(57)【要約】      （修正有）【課題】対象物、特に半導体構造の検査時の系統的測定誤差を低減する方法の提供。【解決手段】重ね合わせ不良を測定するために提案される測定構造は、照射装置（１２）、前記照射装置（１２）の光線を対象物に集光する対物レンズ（１４）、及び光線をセンサユニット（２０）に結像する鏡筒レンズ（１８）を有している。前記測定構造の光路には、結像面軸方向の倍率色収差の補償が行われるように入射光線の波面を波長別に傾斜させる補償器（２２）が備えられる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物（１６）、特に半導体表面の検査において、重ね合わせ不良を測定するための測定構造（１０）であって、照射装置（１２）と、当該照射装置（１２）の光線を前記対象物（１６）に集光する対物レンズ（１４）と、センサユニット（２０）に光線を結像する鏡筒レンズ（１８）とを有する測定構造において、測定構造（１０）の光路に、軸方向の倍率色収差の補償を行うように入射光線の波面をスペクトル的に様々に傾斜させる補償器（２２）が備えられることを特徴とする、測定構造。
【請求項２】
請求項１に記載の重ね合わせ不良を測定するための測定構造（１０）において、前記補償器（２２）が前記対物レンズ（１４）と前記鏡筒レンズ（１８）間の光路に配置されることを特徴とする、測定構造。
【請求項３】
請求項１に記載の重ね合わせ不良を測定するための測定構造（１０）において、前記補償器（２２）が前記対物レンズ（１４）の開口絞りに配置されることを特徴とする、測定構造。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の重ね合わせ不良を測定するための測定構造（１０）において、前記鏡筒レンズ（１８）と前記センサユニット（２０）間に後置拡大ユニット（２４）が備えられることを特徴とする、測定構造。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の重ね合わせ不良を測定するための測定構造（１０）において、前記補償器（２２）がプリズム（２６）を有することを特徴とする、測定構造。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の重ね合わせ不良を測定するための測定構造（１０）において、前記補償器（２２）が二重プリズム（２８）を有することを特徴とする、測定構造。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の重ね合わせ不良を測定するための測定構造（１０）において、前記補償器（２２）が可変プリズム（３０）であり、その際に前記可変プリズム（３０）は平凹レンズ及び平凸レンズ（３２、３４）により構成されることを特徴とする、測定構造。
【請求項８】
請求項７に記載の重ね合わせ不良を測定するための測定構造（１０）において、前記平凹レンズ及び平凸レンズ（３２、３４）が同じ材料から作られることを特徴とする、測定構造。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の重ね合わせ不良を測定するための測定構造（１０）において、前記平凹レンズ及び平凸レンズ（３２、３４）が、互いに重なり合う球面を構成すること、及び前記プリズムの調整が、前記平凹レンズ及び平凸レンズ（３２、３４）の前記両平面が互いに対し一定角度であるように、前記各球面に沿って摺動させることにより行われることを特徴とする、測定構造。
【請求項１０】
請求項９に記載の重ね合わせ不良を測定するための測定構造（１０）において、前記可変プリズム（３０）の調整後の位置を、特に接着剤（３６）を用いて固定可能であることを特徴とする、測定構造。
【請求項１１】
対象物（１６）、特に半導体ウエハの検査において、測定構造（１０）を使用して重ね合わせ不良を測定する際の系統的測定誤差の低減方法において、前記測定構造（１０）に補償器（２２）を備え、軸方向の色収差が補償されるように前記補償器（２２）に入射する波面がその波長に応じて傾斜されるように、前記補償器（２２）を調整及び／又は選択することを特徴とする、方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記補償器（２２）が調整式プリズム（３０）を有しており、補償の大きさ及び向きを調整することを特徴とする、方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記調整式プリズム（３０）が、光学素子（３２、３４）を有しており、これらを回転装置に入れ光路内に吊り下げることを特徴とする、方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記補償器（２２）を、測定サンプル、特にテストウエハを使用して、軸方向の色収差が補償されるように校正することを特徴とする、方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記補償器（２２）の前記校正のためにテストウエハを装填し、当該テストウエハに基づいて軸方向の色収差の大きさ及び／又は向きが所定の諸元範囲にあるか否かを検査することを特徴とする、方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記軸方向の色収差の大きさや向きが所定の諸元範囲外にある場合、前記補償器（２２）を再度調整することを特徴とする、方法。
【請求項１７】
請求項１４〜１６のいずれか一項に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記補償器（２２）にある二つの光学素子（３２、３４）を有した調整式プリズム（３０）を、前記両光学素子（３２、３４）間の接着層（３６）を硬化することにより、特にＵＶ光線を用いて硬化することにより、固定することを特徴とする、方法。
【請求項１８】
請求項１４〜１７のいずれか一項に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記校正を、演算ユニットにより制御されるマニピュレータにより自動的に行うことを特徴とする、方法。
【請求項１９】
請求項１４〜１７のいずれか一項に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記校正を、演算ユニットから前記軸方向の色収差の配向及び大きさに関する情報を受け取るファインチューナにより手動で行うことを特徴とする、方法。
【請求項２０】
請求項１１に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前もって製造された複数の補償器のセットから、前記軸方向の色収差の測定量に応じて適切な補償器を探し出し、前記軸方向の色収差の向きに応じて配向させて組み付けることを特徴とする、方法。
【請求項２１】
請求項２０に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記補償器セットが楔板（２６）から成ることを特徴とする、方法。
【請求項２２】
請求項２０に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記補償器セットが二重プリズム（２８）から成ることを特徴とする、方法。
【請求項２３】
請求項２０に記載の系統的測定誤差の低減方法において、前記補償器セットが接着済みの調整式プリズム（３０）から成ることを特徴とする、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念（所謂おいて部分、プリアンブル部分）に係る、対象物（被測定物体）、特に半導体の検査において、重ね合わせ不良を測定するための測定構造、並びに請求項１１の上位概念に係る、対象物、特に半導体の検査において、重ね合わせ不良を測定する際の系統的測定誤差の低減方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体を製造する際には、製造工程の間にウエハが多数の加工工程において順次加工され、多数の反復する同一パターン構造素子、所謂ダイがウエハに形成される。集積度が増大するほど、ウエハに形成されるパターン構造の品質に対する要求は高くなる。このパターン構造の品質を検査して、万一の不良を見つけ出せるようにするために、ウエハを扱う機械部品及び加工工程には、精度及び再現性に関して相応に高い要求が課せられる。これは、多数の加工工程を経て多数のフォトレジスト膜又はその類が塗布されるウエハの製造時に、前工程の加工品質が高信頼度で検出されなければならないことを意味している。半導体素子を製造する際には通常、パターン構造が異なる層に形成されるようになっている。夫々の層のパターン構造の互いに対する配向は、非常に重要である。なぜならパターン構造のずれが大き過ぎると、これらの層間で各素子の接続が切断されることがあるからである。このため、何よりも特にこれらの層の互いに対する配向、位置ずれ、乃至はアライメントについても検査が行われるようになっている。これらは、重ね合わせ不良と呼ばれる。
【０００３】
重ね合わせ不良の測定方法は、特許文献１から知られている。そこでは、異なる層に周期的に存在するパターン構造に、コヒーレント光を照射することが提案されている。正負の迷放射線から、正負の迷放射線の光学位相差が算出される。続いてこの光学位相差から、重ね合わせ不良を決定できるようになっている。
【０００４】
他にも特許文献２から、被験表面の画像又は光強度データの分析を通じて、探索される重ね合わせ不良を突き止める、重ね合わせ不良の測定方法が知られている。
この測定方法では、通常、パターン構造を検査するために、無限遠平面補正された微小対物レンズを有する顕微鏡が使用されるようになっている。しかし微小対物レンズを装着した場合は、構成部品の公差のために、慎重に慎重を期しても投影誤差を避けることはできない。従って、例えば調心が可能となるのは、公差が一定の範囲内にある時だけに限られてしまう。このため、例えばレンズの軸線の位置が、システム全体に対して傾いたりずれたりする場合がある。その結果生じる投影誤差、コマ収差、非点収差、及び像の中央部に既に発生している軸方向の倍率色収差（横色収差）により、検査精度が制約されることが広く知られている。一般には、所謂セッティングを通じて、コマ収差及び非点収差を最小限に抑えることが試みられる。非点収差を補正するためには、夫々のレンズグループを一つずつ互いに対して回転することにより、光軸が調整される。コマ収差については、いずれか一つのレンズグループの位置を横にずらすことにより対処することができる。それにより非点収差及びコマ収差については、完全に取り除くことは不可能であるとはいえ、通常は、これらの収差に影響されずに所望の精度内で測定を実施できる程度に十分な補正をもたらすことができる。結像面軸方向の倍率色収差についても、セッティングにより影響を与えることが基本的に可能ではあるが、しかしそのためには使用する自由度を等しくしなければならず、それにより又、非点収差及びコマ収差にも影響が出てしまう。従って、結像面軸方向の倍率色収差のそのような補正は全て、補正が終了している非点収差及びコマ収差に必然的に変化を来たすことになる。このため、何らかの補正により許容公差外の値がもたらされてしまうのを回避するためには、補正プロセス全体を繰り返し式に構成する必要がある。しかしそのような繰り返しプロセスは、時間を要する以外にも、繰り返しプロセスが果たして収斂するのかどうか、即ち例えば最小収差に達するのかどうかが、最初からわからないために、通常は結像面軸方向の倍率色収差の軸上補正の実施が断念され、その結果生じる短所を系統的測定誤差として甘受している。
【０００５】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００４／０２０７８４９号明細書
【特許文献２】国際特許出願公開第０３／１０４９２９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従って本発明の課題は、対象物、特に半導体構造の検査時の系統的測定誤差を低減することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題は、本発明に従った、対象物、特に半導体の検査において、重ね合わせ不良を測定するための、請求項１に記載の各特徴を備えた測定構造により解決される。方法に関してこの課題は、対象物、特に半導体の検査において、重ね合わせ不良を測定する際の系統的測定誤差を低減するための、請求項１１に記載の各特徴を備えた方法により解決される。
【０００８】
特に製造される半導体ウエハの重ね合わせ不良の検査において使用される本発明に従った測定構造は、照射装置と、半導体ウエハ等の対象物の表面に照射装置の光線を集光させる無限遠平面補正された対物レンズとを有している。他にも鏡筒レンズが、無限遠に位置する中間画像を、センサユニット、特にＣＣＤセンサに結像させるために備えられる。測定構造の光路には補償器が備えられる。そこでは、入射光線の波面が、補償器の内部で、結像面軸方向の倍率色収差が補償されるように、波長別に傾斜される（verkippt）ようになっている。補償器の構造、及び対物レンズの補正値の選択により、球面収差、非点収差、及びコマ収差は、結像面軸方向の倍率色収差の調整による影響を受けないようになっている。
【０００９】
補償器は、対物レンズの開口絞りに配置されると好適である。なぜならこの位置では、利用される直径が最小限となるからである。これは、補償器を高精度で完成するために有利に作用する。或いはその代わりに、補償器を対物レンズと鏡筒レンズ間の光路に配置することもできる。鏡筒レンズとセンサユニットの間には、後置拡大ユニットが備えられるとよい。
【００１０】
補償器は、プリズム、二重プリズム、又は好ましくは可変プリズムを有しているとよい。可変プリズムは、同じ材料から作られた、球面半径が等しい、球面側で互いに接触する平凹レンズと平凸レンズにより構成される。プリズマの調整は、両レンズの平面が一定角度で交わるように両者を境界面に沿って摺動させることにより行われる。調整後のこの位置は、両光学素子間に接合剤を使用して固定されるとよい。接合剤の屈折率及び分散率を可能な限りガラス素子の値と一致させると、非常に有利である。補償器の調整を行うために、必要な補償の大きさ及び向きが算出されて、可変プリズムにより設定されて、場合により接着剤を用いて固定されるようになっている。必要な値を算出するために、測定サンプル、特に、実装されているパターン構造が既知であるテストウエハが使用される。
【００１１】
補償器を測定構造の光路内に導入することにより、非点収差補正又はコマ収差補正において実施された設定を再度変更する必要なく、結像面軸方向の倍率色収差を補償することができる。なぜなら、無限遠平面補正された対物レンズでは、測定構造の開口絞りにおいて波面が傾斜されることにより、他の収差に変化を加えることなく、波長に依存した像のずれだけが生じるからである。
【００１２】
本発明のその他の長所及び有利な実施形態は、図面に示されており、以下では図に基づいて説明する。図では、見易くするために、縮尺を度外視した。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
重ね合わせ不良を決定するための重ね合わせ測定においては、二つのボックスの中心位置が決定される。これらのボックスは、特許文献１等から知られているように、ウエハの異なる層に位置している。通常これらのボックスは色が異なっているが、これは、夫々の層に異なる材料が使用されるためである。これらの層が互いに対して正確に位置決めされる限り、両ボックスの中心もぴたりと重なり合うために、その中心位置を測定することにより、夫々の層内のパターン構造が互いに対して十分に正確に位置決めされているか否かを検査することができる。これは、ほんの僅かな位置ずれでも、チップの誤作動を来たす怖れがあるために、極めて重要である。
【００１４】
対物レンズ１４、鏡筒レンズ１８、及び選択により後置拡大装置２５により構成される結像系においては、いずれにせよ結像面軸方向の倍率色収差が発生するために、測定結果の解釈に誤りにつながる重ね合わせ不良が検出される。図１には、白色光３８が入射する対物レンズ１４が示されている。典型的な結像面軸方向の倍率色収差として、対物レンズの出射側、即ち開口絞り４０とは反対側に、ｙ平面（ｘｙ平面）に当たる光線の波長に依存したずれを確認することができる。図には、赤色波長光線Ｒ、緑色波長光線Ｇ、及び青色波長光線Ｂが、結像面４２のｙ方向の異なる位置に当たることが示されている。この結像面軸方向の倍率色収差は、他の多くの像の歪みとは異なり、像の中央部にも確認することができる。
【００１５】
図２ａには、緑色の対象物の実際の位置が示されている。この場合は、図２ｃに示されるように、物体の像が結像面の中央に位置するように、ＣＣＤカメラ等のセンサユニットの校正が行われるとよい。ところが青色の物体については、結像面軸方向の倍率色収差があるために、図２ｂに示されるようにｙの正方向へのずれを確認することができる。同様に赤色の物体は、図２ｄに示されるようにｙの負方向へずれてしまう。このように結像面軸方向の倍率色収差の影響は、対象物の色に応じて、像にΔｙ分のずれが生じる点にある。同時に多色を使用する描写が求められる場合は常に、このずれにより、測定にかなりの影響を来たしてしまう。なぜならその場合は、ＣＣＤカメラの再調心による補償が不可能であるからである。
【００１６】
しかし本発明により、光学系の開口絞りにおいて波面を傾斜させることにより、無限遠平面補正された対物レンズでは、他の収差に変化を加えることなく、波長に依存した像のずれだけが生じることが判明した。このため、波長別に波面を傾斜させる補償器２２を挿入することにより、結像面軸方向の倍率色収差を補償することができる。この補償器２２は、図３に示されるように、対物レンズ１４の開口絞り４０に備えられると好適である。なぜならそれににより、対物レンズ１４の結像面軸方向の倍率色収差を補償できるからである。白色入射光３８の波面は、補償器２２により既に波長別に傾斜されることになる。しかしそれだと、波長に依存した像のずれと全く変わらないことになる。このため補償器２２は、対物レンズ１４により生じる結像面軸方向の倍率色収差に起因する像のずれと丁度逆方向のずれが波面の傾斜により生じるように構成されるようになっている。それにより、対物レンズ１４により生じる結像面軸方向の倍率色収差が再び補償されるようにしている。図３に示されるように、補償器は開口絞り４０の内側に配置されると好ましい。しかし特に開口絞りへのアクセスが不可能である場合、補償器２２は、測定構造１０の光路内の別の地点に備えられてもかまわない。
【００１７】
図４には、そのための測定構造１０の実施例が示されている。この測定構造１０は照射装置１２を有しており、そこから出た光は垂直偏向板１３に当たるようになっている。対象物１６、即ちウエハ用の照射光は、補償器２２を通過して対物レンズ１４を通り対象物１６に当たる。そこではこの補償器２２が、対物レンズ１４の結像免軸方向の倍率色収差が補償されるように構成され、鏡筒レンズ１８と対物レンズ１４との間の、垂直偏向板１３の対物レンズ側に配置されている。鏡筒レンズ１８と、通常はＣＣＤセンサ又はＣＣＤカメラとして構成されるセンサ装置２０との間には、選択により後置拡大装置２４が備えられるとよい。
【００１８】
図５には測定構造の代替実施例が示されている。この測定構造も又、照射装置１２を有しており、そこから出た光は垂直偏向板１３に当たるようになっている。対象物１６、即ちウエハ用の照射光は、対物レンズ１４を通り対象物１６に到達する。補償器２２は、鏡筒レンズ１８と対物レンズ１４との間の、垂直偏向板１３の鏡筒レンズ側に配置され、対物レンズ１４の結像面軸方向の倍率色収差が補償されるように構成されている。鏡筒レンズ１８と、通常はＣＣＤセンサ又はＣＣＤカメラとして構成されるセンサ装置２０との間には、ここでも選択により後置拡大装置２４が備えられるとよい。
【００１９】
図６には、補償器２２の様々な実施形態が示されている。補償器２２は、例えば図６ａに示されるように、一つのプリズム２６又は楔板を有しているとよい。これは、光学系の開口絞りに配置されると好適である。このプリズムにより、入射白色光３８は、ここでもＲ、Ｇ、及びＢとして例示されるスペクトル成分に分光される。いずれにせよこのようなプリズムによっても、主波長の傾斜が行われるが、これについてはいずれにせよ、ＣＣＤカメラの適正な位置決めにより、再び簡単に補償することができる。
【００２０】
他にも図６ｂに示されるように、二重プリズム２８が使用されてもかまわない。これは、いずれもガラス製であるのが好ましい、分散率だけが異なる二つのプラズム２９、３１により構成される。両方のガラスは互いに接着される。そのようなガラスの屈折率は、緑色に関しては等しいために、ここではこの主色の傾斜が行われず、そのためＣＣＤカメラの位置の再調整を省略することができる。従って、校正の間のカメラの追従制御が不要となる。
【００２１】
図６ｃには、同じく結像面軸方向の倍率色収差の補正に使用することができる可変プリズムが示されている。これは、複数の異なる対物レンズ１４の使用が求められる場合には、常に有利である。なぜなら結像面軸方向の倍率色収差は、対物レンズにより異なるからである。可変プリズム３０を使用することにより、この事情に対応して、両光学素子３２及び３４の表面の互いに対する楔角の設定を変更することにより、波面の波長別傾斜をその時々に使用される光学系の特性に応じて調整できるようになる。光学素子３２及び３４は、所望される効果が得られる位置に達した後、即ち最適楔角が見つかった後、互いに対してその位置に固定されるようにするとよい。そのために両光学素子は、接着剤３６、好ましくはＵＶ活性接着剤により互いに接合されることが好ましい。即ち、先ず接着剤３６がまだ硬化していない状態で校正を実施し、所望の位置を探し出す。この位置が見つかった後で、接着剤３６は例えばＵＶ閃光により活性化されるとよい。
【００２２】
測定構造１０の構成方式（図４）では、補償器２２も又、適切な時点に配置できるようになっている。補償器２２が対物レンズの開口絞り４０に配置されると、理想的である。尤も開口絞り４０については、対物レンズが閉じたモジュールとして構成され、これにアクセスできないという問題が生じるケースが多い。そのために補償器２２は、図４及び５に示されるように、対物レンズ１４と鏡筒レンズ１８の間にも配置できるようになっている。配置後に、測定構造１０全体の結像面軸方向の色収差が、補償器２２を利用して、補償器２２が校正されることにより、補償される。その際にこの校正は、既知のパターン構造を有するテストウエハを使用して行われるようになっている。
【００２３】
図７には、補償器２２の校正プロセスの流れが図式的に示されている。最初にステップ４４において、測定構造１０に、可変式プリズム３０と接着剤３６を有する新品の補償器２２が取り付けられる。ステップ４６において、テストウエハが装填される、即ち、その検査が可能であるように測定構造の中に配置される。その後ステップ４８において、この測定構造１０により、倍率色収差の結像面上の向き及び軸方向の大きさの決定に利用される様々な値が検出される。次にステップ５０において、これらの値が測定構造１０に対して許容される所定の範囲内にあるか否かが検査される。許容範囲内にある場合は、ステップ５２において、球面光学素子３２、３４のその時の位置が固定される。その際には、特に接着剤３６がＵＶ照射等により硬化されるようになっている。この場合は適用する接着方式により、接着剤が硬化する迄ＵＶ光が照射されるか、又はＵＶ閃光により硬化が誘導されなければならない。それ以外の接着剤を使用することも可能ではあるが、その場合は、誘導後急速に硬化するような接着剤であることが好ましい。最後にステップ５４において、テストウエハが再び取り除かれる。
【００２４】
ステップ５０において、ステップ４８において算出された値が測定構造１０に対して許容される所定の範囲外にあることが判明すると、補償器２２の校正が必要となる。そのためにステップ５６において、補償器２２の設定を変更するための向き及び大きさが計算される。それに続くステップ５８において、補償器２２の設定変更が行われる。そのためには、両光学素子３２、３４の楔角が、収差が補償されるように変更されるとよい。その後再びステップ４８において、結像面軸方向の倍率色収差の向き及び大きさが測定される。この校正プロセスは、直線的に進行するものではないために、最良の結果に達するためには、測定ループ６０を繰り返し実施することが必要である。ステップ５０において、値が測定構造１０に対して許容される所定の範囲内にあると判定されると直ちに、校正プロセスはこの測定ループ６０から出て次に進む。
【００２５】
補償器に（例えば圧電式の）アクチュエータが備えられる場合は、校正プロセスを計算機により自動制御することができる。
基本的には、特に要求度が低い測定構造１０については、補正プロセスをループ６０内で繰り返し実行するのではなくて、むしろ前もって製造された使用可能な複数の補償器２２のセットの中から一つを選び出して使用するようにしてもよい。この場合は、ステップ４８において決定された結像面軸方向の倍率色収差の大きさ及び向きが、前もって製造された補償器のセットの中から使用する補償器を選び出して取り付ける際の目安となる。一つのセットに含まれる補償器の個数及び種類は、夫々のレンズに対して適用される公差を勘案して決定される。
【００２６】
本発明が提案する測定構造及び方法により、対象物の検査時に重ね合わせ誤差を測定するための測定構造の品質を格段と向上することができる。結像面軸方向の倍率色収差は、対物レンズに関してだけではなく、それ以外にシステム全体に関しても補償可能である。公知である対物レンズのセッティング法とは対照的に、本発明に従った方法では、既に補正が終了した非点収差及びコマ収差に干渉が及ぶことはない。他にも本発明に従った方法により、収斂が基本的に保証されるために、対物レンズ以外の光学素子により発生した収差も同時に配慮されるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】軸方向の倍率色収差の発生を示す図式図である。
【図２】軸方向の色収差の影響を示す図式図である。
【図３】対物レンズの開口絞りに配置される補償器を示す図式図である。
【図４】本発明に従った測定構造を示す図式図である。
【図５】本発明に従った別の測定構造を示す図式図である。
【図６】補償器の様々な実施例を示す図式図である。
【図７】本発明に従った補償器の校正プロセスの流れを示す図式図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０        測定構造
１２        照射装置
１３        垂直偏向板
１４        対物レンズ
１６        対物レンズ
１８        鏡筒レンズ
２０        センサユニット
２２        補償器
２４        後置拡大ユニット
２６        プリズム
２８        二重プリズム
３０        可変プリズム
３２        平凹素子
３４        平凸素子
３６        接着剤
３８        白色光
４０        開口絞り
４２        結像面
４４        新品の補償器の取付け
４６        試験パターン構造の取付け
４８        色収差の値の検出
５０        値は許容範囲内か？
５２        接着剤の硬化
５４        試験パターン構造の取出し
５６        変更値の計算
５８        補償器の設定変更
６０        補正ループ
Ｒ        赤色光（普通、波長１）
Ｇ        緑色光（普通、波長２）
Ｂ        青色光（普通、波長３）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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