(57)【要約】【課題】従来とは異なった方法で、膜厚にばらつきが無くかつ所望の膜厚の膜を形成することが可能な成膜装置を提供する。【解決手段】基板Ｓ上に配置された液滴Ｌｏに照射光を照射し、液滴Ｌｏの発光させるようにした。そして、発光する光（蛍光或いは燐光等）の発光強度に基づいて液滴Ｌｏの吐出量を測定するようにした。測定された光の発光強度が予め設定された値未満である場合、その液滴配置領域Ｐを吐出不良であると判断し、その液滴配置領域Ｐに対して、再度使用した液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮを使用して液滴Ｌｏを追加吐出するようにした。【選択図】図３
2007179880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能性材料を溶媒に溶解または分散させた液滴を吐出する吐出用ノズルを有したノズルヘッドを備え、前記液滴を前記吐出用ノズルから吐出して、基板上に形成された液滴配置領域に前記液滴を配置し、前記液滴配置領域に前記機能性材料からなる膜を形成する成膜装置において、
前記基板上に配置された液滴に対して所定の波長領域の光を照射する光照射手段と、
前記基板上に配置された液滴から発せられる特定波長領域の光を測定する光測定手段と、
前記光測定手段によって測定された前記液滴から発せられる特定波長領域の光に基づいて前記液滴配置領域内に配置された液滴の液滴量を算出し、その算出された液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断する算出判断手段と、
前記算出判断手段によって前記所定領域に配置された前記液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達していないと判断された場合、前記吐出用ノズルから前記液滴を前記液滴配置領域に吐出させるための制御信号を生成する制御回路と
を備えたことを特徴する成膜装置。
【請求項２】
第１の吐出用ノズルを有した第１のノズルヘッドを備え、機能性材料を溶媒に溶解または分散させた液滴を前記第１のノズルヘッドの前記第１の吐出用ノズルから吐出して基板上に前記液滴を配置させて前記基板上に膜パターンを形成する成膜装置において、
前記基板上の所定領域に配置された液滴に対して所定の波長領域の光を照射する光照射手段と、
前記基板上に配置された液滴から発せられる特定波長領域の光を測定する光測定手段と、
前記光測定手段によって測定された前記液滴から発せられる特定波長領域の光に基づいて前記基板上に配置された液滴の液滴量を算出し、その算出された液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断する算出判断手段と、
前記算出判断手段によって前記所定領域に配置された前記液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達していないと判断された場合、前記液滴を前記所定領域に吐出する第２の吐出用ノズルを備えた第２のノズルヘッドと
を備えたことを特徴する成膜装置。
【請求項３】
請求項２に記載の成膜装置において、
前記第２のノズルヘッドの第２の吐出用ノズルは、前記第１のノズルヘッドの第１の吐出用ノズルから吐出される液滴量に比べて少ない量の液滴量の液滴を吐出することを特徴する成膜装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載の成膜装置において、
前記第２のノズルヘッドは、前記第１のノズルヘッドと同じキャリッジに搭載されていることを特徴とする成膜装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つに記載の成膜装置において、
前記光測定手段は、前記基板上に配置された前記液滴から発せられる特定波長領域の発光の画像を撮影することを特徴とする成膜装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一つに記載の成膜装置において、
前記算出判断手段は、前記液滴が配置された領域の発光のピーク強度に基づいて前記ノズルから吐出された液滴の液滴量を算出することを特徴とする成膜装置。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか一つに記載の成膜装置において、
前記算出判断手段は、前記基板上に配置された液滴から発せられた光の信号強度を前記液滴が配置した面積に渡って積算することで前記液滴の液滴量を算出することを特徴とする成膜装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一つに記載の成膜装置において、
前記溶媒は、蛍光性を有する有機溶媒を含むことを特徴とする成膜装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の成膜装置において、
前記液滴に照射する光は、波長３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの光であることを特徴とする成膜装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の成膜装置において、
前記光照射手段は、前記所定の波長領域の光を、前記基板の面に対して４５°〜７０°の角度で照射し、
前記光測定手段は、前記基板の面に対して垂直な方向に出射される光を測定することを特徴とする成膜装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の成膜装置において、
前記光照射手段は、前記液滴に所定の波長領域の光を照射する光源に発光ダイオードを用いることを特徴とする成膜装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の成膜装置において、
前記機能性材料が発光材料、電荷輸送材料を含むことを特徴とする成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機エレクトロルミネッセンス（以下、「有機ＥＬ」という）素子を用いた有機ＥＬパネルが、軽量、高輝度、高視野角、高コントラスト比で他の表示装置より優れているとして注目されている。こうした有機ＥＬパネルを用いた有機ＥＬ表示装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この種の有機ＥＬ表示装置の製造方法においては、ＥＬ材料を所定の溶媒に分散または溶解させて液滴化（インク化）し、その液滴を複数のノズルを備えた吐出ヘッドの各ノズルから吐出することで、基板上に液状パターンを形成し、その後、液状パターン中の溶媒を除去してＥＬ材料からなる機能膜を形成するようにした、所謂液滴吐出法がある。この液滴吐出法では、必要な量のＥＬ材料を溶媒に分散または溶解させて使用するので、蒸着法やスパッタ法に比べてＥＬ材料の利用効率を向上させることができるという利点がある。
【特許文献１】特開２００２−２２２６９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、液滴吐出法では、形成される機能膜の膜厚にばらつきが生じてしまうことがある。機能膜の膜厚（発光層の膜厚）は、発光輝度に直接関係するので、機能膜の膜厚にばらつきがあると、輝度ムラといった問題が生じてしまう。この主な原因としては、前記吐出ヘッドの各ノズルの形状ばらつきやノズルの濡れの状態等に起因した、前記液滴の吐出量のばらつきが考えられる。
【０００５】
そこで、各ノズルから吐出された液滴量を測定し、その吐出量に基づいて、各ノズル毎に設けられた、液滴の吐出を駆動制御する駆動制御機構をフィードバック制御することで、ノズル毎に液滴の吐出量を補正するものがある。具体的には、特定のノズルから前記液滴を吐出させて、その飛翔時の様子をカメラで撮影する。そして、その撮影結果から、前記液滴の大きさや速度を算出して前記液滴の吐出量を算出する方法が知られている。また、特定のノズルから前記液滴を複数回吐出させて、その液滴の重量を測定し、その測定値を吐出回数で割り算して前記液滴の平均吐出量を算出する方法が知られている。しかし、上記各ノズルからの液滴量の測定方法では、何れも、正確に液滴量の吐出量を測定できなかった。また、測定装置が複雑で、測定に時間がかかり、吐出装置を短時間で調整することが難しかった。
【０００６】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、従来とは異なった方法で、膜厚にばらつきが無くかつ所望の膜厚の膜を形成することが可能な成膜装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の成膜装置は、機能性材料を溶媒に溶解または分散させた液滴を吐出する吐出用ノズルを有したノズルヘッドを備え、前記液滴を前記吐出用ノズルから吐出して、基板上に形成された液滴配置領域に前記液滴を配置し、前記液滴配置領域に前記機能性材料からなる膜を形成する成膜装置において、前記基板上に配置された液滴に対して所定の波長領域の光を照射する光照射手段と、前記基板上に配置された液滴から発せられる特定波長領
域の光を測定する光測定手段と、前記光測定手段によって測定された前記液滴から発せられる特定波長領域の光に基づいて前記液滴配置領域内に配置された液滴の液滴量を算出し、その算出された液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断する算出判断手段と、前記算出判断手段によって前記所定領域に配置された前記液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達していないと判断された場合、前記吐出用ノズルから前記液滴を前記液滴配置領域に吐出させるための制御信号を生成する制御回路とを備えた。
【０００８】
これによれば、液滴に含まれる溶媒或いは機能性材料中に、蛍光或いは燐光等を発する性質の物質が含まれる場合、その物質を励起する波長領域の光を照射することでその液滴は発光する。液滴から発せられる蛍光或いは燐光等の発光強度は、液滴中に含まれる機能性材料の量に依存するため、蛍光或いは燐光等の波長領域に相当する所定の波長領域の発光を測定することで液滴中の機能性材料の量が分かる。液滴量が予め設定された量に比べて少ない場合、その液滴を吐出したノズルヘッドを使用して再度その所定領域に液滴を吐出することで、所定領域中の液滴の液滴量を適切な量にまで補正することができる。
【０００９】
本発明の成膜装置は、第１の吐出用ノズルを有した第１のノズルヘッドを備え、機能性材料を溶媒に溶解または分散させた液滴を前記第１のノズルヘッドの前記第１の吐出用ノズルから吐出して基板上に前記液滴を配置させて前記基板上に膜パターンを形成する成膜装置において、前記基板上の所定領域に配置された液滴に対して所定の波長領域の光を照射する光照射手段と、前記基板上に配置された液滴から発せられる特定波長領域の光を測定する光測定手段と、前記光測定手段によって測定された前記液滴から発せられる特定波長領域の光に基づいて前記基板上に配置された液滴の液滴量を算出し、その算出された液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断する算出判断手段と、前記算出判断手段によって前記所定領域に配置された前記液滴の液滴量が予め設定された液滴量に達していないと判断された場合、前記液滴を前記所定領域に吐出する第２の吐出用ノズルを備えた第２のノズルヘッドとを備えた。
【００１０】
これによれば、液滴に含まれる溶媒或いは機能性材料中に、蛍光或いは燐光等を発する性質の物質が含まれる場合、その物質を励起する波長領域の光を照射することでその液滴は発光する。液滴から発せられる蛍光或いは燐光等の発光強度は、液滴中に含まれる機能性材料の量に依存するため、蛍光或いは燐光等の波長領域に相当する所定の波長領域の発光を測定することで液滴中の機能性材料の量が分かる。液滴量が予め設定された量に比べて少ない場合、第２のノズルヘッドを使用して再度その所定領域に液滴を吐出することで、所定領域中の液滴の液滴量を適切な量にまで補正することができる。
【００１１】
また、第１のノズルヘッドのノズルが液滴の吐出が不可能である場合であっても、第２のノズルヘッドを使用して液滴を吐出するので、所定領域上に所望の液滴量の液滴を確実に配置させることができる。
【００１２】
この成膜装置において、前記第２のノズルヘッドの第２の吐出用ノズルは、前記第１のノズルヘッドの第１の吐出用ノズルから吐出される液滴量に比べて少ない量の液滴量の液滴を吐出してもよい。
【００１３】
これによれば、第２のノズルヘッドから吐出される液滴の吐出量を細かく制御することができるので、所定領域に配置される液滴をより正確に所望の量にまですることができる。
【００１４】
この成膜装置において、前記第２のノズルヘッドは、前記第１のノズルヘッドと同じキャリッジに搭載されていてもよい。
これによれば、第１のノズルヘッドを使用して液滴を吐出した後に、直ちに第２のノズ
ルヘッドを使用することができる。この結果、短時間で吐出量を所望の量にすることができる。
【００１５】
この成膜装置において、前記光測定手段は、前記基板上に配置された前記液滴から発せられる特定波長領域の発光の画像を撮影するようにしてもよい。
これによれば、基板上に配置された液滴は、２次元状の広がりを持っている。このため、特定の位置の発光強度のみを測定しても、液滴量を正確に決定することは難しい。また、複数の点の発光強度を個別に測定すると、測定時間が長くなる。液滴全体の発光の画像を撮影し、その画像データを処理することで液滴量を算出すれば、短時間で効率的に液滴量の測定を行うことができる。
【００１６】
この成膜装置において、前記算出判断手段は、前記液滴が配置された領域の発光のピーク強度に基づいて前記ノズルから吐出された液滴の液滴量を算出してもよい。
これによれば、配置された液滴の大きさ、形状がほぼ一定である場合、基板上での液滴の最大の高さは液滴量に依存した量となる。蛍光或いは燐光等による発光の強度は、基板上での液滴の高さに依存するため、ピーク強度を測定することで、液滴の最大高さを求めることができる。従ってその高さより液滴量を求めることができる。このように発光のピーク強度を用いることにより、簡単な計算で液滴量を求めることができる。
【００１７】
この成膜装置において、前記算出判断手段は、前記基板上に配置された液滴から発せられた光の信号強度を前記液滴が配置した面積に渡って積算することで前記液滴の液滴量を算出してもよい。
【００１８】
これによれば、蛍光或いは燐光による発光の強度は、基板上での液滴の高さに依存するため、ある位置での発光強度はその位置での液滴の高さに依存した量となる。液滴を撮像した画像で、液滴は配置された領域を複数の微小領域、例えば画素毎に分割し、それぞれの平均の発光強度を求める。求められた平均の発光強度からその微小領域の液滴の基板からの高さを求めることができる。各微小領域の面積と、それぞれの高さを掛け合わせ、それらの値を積算することで液滴量を求めることができる。液滴の存在する領域全体で積算することにより、液滴の形状のばらつきが大きい場合でも高い精度で液滴量を求めることができる。
【００１９】
この成膜装置において、前記溶媒は、蛍光性を有する有機溶媒を含んでもよい。
これによれば、シクロヘキシルベンゼン、トリメチルベンゼン、キシレン等の有機溶媒には、所定の波長領域の光を照射することで蛍光を発光するものが多い。液滴吐出法に用いられる液状組成物は、溶媒に対する溶質の量は０．５％程度から数％であり、そのほとんどが溶媒である。配置される液滴中での組成比の高い溶媒の蛍光による発光を測定することで、Ｓ／Ｎの高い測定を行うことができる。また、機能性材料が、蛍光或いは燐光等を発光する性質を有していない場合であっても、液滴の測定を行うことができる。
【００２０】
この成膜装置において、前記液滴に照射する光は、波長３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの光であってもよい。
これによれば、液滴吐出法に使用される有機溶媒の多くは３５０ｎｍ以下の波長の光を殆ど透過しないものが多い。このため、３５０ｎｍ以下の波長の光を照射した場合、その殆どが液滴の表面付近で吸収されてしまうため、蛍光を発したとしても液滴の表面付近の組成物しか発光に寄与しない。このため、発光からは基板上からの液滴の高さに関する情報を得ることができない。照射する光として、３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長の光を用いることで、溶媒に吸収よる吸収の影響を抑えることができる。４５０ｎｍ以上の波長の光を照射した場合では、強い強度の蛍光や燐光等による発光を得ることが難しい。したがって、照射する光として３５０ｎｍ〜４５０ｎｍ波長の光を用いることで液滴量の測定に有
効な発光を得ながら、照射する光を液滴の底の領域まで届かせることができる。このため、Ｓ／Ｎ比の高く、精度の高い液滴量の測定を行うことができる。
【００２１】
この成膜装置において、前記光照射手段は、前記所定の波長領域の光を、前記基板の面に対して４５°〜７０°の角度で照射し、前記光測定手段は、前記基板の面に対して垂直な方向に出射される光を測定するようにしてもよい。
【００２２】
これによれば、液滴に照射する光を基板面に対して７０°以下とし、基板面に対して垂直な方向に出射される光を測定することで、液滴による反射光或いは散乱光の影響を抑えながら測定を行うことができる。これにより測定する光の信号のＳ／Ｎ比が向上し、液滴量の測定精度を向上することができる。また、液滴に照射する光を基板面に対し４５°以上とすることで、効率良く液滴内部まで照射する光を入射させることができる。従って、高い強度の発光を得ることができる。
【００２３】
この成膜装置において、前記光照射手段は、前記液滴に所定の波長領域の光を照射する光源に発光ダイオードを用いてもよい。
これによれば、発光ダイオードは、簡単な構成でありながら比較的狭い波長領域の光を、高い輝度で照射することができる。このため、測定の精度を低下させることなく、測定系とくに照明系をコンパクトに構成することができる。更には高速で点灯、消灯することができるため、光を照射終了後、一定時間後に測定を行う場合に容易に対応することができる。
【００２４】
この成膜装置において、前記機能性材料が発光材料、電荷輸送材料を含んでもよい。
これによれば、液滴吐出法で、発光材料や電荷輸送材料を用いたものの場合、安定して液滴を配置することが難しい。特に液低吐出法を用いる場合には、吐出が不安定となり易く、吐出量のばらつきが発生し易い。本発明は、この様なばらつきを即座に検出し、それによる不良の発生を防止しするものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態に係る成膜装置について各図に従って説明する。
図１は、本実施形態に係る成膜装置の概略構成を示す斜視図であり、図２は、成膜装置の側面図である。本実施形態の成膜装置は、有機エレクトロルミネッセンス素子の機能層（発光層）を所謂液滴吐出法（インクジェット法）によって形成する際に使用されるものであって、その機能層（発光層）を構成する機能材料を含む液状組成物を基板上に吐出することによって該基板上にその吐出量に応じた膜厚の発光層を形成するための成膜装置である。
【００２６】
図１に示すように、成膜装置１０は、直方体形状の基台１１を備えている。本実施形態では、説明の便宜上、基台１１の長手方向を図１中Ｙ矢印方向に、同Ｙ矢印方向と直交する同基台１１の短手方向を図１中Ｘ矢印方向に合わせてある。
【００２７】
基台１１の上面１１ａには、Ｙ矢印方向に延びる一対の案内凹溝１２が同Ｙ矢印方向全幅に渡って形成されている。その基台１１の上側には、図示しない直動機構を備えたステージ１４が取付けられている。このステージ１４は、該ステージ１４内部に内蔵された駆動装置Ｄ１（図４参照）によって案内凹溝１２に沿って移動制御されるようになっている。このステージ１４の駆動装置Ｄ１は、公知の直動機構であって、例えば案内凹溝１２に沿ってＹ矢印方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構を備えている。そして、そのネジ軸がステップモータよりなるＹ軸モータに連結され、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸
モータが正転又は逆転して、ステージ１４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ矢印方向に沿って所定の速度で往動又は復動する（Ｙ矢印方向に移動する）ようになっている。尚、本実施形態では、ステージ１４が案内凹溝１２（基台１１）の最も手前側に配置する位置（図１における実線位置）を往動位置として、同案内凹溝１２（基台１１）の最も奥側に配置する位置（図１における２点鎖線位置）を復動位置とする。  ステージ１４の上面には、図示しない吸引式の基板チャック機構を備えた載置面１４ａが形成されている。この載置面１４ａ上に基板Ｓを載置し前記基板チャック機構を作動させることによって、基板Ｓが載置面１４ａ上に位置決め固定される。尚、基板Ｓは、たとえばガラス基板であって、その図３中Ｚ矢印方向側の面（上面）側にマトリクス状に撥液処理が施された複数の液滴配置領域Ｐが配置形成されている。
【００２８】
基台１１のＸ矢印方向両側には、一対の支持アーム１５ａ，１５ｂが立設され、その支持アーム１５ａ，１５ｂには、Ｘ矢印方向に延びる案内部材１６が架設されている。
案内部材１６には、収容タンク１７が配設されている。収容タンク１７には、液状組成物Ｌが収納されている。液状組成物Ｌは、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光層を作成するのに一般的に用いられる機能性材料を溶媒中に溶解または分散してなる液状体である。具体的には、本実施形態では、機能性材料としてポリフルオレン系高分子誘導体を、溶媒としてトリメチルベンゼンを用いたものである。尚、ポリフルオレン系高分子誘導体は、４００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長領域の光を照射すると、特定波長（５４０ｎｍ〜６００ｎｍ）の光を発する性質を有した有機材料である。
【００２９】
また、案内部材１６の上側には、制御回路としての制御回路部１８が配設されている。制御回路部１８は、メモリ及びＣＰＵを備え、成膜装置１０全体の動作を統括制御するための各種演算処理を行うものである。
【００３０】
一方、案内部材１６の下側には、Ｘ矢印方向に延びる上下一対の案内レール１９がＸ矢印方向全幅に渡って設けられている。案内レール１９には、キャリッジプレートＣＰがＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に往復移動可能となるように取付けられている。このキャリッジプレートＣＰの移動は、該キャリッジプレートＣＰの内部に内蔵された駆動装置Ｄ２（図４参照）によって駆動制御されるようになっている。尚、このキャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２は、公知の直動機構であって、例えば案内レール１９に沿ってＸ矢印方向に延びるネジ軸（駆動軸）と同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構を備えている。そして、そのネジ軸がステップモータよりなるＸ軸モータに連結され、所定のステップ数に相対する駆動信号がＸ軸モータに入力されると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジプレートＣＰが同ステップ数に相当する分だけＸ矢印方向に沿って往動又は復動する。
【００３１】
図２に示すように、キャリッジプレートＣＰは、ノズルヘッドとしての液滴吐出ヘッド２１、光測定手段としての撮像装置２２、光照射手段としての照明装置２３を備えている。そして、各液滴吐出ヘッド２１、撮像装置２２、照明装置２３は、キャリッジプレートＣＰの移動に伴って、基板Ｓに対してＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に沿って相対移動する。
【００３２】
液滴吐出ヘッド２１は公知の液滴吐出ヘッドであって、詳しくは、図３に示すように、枠体２４Ａと、収容ケース２４Ｂと、枠体２４Ａと収容ケース２４Ｂとに挟まれて固定された振動板２５とを備えるとともに、枠体２４Ａの図３中反Ｚ矢印方向側、即ち、ステージ１４側の面（下面）には、吐出用ノズルとしてのノズルＮを有したノズルプレート２６を備えている。さらに、液滴吐出ヘッド２１は、収容ケース２４Ｂに収容支持された圧電素子（ピエゾ素子）２７を備えている。
【００３３】
振動板２５は、例えば、厚さが約２μｍからなるポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルムであって、Ｚ矢印方向及び反Ｚ矢印方向（上下方向）に振動可能に貼り付けられている。また、枠体２４Ａは、収容タンク１７（図１参照）と図示しないチューブを介して連結されている。さらに、枠体２４Ａによって液状組成物Ｌを保持する保持室２８が形成されている。保持室２８は、前記チューブを介して供給される液状組成物Ｌを一時的に保持するためのものである。また、圧電素子（ピエゾ素子）２７は前記制御回路部１８によってその駆動が制御されるようになっている。
【００３４】
そして、圧電素子（ピエゾ素子）２７に、制御回路部１８にて生成された駆動電圧が供給されて駆動すると、それまで伸びていた圧電素子（ピエゾ素子）２７が縮んでもとの状態に戻るように歪み、それに伴って、振動板２５が変形する。すると、保持室２８に保持されていた液状組成物ＬがノズルＮを通過して粒状に形成された液滴Ｌｏとして吐出される。本実施形態では、１回の吐出動作で、３ピコリットルの液滴量の液滴Ｌｏが吐出されるように圧電素子（ピエゾ素子）２７に供給される駆動電圧が予め調整されている。
【００３５】
撮像装置２２は、たとえば、複数の画素を備えた公知のＣＣＤカメラであって、光学系３１及びバンドパスフィルタ３２を備えている。光学系３１は、たとえば数十倍から数百倍程度の適当な倍率を有した光学系である。この光学系３１によって基板Ｓ上の所定の領域（液滴配置領域）Ｐ上に配置された液滴Ｌｏが適当な大きさで撮影される。バンドパスフィルタ３２は、特定波長の画像のみを撮影するフィルタであって、本実施形態では、多層膜による干渉フィルタで構成されている。また、撮像装置２２は、撮影した光学画像を電気信号に変換しその電気信号を前記制御回路部１８に供給するようになっている。
【００３６】
照明装置２３は、光源３３、光学系３４及びバンドパスフィルタ３５を備えている。光源３３は、所定の強度で必要な波長領域の照射光Ｒを発生するものであって、前記制御回路部１８によってその発光タイミングが制御されるようになっている。本実施形態の光源３３は、発光ダイオードで構成されている。発光ダイオードは発光の制御が容易であり、照射光Ｒの照射のタイミングを制御する場合には有効である。尚、光源３３としては、発光ダイオードの他に、ハロゲンランプ、放電灯、各種レーザ等を用いることが可能である。ハロゲンランプや放電灯は、発光の波長領域が広いため、バンドパスフィルタ３５との組み合わせで照射光Ｒとして用いる光の波長領域にする必要がある。
【００３７】
光学系３４は、光源３３から出射した照射光Ｒを基板Ｓ上に配置された液滴Ｌｏに均一に照射するためのものであって、本実施形態では、フライアイレンズや散乱板等を用いて構成されている。つまり、本実施形態では、照射光Ｒをほぼ平行な光にして、光学系３４から基板Ｓ上の液滴Ｌｏまで距離が変わっても光量が変化しないようにしている。
【００３８】
バンドパスフィルタ３５は、基板Ｓ上に配置された液滴Ｌｏに特定波長の照射光Ｒを照射するためのものであって、本実施形態では、着色ガラスと多層膜干渉フィルタを組み合わせたものを使用することによって５４０ｎｍ〜５８０ｎｍの波長領域の光を透過するようにしている。
【００３９】
また、照明装置２３は、光源３３から出射した照射光Ｒを、基板Ｓの面（素子形成面）Ｓａに対してθ＝５０°の角度で液滴Ｌｏに傾いて入射するように配置されている。このようにすることで、θ＝５０°未満の角度で入射させた場合に比べて、液滴Ｌｏに入射する照射光Ｒの量を多くすることができる。また、液滴Ｌｏ表面の凹凸による光の入射への影響を小さくすることができる。この結果、液滴Ｌｏ全体に均一に光を入射させることができる。さらに、θ＝５０°以上の角度で入射させた場合に比べて、液滴Ｌｏに浸透せず表面にて図３中Ｚ矢印方向（垂直方向）に反射する反射光等を小さくすることができる。
【００４０】
次に、成膜装置１０の電気的構成について説明する。
図４は、液滴吐出ヘッド２１、撮像装置２２、照明装置２３、ステージ１４及びキャリッジプレートＣＰの制御系を示したものである。図４に示すように、液滴吐出ヘッド２１、撮像装置２２、照明装置２３、ステージ１４の駆動装置Ｄ１及びキャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２は、それぞれ前記制御回路部１８に電気的に接続され、同制御回路部１８にて生成される制御信号Ｑ１〜Ｑ５に従って各装置の駆動タイミングが統合的に制御されるようになっている。
【００４１】
詳しくは、制御回路部１８は、制御プログラム、算出判断プログラム及び補正プログラムを格納している。制御プログラムは、ステージ１４の載置面１４ａ上に基板Ｓが載置されたことを確認し基板チャック機構を作動させた後、ステージ１４及びキャリッジプレートＣＰを移動させて、液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮを液滴配置領域Ｐに対向する位置に順次移動させるためのプログラムを含んでいる。また、制御プログラムは、圧電素子（ピエゾ素子）２７に給電しノズルＮから液滴Ｌｏを吐出させるためのプログラムを含んでいる。さらに、照明装置２３の光源３３を作動させて基板Ｓ上に配置した液滴Ｌｏに対して照射光Ｒを所定期間照射させるためのプログラムを含んでいる。さらにまた、制御プログラムは、撮像装置２２を駆動させて基板Ｓ上に配置した液滴Ｌｏから発せられる特定波長領域（波長：５４０ｎｍ〜５８０ｎｍ）の画像（光）を撮影（測定）するためのプログラムを含んでいる。
【００４２】
算出判断プログラムは、撮像装置２２によって撮影（測定）された画像（光）に基づいて基板Ｓ上に配置された液滴Ｌｏの液滴量を算出するためのプログラムを含んでいる。また、算出判断プログラムは、その算出された液滴Ｌｏの液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断するためのプログラムを含んでいる。
【００４３】
補正プログラムは、前記算出判断プログラムによって算出された液滴Ｌｏの液滴量が予め設定された液滴量に達していない（吐出不良）と判断された場合、ステージ１４及びキャリッジプレートＣＰを駆動し、液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮをその吐出不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させて、再度ノズルＮから液滴Ｌｏを追加吐出させるためのプログラムである。
【００４４】
図５は、キャリッジプレートＣＰの移動のタイミング、液滴吐出ヘッド２１の液滴吐出のタイミング、照明装置２３の光源３３の点灯／消灯のタイミング及び撮像装置２２の撮影のタイミングの関係を示した図である。
【００４５】
図５に示すように、制御回路部１８は、制御プログラムに従ってステージ１４の載置面１４ａ上に基板Ｓが載置されたことを確認すると、光源３３を点灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を生成し照明装置２３へ出力する。この結果、照明装置２３から照射光Ｒが基板Ｓ上の所定の液滴配置領域Ｐに向かって照射される。
【００４６】
続いて、制御回路部１８は、制御プログラムに従って液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ３を生成し液滴吐出ヘッド２１へ出力する。この結果、ノズルＮから液滴Ｌｏが基板Ｓ上の液滴配置領域Ｐに吐出される。本実施形態では、連続して６回液滴Ｌｏが同一の液滴配置領域Ｐに対して吐出されるようになっている。つまり、本実施形態の液滴吐出ヘッド２１は、１回の液滴Ｌｏの吐出量が３ピコリットルとなるように設定されているので、３ピコリットル×６回＝１８ピコリットルの液滴Ｌｏが一つの液滴配置領域Ｐに対して配置されるように設定されている。また、このとき、照射光Ｒは液滴Ｌｏが配置される液滴配置領域Ｐに予め照射されているので、ノズルＮから吐出された液滴Ｌｏは基板Ｓに配置した時点から照射光Ｒに照射され始める。
【００４７】
また、制御回路部１８は、液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ２を液滴吐出ヘッド２１へ出力した時点を、液滴Ｌｏが基板Ｓ上に配置された時刻（吐出開始時刻）として認識し、吐出開始時刻を基準としたそれ以降の経過時間ｔ２をカウントし始める。
【００４８】
その後、制御回路部１８は、制御プログラムに従って光源３３を消灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を生成し、照明装置２３に出力する。この結果、液滴Ｌｏに対する照射光Ｒの照射が終了する。すると、液滴Ｌｏは、照射された照射光Ｒを吸収したことにより、特定波長（５４０ｎｍ〜６００ｎｍ）の光を発する。制御回路部１８は、光源３３を消灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を照明装置２３へ出力した時刻を、液滴Ｌｏが発光を開始した時刻（発光開始時刻）として認識し、発光開始時刻を基準としたそれ以降の時間ｔ１をカウントし始める。
【００４９】
続いて、制御回路部１８は、吐出開始時刻を基準とした経過時間ｔ２が予め設定された値に到達したと判断すると、制御プログラムに従って、撮像装置制御信号Ｑ５を生成し撮像装置２２へ出力する。この結果、撮像装置２２が駆動され撮影が実行される。このとき、撮像装置２２は、液滴Ｌｏから発せられる光のうち、基板Ｓの面に対して垂直な方向に出射される光を測定する。このような制御を行うことにより、吐出開始時刻を基準に経過時間ｔ２が常に予め定めた値になったときに、撮像装置制御信号Ｑ５を出力するため、撮影が行われるまでの間に蒸発する液滴Ｌｏ中の溶媒成分の量を一定に保つことが可能となる。この結果、液滴Ｌｏから溶媒が蒸発することによる測定への影響を低減することができる。
【００５０】
次に、制御回路部１８は、算出判断プログラムに従って撮像装置２２によって撮影（測定）された画像（光）から液滴Ｌｏの液滴量を算出する。詳しくは、算出判断プログラムに従って撮像装置２２より得た電気信号より、まず液滴Ｌｏが配置した領域を決定する。これには、一般的な画像処理での輪郭検出の手順が有効である。つまり、液滴Ｌｏが配置されている領域の端では急激に測定される電気信号の強度が高くなるため、隣接する無発光領域の電気信号の信号強度とは大きな差が生じる。このため、この差を計算し、一定値以上の値を有する箇所を求めることで、輪郭を検出することができる。そして、その輪郭に相当する撮像の内側に相当する領域を、液滴Ｌｏが配置されている領域と認識する。続いて、液滴Ｌｏが配置されている領域内の電気信号の強度を、各画素毎に比較していくことにより、その最大値（ピーク強度）を求める。この電気信号のピーク強度と、予め実験により求めておいた発光のピーク強度から液滴量を換算し、液滴配置領域Ｐに配置されている液滴Ｌｏの液滴量を求める。
【００５１】
次に、その算出された液滴Ｌｏの液滴量が予め設定された液滴量に達しているか否かを判断する。つまり、本実施形態では、１回で吐出される液滴量は３ピコリットルであり、１つの液滴配置領域Ｐ上に対して６回吐出されることで合計１８ピコリットルの液滴量が配置されることになっている。そこで、算出された液滴Ｌｏの液滴量が１５ピコリットル未満であると判断された場合、吐出不良と判断され、一方、算出された液滴Ｌｏの液滴量が１５ピコリットル以上であると判断された場合、吐出良好と判断されるようになっている。
【００５２】
続いて、制御回路部１８は、算出された液滴Ｌｏの液滴量が吐出不良であると判断された場合、補正プログラムに従って、液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮをその吐出不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させる旨の制御信号Ｑ２を生成し、キャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２へ出力する。この結果、キャリッジプレートＣＰが駆動しその吐出ノズルＮが、その吐出不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動する。そして、制御回路部１８は、制御プログラムに従って液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ３を生成し液滴吐出ヘッド２１へ出力し、ノズルＮから液滴Ｌｏが基板Ｓ上の液滴配置領域Ｐに追加吐出される
。このとき、算出判断プログラムに従って算出された液滴量が３ピコリットル以上６ピコリットル未満である場合は４回、６ピコリットル以上９ピコリットル未満である場合は３回、９ピコリットル以上１２ピコリットル未満である場合は２回、１２ピコリットル以上１５ピコリットル未満である場合は１回だけ液滴Ｌｏをその液滴配置領域Ｐに対して吐出するようになっている。この結果、算出された液滴量が３ピコリットル以上６ピコリットル未満である液滴配置領域Ｐには、３ピコリットル×４回＝１２ピコリットルの液滴Ｌｏが追加されることとなる。
【００５３】
また、算出された液滴量が６ピコリットル以上９ピコリットル未満である液滴配置領域Ｐには、３ピコリットル×３回＝９ピコリットルの液滴Ｌｏが追加されることとなる。従って、この液滴配置領域Ｐには１５ピコリットル以上１８ピコリットル未満の液滴Ｌｏが配置されることとなる。さらに、算出された液滴量が９ピコリットル以上１２ピコリットル未満である液滴配置領域Ｐには、３ピコリットル×２回＝６ピコリットルの液滴Ｌｏが追加されることとなる。さらにまた、算出された液滴量が１２ピコリットル以上１５ピコリットル未満である液滴配置領域Ｐには、３ピコリットル×１回＝３ピコリットルの液滴Ｌｏが追加されることとなる。
【００５４】
一方、算出された液滴Ｌｏの液滴量が吐出良好であると判断された場合、制御回路部１８は、制御プログラムに従って、光源３３を点灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を生成し照明装置２３へ出力する。その後、続いて、液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮを新たな液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させる旨の液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ３を生成し、キャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２へ出力する。この結果、キャリッジプレートＣＰが駆動しその吐出ノズルＮが、その新たな液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動する。そして、その新たな液滴配置領域Ｐに対して照射光Ｒが照射された状態で、液滴Ｌｏが吐出される。
【００５５】
上記したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）本実施形態によれば、基板Ｓ上に配置された液滴Ｌｏに照射光Ｒを照射し、液滴Ｌｏの発光させるようにした。このとき、発光する光（蛍光或いは燐光等）の発光強度は、液滴Ｌｏ中に含まれる機能性材料の量に依存するので、蛍光或いは燐光等の波長領域に相当する所定の波長領域の発光を測定することで液滴Ｌｏ中の機能性材料の量を測定することができる。
【００５６】
（２）本実施形態によれば、液滴配置領域Ｐ上に配置された液滴Ｌｏから発せられる光の発光強度が予め設定された値未満である場合、その液滴配置領域Ｐを吐出不良であると判断し、その液滴配置領域Ｐに対して、再度使用した液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮを使用して液滴Ｌｏを追加吐出するようにした。従って、各液滴配置領域Ｐ毎によってその液滴Ｌｏの吐出量にはムラがないので、各液滴配置領域Ｐ間で膜厚が均一な膜を形成することができる。
【００５７】
（３）本実施形態では、液滴吐出ヘッド２１を使用して液滴Ｌｏを吐出した後、その吐出量が予め設定された値未満である場合、同じ液滴吐出ヘッド２１を再度使用して、液滴Ｌｏを追加吐出するようにした。従って、キャリッジプレートＣＰを小さくすることができるにで、成膜装置１０全体をコンパクトにすることができる。
【００５８】
（４）本実施形態によれば、撮像装置２２によって撮影した液滴Ｌｏの発光のピーク強度により液滴Ｌｏの液滴量を算出するようにした。この結果、簡単な計算で吐出不良量である液滴配置領域Ｐを見出すことができる。
【００５９】
（５）本実施形態によれば、液状組成物Ｌを、機能性材料を溶媒に溶解または分散させ
たものとした。従って、液滴吐出ヘッド２１から液状組成物Ｌを吐出させてその吐出量に応じた膜厚の膜を形成するようにした、所謂液滴吐出法によって膜を形成する場合、その液滴Ｌｏの吐出量を測定することができることから、形成する膜の膜厚や膜質の均一性を向上させることができる。
【００６０】
（６）本実施形態によれば、液滴Ｌｏを構成する溶媒は蛍光性を有する有機溶媒である。従って、溶媒に対する溶質の量は０．５％程度から数％であり、そのほとんどが溶媒である。この結果、液滴Ｌｏ中での組成比の高い溶媒の蛍光による発光を測定することで、Ｓ／Ｎの高い測定を行うことができる。また、液滴Ｌｏを構成する機能性材料が、蛍光或いは燐光等を発光する性質を有していない場合であっても、液滴Ｌｏの液滴量の測定を行うことができる。
【００６１】
（７）本実施形態によれば、照射光Ｒの波長を３５０ｎｍ〜４５０ｎｍとした。従って、液滴Ｌｏの底の領域まで液滴Ｌｏ内部に均一に照射光Ｒを照射することができるので、液滴Ｌｏからの発光を液滴Ｌｏ全体からの発光とすることができる。この結果、Ｓ／Ｎ比の高く、精度の高い液滴Ｌｏの液滴量の測定を行うことができる。
【００６２】
（８）本実施形態によれば、照射光Ｒが基板Ｓの面（素子形成面）Ｓａに対して５０°の角度で入射するように照明装置２３をキャリッジプレートＣＰに搭載した。そして、基板Ｓの面Ｓａ対して垂直な方向に出射される光を撮像装置２２によって撮影するようにした。従って、液滴Ｌｏ表面での反射光或いは散乱光の影響を抑えられる。この結果、測定する画像（光）のＳ／Ｎ比が向上し、液滴Ｌｏの液滴量の測定精度を向上させることができる。また、照射光Ｒを液滴Ｌｏの内部まで効率良く照射させることができるので、高い強度の発光を得ることができる。
【００６３】
（９）本実施形態によれば、照射光Ｒの光源１３Ａを発光ダイオードとした。従って、発光ダイオードは、簡単な構成でありながら比較的狭い波長領域の光を、高い輝度で照射することができるため、測定の精度を低下させることなく、照明装置１３をコンパクトに構成することができる。更には、高速で点灯、消灯することができるため、照射光Ｒを照射終了後、一定時間後に測定を行う場合に容易に対応することができる。
【００６４】
（１０）本実施形態によれば、液滴Ｌｏ（液状組成物Ｌ）を構成する機能性材料は、発光材料、電荷輸送材料を含んでいる。従って、一般に、発光材料、電荷輸送材料を含んでなる液滴Ｌｏ（液状組成物）は、吐出が不安定となり易く、吐出量のばらつきが発生し易いが、この様なばらつきを即座に検出し、それによる不良の発生を防止することができる。
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る成膜装置について図６〜図８に従って説明する。本実施形態の成膜装置の構成は、そのキャリッジプレートＣＰに２つの液滴吐出ヘッドを設けている他は、上記第１実施形態に係る成膜装置と同じである。従って、上記第１実施形態に係る成膜装置１０と同じ部材については、同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００６５】
図６に示すように、本実施形態に係るキャリッジプレートＣＰには、第１のノズルヘッドとしての液滴吐出ヘッド２１、撮像装置２２、照明装置２３に加えて第２のノズルヘッドとしての第２の液滴吐出ヘッド４１が液滴吐出ヘッド２１に隣接して図６中反Ｙ矢印方向側に設けられている。以下、本実施形態においては、説明の便宜上、液滴吐出ヘッド２１を第２の液滴吐出ヘッド４１と区別するために、「第１の液滴吐出ヘッド２１」と記載する。
【００６６】
第２の液滴吐出ヘッド４１は、第１の液滴吐出ヘッド２１と同じ構造である。つまり、第２の液滴吐出ヘッド４１は、枠体４２Ａと、収容ケース４２Ｂと、枠体４２Ａと収容ケース４２Ｂとで挟まれて固定された振動板４３とを備えるとともに、枠体４２Ａの図３中反Ｚ矢印方向側、即ち、ステージ１４側の面（下面）に第２の吐出用ノズルとしてのノズルＮｏを有したノズルプレート４４を備えている。さらに、第２の液滴吐出ヘッド４１は、収容ケース４２Ｂに収容支持された圧電素子（ピエゾ素子）４５を備えている。
【００６７】
また、枠体４２Ａによって液状組成物Ｌを保持する保持室４８が形成されている。保持室４８は、前記チューブを介して供給される液状組成物Ｌを一時的に保持するためのものである。また、圧電素子（ピエゾ素子）４５は前記制御回路部１８によってその駆動が制御されるようになっている。
【００６８】
第２の液滴吐出ヘッド４１は、第１の液滴吐出ヘッド２１から吐出される液滴Ｌｏの吐出量に比べて少ない量の液滴Ｌｏが吐出されるようになっている。第１の液滴吐出ヘッド２１は、３ピコリットルの液滴Ｌｏが吐出されるように設定されているので、第２の液滴吐出ヘッド４１からは３ピコリットル未満の液滴量の液滴Ｌｏが吐出されるように設定されている。本実施形態では１回の吐出動作で１ピコリットルの液滴量の液滴Ｌｏが吐出されるように圧電素子（ピエゾ素子）４５に供給される駆動電圧が予め調整されている。
【００６９】
次に、本実施形態に係る成膜装置１０の電気的構成について説明する。
図７は、第１の液滴吐出ヘッド２１、第２の液滴吐出ヘッド４１、撮像装置２２、照明装置２３、ステージ１４及びキャリッジプレートＣＰの制御系を示したものである。図７に示すように、第１及び第２の液滴吐出ヘッド２１，４１、撮像装置２２、照明装置２３、ステージ１４の駆動装置Ｄ１及びキャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２は、それぞれ前記制御回路部１８に電気的に接続され、同制御回路部１８にて生成される制御信号Ｑ１〜Ｑ６に従って各装置の駆動タイミングが統合的に制御されるようになっている。
【００７０】
制御回路部１８は、制御プログラム、算出判断プログラム及び補正プログラムを格納している。制御プログラム及び算出判断プログラムは、上記第１実施形態と同じである。本実施形態の補正プログラムは、算出判断プログラムによって算出された液滴Ｌｏの液滴量が予め設定された値に達していないと判断された場合、吐出不良であると認識する。そして、ステージ１４及びキャリッジプレートＣＰを駆動し、第２の液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズルＮｏをその吐出不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させて、同吐出ノズルＮｏから液滴Ｌｏを追加吐出させるためのプログラムである。
【００７１】
図８は、本実施形態に係るキャリッジプレートＣＰの移動のタイミング、第１及び第２の液滴吐出ヘッド２１，４１の液滴吐出のタイミング、照明装置２３の光源３３の点灯／消灯のタイミング及び撮像装置２２の撮影のタイミングの関係を示した図である。図８に示すように、制御回路部１８は、上記第１実施形態と同様にして制御プログラムに従って光源３３を点灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を出力した状態で、第１の液滴吐出ヘッド２１を駆動させる旨の第１の液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ２を出力しそのノズルＮから液滴Ｌｏを、連続して６回同一の液滴配置領域Ｐに対して吐出させる。そして、制御回路部１８は、吐出開始時刻を基準とした経過時間ｔ２が予め設定された値に到達したと判断すると、制御プログラムに従って、撮像装置制御信号Ｑ５を生成し撮像装置２２を駆動させて撮影を実行する。そして、上記第１実施形態と同様にして、制御回路部１８は、算出判断プログラムに従って撮像装置２２によって撮影（測定）された画像（光）に基づいて液滴Ｌｏの液滴量を算出する。
【００７２】
次に、制御回路部１８は、算出された液滴Ｌｏの液滴量が吐出不良であると判断された場合、補正プログラムに従って、第２の液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズルＮｏをその吐出
不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させる旨の第２の液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ６を生成し、キャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２へ出力する。この結果、キャリッジプレートＣＰが駆動しその吐出ノズルＮｏが、その吐出不良の液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動する。そして、制御回路部１８は、制御プログラムに従って液滴吐出ヘッド制御信号Ｑ３を生成し第２の液滴吐出ヘッド４１へ出力し、ノズルＮｏから液滴Ｌｏを基板Ｓ上の液滴配置領域Ｐに吐出する。このとき、算出判断プログラムに従って算出された液滴量が１７ピコリットルの場合は１回、１６ピコリットルの場合は２回、１５ピコリットルの場合は３回、・・・、０ピコリットルの場合は１８回その液滴配置領域Ｐに対して吐出すようになっている。この結果、吐出不良の液滴配置領域Ｐには、１８ピコリットルの液滴Ｌｏが配置されることとなる。
【００７３】
一方、算出された液滴Ｌｏの液滴量が吐出良好であると判断された場合（即ち、１８ピコリットルであると判断された場合）、制御回路部１８は、上記第１実施形態と同様に、制御プログラムに従って、光源３３を点灯させる旨の光源制御信号Ｑ４を生成し照明装置２３へ出力する。その後、続いて、第１の液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮを新たな液滴配置領域Ｐに対向する位置に移動させる旨の制御信号Ｑ１を生成し、キャリッジプレートＣＰの駆動装置Ｄ２へ出力する。
【００７４】
上記したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）本実施形態によれば、第１の液滴吐出ヘッド２１を使用して液滴Ｌｏを吐出した後、その吐出量が予め設定された量ではない場合、第２の液滴吐出ヘッド４１を使用して、再度吐出不良の液滴配置領域Ｐに対して液滴Ｌｏを吐出するようにした。従って、第１の液滴吐出ヘッド２１から液滴Ｌｏが吐出されない場合であっても、液滴配置領域Ｐに対して所望の量の液滴Ｌｏを配置させることができる。
【００７５】
（２）本実施形態によれば、第１の液滴吐出ヘッド２１の吐出ノズルＮから吐出される液滴Ｌｏの吐出量を３ピコリットルとし、第２の液滴吐出ヘッド４１の吐出ノズルＮｏから吐出される液滴Ｌｏの吐出量を１ピコリットルとした。従って、第２の液滴吐出ヘッド４１の吐出回数を制御することで、液滴Ｌｏの吐出量を１ピコリットルずつ制御することができるので、液滴Ｌｏの吐出量をより正確に所望の量に補正することができる。
【００７６】
（３）本実施形態によれば、第２の液滴吐出ヘッド４１は、第１の液滴吐出ヘッド２１と同じキャリッジプレートＣＰに搭載した。従って、第１の液滴吐出ヘッド２１を使用して液滴Ｌｏを吐出した後に、直ちに、第２の液滴吐出ヘッド４１を使用して吐出不良な液滴配置領域Ｐに対して液滴Ｌｏを追加吐出することができる。この結果、短時間で液滴Ｌｏの吐出量を均一にすることができる。
【００７７】
尚、発明の実施形態は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
・上記第１及び第２実施形態では、液滴Ｌｏの液滴量を算出する方法として、液滴Ｌｏが配置されている領域内の電気信号の強度を比較して行くことにより、その最大値（ピーク強度）を求め、この発光信号のピーク強度と、予め実験により求めておいた発光のピーク強度から液滴量を換算して、液滴配置領域Ｐに配置されている液滴Ｌｏの液滴量を求めるようにした。本発明は、これに限定されるものではなく、以下のようにして求めてもよい。まず、上記第１及び第２実施形態と同様にして、液滴Ｌｏが配置されている領域を求める。これにより、液滴Ｌｏが存在する面積を見積もることができる。つぎに別途実験により求めておいた電気信号の強度と液滴の厚さ（液量）の関係より、液滴配置領域Ｐ内の各画素からの電気信号の強度を、液滴Ｌｏの厚さ（液量）に換算する。さらに、この各画素の液滴Ｌｏの厚さと、画素の面積に相当する値を掛け合わせ、その値を液滴Ｌｏが配置されている領域内の全ての画素に関して積算することにより、液滴配置領域Ｐに配置され
ている液滴Ｌｏの液滴量を求める。このようにすることにより、液滴配置領域Ｐに配置された液滴Ｌｏの表面状態が変化し易い場合であっても液滴Ｌｏの液滴量を正確に算出することができる。
【００７８】
・上記第２実施形態では、第１の液滴吐出ヘッド２１と第２の液滴吐出ヘッド４１とを同じキャリッジプレートＣＰに搭載した１台の成膜装置であったが、本発明はこれに限定されない。第１の液滴吐出ヘッド２１と第２の液滴吐出ヘッド４１とが、それぞれ異なったキャリッジプレートに搭載されていてもよい。
【００７９】
・上記第１及び第２実施形態では、照明装置２３は、着色ガラスと多層膜干渉フィルタを組み合わせたバンドパスフィルタ３５を備え、光源３３から出射した光のうち５４０ｎｍ〜５８０ｎｍの波長領域の光のみを照射光Ｒとして液滴Ｌｏに照射するようにした。本発明は、これに限定されるものではなく、たとえば、特に、光源３３を各種レーザダイオード等といった波長領域の狭い光を出射するもので構成されている場合では、このバンドパスフィルタ３５を省略することも可能である。
【００８０】
・上記第１及び第２実施形態では、光源３３を発光ダイオードで構成したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、ハロゲンランプや放電灯で光源３３を構成してもよい。この場合、複数の多層の干渉フィルタを備えてそれらを切り替えるようにしたり、透過する波長領域を可変とするフィルタを用いたりすることで、異なる波長領域の光を照明に用いることができる。また、ハロゲンランプ等の点灯、消灯の制御が困難なものを用いる場合には、照射光Ｒを照射するタイミングを制御するためのシャッター機構を備えても良い。このようにすることで、液滴Ｌｏの配置から撮影までの精度の高いタイミングの制御が可能となり、測定精度の向上を図ることができる。
【００８１】
・上記第１及び第２実施形態では、照明装置２３は、着色ガラスと多層膜干渉フィルタを組み合わせたバンドパスフィルタ３５を備えたが、本発明は、これに限定されるものではない。たとえば、回折格子の角度を変化させる機能を有するモノクロメータを用いてもよい。このようにすることで、照射光Ｒの波長領域を変えながら測定を行うことができるので、照射光Ｒとして適している波長領域を求めるのに有効である。
【００８２】
・上記第１及び第２実施形態では、液滴Ｌｏに含まれる機能性材料として、緑色（５４０ｎｍ〜６００ｎｍ）の発光を有するポリフルオレン系高分子誘導体を、溶媒としてトリメチルベンゼンを用いたものを使用したが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、有機エレクトロルミネッセンス装置の発光層の材料として知られるポリパラフェニレンビニレン誘導体やポリフェニ誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素等を上げることができる。また、有機エレクトロルミネッセンス装置の正孔注入層の材料として知られるポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）等のポリチオフェン誘導体、ポリエチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）を用いることもできる。さらに、カラーフィルタ等に用いられる各種染料や顔料を用いることも可能である。溶媒としては、シクロヘキシルベンゼン、ジハドロベンゾフラン、テトラメチルベンゼン、トルエン、キシレン等各種の有機溶媒をあげることができる。また、水、イソプロピルアルコール、ノルマルブタノール等の極性溶媒を用いることも可能である。
【００８３】
・上記第１及び第２実施形態では、制御回路部１８は、吐出開始時刻を基準に経過時間ｔ２が常に予め定めた値になったときに、撮像装置制御信号Ｑ５を出力するようにしたが、これを、発光開始時刻を基準に経過時間ｔ１が常に予め定めた値になったときに、撮像装置制御信号Ｑ５を出力するようにしてもよい。要は、照明装置２３からの照射光Ｒの照射が終了した後に撮像装置２２が撮影を開始すればよい。
【００８４】
・上記第１及び第２実施形態では、制御回路部１８を案内部材１６上に配設したが、本発明は、この制御回路部１８の配設位置に限定されるものではない。たとえば、案内部材１６と独立して別途設けられた部材に制御回路部１８を内蔵してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】成膜装置の全体斜視図。
【図２】成膜装置の側面図。
【図３】第１実施形態に係る液滴吐出ヘッド、撮影装置及び照射装置の構成を説明するための図。
【図４】第１実施形態に係る成膜装置の電気的構成図。
【図５】第１実施形態に係る成膜装置の動作を説明するためのタイミングチャート。
【図６】第２実施形態に係る液滴吐出ヘッド、撮影装置及び照射装置の構成を説明するための図。
【図７】第２実施形態に係る成膜装置の電気的構成図。
【図８】第２実施形態に係る成膜装置の動作を説明するためのタイミングチャート。
【符号の説明】
【００８６】
ＣＰ…キャリッジとしてのキャリッジプレート、Ｌｏ…液滴、Ｎ…吐出用ノズルとしてのノズル吐出用ノズル及び第１の液滴吐出用ノズル、Ｎｏ…第２の吐出用ノズルとしてのノズル、Ｐ…液滴配置領域、Ｑ３…制御信号としての液滴吐出ヘッド制御信号、Ｑ６…制御信号としての第２の液滴吐出ヘッド制御信号、Ｓ…基板、１０…成膜装置、１８…算出判断手段及び制御回路としての制御回路部、２１…ノズルヘッド及び第１のノズルヘッドとしての液滴吐出ヘッド、２２…光測定手段としての撮像装置、２３…光照射手段としての照明装置、４１…第２のノズルヘッドとしての液滴吐出ヘッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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