(57)【要約】【課題】  光導波路内の任意の場所において伝搬光の光路変換を可能とし、かつ、安価で製造することが可能なレンズ内蔵光導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】  レンズ内蔵光導波路は、コア４０と、コア４０を取り囲むクラッド３０、５０と、コア４０内に光の伝搬方向に交差するように配置されたレンズ４１とを備える。このレンズ内蔵光導波路の製造は、例えば、光の伝搬方向に交差するように配置されたレンズ用の空孔を内部に有するコアを下部クラッド上に形成し、このコアの空孔内に存在させようとする気体の雰囲気下で、硬化前の硬化性クラッド材を、前記空孔を維持したまま、コアの上部及び側面に塗布し、この塗布された硬化性クラッド材を硬化させ、気体を空孔内に閉じ込めることにより行われる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コアと、前記コアを取り囲むクラッドと、前記コア内に光の伝搬方向に交差するように配置されたレンズとを備えたことを特徴とするレンズ内蔵光導波路。
【請求項２】
前記コア及びクラッドの少なくとも一方が高分子材料からなることを特徴とする請求項１に記載のレンズ内蔵光導波路。
【請求項３】
前記レンズが、前記コアより屈折率の小さい材料で形成された凹状レンズであることを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズ内蔵光導波路。
【請求項４】
前記レンズが、光導波路の端部近傍に形成されたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のレンズ内蔵光導波路。
【請求項５】
前記レンズにおける光の伝搬方向に垂直な面の断面積が、前記コアにおける光の伝搬方向に垂直な面の断面積よりも大きいことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のレンズ内蔵光導波路。
【請求項６】
前記レンズが気体により形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のレンズ内蔵光導波路。
【請求項７】
前記レンズが前記クラッドと同一の材料で形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のレンズ内蔵光導波路。
【請求項８】
光の伝搬方向に交差するように配置されたレンズ用の空孔を内部に有するコアを下部クラッド上に形成する工程、
前記コアの空孔内に存在させようとする気体の雰囲気下で、硬化前の硬化性クラッド材を、前記空孔を維持したまま、前記コアの上部及び側面に塗布する工程、及び
前記塗布された硬化性クラッド材を硬化させ、前記気体を前記空孔内に閉じ込める工程、
を有することを特徴とするレンズ内蔵光導波路の製造方法。
【請求項９】
光の伝搬方向に交差するように配置されたレンズ用の空孔を内部に有するコアを下部クラッド上に形成する工程、
硬化前の硬化性クラッド材を前記コアの上部及び側面に塗布する工程、
減圧環境下で前記空孔内の気体を脱泡し、前記硬化性クラッド材を前記空孔内に導入する工程、及び
前記塗布された硬化性クラッド材を硬化する工程、
を有することを特徴とするレンズ内蔵光導波路の製造方法。
【請求項１０】
前記空孔を内部に有するコアを下部クラッド上に形成する工程が、
前記コアに対応する凹部と前記空孔に対応する凸部とを有する鋳型を準備する工程、
前記鋳型に前記下部クラッドを密着させる工程、
前記下部クラッドを密着させた鋳型の凹部にコア形成用硬化性樹脂を充填する工程、
前記充填したコア形成用硬化性樹脂を硬化させる工程、及び
前記鋳型を前記下部クラッドから剥離する工程、
を有することを特徴とする請求項８又は９に記載のレンズ内蔵光導波路の製造方法。
【請求項１１】
前記空孔が、凹状レンズの形状を有することを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載のレンズ内蔵光導波路の製造方法。
【請求項１２】
前記空孔が、光導波路の端部近傍に形成されたことを特徴とする請求項８〜１１のいずれかに記載のレンズ内蔵光導波路の製造方法。
【請求項１３】
前記空孔における光の伝搬方向に垂直な面の断面積が、前記コアにおける光の伝搬方向に垂直な面の断面積よりも大きいことを特徴とする請求項８〜１２のいずれかに記載のレンズ内蔵光導波路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光導波路及びその製造方法に係り、特にコア内にレンズを有するレンズ内蔵光導波路及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光デバイス間の結合を行うための光インターコネクションでは、光デバイス間における結合損失をいかに低減するかが、その重要項目のひとつである。従来、例えば、光導波路と光ファイバや半導体受発光素子等との結合を考えるとき、ＮＡ（開口数）の違いによって発生する結合損失の低減を図るため、次のような工夫が施されている。
【０００３】
まず、マイクロレンズを用いるものがある。これは、径の異なる光ファイバ間の結合や、レーザーダイオードからの発散光を導波路内に入射させる場合、両者の中間にマイクロレンズを配置してコリメートあるいは集光（所謂、光路の変換）を行い、ＮＡの違いによる結合損失の低減を図るものである。しかし、この手法によると、レンズが別途必要になることから、レンズによるコストの上昇や、結合する両者の間でのレンズの精密な位置合わせが要求され、工程数が増加するという問題がある。
【０００４】
また、光導波路端にレンズ形状を具備するものがある。これは、光導波路の端部に成形を施し、レンズ形状を形成するものである。例えば、光ファイバの先端を球状とした、所謂、先球ファイバは、一般的に多く用いられている方式である。しかしながら、この方式では、ファイバの先端を加工するための工程が増加すること、および、球状の先端部分の位置やその曲率に高い精度が要求され、結果として、コスト高を招くという問題がある。
【０００５】
例えば、特許文献１では、基板上にアンダークラッド、コア、オーバークラッドで構成される光導波路を備えたものであるが、導波路の端部におけるレンズ形状の作製には、エッチング工程が必要であり、また、その位置精度も必要であることから、やはりコスト高を免れることはできない。加えて、レンズ部が露出している為に、異物の付着によるレンズ効果の阻害といった問題もある。
【０００６】
また、特許文献２では、基板上にアンダークラッド、そして、先端にレンズ形状を有するコアを形成し、その上からオーバークラッドをスピンコートするものが知られている。しかしながら、その後、前記先端レンズを露出させるためフォトリソグラフィー工程を必要としコスト高となってしまい、また、やはりレンズ部が露出の為の異物付着によるレンズ効果の阻害の問題がある。
【特許文献１】特開２０００−３９５３１号公報
【特許文献２】特許第３６６５９６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、上述した従来技術では、いずれも導波路端部にレンズを配するものであり、そのため、光導波路端部でのみ光路の変換が可能であり、光導波路内の任意の場所における伝搬光の光路の変換を行うことは不可能である。
【０００８】
本発明は前記した従来技術における問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、光導波路内の任意の場所において伝搬光の光路変換を可能とし、かつ、安価で製造することが可能なレンズ内蔵光導波路及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的は、コアと、前記コアを取り囲むクラッドと、前記コア内に光の伝搬方向に交差するように配置されたレンズとを備えたレンズ内蔵光導波路により、達成される。
【００１０】
ここで、前記コア及びクラッドの少なくとも一方は高分子材料を用いて作製することができる。前記レンズは、前記コアより屈折率の小さい材料で形成された凹状レンズとすることができ、また光導波路の端部近傍に形成することができる。さらに、前記レンズにおける光の伝搬方向に垂直な面の断面積は、前記コアにおける光の伝搬方向に垂直な面の断面積よりも大きいことが好ましい。
【００１１】
前記レンズは、空気等の気体により形成することができ、また前記クラッドと同一の材料で形成することができる。
【００１２】
本発明に係るレンズ内蔵光導波路の製造方法は、光の伝搬方向に交差するように配置されたレンズ用の空孔を内部に有するコアを下部クラッド上に形成する工程、前記コアの空孔内に存在させようとする気体の雰囲気下で、硬化前の硬化性クラッド材を、前記空孔を維持したまま、前記コアの上部及び側面に塗布する工程、及び、前記塗布された硬化性クラッド材を硬化させ、前記気体を前記空孔内に閉じ込める工程、を有するものである。
【００１３】
また、本発明に係るレンズ内蔵光導波路の製造方法は、光の伝搬方向に交差するように配置されたレンズ用の空孔を内部に有するコアを下部クラッド上に形成する工程、硬化前の硬化性クラッド材を前記コアの上部及び側面に塗布する工程、減圧環境下で前記空孔内の気体を脱泡し、前記硬化性クラッド材を前記空孔内に導入する工程、及び、前記塗布された硬化性クラッド材を硬化する工程、を有するものである。
【００１４】
ここで、前記空孔を内部に有するコアを下部クラッド上に形成する工程は、前記コアに対応する凹部と前記空孔に対応する凸部とを有する鋳型を準備する工程、前記鋳型に前記下部クラッドを密着させる工程、前記下部クラッドを密着させた鋳型の凹部にコア形成用硬化性樹脂を充填する工程、前記充填したコア形成用硬化性樹脂を硬化させる工程、及び、前記鋳型を前記下部クラッドから剥離する工程、を有することができる。
【００１５】
前記空孔は、凹状レンズの形状を有することができ、また光導波路の端部近傍に形成することができる。前記空孔における光の伝搬方向に垂直な面の断面積は、前記コアにおける光の伝搬方向に垂直な面の断面積よりも大きいことが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、光導波路内の任意の場所において伝搬光の光路変換を可能とし、かつ、安価で製造することが可能なレンズ内蔵光導波路及びその製造方法を得ることができる。
【００１７】
より具体的には、導波路コア内にレンズを有した導波路を使用することにより、例えば、入射光の広がり角と導波路の開口数（ＮＡ）との違いにより発生する結合損失を低減することが出来る。また、例えば、発光素子との結合において、追加的にマイクロレンズなどを介さずに済むため一回の調芯作業で行なうことが可能であり、部品点数や工程数が少なく、コストの面からも有利である。
【００１８】
本発明では、気体からなるレンズが形成でき、気体とコアとの屈折率差よりレンズ効果が顕著となり、大きな光路変換が可能となる。
【００１９】
また、製造方法も簡便かつ低コストである。即ち、鋳型を使用していることにより、複製が可能となり、更なる低コストを実現することができる。鋳型の形がそのまま、コア及びレンズの形成へつながることから、鋳型が作製できればレンズ内蔵光導波路の作成が可能であり、また、形成されるレンズの形状やコア内での配置は自由に設定することが出来る。また、前記でも述べたように、鋳型にはすでにレンズ構造が内蔵されていることから、導波路コアとレンズとの位置精度は、非常に良好である。また、その作製は、コア作製の副産物としてレンズが作製されるので、調芯作業が必要ない。以上により、工程数が少なく、品質の良好な、安易かつ低コストに作製可能なレンズ機能付き光導波路の提供が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
＜光導波路の構造＞
先ず、図１を参照して、本発明の一実施の形態になるレンズ内蔵光導波路の構造について説明する。本図は、光導波路のコア（導波路コア）４０の入射端近傍を示す模式図である。導波路コア４０の長手方向端部の内部には、導波路コアとは屈折率が異なる（具体的には、屈折率が低い）、凹型形状を有するレンズ（凹状レンズ）４１が、導波路コア４０内の光の伝搬方向に交差するように配置されている。導波路コア４０は、それより屈折率の小さいクラッド５０に周囲を取り囲まれている。また、導波路コア４０の入射側（図の左側）には、例えば、レーザーダイオード等の光源７０が配置されており、この光源からの光は、広がり角をもって、上記導波路４０の入射端４０ｃに入射する。入射した光は、導波路コア４０内のレンズ４１の働きによりコリメートされる。図の凹状レンズ４１は一方の面が平面（平凹レンズ）であるが、これに限定されることなく、両面とも凹状とすることができる。
【００２２】
ここで、上記凹状レンズ４１の材質は任意に選ぶことができるが、導波路コア４０と屈折率の差が大きな材料を選択するととにより、屈折角を大きく、即ち、より大きなレンズ効果を得ることができる。このレンズ４１の材料は、その製造工程の簡便さを考慮した場合、気体を選ぶことが好ましい。特に、製造工程における雰囲気である空気を選ぶこと（即ち、空孔レンズ）によれば、より容易かつ安価に製造することが可能となり、コストの面からもより好ましい。このレンズ形状は、要求される光路変換を実現するため、光学的に設計されるものである。
【００２３】
上述した空孔レンズ４１は、その製法上、例えば、コア材（紫外線硬化樹脂など）の内部に空気を挿入（封入）する方法では、その両端部が丸みを帯び易く、そのため、不良となることがある。例えば、平面で形成されるべき面が湾曲面として形成した場合、この空孔レンズによって伝搬方向が変換（屈折）される光は、所望の変換角度とは異なってしまい、その結果として、クラッドへの漏れ光となり、又は、高次モードの発生となって、発散効果として作用してしまう。
【００２４】
更に、導波路コア４０における光の伝搬方向に垂直な面の断面積が、空孔レンズ４１における光の伝搬方向に垂直な面の断面積よりも小さい場合には、コア内を伝搬する光の一部がレンズを透過せず、コリメートされない伝搬光が存在してしまうこととなる。
【００２５】
それを防ぐため、本発明では、他の実施の形態として、図２に示すような構造の光導波路を提供する。この光導波路の構造は、図示のように、上記空孔レンズ４１の断面積を導波路コア４０の断面積よりも大きくする（図の例では、レンズ４１の幅方向をコア４０の幅方向よりも膨らませて大きくする）ものである。かかる構成によれば、導波路コア４０の一方の端部（図では左側）から他の端部へコア内部を伝搬する光のほぼ全てが、空孔レンズ４１を透過させることを可能とし、これにより、特に、空孔レンズ４１の両端部における悪影響を低減するができる。
【００２６】
上記に構造を説明した本発明に係る光導波路は、特に、マルチモードで使用されることが好ましい。
【００２７】
本発明に係るレンズ内蔵導波路によれば、特に、レンズが導波路の内部に存在することにより、以下の利点を奏する。
一般的に、発光素子と導波路とを接続する場合には、接着剤が使用されることが多い。このとき、損失の観点から、接着剤としては、導波路コアと同一又はそれに近い屈折率を有するものが使用される。ここで、導波路の端面にレンズが形成してある場合には、その接着剤がレンズ部と接触してしまうと、端面に形成したレンズが所望のレンズ機能を果たさなくなる。これに対し、上記本発明のようなレンズ内蔵導波路では、レンズが導波路に内蔵されているため、接着剤がレンズに付着することなく、即ち、接着剤による悪影響を受けない。
【００２８】
更に、導波路端面にレンズが形成されているものでは、レンズが剥き出し（レンズ面が外部に露出）となるため、外部からの塵などの付着物等により、そのレンズ機能に悪影響を及ぼすことがある。これに対して、上記の本発明の構造では、レンズがコア内部に設置されていることから、外部から完全に隔離され、そのため、外部からの塵の付着がない。
【００２９】
加えて、導波路端面にレンズが形成されているものでは、発光素子からの広がり角と、レンズ機能による見積もりの距離に基づいて、発光素子と導波路を所定の位置関係で高精度に実装するが、その際にスペーサーなどが必要となり、工程数や部品点数などの増大からコスト高を生じる。一方、本発明の導波路では、導波路内部には、予め、設計において、広がり角とレンズ機能から決定される距離において当該レンズが形成されているため、導波路を発光素子に突き当てるだけで、容易に位置決めを行うことかでき、工程数の削減と共に、部品点数の点からも好ましく、コストの低減に有利となる。また、導波路内におけるレンズの位置精度は、その作製方法における鋳型の精度によって決定されることから、精密な位置精度を実現することも可能である。
【００３０】
＜光導波路の製造方法＞
次に、本発明に係る光導波路の製造方法について説明する。
【００３１】
まず、導波路コア４０の内部に形成された、レンズを構成する空孔内に気体を充填し、上記レンズ４１を形成する方法について説明する。
【００３２】
本発明に係る光導波路の製造方法は、
（１）下部クラッド用基材上にレンズ用の空孔を内部に有したコアを形成する工程、
（２）前記空孔内部に存在させようとする気体雰囲気下で、硬化前の硬化性クラッド材を、その内部に前記空孔を維持したまま、コアの側面および上部に塗布する工程、及び、
（３）熱または光によって前記硬化性クラッド材を硬化させ、空孔内の材料を内部に閉じ込める工程、
を有する。
【００３３】
上記工程（１）の下部クラッド用基材上に空孔を内部に有したコアを形成する工程では、特に、次の工程（ａ）〜（ｅ）を含むことができる。
（ａ）鋳型形成用硬化性樹脂の硬化樹脂層から形成され、導波路コア凸部に対応する凹部と、空孔に対応する凸部を有する鋳型を準備する工程、
（ｂ）鋳型にクラッド基板を密着させる工程、
（ｃ）クラッド用基材を密着させた鋳型の凹部にコア形成用硬化性樹脂を充填する工程、
（ｄ）熱または光によって、充填したコア形成用硬化性樹脂を硬化させる工程、
（ｅ）鋳型をクラッド用基材から剥離し、クラッド用基材上に内部に空孔を有するコアが形成される工程。
【００３４】
即ち、上記の光導波路の製造方法によれば、空孔の形成において、エッチングなど別途工程及びその設備を設ける必要もなく、導波路コアが形成されると同時に空孔が形成されるため、簡単に製造することができる。また、この光導波路の製造方法において、空孔のレンズとなる面は、鋳型における空孔に対応する面の精度に依存するため、鋳型の面精度を向上させることにより、レンズ面の精度を容易に向上させることができる。
【００３５】
次に、前記工程（１）の好ましい態様、即ち、前記（ａ）〜（ｅ）の工程について、その詳細を、図３及び図４を参照しながら説明する。なお、これらの図では説明を簡単にするため空孔は省略している。この図３（Ａ）〜（Ｅ）は、本発明の製造方法の各工程を表す概念図であり、また図４は、鋳型を、当該鋳型よりも一回り大きいクラッド用基材に密着させた状態（上記図３（Ｄ）で示される工程）を示す斜視図である。
【００３６】
まず、図３（Ａ）は、光導波路コアに対応する凸部１２が形成された原盤１０を、凸部１２の長手方向に直角に切断した切断面を示す。次に、図３（Ｂ）に示すように、原盤１０の凸部１２が形成された面に、鋳型形成用の硬化性樹脂の硬化樹脂層２０ａを形成する。この図３（Ｂ）は、原盤１０に鋳型形成用の硬化性樹脂の硬化樹脂層２０ａを形成したものを、やはり、凸部１２の長手方向に直角に切断した切断面を示す。更に、鋳型形成用の硬化性樹脂の硬化樹脂層２０ａを、原盤１０から剥離して鋳型２０を取り、次いで、鋳型２０の両端を、前記凹部２２が露出するように切断することにより、凹部２２にコア形成用の硬化性樹脂を充填するための進入口２２ａ（図４参照）、及び、前記凸部１２に対応する凹部２２から前記樹脂を排出させるための排出口２２ｂ（図４参照）を形成して、図３（Ｃ）にその断面を示す鋳型２０を作製する。
【００３７】
続いて、このようにして作製した鋳型２０に、クラッド用基材３０を密着させる（図３（Ｄ）及び図４を参照）。この図３（Ｄ）は、鋳型２０と基材３０を密着させたものを凹部長手方向に直角に切断した断面図を示す（図４のＡ−Ａ切断面）。次に、鋳型２０の進入口２２ａからコア形成用硬化性樹脂４０ａを、毛細管現象を利用して鋳型の凹部２２内に充填する。この凹部２０の他の先端部にある排出口２２ｂ（図４を参照）からは、コア形成用の硬化性樹脂が排出される。図３（Ｅ）は、この鋳型の凹部に硬化性樹脂が充填されたものを凹部長手方向に直角に切断した断面図を示す。
【００３８】
その後、鋳型２０の凹部２２内に充填したコア形成用の硬化性樹脂を硬化させ、その後、鋳型２０を剥離する。図３（Ｆ）は、クラッド用基材の上に光導波路コア４０が形成されたものを、コア長手方向に直角に切断した切断面を示す。
【００３９】
本発明においては、レンズ（上記図１の符号４１）となる空孔に気体を充填させる場合には、当該気体の雰囲気下でクラッド用基材のコア形成面に高い粘性のクラッド材を塗布することによれば、その高い粘性により当該クラッド材は前記空孔内には進入せず、光導波路コア４０の内部にレンズを形成した状態でクラッド層５０が形成される。その後、塗布したクラッド樹脂を硬化することにより光導波路６０が作製される。また、上記レンズとなる空孔にクラッド材を充填させる場合には、光導波路コア４０の側面及び上面にクラッド材を塗布した後、減圧環境下において、空孔内の気体を脱泡してクラッド材を充填させる。その後、塗布したクラッド樹脂を硬化することにより光導波路６０が作製される。なお、図３（Ｇ）は、作製した高分子光導波路６０をコア長手方向に直角に切断した切断面を示す。
【００４０】
以下に、前記工程（ａ）の好ましい態様について詳述する。
【００４１】
＜原盤の作製＞
前記工程（ａ）における鋳型の作製は、図５に示すような、光導波路コアに対応する凸部１１と共に、上記空孔レンズを形成する凹部１２とを形成した原盤１０を用いて行うのが好ましい。これら凸部及び凹部の作製には、従来の方法、例えば、フォトリソグラフィー法を、特に制限なく用いることができる。また、本出願人が先に出願した電着法又は光電着法により高分子光導波路を作製する方法（特開２００２−３３３５３８号公報参照）も、同様に、この原盤を作製するのに適用できる。なお、上記形成される光導波路コアに対応する凸部１１の大きさは、高分子光導波路の用途等に応じて、適宜決められる。例えば、シングルモード用の光導波路の場合には、断面が１０μｍ角程度のコアを、また、マルチモード用の光導波路の場合には、断面が５０〜１００μｍ角程度のコアが、一般的に用いられる。しかしながら、その用途によっては、断面が数百μｍ角程度と、更に大きなコアを持つ光導波路とする場合もあるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００４２】
＜鋳型の作製＞
次に、鋳型は、上記のようにして作製した原盤１０の光導波路コアに対応する凸部１１と、空孔に対応する凹部１２とが形成された面に、鋳型形成用の硬化性樹脂を塗布し、又は、注型し、一定時間放置した後、約１０分間、真空脱泡を行う。なお、必要に応じて乾燥処理をした後、当該樹脂を硬化させる。次いで、その硬化樹脂層を剥離して、鋳型２０が作製される。このようにして作製された鋳型２０の表面には、図６に示すように、光導波路コアに対応する凹部２１と、空孔に対応する凸部２２とが形成される。
【００４３】
また、この鋳型には、後にも説明するが、更に、コア形成用の硬化性樹脂を充填するための進入口、及び、樹脂を排出又は低圧で吸引するための排出口が形成される。但し、その形成方法については、特に制限されるものではない。例えば、上記の原盤に、予め、進入口や排出口に対応する凸部を設けておいて形成することも可能であるが、更に簡便な方法として、例えば、上記原盤に鋳型形成用の硬化性樹脂層を形成した後、この硬化した樹脂層を剥離して当該鋳型を取り出す。その後、鋳型の両端を、当該鋳型の表面に形成した凹部が外部に連通するように切断することにより、進入口及び排出口を形成する。
【００４４】
なお、この鋳型形成用の硬化性樹脂としては、（１）その硬化物が原盤から容易に剥離できること、（２）当該鋳型を繰り返し用いることを前提として、一定以上の機械的強度・寸法の安定性を有すること、（３）凹部及び凸部形状を維持する硬さ（硬度）を有すること、そして、（４）クラッド用基材との密着性が良好なことが好ましい。なお、鋳型形成用の硬化性樹脂には、必要に応じて、各種添加剤を加えることができる。
【００４５】
また、前記硬化樹脂層の厚さは、鋳型としての取り扱い性を考慮し、適宜、決定されるが、一般的には、０．１ｍｍ〜５０ｍｍ程度が適切である。加えて、前記原盤に予め離型剤を塗布する離型処理を行い、これにより、鋳型の原盤からの剥離を促進することが望ましい。
【００４６】
加えて、鋳型形成用の硬化性樹脂は、原盤の表面に塗布又は注型することが可能であり、また、原盤に形成された個々の光導波路コアに対応する凸部１１と空孔レンズに対応する凹部１２を正確に写し取らなければならない。そのため、当該鋳型形成用の硬化性樹脂は、ある限度以下の粘度、例えば、５００〜７０００ｍＰａ・ｓ程度の粘度を有することが好ましい。なお、本発明において用いる「鋳型形成用の硬化性樹脂」の中には、その硬化後、弾性を有するゴム状体となるものも含まれる。また、粘度調節のために溶剤を、溶剤の悪影響が出ない程度に加えることも可能である。
【００４７】
なお、鋳型形成用の硬化性樹脂としては、例えば、上述した剥離性、機械強度・寸法安定性、硬度、クラッド用基材との密着性の点から、その硬化後、シリコーンゴム（シリコーンエラストマー）又はシリコーン樹脂となる硬化性オルガノポリシロキサンが好ましく用いられる。前記硬化性オルガノポリシロキサンは、分子中にメチルシロキサン基、エチルシロキサン基、フェニルシロキサン基を含むものが好ましい。また、前記硬化性オルガノポリシロキサンは、一液型のもの、又は、硬化剤と組み合わせて用いる二液型のものでもよく、また、熱硬化型のものでも室温硬化型（例えば空気中の水分で硬化するもの）のものであってもよい。更に、他の硬化（紫外線硬化等）を利用するものであってもよい。
【００４８】
また、前記硬化性オルガノポリシロキサンとしては、硬化後、シリコーンゴムとなるものが好ましく、これには、通常、液状シリコーンゴム（なお、この「液状」の中には、ペースト状のような粘度の高いものをも含む）と称されているものが用いられ、硬化剤と組み合わせて用いる二液型のものが好ましい。その中でも、付加型の液状シリコーンゴムは、表面と内部とが均一かつ短時間に硬化し、そして、その際の副生成物が無く又は少なく、かつ、離型性にも優れ、収縮率も小さいのことから、好ましく用いられる。そして、前記液状シリコーンゴムの中でも、特に、液状ジメチルシロキサンゴムが、密着性、剥離性、強度及び硬度の点から好ましい。
【００４９】
なお、前記液状シリコーンゴムとしては、前述した光導波路コアに対応する凸部と空孔に対応する凹部とを正確に写し取り、かつ、気泡の混入を少なくして真空脱泡をし易くするとの観点、更には、鋳型を数ミリの厚さで形成するとの点から、その粘度が５００〜７０００ｍＰａ・ｓ程度のものが好ましく、更には、２０００〜５０００ｍＰａ・ｓ程度のものがより好ましい。さらに、鋳型の表面エネルギーは、１０ｄｙｎ／ｃｍ〜３０ｄｙｎ／ｃｍ、好ましくは１５ｄｙｎ／ｃｍ〜２４ｄｙｎ／ｃｍの範囲にあることが、基材との密着性の点からみて好ましい。
【００５０】
また、鋳型のシェア（Ｓｈａｒｅ）ゴム硬度は、型取り性能、凹部形状の維持、剥離性の点からみて、１５〜８０であり、より好ましくは、２０〜６０であることが好ましい。特に、型取り性能の点からは、鋳型の表面粗さ（二乗平均粗さ（ＲＭＳ））については、０．２μｍ以下、より好ましくは、０．１μｍ以下にすることが好ましい。
【００５１】
加えて、鋳型は、紫外領域及び／又は可視領域において光透過性であることが好ましい。このように、鋳型が可視領域において光透過性であることが好ましい理由としては、工程（ｂ）において、鋳型をクラッド用基材に密着させる際、位置決めを容易に行うことが出来ること、又は、工程（ｃ）において、コア形成用の硬化性樹脂が鋳型の凹部に充填される様子が観察できること、更には、樹脂の充填の完了等が容易に確認しうることによる。また、鋳型が紫外領域において光透過性であることが好ましい理由としては、コア形成用の硬化性樹脂として紫外線硬化性樹脂を用いる場合、当該鋳型を透して紫外線硬化を行うためであり、そのため、当該鋳型の紫外領域（２５０ｎｍ〜４００ｎｍ）における透過率が８０％又はそれ以上であることが好ましい。
【００５２】
そして、前記硬化性オルガノポリシロキサン、その中でも硬化後シリコーンゴムとなる液状シリコーンゴムは、クラッド用基材との密着性と剥離性という、相反する特性にも優れており、かつ、ナノ構造をも写し取る能力を持っている。そのため、シリコーンゴムとクラッド用基材とを密着させることにより、液体の進入さえ防止することができる。また、このようなシリコーンゴムを用いた鋳型は、原盤を高精度に写し取り、かつ、クラッド用基材にも良く密着するため、当該鋳型により形成されるコアの側面（周囲のクラッドとの界面）、及び、当該コアと空孔レンズの面となる界面は極めて良好である。更には、当該鋳型とクラッド用基材の間に形成される凹部のみに、効率よく、コア形成用の樹脂を充填することが可能となり、加えて、クラッド用基材と鋳型の剥離も容易である。従って、この鋳型からは、高精度に形状を維持した高分子光導波路が、極めて簡便に、作製することができる。
【００５３】
また、前記硬化樹脂層、とりわけ硬化樹脂層がゴム弾性を有する場合、硬化樹脂層の一部、すなわち、原盤の凸部及び凹部を写し取る部分以外の部分を、他の剛性の高い材料に置き換えることができ、この場合、鋳型のハンドリング性が向上する。
【００５４】
次に、前記工程（ｂ）について、詳細に説明する。
＜クラッド用基材＞
前記工程（ｂ）は、鋳型にクラッド用基材３０を密着させる工程（図３（Ｄ）を参照）であるが、ここにおいて、その表面に光導波路を形成する当該基材の材料としては、その用途に応じて、材料の屈折率、光透過性等の光学的特性、機械的強度、耐熱性、フレキシビリティー（可撓性）等を考慮して、適宜、選択される。例えば、可撓性を有する高分子光導波路を作製する場合には、可撓性のフィルム基材を用いることが好ましい。
【００５５】
なお、かかる可撓性のフィルムの材料としては、例えば、アクリル系樹脂（ポリメチルメタクリレート等）、脂環式アクリル樹脂、スチレン系樹脂（ポリスチレン、アクリロニトリル・スチレン共重合体等）、オレフィン系樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン・プロピレン共重合体等）、脂環式オレフィン樹脂、塩化ビニル系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、ビニルアルコール系樹脂、ビニルブチラール系樹脂、アリレート系樹脂、含フッ素樹脂、ポリエステル系樹脂（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等）、ポリカーボネート系樹脂、二又は三酢酸セルロース、アミド系樹脂（脂肪族、芳香族ポリアミド等）、イミド系樹脂、スルホン系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリオキシメチレン系樹脂、又は、前記樹脂のブレンド物等が挙げられる。
【００５６】
上述した脂環式アクリル樹脂としては、例えば、トリシクロデカン等の脂肪族環状炭化水素をエステル置換基に導入した、ＯＺ−１０００、ＯＺ−１１００（日立化成（株）製）等が用いられる。
【００５７】
また、上述した脂環式オレフィン樹脂としては、例えば、主鎖にノルボルネン構造を有するもの、及び、主鎖にノルボルネン構造を有しかつ側鎖にアルキルオキシカルボニル基（アルキル基としては炭素数１から６のものやシクロアルキル基）等の極性基を持つものが挙げられる。これらの中でも、前述したように、主鎖にノルボルネン構造を有し、かつ、側鎖にアルキルオキシカルボニル基等の極性基をもつ脂環式オレフィン樹脂は、低屈折率（屈折率が１．５０近傍にあり、コアとクラッドとの間の屈折率の差を十分に確保できる）、及び、高い光透過性等、優れた光学的特性を有すると共に、鋳型との密着性に優れており、更に、耐熱性にも優れていることから、特に、本発明の高分子光導波路の作製に適している。なお、この基材としては、コアとの屈折率差を確保するため、その屈折率が１．５５より小さく、好ましくは、１．５３より小さい材料であることが望ましい。
【００５８】
更に、上記のクラッド用の基材としては、他の基材の表面上にクラッド材をコーティングした、所謂、クラッド付きの基材を利用することも可能であり、この場合においても、基材の平坦性を向上させることができる。また、このクラッド材のコーティングによれば、複屈折性が高くクラッド材としては不向きな材料、更には、透明性に劣る材料でも、利用可能になる。
【００５９】
続いて、前記工程（ｃ）について、詳細に説明する。
【００６０】
前記工程（ｃ）においては、図４に示すように、上記鋳型の進入口２２ａからコア形成用の硬化性樹脂４０ａを毛細管現象により鋳型２０の凹部内に注入し充填する（図３（Ｅ）参照）。一方、上記鋳型の排出口２２ｂからは、鋳型２０の凹部に注入されたコア形成用の硬化性樹脂４０ａを低圧で吸引し、充填されたコア形成用を硬化性樹脂を排出させる。ここで、コア形成用を硬化性樹脂としては、例えば、放射線硬化性、電子線硬化性、熱硬化性等の樹脂を用いることができ、それらの中でも、紫外線硬化性樹脂及び熱硬化性樹脂が好ましく用いられる。
【００６１】
＜コア形成用の紫外線硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂＞
前記コア形成用の紫外線硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂としては、紫外線硬化性又は熱硬化性のモノマー、オリゴマー、若しくは、モノマーとオリゴマーの混合物が好ましく用いられる。また、前記紫外線硬化性樹脂としてエポキシ系、ポリイミド系、アクリル系紫外線硬化性樹脂が好ましく用いられる。
【００６２】
また、このコア形成用の硬化性樹脂は、上述したように、毛細管現象により鋳型と基材との間に形成された空隙（鋳型の凹部）に充填させることから、使用するコア形成用の硬化性樹脂としては、それを可能とするに十分な低粘度であることが必要である。従って、前記硬化性樹脂の粘度は、例えば、１０ｍＰａ・ｓ〜２０００ｍＰａ・ｓ、より好ましくは、２０ｍＰａ・ｓ〜１０００ｍＰａ・ｓ、更に好適には、３０ｍＰａ・ｓ〜５００ｍＰａ・ｓにすることが好ましい。その他、原盤に形成された、光導波路コア及び空孔に対応する凸部及び凹部について、元の形状を高精度に再現するためには、前記硬化性樹脂の硬化の前後における体積変化が小さいことが必要である。例えば、体積変化が大きく、特に、体積が減少した場合には、導波損失の原因になる。従って、前記硬化性樹脂は、その体積変化が可能な限り小さいものが望ましく、より具体的には、１０％以下、好ましくは６％以下であるのが望ましい。なお、溶剤を用いて低粘度化することは、硬化の前後における体積変化が大きくなることから、可能であれば避けることが好ましい。
【００６３】
なお、コア形成用の硬化性樹脂の硬化後における体積変化（収縮）を小さくするためには、例えば、ポリマーを前記樹脂に添加することができる。前記ポリマーはコア形成用硬化性樹脂との相溶性を有し、かつ、当該樹脂の屈折率、弾性率、透過特性に悪影響を及ぼさないものが好ましい。また、ポリマーを添加することによれば、上記体積変化を小さくする他、更には、その粘度や硬化樹脂のガラス転移点を高度に制御することができる。なお、このポリマーとしては、例えばアクリル系、メタクリル酸系、エポキシ系のものが用いられるが、しかし、これらに限定されるものではない。
【００６４】
また、このコア形成用の硬化性樹脂に関し、その硬化物の屈折率は、クラッドとなる前記基材（以下の工程（ｄ）におけるクラッド層を含む）の屈折率より大きいことが必要であり、例えば、１．５０以上、より好ましくは、１．５３以上である。なお、以下の工程（ｄ）のクラッドの硬化後における屈折率とコアの屈折率との差は、０．０１以上、より好ましくは、０．０３以上である。
【００６５】
また、この工程においては、毛細管現象によるコア形成用の硬化性樹脂の上記鋳型の凹部への充填を促進するため、系全体を減圧（０．１〜２０ｋＰａ程度）する、又は、貫通穴（即ち、上記排出口）を使って吸引することが望ましい。また、上述した充填を促進するため、前記系の減圧に加えて、更に、上記鋳型の進入口から充填するコア形成用の硬化性樹脂を加熱することにより、より低粘度化することも有効な手段である。
【００６６】
次に、前記工程（ｄ）について説明する。
【００６７】
前記工程（ｄ）では、充填したコア形成用の硬化性樹脂を硬化させる。紫外線硬化性樹脂を硬化させるためには、例えば、紫外線ランプ、紫外線ＬＥＤ、ＵＶ照射装置等が用いられる。又は、熱硬化性樹脂を硬化させるには、例えば、オーブン中で加熱する等が可能である。
【００６８】
最後に、前記工程（ｅ）について説明する。
前記工程（ｅ）では、前記（ｄ）の工程の後、形成した鋳型２０をクラッド用基材３０から剥離する。
【００６９】
以上の工程により、その内部に空孔（空孔レンズ４１）を有するコア４０が形成されることとなる。なお、以上に詳述した製造方法が好ましいが、コア内に空孔を有するコアを基板上に作製する方法としては、以上の製造方法に限定されることはない。その他、例えば、直接露光法、エッチング法なども適用できる。しかしながら、コストと簡便さの観点からは、上記した方法を選択するのが好ましい。
【００７０】
以下、前記工程（２）の好ましい工程について、その詳細を説明する。
前記工程（２）では、前記工程（１）により得られたコアが形成されたフィルム基材３０の上に、更に、クラッド層５０を形成する。
【００７１】
前記工程（１）により得られたコアの側面及び上部に、硬化前のクラッド材を、凸状のコア４０内に形成した凹状空孔レンズ４１の空孔を維持したままで塗布する技術としては、当該クラッド材として、高粘性である硬化性樹脂を使うことが好ましい。即ち、かかる高粘性の硬化性樹脂によれば、コアの側面及び上部に塗布した非固形クラッド（硬化前のクラッド材）は、空孔内にはクラッド材が入り込まず、そのため、コア内のレンズ用空孔に気体を閉じ込めることが出来る。更に、このレンズ用の空孔を良好に形成するためには高粘性の硬化型樹脂が使用されるが、その粘度は、生産性と成形とを両立すること観点からは、３０ｍＰａ・ｓ〜３０００ｍＰａ・ｓであることが好ましく、更に、歩留まりの観点からは、１００ｍＰａ・ｓ〜２０００ｍＰａ・ｓがより好ましい。
【００７２】
なお、本実施の形態である光導波路では、空孔レンズ４１の空孔内部に、雰囲気（空気又はその他の気体）をそのまま媒質として閉じ込める構造であることから、当該空孔の内部に存在させようとする気体雰囲気下で本工程（２）を実施すればよい。また、空孔内部に閉じ込める気体として、特に、空気を利用することが、最も簡便に、かつ、安価に入手できることから好ましい。
【００７３】
あるいは、上記に代えて、コア内でレンズとなる上記空孔４１の内部に閉じ込める媒質として、導波路を形成する当該コアを取り巻くクラッド材と同一の物質で充填させることもできる。なお、かかる材質を充填する場合には、クラッド材をコアの側面及び上部に塗布した後、例えば、減圧環境下において、当該空孔内部の気体を脱泡する。なお、この場合には、クラッド材の粘性には、気体を媒質として閉じ込める上述の構造に要求される制限はない。即ち、この場合には、クラッド用の硬化性樹脂としては、上述した紫外線硬化性樹脂や熱硬化性樹脂を用いることが好ましく、例えば、紫外線硬化性又は熱硬化性のモノマー、オリゴマー、若しくは、モノマーとオリゴマーの混合物が用いられる。また、その際、クラッド形成用の硬化性樹脂の硬化後にける体積変化（収縮）を小さくするため、当該樹脂と相溶性を有し、また、当該樹脂の屈折率、弾性率、透過特性にも悪影響を及ぼさないポリマー、例えば、メタクリル酸系又はエポキシ系のポリマーを樹脂に添加することもできる。
【００７４】
また、前記紫外線硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂の硬化後の体積変化（収縮）を小さくするため、上記クラッド層に添加するポリマーと同様のポリマーを添加することもできる。その場合、クラッド層の屈折率は、コアの屈折率に対して必要な差を確保するため、例えば、１．５５以下、より好ましくは、１．５３以下とすることが望ましい。また、前記クラッド用の基材とクラッド層との間における屈折率の差は、より小さいことが好ましく、その場合、その差は０．０５以下、好ましくは、０．００１以下、更に好ましくは、その間には差がないことが、光の閉じ込めの観点からも好ましい。
【００７５】
なお、上述した光導波路の製造方法において、特に、鋳型形成用の硬化性樹脂として、その硬化後にゴム状になる液状シリコーンゴム、その中でも、特に、液状ジメチルシロキサンゴムを用い、その一方、クラッド用の基材として、主鎖にノルボルネン構造を有し、かつ、側鎖にアルキルオキシカルボニル基等の極性基をもつ脂環式オレフィン樹脂を用いるという組み合わせが好ましい。この組み合わせによれば、両者の密着性が特に高く、また、鋳型の凹部構造の変形がなく、更には、凹部構造の断面積が極めて小さい場合（例えば、１０μｍ×１０μｍの矩形断面）でも、毛細管現象により、素早く、凹部に硬化性樹脂を充填することができる。
【００７６】
最後に、前記工程（３）について、以下に、その詳細を説明する。
前記工程（３）においては、前記工程（２）の後、熱または光によって、前記クラッド材を硬化させてクラッド層５０を得る。これにより、レンズとなる空孔内に気体を閉じ込め、あるいは、その内部にその他の媒質を充填して硬化させることにより、内部にレンズを形成した光導波路を完成させることが可能となる。
【００７７】
ここで、クラッド材としての紫外線硬化性樹脂を硬化させるためには、紫外線ランプ、紫外線ＬＥＤ、ＵＶ照射装置等が用いられる。また、熱硬化性樹脂を硬化させるためには、例えば、オーブン中での加熱等が用いられる。
【００７８】
また、上記の光導波路の製造方法において、例えば図７に示すように、上記の原盤として、例えば、シリコンウェハー（Ｓｉ基板）１０の表面に、光導波路コア用の凸部１１と共に、その一部に空孔レンズ用の凹部１２を形成し（図７（Ａ）参照）、その後、上記原盤１０から剥離した鋳型２０を得る（図７（Ｂ）参照）。その際、上記光導波路コア用の凸部１１に対応する凹部２１の両端部に、それぞれ、連通する貫通孔２３、２４を設け、これをコア形成用の硬化性樹脂を鋳型２０の内部に充填または排出させるための進入口及び排出口とする。そして、この作製した鋳型２０を、クラッド用基材３０の表面に密着させ（図７（Ｃ）参照）、これら貫通孔の一方から、コア形成用の硬化性樹脂を注入すると同時に、他端の貫通孔から減圧吸引することにより、コア形成用の硬化性樹脂を前記鋳型の凹部内に十分に充填することが好ましい。かかる鋳型を用いてコア形成用硬化性樹脂を充填することにより、充填速度を格段に上昇（アップ）させ、また、鋳型と基材との密着性を更に向上し、かつ、気泡の混入を避けることができる。
【００７９】
また、コア形成用の硬化性樹脂が進入する側に設ける貫通孔２３は液（コア形成用硬化性樹脂）溜めの機能を有する。また、コア形成用の硬化性樹脂が排出される側に設ける貫通孔２４は、当該樹脂を鋳型凹部に充填する際、鋳型２０の凹部を減圧するための減圧吸引用に用いられる。進入側の貫通孔２３の形状や大きさは、当該貫通孔が凹部の進入端に連通しかつ液だめの機能を有していれば、特に制限はない。また、排出側の貫通孔は、凹部の排出端に連通し、かつ、減圧吸引用に用いることが出来ればよく、その形状や大きさには特に制限はない。
【００８０】
このように、鋳型２０の凹部の端部に形成し、コア形成用の硬化性樹脂の進入側に設けられた貫通孔２３は、液溜めの機能をもっていることから、例えば、当該鋳型２０をクラッド用基材３０の表面に密着させた場合に当該基材に接する側の断面積が大きく、そして、当該基材から離れるに従って小さくなるように形成することによって、コア形成用の硬化性樹脂を凹部に充填して硬化した後、鋳型を基材から剥離し易くなる。なお、このコア形成用の硬化性樹脂を排出する側の貫通孔２４には、必ずしも、上記した液溜めの機能を持たせる必要はなく、特に、このような断面構造を採用することを要しない。
【００８１】
また、貫通孔２３、２４を設けた鋳型２０は、例えば、上述したように光導波路コアの凸部に対応する凹２１部と、空孔に対応する凸部２２とが形成された鋳型を作製し、その後、例えば、当該鋳型を所定形状に打ち抜くことによって上記貫通孔２３、２４を形成することも可能である。その際、当該貫通孔２３、２４の内部にはそれぞれ、コア形成用の硬化性樹脂を充填するための進入口（図３の符号２２ａを参照）及び凹部からコア形成用硬化性樹脂を排出させるための排出口（図３の符号２２ｂを参照）が現れるように打ち抜く。なお、打ち抜いた貫通孔の場合であっても、鋳型とクラッド用基材との密着性はよく、鋳型の凹部以外にクラッド用基材との間に空隙が形成されないため、凹部以外にコア形成用硬化性樹脂が浸透する虞はなかった。
【００８２】
しかしながら、この貫通孔２３、２４は、上述したように、鋳型２０を形成する硬化樹脂層を、その厚さ方向に全て除去して形成する（打ち抜きタイプ）だけではなく、鋳型の厚さ方向において当該鋳型の一部が残るように形成してもよい。この場合、鋳型はクラッド用基材の下に、貫通孔が露出するように置かれる。
【００８３】
更に、上記の貫通孔２３、２４を有する鋳型を作製する他の方法としては、原盤に光導波路コアに対応する凸部だけでなく、当該貫通孔２３、２４を形成のための凸部（上記打ち抜きタイプの貫通孔の場合は、この凸部の高さは、鋳型形成用の硬化性樹脂により形成される硬化樹脂層の厚さよりも高くする）を設け、この原盤に、当該貫通孔を形成するための凸部が樹脂層を突き抜けるように（打ち抜きタイプ貫通孔）、又は、凸部が隠れるように塗布等し、塗布した鋳型形成用の硬化性樹脂層を硬化させ、その後、硬化した樹脂層を原盤から剥離する方法を採用することもできる。
【００８４】
導波路コアの形成方法についても、これまで上記で述べた方法のみならず、直接露光法、エッチング法などにより、基板上にレンズとなる空孔を有するコアを作製することができる。
【００８５】
また、本発明において、空孔を光導波路コア内部に形成する構成としては、導波路コアを貫通させることで側面が導波路コアに囲まれると共に、上下をクラッドにより封止された構造、又は、上下のいずれか一方のみをクラッドと接する構造、更には、空孔の全周囲が導波路コアにより取り囲まれた構造であってもよい。但し、その場合においても、導波路コアを貫通して、その上下をクラッドと接する構成とした方が、導波路コアを伝播する信号光が、空孔の上下部分で蹴られ難くなることから好ましい。
【実施例１】
【００８６】
５０×５０μｍ□で導波路長１０ｍｍの光導波路のコア内部に、その入射端（光導波路端部）に近接して、光の入射面が平坦で射出面が凹状の、空気からなる２次元コリメートレンズ（図１の符号４１）を配し、半導体レーザーダイオード（光源７０）により、光ファイバを介して広がり角＝０．０７ｒａｄ．で、波長８５０ｎｍのガウスビームを入射させた。
【００８７】
次に、上記の空孔レンズ４１によるコリメート効果を確認するため、射出端における遠視野像を測定した。なお、比較のために、空孔レンズを内蔵していない直線導波路を作製し、同様な測定を行った。
【００８８】
その結果、空孔レンズを内蔵した導波路では、遠視野像測定より射出光広がり角（半角）が０．０７ｒａｄ．であった。これに対し、レンズを具備しない導波路においては射出光広がり角（半角）が０．１ｒａｄ．であった。これにより、空孔レンズによる広がり角の抑制機能が確認された。
【実施例２】
【００８９】
上記図７（Ａ）に示したように、Ｓｉ基板（原盤）１０上に、厚膜レジストをスピンコート法で塗布した後、８０℃でプリベークし、フォトマスクを通して露光、現像して、伝搬方向変換用の導波路コアの凸部１１及びコア内空孔凹部１２（コア幅１００ミクロン）を形成した。これを１２０℃でポストベークし、光導波路コア及びコア内空孔作製用の原盤１０を作製した。
【００９０】
続いて、上記原盤に剥離剤を塗布した後、熱硬化性ジメチルシロキサン樹脂（ダウコウニングアジア社製：ＳＹＬＧＡＲＤ１８４）を流し込み、一定時間放置した後、約１０分間の真空脱泡を行い、１２０°Ｃで３０分間加熱して固化させた、その後、剥離して、図７（Ｂ）に示すように、主導波路に対応する凹部２１と空孔部に対応する凸部２２（型の厚さ５ｍｍ）を有する鋳型２０を作製した。更に、主導波路の両端の２箇所に、それぞれ、直径３ｍｍの穴をあけ、もって、コア貫通孔（充填口）２３と貫通孔（吸引口）２４とした。
【００９１】
次に、図７（Ｃ）に示したように、この鋳型２０を、膜厚１８８μｍのフィルム基板３０（アートンフィルム、ＪＳＲ（株）製、屈折率１．５１）の上に密着させた。その後、当該鋳型２０に形成されているコア充填口２３に、粘度が８００ｍＰａ・ｓの紫外線硬化性樹脂（硬化後の屈折率１．５４）を十分に満たして、その吸引口２４からポンプによって吸引、空孔部分を除く主導波路に、前記紫外線硬化性樹脂を充填した。
【００９２】
更に、５０ｍＷ／ｃｍ２の紫外光を、前記型（ジメチルシロキサン樹脂）を通して５分間照射して硬化させた後、鋳型２０を剥離して、アートンフィルム（クラッド基板３０）上に、空孔（上記図１の符号４１）を有する導波路コア（符号４０）を作製した。
【００９３】
次いで、前記アートンフィルム上に形成された、空気の空孔を有する導波路コアの周囲に、粘度７３０ｍＰａ・ｓ、屈折率１．５１のクラッド用の紫外線硬化樹脂を塗布した。その時、クラッド剤は、硬化前の高分子の特質である粘性のため、当該コア内空孔には入り込まず、その後、直ちに、５０ｍＷ／ｃｍ２の紫外光を照射して硬化させた。最後に、光導波路端部を形成する為にダイシングソーによって切り出した。
【００９４】
以上の工程により、光導波路を作製したが、この実施例２では、導波路コアの形成と同時に、レンズを形成する空孔が形成されることから、製造効率が高い。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の一実施の形態になるレンズ内蔵光導波路の構造を示す一部拡大上面図である。
【図２】本発明の他の実施の形態になるレンズ内蔵光導波路の構造を示す一部拡大上面図である。
【図３】（Ａ）〜（Ｇ）は本発明の製造方法におけるコアの形成方法の詳細を示す工程説明図である。
【図４】本発明の製造方法において、鋳型をクラッド用基材に密着させた状態を示す斜視図である。
【図５】本発明の製造方法において、鋳型の作製のために形成される原盤の表面形状を示す一部拡大斜視図である。
【図６】本発明の製造方法において、形成された鋳型の表面形状を示す一部拡大斜視図である。
【図７】（Ａ）〜（Ｃ）は本発明に係るレンズ内蔵光導波路の製造方法の具体例を示す図である。
【符号の説明】
【００９６】
１０…原盤
２０…鋳型
２１…コア用凹部
２２…空孔用凸部
２３、２４…貫通孔
３０…クラッド用基材
４０…導波路コア
４１…レンズ（空孔レンズ）
５０…クラッド
６０…光導波路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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