(57)【要約】【課題】接合がより短時間でより良好になされる接合装置及び接合方法及び接合方法を提供する。【解決手段】接合装置１０は、吸引により吸排気口９８で６個の半田ボールＢを同時に支持するコレット６２と、コレット６２に支持された６個の半田ボールＢを同時に電極Ｅ１、Ｅ２に搬送し、ｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、θモータ３４等からなる搬送装置手段と、電極Ｅ１、Ｅ２に搬送された６個の半田ボールＢを同時に加熱し、レーザユニット７０及び光ファイバー６８を備える加熱装置とを有している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の接合材粒を支持する支持手段と、
この支持手段に支持された複数の接合材粒を接合対象部に搬送する搬送手段と、
接合対象部に搬送された複数の接合材粒又は接合対象部を同時に加熱する加熱手段と、
を有することを特徴とする接合装置。
【請求項２】
前記支持手段は、複数の接合材粒を同時に支持することを特徴とする請求項１記載の接合装置。
【請求項３】
前記支持手段は、複数の接合材粒を吸着する吸着部材を有することを特徴とする請求項１又は２記載の接合装置。
【請求項４】
前記吸着部材は、接合材粒をそれぞれ吸着する複数の吸着孔が形成されていることを特徴とする請求項３記載の接合装置。
【請求項５】
前記吸着孔は、載置台に載置される接合材粒の間隔と略等間隔で形成されていることを特徴とする請求項４記載の接合装置。
【請求項６】
前記加熱手段は、前記接合材粒又は前記接合対象部の少なくとも一方に光を照射する光照射手段を有することを特徴とする請求項１乃至５いずれか記載の接合装置。
【請求項７】
前記光照射手段は、前記接合材粒を加熱する光を発する発光部を有し、
この発光部は、前記吸着部材に取り付けられ、前記吸着孔の外側から光を発することを特徴とする請求項４乃至６いずれか記載の接合装置。
【請求項８】
前記発光部を複数有し、これらの発光部は複数の接合材粒をそれぞれ加熱する光を発することを特徴とする請求項７記載の画像形成装置。
【請求項９】
複数の接合材粒を接合対象部に搬送し、接合対象部に搬送された接合材粒を同時に加熱することを特徴とする接合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半田ボール等の接合材粒を用いて、例えばチップや基板のワークに形成された電極等の接合対象部を接合する接合装置及び接合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の接合装置及び接合方法に用いられる技術であって、例えば接合材粒を吸着する吸着部材等を有する支持手段を用いて複数の接合材粒を支持し、この支持手段に支持された複数の接合材粒を接合対象部に搬送し、接合対象部に搬送された接合材粒を加熱手段で加熱し接合を行う技術が知られている（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１２３５８１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の技術では、接合対象部に搬送された複数の接合材粒を一個ずつ順番に加熱していたため、全ての接合材粒を加熱するために時間を要するとの問題点があった。また、従来の技術では、複数の接合材粒を順番に加熱するために、加熱手段として用いられるレーザ照射部を移動させているため、レーザ照射部を移動させることに伴って発生する振動が接合材粒に伝わることで接合材粒が動いてしまう等の不具合が生じて、接合が良好になされない虞があるのと問題点があった。
【０００５】
本発明は上記問題を解決し、より短時間でより良好な接合を行うことを可能とする接合装置及び接合方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の第１の特徴とするところは、複数の接合材粒を支持する支持手段と、この支持手段に支持された複数の接合材粒を接合対象部に搬送する搬送手段と、接合対象部に搬送された複数の接合材粒を同時に加熱する加熱手段と、を有する接合装置にある。
【０００７】
好適には、前記支持手段は、複数の接合材粒を同時に支持する。
【０００８】
また、好適には、前記支持手段は、複数の接合材粒を吸着する吸着部材を有する。
【０００９】
また、好適には、前記吸着部材は、接合材粒をそれぞれ吸着する複数の吸着孔が形成されている。
【００１０】
また、好適には、前記吸着孔は、載置台に載置される接合材粒の間隔と略等間隔で形成されている。
【００１１】
また、好適には、前記加熱手段は、前記接合材粒又は前記接合対象部の少なくとも一方に光を照射する光照射手段を有する。
【００１２】
また、好適には、前記光照射手段は、前記接合材粒を加熱する光を発する発光部を有し、この発光部は、前記吸着部材に取り付けられ、前記吸着孔の外側から光を発する。
【００１３】
また、好適には、前記発光部を複数有し、これらの発光部は複数の接合材粒をそれぞれ加熱する光を発する。
【００１４】
また、本発明の第２の特徴とするところは、複数の接合材粒を接合対象部に搬送し、接合対象部に搬送された接合材粒を同時に加熱する接合方法にある。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、より短時間でより良好な接合を行うことを可能とする接合装置及び接合方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１には、本発明の実施形態に係る接合装置１０が示されている。接合装置１０は、設置面に設置される基台１２を有し、基台１２の上に、接合材粒として用いられる半田ボールが載置され、載置手段として用いられる載置台１４が設けられている。載置台１４には、吸引手段として用いられる吸引ポンプ１６が載置台用バルブ１８を介して接続されていて、吸引ポンプ１６による吸引力で半田ボールが載置面２０に吸引され載置される。載置台１４は、可動台２４に重力方向下方から支持されるように支持されている。載置台１４の詳細については後述する。
【００１７】
可動台２４は、下側に突出した形状の突出部２５が形成された下側部分２６と、下側部分２６の上側に位置する上側部分２７とからなり、突出部２５が基台１２の上向きの面１２ａに形成されたｙ軸方向の溝（不図示）に嵌め込まれるように基台１２に取り付けられている。このため、溝にガイドされ、可動台２４は、面１２ａ上でｙ軸方向に移動可能となっている。突出部２５には、送りネジ２８が噛み合っている。送りねじ２８は、軸の方向（長手方向）がｙ軸方向となるように、軸受３０、３０を用いて基台１２に回動自在に支持されている。送りネジ２８の図１における左端部には、駆動源として用いられ、基台１２に固定されたｙ軸モータ３２が連結されている。したがって、ｙ軸モータ３２を回転させることで、送りネジ２８を介して突出部２５に駆動が伝達され、可動台２４がｙ軸方向に移動する。可動台をｙ軸のいずれの方向に移動させるかは、ｙ軸モータ３２の回転方向を制御することで決することができる。
【００１８】
可動台２４の上側部分２７には、θ軸モータ３４が設けられている。θ軸モータ３４は、可動台２４の上側部分２７を、可動台２４の下側部分２６に対してＺ軸に垂直な方向の回転軸を中心に回転させる。このように、可動台２４は全体としてｘ軸方向に移動可能であるとともに、上側部分２７が下側部分２６に対して回転可能となっている。
【００１９】
可動台２４には、載置台１４ともに、ワーク支持手段として用いられるワーク支持装置３６が取り付けられている。ワーク支持装置３６は、被搬送物として用いられ、被接合物として用いられるワークＷを図中左端部側で支持する。ワーク支持装置３６には、接合等の加工が施されていないワークＷが装着され、加工が完了したワークＷはワーク支持装置３６から取り外される。ワークＷのワーク支持装置３６へ装着及びワーク支持装置３６からの取り外しは、例えばロボット等からなる装着装置（不図示）を用いて行っても良いし、操作者による手作業で行っても良い。
【００２０】
可動台２４には、装着されたワークＷ近傍に配置されるように、窒素供給装置３８が取り付けられている。窒素供給装置３８は、ワークＷに対する接合加工中に、又はワークＷに対する接合加工の前後にワークＷに向けて窒素を供給して、ワークＷ周囲の酸素濃度を低下させるために用いられる。窒素供給装置３８には、窒素供給バルブ４０を介して、窒素供給手段として用いられる窒素タンク４１が接続されている。そして、窒素供給バルブ４０の開閉により、窒素供給装置３８からの窒素の噴出が開始され、停止される。窒素供給装置３８の詳細な構成については後述する。
【００２１】
可動台２４の上側部分２７には、以上のように載置台１４、ワーク支持装置３６、及び窒素供給装置３８が装着されている。このため、ｙ軸モータ３２及びθ軸モータ３４を制御することで、上側部分２７とともに、載置台１４、ワーク支持装置３６、及び窒素供給装置３８が一体としてｙ軸方向に移動し、ｚ軸方向の回転軸を中心に回転する。
【００２２】
基台１２には、可動台２４が装着されているとともに支柱４２が固定されている。支柱４２には、支柱４２に対してｘ軸方向に移動可能に可動ユニット４４が取り付けられている。可動ユニット４４は、図中左側に突出する形状を有する左側部分４８と、左側部分４８に固定された右側部分５０とからなる。左側部分４８は支柱４２に対してｘ軸方向に移動可能に支持され、左側部分４８に送りネジ５２が噛み合っている。送りねじ５２は、軸の方向がｘ軸方向となるように軸受５４により支柱４２に回動可能に取り付けられている。
【００２３】
送りネジ５２の一端部には、駆動源として用いられ、支柱４２側に取り付けられたｘ軸モータ５６が連結されている。したがって、ｘ軸モータ５６を回転させると、送りネジ５２を介して左側部分４８にｘ軸モータ５６の駆動が伝達され、可動ユニット４４の左側部分４８と右側部分５０とが一体としてｘ軸方向に移動する。可動ユニット４４をｘ軸方向におけるいずれの方向に移動させるかは、ｘ軸モータ５６の回転方向を制御することで決することができる。
【００２４】
可動ユニット４４の右側部分５０には、コレット６２を支持するコレット支持部材４５が、可動ユニット４４に対してｚ軸方向に移動可能に取り付けられている。コレット支持部材４５は、図中左側に突出した突出部４６と、突出部４６に固定された支持部４７とからなる。支持部４７における下向きの面には、コレット６２が支持されている。突出部４６には送りネジ５８が螺合している。送りネジ５８は、可動ユニット４４の右側部分５０に、軸受６１、６１を用いて軸方向がｚ軸方向となるように回動可能に取り付けられている。送りネジ５８の上端部は、駆動源として用いられるコレット用ｚ軸モータ６０に連結されている。よって、コレット用ｚ軸モータ６０を回転させると、送りネジ５８を介してコレット支持部材４５に駆動が伝達され、コレット支持部材４５と、コレット支持部材４５に支持されたコレット６２とがともにｚ軸方向に移動する。
【００２５】
コレット６２には、先述の載置台１４に載置された半田ボールを吸引により支持することができるように、第１のコレット用バルブ６４を介して先述の吸引ポンプ１６が接続されている。また、コレット６２には、第２のコレット用バルブ６６を介して先述の窒素タンク４１が接続されている。さらに、コレット６２は、光伝達手段として用いられる光ファイバー６８によって、光源として用いられるレーザユニット７０に接続されている。コレット６２の詳細な構成は後述する。
【００２６】
可動ユニット４４の右側部分５０には、半田ボールの位置を検知する検知手段として用いられる検知装置７２が、コレット支持部材４５とは独立して上下動可能に（ｚ軸方向に移動可能に）取り付けられている。検知装置７２は、例えばＣＣＤカメラからなる撮影部７４と、撮影部７４のワークＷの側に設けられたレンズユニット７６と、撮影部７４による良好な撮影のための明るさを確保する照明手段として用いられるライト７８とを有している。検知装置７２には、検知装置用ｚ軸モータ８０が取り付けられている。検知装置用ｚ軸モータ８０は、検知装置７２を可動ユニット４４に対してｚ軸方向に移動させるための駆動源として用いられ、検知装置７２を上下動させることにより、撮影部７４の焦点が半田ボール等に合うようにする。
【００２７】
以上のように、コレット６２を支持するコレット支持部材４５は、可動ユニット４４に対してｚ軸方向に移動可能に取り付けられていて、可動ユニット４４は支柱４２に対してｘ軸方向に移動可能に取り付けられている。よって、ｘ軸モータ５６とコレット用ｚ軸モータ６０とを制御することで、コレット支持部材４５とともに、コレット６２をｘ軸方向とｚ軸方向とに移動させることができる。また、先述のように、ワーク支持装置３６はｙ軸モータ３２及びθ軸モータ３４を駆動することで、可動台２４とともにｙ軸方向に移動し、回転する。よって、ｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、及びθ軸モータ３４を制御することにより、ワークＷとコレット６２に支持された半田ボールとの相対的な位置関係を変更して、コレット６２に支持された半田ボールをワークＷへに搬送することが可能となる。このように、この実施形態では、ｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、及びθ軸モータ３４が、送りネジ２８、５２、５８等とともに、コレット６２に支持された半田ボールをワークＷに搬送する搬送手段として用いられる。ｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、及びθ軸モータ３４の制御の詳細については後述する。
【００２８】
図２及び３には、コレット６２が示されている。コレット６２は、コレット本体９０を有し、このコレット本体９０に気体流路９２が形成されている。気体流路９２は、先述の吸引ポンプ１６及び窒素タンク４１が接続される接続側流路９４と、接続側流路９４から６本に分離した吸排気口側流路９６とからなる。吸排気口側流路９６の先端は、半田ボールＢを吸着する吸着孔として用いられる吸排気口９８をそれぞれ形成する。吸排気口９８は、載置台１４（図１及び４参照）に載置される半田ボールＢの間隔と略等間隔で、コレット本体９０に形成されている。
【００２９】
吸引ポンプ１６が吸引を行う可動状態にあり、且つ第１のコレット用バルブ６４が開かれた状態にあると、吸排気口９８からそれぞれ吸気がなされる。ｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、及びθ軸モータ３４を制御することにより、載置台１４に載置された半田ボール近傍に吸排気口９８が位置する状態となった後に吸排気口９８から吸気を行うと、各吸排気口９８に複数の半田ボールＢがそれぞれ吸引され、６個の半田ボールＢが、図３（ｂ）に示されるようにコレット６２に支持された状態となる。このようにコレット６２には複数の吸排気口９４が形成され、これらの吸排気口９４が同時に半田ボールＢを吸引するので、複数の半田ボールを順番に吸引する構成と比較して、短時間で多数の半田ボールを支持し搬送することができる。また、第２のコレット用バルブ６６を開かれた状態とすれば、吸排気口９８から窒素の排出がなされる。
【００３０】
コレット本体９０には、2つのコレット側板１００、１００が取付けらている。コレット側板１００には、それぞれ６本の光ファイバー６８が埋め込まれていて、光ファイバー６８の先端部は吸排気口９８側で外部に露出された状態となり、それぞれ発光部１０４を形成している。光ファイバー６８の発光部１０４と逆側の端部は、光ファイバー６８を介してレーザユニット７０（図１参照）に接続されている。したがって、レーザユニット７０を駆動させることで、発光部１０４のそれぞれからレーザの照射がなされ、レーザの照射により半田ボールＢが加熱され、溶融（リフロー）される。このように、レーザユニット７０、光ファイバー６８、及びコレット６２は、半田ボールＢを加熱する加熱手段として用いられている。発光部１０４からのレーザの照射は、半田ボールＢ又は接合対象部として用いられる電極Ｅ１、Ｅ２の少なくも一方になされる。すなわち、接合に用いられる半田ボールＢに直接レーザを照射し半田ボールＢを加熱しても良いし、電極Ｅ１、Ｅ２にレーザを照射して間接的に半田ボールＢを加熱することで半田ボールＢを溶融させても良い。また、発光部１０４から、半田ボールＢと電極Ｅ１、Ｅ２の両方にレーザを照射しても良い。
【００３１】
図２（ｂ）に示される１２個の発光部１０４からのレーザ照射は同時になされ、電極Ｅ１、Ｅ２に載置された６個の半田ボールＢは同時に加熱され溶融される。このため電極Ｅ１、Ｅ２に載置された半田ボールＢを一個ずつ順に加熱する構成と比較して、短時間で多箇所の接合を行うことができ生産性が高い。
【００３２】
発光部１０４は、以上のようにコレット６２に取り付けられている。したがって、コレット６２を用いて電極Ｅ１、Ｅ２に半田ボールＢを載置した後に、コレット６２や発光部１０４を、ほとんど移動させることなしに半田ボールＢの加熱を開始することができる。これに対して、本実施形態とは異なり、コレットと発光部とを別体とした場合、コレットで電極Ｅ１、Ｅ２に半田ボールＢを搬送した後、コレットを電極Ｅ１、Ｅ２付近から遠ざけ、コレットを遠ざけることで形成された空間に発光部を移動させた後、移動が完了した発光部で半田ボールＢを加熱すると工程が必要になる。
【００３３】
発光部１０４は、以上のように吸排気口９８の外側からレーザ光を発する。したがって、吸排気口９８の内側から発せられて、吸排気口９８を通過したレーザ光で半田ボールＢを加熱する構成のように、発光手段を高い精度で位置決めしたり、レーザ光が通過するようにコレットを加工したりする必要がなくコレット６２を簡単な構成とすることができる。なお、半田ボールＢを加熱することによる接合は、必ずしも半田ボールＢ全体を溶融させることを要せず、表面のみを溶融又は軟化させた半田ボールＢを用いて接合を行っても良い。
【００３４】
図３には、コレット６２が接合装置１０に取り付けられる位置が説明されている。
ワークＷは、先述のようにワーク支持装置３６に支持され、例えばコレット側に向けて９０度に屈曲した形状をしていて、垂直な面に接合対象部として用いられる電極Ｅ１が形成され、水平な面に接合対象部として用いられる電極Ｅ２が形成されている。接合装置１０による処理が完了すると、電極Ｅ１及び電極Ｅ２が半田ボールＢによって接合され、互いに通電可能な状態となる。
【００３５】
先述のように、コレット６２は６個の半田ボールＢを支持し、半田ボールＢに支持された半田ボールＢが、ｙ軸モータ３２、θ軸モータ３４、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０等によりワークＷの電極Ｅ１、Ｅ２の部分に同時に搬送される。ここで、コレット６２は、図３（ａ）に示される搬送が開始される状態から図３（ｂ）に示す搬送終了する状態までを通じて、検知装置７２が有する撮影部７４による半田ボールＢ及びワークＷの撮影を可能とする位置に設けられている。すなわち、検知装置７２が半田ボールＢ及びワークＷを検知する方向であり、撮影部７４が半田ボールＢ又はワークＷを撮影する方向である矢印ａに示す方向に干渉しない位置にコレット６２が設けられている。
【００３６】
コレット６２と同様に、半田ボールを搬送する搬送手段として用いられるｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、及びθ軸モータ３４、及び送りネジ２８、５２、５８も、撮影部７４が半田ボールＢ又はワークＷを撮影する方向である矢印ａに示す方向に干渉しない位置に設けられている。
【００３７】
また、接合装置１０では、半田ボールＢをワークＷへと搬送する方向と、検知装置７２が半田ボールＢ及びワークＷを検知する方向とが異なる方向となるように半田ボールＢの搬送がなされる。すなわち、半田ボールＢをワークＷへ搬送する方向を示す矢印ｂと、検知装置７２が半田ボールＢ等を示す矢印ａとの方向が異なる方向となるように半田ボールＢの搬送がなされる。
【００３８】
以上のように、接合装置１０では、コレット６２と、ｙ軸モータ３２等の搬送手段を構成する部材が、検知装置７２による半田ボールＢ及びワークＷの検知を妨げない位置に設けられ、半田ボールＢを搬送する方向と検知装置７２が半田ボールＢ及びワークＷを検知する方向とが異なるので、たとえ半田ボールＢの搬送中であっても、検知装置７２を用いて半田ボールＢやワークＷの位置を検知することができる。このため、接合処理が完了した後に、コレット６２を取り外したり、移動させたりしなくても、半田ボールＢやワークＷの位置を検知することができる。また、半田ボールＢの搬送中に、位置検知の結果に応じて、半田ボールＢとワークＷとの相対的な位置関係を修正する制御を行うことが可能となる。
【００３９】
図４には、載置台１４が示されている。載置台１４は、中空部１１２が形成された筺体１１０を有し、筺体の重力方向上向きの面が、半田ボールＢを載置する載置面２０として用いられる。載置面２０には、中空部１１２まで貫通する複数の貫通孔１１４が形成されている。中空部１１２には、下向きの面から載置台用バルブ１８を介して吸引ポンプ１６が取り付けられている。したがって、吸引ポンプ１６を駆動させ、載置台用バルブ１８を開いた状態とすれば、貫通孔１１４のそれぞれから中空部１１２方向への吸気がなされる。
【００４０】
筺体１１０には、半田ボール散布装置１１６が取り付けられている。半田ボール散布装置１１６は、十分な量の半田ボールＢが収容された半田ボール収容部１１８を有し、半田ボール収容部１１８に収容された半田ボールＢを載置面２０に散布する。貫通孔１１４のそれぞれから吸気がなされた状態で、載置面２０に半田ボールＢの散布がなされると、半田ボールＢが吸引され、貫通孔１１４のそれぞれに半田ボールＢが吸引された状態となる。
【００４１】
貫通孔１１４の載置面２０側の開口部１１５は、略円錐形状であり、テーパーシンク形状となっている。開口部１１５の径が半田ボールＢの直径よりも若干大きく、且つ、円錐形状の面の内側で、半田ボールＢの上側部分を載置面２０から突出させつつ、半田ボールＢを重力方向下側から支える形状をしている。このため、半田ボール散布装置１１６から散布された半田ボールＢは貫通孔１１４のそれぞれに嵌合して、貫通孔１１４により載置面２０上に位置決めされる。
【００４２】
貫通孔１１４は、コレット６２に形成された吸排気口９８（図２参照）と等間隔に形成されている。このため、載置台１４に支持された複数の半田ボールＢは、コレット６２に形成された６個の吸排気口９８に、それぞれに同時に６個ずつ吸引される。
【００４３】
半田ボール散布装置１１６には、半田ボール回収装置１２０が取り付けられている。半田ボール回収装置１２０は、半田ボール散布装置１１６により載置面２０に散布されたものの、貫通孔１１４に嵌合しなかった半田ボールＢを回収する。
【００４４】
図５には、窒素供給装置３８が示されている。窒素供給装置３８は、筺体１３０を有し、筺体１３０の長手方向一端部に、先述の窒素タンク４１が窒素供給バルブ４０を介して接続されている。筺体１３０の窒素タンク４１が接続された側の端部と逆側の端部には開放部が形成され、この開放部にカバー部材１３２がネジ１３３を用いて取り付けられている。カバー部材１３２には開口部１３２ａが形成されいて、この開口部１３２ａに流速低下手段として用いられるメッシュ部材１３４が、例えば2枚が重なった状態で取り付けられている。メッシュ部材１３４としては例えば多孔質金属体を用いることができ、多孔質金属体を用いる場合は、骨格が海綿のように３次元の網目状に形成されたものを用いることが望ましい。
【００４５】
窒素供給装置３８は、図５（ｃ）に示されるように、カバー部材１３２がワーク支持装置３６に支持されたワークＷに対向した状態となるように、可動台２４の上側部分２７（図１参照）に取り付けられている。
【００４６】
窒素供給装置３８では、窒素供給バルブ４０が開かれると、窒素供給バルブ４０を介して窒素タンク４１から筺体１３０内に窒素が供給されて、この窒素がメッシュ部材１３４を通過することで速度が低下した状態で筺体１３０からワークＷ近傍に向けて噴出される。このように、速度が低下した状態で窒素が接合加工中のワークＷ周辺へと供給されるため、メッシュ部材１３４を設けていない場合と比較してメッシュ近傍に窒素が留まる時間が長くなり、たとえワークＷ周辺を覆うチャンバを設けなくても、ワークＷ周辺の酸素濃度を良好に低下させることができる。
【００４７】
接合装置１０では、窒素供給装置３８からワークＷに向けて窒素の噴出がなれることと併せて、先述のようにコレット６２の吸排気口９８からもワークＷに向けて窒素の噴出がなされる。このため、窒素供給装置３８又はコレット６２のいずれか一方を用いてワークＷに窒素を噴出する場合と比較して、ワークＷ周辺の酸素濃度を良好に低下させることができ、ワークＷの接合がより良好になされるようになる。
【００４８】
図６には、接合装置１０が有する制御装置１４０が示されている。制御装置１４０は、検出装置７２で撮影された画像を認識する画像認識装置１４３を介して検知装置７２からの出力が入力される主制御部１４２を有する。主制御部１４２は、モータ制御部１４４を制御することで、ｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、及びθ軸モータ３４を制御する。また、主制御部１４２は、レーザ駆動回路１４６を制御することでレーザユニット７０を制御する。また、主制御部１４２は、バルブ駆動回路１４８を制御することで、載置台用バルブ１８、第１のコレット用バルブ６４、第２のコレット用バルブ６６、及び窒素供給バルブ４０を制御する。また、主制御部１４２は、ポンプ駆動回路１５０を制御することで吸引ポンプ１６を制御する。また、主制御部１４２は、モータ駆動回路１５２を制御することで検知装置用ｚ軸モータ８０を制御する。また、主制御部１４２は、散布装置駆動回路１５４を制御することで、半田ボール散布装置１１６を制御する。また、主制御部１４２は、回収装置駆動回路１５６を制御することで、半田ボール回収装置１２０を制御する。
【００４９】
図７には、制御装置１４０で制御される接合装置１０の作用の概要が示されている。
接合動作がスタートすると、まず、ステップＳ１００で半田ボールＢを載置台１４に載置する載置工程が実行される。次のステップＳ２００では、ステップＳ１００で半田ボールＢが載置された載置台１４を、コレット６２が半田ボールＢを吸着できる位置まで移動させる載置台移動工程が実行される。次のステップＳ３００では、載置台１４に載置された半田ボールＢをコレット６２で吸着し、吸着された半田ボールＢをワークＷの電極Ｅ１、Ｅ２に搬送する搬送工程が実行される。次のステップＳ４００では、ワークＷの電極Ｅ１、Ｅ２に載置された半田ボールＢを加熱し溶融（リフロー）することで接合する接合工程が実行される。そして、ステップＳ５００でワークＷに未接合箇所が残っているか否かを基準に、全ての接合が終了したか否かの判別がなされ、終了との判別がなされた場合は、一連の接合動作が終了する。一方、終了していないとの判別がなされた場合、ステップＳ３００の戻り、ワークＷの未接合部分の接合がなされる。
【００５０】
図８には、接合装置１０の半田ボール載置工程の制御フローが示されている。半田ボール載置工程がスタートすると、ステップＳ１０２で、主制御部１４２は、半田ボール散布装置１１６を駆動させて、載置台１４の載置面２０に半田ボールＢを散布させる。次のステップＳ１０４で、主制御部１４２は、載置台用バルブ１８を開く制御をし、半田ボールＢを載置面２０に形成された貫通孔１１４に吸着させる。なお、ステップＳ１０２で半田ボールＢの散布を開始させるのと同時に、ステップＳ１０４の載置台１４による半田ボールＢの吸着を開始させても良い。
【００５１】
次のステップＳ１０６で載置台１４による半田ボールＢの吸着を開始してから所定時間が経過したことを確認した後に、ステップＳ１０８で、主制御部１４２は半田ボール回収装置１２０を駆動させ、載置台１４に吸着されなかった未吸着の半田ボールＢの除去を行う。
【００５２】
図９には、接合装置１０の載置台移動工程における制御フローが示されている。載置台移動工程がスタートすると、ステップＳ２０２で、主制御部１４２は、ｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、及びθ軸モータ３４を制御して、載置面に吸着された半田ボールＢが、コレット６２に形成された６個の吸排気口９８付近に位置する状態となるようにコレット６２及び載置台１４を一次移動させる。
【００５３】
次のステップＳ２０４で、主制御部１４２は、検知装置用ｚ軸モータ８０を制御し、撮影部７４を、載置面に載置された半田ボールＢ、及びコレット６２に焦点が合うように移動させる。次のステップＳ２０８で、主制御部１４２は、検知装置７２で検知され、画像認識装置１４３で画像処理されたデータに基づいて、半田ボールＢがコレット６２による吸着に最適な位置となるような載置台１４及びコレット６２の位置補正データを作成する。
【００５４】
次のステップＳ２１０で、主制御部１４２は、ステップＳ２０８で作成された補正データを用いてｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、及びθ軸モータ３４を制御して、コレット６２及び載置台１４の位置補正を行う。
【００５５】
図１０には、接合装置１０の半田ボールＢをワークＷに搬送する搬送工程における制御フローが示されている。ステップＳ３０２で、主制御部１４２は、ステップＳ１０４で開始された載置台１６による半田ボールＢの吸着を終了させる。このステップで載置台による半田ボールＢの吸引を終了させることにより、続いてなされるコレット６２による半田ボールＢの吸着が良好なされるようになる。次のステップＳ３０４で、主制御部１４２はポンプ駆動回路１５０を制御することで、第１のコレット用バルブ６４を開いた状態として、コレット６２に６個の半田ボールＢの吸着を一度に開始させる。
【００５６】
次のステップＳ３０６で、主制御部１４２は、ｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、及びθ軸モータ３４を制御して、コレット６２に吸着された６個の半田ボールＢがワークＷの電極Ｅ１、Ｅ２付近に位置する状態となるように載置台１４とコレット６２とを一次移動させる。
【００５７】
次のステップＳ３０８で、主制御部１４２は、検知装置用ｚ軸モータ８０を制御し、撮影部７４をワークＷの電極Ｅ１、Ｅ２に焦点が合うように移動させる。次にステップＳ３１０で、主制御部１４２に、検知装置７２で検知され、画像認識装置１４３で処理された電極Ｅ１、Ｅ２の画像データが入力される。次のステップＳ３１２で、主制御部１４２は、検知装置用ｚ軸モータ８０を制御し、撮影部７４を、コレット６２に吸着された半田ボールＢに焦点が合うように移動させる。次にステップＳ３１４で、主制御部１４２に、検知装置７２で検知され画像認識装置１４３で処理された半田ボールＢの画像データが入力される。
【００５８】
次のステップＳ３１６で、主制御部１４２は、ステップＳ３１０で入力された電極Ｅ１、Ｅ２の画像データと、ステップＳ３１４で入力された半田ボールＢの画像データとに基づいて、６個の半田ボールＢが電極Ｅ１、Ｅ２に正確に載置されるように載置台１４及びコレット６２の位置補正データを作成する。次のステップＳ３１８で、主制御部１４２は、ステップＳ３１６で作成された補正データを用いてｙ軸モータ３２、ｘ軸モータ５６、コレット用ｚ軸モータ６０、及びθ軸モータ３４を制御して、ワークＷ及びコレット６２を二次移動させて位置補正を行う。
【００５９】
次のステップＳ３２０で、主制御部１４２は、第１のコレット用バルブ６４を閉じ、コレット６２の吸排気口９８からの吸気を停止させ、コレット６２による半田ボールＢの吸着状態を解除し、６個の半田ボールＢを同時に電極Ｅ１、Ｅ２に載置する。次のステップＳ３２２で、主制御部１４２は、バルブ駆動回路１４８を制御して第２のコレット用バルブ６６を開き、コレット６２の吸排気口９８からの窒素供給を開始させる。窒素を供給することで６個の半田ボールＢが、それぞれ電極Ｅ１、Ｅ２に同時に押圧され、半田ボールＢと電極Ｅ１、Ｅ２がそれぞれ密着した状態となるので、後工程でなされる半田ボールＢによる電極Ｅ１、Ｅ２の接合がより良好になされるようになる。
【００６０】
図１１には、接合装置１０の接合工程における制御フローが示されている。ステップＳ４０２で、主制御部１４２は、バルブ駆動回路１４８を制御することで窒素供給バルブ４０を開き、窒素供給装置３８からワークＷに向けての窒素の供給を開始させる。次のステップＳ４０４で所定時間が経過したことを確認した後に、ステップＳ４０６で主制御部１４２は、レーザ駆動回路１４６を制御してコレット６２に設けられた１２個の発光部１０４から６個の半田ボールＢに向けて予め定めれら時間、同時にレーザ照射を行わせる。レーザ照射がなされると、半田ボールＢが加熱され、溶融（リフロー）することで電極Ｅ１及びＥ２の接合がなされる。
【００６１】
ステップＳ４０６で、６個の半田ボールＢに同時にレーザを照射することに替えて、６個の半田ボールがそれぞれ載置される電極Ｅ１、Ｅ２に同時にレーザを照射して、間接的に各半田ボールＢを加熱することで６個の半田ボールＢを用いて、同時に接合を行うようにしても良い。また、６個の半田ボールにレーザを照射することと併せて、半田ボールＢがそれぞれ載置される電極Ｅ１、Ｅ２にレーザを照射するようにしても良い。
【００６２】
ステップＳ４０６で、このように同時に複数の半田ボールＢを加熱するため、複数の半田ボールを順に加熱する方法と比較して短時間で多数の半田ボールを用いた接合を行うことができ、生産性が高い。
【００６３】
次のステップＳ４０８で、主制御部１４２は、ステップＳ４０２で開始された窒素供給装置３８からの窒素噴射と、ステップＳ３２２で開始されたコレット６２からの窒素噴射とを停止させる。次のステップＳ４１０で、主制御部１４２は、コレット６２とワークＷとを互いに離間させるように、コレット６２と載置台１４とを移動させる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
以上述べたように、本発明は、例えば電極等の接合対象部を、半田ボール等の接合材粒で接合する接合装置及び接合方法に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施形態に係る接合装置の概略構成を示し、図１（ａ）は平面図であり、図１（ｂ）は左側面図である。
【図２】本発明の実施形態に用いられるコレットの構成を示し、図２（ａ）は先端部を拡大して示す左側面図であり、図２（ｂ）は図１（ａ）の点線で囲まれる部分を矢印Ａ方向から示す説明図であり、図２（ｃ）は図２（ａ）におけるＢＢ断面図である。
【図３】本発明の実施形態に用いられるコレットが接合装置中に設けられる位置を説明し、図３（ａ）は半田ボールがコレットに支持された時点の状態を示す説明図であり、図３（ｂ）は半田ボールが電極に到達した時点の状態を示す説明図である。
【図４】本発明の実施形態に用いられる載置台を示し、図４（ａ）は平面図であり、図４（ｂ）は概略構成図であり、図４（ｃ）は図４（ｂ）の点線Ｃで囲まれる部分を拡大して示す説明図である。
【図５】本発明の実施形態に用いられる窒素供給装置を示し、図（ａ）は斜視図であり、図５（ｂ）は断面図であり、図５（ｃ）は窒素供給装置が配置される位置を模式的に示す模式図である。
【図６】本発明の実施形態に係る接合装置に用いられる制御装置を示すブロック図である。
【図７】本発明の実施形態に係る接合装置の動作を示すフローチャートである。
【図８】本発明の実施形態に係る接合装置の半田ボールを載置台に載置する動作を示すフローチャートである。
【図９】本発明の実施形態に係る接合装置の載置台を移動させる動作を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の実施形態に係る接合装置の、載置台から接合対象部へ半田ボール搬送する動作を示すフローチャートである。
【図１１】本発明の実施形態に係る接合装置の、接合対象部を接合する動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６６】
１０      接合装置
１４      載置台
１６      吸引ポンプ
１８      載置台用バルブ
２４      可動台
３２      ｙ軸モータ
３４      θ軸モータ
３６      ワーク支持装置
３８      窒素供給装置
４０      窒素供給バルブ
４１      窒素タンク
４４      可動ユニット
５６      ｘ軸モータ
６０      コレット用ｚ軸モータ
６２      コレット
６４      第１のコレット用バルブ
６６      第２のコレット用バルブ
６８      光ファイバー
７０      レーザユニット
７２      検知装置
７４      撮影部
８０      検知装置用ｚ軸モータ
９０      コレット本体
９８      吸排気口
１０４    発光部
１４０    制御装置
１４２    主制御部
Ｂ  半田ボール
Ｅ１、Ｅ２  電極
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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