(57)【要約】      （修正有）【課題】ワイヤーロープ、シーブ間等で発生するダストを周囲に飛散させることなくダスト発生位置で、簡易な方法で確実に回収できるようにしたワイヤーロープのダスト回収装置を提供すること。【解決手段】ワイヤーロープＷを挿通して取り付けたダスト吸引ボックス１と、内部に吸引ファンを備え、かつダスト吸引ボックス１に近設して配設したダスト回収ボックス２とを、ダスト吸引ホース３にて接続する。【選択図】図１
2007302415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤーロープを挿通して取り付けたダスト吸引ボックスと、内部に吸引ファンを備え、かつダスト吸引ボックスに近設して配設したダスト回収ボックスとを、ダスト吸引ホースにて接続して構成したことを特徴とするワイヤーロープのダスト回収装置。
【請求項２】
ダスト吸引ボックスを、シーブを経た近傍で、ワイヤーロープがほぼ垂直となる位置に配設したことを特徴とする請求項１記載のワイヤーロープのダスト回収装置。
【請求項３】
ダスト吸引ボックスに接続するダスト吸引ホース接続口を、ダスト吸引ボックスに形成する上下両ワイヤーロープ挿通口の近傍に形成したことを特徴とする請求項１又は２記載のワイヤーロープのダスト回収装置。
【請求項４】
ダスト回収ボックスに、内蔵する吸引ファンの上流側前面にプレフイルターを、下流側後面にフイルターをそれぞれ着脱可能に配設したことを特徴とする請求項１記載のワイヤーロープのダスト回収装置。
【請求項５】
ダスト回収ボックスに、回収ダストを排出するためのダスト排出口に通気可能としたダスト排出扉を開閉可能に配設したことを特徴とする請求項１又は４記載のワイヤーロープのダスト回収装置。
【請求項６】
ダスト吸引ホースを可撓性としたことを特徴とする請求項１記載のワイヤーロープのダスト回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤーロープのダスト回収装置に関し、特に、半導体製造工場、液晶板製造工場等のクリーンルーム内で、部材等の搬送、扛上作業に用いるスタッカークレーンにおける昇降台の昇降を行うワイヤーロープに付着するダスト（微粉塵）を、簡易な方法で確実に回収するようにしたワイヤーロープのダスト回収装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工場、液晶板製造工場等においては、製品の精度向上のため一般的にクリーンルーム内で行われる。そして、このような半導体製造工場、液晶板製造工場等では、ストッカーから製造ステーション間或いはステーションとステーション間に各種の部材等を搬送及び／又は昇降させて移載するため、スタッカークレーンを採用している。
【０００３】
このスタッカークレーンには部材などを搭載して搬送、昇降するための昇降移載台を備え、かつ該昇降移載台を、走行台車上に樹立するマストに沿ってワイヤーロープにて昇降可能に吊垂支持する構成となっている。
【０００４】
ところで、昇降移載台をワイヤーロープにて昇降可能に吊垂支持する場合、マスト上部に配設するシーブにワイヤーロープを引っ掛けて、該ワイヤーロープの巻き取り、巻き戻しにより昇降移載台を昇降させるように構成しているため、このシーブとワイヤーロープとの接触にてシーブ及び／又はワイヤーロープが摩耗することにより、この摩耗微粉塵等によるダストが発生する。
この発生ダストは、クリーンルーム内のクリーン度を低下させ、さらには製品、部材に付着して製品の品質を低下させるので、このダストを除去するためにクリーンルーム内にダウンフローを発生させている。
【０００５】
しかしながら、ダウンフローのない既設の設備ではダウンフローのための改造費が高価になるとともに、ワイヤーロープ、シーブ間で発生するダストを、このダウンフローにて効率的には除去することが難しいという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、ワイヤーロープに付着するダストの有する問題点に鑑み、ワイヤーロープ、シーブ間等で発生するダストを周囲に飛散させることなくダスト発生位置で、簡易な方法で確実に回収できるようにしたワイヤーロープのダスト回収装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明のワイヤーロープのダスト回収装置は、ワイヤーロープを挿通して取り付けたダスト吸引ボックスと、内部に吸引ファンを備え、かつダスト吸引ボックスに近設して配設したダスト回収ボックスとを、ダスト吸引ホースにて接続して構成したことを特徴とする。
【０００８】
この場合において、ダスト吸引ボックスを、シーブを経た近傍で、ワイヤーロープがほぼ垂直となる位置に配設することができる。
【０００９】
また、ダスト吸引ボックスに接続するダスト吸引ホース接続口を、ダスト吸引ボックスに形成する上下両ワイヤーロープ挿通口の近傍に形成することができる。
【００１０】
また、ダスト回収ボックスに、内蔵する吸引ファンの上流側前面にプレフイルターを、下流側後面にフイルターをそれぞれ着脱可能に配設することができる。
【００１１】
また、ダスト回収ボックスに、回収ダストを排出するためのダスト排出口に通気可能としたダスト排出扉を開閉可能に配設することができる。
【００１２】
また、ダスト吸引ホースを可撓性とすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のワイヤーロープのダスト回収装置によれば、ワイヤーロープを挿通して取り付けたダスト吸引ボックスと、内部に吸引ファンを備え、かつダスト吸引ボックスに近設して配設したダスト回収ボックスとを、ダスト吸引ホースにて接続して構成することにより、シーブとの接触摩擦により生じるダストがワイヤーロープに付着してもダスト吸引ボックス内にて強制的に吸引し、ダスト回収ボックス内にて回収できるので、ダストがクリーンルーム内にて飛散して周囲を汚染したり、製品などに付着するのを未然に防止することができる。
【００１４】
また、ダスト吸引ボックスを、シーブを経た近傍で、ワイヤーロープがほぼ垂直となる位置に配設することにより、ワイヤーロープがダスト吸引ボックス内を通過するだけで、シーブとの接触摩擦により生じるダストを周囲に飛散させることなく効果的に吸収して回収することができる。
【００１５】
また、ダスト吸引ボックスに接続するダスト吸引ホース接続口を、ダスト吸引ボックスに形成する上下両ワイヤーロープ挿通口の近傍に形成することにより、ワイヤーロープが進入する側の挿通口から侵入するダストや、ワイヤーロープが出る側の挿通口から落下せんとするダストをも確実に回収することができる。
【００１６】
また、ダスト回収ボックスに、内蔵する吸引ファンの上流側前面にプレフイルターを、下流側後面にフイルターをそれぞれ着脱可能に配設することにより、このプレフイルターにて粗いダストを、またフイルターにて細かいダストをそれぞれ個別的に捕捉するようにしているので、フイルターの目詰まりを抑制することができ、また目詰まりが生じても簡単に交換することもできる。
【００１７】
また、ダスト回収ボックスに、回収ダストを排出するためのダスト排出口に通気可能としたダスト排出扉を開閉可能に配設しているので、該ダスト排出扉を開くことで簡単、迅速に回収ダストを排出することができる。
【００１８】
また、ダスト吸引ホースを可撓性とすることにより、ダスト吸引ボックスとダスト回収ボックスとが離間し、かつどの位置関係にあっても簡易に接続することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明のワイヤーロープのダスト回収装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１〜図６に、本発明のワイヤーロープのダスト回収装置の一実施例を示す。
半導体製造工場、液晶板製造工場等のクリーンルーム内において、特に限定されるものではないが、例えば、ストッカーから製造ステーション間或いはステーションとステーション間に各種の部材等を搬送及び／又は昇降させて移載するためのスタッカークレーン（図示省略）が配設される。
このスタッカークレーンには、各種の部材等を搬送及び／又は昇降させるための昇降移載台（図示省略）を、走行台車上に樹立するマストＭに沿ってワイヤーロープＷにて昇降可能に吊垂支持するように構成している。
【００２１】
このワイヤーロープＷは、マストＭ（図示省略）、特に限定されるものではないが、例えば、上部にシーブＳを備え、このシーブＳに掛けて張架するようにする。
また、このシーブＳの近傍で、シーブＳを経て出てくるワイヤーロープＷを挿通するようにしてダスト吸引ボックス１を配設するが、このダスト吸引ボックス１は、特に限定されるものではないが、例えば、マストＭの一部やシーブケースに取り付けるようにし、このダスト吸引ボックス１に、望ましくは近設してダスト回収ボックス２を配設し、このダスト吸引ボックス１とダスト回収ボックス２とをダスト吸引ホース３により接続して本発明のワイヤーロープのダスト回収装置を構成する。
【００２２】
このダスト吸引ボックス１は、図４〜図５に示すように、張設したワイヤーロープＷを切断或いは取り外すことなく内部に挿通できるよう２分割形態とし、これを蝶番を介して開閉可能とする。これは１面が開口した２つの箱形のダスト吸引ボックス片１１、１２をその開口面を対向するよう配置し、この対峙する開口面の１側に蝶番１３、１３を取り付けて開閉可能とし、この蝶番１３と対向する他の辺に係止具１４を取り付けて、２つのダスト吸引ボックス片１１、１２を閉じたとき、この係止具１４にて一体とするように構成する。これにより、ダスト吸引ボックス１内に、簡易にワイヤーロープＷを挿通できるようにする。
また、このダスト吸引ボックス１の上面と下面には一直線となるようにしてワイヤーロープ挿通孔１５、１６を穿設する。このワイヤーロープ挿通孔１５、１６の径は、挿通するワイヤーロープＷの径に応じて定めるもので、ワイヤーロープ径よりも若干大となるようにする。
また、いずれか一方、例えば、ダスト吸引ボックス片１１の側面には、筒状をした２つのダスト吸引ホース接続口１７、１８を突設形成し、これにそれぞれダスト吸引ホース３、３を接続するようにする。このダスト吸引ホース接続口１７、１８は、その一方を上側のワイヤーロープ挿通孔１５の近傍に、他方をワイヤーロープ挿通孔１６の近傍になるように配設する。
なお、２つのダスト吸引ボックス片１１、１２を係止具１４にて閉じたとき、さらにこれが一体となるよう、ダスト吸引ボックス片１１、１２の上面と下面に、ワイヤーロープ挿通孔１５ａ、１６ａを穿設し、左右２つに分割したプレート１９、１９を取り付けるようにする。
【００２３】
ダスト回収ボックス２は、図６に示すように、一側面に回収ダストを排出するための開口面とし、このダスト排出口２１に通気可能とした、特に限定されるものではないが、例えば、ルーバ、パンチングメタルなどのダスト排出扉２２を留め具２３を介して開閉可能に配設するとともに、このダスト排出口と一直線状に対向するダスト侵入側の側面には筒状をした２つのダスト吸引ホース接続口２４、２５を突設形成し、このダスト回収ボックス２内に吸引ファン２６を配設し、さらに該吸引ファン２６の上流側前面にプレフイルター２７を、下流側後面にフイルター２８をそれぞれ着脱可能に配設して構成する。
なお、図示の実施例ではダスト侵入側面とダスト排出側面とを一直線状に対峙して配置し、この途中にプレフイルター２７、吸引ファン２６、フイルター２８を順次配設することにより、ダストを含む空気の流れを円滑にするようにしているが、これは特に限定されるものではなく、プレフイルターの上流側であればいずれの位置にもダスト吸引ホース接続口を形成することができる。
また、主として粗いダストを捕捉するためのプレフイルター２７は、清掃などのメンテナンスが容易に行えるよう、ダスト回収ボックス２の一側面より着脱可能として配置し、かつ交換もできるようにする。この場合、プレフイルターの挿入口には交換用蓋２９を取り付ける。
主として細かいダストを捕捉するためのフイルター２８の清掃、メンテナンス等は、ダスト排出扉２２を開くことにより行えるようにする。
このように吸引ファン２６の前後面にプレフイルター２７、フイルター２８を配設することで、フイルターに目詰まりを生じにくくして効率的にダストを捕捉回収できるようにする。
【００２４】
ダスト吸引ホース３は、望ましくは可撓性とし、近接配置されるダスト吸引ボックス１のダスト吸引ホース接続口１７、１８と、ダスト回収ボックス２のダスト吸引ホース接続口との間を接続する。これにより、ダスト回収ボックス２に内蔵する吸引ファン２６の稼働にてダスト吸引ボックス１内に負圧を発生させてダスト吸引ボックス１内を通過するワイヤーロープＷに付着するダストを吸引し、ダスト回収ボックス２内に回収できるようにするが、この場合、該ダスト吸引ホース３が、ダスト吸引ホース接続口１７、１８及び２４、２５と妄りに離間しないようバンド止め３１を採用することができる。
【００２５】
次に、本発明のワイヤーロープのダスト回収装置の作用について説明する。
シーブＳに掛けられ、シーブＳから離間してくるワイヤーロープＷをダスト吸引ボックス１内に挿通されるようにする。これは２つのダスト吸引ボックス片１１、１２を係止具１４を外すことで蝶番１３より開くようになる。このダスト吸引ボックス片１１、１２を開いた状態で上下のワイヤーロープ挿通孔１５、１６にワイヤーロープＷを挿通した後、ダスト吸引ボックス片１１、１２を閉じ、係止具１４で固定することでワイヤーロープＷをダスト吸引ボックス１内に挿通されるようにして取り付けられる。なお、このダスト吸引ボックス１をマスト、シーブケースなどに取り付ける。
【００２６】
シーブＳから離間してくるワイヤーロープＷがワイヤーロープ挿通孔１５を経てダスト吸引ボックス１内に挿通されると、ダスト吸引ボックス１内の空気はダスト回収ボックス２内の吸引ファン２６の駆動により２本のダスト吸引ホース３、３を介して吸引されているので、該ワイヤーロープＷに付着しているダストはこの吸引力にて吸引され、ダスト回収ボックス２内に回収されるとともに、同時にシーブから出て周囲に飛散せんとするワイヤーロープＷに未付着のダストもワイヤーロープ挿通孔１５を経て吸引される空気にてともに吸引されるので周囲に飛散することを防ぐことができる。
また、同時にワイヤーロープＷがワイヤーロープ挿通孔１６を経てワイヤーロープ挿通孔１６の外へ出る際、このワイヤーロープ挿通孔１６より落下せんとするダストをもワイヤーロープ挿通孔１６より吸引される外気の流れにてダスト吸引ボックス外への落下が阻止される。これにより、ワイヤーロープＷに付着しているダストが吸引除去され、ワイヤーロープＷは清浄な状態で移動する。
【００２７】
このダスト回収ボックス２内に、ダスト吸引ホース接続口２４、２５を経て吸引されたダストを含む空気は、まずプレフイルター２７にて予め粗いダストが捕捉、除去された後、次にフイルター２８を経て外部へ排出されるが、このときフイルター２８にて細かいダストも捕捉、除去される。その後、吸引空気はダストが除去され清浄となってダスト排出口２１、通気可能としたダスト排出扉２２を経て外部へ排出される。
このプレフイルター２７、フイルター２８にて捕捉されたダストは、該フイルターに付着するか、フイルター下方のダスト回収ボックス内に蓄積されるものとなる。この捕捉ダストが所定量になれば、留め具２３を外してダスト排出扉２２を開き、かつフイルター２８を取り外して内部の回収ダストを排出するようにする。
【００２８】
以上、本発明のワイヤーロープのダスト回収装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明のワイヤーロープのダスト回収装置は、昇降台を吊垂支持するワイヤーロープに付着するダストを、空気の吸引力にて回収するという特性を有していることから、半導体製造工場、液晶板製造工場等のクリーンルーム内で、部材等の搬送、扛上作業に用いるスタッカークレーンの用途に好適に用いることができるほか、例えば、清潔度を要求される食品工場内でのワイヤーロープを用いた扛上機、搬送機の用途にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明のワイヤーロープのダスト回収装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】同側面図である。
【図３】同平面図である。
【図４】ダスト吸引ボックスを示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平面図である。
【図５】ダスト吸引ボックスを示し、（Ａ）は左側面図、（Ｂ）は右側面図である。
【図６】ダスト回収ボックスを示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は平面図、（Ｃ）は側面図である。
【符号の説明】
【００３１】
Ｗ    ワイヤーロープ
Ｓ    シーブ
１    ダスト吸引ボックス
１１、１２  ダスト吸引ボックス片
１３  蝶番
１４  係止具
１５、１６、１５ａ、１６ａ  ワイヤーロープ挿通孔
１７、１８  ダスト吸引ホース接続口
１９  プレート
２    ダスト回収ボックス
２１  ダスト排出口
２２  ダスト排出扉
２３  留め具
２４、２５  ダスト吸引ホース接続口
２６  吸引ファン
２７  プレフイルター
２８  フイルター
２９  プレフイルター交換用蓋
３    ダスト吸引ホース
３１  バンド止め
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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