(57)【要約】【課題】ヘリカルに薄手高性能磁気テープ上に記録再生する高容量、高転送レートであるドライブにおいて、磁気ヘッドを搭載した高速回転シリンダーで薄手高性能磁気テープ上に記録再生時のエンベロープが安定せず、特に磁気ヘッドと磁気テープの摺動始め（入り側）においての磁気ヘッドと薄手高性能磁気テープの接触が安定せず、エンベロープが落ち込み良好なエラーレートが確保できない。【解決手段】本発明は、非磁性基板と磁性層を積層された磁気ヘッドコア半体を接合させた磁気コアにおいて、磁気テープ摺動始め（入り側）の入り側磁気ヘッドコア半体と反磁気ヘッドコア半体（出側）それぞれ端部に面取りを構成された磁気ヘッドであって、その面取り部の磁性層部が非磁性基板より凹形成されたことを特徴とする。【選択図】図１
2007184031.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘリカルに磁気テープ上に記録再生するシリンダーに搭載する非磁性基盤と磁性層を積層してなる磁気ヘッドにおいて、巻線コイルが巻回する巻線窓部を有する磁気ヘッドコア半体を、その端面同士が対向するように配置して磁気ギャプを形成し、磁気ヘッドコア半体を接合させ、その接合面の反対の端面に面取り部を有することを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
前記面取り部の磁性層部が非磁性基板より凹形状で形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
非磁性基盤と磁性層を積層してなる磁気ヘッドにおいて、巻線コイルが巻回する巻線窓部を有する磁気ヘッドコア半体を、その端面同士が対向するように配置して磁気ギャプを形成し、磁気ヘッドコア半体を接合させ、その接合面の反対の端面に面取り部を構成し、面取り部の磁性層部が非磁性基板より凹形状段差が１μｍ以上で形成されている事を特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波帯域で使用されるデバイス、例えばハイビジョンデジタルＶＴＲやデーターストリーマーなどの高周波信号を記録再生するのに適した磁気ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ハイビジョンデジタルＶＴＲやデーターストリーマー等の高容量化や広帯域の信号を取り扱うシステムの開発が盛んに行われており、磁気ヘッドとしても、これら高抗磁力媒体に対応できるような高飽和磁束密度を有し、高容量化に伴い狭トラック化し、４０ＭＨｚ以上の高周波帯域での特性の優れた磁気ヘッドの開発が望まれてきた。また、高周波帯域での再生効率を高めるため狭磁気ギャップ化されてきている。そこで、このような要求に対応するために、センダストやアモルファス磁性合金、ＦｅＴａＮ等の金属磁性膜と絶縁膜とを積層した金属磁性層の両側を非磁性基板で挟持した構造にして高周波特性を向上させた磁気ヘッド、いわゆる積層型磁気ヘッドが開発されている。また、非磁性基板としてはチタン酸マグネシウム系やチタン酸カルシュウム系等のセラミックス材料が多く用いられている。磁気記録媒体である磁気テープもこのような大量の情報を記録するために、高容量化及び高記録密度化に伴い磁気テープの厚みを薄くし、また、従来の酸化鉄系から合金粉末媒体や金属蒸着媒体等の高抗磁力媒体へと変わってきた。また、高周波信号などを記録再生するドライブの磁気ヘッドを搭載したシリンダーにおいても、シリンダーの回転数を早くするなどして高転送レートなどが要求されている。
【０００３】
しかし、磁気テープの薄型・高性能化やシリンダーの高回転においても安定した記録再生する時に良好な記録信号及び再生信号波形であるエンベロープが求められている。その為にドライブの磁気テープのテンションやシリンダーの窓形状や溝本数などの提案がなされている。磁気ヘッドにおいては、磁気テープ摺動面の入側と出側の面圧を均一にするなどの提案がなされている（例えば、特許文献１または２を参照。）。
【特許文献１】特開平３−４９０１６号公報
【特許文献２】特許第２９０２６７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする問題点は、ヘリカルに薄手高性能磁気テープ上に記録再生する高容量、高転送レートであるドライブにおいて、磁気ヘッドを搭載した高速回転シリンダーで薄手高性能磁気テープ上に記録再生時において、磁気ヘッドと薄手高性能磁気テープ（以降磁気テープと記す）の当りが悪くエンベロープが安定せず、特に磁気ヘッドと磁気テープの摺動始め（入り側）においての磁気ヘッドと磁気テープの接触が安定せず、入側のエンベロープが落ち込み良好なエラーレートが確保できない。また、磁気テープのテンションを強くすることによりドライブの走行系で磁気テープにダメージを与え、磁気ヘッド摺動面に粉付きによる目詰まりなどの影響でエラーレート不良になる問題点がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、非磁性基板と磁性層を積層された磁気ヘッドコア半体を接合させた磁気コアにおいて、磁気テープ摺動始め（入り側）の入り側磁気ヘッドコア半体と反磁気ヘッドコア半体（出側）それぞれ端部に面取りを構成された磁気ヘッドであって、その面取り部の磁性層部が非磁性基板より凹形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の磁気ヘッドは、高速回転シリンダーに搭載しヘリカルに磁気テープ上に記録再生するドライブにおいて、磁気テープの入り側及び出側磁気ヘッドコア半体のそれぞれ端部に面取りを構成し、その面取り部の磁性層部が非磁性基板より凹形成されることにより、回転ドラムの窓への吸い込み量が大きくなり磁気テープと磁気ヘッドとの接触が安定しエンベロープの落ち込みが改善され良好なエラーレートが得られる。
【０００７】
また、切断やラップ加工で構成された面取り部はイオンミリングや逆スパッタにより磁性層部が非磁性基板より凹形状することで磁気テープテンションやドライブの走行系による磁気テープダメージの影響で発生する磁気ヘッド摺動面の粉付きが、面取り部の凹状態磁性層部より転がり落ちて磁気ヘッド摺動面の粉付きが低減できる。また、加工変質層を除去した面取りを形成することによりが面取り加工時の特性劣化が改善できる。本発明の磁気ヘッドにより安定したエンベロープを確保し、目詰りなどが発生しにくい信頼性の高い、高容量・高転送レートのドライブを提案できるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
磁気ヘッドと磁気テープとの良好なヘッドタッチを確保し、磁気テープへのダメージもなく良好なエンベロープが得られ、信頼性の高い高容量で高転送レートであるドライブを実現した。
【０００９】
（実施の形態１）
本発明の磁気ヘッドの実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。また、各図においては同一構成要素のものには同一符号を付しその詳細な説明は省略する。
【００１０】
図１は、本発明磁気ヘッドの実施の形態１の積層型磁気ヘッドの断面図であって、１は入り側磁気ヘッドコア、２は出側磁気ヘッドコア、３は磁気ギャップ、４はトラックである金属磁性層であって金属薄膜と非磁性膜を積層してなる、５は非磁性基板、６はモールドガラス、７は巻線窓、８は入り側面取り部、９は出側面取り部である。本実施例では磁気コアである金属磁性層の金属磁性膜には飽和磁束密度が大きいアモルファス磁性合金のＦｅ−Ｔａ−Ｎであって、Ｓｉ或いはＺｎなどの金属が含まれる物であってもよく、また、Ｃｏ系のＣｏＮｂＺｒＴａなどの物であっても良い、絶縁膜にはＳｉ０２膜で、基板には非磁性のＮｉ−Ｔｉ−Ｃａセラミックスであって、非磁性単結晶フェライト基板であっても良い、接着層にはホウ珪酸ガラスを用いており、磁気ヘッドの構造としては金属磁性層１の両端を一対の基板５で挟持する構造の積層型磁気ヘッドである。尚、磁気ヘッドの構造はメタルインギャップ（ＭＩＧ）形、薄膜ヘッドであっても構わないものである。
【００１１】
以下、本発明の詳細な実施例を説明する。
実施例１ではＮｉ−Ｔｉ−Ｃａセラッミクス基板に公知のスパッタリングによりＡｌ２０３膜を１．０μｍ成膜し、一対の金属磁性膜の磁化容易軸方向が磁気ギャップ面と層面内でほぼ平行であり、かつ一対の金属磁性膜以外の磁化容易軸方向が磁気ギャップ面とほぼ直交した金属磁性膜であるＦｅ−Ｔａ−Ｎを同様に公知のスパッタリングにより０．２３５μｍ成膜し、非磁性膜であるＳｉ０２膜で０．００５μｍ成膜した金属磁性膜を１２層成膜した多層金属磁性膜に絶縁膜であるＳｉ０２膜を０．１５μｍ成膜した金属磁性層を３層積層した磁性層部で８．９２５μｍのトラック幅で構成された磁気コア半体を準備し。それぞれの磁気コア半体に巻線部をとなる溝を設けた磁気コア半体を作成した。作成された磁気コア半体をその端面同士が対向するように配置して実行ＧＬが０．１３μｍになるようにホウ珪ガラスとパイレックス（登録商標）ガラスを用いて形成してそれぞれの磁気ヘッドコアを接合した。接合された磁気ヘッドの入り側磁気ヘッドコアに４５°の面取りを入れ、また、出側磁気ヘッドコアには２０°面取りを入れ、公知である円筒研削機を用いて磁気ヘッドコアの摺動曲率半径を６．５ｍｍで磁気ヘッドコアを加工して、磁気ヘッドコア厚み８０μｍに切断して磁気ヘッドコアを準備した。その磁気ヘッドコアに巻線を１７ターン巻き、公知のテープ研磨装置によりギャップデプス１１μｍの積層型磁気ヘッドを作成した。実施例１としては面取り加工をメタレジ砥石＃１０００による切断で加工し、その面取り部を公知のイオンミリング法でミリング角度：４５°、真空度：５．３３ｍＰａ、導入ガス：Ａｒ（２０ｓｃｃｍ）、ビーム電流：４００ｍＡ、ビーム電圧：５００Ｖ、処理時間は４５ｍｉｎイオンミリングを行い磁性層部の非磁性基板との凹段差を２μｍ形成し磁気ヘッドコアを作成した。磁性層部の非磁性基板との凹段差形成は逆スパッタリングで形成しても良い。実施例２は面取り部の加工は実施例１と同仕様で、面取り部のイオンミリング時間を調整して磁性層部の非磁性基板との凹段差を１μ形成し、それ以外は実施例１と同仕様の磁気ヘッドコアを作成した。実施例３としては面取り加工を公知のラップ加工で砥粒ＤＰ３μｍを用いて面取り部を加工し、イオンミリングは実施例１と同仕様で磁性層部の凹段差を２μｍ形成し磁気ヘッドコアを作成した。実施例４は面取り部の加工は実施例３と同仕様で、面取り部のイオンミリング時間を調整して磁性層部の非磁性基板との凹段差を１μ形成し、それ以外は実施例３と同仕様の磁気ヘッドコアを作成した。比較例としては、比較例１は実施例１の面取り部加工条件で加工してイオンミリングを行わない磁気ヘッドコア、比較例２は実施例３の面取り部加工条件で加工してイオンミリングを行わない磁気ヘッドコア作成した。比較例３は面取り部を設けない磁気ヘッドを作成した。それぞれ作成された磁気ヘッドコアを用いて、巻線、ギャップデプスを同一条件で組立てして磁気ヘッドを準備した。
【００１２】
作成された本発明の積層型磁気ヘッドをデーターストリーマーであるＤＡＴ７２のドライブに搭載して、実施例、比較例それぞれ１０台準備し、６３ＭＨｚの高周波での記録再生を行いその時のエンベロープの平坦度とＣ／Ｎとエラーレートを評価した。その結果を表１に示す。
【００１３】
【表１】
2007184031.tif 000003
【００１４】
尚、エンベロープ平坦度は図３に示す様にエンベロープ平均値Ａ、エンベロープ落ち込み部Ｂであって、エンベロープ平坦度＝Ｂ／Ａ（％）で求めている。
【００１５】
表１の結果において、実施例の磁気ヘッドコアに面取りを形成し、更には面取り部の磁性部を凹形成させることにより磁気ヘッドと磁気テープの接触面圧が大きくなり、また、シリンダー窓での吸い込み量が増えることにより磁気テープと入り側の磁気ヘッドコア半体の摺動面で磁気テープが十分接触することができエンベロープの落ち込みもなく良好な結果が得られた。面取り部の磁性層部凹形成は１μｍ以上で効果は確認できたが、最適としては２μｍ以上ある方が更に効果が得られる。また、面取り部をイオンミリングすることでＣ／Ｎ・エラーレートも良好な結果が得られており面取り部加工において、砥石切断・ラップ加工ともに加工変質が発生し、特性劣化することも確認できた。
次に、５０℃２０％の高温低湿環境下連続走行試験を１０００ｈ行った。
【００１６】
１０００ｈ後のエンベロープ平坦度とエラーレート及び目詰まり評価として、記録再生を同時にして再生が読めない時に再度記録を繰り返す回数としてリトライ回数で評価を行った。その結果を表２に示す。
【００１７】
【表２】
2007184031.tif 000004
【００１８】
連続走行試験結果からも本発明の磁気ヘッドはエンベロープ平坦度やエラーレート共に良好な結果が得られ、目詰まり評価であるリトライ回数も良好な結果が得られていた。また、連続走行試験後のそれぞれの磁気ヘッドの粉付き汚れを確認したが、本発明の磁気ヘッドは粉付き汚れが少なくリトライ回数が改善されており、このことは面取り部で形成された磁性部の凹形状により磁気ヘッド摺動面に発生している粉付が磁気テープ走行で磁気ヘッドコア端部に掻き寄せられて面取り部の凹形状から転がり落ちて、粉付が改善されたと考えられる。初期評価及び連続走行試験結果から信頼性の高い、本発明の磁気ヘッドの効果は確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００１９】
本発明にかかる磁気ヘッドは、高周波帯域で使用されるデバイス、例えばハイビジョンデジタルＶＴＲやデーターストリーマーなどの高周波信号を記録再生するドライブなどに適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態１に於ける磁気ヘッドを表した図
【図２】エンベロープ平坦度を示す図
【符号の説明】
【００２１】
１    入り側磁気ヘッドコア半体
２    出側磁気ヘッドコア半体
３    磁気ギャップ
４    磁性層部
５    非磁性基板
６    モールドガラス
７    巻線窓
８    入り側面取り
９    出側面取り
【図１】
2007184031.tif 000005
【図２】
2007184031.tif 000006