(57)【要約】【課題】  電子部品を製造する際に排出される有機廃液を効率良く分解処理できるようにした有機廃液の処理方法及び、有機廃液の処理システムを提供する。【解決手段】  電子部品を製造する際に排出される有機廃液を処理する方法であって、有機廃液に含まれる有機成分（例えば、フォトリソグラフィ工程やレジスト類の剥離工程で排出されるキシレン、エタノールアミン、ヒドラキシアミン、カテコール等の廃油や、ジメチルホルムアミド等の廃アルカリ）を酵素で糖に分解し、分解によって生じた糖を微生物で分解する。このような構成であれば、有機廃液の全てを微生物処理する場合と比べて、有機成分を効率良く分解することができる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を製造する際に排出される有機廃液を処理する方法であって、
前記有機廃液に含まれる有機成分を酵素で糖に分解する工程と、
前記糖を微生物で分解する工程と、を含むことを特徴とする有機廃液の処理方法。
【請求項２】
前記糖を微生物で分解する工程は、
前記糖を微生物で分解することにより、前記有機廃液の有機濃度を所定値以下にする工程であることを特徴とする請求項１に記載の有機廃液の処理方法。
【請求項３】
前記糖を微生物で分解した後で、前記有機濃度が所定値以下となった廃液を外界に放出する工程、を含むことを特徴とする請求項２に記載の有機廃液の処理方法。
【請求項４】
電子部品を製造する際に排出される有機廃液を処理するシステムであって、
前記有機廃液に含まれる有機成分を酵素で糖に分解する第１の分解手段と、
前記糖を微生物で分解する第２の分解手段と、を含むことを特徴とする有機廃液の処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機廃液の処理方法及び、有機廃液の処理システムに関し、特に、有機成分を効率良く分解できるようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品（例えば、半導体装置）の製造技術の分野では、例えばフォトリソグラフィ工程やレジスト類の剥離工程から、廃油（その成分は、例えばキシレン、エタノールアミン、ヒドラキシアミン、カテコール等）や、廃アルカリ（例えばジメチルホルムアミド等）が多量に排出される。これら有機廃液の処理は、その処理を専門とする業者に依頼して、最終的には汚泥として処理する（図３のステップＡ１，Ａ２参照。）か、助燃剤として再使用していた。しかし、このような有機廃液の処理方法は、コストが非常に多くかかり、またＣＯ２を多量に排出してしまうなど、問題点が多くある。
【０００３】
このような問題点を解決する一手段として、本発明者は、有機廃液を業者に依頼して処理するのではなく、半導体製造工場の敷地内で微生物処理することで、分解、無害化することを思いついた（図３のステップａ１，ａ２参照。）。
なお、電子部品の製造技術の分野において有機廃液を生物処理する方法は公知ではないが、食器洗いの分野では油やタンパク質を酵素で分解する方法が知られている。（例えば、特許文献１〜９参照。）また、生ゴミ処理の分野では、食品廃棄物などの生ゴミを酵素で分解する処理方法が知られている（例えば、特許文献１０参照。）。
【特許文献１】特開平９−１４０６５３号公報
【特許文献２】特開２０００−１８９３７５号公報
【特許文献３】特開平１１−４７７２１号公報
【特許文献４】特開平７−１６３９９６号公報
【特許文献５】特開２００４−２６７１２７号公報
【特許文献６】特開平６−２２８６００号公報
【特許文献７】特開平６−３３００８８号公報
【特許文献８】特開平９−２０１３２３号公報
【特許文献９】特開平１０−３３４４８号公報
【特許文献１０】特開２００２−２５４０５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、半導体製造工場から河川等に廃液を流す場合には、有害物質を規定値以下にすることはもちろん、ＢＯＤ（ＢＯＤは溶存酸素量を示す値であり、有機成分の濃度と比例関係にある。）も規定値以下にすること等、大変厳しい排出基準がある。このような排出基準を厳守しつつ有機廃液の全てを微生物処理しようとすると、環境には優しいが処理効率が悪く、結果的に、膨大な容積の生物処理槽が必要となることがわかった。
【０００５】
そこで、本発明は、上記の問題に鑑み、さらなる改良を加えたものであって、電子部品を製造する際に排出される有機廃液を効率良く分解処理できるようにした有機廃液の処理方法及び、有機廃液の処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、発明１の有機廃液の処理方法は、電子部品を製造する際に排出される有機廃液を処理する方法であって、前記有機廃液に含まれる有機成分を酵素で糖に分解する工程と、前記糖を微生物で分解する工程と、を含むことを特徴とするものである。
ここで、「電子部品」とは、例えば半導体装置、液晶表示装置等のことである。また、「有機成分」としては、例えばフォトリソグラフィ工程やレジスト類の剥離工程で排出されるキシレン、エタノールアミン、ヒドラキシアミン、カテコール等の廃油や、ジメチルホルムアミド等の廃アルカリが挙げられる。さらに「酵素」としては、例えばタンパク質を分解可能なプロテアーゼや、脂質を分解可能なリパーゼ等が挙げられる。また、「微生物」としては例えばＮ（アミン、アミド）系やＣ（炭素）系を分解可能なコルピディウムや、ロタリア等が挙げられる。さらに、本発明でいう「糖」とは、有機成分よりも分子量の小さい炭水化物等のことである。
【０００７】
本発明では、このような酵素による有機成分の分解と、微生物による糖の分解は、例えばそれぞれ別の処理槽内で行っても良いし、同一の処理槽内で行っても良い（即ち、酵素と微生物とを同一の処理槽内に投入して、有機成分と糖の分解を同時に並行して行っても良い。）。
発明２の有機廃液の処理方法は、発明１の有機廃液の処理方法において、前記糖を微生物で分解する工程は、前記糖を微生物で分解することにより、前記有機廃液の有機濃度を所定値以下にする工程であることを特徴とするものである。ここで、「所定値」は、例えば法定の排出基準値を下回る任意の値である。
【０００８】
発明３の有機廃液の処理方法は、発明２の有機廃液の処理方法において、前記糖を微生物で分解した後で、前記有機濃度が所定値以下となった廃液を外界に放出する工程、を含むことを特徴とするものである。ここで、「外界」とは、例えば河川のことである。
発明１〜発明３の有機廃液の処理方法によれば、有機廃液の全てを微生物処理する場合と比べて、有機成分を効率良く分解することができる。従って、例えば処理槽の小型化が可能である。
【０００９】
発明４の有機廃液の処理システムは、電子部品を製造する際に排出される有機廃液を処理するシステムであって、前記有機廃液に含まれる有機成分を酵素で糖に分解する第１の分解手段と、前記糖を微生物で分解する第２の分解手段と、を含むことを特徴とするものである。
発明４の有機廃液の処理システムによれば、有機廃液の全てを微生物処理する場合と比べて、有機成分を効率良く分解することができる。従って、例えば処理槽の小型化が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明の実施の形態に係る有機廃液の処理システム１０を示す概念図である。図１に示すように、この処理システム１０は、有機廃液に含まれる有機成分を酵素で分解して糖にする（即ち、低分子化する）上流槽１と、上流槽１から排出される糖を微生物で分解する下流槽２と、を含んだ構成となっている。
【００１１】
ここで、有機成分としては、例えば、キシレン、エタノールアミン、ヒドラキシアミン、カテコール等の廃油や、ジメチルホルムアミド等の廃アルカリである。これらの廃油や廃アルカリは、例えば半導体装置の製造工場内にある、フォトリソグラフィ工程から排出される。また、酵素は例えばタンパク質分解酵素として知られているプロテアーゼや、脂質分解酵素として知られているリパーゼ等である。微生物は、例えばＮ（アミン、アミド）系やＣ（炭素）系を分解可能なコルピディウムや、ロタリア等である。
【００１２】
なお、図示しないが、上流槽１と下流槽２とには、それぞれ酵素と微生物の投入口が設けられている。また、上流槽１と下流槽２の内部には分解処理の効率向上を目的にそれぞれプロペラ形状（一例）の攪拌器が設けられており、それぞれの分解処理が例えばバッチ式で行われるようになっている。さらに、下流槽２には、槽内にある液体中のＢＯＤを測定するセンサが設けられている。
【００１３】
図２は本発明の実施の形態に係る有機廃液の処理方法を示すフローチャートである。
まず始めに、図１に示した上流槽１に有機廃液を所定量注入する。また、この注入と同時に、或いは前後して、上流槽１にプロテアーゼ、リパーゼ等の酵素を所定量投入する（ステップＳ１）。次に、上流槽１内で、酵素を含んだ有機廃液の温度をその分解処理に適した温度（例えば、６０℃）にする。そして、上流槽１内で有機廃液と酵素とを混ぜ合わせ、有機廃液中の有機成分を酵素で糖に分解する（ステップＳ２）。
【００１４】
次に、有機成分の大部分又はその全てが糖になった有機廃液を下流槽２に移す。また、この下流槽２への有機廃液の注入と同時に、或いは前後して、下流槽２にコルピディウム、ロタリア等の微生物とその餌を所定量投入する。餌には、例えばエタノールを使用する。次に、下流槽２内での微生物を含んだ有機廃液の温度を、その分解処理に適した温度（例えば、２０〜３０℃）にする。そして、下流槽２内で有機廃液と微生物とを混ぜ合わせ、有機廃液を微生物で完全に分解処理する。なお、下流槽２内への餌の投入は、分解処理の初期段階で一度に行っても良いし、初期〜後期の各段階で数回に分けて行っても良い（ステップＳ３）。
【００１５】
次に、下流槽２内で完全分解された廃液中のＢＯＤ濃度を下流槽２内のセンサ（図示せず）で測定する。そして、廃液中のＢＯＤ濃度が所定値（法定の排出基準値を下回る任意の値）以下となったことを確認した後で、この廃液を例えば河川に放流する。なお、ＢＯＤ濃度が所定値以下となっていない場合には、所定値以下となるまで生物処理を継続し（その間、微生物や餌を追加投入しても良い。）、ＢＯＤ濃度が所定値以下となった後で廃液を放流する（ステップＳ４）。
【００１６】
このように、本発明の実施の形態によれば、有機廃液の全てを微生物処理する場合と比べて、有機成分を効率良く分解することができ、最終放流のＢＯＤを抑えつつ処理槽の小型化が可能である。また、有機廃液を汚泥や助燃剤として処理する場合と比べて、汚泥の排出を無くすことができ、ＣＯ２の排出量を低減できるので、環境にやさしい。さらに、有機廃液の処理を例えば半導体装置造工場の敷地内で行うことができるので、有機廃液の運送や汚泥の埋め立てにかかるコストやエネルギーを無くすことができる。
【００１７】
この実施の形態では、酵素処理が行われる上流槽１が本発明の「第１の分解手段」に対応し、微生物処理が行われる下流槽２が本発明の「第２の分解手段」に対応している。
なお、本発明では、上流槽１での有機成分の分解後に、有機廃液と酵素とを分離し、有機廃液だけを下流槽２へ移し、酵素は上流槽１内に残存させるようにしても良い。このような構成であれば、酵素を再使用できるので、上流槽１に対する酵素の投入量を若干の補充程度に抑えることができ、その購入コストを低減することができる。
【００１８】
また、この実施の形態では、酵素による有機成分の分解処理と、微生物による糖の分解処理とを処理槽を分けて行う場合について説明した。しかしながら、本発明では、有機成分の分解処理と糖の分解処理とを同一の槽内で同時に、並行して行っても良い。その場合には、例えば、有機廃液を貯めた１つの槽内に酵素と、微生物と、エタノール等の餌とを投入すれば良い。
【００１９】
さらに、この実施の形態では、酵素の一例としてプロテアーゼやリパーゼを使用する場合について説明したが、本発明で使用可能な酵素はこれに限られることはなく、プロテアーゼ以外の他のタンパク質分解酵素や、リパーゼ以外の他の脂質分解酵素を使用しても良い。同様に、この実施の形態では、微生物の一例としてコルピディウムや、ロタリアを使用する場合について説明したが、本発明で使用可能な微生物はこれに限られることはなく、コルピディウムや、ロタリア以外の他の、Ｃ，Ｎ系分解可能な微生物を使用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施の形態に係る有機廃液の処理システム１０を示す概念図。
【図２】実施の形態に係る有機廃液の処理方法を示すフローチャート。
【図３】背景技術の一例を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００２１】
１  上流槽、２  下流槽、１０  （有機廃液の）処理システム１０
【図１】
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【図２】
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【図３】
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