(57)【要約】【課題】ベイヤ配列され且つ光透過効率が高い色分離部を備えた固体撮像装置を容易に実現できるようにする。【解決手段】固体撮像装置は、基板１０に行列状に形成され、入射光を光電変換する複数の受光部１２と、複数の受光部１２のうち、２行２列に隣接して形成された４つの受光部１２ごとにそれぞれ形成された複数の色分離部１３とを備えている。各色分離部１３は、第１の光路５１上に形成され、赤色の光を吸収する第１の光吸収フィルタ３３Ａ及び緑色の光を透過する第１の色分離素子３１Ａ並びに第１の色分離素子３１Ａにより反射された青色の光を反射する第１のミラー素子３２Ａと、第２の光路５２上に形成され青色の光を吸収する第２の光吸収フィルタ３３Ｂ及び緑色の光を透過する第２の色分離素子３１Ｂ並びに第２の色分離素子３１Ｂにより反射された赤色の光を反射する第２のミラー素子３２Ｂとを有している。【選択図】図１
2007318002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に行列状に形成され、入射光を光電変換する複数の受光部と、
前記複数の受光部のうち、２行２列に隣接して形成された４つの受光部ごとにそれぞれ形成された複数の色分離部とを備え、
前記各色分離部は、
入射光を、前記４つの受光部のうちの第１の受光部に入射する第１の光路に導く第１の光学素子部と、
入射光を、前記４つの受光部のうちの前記第１の受光部とは行及び列が異なる位置に配置された第２の受光部に入射する第２の光路に導く第２の光学素子部と、
前記第１の光路上に形成され、光の３原色のうちの第１の色の光を吸収し且つ第２の色の光及び第３の色の光を透過する第１の光吸収フィルタと、
前記第２の光路上に形成され、前記第２の色の光を吸収し且つ前記第１の色の光及び第３の色の光を透過する第２の光吸収フィルタと、
前記第１の光吸収フィルタと前記第１の受光部との間に形成され、前記第３の色の光を透過して前記第１の受光部に入射し且つ前記第２の色の光を反射して前記第１の光路と交差する第３の光路に導く第１の色分離素子と、
前記第２の光吸収フィルタと前記第２の受光部との間に形成され、前記第３の色の光を透過して前記第２の受光部に入射し且つ前記第１の色の光を反射して前記第２の光路と交差する第４の光路に導く第２の色分離素子と、
前記第３の光路上に形成され且つ前記第３の光路を進む光を反射して前記４つの受光部のうちの前記第１の受光部と同一の行で且つ異なる列に配置された第３の受光部に入射する第１のミラー素子と、
前記第４の光路上に形成され且つ前記第４の光路を進む光を反射して前記４つの受光部のうちの前記第２の受光部と同一の行で且つ異なる列に配置された第４の受光部に入射する第２のミラー素子とを有していることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記第１の色の光は、赤色の光であり、
前記第２の色の光は、青色の光であり、
前記第３の色の光は、緑色の光であることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記各第１の光吸収フィルタ及び各第２の光吸収フィルタは、それぞれ行ごとに一体に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記第１の光学素子部及び第２の光学素子部は、入射光を集光するマイクロレンズ素子と、マイクロレンズ素子により集光された入射光を平行光とするコリメータ素子とをそれぞれ有していることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
半導体基板の上に、複数の赤色の光を受光する画素、複数の緑色の光を受光する画素及び複数の青色の光を受光する画素が原色ベイヤ配列を構成するように配置された固体撮像装置の製造方法であって、
前記半導体基板に複数の受光部を行列状に形成する工程と、
前記半導体基板の上にプリズム形成膜を形成した後、形成したプリズム形成膜をパターニングして、前記各受光部の上に傾斜面を有するプリズム部をそれぞれ形成する工程と、
前記複数のプリズム部のうち、前記緑色の光を受光する画素となる受光部の上に形成されたプリズム部の傾斜面に第１の誘電体膜を形成することにより、緑色の光を透過し且つ他の色の光を反射する色分離素子を形成する工程と、
前記複数のプリズム部のうち、前記赤色の光を受光する画素及び青色の光を受光する画素となる受光部の上に形成されたプリズム部の斜面に第２の誘電体膜を形成することによりミラー素子を形成する工程と、
前記色分離素子及びミラー素子を覆う平坦化膜を形成する工程と、
前記平坦化膜における前記青色の光を受光する画素となる受光部が含まれる行の上側の領域に赤色の光を吸収する第１の光吸収フィルタを形成する工程と、
前記平坦化膜における前記赤色の光を受光する画素となる受光部が含まれる行の上側の領域に青色の光を吸収する第２の光吸収フィルタを形成する工程とを備えていることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像装置及びその製造方法に関し、特に光透過効率が高い色分離部を備えた高感度の固体撮像装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤ固体撮像装置及びＭＯＳ固体撮像装置等の固体撮像装置は、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ及びファクシミリ等の種々の画像入力機器に使用されている。
【０００３】
固体撮像装置においては、光電変換を行う受光部に入射する光の量を増加させるために、チップ上にマイクロレンズを設けることが一般的に行われている（例えば、特許文献１を参照。）。マイクロレンズは、凸面状に加工した無機又は有機の透明材料層等であり、凸面において入射光線を屈折させることにより集光を行う。しかし、従来のカラーフィルタを備えた固体撮像装置においては、集光した光のうちの３分の１しか受光部に入射していない。
【０００４】
固体撮像装置においてカラー画像を得るためには、集光した光を色成分ごとに分離して受光部に入射させる必要がある。通常、色成分の分離は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）の３色の吸収型のカラーフィルタ（色分離部）を用いて行う。吸収型のカラーフィルタは、例えば緑色のフィルタであれば赤色及び青色の波長の光を吸収し、緑色の光のみを透過する。従って、吸収型のカラーフィルタを通過する際に入射光の３分の２が吸収されてしまう。その結果、受光部に入射する光は集光された光の３分の１となり、固体撮像装置の感度が低下してしまう。
【０００５】
一方、ディスプレイ装置等においては、透過型カラーフィルタが用いられている。透過型カラーフィルタは、特定の波長の光を透過し且つ他の波長の光を反射するダイクロイックミラーを組み合わせて形成されている（例えば、特許文献２を参照。）。従って、透過型カラーフィルタを固体撮像装置に用いると、例えば緑色の光のみを透過するダイクロイックミラーを用いて緑色の光を分離して受光部に入射させ、緑色の光が分離された反射光をさらに分離して他の受光部に入射させれば、固体撮像装置に入射した光を無駄にすることなく利用することができる。
【特許文献１】特開昭６４−１０６６６号公報
【特許文献２】特開平８−５４６２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記従来の透過型カラーフィルタを固体撮像装置に用いる場合には次のような問題がある。固体撮像装置においては、一般に２行２列に隣接して形成された４つの受光部を一組として、２つの受光部に緑色の光を入射させ、残りの２つの受光部に赤色及び青色の光を入射させるベイヤ配列のカラーフィルタが用いられている。これは、人間の視覚は緑色の光に対して感度が高いため、緑色の光を受光する受光部の数を増やし、画像の解像度を高めるためである。しかし、従来の透過型カラーフィルタは、入射した光を赤色、緑色及び青色の光の３つの光に分離する。このため、赤色、緑色及び青色の光のそれぞれを受光する受光部が線上に配置されてしまい、カラーフィルタをベイヤ配列とすることが困難であるという問題がある。
【０００７】
本発明は、前記従来の問題を解決し、ベイヤ配列され且つ光透過効率が高い色分離部を備えた固体撮像装置を容易に実現できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成するため、本発明は固体撮像装置を、吸収型のカラーフィルタと透過型のカラーフィルタとを組み合わせた色分離部を備える構成とする。
【０００９】
具体的に、本発明に係る固体撮像装置は、基板に行列状に形成され、入射光を光電変換する複数の受光部と、複数の受光部のうち、２行２列に隣接して形成された４つの受光部ごとにそれぞれ形成された複数の色分離部とを備え、各色分離部は、入射光を、４つの受光部のうちの第１の受光部に入射する第１の光路に導く第１の光学素子部と、入射光を、４つの受光部のうちの第１の受光部とは行及び列が異なる位置に配置された第２の受光部に入射する第２の光路に導く第２の光学素子部と、第１の光路上に形成され、光の３原色のうちの第１の色の光を吸収し且つ第２の色の光及び第３の色の光を透過する第１の光吸収フィルタと、第２の光路上に形成され、第２の色の光を吸収し且つ第１の色の光及び第３の色の光を透過する第２の光吸収フィルタと、第１の光吸収フィルタと第１の受光部との間に形成され、第３の色の光を透過して第１の受光部に入射し且つ第２の色の光を反射して第１の光路と交差する第３の光路に導く第１の色分離素子と、第２の光吸収フィルタと第２の受光部との間に形成され、第３の色の光を透過して第２の受光部に入射し且つ第１の色の光を反射して第２の光路と交差する第４の光路に導く第２の色分離素子と、第３の光路上に形成され且つ第３の光路を進む光を反射して４つの受光部のうちの第１の受光部と同一の行で且つ異なる列に配置された第３の受光部に入射する第１のミラー素子と、第４の光路上に形成され且つ第４の光路を進む光を反射して４つの受光部のうちの第２の受光部と同一の行で且つ異なる列に配置された第４の受光部に入射する第２のミラー素子とを有していることを特徴とする。
【００１０】
本発明の固体撮像装置によれば、光の３原色のうちの第１の色の光を吸収する第１の光吸収フィルタ及び第３の色の光を透過し且つ第２の色の光を反射する第１の色分離素子と、第２の色の光を吸収する第２の光吸収フィルタ及び第３の色の光を透過し且つ第１の色の光を反射する第２の色分離素子とを備えているため、集光した光のうちの３分の２が受光部に入射する。従って、受光部に入射する光の割合が従来の吸収型のカラーフィルタを備えた固体撮像装置と比べて高いので、感度を向上させることができる。また、光吸収フィルタと透過型の色分離素子とを組み合わせているため、入射光を２つの色成分に分離するだけでよく、原色ベイヤ配列を容易に実現することが可能となる。
【００１１】
本発明の固体撮像装置において、第１の色の光は、赤色の光であり、第２の色の光は、青色の光であり、第３の色の光は、緑色の光であることが好ましい。
【００１２】
本発明の固体撮像装置において、第１の光吸収フィルタ及び各第２の光吸収フィルタは、それぞれ行ごとに一体に形成されていることが好ましい。このような構成とすることにより光吸収フィルタの形成が容易となる。
【００１３】
本発明の固体撮像装置において、第１の光学素子部及び第２の光学素子部は、入射光を集光するマイクロレンズ素子と、マイクロレンズ素子により集光された入射光を平行光とするコリメータ素子とをそれぞれ有していることが好ましい。
【００１４】
本発明に係る固体撮像装置の製造方は、半導体基板の上に、複数の赤色の光を受光する画素、複数の緑色の光を受光する画素及び複数の青色の光を受光する画素が原色ベイヤ配列を構成するように配置された固体撮像装置の製造方法を対象とし、半導体基板に複数の受光部を行列状に形成する工程と、半導体基板の上にプリズム形成膜を形成した後、形成したプリズム形成膜をパターニングして、各受光部の上に傾斜面を有するプリズム部をそれぞれ形成する工程と、複数のプリズム部のうち、緑色の光を受光する画素となる受光部の上に形成されたプリズム部の傾斜面に第１の誘電体膜を形成することにより、緑色の光を透過し且つ他の色の光を反射する色分離素子を形成する工程と、複数のプリズム部のうち、赤色の光を受光する画素及び青色の光を受光する画素となる受光部の上に形成されたプリズム部の斜面に第２の誘電体膜を形成することによりミラー素子を形成する工程と、色分離素子及びミラー素子を覆う平坦化膜を形成する工程と、平坦化膜における青色の光を受光する画素となる受光部が含まれる行の上側の領域に赤色の光を吸収する第１の光吸収フィルタを形成する工程と、平坦化膜における赤色の光を受光する画素となる受光部が含まれる行の上側の領域に青色の光を吸収する第２の光吸収フィルタを形成する工程とを備えていることを特徴とする。
【００１５】
本発明の固体撮像装置の製造方法によれば、各受光部の上に傾斜面を有するプリズム部をそれぞれ形成する工程を備えているため、色分離素子を容易に形成することができる。また、光吸収フィルタは行ごとに形成しているため、光吸収フィルタの形成工程も簡略化できる。従って、ベイヤ配列され且つ光透過効率が高い色分離部を備えた固体撮像装置を容易に製造することが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る固体撮像装置によれば、ベイヤ配列され且つ光透過効率が高い色分離部を備えた固体撮像装置を容易に実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。図１（ａ）〜（ｃ）は本発明の一実施形態に係る固体撮像装置であり、（ａ）は平面構成を示し、（ｂ）は（ａ）のＩｂ−Ｉｂ線における断面構成を示し、（ｃ）は（ａ）のＩｃ−Ｉｃ線における断面構成を示している。
【００１８】
図１に示すように本実施形態の固体撮像装置は、基板１０に行列状に形成された複数の受光部１２とカラーフィルタである複数の色分離部１３とを備えている。各色分離部１３は、２行２列に隣接して配置された４つの受光部１２に対応して形成され、４つの受光部１２と１つの色分離部１３とにより１つの基本画素単位１１が構成されている。
【００１９】
各基本画素単位１１は、緑色の光を受光するＧ画素である第１の受光部１２Ａ及び第２の受光部１２Ｂと、青色の光を受光するＢ画素である第３の受光部１２Ｃと、赤色の光を受光するＲ画素である第４の受光部１２Ｄとを含んでいる。第２の受光部１２Ｂは、第１の受光部１２Ａと異なる行で且つ異なる列に配置され、第３の受光部１２Ｃは、第１の受光部１２Ａと同一の行で且つ異なる列に配置され、第４の受光部１２Ｄは、第２の受光部１２Ｂとは異なる行で且つ異なる列に配置されている。基本画素単位１１が繰り返し配置され、Ｒ画素、Ｇ画素及びＢ画素が市松模様状に配置された原色ベイヤ配列が形成されている。
【００２０】
各色分離部１３は、第１の受光部１２Ａの上に形成され緑色の光を透過し青色の光を反射する第１の色分離素子３１Ａと、第２の受光部１２Ｂの上に形成され緑色の光を透過し赤色の光を反射する第２の色分離素子３１Ｂとを有している。本実施形態の固体撮像装置においては、第１の色分離素子３１Ａ及び第２の色分離素子３１Ｂは、プリズムの傾斜面に誘電体膜が形成されたダイクロイックミラーである。
【００２１】
第３の受光部１２Ｃの上には、第１のミラー素子３２Ａが形成され、第４の受光部１２Ｄの上には、第２のミラー素子３２Ｂが形成されている。
【００２２】
第１の色分離素子３１Ａ及び第１のミラー素子３２Ａの上には赤色の光を吸収する第１の光吸収フィルタ３３Ａが形成され、第２の色分離素子３１Ｂ及び第２のミラー素子３２Ｂの上には青色の光を吸収する第２の光吸収フィルタ３３Ｂが形成されている。本実施形態の固体撮像装置においては、第１の光吸収フィルタ３３Ａ及び第２の光吸収フィルタ３３Ｂは、行ごとに一体に形成されている。第１の光吸収フィルタ３３Ａ及び第２の光吸収フィルタ３３Ｂはそれぞれ、例えば染料からなるシアンフィルタ及びイエローフィルタである。
【００２３】
第１の光吸収フィルタ３３Ａの上には、集光用の凸レンズであるオンチップマイクロレンズ３５とコリメータ素子３６とを有する第１の光学素子部３４Ａが形成され、第２の光吸収フィルタ３３Ｂの上には第２の光学素子部３４Ｂが形成されている。
【００２４】
第１の光学素子部３４Ａに入射した入射光は、マイクロレンズ３５により集光され、コリメータ素子３６によって平行光に変換され、第１の光路４１に導かれる。第１の光路４１に導かれた光は、第１の光吸収フィルタ３３Ａに入射し赤色の成分が除去される。赤色の成分が除去された緑色及び青色の光は、第１の色分離素子３１Ａに入射する。緑色の光は第１の色分離素子３１Ａを透過して、第１の受光部１２Ａに入射する。一方、青色の光は、第１の色分離素子３１Ａにより反射され、基板１０とほぼ並行に第３の受光部１２Ｃの側に向かう第３の光路４３に導かれる。第３の光路４３に導かれた光は、第１のミラー素子３２Ａにより反射され、第３の受光部１２Ｃに入射する。
【００２５】
同様にして、第２の光学素子部３４Ｂに入射した入射光は、マイクロレンズ３５により集光され、コリメータ素子３６によって平行光に変換され、第２の光路４２に導かれる。第２の光路４２に導かれた光は、第２の光吸収フィルタ３３Ｂに入射し青色の成分が除去される。青色の成分が除去された緑色及び赤色の光は、第２の色分離素子３１Ｂに入射する。緑色の光は第２の色分離素子３１Ｂを透過して、第２の受光部１２Ｂに入射する。一方、赤色の光は、第２の色分離素子３１Ｂにより反射され、基板１０とほぼ並行に第４の受光部１２Ｄの側に向かう第４の光路４４に導かれる。第４の光路４４に導かれた光は、第２のミラー素子３２Ｂにより反射され、第４の受光部１２Ｄに入射する。
【００２６】
第１の光学素子部３４Ａにおいてマイクロレンズ３５により集光された光のうち、赤色の光は第１の光吸収フィルタ３３Ａに吸収されるが、緑色の光及び青色の光は第１の受光部１２Ａ及び第３の受光部１２Ｃにそれぞれ入射する。また、第２の光学素子部３４Ｂにおいてマイクロレンズ３５により集光された光のうち、青色の光は第２の光吸収フィルタ３３Ｂに吸収されるが、緑色の光及び赤色の光は第２の受光部１２Ｂ及び第４の受光部１２Ｄにそれぞれ入射する。従って、本実施形態の固体撮像装置は、マイクロレンズにより集光した光の３分の２が受光部によって光電変換される。このため、マイクロレンズにより集光した光の３分の２が吸収されてしまう従来の吸収型の色分離部を備えた固体撮像装置と比べて感度を向上させることができる。
【００２７】
また、従来の透過型の色分離部と異なり、入射光を２つの色成分に分割するだけであるため、赤色、緑色及び青色の光を受光する受光部が市松模様に配置された原色ベイヤ配列を容易に形成することができる。また、色分離部を薄くすることが可能となる。
【００２８】
なお、第１の色分離素子３１Ａ及び第２の色分離素子３１Ｂの基板１０に対する角度は、固体撮像装置を薄くするためには、３０度〜６０度の範囲とすることが好ましい。これは、第１の光路４１及び第２の光路４２を基板１０に対して垂直な方向とし、第３の光路４３及び第４の光路４４を基板１０に対して水平な方向とした場合に、色分離部１３の厚さを最も薄くすることができるためである。
【００２９】
一方、ダイクロイックミラーの分離特性の観点からは、第１の色分離素子３１Ａ及び第２の色分離素子３１Ｂの基板１０に対する角度を３０度以下とすることが好ましい。これは、誘電膜を形成したダイクロイックミラーの透過波長帯域は、入射する光の偏光方向及び入射角度に対して依存性を有しているためである。
【００３０】
また、マイクロレンズ３５は、第１の受光部１２Ａ又は第２の受光部１２Ｂの中心とマイクロレンズ３５の光軸中心とが一致するように、且つ、全ての有効画素領域を網羅するように配置することが好ましい。例えば、図２（ａ）に示すようにマイクロレンズ３５のマスクを正方形とし、受光部の配列方向に対して４５度傾けた方向に配列することが好ましい。このようにすることにより、受光部が形成された有効画素領域全体を無駄なく覆うことが可能となる。また、図２（ｂ）に示すようにオンチップマイクロレンズ３５を平面長方形状としてもよい。
【００３１】
次に、本実施形態に係る固体撮像装置の製造方法について図面を参照して説明する。図３及び図４は本実施形態の固体撮像装置の製造方法を工程順に示している。図３及び図４は図１（ａ）のＩｂ−Ｉｂ線に対応する部分の断面構成を示している。
【００３２】
まず、図３（ａ）に示すように半導体基板１０に光電変換を行う受光部１２を行列状に形成した後、半導体基板１０の上に酸化シリコン（ＳｉＯ2）等からなる透明の第１の平坦化膜５１を形成する。続いて、第１の平坦化膜５１の上に合成樹脂膜５２をスピンコート法により形成した後、低温乾燥する。
【００３３】
次に、図３（ｂ）に示すようにグレートーンマスクを用いてｇ線（波長４３６ｎｍ）又はｉ線（３６５ｎｍ）等の紫外光を照射してパターニングを行い、各受光部１２の上にプリズム形状を形成する。
【００３４】
次に、図３（ｃ）に示すように全面エッチバックを行い、合成樹脂膜５２のパターンを第１の平坦化膜５１に転写することにより、複数のプリズム部５３を有するプリズム台を形成する。
【００３５】
次に、図４（ａ）に示すようにプリズム部５３のうち、Ｇ画素となる第１の受光部１２Ａ及び第２の受光部１２Ｂ（図示せず）の上に形成されたプリズム部５３の傾斜面上に第１の誘電体膜５４を形成して第１の色分離素子３１Ａ及び第２の色分離素子３１Ｂ（図示せず）を形成する。第１の誘電体膜５４は、例えば、ＳｉＯ2と酸化チタン（ＴｉＯ2）とをＣＶＤ法等を用いて交互に積層する。ＳｉＯ2及びＴｉＯ2の成膜量を調整することにより、緑色の光のみが透過するダイクロイックミラーとする。
【００３６】
次に、図４（ｂ）に示すようにプリズム部５３のうち、Ｂ画素となる第３の受光部１２Ｃ及びＲ画素となる第４の受光部１２Ｄ（図示せず）の上に形成されたプリズム部５３の斜面にＳｉＯ2とＴｉＯ2との積層膜である第２の誘電体膜５５を形成して第１のミラー素子３２Ａ及び第２のミラー素子３２Ｂ（図示せず）を形成する。
【００３７】
次に、図４（ｃ）に示すように例えばホウ素リン珪酸ガラス（ＢＰＳＧ）からなる第２の平坦化膜５６をＣＶＤ法により成膜する。
【００３８】
次に、図４（ｄ）に示すように第２の平坦化膜５６における第１の受光部１２Ａ及び第３の受光部１２Ｃの上側の領域に第１の光吸収フィルタ３３Ａを形成し、第２の平坦化膜５６における第２の受光部１２Ｂ及び第４の受光部１２Ｄの上側の領域に第２の光吸収フィルタ３３Ｂ（図示せず）を形成する。第１の光吸収フィルタ３３Ａ及び第２の光吸収フィルタ３３Ｂは、第２の平坦化膜５６の上に、例えば染料を添加した樹脂をスピンコートした後、フォトマスクを用いてｇ線（波長４３６ｎｍ）又はｉ線（３６５ｎｍ）等の紫外光を照射してパターニングを行うことにより形成すればよい。
【００３９】
続いて、図示を省略するが第１の光吸収フィルタ３３Ａ及び第２の光吸収フィルタ３３Ｂの上に中間膜を形成した後、コリメータ素子３６及びマイクロレンズ３５を既知の方法により形成する。
【００４０】
本実施形態においては、第１の誘電体膜５４及び第２の誘電体膜５５としてＳｉＯ2とＴｉＯ2との積層膜を用いたが、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ2）等の低屈折率材料と酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）等の高屈折率材料との積層膜を用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明に係る固体撮像装置及びその製造方法は、ベイヤ配列され且つ光透過効率が高い色分離部を備えた固体撮像装置を容易に実現でき、高感度の固体撮像装置及びその製造方法等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】（ａ）〜（ｃ）は本発明の一実施形態に係る固体撮像装置を示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＩｂ−Ｉｂ線における断面図であり、（ｃ）は（ａ）のＩｃ−Ｉｃ線における断面図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は本発明の一実施形態に係る固体撮像装置のマイクロレンズの配置を示す平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る固体撮像装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０      半導体基板
１１      基本画素単位
１２      受光部
１２Ａ    第１の受光部
１２Ｂ    第２の受光部
１２Ｃ    第３の受光部
１２Ｄ    第４の受光部
１３      色分離部
３１Ａ    第１の色分離素子
３１Ｂ    第２の色分離素子
３２Ａ    第１のミラー素子
３２Ｂ    第２のミラー素子
３３Ａ    第１の光吸収フィルタ
３３Ｂ    第２の光吸収フィルタ
３４Ａ    第１の光学素子部
３４Ｂ    第２の光学素子部
３５      マイクロレンズ
３６      コリメータ素子
４１      第１の光路
４２      第２の光路
４３      第３の光路
４４      第４の光路
５１      第１の平坦化膜
５２      合成樹脂膜
５３      プリズム部
５４      第１の誘電体膜
５５      第２の誘電体膜
５６      第２の平坦化膜
【図１】
2007318002.tif 000003
【図２】
2007318002.tif 000004
【図３】
2007318002.tif 000005
【図４】
2007318002.tif 000006