(57)【要約】 【課題】  構成部品がアルカリ性を示しかつ紫外線を透過しない材料であっても熱硬化付与型の紫外線硬化型の接着剤の使用が可能であり、接着固定時の位置ずれおよび特性劣化が少なく長期的な安定性に優れる、光学部品または光モジュールの製造方法を提供すること。【解決手段】  平面型のガラス偏光子およびファラデー回転子を光学接着剤により接着固定してなる光アイソレータ素子２３を光ファイバを内蔵するフェルール２１の端面に光学接着剤（接着剤２５）により接着固定してなる光モジュールの製造方法において、その接着固定に先立ち、接着剤２５を介して接合しようとする光アイソレータ素子２３の接合面に接着剤２５とほぼ同等の屈折率を有する非アルカリ性の誘電体膜２４を形成し、フェルール２１の端面にも同様の非アルカリ性の誘電体膜２２を形成する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面型の光学素子同士を光学接着剤により接着固定してなる光学部品、または、平面型の光学素子もしくは前記光学部品を光ファイバを内蔵するフェルール端面に光学接着剤により接着固定してなる光モジュールを作製するための、光学部品または光モジュールの製造方法において、前記接着固定に先立ち、前記光学接着剤を介して接合しようとする接合面の１面以上に前記光学接着剤とほぼ同等の屈折率を有する少なくとも１層の非アルカリ性の誘電体膜を形成することを特徴とする光学部品または光モジュールの製造方法。
【請求項２】
前記平面型の光学素子には、磁気光学ガーネット厚膜のファラデー回転子またはガラス偏光子が含まれることを特徴とする請求項１記載の光学部品または光モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記フェルールが、ジルコニア、ガラスまたは金属からなることを特徴とする請求項１または２記載の光学部品または光モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信装置などで使用される光学部品または光モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、光通信用に使用される光学部品や光モジュールとしては、光コネクタ、光アイソレータや光信号を送信するためのＬＤモジュールや光信号を受信するためのＰＤモジュールが知られている。また、特に大容量化、高速化および長距離中継通信機能が要求される光情報処理システムの場合、ＬＤとして分散特性に優れるＤＦＢレーザが用いられ、このＤＦＢレーザは反射光による戻り光に対しては非常に敏感であり、光ファイバヘの結合端面やその他の不連続界面からの反射光が戻ると特性が不安定状態となってしまうという難点がある。そこで、このような場合には、反射光が発光素子へ戻るのを防止するため、発光素子と光ファイバとの間に光の一方向透過機能（順方向の光を透過し、逆方向の光を遮断する）を有する特許文献１に示されるような光アイソレータモジュールが使用される。
【０００３】
この光アイソレータモジュールの一例の模式的な断面図を図４に示す。一般に光コネクタや光アイソレータなどの光学部品を組み合わせてなる光モジュールを構成する場合、その構成部品と一体化する上で光ファイバの端面部分の保護および固定に十分な機械強度を得るために光ファイバの先端部分はフェルールに固定される。図４において、光ファイバ１００の光モジュールが構成される先端部は光ファイバの被覆材が除去されて光ファイバ素線１０１となり、円筒形状で中心に光ファイバ挿入孔を有するジルコニアやガラスまたは金属などの材料からなるフェルール１０２に挿入され接着固定されている。
【０００４】
図４においては、そのフェルール１０２の端面１０３は光ファイバ素線１０１の端面と一体に研磨され、その研磨端面はそこでの反射光が光透過方向に結合して戻るのを防ぐため斜めになっている。端面１０３には光アイソレータ素子１０４が直接的に接着固定された構造となっている。ここでの光アイソレータ素子１０４は、相対角が約４５度の入射側偏光子および出射側偏光子の間にファラデー回転子を設置固定し、その周囲に円筒型の磁石１０５を配置して構成されるもので、ファラデー回転子が磁石から印加される磁界により光信号の偏波面を回転させる作用を有し、入射側偏光子と出射側偏光子が或る一定方向の偏光のみを通過させる作用を有する。図４においては磁石１０５はフェルール１０２を保持する円筒型の金属管１０６の端面上に設置固定されている。
【０００５】
ここで、光モジュールを構成する各光学部品の製造または固定には、通常、接着や溶接、半田などの方法が使用されている。この中で接着による製造方法または固定方法は構成部品の材料に限定されないこと、固定物と被固定物の形状の自由度が大きいこと、安価であることなどから最も多く用いられている。しかし、接着による固定では接着剤の硬化時の収縮による構成部品の位置ずれ、熱硬化後の構成部品への応力印加による特性のずれ、劣化、長期的な安定性などが問題となる。
【０００６】
そこで接着硬化時の収縮が小さく、熱による歪の影響がなく、安定性の高い紫外線硬化型あるいは熱硬化性も付加されたエポキシ系接着剤が最近は多く使用されている。すなわち、紫外線により接着剤全体を硬化させるのでなく、紫外線の照射により一部が硬化して仮固定され、その硬化した部分がトリガーとなり後の加熱により残り部分が完全に硬化されるタイプの接着剤（紫外線アシスト型接着剤）も収縮が小さく安定性の高い接着剤として使用されている。熱硬化性が付与されているので、紫外線照射が不可能な部位の接着にも適用が可能となっている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−１１０１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記の熱硬化性が付与された紫外線硬化型の接着剤の問題点の一つに、硬化すなわち接着剤の主剤の重合に酸性の重合開始剤が必須であり、アルカリ性を有する被接着物への熱硬化の適用が著しく制限されるということがあった。この問題を解決するための一つの方法は、前項で述べた紫外線アシスト法を活用することである。しかし、この紫外線アシスト法が使用できるためには接着剤が塗布された部分に紫外線を十分に照射する必要がある。しかるに、光アイソレータ素子１０４に使用されるガラス偏光子は、単にアルカリガラスを母材としているだけでなく、紫外線の透過率がおよそ１０％以下程度であるため、十分な紫外線照射を行うことは困難である。さらにファラデー回転子を構成する磁気光学ガーネットも紫外線を通さない材料である。そこでやはり光アイソレータ素子１０４とフェルール１０２の端面１０３との固定には紫外線アシスト法を適用することが難しく熱硬化性のみを利用せざるを得ない。
【０００９】
しかし、アルカリガラスを母材とするガラス偏光子とフェルール端面とを熱硬化のみにより接着固定しようとすると、酸性の硬化開始剤がアルカリガラスと反応する以前に十分に主剤の重合をさせることが必須となり、結果的に非常に高い温度まで瞬時に上げることが不可欠となる。このため、熱硬化のみによる硬化では、一部の構成部品の耐熱温度を上回る温度まで上昇させることにより一部構成部品の信頼性を損なう等の問題があった。さらに、熱硬化性のみを利用しようとすると、重合が十分進む以前に重合開始剤がアルカリと反応して枯渇してしまい、結果的に硬化が不十分であることも問題であった。
【００１０】
以上のように、従来の光学部品あるいは光モジュールの製造方法では、熱硬化性が付与された紫外線硬化型接着剤の使用に著しい制限があり、特に、接着固定型の光アイソレータ素子の製造やフェルール端面への光アイソレータ素子の接着固定には、熱硬化性を阻害する要因のために、紫外線硬化型エポキシ系接着剤本来の硬化収縮がなくかつ耐湿性に優れるという特徴が活かされないという問題は解決されていない。
【００１１】
そこで、本発明の課題は平面型の光学素子同士を接着固定してなる光学素子や光ファイバを内蔵するフェルール端面に平面型の光学素子を接着固定してなる光モジュールの製造方法において、構成部品がアルカリ性を示しかつ紫外線を透過しない材料であっても熱硬化付与型の紫外線硬化型の接着剤の使用が可能であり、接着固定時の位置ずれおよび特性劣化が少なく長期的な安定性に優れる、光学部品または光モジュールの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の光学部品または光モジュールの製造方法は、平面型の光学素子同士を光学接着剤により接着固定してなる光学部品、または、平面型の光学素子もしくは前記光学部品を光ファイバを内蔵するフェルール端面に光学接着剤により接着固定してなる光モジュールを作製するための、光学部品または光モジュールの製造方法において、前記接着固定に先立ち、前記光学接着剤を介して接合しようとする接合面の１面以上に前記光学接着剤とほぼ同等の屈折率を有する少なくとも１層の非アルカリ性の誘電体膜を形成することを特徴としている。こうすることで光学接着剤の硬化性阻害要因を除くことができる。
【００１３】
また、前記平面型の光学素子には、磁気光学ガーネット厚膜のファラデー回転子またはガラス偏光子が含まれることを特徴としている。さらに、前記フェルールが、ジルコニア、ガラスまたは金属からなることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の光学部品または光モジュール製造方法では、上記のようにそれぞれの光学素子の接合面またはフェルール端面に光学接着剤とほぼ同等の屈折率を有する少なくとも１層のアルカリ性を示さない誘電体膜を形成し、該誘電体膜を接着剤と接する接合面とすることにより、構成部品がアルカリ性を有する材料であってかつ紫外線を透過しない材料であっても熱硬化付与型の紫外線硬化型のエポキシ系接着剤の使用が可能であり、接着固定時の位置ずれおよび特性劣化が少なく長期的な安定性に優れる、光学部品または光モジュールの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。ただし、本発明は実施例１〜３には限定されない。
【００１６】
本発明において用いられるファラデー回転子としては、液相エピタキシャル成長法で作製される磁気光学ガーネットが好ましい。特定の偏光面の光のみを透過させる偏光子／検光子としては、コーニング社製のポーラコア（登録商標）あるいは、ＨＯＹＡ社製のＣＵＰＯ（登録商標）といった吸収型のガラス偏光子が例示される。本発明に用いられる磁石としては、フェライト磁石やサマリウム−コバルト磁石が例示される。
【００１７】
上記平面型の光学素子同士を光学接着剤により接着固定してなる光学部品を作製する。また、上記平面型の光学素子もしくは前記光学部品を光ファイバを内蔵するフェルール端面に光学接着剤により接着固定してなる光モジュールを作製する。このとき、前記接着固定に先立ち、光学接着剤を介して接合しようとする接合面の１面以上に光学接着剤とほぼ同等の屈折率を有する少なくとも１層の非アルカリ性の誘電体膜を形成する。その具体的な方法については、以下の実施例のようである。
【実施例１】
【００１８】
図１は本発明による光学部品の製造方法の一実施例を説明するための製造工程図であり、図１（ａ）は誘電体膜形成を含めた前処理工程を説明するための図、図１（ｂ）は接着工程を説明するための図である。光学部品は、吸収型のガラス偏光子２枚と磁気光学ガーネットからなる４５度ファラデー回転子１枚の３枚の平面型の光学素子からなる。この光学素子は、ファラデー回転子を飽和させるための外部磁石あるいは、硬磁性ガーネットによりファラデー回転子そのものに磁石の効果を持たせ、ガラス偏光子２枚の透過偏光方向を前記ファラデー回転子の偏光面回転方向に対して適正に選ぶことにより光アイソレータとして機能するものである。
【００１９】
まず、光が入射する側の第１のガラス偏光子１の光が入射する面にＳｉＯ2膜とＴａ2Ｏ５膜を積層してなる対空気の反射防止膜をスパッタリング法により形成し、ついで、第１のガラス偏光子１のファラデー回転子５側の面にスパッタリング法によりおよそ２００ｎｍの膜厚を有する誘電体膜２（ＳｉＯ2膜）を形成した。同様に、光が出射する側の第２のガラス偏光子３のファラデー回転子５側の面にもスパッタリング法によりおよそ２００ｎｍの膜厚の誘電体膜（ＳｉＯ2膜）４を形成した。さらに、前記第２のガラス偏光子３の光が出射する側の面に対空気の反射防止膜を形成した。ついで、ファラデー回転子５の両面には、対接着剤の反射防止膜であるＳｉＯ2膜とＴａ2Ｏ5膜をスパッタリング法により積層して形成した。
【００２０】
ついで、これら３枚の光学素子を接着して、光アイソレータのコアとなる光学部品を製造した。すなわち、光学接着剤６を第１および第２のガラス偏光子１，３のファラデー回転子側の面およびファラデー回転子５の両面に塗布し、接着剤を塗布した面同士を合わせ、さらに第１および第２のガラス偏光子１，３の偏光面を適正に制御して、接着剤の厚みが１０μｍ程度となるように圧力を加えた。つづいて、組み合わされた３枚の光学素子からなるブロックをオーブンに入れ、１２０℃程度まで加熱し、３０分程度保持することにより、接着剤を熱硬化させて、光学部品を完成させた。得られた光学部品は、光学特性、信頼性共に十分なものであった。
【００２１】
ここで、光学接着剤には、すでに説明した熱硬化付与型の紫外線硬化型接着剤（紫外線硬化および熱硬化が可能な光学接着剤）を使用した。この光学接着剤は、ガラスと同程度の屈折率を有し、ＵＶ硬化、熱硬化共に可能なエポキシ系の高気密性の接着樹脂であり、低透湿性、高Ｔｇ（ガラス転移温度）、高接着性を有し、光ファイバ部品において、光ファイバをＶ溝に固定するための最適の接着剤として知られている。一旦硬化すると、一般のエポキシ系あるいはアクリル系の光学接着剤に対して、極めて高い耐湿性を示すことが分かっている。しかしながら、この光学接着剤は、唯一の欠点として、アルカリ性を有する材料の接着性に劣るという問題点を抱えていた。
【００２２】
この光学接着剤がアルカリ性を有する材料の接着性に劣るのは、主剤の重合を開始するのに、酸性の重合開始剤が介在することが必須であるのに対して、重合が進む以前に該重合開始剤とアルカリ性の材料とが反応することにより十分な重合開始剤の供給がなされないことによる。このことは、本実施例１による光学部品の製造に先立ち、第１および第２のガラス偏光子のファラデー回転子側の面に誘電体膜を形成しないで、同様の光学部品の製造を試みた次の比較例の結果からも実証されている。
【００２３】
本実施例１に先立っての比較例となる光学部品の製造は、以下の手順で行った。すなわち、図１に示す工程において、第１および第２のガラス偏光子のファラデー回転子側の面に誘電体膜を形成しないこと以外は全く同様とした。この光学部品は、１２０℃程度で３０分程度保持したにも係わらず、接着すべき面の接着剤が未硬化であり、光学特性、信頼性共に不十分なものであった。接着剤が未硬化であったことにより、接合面は容易に、はずすことができた。未硬化の接着剤をフーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴＩＲ）で観察したところ、反応以前の接着剤と比較して、重合開始剤のピークのみがなくなっていることが判明した。なくなった重合開始剤は、ガラス偏光子の母材であるアルカリガラスと反応したと考えられる。
【００２４】
一方、本実施例１で製造した光学部品は、前述の通り、光学特性、信頼性共に十分なものであり、全く同様に製造した光学部品を破壊して、接合面を観察したところ、接着剤の完全な硬化が確認できた。これは、本発明の、接着剤と会する面に誘電体膜を介在させることにより、ガラス偏光子の母材であるアルカリガラスを接着剤から隔離することにより、重合開始剤の効果が損なわれることなく接着剤の硬化が進んだものと考えられる。
【実施例２】
【００２５】
図２は本発明による光モジュールの製造方法の一実施例を説明するための製造工程図であり、光アイソレータモジュール製造工程の一部である接着工程を示す図である。図２（ａ）はその前処理工程、図２（ｂ）は接着工程および磁石固定工程を説明するための図である。なお、図２においては構成部品などは切り口のみの断面図で示したが、ハッチングは省略した。この光アイソレータモジュールは、いわゆるアイソレータ付きピグテールファイバと呼ばれるもので、フェルール端面に光アイソレータを有し、一定長さの光ファイバの反対側に各種光コネクタを有する構造のものである。
【００２６】
図２（ａ）の前処理工程では、ジルコニアや金属あるいはガラスなどからなり円筒形状で中心に光ファイバを内蔵するフェルール２１の光学素子側端面にスパッタリング法により誘電体膜（ＳｉＯ2膜）２２をおよそ３００ｎｍの厚さに形成する。これは、フェルール端面は、内蔵する光ファイバの清浄でかつ滑らかな端面を形成するため例えば強アルカリ性の研磨剤での研磨を含む各種研磨工程を経て研磨され、かつ研磨後にも例えば強アルカリ性の洗剤での洗浄工程を含む各種洗浄工程を経ており、そのままでは、アルカリ成分が完全には除去されておらず、熱硬化付与型の紫外線硬化型光学接着剤の熱硬化に影響を及ぼす可能性が高いからである。
【００２７】
続いて、前記誘電体膜を形成したフェルール端面に接合すべき光学部品である光アイソレータ素子２３を実施例１に基づく工程で製造した。唯一の相違は、フェルール端面に接合される第２のガラス偏光子の光が出射する側の面に対空気の反射防止膜を形成する代わりに、ファラデー回転子側の面と同様の誘電体膜２４を形成したことである。
【００２８】
次に、図２（ｂ）の接着工程では、光アイソレータ素子２３のフェルール端面と接合される誘電体膜２４を形成した面と、同様に誘電膜を形成したフェルール端面に適量の実施例１と同じ接着剤２５を塗布し、アイソレータ素子（光アイソレータ素子と同一）をフェルールに押しつけて圧力を加えた。さらにアイソレータ素子の外周に磁石２６を接着剤塗布後押しつけた。その後、局所加熱が可能な、小型の接触型ヒータ２７を用いて、フェルール端面を１２０℃程度に加熱して、３０分程度保持することにより、接着剤を熱硬化した。局所加熱にしたのは、光コネクタあるいは光ファイバ被覆の耐熱性を考慮したためである。
【００２９】
上記方法にて製造した光アイソレータモジュールは、光学特性、信頼性ともに十分なものであり、フェルールとアイソレータ素子、磁石の接合面の接着剤は完全に硬化していた。一方、比較例として、フェルール端面あるいはアイソレータ素子のフェルール側端面に誘電体膜を形成しないで製造した光アイソレータモジュールは、信頼性の点で不十分なものもあり、量産技術としては採用不可であることが判明している。
【００３０】
その比較例として製造した光アイソレータモジュールは、以下の３種である。（１）フェルール端面およびアイソレータ素子端面の両方に誘電体膜を有しないもの、（２）フェルール端面には誘電体膜を有するが、アイソレータ素子端面には誘電体膜を有しないもの、そして、（３）アイソレータ素子端面には誘電体膜を有するが、フェルール端面には誘電体膜を有しないものである。
【００３１】
これら３種の組合せの光アイソレータモジュールの製造工程は、誘電体膜の有無以外は、本実施例２と全く同様とした。結果は、いずれも、信頼性の点で完全とは言えないものであったが、特に、フェルール側およびアイソレータ素子端面の両方に誘電体膜のないものについては、１００個中１０個が信頼性の点で不十分であった。また、フェルール端面にのみ誘電体膜を形成したものでは、１００個中６個が信頼性不十分であった。さらに、アイソレータ素子端面にのみ誘電体膜を形成したものは、１００個中２個が信頼性不十分であった。
【００３２】
これら信頼性が不十分なモジュールのフェルールとアイソレータ素子の接合面を破壊して観察したところ、接着剤が一部未硬化であることが確認できた。一方、本実施例２によるモジュールにおいては、前述の通り、接着剤は完全に硬化していた。すなわち、接着剤と会する面を誘電体で覆うことで、接着剤の硬化を阻害する物質を隔離することにより接着剤の硬化を完全なものにすることができたと考えられる。
【実施例３】
【００３３】
図３は本発明による光モジュールの製造方法の他の実施例を説明するための図であり、図３（ａ）は本実施例３が製造を目的とするレセプタクル型光アイソレータモジュールの模式的断面図であり、図３（ｂ）はその製造工程の一部である光アイソレータ素子接着工程を示す説明図である。ただし、図３（ａ）の模式的断面図においては、本発明の主たる部分は、あえて図示していない。また、図３は断面の切り口のみを示し、ハッチングは省略した。
【００３４】
レセプタクル型光アイソレータモジュールは、図３（ａ）に示すように、ジルコニアや金属あるいはガラスなどからなり円筒形状で中心の挿入孔に光ファイバ素線を挿入して固定したフェルール３１の斜め研磨された端面３２に、光アイソレータ素子３３が接着固定されている。フェルール３１の他方の端面３４は平坦に研磨され、光結合をする相手となる同じく平坦に端面研磨されたフェルールを有する光ファイバ端末や光コネクタのそのフェルール部分がレセプタクルの金属ホルダ３５中に挿入されたスリーブ３６中に挿入されて両フェルールの端面同士が突き当てられる。なお、３７は磁石である。
【００３５】
本実施例３の光アイソレータ素子３３の接着工程は実施例２の図２の工程と基本的に同じである。すなわち、ジルコニアや金属あるいはガラスなどからなり円筒形状で中心に光ファイバを内蔵するフェルール３１の光学素子側端面にスパッタリング法により誘電体膜（ＳｉＯ2膜）３８をおよそ４００ｎｍの厚さに形成する。これは、レセプタクルの製造工程においても、ピグテールファイバと同様に、フェルール端面は、内蔵する光ファイバの清浄でかつ滑らかな端面を形成するため例えば強アルカリ性の研磨剤での研磨を含む各種研磨工程を経て研磨され、かつ研磨後にも例えば強アルカリ性の洗剤での洗浄工程を含む各種洗浄工程を経ており、そのままでは、アルカリ成分が完全には除去されておらず、熱硬化付与型の紫外線硬化型光学接着剤の熱硬化に影響を及ぼす可能性が高いからである。
【００３６】
続いて、前記誘電体膜を形成したフェルール端面に接合すべき光学部品である光アイソレータ素子３３を実施例１に基づく工程で製造した。すなわち、実施例２と同じく、フェルール端面に接合される第２のガラス偏光子の光が出射する側の面に対空気の反射防止膜を形成する代わりに、ファラデー回転子側の面と同様の誘電体膜３９を形成した。
【００３７】
次に、図３（ｂ）の接着工程では、光アイソレータ素子３３のフェルール端面と接合される誘電体膜３９を形成した面と、同様に誘電膜３８を形成したフェルール端面に適量の実施例１と同じ接着剤４０を塗布し、アイソレータ素子をフェルールに押しつけて圧力を加えた。さらにアイソレータ素子の外周に磁石３７を接着剤塗布後押しつけた。その後、オーブンの中で、アイソレータ素子を保持するレセプタクルを１２０℃程度以上に加熱して、３０分程度以上保持することにより、接着剤を熱硬化した。なお、図３（ｂ）は、光学素子の接着工程のみを抜き出したものであり、図３（ａ）の構造のモジュール全体を示すものではない。
【００３８】
上記方法にて製造したレセプタクル型光アイソレータモジュールは、光学特性、信頼性ともに十分なものであり、フェルールとアイソレータ素子、磁石の接合面の接着剤は完全に硬化していた。一方、やはり実施例２で述べた比較例と同様にして、フェルール端面あるいはアイソレータ素子のフェルール側端面に誘電体膜を形成しないで製造した光アイソレータモジュールは、信頼性の点で不十分なものもあり、量産技術としては採用不可であることが判明している。また、その原因も実施例２で述べたものと同様であった。
【００３９】
信頼性が不十分なモジュールのフェルールとアイソレータ素子の接合面を破壊して観察したところ、接着剤が一部未硬化であることが確認できた。一方、本実施例によるモジュールにおいては、前述の通り、接着剤は完全に硬化していた。すなわち、接着剤と会する面を誘電体で覆うことで、接着剤の硬化を阻害する物質を隔離することにより接着剤の硬化を完全なものにすることができたと考えられる。
【００４０】
以上述べたように、本発明によれば構成部品が紫外線を透過しない、あるいは透過しづらい材料であり、かつ熱硬化を阻害するアルカリ性の物質であっても、熱硬化付与型の紫外線硬化型接着剤の使用が可能であり、接着固定時の位置ずれおよび特性劣化が少なく長期的な安定性に優れる光学部品あるいは光モジュールを製造可能である。
【００４１】
本発明の実施例においては、誘電体膜はＳｉＯ2膜としたが、屈折率がおよそ１．５であって、すなわち光学接着剤の屈折率とほぼ同等であって、アルカリ性を示さないものであればどのような誘電体材料でもよい。たとえば、ＳｉＯ2と他の誘電体との混合体、いわゆる多成分ガラスであってもよい。また、誘電体膜の形成方法としては、実施例においては、スパッタリング法としたが、その他にイオンアシストによる蒸着法や、イオンビームスパッタ法なども適用可能である。さらに、その誘電体膜は２層以上の膜であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明による光学部品の製造方法の一実施例を説明するための製造工程図。図１（ａ）は誘電体膜形成を含めた前処理工程の説明図、図１（ｂ）は接着工程の説明図。
【図２】本発明による光モジュールの製造方法の一実施例を説明するための製造工程図。図２（ａ）は前処理工程の説明図、図２（ｂ）は接着工程および磁石固定工程の説明図。
【図３】本発明による光モジュールの製造方法の他の実施例を説明するための図。図３（ａ）はレセプタクル型光アイソレータモジュールの模式的断面図、図３（ｂ）は光アイソレータ素子接着工程の説明図。
【図４】光アイソレータモジュールの模式的断面図。
【符号の説明】
【００４３】
１，３    ガラス偏光子
２，４，２２，２４，３８，３９    誘電体膜
５    ファラデー回転子
６    光学接着剤
２１，３１，１０２    フェルール
２３，３３，１０４    光アイソレータ素子
２５，４０    接着剤
２６，３７，１０５    磁石
２７    接触型ヒータ
３２    斜め研磨された端面
３４    他方の端面
３５    金属ホルダ    
３６    スリーブ
１００    光ファイバ
１０１    光ファイバ素線
１０３    端面      
１０６    金属管
【図１】
2007309967.tif 000003
【図２】
2007309967.tif 000004
【図３】
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【図４】
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