(57)【要約】 【課題】柔軟性を有するフィルムを使用してもフィルム切断時のフィルムの伸縮に起因する皺の発生がなく、基板と貼り付けたフィルムの間に気泡を生じることがないようにしたい。【解決手段】フィルム供給ロール１５から繰り出される積層フィルム３を仮付部１０で基板２へ仮り付けした後に、基板２の先端部を先頭として基板２と積層フィルム３を加圧して貼り付ける本貼付部５０側に移動させるときに、基板２の主面から離れたところに位置するガイドローラ１３により積層フィルム３が基板２に接触しないようにして積層フィルム３を基板２側に供給し、積層フィルム３が基板２に貼り付ける所望の長さになったところで積層フィルム３を切断し、本貼付部５０において切断された所望の長さの積層フィルム３の貼り付けを行う。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
仮付部において支持フィルムと粘着性フィルムが積層された積層フィルムにおける先端部を該粘着性フィルムが該基板側となるようにして該基板における少なくとも一方の主面の先端部に仮付けし、本貼付部において該基板と該積層フィルムを加圧して貼り付けるフィルム貼付方法において、  
該仮付部においてフィルム供給ロールから繰り出される該積層フィルムの該基板への仮付け後に、該基板の該先端部を先頭として該基板と該積層フィルムを加圧して貼り付ける該本貼付部側に移動させるときに該基板の該主面から離れたところに位置するガイドローラにより該積層フィルムが該基板に接触しないようにして該積層フィルムを該基板側に供給し、該積層フィルムが該基板に貼り付ける所望の長さになったところで該積層フィルムを切断し、該本貼付部において切断された所望の長さの積層フィルムの貼り付けを行うことを特徴とするフィルム貼付方法。  
【請求項２】
請求項１のフィルム貼付方法において、該基板を該本貼付部側に移動させるときの該積層フィルムの該基板側への供給の速度を該基板の該本貼付部側に移動の速度より早くして該積層フィルムに殆ど張力が掛からないようにしていることを特徴とするフィルム貼付方法。  
【請求項３】
請求項１のフィルム貼付方法において、該基板の下側主面に該積層フィルムを貼り付ける場合には、該基板を該本貼付部側に移動させるときに該基板の先頭部を搬送路面より浮かせた状態で把持していることを特徴とするフィルム貼付方法。  
【請求項４】
請求項１のフィルム貼付方法において、本貼付部において該基板と該積層フィルムを減圧下において加圧加熱して貼り付けることを特徴とするフィルム貼付方法。  
【請求項５】
請求項３のフィルム貼付方法において、該積層フィルムの先端部を仮付けし該先頭部が搬送路面より浮かされた該基板は、該基板の全長分が該仮付部から本貼付部側に移動された後に該先頭部が該搬送路面上に戻されることを特徴とするフィルム貼付方法。  
【請求項６】
仮付部において支持フィルムと粘着性フィルムが積層された積層フィルムにおける先端部を該粘着性フィルムが該基板側となるようにして該基板における少なくとも一方の主面の先端部に仮付けし、本貼付部において該基板と該積層フィルムを加圧して貼り付けるフィルム貼付装置において、  
該仮付部と該本貼付部の間にフィルム供給ロールから繰り出され先端部を該基板の先端部に仮付けした該積層フィルムを該基板とともにそれらの該先端部を先頭として該本貼付部側に搬送する基板クランプ機構と該基板が該本貼付部側に移動するときに該基板の搬送路面上における該基板の該主面から離れたところに位置して該積層フィルムが該基板に接触しないようにして該積層フィルムを該基板側に供給するガイドローラを備え、さらに該仮付部は該積層フィルムが該基板に貼り付ける所望の長さになったところで該積層フィルムを切断するカッタを備え、該本貼付部において切断された所望の長さの積層フィルムの貼り付けを行うことを特徴とするフィルム貼付装置。  
【請求項７】
請求項６のフィルム貼付装置において、該基板クランプ機構は該基板を該本貼付部側に移動させるときに該基板の先頭部を該搬送路面から浮かせた状態で移動させるようになされていることを特徴とするフィルム貼付装置。
【請求項８】
請求項６のフィルム貼付装置において、該本貼付部は該基板と該積層フィルムを減圧下において加圧加熱して貼り付けるものであることを特徴とするフィルム貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持フィルムと粘着性フィルムが積層された積層フィルムにおける先端部を該粘着性フィルムが該基板側となるようにして該基板における少なくとも一方の主面の先端部に仮付けし、該基板と該積層フィルムを加圧して貼り付けるフィルム貼付方法とその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線用のパターン基板に感光性樹脂層を含むフィルムを貼り付けて露光処理などを施し所望のプリント配線基板を得る場合などに基板にフィルムを貼り付ける従来技術として、下記特許文献１に示されるようなものがある。
【０００３】
この従来技術では、フィルム供給ロールから繰り出されるフィルムの先端部を基板へ仮付けし、フィルムをフィルム供給ロールから繰り出しつつ基板と一緒に一対の加圧ローラ間を通過させ、その通過中に基板にフィルムを加圧してフィルムの貼り付けを行っている。その加圧貼り付け中にフィルムを基板上に供給しており、所望長さになったところでフィルムを切断し、フィルムの後端部を保持して基板側に供給し、フィルムの先端から後端まで基板と一緒に加圧ローラの回転で搬送しつつ加圧貼り合わせを行うようになっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−７１３３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
フィルムを貼り付ける基板の表面に凹凸があり、凹凸でできるパターンが複雑になっているものがあり、露光処理などのためにフィルム貼付後の基板表面に平坦性が要求される場合、フィルムとして柔軟性の高いものを用い、凹凸にフィルムを埋め込むことで平坦性に対処することがある。
【０００６】
フィルム供給ロールから繰り出して基板側に供給するときに、フィルム供給ロールから加圧ローラの間にダンサーローラを介在させてフィルムに適宜な張力を付加し、加圧・貼付後の仕上がりが綺麗になるようにしているが、柔軟性の高いフィルムは張力で伸びる傾向がある。
【０００７】
加圧ローラを通過中にフィルムが切断されると、フィルムに掛かっていた張力が開放されるため、フィルムは縮み、その伸縮動作の反動によって貼り付けたフィルムの後半部に皺が生じていた。柔軟性の高いフィルムは常温（２０℃前後）でも僅かな押圧で基板に貼り付くので、皺を生じたまま加圧ローラを通過すると、皺の箇所に空気が取り込まれ、気泡となって露光処理などの障害となっていた。
【０００８】
それゆえ本発明の目的は、柔軟性を有するフィルムを使用してもフィルム切断時のフィルムの伸縮に起因する皺の発生がなく、基板と貼り付けたフィルムの間に気泡を生じることがないフィルム貼付方法とその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成する本発明方法の特徴とするところは、仮付部において支持フィルムと粘着性フィルムが積層された積層フィルムにおける先端部を該粘着性フィルムが該基板側となるようにして該基板における少なくとも一方の主面の先端部に仮付けし、本貼付部において該基板と該積層フィルムを加圧して貼り付けるフィルム貼付方法において、該仮付部においてフィルム供給ロールから繰り出される該積層フィルムの該基板への仮付け後に、該基板の該先端部を先頭として該基板と該積層フィルムを加圧して貼り付ける該本貼付部側に移動させるときに該基板の該主面から離れたところに位置するガイドローラにより該積層フィルムが該基板に接触しないようにして該積層フィルムを該基板側に供給し、該積層フィルムが該基板に貼り付ける所望の長さになったところで該積層フィルムを切断し、該本貼付部において切断された所望の長さの積層フィルムの貼り付けを行うことにある。
【００１０】
また、上記目的を達成する本発明装置の特徴とするところは、仮付部において支持フィルムと粘着性フィルムが積層された積層フィルムにおける先端部を該粘着性フィルムが該基板側となるようにして該基板における少なくとも一方の主面の先端部に仮付けし、本貼付部において該基板と該積層フィルムを加圧して貼り付けるフィルム貼付装置において、該仮付部と該本貼付部の間にフィルム供給ロールから繰り出され先端部を該基板の先端部に仮付けした該積層フィルムを該基板とともにそれらの該先端部を先頭として該本貼付部側に搬送する基板クランプ機構と該基板が該本貼付部側に移動するときに該基板の搬送路面上における該基板の該主面から離れたところに位置して該積層フィルムが該基板に接触しないようにして該積層フィルムを該基板側に供給するガイドローラを備え、さらに該仮付部は該積層フィルムが該基板に貼り付ける所望の長さになったところで該積層フィルムを切断するカッタを備え、該本貼付部において切断された所望の長さの積層フィルムの貼り付けを行うことにある。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、本貼付部で基板と積層フィルムを加圧し貼り付けを行う前に積層フィルムは所望長さに切断されており、積層フィルムの切断時に積層フィルムに作用している張力は殆ど存在していないために、皺の発生はなく、切断により所望の長さとなった積層フィルムは先端部が基板に仮付けされているだけで、残りの領域は自由状態で基板と対向（正対）している。従って、本貼付部で加圧し貼り付けをしても、積層フィルムは基板との間に気泡を生じることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図に示した本発明の一実施形態について、説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１は本発明の一実施形態になるフィルム貼付装置１を示しており、仮付手段を備えた仮付部１０と本貼付手段を備えた本貼付部５０から構成されている。図中の一点鎖線は基板２を図において左側の上流側から右側の下流側に向けて搬送する搬送路の路面であり、この搬送路は後述する仮付部１０における搬送ローラ１１や本貼付部５０における搬送フィルム６１で構成される。
【００１４】
搬送路面における上流側から下流側に向う基板２の移動方向を搬送方向とし、また、この搬送方向に直交した水平な方向を幅方向とする。なお、６２は保護フィルムである。
【００１５】
基板２の一例はプリント配線用のパターン基板であり、仮付部１０において基板２の上下各面に感光性樹脂層を含む積層フィルム３の先端部を仮付けし、その積層フィルム３が基板２に見合う所望の長さに切断された基板２Ａを得て本貼付部５０に送り、本貼付部
５０において基板２Ａにおける積層フィルム３を基板１と全面的に貼り合せて基板２Ｂを得る。基板２Ｂはさらに下流側の露光装置などに送られ、必要な処理が施される。
【００１６】
以下、仮付部１０と本貼付部５０の構成を詳細に説明する。なお、全図において、説明の重複化を避けるため同一物には同一符号を付けている。
【００１７】
図２は、仮付部１０を示している。
【００１８】
図２において、１２は基板２を上下から把持し回転により基板を下流に向けて搬送するニップローラ、１３は積層フィルム３のガイドローラで、搬送路面の上下に一個ずつ設置してあり、一点鎖線で示す搬送路面に最も接近しても基板２の上下各面に接触しないようになっている。
【００１９】
積層フィルム３は架台１４の上下に設置してある各フィルム供給ロール１５からそれぞれ繰り出される。各フィルム供給ロール１５からそれぞれ繰り出される積層フィルム３は、一例として感光性樹脂層（ホトレジスト）を中心として前後各面に透光性の支持フィルムと保護フィルムを設けた３層の積層構成となっており、フィルム送出ローラ１６により各フィルム供給ロール１５から引き出して繰り出すようにしてある。各フィルム供給ロール１５において、積層フィルム３は、透光性支持フィルムが外側で、保護フィルムが内側となるように巻き込んである。
【００２０】
フィルム送出ローラ１６による積層フィルム３の繰出速度（移動速度）は、後述するサーボモータ（図７に示したサーボモータ２０）により、搬送路面上における基板２の搬送速度より若干早くしてある。
【００２１】
３層の積層フィルム３は剥離部材１７において保護フィルムが剥離され、巻取ロール
１８に巻き取られる。それにより、積層フィルム３は、剥離部材１７の下流において感光性樹脂層と透光性支持フィルムの２層積層構成となっている。
【００２２】
１９は、搬送路面の方向に移動したり逆行したりして２層の積層フィルム３に掛かる張力を調整するダンサーローラである。
【００２３】
２１は積層フィルムを切断するロータリーカッタ、２２はロータリーカッタ２１の受台、２３はロータリーカッタ２１で切断された積層フィルムの先端を保持し基板２に仮付けする仮付部材、２４は仮付部材２３に積層フィルムの先端を巻き付ける巻付用保持部材、２５はロータリーカッタ２１で切断された積層フィルムの後端を保持し基板２に搬送する後端保持部材である。
【００２４】
仮付部材２３，巻付用保持部材２４，後端保持部材２５は積層フィルムと接する面に図示していない真空源に連通した複数の吸着孔を備えており、連通の開閉で積層フィルム３を吸着したり開放したりする。また、仮付部材２３の搬送路面側の先端部にはヒータが内蔵されており、吸着した積層フィルム３を加熱して感光性樹脂層の粘着性を向上させるようになっている。
【００２５】
２７は上下の仮付部材２３を同時に基板２に向けて移動させる駆動機構、ロータリーカッタ２１〜後端保持部材２５などの動きは追って詳細に説明するが、それらの駆動機構は図示を省略した。２８は小口径のガイドローラである。
【００２６】
３０は基板クランプ機構で、図３により詳細を説明する。
【００２７】
図３（ａ）において、３１は長手方向を搬送方向に一致させた無端ベルトであり、サーボモータ３２の正逆各回転により下流に向う搬送方向と上流に向う逆方向に移動できるようになっている。無端ベルト３１にはアーム３３を固定してあり、アーム３３に上下に一対の基板クランパ３４を設けてある。
【００２８】
各基板クランパ３４は長手方向が搬送方向に一致しており、上流側の先端部で基板２
（２Ａ）の先端を把持する。そのために、アーム３３は基板クランパ３４が互いに接近して基板２（２Ａ）の先端を把持するためのエアシリンダを内蔵している。また、アーム
３３は、アーム３３自身を上下に移動させるためのエアシリンダも内蔵している。基板２
（２Ａ）の先端を把持するエアシリンダで把持した基板２（２Ａ）を、アーム３３を動かすエアシリンダで上方に移動させるので、基板２Ａは先端部が搬送路面から上方に浮いた状態となる。
【００２９】
図３（ｂ）に示すように、搬送ローラ１１は基板クランプ機構３０は配置された場所において、幅方向にも各一対の基板クランパ３４を内部に配置するように幅方向に３分割されている。幅方向に３分割された搬送ローラ１１は１１Ａ〜１１Ｃで示されている。
【００３０】
各搬送ローラ１１Ａ〜１１Ｃは同期して回転され、基板２Ａが搬送方向に対し斜めにならないようにしてある。幅方向に配置した各一対の基板クランパ３４はともに無端ベルト３１にアーム３３で固定してあり、無端ベルト３１の回転で下流側に移動されるときに、搬送方向に同期して移動し、基板２Ａが搬送方向に斜めにならないようにしてある。
【００３１】
次に、図４により本貼付部５０について説明する。
【００３２】
架台５１上に下チャンバ５２と上チャンバ５７からなる２分割構成の真空チャンバが設けられており、下チャンバ５２は底部に油圧装置５３を内蔵している。油圧装置５３はラム５４を上下動させ、その上端部に下プレス板５５を保持している。
【００３３】
下プレス板５５の上面は水平面となっており、内部に図示していないヒータを備えている。上チャンバ５７は図示していない駆動機構により上下し、側壁部５７ａが下チャンバ５２の側壁部５２ａと一体となって気密空間を形成し、内部は真空源に連通されることによって、減圧される。
【００３４】
上チャンバ５７は蓋部に上プレス板５８を保持しており、上プレス板５８の下面は水平面となっている。
【００３５】
６３，６４は、架台５１にそれぞれ軸を固定してある搬送フィルム６１の供給ロールと巻取ロール、６５，６６は架台５１にそれぞれ軸を固定してある保護フィルム６２の供給ロールと巻取ロールである。
【００３６】
巻取ロール６４，６６は図示していないトルクモータにより各フィルム６１，６２を巻き取る方向に常に張力を掛けているので、供給ロール６３，６５の図示していないブレーキが解除されると、搬送フィルム６１と保護フィルム６２は同期して繰り出され、搬送方向に移動する。なお、その搬送速度は仮付部１０における搬送ローラ１１による基板２の搬送速度と一致させている。
【００３７】
７０は基板取出装置で、上下の各アーム７１は上流側の端部にそれぞれフィルムクランパ７２を備え、下流側の端部にはフィルムガイド７３を備えている。
【００３８】
なお、７４，７５は、それぞれ搬送フィルム６１と保護フィルム６２の方向転換ローラである。
【００３９】
上下の各アーム７１は上流側端部のフィルムクランパ７２を接近させたり離したりするエアシリンダを内蔵しており、図示していない駆動機構により搬送路面と平行に下流あるいは上流に向けて移動する。その移動時におけるフィルムクランパ７２の動きは、後述する。
【００４０】
搬送フィルム６１と保護フィルム６２は方向転換ローラ７４，７５において方向を替えて水平に対向し、上下の両チャンバ５２，５７の中央を搬送方向に沿って伸び、フィルムガイド７３において再び方向を替えて巻取ロール６４，６６に巻き取られる。両フィルム６１，６２の幅は基板２（２Ａ，２Ｂ）の幅よりも広いものとなっている。なお、保護フィルム６２は、上プレス板５８の下面が基板２Ａにより汚れないようにするとともに基板２Ａを保護するものである。
【００４１】
基板２Ａは上流の仮付部１０における基板クランプ機構３０と搬送ローラ１１により、搬送フィルム６１と保護フィルム６２の間に供給され、開いた上下両チャンバ５２，５７の中央に搬送して、上下両チャンバ５２，５７を閉鎖し気密空間の減圧下において上プレス板５８が下降し、搬送フィルム６１と保護フィルム６２を介して本貼付を行い、基板
２Ａに仮付けした積層フィルム３を貼り付け、基板２Ｂとして下流に搬送する。本貼付中には各プレス板５５，５８の内蔵ヒータを暖め、感光性樹脂層の粘着性を向上させることと加圧により、確実な貼り付けをするようになっている。
【００４２】
次に、基板２に積層フィルム３を仮り付けした後に本貼付をして、下流の処理装置に渡すまでのフィルム貼付装置１における一連の動作について、説明する。なお、搬送路面より下側においても積層フィルム３に対する処理は上側の積層フィルム３の処理と同様であり、以下の各図は理解し易いように、図を拡大して上側の積層フィルム３を中心に示している。
【００４３】
先ず、図５により準備処理について説明する。
【００４４】
フィルム供給ロール１５に巻きつけてある３層構成の積層フィルム３を引き出し、フィルム送出ローラ１６を経て保護フィルムを剥離部材１７において剥離し、剥離した保護フィルムは保護フィルムの巻取ロール１８に巻き付け、そのままフィルム供給ロール１５の上部にのせる。
【００４５】
保護フィルムの巻取ロール１８は、フィルム供給ロール１５から積層フィルム３を引き出すと、フィルム供給ロール１５と反対方向に回転し、保護フィルムを巻き取る。
【００４６】
保護フィルムが剥離され２層構成となった積層フィルム３は透光性支持フィルムがダンサーローラ１９側となっており、このダンサーローラ１９を経て、さらに仮付部材２３と巻付用保持部材２４を経て、ロータリーカッタ２１とその受台２２間を通過させる。
【００４７】
ロータリーカッタ２１を回転させて積層フィルム３を切断し、搬送路面側に位置する切断した積層フィルム３の上流側部分を廃棄する（図５は切断し先端部を廃棄した状況を示している）。
【００４８】
切断した下流側先端部を巻付用保持部材２４で吸引吸着して下流側に移動させ、仮付部材２３の搬送路面側の先端部に巻き付ける。なお、ロータリーカッタ２１において切断した積層フィルムの下流側先端部は基板２に貼り付ける積層フィルムの先端部となる。
【００４９】
仮付部材２３は巻き付けられた積層フィルム３を吸引吸着により保持し、仮付部材２３の先端部にはヒータが内蔵されているので、積層フィルム３の感光性樹脂層は加熱され、粘性が高くなる。
【００５０】
巻付用保持部材２４の下流側への移動に合わせて、受台２２，ガイドローラ２８は一緒に移動し、後述する仮付部材２３の搬送路面側への移動の支障とならない位置に置かれる。
【００５１】
巻付用保持部材２４は、仮付部材２３の搬送路面側の先端部が積層フィルム３の先端部を吸着保持すると自らの吸着を解き、積層フィルム３の先端部を仮付部材２３の搬送路面側の先端部に受け渡す。
【００５２】
フィルム送出ローラ１６はフィルム供給ロール１５から積層フィルム３を引き出す方向に回転し、フィルム供給ロール１５は積層フィルム３を巻き取る方向にトルクを掛けるが、ダンサーローラ１９が搬送路面側に移動することによって、積層フィルム３には僅かな張力が掛かるようにしており、この状態は準備処理を終了した待機状態である。
【００５３】
待機状態において、ニップローラ１２とガイドローラ１３は開放状態にある。両ローラ１２，１３の閉鎖については、後述する。後端保持部材２５はガイドローラ１３の動きに連動し、搬送路面から離れた状態にある。
【００５４】
待機状態となると、上流機から、基板２が搬送されてくる。
【００５５】
基板２は搬送ローラ１１の間に組み込まれた図示していない基板検出センサにより先端部を検出されると、仮付部材２３の先端部よりやや下流側の位置が基板２の先端となる位置において、搬送が停止される。基板２が停止すると、ニップローラ１２が搬送路面側に移動して、搬送方向における基板２の中央部を把持する。
【００５６】
基板２が停止すると、次の仮付処理に進む。
【００５７】
図６により仮付処理を説明する。
【００５８】
図６に示すように基板２が停止すると、駆動機構２７により仮付部材２３が搬送路面側へ移動する。仮付部材２３が搬送路面側へ移動するときには、フィルム送出ローラ１６は仮付部材２３の搬送路面側へ移動速度よりも早い速度でフィルム供給ロール１５から積層フィルム３を引き出す方向に回転し、ダンサーローラ１９は積層フィルム３の張力に従って移動して、積層フィルム３には殆ど張力が掛からないようにしている。
【００５９】
仮付部材２３が搬送路面側へ移動し、先端部に保持している積層フィルム３の先端部が基板２の先端部所望位置に当接すると、一定時間その状態を維持し、積層フィルム３における感光性樹脂層の粘着性により積層フィルム３の先端部を基板２の先端部に仮り付けする。積層フィルム３の先端部を仮り付けした基板２を基板２Ａで表わす。
【００６０】
一定時間後、図７（ａ）に示すように、仮付部材２３は積層フィルム３の吸着保持を解いて、駆動機構２７により搬送路面から離れ元の位置に戻る。なお、２０はフィルム送出ローラ１６を駆動するサーボモータである。
【００６１】
仮付部材２３が駆動機構２７により元の位置に戻ると、大口径のガイドローラ１３が点線で示した開放位置から断面で示した閉鎖位置まで移動する。閉鎖位置は開放位置より上流側で搬送路面側となるが、基板２の上下各主面にガイドローラ１３が接触することはなく、図７（ｂ）に拡大して示すように、積層フィルム３はガイドローラ１３の外周面に接触しているが基板２Ａの上下各主面には接触しておらず、積層フィルム３は仮り付けをした先端部以外の領域が基板２Ａの上下各主面に貼り付くことはない。
【００６２】
大口径のガイドローラ１３の閉鎖位置への前進に合わせて、後端保持部材２５と小口径のガイドローラ２８は前進し、続く、積層フィルム３の供給に備える。
【００６３】
大口径のガイドローラ１３が閉鎖位置へ前進すると、基板クランプ機構３０のサーボモータ３２が作動して、無端ベルト３１を回動させ、アーム３３を介して各一対の基板クランパ３４を上流側に進ませ、アーム３３内に内蔵のエアシリンダで、基板２Ａの先端部を各一対の基板クランパ３４で把持する。
【００６４】
この把持の後、アーム３３内に内蔵のエアシリンダで各一対の基板クランパ３４は基板２Ａの先端部を把持したままやや上昇し、基板２Ａの先端部を搬送ローラ１１で構成される搬送路面から浮かせた状態とする。
【００６５】
そして、図８に示すように、サーボモータ３２が作動して無端ベルト３１を回動させ、アーム３３を介して各一対の基板クランパ３４を下流側に進ませ、基板２Ａを下流側に搬送する。
【００６６】
この基板搬送において、ニップローラ１２はサーボモータ３２の作動に合わせて基板
２Ａを下流に向けて搬送し、フィルム送出ローラ１６はフィルム供給ロール１５から基板クランプ機構３０による基板２Ａの搬送速度より若干早い速度で積層フィルム３を引き出して、基板２Ａ側に供給する。
【００６７】
小口径のガイドローラ２８は大口径のガイドローラ１３より若干上流側に位置しており、小口径のガイドローラ２８と大口径のガイドローラ１３は基板２Ａの下流側への移動
（搬送）に伴う積層フィルム３の移動にあわせて軽快に回転し、積層フィルム３の円滑な供給を遂行している。
【００６８】
そのため、基板クランプ機構３０による基板２Ａの搬送中に積層フィルム３に殆ど張力が掛かっていない。
【００６９】
基板クランプ機構３０による基板２Ａの搬送中に、受台２２と巻付用保持部材２４は図５に示した積層フィルム３の切断位置に戻り、基板２Ａと積層フィルム３が下流側に所望距離移動して、基板２Ａの後端部がニップローラ１２に近づくと、ロータリーカッタ２１が回転して積層フィルム３を切断する。この切断により、積層フィルム３は基板２Ａに貼り付ける所望の長さとなる。
【００７０】
積層フィルム３の切断動作の前には、仮付部材２３は積層フィルム３の搬送路面側への移動速度に合わせて移動しつつ吸引吸着を開始し、移動している積層フィルム３を吸着保持する。
【００７１】
後端保持部材２５は積層フィルム３が切断される時点に積層フィルム３を吸引吸着して保持し、大口径ガイドローラの外周部を積層フィルム３の移動速度に合わせて搬送路面側に移動し、積層フィルム３の後端部を基板２Ａ上に搬送し、積層フィルム３が基板２Ａ上に覆い被った状態で、吸着保持を解除する。
【００７２】
大口径ガイドローラ１３は基板２から離れているので、大口径ガイドローラ１３の上流側に広い空間ができ、そのために後端保持部材２５は基板２の上下各主面に近づくことができることにより、積層フィルム３の後端部を基板２の各主面の近くで吸着保持を解除するので、積層フィルム３の後端部が基板２の各主面に正対し、乱れることがない。
【００７３】
フィルム送出ローラ１６は、ロータリーカッタ２１が積層フィルム３の切断を完了するまで回転を続けて積層フィルム３を供給し、積層フィルム３には張力が殆ど掛かっておらず、切断による張力の開放で伸縮し、積層フィルム３に皺が発生するようなことが起こらないようにしている。
【００７４】
大口径ガイドローラ１３は基板２Ａの上下各主面から僅かに離れており、積層フィルム３は基板２Ａに加圧されていないので、上側の積層フィルム３は後端保持部材２５が吸着保持を解除することで、基板２Ａの上主面に覆い被さる状態となり、各一対の基板クランパ３４は基板２Ａの先端部を把持したままやや上昇し、基板２Ａの先端部を搬送ローラ
１１で構成される搬送路面から浮かせた状態のまま下流側に基板２Ａを搬送しているので、下側の積層フィルム３はその搬送中に搬送ローラ１１や大口径ガイドローラ１３上を移動して行くだけで、基板２Ａの下主面から僅かに離れた状態にあり、加圧され貼り付くことはない。
【００７５】
図９は、後端保持部材２５が積層フィルム３の吸着保持を解除する直前における積層フィルム３に対する後端部処理の状況を示している。
【００７６】
基板２Ａが大口径ガイドローラ１３の間を通過した後に、大口径ガイドローラ１３と後端保持部材２５は待機位置へと戻る。
【００７７】
同時に仮付部材２３は待機位置へと戻り、フィルム送出ローラ１６は逆転して積層フィルム３がフィルム供給ロール１５に巻き戻されるようにして、積層フィルム３は切断済みであるから、巻付用保持部材２４は積層フィルム３の先端部を仮付部材２３における搬送路面側の先端部に巻き付けて吸着保持せしめ、次の基板が搬送されるまで待機している。
【００７８】
基板クランプ機構３０における基板クランパ３４が基板２Ａの把持を解き、基板２Ａを離すタイミングは、ロータリーカッタ２１が積層フィルム３を切断して、基板クランプ機構３０が基板２Ａを把持して下流側に基板２Ａの全長分だけ仮付部１０から本貼付部５０側に移動させ、下降して基板２Ａの先端部が搬送ローラ１１上に至った時である。この把持開放により、基板２Ａは搬送ローラ１１で下流側に搬送される状態となる。なお、基板クランプ機構３０が上流側に進むタイミングは、仮付部材２３が次に搬送された基板２の先端に積層フィルム３の先端部を仮付けしている時である。
【００７９】
基板クランプ機構３０から開放され搬送ローラ１１上に移った基板２Ａは、搬送ローラ１１の回転で本貼付部５０の搬送フィルム６１上に移載される。即ち、搬送フィルム６１の下流側への移動速度が搬送ローラ１１の回転速度に一致されることにより、基板２Ａは搬送フィルム６１上に円滑に乗り移る。
【００８０】
なお、基板クランプ機構３０は、基板２Ａを離した後、下流側に僅かに移動し、アーム３３の内蔵エアシリンダを用いて下降する。この場合、基板クランプ機構３０は、搬送ローラ１１や基板２Ａよりも低い位置となる。基板２Ａは、基板クランプ機構３０の上部をすり抜けていくようになっている。
【００８１】
基板クランプ機構３０は、その後、待機位置に戻り、次の基板２Ａの把持に備えている。
【００８２】
搬送フィルム６１上の基板２Ａは、図４に示すように、搬送フィルム６１の移動により開いている上下両チャンバ５２，５７の上下各プレス板５５，５８の間に設置される。その後、図示していない駆動機構により上チャンバ５７が下降し、両側壁部５２ａ，５７ａが衝合して気密空間を形成し、内部は真空源に連通されることによって、減圧される。
【００８３】
この減圧により、基板２Ａと上下の積層フィルム３の間の空気が抜け、ラム５４が油圧装置５３により上昇して、上下各プレス板５５，５８により搬送フィルム６１と保護フィルム６２を介して基板２Ａと上下の積層フィルム３は加圧加熱されて本貼付が遂行される。
【００８４】
積層フィルム３は後端保持部材２５が積層フィルム３の吸着保持を解除するときに張力は殆ど存在しない状態にあるので、上側の積層フィルム３は基板２Ａ上にそっと置かれたような状態にあるだけで、張力開放に伴う伸縮を起こすことはない。
【００８５】
下側の積層フィルム３も基板クランプ機構３０から開放され搬送ローラ１１上に移ったときに張力開放に伴う伸縮を起こすことはなく、そのまま上部に基板２の重みがところどころでそっと掛かるだけである。
【００８６】
従って、基板２と各積層フィルム３の間には至る所に隙間があって、基板２Ａの上下両主面に気泡や皺が存在している状況になく、本貼付部５０に移されると、容易に脱気され、本貼付処理が行われるので、本貼付後の基板２Ｂには気泡や皺が存在しない。
【００８７】
本貼付後の基板２Ｂは気密空間が大気圧に戻され、図示していない駆動機構により上チャンバ５７が上昇し、上下両チャンバ５２，５７が開かれると、基板取出装置７０のフィルムクランパ７２が搬送フィルム６１と保護フィルム６２を同時に把持して下流側に移動して両フィルム６１，６２を引き出し、それに合わせて両フィルム６１，６２間の基板
２Ｂを上下両チャンバ５２，５７外に引き出す。このとき、フィルムガイド７３も下流側に移動するので、図１と図４を比べると分かる様に両フィルム６１，６２の下流側はフィルムガイド７３により下流側に突出する。
【００８８】
その後、フィルムクランパ７２は搬送フィルム６１と保護フィルム６２の把持を開放して上流側に戻り、次の基板２Ａの本貼付の待機する。このときフィルムガイド７３も一緒に戻るが、巻取ロール６４，６６が図示していないトルクモータにより各フィルム６１，６２を巻き取り、両フィルム６１，６２間における基板２Ｂの下流端が露出するので、適宜な手段により、基板２Ｂを下流機に受け渡す。
【００８９】
以上説明したように、本実施形態によれば、柔軟性のある積層フィルムを使用しても皺が発生せず、気泡が混入しない基板を得ることができる。
【実施例２】
【００９０】
上記実施形態では、基板２の上下両主面に積層フィルム３を貼り付けているが、基板２の上下のいずれか一方の片側面だけに積層フィルム３を貼り付けるようにしても良い。
【実施例３】
【００９１】
図１〜図９に示す上記実施形態では、積層フィルム３を搬送・供給しつつロータリーカッタ２１で切断している（流し切り）が、積層フィルム３の搬送・供給を止めてロータリーカッタ２１で切断するようにしても良い。
【実施例４】
【００９２】
図１〜図９に示す上記実施形態において、基板クランプ機構のアームの駆動を無端ベルトにより行っているが、スクリュウネジの正逆回転により行うようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の一実施形態になるフィルム貼付装置の全体構造を示す概略図である。
【図２】図１のフィルム貼付装置における仮付部を示す図である。
【図３】図２の仮付部における基板クランプ機構を示す図である。
【図４】図１のフィルム貼付装置における本貼付部を示す図である。
【図５】図２の仮付部における準備処理を説明する図である。
【図６】図２の仮付部における仮付処理を説明する図である。
【図７】図２の仮付部における基板クランプ処理を説明する図である。
【図８】図２の仮付部における基板搬送処理を説明する図である。
【図９】図２の仮付部におけるフィルム後端部処理を説明する図である。
【符号の説明】
【００９４】
１…フィルム貼付装置、２，２Ａ，２Ｂ…基板、３…積層フィルム、１０…仮付部、１１…搬送ローラ、１２…ニップローラ、１３…ガイドローラ、１４…架台、１５…フィルム供給ロール、１６…フィルム送出ローラ、１７…剥離部材、１８…巻取ロール、１９…ダンサーローラ、２１…ロータリーカッタ、２２…受台、２３…仮付部材、２４…巻付用保持部材、２５…後端保持部材、３０…基板クランプ機構、５０…本貼付部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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