(57)【要約】【課題】予圧調整用のねじを専用に備えることなく、組み立て時と使用時とでの予圧量を変え得る直動案内装置用スライダおよび直動案内装置並びに直動案内装置用スライダの製造方法を提供する。【解決手段】この直動案内装置では、スライダ１６は、被案内部材１００を装着するための装着面１７ｆを有しており、その装着面１７ｆには、対をなす取り付け穴３２が、幅方向両側に形成されている。そして、この装着面１７ｆは、その対をなす取り付け穴３２が形成されているそれぞれの部分が、案内レールの軸直方向での外側に向けてそれぞれ傾斜する傾斜面として形成されている。【選択図】図６
2007298120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被案内部材を搬送すべき方向に沿って延びる転動体案内面を軸直方向の両側にそれぞれ有する案内レールを備える直動案内装置に用いられ、前記案内レールに対向して複数の転動体を介して相対移動可能に跨設されるようになっており、さらに、前記案内レールの転動体案内面にそれぞれ対向して前記転動体案内面とともに転動体軌道路を形成する負荷転動体案内面を有する一対の袖部と、その一対の袖部相互を繋ぐ連結部と、を備え、前記連結部は、前記案内レールに対向する側とは反対側に、前記被案内部材を装着するための装着面を有し、当該装着面には、前記被案内部材を固定するための取り付け穴が、前記一対の袖部に対応して前記軸直方向の両側の位置それぞれに、対をなして形成されているスライダであって、
前記装着面は、前記対をなす取り付け穴が形成されているそれぞれの部分が、前記転動体案内面と負荷転動体案内面との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として形成されていることを特徴とする直動案内装置用スライダ。
【請求項２】
前記傾斜面は、前記案内レールの軸直方向での外側に向かうにつれて変位量が増えるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の直動案内装置用スライダ。
【請求項３】
前記傾斜面は、前記案内レールの軸直方向での内側に向かうにつれて変位量が増えるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の直動案内装置用スライダ。
【請求項４】
前記傾斜面は、次の（式１）を満たす範囲の傾斜を有する面であることを特徴とする請求項２または３に記載の直動案内装置用スライダ。
（０．００４／Ｈｃｏｓα）≦θ≦（０．０２／Ｈｃｏｓα）    （式１）
但し、αは、水平面を基準としたときの転動体の接触角（ｄｅｇ）、
Ｈは、スライダの装着面から各転動体列の中心までの平均距離（ｍｍ）、
θは、取り付け穴の軸線上での、スライダの装着面の傾斜角（ｒａｄ）である。
【請求項５】
前記傾斜面は、前記案内レールの軸直方向での断面形状が、単一の円弧から形成されていることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の直動案内装置用スライダ。
【請求項６】
前記傾斜面は、その単一の円弧が、次の（式２）を満たす範囲の半径を有する面であることを特徴とする請求項５に記載の直動案内装置用スライダ。
（ＢＨｃｏｓα／０．０２）≦Ｒ≦（ＢＨｃｏｓα／０．００４）    （式２）
但し、αは、水平面を基準としたときの転動体の接触角（ｄｅｇ）、
Ｈは、スライダの装着面から各転動体列の中心までの平均距離（ｍｍ）、
Ｂは、スライダの中心から取り付け穴の軸線までの距離（ｍｍ）、
Ｒは、スライダの装着面の、単一の円弧の半径（ｍｍ）である。
【請求項７】
被案内部材を搬送すべき方向に沿って延びる転動体案内面を有する案内レールと、前記転動体案内面に対向して前記転動体案内面とともに転動体軌道路を形成する負荷転動体案内面を有し、前記転動体軌道路に複数の転動体が介装されて前記案内レールに対して相対移動可能に跨設するスライダと、を備える直動案内装置であって、
前記スライダに、請求項１〜６のいずれか一項に記載のスライダを用いていることを特徴とする直動案内装置。
【請求項８】
被案内部材を搬送すべき方向に沿って延びる転動体案内面を軸直方向の両側にそれぞれ有する案内レールを備える直動案内装置に用いられ、前記案内レールに対向して複数の転動体を介して相対移動可能に跨設されるようになっており、さらに、前記案内レールの転動体案内面にそれぞれ対向して前記転動体案内面とともに転動体軌道路を形成する負荷転動体案内面を有する一対の袖部と、その一対の袖部相互を繋ぐ連結部と、を備え、前記連結部は、前記案内レールに対向する側とは反対側に、前記被案内部材を装着するための装着面を有し、当該装着面には、前記被案内部材を固定するための取り付け穴が、前記一対の袖部に対応して前記軸直方向の両側の位置それぞれに、対をなして形成されるスライダを製造する方法であって、
前記装着面として加工すべき面に対し、前記取り付け穴が形成される部分それぞれを、前記転動体案内面と負荷転動体案内面との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として加工する傾斜面加工工程を含むことを特徴とする直動案内装置用スライダの製造方法。
【請求項９】
前記傾斜面加工工程は、前記一対の袖部を、前記軸直方向での内側から外側に向けて押圧して、その押圧力で一対の袖部を外側に向けて弾性変形させる外向き弾性変形工程と、該外向き弾性変形工程での外側に向けて弾性変形させた状態のスライダ素材に、その装着面として加工すべき面に対して除去加工をする除去加工工程と、を含むことを特徴とする請求項８に記載の直動案内装置用スライダの製造方法。
【請求項１０】
前記傾斜面加工工程は、前記一対の袖部を、前記軸直方向での外側から内側に向けて押圧して、その押圧力で一対の袖部を内側に向けて弾性変形させる内向き弾性変形工程と、該内向き弾性変形工程での内側に向けて弾性変形させた状態のスライダ素材に、その装着面として加工すべき面に対して除去加工をする除去加工工程と、を含むことを特徴とする請求項８に記載の直動案内装置用スライダの製造方法。
【請求項１１】
自身が固定される固定部材に対して被案内部材を搬送する搬送装置に用いられる案内部材であって、
前記被案内部材を搬送すべき方向に沿って延びる負荷転動体案内面を軸直方向の両側にそれぞれ有する可動部材を、複数の転動体を介して軸方向に相対移動可能に配置されるようになっており、
前記可動部材の負荷転動体案内面にそれぞれに対向して前記負荷転動体案内面とともに転動体軌道路を形成する転動体案内面を有する一対の袖部と、その一対の袖部相互を繋ぐ連結部と、を備え、
前記連結部は、前記可動部材に対向する側とは反対側に、前記固定部材を装着するための装着面を有し、当該装着面には、前記被案内部材を固定するための取り付け穴が、前記一対の袖部に対応して前記軸直方向での両側の位置それぞれに対をなして形成されており、
前記装着面は、前記対をなす取り付け穴が形成されているそれぞれの部分が、前記転動体案内面と負荷転動体案内面との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として形成されていることを特徴とする搬送装置用案内部材。
【請求項１２】
被案内部材を搬送すべき方向に沿って延びる転動体案内面を有する案内部材と、前記転動体案内面に対向して前記転動体案内面とともに転動体軌道路を形成する負荷転動体案内面を有し、前記転動体軌道路に複数の転動体が介装されて前記案内部材に対して相対移動可能に設けられる可動部材と、を備える搬送装置であって、
前記案内部材に、請求項１１に記載の案内部材を用いていることを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置用可動部材および搬送装置に係り、特に、直動案内装置用スライダおよび直動案内装置並びに直動案内装置用スライダの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
直動案内装置は、被案内部材を直線的に案内する搬送装置であり、半導体製造装置や精密加工機械、精密測定機器などの各種機械に用いられている。この種の直動案内装置では、被案内部材が、スライダの装着面に装着される。そして、そのスライダは、無限循環路内を転動しつつ循環する複数の転動体を介して案内レールに対して相対移動する可動部材になっている。
【０００３】
ここで、直動案内装置に高い剛性が必要な場合には、転動体に予圧をかけて使用する。すなわち、案内レールとスライダとの相互の転動面間の距離よりも、僅かに（例えば数μｍ〜数十μｍ程度）大きい直径の転動体を用いることにより、予め、転動体に弾性変形を与えておく。この弾性変形の量を予圧量と呼ぶ。予圧量が大きいほど剛性を高められるが、摺動抵抗は大きくなる。
【０００４】
直動案内装置に与えられる予圧量の程度は、その用途によって異なる。例えば工作機械など、特に大きい剛性が求められる場合は、その予圧量は大きい。これに対し、半導体製造装置など、機械の効率アップや制御性能の向上のために、低い摺動抵抗が求められる用途では、その予圧量は、小さい、あるいは予圧は与えられない。
ところで、直動案内装置の使用時に適正とした予圧量は、使用前、すなわち運搬時や組み付け時にも適正な予圧量になるとは限らない。
【０００５】
例えば、使用時での高い剛性を維持するために予圧量を大きくする場合には、それに応じてスライダの摺動抵抗も増大する。一方、使用前、例えば直動案内装置の組み付け時には、スライダを案内レール上の特定の位置に動かす必要がある。このとき、予圧量が大きい場合には、その摺動抵抗は、数十Ｎ〜数百Ｎにも及ぶことがあるので、スライダを特定の位置に移動させるために非常に大きな労力を要することになる。
【０００６】
また、使用時での低い摺動抵抗を実現するために、予圧量を小さくする、あるいは予圧を与えない場合には、それに応じてスライダの摺動抵抗も減少する。一方、使用前、例えば運搬時には、予圧量が小さければ、案内レール上をスライダが予期せず移動してしまうことがあるので、運搬に注意を要する。特に、案内レールを鉛直方向に立てて使用するような装置では、スライダが自重によって案内レールから脱落してしまうおそれがある。そのため、スライダの移動を拘束するためのストッパが必要になり、取り扱いが面倒である。
【０００７】
このように、直動案内装置は、用途に応じた予圧量が与えられて使用されるものの、その予圧量が、使用前でも適正な予圧量になるとは限らない。そのため、使用前の状態と使用中の状態とで、予圧量を調整できることが望ましい。そこで、予圧量の調整を可能とした直動案内装置として、例えば特許文献１に記載の技術が開示されている。
この特許文献１に記載の技術では、スライダは、その装着面の中央に、予圧調整用のねじを専用に備えている。そして、この予圧調整用のねじを設ける部分に凹部が形成されており、その凹部の幅方向両側に沿って、スライダ側面の外側に向けて高くなる傾斜面を部分的に形成している。これにより、予圧調整用のねじを適宜調整することによって、所望の予圧量を設定可能になっている。
【特許文献１】実開昭６０−１２７８３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、予圧調整用のねじを用いるので、所望の予圧量を設定するには、その予圧調整用のねじでの調整と、スライダの摺動抵抗の測定と、を繰り返し行う必要がある。そのため、所望の予圧量を設定する上で、予圧量の測定をその都度行う手間が掛かり、また、所望の予圧量を適切に設定するまでには相応の経験を要する。
【０００９】
また、予圧調整用のねじは、完全に固定されない状態（スライダの装着面と被案内部材との間に隙間が残る状態）で使用されることになるので、予圧調整用のねじが使用中に緩み、予圧量が変化するおそれがある。
そこで、本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、予圧調整用のねじを専用に備えることなく、組み立て時と使用時とでの予圧量を変え得る直動案内装置用スライダ、直動案内装置および直動案内装置用スライダの製造方法、並びに、搬送装置用可動部材および搬送装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明のうち第一の発明は、被案内部材を搬送すべき方向に沿って延びる転動体案内面を軸直方向の両側にそれぞれ有する案内レールを備える直動案内装置に用いられ、前記案内レールに対向して複数の転動体を介して相対移動可能に跨設されるようになっており、さらに、前記案内レールの転動体案内面にそれぞれ対向して前記転動体案内面とともに転動体軌道路を形成する負荷転動体案内面を有する一対の袖部と、その一対の袖部相互を繋ぐ連結部と、を備え、前記連結部は、前記案内レールに対向する側とは反対側に、前記被案内部材を装着するための装着面を有し、当該装着面には、前記被案内部材を固定するための取り付け穴が、前記一対の袖部に対応して前記軸直方向の両側の位置それぞれに、対をなして形成されているスライダであって、前記装着面は、前記対をなす取り付け穴が形成されているそれぞれの部分が、前記転動体案内面と負荷転動体案内面との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として形成されていることを特徴としている。
【００１１】
第一の発明によれば、スライダの装着面には、取り付け穴が形成されている部分に傾斜面を設けているので、これを直動案内装置に用いれば、例えば専用の調整ねじなどの予圧調整手段をスライダの中央部に設けなくても、被案内部材を固定する、例えば通常の固定ボルトを締め付けただけで、使用時には、使用前とは異なる予圧量を得られるように構成することができる。したがって、傾斜面の角度を管理しておけば、自動的に適切な予圧量を、使用時および使用前それぞれの段階で与えるように構成可能である。
【００１２】
ここで、本発明に係る直動案内装置用スライダは、前記傾斜面を、前記案内レールの軸直方向での外側に向かうにつれて変位量が増えるように形成することができる。
ここで、「傾斜面の変位量」とは、水平面を基準としたときに、これに対向する方向での距離であり、この場合、被案内部材を装着前の状態において、スライダ中心の位置からの落ち込み量になる。
【００１３】
このような構成であれば、スライダの装着面に被案内部材を装着する際に、スライダの一対の袖部は、外方に開くように変形する。これにより、スライダの負荷転動体案内面は、案内レールの転動体案内面から離れる方向に移動する。そのため、使用時には、使用前に比べて予圧量を小さくするように設定することができる。例えば、使用前には適度な摺動抵抗を与えておくことでスライダの不要な移動を抑制しておき、使用時には摺動抵抗を小さくして用いたい場合に好適である。
【００１４】
また、本発明に係る直動案内装置用スライダは、前記傾斜面を、前記案内レールの軸直方向での内側に向かうにつれて変位量が増えるように形成することができる。
ここで、「傾斜面の変位量」とは、水平面を基準としたときに、これに対向する方向での距離であり、この場合、被案内部材を装着前の状態において、スライダ端部の位置からの落ち込み量になる。
【００１５】
このような構成であれば、スライダの装着面に被案内部材を装着する際に、スライダの一対の袖部は、内方に閉じるように変形する。これにより、スライダの負荷転動体案内面は、案内レールの転動体案内面に近づく方向に移動する。そのため、使用時には、使用前に比べて予圧量を大きくするように設定することができる。例えば、使用前には摺動抵抗を小さくしておくことでスライダを容易に移動可能にしておき、使用時には適度な摺動抵抗を与えて用いたい場合に好適である。
【００１６】
また、本発明に係る直動案内装置用スライダは、前記傾斜面が、次の（式１）を満たす範囲の傾斜を有する面であれば好ましい。
（０．００４／Ｈｃｏｓα）≦θ≦（０．０２／Ｈｃｏｓα）    （式１）
但し、αは、水平面を基準としたときの転動体の接触角（ｄｅｇ）、Ｈは、スライダの装着面から各転動体列の中心までの平均距離（ｍｍ）、θは、取り付け穴の軸線上での、スライダの装着面の傾斜角（ｒａｄ）である。
【００１７】
このような構成とすれば、予圧の調整量を、一般的な直動案内装置で好適な４μｍ〜２０μｍの範囲にできるので、傾斜面の角度を所定の範囲に管理して、自動的に適切な予圧量を、使用時および使用前それぞれの段階で与える上でより好ましい。
また、本発明に係る直動案内装置用スライダは、前記傾斜面を、軸直方向での断面形状が、単一の円弧から形成することができる。軸直方向での断面形状を、単一の円弧とすれば、加工を容易とする上で好適である。
【００１８】
また、本発明に係る直動案内装置用スライダは、前記傾斜面を、単一の円弧から形成する場合において、次の（式２）を満たす範囲の半径を有する面であれば好ましい。
（ＢＨｃｏｓα／０．０２）≦Ｒ≦（ＢＨｃｏｓα／０．００４）    （式２）
但し、αは、水平面を基準としたときの転動体の接触角（ｄｅｇ）、Ｈは、スライダの装着面から各転動体列の中心までの平均距離（ｍｍ）、Ｂは、スライダの中心から取り付け穴の軸線までの距離（ｍｍ）、Ｒは、スライダの装着面の、単一の円弧の半径（ｍｍ）である。
【００１９】
このような構成とすれば、予圧の調整量を、一般的な直動案内装置で好適な４μｍ〜２０μｍの範囲にできるので、傾斜面の加工を容易としつつ、傾斜面の角度を所定の範囲に管理して、自動的に適切な予圧量を、使用時および使用前それぞれの段階で与える上でより好ましい。
さらに、本発明のうち第二の発明は、被案内部材を搬送すべき方向に沿って延びる転動体案内面を有する案内レールと、前記転動体案内面に対向して前記転動体案内面とともに転動体軌道路を形成する負荷転動体案内面を有し、前記転動体軌道路に複数の転動体が介装されて前記案内レールに対して相対移動可能に跨設するスライダと、を備える直動案内装置であって、前記スライダに、上記本発明に係る直動案内装置用スライダを用いていることを特徴としている。
【００２０】
第二の発明によれば、上記本発明に係る直動案内装置用スライダを用いているので、例えば専用の調整ねじなどの予圧調整手段をスライダの中央部に設けなくても、被案内部材を固定する、例えば通常の固定ボルトを締め付けただけで、使用時には、使用前とは異なる予圧量を得られるように構成することができる。
また、本発明のうち第三の発明は、上記本発明に係るスライダを製造する方法であって、前記装着面として加工すべき面に対し、前記取り付け穴が形成されている部分それぞれを、前記転動体案内面と負荷転動体案内面との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として加工する傾斜面加工工程を含むことを特徴としている。
【００２１】
第三の発明によれば、スライダ素材の装着面として加工すべき面に対し、上記本発明に係る直動案内装置用スライダの備えるべき傾斜面を加工することができるので、本発明に係る直動案内装置用スライダを好適に製造することができる。
ここで、本発明に係る直動案内装置用スライダの製造方法において、前記傾斜面加工工程は、前記一対の袖部を、前記軸直方向での内側から押圧して、その押圧力で一対の袖部を外側に向けて弾性変形させる外向き弾性変形工程と、該外向き弾性変形工程での外側に向けて弾性変形させた状態のスライダ素材に、その装着面として加工すべき面に対して除去加工をする除去加工工程と、を含むものであれば好ましい。このような工程を含む製造方法で本発明に係る直動案内装置用スライダを製造すれば、例えば上記の傾斜面を、前記案内レールの軸直方向での外側に向かうにつれて変位量が増えるように形成する上で好適である。
【００２２】
また、本発明に係る直動案内装置用スライダの製造方法において、前記傾斜面加工工程は、前記一対の袖部を、前記軸直方向での外側から押圧して、その押圧力で一対の袖部を内側に向けて弾性変形させる内向き弾性変形工程と、該内向き弾性変形工程での内側に向けて弾性変形させた状態のスライダ素材に、その装着面として加工すべき面に対して除去加工をする除去加工工程と、を含むものであれば好ましい。
【００２３】
このような工程を含む製造方法で本発明に係る直動案内装置用スライダを製造すれば、例えば上記の傾斜面を、前記案内レールの軸直方向での内側に向かうにつれて変位量が増えるように形成する上で好適である。
なお、上記除去加工工程での除去加工としては、研削加工を好適に用いることができる。
【００２４】
さらに、本発明のうち第四の発明は、自身が固定される固定部材に対して被案内部材を搬送する搬送装置に用いられる案内部材であって、前記被案内部材を搬送すべき方向に沿って延びる負荷転動体案内面を軸直方向の両側にそれぞれ有する可動部材を、複数の転動体を介して軸方向に相対移動可能に配置されるようになっており、前記可動部材の負荷転動体案内面にそれぞれに対向して前記負荷転動体案内面とともに転動体軌道路を形成する転動体案内面を有する一対の袖部と、その一対の袖部相互を繋ぐ連結部と、を備え、前記連結部は、前記可動部材に対向する側とは反対側に、前記固定部材を装着するための装着面を有し、当該装着面には、前記被案内部材を固定するための取り付け穴が、前記一対の袖部に対応して前記軸直方向での両側の位置それぞれに対をなして形成されており、前記装着面は、前記対をなす取り付け穴が形成されているそれぞれの部分が、前記転動体案内面と負荷転動体案内面との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として形成されていることを特徴としている。
第四の発明によれば、案内部材の装着面には、取り付け穴が形成されている部分に傾斜面を設けているので、これを搬送装置に用いれば、案内部材を固定部材に固定するための、例えば通常の固定ボルトを締め付けただけで、使用時には、使用前とは異なる予圧量を得られるように構成することができる。
【００２５】
また、本発明のうち第五の発明は、被案内部材を搬送すべき方向に沿って延びる転動体案内面を有する案内部材と、前記転動体案内面に対向して前記転動体案内面とともに転動体軌道路を形成する負荷転動体案内面を有し、前記転動体軌道路に複数の転動体が介装されて前記案内部材に対して相対移動可能に設けられる可動部材と、を備える搬送装置であって、前記案内部材に、前記本発明に係る搬送装置用案内部材を用いていることを特徴としている。
第五の発明に係る搬送装置によれば、本発明に係る搬送装置用案内部材を用いているので、案内部材を固定部材に固定するための、例えば通常の固定ボルトを締め付けただけで、自動的に適正な予圧量が得られるように構成することができる。
【発明の効果】
【００２６】
上述のように、本発明によれば、予圧調整用のねじを専用に備えることなく、組み立て時と使用時とでの予圧量を変え得る直動案内装置用スライダ、直動案内装置および直動案内装置用スライダの製造方法、並びに、搬送装置用案内部材および搬送装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の一実施形態について、図面を適宜参照しつつ説明する。
図１ないし図３は、本発明に係る直動案内装置の第一の実施形態のリニアガイドを説明する図であり、図１は、そのリニアガイドの斜視図であり、図２（ａ）は、その平面図、図２（ｂ）は、その一部を破断して示す正面図、図２（ｃ）は、その右側面図である。また、図３は、そのリニアガイドでの無限循環路を説明する図であり、同図では、図２（ｂ）でのＹ−Ｙ部分の断面図にて無限循環路の一部分を示している。
【００２８】
図１に示すように、このリニアガイド１０は、案内レール１２と、その案内レール１２に対して相対移動可能に跨設するスライダ１６と、を備えて構成されている。
案内レール１２は、ほぼ角形の断面形状を有し、その両側面にそれぞれ２条ずつ計４条の転動体案内面１４が、被案内部材を搬送すべき方向に沿って直線状に形成されている。スライダ１６は、スライダ本体１７と、その移動方向両端に取り付けられた一対のエンドキャップ２２とから構成される。スライダ本体１７およびエンドキャップ２２の軸方向に連続した形状は、ともに略コ字形の断面形状である。
【００２９】
スライダ本体１７は、両側が一対の袖部３０になっており、その一対の袖部３０が、連結部３１によって相互に繋がれることで略コ字形をなしている。
スライダ本体１７の連結部３１は、図１に示すように、その幅方向の両側に張り出し部１７ｈをそれぞれ有して形成されている。そして、連結部３１は、案内レール１２に対向する側とは反対側となる面（以下、この面を「スライダ上面」ともいう）が、被案内部材を装着するための装着面１７ｆになっている。この装着面１７ｆには、幅方向の両側の張り出し部１７ｈに対し、前記被案内部材を固定するための取り付け穴３２を有する。
【００３０】
この取り付け穴３２は、張り出し部１７ｈの上下方向に貫通する円形の貫通穴である。そして、一対の袖部３０に対応して、その上方となる位置に対をなして設けられており、案内レール１２の軸直方向での両側それぞれに二箇所、計４箇所に形成されている（この例では二対備えていることになる）。ここで、図２（ｂ）に示すように、各取り付け穴３２の軸線ＶＬは、案内レール１２を装着すべき基準面ＢＬに対し、垂直に形成されている（以下、他の例において同じ）。
さらに、スライダ本体１７は、図２（ｂ）に示すように、各袖部３０の内側に、案内レール１２の各転動体案内面１４にそれぞれ対向する断面ほぼ半円形の負荷転動体案内面１８がそれぞれ２条ずつ、計４条形成されている。
【００３１】
そして、エンドキャップ２２には、図３に示すように、その負荷転動体案内面１８の両端にそれぞれ連なる一対の方向転換路２４が内部に形成されている。さらに、スライダ本体１７には、その一対の方向転換路２４に連通して、負荷転動体案内面１８に平行で断面円形の貫通孔からなる転動体戻し通路２０が袖部３０の内部に形成されている。そして、案内レール１２の転動体案内面１４と、これに対向するスライダ本体１７の負荷転動体案内面１８との間に挟まれた空間が転動体軌道路２６をなしている。
【００３２】
そして、上記の、一対の方向転換路２４、転動体戻し通路２０、および、転動体軌道路２６によって環状に連続する無限循環路２８が計４列構成されている。さらに、各無限循環路２８内には、案内レール１２とスライダ１６との間で荷重を負荷しながら転走する転動体としてのボール４６が複数装填されている。そして、各無限循環路２８内の複数のボール４６は、有端状に形成された一本の転動体収容ベルト５０によってその転動体収容ベルト５０とともに転動体列６２を構成しており、この転動体列６２が無限循環路２８内を循環することによって、スライダ１６を案内レール１２に対して相対移動可能になっている。
ここで、このリニアガイド１０では、スライダ本体１７の装着面１７ｆは、取り付け穴３２が形成されている部分が、転動体案内面１４と負荷転動体案内面１８との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として形成されている。
【００３３】
以下、このリニアガイド１０の装着面１７ｆについてより詳しく説明する。なお、図４は、図２（ｂ）での転動体軌道路の部分を拡大して示す図である。また、図５は、図２（ａ）に符号Ｘで示す矢印のように、スライダ１６の幅方向に沿って装着面１７ｆの形状（傾斜の状態）を測定した結果を示すグラフである。また、図６は、スライダ１６を、被案内部材となるテーブルに装着する、装着前後の状態を説明する図であり、同図（ａ）は、装着前の状態を示し、また、同図（ｂ）は装着後の状態を示している。なお、同図では、理解を容易にするために、装着前後の状態をそれぞれ誇張して図示している。
【００３４】
図５および図６（ａ）に示すように、このリニアガイド１０では、スライダ１６の装着面１７ｆは、案内レール１２の軸直方向での断面形状が、中凸形状の単一の円弧から形成されることで、案内レール１２の軸直方向での外側に向かうにつれて変位量が漸増する傾斜面として形成されている。ここで、この中凸形状の単一円弧の半径Ｒは、半径Ｒ＝７００００ｍｍになっている。
【００３５】
これにより、このリニアガイド１０では、図６に誇張して示すように、スライダ本体１７の取り付け穴３２に固定ボルト９０を通して、スライダ１６を、被案内部材となるテーブル１００に固定すると、装着面１７ｆは弾性変形し、固定ボルト９０の位置でテーブル１００の装着される面１００ｆと当接した状態で拘束される。そのため、同図に示すように、スライダ１６の両袖部３０は装着前の状態（同図（ａ）参照）に比べて、装着後の状態は、外方に開くように変形する（同図（ｂ）参照）。したがって、スライダ１６の負荷転動体案内面１８は、案内レール１２の転動体案内面１４から離れる方向に移動するので、使用時には、使用前に比べて予圧量を小さくできるようになっている。
【００３６】
以下、この傾斜面として形成する装着面１７ｆを、具体的に設定、および形成する方法についてさらに詳しく説明する。
今、図５に示す測定位置をｘとするとき、その測定位置ｘ［ｍｍ］における、装着面１７ｆの変位量（この例では、スライダ中心ＣＬの位置からの落ち込み量）をｙとすれば、変位量ｙ［ｍｍ］は、近似的に次の（式３）で表わされる。
ｙ＝ｘ２／２Ｒ        （式３）
また、測定位置ｘ［ｍｍ］におけるスライダ上面の傾斜角θｘ［ｒａｄ］は、次の（式４）で表わされる。
θｘ＝ｄｙ／ｄｘ＝ｘ／Ｒ        （式４）
【００３７】
したがって、スライダ本体１７の中心から取り付け穴３２の軸線ＶＬまでの距離（以下、「固定距離」という）をＢ［ｍｍ］とすると（図２（ｂ）参照）、取り付け穴３２の軸線ＶＬにおける傾斜角θ［ｒａｄ］は次の（式５）となる。
θ＝Ｂ／Ｒ        （式５）
このときの予圧量の変化量は、取り付け穴３２の位置における、装着面１７ｆの傾斜角θ［ｒａｄ］に依存する。ここで、装着面１７ｆから各転動体列６２までの平均距離（以下、単に「平均距離」という）をＨ［ｍｍ］とすると、スライダ１６の開きによる変形での、負荷転動体案内面１８の水平方向への移動量ΔＸ［ｍｍ］は、ほぼ次の（式６）であらわされる。
ΔＸ＝Ｈθ        （式６）
【００３８】
負荷転動体案内面１８の移動に伴う予圧量の変化量Δδ［ｍｍ］は、接触角をα［ｄｅｇ］として（図４参照）、次の（式７）となる。
Δδ＝ΔＸ・ｃｏｓα        （式７）
ここで、一般のリニアガイドでは、予圧量は、０［ｍｍ］〜０．０２［ｍｍ］程度の範囲に設定される。そこで、予圧の変化量Δδとして、０．００４［ｍｍ］≦Δδ≦０．０２０［ｍｍ］程度を確保すれば、取り付け前後での摺動抵抗を十分広い範囲で調整できることになる。すなわち、Δδがこの範囲にあるとき、（式６）、（式７）より、上述の（式１）を得る。
（０．００４／Ｈｃｏｓα）≦θ≦（０．０２／Ｈｃｏｓα）    （式１）
さらに、（式５）より、上述の（式２）を得る。
（ＢＨｃｏｓα／０．０２）≦Ｒ≦（ＢＨｃｏｓα／０．００４）    （式２）
【００３９】
本実施形態では、上記考察に基づいて、固定距離Ｂ＝２８．５ｍｍ、半径Ｒ＝７００００ｍｍ、接触角α＝５０°、平均距離Ｈ＝１８ｍｍに設定した。（式５）より、取り付け穴３２の軸線ＶＬにおける傾斜角θ＝０．０００４１ｒａｄとなる。そして、（式６）、（式７）より、予圧量の変化量Δδ＝０．００４７ｍｍ＝４．７μｍを得る。
【００４０】
次に、上述したような傾斜した装着面１７ｆを有するスライダを製造する方法について説明する。図７は、そのスライダを製造する方法を説明する図である。
上述したスライダの傾斜した装着面１７ｆの形状は、以下の傾斜面加工工程によって加工することができる。すなわち、この傾斜面加工工程は、装着面１７ｆとして加工すべき面に対し、取り付け穴３２が形成される部分それぞれを、転動体案内面１４と負荷転動体案内面１８との対向する方向に沿って傾斜する所望の傾斜面として加工するものである。
【００４１】
詳しくは、まず、同図（ａ）に示すように、通常製造されるスライダ本体を製造するとき同様に、スライダ本体ブランク１７Ｂを準備する。ここで、このスライダ本体ブランク１７Ｂは、仮装着面１７ｆ’を有するスライダ素材である。なお、この仮装着面１７ｆ’は、装着面１７ｆとして加工すべき面として、除去加工に必要な取り代を見込んだ面になっている。
【００４２】
次に、同図（ｂ）に示すように、このスライダ本体ブランク１７Ｂを不図示の治具に装着する。このとき、一対の袖部３０を、前記案内レール１２の軸直方向での内側から外側に向けて、上述した考察に基づいた必要な押圧力で押圧して、その押圧力で一対の袖部を外側に向けて開くように弾性変形させる（外向き弾性変形工程）。このときの、スライダ本体ブランク１７Ｂに加える押圧力の大きさを適宜調整すれば、スライダ上面の傾斜の程度を調整することができる。なお、同図に符号Ｐ１で示す矢印は、案内レール１２の軸直方向での内側から外側に向けて押圧しているイメージを示している（以下同じ）。これにより、仮装着面１７ｆ’は、幅方向外側が高くなり、中央部が凹んだ略弓形に撓む。
【００４３】
次に、同図（ｃ）〜（ｄ）に示すように、外向き弾性変形工程での外側に向けて弾性変形させた状態のスライダ本体ブランク１７Ｂに、その装着面１７ｆとして加工すべき仮装着面１７ｆ’に対して、上述した考察に基づいた必要な除去量Ｄだけ研削加工をして、平面状に加工する（除去加工工程）。
そして、同図（ｅ）に示すように、その研削加工後、上記加えていたスライダ本体ブランク１７Ｂへの力を解除すれば、装着面１７ｆが、所望の中凸の形状の略単一の円弧になる。
【００４４】
次に、このリニアガイド１０、およびスライダ１６の作用・効果について説明する。
上述の構成を備えてなるこのリニアガイド１０によれば、そのスライダ１６は、取り付け穴３２が形成されている部分が、転動体案内面１４と負荷転動体案内面１８との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として形成されているので、例えば上記例示したような専用の調整ねじなどの予圧調整手段をスライダの中央部に設けなくても、テーブルを固定する固定ボルトを締め付けただけで、使用時には、使用前とは異なる予圧量を得ることができる。
【００４５】
すなわち、上述の特許文献１に記載の技術との違いは、スライダ上面の傾斜面を、取り付け穴の周囲に設けている点である。これにより、スライダの中央部に、専用の調整ねじなどの予圧調整手段を設けなくても、通常の固定ボルトを締め付けただけで、自動的に適正な予圧量が得られるのである。したがって、構成が簡単であり、専用の調整ねじによる予圧設定の手間も不要である。
【００４６】
そして、この傾斜面は、案内レール１２の軸直方向での断面形状が、単一の円弧状の中凸形状から形成されており、さらに、案内レール１２の軸直方向での外側に向かうにつれて変位量が漸増する面から形成されているので、スライダ本体１７の取り付け穴３２に固定ボルトを通してテーブルに固定すると、装着面１７ｆが、固定ボルトの位置でテーブルの装着される面と当接した状態で拘束されることで、図５に示すように、その両袖部３０が、固定前の状態（同図（ａ）参照）に比べて、外方に開くように変形する（同図（ｂ）参照）。したがって、スライダ１６の負荷転動体案内面１８は、案内レール１２の転動体案内面１４から離れる方向に移動するので、使用時には、使用前に比べて予圧量を小さくすることができる。
【００４７】
これにより、使用時には、低い摺動抵抗が必要な用途であっても、使用前には、使用時よりも高い予圧を与えることができる。そのため、搬送時や組み付け時に、案内レール１２上をスライダ１６が簡単に移動してしまうのを防止することができる。したがって、リニアガイド１０の取り扱いを容易なものとすることができる。
さらに、その傾斜面は、上記（式１）を満たす範囲の傾斜を有する面になっているので、予圧の調整量を、一般的なリニアガイドで好適な４μｍ〜２０μｍの範囲にできる。したがって、傾斜面の角度を所定の範囲に管理して、自動的に適切な予圧量を、使用時および使用前それぞれの段階で与えることができる。
【００４８】
具体的に、本実施形態における、予圧量と摺動抵抗との関係を図８に示す。なお、同図（ａ）は、０［ｍｍ］〜０．０２［ｍｍ］の範囲全体を示し、同図（ｂ）は、本実施形態に係る要部を拡大して図示している。
上述したように、本実施形態のリニアガイド１０では、固定距離Ｂ＝２８．５ｍｍ、半径Ｒ＝７００００ｍｍ、接触角α＝５０°、平均距離Ｈ＝１８ｍｍに設定しており、（式５）より、取り付け穴３２の軸線ＶＬにおける傾斜角θ＝０．０００４１ｒａｄであり、また、（式６）、（式７）より、Δδ＝０．００４７ｍｍ＝４．７μｍなので、同図に示すように、このリニアガイド１０によれば、取り付け前に比べて、取り付け後は、予圧量を約５μｍ小さくすることができる。
【００４９】
したがって、同図（ｂ）に示すように、取り付け前の予圧量を６μｍに設定すれば、取り付け前の摺動抵抗は、２．７Ｎとなる。これにより、このリニアガイド１０によれば、取り付け前の状態で、予期せずに案内レール１２上をスライダ１６が動くことを抑制できる。さらに、使用時には、予圧量が約１μｍに低下するので、使用時の摺動抵抗を０．５Ｎにまで低減できる。したがって、機械の効率アップや制御性能を向上させることができる。
【００５０】
なお、取り付け前の摺動抵抗は、２〜２０Ｎ程度が望ましい。摺動抵抗が、この範囲よりも狭いと、予期せずに案内レール１２上をスライダ１６が移動していまい、搬送などの取り扱いに支障がある。また、この範囲よりも大きいと、手動によってスライダ１６を移動させることが困難になる。
さらに、上述した、スライダの製造方法によれば、スライダ本体ブランク１７Ｂの、装着面１７ｆとして加工すべき仮装着面１７ｆ’に対し、上述した所定の形状（単一の円弧形状）を与えるための加工が容易である。そして、一対の袖部３０を、案内レール１２の軸直方向での内側から押圧して、その押圧力で一対の袖部３０を外側に向けて弾性変形させ、その弾性変形させた状態のスライダ本体ブランク１７Ｂに、その仮装着面１７ｆ’に対して除去加工を施しているので、上記傾斜面を好適に加工することができる。したがって、本実施形態でのスライダ１６を好適に製造することができる。
【００５１】
次に、本発明に係る直動案内装置の第二の実施形態のリニアガイドについて説明する。なお、この第二の実施形態の構成は、上記説明した第一の実施形態に対し、スライダ本体、および、その装着面の構成のみが異なり、他の構成は同様であるので、異なる点について説明し、他の構成については、その説明を省略する。
図９〜図１１は、第二の実施形態のリニアガイドを説明する図であり、図９はその正面図を、一部を破断して示している。また、図１０は、上記第一実施形態同様に、そのスライダの幅方向に沿って装着面の形状（傾斜の状態）を測定した結果を示すグラフであり、図１１は、そのスライダを、被案内部材となるテーブル１００に装着する前後の状態を説明する図であり、同図では、理解を容易にするために、装着前後の状態を誇張して図示している。
【００５２】
図９に示すように、この第二の実施形態でのスライダ１６は、幅方向の両側に張り出す部分を有していない。そして、スライダ本体１７の上面に形成される装着面１７ｆには、一対の袖部３０に対応して、その上方の位置に、タップ穴３２が、テーブル１００を固定するための取り付け穴として、それぞれ二箇所、計４箇所に形成されている。
そして、このリニアガイドでは、スライダ本体１７の装着面１７ｆは、タップ穴３２が形成されている部分が、図１１（ａ）に誇張して示すように、単一の円弧からなる中凹形状に形成されることで、転動体案内面１４と負荷転動体案内面１８との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として形成されている。これにより、この傾斜面は、案内レール１２の軸直方向での内側に向かうにつれて変位量が漸増する面として形成されている。ここで、この中凹形状の単一円弧の半径Ｒは、半径Ｒ＝８００００ｍｍになっている。
【００５３】
そして、上記説明した第一の実施形態同様に、このスライダ１６をテーブル１００に取り付けると、図１１（ｂ）に誇張して示すように、スライダ１６は固定ボルト９０の位置でテーブル１００に拘束される。そして、このスライダ１６は、単一の円弧の中凹形状から形成されているので、装着前の状態に比べて、装着後の状態は、内方に閉じるように変形する。そのため、スライダ１６の負荷転動体案内面１８は、案内レール１２の転動体案内面１４に近づく方向に移動するので、使用時には、使用前に比べて予圧量を大きくできるようになっている。
【００５４】
ここで、この傾斜面は、上述の第一の実施形態での中凸形状の場合と同様に、タップ穴３２の軸線ＶＬにおける傾斜角θ［ｒａｄ］は、上記（式５）で表せる（但し、傾斜の方向は反対である。つまり、この例での傾斜面の変位量は、スライダ端部の位置からの落ち込み量になる）。
さらに、この第二の実施形態のリニアガイドでは、上記第一の実施形態と同様に、予圧の変化量Δδとして、０．００４ｍｍ〜０．０２０ｍｍ程度を確保しており、テーブル１００への取り付け前後での摺動抵抗を十分広い範囲で調整できるようにしている。なお、予圧の変化量Δδがこの範囲にあるときの傾斜角θおよび半径Ｒの範囲についても、上記（式６）および（式７）と同じになる。
【００５５】
上述同様の考察に基づいて、本実施形態では、固定距離Ｂ＝３０ｍｍ、半径Ｒ＝８００００ｍｍ、接触角α＝５０°、平均距離Ｈ＝３９ｍｍに設定した。このとき、（式５）より、タップ穴３２の軸線ＶＬにおける傾斜角θ＝０．０００３８ｒａｄとなる。そして、（式６）、（式７）より、予圧量の変化量Δδ＝０．００９５ｍｍ＝９．５μｍを得る。
【００５６】
次に、この第二の実施形態でのスライダを製造する方法について図１２を参照しつつ説明する。
上述したスライダでの傾斜した装着面１７ｆの形状は、以下の傾斜面加工工程によって加工することができる。すなわち、この傾斜面加工工程は、装着面１７ｆとして加工すべき面に対し、タップ穴３２が形成される部分それぞれを、転動体案内面１４と負荷転動体案内面１８との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として加工するものである。
詳しくは、まず、同図（ａ）に示すように、上記第一の実施形態同様の、スライダ本体ブランク１７Ｂを準備する。このスライダ本体ブランク１７Ｂは、仮装着面１７ｆ’を有するスライダ素材である。
【００５７】
次に、同図（ｂ）に示すように、このスライダ本体ブランク１７Ｂを不図示の治具に装着する。このとき、一対の袖部３０を、前記案内レール１２の軸直方向での外側から内側に向けて、上述した考察に基づいた必要な押圧力で押圧して、その押圧力で一対の袖部を内側に向けて閉じるように弾性変形させる（内向き弾性変形工程）。このときの、スライダ本体ブランク１７Ｂに加える押圧力の大きさを適宜調整すれば、スライダ上面の傾斜の程度を調整することができる。なお、同図に符号Ｐ２で示す矢印は、案内レール１２の軸直方向での外側から内側に向けて押圧しているイメージを示している（以下同じ）。これにより、仮装着面１７ｆ’は、幅方向外側が低くなり、中央部が膨らんだ略弓形に撓む。
【００５８】
次に、同図（ｃ）〜（ｄ）に示すように、内向き弾性変形工程での内側に向けて弾性変形させた状態のスライダ本体ブランク１７Ｂに、その装着面１７ｆとして加工すべき仮装着面１７ｆ’に対して、上述した考察に基づいた必要な除去量Ｄ２だけ研削加工をして、平面状に加工する（除去加工工程）。
そして、同図（ｅ）に示すように、その研削加工後、上記加えていたスライダ本体ブランク１７Ｂへの力を解除すれば、装着面１７ｆが、所望の中凹形状の略単一の円弧に加工することができる。
【００５９】
上述の構成を備えてなるこの第二の実施形態のリニアガイドによれば、そのスライダ１６は、タップ穴３２が形成されている部分が、転動体案内面１４と負荷転動体案内面１８との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として形成されているので、上記説明した第一の実施形態同様に、テーブル１００を固定する固定ボルト９０を締め付けただけで、使用時には、使用前とは異なる予圧量を得ることができる。
【００６０】
すなわち、本実施形態においても、上記第一の実施形態と同様に、上述の特許文献１に記載の技術と違い、スライダ１６の上面の傾斜面を、タップ穴３２の周囲に設けているので、スライダの中央部に、専用の調整ねじなどの予圧調整手段を設けなくても、通常の固定ボルト９０を締め付けただけで、自動的に適正な予圧量が得られる。したがって、構成が簡単であり、専用の調整ねじによる予圧設定の手間も不要とすることができる。
【００６１】
そして、この第二の実施形態での傾斜面は、案内レール１２の軸直方向での断面形状が、単一の円弧状の中凹形状から形成されており、さらに、案内レール１２の軸直方向での内側に向かうにつれて変位量が漸増する面から形成されているので、スライダ本体１７のタップ穴３２に固定ボルト９０を通してテーブル１００に固定すると、装着面１７ｆが、固定ボルトの位置でテーブル１００の装着される面１００ｆと当接した状態で拘束されることで、図１１に示すように、その両袖部３０が、固定前の状態（同図（ａ）参照）に比べて、内方に閉じるように変形する（同図（ｂ）参照）。したがって、スライダ１６の負荷転動体案内面１８は、案内レール１２の転動体案内面１４に近づく方向に移動するので、使用時には、使用前に比べて予圧量を大きくすることができる。
【００６２】
これにより、使用時には高い剛性が必要な用途であっても、使用前には使用時よりも低い予圧量を保つことができる。したがって、組み付け時に、スライダ１６を軽い摺動抵抗で移動させることができる。したがって、スライダ１６の位置合わせなどの作業を容易に行うことができる。
ここで、本実施形態における、予圧量と摺動抵抗との関係を図１３に示す。
【００６３】
上述したように、本実施形態のリニアガイドでは、固定距離Ｂ＝３０ｍｍ、半径Ｒ＝８００００ｍｍ、接触角α＝５０°、平均距離Ｈ＝３９ｍｍに設定しており、（式５）より、タップ穴３２の軸線ＶＬにおける傾斜角θ＝０．０００３８ｒａｄであり、また、（式６）、（式７）より、予圧量の変化量Δδ＝０．００９５ｍｍ＝９．５μｍなので、本実施形態によれば、同図に示すように、取り付け前に比べて、取り付け後は、予圧量を約１０μｍ大きくすることができる。したがって、取り付け前の予圧量を６μｍに設定しておけば、取り付け前の摺動抵抗は２．９Ｎであり、手動でスライダを容易に移動させることができる。さらに、使用時には、予圧量が１６μｍに増大するので、摺動抵抗は２４Ｎにまで増加して剛性を高めることができる。
【００６４】
以上説明したように、本発明に係るスライダ、およびこれを備えるリニアガイドによれば、予圧調整用のねじを専用に備えることなく、組み立て時と使用時とでの予圧量を変えることができる。
なお、本発明に係る直動案内装置用スライダおよび直動案内装置並びに直動案内装置用スライダの製造方法は、上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能である。
【００６５】
例えば、上記各実施形態では、スライダの装着面は、傾斜面の形状が、単一の円弧状の中凹形状、および中凸形状から形成されている例で説明したが、傾斜面の形状は、厳密な単一円弧である必要はない。すなわち、装着面１７ｆは、取り付け穴（タップ穴）３２が形成されている部分が、転動体案内面１４と負荷転動体案内面１８との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として形成されていればよく、例えば図１４に示すように、左右にそれぞれ一定の傾斜角をもつ平面形状であってもよい。また、スライダ中心ＣＬに対して、必ずしも左右対称でなくてもよい。
【００６６】
また、上記各実施形態のリニアガイドでは、案内レールは、その横断面が略矩形形状のものを例に説明したが、これに限定されず、案内レールの形状は、別の形状のものであっても、転動体案内面と負荷転動体案内面との対向する方向に案内レールないしスライダを変形させることで予圧を調整可能であればよい。
例えば、図１５に他の例を示すように、案内レール１２Ｂの横断面形状を、略コ字状に形成することができる。
【００６７】
詳しくは、同図に示すように、この案内レール１２Ｂは、左右一対の袖部１２Ｃと、その一対の袖部１２Ｃを相互に繋ぐ連結部１２Ｄと、が一体構造をなして開口側を上向きにした略コ字状に構成されている。この一対の袖部１２Ｃの対向する内側面には、被案内部材を搬送すべき方向に沿って延びる転動体案内面１４Ｂが設けられている。そして、この例でのスライダ１７Ｂは、横断面形状については上述の第二の実施形態同様に、開口側を下向きにした略コ字状に構成されているが、その負荷転動体案内面１８Ｂは、各袖部１２Ｃの外側の側面に且つ転動体案内面１４Ｂに対向する位置に形成されている。そして、これら転動体案内面１４Ｂおよび負荷転動体案内面１８Ｂによって転動体軌道路２６Ｂが構成される。また、スライダ１７Ｂには、負荷転動体案内面１８Ｂに平行で断面円形の貫通孔からなる転動体戻し通路２０が各袖部３０Ｂの内部に形成されており、さらに、転動体戻し通路２０および転動体軌道路２６Ｂの両端が、上記各実施形態同様に、エンドキャップの方向転換路（不図示）に連通して無限循環路が構成される。そして、このスライダ１７Ｂにおいて、その上面に装着面１７ｆが形成されており、さらに、その幅方向の両側の位置に、被案内部材を固定するための取り付け穴３２が形成されている。そして、その装着面１７ｆを、上記各実施形態のいずれかに記載の構成と同様の傾斜面とする。
【００６８】
このような構成であっても、その装着面１７ｆを、上記各実施形態のいずれかに記載の構成と同様の傾斜面にしているので、同様の作用・効果が得られる。ただし、この例の場合には、上記各実施形態とは逆に、装着面１７ｆを、中凸形状としたときにはスライダ１７Ｂを被案内部材に固定した際に予圧量が増大し、装着面１７ｆを、中凹形状としたときにはスライダ１７Ｂを被案内部材に固定した際に予圧量が減少する。
【００６９】
また、上記各実施形態では、本発明を適用可能な搬送装置として、直動案内装置を例とし、さらに、その一実施形態としてリニアガイドを例に説明したが、本発明を適用可能な搬送装置は、これに限定されない。
例えば、本発明に係る搬送装置として、ボールねじとリニアガイドとが一体化された直動案内ユニットである、いわゆるモノキャリアに適用することができる。
【００７０】
以下、この種のモノキャリアの概略構成について説明する。
図１６は、本発明に係る搬送装置の他の例であるモノキャリアの概略構成を示す図であり、同図（ａ）はその平面図、同図（ｂ）はその正面図、また、同図（ｃ）は、同図（ｂ）でのＺ−Ｚ断面を示している。
同図に示すように、このモノキャリア７０は横断面が上向き略コ字状のベース７１を案内部材として備えており、このベース７１は、一対の袖部７３と、その一対の袖部７３相互を繋ぐ連結部であるベース基部７２と、が一体構造をなして構成されている。そして、一対の袖部７３は、そのベース基部７２の幅方向両側それぞれに、被案内部材を搬送すべき方向となるアキシャル方向に沿って対向して立設している。そして、一対の袖部７３には、同図（ｃ）に示すように、略コ字状の凹部７４の幅方向内側面に、それぞれ前記アキシャル方向に延びる半円弧状の転動体案内面７５が形成されている。
【００７１】
さらに、ベース７１の凹部７４には、前記アキシャル方向に沿って所定の可動領域で移動可能な可動部材８０が配置される。この可動部材８０は、その幅方向両側の外面に、前記一対の袖部７３の各転動体案内面７５に対向する負荷転動体案内面７６をそれぞれ有している。そして、これら、転動体案内面７５とこれに対向する負荷転動体案内面７６とによって転動体軌道路が構成され、この転動体軌道路に複数の転動体７７が介装されることで、一対の袖部７３に対して可動部材４０が相対移動可能になっている。
【００７２】
さらに、ベース７１の凹部７４には、外周面に螺旋状のねじ溝を有して前記アキシャル方向に沿って延びるねじ軸８２が配設されている。そして、上記の可動部材８０は、前記アキシャル方向中央に、このねじ軸８２の外径より大きな内径をもつ貫通孔を有しており、この貫通孔に、ねじ軸８２が挿通されている。そして、可動部材８０の貫通孔内周面には、ねじ軸８２のねじ溝と相対向してそのリードに対応する螺旋状のねじ溝が設けられており、さらに、対向するねじ溝同士の間に、多数の転動体が無限循環可能に介装されることでボールねじ機構が構成されている。
【００７３】
このような構成を有するモノキャリア７０においては、図１６に示すように、その案内部材であるベース７１は、その下面に、モノキャリア７０が固定される固定部材である機台に装着するための装着面７１ｆを有しており、さらに、この装着面７１ｆには、機台に装着するための対をなす貫通穴３２’が形成される。このモノキャリア７０においても、上述した各実施形態同様に、本発明に係る構成、つまり、その装着面７１ｆを、対をなす貫通穴３２’が形成されているそれぞれの部分が、転動体案内面７５と負荷転動体案内面７６との対向する方向に沿って傾斜する傾斜面として形成されたものとすることができる。
【００７４】
なお、このようなモノキャリアの場合には、ベース７１の装着面７１ｆの傾きによって変形させることで予圧を調整する点で、上記実施形態のリニアガイドでの例（スライダ本体１７の装着面１７ｆの傾きによって変形させる）とは異なる。しかし、例えば、固定ボルトを締め付けただけで、自動的に適正な予圧量を得られるというような、予圧調整に係る作用・効果については、リニアガイドの例と同様の作用・効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明に係る直動案内装置の第一の実施形態のリニアガイドを説明する斜視図である。
【図２】本発明に係る直動案内装置の第一の実施形態のリニアガイドを説明する図であり、同図（ａ）は、その平面図、同図（ｂ）は、その一部を破断して示す正面図、同図（ｃ）は、その右側面図である。なお、同図（ｂ）では、要部を見易くするために、拡大図示している。
【図３】無限循環路を説明する図であり、同図では、図２（ｂ）でのＹ−Ｙ部分の断面図にて無限循環路の一部分を示している。
【図４】転動体軌道路の部分を説明する図であり、同図では、図２（ｂ）でのＺ部分の拡大図を示している。
【図５】図２（ａ）に符号Ｘで示す矢印のように、スライダの幅方向に沿って装着面の形状（傾斜の状態）を測定した結果を示すグラフである。
【図６】スライダを、被案内部材となるテーブルに装着する前後の状態を説明する図であり、同図では、理解を容易にするために、装着前後の状態を誇張して図示している。
【図７】第一の実施形態でのスライダを製造する方法を説明する図である。
【図８】第一の実施形態における、予圧量と摺動抵抗との関係を示すグラフである。
【図９】本発明に係る直動案内装置の第二の実施形態のリニアガイドを説明する図であり、その正面図を、一部を破断して示している。
【図１０】第二の実施形態でのスライダの幅方向に沿って装着面の形状（傾斜の状態）を測定した結果を示すグラフである。
【図１１】第二の実施形態でのスライダを、被案内部材となるテーブルに装着する前後の状態を説明する図であり、同図では、理解を容易にするために、装着前後の状態を誇張して図示している。
【図１２】第二の実施形態でのスライダを製造する方法を説明する図である。
【図１３】第二の実施形態における、予圧量と摺動抵抗との関係を示すグラフである。
【図１４】本発明に係るスライダの変形例を説明する図である。
【図１５】発明に係る直動案内装置の他の例を説明する概略構成図であり、同図は、その横断面を図示している。
【図１６】本発明に係る搬送装置の他の例であるモノキャリアの概略構成を示す図であり、同図（ａ）はその平面図、同図（ｂ）はその正面図、また、同図（ｃ）は、同図（ｂ）でのＺ−Ｚ断面を示している。
【符号の説明】
【００７６】
１０  リニアガイド（直動案内装置、搬送装置）
１２  案内レール（案内部材）
１４  転動体案内面
１６  スライダ（移動部材）
１７  スライダ本体
１８  負荷転動体案内面
２０  転動体戻し通路
２２  エンドキャップ
２４  方向転換路
２６  転動体軌道路
２８  無限循環路
３０  袖部
３１  連結部
３２  取り付け穴、タップ穴（取り付け穴）
４６  ボール（転動体）
５０  転動体収容ベルト
６２  転動体列
７０  モノキャリア（搬送装置）
９０  固定ボルト
１００  被案内部材
【図１】
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【図２】
2007298120.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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