(57)【要約】【課題】電子顕微鏡内部に光学顕微鏡を組み込んだ装置を用いなくても既存の電子顕微鏡で、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を迅速に探索・観察することが可能なマスク及びそれを用いた方法を提供すること。【解決手段】光学顕微鏡により観察した試料の特定部位が、少なくとも表面が導電性材料からなるマスク、あるいは、厚さ０．１８ｍｍ以下の非導電性材料からなるマスクに設けた穴の中に入るように、前記光学顕微鏡の試料台上で前記マスクを前記試料上に載置することにより、前記マスクの穴から前記試料の特定部位を電子顕微鏡で迅速に探索することができる。これにより、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を迅速に観察することが可能となる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で観察する試料解析方法であって、少なくとも表面が導電性材料からなるマスクに設けられた穴の中に前記特定部位が入るように、前記光学顕微鏡の試料台上で前記マスクを前記試料の上に載置する工程と、前記マスクの穴から前記特定部位を前記電子顕微鏡により探索する工程と、を含むことを特徴とする試料解析方法。
【請求項２】
前記マスクを前記試料の上に載置した後、前記導電性材料からなる前記マスクの表面と前記試料とをアースする工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の試料解析方法。
【請求項３】
前記特定部位を前記電子顕微鏡により探索した後、前記試料上から前記マスクを除去する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の試料解析方法。
【請求項４】
前記導電性材料が、金、金パラジウム、白金、白金パラジウム、カーボン、銅、又はアルミニウムであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の試料解析方法。
【請求項５】
前記穴の大きさが、直径１〜６ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の試料解析方法。
【請求項６】
光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で観察する試料解析方法であって、厚さ０．１８ｍｍ以下の非導電性材料からなるマスクに設けられた穴の中に前記特定部位が入るように、前記光学顕微鏡の試料台上で前記マスクを前記試料の上に載置する工程と、前記マスクの穴から前記特定部位を前記電子顕微鏡により探索する工程と、を含むことを特徴とする試料解析方法。
【請求項７】
前記非導電性材料が、ポリプロピレン、セロハン、ビニール、又はセルロースであることを特徴とする請求項６に記載の試料解析方法。
【請求項８】
前記穴の大きさが、直径２〜６ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項６又は７に記載の試料解析方法。
【請求項９】
光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で探索するためのマスクであって、少なくとも表面が導電性材料からなり、穴が設けられていることを特徴とするマスク。
【請求項１０】
前記導電性材料が、金、金パラジウム、白金、白金パラジウム、カーボン、銅、又はアルミニウムであることを特徴とする請求項９に記載のマスク。
【請求項１１】
前記穴の大きさが、直径１〜６ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項９又は１０に記載のマスク。
【請求項１２】
光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で探索するためのマスクであって、厚さ０．１８ｍｍ以下の非導電性材料からなり、穴が設けられていることを特徴とするマスク。
【請求項１３】
前記非導電性材料が、ポリプロピレン、セロハン、ビニール、又はセルロースであることを特徴とする請求項１２に記載のマスク。
【請求項１４】
前記穴の大きさが、直径２〜６ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項１２又は１３に記載のマスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で迅速に解析することができる試料解析方法、及びその方法に用いるマスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位の電子顕微鏡像を得るために、試料を電子顕微鏡で観察しながら、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を探索する方法が行われていた。
【０００３】
しかしながら、上述の方法では光学顕微鏡で観察した試料の特定部位の探索が非常に困難で時間を要するという問題がある。そのため、電子顕微鏡内部に光学顕微鏡を組み込み、低倍率の光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を高倍率の電子顕微鏡で観察できる装置（例えば、特許文献１参照）が開発されている。
【特許文献１】特開平１０−３８７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上述のような電子顕微鏡内部に光学顕微鏡を組み込んだ装置を用いなくても既存の電子顕微鏡で、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を迅速に探索・解析することが可能なマスク及びそれを用いた方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意努力した結果、電子顕微鏡により探索する範囲を制限するために穴を設けた非導電性のポリプロピレン製テープを、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位が前記穴から見えるように、試料上に貼り付けたところ、前記穴から観察される試料表面の電子顕微鏡像が不鮮明であり、前記特定部位を探索することができなかったが、同様に穴を設けた導電性の銅板、若しくはアルミ板、又は、アルミ箔を貼り付けたフィルム、又は、金を蒸着したセルロースフィルムを試料上に載置したところ、前記穴から観察される試料表面の電子顕微鏡像に影響がなく、穴を設けた導電性の銅板、若しくはアルミ板、又は、アルミ箔を貼り付けたフィルム、又は、金を蒸着したセルロースフィルムを用いない場合に比べて前記特定部位を迅速に探索できることを見出した。
【０００６】
また、本発明者らは、厚さ０．２７ｍｍの非導電性のポリプロピレン製テープをマスクとして用いた場合には、直径２ｍｍの穴では試料表面の観察を電子顕微鏡で行うことはできなかったが、厚さ０．１８ｍｍの非導電性のポリプロピレン製テープ、厚さ０．０６ｍｍの非導電性のセルロースフィルムなどをマスクとして用いた場合には、直径２ｍｍの穴であっても試料表面の観察を電子顕微鏡で行うことができ、マスクを用いない場合に比べて光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を迅速に探索できることを見出した。このようにして、本発明者らは本発明を完成するに至った。
【０００７】
すなわち、本発明に係る試料解析方法は、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で観察する方法であって、少なくとも表面が導電性材料からなるマスクに設けられた穴の中に前記特定部位が入るように、前記光学顕微鏡の試料台上で前記マスクを前記試料の上に載置する工程と、前記マスクの穴から前記特定部位を前記電子顕微鏡により探索する工程と、を含む。なお、本発明に係る試料解析方法は、前記マスクを前記試料の上に載置した後、前記導電性材料からなる前記マスクの表面と前記試料とをアースする工程をさらに含むこととしてもよい。また、前記特定部位を前記電子顕微鏡により探索した後、前記試料上から前記マスクを除去する工程をさらに含むこととしてもよい。
【０００８】
また、本発明に係る試料解析方法は、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で観察する方法であって、厚さ０．１８ｍｍ以下の非導電性材料からなるマスクに設けられた穴の中に前記特定部位が入るように、前記光学顕微鏡の試料台上で前記マスクを前記試料の上に載置する工程と、前記マスクの穴から前記特定部位を前記電子顕微鏡により探索する工程と、を含む。
【０００９】
本発明に係るマスクは、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で探索するためのマスクであって、少なくとも表面が導電性材料からなり、穴が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るマスクは、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で探索するためのマスクであって、厚さ０．１８ｍｍ以下の非導電性材料からなり、穴が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
なお、上述の導電性材料は、例えば、金、金パラジウム、白金、白金パラジウム、カーボン、銅、アルミニウムなどの物質である。少なくとも表面が導電性材料からなるマスクを用いる場合には、前記穴の大きさは直径１〜６ｍｍの範囲内であることが望ましい。
【００１２】
また、上述の非導電性材料は、例えば、ポリプロピレン、セロハン、ビニール、セルロースなどである。非導電性材料からなるマスクを用いる場合には、前記穴の大きさは直径２〜６ｍｍの範囲内であることが望ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、電子顕微鏡内部に光学顕微鏡を組み込んだ装置を用いなくても既存の電子顕微鏡で、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を迅速に探索・観察することが可能なマスク及びそれを用いた方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
上記知見に基づき完成した本発明を実施するための形態を、実施例を挙げながら詳細に説明する。
【００１５】
＝＝本発明に係るマスク＝＝
上述のように、穴を設けた非導電性のポリプロピレン製テープを用いた場合には、穴から観察される試料表面の電子顕微鏡像が不鮮明であり、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を探索することができないが、穴を設けた導電性の銅板、若しくはアルミ板、又は、アルミ箔を貼り付けたフィルム、又は、金を蒸着したセルロースフィルムを用いると、穴から観察される試料表面の電子顕微鏡像に影響がなく、穴を設けた導電性の銅板、若しくはアルミ板、又は、アルミ箔を貼り付けたフィルム、又は、金を蒸着したセルロースフィルムを用いない場合に比べて前記特定部位を迅速に探索できることが明らかになった。このことから、少なくとも表面が導電性材料からなり、穴が設けられたマスクを用いることにより、試料表面のチャージアップによる電子顕微鏡像の劣化を防止し、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を迅速に探索することができ、当該特定部位を迅速に観察することが可能になることが明らかになった。
【００１６】
ここで、上述のマスクとしては、少なくとも表面が導電性材料からなるものであれば特に制限されるものではなく、導電性材料によって表面がコーティングされた基材であってもよいし、それ自体が導電性材料からなるものであってもよい。前記導電性材料としては、例えば、銅、銀、金、アルミニウム等の導電性金属、金パラジウム、白金パラジウムなどの導電性合金、ポリアニリン、ポリチアジル、ポリアセチレン、ポリピロール、ポリアセン、ポリ 3-アルキルチオフェン等の導電性高分子、ITO（Indium Tin Oxide）等の導電性セラミックス材料、カーボン、カーボンブラックなどを用いることができるが、導電性が高く、非導電性皮膜（金属酸化物）が発生しにくい金属（例えば、金、白金など）を用いることが好ましい。
【００１７】
前記基材としては、例えば、紙、布、プラスチックプレート、ゴム、ガラス、木板、フィルムなどを用いることができる。なお、導電性材料による基材の表面のコーティングは、例えば、蒸着法、スパッタリング法などの公知の方法により行うことができる。
【００１８】
上述のマスクに設ける穴の大きさとしては、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を覆うことができる大きさの微小穴であれば特に制限されるものではなく、直径１〜６ｍｍのものであることが望ましい。これは、前記マスクに設ける穴の大きさが直径６ｍｍ以下だと光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で迅速に探索することができるが、穴の大きさが直径１ｍｍより小さくなると、マスクに設けられた穴の中に光学顕微鏡で観察した試料の特定部位が入るように、光学顕微鏡の試料台上でマスクを試料の上に載置する作業が困難になるからである。なお、穴の大きさが大きい場合には、導電性材料からなる針の先端を光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を指示すように、前記針をマスクに取り付けることとしてもよい。これにより、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で迅速に探索することができるばかりではなく、広範囲の観察が可能で、電子顕微鏡での詳細観察前にマスクを除去する必要がなくなる。上述のマスクの厚さとしては、１．５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１９】
また、上述のように、厚さ０．２７ｍｍの非導電性のセロハンテープをマスクとして用いた場合には、直径２ｍｍの穴では試料表面の観察を電子顕微鏡で行うことはできなかったが、厚さ０．１８ｍｍの非導電性のセロハンテープ、厚さ０．０６ｍｍの非導電性のセルロースフィルムなどをマスクとして用いた場合には、直径２ｍｍの穴であっても試料表面の観察を電子顕微鏡で行うことができ、マスクを用いない場合に比べて光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を迅速に探索できることが明らかになった。このことから、厚さが０．１８ｍｍ以下の非導電性材料からなるマスクを用いることにより、穴の大きさが直径２ｍｍであっても試料表面を電子顕微鏡で観察することができ、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を迅速に探索・観察することが可能になることが明らかになった。
【００２０】
上述の非導電性材料としては、例えば、ポリプロピレン、セロハン、ビニール、セルロース、ガラス、プラスチック、ゴムなどの既存の材料を用いることができる。なお、上述の非導電性材料からなるマスクに設ける穴の大きさとしては、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を覆うことができる大きさの微小穴であれば特に制限されるものではなく、直径２〜６ｍｍのものであることが望ましい。このように、穴の大きさを直径２〜６ｍｍの範囲内にすることにより、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で迅速に探索することが可能となる。
【００２１】
＝＝本発明に係るマスクの利用＝＝
次に、本実施の一形態として、上述のマスクを用いた試料解析方法について説明する。  
本発明に係る試料解析方法は、光学顕微鏡により観察していた試料の特定部位を電子顕微鏡で探索して観察したい場合に、前記特定部位が上述のマスクの穴の中に入るように、光学顕微鏡の試料台上で上述のマスクを試料の上に載置する工程を含む。これにより、試料の特定部位を上述のマスクの中から電子顕微鏡で探索すればよいので、高倍率の電子顕微鏡で前記特定部位を迅速に探索して観察することができるようになる。また、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で迅速に探索するための目印を付することができない試料（例えば、生体試料、フィルムなど）であっても、本発明の方法により光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で迅速に探索して観察することが可能となる。
【００２２】
また、少なくとも表面が導電性材料からなるマスクを試料の上に載置させた場合には、導電性材料からなるマスクの表面及び試料（それ自体が導電性のもの、又は導電性材料をコーティングした試料）を、例えば、電子顕微鏡のステージ部などの金属部にそれぞれアースしたり、導電性材料からなるマスクの表面及び試料を固定手段（例えば、導電性のペースト、テープ、クリップなど）で固定し、マスクの表面又は試料を、例えば、電子顕微鏡のステージ部などの金属部にアースしたりしてもよい。これにより、試料表面のチャージアップによる電子顕微鏡像の劣化を防止することができるようになる。なお、前記固定手段が導電性材料からなる場合には、固定手段を、例えば、電子顕微鏡のステージ部などの金属部にアースしてもよい。
【００２３】
さらに、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡で探索した後、試料上に載置したマスクを除去して観察することとしてもよい。これにより、観察像（電子顕微鏡像）をよりクリアにすることができるようになる。
【実施例】
【００２４】
以下に本発明を実施例によって具体的に説明する。なお、これらの実施例は本発明を説明するためのものであって、本発明の範囲を限定するものではない。
【００２５】
［実施例１］
光学顕微鏡により観察した試料の特定部位が、表１に示すような各マスクにそれぞれ設けられた穴の中に入るように、光学顕微鏡の試料台上でマスクを試料上にのせた後、電子顕微鏡のステージ部にセットして、光学顕微鏡により観察した試料の特定部位を電子顕微鏡（５００又は１０００倍）によりマスクの穴から探索し、組織観察を行った。その結果を図１〜５にそれぞれ示す。なお、表１中の「金を蒸着したセルロースフィルム」は、ＩＢ−３型イオンコーター（株式会社エイコー・エンジニアリング製）を用いて、真空中で、金属組織転写に用いられるスンプ法において使用されるアセチルセルロース製レプリカフィルム（ポニー工業株式会社製）に金を蒸着することにより製造した。また、表１中の「アルミ箔を貼り付けたフィルム」は、オリエンテッドポリプロピレン製粘着テープ（日東電工株式会社製）に、厚さ１２μｍのアルミホイル（東洋アルミホイルプロダクツ株式会社製）を貼り付けることにより製造した。
【００２６】
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【００２７】
図１〜５に示すように、各マスクを用いても電子顕微鏡により穴から試料表面を問題なく観察できることがわかった。また、各マスクを用いることにより、光学顕微鏡で観察した試料の特定部位を電子顕微鏡により迅速に探索することができた。
【００２８】
［実施例２］
次に、直径２ｍｍの穴を設けた、金を蒸着したセルロースフィルム又はセロハンテープをマスクとして用い、マスクの厚さが穴から観察される試料表面の電子顕微鏡像に与える影響を調べた。
【００２９】
試料に、０．８、１．５、３．１、若しくは５ｍｍの厚さの金を蒸着したセルロースフィルムを載置し、又は、０．０９、０．１８、若しくは０．２７ｍｍの厚さのポリプロピレン製テープを貼り付け、電子顕微鏡のステージ部にセットして１０００倍で組織観察した。その結果を図６及び図７に示す。
【００３０】
図６に示すように、金を蒸着したセルロースフィルムをマスクとして用いた場合には、厚さが１．５ｍｍ以下であれば穴の大きさが直径２ｍｍであっても試料表面を穴から電子顕微鏡で観察することができるが、厚さが３．１ｍｍ以上だと試料表面を穴から電子顕微鏡で観察することができないことが明らかになった。
【００３１】
また、図７に示すように、ポリプロピレン製テープをマスクとして用いた場合には、厚さが０．１８ｍｍ以下であれば穴の大きさが直径２ｍｍであっても試料表面を穴から電子顕微鏡で観察することができるが、厚さが０．２７ｍｍ以上だと試料表面を穴から電子顕微鏡で観察することができないことが明らかになった。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施例において、マスクとしてセルロースフィルムを用いて試料に載置し、マスクに設けた穴から電子顕微鏡で試料表面を観察した結果を示す図である。なお、図１Ａは５００倍で、図１Ｂは１０００倍でそれぞれ観察した結果を示す図である。
【図２】本発明の一実施例において、マスクとして金を蒸着したセルロースフィルムを用いて試料に載置し、マスクに設けた穴から電子顕微鏡で試料表面を観察した結果を示す図である。なお、図２Ａは５００倍で、図２Ｂは１０００倍でそれぞれ観察した結果を示す図である。
【図３】本発明の一実施例において、マスクとして銅板を用いて試料に載置し、マスクに設けた穴から電子顕微鏡で試料表面を観察した結果を示す図である。なお、図３Ａは５００倍で、図３Ｂは１０００倍でそれぞれ観察した結果を示す図である。
【図４】本発明の一実施例において、マスクとしてアルミ板を用いて試料に載置し、マスクに設けた穴から電子顕微鏡で試料表面を観察した結果を示す図である。なお、図４Ａは５００倍で、図４Ｂは１０００倍でそれぞれ観察した結果を示す図である。
【図５】本発明の一実施例において、マスクとしてアルミ箔を貼り付けたフィルムを用いて試料に載置し、マスクに設けた穴から電子顕微鏡で試料表面を観察した結果を示す図である。なお、図５Ａは５００倍で、図５Ｂは１０００倍でそれぞれ観察した結果を示す図である。
【図６】本発明の一実施例において、直径２ｍｍの穴を設けた、金を蒸着したセルロースフィルムをマスクとして用い、マスクの厚さが当該マスクに設けた穴から電子顕微鏡で試料表面の電子顕微鏡像に与える影響を調べた結果を示す図である。
【図７】本発明の一実施例において、直径２ｍｍの穴を設けたポリプロピレン製テープをマスクとして用い、マスクの厚さが当該マスクに設けた穴から電子顕微鏡で試料表面の電子顕微鏡像に与える影響を調べた結果を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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