(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体製造工場と外部とを通信回線で接続した通信ネットワークにおいて、データのセキュリティを維持しながら基板処理装置又は基板処理装置を管理する集中管理装置の特定データを簡単な操作で製造元に送信できるようにする。【解決手段】基板処理装置２を管理する集中管理装置３と公衆ネットワーク６でアクセス可能に接続される第一の操作装置４と、集中管理装置３に対して直接のアクセスが禁止されており、且つ、第一の操作装置４と通信回線を介してアクセス可能に接続されている第二の操作装置８と、で構成される通信ネットワークシステムにおいて、第二の操作装置８において集中管理装置３の特定データを取得するためのツールを作成し、このツールを第一の操作装置４へ送信した後、第一の操作装置４において前記ツールを実行して前記特定データを取得し、この取得された特定データを第二の操作装置８に送信させるように構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する集中管理装置と通信回線でアクセス可能に接続される第一の操作装置と、前記基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する集中管理装置に対して直接のアクセスが禁止されており、且つ、前記第一の操作装置と通信回線を介してアクセス可能に接続されている第二の操作装置と、で構成される通信ネットワークシステムにおいて、前記第二の操作装置から基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する前記集中管理装置の特定データを取得するためのツールを第一の操作装置へ送信した後、前記第一の操作装置において前記ツールを実行して前記特定データを取得し、この取得された特定データを前記第二の操作装置に送信することを特徴とする通信ネットワークシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体生産工場と外部の通信先とを接続する通信ネットワークシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、外部からのアクセスを禁止することで情報の漏洩を防止する半導体生産工場において、基板処理装置に障害が発生した場合は、電話やE−mail等で半導体製造工場側（エンドユーザ）から製造元（メンテナンス側）に指示を出し、障害に対応する基板処理装置のログを、基板処理装置を管理している集中管理装置から取り出してE−mail等で送信してもらい製造元側で解析した結果をエンドユーザに送信することによって障害に対応している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、エンドユーザ側がシステムの操作に関して不慣れであり、ログの取り出しに不慣れであると、ログの取得操作に手間取ったり、誤ったログ情報が製造元側に送信されてしまったりし、障害の回復までに多くの時間がかかってしまうことがある。
【０００４】
本発明は、上記事情に鑑みて案出されたものであり、その目的は、半導体製造工場と外部とを通信回線で接続した通信ネットワークにおいて、基板処理装置又は複数の基板処理装置を管理する集中管理装置の特定データをデータのセキュリティを維持しながら簡単な操作で製造元等の送信先に送信できるようにした通信ネットワークシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第一の手段は、基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する集中管理装置と通信回線でアクセス可能に接続される第一の操作装置と、前記基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する集中管理装置に対して直接のアクセスが禁止されており、且つ、前記第一の操作装置と通信回線を介してアクセス可能に接続されている第二の操作装置と、で構成される通信ネットワークシステムにおいて、前記第二の操作装置において基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する前記集中管理装置の特定データを取得するためのツールを作成し、このツールを第一の操作装置へ送信した後、前記第一の操作装置において前記ツールを実行して前記特定データを取得し、この取得された特定データを前記第二の操作装置に送信する通信ネットワークシステムを提供するものである。
【０００６】
ここで、基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する集中管理装置に対して直接のアクセスが禁止されるとは、基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する集中管理装置に対する第二の操作装置のリモートアクセスを禁止するという意味である。また、前記第一の操作装置と第二の操作装置とを通信回線を介してアクセス可能に接続し、第二の操作装置が集中管理装置に対して第一の操作装置を介して間接的に接続している。第二の操作装置で作成したツールが第二の操作装置から第一の操作装置に送信され、ツールが第一の操作装置において実行されると、ツールによって要求した特定データ、例えば、基板処理装置の障害の解析に必要なログが集中管理装置から自動的に取得され、取得された特定データが通信回線を介して第二の操作装置に送信される。送信された特定データは、第二の操作装置側が解析等に使用し、基板処理装置側の管理にフィードバックする。このため、第一の手段において、基板処理装置又は複数の基板処理装置を管理している集中管理装置のセキュリティを保持し、且つ所望のデータを簡単な操作で取得することができる。
【０００７】
第二の手段は、基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する集中管理装置と通信回線でアクセス可能に接続される第一の操作装置と、前記基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する集中管理装置に対して直接のアクセスが禁止されており、且つ、前記第一の操作装置と通信回線を介してアクセス可能に接続されている第二の操作装置と、で構成され通信ネットワークシステムにおいて、
前記第二の操作装置において基板処理装置または複数の基板処理装置を管理する前記集中管理装置の特定データを取得するためのツールを作成し、このツールを第一の操作装置へ送信した後、前記第一の操作装置において前記ツールを実行して前記特定データを取得し、この取得された特定データを前記第二の操作装置に送信するようにした通信方法を提供するものである。
このようにすると、第一の手段と同様に、セキュリティが保持され、間違ったデータが第二の操作装置に送信されることがない。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、通信ネットワークに対して特別な知識を必要とせずに、集中管理装置のデータのセキュリティを確保しながら集中管理装置の特定データ、例えば、基板処理装置の障害を解析するためのログを簡単な操作で取得してこれを第二の操作装置に通信回線を介して送信できるという優れた効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して本発明の一実施の形態を説明する。
【００１０】
図１は複数の基板処理装置を備える半導体生産工場と基板処理装置の製造元とを接続した通信ネットワークシステムを示し、図２は図１に示した通信ネットワークの処理機能を説明するためのブロック図である。
図１に示すように、半導体生産工場側、すなわち、エンドユーザ１側には、複数の基板処理装置２，…と、各基板処理装置２を管理する集中管理装置３と、集中管理装置３にアクセスするための第一の操作装置４とが設置されており、それぞれ、エンドユーザ1側の工場内に構築されたローカルネットワーク５に接続されている。ローカルネットワーク５には、ネットワークサーバ、ルータ等からなるネットワーク管理装置（図示せず）が設置されていて、外部の公衆ネットワーク（通信回線）６に接続されている。
工場側のローカルネットワーク５には、公衆ネットワーク６を介して製造元７側の第二の操作装置８が接続されている。
集中管理装置３は、前記ローカルネットワーク５により各基板処理装置２，…に対してアクセス可能に接続されており、また、第一の操作装置４は、集中管理装置３に対してアクセス可能に接続されている。
一方、第二の操作装置８は、第一の操作装置４に対してアクセス可能に且つ集中管理装置３に対して直接のアクセスができないように接続されている。
ここで、直接のアクセスを禁止するとは、基板処理装置２または集中管理装置３に対して第二の操作装置８のリモートアクセスを禁止するという意味である。
なお、各基板処理装置２，…、集中管理装置３、第一の操作装置４、第二の操作装置８は、それぞれプロトコルに対応した固有のシステムIPアドレスにより管理され、第二の操作装置８は、後述するように、ローカルネットワーク５に対するログインがローカルネットワーク５のシステムIPアドレス、システムアクセス用ユーザID、システム用パスワードによって制限される。
【００１１】
図２に示すように、前記集中管理装置３は例えばホストコンピュータで構成され、また、第一の操作装置４及び第二の操作装置８はそれぞれ集中管理装置３に対して端末となるコンピュータで構成されている。
前記集中管理装置３には、各基板処理装置２の生産履歴や稼動状態のログを基板処理装置２毎にトレースして収集するトレースロギング手段１０と、これら基板処理装置２，…のログを、基板処理装置２毎に且つログの種別毎に区分して格納するデータ格納手段（ハードディスク等）１１とが備えられている。また、第二の操作装置８には、集中管理装置３の特定データを取得するためのツールを作成してこのツールを前記第一の操作装置４に送信するツール作成手段１２が備えられ、第一の操作装置４には、この第一の操作装置４において前記第二の操作装置８から送信されたツールを実行するためのツール実行手段１３が備えられている。
【００１２】
図３は前記集中管理装置３から特定データを取得するためのツールの一例を示し、図３（a）は特定データの一例として前記データ格納手段１１に格納されたログを取得するためのログ取得プログラムファイルの構成図であり、図３（b）はログ取得プログラムファイルが用いる取得情報定義ファイルの構成図である。また、図４はログ取得プログラムファイルの動作を示し、図５はログ取得プログラムの実行の際、表示手段としてのモニタ１４に操作画面として表示されるログ取得画面の一例を示している。
【００１３】
図３（a）に示すように、ログ取得プログラムファイル１６は実行形式のファイルであり、（1）取得情報定義部ファイル読み込み部、（2）通信実行部、（3）取得情報圧縮部、（4）表示部の計４個のプログラムモジュールで構成されている。以下、各部について説明する。
(1)取得情報定義ファイル読み込み部
取得情報定義ファイル読み込み部は、図３（b）に示す、テキスト形式の取得情報定義ファイル１７の（5）ターゲットシステム情報と、（6）ターゲット情報を得る。
ここで、（5）ターゲットシステム情報のネットワーク管理装置のシステムIPアドレスは、所定の集中管理装置3について示すシステムIPアドレスであり、（6）のターゲット情報ログファイルの障害名称ファイル中の障害ログファイルは、障害の解析に必要なファイルである。いずれの情報もエンドユーザ1側からの連絡を受けた後に、製造元７側のエンジニアが第二の操作装置８のツール作成手段１２を用いて入力するツールの入力情報である。
なお、図３（６）では、障害ログファイルがＡ〜Ｚとなっているが、これは、種別を示し、ファイルの数を示すものではない。これらの障害ログファイルは、基板処理装置２の機種別（縦型、横型、枚葉式）の固有の障害ログファイル、エンドユーザごとの仕様に対応した仕様別の固有の障害ログファイルとしてリストアップされている。このように、障害ログ名称ファイルを機種別及びエンドユーザごとの仕様別に区別しておくと、障害名称ファイルの使い勝手が向上する。具体的には、障害ログファイルＡが縦型、障害ログファイルＢが枚葉装置としたり、又、障害ログファイルＡがメーカーＡ´、障害ログファイルＢがメーカーＢ´としたり、又さらに上記機種等の組み合わせとしたりできる。
【００１４】
（2）通信実行部
この通信実行部は、取得情報定義ファイル１７のシステムIPアドレス、システムアクセス用ユーザID、システム用パスワードを用いてエンドユーザ1側のローカルネットワーク５の集中管理装置３にログインし、データ格納手段１１にアクセスする。そして、このデータ格納手段１１から特定データ、すなわち、障害ログファイルを取り出し、取り出した障害ログファイルを第二の操作装置８にローカルネットワーク５及び公衆ネットワーク６を介して送信する。
【００１５】
（3）取得情報圧縮部
取得情報圧縮部は、ログ取得プログラムファイル１６の実行により前記集中管理装置３のデータ格納手段１１から取り出したデータを第二の操作装置８に送信する前に圧縮し、サイズダウンと機密性を確保する。この場合、暗号化を図るようにしてもよい。
【００１６】
（4）表示部
表示部は、第一の操作装置４、すなわち、エンドユーザ１において、操作画面２６（図５）を表示手段１４に前記ログ取得プログラムファイル１６の実行前に表示させるとともに、前記表示部は、前記ログ取得プログラムファイル１６の実行終了後に、障害に対応したログの取り出しが完了したことを示すログ取り出し画面を、第一の操作装置４に接続されていた表示手段（モニタ）１４に表示させるように構成されている。
【００１７】
次に、前記通信ネットワークシステムにおいて、エンドユーザ１側で基板処理装置２に障害が発生した場合の対応について図６及び図４を用いて説明する。なお、この説明では、必要に応じて図２、図３及び図５も参照する。
【００１８】
図６はエンドユーザ１側の基板処理装置２に障害が発生した場合の対応についてのフロー図である。
エンドユーザ１側の基板処理装置２に障害が発生すると、基板処理装置２の管理者または作業者は、電話やFax、またはE−mailを利用して基板処理装置２の障害について製造元７側のエンジニアに報告する（図６、Ｓ１）。
【００１９】
製造元７側のエンジニアは、報告の内容から障害の発生した基板処理装置２を知り、その基板処理装置２の複数の障害ログファイルの中から障害の解析に必要な障害ログファイルを決定する。そして、エンドユーザのローカルネットワーク５のネットワーク管理システムのシステムIPアドレス、システムアクセス用ユーザID、システム用パスワードで取得情報定義ファイル１７を編成し、ログ取得プログラム画面例である図５の操作画面２６を表示させるなどのプログラムを含むログ取得プログラムファイル１６を作成してログ取得ツールの作成を完了する（図６、Ｓ２）。
【００２０】
製造元７側のエンジニアが第二の操作装置８のツール作成手段１２によりログ取得ツールの作成を完了すると、作成したログ取得ツールをE−mailに添付し、第二の操作装置８から第一の操作装置４に配信（配布）する（図６、Ｓ３）。
【００２１】
エンドユーザ１側で、製造元７側の第二の操作装置８からログ取得ツールの配信を受け、基板処理装置２の管理者又は装置作業者が第一の操作装置４においてこの実行形式のログ取得プログラムファイル１６を実行する（図６、Ｓ４）。
【００２２】
ログ取得プログラムファイル１６が実行されると、このログ取得プログラムファイル１６の（4）表示部が操作画面２６（図５）を第一の操作装置４の表示手段（モニタ）１４に表示させる。
【００２３】
前記操作画面２６には、製造元７側で特定されたシステムIPアドレスと、集中管理装置３のデータ格納手段１１から取り出すべき障害ログファイル（図５、ファイル名称：system.Log.001）とそのファイルサイズ、取り出しサイズとがそれぞれセル内に表示されており、また、障害ログファイルの取り出しを開始するための実行ボタン（excuteボタン）２３、取り出しを停止するストップボタン（stopボタン）２４、操作画面２６を閉じるためのクローズボタン（closeボタン）２５等のプログラムと連動したプログラムボタンと、ログを取得するための操作、ファイルサイズ等の情報を開示するためのコメント欄とが表示されている。
この操作画面２６でエンドユーザ１側の管理者または操作者が、取り出すべき障害ログファイルのファイル名称を確認して実行ボタン（excuteボタン）２３を押下すると、ログ取得プログラムファイル１６の（1）取得情報定義ファイル読み込み部が、取得情報定義ファイル１７（図３（b）、図４〔1〕）を読み込んで、前記集中管理装置３に対するログインと、前記データ格納手段１１に対するアクセスを要求する（図４〔2〕）。
ローカルネットワーク５、具体的には、ローカルネットワーク５のネットワーク管理装置（図示せず）は、（2）通信実行部より認証用として提示された（4）ターゲットシステム情報のシステムIPアドレス、システムアクセス用ユーザID、システム用パスワードを、ローカルネットワーク５の予め登録されたシステムIPアドレス、システムアクセス用ユーザIDと照会し、両者が合致したとき認証を終了して集中管理装置３へのログインと、データ格納手段１１へのアクセスを許可する。
【００２４】
（2）通信実行部は、集中管理装置３に対するログインおよびデータ格納手段１１に対するアクセスが許可されると、ログ取得ツールの（2）通信実行部は、ローカルネットワーク５を通じて集中管理装置３のデータ格納手段１１から前記情報定義ファイルのシステムIPアドレス、ターゲット情報の障害ログファイルに従ってターゲットの障害ログファイルを取り出し（図４〔3〕）、これを第一の操作装置４のデータ格納手段１１、例えば、ハードディクス１８に格納する（図４〔4〕）とともに、取り出した障害ログファイルを、（3）取得情報圧縮部によって圧縮した後、E−mail（電子メール）に添付して第二の操作装置８に公衆ネットワーク６を介して送信し（図６、Ｓ５）、同時に、（4）表示部が、障害ログファイルの取り出しと送信を完了した旨を第一の操作装置４の管理者または作業者に知らせる表示を、第一の操作装置４の表示部（モニタ）１５に表示させる（図４〔5〕）。なお、障害ログデータの取り出し終了は、操作画面２６のインジケータ２７やGet Sizeのバイト数、Fileサイズのバイト数との比較によっても確認することが可能である。
第二の操作装置８側、すなわち、製造元７側は、第一の操作装置４より送信された障害ログファイルを解析し（図６、Ｓ６）、障害を回復するための方法をE−mailにてエンドユーザ１側、例えば、第一の操作装置４に送信する（図６、Ｓ７）。
これにより、エンドユーザ１の基板処理装置２の障害が回復される。
【００２５】
このように、本実施の形態では、エンドユーザ１側の管理者等が、操作画面２６で取り出すべき障害ログファイルのファイル名称を確認して実行ボタン（excuteボタン）２３を押下するだけで、ターゲットとなる障害ログファィルの取り出しを行うので、システムに熟知する必要もなく、また、間違った障害ログファイルを取り出す虞もない。障害ログファイルの取り出しを完了すると、エンドユーザ１側の管理者は、障害ログファイル（図５では、ファイル名称：system.Log.001）をE−mail（電子メール）に添付して製造元７側の第二の操作装置８に送信する（S５）。
製造元７側のエンジニアは、受信した障害ログファイルを解析し、基板処理装置２の原因を解析し、解析の結果を障害回復方法としてエンドユーザ１側の管理者等にE−mail（電子メール）や電話等で報告する。
【００２６】
（実施形態の効果）
上述したように、本実施の形態によれば次の如き優れた効果を発揮する。
（１）外部から直接のアクセスが禁止されている半導体工場にて群管理システムに傷害が発生した場合、第二の操作装置で作成した障害ログファイルを取得するための実行形式のファイルを含むツール（プログラム）を第一の操作装置に配信し、第一の操作装置において、このツール（プログラム）によって、障害が発生した基板処理装置からデータを収集している集中管理装置から障害に対応する障害ログファイルを取得し、これを第二の操作装置に送信させるようにしたので、機密性を維持しながら障害の解析を行うことができる。また、間違った障害ログファイルを解析することもない。このため、障害の発生から回復までの時間が短縮され、半導体処理工場の生産性が向上する。
（２）障害ログファイルの取り出しの際に、ボタン（実行ボタン２３）を押すだけでよいので、取り扱いに不慣れなエンドユーザでも簡単に、また、間違いのない操作が可能となる。さらに、ターゲットファイル情報を、機種毎、エンドユーザ毎に区分すると、基板処理装置の機種、エンドユーザの仕様に対して汎用性をもたせることができる。
【００２７】
なお、本実施の形態では、障害ログファイルの取得後は、第一の操作装置４の管理者または作業者が障害ログファイルを第１の操作装置４を操作して電子メールでエンドユーザ１側から製造元７側に送信するようにしたが、この電子メールでの障害ログファイルの送信をプログラムによって自動化してもよい。
【００２８】
また、本実施の形態では、集中管理装置３として複数の基板処理装置を管理する集中管理装置（群管理装置）３に適用した説明をしたが、単一の基板処理装置２を管理する集中管理装置に適用してもよい。また、基板処理装置２を直接対象としてこれよりログ等必要な特定データを取得するようにしても構わない。また、本実施の形態では、障害情報のログファイルについて説明したが生産履歴（情報）のログファイル、例えば、温度、圧力等のデータログ（トレースログ）ファイルを特定データとして取得しても構わない。
【００２９】
さらに、本発明は、縦型、横型、枚葉式の基板処理装置に限らず、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用することができる。
さらに、本発明は、基板処理装置２内の処理には関係がなく、成膜処理には、例えば、ＣＶＤ，ＰＶＤ酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理を含む。
さらに、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理でも構わない。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】複数の基板処理装置を備える半導体生産工場と基板処理装置の製造元とを接続した通信ネットワークシステムを示す構成図である。
【図２】図１に示した通信ネットワークの処理機能を説明するためのブロック図である。
【図３】基板処理装置から特定データを取得するためのツールの一例を示し、図３（a）は特定データの一例として前記データ管理手段に格納されたログを取得するためのログ取得プログラムファイルの構成図、図３（b）はログ取得プログラムファイルが用いる取得情報定義ファイルの構成図である。
【図４】ログ取得プログラムファイルの動作を示すログ取得プログラムファイルの動作図である。
【図５】ログ取得プログラムの実行の際、表示手段としてのモニタに操作画面として表示するログ取得画面の一例を示す図である。
【図６】エンドユーザ側の基板処理装置に障害が発生した場合の対応についてのフロー図である。
【符号の説明】
【００３１】
２  基板処理装置
３  集中管理装置
４  第一の操作装置
５  ローカルネットワーク
６  公衆ネットワーク
８  第二の操作装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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