(57)【要約】【課題】燃料噴射弁から燃焼室内へ噴射する燃料の分布を変化可能とする。【解決手段】燃料噴射弁２０に複数の噴射孔３２を有するノズルプレート３０を設け、噴射孔はグループＡ、Ｂ、Ｃに分けて、各グループごとの噴射孔に通電により発熱するヒータＨａ、Ｈｂ、Ｈｃを設ける。どのヒータも通電しないときは噴射燃料の分布はピストンのキャビティ４ａに集中するが、ヒータＨａを燃料が噴射孔内で沸騰しない温度範囲で通電加熱するとグループＡの噴射孔を通過して点火プラグ６近傍領域に向いた燃料の流量が他のグループの噴射孔からの流量よりも増大する。ヒータＨｂ、Ｈｃを燃料が噴射孔内で沸騰する温度以上に通電加熱すると噴射孔内の圧力損失が増大して、グループＢ、Ｃの噴射孔を通過する燃料の量が減少する。これにより、燃料分布が変化して点火プラグ近傍の燃料を濃くすることができ、冷機時の成層燃焼に適する。【選択図】図５
2007024033.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃焼室に燃料を噴射する燃料噴射弁を備え、
該燃料噴射弁は、加圧された燃料を弁の作動により噴出するとともに、燃料の噴出口に複数の噴射孔を有するノズルプレートを備え、
該ノズルプレートの前記噴射孔が複数のグループに分けられ、少なくとも１つのグループにはヒータが付設されて、
該ヒータを作動させることにより、前記グループ単位で前記噴射孔を通過する燃料を昇温可能としたことを特徴とする内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項２】
前記ヒータが付設されたグループのうち少なくとも１つのグループの噴射孔は、当該噴射孔を通過した燃料の噴射方向が燃焼室内の点火プラグ寄りに向くように設定されていることを特徴とする請求項１に記載の内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項３】
内燃機関の成層燃焼モード時に、前記燃料の噴射方向が燃焼室内の点火プラグ寄りに向くように設定された噴射孔のグループのヒータが、前記燃料が噴射孔内で沸騰しない温度を上限として加熱されることを特徴とする請求項２に記載の内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項４】
内燃機関の成層燃焼モード時に、前記燃料の噴射方向が燃焼室内の点火プラグ寄りに向くように設定された噴射孔のグループ以外の噴射孔のグループヒータが、燃料が噴射孔内で沸騰する温度以上に加熱されることを特徴とする請求項２または３に記載の内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項５】
内燃機関の冷却水温度が所定値以下のときに、前記燃料の噴射方向が燃焼室内の点火プラグ寄りに向くように設定された噴射孔のグループのヒータが、燃料が噴射孔内で沸騰しない温度を上限として加熱されることを特徴とする請求項２から４のいずれか１に記載の内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項６】
内燃機関の冷却水温度が所定値以下のときに、前記燃料の噴射方向が燃焼室内の点火プラグ寄りに向くように設定された噴射孔のグループ以外の噴射孔のグループのヒータが、燃料が噴射孔内で沸騰する温度以上に加熱されることを特徴とする請求項２から５のいずれか１に記載の内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項７】
内燃機関の均質燃焼モード時において、燃料の要求噴射量に応じて前記ヒータの１つ以上が作動されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１に記載の内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項８】
前記ヒータは前記弁の作動に同期して作動されることを特徴とする請求項１から７のいずれか１に記載の内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項９】
前記ヒータ周囲には熱分離領域が形成され、当該ヒータは熱的に分離されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか１に記載の内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項１０】
前記熱分離領域は、熱抵抗率が高い材料または空気が充填され、あるいは真空となっていることを特徴とする請求項９に記載の内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項１１】
前記ヒータは、ジュール加熱が可能な金属によって構成されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１に記載の内燃機関の燃料噴射装置。
【請求項１２】
複数のグループに分けられた噴射孔を有し、
少なくとも１つのグループにはヒータが付設されて、
該ヒータを作動させることにより、グループ単位で前記噴射孔を通過する燃料を昇温可能としたことを特徴とする内燃機関の燃料噴射装置用のノズルプレート。
【請求項１３】
前記ヒータ周囲には熱分離領域が形成され、当該ヒータは熱的に分離されていることを特徴とする請求項１２に記載の内燃機関の燃料噴射装置用のノズルプレート。
【請求項１４】
前記熱分離領域は、熱抵抗率が高い材料または空気が充填され、あるいは真空となっていることを特徴とする請求項１３に記載の内燃機関の燃料噴射装置用のノズルプレート。
【請求項１５】
前記ヒータは、ジュール加熱が可能な金属によって構成されていることを特徴とする請求項１２から１４のいずれか１に記載の内燃機関の燃料噴射装置用のノズルプレート。
【請求項１６】
前記噴射孔は前記ヒータに設けられた孔であり、
前記ヒータは、燃料の噴射方向に対して垂直方向に多層構造となっていることを特徴とする請求項１２から１５のいずれか１に記載の内燃機関の燃料噴射装置用のノズルプレート。
【請求項１７】
複数のグループに分けられた噴射孔とグループごとに付設されたヒータとを有するノズルプレートを燃料の噴出口に備えた燃料噴射弁で、燃焼室に燃料を噴射する内燃機関において、運転状態に応じて前記ヒータを選択的に作動させて、前記グループごとに独立して前記噴射孔を通過する燃料を昇温させて、それぞれの燃料噴射量を変化させることを特徴とする内燃機関の燃料噴射方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃料を燃料噴射弁で燃焼室へ直接噴射する内燃機関の燃料噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
燃焼室へ燃料を直接噴射する直噴火花点火式の内燃機関では、その運転状態に応じて均質燃焼と成層燃焼の２つの燃焼モードを使い分けるようにしている。
均質燃焼モードは、燃料が燃焼室内全域にできるだけ均等に分布した状態で燃焼させるもので、内燃機関が出力を要求される時のモードであり、比較的大量の燃料を消費する。
一方、成層燃焼モードは、燃焼室内に燃料の濃い領域と薄い領域を形成して燃焼状態を燃焼室の部位によって異ならせるもので、内燃機関が出力をあまり要求されない時のモードであり、均質燃焼モードと比べると消費される燃料の量が少ない。
【０００３】
しかし、内燃機関のモードは要求される出力のみによって決定されるものではなく、また、消費される燃料の量、すなわち燃料噴射弁から噴出される燃料の量も異なっている。例えば、燃焼室を構成する部材の温度が低いと、燃料が壁に付着してしまい気化しない。気化しない燃料は内燃機関の運転に寄与しないので、壁に付着する分の燃料を余計に噴射する必要がある。
気化せず燃焼に寄与しなかった燃料は燃費を悪化させ、また不完全にしか燃焼しなかった分は未燃焼ガスとして排気ガスの悪化を招くことになる。
以上のように、内燃機関の運転状態によって最適な燃料噴射量、あるいは最適な噴射燃料の分布は異なっている。
【０００４】
内燃機関の運転状態に応じて燃料噴射弁から噴射される燃料の分布を変化させるための装置としては、従来、特開平７−１５１０３９号公報に開示されたものがある。
これは、燃料噴射弁から噴射される燃料の通過経路近傍にそって曲面を形成する制御板を配置し、これを通過経路に向かって接近、後退可能としたものである。制御板を通過経路に接近させると、コアンダ効果により制御板寄りに噴射方向が曲がるので、これを利用して燃料の噴射方向を変化させ、必要時には重点的に燃料を点火プラグの火花部近傍に集中させる。
【特許文献１】特開平７−１５１０３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特開平７−１５１０３９号公報に開示された従来例では、制御板を通過経路に向かって接近、後退させる可動板とするので、燃料噴射弁の開口の外側（外径側）に配置しなければならない点でサイズ的に実現性に難点があるとともに、信頼性に懸念がある。
したがって本発明は、可動部材を用いることなく燃焼室内の燃料の分布を変化可能で、信頼性の高い内燃機関の燃料噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このため本発明の燃料噴射装置は、複数のグループに分けられた噴射孔を有するノズルプレートを燃焼室に燃料を噴射する燃料噴射弁の噴出口に備え、少なくとも１つのグループにはヒータが付設されて、該ヒータを作動させることにより、グループごとに噴射孔を通過する燃料を昇温可能とするものとした。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、グループごとに付設されたヒータを作動させると当該噴射孔を通過する燃料が加熱されて昇温するので、燃料の粘度が低下し、その粘度の低下に伴って、当該グループの噴射孔の燃料流量が増加する。また、ヒータをさらに加熱させ、噴射孔内で燃料が沸騰し始めると、噴射孔内の圧力損失が急激に増加し、当該グループの噴射孔の燃料流量が減少する。これにより、可動部材を用いることなく、燃焼室の特定の領域に向かう方向の燃料流量を増加させ、或いは減少させることが噴射孔のグループ毎で可能になるので、例えば成層燃焼に好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
次に本発明の実施の形態を実施例により説明する。
まず、第１の実施例について説明する。
図１は、本実施例が適用される内燃機関の燃焼室まわりの構成と、点火プラグおよび燃料噴射弁の制御系を示す図である。
シリンダブロック１の上端にシリンダヘッド３が固定され、シリンダ２内を上下にストロークするピストン４とシリンダヘッド３の間に燃焼室Ｒが形成される。
シリンダヘッド３の中央頂部には、火花部６ａを燃焼室Ｒに臨ませた点火プラグ６が取り付けられている。シリンダヘッド３の点火プラグ６を挟む両側には、吸気通路７の開口を開閉するインテークバルブ８と、排気通路９の開口を開閉するエグゾーストバルブ１０とが設けられている。
シリンダヘッド３にはまた、吸気通路７の開口に隣接して、シリンダブロック１との結合部近傍に燃料噴射弁２０が設けられている。燃料噴射弁２０には図示しない燃料ポンプによって加圧された燃料が供給されている。
【０００９】
ピストン４の上端面には燃料噴射弁２０側に偏らせたキャビティ４ａが形成されており、燃料噴射弁２０の軸Ｌはピストン４が上死点直前にあるときのキャビティ４ａに向けられている。
点火プラグ６および燃料噴射弁２０を制御するコントロールユニット１００には、吸気通路７に設けられたエアフローメータ１０１、同じく吸気通路７の図示しないスロットルバルブに付設されたスロットル開度センサ１０２、クランク角センサ１０３、および冷却水温度センサ１０４からの各検出信号が入力されるようになっている。
コントロールユニット１００は、各センサからの検出信号に基づいて内燃機関の運転状態を判別し、運転状態に応じて点火プラグ６の点火時期および燃料噴射弁２０の噴射量を制御するとともに、燃料噴射弁２０からの噴射量および噴射燃料の分布を制御して均質燃焼モードまたは成層燃焼モードとする。
【００１０】
つぎに、図２は燃料噴射弁２０の燃焼室Ｒ側先端部の詳細構造を示す。
燃料噴射弁２０は、筐体２１の内部に燃料を一時貯留する油圧室Ｆを備える。筐体２１の底壁（図２中の下方側）には油圧室Ｆと連通する噴出口としての流量調節孔２２が形成されている。燃料噴射弁２０はその流量調節孔２２を燃焼室Ｒ内に向けて取り付けられる。
油圧室Ｆには、図示しないソレノイドにより軸方向（図１中の上下方向）に移動可能な針弁２５が備えられ、流量調節孔２２を囲んで円錐面の弁座２３が形成されている。針弁２５はその先端に弁座２３と整合する円錐面２６を備えて弁座に着座可能となっており、ソレノイドがオン、オフして上下に移動することにより流量調節孔２２を開閉する。
【００１１】
流量調節孔２２部分にはノズルプレート３０を備える。
具体的には、筐体２１の先端部に流量調節孔２２を覆うようにしてプレート保持部材２７が取り付けられており、プレート保持部材２７が流量調節孔２２の開口と対向させてノズルプレート３０を保持している。
流量調節孔２２が開かれると加圧された燃料が後述するノズルプレート３０を経て燃焼室Ｒへ噴出される。
なおプレート保持部材２７は、セラミクスや石英などの熱伝導率の小さい絶縁物２８を介してノズルプレート３０を保持している。
ノズルプレート３０からは、絶縁物２８およびプレート保持部材２７の内部を通って、引き出し電極５０、５１が外部まで延びている。
【００１２】
図３はノズルプレート３０の詳細を示し、（ａ）は筐体２１の流量調節孔２２側から見た拡大上面図、（ｂ）は（ａ）におけるＸ−Ｘ部断面図である。
ノズルプレート３０は、シリコン基板３１をベースとして構成されている。
なお図３の（ａ）では、シリコン基板３１として四角形に切り出したノズル板を示しているが、他の多角形や円形でも構わない。
シリコン基板３１には全体として円状に配置された複数の噴射孔３２が形成されている。とくに図３の（ｂ）に示されるように、噴射孔３２の全長にわたる内壁面は金属層３３で形成され、当該金属層３３は噴射孔３２の表裏面における開口まわりまで延びている。
金属層３３には、高温の燃料によって腐食しないニッケルや金などを用いる。
【００１３】
噴射孔３２は、直径を約１０μｍ以下にするとともに、アスペクト比、すなわち直径に対して長さの比を大きくしたものを多数形成して、通過する燃料との接触面積を大きくするのが好ましい。
これらの噴射孔３２は互いに隣接する３グループにグループ化されている。グループＢは上記円の直径線に沿う多数の噴射孔３２を含み、グループＡとＣはグループＢを挟んだ両側の比較的少数の噴射孔３２を含んでいる。
なお、図３では、表示の簡単化のため噴射孔３２を少数としている。
【００１４】
図３の（ａ）に示すように、噴射孔３２の開口まわりの金属層３３はグループごとにつながっており、シリコン基板３１の表面では各グループの金属層領域からシリコン基板３１の一辺３１ａに向かって互いに平行に電極部３４ａ、３４ｂ、３４ｃが延びている。そして、シリコン基板３１の裏面でも噴射孔３２の開口まわりの金属層３３はグループごとにつながっており、各グループの金属層領域から上記一辺３１ａと対向する他方の一辺３１ｂに向かって互いに平行に電極部３５ａ、３５ｂ、３５ｃが延びている。
このシリコン基板３１の表裏面に形成された電極部３４ａ〜３４ｃ、３５ａ〜３５ｃに、それぞれ引き出し電極５０、５１が接続される。なお、先の図２には簡略に引き出し電極５０、５１を１本ずつ示しているが、引き出し電極はそれぞれ各グループに対応した複数本から構成されている。
【００１５】
つぎに、上記ノズルプレート３０の製造方法を図４を参照して説明する。図４は、図３の（ａ）におけるＹ−Ｙ部断面の形成過程を示している。
まず、シリコンウエハから図４の（ａ）に示すようなシリコン基板３１を切り出し、その主面（表面）に、（ｂ）のようにマスク材４０を形成し、パターニングする。マスク材４０としては、例えば熱酸化やＣＶＤ法によりＳｉＯ２膜を形成する。
つぎにマスク材４０のパターンにしたがって、主面に対して垂直方向にシリコン基板３１をエッチングして、図４の（ｃ）のように、他方の主面（裏面）に達する貫通孔３７を形成する。
この際、形成する貫通孔３７のアスペクト比が大きい場合には、例えばエッチングと基板への保護膜形成を交互に繰り返すボッシュプロセスを採用することができる。
【００１６】
貫通孔３７を形成したあと、マスク材４０を除去し、図４の（ｄ）に示すように、新たなマスク材４２をシリコン基板３１の両主面に形成し、パターニングしてマスク穴４３を形成する。ここではマスク穴４３が同一グループとすべき貫通孔３７をつなぐようにパターニングする。
つぎに、電解メッキにより、（ｅ）のように、シリコン基板３１の表裏面のマスクされていない領域および両領域をつなぐ貫通孔３７の内壁に金属層３３が形成される。
そしてこのあと、マスク材４２を除去して、（ｆ）に示すように、金属層３３を壁面とする複数の噴射孔３２を備えるノズルプレート３０が完成する。グループ分けされた金属層３３は後述のヒータＨａ、Ｈｂ、Ｈｃを構成する。
【００１７】
上記構成になるノズルプレート３０では、引き出し電極５０、５１によりシリコン基板３１の表裏面に形成された電極部間に電圧を印加すると、グループごとに各噴射孔３２の金属層３３に平行に電流が流れてジュール熱が発生するから、グループごとの金属層３３がそれぞれヒータＨ（Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｃ）を構成する。
したがって、グループ別に電圧を印加することによりその噴射孔３２を加熱し、これにより、噴射孔３２を通過する燃料をグループ別に選択して昇温することができる。その温度上昇は、通電によってヒータＨが発生する熱量、燃料噴射弁２０の油圧室Ｆにおける燃料の圧力、流量調節孔２２外の雰囲気圧力、噴射孔３２の長さと径、噴射孔３２の壁面と燃料間の熱伝達率等で決まるが、通電により瞬時に昇温が可能である。
【００１８】
燃料が加熱によって昇温すると、まずその粘度が低下して、噴射孔３２の壁面と燃料との摩擦力が小さくなり、この結果、燃料は噴射孔３２を通りやすくなるため当該グループの噴射孔を通過して噴射される燃料の量が増加する。また、さらに通電量を増やしてヒータの温度を上げると、噴射孔内で燃料が沸騰し始め、その結果、噴射孔を通過する燃料の量は急激に減少する。したがって、特定のグループだけヒータＨに通電し、ヒータの温度を調節すると、当該グループの噴射孔３２を通過する燃料だけ流量が増大、或いは減少するので、ノズルプレート３０を通過して噴射される燃料の燃焼室Ｒ内の分布を変化させることができる。
【００１９】
ノズルプレート３０は前述のとおり燃料噴射弁２０の先端部に流量調節孔２２の開口部分に設けられるが、燃焼室Ｒに対しては次のように配置される。
すなわち、図５に示すように、ノズルプレート３０は、その噴射孔３２の３グループＡ、Ｂ、Ｃの並び方向が、燃焼室Ｒに臨ませた点火プラグ６の火花部６ａに向くように設定されている。
図６はヒータの通電による燃料の噴射量の変化を示す。
グループＡ、Ｂ、ＣのいずれもヒータＨを駆動しないときは、ノズルプレート３０を通過した噴射燃料の分布はＺ１のようになるに対して、点火プラグ６に近い側のグループＡのヒータＨａを燃料が噴射孔内で沸騰しない温度の範囲で通電し、グループＢおよびグループＣのヒータＨｂおよびＨｃを燃料が噴射孔内で沸騰する温度以上に通電して駆動したときには、グループＡの噴射孔３２を通過して点火プラグ６近傍領域に向いた燃料の流量が他のグループＢ、Ｃの噴射孔を通過する流量よりも増大して、Ｚ２の分布となる。したがって、グループＡのヒータ通電により、点火プラグ６近傍の燃料を濃くすることができる。
【００２０】
そこで、コントロールユニット１００は、冷却水温度センサ１０４で検出した温度が所定値以下の冷機時などに成層燃焼モードとするときには、グループＡのヒータＨａを燃料が噴射孔内で沸騰しない範囲で加熱し、かつグループＢおよびグループＣのヒータＨｂおよびＨｃを燃料が噴射孔内で沸騰する温度以上に加熱する。また、温度が所定値を越えた暖機後など均質燃焼モードとするときには、ヒータ駆動を行わないように制御する。
【００２１】
成層燃焼モードとする冷機時には、内燃機関の燃焼室Ｒの壁面温度が低いから、前述のように噴射燃料が壁面に付着すると熱を奪われて気相から液相に変わり、壁面に液滴として残りやすい。そのほか、燃料噴射弁２０から高圧の燃料が低圧の燃焼室Ｒへ噴射されて急激に断熱膨張するときも、燃料の温度が低下して気相から液相に変化する恐れがあるし、あるいは燃焼室Ｒ内の低温の空気と混合する際に熱を奪われて気相から液相に変化する場合がある。そして、燃料噴射弁２０から噴射された燃料が点火プラグ６に液相状態で付着すると、点火プラグがくすぶりを起こして点火機能を損なう。
【００２２】
このため、ノズルプレート３０のヒータＨは、燃焼室Ｒに噴射された燃料が気相状態を保持するように燃料を加熱昇温する。前述の燃料が噴射孔内で沸騰する温度と、気相状態を保持する温度は、一般的に燃料が噴射孔内で沸騰する温度のほうが高い。これは、燃料の沸点が印加された圧力によって異なるためであり、燃焼室内の圧力よりも噴射孔内の圧力の方が高いからである。つまり、燃料が噴射孔内では沸騰しないが、燃焼室内では沸騰する温度が存在するので、燃料を大量に噴射したい場合は、燃料が噴射孔内では沸騰しないが、燃焼室内あるいは少なくても点火プラグ近傍では気化した状態を保つ温度に、ヒータへの通電量を調節する。
【００２３】
燃焼室Ｒに噴射された燃料の液相への変化を阻止し、気相状態を保持するためには、燃料の内部エネルギーを十分高めておけばよい。そのため、コントロールユニット１００は、燃料を点火プラグ６近傍方向に噴射する少なくともグループＡのヒータＨａを、噴射孔３２を通過する燃料を超臨界流体相または亜臨界流体相とするまで昇温するように制御する。例えばガソリンの超臨界状態は、一般的に温度３００℃、４ＭＰａの条件下で生成されると言われている。
超臨界流体相または亜臨界流体相の燃料は内部エネルギーが単純気相の燃料よりも高いので、熱を奪われて液相へ相変化するのが抑止される。したがって燃料の熱を奪い温度を低下させる上述の種々の要因がある場合でも、燃料が気相に保持されるので、点火プラグ６の火花部を濡らすこともなく、しかも容易に気化されて高い燃焼効率を得ることができる。
【００２４】
ヒータＨの駆動タイミングは、流量調節孔２２を開閉する針弁２５の駆動信号に実質同期させて、引き出し電極５０、５１を介して通電することにより行い、針弁２５がオン（開）のときに通電してヒータＨを発熱させ、針弁２５がオフ（閉）のときに通電をカットする。なお、ヒータＨへの通電は燃料噴射前にヒータの温度が十分上がっているように、針弁２５のオン信号よりも若干早めに行われる。
これにより、針弁２５がオフ状態で燃料の噴射がなく、燃料とヒータＨ間の熱交換がないときに、ヒータＨの温度を過剰に上昇させヒータの金属層３３を溶融させてしまうおそれをなくしている。
なお、図６にはグループＡのヒータＨａだけを駆動した例について示したが、運転状態に応じて他のグループのヒータＨｂ、Ｈｃにも通電して駆動することができる。
上記構成によれば、ノズルプレート３０に設けた複数のヒータＨを選択的に駆動することにより、燃焼室内の燃料分布を変化させることができ、運転状態に応じた燃焼モードとすることができる。
【００２５】
以上、運転状態に応じて成層燃焼モードと均質燃焼モードを切り替える制御について説明したが、本実施例においては、噴射孔３２のグループごとにヒータＨを備えているので、必要に応じて均質燃焼モード時の燃料の最大噴射量を制御することも可能である。
その背景として、例えば車両の急加速時に多量の燃料を燃焼室Ｒに噴射したい場合がある。
燃料噴射弁２０の燃料噴射量は、主に燃料ポンプによって加圧された燃料の圧力、流量調節孔２２の開口面積および針弁２５のオン時間の３つの要素で決定される。流量調節孔２２の開口面積は製造段階で固定されてしまうため、運転状態によって燃料噴射量を切り替えるには燃料の圧力と針弁２５のオン時間のいずれかを変化させることになる。
【００２６】
この２つの手段のうちでは、針弁２５のオン時間による燃料噴射量の切り替えの方が、燃料の圧力を上下させるのに比較して応答性がよく、安価に構成できるが、しかし燃料噴射には運転状態に応じて適切な噴射量とタイミングがあるため、針弁２５をオンできる時間には限界がある。
燃料噴射弁２０は針弁２５のソレノイドに電圧を印加されて瞬時に燃料を噴射するわけではなく遅れ時間が伴うが、この遅れ時間を除けば燃料噴射量はほぼ針２５弁のオン時間に比例する。したがって針弁２５のオン時間に限界付けられた最大噴射量が存在することになる。
【００２７】
本実施例では、車両の急加速時など多量の燃料を燃焼室Ｒに噴射したい場合に、ノズルプレート３０のヒータＨを燃料が噴射孔内で沸騰しない範囲で駆動させて発熱させる。
これにより、燃料の粘度が低下して、噴射孔３２壁面と燃料との摩擦力が小さくなり、燃料が噴射孔３２を通りやすくなるから、針弁２５のオン時間を限界まで長くして得られる噴射量を越える多量の燃料が燃焼室Ｒに噴射される。
この際、必要な燃料噴射量に応じて、グループＡ、Ｂ、ＣのヒータＨａ、Ｈｂ、Ｈｃを適宜組み合わせて駆動することにより、段階的に最大噴射量を増大させることができる。
以上のように、この制御によれば、流量調節孔２２の製造段階で決定されてしまう開口面積の制約を受けず、また高圧用の高価な燃料ポンプを必要とせずに、燃料噴射弁２０からの最大噴射量を増大させることができる。
【００２８】
以上のとおり、本実施例は、燃焼室Ｒに燃料を噴射する燃料噴射弁２０が、複数のグループＡ、Ｂ、Ｃに分けられた噴射孔３２を有するノズルプレート３０を燃料の噴出口である流量調節孔２２部分に備え、各グループの噴射孔３２にはグループごとのヒータＨａ、Ｈｂ、Ｈｃが付設されて、これらのヒータに通電することにより、グループごとに噴射孔３２を通過する燃料を昇温可能としたものとした。そして、グループＡの噴射孔３２は他のグループの噴射孔よりも点火プラグ６に近い側にあって、当該噴射孔３２から噴射された燃料が点火プラグ６の近傍領域に向くようになっているので、グループＡのヒータＨａを燃料が噴射孔内で沸騰しない範囲の温度に通電加熱することにより、グループＡの噴射孔３２を通過する燃料の粘度が低下して、点火プラグ６近傍の領域に向かう燃料の流量が増大し、点火プラグ６近傍の燃料を濃くすることができ、また、グループＢおよびグループＣのヒータＨｂおよびＨｃを燃料が噴射孔内で沸騰する温度以上に通電加熱することにより、当該グループの噴射孔内の圧力損失が増加し、噴射孔を通過して噴射される燃料の量が減少するため、実質的に燃料の噴射方向を変化させたと同じ機能が得られる。したがって、内燃機関の冷却水温度が所定値以下の冷機時や、とくに成層燃焼が必要なときに好適な燃料分布が得られる。
そして、可動部材を用いて燃料噴射方向を変化させるものではないから、高い信頼性が得られる。
【００２９】
また、内燃機関の均質燃焼モード時においても、燃料の要求噴射量に応じて１つ以上のグループのヒータＨに通電して、ヒータに通電されたグループの噴射孔３２を通過する燃料を噴射孔内で沸騰しない範囲の温度に昇温することにより、粘度が低下し、流量が増大するから、燃料噴射弁２０のダイナミックレンジを拡大し、例えば車両の急加速時など多量の燃料が必要なときに有効である。
【００３０】
ヒータＨは噴射孔３２を通過する燃料を気相状態に昇温するので、容易に着火可能で、高い燃焼効率を得ることができる。
そしてとくに、噴射孔３２を通過する燃料を超臨界状態または亜臨界状態となるまで加熱することにより、燃料の内部エネルギーが高くなるので、燃焼室Ｒまわりに燃料の温度を低下させる要因があっても燃料が気相から液相に変化して点火プラグ６を濡らしてしまったり、燃焼室Ｒの壁面に液滴として付着して不完全燃焼を来たすなどのおそれもなく、排気ガスの改善が図れる。
【００３１】
また、ヒータＨは燃料を油圧室Ｆから噴出させる針弁２５のオンオフに同期して通電されるので、燃料とヒータＨ間の熱交換がないときにヒータの温度を過剰に上昇させて、ヒータＨの金属層３３を溶融、劣化させてしまうなどのおそれがない。
同じく必要のないときにヒータＨに通電しないので、余分な電力消費を低減することができる。
【００３２】
なお、実施例では、ノズルプレート３０の噴射孔３２を全体として円状に配置し、また噴射孔３２のグループ分けをグループＡとこれを挟むグループＢ、Ｃからなる３グループとしたが、噴射孔３２の全体の配置やグループ分けはこれに限定されず、燃焼室Ｒの形状や点火プラグ６の位置等に応じて任意に設定することができる。
また、噴射孔３２はすべて互いに平行に形成されたものとしたが、例えばグループによって傾斜させることにより、当該グループの噴射孔からの燃料噴射方向をより一層点火プラグ６寄りに向けることができる。
【００３３】
また、ノズルプレート３０の基板材料としてシリコンを用いたが、これに限定されない。基板材料としてセラミックや金属を用いる場合には、放電加工などを用いて貫通孔３７を形成すればよい。
とくにノズルプレート３０の基板材料を金属とする場合は、ヒータＨを駆動する際に基板材料にも電流が流れるのを防止するため、ヒータＨを形成する金属層３３と基板間に酸化膜などを形成して両者を絶縁するのが好ましい。あるいは、酸化膜などによる絶縁が困難な場合には、ヒータＨを形成する金属層３３として金、銀、銅またはこれらの合金など電気伝導度の高いものを用い、基板材料には鉄、ニッケル、亜鉛またはこれらの合金など電気伝導度の低いものを用いて、基板材料にほとんど電流が流れないようにすることができる。
なお、各グループに対するヒータＨの付設については、それぞれ金属層３３が噴射孔３２の内壁を含み基板の表裏面にわたって延びるものとしたが、これに限らず、グループの噴射孔を通過する燃料を十分に昇温できれば噴射孔の極近傍に配置されるものでもよい。
【００３４】
次に、第２の実施例について説明する。
なお本実施例は、第１の実施例における燃料噴射弁２０と構成の異なる燃料噴射弁２０Ａを用いるものであり、燃料噴射弁２０Ａの取り付け位置や制御系等は第１の実施例において図１を用いて説明した構成と同様であるので説明を省略する。
図７に、燃料噴射弁２０Ａの燃焼室Ｒ側先端部の詳細構造を示す。
プレート保持部材２７が流量調節孔２２の開口と対向する位置にノズルプレート２００を保持している。
ノズルプレート２００には、表裏面を貫通する噴射孔２５０が複数設けられている。
ノズルプレート２００からは、絶縁物２８およびプレート保持部材２７の内部を通って、複数の電極によって構成される引き出し電極群５０Ａが外部まで延びている。
他の構成は第１の実施例において図２を用いて説明した構成と同様であり同一番号を付して説明を省略する。
【００３５】
次にノズルプレート２００の詳細について説明する。
図８に、ノ−ズルプレートの分解斜視図を示し、図９に、ヒータ部の上面を示す。
ノズルプレート２００は、ヒータ部２１０と、ヒータ部２１０の上側に接合される上部２２０と、ヒータ部２１０の下側に接合される下部２３０とによって構成される。
上部２２０および下部２３０は、電気的絶縁性を有する非金属によって構成され、ヒータ部２１０は、導電性を有する金属またはＳｉによって構成されている。
【００３６】
ヒータ部２１０は、それぞれ円筒形状の外周ヒータ２１１、中央ヒータ２１２、内周ヒータ２１３とを有し、中央ヒータ２１２の内周側に内周ヒータ２１３、中央ヒータ２１２の外周側に外周ヒータ２１１が配置されている。
なお、中央ヒータ２１２と外周ヒータ２１１、中央ヒータ２１２と内周ヒータ２１３の間には隙間が設けられ、該隙間が熱分離領域２１５を構成している。
熱分離領域２１５によって、外周ヒータ２１１と中央ヒータ２１２間、内周ヒータ２１３と中央ヒータ２１２間を熱的に分離、電気的に絶縁している。
外周ヒータ２１１、中央ヒータ２１２、内周ヒータ２１３には、それぞれ円筒形状の軸方向に沿って複数の噴射孔２５０Ａが形成されている。
【００３７】
特に図９に示すように、内周ヒータ２１３は円筒形状軸方向に切込みが設けられ、切込みが設けられた両端部から外方に向かって引出部２１３ａ、２１３ｂが延びている。
引出部２１３ａ、２１３ｂは、外側端部の上方側（上部２２０が接合される側）にそれぞれ電極２１３ｃ、２１３ｄが形成されている。
なお、引出部２１３ａ、２１３ｂは、特に図８に示すように、内周ヒータ２１３の上方側端部（上部２２０と接合される側の端部）近傍に形成されている。
【００３８】
中央ヒータ２１２および外周ヒータ２１１も内周ヒータ２１３と同様に、切込みが設けられ、中央ヒータ２１２は外方に向けて引出部２１２ａ、２１２ｂが延び、引出部２１２ａ、２１２ｂの端部にそれぞれ電極２１２ｃ、２１２ｄが形成され、また外周ヒータ２１１は外方に向けて引出部２１１ａ、２１１ｂが延び、引出部２１１ａ、２１１ｂの端部にそれぞれ電極２１１ｃ、２１１ｄが形成されている。
【００３９】
これにより電極２１３ｃ、２１３ｄに電圧を印加することによって内周ヒータ２１３の全面に電流が流れて加熱される。
同様に、電極２１２ｃ、２１２ｄ間、または電極２１１ｃ、２１１ｄ間に電圧を印加するとそれぞれ中央ヒータ２１２、外周ヒータ２１１の全面に電流が流れて加熱される。
【００４０】
上部２２０は、ヒータ部２１０と接合したときに電極２１１ｃ、２１１ｄ、２１２ｃ、２１２ｄ、２１３ｃ、２１３ｄと対向する位置に、貫通孔２２１が形成されている。
また上部２２０には、ヒータ部２１０の噴射孔２５０Ａと対向する位置に噴射孔２５０Ｂが形成され、上部２２０の上方から流れる燃料を噴射孔２５０Ａへ導く。
【００４１】
下部２３０にも、ヒータ部２１０の噴射孔２５０Ａと対向する位置に噴射孔２５０Ｃが形成され、噴射孔２５０Ａを通過した燃料を燃焼室側（図８中の下方側）へ噴射する。
なお、噴射孔２５０Ａ〜２５０Ｃをまとめて噴射孔２５０と呼ぶ。
下部２３０は、燃焼室側へ噴射した燃料が跳ね返ってヒータ部２１０へ付着することでヒータ部２１０の熱容量が大きくなってしまうことを防いでいる。
【００４２】
図１０に、図９におけるＷ１−Ｗ１断面を示す。
ノズルプレート２００の外周部分は、断面コの字形状の絶縁物２８が嵌め込まれている。
外周ヒータ２１１と中央ヒータ２１２の間、中央ヒータ２１２と内周ヒータ２１３の間に形成される熱分離領域２１５は、上部２２０、下部２３０によって囲まれ、各ヒータ２１１、２１２、２１３よりも熱抵抗率の高い材料が充填されたり、真空状態とされて密封されている。
ヒータ部２１０の外周部分において、ヒータ部２１０と、上部２２０、下部２３０および絶縁物２８によって囲まれる空間も、上記と同様に熱分離領域２１５となり、各ヒータ２１１、２１２、２１３よりも熱抵抗率の高い材料または空気が充填されたり、真空状態とされて密封されている。
【００４３】
絶縁物２８には、ノズルプレート２００が嵌め込まれた状態で、ヒータ部２１０に設けられた電極２１１ｃ、２１１ｄ、２１２ｃ、２１２ｄ、２１３ｃ、２１３ｄと対向する位置に貫通孔２８ａが形成されている。
貫通孔２８ａに、それぞれ電極端子２９（本実施例では合計６個）が差し込まれ、電極端子２９と電極２１１ｃ、２１１ｄ、２１２ｃ、２１２ｄ、２１３ｃ、２１３ｄとがそれぞれ接触している。
電極端子２９には、引き出し電極群５０Ａがそれぞれ接続されている。
なお、先の図７には簡略に引き出し電極群５０Ａを３本として示したが、引き出し電極は、それぞれ各電極端子２９の数に対応した本数（本実施例では６本）から構成されている。
よって、引き出し電極群５０Ａの所定の電極間に電圧を印加することにより、所望のヒータ（２１１、２１２、２１３）を加熱させることができる。
以上のように、針弁２５からノズルプレート２００へ送られてきた燃料は、上部２２０の噴射孔２５０Ｂを通じて、ヒータ部２１０に供給され、電圧が印加された所定のヒータ（２１１、２１２、２１３）の噴射孔２５０Ａにおいて急速加熱されて、下部２３０の噴射孔２５０Ｃを通じて燃焼室へ向けて噴射される。
【００４４】
次に、ノズルプレート２００の製造方法について説明する。
ノズルプレート２００は、組み立て前にあらかじめ各部に噴射孔２５０Ａ〜２５０Ｃを形成しこれらを組み立てて噴射孔２５０を形成する方法と、組み立て後に噴射孔２５０を形成する方法とがある。
まず、組み立て前にあらかじめ各部に噴射孔２５０Ａ〜２５０Ｃなどを設けてノズルプレート２００を製造する方法について図１１の（ａ）を用いて説明する。
上部２２０と下部２３０にあらかじめ穴あけ加工によって噴射孔２５０Ｂ、２５０Ｃを開けておく。
この穴あけ加工は、ドリル加工や、放電加工、エッチング、打ち抜き等の方法を用いることができる。
【００４５】
ヒータ部２１０にも、噴射孔２５０Ａや熱分離領域２１５となる隙間を開けておく。
ここでヒータ部２１０がＳｉの場合には、Ｄｅｅｐ  ＲＩＥを用いて噴射孔２５０Ａや熱分離領域２１５となる隙間を形成することができる。
内周ヒータ２１３、中央ヒータ２１２、外周ヒータ２１１から外方に向かって延びる引出部２１１ａ、２１２ａ、２１３ａ、および不図示の引出部２１１ｂ、２１２ｂ、２１３ｂの先端部に、Ｗ、Ｎｉ、Ｐｔなどの金属を蒸着し、パターニングして電力印加のための電極２１１ｃ、２１２ｃ、２１３ｃ、および不図示の電極２１１ｄ、２１２ｄ、２１３ｄを形成する。
上部２２０において、電極２１１ｃ、２１１ｄ、２１２ｃ、２１２ｄ、２１３ｃ、２１３ｄと対向する位置に機械加工等で貫通孔２２１を形成する。
【００４６】
上部２２０に形成された噴射孔２５０Ｂ、ヒータ部２１０に形成された噴射孔２５０Ａ、下部２３０に形成された噴射孔２５０Ｃの各噴射孔が通じるように位置合わせを行い、上部２２０、ヒータ部２１０、下部２３０を接合し、外周部分を絶縁物２８によって囲む。
なおこの接合は、拡散接合や摩擦圧接を用いて行う。
ここで、上部２２０、下部２３０の構成材は熱抵抗の高いセラミックス、石英等を用い、ヒータ部２１０は熱抵抗の低い金属を用いる。
また、拡散接合の場合は、真空雰囲気あるいはアルゴンガス雰囲気、Ｎ２雰囲気を用いて行い、温度、圧力をできるだけ高くし、密着性を向上させる。
ここで、真空雰囲気中で拡散接合することにより、ヒータ部２１０の熱分離領域２１５は熱的に分離され、熱損失を減少させることができる。
【００４７】
次に他の方法として、組み立て後に噴射孔２５０を形成する方法について図１１の（ｂ）を用いて説明する。
上部２２０と、熱分離領域２１５が形成されたヒータ部２１０と、下部２３０とをそれぞれ拡散接合等によって接合し、その外周部分を絶縁物２８によって囲む。
なお、各部には噴射孔２５０Ａ、２５０Ｂ、２５０Ｃは設けられていないものとする。
熱分離領域２１５は、真空状態となるように各部を接合する。
【００４８】
上部２２０、ヒータ部２１０、下部２３０が接合された状態で、ドリル２９０による穴あけ加工によって噴射孔２５０を形成する。
この穴あけ加工は、ドリルによる穴あけ加工のほかに、放電加工、エッチング、抜き打ち等の方法を用いることができる。
これにより、あらかじめ上部２２０やヒータ部２１０に噴射孔を形成してから接合する場合に対して、噴射孔のずれの問題がない。
【００４９】
本実施例は以上のように構成され、ヒータ部２１０に熱分離領域２１５を設け、ヒータ部２１０を構成する外周ヒータ２１１、中央ヒータ２１２、内周ヒータ２１３をそれぞれ独立して加熱可能とすることにより、各ヒータ２１１、２１２、２１３ごとに噴射孔２５０Ａを通過する燃料を昇温させて燃料の粘性を制御することができる。
このように、各ヒータ２１１、２１２、２１３ごとに燃料の粘性が制御可能となることによって、燃料の噴射量、噴霧形状がコントロールでき、結果としてエンジンの運転状態に応じた理想の燃料分布を作り出すことができる。
また、各ヒータ２１１、２１２、２１３の間を熱分離領域２１５とすることによって、各ヒータ間での熱移動を抑えることができ、各ヒータ間に温度勾配を形成することができる。
【００５０】
次に、第３の実施例について説明する。
なお、本実施例は、第２の実施例におけるノズルプレート２００と異なる構成のノズルプレート３００を用いるものである。
図１２に、ノズルプレート３００の上面を示し、図１３に、図１２のＷ２−Ｗ２断面を拡大して示す。また図１４にヒータ部３１０の上面を示す。
ノズルプレート３００は、ヒータ部３１０と、ヒータ部３１０の上側に接続される上部３２０と、ヒータ部３１０の下側に接合される下部３３０とによって構成される。
【００５１】
ヒータ部３１０は、軸方向に切込みが設けられた円筒形状の外周ヒータ３１１、中央ヒータ３１２、内周ヒータ３１３によって構成され、外周ヒータ３１１、中央ヒータ３１２、内周ヒータ３１３の切込み部分の両端部の上側面に、それぞれ電極３４０（図１３参照）が設けられている。
外周ヒータ３１１と中央ヒータ３１２の間、中央ヒータ３１２と内周ヒータ３１３の間には隙間が形成され、熱分離領域３１５を構成している。
外周ヒータ３１１、中央ヒータ３１２、内周ヒータ３１３には、それぞれ噴射孔３５０Ａが設けられている。
なお外周ヒータ３１１、中央ヒータ３１２、内周ヒータ３１３の構成は第２の実施例における外周ヒータ２１１、中央ヒータ２１２、内周ヒータ２１３の構成と同様である。
【００５２】
上部３２０には、ヒータ部３１０と接合したときに噴射孔３５０Ａと対向する位置に噴射孔３５０Ｂが設けられている。
また上部３２０には、ヒータ部３１０の電極３４０と対向する位置に貫通孔３２１が形成されている。
下部３３０も上部３２０と同様に、ヒータ部３１０の噴射孔３５０Ａと対向する位置に噴射孔３５０Ｃが設けられている。
これらの噴射孔３５０Ａ、３５０Ｂ、３５０Ｃをまとめて噴射孔３５０と呼ぶ。
【００５３】
ヒータ部３１０、上部３２０、下部３３０が重ねられた状態で、上部３２０の上面には、貫通孔３２１から露出する電極３４０から上部３２０の外周部に向かって引き出し配線３４３が延びている。（図１２中、後述の絶縁物３４１の下側に引き出し配線３４３が配置されている。）
なお引き出し配線３４３は、噴射孔３５０と重ならない位置に形成されている。
【００５４】
ノズルプレート３００は、その外周部分に、断面コの字形状の絶縁物３２８が嵌め込まれている。
絶縁物３２８には貫通孔３２８ａが形成され、第２の実施例と同様に貫通孔３２８ａに電極端子３２９が差し込まれて、電極端子３２９と引き出し配線３４３とが接続されている。
電極端子３２９を通じて電圧を印加することによって外周ヒータ３１１、中央ヒータ３１２、内周ヒータ３１３を独立して昇温させることができる。
また、上部３２０の上面に形成された引き出し配線３４３は、その表面が絶縁物３４１によって覆われて燃料と電気的に絶縁されている。
【００５５】
次に、ノズルプレート３００の製造方法について説明する。
あらかじめ上部３２０の上面に引き出し配線３４３および貫通孔３２１、さらに燃料が通る噴射孔３５０Ｂを形成しておく。
ヒータ部３１０にも、熱分離領域３１５となる隙間や燃料が通る噴射孔３５０Ａ、さらに電極３４０を形成し、下部３３０にも燃料が通る噴射孔３５０Ｃを形成しておく。
噴射孔３５０Ａ、３５０Ｂ、３５０Ｃの位置を合わせてヒータ部３１０、上部３２０、下部３３０を接合し、同時に、ヒータ部３１０の電極３４０と、上部３２０の引き出し配線３４３とを接続する。
なお、ヒータ部３１０、上部３２０、下部３３０の接合後に、燃料が通過する噴射孔３５０をドリル加工等の穴あけ加工によって形成することもできる。
【００５６】
本実施例は以上のように構成され、第２の実施例と同様に、各ヒータ３１１、３１２、３１３ごとに温度制御が可能であるので、各ヒータごとに燃料の粘性が制御できる。したがって、各ヒータ３１１、３１２、３１３ごとに燃料の噴射量、噴霧形状を制御することによって、エンジンの運転状態に応じた理想の燃料分布を作りだすことができる。
特に引き出し配線３４３を上部３２０の上面に形成することにより、電極取り出し部分（電極端子３２９が形成される部分）を分散させることができ、ノズルプレート３００の径方向の大きさを小さくすることができ、また、サイズが小さくなったことにより軽量化を図ることができる。
【００５７】
なお、第２、第３の実施例において、ノズルプレートのヒータ部２１０、３１０を円筒形状であるものとしたが、図１５の（ａ）、（ｂ）に示すように、噴射孔４５０が複数設けられた平板ヒータ部４１１を所定枚数並べてヒータ部４１０を構成することもできる。
この場合にも、図１５の（ｂ）に示すように、各平板ヒータ部４１１ごとに独立して電圧を印加可能とすることにより、各平板ヒータ４１１ごとに燃料の粘性が制御できる。
また、ヒータ部の形状が平板以外にも、図１６に示すように、断面Ｌ字形状のＬ字型ヒータ部５１１を用い、Ｌ字形状内側に他のＬ字型ヒータ部５１１のＬ字形状外側が対向するように所定の隙間を設けて順次配置し、これらを組み合わせることでヒータ部５１０を構成することもできる。
これらの場合には、ヒータ部４１１、５１１の形状が単純であり、同一のパターンを集合させるため、ヒータ部４１１、５１１の製造時に１枚の金属板からの取れ効率がよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明が適用される内燃機関の燃焼室まわりの構成および制御系を示す図である。
【図２】燃料噴射弁の燃焼室側先端部の詳細構造を示す図である。
【図３】ノズルプレートの詳細を示す図である。
【図４】ノズルプレートの製造工程を示す図である。
【図５】燃焼室に対するノズルプレートの配置を示す図である。
【図６】ヒータの通電による燃料の噴射量の変化を示す図である。
【図７】燃料噴射弁の燃焼室側先端部の詳細構造を示す図である
【図８】ノズルプレートを示す分解斜視図である。
【図９】第２の実施例におけるヒータ部を示す図である。
【図１０】第２の実施例におけるノズルプレートの断面を示す図である。
【図１１】ノズルプレートの製造方法を示す図である。
【図１２】第３の実施例におけるノズルプレートを示す図である。
【図１３】図１２におけるＷ２−Ｗ２部断面を示す拡大図である。
【図１４】ヒータ部を示す図である。
【図１５】ヒータ部の変形例を示す図である。
【図１６】ヒータ部の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
１        シリンダブロック
２        シリンダ
３        シリンダヘッド
４        ピストン
４ａ      キャビティ
６        点火プラグ
６ａ      火花部
８        インテークバルブ
１０      エグゾーストバルブ
２０      燃料噴射弁
２１      筐体
２２      流量調節孔
２３      弁座
２５      針弁  （弁）
２６      円錐面
２７      プレート保持部材
２８、３２８      絶縁物
３０、２００、３００      ノズルプレート
３１      シリコン基板
３２、２５０、２５０Ａ、２５０Ｂ、２５０Ｃ、３５０、３５０Ａ、３５０Ｂ、３５０Ｃ、４５０、      噴射孔
３３      金属層
３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３５ａ、３５ｂ、３５ｃ    電極部
３７      貫通孔
４０、４２    マスク材
４３      マスク穴
５０、５１    引き出し電極
１００    コントロールユニット
１０１    エアフローメータ
１０２    スロットル開度センサ
１０３    クランク角センサ
１０４    冷却水温度センサ
２１０、３１０、４１０、５１０      ヒータ部
２１１、３１１    外周ヒータ
２１２、３１２    中央ヒータ
２１３、３１３    内周ヒータ
２１５、３１５    熱分離領域
２２０、３２０    上部
２３０、３３０    下部
４１１    平板ヒータ部
５１１    Ｌ字型ヒータ部
Ｆ        油圧室
Ｈａ、Ｈｂ、Ｈｃ    ヒータ
Ｒ        燃焼室
【図１】
2007024033.tif 000003
【図２】
2007024033.tif 000004
【図３】
2007024033.tif 000005
【図４】
2007024033.tif 000006
【図５】
2007024033.tif 000007
【図６】
2007024033.tif 000008
【図７】
2007024033.tif 000009
【図８】
2007024033.tif 000010
【図９】
2007024033.tif 000011
【図１０】
2007024033.tif 000012
【図１１】
2007024033.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2007024033.tif 000017
【図１６】
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