(57)【要約】【課題】静電容量を向上でき、かつ、静電容量のばらつきを圧縮可能な電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置、および電解コンデンサ用エッチング箔を提供する。【課題手段】電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置１０では、エッチング槽２０内に、液吐出口から吐出されたエッチング液の流れを電極２の間に向かわせる複数のフィン４（４１，４２）が配置されている。第１のフィン４１と第２のフィン４２とは、複数枚の電極２が配列されている方向でずれており、かつ、フィン４１，４２のいずれにおいても、複数枚の電極２が配列されている方向で隣接する２つのフィンでは、一方のフィンがアルミニウム箔１の幅方向への略延長線上に配置され、他方のフィンが電極２の幅方向への略延長線上に配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行するアルミニウム箔の上流側から下流側に向かって複数枚の電極が相対向するようにエッチング槽内に配列され、当該複数枚の電極の各間を前記アルミニウム箔が走行する電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置において、
前記エッチング槽には、エッチング液循環用の液吸込口と液吐出口とが構成されているとともに、前記エッチング槽内には、前記液吐出口から吐出されたエッチング液の流れを前記電極の間に向かわせる複数のフィンが配置されていることを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。
【請求項２】
請求項１において、前記液吐出口は、前記エッチング槽内における前記アルミニウム箔の走行方向の上流側端部および下流側端部のうちの少なくとも一方に配置されていることを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記複数のフィンには、前記電極の幅方向の一方側に配置された第１のフィンと、他方側に配置された第２のフィンとが含まれていることを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。
【請求項４】
請求項３において、第１のフィンと第２のフィンとは、前記複数枚の電極が配列されている方向でずれた位置に配置されていることを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４において、複数の第１のフィンおよび複数の第２のフィンのいずれにおいても、前記複数枚の電極が配列されている方向で隣接する２つのフィンでは、一方のフィンが前記アルミニウム箔の幅方向への略延長線上に配置され、他方のフィンが前記電極の幅方向への略延長線上に配置されていることを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに規定する製造装置により製造されたことを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置、および電解コンデンサ用エッチング箔に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電解コンデンサ用エッチング箔を製造する際には、塩化物を主として、リン酸、硝酸、硫酸、シュウ酸などを混合したエッチング液を貯留したエッチング槽内でアルミニウム箔の表面および裏面の双方にエッチング処理を施す。
このため、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、エッチング槽２０内には、矢印Ａで示す方向に走行するアルミニウム箔１の上流側から下流側に向かって複数枚の電極２が相対向するように配列されており、これらの電極２の各間をアルミニウム箔１が走行する。
ここで、アルミニウム箔１に対する給電は、相対向する電極２間に交流電流を印加する間接給電方式や、給電ローラによりアルミニウム箔に直接、直流または交流を印加する直接給電方式が採用される（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
また、エッチング処理を行う際、エッチング液中のアルミニウム濃度を一定に保つことを目的に、エッチング槽２０への新液の添加や、エッチング液の循環が行われる。
このため、エッチング槽２０には、エッチング槽２０の底部に設けた液吸込口２１からポンプによりエッチング液を取り出す一方、エッチング槽２０内のうち、アルミニウム箔１の走行方向における上流側端部および下流側端部の各々にパイプ３１、３２を設け、パイプ３１に形成した液吐出口（図示せず）からエッチング液をエッチング槽２０内に吐出するようになっている。
ここで、パイプ３１、３２には、例えば、矢印Ｌ１１で示すように、エッチング槽２０の内壁に対して垂直方向にエッチング液を吐出する液吐出口が１箇所形成され、矢印Ｌ１２で示すように、エッチング槽２０の内壁に水平方向にエッチング液を吐出する液吐出口が２箇所形成されている。
【非特許文献１】永田伊左也，「電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ」，日本蓄電器工業株式会社，平成９年２月２４日，第２版，Ｐ２５０−２５２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、図２（ａ）、（ｂ）に示す構造では、パイプ３１、３２の液吐出口から吐出されたエッチング液が電極２の間に効率よく供給されず、アルミニウム箔１の表面近傍での液の循環が効率よく行われないという問題がある。
【０００５】
そこで、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、アルミニウム箔１の幅方向の両側にパイプ３３、３４、３５、３６を設け、矢印Ｌ１３で示すように、パイプ３３、３４、３５、３６の液吐出口から電極２の間に向けてエッチング液を直接、吐出する構成が考えられる。
しかしながら、図３（ａ）、（ｂ）に示す構造では、パイプ３３、３４、３５、３６からのエッチング液の吐出量がある程度以上になると、その流れにより、アルミニウム箔１がばたつき、安定したエッチングを行うことができないという問題がある。
【０００６】
以上の問題に鑑みて、本発明の課題は、アルミニウム箔近傍におけるエッチング液の組成を安定化することにより、静電容量を向上でき、かつ、静電容量のばらつきを圧縮可能な電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置、および電解コンデンサ用エッチング箔を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明では、走行するアルミニウム箔の上流側から下流側に向かって複数枚の電極が相対向するようにエッチング槽内に配列され、当該複数枚の電極の各間を前記アルミニウム箔が走行する電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置において、前記エッチング槽には、エッチング液循環用の液吸込口と液吐出口とが構成されているとともに、前記エッチング槽内には、前記液吐出口から吐出されたエッチング液の流れを前記電極の間に向かわせる複数のフィンが配置されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明において、前記液吐出口は、前記エッチング槽内における前記アルミニウム箔の走行方向の上流側端部および下流側端部のうちの少なくとも一方に配置されていることが好ましい。
このように構成すると、液吐出口からのエッチング液の吐出量が多い場合でも、アルミニウム箔に向けて直接、エッチング液が吐出されないので、アルミニウム箔のばたつきを防止でき、安定したエッチングを行うことができる。
【０００９】
本発明において、前記複数のフィンには、前記電極の幅方向の一方側に配置された第１のフィンと、他方側に配置された第２のフィンとが含まれていることが好ましい。
【００１０】
この場合、第１のフィンと第２のフィンとは、前記複数枚の電極が配列されている方向でずれた位置に配置されていることが好ましい。
このように構成すると、エッチング槽内でエッチング液が均等に流れるため、アルミニウム箔近傍におけるエッチング液の組成をより安定化させることができる。それ故、静電容量をさらに向上でき、かつ、静電容量のばらつきをさらに圧縮することができる。
【００１１】
また、前記複数の第１のフィンおよび前記複数の第２のフィンのいずれにおいても、前記複数枚の電極が配列されている方向で隣接する２つのフィンでは、一方のフィンが前記アルミニウム箔の幅方向への略延長線上に配置され、他方のフィンが前記電極の幅方向への略延長線上に配置されていることが好ましい。
このように構成すると、エッチング槽内でエッチング液が均等に流れるため、アルミニウム箔近傍におけるエッチング液の組成をより安定化することができる。それ故、静電容量をさらに向上でき、かつ、静電容量のばらつきをさらに圧縮することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、エッチング槽内に、液吐出口から吐出されたエッチング液の流れを電極の間に向かわせる複数のフィンが配置されているため、液吐出口から吐出されたエッチング液が電極の間に効率よく供給される。
このため、アルミニウム箔近傍におけるエッチング液の組成を安定化することができるので、静電容量を向上でき、かつ、静電容量のばらつきを圧縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
（全体構成）
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明を適用した電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置に設けたエッチング槽内の平面構成を模式的に示す説明図、およびエッチング槽内の縦断面を模式的に示す説明図である。
【００１４】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明を適用した電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置１０は、矢印Ａで示す方向に走行するアルミニウム箔１に対してエッチング処理を行うための１以上のエッチング槽２０を備えている。
エッチング槽２０の内部には、アルミニウム箔１の上流側から下流側に向かって複数枚の電極２が相対向するように配列されており、これらの電極２の各間をアルミニウム箔１が走行するようにローラ５が配置されている。
本発明は、アルミニウム箔１に対する給電を、相対向する電極２間に交流電流を印加する間接給電方式、および給電ローラによりアルミニウム箔１に直接、直流または交流を印加する直接給電方式のいずれを採用した場合にも適用することができる。
【００１５】
また、本形態の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置１０では、エッチング槽２０への新液の添加や、エッチング液の循環を行うために、エッチング槽２０の底部に設けた液吸込口２１からポンプによりエッチング液を取り出す一方、エッチング槽２０内のうち、アルミニウム箔１の走行方向における上流側端部および下流側端部の各々にパイプ３１、３２を設け、パイプ３１、３２に形成した液吐出口（図示せず）からエッチングをエッチング槽２０内に吐出するようになっている。
すなわち、パイプ３１、３２には、例えば、矢印Ｌ１１で示すように、エッチング槽２０の内壁に対して垂直方向にエッチング液を吐出する液吐出口が１箇所形成され、矢印Ｌ１２で示すように、エッチング槽２０の内壁に水平方向にエッチング液を吐出する液吐出口が２箇所に形成されている。
【００１６】
また、本形態の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置１０において、エッチング槽２０の内部には、パイプ３１、３２の液吐出口から吐出されたエッチング液の流れを電極２の間に向かわせる複数のフィン４が配置されている。
このようなフィン４として、本形態では、電極２の幅方向の一方側においてエッチング槽２０の内壁から電極２に向けて突出した複数枚の板状の第１のフィン４１と、電極２の幅方向の他方側においてエッチング槽２０の内壁から電極２に向けて突出した複数枚の板状の第２のフィン４２とが構成されている。
【００１７】
ここで、第１のフィン４１と第２のフィン４２とは、複数枚の電極２が配列されている方向（矢印Ａで示す方向）でずれた位置に配置されている。
また、第１のフィン４１において、複数枚の電極２が配列されている方向（矢印Ａで示す方向）で隣接する２つのフィンでは、一方のフィンがアルミニウム箔１の幅方向への略延長線上に配置され、他方のフィンが電極２の幅方向への略延長線上に配置されている。
第２のフィン４２においても、第１のフィン４１と同様、複数枚の電極２が配列されている方向（矢印Ａで示す方向）で隣接する２つのフィンでは、一方のフィンがアルミニウム箔１の幅方向への略延長線上に配置され、他方のフィンが電極２の幅方向への略延長線上に配置されている。
【００１８】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置１０では、エッチング槽２０内に、液吐出口から吐出されたエッチング液の流れを電極２の間に向かわせる複数のフィン４（４１、４２）が配置されているため、液吐出口から吐出されたエッチング液が電極２の間に効率よく供給される。
しかも、第１のフィン４１と第２のフィン４２とは、複数枚の電極２が配列されている方向でずれた位置に配置され、かつ、複数の第１のフィン４１および複数の第２のフィン４２のいずれにおいても、複数枚の電極２が配列されている方向で隣接する２つのフィンでは、一方のフィンがアルミニウム箔１の幅方向への略延長線上に配置され、他方のフィンが電極２の幅方向への略延長線上に配置されている。
このため、液吐出口をエッチング槽２０内の上流側端部および下流側端部に配置した場合でも、アルミニウム箔１の表面近傍におけるエッチング液の組成を安定化することができるので、静電容量を向上でき、かつ、静電容量のばらつきを圧縮することができる。
【００１９】
例えば、図１に示す構成を採用した場合には、図２に示す構成を採用した場合と比較して、アルミニウム箔１に同等の電気量を供給したときでもエッチング減量を５．８％低減でき、静電容量として７．７％の向上を図ることができた。
また、図１に示す構成を採用した場合には、図２に示す構成を採用した場合と比較して、静電容量のばらつきを圧縮できることが確認できた。
このように、図１に示す構成を採用した場合には、図２に示す構成を採用した場合と比較して、アルミニウム箔１を最適な条件でエッチングできることが確認できた。
【００２０】
また、本形態では、液吐出口をエッチング槽２０内の上流側端部および下流側端部に配置したため、液吐出口からのエッチング液の吐出量が多い場合でも、アルミニウム箔１に向けて直接、エッチング液が吐出されないので、アルミニウム箔１のばたつきを防止でき、安定したエッチングを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】（ａ）、（ｂ）は、本発明を適用した電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置に設けたエッチング槽内の平面構成を模式的に示す説明図、およびエッチング槽内の縦断面を模式的に示す説明図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、従来の電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置に設けたエッチング槽内の平面構成を模式的に示す説明図、およびエッチング槽内の縦断面を模式的に示す説明図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、参考例に係る電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置に設けたエッチング槽内の平面構成を模式的に示す説明図、およびエッチング槽内の縦断面を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００２２】
１  アルミニウム箔
２  電極
４  フィン
５  ローラ
１０  電解コンデンサ用エッチング箔の製造装置
２０  エッチング槽
２１  液吸込口
３１、３２  液吐出口が形成されたパイプ
４１  第１のフィン
４２  第２のフィン
【図１】
2007180346.tif 000003
【図２】
2007180346.tif 000004
【図３】
2007180346.tif 000005