(57)【要約】  【課題】本発明は、膜厚あたりの光学濃度が極めて高く遮光性に優れ、カラー画素が重なった場合もツノの発生を抑えることができる樹脂ブラックマトリックスを提供することを目的とする。【解決手段】膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．５以上である樹脂ブラックマトリックス。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．５以上である樹脂ブラックマトリックス。
【請求項２】
膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．５以上５．５以下である請求項１に記載の樹脂ブラックマトリックス。
【請求項３】
膜厚１μｍあたりの光学濃度が５以上５．５以下である請求項１に記載の樹脂ブラックマトリックス。
【請求項４】
膜厚が０．７μｍ以上１μｍ以下である請求項１に記載の樹脂ブラックマトリックス。
【請求項５】
アルカリ可溶性高分子３〜４０質量％、エチレン性不飽和二重結合を有する光重合性化合物５〜２５質量％、光重合開始剤０．１〜２０質量％、黒色顔料４５〜６５質量％を感光性樹脂層に含む感光性樹脂積層体を、少なくとも基板上にラミネートし、露光し、現像し、ポストベークして得られる請求項１〜４のいずれか一項に記載の樹脂ブラックマトリックスの製造方法。
【請求項６】
前記光重合開始剤として、オキシムエステル化合物を含有することを特徴とする請求項５記載の樹脂ブラックマトリックスの製造方法。
【請求項７】
前記アルカリ可溶性高分子として、下記式（Ｉ）で表されるアルカリ可溶性高分子を含有することを特徴とする請求項５又は６に記載の樹脂ブラックマトリックスの製造方法。
【化１】
2007279668.tif 000012
【化２】
2007279668.tif 000013
（上記式（Ｉ）中のＸは、上記式（ＩＩ）で表される基、Ｙはジカルボン酸無水物の酸無水物基を除いた残基、Ｚはテトラカルボン酸二無水物の酸無水物基を除いた残基、ｎは１〜２０の整数である。上記式（ＩＩ）中のＲ１およびＲ２はそれぞれ互いに独立にＨ又はＣＨ３基を表す。）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜厚あたりの遮光性に優れる樹脂ブラックマトリックスに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイには、一般にカラーフィルタと呼ばれるバックライト光を色づけする部材があり、カラーフィルタは、赤、緑、青のカラー画素とそれらを仕切るブラックマトリックスより構成される。カラー画素はカラー化の為に必要であるが、ブラックマトリクスは、ＴＦＴの誤作動を防止したり、コントラストを向上させたり、混色を防ぐなどの目的のためカラー画素間に格子状に配されるのが通常である。
さて、近年液晶ディスプレイにはますますの高品質が求められている。例えば、ディスプレイの色再現性を高めるためにカラー画素の色純度を上げることが求められている。色純度を上げるとバックライト光の透過率が減少し、輝度が下がる。これを補いバックライト光の輝度を上げると、カラー画素とカラー画素とを仕切るブラックマトリックスがバックライト光を遮光しきれず徐々に透過するようになる。しかも、パネルの輝度を確保するためには開口部すなわちカラー画素部分を大きく設計する必要があり、それに対応してブラックマトリックスは細線化される傾向にもある。従来ブラックマトリックスはスパッタクロム等により製造されていたが、環境対応のため今後の使用は困難であり、フォトリソグラフィーを用いた樹脂ブラックマトリックスが主流になりつつある。
【０００３】
さらに、液晶ディスプレイの製造には生産性の向上が求められており、カラーフィルタも例外ではない。たとえば、液晶ディスプレイの大型化に伴いカラーフィルタ基板の露光面積も広がるが、露光マスクを同じ大きさとする事は難しく、一枚のカラーフィルタ基板を分割して繰り返し露光することになる。そうすると一回あたりの露光時間は生産性に大きく影響し、高感度のフォトリソグラフィー材料が求められる用になる。さらに、塗布、乾燥、露光、現像といったフォトリソグラフィー工程自体の簡略化も重要な生産性向上の手段と考えられている。
特に樹脂ブラックマトリックスは、遮光性が高いことが本来の機能であるため、感光性樹脂とした場合、感度を上げることが非常に難しい。また、遮光性が高く底面まで露光が届かないため、密着性、とりわけ細線の密着性、および過現像時の線幅安定性を確保することが非常に難しい。
【０００４】
さらに困難なことに、樹脂ブラックマトリックスとカラー画素が重なり合う部分は樹脂ブラックマトリックスの上にカラー画素が乗り上げる状態となり、「ツノ」と呼ばれる。このツノによって生じた凹凸は、例えばカラーフィルタ上に配線を設置する場合は電流電圧の不安定化や断線を招き、さらに凹凸が大きい場合は配向膜や液晶自身の配向にも影響を及ぼす。よって、最近は樹脂ブラックマトリックスの遮光性を維持しつつ、膜厚を薄くすることが求められている。即ちこれは、膜厚１μｍあたりの光学濃度をより高くすることに等しい。光学濃度とは、ある光源の光に対して入射光強度をＩ０、透過光強度をＩとした場合に、光学濃度＝ｌｏｇ１０（Ｉ０／Ｉ）の関係で表される。測定装置により値は異なる場合があるが、大画面のテレビに用いるには膜厚１μｍあたりの光学濃度が４を超えることが望ましいとされている。光学濃度が３であれば入射光強度に対して透過光強度は千分の一に、光学濃度が４であれば一万分の一に、光学濃度が５であれば十万分の一になる。よって感光性の樹脂ブラックマトリックスにとって光学濃度を向上させることは、高い光学濃度の領域ではたとえ０．１であっても非常に難しいとされている。
【０００５】
このような課題に鑑み、いくつかの先行技術が開示されている。例えば、特許文献１には、光学濃度が高く良好な樹脂ブラックマトリックスパターンが得られる光重合性黒色組成物が開示されている。同様に特許文献２には、薄膜において遮光性に優れる樹脂ブラックマトリックスが開示されているが、光学濃度は３．５であり塗布乾燥後の膜厚は１μｍである。また、特許文献３には、特定の光重合性樹脂組成物を支持フィルムに積層したカラーフィルタ形成用材料が開示されている。
【特許文献１】特開２００４−６９７５４号公報
【特許文献２】特開２００５−２５１６９号公報
【特許文献３】特開２００５−２０８４８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、膜厚あたりの光学濃度が極めて高く遮光性に優れ、カラー画素が重なった場合もツノの発生を抑えることができる樹脂ブラックマトリックスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち、本発明は以下のとおりである。
（１）膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．５以上である樹脂ブラックマトリックス。
（２）膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．５以上５．５以下である（１）に記載の樹脂ブラックマトリックス。
（３）膜厚１μｍあたりの光学濃度が５以上５．５以下である（２）に記載の樹脂ブラックマトリックス。
（４）膜厚が０．７μｍ以上１μｍ以下である（１）に記載の樹脂ブラックマトリックス。
（５）アルカリ可溶性高分子３〜４０質量％、エチレン性不飽和二重結合を有する光重合性化合物５〜２５質量％、光重合開始剤０．１〜２０質量％、黒色顔料４５〜６５質量％を感光性樹脂層に含む感光性樹脂積層体を、少なくとも基板上にラミネートし、露光し、現像し、ポストベークして得られる（１）〜（４）のいずれか一項に記載の樹脂ブラックマトリックスの製造方法。
（６）前記光重合開始剤として、オキシムエステル化合物を含有することを特徴とする（５）記載の樹脂ブラックマトリックスの製造方法。
（７）前記アルカリ可溶性高分子として、下記式（Ｉ）で表されるアルカリ可溶性高分子を含有することを特徴とする（５）又は（６）に記載の樹脂ブラックマトリックスの製造方法。
【０００８】
【化１】
2007279668.tif 000002
【０００９】
【化２】
2007279668.tif 000003
（上記式（Ｉ）中のＸは、上記式（ＩＩ）で表される基、Ｙはジカルボン酸無水物の酸無水物基を除いた残基、Ｚはテトラカルボン酸二無水物の酸無水物基を除いた残基、ｎは１〜２０の整数である。上記式（ＩＩ）中のＲ１およびＲ２はそれぞれ互いに独立にＨ又はＣＨ３基を表す。）
【発明の効果】
【００１０】
本発明の樹脂ブラックマトリックスは、極めて遮光性に優れ、カラー画素が重なった場合もツノの発生を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明は、膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．５以上である樹脂ブラックマトリックスであり、これは、アルカリ可溶性高分子３〜４０質量％、エチレン性不飽和二重結合を有する光重合性化合物５〜２５質量％、光重合開始剤０．１〜２０質量％、黒色顔料４５〜６５質量％を感光性樹脂層に含む感光性樹脂積層体を、少なくとも基板上にラミネートし、露光し、現像し、ポストベークする事により得られる。
本発明の樹脂ブラックマトリックスは、膜厚１μｍあたりの光学濃度が高いため、遮光性を維持しながら膜厚を薄くすることが出来る。結果、カラー画素との重なり部分で生じるツノの発生を抑制することが出来る。上述のとおり、このツノによって生じた凹凸は、例えばカラーフィルタ上に配線を設置する場合は電流電圧の不安定化や断線を招き、さらに凹凸が大きい場合は配向膜や液晶自身の配向にも影響を及ぼす。凹凸が液晶の配向を乱す場合は、オーバーコート層とよばれる平坦化膜を設けたり、表面を平らにするために研磨したりすることもある。電流の不安定化や断線、液晶の配向への影響を抑制し、カラーフィルタ全体の厚みを薄くできるという利点から、樹脂ブラックマトリックスの高さは１μｍ以下であることが好ましい。感光性樹脂積層体を転写するときの転写性や、ゴミなどに起因する欠点の影響の観点から０．７μｍ以上が好ましい。近年の高輝度フラットパネルディスプレイに必要な遮光性は、光学濃度は４とされているが、例えば１μｍあたりの光学濃度が５であれば樹脂ブラックマトリックスの高さを０．８μｍに抑えることが可能となり、ツノの極めて小さなカラーフィルタの作成が可能となる。
【００１２】
膜厚１μｍあたりの光学濃度は高ければ高いほど、フラットパネルディスプレイに必要な遮光性を維持したまま膜厚を薄くすることが可能であり好ましいが、光学濃度が５．５を超えると樹脂ブラックマトリックス中の成分のほとんどが黒色顔料とならざるをえず、樹脂ブラックマトリックスの形状の維持、もろさなどの観点から５．５以下が好ましい。
上述の通り、膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．５以上である樹脂ブラックマトリックスは特許、文献共にこれまで開示がない。一般に樹脂ブラックマトリックスの膜厚１μｍあたりの光学濃度を上げるには、遮光材料である黒色材料、例えばカーボンブラックを大量に配合することが必要である。しかし、遮光性を上げると感光性樹脂を硬化させる活性光線の透過率が下がり、感度を維持するのが困難になる。加えて、カーボンブラックは表面積が大きく、顔料分散した感光性樹脂組成物とするとチキソトロピー性に富んだ流動性の悪い液体になりやすい。カーボンブラックの配合量が増えればこの傾向は顕著になり、また、保存中に増粘が起こりやすく、単にカーボンブラックを増量し、感光性樹脂組成物としただけでは、塗布性、保存安定性の観点から実用が困難であった。そのため形成可能な樹脂ブラックマトリックスの光学濃度に限界があった。
【００１３】
本発明では、カーボンブラックを大量に配合した感光性樹脂組成物を予め支持フィルムに塗工し乾燥し積層体とすることで、保存安定性を良好なものとしている。さらに基板に直接塗布乾燥するのではなく一旦支持フィルムに塗工するため、塗工時の膜厚均一性を確保するのが容易である。また、支持フィルム上から露光できるので感光性樹脂層が露光中酸素に暴露することなく極めて高い感度を得ることができる。このようなこのような技術に基づきカーボンブラックを大量に配合することにより、膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．５以上である樹脂ブラックマトリックスが提供できる。
【００１４】
本発明の膜厚１μｍあたりの光学濃度が４．５以上である樹脂ブラックマトリックスにおいて光学濃度は以下の測定にて求められる。即ち、感光性樹脂積層体を基板へラミネートし、必要に応じて支持フィルムを剥離し、もしくは剥離せずに露光し、支持フィルムを剥離して現像し、ポストベークし、樹脂ブラックマトリックスを形成する。樹脂ブラックマトリックスの高さをテンコール・インスツルメンツ社製アルファステップ（ＡＳ２００）を用いて測定し、これを膜厚（μｍ）とする。次いで  上記の樹脂ブラックマトリックスと同様の方法でベタパターンを作成し、グレタグマクベス社製光学濃度計Ｄ２００−ＩＩを用いて光学濃度を測定する。こうして得られた光学濃度を膜厚で除し、膜厚１μｍあたりの光学濃度とする。
本発明の樹脂ブラックマトリックスは、特定の感光性樹脂層を有する感光性樹脂積層体を、少なくとも基板上にラミネートし、露光し、現像し、ポストベークする事により得られる樹脂ブラックマトリックスである。
【００１５】
以下、特定の感光性樹脂層に用いられる各成分、感光性樹脂積層体、ラミネート、露光、現像、ポストベークについて説明する。
感光性樹脂層には、アルカリ可溶性高分子を３〜４０質量％含む。アルカリ可溶性高分子には、アルカリ性水溶液に分散できる種々の高分子を用いることが出来る。例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉｓｏ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート等、側鎖にヒドロキシル基を有する（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタジエニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレートなど脂環式側鎖を有する（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロニトリル、フェニル（メタ）アクリレート、グリシジルメタクリレート、スチレンなどと、（メタ）アクリル酸やパラヒドロキシスチレンなどとを共重合したアルカリ可溶性高分子、（メタ）アクリル酸ベンジルと（メタ）アクリル酸やパラヒドロキシスチレンなどとを共重合したアルカリ可溶性高分子、カルボキシメチルセルロース、カルボキシエチルセルロース、カルボキシプロピルセルロース、ヒドロキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロースのヒドロキシル基に多塩基酸無水物を反応させたセルロース樹脂、ノボラック樹脂、式（Ｉ）で表されるアルカリ可溶性高分子などを挙げることが出来る。
【００１６】
【化３】
2007279668.tif 000004
【００１７】
【化４】
2007279668.tif 000005
（上記式（Ｉ）中のＸは、上記式（ＩＩ）で表される基、Ｙはジカルボン酸無水物の酸無水物基を除いた残基、Ｚはテトラカルボン酸二無水物の酸無水物基を除いた残基、ｎは１〜２０の整数である。上記式（ＩＩ）中のＲ１およびＲ２はそれぞれ互いに独立にＨ又はＣＨ３基を表す。）
アルカリ可溶性樹脂の感光性樹脂層中の配合量は、３質量％〜４０質量％である。感度、密着性、線幅再現性の観点から３質量％以上であり、感光性樹脂積層体の支持層から基材への転写性、樹脂ブラックマトリックスのラインの形状の観点から４０質量％以下である。より好ましくは８質量％〜４０質量％である。より好ましくは１３質量％〜４０質量％であり、更に好ましくは１６質量％〜４０質量％である。転写性とは本発明に用いられる感光性樹脂積層体を基材にラミネートし、露光した後支持層を剥離するに際して、感光性樹脂層が基材へ転写される性能を言う。転写性が十分ではない場合、支持層を剥離する際に露光部分が支持層とともに基板から剥離してしまうことがある。
感光性樹脂積層体中の感光性樹脂層における各成分の配合量について記載する場合は、各成分の配合量は感光性樹脂層中の固形分全体を基準とした場合の質量％で記載される。
【００１８】
樹脂ブラックマトリックスの耐熱性、直線性、断面形状、耐薬品性、黒色顔料の分散性、感光性樹脂積層体のラミネート性、感光性樹脂層の現像性など種々の性能を考慮して、適宜選ぶことが好ましいが、黒色顔料の分散性、現像残渣、ラミネート性の観点から、（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子を含むことができる。支持層から基材への転写性、ラミネート性の観点から５質量％以上配合することが好ましく、感度、密着性、線幅安定性の観点から４０質量％以下が好ましい。８質量％〜３０質量％がより好ましい。
（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子中には（メタ）アクリル酸ベンジルを５０質量％〜９５質量％共重合することが好ましい。黒色顔料の分散性、現像残渣、ラミネート性の観点から、５０質量％以上が好ましく、現像速度の観点から９５質量％以下が好ましい。それを６０質量％〜９０質量％共重合することがより好ましく、７０質量％〜９０質量％共重合することがさらに好ましい。
【００１９】
（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子は、側鎖にカルボキシル基を有する単量体を共重合していることが好ましい。側鎖にカルボキシル基を有する単量体とは、例えば、（メタ）アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステル等が挙げられる。側鎖にカルボキシル基を有する単量体を共重合する割合は、現像性の観点から５質量％以上が好ましく、黒色顔料の分散性、現像後に黒色顔料が基板へ付着するのを抑制する観点から、３０質量％以下が好ましい。それを５質量％〜２０質量％共重合することがより好ましい。
【００２０】
（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子は、その他の単量体を共重合することもできる。例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉｓｏ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリシジルモノ（メタ）アクリレート等、側鎖にヒドロキシル基を有する（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタジエニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレートなど脂環式側鎖を有する（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロニトリル、フェニル（メタ）アクリレート、グリシジルメタクリレート、スチレン等が挙げられる。特に、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートまたは２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートを５質量％〜３０質量％共重合することが好ましい。黒色顔料の分散性、ラミネート性の観点から５質量％以上が好ましく、耐熱性、耐薬品性の観点から３０質量％以下が好ましい。それを５質量％〜１５質量％共重合することがより好ましい。
【００２１】
（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子は、その重量平均分子量が３０００〜５００００であることが好ましい。現像性の観点から分子量は５００００以下が好ましく、密着性の観点から３０００以上が好ましい。その重量平均分子量が１００００〜４００００であることがより好ましい。分子量の測定は、日本分光（株）製ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）（ポンプ：Ｇｕｌｌｉｖｅｒ、ＰＵ−１５８０型、カラム：昭和電工（株）製Ｓｈｏｄｅｘ（登録商標）（ＫＦ−８０７、ＫＦ−８０６Ｍ、ＫＦ−８０６Ｍ、ＫＦ−８０２．５）４本直列、移動層溶媒：テトラヒドロフラン、ポリスチレン標準サンプル（Shodex  STANDARD  SM-105 polystyrene）による検量線使用）により重量平均分子量（ポリスチレン換算）として求められる。
【００２２】
（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子は、カルボキシル基の量が酸当量で２００〜２０００であることが好ましい。酸当量とは、１当量のカルボキシル基を有する線状重合体の質量を示す。現像性の観点から酸当量は２０００以下が好ましく、現像後に黒色顔料が基板へ付着するのを抑制する観点から、酸当量は２００以上が好ましい。その酸当量は４００〜９００がより好ましく、５００〜８００がさらに好ましい。なお、酸当量の測定は、平沼産業（株）製平沼自動滴定装置（ＣＯＭ−５５５）を使用し、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウムを用いて電位差滴定法により測定される。
【００２３】
（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子は、上記種々単量体の混合物を、アセトン、メチルエチルケトン、イソプロパノール等の溶剤で希釈した溶液に、過酸化ベンゾイル、アゾビスイソブチロニトリル等のラジカル重合開始剤を適量添加し、過熱攪拌することにより合成を行うことが好ましい。混合物の一部を反応液に滴下しながら合成を行う場合もある。反応終了後、さらに溶媒を加えて、所望の濃度に調整する場合もある。合成手段としては、溶液重合以外に、塊状重合、懸濁重合及び乳化重合を用いていもよい。
感光性樹脂層には、下記式（Ｉ）で表されるアルカリ可溶性高分子を３質量％〜４０質量％含有することが好ましい。感度、密着性、線幅再現性の観点から３質量％以上であり、支持層から基材への転写性の観点から４０質量％以下であることが好ましい。５質量％〜３０質量％が好ましく、８質量％〜２５質量％がより好ましく、８質量％〜２０質量％がさらに好ましい。
【００２４】
【化５】
2007279668.tif 000006
【００２５】
【化６】
2007279668.tif 000007
（上記式（Ｉ）中のＸは、上記式（ＩＩ）で表される基、Ｙはジカルボン酸無水物の酸無水物基を除いた残基、Ｚはテトラカルボン酸二無水物の酸無水物基を除いた残基、ｎは１〜２０の整数である。上記式（ＩＩ）中のＲ１およびＲ２はそれぞれ互いに独立なＨまたはＣＨ３基を表す。）
ここで、「酸無水物基」とは、「−ＣＯ−Ｏ−ＣＯ−基」を言う。
また、ジカルボン酸無水物としては、例えば無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸などが挙げられる。
【００２６】
また、テトラカルボン酸二無水物としては、例えば無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等の芳香族多価カルボン酸無水物が挙げられる。
上記式（Ｉ）で示されるアルカリ可溶性高分子は、特開２００１−３５４７３５号公報に記載の方法により得ることができる。上記式（Ｉ）で示されるアルカリ可溶性高分子は重合鎖内にジカルボン酸無水物残基を実質上有しておらず、その末端に有していることから、重合鎖内にジカルボン酸無水物残基を有するアルカリ可溶性高分子とは異なり、同じ固形分濃度でも、溶液粘度を制御し易く、塗布時の作業性の改善、コーティング特性の向上、膜厚の均一化を図ることができる。
【００２７】
上記式（Ｉ）で示されるアルカリ可溶性高分子は、付加重合可能なエチレン性不飽和二重結合を高分子中に少なくとも二つ有し、感光性樹脂組成物が光重合開始剤を活性化させる所定波長の光線の照射を受けたとき、光学濃度が高くても、光重合開始剤の作用により付加重合して硬化することができる。特にこの効果は、樹脂ブラックマトリックス形成に用いた場合の遮光性と感度の関係において顕著となる。後述の実施例に示すとおり、黒色顔料を用いて遮光性を上げた場合、上記式（Ｉ）で示されるアルカリ可溶性高分子を用いると、感度低下が低く抑えられる。
さらに上記式（Ｉ）で示されるアルカリ可溶性高分子は、（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子とともに配合され感光性樹脂層として支持層に積層され、感光性樹脂積層体となり、基板上にラミネートされ、露光され、現像され、ポストベークされる事により樹脂ブラックマトリックスとなることができる。
【００２８】
一般に、黒色顔料として広く用いられるカーボンブラックは表面積が大きく、顔料分散した感光性樹脂組成物とするとチキソトロピー性に富んだ流動性の悪い液体になりやすい。遮光性を向上させるにはこのような黒色顔料を多く配合させる必要があるが、基板に直接塗布する製法では塗布均一性を確保するのが難しい（谷口彰敏、「カラーフィルタ最新技術動向〜構成材料・製造・評価・海外動向〜」、第１刷、株式会社  情報機構、２００５年５月３１日、ｐ８１−１０１）。パターニング特性に優れる上記式（Ｉ）で示されるアルカリ可溶性高分子と顔料分散や塗布安定性に優れる（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子とをともに配合し予め感光性樹脂積層体とすると、簡単に遮光性の高い均一な感光性樹脂層を基板上に積層することができる。
【００２９】
加えて、上記式（Ｉ）で示されるアルカリ可溶性高分子を（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子とともに配合し感光性樹脂組成物として基板に支持層を介して転写せず直接塗布した場合、露光中に感光性樹脂層が空気中の酸素に暴露されるため、酸素により感光性樹脂層の光硬化が阻害され、樹脂ブラックマトリックスを形成することが難しい。感光性樹脂積層体として支持層を介して転写し露光することで、遮光性と感度と密着性などのパターニング特性とを同時に高度に達成できる。また、工程上、感光性樹脂組成物を基板に直接塗布乾燥するより、予め感光性樹脂積層体としたものを基板上にラミネートする方が、生産性に優れる。
【００３０】
耐熱性、樹脂ブラックマトリックスパターンの平坦性の観点から、スチレンとメタクリル酸メチルとメタクリル酸を共重合した分子量１００００〜５００００の高分子をさらに感光性樹脂層に含むことも好ましい。
本発明に用いられる感光性樹脂積層体は、感光性樹脂層に、上記一般式（Ｉ）で表されるアルカリ可溶性高分子と（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子とを１：５〜５：１の割合で含むことが好ましい。感度、密着性、線幅再現性の観点から１：５以上が好ましく、支持層への塗工性、転写性の観点から５：１以下が好ましい。１：３〜３：１がより好ましい。
【００３１】
感光性樹脂層には、エチレン性不飽和二重結合を有する光重合性を５質量％〜２５質量％含む。現像性の観点から５質量％以上であり、密着性の観点から２５質量％以下である。２５質量％以下とすることで、適切な現像時間を確保し、十分に安定した密着性を確保することが出来る。その含有量は５質量％〜２０質量％がより好ましく、５質量％〜１５質量％がさらに好ましい。
エチレン性不飽和二重結合を有する光重合性化合物としては、下記式（ＩＩＩ）で表される化合物を含むことが好ましい。その含有量は密着性の観点から感光性樹脂層中の固形分全体基準とした場合の２質量％以上が好ましく、転写性の観点から２０質量％以下が好ましい。
【００３２】
【化７】
2007279668.tif 000008
（上記式中、Ｒ３、Ｒ４およびＲ５は、それぞれ互いに独立にＨ又はＣＨ３基を表す。Ｒ６は２価の連結基で、炭素数が２〜８のアルキル基、シクロアルキル基、フェニレン基を表す。）
上記式（ＩＩＩ）で挙げられる化合物としては、コハク酸変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、フタル酸変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、イソフタル酸変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、テレフタル酸変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、などが挙げられる。密着性の観点から、コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレートが好ましい。
【００３３】
上記式（ＩＩＩ）以外のエチレン性不飽和二重結合を有する光重合性化合物としては、たとえば、ビスフェノールＡの両端にそれぞれ平均２モルのプロピレンオキサイドと平均６モルのエチレンオキサイドを付加したポリアルキレングリコールのジメタクリレートや、ビスフェノールＡの両端にそれぞれ平均５モルのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールのジメタクリレート（新中村化学工業（株）製ＮＫエステルＢＰＥ−５００）、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、またポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）プロパンジ（メタ）アクリレート、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチルトリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート及び、β−ヒドロキシプロピル−β’−（アクリロイルキシ）プロピルフタレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェニキシポリアルキレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート等が挙げられる。密着性の観点から、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレートが好ましく、上記式（ＩＩＩ）の化合物と組み合わせて用いることがさらに好ましい。
【００３４】
さらに、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートにエチレンオキサイドを１〜３モル追加した化合物とヘキサヒドロフタル酸とのハーフエステル化合物、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートにエチレンオキサイドを１〜３モル追加した化合物とコハク酸とのハーフエステル化合物、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートにエチレンオキサイドを１〜３モル追加した化合物とイソフタル酸とのハーフエステル化合物、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートにエチレンオキサイドを１〜３モル追加した化合物とテレフタル酸とのハーフエステル化合物などが挙げられる。
さらに、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、又は２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、一分子中にヒドロキシル基と（メタ）アクリル基を有する化合物（２−ヒドロキシプロピルアクリレート、オリゴプロピレングリコールモノメタクリレート等）とのウレタン化合物等が挙げられる。具体的には、ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロピレングリコールモノメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＰ１０００）との反応物などを挙げることが出来る。
【００３５】
感光性樹脂層には、光重合開始剤を０．１質量％〜２０質量％含む。感度、密着性の観点から０．１質量％以上であり、線幅再現性の観点から２０質量％以下である。その含有量は１質量％〜１０質量％がより好ましく、１質量％〜５質量％がさらに好ましい。
光重合開始剤は、オキシムエステル化合物であることが好ましい。例えば、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−Ｏ−ベンゾイルオキシム、及び１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（Ｏ−エトキシカルボニル）オキシム等のオキシムエステル類や、特表２００４−５３４７９７号公報に記載の化合物を上げることが出来る。なかでも、下記式（ＩＶ）で表される化合物が好ましい。
【００３６】
【化８】
2007279668.tif 000009
上記式（ＩＶ）で表される化合物の具体例は、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセテート（チバ・スペシャリティ・ケミカルズ製  ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ−０２）である。
感光性樹脂層には、上記式（ＩＶ）以外の光重合開始剤、増感剤、連鎖移動剤などを組み合わせて用いても良い。
【００３７】
たとえば、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ビス−（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｐ−メトシキフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体類が挙げられる。また、ｐ−アミノベンゾフェノン、ｐ−ブチルアミノフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ビス（エチルアミノ）ベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン［ミヒラーズケトン］、ｐ，ｐ’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ビス（ジブチルアミノ）ベンゾフェノン等のｐ−アミノフェニルケトン類が挙げられる。また、２−エチルアントラキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン等のキノン類、ベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾインエーテル類、９−フェニルアクリジン等のアクリジン化合物、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジン等のトリアジン系化合物、ベンジルジメチルケタ−ル、ベンジルジエチルケタ−ル、２−ベンジル−ジメチルアミノー１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド、２−メチル−２−モルフォリノ−１−（４−（メチルチオフェニル）−プロパン−１−オン等公知の種々の化合物が挙げられる。
【００３８】
また、たとえば、Ｎ−アリールグリシン、メルカプトトリアゾール誘導体、メルカプトテトラゾール誘導体、メルカプトチアジアゾール誘導体、ヘキサンジチオール 、デカンジチオール 、１，４−ブタンジオールビスチオプロピオネート、１，４−ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、２、４、６−トリメルカプト−ｓ−トリアジン、２−（Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ）−４，６−ジメルカプト−ｓ−トリアジン等の多官能チオールなど公知の種々の化合物が挙げられる。
【００３９】
感光性樹脂層には、黒色顔料を４５〜６５質量％を含む。光学濃度４．５以上の極めて高い遮光性を実現するため、４５質量％以上であり、感光性樹脂積層体のガラス基材へのラミネート性を維持するために６５質量％以下である。より好ましくは５０質量％以上６５質量％以下である。
上記黒色顔料としては、有機顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７などが、無機顔料としては、カーボンブラック類、チタンブラック、チタン酸窒化物、黒色低次酸化チタン、グラファイト粉末、鉄黒、酸化銅、などを挙げることが出来る。遮光性および樹脂ブラックマトリックスとしての感度、解像度、密着性への影響の観点から、カーボンブラックが好ましい。樹脂ブラックマトリックスの絶縁性の観点からチタンブラックが好ましい。
【００４０】
その他、黒色以外の顔料を上記の顔料と混合することにより用いることができる。黒色以外の顔料を用いる利点は、カーボンブラックなどが持つ導電性の電気特性を低下させ絶縁性を持たせたり、樹脂ブラックマトリックスの表面反射率を調節したり、色調を調節することができる。
用いることができる黒色以外の顔料としては、有機顔料としては、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ社発行）において、ピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分割されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを挙げることが出来る。
【００４１】
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ． ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、 Ｃ．Ｉ．ピグメンレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５などが挙げられる。
【００４２】
更に、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ． Ｉ．ピグメントオレンジ７３などが挙げられる。
【００４３】
更に、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイ エロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７３などが挙げられる。
【００４４】
更に、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５などが挙げられる。
【００４５】
染料としては、例えば、フクシン、フタロシアニングリーン、オーラミン塩基、カルコキシドグリーンＳ，パラマジエンタ、クリスタルバイオレット、メチルオレンジ、ナイルブルー２Ｂ、ビクトリアブルー、マラカイトグリーン（保土ヶ谷化学（株）製 アイゼン（登録商標） ＭＡＬＡＣＨＩＴＥ ＧＲＥＥＮ）、ベイシックブルー２０、ダイアモンドグリーン（保土ヶ谷化学（株）製 アイゼン（登録商標） ＤＩＡＭＯＮＤ ＧＲＥＥＮ ＧＨ）等が挙げられる。
感光性樹脂層には、分散剤等を含むことが出来る。後述の通り感光性樹脂積層体は、感光性樹脂組成物を支持層に塗工することによって製造することが出来るが、黒色顔料を予め分散剤等で溶剤に分散させてこれを加えて感光性樹脂組成物とし、支持層に塗工して感光性樹脂層とすることもできる。
【００４６】
分散剤としては、例えば、ポリウレタン、ポリアクリレートなどのカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸（部分）アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボン酸基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩などがあげられ、本発明に用いられるアルカリ可溶性高分子や、上述の（メタ）アクリル酸ベンジルを共重合成分として含むアルカリ可溶性高分子およびその他アルカリ可溶性高分子も顔料分散剤として用いることが出来る。さらに、ポリカルボン酸型高分子活性剤、ポリスルホン酸型高分子活性剤等のアニオン性の活性剤、ポリオキシエチレン、ポリオキシレンブロックポリマー等のノニオン系の活性剤なども分散剤とともに分散助剤として用いることが出来る。
【００４７】
また、黒色顔料とりわけカーボンブラックは、分散性、絶縁性等を考慮して、表面を樹脂で被覆したり、樹脂や低分子化合物で修飾したりできる。表面修飾に用いられる樹脂としては、ポリカルボジイミド、エポキシ樹脂などカーボンブラック表面のカルボキシル基と反応できる官能基を有する高分子が上げられる。同様に低分子化合物としては、置換ベンゼンジアゾニウム化合物などが上げられる。また、樹脂による被覆、修飾の方法としては、特開２００４−２１９９７８号公報、特開２００４−２１７８８５号公報、特開２００４−３６０７２３号公報、特開２００３−２０１３８１号公報、特開２００４−２９２６７２号公報、特開２００４−２９７４５号公報、特開２００５−９３９６５号公報、特開２００４−４７６２号公報、米国特許５，５５４，７３９号、米国特許５，９２２，１１８号に記載の分散剤、方法等を用いることができる。 
【００４８】
感光性樹脂層には、光照射により発色する発色系染料を含有させることもできる。用いられる発色系染料としては、例えば、ロイコ染料又はフルオラン染料と、ハロゲン化合物の組み合わせがある。
上記ロイコ染料としては、例えば、トリス（４−ジメチルアミノ−２−メチルフェニル）メタン［ロイコクリスタルバイオレット］等が挙げられる。
上記ハロゲン化合物としては、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニルスルフォン、四臭化炭素、トリス（２、３−ジブロモプロピル）ホスフェート、トリクロロアセトアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、１、１、１−トリクロロ−２、２−ビス（ｐ−クロロフェニル）エタン、ヘキサクロロエタン、トリアジン化合物等が挙げられる。
【００４９】
上記トリアジン化合物としては、２、４、６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンが挙げられる。
このような発色系染料の中でも、トリブロモメチルフェニルスルフォンとロイコ染料との組み合わせや、トリアジン化合物とロイコ染料との組み合わせが有用である。
感光性樹脂層には、熱安定性や保存安定性を向上させるために、ラジカル重合禁止剤を含有させることができる。このようなラジカル重合禁止剤としては、例えば、ｐ−メトキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナフチルアミン、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、塩化第一銅、２、６ージ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、２、２’−メチレンビス（４−エチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノ−ル）、２、２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、トリエチレングリコール−ビス−［３−（３−ターシャリブチル−５−メチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ製  ＩＲＧＡＮＯＸ２４５）、ジフェニルニトロソアミン等が挙げられる。感度低下が少ないことと保存安定性が良好であることとの両立からＩＲＧＡＮＯＸ２４５が好ましい。
【００５０】
感光性樹脂層には、必要に応じて可塑剤等の添加剤を含有させることもできる。そのような添加剤としては、例えば、ジエチルフタレート等のフタル酸エステル類やｐ−トルエンスルホンアミド、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ビスフェノールＡのエチレンオキシド付加物やプロピレンオキシド付加物などのポリアルキレンオキシド変性ビスフェノールＡ誘導体等が挙げられる。
感光性樹脂層には、シランカップリング剤を含むことが出来る。シランカップリング剤としては、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、メタクリロキシ基、アクリロキシ基、アミノ基、ウレイド基、クロロプロピル基、メルカプト基、スルフィド基、イソシアネート基、イミダゾリル基などの極性基と、アルコキシシリル基とを分子内に有する化合物などを上げることが出来る。具体的には、信越シリコーン（株）製、ＫＢＭ−１００３、ＫＢＥ−１００３、ＫＢＭ−４０３、ＫＢＥ−４０３、ＫＢＭ−５０２、ＫＢＥ−５０２、ＫＢＭ−５０３、ＫＢＥ−５０３、ＫＢＭ−６０３、ＫＢＥ−６０３、ＫＢＭ−９０３、ＫＢＥ−９０３、ＫＢＥ−５８５、ＫＢＭ−８０２、ＫＢＥ−８４６、ＫＢＥ−９００７などや、特開２００４−２８００５７号公報に記載のイミダゾールシラン化合物などを挙げることが出来る。配合量は、密着性の効果と現像後の基板への残渣の付着などを考慮して適宜選択できるが、０．０１質量％〜１質量％の範囲で含むことが好ましい。
【００５１】
感光性樹脂積層体は、感光性樹脂組成物を支持層上に塗工して感光性樹脂層を形成し、作製することが出来る。ここで用いられる支持層としては、活性光を透過する透明なものが好ましい。活性光を透過する支持層としては、ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重合体フィルム、ポリメタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミドフィルム、セルロース誘導体フィルム、トリアセチルセルロースフィルム、ポリプロピレンフィルム等が挙げられる。これらのフィルムとしては、必要に応じ延伸されたものも使用可能である。
【００５２】
また、支持層に塗工する際には適宜溶媒を加えて塗工に最適な状態に整えることが出来る。溶媒としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、２−メトキシブチルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、４−メトキシブチルアセテート、２−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−エチル−３−メトキシブチルアセテート、２−エトキシブチルアセテート、４−エトキシブチルアセテート、４−プロポキシブチルアセテート、２−メトキシペンチルアセテート、３−メトキシペンチルアセテート、４−メトキシペンチルアセテート、２−メチル−３−メトキシペンチルアセテート、３−メチル−３−メトキシペンチルアセテート、３−メチル−４−メトキシペンチルアセテート、４−メチル−４−メトキシペンチルアセテート、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、メチルシソブチルケトン、エチルイソブチルケトン、炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチル、ベンゼン、トルエン、キシレン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。毒性性、支持層に塗工した際の乾燥性の観点からメチルエチルケトンやメチルイソブチルケトンが好ましく、着色含量とくに黒色顔料の分散安定性や本発明に用いられる上記式（Ｉ）で表されるアルカリ可溶性高分子の溶解性の観点からプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）が好ましい。前記の性能を両立するためにメチルエチルケトンやメチルイソブチルケトンなどとＰＧＭＥＡとを適当な割合で混合して用いても良い。例えば、黒色顔料を予めＰＧＭＥＡに分散させて、上記式（Ｉ）のアルカリ可溶性高分子を予めＰＧＭＥＡに溶解させて、それぞれと（メタ）アクリル酸ベンジルとを共重合したアルカリ可溶性高分子、エチレン性不飽和二重結合を有する光重合性化合物、光重合開始剤、その他の種々の添加物を混合してメチルエチルケトンやＰＧＭＥＡなどの溶媒で適宜希釈し、支持層への塗布性乾燥性の良好な感光性樹脂組成物溶液として調合することが出来る。
【００５３】
また、上記支持層のヘーズは５．０以下であるものが好ましい。ここでいうヘーズ（Ｈａｚｅ）とは濁度を表す値であり、ランプにより照射され試料中を透過した全透過率Ｔと、試料中で拡散され散乱した光の透過率Ｄにより、ヘーズ値Ｈ＝Ｄ／Ｔ×１００として求められる。これらはＪＩＳ−Ｋ−７１０５により規定されており、市販の濁度計によって容易に測定可能である。厚みは薄い方が画像形成性、経済性の面で有利であるが、強度を維持する必要から、１０〜１００μｍのものが一般的である。
【００５４】
感光性樹脂積層体は、支持層とは反対側の光重合性樹脂層表面に、必要に応じて保護層を積層することも出来る。支持層と感光性樹脂層との密着力よりも、保護層と感光性樹脂層との密着力が充分小さく、容易に剥離できることが好ましい。このような保護層としては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、延伸ポリプロピレンフィルム（例えば、王子製紙（株）製Ｅ−２００Ｃなど）、離型処理されたポエチレンテレフタレートフィルム等が挙げられる。  感光性樹脂積層体は、おおよそ次のような手法で作製することが出来る。感光性樹脂組成物として、アルカリ可溶性高分子、エチレン性不飽和二重結合を有する光重合性化合物、光重合開始剤、着色顔料、と溶媒とを混合して、感光性樹脂組成物のドープ液を作製する。支持層となる厚み２０μｍの透明ポリエステルフィルムの上に上記感光性樹脂組成物のドープ液を塗布して乾燥し、感光性樹脂層を形成する。その後で保護層となるポリエチレンフィルムを貼り合わせて積層する。樹脂ブラックマトリックスの遮光性と塗布時の膜厚精度から、感光性樹脂層の厚みは０．３μｍ以上であることが好ましい。また、カラーフィルタに用いたときの平坦性から、２μｍ以下であることが好ましい。  本発明に記載の樹脂ブラックマトリックスは上記の感光性樹脂積層体を用いて、基板にラミネートし、現像し、露光し、ポストベークすることにより作成することができる。
【００５５】
以下ラミネートについて説明する。まず保護層を剥離した後、ガラス基板に上記感光性樹脂積層体をラミネート（熱圧着）する。このとき、ガラス基板は予熱されることが好ましい。ガラス基板は用途により様々であるが、０．７ｍｍ厚の無アルカリガラス基板を用いることが一般的である。ラミネート温度は、ラミネート性およびラミネート時に巻き込む空気を抑制し十分な密着性を確保する観点から１００℃以上が好ましく、支持層の耐熱性の観点から１５０℃以下が好ましい。より好ましくは１１０℃以上１４０℃以下である。ラミネートの圧力は基板に接するロールの線圧が高い方が好ましいが、基板や支持フィルムを損傷しない程度が好ましい。一般に３〜２０ｋｇ重／ｃｍである。ラミネートの速度は、生産性の観点から０．５ｍ／ｍｉｎ以上が好ましく、ラミネート性およびラミネート時に巻き込む空気を抑制し十分な密着性を確保する観点から６ｍ／ｍｉｎ以下が好ましい。
【００５６】
以下露光について説明する。露光は、マスクを通して活性光を感光性樹脂積層体に照射することにより行う。露光量を上げて露光する場合は、露光前に支持層を剥離しても良い。但し、支持層を剥離して露光する場合は、開始剤の配合量や上記式（Ｉ）で表されるアルカリ可溶性高分子の配合量などを適宜調整して、高感度に設計することが好ましい。感度に対する支持層の影響は大きく、支持層を介して露光する場合とくらべて非常に高感度に設計することが好ましい。活性光線とは、感光性樹脂が硬化できる波長を含む光線である。マスクはフィルムマスクやガラスマスクがあるが、樹脂ブラックマトリックスの線幅再現性の観点からガラスマスクが一般的である。マスクと基板の間を一定に保ち、光路にレンズを置かずマスクと画像を１対１の大きさで一括露光するプロキシミティ方式や、レンズを用いてマスクを基板上に投影する投影露光（プロジェクション）方式などを用いることが出来る。
【００５７】
以下現像について説明する。感光性樹脂層上に支持層がある場合には、必要に応じてこれを除き、続いてアルカリ水溶液を用いて未露光部の感光性樹脂層を現像し、除去する。アルカリ水溶液としては、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、炭酸水素ナトリウムと炭酸ナトリウムの混合水溶液、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドなどの有機アミン水溶液等を用いる。これらのアルカリ水溶液は感光性樹脂層の特性に合わせて選択されるが、一般的に０．１〜３質量％の炭酸ナトリウム水溶液、０．０３〜０．１％の水酸化カリウム水溶液が用いられる。必要に応じて、現像しきれずに残っている光重合性樹脂層を取り除くために、別の現像液において更に現像を行っても良い。別の現像液とは、初めに感光性樹脂層を現像する際に用いる現像液とはアルカリ性の異なるアルカリ水溶液であったり、酸性現像液であったり、有機溶剤を含有する現像液であったりしてもよく、現像液に合わせて感光性樹脂層の組成を適宜選ぶことが出来る。また、現像しきれずに残っている未露光部の感光性樹脂層や、着色顔料、黒色顔料は、高圧水洗などの方法により物理的に除去することも出来る。水洗圧は０．２ＭＰａ以上５ＭＰａ以下が効果的である。より好ましくは０．３ＭＰａ以上３ＭＰａ以下である。未現像の残渣除去の観点から０．２ＭＰａ以上が好ましく、密着性維持の観点から５ＭＰａ以下が好ましい。さらに、水洗工程では、通常のスプレーの他に、水と空気を混合して噴射する２流体式と呼ばれるスプレーを用いる事がより好ましい。水洗圧は同様の観点から０．２ＭＰａ〜５ＭＰａが好ましく、０．３ＭＰａ以上３ＭＰａ以下が好ましい。
【００５８】
以下ポストベークについて説明する。ポストベークには、熱風乾燥炉やオーブン、ヒーター、遠赤外線乾燥炉などを用いることができる。ポストベークが不十分であると耐薬品性などの点で問題が生じることがある。タクトの観点から遠赤外線乾燥炉が好ましい。基板面内の均一性の観点から循環式の熱風式乾燥炉やコンベア式の遠赤外線乾燥炉が好ましい。ポストベーク温度はガラス基材に与える影響の観点から２６０℃以下が好ましくポストベーク後の耐薬品性の観点から２２０℃以上が好ましい。
カラーフィルタは、樹脂ブラックマトリックスを形成後、該樹脂ブラックマトリックス付きガラス基板の少なくとも樹脂ブラックマトリックスで覆われていない部分の一部に、感光性樹脂積層体や感熱性または感光性のカラーインクによって、赤・青・緑のカラー画素を形成することによって作製できる。
ブラックマトリックスの形状はカラー画素を囲む格子状のものが一般的である。また、格子の各辺のパターン幅は５μｍ〜５０μｍ、格子点間隔は３０μｍ〜５００μｍであるのが一般的である。
【００５９】
赤・青・緑のカラー画素は、本発明に用いられる感光性樹脂積層体や液状レジストなどのカラーレジストを用いたフォトリソグラフィーによって作製したり、カラーインクを用いたインクジェット法、印刷法などによって作製したり、種々の方法を用いることが出来る。インクジェット法とは、ガラス基板上に形成されたブラックマトリックスを堰として、インクジェット方式でカラーインクを注入するする方法である。インクジェット法は、高価なマスクを必要とする露光工程を必要としない、現像工程を必要としない、凹凸にかかわらず画素パターンを形成できる、歩留まりが向上する、などの面から、低コストで簡便に画素パターンを形成できるので好ましい。フォトリソグラフィーによらずに硬化できるので感熱性でも良いし、全面露光によって硬化させることもできるので感光性であっても良い。感熱性または感光性のカラーインクとしては公知のものも用いることが出来る。また、本発明において、着色物質として例示した顔料および染料、エチレン性不飽和二重結合を有する光重合性化合物、熱または光重合性開始剤とを有し、溶剤により粘度を適宜調整した組成物を用いることが出来る。例えば特開２００４−２１３０３３号公報の実施例１に記載の着色インクなどを用いることが出来る。また、樹脂ブラックマトリックスは撥カラーインク性であることが好ましい。この性質によりインクの着弾精度の問題から樹脂ブラックマトリックス上に乗ったカラーインクも堰を滑り落ちてカラー画素用の空間を満たすことが出来る。
【００６０】
樹脂ブラックマトリックスの製造方法においては、透明な支持層に積層した感光性樹脂積層体を使用する。該製造方法は、感光性樹脂組成物をガラス基板に直接塗布して乾燥し、後にフォトマスクを通して露光・現像する製造方法と比較して、乾燥工程を使用しない、ガラスに塗布する際の膜厚ムラが生じない、透明な支持層が光重合性樹脂組成物とフォトマスクとの接触を防いでいるのでフォトマスクが汚れにくい、などの面で好ましい手法である。また、フィルムへ連続的に塗工し、同様に連続的に基板へラミネートすることにより、直接基板に枚様で塗布する場合と比べて大幅に生産性が向上する。
さらに、透明な支持層を介して露光することにより、感光性樹脂層が直接酸素と接触することを防ぐため非常に高い感度が得られる。これは、特許文献１などに開示されているようなガラス基板に感光性樹脂組成物を直接塗布乾燥する方法と比較して、感度の点で有用であることを示している。
【実施例】
【００６１】
本発明を実施例に基づいて説明する。
［合成例１］
まず、特開２００１−３５４７３５号公報に記載の方法に従って上記式（Ｉ）で示されるアルカリ可溶性高分子１を合成した。
すなわち、５００ｍｌの四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂２３５ｇ（エポキシ当量２３５）とテトラメチルアンモニウムクロライド１１０ｍｇ、２，６−ジ−ｔｅｒｔブチル−４−メチルフェノール１００ｍｇ及びアクリル酸７２．０ｇを仕込み、これに２５ｍｌ／分の速度で空気を吹き込みながら９０〜１００℃で加熱溶解した。次ぎに、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、１２０℃に加熱して完全溶解させた。ここで溶液は次第に透明粘稠になったがそのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、１．０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満になるまで加熱撹拌を続けた。酸価が目標に達するまで１２時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の下記式（Ｖ）で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。
【００６２】
【化９】
2007279668.tif 000010
次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート３０７．０ｇにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）６００ｇを加えて溶解した後、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物８０．５ｇ及び臭化テトラエチルアンモニウム１ｇを混合し、徐々に昇温して１１０〜１１５℃で４時間反応させた。酸無水物基の消失を確認した後、１，２，３，６−テトラヒドロ無水フタル酸３８．０ｇを混合し、９０℃で６時間反応させ、上記式（Ｉ）に相当するアルカリ可溶性高分子１を得た。酸無水物基の消失はＩＲスペクトルにより確認した。
【００６３】
ここでアルカリ可溶性高分子１は、上記式（Ｉ）に示すアルカリ可溶性高分子において、Ｘは、上記式（ＩＩ）で示される基であり、Ｙは１、２、３、６−テトラヒドロ無水フタル酸から酸無水物基（−ＣＯ−Ｏ−ＣＯ−）を除いた残基、Ｚは３、３'、４、４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物から酸無水物を除いた残基であるとともに、Ｙ／Ｚモル比は５０．０／５０．０であるアルカリ可溶性高分子に相当する。
このアルカリ可溶性高分子１をアルカリ可溶性高分子とし、ＰＧＭＥＡ中固形分濃度が４０質量％になるように調整し、以下の感光性樹脂組成物溶液の作成に用いた。
【００６４】
［実施例１〜１２］
＜感光性樹脂組成物溶液の作製＞
表１に示す割合で感光性樹脂組成物の各成分を混合し、メチルエチルケトンを溶媒として固形分量が１０質量％の感光性樹脂組成物溶液１〜１２を得た。なお、表１において、略号（Ａ−１〜Ｄ−１）で表した感光性樹脂組成物を構成する成分は次に示すとおりである。
Ａ−１：合成例１で合成したアルカリ可溶性高分子１のＰＧＭＥＡ溶液（酸当量７４４、重量平均分子量３７００、固形分濃度４０質量％）
Ａ−２：メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸の共重合体のメチルエチルケトン溶液（質量比８５／１５、酸当量５７３、重量平均分子量３００００、固形分濃度４０％）
Ａ−３：スチレン／メタクリル酸メチル／メタクリル酸の共重合体のメチルエチルケトン溶液（質量比２５／５０／２５、酸当量３４４、重量平均分子量５５０００、固形分濃度４０質量％）。Ｂ−１：ペンタエリスリトールテトラアクリレート
Ｂ−２：コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート （東亜合成社製 アロニックス ＴＯ−７５６）
Ｃ−１：１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセテート  （チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製  ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ−０２）
Ｄ−１：カーボンブラック
【００６５】
＜感光性樹脂積層体の作製＞
前記感光性樹脂組成物溶液１〜１２を、厚さ２０μｍのポリエチレンテレフタレート製支持層にバーコーターを用いて均一に塗布し、９５℃の乾燥機中で３分間乾燥する。次いで、感光性樹脂層に厚さ２０μｍの延伸ポリプロピレン製保護層を張り合わせ、実施例１〜１２の感光性樹脂積層体を得た。
尚、感光性樹脂組成物の塗布後、ムラが無いかを観察し次のように支持層への塗工性を評価した。
○：塗布ムラがなく均一
×：塗布ムラがあり不均一
【００６６】
＜樹脂ブラックマトリックスの形成＞
上記実施例１〜１２の感光性樹脂積層体の保護層を剥がして、ガラス基板にラミネートした。１０ｃｍ角基板に感光性樹脂積層体をラミネートするのに約５秒を要した。その後、ライン幅：スペース幅が１：９のマトリックスパターンのガラスマスクを通して、超高圧水銀ランプ（（株）オーク製作所製ＨＭＷ−８０１）により４０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。このとき支持層とガラスマスクとの距離を１００μｍに設定した。支持層を剥離した後、０．０５質量％の水酸化カリウム水溶液を２３℃でスプレーし、未露光部分の光重合性樹脂層を溶解除去して現像した。このときのスプレー時間は、未露光部分の光重合性樹脂層がガラス基板からちょうど除去されたときの時間（最小現像時間）の１．５倍とした。その後、２４０℃で６０分ポストベークし、樹脂ブラックマトリックスを形成した。
尚、上記樹脂ブラックマトリックスの形成工程にて、露光後に支持層を剥離した際、感光性樹脂層がガラス基板に転写される様を観察し、次のようにガラス基板への転写性を評価した。転写性の評価には、ライン幅：スペース幅が１：９のマトリックスパターン以外にもベタパターンを露光し、同時に評価した。
（ガラス基板への転写性）
○：感光性樹脂層全体がガラス基板に転写される。
△：ベタパターンが露光された部分の一部が支持層と共に剥離するが、マトリックスパターンは問題なく転写される。
×：マトリックスパターン、ベタパターンにかかわらず、支持層とともに剥離される。
【００６７】
＜樹脂ブラックマトリックスの評価＞
（１）膜厚
上記のガラス基板上の樹脂ブラックマトリックスについて、テンコール・インスツルメンツ社製アルファステップ（ＡＳ２００）を用いてガラス基板に形成されたパターンの高さを測定し、これを膜厚（μｍ）とした。
（２）遮光性
上記の樹脂ブラックマトリックスと同様の方法でベタパターンを作成し、グレタグマクベス社製光学濃度計Ｄ２００−ＩＩを用いて光学濃度を測定した。光学濃度とは、ある光源の光に対して入射光強度をＩ０、透過光強度をＩとした場合に、光学濃度＝ｌｏｇ１０（Ｉ０／Ｉ）の関係で表される。光学濃度を上記膜厚で除した値をもとめ、これを遮光性とした。
（３）感度
ガラス基板に感光性樹脂積層体をラミネートし、ストーファー２１段ステップタブレット（タブレットの段数が１段につき光学濃度０．１５変化するマスクフィルム）を通して、上記と同じように露光・現像、ポストベークしたガラス基板を、ステップタブレットパターンが何段まで残っているかを目視で読み取った。
（４）密着性
ライン幅：スペース幅＝１：９のマトリックスパターンマスクを通して４０ｍＪ／ｃｍ２で露光し、最小現像時間の１．５倍の時間現像してマトリックスパターンを形成した。マトリックスパターンが形成できているかどうかを光学顕微鏡で目視にて観察し、形成可能であった最小のマトリックスパターンに対応するマスク幅（μｍ）を密着性とした。
【００６８】
＜カラーフィルタの作成＞
実施例１において、Ｄ−１：カーボンブラックの代わりに、Ｄ−２：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４を用いて、実施例１と同様に混合し、感光性樹脂組成物溶液１３を得る。実施例１〜１２により得られた樹脂ブラックマトリックス付きガラス基板に、感光性樹脂組成物溶液１３をスピンコートした。樹脂ブラックマトリックスを作成したマスクパターンとは反転したマスクパターンを用いて画素部分を５００ｍＪ／ｃｍ２で露光した。０．０５質量％の水酸化カリウム水溶液を２３℃で約３０秒間スプレーし、未露光部分の感光性樹脂層を溶解除去して現像した。その後、２００℃で１５分ポストベークし、カラーフィルタを形成した。樹脂ブラックマトリックスとカラー画素が重なった部分はツノが抑制され、カラー画素の乗り上げは非常に緩やかであった。
【００６９】
［比較例１］  
実施例１において、Ｄ−１の配合量を３０部、Ａ−１の配合量を６５部とし、メチルエチルケトンを溶媒として固形分量が２０質量％とする以外は同様に行い、感光性樹脂組成物溶液１４を得た。実施例１と同様にして樹脂ブラックマトリックスを形成した。樹脂ブラックマトリックスの高さは２μｍ、光学濃度は６であった。樹脂ブラックマトリックスの膜厚１μｍあたりの光学濃度は３である。
次に、得られる樹脂ブラックマトリックスに感光性樹脂組成物溶液１３をスピンコートし、カラーフィルタを形成した。樹脂ブラックマトリックスとカラー画素が重なった部分には高いツノが見られ、カラー画素の乗り上げは非常に急峻であった。
【００７０】
［比較例２］
＜スピンコートによる塗布＞
実施例３で作成した感光性樹脂組成物溶液３を、スピンコーター（ミカサスピンコーター１Ｈ−３６０Ｓ）を用い、１０ｃｍ角のガラス基板に、毎分５００回転でスピンコートした。塗布後、基板中心部から辺縁部に向かって放射状の塗布ムラが生じていた。また基板を縁取るように辺縁部にも約１ｍｍ程度の塗布ムラが生じていた。ガラス基板に感光性樹脂層を積層するにはさらにこれをオーブン中８０℃で１０分乾燥する必要があった。
さらに、実施例３で実施したのと同様に、露光現像して樹脂ブラックマトリックスの形成を試みたところ、現像後基板上にパターンは残らなかった。以上のようにカーボンブラックを大量に含有する感光性樹脂組成物溶液３では、感光性樹脂積層体としていないため、スピンコート工程が必要となり、スピンコート工程においては、膜厚の調整が難しいことがわかる。また、ラミネートによる転写と比較して基板への積層に要する時間が長くなる。さらに、支持フィルムを介さないので十分な感度が得られないことが分かる。
【００７１】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、プラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイや、上記液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイに用いられるカラーフィルタの分野で利用でき、特に液晶ディスプレイの分野で好適に用いられる。