(57)【要約】【課題】点灯不具合を解消して検査精度を向上させ、各プローバー１全体の稼働率を向上させる。【解決手段】プローバー１のプローブブロック１７又はプローブユニット４のＩＤを入力するタッチパネル等の入力手段と、上記ＩＤに対応するコンタクト回数情報をデータベースから検索する検索手段と、上記データベースに上記ＩＤに対応するコンタクト回数情報がある場合にそのコンタクト回数が規定値を超えているか否かを判断する判断手段と、上記コンタクト回数が規定値を超えている場合に表示画面等で警告する警告手段と、上記プローブブロック１７のプローブ針を液晶パネルＰにコンタクトさせて検査を行う検査手段と、上記各プローブ針の液晶パネルＰへのコンタクト毎にその回数をカウントするカウント手段と、カウントしたコンタクト回数を既存のコンタクト回数情報に加算する加算手段とを備えた。【選択図】  図１
2007180350.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローバーのプローブブロック又はプローブユニットの識別記号を入力する入力手段と、
上記識別記号に対応するコンタクト回数情報をデータベースから検索する検索手段と、
上記プローブブロックのプローブ針を検査対象物にコンタクトさせて検査を行う検査手段と、
上記各プローブ針の検査対象物へのコンタクト毎にその回数をカウントするカウント手段と、
カウントしたコンタクト回数を上記識別記号に対応するコンタクト回数情報に加算する加算手段と
を備えたことを特徴とするプローバーの稼働管理システム。
【請求項２】
請求項１に記載のプローバーの稼働管理システムにおいて、
上記データベースに上記識別記号に対応するコンタクト回数情報がある場合にそのコンタクト回数が規定値を超えているか否かを判断する判断手段と、
上記コンタクト回数が規定値を超えている場合に警告する警告手段と
をさらに備えたことを特徴とするプローバーの稼働管理システム。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のプローバーの稼働管理システムにおいて、
上記警告手段が、上記規定値を、上記プローブ針の最終的な交換時のコンタクト回数まで複数段階に設定し、各段階で異なる警告をすることを特徴とするプローバーの稼働管理システム。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のプローバーの稼働管理システムにおいて、
上記規定値が、実際の稼働におけるプローブ針の交換時のコンタクト回数を統計処理して修正されることを特徴とするプローバーの稼働管理システム。
【請求項５】
請求項４に記載のプローバーの稼働管理システムにおいて、
上記規定値が、上記プローブ針の交換時のコンタクト回数と共にオーバードライブ量を統計処理して修正されることを特徴とするプローバーの稼働管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象板にプローブ針を接触させて検査を行うプローバーの稼働管理システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板等の検査対象板に対してプローブ針を接触させて検査を行うプローバーは一般に知られている。このようなプローバーでは、ワークテーブルに検査対象板を支持し、この検査対象板の背面からバックライトで照明して、前面の電極にプローブブロックのプローブ針を接触させて導通試験が行われる。
【０００３】
そして、検査対象板の枚数が多い場合は、上記プローバーを複数台設置し、これらを同時に稼働させて、並行して検査が行われる。
【０００４】
そして、プローブ針は消耗品であるため、一定回数使用すると、プローブブロックごと交換される。このプローブ針の摩耗状態は管理されており、プローブ針が摩耗してしまったら、交換作業が行われる。
【０００５】
この例としては、初期設定の効率化と装置に取り付けられている消耗品の寿命管理を管理コンピューターで行うものとして特許文献１が、装置自体の稼働率を管理するものとして特許文献２がある。
【特許文献１】特許第３２６５１５８号公報
【特許文献２】特開平１１−２３３３９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上述した従来のプローバーでは、プローブユニットが複数のプローバーで使用される場合は、プローブユニット毎に個別に管理されることはない。このため、プローブ針は、良好な点灯検査ができなくなるまで摩耗してから交換されるため、プローブ針が摩耗した時点で検査作業を中断して交換していた。
【０００７】
しかし、この場合、プローブ針を摩耗してしまうまで検査作業に使用すると、点灯不具合が起きて、検査精度が低下するという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、検査精度を高く維持した状態で、プローブ針の交換作業の効率化を図ってプローバーの稼働率を向上させるプローバーの稼働管理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るプローバーの稼働管理システムは、プローバーのプローブブロック又はプローブユニットの識別記号を入力する入力手段と、上記識別記号に対応するコンタクト回数情報をデータベースから検索する検索手段と、上記プローブブロックのプローブ針を検査対象物にコンタクトさせて検査を行う検査手段と、上記各プローブ針の検査対象物へのコンタクト毎にその回数をカウントするカウント手段と、カウントしたコンタクト回数を上記識別記号に対応するコンタクト回数情報に加算する加算手段とを備えたことを特徴とする。また、上記プローバーの稼働管理システムに、上記データベースに上記識別記号に対応するコンタクト回数情報がある場合にそのコンタクト回数が規定値を超えているか否かを判断する判断手段と、上記コンタクト回数が規定値を超えている場合に警告する警告手段とをさらに備えたことを特徴とする。
【００１０】
上記構成により、プローブブロック等の識別記号をもとにコンタクト回数情報を管理する。そして、プローブ針の一定期間の使用や、複数のプローバーでの使用による合計のコンタクト回数が規定値を超えている場合に警告して、プローブ針が完全に摩耗してしまう前に交換の準備をする。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００１２】
プローブブロック等の識別記号をもとにコンタクト回数情報を管理することで、プローブ針の摩耗状態を把握することができる。これにより、プローブ針の摩耗により交換が必要になる前にその準備ができるため、プローブ針の不完全な接触による点灯不具合を解消して、検査精度を向上させることができる。さらに、検査作業を中断してのプローブ針の交換を極力避けることができる。この結果、プローブ針の交換作業の効率化を図って各プローバー全体の稼働率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態に係るプローバーの稼働管理システムについて、添付図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態に係るプローバーの稼働管理システムを示す全体図、図２は本発明の実施形態に係るプローバーを示す側面断面図、図３は本発明の実施形態に係るプローバーの要部を示す断面図、図４は本発明の実施形態に係るプローバーの要部を示す正面図、図５は本発明の実施形態に係るプローバーのプローブユニットを示す斜視図、図６は本発明の実施形態に係るプローバーの稼働管理システムの動作を示す模式図、図７は本発明の実施形態に係るプローバーの稼働管理システムの動作を示すフローチャートである。本実施形態では、検査対象板として液晶パネルＰを例に説明する。
【００１４】
プローバー１で使用するプローブ針は消耗品の検査治具である。プローブ針は液晶パネルＰの電極にコンタクトする毎に摩耗していく。その寿命は通常５０万回程度である。５０万回程度の使用によりプローブ針が摩耗して、液晶パネルＰの良好な点灯状況が得られなくなった場合は、プローブ針が交換される。
【００１５】
大量の液晶パネルＰを検査する場合は、複数のプローバー１を用いて並行して液晶パネルＰの検査を行うが、１つのプローバー１がフル稼働した場合、サイクルタイム４０秒として、１日あたり液晶パネルＰ約２１００枚を検査する。このため、プローブ針のコンタクト回数は１日２１００回となる。５０万回でプローブ針の寿命がくるとすると、約２３８日で寿命となる。
【００１６】
本実施形態に係るプローバーの稼働管理システムの全体構成は、図１に示すように主に、複数台配設されたプローバー１と、全体を管理する管理コンピューター２と、これらの間をつなぐネットワーク３と、各プローバー１に組み込まれるプローブユニット４とから構成されている。
【００１７】
プローバー１は、後述するプローブブロック１７のプローブ針を液晶パネルＰの電極にコンタクトさせて検査を行う検査手段である。プローバー１は、多数の液晶パネルＰを並列で検査処理できるように、複数台配設されている。図１においては、４台のプローバー１Ａ〜１Ｄが配設されている。
【００１８】
各プローバー１は、図２〜５に示すように構成されている。各プローバー１は主に、ワークテーブル６と、バックライト７と、ＸＹＺθステージ８と、検査部９と、フレーム１０から構成されている。
【００１９】
ワークテーブル６は、液晶パネルＰを支持するための部材である。このワークテーブル６は、液晶パネルＰを支持するためのパネル受け６Ａを備えている。パネル受け６Ａには拡散板６Ｂが取り付けられている。液晶パネルＰはこの拡散板６Ｂの外側に載置される。ワークテーブル６は、ＸＹＺθステージ８に取り付けられ、このＸＹＺθステージ８でＸＹＺ方向及びθ回転方向が制御される。
【００２０】
バックライト７は、ワークテーブル６に支持された液晶パネルＰを裏側から照明するための部材である。バックライト７は、筐体１２、ランプ１３等から構成されている。筐体１２は、光源であるランプ１３を収納するための部材である。
【００２１】
ランプ１３は、液晶パネルＰをその背面から照明するための光源である。ランプ１３は、細い円柱状の蛍光管で構成されている。この細い円柱状のランプ１３が複数本並べて設けられている。
【００２２】
ＸＹＺθステージ８は、その前面でワークテーブル６とバックライト７とを支持して液晶パネルＰの位置合わせを行う部材である。このＸＹＺθステージ８は、液晶パネルＰのＸＹＺ軸方向の調整とθ回転方向の調整とを行う部分である。ＸＹＺθステージ８は、フレーム１０に支持されている。
【００２３】
検査部９は、液晶パネルＰに検査用の信号を流して表示状態を検査するための部材である。検査部９は主にプローブユニット４によって構成されている。プローブユニット４は、いずれのプローバー１にも取り付けることができるように構成されている。これにより、プローブユニット４は、種々の状況に応じて、複数のプローバー１に順次付け替えられる場合もある。このプローブユニット４は主に、プローブベース１６と、プローブブロック１７と、カメラ１８とから構成されている。
【００２４】
プローブベース１６は、プローブブロック１７及びカメラ１８を支持するための部材である。プローブベース１６は、ワークテーブル６に載置された液晶パネルＰに臨ませた状態でプローブステージ１９を介してフレーム１０に固定されている。
【００２５】
プローブブロック１７は、その先端のプローブ針(図示せず)が液晶パネルＰに臨ませた状態で、サスペンションブロック２０を介してプローブベース１６に固定されている。カメラ１８は、液晶パネルＰに設けられたマークを見ながら液晶パネルＰの位置合わせをするためのカメラである。ここでは、カメラ１８を３台設けているが、２台の場合もある。プローブステージ１９は、フレーム１０に固定された状態で、プローブベース１６を支持している。
【００２６】
フレーム１０は、ワークテーブル６、バックライト７、ＸＹＺθステージ８及び検査部９等を支持するための骨組みである。バックライト７等の配置の仕方に応じて全体の構成が組み上げられる。
【００２７】
プローブユニット４のプローブベース１６は、フレーム１０側のプローブステージ１９にネジ２２で固定されている。プローブブロック１７は、サスペンションブロック２０に支持された状態で、プローブベース１６に固定されている。プローブブロック１７の先端にはプローブ針(図示せず)が設けられ、このプローブ針が液晶パネルＰに接触して、導通試験が行われる。
【００２８】
一定期間の使用によってプローブ針が摩耗すると、検査精度が低下するために、プローブ針の交換が行われる。この場合は、プローブブロック１７を交換したり、プローブユニット４を交換したりする。各プローブ針の摩耗状況に応じて、プローブブロック１７毎に個別に交換したり、プローブユニット４毎まとめて交換したりする。
【００２９】
各プローバー１には、ＸＹＺθステージ８等を制御するための制御部(図示せず)が設けられている。この制御部で、各プローバー１が個別に動作して検査処理が行われる。
【００３０】
各プローバー１の制御部は、各プローブ針を液晶パネルＰの電極に接触させて導通試験を行う。そして、このとき、プローブ針が液晶パネルＰの電極に接触したことを示す信号がネットワーク３を介して管理コンピューター２に出力される。
【００３１】
管理コンピューター２は、複数のプローバー１全体を管理するためのコンピューターである。この管理コンピューター２は、プローブブロック１７等の識別記号をもとにプローブ針の電極へのコンタクト回数情報を管理して、プローブ針の一定期間の使用や、複数のプローバーでの使用による合計のコンタクト回数が規定値を超えている場合に警告して、プローブ針が完全に摩耗してしまう前に交換の準備を促す。管理コンピューター２は具体的には、入力手段と、検索手段と、判断手段と、警告手段と、カウント手段と、加算手段とを備えている。
【００３２】
入力手段は、プローブブロック１７又はプローブユニット４の識別記号を入力するための手段である。この入力手段は、表示画面のタッチパネルや、記号等を入力するキーボードや、バーコードリーダー等の種々のものが使用できる。
【００３３】
検索手段は、上記入力手段で入力した識別記号に対応するコンタクト回数情報をデータベースから検索するための手段である。データベースとしての管理コンピューター２の記録装置に記録されたコンタクト回数情報を基に、入力した識別記号に対応するコンタクト回数情報を検索する。上記記録装置には、個々のプローブブロック１７又はプローブユニット４ごとに識別記号を予め設定しておく。
【００３４】
判断手段は、上記記録装置に上記識別記号に対応するコンタクト回数情報がある場合にそのコンタクト回数が規定値を超えているか否かを判断するための手段である。予め設定された規定値が入力され、その規定値と比較してコンタクト回数が規定値を超えているか否かを判断する。規定値は、プローブブロック１７に設けられたプローブ針の耐久性に応じて設定されている。さらに、規定値は、統計によって最適なコンタクト回数に随時修正される。具体的には、プローバー１の実際の稼働に伴って摩耗したプローブ針を交換したときに、そのプローブ針の交換時のコンタクト回数を統計処理して平均的なコンタクト回数を計算し、その計算値に基づいて上記規定値を修正する。また、プローブ針のオーバードライブ量も考慮して計算する。オーバードライブ量は、各プローバー１毎に微妙に異なるため、オーバードライブ量の大きいプローバー１と、小さいプローバー１とでのプローブ針の摩耗量を統計処理して上記規定値を修正する。
【００３５】
警告手段は、プローブ針の上記コンタクト回数が規定値を超えている場合に警告するための手段である。警告手段は、管理コンピューター２の表示画面に文字や記号で表示してもよく、警告音を発してもよい。この文字等による警告は、最終的にプローブ針の交換が必要なコンタクト回数よりも設定回数少ない時点で一回だけ警告するように設定してもよく、複数段階に分けて設定してもよい。複数段階に分けて設定する場合は、上記規定値を、上記プローブ針の最終的な交換時のコンタクト回数まで複数段階に設定し、各段階で異なる警告をするようにしてもよい。具体的には、最終的に交換が必要となるコンタクト回数の１０００回前の段階、２０００回前の段階等の数段階に設定し、各段階で異なる警告をする。警告としては例えば「交換時まであと１０００回です」という内容の表示や音声で行ったり、異なった警告音を発したりする。
【００３６】
カウント手段は、上記各プローブ針の液晶パネルＰへのコンタクト毎にその回数をカウントする手段である。カウント手段は、各プローバー１からのカウント信号を受けてカウントする。カウント信号としては、プローバー１の試験信号等を用いる。プローバー１は、プローブ針が液晶パネルＰの電極に接触した後、試験信号を出力して検査するが、その試験信号をカウント信号としてネットワーク３を介して管理コンピューター２に出力する。また、プローブ針を液晶パネルＰの電極に接触させるときに、カウント信号を生成してネットワーク３を介して管理コンピューター２に出力してもよい。
【００３７】
加算手段は、カウントしたコンタクト回数を既存のコンタクト回数情報に加算する手段である。加算手段は、上記カウント手段によるカウント毎に、管理コンピューター２の記録装置に記録されたコンタクト回数に加算するようにしてもよく、設定回数のカウント毎に加算するようにしてもよい。
【００３８】
以上の各手段は、管理コンピューター２のハードウエア及びソフトウエアによって構築する。各手段の具体的な機能は、図７のフローチャートを基に後述する。
【００３９】
ネットワーク３は、通常のネットワークを用いることができる。管理するプローバー１が１つの工場内にある場合は、社内ＬＡＮ等の既存のネットワークを用いることができる。管理するプローバー１が複数の工場に分かれている場合は、インターネット等の既存のネットワークを用いることができる。
【００４０】
［動作］
以上のように構成されたプローバーの稼働管理システムは、次のように動作する。
【００４１】
プローバーの稼働管理システムの全体的な動作を図６に基づいて説明する。
【００４２】
初期設定段階では、まずプローブユニット４（又はプローブブロック１７）のＩＤを、管理コンピューター２のタッチパネル等で入力する。このＩＤ入力によって、管理コンピューター２が、上記ＩＤに該当するコンタクト回数情報をデータベースから検索する。次いで、上記ＩＤに対応するプローブユニット４の累積情報（コンタクト回数情報）を管理コンピューター２の表示画面に表示する。このとき、上記コンタクト回数が規定値を超えているか否かを判断して、上記コンタクト回数が規定値を超えている場合に警告する。
【００４３】
検査段階では、各プローバー１が、プローブブロック１７のプローブ針を液晶パネルＰにコンタクトさせて検査を行う。これに伴って、各プローバー１のプローブ針の液晶パネルＰの電極にコンタクトされる毎にその回数がカウントされ、そのコンタクト回数が記録装置に記録されたコンタクト回数情報に加算される。
【００４４】
次いで、管理コンピューター２での管理処理を、図７のフローチャートに基づいて説明する。
【００４５】
まず初期設定段階で、ＩＤが入力されたか否かを判断する（ステップ１０１）。ＩＤが入力されていなければ元に戻る。ＩＤが入力されれば、そのＩＤに対応するコンタクト回数情報をデータベースから検索する（ステップ１０２）。検索したコンタクト回数情報は表示画面に表示する（ステップ１０３）。
【００４６】
次いで、上記ＩＤに対応するコンタクト回数が規定値を超えているか否かを判断する（ステップ１０４）。コンタクト回数が規定値を超えている場合は警告する（ステップ１０５）。コンタクト回数が規定値を超えていない場合は検査段階に進む。
【００４７】
検査段階ではまず、コンタクト信号があるか否かを判断する（ステップ１０６）。コンタクト信号があるまで待ち、コンタクト信号の入力があると、その入力信号の回数をカウントし、カウントしたコンタクト回数を既存のコンタクト回数情報に加算する（ステップ１０７）。
【００４８】
次いで、ステップ１０４に戻り、加算後のコンタクト回数が規定値を超えているか否かを判断する。コンタクト回数が規定値を超えている場合は警告する（ステップ１０５）。コンタクト回数が規定値を超えていない場合は、次のコンタクト信号の入力を待つ。
【００４９】
以上のように、プローブブロック１７等の識別記号をもとにコンタクト回数情報を管理して、プローブ針の摩耗により交換が必要になる前にその準備ができるため、プローブ針の不完全な接触による点灯不具合を解消して、検査精度を向上させることができる。
【００５０】
さらに、プローブ針のあらかたの交換時期が分かるため、検査作業を中断してのプローブ針の交換を極力避けることができる。この結果、プローブ針の交換作業の効率化を図って各プローバー１全体の稼働率を向上させることができ、検査装置１に対する信頼性の向上を図ることができる。
【００５１】
［変形例］
上記実施形態では、規定値が、実際の稼働におけるプローブ針の交換時のコンタクト回数を統計処理して修正すると共に、上記プローブ針のオーバードライブ量を統計処理して修正するようにしたが、コンタクト回数だけで統計処理をするようにしてもよい。また、コンタクト回数とオーバードライブ量以外に、液晶パネルＰの硬さ等の、プローブ針を摩耗させる要因となる全ての情報を考慮して上記規定値を修正するようにしてもよい。これによっても、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００５２】
上記実施形態では、コンタクト回数が規定値を超えている場合に警告する態様にしたが、表示画面にコンタクト回数を表示する態様や、コンタクト回数が規定値を超えた場合に、規定値を超えたことを表示する態様でもよい。 
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態に係るプローバーの稼働管理システムを示す全体図である。
【図２】本発明の実施形態に係るプローバーを示す側面断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るプローバーの要部を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るプローバーの要部を示す正面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るプローバーのプローブユニットを示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係るプローバーの稼働管理システムの動作を示す模式図である。
【図７】本発明の実施形態に係るプローバーの稼働管理システムの動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５４】
１：プローバー、２：管理コンピューター、３：ネットワーク、４：プローブユニット、６：ワークテーブ、７：バックライト、８：アライメントステージ、９：検査部、１０：フレーム、１２：筐体、１３：ランプ、１６：プローブベース、１７：プローブブロック、１８：カメラ、２０：サスペンションブロック、２２：ネジ、液晶パネルＰ。
【図１】
2007180350.tif 000003
【図２】
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【図３】
2007180350.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007180350.tif 000007
【図６】
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【図７】
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