(57)【要約】【課題】        本発明の目的は、ガラスなどから成る板状の部材に挟まれて気密封止された水晶振動子容器の貫通孔の封止方法を提供することである。【解決手段】        上記目的の達成の為に、本発明は球状の熱溶解する材料を先の第二のウェーハ上に散らす工程と、第二のウェーハを揺動して、球状の熱溶解する材料を第二のウェーハの貫通孔に落とし込む工程と、球状の熱溶解する材料を溶かして貫通孔を塞ぎ、水晶振動子を気密封止する工程とから成ることを特徴とし、また、水晶振動子のスルーホール（貫通孔）が略円錐形とされており、球状の熱溶解する材料が第二のウェーハの貫通孔内に留められることを特徴とし、また、球状の熱溶解する材料が少なくとも低融点ガラス、樹脂、金属のひとつから形成されていることを特徴として課題を解決する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶振動子が複数個形成された第一のウェーハを挟むように上下方向からそれぞれガラスなどの材料から成る複数の水晶振動子容器が形成された第二のウェーハで気密封止される個々の水晶振動子容器の封止方法において、
球状の熱溶解する材料を該第二のウェーハ上に散らす工程と、
該第二のウェーハを揺動して、該球状の熱溶解する材料を該第二のウェーハの貫通孔に落とし込む工程と、
該球状の熱溶解する材料を溶かして該貫通孔を塞ぎ、該水晶振動子を気密封止する工程と、
から成る水晶振動子容器の封止方法。
【請求項２】
該水晶振動子のスルーホール（貫通孔）が略円錐形とされており、該球状の熱溶解する材料が該第二のウェーハの貫通孔内に留められることを特徴とする請求項１記載の水晶振動子容器の封止方法。
【請求項３】
該球状の熱溶解する材料が少なくとも低融点ガラス、樹脂、金属のひとつから形成されていることを特徴とする請求項１記載の水晶振動子容器の封止方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラスなどから成る板状の部材に挟まれて気密封止された水晶振動子容器の封止方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、一般的に水晶振動子は周囲の温度・湿度変化や、微細な異物の水晶振動子素板への付着によってその振動が抑制されるおそれを無くすためにパッケージ内部に水晶振動素子が搭載された後に気密封止されて使用されているが、水晶振動子が搭載される情報端末といった電子機器の急速な小型化や高周波化に対応するために、前述の個々の水晶振動子でパッケージを形成するのに対して、水晶振動子が複数個同時に形成されたウェーハの形態でその上下方向から同様の形状のウェーハといった板状の部材を用いて封止した後に、それぞれ個々の水晶振動子に個割り切断して小型のチップ形状をした水晶振動子を製造する技術が実現されている。
【０００３】
先述の水晶振動子が複数個同時に形成されたウェーハの形態でその上下方向から挟むようにして板状の部材を用いて封止する方法としては、板状の部材にガラスなどを用いて、陽極接合や直接接合といった接合方法を用いて個々の水晶振動子を一括的に気密封止することが生産効率も良く適している。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１５４１８３号公報
【特許文献２】特開２０００−２８１４５９号公報
【特許文献３】特開２００１−１７７３６２号公報
【特許文献４】特開２００１−２３０６５１号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の水晶振動子パッケージにはセラミック基板が多く使用されており、このセラミックパッケージにスルーホール（貫通孔）やビアホールを形成し図３に示すようなスキージを使用した方法や、図４に示されるようなディスペンサで樹脂を貫通孔に注入するといった方法や、または、配線が施されるメッキの厚みを厚くして、ホール内部をメッキ材で満たして気密封止が行われていたが、先述のようなガラスパッケージを水晶振動子に使用する場合においても、パッケージ内部から外部にかけて配線のためにスルーホールをあけ配線を施した後に、水晶振動子の特性を維持する為にスルーホールを塞いで気密封止する必要があるが、ガラスパッケージにスルーホールをあけて配線後にスルーホール内部を封止材で満たして気密封止をする工法がこれまで確立されていないといった問題があった。
【０００７】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、ガラスなどから成る板状の部材に挟まれて封止された水晶振動子容器の封止方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために本発明は、水晶振動子が多数個形成された第一のウェーハを挟むように上下方向からそれぞれガラスなどの部材から成る複数の水晶振動子容器が形成された第二のウェーハで気密封止される個々の水晶振動子容器の封止方法において、
球状の熱溶解する材料を先の第二のウェーハ上に散らす工程と、第二のウェーハを揺動して、球状の熱溶解する材料を第二のウェーハの貫通孔に落とし込む工程と、球状の熱溶解する材料を溶かして貫通孔を塞ぎ、水晶振動子を気密封止する工程とから成ることを特徴とする。
【０００９】
また、水晶振動子のスルーホール（貫通孔）が略円錐形とされており、球状の熱溶解する材料が第二のウェーハの貫通孔内に留められることを特徴とする。
【００１０】
また、球状の熱溶解する材料が少なくとも低融点ガラス、樹脂、金属のひとつから形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の水晶振動子容器の封止方法により、マスキングなどの手間をかけること無く、スルーホールに封止材料を入れて加熱するだけで封止することが出来、その結果、生産コストを抑えて生産性を著しく高めることが出来る。
【００１２】
また、本発明の水晶振動子容器の封止方法により、従来のディスペンサを使用したスルーホールの封止方法に比べて、スルーホールの位置確認を行う必要が無く、揺動（振り込み）作業により一括的に複数のスルーホール内に封止材を入れることが出来、封止材の供給位置の制御、及び塗布量制御の必要が無く著しく生産設備コストを抑制することが出来る。
【００１３】
また、本発明の水晶振動子容器の封止方法により、スルーホールの形状が略円錐形とされて封止材が入れられる側の孔径が、他の孔径よりも大きいために、球状の封止材料が孔に入り易く、かつ孔内部に封止材料が留められるためにスルーホールの孔径の大きい側外部にはみだすおそれが無いといった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１５】
図１は本発明の水晶振動子容器３の封止方法の工程図である。即ち、水晶振動子１が複数個形成された第一のウェーハ２を挟むように上下方向からそれぞれガラスなどの材料から成る複数の水晶振動子容器３が形成された第二のウェーハ４で気密封止される個々の水晶振動子容器３の封止方法において、まず球状の熱溶解する材料５を先の第二のウェーハ４上に散らし（Ｓ１０１）、次に第二のウェーハ４を揺動して、球状の熱溶解する材料５を第二のウェーハの貫通孔６に落とし込み（Ｓ１０２）、最後に球状の熱溶解する材料５を溶かして貫通孔６を塞いで水晶振動子１を気密封止する（Ｓ１０３）。  球状の封止材には低融点ガラス、樹脂、金属など様々なものがあり、この内のいずれかひとつ、若しくは複数種が混ぜ合わされていても全く構わず、これらの場合も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。
【００１６】
図２は本発明の水晶振動子容器３のスルーホール（貫通孔）の封止方法を示したＡ−Ａ‘を結ぶ側面方向からみた概略の模式図である。即ち、球状の熱で溶ける材料５をスルーホール（貫通孔）６の形成されたガラスウェーハ上に散らし、ガラスウェーハを揺動（振込み動作）して、先の球状の熱溶解する封止材５をスルーホール６内に落とし込む。このとき、スルーホール６に入らない封止材は、ガラスウェーハ上から除く。更に、ガラスウェーハ、若しくはスルーホール６部の温度を封止材の融点まで上げて封止材を溶かし、その後冷却して封止材を固めてスルーホール６を真空雰囲気のなかで封止することにより、ガラスウェーハで挟まれた水晶振動子１が気密封止される。スルーホール６の直径は０．１ｍｍ程度のものである。ガラスウェーハ、若しくはスルーホール６部の温度を封止材の融点まで上げて封止材を溶かす時間と、その後冷却して封止材を固める時間をそれぞれ調整することにより、スルーホール６の孔径の小さな側から溶けた封止材が流れ出ることを防ぐことが出来る。
【００１７】
図３は従来のセラミックパッケージにスルーホール（貫通孔）やビアホールを形成し、スキージを使用して封止する方法を示した側面方向からみた概略の模式図である。
【００１８】
図４は従来のセラミックパッケージにスルーホール（貫通孔）やビアホールを形成し、ディスペンサで樹脂を貫通孔に注入して封止する方法を示した側面方向からみた概略の模式図である。
【００１９】
図５は従来の、水晶振動子が複数個同時に形成されたウェーハをその上下方向から挟むようにガラスなどの板状の部材を用いて封止されたシート状の基板を個割りして取り出された水晶振動子を側面方向からみた概略の模式図である。        
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の水晶振動子容器の封止方法の工程図である。
【図２】本発明の水晶振動子容器の封止方法を示したＡ−Ａ‘を結ぶ側面方向からみた概略の模式図である。
【図３】従来のセラミックパッケージにスルーホール（貫通孔）やビアホールを形成し、スキージを使用して封止する方法を示した側面方向からみた概略の模式図である。
【図４】従来のセラミックパッケージにスルーホール（貫通孔）やビアホールを形成し、ディスペンサで樹脂を貫通孔に注入して封止する方法を示した側面方向からみた概略の模式図である。
【図５】従来の水晶振動子が複数個同時に形成されたウェーハをその上下方向から挟むようにして板状の部材を用いて封止されたシート状の基板を個割りして取り出された水晶振動子を側面方向からみた概略の模式図である。
【符号の説明】
【００２１】
１  水晶振動子
２  第一のウェーハ
３  水晶振動子容器
４  第二のウェーハ
５  球状の熱溶解する材料
６  第二のウェーハの貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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