(57)【要約】【課題】軟Ｘ線が外部に漏洩することなく、イオン化された空気のみを取り出すことができる軟Ｘ線式静電除去装置を提供する。【解決手段】軟Ｘ線管１を設置した軟Ｘ線照射装置２と一体に連結された中空容器３は、上流側壁板４に軟Ｘ線管１からの軟Ｘ線５を照射する照射窓６を備え、且つ清浄空気生成装置からの清浄空気７を中空部８内に送気する空気供給パイプ１０が連通されると共に、該中空部８の下流側にイオン化空気１１を噴き出すイオン化空気噴出部１２を備えて形成され、前記イオン化空気噴出部１２は、中空部８の下流側壁板１３に、１本、または複数本のイオン化空気送気孔１４を、イオン化空気流入口１５からイオン化空気噴出口１６に至る経路において、複数回屈折した屈折部１７を設けて形成される。【選択図】図２
2007179773.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟Ｘ線管を設置した軟Ｘ線照射装置と、該軟Ｘ線照射装置に一体に連結固定された中空容器とにより構成された軟Ｘ線式静電除去装置であって、
前記中空容器は、上流側壁板に前記軟Ｘ線管からの軟Ｘ線を照射する照射窓を備え、且つ前記中空容器には清浄空気生成装置からの清浄空気を中空部内に高圧で送気する空気供給パイプが連通されると共に、該中空部の下流側にイオン化空気を噴き出すイオン化空気噴出部を備えて形成され、
前記イオン化空気噴出部は、中空部の下流側壁板に、１本、または複数本のイオン化空気送気孔を、イオン化空気流入口からイオン化空気噴出口に至る経路において、複数回屈折した屈折部を設けて形成したことを特徴とする軟Ｘ線式静電除去装置。
【請求項２】
請求項１記載の軟Ｘ線式静電除去装置において、１本、または複数本のイオン化空気送気孔が、イオン化空気流入口からイオン化空気噴出口まで、１本の送気路として形成されたことを特徴とする軟Ｘ線式静電除去装置。
【請求項３】
請求項１記載の軟Ｘ線式静電除去装置において、複数個のイオン化空気流入口に連なるそれぞれの流入路を設けると共に、該各流入路を下流側において、１本の噴出路に交差・統合して、該噴出路の下流側端部にイオン化空気噴出口を設けたことを特徴とする軟Ｘ線式静電除去装置。
【請求項４】
イオン化空気送気孔が、上流側から下流側方向に行くに従い漸次小径となるよう形成された請求項１〜３のいずれかに記載の軟Ｘ線式静電除去装置。    
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体および液晶製造工程において、半導体、液晶および有機ＥＬ等の基板表面に付着した静電気を除去する軟Ｘ線式静電除去装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体、液晶および有機ＥＬ等の製造工程においては、半導体基板、液晶基板および有機ＥＬ基板の加工・ハンドリング工程で、該基板表面に静電気を帯電し、該静電気で半導体、液晶および有機ＥＬの回路が静電破壊を起こすトラブルが多発している。
【０００３】
そして、前記トラブル対策として、半導体、液晶および有機ＥＬ製造装置において、基板表面上に静電気を除去するための静電除去装置が設置されている。前記静電除去装置には、高電圧で空気をイオン化する電気式静電除去装置と、軟Ｘ線を空気に照射して、空気をイオン化する軟Ｘ線式静電除去装置がある。
【０００４】
前記電気式静電除去装置は、取り扱いが簡単であるが、長時間の高圧放電で電極が摩耗し、電極の交換が必要なだけでなく、塵が発生し、基板に付着するという課題があった。更に、電気静電除去装置では、放電時に多量のオゾンを発生するため、基板の酸化、劣化等の悪影響を及ぼすという課題があった。
【０００５】
一方、軟Ｘ線式静電除去装置は、オゾンは発生せず、クリーンな静電除去装置であるが、軟Ｘ線が人体に影響を及ぼすため、軟Ｘ線が外部に漏洩しないよう構成する必要があるという課題があった。しかしながら、下記の特許文献１に開示された帯電物体の中和方法においては、軟Ｘ線が外部に漏洩しないように配慮されておらず、またフィルタが軟Ｘ線に暴露されて劣化するという課題があった。
【０００６】
【特許文献１】特許第２７４９２０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、オゾンの発生しないクリーンな軟Ｘ線式静電除去装置を使用するが、軟Ｘ線が外部に漏洩することなく、イオン化された空気のみを取り出すことができる軟Ｘ線式静電除去装置を提供しようとする点である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、軟Ｘ線管を設置した軟Ｘ線照射装置と、該軟Ｘ線照射装置に一体に連結固定された中空容器とにより構成された軟Ｘ線式静電除去装置であって、
前記中空容器は、上流側壁板に前記軟Ｘ線管からの軟Ｘ線を照射する照射窓を備え、且つ前記中空容器には清浄空気生成装置からの清浄空気を中空部内に送気する空気供給パイプが連通されると共に、該中空部の下流側にイオン化空気を噴き出すイオン化空気噴出部を備えて形成され、
前記イオン化空気噴出部は、中空部の下流側壁板に、１本、または複数本のイオン化空気送気孔を、イオン化空気流入口からイオン化空気噴出口に至る経路において、複数回屈折した屈折部を設けるという手段を採用することにより、上記課題を解決した。
【発明の効果】
【０００９】
中空容器の中空部内に噴出した清浄空気は、該中空部内において軟Ｘ線によってイオン化され、該イオン化されたイオン化空気が、イオン化空気噴出口から基板上に噴出し、該基板表面の静電気を中和・除去するので、半導体基板および液晶基板の加工・ハンドリング工程で、前記基板の回路が静電破壊を起こすことがなく、製品の品質向上に寄与することができる。
また、前記イオン化空気は、複数回屈折した屈折部を備えたイオン化空気送気孔に送気され、その間に軟Ｘ線は前記屈折部の側壁に衝突して直進性が阻止され、イオン化空気噴出部からは、イオン化空気のみを噴出するので、軟Ｘ線が中空容器外部に漏洩することなく、安全である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
軟Ｘ線管を設置した軟Ｘ線照射装置と、該軟Ｘ線照射装置に一体に連結固定された中空容器とにより構成された軟Ｘ線式静電除去装置において、
前記中空容器の中空部の下流側にイオン化空気噴出部を設け、且つ該イオン化空気噴出部は、中空部の下流側壁板に、１本、または複数本のイオン化空気送気孔を、イオン化空気流入口からイオン化空気噴出口に至る経路において、複数回屈折した屈折部を設けることにより、前記イオン化空気噴出口からは、イオン化空気のみを噴出して、軟Ｘ線の中空容器外部への漏洩を阻止すると共に、軟Ｘ線による人体への影響をなくし、安全な半導体および液晶製造工程における半導体基板および液晶基板表面の静電除去装置を実現した。
【実施例１】
【００１１】
本発明の実施例１を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施例１を正面側（下流側）から見た全体の斜視図、図２は同縦断面図である。軟Ｘ線の照射により、イオン化した清浄空気を効率よく、静電除去装置外へ噴き出すには、イオンが再結合（再結合時間：約３０ｍｍ／ｓｅｃから３００ｍｍ／ｓｅｃ）する前に、静電除去装置外に噴き出す必要がある。そして、このような観点から、本発明軟Ｘ線式静電除去装置は、図１・図２に示すように、軟Ｘ線管１を設置した軟Ｘ線照射装置２と、該軟Ｘ線照射装置２に一体に連結固定された中空容器３とにより構成されている。
【００１２】
前記中空容器３は、上流側壁板４に前記軟Ｘ線管１からの軟Ｘ線５を照射する照射窓６を備え、且つ、該中空容器３には、図示していない清浄空気生成装置からの清浄空気７を、高圧で中空部８内に送気する空気供給口９を備えた空気供給パイプ１０が開口連通されると共に、前記中空容器３の中空部８の下流側に、前記軟Ｘ線５の照射によりイオン化されたイオン化空気１１を噴き出すイオン化空気噴出部１２を設けて形成されている。
【００１３】
前記中空容器３の中空部８内へ軟Ｘ線５を照射する軟Ｘ線管１は、中空容器３の上流側に一体に連結された軟Ｘ線照射装置２内に設置されると共に、該軟Ｘ線管１は前記照射窓６に臨むように配設されて、軟Ｘ線５を中空容器３の中空部８内へ照射できるように形成されている。
【００１４】
また、前記中空容器３内の下流側に設けられたイオン化空気噴出部１２は、多少厚みのある下流側壁板１３に、中空部８から外側方向へ向けて、イオン化空気１１の送気路となる１本、または複数本のイオン化空気送気孔１４が貫通して設けられ、該イオン化空気送気孔１４の中空部８に面する内側端部を、イオン化空気流入口１５とすると共に、外側端部をイオン化空気噴出口１６とする。
【００１５】
更に、前記イオン化空気送気孔１４は、イオン化空気流入口１５からイオン化空気噴出口１６に至る経路において、複数回屈折した屈折部１７を設けて、前記軟Ｘ線５が複数回前記屈折部１７の側壁に衝突するようにして、該軟Ｘ線管１から照射された軟Ｘ線５の直進性を阻止するよう形成されている。
【００１６】
前記イオン化空気送気孔１４は、特に限定する必要はないが、好ましくは図３に示すように、該イオン化空気送気孔１４の下流側であるイオン化空気噴出口１６近傍の直線部１８の長さＬを、１．５〜３ｍｍ程度で、且つ該イオン化空気噴出口１６の径Ｇを、１５０〜５００μｍ程度とすることが推奨され、また、前記屈折部１７は、特に限定する必要はないが、好ましくは３回以上屈折した屈折部１７とすることが推奨される。そして、前記直線部１８の長さとイオン化空気噴出口１６の径を前記数値の範囲内とする一方、前記軟Ｘ線５がイオン化空気噴出口１６までの間に前記屈折部１７の側壁に複数回衝突、屈折を繰り返すようにすることにより、該軟Ｘ線５の直進性が確実に阻止されると共に、前記軟Ｘ線５は、外部に漏洩する前にエネルギーが消滅してしまい、中空容器３の外部へ漏洩することがない。
【００１７】
そして更に、中空部３内においてイオン化されたイオン化空気１１が、イオン化空気流入口１５から流入し、且つ該イオン化空気１１をイオン化空気噴出口１６から、イオンが再結合する前に高速で噴出させる必要があるため、前記イオン化空気送気孔１４は上流側であるイオン化空気流入口１５から、下流側であるイオン化空気噴出口１６に至る経路において、図３に示すように上流側から下流側方向に行くに従い漸次小径となるよう形成される。
【００１８】
前記構成より成る実施例１の作用について説明する。半導体、液晶および有機ＥＬの製造工程において、図示していない半導体基板、液晶基板および有機ＥＬ基板上に、該基板上の静電気を除去すべく、本発明軟Ｘ線式静電除去装置を設置する。そして、空気供給パイプ１０を介して、図示していない清浄空気生成装置よりの清浄空気７を、中空部８内に高圧で圧送して導入すると共に、軟Ｘ線照射装置２内の軟Ｘ線管１から軟Ｘ線５を前記中空部８内に照射する。
【００１９】
前記中空部８内に高圧で圧送して導入された清浄空気７は、該中空部８内へ照射された軟Ｘ線５によって、プラスイオン１９とマイナスイオン２０とにイオン化されて、イオン化空気１１となる。
【００２０】
そして、前記中空部８内においてイオン化されたイオン化空気１１は、イオン化空気流入口１５からイオン化空気送気孔１４内に圧送され、下流側に行くに従い漸次小径になるよう形成された該イオン化空気送気孔１４を経てイオン化空気噴出口１６から、図示していない前記基板上に高速で噴射され、該基板表面の静電気を中和・除去する。
【００２１】
前記イオン化空気送気孔１４は、その経路において、上流側から下流側方向に行くに従い漸次小径になるよう形成してあるため、イオン化空気１１が前記イオン化空気送気孔１４の下流側へ送気されるに従い徐々に圧力が高まり、イオン化空気噴出口１６からイオン化空気１１が勢いよく高速で前記基板上に噴射され、イオンが再結合することがない。
【００２２】
一方、中空部８内に照射された軟Ｘ線５は、その直進性を有する性質のため、イオン化空気流入口１５からイオン化空気送気孔１４内に直進するが、該イオン化空気送気孔１４は複数回屈折した屈折部１７を備えていると共に、イオン化空気噴出口１６近傍の直線部１８の長さおよび該イオン化空気噴出口１６の径を前記数値の範囲内とすることにより、前記軟Ｘ線５がイオン化空気噴出口１６まで直進する間に、前記各屈折部１７の側壁に複数回衝突、屈折を繰返して、該軟Ｘ線５の直進性が阻止され、前記軟Ｘ線５のエネルギーがその間に消滅して、中空容器３の外部に漏洩することがない。
【００２３】
なお、実施例１において、イオン化空気噴出部１２は、図４に示すように、下流側壁板１３を２分割して分割壁板１３ａ・１３ｂを形成し、且つ該各分割壁板１３ａ・１３ｂのそれぞれの対面する内側壁面２１ａ・２１ｂに、イオン化空気送気孔１４を縦方向に２分割して対称形状となる分割空気送気溝１４ａ・１４ｂをそれぞれ形成し、該分割空気送気溝１４ａ・１４ｂを対面するようにして、前記各分割壁板１３ａ・１３ｂを接合固定して形成する（図５）ことが、製造技術上好ましい。
【実施例２】
【００２４】
本発明の実施例２を図面に基づいて詳細に説明する。実施例２は、実施例１の変形であり、実施例１におけるイオン化空気噴出部１２を構成する各イオン化空気送気孔１４が、それぞれ１個のイオン化空気流入口１５とイオン化空気噴出口１６とを連通して、該イオン化空気流入口１５からイオン化空気噴出口１６までが１本の送気路として形成されているのに対し、実施例２におけるイオン化空気噴出部１２を構成するイオン化空気１１の送気路となるイオン化空気送気孔３１は、実施例１と同様に、１本、または複数本設けられているが、該イオン化空気送気孔３１は、それぞれ複数個のイオン化空気流入口３２に連なるそれぞれの流入路３３を設け、且つ該各流入路３３を下流側において、１本の噴出路３４に交差・統合して、該噴出路３４の下流端部に開口されたイオン化空気噴出口３５からイオン化空気１１を噴出するよう形成されている。
【００２５】
そして、前記イオン化空気噴出孔３１は、イオン化空気流入口３２からイオン化空気噴出口３５に至る経路において、複数回屈折した屈折部３６を設けて、前記軟Ｘ線５が少なくとも３回以上前記屈折部３６の側壁に衝突して、該軟Ｘ線管１から照射された軟Ｘ線５の直進性を阻止するよう形成する。
【００２６】
そして更に、実施例１と同様、中空部８内においてイオン化されたイオン化空気１１が、イオン化空気流入口３２から流入し、且つ該イオン化空気１１をイオン化空気噴出口３５から、イオンが再結合する前に高速で噴出させる必要があるため、前記イオン化空気噴出孔３１は上流側であるイオン化空気流入口３２から、下流側であるイオン化空気噴出口３５に至る経路において、図６に示すように上流側から下流側方向に行くに従い漸次小径になるよう形成される。
【００２７】
なお、特に限定する必要はないが、好ましくは図６に示すように、前記イオン化空気送気孔３１の下流側であるイオン化空気噴出口３５近傍の噴出路３４の長さＬを、１．５〜３ｍｍ程度で、且つ該イオン化空気噴出口３５の径Ｇを、１５０〜５００μｍ程度とすることが推奨される。
【００２８】
前記構成より成る実施例２の作用について説明する。なお、実施例２においては、実施例１の図２に対応する図面は記載していないが、実施例２においても、イオン化空気噴出部１２におけるイオン化空気送気孔３１の形状を異にするだけで、その他の構成は同一であるので、同一符号を用いて説明する。
【００２９】
半導体、液晶および有機ＥＬの製造工程において、図示していない半導体基板、液晶基板および有機ＥＬ基板上に、該基板上の静電気を除去すべく、本発明軟Ｘ線式静電除去装置を設置する。そして、空気供給パイプ１０を介して、図示していない清浄空気生成装置よりの清浄空気７を中空部８内に高圧で圧送して導入すると共に、軟Ｘ線照射装置２内の軟Ｘ線管１から軟Ｘ線５を前記中空部８内に照射する。
【００３０】
前記中空部８内に高圧で圧送して導入された清浄空気７は、該中空部８内へ照射された軟Ｘ線５によって、プラスイオン１９とマイナスイオン２０とにイオン化されて、イオン化空気１１となる。
【００３１】
そして、前記中空部８内においてイオン化されたイオン化空気１１は、イオン化空気流入口３２からイオン化空気送気孔３１内に圧送され、下流側に行くに従い漸次小径になるよう形成された流入路３３および噴出路３４を経て、イオン化空気噴出口３５から、図示していない前記基板上に高速で噴射され、該基板表面の静電気を中和・除去する。
【００３２】
前記イオン化空気送気孔３１は、その経路において、上流側から下流側方向に行くに従い漸次小径に形成してあるため、イオン化空気１１が前記イオン化空気送気孔３１の下流側へ送気されるに従い徐々に圧力が高まり、イオン化空気噴出口３５からイオン化空気１１が勢いよく高速で前記基板上に噴射され、イオンが再結合することがない。
【００３３】
一方、中空部８内に照射された軟Ｘ線５は、その直進性を有する性質のため、イオン化空気流入口３２からイオン化空気送気孔３１内に直進するが、該イオン化空気送気孔３１は複数回屈折した屈折部３６を備えていると共に、イオン化空気噴出口３５近傍の噴出路３４の長さおよび該イオン化空気噴出口３５の径を前記数値の範囲内とする一方、前記軟Ｘ線５がイオン化空気噴出口３５までの間に、前記各屈折部３６の側壁に複数回衝突、屈折を繰返すようにすることにより、該軟Ｘ線５の直進性が確実に阻止されると共に、前記軟Ｘ線５は、外部に漏洩する前にエネルギーが消滅してしまい、中空容器３の外部に漏洩することがない。
【００３４】
なお、実施例２において、イオン化空気噴出部１２は、図７に示すように、下流側壁板１３を２分割して分割壁板１３ａ・１３ｂを形成し、且つ該各分割壁板１３ａ・１３ｂのそれぞれの対面する内側壁面２１ａ・２１ｂに、イオン化空気送気孔３１を縦方向に２分割して対称形状となる分割空気送気溝３１ａ・３１ｂをそれぞれ形成し、該分割空気送気溝３１ａ・３１ｂを対面するようにして、前記各分割壁板１３ａ・１３ｂを接合固定して形成する（図８）ことが、製造技術上好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施例１の軟Ｘ線式静電除去装置の全体を下流側から見た斜視図である。
【図２】本発明の実施例１の軟Ｘ線式静電除去装置の縦断面図である。
【図３】本発明の実施例１の軟Ｘ線式静電除去装置におけるイオン化空気送気孔を説明する縦断面図である。
【図４】本発明の実施例１の軟Ｘ線式静電除去装置におけるイオン化空気噴出部を上流側から見た組立分解斜視図である。
【図５】本発明の実施例１の軟Ｘ線式静電除去装置におけるイオン化空気噴出部を上流側から見た斜視図である。
【図６】本発明の実施例２の軟Ｘ線式静電除去装置におけるイオン化空気送気孔を説明する縦断面図である。
【図７】本発明の実施例２の軟Ｘ線式静電除去装置におけるイオン化空気噴出部を上流側から見た組立分解斜視図である。
【図８】本発明の実施例２の軟Ｘ線式静電除去装置におけるイオン化空気噴出部を上流側から見た斜視図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  軟Ｘ線管
２  軟Ｘ線照射装置
３  中空容器
４  上流側壁板
５  軟Ｘ線
６  照射窓
７  清浄空気
８  中空部
１０  空気供給パイプ
１１  イオン化空気
１２  イオン化空気噴出部
１３  下流側壁板
１４  イオン化空気送気孔
１５  イオン化空気流入口
１６  イオン化空気噴出口
１７  屈折部
３１  イオン化空気送気孔
３２  イオン化空気流入口
３３  流入路
３４  噴出路
３５  イオン化空気噴出口
３６  屈折部
【図１】
2007179773.tif 000003
【図２】
2007179773.tif 000004
【図３】
2007179773.tif 000005
【図４】
2007179773.tif 000006
【図５】
2007179773.tif 000007
【図６】
2007179773.tif 000008
【図７】
2007179773.tif 000009
【図８】
2007179773.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月17日(2006.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の実施例１を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施例１を正面側（下流側）から見た全体の斜視図、図２は同縦断面図である。軟Ｘ線の照射により、イオン化した清浄空気を効率よく、静電除去装置外へ噴き出すには、イオンが再結合（再結合時間：約３０ｍｍｓｅｃから３００ｍｍｓｅｃ）する前に、静電除去装置外に噴き出す必要がある。そして、このような観点から、本発明軟Ｘ線式静電除去装置は、図１・図２に示すように、軟Ｘ線管１を設置した軟Ｘ線照射装置２と、該軟Ｘ線照射装置２に一体に連結固定された中空容器３とにより構成されている。