(57)【要約】      （修正有）【課題】薄型化を図ることができるＸＹステージを提供するものである。【解決手段】ＸＹステージＡによれば、第２のプレート２の平坦面から第１のプレート１の側に向かって突出するように長手形状の第２の摺動部材２１及び長手形状の第２’の摺動部材２２を、第３のプレート３の側に向かって突出するように長手形状の第２”の摺動部材２３及び長手形状の第２”’の摺動部材２４をそれぞれ、第２のプレート２に一体に設けている。【選択図】図２
2007024552.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦な面を有する第１のプレートと、
この第１のプレートの平坦面から突出するように一体的に設けられ、離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第１の摺動部材及び長手形状の第１’の摺動部材と、
平坦な面を有する第２のプレートと、
この第２のプレートの平坦面から前記第１のプレートの側に向かって突出するように一体的に設けられ、離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第２の摺動部材及び長手形状の第２’の摺動部材と、
前記第２のプレートの前記第２の摺動部材及び前記第２’の摺動部材が取り付けられた平坦面と反対側の平坦面から突出するように前記第２のプレートに一体的に設けられ、離間すると共に、長手方向が平行になると共に、前記第２の摺動部材及び前記第２’の摺動部材に直交するように設けられた長手形状の第２”の摺動部材及び長手形状の第２”’の摺動部材と、
平坦な面を有する第３のプレートと、
この第３のプレートの平坦面から前記第２のプレートの側に向かって突出するように一体的に設けられ、離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第３の摺動部材及び長手形状の第３’の摺動部材と
を備えていることを特徴とするＸＹステージ。
【請求項２】
第１の摺動部材と第２の摺動部材との間に、
第１’の摺動部材と第２’の摺動部材との間に、
第２”の摺動部材と第３の摺動部材との間に、
第２”’の摺動部材と第３’の摺動部材との間に、
それぞれ転動体を介在させることを特徴とする請求項１記載のＸＹステージ。
【請求項３】
第１の摺動部材と第２の摺動部材、第１’の摺動部材と第２’の摺動部材、第２”の摺動部材と第３の摺動部材、第２”’の摺動部材と第３’の摺動部材とが、それぞれ面接触することを特徴とする請求項１記載のＸＹステージ。
【請求項４】
平坦な面を有する第１のプレートと、
この第１のプレートの平坦面から突出するように一体的に設けられ、溝の開口部を互いに外方に臨むように離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第１の摺動部材及び長手形状の第１’の摺動部材と、
平坦な面を有する第２のプレートと、
この第２のプレートの平坦面から前記第１のプレートの側に向かって突出するように一体的に設けられ、溝の開口部を互いに内方に臨むように離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第２の摺動部材及び長手形状の第２’の摺動部材と、
前記第１の摺動部材の溝部の開口部と前記第２の摺動部材の溝部の開口部とが対向し、該対向した前記第１の摺動部材の溝部と前記第２の摺動部材の溝部の間に設けられた複数の第１の転動体と、
前記第１の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第１の転動体が第１の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１のストッパーと、
前記第１の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第１の転動体が第１の摺動部材の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第２のストッパーと、
前記第２の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第１の転動体が第２の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第３のストッパーと、
前記第２の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第１の転動体が第２の摺動部材の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第４のストッパーと、
前記第２’の摺動部材の溝部の開口部と前記第１’の摺動部材の溝部の開口部とが対向し、該対向した前記第２’の摺動部材の溝部と前記第１’の摺動部材の溝部の間に設けられた複数の第２の転動体と、
前記第１’の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第２の転動体が第１’の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第５のストッパーと、
前記第１’の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第２の転動体が第１’の転動体の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第６のストッパーと、
前記第２’の転動体の溝部の一方の端面に設けられ、前記第２の転動体が第２’の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第７のストッパーと、
前記第２’の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第２の転動体が第２’の摺動部材の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第８のストッパーと、
前記第２のプレートの前記第２の摺動部材の溝部及び前記第２’の摺動部材の溝部が取り付けられた平坦面と反対側の平坦面から突出するように前記第２のプレートに一体的に設けられ、溝の開口部を互いに外方に臨むように離間すると共に、長手方向が平行になると共に、前記第２の摺動部材の溝部及び前記第２’の摺動部材の溝部に直交するように設けられた長手形状の第２”の摺動部材及び長手形状の第２”’の摺動部材と、
平坦な面を有する第３のプレートと、
この第３のプレートの平坦面から前記第２のプレートの側に向かって突出するように一体的に設けられ、溝の開口部を互いに内方に臨むように離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第３の摺動部材及び長手形状の第３’の摺動部材と、
前記第３の摺動部材の溝部の開口部と前記第２”の摺動部材の溝部の開口部とが対向し、該対向した前記第３の摺動部材の溝部と前記第２”の摺動部材の溝部の間に設けられた複数の第３の転動体と、
前記第２”の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第３の転動体が第２”の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第９のストッパーと、
前記第２”の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第３の転動体が第２”の摺動部材の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第１０のストッパーと、
前記第３の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第３の転動体が第３の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１１のストッパーと、
前記第３の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第３の転動体が第３の摺動部材の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第１２のストッパーと、
前記第３’の摺動部材の溝部の開口部と前記第２”’の摺動部材の溝部の開口部とが対向し、該対向した前記第３’の摺動部材の溝部と前記第２”’の摺動部材の溝部の間に設けられた複数の第４の転動体と、
前記第２”’の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第４の転動体が第２”’の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１３のストッパーと、
前記第２”’の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第４の転動体が第２”’の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１４のストッパーと、
前記第３’の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第４の転動体が第３’の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１５のストッパーと、
前記第３’の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第４の転動体が第３’の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１６のストッパーと、
を備えていることを特徴とするＸＹステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡、半導体製造装置、半導体検査装置等の試料を載置し、２次元位置決め装置としてのＸＹステージに係り、特に、ＸＹステージの精度向上と薄型化の両面を図ることができるＸＹステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＸＹステージとしては、たとえば、相対するプレートの一方側のプレートを水平方向に移動するＸステージと、相対するプレートの一方側のプレートを水平方向に移動するＹステージとを有し、ＹステージとＸステージとが水平移動方向に対し互いに直交するようにプレートを重ねると共に、重ねた部位を接続部材、例えば、ネジで接続するようにしていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ＹステージとＸステージとが水平移動方向に対し互いに直交するようにプレートを重ねて、該重ねた状態をネジで接続するため、接続位置によっては、精度が出なかったり、また、プレートを重ねた分、重ねた方向の厚みが増すと共に、プレート同士を接続する作業をも伴うという問題点が生じた。
【０００４】
本発明は、上記の問題点を除去するようにしたＸＹステージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のＸＹステージは、平坦な面を有する第１のプレートと、この第１のプレートの平坦面から突出するように一体的に設けられ、離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第１の摺動部材及び長手形状の第１’の摺動部材と、平坦な面を有する第２のプレートと、この第２のプレートの平坦面から前記第１のプレートの側に向かって突出するように一体的に設けられ、離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第２の摺動部材及び長手形状の第２’の摺動部材と、前記第２のプレートの前記第２の摺動部材及び前記第２’の摺動部材が取り付けられた平坦面と反対側の平坦面から突出するように前記第２のプレートに一体的に設けられ、離間すると共に、長手方向が平行になると共に、前記第２の摺動部材及び前記第２’の摺動部材に直交するように設けられた長手形状の第２”の摺動部材及び長手形状の第２”’の摺動部材と、平坦な面を有する第３のプレートと、この第３のプレートの平坦面から前記第２のプレートの側に向かって突出するように一体的に設けられ、離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第３の摺動部材及び長手形状の第３’の摺動部材とを備えている。
【０００６】
また、請求項２記載のＸＹステージは、請求項１記載のＸＹステージにおいて、第１の摺動部材と第２の摺動部材との間に、第１’の摺動部材と第２’の摺動部材との間に、第２”の摺動部材と第３の摺動部材との間に、第２”’の摺動部材と第３’の摺動部材との間に、それぞれ転動体を介在させるものである。
【０００７】
また、請求項３記載のＸＹステージは、請求項１記載のＸＹステージにおいて、第１の摺動部材と第２の摺動部材、第１’の摺動部材と第２’の摺動部材、第２”の摺動部材と第３の摺動部材、第２”’の摺動部材と第３’の摺動部材とが、それぞれ面接触するものである。
【０００８】
また、請求項４記載のＸＹステージは、平坦な面を有する第１のプレートと、この第１のプレートの平坦面から突出するように一体的に設けられ、溝の開口部を互いに外方に臨むように離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第１の摺動部材及び長手形状の第１’の摺動部材と、平坦な面を有する第２のプレートと、この第２のプレートの平坦面から前記第１のプレートの側に向かって突出するように一体的に設けられ、溝の開口部を互いに内方に臨むように離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第２の摺動部材及び長手形状の第２’の摺動部材と、前記第１の摺動部材の溝部の開口部と前記第２の摺動部材の溝部の開口部とが対向し、該対向した前記第１の摺動部材の溝部と前記第２の摺動部材の溝部の間に設けられた複数の第１の転動体と、前記第１の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第１の転動体が第１の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１のストッパーと、前記第１の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第１の転動体が第１の摺動部材の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第２のストッパーと、前記第２の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第１の転動体が第２の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第３のストッパーと、前記第２の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第１の転動体が第２の摺動部材の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第４のストッパーと、前記第２’の摺動部材の溝部の開口部と前記第１’の摺動部材の溝部の開口部とが対向し、該対向した前記第２’の摺動部材の溝部と前記第１’の摺動部材の溝部の間に設けられた複数の第２の転動体と、前記第１’の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第２の転動体が第１’の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第５のストッパーと、前記第１’の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第２の転動体が第１’の転動体の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第６のストッパーと、前記第２’の転動体の溝部の一方の端面に設けられ、前記第２の転動体が第２’の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第７のストッパーと、前記第２’の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第２の転動体が第２’の摺動部材の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第８のストッパーと、前記第２のプレートの前記第２の摺動部材の溝部及び前記第２’の摺動部材の溝部が取り付けられた平坦面と反対側の平坦面から突出するように前記第２のプレートに一体的に設けられ、溝の開口部を互いに外方に臨むように離間すると共に、長手方向が平行になると共に、前記第２の摺動部材の溝部及び前記第２’の摺動部材の溝部に直交するように設けられた長手形状の第２”の摺動部材及び長手形状の第２”’の摺動部材と、平坦な面を有する第３のプレートと、この第３のプレートの平坦面から前記第２のプレートの側に向かって突出するように一体的に設けられ、溝の開口部を互いに内方に臨むように離間すると共に、長手方向が平行になるように設けられた長手形状の第３の摺動部材及び長手形状の第３’の摺動部材と、前記第３の摺動部材の溝部の開口部と前記第２”の摺動部材の溝部の開口部とが対向し、該対向した前記第３の摺動部材の溝部と前記第２”の摺動部材の溝部の間に設けられた複数の第３の転動体と、前記第２”の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第３の転動体が第２”の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第９のストッパーと、前記第２”の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第３の転動体が第２”の摺動部材の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第１０のストッパーと、前記第３の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第３の転動体が第３の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１１のストッパーと、前記第３の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第３の転動体が第３の摺動部材の溝部の他方の端面よりの離脱を防止する第１２のストッパーと、前記第３’の摺動部材の溝部の開口部と前記第２”’の摺動部材の溝部の開口部とが対向し、該対向した前記第３’の摺動部材の溝部と前記第２”’の摺動部材の溝部の間に設けられた複数の第４の転動体と、前記第２”’の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第４の転動体が第２”’の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１３のストッパーと、前記第２”’の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第４の転動体が第２”’の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１４のストッパーと、前記第３’の摺動部材の溝部の一方の端面に設けられ、前記第４の転動体が第３’の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１５のストッパーと、前記第３’の摺動部材の溝部の他方の端面に設けられ、前記第４の転動体が第３’の摺動部材の溝部の一方の端面よりの離脱を防止する第１６のストッパーとを備えているものである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載のＸＹステージによれば、第２のプレートの平坦面から第１のプレートの側に向かって突出するように長手形状の第２の摺動部材及び長手形状の第２’の摺動部材を、第３のプレートの側に向かって突出するように長手形状の第２”の摺動部材及び長手形状の第２”’の摺動部材をそれぞれ、設けたため、従来のように、長手形状の第２の摺動部材及び長手形状の第２’の摺動部材の取り付けプレートと長手形状の第２”の摺動部材及び長手形状の第２”’の摺動部材の取り付けプレートとが異ならないため、２軸のなす角度精度が向上すると共に、該プレート分の厚み寸法を軽減でき、コンパクト化を図ると共に、該プレート同士を接続する接続部材（例えば、ネジ）をも不要とすることができる。
【００１０】
請求項４記載のＸＹステージによれば、第２のプレートの平坦面から第１のプレートの側に向かって突出するように長手形状の第２の摺動部材及び長手形状の第２’の摺動部材を、第３のプレートの側に向かって突出するように長手形状の第２”の摺動部材及び長手形状の第２”’の摺動部材をそれぞれ、設けたため、従来のように、長手形状の第２の摺動部材及び長手形状の第２’の摺動部材の取り付けプレートと長手形状の第２”の摺動部材及び長手形状の第２”’の摺動部材の取り付けプレートとが異ならないため、２軸のなす角度精度が向上すると共に、該プレート分の厚み寸法を軽減でき、コンパクト化を図ると共に、該プレート同士を接続する接続部材（例えば、ネジ）をも不要とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明のＸＹステージの一実施例を図面を参照して説明する。
図１乃至図１８において、ＸＹステージAは、平坦な面を有する第１のプレート１と、この第１のプレート１に対向してＸ方向に移動自在に設けられる平坦な面を有する第２のプレート２と、
この第２のプレート２に対向してＸ方向と直交するにＹ方向に移動自在に設けられる平坦な面を有する第３のプレート３とから概略的に構成されている。
なお、第３のプレート３の上面に電子顕微鏡、半導体製造装置、半導体検査装置等の試料（図示せず）が載置されるようになっている。
【００１２】
第１のプレート１には、図２及び図１４に示すように、第１のプレート１の平坦面から突出するように、長手形状の第１の摺動部材１１及び長手形状の第１’の摺動部材１２が、第１のプレート１に一体的に設けられている。第１の摺動部材１１の溝部の開口部と第１’の摺動部材１２の溝部の開口部は互いに外方に臨むように離間すると共に、第１の摺動部材１１及び第１’の摺動部材１２の長手方向が平行になるように第１のプレート１に一体的に設けられている。
第１の摺動部材１１及び第１’の摺動部材１２の長手方向を横断した断面形状は、例えば、半円形状となっている（図１４参照）。
【００１３】
第２のプレート２には、図２及び図１５に示すように、第２のプレート２の平坦面から第１のプレート１の側に向かって突出するように、長手形状の第２の摺動部材２１及び長手形状の第２’の摺動部材２２が一体的に設けられている。
第２の摺動部材２１の溝部の開口部と第２’の摺動部材２２の溝部の開口部とは、互いに内方に臨むように離間すると共に、第２の摺動部材２１及び第２’の摺動部材２２は、長手方向が平行になるように第２のプレート２に一体的に設けられている。
第２の摺動部材２１の溝部及び第２’の摺動部材２２の溝部の長手方向を横断した断面形状は、例えば、半円形状となっている（図１６参照）。
また、第２のプレート２には、第２のプレート２の第２の摺動部材２１の溝部及び第２’の摺動部材２２の溝部が取り付けられた平坦面と反対側の平坦面から突出するように、言い換えれば、第３のプレート３に向かって、長手形状の第２”の摺動部材２３の溝部及び長手形状の第２”’の摺動部材２４の溝部が第２のプレート２に一体的に設けられている。
第２”の摺動部材２３の溝部の開口部と第２”’の摺動部材２４の溝部の開口部とは、互いに外方に臨むように離間すると共に、第２”の摺動部材２３及び第２”’の摺動部材２４は、長手方向が平行になると共に、第２の摺動部材２１及び第２’の摺動部材２２に直交するように第２のプレート２に一体的に設けられている。
【００１４】
４１は第１の転動体で、例えば、球形状をなし、第１の転動体４１は第１の摺動部材１１の溝部の開口部と第２の摺動部材２１の溝部の開口部とが対向した第１の摺動部材１１の溝部と第２の摺動部材２１の溝部の間に、複数設けられ、摺動する際の摩擦の低減化を図っている。その際、隣接する第１の転動体４１と第１の転動体４１との間隔を保持する第１の転動体４１の直径よりやや大きい径を有する複数の円形の開口部を備えた保持器（リテイナー）４１’を第１の摺動部材１１の溝部の開口部と第２の摺動部材２１の溝部の開口部との間に介在させている。上記円形の開口部毎に第１の転動体４１が位置するようになっている。
また、５１は第１のストッパーで、第１のストッパー５１は、図１及び図３に示すように、第１の摺動部材１１の一方の端面に設けられ、第１の転動体４１が第１の摺動部材１１の一方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２及び図３参照）。
また、５２は第２のストッパーで、第２のストッパー５２は、上述した第１のストッパー５１と同様、図２に示すように、第１の摺動部材１１の他方の端面に設けられ、第１の転動体４１が第１の摺動部材１１の他方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２参照）。
また、５３は第３のストッパーで、第３のストッパー５３は、図１及び図３に示すように、第２の摺動部材２１の一方の端面に設けられ、第１の転動体４１が第２の摺動部材２１の一方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２及び図３参照）。
また、５４は第４のストッパーで、第４のストッパー５４は、上述した第３のストッパー５３と同様、図２に示すように、第２の摺動部材２１の他方の端面に設けられ、第１の転動体４１が第２の摺動部材２１の他方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２参照）。
【００１５】
６１は第２の転動体で、例えば、球形状をなし、第２の転動体６１は第２’の摺動部材２２の溝部の開口部と第１’の摺動部材１２の溝部の開口部とが対向した第２’の摺動部材２２の溝部２２と第１’の摺動部材１２の溝部の間に、複数設けられ、摺動する際の摩擦の低減化を図っている。その際、隣接する第２の転動体６１と第２の転動体６１との間隔を保持する第２の転動体６１の直径よりやや大きい径を有する複数の円形の開口部を備えた保持器（リテイナー）６１’を第２’の摺動部材２２の開口部と第１’の摺動部材１２の開口部との間に介在させている。上記円形の開口部毎に第２の転動体６１が位置するようになっている。
また、７１は第５のストッパーで、第５のストッパー７１は、図１及び図３に示すように、第１’の摺動部材１２の一方の端面に設けられ、第２の転動体６１が第１’の摺動部材１２の一方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２及び図３参照）。
また、７２は第６のストッパーで、第６のストッパー７２は、上述した第５のストッパー７１と同様、図２に示すように、第１’の摺動部材１２の他方の端面に設けられ、第２の転動体６１が第１’の摺動部材１２の他方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２参照）。
また、７３は第７のストッパーで、第７のストッパー７３は、図１及び図３に示すように、第２’の摺動部材２２の一方の端面に設けられ、第２の転動体６１が第２’の摺動部材２２の一方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２及び図３参照）。
また、７４は第８のストッパーで、第８のストッパー７４は、上述した第７のストッパー７３と同様、図２に示すように、第２’の摺動部材２２の他方の端面に設けられ、第２の転動体６１が第２’の摺動部材２２の他方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２参照）。
【００１６】
第３のプレート３には、図２及び図１８に示すように、第３のプレート３の平坦面から第２のプレート２の側に向かって突出するように、長手形状の第３の摺動部材３１及び長手形状の第３’の摺動部材３２が、第３のプレート３に一体的に設けられている。第３の摺動部材３１の溝部の開口部と第３’の摺動部材３２の溝部の開口部は互いに内方に臨むように離間すると共に、第３の摺動部材３１及び第３’の摺動部材３２の長手方向が平行になるように第３のプレート３に一体的に設けられている。第３の摺動部材３１及び第３’の摺動部材３２の長手方向を横断した断面形状は、例えば、半円形状となっている（図１８参照）。
【００１７】
８１は第３の転動体で、例えば、球形状をなし、第３の転動体８１は第３の摺動部材３１の溝部の開口部と第２”の摺動部材２３の溝部の開口部とが対向した第３の摺動部材３１と第２”の摺動部材２３の間に、複数設けられ、摺動する際の摩擦の低減化を図っている。その際、隣接する第３の転動体８１と第３の転動体８１との間隔を保持する第３の転動体８１の直径よりやや大きい径を有する複数の円形の開口部を備えた保持器８１’を第３の摺動部材３１の溝部の開口部と第２”の摺動部材２３の溝部の開口部との間に介在させている。上記円形の開口部毎に第３の転動体８１が位置するようになっている。
また、９１は第９のストッパーで、第９のストッパー９１は、図１及び図６に示すように、第２”の摺動部材２３の一方の端面に設けられ、第３の転動体８１が第２”の摺動部材２３の一方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２及び図６参照）。
また、９２は第１０のストッパーで、第１０のストッパー９２は、上述した第９のストッパー９１と同様、図２に示すように、第２”の摺動部材２３の他方の端面に設けられ、第３の転動体８１が第２”の摺動部材２３の他方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２参照）。
また、９３は第１１のストッパーで、第１１のストッパー９３は、図１及び図６に示すように、第３の摺動部材３１の一方の端面に設けられ、第３の転動体８１が第３の摺動部材３１の一方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２及び図６参照）。
また、９４は第１２のストッパーで、第１２のストッパー９４は、上述した第１１のストッパー９３と同様、図２に示すように、第３の摺動部材３１の他方の端面に設けられ、第３の転動体８１が第３の摺動部材３１の他方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２参照）。
【００１８】
１０１は第４の転動体で、例えば、球形状をなし、第４の転動体１０１は第３’の摺動部材３２の溝部の開口部と第２”’の摺動部材２４の溝部の開口部とが対向した第３’の摺動部材３２と第２”’の摺動部材２４の間に、複数設けられ、摺動する際の摩擦の低減化を図っている。その際、隣接する第４の転動体１０１と第４の転動体１０１との間隔を保持する第４の転動体１０１の直径よりやや大きい径を有する複数の円形の開口部を備えた保持器１０１’（リテイナー）を第３’の摺動部材３２の溝部の開口部と第２”’の摺動部材２４の溝部の開口部との間に介在させている。上記円形の開口部毎に第４の転動体１０１が位置するようになっている。
また、１１１は第１３のストッパーで、第１３のストッパー１１１は、図１及び図６に示すように、第２”’の摺動部材２４の一方の端面に設けられ、第４の転動体１０１が第２”’の摺動部材２４の一方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２及び図６参照）。
また、１１２は第１４のストッパーで、第１４のストッパー１１２は、上述した第１３のストッパー１１１と同様、図２に示すように、第２”’の摺動部材２４の他方の端面に設けられ、第４の転動体１０１が第２”’の摺動部材２４の他方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２参照）。
また、１１３は第１５のストッパーで、第１５のストッパー１１３は、図１及び図６に示すように、第３’の摺動部材３２の一方の端面に設けられ、第４の転動体１０１が第３’の摺動部材３２の一方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２及び図６参照）。
また、１１４は第１６のストッパーで、第１６のストッパー１１４は、上述した第１５のストッパー１１３と同様、図２に示すように、第３’の摺動部材３２の他方の端面に設けられ、第４の転動体１０１が第３’の摺動部材３２の他方の端面よりの離脱を防止するもので、例えば、雄ねじの頭部で形成することができる（図２参照）。
【００１９】
従って、第２のプレート２を図示しない進退手段を動作させることにより、図９及び図１０に示すように、第２のプレート２を図１に示すＶＩＥＷ１方向[図９及び図１０（ａ）のＸ方向]へと移動させることができ、また、第３のプレート３を図示しない進退手段を動作させることにより、図１１及び図１２に示すように、第３のプレート３を図１に示すＶＩＥＷ２方向[図１１及び図１２のＹ方向]へと移動させることができる。
【００２０】
なお、上述した実施例においては、第１の摺動部材１１と第２の摺動部材２１との間に球形状の第１の転動体６１、第１’の摺動部材１２と第２’の摺動部材２２との間に球形状の第２の転動体４１、第２”の摺動部材２３と第３の摺動部材３１との間に球形状の第３の転動体８１、第２”’の摺動部材２４と第３’の摺動部材３２との間に球形状の第４の転動体１０１、をそれぞ介在させたが、球形状の転動体の代わりに、円筒ころ（図示しないが、例えば、特開２００３−１７６８２０号公報参照）の転動体を用いても良い。
【００２１】
また、上述した実施例においては、第１の摺動部材１１と第２の摺動部材２１との間に球体の転動体６１、第１’の摺動部材１２と第２’の摺動部材２２との間に球体の転動体４１、第２”の摺動部材２３と第３の摺動部材３１との間に球体の転動体８１、第２”’の摺動部材２４と第３’の摺動部材３２との間に球体の転動体１０１、をそれぞ介在させたが、転動体６１、転動体４１、
転動体８１、転動体１０１を使用せず、第１の摺動部材１１と第２の摺動部材２１、第１’の摺動部材１２と第２’の摺動部材２２、第２”の摺動部材２３と第３の摺動部材３１、第２”’の摺動部材２４と第３’の摺動部材３２とが面接触するようにしても良い。面接触としては、例えば、図示しないが、面接触する一方の摺動部材の長手方向を横断する断面形状が凸形状で、面接触する他方の摺動部材の長手方向を横断する断面形状が凹形状の組み合わせ、面接触する一方の摺動部材の長手方向を横断する断面形状がＶ字の凸形状で、面接触する他方の摺動部材の長手方向を横断する断面形状がＶ字の凹形状の組み合わせ、面接触する一方の摺動部材の長手方向を横断する断面形状が「あり溝形状」で、面接触する他方の摺動部材の長手方向を横断する断面形状が「あり溝形状」に係合して脱落しない形状の組み合わせでも良い。
【００２２】
なお、上述した実施例の第１の摺動部材１１（第１’の摺動部材１２）、第２の摺動部材２１（第２’の摺動部材２２、第２”の摺動部材２３、第２”’の摺動部材２４）、第３の摺動部材３１（第３’の摺動部材３２）のストッパーとしては、図示しないが、プレートにピンを立てて機械的に移動を阻止しても良いし、又、第１の摺動部材１１（第１’の摺動部材１２）、第２の摺動部材２１（第２’の摺動部材２２、第２”の摺動部材２３、第２”’の摺動部材２４）、第３の摺動部材３１（第３’の摺動部材３２）の移動を検知して、電気的に移動を阻止しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、本発明の一実施例のＸＹステージの概略的斜視図である。
【図２】図２は、図１のＸＹステージを分解して示す概略的分解斜視図である。
【図３】図３は、図１のＶＩＥ１矢印方向から見た概略的図である。
【図４】図４は、図３の４−４線による概略的断面図である。
【図５】図５は、図３の５−５線による概略的断面図である。
【図６】図６は、図１のＶＩＥ２矢印方向から見た概略的図である。
【図７】図７は、図６の７−７線による概略的断面図である。
【図８】図８は、図６の８−８線による概略的断面図である。
【図９】図９は、第２プレートの動作説明図である。
【図１０】図１０（ａ）は、図９の第２プレートがＸ方向へ移動した状態の動作説明図であり、（ｂ）は、図１０の一部を拡大した概略的一部拡大図である。
【図１１】図１１は、第３プレートの動作説明図である。
【図１２】図１２は、図１１の第３プレートがＹ方向へ移動した状態の動作説明図である。
【図１３】図１３は、図１の第１のプレートの概略的平面図である。
【図１４】図１４は、図１３の１４−１４線による概略的断面図である。
【図１５】図１５は、図１の第２のプレートの概略的平面図である。
【図１６】図１６は、図１５の１６−１６線による概略的断面図である。
【図１７】図１７は、図１の第３のプレートの概略的平面図である。
【図１８】図１８は、図１７の１８−１８線による概略的断面図である。
【符号の説明】
【００２４】
Ａ    ＸＹステージ
１    第１のプレート
２    第２のプレート
３    第３のプレート
２１    第２の摺動部材
２２    第２’の摺動部材
２３    第２”の摺動部材
２４    第２”’の摺動部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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