(57)【要約】【課題】  処理速度が向上され、判断の簡易化が出来、測定誤差の排除が向上出来るＩＣテスタ検査装置を実現する。【解決手段】  所定ピンに試験用信号を出力し出力された信号を測定プローブで測定し測定値を記録して次のピンに移行して同様の測定を行う調整結果測定手段を具備するＩＣテスタ検査装置において、  前記測定値が所定の測定精度範囲内に入っている場合には次のピンの測定に移行し、前記測定値が所定の測定精度範囲内に入っていない場合には所定の測定精度範囲内に入るまで測定を繰返し、繰返し回数が規定繰返し回数に達すればその測定値をそのまま記録して次のピンの測定に移行する調整結果測定手段を具備したことを特徴とするＩＣテスタ検査装置である。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定ピンに試験用信号を出力し出力された信号を測定プローブで測定し測定値を記録して次のピンに移行して同様の測定を行う調整結果測定手段
を具備するＩＣテスタ検査装置において、
前記測定値が所定の測定精度範囲内に入っている場合には次のピンの測定に移行し、
前記測定値が所定の測定精度範囲内に入っていない場合には所定の測定精度範囲内に入るまで測定を繰返し、繰返し回数が規定繰返し回数に達すればその測定値をそのまま記録して次のピンの測定に移行する調整結果測定手段
を具備したことを特徴とするＩＣテスタ検査装置。
【請求項２】
所定ピンに試験用信号を出力し出力された信号を測定プローブで測定し測定値を記録して次のピンに移行して同様の測定を行う調整結果測定方法
を有するＩＣテスタ検査方法において、
前記測定値が所定の測定精度範囲内に入っている場合には次のピンの測定に移行し、
前記測定値が所定の測定精度範囲内に入っていない場合には所定の測定精度範囲内に入るまで測定を繰返し、繰返し回数が規定繰返し回数に達すればその測定値をそのまま記録して次のピンの測定に移行する調整結果測定方法
を有することを特徴とするＩＣテスタ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣテスタの検査に供されるＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法に関するものである。
更に詳述すれば、本発明は、処理速度が向上され、判断の簡易化が出来、測定誤差の排除が向上出来るＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１２２６３０号公報
【０００４】
ＩＣテスタは各種ＩＣの動作特性を試験する装置であり、試験用入力信号に対する出力信号を評価することにより、ＩＣの動作が正常であるか否かを試験するものである。
このようなＩＣテスタは、試験用入力信号相互のタイミング関係を定期的にあるいは任意に検査することが行われており、この検査に専用の検査装置、即ち、ＩＣテスタ検査装置が用いられている。
【０００５】
即ち、ＩＣテスタ検査装置は、ＩＣテスタ装置の検査段階で使用する。
ピン毎に試験用信号を出力し、出力された信号を測定器にて評価することによりＩＣテスタ装置のピンのタイミングスキューを測定・検査する検査装置である。
ＩＣテスタ検査装置を用いた試験用入力信号相互のタイミング関係の検査は、近年のＩＣの高速化に伴って極めて重要になっており、より正確にＩＣの動作特性を試験する必要から検査回数も増えている。
【０００６】
図５は、従来のＩＣテスタ検査装置の概要を示す斜視図、図６は図５の側面図、図７は図５の要部構成説明図、図８は図５の動作説明図、図９は図５の測定結果説明図である。
図５において、符号１はボードフレーム、２はテストボード、３はロボットフレーム、４はロボット、５は測定プローブ、６は信号用パッド、７は制御装置、７１は制御部、８は位置決めピン、９は測定器、９１は測定部、９２は記録部、１０はＩＣテスタ、１０１は試験信号発生部である。
【０００７】
ボードフレーム１は、テストボード２を支持し、４隅にはロボットフレーム３との位置関係を規定する位置決めピン８を設けている。
テストボード２は、表面に信号用パッド６が複数形成されたプリント基板であり、ボードフレーム１の所定位置に装着されている。
【０００８】
各信号用パッド６は、試験用に試験対象ＩＣに入力する試験用入力信号が配線を介してＩＣテスタ１０から供給される。
この試験用入力信号は、テストボード２の裏面に設けられたコネクタを介してテストボード２に供給され、さらに当該テストボード２上に形成されたパターン配線を介して信号用パッド６にそれぞれ供給される。
【０００９】
図５では、概要構成を示すために信号用パッド６を例示的に６個描いているが、実際のテストボード２上には、試験対象ＩＣの試験用入力信号の数に相当する個数の信号用パッド６が形成され、また複数のＩＣを試験するためのテストボードでは、試験用入力信号の数にＩＣの個数を乗算した数の信号用パッドが多数形成されている。
このような信号用パッド６は、ＩＣテスタ１０による試験対象ＩＣの試験時には試験対象ＩＣの各入力ピンに中継ピン等を介して圧接接続され、試験用入力信号が各入力ピンに入力される。
【００１０】
ロボットフレーム３は、ロボット４を支持する金属製フレームであり、上記位置決めピン８に嵌合する位置決め孔３ａが４隅に形成されている。
ロボット４は、テストボード２に平行なＸ−Ｙ平面内で測定プローブ５を２次元移動させることにより、当該測定プローブ５を各信号用パッド６上に位置設定し、さらに測定プローブ５を降下させて信号用パッド６に圧接させる。
【００１１】
測定プローブ５は、各信号用パッド６に供給される試験用入力信号を測定器９に供給する。
測定器９は、図７に示す如く、測定部９１と記録部９２を有する。
制御装置７は、ロボット４の動作を制御する。また、測定器９は、入力信号のタイミングを計測する。
制御装置７は制御部７１を有する。なお、制御部７１からロボット４への各種制御信号については、本発明の本質的なものではないので、説明を分かりやすくするために省略する。
【００１２】
このように構成されたＩＣテスタ検査装置によれば、ロボット４の作動によって測定プローブ５が各信号用パッド６上に位置設定される。
ボードフレーム１の位置決めピン８がロボットフレーム３の位置決め孔３ａに填め合わされることにより、ロボット４とテストボード２との位置関係が高精度に規定されるので、ロボット４は、測定プローブ５を正確に各信号用パッド６上に位置設定することができる。
【００１３】
そして、このように信号用パッド６上に正確に位置設定された測定プローブ５が当該信号用パッド６に接触することによって、試験用入力信号が計測器９に供給されてタイミングが測定され、当該各試験用入力信号のタイミングが所定のタイミング関係となるようにＩＣテスタ１０が調整される。
【００１４】
以上の構成において、動作を説明する。
ＩＣテスタ内のピンの存在する範囲内を制御装置７で測定プローブ５を移動させて目的のピン位置まで移動させる。
移動中はプローブ５を上昇させて移動を行い、検査のための測定を行う場合にはプローブ５を下降させて、ＩＣテスタに接触させてタイミング検査用の試験信号の測定・検査を行う。
なお、このピン間移動と測定プローブ５の上下制御、及び、測定制御は、ＩＣテスタのプログラムによる自動制御で行うこともでき、ＩＣテスタのピン数分だけ一巡して測定する。
【００１５】
この動作を、図７と図８のフローチャートに従って説明する。
ステップＳ１で、検査を開始する。
ステップＳ２で、ロボット４を用いて、制御部７１から制御信号にて、測定プローブ５を最初のピンへ移動する。 (この場合は、１番ピンである。)
ステップＳ３で、所定位置に移動したら、ロボット４を用いて、測定プローブ５をパッド６に当てるために、測定プローブ５を下げる。
【００１６】
ステップＳ４で、制御部７１よりの試験信号発生制御信号により、試験信号発生部１０１からパッド６へ発生させた試験信号を、測定プローブ５を通して、測定器９へ入力させる。
ステップＳ５で、制御部７１から測定開始信号により、測定部９１で仕様に準じた測定を行う。
ステップＳ６で、制御部７１より試験信号発生制御信号、測定開始信号を解除し測定終了する。
測定結果を記録部９２へ送出する。
ステップＳ７で、ロボット４を用いて測定プローブ５を上げて待機する。
【００１７】
ステップＳ８で、記録部９２により測定結果を記録する。
ステップＳ９で、制御部７１にて必要ピン数分測定したかどうかを確認する。ＹＥＳの場合はステップＳ１１へ、ＮＯの場合はステップＳ１０へ移行する。
【００１８】
ステップＳ１０で、ロボット４を用いて、制御部７１からの制御信号にて、測定プローブ５を次の測定ピンへ移動する。
ステップＳ１１で、検査は終了する。
測定結果の一例を図９に示す。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
このような装置においては、以下の間題点がある。
測定を行うにあたり測定プローブ５をパッドに接触させて測定を行うため、接触不良による測定不良が発生することが多々ある。
一例として、測定するピン数は７６８ピンあり、全部の検査を行うには、１時間近くかかる。
【００２０】
検査するに当って温度変動の無い環境での検査が望ましいため、温度変動を考慮する場合には測定ミスかどうかを判断するに当たり再測定を行うには、同じ温度条件、たとえば、同じ時間に測定するのが望ましい。
また、検査を行う時間単位がピコセックｐｓ単位のため、若干の接触の違いによっても測定値に大きな影響を及ぼすことから、測定精度への影響を及ぼす大きな要因と考えられる。
【００２１】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、処理速度が向上され、判断の簡易化が出来、測定誤差の排除が向上出来るＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法を提供することにある。
【００２２】
即ち、ＩＣテスタの検査を行うに当たり、調整を行った後に、調整結果の測定を行うわけであるが、測定値を比較し各ピンごとにリアルタイムにその都度、異常値が検査用制御装置によるものなのか、ＩＣテスタの被測定装置側の不良によるものなのかを判断するために複数回数、再測定を行い判断する。
【００２３】
接触不良の場合には、複数回測定を行えば異常値は取り除くことが出来、ピン自体に異常がある場合には複数回測定しても、異常な測定値を示すため、不良品として結論付ける目安になる。
全ピンの測定が終了した後、測定値を全部チェックして、異常と思われるピンを改めて再チェックする煩わしさもなくなり、測定結果の思わしくないものに関しては結果を見るだけで、排除することができるＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のＩＣテスタ検査装置においては、
所定ピンに試験用信号を出力し出力された信号を測定プローブで測定し測定値を記録して次のピンに移行して同様の測定を行う調整結果測定手段を具備するＩＣテスタ検査装置において、
前記測定値が所定の測定精度範囲内に入っている場合には次のピンの測定に移行し、
前記測定値が所定の測定精度範囲内に入っていない場合には所定の測定精度範囲内に入るまで測定を繰返し、繰返し回数が規定繰返し回数に達すればその測定値をそのまま記録して次のピンの測定に移行する調整結果測定手段を具備したことを特徴とする。
【００２５】
本発明の請求項２のＩＣテスタ検査方法においては、
所定ピンに試験用信号を出力し出力された信号を測定プローブで測定し測定値を記録して次のピンに移行して同様の測定を行う調整結果測定方法を有するＩＣテスタ検査方法において、
前記測定値が所定の測定精度範囲内に入っている場合には次のピンの測定に移行し前記測定値が所定の測定精度範囲内に入っていない場合には所定の測定精度範囲内に入るまで測定を繰返し、繰返し回数が規定繰返し回数に達すればその測定値をそのまま記録して次のピンの測定に移行する調整結果測定方法を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、次のような効果がある。
異常ピンに対して、その場で、規定繰返し回数に達するまで繰返し測定して確認できるので、異常ピン除去の判定が即時に出来、処理速度が向上されたＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法が得られる。
全ピンの測定が終了した後、測定値を全部チェックして、異常と思われるピンを改めて再チェックする必要がないＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法が得られる。
【００２７】
異常ピンの除去の判定が即時に出来るので、測定システムの判断の簡易化が出来るＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法が得られる。
ピンの接触誤差が排除できるので、測定システムによる測定誤差の排除が向上出来るＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の要部構成説明図、図３は図１の動作説明図、図４は図１の測定結果説明図である。
図において、図５と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図５との相違部分のみ説明する。
【００２９】
図１において、制御装置１１は、所定ピンに試験用信号を出力し、出力された信号を測定プローブで測定し、測定器で測定値を記録するが、測定値が所定の測定精度範囲内に入っている場合には次にピンの測定に移行し、測定値が所定の測定精度範囲内に入っていない場合には所定の測定精度範囲内に入るまで測定を繰返し、繰返し回数が規定繰返し回数に達すればその測定値をそのまま記録して次のピンの測定に移行する。
【００３０】
制御装置１１は、図２に示す如く、制御部１１１と測定回数管理部１１２と測定判定部１１３とを有する。
なお、制御部１１１からロボット４への各種制御信号については、本発明の本質的なものではないので、説明を分かりやすくするために省略する。
ＩＣテスタ検査装置は、ピン間スキューを測定するものであり、最初のピンの測定値を基準として、他のピンの測定値は最初のピンの測定結果からの差分値を算出することによりスキュー算定する。
【００３１】
以上の構成において、図２と図３のフローチャートに従って、その動作を説明する。
ステップＳ１で、検査を開始する。
ステップＳ２で、ロボット４を用いて、制御部１１１から制御信号にて、測定プローブ５を最初のピンへ移動する。(この場合は、１番ピンである。)
【００３２】
ステップＳ３で、測定回数管理部１１２の再測定回数を０にセットする。
ステップＳ４で、所定位置に移動したら、ロボット４を用いて、測定プローブ５をパッド６に当てるために、測定プローブ５を下げる。
ステップＳ５で、制御部１１１よりの試験信号発生制御信号にて、試験信号発生部１０１からピンのパッド６へ発生させた試験信号を、測定プローブ５を通して、測定器９へ入力させる。
【００３３】
ステップＳ６で、制御部１１１からの測定開始信号により、測定部９１で仕様に準じた測定を行う。
ステップＳ７で、制御部１１１よりの試験信号発生制御信号、測定開始信号を解除し測定終了する。
測定結果を記録部９２及び、測定判定部９３へ送出する。
【００３４】
ステップＳ８で、ロボット４を用いて測定プローブ５を上げて待機する。
ステップＳ９で、測定判定部９３にて測定した結果に対して、目的とする精度の範囲内に入っているかどうかの結果判定を行う。(この場合、例えば、測定結果のタイミングが±３０ｐｓ以内に入っているかどうかを判定する。)
【００３５】
ステップＳ１０で、測定結果が異常な場合は、測定回数管理部１１２の再測定回数を＋１して、ステップＳ３へ移り再測定の準備を行う。
ステップＳ１１で、制御部１１１により、ロボット４を用いて次の測定ピンへ移動する。
ステップＳ１２で、測定判定部１１３の結果判定が異常だったかどうかを判定する。正常の場合はステップＳ１４へ、異常の場合はステップＳ１３へ移行する。（この場合の測定結果は正常値として測定を記録する。）
【００３６】
ステップＳ１３で、測定回数管理部１１２の再測定回数が規定回数を超えているかどうかを判定する（この場合は、規定回数を５回とする。繰返し回数は、接触不良の可能性を考えて十分と思われる回数を規定すれば良い。）。超えている場合はステップＳ１４へ、超えていない場合はステップＳ１０へ移行する。（この場合の測定結果は異常値として測定を記録する。）
【００３７】
ステップＳ１４で、記録部９３にて測定結果、判定結果を記録する。
ステップＳ１５で、制御部１１１にて必要ピン数分測定したかどうかを確認する。ＹＥＳの場合はステップＳ１６へ、ＮＯの場合はステップＳ１１へ移行する。
ステップＳ１６で、検査は終了する。
【００３８】
測定結果の一例を図４に示す。図９の従来例の測定結果と比較する。
図１実施例では、１回目に測定した結果を基準として±30ps以内が判定ＯＫとする。
ここでは、第１ピンが100.00psであるので、70.00〜130.00psが範囲内となる。
従来例と本発明の例では、分かりやすくするために、１回目が同じ値をしていることとする。
【００３９】
１ピン〜３ピン,７ピン以降では規定値以内なので、そのまま判定がＯＫとなり、1回測定のみとなる。
４,５,６ピンの例では、従来例では１回測定のみのため判定ＮＧとなる。
しかし、本発明の例では、４ピンの場合は２回再試行、６ピンの場合は３回再試行することにより、範囲内に収まったため、測定結果がＯＫとなることがわかる。
【００４０】
また、５ピンの例では５回再試行しても範囲外であるため判定ＮＧとし測定結果を記載している。
これにより、４ピン、６ピンは接触誤差による誤測定である可能性が高く、５ピンに関してはピンが不良である可能性が高いと考えられる。    
【００４１】
この結果、
異常ピンに対して、その場で、規定繰返し回数に達するまで繰返し測定して確認できるので（この場合は、規定回数は５回。）、異常ピン除去の判定が即時に出来、処理速度が向上されたＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法が得られる。
全ピンの測定が終了した後、測定値を全部チェックして、異常と思われるピンを改めて再チェックする必要がないＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法が得られる。
【００４２】
異常ピンの除去の判定が即時に出来るので、測定システムの判断の簡易化が出来るＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法が得られる。
ピンの接触誤差が排除できるので、測定システムによる測定誤差の排除が向上出来るＩＣテスタ検査装置とＩＣテスタ検査方法が得られる。
【００４３】
なお、最初のピンである基準となるピンに関しては、差分を比較する基準となるピンになるため比較対象となる測定値がない。
当然、接触誤差は最初のピンである基準となるピンに関しても起こりうる。
比較対象となる、最初のピンに測定誤差が含まれていた場合には、それが、正しいのか正しくないのかの検討が出来ない。
【００４４】
もし、最初のピン自体に異常な測定値が測定された場合には、それ以後の測定の差分は信頼性のない値になる (正常でも異常と判断されることもある。)。
上記を回避するためには、はじめに、８ピン程度試しに測定を行う。
最初のピンが異常だった場合には、以降のピンが異常値となるはずなのでその正常性を確認し、試しのピンが正常なら、図３のフローを継続する。
もし、異常判定されたら、このピンは異常値として、測定を中断する。
このような手法で最初のピンの判定が可能となる。
【００４５】
上記以外にも、上記フローで最初のピンが異常判定された場合には、中断するのではなく、次の２番目のピンを基準ピンとして同様のフローを行うということも可能である。
【００４６】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部構成説明図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】図１の測定結果説明図である。
【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図６】図５の側面図である。
【図７】図５の要部構成説明図である。
【図８】図５の動作説明図である。
【図９】図５の測定結果説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１      ボードフレーム
２      テストボード
３      ロボットフレーム
４      ロボット
５      測定プローブ
６      信号用パッド
７      制御装置
７１    制御部
８      位置決めピン
９      測定器
９１    測定部
９２    記録部
１０    ＩＣテスタ
１０１  試験信号発生部
１１    制御装置
１１１  制御部
１１２  測定回数管理部
１１３  測定判定部
【図１】
2007024820.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007024820.tif 000009
【図８】
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【図９】
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