(57)【要約】【課題】コストダウンを図りながら、ボールねじ式の駆動装置の動作する速度が高くなる電子部品移動装置を提供する。【解決手段】第１、第２のモータ２５，４１によって駆動される第１、第２のボールねじ軸２８，４４と、これらのボールねじ軸に螺合した第１、第２のボールナット２９，４５とを備える。前記ボールねじ軸とボールナットとからなる第１、第２の駆動装置１４，１７による駆動によって水平方向に移動する第１の移動部材１３、ヘッドユニット１６とを備える。ヘッドユニット１６は吸着ヘッド１８を備える。第１、第２のボールねじ軸２８，４４が遊嵌状態で貫通しかつ前記第１、第２のボールナット２９，４５に結合されたロータ３１と、第１の移動部材１３、ヘッドユニット１６に支持されかつロータ３１を回転自在に支持するステータ３４とを有する第１、第２のボールナット用モータ３０，４６を備えた。【選択図】  図２
2007194578.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータによって駆動されるボールねじ軸と、
このボールねじ軸に螺合したボールナットと、
前記ボールねじ軸とボールナットとからなる駆動装置による駆動によって水平方向に移動する移動部材と、
この移動部材に支持され、電子部品を吸着する吸着ノズルを有する吸着ヘッドとを備えた電子部品移動装置において、
前記ボールねじ軸が遊嵌状態で貫通しかつ前記ボールナットに結合されたロータと、
前記移動部材に支持されかつ前記ロータを回転自在に支持するステータとを有するボールナット用モータを備えたことを特徴とする電子部品移動装置。
【請求項２】
請求項１記載の電子部品移動装置において、
移動部材は、
電子部品の供給部と載置部とを結ぶ仮想線と平行な第１の方向に移動自在に支持された第１の移動部材と、
この第１の移動部材に前記第１の方向とは交差する第２の方向に移動自在に支持された第２の移動部材とから構成され、
駆動装置は、
前記第１の移動部材を駆動する第１の駆動装置と、
前記第２の移動部材を駆動する第２の駆動装置とから構成され、
ボールナット用モータは、前記第１の駆動装置と第２の駆動装置のうち移動部材の移動距離が長くなる方の駆動装置に設けられている電子部品移動装置。
【請求項３】
請求項１記載の電子部品移動装置によって電子部品が電子部品供給部からプリント配線板に実装される表面実装機。
【請求項４】
請求項３記載の表面実装機であって、
プリント配線板を基台上で搬送する搬送装置と、
この搬送装置の側方に設けられた電子部品供給装置と、
前記搬送装置の上方で電子部品供給装置と搬送装置とを結ぶ仮想線と平行な第１の方向に延びる支持部材を有し、前記基台上でプリント配線板の搬送方向からなる第２の方向に移動する第２方向移動部材と、
電子部品吸着用の吸着ヘッドを有し、前記支持部材に支持された状態で第１の方向に移動することにより電子部品を電子部品供給装置から搬送装置上のプリント配線板に移載するヘッドユニットとを備え、
前記支持部材に第１の方向に延びる状態で回転自在に支持され、支持部材に設けられたボールねじ軸用モータによる駆動によって回転する第１方向ボールねじ軸と、
この第１方向ボールねじ軸に螺合するとともにヘッドユニットに軸線方向への移動が規制された状態で回転自在に支持されたボールナットとによって駆動装置を構成し、
前記ボールナットを駆動するボールナット用モータをヘッドユニットに設けたことを特徴とする表面実装機。
【請求項５】
請求項３記載の表面実装機において、
第２方向移動部材とヘッドユニットとからなる複数の電子部品移載ユニットを備え、
基台上に第２の方向に延びる状態で回転自在に支持され、基台に設けられたボールねじ軸用モータによる駆動によって回転する第２方向ボールねじ軸と、
この第２方向ボールねじ軸に螺合するとともに各電子部品移載ユニットに軸線方向への移動が規制された状態で回転自在に支持されたボールナットと、
各電子部品移載ユニットに設けられ、前記ボールナットを駆動するボールナット用モータとを備え、
前記第２方向ボールねじ軸を駆動するモータは、全ての電子部品移載ユニットが同じ方向に移動するときにボールナット用モータの回転方向とは逆方向に第２方向ボールねじ軸を回転させることを特徴とする表面実装機。
【請求項６】
請求項４記載の表面実装機において、
第２方向移動部材とヘッドユニットとからなる複数の電子部品移載ユニットを備え、
基台上に第２の方向に延びる状態で回転自在に支持され、基台に設けられたボールねじ軸用モータによる駆動によって回転する第２方向ボールねじ軸と、
この第２方向ボールねじ軸に螺合するとともに各電子部品移載ユニットに軸線方向への移動が規制された状態で回転自在に支持されたボールナットと、
各電子部品移載ユニットに設けられ、前記ボールナットを駆動するボールナット用モータとを備え、
前記第２方向ボールねじ軸を駆動するモータは、全ての電子部品移載ユニットが同じ方向に移動するときにボールナット用モータの回転方向とは逆方向に第２方向ボールねじ軸を回転させることを特徴とする表面実装機。
【請求項７】
請求項１記載の電子部品移動装置によって検査用電子部品が検査用ソケットに装填されるＩＣハンドラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボールねじ軸とボールナットとを有する駆動装置によって吸着ヘッドを移動させる電子部品移動装置およびこの電子部品移動装置を装備した表面実装機、ＩＣハンドラーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品を部品供給部から部品載置部に移載する電子部品移載装置としては、電子部品をプリント配線板に実装するための表面実装機や、電子部品を検査用ソケットに装填するためのＩＣハンドラーなどがある。これらの表面実装機やＩＣハンドラーには、電子部品を吸着して水平方向に移動させるための電子部品移動装置が装備されている。この電子部品移動装置は、電子部品を吸着する吸着ノズルを有する吸着ヘッドと、この吸着ヘッドを水平方向に移動させる駆動装置とを備えている。
【０００３】
この駆動装置は、モータと、このモータによる駆動によって回転するボールねじ軸と、このボールねじ軸に螺合したボールナットなどによって構成されている。前記ボールナットは、吸着ヘッドを支持する移動部材に軸線方向への移動が規制される状態で回転自在に支持されている。
この種の電子部品移動装置を装備した従来の表面実装機としては、例えば特許文献１または特許文献２に開示されているものがあり、従来のＩＣハンドラーとしては、例えば特許文献３に開示されているものがある。
【０００４】
特許文献１に示された表面実装機は、プリント配線板を搬送するためのコンベアと、このコンベアの両側方に位置付けられたテープフィーダーとを備えている。この表面実装機に装備されている電子部品移動装置は、吸着ヘッドを前記コンベアの搬送方向と平行な方向（以下、この方向を単にＸ方向という）に移動させるＸ方向駆動装置と、このＸ方向駆動装置とともに吸着ヘッドを前記Ｘ方向とは交差する方向（以下、この方向を単にＹ方向という）に移動させるＹ方向駆動装置とから構成されている。
【０００５】
特許文献２に示された表面実装機は、プリント配線板を搬送するためのコンベアと、このコンベアの一側方に位置付けられたテープフィーダーと、プリント配線板をコンベアの搬送路からテープフィーダーと隣接する位置に移動させるためのＹ方向駆動装置と、このＹ方向駆動装置によって移動させられたプリント配線板とテープフィーダーとの間で吸着ヘッドをＸ方向に移動させるＸ方向駆動装置とを備えている。
【０００６】
特許文献３に示されたＩＣハンドラーは、被検査用電子部品や検査後の電子部品を収納するための複数の電子部品用トレイと、これらのトレイと隣接する位置に位置付けられた検査用ソケットと、電子部品吸着用の吸着ノズルを有する吸着ヘッドを前記トレイと検査用ソケットとの間で移動させる電子部品移動装置とを備えている。この電子部品移動装置は、前記トレイと検査用ソケットとを結ぶ仮想線と平行な方向と、この方向とは交差する方向とに前記吸着ヘッドを移動させる構成が採られている。
【特許文献１】特開２００３−２１８５８９号公報（第１図）
【特許文献２】特開２００４−７１８９１号公報（第１図）
【特許文献３】特許第３４９４８２８号公報（第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したように構成された表面実装機やＩＣハンドラーにおいては、実装効率、検査効率の向上を図るために、吸着ヘッドの移動する速度をさらに高め、一つの電子部品を移載したり、検査するときのタクトタイムをさらに短縮することが要請されている。しかしながら、これらの装置において吸着ヘッドを移動させるために用いられているボールねじ式の駆動装置では、ボールねじ軸駆動用モータの回転速度を高くするにも自ずと限界があり、上記要請に応えることはできなかった。
【０００８】
吸着ヘッドを高速で移動させるためには、ボールねじ式の駆動装置の代わりに相対的に高速動作が可能なリニアモータ式の駆動装置を用いることが考えられる。しかし、このリニアモータ式駆動装置は、高価なものであるから、これを使用すると、表面実装機やＩＣハンドラーの製造コストが著しく高くなってしまう。
【０００９】
本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、製造コストをそれほどかけずに、ボールねじ式の駆動装置の動作する速度が高くなる電子部品移動装置およびこの電子部品移動装置を装備した表面実装機、ＩＣハンドラーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するために、本発明に係る電子部品移動装置は、モータによって駆動されるボールねじ軸と、このボールねじ軸に螺合したボールナットと、前記ボールねじ軸とボールナットとからなる駆動装置による駆動によって水平方向に移動する移動部材と、この移動部材に支持され、電子部品を吸着する吸着ノズルを有する吸着ヘッドとを備えた電子部品移動装置において、前記ボールねじ軸が遊嵌状態で貫通しかつ前記ボールナットに結合されたロータと、前記移動部材に支持されかつ前記ロータを回転自在に支持するステータとを有するボールナット用モータを備えたものである。
【００１１】
請求項２に記載した発明に係る電子部品移動装置は、請求項１に記載した電子部品移動装置において、移動部材を、電子部品の供給部と載置部とを結ぶ仮想線と平行な第１の方向に移動自在に支持された第１の移動部材と、この第１の移動部材に前記第１の方向とは交差する第２の方向に移動自在に支持された第２の移動部材とから構成し、駆動装置を、前記第１の移動部材を駆動する第１の駆動装置と、前記第２の移動部材を駆動する第２の駆動装置とから構成し、ボールナット用モータを、前記第１の駆動装置と第２の駆動装置のうち移動部材の移動距離が長くなる方の駆動装置に設けたものである。
【００１２】
請求項３に記載した発明に係る表面実装機は、請求項１に記載した電子部品移動装置によって電子部品を電子部品供給部からプリント配線板に実装するものである。
【００１３】
請求項４に記載した発明に係る表面実装機は、請求項３に記載した表面実装機であって、プリント配線板を基台上で搬送する搬送装置と、この搬送装置の側方に設けられた電子部品供給装置と、前記搬送装置の上方で電子部品供給装置と搬送装置とを結ぶ仮想線と平行な第１の方向に延びる支持部材を有し、前記基台上でプリント配線板の搬送方向からなる第２の方向に移動する第２方向移動部材と、電子部品吸着用の吸着ヘッドを有し、前記支持部材に支持された状態で第１の方向に移動することにより電子部品を電子部品供給装置から搬送装置上のプリント配線板に移載するヘッドユニットとを備え、前記支持部材に第１の方向に延びる状態で回転自在に支持され、支持部材に設けられたボールねじ軸用モータによる駆動によって回転する第１方向ボールねじ軸と、この第１方向ボールねじ軸に螺合するとともにヘッドユニットに軸線方向への移動が規制された状態で回転自在に支持されたボールナットとによって駆動装置を構成し、前記ボールナットを駆動するボールナット用モータをヘッドユニットに設けたものである。
【００１４】
請求項５に記載した発明に係る表面実装機は、請求項３に記載した表面実装機において、第２方向移動部材とヘッドユニットとからなる複数の電子部品移載ユニットを備え、基台上に第２の方向に延びる状態で回転自在に支持され、基台に設けられたボールねじ軸用モータによる駆動によって回転する第２方向ボールねじ軸と、この第２方向ボールねじ軸に螺合するとともに各電子部品移載ユニットに軸線方向への移動が規制された状態で回転自在に支持されたボールナットと、各電子部品移載ユニットに設けられ、前記ボールナットを駆動するボールナット用モータとを備え、前記第２方向ボールねじ軸を駆動するモータは、全ての電子部品移載ユニットが同じ方向に移動するときにボールナット用モータの回転方向とは逆方向に第２方向ボールねじ軸を回転させるものである。
【００１５】
請求項６に記載した発明に係る表面実装機は、請求項４に記載した表面実装機において、第２方向移動部材とヘッドユニットとからなる複数の電子部品移載ユニットを備え、基台上に第２の方向に延びる状態で回転自在に支持され、基台に設けられたボールねじ軸用モータによる駆動によって回転する第２方向ボールねじ軸と、この第２方向ボールねじ軸に螺合するとともに各電子部品移載ユニットに軸線方向への移動が規制された状態で回転自在に支持されたボールナットと、各電子部品移載ユニットに設けられ、前記ボールナットを駆動するボールナット用モータとを備え、前記第２方向ボールねじ軸を駆動するモータは、全ての電子部品移載ユニットが同じ方向に移動するときにボールナット用モータの回転方向とは逆方向に第２方向ボールねじ軸を回転させるものである。
【００１６】
請求項７に記載した発明に係るＩＣハンドラーは、請求項１に記載した電子部品移動装置によって検査用電子部品を検査用ソケットに装填するものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ボールナット用モータによる駆動によってボールナットをボールねじ軸とは逆方向に回転させることにより、移動部材および吸着ヘッドの移動する速度が相対的に高くなる。
このため、本発明によれば、ボールナットを駆動するモータを新たに装備するという簡単な構成であるから、それほど製造コストをかけることなく、吸着ヘッドの高速移動が可能で電子部品を移載する効率が高い電子部品移動装置を提供することができる。
【００１８】
本発明に係る電子部品移動装置に使用するボールナット用モータのロータは、既存のボールナットの構造を大きく変えることなく、ボールナットの軸線方向の端部に例えば固定用ボルトによって簡単に取付けることができる。このため、本発明は、既存のボールナットを流用して容易に実施することができる。
【００１９】
請求項２記載の発明によれば、長い距離を移動部材が短時間で移動するようになるから、電子部品の移載のための効率が向上する。
【００２０】
請求項３記載ないし請求項６記載の発明によれば、実装効率が高い表面実装機を提供することができる。
請求項７記載の発明によれば、検査効率が高いＩＣハンドラーを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（第１の実施の形態）
以下、本発明に係る電子部品移動装置を装備した表面実装機の一実施の形態を図１ないし図４によって詳細に説明する。
図１は本発明に係る電子部品移動装置を装備した表面実装機の概略構成を示す斜視図、図２は本発明に係る電子部品移動装置を装備した表面実装機の平面図、図３は図２における基台上部のIII−III線断面図である。図４は要部を拡大して示す断面図である。
【００２２】
これらの図において、符号１で示すものは、この実施の形態による電子部品移動装置２を装備した電子部品移載装置の一つである表面実装機を示す。前記電子部品移載装置は、電子部品を部品供給部から部品載置部に移載するためのもので、この実施の形態において説明する表面実装機１と、他の実施の形態において説明するＩＣハンドラー１００および表面実装機２０１とがある。
【００２３】
この実施の形態による表面実装機１は、図１に示すように、基台３と、この基台３の上に設けられたコンベア４と、このコンベア４の両側方（図１においては、一側方のみに設けた状態で描いてある）に設けられた多数のテープフィーダー５，５‥‥と、これらのテープフィーダー５において吸着した電子部品６を前記コンベア４上のプリント配線板７に移載するための電子部品移動装置２と、これらの各装置の動作を制御するための制御装置８などから構成されている。
【００２４】
なお、図示してはいないが、この表面実装機１は、前記電子部品移動装置２が電子部品６を移動させるときに電子部品６を下方から撮像し、吸着位置ずれを検出する部品認識装置も備えている。この実施の形態においては、前記多数のテープフィーダー５，５‥‥によって本発明でいう電子部品６の供給部が構成され、コンベア４上のプリント配線板７によって本発明でいう電子部品６の載置部が構成されている。
【００２５】
前記基台３は、前記コンベア４の上流側端部と下流側端部と対応する両端部に相対的に高くなるように凸部３ａが形成されている。この凸部３ａには、後述する電子部品移動装置２が搭載されている。
前記テープフィーダー５は、前記基台３における前記コンベア４の搬送方向とは交差する方向の両端部に前記搬送方向と平行に並ぶ状態で多数装填されている。なお、この実施の形態による表面実装機１は、このテープフィーダー５の代わりにトレイ式の電子部品供給装置（図示せず）を装備することもできる。
【００２６】
前記電子部品移動装置２は、図２に示すように、前記テープフィーダー５と前記プリント配線板７とを結ぶ仮想線Ｌと平行な第１の方向（以下、この方向を単にＹ方向という）に延びるように前記基台３の凸部３ａに設けられた一対の第１のガイドレール１１，１１と、これらの第１のガイドレール１１，１１間において前記Ｙ方向とは交差する第２の方向（以下、この第２の方向を単にＸ方向という）に延びる支持部１２を有し、第１のガイドレール１１に移動自在に支持された第１の移動部材１３と、この第１の移動部材１３を駆動する一対の第１の駆動装置１４と、前記支持部１２に設けられてＸ方向に延びる第２のガイドレール１５（図１参照）と、この第２のガイドレール１５に移動自在に支持された第２の移動部材としてのヘッドユニット１６と、このヘッドユニット１６を駆動する第２の駆動装置１７と、前記ヘッドユニット１６に設けられた複数の吸着ヘッド１８などによって構成されている。
【００２７】
前記吸着ヘッド１８は、電子部品６を吸着する吸着ノズル１９（図１参照）と、この吸着ノズル１９を上下方向の軸線回りに回動させる回転駆動装置（図示せず）とを備えている。また、この吸着ヘッド１８は、図示していない昇降装置を介してヘッドユニット１６にそれぞれ昇降可能に支持されている。前記第１の移動部材１３とヘッドユニット１６（第２の移動部材）とによって本発明でいう移動部材が構成され、前記第１の駆動装置１４と第２の駆動装置１７とによって本発明でいう駆動装置が構成されている。
【００２８】
前記第１の移動部材１３は、図３に示すように、前記第１のガイドレール１１に２個のスライド部材２１，２１によって摺動自在に支持された一対のスライド部２２と、このスライド部２２の上端部に固定用ボルト２３によって固定され、２個のスライド部２２どうしの間に架け渡された前記支持部１２とから構成されている。前記２個のスライド部材２１，２１は、図２に示すように、Ｙ方向に所定の間隔をおいて互いに離間するように配設されている。
【００２９】
前記第１の駆動装置１４は、図１、図２および図４に示すように、基台３の前記凸部３ａにおけるＹ方向の一端部に固定された第１のモータ２５と、この第１のモータ２５にカップリング２６を介して一端部が接続されるとともに他端部が前記凸部３ａに軸受２７によって回転自在に支持された第１のボールねじ軸２８と、この第１のボールねじ軸２８に螺合した第１のボールナット２９（図４参照）と、この第１のボールナット２９と前記第１の移動部材１３との間に介装された第１のボールナット用モータ３０などによって構成されている。
【００３０】
前記第１のボールナット用モータ３０は、ブラシレスサーボモータであって、図４に示すように、第１のボールねじ軸２８が遊嵌状態で貫通するロータ３１と、このロータ３１を軸受３２，３３によって回転自在に支持するステータ３４などによって構成されている。
【００３１】
前記ロータ３１は、筒状に形成された回転軸３１ａと、この回転軸３１ａの外周部に固着した永久磁石３１ｂなどによって構成されている。前記回転軸３１ａの軸線方向の一端部（図４においては上端部）には、他の部位より外径が大きくなるように大径部３１ｃが形成されている。この大径部３１ｃには、前記第１のボールナット２９が嵌合した状態で固定用ボルト３５によって固定されている。
【００３２】
前記ステータ３４は、前記永久磁石３１ｂと対向するコイル３４ａと、回転検出用のエンコーダ（図示せず）などを備え、前記第１の移動部材１３に突設されたモータ支持用ブラケット３６に取付けられている。前記モータ支持用ブラケット３６は、第１の移動部材１３にＸ方向と平行に基台３の外側に向けて突設されている。このため、前記第１のボールナット用モータ３０は、第１の移動部材１３における最も装置外側に位置付けられている。
【００３３】
この実施の形態による前記ステータ３４は、第１の移動部材１３のスライド部２２と平行に延びるように形成されており、図３および図４に示すように、スライド部２２との間に隙間Ｓが形成される状態でスライド部２２と隣り合う位置に配設されている。このスライド部２２に設けられた２個のスライド部材２１どうしの間隔、言い換えればスライド部２２における第１のガイドレール１１に支持される部分の長さｄ１（図４参照）は、前記第１のボールナット用モータ３０の軸線方向の長さｄ２より長くなるように形成されている。
【００３４】
この実施の形態による第１のボールナット用モータ３０は、第１のボールナット２９が第１のボールねじ軸２８の回転に抗して第１の移動部材１３に対して停止する低出力運転状態と、第１のボールナット２９が第１のボールねじ軸２８とは逆方向に回転する高出力運転状態との間で出力を増減できるように構成されている。
【００３５】
この実施の形態による第１の駆動装置１４においては、第１のモータ２５による駆動により第１のボールねじ軸２８が回転するとともに、第１のボールナット用モータ３０が低出力運転を行うことによって、第１の移動部材１３は、従来の表面実装機における移動速度と同等の相対的に低い速度でＹ方向に移動する。一方、第１のボールねじ軸２８が上記と同様に回転している状態において、第１のボールナット用モータ３０が高出力運転を行うことによって、第１の移動部材１３は、相対的に高い速度でＹ方向に移動する。
【００３６】
ヘッドユニット１６を駆動させる前記第２の駆動装置１７は、図１および図２に示すように、前記第１の移動部材１３の支持部１２におけるＸ方向の一端部に固定された第２のモータ４１と、この第２のモータ４１にカップリング４２を介して一端部が接続されるとともに他端部が前記支持部１２に軸受４３によって回転自在に支持された第２のボールねじ軸４４と、この第２のボールねじ軸４４に螺合した第２のボールナット４５と、この第２のボールナット４５とヘッドユニット１６との間に介装された第２のボールナット用モータ４６などによって構成されている。
【００３７】
前記第２のボールナット用モータ４６は、前記第１のボールナット用モータ３０と同じ構成が採られている。すなわち、この第２のボールナット用モータ４６は、ブラシレスサーボモータであって、図２に示すように、第２のボールねじ軸４４が遊嵌状態で貫通するロータ４７と、このロータ４７を軸受（図示せず）によって回転自在に支持するステータ４８とから構成されている。
【００３８】
これらのロータ４７とステータ４８は、第１のボールナット用モータ３０のロータ３１およびステータ３４と同じ構造となるように形成されている。このため、これらの部材については、詳細な説明は省略する。この第２のボールナット用モータ４６においても、第２のボールナット４５が第２のボールねじ軸４４の回転に抗してヘッドユニット１６に対して停止する低出力運転状態と、第２のボールナット４５が第２のボールねじ軸４４とは逆方向に回転する高出力運転状態との間で出力を増減できるように構成されている。
【００３９】
この実施の形態による第２の駆動装置１７においては、第２のモータ４１による駆動により第２のボールねじ軸４４が回転するとともに、第２のボールナット用モータ４６が低出力運転を行うことによって、ヘッドユニット１６は従来の表面実装機における移動速度と同等の相対的に低い速度でＸ方向に移動する。一方、第２のボールねじ軸４４が上記と同様に回転している状態において、第２のボールナット用モータ４６が高出力運転を行うことによって、ヘッドユニット１６は相対的に高い速度でＸ方向に移動する。
これらの第２のモータ４１および第２のボールナット用モータ４６と、前記第１のモータ２５および第１のボールナット用モータ３０の動作は、後述する制御装置８によって制御される。
【００４０】
制御装置８は、電子部品６をテープフィーダー５からプリント配線板７に実装するときは、第１および第２の駆動装置１４，１７において、ボールねじ軸駆動用のモータ（第１、第２のモータ２５，４１）と、ボールナット駆動用のモータ（第１、第２のボールナット用モータ３０，４６）とのうちいずれか一方を回転させる。このとき、第１、第２のモータ２５，４１を回転させる場合、制御装置８は、第１、第２のボールナット用モータ３０，４６を前記低出力運転状態とし、第１、第２のボールナット２９，４５が第１の移動部材１３やヘッドユニット１６に対して回転することがないようにする。
【００４１】
一方、第１、第２のモータ２５，４１を停止させ、第１、第２のボールナット用モータ３０，４６を回転させる場合、制御装置８は、これらのモータ３０，４６による駆動により第１、第２のボールナット２９，２５が第１、第２のボールねじ軸２８，４４に対して回転し、第１の移動部材１３とヘッドユニット１６とが上記と同じ速度で移動するように第１、第２のボールナット用モータ２５，４６の出力を制御する。
【００４２】
このように前記２種類のモータのうち一方を使用して第１の移動部材１３やヘッドユニット１６を駆動することによって、第１の移動部材１３、ヘッドユニット１６が従来の表面実装機による移動速度と同じ通常の速度で移動することになる。言い換えれば、吸着ノズル１９によって電子部品６を吸着している状態の吸着ヘッド１８を適切な移動速度で移動させることができるから、この表面実装機１においても、従来の表面実装機と同様に電子部品６を高い精度でプリント配線板７に実装することができる。
【００４３】
制御装置８は、電子部品６を実装した後にヘッドユニット１６をプリント配線板７側からテープフィーダー５側に戻すときは、ボールねじ軸駆動用のモータ（第１、第２のモータ２５，４１）と、ボールナット駆動用のモータ（第１、第２のボールナット用モータ３０，４６）との両方を回転させる。このように全てのモータが回転することにより、第１の移動部材１３とヘッドユニット１６とが従来の表面実装機１における移動速度に較べて高い速度で移動する。
【００４４】
なお、第１の移動部材１３とヘッドユニット１６の移動速度を通常の速度と相対的に高い速度とのいずれか一方に切り換えるに当っては、上述したように２種類のモータの運転・停止を切り換えることにより行う他に、各モータの回転速度を高速と低速とのうちいずれか一方に切り換えることによって行うことができる。すなわち、電子部品６をテープフィーダー５からプリント配線板７に移載するときは、第１の移動部材１３およびヘッドユニット１６の移動速度が相対的に低くなるように、ボールねじ軸駆動用のモータとボールナット駆動用のモータとの両方を相対的に低い回転速度で回転させる。
【００４５】
電子部品６を移載した後にヘッドユニット１６をプリント配線板７側からテープフィーダー５側に戻すときは、第１の移動部材１３とヘッドユニット１６の移動速度が相対的に高くなるように、前記両モータを相対的に高い回転速度で回転させる。
【００４６】
制御装置８は、ボールねじ軸駆動用のモータ（第１、第２のモータ２５，４１）と、ボールナット駆動用のモータ（第１、第２のボールナット用モータ３０，４６）との両方の駆動により移動する移動部材（第１の移動部材１３、ヘッドユニット１６）を停止させるときに各モータの動作を制御するために停止制御手段５１（図２参照）を備えている。
【００４７】
この停止制御手段５１は、前記ボールねじ軸駆動用のモータ（第１、第２のモータ２５，４１）と前記ボールナット駆動用のモータ（第１、第２のボールナット用モータ３０，４６）との両方の駆動により移動している移動部材（第１の移動部材１３、ヘッドユニット１６）を停止させるときに、ボールねじ軸駆動用のモータ（第１、第２のモータ２５，４１）と、ボールナット駆動用のモータ（第１、第２のボールナット用モータ３０，４６）とのうちいずれか一方を停止させた後に他方を停止させる回路が採られている。
【００４８】
なお、この停止制御手段５１としては、ボールねじ軸駆動用のモータとボールナット駆動用のモータとの両方の駆動により移動している移動部材を停止させるときに、前記両モータのうちいずれか一方の回転速度を他方のモータの回転速度より低下させた（減速させた）後に両モータを停止させる回路を採ることができる。また、この停止制御手段５１としては、ボールねじ軸駆動用のモータとボールナット駆動用のモータとの両方の回転により移動している移動部材を停止させるときに、前記両モータの回転速度を低下させた（減速させた）後に両モータを停止させる回路を採ることができる。
【００４９】
上述したように構成された表面実装機１においては、第１、第２のボールナット用モータ３０，４６による駆動によって第１、第２のボールナット２９，４５を第１、第２のボールねじ軸４４とは逆方向に回転させることにより、第１の移動部材１３およびヘッドユニット１６の移動する速度が相対的に高くなる。このため、この実施の形態による表面実装機１においては、吸着ヘッド１８の高速移動が可能になるから、従来の表面実装機に較べて電子部品６を移載する効率（実装効率）が高くなる。
【００５０】
また、この実施の形態による表面実装機１は、第１および第２のボールナット２９，４５を駆動する第１、第２のボールナット用モータ３０，４６を従来の表面実装機に装備することによって製造することができるから、製造コストを低く抑えることができる。
【００５１】
さらに、この実施の形態による表面実装機１が装備しているボールナット用モータ３０，４６のロータ３１，４７は、既存のボールナットの構造を大きく変えることなく、ボールナット２９，４５の軸線方向の端部に例えば固定用ボルト３６によって簡単に取付けることができる。このため、この実施の形態による表面実装機１（電子部品移動装置２）は、既存のボールナットを流用して容易に製造することができる。
【００５２】
（第２の実施の形態）
ボールナットとボールナット用モータとの結合部分は図５に示すように構成することができる。
図５は第１の駆動装置の要部を拡大して示す断面図である。同図において、前記図１〜図４によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。
【００５３】
図５に示す第１のボールナット２９は、第１の移動部材１３のモータ支持用ブラケット３６に軸受５２によって軸線方向への移動が規制される状態で回転自在に支持されている。図５に示す第１のボールナット用モータ３０のロータ３１は、軸線方向の一端部に連結用カップリング５３が固着されており、このカップリング５３を介して第１のボールナット２９の軸端部に結合されている。
【００５４】
このように第１のボールナット２９が第１の支持部材１３に回転自在に支持される場合であっても第１の実施の形態を採る場合と同様な効果を奏する。なお、図５に示した第１のボールナット２９とロータ３１との結合構造は、第２の駆動装置１７における第２のボールナット４５とロータ４７との結合構造にも適用することができる。
【００５５】
（第３の実施の形態）
本発明に係る電子部品移動装置を装備した表面実装機は図６〜図１１に示すように構成することができる。
図６は表面実装機の他の実施の形態を示す斜視図、図７〜図１１は表面実装機の他の実施の形態を示す平面図である。これらの図において、前記図１〜図５によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。
【００５６】
図６に示す表面実装機１は、基台３と、この基台３におけるＹ方向の一端部（図６においては右上側）に接続されたコンベア４（図示せず）と、前記基台３のＹ方向の一端部に形成された凸部３ａにＸ方向に延びるように設けられたＸ方向ガイドレール６１と、このガイドレール６１に移動自在に支持された移動部材としてのヘッドユニット１６と、このヘッドユニット１６をＸ方向に移動させるＸ方向駆動装置６２と、基台３におけるＸ方向の一端部に装填された多数のテープフィーダー５，５‥‥と、基台３におけるＸ方向の他端部に装備されてプリント配線板７をＹ方向に移動自在に支持する可動ステージ６３と、この可動ステージ６３を駆動するＹ方向駆動装置６４と、このＹ方向駆動装置６４と前記テープフィーダー５との間に位置する部品認識装置６５などを備えている。
【００５７】
前記Ｘ方向駆動装置６２は、基台３の前記凸部３ａにおけるＸ方向の一端部に固定されたヘッドユニット駆動用モータ７１と、このヘッドユニット駆動用モータ７１にカップリング７２を介して一端部が接続されるとともに他端部が前記凸部３ａに軸受７３によって回転自在に支持されたヘッドユニット駆動用ボールねじ軸７４と、このヘッドユニット駆動用ボールねじ軸７４に螺合したボールナット７５と、このボールナット７５とヘッドユニット１６との間に介装されたボールナット用モータ７６などによって構成されている。
【００５８】
前記可動ステージ６３は、プリント配線板７をＸ方向に搬送可能なコンベア（図示せず）によって支持する構造が採られており、基台３上にＹ方向に延びるように設けられたＹ方向ガイドレール８１に移動自在に支持されている。この可動ステージ６３は、図６中に二点鎖線で示す実装位置と、コンベア４の搬送経路上に位置する搬入・搬出位置との間を往復動できるように構成されている。
【００５９】
前記Ｙ方向駆動装置６４は、基台３のＹ方向の一端部に固定されたステージ駆動用モータ８２と、このステージ駆動用モータ８２にカップリング８３を介して一端部が接続されるとともに他端部が基台３に軸受８４によって回転自在に支持されたステージ駆動用ボールねじ軸８５と、このステージ駆動用ボールねじ軸８５に螺合したボールナット８６と、このボールナット８６と可動ステージ６３との間に介装されたボールナット用モータ８７などによって構成されている。
【００６０】
Ｘ方向駆動装置６２のボールナット用モータ７６と、Ｙ方向駆動装置６４のボールナット用モータ８７とは、図４または図５に示したボールナット用モータ３０と同じ構成が採られており、ロータ３１がボールナット７５，８６に結合され、ステータ３４がヘッドユニット１６、可動ステージ６３に固定されている。
【００６１】
図６に示す表面実装機１においては、電子部品６は、テープフィーダー５上においてヘッドユニット１６の吸着ヘッド１８に吸着され、Ｘ方向駆動装置６２の駆動によるヘッドユニット１６のＸ方向への移動によって、プリント配線板７の上方に移動する。一方、プリント配線板は、可動ステージ６３とともにＹ方向駆動装置６４の駆動によってＹ方向に移動し、前記電子部品６の下方に被実装位置が位置付けられるように位置決めされる。
【００６２】
したがって、この実施の形態によれば、ヘッドユニット１６のＸ方向の移動速度と、プリント配線板７のＹ方向の移動速度とを従来の表面実装機１に較べて高めることができ、図１〜図４に示す第１の実施の形態を採る場合と同様な効果を奏する。
【００６３】
図７ないし図９に示す表面実装機１は、コンベア４と、テープフィーダー５と、第１の移動部材１３と、第１・第２の駆動装置１４，１７と、ヘッドユニット１６などからなる実装ユニットを一つの基台３に複数組装備することによって構成されている。
図７に示す表面実装機１は、Ｙ方向の一端部（図７においては上側）に位置する第１の実装ユニット９１と、他端部に位置する第２の実装ユニット９２とを備えている。この実施の形態による第１のガイドレール１１は、第１の実装ユニット９１の第１の移動部材１３と、第２の実装ユニット９２の第１の移動部材１３とに共用されている。
【００６４】
図８に示す表面実装機１は、Ｘ方向の一端部に位置する第１の実装ユニット９１と、他端部に位置する第２の実装ユニット９２とが一つの基台３上に設けられている。これらの実装ユニット９１のコンベア４は、プリント配線板７が一方のコンベア４から他方のコンベア４へ乗り移ることができるように構成されている。
【００６５】
図９に示す表面実装機１は、Ｘ方向の一端部であってＹ方向の一端部と他端部とに位置する第１、第２の実装ユニット９１，９２と、Ｘ方向の他端部であってＹ方向の一端部と他端部とに位置する第３、第４の実装ユニット９３，９４とを装備している。図９に示す第１の実装ユニット９１と第２の実装ユニット９２とは、第１のガイドレール１１を共有するように構成されている。また、図９に示す第３の実装ユニット９１と第４の実装ユニット９１とは、第１のガイドレール１１を共有するように構成されている。
【００６６】
図９に示す第１の実装ユニット９１のコンベア４と第３の実装ユニット９１のコンベア４とは、プリント配線板７が一方のコンベア４から他方のコンベア４へ乗り移ることができるように構成されている。図９に示す第２のコンベア４と第４のコンベア４とは、プリント配線板７が一方のコンベア４から他方のコンベア４へ乗り移ることができるように構成されている。
【００６７】
図１０に示す表面実装機１は、２台のヘッドユニット１６を有する電子部品移動装置２を装備している。
前記２台のヘッドユニット１６は、第１の移動部材１３の支持部１２に第２のガイドレール１５（図示せず）によってそれぞれＸ方向に移動自在に支持されている。
この実施の形態による第２のボールねじ軸４４は、ヘッドユニット１６毎に設けられた第２のボールナット４５が螺合しており、上述した各実施の形態とは異なって支持部１２に回転することがないように固定されている。２台のヘッドユニット１６は、それぞれ第２のボールナット用モータ４６を介して前記第２のボールナット４５に接続されている。
図１０に示す表面実装機１のヘッドユニット１６は、第２のボールナット用モータ４６のみの駆動によってＸ方向に移動する。
【００６８】
図１１に示す表面実装機１は、４台のヘッドユニット１６ａ〜１６ｄを有する電子部品移動装置２を装備している。この電子部品移動装置２の第１の移動部材１３は、互いに平行にＸ方向へ延びる一対の支持部１２，１２を備えている。これらの支持部１２，１２には、第２のボールねじ軸４４がそれぞれ設けられている。これらの第２のボールねじ軸４４は、ヘッドユニット毎の第２のボールナット４５ａ〜４５ｄが螺合しており、各支持部１２に回転することがないように固定されている。
【００６９】
また、これらの支持部１２，１２のうち一方の支持部１２には、第１のヘッドユニット１６ａと第２のヘッドユニット１６ｂとがそれぞれＸ方向に移動自在に支持され、他方の支持部１２には、第３のヘッドユニット１６ｃと第４のヘッドユニット１６ｄとがそれぞれＸ方向に移動自在に支持されている。これらのヘッドユニット１６ａ〜１６ｄは、第２のボールナット用モータ４６を介して前記ボールナット４５ａ〜４５ｄに接続されている。
【００７０】
図１１に示す表面実装機１のヘッドユニット１６ａ〜１６ｄは、第２のボールナット用モータ４６のみの駆動によってＸ方向に移動する。
これら４台のヘッドユニット１６ａ〜１６ｄには、１本または２本の吸着ヘッド１８が設けられている。この実施の形態においては、第１のヘッドユニット１６ａと第４のヘッドユニット１６ｄとには、吸着ヘッド１８が２本ずつ設けられている。第２のヘッドユニット１６ｂと第３のヘッドユニット１６ｃとには、前記２本並ぶ吸着ヘッド１８の間に臨むように、１本の吸着ヘッド１８が設けられている。
【００７１】
（第４の実施の形態）
本発明に係る電子部品移動装置は、図１２に示すようにＩＣハンドラーに装備することができる。
図１２は本発明に係る電子部品移動装置を装備したＩＣハンドラーの平面図である。同図において、前記図１〜図５によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。
【００７２】
図１２に示すＩＣハンドラー１００は、基台１０１の一端部に設けられた検査用ソケット１０２と、基台１０１に設けられた４台のパレット用昇降テーブル１０３〜１０６と、これらの昇降テーブル１０３〜１０６と前記検査用ソケット１０２との間に設けられた部品認識カメラ１０７と、前記パレット用昇降テーブル１０３〜１０６上のパレット１０８と前記検査用ソケット１０２との間で電子部品６を移動させるための電子部品移動装置１１０と、パレット用昇降テーブル間でパレット１０８を移動させるための吸着式パレット移載装置１１１とを備えている。
【００７３】
前記検査用ソケット１０２は、電子部品６（図示せず）に対して電気的な検査を行うためのもので、電子部品６が一つ装填されるように構成されている。
前記パレット用昇降テーブル１０３〜１０６は、多数の電子部品６を収納した複数のパレット１０８を上下方向に重ねた状態で支持するとともに、これらのパレット１０８を昇降させることができるように構成されている。
前記部品認識カメラ１０７は、電子部品６を下方から撮像し、後述する電子部品移動装置１１０の吸着ノズル１９（図示せず）に対する電子部品６の位置を画像処理によって検出するためのものである。
【００７４】
前記電子部品移動装置１１０は、基台１０１上にＹ方向に延びるように設けられた一対の第１のガイドレール１１と、これらの第１のガイドレール１１にＹ方向に移動自在に支持された第１の移動部材１３と、この第１の移動部材１３を駆動する一対の第１の駆動装置１４と、前記第１の移動部材１３の支持部１２に第２のガイドレール１５（図示せず）によってＸ方向に移動自在に支持されたヘッドユニット１６と、このヘッドユニット１６を駆動する第２の駆動装置１７などによって構成されている。
【００７５】
この実施の形態による電子部品移動装置１１０においては、前記第１の駆動装置１４と第２の駆動装置１７とのうち移動部材（第１の移動部材１３、ヘッドユニット１６）の移動距離が長くなる方の駆動装置、すなわち第１の駆動装置１４のみにボールナット用モータ３０が設けられている。
【００７６】
前記パレット移載装置１１１は、一対のボールねじ式のＹ方向駆動装置１２１，１２１と、これらのＹ方向駆動装置１２１，１２１間に横架された支持部材１２２と、この支持部１２２に昇降可能に設けられるとともに下端部に吸着ノズル（図示せず）が設けられたパレット用吸着ヘッド１２３などによって構成されている。
前記Ｙ方向駆動装置１２１は、上述した第１の駆動装置１４と同じ構成が採られており、ボールナット用モータ３０の駆動により支持部材１２２の移動速度を高めることができるように構成されている。
【００７７】
図１２に示したＩＣハンドラー１００によれば、第１の移動部材１３とヘッドユニット１６とのうち移動距離が相対的に長くなる方の第１の移動部材１３を駆動する第１の駆動装置１４にボールナット用モータ３０が設けられている。このため、このＩＣハンドラー１００においては、検査用ソケット１０２とパレット１０８との間の長い距離を第１の移動部材１３が短時間で移動するようになる。このため、このＩＣハンドラー１００においては、ボールナット用モータ３０によって効率よく移動時間の短縮を図ることができる。
【００７８】
（第５の実施の形態）
本発明に係る電子部品移動装置を装備した表面実装機は図１３〜図２４に示すように構成することができる。
図１３は請求項４に記載した発明に係る表面実装機の平面図、図１４は同じく正面図、図１５は図１３におけるIII−III線断面図、図１６はヘッドユニットの平面図、図１７はヘッドユニットを分割した状態を示す平面図、図１８はヘッドユニットの正面図、図１９はヘッドユニットの側面図である。
図２０は中空モータの断面図、図２１は小型のプリント配線板を使用する場合の状態を示す平面図、図２２は大型のプリント配線板を使用する場合の状態を示す平面図、図２３は本発明に係る表面実装機の概略構成を示す斜視図、図２４はメンテナンス時の状態を示す図である。
【００７９】
これらの図において、符号２０１で示すものは、この実施の形態による表面実装機を示す。この表面実装機２０１は、基台２０２の上に後述する各装置を搭載することによって構成されている。基台２０２上には、図１３において左右方向に延びる搬送装置２０３が設けられている。この搬送装置２０３は、基台２０２の一端部（図１３においては右側の端部）から他端部にプリント配線板２０４を搬送するもので、一対のコンベア２０５，２０６を備えている。
【００８０】
この搬送装置２０３がプリント配線板２０４を搬送する方向が請求項４記載の発明でいう第２の方向になり、この第２の方向とは直交する方向が第１の方向になる。以下においては、前記第２の方向を単にＸ方向といい、前記第１の方向を単にＹ方向という。また、図１３において下側を装置前側といい、上側を装置後側という。
【００８１】
搬送装置２０３は、基台２０２におけるＹ方向の中央部に位置付けられている。また、この搬送装置２０３を構成する一対のコンベア２０５，２０６のうち、装置前側のコンベア２０５は基台２０２にＹ方向へは移動することがないように固定されており、装置後側のコンベア２０６は、幅変更装置２０７（図１５参照）によってＹ方向に平行移動可能に構成されている。この実施の形態による搬送装置２０３は、３枚のプリント配線板２０４をＸ方向下流部のものから順次搬送し、あるいは複数あるいは全てを同時に搬送し、３箇所の実装位置に位置決めして保持することができるように構成されている。
【００８２】
基台２０２における前記搬送装置２０３の両側方であって装置前側の端部と装置後側の端部とには多数のパーツフィーダー２０８，２０８…からなる電子部品供給装置２０９が設けられている。これらのパーツフィーダー２０８の電子部品供給部２０８ａの高さは、図１５に示すように、搬送装置２０３上のプリント配線板２０４と略同じ高さに位置付けられている。図１５において、装置前側（同図において左側）に位置する電子部品供給装置２０９の上方に位置する符号２１０で示すものは、基台２０２に支持されるとともに、表示装置および操作入力装置を備え、この表面実装機２０１を操作するための操作装置である。
【００８３】
前記基台２０２の上には、図１３〜図１５に示すように、電子部品２１１（図１８、図１９参照）を電子部品供給装置２０９からプリント配線板２０４に移載するための第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３が設けられている。これら第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３は、第３の電子部品移載ユニット２２３のものが他のものに対しＹ方向の垂直面を境として対称構造とされるが、基本的な構成は同一のものである。
【００８４】
これら第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３のうち、プリント配線板２０４の搬送方向（以下、基板搬送方向という）の上流側から数えて１番目と２番目に位置する第１の電子部品移載ユニット２２１と第２の電子部品移載ユニット２２２とは、図１３および図１４に示すように、後述するヘッドユニット２２４が支持部材２３２に対し基板搬送方向下流側の側方に位置するようにされている。一方、第３の電子部品移載ユニット２２３は、ヘッドユニット２２４が支持部材２３２に対し基板搬送方向上流側の側方に位置するようにされている。
【００８５】
第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３は、図１５および図２３に示すように、基台２０２から上方に延びるように形成されたＸ方向移動部材２２５と、このＸ方向移動部材２２５の下部に設けられたＸ方向駆動装置２２６と、前記Ｘ方向移動部材２２５の上部に設けられたヘッドユニット２２４およびＹ方向駆動装置２２７などによって構成されている。前記Ｘ方向移動部材２２５によって、請求項４記載の発明でいう第２方向移動部材が構成されている。
【００８６】
Ｘ方向移動部材２２５は、図１５および図２３に示すように、上下方向に延びる一対の脚部材２３１と、これらの脚部材２３１の上端部どうしを接続するようにＹ方向に延びる支持部材２３２とから構成されている。
脚部材２３１は、基台２０２上に設けられた一対のＸ方向ガイドレール２３３に移動自在に支持されている。Ｘ方向ガイドレール２３３は、それぞれ図１３および図１４に示すように、基台２０２のＸ方向の一端部から他端部に延びるように基台２０２上に固定されている。
【００８７】
脚部材２３１の下端部２３１ａは、図１４に示すように、上端部２３１ｂに較べてＸ方向の一方に突出し、Ｘ方向の長さが長くなるように形成されている。この下端部２３１ａは、前記上端部２３１ｂに対してヘッドユニット２２４が位置するＸ方向の一方に突出している。この実施の形態においては、前記下端部２３１ａのＸ方向の長さは、下端部２３１ａのＸ方向の先端面がヘッドユニット２２４の端面と同一平面上に位置するように形成されている。
【００８８】
前記脚部材２３１の下端部２３１ａには、後述するＸ方向駆動装置２２６の中空モータ２３４が設けられ、脚部材２３１の上下方向の中央部には部品認識装置２３５が設けられている。この部品認識装置２３５は、ヘッドユニット２２４の後述する吸着ノズル２３６に吸着された電子部品２１１を下方から撮像するためのものである。この部品認識装置２３５は、Ｘ方向を指向するカメラ２３７（図１３参照）と、このカメラ２３７に上方からの光を導くための反射鏡２３８とを備えている。ヘッドユニット２２４が反射鏡２３８上方を、電子部品供給装置２０９上方からＹ方向に移動する際、カメラ２３７は、ＣＣＤエリアセンサにより、複数の吸着ノズルの先端部の画像を同時に瞬間的に取り込む。なお、部品認識装置２３５のカメラ部をラインセンサで構成しても良い。この場合、ヘッドユニット２２４がラインセンサの受光スリットの上方を通過する際、速度を落とす必要がない。
【００８９】
前記支持部材２３２は、図１４および図１５に示すように、前記脚部材２３１の上端部の上に載せられた状態で脚部材２３１に固定されている。また、この支持部材２３２のＹ方向の両端部は、前記脚部材２３１より装置前側と装置後側とに突出するように形成されている。支持部材２３２のＹ方向の両端の位置は、図１３および図１５に示すように、前記パーツフィーダー２０８の上方に臨むように位置付けられている。
【００９０】
前記Ｘ方向移動部材２２５を駆動するＸ方向駆動装置２２６は、図１３〜図１５に示すように、基台２０２上にＹ方向に対をなすように設けられて前記脚部材２３１を移動自在に支持する前記Ｘ方向ガイドレール２３３と、これらのＸ方向ガイドレール２３３と隣接する部位に位置付けられたＸ方向ボールねじ軸２４１と、このＸ方向ボールねじ軸２４１に螺合するボールナット２４２（図２０参照）と、前記脚部材２３１の下端部に取付けられた中空モータ２３４とから構成されている。前記Ｘ方向ボールねじ軸２４１によって請求項５記載の発明でいう第２方向ボールねじ軸が構成されている。
【００９１】
前記Ｘ方向ボールねじ軸２４１は、図１３および図１４に示すように、基台２０２のＸ方向の一端部から他端部に延びるように形成されており、両端部に設けられた取付部材２４４によって基台２０２の上面近傍に固定されている。このＸ方向ボールねじ軸２４１は、一対のＸ方向ガイドレール２３３の内側近傍にＹ方向に対をなすように設けられている。なお、Ｘ方向ガイドレール２３３とＸ方向ボールねじ軸２４１は、第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３に共有されており、第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３をＸ方向に移動させるために用いられる。
【００９２】
前記ボールナット２４２は、一般的なボールねじ機構に装備されているものと同じ構造のものが用いられ、図２０に示すように、後述する中空モータ２３４のロータ２４５に取付けられている。
中空モータ２３４は、ブラシレスサーボモータであって、図２０に示すように、Ｘ方向ボールねじ軸２４１が遊嵌状態で貫通するロータ２４５と、このロータ２４５を軸受２４６，２４７によって回転自在に支持するステータ２４８などによって構成されている。
【００９３】
前記ロータ２４５は、筒状に形成された回転軸２４５ａと、この回転軸２４５ａの外周部に固着した永久磁石２４５ｂなどによって構成されている。前記回転軸２４５ａの軸線方向の一端部（図２０においては上端部）には、他の部位より外径が大きくなるように大径部２４５ｃが形成されている。この大径部２４５ｃには、前記ボールナット２４２が嵌合した状態で固定用ボルト２４９によって固定されている。
【００９４】
前記ステータ２４８は、前記永久磁石２４５ｂと対向するコイル２４８ａと、回転検出用のエンコーダ（図示せず）などを備え、前記脚部材２３１に突設されたモータ支持用ブラケット２５０に取付けられている。
このように中空モータ２３４が取付けられた脚部材２３１は、中空モータ２３４のロータ２４５が回転し、ボールナット２４２がロータ２４５と一体に回転してＸ方向ボールねじ軸２４１に対してＸ方向に移動することによって、ステータ２４８と一体となってＸ方向ガイドレール２３３に沿ってＸ方向に移動する。
【００９５】
前記ヘッドユニット２２４は、図１４および図１５に示すように、前記支持部材２３２の一側面（Ｘ方向の一端面）に設けられたＹ方向ガイドレール２５１によって支持部材２３２にＹ方向に移動自在に支持されている。Ｙ方向ガイドレール２５１は、支持部材２３２のＹ方向の一端部から他端部に延びるように形成されており、支持部材２３２の前記一側面に上下方向に対をなすように取付けられている。
【００９６】
ヘッドユニット２２４は、図１６に示すように、前記Ｙ方向ガイドレール２５１にスライダ２５２を介して移動自在に支持された第１および第２の支持用プレート２５３，２５４と、これらの支持用プレート２５３，２５４に支持された複数の吸着ヘッド２５５および１台の下方撮像用カメラ２５６などによって構成されている。
【００９７】
前記第１の支持用プレート２５３と第２の支持用プレート２５４とは、図１６に示すように、支持部材２３２の側面（Ｘ方向の一端面）と平行に上下方向に延びるように形成されており、前記スライダ２５２によってＹ方向ガイドレール２５１を介して支持部材２３２にそれぞれＹ方向に移動可能に支持されている。また、これら第１、第２の支持用プレート２５３，２５４どうしは、Ｙ方向に並ぶ状態で互いに接続されており、上端部に設けられた連結部材２５７によって離れることがないように結合されている。
【００９８】
連結部材２５７は、ボルト２５８によって第１の支持用プレート２５３と第２の支持用プレート２５４とに固定されている。この実施の形態においては、第１の支持用プレート２５３に対して第２の支持用プレート２５４をＸ方向と上下方向とに位置決めするために、これら両プレート２５３，２５４の結合部分に位置決め用ピン２５９が設けられている。この位置決め用ピン２５９は、第１の支持用プレート２５３における第２の支持用プレート２５４に接続される端部に立設されており、第２の支持用プレート２５４に穿設されたピン孔２５９ａ（図１７参照）に嵌合する。
【００９９】
前記第１、第２の支持用プレート２５３，２５４のうち、図１６において下側に位置する第１の支持用プレート２５３には、前記下方撮像用カメラ２５６が取付けられている。このカメラ２５６は、パーツフィーダー２０８の電子部品供給部２０８ａにある電子部品２１１と、プリント配線板２０４のフィデューシャルマーク位置を検出し、電子部品２１１を吸着するときやプリント配線板２０４上の所定位置に電子部品１１を実装するときに、ヘッドユニット２２４の位置を補正するためのものである。
【０１００】
この実施の形態においては、このカメラ２５６は、第１の支持用プレート２５３のＹ方向第２の支持用プレート２５４側の端部であって、Ｘ方向、支持部材２３２とは反対側の側部に取付けられている。この実施の形態によるカメラ２５６は、第１の支持用プレート２５３に第２の支持用プレート２５４を取付けることによって形成された組立体のＹ方向の中央部に位置付けられている。第１の支持用プレート２５３には、カメラ２５６が支持部材２３２とは反対側に大きく突出するのを防ぐためにカメラ収納用凹部２５３ａが形成されている。カメラ２５６は、この凹部２５３ａ内に一部が臨む状態で第１の支持用プレート２５３に取付けられている。
【０１０１】
前記吸着ヘッド２５５は、この実施の形態では８台装備されており、図１６に示すように、前記第１の支持用プレート２５３に設けられた第１のフレーム２６１と、第２の支持用プレート２５４に設けられた第２のフレーム２６２とにそれぞれ支持されている。８台の吸着ヘッド２５５は、第１、第２のフレーム２６１，２６２への取付位置が互いに異なることによる形状の相違はあるものの、全て同じ構造のものが使用されている。
【０１０２】
前記第１のフレーム２６１と第２のフレーム２６２とは、第１、第２の支持用プレート２５３，２５４からＸ方向、支持部材２３２とは反対側に延びるように形成されている。これらの第１、第２のフレーム２６１，２６２のＸ方向の先端部どうしは、連結部材２６３を介して互いに連結されている。この連結部材２６３は、ボルト２６４によって第１、第２のフレーム２６１，２６２に取付けられている。これらの第１のフレーム２６１と第２のフレーム２６２とには、４台の吸着ヘッド２５５がそれぞれＸ方向に並ぶように設けられている。
【０１０３】
第１のフレーム２６１側の４台の吸着ヘッド２５５は、第１のフレーム２６１における第２のフレーム２６２に対向する側部に設けられている。第２のフレーム２６２側の４台の吸着ヘッド２５５は、第２のフレーム２６２における第１のフレーム２６１に対向する側部に設けられている。Ｘ方向に並ぶ４台の吸着ヘッド２５５のうち、中央部に位置する２台の吸着ヘッド２５５，２５５は、両側の２台の吸着ヘッド２５５，２５５に較べてＹ方向の外側に偏る位置に設けられている。
【０１０４】
各吸着ヘッド２５５は、図１８および図１９に示すように、第１、第２のフレーム２６１，２６２に上下方向に延びるガイドレール２６５およびスライダ２６６を介して昇降自在に支持された昇降部材２６７と、この昇降部材２６７を昇降させるための上下方向駆動装置２６８と、前記昇降部材２６７の下端部に設けられた回転駆動装置２６９とから構成されている。この回転駆動装置２６９の下端部（吸着ノズル保持部材）に、吸着ノズル２３６が脱着可能に取付けられ、回転駆動装置２６９は吸着ノズル２３６を上下方向の軸線回りに回動させる。
前記回転駆動装置２６９は、吸着ノズル２３６と同一軸線上に位置するモータによって構成されている。このモータの回転軸は、図示してはいないが、吸着ノズル２３６を支持する軸部材に連結されている。２７０は回転駆動装置２６９を介して吸着ノズル２３６へ負圧を導く負圧供給管である。
【０１０５】
前記上下方向駆動装置２６８は、前記昇降部材２６７を上下方向に貫通する状態で第１、第２のフレーム２６１，２６２に回転自在に支持されたボールねじ軸２７１と、このボールねじ軸２７１の上端部に接続されてボールねじ軸２７１を回転させる昇降用モータ２７２と、前記ボールねじ軸２７１に螺合するとともに、前記昇降部材２６７に固定されたボールナット２７３とから構成されている。
【０１０６】
この実施の形態による吸着ヘッド２５５においては、上下方向駆動装置２６８による駆動によって吸着ノズル２３６が上下方向に移動し、回転駆動装置２６９による駆動によって吸着ノズル２３６が上下方向の軸線回りに回動する。
前記回転駆動装置２６９と吸着ノズル２３６とは、図１６に示すように、平面視においてヘッドユニット２２４の中央部に位置付けられている。詳述すると、第１のフレーム２６１に装着された４台の吸着ヘッド２５５の吸着ノズル２３６は、下方撮像用カメラ２５６と隣接する位置においてＸ方向に一列に並べられている。また、第２のフレーム２６２に装着された４台の吸着ヘッド２５５の吸着ノズル２３６は、第１のフレーム２６１側の４つの吸着ノズル２３６に対してＹ方向に隣接する位置においてＸ方向に一列に並べられている。
【０１０７】
すなわち、この実施の形態によるヘッドユニット２２４には、Ｘ方向に並ぶ４本の吸着ノズル２３６がＹ方向に２列となるように設けられている。下方撮像用カメラ２５６は、Ｙ方向においては、この２列の吸着ノズル２３６の中間部に位置する。これらの吸着ノズル２３６のＸ方向の間隔（ノズルピッチ）は、パーツフィーダー２０８どうしの間隔（フィーダピッチ）と一致するように設定されている。
【０１０８】
上述したヘッドユニット２２４を支持部材２３２に対してＹ方向に移動させるＹ方向駆動装置２２７は、図１３〜図１６に示すように、支持部材２３２に設けられてヘッドユニット２２４をＹ方向に移動自在に支持する前記一対のＹ方向ガイドレール２５１，２５１と、これらのＹ方向ガイドレール２５１，２５１どうしの間に位置付けられたＹ方向ボールねじ軸２８１と、このＹ方向ボールねじ軸２８１に螺合するボールナット（図示せず）と、前記ヘッドユニット２２４の第１の支持用プレート２５３に支持された中空モータ２８２（図１６参照）と、前記Ｙ方向ボールねじ軸２８１の一端部に接続された副駆動用モータ２８３とから構成されている。この副駆動用モータ２８３の不図示のステータを支持するケースは、軸受部材２８５のケースを介して支持部材２３２に固着されている。
【０１０９】
前記Ｙ方向ボールねじ軸２８１によって請求項４記載の発明でいう第１方向ボールねじ軸が構成されている。このＹ方向ボールねじ軸２８１は、図１５に示すように、支持部材２３２のＹ方向の一端部から他端部に延びるように形成されており、両端部に設けられた軸受部材２８４によって支持部材２３２に回転自在、かつＹ方向に移動が規制された状態で支持されている。
【０１１０】
Ｙ方向駆動装置２２７のボールナットと中空モータ２８２とは、上述したＸ方向駆動装置２２６に使用した中空モータ３４と同様の構造のものが用いられている。この中空モータ２３４は、図１６および図１７に示すように、前記第１の支持用プレート２５３に突設されたブラケット２８５に取付けられている。
【０１１１】
前記副駆動用モータ２８３は、前記中空モータ２８２の駆動によりボールナットが回転するときの反力を受けてＹ方向ボールねじ軸２８１を支持部材２３２に対して固定する第１の運転状態と、前記中空モータ２８２の駆動によりボールナットが回転する方向とは逆方向にＹ方向ボールねじ軸２８１を回転させる第２の運転状態とを切り換えることができるように構成されている。
【０１１２】
この副駆動用モータ２８３が第１の運転状態にあるときは、ヘッドユニット２２４は中空モータ２８２による駆動のみによって支持部材２３２に対してＹ方向に移動する。また、中空モータ２８２による駆動によってヘッドユニット２２４が移動するときに副駆動用モータ２８３が第２の運転状態とすると、ヘッドユニット２２４は、中空モータ２８２のみの駆動により移動する場合に較べて速い速度で移動することになる。
【０１１３】
上述したように構成された表面実装機２０１においては、プリント配線板２０４の大きさに対応した実装形態を採ることによって、常に実装効率が高くなるようにプリント配線板２０４に電子部品２１１を実装する。例えば、図２１に示すように、プリント配線板２０４が相対的に小型である場合は、コンベア２０５，２０６上３箇所において、プリント配線板２０４を固定できるようにし、第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３によりそれぞれの実装位置に固定されたプリント配線板２０４に、分担して電子部品２１１を実装する。プリント配線板２０４は、３箇所の実装位置で順次電子部品２１１が実装されることで、部品実装が完了となる。
【０１１４】
この電子部品２１１の実装は、第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３において同時並行的に行われる。各電子部品移載ユニット２２１〜２２３においては、Ｘ方向駆動装置２２６による駆動によってＸ方向移動部材２２５がＸ方向に移動し、Ｙ方向駆動装置２２７による駆動によってヘッドユニット２２４がＹ方向に移動する。また、各ヘッドユニット２２４の上下方向駆動装置２６８による駆動によって吸着ノズル２３６が昇降し、回転駆動装置２６９による駆動によって吸着ノズル２３６が回動する。
【０１１５】
各電子部品移載ユニット２２１〜２２３の吸着ノズル２３６によって電子部品２１１を吸着するときには、基台２０２のＹ方向の一端部に設けられている電子部品供給装置２０９と、他端部に設けられている電子部品供給装置２０９との両方を使用することができる。
【０１１６】
この実施の形態による表面実装機２０１においては、ノズルピッチとフィーダピッチとが一致しているために、電子部品供給装置２０９で電子部品２１１を吸着するときにＸ方向に並ぶ４本の吸着ノズル２３６によって最大４個の電子部品２１１を一度に吸着することができる。
ヘッドユニット２２４は、８本の吸着ノズル２３６が電子部品２１１を吸着した後、電子部品供給装置２０９の上方からＸ方向ガイドレール２３３を越えて搬送装置２０３側に移動する。
【０１１７】
このとき、ヘッドユニット２２４が部品認識装置２３５の上方を横切ることになり、部品認識装置２３５が８個の電子部品２１１を下方から一度に撮像する。この撮像結果に基づいて各電子部品２１１の吸着ノズル２３６に対する吸着位置が検出され、この検出された吸着位置ずれ量に基づいたヘッドユニット２２４位置の補正がされつつ、各電子部品２１１がプリント配線板２０４の所定の実装位置に実装される。ヘッドユニット２２４が長い距離にわたってＹ方向に移動するときは、Ｙ方向駆動装置２２７の中空モータ２８２による駆動と副駆動用モータ２８３による駆動とによってヘッドユニット２２４を高速で移動させる。これにより、実装効率を向上することができる。
【０１１８】
図２１により、第２及び第３の電子部品移載ユニット２２２、２２３において、ヘッドユニット２２４、２２４を対向して移動可能にしていることの特徴を説明する。
第３の電子部品移載ユニット２２３により最下流位置にあるプリント配線板２０４に電子部品２１１を実装中、第２の電子部品移載ユニット２２２は、電子部品供給部２０８ａの電子部品２１１を吸着ノズル２３６で吸着している。第２の電子部品移載ユニット２２２は、部品認識装置２３５どうしが衝突し合わない位置まで、第３の電子部品移載ユニット２２３に近づけることができる。
【０１１９】
この結果、第３の電子部品移載ユニット２２３のヘッドユニット２２４の真下となる、最下流位置のプリント配線板２０４の実装位置に対して、第２の電子部品移載ユニット２２２のヘッドユニット２２４をＸ方向でより近づけることができる。すなわち、一対の電子部品移載ユニットの内一方が実装中に、他方の電子部品移載ユニットは、自身の実装対象のプリント配線板２０４中央部からＸ方向広い範囲（Ｌ）にある電子部品を吸着することができ、他方の電子部品移載ユニットのＸ方向広い範囲（Ｌ）にある電子部品を吸着のため、一方の電子部品移載ユニットの実装を中止する必要がなく、実装効率を向上できる。
【０１２０】
一方、プリント配線板２０４が大型である場合は、図２２に示すように、１枚のプリント配線板２０４に第２、第３の電子部品移載ユニット２２２，２３によって同時に電子部品２１１を実装する。この場合、搬送装置２０３上に２枚の大型のプリント配線板２０４を保持させ、第１の電子部品移載ユニット２２１によって他方のプリント配線板２０４に電子部品を実装する。この実装形態を採る場合には、第２の電子部品移載ユニット２２２によって両方のプリント配線板２０４に電子部品２１１を実装することもできる。
【０１２１】
この実施の形態による表面実装機２０１においては、Ｘ方向移動部材２２５に設けられた中空モータ２３４がボールナット２４２を回転させることによって、Ｘ方向移動部材２２５がＸ方向ガイドレール２３３に沿って移動する。前記中空モータ２３４を有するＸ方向駆動装置２２６は、Ｘ方向ボールねじ軸を回転させてボールナットを移動させる一般的なボールねじ機構に較べて、中空モータ２３４の回転速度を高くすることができる。
【０１２２】
これは、この実施の形態に示すＸ方向ボールねじ軸２４１のように長いボールねじ軸は、回転時の慣性負荷が大きくなるからである。このように慣性負荷が大きいボールねじ軸を回転させる場合、相対的に短いボールねじ軸に較べて同じ加速度を得るためにはモータを大型化しなければならない。すなわち、中空モータ２３４を回転させることにより、このような慣性負荷の増大による不具合を解消することができ、モータを大型化することなく高速で回転させることができる。
【０１２３】
また、一般に、ボールねじ軸は、停止させるときにボールナットに較べて大きな慣性が作用するために、高い精度でボールナットを停止させるためには回転速度を高めるにも限界があり、この点からも回転速度の制約を受けるものである。
したがって、この実施の形態によれば、Ｘ方向移動部材２２５をボールねじ軸が回転する構成のボールねじ機構によって駆動する場合に較べて高速で移動させることができ、実装効率をより一層向上させることができる。
【０１２４】
この実施の形態による表面実装機２０１においては、ヘッドユニット２２４も中空モータ２３４を有するＹ方向駆動装置２２７によって駆動することができる。このＹ方向駆動装置２２７は、上述したように、ボールねじ軸を回転させる構成の駆動装置に較べてモータの回転速度を高めることができる。
このため、この実施の形態によれば、ヘッドユニット２２４を高速で移動させることができ、さらに実装効率を向上させることができる。
【０１２５】
この実施の形態による表面実装機２０１において、ヘッドユニット２２４に装備されている吸着ヘッド２５５のメンテナンスは、図１７に示すように、ヘッドユニット２２４を分解した状態で行う。このときは、連結部材２５７，６３のボルト２５８，２６４を取外して第２の支持用プレート２５４を第１の支持用プレート２５３から離すとともに、第２のフレーム２６２を第１のフレーム２６１から離す。
【０１２６】
第１の支持用プレート２５３と第２の支持用プレート２５４とは、それぞれスライダ２５２を介してＹ方向ガイドレール２５１に移動自在に支持されている。このため、第２の支持用プレート２５４を第１の支持用プレート２５３から離間するように移動させることによって、第１のフレーム２６１側の４台のヘッドユニット２２４と、第２のフレーム２６２側の４台のヘッドユニット２２４との間を広く開放することができる。
【０１２７】
各吸着ヘッド２５５のメンテナンスは、この広い空間に例えば図２４に示すように装置前側または装置後側から作業者Ｍが手をのばすことによって行うことができる。このとき、作業者Ｍとヘッドユニット２２４との間には基台２０２上のＸ方向ガイドレール２３３とＸ方向ボールねじ軸２４１しかないため、他の部品が邪魔になることはない。
【０１２８】
（第６の実施の形態）
第５の実施の形態ではＹ方向駆動装置２２７に副駆動用モータ２８３を設ける例を示したが、副駆動用モータ２８３は、図２５〜図２７に示すように、Ｘ方向駆動装置２２６のＸ方向ボールねじ軸２４１にも設けることができる。この実施の形態による表面実装機２０１によって請求項５及び請求項６に記載した発明でいう表面実装機が構成されている。
【０１２９】
図２５はＸ方向ボールねじ軸に副駆動用モータを接続した他の実施の形態を示す構成図、図２６および図２７はＸ方向ボールねじ軸を１本として副駆動用モータを装備した他の実施の形態を示す図で、図２６は平面図、図２７は側面図である。これらの図において、前記図１３〜図２４によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
【０１３０】
図２５に示す表面実装機２０１においては、Ｘ方向ボールねじ軸２４１の一端部にＸ方向副駆動用モータ３０１が接続されている。このＸ方向副駆動用モータ３０１は基台２０２に支持されている。Ｘ方向副駆動用モータ３０１は、Ｘ方向駆動装置２２６の中空モータ２３４の駆動によりボールナット２４２が回転するときの反力を受けてＸ方向ボールねじ軸２４１を基台２０２に対して固定する第１の運転状態と、前記中空モータ２３４の駆動によりボールナット２４２が回転する方向とは逆方向にＸ方向ボールねじ軸２４１を回転させる第２の運転状態とを切り換えることができるように構成されている。
【０１３１】
この実施の形態によるＸ方向副駆動用モータ３０１は、第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３がＸ方向の同一方向に移動するときにこれらの移載ユニットの中空モータ２３４がボールナット２４２を回転させる方向とは逆方向にＸ方向ボールねじ軸２４１を回転させる。
【０１３２】
なお、このようなＸ方向ボールねじ軸２４１とボールナット２４２の駆動方法は適宜変更することができる。例えば、Ｘ方向副駆動用モータ３０１による駆動によってＸ方向ボールねじ軸２４１を回転させ、これとともに、３台ある電子部品移載ユニット２２１〜２２３のそれぞれのＸ方向駆動装置２２６において、中空モータ２３４の回転速度、回転方向を変えることによって、各電子部品移載ユニット２２１〜２２３の移動する速度、方向を変えることができる。
【０１３３】
図２６および図２７に示す表面実装機２０１は、上述した第５の実施の形態で示した表面実装機２０１に較べてＹ方向にコンパクトに形成されており、このため、第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３を１本のＸ方向ボールねじ軸２４１によって駆動する構成が採られている。このＸ方向ボールねじ軸２４１の一端部にＸ方向副駆動用モータ３０１が接続されている。このＸ方向副駆動用モータ３０１も基台２０２に支持されており、図２５で示したものと同じ動作をするように構成されている。
【０１３４】
なお、上述した第５、第６の実施の形態においては、３台の電子部品移載ユニット２２１〜２２３を装備した表面実装機２０１を示したが、電子部品移載ユニットの台数は適宜変更することができ、１台または２台搭載したり、４台、５台、６台と適宜増設することができる。なお、上記の複数の実施の形態において、Ｘ方向ガイドレール２３３，２３３及びＸ方向ボールねじ軸２４１は、基台２０２近傍に配置されているが、基台２０２に一体化される天井部材に、それぞれ固定配置し、それぞれＸ方向ボールねじ軸２４１に嵌合する中空モータで移動駆動される第１〜第３の電子部品移載ユニット２２１〜２２３を天吊り型としても良い。
【０１３５】
この場合でも、中空モータにより、各電子部品移載ユニットを高速でＸ報告に移動することができる。さらに、Ｘ方向ボールねじ軸２４１を回転自在に天井部材に支持し、このＸ方向ボールねじ軸２４１を駆動する副駆動用モータを配置するようにしても良い。ヘッドユニットを高速でＸ方向に移動可能となり、実装効率を向上できる。
また、各電子部品移載ユニットのＹ方向駆動装置を、上記の各実施の形態と同様にすることで、中空モータと副駆動用モータを使って、ヘッドユニットを高速でＹ方向に移動可能となり、実装効率を向上できる。Ｘ方向、Ｙ方向のいずれか一方あるいは両方において、中空モータと副駆動用モータを使用してヘッドユニットを移動させることで、実装効率を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【０１３６】
【図１】本発明に係る電子部品移動装置を装備した表面実装機の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る電子部品移動装置を装備した表面実装機の平面図である。
【図３】図２における基台上部のIII−III線断面図である。
【図４】要部を拡大して示す断面図である。
【図５】第１の駆動装置の要部を拡大して示す断面図である。
【図６】表面実装機の他の実施の形態を示す斜視図である。
【図７】表面実装機の他の実施の形態を示す平面図である。
【図８】表面実装機の他の実施の形態を示す平面図である。
【図９】表面実装機の他の実施の形態を示す平面図である。
【図１０】表面実装機の他の実施の形態を示す平面図である。
【図１１】表面実装機の他の実施の形態を示す平面図である。
【図１２】本発明に係る電子部品移動装置を装備したＩＣハンドラーの平面図である。
【図１３】本発明に係る表面実装機の平面図である。
【図１４】本発明に係る表面実装機の正面図である。
【図１５】図１３におけるIII−III線断面図である。
【図１６】ヘッドユニットの平面図である。
【図１７】ヘッドユニットを分割した状態を示す平面図である。
【図１８】ヘッドユニットの正面図である。
【図１９】ヘッドユニットの側面図である。
【図２０】中空モータの断面図である。
【図２１】小型のプリント配線板を使用する場合の状態を示す平面図である。
【図２２】大型のプリント配線板を使用する場合の状態を示す平面図である。
【図２３】本発明に係る表面実装機の概略構成を示す斜視図である。
【図２４】メンテナンス時の状態を示す構成図である。
【図２５】Ｘ方向ボールねじ軸に副駆動用モータを接続した他の実施の形態を示す構成図である。
【図２６】他の実施の形態を示す図である。
【図２７】他の実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
【０１３７】
１，２０１…表面実装機、２…電子部品移動装置、３，２０２…基台、８…制御装置、１２…支持部、１３…第１の移動部材、１４…第１の駆動装置、１６，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，２２４…ヘッドユニット、１７…第２の駆動装置、２１…スライド部材、２２…スライド部、２８…第１のボールねじ軸、２９…第１のボールナット、３０…第１のボールナット用モータ、３１，２４５…ロータ、３４，２４８…ステータ、４４…第２のボールねじ軸、４５…第２のボールナット、４６…第２のボールナット用モータ、５１…停止制御手段、１００…ＩＣハンドラー、２０３…搬送装置、２０９…電子部品供給装置、２２１〜２２３…第１〜第３の電子部品移載ユニット、２２５…Ｘ方向移動部材、２２６…Ｘ方向駆動装置、２３２…支持部材、２３３…Ｘ方向ガイドレール、２３４…中空モータ、２３６…吸着ノズル、２４１…Ｘ方向ボールねじ軸、２５１…Ｙ方向ガイドレール、２５５…吸着ヘッド、２８１…Ｙ方向ボールねじ軸、２８３…副駆動用モータ。
【図１】
2007194578.tif 000003
【図２】
2007194578.tif 000004
【図３】
2007194578.tif 000005
【図４】
2007194578.tif 000006
【図５】
2007194578.tif 000007
【図６】
2007194578.tif 000008
【図７】
2007194578.tif 000009
【図８】
2007194578.tif 000010
【図９】
2007194578.tif 000011
【図１０】
2007194578.tif 000012
【図１１】
2007194578.tif 000013
【図１２】
2007194578.tif 000014
【図１３】
2007194578.tif 000015
【図１４】
2007194578.tif 000016
【図１５】
2007194578.tif 000017
【図１６】
2007194578.tif 000018
【図１７】
2007194578.tif 000019
【図１８】
2007194578.tif 000020
【図１９】
2007194578.tif 000021
【図２０】
2007194578.tif 000022
【図２１】
2007194578.tif 000023
【図２２】
2007194578.tif 000024
【図２３】
2007194578.tif 000025
【図２４】
2007194578.tif 000026
【図２５】
2007194578.tif 000027
【図２６】
2007194578.tif 000028
【図２７】
2007194578.tif 000029