(57)【要約】【課題】複数のワークをマグネットによって適切に固定することが可能な封止用治具を提供する。【解決手段】封止用治具は、複数のワークの下方の対向する位置に配置された複数のマグネットから構成され、隣のマグネットと異極同士が隣り合うように縦方向及び横方向に複数のマグネットが配置された第１のマグネット群と、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列の外側に配置された複数のマグネットから構成され、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列を構成するマグネットと異極同士が隣り合うように複数のマグネットが配置された第２のマグネット群とを有する。上記の封止用治具によれば、ワークが配置されている領域全体の磁力を概ね均一にすることができるため、ワークが反転したり、立ってしまったりする不具合の発生を効果的に防止し、適切にワークを固定することができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワークを封止する際に、前記複数のワークを固定する封止用治具であって、
前記複数のワークが載置された状態において、前記複数のワークの下方の対向する位置に配置された複数のマグネットから構成され、隣のマグネットと異極同士が隣り合うように縦方向及び横方向に前記複数のマグネットが配置された第１のマグネット群と、
前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列の外側に配置された複数のマグネットから構成され、前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列を構成するマグネットと異極同士が隣り合うように前記複数のマグネットが配置された第２のマグネット群と、を備えることを特徴とする封止用治具。
【請求項２】
前記第２のマグネット群は、前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列を構成するマグネットと同じピッチで前記マグネットが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の封止用治具。
【請求項３】
前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向と垂直方向の端列の外側に配置された複数のマグネットから構成され、前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の垂直方向の端列を構成するマグネットと異極同士が隣り合うように前記複数のマグネットが配置された第３のマグネット群を更に有することを特徴とする請求項１又は２に記載の封止用治具。
【請求項４】
前記マグネットは、Ｎ極とＳ極とが形成するＮ−Ｓ極軸方向が水平方向に概ね一致するように配置されることを請求項１乃至３のいずれか一項に記載の封止用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを封止する際に、マグネットを用いて複数のワークを固定する封止用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、水晶素子や半導体素子などを有するワークを溶接などによって封止（パッケージ封止）することが行われている。一般的には、マグネットなどによってワークを固定した状態で、上記した封止を行っている。例えば、特許文献１には、複数のマグネットが配置された封止用治具を用いて複数のワークを固定する技術が記載されている。その他に、特許文献２及び３に、マグネットを用いた封止用治具が記載されている。
【０００３】
【特許文献１】実開平６−４８９８３号公報
【特許文献２】特開平８−１６２５５６号公報
【特許文献３】特開平８−３０６８１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した特許文献１に記載した技術では、封止用治具の端列に配列したマグネットの隣にマグネットが存在しないため、端列を構成するマグネットの磁界がアンバランスになってしまう場合があった。そのため、小型、薄型、或いは細長に構成されたワークを用いた場合に、端列を構成するマグネット上に配置されたワークが立ってしまったり、回転してしまったりする可能性があった。また、特許文献２及び３に記載された技術においても、複数のワークを適切に固定することができなかった。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は上記のようなものが例として挙げられる。本発明は、複数のワークをマグネットによって適切に固定することが可能な封止用治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、複数のワークを封止する際に、前記複数のワークを固定する封止用治具は、前記複数のワークが載置された状態において、前記複数のワークの下方の対向する位置に配置された複数のマグネットから構成され、隣のマグネットと異極同士が隣り合うように縦方向及び横方向に前記複数のマグネットが配置された第１のマグネット群と、前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列の外側に配置された複数のマグネットから構成され、前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列を構成するマグネットと異極同士が隣り合うように前記複数のマグネットが配置された第２のマグネット群と、を備えることを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の好適な実施形態では、複数のワークを封止する際に、前記複数のワークを固定する封止用治具は、前記複数のワークが載置された状態において、前記複数のワークの下方の対向する位置に配置された複数のマグネットから構成され、隣のマグネットと異極同士が隣り合うように縦方向及び横方向に前記複数のマグネットが配置された第１のマグネット群と、前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列の外側に配置された複数のマグネットから構成され、前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列を構成するマグネットと異極同士が隣り合うように前記複数のマグネットが配置された第２のマグネット群と、を備える。
【０００８】
上記の封止用治具は、複数のワークを封止する際に、複数のワークを固定するために利用される。封止用治具は、複数のマグネットから構成される第１のマグネット群と第２のマグネット群とを備えて構成される。第１のマグネット群は、複数のワークの下方の対向する位置に配置された複数のマグネットから構成され、隣のマグネットと異極同士が隣り合うように縦方向及び横方向に複数のマグネットが配置されている。これにより、第１のマグネット群における端列の内側に位置するマグネットによる磁力を概ね均一にすることができる。
【０００９】
また、第２のマグネット群は、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列の外側に配置された複数のマグネットから構成され、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列を構成するマグネットと異極同士が隣り合うように前記複数のマグネットが配置されている。これにより、第１のマグネット群のＮ−Ｓ極軸方向の端列のマグネットにおける磁界が、その内側に配列されたマグネットと同等な磁界になるので、この端列のマグネットにおける両極の磁界を等しくすることができる。即ち、第２のマグネット群を設けることにより、第１のマグネット群のＮ−Ｓ極軸方向の端列における磁界がアンバランスになってしまうことを効果的に抑制することができる。したがって、上記の封止用治具によれば、ワークが配置されている領域全体の磁力を概ね均一にすることができるため、ワークが反転したり、立ってしまったりする不具合の発生を効果的に防止し、適切にワークを固定することができる。
【００１０】
上記の封止用治具の一態様では、前記第２のマグネット群は、前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列を構成するマグネットと同じピッチで前記マグネットが配置されている。これにより、第１のマグネット群の端列のマグネットにおける両極の磁界を効果的に均一にすることが可能となる。
【００１１】
上記の封止用治具の他の一態様では、前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向と垂直方向の端列の外側に配置された複数のマグネットから構成され、前記第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の垂直方向の端列を構成するマグネットと異極同士が隣り合うように前記複数のマグネットが配置された第３のマグネット群を更に有する。Ｎ−Ｓ極軸に平行な端列を構成するマグネットはその分Ｎ極からＳ極への磁力が多く、ワーク１０に付与される磁力が増加する傾向にあるため、第３のマグネット群を更に設けることによって、ワークに付与される磁力を全てのワークにおいて均一にすることが可能となる。
【００１２】
好ましくは、前記マグネットは、Ｎ極とＳ極とが形成するＮ−Ｓ極軸方向が、封止用治具における水平方向に概ね一致するように配置される。
【実施例】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。なお、以下では、レーザ溶接装置を用いてワークを溶接する例について説明する。
【００１４】
［レーザ溶接装置の構成］
図１は、本実施例に係るレーザ溶接装置１００の概略構成を示す図である。レーザ溶接装置１００は、主に、レーザビーム出射装置３５と、ガルバノヘッド３６と、トレイ２０を備える。レーザ溶接装置１００は、トレイ２０上に載置された複数のワーク１０に対して溶接を行う装置である。図１中の白抜き矢印は、レーザビームの進行する方向を示している。なお、実際には、ワーク１０はトレイに形成された溝内に収納されているが、図１では、説明の便宜上、トレイの溝を省略している。
【００１５】
レーザビーム出射装置３５は、レーザビームＬＢ１を出射し、このレーザビームＬＢ１をガルバノヘッド３６に対して照射する。ガルバノヘッド３６は、レーザビームＬＢ１を受光し、当該レーザビームＬＢ１を照射する位置をミラーなどによって変更する。そして、ガルバノヘッド２から出射されたレーザビームＬＢ２は、ワーク１０に照射される。これにより、ワーク１０の溶接が行われる。
【００１６】
トレイ２０には、複数のワーク１０が載置される。ワーク１０は、板状のリッド１０ａと、箱状のパッケージ１０ｂと、電子部品（不図示）と、を備える。例えば、リッド１０ａは、Ｎｉメッキを施したコバール材や、４２アロイ材や、ステンレス材や、Ａｇロークラッド材などの金属材料で構成されている。パッケージ１０ｂは、リッド１０ａと接触する面（シール面）に、例えばＡｕなどによってメッキを施したセラミック材料で構成される。
【００１７】
また、トレイ２０は、本実施例に係る封止用治具４６上に載置される。封止用治具４６は複数のマグネットを備えて構成され、マグネットの磁力をリッド１０ａに対して付与する。これにより、封止溶接時に、リッド１０ａをパッケージ１０ｂに対して固定すると共に、ワーク１０自体をトレイ２０に対して固定する。
【００１８】
［封止用治具の構成］
次に、本実施例に係る封止用治具４６の構成について、図２乃至図４を用いて説明する。
【００１９】
ここで、本実施例に係る封止用治具４６について簡単に説明する。本実施例に係る封止用治具４６は、複数のワーク１０が載置された状態において、複数のワーク１０のそれぞれの下方の対向する位置に配置された複数のマグネット（以下、「第１のマグネット群」とも呼ぶ。）を有する。第１のマグネット群においては、隣のマグネットと異極同士が隣り合うように縦方向及び横方向に複数のマグネットが配置されている。第１のマグネット群は、主に、ワーク１０を固定するために用いられる。
【００２０】
また、封止用治具４６は、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端に位置するマグネットの列（以下では、マグネット群の端を構成するマグネットの列を「端列」と呼ぶ。）の外側に配置された複数のマグネット（以下、「第２のマグネット群」とも呼ぶ。）を有する。この場合、第２のマグネット群を構成するマグネットの上方の対向する位置にはワーク１０は設けられていない。第２のマグネット群は、ワーク１０を固定するためとしてではなく、主に、第１のマグネット群における端列に配置されたマグネットの両極の磁界を等しくするために設けられている。更に、封止用治具４６は、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向と垂直な方向の端列の外側に配置された複数のマグネット（以下、「第３のマグネット群」とも呼ぶ。）を有する。この場合、第３のマグネット群を構成するマグネットの上方の対向する位置にはワーク１０は設けられていない。
【００２１】
なお、第１のマグネット群乃至第３のマグネット群は、左右均等な磁性を有するマグネット、言い換えるとＮ極とＳ極とが均等なマグネットによって構成される。
【００２２】
図２は、図１中の矢印Ａ方向からワーク１０、トレイ２０、及び封止用治具４６を観察した図である。図２に示すように、複数のワーク１０は、トレイ２０に形成された複数の溝２０ｘ内に載置される。例えば、トレイ２０には、６００個程度のワーク１０が載置される。また、トレイ２０は、封止用治具４６上に載置される。
【００２３】
図３は、図２中の切断線Ｂ１−Ｂ２に沿った、ワーク１０、トレイ２０、及び封止用治具４６の断面図を示している。図３に示すように、封止用治具４６は、トレイ２０の下方に配置されており、複数のマグネット４５ａ、４５ｂを有して構成される。マグネット４５ａは、トレイ２０が封止用治具４６上に載置された状態において、リッド１０ａ及びパッケージ１０ｂに対向する位置に設けられている。即ち、マグネット４５ａは第１のマグネット群を構成する。詳しくは、マグネット４５ａは、ワーク１０がトレイ２０に載置された状態において、ワーク１０の中心とマグネット４５ａの中心が概ね一致するような位置に配置されている。リッド１０ａは、前述したような金属材料で構成されているため、マグネット４５ａによって白抜き矢印で示すような磁力を受ける。これにより、リッド１０ａがパッケージ１０ｂに対して付勢されて、リッド１０ａはパッケージ１０ｂに対して固定されると共に、リッド１０ａ及びパッケージ１０ｂ（ワーク１０）はトレイ２０に対して固定される。
【００２４】
また、マグネット４５ｂは、封止用治具４６の端に設けられている。言い換えると、マグネット４５ｂは、前述した第２のマグネット群を構成し、封止用治具４６に配置されたマグネットの端列を構成する。マグネット４５ｂの対向するトレイ２０上の位置には、ワーク１０は配置されていない。そのため、マグネット４５ｂは、ワーク１０を固定するための磁力を直接的には付与しない。なお、マグネット４５ｂは、マグネット４５ａと概ね同一の磁力を有し、概ね同一のサイズを有するマグネットによって構成される。即ち、マグネット４５ｂは、マグネット４５ａと概ね同一のものが用いられる。
【００２５】
図４は、図３中の矢印Ｊ方向から封止用治具４６を観察した図を示している。封止用治具４６は、略平板形状を有しており、複数のマグネット４５ａ、４５ｂ、４５ｃが設けられている。この場合、破線領域５０内に位置するマグネット４５ａが第１のマグネット群を構成する。また、破線領域５２ａ、５２ｂ内に位置するマグネット４５ｂが第２のマグネット群を構成し、破線領域５３ａ、５３ｂ内に位置するマグネット４５ｃが第３のマグネット群を構成する。ワーク１０は、破線領域５０内にのみ配置されている。言い換えると、破線領域５０内のマグネット４５ａが設けられた位置の上方の対向する位置にのみワーク１０が配置されており、破線領域５２ａ、５２ｂ、５３ａ、５３ｂ内のマグネット４５ａ、４５ｂが設けられた位置の上方の対向する位置にはワーク１０は配置されていない。なお、図４中の実線矢印は、マグネット４５ａ、４５ｂ、４５ｃにおけるＮ極とＳ極とが形成するＮ−Ｓ極軸方向を示している。
【００２６】
具体的には、第１のマグネット群は、複数のワーク１０が載置された状態において、複数のワーク１０の下方の対向する位置に配置されたマグネット４５ａから構成され、隣のマグネット４５ａと異極同士が隣り合うように縦方向及び横方向にマグネット４５ａが配置されている。言い換えると、マグネット４５ａのＮ極とＳ極が隣り合うようにマグネット４５ａが横方向に配置され、横方向と同様に縦方向にもマグネット４５ａのＮ極とＳ極が隣り合うように配置されている。また、マグネット４５ａのＮ極とＳ極とが形成するＮ−Ｓ極軸方向が封止用治具４６の水平方向に概ね一致するように、封止用治具４６にマグネット４５ａが配置されている。このようにマグネット４５ａを配置することにより、マグネット４５ａに対向する位置に配置されたワーク１０に及ぼす磁力を概ね均一にすることができる。
【００２７】
また、第２のマグネット群は、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列の外側に配置された複数のマグネット４５ｂから構成される。第２のマグネット群は、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の両側に一列に、マグネット４５ａと同じピッチでマグネット４５ｂが配置されて構成される。更に、第２のマグネット群は、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列を構成するそれぞれのマグネット４５ａと異極同士が隣り合うようにマグネット４５ｂが配置されている。即ち、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列と同一の列が、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の２つの端列の外側にそれぞれ配置されている。
【００２８】
第３のマグネット群は、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向と垂直方向の端列の外側に配置された複数のマグネット４５ｃから構成される。言い換えると、第３のマグネット群を構成するマグネット４５ｃは、第１のマグネット群のＮ−Ｓ極軸に平行な２つの端列の外側にそれぞれ配置されている。詳しくは、第３のマグネット群は、マグネット４５ａと同じピッチで、一列にマグネット４５ｃが配置されて構成される。更に、第３のマグネット群は、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の垂直方向の端列を構成するマグネットと異極同士が隣り合うようにマグネット４５ｃが配置されている。なお、マグネット４５ｃも、マグネット４５ａと概ね同一のものが用いられる。
【００２９】
このように、本実施例では、第１のマグネット群におけるマグネット４５ａはＮ−Ｓ極軸方向が封止用治具４６の水平方向に一致するように配置し、常に隣のマグネット４５ａと異極同士が隣り合うように横方向及び縦方向にマグネット４５ａを配列している。したがって、第１のマグネット群における端列の内側に位置するマグネット４５ａによる磁力を概ね均一にすることができる。更に、本実施例では、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列の外側に第２のマグネット群を配置している。そのため、第１のマグネット群のＮ−Ｓ極軸方向の端列のマグネット４５ａにおける磁界が、その内側に配列されたマグネット４５ａと同等な磁界になるので、この端列のマグネット４５ａにおける両極の磁界を等しくすることができる。即ち、第２のマグネット群を設けることにより、第１のマグネット群のＮ−Ｓ極軸方向の端列における磁界がアンバランスになってしまうことを効果的に抑制することができる。
【００３０】
以上より、本実施例に係る封止用治具４６によれば、ワーク１０が配置されている領域全体の磁力を概ね均一にすることができるため、ワーク１０がトレイ２０上で反転したり、立ってしまったりする不具合の発生を効果的に防止し、適切にワーク１０を固定することができる。そのため、本実施例によれば、ワーク１０を軽薄短小に構成し、トレイ２０におけるワーク１０間のピッチを狭くした場合にも、ワーク１０を適切に固定することが可能となる。
【００３１】
ここで、図５を参照して、比較例に係るワーク１０の固定方法を行った場合に発生する不具合について説明する。比較例では、第２のマグネット群を用いないでワーク１０を固定する。図５（ａ）は、図４中の一点鎖線領域５５で囲まれた領域を拡大して示した図であり、マグネット４５ａなどの磁力線を矢印で示している。なお、比較例に係る固定方法を行った場合に発生する不具合を説明するために、ここでは、一点鎖線で示す領域７０に配置されたワーク１０を例として挙げる。この領域７０にワーク１０を配置することは、第２のマグネット群を用いないでワーク１０を固定することに対応する。本発明に係る実施例では、前述したように、この領域７０にはワーク１０は配置しない。
【００３２】
図５（ａ）を参照して、まず、マグネット４５ａ、４５ｂ、４５ｃの磁力線について説明する。基本的には、ワーク１０は、矢印６０（内部が網で描かれた矢印）で示す磁力、即ち１つのマグネットから発生されるＮ極からＳ極への磁力によって固定される。ここで、マグネット４５ａの周辺には６方向の磁力線が存在するが、端に配置されたマグネット４５ｂ、４５ｃには矢印６３（破線で示す矢印）で示す磁力は存在しない。そのため、マグネット４５ｂ、４５ｃにおいては、矢印６１（内部が斜線で描かれた矢印）の磁力が強くなる傾向にある。なお、Ｎ−Ｓ極軸に平行な端列についてはマグネット４５ｃ上の磁力が増加するので、ワーク１０を固定する力が強くなると言える。
【００３３】
図５（ｂ）、図５（ｃ）は、領域７０にワーク１０を配置した場合に生じる不具合を具体的に説明するための図である。前述したように、マグネット４５ｂはＮ−Ｓ極軸方向の端に配置されているため、両極の磁界がアンバランスになる傾向にある。そのため、図５（ｂ）に示すように、矢印６３の磁力が強くなると、ワーク１０が矢印８０で示すように立ってしまうといった不具合が発生する場合がある。更に、マグネット４５ｂは両極の磁界がアンバランスであるため、最初に封止用治具４６にトレイ２０を搭載する際に、トレイ２０の溝２０ｘからワーク１０が飛び出して、図５（ｃ）中の矢印８１で示すようにワーク１０が９０度回転してしまうといった不具合が発生する場合もある。
【００３４】
本実施例では、前述したように、領域７０にワーク１０を配置せず、例えば領域７０の隣の領域７１にワーク１０を配置する、言い換えると端に配置されたマグネット４５ｂ、４５ｃ上にはワーク１０を配置しない。即ち、本実施例では、Ｎ−Ｓ極軸方向の端列を構成するマグネット４５ｂを第２のマグネット群として用い、Ｎ−Ｓ極軸方向と垂直方向の端列を構成するマグネット４５ｃを第３のマグネット群として用い、これらのマグネット群の対向する位置にはワーク１０を配置しない。そのため、複数のワーク１０が配置されるマグネット群（第１のマグネット群）の端列のマグネット４５ａにおける両極の磁界を等しくすることができ、この端列の磁界がアンバランスになってしまうことを抑制することができる。したがって、本実施例に係るワーク１０の固定方法によれば、ワーク１０がトレイ２０上で反転したり、立ってしまったりする不具合の発生を効果的に防止し、適切にワーク１０を固定することができる。即ち、本実施例によれば、トレイ２０上で反転したり、立ってしまったりする可能性が高い、小型、薄型、或いは細長に構成されたワークを用いた場合にも、適切にワーク１０を固定することができる。
【００３５】
［変形例］
本発明は、第３のマグネット群を用いて封止用治具を構成することに限定はされない。即ち、第３のマグネット群を用いないで封止用治具を構成しても良い。Ｎ−Ｓ極軸に平行な端列のマグネットの両極の磁界は概ね等しく、ワーク１０を立たせる原因となる磁力が小さいため、第３のマグネット群を用いなくても、前述したような不具合がワーク１０に発生する可能性がほとんどないからである。なお、Ｎ−Ｓ極軸に平行な端列を構成するマグネットはその分Ｎ極からＳ極への磁力（図５中の矢印６０に対応する）が多く、ワーク１０に付与される磁力が増加する傾向にあるため、ワーク１０に付与される磁力を全てのワーク１０において均一にする必要がある場合には、第３のマグネット群を設けることが好ましい。
【００３６】
本発明は、レーザビームを用いて溶接を行う装置（レーザ溶接装置）に対する適用に限定はされない。本発明は、電子ビームを用いて溶接を行う装置などに対しても適用することができる。
【００３７】
以上のように、本実施例に係る封止用治具は、複数のワークが載置された状態において、複数のワークの下方の対向する位置に配置された複数のマグネットから構成され、隣のマグネットと異極同士が隣り合うように縦方向及び横方向に複数のマグネットが配置された第１のマグネット群と、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列の外側に配置された複数のマグネットから構成され、第１のマグネット群におけるＮ−Ｓ極軸方向の端列を構成するマグネットと異極同士が隣り合うように複数のマグネットが配置された第２のマグネット群と、を備える。これにより、ワークがトレイ上で反転したり、立ってしまったりする不具合の発生を効果的に防止し、適切にワークを固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施例に係るレーザ溶接装置の概略構成を示す図である。
【図２】ワークが載置されたトレイの状態を示す図である。
【図３】ワーク及び封止用治具などの断面図を示す。
【図４】封止用治具におけるマグネットの配置を説明するための図である。
【図５】比較例に係るワークの固定方法を行った場合に発生する不具合を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０  ワーク
１０ａ  リッド
１０ｂ  パッケージ
２０  トレイ
３５  レーザビーム出射装置
３６  ガルバノヘッド
４５ａ、４５ｂ、４５ｃ  マグネット
４６  封止用治具
１００  レーザ溶接装置
ＬＢ１、ＬＢ２  レーザビーム
【図１】
2007313543.tif 000003
【図２】
2007313543.tif 000004
【図３】
2007313543.tif 000005
【図４】
2007313543.tif 000006
【図５】
2007313543.tif 000007