(57)【要約】      （修正有）【課題】イメージセンサを選択的にテストするのに適する光学テスト装置、テスト方法、駆動方法、及びプローブカードを提供する。【解決手段】光学テスト装置１００の照明ソース１２０は光学テスト信号をプローブカード１１０を通じてイメージセンサ１０に提供する。光学テスト信号はプローブカードと結合した基準イメージセンサ１１２と、基準イメージセンサ１１２と照明ソースとの間に連結された制御部１４０の間に形成されたフィードバックループによって多様に定義された性質を有する。【選択図】図２
2007208253.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御信号と係わって多様に定義された性質を有する光学テスト信号を発生させる照明ソースと、
前記光学テスト信号に応答して光学フィードバック信号を発生させ、露出孔に隣接して配置された基準イメージセンサとを含み、ウェーハ上に形成された選択されたイメージセンサに前記露出孔を通じて光学テスト信号を通過させるプローブカードと、
前記光学フィードバック信号を受信し、前記光学フィードバック信号に応答して制御フィードバック信号を発生させる制御部と、
前記制御フィードバック信号を受信し、前記制御信号を発生させる駆動部とを含み、イメージセンサをテストするように構成したことを特徴とする光学テスト装置。
【請求項２】
前記プローブカードは、前記選択されたイメージセンサに、または前記選択されたイメージセンサからテスト制御とテストデータ信号の伝達を容易にし、前記選択されたイメージセンサと結合し、電気的パッドと連結される電気的プローブをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の光学テスト装置。
【請求項３】
前記基準イメージセンサは前記露出孔に隣接して配置された複数個の基準イメージセンサを含むことを特徴とする請求項１に記載の光学テスト装置。
【請求項４】
前記照明ソースは、
光を放出する光源と、
光を選択的に通過させる光アパーチュアとを含み、
前記光学テスト信号の光の強度が前記光アパーチュアの大きさによって変わるように、前記制御信号は前記光アパーチュアの大きさを変化させることを特徴とする請求項１に記載の光学テスト装置。
【請求項５】
前記制御信号は前記光アパーチュアに印加された前記制御信号と前記光源に印加された入力信号とを含むことを特徴とする請求項４に記載の光学テスト装置。
【請求項６】
前記入力信号は固定された電圧であることを特徴とする請求項５に記載の光学テスト装置。
【請求項７】
前記入力信号は前記光源の光の強度を制御する変更可能な電圧であることを特徴とする請求項５に記載の光学テスト装置。
【請求項８】
前記光学テスト信号が平行な光を含むように、前記照明ソースは前記光アパーチュアを通過した光を平行にする複数個のレンズをさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の光学テスト装置。
【請求項９】
前記照明ソースは前記光源によって放出された前記光を濾過させる複数個の光学フィルタをさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の光学テスト装置。
【請求項１０】
前記制御部は複数個の基準数値を含む相関関係テーブルを貯蔵するデータベースを含み、前記それぞれの基準数値は前記光学テスト信号の性質に対して定義された変数に対応することを特徴とする請求項１に記載の光学テスト装置。
【請求項１１】
前記光学テスト信号の性質は光の強度、周波数、波長、極性及び変調のうちの少なくともいずれか１つを含むことを特徴とする請求項１０に記載の光学テスト装置。
【請求項１２】
前記制御部は、
前記データベースにアクセスする制御器と、
前記光学フィードバック信号から抽出されたフィードバック数値と前記基準数値との比較結果に応答して前記制御フィードバック信号を発生させる補正部をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の光学テスト装置。
【請求項１３】
前記補正部はデジタル比較回路、アナログ比較回路または前記制御器上で動作するソフトウェアルーチンのうちのいずれか１つを含むことを特徴とする請求項１２に記載の光学テスト装置。
【請求項１４】
前記基準イメージセンサからアナログフィードバック信号を受信するコンバータをさらに含み、
前記コンバータは前記アナログ光学フィードバック信号をデジタル光学フィードバック信号に変換し、前記デジタル光学フィードバック信号を前記制御部に提供することを特徴とする請求項１に記載の光学テスト装置。
【請求項１５】
光学テスト信号をプローブカードを介してイメージセンサに提供する照明ソースを含み、
前記光学テスト信号は、前記プローブカードと連結された基準イメージセンサと、前記基準イメージセンサと前記照明ソースとを連結する制御部との間に形成されたフィードバックループによって多様に定義された性質を有するイメージセンサをテストするように構成されることを特徴とする光学テスト装置。
【請求項１６】
前記基準イメージセンサは前記光学テスト信号に応答して光学フィードバック信号を発生させ、
前記制御部は、
前記光学フィードバック信号に応答してフィードバック制御信号を発生させる制御器と、
前記フィードバック制御信号に応答して制御信号を発生させる駆動部とを含み、
前記制御信号は前記光学テスト信号の性質を変化させるように前記照明ソースに印加されることを特徴とする請求項１５に記載の光学テスト装置。
【請求項１７】
前記光学テスト信号の前記性質は光の強度であることを特徴とする請求項１６に記載の光学テスト装置。
【請求項１８】
ウェーハはイメージセンサからの、またはイメージセンサにテスト制御とテストデータ信号の伝達を容易にするためのプローブカードと結合し、前記イメージセンサは光学テスト信号と係わってテストされ、前記ウェーハ上に形成された前記イメージセンサをテストする方法において、
前記プローブカード上に配置された基準イメージセンサに前記光学テスト信号を有する光を照らす段階と、
前記基準イメージセンサによって発生した光学フィードバック信号に応答して前記光学テスト信号の性質を変化させる段階とを含むことを特徴とするイメージセンサのテスト方法。
【請求項１９】
前記光学テスト信号の前記性質は光の強度であり、
制御信号を発生させるように、前記光学フィードバック信号と基準数値とを比較する段階と、
前記光学テスト信号を発生させる照明ソースに前記制御信号を印加する段階とを含むことを特徴とする請求項１８に記載のイメージセンサのテスト方法。
【請求項２０】
メモリに基準数値の相関関係テーブルを貯蔵する段階と、
前記相関関係テーブルから基準数値を選択する段階と、
前記選択された基準数値に係わる前記制御信号を発生させる段階とを含むことを特徴とする請求項１９に記載のイメージセンサのテスト方法。
【請求項２１】
前記光学フィードバック信号と前記基準数値との比較に応答して前記相関関係テーブルに基準数値を再書き込むことをさらに含むことを特徴とする請求項２０に記載のイメージセンサのテスト方法。
【請求項２２】
ウェーハ上に形成された複数個のイメージセンサのウェーハレベルテストに適する光学テスト装置の駆動方法において、
メモリに貯蔵された相関関係テーブル基準数値データと係わって定義された性質を有する光学テスト信号を発生させる照明ソースの駆動を制御する段階と、
ウェーハと結合したプローブカードと連関した前記光学的テスト信号の性質を探知し、対応する光学フィードバック信号を発生させる段階と、
前記光学フィードバック信号と前記相関関係テーブルの少なくとも１つとを比較し、前記比較結果に応答して前記相関関係テーブルに少なくとも１つの基準数値を再書き込む段階とを含むことを特徴とする光学テスト装置の駆動方法。
【請求項２３】
前記光学テスト信号の性質は前記複数個のイメージセンサと実質的に類似の構成を有する基準イメージセンサによって探知され、
前記基準イメージセンサは前記光学テスト信号が前記基準イメージセンサと選択された１つの前記複数個のイメージセンサとに同時に光が照射されるように前記プローブカード上に配置されることを特徴とする請求項２２に記載の光学テスト装置の駆動方法。
【請求項２４】
前記相関関係テーブルの少なくとも１つの基準数値を再書き込んだ後、
前記光学テスト信号と係わって前記複数個のイメージセンサを光学的にテストすることをさらに含むことを特徴とする請求項２２に記載の光学テスト装置の駆動方法。
【請求項２５】
前記照明ソースの駆動を制御する段階は、
前記相関関係テーブルの少なくとも１つの基準数値に係わる制御数値を発生させる段階と、
前記光学的テスト信号の性質を多様に制御するために、前記制御信号を前記照明ソースの光源に印加する段階とを含むことを特徴とする請求項２２に記載の光学テスト装置の駆動方法。
【請求項２６】
ウェーハ上に形成された複数個のイメージセンサをテストするための光学テスト装置の駆動方法において、
メモリに複数個の基準数値を定義する段階と、
前記複数個の基準数値と連関して多様に定義された性質を有する光学テスト信号をプローブカードを介して前記複数個のセンサのうちの選択されたイメージセンサに光を照射する段階と、
前記選択されたイメージセンサに照射された前記光学テスト信号に対応するフィードバック数値を発生させる段階と、
差を決めるために前記フィードバック信号と前記複数個の基準数値のうちのいずれか１つとを比較する段階と、
差を決めると、すぐメモリに少なくとも１つの前記複数個の基準数値を再設定し、前記少なくとも１つの再設定された基準数値と係わる前記光学テスト信号を補正する段階と、
前記光学テスト信号と係わって前記選択されたイメージセンサを光学的にテストする段階とを含むことを特徴とする光学テスト装置の駆動方法。
【請求項２７】
前記選択されたイメージセンサを光学的にテストする段階は前記光学テスト信号の補正の後、すぐ行うことを特徴とする請求項２６に記載の光学テスト装置の駆動方法。
【請求項２８】
前記選択されたイメージセンサを光学的にテストする前に、
前記補正された光学テスト信号と係わるアップデートされたフィードバック数値を発生させ、差を決めるために前記アップデートされたフィードバック信号と前記少なくとも１つの複数個の基準数値とを比較する段階と、
前記アップデートされたフィードバック数値と前記少なくとも１つの複数個の基準数値との間の差がないことを決めると、すぐ前記選択されたイメージセンサを光学的にテストすることをさらに含むことを特徴とする請求項２６に記載の光学テスト装置の駆動方法。
【請求項２９】
前記フィードバック数値を発生させる段階は、
前記プローブカードが結合した基準イメージセンサに前記光学テスト信号を受信する段階と、
前記光学フィードバック信号から前記フィードバック数値を抽出する段階とを含むことを特徴とする請求項２６に記載の光学テスト装置の駆動方法。
【請求項３０】
前記性質は光の強度を含み、
少なくとも１つの前記複数個の基準数値と係わる制御信号を発生させ、前記制御信号を、前記制御信号によって変わる光の強度を有する前記光学的テスト信号を発生させる照明ソースに印加することをさらに含むことを特徴とする請求項２９に記載の光学テスト装置の駆動方法。
【請求項３１】
ウェーハと結合したプローブカードを介して複数個のセンサのうちの選択されたイメージセンサに伝達される光学テスト信号と係わって前記ウェーハ上に配置された複数個のイメージセンサをテストするように構成された光学テスト装置の駆動を制御し、光学テスト方法を実行するために前記光学テスト装置と結合した制御器を駆動するプログラムにおいて、
前記制御器と結合したメモリに貯蔵された基準数値と係わって定義された性質を有する光学テスト信号を発生させる照明ソースの駆動を制御する段階と、
前記プローブカードと連関し、対応する光学フィードバック信号を発生させる光学テスト信号の性質を探知する段階と、
前記光学フィードバック信号と前記基準数値とを比較し、前記比較結果に応答して前記基準数値を再設定する段階とを実行することを特徴とする光学テスト装置の駆動を制御するように構成されるプログラム。
【請求項３２】
前記光学テスト信号の性質は前記複数個のイメージセンサとして実質的に類似の構成を有する基準イメージセンサにより探知され、
前記基準イメージセンサは光学テスト信号が前記基準イメージセンサと前記選択されたイメージセンサとに同時に光を照射するように前記プローブカード上に配置されることを特徴とする請求項３１に記載の光学テスト装置の駆動を制御するように構成されるプログラム。
【請求項３３】
前記相関関係テーブルを再設定した後、
前記光学テスト信号と係わる複数個のイメージセンサを選択的にテストすることをさらに含むことを特徴とする請求項３２に記載の光学テスト装置の駆動を制御するように構成されるプログラム。
【請求項３４】
前記照明ソースの駆動を制御する段階は、
前記基準数値と係わる制御信号を発生させる段階と、
光学テスト信号性質を多様に制御するために前記照明ソースの光源に前記制御信号を印加する段階と、
前記光学テスト信号が前記基準イメージセンサと前記選択されたイメージセンサとに同時に照射されるように前記照明ソースを制御する段階と、
前記基準イメージセンサで前記光学フィードバック信号を発生させる段階とを含むことを特徴とする請求項３２に記載の光学テスト装置の駆動を制御するように構成されるプログラム。
【請求項３５】
ウェーハ上に形成された複数個のイメージセンサのテストに用いられるプローブカードにおいて、
前記複数個のイメージセンサのうちに選択されたイメージセンサに光学テスト信号を通過させる露出孔と、
前記露出孔に隣接して配置された少なくとも１つの基準イメージセンサとを含み、
前記少なくとも１つの基準イメージセンサに前記選択されたイメージセンサとともに前記光学テスト信号が照射されることを特徴とするプローブカード。
【請求項３６】
前記プローブカードから延長され、前記選択されたイメージセンサと結合した電気的パッドと連結される複数個の電気的なプローブをさらに含むことを特徴とする請求項３５に記載のプローブカード。
【請求項３７】
前記少なくとも１つの基準イメージセンサは前記露出孔を囲んで配置され、空間的に離隔された複数個の基準イメージセンサを含み、
それぞれの前記複数個の基準イメージセンサに前記選択されたイメージセンサとともに前記光学テスト信号が同時に照射されることを特徴とする請求項３５に記載のプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般的にイメージセンサのテスト方法及びそのテスト装置に係り、さらに詳細には自動化されたイメージセンサのテスト方法及び向上したテスト均一性を提供するテスト装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造技術の向上は、より小さいサイズで、良質の動作及びより低い製造費用を有する半導体イメージセンサを実現した。結果的に、イメージセンサは現在の幅広い商業的装置、例えばデジタルカメラ、キャムコーダ、プリンタ、スキャナ及び携帯電話に用いられている。一般的な動作において、イメージセンサは光学エネルギー（例えば、可視光線）を捕捉し、光学エネルギーを電気的信号に変換し、電気的信号をより容易に貯蔵、伝達、及び扱うことができるデジタルデータに処理する。このような注目に値する過程の連続の最後の結果は、通常利用されることができるデジタルメディアに用いられる様々な他の形態に視覚的に表示、または記録されることができるイメージデータの生成である。
【０００３】
半導体イメージセンサにおいて、最も幅広く用いられている２つの形態は電荷結合素子（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ:ＣＣＤ）とＣＭＯＳイメージセンサ（ＣＩＳ）である。ＣＣＤセンサは一般的にＣＩＳセンサより優れた動作特性を提供する。ＣＣＤセンサは相対的に低いノイズとより優れた装置均一性を有する。しかし、ＣＩＳセンサは相対的に低い電力消費とより優れた動作速度を有する。ＣＩＳセンサは低い電力消費とより優れた動作速度を有するので多くの携帯可能な電子装置のイメージセンサに使用されている。すなわち、多くの携帯可能な電子装置は制限されたバッテリー寿命によって、それの設計及び動作特性に制約があるため、ＣＣＤセンサに比べて動作特性は劣るが、ＣＩＳセンサの低い電力消費が重視されている。内蔵したカメラを有する携帯電話は、このような携帯可能な電子装置の一例である。
【０００４】
携帯可能な電子装置に係るこのような現在の設計傾向は、イメージセンサに関する難しい課題を惹起させる。例えば、ＣＩＳセンサと連関した本来の短所（例えば、多くのノイズとそれぞれのセンサ動作との間の不均一性）を勘案すれば、ＣＩＳセンサを生産するのに必要な連続的な製造工程において、品質制御及びテスト工程はますます重要になっている。
【０００５】
ＣＣＤまたはＣＩＳ技術が用いられたかにかかわらず、不良なイメージセンサの継続的な製造費用を避け、非機能的、または基準以下なものを生産する可能性を減少させるために、大部分のイメージセンサメーカは、ウェーハレベルで品質制御テストを開始する。ここで“ウェーハレベル”とは、多くの独立した半導体イメージセンサからなるウェーハ基板上で実行されるテストと品質制御工程とを含む製造工程である（図１参照）。ウェーハレベルテストはそれぞれの素子がウェーハから分離してパッケージされるか、他の主装置要素に接合される前に実行される。
【０００６】
イメージセンサによって提供される光電変換機能を考慮すれば、光学テスト（例えば、イメージセンサの光学照明と係わるテスト）は全体の品質制御工程の重要な部分である。大部分の光学テストはウェーハレベルで実行される。そのようなテストは光学テスト装置の品質、より詳細には光学テスト装置における照明ソースの品質に係る。
【０００７】
実際に、光学テスト装置の信頼性は常にテストされるイメージセンサの動作特性を超えなければならない。このような結論の結果は、光学テスト装置において照明ソースはその特性（例えば、光の強度、波長など）により微細に制御され、ウェーハにかけて適用が均一であり、高信頼性が要求される。照明ソースにおいて、このような品質がなければ、ウェーハ上に形成されたそれぞれのイメージセンサの間に動作特性の差異を認知するのが不可能である。
【０００８】
イメージセンサの製造において現在用いられている従来の照明ソースは、定期メンテナンススケジュール（例えば、１０００から２０００時間ごと）によって手作業で補正しなければならない。このやり方はテスト装置がメンテナンスのためにオフラインにされるので、製造工程の中断が要求される。さらに、手作業による補正過程は本来の人間的な要因（例えば、技術者の訓練の度合いなど）により、質的な影響を受けやすい。
【０００９】
さらに、現在の半導体製造設備による大量生産技術はそれぞれが照明ソースを有する多数の光学テスト装置を必要とする。理想的には、それぞれの製造ラインで用いられる照明ソースは、多数の製造ラインにかけてイメージセンサテストが一定に行われるように同質の出力を生産しなければならないが、これはほぼ不可能である。照明ソースはただ標準照明ソースに対してテストされるか、または比較され、この工程の出力物は、同質のものとはならない。
【００１０】
均一であり、高い品質の照明ソースを一定に提供することにおいての困難は、時間が経つほどすべての照明ソースの動作特性が低下するという事実によってさらに大きくなっている。結果的に、照明ソースメーカは時間の経過による“典型的な”照明動作特性を特徴とする、予想される動作特性プロファイルを提供する。このような動作特性プロファイルは照明ソースの異なる寿命の期間の、照明ソースに対する電圧印加調節または動作電圧オフセット数値を提示している。しかし、このような動作特性プロファイルと、対応する電圧オフセットはただ標準化された結果により定義された平均調整であるだけである。それらはそれぞれの照明ソースの実在的な動作特性を正確に考慮していない。
【００１１】
上記したものは、照明ソースの動作特性の品質に許容できないほど高いレベルのばらつきを引き起こす。信頼可能であり、明白に定義された光学基準信号（例えば、調節された光の強度を有する均一な光学エネルギー）が欠けた場合、ウェーハ上に形成されたそれぞれのイメージセンサの動作特性を正確に特定することは不可能である。
【００１２】
さらに、半導体製造工程は度々ウェーハの表面（例えば、ウェーハの中心部分に対するウェーハの端部分上の物質膜の特性）に対し多様な変化をもたらすとされる。イメージセンサの質の向上のために、このような製造工程におけるばらつきを特定し、注意深く定量化し、制御しなければならない。光学テスト装置において照明ソースの特性もまたウェーハ表面で変化したら、イメージセンサのウェーハレベルでの光学テストにおいて、上述のばらつきを特定することはほとんど不可能である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の課題は、受光素子の特性を正確にテストすることができる方法を提供することにある。
【００１４】
本発明の他の課題は、受光素子の特性を正確にテストすることができる装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の一実施形態は光学テスト装置を提供する。前記一実施形態に係る光学テスト装置は制御信号と係って多様に定義された性質を有する光学テスト信号を発生させる照明ソース、前記光学テスト信号に応答して光学フィードバック信号を発生させ、露出孔に隣接して配置された基準イメージセンサ（ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ  ｉｍａｇｅ  ｓｅｎｓｏｒ）を含み、ウェーハ上に形成された選択されたイメージセンサに前記露出孔を通じて光学テスト信号を通過させるプローブカード、前記光学フィードバック信号を受信し、前記光学フィードバック信号に応答して制御フィードバック信号を発生させる制御部及び前記制御フィードバック信号を受信し、前記制御信号を発生させる駆動部を含む。
【００１６】
本発明の他の実施形態は光学テスト装置を提供する。前記他の実施形態に係る光学テスト装置は光学テスト信号をプローブカードを介してイメージセンサに提供する照明ソースを含み、前記光学テスト信号は、前記プローブカードと連結された基準イメージセンサ（ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ  ｉｍａｇｅ  ｓｅｎｓｏｒ）と、前記基準イメージセンサと前記照明ソースとを連結する制御部との間に形成されたフィードバックループによって多様に定義された性質を有することができる。
【００１７】
本発明の一実施形態は光学テスト装置の駆動方法を提供する。前記一実施形態に係る光学テスト装置の駆動方法は、ウェーハ上に形成された複数個のイメージセンサのウェーハレベルテストに適する光学テスト装置において、メモリに貯蔵された相関関係テーブル基準数値データと係わって定義された性質を有する光学テスト信号を発生させる照明ソースの駆動を制御する段階と、ウェーハと結合したプローブカードと連関した前記光学的テスト信号の性質を探知し、対応する光学フィードバック信号を発生させる段階と、前記光学フィードバック信号と前記相関関係テーブルの少なくとも１つとを比較し、前記比較結果に応答して前記相関関係テーブルに少なくとも１つの基準数値を再書き込む段階とを含む。
【００１８】
本発明の他の実施形態は光学テスト装置の駆動方法を提供する。前記他の実施形態に係る好学テスト装置の駆動方法は、ウェーハ上に形成された複数個のイメージセンサをテストするための光学テスト装置において、メモリに複数個の基準数値を定義する段階と、前記複数個基準数値と連関して多様に定義された性質を有する光学テスト信号をプローブカードを介して前記複数個のセンサのうちの選択されたイメージセンサに光を照射する段階と、前記選択されたイメージセンサに照射された前記光学テスト信号に対応するフィードバック数値を発生させる段階と、差を決めるために前記フィードバック信号と前記複数個の基準数値のうちの１つとを比較する段階と、前記差を決めると、すぐメモリに少なくとも１つの前記複数個の基準数値を再設定し、前記少なくとも１つの再設定された基準数値と係わる前記光学テスト信号を補正する段階と、前記光学テスト信号と係わって前記選択されたイメージセンサを光学的にテストする段階とを含む。
【００１９】
本発明の実施形態はプローブカードを提供する。前記プローブカードはウェーハ上に形成された複数個のイメージセンサのテストに用いられるプローブカードにおいて、前記複数個のイメージセンサのうちで選択されたイメージセンサに光学テスト信号を通過させる露出孔及び前記露出孔に隣接して配置された少なくとも１つの基準イメージセンサを含み、前記少なくとも１つの基準イメージセンサは前記選択されたイメージセンサとともに前記光学テスト信号が照射される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によると、光学テスト装置の照明ソースは光学テスト信号をプローブカードを通じてイメージセンサに提供する。光学テスト信号は基準イメージセンサ、制御部、及び照明ソースに形成されたフィードバックループによって様々に定義された性質を有する。
【００２１】
前記フィードバックループによって、リアルタイムに照明ソースの状態が監視され補正されるため、収率を向上させることができる。照明ソースに対するリアルタイム補正により、光源の使用寿命が延長されることができる。また、照明ソース補正の時の測定環境変化に起因する誤差を最小化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下では、本発明の説明は本発明の技術的思想を制限せず、本発明の実施形態は本発明の製造及び使用において、より徹底的な理解のために提供されるものである。しかし、当業者は本発明の他の実施形態が可能であることは理解することができる。すなわち、本発明の様々な修正及び再構成は請求項の範囲を逸脱しない限度内で可能である。また、テスト装置およびその方法の一般的事項の説明は省略する。
【００２３】
本発明の実施形態は向上した均一性と微細に制御される特性を有する光学テスト信号（例えば、平行な光）を提供する高い品質の照明ソースと係わる光学テスト装置を提供する。本発明の実施形態はウェーハ上に形成されたそれぞれのイメージセンサの間のより確実な動作特性の識別が可能な光学テスト方法を提供する。
【００２４】
本発明の実施形態は半導体製造設備に用いられる多数の照明ソースの駆動特性に正確かつ均一な定義を提供する。本発明の実施形態はテスト装置において照明ソースの駆動特性を補正または確認するために人間が介入しない光学テスト装備及びその使用方法を提供する。結果的に、本発明は費用削減による製造効率の向上と、テスト信頼性の向上を提供する。
【００２５】
以下で用いられる“上”及び“下”、“垂直の”及び“側面の”そして相対的な位置の類似の表現は実施形態において２つまたはそれ以上の構成要素の間の相対的な方向に関して情報を伝達するためである。したがって、このような用語はすべての類似の関係を示唆すると解釈される。例えば、上そして下として説明された２つの構成要素の相対的な方向をただ逆にすることは、構成要素の上、そして下の方向を逆にすることと同様である。本発明の実在的な実行可能性は以下で説明される構成要素の記載にのみ限定される。
【００２６】
本発明の実施形態は特別な応用、例えば、ウェーハ上に形成された（または部分的に形成された）イメージセンサのテストを示す。図１は複数個のイメージセンサ１１を含むウェーハ１０を示す。前記ウェーハ１０は通常ＣＣＤまたはＣＩＳセンサの製造に用いられるシリコンウェーハであり得る。
【００２７】
図１を参照すると、一般的にウェーハ１０の表面積を効率的に満たすために、一連の行と列からなる前記複数個のイメージセンサ１１が配列されることができる。それぞれのイメージセンサ１１は一般的にアクティブ画素センサ（ＡＰＳ）アレイ１１ａ及び周辺回路領域１１ｂを含む。
【００２８】
ＡＰＳアレイ１１ａは行と列に配列された画素のマトリックスとして形成されることができる。通常、それぞれのピクセルはフォトダイオード（または類似の光学受光素子）及び伝達トランジスタ、リセットトランジスタ、選択トランジスタ、電力印加トランジスタなどのような関連する連結または支持構成要素の集合を含むことができる。ＡＰＳアレイに対する多様で特異な設計は当業者によって理解されることができる。
【００２９】
同様に、周辺回路領域１１ｂのレイアウト及び設計は応用及び実現可能な技術によって変わるが、通常理解されるように、タイミング発生器、ローデコーダ、ラッチ及びコラムデコーダなどのような多様なデジタル回路を含むことができる。
【００３０】
さらに、周辺回路領域１１ｂは相関ダブルサンプラ（ｃｏｒｒｅｌａｔｅｄ  ｄｏｕｂｌｅｓ  ａｍｐｌｅｒ）ＡＤコンバータのような多様なアナログ回路を含むことができる。また、周辺回路領域１１ｂは典型的に外部回路とイメージセンサ１１とを連結する多数のコンタクトパッド（図示しない）を含むことができる。このようなコンタクトパッドの一部は以下に示すように、テストの間、特定の作用をもつ。
【００３１】
図２はイメージセンサを製造する間にウェーハレベルでイメージセンサをテストするための光学テスト装置１００を示す。図２を参照すると、光学テスト装置１００はプローブカード１１０、照明ソース１２０、駆動部１３０、制御部１４０、及びコンバータ１５０を含む。
【００３２】
プローブカード１１０は少なくとも１つの露出孔（例えば、スリット形態の開口部）１１１と前記露出孔１１１に隣接し、プローブカード１１０の上部表面に位置した少なくとも１つの基準イメージセンサ１１２を含む。実施形態において、基準イメージセンサ１１２はテストされるイメージセンサに応じて同一または類似の構成を有することができる。
【００３３】
周知のように、プローブカード１１０はまた、それの下部面から延長された多数のプローブ１１３を含むことができる。プローブ１１３はプローブカード１１０の下に置かれたウェーハ１０上に形成されたそれぞれのイメージセンサのパッドと連結されている。
【００３４】
図３及び４は光学テスト装置１１０に用いられるプローブカード１１０の実施例を示す。図３を参照すると、中心に形成された露出孔１１１は１つの基準イメージセンサ１１２とともに照明領域１２５に配置される。照明領域１２５は、照明ソース１２０から露出孔１１１を通じて選択されたイメージセンサを露出するウェーハ１０の上部表面に投射される光学テスト信号（例えば、平行な光１２４）と係わってそれの大きさ、形態及び方向が定義される領域である。この際、露出孔１１１は、定義された照明領域１２５、照明ソース１２０によって投射された光学テスト信号の特性（例えば、平行な光１２４の周波数、光の強度など）及び照明段階の間テストされるイメージセンサの大きさ及び数と係って、それの大きさ、形態及び方向が定義される。
【００３５】
本発明の実施形態に係るプローブカード１１０の使用は従来のプローブカードの使用と多くの点において類似する。例えば、プローブカード１１０から延長されたプローブ１１３はウェーハ１０上の選択されたイメージセンサの入力パッドに電力とテスト信号とを提供するのに用いられることができ、選択されたイメージセンサと係わる出力パッドから対応する出力信号を受信することができる。
【００３６】
したがって、周知のように、プローブカード１１０は選択されたイメージセンサと関連するテスト装置の間のテスト信号伝達を容易にするために、外部テスタまたはテスト部（図示しない）に連結されることができる。この際、プローブカード１１０に位置する基準イメージセンサ１１２の出力はプローブカード１１０によって提供される連結を通じて関連テスト装置備に同様に送られる。本発明の実施形態において、このような関連テスト装置は例えば、制御部１４０とコンバータ１５０とを含む。
【００３７】
図３において、１つの基準イメージセンサ１１２は照明領域１２５内に、露出孔１１１に隣接して中央に配置される。一方、図４において、多数の基準イメージセンサ１１２が露出孔１１１の周りに配列される。本発明の他の実施形態において、追加的な基準イメージセンサ１１２は露出孔１１１の周り及び／または露出孔１１１に沿ったに空間的なフィードバック基準値を提供するであろう。
【００３８】
１つの基準イメージセンサと比較すると、多数の基準イメージセンサは、照明ソース１２０によって投射される光学テスト信号の特性におけるより詳しい空間的な変化を示すであろう。
【００３９】
図２を参照すると、光学テスト装置１００はプローブカード１１０上に照明ソース１２０を配置する。このような配置は、照明ソース１２０はプローブカード１１０の照明領域１２５全体にかけた光学テスト信号として平行な光１２４を均一に提供するのに適する。図示した実施形態において、照明ソース１２０は光源（ｌｉｇｈｔ  ｓｏｕｒｃｅ）１２１、光アパーチュア（ｌｉｇｈｔ  ａｐｅｒｔｕｒｅ）１２２、複数個のレンズ１２３、及び１つまたはそれ以上の光学フィルタ１２９を含む。
【００４０】
この明細書の全体で用いられる光（ｌｉｇｈｔ）という用語はどんな適度の波長または一定の範囲の波長を有する光学エネルギーを含むことと広く解釈されることができる。したがって、可視光線は現在の商業的生産物に照らすと、光学テスト信号の典型として非常に連関性のある一方、当業者は可視光線の以外の光（例えば、赤外線または近赤外線）を選択的に含む光学テスト信号が本発明の実施形態において類似に用いられることができることが分かる。
【００４１】
周知の方法で、複数個のレンズ１２３は光源１２１から放出された光を平行にする。複数個のレンズ１２３に到逹する前に、放出された光は光アパーチュア１２２を通過する。光アパーチュア１２２の開口部の大きさ１２２ａは駆動部１３０の微細な制御によって調節されることができる。したがって、テストされる選択されたイメージセンサに照射するために照明ソース１２０によって照明領域１２５に投射された平行な光１２４の強度は光アパーチュアの大きさ１２２ａを変化させることによって、微細に制御できる。
【００４２】
光アパーチュア１２２によって提供された光の強度変化と係わって、１つまたはそれ以上の光学フィルタ１２９が放出された光を調整するために用いられる。例えば、１つまたはそれ以上の光学フィルタは光源１２１から放出された光から光学的波長を選択するか排除するために用いられることができる。光学フィルタ１２９によって広範囲な帯域の光源１２１を使用することができ、高い波長の特定の光学テスト信号をイメージセンサに照明することができる。
【００４３】
駆動部１３０は、通常の設計が光アパーチュア１２２の大きさ１２２ａを制御するのに適する制御信号を発生させる限り、通常の設計を有することができる。
【００４４】
実際に、多くの従来の光学テスト装置は、光源１２１に印加される入力電圧を発生させる駆動部を含む。このような入力信号は一般的に固定された電圧であり、駆動部１３０で制御されるフィードバック信号であり得る。しかし、本発明では、駆動部１３０によって光源１２１に印加される入力信号が制御部１４０によって提供されるフィードバック信号及び／または制御信号と係わって変化するという実施例も考えられる。
【００４５】
図２を参照すると、駆動部１３０は光源１２１を制御する入力信号（例えば、固定かまたは可変の電圧）だけでなく、光アパーチュアの大きさ１２２ａを制御する制御信号を発生することができる。光アパーチュアメカニズムを調節する多様な電圧は一般的にこのような目的に有用である。さらに、このような目的を有する駆動部１３０の（再）プログラミングまたは再構成は当業者の能力内で実行されることができると見なされる。
【００４６】
制御部１４０は制御器（ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）１４１、光の強度設定部１４２、補正器１４３、及びデータベース１４４を含む。制御器１４１は計装及び／または応用制御装置の製造で使用する通常のプロセッサを有することができる。
【００４７】
補正器１４３は通常のデジタルデータまたはアナログ信号比較器（ｃｏｍｐａｒａｔｏｒ）回路であり得る。光の強度設定部１４２は基準データを保存するデータレジスタまたはデータメモリであり得る。データメモリとして構成されれば、光の強度設定部１４２はデータベース１４４と別に提供されるか、データベース１４４に含まれることができる。データベース１４４は１つまたはそれ以上の補正テーブルを保存する多くの従来の構造のうちのいずれか１つであり得る。相関関係テーブルは以下で追加的に説明するように、多様な目的に有用することができる。
【００４８】
他の機能だけではなく、制御部１４０は駆動部１３０にフィードバック制御信号を提供することができる。このフィードバック制御信号は光アパーチュア１２２及び／または光源１２１に駆動部１３０によって印加される制御信号及び／または入力信号の数値を定義する。
【００４９】
制御器１４１はコンバータ１５０を通じて基準イメージセンサ１１２から光学フィードバック信号を受信することができ、プローブカード１１０から／にテスト制御信号とテストデータ信号とを受信及び／または送信することができる。このようなテスト制御信号とテストデータ信号は従来のプローブカードに係るそれと類似のものであり得る。
【００５０】
光学テスト装置１００に対する駆動方法を説明する。複数個のイメージセンサが形成されたまたは一部形成されたウェーハ１０が光学テスト装置１００に配置される。プローブカード１１０の下のテスト位置に配置されれば、選択されたイメージセンサはプローブ１１３に連結され、プローブカード１１０の露出孔１１１を通じて光学的に露出する。このような方法で、選択されたイメージセンサは照明ソース１２０から提供された平行な光１２４と連関して連続的にテストされることができる。１つのグループのイメージセンサをテストした後、プローブカード１１０及び／またはウェーハ１０は他のグループのイメージセンサをテストするために再配置されることができる。
【００５１】
光学テストの間、選択されたイメージセンサはプローブ１１３を通じた制御器１４１によって提供されたテスト制御信号に応答し、さらに、露出孔１１１を通過した平行な光１２４に応答する。このような入力によって、それぞれのイメージセンサは制御器１４１（及び／または他のテスト装置）にテストデータ信号を出力する。出力テストデータは照明ソース１２０によって提供された光学テスト信号を含むテスト条件に係わるそれぞれのイメージセンサの駆動動作を表示する。
【００５２】
照明ソース１２０によって提供された光学テスト信号の実在的な特性が正しいか否かを確認するために、プローブカード１１０に結合した基準イメージセンサ１１２はコンバータ１５０を通じて制御器１４１に光学フィードバック信号を出力する。光学フィードバック信号（アナログまたはデジタル方式で）は光学テスト信号（例えば、平行な光１２４）に反応する基準イメージセンサ１１２を示す電圧、電流、周波数及び／またはデータ数値であり得る。
【００５３】
ウェーハ１０上のイメージセンサを実質的にテストする前に、制御部１４０は、例えばデータベース１４４に保存された多数の補正テーブルを初期化（または選択的に受信）することができる。前記補正テーブルは、制御部１４０がプローブカード１１０に提供された適切なテスト制御信号及び／または駆動部１３０に提供される制御フィードバック信号を発生させるようにする基準データを含む。
【００５４】
図５は補正テーブル５００を説明する。図５を参照すると、補正テーブル５００は３つのデータ列を含む。１番目の列（最も左側）でのデータ数値は光学テスト信号に対する好ましい光の強度をそれぞれ表示する。２番目の列のデータ数値は光源１２１に印加された入力信号を表示する。図５に示した例において、固定された入力信号が仮定される。３番目（最も右側）の列のデータ数値はそれぞれ光アパーチュアの大きさ１２２ａに印加される制御信号を表示する。光アパーチュア大きさ１２２ａを変化させることによって、光学テスト信号の強度が微細に調節される。
【００５５】
基準イメージセンサ１１２、制御部１４０、及び駆動部１３０によって提供されるフィードバックループの影響下で、照明ソース１２０は、相関関係テーブル５００の特定の数値と連関して定義された制御信号によって制御される。一実施形態において、選択された制御信号数値及び／または入力信号数値は駆動部１３０に提供される制御フィードバック信号の一部として提供される。
【００５６】
追加的な補正テーブルは、他のテスト基準または影響（光源１２１の使用期間等）、駆動温度などを考慮して提供される。また、光源１２１が多数のエミッタ（例えば、標準ＲＧＢ出力を提供するダイオード）を含む構成において、別個の補正テーブルがそれぞれのエミッタを制御するためにデータベース１４４内に作られ、維持されることができる。
【００５７】
図２を参照すると、適切な補正テーブルが制御器１４１によってアクセスされれば、制御部１４０は適切に決められた制御フィードバック信号を駆動部１３０に送ることができる。
【００５８】
これに反応して、駆動部１３０は入力信号と制御信号の多様な変調、駆動温度と機械的な減衰制御などを変化させることを含む他の方法だけではなく、上述した例（例えば、入力信号、制御信号、フィルタの選択などを調節すること）を含む多様な方法で照明ソース１２０による光学テスト信号の出力を制御することができる。
【００５９】
したがって、駆動部１３０の制御によって、照明ソース１２０はプローブカード１１０と選択されたイメージセンサに対して定義された性質を有するうまく制御された均一な光学テスト信号を提供することができる。
【００６０】
照明ソース１２０によって提供された平行な光１２４が基準イメージセンサ１１２とテストされる選択されたイメージセンサに同一に照射されることによって、リアルタイムフィードバックは平行な光１２４の実際の性質と係わって得られることができる。従来の光学テスト装置と異なり、本発明の実施形態はテストされるイメージセンサに提供された実際の平行な光１２４の強度を追跡するのに非常に適する。そして、非常に低いレベルの光学テスト信号に対しても同様である。
【００６１】
例えば、従来のテスト装置は約１ルーメン（ｌｕｘ）以下のレベルの光学テスト信号を正確に評価することができなかった。結果的に、低いレベルの光学テスト信号の性質を正確に評価するために通常高価の装備が光学テスト装備として用いられてきた。イメージセンサの低い光での駆動が重要な動作特性基準となるので、このような特異な検証ステップが必要となる。
【００６２】
図６はプローブカード１１０と結合した基準イメージセンサ１１２を通じて表示される伝送関数６００を説明するグラフである。０．０から１．０ルーメンまでの発光電力入力の範囲は、基準イメージセンサ１１２（コンバータ１５０を通じて）が０．０から約１５００ヘルツの間の範囲を有する周波数信号を発生させるようにする（伝送関数６００の線形性において、少しの不完全性は光学テスト装置１００の動作特性を低下させることができるため、本発明の実施形態は線形性の不完全性を補正するように、データベース１４４に１つまたはそれ以上のフィードバック補正テーブルを提供するという長所がある）。
【００６３】
それにもかかわらず、図６に示したように、実施形態によって提供される低い光レベルのフィードバックの明確性は注目するに値する。非常に低い強度レベルによって、照明ソース動作の微細な評価のために非常に微細な出力周波数の識別が必要である。結果的に、特殊の低い光レベルのテスト装置が要求されず、照明ソースの低い光レベルの動作特性を確認するために製造過程が中断されない。
【００６４】
再度図２を参照すると、制御器１４１が基準イメージセンサ１１２から光学フィードバック信号を受信すると、光学フィードバック信号（またはそれから抽出されたデータ数値）と光強度設定部１４２または補正器１４３を用いるデータベース１４４に保存された１つまたはそれ以上の基準数値とを比較することができる。この際、補正器１４３はハードウェアベースの比較器（例えば、フィードバック付加回路）、または制御器１４１に対して動作するソフトウェアであり得る。
【００６５】
光強度設定部１４２に保存された基準数値が受信された光学フィードバック信号と一致すると、光学テスト装置１００は、テスト出力において高い信頼度を有する様々な光学テストを選択されたイメージセンサに対し実行することができる。重要性のある多様なテストは、全体的な敏感性テスト、低い光レベルの敏感性テスト、線形性テスト、ノイズテスト、非機能的な画素に対するテストなどを含むことができる。単一のイメージセンサをテストしたり、多数のセンサをテストしたり、特定状況でウェーハ１０が異なる行のイメージセンサを連続的に照射するように繰り返して再配置されることができる。
【００６６】
しかし、光強度設定部１４２に保存された基準数値が受信された光学フィードバック信号と実質的に異なると、光学テスト装置１００は、例えば駆動部１３０に提供される制御フィードバック信号を修正することによって、再構成されることができる。このような再構成は相関関係テーブルに貯蔵された１つまたはそれ以上の基準数値を増加または減少させることを伴うことができる。
【００６７】
例えば、基準イメージセンサ１１２によって提供された光学フィードバック信号が実在的な光学テスト信号強度（例えば、１．９ルーメン）を示した場合、光学テスト信号の強度は光学テスト信号（例えば、２．０ルーメン）に対する好ましい強度レベルより５％低く、制御部１４０はこのような不一致に対して補正するために対応する相関関係テーブルに適切な書き込み（登録）を調節することができる。図５に示すテーブル５００を考慮すれば、２．０ルーメンの好ましい光の強度に対応する制御信号電圧に対する相関関係テーブルの書き込みは２．０から２．１Ｖまで増加することができる。この新しい相関関係テーブル記載は駆動部１３０に制御部１４０によって提供される制御フィードバック信号を再設定することができる。
【００６８】
この方法で、前記選択されたイメージセンサに提供される実際の光学テスト信号に対するリアルタイムフィードバック制御を得ることができる。上述した光学テスト信号の１つの性質として光の強度と係わっている。しかし、照明ソースによって発生される光学テスト信号の１つまたはそれ以上の性質、例えば、周波数、波長、極性、相、変調などは同様に制御されるか、補正されることができる。
【００６９】
また、１つまたはそれ以上の保存された相関関係テーブルの使用は一例としての手段に過ぎず、その手段により１つまたはそれ以上の基準数値（または基準信号）がフィードバック制御ループ内で用いられるために提供される。この点で、“数値”及び“信号”という用語は基準及びフィードバック機能と係わり、当業者は、数値は信号から抽出されることができ、かつ信号は１つまたはそれ以上の数値から抽出されることができると理解することができるため、互いに取り替えて用いられることができる。
【００７０】
図７Ａ及び７Ｂは光学テスト装置１００に対する駆動方法を概略的に説明するフローチャートである。駆動方法はイメージセンサのウェーハレベルでの光学テストに対するものである。印加された光学テスト信号の強度はフィードバック制御される性質と見なされる。
【００７１】
図７Ａのフローチャート及び図２の概略図を参照すると、駆動方法は適する補正テーブルを準備して、データベース１４４（Ｓ１１）に保存することから始まる（Ｓ１０）。相関関係テーブルは、例として、図５に示した相関関係テーブル５００の形態を含む多くの形態（例えば、多様なデータ構造またはデータファイル）を取ることができる。
【００７２】
次に、相関関係テーブルに保存された１つまたはそれ以上の基準データ数値に基いて、好ましい光学テスト信号の性質が定義され、光学テスト装置１００内で設定される（Ｓ１２）。前記“設定”手続きは、メモリから基準数値を読み出し、または外部ソース（例えば、製造設備を管理する中央コンピュータシステム）から基準数値を受信し、その後、制御器１４１によって光強度設定１４２に基準データ数値を書き込むことを含む。
【００７３】
制御部１４０に定義され設定された光学テスト信号の性質によって、制御フィードバック信号は駆動部１３０に提供されることができ、順に駆動部１３０は入力信号と制御信号とを照明ソース１２０に提供する。このような“制御”信号のもとで、照明ソース１２０は基準イメージセンサ１１２に光を照射する（Ｓ１３）。
【００７４】
基準イメージセンサ１１２は光学テスト信号を受信し、それを対応する電気的信号に変換し、その後、コンバータ１５０を通じて制御部１４０に前記対応する電気的信号を伝達する。前記対応する電気的信号は、照明ソース１２０によって基準イメージセンサ１１２に提供された光学テスト信号の強度を示す光学フィードバック信号である（Ｓ１４）。
【００７５】
フィードバック数値は従来の技術（例えば、サンプリング）を用いて光学フィードバック信号から抽出されることができる。抽出された後、フィードバック数値は、例えば、光強度設定部１４２に保存された基準数値と比較される。この比較はフィードバック数値と設定基準数値との間の潜在的な差を決める補正器１４３または制御器１４１によって実行されることができる（Ｓ１５）。前記差はフィードバックループにおいて光学テスト装置１００のさらなる駆動を定義するのに用いられることができる。
【００７６】
重大な差（定義された初期値を越す差）が認められると、相関関係テーブル記載事項（または一団の記載事項）が認められた差によってアップデート（例えば、メモリに再書き込み）されることができる（Ｓ２１）。その次に、相関関係テーブルに保存されたアップデートされた基準数値に基いて、アップデートされた制御フィードバック信号が定義され、照明ソース１２０による光学テスト信号出力を調節（または補正）するために、アップデートされた制御フィードバック信号が駆動部１３０に印加される（Ｓ２２）。補正が実行されることによって、照明ソース１２０は再び基準イメージセンサ１１２に光を照射し（Ｓ１３）、駆動方法は図７Ａに示した初期実行経路に戻されることができる。
【００７７】
実施形態の方法で提供された補正フィードバックループは光学テスト信号の性質が確定されるまで繰り返される。特に、補正フィードバックループは光学テスト信号の複数の性質と連関して数回繰り返されることができる。すなわち、補正フィードバックループを通じた第１経路が光学テスト信号の強度を補正し、補正フィードバックループを通じた第２経路が他の性質を補正することができる。
【００７８】
再び、図７Ａを参照すると、フィードバック数値と基準設定数値との間の重大な差が認められなければ（Ｓ１５）、テストされる選択されたイメージセンサは光学テスト信号を照射され（Ｓ１６）、１つまたはそれ以上の光学テストが光学テスト信号と係わって実行されることができる（Ｓ１７）。このように、光学テスト信号の性質（例えば、光の強度）は提供されたフィードバックメカニズムによって分かるか、考慮されるため、光学テストは非常に高い程度の信頼性を有して実行される。
【００７９】
光学テストの出力に基いて（Ｓ１８）、それぞれのイメージセンサのうち、良品でないものは廃棄され（Ｓ２０）、そうでないものはパッケージ（Ｓ１９）のための製造工程へと続く。
【００８０】
図７Ｂのフローチャートは、基準イメージセンサに再び光を照射する段階（Ｓ１３）および補正された光学フィードバック信号に対するフィードバック数値を再び抽出する段階（Ｓ１４）を通じたループバック検証を行わずにイメージセンサに光を照射するという点（Ｓ１６）を除けば、図７Ａと非常に類似である。その代わりに、フィードバック数値と基準設定との間の差を決定（Ｓ１５）すると、すぐ補正段階（Ｓ２１とＳ２２）に移り、イメージセンサに光が照射されテストされる（Ｓ１６及びＳ１７）。光学テスト装置１００を駆動するこの方法はより効率的であるが（時間の節減）、光学テスト信号が補正後、テストに実際に使用される前に検証されないので、それの出力結果においてわずかに信頼性が低い。
【００８１】
多様な実施形態において、上述した装置構成要素及び／又は方法はコンピュータベースシステムまたはプログラム可能なロジックのようなプログラマブル装置を用いて実施されることができ、前記説明された装置及び方法は“Ｃ“、“Ｃ＋＋”、“ＦＯＲＴＲＡＮ”、“Ｐａｓｃａｌ”、“ＶＨＤＬ”のような周知の、または後に開発される多様なプログラム言語を用いて実施されることができる。
【００８２】
したがって、適する光学テスト信号を照射する装置と係わる前記説明された機能及び／または方法の全部またはその一部分を実施するために、磁気コンピュータディスク、光学ディスク、電子メモリのような多様な記憶メディアはコンピュータのような一般的な制御装置を監督するのに適する情報を含むように具備されることができる。そのような一般的な制御装置が前記貯蔵メディアに含まれたプログラムおよびデータにアクセスする時、前記説明された機能及び／または方法段階の全部または一部が実行されることができる。
【００８３】
例えば、ソースファイル、対象ファイル、駆動ファイルのような適切なプログラム及びデータ情報を含むコンピュータディスクがコンピュータに提供されれば、コンピュータは情報を受信し、適切にそのものを構成し、前記概略図とフローチャートに説明された方法を実施することだけでなく、多くの機能を制御部１４０と駆動部１３０に対し実行する。このような点において、駆動部１３０と制御部１４０の機能は一般的なハードウェア／ソフトウェアプラットホームに含まれることができる。
【００８４】
本発明の様々な特徴と利点は上記した説明から明らかである。請求項は発明の範囲内のすべての特徴と利点を含む。また、多くの修正と変化は当業者に容易に理解されることができ、図示されるか、説明された明確な構造及び作用によって発明が制限されない。むしろ、すべての修正及び均等物が発明の範囲に含まれなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】複数個のイメージセンサを含むウェーハを示す。
【図２】本発明の一実施形態によって半導体イメージセンサをテストするのに適するテスト装置を説明する概路図である。
【図３】図２の装置で用いられるプローブカードの一例を説明する。
【図４】図２の装置で用いられるプローブカードの他の例を説明する。
【図５】図２の照明ソースの制御に用いられる相関関係テーブルの一例を説明する。
【図６】本発明の実施形態による基準イメージセンサに対して低い光量レベルの伝送関数を示すグラフである。
【図７Ａ】図２の光学テスト装置に対する動作方法を概略的に説明するフローチャートである。
【図７Ｂ】図２の光学テスト装置に対する動作方法を概略的に説明するフローチャートである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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