(57)【要約】【課題】従来のＶＯＣ除去方法は、ヒータで温めた空気で吸着ロータを加熱するのだが、その風量がかなり少ないため、ＶＯＣが脱着する温度まで吸着ロータもしくは吸着剤を温めるのに時間がかかってしまう、または、吸着ロータもしくは吸着剤が温まらず、脱着が十分に行われないという課題があった。【解決手段】吸着塔１の内部に、ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２と、加熱手段としてのコイル３と、送風手段としてのファン５とを備えている。脱着工程において、コイル３に通電することにより高周波を発生させ、ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２を加熱して、吸着したＶＯＣを脱着させる。脱着させたＶＯＣはファン５によってゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２の下流から排出し、ＶＯＣ発生源へ回収する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＶＯＣ除去用メタルフィルタを、１個または複数個設けたことを特徴とするＶＯＣ除去装置。
【請求項２】
ＶＯＣ除去用メタルフィルタを、直列または並列に複数個設けたことを特徴とする請求項１記載のＶＯＣ除去装置。
【請求項３】
加熱手段を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のＶＯＣ除去装置。
【請求項４】
加熱手段が、高周波誘導による加熱であることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載のＶＯＣ除去装置。
【請求項５】
減圧手段を設けたことを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載のＶＯＣ除去装置。
【請求項６】
吸着したＶＯＣを酸化させるための手段を設けたことを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載のＶＯＣ除去装置。
【請求項７】
送風機を設けたことを特徴とする請求項１乃至６いずれかに記載のＶＯＣ除去装置。
【請求項８】
ＶＯＣの濃度を測定するための手段を設けたことを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載のＶＯＣ除去装置。
【請求項９】
温度を測定するための手段を設けたことを特徴とする請求項１乃至８いずれかに記載のＶＯＣ除去装置。
【請求項１０】
ＶＯＣを吸着することができる吸着剤を担持したことを特徴とする請求項１記載のＶＯＣ除去用メタルフィルタ。
【請求項１１】
吸着剤が、活性炭、ゼオライト及びセピオライトより選ばれるいずれか１種、または２種以上を含むことを特徴とする請求項１０記載のＶＯＣ除去用メタルフィルタ。
【請求項１２】
フィルタ基材の材質が磁性を有することを特徴とする請求項１０または１１記載のＶＯＣ除去用メタルフィルタ。
【請求項１３】
フィルタ基材の材質が耐熱性を有することを特徴とする請求項１０乃至１２いずれかに記載のＶＯＣ除去用メタルフィルタ。
【請求項１４】
フィルタ基材の形状がハニカム、リング状またはボール状であることを特徴とする請求項１０乃至１３いずれかに記載のＶＯＣ除去用メタルフィルタ。
【請求項１５】
ＶＯＣを吸着することができる吸着剤を溶媒に分散させた液に、フィルタ基材を含浸し、乾燥させた後、仮焼することを特徴とするＶＯＣ除去用メタルフィルタ製造方法。
【請求項１６】
吸着剤を担持する前に、フィルタ基材の表面積を大きくするための処理を施したことを特徴とする請求項１５記載のＶＯＣ除去用メタルフィルタ製造方法。
【請求項１７】
吸着剤を担持する前に、フィルタ基材と吸着剤との密着性を向上させるための処理を施したことを特徴とする請求項１５または１６記載のＶＯＣ除去用メタルフィルタ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）が大気に排出されるのを抑制するための、ＶＯＣ除去装置及びＶＯＣ除去用メタルフィルタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大気汚染防止の観点から、工業用部品などの洗浄工程において、ＶＯＣの排出抑制、すなわち有機溶剤などの大気への蒸散防止が求められている。これを解決するために、様々なＶＯＣ除去方法が提案されている。
【０００３】
従来、この種のＶＯＣ除去装置は、セラミックや活性炭のシートをハニカム形状に成形し、それに吸着剤を担持した吸着ロータを用いて、ＶＯＣの除去を行う（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１に記載のＶＯＣ除去方法は、ＶＯＣを含むガスを吸着ロータに流して吸着除去する。その後、吸着時の風量に比べて少ない風量の熱風を流して、吸着ロータもしくは吸着剤を温めることによりＶＯＣを脱着し、回収する方法である。
【特許文献１】特開２０００−９３７２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来のＶＯＣ除去方法は、脱着時の風量がかなり少ないため、ＶＯＣが脱着する温度まで吸着ロータもしくは吸着剤を温めるのに時間がかかってしまう、または、吸着ロータもしくは吸着剤が温まらず、脱着が十分に行われないという課題があった。
【０００６】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、速やかにＶＯＣを脱着または／および分解することができる手段を設けたＶＯＣ除去装置を提供することを目的としている。
【０００７】
また、本発明は、上記のＶＯＣ除去装置に搭載するＶＯＣ除去用メタルフィルタ、およびその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のＶＯＣ除去装置は、ＶＯＣを吸着することができる吸着剤を担持したＶＯＣ除去用メタルフィルタを１個または複数個設け、さらに、吸着したＶＯＣを脱着または／および分解するための手段を設けたことを特徴とするものである。
【０００９】
このＶＯＣ除去装置により、ＶＯＣが大気に排出されるのを抑制することができるとともに、吸着したＶＯＣを効率良く脱着回収または／および分解することができる。
【００１０】
また、本発明のＶＯＣ除去用メタルフィルタは、ＶＯＣを吸着することができる吸着剤として、活性炭、ゼオライト及びセピオライトより選ばれるいずれか１種、または２種以上を含むことを特徴とするものである。
【００１１】
これにより、フィルタを通過するガスからＶＯＣを吸着除去することができる。
【００１２】
また、本発明のＶＯＣ除去用メタルフィルタの製造方法は、吸着剤を担持する前に、フィルタ基材の表面積を大きくするための処理、および／またはフィルタ基材と吸着剤との密着性を向上させるための処理を施した後に、吸着剤を溶媒に分散させた液にフィルタ基材を含浸し、乾燥させた後、仮焼することを特徴とするＶＯＣ除去用メタルフィルタの製造方法である。
【００１３】
この製造方法により、フィルタ基材と吸着剤との密着性に優れたＶＯＣ除去用メタルフィルタを得ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ＶＯＣを吸着することができる吸着剤を担持したＶＯＣ除去用メタルフィルタを設けたＶＯＣ除去装置を提供することができ、ＶＯＣが大気に排出されるのを抑制することができるとともに、吸着したＶＯＣを効率良く脱着回収または／および分解することができる。
【００１５】
また、ＶＯＣを吸着することができる吸着剤を担持したＶＯＣ除去用メタルフィルタを提供するとともに、ＶＯＣ除去用メタルフィルタの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の請求項１に記載の発明は、ＶＯＣ除去用メタルフィルタを、１個または複数個設けたことを特徴とするＶＯＣ除去装置である。
【００１７】
これにより、本発明のＶＯＣ除去装置はＶＯＣ除去用メタルフィルタを備えているので、ＶＯＣを吸着除去して大気に放出させないようにすることができる。
【００１８】
ここに示すＶＯＣとは、有機溶剤が揮発したときなどに発生する揮発性有機化合物（Ｖｏｌａｔｉｌｅ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ）の略である。
【００１９】
本発明の請求項２に記載の発明は、ＶＯＣ除去用メタルフィルタを、直列または並列に複数個設けたことを特徴とするＶＯＣ除去装置である。
【００２０】
これにより、ＶＯＣを吸着除去して大気に放出させないようにするＶＯＣ除去装置を得ることができる。
【００２１】
ＶＯＣ除去用メタルフィルタの並べ方としては、複数のフィルタを直列に並べて一つの吸着塔としても良く、また、複数のフィルタを並列に並べて一つの吸着塔としても良い。さらに、複数のフィルタを並列に並べたものを複数段積み重ねて一つの吸着塔としても良い。
【００２２】
本発明の請求項３に記載の発明は、加熱手段を設けたことを特徴とするＶＯＣ除去装置である。
【００２３】
これにより、本発明のＶＯＣ除去装置は加熱手段を備えているので、吸着したＶＯＣを効率良く脱着または／および分解することができる。
【００２４】
加熱手段としては、ヒータでメタルフィルタを加熱する、ヒータで温めた空気をメタルフィルタに流すことによって加熱する、ヒータに直接通電して加熱する、または、高周波誘導により加熱するといった方法が考えられる。
【００２５】
本発明の請求項４に記載の発明は、前記加熱手段が、高周波誘導による加熱であることを特徴とするＶＯＣ除去装置である。
【００２６】
これにより、高周波誘導により加熱可能な金属を、速やかに加熱することができるため、吸着したＶＯＣを効率良く脱着または／および分解することができる。
【００２７】
高周波誘導による加熱は、ヒータでフィルタを温める方法に比べて、短時間でフィルタを加熱することができる。
【００２８】
本発明の請求項５に記載の発明は、減圧手段を設けたことを特徴とするＶＯＣ除去装置である。
【００２９】
これにより、吸着剤周辺の圧力を減圧することができるので、吸着したＶＯＣを脱着することができるＶＯＣ除去装置を得ることができる。
【００３０】
また、減圧手段としては、真空ポンプなどを用いることができる。
【００３１】
本発明の請求項６に記載の発明は、吸着したＶＯＣを酸化させるための手段を設けたことを特徴とするＶＯＣ除去装置である。
【００３２】
これにより、吸着したＶＯＣを酸化することができるため、ＶＯＣを大気に放出させないようにするＶＯＣ除去装置を得ることができる。
【００３３】
また、ＶＯＣを酸化する手段としては、バーナーやヒータを用いた直接加熱、プラズマによる酸化、オゾンによる酸化、および、白金などの酸化触媒を設けるなどの手段が挙げられる。
【００３４】
本発明の請求項７に記載の発明は、送風機を設けたことを特徴とするＶＯＣ除去装置である。
【００３５】
これにより、ＶＯＣを含む空気をＶＯＣ除去用メタルフィルタに送ったり、脱着したＶＯＣをＶＯＣ除去装置の外へ送り出したりすることができる。
【００３６】
本発明の請求項８に記載の発明は、ＶＯＣの濃度を測定するための手段を設けたことを特徴とするＶＯＣ除去装置である。
【００３７】
これにより、ＶＯＣ除去用メタルフィルタを通過したＶＯＣ濃度、および、脱着したＶＯＣ濃度を測定することができるため、ＶＯＣ除去装置が正しく稼動しているか、あるいは、ＶＯＣ除去用メタルフィルタが劣化した場合などに、フィルタの交換時期などの目安とすることができる。
【００３８】
本発明の請求項９に記載の発明は、温度を測定するための手段を設けたことを特徴とするＶＯＣ除去装置である。
【００３９】
これにより、ＶＯＣ除去用メタルフィルタなどの温度を測定することができるので、フィルタの温度が異常に上昇したのを検知して装置の電源を自動的にストップさせる、というように安全装置と連動させて用いることで、ＶＯＣ除去装置の安全性を確保することができる。
【００４０】
また、温度を測定するための手段としては、熱伝対などが考えられる。
【００４１】
本発明の請求項１０に記載の発明は、ＶＯＣを吸着することができる吸着剤を担持したことを特徴とするＶＯＣ除去用メタルフィルタである。
【００４２】
これにより、ＶＯＣを吸着することができる吸着剤がフィルタ表面に担持されるため、ＶＯＣを吸着除去することができるＶＯＣ除去用メタルフィルタを得ることができる。
【００４３】
また、メタルフィルタはセラミックフィルタに比べて耐衝撃性に優れるため、振動の多い所などでの使用に適している。金属の種類は特に限定しないが、ＶＯＣを含むガスにさらされるため、ステンレスなどの耐腐食性を有する金属が好ましい。
【００４４】
また、ここに示すメタルフィルタには、発泡金属、金属製不織布、金属製ファイバーメッシュやこれらの組合せによって造られる金属材料なども用いることができ、形状には特に制限はない。
【００４５】
本発明の請求項１１に記載の発明は、ＶＯＣを吸着することができる吸着剤が、活性炭、ゼオライト及びセピオライトより選ばれるいずれか１種、または２種以上を含むことを特徴とするＶＯＣ除去用メタルフィルタである。
【００４６】
これにより、活性炭、ゼオライト及びセピオライトより選ばれるいずれか１種、または２種以上を含む吸着剤がフィルタ表面に担持されるため、ＶＯＣ除去用メタルフィルタを通過するガスから、ＶＯＣを効率的に吸着除去することができる。
【００４７】
また、吸着質の種類に合わせて、活性炭、ゼオライト及びセピオライトを、イオン交換するなどの化学的処理を施すのも良い。
【００４８】
また、吸着したＶＯＣを分解するための酸化触媒を、吸着剤の表面に担持するのも良い。
【００４９】
本発明の請求項１２に記載の発明は、フィルタ基材の材質が磁性を有することを特徴とするＶＯＣ除去用メタルフィルタである。
【００５０】
これにより、フィルタが磁性を有するため、ＶＯＣ除去用メタルフィルタを加熱する手段として、熱風を流して加熱する、フィルタに直接通電して加熱するといった方法だけでなく、高周波誘導による加熱なども可能となる。
【００５１】
本発明の請求項１３に記載の発明は、フィルタ基材の材質が耐熱性を有することを特徴とするＶＯＣ除去用メタルフィルタである。
【００５２】
これにより、ＶＯＣ除去用メタルフィルタが耐熱性を有するため、吸着させたＶＯＣを脱着させるために加熱した場合において、高温で脱着操作を繰り返し行ってもフィルタが劣化することなく、高い耐久性を有することとなる。
【００５３】
本発明の請求項１４に記載の発明は、フィルタ基材の形状がハニカム、リング状またはボール状であることを特徴とするＶＯＣ除去用メタルフィルタである。
【００５４】
これにより、フィルタの表面積が大きくなるので、フィルタ表面への吸着剤の担持量を増やすことができるため、フィルタを通過するＶＯＣを効率良く吸着することができる。
【００５５】
また、リング状およびボール状フィルタは、通風可能な容器、例えば外壁が網目になっている容器に充填して、それを一つのフィルタとして用いることができる。
【００５６】
また、ここに示すリング状とは、中が空洞の円柱形状のことであり、円柱の大きさは特に限定しないが、表面積を大きくするために、空洞の大きさはできるだけ大きいほうが好ましい。
【００５７】
本発明の請求項１５に記載の発明は、ＶＯＣを吸着することができる吸着剤を溶媒に分散させた液に、フィルタ基材を含浸し、乾燥させた後、仮焼することを特徴とするＶＯＣ除去用メタルフィルタ製造方法である。
【００５８】
これにより、効率良くフィルタ基材に吸着剤を担持することができとともに、吸着剤が均一かつ薄膜に担持したＶＯＣ除去用メタルフィルタを得ることができる。
【００５９】
ここに示す溶媒とは、水、アルコール類、その他有機溶剤などを用いることができる。
【００６０】
吸着剤を溶媒に分散させる方法としては、スターラや羽根で攪拌する、または、ボールミルを用いて分散させる方法が考えられ、分散させる際に、界面活性剤のような分散剤を添加するのが好ましい。
【００６１】
また、フィルタ基材と吸着剤との密着性を向上させるために、吸着剤を分散させた液にバインダを添加するのも良い。
【００６２】
本発明の請求項１６に記載の発明は、ＶＯＣを吸着することができる吸着剤を担持する前に、フィルタ基材の表面積を大きくするための処理を施したことを特徴とするＶＯＣ除去用メタルフィルタ製造方法である。
【００６３】
これにより、フィルタ基材の表面積が大きくなるので、より多くの吸着剤をフィルタ基材の表面に担持することができる。
【００６４】
フィルタ基材の表面積を大きくする処理としては、フィルタの表面に酸化被膜が形成される温度でフィルタを焼成する、または、無機酸化物でメタルフィルタを被覆することが考えられる。また、その両方の処理を施すのも良い。
【００６５】
メタルフィルタを被覆する無機酸化物としては、シリカ、チタニア、アルミナ、ジルコニア、および、それらの混合物などを用いることができる。メタルフィルタを無機酸化物で被覆することにより、耐熱性および耐腐食性を付与することもできる。
【００６６】
本発明の請求項１７に記載の発明は、ＶＯＣを吸着することができる吸着剤を担持する前に、フィルタ基材と吸着剤との密着性を向上させるための処理を施したことを特徴とするＶＯＣ除去用メタルフィルタ製造方法である。
【００６７】
これにより、フィルタ基材と吸着剤との密着性が向上するため、担持した吸着剤が剥離しにくいＶＯＣ除去用メタルフィルタを得ることができる。
【００６８】
フィルタ基材と吸着剤との密着性を向上させるための処理としては、無機酸化物でメタルフィルタを被覆することが考えられる。
【００６９】
メタルフィルタを被覆する無機酸化物としては、シリカ、チタニア、アルミナ、ジルコニア、および、それらの混合物などを用いることができる。メタルフィルタを無機酸化物で被覆することにより、耐熱性および耐腐食性を付与することもできる。
【００７０】
メタルフィルタを無機酸化物で被覆する方法としては、メタルフィルタを無機酸化物のゾルに含浸する、無機酸化物のゾルをメタルフィルタ内部に流し込む、無機酸化物のゾルをスプレーする、または、無機酸化物のゾルをはけ等で塗る、といった方法が挙げられる。
【００７１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明するが、以下の解釈に何ら限定されるものではない。
【００７２】
（実施の形態１）
本発明のＶＯＣ除去装置の概要について図１を参照しながら説明する。本発明のＶＯＣ除去装置は、吸着塔１の内部に、ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２と、加熱手段として、通電することにより高周波を発生することができるコイル３と、温度測定手段としての熱伝対４と、送風手段としてのファン５とを備えている。
【００７３】
（吸着工程）ＶＯＣを含んだ空気はファン５によってゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２へ送られる。ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２に担持されたゼオライトの作用によって、ＶＯＣは吸着除去され、ＶＯＣが除去された清浄空気がゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２の下流から排出される。
【００７４】
（脱着工程）コイル３に通電することにより高周波を発生させ、ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２を加熱して、吸着剤に吸着したＶＯＣを脱着させる。高周波誘導による加熱は、ヒータでフィルタを温める方法に比べて、短時間でフィルタを加熱することができる。脱着させたＶＯＣは、ファン５によってゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２の下流から排出し、ＶＯＣ発生源へ回収する。このとき、ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２が異常に加熱されることを防ぐため、熱伝対４でゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２の温度を測定し、設定温度を超えたら自動的にコイル３への通電をストップする制御機構を備えている。
【００７５】
（実施の形態２）
実施の形態１と同一部分は同一番号を付し、詳細な説明は省略する。本発明のＶＯＣ除去装置の概要について図２を参照しながら説明する。本発明のＶＯＣ除去装置は、吸着塔１の内部に、加熱手段として、通電することにより高周波を発生することができるコイル３と、温度測定手段としての熱伝対４と、送風手段としてのファン５と、白金触媒担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ６とを備えている。
【００７６】
白金触媒担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ６は、コイル３に通電して高周波を発生させることにより加熱されている。高周波誘導による加熱は、ヒータでフィルタを温める方法に比べて、短時間でフィルタを加熱することができる。白金触媒担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ６の温度を熱伝対４で測定し、設定温度より低いときにはコイル３に通電して加熱し、設定温度を超えたら自動的にコイル３への通電をストップする制御機構を備えることにより、白金触媒担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ６は一定の温度に保たれている。
【００７７】
ＶＯＣを含んだ空気はファン５によって白金触媒担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ６へ送られる。白金触媒担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ６に担持された白金触媒の作用によって、ＶＯＣは無害な水や二酸化炭素に分解され、ＶＯＣが除去された清浄空気が白金触媒担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ６の下流から排出される。
【００７８】
（実施の形態３）
実施の形態１、２と同一部分は同一番号を付し、詳細な説明は省略する。本発明のＶＯＣ除去装置の概要について図３を参照しながら説明する。本発明のＶＯＣ除去装置は、吸着塔１の内部に、ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２と、加熱手段として、通電することにより高周波を発生することができるコイル３と、温度測定手段としての熱伝対４と、送風手段としてのファン５と、減圧手段としての真空ポンプ７と、吸気口弁８と、排気口弁９と、真空ポンプ口弁１０とを、備えている。
【００７９】
（吸着工程）吸気口弁８と、排気口弁９とは、弁が開いた状態になっており、真空ポンプ口弁１０は、閉じた状態になっている。
【００８０】
ＶＯＣを含んだ空気はファン５によってゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２へ送られる。ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２に担持されたゼオライトの作用によって、ＶＯＣは吸着除去され、ＶＯＣが除去された清浄空気がゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２の下流から排出される。
【００８１】
（脱着工程）吸気口弁８と、排気口弁９とは、弁が閉じた状態になっており、真空ポンプ口弁１０は、開いた状態になっている。
【００８２】
真空ポンプ７を起動し、吸着塔１の内部を減圧すると同時に、コイル３に通電することにより高周波を発生させ、ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２を加熱して、吸着剤に吸着したＶＯＣを脱着させる。高周波誘導による加熱は、ヒータでフィルタを温める方法に比べて、短時間でフィルタを加熱することができる。脱着させたＶＯＣは、ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２の下流から排出し、真空ポンプ７を経由してＶＯＣ発生源へ回収する。このとき、ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２が異常に加熱されることを防ぐため、熱伝対４でゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ２の温度を測定し、設定温度を超えたら自動的にコイル３への通電をストップする制御機構を備えている。
【実施例】
【００８３】
（実施例１）
高周波誘導加熱によるステンレスハニカムＶＯＣ除去用メタルフィルタの加熱試験を行った。その試験方法を図４に、結果を図５に示す。
【００８４】
大きさ１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×６０ｍｍのステンレスハニカムＶＯＣ除去用メタルフィルタ１１の近傍にコイル３を配して高周波誘導加熱し、熱伝対４によりステンレスハニカムＶＯＣ除去用メタルフィルタ１１の表面温度を測定した。このときのコイル３の消費電力は約６９０Ｗであった。
【００８５】
図５は、コイル３から１０ｍｍ離れた位置のステンレスハニカムＶＯＣ除去用メタルフィルタ１１の表面温度を測定した結果である。
【００８６】
図５より、コイル３から１０ｍｍ離れた位置のステンレスハニカムＶＯＣ除去用メタルフィルタ１１の表面温度は、６０秒後には１６０℃まで達することがわかった。これにより、脱着工程に移行してから６０秒後には、ＶＯＣが脱着するのに十分な温度に達していることが確認された。
【００８７】
（実施例２）
本発明のＶＯＣ除去用メタルフィルタの製造方法を示す。
【００８８】
はじめに、ステンレスハニカム１２を、フィルタ基材の表面積を大きくするための処理として、１１００℃で１時間焼成し、フィルタ基材表面に酸化被膜１３を形成した。次いで、フィルタ基材と吸着剤との密着性を向上させるための処理として、シリカを主成分とするゾルにステンレスハニカムをディップし、１５０℃で２時間乾燥、５００℃で２時間仮焼することにより、シリカ層１４を形成した。次いで、ゼオライトを分散させた液にステンレスハニカムをディップし、１５０℃で２時間乾燥、５００℃で２時間仮焼することにより、ゼオライト層１５を形成した。
【００８９】
上記製造方法により製造したＶＯＣ除去用メタルフィルタの断面概念図を図６に示す。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
本発明のＶＯＣ除去装置により、ＶＯＣが大気に排出されるのを抑制することができるとともに、吸着したＶＯＣを効率良く脱着回収または／および分解することができるので有用である。
【００９１】
また、本発明のＶＯＣ除去用メタルフィルタにより、ＶＯＣが大気に排出されるのを抑制することができるので有用である。
【００９２】
また、本発明のＶＯＣ除去用メタルフィルタ製造方法により、フィルタ基材と吸着剤との密着性に優れたＶＯＣ除去用メタルフィルタを得ることができるので有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】実施の形態１におけるＶＯＣ除去装置の概念断面図
【図２】実施の形態２におけるＶＯＣ除去装置の概念断面図
【図３】実施の形態３におけるＶＯＣ除去装置の概念断面図
【図４】実施例１における高周波誘導加熱によるステンレスハニカムＶＯＣ除去用メタルフィルタの加熱試験方法を示す図
【図５】実施例１における高周波誘導加熱によるステンレスハニカムＶＯＣ除去用メタルフィルタの加熱試験結果を示す図
【図６】実施例２におけるＶＯＣ除去用メタルフィルタの断面概念図
【符号の説明】
【００９４】
１  吸着塔
２    ゼオライト担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ
３    コイル
４    熱伝対
５    ファン
６    白金触媒担持ＶＯＣ除去用メタルフィルタ
７    真空ポンプ
８    吸気口弁
９    排気口弁
１０  真空ポンプ口弁
１１  ステンレスハニカムＶＯＣ除去用メタルフィルタ
１２  ステンレスハニカム
１３  酸化被膜
１４  シリカ層
１５  ゼオライト層
【図１】
2007245039.tif 000003
【図２】
2007245039.tif 000004
【図３】
2007245039.tif 000005
【図４】
2007245039.tif 000006
【図５】
2007245039.tif 000007
【図６】
2007245039.tif 000008