(57)【要約】【課題】基板の表面に塗布するダイコータに対して、装置の挙動データをサンプリングし、基板毎に関連付けて管理することを可能とする。【解決手段】基板の表面に塗布するダイコータのステージの振動を計測する加速度検出器と、前記ダイコータのダイヘッドの振動を計測する加速度検出器と、前記ダイコータのダイヘッドの速度を計測するドライバと、前記各検出器と前記ドライバとからの信号をサンプリングし、基板通過時に前記ダイコータが動作する間だけサンプリングデータを記憶して保存するデータ保存手段とを有することを特徴とするダイコータのデータ収集システム。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に塗布するダイコータのステージの振動を計測する加速度検出器と、前記ダイコータのダイヘッドの振動を計測する加速度検出器と、前記ダイコータのダイヘッドの速度を計測するドライバと、前記各加速度検出器と前記ドライバとからの信号をサンプリングし、基板通過時に前記ダイコータが動作する間だけサンプリングデータを記憶して保存するデータ保存手段とを有することを特徴とするダイコータのデータ収集システム。
【請求項２】
基板の表面に塗布するダイコータのステージの振動を加速度検出器で計測する工程と、前記ダイコータのダイヘッドの振動を加速度検出器で計測する工程と、前記ダイコータのダイヘッドの速度をドライバで計測する工程と、前記各加速度検出器と前記ドライバとからの信号をサンプリングし、基板通過時に前記ダイコータが動作する間だけサンプリングデータを記憶して保存する工程とを含むことを特徴とするダイコータのデータ収集方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面に塗布するダイコータのデータ収集システム及びデータ収集方法に関するものであり、特にカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造に適したダイコータのデータ収集システム及びデータ収集方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の表面に塗布するダイコータのプロセスデータをデータベースサーバ等の記憶装置に保存することでプロセス条件を監視もしくは管理することは行われている。ただし、プロセス条件の履歴を管理する意味もあり、塗布速度などの設定値を保存する程度しか行っていない。
【０００３】
しかし、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタに関して言えば、基板サイズの世代進化が進むにつれて装置も大型化かつ複雑化になり、ステージ振動や塗布中のダイヘッドの振動、ダイヘッドの速度偏差など、極めて短い時間内に起こる装置の挙動が、塗布ムラなど品質に及ぼす影響を無視できなくなってきている。
【０００４】
こうした装置の挙動を数ミリ秒といったサンプリングタイムで収集し、記憶装置に長期保存しようとした場合、記憶装置の容量の問題から、サンプリングデータの特異点近傍を抽出保存する方法が考えられている（例えば特許文献１又は２参照）。これらの方法では、記憶装置に保存されているデータは特異点近傍で管理されており、あらかじめ特異点が判明している場合には有効である。
【０００５】
だが、装置の挙動変化は継続して計測することで特異な現象が判明することもあり、ある基板に関連するデータを読み出して、基板間での装置挙動の比較や品質情報と照らし合わすことによって、データのわずかな変化を読み取れることもある。
【０００６】
このため、サンプリングデータの特異点近傍を抽出保存する方法では、基板通過時に特異点が存在しない場合、データそのものが存在しないこともあり、基板間での比較解析を行うことが出来ない。
【特許文献１】特開平０８−１３７５４４号公報
【特許文献２】特開２０００−６６７１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、基板の表面に塗布するダイコータに対して、装置の挙動データをサンプリングし、基板毎に関連付けて管理することを可能とすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明において上記課題を達成するために、まず請求項１の発明では、基板の表面に塗布するダイコータのステージの振動を計測する加速度検出器と、前記ダイコータのダイヘッドの振動を計測する加速度検出器と、前記ダイコータのダイヘッドの速度を計測するドライバと、前記各加速度検出器と前記ドライバとからの信号をサンプリングし、基板通過時に前記ダイコータが動作する間だけサンプリングデータを記憶して保存するデータ保存手段とを有することを特徴とするダイコータのデータ収集システムとしたものである。
【０００９】
また請求項２の発明では、基板の表面に塗布するダイコータのステージの振動を加速度検出器で計測する工程と、前記ダイコータのダイヘッドの振動を加速度検出器で計測する工程と、前記ダイコータのダイヘッドの速度をドライバで計測する工程と、前記各加速度検出器と前記ドライバとからの信号をサンプリングし、基板通過時に前記ダイコータが動作する間だけサンプリングデータを記憶して保存する工程とを含むことを特徴とするダイコータのデータ収集方法としたものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、基板の表面に塗布するダイコータに対して、装置の挙動データをサンプリングし、基板毎に関連付けて管理することが可能になるという効果がある。また、この挙動データを品質情報と紐付けて比較解析を行うことにより、装置の傾向管理や予防保全に役立てることが可能となるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を具体化した実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１２】
本実施形態に係るデータ収集システムは図１に示すように、ダイコータ１とダイコータ１からの各種信号を収集するデータ収集装置２、収集したデータを登録するデータベースサーバ３と収集データを検索して表示する端末４から構成されている。
【００１３】
図２はダイコータ１を表すイメージ図である。ステージ５とダイヘッド６には加速度検出器８が取り付けてあり、加速度信号が出力される。制御部７は、ダイヘッド６を駆動するサーボドライバからの速度偏差信号が出力される。また、ダイコータ１が基板９を搬入、搬出するとき、また、塗布を開始、終了するときに、制御部７はデジタル信号で基板搬入信号、基板搬出信号、塗布開始信号、塗布終了信号をデータ収集装置２に通知する。ちなみに制御部７は、ＰＬＣやＰＣを意味する。
【００１４】
データ収集装置２は制御部７から基板搬入信号を受け取ると、基板搬出信号を受け取るまでの間、ステージ５に取り付けてある加速度検出器８から加速度信号を収集して記憶する。また、制御部７から塗布開始信号を受け取ると、塗布終了信号を受け取るまでの間、ダイヘッド６に取り付けてある加速度検出器８から加速度信号と、制御部７からのダイヘッド速度偏差信号とを収集する。収集したデータは基板搬出時にデータベースサーバ３に登録する。ダイコータ１の一連の動作と、計測項目のサンプリング範囲を図３に示す。
【００１５】
データ収集装置２のモニタには、図４の様にデータ収集毎に前回値と今回値の比較表示が出力される。これは、前回値と今回値の相関係数が予め設定した値よりも外れた場合、装置の異常を通知することも可能である。また、データベースサーバ３に登録したデータは、ネットワーク上の端末３からデータを抽出し、基板の品質情報とデータの比較を行うことが出来る。
【００１６】
次に、データ収集装置２の動作説明を行う。図５は動作のフローを示した図である。まず、ダイコータ１に基板が搬入される（Ｓ１）。このとき、ダイコータ１から基板搬入信号がデータ収集装置２に送られるので、この信号をトリガとしてステージ５の振動計測信号をデータ収集開始する（Ｓ２）。
【００１７】
ダイコータ１が塗布動作を開始したら（Ｓ３）、塗布開始信号がデータ収集装置２に送られるので、この信号をトリガとしてダイヘッド６の振動計測信号と、ダイヘッド５の速度偏差信号をデータ収集開始する（Ｓ４）。
【００１８】
ダイコータ１が塗布動作を終了したら（Ｓ５）、塗布終了信号がデータ収集装置２に送
られるので、この信号をトリガとしてダイヘッド６の振動計測とダイヘッド６の速度偏差のデータ収集を停止する（Ｓ６）。
【００１９】
ダイコータ１から基板が搬出されたら（Ｓ７）、基板搬出信号がデータ収集装置２に送られるので、これをトリガとしてステージ５の振動計測のデータ収集を停止する（Ｓ８）。
【００２０】
収集したデータは、データベースサーバ３にデータベース登録を行う（Ｓ９）。このとき、基板のＩＤなどを一緒に登録しておくと、基板毎のデータ比較を行う場合や、基板の品質情報と照らし合わせる場合に有効である。また、収集したデータはモニタにトレンド表示をする（Ｓ１０）。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本実施形態に係るデータ収集システムの全体構成を示す図である。
【図２】ダイコータを表すイメージ図である。
【図３】装置動作と計測期間の関係図である。
【図４】モニタでサンプリングデータを表示するイメージ図である。
【図５】本実施形態に係るデータ収集システムの動作のフローを示す図である。
【符号の説明】
【００２２】
１…ダイコータ
２…データ収集装置
３…データベースサーバ
４…端末
５…ステージ
６…ダイヘッド
７…制御部
８…加速度検出器
９…基板
１０…イメージ画面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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