(57)【要約】【課題】  本発明は超電導コイルとソルトピルを用いて被冷却物を超低温に冷却する断熱消磁冷凍機及び断熱消磁冷凍機ユニットに関し、加速度印加がされてもこれに簡単な構成で耐え得るようにすることを課題とする。【解決手段】  超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを有すると共に矢印Ｚ方向に加速度が印加される断熱消磁冷凍機において、前記超電導コイル２８Ａ，２８Ｂが発生する磁場の中心線ＭＡ２，ＭＢ２が、加速度の印加方向（Ｚ方向）に対して直交するよう、即ち予備冷却ステージ２３に対して横置きとなるよう超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを配置する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超電導コイルを有すると共に加速度が印加される断熱消磁冷凍機において、
前記超電導コイルによって発生する磁場の中心線が、前記加速度の印加方向に対して直交するよう前記超電導コイルを配置したことを特徴とする断熱消磁冷凍機。
【請求項２】
冷却処理されるステージに複数の超電導コイルが設置されると共に加速度が印加される構成とされた断熱消磁冷凍機において、
前記超電導コイルを前記冷却ステージに対して横置きに設置したことを特徴とする断熱消磁冷凍機。
【請求項３】
被冷却物を冷却する冷却用ステージと、該冷却用ステージを冷却する複数の断熱消磁冷凍機とを有する断熱消磁冷凍機ユニットにおいて、
前記複数の断熱消磁冷凍機に設けられた各々の超電導コイルによって発生する磁場の中心線が、互いに非平行となるよう各超電導コイルを配置したことを特徴とする断熱消磁冷凍機ユニット。
【請求項４】
請求項３記載の断熱消磁冷凍機ユニットにおいて、
前記複数の断熱消磁冷凍機は前記超電導コイルを冷却するステージ上に配設されており、かつ、前記ステージを平面視した場合に前記超電導コイルによって発生する磁場の中心線が該超電導コイル上で交差するよう構成したことを特徴とする断熱消磁冷凍機ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は断熱消磁冷凍機及び断熱消磁冷凍機ユニットに係り、特に超電導コイルとソルトピルを用いて被冷却物を超低温に冷却する断熱消磁冷凍機及び断熱消磁冷凍機ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気冷凍機の一つに、ある一定の温度における磁気モーメントの系の不規則性の程度を表わすエントロピーが、磁場を作用させると、磁気モーメントが部分的に整列して低下するという原理に基づく断熱消磁冷凍機がある。この断熱消磁冷凍機は、熱の作業物質である磁性体の持つエントロピーが、磁場依存性を持つことを利用して、被冷却物を冷却する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図１は、従来の一例である断熱消磁冷却ユニット１（以下、単に冷却ユニット１という）を示している。同図に示す冷却ユニット１は、第１及び第２の断熱消磁冷凍機２Ａ，２Ｂ（以下、単に冷凍機２Ａ，２Ｂという）、予備冷却ステージ３、第１及び第２のヒートスイッチ４Ａ，４Ｂ、コールドステージ５、等により構成されている。この冷却ユニット１は、例えばＸ線の検出器６を冷却するのに用いられる。
【０００４】
第１及び第２の冷凍機２Ａ，２Ｂは、それぞれ第１及び第２のソルトピル７Ａ，７Ｂ及び第１及び第２の超電導コイル８Ａ，８Ｂを有している。各ソルトピル７Ａ，７Ｂには、例えば常磁性塩からなる作業物質が格納されている。このソルトピル７Ａ，７Ｂは、超電導コイル８Ａ，８Ｂの内部に位置するよう設けられており、よって超電導コイル８Ａ，８Ｂが発生する磁場が印加される構成とされている。
【０００５】
第１及び第２の超電導コイル８Ａ，８Ｂは円筒形状を有しており、予備冷却ステージ３上に支持部材１０Ａ，１０Ｂを用いて立設されるよう固定されている。この予備冷却ステージ３は、各超電導コイル８Ａ，８Ｂ及びソルトピル７Ａ，７Ｂを補助冷却するための、例えば液体ヘリウム、ギフォードマクマホン（ＧＭ）冷凍機、スターリング冷凍機等の補助冷凍機（図示せず）に接続されている。
【０００６】
予備冷却ステージ３とソルトピル７Ａとの間にはサーマルリンク９Ａが配設されている。また、ソルトピル７Ａとソルトピル７Ｂとの間にはサーマルリンク９Ｂが配設されている。このサーマルリンク９Ｂの途中位置には、ソルトピル７Ａとソルトピル７Ｂとの熱的な状態をオン・オフするための第２のヒートスイッチ４Ｂが設けられている。更に、サーマルリンク９Ｂの図中右端部は、ソルトピル７Ｂから上方向に延出しており、その端部にコールドステージ５が設けられている。このコールドステージ５には、前述した検出器６が配設されている。
【０００７】
この冷却ユニット１においては、先ず補助冷凍機により予備冷却ステージ３を冷却し、これによりサーマルリンク９Ａ，９Ｂ及び支持部材１０Ａ，１０Ｂを介し、第１及び第２のヒートスイッチ４Ａ，４Ｂと第１及び第２の超電導コイル８Ａ，８Ｂを液体ヘリウム温度程度まで冷却する。
【０００８】
先ず、所定時間にわたり第１の超電導コイル８Ａを励磁すると共に、第１のヒートスイッチ４Ａをオンとして予備冷却ステージ３に磁化熱を捨てる。次いで、ヒートスイッチ４Ａをオフとし、ソルトピル７Ａを熱的に孤立させると共に第１の超電導コイル８Ａを消磁することによって、３０〜５０ｍＫ程度の極低温を得ることができる。この時、第２のヒートスイッチ４Ｂは熱的に閉じられた状態となっており、また第２の超電導コイル８Ｂの励磁も停止されている。
【０００９】
次に、第１の超電導コイル８Ａの励磁を停止すると共に、所定時間にわたり第２の超電導コイル８Ｂを励磁する。また、第２のヒートスイッチ４Ｂをオンとして、ソルトピル７Ａとソルトピル７Ｂとを熱的に接続し、ソルトピル７Ｂで発生する磁化熱をソルトピル７Ａに捨てる。次いで、ヒートスイッチ４Ｂをオフとし、ソルトピル７Ｂを熱的に孤立させると共に第２の超電導コイル８Ｂを消磁することによって、約１０ｍＫ程度の極低温を得ることができる。この寒冷は、サーマルリンク９Ｂ及びコールドステージ５を介して検出器６に伝達され、検出器６は１０ｍＫ程度の極低温に冷却される。
【特許文献１】特開２００３−２４０３８４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、上記した冷却ユニット１は、磁場制御が容易であるため、宇宙観測用として人工衛星に搭載されることがある。この場合には、打ち上げ時に多大な加速度が印加される。従来では、図１に示すように、全体して略円筒形状を有する第１及び第２の冷凍機２Ａ，２Ｂは予備冷却ステージ３に対して立設した状態、即ち第１及び第２の冷凍機２Ａ，２Ｂが発生する磁場の中心軸ＭＡ１，ＭＢ１は予備冷却ステージ３に対して垂直方向に延在するよう構成されていた。
【００１１】
しかしながら従来の構成では、第１及び第２の冷凍機２Ａ，２Ｂが予備冷却ステージ３に立設されていたため、各冷凍機２Ａ，２Ｂの重心は予備冷却ステージ３に対して高い（離間した）位置にあり、よって各冷凍機２Ａ，２Ｂの安定性が悪かった。このため、打ち上げ時に冷却ユニット１に多大な加速度が印加された場合、その荷重に耐え得るように支持部材１０Ａ，１０Ｂを強化して超電導コイル８Ａ，８Ｂを強固に固定すると共に、ソルトピル７Ａ，７Ｂ等も強固に固定する必要が生じる。
【００１２】
このように荷重支持を強固にする場合、必然的に荷重支持を行うための支持部材１０Ａ，１０Ｂ等は大型化し、この支持部材１０Ａ，１０Ｂ等からソルトピル７Ａ，７Ｂ及びコールドステージ５への熱侵入量が増大してしまう。このため、冷却効率が低下して検出器６による検出精度が低下してしまうという問題点があった。また、これを補うためにソルトピル７Ａ，７Ｂ及び超電導コイル８Ａ，８Ｂの高性能化を図った場合には、冷却ユニット１が大型化すると共に製品コストも上昇してしまうという問題点があった。
【００１３】
一方、上記のように冷却ユニット１は、第１及び第２の超電導コイル８Ａ，８Ｂと第１及び第２のヒートスイッチ４Ａ，４Ｂは、それぞれ所定のタイミングで切換動作を行い、これにより効率よく検出器６（コールドステージ５）を冷却する構成とされている。しかしながら、従来の冷却ユニット１は、第１の超電導コイル８Ａと第２の超電導コイル８Ｂを並設した構成とされていた。
【００１４】
このため、一方の超電導コイル（例えば第１の超電導コイル８Ａ）が磁場を発生している場合、この第１の超電導コイル８Ａからの漏れ磁場が他方の超電導コイル（第２の超電導コイル８Ｂ）に作用してしまい、第２の超電導コイル８Ｂに磁場変化による渦電流が発生する。このように渦電流が発生すると、第２の超電導コイル８Ｂが発熱してしまい、この熱がソルトピル７Ｂに熱伝導し、またサーマルリンク９Ｂを介してコールドステージ５に熱伝導してしまい、冷却効率が低下してしまうという問題点があった。また、上記し逆に第２の超電導コイル８Ｂが磁場を発生している場合には、同様にして第１の超電導コイル８Ａが渦電電流により発熱してしまい、冷却効率が低下してしまう。
【００１５】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、多大な加速度印加がされてもこれに耐え得る断熱消磁冷凍機を提供することを目的とする。
【００１６】
また、本発明の他の目的は、複数の超電導コイルを近接して配置しても互いが磁気的に干渉し合うことによる渦電流の発生を抑制し冷却効率の低下を防止した断熱消磁冷凍機ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項１記載の発明は、
超電導コイルを有すると共に加速度が印加される断熱消磁冷凍機において、
前記超電導コイルによって発生する磁場の中心線が、前記加速度の印加方向に対して直交するよう前記超電導コイルを配置したことを特徴とするものである。
【００１９】
また、請求項２記載の発明は、
冷却処理されるステージに複数の超電導コイルが設置されると共に加速度が印加される構成とされた断熱消磁冷凍機において、
前記超電導コイルを前記冷却ステージに対して横置きに設置したことを特徴とするものである。
【００２０】
請求項１及び請求項２記載の発明によれば、重心が低い位置となるよう超電導コイルが配置されるため、加速度が印加されても安定性を高くすることができ、また超電導コイルを支持する部材の簡単化を図ることができる。
【００２１】
また、請求項３記載の発明は、
被冷却物を冷却する冷却用ステージと、該冷却用ステージを冷却する複数の断熱消磁冷凍機とを有する断熱消磁冷凍機ユニットにおいて、
前記複数の断熱消磁冷凍機に設けられた各々の超電導コイルによって発生する磁場の中心線が、互いに非平行となるよう各超電導コイルを配置したことを特徴とするものである。
【００２２】
上記発明によれば、複数の超電導コイルによって発生する磁場の中心線が、互いに非平行となるよう各超電導コイルを配置したことにより、複数の内の一の超電導コイルが磁場を発生し（以下、この超電導コイルを駆動コイルという）、これに隣接した超電導コイルが磁場の発生を停止している（以下、この超電導コイルを停止コイルという）場合であっても、駆動コイルの磁場が停止コイルに作用し、停止コイルに渦電流が発生することを防止できる。これにより、停止コイルに渦電流による熱が発生することを防止でき冷却効率を高めることができる。
【００２３】
また、請求項４記載の発明は、
請求項３記載の断熱消磁冷凍機ユニットにおいて、
前記複数の断熱消磁冷凍機は前記超電導コイルを冷却するステージ上に配設されており、かつ、前記ステージを平面視した場合に前記超電導コイルによって発生する磁場の中心線が該超電導コイル上で交差するよう構成したことを特徴とするものである。
【００２４】
上記発明によれば、超電導コイルによって発生する磁場の中心線がステージを平面視した場合に交差するよう構成したことにより、複数の断熱消磁冷凍機は積層された状態となり、設置面積を小さくすることができる。
【発明の効果】
【００２５】
上述の如く本発明によれば、超電導コイルの重心が低い位置となるため、加速度が印加されても安定性を高く維持することができる。また、超電導コイルに不要な渦電流が発生することを防止でき、渦電流に起因した温度上昇を防止でき、よって超電導コイルに対する冷却効率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。
【００２７】
図２は本発明の一実施例である断熱消磁冷凍機２２Ａ，２２Ｂ（以下、単に冷凍機２２Ａ，２２Ｂという）を用いた断熱消磁冷却ユニット２０Ａ（以下、単に冷却ユニット２０Ａという）を示している。
【００２８】
同図に示す冷却ユニット２０Ａは、第１及び第２の断熱消磁冷凍機２２Ａ，２２Ｂ（以下、単に冷凍機２２Ａ，２２Ｂという）、予備冷却ステージ２３、第１及び第２のヒートスイッチ２４Ａ，２４Ｂ、コールドステージ２５、等により構成されている。この冷却ユニット２０Ａは、例えばＸ線の検器２６を冷却するのに用いられる。また、この冷却ユニット２０Ａは、例えば宇宙ステーションに設置されるものである。このため、打ち上げ時においては、多大な加速度（２５Ｇ〜１２５Ｇ）が印加される。
【００２９】
第１及び第２の冷凍機２２Ａ，２２Ｂは、それぞれ第１及び第２のソルトピル２７Ａ，２７Ｂ及び第１及び第２の超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを有している。各ソルトピル２７Ａ，２７Ｂには、例えば常磁性塩からなる作業物質が格納されている。このソルトピル２７Ａ，２７Ｂは、超電導コイル２８Ａ，２８Ｂの内部に位置するよう設けられており、よって超電導コイル２８Ａ，２８Ｂが発生する磁場が印加される構成とされている。
【００３０】
第１及び第２の超電導コイル２８Ａ，２８Ｂは円筒形状を有しており、予備冷却ステージ２３上に配設されている。この予備冷却ステージ２３は、各超電導コイル２８Ａ，２８Ｂ及びソルトピル２７Ａ，２７Ｂを補助冷却するための、例えば液体ヘリウム、ギフォードマクマホン（ＧＭ）冷凍機、スターリング冷凍機等の補助冷凍機（図示せず）に接続されている。
【００３１】
予備冷却ステージ２３とソルトピル２７Ａとの間にはサーマルリンク２９Ａが配設されている。また、ソルトピル２７Ａとソルトピル２７Ｂとの間にはサーマルリンク２９Ｂが配設されている。このサーマルリンク２９Ｂの途中位置には、ソルトピル２７Ａとソルトピル２７Ｂとの熱的な状態をオン・オフするための第２のヒートスイッチ２４Ｂが設けられている。
【００３２】
更に、ソルトピル２７Ａには、サーマルリンク２９Ｃの下端が熱的に接続されている。このサーマルリンク２９Ｃは、ソルトピル２７Ａから冷凍機２２Ａ，２２Ｂの上方位置に延出しており、その上端部にはコールドステージ２５が熱的に接続されている。このコールドステージ２５には、人工衛星において各種検出を行う検出器２６が配設されている。
【００３３】
ここで、本実施例における第１及び第２の冷凍機２２Ａ，２２Ｂの固定構造に注目する。前記したように第１及び第２の冷凍機２２Ａ，２２Ｂは、予備冷却ステージ２３に固定される。また、この第１及び第２の冷凍機２２Ａ，２２Ｂが搭載された冷却ユニット２０Ａは、ロケット打ち上げ時においては、打ち上げ方向に対して予備冷却ステージ２３が直交するように配置される。よって、打ち上げ時に冷却ユニット１に印加される加速度は、図中下方向（矢印Ｚ方向）に印加される。よって打ち上げ時においては、冷却ユニット２０Ａの各構成要素には、打ち上げ時の加速度と各構成要素の質量に応じた荷重が印加される。
【００３４】
本実施例においては、各超電導コイル２８Ａ，２８Ｂが発生する磁場の中心線ＭＡ２，ＭＢ２（図中、一点鎖線で示す）が、前記加速度の印加方向（Ｚ方向）に対して直交するよう各超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを配置したことを特徴としている。即ち、本実施例では、各超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを予備冷却ステージ２３に対して横置きに設置したことを特徴とするものである。但し、第１の超電導コイル２８Ａの磁場の中心線ＭＡ２と、第２の超電導コイル２８Ｂの磁場の中心線ＭＢ２は、互いに平行となるよう配置されている。
【００３５】
このように、各超電導コイル２８Ａ，２８Ｂの磁場中心線ＭＡ２，ＭＢ２が加速度の印加方向（Ｚ方向）に対して直交するようにし、各超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを予備冷却ステージ２３に対して横置きに設置することにより、各超電導コイル２８Ａ，２８Ｂの重心の位置を、従来のように超電導コイル８Ａ，８Ｂを予備冷却ステージ３に立設していた構成（図１参照）に比べて、低い位置とすることができる。これにより、予備冷却ステージ２３上における冷凍機２２Ａ，２２Ｂの安定性を高めることができる。
【００３６】
従って、ロケット打ち上げ時等の高加速度印加により、冷却ユニット２０Ａを構成する冷凍機２２Ａ，２２Ｂに大きな荷重印加がされても、予備冷却ステージ２３上における超電導コイル２８Ａ，２８Ｂの安定性が高いため、簡単な支持構造で超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを予備冷却ステージ２３上に固定することができる。
【００３７】
これにより、超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを支持する支持部材を介してソルトピル２７Ａ，２７Ｂに熱侵入することを防止でき、冷凍機２２Ａ，２２Ｂの冷却効率を高めることができる。また、簡単で小型化の支持部材で確実に超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを固定できるため、支持部材のコスト低減が図れると共に、冷却ユニット２０Ａの低コスト化を図ることができる。
【００３８】
また、本実施例に係る冷却ユニット２０Ａでは、コールドステージ２５が超電導コイル２８Ａ，２８Ｂの磁場中心線ＭＡ２，ＭＢ２から離間した位置に配置された構成とされている。超電導コイル２８Ａ，２８Ｂの磁場中心線ＭＡ２，ＭＢ２上は最も磁場が強い部位であり、この磁場中心線ＭＡ２，ＭＢ２から離間した位置にコールドステージ２５を設けることにより、このコールドステージ２５に搭載される検出器２６に磁場が印加されるのを防止できる。これにより、検出器２６に超電導コイル２８Ａ，２８Ｂの磁場が影響することを防止でき、検出器２６による検出精度を高めることができる。
【００３９】
次に、本発明の一実施例である冷却ユニット２０Ｂについて、図３を参照しつつ説明する。尚、図３において図２に示した構成と対応する構成については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００４０】
本実施例に係る冷却ユニット２０Ｂも、第１及び第２の冷凍機２２Ａ．２２Ｂを構成する第１及び第２の超電導コイル２８Ａ，２８Ｂが予備冷却ステージ２３に対して横置きに設置された構成とされている。よって、簡単な支持構造で超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを予備冷却ステージ２３上に固定することができるため、支持部材を介してソルトピル２７Ａ，２７Ｂに熱侵入することを防止できることにより冷却効率を高めることができると共に、支持部材のコスト低減を図ることができる。
【００４１】
更に本実施例に係る冷却ユニット２０Ｂは、図３（Ａ）に示すように複数（本実施例では２台）の冷凍機２２Ａ，２２Ｂに設けられた各々の超電導コイル２８Ａ，２８Ｂが発生する磁場の中心線ＭＡ３，ＭＢ３が、互いに非平行となるよう各超電導コイル２８Ａ，２８Ｂを配置したことを特徴としている。また、本実施例においては、第１の冷凍機２２Ａの上部に第２の冷凍機２２Ｂが配設された積層構造とされている。従って、第１の冷凍機２２Ａを構成する第１の超電導コイル２８Ａと、第２の冷凍機２２Ｂを構成する第２の超電導コイル２８Ｂも積層された構成となる。
【００４２】
この際、図３（Ｂ）に示すように予備冷却ステージ２３を平面視した場合（予備冷却ステージ２３をＺ方向から見た場合）、第１の超電導コイル２８Ａが発生するＭＡ３と第２の超電導コイル２８Ｂが発生するＭＢ３は、積層された超電導コイル２８Ａ，２８Ｂ上で交差するよう構成されている。
【００４３】
次に、上記構成とされた冷却ユニット２０Ｂの動作について説明する。先ず、所定時間にわたり第１の超電導コイル２８Ａを励磁すると共に、第１のヒートスイッチ２４Ａをオンとして予備冷却ステージ２３に磁化熱を捨てる。この際、第２の超電導コイル２８Ｂは励磁されていない。従って、第１の超電導コイル２８Ａが発生する磁場が第２の超電導コイル２８Ｂに影響を及ぼすことが考えられる。
【００４４】
しかしながら、本実施例に係る冷却ユニット２０Ｂは、前記のように各々の超電導コイル２８Ａ，２８Ｂが発生する磁場の中心線ＭＡ３，ＭＢ３が互いに非平行となるよう各超電導コイル２８Ａ，２８Ｂが配置されている。このため、第１の超電導コイル２８Ａが磁場を発生していても、これに隣接した磁場の発生を停止している第２の超電導コイル２８Ｂに対して第１の超電導コイル２８Ａの磁場は傾いて印加されるため、第２の超電導コイル２８Ｂに渦電流が発生することを防止できる。これにより、第２の超電導コイル２８Ｂに渦電流による熱が発生することを防止でき冷却効率を高めることができる。
【００４５】
次いで、ヒートスイッチ２４Ａをオフとし、ソルトピル２７Ａを熱的に孤立させると共に第１の超電導コイル２８Ａを消磁する。これにより、ソルトピル２７Ａに２３０〜２２５０ｍＫ程度の極低温を得ることができる。
【００４６】
次に、第１の超電導コイル２８Ａの励磁を停止すると共に、所定時間にわたり第２の超電導コイル２８Ｂを励磁する。また、第２のヒートスイッチ２４Ｂをオンとして、ソルトピル２７Ａとソルトピル２７Ｂとを熱的に接続し、ソルトピル２７Ｂで発生する磁化熱をソルトピル２７Ａに捨てる。
【００４７】
このように、第２の超電導コイル２８Ｂが励磁され、第１の超電導コイル２８Ａが励磁を停止されている場合であっても、前記のように各々の超電導コイル２８Ａ，２８Ｂが発生する磁場の中心線ＭＡ３，ＭＢ３が互いに非平行であるため、励磁されている第２の超電導コイル２８Ｂの磁場が第１の超電導コイル２８Ａに影響することを防止でき、よって第１の超電導コイル２８Ａに渦電流が発生することを防止できる。これにより、第１の超電導コイル２８Ａに渦電流に起因した熱が発生することを防止でき冷却効率を高めることができる。
【００４８】
次いで、ヒートスイッチ２４Ｂをオフとし、ソルトピル２２７Ｂを熱的に孤立させると共に第２の超電導コイル２８Ｂを消磁する。これにより、約１０ｍＫ程度の極低温を得ることができる。この寒冷は、サーマルリンク２９Ｃ及びコールドステージ２２５を介して検出器２６に伝達され、検出器２６は１０ｍＫ程度の極低温に冷却される。
【００４９】
尚、上記した実施例では超電導コイル２８Ａ，２８Ｂが発生する磁場の中心線ＭＡ３，ＭＢ３が予備冷却ステージ２３を平面視した場合に積層された冷凍機２２Ａ，２２Ｂ上で交差するよう構成することにより小型化を図ったが、小型化を要求されない場合には必ずしも冷凍機２２Ａ，２２Ｂ上で磁場の中心線ＭＡ３，ＭＢ３を交差させる必要はなく、また第１の冷凍機２２Ａと第２の冷凍機２２Ｂとを積層する必要もない。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】図１は、従来の一例である冷凍機及び冷凍機ユニットを説明するための図である。
【図２】図２は、本発明の第１実施例である冷凍機ユニットを説明するための図である。
【図３】図３は、本発明の第２実施例である冷凍機ユニットを説明するための図である。
【符号の説明】
【００５１】
２０Ａ，２０Ｂ  冷却ユニット
２２Ａ，２２Ｂ  第１の冷凍機
２３  予備冷却ステージ
２４Ａ，２４Ｂ  第１のヒートスイッチ
２４Ｂ  第２のヒートスイッチ
２５  コールドステージ
２６  検出器
２７Ａ，２２７Ｂ  ソルトピル
２８Ａ，２８Ｂ  第１の超電導コイル
２９Ａ〜２９Ｃ  サーマルリンク
【図１】
2007017109.tif 000003
【図２】
2007017109.tif 000004
【図３】
2007017109.tif 000005