色分解プリズム、  ９，１０，１１  固体撮像素子、  ９ａ，１０ａ，１１ａ  受光領域、  １３，１５  ダイクロイック膜、  １７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ  光硬化性樹脂、  １８  撮像レンズ、  ２０  素子接着装置、  ２１  ステージ、  ２２  保持部、  ２３  駆動部、  ２４，２６，７５ａ，７５ｂ，７５ｃ，７５ｄ  光源部、  ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ，６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５ｄ  照射部、  ２８Ｒ  画像パターン、  ３０  基準パターン、  ５０，１００，１５０  固体撮像素子プリズム組立体、  Ｌ，Ｌ１，Ｌ２  光、  Ｒ１７ａ，Ｒ１７ｂ，Ｒ１７ｃ，Ｒ１７ｄ  外形寸法、  ｓ１７ａ，ｓ１７ｂ，ｓ１７ｃ，ｓ１７ｄ  間隙、  Ｈ１，Ｌ１  照度、  Ｔ１、Ｔ２  照射時間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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