(57)【要約】【課題】ノズル開口から液滴を吐出して画素構成要素を構成した場合でも画素構成要素の膜厚を高い精度で制御することのできる電気光学装置の製造方法、および電気光学装置の製造装置を提供すること。【解決手段】液滴吐出装置では、複数のノズル開口２７の全てから液滴Ｍ０を吐出するが、ノズル列２８の両端側に位置する第１のノズル開口２７ａから吐出された液滴Ｍ０については液滴選別機構８０の液滴捕集具８１で受け止められ、基板１２上には着弾しない。このため、基板１２上に着弾するのは、ノズル列２８の中央側に位置する第２のノズル開口２７ｂから吐出された液滴Ｍ０のみであり、これらの液滴Ｍ０では、重量ばらつきがほとんどない。【選択図】図４
2007225857.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧力発生素子の各々に対応する複数のノズル開口がノズル列を構成している液滴吐出ヘッドから電気光学装置用基板上の所定位置に液滴を吐出した後、当該液滴を前記電気光学装置用基板上で定着させて画素構成要素を形成する電気光学装置の製造方法において、
前記液滴吐出ヘッドから前記電気光学装置用基板上に液滴を吐出する際、前記複数のノズル開口のうち、前記ノズル列の両端側に位置する第１のノズル開口から吐出された液滴の前記電気光学装置用基板上への着弾を阻止し、その他の第２のノズル開口から吐出された液滴を前記電気光学装置用基板上に着弾させることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２】
前記画素構成要素は、少なくとも、陽極層、発光層および陰極層が積層されたエレクトロルミネッセンス素子における前記発光層であることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項３】
複数の圧力発生素子の各々に対応する複数のノズル開口がノズル列を構成している液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドと電気光学装置用基板とを相対移動させる移動装置とを有し、前記液滴吐出ヘッドから前記電気光学装置用基板上の所定位置に画素構成要素を形成するための液滴を吐出する液滴吐出装置において、
前記複数のノズル開口のうち、前記ノズル列の両端側に位置する第１のノズル開口から吐出された液滴の前記電気光学装置用基板上への着弾を阻止し、その他の第２のノズル開口から吐出された液滴を前記電気光学装置用基板上に着弾させる液滴選別機構を有していることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
前記液滴選別機構は、前記第１のノズル開口と前記電気光学装置用基板との間に介在して当該第１のノズル開口から吐出された液滴を受ける液滴捕集具を備えていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記液滴選別機構は、さらに、前記液滴捕集具に溜まった液状物を排出する排出経路を備えていることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記液滴選別機構は、さらに、前記排出経路を介して前記液滴捕集具に溜まった液状物を吸引する吸引装置を備えていることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドから吐出した液滴により画素構成要素を形成する電気光学装置の製造方法、および当該方法に用いる電気光学装置の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
発光装置に用いられている有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ／Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子は、少なくとも、陽極層、正孔輸送層、発光層および陰極層が積層されている。これらの各層のうち、正孔輸送層および発光層を形成する方法として、基板上に、高分子材料からなる有機機能材料を溶媒に溶解あるいは分散した液状物の液滴をノズル開口からドット状に吐出した後、乾燥することにより脱溶媒を行うことにより基板上に定着させる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような製造方法において、液滴を吐出するにあたっては、複数の圧力発生素子の各々に対応する複数のノズル開口をノズル形成面に備えた液滴吐出ヘッドが用いられ、この液滴吐出ヘッドにおいて、複数のノズル開口は、ノズル列を構成するように配列されている。ここで、ノズル開口には圧力発生室が連通しており、この圧力発生素子の内部圧力を圧力発生素子により変化させることにノズル開口から液滴を吐出する。
【０００４】
このような液滴吐出ヘッドでは、圧力発生素子の変位を圧力発生室に伝達する振動板の撓みが周辺に伝達された場合や、圧力発生室内の圧力変化が仕切り壁を撓ませた場合には、圧力発生室の圧力が変動するクロストークが発生する。このようなクロストークの影響は、ノズル列の中央に位置するノズル開口では両側から及ぶが、ノズル列の両端部に位置するノズル開口には片側からしか及ばない結果、圧力発生素子に対して同一波形の駆動信号を印加した場合でも、ノズル列の両端部に位置するノズル開口から吐出される液滴重量がノズル列の中央に位置するノズル開口から吐出される液滴重量よりも大になることがある。
【０００５】
そこで、ノズル列の両端部には、ノズル開口を有しない擬似圧力発生室を設け、ノズル列の両端部に位置するノズル開口にも、ノズル列の中央に位置するノズル開口と同様、両側からクロストークの影響を及ぼすように構成した液滴吐出ヘッドが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００３−１２３９８８号公報
【特許文献２】特開２００５−７４８６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献２に開示の技術のように、ノズル列の両端部に擬似圧力発生室を設けても、かかる擬似圧力発生室にはノズル開口が形成されていないため、ノズル列の両端部に位置するノズル開口が受けるクロストークと、ノズル列の中央に位置するノズル開口が受けるクロストークとを完全に同等とすることができない。このため、ノズル列の両端部に位置するノズル開口から吐出される液滴重量が、ノズル列の中央に位置するノズル開口から吐出される液滴重量に比して大となる現象を抑えることができない。その結果、ノズル開口から液滴を吐出して、画素構成要素として発光層などを構成した場合に発光層の膜厚を高い精度で制御することができず、発光強度が画素によってばらつくなどの問題点がある。また、画素構成要素としてカラーフィルタを形成した場合、カラーフィルタの膜厚を高い精度で制御することができず、色再現性が低下するという問題点がある。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、ノズル開口から液滴を吐出して画素構成要素を構成した場合でも画素構成要素の膜厚を高い精度で制御することのできる電気光学装置の製造方法、および電気光学装置の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明では、複数の圧力発生素子の各々に対応する複数のノズル開口がノズル列を構成している液滴吐出ヘッドから電気光学装置用基板上の所定位置に液滴を吐出した後、当該液滴を前記電気光学装置用基板上で定着させて画素構成要素を形成する電気光学装置の製造方法において、前記液滴吐出ヘッドから前記電気光学装置用基板上に液滴を吐出する際、前記複数のノズル開口のうち、前記ノズル列の両端側に位置する第１のノズル開口から吐出された液滴の前記電気光学装置用基板上への着弾を阻止し、その他の第２のノズル開口から吐出された液滴を前記電気光学装置用基板上に着弾させることを特徴とする。
【０００９】
本発明では、複数の圧力発生素子の各々に対応する複数のノズル開口がノズル列を構成している液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドと電気光学装置用基板とを相対移動させる移動装置とを有し、前記液滴吐出ヘッドから前記電気光学装置用基板上の所定位置に画素構成要素を形成するための液滴を吐出する液滴吐出装置において、前記複数のノズル開口のうち、前記ノズル列の両端側に位置する第１のノズル開口から吐出された液滴の前記電気光学装置用基板上への着弾を阻止し、その他の第２のノズル開口から吐出された液滴を前記電気光学装置用基板上に着弾させる液滴選別機構を有していることを特徴とする。
【００１０】
本発明では、複数のノズル開口の全てから液滴を吐出するが、ノズル列の両端側に位置する第１のノズル開口から吐出された液滴については電気光学装置用基板上には着弾しない。このため、電気光学装置用基板上に着弾するのは、ノズル列の中央側に位置する第２のノズル開口から吐出された液滴のみであり、これらの液滴では、重量ばらつきがほとんどない。それ故、本発明によれば、電気光学装置用基板上に着弾する液滴重量を高い精度で制御できるので、電気光学装置の画素構成要素の膜厚を高い精度で制御することができる。
【００１１】
本発明において、前記画素構成要素は、例えば、少なくとも、陽極層、発光層および陰極層が積層されたエレクトロルミネッセンス素子における前記発光層である。すなわち、本発明は、エレクトロルミネッセンス装置の製造に用いることができ、このようなエレクトロルミネッセンス装置は、携帯電話機、テレビ、車載パネル、パーソナルコンピュータやＰＤＡなどの電子機器においてフルカラー表示装置として用いることができる。また、本発明を適用したエレクトロルミネッセンス装置は、各種光源や、デジタル複写機やプリンタなどの画像形成装置における露光用ヘッドとして用いることができる。
【００１２】
また、本発明は、エレクトロルミネッセンス素子から白色光を出射するエレクトロルミネッセンス装置の製造や、液晶装置においてカラーフィルタを形成するのに適用することができる。
【００１３】
本発明において、前記液滴選別機構としては、前記第１のノズル開口と前記電気光学装置用基板との間に介在して当該第１のノズル開口から吐出された液滴を受ける液滴捕集具を備えている構成を採用することができる。このように構成すると、液滴吐出ヘッドが移動するタイプの液滴吐出装置でも、液滴吐出ヘッドと液滴捕集具とを一体にするだけで、第１のノズル開口から吐出された液滴を捕集することができる。また、液滴捕集具で捕集した液滴は回収して再使用することもできる。
【００１４】
本発明において、前記液滴選別機構は、さらに、前記液滴捕集具に溜まった液状物を排出する排出経路を備えていることが好ましい。このように構成すると、液滴捕集具に溜まった液状物を排出する必要がないので、液滴吐出装置を長期間にわたって連続稼動することができる。
【００１５】
本発明において、前記液滴選別機構は、さらに、前記排出経路を介して前記液滴捕集具に溜まった液状物を吸引する吸引装置を備えていることが好ましい。このように構成すると、液滴捕集具に溜まった液状物が固化する前に液状物を迅速に排出することができる。それ故、液滴捕集具で捕集した液滴を再使用するのに適している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明に用いた各図では、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を相違させてある。
【００１７】
（液滴吐出装置の全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。図２は、図１に示す電気光学素子製造装置の液滴吐出装置の要部を示す部分斜視図である。なお、液滴吐出装置によってカラー印刷やカラーの表示装置を製造する場合、通常、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の絵素を形成する必要がある。従って、液滴吐出装置については、１台で各色に対応する液滴を吐出可能に構成するか、所定の色に対応するものを複数台、準備することになるが、以下の説明では、後者において複数、準備した液滴吐出装置のうちの１台を説明する。
【００１８】
図１および図２において、液滴吐出装置１０は、基板１２（電気光学装置用基板）の所望位置に画素構成要素を形成するための液滴を吐出する電気光学装置製造装置であり、液状物を基板１２に液滴として吐出するノズル開口を備える複数の液滴吐出ヘッド２２と、これらの液滴吐出ヘッド２２を保持する共通のキャリッジ２６とを有している。また、液滴吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して主走査移動させる主走査駆動手段としての主走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して副走査移動させる副走査駆動手段としての副走査駆動装置２１と、基板１２を液滴吐出装置１０内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、液滴吐出装置１０の全般の制御を司るコントロール装置２４とを有しており、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１によって、液滴吐出ヘッド２２（キャリッジ２６）と基板１２とを相対移動させる移動手段が構成されている。ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１はベース９の上に設置され、それらの各装置は必要に応じてカバー１４によって覆われる。
【００１９】
図２に示すように、ヘッド位置制御装置１７は、液滴吐出ヘッド２２を面内回転させるαモータ４４と、液滴吐出ヘッド２２を副走査方向Ｙと平行な軸線回りに揺動回転させるβモータ４６と、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向Ｘと平行な軸線回りに揺動回転させるγモータ４７と、そして液滴吐出ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを備えている。基板位置制御装置１８は、基板１２を載せるテーブル４９と、そのテーブル４９を矢印θのように面内回転させるθモータ５１とを備えている。主走査駆動装置１９は、主走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを備えている。Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動するときにＸガイドレール５２に沿って主走査方向へ平行移動する。副走査駆動装置２１は、副走査方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを備えている。Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作動するときにＹガイドレール５４に沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。
【００２０】
Ｘスライダ５３およびＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができ、従って、Ｘスライダ５３に支持された液滴吐出ヘッド２２の主走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の副走査方向Ｙ上の位置などを高精細に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド２２やテーブル４９の位置制御は、パルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。
【００２１】
再び図１において、基板供給装置２３は、基板１２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロボット５８とを備えている。ロボット５８は、床、地面などといった設置面に置かれる基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを備えており、吸着パッド６４は、空気吸引などによって基板１２を吸着できる。
【００２２】
また、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、その液滴吐出ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ７９が配置されている。なお、ベース９上に設けた支持装置（図示せず）には基板用カメラ（図示せず）が配置され、基板用カメラは、基板１２を撮影可能である。
【００２３】
ここで、主走査駆動装置１９によって駆動されて主走査移動する液滴吐出ヘッド２２の軌跡下であって副走査駆動装置２１の一方の脇位置には、キャッピング機構７６およびクリーニング機構７７が配置されている。キャッピング機構７６は、液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズルの乾燥を防止するための機構である。クリーニング機構７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための機構である。
【００２４】
（液滴吐出ヘッドの構成）
図３（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ、液滴吐出ヘッドのノズル形成面の説明図、液滴吐出ヘッドの内部構造を模式的に示す説明図、液滴吐出ヘッドに用いた圧力発生素子の説明図、および別の圧力発生素子の説明図である。なお、複数の液滴吐出ヘッド２２が共通のキャリッジ２６に保持されている場合があるが、その場合でも、各液滴吐出ヘッド２２の構成は同一であるので、その１つを例に挙げて説明する。
【００２５】
図３（Ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、そのノズル形成面２７１に、複数のノズル開口２７を列状に並べることによって形成されたノズル列２８を備えている。ノズル開口２７の数は、例えば１８０個であり、ノズル開口２７の穴径は例えば２８μｍであり、ノズル開口２７間のノズルピッチは例えば１４１μｍである。なお、液滴吐出ヘッド２２の基板１２に対する主走査方向Ｘおよびそれに直交する副走査方向Ｙは図示の通りである。すなわち、液滴吐出ヘッド２２は、そのノズル列２８が主走査方向Ｘと交差する方向へ延びるように位置設定され、この主走査方向Ｘへ平行移動する間に、液状物を複数のノズル開口２７から選択的に吐出することにより、基板１２内の所定位置に液滴を着弾させる。また、液滴吐出ヘッド２２は副走査方向Ｙへ所定距離だけ平行移動することにより、液滴吐出ヘッド２２による主走査位置を所定の間隔でずらせることができる。
【００２６】
図３（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、例えば、ステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する振動板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有している。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数の圧力発生室３３と、液溜り３４とが形成されている。複数の圧力発生室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。振動板３１の適所には液状物供給穴３６が形成され、この液状物供給穴３６に液状物供給装置３７が接続される。この液状物供給装置３７は吐出されることとなる液状物Ｍを液状物供給穴３６へ供給する。供給された液状物Ｍは液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通って圧力発生室３３に充満する。
【００２７】
ノズルプレート２９には、圧力発生室３３から液状物Ｍをジェット状（液滴Ｍ０）に噴射するためのノズル開口２７が設けられており、そのノズル開口２７が開口しているノズル形成面２７１は平坦面とされている。振動板３１の圧力発生室３３を形成する面の裏面には、この圧力発生室３３に対応させて圧電振動子３９（圧力発生素子）が取り付けられている。この圧電振動子３９は、例えば、圧電素子４１ならびにこれを挟持する一対の電極４２ａおよび４２ｂを備えている。圧電素子４１は電極４２ａ、４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより圧力発生室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する液状物Ｍが液溜り３４から通路３８を通って圧力発生室３３へ流入する。
【００２８】
次に、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状へ戻る。これにより、圧力発生室３３も元の容積に戻るため、圧力発生室３３の内部にある液状物Ｍの圧力が上昇し、ノズル開口２７から基板１２へ向けて液状物Ｍが液滴Ｍ０となって噴出する。
【００２９】
なお、図３（Ｄ）に示すように、圧電振動子３９としては、縦振動モードの圧電素子を用いてもよい。この縦振動モードの圧電振動子３９では、伸長方向に平行に圧電材料と導電材料を交互に積層して構成されており、その先端は振動板３１に固定され、他端は基台２０に固定されている。このような圧電振動子３９では、充電状態では導電層の積層方向と直角な方向に収縮し、また充電状態が解かれると、導電層と直角な方向に伸長する。
【００３０】
いずれの圧電振動子を用いた場合も、電極間に印加される駆動信号によって変形し、圧力発生室３３を膨張、収縮させる。なお、ノズル開口２７の周辺部には、液滴Ｍ０の飛行曲がりやノズル開口２７の穴詰まりなどを防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥液状物層４３が設けられる。
【００３１】
（液滴選別機構の構成）
図４（Ａ）、（Ｂ）は、同一の駆動信号で圧力発生素子を駆動した際に複数のノズル開口から吐出される液滴の重量と、ノズル開口のノズル列内における位置との関係を模式的に示す説明図、および本形態の液滴吐出装置に設けた液滴選別機構の説明図である。
【００３２】
本形態の液滴吐出ヘッド２２において、ノズル列２８の両端部に位置するノズル開口２７は、圧電振動子３９の変位を圧力発生室３３に伝達する振動板３１の撓みが周辺に伝達された場合や、圧力発生室３３の圧力変化が仕切部材３２を撓ませた場合には、圧力発生室３３の圧力が変動するクロストークが発生する。このようなクロストークの影響は、ノズル列２８の中央に位置するノズル開口２７では両側から及ぶが、ノズル列２８の両端部に位置するノズル開口には片側からしか及ばない。その結果、図４（Ａ）に示すように、圧電振動子３９に対して同一波形の駆動信号を印加した場合でも、ノズル列２８の両端部に位置するノズル開口２７（以下、第１のノズル開口２７ａという）から吐出される液滴重量が、それ以外のノズル開口２７（以下、単に、ノズル列２８の中央側の第２のノズル開口２７ｂという）から吐出される液滴重量よりも大になる傾向にある。また、ノズル列２８の中央側の第２のノズル開口２７ｂでは、液滴重量が略同一である。
【００３３】
そこで、本形態では、複数のノズル開口２７のうち、ノズル列２８の両端側に位置する第１のノズル開口２７ａから吐出された液滴Ｍ０については基板１２上への着弾を阻止し、ノズル列２８の中央側に位置する第２のノズル開口２７ｂから吐出された液滴Ｍ０については基板１２上に着弾させる液滴選別機構８０が設けられている。本形態において、液滴選別機構８０は、ノズル列２８の両端側の各々、３つ分の第１のノズル開口２７ａと基板１２との間に介在して第１のノズル開口２７ａから吐出された液滴Ｍ０を受ける液滴捕集具８１を備えている。また、液滴選別機構８０は、液滴捕集具８１に溜まった液状物を排出する排出経路８３と、液滴捕集具８１に溜まった液状物を排出経路８３を介して吸引するポンプからなる吸引装置８５と、この吸引装置８５によって排出された液状物を回収する回収容器８７とを有している。
【００３４】
ここで、液滴吐出ヘッド２２は、図１および図２を参照して説明したキャリッジ２６に保持された状態で移動する。従って、液滴捕集具８１は、液滴吐出ヘッド２２と一体に移動可能なように液滴吐出ヘッド２２に固定され、排出経路８３は、液滴吐出ヘッド２２の移動に追従可能な可撓性のチューブにより構成されている。
【００３５】
このように構成した液滴吐出装置１０では、複数のノズル開口２７の全てから液滴Ｍ０を吐出するが、ノズル列２８の両端側に位置する第１のノズル開口２７ａから吐出された液滴Ｍ０については液滴選別機構８０の液滴捕集具８１で受け止められ、基板１２上には着弾しない。このため、基板１２上に着弾するのは、ノズル列２８の中央側に位置する第２のノズル開口２７ｂから吐出された液滴Ｍ０のみであり、これらの液滴Ｍ０では、重量ばらつきがほとんどない。それ故、本形態の液滴吐出装置１０によれば、基板１２上に着弾する液滴重量を高い精度で制御できるので、後述する電気光学装置において画素を構成する正孔輸送層や発光層の膜厚を高い精度で制御することができる。
【００３６】
また、液滴選別機構８０は、第１のノズル開口２７ａから吐出された液滴Ｍ０を受ける液滴捕集具８１を備えているので、液滴吐出ヘッド２２が移動するタイプの液滴吐出装置１０でも、液滴吐出ヘッド２２と液滴捕集具８１とを一体にするだけで、第１のノズル開口２７ａから吐出された液滴Ｍ０を捕集することができる。また、液滴捕集具８１を用いれば、捕集した液滴を回収して再使用することもできる。さらに、液滴捕集具８１に溜まった液状物を排出する排出経路８３を備えているため、液滴捕集具８１に溜まった液状物を排出する必要がないので、液滴吐出装置１０を長期間にわたって連続稼動することができる。さらにまた、排出経路８３を介して液滴捕集具８１に溜まった液状物を吸引する吸引装置８５を備えているため、液滴捕集具８１に溜まった液状物が固化する前に液状物を迅速に排出することができる。それ故、捕集した液滴を再使用するのに適している。
【００３７】
なお、図４に示す例では、ノズル列２８の両端側に位置する各々、３つの第１のノズル開口２７ａから吐出された液滴Ｍ０を液滴捕集具８１で受け止めたが、その数については両端側の各々１つずつであってもよい。
【００３８】
［電気光学装置の製造への適用例］
（有機エレクトロルミネッセンス装置の構成）
図５は、有機エレクトロルミネッセンス装置のブロック図である。図５に示す有機エレクトロルミネッセンス装置１００は、駆動電流が流れることによって発光する有機エレクトロルミネッセンス素子を薄膜トランジスタで駆動制御するエレクトロルミネッセンス装置であり、このタイプの有機エレクトロルミネッセンス装置１００では、有機エレクトロルミネッセンス素子が自己発光するため、バックライトを必要とせず、また、視野角依存性が少ないなどの利点がある。本形態の有機エレクトロルミネッセンス装置１００では、複数の走査線１６３と、この走査線１６３の延設方向に対して交差する方向に延設された複数のデータ線１６４と、これらのデータ線１６４に並列する複数の共通給電線１６５と、データ線１６４と走査線１６３との交差点に対応する画素１１５とが構成され、画素１１５は、画像表示領域にマトリクス状に配置されている。データ線１６４に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ線駆動回路１５１が構成されている。走査線１６３に対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを備える走査線駆動回路１５４が構成されている。また、複数の画素１１５の各々には、走査線１６３を介して走査信号がゲート電極に供給される画素スイッチング用の薄膜トランジスタ１０６と、この薄膜トランジスタ１０６を介してデータ線１６４から供給される画像信号を保持する保持容量１３３と、この保持容量１３３によって保持された画像信号がゲート電極に供給される電流制御用の薄膜トランジスタ１０７と、薄膜トランジスタ１０７を介して共通給電線１６５に電気的に接続したときに共通給電線１６５から駆動電流が流れ込む有機エレクトロルミネッセンス素子１１０とが構成されている。
【００３９】
（発光装置の画素構成）
図６（Ａ）、（Ｂ）は各々、本発明を適用した発光装置の１画素分の平面図および断面図である。図７は、本発明を適用した発光装置の各色に対応する３つの画素（１ドット分）の断面図である。
【００４０】
本形態の有機エレクトロルミネッセンス装置１００を構成するにあたって、より具体的には、図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、素子基板を構成するガラス基板などからなる基板１２上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず）が形成され、この下地保護膜上に、薄膜トランジスタ１０７などを構成するためのポリシリコン膜からなる半導体膜１０９ａが島状に形成されている。半導体膜１０９ａには不純物の導入によってソース・ドレイン領域１０９ｂ、１０９ｃが形成され、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域１０９ｄとなっている。下地保護膜および半導体膜１０９ａの上層側にはゲート絶縁膜１２１が形成され、ゲート絶縁膜１２１上にはアルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）などからなる走査線１６３およびゲート電極１４３が形成されている。走査線１６３、ゲート電極１４３およびゲート絶縁膜１２１の上層側には、第１層間絶縁膜１２２と第２層間絶縁膜１２３とがこの順に積層されている。ここで、第１層間絶縁膜１２２および第２層間絶縁膜１２３は、シリコン酸化物（ＳｉＯ2）、チタン酸化物（ＴｉＯ2）などの無機絶縁膜から構成されている。
【００４１】
第１層間絶縁膜１２２の上層には、第１層間絶縁膜１２２およびゲート絶縁膜１２１のコンタクトホールを介してソース・ドレイン領域１０９ｂ、１０９ｃにそれぞれ接続するソース・ドレイン電極１２６および共通給電線１６５が形成されている。また、第１層間絶縁膜１２２の上層にはデータ線１６４も形成されている。
【００４２】
第２層間絶縁膜１２３上には、ＩＴＯ（酸化インジウム−スズ／Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）層からなる光透過性の画素電極１１１が形成され、この画素電極１１１は、第２層間絶縁膜１２３のコンタクトホールを介してソース・ドレイン電極１２６に電気的に接続している。従って、画素電極１１１は、薄膜トランジスタ１０７を介して共通給電線１６５に電気的に接続したとき、共通給電線１６５から駆動電流が流れ込む。
【００４３】
各画素１１５には、陽極としてのＩＴＯ膜からなる画素電極１１１と、有機機能層１１３と、陰極としての対向電極１１２がこの順に積層された有機エレクトロルミネッセンス素子１１０が形成されている。有機機能層１１３は、画素電極１１１上に積層された正孔輸送層１１３ａと、この正孔輸送層１１３ａの上層側に形成された発光層１１３ｂとを備えている。発光層１１３ｂは、正孔輸送層１１３ａの側から注入される正孔と、対向電極１１２の側から注入される電子とが結合して発光する領域としての機能を担っており、各画素１１５が赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のいずれの色に対応するかは、発光層１１３ｂを構成する有機材料の種類によって規定されている。発光層１１３ｂの膜厚は約８０〜１５０ｎｍである。
【００４４】
本形態では、正孔輸送層１１３ａが、正孔を発光層１１３ｂに注入する正孔注入層としての機能も担っている。正孔輸送層１１３ａは、ドーパントを導電性高分子材料中に含有する導電性高分子層からなり、正孔輸送層１１３ａの膜厚は、例えば約１０〜１００ｎｍである。このような正孔輸送層１１３ａは、例えば、ドーパントしてポリスチレンスルホン酸を含有する３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンなどから構成することができる。
【００４５】
本形態の有機エレクトロルミネッセンス装置１００は、基板側に向けて表示光を出射するボトムエミッション型であり、対向電極１１２は、薄いカルシウム層やアルミニウム膜などといった光反射性の導電膜により構成されている。なお、有機エレクトロルミネッセンス装置１００が、基板とは反対側に向けて表示光を出射するトップエミッション型である場合、対向電極１１２は、例えば、薄いカルシウム層と、ＩＴＯ層などからなる光透過性陰極層とから構成され、画素電極１１１の下層側には、画素電極１１１の略全体と重なるようにアルミニウム膜などからなる光反射層が形成される。
【００４６】
本形態では、隣接する画素１１５の境界領域には、画素電極１１１の周縁部を取り囲むように、感光性樹脂からなる隔壁１０５がバンクとして形成されている。隔壁１０５は、有機機能層１１３を形成するのにインクジェット法（液体吐出法）を用いるとき、塗布される液状物の塗布領域を規定するものであり、その表面張力によって、液状物が均一な厚さで形成される。インクジェット式の液滴吐出装置としては、前述したように、圧電振動子の体積変化により流動体を吐出させるピエゾジェットの液滴吐出装置や、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた液滴吐出装置などが採用される。ここで、液状物は、水性であると油性であるとを問わない。また、液状物については、流動性を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。また、液体材料に含まれる固体物質は融点以上に加熱されて溶解されたものでも、溶媒中に微粒子として分散させたものでもよく、溶媒の他に染料や顔料その他の機能性材料を添加したものであってもよい。なお、基板１２の素子形成面側には、水や酸素の侵入を防ぐことによって、陰極層あるいは機能層の酸化を防止する封止樹脂（図示せず）が形成され、さらに封止基板（図示せず）が貼られることがある。
【００４７】
（有機エレクトロルミネッセンス装置１００の動作）
このように構成した有機エレクトロルミネッセンス装置１００において、走査線１６３が駆動されて薄膜トランジスタ１０６がオン状態になると、そのときの信号線１６４の電位が保持容量１３３に保持され、この保持容量１３３の状態に応じて薄膜トランジスタ１０７の導通状態が制御される。また、薄膜トランジスタ１０７がオン状態になったとき、薄膜トランジスタ１０７を介して共通給電線１６５から画素電極１１１に電流が流れ、有機エレクトロルミネッセンス素子１１０では、有機機能層１１３を通じて対向電極１１２に電流が流れる。そして、このときの電流量に応じて発光層１１３ｂが発光する。そして、ボトムエミンション型の場合、発光層１１３ｂから発した光は、画素電極１１１および基板１２を透過して出射される。これに対して、トップエミッション型の場合、対向電極１１２を透過して、観測者側に出射される一方、発光層１１３ｂから基板１２に向けて出射された光は、画素電極１１１の下層に形成された光反射層によって反射され、対向電極１１２を透過して観測者側に出射される。
【００４８】
ここで、有機エレクトロルミネッセンス装置１００でカラー表示を行う場合には、図７に示すように、各画素１１５を赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）に対応させることになる。この場合も、各色の画素１１５において、有機エレクトロルミネッセンス素子１１０の基本的な構成は共通である。
【００４９】
（有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法）
図８〜図１０は、上記液滴吐出装置を用いて有機エレクトロルミネッセンス装置１００を製造する方法を示す工程断面図である。
【００５０】
本形態の有機エレクトロルミネッセンス装置１００を製造するには、まず、図８（Ａ）に示すように、基板１２を用意する。ここで、有機エレクトロルミネッセンス装置１００がボトムエミッション型である場合、基板１２としてはガラスや石英、樹脂などの透明ないし半透明なものが用いられるが、特にガラスが好適に用いられる。また、基板１２に色フィルター膜や蛍光性物質を含む色変換膜、あるいは誘電体反射膜を配置して、発光色を制御するようにしてもよい。これに対して、有機エレクトロルミネッセンス装置１００がトップエミッション型である場合、基板１２は不透明であってもよく、その場合、アルミナなどのセラミックス、ステンレスなどの金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。
【００５１】
次に、基板１２に対して、必要に応じてＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）や酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約２００〜５００ｎｍのシリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず）を形成する。
【００５２】
次に、基板１２の温度を約３５０℃に設定して、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により厚さ約３０〜７０ｎｍのアモルファスシリコン膜からなる半導体膜１０９を形成する。次に、半導体膜１０９に対してレーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を行い、半導体膜１０９をポリシリコン膜に結晶化する。レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビームの長寸が４００ｍｍのラインビームを用い、その出力強度は、例えば２００ｍＪ／ｃｍ2とする。ラインビームについては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の９０％に相当する部分が各領域毎に重なるようにラインビームを走査する。
【００５３】
次に、図８（Ｂ）に示すように、半導体膜（ポリシリコン膜）１０９をパターニングして島状の半導体膜１０９ａとし、その表面に対して、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約６０〜１５０ｎｍのシリコン酸化膜または窒化膜からなるゲート絶縁膜１２１を形成する。なお、半導体膜１０９ａは、図６に示す薄膜トランジスタ１０７のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においては薄膜トランジスタ１０６のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となる半導体膜も形成されている。すなわち、有機エレクトロルミネッセンス装置１００では、二種類のトランジスタ１０６、１０７が同一の層間、あるいは異なる層間に形成されるが、概ね同一の手順で形成されるため、以下の説明では、薄膜トランジスタ１０７についてのみ説明し、薄膜トランジスタ１０６についてはその説明を省略する。
【００５４】
次に、図８（Ｃ）に示すように、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどの金属膜からなる導電膜をスパッタ法により形成した後、これをパターニングし、ゲート電極１４３などを形成する。次に、この状態でリンなどの不純物を打ち込み、半導体膜１０９ａに、ゲート電極１４３に対して自己整合的にソース・ドレイン領域１０９ｂ、１０９ｃを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域１０９ｄとなる。
【００５５】
次に、図８（Ｄ）に示すように、第１層間絶縁膜１２２を形成した後、コンタクトホールを形成し、これらのコンタクトホールを介してソース・ドレイン領域１０９ｂ、１０９ｃに電気的に接続するソース・ドレイン電極１２６および共通給電線１６５を形成する。その際、データ線１６４なども形成する。
【００５６】
次に、図８（Ｅ）に示すように、各配線の上面を覆うように、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2などの無機絶縁膜からなる第２層間絶縁膜１２３を形成した後、第２層間絶縁膜１２３に対してソース・ドレイン電極１２６に対応する位置にコンタクトホールを形成する。
【００５７】
次に、画素電極形成工程において、第２層間絶縁膜１２３の上層にＩＴＯ膜を形成した後、ＩＴＯ膜をパターニングして、データ線１６４、走査線１６３および共通給電線１６５に囲まれた所定位置に画素電極１１１を形成する。
【００５８】
次に、必要に応じて、大気雰囲気中で酸素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ2プラズマ処理）を行い、画素電極１１１あるいは、第２層間絶縁膜１２３のうち、画素電極１１１から露出している部分に親液性を付与する。
【００５９】
次に、図８（Ｆ）に示す隔壁形成工程において、図６に示す有機機能層１１３の形成場所を囲むように隔壁１０５を形成する。その結果、隔壁１０５の内側には凹部１５０が形成される。隔壁１０５は、仕切り部材として機能するものであり、例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂などの絶縁性有機材料で形成する。隔壁１０５の膜厚については、例えば１〜２μｍの高さとなるように形成する。なお、隔壁１０５は、ポリシラザンなどの絶縁性無機材料で形成してもよい。
【００６０】
次に、必要に応じて、隔壁１０５に対して撥液化処理を行い、隔壁１０５に対して、有機機能層１１３を形成するための液状物に対する撥液性を付与する。このような撥液性を付与するためには、例えば、隔壁１０５の表面をフッ素系化合物などで表面処理するといった方法が採用される。フッ素化合物としては、例えばＣＦ4、ＳＦ5、ＣＨＦ3などがあり、表面処理としては、例えばプラズマ処理、ＵＶ照射処理などが挙げられる。
【００６１】
次に、正孔輸送層１１３ａを形成する。それには、図９（Ａ）に示す液滴吐出工程（塗布工程）において、基板１２の上面を上に向けた状態で、図１〜図４を参照して説明した液滴吐出ヘッド２２において、ノズル列２８の中央側に位置する第２のノズル開口２７ｂから吐出された正孔輸送層形成液（液状物）の液滴Ｍａを、隔壁１０５に囲まれた凹部１５０内に選択的に充填する。その際、正孔輸送層形成液は、流動性が高いため水平方向に広がろうとするが、塗布された位置を囲んで隔壁１０５が形成されているので、正孔輸送層形成液は隔壁１０５を越えてその外側に広がることがない。
【００６２】
このように本形態では、図４を参照して説明したように、複数のノズル開口２７の全てから液滴Ｍａを吐出するが、ノズル列２８の両端側に位置する第１のノズル開口２７ａから吐出された液滴Ｍａについては、液滴選別機構８０の液滴捕集具８１で受け止められ、基板１２上には着弾しない。このため、基板１２上に着弾するのは、ノズル列２８の中央側に位置する第２のノズル開口２７ｂから吐出された液滴Ｍａのみであり、これらの液滴Ｍａでは、重量ばらつきがほとんどない。それ故、本形態によれば、基板１２上に着弾する液滴重量を高い精度で制御できるので、正孔輸送層１１３ａの膜厚を高い精度で制御することができる。
【００６３】
ここで、正孔輸送層形成液としては、例えば、ポリオレフィン誘導体である３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（導電性高分子材料）と、ポリスチレンスルホン酸（ドーパント）とを溶媒に分散させた溶液を用いる。このような正孔輸送層形成液としては、溶媒として水単独を用い、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸を水に分散させたものを用いることができるが、正孔輸送層形成液の液滴Ｍａをノズル開口から安定した状態に吐出するために、正孔輸送層形成液の粘度や沸点などを最適化する必要がある。また、液滴Ｍａを吐出した後の乾燥により、正孔輸送層１１３ａを好適に定着させるには、正孔輸送層形成液の乾燥速度（蒸発速度）などを最適化する必要がある。その場合、ポリスチレンスルホン酸および３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンを分散させる溶媒として、水に有機溶剤を配合した混合溶媒を用い、有機溶剤により正孔輸送層形成液の性質を最適化する。このような混合溶媒に使用可能な有機溶剤としては、アルコール類、エーテル類、グリコールモノエーテル類、ラクトン類、オキサゾリジノン類、カーボネート類、ニトリル類、アミド類、スルホン類などが挙げられる。
【００６４】
このようにして正孔輸送層形成液を液滴吐出ヘッドから吐出して所定位置に配置した後、液状の正孔輸送層形成液に対して乾燥処理を行い、正孔輸送層形成材料中の溶媒を蒸発させ、正孔輸送層形成材料を固化させる（乾燥工程）。ここで、乾燥処理の方法としては、４０〜２００℃程度で加熱して前記正孔輸送層形成材料中の溶媒を蒸発させる方法と、大気圧以下、例えば１０-4〜１０-6パスカル（Ｐａ）程度の減圧雰囲気中に放置して、正孔輸送層形成材料中の溶媒を蒸発させる方法などがある。このような乾燥工程により、図９（Ｂ）に示すように、画素電極１１１上に、正孔輸送層１１３ａが約１０〜６０ｎｍの膜厚で形成される。
【００６５】
次に、発光層１１３ｂを形成する。それには、図１０（Ａ）に示す液滴吐出工程において、基板１２の上面を上に向けた状態で、図１〜図４を参照して説明した液滴吐出ヘッド２２において、ノズル列２８の中央側に位置する第２のノズル開口２７ｂから吐出された発光層形成液の液滴Ｍｂを、隔壁１０５に囲まれた凹部１５０内に選択的に充填する。
【００６６】
その際、図４を参照して説明したように、複数のノズル開口２７の全てから液滴Ｍｂを吐出するが、ノズル列２８の両端側に位置する第１のノズル開口２７ａから吐出された液滴Ｍｂについては、液滴選別機構８０の液滴捕集具８１で受け止められ、基板１２上には着弾しない。このため、基板１２上に着弾するのは、ノズル列２８の中央側に位置する第２のノズル開口２７ｂから吐出された液滴Ｍｂのみであり、これらの液滴Ｍｂでは、重量ばらつきがほとんどない。それ故、本形態によれば、基板１２上に着弾する液滴重量を高い精度で制御できるので、発光層１１３ｂの膜厚を高い精度で制御することができる。
【００６７】
本形態では、発光材料としては、例えば分子量が１０００以上の高分子材料が用いられる。具体的には、ポリフルオレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、またはこれらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、例えばルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドンなどをドープしたものが用いられる。なお、このような高分子材料としては、二重結合のπ電子がポリマー鎖上で非極在化しているπ共役系高分子材料が、導電性高分子でもあることから発光性能に優れるため、好適に用いられる。特に、その分子内にフルオレン骨格を有する化合物、すなわちポリフルオレン系化合物がより好適に用いられる。また、このような材料以外にも、例えば特開平１１−４０３５８号公報に示される有機エレクトロルミネッセンス素子用組成物、すなわち共役系高分子有機化合物の前駆体と、発光特性を変化させるための少なくとも１種の蛍光色素とを含んでなる有機エレクトロルミネッセンス素子用組成物も、発光層形成材料として使用可能である。
【００６８】
このような発光材料を溶解あるいは分散する有機溶媒としては、非極性溶媒が好適とされ、特に発光層１１３ｂが正孔輸送層１１３ａの上に形成されることから、この正孔輸送層１１３ａに対して不溶なものが用いられることが好ましい。具体的には、キシレン、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼンなどが好適に用いられる。なお、発光層形成液の吐出による発光層の形成は、赤色の発色光を発光する発光層の形成材料、緑色の発色光を発光する発光層の形成材料、青色の発色光を発光する発光層の形成材料を、それぞれ対応する画素に吐出し塗布することによって行う。また、各色に対応する画素は、これらが規則的な配置となるように予め決められている。
【００６９】
このようにして各色の発光層形成液を吐出した後、液状の発光層形成液に対して乾燥処理を行い、発光層形成材料中の溶媒を蒸発させ、発光層形成材料を固化させる（固化工程）。その結果、図１０（Ｂ）に示すように、正孔輸送層１１３ａ上に固形の発光層１１３ｂが形成される。これにより、正孔輸送層１１３ａおよび発光層１１３ｂからなる有機機能層１１３が形成される。ここでの乾燥処理の方法としても、４０〜２００℃程度で加熱して発光層形成材料中の溶媒を蒸発させる方法と、大気圧以下、例えば１０-4〜１０-6パスカル（Ｐａ）程度の減圧雰囲気中に放置して発光層形成材料中の溶媒を蒸発させる方法などがある。
【００７０】
なお、発光層形成材料の乾燥処理については、発光層形成材料のガラス転移点未満の温度、例えば１００℃未満の温度で加熱することにより、乾燥するのが好ましい。このような温度で乾燥することにより、発光層形成材料中の溶剤の蒸発速度を比較的低く抑えることができるとともに、発光層形成材料の液状化による流動も抑えることができ、その結果、得られる発光層１１３ｂについても十分に平坦化することができる。また、発光層形成の際の乾燥処理によって生じる熱的ダメージが、発光層発光層１１３ｂだけでなく、正孔輸送層１１３ａに対しても小さくなり、初期輝度の低下などによる表示性能の低下が抑制される。
【００７１】
次に、図７に示すように、基板１２の表面全体に、あるいはストライプ状に、ＬｉＦ／Ａｌ（ＬｉＦとＡｌとの積層膜）やＭｇＡｇ、あるいはＬｉＦ／Ｃａ／Ａｌ（ＬｉＦとＣａとＡｌとの積層膜）を蒸着法などによって成膜し、対向電極１１２を形成する。その後、封止を行った後、さらに配線などの各種要素を形成することにより、有機エレクトロルミネッセンス素子１１０を各画素１１５に備えた有機エレクトロルミネッセンス装置１００を製造することができる。
【００７２】
［その他の実施の形態］
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などは一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【００７３】
例えば、上記形態では、正孔輸送層１１３ａとして、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンを用いたが、その他のポリアルキルチオフェン誘導体や、ポリピロール誘導体を用いてもよい。また、正孔輸送層１１３ａとしては、ポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサンなどを高分子前駆体として形成した層を用いた場合に本発明を適用してもよい。
【００７４】
また、上記形態では、画素構成要素として、正孔輸送層１１３ａおよび発光層１１３ｂの形成に本発明を適用したが、有機エレクトロルミネッセンス素子１１０から白色光を出射させ、この白色光をカラーフィルタで着色する構成を採用する場合にカラーフィルタの形成に本発明を適用してもよい。
【００７５】
さらに、上記形態では、本発明を有機エレクトロルミネッセンス装置の製造工程に用いた例であったが、液晶表示装置のカラーフィルタ（画素構成要素）の形成などに本発明を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明を適用した液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す液滴吐出装置の要部を示す部分斜視図である。
【図３】（Ａ）〜（Ｄ）は、図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドのノズル形成面の説明図、液滴吐出ヘッドの内部構造を模式的に示す説明図、液滴吐出ヘッドに用いた圧力発生素子の説明図、および別の圧力発生素子の説明図である。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）は、同一の駆動信号で圧力発生素子を駆動した際に複数のノズル開口から吐出される液滴の重量と、ノズル開口のノズル列内における位置との関係を模式的に示す説明図、および図１に示す液滴吐出装置に設けた液滴選別機構の説明図である。
【図５】有機エレクトロルミネッセンス装置のブロック図である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）は各々、本発明を適用した発光装置の１画素分の平面図および断面図である。
【図７】本発明を適用した発光装置の各色に対応する３つの画素（１ドット分）の断面図である。
【図８】本発明を適用した液滴吐出装置を用いて有機エレクトロルミネッセンス装置を製造する方法を示す工程断面図である。
【図９】本発明を適用した液滴吐出装置を用いて有機エレクトロルミネッセンス装置を製造する方法を示す工程断面図である。
【図１０】本発明を適用した液滴吐出装置を用いて有機エレクトロルミネッセンス装置を製造する方法を示す工程断面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１０・・液滴吐出装置、１２・・基板（電気光学装置用基板）、２２・・液滴吐出ヘッド、２７・・ノズル開口、２７ａ・・ノズル列の両端側に位置する第１のノズル開口、２７ｂ・・ノズル列の中央側に位置する第２のノズル開口、２８  ノズル列、８０・・液滴選別機構、８１・・液滴捕集具、８３・・排出経路、８５・・吸引装置、８７・・回収容器、１００・・有機エレクトロルミネッセンス装置、１１０・・有機エレクトロルミネッセンス素子、１１３ａ・・正孔輸送層（画素構成要素）、１１３ｂ・・発光層（画素構成要素）、Ｍ  液状物、Ｍ０  液滴
【図１】
2007225857.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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