(57)【要約】【課題】不具合の原因を特定しやすい構成を提供する。【解決手段】変位センサ１は、ヘッド部１１とコントローラ１２とを有し、ヘッド部１１には、ワークＷに向けて投光する投光手段と、位置検出手段とが設けられている。コントローラ１２は、位置検出手段からの電圧信号Ｓ１に基づいてワークＷまでの距離を測定できるように構成されている。さらに、コントローラ１２では、測定モードと本体部診断モードとを切り替え可能とされている。本体部診断モードに設定された場合には、擬似的な検出信号が生成され、アンプ部、Ａ／Ｄ変換器を介してＣＰＵに与えられる。メモリ３９には、擬似的な検出信号が与えられたときの測定結果の基準となる基準情報が記録されており、擬似的な検出信号が与えられたときの測定結果と、メモリ３９に記憶される基準情報とに基づきコントローラ１２の異常を判定するように構成されている。【選択図】図２
2007121175.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出物へ向けて投光する投光手段と、前記被検出物からの反射光を、前記被検出物までの距離に応じた位置で受光し、前記距離に応じた検出信号を出力する位置検出手段と、を備えるヘッド部と、
前記ヘッド部が取り付けられ、前記位置検出手段からの検出信号に基づいて前記被検出物までの距離を測定する測定手段を備えた本体部と、
擬似的な検出信号を生成するためのデータが記憶される擬似信号記憶手段と、
前記測定手段による測定処理を行う測定モードと、前記本体部を診断する本体部診断モードと、を切り替え可能な切替手段と、
前記切替手段にて前記本体部診断モードに設定された場合に、前記擬似的な検出信号を前記測定手段へ与える制御手段と、
前記擬似的な検出信号が前記測定手段に与えられたときの測定結果の基準となる基準情報が記録される基準情報記憶手段と、
前記擬似的な検出信号が与えられたときの前記測定手段の測定結果と、前記基準情報記憶手段に記憶される前記基準情報と、に基づき前記本体部の異常を判定する本体部異常判定手段と、
を備えたことを特徴とする変位センサ。
【請求項２】
前記本体部において、前記擬似信号記憶手段に記憶される前記擬似的な検出信号を生成するデータを更新する更新手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の変位センサ。
【請求項３】
前記本体部は、外部から前記擬似的な検出信号を生成するデータを入力する外部情報入力手段を備え、
前記更新手段は、前記外部情報入力手段にて入力されるデータに基づいて、前記擬似信号記憶手段に記憶される前記擬似的な検出信号を生成するデータを更新することを特徴とする請求項２に記載の変位センサ。
【請求項４】
被検出物へ向けて投光する投光手段と、前記被検出物からの反射光を、前記被検出物までの距離に応じた位置で受光し、前記距離に応じた検出信号を出力する位置検出手段と、を備えるヘッド部と、
前記ヘッド部が取り付けられ、前記位置検出手段からの検出信号に基づいて前記被検出物までの距離を測定する測定手段を備えた本体部と、
前記測定手段による測定処理を行う測定モードと、前記ヘッド部を診断するヘッド部診断モードと、を切り替え可能な切替手段と、
基準となる被検出物が配置されたときの前記測定手段による測定結果に基づく基準結果情報を予め記憶する基準結果情報記憶手段と、
前記切替手段にて前記ヘッド部診断モードに切り替えられたときの前記測定手段による測定結果と、前記基準結果情報記憶手段に記憶される前記基準結果情報と、に基づき、前記ヘッド部の異常を判定するヘッド部異常判定手段と、
を備えたことを特徴とする変位センサ。
【請求項５】
前記切替手段は、前記測定手段による測定処理を行う測定モードと、前記ヘッド部を診断するヘッド部診断モードと、を切り替え可能に構成され、
更に、
基準となる被検出物が配置されたときの前記測定手段による測定結果に基づく基準結果情報を予め記憶する基準結果情報記憶手段と、
前記切替手段にて前記ヘッド部診断モードに切り替えられたときの前記測定手段による測定結果と、前記基準結果情報記憶手段に記憶される前記基準結果情報と、に基づき、前記ヘッド部の異常を判定するヘッド部異常判定手段と、
が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の変位センサ。
【請求項６】
前記切替手段は、外部操作に基づく切替動作が可能とされていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の変位センサ。
【請求項７】
前記ヘッド部における前記位置検出手段からの検出信号を増幅して出力する増幅回路を有し、
前記擬似的な受光信号は、前記増幅回路を介して前記測定手段に入力されるようになっていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の変位センサ。
【請求項８】
前記位置検出手段は前記検出信号をアナログ信号として出力し、
前記本体部は、アナログ信号とされた前記検出信号をデジタル信号に変換して前記測定手段に与えるＡ／Ｄ変換回路を備え、
前記本体部異常判定手段は、
前記擬似信号記憶手段に記憶されるデータに基づき、前記擬似的な受光信号をデジタル信号として出力する出力手段と、
前記出力手段にて出力された前記擬似的な受光信号を、アナログ信号に変換するＤ／Ａ変換回路と、
を備え、
前記切替手段にて前記本体部診断モードに設定された場合に、前記制御手段の制御により、前記Ｄ／Ａ変換回路を介してアナログ信号とされた前記擬似的な受光信号が、前記Ａ／Ｄ変換回路を介して前記測定手段に与えられることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の変位センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、変位センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被検出物に向けてレーザ光を照射すると共に、被検出物からの反射光を位置検出素子にて受光し、その位置検出素子から出力される検出信号に基づいて被検出物までの距離を測定する変位センサが提供されている。例えば下記特許文献１には、光源からの光を被検出物に照射し、その反射光をイメージセンサで受光して、当該反射光のイメージセンサにおける受光位置に基づき光源及びイメージセンサから被検出物までの距離を測定する光学式変位計が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−５０７１１公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記のような変位センサでは、何らかの原因で異常な測定値が生じる場合がある。このような異常な測定値の原因は、ユーザ側の外部要因であったり、変位センサ内部の要因であったりするが、従来では、その要因を特定しにくく、原因究明に多大な時間を要していた。
【０００４】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、不具合の原因を特定しやすい構成を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、
被検出物へ向けて投光する投光手段と、前記被検出物からの反射光を、前記被検出物までの距離に応じた位置で受光し、前記距離に応じた検出信号を出力する位置検出手段と、を備えるヘッド部と、
前記ヘッド部が取り付けられ、前記位置検出手段からの検出信号に基づいて前記被検出物までの距離を測定する測定手段を備えた本体部と、
擬似的な検出信号を生成するためのデータが記憶される擬似信号記憶手段と、
前記測定手段による測定処理を行う測定モードと、前記本体部を診断する本体部診断モードと、を切り替え可能な切替手段と、
前記切替手段にて前記本体部診断モードに設定された場合に、前記擬似的な検出信号を前記測定手段へ与える制御手段と、
前記擬似的な検出信号が前記測定手段に与えられたときの測定結果の基準となる基準情報が記録される基準情報記憶手段と、
前記擬似的な検出信号が与えられたときの前記測定手段の測定結果と、前記基準情報記憶手段に記憶される前記基準情報と、に基づき前記本体部の異常を判定する本体部異常判定手段と、
を備えたことを特徴とする。
【０００６】
請求項２の発明は、請求項１に記載の変位センサにおいて、
前記本体部において、前記擬似信号記憶手段に記憶される前記擬似的な検出信号を生成するデータを更新する更新手段が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項２に記載の変位センサにおいて、
前記本体部は、外部から前記擬似的な検出信号を生成するデータを入力する外部情報入力手段を備え、
前記更新手段は、前記外部情報入力手段にて入力されるデータに基づいて、前記擬似信号記憶手段に記憶される前記擬似的な検出信号を生成するデータを更新することを特徴とする。
【０００８】
請求項４の発明は、
被検出物へ向けて投光する投光手段と、前記被検出物からの反射光を、前記被検出物までの距離に応じた位置で受光し、前記距離に応じた検出信号を出力する位置検出手段と、を備えるヘッド部と、
前記ヘッド部が取り付けられ、前記位置検出手段からの検出信号に基づいて前記被検出物までの距離を測定する測定手段を備えた本体部と、
前記測定手段による測定処理を行う測定モードと、前記ヘッド部を診断するヘッド部診断モードと、を切り替え可能な切替手段と、
基準となる被検出物が配置されたときの前記測定手段による測定結果に基づく基準結果情報を予め記憶する基準結果情報記憶手段と、
前記切替手段にて前記ヘッド部診断モードに切り替えられたときの前記測定手段による測定結果と、前記基準結果情報記憶手段に記憶される前記基準結果情報と、に基づき、前記ヘッド部の異常を判定するヘッド部異常判定手段と、
を備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の変位センサにいおいて、
前記切替手段は、前記測定手段による測定処理を行う測定モードと、前記ヘッド部を診断するヘッド部診断モードと、を切り替え可能に構成され、
更に、
基準となる被検出物が配置されたときの前記測定手段による測定結果に基づく基準結果情報を予め記憶する基準結果情報記憶手段と、
前記切替手段にて前記ヘッド部診断モードに切り替えられたときの前記測定手段による測定結果と、前記基準結果情報記憶手段に記憶される前記基準結果情報と、に基づき、前記ヘッド部の異常を判定するヘッド部異常判定手段と、
が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
請求項６の発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の変位センサにおいて、
前記切替手段は、外部操作に基づく切替動作が可能とされていることを特徴とする。
【００１１】
請求項７の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の変位センサにおいて、
前記ヘッド部における前記位置検出手段からの検出信号を増幅して出力する増幅回路を有し、
前記擬似的な受光信号は、前記増幅回路を介して前記測定手段に入力されるようになっていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の変位センサ。
【００１２】
請求項８の発明は、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の変位センサにおいて、
前記位置検出手段は前記検出信号をアナログ信号として出力し、
前記本体部は、アナログ信号とされた前記検出信号をデジタル信号に変換して前記測定手段に与えるＡ／Ｄ変換回路を備え、
前記本体部異常判定手段は、
前記擬似信号記憶手段に記憶されるデータに基づき、前記擬似的な受光信号をデジタル信号として出力する出力手段と、
前記出力手段にて出力された前記擬似的な受光信号を、アナログ信号に変換するＤ／Ａ変換回路と、
を備え、
前記切替手段にて前記本体部診断モードに設定された場合に、前記制御手段の制御により、前記Ｄ／Ａ変換回路を介してアナログ信号とされた前記擬似的な受光信号が、前記Ａ／Ｄ変換回路を介して前記測定手段に与えられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
＜請求項１の発明＞
請求項１の発明によれば、測定時に異常な値が得られた場合、本体部診断モードに切り替えて診断を行うことで、本体部に異常がある場合にはそれを検出でき、逆に異常がない場合には、他部分に異常があることを特定できることとなる。よって、異常の原因部分を特定しやすく、不具合の原因究明を良好に行うことができる。
【００１４】
＜請求項２の発明＞
請求項２の発明によれば、擬似的な受光信号の設定の自由度を高めることができる。
【００１５】
＜請求項３の発明＞
請求項３の発明によれば、ユーザが擬似的な受光信号を独自に設定しやすい好適な構成となる。
【００１６】
＜請求項４の発明＞
請求項４の発明によれば、測定時に異常な値が得られた場合、ヘッド部診断モードに切り替えて診断を行うことで、ヘッド部に異常がある場合にはそれを検出でき、逆に異常がない場合には、他部分に異常があることを特定できることとなる。よって、異常の原因部分を特定しやすく、不具合の原因究明を良好に行うことができる。
【００１７】
＜請求項５の発明＞
請求項５の発明によれば、本体部診断モードのみならず、ヘッド部診断モードにも切り替え可能となり、本体部の異常だけでなく、ヘッド部の異常をも容易に特定できるようになる。よって、異常の原因部分がより一層特定しやすくなり、不具合の原因究明をより効果的に行うことができる。
【００１８】
＜請求項６の発明＞
請求項６の発明によれば、外部操作によって容易に診断を開始できるようになるため、使い勝手をより良好なものとすることができる。
【００１９】
＜請求項７の発明＞
請求項７の発明によれば、本体部の増幅回路の異常が生じた場合に、その異常を好適に検出できる構成となる。
【００２０】
＜請求項８の発明＞
請求項８の発明によれば、本体部のＡ／Ｄ変換回路の異常が生じた場合に、その異常を好適に検出できる構成となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図面を参照しつつ説明する。
１．全体構成
図１は、本実施形態の変位センサ１の全体概要図である。この変位センサ１は、ヘッド部に相当するセンサヘッド部１１と、本体部に相当するコントローラ部１２とが信号ケーブルを介して接続された構成をなしている。
【００２２】
センサヘッド部１１は、投光素子としてのレーザダイオード（ＬＤ）１５と、そのレーザダイオード１５を駆動するためのＬＤ駆動回路１６と、レーザダイオード１５から発せられたレーザ光Ｌ１をワークＷ表面上に照射させる投光レンズ１７とを備えている。これらのレーザダイオード１５、ＬＤ駆動回路１６及び投光レンズ１７が本発明の「投光手段」に相当する。
【００２３】
更に、センサヘッド部１１は、受光レンズ１８と、その受光レンズ１８を透過したレーザ光Ｌ２を受光する位置検出素子としてのＣＣＤリニアセンサ１９と、そのＣＣＤリニアセンサ１９を駆動するためのＣＣＤ駆動回路２０とを備えている。受光レンズ１８、ＣＣＤリニアセンサ１９、及びＣＣＤ駆動回路は位置検出手段に相当する。
【００２４】
レーザダイオード１５から発せられたレーザ光Ｌ１は、投光レンズ１７を透過してワークＷ上に照射される。そして、このワークＷ上での拡散反射光Ｌ２は、受光レンズ１８を透過してＣＣＤリニアセンサ１９に入射する。このＣＣＤリニアセンサ１９において受光量とワークの相対位置に応じて蓄積された電荷は、ＣＣＤ駆動回路２０によって読み出され、時系列の電圧信号に変換される。
【００２５】
ＣＣＤ駆動回路２０が所定の転送用クロックをＣＣＤリニアセンサ１９に与えることにより、ＣＣＤリニアセンサ１９は、各画素に蓄積された電荷を１画素ずつ順番に転送する。そして、ＣＣＤ駆動回路２０は、全画素の蓄積電荷に対応する時系列の電圧信号Ｓ１（電圧信号Ｓ１は検出信号に相当する）を出力する。
【００２６】
コントローラ部１２は、ＣＰＵ３５（図２）、メモリ３９（図２）及び操作キー４１を備えている。ＣＰＵ３５は、「測定モード」時及び「サンプリングモード」時において、ＬＤ駆動回路１６に駆動信号を与えてレーザダイオード１５に投光動作をさせ、所定周期でＣＣＤ駆動回路２０を駆動させてＣＣＤリニアセンサ１９の各画素の蓄積電荷を転送させる受光動作を実行させて、ＣＣＤ駆動回路２０からの電圧信号Ｓ１を受ける。
【００２７】
以上の構成により、センサヘッド部１１では、ＣＣＤリニアセンサ１９の受光面１９ａ上における拡散反射光Ｌ２の受光位置Ｐが、投光レンズ１７からワークＷの照射スポットＱまでの距離によって移動する。そして、ＣＰＵ３５は、ＣＣＤリニアセンサ１９の受光面１９ａ上における拡散反射光Ｌ２の受光位置Ｐを、電圧信号Ｓ１を解析して検出することによりワークＷの高さ変位を測定することできる。
【００２８】
より具体的には、ＣＰＵ３５は、ＣＣＤ駆動回路２０からの電圧信号Ｓ１を受けて、ＣＣＤリニアセンサ１９の受光面１９ａ上の全画素から最大受光量の画素を検出しメモリ３９の測定データ記憶領域に時系列で格納する。このとき、ＣＰＵ３５は本発明の「測定手段」として機能する。
【００２９】
２．測定機能
変位センサ１は、上述したように、ヘッド部１１と本体部１２とが設けられ、ヘッド部１１には、ワークＷ（被検出物）へ向けて投光する投光手段と、ワークＷからの反射光を、ワークＷまでの距離に応じた位置で受光し、距離に応じた電圧信号Ｓ１（検出信号）を出力する位置検出手段とが設けられている。
【００３０】
本体部１２は、ヘッド部１１が取り付けられ、位置検出手段からの検出信号に基づいて被検出物までの距離を測定する機能を有している。本実施形態では、ＣＰＵ３５が、このような測定手段として機能している。
【００３１】
コントローラ１２は、ヘッド部における位置検出素子からの検出信号を増幅して出力するアンプ回路３１（アンプ３１は増幅回路に相当する）を有し、その増幅された検出信号は、Ａ／Ｄ変換器３３（Ａ／Ｄ変換器３３はＡ／Ｄ変換回路に相当する）に入力され、デジタル化されてＣＰＵ３５に入力されるようになっている。
【００３２】
本実施形態に係る構成では、位置検出手段に相当する受光レンズ１８、ＣＣＤリニアセンサ１９、ＣＣＤ駆動回路２０により、検出信号としてアナログの電圧信号Ｓ１が出力されるようになっており、この電圧信号Ｓ１を受け取るコントローラ１２では、アナログ信号とされた検出信号をＡ／Ｄ変換器３３によりデジタル信号に変換し、測定手段たるＣＰＵ３５に与えるように構成されている。
【００３３】
３．異常診断機能
本実施形態の変位センサ１における本体部１２は、異常を判定する機能をも有している。なお、ＣＰＵ３５が、本発明の本体部異常判定手段として機能しており、さらに、切替手段、制御手段、ヘッド部異常判定手段としての機能をも有している。
【００３４】
図３は、測定処理を行う測定モードと、本体部を診断する本体部診断モードとを切り替えるモード設定処理について例示するフローチャートである。このフローチャートを実行するプログラムは、メモリ３９に記憶されており、外部操作（具体的には、作業者による操作キー４１での入力操作）に基づいて起動するようになっている。なお、メモリ３９は、本発明の、擬似信号記憶手段、基準情報記憶手段、基準結果情報記憶手段としての機能も有している。
【００３５】
操作キー４１にて所定操作がなされると、当該プログラムが起動され、操作キー４１にてシステム診断の実施を指示する情報が入力されたか否かを判断する。システム診断の実施（即ち、本体部を診断する本体部診断モードの設定）が指示された場合には、Ｓ１０にてＹに進み、本体部診断モードに設定し、後述するシステム診断処理を実施する。
【００３６】
システム診断の実施を指示する情報が入力されてない場合、Ｓ１０にてＮに進む。Ｓ１０にてＮに進む場合、或いは、システム診断処理の終了後において、Ｓ３０にてフォーム診断の実施を指示する情報が入力されたか否かを判断する。フォーム診断の実施（即ち、ヘッド部を診断するヘッド部診断モードの設定）が指示された場合には、Ｓ３０にてＹに進み、ヘッド部診断モードに設定し、後述するフォーム診断処理を実施する。Ｓ３０にてＮに進む場合、或いはフォーム診断処理の終了後においては、Ｓ５０にて終了するか否かを判断する。操作キー４１にて終了が指示された場合、或いは所定時間情報入力がなされなかった場合、Ｓ５０にてＹに進み当該処理を終了する。Ｓ５０にて終了しない場合にはＹに進み、Ｓ１０以降の処理を繰り返す。
なお、図３に示す処理はあくまで一例であり、本体部診断モードの設定と、ヘッド部診断モードの設定が共に実現可能であれば他の処理方法を用いることができることはいうまでもない。
【００３７】
次に、本体部診断モードに設定された場合のシステム診断処理について説明する。本実施形態では、本体部１２において、擬似的な検出信号を生成できるように構成されており、上述の本体部診断モードに設定された場合、その擬似的な検出信号を、受光信号処理回路（本実施形態では、アンプ回路３１及びＡ／Ｄ変換器３３）を介して測定手段たるＣＰＵに与えるように制御がなされる。また、擬似的な検出信号が、受光信号処理回路を介してＣＰＵ３５に与えられたときの測定結果の基準となる基準情報が予めメモリ３９に記録されており、擬似的な検出信号が与えられたときのＣＰＵ３５の測定結果と、メモリ３９に記憶される基準情報とに基づきコントローラ１２の異常を判定するように構成されている。
【００３８】
図４は、システム診断処理の流れを例示するフローチャートである。
当該処理が開始されると、まず、Ｓ１１０にて切替信号を出力する。切替信号はスイッチＳＷの切替を指示する信号であり、本体部診断モードでは、ＣＰＵ３５から出力される切替信号に基づき、受光信号処理回路（アンプ回路３１及びＡ／Ｄ変換器３３）がセンサヘッド部１１の位置検出手段に接続されずにＤ／Ａ変換器３７（Ｄ／Ａ変換器３７はＤ／Ａ変換回路に相当する）に接続されるようにスイッチ動作がなされる。
【００３９】
そして、Ｓ１２０において、ＣＰＵ３５により擬似的な受光信号を生成するためデータに相当する擬似波形テーブルが読み出され、Ｓ１３０にて擬似波形テーブルに対応した擬似的な受光信号が生成されＤ／Ａ変換器３７に出力される。擬似的な受光信号は、メモリ３９に記憶された擬似波形テーブルに基づき、ＣＰＵ３５によってデジタル信号として出力され、Ｄ／Ａ変換器３７によって、センサヘッド部１１から送られてくる電圧信号Ｓ１と同様のアナログ信号に変換される。そして、そのアナログ化された擬似的な受光信号が、スイッチＳＷを介してアンプ回路３１に与えられ、増幅された後、Ａ／Ｄ変換器３３に入力される。そして、ＣＰＵ３５はＡ／Ｄ変換器３３から出力されるデジタル化された擬似的な受光信号を取得する（Ｓ１４０）。
【００４０】
ＣＰＵ３５では、その入力された擬似的な受光信号に基づく波形を、基準情報と比較し、異常か否かを判断する（Ｓ１５０）。なお、異常の判断は、ピーク値に対応したセル同士を比較することで判断するようにしてもよく、波形全体を比較することで判断するようにしてもよい。例えば、擬似波形テーブルのピーク値の位置及び値と、擬似的な受光信号の受信結果におけるピーク値の位置及び値とを比較することにより異常の判断を行うようにできる。基準情報は、正常な結果に対応するものであれば、上述の擬似波形テーブルであっても良く、これとは別の情報であってもよい。
【００４１】
また、本実施形態では、メモリ３９に記憶される擬似的な検出信号を生成するデータは、更新可能とされている。コントローラ１２には、外部から擬似的な検出信号を生成するデータを入力する外部情報入力手段（例えば、操作キー４１や入力端子等）が設けられており、ＣＰＵ３５は、その外部情報入力手段にて入力されるデータに基づいて、メモリ３９に記憶される擬似的な検出信号を生成するデータを更新するようになっている。なお、このように更新可能とせずに更新不能としてもよく、擬似的な検出信号を生成するデータとして更新不能な第１のデータと、更新可能な第２のデータとをメモリ３９にもたせるようにしてもよい。
【００４２】
そして、上記判断により異常と判断された場合には、Ｓ１５０にてＹに進み、コントローラ１２のどこかに異常が生じている旨の出力（例えば、表示部４３での表示）を行う（Ｓ１７０）。異常でない場合には、Ｓ１５０にてＮに進み、正常である旨の出力（例えば、表示部４３での表示）を行う（Ｓ１６０）。
【００４３】
次に、図３のＳ４０にて行われるフォーム診断処理について説明する。上述したように、モード設定処理では、測定処理を行う測定モードと、センサヘッド部１１を診断するヘッド部診断モードとを切り替え可能となっており、ヘッド部診断モードに設定された場合にフォーム診断処理が実行される。
【００４４】
本実施形態では、基準となるワークＷが配置されたときの測定結果に基づく基準結果情報を予めメモリ３９に記憶できるように構成されている。具体的には、ユーザが基準ワークを配置し、測定動作を行うことで電圧信号Ｓ１が生成され、その基準ワークを検出して得られた電圧信号Ｓ１による波形データが、基準波形データとして予めメモリ３９に記憶されるようになっている。
【００４５】
そして、ヘッド部診断モードに切り替えられたとき、即ち上述のフォーム診断処理が実行された場合、ユーザは基準波形データを生成したときと同様の基準ワークを配置して測定を行うこととなる。そして、このときの測定結果（測定波形データ）と、メモリ３９に記憶される基準結果情報（即ち、基準波形データ）とを比較することで、センサヘッド部１１の異常を判定できることとなる。
【００４６】
また、本実施形態に係る構成では、メモリ３９に記憶される基準結果情報（基準波形データ）と、測定された測定結果（測定波形データ）とを出力できるようにも構成されている。この出力は、表示部４３に出力するようにしてもよく、外部に出力するようにしてもよい。
【００４７】
本実施形態の構成によれば、測定時に異常な値が得られた場合、本体部診断モードに切り替えて診断を行うことで、本体部に異常がある場合にはそれを検出でき、逆に異常がない場合には、他部分に異常があることを特定できることとなる。よって、異常の原因部分を特定しやすく、不具合の原因究明を良好に行うことができる。
【００４８】
また、本体部診断モードのみならず、ヘッド部診断モードにも切り替え可能となっており、本体部の異常だけでなく、ヘッド部の異常をも容易に特定できるようになっている。よって、異常の原因部分がより一層特定しやすく、不具合の原因究明をより効果的に行うことができる。
【００４９】
また、基準結果情報記憶手段に記憶される基準結果情報と、測定手段による測定結果とを出力する結果情報出力手段を備えている。従って、基準結果情報と測定結果に係る情報とを比較しやすく、解析に有利な構成となっている。
【００５０】
また、切替手段は、外部操作に基づく切替動作が可能とされている。従って、外部操作によって容易に診断を開始でき、使い勝手がより良好となっている。
【００５１】
さらに、ヘッド部における位置検出手段からの検出信号を増幅して出力する増幅回路を有し、擬似的な受光信号は、増幅回路に入力され、当該増幅回路を介して増幅された擬似的な受光信号が、測定手段に入力される。本体部の増幅回路の異常が生じた場合に、その異常を好適に検出できるようになっている。
【００５２】
また、位置検出手段は検出信号をアナログ信号として出力し、本体部は、アナログ信号とされた検出信号をデジタル信号に変換して測定手段に与えるＡ／Ｄ変換器を備え、本体部異常判定手段は、擬似データ記憶手段に記憶された擬似データに基づき、擬似的な受光信号をデジタル信号として出力する出力手段と、出力手段にて出力された擬似的な受光信号を、アナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器と、を備え、切替手段にて本体部診断モードに設定された場合に、制御手段の制御により、Ｄ／Ａ変換器を介してアナログ信号とされた擬似的な受光信号が、Ａ／Ｄ変換器を介して測定手段に与えられる。従って、本体部のＡ／Ｄ変換器の異常が生じた場合に、その異常を好適に検出できるようになっている。
【００５３】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施形態では、擬似データとして予め記憶されたものを用いたが、ユーザが擬似データを登録できるようにし、その擬似データに基づく擬似的な受光信号をＣＰＵ３５から出力し、コントローラ１２の異常判断を行うようにしてもよい。
（２）上記各実施形態では、位置検出部は、位置検出素子としてＣＣＤリニアセンサ１９を用いたリニアイメージセンサ方式のものであったが、これに限らず、位置検出素子としてＰＳＤ（Position Sensitive Detector）を用いたＰＳＤ方式のものであってもよい。
【００５４】
（３）上記各実施形態では、センサヘッド部１１は、ワークＷから拡散反射光を受光する、いわゆる拡散反射型のものであったが、これに限らず、例えばワークＷが正反射表面を有するものであるときは、レーザダイオード１５からのレーザ光Ｌ１をワークＷに対して斜め上方から照射し、その正反射光を受光する、いわゆる正反射型のものであってもよい。
（４）上記実施形態に示されるメモリ３９は、単一の記憶手段によって構成されていてもよく、複数の記憶手段（例えば、ＲＯＭ，ＲＡＭ、不揮発性メモリなど）によって構成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施形態１に係る変位センサの全体概要図
【図２】主にコントローラ１２の内部構成を概略的に示すブロック図
【図３】モード設定処理の流れを例示するフローチャート
【図４】システム診断処理の流れを例示するフローチャート
【符号の説明】
【００５６】
１…変位センサ
１１…センサヘッド部（ヘッド部）
１２…コントローラ（本体部）
１５…レーザダイオード（投光手段）
１６…ＬＤ駆動回路（投光手段）
１７…投光レンズ（投光手段）
１８…受光レンズ（位置検出手段）
１９…ＣＣＤリニアセンサ（位置検出手段）
２０…ＣＣＤ駆動回路（位置検出手段）
３１…アンプ部（増幅回路）
３３…Ａ／Ｄ変換器（Ａ／Ｄ変換回路）
３５…ＣＰＵ（測定手段、更新手段、切替手段、制御手段、本体部異常判定手段、ヘッド部異常判定手段、結果情報出力手段）
３７…Ｄ／Ａ変換器（Ｄ／Ａ変換回路）
３９…メモリ（擬似信号記憶手段、基準情報記憶手段、基準結果情報記憶手段）
Ｗ…ワーク（被検出物）
Ｓ１…電圧信号（検出信号）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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