(57)【要約】【課題】  ダイナミックエレキタストにおいて、ヘッド・スライダをサスペンションに確実に固定し、そのテスト結果に応じてそのヘッド・スライダをサスペンションから容易に脱着可能とする。【解決手段】  本発明の一実施形態において、ヘッド・ジンバル・アセンブリ２００は、ヘッド・スライダ１０５、ジンバル２０２、ロード・ビーム２０３を備える。ヘッド・スライダ１０５は、ジンバル・タング２２３上に配置されて、ヘッド・スライダ２０５の流入側に形成されたバネ性クランプ２２４と、その反対側の接続端子２２１との間において、バネ性クランプ２２４による押圧力によって保持されている。【選択図】  図３
2007012168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド素子部を備え回転するメディア上で浮上するヘッド・スライダを保持するサスペンションであって、
ヘッド・スライダに対して、その浮上力と対抗する力を与えるためのロード・ビームと、
前記ロード・ビームの面上に固定され、ヘッド・スライダを配置するためのタングと、そのヘッド・スライダをタング上で押圧保持するためのバネ性クランプと、を備える可撓性のジンバルと、
を備えるサスペンション。
【請求項２】
前記クランプは、前記ヘッド・スライダの流入側面に対向しその面に当接して前記ヘッド・スライダに押圧力を加える、請求項１に記載のサスペンション。
【請求項３】
前記クランプは、前記ヘッド・スライダの流入側において、前記タングから延在する部分を屈曲することによって形成されている、請求項２に記載のサスペンション。
【請求項４】
前記ジンバルは、前記クランプの反対側に、前記ヘッド・スライダの端子と接触して伝送配線とその端子とを相互接続するための接続端子を備える、請求項２に記載のサスペンション。
【請求項５】
前記接続端子は、前記ヘッド・スライダの端子と当接して前記タング上において前記ヘッド・スライダを位置決めする、請求項４に記載のサスペンション。
【請求項６】
前記ジンバルは、前記クランプの反対側に、前記接続端子とは別に、前記ヘッド・スライダに当接して前記ヘッド・スライダを位置決めするストッパを備える、請求項４に記載のサイスペンション。
【請求項７】
ヘッド素子部を備えるヘッド・スライダと、
前記ヘッド・スライダが配置されたタングと、そのヘッド・スライダをそのタング上で押圧保持するためのバネ性クランプと、を備える可撓性のジンバルと、
前記ジンバルを前記ヘッド・スライダの反対側で保持するロード・ビームと、
を備えるヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項８】
前記クランプは、前記サスペンション短手方向に延びる前記ヘッド・スライダの側面に対向しその面に当接して前記ヘッド・スライダに押圧力を加える、請求項７に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項９】
前記クランプは、前記ヘッド・スライダの流入側面に対向しその面に当接して前記ヘッド・スライダに押圧力を加える、請求項８に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１０】
前記クランプは、前記ヘッド・スライダの流入側において、前記タングから延在する部分を屈曲することによって形成されている、請求項９に記載のサスペンション。
【請求項１１】
前記ジンバルは、前記クランプの反対側に、伝送配線と接続され前記ヘッド・スライダの端子と接触する接続端子を備える、請求項９に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１２】
前記接続端子は、前記ヘッド・スライダの端子と当接して前記タング上において前記ヘッド・スライダを位置決めする、請求項１１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１３】
前記ジンバルは、前記接続端子とは別に、前記クランプの反対側において前記ヘッド・スライダに当接して前記ヘッド・スライダを位置決めするストッパを備える、請求項１１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１４】
さらに、前記ヘッド・スライダと前記タングとの間の接着剤層を備える、請求項８に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１５】
さらに、前記ヘッド・スライダの端子と前記接続端子とを固着する導体層を備える、請求項１１に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１６】
ヘッド素子部を備えるヘッド・スライダと、それを保持するサスペンションと、を備えるヘッド・ジンバル・アセンブリの製造方法であって、
ロード・ビームと、そのロード・ビーム上に固定された可撓性のジンバルと、を備えるサスペンションを準備し、
ヘッド・スライダを前記ジンバルのタング面上に配置し、ジンバルに形成されているバネ性クランプを使用してそのヘッド・スライダをそのタング面上で押圧保持し、
前記サスペンションに保持された前記ヘッド・スライダで回転するメディアにアクセスすることによって、そのヘッド・スライダの電気特性をテストし、
不良ヘッド・スライダを前記サスペンションから取り外し、新たなヘッド・スライダを前記サスペンションに配置する、方法。
【請求項１７】
前記ヘッド・スライダのテスト結果が良である場合、そのヘッド・スライダと前記ジンバルのタングとを接着剤で固着する、請求項１６に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリの製造方法。
【請求項１８】
前記ヘッド・スライダのテスト結果が良である場合、前記ヘッド・スライダの端子と前記接続端子とを導体で固着する、請求項１６に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリの製造方法。
【請求項１９】
前記ヘッド・スライダのテスト結果が良である場合、そのヘッド・スライダを前記サスペンションから取り外し、別の製品サスペンションに実装する、請求項１６に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はサスペンション、ヘッド・ジンバル・アセンブリ及びヘッド・ジンバル・アセンブリの製造方法に関し、特に、サスペンション上におけるヘッド・スライダの保持に関する。
【背景技術】
【０００２】
データ記憶装置として、光ディスクや磁気テープなどの様々な態様のメディアを使用する装置が知られている。その中で、ハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）は、コンピュータの記憶装置として広く普及し、現在のコンピュータ・システムにおいて欠かすことができない記憶装置の一つとなっている。さらに、コンピュータ・システムにとどまらず、動画像記録再生装置、カーナビゲーション・システム、携帯電話、あるいはデジタル・カメラなどで使用されるリムーバブルメモリなど、ＨＤＤの用途はその優れた特性により益々拡大している。
【０００３】
ＨＤＤは、データを記憶する磁気ディスクと、磁気ディスクへアクセスするヘッド・スライダとを備えている。ヘッド・スライダは、磁気ディスクとの間のデータ読み出し及び／もしくは書き込みを行うヘッド素子部と、ヘッド素子部がその上に形成されたスライダとを有している。ヘッド素子部は、磁気ディスクへの記録データに応じて電気信号を磁界に変換する記録素子及び／又は磁気ディスクからの磁界を電気信号に変換する再生素子を備えている。ＨＤＤは、さらに、ヘッド・スライダを磁気ディスク上の所望の位置に移動するアクチュエータを備えている。アクチュエータはボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）によって駆動され、回動軸を中心として回動することによって、回転する磁気ディスク上でヘッド・スライダを半径方向に移動する。これによって、ヘッド素子部が磁気ディスクに形成された所望のトラックにアクセスし、データの読み出し／書き込み処理を行うことができる。
【０００４】
アクチュエータは弾性を有するサスペンションを備え、ヘッド・スライダはサスペンションに接着剤によって固着されている。磁気ディスクに対向するヘッドのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面と回転している磁気ディスクとの間の空気の粘性による圧力が、サスペンションによって磁気ディスク方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッドは磁気ディスク上を一定のギャップを置いて浮上することができる。
【０００５】
このヘッド・スライダとサスペンションのアセンブリを、ヘッド・ジンバル・アセンブリ（ＨＧＡ）と呼ぶ。図８はＨＧＡの一例を示しており、磁気ディスクの記録面側からみたＨＧＡの構造を示している。図８に示すように、ＨＧＡ４００は、ヘッド・スライダ４０１、サスペンション４０２及び伝送配線であるトレース４０３を備えている。サスペンション４０２は、ヘッド・スライダ４０１を磁気ディスク対向面側で保持する可撓性のジンバル４０４と、ジンバル４０４を磁気ディスク対向面側で保持するロード・ビーム４０５及びマウント・プレート４０６を備えている。図のＨＧＡ４００は、ロード・アンロード・タイプであって、ロード・ビーム４０５の先端にランプ機構に退避するためのタブ４０７を備えている。ヘッド・スライダ４０１の前面（タブ側）にはヘッド素子部に接続された複数の端子が形成されており、各端子とトレース４０３の各配線とが半田や金のボール・ボンディングなどを使用して接続されている。
【０００６】
ＨＧＡの製造において、ダイナミックエレキテスト（ＤＥＴ）と呼ばれるテストが行われる。ＤＥＴは、テスト装置にＨＧＡをセットし、回転する磁気ディスクに対して実際のリード／ライト処理を行う。これによって、ヘッド・スライダの浮上特性や記録再生特性の評価を行う。ＤＥＴにおいて仕様を満足するＨＧＡは次の製造工程へ進み、不合格と判定されたＨＧＡは廃棄される。従って、ヘッド・スライダが仕様を満たさない場合には、ヘッド・スライダが固着されたサスペンションも共に廃棄され、ＨＧＡ製造上の損失となっていた。
【０００７】
ＨＧＡ製造におけるこのサスペンションの損失をなくすため、ヘッド・スライダを脱着可能なＤＥＴ装置が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。このようにヘッド・スライダ単体でのテスト装置を使用することによって、ヘッド・スライダをサスペンションに搭載する前にＤＥＴを行うことができ、ヘッド・スライダの不良によるサスペンションの損失を防止することができる。
【０００８】
あるいは、ヘッド・スライダとサスペンションとを固着する接着剤を改良することによって、不良ヘッド・スライダをサスペンションから取り外す技術が提案されている（例えば、特許文献２を参照。）。ＤＥＴは、ＨＧＡの状態においてヘッド・スライダの特性評価を行う。接着剤は低温でゲル状態にあり、高温で溶融状態となり、さらに高温で硬化する。ゲル状態の接着剤でヘッド・スライダとサスペンションを仮固定し、この状態でＤＥＴを実行する。ヘッド・スライダが不良である場合、接着剤を熱して溶融状態とし、ヘッド・スライダをサスペンションから取り外す。ヘッド・スライダが仕様を満足する場合は、接着剤を熱硬化して本接続する。
【特許文献１】特開２００４−８６９７６号公報
【特許文献２】特開２００２−１５０７３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、ヘッド・スライダ専用のテスト装置は、ＨＧＡと全く同一条件でのＤＥＴを行うことが困難である。記録密度が向上し、トラック・ピッチやヘッド・スライダの微細化が進むにつれて、より実際の使用状態と合致した条件下でＤＥＴを行うことが要求される。通常のサスペンションを使用しないヘッド・スライダ専用のテスト装置は、このような要求に応えることが困難であり、特に、製品ＨＤＤに使用可能な通常のサスペンションを使用していないため、高速でのオフトラック測定が不可能である。また、上述のように特殊な接着剤を使用する場合、ヘッド・スライダの脱着のために煩雑な熱処理が必要となる。さらに、ゲル状接着剤での仮固定は、必ずしも十分な強度を得ることができずにヘッド・スライダが所望の位置からずれる可能性がある。
【００１０】
本発明はこのような事情を背景としてなされたものであって、その目的の一つは、ＤＥＴにおいてヘッド・スライダをサスペンションに確実に固定し、そのテスト結果に応じてそのヘッド・スライダをサスペンションから容易に脱着可能とすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の態様は、ヘッド素子部を備え回転するメディア上で浮上するヘッド・スライダを保持するサスペンションであって、ヘッド・スライダに対して、その浮上力と対抗する力を与えるためのロード・ビームと、前記ロード・ビームの面上に固定され、ヘッド・スライダを配置するためのタングと、そのヘッド・スライダをタング上で押圧保持するためのバネ性クランプと、を備える可撓性のジンバルを備えるものである。バネ性クランプを使用してヘッド・スライダを押圧保持することによって、例えば、ＤＥＴにおいてヘッド・スライダをサスペンションに確実に固定し、そのテスト結果に応じてそのヘッド・スライダをサスペンションから容易に脱着可能となる。
【００１２】
本発明の第２の態様は、上記第１の態様において、前記クランプは、前記ヘッド・スライダの流入側面に対向しその面に当接して前記ヘッド・スライダに押圧力を加えるものである。これによって、サスペンション幅を増加することなくクランプを形成することができる。
【００１３】
本発明の第３の態様は、上記第２の態様において、前記クランプは、前記ヘッド・スライダの流入側において、前記タングから延在する部分を屈曲することによって形成されているものである。これによって、部材点数を増加することなく容易にクランプを形成することができる。
【００１４】
本発明の第４の態様は、上記第２の態様において、前記ジンバルは、前記クランプの反対側に、前記ヘッド・スライダの端子と接触して伝送配線とその端子とを相互接続するための接続端子を備えるものである。接続端子が反対側にあるので、クランプをより容易に形成することができる。
【００１５】
本発明の第５の態様は、上記第４の態様において、前記接続端子は、前記ヘッド・スライダの端子と当接して前記タング上において前記ヘッド・スライダを位置決めするものである。これによって、単純な構成でヘッド・スライダの保持と位置決めを行うことができる。
【００１６】
本発明の第６の態様は、上記第４の態様において、前記ジンバルは、前記クランプの反対側に、前記接続端子とは別に、前記ヘッド・スライダに当接して前記ヘッド・スライダを位置決めするストッパを備えるものである。これによって、接続端子の磨耗を抑制することができる。
【００１７】
本発明の第７の態様に係るヘッド・ジンバル・アセンブリは、ヘッド素子部を備えるヘッド・スライダと、前記ヘッド・スライダが配置されたタングと、そのヘッド・スライダをそのタング上で押圧保持するためのバネ性クランプと、を備える可撓性のジンバルと、前記ジンバルを前記ヘッド・スライダの反対側で保持するロード・ビームを備えるものである。バネ性クランプを使用してヘッド・スライダを押圧保持することによって、例えば、ＤＥＴにおいてヘッド・スライダをサスペンションに確実に固定し、そのテスト結果に応じてそのヘッド・スライダをサスペンションから容易に脱着可能となる。
【００１８】
本発明の第８の態様は、上記第７の態様において、前記クランプは、前記サスペンション短手方向に延びる前記ヘッド・スライダの側面に対向しその面に当接して前記ヘッド・スライダに押圧力を加えるものである。これによって、サスペンション幅の増加なくクランプ形成することができる。
【００１９】
本発明の第９の態様は、上記第８の態様において、前記クランプは、前記ヘッド・スライダの流入側面に対向しその面に当接して前記ヘッド・スライダに押圧力を加えるものである。これによって、サスペンション幅の増加なく所望形状のクランプを容易に形成することができる。
【００２０】
本発明の第１０の態様は、上記第９の態様において、前記クランプは、前記ヘッド・スライダの流入側において、前記タングから延在する部分を屈曲することによって形成されているものである。これによって、部材点数の増加なくクランプを容易に形成することができる。
【００２１】
本発明の第１１の態様は、上記第９の態様において、前記ジンバルは、前記クランプの反対側に、伝送配線と接続され前記ヘッド・スライダの端子と接触する接続端子を備えるものである。接続端子が反対側にあるので、クランプをより容易に形成することができる。
本発明の第１２の態様は、上記第１１の態様において、前記接続端子は、前記ヘッド・スライダの端子と当接して前記タング上において前記ヘッド・スライダを位置決めするものである。これによって、単純な構成でヘッド・スライダの保持と位置決めを行うことができる。
【００２２】
本発明の第１３の態様は、上記第１１の態様において、前記ジンバルは、前記接続端子とは別に、前記クランプの反対側において前記ヘッド・スライダに当接して前記ヘッド・スライダを位置決めするストッパを備えるものである。これによって、接続端子の磨耗を抑制することができる。
【００２３】
本発明の第１４の態様は、上記第８の態様において、さらに、前記ヘッド・スライダと前記タングとの間の接着剤層を備えるものである。これによって、ヘッド・スライダの脱着が不要となった段階において、ヘッド・スライダをより確実に保持することができる。
【００２４】
本発明の第１５の態様は、上記第１１の態様において、さらに、前記ヘッド・スライダの端子と前記接続端子とを固着する導体層を備えるものである。これによって、ヘッド・スライダの脱着が不要となった段階において、ヘッド・スライダの電気接続をより確実なものとすることができる。
【００２５】
本発明の第１６の態様は、ヘッド素子部を備えるヘッド・スライダと、それを保持するサスペンションと、を備えるヘッド・ジンバル・アセンブリの製造方法であって、ロード・ビームと、そのロード・ビーム上に固定された可撓性のジンバルと、を備えるサスペンションを準備し、ヘッド・スライダを前記ジンバルのタング面上に配置し、ジンバルに形成されているバネ性クランプを使用してそのヘッド・スライダをそのタング面上で押圧保持し、前記サスペンションに保持された前記ヘッド・スライダで回転するメディアにアクセスすることによって、そのヘッド・スライダの電気特性をテストし、不良ヘッド・スライダを前記サスペンションから取り外し、新たなヘッド・スライダを前記サスペンションに配置するものである。
【００２６】
本発明の第１７の態様は、上記第１６の態様において、前記ヘッド・スライダのテスト結果が良である場合、そのヘッド・スライダと前記ジンバルのタングとを接着剤で固着する。これによって、製品への実装においてヘッド・スライダとタングを強固に接続することができる。
本発明の第１７の態様は、上記第１６の態様において、前記ヘッド・スライダのテスト結果が良である場合、前記ヘッド・スライダの端子と前記接続端子とを導体で固着する。これによって、製品への実装において接続部の電気的コンタクトを強固にすることができる。
【００２７】
前記ヘッド・スライダのテスト結果が良である場合、そのヘッド・スライダを前記サスペンションから取り外し、別の製品サスペンションに実装する、請求項１６に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリの製造方法。これによって、テストにおいてヘッド・スライダを確実に固定するとともに、サスペンションを廃棄することなく容易に不良ヘッド・スライダの交換を行うことができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、例えばＤＥＴにおいてヘッド・スライダをサスペンションに確実に固定し、そのテスト結果に応じてそのヘッド・スライダをサスペンションから容易に脱着することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に、本発明を適用可能な実施の形態を説明する。なお、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略されている。本形態は、ヘッド・スライダのダイナミックエレキテスト（ＤＥＴ）におけるヘッド・スライダの保持技術に関する。本形態のＤＥＴは、製品としてのハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）に使用されうるサスペンションにヘッド・スライダを装着してテストを行い、その特性を評価する。本形態の特徴点の一つは、このサスペンションのヘッド・スライダ保持機構である。なお、本明細書において、サスペンションとヘッド・スライダのアセンブリを、ヘッド・ジンバル・アセンブリ（ＨＧＡ）と呼ぶ。ＤＥＴ評価結果が所望の仕様を満たす場合、テストされたＨＧＡが、製品としてのＨＤＤに実装される。
【００３０】
最初に、本発明の理解の容易のため、ＨＤＤの全体構成を説明する。図１は、本実施の形態に係るＨＤＤ１００の構成を模式的に示す平面図である。ＨＤＤ１００は、データを記録する記録メディアとしての磁気ディスク１０１を備えている。磁気ディスク１０１は、磁性層が磁化されることによってデータを記録する不揮発性メモリである。ＨＤＤ１００の各構成要素は、ベース１０２内に収容されている。ベース１０２は、ベース１０２の上部開口を塞ぐカバー（不図示）とガスケット（不図示）を介して固定されることによってディスクエンクロージャを構成し、ＨＤＤ１００の各構成要素を密閉状態で収容することができる。
【００３１】
磁気ディスク１０１は、スピンドル・モータ（ＳＰＭ）１０３に固定されている。ヘッド・スライダ１０５は、ホスト（不図示）との間で入出力されるデータについて、磁気ディスク１０１への書き込み及び／又は読み出しを行うヘッド素子部を供えている。ヘッド素子部は、磁気ディスク１０１への記憶データに応じて電気信号を磁界に変換する記録素子及び／又は磁気ディスク１０１からの磁界を電気信号に変換する再生素子と、記録素子及び／又は再生素子がその面上に形成されているスライダとを有している。
【００３２】
アクチュエータ１０６は、ヘッド・スライダ１０５を保持、移動する。アクチュエータ１０６は回動軸１０７に回動自在に保持されており、駆動機構としてのＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）１０９によって駆動される。アクチュエータ１０６は、ヘッド・スライダ１０５が配置された長手方向におけるその先端部から、サスペンション１１０、アーム１１１、コイル・サポート１１２及びフラットコイル１１３の順で結合された各構成部材を備えている。尚、サスペンション１１０の構成については、後に詳述される。ＶＣＭ１０９は、フラットコイル１１３、上側ステータ・マグネット保持板１１４に固定されたステータ・マグネット（不図示）、及び下側ステータ・マグネット保持板に固定されたステータ・マグネット（不図示）から構成されている。
【００３３】
磁気ディスク１０１は、ベース１０２の底面に固定されたＳＰＭ１０３に一体的に保持され、ＳＰＭ１０３により所定の速度で回転駆動される。磁気ディスク１０１は、図１において、反時計回りに回転する。ＨＤＤ１００の非動作時には、磁気ディスク１０１は静止している。ＶＣＭ１０９は、コントローラ（不図示）からフラットコイル１１３に流される駆動信号に応じて、回動軸１０７を中心としてアクチュエータ１０６をその短手方向において回動する。これによって、アクチュエータ１０６は磁気ディスク１０１の上にヘッド・スライダ１０５を移動する、もしくは、磁気ディスク１０１の外側へヘッド・スライダ１０５移動することができる。
【００３４】
磁気ディスク１０１からのデータの読み取り／書き込みのため、アクチュエータ１０６は回転している磁気ディスク１０１表面のデータ領域上空にヘッド・スライダ１０５を移動する。アクチュエータ１０６が回動することによって、ヘッド・スライダ１０５が磁気ディスク１０１の表面の半径方向に沿って移動する。これによって、ヘッド・スライダ１０５が所望のトラックにアクセスすることができる。ヘッド・スライダ１０５とコントローラとの間の信号は、伝送配線であるトレース２０１とＦＰＣ１１７が伝送する。ヘッド・スライダ１０５は、磁気ディスク１０１に対向するスライダのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面と回転している磁気ディスク１０１との間の空気の粘性による圧力が、サスペンション１１０によって磁気ディスク１０１方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダ１０５は磁気ディスク１０１上を一定のギャップを置いて浮上する。
【００３５】
磁気ディスク１０１の回転が停止すると、ヘッド・スライダ１０５が磁気ディスク１０１表面に接触し、吸着現象によってデータ領域の傷の発生、磁気ディスクの回転不能などの問題が起こるため、磁気ディスク１０１の回転が停止するときには、アクチュエータ１０６はヘッド１０５をデータ領域からランプ機構１１５に退避させる。アクチュエータ１０６がランプ機構１１５の方向に回動し、アクチュエータ先端部のタブ１１６がランプ機構１１５表面上を摺動しながら移動し、ランプ機構１１５上のパーキング面に載ることにより、ヘッド・スライダ１０５がアンロードされる。ロードのときには、パーキング面に支持されていたアクチュエータ１０６は、ランプ機構１１５から離脱して磁気ディスク１０１表面上空に移動する。
【００３６】
尚、ヘッド・スライダ１０５がデータ書き込み／読み出し処理を行わない場合に、磁気ディスク１０１の内周に配置されているゾーンに退避するＣＳＳ（Contact Start and Stop）方式に、本発明を適用することも可能である。また、上記の説明では、簡単のために磁気ディスク１０１が一枚構成で、片面記憶のハードディスク・ドライブを説明しているが、ＨＤＤ１００は、１もしくは複数枚の両面記憶磁気ディスクを備えることができる。
【００３７】
上述のように、ヘッド・スライダ１０５は、ＨＤＤ１００に実装される前に、その製造工程においてＤＥＴの対象となる。ＤＥＴにおいては、ヘッド・スライダ１０５をサスペンション１１０に装着してＨＧＡを構成し、そのＨＧＡをテスト装置にセットし、回転する磁気ディスクに対して実際のリード／ライト処理を行う。これによって、ヘッド・スライダ１０５の浮上特性や記録再生特性の評価を行う。
【００３８】
具体的には、図２のフローチャートに示すように、まず、サスペンション１１０を製造する（Ｓ１１）。次に、準備されたサスペンション１１０にヘッド・スライダ１０５を装着して、ＨＧＡを構成する（Ｓ１２）。ヘッド・スライダ１０５は、サスペンション１１０に脱着可能に取り付けられる。このサスペンション１１０のヘッド・スライダ１０５保持機構については後に詳述する。この構成されたＨＧＡをＤＥＴのテスト装置にセットし、ＤＥＴを実行する（Ｓ１３）。
【００３９】
Ｓ１３におけるＤＥＴの評価結果が「エラー（不良、ＮＧ）」である場合、サスペンション１１０からヘッド・スライダ１０５を取り外し、そのヘッド・スライダ１０５は廃棄する（Ｓ１４）。サスペンション１１０は再利用され、別の新たなヘッド・スライダ１０５をそのサスペンション１１０に装着し（Ｓ１２）、ＤＥＴを行う（Ｓ１３）。
【００４０】
Ｓ１３におけるＤＥＴの評価結果が「パス（良、ＯＫ）」である場合、ヘッド・スライダ１０５とサスペンション１１０とを本接続する（Ｓ１５）。具体的には、ヘッド・スライダ１０５とサスペンション１１０とを接着剤で固着するともに、端子部をソルダ・ボール・ボンディングあるいはゴールド・ボール・ボンディングなどによって電気的かつ物理的に接続する。その後、そのＨＧＡを製品としてのＨＤＤ１００に実装する（Ｓ１６）。
【００４１】
図３を参照して、本形態において用いられるＨＧＡ２００の構成について説明する。図３（ａ）は、ＤＥＴに使用される状態のＨＧＡ２００の一部構成を示す平面図であり、磁気ディスク１０１側から見たＨＧＡ２００の構成を示している。図３（ｂ）は、その側面図である。なお、図３に示されていない部分は、従来のＨＧＡと同様の構成であり、説明が省略される。本形態において、ＨＧＡ２００は複数の構成部材によって構成されており、ヘッド・スライダ１０５、サスペンション１１０及びトレース２０１を備えている。サスペンション１１０は複数の構成部材によって構成されており、ジンバル２０２及びロード・ビーム２０３を備えている。
【００４２】
トレース２０１はヘッド・スライダ１０５内のヘッド素子部の信号を伝送する。トレース２０１において、複数本のリードが、互いに接触することなく、ポリイミド・フィルムによって形成された絶縁シートに一体的に形成されている。図３においては、再生素子用の２本のリードと記録用の２本のリードが示されている。リードの数はヘッド・スライダ１０５の構成によって変化しうる。各リードの一端は、ヘッド・アンプなどの内部回路に接続されるマルチコネクタ（不図示）を構成する。ヘッド・スライダ１０５側における各リードの他端は、ジンバル２０２に形成されている各接続端子２２１ａ−２２１ｄに接続されている。トレース２０１は、ジンバル２０２に接着剤によって固定または、連続的に一体に形成され、必要に応じて外側がエポキシ樹脂などによってカバーされる。
【００４３】
ロード・ビーム２０３は、ステンレス鋼などによって形成され、精密な薄板ばねとして機能する。ロード・ビーム２０３の形状は、回動方向と垂直に長く延在し、薄くて軽量であると共に必要な剛性（ジンバル２０２よりも大きい）が保てるように工夫されている。ロード・ビーム２０３の長手方向前側（反回動軸１０７側）の先端部には、タブ１１６が形成されている。ロード・ビーム２０３は弾性を有することによって、ヘッド・スライダ１０５の浮上力に対抗する荷重を発生させる。この荷重とヘッド・スライダ１０５の浮上力がバランスすることによって、ヘッド・スライダ１０５が所望高さで浮上する。
【００４４】
ジンバル２０２は、ロード・ビーム２０３の磁気ディスク１０１面側に、レーザ・スポット溶接によって溶着される。ジンバル２０２は、例えばステンレス鋼で形成することができる。ジンバル２０２は、磁気ディスク１０１の面振れなどを吸収するために、ヘッド・スライダ１０５が所定方向に傾くことができるように、所望の弾性を有し変形可能に形成されている。ジンバル２０２の前部において、開口２２２が形成されている。開口２２２の前側（タブ１０６側）一辺の中央には、開口２２２の中央にむかって突出した舌片状のジンバル・タング２２３が形成されている。開口２２２の前側一辺から後側（ヘッド・スライダ１０５の流入側）へ突出したジンバル・タング２２３上には、ヘッド・スライダ１０５が配置されている。ヘッド・スライダ１０５は、ジンバル２０２に形成されたバネ性クランプ２２４及び接続端子２２１によって保持されている。ヘッド・スライダ１０５の保持機構については、後に詳述する。
【００４５】
ジンバル２０２は、その後部（不図示）においてロード・ビーム２０３に溶着され、ジンバル・アーム２２５及びジンバル・タング２２３を含むジンバル２０２の前部は溶着されておらず、自由な状態となっている。ジンバル２０２の後部から開口２２２の側端に沿って延在する２つのジンバル・アーム２２５は、開口２２２端を規定し、ジンバル・アーム２２５に連続してそれらの前部に形成されているジンバル・タング２２３を弾性的に支持する。なお、図の構成とは異なり、ジンバル２０２とロード・ビーム２０３とは別部材としてではなく、一体的に形成することもできる。
【００４６】
図３（ｂ）に示すように、ロード・ビーム２０３は、ヘッド・スライダ１０５と対向する位置において、ジンバル２０２側（ヘッド・スライダ１０５側（図面上方））に向かって隆起したディンプル２３１が形成されている。ジンバル・タング２２３は、ロード・ビーム２０３のディンプル２３１によって一点支持される。ジンバル・アーム２２５は反った状態となっており、弾性力によってジンバル・タング２２３をディンプル２３１に押し当てる。ジンバル・タング２２３は、ヘッド・スライダ１０５を、ピッチ方向あるいはロール方向に回動させることができ、磁気ディスク１０１の面振れやアッセンブリに伴う傾きを吸収すると同時に、磁気ディスク１０１のトラッキングに高い追従性を発揮することができる。
【００４７】
上述のように、ヘッド・スライダ１０５は、ジンバル・タング２２３上において、脱着可能に保持されている。ジンバル・タング２２３の後端部、つまり、ヘッド・スライダ１０５の流入側には、屈曲部を有し、バネ性を有するクランプ２２４が形成されている。バネ性クランプ２２４はヘッド・スライダ１０５の流入側面１５１に対向して形成されている。バネ性クランプ２２４は流入側面１５１に当接し、その面を前方向（ヘッド・スライダ１０５流出側）に押圧するともに、ジンバル・タング２２３に向けて押圧する。つまり、押圧力の方向は、ジンバル・タング２２３のヘッド・スライダ１０５配置面に対して斜めである。
【００４８】
接続端子２２１は、バネ性クランプ２２４の押圧力に抗するようにヘッド・スライダ１０５を支持している。つまり、ヘッド・スライダ１０５は、バネ性クランプ２２４と接続端子２２１との間において、これらの押圧力によって挟持されている。また、上述のように、バネ性クランプ２２４の押圧力が、ヘッド・スライダ１０５をジンバル・タング２２３に押し付ける方向の成分を含んでおり、ヘッド・スライダ１０５とジンバル・タング２２３との間における押圧力によってもヘッド・スライダ１０５は保持されている。バネ性クランプ２２４でヘッド・スライダ１０５をジンバル・タング２２３に押し付けることによって、ヘッド・スライダ１０５をより確実に、ジンバル・タング２２３上で固定することができる。
【００４９】
バネ性クランプ２２４の反対側であるヘッド・スライダ１０５の前面、つまりその流出側の面１５２には、４つの端子（図３において不図示）が形成されている。各端子はヘッド素子部に接続されている。ジンバル２０２の接続端子２２１のそれぞれは、ヘッド・スライダ１０５の各端子と当接している。ジンバル２０２において、流出側の面１５２の前側に開口２２６が形成されており、接続端子２２１はこの開口２２６に突出するように形成されている。接続端子２２１は、ジンバル・タング２２３上におけるヘッド・スライダ１０５の位置決めを行うストッパとしても機能する。つまり、正確な特性評価を行うためには、ヘッド・スライダ１０５は、ディンプル２３１に対して位置合わせされていることが重要であり、接続端子２２１はこの位置決めを行う。
【００５０】
バネ性クランプ２２４は、好ましくは、図３に示すように、ヘッド・スライダ１０５の流入側に形成する。バネ性クランプ２２４をヘッド・スライダ１０５に対してサスペンション１１０の長手方向側に形成する、つまり、サスペンション１０１の短手方向に延びる面１５１と当接することによって、サスペンション１１０の短手方向の幅を広げることなく、バネ性クランプ２２４を形成することができる。また、ヘッド・スライダ１０５の流出側と異なり、流入側には信号伝送のための接続端子２２１などが存在しないため、必要なクランプ形状を容易に形成することができる。さらに好ましくは、バネ性クランプ２２４を、ジンバル・タング２２３の後に延在する部分を屈曲することによって形成する。これによって、別部材を使用することなくプレス加工によって容易にバネ性クランプを形成することができる。
【００５１】
図３において、バネ性クランプ２２４は２つの屈曲部２２４ａ、ｂを備えており、屈曲部２４１ａがヘッド・スライダ１０５の流入側の面１５１に当接している。このように、バネ性クランプ２２４がヘッド・スライダ１０５と線接触することで、均等に押圧力を加えることができる。ジンバル・タング２２３の後端部をヘッド・スライダ１０５側に屈曲することによって形成された他方の屈曲部２２４ｂが、バネ性クランプ２２４のバネ性を主に生んでいる。屈曲部２２４ａ、ｂ間はフラットな板状部であって、ジンバル・タング２２３への押圧力を生むように、ジンバル・タング２２３に対して所定の傾斜角を有している。このバネ性クランプ２２４の構造は、必要な押圧力が得られるとともに、加工が容易である点で好ましい。
【００５２】
図４（ａ）、（ｂ）は、ヘッド・スライダの端子１５３の一つと接続端子２２１の一つの接続状態を模式的に示している。接続端子２２１は複数層から構成されており、最下層のジンバル層４０１、その上のポリイミドなどの絶縁層４０２及び最上層の導電層４０３を備えている。導電層４０３は銅などの金属で形成されている。導電層４０３がヘッド・スライダの端子１５３と押圧接触することによって、これらの間の電気的接続が確保されている。導電層４０３はジンバル層４０１及び絶縁層４０２よりも突出しているため、ジンバル層４０１はヘッド・スライダの端子１５３から離間することができる。
【００５３】
ＤＥＴにおいては、図３に示したように、バネ性クランプ２２４による押圧力のみによってヘッド・スライダ１０５をジンバル・タング２２３上で保持する。図２を参照して説明したように、ＤＥＴの評価結果がパスある場合、ヘッド・スライダ１０５の本接続を実行する（Ｓ１５）。図５は、ヘッド・スライダ１０５の本接続の方法を模式的に示している。図５（ａ）に示すように、ヘッド・スライダ１０５の底面はジンバル・タング２２３面と接着剤層２８１で固着されている。典型的には、これらは、低弾性エポキシ樹脂などによって固着する。
【００５４】
さらに、接続端子２２１とヘッド・スライダの端子１５３とを、ソルダ・ボール・ボンディングあるいはゴールド・ボール・ボンディングで接続する。具体的には、図５（ａ）に示すように、接続端子２２１とヘッド・スライダの端子１５３との間に、半田もしくは金からなる導体ボール２８２を配置し、それにレーザ光を照射する。レーザ照射によって導体ボールが溶融し、図５（ｂ）に示すように、接続端子２２１とヘッド・スライダの端子１５３を電気的かつ物理的に接続する導体層２８３を形成する。
【００５５】
このように、接着剤層２８１及び／もしくは導電層２８３で、ヘッド・スライダ１０５を物理的に、あるいは電気的に接続することによって、ＨＤＤ１００に実装した後におけるヘッド・スライダ１０５の保持、あるいは電気的接続を確実なものとすることができる。なお、バネ性クランプ２２４の押圧力によって十分な保持力を得ることができる場合、接着剤層２８１や導電層２８３を使用することなく、ＨＤＤ１００にＨＧＡ２００を実装することができる。
【００５６】
図６は、バネ性クランプの他の好ましい例を示している。図６において、バネ性クランプ２２７以外の構成は、図３に示したＨＧＡ２００と同様であり、説明を省略する。バネ性クランプ２２７は、バネ性を生む複数の屈曲部を備えている。具体的には、ヘッド・スライダ１０５の流入側の面１５１に当接している屈曲部２２７ａと、ジンバル・タング２２３の後端部をヘッド・スライダ１０５側に屈曲することによって形成され、ヘッド・スライダ１０５から最も遠い屈曲部２２７ｂとの間に複数の屈曲部が形成されている。この構成によって、ヘッド・スライダ１０５をより確実に保持することができる。
【００５７】
図７は、他の好ましい態様の保持機構を示している。図３の例においては、接続端子２２１が、ヘッド・スライダ１０５を位置決めしているが、図７に示すように、接続端子２２１とは別に、ヘッド・スライダ１０５を位置決めするストッパ２２８ａ、ｂを備えることは、好ましい態様の一つである。ストッパ２２８は、ヘッド・スライダ１０５の流出側面１５２に向かって突出し、その面に対して傾斜して当接している。ストッパ２２８は、バネ性クランプ２２４の反対側において、ヘッド・スライダ１０５に当接することによって、ヘッド・スライダ１０５を位置決めする。
【００５８】
図７の例においては、接続端子２２１列の両外側にストッパ２２８がそれぞれ形成されている。接続端子２２１とは別にストッパ２２８を設けることによって、ヘッド・スライダ１０５の脱着を繰り返した場合であっても接続端子２２１の磨耗及びそれに起因するヘッド・スライダ１０５の位置ずれを抑制することができる。ストッパ２２８は、ジンバル２０２の一部を加工してヘッド・スライダ１０５に向かう突出部を形成し、それをプレス加工で屈曲することによって形成することができる。また、位置決めのためには、複数のストッパ２２８を設けることが好ましい。ストッパ２２８を設ける場合、接続端子２２１にバネ性を持たせることが好ましい。これによって、接続端子２２１とヘッド・スライダの端子１５３との電気接続を確保するとともに、接続端子２２１に加わる力を低減し、接続端子２２１の磨耗を低減することができる。
【００５９】
上述の形態のようにテストされたＨＧＡをそのままＨＤＤに実装することが好ましいが、上述のサスペンションをＤＥＴのテスト用サスペンションとして使用することもできる。ＤＥＴ終了後にヘッド・スライダをサスペンションから取り外し、ＨＤＤに実装される製品サスペンションにそのヘッド・スライダを実装する。製品サスペンションは、従来のサスペンションと同様の構成とすることができる。これによって、テストにおいてヘッド・スライダを確実に固定するとともに、サスペンションを廃棄することなく容易に不良ヘッド・スライダの交換を行うことができる。また、ヘッド・スライダの強磁界での評価や、サスペンションの伝送路の検討、メカ的な振動の検討においても本形態のサスペンションを使用することができる。
【００６０】
以上の説明は、本発明の実施形態を説明するものであり、本発明が上述の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上述の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本実施形態における、ハードディスク・ドライブの構成を示す模式平面図である。
【図２】本実施形態における、ヘッド・ジンバル・アセンブリの製造工程を示すフローチャートである。
【図３】本実施形態における、ＤＥＴにおけるヘッド・ジンバル・アセンブリの構成を模式的に示す図である。
【図４】本実施形態における、ジンバルの接続端子とヘッド・スライダの端子の接続構造を模式的に示す図である。
【図５】本実施形態における、ＨＤＤ実装のためのヘッド・スライダの本接続を模式的に示す図である。
【図６】他の好ましい態様における、るヘッド・ジンバル・アセンブリの構成を模式的に示す図である。
【図７】他の好ましい態様における、るヘッド・ジンバル・アセンブリの構成を模式的に示す図である。
【図８】従来の技術におけるヘッド・ジンバル・アセンブリの構成を模式的に示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６２】
１００  ハードディスク・ドライブ、１０１  磁気ディスク、１０２  ベース
１０３  スピンドル・モータ、１０４  ハブ、１０５  ヘッド・スライダ
１０６  アクチュエータ、１０７  回動軸、１０８  アクチュエータ・アーム
１０９  ＶＣＭ、１１０  サスペンション、１１１  ヘッド・アーム
１１２  コイル・サポート、１１３  フラットコイル
１１４  上側ステータ・マグネット保持板、１１５  ランプ機構、１１６  タブ
２００  ヘッド・ジンバル・アセンブリ、２０１  トレース、２０２  ジンバル
２０３  ロード・ビーム、２２１  接続端子、２２２  開口
２２３  ジンバル・タング、２２４  バネ性クランプ、２２５  ジンバル・アーム
２２６  開口、２２７  バネ性クランプ、２２８  ストッパ
２３１  ディンプル２８１  接着剤層、２８２  導体ボール、２８３  導体層
３０１  ジンバル層、３０２  絶縁層、３０３  導体層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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