(57)【要約】      （修正有）【課題】簡易な方式で画像比較を容易に実行可能な拡大画像装置および拡大観察方法を提供する。【解決手段】第１の画像表示領域１１に表示された指定点１１Ａと、第２の画像表示領域に表示された指定点１２Ａを一致させるとともに第１の画像表示領域１１に表示された指定点１１Ｂに対して第２の画像表示領域に表示された指定点１２Ｂとを一致させるように第２の画像表示領域に表示された画像Ｐ２の位置および倍率を変更して、第１の画像表示領域に表示された画像Ｐ１と第２の画像表示領域に表示された画像Ｐ２の位置および倍率を変更した画像とを重ね合わせ処理して合成画像を重ね合わせ表示領域１３に表示する。【選択図】図８
2007318555.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象を撮像するための撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記観察対象について受信した信号に基づいて観察画像を生成するとともに前記観察画像と比較される比較画像との間で画像処理を実行する制御部と、
表示部とを備え、
前記制御部は、
第１の表示画像として、前記観察画像および前記比較画像の一方を前記一方の画像上の任意の位置に指定可能な第１および第２の指定点とともに前記表示部に表示し、
第２の表示画像として、前記観察画像および前記比較画像の他方を前記他方の画像上の任意の位置に指定可能な第３および第４の指定点とともに前記表示部に表示し、
第３の表示画像として、前記第１の表示画像上に表示された第１の指定点と前記第２の表示画像上に表示された第３の指定点とが一致するように、かつ前記第１の表示画像上に表示された第２の指定点と前記第２の表示画像上に表示された第４の指定点とが一致するように、前記第１および第２の表示画像の少なくとも一方の位置および倍率が変更され、変更された状態で前記第１および第２の表示画像を重ね合わせ処理した合成画像を前記表示部に表示する、拡大観察装置。
【請求項２】
前記第１〜第４の指定点の対応する表示画像上における任意の位置を指定するための指定手段をさらに備えた、請求項１に記載の拡大観察装置。
【請求項３】
前記指定手段により、前記第１および第２の表示画像上における第１〜第４の指定点の位置は、前記第３の表示画像において、対応する表示画像との相対関係を維持しつつ変更される、請求項２に記載の拡大観察装置。
【請求項４】
前記第１の表示画像上に表示された前記第１の指定点と前記第２の指定点とを結ぶ第１の線分の距離と前記第２の表示画像上に表示された前記第３の指定点と前記第４の指定点とを結ぶ第２の線分の距離とが等しくなるように倍率が変更され、
前記第１の表示画像上に表示された前記第１の線分と前記第２の表示画像上の表示された前記第２の線分とが一致するように位置が変更される、請求項１に記載の拡大観察装置。
【請求項５】
前記指定手段により、前記第１および第２の表示画像上における第１の線分あるいは第２の線分が選択され場合には、対応する指定点間の距離および角度を維持しつつ指定点の移動が可能である、請求項１に記載の拡大観察装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記観察画像と前記比較画像との重ね合わせ比率に基づいて重ね合わせ処理した合成画像を前記表示部に表示する、請求項１に記載の拡大観察装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記観察画像および前記比較画像のそれぞれの輝度および色の少なくとも一方を調整して重ね合わせ処理した合成画像を前記表示部に表示する、請求項１に記載の拡大観察装置。
【請求項８】
前記制御部は、第２の指示に応答して前記観察画像と前記比較画像との差分を検出して、差分画像を前記表示部に表示する、請求項１に記載の拡大観察装置。
【請求項９】
前記制御部は、第２の指示に応答して前記観察画像、前記比較画像および前記合成画像のいずれかの画像を前記表示部に全画面表示させる、請求項１に記載の拡大観察装置。
【請求項１０】
観察対象を撮像するための撮像部と、前記撮像部で撮像された前記観察対象について受信した信号に基づいて観察画像を生成するとともに前記観察画像と比較される比較画像との間で画像処理を実行する制御部と、表示部とを備える拡大観察装置の拡大観察方法であって、
第１の表示画像として、前記観察画像および前記比較画像の一方を前記一方の画像上の任意の位置に指定可能な第１および第２の指定点とともに前記表示部に表示し、
第２の表示画像として、前記観察画像および前記比較画像の他方を前記他方の画像上の任意の位置に指定可能な第３および第４の指定点とともに前記表示部に表示し、
第３の表示画像として、前記第１の表示画像上に表示された第１の指定点と前記第２の表示画像上に表示された第３の指定点とが一致するように、かつ前記第１の表示画像上に表示された第２の指定点と前記第２の表示画像上に表示された第４の指定点とが一致するように、前記第１および第２の表示画像の少なくとも一方の位置および倍率を変更し、
変更された状態で前記第１および第２の表示画像を重ね合わせ処理した合成画像を前記表示部に表示する、拡大観察方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、拡大した画像を撮像して表示するマイクロスコープや顕微鏡のような拡大観察装置および拡大観察方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日、微小物体などを拡大して表示する拡大観察装置として、光学レンズを使った光学顕微鏡やデジタルマイクロスコープなどが利用されている。
【０００３】
デジタルマイクロスコープは、光学系を介して入射する観察対象物からの反射光または透過光を二次元上に配置された画素ごとに電気的に読取る固体撮像素子（ＣＣＤ素子）等の受光素子を備え、ＣＣＤ素子を用いて電気的に読取られた画像をディスプレイ等の表示部に表示する。
【０００４】
このＣＣＤ素子を用いることにより、拡大観察装置は、観察対象物に加工を施さずに観察することが可能であり、たとえば２０倍から１０００倍といった倍率での拡大観察を手軽に行なえるというメリットがある。
【０００５】
この拡大観察装置においては、複数の画像を並列に比較して観察したり、あるいは画像を合成して観察することが可能であれば、多様な分析的な観察が可能となる。この点で近年においては、種々の観察方式が提案されており、たとえば、特許文献１においては、複数の撮像系ユニットを設けてそれらを切り換えることにより、複数の画像の比較観察を実行する方式等が開示されている。
【０００６】
また、比較観察に関して、良品あるいは不良品の判定に用いることによりすなわち、良品の画像と不良品の画像とをそれぞれ並列に配置して比較観察することにより、その判定を容易にすることが可能である。
【特許文献１】特開平５−２９２３８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、複数の画像を比較観察する場合、たとえば良品の画像と不良品との画像の撮像条件等および配置が一致していなければ、正確な比較観察は困難である。
【０００８】
本発明は上記のような問題を解決するためになされたものであって、簡易な方式で画像比較を容易に実行可能な拡大画像装置および拡大観察方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る拡大観察装置は、観察対象を撮像するための撮像部と、撮像部で撮像された観察対象について受信した信号に基づいて観察画像を生成するとともに観察画像と比較される比較画像との間で画像処理を実行する制御部と、表示部とを備える。制御部は、第１の表示画像として、観察画像および比較画像の一方を一方の画像上の任意の位置に指定可能な第１および第２の指定点とともに表示部に表示する。第２の表示画像として、観察画像および比較画像の他方を他方の画像上の任意の位置に指定可能な第３および第４の指定点とともに表示部に表示する。第３の表示画像として、第１の表示画像上に表示された第１の指定点と第２の表示画像上に表示された第３の指定点とが一致するように、かつ第１の表示画像上に表示された第２の指定点と第２の表示画像上に表示された第４の指定点とが一致するように、第１および第２の表示画像の少なくとも一方の位置および倍率が変更され、変更された状態で第１および第２の表示画像を重ね合わせ処理した合成画像を表示部に表示する。
【００１０】
好ましくは、第１〜第４の指定点の対応する表示画像上における任意の位置を指定するための指定手段をさらに備える。
【００１１】
特に、指定手段により、第１および第２の表示画像上における第１〜第４の指定点の位置は、第３の表示画像において、対応する表示画像との相対関係を維持しつつ変更される。
【００１２】
好ましくは、第１の表示画像上に表示された第１の指定点と第２の指定点とを結ぶ第１の線分の距離と第２の表示画像上に表示された第３の指定点と第４の指定点とを結ぶ第２の線分の距離とが等しくなるように倍率が変更され、第１の表示画像上に表示された第１の線分と第２の表示画像上の表示された第２の線分とが一致するように位置が変更される。
【００１３】
好ましくは、指定手段により、前記第１および第２の表示画像上における第１の線分あるいは第２の線分が選択され場合には、対応する指定点間の距離および角度を維持しつつ指定点の移動が可能である。
【００１４】
好ましくは、制御部は、観察画像と比較画像との重ね合わせ比率に基づいて重ね合わせ処理した合成画像を表示部に表示する。
【００１５】
好ましくは、制御部は、観察画像および比較画像のそれぞれの輝度および色の少なくとも一方を調整して重ね合わせ処理した合成画像を表示部に表示する。
【００１６】
好ましくは、制御部は、第２の指示に応答して観察画像と比較画像との差分を検出して、差分画像を表示部に表示する。
【００１７】
好ましくは、制御部は、第２の指示に応答して観察画像、比較画像および合成画像のいずれかの画像を表示部に全画面表示させる。
【００１８】
本発明に係る拡大観察方法は、観察対象を撮像するための撮像部と、撮像部で撮像された観察対象について受信した信号に基づいて観察画像を生成するとともに観察画像と比較される比較画像との間で画像処理を実行する制御部と、表示部とを備える拡大観察装置の拡大観察方法であって、第１の表示画像として、観察画像および比較画像の一方を一方の画像上の任意の位置に指定可能な第１および第２の指定点とともに表示部に表示し、第２の表示画像として、観察画像および比較画像の他方を他方の画像上の任意の位置に指定可能な第３および第４の指定点とともに表示部に表示し、第３の表示画像として、第１の表示画像上に表示された第１の指定点と第２の表示画像上に表示された第３の指定点とが一致するように、かつ第１の表示画像上に表示された第２の指定点と第２の表示画像上に表示された第４の指定点とが一致するように、第１および第２の表示画像の少なくとも一方の位置および倍率を変更し、変更された状態で第１および第２の表示画像を重ね合わせ処理した合成画像を表示部に表示する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る拡大観察装置および拡大観察方法は、第１の表示領域に表示された第１の指定点に対して第２の表示領域に表示された第３の指定点を一致させるとともに第１の表示領域に表示された第３の指定点に対して第２の表示領域に表示された第４の指定点とを一致させるように第２の表示領域に表示された他方の画像の位置および倍率を変更して、第１の表示領域に表示された画像と第２の表示領域に表示された他方の画像の位置および倍率を変更した画像とを重ね合わせ処理して合成画像を第３の表示領域に表示する。したがって、第１の表示領域における第１および第２の指定点と、第２の表示領域における第３および第４の指定点を任意の位置に指定することにより容易に画像の位置を合わせ、そして重ね合わせ処理して合成画像を生成することができるため、画像比較を容易に実行することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付し、その説明は繰返さない。
【００２１】
図１は、本発明の実施の形態に従う拡大観察装置の全体構成図である。
図１を参照して、本発明の実施の形態に従う拡大観察装置１００は、図示しない照明部により照明された試料を撮像する撮像部１１０と、撮像部１１０で撮像された拡大画像を表示する表示部１５２とを有する情報処理装置１０１とを備える。
【００２２】
そして、さらに拡大観察装置１００は、試料を固定する試料固定部（試料Ｓを載置するステージ１３０）と、ステージ１３０の昇降動作を制御するステージ昇降器１２０と、スタンド台１４１と、スタンド台１４１から鉛直方向に伸びる支柱１４２に固定された撮像部１１０の取り付け部１４３とが設けられる。また、ポインティングデバイスであるマウス１０３が情報処理装置１０１と接続され、クリック釦が設けられているマウス１０３を用いて後述する選択／指定動作等が実行される。
【００２３】
図２は、拡大観察装置１００の具体的構成について説明する図である。
図２を参照して、撮像部１１０は、光学系１１１を介して入射するステージ１３０に固定された試料Ｓからの反射光または透過光を電気的に読取る撮像素子（ＣＣＤ１１２）と、ＣＣＤ１１２を駆動制御するＣＣＤ制御回路１１３とを備える。また、ステージ昇降器１２０は、試料固定部と光学系１１１の光軸方向における相対距離を変化させ焦点を調整するためにステージ１３０を昇降させるステッピングモータ１２１と、ステッピングモータ１２１の駆動を制御するモータ制御部１２２とを含む。
【００２４】
撮像部１１０およびステージ昇降器１２０は、情報処理装置１０１に接続されて制御される。
【００２５】
情報処理装置１０１は、撮像部１１０の撮像素子によって電気的に読取られた画像データに基づいて撮像画像等を表示するディスプレイやモニタ等の表示部１５２と、マウス１０３等の操作部１５５と、操作部１５５によって入力された情報に基づいて画像処理その他各種処理を行なうための制御部１５１と、情報処理装置１０１が撮像部１１０およびステージ昇降器１２０とデータ通信するためのインターフェイス（Ｉ／Ｆ）１５４と、情報処理装置１０１における画像処理等を実行するための各種制御プログラムおよび撮像部１１０で撮像した画像あるいは外部から入力された画像等を記録するメモリ１５３とを備える。また、メモリ１５３には、さらに拡大観察装置１００を操作する操作機能あるいは操作プログラムが内蔵されている。この操作プログラムは書換可能なソフトウェア、ファームウェア等の形態で拡大観察装置１００に対してインストール、あるいはアップデートすることが可能である。なお、ここでは、図示しないが、外部機器と接続して外部との間でデータ通信を実行させるようにすることも可能である。
【００２６】
この拡大観察装置１００は、当該構成により、光学系を介して入射する試料固定部に固定された試料からの反射光または透過光を、電気的に読取る撮像素子を用いて指定された領域に対する試料の画像を表示することができる。
【００２７】
以下においては、複数の画像を並列に比較する画像比較モードにおいて、画像比較を容易に実行可能な方式について説明する。
【００２８】
図３は、本発明の実施の形態に従う画像比較モードの画面１０を説明する図である。
図３を参照して、本発明の実施の形態に従う画像比較モードにおいては、表示部１５２の画面全体が複数の画像を表示する表示領域に分割された場合が示されている。
【００２９】
本例においては、一例として表示部１５２の画面１０が４つの表示領域に分割されている場合が示されている。
【００３０】
具体的には、第１画像表示領域１１と、第２画像表示領域１２と、重ね合わせ表示領域１３と、差分表示領域１４とが示される。
【００３１】
たとえば、ユーザが画像処理を実行する複数のモードのうち画像比較モードを選択した場合には、上記の如く画面１０が複数の表示領域に分割され、画像選択ダイアログ１６が示される。
【００３２】
画像選択ダイアログ１６は、一例として分割された画面に表示する画像情報の選択を促すものである。具体的には、画像選択ダイアログ１６において、第１画像表示領域１１および第２画像表示領域１２に表示可能な画像候補の一覧が示されて、ユーザの選択により決定される。なお、ここでは、画像候補の一覧として、一例として「現在の画像」、画像Ｖ、画像Ｗ、画像Ｘ・・・等が示されている。なお、「現在の画像」は、撮像部１１０の撮像素子によって電気的に読取られた画像データに基づくリアルタイムの撮像画像であるものとする。
【００３３】
この画像候補の一覧は、一例として制御部１５１により、メモリ１５３に格納された画像データおよび撮像部１１０からの現在の撮像画像あるいは外部から入力される画像データのファイル名が検索されて取得され、それらを画像選択ダイアログに配列するものとする。そして、この画像選択ダイアログ１６に配列された画像候補の一覧は、ユーザがマウス１０３を用いて指定することにより、それぞれ第１画像表示領域および第２画像表示領域において表示される画像が１つずつ選択されるものとする。そして、たとえば画像選択ダイアログ１６の「ＯＫ」釦をユーザがマウス１０３を用いて押下することによりユーザの指定により選択された画像が第１画像表示領域１１および第２画像表示領域１２に表示される。なお、一例として画像選択ダイアログ１６の「キャンセル」釦をユーザがマウス１０３を用いて押下することにより画像比較モードを終了することが可能であるものとする。
【００３４】
なお、本例においては、一例として、ユーザがポインティングデバイスであるマウス１０３を用いて、第１画像表示領域に表示する画像として画像Ｖを指定し、第２画像表示領域に表示される画像として現在の画像を指定した場合が示されているが、いずれの画像を指定し選択することも可能である。
【００３５】
図４は、本発明の実施の形態に従う画像比較モードにおいて、第１画像表示領域１１および第２画像表示領域１２にユーザの選択により２つの画像が表示されている場合を説明する図である。
【００３６】
図４に示されるように、ユーザが画像選択ダイアログ１６を操作して２つの画像を指定することにより、一例として、第１画像表示領域１１には、一例としてアルファベットの「Ａ」の形状である画像Ｐ１と、第２画像表示領域１２には、アルファベットの「Ｖ」の形状である画像Ｐ２が示されている。なお、ここでは、第２画像表示領域１２に一例として撮像部１１０からの撮像画像が表示されているものとする。
【００３７】
また、この図４においては画像比較モードにおいて種々の機能を実行するための画像比較ダイアログ１５が示されており、画像比較ダイアログ１５に示される複数の機能モード釦を選択的に実行することにより各種機能を実行することが可能である。
【００３８】
画像比較ダイアログ１５は、ここでは、一例として画像比較モードにおける第１画像表示領域１１と第２画像表示領域１２とにそれぞれ表示される画像を重ね合わせ処理する「重ね合わせ」釦１５Ａと、第１画像表示領域１１と第２画像表示領域１２とにそれぞれ表示される画像の差分処理を実行する「差分実行」釦１５Ｂと、選択された表示領域の画像を全画面表示する「全画面」釦１５Ｃと、画像比較モードにおける種々のパラメータを設定するための設定ダイアログを呼び出すための「設定」ボタン１５Ｄと、画像比較モードを終了するための「終了」ボタン１５Ｅとを備える。
【００３９】
図５は、本発明の実施の形態に従う画像比較モードのフロー図である。
図５を参照して、ユーザの選択指示により、画像比較モードが開始され（画像比較開始）（ステップＳ０）、図３で説明したように画像選択ダイアログ１６で選択した２つの画像Ｐ１，Ｐ２が読み込まれる（ステップＳ１）。そして、図４に示されるように第１および第２画像表示領域１１，１２に画像Ｐ１，Ｐ２が表示される（ステップＳ２）。そして、各種機能モード釦たとえば（１５Ａ〜１５Ｅ）が押下されて（ステップＳ３）、対応する各種機能モードが実行される（ステップＳ４）。
【００４０】
たとえば、画像比較ダイアログ１５において、「重ね合わせ」釦１５Ａが押下された場合には、画像比較モードにおける第１画像表示領域１１と第２画像表示領域１２とにそれぞれ表示される画像の重ね合わせ処理が実行される。また、「差分実行」釦１５Ｂが押下された場合には、第１画像表示領域１１と第２画像表示領域１２とにそれぞれ表示される画像の差分処理が実行される。また、「全画面」釦１５Ｃが押下された場合には、選択された表示領域の画像が全画面表示される。また、「設定」ボタン１５Ｄが押下された場合には、画像比較モードにおける種々のパラメータを設定するための設定ダイアログが呼び出される。また、「終了」ボタン１５Ｅが押下された場合には、画像比較モードが終了する。
【００４１】
以下、各種機能モードについて説明する。
［重ね合わせモード］
図６は、本発明の実施の形態に従う重ね合わせ処理を説明するフロー図である。
【００４２】
図６を参照して、「重ね合わせ」釦１５Ａが押下された場合には、重ね合わせモードに入る（スタート）（ステップＳ１０）。
【００４３】
そして、第１および第２画像表示領域１１，１２にそれぞれ指定点および指定線を表示する（ステップＳ１１）。
【００４４】
次に、重ね合わせ表示領域１３に画像Ｐ１と画像Ｐ２とを重ね合わせ表示する（ステップＳ１２）。このステップＳ１２による重ね合わせ表示については後述する。
【００４５】
次に、他の各種機能モード釦が押下されたかどうかを判定し（ステップＳ１３）、他の各種機能モード釦が押下された場合には、他の各種機能モードを実行する（ステップＳ１７）。
【００４６】
一方、ステップＳ１３において他の各種機能モード釦が押下されない場合は、次のステップＳ１４に進み、ポインティングデバイス（マウス）により指定点が選択されたかどうかを判定する（ステップＳ１４）。
【００４７】
ポインティングデバイスにより指定点が選択されない場合には再びステップＳ１３に戻る。
【００４８】
一方、ステップＳ１４において、ポイントデバイスにより指定点が選択された場合には次のステップに進み、選択された指定点が移動可能状態となる（ステップＳ１５）。
【００４９】
そして、次のステップに進み、選択された指定点が移動したかどうかが判定され（ステップＳ１６）、移動した場合にはステップＳ１２に戻る。なお、ステップＳ１６において移動しなかった場合にはステップＳ１３に戻る。
【００５０】
ここで選択された指定点が移動可能とは、指定点を指し示す領域をポインティングデバイスにより位置を合わせてクリック釦を押下することにより、指定点が選択状態になり、ポインティングデバイスのクリック釦を押下した状態を維持した状態を指し示すものとする。そして、その状態において、ポインティングデバイスを操作することにより操作に応じて指定点が移動し、ポインティングデバイスのクリック釦の押下を解除したときに選択された指定点の選択が解除されるものとする。したがって、選択された指定点は、その解除された指定点の位置に変更される。なお、ここでは、一例としてポインティングデバイスのクリック釦を押下した状態を維持した状態が指定点の選択状態である場合について説明したが、この方式に限られるものではなく、指定点を選択して、そして、指定点を移動させることが可能であればどのような方式を採用することも可能である。
【００５１】
なお、ここで示す選択された指定点の移動は、指定点が移動して指定点の選択が解除された場合のみならず、指定点が選択状態にあり、ポインティングデバイスを操作することにより操作に応じて指定点が移動している場合も含まれるものとする。
【００５２】
なお、「重ね合わせ」釦１５Ａが押下された場合には、第２画像表示領域１２に表示される画像Ｐ２は押下される直前の画像の静止画として表示されるものとして、メモリ１５３に記憶され表示されるものとする。たとえば、「重ね合わせ」釦１５Ａが押下される前は、第２画像表示領域１２にリアルタイムの「現在の画像」が表示することが可能であるが、「重ね合わせ」釦１５Ａが押下された場合には、画像処理する必要があるために静止画像として処理されるものとする。
【００５３】
図７は、本発明の実施の形態に従う重ね合わせ表示を実行する場合のフロー図である。
図７を参照して、本発明の実施の形態に従う重ね合わせ表示を実行する場合のフロー図について説明する。
【００５４】
まず、指定点の座標を検出する（ステップＳ２０）。
そして、画像Ｐ１，画像Ｐ２それぞれの指定点１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂの座標から指定線分１１Ｃ，１２Ｃの距離と、指定線分１１Ｃと１２Ｃとの角度Ｄを検出する（ステップＳ２１）。
【００５５】
そして次に、指定線分１１Ｃ，１２Ｃの距離の比からズーム比を算出する（ステップＳ２２）。
【００５６】
そして次に、画像Ｐ２を算出したズーム比でズームする（ステップＳ２３）。
ズームした画像について、指定点１１Ａと１１Ｂおよび１２Ａと１２Ｂとがそれぞれ一致するように、第２の画像表示領域１２に表示された画像の位置を変更（回転・平行移動）して画像Ｐ１に重ね合わせ処理する（ステップＳ２４）。具体的には、ズームした画像について、指定点１１Ａと１１Ｂおよび１２Ａと１２Ｂとがそれぞれ一致するように、指定点の座標および角度Ｄに基づいて第２の画像表示領域１２に表示された画像を回転・平行移動させる。
【００５７】
そして、重ね合わせ設定パラメータから画像Ｐ１と画像Ｐ２との重ね合わせ比率および色の読み込みを行なう（ステップＳ２５）。
【００５８】
そして、画像Ｐ１と画像Ｐ２とを設定された重ね合わせ比率および色で画像を重ね合せ（加算し）合成する（ステップＳ２６）。
【００５９】
そして、合成した合成画像を重ね合わせ表示領域１３に表示する（ステップＳ２７）。  図８は、重ね合わせ表示領域１３に重ね合わせ処理された合成画像が表示された場合を説明する図である。具体的には、重ね合せ釦１５Ａが押下された場合が示されている。
【００６０】
図８に示されるように、文字Ａの形状の画像Ｐ１が第１画像表示領域１１に示され、指定点１１Ａ，指定点１１Ｂが示されている。そして指定点１１Ａ，指定点１１Ｂとを結ぶ指定線分１１Ｃが示されている。同様にして第２画像表示領域１２には、上述したように現在の画像として撮像部１１０により撮像した撮像画像が表示され、ここでは画像Ｐ２が示されている。そして指定点１２Ａ，指定点１２Ｂとが同様に示され、指定点１２Ａと指定点１２Ｂとを結ぶ指定線分１２Ｃとが表示されている。
【００６１】
この図において、画像比較ダイアログ１５において重ね合せ釦１５Ａが押下されることにより、重ね合わせ表示領域１３において指定点１１Ａと指定点１２Ａとを一致させるようにまた、指定点１１Ｂと指定点１２Ｂとを一致させるように重ね合わせ処理される。そして、その結果として、重ね合わせ表示領域１３には、指定点１３Ａと指定点１３Ｂと、指定点１３Ａと指定点１３Ｂとを結ぶ指定線分１３Ｃとが示されている。なお、この場合は、一例として指定点１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂが移動していない初期状態の初期位置において、重ね合せ処理が実行された場合が示されている。なお、ここで、指定点１１Ａ，１２Ａは「丸」の記号で表記され、指定点１１Ｂ，１２Ｂは「四角」の記号で表記されているが表記の仕方は自由でありどのような図形あるいは文字、記号を用いても良い。
【００６２】
図９は、重ね合わせ表示領域１３に重ね合わせ処理された別の合成画像が表示された場合を説明する図である。ここでは、一例として、指定点１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂが初期状態から移動した場合の重ね合わせ画像が示されている。
【００６３】
図９に示されるように、第１画像表示領域１１の画像Ｐ１において指定点１１Ａおよび指定点１１Ｂは、文字「Ａ」の中央部を横切るように指定された状態である。また、第２画像表示領域１２の画像Ｐ２において、指定点１２Ａおよび指定点１２Ｂは、文字「Ｖ」の窪み部である底部に指定点１２Ａが合わされ、底部と反対側の文字「Ｖ」の上部付近の位置に指定点１２Ｂが移動された状態が示されている。
【００６４】
この状態において、上述したように指定線分１１Ｃと指定線分１２Ｃとの比に基づいて画像Ｐ２の倍率が変更され、指定点１１Ａと指定点１２Ａとが一致するように、また指定点１１Ｂと指定点１２Ｂとが一致するように位置が変更（回転・平行移動）されて合成画像が重ね合せ表示領域１３に表示される。
【００６５】
なお、図６のフロー図にあるようにステップＳ１６における選択された指定点の移動の判定の次のステップとして、ステップＳ１２に進むため一旦重ね合せモードに入れば再び「重ね合せ」釦を押すことなく、自動的に指定点の変更に従って合成画像が重ね合せ表示部１３に表示されることになる。さらに、上述したようにここで示す選択された指定点の移動は、指定点が選択状態にあり、ポインティングデバイスを操作することにより操作に応じて指定点が移動している場合も含まれるため選択された指定点の移動に伴い、上記したように指定点１１Ａと指定点１２Ａとが一致するように、また指定点１１Ｂと指定点１２Ｂとが一致するように位置が変更（回転・平行移動）されて合成画像が重ね合せ表示領域１３に表示されることになる。すなわち、ポインティングデバイスにより、指定点１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂのいずれかが選択されて移動する場合、指定点の位置は、重ね合せ表示領域１３における指定点に対応する画像との相対関係を維持しつつ変更されることになる。
【００６６】
また、本例においては、簡易のために指定点を選択して指定点を移動する場合についてのみ説明しているが、指定線分１１Ｃ，１２Ｃを選択して移動することも可能である。この場合には、ポインティングデバイスを操作することにより、指定線分に対してクリック釦を押下することにより選択状態することが可能であり、その選択状態においては、指定線分の距離および角度の関係を維持しつつ指定点の移動が可能であるものとする。
【００６７】
そして、この指定線分の移動に際しても、上記した指定点の移動と同様に指定点同士が一致するように合成画像が重ね合わせ表示領域１３に表示されることになる。
【００６８】
なお、本方式においては、指定点の変更に従って自動的に合成画像が変更される方式であるが、一旦指定点を変更した後に「重ね合せ」釦を押下することにより合成画像が変更される方式を採用することも当然に可能である。
【００６９】
図１０は、重ね合わせ表示領域１３に重ね合わせ処理されたさらに別の合成画像が表示された場合を説明する図である。ここでは、一例として、指定点１１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂが初期状態から移動した場合の重ね合わせ画像が示されている。
【００７０】
具体的には、第１画像表示領域１１において、文字「Ａ」の斜めの線に沿って端と端とに対応して指定点１１Ａおよび指定点１１Ｂを指定した場合が示されている。また、第２画像表示領域１２において、文字「Ｖ」の斜めの線に沿って端と端に対応して指定点１２Ａおよび指定点１２Ｂを指定した場合が示されている。
【００７１】
そして、それぞれの指定点が一致するように上述した方式に従って画像Ｐ２の倍率および位置が変更されて重ね合わせ表示領域１３に合成画像が表示される。
【００７２】
したがって、本発明の実施の形態に従う方式においては、第１画像表示領域１１および第２画像表示領域１２にそれぞれ設けられた指定点１１Ａ，１１Ｂならびに指定点１２Ａ，１２Ｂを指定するだけで、画像Ｐ１およびＰ２について指定点の位置に応じた位置合わせが可能となり、簡易な方式で位置合わせを行なって合成画像を生成することが可能であるためより簡便な方式で２つの画像を比較することが可能となる。従来において、位置合わせを行なって画像を比較する場合には、ユーザが画像比率を任意に調整するとともに、画像を比較しやすいようにユーザが画像を移動させて比較する操作が必要であったが、本願は、２点の指定点を指定することにより、当該操作を自動的に実行することが可能であるためユーザの操作回数が減少しユーザの利便性が高い。
【００７３】
なお、ここで、画像比較ダイアログ１５の位置が変更されているが、特に画像比較ダイアログ１５は、いずれの位置に配置することも可能であり、たとえば、画像比較ダイアログ１５の領域をポインティングデバイスにより位置を合わせてクリック釦を押下することにより、画像比較ダイアログ１５が移動可能状態となり、ポインティングデバイスのクリック釦を押下した状態において、ポインティングデバイスを操作することにより操作に応じて画像比較ダイアログ１５を任意の位置に配置することが可能である。
【００７４】
なお、本例においては、一例として、第１画像表示領域１１に示される画像Ｐ１に対して第２画像表示領域１２に示される画像Ｐ２を重ね合わせ処理する場合について説明したが、逆に第２画像表示領域１２に示される画像Ｐ２に対して第１画像表示領域１１に示される画像Ｐ１を重ね合わせ処理することも当然に可能である。
【００７５】
また、本例においては、一例として、第１画像表示領域１１に示される画像Ｐ１に対して、画像Ｐ２の倍率を必要に応じて変更して重ね合わせ処理する場合、すなわち、画像Ｐ１の倍率を変更しない場合について説明したが、画像Ｐ１およびＰ２の倍率をともに変更して重ね合わせ処理することも当然に可能である。
【００７６】
［差分実行モード］
図１１は、本発明の実施の形態に従う差分実行モードのフロー図である。
【００７７】
図１１を参照して、「差分実行」釦１５Ｂが押下された場合には、差分実行モードに入る（スタート）（ステップＳ３０）。そして、差分実行パラメータを読み込む（ステップＳ３１）。なお、本例においては、当該差分実行モードは、重ね合わせ処理した後に実行される場合について説明するが、第１画像表示領域１１および第２画像表示領域１２にそれぞれ画像が表示されていれば差分処理可能である。
【００７８】
次に、差分表示領域１４に、差分実行パラメータに含まれる情報に基づいて重ね合わせ表示領域１３に表示された画像Ｐ１と画像Ｐ２との差分処理を実行して、差分画像を表示する（ステップＳ３２）。差分処理は、画像Ｐ１と画像Ｐ２との対応する各画素毎の濃度差を検出して、引き算を行い、その結果が差分画像として表示される。したがって一致する場合には表示なしとなる。差分実行パラメータに含まれる情報には、差分重ね合わせ比率および色等の情報が含まれているものとする。なお、この差分実行パラメータについては、後述する設定モードにおいてユーザが任意の値に変更可能である。
【００７９】
そして、差分画像を他の各表示領域に重ね合わせ処理する指示があるか否かを判断する（ステップＳ３３）。なお、ここで、差分画像を他の各表示領域に重ね合わせ処理するか否かについては、ステップＳ３１において差分実行パラメータを読み込んだ際に差分実行パラメータに予めユーザが当該指示しているか否かの情報が含まれているものとする。
【００８０】
そして、ステップＳ３３において、差分画像を他の各表示領域に重ね合わせ処理する指示がある場合（差分画像重ね合わせ指示あり）の場合には、ステップＳ３４に進み、差分重ね合わせ比率および色で第１および第２画像表示領域１１，１２および重ね合わせ表示領域１３に差分画像を重ね合わせ処理して表示する（ステップＳ３４）。
【００８１】
一方、ステップＳ３３において差分画像重ね合わせ指示がない場合には、ステップＳ３５に進み、他の各種機能モード釦が押下されるまでステップＳ３５を維持する。
【００８２】
他の各種機能モード釦が押下された場合には他の各種機能モードを実行する（ステップＳ３６）。
【００８３】
図１２は、差分表示領域１４に差分処理された差分画像が表示された場合を説明する図である。
【００８４】
図１２を参照して、ここでは、「差分実行」釦１５Ｂが押下されて差分画像が表示される場合が示されている。
【００８５】
具体的には、第１および第２画像表示領域１１，１２にそれぞれ画像Ｐ１，Ｐ２が示され、重ね合わせ表示領域１３に重ね合わせ処理された合成画像Ｐ３が示され、差分表示領域１４に重ね合わせ表示領域１３に表示された画像Ｐ１と画像Ｐ２との差分画像Ｐ４が示されている。なお、本例においては、差分画像を他の各表示領域に重ね合わせ処理する指示がない場合が示されている。
【００８６】
図１３は、差分表示領域１４に差分処理された差分画像が表示された別の場合を説明する図である。
【００８７】
図１３を参照して、ここでは、図１２で説明した第１および第２画像表示領域１１，１２にそれぞれ示される画像Ｐ１，Ｐ２および重ね合わせ表示領域１３に示される合成画像Ｐ３に対して、差分表示領域１４に示される差分画像Ｐ４を重ね合わせ処理した場合が示されている。これにより、第１および第２画像表示領域１１，１２においては、合成画像Ｐ１＃，Ｐ２＃が示されており、重ね合わせ処理した差分検出結果が点線で表示されている。
【００８８】
なお、第２画像表示領域１２においては、上述した重ね合わせ処理においては、第２画像表示領域１２に示される画像の倍率および位置を変更して重ね合わせ表示領域１３に表示する場合について説明したが、今回の重ね合わせ処理は、その逆の手順により、差分検出結果の倍率および位置を変更して第２画像表示領域１２に重ね合わせ処理した場合が示されている。
【００８９】
当該表示により、２つの画像の対比観察においてその差異を明確に識別することが可能となり、たとえば良品あるいは不良品の判定を容易にユーザ等が判定することが可能である。
【００９０】
［全画面表示モード］
図１４は、本発明の実施の形態に従う全画面表示モードのフロー図である。
【００９１】
図１４を参照して、まず第１および第２画像表示領域１１，１２ならびに重ね合わせ表示領域１３，差分表示領域１４のいずれかの表示領域が選択状態であるかどうかを判断する（ステップＳ４１）。ここで、表示領域が選択状態とするためには、画面に示される表示領域１１〜１４内の任意の位置をポインティングデバイスにより位置を合わせてクリック釦を押下することにより、対応する領域の表示領域が選択状態に設定されるものとする。また、再びクリック釦を押下することにより、当該表示領域の選択状態が解除されるものとする。なお、上記で説明した画像選択ダイアログ１６および指定点をポインティングデバイスにより位置を合わせてクリック釦を押下した場合には、画像選択ダイアログ１６および指定点を選択したものと判断して、対応する領域の表示領域は選択状態にはならないものとする。なお、ここでは、表示領域の任意の位置をポインティングデバイスにより位置を合わせてクリック釦を押下することにより、対応する表示領域が選択状態になる場合について説明したが、特にこの方式に限ることなくいずれかの表示領域を選択状態とすることが可能な方式それに置き換えることも当然に可能である。
【００９２】
ステップＳ４１において選択状態でないと判断される場合には、ステップＳ４１を維持する。
【００９３】
一方、ステップＳ４１において、いずれかの表示領域が選択状態であると判断された場合には、次に「全画面」釦１５Ｃが押下されたかどうかを判定する（ステップＳＳ４２）。
【００９４】
ステップＳ４２において、「全画面」釦１５Ｃが押下されない場合には、再び、ステップＳ４１に戻る。
【００９５】
一方、ステップＳ４２において、「全画面」釦１５Ｃが押下された場合には選択された表示領域について全画面表示する（ステップＳ４３）。
【００９６】
そして次に、全画面表示モードにおいて、「戻る」釦が選択されたかどうかを判定する（ステップＳ４４）。
【００９７】
ステップＳ４４において、「戻る」釦１５Ｃが選択された場合には、前の画面を表示する（ステップＳ４５）。「戻る」釦１５Ｃが選択されない場合には、全画面表示しつづける。
【００９８】
図１５は、全画面表示した場合を説明する図である。
図１５を参照して、ここでは、一例として第１画像表示領域１１に表示された画像Ｐ１を全画面表示した場合が示されている。そして、この画面中において、全画面表示ダイアログ２０が示されており、そのダイアログ中に「戻る」釦２１が押下可能な状態となっている。
【００９９】
なお、この全画面表示モードは、画像比較モードにおいて、いずれかの表示領域を選択状態にすることが可能であれば、他の重ね合わせモードおよび差分実行モード中においても全画面表示が可能であるものとする。
【０１００】
たとえば、図４において、「重ね合わせ」釦１５Ａが押下される前においても、ポインティングデバイスにより第１および第２画像表示領域１１，１２の表示領域を選択可能であり、「全画面」釦１５Ｃを押下することにより、選択された表示領域の画像について全画面表示することが可能である。
【０１０１】
また、図８〜図１０において、「重ね合わせ」釦１５Ａが押下された場合には、重ね合わせ処理後すなわち図６で説明したステップＳ１２の後に、ポインティングデバイスにより第１および第２画像表示領域１１，１２および重ね合わせ表示領域１３のいずれかの表示領域を選択可能であり、「全画面」釦１５Ｃを押下することにより、選択された表示領域の画像について全画面表示することが可能である。
【０１０２】
また、図１２，図１３において、「差分実行」釦１５Ｂが押下された場合には、差分実行処理後すなわち図１１で説明したステップＳ３２の後あるいはステップＳ３４の後に、ポインティングデバイスにより第１および第２画像表示領域１１，１２および重ね合わせ表示領域１３あるいは差分表示領域１４のいずれかの表示領域を選択可能であり、「全画面」釦１５Ｃを押下することにより、選択された表示領域の画像について全画面表示することが可能である。
【０１０３】
そして、上述したように全画面表示モードにおいて、全画面表示ダイアログ２０の「戻る」釦２１を押下することにより再び前の画面に戻るとともに前の処理モードに戻ることになる。
【０１０４】
［設定モード］
図１６は、画像比較モードにおける種々のパラメータを設定するための設定ダイアログを説明する図である。
【０１０５】
当該設定ダイアログ３０は、画像比較ダイアログ１５において、「設定」釦１５Ｄを押下することにより呼び出されるものとする。
【０１０６】
本例においては、設定ダイアログ３０内の重ね合わせダイアログ３１が示されており、重ね合わせダイアログ３１において、重ね合わせ設定パラメータが示されている。ユーザは、たとえばポインティングデバイスを用いて重ね合わせ比率の設定領域３３においてカーソルを調整することにより画像Ｐ１，画像Ｐ２の重ね合わせ比率を変更可能である。
【０１０７】
また、重ね合わせ処理に関して、画像情報の重ね合わせ処理あるいは輝度情報の重ね合わせ処理のいずれかを選択することが可能であり、選択した内容に従って重ね合わせ処理が実行される。
【０１０８】
また、色選択領域３５において、画像Ｐ１，Ｐ２の色を指定し選択することも可能である。なお、この色の指定については、階調を反転させることも指定することが可能である。
【０１０９】
そして、設定ダイアログ３０の「ＯＫ」釦３６を押下することにより変更された内容の重ね合わせ設定パラメータが保存されて、以降の重ね合わせ処理の際に当該設定パラメータが用いられる。なお、初期状態において設定パラメータは、出荷時のデフォルトの値が記憶されているものとする。
【０１１０】
また、設定ダイアログ３０内には、差分実行パラメータを調整することが可能な差分実行ダイアログ３２が設けられており、当該部分をたとえばポインティングデバイスを用いてクリック釦を押下することにより重ね合わせダイアログ３１で示されているのと同様に当該差分実行パラメータの調整たとえば重ね合わせ比率および色等の調整および変更が可能である。なお、図示しないが、差分画像重ね合わせ指示については、当該重ね合わせダイアログ３２において指定することが可能であるものとする。
【０１１１】
なお、ここで、「キャンセル」釦を押下することにより、当該設定モードが解除されて、全画面表示モードと同様に再び元の画面および元のモードに戻るものとする。
【０１１２】
本発明の実施の形態に従う拡大観察装置においては、上記で説明した画像比較モードを実行することにより、簡易な方式により画像の重ね合わせ処理および画像の差分処理が可能である。また、画像の全画面表示および画像処理する際の設定パラメータの変更等が可能であるため画像を観察する際の視認性を向上させることができる。
【０１１３】
したがって、複数の画像を並列に比較する画像比較モードにおいて、画像比較を容易に実行することが可能である。
【０１１４】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】本発明の実施の形態に従う拡大観察装置の全体構成図である。
【図２】拡大観察装置１００の具体的構成について説明する図である。
【図３】本発明の実施の形態に従う画像比較モードの画面１０を説明する図である。
【図４】本発明の実施の形態に従う画像比較モードにおいて、第１画像表示領域１１および第２画像表示領域１２にユーザの選択により２つの画像が表示されている場合を説明する図である。
【図５】本発明の実施の形態に従う画像比較モードのフロー図である。
【図６】本発明の実施の形態に従う重ね合わせ処理を説明するフロー図である。
【図７】本発明の実施の形態に従う重ね合わせ表示を実行する場合のフロー図である。
【図８】重ね合わせ表示領域１３に重ね合わせ処理された合成画像が表示された場合を説明する図である。
【図９】重ね合わせ表示領域１３に重ね合わせ処理された別の合成画像が表示された場合を説明する図である。
【図１０】重ね合わせ表示領域１３に重ね合わせ処理されたさらに別の合成画像が表示された場合を説明する図である。
【図１１】本発明の実施の形態に従う差分実行モードのフロー図である。
【図１２】差分表示領域１４に差分処理された差分画像が表示された場合を説明する図である。
【図１３】差分表示領域１４に差分処理された差分画像が表示された別の場合を説明する図である。
【図１４】本発明の実施の形態に従う全画面表示モードのフロー図である。
【図１５】全画面表示した場合を説明する図である。
【図１６】画像比較モードにおける種々のパラメータを設定するための設定ダイアログを説明する図である。
【符号の説明】
【０１１６】
１０  画面、１１  第１画像表示領域、１２  第２画像表示領域、１３  重ね合わせ表示領域、１４  差分表示領域、１００  拡大観察装置、１０１  情報処理装置、１０３  マウス、１１０  撮像部、１１１  光学系、１１２  ＣＣＤ、１１３  ＣＣＤ制御回路、１２０  ステージ昇降器、１２１  ステッピングモータ、１２２  モータ制御回路、１３０  ステージ、１４１  スタンド台、１４２  支柱、１４３  取り付け部、１５１  制御部、１５２  表示部、１５３  メモリ、１５４  Ｉ／Ｆ、１５５  操作部。
【図１】
2007318555.tif 000003
【図２】
2007318555.tif 000004
【図３】
2007318555.tif 000005
【図４】
2007318555.tif 000006
【図５】
2007318555.tif 000007
【図６】
2007318555.tif 000008
【図７】
2007318555.tif 000009
【図８】
2007318555.tif 000010
【図９】
2007318555.tif 000011
【図１０】
2007318555.tif 000012
【図１１】
2007318555.tif 000013
【図１２】
2007318555.tif 000014
【図１３】
2007318555.tif 000015
【図１４】
2007318555.tif 000016
【図１５】
2007318555.tif 000017
【図１６】
2007318555.tif 000018