(57)【要約】【課題】  封止空間内に所望の形状および厚みの粘性吸湿部材を適切に設けることができ、封止空間内に曝される粘性吸湿部材の表面積のばらつきを低減できる。【解決手段】  本発明に係る有機ＥＬ表示装置の製造方法は、基板、対向基板、両基板間の封止空間内に形成された有機ＥＬ素子とを有する製造方法であり、所定領域の開口３００ａを有するメタルマスク３００を対向基板１０６上に配置し、粘性吸湿部材１０７を開口３００ａ内に塗布し、塗布された粘性吸湿部材１０７を押圧して、その壁の内側で広げ、メタルマスク３００を対向基板１０６上から外し、粘性吸湿部材１０７が封止空間内に配置されるように、両基板を接着剤によって接着するものである。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と、第２の基板と、上記第１の基板と上記第２の基板との間の封止空間内に形成された素子とを有する光学装置の製造方法であって、
上記第２の基板表面の所定領域を包囲する壁を上記第２の基板上に設けるステップと、
粘性吸湿部材を上記第２の基板上の上記壁の内側に塗布し、その塗布された粘性吸湿部材を押圧して、その壁の内側で広げるステップと、
上記粘性吸湿部材が上記封止空間内に配置されるように、上記第１の基板と上記第２の基板を固着するステップと、を含む光学装置の製造方法。
【請求項２】
所定領域の開口を有するマスクを上記第２の基板上に密着して配置して上記第２の基板表面の所定領域を包囲する壁を設け、上記粘性吸湿部材を広げた後に上記マスクを上記第２の基板から取り外す、請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
上記粘性吸湿部材を押圧する押圧部材を上記第２の基板表面に向かう方向に移動させながら上記粘性吸湿部材を押圧して広げる、請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
上記粘性吸湿部材を押圧する押圧部材を上記第２の基板上の表面に沿って移動させながら上記粘性吸湿部材を押圧して広げる請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項５】
上記押圧部材を上記壁の上面に当接させて位置決めし、上記粘性吸湿部材を所定の厚みとなるように押圧して広げる、請求項３または４に記載の製造方法。
【請求項６】
上記押圧部材の上記粘性吸湿部材側の表面には凹凸面が形成されている、請求項３、４または５に記載の製造方法。
【請求項７】
上記マスクは複数の開口を有し、上記粘性吸湿部材は上記第２の基板上の複数箇所に塗布される、請求項２に記載の製造方法。
【請求項８】
上記粘性吸湿部材に対してガスを吹き付けながら、上記マスクを上記第２の基板上から外す、請求項２または７に記載の製造方法。
【請求項９】
上記第２の基板上には段差が形成されており、上記マスクは上記段差形状に合わせた形状に形成されている、請求項２、７または８に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学装置の製造方法に関し、特に、その粘性吸湿部材の塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子は、有機発光性化合物を含む有機ＥＬ層を陽極と陰極との間に挟んだ積層体構造を有している。陽極と陰極の間に電圧を印加すると、陽極からは正孔が、陰極からは電子がそれぞれ有機ＥＬ層に注入されて再結合し、その際に生ずるエネルギーにより有機ＥＬ層に含まれる有機発光性化合物の分子が励起される。このようにして励起された分子が基底状態に失活する過程で発光現象が生じる。有機ＥＬ素子はこの発光現象を利用した自発光素子である。
【０００３】
有機ＥＬ層は、正孔と電子が再結合して発光する発光層と呼ばれる有機層を少なくとも含み、必要に応じて、正孔が注入されやすくかつ電子を移動させにくい正孔輸送層と呼ばれる有機層、電子が注入されやすくかつ正孔を移動させにくい電子輸送層と呼ばれる有機層のうちの一方又は両方を含む単層構造又は多層積層構造を有している。
【０００４】
一般に、有機ＥＬパネルは、ガラスなどからなる基板上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等によって陽極となる透明電極と、有機ＥＬ層と、アルミニウム等によって陰極となる電極とを順次積層して積層体である有機ＥＬ素子を形成し、この積層体を覆うガラスなどからなる凹形状の対向基板を上記基板上に紫外線硬化性接着剤を介して気密的に配設することによって製造される。
【０００５】
この有機ＥＬパネルの大きな課題の１つは、発光層の寿命の改善である。寿命を短くする原因の１つは、ダークフレームやダークスポットと呼ばれる非発光部の発生である。この非発光部は点灯経過時間とともに成長し、次第に非発光面積が大きくなり、発光部の発光輝度は低下していく。この非発光部が発生する主な原因は、有機ＥＬ素子を構成している有機ＥＬ層と密封容器内の水分や酸素との反応である。これによって、非発光部が発生・成長することが知られている。
【０００６】
そこで、従来の有機ＥＬ表示装置においては、有機ＥＬ素子を配設する基板と対向基板とで得られる封止空間内に吸湿部材を配設することで有機ＥＬ素子の寿命を改善している。この吸湿部材としては、無機系の乾燥剤が知られている（特許文献１参照。）。
【０００７】
また、水分と反応性の高い有機金属化合物を膜状にして、有機ＥＬ素子を配設する基板と対向基板とで得られる封止空間内に捕水層を形成し、化学反応を利用して効果的に水分を捕水する方法が知られている（特許文献２参照。）。
【０００８】
さらに、例えばフッ素系オイルからなる不活性液体中に固体の吸着剤を所定の割合で混合することによって得られる粘性を持った吸湿部材を対向基板の積層体との対向面に塗布し、封止空間内の水分を吸収する構造が知られている（特許文献３参照。）。
【特許文献１】特開平９−１４８０６６号公報
【特許文献２】特開２００２−３３１８７号公報
【特許文献３】特開２００３−１６３０７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献３に開示されているように、粘性を持った吸湿部材を用いた有機ＥＬ表示装置は、対向基板の積層体との対向面に吸湿部材を塗布することによって製造される。この塗布工程において、吸湿部材はディスペンサなどの塗布装置を用いて所定の位置に塗布される。粘性吸湿部材はディスペンサによって所望の位置に吸湿部材を配設することができ、また、コストの点からも優れた吸湿部材である。
【００１０】
吸湿部材の吸湿量は、一般に封止空間に曝される吸湿部材の表面積に依存することが知られている。ディスペンサなどの塗布装置を用いて粘性吸湿部材を塗布した場合、対向基板に粘性吸湿部材を薄く広く塗布することができず、封止空間に曝される粘性吸湿部材の表面積を広く確保することができない。
【００１１】
また、有機ＥＬ表示装置を大量に製造した場合、封止空間に曝される粘性吸湿部材の表面積のばらつきを抑制することが重要である。表面積のばらつきは、各有機ＥＬ表示装置の間で吸湿量や吸湿速度に差を生じさせ、その品質にばらつきが生じるからである。
本発明は、上述のような事情を背景としてなされたものであって、封止空間内に所望の形状の粘性吸湿部材を適切に設け、封止空間内に曝される粘性吸湿部材の表面積のばらつきを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る光学装置の製造方法は、第１の基板と、第２の基板と、第１の基板と第２の基板との間の封止空間内に形成された素子とを有する光学装置の製造方法であって、第２の基板表面の所定領域を包囲する壁を第２の基板上に設けるステップと、粘性吸湿部材を第２の基板上の壁の内側に塗布し、その塗布された粘性吸湿部材を押圧して、その壁の内側で広げるステップと、粘性吸湿部材が封止空間内に配置されるように、第１の基板と第２の基板を固着するステップと、を含むものである。
【００１３】
このように、第２の基板表面の所定領域を包囲する壁を第２の基板上に設け、粘性吸湿部材を第２の基板上の壁の内側に塗布し、その塗布された粘性吸湿部材を押圧して、その壁の内側で広げるので、封止空間内に所望の形状の粘性吸湿部材を適切に設けることができ、封止空間内に曝される粘性吸湿部材の表面積のばらつきを低減できる。
【００１４】
また、所定領域の開口を有するマスクを第２の基板上に密着して配置して第２の基板表面の所定領域を包囲する壁を設け、粘性吸湿部材を広げた後にマスクを第２の基板から取り外すとよい。
このようにすることにより、更にマスク厚に合わせて粘性吸湿部材を塗布でき、封止空間内に所望の形状および厚みの粘性吸湿部材を適切に設けることができ、封止空間内に曝される粘性吸湿部材の表面積のばらつきを低減できる。
【００１５】
また、上記粘性吸湿部材を押圧する押圧部材を第２の基板表面に向かう方向に移動させながら粘性吸湿部材を押圧して広げるとよい。このように、押圧部材を使用することで、容易に効率よく粘性吸湿部材を塗り広げることができる。
また、上記粘性吸湿部材を押圧する押圧部材を第２の基板上の表面に沿って移動させながら粘性吸湿部材を押圧して広げるとよい。これにより、余分な粘性吸湿部材を除去しながら、封止空間内に所望の形状および厚みの粘性吸湿部材を適切に設けることができ、封止空間内に曝される粘性吸湿部材の表面積のばらつきをより安定的に低減できる。
【００１６】
また、押圧部材を壁の上面に当接させて位置決めし、粘性吸湿部材を所定の厚みとなるように押圧して広げるとよい。このようにすることにより、封止空間内に所望の形状および厚みの粘性吸湿部材を更に適切に設けることができ、封止空間内に曝される粘性吸湿部材の表面積のばらつきをより安定的に低減できる。
【００１７】
また、押圧部材の粘性吸湿部材側の表面には凹凸面が形成するとよい。また、マスクは複数の開口を有し、粘性吸湿部材は第２の基板上の複数箇所に塗布するとよい。このようにすることにより、封止空間内に曝される粘性吸湿部材の表面積を広く確保することができる。
【００１８】
また、粘性吸湿部材に対してガスを吹き付けながら、マスクを第２の基板上から外すとよい。このようにしたことにより、マスクを第２の基板上から外すときに生じる粘性吸湿部材の糸引きやツノの発生を低減でき、粘性吸湿部材と表示素子の接触を防止することができる。
【００１９】
また、第２の基板上には段差が形成されており、マスクは段差形状に合わせた形状に形成するとよい。このようにしたことにより、第２の基板に段差が形成されている場合にも、メタルマスクの底面における開口部の内側端面側を第２の基板上に密着させて粘性吸湿部材を塗布でき、封止空間内に所望の形状および厚みの粘性吸湿部材を適切に設けることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、封止空間内に粘性吸湿部材を適切に設けることができ、封止空間内に曝される粘性吸湿部材の表面積のばらつきを低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置の構成について、図に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬパネル１００の構成の一部を示す模式的断面図である。なお、図１は有機ＥＬパネルの構成を模式的に示すものであって、実際の有機ＥＬパネルの詳細構成を反映するものではない。
【００２２】
有機ＥＬパネル１００は、ガラスなどよりなる基板１０１と対向基板１０６とで得られる気密空間（封止空間）内に、有機ＥＬ素子１１０が形成されてなる構成を有する。基板１０１と対向基板１０６は、接着剤１０８によって接着されている。基板１０１上に形成される有機ＥＬ素子１１０は、陽極１０２、絶縁層１０３、有機ＥＬ層１０４及び陰極１０５から構成されている。陽極１０２と陰極１０５の間に電圧を印加すると、陽極からは正孔が、陰極からは電子がそれぞれ有機ＥＬ層１０４に注入されて再結合し、その際に生ずるエネルギーにより有機ＥＬ層１０４内の有機発光性化合物の分子が励起される。励起された分子は基底状態に失活し、その過程において有機ＥＬ層１０４が発光する。
【００２３】
図１に示されるように、基板１０１上において、最下層には陽極１０２が形成されている。陽極１０２は、ＩＴＯなどの透明導電性薄膜で形成される。陽極１０２の上には、ポリイミドなどからなる絶縁層１０３が形成されている。この絶縁層１０３には、陽極１０２と陰極１０５が交差する位置（すなわち画素が形成される位置）に開口部が設けられている。そして、この絶縁層１０３の開口部に有機ＥＬ層１０４が形成されている。
【００２４】
絶縁層１０３は、有機ＥＬ層１０４と陽極１０２とが接触する開口部を画定する役割を果たしている。また、絶縁層１０３は、陽極１０２と陰極１０５の短絡が発生しないように配設される。図１に示されるように、有機ＥＬ層１０４上には、発光輝度を高めるために、Ａｌなどの光反射率の高い金属からなる陰極１０５が設けられている。ここでは図示していないが、陰極１０５の分離のために例えばノボラック樹脂などからなる隔壁（不図示）が設けられている。
【００２５】
基板１０１上には、複数の有機ＥＬ素子１１０が設けられ、有機ＥＬ素子１１０が形成されている領域が表示領域となる。基板１０１上には、さらに、各有機ＥＬ素子１１０に信号を供給する補助配線が設けられている。図１では、陰極１０５に接続される陰極補助配線１０９の部分について図示している。有機ＥＬ素子１１０の陽極１０２及び陰極１０５はそれぞれの補助配線に接続されており、これら補助配線は接着剤１０８の外側に延設されている。基板１０１の端部には駆動回路（不図示）が搭載され、陽極１０２及び陰極１０５はそれぞれ補助配線を介して、駆動回路に接続される。この駆動回路から有機ＥＬ素子１１０に電流を供給することにより、有機ＥＬ素子１１０が発光して所望の画像を表示することができる。
【００２６】
対向基板１０６は、パネル中に水分や酸素が入らないように設けられる。対向基板１０６としては、ステンレス鋼、アルミニウム又はその合金などの金属類のほか、ガラス、アクリル系樹脂などの１種類又は、２種類以上からなるものを使用することができる。図１に示されるように、対向基板１０６と基板１０１は接着剤１０８によって接着され、対向基板１０６と基板１０１の間に封止空間（領域）が形成されている。封止空間内には、有機ＥＬ素子１１０の他、粘性吸湿部材１０７が配設されている。粘性吸湿部材１０７は、有機ＥＬ素子１１０への水分や酸素の影響を抑制し、安定した発光特性を維持するために用いられる。図１に示されるように、粘性吸湿部材１０７は、対向基板１０６上であって、有機ＥＬ素子１１０と対向する面上に配設されている。
【００２７】
粘性吸湿部材１０７は、吸着剤が流動しない程度の粘性を有する。クリーム状あるいはゲル状で塗布面に粘着するものである。吸着剤としては、活性アルミナ、モレキュラシーブス、酸化カルシウム及び酸化バリウム等の物理的あるいは化学的に水分を吸着するものが使用される。粘性吸湿部材１０７は、例えば、フッ素系オイルからなる不活性液体中に所定量の吸着剤を混合して構成する、あるいは、フッ素系ゲルなどの不活性のゲル状部材に所定量の吸着剤を混合することで得られる。フッ素系オイルとしては、例えば、ポリ・トリフルオロ・クロルエチレン、ポリ・フルオロアルキレングリコール等がある。図１に示されるように、粘性吸湿部材１０７は、対向基板１０６に形成された凹部の内部側面と接触しないように、一定の間隔ｄを設けて配設されている。
【００２８】
また例えば、シリコーン系オイルからなる不活性液体や不活性のゲル状部材中に所定量の吸着剤を混合して粘性吸湿部材１０７を構成することもできる。このシリコーン系オイルとして、メチルポリシロキサン、オクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキサン等のジメチルシリコン類、デカメチルシクロペンタシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、環状構造のポリメチルシロキサン等の環状ジメチルシリコン類、メチルフェニルポリシロキサン等のメチルフェニルシリコン類やメチル基の他フェニル基を持つポリシロキサンがある。
【００２９】
他のシリコーン系オイルとして、トリメチルシロキシケイ酸やこれを含有するメチルポリシロキサン、ポリオキシエチレン／メチルポリシロキサン共重合体、ポリ（オキシエチレン、オキシプロピレン）メチルポリシロキサン共重合体等のポリエーテル変性シリコーン、メチルホイドロジェンポリシロキサン等がある。シリコーン系オイルと吸着材との混合比は、例えば、シリコーン系オイルと吸着材とが分離しないように、２５〜６０ｗｔ％程度とすることができる。好ましくは、この混合比は、４０〜６０ｗｔ％程度であり、この場合には、チクソ性を高めることができる。
【００３０】
なお、チクソ性とは、動いている状態（例：かき混ぜる）では粘度が低く、止まっている状態（静止状態）では粘度が高くなる性状をいう。より好ましくは、この混合比は、５０〜６０ｗｔ％程度であり、ディスペンサで安定して塗布することができる。また、本実施形態においては、シリコーン系オイルを用いた粘性吸湿部材１０７の一例として、ジメチルポリシロキサン（信越化学工業株式会社製）７．０ｇとモレキュラシーブス８．５ｇの５５ｗｔ％が混合された材料を用いることにより、分離せず、チクソ性の高い粘性吸湿部材１０７をディスペンサにより安定した塗布を行うことができる。
【００３１】
次に、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置の製造方法について、図に基づいて説明する。図２は、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置の製造工程を示すフローチャートである。
まず、図１および図２に示されるように、有機ＥＬ素子１１０を形成する基板１０１を用意する（ステップ（以下、Ｓと称する）１０１）。その基板１０１上に、陽極材料を成膜する（Ｓ１０２）。陽極材料は、例えば蒸着法やスパッタリング法により基板上に均一性よく成膜される。その後、フォトリソグラフィおよびエッチングにより所定のパターン形状にパターニングされ（Ｓ１０３）、このパターンが陽極１０２となる。
【００３２】
次に、図２に示されるように、陽極１０２上に補助配線材料（不図示）を成膜する（Ｓ１０４）。補助配線材料蒸着法、スパッタリング法などによって成膜することができる。次に、図２に示されるように、この補助配線材料をフォトリソグラフィ及びエッチングによりパターニングして、補助配線パターンを形成する（Ｓ１０５）。陽極１０２および後に形成される陰極１０５は、この補助配線パターンを介して、基板の端部に搭載されている駆動回路に接続され、信号が供給される。
【００３３】
次に、図１および図２に示されるように、陽極１０２の上に、スピンコート及びフォトリソグラフィを使用して、絶縁層１０３を形成する（Ｓ１０６）。絶縁層１０３には、陽極１０２と後述する陰極１０５が交差する位置（すなわち表示画素が形成される位置）に開口部が設けられる。この開口部に有機ＥＬ層１０４が形成される。次に、陰極１０５の分離のために、隔壁（不図示）を形成する（Ｓ１０７）。隔壁には、例えば、ノボラック樹脂をスピンコートして、フォトリソグラフィ工程でパターニングした後、光反応させて陰極隔壁を形成する。陰極隔壁が逆テーパ構造を有するようネガタイプの感光性樹脂を用いることが好ましい。
【００３４】
次に、図１および図２に示されるように、絶縁層１０３の開口部に形成された陽極１０２上に、蒸着法、塗布法などにより、有機ＥＬ層１０４を積層する（Ｓ１０８）。有機ＥＬ層１０４は正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子注入層などから構成されることが多い。例えば、正孔注入層として銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）を用いることができる。また、正孔輸送層としてＮ，Ｎ'−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ'−ジフェニル−ベンジジン（α―ＮＰＤ）を用いることができる。そして、発光層としては、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）を、電子注入層としてはフッ化リチウム（ＬｉＦ）を用いることができる。
【００３５】
次に、図１および図２に示されるように、有機ＥＬ層１０４上にスパッタリング法などの物理的気相成長法（ＰＶＤ）で陰極１０５を形成する（Ｓ１０９）。このように陽極１０２、絶縁層１０３、有機ＥＬ層１０４、陰極１０５を積層することによって、有機ＥＬ素子１１０が形成される。これらの工程により基板１０１上に複数の有機ＥＬ素子１１０が形成された素子基板が製造される。
【００３６】
次に有機ＥＬ素子１１０を封止するための対向基板１０６の製造工程について説明する。対向基板１０６を用意する（Ｓ２０１）。次に、対向基板１０６上に所定領域の開口を有するメタルマスク（図３において不図示）を所定の位置に配置する（Ｓ２０２）。対向基板１０６上に配置されたメタルマスクの開口内に、所定量の粘性吸湿部材１０７を配設する（Ｓ２０３）。つまり、まず、水分を極力取り除いた不活性ガス（例えばドライ窒素）によるドライ雰囲気において、対向基板１０６上に粘性吸湿部材１０７を塗布する。
【００３７】
続いてメタルマスクの開口内の粘性吸湿部材１０７を押圧部材（図３において不図示）により押圧する（Ｓ２０４）。次に、対向基板１０６上からメタルマスクを取り外す（Ｓ２０５）。なお、粘性吸湿部材１０７の配設方法（Ｓ２０２〜Ｓ２０５）については、後に詳述する。次に、基板１０１と対向基板１０６を固着するための接着剤１０８を塗布する（Ｓ２０６）。接着剤１０８は、ディスペンサを用いて、粘性吸湿部材１０７の外側に設けられ、表示領域の全周を囲むように対向基板１０６上に設けられる。接着剤１０８は、水分などの透過性の低いエポキシ樹脂系接着剤、光硬化性樹脂などを用いることができる。
【００３８】
次に、図１および図２に示されるように、粘性吸湿部材１０７を配設した対向基板１０６と、有機ＥＬ素子１１０を形成した基板１０１とを貼り合わせて封止する（Ｓ１１０）。両基板の位置合わせを行った後、加圧しながらＵＶ光を照射することによって、接着剤１０８を硬化し、両基板を貼り合わせることができる。このようにして有機ＥＬパネル１００を製造する。上述の工程により、基板１０１と対向基板１０６との間の空間は接着剤１０８により封止される。
【００３９】
その後、駆動回路等を実装する（Ｓ１１１）。補助配線の外側の端部には端子部が形成されており、この端子部に異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼付け、駆動回路が設けられたＴＣＰ（Tape  Carrier  Package）を接続する。この有機ＥＬパネルが筐体に取り付けられ、有機ＥＬディスプレイが完成する（Ｓ１１２）。
【００４０】
ここで、粘性吸湿部材１０７の配設方法（ステップＳ２０２〜Ｓ２０５）について図３〜図５を参照して詳細に説明する。図３は、粘性吸湿部材の塗布装置を示す模式的概略図である。図４は、本発明の実施の形態の粘性吸湿部材の塗布工程を説明するための図であって、図４（ａ）は対向基板上にメタルマスク３００を配置して粘性吸湿部材１０７を塗り広げた状態を示す平面図であり、図４(ｂ)は図４（ａ）のＡ−Ａ切断線における断面図である。なお、図４（ｂ）では、粘性吸湿部材１０７への押圧部材４００もあわせて示している。図５は、本発明の実施の形態の粘性吸湿部材１０７の塗布状態を示す図であって、図５（ａ）は、対向基板１０６上に粘性吸湿部材１０７を塗り広げた状態の平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ切断線における断面図である。
【００４１】
図３に示されるように、塗布装置２００は、対向基板１０６を搭載するステージ２０１と、粘性を有する粘性吸湿部材１０７を塗布するためのディスペンサ２０２を備えており、このディスペンサ２０２は、粘性吸湿部材１０７を吐出するニードル２０３を備えている。また、塗布装置２００は、ニードル２０３の吐出口から吐出される粘性吸湿部材１０７や、メタルマスク３００を対向基板１０６から離間する際に粘性吸湿部材１０７にガスを吹き付けるためのノズル２０４を備えている。また、塗布装置２００は、アクチュエータやサーボモータなどからなるＸ−Ｙ−Ｚ移動手段２０５を備えており、ディスペンサ２０２およびノズル２０４を任意の位置および高さに移動できる。さらに、粘性吸湿部材１０７の吐出量やディスペンサ２０２の位置及び移動速度、またガスの吹き付け位置などを制御できる制御装置２０６を備えている。
【００４２】
まず、ステージ２０１に対向基板１０６を載せる。次に、図３および図４（ａ）に示されるように、所定領域の開口３００ａを有するメタルマスク３００を対向基板１０７上に密着させて配置する（Ｓ２０２）。なお、対向基板１０６上およびメタルマスク３００に位置決めピンや位置決め穴等の位置決め部が設けられている場合には、これに合わせて矩形状の所定領域の開口３００ａを有するメタルマスク３００を対向基板１０６上に配置する。これにより、メタルマスク３００の開口３００ａを対向基板１０６上の所望の位置に正確に配置することができる。メタルマスク３００は、基板１０１と対向基板１０６とを接合して、有機ＥＬ素子１１０を封止した後に（Ｓ１１０）、基板１０１上に形成された有機ＥＬ素子１１０に接触しないような厚み（例えば、約０．２ｍｍ〜約０．３ｍｍ）に形成されている。
【００４３】
そして、図３に示されるように、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段２０５によって、ディスペンサ２０２を下降させて、ニードル２０３と対向基板１０６とが所定の距離になるようにニードル２０３を対向基板１０６に近接配置させる。次に、ニードル２０３の吐出口から粘性を有する粘性吸湿部材１０７を吐出させ、対向基板１０６上に塗布する。具体的には、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段２０５によって、ニードル２０３を対向基板１０６との距離をほぼ一定に保ちながら、メタルマスク３００の開口３００ａの内側全体にわたり、平行移動させながら粘性吸湿部材１０７を塗布する（Ｓ２０３）。
【００４４】
塗布される粘性吸湿部材１０７の対向基板１０６上の位置、吐出量、ディスペンサ２０２の移動速度などは制御装置２０６によって任意に設定することができ、制御装置２０６から出力される制御信号によって制御される。塗布始点位置から塗布終点位置までの間、粘性吸湿部材１０７は常に吐出され、対向基板１０６上に連続的に塗布される。塗布終点位置まで移動したところで、粘性吸湿部材１０７の吐出及びディスペンサ２０２の移動を停止する。停止位置においてディスペンサ２０２を上昇させて粘性吸湿部材１０７とニードル２０３を切り離す。ディスペンサ２０２の上昇の開始前あるいはディスペンサ２０２の上昇中に、粘性吸湿部材１０７の塗布終端部にノズル２０４からガスを吹き付ける。
【００４５】
このとき、塗布終点位置において、ガス吹き付けを行なうのは、粘性を持った粘性吸湿部材１０７がニードル２０３の先端に引きずられ、ツノがたったり、糸引きを起こしたりするのを防止するためである。次に、図４（ｂ）に示されるように、例えば、ステンレス鋼等の金属や樹脂材料等により形成された押圧部材４００を用いて、メタルマスク３００の開口３００ａ内の粘性吸湿部材１０７を押圧して広げる（Ｓ２０４）。押圧部材４００は対向基板１０６表面に向かって降下し、メタルマスク３００上面に当接した位置で停止する。本例では、押圧部材４００は対向基板１０６表面に垂直（図４（ｂ）Ｚ方向）に移動する。
【００４６】
押圧部材４００はメタルマスク３００の開口３００ａよりも大きい外形を有しており、押圧部材４００がメタルマスク３００の上面に当接して位置決めされた状態において、開口３００ａの全てがカバーされている。粘性吸湿部材１０７は、開口３００ａ内の容積と実質的に同一量が塗布されており、押圧部材４００によって塗り広げられることによって、開口３００ａ内部を満たす。つまり、粘性吸湿部材１０７は、メタルマスク３００の各内壁に接触している。また、粘性吸湿部材１０７の厚みは、メタルマスク３００の厚みと実質的に同一となる。
押圧部材４００の粘性吸湿部材１０７側の表面には、フッ化樹脂等の離型性を有する材料を塗布するとよい。これにより、押圧後に、押圧部材４００を粘性吸湿部材１０７から引き離すときに生じる粘性吸湿部材１０７のツノや糸引きの発生を防止することができる。
【００４７】
さらに、メタルマスク３００を対向基板１０６から取り外す（Ｓ２０５）。メタルマスク３００の離間時に、メタルマスク３００の開口３００ａの内側端部に沿って、ノズル２０４から粘性吸湿部材１０７に、粘性吸湿部材１０７の形状が変形しない程度の強さでガスを吹き付けると更によい。これによって、粘性を持った粘性吸湿部材１０７がメタルマスク３００の開口３００ａの周囲、特に角部に引きずられ、ツノが形成されあるいは糸引きを起こすことを防止する。具体的には、メタルマスク３００の上昇時にノズル２０４からガスの吹き付けを行うことによって、粘性吸湿部材１０７のツノの形成もしくは糸引きを防止する。なお、メタルマスク３００の開口３００ａの内側面にフッ化樹脂等の離型性を有する材料を塗布する、あるいは、マスクをフッ化樹脂により形成することができる。これにより、より容易にマスクを対向基板１０６上から外すことができる。
【００４８】
そして、図５（ａ）および図５（ｂ）に示されるように、粘性吸湿部材１０７が、対向基板１０６上に、メタルマスク３００の開口３００ａ内側の輪郭に沿った形状および厚みを有して配設される。このように、所定領域の開口３００ａを有するメタルマスク３００を使用し、その開口３００ａ内で粘性吸湿部材１０７を塗り広げることで、封止空間内に所望の形状の粘性吸湿部材１０７を適切に設けることができ、その表面積のばらつきを低減できる。また、押圧部材４００を使用することで、容易に効率よく粘性吸湿部材１０７を塗り広げることができる。
【００４９】
上述と異なり、押圧部材４００を対向基板１０６面に沿って移動させることにより、押圧領域を徐々に移動させながら、メタルマスク３００の開口３００ａ内で粘性吸湿部材１０７を押圧して広げてもよい。押圧部材４００は、図４の紙面に対して垂直な方向（Ｙ方向）は薄く形成されている。押圧部材４００は、Ｙ方向において移動する。移動方向と垂直は方向（Ｘ方向）において、押圧部材４００の長さは開口３００ａよりも大きく、押圧部材４００はメタルマスク３００の上面に当接した状態において、粘性吸湿部材１０７を押圧しながら移動する。このように、押圧部材４００を移動させて押圧領域を徐々に移動させることによって、メタルマスク３００の開口３００ａから溢れた余分な粘性吸湿部材１０７を除去でき、対向基板１０６上の粘性吸湿部材１０７の形状や厚みをより安定的に一定にすることができる。なお、粘性吸湿部材１０７を塗布した後は、押圧部材４００に付着した余分な粘性吸湿部材を洗浄する。
【００５０】
ここで、一般に、粘性吸湿部材１０７の吸湿量は、基板１０１と対向基板１０６との間の封止空間に曝される当該粘性吸湿部材１０７の表面積に依存するところ、当該粘性吸湿部材１０７の表面積をより広く確保するために、図６に示されるように、押圧部材４０１の表面に凹凸面４０１ａを形成してもよい。
図６に示されるように、押圧部材４０１の粘性吸湿部材１０７側の表面には、凹凸面４０１ａが形成されている。凹凸面４０１ａは、図６に示されるように、のこぎりの歯状に形成されている。なお、この形状に限らず、凹凸面４０１ａの形状を波形状や矩形状の凸凹面に形成してもよい。このようにしたことにより、粘性吸湿部材１０７の押圧部材４０１側の表面積を広くすることができる。
【００５１】
また、押圧部材４０１の粘性吸湿部材１０７側の表面に、凹凸面４０１ａを形成する以外に、例えば、粘性吸湿部材１０７を離間した複数箇所に配置することによっても、基板１０１と対向基板１０６との間の封止空間内に曝される粘性吸湿部材１０７の表面積を広く確保することができる。図７は、本発明の実施の形態の粘性吸湿部材の塗布工程の第二の変形例を説明するための図であって、図７（ａ）は対向基板上にメタルマスクを配置して粘性吸湿部材を塗布した状態を示す平面図であり、図７(ｂ)は図７（ａ）のＣ−Ｃ切断線における断面図である。
【００５２】
図７（ａ）に示されるように、メタルマスク３０１には、離間した複数の所定領域の開口３０１ａが形成されている。図７（ａ）では、例示として、４行１０列の矩形状の開口３０１ａが形成されたメタルマスク３０１を示している。このように形成された複数の開口３０１ａの内側に粘性吸湿部材１０７を塗布し、メタルマスク３０１の複数の開口３０１ａの各々の内側に塗布された粘性吸湿部材１０７を、押圧部材４００によりメタルマスク３０１上からＺ方向に押圧し、メタルマスク３０１を対向基板１０６から取り外す。
【００５３】
この結果、対向基板１０６上には、複数の矩形状の粘性吸湿部材１０７がそれぞれ離間して配列されて配設される。このようにしたことにより、基板１０１と対向基板１０６との間の封止空間内に曝される粘性吸湿部材１０７の表面積を広く確保することができる。なお、粘性吸湿部材１０７のツノや糸引きの発生を防止するために、メタルマスク３０１の各開口３０１ａの内側端面や押圧部材４００の粘性吸湿部材１０７側の表面に、フッ化樹脂等の離型材料を塗布すると更によい。
【００５４】
また、図５（ｂ）に示されるように、粘性吸湿部材１０７の厚み、つまり本例においてメタルマスクの厚み（高さ）ｔは、対向基板１０６の凹部の深さＤの５０〜９０％であることが好ましい。より好ましくは、７０〜９０％である。これによって、有機ＥＬ素子１１０への接触を確実に防止することができ、これに伴う表示特性の劣化を抑制することができる。すなわち、粘性吸湿部材１０７の最大の厚みを、対向基板１０６と有機ＥＬ素子１１０との距離未満にすることができ、粘性吸湿部材１０７が有機ＥＬ素子１１０に接触することを防止することができる。
【００５５】
また、図１および図５（ｂ）に示されるように、粘性吸湿部材１０７が対向基板１０６に形成された凹部の内部側面と接触しないように、一定の間隔ｄを設けて配設することが好ましい。このようにすることにより、接着剤１０８の位置に粘性吸湿部材１０７が入り込むことがなく、対向基板１０６と、有機ＥＬ素子が形成された基板１０１とを確実に貼り合わせを行うことができる。
【００５６】
また、対向基板１０６を多面取りする場合、効率よく各対向基板１０６上に粘性吸湿部材１０７を塗布するには、対向基板１０６の周囲に形成された段差を考慮する必要がある。図８は、対向基板を多面取りする場合の対向基板上にメタルマスクを配置した断面図である。図８に示されるように、複数の対向基板１０６が配列された対向基板１０６用マザー基板１６０の各対向基板１０６間には、各対向基板１０６間を分断するための切断線Ｍ−Ｍおよび切断線Ｎ−Ｎを中央部に有する段差１６１が形成されている。
【００５７】
そこで、図８に示されるように、各対向基板１０６上に粘性吸湿部材１０７を一度に塗布できるように、メタルマスク３０２に、対向基板のマザー基板１６０の各段差１６１の形状に合わせて屈曲された屈曲部３０２ｂを形成している。
このようにしたことにより、対向基板１０６に段差が形成されている場合にも、メタルマスク３０２の底面の開口部３０２ａの内側端面側を対向基板１０６上に密着させた状態で粘性吸湿部材１０７を塗布することができ、封止空間内に所望の形状および厚みの粘性吸湿部材１０７を適切に設けることができる。
【００５８】
以上の説明は、本発明を実施の形態を説明するものであり、本発明が以上の実施の形態に限定されるものではない。また、当業者であれば、以上の実施の形態の各要素を、本発明の範囲において、容易に変更、追加、変換することが可能である。
例えば、上記発明の態様では、メタルマスク３００等を用いて所定領域の粘性吸湿部材１０７を対向基板１０６上に塗布するとしたが、対向基板１０６表面の所定領域を包囲する壁（不図示）を、対向基板１０６上に突出させて設け、粘性吸湿部材１０７を対向基板１０６上に設けた壁（不図示）の内側に塗布するようにしてもよい。また、上記発明の態様と同様に、押圧部材を壁の上面に当接させて、壁の高さまで粘性吸湿部材１０７を押圧してもよく、上記実施の態様と同様の作用効果を奏する。また、粘性吸湿部材１０７を押圧するのに、押圧部材を図４に示されるＸ方向またはＹ方向や、Ｚ方向に相当する方向に移動させながら押圧してもよく、上記実施の態様と同様の作用効果を奏する。
【００５９】
例えば、上記発明の態様では、対向基板１０６上に配設する粘性吸湿部材１０７の形状を矩形状としたが、メタルマスクや対向基板上に設ける壁の作製可能な範囲において、円形状、楕円形状、多角形状、星形状等、どのような形状であってもよい。また、上記発明の形態では、粘性吸湿部材１０７の塗布にディスペンサ２０２を用いた例を示したが、例えば薬さじのような塗布手段を用いた手塗り塗布などに本発明を適用することも可能である。本形態の粘性吸湿部材の塗布は、有機ＥＬパネルの製造に特に好適であるが、他の基板への粘性吸湿部材の塗布に適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置の模式的断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置の製造工程を示すフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態の粘性吸湿部材を塗布する塗布装置の模式的概略図である。
【図４】本発明の実施の形態の粘性吸湿部材の塗布工程を説明するための図であって、図４（ａ）は対向基板上にメタルマスクを配置して粘性吸湿部材を塗り広げた状態を示す平面図であり、図４(ｂ)は図４（ａ）のＡ−Ａ切断線における断面図である。
【図５】本発明の実施の形態の粘性吸湿部材の塗布状態を示す図であって、図５（ａ）は、対向基板上に粘性吸湿部材を塗り広げた状態の平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ切断線における断面図である。
【図６】本発明の実施の形態の粘性吸湿部材の塗布工程の第一の変形例を説明するための図であって、対向基板上にメタルマスクを配置して粘性吸湿部材を塗布し、メタルマスク上から粘性吸湿部材を押圧した状態を示す断面図であり、図５(ｂ)に相当する断面図である。
【図７】本発明の実施の形態の粘性吸湿部材の塗布工程の第二の変形例を説明するための図であって、図７（ａ）は対向基板上にメタルマスクを配置して粘性吸湿部材を塗布した状態を示す平面図であり、図７(ｂ)は図７（ａ）のＣ−Ｃ切断線における断面図である。
【図８】複数の対向基板が配列された対向基板用マザー基板の模式的断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１００  有機ＥＬパネル、１０１  基板、１０２  陽極、１０３  絶縁層
１０４  有機ＥＬ層、１０５  陰極、１０６  対向基板、１０７  粘性吸湿部材
１０８  接着剤、１０９  陰極補助配線、１６０  対向基板のマザー基板
１６１  段差、２００  塗布装置、２０１  ステージ、２０２  ディスペンサ
２０３  ニードル、２０４  ノズル、２０５  移動手段、２０６  制御装置
３００、３０１、３０２  メタルマスク、３００ａ、３０１ａ、３０２ａ  開口
３０２ｂ  屈曲部、４００、４０１  押圧部材、  ４０１ａ  凹凸面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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