(57)【要約】【課題】  真空中で摩擦攪拌接合を行うことのできるコンパクトな装置を提供する。【解決手段】  真空チャンバ１２の内部には、回転ツール３０と、接合用部材４２ａ、４２ｂを固定する移動ステージ４０が配置される。回転駆動力導入器１４は、真空チャンバ１２の外部に配置される回転駆動力発生装置１００から回転ツール３０へ回転駆動力を伝達する。移動駆動力導入器１８は、真空チャンバ１２の外部に配置される移動駆動力発生装置１１２から移動ステージ４０へ移動駆動力を伝達する。回転駆動力導入器１４と移動駆動力導入器１８は駆動力を真空チャンバ１２の内部に導入する際に外気を侵入させない。従って真空チャンバは、その内部に回転ツールと接合用部材と移動ステージ４０を収納できればよい。小さい真空チャンバで真空中での摩擦攪拌接合を行うことができる。真空中で摩擦攪拌接合を行うことのできる装置をコンパクトに実現することができる。【選択図】  図１
2007054834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隣接して配置された接合用部材同士の接合予定部に沿って回転ツールを相対移動させて接合用部材同士を摩擦攪拌接合する装置であり、
複数の接合用部材を収容可能な真空チャンバと、
真空チャンバの内部に回転可能に配置されている回転ツールと、
真空チャンバの内部に移動可能に配置されており、接合用部材同士を隣接して配置された状態で固定可能な支持器と、
真空チャンバの外壁を貫通しており、真空チャンバに外気を侵入させることなく、真空チャンバの外部に配置されている回転駆動力発生装置から回転ツールへ回転駆動力を伝達する回転駆動力導入器と、
真空チャンバの外壁を貫通しており、真空チャンバに外気を侵入させることなく、真空チャンバの外部に配置されている移動駆動力発生装置から支持器へ移動駆動力を伝達する移動駆動力導入器と、
を有することを特徴とする摩擦攪拌接合装置。
【請求項２】
真空チャンバは、回転ツールによって接合される直前の隣接線を視認可能な位置に第１観察窓を備えることを特徴とする請求項１に記載の摩擦攪拌接合装置。
【請求項３】
真空チャンバは、回転ツールによって接合された直後の接合部分を視認可能な位置に第２観察窓を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の摩擦攪拌接合装置。
【請求項４】
第１観察窓と第２観察窓の少なくとも一方は、回転ツールの少なくとも一部も視認可能な位置に配置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の摩擦攪拌接合装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかの摩擦攪拌接合装置によって複数の接合用部材が接合された接合品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、隣接して配置された接合用部材同士の接合予定部に沿って回転ツールを相対移動させて接合用部材同士を摩擦攪拌接合する装置に関する。また、その装置によって接合された接合品に関する。
【背景技術】
【０００２】
２つの接合品を接合する方法として摩擦攪拌接合という方法が知られている。この方法は、回転ツールを使用する。回転ツールの先端は凸状に形成されており、凸状に形成された先端のうちの突出部を隣接して配置された２つの接合用部材の接合予定部の間に挿入する。突出部の付け根に続く平坦部を２つの接合用部材に押し当てながら回転ツールを回転させる。回転ツールを回転させながら接合予定部に沿って相対移動させる。回転ツール先端の突出部が接合予定部の接合用部材と摺動する。同時に回転ツール先端の平坦部が接合予定部の近傍部分で接合用部材と摺動する。摺動による摩擦熱で２つの接合用部材が軟化する。２つの接合用部材の軟化した接合予定部が回転ツールの回転によって攪拌される。回転ツールで接合予定部を軟化させつつ攪拌することによって、２つの接合用部材を接合する。
この方法は、回転ツールと接合用部材の摺動によって発生する摩擦熱で接合用部材の接合予定部を軟化させる。従って摩擦熱をできるだけ接合用部材の周囲の雰囲気中に放熱させない方がよい。そのためにはこの摩擦攪拌接合を真空中で行うことが望ましい。特許文献１には真空中で摩擦攪拌接合を行うと良好な接合性が得られることが開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３０１３６３号公報（表１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
摩擦攪拌接合を行うためには、回転ツールに回転駆動力を与えるための回転駆動力発生装置が必要となる。また、回転ツールと複数の接合用部材を接合予定部に沿って相対移動させる必要がある。そのため回転ツールと複数の接合用部材を接合予定部に沿って相対移動させるための移動駆動力を発生する装置（移動駆動力発生装置）も必要である。
また、真空中で摩擦攪拌接合を行うためには真空チャンバも必要である。真空チャンバに内に回転駆動力発生装置と移動駆動力発生装置を配置すると真空チャンバ全体が大型化してしまう。特許文献１には真空中で摩擦攪拌接合を行う装置については具体的な開示がない。真空中で摩擦攪拌接合を行うことのできるコンパクトな装置が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願発明では、回転駆動力発生装置と移動駆動力発生装置を真空チャンバ内に配置せずとも真空中で摩擦攪拌接合を行うことのできる技術を提供する。
本発明は、隣接して配置された接合用部材同士の接合予定部に沿って回転ツールを相対移動させて接合用部材同士を摩擦攪拌接合する装置に具現化できる。この装置は、回転ツールと、真空チャンバと、固定器と、回転駆動力導入器と、移動駆動力導入器を備える。
真空チャンバは、複数の接合用部材をその内部に収容可能である。
回転ツールは、真空チャンバの内部に回転可能に配置されている。
固定器は、真空チャンバの内部に移動可能に配置されており、接合用部材同士を隣接して配置された状態で固定可能である。
回転駆動力導入器は、真空チャンバの外壁を貫通しており、真空チャンバに外気を侵入させることなく、真空チャンバの外部に配置されている回転駆動力発生装置から回転ツールへ回転駆動力を伝達する。
移動駆動力導入器は、真空チャンバの外壁を貫通しており、真空チャンバに外気を侵入させることなく、真空チャンバの外部に配置される移動駆動力発生装置から位置決め器へ移動駆動力を伝達する。
なお、回転駆動力発生装置は例えば電動モータなどを利用すればよい。移動駆動力発生装置は例えば直線駆動するリニアモータ装置などを利用すればよい。
【０００６】
上記の構成によれば、回転駆動力導入器によって、真空チャンバの外部に配置されている回転駆動力発生装置が発生する回転駆動力を真空チャンバ内の回転ツールに伝達することができる。また、移動駆動力導入器によって、真空チャンバの外部に配置されている移動駆動力発生装置が発生する移動駆動力を真空チャンバ内の位置決め器に伝達することができる。このとき、回転駆動力導入器と移動駆動力導入器は真空チャンバ内に外気を侵入させない。回転駆動力導入器と移動駆動力導入器によって、真空チャンバ内の真空状態を維持したまま回転駆動力と移動駆動力を真空チャンバ内に伝達することができる。
従って真空チャンバは、その内部に回転ツールと接合用部材と支持器を収納できるだけの容量があればよい。これにより小さい真空チャンバで真空中での摩擦攪拌接合を行うことができる。真空中で摩擦攪拌接合を行うことのできる装置をコンパクトに実現することができる。
【０００７】
また、回転駆動力発生装置と移動駆動力発生装置を真空チャンバ内に配置する場合には、回転駆動力発生装置と移動駆動力発生装置も真空中で使用可能でなければならない。真空中で使用可能な部品は高価である。上記構成によれば、回転駆動力発生装置と移動駆動力発生装置は、真空チャンバの外に配置できる。従ってそれらの装置は大気中で作動するものでよい。その結果、コストを低減した摩擦攪拌接合装置を実現できる。
【０００８】
さらに小さい真空チャンバを用いることによって、真空チャンバ内を大気圧状態から所定の真空状態にするまでの時間を短縮することができる。接合用部材を真空チャンバ内に配置してから摩擦攪拌接合が開始できるまでの時間を短縮することができる。
【０００９】
真空チャンバは、回転ツールによって接合される直前の接合予定部を視認可能な位置に第１観察窓を備えてよい。接合直前の接合用部材が予定通りの配置になっているかを真空チャンバの外から視認することができる。
【００１０】
また真空チャンバは、回転ツールによって接合された直後の接合部分を視認可能な位置に第２観察窓を備えてもよい。接合用部材が予定通り接合されているかを真空チャンバの外から視認することができる
第１観察窓または第２観察窓によって、接合が予定通りに行われているか否かを直接に視認することができる。接合が予定通りに行われていない場合にはその状態を即座に判断することができ、場合によっては装置を直ちに停止することができる。
【００１１】
第１観察窓と第２観察窓の少なくとも一方は、回転ツールの少なくとも一部も視認可能な位置に配置されていることが好ましい。接合予定部または接合直後の接合部分とともに回転ツールの少なくとも一部も視認できるように観測窓を配置することによって、接合中の回転ツールの状態も確認することができる。
【００１２】
本願発明はまた、請求項１乃至請求項４のいずれかの摩擦攪拌接合装置によって複数の接合用部材が接合された接合品に具現化することもできる。
真空中で摩擦攪拌接合が可能な装置をコンパクトに実現できると、その装置を製造するためのコストも低減できる。また、回転駆動力発生装置と移動駆動力発生装置として、真空仕様でなく、通常の大気中で作動可能なものを用いることができる。摩擦攪拌接合装置を一層低コストで実現できる。低コストの摩擦攪拌接合装置によって、摩擦攪拌接合された接合品を低コストで提供することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、真空中で摩擦攪拌接合を行うことのできる装置を小型化・低コスト化することができる。また、真空中で摩擦攪拌接合された接合品を低コストで提供することができる。
【実施例】
【００１４】
図５を用いて本発明に係る一実施例の摩擦攪拌接合装置１０についてその概要を説明する。
図５（Ａ）は摩擦攪拌接合装置１０の平面図である。図５（Ｂ）は摩擦攪拌接合装置１０の側面図である。
摩擦攪拌接合装置１０は真空チャンバ１２と回転駆動力導入器１４と移動駆動力導入器１８を備える。
回転駆動力導入器１４は、回転駆動力発生装置１００が発生する回転駆動力を外部回転軸１６を介して真空チャンバ１２内に備えられた回転ツール（不図示）に伝達する。回転駆動力導入器１４は、回転駆動力が真空チャンバ１２の外部から内部へ伝達される際に真空チャンバ１２内へ外気が侵入しないように構成されている。この回転駆動力導入器１４は、例えば通称回転導入器と呼ばれる部品を用いることができる。また回転駆動力発生装置１００は具体的には例えば電動モータなどでよい。
移動駆動力導入器１８は、移動駆動力発生装置１１２が発生する移動駆動力を外部ロッド２０を介して真空チャンバ１２内に備えられた支持器（不図示）に伝達する。移動駆動力導入器１８は、移動駆動力が真空チャンバ１２の外部から内部へ伝達される際に真空チャンバ１２内へ外気が侵入しないように構成されている。この移動駆動力導入器１８は例えば通称直線導入器と呼ばれる部品を用いることができる。なお、移動駆動力発生装置１１２は例えば直線駆動するリニアモータ装置などでよい。
【００１５】
真空チャンバ１２にはまた、第１観測窓２２と第２観測窓２４と側面観測窓２６を有する。
第１観測窓２２は、真空チャンバ１２内部で摩擦攪拌接合が行われている最中に回転ツールによって接合される直前の接合用部材の部分（接合予定部）を視認可能な位置に設けられている。
第２観測窓２４は、真空チャンバ１２内部で摩擦攪拌接合が行われている最中に回転ツールによって接合された直後の接合部分を視認可能な位置に設けられている。
また側面観測窓２６は回転ツールを側面から視認可能な位置に設けられている。
【００１６】
また真空チャンバ１２には連結パイプ２８を介して真空ポンプ１１４が接続されている。真空ポンプ１１４を作動させることによって、真空チャンバ１２内を所定の真空度に設定することができる。
【００１７】
真空チャンバ１２の内部を説明するために、図１に本実施例の摩擦攪拌接合装置１０の模式図を示す。なお図１では真空チャンバ１２の内部を理解し易くするために真空チャンバ１２の外壁を破線で示し、その内部に配置されている部品を実線で示してある。また図５と同じ部品には同じ符号を付してある。
【００１８】
真空チャンバ１２の内部には回転ツール３０が回転可能に配置されている。回転ツール３０は、内部回転軸３４を介して回転駆動力導入器１４に回転可能に接続されている。回転駆動力導入器１４は、外部回転軸１６と内部回転軸３４を有する。そして回転駆動力導入器１４は、真空チャンバ１２の外壁を貫通して配置されている。回転駆動力導入器１４の内部では、外部回転軸１６と内部回転軸３４が連結されており、外部回転軸１６の回転が内部回転軸３４を介して回転ツール３０に伝達される。なお、外部回転軸１６と内部回転軸３４は一体に成形されていてもよい。いずれにしても、回転駆動力導入器１４は、外部回転軸１６と内部回転軸３４が回転しても両回転軸とその周囲の間から真空チャンバ１２内に外気を侵入させない構造となっている。
【００１９】
回転ツール３０の先端は凸状に形成されている。回転ツールを回転させて接合用部材４２a、４２ｂを摩擦攪拌接合する際には、その凸状の突出部３２が隣接して配置された接合用部材４２ａと４２ｂの間の接合予定部に挿入される。また、突出部３２の付け根に続く平坦部３６は接合予定部の近傍で接合用部材４２ａ、４２ｂの表面に付勢される。この状態で接合用部材４２ａ、４２ｂの接合予定部を回転ツールに対して相対的に移動させると接合用部材４２ａ、４２ｂが摩擦攪拌接合により接合される。なお摩擦攪拌接合については図２により後述する。
【００２０】
複数の接合用部材４２ａ、４２ｂが真空チャンバ１２内に配置された移動ステージ４０の移動台４０ａに固定される。複数の接合用部材４２ａ、４２ｂは隣接して配置された状態で移動台４０ａに固定される。固定の方法は例えばクランプなどを用いて固定される。
移動台４０ａは移動ステージの固定台４０ｂに対して移動可能となっている。また移動ステージ４０自体はステージ取り付け台３９に取り付けられている。
移動台４０ａには内部ロッド３８が接続されている。内部ロッド３８は移動駆動力導入器１８の内部で外部ロッド２０と連結されている。なお、内部ロッド３８と外部ロッド２０は移動駆動力導入器１８の一部である。また、内部ロッド３８と外部ロッド２０は一体で成形されていてもよい。そして移動駆動力導入器１８は、真空チャンバ１２の外壁を貫通して配置されている。移動駆動力発生装置１１２が発生する移動駆動力は外部ロッド２０と内部ロッド３８を介して移動ステージ４０の移動台４０ａに伝達される。従って、例えば移動駆動力発生装置１１２が外部ロッド２０を図１の紙面左方向に移動させるように移動駆動力を発生させると、移動ステージ４０の移動台４０ａが矢印４１に示すように紙面左方向に移動する。これによって移動台４０ａ上に固定された接合用部材４２ａ、４２ｂと回転ツール３０の相対位置を移動させることができる。移動駆動力導入器１８は、内部ロッド３８と外部ロッド２０が移動しても両ロッドの周囲から真空チャンバ１２内に外気を侵入させない構造となっている。
なお、本実施例では、移動ステージ４０が請求項の「支持器」の一態様に相当する。
【００２１】
回転ツール３０を回転させつつ移動台４０ａを矢印４１の方向に移動させると、回転ツールの図１左側の符号Ｑで示す位置では、接合用部材４２ａと４２ｂが接合された直後の状態となる。第２観測窓２４は一点鎖線Ｌ２で示すように符号Ｑで示した接合直後の接合部が視認できるように配置されている。
また、回転ツール３０を回転させつつ移動台４０ａを矢印４１の方向に移動させると、回転ツールの図１右側の符号Ｐで示す位置では、接合用部材４２ａと４２ｂが接合される直前の状態となる。第１観測窓２２は一点鎖線Ｌ１で示すように符号Ｐで示した接合用部材４２ａ、４２ｂの接合直前の部分（接合予定部）が視認できるように配置されている。
【００２２】
また真空チャンバ１２の内部は連結パイプ２８によって真空ポンプ１１４と連結されており、真空ポンプ１１４を作動させることによって真空チャンバ１２内を所定の真空度に設定することができる。
回転駆動力導入器１４は回転駆動力を真空チャンバ１２の内部に伝達する際に外気を侵入させない構造となっている。同様に移動駆動力導入器１８は移動駆動力を真空チャンバ１２の内部に伝達する際に外気を侵入させない構造となっている。これによって、摩擦攪拌接合中でも所定の真空度を維持することができる。
【００２３】
上記説明したように、本実施例では、回転ツール３０のための回転駆動力を発生させる回転駆動力発生装置１００を真空チャンバ１２の外部に配置することができる。回転駆動力発生装置１００を真空チャンバ１２の外部に配置しても回転駆動力導入器１４によって、真空チャンバ１２内の真空状態を維持したまま回転ツール３０を回転させることができる。同様に本実施例では、接合材料４２ａ、４２ｂを固定する移動台４０ａを移動させるための移動駆動力を発生させる移動駆動力発生装置１１２を真空チャンバ１２の外部に配置することができる。移動駆動力発生装置１１２を真空チャンバ１２の外部に配置しても移動駆動力導入器１８によって、真空チャンバ１２内の真空状態を維持したまま移動台４０ａを移動させることができる。このように本実施例では、回転駆動力発生装置１００と移動駆動力発生装置１１２を真空チャンバ１２の外部に配置することができる。従って真空中で摩擦攪拌接合を行うことのできる装置をコンパクトに実現することができる。
また、回転駆動力発生装置１００と移動駆動力発生装置１１２を真空チャンバ１２内に配置する場合には、回転駆動力発生装置１００と移動駆動力発生装置１１２も真空中で使用可能な性能を有していなければならない。真空中で使用可能な部品は高価である。上記構成によれば、回転駆動力発生装置１００と移動駆動力発生装置１１２は、真空チャンバ１２の外に配置できるのでそれらの装置は大気中で作動するものでよい。これにより、コストを低減した摩擦攪拌接合装置を実現できる。
【００２４】
次に図２を用いて摩擦攪拌接合について説明する。接合用部材４２ａと４２ｂは接合予定部４４を突き合わされて（隣接させて）配置される。回転ツール３０は矢印５０で示す方向に回転しながらその突出部３２を接合予定部４４の符号４６で示した側から接合予定面４５ａ、４５ｂの間に挿入される。このとき回転ツールの回転により突出部３２は接合予定面４５ａ、４５ｂと摺動する。摺動による摩擦熱で接合予定面４５ａ、４５ｂは軟化する。
また同時に回転ツール３０の先端の平坦部３６は接合予定部４４の近傍４８ａ、４８ｂで接合用部材４２ａと４２ｂの表面と摺動する。この摺動による摩擦熱によっても接合予定部４４の近傍４８ａ、４８ｂは高温となる。接合予定部４４の近傍４８ａ、４８ｂが高温となることで、接合予定面４５ａ、４５ｂはさらに軟化されやすくなる。接合予定面４５ａ、４５ｂは摩擦熱により軟化されつつ、回転する突出部３２で攪拌される。この状態で接合用部材４２ａと４２ｂに対して回転ツール３０を矢印５２で示す方向に移動させると接合予定面４５ａ、４５ｂは軟化されつつ相互に攪拌されて接合される。
本実施例では、この摩擦攪拌接合が真空中で行われるので、接合予定部４４の近傍４８ａ、４８ｂに蓄積された摩擦熱は周囲の雰囲気中に拡散されることがない。従って効率よく摩擦攪拌接合を行うことができる。
【００２５】
また本実施例では、図１に示した第１観察窓２２によって、図２に示す矢印５４の方向から接合直前の位置Ｐにおける接合用部材４２ａと４２ｂを視認することができる。また図１に示した第２観察窓２４によって、図２に示す矢印５６の方向から接合直後の位置Ｑにおける接合部を視認することができる。これによって接合直前の接合予定部と接合直後の接合部を直接視認することができる。接合前後の様子を直接視認できるので、接合が予定通り行われているか直接観測することが可能となる。
さらに本実施例では、第１観察窓２２と第２観察窓２４によって、回転ツール３０の先端付近も同時に視認可能となっている。回転ツール３０の先端付近まで観察可能なので、回転ツール３０が摩擦攪拌接合中に正常に回転しているか否かを直接視認することができる。
【００２６】
図３（Ａ）に図５で示した摩擦攪拌接合装置１０で２枚のアルミニウム合金Ａ６０６１（接合用部材ａ、接合用部材ｂ）を摩擦攪拌接合したときの結果を示す。比較のため図３（Ｂ）に大気中でアルミニウム合金Ａ６０６１を摩擦攪拌接合したときの結果を示す。接合条件は、板厚３mm、回転ツールの押し付け荷重約１２００Ｎ、回転ツール回転数９００ｒｐｍとした。
図３（Ａ）、（Ｂ）は図２を上方から見た図に相当する。図３（Ａ）、（Ｂ）の接合用部材ａが図２の接合用部材４２ａに相当し、図３（Ａ）、（Ｂ）の接合用部材ｂが図２の接合用部材４２ｂに相当する。また図３（Ａ）、（Ｂ）の左右に僅かに白く見えている線が図２で接合予定面４５ａ、４５ｂが突き合わされている接合予定部４４に相当する。そして図３（Ａ）、（Ｂ）の中央大部分で光っているように見える部分が、図２に示す回転ツール３０の平坦部３６による摺動跡である。
図３（Ａ）、（Ｂ）での回転ツールの回転方向は紙面上で時計回りである。図３（Ａ）では矢印Ｘで示すように、接合用部材ａ、ｂの表面と回転ツール３０の平坦部３６との摺動によって軟化したアルミニウム合金が接合用部材aの側の表面で波打っているのがわかる。即ち接合用部材ａ、ｂがよく軟化している。これに対して大気中での摩擦攪拌接合を行った場合（図３（Ｂ））では矢印Ｙで示すように軟化したアルミニウム合金が接合用部材の表面にほとんど表れていない。即ち同じ条件でも大気中では摩擦熱が大気に拡散し、接合用部材の軟化が十分に進んでいないことがわかる。なお、図３（Ｂ）では接合用部材の軟化が進んでいないために途中で試験を中止した。
【００２７】
また、接合用部材における回転ツール直下（摩擦熱が最も蓄積する場所）の温度の経時的変化を熱電対により計測した結果を図４に示す。計測は真空中の場合と、比較のため大気中の場合で行った。測定条件は、接合用部材としてアルミニウム合金Ａ６０６１を使い、回転ツールの押し付け荷重約８６０Ｎ、回転ツール回転数１５００ｒｐｍとした。
図４（Ａ）は計測した温度の経時変化を示す。図４（Ａ）に示すように、大気中では回転ツール回転開始後約７０秒で接合用部材の温度は１５０℃となりその後はほぼ一定となる。これに対して真空中では同時間で約３３０℃に達しその後も温度上昇が続く。
図４（Ａ）の結果をもとに接合用部材への入熱量を計算により推定した。その結果を図４（Ｂ）に示す。図４（Ｂ）に示すように、真空中では大気中よりも最大で４倍程度摩擦熱が接合用部材に蓄積することがわかる。この結果から、上記条件においては大気中では接合用部材であるアルミニウム合金Ａ６０５１の温度上昇が不十分であるのに対して雰囲気への熱拡散のない真空中においては接合用部材であるアルミニウム合金Ａ６０５１は摩擦攪拌接合に十分な温度に達することがわかる。
【００２８】
上記説明した実施例の摩擦攪拌接合装置は、回転駆動力発生装置と移動駆動力発生装置を真空チャンバの外部に配置することができる。従って回転駆動力発生装置と移動駆動力発生装置は真空仕様ではなく通常の大気中で使用できるものを利用できる。従って真空中で摩擦攪拌接合を行うことのできる装置を低コストで実現できる。低コストの摩擦攪拌接合装置を用いることによって、摩擦攪拌接合した接合品を低コストで製造することができる。
【００２９】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る摩擦攪拌接合装置の模式図である。
【図２】摩擦攪拌接合を説明する図である。
【図３】図３（Ａ）は真空中で摩擦攪拌接合を行った場合の試験結果を示す図である。図３（Ｂ）は大気中で摩擦攪拌接合を行った場合の試験結果を示す図である。
【図４】図４（Ａ）は接合用部材における回転ツール直下の温度の経時的変化を示すグラフである。図４（Ｂ）は図４（Ａ）のグラフを元に接合用部材への入熱量を計算した結果を示す図である。
【図５】図５（Ａ）は本発明に係る実施例の摩擦攪拌接合装置の平面図である。図５（Ｂ）は本発明に係る実施例の摩擦攪拌接合装置の側面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０：摩擦攪拌接合装置
１２：真空チャンバ
１４：回転駆動力導入器
１６：外部回転軸
１８：移動駆動力導入器
２０：外部ロッド
２２：第１観測窓
２４：第２観測窓
２６：側面観測窓
２８：連結パイプ
３０：回転ツール
３２：突出部
３４：内部回転軸
３６：平坦部
４０：移動ステージ（支持器）
４０ａ：移動ステージの移動台
４０ｂ：移動ステージの固定台
４２ａ、４２ｂ：接合用部材
４５ａ、４５ｂ：接合予定面
１００：回転駆動力発生装置
１１２：移動駆動力発生装置
１１４：真空ポンプ
【図１】
2007054834.tif 000003
【図２】
2007054834.tif 000004
【図４】
2007054834.tif 000005
【図５】
2007054834.tif 000006
【図３】
2007054834.tif 000007