(57)【要約】      （修正有）【課題】２台装備したヘッドユニットの伝送部材どうしが互いに干渉し合うことなく、ヘッドユニットの重量が増加しても電子部品を被載置位置に正確に載置することができる表面実装装置を提供する。【解決手段】基台２と、コンベア３と、第１、第２のヘッドユニット４，５と、ヘッドユニット４，５をＸ方向に移動自在に支持する支持部材２４とを備える。支持部材２４をＹ方向に移動させるＹ方向駆動装置３１と、支持部材２４のＹ方向の側部に設けられた第２の支承部材４２とを備える。支持部材２４は、平面視において額縁状に形成され、ヘッドユニット４，５は、平面視において前記支持部材２４の内側に位置付けられ、かつ一つの支持部材２４に複数装備される。第１のヘッドユニット４に接続された伝送部材１１は、前記第２の支承部材４２の一端側に支承され、第２のヘッドユニット５に接続された伝送部材１１は、第２の支承部材４２の他端側に支承されている。【選択図】図１
2007194248.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
前記基台に設けられ、プリント配線板を搬送するコンベアと、
吸着ヘッドを有する複数のヘッドユニットと、
前記コンベアの搬送方向に延びるように形成され、前記搬送方向からなる第１の方向に前記ヘッドユニットを移動自在に支持する支持部材と、
前記基台における第１の方向の両端部に前記第１の方向とは交差する第２の方向に延びるように設けられた一対のレールと、
前記支持部材を前記レールに沿って移動させる支持部材用移動装置と、
前記支持部材における前記第２の方向の側部に設けられた支承手段と、
前記支承手段の上で横向きＵ字状に延びて前記ヘッドユニットと制御装置とを接続するケーブル・負圧パイプを有する伝送部材とを備えた表面実装機であって、
前記支持部材は、平面視において第１の方向に延びる一対の第１の枠部と、この第１の枠部間を接続する第２の枠部とによって額縁状に形成され、
ヘッドユニットは、平面視において前記支持部材の内側に位置付けられ、かつ第１の方向の一端側と他端側とに位置する状態で一つの支持部材に複数装備され、
前記支承手段は、前記第１の枠部に設けられ、
複数のヘッドユニットのうち少なくとも一つのヘッドユニットに接続された伝送部材は、前記支承手段における第１の方向の一端側に支承され、残りのヘッドユニットに接続された伝送部材は、前記支承手段における第１の方向の他端側に支承されていることを特徴とする表面実装機。
【請求項２】
請求項１記載の表面実装機において、
支承手段は、支持部材における第２の方向の一端部に取付けられて第１の方向に延びる支承部材によって構成されていることを特徴とする表面実装機。
【請求項３】
請求項１記載の表面実装機において、
支承手段は、支持部材における第２の方向の一端部に位置する第１の枠部の上面によって構成されていることを特徴とする表面実装機。
【請求項４】
請求項１記載の表面実装機において、
支承手段は、支持部材における一方の第１の枠部の上面と、他方の第１の枠部の上面とによって構成され、
一方の第１の枠部の上面には、複数のヘッドユニットのうち少なくとも一つのヘッドユニットに接続された伝送部材が支承され、
他方の第１の枠部の上面には、残りのヘッドユニットに接続された伝送部材が支承されていることを特徴とする表面実装機。
【請求項５】
請求項１記載の表面実装機において、
基台における第１の方向の両端部に伝送部材を支承する側部支承部材を備え、
伝送部材は、支持部材の支承手段上から前記側部支承部材の上と、基台における第２の方向の一端部とを通って制御装置に延びていることを特徴とする表面実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ヘッドを有するヘッドユニットを水平方向に移動させて電子部品をプリント配線板に実装する表面実装機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の表面実装機としては、例えば特許文献１に開示されたものがある。この特許文献１に示されている表面実装機は、基台の上でプリント配線板を搬送するコンベアと、このコンベアの両側方に位置する部品供給部と、この部品供給部からコンベア上のプリント配線板に電子部品を移載する電子部品移動装置とを備えている。
【０００３】
前記電子部品移動装置は、コンベアの搬送方向に延びるように形成されて基台上を前記搬送方向とは交差する方向に移動する支持部材と、この支持部材に沿って前記搬送方向に移動するヘッドユニットとを備えている。前記支持部材とヘッドユニットとは２台ずつ装備されている。前記ヘッドユニットは、電子部品を吸着する吸着ノズルを有する吸着ヘッドを備えており、前記支持部材のＹ方向の一側部にいわゆる片持ち支持の状態で支持されている。
【０００４】
前記吸着ヘッドは、上下方向に延びるように形成されており、下端部に吸着ノズルが取付けられている。この種の表面実装機の吸着ヘッドは、ヘッドユニットに昇降装置を介して昇降自在に支持されるとともに、吸着ノズルを上下方向の軸線回りに回転させるための回転駆動装置を備えている。
【０００５】
この従来の表面実装機において、前記吸着ノズルに負圧を導くための負圧パイプと、前記昇降装置および回転駆動装置のモータに給電するためのケーブルなどからなる伝送部材は、ヘッドユニットのＸ方向の移動を許容するために、横向きＵ字状に屈曲した状態で支持部材の上に保持されている。
【特許文献１】特開２００２−１５１８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように構成された従来の表面実装機の前記支持部材は、ヘッドユニットをいわゆる片持ち支持の状態で支持しているために、コンベアの搬送方向に延びる中心線回りに捻るようにモーメントが作用している。このため、従来の表面実装機に用いられている支持部材は、前記モーメントに抗してヘッドユニットを確実に支持することができるように形成されている。
【０００７】
しかしながら、従来の表面実装機においては、ヘッドユニットに機能部品を追加した場合などのようにヘッドユニットの重量が増大すると、支持部材の剛性をさらに高めなければならない。支持部材の剛性を高めるに当たっては、支持部材を大きく形成したり補強部材を設ける必要がある。
【０００８】
しかし、表面実装機に搭載する支持部材の重量や大きさなどには限界があるから、従来の表面実装機においては、ヘッドユニットに重量の嵩む機能部品を装備することはできなかった。従来の表面実装機において、ヘッドユニットの重量が増加すると、上記モーメントにより支持部材にねじりが発生し、吸着ノズルの軸線が傾斜する結果、吸着ノズルが斜めに昇降することになり、電子部品の実装位置がずれ易くなるおそれがある。
【０００９】
このような不具合を解消することができるような支持部材を構成するに当っては、実装効率を高く保つために２台のヘッドユニットを装備しなければならないし、これらのヘッドユニットに接続されている伝送部材どうしが互いに接触するようなことがないようにしなければならない。
【００１０】
本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、ヘッドユニットを２台装備するとともに、これらのヘッドユニットの伝送部材どうしが互いに干渉し合うことを避けながら、ヘッドユニットの重量が増加しても電子部品を被載置位置に正確に載置することができる表面実装機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この目的を達成するため、本発明に係る表面実装機は、基台と、前記基台に設けられ、プリント配線板を搬送するコンベアと、吸着ヘッドを有する複数のヘッドユニットと、前記コンベアの搬送方向に延びるように形成され、前記搬送方向からなる第１の方向に前記ヘッドユニットを移動自在に支持する支持部材と、前記基台における第１の方向の両端部に前記第１の方向とは交差する第２の方向に延びるように設けられた一対のレールと、前記支持部材を前記レールに沿って移動させる支持部材用移動装置と、前記支持部材における前記第２の方向の側部に設けられた支承手段と、前記支承手段の上で横向きＵ字状に延びて前記ヘッドユニットと制御装置とを接続するケーブル・負圧パイプを有する伝送部材とを備えた表面実装機であって、前記支持部材を、平面視において第１の方向に延びる一対の第１の枠部と、この第１の枠部間を接続する第２の枠部とによって額縁状に形成し、ヘッドユニットを、平面視において前記支持部材の内側に位置付け、かつ第１の方向の一端側と他端側とに位置する状態で一つの支持部材に複数装備し、前記支承手段を、前記第１の枠部に設け、複数のヘッドユニットのうち少なくとも一つのヘッドユニットに接続された伝送部材を、前記支承手段における第１の方向の一端側に支承させ、残りのヘッドユニットに接続された伝送部材を、前記支承手段における第１の方向の他端側に支承させたものである。
【００１２】
請求項２に記載した発明に係る表面実装機は、請求項１に記載した表面実装機において、支承手段を、支持部材における第２の方向の一端部に取付けられて第１の方向に延びる支承部材によって構成したものである。
【００１３】
請求項３に記載した発明に係る表面実装機は、請求項１に記載した表面実装機において、支承手段を、支持部材における第２の方向の一端部に位置する第１の枠部の上面によって構成したものである。
【００１４】
請求項４に記載した発明に係る表面実装機は、請求項１に記載した表面実装機において、支承手段を、支持部材における一方の第１の枠部の上面と、他方の第１の枠部の上面とによって構成し、
一方の第１の枠部の上面に、複数のヘッドユニットのうち少なくとも一つのヘッドユニットに接続された伝送部材を支承させ、
他方の第１の枠部の上面に、残りのヘッドユニットに接続された伝送部材を支承させたものである。
【００１５】
請求項５に記載した発明に係る表面実装機は、請求項１に記載した表面実装機において、基台における第１の方向の両端部に伝送部材を支承する側部支承部材を備え、伝送部材を、支持部材の支承手段上から前記側部支承部材の上と、基台における第２の方向の一端部とを通して制御装置に延ばしたものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ヘッドユニットの両端部を支持部材によって支持することができる。このため、ヘッドユニットの重量によって支持部材にモーメントが作用することはないか、作用したとしても無視できるほど小さいから、ヘッドユニットに機能部品を追加したりしてその重量が増大したとしても、電子部品を被載置位置に正確に載置することができる。また、２台のヘッドユニットの伝送部材は第１の方向の一方と他方とに振り分けられるから、ヘッドユニット毎の伝送部材が互いに干渉し合うのを防ぐことができる。
したがって、本発明によれば、ヘッドユニットを２台装備するとともに、これらのヘッドユニットの伝送部材どうしが互いに干渉し合うことがなく、ヘッドユニットの重量が増加しても電子部品をプリント配線板の載置部に正確に載置できる表面実装機を提供することができる。
【００１７】
請求項２〜請求項４記載の発明によれば、伝送部材が支持部材における第２の方向の端部に設けられるから、伝送部材がヘッドユニットの第１の方向への移動を規制することを防ぐことができる。
請求項５記載の発明によれば、伝送部材が基台における第１の方向の両端部を通っているから、伝送部材が支持部材の第２の方向への移動を規制することを防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（第１の実施の形態）
以下、本発明に係る表面実装機の一実施の形態を図１ないし図１５によって詳細に説明する。
図１は本発明に係る表面実装機の構成を示す平面図で、同図においては、伝送部材のＵ字状屈曲部にハッチングを施してある。図２は本発明に係る表面実装機の側面図で、同図は伝送部材および伝送部材を支持するための部材を省略した状態で描いてある。図３は表面実装機をプリント配線板の搬送方向の上流側から見た状態を示す側面図、図４は電子部品移動装置の構成を示す斜視図、図５はヘッドユニットの構成を示す平面図、図６はヘッドユニットの側面図である。図７〜図９は第３の駆動装置の構成を示す断面図で、図７は図６におけるVII−VII線断面図、図８は図６におけるVIII−VIII線断面図、図９は図６におけるIX−IX線断面図である。
【００１９】
図１０は吸着ヘッドの縦断面図で、同図は図５におけるX−X線断面図である。図１１は本発明に係る表面実装機の斜視図で、同図は伝送部材および伝送部材を支持するための部材を省略した状態で描いてある。図１２はヘッドユニットの一部を拡大して示す斜視図、図１３は部品認識用カメラの構成を示す斜視図、図１４は部品認識用カメラを支持部材に装着した形態を示す図である。図１５はケーブル保持部材を示す斜視図である。
【００２０】
これらの図において、符号１で示すものは、この実施の形態による表面実装機を示す。この表面実装機１は、図１〜図３および図１１に示すように、基台２と、この基台２上に設けられたコンベア３と、後述するヘッドユニット４，５を移動させるための電子部品移動装置６とを備えている。この電子部品移動装置６は、ヘッドユニット４，５をコンベア３の搬送方向と平行なＸ方向（図１においては左右方向）と、このＸ方向とは交差するＹ方向（図１においては上下方向）とに移動させるものである。この実施の形態においては、前記Ｘ方向が本発明でいう第１の方向になり、前記Ｙ方向が本発明でいう第２の方向になる。
【００２１】
前記基台２は、Ｘ方向の両端部に位置する側部支持台７，７と、これらの側部支持台７，７どうしの間に相対的に低くなるように形成された主支持部８とを備えている。前記側部支持台７，７の上方には、図１、図３および図４に示すように、後述する伝送部材１１の第１のＵ字状屈曲部１２を支持するための第１の支承部材１３，１４が設けられている。この実施の形態においては、第１の支承部材１３，１４によって本発明でいう側部支承部材が構成されている。
【００２２】
前記第１のＵ字状屈曲部１２は、図３および図４に示すように、コンベア３の搬送方向の上流側から見て横向きＵ字状に屈曲した状態で第１の支承部材１３，１４の上に載せられている。なお、図示してはいないが、第１のＵ字状屈曲部１２における第１の支承部材１３，１４に載せられた下側の端部は、第１の支承部材１３，１４に固定部材（図示せず）によって移動することがないように固定されている。
【００２３】
前記伝送部材１１は、ヘッドユニット４，５をＸ方向に移動させるためのモータ１５（図１、図２および図９参照）のケーブルと、ヘッドユニット４，５に装備されている後述するモータのケーブルと、両ヘッドユニット４，５に設けられた吸着ノズル１６（図６、図１０および図１２参照）に負圧を導くための負圧パイプなどによって構成されている。
【００２４】
この伝送部材１１は、基台２内の制御装置１７（図４参照）から表面実装機１の後述する複数の固定部に固定されるとともに、ヘッドユニット４，５の移動を許容するように横向きＵ字状に屈曲させられたりしながら（例えば前記第１のＵ字状屈曲部１２）、ヘッドユニット４，５側に導かれている。この実施の形態による伝送部材１１は、２台のヘッドユニット４，５と対応させて基台２のＸ方向の一端側と他端側とに対をなすように装備されている。
【００２５】
前記負圧パイプは、両端部が保持されることにより一定の形状を維持する弾性材料によって形成されている。伝送部材１１を構成する複数のケーブルと負圧パイプとは、この実施の形態においては、１本の帯状を呈する伝送部材１１が構成されるように、水平方向に並ぶ状態で互いに接着されている。すなわち、複数のケーブルと負圧パイプとが互いに接着されていることにより、この伝送部材１１は、可撓性を有しながらも第１の支承部材１３，１４の上で倒れることなく起立する。なお、複数のケーブルや負圧パイプは、図１５に示すように、従来の表面実装機において広く使用されているケーブル保持部材、すなわち複数のケーブルや負圧パイプが中空部内に挿通されて屈曲方向を１方向のみに規制するようなケーブルベア（登録商標）１０によって保持することもできる。
【００２６】
このケーブルベア１０は、第１のガイド１０ａと、この第１のガイド１０ａに連結ピン１０ｃによって回動自在に連結された第２のガイド１０ｂとを交互に連結することによって形成されている。前記第１のガイド１０ａは、一対のサイドプレート１０ｄ，１０ｄと、これらのサイドプレートどうしを接続する一対のガイドプレート１０ｅ，１０ｅとを備えている。
第２のガイド１０ｂは、一対のサイドプレート１０ｆ，１０ｆと、これらのサイドプレートどうしを接続する一対のガイドプレート１０ｇ，１０ｇとを備えている。
【００２７】
第１のガイド１０ａのサイドプレート１０ｄの端部と、第２のガイド１０ｂのサイドプレート１０ｆの端部とは、互いに重ねられた状態で連結ピン１０ｃによって連結されている。第１のガイド１０ａのサイドプレート１０ｄの端部には、ストッパーピン１０ｈが側方に突出するように設けられている。第２のガイド１０ｂのサイドプレート１０ｆの端部には、前記ストッパーピン１０ｈが当接する切欠き部１０ｉが形成されている。これらのストッパーピン１０ｈと切欠き部１０ｉとは、第１のガイド１０ａと第２のガイド１０ｂとが直線状に並ぶ状態で互いに当接し、この状態から連結ピン１０ｃを中心にして第１のガイド１０に対して第２のガイド１０ｂを一方向にのみ回すことができるように構成されている。
【００２８】
このケーブルベア１０においては、サイドプレート１０ｄ，１０ｄ，１０ｆ，１０ｆと、ガイドプレート１０ｅ，１０ｅ，１０ｇ，１０ｇとによって囲まれた空間内にケーブル１０ｊと負圧パイプ１０ｋとが挿入される。図１６においては、ケーブル１０ｊと負圧パイプ１０ｋとをそれぞれ１本ずつしか描いていないが、これらはそれぞれ後述する吸着ヘッド５２〜５４の数に対応し複数本ずつ用いられる。
【００２９】
前記第１の支承部材１３，１４は、図４に示すように、伝送部材１１を保持するために断面形状が溝形となるように形成されている。この第１の支承部材１３，１４は、側部支持台７，７の上方でＹ方向に延びるとともに、この表面実装機１の装置前側の端部（図１においては下側の端部）において下方に延びるように形成されている。
【００３０】
第１の支承部材１３，１４の上に載せられた前記第１のＵ字状屈曲部１２は、Ｙ方向に延びるＹ方向延在部分１２ａ，１２ｂが上下方向に並ぶ状態で横向きＵ字状に屈曲している。この第１のＵ字状屈曲部１２は、この表面実装機１の装置前側に向けて開放するように屈曲している。
【００３１】
この第１のＵ字状屈曲部１２におけるＹ方向に延びる上下一対のＹ方向延在部分１２ａ，１２ｂのうち、下側に位置するＹ方向延在部分１２ｂは、図３および図４に示すように、第１の支承部材１３，１４に沿って装置前側の端部において下方に延び、基台２内に設けられた制御装置１７に接続されている。図４においては、表面実装機１の装置前側の端部において下方に延びる伝送部材１１を１本の２点鎖線によって描いてあるが、実際には複数のケーブルと負圧パイプとが２点鎖線に沿って延びている。
【００３２】
前記上下一対のＹ方向延在部分１２ａ，１２ｂのうち、上側に位置するＹ方向延在部１２ａは、後述する箱状の第１の固定部材２１を通って下方かつ基台２のＸ方向の中央側に延ばされている。
【００３３】
前記コンベア３は、前記主支持部８に搭載されており、側部支持台７に形成された搬送口７ａ（図１１参照）を通してプリント配線板９（図１１参照）を図１において右側から左側へ搬送する。このコンベア３には、プリント配線板９を基台２の略中央部となる実装位置に固定するためのクランプ機構（図示せず）が設けられている。
【００３４】
基台２の主支持部８上であってＹ方向の両端部には、電子部品２２（図１３参照）を供給するための多数のテープフィーダー２２ａ，２２ａ‥‥（図１および図１１参照）が設けられている。前記電子部品移動装置６は、このテープフィーダー２２ａの部品供給部２２ｂ（図１１参照）と、前記実装位置にあるプリント配線板９との間でヘッドユニット４，５を移動させるように構成されている。
【００３５】
この電子部品移動装置６は、図１〜図３および図１１に示すように、前記基台２の側部支持台７に搭載されている。この側部支持台７上には、Ｙ方向に延びるＹ方向ガイドレール２３が取付けられている。このＹ方向ガイドレール２３には、後述する支持部材２４がＹ方向に移動自在に支持されている。
【００３６】
支持部材２４は、図１に示すように、平面視において前記Ｙ方向ガイドレール２３と交差する方向（Ｘ方向）に延びる一対の第１の枠部２５，２５と、これらの第１の枠部２５，２５の間に位置する第２の枠部２６，２６とによって額縁状に形成されている。前記一対の第１の枠部２５，２５どうしは、これら第１の枠部２５，２５どうしの間に後述するヘッドユニット４，５の一部を収容することができるように、所定の間隔を保つように離間させている。第１の枠部２５は、Ｘ方向の両端部においてそれぞれＹ方向ガイドレール２３に支持されている。
【００３７】
前記第２の枠部２６は、Ｙ方向に延びるように形成され、第１の枠部２５のＸ方向の端部どうしを接続しており、前記Ｙ方向ガイドレール２３に支持されている。
この第２の枠部２６には、支持部材２４をＹ方向に往復動させるためのＹ方向駆動装置３１が接続されている。支持部材２４を額縁状に形成するためには、第１の枠部材２５、２５と、この第１の枠部材２５、２５の間に位置する第２の枠部材２６、２６とをそれぞれ個別の部材で構成し、これらの部材を結合させることによって額縁状に組立てる手法と、前記各部材を鋳造や鍛造等により額縁状に一体に形成する手法とを採ることができる。
【００３８】
前記Ｙ方向駆動装置３１は、前記側部支持台７の上でＹ方向に延びる状態で側部支持台７に回転自在に支持されたボールねじ軸３２と、このボールねじ軸３２を回転させるモータ３３と、ボールねじ軸３２に螺合するボールねじナット３２ａ（図１１参照）を有しかつ前記第２の枠部２６に設けられた連結部材３４とを備えている。この連結部材３４は、第２の枠部２６のＹ方向の中央部に接続されている。このＹ方向駆動装置３１によって、本発明でいう支持部材用移動装置が構成されている。
【００３９】
支持部材２４を構成する一対の第１の枠部２５には、Ｘ方向に延びるＸ方向ガイドレール２５がそれぞれ取付けられている。これらのＸ方向ガイドレール３５，３５は、後述するヘッドユニット４，５の支持枠３６（図１，２および図４参照）をＸ方向に移動自在に支持している。また、前記第１の枠部２５の上には、ヘッドユニット４，５をＸ方向に平行移動させるためのＸ方向駆動装置３７，３７が設けられている。
【００４０】
この実施の形態による表面実装機１においては、支持部材２４に２台のヘッドユニット４，５が搭載されているために、Ｘ方向駆動装置３７も２台設けられている。２台のヘッドユニット４，５のうち図１において左側に位置する第１のヘッドユニット４は、一対の第１の枠部２５，２５のうち図１において上側に位置する第１の枠部２５に設けられたＸ方向駆動装置３７によって駆動する。図１において右側に位置する第２のヘッドユニット５は、図１において下側に位置する第１の枠部２５に設けられたＸ方向駆動装置３７によって駆動する。
【００４１】
Ｘ方向駆動装置３７は、第１の枠部２５の上でＸ方向に延びる状態で第１の枠部２５に回転自在に支持されたボールねじ軸３８と、このボールねじ軸３８を回転させる前記モータ１５と、ボールねじ軸３８に螺合するボールねじナット３９とを備えている。このボールねじナット３９は後述する支持枠３６に回転が規制されるように取付けられている。
【００４２】
前記支持部材２４を構成する一対の第１の枠部２５のうち装置後側（図１において上側）に位置する第１の枠部２５には、図１，３および図４に示すように、２系統ある伝送部材１１，１１の各々の第２のＵ字状屈曲部４１を支持するための第２の支承部材４２が設けられている。この第２の支承部材４２は、図１に示すように、支持部材２４のＸ方向の一端部から他端部に延びるように形成されており、図３に示すように、第１の枠部２５における装置後側の側面に装置後側へ突出するように取付けられている。この実施の形態においては、この第２の支承部材４２によって本発明でいう支承手段が構成されている。
【００４３】
また、支持部材２４におけるＸ方向の両端部には、図１および図３に示すように、門形状の支持ブラケット４３が立設されており、この支持ブラケット４３を介して前記第１の固定部材２１が取付けられている。この第１の固定部材２１は、伝送部材１１の一部を支持部材２４に対して固定するためのものである。詳述すると、第１の固定部材２１は、伝送部材１１における前記第１のＵ字状屈曲部１２の一端部と、前記第２の支承部材４２の上でＸ方向に延びる第２のＵ字状屈曲部４１の一端部とを支持部材２４に対して固定している。
【００４４】
第１のＵ字状屈曲部１２の前記一端部を構成するケーブル・負圧パイプは、第１の固定部材２１を貫通して上下方向に延びる部位においては、曲がり易いように１本ずつ分離している。この分離部分は、第１の固定部材２１の下方であって第２の支承部材４２の上において、基台２におけるＸ方向の中央側を指向するようにそれぞれ曲げられている。第２の支承部材４２の上でＸ方向に延びる前記ケーブル・負圧パイプは、帯状の伝送部材１１の第２のＵ字状屈曲部４１を構成するように互いに接着されている。
【００４５】
第２のＵ字状屈曲部４１は、図４に示すように、第２の支承部材４２の上を基台２におけるＸ方向の中央側に向けて延び、前記中央側において上下方向に反転して上記とは逆方向に延び、さらに、上下方向に反転して横向きＵ字状に延びている。この第２のＵ字状屈曲部４１における最も上でＸ方向に延びるＸ方向延在部分４１ａは、図４に示すように、後述する第２の固定部材４４の上端部に固定されている。
【００４６】
第２の固定部材４４は、図３および図４に示すように、後述するヘッドユニット４，５の支持枠３６に第２の支承部材４２の上方までＹ方向に延びるように設けられた保持部材４５の上に取付けられている。この保持部材４５は、図３に示すように、支持部材２４の第１の枠部２５より高い位置に位置づけられている。この第２の固定部材４４と前記保持部材４５とによって、本発明でいう離間保持部材４６が構成されている。
【００４７】
第１のヘッドユニット４と第２のヘッドユニット５は、互いに同一の構造のものであり、図１に示すように、支持部材２４に前後方向が反対となるように搭載されている。このため、ここにおいては、第１のヘッドユニット４について詳細に説明し、第２のヘッドユニット５については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
【００４８】
第１のヘッドユニット４は、図５および図６に示すように、平面視において矩形状に形成された主フレーム５１と、この主フレーム５１の内側（ヘッドユニット４の中間部またはヘッドユニット５の中間部）に設けられた第１〜第３の吸着ヘッド５２〜５４と、部品認識用カメラ５５などを備えている。前記主フレーム５１は、図５に示すように、装置前側（図５においては下側）に位置する前壁５６と、後壁５７と、左側壁５８および右側壁５９などによって構成されている。
【００４９】
前記主フレーム５１の前壁５６と後壁５７とにおけるＸ方向の両端部には、図５に示すように、ヘッドユニット４を前記支持枠３６に取付けるための脚部材６０が設けられている。これらの脚部材６０は、前壁５６および後壁５７からＹ方向に突出しており、図６に示すように、支持枠３６の上に載せられて固定されている。
【００５０】
支持枠３６は、図４に示すように、Ｘ方向に延びる一対の枠部材３６ａ，３６ｂと、Ｙ方向に延びる一対の枠部材３６ｃ，３６ｄとによって平面視において額縁状に形成されており、前記Ｘ方向ガイドレール３５に移動自在に支持されている。前記主フレーム５１は、この支持枠３６の内部に挿入され、脚部材６０を介して支持枠３６に支持されている。第１のヘッドユニット４を支持する支持枠３６の枠部材３６ｃと、第２のヘッドユニット５を支持する支持枠３６の枠部材３６ｄには、Ｘ方向駆動装置３７のボールねじナット３９が取付けられている。
【００５１】
前記主フレーム５１における装置前側であって、Ｘ方向の中央部には、図５および図７に示すように、Ｙ方向に延びる一対のガイド壁６１，６１が設けられている。このガイド壁６１，６１間には、Ｙ方向に延びるガイドレール６２と、このガイドレール６２に移動自在に支持されたスライダ６３とからなるＹ方向のスライド機構６４を介して後述する第１の吸着ヘッド５２が装着されている。前記ガイドレール６２は第１の吸着ヘッド５２に固定され、スライダ６３はガイド壁６１に固定されている。
【００５２】
また、主フレーム５１の前記前壁５６には、図５および図７に示すように、第１の吸着ヘッド５２をＹ方向に往復動させるための第２方向駆動装置６５が設けられている。この第２方向駆動装置６５は、主フレーム５１に軸線方向がＹ方向を指向するように取付けられたモータ６６と、このモータ６６の出力軸６６ａに設けられたボールねじ軸６７と、このボールねじ軸６７に螺合する状態で第１の吸着ヘッド５２に固定されたボールねじナット６８などによって構成されている。すなわち、第１の吸着ヘッド５２は、主フレーム５１内におけるＹ方向の一端側であってＸ方向の中央部にＹ方向にのみ移動可能に装備され、前記第２方向駆動装置６５によってＹ方向に往復動させられる。
【００５３】
前記主フレーム５１の後部には、図５に示すように、Ｘ方向に延びるガイドレール７０と、このガイドレール７０に移動自在に支持されたスライダ７１とからなるＸ方向のスライド機構７２を介して二つの副フレーム７３，７４がそれぞれＸ方向に移動自在に設けられている。前記ガイドレール７０は、主フレーム５１の後壁５７に固定され、スライダ７１は副フレーム７３，７４の後述するＸ方向延在部７３ａ，７４ａに固定されている。
【００５４】
前記二つの副フレーム７３，７４は、図５、図８および図９に示すように、主フレーム５１の後壁５７と平行にＸ方向と上下方向とに延びるＸ方向延在部７３ａ，７４ａと、このＸ方向延在部７３ａ，７４ａのＸ方向の一端からＹ方向であって前記後壁５７とは反対側へ延びるＹ方向延在部７３ｂ，７４ｂとによってそれぞれ断面Ｌ字状に形成されている。これらの副フレーム７３，７４のうち図５において左側に位置する第１の副フレーム７３のＹ方向延在部７３ｂは、Ｘ方向延在部７３ａの左側の端部に接続されている。一方、図５において右側に位置する第２の副フレーム７４のＹ方向延在部７４ｂは、Ｘ方向延在部７４ａの右側の端部に接続されている。
【００５５】
前記二つの副フレーム７３，７４のＹ方向延在部７３ｂ，７４ｂには、図８および図９に示すように、第２、第３の吸着ヘッド５３，５４を副フレーム７３，７４とともにＸ方向に移動させるための第１方向駆動装置７５がそれぞれ設けられている。これらの第１方向駆動装置７５は、主フレーム５１の左側壁５８または右側壁５９に軸線方向がＸ方向を指向するように取付けられたモータ７６と、このモータ７６の出力軸７６ａに設けられたボールねじ軸７７と、このボールねじ軸７７に螺合する状態で前記Ｙ方向延在部７３ｂ，７４ｂに固定されたボールねじナット７８などによって構成されている。
【００５６】
二つの副フレーム７３，７４のうち図５において左側に位置する第１の副フレーム７３を駆動する第１方向駆動装置７５のモータ７６は、図５に示すように、主フレーム５１の左側壁５８から左側方に突出するように取付けられ、他方の第２の副フレーム７４を駆動する第１方向駆動装置７５のモータ７６は、主フレーム５１の右側壁５９から右側方に突出するように取付けられている。
【００５７】
前記第１の副フレーム７３のＹ方向延在部７３ｂにおける主フレーム５１の左側壁５８とは反対側には、図５および図９に示すように、Ｙ方向に延びるガイドレール７９と、このガイドレール７９に移動自在に支持されたスライダ８０とからなるＹ方向のスライド機構８１を介して第２の吸着ヘッド５３がＹ方向に移動自在に装着されている。
【００５８】
一方、第２の副フレーム７４のＹ方向延在部７４ｂにおける主フレーム５１の右側壁５９とは反対側には、図５に示すように、Ｙ方向に延びるガイドレール８２と、このガイドレール８２に移動自在に支持されたスライダ８３とからなるＹ方向のスライド機構８４を介して第３の吸着ヘッド５４がＹ方向に移動自在に装着されている。これら二つのスライド機構８１，８４のガイドレール７９，８２は、第２、第３の吸着ヘッド５３，５４に固定され、スライダ８０，８３はＹ方向延在部７３ｂ，７４ｂに固定されている。
【００５９】
前記第１の副フレーム７３のＸ方向延在部７３ａと、第２の副フレーム７４のＸ方向延在部７４ａとには、図９および図１０に示すように、第２、第３の吸着ヘッド５３，５４をＹ方向に移動させるための第２方向駆動装置８５がそれぞれ設けられている。
【００６０】
これらの第２方向駆動装置８５，８５は、副フレーム７３，７４のＸ方向延在部７３ａ，７４ａに軸線方向がＹ方向を指向するように取付けられたモータ８６と、このモータ８６の出力軸８６ａに設けられたボールねじ軸８７と、このボールねじ軸８７に螺合する状態で第２または第３の吸着ヘッド５３，５４に固定されたボールねじナット８８などによって構成されている。前記二つのモータ８６，８６は、主フレーム５１の後壁５７に形成された開口部５７ａ（図９参照）を通り主フレーム５１から後方に突出している。前記開口部５７ａは、第２、第３の吸着ヘッド５３，５４とともに前記モータ８６がＸ方向に移動するときにこのモータ８６と後壁５７との干渉を避けるためのものである。
【００６１】
すなわち、第２の吸着ヘッド５３と第３の吸着ヘッド５４とは、主フレーム５１の内側にＸ方向とＹ方向とにそれぞれ移動自在に装備され、前記第１方向駆動装置７５によって主フレーム５１に対してＸ方向に往復動させられるとともに、前記第２方向駆動装置８５によって主フレーム５１に対してＹ方向に往復動させられる。
【００６２】
第１〜第３の吸着ヘッド５２〜５４は、図６、図１０および図１２に示すように、前記第２方向駆動装置６５，８５のボールねじナット６８，８８が取付けられた吸着ヘッド本体９１と、この吸着ヘッド本体９１に上下方向（以下においてはＺ方向という）のスライド機構９２を介して昇降自在に支持された昇降部材９３と、この昇降部材９３の下端部に取付けられた吸着ノズル１６などを備えている。
前記Ｚ方向のスライド機構９２は、吸着ヘッド本体９１に上下方向に延びるように固定されたガイドレール９４と、このガイドレール９４に昇降自在に支持されかつ昇降部材９３に固定されたスライダ９５とから構成されている。
【００６３】
前記吸着ヘッド本体９１は、主フレーム５１をＺ方向に貫通する長さに形成されており、昇降部材９３を昇降させるためのＺ方向駆動装置１０１を備えている。このＺ方向駆動装置１０１は、吸着ヘッド本体９１の上端部に軸線が下方を指向する状態で取付けられたモータ１０２と、このモータ１０２の出力軸１０２ａに接続されたボールねじ軸１０３と、このボールねじ軸１０３に螺合する状態で昇降部材９３に固定されたボールねじナット１０４などによって構成されている。
【００６４】
前記昇降部材９３は、吸着ノズル１６をＺ方向の軸線回りに回転自在に支持しており、この吸着ノズル１６を前記軸線回りに回転させるための回転駆動装置１０５と、吸着ノズル１６から空気を吸引するための空気吸引用パイプ１０６（図１２参照）とを備えている。この空気吸引用パイプ１０６は、図示していない切換弁装置を介して前記負圧パイプに接続されている。前記回転駆動装置１０５は、昇降部材９３における吸着ノズル１６の上方の部位に軸線が下方を指向するように設けられたモータ１０７によって吸着ノズル１６を回転させる構成が採られている。
【００６５】
このように構成された第１〜第３の吸着ヘッド５２〜５４は、図５に示すように、吸着ノズル１６がＸ方向に一列に並ぶように主フレーム５１に装備されている。詳述すると、第１の吸着ヘッド５２は、主フレーム５１の前部であってＸ方向の中央部に前壁５６から後方に延びるように設けられている。第２の吸着ヘッド５３と第３の吸着ヘッド５４とは、主フレーム５１の後部であってＸ方向の両側部に後壁５７から前方に延びるようにそれぞれ設けられている。
【００６６】
第１〜第３の吸着ヘッド５２〜５４をこのように主フレーム５１に装着することによって、３個の吸着ノズル１６の相互の間隔を第１方向駆動装置７５によって変えることができるとともに、各吸着ノズル１６の主フレーム５１に対するＹ方向の位置を第２方向駆動装置６５，８５によって変えることができる。すなわち、この実施の形態による表面実装機１においては、吸着ノズル１６どうしの間隔を多数のテープフィーダー２２ａの設置間隔と一致させることができるから、３本の吸着ノズル１６によって一度に電子部品２２を吸着することができる。
【００６７】
吸着ノズル１６に電子部品２２を吸着したときの吸着ノズル１６に対する電子部品２２の位置は、主フレーム５１に設けられた部品認識用カメラ５５（図５、図６および図１３参照）により電子部品２２を下方から撮像し、画像処理によって検出する。
【００６８】
部品認識用カメラ５５は、図５、図６および図１３に示すように、主フレーム５１の右側壁５９から右方（図１３においては左方）に突出するとともに軸線がＸ方向を指向する状態で前記右側壁５９に支持されたモータ１１１と、このモータ１１１の出力軸１１１ａに設けられたボールねじ軸１１２と、このボールねじ軸１１２に螺合するボールねじナット１１３が固定された移動部材１１４と、この移動部材１１４に取付けられたカメラ本体１１５とから構成されている。
【００６９】
前記移動部材１１４は、Ｘ方向に延びるガイドレール１１６（図１３参照）と、このガイドレール１１６に移動自在に支持されたスライダ１１７とからなるＸ方向のスライド機構１１８によって主フレーム５１の下端部にＸ方向へ移動自在に支持されている。このスライド機構１１８は、図５に示すように、移動部材１１４が第２の吸着ヘッド５３より外側（左側）の位置と、第３の吸着ヘッド５４より外側（右側）の位置との間で移動できるように形成されている。また、前記移動部材１１４は、図１３に示すように、多数の照明用ＬＥＤ１１９を備え、撮影時には、吸着ノズル１６に吸着された電子部品２２に下方から光を照射するように構成されている。
【００７０】
カメラ本体１１５は、リニアセンサやエリアセンサなどの撮像素子（図示せず）を備え、図６に示すように、Ｙ方向に延びるように移動部材１１４に取付けられている。この部品認識用カメラ５５による電子部品２２の撮像は、吸着ノズル１６に電子部品２２が吸着されている状態で前記モータ１１１を有するボールねじ式の駆動装置１２０によって移動部材１１４をＸ方向に移動させながら、移動部材１１４内に設けられたミラー（図示せず）を介して吸着ノズル１６側を下方から見上げるようにして行われる。
【００７１】
この部品認識用カメラ５５によって検出された電子部品２２の吸着位置ずれは、前記第１方向駆動装置７５と第２方向駆動装置６５，８５の駆動により各吸着ノズル１６の位置を変えることによって修正する。第１の吸着ヘッド５２に設けた吸着ノズル１６において生じた吸着位置ずれは、第２方向駆動装置６５により第１の吸着ヘッド５２をＹ方向に移動させるとともに、ヘッドユニット４，５をＸ方向駆動装置３７によってＸ方向に移動させることによって修正する。また、第１の吸着ヘッド５２において、電子部品２２がＺ方向の軸線回りに回されたような状態で吸着されている場合は、回転駆動装置１０５により吸着ノズル１６を回転させることによって上記回転方向の位置ずれを修正する。
【００７２】
第２の吸着ヘッド５３と第３の吸着ヘッド５４とに設けた吸着ノズル１６で生じた吸着位置ずれは、前記ヘッドユニット４，５のＸ方向への移動量を加算した状態で第１方向駆動装置７５により第２，第３の吸着ヘッド５３，５４をＸ方向に移動させ、かつ第２方向駆動装置８５によって第２，第３の吸着ヘッド５３，５４をＹ方向に移動させることによって修正する。また、第２および第３の吸着ヘッド５３，５４において、電子部品２２がＺ方向の軸線回りに回されたような状態で吸着されている場合は、回転駆動装置１０５により吸着ノズル１６を回転させることによって上記回転方向の位置ずれを修正する。
【００７３】
この表面実装機１においては、上述した第１方向駆動装置７５と第２方向駆動装置６５，８５とによって３本の吸着ノズル１６の相互の間隔と、各吸着ノズル１６の主フレーム５１に対するＹ方向の位置とを変えることができるから、吸着ノズル１６毎に電子部品２２をプリント配線板９の所定の実装位置に位置決めすることができる。すなわち、この表面実装機１では、電子部品２２を３本の吸着ノズル１６によってプリント配線板９に同時に実装することができる。
【００７４】
この実施の形態における部品認識カメラ５５は、図５、図６および図１３に示すように、主フレーム５１の下面に取り付け、第１のヘッドユニット４や第２のヘッドユニット５がＸ方向に移動中でも停止していても、またどの位置にあっても、モータ１１１の駆動により、吸着された部品の認識を可能とするものである。一方、部品認識用カメラ５５は、図１４に示すように、支持部材２４の下面に取り付けることもできる。
【００７５】
図１４に示す部品認識用カメラ５５は、支持部材２４の一方の第１の枠部２５にＸ方向のスライド機構１２１を介して支持されている。このスライド機構１２１は、第１の枠部２５に固定されたガイドレール１２２と、このガイドレール１２２に移動自在に支持されかつ移動部材１１４に固定されたスライダ１２３とによって構成されている。この形態を採るに当たって、モータ１１１は、図示していないブラケットによって第１の枠部２５に支持、固定されている。
【００７６】
これによると、同様、第１のヘッドユニット４や第２のヘッドユニット５をＸ方向に移動中モータ１１１を駆動して部品認識用カメラ５５をＸ方向に移動させることで、相対速度を高める場合には短時間に部品認識が可能となる。なお、部品認識用カメラ５５を支持部材２４の下面に取り付ける場合、固定することでスライド機構１２１やモータ１１１が不要になる分、部品認識用カメラ５５を軽量化することができる。
【００７７】
このように構成されたヘッドユニット４，５に装備されているモータ６６，７６，８６，１０２，１０７，１１１のケーブルと、空気吸引用パイプ１０６に負圧を導くための負圧パイプと、部品認識用カメラ５５のケーブルなどは、各ヘッドユニット４，５毎に設けられている前記保持部材４５の内部に支持枠３６の近傍において挿入され、この保持部材４５と第２の固定部材４４との内部を通って第２の固定部材４４から上方に導出される。
【００７８】
第２の固定部材４４から導出された前記ケーブルと負圧パイプなどのケーブル類は、帯状の伝送部材１１が構成されるように互いに接着され、図４に示すように、第１の固定部材２１との間において第２のＵ字状屈曲部４１を構成するように屈曲させられる。
さらに、この伝送部材１１は、前記第１の固定部材２１と第１の支承部材１３，１４上の固定部（図示せず）との間において第１のＵ字状屈曲部１２を構成するように屈曲させられ、基台２の装置前側の端部に沿って下方に導かれた後に制御装置１７に接続される。
【００７９】
上述したように構成された表面実装機１においては、支持部材２４が平面視において額縁状に形成され、この支持部材２４の内部に２台のヘッドユニット４，５が挿入されているから、ヘッドユニット４，５のＹ方向の両端部を支持部材２４（支持枠３６）によって支持することができる。このため、ヘッドユニット４，５の重量によって支持部材２４にモーメントが作用することはないか、作用したとしても無視できるほど小さいから、ヘッドユニット４，５に機能部品を追加したりしてその重量が増大したとしても、電子部品を被載置位置に正確に載置することができる。しかも、この表面実装機１においては、２台のヘッドユニット４，５の伝送部材１１，１１はＸ方向の一方と他方とに振り分けられるように設けられているから、これらの伝送部材１１，１１どうしが互いに干渉し合うことはない。
【００８０】
この実施の形態による表面実装機１は、支持部材２４におけるＹ方向の一端部に取付けられた第２の支承部材４２によって伝送部材１１の第２のＵ字状屈曲部４１を支持する構成が採られている。このため、ヘッドユニット４，５のＸ方向の移動が伝送部材１１によって規制されることがない。
【００８１】
この実施の形態による表面実装機１は、基台２におけるＸ方向の両端部に第１の支承部材１３，１４を備え、両ヘッドユニット４，５の伝送部材１１，１１は、前記第１の支承部材１３，１４の上と、基台２におけるＹ方向の一端部（装置前側の端部）とを通して制御装置１７に接続されている。このため、この表面実装機１は、伝送部材１１，１１が基台２におけるＸ方向の両端部を通っているから、伝送部材１１，１１によって支持部材２４のＹ方向への移動が規制されることがない。
【００８２】
（第２の実施の形態）
本発明に係る表面実装機は図１６〜図２０に示すように構成することができる。
図１６および図１７は装置後側に伝送部材を通した他の実施の形態を示し、図１６は平面図、図１７はプリント配線板の搬送方向の上流側から見た側面図である。図１８は伝送部材の第２のＵ字状屈曲部の位置を変えた他の実施の形態を示す平面図である。図１９は支持部材のＹ方向の一端部に伝送部材の第２のＵ字状屈曲部を支承させた他の形態を示す平面図、図２０は支持部材のＹ方向の両端部に伝送部材の第２のＵ字状屈曲部を支承させた他の形態を示す平面図である。これらの図において、前記図１〜図１４によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。
【００８３】
図１６および図１７に示す表面実装機１は、制御装置１７が基台２の装置後側に搭載されている。このため、この表面実装機１の第１の支承部材１３，１４は、伝送部材１１が基台２の後面に沿って上側に延びるように形成されている。この実施の形態による伝送部材１１の第１のＵ字状屈曲部１２は、装置後側へ向けて開放する横向きＵ字状を呈するように屈曲している。
【００８４】
図１８に示す表面実装機１は、支持部材２４のＹ方向の両端部にそれぞれ第２の支承部材４２を備えている。また、第２のヘッドユニット５の伝送部材１１を支持する保持部材４５と第２の固定部材４４は、この実施の形態では支持枠３６の装置前側の端部に設けられている。第２のヘッドユニット５に接続された伝送部材１１は、この装置前側に位置する保持部材４５と第２の固定部材４４によって支持部材２４より高い位置に保持され、支持部材２４の装置前側でＸ方向に延びる第２の支承部材４２に載せられている。
図１６〜図１８に示すように構成しても第１の実施の形態を採る場合と同じ効果を奏する。
【００８５】
図１９に示す表面実装機１は、支持部材２４における装置後側（図１９において上側）の端部に第２の支承部材４２が一体に形成されている。詳述すると、前記支持部材２４における装置後側に位置する第１の枠部２５は、装置前側に位置する第１の枠部２５に較べてＹ方向の幅寸法が大きくなるように形成されている。この装置後側に位置する第１の枠部２５の上面は、伝送部材１１の第２のＵ字状屈曲部４１を載せることができるように平坦に形成されている。
【００８６】
この実施の形態においては、支持部材２４におけるＹ方向の一端部に位置する第１の枠部２５の上面によって本発明でいう支承手段が構成されている。
この実施の形態において、第１のヘッドユニット４に接続された伝送部材１１の第２のＵ字状屈曲部４１と、第２のヘッドユニット５に接続された伝送部材１１の第２のＵ字状屈曲部４１とは、前記第１の実施の形態で示した表面実装機１と同様に、それぞれヘッドユニット４，５に隣接する位置に位置付けられている。
【００８７】
図２０に示す表面実装機１は、支持部材２４のＹ方向の両端部に第２の支承部材４２が一体に形成されている。すなわち、支持部材２４の２つの第１の枠部２５のＹ方向の幅寸法は、伝送部材１１の第２のＵ字状屈曲部４１を載せることができるような幅寸法に形成されている。この実施の形態においては、支持部材２４における一方の第１の枠部２５の上面と、他方の第１の枠部２５の上面とによって本発明でいう支承手段が構成されている。２つの第１の枠部２５，２５のうち、装置後側に位置する第１の枠部２５には第１のヘッドユニット４に接続された伝送部材１１の第２のＵ字状屈曲部４１が支承され、装置前側に位置する第１の枠部２５の上面には、第２のヘッドユニット５に接続された伝送部材１１の第２のＵ字状屈曲部４１が支承されている。
図１９および図２０に示すように支持部材２４を構成しても第１の実施の形態を採る場合と同じ効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明に係る表面実装機の構成を示す平面図である。
【図２】本発明に係る表面実装機の構成を示す側面図である。
【図３】表面実装機をプリント配線板の搬送方向の上流側から見た状態を示す側面図である。
【図４】電子部品移動装置の構成を示す斜視図である。
【図５】ヘッドユニットの構成を示す平面図である。
【図６】ヘッドユニットの側面図である。
【図７】図６におけるVII−VII線断面図である。
【図８】図６におけるVIII−VIII線断面図である。
【図９】図６におけるIX−IX線断面図である。
【図１０】図５におけるX−X線断面図である。
【図１１】本発明に係る表面実装機の斜視図である。
【図１２】ヘッドユニットの一部を拡大して示す斜視図である。
【図１３】部品認識用カメラの構成を示す斜視図である。
【図１４】部品認識用カメラを支持部材に装着した形態を示す図である。
【図１５】ケーブル保持部材を示す斜視図である。
【図１６】装置後側に伝送部材を通した他の実施の形態を示す平面図である。
【図１７】プリント配線板の搬送方向の上流側から見た側面図である。
【図１８】伝送部材の第２のＵ字状屈曲部の位置を変えた他の実施の形態を示す平面図である。
【図１９】支持部材のＹ方向の一端部に伝送部材の第２のＵ字状屈曲部を支承させた他の形態を示す平面図である。
【図２０】支持部材のＹ方向の両端部に伝送部材の第２のＵ字状屈曲部を支承させた他の形態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００８９】
２…基台２、４，５…ヘッドユニット、１０ｊ…ケーブル、１０ｋ…負圧パイプ、１１…伝送部材、１２…第１のＵ字状屈曲部、１６…吸着ノズル、２１…第１の固定部材、２３…Ｙ方向ガイドレール、２４…支持部材、２５…第１の枠部、２６…第２の枠部、３１…Ｙ方向駆動装置、３５…Ｘ方向ガイドレール、３７…Ｘ方向駆動装置、４１…第２のＵ字状屈曲部、４４…第２の固定部材、４５…保持部材、５１…主フレーム、５２…第１の吸着ヘッド、５３…第２の吸着ヘッド、５４…第３の吸着ヘッド、６５，８５…第２方向駆動装置、７５…第１方向駆動装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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