(57)【要約】      （修正有）【課題】ペリクルをマスクから剥がす際に、異物がマスクに付着したりマスクを傷つけることを防止する。【解決手段】マスク１を熱板に載置して固定し、ペリクルをマスクに固定する粘着剤を軟溶化して、ペリクルを把持して所定長移動し、そのギャップに粘着剤巻き取り手段１２を挿入してペリクル粘着剤を巻き取って剥離する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクに貼りつけられたペリクルを剥離する方法において、マスクを熱板に載置して固定し、ペリクルを把持して所定長移動し、その間隙に粘着剤巻取り手段を挿入してペリクル接着面に沿って移動してペリクル粘着剤を巻き取ってペリクルを剥離することを特徴としたペリクル剥離方法。
【請求項２】
マスクに貼りつけられたペリクルを剥離する装置において、マスクを加熱する熱板とマスクを固定する手段とペリクルを把持する手段と該把持手段を剥離方向に移動する手段と粘着剤巻き取り手段と該巻き取り手段をペリクルとマスク間に移動する手段と該巻き取り手段を搭載してペリクル接着面に沿って周回移動する手段とからなることを特徴としたペリクル剥離装置。
【請求項３】
粘着剤の巻き取り速度が０．５〜３ｍｍ／秒であることを特徴とした請求項２記載のペリクル剥離装置。
【請求項４】
粘着剤巻き取り速度より早くない速度で周回移動手段を移動することを特徴とした請求項２記載のペリクル剥離装置。
【請求項５】
粘着剤巻き取り手段の先端ローラを交換自在としたことを特徴とした請求項２記載のペリクル剥離装置。
【請求項６】
ペリクル把持横移動手段とペリクル廃棄箱を備えたことを特徴とした請求項２記載のペリクル剥離装置。
【請求項７】
粘着剤巻き取り手段に粘着剤切断手段を備えたことを特徴とした請求項２記載のペリクル剥離装置。
【請求項８】
ペリクルとマスク間の剥離間隙が４０ｍｍ以下であることを特徴とした請求項２記載のペリクル剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、半導体、液晶パネルの製造工程において使用するペリクル付ホトマスクのペリクルを剥離する方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  半導体および液晶パネルでは縮小または拡大露光のホトマスクをレチクルと呼んでいるが、本説明ではこれをすべてマスクと呼ぶ。【０００３】  マスクパターンをウエハ上に露光してＬＳＩは作られるが、マスクパターン上に異物が付着すると欠陥になり不良ＬＳＩを製作することになるのでその防止のため透明薄膜を張ったペリクルを貼り付けて使用する。【０００４】  しかし、近年露光波長が短く、また露光エネルギも大きくなったため、ヘイズと呼ばれる化学生成物がマスクパターン面に発生し欠陥の原因となるようになった。【０００５】  図１はペリクル６が接着されたマスク１の斜視図、図２はそのＡＡ断面図である。
透明な薄膜４がフレーム２の上に貼られ、その下部に粘着剤５が塗布されている。
ペリクル６は、マスク１のパターンを保護するように３０〜５０Ｋｇの荷重で圧接されて接着されている。【０００６】  不良になったマスクを再生するには接着されているペリクルを剥がした後ウェット洗浄する。
ペリクル６をハンドリングするため保持孔３ａ〜３ｄがフレーム２の側面にあるので治具をこの孔に挿入して手作業でペリクルを剥がしている。
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  上記従来の技術ではマスク１を治具の支点としてこじるようにして剥がすため、高価なマスクを傷つけるという問題がある。
また、手作業で行うため作業者が起因となる異物がマスクに付着するという問題もある。
【０００８】  また、ペリクル剥離装置として、特願２０００−３２８３１０が出願されているが、本願を用いてペリクルをマスクから分離することはできるが粘着剤が糸状に伸びて、それがマスクパターンに落下し、高価なマスクを再生不能にしてしまうという問題がある。
【０００９】  また、粘着剤が多量にマスク上に残り次の洗浄工程で粘着剤を完全に除去できないという問題がある。
【問題を解決するための手段】
【００１０】  本発明は、上記の問題を解決するペリクル剥離方法、および、装置であって、マスクを熱板に載置して固定し、ペリクルを把持して所定長移動し、そのギャップに粘着剤巻取り手段を挿入してペリクル接着面に沿って移動して、ペリクル粘着剤を巻き取ってペリクルを剥離することを特徴とする剥離方法である。
【００１１】  また、本発明は、マスクを加熱する熱板とマスクを固定する手段とペリクルを把持する手段と、該把持手段を剥離方向に移動する手段とペリクルとマスク間に移動するようになった粘着剤巻き取り手段と該巻き取り手段を搭載してペリクル接着面に沿って周回移動する手段とからなることを特徴とするペリクル剥離装置である。
【実施例】
【００１２】  以下、本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図３は、本発明のペリクル剥離装置の平面図、図４は側面図である。【００１３】  図示されていない搬送機構によりペリクルが接着されたマスク１をヒータ２７により熱せられる熱板７の上に載置し、エアシリンダ８ａ〜８ｄに連結した保持パッド２２ａ〜２２ｄでマスク１を固定して、５０〜８０℃に加熱し粘着剤５を軟溶化する。【００１４】  ペリクル把持アーム９ａ、９ｂのピン１０ａ〜１０ｃをペリクル保持孔３ａ〜３ｃに挿入するように把持アーム９ａ、９ｂをアーム開閉モータ１１で狭幅しペリクルを所定長剥離する。
剥離長を長くすると糸状になった粘着剤が切れたりその後の巻き取りが連続的に行えなくなる。
剥離長は３０ｍｍにするとその後の粘着の巻き取りが精度よく行うことができた。【００１５】  図５はペリクルを剥離した時の粘着剤の状態の拡大図である。
図示の通り粘着剤は、マスク面とペリクル面に付着した状態で糸状に伸びている。【００１６】  粘着剤巻き取り機構１２は巻き取り回転速度を自在に制御することのできるモータ１３、例えばパルスモータがステージ２３に設置されている。
モータ１３の軸２４の先端に巻き取りローラ１４がある。【００１７】  また、粘着剤巻き取り機構１２は軸１５を中心に回転エアシリンダ１６で回転し、マスク１とペリクル６の間隙に挿入される。
図３、図４において、待機状態は１２ａ、巻き取り状態では１２ｂとして示されている。【００１８】  図５に示すようにローラ１４で糸状になった粘着剤５を巻き取りながら巻き取り機構１２を矢印２８の方向に移動することによって粘着剤をマスク面に残すことなくすべて除去することができる。【００１９】  粘着剤巻き取り速度を速くすると粘着剤が切れる。また、遅いと巻き取り時間が長くなるという問題がある。０．５〜３ｍｍ／秒の速度にすると品質のよい巻き取りができた。
目視では、マスク上には粘着剤の残りを確認することはできなかった。【００２０】  巻き取り機構は、マスクの外周に沿って敷設されたギアガイド１７上をモータ１８とモータギア２９により駆動されてアイドラギア３０とアイドラ３１で移動して１周する。【００２１】  巻き取り移動機構１２の移動速度と、ローラ１４の巻き取り速度の差が大きいと粘着剤の剥離力が低下したり粘着剤が切断される。
巻き取り移動機構１２の移動速度をローラ１４の巻き取り速度より遅い速度にすると品質の高い巻き取りができた。【００２２】  粘着剤の巻き取りが終了するとペリクル把持機構１９はモータ２０により横移動してペリクル廃却箱２１上で把持アーム９ａ、９ｂを開にしてペリクル６を廃却箱２１に回収する。【００２３】  剥離完了後巻き取り機構１２は逆方向に周回して原点に復帰する。【００２４】  図６はローラ１４の詳細図である。
モータ軸２４の回転止めピン２５にローラ１４を挿入し取付自在にすることにより粘着剤が巻き取られたローラは適宜新しいローラと交換し、清浄な状態を維持する。【００２５】  ペリクル６を上方に剥離した時粘着剤５が連続しているので巻き取りに合せてその始端を切断すると粘着剤５を安定して巻き取ることができる。【００２６】  図７は粘着剤切断手段の実施例である。
粘着剤巻き取り機構１２のローラ１４に近接してカッタ２６を付設し巻き取り機構１２の移動時粘着剤５を切断する。
【発明の効果】
【００２７】  本発明によればマスクを熱板に載置して固定し、ペリクルを把持して所定長移動し、そのギャップに粘着剤巻取り手段を挿入してペリクル接着面に沿って移動して、ペリクル粘着剤を巻き取ってペリクルを剥離することによりマスク面からの粘着剤を完全に除去することができるようになった。
また、それにより次工程のマスクの洗浄効果が上がり、マスクの再生確率が著しく向上した。
また、自動化が可能となったので、剥離動作中の異物の混入がなく品質の高いペリクル剥離が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】  マスク上に貼られたペリクルの斜視図である。
【図２】  図１のＡＡ断面図である。
【図３】  本発明のペリクル剥離装置の平面図である。
【図４】  本発明のペリクル剥離装置のローラの詳細図である。
【図５】  ペリクルを剥離した時の粘着剤の状態の拡大図である。
【図６】  本発明のペリクル剥離装置のローラの詳細図である。
【図７】  本発明の粘着剤切断手段の実施例である。
【符号の説明】
１…マスク、２…フレーム、３ａ…保持穴、３ｂ…保持穴、３ｃ…保持穴、３ｄ…保持穴、４…薄膜、５…粘着剤、６…ペリクル、７…熱板、８ａ…エアシリンダ、８ｂ…エアシリンダ、８ｃ…エアシリンダ、８ｄ…エアシリンダ、９ａ…ペリクル把持アーム、９ｂ…ペリクル把持アーム、１０ａ…ピン、１０ｂ…ピン、１０ｃ…ピン、１０ｄ…ピン、１１…アーム開閉モータ、１２…粘着剤巻き取り機構、１２ａ…待機状態、１２ｂ…巻き取り状態、１３…モータ、１４…ローラ、１５…軸、１６…回転エアシリンダ、１７…ギアガイド、１８…モータ、１９…ペリクル把持機構、２０…モータ、２１…ペリクル廃却箱、２２ａ…保持パッド、２２ｂ…保持パッド、２２ｃ…保持パッド、２２ｄ…保持パッド、２３…ステージ、２４…モータ軸、２５…回転止めピン、２６…カッタ、２７…ヒータ、２８…矢印、２９…モータギア、３０…アンドラギア、３１…アンドラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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