(57)【要約】【課題】本発明は基板コーティング装置のスリットノズルから吐出されるフォトレジストの幅方向吐出均一度を測定する装置及び方法を提供する。【解決手段】本発明に係るスリットノズルの横方向吐出均一度測定装置は、前記スリットノズルの吐出口と対面する検出面を有する複数の油圧測定ユニットを備え、前記油圧測定ユニットは、前記スリットノズルの幅方向に並べて配列される。【選択図】図３
2007318127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリットノズルの吐出均一度を測定する装置において、
前記スリットノズルの吐出口と対面する油圧検出面を有し、前記スリットノズルの幅方向に並べて配列されて、前記吐出口から吐出される流体の吐出圧を測定する複数の油圧測定ユニットと、
前記油圧測定ユニットに印加された吐出圧を計測して均一度を算出し、これをディスプレイする制御ユニットと、を備えることを特徴とする吐出均一度測定装置。
【請求項２】
スリットノズルの吐出均一度を測定する装置において、
前記スリットノズルの吐出口と対面する油圧検出面を有し、前記スリットノズルの幅方向に配置されて、前記吐出口から吐出される流体の吐出圧を測定する油圧測定ユニットと、
前記油圧測定ユニットに印加された吐出圧を計測して均一度を算出し、これをディスプレイする制御ユニットと、
前記油圧測定ユニットを前記スリットノズルの幅方向へ移動させる移動ユニットと、を備えることを特徴とする吐出均一度測定装置。
【請求項３】
前記スリットノズルは、水または気体を吐出することを特徴とする請求項１又は２に記載の吐出均一度測定装置。
【請求項４】
前記油圧測定ユニットは、吐出流体に対して疏水性を有するように表面処理されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の吐出均一度測定装置。
【請求項５】
前記油圧測定ユニットの検出面と前方または後方表面との間に傾斜面が形成されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の吐出均一度測定装置。
【請求項６】
前記検出面と傾斜面との間の隅は、丸く形成されたことを特徴とする請求項５に記載の吐出均一度測定装置。
【請求項７】
前記油圧測定ユニットは、圧電素子を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の吐出均一度測定装置。
【請求項８】
スリットノズルの吐出均一度測定方法において、
前記スリットノズルの吐出口を介して流体を吐出させるステップと、
前記スリットノズルの幅方向に吐出される流体の吐出圧を測定するステップと、
測定された前記吐出圧で均一度を算出し、これをディスプレイするステップと、を含むことを特徴とする吐出均一度測定方法。
【請求項９】
前記流体の吐出圧を測定するステップは、複数の油圧測定ユニットを前記スリットノズルの幅方向に並べて配列させて同時に測定するステップを含むことを特徴とする請求項８に記載の吐出均一度測定方法。
【請求項１０】
前記流体の吐出圧を測定するステップは、１つの油圧測定ユニットを前記スリットノズルの幅方向へ移動させつつ測定するステップを含むことを特徴とする請求項８に記載の吐出均一度測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板コーティング装置のスリットノズルから吐出されるフォトレジストの幅方向吐出均一度を測定する装置及び方法に関し、さらに詳細には、基板コーティング装置のスリットノズルからフォトレジストが吐出される際におけるスリットノズルの幅方向に沿って吐出されるフォトレジストの幅方向吐出均一度を測定する装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示素子を製造する際、工程誤差は、主にフォトレジストを使用するフォト工程で発生する。前記フォトレジストが均一に塗布されないとき、後工程で解像度、回路線幅の差が発生し、また反射率の差が発生して、画面にそのまま現れる不良を引き起こす。
【０００３】
最近では、フォトレジストを基板上にコーティングするのに必要な工程時間を減らすことが求められている。したがって、前記フォトレジストを短時間内に均一に塗布し乾燥させる方法についての研究が必要である。
【０００４】
フォトレジストを均一に塗布する方法には、フォトレジストを丸いロールの外部に積載した後、前記ロールを基板上から一定の方向へローリング移動させてフォトレジストを塗布するロールコート法と、円板の支持体上に基板を載せて前記基板の中央にフォトレジストを落とした後回転させて、遠心力によりフォトレジストを基板に塗布するスピンコート法と、スリット形態のノズルを介してフォトレジストを基板に吐出しつつ一定の方向にスキャンして塗布するスリットコート法がある。
【０００５】
前記コート法のうち、ロールコート法は、フォトレジスト膜の均一性及び膜厚の調整を精密に行い難いため、高精密パターン形成用にはスピンコート法が用いられる。しかしながら、スピンコート法は、ウエハのように大きさの小さな基板に感光物質をコーティングするのに適しており、液晶表示パネル用ガラス基板のように大きさが大きく、重量が重い平板表示装置用基板には適していない。これは基板が大きく重いほど基板を高速で回転させるのが難しく、高速回転時に基板の破損やエネルギー消費が大きいという問題がある。このような理由で、大型ガラス基板上にフォトレジストをコーティングするのには、スリットコート法が主に用いられている。
【０００６】
図１は、一般的なスリットコーターの構造を示す斜視図であり、図２は、図１に示すスリットコーターによりフォトレジストが基板に塗布される状態を示す断面図である。
【０００７】
図１に示すように、一般的なスリットコーター１００は、フォトレジストＰＲを基板ＧＳ上に塗布するスリットノズル１１０と、前記スリットノズルを一定の方向へ移動させる一対のノズル移送ユニット１２０と、前記ノズル移送ユニットの一方に付着されるフォトレジスト供給部１１５と、前記フォトレジスト供給部１１５から前記スリットノズル１１０にフォトレジストＰＲを移送する第１フォトレジスト供給ライン１１６と、前記フォトレジスト供給部１１５にフォトレジストＰＲを供給する第２フォトレジスト供給ライン１１７と、を備える。
【０００８】
前記スリットノズル１１０は、長いバー（ｂａｒ）形状のノズルであって、基板ＧＳと対面するスリットノズルの下端中央には微細なスリット形状の吐出口１１２が形成され、前記吐出口１１２より一定量のフォトレジストＰＲが基板に吐出されるようにする。前記フォトレジスト供給部１１５は、前記スリットノズル１１０にフォトレジストＰＲを供給し、供給されるフォトレジストＰＲに所定の圧力を加えてフォトレジストＰＲを吐出させる手段である。通常、前記フォトレジスト供給部１１５は、ポンプが含まれて一定の圧力をスリットノズル１１０に加え、その圧力によりスリットノズルに保存されたフォトレジストＰＲが基板上に吐出される。
【０００９】
図２に示すように、このように構成されたスリットコーターは、前記スリットノズル１１０が基板の一端から一定の速度で縦方向に前進しつつフォトレジストＰＲを基板ＧＳ上に吐出させることによって、フォトレジストＰＲを基板ＧＳ上に均一に塗布する。
【００１０】
このとき、前記スリットコーター１００のスリットノズル１１０は、フォトレジストＰＲをスリットノズル１１０の移動方向だけでなく、スリットノズル１１０の幅方向にも均一に吐出せねばならない。フォトレジストＰＲをスリットノズル１１０の移動方向に対して均一に吐出するためには、前記フォトレジスト供給部１１５がフォトレジストＰＲに加える圧力の時間に対する変化と、スリットノズル１１０の移動速度と、基板とスリットノズルとの間の距離などを制御せねばならない。
【００１１】
これとは異なり、フォトレジストＰＲをスリットノズル１１０の幅方向に対して均一に吐出するためには、スリットノズル１１０の幅方向に応じる吐出口の間隔を調節せねばならない。このために、前記スリットノズルには、吐出口の間隔調節用ボルト（図示せず）がノズルの幅方向に沿って所定距離ずつ離隔している。フォトレジストＰＲをスリットノズル１１０の幅方向に対して均一に吐出するためには、まずスリットノズル１１０の幅方向に対して前記スリットノズル１１０が吐出するフォトレジストＰＲの厚さ分布、すなわち均一度を測定し、このときに測定されたフォトレジストＰＲの均一度を利用して、スリットノズル吐出口の間隔を調節する。
【００１２】
このようにフォトレジストＰＲをスリットノズル１１０の幅方向に対して均一に吐出するためには、実際にスリットノズル１１０の幅方向均一度の測定を複数回行って均一度データの信頼性を確保した後、スリットノズルの吐出口の間隔を調節する。以後、調節された吐出口によりフォトレジストＰＲの均一度を確認するための測定が再び複数回繰り返されなければならない。
【００１３】
このために、従来では、スリットコーターにより基板上にフォトレジストＰＲを直接塗布した後、塗布されたフォトレジストＰＲの厚さを直接測定した。しかし、このような方式は、基板上にフォトレジストＰＲを直接塗布するから、高価の基板及びフォトレジストＰＲを浪費するようになる。さらに、基板が大型化するにつれて、消費されるフォトレジストＰＲの量はさらに増加する。
【００１４】
また、基板上に塗布されたフォトレジストＰＲの厚さを測定する場合、基板上に塗布されたフォトレジストＰＲが乾燥されない状態でフォトレジストＰＲの厚さを測定することが容易にならない。したがって、塗布されたフォトレジストＰＲは、乾燥工程を経た後に厚さが測定されなければならないため、このように塗布されたフォトレジストＰＲの厚さを測定する作業は極めて面倒になる。さらに、塗布されたフォトレジストＰＲが乾燥過程を経た後にその厚さが測定されるため、実際に塗布されたフォトレジストＰＲの厚さが直接測定されなくなるから、直接的なフォトレジストの吐出均一度を測定できなくなる。また、基板上に塗布されたフォトレジストＰＲの厚さは極めて薄いため、これを測定するためには、高価の厚さ測定装備が必要になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、スリットノズルにより基板上に吐出されるフォトレジストの幅方向吐出量の均一度を、簡便かつ高精密に測定することができるスリットノズルの吐出均一度測定装置及びその方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の目的を達成すべく、本発明に係るスリットノズルの横方向吐出均一度測定装置は、前記スリットノズルの吐出口と対面する油圧検出面を有する複数の油圧測定ユニットを備え、前記油圧測定ユニットは、前記スリットノズルの幅方向に並べて配列される。
【００１７】
また、上記の目的を達成すべく、本発明に係るスリットノズルの横方向吐出均一度測定装置は、前記スリットノズルの吐出口と対面する検出面を有する油圧測定ユニットと、前記油圧測定ユニットを前記スリットノズルの幅方向へ移動させる移動ユニットと、を備える。
【００１８】
前記スリットノズルは、水または気体を吐出することが好ましい。
【００１９】
前記油圧測定ユニットは、吐出流体に対して疏水性を有するように表面処理されたことが好ましい。
【００２０】
前記油圧測定ユニットの検出面と前方または後方表面との間に傾斜面が形成されうる。このとき、前記検出面と傾斜面との間の隅は、丸く形成されたことが好ましい。
【００２１】
前記油圧測定ユニットは、圧電素子を含むことが好ましい。
【００２２】
また、上記の目的を達成すべく、本発明に係るスリットノズルの吐出均一度の測定方法は、前記スリットノズルの吐出口を介して流体を吐出させるステップと、前記スリットノズルの幅方向に吐出される流体の吐出圧を測定するステップと、を含む。
【００２３】
このとき、前記流体の吐出圧を測定するステップは、複数の油圧測定ユニットを前記スリットノズルの幅方向に並べて配列させて同時に測定するステップを含むか、これとは異なり、１つの油圧測定ユニットを前記スリットノズルの幅方向へ移動させつつ測定するステップを含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のスリットノズルの吐出均一度測定装置及び方法は、スリットノズルにより基板上に吐出されるフォトレジストの幅方向の吐出均一度を簡便かつ高精密に測定できる。
【００２５】
このような測定により、スリットノズルの吐出口の間隔をさらに容易に調節でき、スリットコーターを利用して基板をコーティングするための先行の準備時間とそれに応じる全体工程時間を減らすことができる。
【００２６】
さらに、フォトレジストの幅方向の吐出均一度を測定するために、フォトレジストを使用せず、水または非反応ガスを使用するため、高価のフォトレジストを浪費しなくなり、それによって廃棄されるフォトレジストの処理費用を減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面を参照して、本発明に係るスリットノズルの吐出均一度測定装置及び方法の好ましい実施形態を説明する。本発明の吐出均一度測定装置は、従来の技術で説明された一般的なスリットコーターのスリットノズルにより吐出されるフォトレジストＰＲの吐出均一度を測定するためのものであって、以下では、このようなスリットコーターについての説明は省略し、それについては図１及び図２を参照して説明する。
【００２８】
図３は、スリットノズルと本発明に係るスリットノズルの吐出均一度測定装置を概略的に示す正面図であり、図４は、本発明に係るスリットノズルの吐出均一度測定装置により吐出流体が吐出される状態を説明する側面図である。
【００２９】
図３に示すように、本発明に係るスリットノズルの幅方向吐出均一度測定装置は、スリットノズルから吐出される吐出流体の吐出圧をスリットノズルの幅方向に沿って測定することによって具現される。
【００３０】
すなわち、本発明に係る前記スリットノズルの幅方向吐出均一度測定装置は、スリットノズル１１０の下端である吐出口１１２と一定間隔でその下に固定位置した複数の油圧測定ユニット３２０と、前記油圧測定ユニット３２０に連結してそれから信号を受けて、それぞれの油圧測定ユニット３２０に印加された吐出圧を計測して、吐出された吐出流体Ｆｌの均一度を算出し、これをディスプレイする制御ユニット３６０と、を備える。
【００３１】
前記複数の油圧測定ユニット３２０は、前記スリットノズル１１０の幅方向に沿って一定間隔で離隔して一列に配列されており、各センサの油圧検出面３２０ｆは、前記スリットノズル１１０の吐出口１１２と対面するように配置される。このとき、前記油圧測定ユニット３２０の個数が多いほど、さらに精密な解像度で吐出均一度が測定でき、これらの間の離隔間隔も小さいほど好ましい。このような前記油圧測定ユニット３２０は、圧電素子を含んで、その検出面３２０ｆに印加された吐出圧を計測できる全ての種類のセンサを含むことができる。
【００３２】
このとき、本発明の吐出均一度測定装置で測定されるフォトレジストＰＲの均一度を測定するために、スリットコーター１００で実際に用いられるフォトレジストＰＲを吐出流体Ｆｌとして使用する場合、フォトレジストＰＲ自体の価格が高価であり、吐出均一度測定装置に用いられたフォトレジストＰＲは廃棄されなければならないため、多くの費用がかかる。さらに、フォトレジストＰＲは、所定の粘度を持っているので、吐出されたフォトレジストＰＲが油圧測定ユニット３２０の検出面３２０ｆに残っているようになると、前記油圧測定ユニット３２０は、検出面３２０ｆに印加される吐出流体Ｆｌの吐出圧を信頼性あるように測定できなくなる。したがって、本発明の吐出均一度測定装置に用いられる吐出流体Ｆｌとしては、液体だけでなく気体も可能であり、その例として、水または空気などが好ましい。これは、スリットノズル１１０の幅方向に沿って吐出流体Ｆｌの吐出圧を区間別に測定する時、各区間での絶対値と吐出挙動を測定することではなく、各区間の分布度を相対的に測定するものであるから、実際に用いられるフォトレジストＰＲまたはそれと同じ物理的特性を有する同等物を使用する必要はない場合もある。
【００３３】
以下では、まず吐出流体Ｆｌとして水が用いられる場合について説明し、吐出流体Ｆｌとして空気を使用する場合については、後述する。
【００３４】
前記吐出流体Ｆｌとして水を使用する場合、前記スリットノズル１１０の吐出口１１２と前記油圧測定ユニット３２０の検出面３２０ｆとの間は、所定間隔以下に離隔したことが好ましい。これは、前記間隔が大きい場合、スリットノズル１１０の吐出口１１２から吐出された吐出流体Ｆｌが表面張力により液滴の形態で固まって、吐出口１１２から吐出された吐出流体Ｆｌが前記吐出口１１２の真下に位置した油圧測定ユニット３２０に印加されない場合が発生する。したがって、前記スリットノズル１１０の吐出口１１２と前記油圧測定ユニット３２０の検出面３２０ｆとの間の間隔は、略３００μｍ以下であることが好ましい。
【００３５】
一方、油圧測定ユニット３２０に印加された吐出流体Ｆｌは、吐出圧測定後にその下へ流れるが、このような吐出流体Ｆｌは、油圧測定ユニット３２０の下に位置した吐出流体収集容器（図示せず）で収集する必要がある。
【００３６】
上述のように、前記油圧測定ユニット３２０は、その上部から吐出される吐出流体Ｆｌが検出面３２０ｆ上に印加された後、前記検出面３２０ｆ上に残存しないことが好ましい。このために、前記油圧測定ユニット３２０は、検出面３２０ｆの前後方向の幅を前記吐出口１１２の間隔より多少大きく形成し、検出面３２０ｆと前方または後方の表面との間には傾斜面３２０ｉが形成されることが好ましい（前記前後方向は、図４を基に左右方向になることに留意すべきである）。すなわち、上記のように形成された傾斜面３２０ｉにより前記検出面３２０ｆに吐出された水のような吐出流体Ｆｌは、傾斜面３２０ｉに沿って下へ流れて、前記検出面３２０ｆ上には、吐出流体Ｆｌが残存しなくなることが好ましい。特に、図４には、前記検出面３２０ｆと傾斜面３２０ｉにより形成される隅が角のあるように形成されているが、これとは異なり、丸く形成されることがさらに好ましい。このとき、油圧測定ユニット３２０は、前記検出面３２０ｆのみで吐出圧が測定され、傾斜面３２０ｉでは吐出圧が測定されないように構成されることが好ましい。
【００３７】
このとき、前記吐出流体Ｆｌが前記検出面３２０ｆから傾斜面３２０ｉを経て下へ流れるようにするためには、前記油圧測定ユニット３２０の表面に吐出流体Ｆｌが付着されない疏水性を有するように、すなわち吐出流体により湿潤しないように表面処理されることが好ましい。このために、前記油圧測定ユニット３２０の表面に疏水性コーティングをするか、又は表面照度をアップさせることが好ましい。
【００３８】
一方、図３に示すように、前記油圧測定ユニット３２０は、前記スリットノズル１１０の両端部に対応して一定の距離Ｌｍ分だけ離隔した位置から配置されている。これは、スリットノズル１１０が基板上にフォトレジストＰＲを塗布する際、スリットノズル１１０の幅方向エッジ部分で塗布されるフォトレジストＰＲの厚さ均一度が重要でないためである。したがって、前記距離Ｌｍは、塗布されたフォトレジストＰＲの厚さ均一度が重要でない部分の幅に対応する。しかし、この領域でのフォトレジストＰＲの分布量を測定する必要がある場合、この領域にも油圧測定ユニット３２０が配置されうる。
【００３９】
前記本発明の吐出均一度測定装置は、基板上にフォトレジストＰＲのような物質をガラス基板上に一定厚さに塗布するスリットコーターが吐出するフォトレジストＰＲの吐出均一度を測定する装置である。このために、実際フォトレジストＰＲを吐出するスリットノズル１１０の下に、本発明の吐出均一度測定装置を配置させ、その上から吐出流体ＦｌとしてフォトレジストＰＲの代わりに水を吐出して、スリットノズル１１０の幅方向に応じるフォトレジストＰＲの分布度を測定する。
【００４０】
このように構成された吐出均一度測定装置によりスリットノズル１１０の幅方向に応じる吐出流体Ｆｌの分布を測定するために、図３及び図４に示すように、スリットノズル１１０の下に吐出均一度測定装置を配置する。以後、従来の技術で言及したスリットコーター（図１参照）の第２フォトレジスト供給ライン１１７を介して、フォトレジスト供給部１１５に吐出流体ＦｌとしてフォトレジストＰＲではない水を供給する。次に、フォトレジスト供給部１１５のポンプを作動させて、第１フォトレジスト供給ライン１１６を介してスリットノズル１１０に水を供給することによって、スリットノズル１１０の吐出口１１２を介して水が前記油圧測定ユニット３２０の検出面３２０ｆに吐出される。通常、実際のコーティング工程上でスリットノズル１１０により吐出されるフォトレジストＰＲの吐出量は、略０．５〜１５．０ｃｃ／ｓｅｃの範囲であり、これは基板の大きさとスリットノズル１１０の移動速度により決定される。したがって、前記油圧測定ユニット３２０の検出面３２０ｆに吐出される水の吐出量は、略１．０〜１２．０ｃｃ／ｓｅｃになるように設定する。
【００４１】
前記スリットノズル１１０の吐出口１１２の下には、所定幅の検出面３２０ｆを持つ前記油圧測定ユニット３２０がスリットノズル１１０の幅方向に配列されているので、前記油圧測定ユニット３２０それぞれの検出面３２０ｆには、その真上部に位置した幅だけの吐出口１１２から吐出される吐出流体Ｆｌのみが印加される。したがって、前記油圧測定ユニット３２０のそれぞれは、その真上部に位置した幅分だけの吐出口１１２から吐出される吐出流体Ｆｌの吐出圧が測定される。
【００４２】
すなわち、吐出口１１２から吐出される吐出流体Ｆｌの吐出圧は一定幅分だけ均一に分割測定されて、その信号は、制御ユニット３６０に伝送される。制御ユニット３６０は、このようにそれぞれの油圧測定ユニット３２０で測定された吐出流体Ｆｌの吐出圧をそれぞれ計算して、スリットノズル１１０の幅方向に応じる吐出圧の変化を測定する。前記スリットノズル１１０の幅方向に応じる吐出圧の変化は、吐出流体Ｆｌの均一度で表現される。
【００４３】
このような吐出流体Ｆｌの均一度測定は、信頼性を確保するために略１０回繰り返し行う。前記測定が完了すると、前記均一度を基にスリットノズル１１０の吐出口１１２の間隔を調整する。このような吐出流体の均一度測定及び吐出口の間隔調整は、所望の吐出流体の均一度を得るまで繰り返し行う。
【００４４】
上述の実施形態では、複数の油圧測定ユニット３２０がスリットノズル１１０の吐出口１１２の下に一定の間隔で配置されて、吐出流体Ｆｌの吐出圧を同時に測定したが、これとは異なり、１つの油圧測定ユニットをスリットノズル１１０の幅方向へ移動するようにして具現することもできる。
【００４５】
すなわち、図５に示す吐出均一度測定装置は、スリットノズル１１０の下端である吐出口１１２と一定の間隔でその下に位置し、前記スリットノズル１１０の幅方向へ移動可能に設置された油圧測定ユニット３３０と、前記油圧測定ユニット３３０を移動させる移動ユニット（図示せず）と、前記油圧測定ユニット３３０に連結してそれから信号を受けて、それぞれの油圧測定ユニット３３０に印加された吐出圧を計測して、吐出された吐出流体Ｆｌの均一度を算出し、これをディスプレイしつつ前記移動ユニットを制御する制御ユニット３６０と、を備える。
【００４６】
前記油圧測定ユニット３３０は、移動可能に設置されたことを除いては、上述の実施形態の油圧測定ユニット３２０と同じ構成を有する。前記移動ユニットは、前記油圧測定ユニット３３０をスリットノズル１１０の幅方向に直線移動させるための構成であって、油圧または空圧シリンダー、モータとラック・ピニオン機構などが用いられることができる。これら装置は、既に公知された従来の技術であって、これに関する説明は省略する。
【００４７】
このように構成された、すなわち図５に示す吐出均一度測定装置は、前記スリットノズル１１０から吐出流体Ｆｌを吐出する間、前記油圧測定ユニット３３０をスリットノズル１１０の幅方向に一定の速度で移動させつつ吐出圧の変化を測定して、時間に対する吐出圧の変化を求める。このとき、時間を前記油圧測定ユニット３３０の速度でかけると、スリットノズル１１０の幅方向へ移動した距離となるので、スリットノズル１１０の幅方向に対する吐出流体Ｆｌの吐出圧を求め、前記吐出圧の変化が吐出流体Ｆｌの均一度で表現される。
【００４８】
このとき、前記移動ユニットは、スリットノズル１１０の全体幅領域で（または、少なくともスリットノズル１１０の両端部それぞれの一定領域Ｌｍを除いた領域で）油圧測定ユニット３３０を一定の速度で直線移動させることができなければならない。このために、前記移動ユニットは、油圧測定ユニット３３０の初期及び最後の移動の際、その加減速を考慮して、前記油圧測定ユニット３３０をスリットノズル１１０の一端部の外部から移動し始めて、他端部の外部で停止させることが好ましい。このとき、油圧測定ユニット３３０がスリットノズル１１０の両端部を通るそれぞれの時点でトリガー信号が油圧変化信号とともに印加されて、スリットノズル１１０の両端部の位置を表示することが好ましい。
【００４９】
一方、上述の実施形態では、吐出流体Ｆｌとして水を使用して説明したが、これとは異なり、気体を吐出流体Ｆｌとして使用することができる。特に、前記吐出流体Ｆｌには、気体の中でも空気、窒素、アルゴンのような非反応ガスを使用することが好ましい。この場合、前記吐出流体Ｆｌとして非反応ガスは、油圧測定ユニットに残留せず、油圧測定ユニットに印加された吐出流体Ｆｌの吐出圧を測定した後に、その下へ流れる吐出流体Ｆｌを別途に収集する必要がないという長所がある。
【００５０】
但し、吐出流体Ｆｌとして空気のような非反応ガスが用いられる場合、図１に示すスリットコーターの第１及び第２フォトレジスト供給ライン１１６、１１７及びフォトレジスト供給部１１５をそのまま使用するには無理がある。例えば、フォトレジスト供給部１１５に備えられたポンプを駆動させてスリットノズル１１０に非反応ガスを供給するのには限界があるためである。したがって、前記スリットノズル１１０と連結してスリットノズル１１０に非反応ガスを供給するためのガス供給ユニット（図示せず）がさらに備えられなければならない。
【００５１】
吐出流体Ｆｌとして非反応ガスを使用する場合、水のような液体を使用する場合とは異なり、スリットノズル１１０に非反応ガスを供給するガス供給ユニットを別途に備えなければならないこと以外に、本発明の吐出均一度測定装置の構成及び作動は同様なので、それについての説明は省略する。
【００５２】
上述した本発明の好ましい実施の形態は、例示の目的のために開示されたものであり、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、様々な置換、変形、及び変更が可能であり、このような置換、変更などは、特許請求の範囲に属するものである。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】一般的なスリットコーターの構造を示す斜視図である。
【図２】図１に示すスリットコーターによりフォトレジストが基板に塗布される状態を示す側断面図である。
【図３】スリットノズルと本発明に係るスリットノズルの吐出均一度測定装置を概略的に示す正面図である。
【図４】本発明に係るスリットノズルの吐出均一度測定装置により吐出流体が吐出される状態を説明する側面図である。
【図５】スリットノズルと本発明の他の実施形態に係るスリットノズルの吐出均一度測定装置を概略的に示す正面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１００      スリットコーター
１１０      スリットノズル
１１２      吐出口
１１５      フォトレジスト供給部
１１６      第１フォトレジスト供給ライン
１１７      第２フォトレジスト供給ライン
３２０      油圧測定ユニット
３２０ｆ    検出面
３２０ｉ    傾斜面
３３０      油圧測定ユニット
３６０      制御ユニット
Ｆｌ        吐出流体
ＰＲ        フォトレジスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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