(57)【要約】【課題】抵抗発熱体にねじれが生じていない場合でも、ねじれが生じた場合でも、被接合物どうしの接合箇所に伝わる熱量を適正な範囲内にできるようにする。【解決手段】所定の間隔をあけて対向する正負一対の電極５・６と、一対の電極５・６の下側に配置される帯状の抵抗発熱体１０と、一対の電極５・６を介して抵抗発熱体１０へ所定の電力を供給する電源部７と、一対の電極５・６を上下方向に移動させる電極移動手段とを有する。抵抗発熱体１０は、電極移動手段によって電極５・６が下降することで被接合物１・２に押し付けられ、かつ前記電力が供給されることで発熱する。一対の電極５・６は、抵抗発熱体１０の長さ方向に対向している。一対の電極５・６の下降端において抵抗発熱体１０に接触する電極先端面３７は、抵抗発熱体１０の幅方向の両端間の幅寸法Ｌ１が0.０１〜0.１mmに設定されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔をあけて対向する一対の電極と、前記電極の下側に配置される帯状の抵抗発熱体と、前記電極を介して前記抵抗発熱体へ所定の電力を供給する電源部と、前記電極を上下方向に移動させる電極移動手段とを有しており、
前記抵抗発熱体は、前記電極移動手段によって前記電極が下降することで被接合物に押し付けられ、かつ前記電力が供給されることで発熱する微細接合装置であって、
前記一対の電極は、前記抵抗発熱体の長さ方向に対向しており、
前記一対の電極の下降端において前記抵抗発熱体に接触する電極先端面は、前記抵抗発熱体の幅方向の両端間の幅寸法が0.０１〜0.１mmに設定されていることを特徴とする微細接合装置。
【請求項２】
前記抵抗発熱体を長さ方向に搬送する発熱体搬送手段を有しており、
前記発熱体搬送手段は、前記電極移動手段によって前記電極が待機位置に上昇して前記電極先端面が前記抵抗発熱体から離れている状態で、前記抵抗発熱体を搬送しており、
前記電極先端面は、前記電極移動手段によって前記電極が下降する際に前記抵抗発熱体に接触する請求項１記載の微細接合装置。
【請求項３】
前記電極先端面は、前記抵抗発熱体の長さ方向の両端間の長さ寸法が0.２〜0.３mmである請求項１又は２記載の微細接合装置。
【請求項４】
一方の電極と他方の電極との間隔が２０〜３０μｍであり、
当該電極の間に絶縁部が配されている請求項１又は２又は３記載の微細接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触式ＩＣカードに用いるＩＣチップのバンプにアンテナコイルの極細ワイヤを接合する場合などに使用するための微細接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１・２には、微小間隔を隔てて配置した正負一対の電極を、帯状の抵抗発熱体を介して前記極細ワイヤなどの微細な被接合物に押し当て、その状態で両電極間に電力を供給して抵抗発熱体を発熱（ジュール熱）させることで、前記バンプや極細ワイヤなどの被接合物どうしを接合する微細接合装置が開示されている。
【０００３】
つまり、前記抵抗発熱体は、巻き出しリールから巻き出されたのちに巻き取りリールに巻き取られるようになっている。そして、巻き出した抵抗発熱体に両電極の先端部を接触させた状態で、両電極を被接合物側へ移動させて前述のごとく被接合物を接合し、この接合後に抵抗発熱体を巻き取りリールで巻き取っている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３３３５６１号公報（図１−３）
【特許文献２】特開２００４−１３０３７３号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記被接合物は、微細であるために高温になると熱破壊などが生じ易い。このため、前記抵抗発熱体に供給する電力をできるだけ少なく設定して発熱量を減らしたいが、発熱量を少なくし過ぎると接合が不完全になる。したがって、前記電力を適正値に設定することが、高品質な接合を得るうえで重要になる。
【０００６】
そのうえで、本発明者らは、抵抗発熱体に供給する電力を、例えば一定にして抵抗発熱体での発熱量を常に一定にすることで、安定した接合を得るとともに製造効率の向上を図ろうとした。ところが、被接合物どうしの接合箇所に伝わる熱量にばらつきが生じたために、本発明者らは、かかる熱量のばらつきの原因について鋭意検討した。その結果、抵抗発熱体が電極に対して傾いてしまうことがその発生原因であることを突き止めた。
【０００７】
つまり、抵抗発熱体は、厚さ寸法が１５μｍ程度と薄いために、僅かな力が加わるだけで幅方向のどちらかに傾く（ねじれる）傾向にあり、このねじれによって抵抗発熱体の幅方向のどちらか一方の側が電極と接触し難くなっていた。このねじれが生じた場合には、ねじれが生じていない正常の場合よりも抵抗発熱体と電極との接触面積が小さくなる分だけ、発熱領域が狭くなる。この場合、前述のごとく抵抗発熱体での発熱量が一定になっているために、狭い発熱領域に熱量が集中して被接合物に伝わる熱量も多くなっていた。
【０００８】
一方、ねじれが生じていない正常の場合には、電極と抵抗発熱体との接触面積を十分に確保できていて発熱領域が広がっている。この場合には、抵抗発熱体での発熱が、被接合物どうしの接合箇所以外にも分散して伝わるために、その分だけ被接合物どうしの接合箇所に伝わる熱量が、ねじれが生じた場合よりも減少していた。
【０００９】
そして、この接合箇所に伝わる熱量のばらつきにより、ねじれが生じていない正常の場合に合わせて抵抗発熱体へ供給する電力を設定すると、ねじれが生じた場合には、被接合物に伝わる熱量が多くなって被接合物の熱破壊が生じるおそれがあった。一方、ねじれを考慮して抵抗発熱体へ供給する電力を少なく設定すると、ねじれが生じていない正常の場合には、被接合物どうしの接合箇所に伝わる熱量が少なくなって接合が不完全になるところに問題があった。なお、抵抗発熱体にねじれが生じないようにすることも検討したが、ねじれを生じないようにすることはコスト面などの点から困難であることが判明した。
【００１０】
そこで本発明の目的は、抵抗発熱体にねじれが生じていない正常な場合でも、ねじれが生じた場合でも、被接合物どうしの接合箇所に伝わる熱量を適正な範囲内にできて、被接合物どうしを適正に接合できる微細接合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明が対象とする微細接合装置は、図２および図３に示すごとく、所定の間隔をあけて対向する一対の電極５・６と、一対の電極５・６の下側に配置される帯状の抵抗発熱体１０と、一対の電極５・６を介して抵抗発熱体１０へ所定の電力を供給する電源部７と、一対の電極５・６を上下方向に移動させる電極移動手段とを有している。抵抗発熱体１０は、電極移動手段によって一対の電極５・６が下降することで被接合物１・２に押し付けられ、かつ前記電力が供給されることで発熱するようになっている。ここでの所定の電力の供給としては、抵抗発熱体１０へ常に一定電力を供給する場合や、電力を徐々に増大させたのちに一定電力を供給する場合や、電流が一定となるように電力を供給する場合や、電極５・６間の電圧が一定となるように電力を供給する場合などが該当する。
【００１２】
本発明は、図１に示すごとく、一対の電極５・６が抵抗発熱体１０の長さ方向に対向しており、一対の電極５・６の下降端において抵抗発熱体１０に接触する電極先端面３７は、抵抗発熱体１０の幅方向の両端間の幅寸法Ｌ１が0.０１〜0.１mmに設定されていることを特徴とする。
【００１３】
前記幅寸法Ｌ１が0.０１mmよりも小さいと、電極先端面３７に対する被接合物１・２の前記幅方向の位置精度の誤差の影響を受け易くなって、被接合物１・２どうしの接合箇所に伝わる熱量が一定にならず、被接合物１・２どうしの接合状態が安定しなくなる。前記幅寸法Ｌ１が0.１mmよりも大きいと、抵抗発熱体１０にねじれが生じていない正常な場合と、ねじれが生じた場合とで、抵抗発熱体１０と電極先端面３７との接触面積の差が大きくなって、この場合にも被接合物１・２どうしの接合箇所に伝わる熱量が一定にならず、被接合物１・２どうしの接合状態が安定しなくなる。
【００１４】
具体的には、図３に示すごとく、抵抗発熱体１０を長さ方向に搬送する発熱体搬送手段１６を有しており、発熱体搬送手段１６は、電極移動手段によって電極５・６が待機位置に上昇して電極先端面３７が抵抗発熱体１０から離れている状態で、抵抗発熱体１０を搬送しており、電極先端面３７は、電極移動手段によって電極５・６が下降する際に抵抗発熱体１０に接触する。
【００１５】
電極先端面３７は、図１に示す抵抗発熱体１０の長さ方向の両端間の長さ寸法Ｌ２を0.２〜0.３mmであるものとすることができる。前記長さ寸法Ｌ２が0.２mmよりも小さいと、電極５・６の先端部が細くなり過ぎて、強度が不十分になるうえに磨耗し易くなり、また両電極５・６において電極先端面３７で僅かにある高低差（段差）によって、両電極５・６のいずれか一方が抵抗発熱体１０に接触できなくなることがあり、これによって通電不良が生じるおそれがある。前記長さ寸法Ｌ２が0.３mmよりも大きいと、発熱領域が広がり過ぎて熱量が過度に拡散することになる。
【００１６】
また、一方の電極５と他方の電極６との間隔が２０〜３０μｍであり、当該電極５・６の間に絶縁部２０が配されているものとすることができる。前記間隔が３０μｍよりも大きいと、抵抗発熱体１０での発熱が、被接合物１・２どうしの接合箇所以外に過度に拡散することになる一方で、前記間隔を２０μｍよりも小さくすることは、電極部の製造上困難である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、電極先端面３７における幅寸法Ｌ１を0.０１〜0.１mmに設定したので、抵抗発熱体１０にねじれが生じていない正常な場合でも、ねじれが生じた場合でも、抵抗発熱体１０から被接合物１・２どうしの接合箇所に伝わる熱量のばらつきを小さくできる。したがって、抵抗発熱体１０から被接合物１・２どうしの接合箇所に伝わる熱量が、ねじれの有無に関係なく常に適正な範囲内となり、被接合物１・２どうしの未完全な接合や過度の熱量で被接合物１・２が熱破壊することを確実に防止でき、高品質で製造効率のよい微細接合作業を行うことができる。
【００１８】
例えば、一対の電極５・６を抵抗発熱体１０の幅方向に対向させた場合には、ねじれによって抵抗発熱体１０が電極先端面３７に対して幅方向に傾くと、両電極５・６のいずれか一方が抵抗発熱体１０に接触できなくなって通電不良が生じるおそれがある。本発明では、一対の電極５・６を抵抗発熱体１０の長さ方向に対向させたので、抵抗発熱体１０が幅方向に傾いても、両電極５・６と抵抗発熱体１０との確実な接触を確保でき、通電不良を防止することができる。
【００１９】
特に、前回の接合作業で酸化したり被接合物１・２の一部が付着したりした抵抗発熱体１０を長さ方向に搬送して、次の接合作業時には抵抗発熱体１０の未使用部分を電極５・６に接触させるようにすると、電極５・６から抵抗発熱体１０への確実な電力供給が行えて、抵抗発熱体１０の適正な発熱を行えるが、その搬送の分だけねじれの発生が増えるおそれがある。この場合にも、前述のごとく電極先端面３７の幅寸法Ｌ１を0.０１〜0.１mmに設定し、電極５・６を抵抗発熱体１０の長さ方向に対向させたことで、抵抗発熱体１０から被接合物１・２どうしの接合箇所に伝わる熱量を適正な範囲内にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（実施例１）  図面は、本発明が対象とする実施例１の微細接合装置を示しており、図２および図３に示すごとく、被接合物１・２どうしの接合作業を行うための基台３と、正負一対の電極５・６と、電極５・６へ一定電力を供給する電源部７と、先端部に両電極５・６を保持した状態で上下方向に揺動するアーム９と、電極５・６の下側に配置される帯状の抵抗発熱体１０と、アーム９を揺動駆動するアーム駆動部１１と、接合作業時にアーム９に対して下向きの荷重を与える荷重調節部１５と、前記帯状の抵抗発熱体２を長さ方向に搬送する発熱体搬送手段１６とを有する。アーム９とアーム駆動部１１とで、電極５・６を上下方向に移動させる電極移動手段が形成される。
【００２１】
一方の被接合物１は、厚さ寸法が0.１μｍの金メッキを施したニッケル製バンプである。このバンプは、図４に示すごとく、ＩＣチップ１７の表面に配されており、前後および左右の幅寸法がそれぞれ９０μｍ、厚さ寸法が３０μｍである。他方の被接合物２は、直径寸法が４０μｍの銅線２ａに合成樹脂体２ｂを被覆した極細ワイヤである。
【００２２】
電極５・６は、所定の間隔をあけて抵抗発熱体１０の長さ方向（図４の左右方向）に対向しており、その一方の電極５と他方の電極６との間を埋めるように絶縁部２０が配されている。一方の電極５と他方の電極６との間隔は２５μｍであり、絶縁部２０は、抵抗発熱体１０の長さ方向の厚さ寸法が２５μｍの絶縁性部材からなる。一方の電極５と他方の電極６との間隔および絶縁部２０の厚さ寸法は、２０〜３０μｍ程度であることが好ましい。
【００２３】
抵抗発熱体１０は、電極５・６を介して電源部７から供給される電力で発熱するようになっているために、高温での機械的強度が大きく、融点と熱伝導率と電気抵抗率とがそれぞれ高く、さらに速やかに昇温する性質が好ましく、高純度の単結晶モリブデンからなるリボン状に形成される。抵抗発熱体１０は、厚さ寸法が１５μｍ、幅寸法が2.０mmである。アーム９は、シャフト２１を軸に上下方向に揺動自在に支持されており、その先端部に電極５・６が絶縁部材を介して保持される。アーム駆動部１１や荷重調節部１５は、図２に示すごとく基台３に支持されており、ソレノイドや空気圧シリンダなどで形成される。シャフト２１は、基台３に支持されている。
【００２４】
発熱体搬送手段１６は、図３に示すごとく、抵抗発熱体１０を巻回した巻き出しリール２２と、一対の経路ガイド２５・２６と、ガイドローラ２９・３０と、一対のニップローラ３１・３２と、巻き取りリール３５とを有する。巻き出しリール２２から巻き出された抵抗発熱体１０は、経路ガイド２５・２６、ガイドローラ２９・３０およびニップローラ３１・３２を介して巻き取りリール３５に巻き取られる。
【００２５】
電極移動手段によって電極５・６が下降したときには、両電極５・６の下降端によって形成される電極先端面３７（図４参照）が、経路ガイド２５・２６間に位置する抵抗発熱体１０に接触し、その後に抵抗発熱体１０を被接合物１・２に所定の荷重で押し付ける（図３の状態）。この状態で、電源部７からの一定電力が電極５・６を介して抵抗発熱体１０に供給されることで抵抗発熱体１０が発熱し、この熱によって被接合物１と被接合物２とが接合する。
【００２６】
前記電極先端面３７は、図１に示すごとく、四角形状になっており、両電極５・６における抵抗発熱体１０の幅方向（図１の上下方向）の両端間の幅寸法Ｌ１が0.０６mm、両電極５・６における抵抗発熱体１０の長さ方向（図１の左右方向）の両端間の長さ寸法Ｌ２が0.２５mmである。これにより、電極先端面３７の面積は0.０１５mm2 （Ｌ１×Ｌ２＝0.０６mm×0.２５mm）となる。両電極５・６の上下長さ寸法は３1.７５mmである。
【００２７】
前記幅寸法Ｌ１は、0.０１〜0.１mmであることが好ましい。前記長さ寸法Ｌ２は、発熱領域が広がり過ぎて熱量が過度に拡散することを防ぐうえで、0.２〜0.３mmであることが好ましい。前記電極５・６が被接合物１・２に加える荷重は、0.４〜0.６Ｎが好ましい。荷重が0.６Ｎよりも大きくなると、被接合物１・２を破壊するおそれがある。荷重が0.４Ｎよりも小さくなると、電極先端面３７と抵抗発熱体１０との接触が不十分になって、発熱領域が安定しないうえに通電不良になり易い。また、抵抗発熱体１０に発生した熱量が被接合物１・２どうしの接合箇所に伝わり難くなる。
【００２８】
なお、両電極５・６は、電極先端面３７で高低差がほぼ生じないように設定してあるうえに、経路ガイド２５・２６と両電極５・６の下降端との位置関係および抵抗発熱体１０の張力などの諸条件は適切に設定してある。
【００２９】
本発明の微細接合装置の動作について説明すると、接合作業前には両電極５・６が、上昇していて、経路ガイド２５・２６間に位置する抵抗発熱体１０よりも上方に離れた待機位置で静止している（図３の二点鎖線図参照）。この状態で、基台３上に被接合物１・２がセットされる。
【００３０】
この後、接合作業が開始されることで、アーム駆動部１１によってアーム９が下方へ揺動されて、両電極５・６が下降する。この両電極５・６の下降途中で電極先端面３７が、経路ガイド２５・２６間に位置する抵抗発熱体１０と接触し、そのまま抵抗発熱体１０を押し下げながら移動する。この際、抵抗発熱体１０は、ニップローラ３１・３２で挟まれており、また巻き出しリール２２には抵抗発熱体１０の巻き出し方向と逆方向に適度のトルクが加わっている。これによって抵抗発熱体１０は、適度の張力が加わった状態で前記下降に応じた分だけ巻き出しリール２２から巻き出される。
【００３１】
両電極５・６の下降によって抵抗発熱体１０が被接合物１・２側に押し付けられる。このとき、荷重調節部１５によってアーム９には下向きの荷重が与えられており、これによって抵抗発熱体１０と被接合物１・２との適正な接触、および被接合物１・２どうしの適正な接触が確保される。
【００３２】
この状態で、電力が電源部７から電極５・６を介して抵抗発熱体１０に供給されることで、抵抗発熱体１０が発熱する。電源部７は、予め設定した予備加熱時間が経過するまでに前記電力が所定の電力値になるよう徐々に増大させ、予備加熱時間の経過ののちに予め設定した本加熱時間が経過するまで前記電力値の電力を供給する。これによって発生した熱で被接合物１と被接合物２とが軟化あるいは溶融して接合する。予備加熱時間は6.０ｍｓ、本加熱時間は2.４ｍｓ、前記所定の電力値は１７Ｗである。
【００３３】
本加熱時間の経過後に前記電力供給が停止し、次いでアーム駆動部１１によってアーム９が上方へ揺動されて、両電極５・６が上昇する。この両電極５・６の上昇途中で電極先端面３７が、経路ガイド２５・２６間に位置する抵抗発熱体１０から離れ、その後に両電極５・６が待機位置まで上昇する。次に、抵抗発熱体１０が長さ方向に搬送される。
【００３４】
つまり、抵抗発熱体１０が発熱することで、抵抗発熱体１０の表面が酸化し、また被接合物１・２の一部が融けて抵抗発熱体１０に付着する。このままでは、次の接合作業の際に、抵抗発熱体１０の表面の酸化膜などによって電極５・６から抵抗発熱体１０へ電力を供給し難くなって適正な発熱が行えなかったり、抵抗発熱体１０への付着物によって抵抗発熱体１０から被接合物１・２へ熱が適正に伝わらなかったりするおそれがある。このため、接合作業の終了ごとに抵抗発熱体１０を長さ方向に搬送して、常に抵抗発熱体１０の未使用部分で発熱を行うようにすることになる。
【００３５】
具体的には、抵抗発熱体１０をニップローラ３１・３２で挟んだ状態で、ニップローラ３１・３２を一定量だけ回転駆動して、抵抗発熱体１０の一方側を巻き出しリール２２から巻き出し、他方側を巻き取りリール３５に巻き取って、抵抗発熱体１０を長さ方向に一定量だけ送る。これによって、未使用の抵抗発熱体１０の部分が経路ガイド２５・２６間に位置する。この後、次の接合作業が開始される。
【００３６】
ニップローラ３１・３２は、前記一定量だけ回転駆動されたのちも抵抗発熱体１０を挟んでおり、これによって抵抗発熱体１０は長さ方向にずれ動くことがない。なお、抵抗発熱体１０の幅方向は、経路ガイド２５・２６によって規制される。
【００３７】
（実施例２）  実施例２では、電極先端面３７の幅寸法Ｌ１を0.１mmとした。その他の点は、実施例１と同じであるので説明を省略する。
【００３８】
（実施例３）  実施例３では、電極先端面３７の幅寸法Ｌ１を0.０１mmとした。その他の点は、実施例１と同じであるので説明を省略する。
【００３９】
（実施例４）  実施例４では、電極先端面３７の幅寸法Ｌ１を0.０８mmとした。その他の点は、実施例１と同じであるので説明を省略する。
【００４０】
（比較例１）  比較例１では、電極５・６を抵抗発熱体１０の幅方向に対向させるとともに、電極先端面３７の幅寸法Ｌ１を0.２３mmとした。その他の点は、実施例１と同じである。
【００４１】
（比較例２）  比較例２では、電極先端面３７の幅寸法Ｌ１を0.２３mmとした。その他の点は、実施例１と同じである。なお、電極５・６は、抵抗発熱体１０の長さ方向に対向している。
【００４２】
（比較例３）  比較例３では、電極５・６を抵抗発熱体１０の幅方向に対向させるとともに、電極先端面３７の幅寸法Ｌ１を0.０６mmとした。その他の点は、実施例１と同じである。
【００４３】
（比較例４）  比較例４では、電極先端面３７の幅寸法Ｌ１を0.１５mmとした。その他の点は、実施例１と同じである。なお、電極５・６は、抵抗発熱体１０の長さ方向に対向している。
【００４４】
（比較例５）  比較例５では、電極５・６を抵抗発熱体１０の幅方向に対向させるとともに、電極先端面３７の幅寸法Ｌ１を0.２０mmとした。その他の点は、実施例１と同じである。
【００４５】
実施例１〜４に係る条件でそれぞれ１０箇所ずつ接合された被接合物１・２と、比較例１〜５に係る条件でそれぞれ１０箇所ずつ接合された被接合物１・２とを用意して、それぞれの箇所について引張り試験と、下記の通電試験とを行った。
【００４６】
（引張り試験）  被接合物２であるワイヤを、引張り力を加えない状態から徐々に引張り力を増大させ、ワイヤ、ワイヤとバンプの接合部およびバンプのいずれかが破断するまで、バンプに対して鉛直方向に引張った。この結果、ワイヤとバンプとの接合部やバンプが破断せずに持ち堪えてワイヤが破断した場合を「良」、ワイヤが破断する前にワイヤとバンプとの接合部もしくはバンプのみが破断した場合を「不良」と評価した。
【００４７】
（通電試験）  実施例１〜４および比較例１〜５において、接合する際の電源部７の出力電圧を測定した。表１は、引張り試験および通電試験の結果を示す。
【００４８】
【表１】
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【００４９】
表１の引張り試験では、実施例１〜４および比較例１〜５において、それぞれ１０箇所のうち、「不良」と評価された箇所がなかったときは「○」、「不良」と評価されたものが１〜２箇所のときは「△」、「不良」と評価されたものが３箇所以上のときは「×」とした。
【００５０】
表１の通電試験では、実施例１〜４および比較例１〜５において、前記電源部７の出力電圧が0.９〜1.１Ｖの範囲内となったときには、適正な発熱領域が抵抗発熱体１０に確保されているので「○」、0.９Ｖよりも小さいあるいは1.１Ｖよりも大きくなったときには「×」とした。
【００５１】
表１に示すごとく、引張り試験では、実施例１・４が「○」、実施例２・３が「△」となり、通電試験では、実施例１〜４の全てが「○」となった。これに対して、比較例１〜５では、引張り試験で全てが「×」となった。これは、比較例１〜５では不完全な接合が生じ易いためと考えられる。
【００５２】
また、比較例１、比較例３および比較例５は通電試験でそれぞれ「×」となった。これは、比較例１、比較例３および比較例５は、電極５・６が抵抗発熱体１０の幅方向に対向していることで、抵抗発熱体１０にねじれが生じると電極５・６のいずれか一方と抵抗発熱体１０との接触不良が簡単に生じるためと考えられる。
【００５３】
前記説明では、被接合物１としてＩＣチップ１７のバンプを例示し、被接合物２として銅線２ａに合成樹脂体２ｂを被覆した極細ワイヤを例示したが、被接合物２として合成樹脂体２ｂを被覆していない極細ワイヤであってもよく、さらに被接合物１・２は、バンプや極細ワイヤ以外のものであってもよい。抵抗発熱体１０は、前述の性質を有するものであればモリブデン以外のものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明に係る電極先端面と抵抗発熱体と被接合物との位置関係を示すために電極先端部の横断面から下側を見た図
【図２】微細接合装置の概略構成を示す側面図
【図３】電極移動手段の概略構成を示す正面図
【図４】電極先端部の縦断面と抵抗発熱体と被接合物との正面図
【符号の説明】
【００５５】
１・２  被接合物
５・６  電極
７  電源部
９  アーム
１０  抵抗発熱体
１１  アーム駆動部
１６  発熱体搬送手段
３７  電極先端面
Ｌ１  電極先端面の幅寸法
Ｌ２  電極先端面の長さ寸法
【図１】
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【図２】
2007245193.tif 000005
【図３】
2007245193.tif 000006
【図４】
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