(57)【要約】【課題】蒸気洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率を正確に、且つ、簡単に測定できる洗浄用蒸気の導電率の測定方法を提供すること。【解決手段】本発明に係る洗浄用蒸気の導電率の測定方法は、被洗浄物を蒸気洗浄するための洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率の測定方法であって、洗浄装置の吐出先端部に、洗浄用蒸気を収容する収容具を取り付けるステップ（ＳＴ３０１）と、洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気を収容具に収容するステップ（ＳＴ３０３）と、収容具に収容された洗浄用蒸気を冷却して液化するステップ（ＳＴ３０４）と、洗浄用蒸気の凝縮液の導電率を測定するステップ（ＳＴ３０６）とを含んでいる。【選択図】図３
2007203126.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を蒸気洗浄するための洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率の測定方法であって、
上記洗浄装置の上記吐出先端部に、上記洗浄用蒸気を収容する収容具を取り付けるステップと、
上記洗浄装置の上記吐出先端部から吐出される上記洗浄用蒸気を上記収容具に収容するステップと、
上記収容具に収容された上記洗浄用蒸気を冷却して液化するステップと、
上記洗浄用蒸気の凝縮液の導電率を測定するステップとを含むことを特徴とする洗浄用蒸気の導電率の測定方法。
【請求項２】
上記収容具を上記吐出先端部に取り付けるステップでは、上記収容具を上記吐出先端部にネジにより取り付けることを特徴とする請求項１に記載の洗浄用蒸気の導電率の測定方法。
【請求項３】
上記収容具は、上記洗浄用蒸気を収容する収容部と、上記洗浄用蒸気を排出する排出口とを備え、
上記洗浄用蒸気を収容するステップでは、上記洗浄装置の上記吐出先端部から吐出される上記洗浄用蒸気を上記収容部へ向けて流入させることにより上記洗浄用蒸気を収容するとともに、上記収容部に収容されなかった上記洗浄用蒸気の残余を上記排出口から排出することを特徴とする請求項１に記載の洗浄用蒸気の導電率の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、洗浄用蒸気の導電率の測定方法に関し、特に、被洗浄物を蒸気洗浄する洗浄装置から吐出される洗浄用蒸気の導電率の測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から表示装置の製造工程では、透明ガラス基板上に付着する付着物を除去するために、蒸気洗浄装置を用いた蒸気洗浄が行われている。
一般的な蒸気洗浄装置では、供給される純水などの洗浄液を蒸気生成器（スチームボイラー）で洗浄用蒸気にし、この洗浄用蒸気を、当該洗浄用蒸気の吐出先端部に取り付けられたノズルから噴出させている。
【０００３】
特許文献１には、蒸気洗浄装置に関する技術が開示されている。
【特許文献１】特開平９−３２７６６９号公報（段落００２５〜００２７、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば３（μＳ／ｃｍ）以上の導電率の高い洗浄用蒸気で液晶パネルなどの被洗浄物を蒸気洗浄すると、被洗浄物上に形成された端子間に電気が流れてしまい、当該被洗浄物上の端子に電蝕が発生してしまうという問題があった。
このため、従来では、純水などの洗浄液を蒸気洗浄装置に供給する際に、まず、当該洗浄液の導電率を定期的に測定し、測定後に、蒸気洗浄装置により当該洗浄液を加熱して生成される洗浄用蒸気を用いて、被洗浄物を蒸気洗浄していた。
【０００５】
しかしながら、蒸気生成器や、蒸気生成器と吐出先端部を接続する配管や、吐出先端部に取り付けられるノズルなどが腐食したり経年劣化したりすることにより、ノズルから噴出される洗浄用蒸気の導電率が、供給される洗浄液の導電率よりも高くなってしまい、洗浄用蒸気の導電率の許容範囲を超えて、高い導電率の洗浄用蒸気で被洗浄物を蒸気洗浄してしまうという問題があった。また、洗浄用蒸気の導電率は、気体状態では測定できないという問題があった。
この発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、蒸気洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率を正確に、且つ、簡単に測定できる洗浄用蒸気の導電率の測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る洗浄用蒸気の導電率の測定方法は、被洗浄物を蒸気洗浄するための洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率の測定方法であって、洗浄装置の吐出先端部に、洗浄用蒸気を収容する収容具を取り付けるステップと、洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気を収容具に収容するステップと、収容具に収容された洗浄用蒸気を冷却して液化するステップと、洗浄用蒸気の凝縮液の導電率を測定するステップとを含むことを特徴とするものである。
このような測定方法を採用することにより、蒸気洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率を正確に、且つ、簡単に測定できる。
【０００７】
ここで、収容具を吐出先端部に取り付けるステップでは、収容具を吐出先端部にネジにより取り付ける。また、収容具は、洗浄用蒸気を収容する収容部と、洗浄用蒸気を排出する排出口とを備え、洗浄用蒸気を収容するステップでは、洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気を収容部へ向けて流入させることにより洗浄用蒸気を収容するとともに、収容部に収容されなかった洗浄用蒸気の残余を排出口から排出する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明により、蒸気洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率を正確に、且つ、簡単に測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
発明の実施の形態１．
本発明の実施の形態１について、図に基づいて説明する。
図１は、蒸気洗浄装置の構成および蒸気洗浄装置による洗浄状態を示す模式図である。図１内の矢印は、洗浄用蒸気の流れを示している。
図１に示されるように、蒸気洗浄装置１は、洗浄用蒸気生成器１０と、洗浄液供給口２０と、洗浄用蒸気吐出先端部３０と、配管４０とを備えている。
【００１０】
洗浄用蒸気生成器１０は、洗浄液供給口２０から供給される純水などの洗浄液を加熱して気化することにより、洗浄用蒸気を生成する。洗浄液供給口２０は、洗浄液を洗浄用蒸気生成器１０へ供給するために設けられており、例えば、洗浄用蒸気生成器１０に接続された円筒体により形成されている。
図１に示されるように、配管４０の先端側には、洗浄用蒸気生成器１０が生成する洗浄用蒸気を吐出すための洗浄用蒸気吐出先端部３０が設けられている。洗浄用蒸気生成器１０と洗浄用蒸気吐出先端部３０との間は配管４０により接続されている。配管４０は円筒状に形成されており、洗浄用蒸気生成器１０で生成された洗浄用蒸気を洗浄用蒸気吐出先端部３０へ導くために設けられている。
【００１１】
図１に示されるように、洗浄用蒸気吐出先端部３０にはノズル５０が取り付けられている。ノズル５０は、洗浄用蒸気吐出先端部３０の吐出口にネジにより取り付けられており、洗浄用蒸気吐出先端部３０に対して着脱可能に形成されている。図１に示されるように、ノズル５０の先端とは反対側の端部の内面には、雌ネジ５３が形成され、洗浄用蒸気吐出先端部３０の吐出口側の外面には、雄ネジ４３が形成されている。ノズル５０の雌ネジ５３と洗浄用蒸気吐出先端部３０の雄ネジ４３とが互いに螺合されることにより、ノズル５０が洗浄用蒸気吐出先端部３０に取り付けられる。
【００１２】
ノズル５０は、先端に開口５１と、先端から洗浄用蒸気吐出先端部３０へ向けて貫通された貫通穴５２とを有しており、先端から洗浄用蒸気吐出先端部３０へ設けて徐々に末広がるように略円錐形状に形成されている。
洗浄液供給口２０や、洗浄用蒸気生成器１０の内部配管（不図示）や、配管４０や、洗浄用蒸気吐出先端部３０や、ノズル５０の材料には、耐腐食性の高いステンレス鋼（例えばＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６）やチタンなどが用いられている。
【００１３】
次に、蒸気洗浄装置１を用いて液晶パネルなどの被洗浄物Ｐを洗浄する方法について、図に基づいて説明する。
まず、クリーンルーム内に被洗浄物Ｐを動かないように固定する。次に、洗浄液供給口２０から純水などの洗浄液を供給する。次に、洗浄用蒸気生成器１０を作動させて、洗浄液供給口２０から供給される洗浄液を気化して洗浄用蒸気を生成する。洗浄用蒸気生成器１０により生成された洗浄用蒸気は、配管４０および洗浄用蒸気吐出先端部３０を介して、ノズル５０の先端の開口５１から噴出される。そして、このノズル５０の開口５１から噴出される洗浄用蒸気を被洗浄物Ｐに吹き付けることにより、被洗浄物Ｐを洗浄する。
【００１４】
次に、蒸気洗浄装置１から吐出される洗浄用蒸気の導電率を測定する方法について、図に基づいて、説明する。
図２は、蒸気洗浄装置の洗浄用蒸気吐出先端部に取り付けられた収容具の構成を示す模式断面図である。図２では、図１で示されているノズルの代わりに、収容具を洗浄用蒸気吐出先端部に取り付けた状態を示している。図３は、蒸気洗浄装置の洗浄用蒸気吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率を測定する手順を示す測定フロー図である。
【００１５】
図２に示されるように、蒸気洗浄装置１から吐出される洗浄用蒸気の導電率を測定する際には、ノズル５０の代わりに、収容具６０が洗浄用蒸気吐出先端部３０に取り付けられる。
図２に示されるように、収容具６０は底部を有する筒状体に形成されており、底部側には収容部６１が形成され、底部と反対側の端部側には排出口６２が形成されている。
【００１６】
収容部６１は、洗浄用蒸気吐出先端部３０から吐出される洗浄用蒸気を収容するために設けられている。排出口６２は、収容部６１に収容されなかった洗浄用蒸気の残余を排出するために設けられている。
また、収容具６０の底部とは反対側端部の内面には、雌ネジ６３が形成されており、収容具６０は、ノズル５０同様に、洗浄用蒸気吐出先端部３０に着脱可能に形成されている。収容具６０の雌ネジ６３と洗浄用蒸気吐出先端部３０の雄ネジ４３とが互いに螺合されることにより、収容具６０が洗浄用蒸気吐出先端部３０に取り付けられる。
【００１７】
図２に示されるように、収容具６０の収容部６１は、洗浄用蒸気冷却容器７０
内の氷７１により冷却されている。従って、収容部６１に流入される洗浄用蒸気は、氷７１により冷却されて液化される。図２の収容部６１内には、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌが示されている。
収容具６０の材料には、耐腐食性の高いステンレス鋼（例えばＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６）やチタンなどが用いられている。
【００１８】
次に、蒸気洗浄装置１の洗浄用蒸気吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率を測定する手順を図に基づいて説明する。
図２および図３に示されるように、まず、蒸気洗浄装置１の洗浄用蒸気吐出先端部３０に、収容具６０を雄ネジ４３、雌ネジ６３の螺合により取り付ける（ＳＴ３０１）。ここで、ノズル５０が洗浄用蒸気吐出先端部３０に取り付けられている場合には、収容具６０を洗浄用蒸気吐出先端部３０に取り付ける前に、ノズル５０を洗浄用蒸気吐出先端部３０から取り外す。
【００１９】
次に、洗浄液供給口２０から洗浄用蒸気生成器１０に純水などの洗浄液を供給する（ＳＴ３０２）。そして、洗浄用蒸気生成器１０を作動させて、洗浄液供給口２０から供給される洗浄液を気化して洗浄用蒸気を生成する。洗浄用蒸気生成器１０により生成された洗浄用蒸気は、配管４０を介して、洗浄用蒸気吐出先端部３０から吐出され、そのまま、洗浄用蒸気吐出先端部３０に接続されている収容具６０に流入される。
【００２０】
次に、洗浄用蒸気吐出先端部３０から吐出される洗浄用蒸気を収容具６０の収容部６１に収容する（ＳＴ３０３）。そして、このＳＴ３０３では、合わせて、収容部６１に収容されなかった洗浄用蒸気の残余を排出口６２から排出する。これにより、収容具６０内の圧力が過剰に高くならないように調整される。
次に、収容具６０の収容部６１に収容された洗浄用蒸気を、洗浄用蒸気冷却容器７０内の氷７１を用いて冷却して液化する（ＳＴ３０４）。例えば、洗浄用蒸気生成器１０を約１時間以上動作させることにより、ＳＴ３０５で導電率を測定するのに必要な洗浄用蒸気の凝縮液Ｌを収容できる。
【００２１】
次に、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌの導電率を、導電率計測器を用いて測定する（ＳＴ３０５）。具体的には、収容具６０を洗浄用蒸気吐出先端部３０から取り外し、すぐに、収容具６０の底部とは反対側端部の開口から導電率計測器の電極棒を挿入し、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌの中に導電率計測器の電極棒を浸して、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌの導電率を測定する。
【００２２】
導電率計測器とは、液体の電気に対する伝導の割合を測定し、液の成分や液中の溶解物質の割合を計測する機器であり、原理別に大別すると電極法と電磁誘導法があり、電極法は導電率の非常に小さいものから一般の水溶液までの全範囲をカバーしており、電磁誘導法は導電率の高い領域で使用されている。
【００２３】
電極法は、測定液に電極を浸して溶液抵抗を測定することにより、導電率を求めるものであり、電磁誘導法は、測定溶液に電磁誘導によって交流電流を流してその電流を電磁誘導によって検出することにより、溶液の導電率を求める方法である。本発明では、比較的小さい導電率を測定するのに適した電極法を用いた導電率計測器を用いるものとする。
【００２４】
ここで、ＳＴ３０５の導電率の測定では、その作業を短時間に行う必要がある。すなわち、導電率は、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌが外気に触れる時間が長ければ長いほど、高くなる傾向にある。外気中にはゴミや埃などが充満しており、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌが長時間外気に触れると、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌが外気中のゴミや埃などを吸収してしまい、導電率が高くなってしまう。従って、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌが外気にあまり触れないうちに、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌの導電率を素早く測定する必要がある。
【００２５】
以上のように、蒸気洗浄装置１の洗浄用蒸気吐出先端部３０の吐出口に洗浄用蒸気を収容する収容具６０を取り付け、蒸気洗浄装置１の洗浄用蒸気吐出先端部３０から吐出される洗浄用蒸気を収容具６０に収容し、収容具６０に収容された洗浄用蒸気を冷却して液化し、洗浄用蒸気の凝縮液の導電率を測定することにより、洗浄用蒸気吐出先端部３０から吐出される洗浄用蒸気を簡単に収容でき、また、洗浄用蒸気の凝縮液が外気に曝される時間を低減でき、蒸気洗浄装置１の洗浄用蒸気吐出先端部３０から吐出される洗浄用蒸気の導電率を正確に、且つ、簡単に測定できる。
【００２６】
なお、例えば、収容具６０を洗浄用蒸気吐出先端部３０に取り付けたまま、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌを空気に曝すことなく、導電率計測器の電極棒を液体化された洗浄用蒸気の凝縮液Ｌに浸すことができるような挿入口を、収容具６０に別に設けてもよい。これにより、確実に洗浄用蒸気の凝縮液Ｌが外気に曝されることなく、洗浄用蒸気の凝縮液Ｌの導電率を正確に測定できる。
【００２７】
以下、本発明の実施例および比較例について説明する。実施例および比較例ともに、蒸気洗浄装置１には、購入直後の新しいものを使用した。
実施例．
１μＳ／ｃｍの純水を洗浄液として用い、蒸気洗浄装置１の洗浄用蒸気吐出先端部３０から吐き出される水蒸気を約１時間かけて、上記実施態様に従って、収容具６０の収容部６１に収容し、収容された水蒸気の凝縮液の導電率を測定したところ、供給時の純水の導電率と同じ１μＳ／ｃｍであった。このときのサンプル間のばらつきは小さかった。このようにして、蒸気洗浄装置１の洗浄用蒸気吐出先端部３０から吐出される洗浄用蒸気の導電率を正確に、且つ、簡単に測定できる。
【００２８】
比較例．
１μＳ／ｃｍの純水を洗浄液として用い、蒸気洗浄装置１の洗浄用蒸気吐出先端部３０から吐き出される水蒸気を約２〜３時間かけて液化しながらビーカーに溜めて、その水蒸気の凝縮液の導電率を測定したところ、供給時の純水の導電率とは大きく異なり、７μＳ／ｃｍであった。また、サンプル間のばらつきも大きかった。
【００２９】
以上の説明は、本発明の実施の形態を説明するものであるが、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではない。また、当業者であれば、上述の実施の形態の各要素を、本発明の範囲において、容易に変更、追加、変換することが可能である。例えば、洗浄用蒸気吐出先端部の吐出口を塞がない様にして、収容具を取り付けてもよく、また、導電率計測器の電極棒を予め収容具に挿入していてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】蒸気洗浄装置の構成および蒸気洗浄装置による洗浄状態を示す模式図である。
【図２】蒸気洗浄装置の洗浄用蒸気吐出先端部に取り付けられた収容具の構成を示す模式断面図である。
【図３】蒸気洗浄装置の洗浄用蒸気吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率を測定する手順を示す測定フロー図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  蒸気洗浄装置
１０  洗浄用蒸気生成器
２０  洗浄液供給口
３０  洗浄用蒸気吐出先端部
４０  配管
４３  雄ネジ
５０  ノズル
５１  開口
５２  貫通穴
５３  雌ネジ
６０  収容具
６１  収容部
６２  排出口
６３  雌ネジ
７０  洗浄用蒸気冷却容器
７１  氷
Ｐ  被洗浄物
Ｌ  洗浄用蒸気の凝縮液
【図１】
2007203126.tif 000003
【図２】
2007203126.tif 000004
【図３】
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