(57)【要約】【課題】端子部と給電線とを良好に接続することができる光導波路ユニットを提供する。【解決手段】光導波路ユニット１Ｃは、光を導波するコア２３を保持するクラッド２２が基板２１の表面に形成された光導波路板２と、この光導波路板２のクラッド２２側に接着剤５で接合される封止ブロック３とを備えている。クラッド２２の上面２２ａには、ヒーター２４および端子部２５が設けられている。封止ブロック３には、端子部２５に電気を供給するための給電線が挿入可能な給電線用開口３２が設けられているとともに、接合面３ａに給電線用開口３２を取り囲むように窪み部３４が設けられ、この窪み部３４と外部とを連通する連通部３４ａが設けられている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を導波するコアを保持するクラッドが基板の表面に形成され、前記クラッドの前記基板と反対側の面には前記コアで導波される光の伝播を制御するためのヒーターおよびこのヒーターに電気的に接続された端子部が設けられた光導波路板と、この光導波路板のクラッド側に接着剤で接合される封止ブロックとを備えた光導波路ユニットであって、
前記封止ブロックの前記端子部に対応する位置に、前記端子部を外部に露出させるとともに、内部に前記端子部に電気を供給するための給電線が挿入可能な給電線用開口を設け、
前記給電線用開口の内面を、前記封止ブロックの前記光導波路板に面する接合面よりも粗面化したことを特徴とする光導波路ユニット。
【請求項２】
光を導波するコアを保持するクラッドが基板の表面に形成され、前記クラッドの前記基板と反対側の面には前記コアで導波される光の伝播を制御するためのヒーターおよびこのヒーターに電気的に接続された端子部が設けられた光導波路板と、この光導波路板のクラッド側に接着剤で接合される封止ブロックとを備えた光導波路ユニットであって、
前記封止ブロックの前記端子部に対応する位置に、前記端子部を外部に露出させるとともに、内部に前記端子部に電気を供給するための給電線が挿入可能な給電線用開口を設け、
前記封止ブロックの前記光導波路板に面する接合面のうち前記給電線用開口の周縁部を残して当該給電線用開口を取り囲む部分に、前記接合面の給電線用開口の周縁部よりも粗面化された粗面化部を設けたことを特徴とする光導波路ユニット。
【請求項３】
光を導波するコアを保持するクラッドが基板の表面に形成され、前記クラッドの前記基板と反対側の面には前記コアで導波される光の伝播を制御するためのヒーターおよびこのヒーターに電気的に接続された端子部が設けられた光導波路板と、この光導波路板のクラッド側に接着剤で接合される封止ブロックとを備えた光導波路ユニットであって、
前記封止ブロックの前記端子部に対応する位置に、前記端子部を外部に露出させるとともに、内部に前記端子部に電気を供給するための給電線が挿入可能な給電線用開口を設け、
前記封止ブロックの前記光導波路板に面する接合面のうち前記給電線用開口の周縁部を残して当該給電線用開口を取り囲む部分に窪み部を設けるとともに、この窪み部と外部とを連通する連通部を設けたことを特徴とする光導波路ユニット。
【請求項４】
前記窪み部を、前記給電線用開口の周縁部に沿って延びる溝状に形成したことを特徴とする請求項３に記載の光導波路ユニット。
【請求項５】
前記窪み部を、前記封止ブロックの接合面の略全面に亘って連続的に設けたことを特徴とする請求項３に記載の光導波路ユニット。
【請求項６】
前記連通部を、前記封止ブロックの端面から外部に開口させたことを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載の光導波路ユニット。
【請求項７】
前記連通部を、前記封止ブロックの前記クラッドと反対側の面から外部に開口させたことを特徴とする請求項３〜５のいずれか一項に記載の光導波路ユニット。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の光導波路ユニットと、前記コアが延在する方向の前記光導波路板の両端面に接合される光ファイバアレイとを備えたことを特徴とする光導波路モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱光学効果を利用した光導波路ユニットおよび光導波路モジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、熱光学効果（TO：Thermo Optical）を利用した光導波路ユニットとしては、例えば特許文献１には、図１２（ａ）に示すような光導波路ユニット１００が記載されている。また、特許文献１には、この光導波路ユニット１００を光ファイバアレイと組み合わせた光導波路モジュールも記載されている。
【０００３】
光導波路ユニット１００は、光を導波するコア（図示せず）を保持するクラッド２２０が基板２１０の表面に形成された光導波路板２００と、この光導波路板２００が嵌り込み可能な嵌合凹部３７０を有し、当該嵌合凹部３７０に光導波路板２００が嵌り込んだ状態で接着剤５０（図１２（ｂ）参照）によって光導波路板２００のクラッド２２０側に接合される封止ブロック３００とを備えている。
【０００４】
クラッド２２０の基板２１０と反対側の面には、コアで導波される光の伝播を制御するためのヒーター２４０と、このヒーター２４０の両端部に電気的に接続された端子部２５０とが設けられている。封止ブロック３００は、光導波路板２００のクラッド２２０側を覆うことにより、湿度や汚れ等の外的要因からヒーター２４０等を保護するものである。
【０００５】
また、封止ブロック３００には、端子部２５０に対応する位置に、当該端子部２４０を外部に露出させるとともに、内部に端子部２５０に電気を供給するための給電線が挿入可能な給電線用開口３２０が設けられていて、この給電線用開口３２０を通じて端子部２５０に給電線を接続できるようになっている。
【特許文献１】特開２００５−１７６４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のような構成では、光導波路板２００に封止ブロック３００を接着剤５０で接合する際に、図１２（ｂ）に示すように、接着剤５０が給電線用開口３２０内にはみ出して、端子部２５０と給電線との接続の妨げとなるおそれがあった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑み、端子部と給電線とを良好に接続することができる光導波路ユニットおよび光導波路モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために、本発明の第１の手段に係る光導波路ユニットは、光を導波するコアを保持するクラッドが基板の表面に形成され、前記クラッドの前記基板と反対側の面には前記コアで導波される光の伝播を制御するためのヒーターおよびこのヒーターに電気的に接続された端子部が設けられた光導波路板と、この光導波路板のクラッド側に接着剤で接合される封止ブロックとを備えた光導波路ユニットであって、前記封止ブロックの前記端子部に対応する位置に、前記端子部を外部に露出させるとともに、内部に前記端子部に電気を供給するための給電線が挿入可能な給電線用開口を設け、前記給電線用開口の内面を、前記封止ブロックの前記光導波路板に面する接合面よりも粗面化したことを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の第２の手段に係る光導波路ユニットは、光を導波するコアを保持するクラッドが基板の表面に形成され、前記クラッドの前記基板と反対側の面には前記コアで導波される光の伝播を制御するためのヒーターおよびこのヒーターに電気的に接続された端子部が設けられた光導波路板と、この光導波路板のクラッド側に接着剤で接合される封止ブロックとを備えた光導波路ユニットであって、前記封止ブロックの前記端子部に対応する位置に、前記端子部を外部に露出させるとともに、内部に前記端子部に電気を供給するための給電線が挿入可能な給電線用開口を設け、前記封止ブロックの前記光導波路板に面する接合面のうち前記給電線用開口の周縁部を残して当該給電線用開口を取り囲む部分に、前記接合面の給電線用開口の周縁部よりも粗面化された粗面化部を設けたことを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の第３の手段に係る光導波路ユニットは、光を導波するコアを保持するクラッドが基板の表面に形成され、前記クラッドの前記基板と反対側の面には前記コアで導波される光の伝播を制御するためのヒーターおよびこのヒーターに電気的に接続された端子部が設けられた光導波路板と、この光導波路板のクラッド側に接着剤で接合される封止ブロックとを備えた光導波路ユニットであって、前記封止ブロックの前記端子部に対応する位置に、前記端子部を外部に露出させるとともに、内部に前記端子部に電気を供給するための給電線が挿入可能な給電線用開口を設け、前記封止ブロックの前記光導波路板に面する接合面のうち前記給電線用開口の周縁部を残して当該給電線用開口を取り囲む部分に窪み部を設けるとともに、この窪み部と外部とを連通する連通部を設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
例えば、前記窪み部を、前記給電線用開口の周縁部に沿って延びる溝状に形成したり、前記封止ブロックの接合面の略全面に亘って連続的に設けたりすることができる。
【００１２】
また、例えば、前記連通部を、前記封止ブロックの端面から外部に開口させたり、前記封止ブロックの前記クラッドと反対側の面から外部に開口させたりすることができる。
【００１３】
また、本発明の光導波路モジュールは、上述した光導波路ユニットと、前記コアが延在する方向の前記光導波路板の両端面に接合される光ファイバアレイとを備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の第１の手段に係る光導波路ユニットによれば、給電線用開口の内面を粗面化したから、給電線用開口の内面のぬれ性が封止ブロックの接合面のぬれ性よりも高くなるため、光導波路板に封止ブロックを接着剤で接合する際に、給電線用開口内に流れ込む接着剤が給電線用開口の内面に沿って流れるようになる。従って、接着剤が給電線用開口内にはみ出すはみ出し量を小さく抑えることができ、端子部と給電線とを良好に接続することができるようになる。
【００１５】
また、本発明の第２の手段に係る光導波路ユニットによれば、封止ブロックの接合面のうち給電線用開口の周縁部を残して当該給電線用開口を取り囲む部分に粗面化部を設けたから、給電線用開口の周縁部ではぬれ性が低く、その外側ではぬれ性が高くなり、ぬれ性の境界ができる。このため、光導波路板に封止ブロックを接着剤で接合する際に、接着剤が接合面に沿って給電線用開口に向かって流れるとその流れにぬれ性の境界でブレーキがかかるようになり、接着剤が給電線用開口内にはみ出し難くなる。従って、接着剤が給電線用開口内にはみ出すことを抑えることができるため、端子部と給電線とを良好に接続することができる。
【００１６】
また、本発明の第３の手段に係る光導波路ユニットによれば、封止ブロックの接合面のうち給電線用開口の周縁部を残して当該給電線用開口を取り囲む部分に窪み部を設けるとともに、この窪み部と外部とを連通する連通部を設けたから、光導波路板に封止ブロックを接着剤で接合する際には、連通部から空気が排出されつつ窪み部に接着剤が流れ込むようになるため、接着剤が給電線用開口内にはみ出し難くなる。従って、接着剤が給電線用開口内にはみ出すことを抑えることができるため、端子部と給電線とを良好に接続することができる。
【００１７】
また、本発明に係る光導波路モジュールによれば、上述した光導波路ユニットを備えているから、生産性を良好にすることができるとともに、製品の信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１９】
図１に、本発明の第１実施形態に係る光導波路ユニット１Ａが組み込まれた光導波路モジュール１０を示す。なお、図１において、Ｘ方向を前後方向、Ｙ方向（紙面と直交する方向）を左右方向、Ｚ方向を上下方向という。この光導波路モジュール１０は、光導波路ユニット１Ａと、この光導波路ユニット１Ａを挟んで前後両側に配置される光ファイバアレイ４とを備えており、これらが筐体６で覆われて構成されている。
【００２０】
光導波路ユニット１Ａは、前後方向に延びるとともに上下方向に扁平な長方形板状をなしており（図２（ａ）参照）、下面が筐体６内の底面に接着剤７で接着されている。そして、この光導波路ユニット１Ａの前後両端面１ａに光ファイバアレイ４が図略の接着剤によって接合されている。
【００２１】
光ファイバアレイ４は、後述するコア２３と光学的に接続される光ファイバ４３と、この光ファイバ４３を上下から挟み込んで固定する第１固定ブロック４１および第２固定ブロック４２とを有している。
【００２２】
光導波路ユニット１Ａは、具体的には図２および図３に示すように、光を導波するコア２３を保持するクラッド２２が基板２１の表面（上面）に形成された光導波路板２と、この光導波路板２のクラッド２２側に接着剤５で接合される封止ブロック３とを備えている。
【００２３】
基板２１は、シリコンや石英ガラス等で構成されている。コア２３およびクラッド２２は、加熱により屈折率が変化する材料で構成されている。具体的には、クラッド２２は、石英ガラスやポリマー等で構成されており、基板２１の表面の全面に亘って所定の厚みで形成されている。コア２３は、光導波路ユニット１Ａの前後両端面１ａに跨って前後方向に直線状に延びており、両端面１ａから露出する端面以外の部分をクラッド２２に全長に亘って覆われて保持されている。このコア２３は、クラッド２２よりも屈折率が高い材料で構成され、断面形状が略正方形状になっている。
【００２４】
なお、第１実施形態では、直線状のコア２３が左右に２本並んで配設されているが、コア２３の形状及び本数は、特に限定されるものではなく、例えばコア２３が１本の入射路を８本の出射路に分岐するような分岐路となっていてもよい。
【００２５】
さらに、クラッド２２の基板２１と反対側の面である上面２２ａには、前後方向の略中央でコア２３に対応する位置（第１実施形態ではコア２３の真上よりも少し外側位置）に前後方向に延在するヒーター２４がそれぞれ設けられているとともに、ヒーター２４の両端部に電気的に接続された端子部２５がヒーター２４の両端部から左右方向の外側に向かって延在するように形成されている。
【００２６】
ヒーター２４は、クラッド２２を介してコア２３を加熱することによりコア２３とクラッド２２の屈折率を変化させて、コア２３で導波される光の伝播を制御するためのものである。ヒーター２４および端子部２５は、共にＴｉ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、またはＮｉＣｒ等の金属薄膜がパターニングされることにより形成されており、特にヒーター２４は、金属薄膜が細線とされてその部分の抵抗値が上げられることにより形成され、ジュール熱によって発熱するようになっている。
【００２７】
封止ブロック３は、切削および研磨等の機械加工により、平面視で光導波路板２と同形状となる長方形板状に形成されているとともに、上面および下面が平滑面に加工されている。また、封止ブロック３の下面は、光導波路板２に面する接合面３ａとなっていて、接着剤５によってクラッド２２の上面２２ａに接着されている。
【００２８】
封止ブロック３は、石英ガラスやパイレックス（登録商標）ガラス等の透明材質からなっている。このため、封止ブロック３を透過してヒーター２４を視認することが可能であり、封止ブロック３を光導波路板２に接合する際の位置決めを容易に行うことができる。また、封止ブロック３が透明材質でなければ、接着剤５として熱硬化性のものを用いることになるが、この場合には、接着剤を硬化させる際の熱によるダメージを光導波路板２に与えるおそれがあるのに対し、封止ブロック３が透明材質であれば、接着剤５として光硬化性のものを用いることが可能となり、熱による影響をなくすことができる。
【００２９】
封止ブロック３の接合面３ａの略中央には、平面視で前後方向に延びる長方形状をなし、下方に開口する凹部３１が形成されている。この凹部３１は、ヒーター２４と封止ブロック３との接触を回避するためのものであり、その左右方向の幅は、２つのヒーター２４が離間する距離よりも少し長く、前後方向の長さは、ヒーター２４の長さよりも少し長く設定されている。すなわち、封止ブロック３は、凹部３１によってヒーター２４との接触を回避した状態でクラッド２２の上面２２ａを覆うようになっている。
【００３０】
また、封止ブロック３には、端子部２５に対応する位置に、当該端子部２５を外部に露出させるとともに、内部に端子部２５に電気を供給するための給電線（図示せず）が挿入可能な給電線用開口３２が設けられている。この給電線用開口３２は、封止ブロック３を上下方向に貫通する平面視で円形状の貫通穴で構成されている。そして、この給電線用開口３２を通じて端子部２５に給電線を接続できるようになっている。具体的には、給電線用開口３２内に半田または銀ペースト等の導電性材料を流し込んだ状態で、その導電線材料に図略の給電線を差し込めばよい。このようにすれば、導電線材料を給電線用開口３２内に留めたまま端子部２５に給電線を接続することができ、導電線材料が端子部２５の上からクラッド２２の上面２２ａに流れ出すことを防止することができる。
【００３１】
給電線用開口３２の内周面（内面）３２ａは、封止ブロック３の接合面３ａよりも粗面化されている。この内周面３２ａを粗面化するには、封止ブロック３に貫通穴を形成した後に、例えばサンドブラスト等を行えばよい。なお、サンドブラスト等の物理的方法以外にも薬剤等を用いた化学的方法によって内周面３２ａを粗面化することも可能である。
【００３２】
このように、第１実施形態の光導波路ユニット１Ａでは、給電線用開口３２の内周面３２ａを粗面化したから、給電線用開口３２の内周面３２ａのぬれ性が封止ブロック３の接合面３ａのぬれ性よりも高くなるため、光導波路板２に封止ブロック３を接着剤５で接合する際に、図４に示すように、給電線用開口３２内に流れ込む接着剤５が給電線用開口３２の内周面３２ａに沿って流れるようになる。従って、接着剤５が給電線用開口３２内にはみ出すはみ出し量を小さく抑えることができ、端子部２５と図略の給電線とを良好に接続することができるようになる。
【００３３】
また、このような光導波路ユニット１Ａを備えた光導波路モジュール１０では、生産性を良好にすることができるとともに、製品の信頼性を向上させることができる。
【００３４】
なお、第１実施形態では、給電線用開口３２が貫通穴で構成された形態を示したが、給電線用開口３２は、必ずしも貫通穴で構成されている必要はなく、図１２に示すような封止ブロックの端面から切り込まれた切り欠きで構成されていてもよい。この場合には、給電線用開口３２の内面を粗面化すればよい。
【００３５】
また、第１実施形態では、給電線用開口３２の内周面３２ａを粗面化しているが、図５に示す変形例の光導波路ユニットのように、封止ブロック３の接合面３ａのうち給電線用開口３２の周縁部３２ｂを残して当該給電線用開口３２を取り囲む部分に、給電線用開口３２の周縁部３２ｂよりも粗面化された粗面化部３３を設けることも可能である。この粗面化部３３は、平面視で給電線用開口３２の直径よりも大きな内径を有するリング状となっている。
【００３６】
このようにすれば、給電線用開口３２の周縁部３２ｂではぬれ性が低く、その外側ではぬれ性が高くなり、ぬれ性の境界ができる。このため、光導波路板２に封止ブロック３を接着剤５で接合する際に、接着剤５が接合面３ａに沿って給電線用開口３２に向かって流れるとその流れにぬれ性の境界でブレーキがかかるようになり、接着剤５が給電線用開口３２内にはみ出し難くなる。従って、接着剤５が給電線用開口３２内にはみ出すことを抑えることができるため、端子部２５と図略の給電線とを良好に接続することができる。
【００３７】
なお、封止ブロック３の接合面３ａに粗面化部３３を設ける構成に、給電線用開口３２の内周面３２ａを粗面化する構成を付け加えてもよい。このようにすれば、さらに効果的に給電線用開口３２内への接着剤５のはみ出しを抑えることができる。
【００３８】
次に、図６および図７に、本発明の第２実施形態に係る光導波路ユニット１Ｂを示す。なお、第２実施形態以降の実施形態における光導波路ユニット１Ｂ，１Ｃも、第１実施形態と同様に、光ファイバアレイ４と組み合わされて光導波路モジュール１０を構成するものである。また、第１実施形態と同一構成部分には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００３９】
第２実施形態の光導波路ユニット１Ｂでは、封止ブロック３の接合面３ａのうち給電線用開口３２の周縁部３２ｂを残して当該給電線用開口３２を取り囲む部分に窪み部３４が設けられている。この窪み部３４は、各給電線用開口３２を個別に取り囲むように給電線用開口３２の周縁部３２ｂに沿って延びる溝状をなしていて、平面視でリング状となっている。また、窪み部３４は、給電線用開口３２に対して左右方向の外側寄りに偏心していて、封止ブロック３の左右の端面から外部に開口している。すなわち、この窪み部３４の開口が、窪み部３４と外部とを連通する連通部３４ａとなっている。
【００４０】
なお、窪み部３４を給電線用開口３２と同心にするとともに、封止ブロック３の左右の端面に窪み部３４に通じる貫通穴を設けて、この貫通穴を連通部３４ａとしてもよい。または、図８に示すように、窪み部３４を平面視で左方または右方に開口するＵ字状に形成して、両端部を封止ブロック３の左右の端面に開口させることにより、窪み部３４の両端部を連通部３４ａとすることも可能である。
【００４１】
第２実施形態の光導波路ユニット１Ｂでは、封止ブロック３の接合面３ａのうち給電線用開口３２の周縁部３２ｂを残して当該給電線用開口３２を取り囲む部分に窪み部３４を設けるとともに、この窪み部３４と外部とを連通する連通部３４ａを設けたから、光導波路板２に封止ブロック３を接着剤５で接合する際には、図７に示すように、連通部３４ａから空気が排出されつつ窪み部３４に接着剤５が流れ込むようになるため、接着剤５が給電線用開口３２内にはみ出し難くなる。従って、接着剤５が給電線用開口３２内にはみ出すことを抑えることができるため、端子部２５と図略の給電線とを良好に接続することができる。
【００４２】
また、連通部３４ａによって窪み部３４が外部に開放されているので、封止ブロック３の接着時に接着剤５に気泡が入り難くなり、気泡の熱膨張等による封止ブロック３の剥離を防止することができる。
【００４３】
なお、第２実施形態では、連通部３４ａが封止ブロック３の左右の端面から外部に開口した形態を示したが、図９（ａ）および（ｂ）に示すように、連通部３４ａは、封止ブロック３のクラッド２２と反対側の面である上面から外部に開口していてもよい。この場合の連通部３４ａの形状は、図９（ａ）に示すように平面視で円形状であってもよいし、図９（ｃ）に示すように平面視で略Ｃ字状であってもよい。
【００４４】
また、図１０に示す変形例の光導波路ユニット１Ｃのように、窪み部３４は、封止ブロック３の接合面３ａの略全面に亘って連続的に設けられていてもよい。具体的には、図１１に示すように、窪み部３４は、封止ブロック３の接合面３ａのうち給電線用開口３２の周縁部３２ｂ、凹部３１の周縁部３１ａ、および接合面３ａの外周縁部３ｂを残す全ての領域に設けられている。この場合には、連通部３４ａを封止ブロック３の上面の適所に複数個設ければよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光導波路ユニットが組み込まれた光導波路モジュールの模式的な側面図である。
【図２】第１実施形態に係る光導波路ユニットを示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は分解斜視図である。
【図３】第１実施形態に係る光導波路ユニットを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のIIIｂ−IIIｂ線断面端面図である。
【図４】図３（ｂ）の要部拡大図である。
【図５】変形例の光導波路ユニットの図３（ｂ）に対応する要部拡大図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る光導波路ユニットを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のVIｂ−VIｂ線断面端面図である。
【図７】図６（ｂ）の要部拡大図である。
【図８】変形例の光導波路ユニットの要部拡大平面図である。
【図９】変形例の光導波路ユニットを示す図であり、（ａ）は要部拡大平面図、（ｂ）は（ａ）のIXｂ−IXｂ線断面端面図、（ｃ）は他の変形例の導波路ユニットの要部拡大平面図である。
【図１０】変形例の光導波路ユニットを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のXｂ−Xｂ線断面端面図である。
【図１１】封止ブロックを下方から見たときの斜視図である。
【図１２】従来の光導波路ユニットを示す図であり、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は（ａ）のI−I線断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ  光導波路ユニット
１０  光導波路モジュール
２    光導波路板
２１  基板
２２  クラッド
２３  コア
２４  ヒーター
２５  端子部
３    封止ブロック
３２  給電線用開口
３２ａ  内周面（内面）
３３  粗面化部
３４  窪み部
３４ａ  連通部
４    光ファイバアレイ
５    接着剤
【図１】
2007293131.tif 000003
【図２】
2007293131.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2007293131.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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