(57)【要約】【課題】隔壁の形成工程を簡単にし、且つ構造的及び機械的に安定した所望の形状の隔壁形成を可能にする。  【解決手段】本発明のプラズマ表示パネルの隔壁用グリーンシート１００は、ベースフィルム１１０の一面に形成された第１膜形成材料層１２０と、該第１膜形成材料層１２０の一面に形成された第２膜形成材料層１３０と、を備え、上記第１膜形成材料層１２０と第２膜形成材料層１３０とはエッチング速度が異なるものである。【選択図】図２
2007157689.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス粉末及び充填剤粉末の混合物を１００重量部、溶媒を２０〜５０重量部、分散剤を０．０１〜２重量部、可塑剤を１〜１０重量部、及び結合剤を１０〜２０重量部だけ配合したことを特徴とするプラズマ表示パネルの隔壁用スラリー。
【請求項２】
０．０１〜０．５重量部のレベリング剤、及び０．０１〜０．５重量部の消泡剤をさらに配合したことを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用スラリー。
【請求項３】
上記ガラス粉末は、ＰｂＯ系ガラス粉末、ＺｎＯ系ガラス粉末、Ｂｉ２Ｏ３系ガラス粉末又はそれらの混合物であり、上記充填剤粉末は、Ａｌ２Ｏ３、ＺｎＯ及びＴｉＯ２よりなる群から選択された一つ以上の物質からなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用スラリー。
【請求項４】
上記溶媒は、メチルエチルケトン、エタノール、キシレン、トルエン、アセトン、トリクロロエタン、ブタノール、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、エチルアセテート（ＥＡ）、ブチルアセテート、シクロヘキサノン、水及びプロピレングリコールモノメチルエーテルよりなる群から選択された一つ以上の物質からなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用スラリー。
【請求項５】
上記分散剤は、ポリアミンアミド系、燐酸エステル系、ポリイソブチレン、オレイン酸、ステアリン酸、漁油、ポリカルボン酸のアンモニウム塩及びナトリウムカルボキシメチル（sodium carboxymethyl）よりなる群から選択された一つ以上の物質からなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用スラリー。
【請求項６】
上記可塑剤は、フタレート系、グリコール系及びアゼレート系よりなる群から選択された一つ以上の物質からなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用スラリー。
【請求項７】
上記結合剤は、セルロース系、ビニル系、メタアクリル系及びアクリル系よりなる群から選択された一つ以上の物質からなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用スラリー。
【請求項８】
ベースフィルムの一面に形成された第１膜形成材料層と、
上記第１膜形成材料層の一面に形成された第２膜形成材料層と、を備え、
上記第１膜形成材料層と第２膜形成材料層とはエッチング速度が異なることを特徴とするプラズマ表示パネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項９】
上記第２膜形成材料層は、上記第１膜形成材料層よりエッチング速度が速いことを特徴とする請求項８に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項１０】
上記第２膜形成材料層上には、保護フィルムが形成されたことを特徴とする請求項８に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項１１】
上記第１及び第２膜形成材料層は、ガラス粉末及び充填剤粉末の混合物を１００重量部、溶媒を２０〜５０重量部、分散剤を０．０１〜２重量部、可塑剤を１〜１０重量部、及び結合剤を１０〜２０重量部だけ配合し、上記第１膜形成材料層と第２膜形成材料層内のガラス粉末と充填剤粉末との混合比が互いに異なることを特徴とする請求項８に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項１２】
上記第１及び第２膜形成材料層は、０．０１〜０．５重量部のレベリング剤、及び０．０１〜０．５重量部の消泡剤をさらに配合したことを特徴とする請求項１１に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項１３】
上記ガラス粉末は、ＰｂＯ系ガラス粉末、ＺｎＯ系ガラス粉末、Ｂｉ２Ｏ３系ガラス粉末又はその混合物であり、上記充填剤粉末は、Ａｌ２Ｏ３、ＺｎＯ及びＴｉＯ２よりなる群から選択された一つ以上の物質からなることを特徴とする請求項１１に記載のプラズマ表示パネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項１４】
ベースフィルム上にガラス粉末、充填剤粉末、溶媒、分散剤、可塑剤及び結合剤を配合した第１スラリーを塗布して第１膜形成材料層を形成し、上記第１膜形成材料層上にガラス粉末、充填剤粉末、溶剤、分散剤、可塑剤、及び結合剤を配合し、上記第１スラリーと密度の異なる第２スラリーを塗布して第２膜形成材料層を形成して２層からなるグリーンシートを形成する段階と、
誘電体層が形成された背面基板上に上記グリーンシートを貼り付ける段階と、
上記グリーンシートの第１及び第２膜形成材料層を選択的に除去して隔壁を形成する段階と、
を含むことを特徴とするプラズマ表示パネルの隔壁形成方法。
【請求項１５】
上記背面基板上にグリーンシートを貼り付ける段階は、
上記グリーンシートの第２膜形成材料層側を上記誘電体層上に熱圧着した後、上記第１膜形成材料層から上記ベースフィルムを剥離除去する段階と、
上記第１膜形成材料層及び第２膜形成材料層を焼成する段階と、
を含む請求項１４に記載のプラズマ表示パネルの隔壁形成方法。
【請求項１６】
上記隔壁を形成する段階は、
上記隔壁を形成しようとする部分以外の部分に対応して開口を有するマスクを上記第１膜形成材料層の一面に形成する段階と、
上記マスクの開口に対応した上記第１膜形成材料層及び上記第２膜形成材料層の部分をエッチングする段階と、
を含む請求項１４に記載のプラズマ表示パネルの隔壁形成方法。
【請求項１７】
上記第１スラリーは、第２スラリーより粘度が１００ｃｐｓ〜５０００ｃｐｓだけ高いことを特徴とする請求項１４に記載のプラズマ表示パネルの隔壁形成方法。
【請求項１８】
上記第１スラリーと第２スラリーと間の密度差は、０．０１ｇ/ｃｍ３〜１．０ｇ/ｃｍ３であることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマ表示パネルの隔壁形成方法。
【請求項１９】
上記第１膜形成材料層と第２膜形成材料層とは、コンマコート、ダイコートまたはデュアルダイコート法のいずれか一つで形成されることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマ表示パネルの隔壁形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマ表示パネルの隔壁用スラリー及びグリーンシートに関し、詳しくは、隔壁の形成工程を簡単にし、且つ構造的及び機械的に安定した所望の形状の隔壁形成を可能にする隔壁用スラリー、グリーンシート及び隔壁形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プラズマ表示パネル（Plasma Display Panel、以下、「ＰＤＰ」という）は、プラズマ放電による発光現象を利用して映像や情報を表示する平面表示装置であり、表示パネル構造、及び駆動方法によってＤＣ型とＡＣ型に分けられる。
【０００３】
ＰＤＰは、隔壁で分離された放電セル内部にプラズマ放電を発生させ、この時、各放電セル内に充填されているＨｅ、Ｘｅなどのガスの放電により発生する紫外線が蛍光体に衝突して該蛍光体を励起し、これが励起状態から基底状態に戻る時のエネルギー差によって発生する可視光線の発光現象を利用したものである。
【０００４】
ＰＤＰは、高輝度及び高発光効率で、メモリー機能を有し及び１６０度以上の広視野角を有する利点に加えて、構造が簡単で製造が容易であることから４０インチ以上の大画面を容易に具現化できる特長を有している。
【０００５】
以下ＰＤＰの構造を簡単に説明する。
ＰＤＰは、対向して配置された上部基板と下部基板との間に隔壁を設け、上記２つの基板及び隔壁に囲まれてセルを形成している。上記上部基板には透明電極が設けられ、上記透明電極上には上記透明電極の抵抗を減少させるためにバス電極が設けられている。また、上記下部基板にはアドレス電極が設けられている。なお、該アドレス電極はデータ電極とも言われる。
【０００６】
上記隔壁によって区画されたセル内には、蛍光体物質が塗布されている。また、上記上部基板には上記透明電極及びバス電極を覆うように上部誘電体層が設けられており、さらに上記下部基板には上記アドレス電極を被覆するように下部誘電体層が設けられている。そして、上記上部誘電体層上には一般に酸化マグネシウムからなる保護層が設けられる。
【０００７】
また、上記隔壁は、上記上部基板及び下部基板間の放電距離を一定に維持すると同時に、隣接するセル間の電気的、光学的クロストーク（cross-talk）を防止する役割を果たしている。このような隔壁の形成は、ＰＤＰの製造工程において高い表示品質と高い発光効率を得る上で最も重要な工程の一つであり、パネルの大型化につれて、隔壁形成技術の様々な研究が行われている。
【０００８】
一般に実施されている隔壁形成方法は、サンドブラスト（Sand Blasting）法、スクリーン印刷（Screen Printing）法、フォトエッチング（Photo Etching）法などがある。
【０００９】
上記サンドブラスト法においては、上記下部基板上に上記アドレス電極及び誘電体層を形成し、その上に隔壁用ガラスペースト（paste）を塗布してこれを焼結した後、その上にストライプ（stripe）状のマスクパターンを有するマスクを配置し、該マスクの上方から微細な砂粒子を高速で噴射して上記マスクパターンの開口に対応する隔壁用ガラスを除去して隔壁を形成する。
【００１０】
また、上記スクリーン印刷法においては、上記下部基板上に上記アドレス電極及び誘電体層を形成し、その上にストライプ状の開口を有するスクリーンを配置し、所望の厚さの隔壁が得られるまで隔壁用ガラスペーストを用いた印刷を繰り返した後、これを焼成することによって隔壁を形成する。
【００１１】
そして、上記フォトエッチング法においては、上記下部基板上に上記アドレス電極及び誘電体層を形成し、その上に隔壁用ペーストを塗布し、該隔壁用ペースト上にストライプ状のマスクパターンを形成し、エッチング液でマスクパターンの開口を介して露出された隔壁用ペーストをエッチングして除去した後、焼成することにより隔壁を成形する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
このような従来の隔壁形成方法において、上記サンドブラスト法は、設備投資の費用が嵩むこと、工程が複雑であること、また、上記下部基板に大きな物理的衝撃が加わるため、焼成時に隔壁に亀裂が発生する虞があるという問題がある。
【００１３】
また、上記スクリーン印刷法は、１回の印刷により得られる隔壁の高さに限界があり、所望の高さの隔壁を形成するためには印刷工程を何度も繰り返し実行しなければならないこと、また、その都度スクリーンと下部基板とのアライメント、印刷及び乾燥からなる手順をふまなければならず工程が複雑になるという問題がある。
【００１４】
そして、上記フォトエッチング法は、所望の高さの隔壁を成形するためには、上記隔壁用ペーストの塗布を数回繰返して行なわなければならず工程が長くなること、また、エッチング時に隔壁の側面部がオーバーエッチング（over etching）されることから構造的及び機械的に安定した形状の隔壁を得ることが難しく放電空間を高精度に形成することが困難であるという問題がある。
【００１５】
即ち、従来の隔壁形成方法においては、いずれも工程が複雑で、且つ隔壁形成に要する時間が長いため、表示パネルの製造コストが高くなるという問題があった。また、構造的及び機械的に安定した所望の形状の隔壁を形成することが困難であるという問題があった。
【００１６】
そこで、本発明は、このような問題に対処し、隔壁の形成工程を簡単にし、且つ構造的及び機械的に安定した所望の形状の隔壁形成を可能にするプラズマ表示パネルの隔壁用スラリー、グリーンシート及び隔壁形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するために、第１の発明によるプラズマ表示パネルの隔壁用スラリーは、ガラス粉末及び充填剤粉末の混合物を１００重量部と、溶媒を２０〜５０重量部と、分散剤を０．０１〜２重量部と、可塑剤を１〜１０重量部と、結合剤を１０〜２０重量部だけ配合したものである。
【００１８】
また、第２の発明によるプラズマ表示パネルの隔壁用グリーンシートは、ベースフィルムの一面にガラス粉末、充填剤粉末、溶媒、分散剤、可塑剤、及び結合剤を配合した第１スラリーをコートして形成された第１膜形成材料層と、上記第１膜形成材料層の一面にガラス粉末、充填剤粉末、溶剤、分散剤、可塑剤、及び結合剤を配合した第２スラリーをコートして形成され、上記第１膜形成材料層とはエッチング速度が異なる第２膜形成材料層と、を備えたものである。
【００１９】
さらに、第３の発明によるプラズマ表示パネルの隔壁用グリーンシートは、ベースフィルムの一面に配置された第１膜形成材料層と、上記第１膜形成材料層の一面に配置され、上記第１膜形成材料層とエッチング速度が異なる第２膜形成材料層と、を備えたものである。
【００２０】
そして、第４の発明によるプラズマ表示パネルの隔壁製造方法は、ベースフィルム上にガラス粉末、充填剤粉末、溶媒、分散剤、可塑剤及び結合剤を配合した第１スラリーを塗布して第１膜形成材料層を形成する段階と、上記第１膜形成材料層上にガラス粉末、充填剤粉末、溶剤、分散剤、可塑剤、及び結合剤を配合し、上記第１スラリーと密度の異なる第２スラリーを塗布して第２膜形成材料層を形成して２層からなるグリーンシートを形成する段階と、誘電体層が形成された背面基板上に上記グリーンシートを貼り付ける段階と、上記第１及び第２膜形成材料層を選択的に除去して隔壁を形成する段階と、を含むものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のプラズマ表示パネルの隔壁用スラリー、グリーンシート及び隔壁形成方法によれば、隔壁の形成工程が簡単になり、放電空間を維持するのに構造的及び機械的に安定した所望の形状の隔壁を従来に比べてより容易に形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付された図面を参照して本発明に係るプラズマ表示パネルの隔壁用スラリー、グリーンシート及び隔壁形成方法の好ましい実施形態を詳細に説明する。
図１は本発明の隔壁形成方法を適用して製造されたプラズマ表示パネルを示す断面図である。図１に示すプラズマ表示パネル（ＰＤＰ）は、前面パネル２００及び背面パネル３００からなる。
【００２３】
ＰＤＰの前面パネル２００には、ガラス基板２１０（以下、「上部基板」という）の下部に透明電極２２０、バス電極２５０、第１及び第２ブラックマトリックス２３０，２４０、上部誘電体層２６０及び保護層２７０が形成されている。
【００２４】
透明電極２２０は、上部基板２１０の所定位置にストライプ状に形成されており、放電セルから放出される光を透過させるために透明な導電膜であるインジウムスズ酸化物（以下、「ＩＴＯ」という）で形成される。
【００２５】
バス電極２５０は、透明電極２２０上に該透明電極２２０の長手方向に沿って形成され、透明電極２２０のライン抵抗を減少させるためのものである。そして、このバス電極２５０は、導電性の高い銀（Ａｇ）ペーストで形成される。このように、バス電極２５０は、導電性の高い物質で形成されるため、導電性の低い透明電極２２０の駆動電圧を減少させることができる。
【００２６】
第１ブラックマトリックス２３０は、透明電極２２０とバス電極２５０と間に非常に薄く形成されて、透明電極２２０とバス電極２５０との間の導通を確保すると共に、上記ＰＤＰのコントラストを向上させる役割を果たしている。
【００２７】
第２ブラックマトリックス２４０は、上部基板２１０の透明電極２２０を形成した面にて隣接する放電セル間に対応した部分に形成されており、外光及び放電セル内部から放射する光の一部を吸収することにより、コントラストを向上させることができるようになっている。このように、第２ブラックマトリックス２４０は、放電セル間を区分する役割も果たしている。
【００２８】
上部誘電体層２６０は、金属物質からなるバス電極２５０と直接接する層であり、バス電極２５０との化学反応を避けるために軟化点の高いＰｂＯ系のガラスを使用する。このような上部誘電体層２６０は、放電電流を制限してグロー放電を保持し、プラズマ放電時に発生した電荷を蓄積する。
【００２９】
保護膜２７０は、プラズマ放電時のスパッタリングによる上部誘電体層２６０の損傷を防止すると同時に、２次電子の放出効率を上げるためのものであり、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）で形成される。
【００３０】
ＰＤＰの背面パネル３００には、ガラス基板３１０（以下、「下部基板」という）の上部にアドレス電極３２０、下部誘電体層３３０、隔壁３４０及び蛍光層３５０が形成されている。
【００３１】
アドレス電極３２０は、各放電セルの中央に配置されており、７０〜８０μｍ程度の線幅を有している。
【００３２】
下部誘電体層３３０は、アドレス電極３２０を覆って下部基板３１０の全面に形成されて、アドレス電極３２０を保護するようになっている。
【００３３】
隔壁３４０は、下部誘電体層３３０の上部に位置し、アドレス電極３２０から所定距離離隔されて形成され、垂直方向に延びて隣接する放電セルを隔てる壁である。この隔壁３４０は、放電距離を保持し、隣接する放電セル間の電気的、光学的干渉を防止するために必要である。
【００３４】
また、隔壁３４０は、下部隔壁３４４と上部隔壁３４２とからなる複層構造を有しており、その断面形状は上部隔壁３４２と下部隔壁３４４との幅が略同じ長方形状となっている。又は、隔壁３４０の断面形状は、上部隔壁３４２の幅が下部隔壁３４４の幅より狭い台形状であってもよい。
【００３５】
蛍光層３５０は、両隔壁３４０の側面及び下部誘電体層３３０上部に形成されている。この蛍光層３５０は、プラズマ放電時に発生した紫外線によって励起されて赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれか一つの可視光線を発生するものである。
【００３６】
以下、上記ＰＤＰの発光動作を詳述する。
透明電極２２０とバス電極２５０との間に電圧マージン範囲にある一定の電圧がかかった状態で、アドレス電極３２０にプラズマを生成するのに十分な大きさの電圧がかかると、透明電極２２０とバス電極２５０との間にプラズマが形成される。気体には、ある程度の自由電子が存在するが、電場がかかれば、その自由電子は力（Ｆ＝ｑＥ）を受けることになる。
【００３７】
この力を受けた自由電子が不活性気体等の最外郭電子の１個を取り去るだけのエネルギーを得ると（第１イオン化エネルギー）、気体をイオン化することができる。ここで発生したイオンと電子は、電磁場の力を受けて両電極側に移動する。特に、イオンが保護層２７０にぶつかると、保護層２７０では二次電子が発生するが、この二次電子がプラズマの形成を促進することになる。従って、初期放電を開始させるためには、高い電圧が必要だが、一旦、放電を開始すると、電子密度が増加するので低い電圧で放電が維持されるようになる。
【００３８】
上記ＰＤＰの放電セル中に充填される気体は、主にＮｅ、Ｘｅ、Ｈｅ等の不活性気体であるが、特に、Ｘｅが準安定状態で出す１４７ｎｍと１７３ｎｍの波長の紫外線を蛍光層３５０に付与して赤色、緑色又は青色の可視光線が発生されるようにしている。したがって、各放電セルの蛍光層３５０を塗り分けることにより、各放電セルは、赤色、緑色、青色をそれぞれ表示するピクセルになる。
【００３９】
各放電セルのＲＧＢ値の組合せで色合いの調節が行われる。上記ＰＤＰの場合は、プラズマが発生する時間を調節して色合いを制御している。上記各放電セルで発生した可視光線は上部基板２１０を透過して外部に発散する。
【００４０】
以下、ＰＤＰの背面パネル３００の製造方法において、特に、隔壁３４０の組成物及び隔壁の形成方法を詳述する。
図２は、本発明による隔壁用グリーンシートを示す断面図である。このグリーンシート１００は、ＰＤＰの隔壁３４０を形成するために使用されるシートである。グリーンシート１００は、隔壁３４０となるスラリーをベースフィルム１１０上に塗布し、これを乾燥することによって形成され、第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０を積層して備えている。第２膜形成材料層１３０の表面には保護フィルム１４０が設けられている。そして、このベースフィルム１１０及び保護フィルム１４０は、第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０と容易に剥離できるようになっている。
【００４１】
ベースフィルム１１０は、耐熱性及び耐溶剤性を有すると共に、可撓性を有する樹脂フィルムのものが好ましい。ベースフィルム１１０が可撓性を有することによって、例えばダイコート方式によりベースフィルム１１０上にスラリーを塗布して膜厚が均一な第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０を形成することができ、また、第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０をロール状に巻いて保存することができる。
【００４２】
第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０は、焼成することによって隔壁３４０になる層である。また、第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０を形成するためにベースフィルム１１０上に塗布される上記スラリーは、ガラス粉末、充填剤粉末、溶媒、分散剤、可塑剤及び結合剤を配合したものである。さらに、上記スラリーには、レベリング特性及びコート特性を向上させるために添加剤を配合するとよい。
【００４３】
上記スラリーは、ガラス粉末及び充填剤粉末の混合物を１００重量部、溶媒を２０〜５０重量部、分散剤を０．０１〜２重量部、可塑剤を１〜１０重量部及び結合剤を１０〜２０重量部だけ配合したものである。また、上記スラリーは、０．０１〜０．５重量部の添加剤をさらに配合してもよい。
【００４４】
上記ガラス粉末は、ＰｂＯ系ガラス粉末、ＺｎＯ系ガラス粉末又はこれらの混合物であってもよい。好ましくは、上記ガラス粉末は、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系ガラス粉末、ＰｂＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系ガラス粉末、ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系ガラス粉末、ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系ガラス粉末又はこれらの混合物である。
【００４５】
上記充填剤粉末は、Ａｌ２Ｏ３、ＺｎＯ及びＴｉＯ２よりなる群から選択された一つ以上の物質からなる。
【００４６】
上記溶媒は、メチルエチルケトン、エタノール、キシレン、トルエン、アセトン、トリクロロエタン、ブタノール、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、エチルアセテート（ＥＡ）、ブチルアセテート、シクロヘキサノン、水及びプロピレングリコールモノメチルエーテルよりなる群から選択された一つ以上の物質からなる。
【００４７】
上記分散剤は、ポリアミンアミド系、燐酸エステル系、ポリイソブチレン、オレイン酸、ステアリン酸、漁油、ポリカルボン酸のアンモニウム塩及びナトリウムカルボキシメチル（sodium carboxymethyl）よりなる群から選択された一つ以上の物質からなる。
【００４８】
上記可塑剤は、フタレート系、グリコール系及びアゼライン系よりなる群から選択された一つ以上の物質からなる。
【００４９】
上記結合剤は、セルロース系、ビニル系、メタアクリル系及びアクリル系よりなる群から選択された一つ以上の物質からなる。
【００５０】
このようにして、第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０を形成するためのスラリーが得られる。しかし、上記スラリーは、ベースフィルム１１０に塗布された際、第１膜形成材料層１２０を形成するための第１スラリーと第２膜形成材料層１３０を形成するための第２スラリーとが互いに混合されてはならない。そこで、第１膜形成材料層１２０を形成するための上記第１スラリーの粘度は、第２膜形成材料層１３０を形成するための上記第２スラリーの粘度より高くする。これは、粘度が異なる場合には、上記第１及び第２スラリーの流動特性が同一ではなくなり、コーティング時に両スラリーが混合されないからである。この場合、第１膜形成材料層１２０と第２膜形成材料層１３０との粘度差は、１００ｃｐｓ〜５０００ｃｐｓになるように設計する。
【００５１】
また、第１膜形成材料層１２０と第２膜形成材料層１３０との間に０．０１ｇ／ｃｍ３〜１．０ｇ／ｃｍ３の密度差が存在するように設計する。
【００５２】
また、第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０のレオロジー（Rheology）特性は、チクソ指数ＴＩが１〜３の間が適当である。
【００５３】
以下、上記スラリーを用いて形成されたグリーンシート１００の実施例を詳述する。
第１膜形成材料層１２０の第１スラリーは、７１．１重量部のガラス粉末と２８．９重量部の充填剤粉末からなる混合物を１００重量部配合し、分散剤を１重量部、結合剤を１３重量部、溶媒を３６重量部、及び可塑剤を５重量部配合し、添加剤としてレベリング剤を０．０２５重量部及び消泡剤を０．０２５重量部配合している。
【００５４】
第２膜形成材料層１３０の第２スラリーは、７３．３重量部のガラス粉末と２６．７重量部の充填剤粉末からなる混合物を１００重量部配合し、分散剤を１重量部、結合剤を１５重量部、溶媒を３７重量部、及び可塑剤を６重量部含み、添加剤としてレベリング剤を０．０２５重量部及び消泡剤を０．０２５重量部配合している。
【００５５】
上記組成比において、第１スラリーは粘度が２５００ｃｐｓ、ＴＩが２．０であり、第２スラリーは粘度が２０００ｃｐｓ、ＴＩが２．５であった。従って、第１スラリーと第２スラリーとは、粘度が異なるためベースフィルム上に重ねて塗布されても混合しない。
【００５６】
また、第１膜形成材料層１２０と第２膜形成材料層１３０とのエッチング速度について、同じエッチング条件の下で調べると、第１膜形成材料層１２０は第２膜形成材料層１３０よりエッチング速度が遅かった。また、本発明の発明者らは、上記エッチング速度の差は、第１スラリー及び第２スラリー間のガラス粉末と充填剤の混合比の差によって発生することを見出した。
【００５７】
以下、第１膜形成材料層１２０及び第２膜形成材料層１３０を重ねてコートしてグリーンシート１００を形成する方法について詳述する。
図３（ａ）〜（ｃ）は本発明による隔壁用グリーンシートの形成方法の第１の実施形態を示す断面図であり、図４（ａ）〜（ｃ）は本発明による隔壁用グリーンシートの形成方法の第２の実施形態を示す断面図、図５（ａ）〜（ｃ）は本発明による隔壁用グリーンシートの形成方法の第３の実施形態を示す断面図、図６（ａ）及び（ｂ）は本発明による隔壁用グリーンシートの形成方法の第４の実施形態を示す断面図である。
【００５８】
まず、本発明の第１の実施形態に係る隔壁用グリーンシート１００の製造方法を詳述する。
図３（ａ）に示すように、ベースフィルム１１０上に第１スラリー１２２を一定量供給した状態で、該ベースフィルム１１０をコンマ形状のナイフ１５０の下側を所定の間隔を保って一定の速度で通過させる。これにより、上記第１スラリー１２２がナイフ１５０によってベースフィルム１１０上に塗布され、所定の厚みの第１膜形成材料層１２０が形成される。
【００５９】
続いて、図３（ｂ）に示すように、第１膜形成材料層１２０が形成されたベースフィルム１１０上に第２スラリー１３２を供給した状態で、該ベースフィルム１１０をコンマ形状のナイフ１５０の下側を所定の間隔を保って一定の速度で通過させる。これにより、上記第２スラリー１３２がナイフ１５０によって第１膜形成材料層１２０上に塗布され、所定の厚みの第２膜形成材料層１３０が形成される。
【００６０】
次に、図３（ｃ）に示すように、第２膜形成材料層１３０上を保護フィルム１４０で覆うことによってグリーンシート１００が形成される。
【００６１】
このように、上記第１の実施形態によれば、第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０はそれぞれコンマ（Comma）コート方式により形成することができる。
【００６２】
次に、本発明の第２の実施形態に係る隔壁用グリーンシート１００の製造方法を詳述する。但し、本実施形態においては、第１膜形成材料層はダイコート方式で、第２膜形成材料層はコンマコート方式で形成される。
まず、図４（ａ）に示すように、図示省略のポンプに接続されたスロット（slot）形態のコータ部１５２内に第１スラリー１２２を注入し、該コータ部１５２の先端部に対して外周面を所定距離隔てて対向配置されたローラ１５４に長尺のベースフィルム１１０を巻きつける。次に、ローラ１５４を回転させてベースフィルム１１０を一定速度で供給しながらコータ部１５２を動作させて第１スラリー１２２をベースフィルム１１０上に吐出する。これにより、ベースフィルム１１０上に所定の厚みの第１膜形成材料層が形成される。
【００６３】
続いて、図４（ｂ）に示すように、第１膜形成材料層１２０が形成されたベースフィルム１１０上に第２スラリー１３２を一定量供給した状態で、該ベースフィルム１１０をコンマ形状のナイフ１５の下側を所定の間隔を保って一定の速度で通過させる。これにより、上記第２スラリー１３２がナイフ１５０によって第１膜形成材料層１２０上に塗布され、所定の厚みの第２膜形成材料層１３０が形成される。
【００６４】
次に、図４（ｃ）に示すように、第２膜形成材料層１３０上を保護フィルム１４０で覆うことによってグリーンシート１００が形成される。
【００６５】
このように、上記第２の実施形態によれば、第１膜形成材料層１２０はダイ（Die）コート方式により、第２膜形成材料層１３０はコンマコート方式により形成することができる。なお、第１膜形成材料層１２０をコンマコート方式により、第２膜形成材料層１３０をダイコート方式により形成してもよい。
【００６６】
次に、本発明の第３の実施形態に係る隔壁用グリーンシート１００の製造方法を詳述する。但し、本実施形態においては、第１及び第２膜形成材料層はそれぞれダイコート方式で形成される。
【００６７】
まず、図５（ａ）に示すように、スロット（slot）形態のコータ部１５２内に第１スラリー１２２を注入し、該コータ部１５２の先端部に対して外周面を所定距離隔てて対向配置されたローラ１５４に長尺のベースフィルム１１０を巻きつける。次に、ローラ１５４を回転させてベースフィルム１１０を一定速度で供給しながらコータ部１５２を動作させてベースフィルム１１０上に第１スラリー１２２を吐出する。これにより、ベースフィルム１１０上に所定の厚みの第１膜形成材料層１２０が形成される。
【００６８】
次に、図５（ｂ）に示すように、スロット形態のコータ部１５２内に第２スラリー１３２を注入し、ローラ１５４に第１膜形成材料層１２０がコーティングされたベースフィルム１１０を巻きつける。その後、ローラ１５４を回転させてベースフィルム１１０を一定速度で供給しながらコータ部１５２を動作させて第１膜形成材料層１２０上に第２スラリー１３２を吐出する。これにより、第１膜形成材料層１２０上に所定の厚みの第２膜形成材料層１３０が形成される。
【００６９】
続いて、図５（ｃ）に示すように、第２膜形成材料層１３０上を保護フィルム１４０で覆うことによってグリーンシート１００が形成される。
このように、上記第３の実施形態によれば、第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０をそれぞれダイコート方式により形成することができる。
【００７０】
次に、本発明の第４の実施形態に係る隔壁用グリーンシート１００の製造方法を詳述する。但し、本実施形態においては、第１及び第２膜形成材料層はデュアルダイコート方式で形成される。
図６（ａ）に示すように、二つのスロットが形成されたコータ部１５６内に第１及び第２スラリー１２２，１３２を注入し、該コータ部１５６の先端部に対して外周面を所定距離隔てて対向配置されたローラ１５４に長尺のベースフィルム１１０を巻きつける。次に、ローラ１５４を回転させてベースフィルム１１０を一定速度で供給しながらコータ部１５６を動作させてベースフィルム１１０上に第１及び第２スラリー１２２，１３２を同時に吐出する。これにより、ベースフィルム１１０上に所定の厚みの第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０が同時に形成される。
【００７１】
続いて、図６（ｂ）に示すように、第２膜形成材料層１３０上を保護フィルム１４０で覆うことによってグリーンシート１００が形成される。
このように、上記第４の実施形態によれば、第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０をデュアルダイ（Dual Die）コート方式により形成することができる。なお、グリーンシート１００の製造方法は、上述した各コート方式によりスラリーを塗布して形成するものに限定されず、例えばグラビア（gravure）印刷、Ｌ．Ｐ（Lacquer Powder）などによるコート方式で形成してもよい。
【００７２】
以下、上記グリーンシート１００を用いてプラズマ表示パネルの隔壁を形成する方法について詳述する。図７〜図９は図１に示すプラズマ表示パネルの背面基板の隔壁を形成する方法を示す断面図である。
図７（ａ）に示すように、グリーンシート１００がアドレス電極３２０及び下部誘電体層３３０を形成した下部基板３１０の表面に貼り付けられる。この場合、アドレス電極３２０及び下部誘電体層３３０は、下部基板３１０上にスパッタリング、イオンメッキ、化学蒸着及び電着などの工程を経て事前に形成されている。
【００７３】
ここで、上記グリーンシート１００の具体的な貼り付け手順は、先ず、第２膜形成材料層１３０の表面から保護フィルム１４０を剥離した後、下部基板３１０表面に第２膜形成材料層１３０の表面をその一端部から他端部に向かって順次密着させてグリーンシート１００を重ね合わせる。この時、グリーンシート１００を重ね合わせる方向は、アドレス電極３２０の長手方向と交差する方向であるのが好ましい。
【００７４】
次に、図７（ａ）に示すように、グリーンシート１００上に加熱されたローラ５００を圧接して同図に示す矢印方向に移動し、図７（ｂ）に示すように、下部基板３１０上に第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０を熱圧着する。
【００７５】
続いて、図８（ｃ）に示すように、第１膜形成材料層１２０からベースフィルム１１０を剥離除去する。その後、第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０が貼り付けられた下部基板３１０を５００℃以上の温度で熱処理して上記第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０を焼結する。
【００７６】
次に、図８（ｄ）に示すように、下部基板３１０に貼り付けられた第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０上に所定の開口が形成されたマスク４００を配置する。マスク４００は、隔壁３４０を形成しようとする部分以外の部分に対応して開口を形成したものであり、例えばフォトレジストを露光して形成したものである。
【００７７】
続いて、マスク４００を配置した下部基板３１０は、エッチング液中に浸漬されエッチング処理される。このとき、マスク４００の開口に対応した第１及び第２膜形成材料層１２０，１３０の部分は、エッチング液に溶解して除去され、図９（ｅ）に示すように、上部隔壁３４２及び下部隔壁３４４からなる隔壁３４０が成形される。
【００７８】
このようなエッチング工程において、第１膜形成材料層１２０及び第２膜形成材料層１３０のエッチング速度は、ガラス粉末と充填剤の混合比の違いによって異なる。従って、第２形成材料層１３０よりも第１膜形成材料層１２０の側面が多くエッチングされないように、第１膜形成材料層１２０及び第２膜形成材料層１３０のガラス粉末と充填剤の混合比を調整する。これにより、構造的にも機械的にも安定した長方形または台形の断面形状を有する隔壁を得ることができる。
【００７９】
続いて、図９（ｆ）に示すように、隔壁３４０で区画されたセルの内側に蛍光体物質を塗布して蛍光層３５０を形成する。
【００８０】
以上で説明した本発明は、例示の目的のために開示されたものであり、本発明に対する通常の知識を有した当業者であるならば、本発明の思想と範囲内で様々な修正、変更、付加が可能である。従って、このような修正、変更及び付加は本発明の特許請求の範囲に属するものである。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の隔壁形成方法を適用して製造されたプラズマ表示パネルを示す断面図である。
【図２】本発明による隔壁用グリーンシートの一実施形態を示す断面図である。
【図３】本発明による隔壁用グリーンシートの製造方法の第１の実施形態を示す断面図である。
【図４】本発明による隔壁用グリーンシートの製造方法の第２の実施形態を示す断面図である。
【図５】本発明隔壁用グリーンシートの製造方法の第３の実施形態を示す断面図である。
【図６】本発明による隔壁用グリーンシートの製造方法の第４の実施形態を示す断面図である。
【図７】図２の隔壁用グリーンシートを使用して行なうプラズマ表示パネルの隔壁形成方法において、隔壁用グリーンシートの貼付工程を示す断面図である。
【図８】図２の隔壁用グリーンシートを使用して行なうプラズマ表示パネルの隔壁形成方法において、隔壁用グリーンシートのエッチング工程を示す断面図である。
【図９】図２の隔壁用グリーンシートを使用して行なうプラズマ表示パネルの隔壁形成方法において、セル内壁への蛍光体物質の塗布工程を示す断面図である。
【符号の説明】
【００８２】
１００  グリーンシート
１１０  ベースフィルム
１２０  第１膜形成材料層
１３０  第２膜形成材料層
１４０  保護フィルム
【図１】
2007157689.tif 000003
【図２】
2007157689.tif 000004
【図３】
2007157689.tif 000005
【図４】
2007157689.tif 000006
【図５】
2007157689.tif 000007
【図６】
2007157689.tif 000008
【図７】
2007157689.tif 000009
【図８】
2007157689.tif 000010
【図９】
2007157689.tif 000011