(57)【要約】【課題】本発明のフォトイメージャブル組成物はプリント配線板の製造に好適に使用される。【解決手段】本発明は、ポリマーバインダーと、光重合性化合物と、光開始剤とを含むネガ型フォトイメージャブル組成物を提供する。該組成物は、ポリマーバインダーが次式：2007034286.tif 000008で表される少なくとも一種のアクリレート化合物から得られる重合単位を含有する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトイメージャブル組成物であって、該組成物の総重量に対し、
（Ａ）３０〜８０ｗｔ％のポリマーバインダーと、
（Ｂ）５〜５０ｗｔ％の光重合性化合物と、
（Ｃ）１．５〜２０ｗｔ％の光開始剤とを含み、
成分（Ａ）のポリマーバインダーが式（１）：
【化１】
2007034286.tif 000007
（式中、Ｒ1はＨ又はメチル基であり、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4及びＲ5はそれぞれ独立してＨ、ハロゲン、又は置換若しくは無置換のＣ1〜Ｃ10アルキル基を表す）で表される構造を有する少なくとも一種のモノマーから得られる重合単位を含有することを特徴とする、フォトイメージャブル組成物。
【請求項２】
前記ポリマーバインダーの総重量に対し、式（１）で表されるモノマーの量は少なくとも５ｗｔ％である、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
式（１）で表される前記モノマーはベンジル（メタ）アクリレートである、請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
前記光重合性化合物はα，β−エチレン性不飽和化合物である、請求項１に記載の組成物。
【請求項５】
成分（Ａ）の重量平均分子量は２００００〜２０００００である、請求項１に記載の組成物。
【請求項６】
成分（Ａ）の重量平均分子量は３５０００〜１２００００である、請求項５に記載の組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルカリ水溶液中で現像可能なネガ型（negative−acting）フォトイメージング（photoimageable）組成物に関する。該組成物は、プリント配線板製造におけるアルカリエッチング、金メッキ、無電解ニッケル浸漬金メッキ（ＥＮＩＧ）の各プロセスにおいてフォトレジストとして使用できる。
【背景技術】
【０００２】
フォトイメージャブル組成物（例えば特許文献１〜３に開示）は、多くの場合スチレンや無水マレイン酸共重合体等の疎水性の高い多官能モノマー又はオリゴマーを添加して疎水性を改善することを中心に開発されている。これによりフォトイメージャブル組成物の化学的耐性が向上し、プリント配線板の製造におけるアルカリエッチングや金メッキ等において良好な効果を得ている。しかしながら、これら先行技術によれば、組成物が脆弱であること、ホールドタイムがかなり短いこと、現像後にスカムが生成しやすい等の問題が常に生じ、プリント配線板の収率に影響を及ぼしている。
【特許文献１】米国特許第５６０９９９１号
【特許文献２】米国特許第５６９８３７０号
【特許文献３】米国特許第５５７６１４５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記問題点を解決するため、本発明者らは鋭意検討した結果、特定のアクリレートを必須重合単位として重合させたポリマーバインダーが、得られるフォトイメージャブル組成物の化学的耐性を向上させ、上述の望ましくない副次的効果を低減させ、収率を著しく向上させることを見出した。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、ネガ型フォトイメージャブル組成物を提供することを目的とし、該組成物は、プリント配線板の製造においてフォトレジストとして使用できる。
【０００５】
本発明のフォトイメージャブル組成物は、
Ａ）ポリマーバインダーと、
Ｂ）光重合性化合物と、
Ｃ）光開始剤とを含み、
成分Ａ）のポリマーバインダーは、式（１）で表される少なくとも一種のモノマーから得られる重合単位を含有することを特徴とする。
【０００６】
【化１】
2007034286.tif 000002
【０００７】
（式中、Ｒ1はＨ又はメチル基であり、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4及びＲ5はそれぞれ独立してＨ、ハロゲン又は置換若しくは無置換のＣ1〜Ｃ10アルキル基を表す。）
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、特に断らない限り、組成物に関するパーセントはいずれも重量パーセントを表す。
【０００９】
本組成物の成分（Ａ）であるポリマーバインダーは、アルカリ水溶液での現像を実現するための十分な酸官能性を有し、酸価は７０ＫＯＨｍｇ／ｇ以上、好ましくは１００ＫＯＨｍｇ／ｇ以上、より好ましくは１３０ＫＯＨｍｇ／ｇ超であり、且つ上限は２５０ＫＯＨｍｇ／ｇである。酸官能性は、通常、カルボン酸官能性であるが、例えば、スルホン酸官能性及び／又はリン酸官能性であってもよい。
【００１０】
本発明の組成物において、成分（Ａ）であるポリマーバインダーの量は、組成物の総重量に対し、３０〜８０ｗｔ％、好ましくは４５〜７５ｗｔ％であり、重量平均分子量は、２００００〜２０００００、好ましくは３５０００〜１２００００である。
【００１１】
従って、本発明のポリマーバインダーは、酸官能性モノマー及び非酸官能性モノマーから誘導される単位を重合単位として有する。適切な酸官能性モノマーは特に限定されず、当業者に知られたものでよく、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クエン酸、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート、２−ヒドロキシプロピルアクリロイルホスフェート及び２−ヒドロキシ−α−アクリロイルホスフェートを挙げることができるが、これらに限定されない。本発明の一実施形態においては、好ましい酸官能性モノマーはアクリル酸とメタクリル酸である。本発明のポリマーバインダーは、酸官能性モノマーを一種以上含有していてもよい。
【００１２】
本発明によれば、前記酸官能性モノマーと共重合する非酸官能性モノマーは、式（１）で表される構造を有するモノマーを少なくとも一種含む。
【００１３】
【化２】
2007034286.tif 000003
【００１４】
（式中、Ｒ1はＨ又はメチル基であり、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4及びＲ5はそれぞれ独立してＨ、ハロゲン（即ち、フッ素、塩素又は臭素）、又は置換若しくは無置換のＣ1〜Ｃ10アルキル基を表す。）
【００１５】
本発明の一実施形態においては、式（１）の構造を有するモノマーはベンジル（メタ）アクリレートである。
【００１６】
フォトイメージャブル組成物のエッチング耐性は二重結合等量（ＤＢＥ）に依存し、この値が大きいほど良好なエッチング耐性が得られる。ベンゼン環のＤＢＥは４であり、優れたエッチング耐性を付与することができる。式（１）の構造がベンゼン環を含むことにより、式（１）化合物の化学的耐性が向上し、アルカリ水溶液中で行われる現像時のアルカリ耐性が改善される。これにより現像後には、向上した接着性が得られ、良好なアルカリエッチング耐性が得られることになる。
【００１７】
式（１）の構造を有するモノマーの量は、ポリマーバインダー固形物１００ｗｔ％に対し、５ｗｔ％以上、好ましくは５〜３５ｗｔ％である。
【００１８】
酸官能性モノマーと重合可能な適切な非酸官能性モノマーとしては、メチルアクリレートやメチルメタクリレート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタクリレート、ｎ−ヘキシルアクリレート、ｎ−ヘキシルメタクリレート、オクチルアクリレート、オクチルメタクリレート、２−エトキシエチルアクリレート、２−エトキシエチルメタクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、１，５−ペンタンジオールジアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチルアクリレート、エチレングリコ−ルジアクリレート、１，３−プロパンジオールジアクリレート、デカンジオールアクリレート、デカンジオールジメタクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、２，２−ジメチロールプロパンジアクリレート、グリセロールジアクリレート、トリプロパンジオールジアクリレート、グリセロールトリアクリレート、２，２−ジ（ｐ−ヒドロキシフェニル）−プロパンジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、１，３−プロパンジオールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、１，３−プロパンジオールジメタクリレート、１，２，４−ブタントリオールトリメタクリレート、２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、１−フェニルエチレン−１，２−ジメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、１，５−ペンタンジオールジメタクリレート、１，４−ベンゼンジオールジメタクリレート等のアクリレート類；２−メチルスチレンやビニルトルエン等の置換又は無置換スチレン類；ビニルアクリレートやビニルメタクリレート等のビニルエステル類を挙げることができる。本発明の本実施形態によれば、好ましい非酸官能性モノマーは、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタクリレート、ｎ−ヘキシルアクリレート、ｎ−ヘキシルメタクリレート、オクチルアクリレート及びオクチルメタクリレートである。
【００１９】
本発明の成分（Ｂ）の光重合性化合物は通常、エチレン性不飽和官能基、特にα，β−エチレン性不飽和官能基を有するモノマー或いは短鎖オリゴマーであり、一官能基、二官能基或いは多官能基のモノマー或いは短鎖オリゴマーが挙げられる。本発明に好適な成分（Ｂ）としては、ポリマーバインダーの製造に有用な上述の酸官能性モノマー及び非酸官能性モノマーを挙げることができるがこれらに限定されず、なかでも非酸官能性モノマーが好ましい。二官能基或いは多官能基を有する重合性モノマーとしては、トリエチレングリコールジメタクリレートやポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、１，３−プロパンジオールジメタクリレート、１，２，４−ブタントリオールトリメタクリレート、２，２，４−トリメチル−１，３−ペンタンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、１−フェニルエチレン−１，２−ジメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、１，５−ペンタノールジメタクリレート、ジアリルフマレート、スチレン、１，４−ベンゼンジオールジメタクリレート、１，４−ジイソプロペニルベンゼン、１，３，５−トリイソプロペニルベンゼン、エトキシ変性トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、及びビスフェノール−Ａ−エポキシジアクリレート（普及品）を挙げることができるが、これらに限定されない。適切なオリゴマーとしては、ウレタンアクリレートオリゴマー類や、脂肪族ウレタンオリゴマー類、エポキシアクリレートオリゴマー類を挙げることができる。本発明の樹脂組成物において、これら光重合性化合物は単独又は二種以上を混合して使用することができる。光重合性化合物の量は通常、組成物の総重量に対し、５〜５０ｗｔ％、好ましくは１０〜４０ｗｔ％である。
【００２０】
本組成物の成分（Ｃ）は光開始剤であり、露光に際しフリーラジカルを生成し、フリーラジカルの移動によって重合を開始させることができる。光開始剤の種類は、当業者によく知られている。本発明に好適な光開始剤としては、ｎ−フェニルグリシンや９−フェニルアクリジン、ベンゾイン類、ベンジルジメチルケタール、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体（例えば、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体）等を挙げることができるが、これらに限定されない。更に、適切な９−フェニルアクリジンホモログ、例えば、米国特許第５２１７８４５号（該特許の開示内容を本明細書の一部を構成するものとしてここに援用する）に開示のホモログもまた本発明の光開始剤として有用である。
【００２１】
光開始剤の量は、１.５〜２０ｗｔ％、好ましくは２〜１５ｗｔ％である。
【００２２】
本発明の組成物は、当業者によく知られた添加剤、即ち成分（Ｄ）を任意に含有することができる。この例としては、染料、安定化剤、カップラー、可撓性付与剤、フィラー又はそれらの組合せを挙げることができるが、これらに限定されない。
【００２３】
本発明のフォトイメージャブル組成物は、プリント配線板製造においてフォトレジストとして使用できる。例えば、液状組成物を用いて或いはドライフィルムの転写形成によりフォトイメージャブル組成物層を銅張板の銅表面に形成する。次いでフォトマスクを介してフォトイメージャブル組成物層を化学線露光することにより、露光領域のモノマーが重合し、デベロッパーに対して耐性を有する架橋構造が形成される。また、未露光領域は希アルカリ水溶液、例えば、１％炭酸ナトリウム水溶液で現像される。ポリマーバインダーに含有されるカルボキシル基の塩形成はアルカリ水溶液により促進されるため、バインダーは溶解除去可能となる。現像後、非被覆銅膜はアルカリ性エッチャント、例えば、銅−アミン錯塩とアンモニア水との混合溶液、によってエッチング除去され、プリント配線が形成される。最後に、残留するフォトレジスト層を水酸化ナトリウム等のストリッパーで除去する。
【００２４】
以下、実施例を挙げて本発明を更に説明するが、本発明の範囲を何ら限定するものではない。
【実施例】
【００２５】
ポリマーＡ−１の合成
メタクリル酸２２４ｇ、メチルメタクリレート２８８ｇ、ブチルアクリレート１０４ｇ、ベンジルアクリレート１２０ｇ及びブチルメタクリレート６４ｇを、溶媒としての２−ブタノン５７５ｇとイソプロパノール１７５ｇと共に四つ口丸底フラスコに投入し、攪拌、加熱還流した。次に、溶媒２−ブタノン１００ｇと開始剤２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３ｇの混合液を１時間かけて滴下し、反応混合物を０.５時間還流した。続いて、２−ブタノン５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１ｇを添加し、２時間還流した。更に、２−ブタノン１５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４ｇを添加し、６時間還流した。得られた反応物を冷却し、粘度９８００（２５℃）、平均分子量約８２０００のポリマーバインダーＡ−１を得た。
【００２６】
ポリマーＡ−２の合成
メタクリル酸２２４ｇ、メチルメタクリレート３０４ｇ、ブチルアクリレート１３６ｇ、ベンジルメタクリレート１２０ｇ及び２−エチルヘキシルアクリレート８８ｇを、溶媒としての２−ブタノン５７５ｇとイソプロパノール１７５ｇと共に四つ口丸底フラスコに投入し、攪拌、加熱還流した。次に、溶媒２−ブタノン１００ｇと開始剤２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３ｇの混合液を１時間かけて滴下し、反応混合物を０．５時間還流した。続いて、２−ブタノン５０ｇ、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１ｇ及びスチレン４８ｇを添加し、２時間還流した。更に、２−ブタノン１５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４ｇを添加し、６時間還流した。得られた反応物を冷却し、粘度１１５００（２５℃）、平均分子量約６００００のポリマーバインダーＡ−２を得た。
【００２７】
ポリマーＡ−３の合成
メタクリル酸２２４ｇ、メチルメタクリレート２８８ｇ、ブチルアクリレート１０４ｇ及びブチルメタクリレート６４ｇを、溶媒としての２−ブタノン５７５ｇとイソプロパノール１７５ｇと共に四つ口丸底フラスコに投入し、攪拌、加熱還流した。次に、２−ブタノン１００ｇ、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３ｇ、スチレン１２０ｇの混合液を１時間かけて滴下し、０.５時間還流した。続いて、２−ブタノン５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１ｇを添加し、２時間還流した。更に、２−ブタノン１５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４ｇを添加し、６時間還流した。次いで、得られた反応物を冷却し、粘度１１０００（２５℃）、平均分子量約８００００のポリマーバインダーＡ−３を得た。
【００２８】
ポリマーＡ−４の合成
メタクリル酸２２４ｇ、メチルメタクリレート３０４ｇ、ブチルアクリレート１３６ｇ及び２−エチルヘキシルアクリレート８８ｇを、溶媒としての２−ブタノン５７５ｇとイソプロパノール１７５ｇと共に四つ口丸底フラスコに投入し、攪拌、加熱還流した。溶媒２−ブタノン１００ｇ、開始剤２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３ｇ、スチレン４８ｇの混合液を１時間かけて滴下し、０.５時間還流した。次に、２−ブタノン５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１ｇを添加し、２時間還流した。続いて、２−ブタノン１５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４ｇを添加し、６時間還流した。次いで、得られた反応物を冷却し、粘度１００００（２５℃）、平均分子量約７００００のポリマーバインダーＡ−４を得た。
【００２９】
ポリマーＡ−５の合成
メタクリル酸２２４ｇ、メチルメタクリレート３６８ｇ、ブチルアクリレート１０４ｇ、ベンジルアクリレート４０ｇ及びブチルメタクリレート６４ｇを四つ口丸底フラスコに投入し、攪拌、加熱還流した。溶媒２−ブタノン１００ｇと開始剤２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３ｇの混合液を１時間かけて滴下し、０.５時間還流した。次に、２−ブタノン５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１ｇを添加し、２時間還流した。続いて、２−ブタノン１５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４ｇを添加し、６時間還流した。次いで、得られた反応物を冷却し、粘度８０００（２５℃）、平均分子量約４５０００のポリマーバインダーＡ−５を得た。
【００３０】
ポリマーＡ−６の合成
メタクリル酸２２４ｇ、メチルメタクリレート２０６ｇ、ブチルアクリレート１０４ｇ、ベンジルアクリレート２０２ｇ及びブチルメタクリレート６４ｇを、溶媒としての２−ブタノン５７５ｇとイソプロパノール１７５ｇと共に四つ口丸底フラスコに投入し、攪拌、加熱還流した。次に、溶媒２−ブタノン１００ｇと開始剤２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３ｇの混合液を１時間かけて滴下し、０.５時間還流した。続いて、２−ブタノン５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１ｇを添加し、２時間還流した。更に、２−ブタノン１５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４ｇを添加し、６時間還流した。次いで、得られた反応物を冷却し、粘度７０００（２５℃）、平均分子量約１０００００のポリマーバインダーＡ−６を得た。
【００３１】
ポリマーＡ−７の合成
メタクリル酸２２４ｇ、メチルメタクリレート３８８ｇ、ブチルアクリレート１０４ｇ、ベンジルアクリレート２０ｇ及びブチルメタクリレート６４ｇを、溶媒としての２−ブタノン５７５ｇとイソプロパノール１７５ｇと共に四つ口丸底フラスコに投入し、攪拌、加熱還流した。次に、溶媒２−ブタノン１００ｇと開始剤２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３ｇの混合液を１時間かけて滴下し、０.５時間還流した。続いて、２−ブタノン５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１ｇを添加し、２時間還流した。更に、２−ブタノン１５０ｇと２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４ｇを添加し、６時間還流した。次いで、得られた反応物を冷却し、粘度５５００（２５℃）、平均分子量約６５０００のポリマーバインダーＡ−７を得た。
【００３２】
【表１】
2007034286.tif 000004
【００３３】
本発明のフォトイメージャブル組成物は、表２に示す各成分を各量ブレンドし、温度を２０〜４０℃に維持してブレンド物を攪拌器で均一に攪拌することにより得た。
【００３４】
【表２】
2007034286.tif 000005
【００３５】
注：
Ｂ１：エポキシ変性トリメチロールプロパントリアクリレート（ＰＨＯＴＯＭＥＲ（登録商標）４１５５、コグニス（Cognis）社）
Ｂ２：脂肪族ウレタンオリゴマー
Ｂ３：トリメチロールプロパントリアクリレート（ＥＴＥＲＭＥＲ（登録商標）２３１、エターナルケミカル社）
Ｂ４：トリメチロールプロパントリメタクリレート（ＥＴＥＲＭＥＲ（登録商標）３３１、エターナルケミカル社）
Ｂ５：ビスフェノール−Ａ−エポキシジアクリレート（スタンダード）（ＥＴＥＲＣＵＲＥ（登録商標）６２１Ａ−８０、エターナル社）
Ｃ１：ｎ−フェニルグリシン（ＮＰＧ、ハンプフォード（Hampford）社）
Ｃ２：イミダゾール二量体（ＢＣＩＭ、ブラックゴールド（Black Gold）社）
Ｄ１：カップラー：無色クリスタルバイオレット
Ｄ２：ピーコックグリーンダイ
【００３６】
特性試験：
（１）ワニス組成物を均一に混合した後、膜厚３８ミクロンに塗布しコーティングを形成した。
（２）銅張板の銅表面の前処理を化学マイクロエッチングにより行った。マイクロエッチングの程度は４０〜６０マイクロインチとした。
（３）プレスフィルム：ホットローラー温度：１１０±５℃、圧力：３ｋｇｗ／ｃｍ2、スピード：１.５ｍ／ｍｉｎ。
（４）露光：現像点群の５０％が現像された後、Ｓｔｏｕｆｆｅｒ２１を用いフォトレジストステップ数８（銅ステップ数９）で露光した。接着性試験における試験ネガの線幅は２０、２５、３０、３５、４０、４５、５０、６０、７０、８０、９０、１００ミクロンとした。
（５）現像：１％Ｎａ2ＣＯ3水溶液を使用し、温度は２８±０．３℃、現像点は５０％ＢＰとした。
（６）アルカリエッチング試験：フラスコ試験、ｐＨ＝９．５、温度＝５０℃。
予めカットしたサンプルシートをエッチング溶液（即ち、アンモニア水でｐＨ９.５に調整した銅エッチング用アルカリエッチング溶液）に２分間浸漬し、すばやく取出してから大量の水でリンスし乾燥させた。サンプルシートの銅表面に残存しているフォトレジスト回路のうち最も細い配線を顕微鏡にて検出した。
（７）金メッキ試験：ｐＨ＝６.０、温度＝６０℃、金濃度［Ａｕ+］＝２ｇ／Ｌ、電流密度：約１５ＡＳＦ、時間：６分、金メッキ溶液（ＮＴ−１０００、アウロメックス（Auromex Co. Ltd.）社提供）。
（８）無電解ニッケル浸漬金メッキ試験：
（ａ）無電解ニッケルメッキ：温度：８５℃、時間６０分
無電解ニッケルメッキバス溶液（ＮＩＭＵＤＥＭ  ＮＰＲ−４、ウエムラ（Uyemura Co. Ltd.）社提供）。
（ｂ）浸漬金メッキ：温度：８５℃、時間：１５分
無電解金メッキバス溶液（ＡＵＲＩＣＡＬ  ＴＴＴ−２４、ウエムラ（Uyemura Co. Ltd.）社提供）。
【００３７】
【表３】
2007034286.tif 000006
【００３８】
試験結果に示されるように、実施例１〜６の組成物、即ち、ポリマーバインダー成分がベンジル（メタ）アクリレートから得られる重合単位を含む組成物は、アルカリエッチング耐性、金メッキ耐性、及び無電解メッキニッケル浸漬金耐性を有し、良好なアルカリ耐性によりアルカリ水溶液中での現像時に良好な解像度が得られる。一方、比較例１、２の組成物、即ち、ポリマーバインダーがベンジル（メタ）アクリレートから得られる重合単位を含まない組成物は物性に劣り、例えば、試験結果に示されるように細線接着性と現像後の解像度が不十分である。従って、表３の物性試験結果から、本ポリマーバインダーがベンジル（メタ）アクリレートから得られる重合単位を含む場合、得られる組成物は金メッキ耐性と無電解ニッケル浸漬金耐性とを有するので、ベンゼン環が存在するポリマーバインダーが本発明のフォトイメージャブル組成物に良好なエッチング耐性を付与し得ることが分かる。
【外国語明細書】
2007034286000001.pdf