(57)【要約】【課題】低コストで、しかも短時間で基板の検査を実施し得る基板検査装置を提供する。【解決手段】基板１０に実装または形成されたフィルタ１１について予め規定された４つの周波数に試験信号Ｓ１の周波数を設定してフィルタ１１に供給する試験信号供給部２と、試験信号Ｓ１が供給されているときにフィルタ１１を通過して出力される出力信号Ｓ２のレベルを測定する測定部３と、フィルタ１１について４つの周波数に対応して予め規定された良否判別用データＤ２と測定部３によって測定された各周波数における出力信号Ｓ２の各測定データＤ１とを比較してフィルタ１１の良否を判別する制御部４とを備えている。【選択図】図１
2007309814.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に実装または形成された検査対象体について予め規定された複数の周波数に試験信号の周波数を設定して当該検査対象体に供給する試験信号供給部と、
前記試験信号が供給されているときに前記検査対象体を通過して出力される出力信号のレベルを測定する測定部と、
前記検査対象体について前記複数の周波数に対応して予め規定された基準レベルと前記測定部によって測定された当該各周波数における前記出力信号の各レベルとを比較して前記検査対象体の良否を判別する判別部とを備えている基板検査装置。
【請求項２】
前記検査対象体は、フィルタであり、
前記試験信号供給部は、前記フィルタの通過域における遷移域の近傍に設定された１つの周波数、および前記フィルタの減衰域における当該遷移域の近傍に設定された１つの周波数の前記試験信号を供給する請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記検査対象体は、フィルタであり、
前記試験信号供給部は、前記フィルタの通過域および減衰域にそれぞれ１つずつ設定された周波数の前記試験信号を供給する請求項１記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に実装または形成された検査対象体の伝送特性などを検査し得る基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置として、特開２０００−２８５５１号公報において開示された基板検査装置が知られている。この基板検査装置では、検査対象の試験基板（基板）についての伝搬特性（伝送特性）をネットワークアナライザを使用して測定し、この測定結果に基づいて試験基板の不良の有無を判定している。この場合、ネットワークアナライザは、例えば、特開平１１−１７４１０４号公報に開示されているように、所定の周波数領域に掃引した周波数信号を検査対象に供給することで、検査対象の伝送特性を測定するように構成されている。
【特許文献１】特開２０００−２８５５１号公報（第３−７頁、第１図）
【特許文献２】特開平１１−１７４１０４号公報（第３頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記の基板検査装置には、以下のような問題点がある。すなわち、この基板検査装置では、ネットワークアナライザを使用して、所定の周波数領域に掃引した周波数信号を基板に供給しつつ、基板の伝送特性を測定している。このため、高価なネットワークアナライザを必要とする結果、測定コストが上昇するという問題点が存在している。また、周波数の掃引にある程度長い時間を必要とする結果、検査に要する時間が長時間化するという問題点も存在している。
【０００４】
本発明は、上記の問題を解決すべくなされたものであり、低コストで、しかも短時間で基板の検査を実施し得る基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、基板に実装または形成された検査対象体について予め規定された複数の周波数に試験信号の周波数を設定して当該検査対象体に供給する試験信号供給部と、前記試験信号が供給されているときに前記検査対象体を通過して出力される出力信号のレベルを測定する測定部と、前記検査対象体について前記複数の周波数に対応して予め規定された基準レベルと前記測定部によって測定された当該各周波数における前記出力信号の各レベルとを比較して前記検査対象体の良否を判別する判別部とを備えている。
【０００６】
また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記検査対象体は、フィルタであり、前記試験信号供給部は、前記フィルタの通過域における遷移域の近傍に設定された１つの周波数、および前記フィルタの減衰域における当該遷移域の近傍に設定された１つの周波数の前記試験信号を供給する。
【０００７】
また、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記検査対象体は、フィルタであり、前記試験信号供給部は、前記フィルタの通過域および減衰域にそれぞれ１つずつ設定された周波数の前記試験信号を供給する。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１記載の基板検査装置では、試験信号供給部が基板に実装または形成された検査対象体について予め規定された複数の周波数に試験信号の周波数を設定して検査対象体に供給し、試験信号が供給されているときに検査対象体を通過して出力される出力信号のレベルを測定部が測定し、判別部が検査対象体について複数の周波数に対応して予め規定された基準レベルと測定部によって測定された各周波数における出力信号の各レベルとを比較して検査対象体の良否を判別する。したがって、この基板検査装置によれば、高価なネットワークアナライザを使用することなく検査することができるため、検査コストを大幅に低下させることができる。また、試験信号の周波数を予め規定された複数の周波数に設定するだけでよいため、ネットワークアナライザを使用して所定の周波数領域で掃引した周波数信号を検査対象体に供給する構成と比較して、極めて短時間に検査対象体の検査を完了させることができる。
【０００９】
また、請求項２記載の基板検査装置によれば、フィルタが検査対象体のときに、試験信号供給部が、フィルタの通過域における遷移域の近傍に設定された１つの周波数、およびフィルタの減衰域における遷移域の近傍に設定された１つの周波数の試験信号をフィルタに供給することにより、ネットワークアナライザを使用することなく、フィルタの検査、具体的には、通過域における利得の検査、減衰域における減衰量の検査、および周波数域上における遷移域（さらには遷移域に含まれているカットオフ周波数）の位置の検査を低コストで、しかも短時間で完了させることができる。
【００１０】
また、請求項３記載の基板検査装置によれば、フィルタが検査対象体のときに、試験信号供給部がフィルタの通過域および減衰域にそれぞれ１つずつ設定された周波数の試験信号をフィルタに供給することにより、試験信号の周波数を通過域および減衰域の数と同数の周波数に設定するだけでよいため、ネットワークアナライザを使用することなく、フィルタの検査、具体的には、通過域における利得の検査、および減衰域における減衰量の検査を低コストで、しかも短時間で完了させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る基板検査装置の最良の形態について説明する。
【００１２】
最初に、本発明に係る基板検査装置１について、図面を参照して説明する。
【００１３】
基板検査装置１は、図１に示すように、基板１０に実装または形成された検査対象体１１の伝送特性を実行する装置であって、試験信号供給部２、測定部３、制御部４、記憶部５および出力部６を備えて構成されている。本例では、基板１０の一例として、抵抗、コンデンサおよびインダクタなどの電気的素子が内部に形成されたいわゆる「部品内蔵基板」を例に挙げて説明する。また、この種の基板１０では、上記の電気的素子によって内部にフィルタが構成されることが多く、この基板検査装置１は、基板１０の検査に際して、このフィルタを検査対象体１１としてその伝送特性を検査する。したがって、以下では、検査対象体１１であるフィルタを「フィルタ１１」ともいう。なお、本例では、良品の基板１０内に構成されるフィルタ１１は、一例としてバンドパスフィルタであり、図２において矢印Ａで示す伝送特性（破線で示す特性）を備えているものとする。
【００１４】
試験信号供給部２は、このフィルタ１１に対して予め設定された複数（一例として４つの）の周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４（ｆ１＜ｆ２＜ｆ３＜ｆ４）の試験信号Ｓ１を生成可能に構成されている。この場合、図２に示すように、周波数ｆ１，ｆ２は、低域側の遷移域（低域側のカットオフ周波数を含む帯域）２２を挟むようにして設定されている。つまり、周波数ｆ１は、低域側の減衰域２１に含まれる周波数であって、遷移域２２の近傍の周波数に設定され、周波数ｆ２は、通過域２３に含まれる周波数であって、低域側の遷移域２２の近傍の周波数に設定されている。他方、周波数ｆ３，ｆ４は、高域側の遷移域（高域側のカットオフ周波数を含む帯域）２４を挟むようにして設定されている。つまり、周波数ｆ３は、通過域２３に含まれる周波数であって、高域側の遷移域２４の近傍の周波数に設定され、周波数ｆ４は、高域側の減衰域２５に含まれる周波数であって、遷移域２４の近傍の周波数に設定されている。また、試験信号供給部２は、出力プローブ７を介してフィルタ１１の一端に接続される。また、試験信号供給部２は、制御部４の制御下で、各周波数ｆ１〜ｆ４のうちの制御部４によって選択された１つの周波数に試験信号Ｓ１の周波数を設定して生成し、生成した試験信号Ｓ１を出力プローブ７を介してフィルタ１１に供給（出力）する。
【００１５】
測定部３は、増幅器およびＡ／Ｄ変換器（いずれも図示せず）を備えて構成されている。また、測定部３は、入力プローブ８を介してフィルタ１１の他端に接続される。また、測定部３は、試験信号Ｓ１が供給されているときにフィルタ１１の内部を通過してその他端から出力される試験信号Ｓ１、つまりフィルタ１１を通過して出力される出力信号Ｓ２のレベルを測定する。具体的には、測定部３は、入力プローブ８を介して出力信号Ｓ２を入力して、出力信号Ｓ２のレベル（電圧振幅）を測定データＤ１に変換して出力する。
【００１６】
制御部４は、ＣＰＵなどで構成されて、本発明における判別部を構成する。また、制御部４は、試験信号供給部２に対する制御、および測定データＤ１に基づくフィルタ１１に対する検査処理などを実行する。記憶部５は、ＲＯＭやＲＡＭなどで構成されて、良否判別用データＤ２（本発明における基準レベル）、および制御部４の動作プログラムを記憶している。この場合、良否判別用データＤ２は、良品の基板１０内に構成されたフィルタ１１（良品のフィルタ１１）に対して、周波数を各周波数ｆ１〜ｆ４に設定した試験信号Ｓ１を供給したときに測定部３から出力される測定データＤ１に基づいて決定されている。具体的には、良否判別用データＤ２は、図２に示すように、周波数ｆ１，ｆ４の試験信号Ｓ１を供給したときに良品のフィルタ１１から出力される出力信号Ｓ２のレベルが含まれる範囲を示す下限値Ｄａおよび上限値Ｄｂと、周波数ｆ２，ｆ３の試験信号Ｓ１を供給したときに良品のフィルタ１１から出力される出力信号Ｓ２のレベルが含まれる範囲を示す下限値Ｄｃおよび上限値Ｄｄとで構成されている。また、記憶部５は、制御部４による検査処理の結果などを一時的に記憶する。
【００１７】
出力部６は、例えばＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）を有する表示装置で構成されて、制御部４が実行した検査処理の検査結果を含む表示データＤ３を入力して表示する。なお、出力部６は、表示装置に代えて、印字装置や、検査結果を外部装置に出力するための出力インターフェース回路で構成することもできる。
【００１８】
次に、基板検査装置１による基板１０に形成されたフィルタ１１に対する検査動作について、図面を参照して説明する。
【００１９】
まず、図１に示すように、フィルタ１１の一端に出力プローブ７を接続し、フィルタ１１の他端に入力プローブ８を接続する。
【００２０】
続いて、制御部４は、検査処理を実行する。この検査処理では、最初に、制御部４は、試験信号供給部２を制御して、４つの周波数ｆ１〜ｆ４のうちの１つの周波数（例えばｆ１）の試験信号Ｓ１を生成させる。これにより、フィルタ１１の一端には出力プローブ７を介して試験信号Ｓ１が供給され、フィルタ１１の他端から測定部３には入力プローブ８を介して出力信号Ｓ２が出力される。測定部３は、この出力信号Ｓ２を入力して測定データＤ１に変換して制御部４に出力する。次いで、制御部４は、測定データＤ１を入力して、周波数ｆ１に対応させて測定データＤ１を記憶部５に記憶させる。なお、以下では、周波数ｆ１に対応させて記憶部５に記憶させた測定データＤ１については、「測定データＤ１１」ともいう。
【００２１】
続いて、制御部４は、試験信号供給部２を制御して、周波数がｆ２，ｆ３，ｆ４の試験信号Ｓ１をフィルタ１１に順次供給させつつ、各周波数ｆ２，ｆ３，ｆ４のときの測定データＤ１を各周波数ｆ２，ｆ３，ｆ４に対応させて記憶部５にそれぞれ記憶させる。なお、以下では、周波数ｆ２，ｆ３，ｆ４に対応させて記憶部５に記憶させた測定データＤ１については、それぞれ「測定データＤ１２」、「測定データＤ１３」、「測定データＤ１４」ともいう。
【００２２】
続いて、制御部４は、各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４での各測定データＤ１（Ｄ１１，Ｄ１２，Ｄ１３，Ｄ１４）と良否判別用データＤ２とを記憶部５から順次読み出して比較することにより、各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４における測定データＤ１の良否を判別する。具体的には、制御部４は、周波数ｆ１，ｆ４の各測定データＤ１１，Ｄ１４については、記憶部５から読み出した周波数ｆ１，ｆ４に対応する良否判別用データＤ２である下限値Ｄａおよび上限値Ｄｂと、測定データＤ１１，Ｄ１４とを比較し、測定データＤ１１，Ｄ１４が下限値Ｄａ以上で、かつ上限値Ｄｂ以下のときに、測定データＤ１１，Ｄ１４が良であると判別する。他方、測定データＤ１１，Ｄ１４が下限値Ｄａ未満のとき、または上限値Ｄｂを超えているときには、測定データＤ１１，Ｄ１４が不良であると判別する。また、制御部４は、各周波数ｆ１，ｆ４での判別結果を各周波数ｆ１，ｆ４に対応させて記憶部５に記憶させる。
【００２３】
また、制御部４は、周波数ｆ２，ｆ３の各測定データＤ１２，Ｄ１３については、記憶部５から読み出した周波数ｆ２，ｆ３に対応する良否判別用データＤ２である下限値Ｄｃおよび上限値Ｄｄと、測定データＤ１２，Ｄ１３とを比較し、測定データＤ１２，Ｄ１３が下限値Ｄｃ以上で、かつ上限値Ｄｄ以下のときに、測定データＤ１２，Ｄ１３が良であると判別する。他方、測定データＤ１２，Ｄ１３が下限値Ｄｃ未満のとき、または上限値Ｄｄを超えているときには、測定データＤ１２，Ｄ１３が不良であると判別する。また、制御部４は、各周波数ｆ２，ｆ３での判別結果を各周波数ｆ２，ｆ３に対応させて記憶部５に記憶させる。
【００２４】
一例を挙げて具体的に説明すると、各測定データＤ１１〜Ｄ１４と良否判別用データＤ２（下限値Ｄａおよび上限値Ｄｂと、下限値Ｄｃおよび上限値Ｄｄ）との関係が図２に示す状態のときには、制御部４は、測定データＤ１１については下限値Ｄａ以上で、上限値Ｄｂ以下の良品となる範囲内に含まれ、同様にして測定データＤ１３については下限値Ｄｃ以上で、上限値Ｄｄ以下の良品となる範囲内に含まれているため、両測定データＤ１１，Ｄ１３は共に良と判別する。他方、制御部４は、測定データＤ１２については下限値Ｄｃ未満となって良品の範囲内から外れ、測定データＤ１４については上限値Ｄｂを超えて良品の範囲内から外れているため、両測定データＤ１２，Ｄ１４は共に不良と判別する。したがって、制御部４は、各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４での判別結果（「良」、「不良」、「良」、「不良」）を各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４に対応させて記憶部５に記憶させる。
【００２５】
最後に、制御部４は、各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４での判別結果を記憶部５から読み出して、表示データＤ３として出力部６に出力し、この判別結果をフィルタ１１に対する検査結果として出力部６に表示させる。これにより、検査処理が完了する。
【００２６】
この場合、作業者は、出力部６に表示されている検査結果に基づき、フィルタ１１についての伝送特性の概要を判断することができる。つまり、上記した具体例のように、各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４での判別結果が「良」、「不良」、「良」、「不良」となる検査結果は、図２において実線で示すように、検査を実施したフィルタ１１の伝送特性が良品の伝送特性（破線で示す特性）に対して高域側にシフトしているときに得られる場合が多い。このため、このような検査結果となったときには、作業者は、検査を実施したフィルタ１１が、良品のフィルタ１１に対して高域側にシフトした伝送特性を備えているものであると判断することができる。
【００２７】
また、図示はしないが、測定データＤ１１については上限値Ｄｂを超え、測定データＤ１２については下限値Ｄｃ以上で、上限値Ｄｄ以下の範囲内に含まれ、測定データＤ１３については下限値Ｄｃ未満となり、測定データＤ１４については下限値Ｄａ以上で、上限値Ｄｂ以下の範囲内に含まれることにより、各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４での判別結果が、「不良」、「良」、「不良」、「良」となる検査結果は、検査を実施したフィルタ１１の伝送特性が良品の伝送特性に対して低域側にシフトしているときに得られる場合が多い。このため、このような検査結果となったときには、作業者は、検査を実施したフィルタ１１が、良品のフィルタ１１に対して低域側にシフトした伝送特性を備えているものであると判断することができる。
【００２８】
また、図３に示すように、各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４での判別結果が、測定データＤ１１，Ｄ１４については共に下限値Ｄａ以上で、上限値Ｄｂ以下の範囲内に含まれ、測定データＤ１２，Ｄ１３については共に下限値Ｄｃ未満となって、「良」、「不良」、「不良」、「良」となる検査結果のときには、フィルタ１１は、図３において実線で示す伝送特性、つまり、各遷移域２２，２４は良品の伝送特性（破線で示す特性）とほぼ同じ周波数であり、かつ減衰域２１，２５は十分な減衰量を確保できているが、通過域２３の利得が不十分であると判断することができる。
【００２９】
また、図示はしないが、各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４での判別結果が、逆に、測定データＤ１１，Ｄ１４については共に上限値Ｄｂを超え、測定データＤ１２，Ｄ１３については共に下限値Ｄｃ以上で、上限値Ｄｄ以下の範囲内に含まれて、「不良」、「良」、「良」、「不良」となる検査結果のときには、フィルタ１１は、各遷移域２２，２４は良品とほぼ同じ周波数であり、かつ通過域２３は十分な利得を確保できているが、減衰域２１，２５の減衰量が不十分であると判断することができる。
【００３０】
また、図４に示すように、各周波数ｆ１，ｆ３，ｆ４での判別結果は良であるが、周波数ｆ２での判別結果が、測定データＤ１２が下限値Ｄｃ未満となって不良となる検査結果のときには、フィルタ１１は、同図において実線で示す伝送特性、つまり、通過域２３は十分な利得を確保され、減衰域２１，２５の減衰量も十分であり、かつ高域側の遷移域２４は良品の伝送特性（破線で示す特性）とほぼ同じ周波数域であるが、低域側の遷移域２２が良品のものと比較して高域側にシフトした伝送特性（つまり通過域２３が低域側で狭い伝送特性）を備えていると判断することができる。また、図示はしないが、各周波数ｆ２，ｆ３，ｆ４での判別結果は良であるが、周波数ｆ１での判別結果が、測定データＤ１１が上限値Ｄｂを超えて不良となる検査結果のときには、フィルタ１１は、通過域２３は十分な利得を確保され、減衰域２５の減衰量も十分であり、かつ高域側の遷移域２４は良品とほぼ同じ周波数域であるが、低域側の遷移域２２が良品のものと比較して低域側にシフトした伝送特性（つまり通過域２３が低域側で広い伝送特性）を備えていると判断することができる。
【００３１】
このように、この基板検査装置１では、フィルタ１１がバンドパスフィルタのときに、試験信号供給部２が予め設定された４つの周波数ｆ１〜ｆ４に試験信号Ｓ１の周波数を設定してフィルタ１１に供給し、試験信号Ｓ１が供給されているときにフィルタ１１を通過して出力される出力信号Ｓ２のレベルを測定部３が測定し、フィルタ１１について４つの周波数ｆ１〜ｆ４に対応して予め規定された良否判別用データＤ２と測定部３によって測定された各周波数ｆ１〜ｆ４における出力信号Ｓ２の測定データＤ１１〜Ｄ１４とを制御部４が比較してフィルタ１１の良否を判別する。したがって、この基板検査装置１によれば、高価なネットワークアナライザを使用することなく検査することができるため、検査コストを大幅に低下させることができる。また、試験信号Ｓ１の周波数を４つの周波数ｆ１〜ｆ４に設定するだけでよいため、ネットワークアナライザを使用して所定の周波数領域で掃引した周波数信号をフィルタ１１に供給する構成と比較して、極めて短時間にフィルタ１１の検査を完了させることができる。
【００３２】
また、この基板検査装置１によれば、フィルタ１１の低域側の減衰域２１における低域側の遷移域２２の近傍に周波数ｆ１を規定し、フィルタ１１の通過域２３における低域側の遷移域２２の近傍に周波数ｆ２を規定し、フィルタ１１の通過域２３における高域側の遷移域２４の近傍に周波数ｆ３を規定し、フィルタ１１の高域側の減衰域２５における高域側の遷移域２４の近傍に周波数ｆ４を規定したことにより、各減衰域２１，２５における減衰量の良否判別、および通過域２３における利得の良否判別だけでなく、周波数域上における各遷移域２２，２４（さらには遷移域に含まれているカットオフ周波数）の位置の良否判別（言い換えれば、通過域２４のバンド幅の良否判別）を行うことができる。したがって、検査時間を短時間に維持しつつ、フィルタ１１の伝送特性をより正確に検査することができる。
【００３３】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、基板１０に形成されるフィルタ１１としてバンドパスフィルタ（ＢＰＦ）を例に挙げて説明したが、基板検査装置１で検査できるフィルタはＢＰＦに限定されるものではなく、例えば、図５に示すような伝送特性を示すバンドエリミネーションフィルタ（ＢＥＦ）や、図６に示すような伝送特性を示す高域周波数通過型フィルタ（ＨＰＦ）や、図７に示すような伝送特性を示す低域周波数通過型フィルタ（ＬＰＦ）についても検査できるのは勿論である。
【００３４】
この場合、バンドエリミネーションフィルタについては、図５に示すように、試験信号Ｓ１用の周波数ｆ１，ｆ４を各通過域３１，３５に規定すると共に、周波数ｆ２，ｆ３を減衰域３３に規定することにより、高価なネットワークアナライザを使用することなく、フィルタの検査、具体的には、各通過域３１，３５における利得の良否判別、減衰域３３における減衰量の良否判別、および周波数域上における各遷移域３２，３４（さらには遷移域３２，３４に含まれているカットオフ周波数）の位置の良否判別を低コストで、しかも短時間で完了させることができる。
【００３５】
また、高域周波数通過型フィルタについては、図６に示すように、試験信号Ｓ１用の周波数ｆ１を減衰域２１に規定すると共に、周波数ｆ２を通過域２３に規定することにより、また低域周波数通過型フィルタについては、図７に示すように、試験信号Ｓ１用の周波数ｆ１を通過域２３に規定すると共に、周波数ｆ２を減衰域２５に規定することにより、高価なネットワークアナライザを使用することなく、各フィルタの検査、具体的には、通過域２３における利得の良否判別、減衰域２１，２５における減衰量の良否判別、および周波数域上における各遷移域２２，２４（さらには遷移域２２，２４に含まれているカットオフ周波数）の位置の良否判別を低コストで、しかも短時間で完了させることができる。なお、各図において、上記のバンドパスフィルタの説明において用いた図２における要素と同等のものについては同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００３６】
また、例えば、遷移域（遷移域が複数のときには各遷移域）を挟むようにして減衰域および通過域における遷移域の近傍に試験信号Ｓ１用の周波数を一対設定することにより、遷移域の周波数域上での位置についても良否を判断し得るようにした例について説明したが、例えば、減衰域（複数のときには各減衰域）および通過域（複数のときには各通過域）にそれぞれ１つずつ試験信号Ｓ１の周波数（各領域内での周波数は任意でよい）を設定する構成を採用することもできる。具体的に図２を参照して説明すると、通過域２３に規定した２つの周波数ｆ２，ｆ３のうちのいずれか一方の周波数、および各減衰域２１，２５に規定した周波数ｆ１，ｆ４の３つの周波数を試験信号Ｓ１用の周波数として規定する構成を採用することができる。この構成を採用することにより、遷移域２２，２４の周波数域上での位置についての良否の判別はできない場合が生じるものの、出力部６に表示されるフィルタ１１に対する検査結果に基づき、各減衰域２１，２５における減衰量の良否、および通過域２３における利得の良否を判断することができ、また設定周波数が１つ削減された分だけ、より短時間に、フィルタ１１の良否の検査を実施することができる。
【００３７】
また、測定部３から出力される出力信号Ｓ２のレベルと比較する基準レベルとして、図２〜図７に示すように、例えば、下限値および上限値（例えば、下限値Ｄａおよび上限値Ｄｂ）で規定される範囲（良と判断するレベルの範囲）を規定したが、フィルタとしては、通常、減衰域では所望の減衰量以上の減衰量が確保できればよく、また通過域では所望の利得以上の利得が確保できれば、良品とされる。このため、減衰域については上限値を、通過域については下限値をそれぞれ基準レベルとして規定することができる。この構成を採用することにより、判別に際して実施する比較演算を半分に削減することができ、検査に要する時間をより短時間化できる。
【００３８】
また、フィルタ１１が図２に示す伝送特性を有するバンドパスフィルタのときには、同図に示すように、低域側および高域側の２つの減衰域２１，２５に対する基準レベル（下限値Ｄａおよび上限値Ｄｂ）を共通にし、また図５に示す伝送特性を有するバンドエリミネーションフィルタのときには、同図に示すように、低域側および高域側の２つの通過域３１，３５に対する基準レベル（下限値Ｄｃおよび上限値Ｄｄ）を共通にする例について上記したが、各減衰域２１，２５に対する基準レベルや、各通過域３１，３５に対する基準レベルを相違させてもよいのは勿論である。また、基板１０の内部に形成されたフィルタ１１を例に挙げて説明したが、基板１０の表面に実装された電子部品によって基板１０の表面上に構成されたフィルタや、基板１０に実装された単体部品としてのフィルタについても基板検査装置１で検査することができる。また、試験信号Ｓ１の周波数として規定する周波数の数を可能な限り少なくして、検査時間を最小にすべく、フィルタ１１がバンドパスフィルタおよびバンドエリミネーションフィルタのときには、規定する周波数を４つまたは３つにし、高域周波数通過型フィルタおよび低域周波数通過型フィルタのときには規定する周波数を２つにした構成を例に挙げたが、遷移域の数の多いフィルタのときには、この遷移域の数に応じて規定する周波数の数を増加させてもよい。
【００３９】
さらには、フィルタ以外の検査対象体に対しても、基板検査装置１を使用して検査できるのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】基板検査装置１のブロック図である。
【図２】フィルタ１１（ＢＰＦ）の伝送特性とそれに対する基準レベルとの関係を示す説明図である。
【図３】フィルタ１１（ＢＰＦ）の他の伝送特性とそれに対する基準レベルとの関係を示す説明図である。
【図４】フィルタ１１（ＢＰＦ）の他の伝送特性とそれに対する基準レベルとの関係を示す説明図である。
【図５】フィルタ１１（ＢＥＦ）の伝送特性とそれに対する基準レベルとの関係を示す説明図である。
【図６】フィルタ１１（ＨＰＦ）の伝送特性とそれに対する基準レベルとの関係を示す説明図である。
【図７】フィルタ１１（ＬＰＦ）の伝送特性とそれに対する基準レベルとの関係を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  基板検査装置
２  試験信号供給部
３  測定部
４  制御部
５  記憶部
１０  基板
１１  フィルタ
Ｄ１  測定データ
Ｄ２  良否判別用データ
ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４  周波数
Ｓ１  試験信号
Ｓ２  出力信号
【図１】
2007309814.tif 000003
【図２】
2007309814.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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