(57)【要約】【課題】異なる２つ以上の方向に画像を表示する画像表示パネルの欠陥を高精度、かつ、高速に検出する検査方法、および、検査装置を実現する。【解決手段】異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する被検査パネル２をパネル保持ステージ１１に保持し、点灯回路１２による検査用表示信号を被検査パネル２に与える。検査用表示信号が与えられた被検査パネル２を移動させながら、ラインセンサカメラ１０ａおよび１０ｂによってそれぞれの画像表示方向から撮像し、画像データを取得する。それぞれの画像表示方向から撮像された画像データの比較に基づいて上記画像表示パネルの欠陥検出を行う。【選択図】図１
2007121243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査方法であって、
検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得工程と、
それぞれの画像表示方向から撮像された画像データの比較に基づいて上記画像表示パネルの欠陥検出を行う欠陥検出工程とを有することを特徴とする検査方法。
【請求項２】
上記画像データ取得工程では、上記画像表示パネル上の一次元領域の輝度を検出する撮像装置を上記画像表示パネルに対して相対的に移動しながら、該画像表示パネルの全面を撮像することによって上記画像データを取得することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、上記画像表示パネルの全ての画像表示方向に対して同一の画像を表示させる信号を与え、
上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項４】
上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、上記画像表示パネルの全ての画像表示方向に対してそれぞれ黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号を与え、
上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項５】
上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与え、
上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項６】
上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与え、
上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項７】
上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせる信号を与え、
上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項８】
異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査装置であって、
上記画像表示パネルを保持するパネル保持部と、
上記画像表示パネルに検査用表示信号を与える信号供給部と、
検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得部とを備えることを特徴とする検査装置。
【請求項９】
異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査装置であって、
上記画像表示パネルを保持するパネル保持部と、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに検査用表示信号を与える信号供給部と、
上記信号供給部から検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得部と、
上記画像データ取得部により取得された、それぞれの画像表示方向から撮像された画像データの比較に基づいて上記画像表示パネルの欠陥検出を行う欠陥検出部とを備えることを特徴とする検査装置。
【請求項１０】
上記画像データ取得部は、上記画像表示パネル上の一次元領域の輝度を検出する撮像装置であって、
上記撮像装置に対する上記画像表示パネルの相対位置を移動しながら、上記画像表示パネルの全面を撮像することを特徴とする請求項８または９に記載の検査装置。
【請求項１１】
上記信号供給部は、検査用表示信号として、画像表示パネルの全ての画像表示方向に対して同一の画像を表示させる信号を与え、
上記欠陥検出部は、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断することを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項１２】
上記信号供給部は、検査用表示信号として、画像表示パネルの全ての画像表示方向に対してそれぞれ黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号を与え、
上記欠陥検出部は、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項１３】
上記信号供給部は、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与え、
上記欠陥検出部は、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断することを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項１４】
上記信号供給部は、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与え、
上記欠陥検出部は、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項１５】
上記信号供給部は、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせる信号を与え、
上記欠陥検出部は、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項１６】
請求項１０に記載の検査装置に上記画像表示パネルの欠陥検出を行わせるための制御プログラムであって、
上記パネル保持部と上記撮像装置とに接続されたコンピュータを、
上記画像データ取得部と上記画像表示パネルとの相対位置を移動しながら、上記画像データ取得部が上記画像表示パネルの全面を撮像するよう、上記パネル保持部と上記画像データ取得部とを制御する制御手段として機能させるための制御プログラム。
【請求項１７】
請求項８に記載の検査装置に上記画像表示パネルの欠陥検出を行わせるための欠陥検出プログラムであって、
上記信号供給部と上記画像データ取得部とに接続されたコンピュータを、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに、全ての画像表示方向に対して同一の画像を表示させる信号を与えるよう、上記信号供給部を制御する信号供給部制御手段、
および、上記画像データ取得部により取得された画像データにおける表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断する欠陥検出手段として機能させるための欠陥検出プログラム。
【請求項１８】
請求項８に記載の検査装置に上記画像表示パネルの欠陥検出を行わせるための欠陥検出プログラムであって、
上記信号供給部と上記画像データ取得部とに接続されたコンピュータを、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに、全ての画像表示方向に対してそれぞれ黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号を与えるよう上記信号供給部を制御する信号供給部制御手段、
および、上記画像データ取得部により取得されたそれぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する欠陥検出手段として機能させるための欠陥検出プログラム。
【請求項１９】
請求項８に記載の検査装置に上記画像表示パネルの欠陥検出を行わせるための欠陥検出プログラムであって、
上記信号供給部と上記画像データ取得部とに接続されたコンピュータを、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与えるよう上記信号供給部を制御する信号供給部制御手段、
および、上記画像データ取得部により取得された画像データにおけるそれぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断する欠陥検出手段として機能させるための欠陥検出プログラム。
【請求項２０】
請求項８に記載の検査装置に上記画像表示パネルの欠陥検出を行わせるための欠陥検出プログラムであって、
上記信号供給部と上記画像データ取得部とに接続されたコンピュータを、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与えるよう上記信号供給部を制御する信号供給部制御手段、
および、上記画像データ取得部により取得されたそれぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する欠陥検出手段として機能させるための欠陥検出プログラム。
【請求項２１】
請求項８に記載の検査装置に上記画像表示パネルの欠陥検出を行わせるための欠陥検出プログラムであって、
上記信号供給部と上記画像データ取得部とに接続されたコンピュータを、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに、表示領域の画素には黒色表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせる信号を与えるよう上記信号供給部を制御する信号供給部制御手段、
および、上記画像データ取得部により取得されたそれぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する欠陥検出手段として機能させるための欠陥検出プログラム。
【請求項２２】
請求項１６に記載の制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項２３】
請求項１７から２１のうち何れか一項に記載の欠陥検出プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、視差を持つ複数の画像を表示可能な画像表示パネルの検査方法および検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
異なる２つ以上の方向（以下、画像表示方向と記す）に対して独立な画像を表示することが可能な画像表示パネル、すなわち、複数画像表示パネルが近年様々な用途で用いられている。
【０００３】
上記複数画像表示パネルを用い、観察者の右目と左目が位置する方向に対して、それぞれ右目用画像と左目用画像とを表示することで、観察者における立体視を実現することができる。立体視を実現する複数画像表示パネルは、エンターテインメントやバーチャルリアリティー等の用途で実用化されている。
【０００４】
また、上記複数画像表示パネルを用いれば、プライバシー保護や安全性確保の目的で、画像表示パネルに対して異なる方向に位置する複数の観察者に対し、独立な画像をそれぞれ表示することも可能である。
【０００５】
異なる２つ以上の方向に対して独立な画像を表示する複数画像表示パネルとしては、各画像表示方向へ光を射出することが可能な透過光源を備え、該光源の光の射出方向と、透過型画像表示パネルに表示する画像とをごく短い時間毎に切り替えることで、各表示方向に異なる画像表示する画像表示パネルが知られている。また、画像表示パネルに光の射出方向を制限する視差生成デバイスを備え、表示領域毎にその表示領域から射出される光の方向をいずれかの画像表示方向に制御することにより、表示方向毎に異なる画像を表示する複数画像表示パネルも知られている。
【０００６】
上記複数画像表示パネルの表示品質を決める要素としては、画像表示パネルの表示方向特性（観察方向に対する輝度分布）が重要である。特に、上記画像表示パネルの各表示領域から定められた画像表示方向へ正しく光が射出されていることが重要である。また、複数画像表示パネルにおける代表的な欠陥として、隣接する表示領域におけるクロストーク欠陥がある。ここでクロストーク欠陥とは、第１の画像表示方向へ光を射出する第１の表示領域と、第１の画像表示方向とは異なる第２の画像表示方向へ光を射出する第１の表示領域に隣接する第２の表示領域とがあるときに、第１の表示領域における光の射出方向の制御が正しく行われず、第２の表示領域から射出される光に、第１の表示領域から射出される光が影響を与えることである。
【０００７】
製品出荷前の画像表示パネルについては、通常、目視検査や欠陥検査装置を用いての検査が実施されている。特に、画像表示パネルの表示方向特性に関する欠陥検査を行う装置としては、例えば、図９に示す欠陥検査装置１００が知られている（特許文献１）。
【０００８】
上記欠陥検査装置１００は、集光レンズ１０１と複数のセンサ素子を２次元的に配置してなる２次元センサアレイ１０２とから構成される検査ユニット１１０を備えており、上記集光レンズ１０１は、被検査パネル１０３の表示面が前焦点位置に一致するように配置されている。
【０００９】
被検査パネルの一の画像表示領域１０３ａから各方向へ射出された光線は、集光レンズ１０１により平行光線となり、２次元センサアレイ１０２を構成する各センサ素子に入射する。すなわち、該表示領域１０３ａの表示方向特性は、図示した位置に検査ユニット１１０があるときに、２次元センサアレイを構成する各受光素子により受光された光の強度として検出される。さらに、検査ユニット１１０を被検査パネル１０３に対して相対的に移動し、検査パネル１０３の全ての表示領域全体を２次元的に走査することにより、検査パネル１０３の各表示領域に関する表示方向特性が測定される。
【００１０】
しかしながら、上記欠陥検出装置１００においては、検査ユニット１１０が図示した位置にあっても、該表示領域１０３ａ以外の表示領域から射出された光（例えば、表示領域１０３ｂから射出された光）が２次元センサアレイ１０２に入射することは避けられない。
【００１１】
そこで、第１のレンズ２０１と、ピンホール２０２と、第２のレンズ２０３と、複数のセンサ素子を２次元的に配置してなる２次元センサアレイ２０４とを備える図１０に示す欠陥検査装置２００が提案されている（特許文献１）。
【００１２】
上記構成によれば、検査ユニット２１０が図示した位置にあるとき、表示領域１０３ａ以外の表示領域から射出された光線はピンホール２０２を通過することができないため、所定の表示領域（図示した配置では、表示領域１０３ａ）に関する表示方向特性を検査することが可能になる。
【００１３】
また、画像表示パネル表示方向特性に関する欠陥検査を行う別の装置として、図１１に示す検査装置３００が知られている（特許文献２）。
【００１４】
上記欠陥検査装置３００は、集光レンズ３０１と複数のセンサ素子を２次元的に配置してなる２次元センサアレイ３０２とを備えており、上記集光レンズ３０１は、上記２次元センサアレイ３０２上に被検査パネル１０３の実像が結像するように配置されている。すなわち、被検査パネル１０３における一つの表示領域から射出された光は、集光レンズ３０１により集光され、２次元センサアレイ１０３を構成する一つの受光素子に入射する。
【００１５】
上記検査装置３００では、上記集光レンズ３０１と上記２次元センサアレイ３０２とからなる検査ユニット３１０を、被検査パネル１０３に対して相対的に移動することにより、各表示領域に対する表示方向特性が測定される。
【特許文献１】特開２００２−３３３４０７（公開日：２００２年１１月２２日）
【特許文献２】特開２００１−２８１０４９（公開日：２００１年１０月１０日）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、上述のような複数画像表示パネルに対しては、複数の角度から該複数画像表示パネルを観察する必要があり、目視検査で不良状態を定量化することは困難で、検査精度が安定しないといった問題がある。
【００１７】
また、上述した従来の欠陥検査装置は、特別な画像表示方向を有さない画像表示パネルにおける輝度の角度分布を評価することを目的とするものであり、該欠陥検査装置を複数画像表示パネルに適用するにあたっては、クロストーク欠陥を検出することが困難である。さらには、検査速度が遅い、あるいは、検査精度が低いという問題があった。
【００１８】
上記問題に関して、さらに詳しく説明すれば、以下の通りである。
【００１９】
特許文献１の欠陥検査装置２００を用いて画像表示パネルを検査する場合、ある一つの表示領域から各方向に射出された光を同時に観察することが可能である。しかしながら、上記欠陥検出装置２００においては、表示方向特性の検査が表示領域毎になされ、隣接する表示領域の影響は除去されている。このため、複数画像表示パネルに対しては、本来他の表示方向に光を射出するべき他の表示領域から射出された光による影響、すなわちクロストークの影響を直接測定することはできなかった。
【００２０】
また、画像表示パネルの精密な検査を行うには、検査単位となる表示領域数を該画像表示パネルの画素数と同程度に設定する必要があるが、近年画像表示パネルの画素数は増加傾向にあり、画像表示パネルの全表示領域を検査するにあたって２次元的な走査を必要とする上記検査装置では、十分な検査速度が得られないという問題がある。
【００２１】
上記検査速度の問題に鑑みて、欠陥検査装置２００において、複数の検査ユニット２１０を１次元、あるいは、２次元的に配置することにより、検査の高速化を図ることも可能である。しかしながら、複数の検査ユニット２１０を備える構成は、欠陥検査装置のコスト高騰という新たな問題を招来する。
【００２２】
欠陥検査装置３００を用いて画像表示パネルを検査する場合、該画像表示パネルを構成する全表示領域を同時に観察することが可能である。しかしながら、複数画像表示パネルに対して欠陥検出装置３００を用い、複数画像表示パネルの画像表示方向に対する光の射出状態を検査する場合、該複数画像表示パネルの画像表示方向毎に、該表示方向から該画像表示パネルを見込む位置へ検査ユニット３１０を適宜移動し、各画像表示方向に対する光の射出状態を検査する必要が生じる。
【００２３】
このため、欠陥検査装置３００を用いて、複数画像表示パネルにより各表示方向に表示される画像を同時に撮像し、これらの比較に基づき該複数画像表示パネルの欠陥を検出することは困難であった。
【００２４】
欠陥検査装置３００においては、センサアレイ３０２が被検査パネルの一表示領域を見込む角度が一定になるよう、検査ユニット３１０を移動することも可能である。しかしながら、この場合も被検査パネルの表示領域毎に、表示領域か２次元センサアレイまでの光路長が異なるため、各表示領域にフォーカスを合わせるのが困難であった。
【００２５】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は上記複数画像表示パネルの表示方向特性、特に各表示領域における射出方向の制御状態、あるいは、クロストーク欠陥を、高精度かつ高速に評価あるいは検出できる検査装置、および、検査方法を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
本発明に係る画像表示パネルの検査方法は、異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査方法であって、検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得工程と、それぞれの画像表示方向から撮像された画像データの比較に基づいて上記画像表示パネルの欠陥検出を行う欠陥検出工程とを有することを特徴としている。
【００２７】
また、上記検査方法を可能とする、本発明に係る画像表示パネルの検査装置は、異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査装置であって、上記画像表示パネルを保持するパネル保持部と、上記画像表示パネルに検査用表示信号を与える信号供給部と、検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得部とを備えることを特徴としている。
【００２８】
上記の構成によれば、上記パネル保持部に保持され、上記信号供給部より検査用表示信号を与えられた画像表示パネルに対し、上記画像データ取得部によりそれぞれの画像表示方向から撮像した画像データが取得される。
【００２９】
この画像データでは、例えば、上記画像データの表示領域（撮像された方向に光を出射するように設定されている画素）において輝度の低下が検出されれば、その画素において、設定された画像表示方向に正しく光を射出していないことが判断できる。また、例えば、上記画像データの非表示領域（撮像された方向に光を出射しないように設定されている画素）において輝度の上昇が検出されれば、その画素において、クロストークの要因となる漏れ光が発生していることが判断できる。
【００３０】
そして、上記画像データでは、データ上の全ての画素において、同一の画像表示方向からの視認状態が反映される。これにより、異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルに対して、上述のような欠陥検査を、検査のための画像データを特殊な光学系や画像処理機器を用いること無く取得でき、検査装置を低コストに実現できる。さらに、検査のための画像データの取得を最小として、欠陥検査を迅速に行うことができる。
【００３１】
また、上記画像表示パネルの検査方法においては、上記画像データ取得工程で、上記画像表示パネル上の一次元領域の輝度を検出する撮像装置を上記画像表示パネルに対して相対的に移動しながら、該画像表示パネルの全面を撮像することによって上記画像データを取得する構成とすることが好ましい。
【００３２】
上記構成によれば、一度の撮像で上記撮像装置により撮像される上記画像表示パネル上の領域は一次元領域となる。このため、光学歪みやフォーカス変動のない高品質な画像データが得られる。従って、上記高品質な画像データに基づく欠陥判定が可能になり、上記画像表示パネルに対する欠陥検査の精度を向上させることができる。
【００３３】
尚、上記撮像装置を画像表示パネルに対して相対的に移動するには、検査装置において、撮像装置を移動させても良いし、あるいは、画像表示パネル（を保持するパネル保持部）を移動させても良い。
【００３４】
また、上記画像表示パネルの検査方法においては、上記画像データ取得工程で、検査用表示信号として、上記画像表示パネルの全ての画像表示方向に対して同一の画像を表示させる信号を与え、上記欠陥検出工程で、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断する構成とすることが好ましい。
【００３５】
上記の構成によれば、画像表示パネルの全ての画像表示方向に対して同一画像表示を行わせる信号を与え、この画像表示パネルに対してそれぞれの画像表示方向から撮像すれば、得られる画像データでは、高輝度に検出される表示領域と低輝度に検出される非表示領域とが交互に発生する。
【００３６】
そして、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士が重なるようにしてその差分を取れば、画像データパネルに欠陥が無い時には、パネルの全面でその差分値は概ね０になる。すなわち、あらかじめノイズなどの影響を見込んで基準値を定め、差分値がこの値より大きくなる画素があれば、その画素には欠陥が発生していると判断できる。このように画像データの差分を取ることにより、画像表示方向がそれぞれ異なる複数の画像データに対して同時に欠陥検出が行え、検査の迅速化を図ることができる。
【００３７】
また、画像表示パネルには、全ての画像表示方向に対して同一画像表示を行わせるため、検査装置において、それぞれの画像表示方向に対応する複数の画像データ取得部を備え、それぞれの画像表示方向に対応する画像データを同時に取得するようにすれば、画像データ取得工程においても処理の迅速化を図ることができる。
【００３８】
また、上記画像表示パネルの検査方法においては、上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、上記画像表示パネルの全ての画像表示方向に対してそれぞれ黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号を与え、上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する構成とすることができる。
【００３９】
上記の構成によれば、画像表示パネルの全ての画像表示方向に対してそれぞれ一様な階調の画像を行わせる信号を与え、この画像表示パネルに対してそれぞれの画像表示方向から撮像すれば、得られる画像データでは、高輝度に検出される表示領域と低輝度に検出される非表示領域とが交互に発生する。
【００４０】
そして、それぞれの画像データにおける表示領域を特定の閾値と比較し、表示領域の画素において上記閾値より輝度の低い画素が検出されれば、その画素においては、設定された画像表示方向に正しく光を射出していないことが判断できる。また、それぞれの画像データにおける非表示領域を特定の閾値と比較し、非表示領域の画素において上記閾値より輝度の高い画素が検出されれば、その画素においては、クロストークの要因となる漏れ光が発生していることが判断できる。
【００４１】
上述の欠陥方法では、画像表示方向の異なるそれぞれの画像データ毎に欠陥判定が行えるため、精度の高い判定が可能となる。
【００４２】
また、上記画像表示パネルの検査方法においては、上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与え、上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断する構成とすることができる。
【００４３】
あるいは、上記画像表示パネルの検査方法においては、上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与え、上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する構成とすることができる。
【００４４】
上記の構成によれば、検査対象とする画像表示方向の画像データに対し、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる。このため、検査対象外となる画像表示方向へ射出されるべき光の影響を排除した上で、検査対象の画像表示方向へ射出される光の射出方向の制御状態だけを高精度に評価することが可能になる。
【００４５】
また、上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせる信号を与え、上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する構成とすることができる。
【００４６】
上記の構成によれば、検査対象とする画像表示方向の画像データに対し、表示領域の画素には黒色表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせる。このため、検査対象となる画像表示方向へ射出されるべき光の影響を排除した上で、それとは異なる画像表示方向へ射出されるべき光が、検査対象となる表示方向に表示される画像に与える影響を、高精度に評価することが可能になる。
【００４７】
なお、上記画像表示パネルの検査装置においては、コンピュータを制御手段として用い、該制御手段により上記パネル保持部および上記画像データ取得部を制御することにより上記画像データを取得する構成としても良い。この場合、コンピュータを制御手段として機能させるためのプログラム、および、それを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も本発明の範疇に含まれる。
【００４８】
また、上記画像表示パネルの検査装置においては、上記欠陥検出部をコンピュータにより実現しても良い。この場合、コンピュータを上記欠陥検出部として機能させるためのプログラム、および、それを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に含まれる。
【発明の効果】
【００４９】
本発明に係る画像表示パネルの検査方法は、以上のように、異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査方法であって、検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得工程と、それぞれの画像表示方向から撮像された画像データの比較に基づいて上記画像表示パネルの欠陥検出を行う欠陥検出工程とを有する構成である。
【００５０】
また、上記検査方法を可能とする、本発明に係る画像表示パネルの検査装置は、異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査装置であって、上記画像表示パネルを保持するパネル保持部と、上記画像表示パネルに検査用表示信号を与える信号供給部と、検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得部とを備える構成である。
【００５１】
それゆえ、上記画像データでは、データ上の全ての画素において、同一の画像表示方向からの視認状態が反映される。これにより、異なる２つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルに対して、検査のための画像データを特殊な光学系や画像処理機器を用いること無く取得でき、検査装置を低コストに実現できる。さらに、検査のための画像データの取得を最小として、欠陥検査を迅速に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５２】
本発明に係る実施の形態について、図１から図８を用いて説明すれば以下の通りである。
【００５３】
なお、以下の説明において、本発明に係る検査装置あるいは検査方法により検査を行う被検査パネルは、透過型画像表示パネルであって、視差を持つ２つの画像を観察者の右目方向と左目方向とに対して表示する画像表示パネルとする。しかしながら、上記被検査パネルは説明の便宜上特定したものであって、本発明に係る検査装置あるいは検査方法により検査可能な画像表示パネルは、これに限定されるものでない。
【００５４】
また、被検査パネルに表示される画像はモノクロ画像とし、図面においては、輝度が高い表示領域を白色で、また輝度が低い表示領域を黒色で、これらの中間の輝度にある表示領域をハッチングにて表現している。しかしながら、上記モノクロ画像は説明の簡単化のために特定したものであって、本発明に係る検査装置あるいは検査方法により検査可能が画像表示パネルはモノクロ画像を表示する画像表示パネルに限られるものではない。
【００５５】
まず、図１を用いて本実施の形態に係る検査装置の構成について説明を行う。
【００５６】
図１に示した通り、欠陥検査装置１は、検査ユニット１０、パネル保持ステージ１１、点灯回路１２、コンタクト部１３、透過照明１４、周辺機器制御部１５、画像処理装置１６、および、出力部１７を備えており、被検査パネル２に対して検査を行うものである。
【００５７】
検査ユニット１０は２つのラインセンサカメラ１０ａと１０ｂとを備える。ラインセンサカメラ１０ａおよびラインセンサカメラ１０ｂは、撮像素子（例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）素子）を一次元形状（列状）に配列してなる撮像手段であり、被検査パネル２上の一次元領域を撮像することが可能である。ラインセンサカメラ１０ａ、あるいは、ラインセンサカメラ１０ｂが撮像する一次元領域は、被検査パネル２の画像表示特性、あるいは、必要な検査項目に合わせて適宜決定することが可能である。すなわち、上記一次元領域は、一画素列であっても良いし、いくつかの隣接する画素列からなる領域でも良い。あるいは逆に、上記ラインセンサカメラは、一画素列を複数の一次元領域として分解できる分解能を有しても良い。
【００５８】
本実施の形態においては、撮像装置として上記ラインセンサカメラを用いる構成に関して説明するが、本発明に係る検査装置は必ずしもこれに限定されるものではない。すなわち、本発明に係る検査装置に備えられる撮像装置は、被検査パネル上の一次元領域を撮像し、上記一次元領域の輝度を検出できる手段であれば良い。例えば、上記撮像装置は、1つ以上の撮像素子を備え、撮像対象である一次元領域を走査することにより、上記一次元領域の輝度を検出する撮像装置であっても良い。また、撮像対象である一次元領域を複数回撮像し、撮像結果を積分あるいは平均することにより、該一次元領域上の各表示領域の輝度を検出する、いわゆるＴＤＩ（時間遅延差分方式）センサであっても良い。
【００５９】
検査ユニット１０は、ラインセンサカメラ１０ａとラインセンサカメラ１０ｂとが、被検査パネル２上の共通の一次元領域を、２つの画像表示方向から撮像できる位置に配置されるよう構成されている。あるいは、検査ユニット１０は、ラインセンサカメラ１０ａおよびラインセンサカメラ１０ｂの位置および角度を調整する機構を備え、被検査パネル２に応じて、ラインセンサカメラ１０ａとラインセンサカメラ１０ｂとは、被検査パネル２上の共通の一次元領域を、２つの画像表示方向から撮像できる位置に調整される。
【００６０】
被検査パネル２はパネル保持ステージ１１により保持される。パネル保持ステージ１１は、被検査パネル２を、上記ラインセンサカメラにより撮像される一次元領域と直交する方向（図示したｘ軸方向）に、移動する機構を備えている。このため、ラインセンサカメラ１０ａおよびラインセンサカメラ１０ｂにより撮像される一次元領域を、被検査パネル２上にて順次移動することが可能である。すなわち、上記ラインセンサカメラにより被検査パネル全体を走査することが可能である。
【００６１】
パネル保持ステージ１１に保持された被検査パネル２は、コンタクト部１３により点灯回路と接続される。すなわち、被検査パネル２には、コンタクト部１３を介して点灯回路１２により駆動信号が与えられる。
【００６２】
なお、被検査パネル２にあらかじめソースドライバ、ゲートドライバ等の駆動手段が備えられている場合、被検査パネル２と点灯回路１２とをＦＰＣ（Flexible Print Circuit）やコネクタなどで接続する構成とすることも可能である。
【００６３】
透過照明１４は、被検査パネル２が透過型画像表示パネルであって透過光源を備えない半製品である場合、上記ラインセンサカメラ１０ａおよび１０ｂにより撮像される一次元領域に対する透過型光源として用いる。なお、被検査パネル２が透過光源を備える画像表示パネルであれば、欠陥検査装置１は透過照明１４を具備しない構成とすることも可能である。
【００６４】
被検査パネル２は搬送装置あるいは人手によりパネル保持ステージ１１に設置される。その後、周辺機器制御部１５は、透過照明１４を点灯し、点灯回路１２に被検査パネル２への駆動信号の供給を開始させる。また、同時に、周辺機器制御部１５はパネル保持ステージ１１に被検査パネル２の移動を開始させる。これにより、被検査パネル２の全表示面が、一次元領域毎にラインセンサカメラ１０ａおよびラインセンサカメラ１０ｂにより順次撮像される。ラインセンサカメラ１０ａおよびラインセンサカメラ１０ｂにより撮像された画像信号は、画像処理装置１６に送られる。
【００６５】
次に、被検査パネルである、視差を持つ複数（ここでは２つ）の画像を観察者の右目方向と左目方向とに対して表示する透過型画像表示パネルに関して図２を用いて説明する。さらに、上記被検査パネル２に即して、欠陥検査装置１に備えられた検査ユニット１０におけるラインセンサカメラ１０ａとラインセンサカメラ１０ｂとの配置、および、上記２つのラインセンサカメラにより同時に撮像される一次元領域に関して具体的に説明する。
【００６６】
図２（ａ）は被検査パネル２の実際の画像表示状態を示すものであり、仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を表している。すなわち、図２（ｅ）に示される観察者の左目方向に表示される画像（文字‘Ｌ’）と、図２（ｆ）に示される観察者の右目方向に表示される画像（文字‘Ｘ’）を同時に表現したものである。
【００６７】
図２（ａ）は視差がない状態の仮想的な見え方を示すものであり、実際には同図（ｂ）に示されように、視差生成デバイス２１を、マトリクス型表示デバイス２２に付加することにより左側観察者に提示する画像と、右側観察者に提示する画像を分離している。図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ’断面を示すものである。マトリクス型表示デバイス２２の水平方向を行、垂直方向を列、表示の最小単位を画素とした時、視差生成デバイス２１は、奇数列の画素を左目方向のみに表示するよう、かつ、偶数列の画素を右目方向のみに表示するよう、各画素における光の射出方向を制御している。マトリクス型表示デバイスの各画素における光の射出方向を、視差生成デバイスを用い画素列毎に右目方向と左目方向とに制限することにより、左右の観察者に異なる画像データを同時に提示することが可能になっている。すなわち、図２（ａ）に示した画像は、左目方向の観察者には図２（ｅ）のように見え、右目方向の観察者には図２（ｆ）のように見える。
【００６８】
上述したように、ラインセンサカメラ１０ａおよびラインセンサカメラ１０ｂは、被検査パネル２の視角特性に応じて配置を調整することが可能である。より具体的には、ラインセンサカメラ１０ａおよびラインセンサカメラ１０ｂは、上記被検査パネル２の特性に即して、隣接する２つの画素列を左目方向と右目方向から同時に撮像するよう調整される。なお、左右のラインセンサカメラ１０ａおよび１０ｂにより同時に撮像される隣接する２つの画素列は、画像表示パネルに表示される画像の同一の一次元領域に対応するものとする。
【００６９】
被検査パネル２を移動させながら、上記のように配置を調整されたラインセンサカメラ１０ａにより撮像された画像は、図２（ｃ）に示すように、輝度の低い画素列が１画素列ごとに現れた画像となる。また、同様に、上記のように配置を調整されたラインセンサカメラ１０ｂにより撮像された画像は図２（ｄ）に示すように、輝度の低い画素列が一画素列おきに現れた画像となる。
【００７０】
図２（ｃ）に示した左目方向に表示される画像において、輝度の高い画素列（以下、画像表示画素列（表示領域）と呼ぶ）と輝度の低い画素列（以下、画像非表示画素列（非表示領域）と呼ぶ）が交互に現れている。これは、奇数画素列は左目方向に光を射出し、偶数画素列は右目方向に光を射出するよう、各画素列における光の射出方向が視差生成デバイスにより制御されているため、奇数画素列から射出された光だけがラインセンサカメラ１０ａに入射し、偶数画素列から射出された光はラインセンサカメラ１０ａに入射しないためである。図２（ｄ）において、輝度の高い画素列と輝度の低い画素列が交互に現れるのも同様の理由による。
【００７１】
被検査パネルを目視した場合、被検査パネルの表示解像度は十分に高精細であるため、図２（ｃ）および図２（ｄ）に示されたような一列おきに現れる輝度の低い画素列は視認できず、図２（ｅ）あるいは図２（ｆ）に示すように、文字‘Ｌ’あるいは文字‘Ｘ’の画像が観察されることになる。
【００７２】
次に、上記ラインセンサカメラ１０ａおよびラインセンサカメラ１０ｂにより撮像された画像に基づいて、被検査パネル２の欠陥を検出する基本的な方法に関して、図３、および、図４を用いて説明する。はじめに図３を用いて、被検査パネル２に欠陥が存在しない場合に関する説明を行う。
【００７３】
図３（ａ）は、左目方向と右目方向とに同一の白色画像を表示した被検査パネルを、仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の画像を示している。すなわち、被検査パネル２は左目方向と右目方向とに表示する画像信号として一様な白色信号を点灯回路１２により与えられ、奇数画素列は左目方向へ、偶数画素列は右目方向へ、正しく光を射出しているものとする。尚、説明の簡略化のため、以下の説明においては、奇数画素列をＬ０〜Ｌ７の８列、偶数画素列をＲ０〜Ｒ７の８列とし、計１６画素列にて表示画像が形成されるものとしている。
【００７４】
図３（ｂ）は上記欠陥のない被検査パネル２を、ラインセンサカメラ１０ａにより左目方向から撮像した画像であり、図３（ｃ）は同被検査パネル２を、ラインセンサカメラ１０ｂにより右目方向から撮像した画像である。
【００７５】
ここで、左側ラインセンサ１０ａにより撮像された画像（図３（ｂ））は、パネル保持ステージ１１により被検査パネル２を２つのラインセンサカメラが同時に撮像する画素列とは直交する方向に移動させながら、Ｌ０、Ｒ０、Ｌ１、Ｒ１、・・・、Ｌ７の各画素列を順次撮像することにより得られた画像である。また、右側ラインセンサカメラ１０ｂにより撮像された画像（図３（ｃ））は、同様に、Ｒ０、Ｌ１、Ｒ１、・・・、Ｌ７、Ｒ７の各画素列を順次撮像することにより得られた画像である。
【００７６】
ラインセンサカメラにより撮像された図３（ｂ）および図３（ｃ）に示した２つの画像は、画像処理装置１６に送られる。画像処理装置１６は、各表示方向から撮像された両画像の差分を計算する。上記被検査パネルに即して言えば、同一の表示領域に対応する画素列について、該画素列を構成する各画素における輝度の差が計算される。
【００７７】
図３（ｄ）は、図３（ｂ）と図３（ｃ）とに示した画像に関して、得られた輝度の差を濃淡値で表した差分画像である。左目方向と右目方向とに同一の白色画像を表示しており、かつ、被検査パネル２が欠陥を含まない場合、左目方向のラインセンサカメラ１０ａと右目方向のラインセンサカメラ１０ｂとにより撮像された画像は同一であり、図３（ｄ）に示すように輝度の差は全て０になる。
【００７８】
なお、各表示方向から撮像された画像についての輝度の差分計算は、上述したようにラインセンサカメラにより撮像される一次元表示領域毎に行われても良いし、あるいは、複数の一次元表示領域に関する画像信号を任意ライン分記録し、記憶された任意ライン分の画像について一括して行っても良い。
【００７９】
各表示方向から撮像された画像が同一のとき、すなわち各表示方向から撮像された画像に関して輝度の差が検出されないとき、出力部１７より被検査パネルに欠陥が存在しないという判定結果が出力される。
【００８０】
次に、被検査パネル２が点欠陥を含む場合、該欠陥を検出する方法に関して図４を用いて説明する。ここでは特に、視差生成デバイス２１の部分的不良により、一部の画素における光の射出方向が所定の画像表示方向に正しく制御されず、該画素を所定の画像表示方向から観察した際、該画素の輝度が所定の値に達しない欠陥に関して説明する。このように、白色画像を表示した際、画素の電気的異常や光学的異常により、該画素が正しく白色画像を表示しない欠陥を黒点欠陥と呼ぶ。
【００８１】
被検査パネル２に、右目方向と左目方向とに表示する同一の画像信号として、一様な白色信号を与える。図４（ａ）は、上記画像信号を与えられた被検査パネル２を仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を示している。被検査パネル２においては、後述するように一部の画素における黒点欠陥が存在しているが、図４（ａ）は観察方向を定めない仮想的な図であるため、該図において欠陥画素は示されていない。
【００８２】
上記黒点欠陥を有する被検査パネル２をラインセンサカメラ１０ａおよびラインセンサカメラ１０ｂにより撮像した画像を、図４（ｂ）および図４（ｃ）に示す。この時、視差生成デバイス２１の部分的不良により、ラインセンサカメラ１０ａにより撮像された画像では、画素列Ｌ１の画素ＫＬ１において輝度低下が見られものとする。また、同じく視差生成デバイス２１の部分的不良により、ラインセンサカメラ１０ｂにより撮像された画像では、画素列Ｒ１およびＲ５の画素ＫＲ１および画素ＫＲ５において輝度低下が見られるものとする。
【００８３】
図４（ｂ）に示したラインセンサカメラ１０ａにより撮像された画像と、図４（ｃ）に示したラインセンサカメラ１０ｂにより撮像された画像とを比較し、各画素に対して輝度の差分を取ることにより図４（ｄ）に示された差分画像が得られる。ここで、Ｐ１、Ｐ２、・・・、Ｐ７は画像表示画素列間の差分に対応し、Ｑ１、Ｑ２、・・・、Ｑ７は画像非表示画素列間の差分に対応する。上記差分画像中、予め定めた基準値より大きい輝度の差を有する画素として黒点欠陥ＫＲ５が検出される。なお、上記予め定めた基準値とは、ノイズなどの影響を考慮して許容誤差として定めた値であり、必要な検査精度に応じて任意に設定することが可能である。
【００８４】
なお、上記説明では、非検査パネル２において右目方向と左目方向とに表示する画像信号として一様な白色信号を与えたが、差分画像に基づく欠陥画素検出のために非検査パネル２に与えられる画像信号はこれに限定されるものではない。すなわち、上記差分画像に基づく検査のみを行う場合、右目方向に与えられる画像信号と左目方向に与えられる画像信号が同一であれば、その画像信号は任意のものであってかまわない。
【００８５】
図４（ｄ）に示した差分画像からは、同一の表示領域に対応するＫＬ１とＫＲ１における欠陥は検出されない。すなわち、同一表示領域に対応し、異なる表示方向に画像を表示する画素に同様の欠陥（同等の濃淡値となる黒点欠陥）が存在する場合、上記差分画像による欠陥検出だけでは、上記のような欠陥が検出できない。
【００８６】
上記問題を防ぐためには、各画像表示方向から撮像された画像毎に、閾値検査を行えばよい。具体的には、ラインセンサカメラにより撮像される画素列毎に輝度のプロフィールを求め、該画素列の中から輝度が該閾値を下回る画素を輝度低下部位として検出すればよい。
【００８７】
図４（ｅ）に、図４（ｂ）において示した画素列Ｌ１に関する輝度のプロフィールを示した。図示した閾値Ｔｈ０を下回る輝度を有する画素として、ＫＬ１における黒点欠陥が検出される。また図４（ｆ）には、図４（ｃ）に示した画素列Ｒ１とＲ５とに対する輝度のプロフィールを示した。上記プロフィールによれば、図示した閾値Ｔｈ０を下回る輝度を有する画素として、ＫＲ１とＫＲ５とにおける黒点欠陥が検出することが可能である。
【００８８】
上述した差分画像に基づき欠陥として検出された画素と、上述した画素列毎のプロフィールにより欠陥として検出された画素に対応する画素とに高い画素値を割り当てることにより、図４（ｇ）に示すように、被検査パネル２に存在する黒点欠陥の情報をもれなく有する検出結果画像データが得られる。
【００８９】
なお、上述した説明では、視差生成デバイス２１の部分的不良により一部の画素において光が所定の画像表示方向に射出されず、該画像表示方向に対する上記欠陥画素の輝度低下が生じる場合の閾値処理に関して説明した。しかしながら、視差生成デバイス２１の不良により生じる欠陥のみに限らず、液晶層に異物を含むなどして液晶の配向特性を乱すような場合や、ＴＦＴ素子自体の電気的不良によって、欠陥画素（あるいはそれに隣接する画素）の画像表示方向に対する輝度が所定の輝度より上昇する欠陥も存在する。このような欠陥に対しては、上記閾値処理において上限輝度を設定し、これを上回る画素を輝度上昇部位として検出することで、欠陥を検出することが可能である。また、上記輝度上昇部位を検出するには、各ラインセンサカメラ画像の画像非表示画素列に対して上記閾値処理が実施される。
【００９０】
また、上記説明では、黒点欠陥の検出を目的とし、被検査パネル２には一様な白色画像信号を与えて行う検査について説明した。このため、図４（ｅ）、（ｆ）における閾値Ｔｈ０としては一様な値を用いている。しかしながら、上記白色以外の信号を与えて検査を実行することも可能である。例えば、黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号であれば、任意の中間階調をもつ画像信号を用いて、上記検査を実行することが可能である。この場合、被検査パネル２に与えられる駆動信号に応じて適当な閾値を設定し、上記閾値処理をすることが可能である。また、必要に応じて、上述した下限輝度を下回る画素を検出する閾値処理と、上限輝度を上回る画素を検出する閾値処理とを同時に実行することも可能である。
【００９１】
被検査パネル２に与えられる駆動信号が複雑な画像信号である場合、上述した閾値処理において閾値の設定は困難になる。この場合、上述した差分画像に基づく検査が有効である。
【００９２】
逆に、上記説明において述べたように、被検査パネル２に一様な画像信号を与えて検査を実行する場合、閾値処理による欠陥検出が有効である。このため、被検査パネル２に与える駆動信号に応じて、閾値処理による検査と差分画像に基づく検査とを適宜組み合わせたり、あるいは、一方の検査のみを実施することも可能である。
【００９３】
また、上記説明では、ラインセンサカメラ１０ａにより撮像された図４（ｂ）に示す画像と、ラインセンサカメラ１０ｂにより撮像された図４（ｃ）に示す画像との、全画素列に対する差分画像に基づいて行う検査について説明したが、黒点欠陥のみが検査対象であれば、上記二つの画像の画像表示画素列のみに対する差分画像を用いてもよい。しかしながら、全画素列に対する差分画像を生成する検査であれば、後述するクロストーク欠陥の検出も同時に行えるという利点がある。
【００９４】
次に、被検査パネル２がクロストーク欠陥を含む場合、該欠陥を検出する方法に関して図５を用いて説明する。ここでクロストーク欠陥とは、例えば、右目方向に光を射出するべき画素において光の射出方向の制御が正しく行われず、左目方向の観察者に対して右目方向に光を射出するべき上記画素から射出された光が観察されてしまう欠陥である。
【００９５】
被検査パネル２に、右目方向と左目方向とに表示する同一の画像信号として、一様な白色信号を与える。図５（ａ）は、上記画像信号を与えられた被検査パネル２を仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を示している。被検査パネル２においては、後述するように一部の画素におけるクロストーク欠陥が存在しているが、図５（ａ）は観察方向を定めない仮想的な図であるため、該図において欠陥画素は示されていない。
【００９６】
上記クロストーク欠陥を有する被検査パネル２をラインセンサカメラ１０ａおよびラインセンサカメラ１０ｂにより撮像した画像を、図５（ｃ）および図５（ｄ）に示す。
【００９７】
図５（ｃ）において、画素列Ｒ０および画素列Ｒ５が中間階調で表現されている。これは図５（ｂ）に示すように、本来右目方向に射出方向が制御されるべき画素列Ｒ０および画素列Ｒ５から射出された光が、左目方向に位置するラインセンサカメラ１０ａに入射したためである。また、図５（ｄ）において、画素列Ｌ１が中間階調で表現されている。これは、本来左目方向に射出方向が制御されるべき画素列Ｌ１から射出された光が、右目方向に位置するラインセンサカメラ１０ｂに入射したためである。
【００９８】
図５（ｃ）に示したラインセンサカメラ１０ａにより撮像された画像と、図５（ｄ）に示したラインセンサカメラ１０ｂにより撮像された画像とを比較し、各画素に対して輝度の差分を取ることにより図５（ｅ）に示された差分画像が得られる。ここで、Ｐ１、Ｐ２、・・・、Ｐ７は画像表示画素列間の差分に対応し、Ｑ１、Ｑ２、・・・、Ｑ７は画像非表示画素列間の差分に対応する。上記差分画像中、予め定めた基準値より大きい輝度の差を有する画素列として画素列Ｑ５が検出される。なお、予め定めた基準値とは、ノイズなどの影響を考慮して許容誤差として定めた値であり、必要な検査精度に応じて任意に設定することが可能である。
【００９９】
なお、上記説明では、非検査パネル２において右目方向と左目方向とに表示する画像信号として一様な白色信号を与えたが、差分画像に基づく欠陥画素検出のために非検査パネル２に与えられる画像信号はこれに限定されるものではない。すなわち、上記差分画像に基づく検査のみを行う場合、右目方向に与えられる画像信号と左目方向に与えられる画像信号が同一であれば、その画像信号は任意のものであってかまわない。
【０１００】
同一の表示領域に対応する画素列Ｌ０とが画素列Ｒ０とおける欠陥は、図５（ｅ）に示した差分画像からは検出されない。すなわち、同一表示領域に対応し、異なる表示方向に画像を表示する画素に同様の欠陥が存在する場合、各画像表示方向から撮像された画像の差分画像による欠陥検出だけでは、上記のような欠陥が検出できない。
【０１０１】
上記問題を防ぐためには、各画像表示方向から撮像された画像毎に、閾値検査を行えばよい。具体的には、ラインセンサカメラにより撮像される画素列毎に輝度のプロフィールを求め、予め設定した閾値を上回る画素列をクロストーク欠陥として検出すればよい。
【０１０２】
図５（ｆ）に、図５（ｃ）において示した画素列Ｒ０、画素列Ｒ１、および、画素列Ｒ５に関する輝度のプロフィールを示した。図５（ｆ）では、図示した閾値Ｔｈ１を上回る輝度を有する画素として、画素列Ｒ０と画素列Ｒ５とを構成する全ての画素が検出されている。これにより、画素列Ｒ０および画素列Ｒ５は、予め設定した閾値を上回る画素列、すなわちクロストーク欠陥を有する画素列として検出される。比較のために示した画素列Ｒ１は光の射出方向が正しく制御された画素列であり、従って左目方向に設置されたラインセンサカメラ１０ａに画素列Ｒ１から射出した光は入射しない。このため、ラインセンサカメラ１０ａにより撮像された図５（ｃ）に示した画像において、画素列Ｒ１の輝度は閾値Ｔｈ１を下回る。
【０１０３】
また図５（ｇ）には、図５（ｄ）に示した画素列Ｌ１とＬ２とに関する輝度のプロフィールを示した。上記プロフィールによれば、図示した閾値Ｔｈ１を上回る輝度を有する画素として、Ｌ１を構成する全ての画素が検出される。これにより、画素列Ｌ１は、予め設定した閾値を上回る画素列、すなわちクロストーク欠陥を有する画素列として検出される。また、比較のために示した画素列Ｌ２に関しては、全ての画素における輝度が閾値Ｔｈ１を下回るため、画素列Ｌ２においてクロストーク欠陥は検出されない。
【０１０４】
上述した差分画像に基づき欠陥として検出された画素と、上述した比較に先立つ閾値処理により欠陥として検出された画素に対応する画素とに高い画素値を割り当てることにより、図５（ｈ）に示す被検査パネル２に存在するクロストーク欠陥の情報をもれなく有する検出結果画像データが得られる。
【０１０５】
上述の閾値処理は、必要に応じて各ラインセンサカメラ画像データの画像表示画素列に対しても実施可能であり、その場合は、クロストーク欠陥検出と同時に、あらかじめ設定した閾値を下回る画素を輝度低下部位として検出することが可能である。
【０１０６】
なお、上記説明においては、クロストーク欠陥の検出を目的とし、被検査パネル２には、一様な白色画像信号を与えて検査を行う場合を例示している。このため、閾値Ｔｈ１としては一様な値を用いている。しかしながら、検査対象に求められる画像表示品質に応じて、被検査パネル２に上記白色以外の駆動信号を与えて検査を実行することも可能である。例えば、黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号であれば、任意の中間階調をもつ画像信号を用いて、上記検査を実行することが可能である。この場合、閾値処理に用いる閾値は、被検査パネル２に与えられる駆動信号に応じて適宜設定すればよい。また、上記閾値は、必要に応じて上限および下限の両方を設定することも可能である。
【０１０７】
被検査パネル２に与えられる駆動信号が複雑な画像信号である場合、閾値設定も複雑になる。この場合、上述した差分画像に基づく検査が有効である。
【０１０８】
逆に、被検査パネル２に一様な画像信号を与えて検査を実行する場合、閾値処理による欠陥検出が有効である。このため、被検査パネル２に与える駆動信号に応じて、閾値処理による検査と差分画像に基づく検査とを適宜組み合わせたり、あるいは、一方の検査のみを実施することも可能である。
【０１０９】
また、上記説明では、ラインセンサカメラ１０ａにより撮像された図５（ｃ）に示す画像と、ラインセンサカメラ１０ｂにより撮像された図５（ｄ）に示す画像との、全画素列に対する差分画像に基づいて行う検査について説明したが、クロストーク欠陥のみが検査対象であれば、上記二つの画像の画像非表示画素列のみに対する差分画像を用いてもよい。しかしながら、全画素列に対する差分画像を生成する検査であれば、上述した黒点欠陥の検出も同時に行えるという利点がある。
【０１１０】
以上、被検査パネルが欠陥を有さない場合、黒点欠陥を有する場合、および、クロストーク欠陥を有する場合について、本発明に係る検査装置の働き、および、本発明に係る検査方法の一部を説明した。なお、上記説明では視差生成デバイスの不良に起因する点状の欠陥や線状の欠陥を検出しているが、検出可能な欠陥の発生原因はこれに制限されず、電気的な不良により点状欠陥もしくは線状欠陥となるものの検出も可能である。
【０１１１】
次に、被検査パネルにおける上述の各欠陥を検出する一連の検査に関して、図６に示すフローチャートに基づいて説明する。
【０１１２】
はじめに、搬送装置、あるいは、人手により、被検査パネル２をパネル保持ステージ１１に保持する。このとき、同時に、点灯回路１２と被検査パネル２が、コンタクト部１３を介して接続される（第１の工程Ｓ１）。
【０１１３】
パネル保持ステージ１１に被検査パネル２が設置され、点灯回路１２と被検査パネル２とが接続された後、周辺機器制御部１５は点灯回路１２に制御信号を送り、被検査パネル２への駆動信号の出力を開始させる。これを第２の工程Ｓ２とする。
【０１１４】
次に、周辺機器制御部１５は透過照明１４に制御信号を送り、透過光の照射を開始させる。なお、上記透過光の強度は、被検査パネルの透過光源として適切な強度に調整される。また、被検査パネル２自体が光源を有している場合は、該被検査パネル２の光源における発光量を調節する。これを第３の工程Ｓ３とする。
【０１１５】
次に、周辺機器制御部１５は、検査ユニット１０に撮像を開始させるための制御信号を送る。上記制御信号に従い検査ユニット１０は、ラインセンサカメラ１０ａにより、被検査パネル２上の一画素列を左目方向から撮像する。これを第４の工程Ｓ４とする。同時に、検査ユニット１０は、ラインセンサカメラ１０ｂにより、上記画素列に隣接する一画素列を右目方向から撮像する。これを第５の工程Ｓ５とする。
【０１１６】
次に、ラインセンサカメラ１０ａにより撮像されたが画素列が、画像表示画素列か画像非表示が画素列か、が判定される。すなわち、ラインセンサカメラ１０ａにより左目方向から撮像された画素列が、本来左目方向に光を射出するべき画素列（例えば、図３に示した画素列Ｌ０、Ｌ１、・・・、Ｌ７のうちの何れか一画素列）であるか否かが判定される。これを第６の工程Ｓ６とする。同時に、ラインセンサカメラ１０ｂにより撮像されたが画素列が、画像表示画素列か画像非表示が画素列か、が判定される。すなわち、ラインセンサカメラ１０ｂにより右目方向から撮像された画素列が、本来右目方向に光を射出するべき画素列（例えば、図３に示した画素列Ｒ０、Ｒ１、・・・、Ｒ７のうちの何れか一画素列）であるか否かが判定される。これを第７の工程Ｓ７とする。
【０１１７】
なお、ラインセンサカメラ１０ａとラインセンサカメラ１０ｂとは、同一の一次元表示領域、すなわち隣接する画素列を撮像するよう配置されているため、上記判定の結果は一致する。また、上記判定は、画像処理装置１６において、パネル保持ステージ１１から出力される被検査パネル設置位置信号に基づいて下される。
【０１１８】
第６の工程Ｓ６と第７の工程Ｓ７とにおいて、ラインセンサカメラ１０ａとラインセンサカメラ１０ｂとが、それぞれラインセンサカメラが配置された方向に光が射出するべき表示部の画素列を撮像していると判定された場合（Ｓ６およびＳ７でＹＥＳの場合）、第８の工程Ｓ８と第９の工程Ｓ９とにおいて、画像処理装置１６によって、上記ラインセンサカメラにより撮像された２つの画像が比較され、同一表示領域に対応する画素間の輝度差が計算され、第１の画像データ（差分画像）が生成される。
【０１１９】
第８の工程Ｓ８と第９の工程Ｓ９とに引き続き、画像処理装置１６によって、上記ラインセンサカメラにより撮像された画像に対して閾値処理が行われる。これを第１０の工程Ｓ１０および第１１の工程Ｓ１１とする。例えば、被検査パネルに一様な白色信号が与えられる場合であれば、閾値を下回る輝度を有する画素が輝度低下部位として検出される。上記検出結果に基づき、欠陥画素に高い輝度を割り当てた第２の画像データが生成される。
【０１２０】
上記Ｓ８からＳ１１までの一連の処理は、図４を用いて説明した検査方法に対応し、上記Ｓ８からＳ１１までの処理により、被検査パネル２における黒点欠陥が検出される。
【０１２１】
第６の工程Ｓ６と第７の工程Ｓ７とにおいて、ラインセンサカメラ１０ａとラインセンサカメラ１０ｂとが、それぞれラインセンサカメラが配置された方向に光が射出するべきでない非表示部の画素列を撮像していると判定された場合（Ｓ６およびＳ７でＮＯの場合）、該画素列に対しては図５で説明したようなクロストーク欠陥に対する検査が行われる。
【０１２２】
すなわち、第１２の工程Ｓ１２と第１３の工程Ｓ１３とにおいて、画像処理装置１６によって、上記ラインセンサカメラにより撮像された２つの画像が比較され、同一表示領域に対応する画素間の輝度差が計算され、第３の画像データ（差分画像）が生成される。さらに、Ｓ１２とＳ１３に引き続き、第１４の工程Ｓ１４と第１５の工程Ｓ１５において、閾値処理が行われる。上記閾値処理により、閾値を上回る輝度を有する画素がクロストーク欠陥画素として検出される。そして、上記検出結果に基づき、欠陥画素に高い画素値を割り当てた第４の画像データが生成される。
【０１２３】
第１６の工程Ｓ１６において、上記第１の画像データから第４画像データまでが合成される。具体的には、各表示領域について、上記４つの画像データにおける対応する画素に割り当てられた画素値の論理和を計算し、上記計算結果を該表示領域に割り当てた第５の画像データを生成すれば良い。
【０１２４】
Ｓ１７においては、上記Ｓ１６で求められた第５の画像データに基づいて、欠陥画素または欠陥画素列の検出結果が出力される。すなわち、第５の画像データにおいては、欠陥の無い画素が低い濃淡値で表され、欠陥のある画素が高い濃淡値で表されるため、欠陥のある画素位置が容易に認識できる。
【０１２５】
上記Ｓ１からＳ１７までの一連の処理は被検査パネル２の1画素列に対する検査を実行するためのものである。上記Ｓ１７までの処理が終了した後、パネル保持ステージ１１により、被検査パネル２を一表示領域分、上記ラインセンサカメラにより撮像される一次元表示領域と直交する方向へ移動する。これによりラインセンサカメラにより撮像される画素列は、前回撮像された画素列に隣接する画素列となる。被検査パネル２を上記のように移動した後、Ｓ４およびＳ５に戻り、上記Ｓ４からＳ１７までの工程を、被検査パネル２に備えられた画素列分繰り返すことにより、被検査パネル２の全画素列に対する検査が実行される。
【０１２６】
なお、上述した検査フローにおいては、一画素列毎に輝度差計算、および、閾値処理が行われ、これを繰り返すことにより被検査パネルの全画素列に対する検査が行われている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、例えば、画像処理装置は記録部を備え、ラインセンサカメラにより撮像された画像データを複数画素列分上記記録部に記録し、上記記録部に記録された複数画素列分の画像データに関して輝度差計算、および、閾値処理が行われる構成とすることも可能である。
【０１２７】
また、上述した検査フローにおいては、点欠陥検査に引き続き、クロストーク検査が行われ、上記第１６の工程において上記第１の画像データから上記第４の画像データまでが合成され、上記第１７の工程において上記合成された画像データに基づき検査結果が出力される。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、例えば、点欠陥検査（Ｓ８〜Ｓ１１）に引き続き、上記第１の画像データと上記第２の画像データの合成を行い、合成された画像データに基づき点欠陥検査に関する結果を出力し、さらに、クロストーク検査（Ｓ１２〜Ｓ１５）に引き続き、上記第３の画像データと上記第４の画像データの合成を行い、合成された画像データに基づきクロストーク検査に関する結果を出力する、検査フローとすることも可能である。
【０１２８】
次に、被検査パネルに備えられた各画素が、各画素に対して定められた光の射出方向に正しく光を射出しているかを、より精度良く評価する方法について、図７を用いて説明する。
【０１２９】
被検査パネル２に、第１の制御信号として、左目方向に表示する画像信号として一様な白色信号を、右目方向に表示する画像信号として一様な黒色信号を与える。図７（ａ）は、上記画像信号を与えられた被検査パネル２を仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を示している。また、被検査パネル２に、第２の制御信号として、左目方向に表示する画像信号として一様な黒色信号を、右目方向に表示する画像信号として一様な白色信号を与える。図７（ｂ）は、上記画像信号を与えられた被検査パネル２を仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を示している。なお、被検査パネル２においては、後述するように一部の画素で光の射出方向が正しく制御されていないが、図７（ａ）、（ｂ）は観察方向を定めない仮想的な図であるため、これらの図において欠陥画素は示されていない。なお、第１の制御信号における左目方向に表示する画像信号、および、第２の制御信号における右目方向に表示する画像信号は、黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号であれば、任意の中間階調をもつ画像信号を用いても良い。
【０１３０】
被検査パネル２は、画素列Ｌ２、画素列Ｒ２、および画素列Ｒ７における視差生成デバイスの不良があり、図７（ｃ）あるいは図７（ｄ）に示すように、上記画素列からは定められた画像表示方向とは異なる方向に光が射出されている。
【０１３１】
第１の制御信号を与えられた被検査パネル２を左目方向に配置されたラインセンサカメラ１０ａにより撮像した画像を図７（ｅ）に示す。また、第２の制御信号を与えられた被検査パネル２を右目方向に配置されたラインセンサカメラ１０ｂにより撮像した画像を図７（ｆ）に示す。図７（ｅ）の画像では、画素列Ｌ２から出射される光が正確にラインセンサカメラ１０ａに入射されないことにより、該画素列Ｌ２において輝度が低く検出されている。同様に、図７（ｆ）の画像では、画素列Ｒ２および画素列Ｒ７において輝度が低く検出されている。
【０１３２】
図７（ｅ）に示した画像と図７（ｆ）に示した画像との差分を取ることにより、図７（ｇ）に示す差分画像が得られる。これを必要に応じて、閾値処理により２値化することにより、Ｓ１とＳ７とにおける射出方向異常による線状の輝度低下欠陥が検出される。
【０１３３】
さらに、第１の制御信号を与えられた被検査パネル２をラインセンサカメラ１０ａにより左目方向から撮像した図７（ｅ）に示した画像に対して閾値処理を施す。すなわち、上記ラインセンサカメラが撮像する方向とは異なる方向に光を射出するべき画素列Ｒ０、Ｒ１、・・・、Ｒ７に関しては、求められる輝度のプロフィール（図７（ｈ））において、あらかじめ設定した閾値Ｔｈ２を下回る輝度を有する画素が輝度低下欠陥として検出される。
【０１３４】
また同様に、第２の制御信号を与えられた被検査パネル２をラインセンサカメラ１０ｂにより右目方向から撮像した図７（ｆ）に示した画像に対して閾値処理を施す。すなわち、上記ラインセンサカメラが撮像する方向とは異なる方向に光を射出するべき画素列Ｌ０、Ｌ１、・・・、Ｌ７に関して、輝度のプロフィールを求める（図７（ｉ））。そして、上記輝度プロフィールに対して、あらかじめ設定した閾値Ｔｈ２を下回る輝度を有する画素を輝度低下欠陥として検出する。
【０１３５】
上記閾値処理により、輝度低下欠陥が検出された画素に高い輝度を割り当てることにより生成された画像データを図７（ｊ）に示す。
【０１３６】
上述した方法による黒点欠陥検査において、被検査パネル２に与えられる駆動信号は、一つの画像表示方向には一様な白色画像を表示し、その他の画像表示方向には黒色画像を表示するよう被検査パネル２を駆動する信号とした。このため、白色画像が表示される画像表示方向以外へ光が射出されるべき画素から射出される光の影響を排除した上で、白色画像が表示される画像表示方向へ射出される光の射出方向の制御状態だけを高精度に評価することが可能になる。
【０１３７】
次に、被検査パネルの各表示領域におけるクロストーク欠陥を、より高い精度で評価する方法について、図８を用いて説明する。
【０１３８】
被検査パネル２には、制御信号として、左目方向に表示する画像信号として一様な黒色信号を、右目方向に表示する画像信号として一様な白色信号を与える。図８（ａ）は、上記画像信号を与えられた被検査パネル２を仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を示している。被検査パネル２においては、後述するように一部の画素におけるクロストーク欠陥が存在しているが、図８（ａ）は観察方向を定めない仮想的な図であるため、該図において欠陥画素は示されていない。なお、上記右目方向に表示する画像信号は、黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号であれば、任意の中間階調をもつ画像信号を用いても良い。しかしながら、右目方向へ表示するべき画像が左目方向に表示する画像に影響するクロストーク欠陥を高精度に検出するためには、上述したように右目方向に白色画像を表示することが好ましい。
【０１３９】
被検査パネル２は、画素列Ｒ０、画素列Ｒ１、および画素列Ｒ７における視差生成デバイスの不良があり、図８（ｂ）に示すように、上記画素列からは定められた画像表示方向とは異なる方向に光が射出されている。
【０１４０】
上記制御信号を与えられた被検査パネル２をラインセンサカメラ１０ａにより左目方向から撮像した画像を図８（ｃ）に示す。図８（ｃ）において、画素列Ｒ０、および、画素列Ｒ１、および画素列Ｒ７が中間階調を有するのは、該画素列から射出された光が本来射出されるべき右目方向に正しく制御されていないため、左目方向から被検査パネル２を撮像するラインセンサカメラ１０ａに該画素列から射出された光が入射するためである。
【０１４１】
上記制御信号を与えられた被検査パネル２をラインセンサカメラ１０ａにより左目方向から撮像した図８（ｃ）に示した画像に閾値処理を施す。すなわち、上記ラインセンサカメラが撮像する方向とは異なる方向に光を射出するべき画素列Ｒ０、Ｒ１、・・・、Ｒ７に関しては、求められる輝度のプロフィール（図８（ｅ））において、あらかじめ設定した閾値を下回る輝度を有する画素が検出される。
【０１４２】
上記閾値処理により、輝度低下欠陥が検出された画素に高い輝度を割り当てることにより生成された画像データを図８（ｆ）に示す。ここで、Ｐ１、Ｐ２、・・・、Ｐ７は画像表示画素列間の差分に対応し、Ｑ１、Ｑ２、・・・、Ｑ７は画像非表示画素列間の差分に対応する。
【０１４３】
上述した方法によるクロストーク欠陥検査においては、検査対象とする画像表示方向を一つ定め、上記画像表示方向には一様な黒色画像を表示し、その他の画像表示方向には白色画像を表示する。このため、検査対象となる画像表示方向へ射出されるべき光の影響を排除した上で、それとは異なる画像表示方向へ射出されるべき光が、検査対象となる表示方向に表示される画像に与える影響を、高精度に評価することが可能になる。
【０１４４】
上述した方法によるクロストーク欠陥検査において、被検査パネル２に与えられる駆動信号は、一つの画像表示方向には一様な黒色画像を表示し、その他の画像表示方向には一様な白色画像を表示するよう被検査パネル２を駆動する信号とした。このため、黒色画像が表示される画像表示方向への本来他の方向へ射出されるべき光の漏れ込み、すなわち、クロストーク欠陥を、高精度に評価することが可能になる。
【０１４５】
なお、本実施の形態において例示した、左目方向と右目方向との２方向に画像を表示する画像表示パネルに対する検査に際しては、図７に示した方法により右目方向への光の射出状態を検査するために被検査パネル２に与える駆動信号と、図８に示した方法により右目方向へ射出されるべき光が左目方向に漏れこむクロストーク欠陥を検査するために被検査パネルに与える駆動信号とは一致する。このため、図７に示した検査の一部と、図８に示した検査を同時に実行することも可能である。
【０１４６】
なお、本実施の形態においては、本発明に係る検査装置および検査方法を、視差生成デバイスにより２つの異なる視差を持つ画像を独立に表示するモノクロの透過型画像表示パネルに適用する場合について説明したが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、被検査パネルは、カラー画像を表示する画像表示パネルでも構わない。例えば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）によりカラー画像を表示する画像表示パネルであれば、各色毎に上記検査を実行することが可能である。
【０１４７】
被検査パネルとしては、視差生成デバイス以外の手段により複数の画像表示方向に対する画像表示を実現する画像表示パネルでも構わない。複数のラインセンサが同時に撮像する領域を、被検査パネルの画像表示方法に合わせて適宜調整することにより、視差生成デバイス以外の手段による複数画像表示パネルの欠陥検査が、上記と同等の方法により実現できる。
【０１４８】
また、被検査パネルの画像表示方向は、右目方向と左目方向の２方向に限らず、さらに３つ以上の表示方法を有していても構わない。この場合、検査ユニット１０には被検査パネルの画像表示方向数と同数のラインセンサカメラを備える構成とし、上記ラインセンサカメラを同一の一次元領域を撮像するように配置すれば良い。
【０１４９】
さらに、被検査パネルはあらかじめ透過光源を備えた自発光型画像表示パネルであっても構わない。この場合、上記検査装置から透過照明を省略することが可能である。
【０１５０】
なお、上記画像表示パネルの検査装置１におけるラインセンサカメラ１０、パネル保持ステージ１１、および点灯回路１２を制御、ならびに、画像処理装置１６の各部や各処理ステップは、ＣＰＵなどの演算手段が、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭなどの記憶手段に記憶されたプログラムを実行し、キーボードなどの入力手段、ディスプレイなどの出力手段、あるいは、インターフェース回路などの通信手段を制御することにより実現することができる。したがって、これらの手段を有するコンピュータが、上記プログラムを記録した記録媒体を読み取り、当該プログラムを実行するだけで、本実施形態の検査装置の各種機能および各種処理を実現することができる。また、上記プログラムをリムーバブルな記録媒体に記録することにより、任意のコンピュータ上で上記の各種機能および各種処理を実現することができる。
【０１５１】
この記録媒体としては、マイクロコンピュータで処理を行うために図示しないメモリ、例えばＲＯＭのようなものがプログラムメディアであっても良いし、また、図示していないが外部記憶装置としてプログラム読取り装置が設けられ、そこに記録媒体を挿入することにより読取り可能なプログラムメディアであっても良い。
【０１５２】
また、何れの場合でも、格納されているプログラムは、マイクロプロセッサがアクセスして実行される構成であることが好ましい。さらに、プログラムを読み出し、読み出されたプログラムは、マイクロコンピュータのプログラム記憶エリアにダウンロードされて、そのプログラムが実行される方式であることが好ましい。なお、このダウンロード用のプログラムは予め本体装置に格納されているものとする。
【０１５３】
また、上記プログラムメディアとしては、本体と分離可能に構成される記録媒体であり、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ等のディスクのディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）、フラッシュＲＯＭ等による半導体メモリを含めた固定的にプログラムを担持する記録媒体等がある。
【０１５４】
また、インターネットを含む通信ネットワークを接続可能なシステム構成であれば、通信ネットワークからプログラムをダウンロードするように流動的にプログラムを担持する記録媒体であることが好ましい。
【０１５５】
さらに、このように通信ネットワークからプログラムをダウンロードする場合には、そのダウンロード用のプログラムは予め本体装置に格納しておくか、あるいは別な記録媒体からインストールされるものであることが好ましい。
【０１５６】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【０１５７】
【図１】本発明の実施の形態を示すものであって、検査装置の構成を示す構成図である。
【図２】図２（ａ）は本発明の実施の形態に係る検査方法、あるいは、検査装置の検査対象となる画像表示パネルの概要を説明する説明図である。  図２（ｂ）は上記被検査パネルに対する、本発明の実施の形態に係る検査装置におけるラインセンサカメラ（撮像手段）の配置、あるいは、本発明の実施の形態に係る検査方法に含まれる撮像工程における撮像方向、を示す説明図である。  図２（ｃ）は本発明の実施の形態を示すものであり、上記被検査パネルを左目方向（第1の画像表示方向）から撮像した画像である。  図２（ｄ）は本発明の実施の形態を示すものであり、上記被検査パネルを右目方向（第２の画像表示方向）から撮像した画像である。  図２（ｅ）は上記被検査パネルを左目方向から目視にて観察した場合の見え方を示す説明図である。  図２（ｆ）は上記被検査パネルを右目方向から目視にて観察した場合の見え方を説明する説明図である。
【図３】図３（ａ）は本発明の実施の形態に係る検査方法、あるいは、検査装置の検査対象となる画像表示パネルの状態を示す説明図であって、上記被検査パネルに欠陥のない場合を示すものである。  図３（ｂ）は本発明の実施の形態を示すものであり、上記被検査パネルを左目方向（第1の画像表示方向）から撮像した画像である。  図３（ｃ）は本発明の実施の形態を示すものであり、上記被検査パネルを右目方向（第２の画像表示方向）から撮像した画像である。  図３（ｄ）は上記左目方向から撮像された画像と、上記右目方向から撮像された差分画像である。
【図４】図４（ａ）は本発明の実施の形態に係る検査方法、あるいは、検査装置の検査対象となる画像表示パネルの状態を説明する説明図であって、上記被検査パネルの一部の領域における黒点欠陥がある場合を示すものである。  図４（ｂ）は本発明の実施の形態を示すものであり、上記被検査パネルを左目方向（第1の画像表示方向）から撮像した画像である。  図４（ｃ）は本発明の実施の形態を示すものであり、上記被検査パネルを右目方向（第２の画像表示方向）から撮像した画像である。  図４（ｄ）は上記左目方向から撮像された画像と、上記右目方向から撮像された差分画像である。  図４（ｅ）は図４（ｂ）で示した画像データにおける各画素列の輝度プロファイルを示すグラフであり、特に欠陥を含む画素列に対する輝度プロファイルを示すグラフである。  図４（ｆ）は図４（ｃ）で示した画像データにおける各画素列の輝度プロファイルを示すグラフであり、特に欠陥を含む画素列に対する輝度プロファイルを示すグラフである。  図４（ｇ）は図４（ｄ）に示した差分画像と図４（ｅ）および図４（ｆ）に示した輝度プロファイルを合成することにより得られた上記非検査パネルの欠陥画素検出結果を示す画像データである。
【図５】図５（ａ）は本発明の実施の形態に係る検査方法、あるいは、検査装置の検査対象となる画像表示パネルの状態を説明する説明図であって、上記被検査パネルの一部の領域におけるクロストーク欠陥がある場合を示すものである。  図５（ｂ）は上記被検査パネルの断面図であり、各画素列における光の射出状態を示すものである。  図５（ｃ）は本発明の実施の形態を示すものであり、上記被検査パネルを左目方向（第1の画像表示方向）から撮像した画像である。  図５（ｄ）は本発明の実施の形態を示すものであり、上記被検査パネルを右目方向（第２の画像表示方向）から撮像した画像である。  図５（ｅ）は上記左目方向から撮像された画像と、上記右目方向から撮像された差分画像である。  図５（ｆ）は図５（ｃ）で示した画像データにおける各画素列の輝度プロファイルを示すグラフである。  図５（ｇ）は図５（ｄ）で示した画像データにおける各画素列の輝度プロファイルを示すグラフである。  図５（ｈ）は図５（ｅ）に示した差分画像と図５（ｆ）および図５（ｇ）に示した輝度プロファイルを合成することにより得られた上記非検査パネルの欠陥画素検出結果を示す画像データである。
【図６】本発明の実施の形態に係る検査方法を説明するものであって、上記検査方法を構成する一連の工程を説明するためのフローチャートである。
【図７】図７（ａ）は本発明の実施の形態に係る検査方法、あるいは、検査装置の検査対象となる画像表示パネルの状態を説明する説明図であって、左目方向に一様な白色画像、右目方向に一様な黒色画像を表示するよう上記被検査パネルに駆動信号を与えた場合を示すものである。  図７（ｂ）は本発明の実施の形態に係る検査方法、あるいは、検査装置の検査対象となる画像表示パネルの状態を説明する説明図であって、左目方向に一様な黒画像、右目方向に一様な白色画像を表示するよう上記被検査パネルに駆動信号を与えた場合を示すものである。  図７（ｃ）は図７（ａ）に示した被検査パネルの断面図であり、各画素列における光の射出状態を示すものである。  図７（ｄ）は図７（ｂ）に示した被検査パネルの断面図であり、各画素列における光の射出状態を示すものである。  図７（ｅ）は図７（ａ）に示した被検査パネルを左目方向（第1の画像表示方向）から撮像した画像である。  図７（ｆ）は図７（ｂ）に示した被検査パネルを右目方向（第２の画像表示方向）から撮像した画像である。  図７（ｇ）は上記左目方向から撮像された画像と、上記右目方向から撮像された差分画像である。  図７（ｈ）は図７（ｅ）で示した画像データにおける各画素列の輝度プロファイルを示すグラフである。  図７（ｉ）は図７（ｆ）で示した画像データにおける各画素列の輝度プロファイルを示すグラフである。  図７（ｊ）は図７（ｇ）に示した差分画像と図７（ｈ）および図７（ｉ）に示した輝度プロファイルを合成することにより得られた上記非検査パネルの欠陥画素検出結果を示す画像データである。
【図８】図８（ａ）は本発明の実施の形態に係る検査方法、あるいは、検査装置の検査対象となる画像表示パネルの状態を説明する説明図であって、左目方向に一様な黒色画像、右目方向に一様な白色画像を表示するよう上記被検査パネルに駆動信号を与えた場合を示すものである。  図８（ｂ）は図８（ａ）に示した被検査パネルの断面図であり、各画素列における光の射出状態を示すものである。  図８（ｃ）は図８（ａ）に示した被検査パネルを左目方向（第1の画像表示方向）から撮像した画像である。  図８（ｄ）は図８（ｃ）で示した画像データにおける各画素列の輝度プロファイルを示すグラフである。  図８（ｅ）は図８（ｄ）輝度プロファイルから得られた上記非検査パネルの欠陥画素検出結果を示す画像データである。
【図９】従来技術を示すものであって、集光レンズと複数のセンサ素子を２次元的に配置してなる２次元センサアレイとから構成される検査ユニット備え、上記集光レンズは、被検査パネルの表示面が前焦点位置に一致するように配置された画像表示パネル検査装置の説明図である。
【図１０】従来技術を示すものであって、図８に示した検査装置の変形例であり、ピンホールを備える検査装置の構成図である。
【図１１】従来技術を示すものであって、集光レンズと複数のセンサ素子を２次元的に配置してなる２次元センサアレイとを備え、上記集光レンズは上記２次元センサアレイ上に被検査パネルの実像が結像するように配置された画像表示パネル検査装置の説明図である。
【符号の説明】
【０１５８】
１    欠陥検査装置（検査装置）
２    被検査パネル（画像表示パネル）
１０    ラインセンサカメラ（画像データ取得部）
１１    パネル保持ステージ（パネル保持部）
１２    点灯回路（信号供給部）
１５    周辺機器制御部（制御手段）
１６    画像処理装置（欠陥検出部）
【図１】
2007121243.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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