(57)【要約】【課題】吐出効率を向上させるとともに、吐出方向、吐出量を安定化させる。【解決手段】基板上に第１の感光性材料を層状に形成し、第１の感光性材料上にストレート状の孔部を有するストレート部形成部材を配置し、前記孔部に第２の感光性材料を充填し、前記ストレート部形成部材側から所定の光を照射して、前記第２の感光性材料の略全体を感光するとともに、前記第１の感光性材料を前記基板側に向かって径が徐々に拡がるテーパ状に感光し、前記ストレート部形成部材を剥離するとともに、前記第１及び第２の感光性材料の現像処理を行い、前記現像工程により前記基板上に残存した前記第１及び第２の感光性材料を型として、めっき法により前記基板上に前記ノズルプレートとなる金属層を形成し、前記基板と前記第１及び第２の感光性材料から前記金属層を剥離することを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。【選択図】  図４
2007069423.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体供給側から液体吐出側に向かって径が徐々に狭くなるテーパ部と、前記テーパ部の液体吐出側に配置される略円筒状のストレート部とから成るテーパストレート状断面のノズルを有するノズルプレートの製造方法であって、
基板上に第１の感光性材料を層状に形成する感光性層形成工程と、
前記第１の感光性材料上に、前記ストレート部と略同形状の孔部を有するストレート部形成部材を配置し、前記孔部に第２の感光性材料を充填する感光性材料充填工程と、
前記ストレート部形成部材側から所定の光を照射して、前記第２の感光性材料の略全体を感光するとともに、前記第１の感光性材料を前記基板側に向かって径が徐々に拡がるテーパ状に感光する露光工程と、
前記ストレート部形成部材を剥離するとともに、前記第１及び第２の感光性材料の現像処理を行う現像工程と、
前記現像工程により前記基板上に残存した前記第１及び第２の感光性材料を型として、めっき法により、前記基板上に前記ノズルプレートとなる金属層を形成する金属層形成工程と、
前記基板と前記第１及び第２の感光性材料から前記金属層を剥離する剥離工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項２】
前記ストレート部形成部材を電鋳法で形成するストレート部形成部材形成工程を更に含むことを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項３】
前記ノズルプレートの液体吐出側の表面に撥液層を形成する撥液層形成工程を更に含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のノズルプレートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレートの製造方法に係り、特に、テーパ部とストレート部を組み合わせた断面形状のノズルを有するノズルプレートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
多数のノズルを有するノズルプレートを記録媒体に対向する吐出面に備えた印字ヘッドと記録媒体を相対的に搬送しながら、各ノズルからインク滴を記録媒体に向かって吐出することにより、記録媒体上に所望の画像を形成するインクジェット記録装置（インクジェットプリンタ）が知られている。
【０００３】
このような印字ヘッドにおいて、ノズルプレートに形成されるノズルの形状、位置などの寸法精度が悪いと、インク滴の大きさ（量）、飛翔方向、飛翔速度にばらつきが生じてしまい、画像劣化が生じたり、インク吐出効率の低下を招いたりしてしまうことがある。そこで、このような問題を改善するため、様々なノズルプレートの製造方法が提案されている（例えば、特許文献１乃至特許文献４参照）。
【０００４】
特許文献１では、インクメニスカス位置を安定化させ、吐出エネルギーの損失を抑制することを目的として、拡散光を利用した露光によりテーパ状の電鋳用型を形成することで、テーパ状のノズルを形成している。
【０００５】
特許文献２では、インク吐出方向の安定化を図るために、メタルをプレスしてノズル径を確保したものに、感光性のドライフイルムをラミネートし、メタル側より散乱光を使用して露光することで、メタル側がストレート形状で、且つ、ドライフイルム側がテーパ状のノズルを形成している。
【０００６】
特許文献３では、微小なインク滴の吐出方向の安定化を実現するために、通常のマスクを用いて感光性樹脂をストレート状に露光した後で、光の透過率が均一でなく徐々に変化するグラデーションマスクを用いて、感光性樹脂を露光、現像することで、インクの入口側が曲線状で、且つ、出口側がストレート状のノズルを形成している。
【０００７】
特許文献４では、インク吐出方向の安定化を実現するため、オーバーハング形状のノズルが形成されたノズル形成部材の全面にレジストを塗布し、吐出面側から露光、現像を行い、さらにその反対側（インク供給側）に電鋳することで、略円柱形状（又は略円錐台形状）のノズルを形成している。
【特許文献１】特開２００１−３２９３９２号公報
【特許文献２】特開平５−１９３１４４号公報
【特許文献３】特開２００２−１５４２１０号公報
【特許文献４】特開平１０−１６６５９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のノズルプレートの製造方法には次のような問題がある。
【０００９】
特許文献１では、ノズルにストレート部がなく、インク吐出方向が安定しない。また、テーパ状の電鋳用型を用いているため、電鋳膜の膜厚にばらつきが少しでも存在するとノズル径にばらつきが生じて、吐出効率が低下する要因となる。
【００１０】
特許文献２では、インク流路側に樹脂材料（ドライフイルム）が配置されており、耐インク性に問題が生じる可能性がある。
【００１１】
特許文献３では、２回の露光工程が必要であるため、工程間で位置ずれが生じやすく、ノズルの寸法精度の低下によって、吐出効率が低下したり、吐出方向にばらつきが生じたりする。
【００１２】
特許文献４では、オーバーハング形状のノズルであるため、ノズル径のばらつきが生じやすく、インク吐出方向の安定化は難しい。
【００１３】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、吐出効率を向上させるとともに、吐出方向、吐出量を安定化させたノズルプレートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記目的を達成するために請求項１に係る発明は、液体供給側から液体吐出側に向かって径が徐々に狭くなるテーパ部と、前記テーパ部の液体吐出側に配置される略円筒状のストレート部とから成るテーパストレート状断面のノズルを有するノズルプレートの製造方法であって、基板上に第１の感光性材料を層状に形成する感光性層形成工程と、前記第１の感光性材料上に、前記ストレート部と略同形状の孔部を有するストレート部形成部材を配置し、前記孔部に第２の感光性材料を充填する感光性材料充填工程と、前記ストレート部形成部材側から所定の光を照射して、前記第２の感光性材料の略全体を感光するとともに、前記第１の感光性材料を前記基板側に向かって径が徐々に拡がるテーパ状に感光する露光工程と、前記ストレート部形成部材を剥離するとともに、前記第１及び第２の感光性材料の現像処理を行う現像工程と、前記現像工程により前記基板上に残存した前記第１及び第２の感光性材料を型として、めっき法により、前記基板上に前記ノズルプレートとなる金属層を形成する金属層形成工程と、前記基板と前記第１及び第２の感光性材料から前記金属層を剥離する剥離工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。
【００１５】
本発明によれば、基板上に第１の感光性材料を層状に形成し、ストレート部形成部材を第１の感光性材料上に配置し、ストレート部形成部材の孔部に第２の感光性材料を充填した後で、ストレート部形成部材側より所定の光を照射することで露光を行い、ストレート部形成部材の剥離と現像処理を行うことで、基板上にテーパストレート状の感光性材料を精度良く形成できる。そして、このような感光性材料を型としてめっき法でノズルプレートを形成することで、テーパストレート状のノズルを精度良く形成することができる。これにより、吐出効率が良くなり、また、吐出方向、吐出量が安定化する。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のノズルプレートの製造方法であって、前記ストレート部形成部材を電鋳法で形成するストレート部形成部材形成工程を更に含むことを特徴とする。
【００１７】
請求項２の態様によれば、ストレート部形成部材を再利用することができ、ノズルプレートを低コストで製造することができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のノズルプレートの製造方法であって、前記ノズルプレートの液体吐出側の表面に撥液層を形成する撥液層形成工程を更に含むことを特徴とする。
【００１９】
請求項３の態様によれば、ノズル周辺に液体が付着しないので、吐出方向が更に安定する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、基板上に第１の感光性材料を層状に形成し、ストレート部形成部材を第１の感光性材料上に配置し、ストレート部形成部材の孔部に第２の感光性材料を充填した後で、ストレート部形成部材側より所定の光を照射することで露光を行い、ストレート部形成部材の剥離と現像処理を行うことで、基板上にテーパストレート状の感光性材料を精度良く形成できる。そして、このような感光性材料を型としてめっき法でノズルプレートを形成することで、テーパストレート状のノズルを精度良く形成することができる。これにより、吐出効率が良くなり、また、吐出方向、吐出量が安定化する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２２】
〔インクジェット記録装置の全体構成〕
図１は、本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図１に示すように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有する印字部１２と、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６と、を備えている。
【００２３】
図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００２４】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００２５】
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【００２６】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【００２７】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラー３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が平面をなすように構成されている。
【００２８】
ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（不図示）が形成されている。図１に示したとおり、ローラー３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー３４が設けられており、この吸着チャンバー３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。
【００２９】
ベルト３３が巻かれているローラー３１、３２の少なくとも一方にモータ（不図示）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１の左から右へと搬送される。
【００３０】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
【００３１】
なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【００３２】
吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００３３】
印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。印字部１２を構成する各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００３４】
記録紙１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図１の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応した印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００３５】
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１２によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００３６】
なお本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。
【００３７】
図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【００３８】
印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
【００３９】
本例の印字検出部２４は、少なくとも各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）がライン状に配列されたＲセンサ列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧセンサ列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢセンサ列とからなる色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
【００４０】
印字検出部２４は、各色の印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
【００４１】
印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
【００４２】
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【００４３】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００４４】
このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（不図示）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。
【００４５】
また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
【００４６】
〔印字ヘッドの構造〕
次に、印字ヘッドの構造について説明する。インク色ごとに設けられている各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって印字ヘッドを示すものとする。
【００４７】
図２は、印字ヘッド５０の構造例を示す平面透視図である。同図に示すように、本例の印字ヘッド５０は、ノズル５１、圧力室５２及び供給口５４を含む圧力室ユニット５３を千鳥でマトリクス状（２次元状）に配置させた構造となっている。印字ヘッド５０の長手方向（主走査方向）に沿って並ぶように投影される投影ノズル列は一定のノズルピッチで配列され、これにより、記録紙面上に印字されるドットピッチの高密度化が達成されている。
【００４８】
図３の（ａ）は図２中３−３線に沿う断面図であり、同図の（ｂ）はノズル周辺の拡大図である。図３に示すように、印字ヘッド５０のインク吐出面はノズルプレート６０で構成されている。ノズルプレート６０に形成されるノズル５１は、圧力室５２の一端に連通している。圧力室５２の他端には供給口５４が形成されており、圧力室５２は供給口５４を介して共通流路５５に連通している。共通流路５５は図１のインク貯蔵／装填部１４から供給されるインクが貯留されており、このインクは供給口５４を介して圧力室５２に供給される。
【００４９】
圧力室５２の上壁面を構成している振動板５６上には、圧力室５２に対応する位置に個別電極５７を備えた圧電素子５８が設けられている。振動板５６はＳＵＳ等の導電部材で構成されており、複数の圧電素子５８に対する共通電極を兼ねている。振動板５６を非導電部材で構成し、その表面に導電層を形成してもよい。圧電素子５８に駆動信号（駆動電圧）が印加されると、圧電素子５８は振動板５６を圧力室５２側に撓ませるように変形し、これにより、圧力室５２内のインクが加圧されてノズル５１からインク滴が吐出される。
【００５０】
本実施形態では、ノズルプレート６０に形成されるノズル５１は、略円筒状のストレート部５１ａと、インク吐出側からその反対側であるインク流路側に向かって径が徐々に拡がるテーパ部５１ｂとから構成される。ストレート部５１ａはインク吐出側に配置され、テーパ部５１ｂはインク流路側に配置されており、ストレート部５１ａの内径とテーパ部５１ｂの最小径は略同径となっている。このようなテーパストレート状のノズル５１は他形状のノズルに比べて、インク吐出効率が向上し、インク吐出方向が安定する。また、後で詳説するノズルプレート６０の製造方法により、テーパストレート状のノズル５１を寸法精度が良く形成されるので、他の製造方法で同形状のノズルを形成する場合に比べて、インク吐出効率が更に向上し、また、インク吐出量が安定している。これにより、品質の良い画像を形成することが可能となっている。
【００５１】
尚、本実施形態では圧電素子の変形を利用してインク吐出する圧電方式が採用されているが、本発明の実施に際してインクの吐出方式には限定されず、例えば、ヒータ等の発熱体によってインクを加熱して気泡を発生させ、その圧力でインク滴を飛ばすサーマルジェット方式等でもよい。
【００５２】
〔ノズルプレートの製造方法〕
次に、本発明の特徴であるノズルプレート６０の製造方法について、第１〜第４の各実施形態を説明する。
【００５３】
＜第１の実施形態＞
図４は、第１の実施形態に係るノズルプレート６０の製造方法を示す説明図である。
【００５４】
まず、図４の（ａ）に示すように、母型６２（基板）上に形成される導電膜（電鋳用電極）６４側にネガ型のレジスト６６Ａ（第１の感光性材料）を塗布してプリベークする。母型６２上に導電膜６４を配置する代わりに、母型６２をＳＵＳなどの導電部材で構成してもよい。尚、本実施形態では、レジスト６６Ａとして液状のものを用いているが、フィルム状のレジストを用いても良い。次に、図４の（ｂ）に示すように、レジスト６６Ａ上にストレート部形成部材６８を接合する。ストレート部形成部材６８は、ノズル５１のストレート部に相当する孔部６８ａを備えている。ストレート部形成部材６８を電鋳で作製しておくことで、ストレート部形成部材６８を再利用することが可能となり、ノズルプレート６０を低コストで製造することができる。このようにして形成されるレジスト６６Ａとストレート部形成部材６８の寸法の一例を示すと、レジスト６６Ａの厚さは約２０μｍ、ストレート部形成部材６８の厚さは約１０μｍ、孔部６８ａの孔径は約２０μｍである。次に、図４の（ｃ）に示すように、ストレート部形成部材６８側からレジスト６６Ｂ（第２の感光性材料）を再塗布し、ストレート部形成部材６８の孔部６８ａにレジスト６６Ｂを充填する。そして、再びプリベークする。以下では、レジスト６６Ａ、６６Ｂを総称して、符号６６で示す。
【００５５】
次に、図４の（ｄ）に示すように、ストレート部形成部材６８側から露光を行い、レジスト６６（６６Ａ、６６Ｂ）をテーパストレート状に感光させる。以下では、レジスト６６の感光した部分をレジスト感光部と称し、符号７０で表す。レジスト感光部７０は、ストレート部形成部材６８に対応する部分のストレート部７０ａと、ストレート部形成部材６８側から母型６２側に向かって径が徐々に拡がるテーパ部７０ｂとから構成される。
【００５６】
ここで露光方法について図５を用いて説明する。レジスト感光部７０をテーパストレート状にするために、本例ではストレート部形成部材６８の孔部６８ａを介して所定の角度の光をレジスト６６に対して照射している。例えば、図５の（ａ）に示すように、平行光を拡散板７４に通過させてストレート部形成部材６８側に拡散光を照射することで、レジスト感光部７０をテーパストレート状にすることができる。また、図５の（ｂ）に示すように、レジスト６６を含む基板７６を平行光に対して斜めの角度に傾けて基板７６を回転しながら露光するようにしてもよい。また、図５の（ｃ）に示すように、基板７６に対して斜めに傾いた平行光を基板７６の中心軸に対して回転させるように露光するようにしてもよい。レジスト感光部７０のテーパ部７０ｂにおけるテーパ角度θは、拡散板７４の種類や、基板７６若しくは照射光の角度を変えることで任意のテーパ角度に制御することが可能である。吐出安定性を図る観点より好ましいテーパ角度θは１５〜４５度、更に好ましくは２０度である。
【００５７】
次に、図４の（ｅ）に示すように、ストレート部形成部材６８を剥離し、現像処理を行う。これにより、母型６２上にテーパストレート状のレジスト感光部７０が残存する。そして、図４の（ｆ）に示すように、母型６２上の導電膜６４を電鋳用電極として電鋳を行い、レジスト感光部７０のストレート部７０ａの所定位置までの厚さとなるように金属層７２を成長させる。金属層７２は、例えば、Ｎｉめっき等で構成される。最後に、図４の（ｇ）に示すように、レジスト感光部７０と母型６２（導電膜６４含む）から金属層７２を剥離することでノズルプレート６０が完成する。
【００５８】
図４の（ｃ）の工程において、ストレート部形成部材６８側からレジスト６６Ｂを再塗布する際には、ストレート部形成部材６８の表面にレジスト６６Ｂがはみ出さないようにすることが好ましい。ストレート部形成部材６８の表面にレジスト６６Ｂがはみ出してしまう場合には、例えば、図６の（ａ）に示すように、スキージ７８でストレート形成部材６８の表面にはみ出したレジスト６６Ｂを除去すればよい。また、図６の（ｂ）に示すように、ストレート部形成部材６８の表面にはみ出したレジスト６６Ｂを溶剤（或いは、現像液や剥離液）などで除去するようにしてもよい。ただし、溶剤で除去する場合には、ストレート部形成部材６８の孔部６８ａの内部のレジスト６６Ｂまで溶かしてしまう場合があるので、予めストレート部形成部材６８を厚く構成して、レジスト６６Ｂの除去後も孔部６８ａに十分なレジスト６６Ｂが残るようにしておくことが望ましい。
【００５９】
＜第２の実施形態＞
図７は、第２の実施形態に係るノズルプレート６０の製造方法を示す説明図である。
【００６０】
まず、図７の（ａ）に示すように、母型６２上に形成される導電膜（電鋳用電極）６４側にネガ型のレジスト６６Ａを塗布する。ここでは、第１の実施形態とは異なり、プリベークは行わず、レジスト６６Ａを液体状態にしておく。次に、図７の（ｂ）に示すように、レジスト６６Ａ上にストレート部形成部材６８を接合して、図７の（ｃ）に示すように、ストレート部形成部材６８に対して加圧を行い、ストレート部形成部材６８の孔部６８ａにレジスト６６Ａを入り込ませる。そして、プリベークを行う。その後の工程は、第１の実施形態の各工程（図４の（ｄ）〜（ｇ））と同様であるので説明を省略する。
【００６１】
第２の実施形態では、液体状態のレジスト６６Ａ上にストレート部形成部材６８をのせなくてはならないため、作業性の観点では第１の実施形態に比べて劣るものの、ストレート部形成部材６８に対する加圧条件を制御することで、第１の実施形態のように、ストレート部形成部材６８の表面にレジストがはみ出るようなことがない。
【００６２】
＜第３の実施形態＞
図８は、第３の実施形態に係るノズルプレート６０の製造方法を示す説明図である。
【００６３】
図８の（ａ）に示すように、母型６２上に配置された導電膜６４側にテーパストレート状のレジスト感光部７０を形成してから、電鋳によって金属層７２を形成する。ここまでの工程は、第１の実施形態と同様（図４の（ａ）〜（ｆ）参照）である。続いて、図８の（ｂ）に示すように、金属層７２の表面に対してＮｉ−ＰＴＦＥ共析めっきを行い、撥液膜８０を形成する。その後、レジスト感光部７０と母型６２（導電膜６４を含む）から撥液膜８０を含む金属層７２を剥離することで、ノズルプレート６０が完成する。このようにノズルプレート６０のインク吐出側の表面に撥液膜８０を形成することで、ノズル周辺にインク滴が付着することがなく、インク滴の飛翔方向の安定性を向上させることができる。
【００６４】
ノズルプレート６０のインク吐出側の表面に撥液膜８０を形成する方法は図８に示した例に限定されない。例えば、図９の（ａ）に示すように、第１の実施形態においてレジスト感光部７０と母型６２（導電膜６４を含む）から剥離された金属層７２（ノズルプレート６０）に対して、同図の（ｂ）に示すように、ノズル５１のテーパ部５１ｂ側となるインク流路側から各ノズル５１を貫通するような櫛歯状にレジスト８２を埋め込み、同図の（ｃ）に示すように、金属層７２のインク吐出側の表面に対してＮｉ−ＰＴＦＥ共析めっきを行って撥液膜８０を形成するようにしてもよい。また、図１０の（ａ）に示すように、シート８４上に撥液膜８０をコートし、同図の（ｂ）に示すように、金属層７２のインク吐出側の表面に撥液膜８０を転写するようにしてもよい。
【００６５】
以上説明したように、上記各実施形態によれば、母型６２上にレジスト６６Ａを層状に形成し、ストレート部形成部材６８をレジスト６６Ａ上に配置し、ストレート部形成部材６８の孔部６８ａにレジスト６６Ｂを充填した後で、ストレート部形成部材６８側より所定の光を照射することで露光を行い、ストレート部形成部材６８の剥離と現像処理を行うことで、母型６２上にテーパストレート状のレジスト感光部７０を形成する。このようなレジスト感光部７０は一度の露光工程で形成されるため、ストレート部７０ａとテーパ部７０ｂが精度良く形成され、また、ストレート部７０ａとテーパ部７０ｂとの位置ずれもなく形成される。そして、レジスト感光部７０を型として電鋳によってノズルプレート６０を形成することで、テーパストレート状のノズル５１を精度良く形成することができる。これにより、吐出効率が良くなり、また、吐出方向が安定化する。
【００６６】
また、ノズルプレート６０のインク吐出側の表面に撥液膜８０を形成することで、インク滴がノズル周辺に付着せず、インク滴の飛翔方向が更に安定化する。
【００６７】
尚、本実施形態では、電鋳によって金属層７２を形成しているが、本発明の実施に際してはこれに限定されず、例えば、導電膜（電鋳用電極）６４の代わりに無電解めっき用シード層を母型６２上に設けて、無電解めっきによって金属層７２を形成するようにしてもよい。
【００６８】
以上、本発明のノズルプレートの製造方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】インクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。
【図２】印字ヘッドの構造例を示す平面透視図である。
【図３】図２中３−３線に沿う断面図である。
【図４】第１の実施形態に係るノズルプレートの製造方法を示した説明図である。
【図５】露光方法の一例を表した説明図である。
【図６】ストレート部形成部材の表面にはみ出したレジストの除去方法を示した説明図である。
【図７】第２の実施形態に係るノズルプレートの製造方法を示した説明図である。
【図８】第３の実施形態に係るノズルプレートの製造方法を示した説明図である。
【図９】撥液膜を形成する他の方法を示した説明図である。
【図１０】撥液膜を形成する他の方法を示した説明図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０…インクジェット記録装置、５０…印字ヘッド、５１…ノズル、５１ａ…ストレート部、５１ｂ…テーパ部、５２…圧力室、６０…ノズルプレート、６２…母型、６４…導電膜、６６、６６Ａ、６６Ｂ…レジスト、６８…ストレート部形成部材、７０…レジスト感光部、７２…金属層、７４…拡散板、８０…撥液膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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