(57)【要約】【課題】部品から除去した塵埃が、再び部品に付着することを確実に防止することができる除塵装置及び除塵方法を提供すること。【解決手段】処理対象５０を保持する保持台３０を有する除塵室１２と、処理対象５０に対して空気を吹き付ける空気噴射装置２２と、除塵室１２から塵埃を吸引する負圧発生装置１８を有する除塵装置１０であって、負圧発生装置１８は、除塵終了後において、予め規定した規定時間の間、作動を継続するように構成されていることを特徴とする。【選択図】図１
2007245126.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象を保持する保持台を有する除塵室と、前記処理対象に対して空気を吹き付ける
空気噴射装置と、前記除塵室から塵埃を吸引する負圧発生装置を有する除塵装置であって
、
前記負圧発生装置は、除塵終了後において、予め規定した規定時間の間、作動を継続す
るように構成されていることを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
前記除塵室の側壁は、導電材料で構成されており、
除塵時に、前記側壁を帯電させる構成となっていることを特徴とする請求項１に記載の
除塵装置。
【請求項３】
処理対象を保持する保持台を有する除塵室と、前記処理対象に対して空気を吹き付ける
空気噴射装置と、前記除塵室から塵埃を吸引する負圧発生装置を有する除塵装置が、前記
処理対象の形状に基づいて、前記保持台の位置及び傾斜、及び、前記空気噴射装置の位置
及び空気の吹き付け方向を設定する作業姿勢設定ステップと、
前記除塵装置が、前記除塵室の側壁を帯電させる帯電ステップと、
前記除塵装置が、前記負圧発生装置を作動させる吸引開始ステップと、
前記除塵装置が、前記処理対象に対して非連続的に空気を吹き付ける空気吹き付けステ
ップと、
前記除塵装置が、前記処理対象に対する空気の吹き付けを停止する空気吹き付け停止ス
テップと、
前記除塵装置が、予め規定した規定時間経過後に、前記負圧発生装置の作動を停止する
吸引停止ステップと、
前記除塵装置が、前記側壁の帯電を解除する帯電解除ステップと、
を有することを特徴とする除塵方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密機器の製造工程において使用される除塵装置及び除塵方法に関するもの
である。
【背景技術】
【０００２】
従来、精密機器の部品を製造する工程においては、部品に対して圧縮空気を吹き付けて
、各部品に付着した塵埃等の異物を除去するための除塵装置が使用されている（例えば、
特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１９９１６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、部品に対して、単に圧縮空気を吹き付けるだけでは、部品から除去した塵埃が
除塵装置内を舞い上がり再び部品に付着する場合があるという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、部品から除去した塵埃が、再び部品に付着することを確実に防止す
ることができる除塵装置及び除塵方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的は、第１の発明によれば、処理対象を保持する保持台を有する除塵室と、前記
処理対象に対して空気を吹き付ける空気噴射装置と、前記除塵室から塵埃を吸引する負圧
発生装置を有する除塵装置であって、前記負圧発生装置は、除塵終了後において、予め規
定した規定時間の間、作動を継続するように構成されていることを特徴とする除塵装置に
より達成される。
【０００７】
第１の発明の構成によれば、前記負圧発生装置は、除塵終了後において、予め規定した
規定時間の間、作動を継続するように構成されているから、除塵終了後に前記除塵室中に
浮遊している塵埃を前記除塵室から排出することができる。
これにより、部品から除去した塵埃が、再び部品に付着することを確実に防止すること
ができる。
【０００８】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記除塵室の側壁は、導電材料で構成され
ており、除塵時に、前記側壁を帯電させる構成となっていることを特徴とする除塵装置で
ある。
【０００９】
第２の発明の構成によれば、帯電している塵埃を前記側壁に付着させることができる。
これにより、部品から除去した塵埃が、再び部品に付着することを一層確実に防止する
ことができる。
【００１０】
前記目的は、第３の発明によれば、処理対象を保持する保持台を有する除塵室と、前記
処理対象に対して空気を吹き付ける空気噴射装置と、前記除塵室から塵埃を吸引する負圧
発生装置を有する除塵装置が、前記処理対象の形状に基づいて、前記保持台の位置及び傾
斜、及び、前記空気噴射装置の位置及び空気の吹き付け方向を設定する作業姿勢設定ステ
ップと、前記除塵装置が、前記除塵室の側壁を帯電させる帯電ステップと、前記除塵装置
が、前記負圧発生装置を作動させる吸引開始ステップと、前記除塵装置が、前記処理対象
に対して非連続的に空気を吹き付ける空気吹き付けステップと、前記除塵装置が、前記処
理対象に対する空気の吹き付けを停止する空気吹き付け停止ステップと、前記除塵装置が
、予め規定した規定時間経過後に、前記負圧発生装置の作動を停止する吸引停止ステップ
と、前記除塵装置が、前記側壁の帯電を解除する帯電解除ステップと、を有することを特
徴とする除塵方法によって達成される。
【００１１】
第３の発明の構成によれば、立体的な形状や、凹凸を有する複雑な形状の部品に付着し
た異物を十分に除去することができる。また、部品から除去した塵埃が、再び部品に付着
することを確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、この発明の好適な実施の形態を添付図面等を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい
種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００１３】
（実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態に係る除塵装置１０を示す概略斜視図である。
除塵装置１０は除塵装置の一例である。
図１に示すように、除塵装置１０は、除塵室１２を有する。除塵室１２は、除塵室の一
例である。
除塵装置１０は、各部を制御する制御装置１１を有する。制御装置１１は、各部と接続
されているが、接続状態についての図示を省略している。制御装置１１は制御装置の一例
である。
【００１４】
除塵室１２は、部品５０を保持する保持台３０を有する。保持台３０は保持台の一例で
ある。部品５０は処理対象の一例である。部品５０は、例えば、精密機器であるプロジェ
クタの部品である。
除塵室１２は、側壁１２ａ，１２ｂ，１２ｃ及び１２ｄを有する。側壁１２ａ等は、導
電材料である例えば、導電性プラスチックで構成されており、それぞれ、電源装置２０に
接続されている。なお、図１においては、側壁１２ａが電源装置２０へ接続されている状
態のみが図示されており、他の側壁１２ｂ等については図示を省略しているが、実際には
側壁１２ｂ，１２ｃ及び１２ｄも電源装置２０へ接続されている。
電源装置２０には、電源２０ａが格納されており、各側壁１２ａ等と、電線２０ｂ及び
２０ｃで接続されている。
電源装置２０から電流が流されると、側壁１２ａ等は帯電する。
なお、電源装置２０は、側壁１２ａ等以外の部分（吸引装置１８、エアガン２２等）に
も電源を供給するが、接続状態の図示は省略する。
【００１５】
除塵室１２は、また、天井１２ｅ及び底部１２ｆを有する。底部１２ｆは、連結部１４
及びチューブ１６を介して吸引装置１８と連通している。吸引装置１８は、負圧発生装置
の一例である。
吸引装置１８は、回転軸１８ｃを介してモータ１８ｂと接続されるＦＡＮ１８ａを有し
ている。ＦＡＮ１８ａが回転することによって、除塵室１２内に負圧を発生させることが
できる。
除塵室１２内の処理空間Ｓと底部１２ｆとの間には、金属網２８が配置されている。
【００１６】
除塵装置１０は、また、部品５０に対して空気を吹き付けるエアガン２２を有する。エ
アガン２２は、空気噴射装置の一例である。エアガン２２は、噴射口２２ｂから、圧縮空
気を吹き出すことができるようになっている。
エアガン２２は、非連続的に空気を噴射することができるようになっている。
エアガン２２は、例えば、０．０１秒（ｓ）間隔で空気を噴射する。このため、エアガ
ン２２が噴射する空気は衝撃波として、部品５０に当たる。これにより、部品５０に付着
した塵埃を効率的に除去することができる。
【００１７】
部品５０を保持する保持台３０は、縦移動用の軸２８に対して、矢印Ｙ１及びＹ２方向
に移動可能に固定されている。そして、軸２８は、横移動用の軸２６に対して、矢印Ｘ１
及びＸ２方向に移動可能に固定されている。矢印Ｘ１（及びＸ２）と矢印Ｙ２（及びＹ２
）は、互いに直交する。
このため、軸２６と軸２８は一体として、保持台３０を平面移動させることができる。
すなわち、軸２６と軸２８は一体として、保持台移動装置の一例である。
【００１８】
図２は、保持台３０が平面移動する様子を図１の矢印Ｚ１方向から見た概略図である。
図２（ａ）においては、保持台３０は、左側中央部に位置する。
図２（ａ）の状態から保持台３０が軸２８に沿って矢印Ｙ２方向へ移動すると、図２（
ｂ）に示すように、保持台３０は、左下部に位置する。
そして、図２（ｂ）の状態から軸２８が軸２６に沿って矢印Ｘ２方向へ移動すると、図
２（ｃ）に示すように、保持台３０は、右下部に位置する。
上述のように、保持台３０が軸２８に沿って移動し、軸２８が軸２６に沿って移動する
ことによって、保持台３０は除塵室１２において、任意の位置に平面移動することができ
る。
【００１９】
図３は、部品５０等を示す概略図である。
図３（ａ）に示すように、部品５０は、その中央部から外れた位置に凹部５０ａを有す
る直方体である。
図３（ｂ）に示すように、保持台３０は、部品ステージ３０ａを有する。部品５０は、
部品ステージ３０ａに載置されている。
エアガン２２の噴射口２２ｂと部品５０が図３（ｂ）に示す位置関係である場合には、
噴射口２２ｂから噴射された空気Ｗ１は、凹部５０ａには当たらない。
そして、保持台３０が図３（ｂ）の状態から矢印Ｘ２方向に移動すると、噴射口２２ｂ
と部品５０の位置関係が変わり、噴射口２２ｂから噴射された空気Ｗ１は、凹部５０ａに
当たるようになる。
【００２０】
図４は、保持台３０の構成等を示す概略図である。
図４（ａ）は、保持台３０を図１の矢印Ｚ１方向から見た概略平面図である。
図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ線概略断面図である。
図４（ａ）に示すように、保持台３０は、回転ローラ３０ｂ１及び３０ｂ３を有する。
回転ローラ３０ｂ１は、半球状の断面（図４（ｂ）参照）を有する部品ステージ３０ａ
の底面３０ａａに接しつつ、軸Ｌ３を中心に矢印Ｂ１方向に回転する。これにより、部品
ステージ３０ａを傾斜させることができる。
【００２１】
回転ローラ３０ｂ３は、部品ステージ３０ａの底面３０ａａに接しつつ、軸Ｌ５を中心
に矢印Ｂ３方向に回転する。これにより、部品ステージ３０ａを、回転ローラ３０ｂ１が
傾斜させる方向と逆の方向に傾斜させることができる。
図４（ｂ）に示すように、部品ステージ３０ａはＤＤモータ（ダイレクトドライブモー
タ）３１に接続されており、図４（ａ）の矢印Ｈ１方向及びＨ２方向に回転可能になって
いる。回転ローラ３０ｂ１及び３０ｂ３は、部品ステージ３０ａとともに、矢印Ｈ１方向
及びＨ２方向に回転するように構成されている。
部品ステージ３０ａは、回転ローラ３０ｂ１及び３０ｂ３による傾斜と、ＤＤモータ３
１による矢印Ｈ１及びＨ２方向への回転を組み合わせることによって、任意の方向に傾斜
することができる。
これにより、複雑な形状を有する部品に対しても、その底面以外のすべての面に対して
、エアガン２２から空気を吹き付けることができる。
【００２２】
図５は、部品５０Ａ等を示す概略図である。
図５（ａ）に示すように、部品５０Ａは、凸部５０Ａａを有する。
図４（ｂ）に示すように、部品ステージ３０ａが傾斜していない場合には、エアガン２
２の噴射口２２ｂからの空気Ｗ１は、凸部５０Ａａの上面には当たるが、側面には当たら
ない。
これに対して、図５（ｂ）に示すように、部品ステージ３０ａが角度θ１の傾斜をする
と、空気Ｗ１は、凸部５０Ａａの一方の側面５０Ａａ１に当たる。
そして、部品ステージ３０ａが角度θ２の傾斜をすると、空気Ｗ１は、凸部５０Ａａの
他方の側面５０Ａａ２に当たる。
このように、凸部を有する部品５０Ａに対しても、そのすべての面に対して、エアガン
２２から空気を吹き付けることができる。
【００２３】
また、エアガン２２は平面移動可能で、かつ、空気の噴射方向（噴射角度）を変更可能
になっており、さらに複雑な形状に対しても、その底面以外のすべての面に空気を吹き付
けることができる。
図１に示すように、エアガン２２は、縦移動用の軸３４に対して、矢印Ｙ１及びＹ２方
向に移動可能に固定されている。そして、軸３４は、横移動用の軸３２に対して、矢印Ｘ
１及びＸ２方向に移動可能に固定されている。
このため、軸３２と軸３４は一体として、エアガン２２を平面移動させることができる
。すなわち、軸３２と軸３４は一体として、空気噴射装置移動装置の一例である。
【００２４】
図６は、エアガン２２が平面移動する様子を図１の矢印Ｚ１方向から見た概略図である
。
図６（ａ）においては、エアガン２２は、左側中央部に位置する。
図６（ａ）の状態からエアガン２２が軸３４に沿って矢印Ｙ２方向へ移動すると、図６
（ｂ）に示すように、エアガン２２は、左側下部に位置する。
そして、図６（ｂ）の状態から軸３４が軸３２に沿って矢印Ｘ２方向へ移動すると、図
６（ｃ）に示すように、エアガン２２は右側下部に位置する。
上述のように、エアガン２２が軸３４に沿って移動し、軸３４が軸３２に沿って移動す
ることによって、エアガン２２は除塵室１２において、任意の位置に平面移動することが
できる。
【００２５】
図７は、エアガン２２の構成等を示す概略図である。
図７（ａ）に示すように、エアガン２２は、圧縮空気供給チューブ２２ｃを有する。圧
縮空気供給チューブ２２ｃは、外部から圧縮空気を取得し、噴射口２２ｂに供給する。
また、エアガン２２の本体２２ａは、固定部材２２ｄに対して、軸Ｌ７を中心に矢印Ｃ
１及びＣ２方向に回転可能な状態で、保持されている。
そして、固定部材２２ｄは、除塵室１２の天井１２ｅに対して、軸Ｌ８を中心に矢印Ｃ
３及びＣ４方向に回転可能な状態で、固定されている。
このため、エアガン２２の噴射口２２ｂは、任意の方向に向くことができる。すなわち
、噴射口２２ｂから噴射する空気の方向を任意の方向に設定することができる。
上述のように、エアガン２２が、平面移動可能で、かつ、空気の噴射方向を変更可能に
構成されているから、図７（ｂ）に示すような、複雑な形状の部品５０Ｂにも、底面以外
のすべての面に空気を当てることができる。
【００２６】
図７（ｂ）に示す部品５０Ｂは、深い凹部５０Ｂｄを有し、かつ、上面部５０Ｂａに比
べて底面部５０Ｂｃ側の寸法が小さくなっている。
【００２７】
図８は、部品５０Ｂに空気Ｗ１を当てる様子を示す概略図である。
図８（ａ）は、部品５０Ｂの上面５０Ｂａ中央部に噴射口２２ｂから空気Ｗ１を当てる
状態を示している。この状態では、側面部５０Ｂｂ１及び５０Ｂｂ２には空気Ｗ１は当た
らない。また、凹部５０Ｂｄの内部にも空気Ｗ１は当たらない。
【００２８】
図８（ａ）の状態から、保持台３０及びエアガン２２が平面移動し、部品ステージ３０
ａが傾斜し、エアガン２２も噴射口２２ｂの方向を変更して、図８（ｂ）の状態になると
、側面部５０Ｂｂ１に空気Ｗ１が当たるようになる。
さらに、部品ステージ３０ａを平面移動及び傾斜させ、エアガン２２も平面移動させ、
噴射口２２ｂの方向を変更して、図８（ｃ）の状態になると、凹部５０Ｂｄに空気Ｗ１が
当たるようになる。
このように、エアガン２２は、深い凹部５０Ｂｄを有し、底面部５０Ｂｃ側が小さくな
っているような部品に対しても、その底面部５０Ｂｃ以外のすべての部分に対して空気Ｗ
１を当てることができる。
図１の制御装置１１は、エアガン２２の平面移動及び噴射口２２ｂの方向の変更を、保
持台３０の平面移動及び傾斜と同期して行うように制御することができる。
【００２９】
また、制御装置１１は、部品５０等に対する空気Ｗ１の吹き付け（以下、「除塵」とも
呼ぶ）の終了後において、予め規定した規定時間である、例えば、１０秒（ｓ）間、吸引
装置１８の作動を継続させるようになっている。
これにより、部品５０等から除去した塵埃が、再び部品５０に付着することを防止する
ことができる。
【００３０】
上述のように、図１に示すように、除塵室１２の側壁１２ａ等は、電源装置２０に接続
されており、帯電することが可能である。
そして、制御装置１１は、部品５０等に対して空気Ｗ１を吹き付けている間（除塵時）
において、側壁１２ａ等に電流を流し、帯電させるようになっている。
このため、部品５０等から除去され、帯電している塵埃を、側壁１２ａ等に吸着するこ
とができる。
これにより、部品５０等から除去した塵埃が、再び部品５０に付着することを一層確実
に防止することができる。
【００３１】
除塵装置１０は、上述のように構成されている。
上述のように、保持台３０は平面移動可能である。
また、保持台３０の部品ステージ３０ａは傾斜可能に構成されているから、部品５０等
が立体的な形状である場合や、凹凸を有する複雑な形状である場合において、部品５０等
が部品ステージ３０ａと接する面以外のすべての面に対して、空気を吹き付けることがで
きる。
これにより、除塵装置１０によれば、立体的な形状や、凹凸を有する複雑な形状の部品
に付着した異物を十分に除去することができる。
【００３２】
また、保持台３０の平面移動及び傾斜と同期して、エアガン２２の平面移動及び空気の
噴射方向を変更することができるから、部品５０等が例えば、深い凹部を有する場合であ
っても、その凹部の内部に空気を吹き付けることができるように、保持台３０とエアガン
２２の位置及び噴射方向を調整することができる。
【００３３】
また、エアガン２２は、非連続的に空気を噴射するから、部品５０等に当たる空気は衝
撃波となる。
このため、部品５０等に付着した塵埃を効果的に除去することができる。
【００３４】
また、吸引装置１８は、除塵終了後において、予め規定した規定時間の間、作動を継続
するように構成されているから、除塵終了後に除塵室１２中に浮遊している塵埃を除塵室
１２から排出することができる。
これにより、部品５０等から除去した塵埃が、再び部品に付着することを確実に防止す
ることができる。
【００３５】
さらに、除塵時に、側壁１２ａ等を帯電させる構成となっているから、帯電している塵
埃を側壁１２ａ等に吸着させることができる。
これにより、部品５０等から除去した塵埃が、再び部品に付着することを一層確実に防
止することができる。
【００３６】
以下、主に図９を使用して、除塵装置１０の動作例等を説明する。
図７（ｂ）の部品５０Ｂの塵埃を除去するものとして、以下説明する。
【００３７】
図９は、除塵装置１０の動作例等を示す概略フローチャートである。
まず、部品５０Ｂを  部品ステージ３０ａ（図８（ａ）参照）に配置する（図９のステ
ップＳＴ１）。
続いて、部品５０Ｂの形状に基づいて、必要な制御姿勢を決定する（ステップＳＴ２）
。このステップＳＴ２は、作業姿勢設定ステップの一例である。
具体的には、制御装置１１が、部品５０Ｂの形状を示すデータの入力を受け、部品５０
Ｂの底面以外のすべての面に空気Ｗ１を当てるための複数の制御姿勢を計算する。
【００３８】
続いて、保持台３０及びエアガン２２が作業位置に移動し、例えば、図８（ｂ）に示す
作業姿勢をとる（ステップＳＴ３）。
図８（ｂ）の作業姿勢は、複数の作業姿勢のうちの１つである。
【００３９】
続いて、側壁１２ａ等を帯電させる（ステップＳＴ４）。このステップＳＴ４は、帯電
ステップの一例である。
続いて、吸引装置１８のＦＡＮ１８ａを回転させる（ステップＳＴ５）。ステップＳＴ
５は、吸引開始ステップの一例である。
ＦＡＮ１８ａが回転すると、除塵室１２内に負圧が発生する。
【００４０】
続いて、部品５０Ｂに対してエアガン２２から空気Ｗ１を噴射する（ステップＳＴ６）
。このステップＳＴ６は、空気吹き付けステップの一例である。
続いて、すべての作業姿勢における空気Ｗ１の噴射が終了した後、エアガン２２からの
空気Ｗ１の噴射を停止する（ステップＳＴ７）。このステップＳＴ７は、空気吹き付け停
止ステップの一例である。
【００４１】
続いて、待機時間ｔ１の経過後、ＦＡＮ１８ａの回転を停止する（ステップＳＴ８）。
このステップＳＴ８は、吸引停止ステップの一例である。
待機時間ｔ１は、部品５０Ｂから除去され、除塵室１２内を浮遊している塵埃を吸引す
るのに必要十分な時間として規定されており、例えば、１０秒（ｓ）である。
続いて、側壁１２ａ等の帯電を解除する（ステップＳＴ９）。このステップＳＴ９は、
帯電解除ステップの一例である。
【００４２】
続いて、部品５０Ｂを除塵室１２から取り出す（ステップＳＴ１０）。
以上のステップを有する除塵方法によって、立体的な形状や、凹凸を有する複雑な形状
の部品に付着した異物を十分に除去することができる。
また、部品から除去した塵埃が、再び部品に付着することを確実に防止することができ
る。
【００４３】
本発明は、上述の各実施の形態に限定されない。さらに、上述の各実施の形態は、相互
に組み合わせて構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態に係る除塵装置を示す概略斜視図。
【図２】保持台が平面移動する様子を図１の矢印Ｚ１方向から見た概略図。
【図３】部品等を示す概略図。
【図４】保持台の構成等を示す概略図。
【図５】部品等を示す概略図。
【図６】エアガンが平面移動する様子を図１の矢印Ｚ１方向から見た概略図。
【図７】エアガンの構成等を示す概略図。
【図８】部品に空気を当てる様子を示す概略図。
【図９】除塵装置の動作例等を示す概略フローチャート図。
【符号の説明】
【００４５】
１０…除塵装置、１２…除塵室、１８…吸引装置、２２…エアガン、２６，２８，３２
，３４…軸、３０…保持台。
【図１】
2007245126.tif 000003
【図２】
2007245126.tif 000004
【図３】
2007245126.tif 000005
【図４】
2007245126.tif 000006
【図５】
2007245126.tif 000007
【図６】
2007245126.tif 000008
【図７】
2007245126.tif 000009
【図８】
2007245126.tif 000010
【図９】
2007245126.tif 000011