(57)【要約】【課題】  ヘッドカバーを用いずにノズルプレートの導通を確保することが可能な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】  ヘッドケース１０の内部に、位置決めピン３１の一部を保持可能なピン保持部３２を形成し、このピン保持部は、一端がヘッドケースの流路取付面に開口し、位置決めピンの先端部を流路取付面から突出させた状態で位置決めピンを保持し、ノズルプレート９及び流路ユニット７には、位置決めピンの先端部が挿通可能な挿通孔３０を夫々開設し、ヘッドケースのピン保持部に保持された位置決めピンの先端部を各挿通孔に夫々挿通して相対位置を規定した状態でノズルプレート及び流路ユニットをヘッドケースの流路取付面に取り付け、位置決めピンをノズルプレートに導通させて、位置決めピンを通じてノズルプレートを接地電位に調整可能に構成した。【選択図】  図７
2007054963.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室を含む液体流路を形成する流路ユニットと、
導電性板材にノズル開口が開設され、当該ノズル開口を前記圧力室と連通させた状態で前記流路ユニットに接合されるノズルプレートと、
前記ノズルプレート及び前記流路ユニットが流路取付面に取り付けられるヘッドケースと、を備え、
前記ヘッドケース内部に、位置決めピンの一部を保持可能なピン保持部を形成し、
前記ピン保持部は、一端が流路取付面に開口し、位置決めピンの先端部を流路取付面から突出させた状態で当該位置決めピンを保持し、
前記ノズルプレート及び前記流路ユニットには、位置決めピンの先端部が挿通可能な挿通孔を夫々開設し、
前記ヘッドケースのピン保持部に保持された位置決めピンの先端部を各挿通孔に夫々挿通して相対位置を規定した状態でノズルプレート及び流路ユニットをヘッドケースの流路取付面に取り付け、
前記位置決めピンを前記ノズルプレートに導通させて、当該位置決めピンを通じてノズルプレートを接地電位に調整可能に構成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記ノズルプレートの挿通孔の内周壁の少なくとも一部を前記位置決めピンに接触させることにより、位置決めピンとノズルプレートを導通させたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ノズルプレート及び前記流路ユニットの各挿通孔の内周壁と位置決めピンとの間に形成される充填空部に導電性を有する充填材を充填することで、位置決めピンとノズルプレートを導通させたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記流路ユニットに開設された挿通孔の少なくとも一方向における内寸は、前記ノズルプレートの挿通孔の内寸よりも大きく設定されたことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記ヘッドケースの側面から前記ピン保持部に達して前記ノズルプレート及び前記流路ユニットの各挿通孔と連通する充填用切欠を設け、当該充填用切欠から前記充填空部に前記充填材を充填するようにしたことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記充填用切欠に、前記充填材を充填すると共に導電部材の一部を挿入して、導電部材の残部をヘッド外部に引き出し、当該導電部材及び前記位置決めピンを通じて前記ノズルプレートを接地電位に調整可能に構成したことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記ヘッドケースの側面から前記ピン保持部に到達して前記位置決めピンを露出する露出切欠を設け、当該露出切欠に露出した位置決めピンに導電部材の一部を接触させ、当該導電部材及び前記位置決めピンを通じて前記ノズルプレートを接地電位に調整可能に構成したことを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記ヘッドケースの前記流路取付面とは反対側の基板取付面には、液滴の吐出制御に使用される配線基板が取り付けられ、
前記配線基板の前記基板取付面側の基板裏面における前記ピン保持部に対応する位置に接地端子を設け、
前記位置決めピンの他端を前記配線基板の接地端子に導通させることによりノズルプレートを接地電位に調整可能に構成したことを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに係り、特に、複数のノズル開口を開設したノズルプレートを備え、ノズル開口から液体を液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
【０００３】
このような液体噴射ヘッドには種々の形式があるが、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという）におけるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）は、リザーバから圧力室を経てノズル開口に至る一連の液体流路が形成された流路ユニット、液体流路に連通するノズル開口を複数有するノズルプレート、圧力室の容積を変動可能な圧力発生源を有するアクチュエータユニット、及び、これらの各部を取り付ける樹脂製のヘッドケースを備えたものがある。
【０００４】
従来の記録ヘッドにおけるノズルプレートは、ノズル開口を露出可能な開口窓が開設された金属製のヘッドカバーによって周縁部が被覆された状態でヘッドケースに固定されるようになっている。このヘッドカバーは、ノズルプレートを保護すると共に、ノズルプレートと導通して接地電位に調整することで、例えば、記録紙（吐出対象物の一種）等から発生した静電気によるノズルプレートの帯電や駆動ＩＣの損傷等の不具合を防止するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１９０５１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記ヘッドカバーは、ノズルプレートの周囲表面に覆い被さるように重合した状態で取り付けられるため、このヘッドカバーに記録紙が接触することの無いよう、記録ヘッド全体をヘッドカバーの厚み分だけ記録紙から遠ざける（即ち、プラテンギャップを大きくする）必要がある。これにより、ヘッドカバーの厚み分だけノズル開口が記録紙から遠ざかることになる。ノズル開口から記録紙までの距離が長くなるほど、極く微小なインク滴を吐出する場合に、インク滴の着弾位置のずれが大きくなるという問題があった。
【０００７】
また、近年、この種のプリンタでは、画質の向上を図るため顔料系のインクや、耐水性を向上させるため耐水性インクを使用する傾向がある。このようなインクの溶媒は、従来の水に対し、樹脂系の分散剤が用いられている。そのため、ノズル開口周辺に付着したインクに起因する飛行曲がり等の吐出不良の防止するためノズルプレートの液滴吐出面に形成される撥液被膜層も、上記のようなインクに対応した撥液性の高いものが必要とされてきており、たとえば、ノズルプレートの表面（記録紙対向面）にシリコーン材料のプラズマ重合膜等の下地膜を形成し、その表面に金属アルコキシドが重合した分子膜等の撥液膜層を形成する撥液処理が行われる。しかし、このような撥液処理では下地膜が絶縁膜となる為、上記特許文献１のように、ヘッドカバーをノズルプレート表面に重合させても、ノズルプレートとヘッドカバーとの導通が確保し難くなるという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヘッドカバーを用いずにノズルプレートの導通を確保することが可能な液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドは、圧力室を含む液体流路を形成する流路ユニットと、
導電性板材にノズル開口が開設され、当該ノズル開口を前記圧力室と連通させた状態で前記流路ユニットに接合されるノズルプレートと、
前記ノズルプレート及び前記流路ユニットが流路取付面に取り付けられるヘッドケースと、を備え、
前記ヘッドケース内部に、位置決めピンの一部を保持可能なピン保持部を形成し、
前記ピン保持部は、一端が流路取付面に開口し、位置決めピンの先端部を流路取付面から突出させた状態で当該位置決めピンを保持し、
前記ノズルプレート及び前記流路ユニットには、位置決めピンの先端部が挿通可能な挿通孔を夫々開設し、
前記ヘッドケースのピン保持部に保持された位置決めピンの先端部を各挿通孔に夫々挿通して相対位置を規定した状態でノズルプレート及び流路ユニットをヘッドケースの流路取付面に取り付け、
前記位置決めピンを前記ノズルプレートに導通させて、当該位置決めピンを通じてノズルプレートを接地電位に調整可能に構成したことを特徴とする。
【００１０】
上記構成によれば、位置決めピンをノズルプレートに導通させて、この位置決めピンを通じてノズルプレートを接地電位に調整するので、従来ノズルプレートの導通に用いられていたヘッドカバーが不要となり、その分ノズル開口を吐出対象物に近づけることができる。これにより、ノズル開口から吐出される液滴の飛翔距離が縮まり、その結果、液滴の着弾位置のずれを抑制することが可能となる。
【００１１】
上記構成において、ノズルプレートの挿通孔の内周壁の少なくとも一部を前記位置決めピンに接触させることにより、位置決めピンとノズルプレートを導通させる構成を採用することができる。
【００１２】
上記構成において、ノズルプレート及び前記流路ユニットの各挿通孔の内周壁と位置決めピンとの間に形成される充填空部に導電性を有する充填材を充填することで、位置決めピンとノズルプレートを導通させる構成を採用することも可能である。
【００１３】
上記構成によれば、ノズルプレート及び流路ユニットの各挿通孔と位置決めピンとの間の隙間に導電性の充填材が隙間無く充填されるので、位置決めピンとノズルプレートを容易且つ確実に導通させることができる。
【００１４】
また、この構成において、流路ユニットに開設された挿通孔の少なくとも一方向における内寸は、ノズルプレートの挿通孔の内寸よりも大きく設定することが望ましい。
【００１５】
上記構成によれば、流路ユニットの挿通孔と位置決めピンとの間に形成される充填空部をより大きく確保することができるので、ノズルプレートの裏面に対する充填材の接触面積をより大きくすることできる。このため、位置決めピンとノズルプレートとをより確実に導通させることができる。
【００１６】
また、上記構成において、前記ヘッドケースの側面から前記ピン保持部に達して前記ノズルプレート及び前記流路ユニットの各挿通孔と連通する充填用切欠を設け、当該充填用切欠から前記充填空部に前記充填材を充填することが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、ヘッド構成部品を組み付けて液体噴射ヘッドとして完品となった状態で、充填用切欠から充填空部に充填材を充填することができるので、構成部品の組み付けに影響を及ぼすことなく充填作業を迅速且つ簡便に行うことができる。
【００１８】
また、上記構成において、前記充填用切欠に、前記充填材を充填すると共に導電部材の一部を挿入して、導電部材の残部をヘッド外部に引き出し、当該導電部材及び前記位置決めピンを通じて前記ノズルプレートを接地電位に調整する構成を採用することができる。
【００１９】
また、上記構成において、前記ヘッドケースの側面から前記ピン保持部に到達して前記位置決めピンを露出する露出切欠を設け、当該露出切欠に露出した位置決めピンに導電部材の一部を接触させ、当該導電部材及び前記位置決めピンを通じて前記ノズルプレートを接地電位に調整する構成を採用することも可能である。
【００２０】
さらに、上記構成において、前記ヘッドケースの前記流路取付面とは反対側の基板取付面に、液滴の吐出制御に使用される配線基板が取り付けられ、
前記配線基板の前記基板取付面側の基板裏面における前記ピン保持部に対応する位置に接地端子を設け、
前記位置決めピンの他端を前記配線基板の接地端子に導通させることによりノズルプレートを接地電位に調整する構成を採用することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。
【００２２】
図１は、記録ヘッド１の構成を説明する分解斜視図、図２は、記録ヘッド１の構成を説明する要部断面図、図３は、記録ヘッド１を斜め下方側（ノズルプレート９側）から見た斜視図である。また、図４は、図３における領域Ｘの拡大図である。本実施形態における記録ヘッド１は、複数のインク導入針２（液体導入針の一種）を立設する導入針ユニット３、複数の圧電振動子４を備えたアクチュエータユニット５、当該アクチュエータユニット５を駆動するための配線基板６、インク流路（液体流路の一種）を形成する流路ユニット７、ノズル開口８が開設されたノズルプレート９、及び、ヘッドケース１０を備えて概略構成されている。
【００２３】
上記導入針ユニット３は、例えばエポキシ樹脂などの合成樹脂によって成型されており、その上面にはフィルタ１２を介在させた状態でインク導入針２がそれぞれ取り付けられている。そして、各インク導入針２にはインクカートリッジやサブタンク等のインク貯留部材（液体貯留部材の一種）が装着されるようになっている。この導入針ユニット３の内部には、インク導入針側からヘッドケース側に向けて集束した集束流路（図示せず）が各インク導入針２に対応して複数形成されている。この集束流路の上流端は、インク導入針２の針流路と液密状態で連通する一方、集束流路の下流端は、エラストマー等の弾性部材からなるパッキンシート１１を介在させた状態でヘッドケース１０のケース流路１７と液密状態で連通する。
【００２４】
上記配線基板６は、プリンタ本体側からの駆動信号を受け、この駆動信号をフレキシブルケーブル（図示せず）を通じてアクチュエータユニット５の圧電振動子４へ供給するための配線パターンが形成された吐出制御用基板である。この配線基板６は、プリンタ本体側との接続のためのコネクタ１３や電子部品１４等を実装している。コネクタ１３にはＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の配線部材が接続され、このＦＦＣを介してプリンタ本体側から駆動信号を受けるようになっている。この配線基板６は、電子部品実装面を導入針ユニット３側に向けた状態で、ヘッドケース１０の基板取付面１５に配置される。
【００２５】
ヘッドケース１０は、基板取付面１５側が開放した中空箱体状のケーシングであり、その内部空間はアクチュエータユニット５を収容する収容空部１６となっている。このヘッドケース１０は、熱硬化性樹脂の一種であるエポキシ樹脂によって成型されており、基板取付面１５とは反対側の流路取付面１０′（図３参照）に、流路ユニット７及びノズルプレート９が接合される。また、このヘッドケース１０には、図２に示すように、導入針ユニット３の集束流路と連通するケース流路が１７がケース高さ方向を貫通して形成されている。
【００２６】
上記のアクチュエータユニット５は、圧力発生源としての圧電振動子４と、この圧電振動子４が接合される固定板１８と、圧電振動子４に配線基板６からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル（図示せず）等から構成される。各圧電振動子４は、固定端部が固定板１８上に接合され、自由端部が固定板１８の先端面よりも外側に突出している。即ち、各圧電振動子４は、所謂片持ち梁の状態で固定板１８上に取り付けられている。また、各圧電振動子４を支持する固定板１８は、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。なお、圧力発生源としては、上記圧電振動子以外にも、静電アクチュエータ、磁歪素子、発熱素子等を用いることができる。
【００２７】
上記流路ユニット７は、流路形成基板１９及び振動板２０を積層して構成されている。流路形成基板１９は、共通インク室２２となる空部、インク供給口２３となる溝部、及び、圧力室２４となる空部を隔壁で区画した状態でノズルプレート９のノズル開口８に対応させて複数形成した板状の部材である。この流路形成基板１９は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することによって作製される。上記の圧力室２４は、ノズル開口８の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成されている。また、共通インク室２２は、ヘッドケース１０のケース流路１７と連通してを介してインク導入針２からのインクが導入される室である。そして、この共通インク室２２に導入されたインクは、インク供給口２３を通じて各圧力室２４に供給される。
【００２８】
振動板２０は、ステンレス鋼等の金属製の支持板上にＰＰＳ樹脂等の弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板２０の圧力室２４に対応する部分には、圧電振動子４の自由端部の先端を接合するための島部２５が形成されており、この部分がダイヤフラム部として機能する。また、振動板２０は、共通インク室２２の開口面に対応する部分にコンプライアンス部２６を形成している。このコンプライアンス部２６は、エッチングなどによって支持板が除去されて弾性フィルムだけになっており、共通インク室２２内の圧力変動を緩和するように機能する。なお、ヘッドケース１０の流路取付面１０′における上記コンプライアンス部２６に対応する部分には、基板取付面側に向けて１段窪んだ逃げ凹部２７が設けられている。この逃げ凹部２７は、インク室２２内の圧力が高まったときのコンプライアンス部２６の変形を許容するようになっている。
【００２９】
上記ノズルプレート９は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば３６０ｄｐｉ）で複数のノズル開口８が列状に開設された導電性板材である。このノズルプレート９を構成する導電性板材としては、例えばステンレス鋼が用いられる。このノズルプレート９の吐出側表面（吐出動作時の記録紙（吐出対象物の一種）と対向する面）には、撥液膜層（図示せず）が形成されている。なお、吐出側表面とは反対側の面には、接着のため撥液膜層は形成されていない。この撥液膜層は、インクミスト等が吐出側表面に付着するのを可及的に防止する。そして、ノズルプレート９は、各ノズル開口８を対応する圧力室２４と夫々連通させた状態で流路ユニット７に接合される。
【００３０】
図１，３，４等に示すように、上記ノズルプレート９、上記流路ユニット７における流路形成基板１９及び振動板２０の隅角部には、夫々挿通孔３０ａ，３０ｂ，３０ｃが開設されている。各挿通孔３０は、位置決めピン３１が挿通可能な貫通孔であり、各部材９，１９，２０に夫々２箇所ずつ設けられている。本実施形態では、図５に示すように、ノズルプレート９に開設された２つの挿通孔３０ａは、何れも位置決めピン３１の直径Ａより僅かに大きい内径Ｂに設定された真円に形成されている。これに対し、流路ユニット７に開設されている２つの挿通孔３０のうち、一方の挿通孔３０（図５における右側の挿通孔３０ｂ，３０ｃ）は、ノズルプレートの挿通孔３０ａと同様に内径Ｂの真円に形成され、他方の挿通孔３０（図５における左側の挿通孔３０ｂ，３０ｃ）は、一方向（図５における左右方向）の内寸Ｃが、挿通孔３０ａの内径Ｂよりも大きく設定された長孔となっている。この長孔は、後述する充填空部３５を確保するためのものである。なお、流路ユニット７における他方の挿通孔３０を、本実施形態では長孔としたが、これには限らず、例えば、直径Ｃの真円とすることも可能である。要は、少なくとも一方向の内寸が、ノズルプレートの挿通孔３０ａの内径Ｂよりも大きく設定されていればよい。
【００３１】
また、ヘッドケース１０の内部には、図２，４に示すように、一端が流路取付面１０′に開口したピン保持部３２が形成されている。このピン保持部３２は、位置決めピン３１の先端部を流路取付面１０′から突出させた状態で当該位置決めピン３１を保持する空部であり、位置決めピン３１の直径Ａより極く僅かに大きい内径Ｄ（図６参照）に設定された断面円形の空部によって構成されている。位置決めピン３１は、例えばステンレス鋼等の導電性を有する材料から作製された円柱であり、その直径Ａは、ピン保持部３２とのクリアランス（直径同士の差）が数ミクロン程度の範囲に収まるように定められている。また、保持状態における位置決めピン３１の先端部の突出長は、ノズルプレート９及び流路ユニット７を流路取付面１０′に取り付けた状態におけるノズルプレート９の吐出側表面よりも突出しない程度に（即ち、ノズルプレート９と流路ユニット７の厚み分を最長限として）設定されている。
【００３２】
本実施形態では、図４，６に示すように、ヘッドケース１０の流路取付面１０′におけるピン保持部３２の開口周縁部を含む隅角部を、流路取付面１０′から基板取付面１５側に一段切り欠いて、充填用切欠３４を形成している。換言すると、この充填用切欠３４は、ヘッドケース１０の側面からピン保持部３２に到達し、流路取付面１０′への取り付け状態におけるノズルプレート９及び流路ユニット７の各挿通孔３０と連通する状態に形成されている。この充填用切欠３４は、後述する充填材３６を充填する際の注入口として機能する。
【００３３】
そして、上記構成の流路ユニット７とノズルプレート９は、ピン保持部３２に保持された位置決めピン３１の先端部を各々の挿通孔３０に挿通して相対的な位置が規定された状態で、ノズルプレート９をヘッドケース１０とは反対側に向けた姿勢でヘッドケース１０の流路取付面１０′に固定される。
【００３４】
図７は、流路ユニット７とノズルプレート９をヘッドケース１０の流路取付面１０′に取り付けた状態における、上記長孔側の位置決めピン３１周辺の拡大断面図である。上記記録ヘッド１は、位置決めピン３１をノズルプレート９に導通させ、この位置決めピン３１を通じてノズルプレート９を接地電位に調整可能であることに特徴を有している。具体的には、図７に示すように、ノズルプレート９及び流路ユニット７の各挿通孔３０の内周壁と位置決めピン３１との間に形成される充填空部３５に、導電性を有する充填材３６を充填用切欠３４から充填することで、位置決めピン３１とノズルプレート９を導通させている。
【００３５】
充填材３６としては、例えば、銀、ニッケル、或いは銅等の金属粉や、金メッキが施された導電性ポリマー等の導電材を含有する導電接着剤を用いることができる。この導電接着剤は、乾燥前では流動性を有するので、充填空部３５に隙間無く容易に充填することができる一方、充填後においては乾燥により固化するので、位置決めピン３１と各部材９，１９，２０の挿通孔３０との間のがたつきを防止しつつ、位置決めピン３１とノズルプレート９をより確実に導通させることができる。本実施形態においては、上述のように、流路ユニット７における他方の挿通孔３０を長孔とし、これにより、ノズルプレート９の裏面（流路ユニット７との接合面）側に形成される充填空部３５をより大きく確保しているので、ノズルプレート９の裏面に対する充填材３６の接触面積をより大きくすることができる。このため、位置決めピン３１とノズルプレート９とをより確実に導通させることができる。
【００３６】
充填材３６の充填は、ヘッド構成部品を組み付けて記録ヘッド１として完品となった状態で、ヘッドケース１０に形成された充填用切欠３４を通じて行う。これにより、構成部品の組み付けに影響を及ぼすことなく迅速且つ簡便に充填作業を行うことができる。そして、本実施形態では、図７に示すように、充填用切欠３４内にも充填材３６を充填し、充填後の充填用切欠３４内に導線３７（本発明における導電部材の一種）の一端部を挿入して導線３７の残りの部分をヘッド外部に引き出し、この状態で充填材３６を乾燥して固化させることで、導線３７を充填用切欠３４内に固定している。即ち、導線３７は、充填材３６及び位置決めピン３１を通じてノズルプレート９と導通する。また、この導線３７の他端部は、記録ヘッド１を主走査方向に案内するガイドロッド（図示せず）等を通じてプリンタ本体側のグラウンドに導通する。これにより、位置決めピン３１と導線３７を通じてノズルプレート９を接地電位に調整することができる。
【００３７】
以上のように、例示した記録ヘッド１では、位置決めピン３１を通じてノズルプレート９を接地電位に調整することができるので、従来ノズルプレートの導通に用いられていたヘッドカバーが不要となり、その厚み分、吐出対象物である記録紙にノズル開口８を近づけることができる。これにより、ノズル開口８から吐出されるインク滴の飛翔距離が縮まり、その結果、インク滴の着弾位置のずれを抑制することが可能となる。
【００３８】
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００３９】
図８は、第２実施形態における記録ヘッド１の構成を説明する斜視図、図９は、図８における領域Ｙの拡大図である。本実施形態においては、上記充填用切欠３４とは異なる位置に、ヘッドケース１０の側面からピン保持部３２に到達して位置決めピン３１を露出する露出切欠４０を設けた点が、上記第１実施形態と異なる。具体的には、図１０（ａ）に示すように、充填用切欠３４よりも基板取付面１５側（図１０における下側）であって、ピン保持部３２に保持されている位置決めピン３１を露出可能な範囲内に露出切欠４０を設けている。そして、本実施形態においては、図１０（ｂ）に示すように、例えば、金属製の板材等からなる導電板４１（本発明における導電部材の一種）の一端部を露出切欠４０内に挿入し、位置決めピン３１と接触させてノズルプレート９と導通させている。この導電板４１も他端側をプリンタ本体のグラウンドと導通させている。即ち、この第２実施形態では、位置決めピン３１と導電板４１を通じてノズルプレート９を接地電位に調整するようになっている。なお、充填用切欠３４と露出切欠４０は、図１１に例示するように、互いに隣接させて連通した状態に形成することも可能である。
【００４０】
図１２は、第３実施形態における記録ヘッド１の構成を説明する要部断面図である。同図に示すように、本実施形態における位置決めピン３１は、ノズルプレート９からヘッドケース１０の基板取付面１５に配設された配線基板６に到達する長さに設定されており、他端側が先端側よりも大径となっている。そして、本実施形態においては、配線基板６の基板裏面（基板取付面１５側の面）におけるピン保持部３２に対応する位置に接地端子４４を設け、これに位置決めピン３１の他端を接触させて導通させている点が上記第１及び第２実施形態と異なる。配線基板６の接地端子４４は、コネクタ１３に接続されたＦＦＣを通じてプリンタ本体のグラウンドと導通しており、位置決めピン３１を通じてノズルプレート９を接地電位に調整することができる。
【００４１】
また、この第３実施形態では、図１３に示すように、ノズルプレート９の挿通孔３０ａの内周壁の少なくとも一部を位置決めピン３１に接触させることにより、位置決めピン３１とノズルプレート９を導通させている。この例では、ノズルプレート９の挿通孔３０ａの内周壁に、孔中心側に向けて突出した２つの接触部４５を互いに向き合わせた状態に形成している。そして、挿通孔３０ａに位置決めピン３１を通すと、これらの接触部４５は、位置決めピン３１を間に挟む状態で、この位置決めピン３１に接触するようになっている。これにより、簡単な構造で位置決めピン３１とノズルプレート９を導通させることができる。なお、その他の構成については、上記第１実施形態と同様である。
【００４２】
なお、以上では、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド１を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタを製造するディスプレー製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレーやＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極を形成する電極製造装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。
【図２】記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図３】記録ヘッドを斜め下方から見た斜視図である。
【図４】図３における領域Ｘの拡大図である。
【図５】挿通孔周辺部の構成を説明する平面図である。
【図６】充填用切欠周辺部の構成を説明する平面図である。
【図７】流路ユニットとノズルプレートをヘッドケースの流路取付面に取り付けた状態における位置決めピン周辺の拡大断面図である。
【図８】第２実施形態における記録ヘッドの構成を説明する斜視図である。
【図９】図８における領域Ｙの拡大図である。
【図１０】（ａ），（ｂ）は第２実施形態における位置決めピン周辺の拡大断面図である。
【図１１】第２実施形態における変形例を説明する図である。
【図１２】第３実施形態における記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図１３】挿通孔周辺部の構成を説明する平面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１…記録ヘッド，２…インク導入針，３…導入針ユニット，４…圧電振動子，５…アクチュエータユニット，６…配線基板，７…流路ユニット，８…ノズル開口，９…ノズルプレート，１０…ヘッドケース，１５…基板取付面，１９…流路形成基板，２０…振動板，３０…挿通孔，３１…位置決めピン，３２…ピン保持部，３４…充填用切欠，３５…充填空部，３６…充填材，３７…導線，４０…露出切欠，４１…導電板，４４…接地端子，４５…接触部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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