(57)【要約】【課題】  機械的に挟み込まなくとも可動子を拘束できる静電吸引駆動装置を提供する。【解決手段】  固定子側電極２３が設けられた固定子２０と、可動子側電極３３を有するとともに前記固定子２０に対向しながら移動方向に移動する可動子３０と、前記固定子側電極２３に所定の駆動電圧を与える信号源と、前記可動子に設けられた磁性体部４０と、前記磁性体部４０との間で磁気回路を形成するヨーク６２を有し且つ前記磁性体部４０に対し所定の磁界を与える磁場発生部６０と、を有するようにした。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子側電極が設けられた固定子と、可動子側電極を有するとともに前記固定子に対向しながら移動方向に移動する可動子と、前記固定子側電極に所定の駆動電圧を与える信号源と、前記可動子に設けられた磁性体部と、前記磁性体部との間で磁気回路を形成するヨークを有し且つ前記磁性体部に対し所定の磁界を与える磁場発生部と、を有することを特徴とする静電吸引駆動装置。
【請求項２】
前記磁場発生部は、前記可動子の移動を伴わない停止モード又は待機モードとするときには前記磁性体部を磁化する拘束磁界を与えて磁気吸引力を発生させ、前記可動子が移動をする駆動モードとするときには前記磁性体部に消磁磁界を与えて前記磁気吸引力を消去させるようにしたことを特徴とする請求項１記載の静電吸引駆動装置。
【請求項３】
前記磁性体部が前記可動子の少なくとも一面に軟磁性材料を成膜することにより形成されており、前記磁気発生部が前記磁性体部に対向または隣接して設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の静電吸引駆動装置。
【請求項４】
前記磁性体部が前記可動子の側面に設けられており、前記磁場発生部が前記側面に対向する位置に固定されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか記載の静電吸引駆動装置。
【請求項５】
前記固定子を挟んで、一方の面側に前記可動子が設けられ、他方の面側に前記磁場発生部が固定されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか記載の静電吸引駆動装置。
【請求項６】
前記消磁磁界として、減衰振動からなる交流磁界が与えられることを特徴とする請求項２ないし５いずれか記載の静電吸引駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動子が静電力で移動する静電吸引駆動装置に係わり、特に必要に応じて可動子を確実に拘束できるようにした静電吸引駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電吸引駆動装置は、可動子と固定子に発生する静電力の発生源を固定子側で順次切り換えて可動子を引っ張り方向に移動させるものである。このため、前記可動子と固定子との間に対する電圧の印加を停止すると、前記静電力が減少して可動子は自由に移動できるようになる。
【０００３】
特に、非駆動時及び待機時においては、前記可動子と固定子との間の静電力はほぼ消滅された状態にあるのが一般的であり、可動子が自由に移動できることによるガタツキが発生しやすいという問題がある。
【０００４】
この点、特許文献１には、電圧Ｖ２の印加を停止すると、ロック部１２が移動部２（可動子）を把持することで前記移動部２の移動を拘束できるようにした構成が記載されている。
【０００５】
すなわち、電圧Ｖ２を印加しない状態では、ロック部１２が移動部２の先端部２Ａを上下方向から挟むように接触・把持することにより前記移動部２の移動を拘束し、電圧Ｖ２を印加すると第２の固定部１１とロック部１２との間に引き合う静電力が発生し、ロック部１２が移動部２の先端部２Ａから離れて、移動部２の微小な移動を許容するようになっている。
【特許文献１】特開２００１−１５０３９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記特許文献１に記載された静電吸引駆動装置（静電アクチュエータ）では、ロック部１２が固定部１１Ａに対して弾性の支持体１３を介してつながれており、電圧Ｖ２の印加を停止すると、前記弾性の支持体１３が有する弾性力が作用し、前記ロック部１２が移動部２を弾性的に把持する構成である。
【０００７】
このため、経時変化や温度変化などに起因し、例えば材質の劣化や形状の変形あるいは磨耗などが発生すると、弾性の支持体１３が有する前記弾性力が低下し、場合によっては前記ロック部１２による把持力が弱まり、前記移動部２を拘束力できなくなるという問題がある。
【０００８】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、外部から電力を与え続けなくとも可動子を確実に拘束できるようにした静電吸引駆動装置を提供することを目的としている。
【０００９】
また本発明は、経時変化や温度上昇などの影響が少なく、機械的に挟み込まなくとも可動子を拘束できるようにした静電吸引駆動装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、固定子側電極が設けられた固定子と、可動子側電極を有するとともに前記固定子に対向しながら移動方向に移動する可動子と、前記固定子側電極に所定の駆動電圧を与える信号源と、前記可動子に設けられた磁性体部と、前記磁性体部との間で磁気回路を形成するヨークを有し且つ前記磁性体部に対し所定の磁界を与える磁場発生部と、を有することを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の静電吸引駆動装置では、前記磁性体部を磁化することで磁性体部とヨークとの間に磁気吸引力を発生させ、また消磁することで前記磁気吸引力を消去することができるため、可動子の拘束とその開放を簡単に行うことができる。
【００１２】
上記において、前記磁場発生部は、前記可動子の移動を伴わない停止モード又は待機モードとするときには前記磁性体部を磁化する拘束磁界を与えて磁気吸引力を発生させ、前記可動子が移動をする駆動モードとするときには前記磁性体部に消磁磁界を与えて前記磁気吸引力を消去させるようにすることが好ましい。
【００１３】
上記手段では、前記磁性体部を有する可動子の拘束とその開放を自在に行うことができる。しかも、可動子の拘束又はその開放の制御を磁気的な力で行うことができるため、経時変化や温度上昇などの影響を受け難く、長期にわたり安定的に行うことができる。
【００１４】
また前記磁性体部が前記可動子の少なくとも一面に軟磁性材料を成膜することにより形成されており、前記磁気発生部が前記磁性体部に対向または隣接して設けられていることが好ましい。
【００１５】
上記手段では、磁場発生部への電力の供給を断った後でも磁気吸引力が残存させることができるため、前記可動子を確実に拘束し続けることができる。
【００１６】
または、前記磁性体部が前記可動子の側面に設けられており、前記磁場発生部が前記側面に対向する位置に固定されているものとすることができる。
【００１７】
上記手段では、可動子の上に例えばレンズホルダなどの被搬送体を容易に搭載することが可能となる。
【００１８】
あるいは、前記固定子を挟んで、一方の面側に前記可動子が設けられ、他方の面側に前記磁場発生部が固定されているものとしてもよい。
【００１９】
上記手段においても、可動子上の余裕空間を有効に利用することができるため、比較的大きな被搬送体を載置することができるようになる。
また、前記消磁磁界として、減衰振動からなる交流磁界が与えられることが好ましい。
【００２０】
上記手段では、ヒステリシス・ループを逆向きに進む消去磁界とすることができるため、磁性体部内の残留磁界を確実に消去することができる。よって、可動子を確実に開放モードに設定することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の静電吸引駆動装置では、電力の供給を断った後でも可動子を確実に拘束し続けることができる。
また経時変化や温度変化に強いため、長期にわたり可動子を拘束することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は本発明の第１の実施の形態としての静電吸引駆動装置を示す斜視図、図２は図１を部分的に拡大して示す分解斜視図、図３は図１の３−３線における断面図である。なお、図１では固定子電極を省略して示している。また以下においては図示Ｙ方向が移動方向、Ｘ方向が幅方向、Ｚ方向が高さ方向である。
【００２３】
図１に第１の実施の形態として示す静電吸引駆動装置１０Ａでは、高さ方向の下部（図示Ｚ２）側に設けられた固定子２０と、上部（図示Ｚ１）側に設けられた可動子３０とが対向配置され、前記可動子３０の上面（Ｚ１）側の近傍に磁場発生部６０が前記可動子３０に対向する状態で、例えば筐体１などの固定部側に固定されている。
【００２４】
前記固定子２０は、移動方向であるＹ方向に延設された平板状の部材であり、例えば絶縁性の材料で形成されている。前記固定子２０の対向面２０ａ（Ｚ１側）の幅方向（Ｘ方向）の両端部には、移動方向（Ｙ方向）に沿って互いに平行に延びる一対のＶ字状又は台形状に形成された案内溝２１，２１が設けられている。
【００２５】
一方、前記可動子３０の移動（Ｙ）方向の長さ寸法は、前記固定子２０よりも短い寸法で形成されている。前記可動子３０の対向面（Ｚ２側の面）３０ａの幅方向（Ｘ方向）の両端部には、前記案内溝２１，２１に対向する一対の保持溝３１，３１が設けられている。前記保持溝３１，３１も、前記案内溝２１，２１同様のＶ字溝または台形溝で形成されている。
【００２６】
図２に示すように、前記固定子２０の前記対向面２０ａ上には複数の固定子側電極２３が設けられている。前記固定子側電極２３は、例えば銅などの導電性金属をＺ方向に垂直にメッキ成長させることにより形成されている。
【００２７】
同様に、前記可動子３０の前記対向面３０ａ上にも複数の可動子側電極３３が設けられている。前記可動子３０は例えば、導電体またはシリコンなどの低抵抗体で形成されており、可動子側電極３３はこのような導電体または低抵抗体で形成された対向面３０ａの表面に、例えば銅などの導電性金属をＺ方向に垂直にメッキ成長させることにより形成した構成である。したがって、複数の可動子側電極３３は同電位とみなすことが可能である。なお、個々の前記固定子側電極２３および可動子側電極３３は略長方形状をしている。
【００２８】
複数の固定子側電極２３は前記移動方向および幅方向に沿って前記対向面２０ａ上に等間隔で規則正しく並べられ、同様に複数の可動子側電極３３も前記移動方向および幅方向に沿って前記対向面３０ａ上に等間隔で規則正しく並べられている。
【００２９】
図２に示すように、固定子２０では、例えばＡ電極群，Ｂ電極群，Ｃ電極群，Ｄ電極群，Ｅ電極群などからなる複数の電極群がこの順番でＹ方向に繰り返し形成されている。この実施の形態では、Ａ〜Ｅの各電極群がそれぞれ６つの固定子側電極２３を有しており、１つの電極群を形成する６つの固定子側電極２３は同電位に接続されている。ただし、Ｙ方向に隣り合う各電極群間は互いに絶縁された状態にある。
【００３０】
前記可動子３０の上面には薄い絶縁層（図示せず）が形成されており、その表面には外部磁界を受けると磁化し易く、しかも外部磁界からの磁気の影響が無くなった後も磁石としての性質を残す磁性材料を成膜してなる磁性体部４０が積層されている（図１参照）。前記磁性材部４０としては、例えばフェライトなどの軟磁性材料が好ましい。
【００３１】
一方、図３に示すように前記磁場発生部６０は、例えばＦｅ、Ｃｏ又はＮｉなど残留磁気の小さな強磁性体からなるヨーク（芯材）６１と、前記ヨーク６１の外部に線材を巻回して形成した励磁コイル６２とを有している。また前記磁場発生部６０の外部には、前記励磁コイル６２に所定の電流を与えて、所定の磁界を発生させる磁界発生回路６４が設けられている。なお、前記ヨーク６１は、その両端部６１ａ，６１ａが共に前記磁性体部４０の表面を向くように略コの字形状で形成されたものが好ましい。
【００３２】
図３に示すように、前記固定子２０と可動子３０とは互いの対向面２０ａ，３０ａどうしを対向させた状態で組み立てられる。このとき、前記案内溝２１，２１と保持溝３１，３１との間には例えば複数の球体５１，５１が設けられる。すなわち、可動子３０は前記複数の球体５１，５１を介して前記固定子２０側の案内溝２１，２１上に支持されている。
【００３３】
前記球体５１，５１は、例えば絶縁性を有する弾性体、例えばシリコンゴムなどで形成されており、一方の対向面２０ａと他方の対向面３０ａと間には、常に一定寸法の隙間が高さ方向に形成されるように前記可動子３０を支持している。
【００３４】
この状態から前記可動子３０に移動方向の力を与えると、前記球体５１，５１が前記案内溝２１，２１と保持溝３１，３１との間で移動方向に転動するため、前記可動子３０を移動方向に直線的に移動させることが可能とされている。すなわち、この実施の形態における前記案内溝２１，２１と前記保持溝３１，３１および複数の球体５１，５１は、前記可動子３０を移動方向に案内するガイド手段として機能している。
【００３５】
図３に示すように、前記固定子２０と可動子３０とが組み立てられた状態では、幅方向に隣り合う固定子側電極２３と固定子側電極２３との間に前記可動子側電極３３が挿入されており、前記固定子側電極２３の電極面と可動子側電極３３の電極面とが互いにＸ方向において対向するように配置される。
【００３６】
この状態では、前記固定子側電極２３の電極面と可動子側電極３３の電極面とが互いに平行な状態で対向配置されている。このため、前記固定子側電極２３と可動子側電極３３との間に電位差を与えると、前記固定子側電極２３の電極面と可動子側電極３３の電極面とが対向し合うそれぞれの部分が平板型のコンデンサとして機能し、前記各電極間に静電吸引力が発生する。
【００３７】
静電吸引駆動装置１０Ａは、ＣＰＵなどを主体として構成される制御部（図示せず）と、前記制御部からの指令を受けて所定の電圧を生成する信号源ｅとを有しており、所定の駆動電圧を前記固定子側電極２３と各Ａ電極群，Ｂ電極群，Ｃ電極群，Ｄ電極群，Ｅ電極群との間に与えることが可能とされている。
【００３８】
次に、上記磁場発生回路を用いた静電吸引駆動装置の駆動制御について説明する。
図４は静電吸引駆動装置の駆動制御を説明するフローチャート、図５は可動子を拘束モードに設定する拘束磁界ｈの概念図、図６は可動子を開放モードに設定する消磁磁界の概念図である。
【００３９】
以下においては、上記のような静電吸引駆動装置１０Ａを例えばカメラ装置のレンズ駆動装置として応用した場合、すなわち前記可動子３０上にレンズが保持されたレンズホルダを搭載して移動できるようにした場合について説明する。なお、このような構成は、例えばカメラ装置の例えばズーム駆動、またはオートフォーカス制御などとして用いられる。
【００４０】
まずＳＴ１に示すように、信号源ｅから所定の駆動電圧をいずれかの前記Ａ〜Ｅ電極群に対して与えると、可動子３０側の可動子側電極３３と前記固定子２０側のＡ〜Ｅのいずれかの電極群との間に静電吸引力（クーロン力）が発生する。このとき、前記Ａ〜Ｅ電極群に与える前記駆動電圧のタイミングを、例えば図示Ｙ２方向に向かってＡ電極群→Ｂ電極群→Ｃ電極群→Ｄ電極群→Ｅ電極群→Ａ電極群・・・の順番で連続的に切り換えると、静電吸引力（クーロン力）の発生する位置が前記のタイミングで移動方向（Ｙ２方向）に移動するため、前記レンズホルダを搭載した可動子３０をＹ２方向に移動させることができる。また前記の順番を逆方向に切り換えると、前記可動子３０を逆方向の移動方向（Ｙ１方向）に移動させることができる。
【００４１】
このため、前記カメラ装置においては、ズーム用操作釦などを操作したときの操作信号に基づいてズーム（ＺＯＯＭ）機能を動作させることでき、あるいはシャッター釦を半押した操作信号に基づいてオートフォーカス（ＡＦ）機能を動作させることが可能となる（駆動モード）。
【００４２】
次に、ＳＴ２では前記駆動電圧の印加を停止させるが、電荷が直ぐに抜けることはなく、しばらくの間は可動子３０側の可動子側電極３３と前記固定子２０側のいずれかのＡ〜Ｅ電極群との間は帯電状態にあるため、静電吸引力（クーロン力）が残存している。そして、前記静電吸引力（クーロン力）が残存している間は、前記可動子３０を移動後の位置に保持すること、あるいはレンズをカメラ本体内に収納した場合には、前記カメラ本体内に保持することが可能となる。
【００４３】
なお、このときには、レンズを所定のフォーカス位置で停止させて撮影する停止モードに、またはレンズをカメラ本体内に収納し次の開始を待つ待機モードの状態にある（ＳＴ３）。
【００４４】
ところで、前記可動子３０側の可動子側電極３３と前記固定子２０側のいずれかのＡ〜Ｅ電極群との間に溜まっている電荷は時間経過とともに徐々に漏れ、前記静電吸引力は徐々に減少して行くため、可動子３０を長期間保持することは不可能である。したがって、前記停止モード又は待機モードでは、前記静電吸引力が消滅すると、前記可動子３０はＸ方向およびＹ方向に自由に移動することが可能となり、カメラ本体に対しレンズがガタツキを起こすことになる。
【００４５】
そこで、ＳＴ４においては前記磁界発生回路６４が駆動され、前記磁場発生部６０に例えば図５に示すようなパルス状の拘束磁界ｈが与えられる。
【００４６】
例えば、前記ズーム用操作釦からの操作信号が停止したのを検知したとき、あるいは使用終了時における電源切断信号を検知したときに、制御部は前記磁界発生回路６４を駆動して磁場発生部６０を形成する励磁コイル６２に所定の電圧を与え、前記ヨーク６１から前記磁性体部４０の表面に向かう垂直な拘束磁界ｈを発生させる。このとき、図３に示すように前記ヨーク６１と前記磁性体部４０とが磁気回路（磁路）を形成するとともに、前記磁性体部４０が前記拘束磁界ｈの方向に磁化される。
【００４７】
そして、前記磁場発生部６０を停止させても、磁化された前記磁性体部４０から前記ヨーク６１に対して磁束が発生するため、前記磁性体部４０と前記ヨーク６１との間に磁気吸引力が作用し続ける。よって、磁気吸引力が前記可動子３０を引き付けるため、前記可動子３０の移動を制限すること、すなわち可動子３０をその場に拘束することが可能となる。
【００４８】
前記磁性体部４０に発生した磁化の方向は、所定の外部磁界（消磁磁界）を加えない限り変化することはない、このため、前記可動子３０を長期にわたり一定の位置に保持し、移動することができない拘束モードに設定することができる（ＳＴ５）。よって、この拘束モードにおいては、カメラ本体に対するレンズのガタツキを抑制することができる。
【００４９】
次に、前記可動子３０を前記拘束モードから再度移動させることが可能となる前記駆動モードに設定するには、制御部は前記磁界発生回路６４を駆動し、磁場発生部６０から前記磁性体部４０に対し消磁磁界として例えば図６に示すような減衰振動からなる交流磁界（以下、「交流減衰磁界」という。）Ｈａｃを与える（ＳＴ６）。
【００５０】
前記磁性体部４０はヒステリシス特性を有するところ、所定の交流減衰磁界Ｈａｃを与えると、すなわち消磁磁界の極性を周期的に反転させながらヒステリシス・ループを逆方向に進ませて徐々に前記ヒステリシス・ループの原点（Ｈ（保持力）＝０、Ｂ（磁束密度）＝０）に戻すようにすることにより、前記磁性体部４０と前記ヨーク６１との間に生じている磁気吸引力を徐々に零に近づけて消去することができる。よって、可動子３０は前記拘束モードから開放されるため、ＹおよびＸ方向に自由に移動できるようになる。
【００５１】
なお、前記のような交流減衰磁界Ｈａｃは、例えば前記磁界発生回路６４内に設けられたコンデンサに充電しておいた電荷を、前記励磁コイル６２に対して瞬間的に流して放出（放電）させることにより発生させることが可能である。
【００５２】
そして、このような交流減衰磁界Ｈａｃを与えることにより前記可動子３０が自由な状態になったならば、上記ＳＴ１同様の前記駆動電圧を連続的に与えることにより、前記可動子３０の移動方向（Ｙ方向）への移動を自在に制御すること、すなわちズーム又はフォーカス制御駆動を行うことが可能となる（ＳＴ７）。
【００５３】
図７は本発明の第２の実施の形態としての静電吸引駆動装置を示す斜視図、図８は本発明の第３の実施の形態としての静電吸引駆動装置を示す斜視図である。
【００５４】
第２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｂが、前記第１の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ａと異なる点は、前記磁場発生部６０が可動子３０の側方の位置に設けられた図示しない筐体（固定部）に固定されている点にある。
【００５５】
このため、静電吸引駆動装置１０Ｂのヨーク６１の両端面は、前記磁性体部４０の表面には対向しておらず、その側方の位置に隣接して配置されており、前記ヨーク６１から前記磁性体部４０に向かう前記拘束磁界ｈの方向は水平方向（Ｘ方向）である。このため、前記拘束磁界ｈは、磁性体部４０の側面又は表面から内部に侵入して磁性体部４０を磁化する。
【００５６】
よって、この第２の実施の形態においても、上記同様のフローチャートにしたがった制御を行うことにより、可動子３０を自由に移動可能な状態に設定し、または拘束モードに設定することができる。
【００５７】
また第３の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ｃが、前記第１，２の実施の形態に示す静電吸引駆動装置１０Ａ，１０Ｂと異なる点は、前記磁場発生部６０が前記固定子２０の下面（Ｚ２側の面）に固定されている点、および前記磁性体部４０が固定子２０と対向する前記可動子３０の対向面（Ｚ２側の面）３０ａ上に成膜されている点で異なっている。
【００５８】
この場合の磁気吸引力は、固定子２０を挟んだ一方の面側に設けられた磁場発生回路と他方の面側に設けられた磁性体部４０との間に発生し、上記同様に拘束磁界ｈを発生させることにより、前記磁性体部４０を磁化させることができる。このため、前記拘束磁界ｈを取り去った後においても、前記磁性体部４０が発生する磁束により前記磁性体部４０とヨークとの間の磁気吸引力を発生させることができ、前記磁性体部４０を備えた可動子３０の移動を拘束することができる。
【００５９】
また消磁磁界として交流減衰磁界を与えて前記磁性体部４０が発生する磁界を零に近づけることにより、前記磁気吸引力を消滅させ、前記磁性体部４０を備えた可動子３０の自由な移動を確保することが可能となる。
【００６０】
上記第２，第３の実施の形態においては、可動子３０の側方又は固定子２０の下面に前記磁場発生部６０が配置されているため、可動子３０の上面に空間余裕を形成することができる。そして、この空間余裕を有効的に利用するもとにより、例えオートフォーカス用のレンズホルダやズーム用のレンズホルダなどを前記可動子３０に容易に取り付けることができる。
【００６１】
図９はカメラ装置のレンズ機構を示す斜視図、図１０は本発明の第４の実施の形態として図９のレンズ機構に搭載される静電吸引装置の概略を示す斜視図である。
【００６２】
図９に示すカメラ装置のレンズ機構７０は、外観が長方体形状の鏡筒７１内に、オートフォーカス用のレンズホルダ７２とズーム用のレンズホルダ７３とを備え、両レンズホルダ７２，７３がそれぞれ独立して移動できるようたものである。
【００６３】
前記鏡筒７１の一端であるＹ１方向の底面にはＣＣＤ又はＣＭＯＳなどからなる撮像センサ７４が設けられ、他端であるＹ２方向の先端には中心に保護ガラス７６が固定された枠部７５が設けられている。
【００６４】
また前記鏡筒７１のＺ２方向の側面には、図示Ｙ方向を移動方向とする第１の固定子２０Ａと第２の固定子２０Ｂとが移動方向に並設されている。また前記第１の固定子２０Ａの上には第１の可動子３０Ａが設けられ、前記第２の固定子２０Ａの上には第２の可動子３０Ｂが設けられている。なお、前記第１の固定子２０Ａと第１の可動子３０Ａの構成、および前記第２の固定子２０Ｂと第２の可動子３０Ｂの構成はともに上記実施の形態と同様であり、前記第１の可動子３０Ａと前記第２の可動子３０Ｂはそれぞれ独立して移動できるようになっている。
【００６５】
なお、前記第１の可動子３０Ａには前記フォーカス用のレンズホルダ７２が搭載されており、前記第２の可動子３０Ｂには前記ズーム用のレンズホルダ７３が搭載されている。
【００６６】
また前記第１の可動子３０Ａ及び第２の可動子３０ＢのＸ１方向の側面には、それぞれ上記同様の磁性体部４０Ａ，４０Ｂが設けられている。そして、この磁性体部４０Ａ，４０Ｂと対向する前記鏡筒７１の側方（図９ではＸ１側の側方）の位置には磁場発生部６０が設けられている。
【００６７】
図１０に示すように、前記磁場発生部６０は略コの字形状からなる２つのヨーク６１Ａ，６１Ｂを有し、これらヨーク６１Ａ，６１Ｂは移動方向（Ｙ方向）に沿って並ぶように設けられている。ヨーク６１Ａの両端面およびヨーク６１Ｂの両端面は、それぞれ前記磁性体部４０Ａ，４０Ｂに向くように対向配置されている。前記ヨーク６１Ａおよびヨーク６１Ｂには、励磁コイル６２Ａ，６２Ｂが設けられている。励磁コイル６２Ａと励磁コイル６２Ｂは直列接続されており、その両端には前記同様の磁界発生回路６４が設けられている。前記磁界発生回路６４は、図示しない制御部からの命令を受けると、前記励磁コイル６２Ａ，６２Ｂに前記同様のパルス状の拘束磁界ｈや交流減衰磁界Ｈａｃを出力させるための信号を与える。
【００６８】
このため、前記フォーカス用のレンズホルダ７２を搭載した前記第１の可動子３０Ａと、前記ズーム用のレンズホルダ７３を搭載した前記第２の可動子３０Ｂの双方を同時に上記同様拘束モードおよび開放モードに設定することができる。
【００６９】
なお、前記励磁コイル６２Ａ，６２Ｂに対し、磁界発生回路６４を並列的に接続し、各前記励磁コイル６２Ａ，６２Ｂごとに拘束磁界ｈや交流減衰磁界Ｈａｃを出力するようにすれば、前記フォーカス用のレンズホルダ７２を搭載した前記第１の可動子３０Ａと前記ズーム用のレンズホルダ７３を搭載した前記第２の可動子３０Ｂとを別個独立して拘束モードおよび開放モードに設定することが可能である。
【００７０】
以上のように本願発明の静電吸引駆動装置では、拘束磁界ｈを一度与えるだけで可動子を拘束モードに設定することができ、また交流減衰磁界Ｈａｃを一度与えるだけで前記可動子の開放モードに設定することができる。すなわち、可動子の拘束とその開放を簡単且つ確実に行うことができる。
【００７１】
しかも、前記拘束モードを維持するため、または開放モードを維持するために電力を与え続け必要がない。よって、低消費電力型の静電吸引駆動装置とすることができる。
【００７２】
また本願発明では、磁石が有する磁気吸引力を用いて可動子を拘束する構成であり、機械的に把持する構成ではないため、従来に比較して材質の劣化や形状の変形あるいは磨耗に強い静電吸引駆動装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の第１の実施の形態としての静電吸引駆動装置を示す斜視図、
【図２】図１を部分的に拡大して示す分解斜視図、
【図３】図１の３−３線における断面図、
【図４】静電吸引駆動装置の駆動制御を説明するフローチャート、
【図５】可動子を拘束モードに設定する拘束磁界ｈの概念図、
【図６】可動子を開放モードに設定する交流減衰磁界Ｈａｃの概念図、
【図７】本発明の第２の実施の形態としての静電吸引駆動装置を示す斜視図、
【図８】本発明の第３の実施の形態としての静電吸引駆動装置を示す斜視図、
【図９】カメラ装置のレンズ機構を示す斜視図、
【図１０】本発明の第４の実施の形態として図９のレンズ機構に搭載される静電吸引装置の概略を示す斜視図、
【符号の説明】
【００７４】
１  筐体（固定部）
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ  静電吸引駆動装置
２０  固定子
２１  案内溝
２３  固定子側電極
３０  可動子
３１  保持溝
３３  可動子側電極
４０  磁性体部
５１  球体
６０  磁場発生部
６４  磁界発生回路
ｅ  信号源
ｈ  拘束磁界
Ｈａｃ  交流減衰磁界
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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