(57)【要約】【課題】処理時、出力時におけるデータ量の節約されたレイアウトパターンデータの補正装置、及び補正方法を提供する。【解決手段】セルの階層構造を有するレイアウトパターンデータを入力するための入力装置と、前記入力装置から入力されたデータの補正を行う演算処理部と、を具備する。前記演算処理部は、入力された前記レイアウトパターンデータをセル毎に補正し、補正後の前記レイアウトパターンデータを構成する複数のセルの各々について、同一形状であるかどうかを判断し、同一形状であると判断されたセル同士を同一セルであるとして、セルの階層構造の再構築を行う。  【選択図】図１
2007280200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セルの階層構造を有するレイアウトパターンデータを入力するための入力装置と、
前記入力装置から入力されたデータの補正を行う演算処理部と、
を具備し、
前記演算処理部は、
入力された前記レイアウトパターンデータをセル毎に補正し、
補正後の前記レイアウトパターンデータを構成する複数のセルの各々について、同一形状であるかどうかを判断し、
同一形状であると判断されたセル同士を同一セルであるとして、セルの階層構造の再構築を行う
レイアウトパターンデータの補正装置。
【請求項２】
請求項１に記載されたレイアウトパターンデータの補正装置であって、
前記演算処理部は、
前記レイアウトパターンデータの補正を行うにあたり、複数のセルの各々を順番に補正し、
複数のセルの各々が同一形状であるかどうかの判断を、複数のセルの全ての補正が終了した後に実行する
レイアウトパターンデータの補正装置。
【請求項３】
請求項１に記載されたレイアウトパターンデータの補正装置であって、
前記演算処理部は、
前記レイアウトパターンデータの補正を行うにあたり、複数のセルの各々を順番に補正し、
複数のセルの各々について同一形状であるかどうかを判断するにあたり、一のセルの補正後の形状と、前記一のセルよりも前に補正した各セルの形状と、を比較して、同一形状であるかどうかを判断する
レイアウトパターンデータの補正装置。
【請求項４】
請求項１に記載されたレイアウトパターンデータの補正装置であって、
前記演算処理部は、
補正前のレイアウトパターンデータにおいて、同一のセルが複数の箇所に配置されているかどうかの判断を行い、
同一のセルが複数の箇所に配置されている場合には、前記複数の同一のセルを順序的に優先させて補正し、
前記複数の同一のセルの補正が終了した直後に、補正された後の前記複数の同一のセルの形状が同一であるかどうかを判断する
レイアウトパターンデータの補正装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載されたレイアウトパターンデータの補正装置であって、
前記演算処理部は、
セルの階層構造の再構築を行った後に、
同一セルが、一定ピッチで予め指定された数以上配置されているかどうかを判断し、
一定ピッチで指定された数以上配置されたと判断された複数の同一セルを、アレイ化する
レイアウトパターンデータの補正装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載されたレイアウトパターンデータの補正装置であって、
前記演算処理部は、
セルの階層構造の再構築を行った後に、更に、
各セル内の図形を検索して、同一形状の図形が予め指定された数以上存在するかどうかを判断し、
予め指定された数以上存在する図形の夫々を同一形状のセルとしてセル化する
レイアウトパターンデータの補正装置。
【請求項７】
セルの階層構造を有するレイアウトパターンデータを補正するレイアウトパターンデータの補正方法であって、
入力装置と演算処理部とを与えるステップと、
セルの階層構造を有するレイアウトパターンデータを前記入力装置を介して前記演算処理部に入力するステップと、
前記演算処理部が、入力された前記レイアウトパターンデータをセル毎に補正する補正ステップと、
前記演算処理部が、補正後の前記レイアウトパターンデータを構成する複数のセルの各々について、同一形状であるかどうかを判断する同一セル判断ステップと、
前記演算処理部が、同一形状であると判断されたセル同士を同一セルであるとして、セルの階層構造の再構築を行う再構築ステップと、
を具備する
レイアウトパターンデータの補正方法。
【請求項８】
請求項７に記載されたレイアウトパターンデータの補正方法であって、
前記補正ステップにおいて、前記演算処理部は、複数のセルの各々を順番に補正し、
前記同一セル判断ステップは、複数のセルの全ての補正が終了した後に実行される
レイアウトパターンデータの補正方法。
【請求項９】
請求項７に記載されたレイアウトパターンデータの補正方法であって、
前記補正ステップにおいて、前記演算処理部は、複数のセルの各々を順番に補正し、
前記同一セル判断ステップは、前記各セルの補正を行った後毎に実行され、
前記同一セル判断ステップにおいて、前記演算処理部は、一のセルの補正後の形状と、前記一のセルよりも前に補正した少なくとも一のセルの夫々の形状と、を比較して同一形状であるかどうかを判断する
レイアウトパターンデータの補正方法。
【請求項１０】
請求項７に記載されたレイアウトパターンデータの補正方法であって、
更に、
補正前のレイアウトパターンデータについて、同一のセルが複数の箇所に配置されているかどうかの判断を行うステップ、
を具備し、
前記補正ステップは、同一のセルが複数の箇所に配置されている場合には、前記複数の同一のセルの順番を優先して実行され、
前記同一セル判断ステップは、前記複数の同一のセルの補正が終了した直後に実行される
レイアウトパターンデータの補正方法。
【請求項１１】
請求項７又は１０のいずれかに記載されたレイアウトパターンデータの補正方法であって、
更に、前記再構築ステップの後に、
前記演算処理部が、同一セルが、一定ピッチで予め指定された数以上配置されているかどうかを判断するステップと、
前記演算処理部が、一定ピッチで指定された数以上配置されたと判断された複数の同一セルを、アレイ化するステップと、
を具備する
レイアウトパターンデータの補正方法。
【請求項１２】
請求項７乃至１１のいずれかに記載されたレイアウトパターンデータの補正方法であって、
更に、前記再構築ステップの後に、
前記演算処理部が、各セル内の図形を検索して、同一形状の図形が予め指定された数以上存在するかどうかを判断するステップと、
予め指定された数以上存在する図形の夫々を同一形状のセルしてセル化するステップと、
を具備する
レイアウトパターンデータの補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、図形データの補正を行うレイアウトパターンデータの補正装置、及び補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
入力された図形データに対して補正を行う技術が知られている。このような技術は、例えば、半導体装置製造のリソグラフィ工程における近接効果を克服する為に用いられる。
【０００３】
入力される図形データとしては、データ量の削減のためにセルの階層構造を有するものが用いられることがある。補正の方法としては、（Ａ）セルの階層構造を無くし、図形を複数個の領域に分割してフラットデータで処理する場合と、（Ｂ）入力されたデータのセルの階層構造を活用して処理する場合、がある。
【０００４】
（Ａ）フラットデータで処理する方法では、全ての図形に対して補正を行う必要があるので、補正時、出力時共に、膨大なデータ量を必要とする。一方、（Ｂ）セルの階層構造を活用して処理する方法では、同一セル（図形の形状が同じセル）が複数配置されている場合には、補正処理を省略することができる。必ずしも全ての図形の補正処理を行う必要は無いので、処理に要する時間、ハードウェア資源量が節約できる。こうした理由から、（Ａ）フラットデータで処理する方法、よりも（Ｂ）セルの階層構造を活用して処理する方法、が用いられることが多い。（Ｂ）セルの階層構造を活用して処理する方法としては、例えば、特許文献１に記載された近接効果補正方法が挙げられる。
【０００５】
図１０は、（Ｂ）セルの階層構造を活用した場合における補正方法の動作フローを示す図である。まず、セルの階層構造を有する図形データが入力される。続いて、内部処理用のセルに分割される。そして、各セル毎に補正処理が行われる。全てのセルに対して補正処理が終了すると、結果が出力される。出力された結果は、所定の処理（表示装置に表示、記憶部に格納）が施される。補正処理の具体的動作は、例えば半導体装置のリソグラフィ工程における近接効果対策の場合は、図１１のような方法によって行われる。まず、入力された図形データの一のセル又は図形に対して、露光シミュレーションを行い、露光後の形状を計算する。この結果を元にして、入力された図形データの補正を行い、再度露光シミュレーションを行う。そして、入力された図形データとの図形演算処理の減算を行い、その差が予め指定された誤差の範囲内であれば、次のセル又は図形に対する処理を行う。誤差範囲外であれば、再度図形データの補正、露光シミュレーションを行う。
【０００６】
ところで、半導体装置のリソグラフィ工程に用いられるマスク形状の補正等の場合では、同一セルでも配置された場所が異なるとその周辺環境が異なるので、必ずしも同じ補正処理を行えばよいとは限らない。入力された図形データ上では同一セルであったとしても、配置場所が異なれば別のセルとして扱われるか、階層構造をつぶしてフラットデータとして処理する場合が多い。また、実際には、アレイセルのようにそのままでは処理できない図形も多い。従って、元の図形におけるセルの階層構造を完全に活用することは難しく、結果として膨大なデータ量を必要としていた。
【特許文献１】特開平３−８０５２５号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
即ち、本発明の目的は、処理時、出力時におけるデータ量の節約されたレイアウトパターンデータの補正装置、及び補正方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
その課題を解決するための手段が、下記のように表現される。その表現中に現れる技術的事項には、括弧（）つきで、番号、記号等が添記されている。その番号、記号等は、本発明の実施の複数の形態又は複数の実施例のうちの少なくとも１つの実施の形態又は複数の実施例を構成する技術的事項、特に、その実施の形態又は実施例に対応する図面に表現されている技術的事項に付せられている参照番号、参照記号等に一致している。このような参照番号、参照記号は、請求項記載の技術的事項と実施の形態又は実施例の技術的事項との対応・橋渡しを明確にしている。このような対応・橋渡しは、請求項記載の技術的事項が実施の形態又は実施例の技術的事項に限定されて解釈されることを意味しない。
【０００９】
本発明に係るレイアウトパターンデータの補正装置（１０）は、セルの階層構造を有するレイアウトパターンデータを入力するための入力装置（１１）と、入力装置（１１）から入力されたデータをセル毎に補正する演算処理部（１２）と、を具備する。演算処理部（１２）は、入力されたそのレイアウトパターンデータの補正を行い、補正後のそのレイアウトパターンデータを構成する複数のセルの各々について、同一形状であるかどうかを判断し、同一形状であると判断されたセル同士を同一セルであるとして、セルの階層構造の再構築を行う。
補正後のセル同士を比較して、同一形状であると判断されたセル同士を同一セルとすることにより、補正後の直後では同一形状ではあるが別のセルとして扱われていたものを、同一セルとして扱うことができる。同一セルとして扱うことで、補正後のデータ量を節約することができる。
【００１０】
上記のレイアウトパターンデータの補正装置（１０）では、一の観点において、演算処理部（１２）は、そのレイアウトパターンデータの補正を行うにあたり、複数のセルの各々を順番に補正し、複数のセルの各々が同一形状であるかどうかの判断を、複数のセルの全ての補正が終了した後に実行することが好ましい。
【００１１】
上記のレイアウトパターンデータの補正装置（１０）では、他の観点において、演算処理部（１２）は、そのレイアウトパターンデータの補正を行うにあたり、複数のセルの各々を順番に補正し、複数のセルの各々について同一形状であるかどうかを判断するにあたり、一のセルの補正後の形状と、その一のセルよりも前に補正した各セルの形状と、を比較して、同一形状であるかどうかを判断することが好ましい。
【００１２】
上記のレイアウトパターンデータの補正装置（１０）では、他の観点において、演算処理部（１２）が、補正前のレイアウトパターンデータにおいて、同一のセルが複数の箇所に配置されているかどうかの判断を行い、同一のセルが複数の箇所に配置されている場合には、その複数の同一のセルを順序として優先させて補正し、その複数の同一のセルの補正が終了した直後に、補正された後の複数の同一のセルの形状が同じであるかどうかを判断することが好ましい。
【００１３】
上記のレイアウトパターンデータの補正装置（１０）において、演算処理部（１２）は、セルの階層構造の再構築を行った後に、同一セルが、一定ピッチで予め指定された数以上配置されているかどうかを判断し、一定ピッチで指定された数以上配置されたと判断された複数の同一セルを、アレイ化する。
同一セルが一定ピッチで複数配置されたものをアレイ化することにより、データ量が更に削減される。後工程で、補正データを更に変換したりする際に、データの読み込み、変換処理の高速化が可能となる。また、補正後のデータを表示装置に表示した場合に、視認性が向上する。
【００１４】
上記のレイアウトパターンデータの補正装置（１０）において、演算処理部（１２）は、セルの階層構造の再構築を行った後に、更に、各セル内の図形を検索して、同一形状の図形が予め指定された数以上存在するかどうかを判断し、予め指定された数以上存在する図形の夫々を同一形状のセルとしてセル化する。
セル内の図形について、同一形状の図形を同一セルとして扱うことで、データ量が更に削減される。
【００１５】
本発明に係るレイアウトパターンデータの補正補正方法は、セルの階層構造を有するレイアウトパターンデータを補正するレイアウトパターンデータの補正方法である。入力装置（１１）と演算処理部（１２）とを与えるステップと、セルの階層構造を有するレイアウトパターンデータを入力装置（１１）を介して演算処理部（１２）に入力するステップ（ステップＳ１０）と、演算処理部（１２）が、入力されたそのレイアウトパターンデータをセル毎に補正する補正ステップ（ステップＳ２０）と、演算処理部（１２）が、補正後のそのレイアウトパターンデータを構成する複数のセルの各々について、同一形状であるかどうかを判断する同一セル判断ステップ（ステップＳ３０）と、演算処理部（１２）が、同一形状であると判断されたセル同士を同一セルであるとして、セルの階層構造の再構築を行う再構築ステップ（ステップＳ４０）と、を具備する。
【００１６】
上記のレイアウトパターンデータの補正方法では、一の観点において、補正ステップ（Ｓ２０）において、演算処理部（１２）は、複数のセルの各々を順番に補正し、同一セル判断ステップ（Ｓ３０）は、複数のセルの全ての補正が終了した後に実行されることが好ましい。
【００１７】
上記のレイアウトパターンデータの補正方法では、他の観点において、補正ステップ（Ｓ２０）において、演算処理部（１２）が、複数のセルの各々を順番に補正し、同一セル判断ステップ（Ｓ３０）は、その各セルの補正を行った後毎に実行される。同一セル判断ステップ（Ｓ３０）において、演算処理部（１２）が、一のセルの補正後の形状と、その一のセルよりも前に補正した少なくとも一のセルの夫々の形状と、を比較して同一形状であるかどうかを判断することが好ましい。
【００１８】
上記のレイアウトパターンデータの補正方法では、更に、補正前のレイアウトパターンデータについて、同一のセルが複数の箇所に配置されているかどうかの判断を行うステップ（ステップＳ１５）、を具備する。補正ステップ（Ｓ２０）は、同一のセルが複数の箇所に配置されている場合には、その複数の同一のセルの順番を優先させて実行される。同一セル判断ステップ（Ｓ３０）は、その複数の同一のセルの補正が終了した直後に実行される。
【００１９】
上記のレイアウトパターンデータの補正方法は、更に、再構築ステップ（Ｓ４０）の後に、演算処理部（１２）が、同一セルが、一定ピッチで予め指定された数以上配置されているかどうかを判断するステップ（ステップＳ５０−１）と、演算処理部（１２）が、一定ピッチで指定された数以上配置されたと判断された複数の同一セルを、アレイ化するステップ（Ｓ５０−２）と、を具備する。
【００２０】
上記のレイアウトパターンデータの補正方法は、更に、再構築ステップ（Ｓ４０）の後に、演算処理部（１２）が、各セル内の図形を検索して、同一形状の図形が予め指定された数以上存在するかどうかを判断するステップ（ステップＳ６０−１）と、
予め指定された数以上存在する図形の夫々を同一形状のセルとしてセル化するステップ（ステップＳ６０−２）と、を具備する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に依れば、処理時、出力時におけるデータ量の節約されたレイアウトパターンデータの補正装置、及び補正方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（第１の実施形態）
図面を参照して、本発明の第１の実施形態について説明する。図９は、本実施の形態に係るレイアウトパターンデータの補正装置１０の構成を示す図である。レイアウトパターンデータの補正装置１０は、入力装置１１、演算処理部１２、及び出力部１３を有している。尚、以下の説明では、図形データの補正として、半導体装置製造のリソグラフィ工程における近接効果対策のマスク補正を例として説明を行う。
【００２３】
入力装置１１は、マウスやキーボードに例示される。ユーザーは、入力装置１１を介して、補正を行う図形データを演算処理部１２に入力する。
【００２４】
演算処理部１２は、入力装置１１から入力されたレイアウトパターンデータ（以下、図形データと記載）の補正を行う機能を実現する。演算処理部１２は、ＣＰＵやＲＡＭなどのハードウェア資源と、これらにインストールされたコンピュータプログラムとが協同してその機能を実現するように構成されている。
【００２５】
出力部１３は、演算処理部１２によって補正された図形データの出力を行う。尚、出力とは、補正された図形データをハードディスク等の記憶装置に格納したり、ディスプレイなどの表示装置に表示することを意味する。
【００２６】
以上のような構成を有するレイアウトパターンデータの補正装置は、以下のように動作してその機能を実現する。図１は、レイアウトパターンデータの補正方法の動作フローを示す図である。
【００２７】
ステップＳ１０；図形データの入力
まず、ユーザが入力装置１１を介して、図形データを入力する。図形データは、ＣＡＤデータで入力される。入力された図形データは、演算処理部１２に通知される。入力される図形データは階層構造を有している。
【００２８】
入力される図形データの例が図２（a）に示されている。図形データは、最上位のセルＡを有している。最上位のセルＡには、複数のセル（Ｂ−１〜４）が含まれている。複数のセル（Ｂ−１〜４）の夫々は、セル（Ｃ）を有している。そして、セル（Ｃ）内には、図形が描かれている。図形データはこのようなセルの階層構造を有している。尚、セル（Ｂ−１〜４）の夫々に含まれるセル（Ｃ）は、入力された図形データの段階では、同一形状であり、同一セルとして扱われている。
【００２９】
ステップＳ２０；補正処理（ＯＰＣ処理）
続いて、演算処理部１２が、入力された図形データについて補正処理を行う。補正処理は、最下位のセルから上位のセルへと順番に行われる。ここでの補正は、入力された図形データに対して露光シミュレーションを施し、露光シミュレーション後の図形と入力された図形データとを比較することで補正後データを求めることができる。尚、以下の記載では、この補正処理をＯＰＣ処理と記載する。
【００３０】
図２（ｂ）は、ＯＰＣ処理直後の図形データを示す図である。ＯＰＣ処理より前の段階では、セル（Ｂ−１〜４）の夫々に含まれるセル（Ｃ）は、全て同一セルとして扱われていたが、各セル（Ｃ）の配置される位置が異なる為に、施されるＯＰＣ処理も異なる場合がある。このために、ＯＰＣ処理直後の図形データ上では、セル（Ｂ−１〜４）の夫々に対応するセル（Ｃ−１〜４）として、別々のセルとして扱われている。
【００３１】
ステップＳ３０；同一形状のセルがあるかどうかを判断
全てのセルに対して、ステップＳ２０のＯＰＣ処理が施された後に、演算処理部１２は、ステップＳ２０でＯＰＣ処理された後の図形データを検索して、同一形状のセルがあるかどうかを判断する。ステップＳ２０において、入力時には同一セルであったものの、異なるＯＰＣ処理が施されたために別々のセルとして扱われているもののなかには、異なるＯＰＣ処理が施されたにも関わらず同じ形状となっている場合がある。本ステップの処理により、このように同じ形状であるが別々のセルとして扱われているものがあるかどうかが判断される。以下の説明では、図２（ｂ）において、セルＣ−１、Ｃ−３、及びＣ−４が同一形状であると判断された場合について説明する。
【００３２】
ステップＳ４０；セルの階層構造の再構築
演算処理部１２は、Ｓ３０の処理において、同一形状と判断されたセルＣ（Ｃ−１、３、４）を同一セルとして扱うようにセルの階層構造を再構築する。即ち、セルＣ−１、Ｃ−３、Ｃ−４の全てを、これらのうちのいずれかのセルに置換する。図２（ｃ）は、セルの階層構造を再構築した後の図形データを示す図である。再構築前のセルＣ−３及びセルＣ−４が、セルＣ−１に置換されている。
【００３３】
以上のステップＳ１０〜４０の処理により、セルの階層構造が再構築された図形データが出力される。出力された図形データは、表示装置への表示や、記憶装置への格納等の所定の処理が施される。
【００３４】
本実施の形態に依れば、ＯＰＣ処理直後の段階では別々のセルとして扱われていたものを、同一形状であれば同一セルとして扱うようにセルの階層構造を再構築するので、データ量が削減される。即ち、別々のセルとして扱う場合は各セル毎にセル内の図形の形状がデータに記載される必要があるが、同一セルとして扱えば記載される形状は一つで済む。各セル毎に形状を記載する必要は無く、図形データに記載される形状の数が削減される。
【００３５】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態に係るレイアウトパターンデータの補正装置の構成は、第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。本実施の形態では、第１の実施の形態に対して、演算処理部１２が行う動作について更に工夫されている。図３は、本実施の形態に係るレイアウトパターンデータの補正方法の動作フローを示す図である。以下に、各ステップの動作について詳述する。尚、第１の実施の形態と同様の動作については、説明を省略する。
【００３６】
ステップＳ１０；図形データの入力
まず、ユーザによって入力装置１１から図形データが入力される。このステップは、第１の実施形態と同様である。
【００３７】
ステップＳ１５；同一セルの把握
続いて、演算処理部１２が、入力された図形データの解析を行い、ＣＡＤデータ内のセル間の階層的繋がりを調査する。そして、演算処理部１２は、同一セルが複数個配置されているかどうかを把握する。更に、演算処理部１２は、ＯＰＣ処理を行うセルの順番を決定する。ここで、複数の同一セル（以下、同一セル群と記載）が配置されていた場合には、同一セル群のＯＰＣ処理が先に行われるように、同一セル群の順番を優先させて決定する。
【００３８】
ステップＳ２０−１；同一セル群に対してＯＰＣ処理
ステップＳ１５の処理において、同一セル群が存在する場合には、まず同一セル群の各セルについてＯＰＣ処理が実行される。
【００３９】
ステップＳ３０−１；同一セル群の結果セルに対して同一形状かどうかを判断
Ｓ２０−１において、同一セル群内の全てのセルについてＯＰＣ処理が終了すると、同一セル群のＯＰＣ処理後の各セル（結果セル）が、同一形状であるかどうかを判断する。
【００４０】
ステップＳ４０−１；セルの階層構造を再構築
【００４１】
Ｓ３０−１において、同一セル群の各結果セルについて、同一形状のものがあった場合には、同一セルとして扱うように、セルの階層構造を再構築する。
【００４２】
ステップＳ２０−１〜Ｓ４０−１までの処理により、一の同一セル群に対する処理が終了する。その後、Ｓ１５で決定されたＯＰＣ処理の順番に従って、次の同一セル群（他に未ＯＰＣ処理の同一セル群がない場合は他のセル）に対してステップＳ２０−１〜Ｓ４０−１までの処理が繰り返される。全てのセルについて処理が終了すると、結果が出力される。
【００４３】
本実施の形態に依れば、第１の実施の形態における作用効果に加えて、次の作用効果を奏する。即ち、入力された図形データについてセルの階層構造を解析して、同一セルが複数配置されているかどうかを把握しているので、ＯＰＣ処理した後の形状が同一であるかどうかの判断は、ＯＰＣ処理前に同一セルであったもの同士を比較するだけでよい。即ち、Ｓ３０−１で比較する際に、入力された図形データの段階で異なるセル同士を比較する動作が省略されるので、補正処理に要する作業量を低減させることができる。
【００４４】
（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施の形態に係るレイアウトパターンデータの補正装置の構成は、第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。本実施の形態では、第１の実施の形態に対して、ＯＰＣ処理を行ったセルが同一であるかどうかを比較し（ステップＳ３０）、セルの階層構造する動作（ステップＳ４０）が行われるタイミングについて工夫されている。図４は、本実施の形態に係るレイアウトパターンデータの補正方法の動作フローを示す図である。以下に、各ステップの動作について詳述する。尚、第１の実施の形態と同様の動作については、説明を省略する。
【００４５】
ステップＳ１０；入力
第１の実施形態と同様に、入力装置１１を介して図形データがＣＡＤデータで入力される。
【００４６】
ステップＳ２０（ｎ＝１）、２０（ｎ）〜４０（ｎ）；ＯＰＣ処理
続いて、一つ目のセルに対してＯＰＣ処理が実行される（Ｓ２０（ｎ＝１））。ＯＰＣ処理は、下位のセルから上位のセルの順番で実行される。ここで、各セルのＯＰＣ処理が実行される都度（Ｓ２０（ｎ））、これより前にＯＰＣ処理の行われたセルの結果セルの全てと、形状の比較が行われる（Ｓ３０（ｎ））。そして、同一形状のセルがあった場合には、セルの階層構造の再構築が行われる（Ｓ４０（ｎ））。Ｓ４０（ｎ）の後に、ＯＰＣ処理を行ったセルが最上位のセルであるかどうかを判断し、最上位のセルでなかった場合には次のセルに対してＯＰＣ処理が実行される。最上位のセルであった場合には、結果を出力する。
【００４７】
本実施の形態のように、複数のセルの各々をＯＰＣ処理する都度に、結果セルが同一形状であるかどうかを比較しても第１の実施の形態と同様に、データ量を削減することができる。また、第１の実施の形態の場合、結果セルの形状の比較を行うに際し、比較前まではセルの階層構造が再構築されていないデータが記憶されている必要があるが、本実施の形態では、記憶しておくべきデータは、既にＯＰＣ処理の成されたセルについてのみでよい。よって、第１の実施形態と比較して中間的なデータサイズが更に削減することができる。
【００４８】
（第４の実施の形態）
本発明の第４の実施の形態について説明する。本実施の形態に係るレイアウトパターンデータの補正装置の構成は、第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。図５は、本実施の形態に係るレイアウトパターンデータの補正方法の動作フローを示す図である。本実施の形態では、第１の実施の形態に対して、アレイ化を行うステップ（ステップＳ５０−１、５０−２）の動作が追加されている。尚、セルの階層構造を再構築（ステップＳ４０）までは、第１の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【００４９】
ステップＳ５０−１；同一セルが同一ピッチで配置されているかの把握
演算処理部１２は、Ｓ４０にてセルの階層構造を再構築した後の図形データに対して、複数の同一セルが同一ピッチで指定された数以上配置されているかどうかを判断する。尚、ここで、指定された数は、予めユーザによって入力装置１１を介して入力され、図示しない記憶装置に設定されている。
【００５０】
ステップＳ５０−２；アレイ化
Ｓ５０−１の処理において、複数の同一セルが同一セルで配置されているものがあった場合、これをアレイ化する。図６は、アレイ化の様子を説明する図である。セルＢの中に、複数の同一セル（Ｃ−１）が一定ピッチで配置されている。この複数の同一セル（Ｃ−１）がアレイ化される。アレイ化は、ＣＡＤデータの定義方法の一つであり、一つのセルを一定ピッチで複数個配置する場合に、個別に配置情報を定義するのではなく、一括で指定することである。ステップＳ５０−２の処理が終了すると、処理の終了した図形データが第１の実施の形態と同様に出力される。
【００５１】
本実施の形態に依れば、第１の実施形態における作用効果に加えて、アレイ化を行っているので、更にデータ量が削減される。また、繰り返しデータ（同一ピッチで同一セルが複数個配置されたデータ）部分がアレイ化されることにより、データの視認性が向上する。
【００５２】
（第５の実施の形態）
本発明の第５の実施の形態について説明する。本実施の形態に係るレイアウトパターンデータの補正装置の構成は、第１の実施の形態と同様であり、説明を省略する。図７は、本実施の形態に係るレイアウトパターンデータの補正方法の動作フローを示す図である。本実施の形態では、第１の実施の形態に対して、セル内の同一形状図形を検索するステップ（Ｓ６０−１、６０−２）の動作が追加されている。尚、セルの階層構造を再構築（ステップＳ４０）までは、第１の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【００５３】
ステップＳ６０−１；セル内の同一形状図形を検索
演算処理部１２は、ステップＳ４０にてセルの階層構造を再構築した後の図形データに対して、セル内の図形で同一の形状のものが予め指定された数以上存在するかどうかを検索する。ここで、予め指定された数は、予めユーザが入力装置１１を介して入力することで、図示しない記憶装置に設定されている。
【００５４】
図８は、セル内の同一形状図形の検索を説明する為の図である。セルの階層構造が再構築された後の図形データは、セル（Ｃ−１）とセル（Ｃ−２）を含んでいるとする。そして、セル（Ｃ−１）には２つの長方形状の図形が含まれ、セル（Ｃ−２）には一の長方形状の図形が含まれている。この三つの長方形状の図形は同じ形状であるとする。
【００５５】
ステップＳ６０−２；セル化
演算処理部１２は、指定された数以上存在する同一形状図形をセル化して、同一セルとして扱う。図８に示される例では、三つの長方形状の図形が三つの同一セル（Ｄ−１）として表現される。このようにして、セルの階層構造が再々構築される。その後、第１の実施の形態と同様に、階層構造が再々構築された図形データが出力される。
【００５６】
本実施の形態に依れば、セル内に描かれる同一形状の図形をセル化して、同一セルとして扱うので、データ量を更に削減することができる。
【００５７】
尚、実施の形態１〜５に記載された工夫は、必要に応じて複数の形態を組み合わせて用いることで、相乗的に作用効果を得る事が出きることは、当業者にとっては自明的であろう。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】第１の実施の形態の動作フローを示す図である。
【図２】図形データの内容を示す図である。
【図３】第２の実施の形態の動作フローを示す図である。
【図４】第３の実施の形態の動作フローを示す図である。
【図５】第４の実施の形態の動作フローを示す図である。
【図６】アレイ化を説明する図である。
【図７】第５の実施の形態の動作フローを示す図である。
【図８】セル化を説明する図である。
【図９】レイアウトパターンデータの補正装置の構成を示す図である。
【図１０】従来例の動作フローを示す図である。
【図１１】従来例の動作フローを示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
１０    レイアウトパターンデータの補正装置
１１    入力装置
１２    演算処理部
１３    出力部
【図１】
2007280200.tif 000003
【図２】
2007280200.tif 000004
【図３】
2007280200.tif 000005
【図４】
2007280200.tif 000006
【図５】
2007280200.tif 000007
【図６】
2007280200.tif 000008
【図７】
2007280200.tif 000009
【図８】
2007280200.tif 000010
【図９】
2007280200.tif 000011
【図１０】
2007280200.tif 000012
【図１１】
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