(57)【要約】【課題】レンズ径のばらつきを容易に検査可能なレンズアレイおよびその成形型の検査装置、検査方法の提供。【解決手段】マイクロレンズアレイの成形型においてレンズ成形部２１が配列された平面方向に対して斜め方向から平行光束Ｌ１を照射し、この平行光束Ｌ１がレンズ成形部２１のエッジ２１１近傍の点Ｔ１で垂直方向Ｚに反射した反射光束Ｌ２のスポットを垂直方向Ｚからカメラで撮像する。この際の撮像画像におけるスポットの有無に基いて、レンズ成形部２１のレンズ径のばらつきを容易に検査できる。【選択図】図２
2007279358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マトリクス状に所定ピッチで配列される凹曲面状または凸曲面状の複数のレンズを有するレンズアレイおよび、このレンズアレイの前記各レンズにそれぞれ対応する複数のレンズ成形部を有する成形型を検査可能な装置であって、
前記各レンズまたは前記各レンズ成形部が配列される平面方向に対して斜めとなる方向から、前記平面方向に対して互いに略平行な各平行光束を照射する照明手段と、
前記平面方向に対する垂直方向から、前記平行光束が前記レンズまたは前記レンズ成形部によって前記垂直方向に反射された際の垂直反射光束のスポットを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された撮像画像における前記スポットの有無に応じて、前記レンズまたは前記レンズ成形部の径がばらついているか否かを判定する判定手段とを備える
ことを特徴とするレンズアレイおよびレンズアレイの成形型の検査装置。
【請求項２】
マトリクス状に所定ピッチで配列される凹曲面状または凸曲面状の複数のレンズを有するレンズアレイおよび、このレンズアレイの前記各レンズにそれぞれ対応する複数のレンズ成形部を有する成形型を検査可能な方法であって、
前記各レンズまたは前記各レンズ成形部が配列される平面方向に対して斜めとなる方向から、前記平面方向に対して互いに略平行な各平行光束を照射する照明手段を用いて、前記平面方向に対する垂直方向から、前記平行光束が前記レンズまたは前記レンズ成形部によって前記垂直方向に反射された際の垂直反射光束のスポットを撮像する撮像工程と、
前記撮像工程により撮像された撮像画像における前記スポットの有無に応じて、前記レンズまたは前記レンズ成形部の径がばらついているか否かを判定する判定工程とを備える
ことを特徴とするレンズアレイおよびレンズアレイの成形型の検査方法。
【請求項３】
請求項２に記載のレンズアレイおよびレンズアレイの成形型の検査方法において、
前記照明手段による前記平行光束の前記平面方向に対する照明角度を、前記レンズまたは前記レンズ成形部の径に関する検査許容範囲の上限に応じた第１照明角度と、前記検査許容範囲の下限に応じた第２照明角度とに切り替え可能とし、
前記撮像工程は、前記第１照明角度とした際に前記スポットを撮像する第１撮像工程と、前記第２照明角度とした際に前記スポットを撮像する第２撮像工程とを有し、
前記判定工程は、前記第１撮像工程により撮像された撮像画像における前記スポットの有無に応じて、前記レンズまたは前記レンズ成形部の径がばらついているか否かを判定する第１判定工程と、前記第２撮像工程により撮像された撮像画像における前記スポットの有無に応じて、前記レンズまたは前記レンズ成形部の径がばらついているか否かを判定する第２判定工程とを有する
ことを特徴とするレンズアレイおよびレンズアレイの成形型の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズアレイおよびその成形型の検査装置と、検査方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の小レンズがマトリクス状に配列されたレンズアレイが各種の画像表示装置に使用されており、例えば、スクリーンの背面より画像を拡大投写するリアプロジェクションテレビのスクリーンは、投写レンズからの入射光を平行光に変換するフレネルレンズと、このフレネルレンズからの平行光を拡散させるマイクロレンズアレイとを有して構成されている（特許文献１）。
ここで、マイクロレンズアレイの製造には、成形型が用いられ、熱可塑性樹脂などを型抜きすることによってマイクロレンズアレイが作られる。そして、このマイクロレンズアレイの成形型を製作する際には、例えば、特許文献１にも示されるように、ガラス製の基材においてマイクロレンズアレイの各小レンズに対応する部分にそれぞれエッチングを施し、型の成形面にマトリクス状の複数のレンズ成形部を形成していた。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２８６９０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなマイクロレンズアレイの製造において、成形型に形成された各レンズ成形部の径（成形型におけるレンズ径と称する）などがばらついた場合、製造されたマイクロレンズアレイによる光束拡散が不均一となって、投写された表示画像のムラの原因となる。このため、マイクロレンズアレイおよび成形型における各レンズ径を三次元測定機などで測定検査することが考えられるが、近年、スクリーンの大型化が進んでおり、例えば８０インチ程度の大型のスクリーンに用いられるマイクロレンズアレイシート１枚あたりの小レンズの数は数億個に達し、レンズ直径は１００μｍ程度と極めて小さい。このため、個々のレンズ径を測定してばらつきを検査することは非常に困難な状況であった。
【０００５】
このような問題に鑑みて、本発明の目的は、レンズ径のばらつきを容易に検査可能なレンズアレイおよびその成形型の検査装置と検査方法とを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のレンズアレイおよびその成形型の検査装置は、マトリクス状に所定ピッチで配列される凹曲面状または凸曲面状の複数のレンズを有するレンズアレイおよび、このレンズアレイの前記各レンズにそれぞれ対応する複数のレンズ成形部を有する成形型を検査可能な装置であって、前記各レンズまたは前記各レンズ成形部が配列される平面方向に対して斜めとなる方向から、前記平面方向に対して互いに略平行な各平行光束を照射する照明手段と、前記平面方向に対する垂直方向から、前記平行光束が前記レンズまたは前記レンズ成形部によって前記垂直方向に反射された際の垂直反射光束のスポットを撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された撮像画像における前記スポットの有無に応じて、前記レンズまたは前記レンズ成形部の径がばらついているか否かを判定する判定手段とを備えることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明のレンズアレイおよびその成形型の検査方法は、マトリクス状に所定ピッチで配列される凹曲面状または凸曲面状の複数のレンズを有するレンズアレイおよび、このレンズアレイの前記各レンズにそれぞれ対応する複数のレンズ成形部を有する成形型を検査可能な方法であって、前記各レンズまたは前記各レンズ成形部が配列される平面方向に対して斜めとなる方向から、前記平面方向に対して互いに略平行な各平行光束を照射する照明手段を用いて、前記平面方向に対する垂直方向から、前記平行光束が前記レンズまたは前記レンズ成形部によって前記垂直方向に反射された際の垂直反射光束のスポットを撮像する撮像工程と、前記撮像工程により撮像された撮像画像における前記スポットの有無に応じて、前記レンズまたは前記レンズ成形部の径がばらついているか否かを判定する判定工程とを備えることを特徴とする。
【０００８】
これらの発明によれば、レンズアレイおよびその成形型の両方を検査可能である。レンズアレイの検査を例にとれば、レンズアレイにおける各レンズが配列される平面方向に対する斜め方向から平行光束を照射し、平面方向に対する垂直方向から反射光束のスポットを撮像した際に、レンズの径のばらつきが撮像画像におけるスポットの有無として表れるため、画像処理によってこのスポットの有無を判定することにより、レンズの径がばらついているか否かを検査することができる。個々のレンズ径の測定などが不要であるから、検査を容易に行える。
すなわち、垂直方向から見た際に垂直反射光光束のスポットが有るか無いか、換言すれば、斜め方向から照射された平行光束がレンズの一点で垂直方向に反射されるか否かは、各レンズが所定ピッチで配列されているため、レンズ径によって決まる。
【０００９】
ここで、平行光束の平面方向に対する照明角度およびレンズ間のピッチに基いて、平行光束を垂直方向に反射可能なレンズ径上限である基準径が決まるから、この基準径に対する実際のレンズ径の大小、すなわちレンズ径のばらつきを撮像画像におけるスポットの有無を基に判定できる。
具体的に、基準径を超える大径のレンズに隣接する部分では、垂直反射光束が生じないからスポット像が無い。逆に、各レンズが基準径または基準径以下でそれぞれ形成されて配列された部分では、垂直反射光束が生じるのでスポット像が有る。つまり、レンズ径が基準径を超えているか、それとも基準径以下であるのかを判定できる。
なお、レンズアレイの成形型の検査についても、成形型の各レンズ成形部がレンズアレイの各レンズにそれぞれ対応するため、レンズアレイの検査の場合と同様の構成により、レンズ成形部の径のばらつきを検査できる。
【００１０】
本発明のレンズアレイおよびその成形型の検査方法において、前記照明手段による前記平行光束の前記平面方向に対する照明角度を、前記レンズまたは前記レンズ成形部の径に関する検査許容範囲の上限に応じた第１照明角度と、前記検査許容範囲の下限に応じた第２照明角度とに切り替え可能とし、前記撮像工程は、前記第１照明角度とした際に前記スポットを撮像する第１撮像工程と、前記第２照明角度とした際に前記スポットを撮像する第２撮像工程とを有し、前記判定工程は、前記第１撮像工程により撮像された撮像画像における前記スポットの有無に応じて、前記レンズまたは前記レンズ成形部の径がばらついているか否かを判定する第１判定工程と、前記第２撮像工程により撮像された撮像画像における前記スポットの有無に応じて、前記レンズまたは前記レンズ成形部の径がばらついているか否かを判定する第２判定工程とを有することが好ましい。
【００１１】
この発明によれば、第１照明角度とした際のスポットの有無に基いて、レンズ径が検査許容範囲の上限を超えるか、それとも上限値以下であるのかを第１判定工程において判定でき、第２照明角度とした際のスポットの有無に基いて、検査許容範囲の下限を超えるか、それとも下限値以下であるのかを第２判定工程において判定できる。これにより、レンズやレンズ成形部の径が検査許容範囲内に収まっているか否かを検査できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
〔第１実施形態〕
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、マイクロレンズアレイおよびその成形型を検査可能な検査装置１の構成概略図である。検査装置１は、マイクロレンズアレイおよびその成形型の少なくとも一方を検査するために用いられる。本実施形態では、検査装置１によるマイクロレンズアレイ成形型２の検査について説明するが、検査装置１により、成形型２を検査する場合と同様の手順で、マイクロレンズアレイを検査することも可能である。
【００１３】
検査装置１は、マイクロレンズアレイの成形型２を載置しＸ方向およびＹ方向に移動可能な２軸のテーブル１１と、成形型２を斜め方向から照明する照明手段１２と、テーブル１１の平面に対して垂直方向Ｚに配置され、照明手段１２の照明によって成形型２で反射された反射光束のスポットを撮像する撮像手段としてのカメラ１３と、カメラ１３により撮像された撮像画像を取り込む画像処理装置１４とを備えている。
【００１４】
照明手段１２は、テーブル１１の平面に対して斜めとなる方向に配置され、この照明手段１２から成形型２に向かって、互いに平行な各平行光束が照射される。
【００１５】
成形型２は、石英ガラスなどで平面矩形状に形成され、マイクロレンズアレイの各小レンズに対応する微小なレンズ成形部２１（図２）が多数、千鳥状に配列されている。本実施形態の成形型２は、リアプロジェクションテレビの大型スクリーンなどに用いられるマイクロレンズアレイシートを熱可塑性樹脂材料などで製造するために用いられ、成形型２の矩形状平面において各レンズ成形部２１が縦横にマトリクス状に配置され、その数は数億個となっている。
【００１６】
図２は、成形型２の一部における縦断面または横断面を示す。成形型２の長手方向に沿った横断面と短手方向に沿った縦断面とは同様に現れる。また、図３は、成形型２の一部を示す平面模式図である。各レンズ成形部２１はそれぞれ、エッチングなどにより、一定ピッチｐで凹球面状に形成されている。
【００１７】
ここで、成形型２を製造する際、各レンズ成形部２１のレンズ径が所定の基準径ｒ１で形成されるように、エッチング工程などが適宜管理されるが、製造誤差により、図２に示したように、一部のレンズ成形部２１´のレンズ径が異なる場合が生じ得る。ここでは、レンズ成形部２１´におけるエッチングの度合が他のレンズ成形部２１と比べて進行したため、レンズ成形部２１´のレンズ径ｒ２は他のレンズ成形部２１のレンズ径ｒ１（基準径）よりも大きくなっている。このような成形型２により製造されたマイクロレンズアレイでは、フレネルレンズを介した平行光の一部が拡散されなくなり、スクリーンの表示にムラが生じてしまう。
【００１８】
このようなレンズ成形部２１のレンズ径のばらつきの検出に関し、各レンズ成形部２１が配列される平面方向Ｆに対して照明角度θａを為す斜め方向から平行光束Ｌ１を照射すると、基準径ｒ１で形成されたレンズ成形部２１同士が隣合う部分では、各平行光束Ｌ１がそれぞれレンズ成形部２１のエッジ２１１近傍の点Ｔ１で垂直方向Ｚに沿って反射される。この際の反射光束Ｌ２は、レンズ成形部２１と同じピッチｐで並ぶ。図３に、これらの反射光束Ｌ２を垂直方向Ｚから見た際のスポットＳを示した。
【００１９】
一方、レンズ成形部２１の配列において、基準径ｒ１よりも大きいレンズ径ｒ２で形成されたレンズ成形部２１´に隣接するレンズ成形部２１のエッジ２１１´近傍では、平行光束Ｌ１が反射されず、垂直方向Ｚへの反射光束（図２中、破線Ｌ０）が生じない。このため、垂直方向Ｚから見てもスポットは無い（図３中、点Ｓ０）。すなわち、レンズ成形部２１のレンズ径のばらつきにより、一定ピッチｐで並ぶべき各スポットＳの配列に一部抜け（図３中、Ｓ０）が生じる。
【００２０】
ところで、スポットＳの有無、つまり、垂直方向Ｚへの反射光束Ｌ２の有無は、各レンズ成形部２１間のピッチｐが一定であるため、レンズ成形部２１のレンズ径によって決まる。
ここで、平行光束Ｌ１の照明角度θａおよびレンズ成形部２１のピッチｐにより、垂直方向Ｚに反射光束Ｌ２を反射可能なレンズ成形部２１のレンズ径の上限である基準径ｒ１が決まるから、この基準径ｒ１に対する実際のレンズ成形部２１のレンズ径の大小、すなわちレンズ径のばらつきをスポットＳの有無を基に判定可能である。
【００２１】
図４は、レンズ成形部２１の断面形状を模式的に示す。
基準径ｒ１を求めるに際して、平行光束Ｌ１が垂直方向Ｚに反射される点Ｔ１における入射角および反射角をθ１、レンズ成形部２１の半径をｒ１、このレンズ成形部２１と隣合うレンズ成形部２１´の半径をｒ２とすると、次の関係式が導かれる。
【００２２】
θａ＝９０°−２×θ１                      ・・・（１）
ｒ１×ｓｉｎθ１＋ｒ２×ｓｉｎθ２＝ｐ      ・・・（２）
ｒ１×ｃｏｓθ１＝ｒ２×ｃｏｓθ２          ・・・（３）
【００２３】
ここで、θａ、ｐ、およびｒ１が既知であればｒ２を求めることができる。本実施形態では、ピッチｐが８０μｍ、照明角度θａが１５°であるとそれぞれ仮定し、半径ｒ１を次のように求める。
【００２４】
つまり、隣合う各レンズ成形部２１のレンズ径が等しく、ｒ１＝ｒ２、かつ、θ１＝θ２  が成立する場合を考え、上記（２）式より、次の（４）式を導く。
ｒ１×ｓｉｎθ１＝ｐ／２                    ・・・（４）
これに基き、半径ｒ１について整理すると、次のようになる。
ｒ１＝ｐ／（２×ｓｉｎθ１）
＝ｐ／（２×ｓｉｎ（（９０−θａ）／２））・・・（５）
【００２５】
この（５）式において、ｐに８０μｍを、θａに１５°を代入すると、半径ｒ１は６５．７μｍとなり、このｒ１を基準径とする。よって、半径（基準径）が６５．７μｍを超えると、垂直方向Ｚへの反射光束Ｌ２が無くなることがわかる。
以上に基き、本実施形態では、レンズ成形部２１の基準径ｒ１は６５．７μｍ、ピッチｐは８０μｍとして成形型２を製作してあり、平行光束Ｌ１の照明角度θａは、１５°とする。
【００２６】
図５は、検査装置１による検査工程を示すフロー図である。以下、成形型２における各レンズ成形部２１のレンズ径のばらつきの検査工程について説明する。
最初の撮像工程Ｐ１では、照明手段１２によりテーブル１１上の成形型２を照射し、テーブル１１をＸ方向およびＹ方向に駆動させることにより、成形型２の平面全体をカメラ１３により撮像して、その撮像画像を画像処理装置１４に取り込む。
【００２７】
次に、スポット像有無判定工程Ｐ２では、画像処理装置１４により、撮像画像における各スポットＳの有無を判定する（図３参照）。すなわち、レンズ径が基準径ｒ１またはそれ以下である場合はスポットＳが有り、レンズ径が基準径ｒ１を超えている場合はスポットＳが無く、スポットＳの有無により、レンズ径が基準径ｒ１を超えているか、それとも基準径ｒ１以下であるのかを判定できる。この判定を基に、スポットＳが無い箇所（図３中、Ｓ０）の数や面積をカウントしたり、当該箇所の位置の分布を求めたりすることによって、成形型２の良否を検査する。
このような検査を経た成形型２を用いて、熱可塑性樹脂材料を成形型２で型抜きすることにより、マイクロレンズアレイシートを製造する。
なお、製造されたマイクロレンズアレイシートにおけるレンズ径のばらつきについても、検査装置１により、前述と同様に検査できる。
【００２８】
以上述べた本実施形態によれば、次のような効果が得られる。
（１）検査装置１によれば、照明手段１２による斜め方向からの平行光束Ｌ１の照射と、カメラ１３による垂直方向ＺからのスポットＳの撮像と、画像処理装置１４によるスポットＳの有無の判定とにより、個々のレンズ成形部２１の形状寸法測定などを行うことなく、成形型２における各レンズ成形部２１のレンズ径のばらつきを容易に検査できる。
【００２９】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態について説明する。前記実施形態では、レンズ径が基準径（６５．７μｍ）を超えるレンズ成形部２１があるか否かを検査していたが、本実施形態では、レンズ径の検査許容範囲を設定し、この許容範囲に各レンズ成形部２１のレンズ径が収まっているか否かを検査する。この検査許容範囲は、本実施形態では６５．７μｍ±１μｍとして、６４．７μｍ超６６．７μｍ以下とする。
【００３０】
成形型２の検査には、前述と同様の検査装置１を用いる。ただし、照明手段１２の平行光束Ｌ１の照明角度θａ（図２）を第１照明角度と第２照明角度とに２段階に切り替えて使用する。
前述のように、垂直方向Ｚへの反射光束Ｌ２の有無（図２）は、レンズ成形部２１間のピッチｐと、平行光束Ｌ１の照明角度θａと、レンズ成形部２１の半径ｒ１との関係で決まる。前述の式（１）〜（５）により、検査許容範囲上限のレンズ径（６６．７μｍ）が垂直反射光束Ｌ２が得られる最大径となる際の照明角度は約１３．６°であり、これを第１照明角度とする。
また、前述の式（１）〜（５）により、検査許容範囲下限のレンズ径（６４．７μｍ）が垂直反射光束Ｌ２が得られる最大径となる際の照明角度は約１６．４°であり、これを第２照明角度とする。
【００３１】
図６は、本実施形態における検査工程を示す。まず、第１撮像工程Ｐ１１では、第１照明角度（１３．６°）によって平行光束Ｌ１を照射し、成形型２における各レンズ成形部２１で反射された垂直反射光束Ｌ２のスポットＳをカメラ１３で撮像する。これを受けて、第１スポット像有無判定工程Ｐ１２では、画像処理装置１４により、撮像画像におけるスポットＳの有無を判定する。つまり、スポットＳが有るべきところ、レンズ径が基準径（ここでは６６．７μｍ）を超えているためにスポットＳが無い場合は、レンズ径が検査許容範囲内にない。このようなスポットＳの有無判定に基いて、成形型２の良否判断を行う。
【００３２】
この第１スポット像有無判定工程Ｐ１２で良品と判断された場合、第２撮像工程Ｐ２１に進み、照明手段１２の照射角度を１６．４°に切り替えたうえで、再度、カメラ１３によって成形型２を撮像する。この際の撮像画像について、次の第２スポット像有無判定工程Ｐ２２でスポットＳ像の有無を判定する。ここでは、第１スポット像有無判定工程Ｐ１２とは逆に、スポットＳが有る場合、レンズ径が基準径（ここでは６４．７μｍ）未満であって、検査許容範囲から外れている。このようなスポットＳの有無判定に基いて、成形型２の良否判断を行う。
本実施形態によれば、以上の工程Ｐ１１〜Ｐ２２により、レンズ径が検査許容範囲に収まっているか否かの検査を行うことができる。
【００３３】
なお、各工程Ｐ１１〜Ｐ２２の処理順序に関しては、第１撮像工程Ｐ１１、第２撮像工程Ｐ２１、第１スポット像有無判定工程Ｐ１２、第２スポット像有無判定工程Ｐ２２の順序としてもよい。また、第１スポット像有無判定工程Ｐ１２における良否判断結果と、第２スポット像有無判定工程Ｐ２２における良否判断結果とを統合することにより、最終的な良否判断を行っても良い。
【００３４】
〔本発明の変形例〕
図７は、本発明の変形例に係るマイクロレンズアレイの成形型３の断面図である。このように、成形型３における各レンズ成形部３１の形状が凸球面状である場合であっても、斜め方向からの平行光束Ｌ１の照射により、レンズ成形部３１の一点で垂直方向Ｚに反射した垂直反射光束Ｌ２のスポットの有無に基いて、各レンズ成形部３１のレンズ径ばらつきを前述と同様に検査できる。
【００３５】
ここで、前記実施形態などで例示したレンズ径、平行光束Ｌ１の照明角度、レンズ間のピッチなどの具体的な数値については、何ら限定されない。本発明は、レンズアレイおよび成形型におけるレンズやレンズ成形部の配列平面方向に対して斜め方向から照射した平行光束を垂直方向に反射させることを構成要件とするものであり、これら照明角度、ピッチ、レンズ径の数値については、前述した数式（１）〜（５）などに基いて適宜決めることができる。
【００３６】
また、前記実施形態における検査対象は、リアプロジェクションテレビのスクリーンに用いられるマイクロレンズアレイの成形型であったが、同様の検査装置１および工程Ｐ１およびＰ２、Ｐ１１〜Ｐ２２などにより、マイクロレンズアレイ自体を検査することも勿論可能である。
なお、マイクロレンズアレイの他の用途としては、レーザプリンタや、スクリーンのフロント側に拡大画像を投写するプロジェクタや、半導体製造装置などを例示できる。
さらに、前記実施形態では、凹球面状や凸球面状のレンズ成形部を示したが、非球面形状のレンズおよびレンズ成形部における径寸法のばらつきを検査することも検討できる。すなわち、レンズまたはレンズ成形部における曲率などに基いて、所定の照明角度で垂直反射光束が得られる基準径を求めればよい。
【００３７】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施形態におけるマイクロレンズアレイおよびその成形型の検査装置の構成外略図。
【図２】前記実施形態におけるマイクロレンズアレイの成形型の一部を示す断面図。
【図３】前記実施形態におけるマイクロレンズアレイの成形型の一部を示す平面模式図。
【図４】前記実施形態におけるマイクロレンズアレイの成形型の断面形状を模式的に示す図。
【図５】前記実施形態における検査工程を示すフロー図。
【図６】本発明の第２実施形態における検査工程を示すフロー図。
【図７】本発明の変形例におけるマイクロレンズアレイの成形型の一部を示す断面図。
【符号の説明】
【００３９】
１・・・検査装置、２，３・・・成形型、１２・・・照明手段、１３・・・カメラ（撮像手段）、１４・・・画像処理装置、２１，３１・・・レンズ成形部、Ｆ・・・平面方向、Ｌ１・・・平行光束、Ｌ２・・・反射光束（垂直反射光束）、ｐ・・・ピッチ、Ｐ１・・・撮像工程、Ｐ２・・・スポット像有無判定工程（判定工程）、Ｐ１１・・・第１撮像工程、Ｐ１２・・・第１スポット像有無判定工程（判定工程）、Ｐ２１・・・第２撮像工程、Ｐ２２・・・第２スポット像有無判定工程（判定工程）、ｒ１・・・基準径（レンズまたはレンズ成形部の径）、ｒ２・・・レンズ径（レンズまたはレンズ成形部の径）、Ｓ・・・スポット、Ｚ・・・垂直方向、θａ・・・照明角度。
【図１】
2007279358.tif 000003
【図２】
2007279358.tif 000004
【図３】
2007279358.tif 000005
【図４】
2007279358.tif 000006
【図５】
2007279358.tif 000007
【図６】
2007279358.tif 000008
【図７】
2007279358.tif 000009