(57)【要約】【課題】塗布膜に斑が発現することを抑制し、均一に乾燥できる乾燥方法及び装置を提供する。【解決手段】走行する長尺状支持体１２に有機溶剤を含む塗布液を塗布して形成した塗布膜の乾燥方法において、塗布直後に乾燥ゾーン１４を設けて走行するウエブ１２の乾燥される塗布膜面１２ａを囲み、送風ダクト１７Ｃからプレナムチャンバ２１に供給された乾燥風４２を該プレナムチャンバ２１で拡流してから整流部材１９で整流し、拡流及び整流した乾燥風４２を、ウエブ幅方向の一方端側から他方端側に向けて吹き出す。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行するウエブに有機溶剤を含む塗布液を塗布して形成した塗布膜の乾燥方法において、
前記塗布直後に乾燥ゾーンを設けて前記走行するウエブの乾燥される塗布膜面を囲み、
送風ダクトからプレナムチャンバに供給された乾燥風を該プレナムチャンバで拡流してから整流部材で整流し、
前記拡流及び整流した乾燥風を、前記ウエブ幅方向の一方端側から他方端側に向けて吹き出すことを特徴とする塗布膜の乾燥方法。
【請求項２】
前記送風ダクトからの乾燥風を、前記プレナムチャンバの内壁面に当てるように供給することを特徴とする請求項１の塗布膜の乾燥方法。
【請求項３】
前記整流部材は、ハニカム構造であると共に、整流格子のセル寸法Ｍ（ｍ）、流路幅ｄ（ｍ）、セル長Ｌ０（ｍ）が式１及び式２の関係にあることを前提としたときに、式３で表される乾燥ムラ・ピッチＰ１（ｍ）が式４を満足し、且つ式５で表される乾燥ムラ・ピッチＰ２（ｍ）が式６を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布膜の乾燥方法。
Ｍ≦０．０２×ｄ（式１）、
Ｌ０≧（６〜８）×Ｍ（式２）、
Ｐ１＝ｕ×（２×Ｌ０）÷Ｃ（式３）、
Ｐ１≦５×１０−３（式４）、
Ｐ２＝ｕ×２×π÷Ｃ×｛（Ａ／Ｌ０）×（１／Ｖ１＋１／Ｖ２）｝−１／２（式５）、
Ｐ２≦５×１０−２（式６）、
但し、空気中の音速Ｃ（ｍ／ｓｅｃ）、前記ウエブの搬送速度ｕ（ｍ／ｓｅｃ）、前記プレナムチャンバの容積Ｖ１（ｍ３）前記乾燥ゾーンの容積Ｖ２（ｍ３）、整流部材のハニカム構造における１セル分の断面積Ａ（ｍ２）とする。
【請求項４】
前記整流部材は、金網であると共に、金網の線材径Ｄ（ｍ）、線材の間隔Ｌ（ｍ）が式７の関係にあることを前提として、前記乾燥風の給気量Ｑ（ｍ３／ｓｅｃ）、整流部材の流路内寸（幅Ｂ（ｍ）×高さＨ（ｍ））、乾燥風の金網通過風速Ｗ（ｍ／ｓｅｃ）、空気の動粘度ν（ｍ２／ｓｅｃ）＝粘度μ（Ｐａ・ｓｅｃ）／密度ρ（ｋｇ／ｍ３）、が式８及び式９を満たすことを特徴とする請求項１又は２の塗布膜の乾燥方法。
開口面積比β＝（１−Ｄ／Ｌ）２＞０．５７（式７）、
Ｗ＝Ｑ÷（Ｂ×Ｈ）÷β（式８）、
Ｌ×Ｗ÷ν≦５０（式９）。
【請求項５】
前記整流部材は、２枚の多孔板を２層構造に配置したものであると共に、２枚の多孔板の設置間隔を整流部材の流路内寸（幅Ｂ（ｍ）×高さＨ（ｍ））の０．５〜１倍であることを前提として、多孔板の孔径φ（ｍ）、及び多孔板の孔ピッチδ（ｍ）が、φ＜δ（式１０）を満たし、且つ乾燥風の吹き出し方向から見て前記２枚の多孔板の孔が重ならないように配置されていることを特徴とする請求項１又は２の塗布膜の乾燥方法。
【請求項６】
前記整流部材が多孔質体で形成されたものであることを特徴とする請求項１又は２の塗布膜の乾燥方法。
【請求項７】
前記乾燥風には、前記塗布液と同じ有機溶剤が含有されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか１の塗布膜の乾燥方法。
【請求項８】
走行するウエブに塗布機により有機溶剤を含む塗布液を塗布して形成した塗布膜の乾燥装置において、
前記塗布機の直後に設けられ、前記走行するウエブの乾燥される塗布膜面を囲む乾燥ゾーンを形成する乾燥装置本体と、
前記乾燥ゾーン内に前記ウエブ幅方向の一方端側から他方端側に向けて乾燥風を吹き出す乾燥風吹出手段と、を有し、
前記乾燥風吹出手段は、
前記ウエブ幅方向の一方端側に配置され、前記乾燥風の吹出口が前記ウエブの幅方向を臨む壁面に開口された箱状のプレナムチャンバと、
前記乾燥風を、前記プレナムチャンバの内壁面に当てるように供給する送風ダクトと、  前記プレナムチャンバ内に設けられ、前記吹出口から吹き出す乾燥風を整流する整流部材と、を備えたことを特徴とする塗布膜の乾燥装置。
【請求項９】
前記ウエブ幅方向の他方端側に前記乾燥風吹出手段に対向配置され、前記吹出口から吹き出された乾燥風を吸引して前記乾燥ゾーンから排気する乾燥風排気手段を設けたことを特徴とする請求項８の塗布膜の乾燥装置。
【請求項１０】
前記乾燥ゾーンを、前記ウエブの走行方向に直交する仕切板で仕切って複数の分割ゾーンを形成し、分割ゾーンごとに前記乾燥風吹出手段を設けることを特徴とする請求項８又は９の塗布膜の乾燥装置。
【請求項１１】
前記仕切板の上端と前記塗布膜面との間隔は、０．５〜１２ｍｍの範囲に設定されていることを特徴とする請求項１０の塗布膜の乾燥装置。
【請求項１２】
前記整流部材は、ハニカム構造であると共に、整流格子のセル寸法Ｍ（ｍ）、流路幅ｄ（ｍ）、セル長Ｌ０（ｍ）が式１及び式２の関係にあることを前提としたときに、式３で表される乾燥ムラ・ピッチＰ１（ｍ）が式４を満足し、且つ式５で表される乾燥ムラ・ピッチＰ２（ｍ）が式６を満足することを特徴とする請求項８〜１１の何れか１に記載の塗布膜の乾燥装置。
Ｍ≦０．０２×ｄ（式１）、
Ｌ０≧（６〜８）×Ｍ（式２）、
Ｐ１＝ｕ×（２×Ｌ０）÷Ｃ（式３）、
Ｐ１≦５×１０−３（式４）、
Ｐ２＝ｕ×２×π÷Ｃ×｛（Ａ／Ｌ０）×（１／Ｖ１＋１／Ｖ２）｝−１／２（式５）、
Ｐ２≦５×１０−２（式６）、
但し、空気中の音速Ｃ（ｍ／ｓｅｃ）、前記ウエブの搬送速度ｕ（ｍ／ｓｅｃ）、前記プレナムチャンバの容積Ｖ１（ｍ３）前記乾燥ゾーンの容積Ｖ２（ｍ３）、整流部材のハニカム構造における１セル分の断面積Ａ（ｍ２）とする。
【請求項１３】
前記整流部材は、金網であると共に、金網の線材径Ｄ（ｍ）、線材の間隔Ｌ（ｍ）が式７の関係にあることを前提として、前記乾燥風の給気量Ｑ（ｍ３／ｓｅｃ）、整流部材の流路内寸（幅Ｂ（ｍ）×高さＨ（ｍ））、乾燥風の金網通過風速Ｗ（ｍ／ｓｅｃ）、空気の動粘度ν（ｍ２／ｓｅｃ）＝粘度μ（Ｐａ・ｓｅｃ）／密度ρ（ｋｇ／ｍ３）、が式８及び式９を満たすことを特徴とする請求項８〜１１の何れか１の塗布膜の乾燥装置。
開口面積比β＝（１−Ｄ／Ｌ）２＞０．５７（式７）、
Ｗ＝Ｑ÷（Ｂ×Ｈ）÷β（式８）、
Ｌ×Ｗ÷ν≦５０（式９）。
【請求項１４】
前記整流部材は、前記整流部材は、２枚の多孔板を２層構造に配置したものであると共に、２枚の多孔板の設置間隔を整流部材の流路内寸（幅Ｂ（ｍ）×高さＨ（ｍ））の０．５〜１倍であることを前提として、多孔板の孔径φ（ｍ）、及び多孔板の孔ピッチδ（ｍ）が、φ＜δ（式１０）を満たし、且つ乾燥風の吹き出し方向から見て前記２枚の多孔板の孔が重ならないように配置されていることを特徴とする請求項８〜１１の何れか１の塗布膜の乾燥装置。
【請求項１５】
前記乾燥風排気手段は、
前記ウエブ幅方向の他方端側に配置され、前記乾燥風の排気口が前記ウエブの幅方向を臨む壁面に開口された箱状のプレナムチャンバと、
前記プレナムチャンバ内に設けられ、前記排気口から吸引された乾燥風を整流する排気側の整流部材と、
前記プレナムチャンバ内に吸引された乾燥風を排気する排気ダクトと、を備えたことを特徴とする請求項９の塗布膜の乾燥装置。
【請求項１６】
前記排気側の整流部材は、請求項１２〜１４の何れか１であることを特徴とする請求項１５の塗布膜の乾燥装置。
【請求項１７】
前記ウエブは、予め塗布された配向膜形成用樹脂をラビング処理した配向膜層を有すると共に、前記塗布液は液晶性ディスコティック化合物を含むものであることを特徴とする請求項８〜１６の何れか１の塗布膜の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は塗布膜の乾燥方法及び装置に係り、特に、光学補償シート等の製造において、長尺状支持体であるウエブに有機溶剤を含む塗布液を塗布して形成した長尺で広幅な塗布膜面を乾燥する塗布膜の乾燥方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置において視野角特性を改善するために、一対の偏光板と液晶セルとの間に位相差板として光学補償シートを設けている。長尺状の光学補償シートは、長尺状の透明フィルムの表面に配向膜形成用樹脂を含む塗布液を塗布してからラビング処理を行なって配向膜を形成し、その配向膜の上に液晶性ディスコティック化合物を含む塗布液を塗布し、塗布した塗布膜を乾燥することで製造することができる。特許文献１に開示されている液晶性ディスコティック化合物を含む塗布液の乾燥方法は、該配向膜上に液晶性ディスコティック化合物を含む塗布液を塗布してから正規の乾燥装置で乾燥するまで室内空調条件下で初期乾燥を行なって主として塗布液中の有機溶剤を蒸発させるようにしている。この方法で製造された光学補償シートには、塗布膜１面上に乾燥過程において、図１４の塗布膜面１に示したようなブロードな斑Ａ（細い線で示す）とシャープな斑Ｂ（太い線で示す）の２種類の斑（ムラ）Ａ、Ｂが発生し、場合によって製品の得率を下げるという問題があった。
【０００３】
そこで、特許文献２では、塗布直後に乾燥ゾーンを設けて、ウエブ幅方向の一方向側から他方向側に流れる一方向流れの乾燥風を発生することで、乾燥過程で発生するブロードな斑Ａとシャープな斑Ｂを抑制することが開示されている。また、特許文献３では、プレナムチャンバに供給した乾燥風をハニカムと金網からなる整流部材を介して、搬送されるウエブの上方から塗布膜に吹き付けるようにした乾燥用ノズルが開示されている。また、特許文献４では、ウエブの塗布膜面の反対側から多孔質板を介して乾燥風を吹き出す塗布乾燥方法が開示されている。
【特許文献１】特開平９−７３０８１号公報
【特許文献２】特開２００１−１７０５４７号公報
【特許文献３】特開２００４−１４１７５９号公報
【特許文献４】特開２００４−６６０４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献２の乾燥方法のように、ウエブの幅方向に乾燥風を吹くことで塗布膜のブロードな斑Ａとシャープな斑Ｂを抑制する効果はあるものの、満足するだけの十分な効果が得られていない。また、特許文献３及び４のように、塗布膜面に向けて乾燥風を吹き付けたり、ウエブの裏面から乾燥風を吹き出したりする乾燥方法は、特許文献２のウエブ幅方向に乾燥風を吹く場合に比べてブロードな斑Ａとシャープな斑Ｂを抑制する効果が小さい。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、乾燥時にブロード及びシャープな斑状欠陥が塗布膜面上に発現することを効果的に抑制し、塗布膜面を均一に乾燥できる乾燥方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、前記目的を達成するために、走行するウエブに有機溶剤を含む塗布液を塗布して形成した塗布膜の乾燥方法において、前記塗布直後に乾燥ゾーンを設けて前記走行するウエブの乾燥される塗布膜面を囲み、送風ダクトからプレナムチャンバに供給された乾燥風を該プレナムチャンバで拡流してから整流部材で整流し、前記拡流及び整流した乾燥風を、前記ウエブ幅方向の一方端側から他方端側に向けて吹き出すことを特徴とする塗布膜の乾燥方法を提供する。
【０００７】
本発明者は、ウエブ幅方向の一方端側から他方端側に流れる一方向流れの乾燥風によるブロードな斑及びシャープな斑の防止対策について更なる改良を研究した結果、次のことが分かった。即ち、ウエブ幅方向の一方端から他方端に向けて乾燥風を吹き出すことで、ブロードな斑とシャープな斑の両方の斑を抑制する効果があるが、乾燥風の吹き出しが不均一になったり、乱れたりすると十分な抑制効果を得ることができない。
【０００８】
かかる課題の解決策として、ウエブ幅方向の一方端から他方端に向けて乾燥風を吹き出す構成と、吹き出す乾燥風の均一化及び整流化を行う構成とを組み合わせることで、ブロードな斑とシャープな斑を顕著に抑制することができることが分かった。
【０００９】
本発明は係る知見に基づいてなされたものであり、請求項１では、送風ダクトからプレナムチャンバに供給された乾燥風を該プレナムチャンバで拡流して、送風ダクトからの動圧の乾燥風を静圧の乾燥風に変換する。そして、この静圧の乾燥風を整流部材で整流して、ウエブ幅方向の一方端側から他方端側に向けて吹き出すようにしたので、ブロードな斑とシャープな斑の両方を顕著に抑制することができる。
【００１０】
請求項２は請求項１において、前記送風ダクトからの乾燥風を、前記プレナムチャンバの内壁面に当てるように供給することを特徴とする。
請求項２は、送風ダクトからの動圧の乾燥風を静圧の乾燥風に変換する好ましい方法を示したものであり、送風ダクトからの乾燥風をプレナムチャンバの内壁面に当てるようにした。これにより、送風ダクトからプレナムチャンバに送風された乾燥風は拡流するので、乾燥風の動圧を、プレナムチャンバ内において静圧に変換することができる。
【００１１】
請求項３は請求項１又は２において、前記整流部材は、ハニカム構造であると共に、整流格子のセル寸法Ｍ（ｍ）、流路幅ｄ（ｍ）、セル長Ｌ０（ｍ）が式１及び式２の関係にあることを前提としたときに、式３で表される乾燥ムラ・ピッチＰ１（ｍ）が式４を満足し、且つ式５で表される乾燥ムラ・ピッチＰ２（ｍ）が式６を満足することを特徴とする。Ｍ≦０．０２×ｄ（式１）、Ｌ０≧（６〜８）×Ｍ（式２）、Ｐ１＝ｕ×（２×Ｌ０）÷Ｃ（式３）、Ｐ１≦５×１０−３（式４）、Ｐ２＝ｕ×２×π÷Ｃ×｛（Ａ／Ｌ０）×（１／Ｖ１＋１／Ｖ２）｝−１／２（式５）、Ｐ２≦５×１０−２（式６）、但し、空気中の音速Ｃ（ｍ／ｓｅｃ）、前記ウエブの搬送速度ｕ（ｍ／ｓｅｃ）、前記プレナムチャンバの容積Ｖ１（ｍ３）前記乾燥ゾーンの容積Ｖ２（ｍ３）、整流部材のハニカム構造における１セル分の断面積Ａ（ｍ２）とする。
【００１２】
請求項３は、整流部材をハニカム構造としたときに、ブロードな斑とシャープな斑の両方を顕著に抑制することができる条件を規定したものであり、上記の（式１）〜（式６）を満足するようにしたので、上記両方の斑の発現を一層抑制できる。
【００１３】
請求項４は請求項１又は２において、前記整流部材は、金網であると共に、金網の線材径Ｄ（ｍ）、線材の間隔Ｌ（ｍ）が式７の関係にあることを前提として、前記乾燥風の給気量Ｑ（ｍ３／ｓｅｃ）、整流部材の流路内寸（幅Ｂ（ｍ）×高さＨ（ｍ））、乾燥風の金網通過風速Ｗ（ｍ／ｓｅｃ）、空気の動粘度ν（ｍ２／ｓｅｃ）＝粘度μ（Ｐａ・ｓｅｃ）／密度ρ（ｋｇ／ｍ３）、が式８及び式９を満たすことを特徴とする。開口面積比β＝（１−Ｄ／Ｌ）２＞０．５７（式７）、Ｗ＝Ｑ÷（Ｂ×Ｈ）÷β（式８）、Ｌ×Ｗ÷ν≦５０（式９）。
【００１４】
請求項４は、整流部材を金網としたときに、ブロードな斑Ａとシャープな斑Ｂの両方を顕著に抑制することができる条件を規定したものであり、上記の（式５）〜（式７）を満足するようにしたので、上記斑の発現を一層抑制できる。
【００１５】
請求項５は請求項１又は２において、前記整流部材は、２枚の多孔板を２層構造に配置したものであると共に、２枚の多孔板の設置間隔を整流部材の流路内寸（幅Ｂ（ｍ）×高さＨ（ｍ））の０．５〜１倍であることを前提として、多孔板の孔径φ（ｍ）、及び多孔板の孔ピッチδ（ｍ）が、φ＜δ（式１０）を満たし、且つ乾燥風の吹き出し方向から見て前記２枚の多孔板の孔が重ならないように配置されていることを特徴とする。
請求項５は、整流部材を２枚の多孔板を２層構造としたときに、ブロードな斑とシャープな斑の両方を顕著に抑制することができる条件を規定したものであり、上記（式８）を満足するようにしたので、上記斑の発現を一層抑制できる。
【００１６】
請求項６は請求項１又は２において、前記整流部材が多孔質体で形成されたものであることを特徴とする。
【００１７】
整流部材を多孔質体で形成しても、良好な整流作用を得ることができる。
【００１８】
請求項７は請求項１〜６の何れか１において、前記乾燥風には、前記塗布液と同じ有機溶剤が含有されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項７のように、乾燥風に塗布液と同じ有機溶剤を含ませることによって、乾燥ゾーン内の有機溶剤濃度を常に一定に保つことができるので、塗布膜の均一乾燥が向上する。
【００２０】
請求項８の発明は、前記目的を達成するために、走行するウエブに塗布機により有機溶剤を含む塗布液を塗布して形成した塗布膜の乾燥装置において、前記塗布機の直後に設けられ、前記走行するウエブの乾燥される塗布膜面を囲む乾燥ゾーンを形成する乾燥装置本体と、前記乾燥ゾーン内に前記ウエブ幅方向の一方端側から他方端側に向けて乾燥風を吹き出す乾燥風吹出手段と、を有し、前記乾燥風吹出手段は、前記ウエブ幅方向の一方端側に配置され、前記乾燥風の吹出口が前記ウエブの幅方向を臨む壁面に開口された箱状のプレナムチャンバと、前記乾燥風を、前記プレナムチャンバの内壁面に当てるように供給する送風ダクトと、前記プレナムチャンバ内に設けられ、前記吹出口から吹き出す乾燥風を整流する整流部材と、を備えたことを特徴とする塗布膜の乾燥装置を提供する。
【００２１】
請求項８は、本発明を装置として構成したものであり、かかる構成により、プレナムチャンバの吹出口からは、静圧で且つ整流された乾燥風を、ウエブの幅方向に吹き出すことができるので、ブロードな斑とシャープな斑の両方を顕著に抑制することができる。
【００２２】
請求項９は請求項８において、前記ウエブ幅方向の他方端側に前記乾燥風吹出手段に対向配置され、前記吹出口から吹き出された乾燥風を吸引して前記乾燥ゾーンから排気する乾燥風排気手段を設けたことを特徴とする。
【００２３】
請求項９によれば、ウエブ幅方向の他方端に、乾燥風吹出手段に対向して乾燥風排気手段を設けたので、ウエブ幅方向に流れる乾燥風の気流を安定化することができると共に、ウエブ幅方向における風速を均一化することができる。これにより、ブロードな斑とシャープな斑の両方を一層抑制することができる。
【００２４】
請求項１０は請求項８又は９において、前記乾燥ゾーンを、前記ウエブの走行方向に直交する仕切板で仕切って複数の分割ゾーンを形成し、分割ゾーンごとに前記乾燥風吹出手段を設けることを特徴とする。
【００２５】
請求項１０によれば、分割ゾーンごとに乾燥風吹出手段を設けることにより、分割ゾーンごとに乾燥風の風速を変えることができるので、きめ細かく塗布膜の乾燥条件を設定することができ、塗布膜を一層均一に乾燥できる。
【００２６】
請求項１１は請求項１０において、前記仕切板の上端と前記塗布膜面との間隔は、０．５〜１２ｍｍの範囲に設定されていることを特徴とする。
【００２７】
請求項１１によれば、仕切板の上端と塗布膜面との間隔を０．５ｍｍ〜１２ｍｍとし、塗布膜面が仕切板に当たらない範囲においてできるだけ狭くするようにした。これにより、隣接する分割ゾーン同士の間における乾燥風の出入りが抑制されるので、各分割ゾーンでの乾燥条件精度を向上できるだけでなく、乾燥風のウエブ幅方向の流れを精度良くコントロールし易くなる。従って、ブロードな斑とシャープな斑の両方を一層抑制することができる。  
【００２８】
請求項１２〜１４は、整流部材をハニカム構造、金網、２枚の多孔板で構成した場合であり、ブロードな斑Ａとシャープな斑Ｂの両方を顕著に抑制することができる条件を規定したものである。
【００２９】
請求項１５は請求項９において、前記乾燥風排気手段は、前記ウエブ幅方向の他方端側に配置され、前記乾燥風の排気口が前記ウエブの幅方向を臨む壁面に開口された箱状のプレナムチャンバと、前記プレナムチャンバ内に設けられ、前記排気口から吸引された乾燥風を整流する排気側の整流部材と、前記プレナムチャンバ内に吸引された乾燥風を排気する排気ダクトと、を備えたことを特徴とする。
【００３０】
請求項１５では、乾燥風排気手段についてもプレナムチャンバと整流部材とを備える方式にしたので、ウエブ幅方向に流れる乾燥風の気流を一層安定化することができる。
【００３１】
請求項１６は請求項１５において、前記排気側の整流部材は、請求項１２〜１４の何れか１であることを特徴とする。これは、乾燥エアを吸引する際の整流部材の条件も、吹き出しと吸引の違いはあるものの、基本的には同じだからである。
請求項１７は請求項８〜１６の何れか１において、前記ウエブは、予め塗布された配向膜形成用樹脂をラビング処理した配向膜層を有すると共に、前記塗布液は液晶性ディスコティック化合物を含むものであることを特徴とする。
本発明の乾燥装置は、光学補償シートを製造する製造工程の乾燥装置として特に有効だからである。
【発明の効果】
【００３２】
本発明の塗布膜の乾燥方法及び装置によれば、乾燥時にブロード及びシャープな斑状欠陥が塗布膜面上に発生することを効果的に抑制し、塗布膜面を均一に乾燥できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、添付図面により本発明の塗布膜の乾燥方法及び装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００３４】
図１は、本発明の塗布膜の乾燥装置の全体構成を示す側面図であり、また、図２は図１を上方から見た平面図である。尚、図２では、図１に示している上蓋３４を取り外して示している。
【００３５】
図１又は図２に示すように、本発明の塗布膜の乾燥装置１０は、主として、走行するウエブ１２を通過させて塗布膜の乾燥が行なわれる乾燥ゾーン１４を形成する乾燥装置本体１６と、乾燥ゾーン１４内にウエブ１２幅方向の一方端側から他方端側に乾燥風を吹き出す乾燥風吹出手段１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄ、１８Ｅ、１８Ｆ、１８Ｇと、乾燥風を吸引して乾燥ゾーン１４から排出する乾燥風排気手段１８Ｈ、１８Ｉ、１８Ｊ、１８Ｋ、１８Ｌ、１８Ｍ、１８Ｎとで構成される。この乾燥装置１０は、走行するウエブ１２に有機溶剤を含む塗布液を塗布する塗布機２０の直後に設けられる。
【００３６】
尚、本実施の形態の一例として、ウエブ１２は、予め塗布された配向膜形成用樹脂をラビング処理して配向膜となる層を有するものであると共に、塗布液は液晶性ディスコティック化合物を含む有機溶剤性塗布液の例で説明する。
【００３７】
塗布機２０としては、例えば、ワイヤーバー２０Ａを備えたバー塗布装置を使用することができ、複数のパスローラ２２、２４、２６に支持されて走行するウエブ１２の下面に塗布液が塗布されて塗布膜が形成される。
【００３８】
乾燥装置本体１６は、塗布機２０の直後に設けられ、走行するウエブ１２の塗布膜面側（ウエブの下面側）に沿った長四角な箱体状に形成され、箱体の各辺のうちの塗布膜面側の辺（箱体の上辺）が切除されている。これにより、走行するウエブ１２の乾燥される塗布膜面を囲む乾燥ゾーン１４が形成される。乾燥ゾーン１４は、乾燥装置本体１６を、ウエブ１２の走行方向に直交した複数の仕切板２８、２８…で仕切ることにより、複数の分割ゾーン１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ、１４Ｅ、１４Ｆ、１４Ｇ（本試験では７つの分割ゾーン）に分割される。この場合、乾燥ゾーン１４を分割する仕切板２８の上端と、ウエブ１２に形成された塗布膜面との距離は、０．５ｍｍ〜１２ｍｍの範囲が好ましく、更に好ましくは１ｍｍ〜１０ｍｍの範囲である。また、乾燥装置本体１６の幅はウエブ１２の幅よりも大きくなるように形成されており、乾燥ゾーン１４の上部には上蓋３４（図１参照）が設けられている。
【００３９】
そして、パスローラ２２、２４、２６に支持され走行するウエブ１２に塗布機２０のワイヤーバー２０Ａで塗布液を塗布した直後、乾燥装置１０によって塗布膜面１２ａの初期乾燥が行なわれる。この初期乾燥は、塗布直後、遅くとも５秒以内の塗布直後に乾燥風による乾燥を開始することが好ましい。
【００４０】
複数に分割された分割ゾーン１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄ、１４Ｅ、１４Ｆ、１４Ｇごとに、幅方向一方端側に乾燥風吹出手段１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄ、１８Ｅ、１８Ｆ、１８Ｇが設けられると共に、他方端側に乾燥風排気手段１８Ｈ、１８Ｉ、１８Ｊ、１８Ｋ、１８Ｌ、１８Ｍ、１８Ｎが設けられる。
【００４１】
図３は、乾燥ゾーン１４のうち分割ゾーン１４Ｃにおけるウエブ幅方向の断面図であり、図４は乾燥風吹出手段１８Ｃを示した概念図である。分割ゾーン１４Ｃ以外の分割ゾーンの構造も同様である。
【００４２】
図３に示すように、分割ゾーン１４Ｃには、ウエブ１２幅方向の一方端側から他方端側に向けて乾燥風４２を吹き出す乾燥風吹出手段１８Ｃが設けられている。
【００４３】
乾燥風吹出手段１８Ｃは、図３及び図４に示すように、乾燥風の吹出口ａが側面に形成された箱状のプレナムチャンバ２１と、プレナムチャンバ２１内に乾燥風を供給する送風ダクト１７Ｃと、プレナムチャンバ２１内に供給された乾燥風を整流する整流部材１９、とで構成される。送風ダクト１７Ｃは、プレナムチャンバ２１の底板に開口された接続口に接続される。これにより、送風ダクト１７Ｃからプレナムチャンバ２１内に送風された乾燥風は、プレナムチャンバの天井内壁面に当たって拡流される。これにより、送風ダクト１７Ｃからの動圧の乾燥風を静圧の乾燥風に変換する。送風ダクト１７Ｃの接続は、プレナムチャンバ２１の底板に限定するものではなく、吹出口ａに対向する背板でなければ、側板でもよい。要は、送風ダクト１７Ｃから送風される乾燥風がプレナムチャンバ２１の内壁面に当たるように、送風ダクト１７Ｃがプレナムチャンバ２１に接続されていればよい。
【００４４】
また、整流部材１９はプレナムチャンバ２１を吹出口ａを有する前室２１Ａと、吹出口ａのない後室２１Ｂとに仕切ると共に、後室２１Ｂに送風ダクト１７Ｃが連通するように接続される。整流部材１９としては、ハニカム構造、金網、多孔板、多孔質体を、好ましく使用することができる。
【００４５】
かかる構造の乾燥風吹出手段１８Ｃによれば、送風ダクト１７Ｃからプレナムチャンバ２１に供給された乾燥風を該プレナムチャンバ２１の内壁面に当てることによって拡流し、これにより送風ダクト１７Ｃからの動圧の乾燥風を静圧の乾燥風に変換する。そして、この静圧の乾燥風４２を整流部材１９で整流して、ウエブ幅方向の一方端側から他方端側に向けて吹き出す。これにより、図１４に示したブロードな斑Ａとシャープな斑Ｂの両方を抑制することができる。
【００４６】
この乾燥風吹出手段１８Ｃは分割ゾーン１４Ａ〜１４Ｇごとに個々に乾燥風４２の風量（風速）を制御できるようになっている。乾燥風吹出手段１８Ａ〜１８Ｇから吹き出される乾燥風４２としては、温度・湿度が空調された空調風が好ましい。
【００４７】
乾燥風排気手段１８Ｊは、図３に示すように、乾燥風吹出手段１８Ｃに対向配置され、乾燥風の排出口ｂが側面に形成されたプレナムチャンバ２３と、該プレナムチャンバ２３に接続された排気ダクト１７Ｊとで構成される。図３では、プレナムチャンバ２３を単に箱体として形成したが、乾燥風吹出手段１８Ｃの場合と同様に、プレナムチャンバ２３内に排気側の整流部材を設けることが好ましい。これにより、乾燥風吹出手段１８Ｃから乾燥風排気手段１８Ｊに向けて、即ちウエブ幅方向の一方端側（吹出口側）から他方端側（排出口側）に向けて一方向に流れる乾燥風の気流を安定して形成することができる。従って、ブロードな斑Ａとシャープな斑Ｂの両方を一層抑制することができる。
【００４８】
また、乾燥ゾーン１４を設けたことで、塗布膜面１２ａから蒸発した有機溶剤が塗布膜面１２ａを覆う乾燥環境が形成される。この乾燥環境下で、乾燥風吹出手段１８Ａ〜１８Ｇから分割ゾーン１４Ａ〜１４Ｇに吹き出された乾燥風が乾燥風排気手段１８Ｈ〜１８Ｎから排気されるので、各分割ゾーン１４Ａ〜１４Ｇには、乾燥風４２はウエブ幅方向の一方端側（吹出口側）から他方端側（排出口側）に向けて一方向に流れる。これにより、塗布膜面１２ａが有機溶剤で覆われた状態のまま、蒸発した有機溶剤を含む乾燥風４２が乾燥風排気手段１８Ｈ〜１８Ｎから排気されて次第に乾燥される。この場合、乾燥風吹出手段１８Ａ〜１８Ｇの吹出口ａから吹き出す乾燥風４２の風量（風速）が大きすぎると、塗布膜面を有機溶剤が均等に覆わなくなるので、乾燥風４２の風量を調整して、風量が大きくなりすぎないようにする必要がある。これにより、塗布膜面近傍における有機溶剤濃度を均等にできるので、塗布膜面１２ａの各部分から有機溶剤を均等に蒸発させることができる。
【００４９】
この場合、ウエブ１２が乾燥ゾーン１４を走行することで、乾燥ゾーン１４のウエブ搬送方向における入口側と出口側における塗布膜面近傍の有機溶剤濃度が異なる場合があるが、乾燥ゾーン１４を、複数の分割ゾーン１４Ａ〜１４Ｇに分割したことで解消することができる。即ち、７分割された各分割ゾーン１４Ａ〜１４Ｇに設けた各乾燥風吹出手段１８Ａ〜１８Ｇの風量を制御して、各分割ゾーン１４Ａ〜１４Ｇを流れる乾燥風４２の風速を調整することにより、乾燥ゾーン１４の入口側と出口側における塗布膜面近傍の有機溶剤濃度の異なりを解消することができる。
【００５０】
乾燥風４２としては、乾燥装置１０が設置された、例えば空調室等の空調風を使用することができるが、塗布液に含有される有機溶剤と同じ溶剤を含む風を、乾燥風吹出手段１８Ａ〜１８Ｇから吹き出すようにしてもよい。
【００５１】
次に、整流部材１９として、ハニカム構造、金網、多孔板の何れかを使用したときに、ブロードな斑Ａとシャープな斑Ｂの両方を抑制するための好ましい条件について説明する。尚、この整流部材の好ましい条件は、乾燥風吹出手段１８及び乾燥風排気手段１８Ｊともに、同様である。
（１）整流部材がハニカム構造の場合、
整流格子のセル寸法Ｍ（ｍ）、流路幅ｄ（ｍ）、セル長Ｌ０（ｍ）が式１及び式２の関係にあることを前提としたときに、式３で表される乾燥ムラ・ピッチＰ１（ｍ）が式４を満足し、且つ式５で表される乾燥ムラ・ピッチＰ２（ｍ）が式６を満足することが好ましい。
Ｍ≦０．０２×ｄ（式１）、
Ｌ０≧（６〜８）×Ｍ（式２）、
Ｐ１＝ｕ×（２×Ｌ０）÷Ｃ（式３）、
Ｐ１≦５×１０−３（式４）、
Ｐ２＝ｕ×２×π÷Ｃ×｛（Ａ／Ｌ０）×（１／Ｖ１＋１／Ｖ２）｝−１／２（式５）、
Ｐ２≦５×１０−２（式６）、
但し、空気中の音速Ｃ（ｍ／ｓｅｃ）、前記ウエブの搬送速度ｕ（ｍ／ｓｅｃ）、前記プレナムチャンバの容積Ｖ１（ｍ３）前記乾燥ゾーンの容積Ｖ２（ｍ３）、整流部材のハニカム構造における１セル分の断面積Ａ（ｍ２）とする。尚、ハニカム構造には、六角、ＯＸ、フレックス、バイセクト、フェザー等のセルの形状があるが、どの形状でも良い。
【００５２】
ここで、式３で表される乾燥ムラ・ピッチＰ１（ｍ）及び式５で表される乾燥ムラ・ピッチＰ２（ｍ）は、乾燥装置の装置寸法と乾燥ムラの間隔（ピッチ）との相関を示している。即ち、図１１（ブロードな斑Ａの場合）に示すように、ブロードな斑Ａの発生位置に合わせて、ウエブ搬送速度ｕと乾燥風の給気風速との合成ベクトル方向と平行な直線を引いたときに、乾燥ムラ・ピッチＰ１（ｍ）は直線同士の間隔を意味する。同様に、図１２（シャープな斑Ｂの場合）に示すように、シャープな斑Ｂの発生位置に合わせて、ウエブ搬送速度ｕと乾燥風の給気風速との合成ベクトル方向と平行な直線を引いたときに、乾燥ムラ・ピッチＰ２（ｍ）は直線同士の間隔を意味する。
【００５３】
（２）整流部材が金網の場合
金網の線材径Ｄ（ｍ）、線材の間隔Ｌ（ｍ）が式７の関係にあることを前提として、前記乾燥風の給気量Ｑ（ｍ３／ｓｅｃ）、整流部材の流路内寸（幅Ｂ（ｍ）×高さＨ（ｍ））、乾燥風の金網通過風速Ｗ（ｍ／ｓｅｃ）、空気の動粘度ν（ｍ２／ｓｅｃ）＝粘度μ（Ｐａ・ｓｅｃ）／密度ρ（ｋｇ／ｍ３）、が式８及び式９を満たすことが好ましい。
【００５４】
開口面積比β＝（１−Ｄ／Ｌ）２＞０．５７（式７）、
Ｗ＝Ｑ÷（Ｂ×Ｈ）÷β（式８）、
Ｌ×Ｗ÷ν≦５０（式９）。
【００５５】
（３）整流部材が２枚の多孔板を２層構造に配置したものである場合
２枚の多孔板の設置間隔を整流部材の流路内寸（幅Ｂ（ｍ）×高さＨ（ｍ））の０．５〜１倍であることを前提として、多孔板の孔径φ（ｍ）、及び多孔板の孔ピッチδ（ｍ）が、φ＜δ（式１０）を満たし、且つ乾燥風の吹き出し方向から見て前記２枚の多孔板の孔が重ならないように配置されていることが好ましい。
【００５６】
尚、乾燥風の吹き出し方向から見て２枚の多孔板の孔が重ならない配置としては、例えば図５〜図８に示す配置を好ましく採用できる。図５〜図８において、実線で示した孔５０Ａは図の表面側に配置された多孔板であり、点線で示した孔５０Ｂは図の裏面側に配置された多孔板であることを示す。
【００５７】
図５及び図６は、孔５０Ａ又は５０Ｂを正方形配置（正方形の角部に孔を形成）した２枚の多孔板を２層構造に配置した場合である。そして、図５は、孔５０Ａ又は５０Ｂと孔５０Ａ又は５０Ｂとのピッチをδとした場合に、２枚の多孔板のうちの一方の多孔板の孔５０Ａの縦列を、他方の多孔板の孔５０Ｂの縦列に対してδ／２だけ図５の左右方向にズラすことにより、乾燥風４２の吹き出し方向から見て２枚の多孔板の孔５０Ａ、５０Ｂが重ならないようにしたものである。
【００５８】
また、図６は、孔５０Ａ又は５０Ｂと孔５０Ａ又は５０Ｂとのピッチをδとした場合に、２枚の多孔板のうちの一方の多孔板の孔５０Ａの縦列を、他方の多孔板の孔５０Ｂの縦列に対してδ／２だけ図６の左右方向にズラし、更に孔５０Ａの横列を孔５０Ｂの横列に対してδ／２だけ図６の上下方向にズラすことにより、乾燥風４２の吹き出し方向から見て２枚の多孔板の孔が重ならないようにしたものである。
【００５９】
図７及び図８は、孔５０Ａ又は５０Ｂを正三角形配置（正三角形の頂部に孔を形成）した２枚の多孔板を２層構造に配置した場合である。そして、図７は、孔５０Ａ又は５０Ｂと孔５０Ａ又は５０Ｂとのピッチをδとした場合に、２枚の多孔板のうちの一方の多孔板の孔５０Ａの縦列を、他方の多孔板の孔５０Ｂに対してδ／２だけ図７の左右方向にズラすことにより、乾燥風４２の吹き出し方向から見て２枚の多孔板の孔５０Ａ、５０Ｂが重ならないようにしたものである。
【００６０】
また、図８は、孔５０Ａ又は５０Ｂと孔５０Ａ又は５０Ｂとのピッチをδとした場合に、２枚の多孔板のうちの一方の多孔板の孔５０Ａの縦列を他方の多孔板の孔５０Ｂに対してδ／２だけ図８の左右方向にズラし、更に孔５０Ａの横列を、孔５０Ｂの横列に対してｘだけ図８の上下方向にズラすことにより、乾燥風４２の吹き出し方向から見て２枚の多孔板の孔５０Ａ，５０Ｂが重ならないようにしたものである。但し、ｘ＝√［δ２−（δ／２）２］／２
尚、多孔板の孔５０Ａ又は５０Ｂは、図５〜図８に示した円形以外、例えば、長円形、楕円形、四角形、多角形でもよい。また、多孔板の孔５０Ａ又は５０Ｂの配置が図５及び図６に示した正方形以外に長方形でもよい。また、図７及び図８に示した正三角形以外、例えば二等辺三角形でもよい。
【００６１】
本発明で使用されるウエブ１２としては、一般に幅０．３〜５ｍ、長さ４５〜１００００ｍ、厚さ５〜２００μｍのポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６ナフタレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等のプラスチックフィルム、紙、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等の炭素数が２〜１０のα−ポリオレフィン類を塗布又はラミネートした紙、アルミニウム、銅、錫等の金属箔等、或いは帯状基材の表面に予備的な加工層を形成させたものが含まれる。更に、前記したウエブ１２には、光学補償シート塗布液、磁性塗布液、写真感光性塗布液、表面保護、帯電防止あるいは滑性用塗布液等がその表面に塗布され、乾燥された後、所望する長さ及び幅に裁断されるものも含まれ、これらの代表例としては、光学補償シート、各種写真フィルム、印画紙、磁気テープ、ＰＳ版等が挙げられる。
【００６２】
塗布液の塗布方法として、上記したバーコーティング法の他、カーテンコーティング法、エクストルージョンコーティング法、ロールコーティング法、ディップコーティング法、スピンコーティング法、印刷コーティング法、スプレーコーティング法及びスライドコーティング法を使用することができる。特にバーコーティング法、エクストルージョンコーティング法、スライドコーティング法が好適に使用できる。
【００６３】
また、本発明において同時に塗布される塗布液の塗布層の数は単層に限定されるものではなく、必要に応じて同時多層塗布方法にも適用できる。
【実施例】
【００６４】
図９は、光学補償シートの製造工程に、本発明の乾燥装置１０を組み込んだものであり、送出機４０で送り出されたウエブ１２は複数のガイドローラ４２、４２…によって支持されながらラビング処理装置４４、塗布機２０そして、初期乾燥を行なう本発明の乾燥装置１０、本乾燥を行なう乾燥ゾーン４６、加熱ゾーン４８、紫外線ランプ５０を通過して巻取機５２で巻き取られる。
【００６５】
ウエブ１２としては、厚さ１００μｍのトリアセチルセルロース（フジタック、富士写真フイルム（株）製）を使用した。そして、ウエブ１２の表面に、長鎖アルキル変性ポバール（ＭＰ−２０３、クラレ（株）製）の２重量パーセント溶液をフィルム１ｍ2 当り２５ｍｌ塗布後、６０℃で１分間乾燥させて造られた配向膜用樹脂層を形成したウエブ１２を、１８ｍ／分で搬送走行させながら、樹脂層表面にラビング処理を行って配向膜を形成した。ラビング処理におけるラビングローラ５４の押しつけ圧力は、配向膜樹脂層の１ｃｍ2当たり９８Ｐａ（１０ｋｇｆ／ｃｍ2 ）とすると共に、回転周速を５．０ｍ／秒とした。
【００６６】
そして、配向膜用樹脂層をラビング処理して得られた配向膜上に、塗布液としては、ディスコティック化合物ＴＥ−８の（３）とＴＥ−８の（５）の重量比で４：１の混合物に、光重合開始剤（イルガキュア９０７、日本チバガイギー（株）製造）を前記混合物に対して１重量パーセント添加した混合物の４０重量％メチルエチルケトン溶液とする液晶性化合物を含む塗布液を使用した。ウエブ１２を走行速度１８ｍ／分で走行させながら、この塗布液を配向膜上に、塗布液量がウエブ１ｍ2 当り５ｍｌになるようにワイヤーバー２０Ａで塗布した。そして、塗布直後に、本発明の乾燥装置１０を使用して初期乾燥を行なった。
【００６７】
また、乾燥ゾーン１４を７分割する仕切板２８の上端と塗布膜面との間隔は５〜９ｍｍの範囲に設定して行なった。また、本発明の乾燥装置１０で初期乾燥されたウエブ１２は、１００℃に調整された乾燥ゾーン４６及び、１３０℃に調整された加熱ゾーン４８を通過させてネマチック相を形成した後、この配向膜及び液晶性化合物が塗布されたウエブ１２を連続搬送しながら、液晶層の表面に紫外線ランプ５０により紫外線を照射した。
かかる光学補償シートの製造工程における乾燥装置１０において本発明を適用した場合と適用しない場合とで、製造された光学補償シートの斑（ムラ）の発現にどのように影響するかを調べた。尚、ブロード斑Ａ及びシャープ斑Ｂの発現状況において、△は斑が発現したが発現頻度が少ないことを示し、○は斑が殆ど発現しなかったことを示し、◎は斑が完全に発現しなかったことを示す。
【００６８】
（実施例１）  
実施例１は、送風ダクト１７Ｃからの乾燥風４２をプレナムチャンバ２１の内壁面に当てて、動圧の乾燥風４２を静圧の乾燥風４２に変換する場合と、変換しない場合とにより、ブロード斑Ａ及びシャープ斑Ｂの発現にどのように影響するかを調べたものである。
動圧の乾燥風４２を静圧の乾燥風４２に変換する乾燥風吹出手段１８としては、図４のようにプレナムチャンバ２１の底板に送風ダクト１７Ｃを接続したものを使用した。また、変換しない乾燥風吹出手段としては、図１０に示すように、吹出口ａの背板に送風ダクト１７Ｃを繋ぎ、送風ダクト１７Ｃからの乾燥風４２が整流部材１９を介して吹出口ａから直接吹き出されるようにした。
【００６９】
その結果を表１に示す。表１のａは図１０の乾燥風吹出手段を使用した場合であり、ｂは図４の乾燥風吹出手段を使用した場合である。また、試験１〜３は、各分割ゾーン１４Ａ〜１４Ｇにおいて各乾燥風吹出手段１８Ａ〜１８Ｇから吹き出す乾燥風の風量を変えた場合である。尚、乾燥風排気手段としては、ａの場合及びｂの場合ともに、整流部材のないプレナムチャンバを使用した。
【００７０】
【表１】
2007245091.tif 000003
表１の結果から分かるように、各分割ゾーン１４Ａ〜１４Ｇの乾燥風４２の速度を変えた試験１〜３の何れの場合にも、動圧の乾燥風４２を静圧の乾燥風４２に変換する乾燥風吹出手段（図４）は、変換しない乾燥風吹出手段（図１０）に比べて、ブロード斑Ａ及びシャープ斑Ｂの発現ともに少なかった。特に、試験２のように、塗布機２０に近い分割ゾーン１４Ａの風速を１．０ｍ／ｓｅｃ、次の分割ゾーン１４Ｂの風速を１．５ｍ／ｓｅｃとし、それ以後の分割ゾーン１４Ｃ〜１４Ｇの風速を０．５ｍ／ｓｅｃとした場合に、図４の乾燥風吹出手段を用いた場合には、ブロード斑Ａ及びシャープ斑Ｂともに全く発現しなかった。
【００７１】
（実施例２）
実施例２は、乾燥風吹出手段１８の整流部材１９としてハニカム構造のものを使用したときに、ブロード斑Ａとシャープ斑Ｂの両方を顕著に抑制することができる条件を調べたものである。
【００７２】
図１３は、ハニカム構造のセル長Ｌ０を変化させて式３で表される乾燥ムラ・ピッチＰ１を０．０００１から０．０１まで大きくし、且つプレナムチャンバ容積Ｖ１を変化させて式５で表される乾燥ムラ・ピッチＰ２を０．００１から０．１まで大きくしていったときに、ブロード斑Ａとシャープ斑Ｂの総合的な発現状況を調べたものである。ブロード斑Ａとシャープ斑Ｂの総合的な発現状況の評価は、発現が少ないほど良い結果とし、□が一番良く、次いで○、その次に△、×が一番悪い。
Ｍ≦０．０２×ｄ（式１）、
Ｌ０≧（６〜８）×Ｍ（式２）、
Ｐ１＝ｕ×（２×Ｌ０）÷Ｃ（式３）、
Ｐ２＝ｕ×２×π÷Ｃ×｛（Ａ／Ｌ０）×（１／Ｖ１＋１／Ｖ２）｝−１／２（式５）、
但し、空気中の音速Ｃ（ｍ／ｓｅｃ）、前記ウエブの搬送速度ｕ（ｍ／ｓｅｃ）、前記プレナムチャンバの容積Ｖ１（ｍ３）前記乾燥ゾーンの容積Ｖ２（ｍ３）、整流部材のハニカム構造における１セル分の断面積Ａ（ｍ２）とする。
【００７３】
その結果、図１１から分かるように、Ｐ１（ｍ）≦５×１０−３（式４）を満足し、且つ、Ｐ２（ｍ）≦５×１０−２（式６）を満足する領域において、総合評価が良かった。Ｐ１（ｍ）≦１×１０−３を満足し、且つ、Ｐ２（ｍ）≦１×１０−２を満足する領域において更に良く、Ｐ１（ｍ）≦５×１０−４を満足し、且つ、Ｐ２（ｍ）≦５×１０−３を満足する領域において特に良かった。
【００７４】
（実施例３）
実施例３は、乾燥風吹出手段１８の整流部材１９として金網を使用したときに、ブロード斑Ａとシャープ斑Ｂの両方を顕著に抑制することができる条件を調べたものである。
その結果を表２に示す。表２のａは式９で表される値が１００（Ｌ×Ｗ÷ν＝１００）の場合であり、ｂは式９で表される値が５０（Ｌ×Ｗ÷ν＝５０）の場合である。但し、金網の線材径Ｄ（ｍ）、線材の間隔Ｌ（ｍ）が式７の関係にあることを前提として、前記乾燥風の給気量Ｑ（ｍ３／ｓｅｃ）、整流部材の流路内寸（幅Ｂ（ｍ）×高さＨ（ｍ））、乾燥風の金網通過風速Ｗ（ｍ／ｓｅｃ）、空気の動粘度ν（ｍ２／ｓｅｃ）＝粘度μ（Ｐａ・ｓｅｃ）／密度ρ（ｋｇ／ｍ３）とする。
【００７５】
開口面積比β＝（１−Ｄ／Ｌ）２＞０．５７（式７）、
Ｗ＝Ｑ÷（Ｂ×Ｈ）÷β（式８）、
Ｌ×Ｗ÷ν≦５０（式９）。
【００７６】
ちなみに、空気の動粘度の値（標準大気圧）は、０℃において１３．３４×１０−６（ｍ２／ｓｅｃ）、２０℃において１５．１５×１０−６（ｍ２／ｓｅｃ）、４０℃において１７．０４×１０−６（ｍ２／ｓｅｃ）である。
【００７７】
【表２】
2007245091.tif 000004
表２の結果から分かるように、各分割ゾーン１４Ａ〜１４Ｇの乾燥風４２の速度を変えた試験４〜６の何れの場合にも、Ｌ×Ｗ÷ν＝５０であるｂは、Ｌ×Ｗ÷ν＝１００であるａに比べて、ブロード斑Ａ及びシャープ斑Ｂともに少なかった。特に、試験５のように、塗布機２０に近い分割ゾーン１４Ａの風速を１．０ｍ／ｓｅｃ、次の分割ゾーン１４Ｂの風速を１．５ｍ／ｓｅｃとし、それ以後の分割ゾーン１４Ｃ〜１４Ｇの風速を０．５ｍ／ｓｅｃとした場合に、ｂの条件を適用すると、ブロード斑Ａ及びシャープ斑Ｂともに全く発現しなかった。
【００７８】
この結果から、Ｌ×Ｗ÷ν≦５０を満足することが好ましく、更に好ましくはＬ×Ｗ÷ν≦１０であり、特に好ましくはＬ×Ｗ÷ν≦１である。
【００７９】
（実施例４）
実施例４は、乾燥風吹出手段１８の整流部材１９として２枚の多孔板を２層構造にして使用したときに、ブロード斑Ａとシャープ斑Ｂの両方を顕著に抑制することができる条件を調べたものである。
【００８０】
その結果を表３に示す。表３のａは、多孔板の孔径φ（ｍ）、及び多孔板の孔ピッチδ（ｍ）が、φ＜δ（式１０）を満たし、且つ２枚の多孔板の孔が重なるようにした場合（即ち、２枚の多孔板の孔の中心が同一直線上になる場合）である。また、表３のｂは多孔板の孔径φ（ｍ）、及び多孔板の孔ピッチδ（ｍ）が、φ＜δ（式１０）を満たし、且つ２枚の多孔板の孔が重ならないようにした場合である（例えば、図５〜図８）。但し、２枚の多孔板の設置間隔を整流部材の流路内寸（幅Ｂ（ｍ）×高さＨ（ｍ））の０．５〜１倍であることを前提とする。
【００８１】
【表３】
2007245091.tif 000005
表３の結果から分かるように、各分割ゾーン１４Ａ〜１４Ｇの乾燥風４２の速度を変えた試験７〜９の何れの場合にも、２枚の多孔板の孔が重ならないｂは、重なるａに比べて、ブロード斑Ａ及びシャープ斑Ｂともに少なかった。特に、試験８のように、塗布機２０に近い分割ゾーン１４Ａの風速を１．０ｍ／ｓｅｃ、次の分割ゾーン１４Ｂの風速を１．５ｍ／ｓｅｃとし、それ以後の分割ゾーン１４Ｃ〜１４Ｇの風速を０．５ｍ／ｓｅｃとした場合に、ｂの条件を適用すると、ブロード斑Ａ及びシャープ斑Ｂともに全く発現しなかった。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の乾燥装置の側面図
【図２】本発明の乾燥装置の平面図
【図３】本発明の乾燥装置の分割ゾーンをウエブの幅方向で見た断面図
【図４】乾燥風吹出手段の概念図
【図５】乾燥風吹出手段の整流部材を２枚の多孔板を２層構造にした場合の２枚の多孔板の孔の位置関係を示した説明図
【図６】図５の別の態様図
【図７】図５の更に別の態様図
【図８】図５の更に他の態様図
【図９】光学補償シートの製造工程の工程図
【図１０】実施例１において比較例として使用した乾燥風吹出手段の概念図
【図１１】乾燥ムラ・Ｐ１の説明図
【図１２】乾燥ムラ・Ｐ２の説明図
【図１３】実施例２の説明図
【図１４】従来の乾燥方式で発生した斑（ムラ）発生状況図
【符号の説明】
【００８３】
１０…乾燥装置、１２…ウエブ、１４…乾燥ゾーン、１４Ａ〜１４Ｇ…分割ゾーン、１６…乾燥装置本体、１７Ｃ…送風ダクト、１７Ｊ…排気ダクト、１８Ａ〜１８Ｇ…乾燥風吹出手段、１８Ｈ〜１８Ｎ…乾燥風排気手段、１９…整流部材（ハニカム構造の部材）、１９…整流部材、２０…塗布機、２１、２３…プレナムチャンバ、２２、２４、２６…パスローラ、２８…仕切板、４２…乾燥風、５０Ａ、５０Ｂ…多孔板の孔、Ａ…ブロードな斑、Ｂ…シャープな斑
【図１】
2007245091.tif 000006
【図２】
2007245091.tif 000007
【図３】
2007245091.tif 000008
【図４】
2007245091.tif 000009
【図５】
2007245091.tif 000010
【図６】
2007245091.tif 000011
【図７】
2007245091.tif 000012
【図８】
2007245091.tif 000013
【図９】
2007245091.tif 000014
【図１０】
2007245091.tif 000015
【図１１】
2007245091.tif 000016
【図１２】
2007245091.tif 000017
【図１３】
2007245091.tif 000018
【図１４】
2007245091.tif 000019