(57)【要約】【課題】  第１のケース部材と第２のケース部材とを接着してなるケース内に圧力検出素子を収納してなる圧力センサにおいて、１種類の接着剤で接着部のシール性の確保および接着強度の確保を両立しなくても済むようにする。【解決手段】  第１のケース部材２０と第２のケース部材３０とを接着してなり、測定圧力が導入されるようになっているケース１０と、ケース１０に収納され測定圧力の検出を行う圧力検出素子４０とを備える圧力センサ１００において、第１および第２のケース部材２０、３０の接着領域は、シール性を確保するシール用接着剤６１が配置される第１の接着領域７１と接着強度を確保する強度確保用接着剤６２が配置される第２の接着領域７２とにより構成されている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のケース部材（２０）と第２のケース部材（３０）とを接着してなり、測定圧力が導入されるようになっているケース（１０）と、
前記ケース（１０）に収納され前記測定圧力の検出を行う圧力検出部（４０）とを備える圧力センサにおいて、
前記第１および第２のケース部材（２０、３０）の接着領域は、シール性を確保するシール用接着剤（６１）が配置される第１の接着領域（７１）と接着強度を確保する強度確保用接着剤（６２）が配置される第２の接着領域（７２）とにより構成されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記第１の接着領域（７１）と第２の接着領域（７２）とは、前記ケース（１０）の内周側と外周側とに別れて平面的に配置されたものとなっていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記第１の接着領域（７１）および前記第２の接着領域（７２）のそれぞれにおいて、一方のケース部材（２０）の接着面に凹部（７１ａ、７２ａ）が形成され、他方のケース部材（３０）の接着面には、前記凹部（７１ａ、７２ａ）に挿入可能な凸部（７１ｂ、７２ｂ）が形成されており、
前記凹部（７１ａ、７２ａ）に、前記各接着領域（７１、７２）に用いられる接着剤（６１、６２）を介して前記凸部（７１ｂ、７２ｂ）が挿入されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
一方のケース部材（２０）の接着面に凹部（７１ａ）が形成され、他方のケース部材（３０）の接着面には、前記凹部（７１ａ）に挿入可能な凸部（７１ｂ）が形成されており、
前記第１の接着領域（７１）および前記第２の接着領域（７２）のどちらか一方が、前記凹部（７１ａ）の底部側に位置し、他方が前記凹部（７１ａ）の開口部側に位置するように、前記第１および第２の接着領域（７１、７２）は積層配置されたものとなっており、
前記凹部（７１ａ）には、前記第１および第２の接着剤（６１、６２）を介して前記凸部（７１ｂ）が挿入されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記凹部（７１ａ）が形成されている方のケース部材（２０）は、前記圧力検出部（４０）からの信号を取り出す金属製のターミナル（２２）がインサート成形されたものであり、
前記ターミナル（２２）は前記凹部（７１ａ）の底部に露出しており、
前記第１の接着領域（７１）が前記凹部（７１ａ）の底部側に位置し、前記シール用接着剤（６１）により、前記凹部（７１ａ）の底部に露出する前記ターミナル（２２）の部分が封止されていることを特徴とする請求項４に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１のケース部材と第２のケース部材とを接着してなるケース内に圧力検出部を収納してなる圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の圧力センサとしては、第１のケース部材と第２のケース部材とを接着してなり、測定圧力が導入されるようになっているケースと、このケースに収納され測定圧力の検出を行う圧力検出部とを備える温度センサ一体型圧力センサ装置（たとえば、特許文献１参照）が提案されている。
【０００３】
このような圧力センサでは、上記特許文献１にも記載されているように、第１のケース部材の開口部内に上記圧力検出部を設置し、第２のケース部材に圧力導入ポートを設け、第１のケース部材の開口縁部および第２のケース部材における圧力導入ポートの開口縁部とを一致させ、この一致させた部位を全周にわたってエポキシ樹脂などからなる接着剤により接着していた。
【特許文献１】特開２００４−１９８３９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来では、第１のケース部材と第２のケース部材との接着において、接着剤に要求される機能、すなわち、接着部のシール性の確保および接着強度の確保といった両機能を、１種類の接着剤により実現するようにしていた。
【０００５】
そのため、たとえば、両ケース部材の接着に適用可能な接着剤の種類が、大幅に限定されたり、上記両機能の確保が困難になるなどの問題が生じていた。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、第１のケース部材と第２のケース部材とを接着してなるケース内に圧力検出部を収納してなる圧力センサにおいて、１種類の接着剤で接着部のシール性の確保および接着強度の確保を両立しなくても済むようなケース接着部の構成を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明は、第１のケース部材（２０）と第２のケース部材（３０）とを接着してなるケース（１０）に圧力検出部（４０）を収納してなる圧力センサにおいて、第１および第２のケース部材（２０、３０）の接着領域は、シール性を確保するシール用接着剤（６１）が配置される第１の接着領域（７１）と接着強度を確保する強度確保用接着剤（６２）が配置される第２の接着領域（７２）とにより構成されていることを第１の特徴とする。
【０００８】
それによれば、両ケース部材（２０、３０）の接着領域を、シール性を確保するシール用接着剤（６１）が配置される第１の接着領域（７１）と接着強度を確保する強度確保用接着剤（６２）が配置される第２の接着領域（７２）とにより構成しているから、１種類の接着剤で接着部のシール性の確保および接着強度の確保を両立しなくても済むようなケース接着部の構成を提供することができる。
【０００９】
その結果、両ケース部材（２０、３０）の接着に適用される接着剤（６１、６２）の自由度が広くなったり、シール性および接着強度という両機能の確保を容易にすることが可能になる。
【００１０】
ここで、第１の接着領域（７１）と第２の接着領域（７２）とは、ケース（１０）の内周側と外周側とに別れて平面的に配置されたものにできる。
【００１１】
また、その接着剤（６１、６２）の配置形態としては、第１および第２の接着領域（７１、７１）において、一方のケース部材（２０）の凹部（７１ａ、７２ａ）を設け、他方のケース部材（３０）に凸部（７１ｂ、７２ｂ）を設け、凹部（７１ａ、７２ａ）内にて、接着剤（６１、６２）を介して凸部（７１ｂ、７２ｂ）が挿入されているものにできる。
【００１２】
また、一方のケース部材（２０）に凹部（７１ａ）を設け、他方のケース部材（３０）に凹部（７１ａ）に挿入可能な凸部（７１ｂ）を設けた場合、第１の接着領域（７１）および第２の接着領域（７２）のどちらか一方を、凹部（７１ａ）の底部側に位置させ、他方を凹部（７１ａ）の開口部側に位置するように、両接着領域（７１、８２）を積層配置したものとしてもよい。
【００１３】
そして、本発明は、このように両接着領域（７１、８２）を積層配置した構成において、凹部（７１ａ）が形成されている方のケース部材（２０）に、金属製のターミナル（２２）がインサート成形され、このターミナル（２２）が凹部（７１ａ）の底部に露出している場合、第１の接着領域（７１）が凹部（７１ａ）の底部側に位置し、シール用接着剤（６１）により、凹部（７１ａ）の底部に露出するターミナル（２２）の部分が封止されていることを第２の特徴とする。
【００１４】
それによれば、ケース部材（２０）とこれにインサート成形されたターミナル（２２）との隙間を、シール用接着剤（６１）のシール機能を活かして封止することができ、圧力漏れの防止が可能になる。
【００１５】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００１７】
（第１実施形態）
本発明の圧力センサを温度センサ一体型の圧力センサ装置に適用した例を示す。図１は、本発明の第１実施形態に係る温度センサ一体型圧力センサ装置１００の全体概略断面構成を示す図である。
【００１８】
限定するものではないが、この温度センサ一体型圧力センサ装置１００は、たとえば、自動車のインテークマニホールドに取り付けられ、インテークマニホールドの圧力および吸気温度の測定に用いられる吸気圧センサなどに適用することができる。
【００１９】
［構成等］
ケース１０は、圧力センサ装置１００の本体を区画するもので、第１のケース部材２０と第２のケース部材３０とを接着してなる。この接着構造の詳細は後述する。
【００２０】
第１のケース部材２０は、たとえば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やエポキシ樹脂等の樹脂材料を、金型を用いて型成形してなるものである。この第１のケース部材２０の下端面には、圧力検出素子４０を搭載するための開口部２１が形成されている。
【００２１】
また、第１のケース部材２０には、外部と接続される銅や４２アロイなどからなる複数本のターミナル２２がインサート成形により一体的に設けられている。一部のターミナル２２の一端部は、上記開口部２１内にて露出した状態となるように配置されている。
【００２２】
また、各ターミナル２２のうち第１のケース部材２０における右端部側の開口部２３において露出する端部は、図示しない外部機器（外部の配線部材等）に接続可能となっている。つまり、この第１のケース部材２０の右側端部分は、当該開口部２３に位置する各ターミナル２２の端部とともに、本センサ装置１００におけるコネクタ部として構成されている。
【００２３】
圧力検出素子４０は、測定圧力の検出を行う圧力検出部であり、具体的には、圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。この圧力検出素子４０は、たとえば、半導体よりなるセンサチップとこのセンサチップを保持するガラス台座とにより構成されている。
【００２４】
ここで、上記センサチップは、限定するものではないが、たとえば、シリコン半導体チップなどからなるピエゾ抵抗効果を利用した周知構成のもので、その上面に圧力を受けて歪むダイアフラムおよび拡散抵抗などにより形成されたブリッジ回路などを備えた構成となっている。
【００２５】
この圧力検出素子４０は、第１のケース部材２０の下端部側の開口部２１の底面と上記ガラス台座との間に、たとえばシリコーンゴム等の図示しない接着剤を介在させた状態でダイボンディングされている。
【００２６】
また、圧力検出素子４０の各入出力端子（図示せず）は、ターミナル２２の上記ボンディングパッドに対し金やアルミニウム等のボンディングワイヤ２４を介して電気的に接続されている。
【００２７】
そして、第１のケース部材２０の下端部側の開口部２１内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素系ゲルやフッ素系ゴムなどからなる保護部材２５が充填されている。この保護部材２５によって、ターミナル２２と第１のケース部材２０との界面、圧力検出素子４０およびボンディングワイヤ２４などが封止され、保護されている。
【００２８】
また、第２のケース部材３０は、第１のケース部材２０の下端部側の開口部２１を覆うように第１のケース部材２０に対して連結され、一体化し、本圧力センサ装置１００のケース１０を構成している。そして、この第１のケース部材２０と第２のケース部材３０との間において圧力検出室２６が形成されている。
【００２９】
第２のケース部材３０は、測定圧力が導入される圧力導入ポートとして構成されており、たとえば上記第１のケース部材２０と同様に、ＰＢＴ、ＰＰＳなどの耐熱性を有する樹脂材料からなり、これらの樹脂材料を金型を用いて型成形してなるものである。
【００３０】
この第２のケース部材３０は、第１のケース部材２０とは反対側の方向へ突出しており、その内部には突出先端から上記圧力検出室２６に通じる圧力導入孔３１が形成されている。
【００３１】
また、図１に示される例では、圧力導入孔３１が、仕切り板３２によって２分割されている。この仕切り板３２は、図中の白抜き矢印に示される圧力媒体の導入方向に沿って形成されている。
【００３２】
そして、仕切り板３２によって仕切られた圧力導入孔３１の一方は、圧力検出素子４０の受圧面まで圧力媒体を伝達するための圧力導入孔３１ａであり、他方は、その内部に温度検出素子５０とつながる配線部材としてのリード線５１が配置される温度検出素子配置孔３１ｂである。
【００３３】
なお、圧力導入孔３１ａおよび温度検出素子配置孔３１ｂは、仕切り板３２により、第２のケース部材３０の突出先端側では別々の孔になっているが、第２のケース部材３０の内部にて、ともに圧力検出室２６に合流し一体化している。この仕切り板３２は、第２のケース部材３０の形成時に一体成形される。
【００３４】
ここで、リード線５１は、金属製のワイヤなどからなるものであり、図１に示されるように、第１のケース部材２０から露出するターミナル２２の部分に対して溶接や半田などにより接続されている。
【００３５】
このリード線５１とターミナル２２との接続部５２は、図１に示されるように、当該接続部５２を測定環境から保護するために樹脂などからなるポッティング材５３により被覆されている。
【００３６】
また、温度検出素子配置孔３１ｂの内部において、リード線５１と温度検出素子配置孔３１ｂとの間には、樹脂などからなる緩衝部材５４が介在している。この緩衝部材５４は、温度検出素子４０とリード線２４の振動を抑制するために設けられている。
【００３７】
そして、リード線５１は、第１のケース部材２０側の接続部５２から温度検出素子配置孔３１ｂを介して第２のケース部材３０の先端部付近まで延設されており、圧力導入孔３１の先端部付近にて、このリード線５１と温度検出素子５０とが、電気的に接続されている。
【００３８】
ここで、温度検出素子５０は、抵抗の温度特性を有する通常のサーミスタ素子からなるもので、リード線５１と温度検出素子５０とは半田や溶接などにより電気的に接合されている。
【００３９】
また、第２のケース部材３０の外周部には、Ｏリング３３が設けられ、本センサ装置１００は、当該Ｏリング３３を介して図示されないセンサ取付部に対して気密に取り付け可能になっている。
【００４０】
ここにおいて、本実施形態の温度センサ一体型圧力センサ装置１００では、第２のケース部材３０と第１のケース部材２０とは、第２のケース部材３０の圧力導入孔３１における第１のケース部材２０側の開口縁部にて、接着剤６１、６２により一体化され、ケース１０を構成している。この接着部の構成について、図２、図３も参照して、より具体的に述べる。
【００４１】
図２は、上記図１中の第１のケース部材２０における接着面を示す概略平面図である。また、図３は、図１中の接着部の拡大図である。図２に示されるように、接着剤６１、６２は、両ケース部材２０、３０の全周に渡って設けられている。
【００４２】
本実施形態では、第１および第２のケース部材２０、３０の接着領域７１、７２は、シール性を確保するシール用接着剤６１が配置されている第１の接着領域７１と接着強度を確保する強度確保用接着剤６２が配置されている第２の接着領域７２とにより構成されている。
【００４３】
本実施形態では、第１の接着領域７１と第２の接着領域７２とは、ケース１０の内周側と外周側とに別れて平面的に配置されているが、本例では、図１、図２に示されるように、第１の接着領域７１がケース１０の内周側、第２の接着領域７２がケース１０の外周側に配置されている。
【００４４】
また、ここでは、第１の接着領域７１および第２の接着領域７２のそれぞれにおいて、第１のケース部材２０の接着面に凹部７１ａ、７２ａが形成され、これに相対する第２のケース部材３０の接着面には、凹部７１ａ、７２ａに挿入可能な凸部７１ｂ、７２ｂが形成されている。
【００４５】
そして、図３に示されるように、各接着領域７１、７２における凹部７１ａ、７２ａには、各接着領域７１、７２に用いられる接着剤６１、６２が注入されており、この接着剤６１、６２を介して、それぞれの凸部７１ｂ、７２ｂが、これに対応する凹部７１ａ、７２ａに挿入され固定されている。
【００４６】
ここで、第１の接着領域７１に配置されるシール用接着剤６１と、第２の接着領域７２に配置される強度確保用接着剤６２とでは、前者の方が気密性が高くシール性に優れており、後者の方が接着強度が大きいものである。
【００４７】
具体的に、シール用接着剤６１としては、フッ素系ゴム、シリコーン系ゴムなどのゴム系接着剤が採用され、強度確保用接着剤６２としては、エポキシ系樹脂などの接着剤が採用される。
【００４８】
また、両接着剤６１、６２ともに、たとえばエポキシ系樹脂とした場合でも、組成を変えることにより硬度の異なる接着剤とすれば、比較的軟らかい方をシール用接着剤６１、比較的硬い方を強度確保用接着剤６２として構成できる。
【００４９】
こうして、シール用接着剤６１は、主として、これら接着領域７１、７２の内部と外部とを遮断し、ケース１０内部に導入される圧力の漏れを防止するものであり、強度確保用接着剤６２は、主として、両ケース部材２０、３０の接着強度を確保して、これら両ケース部材２０、３０の分断を防止するものである。
【００５０】
さらに、シール用接着剤６１としては、上記したようなフッ素系ゴム、シリコーン系ゴムなどの接着剤とすることにより、耐薬品性、収縮性に優れる。本例のように、自動車の吸気圧センサとして適用される場合、たとえば、ケース１０内部に導入される測定媒体中には、ガソリン、軽油、オイル、排気凝縮水などの不純物が含まれる可能性があるが、上記ゴム系の接着剤は、これらの不純物に対して耐性に優れている。
【００５１】
また、本例とは逆に、第１の接着領域７１をケース１０の外周側、第２の接着領域７２をケース１０の内周側に配置してもよいが、本例では、ケース１０内部に上記不純物を含む測定媒体が導入される可能性があるため、内周側に耐薬品性にも優れたゴム系のシール用接着剤６１を配置している。
【００５２】
［製造方法等］
かかる温度センサ一体型圧力センサ装置１００の製造方法は、たとえば、次の通りである。ターミナル２２がインサート成形された第１のケース部材２０を用意する。
【００５３】
そして、圧力検出素子４０を第１のケース部材２０の上記開口部２１へ接着剤など介して搭載固定し、圧力検出素子４０とターミナル２２との間でワイヤボンディングを行い、これら両者４０、２２をボンディングワイヤ２４により結線する。その後、保護部材２５を第１のケース部材２０の上記開口部２１へ注入して充填し、これに熱硬化処理を行うことによって、保護部材２５を硬化させる。
【００５４】
次に、ターミナル２２とリード線５１と温度検出素子５０との三部材を溶接やはんだ付けなどにより接続する。また、ターミナル２２とリード線５１との接続部５２を、上記ポッティング材５３により被覆する。
【００５５】
そして、本例では、第１のケース部材２０の各接着領域７１、７２における凹部７１ａ、７２ａに、それぞれシール用接着剤６１、強度確保用接着剤６２を注入した後、第２のケース部材３０における各凸部７１ｂ、７２ｂを、対応する凹部７１ａ、７２ａに挿入し、両ケース部材２０、３０を組み付ける。
【００５６】
なお、このとき、リード線５１および温度検出素子５０を、第２のケース部材３０の温度検出素子配置孔３１ｂに挿入するようにして、両ケース部材２０、３０の組み付けを行う。
【００５７】
そして、各接着剤６１、６２について、それぞれ硬化させる。それにより、各接着剤６１、６２による接着が完了し、両ケース部材２０、３０が固定され、ケース１０ができあがる。
【００５８】
なお、両接着剤６１、６２ともに、たとえばエポキシ系樹脂とし、組成を変えることにより硬度の異なる接着剤とした場合、両接着剤６１、６２の硬化を同時に行うことができる。
【００５９】
次に、リード線５１と温度検出素子配置孔３１ｂとの間に、緩衝部材５４を注入、硬化させることにより配設する。こうして、図１に示される本実施形態の温度センサ一体型圧力センサ装置１００ができあがる。
【００６０】
そして、本センサ装置１００を上記した吸気圧センサに適用する場合には、たとえば自動車におけるインテークマニホールドと圧力導入孔３１とを連通させた状態とし、圧力検出素子４０によって吸気圧（負圧）を検出できるように自動車に取り付けられる。
【００６１】
それにより、図１に示される白抜き矢印の方向に圧力が印加されると、第２のケース部材３０の圧力導入孔３１ａを通して、ケース１０内の圧力検出素子４０の受圧面まで圧力が伝達される。
【００６２】
圧力検出素子４０は、この圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生し、当該電気信号はボンディングワイヤ２４からターミナル２２を介して外部へと出力される。
【００６３】
また、測定媒体の温度が当該測定媒体の流れに近い位置に配置された温度検出素子５０によって検出され、その検出信号は、リード線５１からターミナル２２を介して外部へと出力される。
【００６４】
［効果等］
ところで、本実施形態によれば、第１のケース部材２０と第２のケース部材３０とを接着してなり、測定圧力が導入されるようになっているケース１０と、ケース１０に収納され測定圧力の検出を行う圧力検出素子４０とを備える圧力センサ１００において、第１および第２のケース部材２０、３０の接着領域は、シール性を確保するシール用接着剤６１が配置される第１の接着領域７１と接着強度を確保する強度確保用接着剤６２が配置される第２の接着領域７２とにより構成されている。
【００６５】
それによれば、両ケース部材２０、３０の接着領域を、シール用接着剤６１が配置される第１の接着領域７１と強度確保用接着剤６２が配置される第２の接着領域７２とにより構成し、シール性の確保と接着強度の確保といった機能別に分けている。
【００６６】
そのため、１種類の接着剤で接着部のシール性の確保および接着強度の確保を両立しなくても済むようなケース接着部の構成を提供することができる。たとえば、従来では、耐薬品性に優れ且つ高弾性な接着機能を持つ特殊なエポキシ樹脂を採用していたが、本実施形態によれば、一般的なゴム系接着剤、エポキシ系接着剤などを用いて、接着領域７１、７２毎に配置すれば、シール性および接着強度の両者を確保できる。
【００６７】
こうして、本実施形態によれば、両ケース部材２０、３０の接着に適用される接着剤６１、６２の自由度が広くなったり、シール性および接着強度という両機能の確保を容易にすることが可能になる。
【００６８】
（第２実施形態）
図４は、本発明の第２実施形態にかかる温度センサ一体型圧力センサ装置の要部、すなわち接着部を示す概略断面図である。なお、本実施形態では、この接着部以外の部分は、上記実施形態と同様のものである。
【００６９】
上記実施形態では、第１の接着領域７１と第２の接着領域７２とは、ケース１０の内周側と外周側とに別れて平面的に配置されている（図１〜図３参照）、本実施形態では、図４に示されるように、両接着領域７１、７２は、第１のケース部材２０と第２のケース部材３０とが対向する方向に積層された形となっている。
【００７０】
この場合、上記図２、図３に示される各凹部７１ａ、７２ａのうちの片方のみ形成されているものとする。図４に示される例では、上記図２、図３においてケース１０の内周側の凹部７１ａが形成され、外周側の凹部７２ａは無い構成とする。また、この内周側の凹部７１ａに対応する凸部７１ｂも形成されていることはもちろんである。
【００７１】
つまり、本実施形態の圧力センサ装置においても、第１および第２のケース部材２０、３０の接着領域において、一方のケース部材２０の接着面に凹部７１ａが形成され、他方のケース部材３０の接着面には、凹部７１ａに挿入可能な凸部７１ｂが形成されていることは、上記と同様である。
【００７２】
そして、本実施形態では、図４に示されるように、第１の接着領域７１が、凹部７１ａの底部側（図４中の上方）に位置し、第２の接着領域７２が凹部７１ａの開口部側（図４中の下方）に位置するように、これら第１および第２の接着領域７１、７２は積層配置されている。そして、凹部７１ａには、これら両接着剤６１、６２を介して凸部７１ｂが挿入され固定されている。
【００７３】
なお、本実施形態において、図４とは反対に、第２の接着領域７２が、凹部７１ａの底部側に位置し、第１の接着領域７１が凹部７１ａの開口部側に位置するように、これら第１および第２の接着領域７１、７２が積層配置されていてもよい。
【００７４】
つまり、本実施形態では、第１の接着領域７１および第２の接着領域７２のどちらか一方が、凹部７１ａの底部側に位置し、他方が凹部７１ａの開口部側に位置するように、両接着領域７１、７２が積層配置されていればよい。
【００７５】
このような両接着領域７１、７２を積層配置した本実施形態の圧力センサ装置においても、上記実施形態と同様に、１種類の接着剤で接着部のシール性の確保および接着強度の確保を両立しなくても済むようなケース接着部の構成を提供することができる。
【００７６】
ここで、本例の場合、第１のケース部材２０の凹部７１ａに、まず、シール用接着剤６１、強度確保用接着剤６２を順次注入した後、第２のケース部材３０における凸部７１ｂを、凹部７１ａに挿入し、両ケース部材２０、３０を組み付け、各接着剤６１、６２を、それぞれ硬化させる。それにより、各接着剤６１、６２による接着が完了し、両ケース部材２０、３０が固定され、ケース１０ができあがる。
【００７７】
なお、本実施形態においても、両接着剤６１、６２ともに、たとえばエポキシ系樹脂とし、組成を変えることにより硬度の異なる接着剤とした場合、両接着剤６１、６２の硬化を同時に行うことができる。この同時硬化にてエポキシの硬度を徐々に変化させ、エポキシ硬化後の応力集中を防止することができる。
【００７８】
図５は、本実施形態の変形例を示す概略断面図である。上述したように、凹部７１ａが形成されている方のケース部材すなわち第１のケース部材２０は、圧力検出素子４０からの信号を取り出す金属製のターミナル２２がインサート成形されたものである。
【００７９】
上記図１に示される例では、第１のケース部材２０の凹部７１ａには、ターミナル２２は露出していないが、ターミナル２２の配置構成によっては、図５に示されるように、ターミナル２２の一部が凹部７１ａの底部に露出することもある。
【００８０】
この場合、両接着領域７１、７２を積層配置した本実施形態の圧力センサ装置においては、図５に示されるように、シール用接着剤６１が配置されている第１の接着領域７１が凹部７１ａの底部側に位置する構成が採用される。それにより、シール用接着剤６１により、凹部７１ａの底部に露出するターミナル２２の部分が封止される。
【００８１】
このように、第１のケース部材２０にターミナル２２がインサート成形されている場合、若干ではあるが、第１のケース部材２０を構成する樹脂とターミナル２２との界面に隙間が発生する可能性がある。そして、ターミナル２２が凹部７１ａに露出する構成では、上記界面も凹部７１ａに露出する。
【００８２】
そこで、本例では、第１のケース部材２０とこれにインサート成形されたターミナル２２との隙間を、シール用接着剤６１のシール機能を活かして封止することができ、圧力漏れの防止が可能になる。
【００８３】
（他の実施形態）
なお、第１、第２の接着領域７１、７２のほかに、さらに、平面的または積層した形で、上記シール用接着剤６１、強度確保用接着剤６２以外の他の接着剤が配置される第３の接着領域があってもよい。
【００８４】
また、上記した第２実施形態では、両接着領域７１、７２が積層配置されている凹部は、１箇所すなわち１本の環状の凹部７１ａであったが、同様の凹部が２本以上あってもよい。
【００８５】
また、上記実施形態では、凹部７１ａ、７２ａおよび凸部７１ｂ、７２ｂを持つ構成において、第１のケース部材２０側に当該凹部を形成し、第２のケース部材３０側に当該凸部を形成したが、これとは反対に凹部を第２のケース部材３０に設け、凸部を第１のケース部材２０に設けてもよい。
【００８６】
さらに、第１の接着領域７１と第２の接着領域７２とを平面的に配置する場合、上記実施形態のように、凹部および凸部を設けなくてもよく、両ケース部材２０、３０の接着面を平坦面としてもよい。
【００８７】
また、上記実施形態では、第１のケース部材２０に圧力検出部としての圧力検出素子４０およびターミナル２２が設置され、第２のケース部材３０に圧力導入孔３１が設置されていたが、これら各部４０、２２、３１は、第１のケース部材２０および第２のケース部材３０のどちらに設けられていてもよい。
【００８８】
また、圧力検出部としては、上記したピエゾ抵抗効果を利用した圧力検出素子４０以外にも、たとえば静電容量式の圧力検出素子であってもよい。また、上記実施形態では、温度センサ５０が一体となった温度センサ一体型圧力センサ装置の例を示したが、温度センサ５０はないものであってもよい。
【００８９】
さらに、本発明は、上記した吸気圧センサに用途限定されるものではなく、たとえば、排気圧センサや各種の容器や雰囲気中の圧力を検出する圧力センサに適用することができる。
【００９０】
つまり、本発明が適用される圧力センサとしては、第１のケース部材と第２のケース部材とを接着してなり、測定圧力が導入されるようになっているケースと、ケースに収納され測定圧力の検出を行う圧力検出部とを備えるものであればよい。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る温度センサ一体型圧力センサ装置の全体概略断面構成を示す図である。
【図２】図１に示される第１のケース部材における接着面を示す概略平面図である。
【図３】図１中の接着部の拡大図である。
【図４】本発明の第２実施形態にかかる温度センサ一体型圧力センサ装置の接着部を示す概略断面図である。
【図５】上記第２実施形態の変形例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００９２】
１０…ケース、２０…第１のケース部材、２２…ターミナル、
３０…第２のケース部材、４０…圧力検出部としての圧力検出素子、
６１…シール用接着剤、６２…強度確保用接着剤、７１…第１の接着領域、
７１ａ、７２ａ…凹部、７１ｂ、７２ｂ…凸部、７２…第２の接着領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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