(57)【要約】【課題】モータと負荷に機械的負担をかけず騒音を発生せずに前記モータと負荷の固有周波数を容易に高精度に検出できる振動検出装置を提供する。【解決手段】位置指令と位置を入力し過渡時間を出力する過渡時間検出器１０１と、前記位置と前記過渡時間を入力し過渡位置を出力する第１記憶器１０２と、前記位置指令と前記過渡時間を入力し過渡位置指令を出力する第２記憶器１０３と、前記過渡位置を入力し位置スペクトルを出力する第１スペクトル検出器１０４と、前記過渡位置指令を入力し位置指令スペクトルを出力する第２スペクトル検出器１０５と、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し固有周波数検出値を出力するスペクトル比較器１０６と、を備える。  【選択図】図１
2007017365.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置指令を出力する指令発生器（２０１）と、
前記位置指令と位置を入力し速度指令を出力する位置制御器（２０２）と、
前記速度指令と速度を入力しトルク指令を出力する速度制御器（２０３）と、
前記トルク指令を入力し電流によりモータと負荷（２０５）を駆動するトルク制御器（２０４）と、
位置検出器（２０６）が検出した前記モータと負荷（２０５）の前記位置を入力し前記速度を出力する微分器（２０７）と、
前記位置指令と前記位置を入力し固有周波数検出値を出力する固有周波数検出器（２０８）とを備えた振動検出装置において、
前記固有周波数検出器（２０８）は、
前記位置指令と前記位置を入力し過渡時間を出力する過渡時間検出器（１０１）と、
前記位置と前記過渡時間を入力し過渡位置を出力する第１記憶器（１０２）と、
前記位置指令と前記過渡時間を入力し過渡位置指令を出力する第２記憶器（１０３）と、
前記過渡位置を入力し位置スペクトルを出力する第１スペクトル検出器（１０４）と、
前記過渡位置指令を入力し位置指令スペクトルを出力する第２スペクトル検出器（１０５）と、
前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し前記固有周波数検出値を出力するスペクトル比較器（１０６）と、を有することを特徴とする振動検出装置。
【請求項２】
前記過渡時間検出器（１０１）は、
前記モータと負荷（２０５）の動作開始時から一定時間を前記過渡時間として検出し出力するものであることを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【請求項３】
前記過渡時間検出器（１０１）は、
前記位置指令を入力し位置指令列を出力する移動窓演算器（６０１）と、
前記位置指令列を入力しその入力信号の微分値不連続点から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する微分値不連続点検出器（６０２）と、を有することを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【請求項４】
前記過渡時間検出器（１０１）は、
前記位置を入力し複数の極値絶対値を出力する極値絶対値検出器（８０１）と、
前記複数の極値絶対値を入力しその入力信号間の差が設定値より大きくなる時間から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する極値比較器（８０２）と、を有することを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【請求項５】
前記過渡時間検出器（１０１）は、
前記位置を入力し位置指令周期中の位置極値数を出力する第１極値数検出器（９０１）と、
前記位置指令を入力し位置指令周期中の位置指令極値数を出力する第２極値数検出器（９０２）と、
前記位置極値数と前記位置指令極値数を入力しその入力信号が異なる時間から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する極値数比較器（９０３）と、を有することを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【請求項６】
前記過渡時間検出器（１０１）は、
前記位置を入力し複数の零交差時間を出力する零交差検出器（１００１）と、
前記複数の零交差時間を入力しある零交差時間から次々回の零交差時間までの区間の位置積分値を出力する積分器（１００２）と、
前記位置積分値を入力しその入力信号の絶対値が設定値より大きくなる時間から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する第１非零検出器（１００３）と、を有することを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【請求項７】
前記過渡時間検出器（１０１）は、
前記位置を入力しその入力信号の位置指令周期長の移動平均値を位置移動平均値として出力する移動平均フィルタ（１１０１）と、
前記位置移動平均値を入力しその入力信号の絶対値が設定値より大きくなる時間から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する第２非零検出器（１１０２）と、を有することを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【請求項８】
前記過渡時間検出器（１０１）は、
前記位置を入力しその入力信号の符号が反転した時間から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する符号反転検出器（１３０１）を有することを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【請求項９】
前記第１スペクトル検出器（１０４）は、前記過渡位置のフーリエ変換を前記位置スペクトルとして出力するものであり、
前記第２スペクトル検出器（１０５）は、前記過渡位置指令のフーリエ変換を前記位置指令スペクトルとして出力するものである、ことを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【請求項１０】
前記第1スペクトル検出器（１０４）は、
前記過渡位置を入力し過渡位置周波数成分を出力する複数の第１バンドバスフィルタ（１５０１）と、
前記過渡位置周波数成分を入力し前記位置スペクトルを出力する第１振幅検出器（１５０２）と、を有し、
前記第２スペクトル検出器（１０５）は、
前記過渡位置指令を入力し過渡位置指令周波数成分を出力する複数の第２バンドバスフィルタ（１５０３）と、
前記過渡位置指令周波数成分を入力し前記位置指令スペクトルを出力する第２振幅検出器（１５０４）と、を有することを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【請求項１１】
前記固有周波数検出器（２０８）は、
前記スペクトル比較器（１０６）の複数の出力の平均値として前記固有周波数検出値を出力するものであることを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【請求項１２】
前記スペクトル比較器（１０６）は、
前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し前記位置指令スペクトルを前記位置スペクトルで除算したスペクトル除算値を出力する除算器（３０１）と、
前記スペクトル除算値を入力しその入力信号の極小値の起こる周波数を前記固有周波数検出値として検出し出力する極小点検出器（３０２）と、を有することを特徴とする請求項１記載の振動検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータと負荷の多慣性系の固有周波数を検出する振動検出装置に関する。  
【背景技術】
【０００２】
従来技術による振動検出装置は、掃引正弦波信号をモータと機械負荷に入力し、応答信号の振幅が最大になる時間における前記掃引正弦波信号の周波数を、共振周波数として検出している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図１６は、第１の従来技術を示す振動検出装置の構成図である。
図１６において、１６０１は指令発生器、１６０２は速度制御器、１６０３は電流制御器、１６０４はモータと機械負荷、１６０５は検出器、１６０６は信号処理器である。
以下、図１６を用いて、第１の従来技術による振動検出装置の構成を説明する。
指令発生器１６０１は、掃引正弦波信号を出力する。速度制御器１６０２は、トルク指令を出力する。電流制御器１６０３は、前記掃引正弦波信号に前記トルク指令を加算した電流指令と応答信号を入力し、電流を出力する。モータと機械負荷１６０４は、前記電流を入力し、その応答信号は検出器１６０５により検出され出力される。信号処理器１６０６は、前記掃引正弦波信号と前記応答信号を入力し、共振周波数を出力する。
【０００４】
また、第２の従来技術による振動検出装置は、ホワイトノイズ信号を機械系に入力しその角速度のフーリエ変換より共振周波数を検出している（例えば、特許文献２参照）。
図１７は、第２の従来技術を示す振動検出装置の構成図である。
図１７において、１７０１は乗算器、１７０２は切替スイッチ、１７０３は機械系、１７０４はＦＦＴ演算部、１７０５はエラーシステム、１７０６は剛体パラメータ同定部、１７０７は共振パラメータ同定部である。
以下、図１７を用いて、第２の従来技術による振動検出装置の構成を説明する。
先ず、剛体パラメータ同定部１７０６の計算モードにおいて、乗算器１７０１は、速度指令から角速度を減算した偏差を入力し、駆動トルクを出力する。切替スイッチ１７０２は、前記駆動トルクとホワイトノイズ信号を入力し、前記駆動トルクを出力する。機械系１７０３は、前記駆動トルクを入力し、前記角速度を出力する。エラーシステム１７０５は、前記駆動トルクと前記角速度を入力し、同定誤差と内部信号を出力する。剛体パラメータ同定部１７０６は、前記同定誤差と内部信号を入力し、パラメータ同定値を出力する。
次に、共振パラメータ同定部１７０７の計算モードにおいて、切替スイッチ１７０２は、前記駆動トルクと前記ホワイトノイズ信号を入力し、前記ホワイトノイズ信号を出力する。
機械系１７０３は、前記ホワイトノイズ信号を入力し、前記角速度を出力する。ＦＦＴ演算部１７０４は、前記角速度を入力し、共振反共振周波数を出力する。共振パラメータ同定部１７０７は、前記パラメータ同定値と前記共振反共振周波数を入力し、共振パラメータを出力する。
【０００５】
以上述べたように、第１の従来技術による振動検出装置は、掃引正弦波信号をモータと機械負荷１６０４に入力し、その応答信号の振幅が最大になる時間と前記時間に対応する前記掃引正弦波信号の周波数よりモータと機械負荷１６０４の共振周波数を検出していた。
また、第２の従来技術による振動検出装置は、ホワイトノイズ信号を機械系１７０３に入力し、その角速度のフーリエ変換より共振周波数を検出していた。
【特許文献１】特開２００３−３４８８７１号公報（第３頁、第３図）
【特許文献２】特開平７−１５２４２９号公報（第２−３頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、第１の従来技術による振動検出装置は、掃引正弦波信号をモータと機械負荷に入力しなければならないので、前記モータと機械負荷に機械的負担を与え、前記モータと機械負荷の共振周波数付近で騒音を発生するという問題があった。
また、第２の従来技術による振動検出装置は、ホワイトノイズ信号を機械系に入力しなければならないので、前記機械系に機械的負担を与え騒音を発生するという問題があった。
【０００７】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、モータと負荷の過渡応答を用いて前記モータと負荷に機械的負担をかけず、騒音を発生することなく、前記モータと負荷の固有周波数を容易に高い精度で検出できる振動検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題を解決するため、請求項１記載の発明は、位置指令を出力する指令発生器と、前記位置指令と位置を入力し速度指令を出力する位置制御器と、前記速度指令と速度を入力しトルク指令を出力する速度制御器と、前記トルク指令を入力し電流によりモータと負荷を駆動するトルク制御器と、位置検出器が検出した前記モータと負荷の前記位置を入力し前記速度を出力する微分器と、前記位置指令と前記位置を入力し固有周波数検出値を出力する固有周波数検出器とを備えた振動検出装置において、前記位置指令と前記位置を入力し固有周波数検出値を出力する固有周波数検出器を有し、前記固有周波数検出器は、前記位置指令と前記位置を入力し過渡時間を出力する過渡時間検出器と、前記位置と前記過渡時間を入力し過渡位置を出力する第１記憶器と、前記位置指令と前記過渡時間を入力し過渡位置指令を出力する第２記憶器と、前記過渡位置を入力し位置スペクトルを出力する第１スペクトル検出器と、前記過渡位置指令を入力し位置指令スペクトルを出力する第２スペクトル検出器と、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し前記固有周波数検出値を出力するスペクトル比較器と、を有することを特徴としている。
【０００９】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記過渡時間検出器は、前記モータと負荷の動作開始時から一定時間を前記過渡時間として検出し出力するものであることを特徴としている。
【００１０】
また、請求項３記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記過渡時間検出器は、前記位置指令を入力し位置指令列を出力する移動窓演算器と、前記位置指令列を入力しその入力信号の微分値不連続点から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する微分値不連続点検出器と、を有することを特徴としている。
【００１１】
また、請求項４記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記過渡時間検出器は、前記位置を入力し複数の極値絶対値を出力する極値絶対値検出器と、前記複数の極値絶対値を入力しその入力信号間の差が設定値より大きくなる時間から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する極値比較器と、を有することを特徴としている。
【００１２】
また、請求項５記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記過渡時間検出器は、前記位置を入力し位置指令周期中の位置極値数を出力する第１極値数検出器と、前記位置指令を入力し位置指令周期中の位置指令極値数を出力する第２極値数検出器と、前記位置極値数と前記位置指令極値数を入力しその入力信号が異なる時間から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する極値数比較器と、を有することを特徴としている。
【００１３】
また、請求項６記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記過渡時間検出器は、前記位置を入力し複数の零交差時間を出力する零交差検出器と、前記複数の零交差時間を入力しある零交差時間から次々回の零交差時間までの区間の位置積分値を出力する積分器と、前記位置積分値を入力しその入力信号の絶対値が設定値より大きくなる時間から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する第１非零検出器と、を有することを特徴としている。
【００１４】
また、請求項７記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記過渡時間検出器は、前記位置を入力しその入力信号の位置指令周期長の移動平均値を位置移動平均値として出力する移動平均フィルタと、前記位置移動平均値を入力しその入力信号の絶対値が設定値より大きくなる時間から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する第２非零検出器と、を有することを特徴としている。
【００１５】
また、請求項８記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記過渡時間検出器は、前記位置を入力しその入力信号の符号が反転した時間から一定時間を前記過渡時間として検出し出力する符号反転検出器を有することを特徴としている。
【００１６】
また、請求項９記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記第１スペクトル検出器は、前記過渡位置のフーリエ変換を前記位置スペクトルとして出力するものであり、前記第２スペクトル検出器は、前記過渡位置指令のフーリエ変換を前記位置指令スペクトルとして出力するものである、ことを特徴としている。
【００１７】
また、請求項１０記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記第1スペクトル検出器は、前記過渡位置を入力し過渡位置周波数成分を出力する複数の第１バンドバスフィルタと、前記過渡位置周波数成分を入力し前記位置スペクトルを出力する第１振幅検出器と、を有し、前記第２スペクトル検出器は、前記過渡位置指令を入力し過渡位置指令周波数成分を出力する複数の第２バンドバスフィルタと、前記過渡位置指令周波数成分を入力し前記位置指令スペクトルを出力する第２振幅検出器と、を有することを特徴としている。
【００１８】
また、請求項１１記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記固有周波数検出器は、前記スペクトル比較器の複数の出力の平均値として前記固有周波数検出値を出力するものであることを特徴としている。
【００１９】
また、請求項１２記載の発明は、請求項１記載の振動検出装置において、前記スペクトル比較器は、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し前記位置指令スペクトルを前記位置スペクトルで除算したスペクトル除算値を出力する除算器と、前記スペクトル除算値を入力しその入力信号の極小値の起こる周波数を前記固有周波数検出値として検出し出力する極小点検出器と、を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１記載の発明によると、モータと負荷に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく前記モータと負荷の固有周波数を検出することができる。
【００２１】
請求項２または３記載の発明によると、前記位置の過渡成分振幅が定常成分振幅に対して小さい場合に、過渡時間を容易に検出でき、モータと負荷に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく前記モータと負荷の固有周波数を検出することができる。
【００２２】
請求項４記載の発明によると、位置指令の周期がモータと負荷の固有周期よりも短い場合に、前記モータと負荷に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく前記モータと負荷の固有周波数を検出することができる。
【００２３】
請求項５記載の発明によると、前記位置指令が周期的であり１周期間に１つまたは２つの極値を持ち前記位置指令の周期がモータと負荷の固有周期より長い場合に、前記モータと負荷に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく前記モータと負荷の固有周波数を検出することができる。
【００２４】
請求項６および７記載の発明によると、位置指令が正負対称である場合に、モータと負荷に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく前記モータと負荷の固有周波数を検出することができる。
【００２５】
請求項８記載の発明によると、位置指令が一定符号で周期的に零となる場合に、モータと負荷に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく前記モータと負荷の固有周波数を検出することができる。
【００２６】
請求項９および１０記載の発明によると、位置スペクトルと位置指令スペクトルの算出が容易にでき、モータと負荷に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく前記モータと負荷の固有周波数を検出することができる。
【００２７】
請求項１１記載の発明によると、モータと負荷に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく前記モータと負荷の固有周波数をより高い精度で検出することができる。
【００２８】
請求項１２記載の発明によると、モータと負荷に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく前記モータと負荷の固有周波数を容易に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【００３０】
図２は、本発明を示す振動検出装置の構成概要図である。
図２において、２０１は指令発生器、２０２は位置制御器、２０３は速度制御器、２０４はトルク制御器、２０５はモータと負荷、２０６は位置検出器、２０７は微分器、２０８は固有周波数検出器である。
以下、図２を用いて、本発明の振動検出装置の構成概要について説明する。
指令発生器２０１は、位置指令を出力する。位置制御器２０２は、前記位置指令と位置を入力し、速度指令を出力する。速度制御器２０３は、前記速度指令と速度を入力し、トルク指令を出力する。トルク制御器２０４は、前記トルク指令を入力し、電流を出力する。モータと負荷２０５は、前記電流を入力し、その前記位置は位置検出器２０６により検出され、出力される。微分器２０７は、前記位置を入力し、前記速度を出力する。固有周波数検出器２０８は、前記位置指令と前記位置を入力し、固有周波数検出値を出力する。
【００３１】
また、図１は、第１実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図である。
図１において、１０１は過渡時間検出器、１０２は第１記憶器、１０３は第２記憶器、１０４は第１スペクトル検出器、１０５は第２スペクトル検出器、１０６はスペクトル比較器である。
本発明が、従来技術である特許文献１および特許文献２の振動検出装置と異なる点は、本発明の振動検出装置における固有周波数検出器２０８は、位置指令と位置を入力し、過渡時間を出力する過渡時間検出器１０１と、前記位置と前記過渡時間を入力し、過渡位置を出力する第１記憶器１０２と、位置指令と前記過渡時間を入力し、過渡位置指令を出力する第２記憶器１０３と、前記過渡位置を入力し、位置スペクトルを出力する第１スペクトル検出器１０４と、前記過渡位置指令を入力し、位置指令スペクトルを出力する第２スペクトル検出器１０５と、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し、固有周波数検出値を出力するスペクトル比較器１０６を備えるようにしている点である。
【００３２】
次に、図１を用いて、本実施例における固有周波数検出器２０８の内部動作について詳細を説明する。
過渡時間検出器１０１は、位置が過渡状態にあるかを検出し、その開始時間から終了時間までを過渡時間として出力する。前記位置の過渡応答振幅が前記位置の定常応答振幅に比べて小さい場合、前記過渡状態の検出が困難であるため、過渡時間検出器１０１は、モータと負荷２０５の動作開始時、すなわち、前記位置指令の開始時間から一定時間を前記過渡時間として出力する。第１記憶器１０２は、前記過渡時間における前記位置を記憶し、前記過渡位置として出力する。第２記憶器１０３は、前記過渡時間における前記位置指令を記憶し、過渡位置指令として出力する。第１スペクトル検出器１０４は、前記過渡位置のスペクトルをフーリエ変換により算出し、前記位置スペクトルとして出力し、同様に、第２スペクトル検出器１０５は、前記過渡位置指令のスペクトルをフーリエ変換により算出し、前記位置指令スペクトルとして出力する。固有周波数検出器２０８は、スペクトル比較器１０６の複数の出力の平均値として前記固有周波数検出値を出力する。  
【００３３】
また、図３は、第１実施例を示す振動検出装置におけるスペクトル比較器の詳細構成図である。
図３において、３０１は除算器、３０２は極小点検出器である。
先ず、図３を用いて、本実施例の振動検出装置におけるスペクトル比較器１０６の詳細構成を説明する。
除算器３０１は、位置スペクトルと位置指令スペクトルを入力し、前記位置指令スペクトルを前記位置スペクトルで除算したスペクトル除算値を出力する。極小点検出器３０２は、前記スペクトル除算値を入力し、その入力信号の極小値の起こる周波数を固有周波数検出値として出力する。
【００３４】
次に、本実施例におけるスペクトル比較器１０６の動作について説明する。
一般にある入力に対する系の応答は、過渡応答と定常応答の和で表すことができ、前記定常応答の周波数は、前記位置指令の周波数に一致し、前記過渡応答の周波数は、前記系の減衰固有周波数に一致する。スペクトル比較器１０６は、前記位置指令スペクトルよりも前記位置スペクトルにより大きく現れるスペクトルの起こる周波数、すなわち前記系の減衰固有周波数を、前記固有周波数検出値として検出する。
前記位置スペクトルをａ１、ａ２、ａ３、…とし、前記位置スペクトルの周波数における前記位置指令スペクトルをｂ１、ｂ２、…とすると、スペクトル比較器１０６内では、除算器３０１は、前記位置指令スペクトルを前記位置スペクトルで除算した値すなわちｂ１／ａ１、 ｂ２／ａ２、…を算出し、前記スペクトル除算値として出力する。極小点検出器３０２は、前記スペクトル除算値の中の極小値の起こる周波数、すなわち前記位置指令スペクトルよりも前記位置スペクトルにより大きく現れるスペクトルに対応する周波数を、前記固有周波数検出値として検出する。
【００３５】
次に、本実施例の振動検出装置における位置制御器２０２と速度制御器２０３のゲイン設定法を説明する。
位置制御器２０２をゲインがＫｐである比例制御とし、速度制御器２０３をゲインがＫｖＪｍである比例制御とする。モータ慣性モーメントをＪｍ、負荷慣性モーメントをＪｌ、モータ粘性摩擦をＤ、負荷粘性摩擦をｃｌ、モータと負荷の間の剛性をｋ、モータと負荷の間の粘性摩擦をｃ、モータと負荷２０５へのトルク外乱をｗ、位置指令をｕ、位置をθｍ、負荷位置をθｌとする。位置制御器２０２、速度制御器２０３、トルク制御器２０４、モータと負荷２０５、位置検出器２０６、微分器２０７を含む系、すなわち閉ループ系の運動方程式は次式で表される。
【数１】
2007017365.tif 000003
【００３６】
式（１）の固有値ｓ１、ｓ２を求めると、次の式（２）となる。
【数２】
2007017365.tif 000004
【００３７】
トルク制御器２０４、モータと負荷２０５、位置検出器２０６を含む系、すなわち開ループ系の固有周波数ω１、ω２と前記固有値ｓ１、ｓ２の間にはｓｉ＝ｊωｉ、ｉ＝１、２の関係があるので、前記固有周波数ω１、ω２は、次の式（２）となる。ただし、式（２）と式（３）の複号は順不同である。
【数３】
2007017365.tif 000005
【００３８】
一般に、線形多慣性系の過渡応答は減衰固有周波数ωｄで振動し、減衰係数が十分に小さい場合、前記減衰固有周波数は、固有周波数とほぼ同じである。すなわち、前記固有周波数をωｎ、減衰係数をζとすると、前記減衰固有周波数ωｄは、式（４）となる。
【数４】
2007017365.tif 000006
【００３９】
過渡応答が大きく現れるようにするとともに、前記固有周波数を検出するため、前記閉ループ系の減衰係数を小さくすることが必要である。そのため位置制御器２０２と速度制御器２０３のゲインを次のように設定する。
【数５】
2007017365.tif 000007
【００４０】
式（５）に示すように位置制御器２０２と速度制御器２０３のゲインを設定することにより、前記閉ループ系は速度ループのない位置比例制御系に近似でき、減衰係数が最も小さい構成となる。
また、前記閉ループ系の過渡応答に現れる減衰固有周波数が、前記開ループ系の固有周波数に近くなるようにすることが望ましいので、位置制御器２０２のゲインＫｐと速度制御器２０３のゲインＫｖＪｍは、次の関係が成り立つように設定する。
【数６】
2007017365.tif 000008
【００４１】
式（６）の関係が成り立つ場合実際式（３）より、式（７）となる。
【数７】
2007017365.tif 000009
【００４２】
位置制御器２０２のゲインと速度制御器２０３のゲインが式（５）と式（６）を満たす場合、前記閉ループ系の過渡応答に現れる減衰固有周波数が、前記開ループ系の固有周波数にほぼ等しくなることが示された。
【００４３】
式（１）の中で、トルク外乱ｗが振動的である場合、前記位置スペクトルに影響し誤って前記固有周波数検出値として検出されるが、前記トルク外乱が一定である場合前記位置スペクトルの直流成分が変化するだけであり、前記固有周波数検出値に影響しない。
【００４４】
以下、本実施例のシミュレーションを示す。
本シミュレーションに使用した数値を次式に示す。
【数８】
2007017365.tif 000010
【００４５】
本シミュレーションにおいて、定格トルクをＴｒａｔ、制御周期をＴｓ、位置指令を振幅ｕ０周波数ωの正弦波とした。前記開ループ系の固有周波数は、式（９）である。
【数９】
2007017365.tif 000011
【００４６】
図４は、第１実施例における位置の時間変化のシミュレーション結果の説明図であり、図５は、第１実施例における位置スペクトルのシミュレーション結果の説明図である。
以下、図４、５を用いて、本実施例のシミュレーション結果について示す。
過渡時間検出器１０１は、位置指令の開始時間０ｓから一定時間１５ｓまでを過渡時間として検出し、０ｓから１５ｓまでの波形を第１記憶器１０２が記憶し過渡位置として出力し、第１スペクトル検出器１０４は、前記過渡位置のスペクトルすなわち位置スペクトルを図５に示すように算出した。
図５では、０．２５Ｈｚと１Ｈｚに２つのピークが存在するが、位置指令スペクトルは１Ｈｚのピークのみを含み０．２５Ｈｚのピークを含まないので、スペクトル比較器１０６は０．２５Ｈｚを固有周波数検出値として出力する。
以上より、式（９）に示した前記開ループ系の固有周波数に近い値が、前記固有周波数検出値として検出できることが示された。
【００４７】
このように本実施例に係る振動検出装置は、位置指令と位置を入力し、過渡時間を出力する過渡時間検出器１０１と、前記位置と前記過渡時間を入力し、過渡位置を出力する第１記憶器１０２と、前記位置指令と前記過渡時間を入力し、過渡位置指令を出力する第２記憶器１０３と、前記過渡位置を入力し、位置スペクトルを出力する第１スペクトル検出器１０４と、前記過渡位置指令を入力し、位置指令スペクトルを出力する第２スペクトル検出器１０５と、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し、固有周波数検出値を出力するスペクトル比較器１０６を有する構成とをしているので、前記位置の過渡成分振幅が定常成分振幅に対して小さい場合に、前記過渡時間を容易に検出でき、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルの算出が容易にでき、モータと負荷２０５に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなくモータと負荷２０５の固有周波数を高精度に検出することができる。
【実施例２】
【００４８】
図６は、第２実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図である。
図６において、１０２は第１記憶器、１０３は第２記憶器、１０４は第１スペクトル検出器、１０５は第２スペクトル検出器、１０６はスペクトル比較器、６０１は移動窓演算器、６０２は微分値不連続点検出器である。
本発明の第１実施例と異なる点は、本実施例は、位置指令を入力し位置指令列を出力する移動窓演算器６０１と、前記位置指令列を入力しその入力信号の微分値不連続点から一定時間を過渡時間として検出し出力する微分値不連続点検出器６０２を有する構成としている点である。
以下、図６を用いて、本実施例の振動検出装置における固有周波数検出器２０８の詳細構成を説明する。
移動窓演算器６０１は、位置指令を入力し、位置指令列を出力する。微分値不連続点検出器６０２は、前記位置指令列を入力し、その入力信号の微分値不連続点から一定時間を過渡時間として検出し、出力する。第１記憶器１０２は、位置と前記過渡時間を入力し、過渡位置を出力する。第２記憶器１０３は、前記位置指令と前記過渡時間を入力し、過渡位置指令を出力する。第１スペクトル検出器１０４は、前記過渡位置を入力し、位置スペクトルを出力する。第２スペクトル検出器１０５は、前記過渡位置指令を入力し、位置指令スペクトルを出力する。スペクトル比較器１０６は、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し、固有周波数検出値を出力する。
【００４９】
図７は、第２実施例を適用する微分可能でない位置指令を示す説明図である。
以下、図７を用いて、第２実施例における過渡時間の検出方法を説明する。
図７に記載されたＡとＢにおいて前記位置指令は微分可能でない。移動窓演算器６０１の窓幅がＡまたはＢを含む時に、微分値不連続点検出器６０２は、ＡまたはＢの時間から一定時間を過渡時間として検出する。
なお、固有周波数検出は前記過渡時間を用いて第１実施例と同様に実施する。
【００５０】
このように本実施例に係る振動検出装置は、位置指令を入力し、位置指令列を出力する移動窓演算器６０１と、前記位置指令列を入力し、その入力信号の微分値不連続点から一定時間を過渡時間として検出し出力する微分値不連続点検出器６０２を有する構成としているので、位置の過渡成分振幅が定常成分振幅に対して小さい場合に、前記過渡時間を容易に検出でき、モータと負荷２０５に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなくモータと負荷２０５の固有周波数を検出することができる。
【実施例３】
【００５１】
図８は、第３実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図である。
図８において、１０２は第１記憶器、１０３は第２記憶器、１０４は第１スペクトル検出器、１０５は第２スペクトル検出器、１０６はスペクトル比較器、８０１は極値絶対値検出器、８０２は極値比較器である。
本発明の第１、２実施例と異なる点は、本実施例は、位置を入力し、複数の極値絶対値を出力する極値絶対値検出器８０１と、前記複数の極値絶対値を入力し、過渡時間を出力する極値比較器８０２を有する構成としている点である。
以下、図８を用いて、本実施例の振動検出装置における固有周波数検出器２０８の詳細構成を説明する。
極値絶対値検出器８０１は、位置を入力し、複数の極値絶対値を出力する。極値比較器８０２は前記複数の極値絶対値を入力し、その入力信号間の差が設定値より大きくなる時間から一定時間を過渡時間として検出し、出力する。第１記憶器１０２は、前記位置と前記過渡時間を入力し、過渡位置を出力する。第２記憶器１０３は、位置指令と前記過渡時間を入力し、過渡位置指令を出力する。第１スペクトル検出器１０４は、前記過渡位置を入力し、位置スペクトルを出力する。第２スペクトル検出器１０５は、前記過渡位置指令を入力し、位置指令スペクトルを出力する。スペクトル比較器１０６は、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し、固有周波数検出値を出力する。
【００５２】
次に、本実施例における過渡時間の検出方法について説明する。
例えば、前述の図４において、動作開始後の極値絶対値は０．２８９０ｒａｄ、０．１１９７ｒａｄ、０．１４７２ｒａｄと変化する為、極値比較器８０２は、動作開始後から一定時間を過渡時間として検出する。
なお、固有周波数検出は前記過渡時間を用いて第１実施例と同様に実施する。
【００５３】
このように本実施例に係る振動検出装置は、位置を入力し複数の極値絶対値を出力する極値絶対値検出器８０１と、前記複数の極値絶対値を入力し過渡時間を出力する極値比較器８０２を有する構成としているので、位置指令の周期がモータと負荷２０５の固有周期よりも短い場合に、モータと負荷２０５に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなくモータと負荷２０５の固有周波数を検出することができる。
【実施例４】
【００５４】
図９は、第４実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図である。
図９において、１０２は第１記憶器、１０３は第２記憶器、１０４は第１スペクトル検出器、１０５は第２スペクトル検出器、１０６はスペクトル比較器、９０１は第１極値数検出器、９０２は第２極値数検出器、９０３は極値数比較器である。
本発明の第１、２、３実施例と異なる点は、本実施例は、位置を入力し、位置極値数を出力する第１極値数検出器９０１と、位置指令を入力し、位置指令極値数を出力する第２極値数検出器９０２と、前記位置極値数と前記位置指令極値数を入力し、過渡時間を出力する極値数比較器９０３を有する構成としている点である。
以下、図９を用いて、本実施例の振動検出装置における固有周波数検出器２０８の詳細構成を説明する。
第１極値数検出器９０１は、位置を入力し、位置指令周期中の位置極値数を検出し、出力する。第２極値数検出器９０２は、位置指令を入力し、位置指令周期中の位置指令極値数を検出し、出力する。極値数比較器９０３は、前記位置極値数と前記位置指令極値数を入力し、その入力信号が異なる時間から一定時間を過渡時間として検出し、出力する。第１記憶器１０２は、前記位置と前記過渡時間を入力し、過渡位置を出力する。第２記憶器１０３は、前記位置指令と前記過渡時間を入力し、過渡位置指令を出力する。第１スペクトル検出器１０４は、前記過渡位置を入力し、位置スペクトルを出力する。第２スペクトル検出器１０５は、前記過渡位置指令を入力し、位置指令スペクトルを出力する。スペクトル比較器１０６は、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し、固有周波数検出値を出力する。
【００５５】
次に、本実施例における過渡時間の検出方法について説明する。
位置指令が周期的であり１周期間に２つの極値を持ち、前記位置指令の周期Tがモータと負荷２０５の固有周期Ｔｎより長い場合は、前記位置指令の１周期間に、前記位置指令は２つの極値を持つのに対し、過渡応答は２Ｔ／Ｔｎの極値を持つ。極値数比較器９０３は、位置指令極値数２と位置極値数２Ｔ／Ｔｎが異なることから、前記位置指令極値数と前記位置極値数が異なる時間から一定時間を過渡時間として検出する。
なお、固有周波数検出は前記過渡時間を用いて第１実施例と同様に実施する。
【００５６】
このように本実施例に係る振動検出装置は、位置を入力し位置極値数を出力する第１極値数検出器９０１と、位置指令を入力し位置指令極値数を出力する第２極値数検出器９０２と、前記位置極値数と前記位置指令極値数を入力し過渡時間を出力する極値数比較器９０３を有する構成としているので、前記位置指令が周期的であり１周期間に１つまたは２つの極値を持ち、前記位置指令の周期がモータと負荷２０５の固有周期より長い場合、モータと負荷２０５に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなくモータと負荷２０５の固有周波数を検出することができる。
【実施例５】
【００５７】
図１０は、第５実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図である。
図１０において、１０２は第１記憶器、１０３は第２記憶器、１０４は第１スペクトル検出器、１０５は第２スペクトル検出器、１０６はスペクトル比較器、１００１は零交差検出器、１００２は積分器、１００３は第１非零検出器である。
本発明の他の実施例と異なる点は、本実施例は、位置を入力し複数の零交差時間を出力する零交差検出器１００１と、前記複数の零交差時間を入力し位置積分値を出力する積分器１００２と、前記位置積分値を入力し過渡時間を出力する第１非零検出器１００３を有する構成としている点である。
以下、図１０を用いて、本実施例の振動検出装置における固有周波数検出器２０８の詳細構成を説明する。
零交差検出器１００１は、位置を入力し、複数の零交差時間を出力する。積分器１００２は、前記複数の零交差時間を入力し、ある零交差時間から次々回の零交差時間までの区間の位置積分値を出力する。第１非零検出器１００３は、前記位置積分値を入力し、その入力信号の絶対値が設定値より大きくなる時間から一定時間を過渡時間として検出し、出力する。第１記憶器１０２は前記位置と前記過渡時間を入力し、過渡位置を出力する。第２記憶器１０３は位置指令と前記過渡時間を入力し、過渡位置指令を出力する。第１スペクトル検出器１０４は、前記過渡位置を入力し、位置スペクトルを出力する。第２スペクトル検出器１０５は、前記過渡位置指令を入力し、位置指令スペクトルを出力する。スペクトル比較器１０６は、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し、固有周波数検出値を出力する。
【００５８】
例えば、前述の図４では、３．６１７ｓに位置が２度目に零となり、３．５１７ｓにおける位置積分値の絶対値は０．０９５６ｒａｄ．ｓであり、設定値０．０５ｒａｄ．ｓより大きい。第１非零検出器１００３は、前記位置積分値の絶対値（０．０９５６ｒａｄ．ｓ）が前記設定値（０．０５ｒａｄ．ｓ）より大きいことから、その時間から一定時間を過渡時間として検出する。
なお、固有周波数検出は前記過渡時間を用いて第１実施例と同様に実施する。
【００５９】
このように本実施例に係る振動検出装置は、位置を入力し複数の零交差時間を出力する零交差検出器１００１と、前記複数の零交差時間を入力し位置積分値を出力する積分器１００２と、前記位置積分値を入力し過渡時間を出力する第１非零検出器１００３を有する構成としているので、前記位置指令が正負対称である場合、モータと負荷２０５に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく、モータと負荷２０５の固有周波数を検出することができる。
【実施例６】
【００６０】
図１１は、第６実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図である。
図１１において、１０２は第１記憶器、１０３は第２記憶器、１０４は第１スペクトル検出器、１０５は第２スペクトル検出器、１０６はスペクトル比較器、１１０１は移動平均フィルタ、１１０２は第２非零検出器である。
本発明の他の実施例と異なる点は、本実施例は、位置を入力し位置移動平均値を出力する移動平均フィルタ１１０１と、前記位置移動平均値を入力し過渡時間を出力する第２非零検出器１１０２を有する構成をしている点である。
以下、図１１を用いて本実施例の振動検出装置における固有周波数検出器２０８の詳細構成を説明する。
移動平均フィルタ１１０１は、位置を入力し、その入力信号の位置指令周期長の移動平均値である位置移動平均値を出力する。第２非零検出器１１０２は、前記位置移動平均値を入力し、その入力信号の絶対値が設定値より大きくなる時間から一定時間を過渡時間として検出し出力する。第１記憶器１０２は、前記位置と前記過渡時間を入力し、過渡位置を出力する。第２記憶器１０３は、位置指令と前記過渡時間を入力し、過渡位置指令を出力する。第１スペクトル検出器１０４は、前記過渡位置を入力し、位置スペクトルを出力する。第２スペクトル検出器１０５は、前記過渡位置指令を入力し、位置指令スペクトルを出力する。スペクトル比較器１０６は、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し、固有周波数検出値を出力する。
【００６１】
図１２は、第６実施例における位置移動平均値の説明図である。
以下、図１２を用いて、本実施例の過渡時間の検出方法を説明する。
過渡応答のため、前記位置移動平均値の絶対値が、設定値０．０１ｒａｄよりも大きい値で振動している。第２非零検出器１１０２は、前記位置移動平均値の絶対値が前記設定値より大きいことから、その時間から一定時間を過渡時間として検出する。
なお、固有周波数検出は前記過渡時間を用いて第１実施例と同様に実施する。
【００６２】
このように本実施例に係る振動検出装置は、位置を入力し、位置移動平均値を出力する移動平均フィルタ１１０１と、前記位置移動平均値を入力し、過渡時間を出力する第２非零検出器１１０２を有する構成としているので、位置指令が正負対称である場合に、モータと負荷２０５に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなくモータと負荷２０５の固有周波数を検出することができる。
【実施例７】
【００６３】
図１３は、第７実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図である。
図１３において、１０２は第１記憶器、１０３は第２記憶器、１０４は第１スペクトル検出器、１０５は第２スペクトル検出器、１０６はスペクトル比較器、１３０１は符号反転検出器である。
本発明の他の実施例と異なる点は、本実施例は、位置を入力し過渡時間を出力する符号反転検出器１３０１を有する構成としている点である。
以下、図１３を用いて本実施例の振動検出装置における固有周波数検出器２０８の詳細構成を説明する。
符号反転検出器１３０１は、位置を入力し、その入力信号の符号が反転した時間から一定時間を過渡時間として検出し出力する。第１記憶器１０２は、前記位置と前記過渡時間を入力し、過渡位置を出力する。第２記憶器１０３は、位置指令と前記過渡時間を入力し、過渡位置指令を出力する。第１スペクトル検出器１０４は、前記過渡位置を入力し、位置スペクトルを出力する。第２スペクトル検出器１０５は、前記過渡位置指令を入力し、位置指令スペクトルを出力する。スペクトル比較器１０６は、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し、固有周波数検出値を出力する。
【００６４】
図１４は、第７実施例のシミュレーション結果の説明図であり、一定符号で周期的に零となる位置指令（破線）と前記位置指令に対するモータと負荷２０５の位置（実線）のシミュレーション結果である。
以下、図１４を用いて、本実施例のシミュレーション結果を説明する。
Ｋｖ＝１×１０−２ｒａｄ／ｓ以外には式（８）の数値を用いた。ただし、本シミュレーションにおいて、前記閉ループ系の減衰係数が１より小さく、前記位置指令に対する前記閉ループ系の応答においてオーバーシュートが起こる。
破線で示す前記位置指令は負とならないが、実線で示す前記位置は負となるので、符号反転検出器１３０１が、この符号の反転検出時より一定時間を過渡時間として検出する。
なお、固有周波数検出は、前記過渡時間を用いて第１実施例と同様に実施する。
【００６５】
このように本実施例に係る振動検出装置は、位置を入力し、過渡時間を出力する符号反転検出器１３０１を有する構成としているので、位置指令が一定符号で周期的に零となる場合に、モータと負荷２０５に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなく、モータと負荷２０５の固有周波数を検出することができる。
【実施例８】
【００６６】
図１５は、第８実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図である。
図１５において、１０１は過渡時間検出器、１０２は第１記憶器、１０３は第２記憶器、１０６はスペクトル比較器、１５０１は複数の第１バンドパスフィルタ、１５０２は第１振幅検出器、１５０３は複数の第２バンドパスフィルタ、１５０４は第２振幅検出器である。
本実施例が、本発明の第１実施例と異なる点は、本実施例は、複数の第１バンドパスフィルタ１５０１、第１振幅検出器１５０２、複数の第２バンドパスフィルタ１５０３、第２振幅検出器１５０４を有する構成とし、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを、フーリエ変換の代りに、複数のバンドパスフィルタを用いて算出するようにしている点である。
以下、図１５を用いて、本実施例の振動検出装置における固有周波数検出器２０８の詳細構成を説明する。
過渡時間検出器１０１は、位置を入力し、過渡時間を出力する。第１記憶器１０２は、前記位置と前記過渡時間を入力し、過渡位置を出力する。第２記憶器１０３は、位置指令と前記過渡時間を入力し、過渡位置指令を出力する。複数の第１バンドパスフィルタ１５０１は、前記過渡位置を入力し、過渡位置周波数成分を出力する。第１振幅検出器１５０２は、前記過渡位置周波数成分を入力し、位置スペクトルを出力する。複数の第２バンドパスフィルタ１５０３は、前記過渡位置指令を入力し、過渡位置指令周波数成分を出力する。第２振幅検出器１５０４は、前記過渡位置指令周波数成分を入力し、位置指令スペクトルを出力する。スペクトル比較器１０６は、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルを入力し、固有周波数検出値を出力する。
【００６７】
次に、図１５を用いて、本実施例の位置スペクトルおよび位置指令スペクトルの算出方法を説明する。
複数の第１バンドパスフィルタ１５０１は、等間隔の連続した周波数帯域を持つ複数のバンドパスフィルタを有し、それぞれのバンドパスフィルタは、その周波数帯域に属する前記過渡位置の周波数成分、すなわち過渡位置周波数成分を出力する。第１振幅検出器１５０２は、それぞれのバンドパスフィルタ出力の振幅を検出することにより、前記過渡位置のスペクトル、すなわち位置スペクトルを算出する。複数の第２バンドパスフィルタ１５０３と第２振幅検出器１５０４も、同様の仕組みにより、前記過渡位置指令のスペクトル、すなわち位置指令スペクトルを算出する。本実施例の振動検出装置における位置制御器２０２と速度制御器２０３のゲイン設定法は第１実施例と同じである。
【００６８】
このように、本実施例に係る振動検出装置の第1スペクトル検出器１０４は、過渡位置を入力し、過渡位置周波数成分を出力する複数の第１バンドバスフィルタ１５０１と、前記過渡位置周波数成分を入力し、位置スペクトルを出力する第１振幅検出器１５０２と、を有し、第２スペクトル検出器１０５は、過渡位置指令を入力し、過渡位置指令周波数成分を出力する複数の第２バンドバスフィルタ１５０３と、前記過渡位置指令周波数成分を入力し、位置指令スペクトルを出力する第２振幅検出器１５０４と、を有する構成としているので、前記位置スペクトルと前記位置指令スペクトルの算出が容易にでき、モータと負荷２０５に機械的負担を掛けることなく、騒音を発生することなくモータと負荷２０５の固有周波数を検出することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
モータと負荷の過渡応答を用いることによって、前記モータと負荷の固有周波数を検出することができるので、一般産業装置などの揺れ止め制御という用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】第１実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図
【図２】本発明を示す振動検出装置の構成概要図
【図３】第１実施例を示す振動検出装置におけるスペクトル比較器の詳細構成図
【図４】第１実施例における位置の時間変化のシミュレーション結果の説明図
【図５】第１実施例における位置スペクトルのシミュレーション結果の説明図
【図６】第２実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図
【図７】第２実施例を適用する微分可能でない位置指令を示す説明図
【図８】第３実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図
【図９】第４実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図
【図１０】第５実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図
【図１１】第６実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図
【図１２】第６実施例における位置移動平均値の説明図
【図１３】第７実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図
【図１４】第７実施例のシミュレーション結果の説明図
【図１５】第８実施例を示す振動検出装置における固有周波数検出器の詳細構成図
【図１６】第１の従来技術を示す振動検出装置の構成図
【図１７】第２の従来技術を示す振動検出装置の構成図
【符号の説明】
【００７１】
１０１  過渡時間検出器
１０２  第１記憶器
１０３  第２記憶器
１０４  第１スペクトル検出器
１０５  第２スペクトル検出器
１０６  スペクトル比較器
２０１、１６０１  指令発生器
２０２  位置制御器
２０３、１６０２  速度制御器
２０４  トルク制御器
２０５  モータとその負荷
２０６  位置検出器
２０７  微分器
２０８  固有周波数検出器
３０１  除算器
３０２  極小点検出器
６０１  移動窓演算器
６０２  微分値不連続点検出器
８０１  極値絶対値検出器
８０２  極値比較器
９０１  第１極値数検出器
９０２  第２極値数検出器
９０３  極値数比較器
１００１  零交差検出器
１００２  積分器
１００３  第１非零検出器
１１０１  移動平均フィルタ
１１０２  第２非零検出器
１３０１  符号反転検出器
１５０１  複数の第１バンドパスフィルタ
１５０２  第１振幅検出器
１５０３  複数の第２バンドパスフィルタ
１５０４  第２振幅検出器
１６０３  電流制御器
１６０４  モータと機械負荷
１６０５  検出器
１６０６  信号処理器
１７０１  乗算器
１７０２  切替スイッチ
１７０３  機械系
１７０４  ＦＦＴ演算部
１７０５  エラーシステム
１７０６  剛体パラメータ同定部
１７０７  共振パラメータ同定部
【図１】
2007017365.tif 000012
【図２】
2007017365.tif 000013
【図３】
2007017365.tif 000014
【図４】
2007017365.tif 000015
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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