(57)【要約】【課題】  接点部の高い耐久性を有する構造となる接続装置を提供すること。【解決手段】  第１及び第２接続対象物５１，６１間を一軸線Ｘで接続する接続部材３と、該接続部材３を保持する外郭部材１１とを有し、前記接続部材３は、前記第１接続対象物５１と接続する第１接点部２１と、前記第２接続対象物６１と接続する第２接点部２２と、前記第１及び第２接点部２１，２２を接続している中間接続部２５とを有し、少なくとも前記第１及び第２接点部２１，２２の一方には、前記第１及び第２接続対象物５１，６１に接続する際に接続時の変位を受ける第１弾性部材３１，３２が設けられている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１接続対象物及び第２接続対象物間を接続する接続装置において、
前記第１及び第２接続対象物間で前記第１及び第２接続対象物を交差する一軸線方向に位置させて前記第１及び第２接続対象物同士を接続する接続部材と、該接続部材を保持する外郭部材とを有し、
前記接続部材は前記第１接続対象物と押圧して接続する第１接点部と、前記第２接続対象物と押圧して接続する第２接点部と、前記第１及び第２接点部間を接続している中間接続部とを有し、
少なくとも前記第１及び第２接点部の一方には、前記第１及び第２接続対象物に接続する際に接続時の変位を受ける第１弾性部材が設けられていることを特徴とする接続装置。
【請求項２】
請求項１記載の接続装置において、前記中間接続部には前記第１及び第２接続対象物によって前記第１及び第２接点部が前記一軸線方向で押圧されて接続する際に、前記一軸線を交差する交差方向へ弾性変形する少なくとも一つの第２弾性部材が設けられていることを特徴とする接続装置。
【請求項３】
請求項２記載の接続装置において、少なくとも一つの前記第１弾性部材と前記第２弾性部材とは、前記一軸線方向へ移動可能な第１連結部材によって連結されていることを特徴とする接続装置。
【請求項４】
請求項２又は３記載の接続装置において、前記第２弾性部材は前記中間接続部の前記一軸線方向で少なくとも二つを有し、二つの前記第２弾性部材は第２連結部材によって連結されていることを特徴とする接続装置。
【請求項５】
請求項４記載の接続装置において、前記第２連結部材は前記外郭部材の一部によって保持されていることを特徴とする接続装置。
【請求項６】
請求項２記載の接続装置において、前記外郭部材が絶縁部材であり、前記中間接続部及び前記第２弾性部材には、前記中間接続部及び前記第２弾性部材を外側から保持する複数の前記外郭部材が設けられていることを特徴とする接続装置。
【請求項７】
請求項６記載の接続装置において、前記弾性部材には前記中間接続部に対向する面に凹部が形成されていることを特徴とする接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接続対象物同士を電気的に接続する接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
先行技術１としては、電気的接続部を有するシリンダと、シリンダ内を往復動可能なプランジャと、シリンダ及びプランジャに沿って外側に配置され、ＩＣソケットに設置されたときに圧縮されるコイルバネとを備えている電子部品用ソケットのコンタクトプローブが知られている。コンタクトプローブの接点部は、ＩＣパッケージの半田ボールと押圧接触する（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
先行技術２としては、円筒状のケースに導電性のスプリングが内蔵されてるコンタクトピンが知られている。接続用ピン端子の一方端は、ケース内にあってスプリングと電気的に接続され、他方端部がケース外に突出している。
【０００４】
接続用ピン端子の一端は、製品デバイスのボール電極端子、ソケットボードの基板ランド部に押し付けられ、ケース内部のスプリングの押圧力を伴いケース内部に後退して電気的接触を達成する（例えば、特許文献２を参照）。
【０００５】
先行技術３としては、先端が棒状の接触子と、一端が開口した筒状をなし、開口から先端を突出させて接触子を軸方向及び横方向に移動可能に収容保持する外筒と、外筒内で接触子の奥に配置されて接触子の開口側に押圧するスプリングと外筒内で接触子の横に配置されて接触子を外筒の内側面に押圧するスプリングとを有するスプリングコンタクトが知られている（例えば、特許文献３を参照）。
【０００６】
先行技術４としては、実装基板の中央領域に複数のポゴソケットを配置している半導体装置用テストボードが知られている。ソケットの夫々には、複数のスプリングピンの夫々が夫々毎に挿入される。スプリングピンは、プランジャ、コイルスプリング及びこれらを収納する本体で構成されている。スプリングピンは、プランジャをコイルスプリングで押し当てることにより、配線基板の裏面の電極に接触し、電気的に接続される（例えば、特許文献４を参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−１６７００１号公報
【特許文献２】特開２００２−１５６３８７号公報
【特許文献３】特開平５−２６９０４号公報
【特許文献４】特開平６−８８８５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１〜４においては、コイルバネ、スプリング、スプリングピンなどを使用しているので、いずれも接点部にあたる金属部分が変形可能ではなく、電気的な接続対象となる電極に強く当てて、電極の表面の酸化膜層やコンタミネーション層を突き破ることによって除去して電気的な点接触をとる構造であるため、最低でも数ｇｆ以上の荷重をかける必要がある。
【０００９】
したがって、特許文献１〜４の構造では、必然的に、傷、接触痕、変形などの現象が起こり、ダメージを発生するものであり、使用する毎にダメージが累積し、接続不良の原因となるという問題がある。
【００１０】
また、少なくともスプリング、上下の接点部位、筐体（ハウジング）の３点以上の構成部品よりなり、また、内部にスプリングと電気的接続をとるための接続箇所が存在するので、信頼性を損なう現象を生じるという問題がある。
【００１１】
それ故に、本発明の課題は、電極の表面の酸化膜やコンタミネーション層の欠陥を通じて電気的接続を実現する構造の接続装置を提供することにある。
【００１２】
また、本発明の他の課題は、接点部に傷、接触痕、変形などが起こらず繰り返し使用によってダメージが累積することもなく、繰り返しの使用において高い耐久性を有する構造となる接続装置を提供することにある。
【００１３】
また、本発明の他の課題は、内部にスプリングを組み込む必要がなく、部品点数を低減することが可能となる接続装置を提供することにある。
【００１４】
さらに、本発明の他の課題は、接続部材が保持部材の壁面に当たってこすれることがなく、接触不良の原因となる金属粉の発生を防止できる接続装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明によれば、第１接続対象物及び第２接続対象物間を接続する接続装置において、前記第１及び第２接続対象物間で前記第１及び第２接続対象物を交差する一軸線方向に位置させて前記第１及び第２接続対象物同士を接続する接続部材と、該接続部材を保持する外郭部材とを有し、前記接続部材は前記第１接続対象物と押圧して接続する第１接点部と、前記第２接続対象物と押圧して接続する第２接点部と、前記第１及び第２接点部間を接続している中間接続部とを有し、少なくとも前記第１及び第２接点部の一方には、前記第１及び第２接続対象物に接続する際に接続時の変位を受ける第１弾性部材が設けられていることを特徴とする接続装置であることを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の接続装置によれば、接点部の変位を第１弾性部材によって受ける構成として接触面積大きくすることができるので接点部の酸化膜やコンタミネーション層の欠陥を通じて、酸化膜やコンタミネーション層を通じてもリーク（漏洩）電流で十分に低抵抗な電気的な接続が可能となる構造とすることができる。
【００１７】
また、接続装置は、接点部が接続する接続対象物の導電部の酸化膜を破る必要がないので、接点部の酸化膜層に傷を付けることもないため、傷、接触痕、変形などが起こらず繰り返し使用によってダメージが累積することもないため、繰り返しにおいて高い耐久性を有する構造となる。
【００１８】
また、接続装置は、内部にスプリングを組み込む必要がなく、接続部材、及び弾性部材によって作られているので部品点数を低減することができる。
【００１９】
さらに、接続部材は、中間接続部及び中間接続部の片側に対向する弾性部材の複数個所に外側を外郭部材としての絶縁部材によって保持した場合には、保持部材の貫通穴の壁面に弾性部材が保持部材の貫通穴の内壁面に押し当てられるので、接続部材の金属粉の発生を抑えることができ、接触不良となることを防止できる。。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の接続装置は、第１接続対象物及び第２接続対象物間を接続する接続装置において、前記第１及び第２接続対象物間で前記第１及び第２接続対象物を交差する一軸線方向に位置させて前記第１及び第２接続対象物同士を接続する接続部材と、該接続部材を保持する外郭部材とを有し、前記接続部材は前記第１接続対象物と押圧して接続する第１接点部と、前記第２接続対象物と押圧して接続する第２接点部と、前記第１及び第２接点部間を接続している中間接続部とを有し、少なくとも前記第１及び第２接点部の一方には、前記第１及び第２接続対象物に接続する際に接続時の変位を受ける第１弾性部材が設けられていることにより実現した。
【実施例１】
【００２１】
図１乃至図４は、本発明に係る接続装置の実施例１を示している。図１乃至図４を参照して、接続装置１は、第１及び第２接続対象物５１，６１間を接続する接続部材３と、接続部材３を保持する筒状の外郭部材１１と、接続部材３に設けた第１弾性部材３１，３２及び第２弾性部材３３，３４とを有している。
【００２２】
なお、実施例１における第１接続対象物５１及び第２接続対象物６１は、いずれもプリント配線基板を採用しており、第１接続対象物５１及び第２接続対象物６１間で第１接続対象物５１及び第２接続対象物６１を交差する一軸線Ｘ方向に位置させて第１及び第２接続対象物５１，６１間を接続部材３によって接続する。
【００２３】
接続部材３は、第１接続対象物５１と接続する第１接点部２１と、第２接続対象物６１と接続する第２接点部２２と、第１及び第２接点部２１，２２間を接続している一対の中間接続部２５とを有する。
【００２４】
接続部材３は、帯状の形状を呈しており、金属薄膜層を付着させた帯状かつ薄膜状のシート（例えば、アラミドシート、メンブレンシートなど）を側面略Ｕ字状及び側面略逆Ｕ字状に湾曲させることによって作られている。なお、接続部材３は、金属薄膜層の下地に樹脂薄膜を有した積層構造によって作ったものであってもよい。
【００２５】
第１及び第２接点部２１，２２は、一軸線Ｘ方向の両側に位置しており、外郭部材１１の一軸線Ｘ方向の両端から外へ突き出している。外郭部材１１は、一軸線Ｘ方向の中間部分の２箇所に外郭部材１１の一部を切り取って形成されている切り欠き部１３，１４を有する。
【００２６】
接続部材３を第１及び第２接続対象物５１，６１と接続する前の状態では、第２弾性部材３３，３４及び第２弾性部材３３，３４の外側に位置している中間接続部２５の殆どの部分が切り欠き部１３，１４に位置している。
【００２７】
第１及び第２弾性部材３１，３２、３３，３４は、粘弾性材（例えば、ゴム、ゲル状材料）によって作られている。第１及び第２接点部２１，２２には、第１及び第２接続対象物５１，６１に接続する際に接続時の変位を受けるように第１弾性部材３１，３２が設けられている。即ち、接続部材３には、第１弾性部材３１，３２が第１及び第２接点部２１，２２の側面略Ｕ字状及び側面略逆Ｕ字状部分の内側に設けられている。なお、第１弾性部材３１，３２は、第１及び第２接点部２１，２２の一方のみに設けるようにしてもよい。
【００２８】
第２弾性部材３３，３４は、接続部材３の相対向している一対の中間接続部２５の間に一軸線Ｘ方向で二つが位置している。二つの第２弾性部材３３，３４は、第１及び第２接続対象物５１，６１のそれぞれによって第１及び第２接点部２１，２２が押圧されて接続する際に、圧縮されて一軸線Ｘを交差する交差方向Ｂ１，Ｂ２へ弾性変形する。
【００２９】
さらに、第１接点部２１に設けられている第１弾性部材３１と第２弾性部材３３との間は、一軸線Ｘ方向へ移動可能な第１連結部材４１によって連結されている。第２接点部２２に設けられている第１弾性部材３２と第２弾性部材３４との間は、一軸線Ｘ方向へ移動可能な第１連結部材４３によって連結されている。
【００３０】
二つの第２弾性部材３３，３４の間は、一軸線Ｘ方向へ移動可能な第２連結部材４２によって連結されている。第２弾性部材３３，３４間を連結している第２連結部材４２は、外郭部材１１の一軸線Ｘ方向の中間接続部分によって保持固定されている。
【００３１】
第１及び第３連結部材４１，４２，４３は、これらが剛性を有する剛体によって作られている。
【００３２】
接続装置１は、図１に示したように、第１及び第２接続対象物５１，６１間で第１及び第２接続対象物５１，６１の導電部５３，６３に第１及び第２接点部２１，２２を接続するように保持部材７１に保持される。保持部材７１には、貫通穴７３が形成されている。貫通穴７３には、接続装置１を一軸線Ｘ方向に貫通させて設ける。外郭部材１１の一軸線Ｘ方向の両端部分は、貫通穴７３に接続装置１を設けた際に、保持部材７１の上面７２及び下面７３のそれぞれから一軸線Ｘ方向へ突き出している。さらに、第１及び第２接点部２１，２２は、外郭部材１１の両端から外へ突き出している。
【００３３】
接続装置１を製作するには、まず、接続部材３の互いに対向している中間接続部２５の内側に第１連結部材４１，４３及び第２連結部材４２を設け、第１及び第２接点部２１，２２の内側及び第１連結部材４１，４３及び第２連結部材４２間に第１及び第２弾性部材３１，３２，３３，３４を充填する。
【００３４】
さらに、外郭部材１１の内部に接続部材３を挿入する。このとき、第１及び第２接点部２１，２２は、外郭部材１１の一軸線Ｘ方向の両端から突き出しており、第２連結部材４２が外郭部材１１によって固定される。このようにして作られた接続装置１は、保持部材７１の貫通穴７３に挿入される。保持部材７１の上面７２及び下面７３から外郭部材１１の一軸線Ｘ方向の両端部及び第１及び第２接点部２１，２２が突き出している。
【００３５】
接続装置１は、図３に示したように、互いに平行に配置される第１及び第２接続対象物５１、６１間に位置させて第１及び第２接続対象物５１、６１の導電部５３，６３に第１及び第２接点部２１，２２を押圧させる。
【００３６】
図４にも示すように、中間接続部分の第２連結部材４２は、外郭部材１１によって固定されているので、第１連結部材４１，４３のみが第２連結部材４２方向へ移動できる。なお、図４では、第２弾性部材３３，３４を省略している。
【００３７】
また、接続部材３を第１及び第２接続対象物５１，６１と接続した後の状態では、第２弾性部材３３，３４及び第２弾性部材３３，３４の外側に位置している中間接続部２５が切り欠き部１３，１４に位置している。
【００３８】
第２弾性部材３３，３４は圧縮されて一軸線Ｘを交差する交差方向Ｂ１，Ｂ２側へ変形するので、接続部材３全体の変位を受けることができる。この際、中間接続部２５は、切り欠き部１３，１４の位置で大きく屈曲される。さらに、第１弾性部材３１，３２は、第１及び第２接点部２１，２２の変位を受ける。
【実施例２】
【００３９】
図５は、接続装置の実施例２を示している。この接続装置１０１では、第１及び第２接点部２１，２２の内側に第１弾性部材３１，３２を設けた構造となっている。なお、他の構成については実施例１によって説明した接続装置と同じ構造となっている。
【００４０】
実施例２の接続装置１０１の構成では、図１に示した第１及び第２接続対象物５１、６１の導電部５３，６３に第１及び第２接点部２１，２２を押圧させると、中間接続部分の第２連結部材４２が固定されているので、第１連結部材４１，４３が第２連結部材４２側へ移動する。
【００４１】
接続部材１の中間接続部２５は、圧縮されて一軸線Ｘを交差する交差方向Ｂ１，Ｂ２側へ変形するので接続部材３全体の変位を受ける。この際、第１弾性部材３１，３２は第１及び第２接点部２１，２２の変位を受ける。
【実施例３】
【００４２】
図６及び図７は、接続装置の実施例３を示している。図８は接続装置の断面を示している。図９は、接続部材３及び第１及び第２弾性部材３１，３２，３３，３４及び第１連結部材４１，４３及び第２連結部材４２を示している。
【００４３】
図６乃至図９を参照して、この接続装置１０２では、第１及び第２接点部２１，２２の内側に第１弾性部材３１，３２が設けられており、第２弾性部材３３，３４の片側で第１及び第２接点部２１，２２の一端間を接続している中間接続部２５を有する。なお、他の構成については実施例１によって説明した接続装置と同じ構造となっている。
【００４４】
実施例３の接続装置１０２の構成では、図１に示した第１及び第２接続対象物５１、６１の導電部５３，６３に第１及び第２接点部２１，２２を押圧させると、中間接続部分の第２連結部材４２が固定されているので、第１連結部材４１，４３が第２連結部材４２方向へ移動する。このとき、第２弾性部材３３，３４は圧縮されて一軸線Ｘを交差する交差方向Ｂ１，Ｂ２側へ変形するので接続部材３全体の変位を受ける。この際、第１弾性部材３１，３２は、第１及び第２接点部２１，２２の変位を受ける。
【実施例４】
【００４５】
図１０は、接続装置の実施例４を示している。接続装置１０３は、接続部材３の第１接点部２１及び第２接点部２２の近傍を覆う一対の外郭部材１１ａ，１１ｂと、一対の外郭部材１１ａ，１１ｂ間に挿通されている一対の内郭部材１１ｃ，１１ｄと、第１及び第２接点部２１，２２を接続している中間接続部２５と、中間接続部２５部に設けられている保持部２５ａとを有している。
【００４６】
第１及び第２接点部２１，２２には、第１弾性部材３１，３２が設けられており、第１弾性部材３１，３２に引き続き中間接続部２５に第１連結部材４１，４３が設けられている。
【実施例５】
【００４７】
図１１は、接続装置の実施例５を示している。図１１に示す接続装置１０４は、外郭部材１１が実施例１によって説明した第１及び第２弾性部材３１，３２、３３，３４と同様な弾性部材によって作られている。なお、外郭部材１１ｐは、一部を弾性部材によって作られたものでもよい。
【実施例６】
【００４８】
図１２は、接続装置１０５の実施例６を示している。図１３は図１２に示す接続装置１０５の一端部を拡大し示している。
【００４９】
図１２及び図１３を参照して、接続装置１０５は、接続部材３の第１接点部２１及び第２接点部２２の近傍までを覆う外郭部材１１ｅと、外郭部材１１ｅに挿入されている内郭部材１１ｆと、第１及び第２接点部２１，２２を接続している中間接続部２５とを有している。
【００５０】
第１及び第２接点部２１，２２には、第１弾性部材３１，３２が設けられており、第１弾性部材３１，３２に引き続き中間接続部２５に第１連結部材４１が設けられている。なお、実施例６における接続装置１０５は、単芯プローブとも呼ばれている。
【実施例７】
【００５１】
図１４乃至図１６は、接続装置の実施例７を示している。接続装置１０６は、接続部材３の第１及び第２接点部２１，２２の内側に第１弾性部材３１，３２が設けられており、第１及び第２接点部２１，２２の一端を接続している接続部材３の中間接続部２５を有する。
【００５２】
第２弾性部材３３，３４の片側には、接続部材３の中間接続部２５が対向している。第１及び第２接点部２１，２２の近傍には、接続部材３及び第１弾性部材３１，３２を外側から保持している外郭部材としての筒状の第１絶縁部材１５１，１５２が設けられている。第１及び第２弾性部材３１，３２及び接続部材の中間接続部２５には、第１及び第２弾性部材３１，３２及び中間接続部２５を外側から保持している第２絶縁部材１５３が設けられている。
【００５３】
図１７は、図１４に示した接続装置１０６を保持する保持部材１７１とともに示しており、接続対象物５１，６１に接続する前の状態を示している。
【００５４】
接続装置１０６は、図１７に示した第１及び第２接続対象物５１、６１の導電部５３，６３に第１及び第２接点部２１，２２を押圧させると、第１及び第２絶縁部材１５１，１５２，１５３が接続部材３に固定されているので、中間接続部２５と第２弾性部材３３，３４が交差方向Ｂ２へ湾曲するように撓み変形して接続部材３全体の変位を受ける。この際、第１弾性部材３１，３２は、第１及び第２接点部２１，２２の変位を受ける。
【００５５】
接続装置１０６を製作するには、接続部材３を湾曲させて第１及び第２接点部２１，２２を形成し、接続部材３に第１及び第２弾性部材３１，３２を充填し、保持部材１７１の貫通穴１７３と接触する部分に第１及び第２絶縁部材１５１，１５２，１５３を配置する。
【００５６】
接続部材３は、図１７に示すように、保持部材１７１の貫通穴１７３に挿入され、第１及び第２接続対象物５１，６１の導電部５３，６３を嵌合させて電気的に接続する。このとき、図１８に示すように、第１及び第２接続対象物５１，６１間を接続する際に、接続部材３が保持部材１７１の貫通穴１７３の壁面にこすれることがなく接触不良の原因となる接続部材３の金属粉の発生を防止できる。
【００５７】
なお、接続部材３は、保持部材１７１の貫通穴１７３の壁面に押し当てられたとしても、金属間のこすれに比べて金属粉の発生を抑えることができるが、中間接続部２５を片面のみとすることで金属部分のこすれを完全に防止することができる。
【００５８】
また、中間接続部２５が片側にあることによって、第２弾性部材３３，３４がない側に撓むが、図１９に示すように中間接続部２５に対向する第２弾性部材３３，３４の面に凹部３１ａ，３２ａを形成することで、確実に中間接続部２５を撓ませることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明に係る接続装置は、ＩＣソケットに設けられているコンタクトプローブ、ＩＣデバイスを検査するためのテスターを伴う半導体測定において、信号伝達系に配備される半導体測定装置のコンタクトピンなどの用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る接続装置の実施例１を示しており、接続装置を保持する保持部材を断面で示しており、接続対象物に接続する前の状態の接続装置を示す正面図である。
【図２】図１に示した接続装置を示す斜視図である。
【図３】図１に示した接続装置によって接続対象物間を接続した後の状態を示す正面図である。
【図４】図３に示した接続装置の斜視図である。
【図５】本発明に係る接続装置の実施例２を示しており、接続装置を保持する保持部材を断面で示しており、接続対象物に接続する前の状態の接続装置を示す正面図である。
【図６】本発明に係る接続装置の実施例３を示しており、接続装置を保持する保持部材を断面で示しており、接続対象物に接続する前の状態の接続装置を示す正面図である。
【図７】図６に示した接続装置を示す斜視図である。
【図８】図７に示した接続装置の縦断面図である。
【図９】図８に示した接続部材、弾性部材及び連結部材を示す斜視図である。
【図１０】本発明に係る接続装置の実施例４を示す斜視図である。
【図１１】本発明に係る接続装置の実施例５を示す斜視図である。
【図１２】本発明に係る接続装置の実施例６を示す斜視図である。
【図１３】図１２に示す接続装置の一端部を拡大して示した断面図である。
【図１４】本発明に係る接続装置の実施例７を示す正面図である。
【図１５】図１４に示す接続装置の側面図である。
【図１６】図１４に示した接続装置の上面図である。
【図１７】図１４に示した接続装置を保持する保持部材を断面で示しており、接続対象物に接続する前の状態の接続装置を示す正面図である。
【図１８】図１４に示した接続装置によって接続対象物間を接続した後の状態を示す正面図である。
【図１９】図１４に示した接続装置の変形例を示す正面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１，１０１，１０２，１０３，１０４，１０５    接続装置
３    接続部材
１１，１１ａ，１１ｂ，１１ｅ，１１ｐ    外郭部材
１１ｃ，１１ｄ    内郭部材
１３，１４    切り欠き部
２１    第１接点部
２２    第２接点部
２５    中間接続部
２５ａ    保持部
３１，３２    第１弾性部材
３１ａ，３２ａ    凹部
３３，３４    第２弾性部材
４１，４３    第１連結部材
４２    第２連結部材
５１    第１接続対象物
６１    第２接続対象物
７１，１７１    保持部材
１５１，１５２    第１絶縁部材
１５３    第２絶縁部材
Ｂ１，Ｂ２    交差方向
Ｘ    一軸線
【図１】
2007128727.tif 000003
【図２】
2007128727.tif 000004
【図３】
2007128727.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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