(57)【要約】【課題】半導体回路等を試験する試験装置において、電源電圧の瞬時低下等の電源異常からの復帰を容易にする。【解決手段】  試験装置の電源電力を供給する主電源部と、主電源部における電源電力の供給に異常が生じた場合に、電源電力を供給する補助電源部と、電源電力を受け取り、被試験デバイスと信号の授受を行い、被試験デバイスを試験する試験ブロックと、主電源部及び補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部とを備え、システム監視部は、主電源部の入力側の電源電圧を監視する電源監視部と、電源電圧の瞬時低下を検出した場合に試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロックに被試験デバイスの試験を再開させる回復部とを有する試験装置を提供する。【選択図】図１
2007121163.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記試験装置の電源電力を供給する主電源部と、
前記主電源部における前記電源電力の供給に異常が生じた場合に、前記電源電力を供給する補助電源部と、
前記電源電力を受け取り、前記被試験デバイスと信号の授受を行い、前記被試験デバイスを試験する試験ブロックと、
前記主電源部及び前記補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部と
を備え、
前記システム監視部は、
前記主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、
前記電源監視部が、前記主電源部における前記電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、前記試験ブロックによる前記被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、
前記被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、前記電源監視部が前記電源電圧の回復を検出した場合に、前記試験ブロックに前記被試験デバイスの試験を再開させる回復部と
を有する試験装置。
【請求項２】
前記システム監視部は、前記被試験デバイスの試験を停止させた後、前記所定の期間内に、前記電源電圧が回復しない場合に、前記試験ブロックへの電力供給を停止させる電源制御部を更に有する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記システム監視部は、前記電源制御部が、前記電源電圧の瞬時低下により前記試験ブロックへの電力供給を停止させた旨を示す瞬低発生情報を格納する瞬低発生情報格納部を更に有する
請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記回復部は、前記主電源部における前記電源電圧が回復した場合に、前記瞬低発生情報格納部が前記瞬低発生情報を格納していることを条件として、前記主電源部から前記試験ブロックへ前記電源電力を供給させる
請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記回復部は、前記主電源部から前記試験ブロックへ前記電源電力を供給させた場合に、前記試験ブロックを前記被試験デバイスの試験が可能な状態に設定する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記主電源部は、使用者によりスイッチがオン状態にされていることを条件として、前記電源電圧を出力し、
前記通知部は、前記電源監視部が、前記主電源部における前記電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、前記スイッチをオン状態に保持して、前記試験ブロックによる前記被試験デバイスの試験を停止させる
請求項４に記載の試験装置。
【請求項７】
前記電源制御部は、前記電源監視部が前記電源電圧の前記瞬時低下を検出してから前記所定の期間内に前記電源電圧が回復しない場合に、前記スイッチをオン状態に保持して、前記主電源部から前記試験ブロックへの前記電源電力の供給を停止させる
請求項６に記載の試験装置。
【請求項８】
前記システム監視部は、前記試験装置の温度を検出する温度検出部を更に有し、
前記電源制御部は、前記温度検出部が検出した温度が、予め定められた範囲外となった場合に、前記スイッチをオフ状態に制御し、前記主電源部からの前記電源電力の供給を停止させる
請求項７に記載の試験装置。
【請求項９】
前記システム監視部は、前記試験装置から煙が発生しているか否かを検出する煙検出部を更に有し、
前記電源制御部は、前記煙検出部が煙を検出した場合に、前記スイッチをオフ状態に制御し、前記主電源部からの前記電源電力の供給を停止させる
請求項７に記載の試験装置。
【請求項１０】
前記主電源部は、与えられる交流電力を直流電力に変換して試験装置に供給し、
前記回復部は、前記主電源部に入力される前記交流電力の電圧値に異常が生じてから、前記主電源部が出力する前記直流電力の電圧値に異常が生じるまでの期間内に、前記電源監視部が前記電源電圧の回復を検出した場合に、前記試験ブロックに前記被試験デバイスの試験を再開させる請求項１に記載の試験装置。
【請求項１１】
被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムであって、
前記試験装置を、
前記試験装置の電源電力を供給する主電源部と、
前記主電源部における前記電源電力の供給に異常が生じた場合に、前記電源電力を供給する補助電源部と、
前記電源電力を受け取り、前記被試験デバイスと信号の授受を行い、前記被試験デバイスを試験する試験ブロックと、
前記主電源部及び前記補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部と
して機能させ、
前記システム監視部を、
前記主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、
前記電源監視部が、前記主電源部における前記電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、前記試験ブロックによる前記被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、
前記被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、前記電源監視部が前記電源電圧の回復を検出した場合に、前記試験ブロックに前記被試験デバイスの試験を再開させる回復部と
して機能させるプログラム。
【請求項１２】
被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムを格納した記録媒体であって、
前記試験装置を、
前記試験装置の電源電力を供給する主電源部と、
前記主電源部における前記電源電力の供給に異常が生じた場合に、前記電源電力を供給する補助電源部と、
前記電源電力を受け取り、前記被試験デバイスと信号の授受を行い、前記被試験デバイスを試験する試験ブロックと、
前記主電源部及び前記補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部と
して機能させ、
前記システム監視部を、
前記主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、
前記電源監視部が、前記主電源部における前記電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、前記試験ブロックによる前記被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、
前記被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、前記電源監視部が前記電源電圧の回復を検出した場合に、前記試験ブロックに前記被試験デバイスの試験を再開させる回復部と
して機能させるプログラムを格納した記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置、試験装置を機能させるプログラム、及びプログラムを格納した記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置は、電力系統から与えられる電源電力により駆動する。しかし、電力系統から与えられる電源電力は、落雷等の原因により電圧が瞬時低下する場合がある。電源電圧が低下すると、被試験デバイスの試験を精度よく行なうことできず、また試験装置等の故障原因となる場合がある。
【０００３】
このため、従来の試験装置においては、電源電圧の瞬時低下を検出した場合、被試験デバイスの試験を中止し、また試験装置全体に対する電源電力供給を停止している。これにより、被試験デバイスの良否の誤判定を防ぎ、また試験装置等が故障することを防いでいる。
【０００４】
現在、関連する特許文献等は認識していないので、その記載を省略する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の試験装置は、電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、試験装置全体の電源をオフにしてしまう。このため、電源電圧が回復して、被試験デバイスの試験を再開する場合、試験装置の立ち上げを行う必要がある。例えば、使用者が試験装置の電源スイッチをオンにし、試験装置の設定を行う必要がある。
【０００６】
また、多数の被試験デバイスを試験するべく、複数の試験装置を並列に動作させる場合がある。この場合、電源電圧の瞬時低下が発生すると、それぞれの試験装置について、使用者が立ち上げ処理を行う必要があるので、非常に時間がかかってしまう。
【０００７】
また、電源電圧の瞬時低下が発生した場合に、試験装置に電源電力を供給する補助電源を設けることも考えられる。しかし、当該補助電源により試験装置全体の電力供給をバックアップするには、大容量の補助電源が必要となる。
【０００８】
このため本発明は、上述した課題を解決することのできる試験装置、プログラム、及び記録媒体を提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、試験装置の電源電力を供給する主電源部と、主電源部における電源電力の供給に異常が生じた場合に、電源電力を供給する補助電源部と、電源電力を受け取り、被試験デバイスと信号の授受を行い、被試験デバイスを試験する試験ブロックと、主電源部及び補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部とを備え、システム監視部は、主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、電源監視部が、主電源部における電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源監視部が電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロックに被試験デバイスの試験を再開させる回復部とを有する試験装置を提供する。
【００１０】
システム監視部は、被試験デバイスの試験を停止させた後、所定の期間内、例えば電源の正常出力が保証されている期間内に、電源電圧が回復しない場合に、試験ブロックへの電力供給を停止させる電源制御部を更に有してよい。システム監視部は、電源制御部が、電源電圧の瞬時低下により試験ブロックへの電力供給を停止させた旨を示す瞬低発生情報を格納する瞬低発生情報格納部を更に有してよい。
【００１１】
回復部は、主電源部における電源電圧が回復した場合に、瞬低発生情報格納部が瞬低発生情報を格納していることを条件として、主電源部から試験ブロックへ電源電力を供給させてよい。回復部は、主電源部から試験ブロックへ電源電力を供給させた場合に、試験ブロックを被試験デバイスの試験が可能な状態に設定してよい。
【００１２】
主電源部は、使用者によりスイッチがオン状態にされていることを条件として、電源電圧を出力し、通知部は、電源監視部が、主電源部における電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、スイッチをオン状態に保持して、試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させてよい。
【００１３】
電源制御部は、電源監視部が電源電圧の瞬時低下を検出してから所定の期間内に電源電圧が回復しない場合に、スイッチをオン状態に保持して、主電源部から試験ブロックへの電源電力の供給を停止させてよい。
【００１４】
システム監視部は、試験装置の温度を検出する温度検出部を更に有し、電源制御部は、温度検出部が検出した温度が、予め定められた範囲外となった場合に、スイッチをオフ状態に制御し、主電源部からの電源電力の供給を停止させてよい。
【００１５】
システム監視部は、試験装置から煙が発生しているか否かを検出する煙検出部を更に有し、電源制御部は、煙検出部が煙を検出した場合に、スイッチをオフ状態に制御し、主電源部からの電源電力の供給を停止させてよい。
【００１６】
本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムであって、試験装置を、試験装置の電源電力を供給する主電源部と、主電源部における電源電力の供給に異常が生じた場合に、電源電力を供給する補助電源部と、電源電力を受け取り、被試験デバイスと信号の授受を行い、被試験デバイスを試験する試験ブロックと、主電源部及び補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部として機能させ、システム監視部を、主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、電源監視部が、主電源部における電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源監視部が電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロックに被試験デバイスの試験を再開させる回復部として機能させるプログラムを提供する。
【００１７】
本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を機能させるプログラムを格納した記録媒体であって、試験装置を、試験装置の電源電力を供給する主電源部と、主電源部における電源電力の供給に異常が生じた場合に、電源電力を供給する補助電源部と、電源電力を受け取り、被試験デバイスと信号の授受を行い、被試験デバイスを試験する試験ブロックと、主電源部及び補助電源部のいずれからも電源電力が供給可能に設けられたシステム監視部として機能させ、システム監視部を、主電源部の入力側における電源電圧を監視する電源監視部と、電源監視部が、主電源部における電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、試験ブロックによる被試験デバイスの試験を停止させる通知部と、被試験デバイスの試験を停止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源監視部が電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロックに被試験デバイスの試験を再開させる回復部として機能させるプログラムを格納した記録媒体を提供する。
【００１８】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２０】
図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。試験装置１００は、半導体回路等の被試験デバイスを試験する装置であって、主電源部１０、交流電源１２、補助電源部２０、試験ブロック３０、及びシステムブロック４０を備える。
【００２１】
交流電源１２は、交流電力を主電源部１０に供給する。例えば、交流電源１２は、外部の電力系統から交流電力を受け取り、主電源部１０に供給してよい。この場合、交流電源１２は、外部の電力系統と、主電源部１０との間で交流電力を伝送する伝送手段であってよい。また交流電源１２は、交流電力を発電する発電装置であってもよい。主電源部１０は、試験装置１００に電源電力を供給する。例えば、主電源部１０は、交流電源１２から交流電力を受け取り、当該交流電力を直流電力に変換してよい。そして、主電源部１０は、当該直流電力を、試験ブロック３０及びシステムブロック４０に分配してよい。
【００２２】
主電源部１０は、第１電源１６、及び第２電源１４を有する。第１電源１６は、システムブロック４０に電源電力を供給する。また、第２電源１４は、試験ブロック３０に電源電力を供給する。第１電源１６及び第２電源１４は、交流電源１２から与えられる交流電力を直流電力に変換し、試験ブロック３０及びシステムブロック４０に供給する。
【００２３】
補助電源部２０は、主電源部１０の入力側における電源電圧、即ち交流電源１２が出力する電源電圧に異常が生じた場合に、システムブロック４０に電源電力を供給する。補助電源部２０は、通常時に外部の電力系統により充電される電池であってよく、また電源電力を生成する発電装置であってもよい。
【００２４】
試験ブロック３０は、試験制御部３２、試験部３４、試験電圧検出部３６、及び冷却検出部３８を有する。試験部３４は、電源電力を受け取り、被試験デバイスＤＵＴと信号の授受を行い、被試験デバイスＤＵＴを試験する。例えば試験ブロック３０は、被試験デバイスＤＵＴの機能試験、ＩＤＤＱ試験等を行う装置であってよい。また、試験制御部３２は、試験部３４を制御する。例えば、試験制御部３２は、与えられる試験プログラムに応じて、試験部３４を制御してよい。
【００２５】
試験電圧検出部３６は、例えば主電源部１０から試験ブロック３０に供給される電源電圧を検出する。試験電圧検出部３６は、検出した電源電圧が、予め定められた基準値より小さいか否かを判定してよい。また、冷却検出部３８は、例えば試験部３４を冷却する冷却装置が正常に駆動しているか否かを検出する。
【００２６】
システムブロック４０は、システム監視部５０、温度検出部４２、及び煙検出部４４を有する。システム監視部５０は、試験装置１００の状態を監視する装置であって、主電源部１０及び補助電源部２０のいずれからも電源電力が供給可能に設けられる。例えば、通常においては、主電源部１０がシステム監視部５０に電源電力を供給してよい。また、主電源部１０からの電源供給に異常が生じた場合には、補助電源部２０がシステム監視部５０に電源電力を供給してよい。これにより、システム監視部５０は、例えば外部の電力系統からの電力供給が瞬時電圧低下又は瞬時停電した場合であっても、試験装置１００の状態を監視することができる。
【００２７】
温度検出部４２は、試験装置１００の温度を検出する。温度検出部４２は、検出した温度が、所定の温度範囲内であるか否かを判定してよい。また、煙検出部４４は、試験装置１００から煙が発生しているか否かを検出する。システム監視部５０は、試験電圧検出部３６、冷却検出部３８、温度検出部４２、及び煙検出部４４が異常を検出した場合に、被試験デバイスＤＵＴの試験を中断してよい。また、温度検出部４２及び煙検出部４４が異常を検出した場合には、システム監視部５０は、主電源部１０から試験装置１００への電源電力の供給を停止させてよい。
【００２８】
また、システム監視部５０は、主電源部１０の入力側における電源電圧を監視する。また、システム監視部５０は、主電源部１０の出力側における電源電圧を監視してもよい。そして、主電源部１０の入力側における電源電圧に異常が生じたか否かに応じて、試験ブロック３０を制御する。例えば、主電源部１０の入力側における電源電圧が瞬時低下した場合、システム監視部５０は、試験部３４による被試験デバイスＤＵＴの試験を停止させる。電源電力の供給停止の前に、予め試験ブロック３０の動作を停止させることにより、試験ブロック３０及び被試験デバイスＤＵＴの故障等を防ぐことができる。
【００２９】
そして、システム監視部５０は、主電源部１０の入力側における電源電圧の低下が、予め定められた所定の期間内に回復した場合、試験部３４に被試験デバイスＤＵＴの試験を再開させる。また、システム監視部５０は、主電源部１０の入力側における電源電圧の低下が、予め定められた所定の期間内に回復しない場合、試験ブロック３０への電源電力の供給を停止させる。
【００３０】
交流電源１２が出力する電源電圧に瞬時低下等の異常が生じた場合、例えば数十〜数百ｍｓ程度の期間は、第１電源１６及び第２電源１４が出力する電源電圧は維持される。このため、当該期間の間に、主電源部１０の入力側における電源電圧が回復した場合、主電源部１０が出力する電源電圧の電圧値に異常は生じない。このため、当該期間内に電源電圧が回復した場合、システム監視部５０は、被試験デバイスＤＵＴの試験を再開させることができる。
【００３１】
また、当該期間内に電源電圧が回復しない場合、主電源部１０が出力する電源電圧の電圧値に異常が生じるおそれがある。このため、システム監視部５０は、当該期間内に電源電圧が回復しない場合、システム監視部５０は、試験ブロック３０への電源電力の供給を停止させ、デバイス破壊及び試験装置１００の誤動作等の被害を防ぐ。
【００３２】
そして、システム監視部５０は、試験ブロック３０への電源電力の供給を停止させた後に、主電源部１０の入力側における電源電圧の低下が回復した場合、主電源部１０から試験ブロック３０に電源電力を供給させる。また、システム監視部５０は、主電源部１０が出力する電源電圧の低下が回復した場合、試験ブロック３０を、被試験デバイスＤＵＴの試験が可能な状態まで復帰させる。
【００３３】
試験ブロック３０への電源電力の供給を停止させた場合であっても、システムブロック４０には、補助電源部２０から電源電力が供給される。このため、当該補助電源部２０から電力が供給できる間は、主電源部１０の入力側の電源電圧を監視することができる。通常、電源電圧の瞬時低下が１秒以上続くことは稀であるので、補助電源部２０は、システムブロック４０に２秒程度継続して電力を供給できる容量を有していればよい。
【００３４】
従来の試験装置においては、電源電圧に異常が生じた場合、試験装置全体への電力供給を停止している。このため、電源電圧の瞬時低下等が生じた場合に、試験装置を試験可能な状態に復帰させるのに時間がかかってしまう。例えば、それぞれの試験装置を使用者が立ち上げる必要があった。
【００３５】
これに対し、本例における試験装置１００は、電源電圧に異常が生じた場合であっても、試験ブロック３０への電力供給を停止させ、システムブロック４０への電力供給は停止させない。このため、システム監視部５０が電源電圧の復帰を検出することができ、自動で試験ブロック３０を試験可能な状態まで復帰させることができる。
【００３６】
図２は、システム監視部５０の構成の一例を示す図である。システム監視部５０は、電源監視部５２、電源制御部５４、通知部５６、回復部５８、及び瞬低発生情報格納部６０を有する。電源監視部５２は、主電源部１０の入力側における電源電圧を監視する。例えば、電源監視部５２は、主電源部１０の入力側における電源電圧が、予め定められた基準値より小さくなった場合に、電源電圧の瞬時低下として検出する。また、電源監視部５２は、主電源部１０が出力する電源電圧を監視してもよい。
【００３７】
通知部５６は、電源監視部５２が、主電源部１０における電源電圧の瞬時低下を検出した場合に、試験ブロック３０による被試験デバイスＤＵＴの試験を中止させる。例えば、通知部５６は、電源電圧の瞬時低下を検出した旨を、試験制御部３２に通知して、試験を中止させてよい。
【００３８】
回復部５８は、通知部５６が被試験デバイスＤＵＴの試験を中止させた後、予め定められた所定の期間内に、電源監視部５２が電源電圧の回復を検出した場合に、試験ブロック３０に被試験デバイスＤＵＴの試験を再開させる。例えば、回復部５８は、電源電圧が回復した旨を、試験制御部３２に通知して、試験を再開させてよい。このとき、回復部５８は、試験ブロック３０を試験可能な状態に設定することが好ましい。例えば、回復部５８は、電源電圧が回復した旨を試験制御部３２に通知して、試験プログラムを再動作させてよく、また試験部３４のキャリブレーション等を行わせてよい。
【００３９】
電源制御部５４は、通知部５６が被試験デバイスＤＵＴの試験を中止させた後、当該所定の期間内に、主電源部１０における電源電圧が回復しない場合に、主電源部１０から試験ブロック３０への電力供給を停止させる。また、電源制御部５４は、電源電圧の瞬時低下により、試験ブロック３０への電力供給を停止させた旨を示す瞬低発生情報を、瞬低発生情報格納部６０に格納する。これにより、試験ブロック３０への電力供給停止が、電源電圧の瞬時低下による停止であることを識別することができる。
【００４０】
回復部５８は、電源制御部５４が、試験ブロック３０への電力供給を停止させた後、主電源部１０における電源電圧が回復した場合に、主電源部１０から試験ブロック３０への電力供給を再開させる。このとき、回復部５８は、瞬低発生情報格納部６０が瞬低発生情報を格納していることを条件として、主電源部１０から試験ブロック３０への電源電力供給を再開させることが好ましい。
【００４１】
このような制御により、例えば電源電圧の瞬時低下とは異なる要因により、試験ブロック３０への電力供給を停止させている場合において、試験ブロック３０へ誤って電力を供給することを防ぐことができる。例えば、発熱等の問題により、試験ブロック３０を停止させている場合、回復部５８が自動的に試験ブロック３０への電力供給を再開することを防ぐことができる。
【００４２】
また、回復部５８は、試験ブロック３０への電力供給を再開させた場合、試験ブロック３０を試験可能な状態に復帰させることが好ましい。例えば、回復部５８は、電源電圧が回復した旨を試験制御部３２に通知して、試験プログラムを再動作させてよく、また試験部３４のキャリブレーション等を行わせてよい。
【００４３】
図３は、試験装置１００の動作の一例を示す状態遷移図である。試験装置１００により試験を行う場合、まず使用者により主電源部１０のブレーカがオン状態にされる（Ｓ４０２）。そして、使用者により試験装置１００のシステムスイッチがオン状態にされる（Ｓ４０４）。主電源部１０は、システムスイッチがオン状態であることを条件として、試験装置１００に電源電力を供給する。この状態で、システムブロック４０が駆動される。そして、システムブロック４０は、試験装置１００の状態をチェックし、異常がある場合には、システムスイッチをオフ状態とし、状態Ｓ４０２に遷移する。
【００４４】
状態Ｓ４０４において、使用者により試験装置１００のキースイッチがオン状態にされた場合、状態Ｓ４０６に遷移する。状態Ｓ４０６において、システムブロック４０は、試験ブロック３０の状態をチェックし、異常がある場合には、キースイッチをオン状態に保持して状態Ｓ４０４に遷移する。また、異常がない場合には、試験ブロック３０を試験可能な状態に設定し、被試験デバイスＤＵＴの試験を行う。
【００４５】
状態Ｓ４０６において、電源電圧の瞬時低下が検出された場合、状態Ｓ４０８に遷移する。状態Ｓ４０６において、主電源部１０の入力側における電源電圧の瞬時低下を検出した場合、主電源部１０の出力側における電源電圧に異常が生じる前に、状態Ｓ４０８に遷移することが好ましい。状態Ｓ４０８において、システムブロック４０は、試験ブロック３０による試験を中止させる。そして、電源電圧の瞬時低下が所定の期間内に復帰した場合、状態Ｓ４１０に遷移する。
【００４６】
状態Ｓ４１０において、システムブロック４０は、試験ブロック３０を試験可能な状態に設定する回復処理を行い、状態Ｓ４０４に遷移する。このとき、システムスイッチ及びキースイッチはオン状態に保持されている。このため、状態Ｓ４０６に自動的に遷移する。このような動作により、被試験デバイスＤＵＴの試験を再開することができる。
【００４７】
また、状態Ｓ４０８において、電源電圧の瞬時低下が所定の期間内に復帰しない場合、状態Ｓ４１２に遷移する。状態Ｓ４１０及び状態Ｓ４１２には、主電源部１０の出力側における電源電圧に異常が生じる前に遷移することが好ましい。主電源部１０の入力側の電源電圧に異常が生じてから、主電源部１０の出力側の電源電圧に異常が生じるまでの期間は、主電源部１０のスペック等により保証される。状態Ｓ４０６から状態Ｓ４０８への遷移、及び状態Ｓ４０８から状態Ｓ４１０若しくは状態Ｓ４１２への遷移は、予め定められる当該期間内に行われることが好ましい。状態Ｓ４１２において、システムブロック４０は、試験ブロック３０への電源電力供給を停止させる。そして、当該所定の期間経過後に、電源電圧が復帰した場合、状態Ｓ４１０に遷移し、試験ブロック３０へ電源電力を供給し、回復処理を行う。このような動作により、瞬低発生時に自動的に被試験デバイスＤＵＴの試験を再開することができる。
【００４８】
また、状態Ｓ４１２において、電源電圧が長期間復帰しない場合、状態Ｓ４０２に遷移する。当該期間は、補助電源２０が、システムブロック４０に電源電力を供給できる期間であってよい。当該期間は、補助電源２０の容量により予め定められる。例えば、状態Ｓ４１２において、数１００ｍｓから１秒程度、電源電圧が復帰しない場合、システムブロック４０は、試験装置１００を状態Ｓ４０２に遷移させてよい。この場合、システムスイッチがオフ状態に制御され、主電源部１０から試験装置１００への電源供給が停止する。このような制御により、電源電圧の瞬時低下より致命的な障害が発生した場合に、主電源部１０による電力供給を完全に停止させることができる。また、状態Ｓ４０８における所定の期間は、状態Ｓ４１２における期間より短いことが好ましい。
【００４９】
また、状態Ｓ４０８においては、通知部５６は、システムスイッチをオン状態に保持して、被試験デバイスＤＵＴの試験を停止させる。このため、主電源部１０から試験ブロック３０への電力供給を再開する場合に、使用者によるシステムスイッチの操作が不要となる。
【００５０】
また、状態Ｓ４０８から状態Ｓ４１２に遷移する場合においても、電源制御部５４は、システムスイッチをオン状態に保持して、主電源部１０から試験ブロック３０への電源電力の供給を停止させる。このため、状態Ｓ４１２から状態Ｓ４１０に遷移し、主電源部１０から試験ブロック３０への電力供給を再開する場合に、使用者によるシステムスイッチの操作が不要となる。
【００５１】
また、試験装置１００がいずれの状態で動作している場合であっても、図１において説明した温度検出部４２及び煙検出部４４が異常を検出した場合、電源制御部５４は、システムスイッチをオフ状態に制御し、試験装置１００を状態Ｓ４０２に遷移させる。このような制御により、試験装置１００が安全に動作できない状態となった場合に、主電源部１０から試験装置１００への電源電力の供給を完全に停止させることができる。状態Ｓ４０２に遷移した場合、試験装置１００を再動作させるには、使用者によるシステムスイッチの操作が必要となる。
【００５２】
図４は、試験装置１００を機能させるコンピュータ３００の構成の一例を示す。本例において、コンピュータ３００は、試験装置１００を図１から図３において説明したように機能させるプログラムを格納する。コンピュータ３００は、ＣＰＵ７００と、ＲＯＭ７０２と、ＲＡＭ７０４と、通信インターフェース７０６と、ハードディスクドライブ７１０と、ＦＤドライブ７１２と、ＣＤ−ＲＯＭドライブ７１４とを備える。ＣＰＵ７００は、ＲＯＭ７０２、ＲＡＭ７０４、ハードディスクドライブ７１０、フレキシブルディスク７２０、及び／又はＣＤ−ＲＯＭ７２２に格納されたプログラムに基づいて動作する。
【００５３】
例えば、試験装置１００を機能させるプログラムは、試験装置１００を、図１から図３において説明した主電源部１０、補助電源部２０、試験ブロック３０、及びシステムブロック４０として機能させる。通信インターフェース７０６は、例えば試験装置１００と通信し、試験装置１００を制御する。また、コンピュータ３００は、システム監視部５０として機能してもよい。
【００５４】
格納装置の一例としてのハードディスクドライブ７１０は、設定情報及びＣＰＵ７００を動作させるプログラムを格納する。ＲＯＭ７０２、ＲＡＭ７０４、及び／又はハードディスクドライブ７１０は、試験装置１００を図１から図３に関連して説明した試験装置１００として機能させるためのプログラムを格納する。また、当該プログラムは、フレキシブルディスク７２０、ＣＤ−ＲＯＭ７２２等に格納されていてもよい。
【００５５】
ＦＤドライブ７１２はフレキシブルディスク７２０からプログラムを読み取りＣＰＵ７００に提供する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ７１４はＣＤ−ＲＯＭ７２２からプログラムを読み取りＣＰＵ７００に提供する。
【００５６】
また、プログラムは記録媒体から直接ＲＡＭに読み出されて実行されても、一旦ハードディスクドライブにインストールされた後にＲＡＭに読み出されて実行されても良い。更に、上記プログラムは単一の記録媒体に格納されても複数の記録媒体に格納されても良い。また記録媒体に格納されるプログラムは、オペレーティングシステムとの共同によってそれぞれの機能を提供してもよい。例えば、プログラムは、機能の一部または全部を行うことをオペレーティングシステムに依頼し、オペレーティングシステムからの応答に基づいて機能を提供するものであってもよい。
【００５７】
プログラムを格納する記録媒体としては、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭの他にも、ＤＶＤ、ＰＤ等の光学記録媒体、ＭＤ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、ＩＣカード、ミニチュアーカードなどの半導体メモリ等を用いることができる。又、専用通信ネットワーク、インターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスクまたはＲＡＭ等の格納装置を記録媒体として使用してもよい。
【００５８】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
以上から明らかなように、本発明によれば、半導体回路等を試験する試験装置において、電源電圧の瞬時低下等の電源異常からの復帰を容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。
【図２】システム監視部５０の構成の一例を示す図である。
【図３】試験装置１００の動作の一例を示す状態遷移図である。
【図４】試験装置１００を機能させるコンピュータ３００の構成の一例を示す。
【符号の説明】
【００６１】
１０・・・主電源部、１２・・・主電源制御部、１４・・・第２電源、１６・・・第１電源、２０・・・補助電源部、３０・・・試験ブロック、３２・・・試験制御部、３４・・・試験部、３６・・・試験電圧検出部、３８・・・冷却検出部、４０・・・システムブロック、４２・・・温度検出部、４４・・・煙検出部、５０・・・システム監視部、５２・・・電源監視部、５４・・・電源制御部、５６・・・通知部、５８・・・回復部、６０・・・瞬低発生情報格納部、１００・・・試験装置、３００・・・コンピュータ、７００・・・ＣＰＵ、７０２・・・ＲＯＭ、７０４・・・ＲＡＭ、７０６・・・通信インターフェース、７１０・・・ハードディスクドライブ、７１２・・・ＦＤドライブ、７１４・・・ＣＤ−ＲＯＭドライブ、７２０・・・フレキシブルディスク、７２２・・・ＣＤ−ＲＯＭ
【図１】
2007121163.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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