(57)【要約】【課題】仕掛かり在庫を抑制することにより、液晶パネル等の電子機器の製造コストを抑制する。【解決手段】複数の液晶表示パネル８を並行してエージング検査するためのエージング装置１は複数のパネル載置室５を備えた恒温槽２を有する。複数のパネル載置室５のそれぞれに対して個別に開閉可能な複数の開閉扉６が設けられている。【選択図】図１
2007017631.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電子機器を並行して高温耐久性検査するためのエージング装置であって、
槽壁面に沿って配置された複数の電子機器載置室を備えた恒温槽を有し、
上記槽壁面には、上記複数の電子機器載置室のそれぞれに対して個別に開閉可能な複数の開閉扉が設けられているエージング装置。
【請求項２】
請求項１に記載されたエージング装置において、
上記電子機器載置室は検査対象となる電子機器１台毎に設けられているエージング装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載されたエージング装置において、
上記複数の電子機器載置室のそれぞれには、検査対象となる１台の電子機器がセットされるパレットを固定するための固定部材が設けられているエージング装置。
【請求項４】
請求項３に記載されたエージング装置において、
上記パレットは、該パレットにセットされる電子機器を駆動させるための駆動回路と、該駆動回路が電気的に接続された駆動回路端子とを備え、
上記固定部材は、上記パレットが該固定部材に固定されることにより上記駆動回路端子に電気的に接続されるように構成されている、電源端子を有するエージング装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載されたエージング装置において、
上記複数の電子機器載置室は上記恒温槽の外部から視認可能に構成されているエージング装置。
【請求項６】
請求項５に記載されたエージング装置において、
上記恒温槽には上記複数の電子機器載置室内部を視認可能なように観察窓が設けられているエージング装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載されたエージング装置において、
上記複数の電子機器載置室のそれぞれに対して、検査対象となる電子機器を上記開閉扉を経由して搬出入するための搬送手段をさらに有するエージング装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載されたエージング装置において、
上記恒温槽内の雰囲気ガスを加熱循環させるための加熱器をさらに有し、
上記複数の電子機器載置室は相互に連通されているエージング装置。
【請求項９】
請求項８に記載されたエージング装置において、
上記加熱器は、上記恒温槽内の雰囲気ガスを吸入して加熱すると共に、該吸入加熱された雰囲気ガスを該恒温槽内上方から下方に向けて吐出するように構成されているエージング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はエージング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルに代表される電子機器の高温耐久性検査（エージング検査）を行うための種々のエージング装置が提案されている（例えば、特許文献１〜４）。
【０００３】
図５は従来のエージング装置１００の構成を表す斜視図である。
【０００４】
エージング装置１００は、恒温槽１０１と、恒温槽１０１内に設けられた、液晶パネル１０２を載置するラック１０３と、ラック１０３に載置された液晶パネル１０２に電力及び駆動信号を入力する駆動回路１０４を有する。恒温槽１０１には加熱ヒーター１０５が接続されており、温度調節可能となっている。
【０００５】
以下、エージング装置１００を用いたエージング検査工程について説明する。まず、複数の液晶パネル１０２をラック１０３に載置する。ラック１０３への載置時に、液晶パネル１０２を駆動回路１０４に接続することにより動作状態とする。載置後、加熱ヒーター１０５を作動させて、所定の期間（例えば６時間）、恒温槽１０１内を所定温度に保持する。尚、恒温槽１０１の側壁には透明な観察窓が設けられており、ラック１０３に載置された液晶パネル１０２は外部から視認可能である。その観察窓より、エージング検査工程中の液晶パネル１０２を目視検査し、輝点不良、黒点不良、点滅不良等の不良の有無を判別する。
【０００６】
所定時間経過後、恒温槽１０１から液晶パネル１０２を取り出し、再度の目視検査で良品と判別されたものと不良と判別されたものとが分別される。
【特許文献１】特開平５−２１８１５８号公報
【特許文献２】特開昭６２−２０４１７３号公報
【特許文献３】特開２０００−９５５１号公報
【特許文献４】特開平９−２８１４６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のエージング装置１００では、複数台の（エージング装置１００では図５に示すように２４台の）液晶パネル１０２がまとめて恒温槽１０１に投入され、所定時間保持される。例えば、エージング検査工程中に不良と判別された液晶パネル１０２が存在した場合であっても、その不良パネルのみを取り出せない。このため、多くの仕掛かり在庫が発生する。従って、液晶パネルの製造コストが上昇するという問題がある。
【０００８】
本発明は、係る点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、仕掛かり在庫を抑制、生産リードタイムを短縮することにより、液晶パネル等の電子機器の在庫リスクを軽減し、製造コストを抑制することができるエージング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るエージング装置は、複数の電子機器（例えば、表示パネル、さらに具体的には、例えば、液晶表示パネル）を並行して高温耐久性検査するためのものである。本発明に係るエージング装置は槽壁面に沿って配置された複数の電子機器載置室を備えた恒温槽を有する。槽壁面には、複数の電子機器載置室のそれぞれに対して個別に開閉可能な複数の開閉扉が設けられている。
【００１０】
本発明に係るエージング装置によれば、複数の電子機器を複数の電子機器載置室に分けて載置することができる。例えば、複数の電子機器をそれぞれ別個の電子機器載置室に載置することができる。また、複数の電子機器載置室のそれぞれに対して設けられた開閉扉は個別に開閉可能であるため、個々の電子機器載置室毎に電子機器を出し入れすることができる。従って、例えば、エージング検査工程途中において、ある電子機器載置室に載置された電子機器が不良と判断された場合はその電子機器載置室に対して設けられた開閉扉を開き、不良と判断された電子機器を取り出すことができる。電子機器が取り出され、空になった電子機器載置室には新たな電子機器を載置し、エージング検査を開始することができる。すなわち、並行してエージング検査される複数の電子機器を個別に扱うことができるため、仕掛かり在庫の量を低減することができる。且つ、仕掛かり在庫の量を削減することができるので、本発明に係るエージング装置を用いることによって、例えば液晶表示パネル等の電子機器の製造コストを抑制することができる。
【００１１】
例えば、電子機器載置室は検査対象となる電子機器数台毎（例えば、２台、３台毎）に設けられていてもよい。その場合であっても、エージング検査工程において、同時に扱われる電子機器の台数を低減することができるため、上述の仕掛かり在庫の量の削減、電子機器の製造コストの抑制といった効果が得られる。しかし、電子機器載置室は検査対象となる電子機器１台毎に設けられていることが好ましい。この場合、電子機器１台毎にエージング検査工程を行うことができるため、効果的に仕掛かり在庫の量を削減することができ、電子機器の製造コストを効果的に抑制することができる。
【００１２】
電子機器載置室に検査対象となる電子機器を積載載置しても良いし、並列に並べて配置しても良い。また、電子機器をパレットにセットして、そのパレットを電子機器載置室に載置固定しても良い。この場合、複数の電子機器載置室のそれぞれに、検査対象となる１台の電子機器がセットされるパレットを固定するための固定部材が設けられていてもよい。
【００１３】
パレットは、パレットにセットされる電子機器を駆動させるための駆動回路と、駆動回路が電気的に接続された駆動回路端子とを備えていてもよい。電子機器がパレットにセットされることにより駆動回路に電子機器が電気的に接続されるようになっていることが好ましい。一方、固定部材には、パレットが固定部材に固定されることにより駆動回路端子に電気的に接続されるように電源端子が接続されていることが好ましい。この場合、電子機器がセットされたパレットが固定部材に固定される（電子機器載置室に載置される）と電子機器が駆動されることとなり、一方、パレットが固定部材から取り外される（電子機器載置室から取り出される）と電子機器の駆動が終了することとなる。すなわち、パレットの搬出入動作により自動的にエージング検査工程が開始・終了される。
【００１４】
本発明に係るエージング装置では、複数の電子機器載置室は恒温槽の外部から視認可能に構成されていることが好ましい。外部から視認可能であれば、エージング検査工程途中においても電子機器の目視検査を行うことができる。このため、不良を早期に発見することができ、不要なエージング検査工程（検査工程途中において既に不良と判別された電子機器のさらなるエージング検査工程）を少なくすることができる。従って、仕掛かり在庫の量を効果的に低減することができる。
【００１５】
また、例えば、検査対象となる電子機器が表示パネルである場合、電子機器載置室が外部から視認可能であれば、点滅不良の発見が容易となる。ここで、「点滅不良」とはある画素又は画面全体が点灯したり、非点灯となったりする不良のことをいう。例えば、高温保持終了後に目視検査した場合、目視検査時にたまたま点滅状態にある点滅不良の表示パネルは検出されない。エージング検査工程途中において目視検査をすることにより、点滅不良を容易に発見することができる。
【００１６】
電子機器載置室を外部から視認可能にする手段は特に限定されないが、例えば、複数の電子機器載置室のそれぞれに監視カメラ等を設けてもよいし、恒温槽の側壁に透明の観察窓を設けてもよい。観察窓は、複数の電子機器載置室のそれぞれに対して個別に設けてもよい。また、複数の電子機器載置室のすべてを視認できるようなひとつの観察窓を設けてもよい。
【００１７】
本発明に係るエージング装置は、複数の電子機器載置室のそれぞれに対して、検査対象となる電子機器を開閉扉を経由して搬出入するための搬送手段（例えばリフタ等）をさらに有していてもよい。搬送手段を設けることによって、電子機器の搬出入を自動的に行うことができる。
【００１８】
本発明に係るエージング装置は、恒温槽内の雰囲気ガスを加熱循環させるための加熱器をさらに有し、複数の電子機器載置室は相互に連通されていてもよい。加熱器は、恒温槽内の雰囲気ガスを吸入して加熱すると共に、吸入加熱された雰囲気ガスを恒温槽内上方から下方に向けて吐出するように構成されていることが好ましい。恒温槽内上方から下方にかけて吸入加熱された雰囲気ガスを吐出することによって、恒温槽内の雰囲気ガスを強制的に循環させ、最小限の熱量で効率的に恒温槽内の温度ムラを低減することができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明によれば、仕掛かり在庫の量を低減することができるので、電子機器の製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２１】
（実施形態１）
図１は実施形態１に係るエージング装置１を正面から見た平面図である。
【００２２】
図２は実施形態１に係るエージング装置１を上面から見た平面図である。
【００２３】
図３は図１中の切り出し線ＩＩＩ−ＩＩＩで切り出された部分の断面図である。
【００２４】
まず、図面を参照しながら本実施形態１に係るエージング装置１の構造について詳細に説明する。本実施形態１に係るエージング装置１は、恒温槽２と、加熱器３と、加熱器３と恒温槽２とを連通させるダクト７と、恒温槽２の周辺に設けられた台１２とを備えている。恒温槽２は槽内の温度を一定に保持するためのハウジングとしての機能を有する。恒温槽２の内部は仕切り板４によって、背面側（図２において左側）の槽壁面に沿って複数のパネル載置室５に区分けされている。図２に示すように、背面側（図２において左側）の槽壁面には、複数のパネル載置室５のそれぞれに対して個別に開閉可能な開閉扉６が設けられている。すなわち、複数のパネル載置室５のそれぞれは個別に開閉可能とされている。
【００２５】
開閉扉６及び仕切り板４は、例えば、金属板（例えば、熱伝導率の高いアルミニウム板、銅板、ステンレス板等）、樹脂板（ポリカーボネート板等）、ゴム等の高分子板等で構成することができる。
【００２６】
恒温槽２の前面側槽壁面（図２において右側の槽壁面）は、恒温槽２の内部に設けられた複数のパネル載置室５のそれぞれがエージング装置１の外部から視認可能なように、透明の観察窓２ａとされている。観察窓２ａは例えばガラスや光透過性のプラスティック等により構成することができる。
【００２７】
恒温槽２はダクト７により加熱器３に接続されている。加熱器３は吸入ダクト７ｂから吸入した恒温槽２内の雰囲気ガスを所定の温度（例えば７５度）に加熱し、この吸入加熱された雰囲気ガスを送入ダクト７ａから恒温槽２内へ送入する機能を有する。すなわち、加熱器３は恒温槽２内の雰囲気ガスを循環加熱させることにより、恒温槽２内の雰囲気の温度を所定の温度帯に保持する機能を有する。尚、仕切り板４と観察窓２ａとは離間するように設けられている。言い換えれば、パネル載置室５の前面側には空間が設けられており、複数のパネル載置室５のそれぞれはその空間を介して連通されている。このため、図３に示すように、加熱器３により加熱され、送入ダクト７ａを経由して恒温槽２に送入された雰囲気ガスはその空間を経由して、各パネル載置室５に送入される。このように、前面側から加熱された雰囲気ガスを送入し、背面側に液晶表示パネル８の出し入れを行うための開閉扉６を設けることによって、パネル載置室５の前面側に立てて載置される液晶表示パネル８のパネル表面温度を均一に保持しやすくなる。
【００２８】
尚、本実施形態１では、送入ダクト７ａは恒温槽２の上面に接続されており、一方、吸入ダクト７ｂは恒温槽２の底面に接続されている。言い換えれば、吸入加熱された雰囲気ガスは恒温槽２内の上方から下方に向けて吐出される。
また、恒温槽２内の温度が、所定の温度を超えた場合、恒温槽２の底面に設置された排気装置１３（例えば、排気ファン等）により、恒温槽２内の雰囲気ガスが排気され、恒温槽２内の温度が所定の温度にまで下げられる。加えて、メンテナンス時、或いは緊急時には、加熱器３を停止させるとともに、この排気装置１３により恒温槽２内の温度を短時間で室温まで下げることができる。
このように恒温槽２内の雰囲気ガスを強制的に循環させることによって、通常、恒温槽２の上部が所定の温度以上に上昇するのを抑制するとともに、恒温槽２内の温度ムラを少なくすることができる。
【００２９】
各パネル載置室５にはエージング検査の対象となる液晶表示パネル８がセットされたパレット９が固定される固定部材１０が設けられている。
【００３０】
図４は固定部材１０とパレット９との固定状態を説明するための模式斜視図である。
【００３１】
本実施形態１では、固定部材１０は対をなす、それぞれ断面「コ」の字状の、矩形溝１０ａを有する棒状部材により構成されており、それら棒状部材はそれぞれパネル載置室５の両側面に対向するように固定されている。パレット９が送入容易になる観点から、固定部材１０の矩形溝１０ａはパレット９が送入される側から溝幅Ｗが徐々に狭くなるようにスロープ状に形成されていることが好ましい。
【００３２】
パレット９は、図４に示すように、板状のパレット本体９ａと、パネル取り付け部材９ｂと、取り付けられる液晶表示パネル８の駆動回路９ｃとを有する。液晶表示パネル８はパネル取り付け部材９ｂに垂直に立つように、固定部材１０に固定された際に、液晶表示パネル８の表示面が観察窓２ａ側を向くようにセットされる。駆動回路９ｃは、パネル取り付け部材９ｂと接続されており、パネル取り付け部材９ｂに液晶表示パネル８が取り付けられると、その液晶表示パネル８と駆動回路９ｃとが電気的に接続される仕組みとなっている。
【００３３】
駆動回路９ｃはパレット本体９ａの両側面にそれぞれ設けられた駆動回路端子９ｄに電気的に接続されている。一方、固定部材１０の矩形溝１０ａの両内部側面にはそれぞれ駆動回路端子９ｄに対応するように電源端子１０ｂが設けられている。このため、パレット９が固定部材１０に固定されると、駆動回路端子９ｄが電源端子１０ｂに接続され、液晶表示パネル８が自動的に駆動状態となる。従って、液晶表示パネル８をセットしたパレット９をパネル載置室５に載置することにより自動的に検査が開始される。一方、固定部材１０からパレット９が取り出されると共に、駆動回路端子９ｄと電源端子１０ｂとの接続が解除されるため、パネル載置室５からパレット９を取り出すことにより自動的に検査が終了される。
【００３４】
図２及び図３に示すように、恒温槽２の背面側（図２において左側）には、パネル載置室５にパレット９を搬出入するためのリフタ１１が設けられている。リフタ１１は、パレット９を支持する支持部材１１ａと支持部材１１ａを上下左右に変位させるための移動手段１１ｂ及び１１ｃが設けられている。移動手段１１ｂは支持部材１１ａをエージング装置１に対して左右に所定量だけ変位させるものであり、一方、移動手段１１ｃは支持部材１１ａをエージング装置１に対して上下に所定量だけ変位させるものである。移動手段１１ｂ、１１ｃを用いることによって支持部材１１ａ及び支持部材１１ａに支持された液晶表示パネル８を自由に、任意の位置に変位させることができる。尚、移動手段１１ｂ、１１ｃは、例えばサーボモーター等により構成することができる。
【００３５】
また、リフタ１１には支持部材１１ａをエージング装置１奥行き方向に変位させることにより、恒温槽２の開閉扉６を経由して液晶表示パネル８をパネル載置室５に搬出入するためのシリンダ１１ｄが設けられている。シリンダ１１ｄは支持部材１１ａに接続されており、支持部材１１ａをエージング装置１奥行き方向に変位させる機能を有する。シリンダ１１ｄはエアーシリンダやオイルシリンダ等であってもよい。
【００３６】
台１２は、次に検査される液晶表示パネル８を準備する台であると共に、高温保持された液晶表示パネル８を再度点灯検査するための台である。
【００３７】
次に、本実施形態１に係るエージング装置１を用いたエージング検査工程について詳細に説明する。まず、台１２の上に準備された液晶表示パネル８をリフタ１１の支持部材１１ａによって捕捉する。リフタ１１に設けられた移動手段１１ｂ、１１ｃを動作させることにより、液晶表示パネル８を捕捉した支持部材１１ａを所望のパネル載置室５の手前に移動させる。次に、シリンダ１１ｄを動作させることにより、開閉扉６を経由してパネル載置室５内に液晶表示パネル８及び支持部材１１ａを移動させる。液晶表示パネル８は固定部材１０の矩形溝１０ａ内に送入され、固定部材１０によって固定される。リフタ１１の位置決め精度を考慮して、矩形溝１０ａをパレット９送入側の溝幅Ｗをパレット９の厚さよりも若干大きくしておき、溝幅Ｗがパレット９送入側から徐々に狭くなるように固定部材１０を形成しておくことが好ましい。
【００３８】
液晶表示パネル８を固定部材１０に固定後、シリンダ１１ｄを再び動作させ、支持部材１１ａをパネル載置室５から取り出す。これにより、パネル載置室５への液晶表示パネル８の搬入を完了する。尚、固定部材１０に固定されることで、駆動回路端子９ｄと電源端子１０ｂとが電気的に接続されるため、液晶表示パネル８は点灯（駆動）状態となる。
【００３９】
搬入され、駆動状態となった液晶表示パネル８は加熱器３の機能により（例えば７５度に）加温された恒温槽２の内部で所定時間（例えば１２時間）放置される。放置中、常に、又は所定間隔おきに、観察窓２ａから液晶表示パネル８の点灯状態（駆動状態）を目視検査する。
【００４０】
その目視検査により不良が発見されると、リフタ１１を不良が発見されたパネル載置室５の手前に移動させ、シリンダ１１ｄを動作させることにより支持部材１１ａで不良と判断された液晶表示パネル８をパネル載置室５から取り出す。抜き出された液晶表示パネル８は、リフタ１１によって台１２に運ばれ、廃棄、手直し等される。
【００４１】
不良と判断され廃棄された液晶表示パネル８が廃棄等されると空のパネル載置室５ができる。このため、リフタ１１により台１２に準備された新たな液晶表示パネル８をその空となったパネル載置室５に搬入し、エージング検査を行う。
【００４２】
検査時間内に不良と判断されなかった場合は、検査時間終了後、リフタ１１を動作させることによって液晶表示パネル８をパネル載置室５から取り出し、台１２に運ぶ。台１２において、運ばれた液晶表示パネル８は再度点灯検査され、良品と判断されれば次の工程に運ばれる。
【００４３】
以上のように、本実施形態１に係るエージング装置１では、個々のパネル載置室５毎に液晶表示パネル８を出し入れすることができる。従って、上述のようにエージング検査工程中において不良と判断された場合には即時取り出され、空いたパネル載置室５は新たな液晶表示パネル８のエージング検査に使用される。従って、不要なエージング工程を少なくすることができ、また、仕掛かり在庫の量を低減することができる。その結果、液晶表示パネル８の製造コストを抑制することができる。
【００４４】
エージング装置１では、パネル載置室５の内部を視認することができる観察窓２ａが設けられている。このため、エージング工程中においても液晶表示パネル８を目視検査することができる。このため、不良を早期に発見することができ、不要なエージング検査工程を少なくすることができる。従って、仕掛かり在庫の量を効果的に低減することができる。また、例えば、加熱処理後のみに目視検査する場合は、点滅不良を検出することができない場合があるが、このように観察窓２ａを通してエージング中の液晶表示パネル８を目視観察することにより点滅不良を容易且つ確実に検出することができる。
【００４５】
以上説明したエージング装置１は、例えば携帯電話用等の比較的小型の液晶表示パネルから、例えば１００インチといった大型テレビ用等の比較的大型の液晶表示パネルまで種々の形状寸法の液晶表示パネルに対して使用することができる。
【００４６】
（その他の実施形態）上記実施形態１では、液晶表示パネルのエージング検査を行うためのエージング装置１を例示して本発明を説明したが、本発明は液晶表示パネルのみならず、エレクトロルミネッセント表示パネル等の各種表示パネル等を含む電子機器一般のエージング検査に適用されるものである。
【００４７】
実施形態１では、パレット９に１台の液晶表示パネル８がセットされ、パネル載置室５毎に１台の液晶表示パネル８が載置される例を示したが、パレット９は数台（例えば、２、３台）の液晶表示パネルがセットされるものであってもよい。パネル載置室５に数台（例えば、２、３台）の液晶表示パネルが載置されるものであっても良い。その場合であっても、エージング検査工程において、同時に扱われる電子機器の台数を低減することができるため、上述の仕掛かり在庫の量の削減、電子機器の製造コストの抑制といった効果が得られる。
【００４８】
実施形態１では、パネル載置室５の前面（仕切り板４と観察窓２ａとの間）に空間が設けられることにより、複数のパネル載置室５のそれぞれが連通されている。しかし、本発明はこの構成に限定されるものではなく、例えば、仕切り板４をパンチングメタル板（複数の貫通孔が形成された板）によって構成することにより複数のパネル載置室５のそれぞれを連通させさせてもよい。
【００４９】
実施形態１では、エージング装置１には加熱器３が１台設けられているが、加熱器の性能、恒温槽２の形状寸法によっては加熱器を複数台（例えば、図１において左右に２台）設けてもよい。また、加熱器３から延びるダクト７は数列おき（具体的には２列おき）に設けられているが、ダクト７を各列に設けてもよい。
【００５０】
実施形態１では、開閉扉は２枚の板により構成される所謂観音開き状の扉であるが、１枚の板により構成される片開きの扉であってもよい。
【００５１】
実施形態１では、恒温槽２内の雰囲気の温度調節する手段として加熱器３が設けられているが、例えば、仕切り板４に加熱手段（例えば電熱線、具体的には例えばニクロム線等）を設けて、仕切り板４を直接加熱することにより恒温槽２内の雰囲気の温度調整を行ってもよい。また、ダクト７の恒温槽２側の送入口、排出口にさらにファンを設けてもよい。そうすることによって、恒温槽２内の雰囲気ガスの循環を促進することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
以上説明したように、本発明に係るエージング装置は、液晶パネル等の電子機器の製造コストを抑制することができるため、液晶表示パネル、有機・無機エレクトロルミネッセンス表示パネル、プラズマ表示パネル、フィールドエミッション表示パネル等の表示パネルに代表される電子機器一般の製造に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】実施形態１に係るエージング装置１の構成を表す正面平面図である。
【図２】実施形態１に係るエージング装置１を上面から見た平面図である。
【図３】図１中の切り出し線ＩＩＩ−ＩＩＩで切り出された部分の断面図である。
【図４】固定部材１０とパレット９との固定状態を説明するための模式斜視図である。
【図５】従来のエージング装置１００の構成を表す斜視図である。
【符号の説明】
【００５４】
１      エージング装置
２      恒温槽
２ａ    観察窓
３      加熱器
４      仕切り板
５      パネル載置室
６      開閉扉
７      ダクト
７ａ    送入ダクト
７ｂ    吸入ダクト
８      液晶表示パネル
９      パレット
９ａ    パレット本体
９ｂ    部材
９ｃ    駆動回路
９ｄ    駆動回路端子
１０      固定部材
１０ａ    矩形溝
１０ｂ    電源端子
１１      リフタ
１１ａ    支持部材
１１ｂ、１１ｃ  移動手段
１１ｄ    シリンダ
１２      台
１３      排気装置
【図１】
2007017631.tif 000003
【図２】
2007017631.tif 000004
【図３】
2007017631.tif 000005
【図４】
2007017631.tif 000006
【図５】
2007017631.tif 000007