(57)【要約】【課題】ヘッドの取り外しを行いヘッドの貼り直しや再利用を可能にすることで、コスト低減を実現するヘッドユニットを提供する。【解決手段】パターン形成装置１において、インクを吐出するヘッド１５の側面が、固定具１９のヘッド接着面２１に接着剤２７で接着固定され、単ヘッドユニット２０を構成する。単ヘッドユニット２０の固定具１９のヘッド接着面２１から接着背面２２に貫通するタップ孔２５が、ヘッド１５の側面長手方向に複数設けられる。ヘッド１５を取り外す際には、接着背面２２から風数のボルト２９をタップ孔２５に挿通させ、ボルト２９の先端でヘッド１５及び接着剤２７に側面から力を加える。均等な力を加えることで、ヘッド１５は破損・変形することなく簡単に取り外し再利用することが可能になり、コスト低減の効果を得る。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工対象に対して相対的に移動して加工処理を行うヘッドを接着固定する固定部材であって、
貫通部材を挿通して前記ヘッドを押勢するための少なくとも１つの貫通孔を具備することを特徴とする固定部材。
【請求項２】
前記貫通孔に貫通部材を挿通して前記ヘッドを押勢することにより前記ヘッドを前記固定部材から取り外すことを特徴とする請求項１に記載の固定部材。
【請求項３】
前記貫通孔は、前記ヘッドとの接着領域に設けられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の固定部材。
【請求項４】
前記貫通孔は、前記ヘッドとの接着領域以外に設けられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の固定部材。
【請求項５】
前記貫通孔は、接着面と平行な方向に複数配置されることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかに記載の固定部材。
【請求項６】
前記貫通孔は、タップ穴であり、前記貫通部材は、ボルトであることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれかに記載の固定部材。
【請求項７】
加工対象に対して相対的に移動して加工処理を行う少なくとも１つのヘッドが固定部材に接着固定されて構成されるヘッドユニットであって、
前記固定部材は、貫通部材を挿通して前記ヘッドを押勢するための少なくとも１つの貫通孔を具備することを特徴とするヘッドユニット。
【請求項８】
前記貫通孔に貫通部材を挿通して前記ヘッドを押勢することにより前記ヘッドを前記固定部材から取り外すことを特徴とする請求項７に記載のヘッドユニット。
【請求項９】
前記貫通孔は、前記ヘッドとの接着領域に設けられることを特徴とする請求項７または請求項８に記載のヘッドユニット。
【請求項１０】
前記貫通孔は、前記ヘッドとの接着領域以外に設けられることを特徴とする請求項７または請求項８に記載のヘッドユニット。
【請求項１１】
前記貫通孔は、接着面と平行な方向に複数配置されることを特徴とする請求項７から請求項１０までのいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項１２】
前記貫通孔は、タップ穴であり、前記貫通部材は、ボルトであることを特徴とする請求項７から請求項１１までのいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項１３】
固定部材に接着固定され加工対象に対して相対的に移動して加工処理を行う少なくとも１つのヘッドを前記固定部材から取り外すヘッド取り外し方法であって、
前記固定部材に設けられる少なくとも１つの貫通孔に、貫通部材を挿通して前記ヘッドを押勢することにより前記ヘッドを前記固定部材から取り外すことを特徴とするヘッド取り外し方法。
【請求項１４】
前記貫通孔は、前記ヘッドとの接着領域に設けられることを特徴とする請求項１３に記載のヘッド取り外し方法。
【請求項１５】
前記貫通孔は、前記ヘッドとの接着領域以外に設けられることを特徴とする請求項１３に記載のヘッド取り外し方法。
【請求項１６】
前記貫通孔は、接着面と平行な方向に複数配置されることを特徴とする請求項１３から請求項１５までのいずれかに記載のヘッド取り外し方法。
【請求項１７】
前記貫通孔は、タップ穴であり、前記貫通部材は、ボルトであることを特徴とする請求項１３から請求項１６までのいずれかに記載のヘッド取り外し方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ等のパターンを形成するインクジェットヘッドを固定する固定部材に関する。より詳細には、固定部材に接着されたインクジェットヘッドを再使用可能とするための取り外し機能を有する固定部材及び取り外し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータのディスプレイとして、省スペース・低消費電力を特徴とする液晶カラーディスプレイの需要が高まっている。また、液晶カラーディスプレイは、液晶テレビ用途等としても需要が高まっており、画面の大型化が加速されてきている。
【０００３】
液晶パネルを構成するカラーフィルタの基材としては、従来、ガラス板を用いている。ガラス基材上に、ブラックマトリクスや、カラーフィルタを構成する赤色、緑色及び青色の３色のカラーフィルタ層を生成する。こうして生成されるカラーフィルタ基板と、別工程で生成されるＴＦＴ基板とを貼り合わせ、基板間に液晶を注入し偏向フィルムを貼り付けることで液晶パネルが完成する。
【０００４】
基板上に液晶ディスプレイにおけるカラーフィルタのパターンを形成する方法として、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のインクをインクジェット方式により基板上に吐出して着色層パターンを形成するパターン形成装置がある（［特許文献１］参照。）。
【０００５】
インクジェット方式等のヘッドを用いた印刷において、ディスプレイ分野等の高精度な印刷が必要な場合には、インク吐出ノズル孔の位置を高精度に位置決めするために、ノズル孔位置を計測して、ノズル孔を基準に位置決めした後に、ヘッドを接着剤で固定部材に固定することが行われている。また、接着は、精度の維持が必要なため、高強度なものが必要となる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３６１８５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、高強度の接着剤でヘッドを固定部材に接着するため、ヘッドを破損させずに剥がすことは困難であった。従って、ヘッドを再使用することはできなかった。
【０００８】
また、ヘッドの位置決めをして固定部材に貼り付ける際、貼り付けを失敗した場合は貼り直しをすることができず、高価なヘッドを無駄にしてしまい、コストがかかるという問題点があった。
【０００９】
本発明は、このような問題を鑑みてなされたもので、ヘッドの取り外しを行いヘッドの貼り直しや再利用を可能にすることで、コスト低減を実現するヘッドユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述した目的を達成するための第１の発明は、加工対象に対して相対的に移動して加工処理を行うヘッドを接着固定する固定部材であって、貫通部材を挿通して前記ヘッドを押勢するための少なくとも１つの貫通孔を具備することを特徴とする固定部材である。
【００１１】
加工処理は、ガラス基板等の加工対象に対してヘッドが行う処理であり、例えば、インク塗布処理、レーザ照射処理、パターン形成処理である。
ヘッドは、加工対象に対して相対的に移動して加工処理を行うヘッドであり、例えば、インクジェットヘッド、レーザ照射ヘッドである。
【００１２】
第１の発明の固定部材は、加工対象に対して相対的に移動して加工処理を行うヘッドを接着固定し、ボルト等の貫通部材を挿通してヘッドを押勢するための少なくとも１つの貫通孔を具備する。
【００１３】
望ましくは、貫通孔に貫通部材を挿通してヘッドを押勢することによりヘッドを固定部材から取り外す。
望ましくは、固定部材の貫通孔は、接着面と平行な方向に複数配置される。
貫通孔は、ヘッドとの接着領域に設けられるようにしても良い。
望ましくは、固定部材の貫通孔は、接着面のヘッドが接着される領域の長手方向に複数配置される。
或いは、貫通孔は、ヘッドとの接着領域以外に設けられるようにしても良い。
貫通孔は、タップ穴であり、貫通部材は、ボルトであっても良い。
【００１４】
第１の発明による固定部材は、ヘッド取り外し用の貫通孔を具備し、ヘッドが破損・変形することなく取り外すことができるので、ヘッドの貼り付け直しや、ヘッドの再利用を可能にする効果がある。
【００１５】
第２の発明は、加工対象に対して相対的に移動して加工処理を行う少なくとも１つのヘッドが固定部材に接着固定されて構成されるヘッドユニットであって、前記固定部材は、貫通部材を挿通して前記ヘッドを押勢するための少なくとも１つの貫通孔を具備することを特徴とするヘッドユニットである。
【００１６】
第２の発明のヘッドユニットは、第１の発明の固定部材にヘッドが接着固定されて構成される。固定部材は、貫通部材を挿通して前記ヘッドを押勢するための少なくとも１つの貫通孔を具備する。
【００１７】
第３の発明は、固定部材に接着固定され加工対象に対して相対的に移動して加工処理を行う少なくとも１つのヘッドを前記固定部材から取り外すヘッド取り外し方法であって、前記固定部材に設けられる少なくとも１つの貫通孔に、貫通部材を挿通して前記ヘッドを押勢することにより前記ヘッドを前記固定部材から取り外すことを特徴とするヘッド取り外し方法である。
【００１８】
第３の発明のヘッド取り外し方法は、固定部材に設けられる少なくとも１つの貫通孔に、貫通部材を挿通してヘッドを押勢することによりヘッドを固定部材から取り外すヘッド取り外し方法である。接着剤を用いて固定部材の接着面に接着されたヘッドは、接着面の背面から貫通孔に挿入される複数の貫通部材から押圧されると、接着剤の接着力が低下し、固定部材から取り外すことができる。
接着剤が高強度接着力を持つアクリル系樹脂等の場合には、貫通部材から押圧されることにより、ひび割れ等が生じて接着力は急激に低下し、接着されているヘッドを破損させたり変形させたりすることなく容易に固定部材から取り外すことが可能になる。
尚、貫通孔がヘッドとの接着領域以外に設けられている場合には、貫通孔に貫通部材を挿通してヘッドを押勢することにより、ヘッドを固定部材から取り外す力が働く。従って、貫通部材で直接接着剤を押勢しなくても、間接的に接着剤にも力を加えることになり、接着力を低下させてヘッドを取り外すことが可能である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ヘッドの取り外しを行いヘッドの貼り直しや再利用を可能にすることで、コスト低減を実現するヘッドユニットを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本実施の形態に係る固定具１９やヘッド１５等を装着するパターン形成装置１の構成を示す図である。
【００２１】
（１．パターン形成装置１）
まず、図１を参照しながら、パターン形成装置１の構成について説明する。図１は、パターン形成装置１の概略構成図である。尚、θ軸は鉛直方向の回転軸を示し、θ方向はその回転方向を示す。Ｙ軸は、塗布幅方向を示し、Ｘ軸は塗布方向を示す。θ軸、Ｙ軸、Ｘ軸は互いに直角を成す。
【００２２】
パターン形成装置１は、インクジェット方式によりカラーフィルタを製造する装置である。パターン形成装置１は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の色素を含有するインクをインクジェット方式で光透過性の基板上に吐出し、各インクを硬化させて着色画素部を形成し、当該基板上にカラーフィルタパターンを形成する。
【００２３】
図１に示すパターン形成装置１は、ヘッドユニット３、スライダ５、スライドレール７、ガントリ１７、定盤１００、Ｘ軸移動ステージ１０１、θ軸移動ステージ１０２、吸着テーブル１０３、基板１０４、アライメントカメラ１０５等から構成される。
【００２４】
吸着テーブル１０３は、カラーフィルタパターンを形成する加工対象となる基板１０４（ガラス基板、フィルム基板等）を吸着して固定するテーブルである。基板１０４の吸着は、例えば吸着テーブル１０３と基板１０４との間の空気を減圧、真空にすることにより実現される。この場合、吸着テーブル１０３には空気を吸引するための小孔（図示しない）が設けられ、吸着の際には当該孔を通じて真空ポンプ（図示しない）等により空気の吸引が行われる。
【００２５】
アライメントカメラ１０５は、吸着テーブル１０３に吸着固定された基盤１０４のθ方向角度及びＸＹ座標を検出するために、基板１０４の所定箇所(基板上に形成されるアライメントマーク（図示しない）等)を撮像するカメラである。アライメントカメラ１０５は、パターン形成装置１のフレーム（図示しない）に固定支持される。
【００２６】
アライメントカメラ１０５の撮像画像は、パターン形成装置１の制御部(図示しない)に入力される。当該制御部は、撮像画像に基づいて基板１０４が所定のθ方向角度、所定のＸＹ座標となるよう、それぞれＸ軸移動ステージ１０１、θ軸移動ステージ１０２の位置制御を行う。尚、図１では説明していないが基板１０４をＹ軸方向に移動させる機構を更に設けても良い。
【００２７】
Ｘ軸移動ステージ１０１は、定盤１００に設けるスライドレールに沿って、基板１０４をＸ軸方向（塗布方向）に直線移動させる。Ｘ軸移動ステージ１０１は、例えばステップモータ、サーボモータ、リニアモータ等の制御可能なモータによって所定の軸方向に移動可能に支持され、パターン形成装置１の制御部（図示しない）が出力する制御量に基づいて移動する。パターン形成装置１の制御部は、前述のアライメントカメラ１０５の撮像画像に基づいて制御量を出力しても良いし、スライドレールの際に配置されるリニアスケール等の精密測長手段（図示しない）の測長量に基づいて制御量を出力しても良い。
【００２８】
θ軸移動ステージ１０２は、回転ステージであり、例えばステップモータ、サーボモータ等の制御可能なモータによって所定の回転軸に回転自在に支持される。パターン形成装置１の制御部(図示しない)は、アライメントカメラ１０５の撮像画像に基づいてθ軸移動ステージ１０２の制御量を出力する。θ軸移動ステージ１０２は、当該制御量に従って吸着テーブル１０３を回転移動させる。
【００２９】
定盤１００は、石製やセラミック製の高平坦精度を要する盤である。尚、図示していないが、基板１０４を保持するＸ軸移動ステージ１０１等は、定盤１００上をエア浮上させて移動させることが望ましい。
【００３０】
ヘッドユニット３には、位置決めの行われた複数のヘッド１５が配列ヘッドユニット１３として列状に配列されている。ヘッド１５はインクを吐出する複数のノズル孔（図示しない）を備え、当該ノズル孔から基板１０４に対してインクを吐出してパターン形成を行う。尚、ヘッド１５の固定や配置等については、図２以降を用いて説明する。
【００３１】
ヘッドユニット３は、スライダ５とスライドレール７を介してガントリ１７に連結され、塗布幅方向（Ｙ軸方向）に直線移動する。スライダ５とスライドレール７は、ヘッドユニット３のＹ軸方向位置調整を行う機構である。移動機構としては、例えばリニアモータ、スライド機構等を用いることができる。ガントリ１７は、定盤１００に固定される門型フレームである。
【００３２】
回転機構１１は、ヘッドユニット３をθ軸方向に回転させる機構である。回転機構１１は、例えばステップモータ、サーボモータ、ダイレクトドライブモータ等の制御可能なモータを備え、パターン形成装置１の制御部（図示しない）が出力する制御量に基づいてヘッドユニット３をθ方向に回転させる。ヘッドユニット３を回転移動させることにより、基板１０４に形成するパターンのピッチ（幅）を変更することが可能である。
【００３３】
（２．ヘッド１５の固定・配置）
図２は、ヘッド１５の固定、配置等を示す図である。ヘッド１５は、それぞれインク吐出ノズル孔の位置を基準にして取り付け位置を高精度に調整された後、固定具１９に接着剤等で接着固定されている。一組のヘッド１５と固定具１９とを単ヘッドユニット２０とし、当該単ヘッドユニット２０が列状に配列されて、配列ヘッドユニット１３−１、１３−２が形成される。ヘッドユニット３の回転機構１１は、複数の配列ヘッドユニット１３を支持し、回転移動を可能にする。尚、回転機構１１は、図１に示すベース９に取り付けられる。尚、複数の配列ヘッドユニット１３をまとめて直線移動、或いは回転移動させるようにしても良い。また、１つの配列ヘッドユニット１３を構成する単ヘッドユニット２０の数や、ヘッドユニット３を構成する配列ヘッドユニット１３の数は、本実施の形態の例に限定されない。
【００３４】
（３．単ヘッドユニット２０の構成）
次に、図３乃至図６により、本実施の形態による固定具１９、及びヘッド１５と固定具１９とからなる単ヘッドユニット２０について説明する。
図３は、単ヘッドユニット２０の構成を示す図である。
図４は、固定具１９を示す図である。
図５は、図３のＰ方向矢視図である。
図６は、ヘッド１５を固定具１９から取り外す方法を説明する図である。
【００３５】
図３は、単ヘッドユニット２０の構成を示す。ヘッド１５が取り付け位置を調整され、固定具１９に接着剤等で接着固定されたものを単ヘッドユニット２０とする。
【００３６】
ヘッド１５には所定のピッチでインク吐出部であるノズル孔（図示しない）が直線状に配置される。パターン形成装置１は、当該ノズル孔からＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちの所定のインクをインクジェット方式でインク吐出方向２３（図３参照）に基板１０４に吐出し、パターンを形成する。
【００３７】
ヘッド１５は、側面を固定具１９のヘッド接着面２１に接着剤等で接着固定される。特にインクジェット方式の印刷には、インク吐出ノズル孔の位置を高精度に位置決めする必要があり、ノズル孔の位置を基準にヘッド１５の位置決めを行う。従って、ヘッド１５は高精度にその位置を調整され、固定具１９に接着固定される。
【００３８】
図４は、ヘッド１５を接着固定する固定具１９を示す。固定具１９のヘッド装着面２１には、ヘッド１５が装着される領域の長手方向に、複数のタップ孔２５−１〜２５−３が設けられる。タップ孔２５−１〜２５−３は、ヘッド接着面２１から接着背面２２に貫通する貫通孔であり、貫通孔の内部にねじ山が設けられる。
【００３９】
また、タップ孔２５−１〜２５−３の高さ方向の位置は、接着領域高さ方向の中央部であることが望ましく、またヘッド１５の側面長手方向に対してはタップ孔２５−１〜２５−３が均一に配置されることが望ましい。
また、タップ孔２５−１〜２５−３の径は、特に限定されないが、例えば、接着領域高さ方向の長さの１／４程度とすることができる。
【００４０】
次に、図５に単ヘッドユニット２０を側面から見た図を示す。ヘッド１５の側面は、接着剤２７で固定具１９のヘッド接着面２１に貼り付けられる。また、タップ孔２５は側面からみると固定具１９のヘッド接着面２１から接着背面２２に貫通している。
【００４１】
尚、ヘッド１５は、接着剤２７で固定具１９に貼り付けられており、ヘッド
１５側に取り付け用のねじ穴等を設ける必要はない。
また、接着剤２７は、アクリル系樹脂等の高強度な接着材料を用いる。
【００４２】
次に図６は、本実施の形態に係るヘッド１５の取り外し方法を説明する図である。
ヘッド１５の取り外しは、ヘッド１５の貼り直し、或いは使用済みのヘッド１５を再利用する目的で行われる。従って、取り外すヘッド１５の破損や変形などを防ぐ必要がある。
【００４３】
固定具１９の接着背面２２からヘッド１５の側面を押圧するように、複数のボルト２９をタップ孔２５に挿通して回し込む。尚、図６では複数のタップ孔２５及び当該タップ孔２５に挿通する複数のボルト２９を、それぞれタップ孔２５及びボルト２９で代表させて説明する。
【００４４】
固定具１９の接着背面２２から、ボルト２９をタップ孔２５に挿通し（図６のＡ方向）、当該ボルト２９の先端が接着剤２７及びヘッド１５を側面から押圧する。複数のボルト２９が、ヘッド１５の側面長手方向に均等な垂直方向の力を加えることにより、硬化した接着剤２７の接着力が急激に低下し、ヘッド１５を方向Ｂに外すことができる。
ボルト２９から接着材２７に力が作用すると、接着剤２７の一部に容易にひび割れが生じる。ひび割れは急拡大するので、ヘッド１５を固定具１９から容易に取り外すことができる。
【００４５】
尚、複数のボルト２９を同時に挿通して、ヘッド１５の側面長手方向に均等な垂直方向の力を加えることで、ヘッド１５の破損や変形を防いで、簡単にヘッド１５を取り外すことができる。
【００４６】
尚、図４ではタップ孔２５の配置を直列に横１列として示したが、ヘッド１５の貼り付け側面に均等な力を加えることができるものであれば、タップ孔２５の数や配置を限定するものではない。
図７は、ヘッド１５の貼り付け側面が縦長になっている場合を示す。固定具１９に設けるタップ孔２５は、ヘッド１５の貼り付け側面の形状に従い、直列に縦１列に配置されている。
【００４７】
また、本実施の形態では、ヘッド１５の側面を固定具１９のヘッド接着面２１に接着する場合を説明したが、ヘッド１５の上面に接着剤２７を付けてヘッド１５上面を固定具１９に接着するようにしても良い（図８を参照）。この場合は、固定具１９の上面長手方向に貫通孔（タップ孔２５）を設け、ヘッド１５を取り外す際は、本実施の形態での説明と同様、当該タップ孔２５にボルト２９を挿通してヘッド１５の上面をＡ方向に押圧しヘッド１５をＢ方向に取り外すことができる。
【００４８】
また、本実施の形態では、貫通孔であるタップ孔２５はその内部にねじ山が設けられるものとして説明したが、ねじ山を設けずボルト２９（この場合は、ボルト側にもねじ山を設ける必要はない。）の挿通量を調整しつつ、ヘッド１５の側面長手方向を押圧するようにしても良い。
【００４９】
また、上記の例では、ヘッド１５との接着領域にタップ孔２５を設けた固定具１９について説明したが、ヘッド１５との接着領域以外の領域にタップ孔２５を設けるようにしても良い。図９及び図１０を用いて説明する。
【００５０】
図９では、ヘッド１５の側面が、接着剤２７で固定具１９に貼り付けられる。タップ孔２５は、固定具１９の接着領域ではない位置(固定具１９の上面)に設けられる。タップ孔２５にボルト２９を挿通して、ボルト２９の先端でヘッド１５をＡ方向から押圧することにより、接着剤２７の接着力が低下し、ヘッド１５は方向Ｂに取り外すことができる。
【００５１】
図１０では、ヘッド１５の上面が、接着剤２７で固定具１９の上面に貼り付けられる。タップ孔２５は、固定具１９の接着領域ではない位置(固定具１９の垂直面)に設けられる。タップ孔２５にボルト２９を挿通して、ボルト２９の先端でヘッド１５をＡ方向から押圧することにより、接着剤２７の接着力が低下し、ヘッド１５は方向Ｂに取り外すことができる。
【００５２】
従って図９及び図１０のように、ボルト２９でヘッド１５等に力を加えることにより、直接接着剤２７を押圧しなくても、間接的に接着剤２７にも力を加えることになり、接着力を低下させてヘッド１５を容易に取り外すことができる。
【００５３】
（４．効果等）
以上説明したように、本実施の形態の単ヘッドユニット２０では、接着剤２７で固定具１９に貼り付けられたヘッド１５を破損・変形なく簡単に取り外すことができるので、ヘッド１５の再利用が可能となりコスト低減の効果がある。
【００５４】
また、本実施の形態によれば、硬化した接着剤２７を押圧することで接着力を急激に低下させ、高強度に貼り付けられたヘッド１５を簡単に取り外すことができるので、作業効率を向上させる効果がある。
【００５５】
尚、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に限られるものではない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】パターン形成装置１の概略斜視図
【図２】パターン形成装置１のヘッド１５の取り付けを示す図
【図３】本実施の形態における単ヘッドユニット２０の構成を示す図
【図４】本実施の形態における固定具１９を示す図
【図５】図３のＰ方向矢視図
【図６】ボルト２９の挿入によるヘッド１５取り外しを示す図
【図７】タップ孔２５の配列の他の例を示す図
【図８】ヘッド１５の上面を接着する例を示す図
【図９】接着領域以外の領域にタップ孔２５を設ける例を示す図
【図１０】接着領域以外の領域にタップ孔２５を設ける例を示す図
【符号の説明】
【００５７】
１………パターン形成装置
３………ヘッドユニット
５………スライダ
７………スライドレール
９………ベース
１１………回転機構
１３………配列ヘッドユニット
１５………ヘッド
１７………ガントリ
１９………固定具
２０………単ヘッドユニット
２１………ヘッド接着面
２２………接着背面
２３………インク吐出方向
２５−１〜２５−３………タップ孔
２７………接着剤
２９………ボルト
１００………定盤
１０１………Ｘ軸移動ステージ
１０２………θ軸移動ステージ
１０３………吸着テーブル
１０４………基板
１０５………アライメントカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007069099.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007069099.tif 000009
【図８】
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【図９】
2007069099.tif 000011
【図１０】
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