(57)【要約】【課題】  記録素子基板をダイシング後、記録素子基板内部の水分及び切削屑を除去する工程において、除去効率向上を目的とする。【解決手段】  ダイシングフィルムに穴をあけ、上面よりブローすることで記録素子基板内部の水分及び切削屑の除去性を向上する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するためのインク吐出口を上面に具え、インクを供給するための開口部を下面に具え、上面インク吐出口から下面開口部へ連通する連通路をもったインクジェット記録ヘッドの記録素子基板を、ダイシング・洗浄後にダイシングフレーム及びダイシングフィルムに固定したままインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の水分及び切削屑を除去する工程において、ダイシングフィルムにインクジェット記録ヘッドの記録素子基板下面開口部に対応した開口を設け、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板上面よりガスでブローすることにより水分及び切削屑を除去することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項1におけるインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の水分及び切削屑除去方法において、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板下面開口部に対応した開口を設けた第一のダイシングフィルムに、開口を設けない第二のダイシングフィルムにて2枚重ねにしてダイシング・洗浄をした後、開口を設けない第二のダイシングフィルムを剥がしてインクジェット記録ヘッドの記録素子基板上面よりガスでブローすることにより水分及び切削屑を除去することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項1におけるインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の水分及び切削屑除去方法において、ダイシング・洗浄時にダイシングフィルムのインクジェット記録ヘッドの記録素子基板下面開口部に対応した開口を吸着しないウエハー吸着ステージを用いてダイシング・洗浄をした後、記録素子基板上面よりガスでブローすることにより水分及び切削屑を除去することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドの製造方法に係り、特にインクジェット記録ヘッドに実装される記録素子基板の水分及び切削水除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドの記録素子基板には、インク供給口となる記録素子基板下面開口部と上面のインク吐出口からなる連通路が設けられている。この連通路内にウエハーダイシング時に切削水及び切削屑が浸入する。この切削水の残留水分があるとインク吐出口に膜が張りインクが吐出されないことや、インクの吐出量が低下することがある。また、切削屑がインク吐出口周辺に残った場合吐出方向が安定せず記録媒体への着弾位置がずれるなどの問題が発生するため、確実な水分及び切削屑除去が要求される。
【０００３】
これに対しインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の水分及び切削屑除去は、ダイシング後にダイシングフレーム及びダイシングフィルムに固定された状態で記録素子基板上面からのブローによって行われている。
【特許文献１】特開平11-195635号公報
【特許文献２】特開平11-307508号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記の水分及び切削屑除去方法では、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板下面の開口部がダイシングフィルムで塞がれているため、上面からのクリーンエアー又は窒素等のガスが上面インク吐出口からインクジェット記録ヘッドの記録素子基板内に流入し、連通路でつながった別の上面インク吐出口から流入したガスの気流に乗って残留水分及び切削屑が排出される。しかし、同一の上面インク吐出口からガスの流入・排出をおこなっているため、連通路内のガスの流れが複雑になり残留水分及び切削屑除去効率が悪い。そこで、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部の残留水分及び切削屑を効率よく除去するインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の水分及び切削屑除去方法、インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決する為に、図１で示すインクジェット記録ヘッドの記録素子基板（1）の下面開口部（3）を塞いでいるダイシングフィルムに下面開口部に対応した開口（7）を設け、上面よりクリーンエアー又は窒素等のガス（8）でブローすることにより、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部の残留水分及び切削屑（9）を上面インク吐出口（2）より記録素子基板内部に流入したガスの気流にのせ、下面開口部に対応した開口（7）から排出することで残留水分及び切削屑を除去する。
【０００６】
図３で示すダイシングフィルム（6）にインクジェット記録ヘッドの記録素子基板下面開口部に対応した開口を設け、これを図５で示す第一のダイシングフィルム（5）とし、第一のダイシングフィルムに開口を設けない第二のダイシングフィルム（6）を貼り、ダイシング・洗浄をした後、第二のダイシングフィルムを剥がし上面よりクリーンエアー又は窒素等のガスでブローすることでインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の残留水分及び切削屑を除去する。
【０００７】
図４に示すダイシングフィルムにインクジェット記録ヘッドの記録素子基板下面開口部に対応した開口を設けたインクジェット記録ヘッドの記録素子基板のダイシング・洗浄において、図７で示すように下面開口部に対応した開口を避けてウエハー吸着を行うウエハー吸着ステージを用いてダイシング・洗浄をした後、上面インク吐出口よりクリーンエアー又は窒素等のガスでブローすることでインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の残留水分及び切削屑を除去する。
【発明の効果】
【０００８】
この方法により、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板上面のインク吐出口から記録素子基板内部へクリーンエアー又は窒素等のガスが流入し、記録素子基板の連通路を通り、ダイシングフィルムの記録素子基板下面開口部に対応した開口から排出される。このとき記録素子基板内部の残留水分及び切削屑も流入したガスの気流に乗り一緒に排出される。流入したガスの流れがインク吐出口からダイシングフィルムのインクジェット記録ヘッドの記録素子基板下面開口部に対応した開口へと一定方向になるため、記録素子基板内部の残留水分及び切削屑除去効率が良くなり、ブローに要する時間を半減することが可能となった。従って、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板の水分及び切削屑除去に際して、短時間で確実な水分及び切削屑除去が可能となり、残留水分による上面インク吐出口への膜張りや上面インク吐出口周辺への切削屑残りをなくすことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図２は上面インク吐出口（2）と下面開口部（3）からなる連通路を具えるインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の略図である。
【００１０】
図３は図２インクジェット記録ヘッドの記録素子基板をダイシングフレーム（4）及びダイシングフィルム（6）に固定した状態であり、通常この状態でダイシング・洗浄を行う。
【００１１】
図３のインクジェット記録ヘッド記録素子基板のダイシングフィルム（6）に、図４のように下面開口部（3）に対応した開口（7）を設け、ダイシング・洗浄を行う。その後図１のように上面インク吐出口（2）よりクリーンエアーまたは窒素等のガス（8）をブローする。下面開口部に対応した開口を設けることにより、図６のように開口を設けない状態では、上面インク吐出口から記録素子基板内部へ流入したクリーンエアー又は窒素等のガス（8）の流れが複雑であったが、図１のように記録素子基板内部へ流入したクリーンエアー又は窒素等のガスの流れが上面インク吐出口から開口へと一方向となり、効率良くインクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部の残留水分及び切削屑（9）を除去することが可能となる。
【００１２】
上記ダイシング・洗浄において、ダイシングフィルムにインクジェット記録ヘッドの記録素子基板下面開口部に対応した開口を設けることにより、ダイシング・洗浄時のウエハー吸着ステージのウエハー吸着が不十分となる事がある。そのため図５に示すように下面開口部に対応した開口を設けた第一のダイシングフィルム（5）に更に開口を設けない第二のダイシングフィルム（6）を重ねて貼ることで確実なウエハー吸着が可能となり、ダイシング・洗浄を行う事が出来る。ダイシング・洗浄が終了したのち、開口を設けない第二のダイシングフィルムを剥がし、図１のように上面インク吐出口からクリーンエアー又は窒素等のガスをブローすることにより、効率よくインクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部の残留水分及び切削屑を除去することが可能となる。
【００１３】
上記のダイシング・洗浄におけるウエハー吸着ステージのウエハー吸着不十分について、全面吸着型のウエハー吸着ステージから、図７のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板下面開口部に対応した開口を吸着しないウエハー吸着ステージ(10)を用いることで確実なウエハー吸着が可能となり、ダイシング・洗浄を行う事が出来る。ダイシング・洗浄が終了した後、上面インク吐出口からクリーンエアー又は窒素等のガスをブローすることにより効率よくインクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部の残留水分及び切削屑を除去することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】下面開口部に対応した開口を設けたインクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部の気流図。
【図２】インクジェット記録ヘッドの記録素子基板。
【図３】図2をダイシングフレーム及びダイシングフィルムに固定した状態を示す図。
【図４】図3のダイシングフィルムに連通路の開口部に対応した開口を設けた事を示す図。
【図５】開口を設けた第一のダイシングフィルムに、開口を設けていない第二のダイシングフィルムを貼った事を示す図。
【図６】従来技術におけるインクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部の気流図。
【図７】下面開口部に対応した開口を吸着しないウエハー吸着ステージ。
【符号の説明】
【００１５】
1  インクジェット記録ヘッドの記録素子基板
2  上面インク吐出口
3  記録素子基板下面開口部
4  ダイシングフレーム
5  開口を設けたダイシングフィルム
6  開口を設けないダイシングフィルム
7  記録素子基板下面開口部に対応した開口
8  クリーンエアー又は窒素等のガス
9  残留水分及び切削屑
10  ウエハー吸着ステージ
11  ウエハー吸着部
12  開口の吸着なし部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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