(57)【要約】【課題】表示面側にアンチグレア処理が施された偏光板を配置した場合でも、レーザ光を偏光板を透過させて画素の修理個所に照射することができ、画素の修理が可能となる表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】基板および前記基板上に形成された複数の画素を有した表示パネルと、前記表示パネルの外面に設けられているとともにアンチグレア処理が施された偏光板８２とを備えた表示装置の製造方法において、画素の表示状態を検査し、検査した画素に修復が必要な場合、偏光板に貼付した透明フィルム９０を介して、レーザ光を前記画素の修理個所に向けて照射する。【選択図】      図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板および前記基板上に形成された複数の画素を有した表示パネルと、前記表示パネルの外面に設けられているとともにアンチグレア処理が施された偏光板とを備えた表示装置の製造方法において、
前記画素の表示状態を検査し、
前記検査した画素に修復が必要な場合、
前記偏光板に貼付した透明フィルムを介して、レーザ光を前記画素の修理個所に向けて照射する表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記複数の画素は、画素電極、前記画素電極に接続されたスイッチング素子、並びに絶縁膜を介して対向配置された補助容量線及び前記画素電極に接続された補助容量電極を含んだ補助容量素子をそれぞれ有し、
前記検査した画素に、前記スイッチング素子から前記画素電極に与えられる駆動信号が異常のため修復が必要な場合、
前記レーザ光を前記画素の補助容量素子に照射し、前記補助容量線及び補助容量電極をショートさせる請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記レーザ光の出力を２．５ｍＷ乃至３．９ｍＷに設定して、前記レーザ光を照射する請求項２に記載の表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記複数の画素は、画素電極、前記画素電極に接続されたスイッチング素子、並びに絶縁膜を介して対向配置された補助容量線及び前記画素電極に切断可能な接続配線により接続された補助容量電極を含んだ補助容量素子をそれぞれ有し、
前記検査した画素に、前記補助容量素子から前記画素電極へ不所望な電荷が流入し又は前記画素電極から前記補助容量素子へ不所望な電荷が流出することにより修復が必要な場合、
前記レーザ光を前記画素の接続配線に照射し、この接続配線を切断する請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記レーザ光の出力を３．６ｍＷ乃至４．５ｍＷに設定して、前記レーザ光を照射する請求項４に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、表示装置の製造方法に関し、特に、視角補償板及びアンチグレア処理が施された偏光板を備えた表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、画像表示を行う表示装置として、例えば液晶表示装置が用いられている。液晶表示装置は、アレイ基板と、このアレイ基板に隙間を置いて対向配置された対向基板と、アレイ基板及び対向基板間に狭持された液晶層と、アレイ基板及び対向基板間に設けられた複数の画素とを備えている。
【０００３】
アレイ基板は、ガラス基板を備えている。ガラス基板上には、画素を区画するように複数の信号線及び複数の走査線が交差して配設されている。各画素は、信号線及び走査線の各交差部近傍に設けられたＴＦＴ（薄膜トランジスタ）と、このＴＦＴに接続された画素電極と、この画素電極に接続された補助容量素子とを有している。補助容量素子は、走査線に平行な補助容量線と、この補助容量線に絶縁膜を介して重なった補助容量電極とを有し、補助容量電極は画素電極と接続されている。
【０００４】
一方、対向基板は、他のガラス基板を備えている。他のガラス基板上には対向電極等が形成されている。アレイ基板及び対向基板は、所定の隙間を保持して対向配置されている。アレイ基板及び対向基板間には液晶層が形成されている。アレイ基板の外面及び対向基板の外面（表示面側）には光学部として、例えば偏光板がそれぞれ配置されている。
【０００５】
昨今では、画像表示に対する要求が年々高度になり、画像表示の際、画素の不良で生じる点欠陥が無いもの（少ないもの）が要求されている。この点欠陥の画素は、例えば補助容量線と補助容量電極とのショートに起因している。
【０００６】
このため、製造工程において上記した点欠点の画素を修理する際は、レーザ光を点欠陥の画素の修理個所に対し表示面側から偏光板を透過させて照射している（例えば、特許文献１参照）。これにより、点欠陥の画素の修理が可能となる。
【特許文献１】特開２００３−２９２２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年、表示面側に配置される光学部は、ＡＲ（アンチリフレクション）処理、ＡＧ（アンチグレア）処理またはＡＧＡＲ（アンチグレアアンチリフレクション）処理等が施された偏光板で形成されている。また、液晶表示装置は、鏡面反射の抑制と、広視野角化とが求められている。このため、表示面側に配置される光学部は、偏光板だけで形成するのではなく、視角補償板と、ＡＧ処理が施された偏光板とで形成されている。なお、視角補償板を設けることで広視野角化が可能となり、ＡＧ処理を施すことにより鏡面反射を抑制することができる。
【０００８】
しかしながら、上記したように表示面側に配置される光学部を形成した場合、レーザ光を表示面側から欠陥の画素の修理個所に向けて照射しても、レーザ光が修理個所まで届かなくなってしまう。上記したことから、視角補償板及びＡＧ処理が施された偏光板で表示面側に配置される光学部を形成した場合、欠陥の画素の修理ができなくなってしまう。  
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、表示面側にアンチグレア処理が施された偏光板を配置した場合でも、レーザ光を偏光板を透過させて画素の修理個所に照射することができ、画素の修理が可能となる表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明の態様に係る表示装置の製造方法は、
基板および前記基板上に形成された複数の画素を有した表示パネルと、前記表示パネルの外面に設けられているとともにアンチグレア処理が施された偏光板とを備えた表示装置の製造方法において、
前記画素の表示状態を検査し、
前記検査した画素に修復が必要な場合、
前記偏光板に貼付した透明フィルムを介して、レーザ光を前記画素の修理個所に向けて照射する。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、表示面側にアンチグレア処理が施された偏光板を配置した場合でも、レーザ光を偏光板を透過させて画素の修理個所に照射することができ、画素の修理が可能となる表示装置の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照しながらこの発明に係る表示装置の製造方法を液晶表示装置の製造方法に適用した実施の形態について詳細に説明する。始めに、液晶表示装置の構成について説明する。
【００１２】
図１に示すように、液晶表示装置は、表示パネルとしての液晶表示パネルＰを備えている。液晶表示パネルＰは、アレイ基板１と、このアレイ基板に対向配置された対向基板２と、これら両基板間に狭持された液晶層３とを備えている。その他、液晶表示装置は、アレイ基板の外表面に配置された第１光学部７と、対向基板の外表面に配置された第２光学部８と、バックライトユニット９とを備えている。液晶表示装置は、後述する画素がマトリクス状に配置された表示領域Ｒを有している。
【００１３】
図１及び図２に示すように、アレイ基板１は、透明な絶縁基板として、例えばガラス基板４ａを備えている。表示領域Ｒにおいて、ガラス基板４ａ上には画素部１１が形成されている。表示領域Ｒの外側において、ガラス基板４ａ上には走査線駆動回路１２信号線駆動回路１３及び補助容量線駆動回路１４が形成されている。画素部１１において、ガラス基板４ａ上には、複数の走査線１５及びこれら走査線に直交した複数の信号線１６が配置されている。ガラス基板４ａ上には、走査線１５に平行な複数の補助容量線１７が形成されている。この実施の形態において、隣合う２本の信号線１６及び隣合う２本の補助容量線１７で囲まれた各領域には画素１８が形成されている。これらの画素１８はマトリクス状に配置されている。
【００１４】
次に、画素１８を１つ取り出して詳述する。  
図３及び図４に示すように、画素１８は、画素電極２１、この画素電極に接続されたスイッチング素子としてのＴＦＴ（薄膜トランジスタ）２２及び補助容量素子２３を有している。
【００１５】
図３、図４及び図５に示すように、ガラス基板４ａ上にはチャネル層３１が成膜され、ガラス基板及びチャネル層上にはゲート絶縁膜３２が形成されている。チャネル層３１と重なった各々の領域において、ゲート絶縁膜３２上には、走査線１５の一部を延出したゲート電極３３が形成されている。ゲート絶縁膜３２及びゲート電極３３上には層間絶縁膜３５が成膜されている。
【００１６】
層間絶縁膜３５上には、信号線１６及びコンタクト配線３８が形成され、これら信号線及びコンタクト配線は、ゲート絶縁膜３２及び層間絶縁膜の一部を貫通してチャネル層３１にそれぞれ接続されている。ここで、信号線１６はチャネル層３１のソース領域ＲＳに接続され、コンタクト配線３８は、チャネル層３１のドレイン領域ＲＤに接続されている。
【００１７】
次いで、補助容量素子２３について説明する。図３及び図４に示すように、補助容量線１７及び補助容量電極４１は補助容量素子２３を形成している。  
図３、図４及び図６に示すように、ガラス基板４ａ上に形成されたゲート絶縁膜３２上には、導電材料として、例えばアルミニウムにより、補助容量線１７が形成されている。ゲート絶縁膜３２及び補助容量線１７上には層間絶縁膜３５が形成されている。
【００１８】
補助容量素子２３において、層間絶縁膜３５上には、補助容量線１７に重なった補助容量電極４１と、この補助容量電極に接続された接続配線４４とが形成されている。接続配線４４は、補助容量素子２３及び画素電極２１を接続するとともに切断可能に形成されている。
【００１９】
上記した補助容量電極４１、接続配線４４、コンタクト配線３８及び信号線１６は、同一の導電材料で形成されている。補助容量電極４１、接続配線４４及びコンタクト配線３８は一体に形成されている。
【００２０】
図５及び図６に示すように、ＴＦＴ２２及び補助容量素子２３が形成されたガラス基板４ａ上には、赤色、緑色及び青色の複数の着色層５１が形成されている。着色層５１上には複数の画素電極２１が形成されている。画素電極２１は、隣合う２本の信号線１６及び隣合う２本の補助容量線１７に周縁を重ねて形成されている。着色層５１及び画素電極２１上には配向膜５２が形成されアレイ基板１を形成している。
【００２１】
図５及び図６に示すように、対向基板２は、透明な絶縁基板として、例えばガラス基板４ｂを備えている。ガラス基板４ｂ上には、対向電極６１及び配向膜６２が順に形成され、対向基板２を形成している。
【００２２】
図１に示すように、アレイ基板１及び対向基板２間の隙間はスペーサとして、例えば柱状スペーサ５により保持されている。アレイ基板１及び対向基板２は、これら両基板の周縁部に配置されたシール材６により接合されている。
【００２３】
図１、図５及び図６に示すように、第１光学部７は、ガラス基板４ａの外面に配置されている。この実施の形態において、第１光学部７は偏光板７１で形成されている。第２光学部８は、ガラス基板４ｂの外面に配置されている。この実施の形態において、第２光学部８は、ガラス基板４ｂの外面上に設けられた視角補償板８１と、この視角補償板上に設けられているとともに、低反射表面処理としてのＡＧ（Anti-Glare）処理が施された偏光板８２とを備えている。
【００２４】
ＡＧ処理を施すことにより偏光板８２の外面に凹凸部が形成されるため、偏光板８２は鏡面反射を抑制することができる。また、視角補償板８１を設けることで広視野角化を実現している。視角補償板８１は、粘着層８０によりガラス基板４ｂの外面上に貼り付けられている。偏光板８２の外面は表示面Ｓである。
【００２５】
第１光学部７の外面側には、バックライトユニット９が配置されている。このバックライトユニット９は、アレイ基板１に対向配置された導光板９ａと、この導光板の一側縁に対向配置された光源９ｂ及び反射板９ｃとを有している。
【００２６】
次に、上記のように形成された液晶表示装置の製造方法について説明する。  
まず、上記したように、アレイ基板１及び対向基板２を形成する。次いで、対向基板２の周縁に沿って、例えば熱硬化型のシール材６を印刷する。続いて、アレイ基板１および対向基板２を複数の柱状スペーサ５により所定の隙間を保持して対向配置し、アレイ基板および対向基板の周縁部同士をシール材６により貼り合せる。その後、シール材６を加熱して硬化させ、アレイ基板１および対向基板２を固定する。
【００２７】
続いて、シール材６の一部に形成された図示しない液晶注入口から液晶を注入する。その後、液晶注入口を図示しない封止材により封止する。これにより、アレイ基板１および対向基板２間に液晶が封入され、液晶層３が形成される。次いで、アレイ基板１の外面に第１光学部７（偏光板７１）を貼り付け、対向基板２の外面に第２光学部８（視角補償板８１、偏光板８２）を貼り付ける。さらに、バックライトユニット９および図示しないベゼル等を取り付けてモジュールに組立てる。
【００２８】
次に、上記のように形成された液晶表示装置の画素１８に欠陥が生じているかどうか表示状態を検査する。検査した画素１８に欠陥が生じていない場合、液晶表示装置の製造は終了する。検査した画素１８に欠陥が生じ修復が必要な場合は、欠陥の画素１８を修理する工程に移行する。
【００２９】
図７に示すように、まず、処理対象として、欠陥の画素１８を有した液晶表示装置を用意する。この実施の形態において、液晶表示装置の１つ又は複数の画素１８の補助容量線１７及び補助容量電極４１間にショートが発生している場合について説明する。補助容量線１７及び補助容量電極４１間のショートは、例えば補助容量線１７が隆起したり、図示せぬ異物が両者間に存在することにより生じる。補助容量線１７及び補助容量電極４１間にショートが発生した画素１８は、常時、明表示又は黒色表示となり、欠陥の画素１８となる。
【００３０】
続いて、用意した液晶表示装置の偏光板８２上に、図示しない粘着層により透明フィルム９０を貼付する。偏光板８２の表面は凹凸状に形成されているが、透明フィルム９０は偏光板８２表面の凹凸部に入り込み、凹凸部の形状を吸収することになる。これにより、透明フィルム９０は液晶表示装置に入射されるレーザ光の反射、散乱及び屈折等のレーザ光の不所望な光路変更を抑制することができる。
【００３１】
その後、製造装置１００のレーザ照射口１０１と欠陥の画素１８とを対向させる。続いて、製造装置１００を用い、４．０ｍＷの出力のレーザ光を、透明フィルム９０を介して修理個所に照射する。この実施の形態において、修理個所とは、欠陥の画素１８の接続配線４４である。なお、透明フィルム９０の表面から接続配線４４までの距離ｄは、例えば９５０μｍである。
【００３２】
これにより、レーザ光は偏光板８２を透過するとともに集光して接続配線４４に照射され、図８に示すように、レーザ光が照射された接続配線には切断部４７が形成され、画素電極２１と補助容量素子２３とは切り離される。このため、ショートした補助容量素子２３から画素電極２１への不所望な電荷の流入又は画素電極２１からショートした補助容量素子２３への不所望な電荷の流出を無くすことができ、欠陥が生じている画素１８は修理される。
【００３３】
欠陥が生じている画素１８が複数存在する場合は、複数の欠陥の画素にそれぞれ上記したように透明フィルム９０の外側からレーザ光を照射すれば良い。修理された画素１８は、ＴＦＴ２２から画素電極２１に与えられる駆動信号により駆動し画像表示に寄与することになる。  
そして、修復が必要な画素１８を修理した後、透明フィルム９０を除去することにより、液晶表示装置の製造は終了する。
【００３４】
ここで、本願発明者は、レーザ光の出力（以下、レーザ光出力と称する）に対する欠陥の画素１８の製造歩留まり率の変化を調査した。その際、レーザ光出力を２．５ｍＷから５．２ｍＷの範囲で０．１ｍＷずつ変えて接続配線４４にレーザ光を照射し、製造歩留まり率を調査した。調査したところ、図９に示すように、レーザ光出力が３．６ｍＷ乃至４．５ｍＷの範囲で、製造歩留まり率が８０％以上となることが判る。なお、レーザ光出力が３．８ｍＷ乃至４．４ｍＷの範囲で、製造歩留まり率１００％を得ることができる。
【００３５】
上記のように構成された液晶表示装置の製造方法によれば、第２光学部８が視角補償板８１及びＡＧ処理が施された偏光板８２を備え、かつ、補助容量線１７及び補助容量電極４１間のショートによる欠陥の画素１８が有る場合、偏光板８２に貼付した透明フィルム９０を介して、レーザ光を欠陥の画素の接続配線４４に照射している。
【００３６】
透明フィルム９０は液晶表示装置に入射されるレーザ光の不所望な光路変更を抑制するため、レーザ光は偏光板８２を透過するとともに集光して接続配線４４に照射される。これにより、レーザ光が照射された接続配線４４は切断され、欠陥の画素１８は修理される。このため、表示面Ｓ側に偏光板８２を設けた場合であっても、接続配線４４にレーザ光を良好に照射することができ、欠陥の画素１８を規格内に収まるよう修正することができる。
【００３７】
また、接続配線４４にレーザ光を照射する際、レーザ光出力を３．６ｍＷ乃至４．５ｍＷの範囲、より好ましくは３．８ｍＷ乃至４．４ｍＷの範囲でレーザ光を照射すれば良好に欠陥の画素１８を修正することができる。なお、レーザ光出力が３．６ｍＷ未満になると接続配線４４の切断が困難となり、レーザ光出力が４．５ｍＷを超えると欠陥の画素１８そのものが不良となる恐れがある。
【００３８】
次に、本発明の他の実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法について詳細に説明する。なお、この実施の形態において、液晶表示装置の構成は上述した実施の形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００３９】
以下、上記のように形成された液晶表示装置の画素１８に欠陥が生じているかどうか表示状態を検査した後に行われる欠陥の画素１８を修理する工程について説明する。なお、検査した画素１８に修復が必要ない場合、液晶表示装置の製造は終了する。
【００４０】
欠陥の画素１８を修理する工程に移行すると、図１０に示すように、まず、処理対象として、欠陥の画素１８を有した液晶表示装置を用意する。この実施の形態において、液晶表示装置の１つ又は複数の画素１８に、ＴＦＴ２２から画素電極２１に与えられる駆動信号が異常となる欠陥が生じ修復が必要な場合について説明する。画素電極２１に与えられる駆動信号が異常となる画素１８は、正常に駆動せず、例えば、明表示（輝点）となり、欠陥の画素１８となる。
【００４１】
続いて、用意した液晶表示装置の偏光板８２上に、図示しない粘着層により透明フィルム９０を貼付する。その後、製造装置１００のレーザ照射口１０１と欠陥の画素１８とを対向させる。続いて、製造装置１００を用い、３．０ｍＷの出力のレーザ光を透明フィルム９０を介して修理個所に照射する。この実施の形態において、修理個所とは、欠陥の画素１８の補助容量素子２３である。なお、透明フィルム９０の表面から補助容量電極４１までの距離ｄは、例えば９５０μｍである。
【００４２】
これにより、レーザ光は偏光板８２を透過するとともに集光して補助容量電極４１に照射され、図１１に示すように、レーザ光が照射された補助容量電極４１と補助容量線１７とはショートする。このため、ショートした補助容量素子２３から画素電極２１への電荷の流入又は画素電極２１からショートした補助容量素子２３への電荷の流出を生じさせることができ、欠陥が生じている画素１８は修理される。欠陥が生じている画素１８が複数存在する場合は、複数の欠陥の画素にそれぞれ上記したように透明フィルム９０の外側からレーザ光を照射すれば良い。修理された画素１８は、画素電極２１と補助容量線１７とが同電位となることで、例えば常時、黒色表示（滅点）となり、画像表示に与える悪影響を抑制することになる。  
そして、修復が必要な画素１８を修理した後、透明フィルム９０を除去することにより、液晶表示装置の製造は終了する。
【００４３】
ここで、本願発明者は、レーザ光出力に対する欠陥の画素１８の製造歩留まり率の変化を調査した。その際、レーザ光出力を１．５ｍＷから４．２ｍＷの範囲で０．１ｍＷずつ変えて補助容量素子２３レーザ光を照射し、製造歩留まり率を調査した。調査したところ、図１２に示すように、レーザ光出力が２．５ｍＷ乃至３．９ｍＷの範囲で、製造歩留まり率が８０％以上となることが判る。なお、レーザ光出力が２．７ｍＷ乃至３．４ｍＷの範囲で、製造歩留まり率１００％を得ることができる。
【００４４】
上記のように構成された液晶表示装置の製造方法によれば、第２光学部８が視角補償板８１及びＡＧ処理が施された偏光板８２を備え、かつ、画素電極２１に与えられる駆動信号が異常となる欠陥の画素１８が有る場合、偏光板８２に貼付した透明フィルム９０を介して、レーザ光を欠陥の画素の補助容量素子２３に照射している。
【００４５】
透明フィルム９０は液晶表示装置に入射されるレーザ光の不所望な光路変更を抑制するため、レーザ光は偏光板８２を透過するとともに集光して補助容量素子２３に照射される。これにより、レーザ光が照射された補助容量電極４１と補助容量線１７とはショートし、欠陥の画素１８は修理される。このため、表示面Ｓ側に偏光板８２を設けた場合であっても、補助容量素子２３にレーザ光を照射することができ、欠陥の画素１８の修正を良好に行うことができる。
【００４６】
また、補助容量素子２３にレーザ光を照射する際、レーザ光出力を２．５ｍＷ乃至３．９ｍＷの範囲、より好ましくは２，７ｍＷ乃至３．４ｍＷの範囲でレーザ光を照射すれば良好に欠陥の画素１８を修正することができる。なお、レーザ光出力が２．５ｍＷ未満になると補助容量電極４１と補助容量線１７とのショートが困難となり、レーザ光出力が３．９ｍＷを超えると欠陥の画素１８そのものが不良となる恐れがある。
【００４７】
なお、この発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、第２光学部８が視角補償板８１を備えていない液晶表示装置であっても、上述した液晶表示装置の製造方法を適用することができる。
【００４８】
この発明は、液晶表示装置の製造方法に限定されるものではなく、基板および基板上に形成された複数の画素を有した表示パネルと、表示パネルの外面に設けられているとともにアンチグレア処理が施された偏光板とを備えた表示装置の製造方法に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施の形態に係る液晶表示装置の修理方法によって修理される対象の液晶表示装置の断面図。
【図２】図１に示したアレイ基板の平面図。
【図３】図１及び図２に示したアレイ基板の一部を示す拡大平面図。
【図４】図３に示したアレイ基板の等価回路図。
【図５】図３に示した液晶表示装置の線Ａ−Ａ断面図。
【図６】図３に示した液晶表示装置の線Ｂ−Ｂ断面図。
【図７】図３及び図６に示した接続配線にレーザ光が照射されている状態を示す液晶表示装置の断面図。
【図８】図７に示した接続配線が切断されて修理された画素を示す平面図。
【図９】上記実施の形態のレーザ光出力に対する欠陥の画素の製造歩留まり率の変化をグラフで示した図。
【図１０】本発明の他の実施の形態に係る液晶表示装置の補助容量素子にレーザ光が照射されている状態を示す液晶表示装置の断面図。
【図１１】図１０に示した補助容量電極と補助容量線とがショートして修理された画素を示す平面図。
【図１２】上記他の実施の形態のレーザ光出力に対する欠陥の画素の製造歩留まり率の変化をグラフで示した図。
【符号の説明】
【００５０】
１…アレイ基板、２…対向基板、３…液晶層、４ａ，４ｂ…ガラス基板、７…光学部、８…光学部、９…バックライトユニット、１７…補助容量線、１８…画素、２１…画素電極、２２…ＴＦＴ、２３…補助容量素子、４１…補助容量電極、４４…接続配線、４７…切断部、７１…偏光板、８０…粘着層、８１…視角補償板、８２…偏光板、９０…透明フィルム、１００…製造装置、１０１…レーザ照射口、Ｐ…液晶表示パネル、Ｒ…表示領域、Ｓ…表示面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007121722.tif 000007
【図６】
2007121722.tif 000008
【図７】
2007121722.tif 000009
【図８】
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【図９】
2007121722.tif 000011
【図１０】
2007121722.tif 000012
【図１１】
2007121722.tif 000013
【図１２】
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