(57)【要約】【課題】複合光学素子の有効径内に硬化時の境界線等の欠陥を含まない、高精度の複合光学素子を製造する。【解決手段】成形型１１０の成形面１１１と基体１１の光学面１１ａとの間に樹脂１２を展延した後、最初に、光源部１３０の紫外線ランプ１３１から出射される紫外線１３２を、鏡筒１３３の開口端を通じて末広がりの光束１３３ａとして、有効径Ｄ０より広く、金型径Ｄ１より狭い領域で樹脂１２に照射して有効径Ｄ０の内部を硬化させ、その後、光源部１３０を成形型１１０から離間させ、有効径Ｄ０の中央部の紫外線１３２の照度を低下させるとともに、有効径Ｄ０の外側の領域に徐々に紫外線１３２の光束１３３ａの照射範囲が広がるようにして周辺部の照度を増大させることで樹脂１２の全体を硬化させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材にエネルギー硬化型の樹脂を所望の形状に被着させる第１工程と、前記樹脂にエネルギーを印加して硬化させる第２工程とを経ることで、前記基材および前記樹脂からなる複合光学素子を得る複合光学素子の製造方法であって、
前記第２工程では、前記複合光学素子の有効径以上に前記エネルギーを印加した後、前記エネルギーの強度が前記有効径の中心部で相対的に減少し周辺部で相対的に増加するように強度分布を変化させることを特徴とする複合光学素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の複合光学素子の製造方法において、
前記第２工程では、前記エネルギーの発生源と前記樹脂との距離を、前記エネルギーの印加開始後に漸増させることで、前記エネルギーの強度が前記有効径の中心部で相対的に減少し周辺部で相対的に増加するように強度分布を変化させることを特徴とする複合光学素子の製造方法。
【請求項３】
請求項２記載の複合光学素子の製造方法において、
前記エネルギーの発生源と前記樹脂との距離を漸増させた後、前記中心部の前記エネルギーを遮断することにより、前記エネルギーの強度が前記有効径の中心部で相対的に減少し周辺部で相対的に増加するように強度分布を変化させることを特徴とする複合光学素子の製造方法。
【請求項４】
請求項１記載の複合光学素子の製造方法において、
前記第２工程では、前記エネルギーの発生源に備えられた前記エネルギーの照射範囲の調整機能により、前記エネルギーの強度が前記有効径の中心部で相対的に減少し周辺部で相対的に増加するように強度分布を変化させることを特徴とする複合光学素子の製造方法。
【請求項５】
基材に被着されるエネルギー硬化型の樹脂を成形する成形型と、前記樹脂に印加されるエネルギーを発生するとともに、前記成形型との間隔が可変なエネルギー発生手段とを含み、
前記エネルギーの印加範囲が前記樹脂の有効径以上となる前記エネルギー発生手段の第１位置で前記エネルギーの印加を開始し、前記エネルギー発生手段を前記第１位置よりも前記樹脂から離間した第２位置まで相対的に移動させることで、前記エネルギーの強度が前記有効径の中心部で相対的に減少し周辺部で相対的に増加するように強度分布を変化させることを特徴とする複合光学素子の成形装置。
【請求項６】
請求項５記載の複合光学素子の成形装置において、
前記エネルギー発生手段は、前記エネルギーを発生するエネルギー源と、前記エネルギー源を収容し、開口端から前記エネルギーを末広がりに出射する筒体とを含み、
前記第１位置と前記第２位置との間で前記筒体の前記開口端と前記成形型との距離を変化させることで、前記樹脂に印加される前記エネルギーの印加範囲および前記強度分布を制御することを特徴とする複合光学素子の成形装置。
【請求項７】
請求項５記載の複合光学素子の成形装置において、
さらに、前記第２位置に移動した前記エネルギー発生手段と前記成形型との間に出入可能に配置され、前記有効径の中心部に印加される前記エネルギーを遮断するマスク部材を含むことを特徴とする複合光学素子の成形装置。
【請求項８】
請求項５記載の複合光学素子の成形装置において、
前記エネルギー発生手段は、前記エネルギーを発生するエネルギー源と、前記エネルギー源を収容し、開口端から前記エネルギーを出射する筒体と、前記開口端に設けられ、前記エネルギーを集束するエネルギー集束手段と、を含み、
前記第１位置と前記第２位置との間で前記筒体の前記開口端と前記成形型との距離を変化させる動作、
または、前記筒体の内部における前記エネルギー集束手段と前記エネルギー源との距離を変化させる動作により、
前記樹脂に印加される前記エネルギーの印加範囲および前記強度分布を制御することを特徴とする複合光学素子の成形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複合光学素子の製造技術に関し、たとえば、エネルギー硬化型樹脂をガラスまたはプラスチックの基材に対して被着させた構成の複合光学素子を得る複合光学素子の成形技術に適用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に開示されているように、レンズ等の基材（レンズブランク）と所望の成形面を有する型との間に光硬化型樹脂を挟んで光照射により硬化させることにより、レンズの表面に所望の光学面を有する樹脂層を被着させて複合光学素子を得ることが知られている。
【０００３】
この場合、光硬化型樹脂の硬化時の収縮によるヒケは樹脂の光学面の精度低下の一因となる。
このため、上記特許文献１では、素子基材と金型の間に挟まれた光硬化性樹脂に対して、中心部から外側に向かって広がるように光を照射して硬化させることで、硬化が進行する中央部に未硬化の周辺部から樹脂が補給されるようにして、ヒケ等の欠陥の発生を防止しようとしている。
【特許文献１】特開平６−５９１０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の特許文献１の場合には、中心から徐々に硬化される為、硬化に伴う収縮変化を周辺の樹脂から補うことができ、収縮変化によるヒケが発生しにくい。しかし、光学素子の有効径内に、最初に光が照射される硬化部分と、その外側の未硬化部分とが一時的に発生してしまうため、有効径内に境界線等の欠陥が発生しやすくなる、という技術的課題がある。
【０００５】
また、最初は中心部分にしか紫外線が照射されない為、周辺部に比べて中心部は必要以上の光量の紫外線が照射され、樹脂の劣化を引き起こす懸念がある、という技術的課題もある。
【０００６】
本発明の目的は、複合光学素子の有効径内に硬化時の境界線等の欠陥を含まない、高精度の複合光学素子を提供することにある。
本発明の他の目的は、複合光学素子を構成する樹脂の劣化のない高品質で長寿命の複合光学素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の観点は、基材にエネルギー硬化型の樹脂を所望の形状に被着させる第１工程と、前記樹脂にエネルギーを印加して硬化させる第２工程とを経ることで、前記基材および前記樹脂からなる複合光学素子を得る複合光学素子の製造方法であって、
前記第２工程では、前記複合光学素子の有効径以上に前記エネルギーを印加した後、前記エネルギーの強度が前記有効径の中心部で相対的に減少し周辺部で相対的に増加するように強度分布を変化させる複合光学素子の製造方法を提供する。
【０００８】
本発明の第２の観点は、基材に被着されるエネルギー硬化型の樹脂を成形する成形型と、前記樹脂に印加されるエネルギーを発生するとともに、前記成形型との間隔が可変なエネルギー発生手段とを含み、
前記エネルギーの印加範囲が前記樹脂の有効径以上となる前記エネルギー発生手段の第１位置で前記エネルギーの印加を開始し、前記エネルギー発生手段を前記第１位置よりも前記樹脂から離間した第２位置まで相対的に移動させることで、前記エネルギーの強度が前記有効径の中心部で相対的に減少し周辺部で相対的に増加するように強度分布を変化させる複合光学素子の成形装置を提供する。
【０００９】
上記した本発明によれば、最初に、有効径以上の広い範囲にエネルギーを印加したのち、エネルギーの強度が有効径の中心部で相対的に減少し周辺部で相対的に増加するように強度分布を変化させるので、有効径の内部の樹脂は同時に硬化を開始するため、硬化部と未硬化部との間の境界線が発生することがない。
【００１０】
また、エネルギーの印加の開始後、中心部よりも周辺部のエネルギーの強度が相対的に大きくなるように変化させるので、エネルギーの印加量が均一化され、有効径の中心部のエネルギー硬化型樹脂が、過剰なエネルギーの印加に起因して劣化することがない。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、複合光学素子の有効径内に硬化時の境界線等の欠陥を含まない、高精度の複合光学素子を製造することができる。
また、複合光学素子を構成する樹脂の劣化のない高品質で長寿命の複合光学素子を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１および図２は、本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する成形装置の構成および作用の一例を工程順に示す略断面図である。
【００１３】
本実施の形態の成形装置１００は、成形型１１０、基材支持台１２０、光源部１３０を備えている。
成形型１１０は、光源部１３０と対向する上端に成形面１１１が形成されている。この成形面１１１は、断面が略凹型を呈し、紫外線硬化型樹脂からなる樹脂１２を盛ることが可能になっている。
【００１４】
基材支持台１２０は、成形型１１０を取り囲む筒形を呈しており、成形型１１０の軸方向に当該成形型１１０に対して昇降自在にされ、上端部には、レンズブランク等の基体１１が載置される。
【００１５】
光源部１３０は、紫外線１３２を出射する紫外線ランプ１３１と、この紫外線ランプ１３１を収容し、成形型１１０に対向する下端側が開口した鏡筒１３３を備えている。
そして、紫外線ランプ１３１から出射される紫外線１３２は、鏡筒１３３の開口端側から下向きに末広がりの円錐状の光束１３３ａとなって、成形型１１０の側に照射される。
【００１６】
以下、本実施の形態の成形装置１００の作用の一例について説明する。
まず、成形型１１０を基材支持台１２０に対して相対的に下側に所定の位置に降下させ、その位置で、成形面１１１に樹脂１２を盛る。
【００１７】
次に、基材支持台１２０の上端に、光学面１１ａを下側にして基体１１を載置する。
その後、成形型１１０を上昇させ、成形面１１１と基体１１の光学面１１ａの中心部が所定の距離になるまで接近させ、両者の間の空間に樹脂１２を展延させる。
【００１８】
この時、樹脂１２は、光学面１１ａの有効径Ｄ０よりも大きな、金型径Ｄ１まで展延し、樹脂１２は、上面が基体１１の光学面１１ａに倣って成形され、下面は成形面１１１に倣って成形された状態となっている。
【００１９】
そして、光源部１３０を所定の高さ（照射位置Ｈ０）に降下させ、紫外線ランプ１３１を点灯して、基体１１を介して樹脂１２に対する紫外線１３２の照射を開始する。この状態が、図１である。
【００２０】
この図１の照射開始時では、鏡筒１３３の開口端から放射される紫外線１３２の光束１３３ａの、樹脂１２の高さにおける口径（照射範囲）が、樹脂１２における有効径Ｄ０の領域を包含し、金型径Ｄ１の内側になるように、光源部１３０の高さ（照射位置Ｈ０）が設定される。
【００２１】
この時の紫外線１３２の照度分布は、照度分布１３２ａのように、有効径Ｄ０内でほぼ均一になるように制御される。
これにより、照射開始時には、樹脂１２における有効径Ｄ０の全体でほぼ同時に紫外線１３２の照射による硬化が開始される。
【００２２】
このとき、硬化収縮に伴う樹脂１２の不足は、有効径Ｄ０の外側の未硬化の領域から補われるため、有効径Ｄ０内における樹脂１２の硬化収縮に伴うヒケは発生しない。
その後、図２に示されるように、紫外線１３２を照射しつつ、成形型１１０から光源部１３０を相対的に照射位置Ｈ１まで所定の速度で離間させる。
【００２３】
このとき、紫外線１３２の末広がりの光束１３３ａにより、当該紫外線１３２の照射範囲は、金型径Ｄ１の外側まで徐々に広がり、照度分布１３２ｂのように、徐々に中心部が弱くなり、周辺部が強くなるように紫外線１３２の照度分布が変化する。
【００２４】
そして、所定の時間が経過し、樹脂１２の全体がほぼ均一な紫外線１３２の照射量にて硬化した後、紫外線１３２の照射を停止する。
この結果、本実施の形態の場合には、樹脂１２の有効径Ｄ０の全体に同時に紫外線１３２の照射が開始され、樹脂１２における有効径Ｄ０の内部で硬化部と未硬化部とが存在することがなく、有効径Ｄ０の内部に境界線等の欠陥が発生することが確実に防止される。
【００２５】
また、紫外線１３２の照度分布を徐々に中心部が弱くなり、周辺部が強くなるように変化させるので、最初に硬化を開始する有効径Ｄ０内の領域に対して周辺部の未硬化の領域からの樹脂１２の供給が十分に行われるので、有効径Ｄ０内における硬化収縮でのヒケの発生も防止される。
【００２６】
さらに、紫外線１３２の照度分布を徐々に中心部が弱くなり、周辺部が強くなるように変化させるので、樹脂１２の中央部での過剰な紫外線１３２の照射が防止され、樹脂１２の全体に対して均一に紫外線１３２を照射することができる。
【００２７】
この結果、樹脂１２の中央部での過剰な紫外線１３２の照射に起因する損傷が防止される。
その後、成形型１１０に対して、基材支持台１２０を相対的に上昇させることで、成形型１１０の成形面１１１から樹脂１２を剥離させ、図３に例示されるような複合光学素子１０を得る。
【００２８】
すなわち、複合光学素子１０は、基体１１の光学面１１ａに樹脂１２が被着された複合構造を呈し、この樹脂１２には、成形型１１０の成形面１１１が転写された光学面１２ａが形成されている。
【００２９】
本実施の形態の複合光学素子１０においては、上述のように、樹脂１２における有効径Ｄ０内に境界線等の欠陥は存在しない。
また、硬化時のヒケもないため、成形面１１１の形状が正確に樹脂１２の光学面１２ａに転写される。
【００３０】
さらに、樹脂１２の中心部に対する紫外線１３２の過剰な照射もないため、樹脂１２の中央部の損傷もない。
この結果、本実施の形態によれば、光学的に高精度で長寿命の複合光学素子１０を製造することができる。
【００３１】
図４および図５は、本発明の他の実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する成形装置の構成および作用の一例を工程順に示す略断面図である。
本実施の形態の成形装置２００は、複合成形型２１０、光源部２２０、マスク２３０、を備えている。
【００３２】
複合成形型２１０は成形面を下向きにして配置され、中央の内型２１１と、この内型２１１が軸方向に変位自在に挿通される外型２１２とで構成されている。
内型２１１は、成形面２１１ａを備え、外型２１２は、成形面２１２ａを備えている。
【００３３】
内型２１１と外型２１２は、双方が一体に昇降したり、各々が個別に昇降することが可能な構成となっている。
光源部２２０は、紫外線２２２を出射する紫外線ランプ２２１、この紫外線ランプ２２１が収容される光源鏡筒２２３を含んでいる。
【００３４】
光源鏡筒２２３は、上端部が開口しており、凹レンズ等のレンズブランクからなる基体２１を下側から支持する支持台を兼ねる。
光源鏡筒２２３の上端の開口部の内径は、基体２１のほぼ有効径Ｄ０に設定されている。
【００３５】
光源鏡筒２２３から出射される紫外線２２２は、光源鏡筒２２３の開口部から上向きに、末広がりの円錐状の光束２２３ａとして出射される。
マスク２３０は、光源鏡筒２２３の上端の開口部の上方の空間において、光源鏡筒２２３の軸を横切る方向に変位自在に配置されている。
【００３６】
マスク２３０は、紫外線２２２を透過させるガラス基板等で構成され、その中央部には、有効径Ｄ０よりも小さな口径の遮光部２３１が形成され、この遮光部２３１は、紫外線２２２を遮断する金属膜等の素材で構成されている。
【００３７】
以下、本実施の形態の成形装置２００の作用について説明する。
まず、紫外線ランプ２２１を消灯した状態で、光源鏡筒２２３の上端開口部に、基体２１を同軸に載置する。
【００３８】
次に、基体２１の上側の凹状の光学面２１ａの中央部に所定量の樹脂１２を供給する。
その後、内型２１１の成形面２１１ａの周辺部と外型２１２の成形面２１２ａの高さを揃えた状態で、複合成形型２１０を基体２１に対して相対的に所定の距離（照射位置Ｈ０）まで降下させる。この距離は、樹脂１２の中心部の肉厚が、所望の設計値に一致する距離である。
【００３９】
そして、このとき、光学面２１ａと、成形面２１１ａおよび成形面２１２ａとの間の空間に中央部から周辺部へと樹脂１２を展延させ、樹脂１２の最外周が、外型２１２の成形面２１２ａの外径である金型径Ｄ１に一致する。この状態が、図４である。
【００４０】
この図４の照射位置Ｈ０において、紫外線ランプ２２１を点灯させ紫外線２２２を放射すると、紫外線２２２は、光束２２３ａのように上向きに末広がりに光源鏡筒２２３から出射され、基体２１を介して樹脂１２に照射される。
【００４１】
図４のように、この時の樹脂１２の高さにおける光束２２３ａの口径は、有効径Ｄ０よりも大きく、金型径Ｄ１よりは小さい。
このため、樹脂１２における有効径Ｄ０よりもわずかに大きな領域の全体に紫外線２２２が、照度分布２２２ａを持つように照射されて当該有効径Ｄ０の内部が同時に硬化収縮を開始する。このため、有効径Ｄ０の内部では、硬化部と未硬化部の境界線のような欠陥は発生しない。
【００４２】
また、この時、有効径Ｄ０の外側の、未硬化の領域の樹脂１２が有効径Ｄ０の内部の硬化収縮を補うように供給される。
これにより、有効径Ｄ０の内部における樹脂１２の硬化収縮に伴うヒケは発生せず、内型２１１の成形面２１１ａの形状が、正確に有効径Ｄ０内の樹脂１２の光学面１２ａとして転写される。
【００４３】
次に、複合成形型２１０を相対的に光源部２２０に対して上昇させると、樹脂１２を介して複合成形型２１０に被着した基体２１は、光源鏡筒２２３から離間して複合成形型２１０とともに上昇する。
【００４４】
そして、末広がりの光束２２３ａにより、紫外線２２２の樹脂１２に対する照射範囲は、有効径Ｄ０の周辺部に徐々に広がり、有効径Ｄ０の中央部の照度が低下し周辺部の照度が増加する照度分布２２２ｂのようになる。
【００４５】
さらに、この時、本実施の形態の場合には、光源鏡筒２２３と基体２１との間に、マスク２３０を差し入れ、遮光部２３１によって、光束２２３ａの中央部に紫外線２２２の遮蔽領域２２３ｂを形成し、樹脂１２の有効径Ｄ０の中央部での紫外線２２２の強度を更に低下させる。
【００４６】
そして、所定の時間が経過した後、紫外線ランプ２２１を消灯し、紫外線２２２の照射を停止する。
その後、樹脂１２を介して基体２１が被着した複合成形型２１０において、中央の内型２１１のみを外型２１２の内部に引き込むことで成形面２１１ａを樹脂１２から剥離させ、さらに、逆方向に内型２１１を外型２１２から突出させることで、外型２１２の成形面２１２ａから樹脂１２を剥離させる。
【００４７】
これにより、図６に例示されるような、基体２１の光学面２１ａに光学面１２ａを持つ樹脂１２が被着された複合光学素子２０を得ることができる。
本実施の形態の複合光学素子２０においては、上述のように、樹脂１２における有効径Ｄ０内に境界線等の欠陥は存在しない。
【００４８】
また、硬化時のヒケもないため、内型２１１の成形面２１１ａの形状が正確に樹脂１２の光学面１２ａに転写される。
さらに、樹脂１２の中心部に対する紫外線２２２の過剰な照射もないため、樹脂１２の中央部の損傷もない。
【００４９】
この結果、本実施の形態によれば、光学的に高精度で長寿命の複合光学素子２０を製造することができる。
図７および図８は、本発明の他の実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する成形装置の構成および作用の一例を工程順に示す略断面図である。
【００５０】
この図７および図８の成形装置２０１の場合、上述の成形装置２００における光源部２２０の代わりに、基材支持台２４０とズムーム機能を有する光源部２５０を備えた点が異なっている。
【００５１】
基材支持台２４０は、金型径Ｄ１よりも十分に大きな口径で上端が開口した筒状を呈し、基体２１の周辺部を下側から支持する。
基材支持台２４０の内部には、光源部２５０が上向きに収容されている。
【００５２】
光源部２５０は、紫外線ランプ２５１、鏡筒２５３、集光光学系２５４を備えている。
集光光学系２５４は、紫外線ランプ２５１から出射される紫外線２５２を集束して、上向きに末広がりの円錐形の光束２５４ａを構成する。
【００５３】
以下、本実施の形態の成形装置２０１の作用を説明する。
図７の上側のように、複合成形型２１０と基体２１との間に樹脂１２を展延するところまでは、上述の図４の場合と同様である。
【００５４】
その後、この成形装置２０１の場合には、光源部２５０から出射される紫外線２５２の光束２５４ａの樹脂１２の高さにおける口径（照射範囲）が、樹脂１２の有効径Ｄ０よりも大きく、金型径Ｄ１よりも小さくなるように、光源部２５０の集光光学系２５４と樹脂１２の距離（照射位置Ｈ０）を設定する。
【００５５】
そして、この照射位置Ｈ０において、紫外線ランプ２５１を点灯し、照度分布２５２ａのように、有効径Ｄ０の内部の全域に紫外線２５２を同時に照射する。
この時、有効径Ｄ０の内部の樹脂１２は紫外線２５２の照射によって同時に硬化を開始するため、有効径Ｄ０の内部に境界線等の欠陥は発生しない。
【００５６】
また、硬化収縮に伴って有効径Ｄ０の外側の未硬化の領域から樹脂１２が補充されるため、有効径Ｄ０の内部ではヒケは発生しない。
その後、図８に例示されるように、基材支持台２４０の内部において、光源部２５０の全体を照射位置Ｈ１まで下降移動させる。
【００５７】
このとき、光源部２５０が基体２１から離間するにつれて、照度分布２５２ｂのように、有効径Ｄ０の中央部の紫外線２５２の照度は徐々に低下する。
また、光源部２５０が基体２１から離間するにつれて、上向きに末広がりの光束２５４ａの口径は、樹脂１２の高さにおいて有効径Ｄ０の外側に金型径Ｄ１まで徐々に広がり、有効径Ｄ０の外側における紫外線２５２の照射強度が徐々に増加し、有効径Ｄ０の外側の樹脂１２も硬化する。
【００５８】
なお、光源部２５０の全体を移動させる代わりに、光源部２５０の内部において、集光光学系２５４と紫外線ランプ２５１との間のズーム距離Ｈ３を変化させることで、光源部２５０の位置を固定したままで、光束２５４ａの照射範囲の変化を実現してもよい。
【００５９】
この成形装置２０１によって製造された複合光学素子２０においても上述の成形装置２００の場合と同様の効果が得られる。
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する成形装置の構成および作用の一例を工程順に示す略断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する成形装置の構成および作用の一例を工程順に示す略断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態である複合光学素子の製造方法によって得られた複合光学素子の一例を示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する成形装置の構成および作用の一例を工程順に示す略断面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する成形装置の構成および作用の一例を工程順に示す略断面図である。
【図６】本発明の他の実施の形態である複合光学素子の製造方法によって得られた複合光学素子の一例を示す断面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する成形装置の構成および作用の一例を工程順に示す略断面図である。
【図８】本発明の他の実施の形態である複合光学素子の製造方法を実施する成形装置の構成および作用の一例を工程順に示す略断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０  複合光学素子
１１  基体
１１ａ  光学面
１２  樹脂
１２ａ  光学面
２０  複合光学素子
２１  基体
２１ａ  光学面
１００  成形装置
１１０  成形型
１１１  成形面
１２０  基材支持台
１３０  光源部
１３１  紫外線ランプ
１３２  紫外線
１３２ａ  照度分布
１３２ｂ  照度分布
１３３  鏡筒
１３３ａ  光束
２００  成形装置
２０１  成形装置
２１０  複合成形型
２１１  内型
２１１ａ  成形面
２１２  外型
２１２ａ  成形面
２２０  光源部
２２１  紫外線ランプ
２２２  紫外線
２２２ａ  照度分布
２２２ｂ  照度分布
２２３  光源鏡筒
２２３ａ  光束
２２３ｂ  遮蔽領域
２３０  マスク
２３１  遮光部
２４０  基材支持台
２５０  光源部
２５１  紫外線ランプ
２５２  紫外線
２５２ａ  照度分布
２５２ｂ  照度分布
２５３  鏡筒
２５４  集光光学系
２５４ａ  光束
Ｄ０  有効径
Ｄ１  金型径
Ｈ０  照射位置
Ｈ１  照射位置
Ｈ３  ズーム距離
【図１】
2007313768.tif 000003
【図２】
2007313768.tif 000004
【図３】
2007313768.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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