(57)【要約】  【課題】  列設された複数のノズル孔からの液滴吐出量のばらつきを、コスト上昇を招くことなく、容易に抑制することができる液滴吐出ヘッドの製造方法等を提供する。  【解決手段】  液滴Ｄを吐出する複数のノズル孔２２が形成されたノズルプレート２０を備える液滴吐出ヘッドの製造方法であって、ノズルプレート２０の一方の面２０ａに、断面円形のストレート部５７及びストレート部５７から拡開するテーパ部５６を有するポンチ５２の打込量を異ならせて複数の孔２１を穿設する工程と、ノズルプレート２０の他方の面２０ｂに突出した膨隆部２３を除去する工程と、を有する  【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートを備える液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記ノズルプレートの一方の面に、断面円形のストレート部及び該ストレート部から拡開するテーパ部を有するポンチの打込量を異ならせて複数の孔を穿設する工程と、
前記ノズルプレートの他方の面に突出した膨隆部を除去する工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートを備える液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記ノズルプレートの一方の面に略同一のテーパ形の複数の孔を穿設する工程と、
前記複数の孔の形成位置における押圧力を異ならせつつ、前記ノズルプレートの他方の面を研磨する工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートを備える液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記ノズルプレートに略同径の複数の孔を穿設する工程と、
前記複数の孔の一方の端面に、薄膜の積層数を異ならせて成膜する工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
液滴を吐出する複数のノズル孔を備える液滴吐出ヘッドにおいて、
前記複数のノズル孔が異なる吐出抵抗を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記複数のノズル孔が異なる孔径を有することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記複数のノズル孔が長さの異なるストレート部を有することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記複数のノズル孔の液滴吐出抵抗が所定の分布を構成することを特徴とする請求項４から請求項６のうちいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
前記所定の分布は、前記複数のノズル孔の予想される液滴特性に基づいて求められることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項４から請求項８のうちいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路など微細な配線パターンを有するデバイスや、液晶ディスプレイ或いは有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子の製造方法として、機能性液体を液滴吐出ヘッドから吐出して配置する方法が注目されている。
液滴吐出ヘッドとしては、例えば、インク滴を吐出するノズル孔と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル孔からインク滴を吐出させるもの等が知られている。
【０００３】
デバイスや液晶ディスプレイ等の製造に液滴吐出ヘッドを用いる場合には、ノズルプレートに形成された複数のノズル孔から吐出される液滴の量が一定であることが望まれている。
しかしながら、複数のノズル孔を略均一な形状に形成したとしても、特許文献１の第５（ｂ）図に示すように、列設された複数のノズル孔からの液滴吐出量は、列の略中央で少なく、両端が多くなる傾向が表れることが知られている。
このため、各ノズル孔に対応する圧電素子の駆動電圧を個別に補正することで各ノズル孔から吐出される液滴の量を均一化する技術が提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１４８１８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した技術では、複数の圧電素子を個別に制御する必要があるため、数十個から数千個のノズル孔が列設されている液滴吐出ヘッドに適用する場合には、工数がかさみ、コスト上昇の原因となってしまうという問題がある。
【０００５】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、列設された複数のノズル孔からの液滴吐出量のばらつきを、コスト上昇を招くことなく、容易に抑制することができる液滴吐出ヘッドの製造方法等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
第１の発明は、液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートを備える液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレートの一方の面に、断面円形のストレート部及び該ストレート部から拡開するテーパ部を有するポンチの打込量を異ならせて複数の孔を穿設する工程と、前記ノズルプレートの他方の面に突出した膨隆部を除去する工程と、を有するようにした。
この発明によれば、ノズルプレートに列設されるノズル孔のストレート部の長さを任意に設定できるので、ノズルプレートの各ノズル孔の液滴吐出抵抗が異なるようにすることができる。これにより、ノズルプレートの液滴吐出特性が調整できる。
【０００７】
また、液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートを備える液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレートの一方の面に略同一のテーパ形の複数の孔を穿設する工程と、前記複数の孔の形成位置における押圧力を異ならせつつ、前記ノズルプレートの他方の面を研磨する工程と、を有するようにした。
この発明によれば、ノズルプレートに列設されるノズル孔の孔径を任意に設定できるので、ノズルプレートの各ノズル孔の液滴吐出抵抗が異なるようにすることができる。これにより、ノズルプレートの液滴吐出特性が調整できる。
【０００８】
また、液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートを備える液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレートに略同径の複数の孔を穿設する工程と、前記複数の孔の一方の端面に、薄膜の積層数を異ならせて成膜する工程と、を有するようにした。
この発明によれば、ノズルプレートに列設されるノズル孔の孔径を任意に設定できるので、ノズルプレートの各ノズル孔の液滴吐出抵抗が異なるようにすることができる。これにより、ノズルプレートの液滴吐出特性が調整できる。
【０００９】
第２の発明は、液滴を吐出する複数のノズル孔を備える液滴吐出ヘッドにおいて、前記複数のノズル孔が異なる吐出抵抗を有するようにした。
この発明によれば、ノズルプレートの液滴吐出特性を任意に調整することができる。
【００１０】
また、前記複数のノズル孔が異なる孔径を有するようにすることで、容易に、複数のノズル孔が異なる吐出抵抗を有するように調整される。
また、前記複数のノズル孔が長さの異なるストレート部を有するようにすることで、容易に、複数のノズル孔が異なる吐出抵抗を有するように調整される。
また、前記複数のノズル孔の液滴吐出抵抗が所定の分布を構成するものでは、液滴吐出抵抗の分布を変化させることができる。例えば、均一な液滴吐出抵抗の分布を実現できる。
また、前記所定の分布が、前記複数のノズル孔の予想される液滴特性に基づいて求められるものでは、ノズルプレート毎に液滴吐出特性を測定する必要がないので、生産効率の向上を図ることができる。
【００１１】
第３の発明は、液滴吐出装置が、第２の発明の液滴吐出ヘッドを備えるようにした。
この発明によれば、ノズルプレートの液滴吐出特性が良好に調整されているので、高品質な液滴吐出装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１３】
［液滴吐出装置］
図１は、液滴吐出装置１００の一例を示す概略構成図である。
液滴吐出装置１００は、ベース１３１、基板移動部１３２、ヘッド移動部１３３、液滴吐出ヘッド１３４、液供給部１３５、制御部１４０等を有して構成されたものである。ベース１３１は、その上に基板移動部１３２、ヘッド移動部１３３を設置したものである。
【００１４】
基板移動部１３２は、ベース１３１上に設けられたもので、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール１３６を有したものである。この基板移動部１３２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ１３７をガイドレール１３６に沿って移動させるよう構成されたものである。
スライダ１３７上にはステージ１３９が固定されている。よって、基板移動部１３２がステージ１３９の移動軸となる。このステージ１３９は、基板Ｓを位置決めし保持するためのものである。すなわち、このステージ１３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをステージ１３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、例えばステージ１３９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ１３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。
【００１５】
ステージ１３９上の基板Ｓに対し、その両側、すなわち後述する液滴吐出ヘッド１３４の移動方向（Ｘ軸方向）での両側には、液滴吐出ヘッド１３４にフラッシングを行わせるためのフラッシングエリア（図示省略）が設けられている。
【００１６】
ヘッド移動部１３３は、ベース１３１の後部側に立てられた一対の架台１３３ａ，１３３ａと、これら架台１３３ａ，１３３ａ上に設けられた走行路１３３ｂとを備えてなるもので、走行路１３３ｂをＸ軸方向、すなわち基板移動部１３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路１３３ｂは、架台１３３ａ，１３３ａ間に渡された保持板１３３ｃと、この保持板１３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール１３３ｄ，１３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール１３３ｄ，１３３ｄの長さ方向に液滴吐出ヘッド１３４を搭載するキャリッジ１４２を移動可能に保持したものである。キャリッジ１４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール１３３ｄ，１３３ｄ上を走行し、これにより液滴吐出ヘッド１３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００１７】
ここで、このキャリッジ１４２は、ガイドレール１３３ｄ，１３３ｄの長さ方向、すなわちＸ軸方向に例えば１μｍ単位で移動が可能になっており、このような移動は制御部１４０によって制御されるようになっている。
【００１８】
液供給部１３５は、液滴吐出ヘッド１３４に液状体を供給する液供給源１４５と、この液供給源１４５から液滴吐出ヘッド１３４に液を送るための液供給チューブ１４６とからなるものである。
制御部１４０は、装置全体の制御を行うマイクロプロセッサ等のＣＰＵや、各種信号の入出力機能を有するコンピュータなどによって構成されたもので、液滴吐出ヘッド１３４による吐出動作、及び基板移動部１３２による移動動作を制御するものとなっている。
【００１９】
［液滴吐出ヘッド］
図２は、液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。
液滴吐出ヘッド１３４は、キャリッジ１４２に取付部１４３を介して回動可能に取り付けられたものである。取付部１４３にはモータ１４４が設けられており、液滴吐出ヘッド１３４はその支持軸（図示せず）がモータ１４４に連結している。このような構成のもとに、液滴吐出ヘッド１３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ１４４も前記制御部１４０に接続されており、これによって液滴吐出ヘッド１３４はその周方向への回動も、制御部１４０によって制御されるようになっている。
【００２０】
ここで、液滴吐出ヘッド１３４は、図２（ａ）に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート２０と振動板１１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１１４を介して接合したものである。ノズルプレート２０と振動板１１３との間には、仕切部材１１４によって複数の空間１１５と液溜まり１７４とが形成されている。各空間１１５と液溜まり１７４の内部は液状体で満たされており、各空間１１５と液溜まり１７４とは供給口１６２を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート２０には、空間１１５から液状体を噴射するためのノズル孔２２が縦横に整列させられた状態で複数形成されている。一方、振動板１１３には、液溜まり１７４に液状体を供給するための孔１１６が形成されている。
【００２１】
また、振動板１１３の空間１１５に対向する面と反対側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）１６４が接合されている。この圧電素子１６４は、一対の電極１６６を有し、これら電極１６６，１６６間に通電されると外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子１６４が接合されている振動板１１３は、圧電素子１６４と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１１５の容積が増大するようになっている。
従って、増大した容積分に相当する液状体が、液溜まり１７４から供給口１６２を介して空間１１５内に流入する。また、このような状態から圧電素子１６４への通電を解除すると、圧電素子１６４と振動板１１３はともに元の形状に戻る。従って、空間１１５も元の容積に戻ることから、空間１１５内部の液状体の圧力が上昇し、ノズル孔２２から基板Ｓに向けて液状体の液滴Ｄが吐出される。
【００２２】
なお、このような構成からなる液滴吐出ヘッド１３４は、その底面形状が略矩形状のもので、ノズル孔２２を、例えば縦×横が２×１８０となるように整列配置させたものである。
なお、図１においては、液滴吐出ヘッド１３４を一つしか示していないが、本発明の液滴吐出装置１００は、これに限定されることなく、液滴吐出ヘッド１３４を複数備えていてもよく、例えば１２台の液滴吐出ヘッド１３４を並列した状態に備えるようにしてもよい。
また、液滴吐出ヘッド１３４としては、圧電素子１６４を用いたピエゾジェットタイプ以外にも、例えばエネルギー発生素子として電気熱変換体を用いる方式などを用いるものであってもよい。
【００２３】
［液滴吐出ヘッドの製造方法］
次に、液滴吐出ヘッド１３４の製造方法の製造方法、特にノズルプレート２０の製造方法について図面を参照して説明する。
図３は、ノズルプレート２０の製造方法の一部を工程順に示す図である。
ノズルプレート２０は、ポンチ加工によって複数の下孔をノズルプレート２０に列状に穿設する下孔形成工程と、この下孔形成工程によってノズルプレート２０の裏面（液滴吐出面２０ｂ）側に膨出した膨隆部を研磨により除去する研磨工程と、を順に経ることで形成される。
【００２４】
下孔形成工程では、図３（ａ）に示すように、ダイ５１とポンチ５２とを用い、ノズルプレート２０に複数の下孔２１を形成する。本実施形態においては、ノズルプレート２０は、ステンレス鋼の薄板を用いている。ノズルプレート２０としては、ステンレス鋼に限らず任意の素材を用いることができる。例えば、ニッケルの薄板であってもよい。
ポンチ５２は、丸ポンチであり、円柱状の基部５５と、この基部５５よりも先端側に設けられた先細りテーパ形状のテーパ部５６と、このテーパ部５６よりも先端側に設けられて基部５５よりも一回り細い円柱状のストレート部（円柱部）５７とから構成される。
このポンチ５２は、ポンチホルダ（受圧板）５８に固定されて用いられる。基部５５をポンチホルダ５８側に向けた状態でポンチ５２をダイ５１上に載置されたノズルプレート２０に向けて下降させる。ポンチ５２をノズルプレート２０に押し込むと、図３（ａ）に示すように、ストレート部５７及びテーパ部５６がノズルプレート２０を変形させながら内部に進入する。そして、ポンチ５２を十分な深さまで押し込むと、ノズルプレート２０にはポンチ５２に倣った形状の下孔２１が形成される。このとき、ノズルプレート２０の一部がダイ５１の凹孔内に押し出されて膨隆部２３となる。
なお、ノズルプレート２０の下に柔軟性のある板を敷くことにより、必ずしもダイ５１を用いなくても下穴２１を形成することも可能である。
【００２５】
そして、ポンチ５２を十分に押し込んだならば、ポンチ５２を上昇させてノズルプレート２０から離隔する。
なお、ノズルプレート２０に複数の下孔２１を形成する際に、ポンチ５２の打込量を下孔２１毎に異ならせて形成する。例えば、図３（ｂ）に示すように、列設された下孔２１の深さ（ポンチ５２の押込量）が徐々に深くなるように形成する。
【００２６】
次に、研磨工程において、膨隆部２３を除去する。この研磨工程では、液滴吐出面２０ｂが平坦となるように、膨隆部２３を研磨する。
なお、この研磨工程では、膨隆部２３が除去できれば研磨以外の方法を採っても良い。そして、膨隆部２３の除去により、図３（ｃ）に示すように、ノズルプレート２０の厚さ方向を貫通したテーパ形の複数のノズル孔２２が形成される。
【００２７】
上述した工程を経ることにより、ノズル孔２２のプロファイルは、液滴吐出面２０ｂ側に位置する断面円形状のストレート部２２ａと該ストレート部２２ａから拡開するテーパ部２２ｂとで構成される。
そして、列設された下孔２１の深さ（ポンチ５２の押込量）が下孔２１毎に異なるように形成されていたので、各ノズル孔２２のストレート部２２ａの長さ（図３（ｄ）におけるＬ１〜Ｌ３）がそれぞれ異なって形成される。
なお、ストレート部２２ａの長さが長いほど、液滴を吐出する際の液滴吐出抵抗が大きくなるので、ストレート部２２ａの径が同一であっても、ストレート部２２ａの長さが長いほど、液滴吐出量が減少するようになる。逆に、ストレート部２２ａの長さが短いほど、液滴を吐出する際の液滴吐出抵抗が小さくなるので、液滴吐出量が増大するようになる。
【００２８】
各ノズル孔２２のストレート部２２ａの長さは、ノズルプレート２０を備える液滴吐出ヘッド１３４の液滴吐出特性に応じて規定されている。
列設された複数のノズル孔２２から液滴を吐出する場合、各ノズル孔２２からの液滴吐出量は微小な誤差（ばらつき）を含むものであるが、一定の分布を示すことが知られている。具体的には、列設された複数のノズル孔２２のうち、略中央に位置するノズル孔２２からの液滴吐出量が最も少なくなり、列の両端側に位置するノズル孔２２からの液滴吐出量が最も多くなるという傾向がある（特開２００４−１４８１８０号公報  第５（ｂ）図参照）。このような分布が表れる原因としては、隣接するノズル孔２２の存在やノズルプレート２０の固定方法等に起因するのではないかと考えられている。
そこで、液滴吐出量が少ないと予想されるノズル孔２２についてはストレート部２２ａの長さを短く形成し、一方、液滴吐出量が多いと予想されるノズル孔２２についてはストレート部２２ａの長さを長く形成することで、複数のノズル孔２２からの液滴吐出量のばらつきを簡易的に抑制する。
つまり、略中央に位置するノズル孔２２のストレート部２２ａを短く形成し、列の両端側に位置するノズル孔２２のストレート部２２ａを長く形成する。
これにより、列設された複数のノズル孔２２からの液滴吐出量のばらつきを抑えることが可能となる。すなわち、複数のノズル孔２２からの液滴吐出量を完全に均一化することは困難であるが、液滴吐出量のばらつきの程度を緩和することができる。
【００２９】
次に、ノズル孔の液滴吐出抵抗を異ならせる他の方法について説明する。
上述した実施形態においては、ノズル孔２２のストレート部２２ａの長さを異ならせることで液滴吐出抵抗を調整したが、ノズル孔２２の孔径を異ならせる方法を用いてもよい。
【００３０】
図４は、ノズルプレート２０の他の製造方法を説明するための図である。
ノズルプレート２０は、複数のテーパ形のノズル孔３２をノズルプレート２０に列状に穿設する下孔形成工程と、ノズルプレート２０の液滴吐出面２０ｂを研磨する研磨工程と、を順に経ることで形成される。
【００３１】
下孔形成工程では、図４（ａ）に示すように、ノズルプレート２０の液滴吐出面２０ｂから液滴供給面２０ａに拡開する複数のテーパ形のノズル孔３２を列状に形成する。この複数のノズル孔３２は、略同一形状に形成される。
ノズル孔３２の形成方法としては、例えば、ダイ５１とポンチ５２とを用いる方法に限らず、エッチング等の方法を用いてもよい。ノズルプレート２０としては、ステンレス鋼の他、シリコン等を用いることができる。
【００３２】
次に、研磨工程において、ノズルプレート２０の液滴吐出面２０ｂを砥石６０に押し付けて研磨する。この際、図４（ｂ）に示すように、ノズルプレート２０の押付力をノズル孔３２の位置により異ならせる。
すなわち、液滴吐出量が少ないと予想されるノズル孔３２については砥石６０への押付力を強くし、一方、液滴吐出量が多いと予想されるノズル孔３２については砥石６０への押付力を弱くする。
これにより、図４（ｃ）に示すように、砥石６０に強く押し付けられたノズル孔３２は、液滴吐出面２０ｂ側が大きく削り取られ、ノズル孔３２の孔径が拡大する。一方、砥石６０に弱く押し付けられたノズル孔３２は、液滴吐出面２０ｂ側の削りが少ないので、ノズル孔３２の孔径の拡大は殆どない。
こうして、列設される複数のノズル孔３２のうち、略中央に位置するノズル孔３２の孔径を大きく形成し、列の両端側に位置するノズル孔３２の孔径を小さく形成する。
これにより、列設された複数のノズル孔３２からの液滴吐出量のばらつきを抑えることが可能となる。すなわち、複数のノズル孔３２からの液滴吐出量を完全に均一化することは困難であるが、液滴吐出量のばらつきの程度を緩和することができる。
【００３３】
更に、ノズル孔の液滴吐出抵抗を異ならせる他の方法について説明する。
ノズル孔２２の孔径を異ならせる方法としては、上述した方法に限らず、以下のような方法を用いてもよい。
図５は、ノズルプレート２０の他の製造方法を説明するための図である。
ノズルプレート２０は、複数のノズル孔４２をノズルプレート２０に列状に穿設する下孔形成工程と、複数のノズル孔４２の一方の端面（液滴吐出面２０ｂ側）に、撥水性メッキ（薄膜）４４の積層数を異ならせて成膜する成膜工程と、を順に経ることで形成される。
【００３４】
下孔形成工程では、図５（ａ）に示すように、ノズルプレート２０の液滴吐出面２０ｂから液滴供給面２０ａに貫通する複数のノズル孔４２を列状に形成する。この複数のノズル孔４２は、略同一形状に形成される。なお、ノズル孔４２の形状は、ストレート形であってもテーパ形であってよい。
ノズル孔４２の形成方法としては、例えば、ダイ５１とポンチ５２とを用いる方法に限らず、エッチング等の方法を用いてもよい。ノズルプレート２０としては、ステンレス鋼の他、シリコン等を用いることができる。
【００３５】
次に、成膜工程では、図５（ｂ）に示すように、各ノズル孔４２の一方の端面（液滴吐出面２０ｂ側）に撥水性メッキ４４を成膜させる。撥水性メッキ４４は、各ノズル孔４２の一方の端面及びノズル孔４２の側面に付着し、これにより各ノズル孔４２の孔径が縮小する。
そして、図５（ｃ）に示すように、ノズル孔４２毎に撥水性メッキ４４の積層数を異ならせる。撥水性メッキ４４の積層数を異ならせることで、各ノズル孔４２の孔径を異ならせることが可能となる。つまり、撥水性メッキ４４の成膜回数を増やすことで、ノズル孔４２の側面に付着しする撥水性メッキ４４の膜厚も増大し、ノズル孔４２の孔径がそれに伴い縮小する。
撥水性メッキ４４を用いるのは、各ノズル孔４２の端面に撥水性を具備させるためである。すなわち、ノズル孔４２から液滴を吐出した際に、撥水性メッキ４４が存在することで、液滴の一部がノズル孔４２の端面に残存してしまうことを防止できるからである。
なお、ノズル孔４２の孔径を縮小させることが可能であれば、撥水性メッキ４４に限らず、その他の材料からなる膜を積層させてもよい。
【００３６】
以上、説明したように、本発明によれば、ノズルプレート２０に列設されるノズル孔２２，３２，４２の液滴吐出抵抗が異なるように設定されるので、ノズルプレート２０の液滴吐出特性が均一でない場合には、容易にノズルプレートの液滴吐出特性を調整することができる。
吐出のばらつきの影響は、高い粘度の液体を吐出する場合ほど顕著である。したがって、本発明によれば、高い粘度の液体を吐出する場合には、特に効果的に液滴吐出特性を調整することができる。なお、高い粘度の液体として有機ＥＬ装置の電荷輸送層や発光層を液体プロセスで形成する際のインク等が挙げられる。
また、液滴吐出ヘッドがマルチヘッド化すると、その構造が複雑になり、吐出量の補正を行うためには複雑な調整が必要になる。したがって、本発明によれば、簡単な構成で吐出量の補正が可能なため、マルチヘッド化する場合に特に有効である。
【００３７】
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない限り種々の変更が可能である。
例えば、本実施形態においては、ノズルプレート２０の液滴吐出特性が均一でないときにそれを略均一化させる場合について説明したが、これに限らない。略均一な液滴吐出特性のノズルプレート２０を任意の液滴吐出特性を有するようにする場合であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】液滴吐出装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの概略構成図である。
【図３】ノズルプレートの製造方法の一部を工程順に示す図である。
【図４】ノズルプレートの他の製造方法を説明するための図である。
【図５】ノズルプレートの他の製造方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３９】
２０…ノズルプレート、  ２０ａ…液滴供給面（一方の面）、  ２０ｂ…液滴吐出面（他方の面、裏面）、  ２１…下孔、  ２２…ノズル孔、  ２２ａ…ストレート部、  ２２ｂ…テーパ部、  ２３…膨隆部、  ３２，４２…ノズル孔、  ４４…撥水性メッキ（薄膜）、  ５２…ポンチ、  ５６…テーパ部、  ５７…ストレート部、  １００…液滴吐出装置、  １３４…液滴吐出ヘッド、  Ｄ…液滴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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