(57)【要約】      （修正有）【課題】ボウル内における被供給物の材質や形状にかかわらず、被供給物を安定して供給することができる振動ボウルフィーダを提供する。【解決手段】被供給物を溜めるためのボウル１０と、ボウルの側部に設けられた排出口１２と、ボウルの底部から排出口に到るように上り勾配で延びる、被供給物を搬送する搬送路１１と、搬送路を被供給物が上昇するようボウルを加振する加振器２０と、を有し、加振器がボウルに加振力を与えることにより、ボウル内に溜められた被供給物が搬送路上を上昇し、排出口からボウルの外へと排出される振動ボウルフィーダであって、排出口を開閉する開閉装置を備えるようにした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被供給物を溜めるためのボウルと、
該ボウルの側部に設けられた排出口と、
前記ボウルの底部から前記排出口に到るように上り勾配で延びる、前記被供給物を搬送する搬送路と、
該搬送路を前記被供給物が上昇するよう前記ボウルを加振する加振器と、を有し、
前記加振器が前記ボウルに加振力を与えることにより、前記ボウル内に溜められた前記被供給物が前記搬送路上を上昇し、前記排出口から前記ボウルの外へと排出される振動ボウルフィーダであって、
前記排出口を開閉する開閉装置を備えた、振動ボウルフィーダ。
【請求項２】
前記開閉装置は、前記排出口を開閉可能な蓋部材と、前記蓋部材が開閉するよう該蓋部材を駆動する駆動装置と、を備えた、請求項１に記載の振動ボウルフィーダ。
【請求項３】
前記蓋部材が前記排出口に対し非接触に配設されている、請求項２に記載の振動ボウルフィーダ。
【請求項４】
前記排出口と前記蓋部材との間に緩衝部材が配設されている、請求項３に記載の振動ボウルフィーダ。
【請求項５】
制御装置を有し、該制御装置は、前記ボウル内の被供給物の上昇が安定するまで前記排出口を閉じるよう前記開閉装置を制御し、前記ボウル内の被供給物の上昇が安定した後に前記排出口を開くよう前記開閉装置を制御する、請求項１に記載の振動ボウルフィーダ。
【請求項６】
前記制御装置は、前記ボウルへの加振開始から０．１秒以上１０秒以下の範囲のうちのいずれかの時間が経過した後に前記排出口を開くよう前記開閉装置を制御する、請求項５に記載の振動ボウルフィーダ。
【請求項７】
前記ボウルの開口を覆うように、被供給物の飛散を防止可能な部材が配置されている、請求項１乃至６のいずれかに記載の振動ボウルフィーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動ボウルフィーダに関し、特に、被供給物の供給を開始／停止する時期を制御可能な振動ボウルフィーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品、材料等（以下、「被供給物」という）を供給する装置として、被供給物を溜めるボウルと、該ボウルに加振力を与える加振器とを有し、該加振器が前記ボウルに加振力を与えることによって、前記被供給物を加工、処理等のために供給する振動ボウルフィーダが知られている。このような振動ボウルフィーダでは、図５に示すように、ボウルへの加振を開始してからボウル内における被供給物の動きが安定するまで、所定の立ち上がり時間を要する（暖気運転）。しかし、ボウルへの加振開始以降、排出口は開かれたままであるので、ホッパーにより被供給物をボウル内に補給した後、被供給物のボウル内での動きが安定するまでに、排出口から被供給物の排出が行われていた。
【０００３】
また、加振器によるボウルへの加振を停止しても、ボウルはしばらくの期間、振動している。そうすると、この期間においては、少量の被供給物がボウルの排出口から排出されてしまう（図５における立下時間の存在）。
【０００４】
さらに、被供給物の材質や形状によって排出口から排出開始されるまでの時間が異なるため、被供給物の供給量が安定しなかった。そこで、被供給物の材質や形状にかかわらず、被供給物を安定して供給することのできる振動ボウルフィーダが望まれている。
【０００５】
ここで、従来においては、作業終了時にボウル内に残る被供給物を系外へ排出させる非定常搬送路への排出ゲートを設ける振動フィーダが示されている（特許文献１参照）。このような振動フィーダによると、作業終了時や被供給物の切り替え時などの非定常状態においては、被供給物を非定常搬送路へ導くと共に、定常状態においては被供給物の流量を調節可能である。
【特許文献１】特開平１０−３１０２２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の振動フィーダは、排出ゲートを手動で調節しなければならない。したがって、上記振動フィーダを真空槽内で用いる場合においては、真空槽の真空状態を保たなければならないので、手動で排出ゲートの調節をすることができない。したがって、被供給物の材質や形状によっては、被供給物の供給量が不安定になるという問題を有していた。
【０００７】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、被供給物の材質や形状にかかわらず、被供給物を安定して供給することができる振動ボウルフィーダを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、鋭意検討した結果、以下のことを見出した。
【０００９】
すなわち、従来の振動ボウルフィーダを真空槽内において用いる場合には、ボウルの排出口が常に開放されているため、暖気運転を行うと、被供給物が無駄に排出されてしまう。
【００１０】
また、バッチごとに被供給物を供給する場合には、振動ボウルフィーダを間欠運転させなければならない。この場合、ボウルの振動と停止とを繰り返すことにより振動特性が変化するため、被供給物を安定して供給することができない。
【００１１】
そこで、上記課題を解決するために、本発明の振動ボウルフィーダは、被供給物を溜めるためのボウルと、該ボウルの側部に設けられた排出口と、前記ボウルの底部から前記排出口に到るように上り勾配で延びる、前記被供給物を搬送する搬送路と、該搬送路を前記被供給物が上昇するよう前記ボウルを加振する加振器と、を有し、前記加振器が前記ボウルに加振力を与えることにより、前記ボウル内に溜められた前記被供給物が前記搬送路上を上昇し、前記排出口から前記ボウルの外へと排出される振動ボウルフィーダであって、前記排出口を開閉する開閉装置を備えている。
【００１２】
このような構成とすると、搬送路における被供給物の上昇が不安定な期間（振動ボウルフィーダを起動してしばらくの期間）は、開閉装置が排出口を閉じることができる。したがって、排出口から被供給物が排出されない。一方、搬送路における被供給物の上昇が安定すると、開閉装置が排出口を開くことができる。したがって、排出口から被供給物が安定して排出される。
【００１３】
また、ボウルを振動させた状態のまま開閉装置が排出口を閉じることにより、被供給物の排出を停止することができるので、振動特性の変化が抑制され、被供給物を安定して供給することができる。
【００１４】
前記開閉装置は、前記排出口を開閉可能な蓋部材と、前記蓋部材が開閉するよう該蓋部材を駆動する駆動装置と、を備えていてもよい。
【００１５】
前記蓋部材が前記排出口に対し非接触に配設されていてもよい。
【００１６】
このような構成とすると、蓋部材が排出口と接触することによってボウルの振動が不安定になることが防止される。
【００１７】
前記排出口と前記蓋部材との間に緩衝部材が配設されていてもよい。
【００１８】
このような構成とすると、前記排出口と前記開閉装置とが直接的に衝突することがなく、排出口や蓋部材の損傷が防止される。
【００１９】
本発明の振動ボウルフィーダは、制御装置を有し、該制御装置は、前記ボウル内の被供給物の上昇が安定するまで前記排出口を閉じるよう前記開閉装置を制御し、前記ボウル内の被供給物の上昇が安定した後に前記排出口を開くよう前記開閉装置を制御してもよい。
【００２０】
このような構成とすると、搬送路における被供給物の上昇が安定してから排出口を開くので、排出口から被供給物が安定して排出される。
【００２１】
前記制御装置は、前記ボウルへの加振開始から０．１秒以上１０秒以下の範囲のうちのいずれかの時間が経過した後に前記排出口を開くよう前記開閉装置を制御してもよい。
【００２２】
ここで、上記の時間は、供給される被供給物の材質や形状などによって異なるが、この時間が経過すると、被供給物の材質や形状にかかわらず、搬送路における被供給物の上昇が安定すると考えられる。その後、制御装置が排出口を開くよう開閉装置を制御すると、排出口から被供給物が安定して排出される。
【００２３】
前記ボウルの開口を覆うように、被供給物の飛散を防止可能な部材が配置されていてもよい。
【００２４】
このような構成とすると、例えば被供給物の供給後にボウル内に残存する被供給物を排出させるためボウルを共振点で振動させる場合においても、ボウル内部の被供給物がボウル外部に飛び散ることがない。
【発明の効果】
【００２５】
本発明は上記のように構成され、振動ボウルフィーダにおいて、被供給物の材質や形状にかかわらず、被供給物を安定して供給することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２７】
（実施形態）
図１は、本発明の実施形態に係る振動ボウルフィーダの構成の一例を示すブロック図である。図２は、本実施形態の振動ボウルフィーダにおいて、蓋部材が排出口を遮断した状態を示す図であって、（ａ）はフィーダ本体の平面図、（ｂ）はフィーダ本体の正面図である。図３は、本実施形態の振動ボウルフィーダにおいて、蓋部材が排出口を開放した状態を示す正面図である。ここで、図２（ｂ）及び図３においては、理解を容易にするため、ボウル１０をIIＢ−IIＢ線に沿った断面図で描いている。以下、図１乃至図３を参照しながら、本実施形態の振動ボウルフィーダについて説明する。なお、図２及び図３においては、本実施形態の振動ボウルフィーダ１００を成膜装置の真空槽９０内において用いる場合について説明する。
【００２８】
＜一般的構成＞
図１乃至図３に示すように、本実施形態の振動ボウルフィーダ１００は、ボウル１０を備えている。ボウル１０は、内面が上方に向かって拡径する容器であり、本実施形態では、逆円錐台の全体形状を有する容器である。ボウル１０の側部１０ｂには、排出口１２が形成されている。この排出口１２からボウル１０内の被供給物Ｓが排出され、この排出量が被供給物Ｓの供給量となる。排出口１２には、シュート１３が接続されている。シュート１３は、排出口１２から排出された被供給物Ｓを加工、処理等する領域に供給する。ボウル１０の内側の略中央部には、ボウル１０を後述する加振器２０に固定する固定具（図示せず）を通すための貫通孔１８が設けられている（特に、図２参照）。そして、ボウル１０が加振器２０の上に載置され、例えば、貫通孔１８にボルト（図示せず）が挿通され、このボルトを締め付けることによってボウル１０が加振器２０に取り付けられる。
【００２９】
ボウル１０には、図２（ａ）に示すように、その内面に平面視においてらせん状の段部（以下、らせん状段部１１という。なお、以下においては、搬送路１１と呼ぶ場合もある。）が設けられている。らせん状段部１１は、段面１１ａと段差面１１ｂとで構成されている。段面１１ａは、ボウル１０の外側に向かって下がるように傾斜している。搬送路１１は、ボウル１０の底部１０ａから排出口１２に至るように上り勾配で延びるように形成されている。搬送路１１の段面１１ａには、その途中に、切欠部が設けられている。本実施形態の振動ボウルフィーダ１００においては、切欠部として、搬送路１１の下端から上端に向かう順番に、第一切欠部１５ａと、第二切欠部１５ｂと、第三切欠部１５ｃとが搬送路１１の段面１１ａに形成されている。各切欠部は、段面１１ａの幅方向における片側（ボウル１０の内側）に形成されている。各切欠部は、一定の傾斜を付けるように形成されている。各切欠部は、段面１１ａにおいて被供給物が通過できる幅を残すように形成されている（特に、図２（ａ）参照）。第一切欠部１５ａ、第二切欠部１５ｂのそれぞれは、搬送路１１の適宜の位置に形成され、本実施形態では、ボウル１０の平面視において、排出口１２が設けられた搬送路１１の部分と対向する搬送路１１の部分に形成されている。被供給物Ｓは、後述するように、各切欠部によって、上側の搬送路１１の段差面１１ｂに沿って整列される。第三切欠部１５ｃは、排出口１２の手前の搬送路１１に設けられている。排出口１２は、ボウル１０の上端部と搬送路１１の外側とを切り欠くように形成されている。排出口１２は、ボウル１０の外側に向かって一定の傾斜が付されるように搬送路１１を切り欠いて形成されている。排出口１２は、第三切欠部１５ｃとその外側の段差面１１ｂとの間における被供給物Ｓが通過できるように形成された幅よりも、搬送路１１の幅方向において長くなるように形成されている。被供給物Ｓは、第三切欠部１５ｃと該第三切欠部１５ｃの外側の段差面１１ｂとの間を通過し、搬送路１１における排出口１２が形成された部分の手前にまで到達した後、排出口１２から落下し、ボウル１０から排出される。本実施形態の振動ボウルフィーダ１００においては、切欠部が計３箇所に設けられているが、切欠部の数はこれに限定されない。
【００３０】
ボウル１０の上方には、ホッパー３０が配設されている。ホッパー３０には、被供給物Ｓが貯留されている。ホッパー３０には、ホッパー駆動装置４０を介して、後述する制御装置６０が接続されている。
【００３１】
加振器２０は、ボウル１０の下に配設されている。加振器２０は、例えば、電磁石と複数個の板バネとにより構成される。そして、電磁石のオン及びオフにより発生する駆動力を、板バネを利用して増幅して、加振力を発生させる。なお、電磁石にかえて圧電素子を用いてもよい。この加振器２０の加振力により、ボウル１０が振動させられ、ボウル１０内の被供給物Ｓが搬送路１１を上る（上昇する）。被供給物Ｓの上昇の過程において、搬送路１１（段面１１ａ）の幅いっぱいに広がった被供給物Ｓは、各切欠部を通じて下段に滑り落ちる。このようにして、被供給物Ｓが搬送路１１を上昇するにつれ、上側の搬送路１１の段差面１１ｂに沿って整列される。このように整列された被供給物Ｓが、搬送路１１の排出口１２の手前まで上昇し、そこから順次、排出口１２から落下する。このようにして、被供給物Ｓが排出口１２から排出される。
【００３２】
加振器２０は、振動ボウルフィーダ用ドライバ５０（以下、ドライバ５０という）を介して、後述する制御装置６０に接続されている。
【００３３】
制御装置６０は、演算部（図示せず）と記憶部（図示せず）とを有している。演算部は、例えば、ＣＰＵで構成される。記憶部は、例えば、メモリで構成される。記憶部には、例えば、振動ボウルフィーダ１００の動作を制御する制御プログラムが格納される。また、記憶部には、被供給物Ｓの材質や形状ごとの搬送路における上昇特性のデータが格納される。制御装置６０は、単独の制御装置だけでなく、複数の制御装置が協働して振動ボウルフィーダ１００の動作を制御する制御装置群をも意味する。よって、制御装置６０は、単独の制御装置で構成される必要はなく、複数の制御装置が分散配置されていて、それらが協働して振動ボウルフィーダ１００の動作を制御するように構成されていてもよい。ここで、振動ボウルフィーダ１００の制御対象としては、加振器２０に内蔵された電磁石コイルに加える振動用の信号の周波数や振幅、後述する開閉装置７０に対する駆動時期が挙げられる。制御装置６０は、ホッパー駆動装置４０を介して、ホッパー３０内に貯留された被供給物Ｓをボウル１０へと補給する。また、制御装置６０は、加振器２０に対して加振指令を送り、所定の加振力を発生させる。この加振力により、ボウル１０が振動させられる。
【００３４】
＜特徴的構成＞
図２及び図３に示すように、ボウル１０とシュート１３との間には、開閉装置７０が配設されている。開閉装置７０は蓋部材７１を有している。蓋部材７１は、台形台を切り欠いた全体形状であり、この切り欠いた部分が溝を形成する。溝は、外方下向きに傾斜するよう形成されている。蓋部材７１の底は、ボウル１０に近接する部分が厚肉に形成されている（以下、厚肉部７１ａという）。蓋部材７１は、排出口１２と所定の間隔をあけて配設されている。ここで、所定の間隔とは、被供給物Ｓの大きさよりも狭く、かつ、ボウル１０の半径方向への振幅よりも広いような間隔である。すなわち、蓋部材７１は、排出口１２に対し、非接触に配設されている。蓋部材７１は、摺動軸（駆動装置）７２の上端に取り付けられている。摺動軸７２は、チャンバ壁８０に設けられた貫通穴８０ａに挿通され、チャンバ壁８０を貫通するよう配設されている。また、摺動軸７２は、軸受７３に気密的に挿通されていて、軸受７３は、チャンバ壁８０に気密的に固定されている。これにより、摺動軸７２は、軸受７３によって、チャンバ壁８０に対して、気密的に摺動可能になっている。摺動軸７２の下端は、シリンダ（駆動装置）７４に接続されている。ここで、シリンダ７４は、真空槽９０の外気側に保持部材７５を介して配設されている。シリンダ７４は、制御装置６０に接続されている。シリンダ７４は、制御装置６０からの指令により、摺動軸７２を上下方向に摺動させ、蓋部材７１を上昇／下降させる。蓋部材７１の上昇位置では、図２（ｂ）に示すように、蓋部材７１の厚肉部７１ａが排出口１２を遮断する。この場合には、排出口１２から被供給物Ｓは排出されない。一方、蓋部材７１の下降位置においては、図３に示すように、蓋部材７１の溝の斜面が排出口１２の斜面の延長線上となり、蓋部材７１の底がシュート１３に当接する。この場合には、排出口１２から排出された被供給物Ｓは、蓋部材７１の溝の斜面を滑り落ち、シュート１３を通って所定の供給位置に供給される。このような構成とすると、蓋部材７１とシュート１３との接続箇所において被供給物Ｓがこぼれるのを防止することができる。
【００３５】
なお、蓋部材７１と、排出口１２との間には緩衝部材（図示せず）が設けられていても良い。これにより、たとえ蓋部材７１と排出口１２とが接触するような場合でも、その損傷を防止することができる。ここで、緩衝部材としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン等の低摩耗かつ柔軟な材料を用いることができる。
【００３６】
また、本実施形態においては、蓋部材７１とシュート１３とは別部材として形成されているが、蓋部材７１とシュート１３とは、一体に形成されていても良い。このようにすると、構成部品の点数が減るので、振動ボウルフィーダ１００の構成が簡易になる。
【００３７】
＜動作＞
図４は、本実施形態の振動ボウルフィーダにおける被供給物Ｓの供給量の経時変化を示すグラフである。
【００３８】
最初に、開閉装置７０の蓋部材７１は、排出口１２を閉じている。この状態で、ホッパー３０内に貯留された被供給物Ｓがボウル１０内に補給され、ボウル１０内が被供給物Ｓで満たされる。次に、制御装置６０が、加振器２０に対して加振指令を行う。そうすると、加振器２０がボウル１０を振動させる。そして、ボウル１０に設けられた搬送路１１を被供給物Ｓが上昇する。ここで、ボウル１０が振動を開始してからしばらくの期間は、搬送路１１における被供給物Ｓの上昇は不安定である（立上時間の存在）。もし、蓋部材７１を設けず、排出口１２が開放されたままであれば、被供給物Ｓの供給量は不安定（図４に示す、加振初期における破線部分の供給量）になる。しかし、本実施形態の振動ボウルフィーダは、搬送路１１における被供給物Ｓの上昇が安定するまでは、蓋部材７１が排出口１２を閉じている。したがって、被供給物Ｓの通過が蓋部材７１により遮断され、排出口１２から被供給物Ｓは排出されない。
【００３９】
次に、加振器２０によるボウル１０の加振開始から所定の時間が経過した後、制御装置６０が開閉装置７０を動作させ、蓋部材７１が排出口１２を開く。そうすると、被供給物Ｓは、排出口１２から排出され、シュート１３を介して、加工、処理等する領域に供給される。ここで、上記所定の時間とは、被供給物Ｓの材質や形状により異なるが、０．１秒以上１０秒以下の時間である。この時間は、被供給物Ｓの材質及び形状ごとにあらかじめ測定され、制御装置６０の記憶部に格納されている。この時間を経過すると、搬送路１０における被供給物Ｓの上昇は安定すると考えられる。
【００４０】
そして、所定の被供給物Ｓが供給された後、制御装置６０がシリンダ７４を動作させ、蓋部材７１が上昇することによって、排出口１２を閉じる。これにより、ボウル１０を振動させた状態のままで、被供給物Ｓの排出口１２からの排出が停止される。換言すると、ボウル１０の振動を停止させることなく、被供給物Ｓの排出口１２からの排出が停止される。
【００４１】
＜作用効果＞
本実施形態の振動ボウルフィーダ１００は、上記のような構成としたため、ボウル１０内における被供給物Ｓの上昇が安定していない場合には、開閉装置７０が排出口１２を閉じているので、排出口１２から被供給物Ｓが排出されない。一方、ボウル１０内における被供給物Ｓの上昇が安定した後に、開閉装置７０が排出口１２を開き、被供給物Ｓが排出される。よって、被供給物Ｓの材質や形状にかかわらず、排出口１２から安定して被供給物Ｓが排出される。
【００４２】
また、例えば、バッチ処理のように被供給物Ｓを間欠的に供給する必要がある場合でも、ボウル１０の振動を停止させることなく、被供給物Ｓの排出を停止することができる。したがって、バッチごとにボウル１０の振動を開始／停止させる必要がなくなるので、振動特性の変化が抑制され、被供給物Ｓが安定して供給される。
【００４３】
［変形例１］
上記実施形態においては、開閉装置７０の蓋部材７１は、駆動装置により上下方向に駆動されて排出口１２を開閉していたが、排出口１２に対して左右方向に駆動されて排出口を開閉してもよい。このような動作は、蓋部材７１と摺動軸７２とを公知のＬ字状リンク機構により連結することによって実現される。例えば、Ｌ字状のリンク部材を回動可能にその中央部において適所に取り付け、このリンク部材の一端を互いに遊嵌されたピンと穴とで摺動部材と連結し、リンク部材の他端を互いに遊嵌されたピンと穴とで蓋部材７１に連結すればよい。
【００４４】
［変形例２］
振動ボウルフィーダ１００において、不定形な被供給物Ｓを攪拌する場合や、複数の被供給物が結合した被供給物のかたまりを分離する場合、さらには、供給終了後にボウル内に残存する被供給物Ｓを排出させる場合には、共振点においてボウル１０を振動させることが好ましい。しかし、共振点においてボウル１０を振動させた場合には、被供給物Ｓがボウル１０の開口から飛び出すおそれがある。
【００４５】
そこで、本変形例の振動ボウルフィーダ１００においては、ボウル１０の開口を覆うようにして、被供給物の飛散を防止可能な部材（本実施形態においては、金網。図示せず。）が設けられている。ここで、金網の穴は、被供給物Ｓの大きさよりも若干大きめになるよう形成されている。このような構成とすると、ホッパー３０から補給された被供給物Ｓは金網を通ってボウル１０内へと落下するが、ボウル１０の開口から飛び出そうとする被供給物Ｓは金網と衝突してボウル１０内へと戻される。したがって、共振点においてボウル１０を振動させる場合においても、被供給物Ｓがボウル１０の開口から飛散することが防止される。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の振動ボウルフィーダは、被供給物の材質や形状にかかわらず、被供給物を安定して供給することができる振動ボウルフィーダとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態に係る振動ボウルフィーダの構成を示すブロック図である。
【図２】本実施形態の振動ボウルフィーダにおいて、蓋部材が排出口を遮断した状態を示す図であって、（ａ）はフィーダ本体の平面図、（ｂ）はフィーダ本体の正面図である。
【図３】本実施形態の振動ボウルフィーダにおいて、蓋部材が排出口を開放した状態を示す正面図である。
【図４】本実施形態の振動ボウルフィーダにおける被供給物の供給量の経時変化を示すグラフである。
【図５】従来の振動ボウルフィーダにおける被供給物の供給量の経時変化を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４８】
１０  ボウル
１０ａ  （ボウルの）底部
１０ｂ  （ボウルの）側部
１１  らせん状段部（搬送路）
１１ａ  段部
１１ｂ  段差部
１２  排出口
１３  シュート
１５ａ  第一切欠部
１５ｂ  第二切欠部
１５ｃ  第三切欠部
１８  貫通穴
２０  加振器
３０  ホッパー
４０  ホッパー駆動装置
５０  振動ボウルフィーダ用ドライバ（ドライバ）
６０  制御装置
７０  開閉装置
７１  蓋部材
７１ａ  肉厚部
７２  摺動軸
７３  軸受
７４  シリンダ
７５  保持部材
８０  チャンバ壁
８０ａ  貫通穴
９０  真空槽
１００  振動ボウルフィーダ
Ｓ  被供給物
【図１】
2007223738.tif 000003
【図２】
2007223738.tif 000004
【図３】
2007223738.tif 000005
【図４】
2007223738.tif 000006
【図５】
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