(57)【要約】【課題】  研磨対象が凹凸を多数有した複雑形状体であっても、それら表面の凹凸に対して均一に研磨が行えて、適正な鏡面に仕上げることができる研磨バイトおよびそれを用いた鏡面研磨方法を提供すること【解決手段】  研磨バイトは先端に球体形状あるいは曲面体形状の永久磁石１を設けて磁場の発生源とし、少なくともｘ軸，ｙ軸，ｚ軸について多軸制御が行える駆動手段へ連係する。研磨対象４に対して永久磁石１を非接触に対面させ、研磨バイトには３次元的に移動する運動動作を行わせ、周辺に存在させた磁気研磨液５を連動することにより流体研磨を行う。研磨バイトの移動は例えば研磨対象４について投影面をくまなく走査する動作とする。永久磁石１を球体形状（曲面体形状）とするので、磁化等高線が過密になる場所が少なく、磁気研磨液中の砥粒による研削作用を場所によらずに均一化できる。【選択図】        図５
2007313634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨対象に対して非接触の状態を保ち、周辺に存在させた磁気研磨液を連動することにより流体研磨を行う研磨バイトであって、
前記研磨バイトには磁場の発生源として永久磁石を設け、当該永久磁石の形状を球体形状あるいは適宜な曲面を有した曲面体形状とすることを特徴とする研磨バイト。
【請求項２】
前記永久磁石は磁化の向きを、前記研磨バイトの回転軸に対して略一致または略平行とすることを特徴とする請求項１に記載の研磨バイト。
【請求項３】
前記永久磁石は磁化の向きを、前記研磨バイトの回転軸に対して傾く設定とし、傾き角度は前記回転軸に対して９０度以下のはさみ角とすることを特徴とする請求項１に記載の研磨バイト。
【請求項４】
前記永久磁石は、磁化の向きを複数有した多極着磁の構成とすることを特徴とする請求項１に記載の研磨バイト。
【請求項５】
前記永久磁石を支持した支持体の内部へ第２永久磁石を埋め込み状態に配置し、当該第２永久磁石は前記永久磁石と接触する所定位置に配置することを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の研磨バイト。
【請求項６】
前記永久磁石を支持した支持体は、前記研磨バイトの軸部に対して横方向のゆれ動きを許容する柔軟性連結手段を介在させて連結することを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の研磨バイト。
【請求項７】
前記柔軟性連結手段は、前記支持体の端部と前記軸部の端部とに永久磁石をそれぞれ埋め込み設け、それら両者の磁気的な吸引力により連結する構成であることを特徴とする請求項６に記載の研磨バイト。
【請求項８】
前記柔軟性連結手段は棒状の弾性部材を有し、当該弾性部材を前記支持体の端部と前記軸部の端部とに埋め込み状態に渡すことにより連結する構成であることを特徴とする請求項６に記載の研磨バイト。
【請求項９】
前記柔軟性連結手段は筒状の弾性部材を有し、当該弾性部材を前記支持体の端部と前記軸部の端部とに被せ渡すことにより連結する構成であることを特徴とする請求項６に記載の研磨バイト。
【請求項１０】
前記弾性部材が、ゴムあるいはコイル状スプリングであることを特徴とする請求項８あるいは９の何れかに記載の研磨バイト。
【請求項１１】
前記研磨バイトは駆動手段と連係させ、研磨対象に対して前記永久磁石が非接触に対面する配置とし、前記研磨対象との間に磁気研磨液を存在させて当該磁気研磨液には砥粒を混合しておき、前記駆動手段を起動することにより前記研磨バイトには所定の運動動作を行わせ、前記永久磁石の磁場により前記磁気研磨液に時間的に定常的あるいは変動的な磁場を加えて流体研磨を行うことを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載の研磨バイトを用いた鏡面研磨方法。
【請求項１２】
前記駆動手段は少なくともｘ軸，ｙ軸，ｚ軸について多軸制御の機能を有し、当該駆動手段を起動することにより前記研磨バイトには３次元的に移動する運動動作を行わせることを特徴とする請求項１１に記載の鏡面研磨方法。
【請求項１３】
前記研磨バイトの３次元的な運動動作は、研磨対象について等高線を順次に上昇していく動作とすることを特徴とする請求項１２に記載の鏡面研磨方法。
【請求項１４】
前記研磨バイトの３次元的な運動動作は、研磨対象について投影面をくまなく走査する動作とすることを特徴とする請求項１２に記載の鏡面研磨方法。
【請求項１５】
前記研磨バイトには当該軸方向において正逆反転する回転動作を行わせ、あるいは正逆移動する振動動作を行わせることを特徴とする請求項１１から１４の何れかに記載の鏡面研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨対象との間に磁気研磨液を存在させて流体研磨を行うための研磨バイトおよびそれを用いた鏡面研磨方法に関するもので、より具体的には、精密機械部品や金型や樹脂製品などの表面を鏡面に研磨するため、研磨バイトについての磁場分布および運動動作の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
研磨対象の表面を鏡面に仕上げる技術として、例えば特許文献１，２などに見られるように、磁界を作用させることで研磨を行う磁気研磨の技術が知られている。特許文献１には、磁気研磨液における分散粒子を調整することにより研磨液の性能を改善し、精密な研磨、仕上げ加工に適用し得るような技術の提案がある。特許文献２には、磁性砥粒からなる粒子ブラシと研磨対象との間で適正に相対運動を行わせること、および磁性砥粒に非磁性層を被覆することにより研磨の挙動を改善し、精密な研磨、仕上げ加工に適用し得るような技術の提案がある。そうした磁気研磨は、いわゆる非接触の研磨が行えるため強度が弱い研磨対象でも応力なく研磨が行えるメリットがあり、精密仕上げの用途に好まれている。
【０００３】
磁気研磨にあっては、磁性砥粒（粒子ブラシ）つまり研削工具は磁界により活性化するため、研磨は磁場発生源の磁極が研磨対象に対して向き合う対面部位については良好に進む特性を持つ。そこで、磁場発生源は例えば永久磁石とし、これを研磨バイトに組み付けて駆動手段により回転させる構成を採り、対面させた研磨対象との間には磁気研磨液を存在させて流体研磨を行う鏡面研磨の技術がある。
【特許文献１】特開２００２−１７０７９１号公報
【特許文献２】特開２００２−２８３２１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、係る従来の鏡面研磨の技術では以下に示すような問題がある。すなわち、研磨対象が凹凸を多数有した複雑形状（複雑形状体）である場合に適正に研磨できないことがあり、その表面形状に沿った均一な鏡面仕上げが行えずに意図しない形状に研磨してしまうことがある。これには研磨バイトによる磁場の分布が大きく影響し、例えば磁場発生源の永久磁石を角柱形状あるいは円柱形状とした場合に顕著であり、そうした磁場発生源では、研磨対象との距離が均一でないことが多々あることから、凹部と凸部との研磨レイトの差から意図しない形状変化を生じることがある。
【０００５】
この発明は上記した課題を解決するもので、その目的は、研磨対象が凹凸を多数有した複雑形状体であっても、それら表面の凹凸に対して均一に研磨が行えて、適正な鏡面に仕上げることができる研磨バイトおよびそれを用いた鏡面研磨方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した目的を達成するために、本発明に係る研磨バイトは、研磨対象に対して非接触の状態を保ち、周辺に存在させた磁気研磨液を連動することにより流体研磨を行う研磨バイトであって、研磨バイトには磁場の発生源として永久磁石を設け、当該永久磁石の形状を球体形状あるいは適宜な曲面を有した曲面体形状とする。
【０００７】
また、永久磁石は磁化の向きを、研磨バイトの回転軸に対して略一致または略平行としたり、あるいは研磨バイトの回転軸に対して傾く設定とし、傾き角度は回転軸に対して９０度以下のはさみ角とする。永久磁石は、磁化の向きを複数有した多極着磁の構成とする。
【０００８】
また、永久磁石を支持した支持体の内部へ第２永久磁石を埋め込み状態に配置し、当該第２永久磁石は前記永久磁石と接触する所定位置に配置する。
【０００９】
また、永久磁石を支持した支持体は、研磨バイトの軸部に対して横方向のゆれ動きを許容する柔軟性連結手段を介在させて連結する構成とする。柔軟性連結手段は、支持体の端部と軸部の端部とに永久磁石をそれぞれ埋め込み設け、それら両者の磁気的な吸引力により連結する構成とする。あるいはまた、柔軟性連結手段は棒状の弾性部材を有し、当該弾性部材を支持体の端部と軸部の端部とに埋め込み状態に渡すことにより連結する構成としたり、柔軟性連結手段は筒状の弾性部材を有し、当該弾性部材を支持体の端部と軸部の端部とに被せ渡すことにより連結する構成とする。弾性部材はゴムあるいはコイル状スプリングとすることができる。
【００１０】
また、本発明に係る鏡面研磨方法としては、研磨バイトは駆動手段と連係させ、研磨対象に対して永久磁石が非接触に対面する配置とし、研磨対象との間に磁気研磨液を存在させて当該磁気研磨液には砥粒を混合しておき、駆動手段を起動することにより研磨バイトには所定の運動動作を行わせ、永久磁石の磁場により磁気研磨液に時間的に定常的あるいは変動的な磁場を加えて流体研磨を行う。
【００１１】
駆動手段は少なくともｘ軸，ｙ軸，ｚ軸について多軸制御の機能を有し、当該駆動手段を起動することにより研磨バイトには３次元的に移動する運動動作を行わせる。研磨バイトの３次元的な運動動作は、研磨対象について等高線を順次に上昇していく動作としたり、あるいは研磨対象について投影面をくまなく走査する動作とする。また、研磨バイトには当該軸方向において正逆反転する回転動作を行わせ、あるいは正逆移動する振動動作を行わせる。
【００１２】
したがって本発明では、研磨バイトには球体形状あるいは曲面体形状の永久磁石を有し、これには駆動手段により所定の運動動作を行わせる。
【００１３】
研磨バイトと研磨対象との間には磁気研磨液が存在し、当該磁気研磨液は砥粒を含み、永久磁石により磁気研磨液に時間的に定常的あるいは変動的な磁場が加わると磁気クラスタが生成する。すなわち、磁気研磨液中の強磁性粒子（例えば鉄粒子），マグネタイト粒子が、磁気吸引力により多数凝集して磁気クラス夕となる。磁気クラス夕は、磁束に沿うので研磨対象に対立して針状に多数が立ち並び、これにより磁気研磨液中に存在する砥粒が研磨対象の表面に抑えつけられる。このとき、研磨バイトと研磨対象とは相対運動することから、砥粒は研磨対象の表面上を接触しつつ運動して切削（研削）を行う。
【００１４】
ところで磁気研磨では、研磨バイトと研磨対象との距離が一定であっても、永久磁石における磁束分布には形状に応じて集中部位と非集中部位とがあり、その結果、研削作用の量に差が生じる。永久磁石の角部分などは特に磁化等高線の密度が高く、磁束密度が高いことから、研削作用の量が顕著に変化する傾向にありムラを生じやすい。
【００１５】
しかし本発明にあっては、研磨バイトの永久磁石は球体形状あるいは曲面体形状としているので、磁化等高線が過密になる場所が少なく、これは角部を有する円柱形状や角柱形状の永久磁石による磁束分布と比べて格段に少なくなる。このため、砥粒による研削作用を場所によらずに均一化させることができる。
【００１６】
また、研磨バイトを３次元的に運動動作させることでは、研磨対象の凹凸形状に対応させて研磨バイトを動かすことができ、表面の全域に対して研磨を適正に行える。
【００１７】
また、永久磁石を支持した支持体の内部へ第２永久磁石を埋め込み状態に配置することでは、第２永久磁石は永久磁石と接触する所定位置に配置するので、第２永久磁石の埋め込み位置に対応して永久磁石の磁化の向きが自動的に定まる。
【００１８】
また、永久磁石を支持した支持体について柔軟性連結手段を介在させて軸部へ連結する構成では、先端部位へ外力が作用した際にはその先端側がゆれ動くことになる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る研磨バイトでは、磁場発生源の永久磁石を球体形状あるいは曲面体形状としているので、磁化等高線が過密になる場所が少なく、このため、砥粒による研削作用を場所によらずに均一化させることができる。また、研磨バイトを３次元的に運動動作させることでは、研磨対象の凹凸形状に対応させて研磨バイトを動かすことができ、表面の全域に対して研磨を適正に行える。その結果、研磨対象が凹凸を多数有した複雑形状体であっても、それら表面の凹凸に対して均一に研磨が行えて、適正な鏡面に仕上げることができる。
【００２０】
また、永久磁石を支持した支持体の内部へ第２永久磁石を埋め込み状態に配置することでは、第２永久磁石は永久磁石と接触する所定位置に配置するので、第２永久磁石の埋め込み位置に対応して永久磁石の磁化の向きが自動的に定まる。したがって、支持体の端面に永久磁石を埋め込み設ける際は位置合わせの調整は特に必要なく、永久磁石については磁化の方向を正しく設定することができ、位置決めが容易に行える。
【００２１】
また、永久磁石を支持した支持体について柔軟性連結手段を介在させて軸部へ連結する構成では、先端部位へ外力が作用した際にはその先端側がゆれ動くことになり、このため各部の損傷を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態を示している。本形態において、研磨バイトは、先端に永久磁石１を設けて磁場の発生源とし、研磨対象に対して非接触の状態を保ち、周辺に存在させた磁気研磨液を連動することにより流体研磨を行う構成になっている。
【００２３】
永久磁石１は、球体形状あるいは適宜な曲面を有した曲面体形状に形成し、円柱形状の支持体２の端面に埋め込み設けて略半分が露出する状態とし、その支持体２を軸部３の先端に一体に連結させている。
【００２４】
この永久磁石１は磁化の向きを、図２（ａ）に示すように、研磨バイトの回転軸ｓに対して略一致とし、これはズレ位置で略平行となる関係にすることもよい。また、永久磁石１の磁化の向きは、図２（ｂ）に示すように、研磨バイトの回転軸ｓに対して傾く設定とし、傾き角度は回転軸ｓに対して９０度以下のはさみ角としてもよい。さらにまた、永久磁石１は、磁化の向きを複数有した多極着磁の構成としてもよい。
【００２５】
この研磨バイトは駆動手段と連係し、その駆動手段の駆動により所定の運動動作を行うようになっている。つまり、研磨対象の表面を鏡面に仕上げる鏡面研磨においては、研磨対象に対して永久磁石１が非接触に対面する配置とし、研磨対象との間に磁気研磨液を存在させて当該磁気研磨液には砥粒を混合しておき、駆動手段を起動することにより研磨バイトには所定の運動動作を行わせ、永久磁石１の磁場により磁気研磨液に時間的に定常的あるいは変動的な磁場を加えて磁気研磨液に生成した磁気クラスタにより流体研磨を行う。
【００２６】
磁気研磨液は非磁性の砥粒を含有し、具体的には、動粘度０．０１〜１００ｍｍ２／ｓ程度の水やケロシン等の分散媒中に、粒子径１〜８０μｍの強磁性粒子を１０〜９５ｗｔ％分散させた流体に対して、粒子径１０〜５０ｎｍの球形マグネタイト粒子が、電気絶縁性を有する水やケロシン等の分散媒に一様に分散した流体を５〜９０ｗｔ％混合した複合流体に、粒子径０．０１〜１００μｍの非磁性の砥粒を混合し、さらに増粘剤としてαセルロースなどの繊維状物質あるいはポリビニルアルコール等の樹脂を５〜９０ｗｔ％混合している。この磁気研磨液は研磨対象と研磨バイトとの狭間へ供給手段により供給するようになっている。  なお、永久磁石１の形状は適宜な曲面を有した曲面体形状になっていればよく、例えば図３（ａ）に示すように、まゆ型形状に形成することもよい。また、支持体２へ埋め込み設けた際に露出側が曲面体形状であればよいので、図３（ｂ）に示すように、まゆ型形状のものを半割りして使用することもよい。
【００２７】
駆動手段は、少なくともｘ軸，ｙ軸，ｚ軸について多軸制御の機能を有するものとし、当該駆動手段を起動することにより研磨バイトには３次元的に移動する運動動作を行わせる。駆動手段としては例えばＮＣ工作機を用いればよく、ボール盤，旋盤，ＮＣ旋盤，フライス盤などの回転軸（チャック部）に研磨バイトの軸部３を取り付けし、着脱を行うようにする。
【００２８】
研磨バイトの３次元的な運動動作は、例えば図４（ａ），（ｂ）に示すように、研磨対象４について等高線を順次に上昇していく動作とする。あるいは図５（ａ），（ｂ）に示すように、研磨対象４について投影面をくまなく走査する動作とする。このとき、研磨バイトの周辺には磁気研磨液５を供給し、研磨バイトには当該軸方向において正逆反転する回転動作を行わせ、あるいは正逆移動する振動動作を行わせる。
【００２９】
研磨バイトの３次元的な動作制御にはＮＣ（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）が有効であり、研磨対象の３次元形状データ（例えばＩＧＥＳファイル）などがあれば汎用のＣＡＤ／ＣＡＭソフトを用い、研磨対象から一定の距離オフセットさせたＮＣコードに変換する。作成したＮＣプログラムからＮＣ工作機を動作させ、研磨バイトを用いて磁気研磨を行う。
【００３０】
このように本発明では、研磨バイトには球体形状あるいは曲面体形状の永久磁石１を設け、これには駆動手段により所定の運動動作を行わせる。
【００３１】
研磨バイトと研磨対象４との間には磁気研磨液５が存在し、当該磁気研磨液５は非磁性の砥粒を含み、永久磁石１により磁気研磨液に時間的に定常的あるいは変動的な磁場が加わると磁気クラスタが生成する。すなわち、磁気研磨液中の強磁性粒子（例えば鉄粒子），マグネタイト粒子が、磁気吸引力により多数凝集して磁気クラス夕となる。磁気クラス夕は、磁束に沿うので研磨対象４に対立して針状に多数が立ち並び、これにより磁気研磨液中に存在する砥粒が研磨対象４の表面に抑えつけられる。このとき、研磨バイトと研磨対象４とは相対運動することから、砥粒は研磨対象４の表面上を接触しつつ運動して切削（研削）を行う。
【００３２】
ところで磁気研磨では、研磨バイトと研磨対象４との距離が一定であっても、永久磁石１における磁束分布には形状に応じて集中部位と非集中部位とがあり、その結果、研削作用の量に差が生じる。永久磁石１の角部分などは特に磁化等高線の密度が高く、磁束密度が高いことから、研削作用の量が顕著に変化する傾向にありムラを生じやすい。このことはモデル解析により確認しており、図６は、研磨バイトの永久磁石について解析モデルを示し、（ａ）は球体形状モデルの詳細を示す説明図、（ｂ）は円柱形状モデルの詳細を示す説明図である。同図に示す条件により解析を行ったところ、球体形状モデルでは図７に示すように磁束分布は均一化しており、これに対して円柱形状モデルでは図８に示すように角部で磁束の集中が見られることを確認した。
【００３３】
本発明にあっては、研磨バイトの永久磁石１は球体形状あるいは曲面体形状としているので、磁化等高線が過密になる場所が少なく、これは角部を有する円柱形状や角柱形状の永久磁石による磁束分布と比べて格段に少なくなる。このため、砥粒による研削作用を場所によらずに均一化させることができる。また、研磨バイトを３次元的に運動動作させることでは、研磨対象４の凹凸形状に対応させて研磨バイトを動かすことができ、表面の全域に対して研磨を適正に行える。その結果、研磨対象が凹凸を多数有した複雑形状体であっても、それら表面の凹凸に対して均一に研磨が行えて、適正な鏡面に仕上げることができる。もちろん、磁気クラスタによる研磨なので研磨対象４に大きな応力をかけることなく研磨が行える。
【００３４】
（第２の実施の形態）
図９（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施の形態を示している。本形態において、研磨バイトは、先端に永久磁石１を設けて磁場の発生源とする構成を採るが、永久磁石１を支持した支持体２の内部へ第２永久磁石６を埋め込み状態に配置し、当該第２永久磁石６は永久磁石１と接触する所定位置に配置する構成にしている。
【００３５】
この場合、第２永久磁石６は永久磁石１と接触する所定位置に配置するので、永久磁石１の磁化の向きは第２永久磁石６を埋め込む位置に対応して決まることになる。つまり、第２永久磁石６の埋め込みを図９（ａ）に示すように、回転軸ｓと同心とした場合は永久磁石１の磁化の向きを回転軸ｓと略一致となる関係に設定できる。また、第２永久磁石６の埋め込みを図９（ｂ）に示すように、回転軸ｓに対して傾けた場合は永久磁石１の磁化の向きを回転軸ｓに対して所定の傾き角度となる関係に設定できる。
【００３６】
ところで、永久磁石１は形状を球体形状あるいは曲面体形状とするので、支持体２の端面に埋め込み設ける際は磁化の向きを設計仕様の向きへ正しく調整する必要がある。これには測定器を用いて磁場を測定することにより永久磁石１の姿勢（位置）を調整する方法や、あるいはジグとして用意した永久磁石を所定に向き合わせて永久磁石１の姿勢（位置）を調整する方法を採るなど、何れにしても磁化の向きの調整には多少の手間がかかる。
【００３７】
そこで本形態にあっては、第２永久磁石６を永久磁石１と接触する所定位置に配置するので、永久磁石１の磁化の向きを調整することができる。第２永久磁石６の埋め込み位置は、支持体２に対して設計仕様に応じて予め所定に決定しており、したがって、支持体２の端面に永久磁石１を埋め込み設ける際は位置合わせの調整は特に必要なく、第２永久磁石６の埋め込み位置に対応して自動的に定まる。すなわち、第２永久磁石６を付設するので、永久磁石１については磁化の方向を正しく設定することができ、位置決めが容易に行える。
【００３８】
（第３の実施の形態）
図１０から図１２は本発明の第３の実施の形態を示している。本形態において、研磨バイトは、先端に永久磁石１を設けて磁場の発生源とする構成を採るが、永久磁石１を支持した支持体２は軸部３に対して横方向のゆれ動きを許容する柔軟性連結手段を介在させて連結する構成にしている。
【００３９】
柔軟性連結手段としては図１０（ａ），（ｂ）に示すように、支持体２の端部と軸部３の端部とに永久磁石７，７をそれぞれ埋め込み設け、それら両者の磁気的な吸引力により連結する構成を採ることができる。永久磁石７はネオジウムなどから形成することが好ましい。
【００４０】
また、柔軟性連結手段としては図１１（ａ），（ｂ）に示すように、棒状の弾性部材８を備え、当該弾性部材８を支持体２の端部と軸部３の端部とに埋め込み状態に渡すことにより連結する構成にすることもよい。あるいは図１２（ａ），（ｂ）に示すように、筒状の弾性部材９を備え、当該弾性部材９を支持体２の端部と軸部３の端部とに被せ渡すことにより連結する構成にすることもできる。弾性部材８，９は、例えばゴムあるいはコイル状スプリングから形成することが好ましい。
【００４１】
ところで、この研磨バイトは流体研磨に使用することから、基本的には先端部位等へは外力は作用しないはずである。しかし、実際には流体研磨の際に何かのはずみで先端部位が研磨対象４へ接触してしまうことがあり、先端部位に対して外力が作用した際は損傷を起こすおそれがある。
【００４２】
そこで本形態にあっては、支持体２と軸部３とは柔軟性連結手段を介在させて連結するので、先端部位へ外力が作用した際には、図１０（ｂ），図１１（ｂ），図１２（ｂ）に示すように、その先端側がゆれ動くことになり、各部の損傷を防ぐことができる。
【００４３】
図１０（ａ），（ｂ）に示すように、２つの永久磁石７を柔軟性連結手段とする構成では、先端部位へ外力が作用した際に、軸部３から支持体２が分離してしまうこともあるが、支持体２，軸部３は何れも損傷はないので、支持体２はそのまま軸部３に対して再度連結させればよい。２つの永久磁石７を柔軟性連結手段とする構成の場合、軸部３に対して支持体２の着脱が容易であり、例えば先端ビットとして、それぞれ永久磁石１の形状や磁化の向きが異なる複数の支持体２を用意しておき、それら支持体２（先端ビット）は研磨工程の要求に応じてワンタッチで容易に付け替えるといった磁気研磨が行える。
【００４４】
図１１，図１２に示すように、弾性部材８，９を柔軟性連結手段とする構成では、先端部位へ外力が作用した際は弾性部材８，９がたわみ変形するので各部の損傷を防止でき、外力の作用がなくなるとともにたわみ変形がもとに戻るので、研磨バイトはそのまま自動で通常の使用が行える。
【実施例】
【００４５】
図１に示す研磨バイトを用いて試料の研磨を行った。つまり、本発明の効果を実証するため、表１に示す所定の研磨条件において試料の研磨を行い、その試料について表面粗さを評価した。
【表１】
2007313634.tif 000003
【００４６】
本発明に係る研磨バイトは、同時３軸自動制御が行える３軸研磨装置のチャック部へ装着し、研磨バイトに対して磁気研磨液（または磁気研磨ペースト）を馴染ませ、その磁気研磨液が遠心力で飛散しない回転速度（５００ｒｐｍ）により自転させる設定とし、この研磨バイトを試料から一定の距離（約１ｍｍ）オフセットした状態を保って研磨を行った。研磨バイトの運動動作は、試料について投影面をくまなく走査する動作とした。その結果、凹凸を多数有した試料であっても、均一に研磨が行えて適正な鏡面が得られることを確認した。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係る研磨バイトの第１の実施の形態を示す側面図である。
【図２】研磨バイトの永久磁石を説明する側面図であり、磁化の向きが回転軸と略一致（ａ），傾き（ｂ）の２例を示している。
【図３】永久磁石の他例（ａ），（ｂ）による研磨バイトを示す側面図である。
【図４】研磨バイトの運動動作の一例を示す側面図（ａ）および平面図（ｂ）説明図である。
【図５】研磨バイトの運動動作の他例を示す側面図（ａ）および平面図（ｂ）説明図である。
【図６】研磨バイトの永久磁石について解析モデルを示し、（ａ）は球体形状モデルの詳細を示す説明図、（ｂ）は円柱形状モデルの詳細を示す説明図である。
【図７】球体形状モデルの解析結果を示し、磁束分布のグラフ図である。
【図８】円柱形状モデルの解析結果を示し、磁束分布のグラフ図である。
【図９】本発明に係る研磨バイトの第２の実施の形態を示す側面図であり、磁化の向きが回転軸と略一致（ａ），傾き（ｂ）の２例を示している。
【図１０】本発明に係る研磨バイトの第３の実施の形態を示す側面図であり、柔軟性連結手段の第１例（ａ）と、外力の作用時における動作（ｂ）である。
【図１１】本発明に係る研磨バイトの第３の実施の形態を示す側面図であり、柔軟性連結手段の第２例（ａ）と、外力の作用時における動作（ｂ）である。
【図１２】本発明に係る研磨バイトの第３の実施の形態を示す側面図であり、柔軟性連結手段の第３例（ａ）と、外力の作用時における動作（ｂ）である。
【符号の説明】
【００４８】
１，７    永久磁石
２    支持体
３    軸部
４    研磨対象
５    磁気研磨液
６    第２永久磁石
８，９    弾性部材
ｓ    回転軸
【図１】
2007313634.tif 000004
【図２】
2007313634.tif 000005
【図３】
2007313634.tif 000006
【図４】
2007313634.tif 000007
【図５】
2007313634.tif 000008
【図６】
2007313634.tif 000009
【図７】
2007313634.tif 000010
【図８】
2007313634.tif 000011
【図９】
2007313634.tif 000012
【図１０】
2007313634.tif 000013
【図１１】
2007313634.tif 000014
【図１２】
2007313634.tif 000015