(57)【要約】【課題】吐出不良の機能液滴吐出ヘッドのノズル面のみをワイピングすることができるワイピング装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。【解決手段】キャリッジに搭載した複数の機能液滴吐出ヘッド１７の各ノズル面を払拭するワイピング装置６２において、複数の機能液滴吐出ヘッド１７を包含する幅を有し、複数の機能液滴吐出ヘッド１７の全てのノズル面４２を一括して払拭可能なワイピングシートＷＳと、複数の機能液滴吐出ヘッド１７とワイピングシートＷＳとを相対的に払拭移動させる移動機構と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７に対応して設けられ、ワイピングシートＷＳを各機能液滴吐出ヘッド１７に押し付ける複数の押圧機構１００と、複数の押圧機構１００の駆動を個々に制御する制御手段と、を備えた。【選択図】図３
2007275793.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリッジに搭載した複数の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面を払拭するワイピング装置において、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを包含する幅を有し、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの全てのノズル面を一括して払拭可能なワイピングシートと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドと前記ワイピングシートとを相対的に払拭移動させる移動機構と、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに対応して設けられ、前記ワイピングシートを前記各機能液滴吐出ヘッドに押し付ける複数の押圧機構と、
前記複数の押圧機構の駆動を個々に制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするワイピング装置。
【請求項２】
前記ワイピングシートに洗浄液を噴き付ける洗浄液噴霧機構を、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のワイピング装置。
【請求項３】
前記各押圧機構は、
前記ワイピングシートを押圧する押圧ローラと、
前記押圧ローラを押圧位置と退避位置との間で回動自在に支持するローラアームと、
前記ローラアームを回動させるアクチュエータと、を有していることを特徴とする請求項１または２に記載のワイピング装置。
【請求項４】
前記アクチュエータは、前記押圧ローラを前記退避位置から前記押圧位置に移動させるエアーシリンダと、
前記押圧ローラを前記押圧位置から前記退避位置に移動させる戻しばねと、から成ることを特徴とする請求項３に記載のワイピング装置。
【請求項５】
キャリッジに搭載した複数の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面を払拭するワイピング装置において、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに対応して設けられ、前記各機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭する個別ワイピングシートを有する複数のワイピングユニットと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドと前記複数のワイピングユニットとを相対的に払拭移動させる移動機構と、
前記複数のワイピングユニットの駆動を個々に制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするワイピング装置。
【請求項６】
前記ワイピングユニットは、前記個別ワイピングシートを前記機能液滴吐出ヘッドに押し付ける押圧機構を有していることを特徴とする請求項５に記載のワイピング装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のワイピング装置と、
ワークに対し機能液滴を吐出する前記複数の機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項９に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面を個別にワイピング可能なワイピング装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のワイピング装置として、液滴吐出装置の複数の機能液滴吐出ヘッドに対し、複数の機能液滴吐出ヘッドの複数のノズル面を一括して払拭するものが知られている（特許文献１参照）。このワイピング装置では、複数のノズル面の全てを包含する幅を有するワイピングシートと、ロール状に巻回したワイピングシートを繰出す繰出しリールと、繰出しリールから繰り出されたワイピングシートを巻き取る巻取りリールと、両リール間に掛け渡されたワイピングシートを、複数の機能液滴吐出ヘッドに押し付けるゴムローラと、を備えている。ワイピング装置に複数の機能液滴吐出ヘッドが臨むと、ゴムローラがワイピングシートを機能液滴吐出ヘッドに押し付けると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドが水平方向に移動することで、複数のノズル面の汚れを除去するようにしている。
【特許文献１】特開２００４−２５５７８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、ワイピングシートによりノズル面をワイピングすると、ノズル面の汚れを除去し、機能液滴の吐出を良好に改善することができるが、良好なノズル面に対しワイピングを行なうと、機能液滴の吐出がかえって悪くなってしまう場合がある。ここで、上記の構成によれば、ワイピングした各機能液滴吐出ヘッドの吐出を検査して、いずれかの機能液滴吐出ヘッドに吐出不良があった場合、再び、全ての機能液滴吐出ヘッドをワイピングしてしまうと、時間がかかると共に良好に機能液滴を吐出していた機能液滴吐出ヘッドの吐出が、悪くなってしまう虞があった。
【０００４】
本発明は、吐出不良の機能液滴吐出ヘッドのノズル面のみをワイピングすることができるワイピング装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のワイピング装置は、キャリッジに搭載した複数の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面を払拭するワイピング装置において、複数の機能液滴吐出ヘッドを包含する幅を有し、複数の機能液滴吐出ヘッドの全てのノズル面を一括して払拭可能なワイピングシートと、複数の機能液滴吐出ヘッドとワイピングシートとを相対的に払拭移動させる移動機構と、複数の機能液滴吐出ヘッドに対応して設けられ、ワイピングシートを各機能液滴吐出ヘッドに押し付ける複数の押圧機構と、複数の押圧機構の駆動を個々に制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、制御手段により押圧機構を個別に制御することにより、複数の機能液滴吐出ヘッドにおける複数のノズル面を選択的にワイピングすることができる。これにより、吐出不良の機能液滴吐出ヘッドのみをワイピングすることができるため、良好に吐出している機能液滴吐出ヘッドの吐出を悪化させることがない。これにより、ワイピング作業の効率を向上させることができる。また、ワイピングシートを単一のもので構成することができるため、ワイピングシート廻りの構造が複雑になることがない。
【０００７】
この場合、ワイピングシートに洗浄液を噴き付ける洗浄液噴霧機構を、更に備えたことが、好ましい。
【０００８】
この構成によれば、ノズル面に付着した機能液滴等の汚れを、洗浄液により溶解しながら適切に除去することができる。
【０００９】
この場合、各押圧機構は、ワイピングシートを押圧する押圧ローラと、押圧ローラを押圧位置と退避位置との間で回動自在に支持するローラアームと、ローラアームを回動させるアクチュエータと、を有していることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、ワイピング作業を行なう押圧ローラを押圧位置に臨ませると共に、ワイピング作業を行わない押圧ローラを退避位置に臨ませることで、所望の機能液滴吐出ヘッドにのみワイピングシートを適切に押し付けることができる。
【００１１】
この場合、アクチュエータは、押圧ローラを退避位置から押圧位置に移動させるエアーシリンダと、押圧ローラを押圧位置から退避位置に移動させる戻しばねと、から成ることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、押圧ローラは、定常状態において退避位置に位置するため、ワイピング作業を行わない場合には、押圧ローラが他の作業の邪魔になることがない。
【００１３】
本発明の他のワイピング装置は、キャリッジに搭載した複数の機能液滴吐出ヘッドの各ノズル面を払拭するワイピング装置において、複数の機能液滴吐出ヘッドに対応して設けられ、各機能液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭する個別ワイピングシートを有する複数のワイピングユニットと、複数の機能液滴吐出ヘッドと複数のワイピングユニットとを相対的に払拭移動させる移動機構と、複数のワイピングユニットの駆動を個々に制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドの複数のノズル面を選択的にワイピングすることができる。これにより、吐出不良の機能液滴吐出ヘッドのみをワイピングすることができるため、良好に吐出している機能液滴吐出ヘッドの吐出を悪化させることがない。
【００１５】
この場合、ワイピングユニットは、個別ワイピングシートを機能液滴吐出ヘッドに押し付ける押圧機構を有していることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、各ノズル面に個別ワイピングシートを押圧することで適切にワイピングを行なうことができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、上記のワイピング装置と、ワークに対し機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、吐出不良となった機能液滴吐出ヘッドのノズル面のみをワイピングし、良好に吐出している機能液滴吐出ヘッドの悪化させることのない液滴吐出装置を提供することができる。
【００１９】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２１】
これらの構成によれば、上記の液滴吐出装置を用いているため、ワークに対し機能液滴を適切に吐出させることができ、電気光学装置を効率よく製造することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置またはＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２２】
本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２３】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、添付の図面を参照して、本発明に係るワイピング装置を備えた液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、液晶表示装置等のＦＰＤの製造ラインに組み込まれており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、カラーフィルタ等の基板上に機能液による成膜部を形成するものである。また、ワイピング装置は、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した機能液による汚れを除去するものである。
【００２５】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置３と、機台２上で描画装置３に添設された吸引装置６１およびワイピング装置６２とから成るメンテナンス装置４と、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良を検査するための吐出検査装置５とを備え、吐出検査装置５の検査結果に基づいて、メンテナンス装置４により機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・回復を行なうと共に、描画装置３により基板Ｗ（ワーク）上に機能液を吐出する描画処理を行なうようにしている。また、液滴吐出装置１には、図示は省略するが、装置全体を統括制御する制御コンピュータが組み込まれている。
【００２６】
描画装置３は、基板Ｗを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交し且つ機能液滴吐出ヘッド１７を副走査（Ｙ軸方向に移動）させるＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に搭載されたキャリッジ１４と、キャリッジ１４に垂設され、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を搭載したヘッドユニット１５と、基板Ｗに形成された２つのアライメントマーク（図示省略）をそれぞれ画像認識する２台のアライメントカメラ５１とを備えている。
【００２７】
Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持されると共に、Ｘ軸方向に自在に移動するモータ駆動のＸ軸スライダ２０を有しており、Ｘ軸スライダ２０上には、載置ベース２１が搭載されている。載置ベース２１上には、吸着テーブル２３およびθテーブル２４等から成るセットテーブル２２と、上記の吐出検査装置５とが搭載されている。さらに、吸着テーブル２３の前後には、基板Ｗへの描画前後に各機能液滴吐出ヘッド１７からの予備吐出を受ける一対のフラッシングボックス２６が設けられている。
【００２８】
Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２と同様に、Ｙ軸方向の駆動系を構成し、一対の走行レール上を走査するモータ駆動のＹ軸スライダ３１を有しており、これに上記のキャリッジ１４を介してヘッドユニット１５を移動自在に搭載して構成されている。Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右一対の支柱３２に支持されており、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス装置４とを跨ぐように延在している。
【００２９】
そして、Ｘ軸テーブル１２は、基板Ｗをセットする基板セットエリア９０と、Ｙ軸テーブル１３の直下部に位置する描画エリア９１との相互間で適宜移動させると共に、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５を、メンテナンス装置４の直上部に位置するメンテナンスエリア９２と描画エリア９１との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｘ軸テーブル１２に導入した基板Ｗに描画動作を行なう場合には、Ｘ軸テーブル１３は、描画エリア９１内において基板ＷをＸ軸方向に主走査させると共に、Ｙ軸テーブル１３は、描画エリア９１内において機能液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に副走査させる。また、機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンス処理を行なう場合には、Ｙ軸テーブル１３は、ヘッドユニット１５をメンテナンスエリア９２に臨ませる。
【００３０】
各機能液滴吐出ヘッド１７は、図示しない機能液パック等から機能液が供給され、インクジェット方式（例えば圧電素子駆動）で機能液を吐出するものである。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、基板Ｗ上への描画面積を広くすべく、その６個が相互に位置ズレした状態で横並びになって配設されており、これを１列として、前後合わせて計２列で構成されている。また、各機能液滴吐出ヘッド１７は、複数（例えば１８０個）のノズル４１を列設したノズル面４２を有しており、ヘッドドライバ（図示省略）から駆動波形を印加することにより、各ノズル４１から機能液が吐出される。
【００３１】
吐出検査装置４は、上記の載置ベース２１上に配設されており、各機能液滴吐出ヘッド１７からの検査吐出を受ける検査シートＳと、上記のＹ軸テーブル１３に添設されたカメラ移動機構（図示省略）によりＹ軸方向に移動可能に搭載され、検査シートＳに吐出・着弾した機能液を画像認識する検査用カメラ（図示省略）とを有している。検査シートＳには、各機能液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液滴が着弾するよう構成され、着弾した機能液滴を検査用カメラで画像認識し、この認識結果から、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出状態を検査する。このとき、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド１７がある場合には、ヘッドユニット１５を上記のメンテナンス装置４に臨ませて、吐出不良を解消し、再び吐出状態を検査する。
【００３２】
メンテナンス装置４は、メンテナンスエリア９２に配設され、機能液滴吐出ヘッド１７内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行なう吸引装置６１と、吸引装置６１の描画エリア９１側に配設され、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４２を払拭するワイピング装置６２と、を備えている。吸引装置６１とワイピング装置６２とは、Ｙ軸テーブル１３によるヘッドユニット１５の移動軌跡上に設けられており、Ｙ軸テーブル１３により、吸引装置６１およびワイピング装置６２の直上部に機能液滴吐出ヘッド１７を臨ませることができるようになっている。なお、液滴吐出装置１の稼動開始時等におけるメンテナンス処理は、吸引装置６１による吸引処理を行なった後、ワイピング装置６２によるワイピング処理を行なう手順となっており、この後、上記の吐出検査装置４に臨んで、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出を検査する。そして、吐出不良があった場合は、再びワイピング装置６２に臨み、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド１７のみをワイピングする構成となっている。
【００３３】
ここで、液滴吐出装置１による基板Ｗへの一連の描画処理について簡単に説明する。まず、基板セットエリア９０にセットテーブル２２を移動させ、アライメントマークに基づいて基板Ｗを位置決めした状態でセットする。
【００３４】
続いて、基板Ｗを描画エリア９１に移動させると共に、基板Ｗに対し、機能液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に副走査させながら、機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させて基板Ｗに描画を行なう。すなわち、Ｘ軸テーブル１２により基板ＷをＸ軸方向に往復動させながら、基板Ｗに対して複数の機能液滴吐出ヘッド１７から機能液をそれぞれ吐出・着弾させる。
【００３５】
描画処理の最終段階では、吐出検査装置４を複数の機能液滴吐出ヘッド１７に臨ませて、複数の機能液滴吐出ヘッド１７の吐出を検査する。すなわち、検査シートＳに機能液滴を吐出し、検査シートＳに着弾した機能液滴を、上記の検査用カメラをＹ軸方向に走査させながら、吐出結果を画像認識する。各ノズル４１に吐出不良が確認されなかった場合には、引き続き次の基板Ｗに対する描画処理が行われ、異常が確認された場合には、描画処理を行なう前に、対応する機能液滴吐出ヘッド１７（ヘッドユニット１５）をメンテナンス装置４に臨ませ、メンテナンス処理を行なうようになっている。
【００３６】
次に、図２を参照して、本発明に係るワイピング装置６２について詳細に説明する。ワイピング装置６２は、ベースとなるベースフレーム７０と、ワイピングシートＷＳをロール状に巻回した繰出しリール７１と、繰出しリール７１から繰り出されたワイピングシートＷＳを巻き取る巻取りリール７２と、両リール７１、７２間に掛け渡されたワイピングシートＷＳを、複数の機能液滴吐出ヘッド１７に押し付ける押圧ユニット７３と、押圧ユニット７３と繰出しリール７１との間に掛け渡され、ワイピングシートＷＳに洗浄液を噴き付ける噴霧ユニット７４と、押圧ユニット７３と巻取りリール７２との間に掛け渡されたワイピングシートＷＳに臨み、ワイピングシートＷＳの送り量を検出する送り量検出ユニット７５と、を有しており、これら全体がカバーボックス７６により覆われている。
【００３７】
カバーボックス７６は、箱状に形成されており、その上面には、ワイプ開口８０が形成されている。このため、ワイピングシートＷＳは、押圧ユニット７３により、ワイプ開口８０から上方に出没自在となるよう構成されている。
【００３８】
繰出しリール７１は、ロール状に巻回したワイピングシートＷＳを適宜繰出すようになっており、その軸部には、繰り出されてゆくワイピングシートＷＳに対しバックテンションを付与するテンション付与機構が組み込まれている。このため、ワイピングシートＷＳは、弛みを生ずることなく繰出しリール７１から繰り出されてゆく。また、巻取りリール７２は、減速ギア列等を介して駆動モータにより回転自在に構成されており、送り量検出ユニット７５の検出結果に基づいて、送り量を制御しながらワイピングシートＷＳを巻き取ってゆく。
【００３９】
繰出しリール７１に巻回されたワイピングシートＷＳは、ポリエステルやポリプロピレン等の化学繊維を用いて布状に構成されており、６個（１列分）の機能液滴吐出ヘッド１７を一括に払拭可能な幅に形成されている。
【００４０】
送り量検出ユニット７５は、スリット円板８３が軸着された送り量検出ローラ８４と、送り量検出ローラ８４の上流側に設けられた第１ガイドローラ８５と、送り量検出ローラ８４の下流側に設けられた第２ガイドローラ８６と、送り量検出ローラ８４のスリット円板８３に臨むフォトインタラプタ８７と、を有している。第１ガイドローラ８５と第２ガイドローラ８６とは、ワイピングシートＷＳが送り量検出ローラ８４の部分でＵターンするように経路変更し、送り量検出ローラ８４に対するワイピングシートＷＳのスリップが抑制されるようになっている。ワイピングシートＷＳの移動量は、回転するスリット円板８３を介してフォトインタラプタ８７により検出され、制御コンピュータに出力される。
【００４１】
噴霧ユニット７４は、図外の洗浄液タンクと、これに供給チューブを介して連なりワイピングシートＷＳに洗浄液を噴き付ける噴霧ノズル９５とを有しており、噴霧ノズル９５は、ワイピングシートＷＳの幅方向いっぱいに洗浄液を噴き付ける。この場合、噴霧ノズル９５は、横並び（シート幅方向）に複数設けるか、横方向に走査可能な構造にすることが、好ましい。なお、洗浄液としては揮発性を有するものが好ましく、ワイピングシートＷＳを押圧ユニット７３の部分に送り込む直前に噴き付けられる。
【００４２】
ここで、図３および図４を参照して、押圧ユニット７３について詳細に説明する。押圧ユニット７３は、ワイプ開口８０の上方に臨むヘッドユニット１５の各機能液滴吐出ヘッド１７に対し、ワイピングシートＷＳを上方に押し上げて、各機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４２に押し付けるよう構成されている。押圧ユニット７３は、６個（１列分）の機能液滴吐出ヘッドに対応して設けられた６個の押圧機構１００と、６個の押圧機構１００を横並びに支持する支持フレーム１０１と、支持フレーム１０１に各押圧機構１００を固定する６本の固定ネジ１０２とを有しており、各押圧機構１００は、制御コンピュータにより個々に制御される。具体的には、６個の押圧機構１００は、制御コンピュータにより個々に駆動され、ワイピングシートＷＳの対応部分（一部）を押し上げて対応する機能液滴吐出ヘッド１７に押し付ける。すなわち、本実施形態の６個の押圧機構１００は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７の列方向の個数に対応するよう設けられており、ワイピング装置６２は、列毎にワイピングする構成となっている。なお、この構成に限らず、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７にそれぞれ対応するよう１２個の押圧機構１００を設けてもよい。
【００４３】
支持フレーム１０１は、断面略逆「Ｕ」字状に形成されており、平坦に形成した上面には各押圧機構１００を位置決めするための６個の浅溝１１０が形成されると共に、各押圧機構１００を固定するための各固定ネジ１０２が上下に挿通する６個のフレーム貫通穴１１１が形成されている。６個の押圧機構１００は、各浅溝１１０に位置決めされ、下側からフレーム貫通穴１１１を介して螺合した各固定ネジ１０２により、支持フレーム１０１の上面に等間隔で固定されている。そして、支持フレーム１０１は、その両端で図外の装置フレームに水平になるようにねじ止めされている。
【００４４】
図４に示すように、各押圧機構１００は、支持フレーム１０１に載置固定されたブロック状の機構本体１２０と、支点を機構本体１２０にシーソー様に回動自在に軸支されたローラアーム１２１と、ローラアーム１２１の作用点側（図示左側）に回転自在に設けられた押圧ローラ１２２と、ローラアーム１２１の力点側（図示右側）に連結したエアーシリンダ１２３と、を有している。また、ローラアーム１２１の作用点端部および機構本体１２０の間には、戻しばね１２４が介設されている。
【００４５】
機構本体１２０は、その上面右半部に一段高い段差部１３０が形成されており、段差部１３０の両側面には、上方に延在し、ローラアーム１２１を両持ちで軸支するための一対のアーム軸受部１３１が形成されている。また、機構本体１２０の左半部には、上記の固定ネジ１０２が螺合すると共に機構本体１２０を上下に貫通する本体貫通孔１３２が形成され、本体貫通孔１３２の下部内面には、雌ねじ１３３が螺刻されている。そして、支持フレーム１０１のフレーム貫通穴１１１を貫通させた固定ネジ１０２を、本体貫通孔１３２に締め付けることにより、支持フレーム１０１に各押圧機構１００がねじ止め固定される。
【００４６】
ローラアーム１２１は、長方体状に形成され、延在方向の中間部が支点となるよう一対のアーム軸受部１３１に回動自在に軸支されている。ローラアーム１２１の作用点端部は、一対のローラ軸受部１４０を有して正面視「Ｕ」字状に形成されおり、この一対のローラ軸受部１４０に、押圧ローラ１２２が両持ちで取り付けられている。また、ローラアーム１２１の力点側の支点近傍には、機構本体１２０の段差部１３０の底面に度当りする度当りネジ１４１が設けられており、度当りネジ１４１は、正逆回転により、その突出部分の長さが調整可能に構成されている。ローラアーム１２１がエアーシリンダ１２３により引き下げられて回動すると、度当りネジ１４１が段差部１３０の底面に度当りし、押圧ローラ１２２の上昇端位置（押圧位置）が規制されるようになっている。すなわち、度当りネジ１４１により、押圧ローラ１２２の上昇端位置が調整される。また、ローラアーム１２１の軸心には、度当りネジ１４１の軸部に当接する弛み止めネジ１４２が設けられている。また、ローラアーム１２１の力点側の両側面には、後述する連結部材１６１に係合する一対の連結ピン１４３が設けられている。
【００４７】
押圧ローラ１２２は、両端を一対のローラ軸受部１４０に固定した固定軸１５０と、固定軸１５０に回転自在に軸着したボールベアリング１５１と、ボールベアリング１５１の外周面に被着したゴムローラ１５２と、で構成されている。ゴムローラ１５２（およびボールベアリング１５１のアウターレース）は、ワイピングシートＷＳに転設し、ワイピングシートＷＳの送りに従って回転する。
【００４８】
エアーシリンダ１２３は、機構本体１２０の図示右側に位置して支持フレーム１０１上に上向きに設置されている。エアーシリンダ１２３のピストンロッド１６０の先端部には、二股形状の連結部材１６１が固定されており、連結部材１６１の両片には水平に延びる長孔１６２が形成されている。そして、この両長孔１６２に、上記ローラアーム１２１の各連結ピン１４３が係合している。定常状態（ワイピングしない状態）において、戻しばね１２４により押圧ローラ１２２は下降端位置にあり、ローラアーム１２１は先下がりに傾いた姿勢となっている。この状態からエアーシリンダ１２３が駆動すると、ピストンロッド１６０がローラアーム１２１を引き付け（シーソー運動）、戻しばね１２４に抗して押圧ローラ１２２を上降端位置に移動させる。
【００４９】
戻しばね１２４は、その一方の端部がローラアーム１２１の作用点端部の下面に固定され、他方の端部が、機構本体１２０の本体貫通孔１３２内に固定されていて、ローラアーム１２１の作用点端部を引き付けるよう作用している。すなわち、戻しばね１２４は、いわゆる引張りばねで構成されている。
【００５０】
ここで、ワイピング装置６２による一連のワイピング動作について説明する。装置の稼動開始時において、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は吸引装置６１にキャッピングされており、この状態から吸引装置６１は、各機能液滴吐出ヘッド１７のノズル内の増粘した機能液を吸引する。吸引後、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、ワイピング装置６２のワイプ開口８０の上方に臨むと共に、ワイピング装置６２は、６個の押圧機構１００の全てを駆動させることで、全ての押圧ローラ１２２を押し上げて、ワイプ開口８０からワイピングシートＷＳを押し上げる。そして、押し上げられたワイピングシートＷＳは、機能液滴吐出ヘッド１７がＹ軸方向に水平移動することにより、機能液滴吐出ヘッド１７の前列および後列のノズル面４２の汚れをそれぞれ払拭する。
【００５１】
続いて、ワイピング後の１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、吐出検査装置５に臨み、機能液滴の吐出を検査する。このとき、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７の一部に吐出不良と判定されると、再度、機能液滴吐出ヘッド１７をワイピング装置６２に臨ませる。そして、ワイピング装置６２は、吐出不良となった機能液滴吐出ヘッド１７に対応した押圧機構１００のみを駆動させて、押圧ローラ１２２を押し上げ、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４２にワイピングシートＷＳを押し付ける。この後、機能液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に水平移動させ、ノズル面４２を再度払拭する。
【００５２】
この構成によれば、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド１７のみをワイピングすることができるため、良好に吐出している機能液滴吐出ヘッド１７の吐出を悪化させることなく、吐出不良を改善することができる。なお、本実施形態では、押圧ユニット７３で一括ワイプおよび個別ワイプを行ったが、一括ワイプを行なうユニットと、個別ワイプを行なうユニットとを別体で設ける構成にしてもよい。また、本実施形態の噴霧ノズル９５を、スポット式とし、ワイピングシートＷＳの幅方向に走査して、所望のポイントのみに洗浄液を噴霧するように構成してもよい。これによれば、洗浄液の噴き付け量を軽減することができる。
【００５３】
次に、図５を参照して、第２実施形態のワイピング装置６２について説明する。このワイピング装置６２は、上記の支持フレーム１０１に６個のワイピングユニット２００が、６個の機能液滴吐出ヘッド１７に対応するよう横並びに搭載されており、各ワイピングユニット２００は、支持フレーム１０１に固定設置されている。
【００５４】
各ワイピングユニット２００は、支持フレーム１０１に固定するためのベースとなるユニットフレーム２０１と、ユニットフレーム２０１の前方に軸支され、個別ワイピングシートＫＳを繰出し自在に巻回したユニット繰出しリール（図示省略）と、ユニットフレーム２０１の後方に軸支され、ユニット繰出しリールから繰り出された個別ワイピングシートＫＳを巻き取るユニット巻取りリール（図示省略）と、ユニットフレーム２０１の中央に固定載置され、両リール間に掛け渡された個別ワイピングシートＫＳを１の機能液滴吐出ヘッド１７に押し付ける押圧機構１００と、押圧機構１００とユニット巻取りリールとの間に掛け渡された個別ワイピングシートＫＳに臨み、個別ワイピングシートの送り量を検出する個別送り量検出ユニット（図示省略）と、を有しており、制御コンピュータによって６個のワイピングユニット２００を個別に制御している。すなわち、６個のワイピングユニット２００は、制御コンピュータにより個々に駆動され、各個別ワイピングシートＫＳを押し上げて対応する機能液滴吐出ヘッド１７に押し付ける。なお、噴霧ユニット７４は、個別ワイピングシートＫＳに選択的に吐出可能に構成されている。
【００５５】
この構成においても、いずれかの機能液滴吐出ヘッド１７に吐出不良がある場合は、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド１７に対応したワイピングユニット２００を駆動することができるため、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド１７のみをワイピングすることができる。
【００５６】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００５７】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００５８】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図７（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行なう。
さらに、図７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００５９】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００６０】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行なう。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６１】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００６２】
図８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００６３】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００６４】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００６５】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６６】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００６７】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行なうことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行なうことも可能である。
【００６８】
図９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００６９】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７０】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７１】
図１０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００７２】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００７３】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００７４】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行なうことができるように構成されている。
【００７５】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７６】
次に、図１１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００７７】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００７８】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００７９】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８０】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００８１】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００８２】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００８３】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００８４】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００８５】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００８６】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００８７】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００８８】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１２〜図２０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００８９】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９０】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行なうことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００９１】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００９２】
図１５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１６に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００９３】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行なうことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行なう。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００９４】
そして次に、図１７に示すように、各色のうちのいずれか（図１７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００９５】
その後、乾燥工程等を行なうことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００９６】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図１９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９７】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【００９８】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２０に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【００９９】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１００】
次に、図２１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１０１】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１０２】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１０３】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０４】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１０５】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１０６】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１０７】
次に、図２２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１０８】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１０９】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１１０】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１１】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１１２】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行なうことが、好ましい。
【０１１３】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本実施形態に係るワイピング装置を備えた液滴吐出装置の上面図である。
【図２】本実施形態に係るワイピング装置の断面模式図である。
【図３】押圧ユニットの外観斜視図および正面図である。
【図４】押圧ユニットの側面図および断面図である。
【図５】第２実施形態に係るワイピング装置の押圧ユニット廻りの正面図である。
【図６】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図７】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１２】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１３】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１４】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１５】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１６】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１７】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１８】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２１】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２２】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２３】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１１５】
１…液滴吐出装置  １１…ＸＹ移動機構  １４…キャリッジ  １７…機能液滴吐出ヘッド  ４２…ノズル面  ６２…ワイピング装置  ７３…押圧ユニット  ７４…噴霧ユニット  １００…押圧機構  １２０…機構本体  １２１…ローラアーム  １２２…押圧ローラ  １２３…エアーシリンダ  １２４…戻しばね  ２００…ワイピングユニット  Ｗ…基板  ＷＳ…ワイピングシート  ＫＳ…個別ワイピングシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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