(57)【要約】【課題】磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダの浮上を安定化しつつ、磁気ヘッドスライダの浮上高さ方向の並進振動及びピッチ方向振動を速やかに収束すること。【解決手段】磁気ディスク装置は、磁気記録媒体と、この磁気記録媒体面上を浮上して情報の読み取りまたは書き込みを行う磁気ヘッドスライダ３４とを備える。磁気ヘッドスライダ３４はスライダ浮上面１と磁気トランスデューサ１２とを備える。スライダ浮上面１は、フロントレール面８及びフロントステップ軸受け面９を有するフロントパッド４と、リアレール面１０及びリアステップ軸受け面１１を有するリアパッド５と、フロントパッド４とリアパッド５との間に介在された負圧溝６とを備える。リアレール面１０には、当該リアレール面１０より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝１３が備ええられている。【選択図】図２
2007080377.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報を記録する磁気記録媒体と、
磁気記録媒体面上を浮上して前記磁気記録媒体の情報を読み取りまたは前記磁気記録媒体に情報を書き込む磁気ヘッドスライダとを備え、
前記磁気ヘッドスライダは、磁気記録媒体面に対向するスライダ浮上面と、情報の読み取りまたは書き込みを行う磁気トランスデューサとを備え、
前記スライダ浮上面は、空気流入端側にフロントレール面とこのフロントレール面より深いフロントステップ軸受け面とを有するフロントパッドと、空気流出端側にリアレール面とこのリアレール面より深いリアステップ軸受け面とを有するリアパッドと、前記フロントパッドと前記リアパッドとの間に介在された負圧溝とを備え、
磁気トランスデューサは前記リアパッドのリアレール面の空気流出端近傍に設けらている、磁気ディスク装置であって、
前記リアパッドのリアレール面に前記当該リアレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えた
ことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気ディスク装置において、前記振動抑制溝を磁気トランスデューサの空気流入側に近接して設けたことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項３】
請求項２に記載の磁気ディスク装置において、前記リアレール面より空気流入側に位置するリアステップ軸受け面に前記振動抑制溝に向かう空気流が多くなるように空気流入側に開口する空気流調整溝を設けたことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項４】
請求項３に記載の磁気ディスク装置において、前記スライダ浮上面の両側に位置してサイドレール面を有するサイドパッドを備え、前記サイドレール面に当該サイドレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えたことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項５】
情報を記録する磁気記録媒体と、
磁気記録媒体面上を浮上して前記磁気記録媒体の情報を読み取りまたは前記磁気記録媒体に情報を書き込む磁気ヘッドスライダとを備え、
前記磁気ヘッドスライダは、磁気記録媒体面に対向するスライダ浮上面と、情報の読み取りまたは書き込みを行う磁気トランスデューサとを備え、
前記スライダ浮上面は、空気流入端側にフロントレール面とこのフロントレール面より深いフロントステップ軸受け面とを有するフロントパッドと、空気流出端側にリアレール面とこのリアレール面より深いリアステップ軸受け面とを有するリアパッドと、前記フロントパッドと前記リアパッドとの間に介在された負圧溝とを備え、
磁気トランスデューサは前記リアパッドのリアレール面の空気流出端近傍に設けらている、磁気ディスク装置であって、
前記スライダ浮上面の両側に位置してサイドレール面を有するサイドパッドを備え、前記サイドパッド面に当該サイドレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えた
ことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項６】
請求項５に記載の磁気ディスク装置において、前記サイドレール面とこのサイドレール面より深いサイドステップ軸受け面とから前記サイドパッドを形成し、前記サイドステップ軸受け面を前記フロントステップ軸受け面から連続して形成したことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項７】
請求項５に記載の磁気ディスク装置において、前記リアパッドのリアレール面に当該リアレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えたことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項８】
磁気記録媒体面上を浮上して前記磁気記録媒体の情報を読み取りまたは前記磁気記録媒体に情報を書き込む磁気ヘッドスライダであって、
空気流入端側にフロントレール面とこのフロントレール面より深いフロントステップ軸受け面とを有するフロントパッドと、空気流出端側にリアレール面とこのリアレール面より深いリアステップ軸受け面とを有するリアパッドと、前記フロントパッドと前記リアパッドとの間に介在された負圧溝とからなるスライダ浮上面を備え、
前記リアパッドのリアレール面の空気流出端近傍に設けられた磁気トランスデューサとを備え、
前記リアパッドのリアレール面に当該リアレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えた
ことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項９】
磁気記録媒体面上を浮上して前記磁気記録媒体の情報を読み取りまたは前記磁気記録媒体に情報を書き込む磁気ヘッドスライダであって、
空気流入端側にフロントレール面とこのフロントレール面より深いフロントステップ軸受け面とを有するフロントパッドと、空気流出端側にリアレール面とこのリアレール面より深いリアステップ軸受け面とを有するリアパッドと、前記フロントパッドと前記リアパッドとの間に介在された負圧溝とからなるスライダ浮上面を備え、
前記リアパッドのリアレール面の空気流出端近傍に設けられた磁気トランスデューサとを備え、
前記リアパッドのリアレール面の両側に位置してサイドレール面を有するサイドパッドを備え、
前記サイドパッド面に当該サイドレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えた
ことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の磁気ディスク装置においては、磁気記録／再生ヘッド搭載の磁気ヘッドスライダが回転する磁気記憶媒体上を浮上した状態で情報を記録／再生している。浮上している磁気ヘッドスライダは装置外部からの外乱を受けたり、回転する磁気記憶媒体と接触したりした場合には浮上高さ方向に振動する。
【０００３】
ところで、更なる高密度の磁気記録を実現するために磁気ヘッドスライダの低浮上化が年々進み、現在では浮上量は１０ｎｍ近くまで低下しているが、磁気ヘッドスライダの低浮上化は磁気ヘッドスライダと磁気記録媒体面との接触確率を増大させ、ひいては磁気ディスク装置の信頼性を損なう恐れがあるため、磁気ディスク装置内での安定な磁気ヘッドスライダ浮上を実現する必要がある。
【０００４】
従来の磁気ディスク装置における磁気ヘッドスライダ浮上の安定化については、例えば負圧磁気ヘッドスライダのように、磁気ヘッドスライダの空気軸受け面に負圧溝を形成し、磁気ヘッドスライダと磁気記憶媒体間の空気軸受けの剛性を高めて対外乱性を強めたり、或いは、磁気ヘッドスライダの空気軸受け面に微細なテクスチャ形状を設け、磁気ヘッドスライダと磁気記憶媒体接触時の摩擦力を低減して振動を起こりにくくしたり、するといった手法がとられてきた。
【０００５】
近年、磁気ヘッドスライダの空気軸受け面のレール面形状を工夫することにより磁気ヘッドスライダ浮上の安定化を実現する試みがなされている。例えば特開２０００−３５３３７０号公報（特許文献１）では、磁気ヘッドスライダの空気軸受け面の負圧溝に圧力制御溝を設けて浮上量を調整し、磁気ヘッドスライダ浮上高のばらつきを抑えて磁気ヘッドスライダ浮上を安定化している。また、例えば特開２００４−７１１４０号公報（特許文献２）では、磁気ヘッドスライダ空気軸受け面を空気流入側に向けて開口したＵ字型とし、磁気ヘッドスライダ空気軸受け面の製造ばらつき等による浮上高さ変化の感度を低減することにより磁気ヘッドスライダ浮上を安定化している。これらの手法は、従来の磁気ヘッドスライダの空気軸受け面の加工プロセスの工数を増やすだけで容易に実現可能であることを考慮すると、磁気ヘッドスライダの浮上安定化に対して有効な手段であるといえる。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−３５３３７０号公報
【特許文献２】特開２００４−７１１４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２における磁気ディスク装置は、磁気ヘッドスライダ浮上時の安定性を増し、大きな磁気ヘッドスライダ振動を発生させないためのものであり、装置外部からの衝撃や環境変動によって磁気ヘッドスライダが大きく浮上高さ方向に振動した場合や、磁気ヘッドスライダと磁気記録媒体との接触によって振動した場合、などについてはあまり効力を持たない。磁気ヘッドスライダ及び磁気記録媒体は、互いの軽微な接触を許容するように設計されているものの、継続的な接触あるいは強度の接触が発生した場合には、どちらか一方もしくは双方に物理的・磁気的なダメージが発生する可能性が大きい。大きな磁気ヘッドスライダ振動が続くと、継続的あるいは強度の接触が発生する可能性が大きくいため、磁気ヘッドスライダ振動を速やかに収束させることが望まれる。
【０００８】
本発明の目的は、磁気ヘッドスライダの浮上を安定化しつつ、磁気ヘッドスライダの浮上高さ方向の並進振動及びピッチ方向振動を速やかに収束することができる磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダを提供することである。
【０００９】
本発明の目的は、磁気ヘッドスライダの浮上を安定化しつつ、磁気ヘッドスライダの浮上高さ方向の並進振動、ピッチ方向振動及びロール方向振動を速やかに収束することができる磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述の目的を達成するための本発明の第１の態様は、情報を記録する磁気記録媒体と、磁気記録媒体面上を浮上して前記磁気記録媒体の情報を読み取りまたは前記磁気記録媒体に情報を書き込む磁気ヘッドスライダとを備え、前記磁気ヘッドスライダは、磁気記録媒体面に対向するスライダ浮上面と、情報の読み取りまたは書き込みを行う磁気トランスデューサとを備え、前記スライダ浮上面は、空気流入端側にフロントレール面とこのフロントレール面より深いフロントステップ軸受け面とを有するフロントパッドと、空気流出端側にリアレール面とこのリアレール面より深いリアステップ軸受け面とを有するリアパッドと、前記フロントパッドと前記リアパッドとの間に介在された負圧溝とを備え、磁気トランスデューサは前記リアパッドのリアレール面の空気流出端近傍に設けらている、磁気ディスク装置であって、前記リアパッドのリアレール面に前記当該リアレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えたものである。
【００１１】
係る本発明の第１の態様におけるより好ましい具体的構成例は次の通りである。
（１）前記振動抑制溝を磁気トランスデューサの空気流入側に近接して設けたこと。
（２）前記リアレール面より空気流入側に位置するリアステップ軸受け面に前記振動抑制溝に向かう空気流が多くなるように空気流入側に開口する空気流調整溝を設けたこと。
（３）前記スライダ浮上面の両側に位置してサイドレール面を有するサイドパッドを備え、前記サイドレール面に当該サイドレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えたこと。
【００１２】
また、本発明の第２の態様は、情報を記録する磁気記録媒体と、磁気記録媒体面上を浮上して前記磁気記録媒体の情報を読み取りまたは前記磁気記録媒体に情報を書き込む磁気ヘッドスライダとを備え、前記磁気ヘッドスライダは、磁気記録媒体面に対向するスライダ浮上面と、情報の読み取りまたは書き込みを行う磁気トランスデューサとを備え、前記スライダ浮上面は、空気流入端側にフロントレール面とこのフロントレール面より深いフロントステップ軸受け面とを有するフロントパッドと、空気流出端側にリアレール面とこのリアレール面より深いリアステップ軸受け面とを有するリアパッドと、前記フロントパッドと前記リアパッドとの間に介在された負圧溝とを備え、磁気トランスデューサは前記リアパッドのリアレール面の空気流出端近傍に設けらている、磁気ディスク装置であって、前記スライダ浮上面の両側に位置してサイドレール面を有するサイドパッドを備え、前記サイドパッド面に当該サイドレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えたものである。
【００１３】
係る本発明の第２の態様におけるより好ましい具体的構成例は次の通りである。
（１）前記サイドレール面とこのサイドレール面より深いサイドステップ軸受け面とから前記サイドパッドを形成し、前記サイドステップ軸受け面を前記フロントステップ軸受け面から連続して形成したこと。
（２）前記リアパッドのリアレール面に当該リアレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えたこと。
【００１４】
また、本発明の第３の態様は、磁気記録媒体面上を浮上して前記磁気記録媒体の情報を読み取りまたは前記磁気記録媒体に情報を書き込む磁気ヘッドスライダであって、空気流入端側にフロントレール面とこのフロントレール面より深いフロントステップ軸受け面とを有するフロントパッドと、空気流出端側にリアレール面とこのリアレール面より深いリアステップ軸受け面とを有するリアパッドと、前記フロントパッドと前記リアパッドとの間に介在された負圧溝とからなるスライダ浮上面を備え、前記リアパッドのリアレール面の空気流出端近傍に設けられた磁気トランスデューサとを備え、前記リアパッドのリアレール面に当該リアレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えたものである。
【００１５】
また、本発明の第４の態様は、磁気記録媒体面上を浮上して前記磁気記録媒体の情報を読み取りまたは前記磁気記録媒体に情報を書き込む磁気ヘッドスライダであって、空気流入端側にフロントレール面とこのフロントレール面より深いフロントステップ軸受け面とを有するフロントパッドと、空気流出端側にリアレール面とこのリアレール面より深いリアステップ軸受け面とを有するリアパッドと、前記フロントパッドと前記リアパッドとの間に介在された負圧溝とからなるスライダ浮上面を備え、前記リアパッドのリアレール面の空気流出端近傍に設けられた磁気トランスデューサとを備え、前記リアパッドのリアレール面の両側に位置してサイドレール面を有するサイドパッドを備え、前記サイドパッド面に当該サイドレール面より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝を備えたものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、磁気ヘッドスライダの浮上を安定化しつつ、磁気ヘッドスライダの浮上高さ方向の並進振動、ピッチ方向振動及びロール方向振動を速やかに収束することができる磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の複数の実施形態について図を用いて説明する。各実施形態の図における同一符号は同一物または相当物を示す。なお、本発明は、それぞれの実施形態を必要に応じて適宜に組み合わせることにより、さらに効果的なものとすることを含むものである。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態の磁気ディスク装置及び磁気ヘッドスライダを図１から図１２を用いて説明する。
【００１８】
まず、本実施形態の磁気ディスク装置の全体構成に関して図１を参照しながら説明する。図１は本実施形態の磁気ディスク装置の平面図である。
【００１９】
磁気ディスク装置３１は、磁気記録媒体３２、スピンドルモータ３３、磁気ヘッドスライダ３４、アクチュエータ３５、筐体３６、回路基板（図示せず）、及び緩衝材３８を備えて構成されている。
【００２０】
磁気記録媒体３２は、円盤状に形成され、そのトラック上に情報を記録する。磁気ヘッドスライダ３４は、磁気記録媒体３２が回転して発生する空気流の作用により磁気ディスク面上を微小間隙で浮上して、磁気記録媒体３２に記録された情報を読み取りまたは磁気記録媒体３２に情報を書き込む。アクチュエータ３５は、その先端部に磁気ヘッドスライダ３４を搭載して、この磁気ヘッドスライダ３４を磁気ディスク面上の半径方向に移動させて所定トラックに位置決めする。スピンドルモータ３３は、磁気記録媒体３２を回転可能に支持し、磁気記録媒体３２を高速で回転させる。
【００２１】
筐体３６は、薄い矩形状に形成され、磁気記録媒体３２、アクチュエータ３５及びスピンドルモータ３３を収容している。筐体３６の上面にはカバー（図示せず）が設けられている。回路基板は、スピンドルモータ３３やアクチュエータ３５などを制御するプリント回路基板で構成され、筐体３６の下面下方に設置されている。回路基板は、ネジなどにより筐体３６に設けられたブラケットに取り付けられ、筐体３６の下面と平行に設置されている。緩衝材３８は、外部衝撃などを緩衝するものであり、筐体３６の側面全周を覆うように設置されている。
【００２２】
次に、図２を参照しながら、本実施形態の磁気ヘッドスライダ３４について説明する。図２は本実施形態の磁気ヘッドスライダ３４をスライダ浮上面側から見た図である。
【００２３】
磁気ヘッドスライダ３４は、空気流入端２、空気流出端３を有するスライダ浮上面１を備えている。スライダ浮上面１は、空気流入端側に設けられたフロントパッド４と、空気流出端側に設けられたリアパッド５と、フロントパッド４とリアパッド５との間に介在された負圧溝６とを備えている。
【００２４】
フロントパッド４は、両側に離れて配置された２つのフロントレール面８と、このフロントレール面８より深いフロントステップ軸受け面７とを有して構成されている。フロントステップ軸受け面７は、フロントレール面８を取り囲むように設けられると共に、空気流入端側で接続されている。そして、フロントステップ軸受け面７の両側から空気流出端側に延びるサイドステップ軸受け面９が設けられている。
【００２５】
リアパッド５は、空気流出端側の中央部に配置されたリアレール面１０と、このリアレール面１０より深いリアステップ軸受け面１１とを有して構成されている。リアステップ軸受け面１１は、リアステップ軸受け面１１の空気流出端側を除いてリアステップ軸受け面１１を取り囲むように設けられている。
【００２６】
負圧溝６は、フロントステップ軸受け面８、サイドステップ軸受け面９、センタステップ軸受け面１１よりも深く形成され、フロントステップ軸受け面７、サイドステップ軸受け面９及びリアステップ軸受け面１１の両側にも設けられている。
【００２７】
リアレール面１０の中心部で且つ空気流出端３の近傍には、磁気記録媒体３２に記録された情報を読み取りまたは磁気記録媒体３２に情報を書き込むための磁気トランスデューサ１２が設けられている。
【００２８】
リアパッド５のリアレール面１０には、当該リアレール面１０及びセンタレール面１０より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝１３が設けられている。この振動抑制溝１３は、磁気トランスデューサ１２の空気流入側に位置して磁気トランスデューサ１２に近接して設けられている。振動抑制溝１３は、センタレール面１０より深く、負圧溝６より浅く形成されている。振動抑制溝１３は磁気トランスデューサ１２の両端より両側に長く延びて形成されている。
【００２９】
本実施形態によれば、リアパッド５のリアレール面１０には、当該リアレール面１０より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝１３が設けられているので、空気膜剛性固有振動数付近における減衰係数を向上することができる。これによって、磁気ヘッドスライダ３４の浮上を安定化しつつ、磁気ヘッドスライダ３４の浮上高さ方向の並進振動及びピッチ方向振動を速やかに収束することができる。なお、振動抑制溝１３の成形は、既存のスライダ浮上面形成プロセスのうち数ステップについて若干の変更を加えるのみで済み、容易に実現可能である。
【００３０】
次に、図３から図５を参照しながら、振動抑制溝１３を設けることによって磁気ヘッドスライダ３４の浮上高さ方向の並進振動及びピッチ方向振動を速やかに収束できることについて具体的に説明する。図３は図２の磁気ヘッドスライダ３４の確認計算用に用いた浮上面モデルの平面図、図４は図３の浮上面モデルによる磁気ヘッドスライダの高さ方向の並進振動に対するダンピング係数の計算結果を示す図、図５は図３の浮上面モデルによる磁気ヘッドスライダの高さ方向のピッチング振動に対するダンピング係数の計算結果を示す図である。なお、図４及び図５において、横軸は周波数、縦軸はダンピング係数である。
【００３１】
磁気ヘッドスライダ３４の浮上時におけるスライダ浮上面１と磁気記録媒体３２との間の空気膜の固有振動数は、並進方向振動、ピッチ方向振動、及びロール方向振動については１００〜３００ｋＨｚの範囲にあり、磁気記録媒体３２との接触振動の周波数成分を分析したところ、この範囲における固有振動数の成分が大きいことが分かった。
【００３２】
しかし、振動抑制溝１３を備えていない従来の磁気ヘッドスライダ３４における並進方向及びピッチ方向の挙動の減衰係数は、図６の特性曲線１４、１６に示すように、１００ｋＨｚより低いところが大きく、空気膜の固有振動数の範囲１００〜３００ｋＨｚ内では小さいため、磁気ヘッドスライダ３４の浮上高さ方向の並進振動及びピッチ方向振動を速やかに収束することができなかった。
【００３３】
これに対して、振動抑制溝１３を備えている本実施形態の磁気ヘッドスライダ３４における並進方向及びピッチ方向の挙動の減衰係数は、図４及び図５の特性曲線１５、１７に示すように、空気膜の固有振動数の範囲１００〜３００ｋＨｚ内で大きいため、磁気ヘッドスライダ３４の浮上高さ方向の並進振動及びピッチ方向振動を速やかに収束できる。
【００３４】
なお、図４において、破線で示す特性曲線１４は振動抑制溝１３を有しない磁気ヘッドスライダ３４の高さ方向の並進振動に対するダンピング係数の計算結果を示し、実線で示す特性曲線１５は振動抑制溝１３を有する本実施形態の磁気ヘッドスライダ３４の高さ方向の並進振動に対するダンピング係数の計算結果を示す。また、図５において、破線で示す特性曲線１６は振動抑制溝１３を有しない磁気ヘッドスライダ３４の高さ方向のピッチング振動に対するダンピング係数の計算結果を示し、実線で示す特性曲線１７は振動抑制溝１３を有する本実施形態の磁気ヘッドスライダ３４の高さ方向のピッチング振動に対するダンピング係数の計算結果を示す。
【００３５】
次に、図６〜図１２を参照しながら、磁気ヘッドスライダ３４における振動抑制溝１３の幅ｗ、長さｌ、深さｄ、及び振動抑制溝１３から磁気トランスデューサ１２までの距離ｘと、ダンピング特性との関係について説明する。図６は本実施形態の磁気ヘッドスライダ３４の振動抑制溝１３付近の空気流入方向の断面図、図７は本実施形態の磁気ヘッドスライダ３４の振動抑制溝１３付近の空気流入交差方向の断面図である。なお、図６及び図７は実際より強調して示してある。図８〜図１０は本実施形態における振動抑制溝１３の幅ｗ、長さｌ、深さｄを変化させた場合におけるダンピング係数の変化を示す図、図１１は本実施形態における振動抑制溝１３から磁気トランスデューサ１２までの距離ｘを変化させた場合におけるダンピング係数の変化を示す図、図１２は本実施形態における振動抑制溝１３から磁気トランスデューサ１２までの距離ｘを変化させた場合における周波数２００ｋＨｚのダンピング係数の変化を示す図である。
【００３６】
本実施形態の磁気ヘッドスライダ３４では、図８〜図１０から明らかなように、振動抑制溝１３の幅ｗが広く、長さｌが長く、深さｄが深いほど、１００ｋＨｚ〜３００ｋＨｚ域でのダンピング係数が向上するが、ある程度の幅ｗ、長さｌ、深さｄがあれば十分な効果が得られることが分かる。これらパラメータを最適化することにより、より高いダンピング効果が期待できる。
【００３７】
図８〜図１０の計算結果によれば、振動抑制溝１３のパラメータｗ、ｌ、ｄの変化により１００ｋＨｚ〜３００ｋＨｚ域のダンピング係数のピーク値は変化しているが、ピーク周波数値はあまり変わっていない。しかしながら、振動抑制溝１３から磁気トランスデューサ１２までの距離ｘによってこのピーク周波数値をシフトさせることが可能である。すなわち、図１１から明らかなように、振動抑制溝１３を磁気トランスデューサ１２に近づけると、ダンピング係数のピークが高周波側にシフトしていることが分かる。
【００３８】
また、図１２から明らかなように、振動抑制溝１３から磁気トランスデューサ１２までの距離ｘが２０ｕｍ程度の際に、周波数２００ｋＨｚの振動に対して最も高いダンピング効果が得られることが分かる。この結果より、それぞれのＡＢＳデザイン（浮上面デザイン）の空気膜共振周波数を求め、その周波数について振動抑制溝１３から磁気トランスデューサ１２までの距離ｘとダンピング係数の関係を求めることにより、最も高いダンピング効果が得られるよう調整が可能であるといえる。
【００３９】
以上のことから、それぞれのＡＢＳデザインに応じて、振動抑制溝１３から磁気トランスデューサ１２までの距離ｘを調整してダンピング係数のピーク周波数位置をシフトし、適当な振動抑制溝１３の幅ｗ、長さｌ、深さｄを選択することによって、より高いダンピング効果を得るための溝形状の最適化が可能である。
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図１３から図１５を用いて説明する。図１３は本発明の第２実施形態に用いる磁気ヘッドスライダ３４をスライダ浮上面側から見た図、図１４は第２実施形態の浮上面モデルによる磁気ヘッドスライダの高さ方向の並進振動に対するダンピング係数の計算結果を示す図、図１５は第２実施形態の浮上面モデルによる磁気ヘッドスライダの高さ方向のピッチング振動に対するダンピング係数の計算結果を示す図である。なお、図１４及び図１５において、横軸は周波数、縦軸はダンピング係数である。
【００４０】
この第２実施形態は、次に述べる点で第１実施形態と相違するものであり、その他の点については第１実施形態と基本的には同一であるので、重複する説明を省略する。
【００４１】
この第２実施形態では、第１実施形態よりも振動抑制溝１３に向かう空気流が多くなるように構成したものである。すなわち、リアレール面１０より空気流入側に位置するリアステップ軸受け面１１に空気流入側に開口する空気流調整溝１８を設けたことにより、空気流調整溝１８を通してリアステップ軸受け面１１に流入する空気を増大させ、その後流側に位置する振動抑制溝１３へ向かう空気流を増大させたものである。
【００４２】
かかる構成により、磁気ヘッドスライダ３４における並進方向及びピッチ方向の挙動の減衰係数は、図１４及び図１５の特性曲線２０、２４に示すように、空気膜の固有振動数の範囲１００〜３００ｋＨｚ内で格段に大きくなるため、磁気ヘッドスライダ３４の浮上高さ方向の並進振動及びピッチ方向振動をより一層速やかに収束できる。なお、図１４及び図１５における特性曲線１４〜１７は図４及び図５における特性曲線１４〜１７と同じものである。
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について図１６から図１８を用いて説明する。図１６は本発明の第３実施形態に用いる磁気ヘッドスライダ３４をスライダ浮上面側から見た図、図１７は図１６の磁気ヘッドスライダ３４の確認計算用に用いた浮上面モデルの平面図、図１８は第３実施形態の浮上面モデルによる磁気ヘッドスライダの高さ方向のローリング振動に対するダンピング係数の計算結果を示す図である。なお、図１８において、横軸は周波数、縦軸はダンピング係数であり、破線で示す特性曲線２８は振動抑制溝１３を有しない磁気ヘッドスライダ３４の高さ方向のローリング振動に対するダンピング係数の計算結果を示し、実線で示す特性曲線３０は振動抑制溝１３を有する第３実施形態の磁気ヘッドスライダ３４の高さ方向のピッチング振動に対するダンピング係数の計算結果を示す。
【００４３】
この第３実施形態は、次に述べる点で第１実施形態と相違するものであり、その他の点については第１実施形態と基本的には同一であるので、重複する説明を省略する。
【００４４】
この第３実施形態では、スライダ浮上面１の両側に位置して、サイドレール面２６とこのサイドレール面２６より深いサイドステップ軸受け面２８とを有するサイドパッド２５を備え、サイドレール面２６に当該サイドレール面２６より深く形成され且つ周囲が閉じられている振動抑制溝２７を備えている。なお、サイドステップ軸受け面２８がフロントステップ軸受け面９から連続して形成されている。
【００４５】
かかる第３実施形態の構成によれば、図１８の特性曲線３０に示すように、磁気ヘッドスライダ３４の浮上時のローリング方向のダンピング係数を１００〜３００ｋＨｚの範囲で増大することができ、磁気ヘッドスライダ３４の浮上高さ方向のローリング振動を速やかに収束できる。これに対して、振動抑制溝１３を有しない場合には、図１８の特性曲線２９に示すように、磁気ヘッドスライダ３４の浮上時のローリング方向のダンピング係数を１００〜３００ｋＨｚの範囲で増大することができない。
【００４６】
第３実施形態においては、サイドステップ軸受け面２８がフロントステップ軸受け面９から連続して形成されているが、サイドステップ軸受け面２８とフロントステップ軸受け面９との間に負圧溝６を介在させて、フロントパッド４とサイドパッド２５を隔てても構わない。また、第３実施形態においては、サイドレール面２６にのみ振動抑制溝２７を設けたが、第１実施形態あるいは第２実施形態と組み合わせ、センタレール面１０とサイドレール面２６の両方に振動抑制溝１３、振動抑制溝２７を設けても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態の磁気ディスク装置の平面図である。
【図２】第１実施形態における磁気ヘッドスライダをスライダ浮上面側から見た図である。
【図３】図２の磁気ヘッドスライダ３４の確認計算用に用いた浮上面モデルの平面図である。
【図４】図３の浮上面モデルによる磁気ヘッドスライダの高さ方向の並進振動に対するダンピング係数の計算結果を示す図である。
【図５】図３の浮上面モデルによる磁気ヘッドスライダの高さ方向のピッチング振動に対するダンピング係数の計算結果を示す図である。
【図６】第１実施形態の磁気ヘッドスライダの振動抑制溝付近の空気流入方向の断面図である。
【図７】第１実施形態の磁気ヘッドスライダの振動抑制溝付近の空気流入交差方向の断面図である。
【図８】第１実施形態における振動抑制溝の幅を変化させた場合におけるダンピング係数の変化を示す図である。
【図９】第１実施形態における振動抑制溝の長さを変化させた場合におけるダンピング係数の変化を示す図である。
【図１０】第１実施形態における振動抑制溝の深さを変化させた場合におけるダンピング係数の変化を示す図である。
【図１１】第１実施形態における振動抑制溝から磁気トランスデューサまでの距離を変化させた場合におけるダンピング係数の変化を示す図である。
【図１２】第１実施形態における振動抑制溝から磁気トランスデューサまでの距離を変化させた場合における周波数２００ｋＨｚのダンピング係数の変化を示す図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に用いる磁気ヘッドスライダ３４をスライダ浮上面側から見た図である。
【図１４】第２実施形態の浮上面モデルによる磁気ヘッドスライダの高さ方向の並進振動に対するダンピング係数の計算結果を示す図である。
【図１５】第２実施形態の浮上面モデルによる磁気ヘッドスライダの高さ方向のピッチング振動に対するダンピング係数の計算結果を示す図である。
【図１６】本発明の第３実施形態に用いる磁気ヘッドスライダ３４をスライダ浮上面側から見た図である。
【図１７】図１６の磁気ヘッドスライダ３４の確認計算用に用いた浮上面モデルの平面図である。
【図１８】第３実施形態の浮上面モデルによる磁気ヘッドスライダの高さ方向のローリング振動に対するダンピング係数の計算結果を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１…スライダ浮上面、２…空気流入端、３…空気流出端、４…フロントパッド、５…センタパッド、６…負圧溝、７…フロントレール面、８…フロントステップ軸受け面、９…サイドステップ軸受け面、１０…センタレール面、１１…センタステップ軸受け面、１２…磁気トランスデューサ、１３…振動抑制溝、１８…空気流調整溝、２５…サイドパッド、２６…サイドレール面、２７…振動抑制溝、３１…磁気ディスク装置、３２…磁気記録媒体、３３…スピンドルモータ、３４…磁気ヘッドスライダ、３５…アクチュエータ、３６…筐体、３８…緩衝材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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