(57)【要約】【課題】  挿入損失劣化を低減し、小型化を実現した弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。【解決手段】  弾性表面波装置は、弾性波表面共振子Ｋが、弾性表面波の伝搬方向に延びて形成された中心共通バスバー電極２５の両側に、中心共通バスバー電極２５によって互いに接続された第１及び第２の弾性表面波共振子部２０，２１が、中心共通バスバー電極２５に対して対称的に形成されるとともに、中心共通バスバー電極２５に不平衡信号端子が接続されており、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１は、弾性表面波共振子Ｋの両側に伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、第１及び第２の弾性表面波共振子部１８，１９の各ＩＤＴ電極２，３のバスバー電極に並列接続され、平衡信号端子に接続されている。【選択図】  図１
2007318509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に、該圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、該伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極と、弾性表面波の伝搬方向に沿って前記ＩＤＴ電極を挟んだ両側に配置された反射器電極とを備えた弾性波表面共振子と、
前記伝搬方向に沿って、前記伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた３個以上の奇数個のＩＤＴ電極と、該奇数個のＩＤＴ電極の両側にそれぞれ配置され、前記伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極とを有する第１及び第２の弾性表面波素子とが形成された弾性表面波装置であって、
前記弾性波表面共振子は、前記伝搬方向に延びるように形成された中心共通バスバー電極の両側に、前記中心共通バスバー電極によって互いに接続された第１及び第２の弾性表面波共振子部が、前記中心共通バスバー電極に対して対称的に形成されているとともに、前記中心共通バスバー電極に不平衡信号端子が接続されており、
前記第１及び第２の弾性表面波素子は、前記弾性表面波共振子の両側に前記伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、前記第１及び第２の弾性表面波共振子部の各ＩＤＴ電極のバスバー電極に並列接続され、平衡信号端子に接続されていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項２】
前記弾性波表面共振子は、前記中心共通バスバー電極上に、それに沿って絶縁体を介して形成されるとともに前記ＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、該引き出し電極が前記不平衡信号端子に接続されていることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の弾性表面波装置を有する、受信回路及び送信回路の少なくとも一方を備えたことを特徴とする通信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば携帯電話等の移動体通信機器に用いられる弾性表面波フィルタや弾性表面波共振器等の弾性表面波装置及びこれを備えた通信装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、携帯電話や自動車電話等の移動体通信機器のＲＦ（無線周波数）段に用いられる周波数選択フィルタとして、弾性表面波フィルタが広く用いられている。一般に、周波数選択フィルタに求められる特性としては、広通過帯域、低損失、高減衰量等の諸特性が挙げられる。近年、特に移動体通信機器における受信感度の向上、低消費電力化のために、さらに弾性表面波フィルタに対する低損失化の要求が高まっている。また、近年、移動体通信機器において、小型化のために、アンテナが従来のホイップアンテナから誘電体セラミックス等を用いた内蔵アンテナに移行してきている。そのため、アンテナのゲインを充分に得ることが難しくなり、弾性表面波フィルタに対してさらに挿入損失を改善させる要求が増大している。
【０００３】
また、弾性表面波を励振する励振電極であるＩＤＴ電極（Inter Digital Transducer）の電極指ピッチは、高周波になるほど小さくなり、ＩＤＴ電極の膜厚は薄くなる。例えば、１．９ＧＨｚ帯弾性表面波フィルタのＩＤＴ電極の膜厚は、９００ＭＨｚ弾性表面波フィルタの約半分の膜厚で設計されることとなり、フィルタ間を接続する引き出し電極等の伝送線路におけるオーミック損失が高周波になるほど大きくなる。そのため、さらに挿入損失が劣化する傾向がある。
【０００４】
このような挿入損失の劣化を抑制するために、種々の提案がされている。例えば、圧電基板上に３つのＩＤＴ電極を設けた縦１次モードと縦３次モードを利用した２重モード弾性表面波共振器フィルタについて、次のような挿入損失を改善する手段が提案されている。
【０００５】
図３に、従来の共振器型弾性表面波フィルタの電極構造を上からみた平面図を示す。圧電基板２０２上に配設された複数の電極指を有するＩＤＴ電極２０４は、互いに対向させ噛み合わせた一対の櫛歯状電極からなり、この一対の櫛歯状電極に電界を印加し弾性表面波を生じさせるものである。ＩＤＴ電極２０４の一方の櫛歯状電極に接続された入力端子２１５から電気信号を入力することにより、励振された弾性表面波がＩＤＴ電極２０４の両側に配置されたＩＤＴ電極２０３，２０５に伝搬される。また、ＩＤＴ電極２０３，２０５のそれぞれを構成する一方の櫛歯状電極からＩＤＴ電極２０６，２０９を通じて出力端子２１６，２１７へ電気信号が出力される。なお、図中２１０，２１１，２１２，２１３はそれぞれ反射器電極である。このように、共振器電極パターンを２段縦続接続させることにより、１段目と２段目の定在波の相互干渉により、通過帯域外減衰量を高減衰化し、フィルタ特性の通過帯域外減衰量を向上させることができる。
【０００６】
即ち、同様の特性をもつ弾性表面波フィルタを２段縦続接続の構成とすることで、１段目で減衰された信号が２段目でさらに減衰され、通過帯域外減衰量を約２倍に向上させることができる。
【０００７】
ここで、ＩＤＴ電極２０４に接続された入力端子２１５に電気信号を入力することにより、弾性表面波を励振させ、この弾性表面波がＩＤＴ電極２０４の両側に位置するＩＤＴ電極２０３，２０５に伝搬し、ＩＤＴ電極２０７，２０８に接続された出力端子２１６，２１７から電気信号が出力される。また、ＩＤＴ電極２０３〜２０５及び２０６〜２０９の各両端に位置する反射器電極２１０，２１１及び２１２，２１３により弾性表面波が反射され、反射器電極２１０，２１１間及び反射器電極２１２，２１３間で定在波となる。
【０００８】
この定在波のモードには、３つのＩＤＴ電極２０３〜２０５により１次モードとその高次（３次）モードが含まれる。これらのモードで発生する共振により通過特性が得られるため、これらのモードで発生する共振周波数のピーク位置を制御することにより通過帯域内の挿入損失を改善することができる。従来、隣り合うＩＤＴ電極の端部に電極指の狭ピッチ部を設けることにより、ＩＤＴ電極間におけるバルク波の放射損を低減して、共振モードの状態を制御することにより挿入損失の改善が図られていた（例えば、特許文献１，２を参照。）。
【０００９】
また、図４に従来の縦結合共振器型弾性表面波フィルタの電極構造の平面図を示す。低損失化を実現する他の手段として、３つの縦結合共振器型弾性表面波フィルタで構成されており、１つの共振器型弾性表面波フィルタに２つの縦結合共振器弾性表面波フィルタを並列接続している。これにより、図３に示した２段縦続接続したタイプの縦結合共振器型弾性表面波フィルタと比べて、ＩＤＴ電極の電極指の交差幅を小さくし、さらに並列接続することにより、縦結合共振器弾性表面波フィルタにおける抵抗による損失を小さくすることができ、低損失化された縦結合共振器弾性表面波フィルタを実現することができる（例えば、特許文献３を参照。）。
【特許文献１】特開２００２−９５８７号公報
【特許文献２】特表２００２−５２８９８７号公報
【特許文献３】特開２００１−３０８６７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献１，２に開示されている弾性表面波装置では、ＩＤＴ電極間における弾性表面波がバルク波へモード変換されることによる挿入損失の劣化を抑制することは可能であるが、２つ弾性表面波素子を２段縦続接続させた場合、図４に示した２つの縦結合共振器弾性表面波フィルタを並列接続した弾性表面波装置と比較して、ＩＤＴ電極の電極指の交差幅が大きくなり、さらに縦続接続させることによって、弾性表面波素子の抵抗による損失が大きくなり、縦結合共振器弾性表面波フィルタの低損失化が十分に実現できない。
【００１１】
また、特許文献３に開示されているような弾性表面波装置では、１つ縦結合共振器弾性表面波フィルタに対して２つの縦結合共振器弾性表面波フィルタを並列接続させていることにより、前段に縦結合共振器弾性表面波フィルタまたは弾性表面波共振子を用いた場合、各ＩＤＴ電極の電極指の交差幅をさらに小さくすることが困難になる。さらに、２つの縦結合共振器弾性表面波フィルタを並列接続させているので、弾性表面波素子の配置上、スペースを大きく取ることとなり、弾性表面波装置の小型化には不利な配置となっていた。
【００１２】
従って、本発明は上記従来の技術における問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、挿入損失の劣化を生じず、優れたフィルタ特性を有し、高品質な弾性表面波フィルタとしても機能でき、さらに小型化することができる弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の弾性表面波装置は、圧電基板上に、該圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、該伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極と、弾性表面波の伝搬方向に沿って前記ＩＤＴ電極を挟んだ両側に配置された反射器電極とを備えた弾性波表面共振子と、前記伝搬方向に沿って、前記伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた３個以上の奇数個のＩＤＴ電極と、該奇数個のＩＤＴ電極の両側にそれぞれ配置され、前記伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極とを有する第１及び第２の弾性表面波素子とが形成された弾性表面波装置であって、前記弾性波表面共振子は、前記伝搬方向に延びるように形成された中心共通バスバー電極の両側に、前記中心共通バスバー電極によって互いに接続された第１及び第２の弾性表面波共振子部が、前記中心共通バスバー電極に対して対称的に形成されているとともに、前記中心共通バスバー電極に不平衡信号端子（不平衡入力端子または不平衡出力端子）が接続されており、前記第１及び第２の弾性表面波素子は、前記弾性表面波共振子の両側に前記伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、前記第１及び第２の弾性表面波共振子部の各ＩＤＴ電極のバスバー電極に並列接続され、平衡信号端子（平衡入力端子または平衡出力端子）に接続されていることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の弾性表面波装置は、上記構成において、前記弾性波表面共振子は、前記中心共通バスバー電極上に、それに沿って絶縁体を介して形成されるとともに前記ＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、該引き出し電極が前記不平衡信号端子に接続されていることを特徴とするものである。
【００１５】
本発明の通信装置は、上記いずれかの本発明の弾性表面波装置を有する、受信回路及び送信回路の少なくとも一方を備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の弾性表面波装置は、圧電基板上に、圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、その伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極と、弾性表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極を挟んだ両側に配置された反射器電極とを備えた弾性波表面共振子と、伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた３個以上の奇数個のＩＤＴ電極と、奇数個のＩＤＴ電極の両側にそれぞれ配置され、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極とを有する第１及び第２の弾性表面波素子とが形成された弾性表面波装置であって、弾性波表面共振子は、伝搬方向に延びるように形成された中心共通バスバー電極の両側に、中心共通バスバー電極によって互いに接続された第１及び第２の弾性表面波共振子部が、中心共通バスバー電極に対して対称的に形成されているとともに、中心共通バスバー電極に不平衡信号端子が接続されており、第１及び第２の弾性表面波素子は、弾性表面波共振子の両側に伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、第１及び第２の弾性表面波共振子部の各ＩＤＴ電極のバスバー電極に並列接続され、平衡信号端子に接続されていることにより、中心共通バスバー電極によって第１及び第２の弾性表面波共振子部が接続されて共通化して形成されていることにより、ＩＤＴ電極の交差幅を従来の弾性表面波共振子の半分まで狭くすることができ、従来の弾性表面波共振子と比べて抵抗損失を小さくすることができるので、弾性表面波装置の弾性表面波共振子による挿入損失を向上させる（挿入損失を小さくする）ことができる。
【００１７】
また、第１及び第２の弾性表面波素子は、弾性表面波共振子の両側に伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、第１及び第２の弾性表面波共振子部の各ＩＤＴ電極のバスバー電極に並列接続されているので、従来の弾性表面波素子と比べて、弾性表面波共振子から各弾性表面波素子への配線の長さをきわめて短く形成できるため、抵抗損失を小さくすることができ、その結果弾性表面波装置の挿入損失を向上させることができる。
【００１８】
また、弾性表面波共振子から弾性表面波素子の各ＩＤＴ電極までの配線の長さ及びパターンを同程度にすることができるため（図１）、配線の長さ及びパターンの相違によって生じる抵抗損失、インダクタンス、キャパシタンスのＩＤＴ電極ごとの違いを実質的になくすことができる。
【００１９】
さらに、共通化された第１及び第２の弾性表面波共振子部を介して２つの弾性表面波素子が並行して配置されているので、第１及び第２の弾性表面波共振子部の反射器電極も共通化され、弾性表面波装置全体の面積を小さくすることでき、弾性表面波装置を小型化することができる。例えば、従来のように２つの弾性表面波素子を並列接続して伝搬方向に一直線を成すように２つ並べて配置した構成の場合、伝搬方向における長さが長くなり、その分大型化するが、本発明の構成においては２つの弾性表面波素子を平行するように形成することができ、小型化を達成することができる。
【００２０】
また、共通化された第１及び第２の弾性表面波共振子部を介して２つの弾性表面波素子が並行して配置され、平衡信号端子に接続されていることにより、２つの弾性表面波素子を離して配置させることができ、弾性表面波素子間のアイソレーションを充分に取ることができるため、弾性表面波素子の平衡度を向上させることができる。さらに、圧電基板のウェハ（多数個取り用母基板）の１枚当たりの弾性表面波装置の取り数を多くすることができ、弾性表面波装置のコストを大幅に削減することができる。
【００２１】
本発明の弾性表面波装置は好ましくは、弾性波表面共振子は、中心共通バスバー電極上に、それに沿って絶縁体を介して形成されるとともにＩＤＴ電極に接続された引き出し電極が設けられており、引き出し電極が不平衡信号端子に接続されていることにより、中心共通バスバー電極上の絶縁体及びその上に形成された引き出し電極が形成されているため、中心共通バスバー電極上の構造物の合計厚みが厚くなり、中心共通バスバー電極上において、金属層と絶縁体による質量効果が、従来のバスバー電極の構造と比較して大きくはたらくこととなる。その結果、中心共通バスバー電極部における弾性表面波の音速が遅くなる。即ち、弾性表面波の励振に寄与しないＩＤＴ電極の共通電極（中心共通バスバー電極）近傍における音速を、弾性表面波の励振に寄与するＩＤＴ電極の電極指交差部領域の音速より遅くすることができ、弾性表面波のエネルギーを閉じ込めることが可能となり、挿入損失を低減し、通過帯域におけるフィルタ特性の急峻性を向上させた弾性表面波装置を提供することができる。
【００２２】
また、中心共通バスバー電極上に引き出し電極を配置したことにより、弾性表面波装置全体の面積において引き出し電極が占める面積を極力低減することができ、弾性表面波装置を極端に小型化することが可能となる。
【００２３】
本発明の通信装置は、上記いずれかの本発明の弾性表面波装置を有する、受信回路及び送信回路の少なくとも一方を備えたことにより、従来より要求されていた厳しい挿入損失を満たすことができるものが得られ、感度が格段に良好な通信装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の弾性表面波装置の実施の形態について図面を参照にしつつ詳細に説明する。また、本発明の弾性表面波装置について、共振器型の弾性表面波フィルタを例にとり説明する。なお、以下に説明する図面において同一構成には同一符号を付している。また、各電極の大きさや電極間の距離等、電極指の本数や間隔等については、説明のために模式的に図示している。
【００２５】
図１に本発明の弾性表面波装置の実施の形態の一例を平面図で示す。図１に示すように、本発明の弾性表面波装置は、圧電基板１上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、この伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えたＩＤＴ電極２，３と、伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極２，３を挟んだ両側に配置された反射器電極１０〜１３とを備えた弾性波表面共振子Ｋと、圧電基板１上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた３個以上の奇数個のＩＤＴ電極４〜６及び７〜９と、この奇数個のＩＤＴ電極４〜６及び７〜９の両側にそれぞれ配置され、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を複数備えた反射器電極１４，１５及び１６，１７とからなる第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１とが形成されている。また、弾性波表面共振子Ｋは、伝搬方向に延びるように形成された中心共通バスバー電極２５の両側に、中心共通バスバー電極２５によって互いに接続された第１及び第２の弾性表面波共振子部１８，１９が、中心共通バスバー電極２５に対して対称的に形成されているとともに、中心共通バスバー電極２５に不平衡信号端子（不平衡入力端子２２または不平衡出力端子２２）が接続されており、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１は、弾性表面波共振子Ｋの両側に伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、第１及び第２の弾性表面波共振子部１８，１９の各ＩＤＴ電極２，３のバスバー電極に並列接続され、平衡信号端子（平衡入力端子２３，２４または平衡出力端子２３，２４）に接続されている。
【００２６】
これらの構成により、中心共通バスバー電極２５によって、第１及び第２の弾性表面波共振子部１８，１９が接続されて、共通化して形成されていることにより、弾性表面波共振子ＫにおいてＩＤＴ電極の交差幅を従来の半分にまで狭くすることができ、従来の弾性表面波装置と比べて抵抗損失を小さくすることができるので、弾性表面波装置の弾性表面波共振子による挿入損失を向上させる（小さくする）ことができる。また、第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１は、弾性表面波共振子Ｋの両側に伝搬方向に直交する方向において並んで配置されているとともに、第１及び第２の弾性表面波共振子部１８，１９の各ＩＤＴ電極２，３のバスバー電極に並列接続されているので、従来の弾性表面波装置と比べて、弾性表面波共振子Ｋと第１及び第２の弾性表面波素子２０，２１とを接続する配線をきわめて短くできるため、抵抗損失を小さくすることができ、その結果弾性表面波装置の挿入損失を向上させることができる。
【００２７】
また、弾性表面波共振子Ｋから弾性表面波素子２０，２１の各ＩＤＴ電極４，６，７，９までの配線の長さ及びパターンを同程度にすることができるため（図１）、配線の長さ及びパターンの相違によって生じる抵抗損失、インダクタンス、キャパシタンスのＩＤＴ電極ごとの違いを実質的になくすことができる。
【００２８】
さらに、共通化された第１及び第２の弾性表面波共振子部１８，１９を介して２つの弾性表面波素子２０，２１が、並行して配置されているので、反射器電極も共通化され、弾性表面波装置全体の面積を小さくすることでき、弾性表面波装置を極めて小型化することができる。
【００２９】
また、共通化された第１及び第２の弾性表面波共振子部１８，１９を介して２つの弾性表面波素子２０，２１が並行して配置され、平衡入力端子２３，２４または平衡出力端子２３，２４に接続されていることにより、２つの弾性表面波素子２０，２１を離して配置させることができ、弾性表面波素子２０，２１間のアイソレーションを充分に取ることができ、弾性表面波装置の平衡度を向上させることができる。さらに、圧電基板のウェハ１枚当たりの弾性表面波装置の取り数を多くすることができ、弾性表面波装置のコストを大幅に削減することができる。
【００３０】
また、図２に本発明の弾性表面波装置の実施の形態の他例の平面図を示す。図２に示すように、上記図１の構成において好ましくは、弾性波表面共振子Ｋは、中心共通バスバー電極２５上に、それに沿って絶縁体２６を介して形成されるとともにＩＤＴ電極２，３に接続された引き出し電極２７が設けられており、この引き出し電極２７が不平衡入力端子２２または不平衡出力端子２２に接続されている。
【００３１】
これにより、中心共通バスバー電極２５上の絶縁体２６及びその上に形成された引き出し電極２７が形成されているため、共通電極（中心共通バスバー電極２５）上の構造物の合計厚みが厚くなり、中心共通バスバー電極２５上において、金属層と絶縁体２６による質量効果が、従来のバスバー電極の構成と比較して大きくはたらくこととなる。そのため、中心共通バスバー電極２５部における表面波の音速が遅くなる。これらの構成により、弾性表面波の励振に寄与しないＩＤＴ電極２，３の中心共通バスバー電極２５近傍における音速を、弾性表面波の励振に寄与するＩＤＴ電極２，３の電極指交差部領域の音速より遅くすることができ、弾性表面波のエネルギーを閉じ込めることが可能となり、挿入損失を低減し、通過帯域におけるフィルタ特性の急峻性を向上させた弾性表面波装置を提供することができる。
【００３２】
また、中心共通バスバー電極２５上に引き出し電極２７を配置したことにより、弾性表面波装置全体の面積において引き出し電極２７が占める面積を極力低減することができ、弾性表面波装置を極端に小型化することが可能となる。
【００３３】
図２の構成において、絶縁体２６は、酸化シリコン、ポリイミド系樹脂またはアクリル系樹脂レジスト等から成り、これらの材料は、中心共通バスバー電極２５と引き出し電極２７との絶縁性を確実に確保することができ、さらに弾性表面波装置に適切な電気的な容量を付加することができ、弾性表面波装置の平衡度を調整することが可能となり、弾性表面波装置の平衡度を向上させる点で好ましい。また、絶縁体２６の厚みは１μｍ〜１０μｍ程度が好ましい。１μｍ未満では、中心共通バスバー電極２５と引き出し電極２７との絶縁性を十分にとることができない場合があり、１０μｍを超えると、引き出し電極２７等の配線の断線が発生がし易くなり、弾性表面波装置の信頼性が低下しやすくなる。
【００３４】
なお、ＩＤＴ電極２〜９、反射器電極１０〜１７の電極指の本数は数本〜数１００本にも及ぶので、簡単のため、図面においてはそれらの形状を簡略化して図示している。
【００３５】
本発明の弾性表面波装置を製造する場合、まず、圧電基板１上に導体層を形成し、この導体層を一対の平行な共通電極と各共通電極から互いに噛み合うように延びた複数の電極指とにパターニングしてＩＤＴ電極２〜９を形成し、ＩＤＴ電極２〜９上をＳｉＯ２等の絶縁材料からなる保護膜で被覆し、また引き出し電極２７及びパッド電極となる導体層をリフトオフ工程またはフォトリソグラフィにより形成する。
【００３６】
ここで、圧電基板１としてはタンタル酸リチウム単結晶，ニオブ酸リチウム単結晶，四ホウ酸リチウム単結晶等を用いることができる。
【００３７】
また、圧電基板１上の導体層としては、アルミニウム，アルミニウム合金，銅，銅合金，金，金合金，タンタル，タンタル合金、またはこれらの材料から成る層の積層膜、またはこれらの材料の層とチタン，クロム等の材料の層との積層膜を用いることができる。引き出し電極２７及びパッド電極となる導体層としては、アルミニウム層、アルミニウム層とクロム等の材料の層との積層膜、クロム層とニッケル層と金層等の積層膜等を用いることができる。導体層の成膜方法としては、スパッタリング法や電子ビーム蒸着法を用いることができる。
【００３８】
導体層をパターニングする方法としては、導体層の成膜後にフォトリソグラフィを行い、次にＲＩＥ（Reactive Ion Etching）やウェットエッチングを行う方法がある。または、導体層の成膜前に圧電基板１の一方主面にレジストを形成しフォトリソグラフィを行って所望のパターンを開口した後、導体層を成膜し、その後レジストを不要部分に成膜された導体層ごと除去するリフトオフプロセスを行ってもよい。
【００３９】
次に、ＩＤＴ電極２〜９を保護するための絶縁材料からなる保護膜を成膜する。保護膜の材料としては、シリコン，シリカ等を用いることができる。成膜方法としては、スパッタリング法，ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法，電子ビーム蒸着法等を用いることができる。
【００４０】
また、本発明の弾性表面波フィルタを通信装置に適用することができる。即ち、少なくとも受信回路または送信回路の一方を備え、これらの回路に含まれるバンドパスフィルタとして用いる。例えば、送信回路から出力された送信信号をミキサでキャリア周波数にのせて、不要信号をバンドパスフィルタで減衰させ、その後、パワーアンプで送信信号を増幅して、デュプレクサを通ってアンテナより送信することができる送信回路を備えた通信装置、または受信信号をアンテナで受信し、デュプレクサを通った受信信号をローノイズアンプで増幅し、その後、バンドパスフィルタで不要信号を減衰して、ミキサでキャリア周波数から信号を分離し、この信号を取り出す受信回路へ伝送するような受信回路を備えた通信装置に適用可能であり、本発明の弾性表面波装置を採用すれば、感度が向上した優れた通信装置を提供できる。
【００４１】
以上により、優れた弾性表面波装置を有する受信回路や送信回路を備え、感度が格段に良好な優れた通信機等の通信装置を提供できる。
【００４２】
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を施すことは何ら差し支えない。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の弾性表面波装置について実施の形態の１例を示す平面図である。
【図２】本発明の弾性表面波装置について実施の形態の他例を示す平面図である。
【図３】従来の弾性表面波装置の電極指のピッチの変化を示すグラフ及び電極構造を模式的に示す平面図である。
【図４】従来の弾性表面波装置の電極構造を模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１：圧電基板
２〜９：ＩＤＴ電極
１０〜１７：反射器電極
２６：絶縁体
２７：引き出し電極
１８，１９：第１及び第２の弾性表面波共振子部
２０，２１：第１及び第２の弾性表面波素子
Ｋ：弾性表面波共振子
【図１】
2007318509.tif 000003
【図２】
2007318509.tif 000004
【図３】
2007318509.tif 000005
【図４】
2007318509.tif 000006