(57)【要約】【課題】第２弁体を内蔵する第１弁体の弁開に要する駆動力が増大することなく、また、第２弁体の弁開時に第１弁体の弁座に対する着座が不安定になることを回避すること。【解決手段】第１弁体２０に内蔵された第２弁体３０の弁開状態下において、第２弁体３０が開閉する第１弁体２０の小径弁ポート２４の実効開口面積に等しいかそれより大きい面積の流路開口を、ばね内側と外側との間に確保した圧縮コイルばね３４を、第２弁体３０と第１弁体２０との間に設ける。【選択図】図１
2007024186.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大径弁ポートを有する弁ハウジングと、
前記弁ハウジングに形成された第１弁室内に軸線方向に移動可能に設けられ軸線方向移動によって前記大径弁ポートを開閉する第１弁体と、
前記第１弁体に設けられた小径弁ポートと、
前記第１弁体に形成された第２弁室内に軸線方向に移動可能に設けられ軸線方向移動によって前記小径弁ポートを開閉する第２弁体とを有し、
前記第２弁体が駆動手段によって軸線方向に駆動され、
前記第１弁体と前記第２弁体とが所定量のみ互いに軸線方向に相対変位可能で、
前記第２弁体が、前記小径弁ポートの周りの小径弁座に着座した自身の全閉位置と、前記小径弁座より離間した自身の全開位置との間の移動を、前記第１弁体が前記大径弁ポートの周りの大径弁座に着座した自身の全閉位置のまま、前記第１弁体に対して相対変位しながら行い、
前記第２弁体が自身の全開位置より更に弁開方向に駆動された弁リフト領域では、前記第２弁体と前記第１弁体とが係合して当該両者が一体的に移動し、当該移動によって前記第１弁体が前記大径弁座より離間して前記大径弁ポートを弁開する２段式制御弁において、
前記小径弁座の周りに存在する前記第２弁室の底面と、当該底面に対向する前記第２弁体のフランジ面との間に、前記第２弁体の周りを取り囲むように圧縮ばねが設けられており、
前記圧縮ばねが、前記第２弁体の弁開状態下において、前記小径弁ポートの実効開口面積に等しいかそれより大きい面積の流路開口を、当該圧縮ばねの内側と外側との間に確保している２段式制御弁。
【請求項２】
前記圧縮ばねは、圧縮コイルばねであり、前記流路開口の面積は、螺旋状の巻線間の空間の合計面積であり、この合計面積が前記小径弁ポートの実効開口面積に等しいかそれより大きい値に設定されている請求項１記載の２段式制御弁。
【請求項３】
大径弁ポートを有する弁ハウジングと、
前記弁ハウジングに形成された第１弁室内に軸線方向に移動可能に設けられ軸線方向移動によって前記大径弁ポートを開閉する第１弁体と、
前記第１弁体に設けられた小径弁ポートと、
前記第１弁体に形成された第２弁室内に軸線方向に移動可能に設けられ軸線方向移動によって前記小径弁ポートを開閉する第２弁体とを有し、
前記第２弁体が駆動手段によって軸線方向に駆動され、
前記第１弁体と前記第２弁体とが所定量のみ互いに軸線方向に相対変位可能で、
前記第２弁体が、前記小径弁ポートの周りの小径弁座に着座した自身の全閉位置と、前記小径弁座より離間した自身の全開位置との間の移動を、前記第１弁体が前記大径弁ポートの周りの大径弁座に着座した自身の全閉位置のまま、前記第１弁体に対して相対変位しながら行い、
前記第２弁体が自身の全開位置より更に弁開方向に駆動された弁リフト領域では、前記第２弁体と前記第１弁体とが係合して当該両者が一体的に移動し、当該移動によって前記第１弁体が前記大径弁座より離間して前記大径弁ポートを弁開する２段式制御弁において、
前記小径弁座の周りに存在する前記第２弁室の底面と、当該底面に対向する前記第２弁体のフランジ面とに、互いに磁気的に反発する永久磁石が軸線方向に所定間隔をおいて配置されており、
前記両永久磁石間に、前記第２弁体の弁開状態下において、前記小径弁ポートの実効開口面積に等しいかそれより大きい流路開口を確保している２段式制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、２段式制御弁に関し、特に、軸線方向移動による弁リフト量に応じて２段式の流量制御を行う２段式制御弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
軸線方向移動による弁リフト量に応じて２段式の流量制御を行う２段式制御弁として、大径弁ポートを有する弁ハウジングと、前記弁ハウジングに形成された第１弁室内に軸線方向に移動可能に設けられ軸線方向移動によって前記大径弁ポートを開閉する第１弁体と、前記第１弁体に設けられた小径弁ポートと、前記第１弁体に形成された第２弁室内に軸線方向に移動可能に設けられ軸線方向移動によって前記小径弁ポートを開閉する第２弁体とを有し、前記第２弁体が駆動手段と直接連結されて前記駆動手段によって軸線方向に駆動され、前記第１弁体と前記第２弁体とが所定量のみ互いに軸線方向に相対変位可能で、前記第２弁体が、前記小径弁ポートの周りの小径弁座に着座した自身の全閉位置と、前記小径弁座より離間した自身の全開位置との間の移動を、前記第１弁体が前記大径弁ポートの周りの大径弁座に着座した自身の全閉位置のまま、前記第１弁体に対して相対変位しながら行い、前記第２弁体が自身の全開位置より更に弁開方向に駆動された弁リフト領域では、前記第２弁体と前記第１弁体とが係合して当該両者が一体的に移動し、当該移動によって前記第１弁体が前記大径弁座より離間して前記大径弁ポートを弁開するものがある（例えば、特許文献１、２、３）。
【０００３】
従来の２段式制御弁では、第１弁体を弁閉方向に付勢するばねが設けられていないか、あるいは弁ハウジングと第１弁体との間に第１弁体を弁閉方向に付勢するばねが設けられている。
【０００４】
ばねが設けられていないものでは、第２弁体が小径弁座より離れている状態の時に、第１弁体を弁閉方向に付勢する力が大径弁ポートと第１弁室との流体圧差による押圧力だけになるため、第１弁体の大径弁座に対する着座が不安定になる。
【０００５】
弁ハウジングと第１弁体との間に第１弁体を弁閉方向に付勢するばねが設けられているものでは、第１弁体の大径弁座に対する着座が不安定になることはないが、ばね付勢力が第１弁体の弁開負荷になり、第１弁体の弁開に要する駆動力が増大し、電動モータ等の駆動手段を大型化する必要が生じる。
【特許文献１】特許第２８９８９０６号公報
【特許文献２】特開２０００−２６６１９４号公報
【特許文献３】特開２００１−１５３２３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明が解決しようとする課題は、第２弁体を内蔵する第１弁体の弁開に要する駆動力が増大することなく、また、第２弁体の弁開時に第１弁体の弁座に対する着座が不安定になることを回避することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明による２段式制御弁は、大径弁ポートを有する弁ハウジングと、前記弁ハウジングに形成された第１弁室内に軸線方向に移動可能に設けられ軸線方向移動によって前記大径弁ポートを開閉する第１弁体と、前記第１弁体に設けられた小径弁ポートと、前記第１弁体に形成された第２弁室内に軸線方向に移動可能に設けられ軸線方向移動によって前記小径弁ポートを開閉する第２弁体とを有し、前記第２弁体が駆動手段によって軸線方向に駆動され、前記第１弁体と前記第２弁体とが所定量のみ互いに軸線方向に相対変位可能で、前記第２弁体が、前記小径弁ポートの周りの小径弁座に着座した自身の全閉位置と、前記小径弁座より離間した自身の全開位置との間の移動を、前記第１弁体が前記大径弁ポートの周りの大径弁座に着座した自身の全閉位置のまま、前記第１弁体に対して相対変位しながら行い、前記第２弁体が自身の全開位置より更に弁開方向に駆動された弁リフト領域では、前記第２弁体と前記第１弁体とが係合して当該両者が一体的に移動し、当該移動によって前記第１弁体が前記大径弁座より離間して前記大径弁ポートを弁開する２段式制御弁において、前記小径弁座の周りに存在する前記第２弁室の底面と、当該底面に対向する前記第２弁体のフランジ面との間に、前記第２弁体の周りを取り囲むように圧縮ばねが設けられており、前記圧縮ばねが、前記第２弁体の弁開状態下において、前記小径弁ポートの実効開口面積に等しいかそれより大きい面積の流路開口を、当該圧縮ばねの内側と外側との間に確保している。
【０００８】
この発明による２段式制御弁は、好ましくは、前記圧縮ばねは、圧縮コイルばねであり、前記流路開口の面積は、螺旋状の巻線間の空間の合計面積であり、この合計面積が前記小径弁ポートの実効開口面積に等しいかそれより大きい値に設定されている。
【０００９】
この発明による２段式制御弁は、大径弁ポートを有する弁ハウジングと、前記弁ハウジングに形成された第１弁室内に軸線方向に移動可能に設けられ軸線方向移動によって前記大径弁ポートを開閉する第１弁体と、前記第１弁体に設けられた小径弁ポートと、前記第１弁体に形成された第２弁室内に軸線方向に移動可能に設けられ軸線方向移動によって前記小径弁ポートを開閉する第２弁体とを有し、前記第２弁体が駆動手段によって軸線方向に駆動され、前記第１弁体と前記第２弁体とが所定量のみ互いに軸線方向に相対変位可能で、前記第２弁体が、前記小径弁ポートの周りの小径弁座に着座した自身の全閉位置と、前記小径弁座より離間した自身の全開位置との間の移動を、前記第１弁体が前記大径弁ポートの周りの大径弁座に着座した自身の全閉位置のまま、前記第１弁体に対して相対変位しながら行い、前記第２弁体が自身の全開位置より更に弁開方向に駆動された弁リフト領域では、前記第２弁体と前記第１弁体とが係合して当該両者が一体的に移動し、当該移動によって前記第１弁体が前記大径弁座より離間して前記大径弁ポートを弁開する２段式制御弁において、前記小径弁座の周りに存在する前記第２弁室の底面と、当該底面に対向する前記第２弁体のフランジ面とに、互いに磁気的に反発する永久磁石が軸線方向に所定間隔をおいて配置されており、前記両永久磁石間に、前記第２弁体の弁開状態下において、前記小径弁ポートの実効開口面積に等しいかそれより大きい流路開口を確保している。
【発明の効果】
【００１０】
この発明による２段式制御弁によれば、圧縮ばねのばね力あるいは永久磁石の反発力によって第１弁体が弁閉方向に付勢され、第１弁体の大径弁座に対する着座が不安定になることがない。
【００１１】
圧縮ばねのばね力、永久磁石の反発力は、第１弁体と第２弁体との間に作用するから、これらが第１弁体の弁開に要する駆動力を増大することにならない。よって電動モータ等の駆動手段を大型化する必要が生じない。
【００１２】
圧縮ばねは、第２弁体の弁開状態下において、小径弁ポートの実効開口面積に等しいかそれより大きい面積の流路開口を当該圧縮ばねの内側と外側との間に確保しているか、永久磁石間に、前記第２弁体の弁開状態下において、前記小径弁ポートの実効開口面積に等しいかそれより大きい流路開口を確保しているから、これらが、第２弁体による流量計量特性に影響を与えることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
この発明による２段式制御弁の一つの実施形態を、図１、図２を参照して説明する。この実施形態の２段式制御弁は、電動弁である。
【００１４】
２段式制御弁は、図１に示されているように、弁ハウジング１１を有する。弁ハウジング１１は、第１弁室１２と、第１弁室１２の側部に開口した入口ポート１３と、第１弁室１２の底部に開口した大径弁ポート１４および出口ポート１５とを有する。入口ポート１３と出口ポート１５には、各々管継手１６、１７が取り付けられている。
【００１５】
第１弁室１２内には弁ハウジング１１に形成されたガイド孔１８に嵌合して軸線方向（弁リフト方向）に移動可能な第１弁体２０が設けられている。第１弁体２０は、図２（ａ）、（ｂ）に示されているように、先端のコーン形状の計量部２１によって大径弁ポート１４の周りの大径弁座１９に着座することにより、大径弁ポート１４を閉じ、この全閉位置より図にて上昇移動することにより、図２（ｃ）に示されているように、大径弁座１９より離間し、その弁リフト量に応じて大径弁ポート１４の実効開口面積を増大する。
【００１６】
第１弁体２０の計量部２１より上側は円筒状になっており、第１弁体２０はその部分に第２弁室２２を画定している。第１弁体２０には第２弁室２２の側部に開口して第２弁室２２と第１弁室１２とを連通する連通孔２３が形成されている。
【００１７】
また、第１弁体２０には第２弁室２２の底部に開口した小径弁ポート２４が形成されている。小径弁ポート２４は、大径弁ポート１４より小径で、第２弁室２２の底部と計量部２１の先端部とを連通し、大径弁ポート１４に向けて開口している。これにより、第１弁体２０が大径弁座１９に着座した全閉状態において、連通孔２３、第２弁室２２、小径弁ポート２４によって、第１弁室１２と大径弁ポート１４とを連通する流路が確立する。
【００１８】
なお、連通孔２３は、複数個設けられており、その合計の開口面積は、小径弁ポート２４の通路断面積より大きい。
【００１９】
第２弁室２２には、第１弁体２０に固定装着されたガイド部材２５のガイド孔２６に嵌合した弁軸部３８の図中下端に形成されて軸線方向（弁リフト方向）に移動可能な第２弁体３０が設けられている。第２弁体３０は、先端のコーン形状の計量部３１によって小径弁ポート２４の周りの小径弁座２７に着座することにより、小径弁ポート２４を閉じ、この全閉位置より図にて上昇移動することにより、小径弁座２７より離間し、その弁リフト量に応じて小径弁ポート２４の実効開口面積を増大する。
【００２０】
第２弁体３０は第２弁室２２内に位置する部分にフランジ部３２を有する。第２弁体３０は、図２（ａ）に示されているように、計量部３１が小径弁座２７に着座した降下位置（弁閉位置）と、図２（ｂ）、（ｃ）に示されているように、フランジ部３２の上面３２Ａが滑性ワッシャ３３を介してガイド部材２５の底面２５Ａに当接する上昇位置（全開位置）との間で、第１弁体２０に対して軸線方向に変位可能になっている。
【００２１】
すなわち、第１弁体２０と第２弁体３０とは、所定量のみ互いに軸線方向に相対変位可能になっている。この連繋構造により、第２弁体３０は、小径弁ポート２４の周り小径弁座２７に着座した全閉位置と小径弁座２７より離間した全開位置との間の移動を、第１弁体２０が大径弁ポート１４の周りの大径弁座１９に着座した第１弁体２０の全閉位置のまま、第１弁体２０に対して相対変位することにより行うことができる。
【００２２】
小径弁座２７の周りに存在する第２弁室２２の底面と当該底面に対向する第２弁体３０のフランジ部３２の下面３２Ｂとの間には、圧縮コイルばね３４が両巻端に滑性ワッシャ３５、３６を介して取り付けられている。圧縮コイルばね３４のばね力は、第１弁体２０と第２弁体３０との間に作用し、第２弁体３０を反力受けとして、第１弁体２０を弁閉方向（降下方向）に付勢する。
【００２３】
ここで、重要なことは、圧縮コイルばね３４は、第２弁体３０の全周を取り囲むように、換言すると、小径弁ポート２４の全周を取り囲むように配置されているから、これが、第２弁体３０の弁開状態下における、第２弁体３０による流量計量特性に影響を与えないことである。
【００２４】
このため、圧縮コイルばね３４は、第２弁体３０の弁開状態下において、小径弁ポート２４の実効開口面積に等しいか、それより大きい面積の流路開口を、圧縮コイルばね３４の内側と外側との間に常に確保している。この流路開口は、図３において、符号３７により示されているように、圧縮コイルばね３４の螺旋状の巻線３４Ａ間の空間であり、この空間３７の合計面積が、小径弁ポート２４の実効開口面積に等しいか、それより大きい値に設定されている。
【００２５】
空間３７の合計面積を、小径弁ポート２４の実効開口面積に等しいか、それより大きい値にする設定は、圧縮コイルばね３４の線径、ピッチ、巻径、有効巻数を適正値に設定することにより行うことができる。
【００２６】
図１に示されているように、弁ハウジング１１の上部には上蓋部材６１が固定状態で取り付けられており、その上部にステッピングモータ４０が取り付けられている。
【００２７】
ステッピングモータ４０は、一般的構造のものであり、弁ハウジング１１の上部に固定された下蓋部材４１およびキャン形状のロータケース４２と、ロータケース４２内に軸線方向に移動可能に且つ回転可能に設けられたロータ４３と、ロータ４３の外周部に取り付けられた円筒状の多極磁石４４と、ロータ４３内に設けられたストッパ構造部４５と、ロータケース４２の外側に固定されたステータコイルユニット４６とを有する。
【００２８】
ステータコイルユニット４６は、外凾４８、上下２段の巻線部４９、磁極歯５０、電気コネクタ部５１等を含む樹脂封止型のものである。
【００２９】
上蓋部材６１には、外周部に雄ねじを有する円筒状の雄ねじ部材６３が固定装着されている。ロータ４３の中心部には雄ねじ部材６３の雄ねじ部とねじ係合した雌ねじ部を内周面に有する雌ねじ部材５３が固定装着されている。
【００３０】
第２弁体３０の弁軸部３８は、ガイド部材２５のガイド孔２６の他、上蓋部材６１の貫通孔６４と雄ねじ部材６３の中空部６５とを貫通し、その先端はロータケース４２内に位置している。弁軸部３８の上端は、ロータ４３に固定装着されている固定金具５４に、連結金具６６、６７、圧縮コイルばね６８によって相対回転変位可能に、軸力伝達関係で、連結されている。
【００３１】
これにより、第２弁体３０は、ステッピングモータ４０と直接的に駆動連結され、ステッピングモータ４０の回転が雄ねじ部材６３の雄ねじ部と雌ねじ部材５３の雌ねじ部とのねじ係合によって直線運動に変換されることにより、軸線方向（弁リフト方向）に駆動される。
【００３２】
つぎに、上述の構成による２段式制御弁の作動について説明する。
【００３３】
大径弁ポート１４と小径弁ポート２４がともに閉じられる全閉状態は、図２（ａ）に示されているように、ステッピングモータ４０の駆動によって第２弁体３０が降下することにより、第２弁体３０の計量部３１が第１弁体２０の小径弁座２７に着座して小径弁ポート２４を閉じ、この状態で、第２弁体３０が第１弁体２０を下方に押すことにより、第１弁体２０の計量部２１が大径弁座１９に着座して大径弁ポート１４を閉じる。
【００３４】
この全閉状態では、第２弁体３０が第１弁体２０に対して降下した位置にあり、圧縮コイルばね３４が撓んだ状態で、上側の滑性ワッシャ３３とガイド部材２５との間に間隙ができる。
【００３５】
上述の全閉状態よりステッピングモータ４０によって第２弁体３０が弁開駆動（上昇駆動）されると、図２（ｂ）に示されているように、圧縮コイルばね３４のばね力によって第１弁体２０の計量部２１が大径弁座１９に着座して大径弁ポート１４が閉じられた状態を維持したまま、第２弁体３０が第１弁体２０に対して上昇する。
【００３６】
これにより、第２弁体３０が小径弁座２７より離間し、その弁リフト量に応じて小径弁ポート２４の実効開口面積が増大し、第２弁体３０によって小流量域の流量制御が行われる。
【００３７】
この第２弁体３０による流量制御状態時において、第１弁体２０は圧縮コイルばね３４のばね力によって弁閉方向に付勢されているから、第１弁体２０の大径弁座１９に対する着座が不安定なることがない。
【００３８】
前述したように、圧縮コイルばね３４は、第２弁体３０の弁開状態（流量制御状態）下において、小径弁ポート２４の実効開口面積に等しいか、それより大きい面積の流路開口を、空間３７（図３参照）の合計面積によって圧縮コイルばね３４の内側と外側との間に確保しているから、圧縮コイルばね３４が第２弁体３０による流量計量特性に影響を与えない。これにより、第２弁体３０による小流量域の流量制御が設計値通りに行われる。
【００３９】
図２（ｂ）に示されているように、小径弁ポート２４が全開状態になると、第２弁体３０のフランジ部３２が、上側の滑性ワッシャ３３を介して、ガイド部材２５に当接するようになる。これより更に、ステッピングモータ４０によって第２弁体３０が上昇駆動されると、図２（ｃ）に示されているように、フランジ部３２とガイド部材２５との係合によって、第２弁体３０が第１弁体２０を持ち上げるようになる。
【００４０】
これにより、第１弁体２０の計量部２１が大径弁座１９より離間し、その弁リフト量に応じて大径弁ポート１４の実効開口面積が増大し、第１弁体２０によって中〜大流量域の流量制御が行われる。
【００４１】
このように、第１弁体２０の計量部２１が大径弁座１９より離間した状態下でも、圧縮コイルばね３４のばね力が第１弁体２０と第２弁体３０との間に作用していることにより、振動、圧力変動等を受けても、第１弁体２０が第２弁体３０に対して不必要に軸線方向に相対変位することない。これにより、第１弁体２０による中〜大流量域の流量制御が設計値通りに行われる。
【００４２】
そして、圧縮コイルばね３４のばね力は、第１弁体２０と第２弁体３０との間に作用するだけであるから、圧縮コイルばね３４のばね力が第１弁体２０の弁開に要する駆動力を増大することにならない。よってステッピングモータ４０を大型化する必要が生じない。
【００４３】
この発明による２段式制御弁の他の実施形態を、図４〜図６を参照して説明する。なお、図４〜図６において、図１、図２に対応する部分は、図１、図２に付した符号と同一の符号を付けて、その説明を省略する。
【００４４】
この実施形態では、図４、図５に示されているように、小径弁座２７の周りに存在する第２弁室２２の底面と、当該底面に対向する第２弁体３０のフランジ部３２の下面３２Ｂとに、互いに磁気的に反発する永久磁石７１、７２が軸線方向に所定間隔をおいて配置されている。
【００４５】
図６に示されているように、永久磁石７１、７２は、円筒状で、相対向する永久磁石７１の上面７１Ａと、永久磁石７２の下面７２Ａとが同磁極、例えば、Ｎ極になっている。
【００４６】
これにより、永久磁石７１、７２は、互いに磁気的に反発し、この磁気的反発力は、第１弁体２０と第２弁体３０との間に作用し、第２弁体３０を反力受けとして、第１弁体２０を弁閉方向（降下方向）に付勢する。
【００４７】
ここで、重要なことは、永久磁石７１、７２は、第２弁体３０の全周を取り囲むように、換言すると、小径弁ポート２４の全周を取り囲むように配置されているから、これらが、第２弁体３０の弁開状態下における、第２弁体３０による流量計量特性に影響を与えないことである。
【００４８】
このため、永久磁石７１、７２は、第２弁体３０の弁開状態下において、小径弁ポート２４の実効開口面積に等しいか、それより大きい面積の流路開口７３を、永久磁石７１と７２との間に常に確保している。
【００４９】
これにより、この実施形態でも、永久磁石７１、７２が第２弁体３０による流量計量特性に影響を与えることがなく、第２弁体３０による小流量域の流量制御が設計値通りに行われる。
【００５０】
また、第１弁体２０は、永久磁石７１、７２の磁気的反発力によって弁閉方向に付勢されているから、第１弁体２０の大径弁座１９に対する着座が不安定なることがなく、この実施形態でも、第１弁体２０による中〜大流量域の流量制御が設計値通りに行われる。
【００５１】
また、永久磁石７１、７２の磁気的反発力は、第１弁体２０と第２弁体３０との間に作用するだけであるから、この磁気的反発力が第１弁体２０の弁開に要する駆動力を増大することにならず、この実施形態でも、ステッピングモータ４０を大型化する必要が生じない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】この発明による２段式制御弁の一つの実施形態を縦断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、一つの実施形態による２段式制御弁の各作動状態を示す要部の拡大断面図である。
【図３】一つの実施形態による２段式制御弁に用いられる圧縮コイルばねを示す拡大図である。
【図４】この発明による２段式制御弁の他の実施形態を縦断面図である。
【図５】他の実施形態による２段式制御弁の要部の拡大断面図である。
【図６】他の実施形態による２段式制御弁の永久磁石の磁極配置を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１１  弁ハウジング
１２  第１弁室
１３  入口ポート
１４  大径弁ポート
１５  出口ポート
１６、１７  管継手
１８  ガイド孔
１９  大径弁座
２０  第１弁体
２１  計量部
２２  第２弁室
２３  連通孔
２４  小径弁ポート
２５  ガイド部材
２６  ガイド孔
２７  小径弁座
３０  第２弁体
３１  計量部
３２  フランジ部
３３  滑性ワッシャ
３４  圧縮コイルばね
３５、３６  滑性ワッシャ
３７  空間
３８  弁軸部
４０  ステッピングモータ
４１  下蓋部材
４２  ロータケース
４３  ロータ
４４  多極磁石
４５  ストッパ構造部
４６  ステータコイルユニット
４８  外凾
４９  巻線部
５０  磁極歯
５１  電気コネクタ部
５３  雌ねじ部材
５４  固定金具
６１  上蓋部材
６３  雄ねじ部材
６４  貫通孔
６５  中空部
６６、６７  連結金具
６８  圧縮コイルばね
７１、７２  永久磁石
７３  流路開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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