(57)【要約】【課題】ガス流量計を用いることなく、ガスレーザ発振器における単位時間当たりのレーザガス置換量を求めることを可能とさせる。【解決手段】ガスレーザ発振器１１は、ガスチャンバ１３に対するレーザガスの供給を調整するための供給側弁３５，３７と、ガスチャンバ１３からのレーザガスの排出を調整するための排出側弁４３，４５，４７と、ガスチャンバ１３内の圧力を測定するためのガス圧測定器２９と、レーザガス置換量測定手段として機能する制御装置１５とを備える。制御装置は、ガスチャンバ１３の真空引き又はパージのときに、予め定められた時間間隔をおいて、ガス圧測定器によってガスチャンバ内の圧力について第１の測定と第２の測定とを行い、第１の測定の結果と第２の測定の結果とに基づいて、レーザ発振動作時における単位時間当たりのレーザガス置換量を求める。【選択図】図１
2007208030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザガスを収容するガスチャンバと、該ガスチャンバに対するレーザガスの供給を調整するための供給側弁と、該ガスチャンバからのレーザガスの排出を調整するための排出側弁と、該ガスチャンバ内の圧力を測定するためのガス圧測定器とを備え、前記ガスチャンバ内のレーザガスを励起してレーザ光を発生させる間、前記供給側弁と前記排出側弁を制御して、前記ガスチャンバ内のレーザガスを置換していくようにしたガスレーザ発振器において、
前記排出側弁を開放したまま前記供給側弁を閉鎖して前記ガスチャンバ内のレーザガスを排気するときに又はその後さらに前記排出側弁を閉鎖し且つ前記供給側弁を開放して前記ガスチャンバ内をパージするときに、予め定められた時間間隔をおいて、前記ガス圧測定器によって前記ガスチャンバ内の圧力について第１の測定と第２の測定とを行い、第１の測定の結果と第２の測定の結果とに基づいて、レーザ発振動作時における単位時間当たりのレーザガス置換量を求めるレーザガス置換量測定手段をさらに備えることを特徴とするガスレーザ発振器。
【請求項２】
レーザ発振動作時の前記ガスチャンバ内のレーザガスの平均圧力をＰ０、前記ガスチャンバの容積をＶ０、前記第１の測定の時刻をｔ１、前記第２の測定の時刻をｔ２、時刻ｔ１において前記ガス圧測定器によって測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ１、時刻ｔ２において前記ガス圧測定器によって測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ２、単位時間当たりのレーザガス置換量をＱとしたときに、前記レーザガス置換量測定手段は、以下の式により、排気時に測定した前記ガスチャンバ内の圧力から単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを求める、請求項１に記載のガスレーザ発振器。
Ｑ＝Ｐ０・Ｖ０／（ｔ２−ｔ１）・ｌｎ（Ｐ１／Ｐ２）
【請求項３】
前記ガスチャンバの容積をＶ０、前記第１の測定の時刻をｔ１、前記第２の測定の時刻をｔ２、時刻ｔ１において前記ガス圧測定器によって測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ１、時刻ｔ２において前記ガス圧測定器によって測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ２、単位時間当たりのレーザガス置換量をＱとしたときに、前記レーザガス置換量測定手段は、以下の式により、パージ時に測定した前記ガスチャンバ内の圧力から単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを求める、請求項１に記載のガスレーザ発振器。
Ｑ＝Ｖ０・（Ｐ２−Ｐ１）／（ｔ２−ｔ１）
【請求項４】
前記レーザガス置換量測定手段によって求められた単位時間当たりのレーザガス置換量を表示するための表示手段をさらに備える、請求項１に記載のガスレーザ発振器。
【請求項５】
前記レーザガス置換量測定手段によって求められた単位時間当たりのレーザガス置換量を記憶する記憶手段をさらに備え、該記憶手段に記憶された前記単位時間当たりのレーザガス置換量を前記表示手段に表示する、請求項４に記載のガスレーザ発振器。
【請求項６】
前記レーザガス置換量測定手段は、前記ガスチャンバから排気を行うときに、レーザガス置換量の演算を自動的に行う、請求項２に記載のガスレーザ発振器。
【請求項７】
前記レーザガス置換量測定手段は、前記ガスチャンバ内のパージを行うときに、レーザガス置換量の演算を自動的に行う、請求項３に記載のガスレーザ発振器。
【請求項８】
ガスチャンバ内のレーザガスを励起してレーザ光を発生させる間、前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給と前記ガスチャンバからのレーザガスの排出とを制御して、前記ガスチャンバ内のレーザガスを置換していくようにしたガスレーザ発振器において、レーザ発振動作時における単位時間当たりのレーザガス置換量を測定する方法であって、
前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給を停止するステップと、
前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給を停止した状態で前記ガスチャンバ内のレーザガスを排気するステップと、
前記排気するステップの際に前記ガスチャンバ内の圧力の第１の測定を行うステップと、
前記第１の測定から予め定められた時間間隔をおいて、前記ガスチャンバ内の圧力の第２の測定を行うステップと、
第１の測定の結果と第２の測定の結果とに基づいて、レーザ発振時における単位時間当たりのレーザガス置換量を求めるステップと、
を含むことを特徴としたレーザガス置換量を測定する方法。
【請求項９】
レーザ発振動作時の前記ガスチャンバ内のレーザガスの平均圧力をＰ０、前記ガスチャンバの容積をＶ０、前記第１の測定の時刻をｔ１、前記第２の測定の時刻をｔ２、時刻ｔ１に測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ１、時刻ｔ２に測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ２、単位時間当たりのレーザガス置換量をＱとしたときに、以下の式により、排気時に測定した前記ガスチャンバ内の圧力から単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを求める、請求項８に記載のレーザガス置換量を測定する方法。
Ｑ＝Ｐ０・Ｖ０／（ｔ２−ｔ１）・ｌｎ（Ｐ１／Ｐ２）
【請求項１０】
ガスチャンバ内のレーザガスを励起してレーザ光を発生させる間、前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給と前記ガスチャンバからのレーザガスの排出とを制御して、前記ガスチャンバ内のレーザガスを置換していくようにしたガスレーザ発振器において、レーザ発振動作時における単位時間当たりのレーザガス置換量を測定する方法であって、
前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給を停止するステップと、
前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給を停止した状態で前記ガスチャンバ内のレーザガスを排気するステップと、
前記排気するステップの後に、前記排出側弁を閉鎖し且つ前記供給側弁を開放して前記ガスチャンバ内をパージするステップと、
前記パージするステップの際に前記ガスチャンバ内の圧力の第１の測定を行うステップと、
前記第１の測定から予め定められた時間間隔をおいて、前記ガスチャンバ内の圧力の第２の測定を行うステップと、
第１の測定の結果と第２の測定の結果とに基づいて、レーザ発振時における単位時間当たりのレーザガス置換量を求めるステップと、
を含むことを特徴としたレーザガス置換量を測定する方法。
【請求項１１】
前記ガスチャンバの容積をＶ０、前記第１の測定の時刻をｔ１、前記第２の測定の時刻をｔ２、時刻ｔ１において前記ガス圧測定器によって測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ１、時刻ｔ２において前記ガス圧測定器によって測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ２、単位時間当たりのレーザガス置換量をＱとしたときに、以下の式により、パージ時に測定した前記ガスチャンバ内の圧力から単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを求める、請求項１０に記載のレーザガス置換量を測定する方法。
Ｑ＝Ｖ０・（Ｐ２−Ｐ１）／（ｔ２−ｔ１）
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザガスを励起してレーザ光を発生させるガスレーザ発振器において単位時間当たりに置換されるレーザガスの量を測定するための方法及び該方法によってレーザガス置換量を測定可能なガスレーザ発振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ加工装置などでは、レーザ光を発生させるために、ガスレーザ発振器が使用される。例えば、炭酸ガスレーザ発振器では、ガスチャンバ内にＣＯ2、Ｎ2、Ｈｅ等からなるレーザガスを充満させ、このレーザガスに例えば高電圧を印加することにより放電を発生させ、この放電によりレーザガス（詳細には、ＣＯ2）を励起し、そこから放出される光を光共振器によって共振させて、レーザ光を発生させている。
【０００３】
この放電の際、レーザガス中のＣＯ2が解離して、ＣＯ、Ｏ２、Ｏ3-、が生成され、さらには、Ｏ3-とＮ2との反応によりＮＯｘも生成される。レーザ発振動作を継続すると、このような生成物が時間の経過に伴ってガスチャンバ内に増加していく。その結果、レーザガスの組成比が初期の状態から徐々に変化してしまい、レーザ出力の低下を招く。そこで、従来、レーザ発振動作中に、ガスチャンバ内のレーザガスを一定量ずつ新たなレーザガスと置換することにより、ガスチャンバ内のガス交換を行うようにしている。また、放電を安定させてレーザ出力を安定させるためには、ガスチャンバ内のレーザガスを所定の圧力（例えば、絶対圧で０．０５〜０．２気圧）に保つ必要がある。そこで、ガス交換の際には、ガスチャンバ内のレーザガスが所定圧力に維持させるように、ガスチャンバに対するレーザガスの供給及び排出を制御するようにしている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
このように、ガスレーザ発振器では、ガスチャンバ内のレーザガスを予め定められた圧力に保ちつつ、ガスチャンバ内のレーザガスの置換を行う必要がある。したがって、ガスチャンバ内のレーザガスの圧力と単位時間当たりのレーザガスの置換量の両方を制御することが理想的である。しかしながら、これを実現するためには、ガスチャンバ内のレーザガスの圧力を測定するためのガス圧測定器と、ガスチャンバに対して供給又は排出されるレーザガスの流量を測定するためのガス流量計と、ガスチャンバに対するレーザガスの供給を調整するための電磁比例弁等の供給側弁と、ガスチャンバからのレーザガスの排出を調整するための電磁比例弁等の排出側弁とを必要とし、ガスレーザ発振器の製造コストを上昇させることになる。
【０００５】
一方、単位時間当たりのレーザガス置換量が変化しても、レーザ出力等の諸特性が短時間で大きく変化することはなく、単位時間当たりのレーザガス置換量が多少変動してもレーザ出力等の諸特性への影響は少ない。そこで、製造コストを優先して、単位時間当たりのレーザガス置換量を手動弁などによって予め調整してその後は調整せず、ガスチャンバ内のレーザガスの圧力のみを一定値となるように制御する方式を用いることが一般的となっている。
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１７６８０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ガスチャンバ内のレーザガスを排出させるための排気ポンプやレーザガス排出路などレーザガス置換量に関係するユニットが劣化したり、当該ユニットを交換したりすると、レーザガス置換量が変化してしまう。このとき、レーザガス置換量が少なくなると、レーザガスの量が不足してレーザ出力が低下し、逆にレーザガス置換量が多くなると、レーザガスの使用量が増えてランニングコストの上昇を招く。したがって、レーザガス置換量は適正に保つ必要がある。しかしながら、レーザ発振動作中にはレーザガス置換量の制御を行わず、レーザガス置換量を予め調整しておき、レーザ発振動作中にはガスチャンバ内のレーザガスの圧力のみを一定値となるように制御する一般的なレーザ発振器は、上述したように、ガス流量計を具備していない。このため、レーザガス置換量を調整するためには、ガス流量計を準備して、レーザ発振器の規定された測定位置にガス流量計を取り付け、レーザガス置換量の確認を行い、必要に応じてレーザガス置換量を再調整することが必要となる。また、調整後には、再びガス流量計を取り外す必要がある。したがって、従来、レーザガス置換量の調整には、多くの工数を要していた。
【０００８】
さらに、ガス流量計は高価であり、ガスレーザ発振器のユーザが保守のために購入するのは金銭的に大きな負担となっていた。このため、ガス置換量の調整作業は、専門業者がガス流量計を持参して行っていた。
【０００９】
よって、本発明の目的は、上記従来技術に存する問題を解決して、ガス流量計を用いることなく、ガスレーザ発振器における単位時間当たりのレーザガス置換量を求めることを可能とさせることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的に鑑み、レーザガスを収容するガスチャンバと、該ガスチャンバに対するレーザガスの供給を調整するための供給側弁と、該ガスチャンバからのレーザガスの排出を調整するための排出側弁と、該ガスチャンバ内の圧力を測定するためのガス圧測定器とを備え、前記ガスチャンバ内のレーザガスを励起してレーザ光を発生させる間、前記供給側弁と前記排出側弁を制御して、前記ガスチャンバ内のレーザガスを置換していくようにしたガスレーザ発振器において、前記排出側弁を開放したまま前記供給側弁を閉鎖して前記ガスチャンバ内のレーザガスを排気するときに又はその後さらに前記排出側弁を閉鎖し且つ前記供給側弁を開放して前記ガスチャンバ内をパージするときに、予め定められた時間間隔をおいて、前記ガス圧測定器によって前記ガスチャンバ内の圧力について第１の測定と第２の測定とを行い、第１の測定の結果と第２の測定の結果とに基づいて、レーザ発振動作時における単位時間当たりのレーザガス置換量を求めるレーザガス置換量測定手段をさらに備えるようにしたガスレーザ発振器を提供する。
【００１１】
本発明のガスレーザ発振器によれば、ガスチャンバへのレーザガスの供給を停止した状態でガスチャンバからレーザガスを排気するときに、予め定めた時間間隔をおいて、ガスチャンバ内のレーザガス圧力の測定が２回行われ、２回の測定の結果に基づいて、レーザ発振動作時における単位時間当たりのレーザガス置換量が求められる。よって、単位時間当たりのレーザガス置換量を求めるために、高価なガス流量計が必要とされなくなる。
【００１２】
例えば、レーザ発振動作時の前記ガスチャンバ内のレーザガスの平均圧力をＰ０、前記ガスチャンバの容積をＶ０、前記第１の測定の時刻をｔ１、前記第２の測定の時刻をｔ２、時刻ｔ１において前記ガス圧測定器によって測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ１、時刻ｔ２において前記ガス圧測定器によって測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ２、単位時間当たりのレーザガス置換量をＱとしたときに、前記レーザガス置換量測定手段は、以下の式により、排気時に測定した前記ガスチャンバ内の圧力から単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを求めることができる。
Ｑ＝Ｐ０・Ｖ０／（ｔ２−ｔ１）・ｌｎ（Ｐ１／Ｐ２）
【００１３】
また、前記ガスチャンバの容積をＶ０、前記第１の測定の時刻をｔ１、前記第２の測定の時刻をｔ２、時刻ｔ１において前記ガス圧測定器によって測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ１、時刻ｔ２において前記ガス圧測定器によって測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ２、単位時間当たりのレーザガス置換量をＱとしたときに、前記レーザガス置換量測定手段は、以下の式により、パージ時に測定した前記ガスチャンバ内の圧力から単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを求めることができる。
Ｑ＝Ｖ０・（Ｐ２−Ｐ１）／（ｔ２−ｔ１）
【００１４】
ガスレーザ発振器は、前記レーザガス置換量測定手段によって求められた単位時間当たりのレーザガス置換量を表示するための表示手段をさらに備えることが好ましい。また、ガスレーザ発振器は、前記レーザガス置換量測定手段によって求められた単位時間当たりのレーザガス置換量を記憶する記憶手段をさらに備え、該記憶手段に記憶された前記単位時間当たりのレーザガス置換量を前記表示手段に表示するようになっていることがさらに好ましい。
【００１５】
さらに、前記レーザガス置換量測定手段は、前記ガスチャンバから排気を行うとき又は前記ガスチャンバ内のパージを行うときに、レーザガス置換量の測定を自動的に行うことが好ましい。
【００１６】
また、本発明は、ガスチャンバ内のレーザガスを励起してレーザ光を発生させる間、前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給と前記ガスチャンバからのレーザガスの排出とを制御して、前記ガスチャンバ内のレーザガスを置換していくようにしたガスレーザ発振器において、レーザ発振動作時における単位時間当たりのレーザガス置換量を測定する方法であって、前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給を停止するステップと、前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給を停止した状態で前記ガスチャンバ内のレーザガスを排気するステップと、前記排気するステップの際に前記ガスチャンバ内の圧力の第１の測定を行うステップと、前記第１の測定から予め定められた時間間隔をおいて、前記ガスチャンバ内の圧力の第２の測定を行うステップと、第１の測定の結果と第２の測定の結果とに基づいて、レーザ発振時における単位時間当たりのレーザガス置換量を求めるステップとを含むレーザガス置換量を測定する方法を提供する。
【００１７】
同様に、レーザ発振動作時の前記ガスチャンバ内のレーザガスの平均圧力をＰ０、前記ガスチャンバの容積をＶ０、前記第１の測定の時刻をｔ１、前記第２の測定の時刻をｔ２、前記第１の測定の時刻ｔ１に測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ１、前記第２の測定の時刻ｔ２に測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ２、単位時間当たりのレーザガス置換量をＱとしたときに、以下の式により、排気時に測定した前記ガスチャンバ内の圧力から単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを求めることができる。
Ｑ＝Ｐ０・Ｖ０／（ｔ２−ｔ１）・ｌｎ（Ｐ１／Ｐ２）
【００１８】
また、本発明は、ガスチャンバ内のレーザガスを励起してレーザ光を発生させる間、前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給と前記ガスチャンバからのレーザガスの排出とを制御して、前記ガスチャンバ内のレーザガスを置換していくようにしたガスレーザ発振器において、レーザ発振動作時における単位時間当たりのレーザガス置換量を測定する方法であって、前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給を停止するステップと、前記ガスチャンバに対するレーザガスの供給を停止した状態で前記ガスチャンバ内のレーザガスを排気するステップと、前記排気するステップの後に、前記排気側弁を閉鎖し且つ前記供給側弁を開放して前記ガスチャンバ内をパージするステップと、前記パージするステップの際に前記ガスチャンバ内の圧力の第１の測定を行うステップと、前記第１の測定から予め定められた時間間隔をおいて、前記ガスチャンバ内の圧力の第２の測定を行うステップと、第１の測定の結果と第２の測定の結果とに基づいて、レーザ発振時における単位時間当たりのレーザガス置換量を求めるステップとを含むレーザガス置換量を測定する方法を提供する。
【００１９】
また、前記ガスチャンバの容積をＶ０、前記第１の測定の時刻をｔ１、前記第２の測定の時刻をｔ２、前記第１の測定の時刻ｔ１に測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ１、前記第２の測定の時刻ｔ２に測定された前記ガスチャンバ内の圧力をＰ２、単位時間当たりのレーザガス置換量をＱとしたときに、以下の式により、パージ時に測定した前記ガスチャンバ内の圧力から単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを求めることができる。
Ｑ＝Ｖ０・（Ｐ２−Ｐ１）／（ｔ２−ｔ１）
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ガスレーザ発振器において、ガス流量計を用いることなく、レーザガス置換量を求めることが可能となる。この結果、レーザガス置換量の調整の際に、高価なガス流量計を使用する必要がなくなり、コストの低減に寄与する。また、ガス流量計の着脱が不要となるので、レーザガス置換量の調整のための工数を低減させるだけでなく、レーザガス置換量の測定を自動化することも可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施形態を説明する。
図１は本発明の第１の実施形態のガスレーザ発振器の構成を示す模式図、図２は図１に示されるガスレーザ発振器のガスチャンバからレーザガスを排気するときの圧力変化を示すグラフ、図３及び図４は第１の実施形態のガスレーザ発振器において排気時に測定したガスチャンバ内のレーザガスの圧力に基づいて単位時間当たりのレーザガス置換量を求める手順を示すフローチャート、図５は本発明の第２の実施形態のガスレーザ発振器の構成を示す模式図、図６は図５に示されるガスレーザ発振器のガスチャンバ内をパージするときの圧力変化を示すグラフ、図７及び図８は第２の実施形態のガスレーザ発振器においてパージ時に測定したガスチャンバ内のレーザガスの圧力に基づいて単位時間当たりのレーザガス置換量を求める手順を示すフローチャートである。
【００２２】
図１を参照すると、本発明のガスレーザ発振器１１は、レーザガスを収容するガスチャンバ１３と、ガスレーザ発振器１１の動作を制御するための制御装置１５と、データを記憶するための記憶手段４９と、データを表示するための表示装置５１とを備える。ガスチャンバ１３内には、レーザガスが流れるレーザガス循環路１７が設けられており、このレーザガス循環路１７に、放電管１９と、モータ２１によって駆動されるブロワ２３と、第１の熱交換器２５と、第２の熱交換器２７と、ガス圧測定器２９とが設けられている。
【００２３】
放電管１９は、レーザガス循環路１７内のレーザガスに高電圧を印加して励起させることで放電を起こさせ、レーザ光を発生させる。ブロワ２３は、レーザガス循環路１７内のレーザガスを強制的に循環させ、放電によるガスチャンバ１３内のレーザガスの温度の上昇を抑制する。第１の熱交換器２５は、レーザガス循環路１７において放電管１９の下流側に配置されており、放電により高温になっているレーザガスの熱を回収してレーザガスを冷却する。第２の熱交換器２７は、レーザガス循環路１７においてブロワ２３の下流側に配置されており、ブロワ２３によって圧縮されて高温となったレーザガスの熱を回収してレーザガスを冷却させる。ガス圧測定器２９は、レーザガス循環経路１７においてブロワ２３の上流側に配置されており、ガスチャンバ１７内のレーザガスの圧力を監視、測定できるようになっている。このようなガスチャンバの構成及びその動作は従来のガスレーザ発振器と同様であるので、ここでは詳述しない。
【００２４】
さらに、ガスチャンバ１３には、レーザガスを供給するためのレーザガス供給路３１と、レーザガスを排出するためのレーザガス排出路３３とが接続されている。レーザガス供給路３１は高圧のレーザガスを蓄積したガスボンベのようなレーザガス供給源（図示せず）から延びている。レーザガス供給路３１上には、ガスチャンバ１３へのレーザガスの供給量を調整するために、供給側絞り弁３５が設けられており、供給側絞り弁３５として電磁比例弁が使用されている。ところが、供給側絞り弁３５として使用される電磁比例弁は、一般に一次側と二次側とのシール性能が十分ではないため、後述する本発明によるレーザガス置換量を測定するための方法を実行する際に、ガスチャンバ１３に対するレーザガスの供給を完全に停止させることができないおそれがあり、正確なレーザガス置換量の測定を妨げる要因となる。そこで、第１の実施形態のガスレーザ発振器１１では、ガスチャンバ１３へのレーザガスの供給を完全に停止させることを可能とさせることを目的として、供給側絞り弁３５の上流側（レーザガス供給源側）に供給側開閉弁３７を設けており、供給側開閉弁３７として２位置切換タイプの電磁弁を使用している。
【００２５】
また、レーザガス排出路３３はモータ３９によって駆動される真空ポンプなどの排気ポンプ４１に接続されている。レーザ排出路３３上には、ガスチャンバ１３からのレーザガスの排出量を調整するために、排出側絞り弁４３が設けられており、排出側絞り弁４３として手動絞り弁が使用されている。レーザガス排出路３３には、さらに、排出側絞り弁４３と並列に第１の排出側開閉弁４５が接続されており、排出側絞り弁４３及び第１の排出側開閉弁４５の下流側（ガスチャンバと反対側）には、第２の排出側開閉弁４７が接続されている。第１の排出側開閉弁４５及び第２の排出側開閉弁４７としては、２位置切換タイプの電磁弁が使用されている。
【００２６】
第１の排出側開閉弁４５は、ガスレーザ発振器１１の立ち上げ時などに行われる真空引きのためにガスチャンバ１３からレーザガスを排出するときに、十分な排気速度を得るために設けられたものであり、ガスチャンバ１３内のレーザガスの真空引き時には全開されるが、レーザ発振動作中には閉じられている。したがって、レーザ発振動作中には、ガスチャンバ１３内のレーザガスは排出側絞り弁４３及び第２の排出側開閉弁４７を通して排気されるので、排出側絞り弁４３を通って流れるレーザガスの量が後述するレーザガス置換量に相当することになる。また、第２の排出側開閉弁４７は、後述する本発明によるレーザガス置換量を測定するための方法を実行する際に、ガスチャンバ１３からのレーザガスの排出を完全に停止させることを目的として設けられたものである。ガスチャンバ１３の真空引き時に十分な排気速度を得るために、第１の排出側開閉弁４５及び第２の排出側開閉弁４７は、排出側絞り弁４３と比較して大きな有効断面積を有していることが好ましい。
【００２７】
なお、電磁比例弁によって構成された供給側絞り弁３５、並びに、２位置切換タイプの電磁弁によって構成された供給側開閉弁３７、第１の排出側開閉弁４５及び第２の排出側開閉弁４７は、制御装置１５によってその動作を制御できるようになっている。
【００２８】
次に、上記第１の実施形態のガスレーザ発振器１１において、レーザガス置換量を測定する原理について説明する。
第１の実施形態のガスレーザ発振器１１の構成では、単位時間当たりにガスチャンバ１３内のレーザガスを置換する量、すなわち、レーザガス置換量は、手動によって操作される排出側絞り弁４３によって調整された排気系の有効断面積と排気ポンプ４１の排気能力とによって決定される。ここで、排気ポンプ４１によるレーザガスの排気を継続しながら、供給側開閉弁３７を閉じると、レーザガス供給路３１が遮断されてガスチャンバ１３に対するレーザガスの供給が停止するため、ガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力は図２に示されているように徐々に低下していく。したがって、時間ｄｔが経過後に、ガスチャンバ１３内のレーザガスの平均圧力Ｐがｄｐ低下したとすると、次の微分方程式（１）が導かれる。
−ｄｐ・Ｖ０＝ｐ・ＱEP・ｄｔ        …（１）
ここで、Ｖ０はガスチャンバ１３の容積、ＱEPは１気圧換算前の動作時の排気ポンプ４１の排気速度である。また、排気ポンプ４１の排気速度ＱEPは、排気ポンプ４１の特性上一定であるが、ガスチャンバ１３内のレーザガスの平均圧力は変化するので、１気圧換算の排気速度はレーザガスの平均圧力の変化に応じて変化することになる。なお、詳細には、ガスチャンバ１３の容積Ｖ０は、レーザガス循環路１７の容積を意味する。
【００２９】
供給側開閉弁３７を全閉した後、時刻ｔ１から時刻ｔ２の間に、ガス圧測定器２９によって測定されたガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力がＰ１からＰ２に変化したという条件下で、微分方程式（１）を解くと、単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑは、以下の式（２）により求められる。
【数１】
2007208030.tif 000003
ここで、Ｐ０はレーザ発振動作時のガスチャンバ１３内のレーザガスの平均圧力である。
【００３０】
Ｐ０及びＶ０は、予め求めることができるガスレーザ発振器固有の値であるから、時刻ｔ１におけるガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力Ｐ１と、時刻ｔ２におけるガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力Ｐ２とを測定することにより、レーザガス置換量Ｑが求められることになる。また、式（２）から、必要となるのは同じ測定位置におけるレーザガスの圧力の変化率であることが分かる。すなわち、スチャンバ１３内ではレーザガスがレーザガス循環路１７内を循環しており、場所によってレーザガスの圧力が異なるが、レーザガスの圧力が同じ位置で測定されるのであれば、その測定位置は任意の場所に設定できることが分かる。さらに、レーザガスを循環させずに、観察してもよいことが分かる。
【００３１】
この式（２）を利用して本発明によるレーザガス置換量を測定する方法を使用したガスレーザ発振器では、レーザガス置換量測定手段として機能する制御装置１５が、レーザ発振動作中と同様に排気ポンプを定常状態で運転しているときに、供給側開閉弁３７を全閉してレーザガス供給路３１を遮断すると共に、第１の排出側開閉弁４５を全閉し且つ第２の排出側開閉弁４７を全開にしてガスチャンバ内のレーザガスを排気させる。すると、ガスチャンバ１３に対する供給を停止した状態で、レーザ発振動作中にガスチャンバ１３内のレーザガスを置換するときと同様に排出側絞り弁４３及び第２の排出側開閉弁４７を通してガスチャンバ１３内のレーザガスが排気されることになる。この条件下で、制御装置１５は、ガス圧測定器２９を用いて、予め定められた時間間隔をおいてガスチャンバ内のレーザガスの圧力を２回測定し、２回の測定結果から単位時間当たりのレーザガス置換量を求める。
【００３２】
さらに、制御装置１５は、求められたレーザガス置換量を記憶装置４９に記憶し、作業者の要求に応じて記憶装置４９から読み出して表示装置５１上に表示する。作業者はこの表示装置５１上に表示されたレーザガス置換量に基づいて、排出側絞り弁４３である手動弁を操作してレーザガス置換量を適正な値に調整することができる。
【００３３】
以下に、図３及び図４に示されているフローチャートを参照して、図１のガスレーザ発振器１１における単位時間当たりのレーザガス置換量を測定する方法を詳細に説明する。
まず、制御装置１５は、ガスチャンバ内の真空引きを行うために、排気ポンプ４１によって排気を行っているときに、供給側開閉弁３７を閉じると共に第１の排出側開閉弁４５及び第２の排出側開閉弁４７を開くことにより、レーザガスの供給を停止した状態でガスチャンバ１３からレーザガスを排気させる（ステップＳ１）。次に、制御装置１５は、測定されたガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力をガス圧測定器２９から受け取り、例えば予め定められたガスレーザ発振器１１のレーザ発振動作時のレーザガス圧力設定値Ｐ０と比較する（ステップＳ２）。
【００３４】
そして、ステップＳ２において、ガス圧測定器２９によって測定されたレーザガスの圧力がレーザガス圧力設定値Ｐ０より高いときには、排気タイマを減算し（ステップＳ３）、排気タイマの値が０以上であることを確認する（ステップＳ４）。ステップＳ４において、排気タイマの値が０以上であれば、排気を継続し、ステップＳ２に戻り、ステップＳ２からステップＳ４の処理を繰り返す。また、ステップＳ４において、排気タイマの値が０より小さくなった場合には、予め設定された排気時間を経過したにも拘らず、レーザガスの圧力がレーザガス圧力設定値Ｐ０より低くならないことを意味するので、表示装置５１にアラーム（排気異常）を表示し、後で説明するステップＳ１３進む（ステップＳ５）。この場合、排気ポンプ４１の異常やガスチャンバ１３からの漏れがあると推定される。
【００３５】
一方、ステップＳ２において、ガス圧測定器２９によって測定されたガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力が予め定められたレーザガス圧力設定値Ｐ０より低くなると、前回の測定時に求められ記憶装置４９に記憶されたデータ（レーザガス圧力測定結果や求められたレーザガス置換量等）及び表示装置５１上の旧データの表示を消去する（ステップＳ６）。次に、第１の排出側開閉弁４５を完全に閉じる（ステップＳ７）。すると、供給側開閉弁３７は依然として閉じ且つ第２の排出側開閉弁４７は依然として開いた状態なので、排気速度が低下して、ガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力変化が緩やかになる。
【００３６】
次に、ガスチャンバ内の状態を静定させるために、第１の排出側開閉弁４５を完全に閉じてから予め定められた時間Ｔ１（例えば５秒）だけ待機した後（ステップＳ８）、制御装置１５は、時刻ｔ１において、ガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力をガス圧測定器２９に測定させる（ステップＳ９）。制御装置１５は、測定したレーザガスの圧力をガス圧測定器２９から受け取り、記憶装置４９に記憶すると共に、表示装置５１上に表示する。次に、制御装置１５は、一回目の測定から予め定められた時間Ｔ２（例えば１２０秒）だけ待機した後（ステップＳ１０）、時刻ｔ２において、ガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力をガス圧測定器２９に測定させる（ステップＳ１１）。制御装置１５は、測定したレーザガスの圧力をガス圧測定器２９から受け取り、記憶装置４９に記憶すると共に、表示装置５１に表示する。
【００３７】
一回目の測定及びに二回目の測定が終了すると、制御装置１５は、ガスチャンバ１３内のレーザガスについての時刻ｔ１における測定結果及び時刻ｔ２における測定結果と、予め設定されたレーザ発振動作時のガスチャンバ１３内のレーザガスの平均圧力Ｐ０と、既知のガスチャンバ１３の容積Ｖ０と、ステップＳ１０における待機時間Ｔ２（＝ｔ２−ｔ１）とから式（２）を用いて単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを演算する（ステップＳ１２）。そして、演算により求められた単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを記憶装置４９に記憶すると共に、表示装置５１に表示する。
【００３８】
レーザガス置換量Ｑの測定が完了すると、制御装置１５は、ガスチャンバ１３内のパージ処理を開始するために、供給側開閉弁３７を開いてガスチャンバ１３にレーザガスを供給すると共に、第２の排出側開閉弁４７を閉じ且つ排気ポンプ４１を停止させる（ステップＳ１３）。このとき、第１の排出側開閉弁４５は依然として閉じた状態を維持させる。次に、制御装置１５は、ガスチャンバ１３が大気圧へ到達してパージ処理が完了したことを示すパージ完了信号を確認する（ステップＳ１４）。パージ完了信号は、ガスチャンバ１３内の圧力が大気圧へ到達したときに圧力スイッチ（図示せず）から出力されるようにしてもよく、ガス圧測定器２９から出力が大気圧へ到達したときに制御装置１５から出力されるようにしてもよい。
【００３９】
ステップＳ１４において、制御装置１５がパージ完了信号を確認できないときには、パージタイマを減算し（ステップＳ１５）、パージタイマの値が０以上であることを確認する（ステップＳ１６）。そして、ステップＳ１６において、パージタイマの値が０以上であれば、パージ処理を継続し、ステップＳ１４に戻ってステップＳ１４からステップＳ１６の処理を繰り返す。また、ステップＳ１６において、パージタイマの値が０より小さくなった場合には、予め設定されたパージ時間を経過したにも拘らず、ガスチャンバ内がパージされないことを意味するので、表示装置５１にアラーム（供給ガス異常）を表示し、後で説明するステップＳ１８に進む（ステップＳ１７）。この場合、ガスチャンバ１３へレーザガスを供給する配管からの漏れやレーザガス供給源圧力の低下などが発生していると推定される。
【００４０】
一方、ステップＳ１４において、制御装置１５がパージ完了信号を確認すると、ステップＳ１８に進み、供給側開閉弁３７を閉じて、パージ処理を完了する。なお、このとき、第１の排出側開閉弁４５及び第２の排出側開閉弁４７は既に閉じられており、排気ポンプ４１も既に停止している。
【００４１】
制御装置１５は、レーザガス置換量測定手段として機能して、以上のようにして、ガス流量計を用いることなく、ガスレーザ発振器１１において単位時間当たりにガスチャンバ内のレーザガスが置換される量を測定することができる。また、レーザガスの圧力測定の結果や求められた単位時間当たりのレーザガス置換量は記憶装置４９に記憶されているので、必要に応じて、表示装置５１上に表示させ確認することができる。
【００４２】
また、上述したように、ガスレーザ発振器１１に対するガス流量計の着脱を行う必要がないので、レーザガス置換量の測定は制御装置１５によって自動的に行うことができる。したがって、例えばガスレーザ発振器の立ち上げシーケンスに上記手順を組み込めば、ガスレーザ発振器の立ち上げ時にレーザガス置換量の測定を自動的に行うことができるようになり、不慣れな作業者であっても容易に単位時間当たりのレーザガス置換量を確認、調整することが可能となる。この結果、ガスレーザ発振器の安定動作を保証することができ、レーザガスのコストの監視も容易になる。また、作業者に作業負担がないので、作業者は現場を離れることが可能となり、作業コストの削減にも寄与する。さらに、レーザガス置換量の測定に、高価なガス流量計が不要となるので、ガスレーザ発振器の保守費用の削減も可能となる。
【００４３】
以上、図１に示されている実施形態に基づいて、本発明のガスレーザ発振器１１及びガス置換量測定方法を説明したが、本発明は図１に示されている実施形態に限定されるものではない。例えば、図５に示されている第２の実施形態のガスレーザ発振器１１´のように、第１の実施形態において供給側絞り弁として使用される電磁比例弁と排出側絞り弁として使用される手動弁の配置を入れ替えることも可能である。図５に示されている第２の実施形態のガスレーザ発振器１１´では、供給側絞り弁３５´として手動の絞り弁を使用し、排出側絞り弁４３´として電磁比例弁を使用している。また、このような構成ではガスチャンバ１３内の単位時間当たりのレーザガスの置換量はガスチャンバ１３に供給されるレーザガスの圧力に大きく依存するため、供給側絞り弁３５´として使用される手動弁及び供給側開閉弁３７の上流側に減圧弁５３が配置されている。減圧弁５３は、供給側絞り弁３５´の下流側に配置されていてもよい。その他の構成要素は、第１の実施形態と同様であり、共通する構成要素には、第１の実施形態と同じ参照符号が付されている。
【００４４】
この第２の実施形態では、第１の実施形態と異なり、ガスチャンバ１３の真空引きを行った後に、ガスチャンバ１３内をパージする（すなわち、ガスチャンバ１３に再びレーザガスを供給する）際に予め定められた時間間隔をおいてガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力の測定を２回行うことにより、レーザガス置換量を測定する。以下、上記第２の実施形態のガスレーザ発振器１１´において、レーザガス置換量を測定する原理について説明する。
【００４５】
第２の実施形態のガスレーザ発振器１１´の構成では、レーザガス置換量は、手動によって操作される供給側絞り弁３５´によって調整された吸気系の有効断面積と減圧弁の二次圧とによって決定される。第１の実施形態の説明において説明したように、供給側開閉弁３７を閉じると共に第１の排出側開閉弁４５及び第２の排出側開閉弁４７を開いた状態で排気ポンプ４１によってガスチャンバ１３からレーザガスを排出してガスチャンバ１３内の真空引きを行うと、ガスチャンバ１３内の圧力は図３に示されているように徐々に低下していく。一方、ガスチャンバ１３内の真空引きを行った後、供給側開閉弁３７を開くと共に第１の排出側開閉弁４５及び第２の排出側開閉弁４７を閉じてガスチャンバ１３内に再びレーザガスを供給することによりガスチャンバ１３内をパージすると、ガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力は図６に示されているように徐々に上昇していく。
【００４６】
第２の実施形態では、供給側絞り弁３５´によってガス流量が絞られるようになっているため、図６の領域Ａではガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力の上昇は直線的となる。一方、図６の領域Ｂでは、ガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力と減圧弁５３の二次圧との差が小さくなってレーザガスの圧力上昇は時間の経過とともに緩やかになる。したがって、図６の領域Ａにおいて、時刻ｔ１から時刻ｔ２の間に、ガス圧測定器２９によって測定されたガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力がＰ１からＰ２に変化したとすると、単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑは、次式（３）により求められる。
Ｑ＝Ｖ０・（Ｐ２−Ｐ１）／（ｔ２−ｔ１）        …（３）
ここで、Ｖ０は、ガスチャンバ１３の容積、詳細には、レーザガス循環路１７の容積を意味する。
【００４７】
Ｖ０は、予め求めることができるガスレーザ発振器固有の値であるから、時刻ｔ１におけるガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力Ｐ１と、時刻ｔ２におけるガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力Ｐ２とを測定することにより、レーザガス置換量Ｑが求められることになる。なお、測定したレーザガスの圧力Ｐ１、Ｐ２は、ガスチャンバ１３内、すなわちレーザガス循環路１７内のレーザガスの平均圧力である必要がある。しかしながら、パージ処理中には、通常、レーザガス循環路１７内のレーザガスを循環させるためのブロワは停止させられており、レーザガスの循環は行われていない。したがって、本実施形態においては、ガス圧測定器２９によって測定されたレーザガスの圧力をガスチャンバ１３内のレーザガスの平均圧力として取り扱えばよい。
【００４８】
また、図６の領域Ｂにおけるレーザガス置換量Ｑと測定したレーザガスの圧力Ｐ１、Ｐ２との間の関係式、または図６の領域Ａと領域Ｂにまたがった領域におけるレーザガス置換量Ｑと測定したレーザガスの圧力Ｐ１、Ｐ２との間の関係式を予め求めておき、求められた関係式に基づいて測定したレーザガスの圧力Ｐ１、Ｐ２からレーザガス置換量Ｑを求めてもよい。さらに、関係式によらずに、予め実験的に求められたレーザガス置換量Ｑと測定したレーザガスの圧力Ｐ１、Ｐ２との間の関係を表すデータとの比較により、測定したレーザガスの圧力Ｐ１、Ｐ２からレーザガス置換量Ｑを求めてもよい。
【００４９】
次に、図７及び図８に示されているフローチャートを参照して、図５のガスレーザ発振器１１´における単位時間当たりのレーザガス置換量を測定する方法を詳細に説明する。
まず、ステップＴ１からステップＴ５に従って、ガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力が予め定められたレーザガス圧力設定値Ｐ０より低くなるまで、ガスチャンバ１３内の真空引きを行い、異常があるときには、表示装置５１にアラーム（排気異常）を表示する。ステップＴ１からステップＴ５は、図３及び図４に示されているステップＳ１からステップＳ５と全く同じであり、ここでは、詳しく説明しない。
【００５０】
ステップＴ２において、ガス圧測定器２９によって測定されたガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力が予め定められたレーザガス圧力設定値Ｐ０より低くなると、真空引きを終了して、前回の測定時に求められ記憶装置４９に記憶されたデータ（レーザガス圧力測定結果や求められたレーザガス置換量等）及び表示装置５１上の旧データの表示を消去する（ステップＴ６）。
【００５１】
ガスチャンバ１３内の真空引きが終了すると、制御装置１５は、ガスチャンバ１３内のパージ処理を開始するために、供給側開閉弁３７を開いてガスチャンバ１３内にレーザガスを供給すると共に、排気ポンプ４１を停止させ、第１の排出側開閉弁４５及び第２の排出側開閉弁４７を閉じる（ステップＴ７）。すると、ガスチャンバ１３内のレーザガス圧力は上昇し始める。次に、制御装置１５は、ガスチャンバ１３内の状態を静定させるために、第１の排出側開閉弁４５及び第２の排出側開閉弁４７を完全に閉じてから予め定められた時間Ｔ１（例えば３秒）だけ待機した後（ステップＴ８）、時刻ｔ１において、ガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力をガス圧測定器２９に測定させる（ステップＴ９）。制御装置１５は、測定したレーザガスの圧力をガス圧測定器２９から受け取り、記憶装置４９に記憶すると共に、表示装置５１上に表示する。次に、制御装置１５は、一回目の測定から予め定められた時間Ｔ２（例えば３０秒）だけ待機した後（ステップＴ１０）、時刻ｔ２において、ガスチャンバ１３内のレーザガスの圧力をガス圧測定器２９に測定させる（ステップＴ１１）。制御装置１５は、測定したレーザガスの圧力をガス圧測定器２９から受け取り、記憶装置４９に記憶すると共に、表示装置５１に表示する。
【００５２】
一回目の測定及びに二回目の測定が終了すると、制御装置１５は、ガスチャンバ１３内のレーザガスについての時刻ｔ１における測定結果及び時刻ｔ２における測定結果と、既知のガスチャンバ１３の容積Ｖ０と、ステップＴ１０における待機時間Ｔ２（＝ｔ２−ｔ１）とから式（３）を用いて単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを演算する（ステップＴ１２）。そして、演算により求められた単位時間当たりのレーザガス置換量Ｑを記憶装置４９に記憶すると共に、表示装置５１に表示する。
【００５３】
次に、制御装置１５は、ガスチャンバ１３が大気圧へ到達してパージ処理が完了したことを示すパージ完了信号を確認する（ステップＴ１３）。パージ完了信号は、ガスチャンバ１３内の圧力が大気圧へ到達したときに圧力スイッチ（図示せず）から出力されるようにしてもよく、ガス圧測定器２９から出力が大気圧へ到達したときに制御装置１５から出力されるようにしてもよい。
【００５４】
ステップＴ１３において、制御装置１５がパージ完了信号を確認できないときには、パージタイマを減算し（ステップＴ１４）、パージタイマの値が０以上であることを確認する（ステップＴ１５）。そして、ステップＴ１５において、パージタイマの値が０以上であれば、パージ処理を継続し、ステップＴ１３に戻ってパージタイマの値が０より小さくなるまでステップＴ１３からステップＴ１５の処理を繰り返す。また、ステップＴ１５において、パージタイマの値が０より小さくなった場合には、予め設定されたパージ時間を経過したにも拘らず、ガスチャンバ内がパージされないことを意味するので、表示装置５１にアラーム（供給ガス異常）を表示し、後で説明するステップＴ１７に進む（ステップＴ１６）。この場合、ガスチャンバ１３へレーザガスを供給する配管からの漏れやレーザガス供給源圧力の低下などが発生していると推定される。
【００５５】
一方、ステップＴ１３において、制御装置１５がパージ完了信号を確認すると、ステップＴ１７に進み、供給側開閉弁３７を閉じて、パージ処理を完了する。なお、このとき、第１の排出側開閉弁４５及び第２の排出側開閉弁４７は既に閉じられており、排気ポンプ４１も既に停止している。
【００５６】
第２の実施形態の制御装置１５は、以上のようにして、第１の実施形態と同様に、ガス流量計を用いることなく、ガスレーザ発振器１１´において単位時間当たりにガスチャンバ内のレーザガスが置換される量を測定することができる。また、レーザガスの圧力測定の結果や求められた単位時間当たりのレーザガス置換量は記憶装置４９に記憶されているので、必要に応じて、表示装置５１上に表示させ確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の第１の実施形態のガスレーザ発振器の構成を示す模式図である。
【図２】図１に示されるガスレーザ発振器のガスチャンバからレーザガスを排気するときの圧力変化を示すグラフである。
【図３】第１の実施形態のガスレーザ発振器において排気時に測定したガスチャンバ内のレーザガスの圧力に基づいて単位時間当たりのレーザガス置換量を求める手順を示すフローチャートである。
【図４】図３に示される手順の続きを示すフローチャートである。
【図５】本発明の第２の実施形態のガスレーザ発振器の構成を示す模式図である。
【図６】図５に示されるガスレーザ発振器のガスチャンバ内をパージするときの圧力変化を示すグラフである。
【図７】第２の実施形態のガスレーザ発振器においてパージ時に測定したガスチャンバ内のレーザガスの圧力に基づいて単位時間当たりのレーザガス置換量を求める手順を示すフローチャートである。
【図８】図７に示される手続の続きを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５８】
１１    ガスレーザ発振器
１３    ガスチャンバ
１５    制御装置
２９    ガス圧測定器
３５    供給側絞り弁
３７    供給側開閉弁
４３    排出側絞り弁
４５    第１の排出側開閉弁
４７    第２の排出側開閉弁
【図１】
2007208030.tif 000004
【図２】
2007208030.tif 000005
【図３】
2007208030.tif 000006
【図４】
2007208030.tif 000007
【図５】
2007208030.tif 000008
【図６】
2007208030.tif 000009
【図７】
2007208030.tif 000010
【図８】
2007208030.tif 000011