(57)【要約】【課題】機能液滴が塗布された基板を乾燥するときに、機能液滴から発生する生成物を除去するとともに、機能液滴の塗布作業から乾燥作業までを一貫して行うことが可能な機能液滴塗布装置、機能膜製造方法、および表示装置、ならびに電子機器を提供する。【解決手段】機能液滴塗布装置１０は、機能液滴Ｌを吐出する機能液滴吐出ヘッド１１と、前記機能液滴吐出ヘッド１１から吐出された前記機能液滴Ｌが塗布される基板Ｐを載置するステージ５と、前記基板Ｐに塗布された前記機能液滴Ｌを乾燥する乾燥室２５と、前記乾燥室２５で生成された生成物を捕集する捕集部４４と、前記捕集部４４に接続するように配置され、前記乾燥室２５を減圧する減圧部４１と、前記乾燥室２５と、前記捕集部４４と、前記減圧部４１とに接続され、前記生成物を排気する排気部４２と、前記排気部４２を加熱する加熱部４３と、を備えている。【選択図】図１
2007245125.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、
前記機能液滴吐出ヘッドから吐出された前記機能液滴が塗布される基板を載置するステージと、
前記基板に塗布された前記機能液滴を乾燥する乾燥室と、
前記乾燥室で生成された生成物を捕集する捕集部と、
前記捕集部に接続するように配置され、前記乾燥室を減圧する減圧部と、
前記乾燥室と、前記捕集部と、前記減圧部とに接続され、前記生成物を排気する排気部と、
前記排気部を加熱する加熱部と、
を備えていることを特徴とする機能液滴塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の機能液滴塗布装置において、
前記排気部が、前記加熱部を備えていることを特徴とする機能液滴塗布装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の機能液滴塗布装置において、
前記排気部が、前記乾燥室から排気された前記生成物を前記捕集部に導入するための生成物導入バルブを備えていることを特徴とする機能液滴塗布装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の機能液滴塗布装置において、
前記排気部が、不活性ガスを前記捕集部に導入するための不活性ガス導入バルブを備えていることを特徴とする機能液滴塗布装置。
【請求項５】
基板に機能膜を形成する機能膜製造方法であって、
前記基板上に機能液滴吐出ヘッドから前記機能液滴を配置する塗布工程と、
前記機能液滴を減圧しながら乾燥する乾燥工程と、
前記乾燥工程で生成された生成物を捕集する捕集工程と、
前記生成物を加熱分解する分解工程と、
前記生成物を除去する除去工程と、
を備えていることを特徴とする機能膜製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の機能膜製造方法において、
前記捕集工程では、前記生成物を前記捕集部に収集することを特徴とする機能膜製造方法。
【請求項７】
請求項５に記載の機能膜製造方法において、
前記分解工程では、前記生成物を加熱部で加熱することを特徴とする機能膜製造方法。
【請求項８】
請求項５に記載の機能膜製造方法において、
前記除去工程では、前記乾燥室に不活性ガスを導入することを特徴とする機能膜製造方法。
【請求項９】
請求項５〜請求項８のいずれか一項に記載の機能膜製造方法で製造されたことを特徴とする表示装置。
【請求項１０】
表示装置を有する電子機器であって、
請求項９に記載の表示装置を備えていることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴塗布装置、機能膜製造方法、および表示装置、ならびに電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示されているように、半導体ウエハや、液晶ディスプレイ用基板などの被処理基板の上に機能液を塗布して、この機能液を減圧下で乾燥させて、塗布膜（機能膜）を形成する製造方法や、製造装置が知られている。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２９８２３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、特許文献１に示す製造方法や、製造装置では、基板（被乾燥体）を乾燥するときに、機能液滴から発生する生成物（溶媒成分）を捕集して、この生成物を加熱蒸散させることで、減圧部への生成物付着を防止することは実現できているものの、機能液滴の塗布作業から、その乾燥作業までの一連の作業が一貫で処理されてはいない。そして、機能液滴が塗布された基板を機能液滴塗布装置から乾燥機へ搬送することが必要になることで、異物や塵埃などのコンタミが基板に付着してしまうことがあった。基板へのコンタミの付着が多発すると、歩留まり低下の要因となってしまい、例えば表示装置の生産性を向上させる面では、好ましいとはいえない。
【０００５】
本発明の目的は、機能液滴が塗布された基板を乾燥するときに、機能液滴から発生する生成物を除去するとともに、機能液滴の塗布作業から乾燥作業までを一貫して行うことが可能な機能液滴塗布装置、機能膜製造方法、および表示装置、ならびに電子機器を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の機能液滴塗布装置は、機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、前記機能液滴吐出ヘッドから吐出された前記機能液滴が塗布される基板を載置するステージと、前記基板に塗布された前記機能液滴を乾燥する乾燥室と、前記乾燥室で生成された生成物を捕集する捕集部と、前記捕集部に接続するように配置され、前記乾燥室を減圧する減圧部と、前記乾燥室と、前記捕集部と、前記減圧部とに接続され、前記生成物を排気する排気部と、前記排気部を加熱する加熱部と、を備えていることを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、機能液滴が塗布された基板を乾燥する乾燥作業において、機能液滴が乾燥するときに、捕集部が機能液滴から蒸発する生成物を捕集して、加熱部が捕集した生成物を加熱分解することによって、生成物を蒸散させることができるから、生成物を除去することが可能な機能液滴塗布装置を提供できる。そのうえに、機能液滴の塗布作業から乾燥作業までを一貫して処理できるから、基板の搬送時での、異物や塵埃などのコンタミが基板に付着することを抑制することができるので、品質の良好な膜を形成することができる。
【０００８】
本発明の機能液滴塗布装置は、前記排気部が、前記加熱部を備えていることが望ましい。
【０００９】
この発明によれば、加熱部が排気部を加熱することができるから、排気部内や、捕集部に溜まった生成物を加熱分解することが可能な機能液滴塗布装置を提供できる。
【００１０】
本発明の機能液滴塗布装置は、前記排気部が、前記乾燥室から排気された前記生成物を前記捕集部に導入するための生成物導入バルブを備えていることが望ましい。
【００１１】
この発明によれば、生成物を捕集部に導入することが可能な生成物導入バルブを備えているから、生成物導入バルブを開くことにより生成物を効率よく捕集することができ、生成物導入バルブを閉じることにより捕集部に効率よく生成物を溜めることができる。そこで、溜まった生成物を一括して加熱分解処理することができるので、生産効率の向上可能な機能液滴塗布装置を提供できる。
【００１２】
本発明の機能液滴塗布装置は、前記排気部が、不活性ガスを前記捕集部に導入するための不活性ガス導入バルブを備えていることが望ましい。
【００１３】
この発明によれば、乾燥室へ不活性ガスを導入可能な不活性ガス導入バルブを備えているから、乾燥室を不活性ガスでパージすることにより、乾燥室を大気に戻すことなく減圧部や、捕集部の交換を容易にすることができるので、メンテナンス時間の短縮可能な機能液滴塗布装置を提供できる。
【００１４】
本発明の機能膜製造方法は、基板に機能膜を形成する機能膜製造方法であって、前記基板上に機能液滴吐出ヘッドから前記機能液滴を配置する塗布工程と、前記機能液滴を減圧しながら前記機能液滴を乾燥する乾燥工程と、前記乾燥工程で生成された生成物を捕集する捕集工程と、前記生成物を加熱分解する分解工程と、前記生成物を除去する除去工程と、を備えていることを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、機能液滴が塗布された基板を乾燥する乾燥作業において、機能液滴が乾燥するときに、捕集部が機能液滴から蒸発する生成物を捕集して、加熱部が捕集した生成物を加熱分解することによって、生成物を蒸散させることができるから、生成物を除去することができる。そのうえに、機能液滴の塗布作業から乾燥作業までを一貫して処理できるから、基板の搬送時での、異物や塵埃などのコンタミが基板に付着することを抑制することができるので、品質の良好な膜を形成することができる。
【００１６】
本発明の機能膜製造方法は、前記捕集工程では、前記生成物を前記捕集部に収集することが望ましい。
【００１７】
この発明によれば、生成物を捕集部に収集することで、生成物を一括して加熱分解処理できるので効率的である。
【００１８】
本発明の機能膜製造方法は、前記分解工程では、前記生成物を加熱部で加熱することが望ましい。
【００１９】
この発明によれば、加熱部が排気部を加熱するから、排気部内や、捕集部に溜まった生成物を加熱分解することが簡単にできる。
【００２０】
本発明の機能膜製造方法は、前記除去工程では、前記乾燥室に不活性ガスを導入することが望ましい。
【００２１】
この発明によれば、乾燥室に不活性ガスを導入することで、乾燥室を不活性ガスでパージすることにより乾燥室を大気に戻す必要がなくなるから、減圧部や、捕集部の交換が容易にできるので、機能液滴塗布装置のメンテナンスがやりやすい。
【００２２】
本発明の表示装置は、前述に記載の機能膜製造方法で製造されたことを特徴とする。
【００２３】
この発明によれば、前述の機能膜製造方法で製造されているので、生産性に優れ、表示性能の良好な表示装置を提供することができる。
【００２４】
本発明の電子機器は、表示装置を有する電子機器であって、前述に記載の表示装置を備えていることを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、生産性に優れ、表示性能の良好な表示装置を備えているので、より安価で、表示品質の良好な電子機器を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の機能液滴塗布装置について実施形態を挙げ、添付図面に沿って詳細に説明する。
【００２７】
（実施形態）
本実施形態では、基板上に機能液滴を塗布して塗布された機能液滴を乾燥させて固化する機能液滴塗布装置について説明する。本発明の機能液滴塗布装置は、液滴を吐出する液滴吐出部と、液滴を乾燥する乾燥部と、乾燥部内を減圧する減圧部と、で概略構成されている。
【００２８】
図１は、本実施形態の機能液滴塗布装置の概略図である。
【００２９】
図１に示すように、本実施形態の機能液滴塗布装置１０は、筐体１と、ステージユニット２と、描画ユニット３と、乾燥ユニット４と、減圧ユニット４０とで、概略構成されている。
【００３０】
筐体１は、ステージユニット２と、描画ユニット３と、乾燥ユニット４とを載置している。
【００３１】
ステージユニット２は、基板Ｐが載置されているステージ５と、このステージ５を移動して、位置決めすることが可能なステージレール６と、を備えている。ステージ制御部（図示省略）および、ステージ駆動部（図示省略）によって、ステージ５を移動して、所望の位置Ｐ１（以降、塗布位置という）や、位置Ｐ２（以降、乾燥位置という）にステージ５を位置決めすることができる。また、ステージ５の端面５ａは、乾燥ユニット４で基板Ｐを載せるために使用する面である。
【００３２】
描画ユニット３は、基板Ｐに機能液滴Ｌを吐出する機能液滴吐出ヘッド１１と、この機能液滴吐出ヘッド１１を保持し、基板Ｐに対して同図に示すＸ軸方向と、Ｚ軸方向とに相対的に位置を変更することが可能な機能液滴吐出ヘッド駆動部１２ａを備えている。この機能液滴吐出ヘッド駆動部１２ａを保持し、基板Ｐに対して同図に示すＹ軸方向に相対的に位置を変更することが可能な機能液滴吐出ヘッド駆動部１２ｂを備えている。また、機能液滴吐出ヘッド１１に機能液滴Ｌを供給する機能液滴供給パイプ（図示省略）と、機能液滴Ｌを貯留するタンク（図示省略）と、機能液滴吐出ヘッド１１から基板Ｐに対して所望の場所および所望の量の機能液滴Ｌを吐出するための制御を行う機能液滴吐出制御部（図示省略）と、を備えている。
【００３３】
機能液滴吐出ヘッド駆動部１２ａは、図に示すＸ軸方向と、Ｚ軸方向と、に移動可能になっていて、ステージ５に載置されている基板Ｐと、機能液滴吐出ヘッド１１と、の相対位置を決定することができるように構成されている。また、機能液滴吐出ヘッド駆動部１２ｂは、機能液滴吐出ヘッド１１と、基板Ｐと、の間隔（距離）を図に示すＹ軸方向に移動して決定することができるように構成されている。
【００３４】
機能液滴吐出制御部（図示省略）は、機能液滴吐出ヘッド駆動部１２ａと、機能液滴吐出ヘッド駆動部１２ｂと、を制御することができる。これら、Ｘ軸方向と、Ｙ軸方向と、Ｚ軸方向と、の移動と同期して、機能液滴吐出ヘッド１１から、機能液滴Ｌを吐出することができる。そして、機能液滴吐出制御部（図示省略）には、所望の描画パターンに関する吐出データが記憶されていて、この吐出データに基づいて、機能液滴吐出ヘッド１１から、機能液滴Ｌを吐出する制御ができる。
【００３５】
機能液滴吐出ヘッド駆動部１２ａと、機能液滴吐出ヘッド駆動部１２ｂとが駆動して、所望の位置に機能液滴Ｌを吐出するための機能液滴吐出ヘッド１１が描画ユニット３に備えられている。この機能液滴吐出ヘッド１１に有するノズル１１ａの大きさは、機能液滴Ｌの粘性や、表面張力などの条件によって変わる。
【００３６】
乾燥ユニット４は、凹部２０ａを有する乾燥チャンバ２０と、この乾燥チャンバ２０に連通している減圧パイプ２１と、で概略構成されている。乾燥チャンバ２０および減圧パイプ２１を保持する乾燥チャンバ保持部２２と、乾燥チャンバ保持部２２を同図に示すＹ軸方向に移動または位置決めする乾燥チャンバ駆動部２３と、乾燥チャンバ駆動部２３を制御する乾燥チャンバ制御部（図示省略）と、を備えている。また、乾燥チャンバ２０の端面２０ｂには、パッキン２０ｃが備えられており、パッキン２０ｃは、弾性部材である。
【００３７】
減圧ユニット４０は、乾燥室２５を減圧することができる減圧部としての減圧ポンプ４１と、減圧ポンプ４１で減圧されるときに発生する生成物を排気することができる排気部としての排気管４２と、この排気管４２の周囲に巻かれ、この排気管４２を加熱することができる加熱部としてのヒータ４３と、生成物を捕集することができる捕集部４４とから概略構成されている。なお、捕集部４４は、乾燥室２５と、減圧ポンプ４１と、の間に設置されている。基板Ｐ（機能液滴Ｌ）を減圧ポンプ４１を用いて減圧しながら乾燥することで、乾燥室２５から生成物が排出されるように構成されている。
【００３８】
減圧部としての減圧ポンプ４１は、減圧ポンプ４１を作動することで、乾燥室２５内を大気圧から減圧することができるように構成されている。乾燥室２５内を減圧することで、基板Ｐ上に塗布された機能液滴Ｌを乾燥させて機能膜を形成することができる。このとき、機能液滴Ｌから生成物を発生する。なお、減圧ポンプ４１には吸気用フィルター（図示省略）が付属しており、その材質はＳＵＳ（ステンレス）である。
【００３９】
排気部としての排気管４２は、生成物を捕集部４４へ導入することができるように配置されており、乾燥室２５と、捕集部４４と、の間に接続されている。また、排気管４２は、捕集部４４と、減圧ポンプ４１との間にも接続されており、排気ガスが、減圧ポンプ４１から大気中に排出されるように構成されている。
【００４０】
加熱部としてのヒータ４３は、排気部としての排気管４２の外周に巻かれており、排気部としての排気管４２を加熱することができる。排気管４２を加熱することで、排気管４２の中に溜まった生成物を加熱分解することができるように構成されている。なお、ヒータ４３の加熱温度は、生成物の沸点以上の温度まで設定でき、約３００℃まで設定できる。
【００４１】
排気部としての排気管４２には、生成物導入バルブ４５と、不活性ガス導入バルブ４６とが、接続されている。生成物導入バルブ４５は、この生成物導入バルブ４５を開くことで、乾燥室２５内で発生した生成物を捕集部４４に導入することができ、逆に、生成物導入バルブ４５を閉じることで、導入した生成物を捕集部４４に溜めることができるように構成されている。不活性ガス導入バルブ４６は、この不活性ガス導入バルブ４６を開くことで、乾燥室２５内に不活性ガスを導入することができ、逆に、不活性ガス導入バルブ４６を閉じることで、乾燥室２５内に不活性ガスを閉じ込めることができるように構成されている。このようにすれば、乾燥室２５を大気圧に戻す必要がなくなる。そこで、乾燥室２５を大気圧に戻す必要がない状態で、減圧ポンプ４１や、捕集部４４などの交換作業を簡単に行うことができるから、機能液滴塗布装置１０を停止することなくメンテナンス作業ができるので、効率的である。なお、導入する不活性ガスとしては、窒素ガスを利用することが好ましい。
【００４２】
次に、本実施形態における基板について説明する。
【００４３】
基板Ｐの大きさは、厚さが０．５ｍｍ〜１．０ｍｍで、横の長さが約２ｍ、縦の長さが約１ｍであって、その用途は、主に大型の液晶テレビなどに利用される表示装置である。なお、ここでは、ガラス基板を用いている。しかし、その他の基板Ｐの材質として具体的には、石英、半導体基板、ポリイミドフィルム、布、エポキシ樹脂、偏光板、カラーフィルタ基板、蛍光発光基板、ＥＬ基板、有機ＥＬ基板、液晶パネル基板なども採用できる。
【００４４】
次に、本実施形態における機能液滴について説明する。
【００４５】
機能液滴Ｌは、溶媒に拡散している無機物質または有機物質などからなる微粒子で構成されている。具体的には、微粒子として、溶媒に拡散している銀をはじめとする数ナノメートルの大きさの金属微粒子を有する機能液滴Ｌを乾燥することによって、電気的な導電性を有する導電性物質を得ることができる。同様に、溶媒に拡散している数ナノメートルの大きさの絶縁性微粒子を有する機能液滴Ｌを乾燥することによって、電気的な絶縁性を有する絶縁性物質も得ることができる。また、溶媒に拡散している数ナノメートルの大きさの光学的な特性を備えた微粒子を有する機能液滴Ｌを乾燥することによって、光学的な特性を有する光学物質も得ることができる。その他の利用分野としては、液晶パネルなどの配向膜物質、カラーフィルタ物質、反射防止膜物質、塗装物質、絵画を描く物質、表示装置としての蛍光物質、食品の製造表示に関わる表示物質などが挙げられる。ここで、機能液滴Ｌの中に含まれている溶媒は、γブチロラクトンである。そして、このγブチロラクトンの飽和蒸気圧は、１.２Ｔｏｒｒである。ただし、ここでは溶媒としてγブチロラクトンを選択したが、これにこだわることはなく、無機物質または有機物質などの物質の成分に合わせた溶媒を適宜設定することが好ましい。
【００４６】
次に、本実施形態における機能液滴塗布装置の動作手順について説明する。
【００４７】
図２は、機能液滴塗布装置の動作手順を説明するためのフローチャートである。図１および図２を参照しながら機能液滴塗布装置の動作手順を説明する。
【００４８】
図２に示すステップＳ１では、ステージ５の上に基板Ｐを載置する（図１参照）。
【００４９】
次に、図２に示すステップＳ２では、ステージ５を描画ユニット３の所定の位置（塗布位置Ｐ１）に移動する（図１参照）。
【００５０】
次に、図２に示すステップＳ３では、塗布位置Ｐ１において、図１に示す液滴吐出ヘッド１１から機能液滴Ｌを吐出して、パターンを形成する。なお、液滴吐出ヘッド１１は、インクジェット法を利用したものである。その他の具体的な方法としては、ディスペンサを利用したディスペンサ方式や、液滴を滴下する方法を利用したものなどがある。
【００５１】
次に、図２に示すステップＳ４では、機能液滴Ｌの乾燥をするかどうかを判断する。機能液滴Ｌの乾燥が必要だと判断された場合は、液滴吐出ヘッド１１からの機能液滴Ｌの吐出を中止して次のステップＳ５に進む。また、機能液滴Ｌの乾燥をする必要がないと判断された場合は、ステップＳ３に戻り、基板Ｐへの液滴吐出ヘッド１１からの機能液滴Ｌの吐出を継続する（図１参照）。
【００５２】
次に、図２に示すステップＳ５では、基板Ｐがステージ５に載置された状態のままで、ステージ制御部（図示省略）および、ステージ駆動部（図示省略）によって、ステージ５を乾燥ユニット４の所定の位置（乾燥位置Ｐ２）に移動する（図１参照）。
【００５３】
次に、図２に示すステップＳ６では、乾燥位置Ｐ２において、乾燥チャンバ制御部（図示省略）および、乾燥チャンバ駆動部２３によって、基板Ｐを乾燥チャンバ２０で覆う（図１参照）。
【００５４】
次に、図２に示すステップＳ７では、制御部（図示省略）によって、減圧ポンプ４１を作動（通電ＯＮ）して、乾燥ユニット４が有する乾燥室２５内を常温下で減圧することにより、基板Ｐの上に配置した機能液滴Ｌを乾燥する（図１参照）。
【００５５】
次に、図２に示すステップＳ８では、制御部（図示省略）によって、生成物導入バルブ４５を開にして、乾燥室２５内に溜まった生成物を捕集部４４に導入する（図１参照）。
【００５６】
次に、図２に示すステップＳ９では、制御部（図示省略）によって、生成物導入バルブ４５を閉にして、乾燥室２５内からの生成物の排出を停止する（図１参照）。
【００５７】
次に、図２に示すステップＳ１０では、制御部（図示省略）によって、減圧ポンプ４１を停止（通電ＯＦＦ）して、捕集部４４に生成物を溜める（図１参照）。
【００５８】
次に、図２に示すステップＳ１１では、制御部（図示省略）によって、加熱部としてのヒータ４３を作動（通電ＯＮ）して、排気部としての配管４２や、捕集部４４に溜まっている生成物を加熱分解する。
【００５９】
次に、図２に示すステップＳ１２では、制御部（図示省略）よって、不活性ガス導入バルブ４６を開にし、不活性ガスを導入して捕集部４４内の生成物を除去する。
【００６０】
次に、図２に示すステップＳ１３では、制御部（図示省略）によって、不活性ガス導入バルブ４６を閉にする。
【００６１】
次に、図２に示すステップＳ１４では、制御部（図示省略）によって、加熱部としてのヒータ４３を停止（通電ＯＦＦ）する。
【００６２】
次に、図２に示すステップＳ１５では、基板Ｐ上にパターンが完成したかどうかを判断する。基板Ｐ上にパターンが完成していない場合は、ステップＳ１６に進む。
【００６３】
次に、図２に示すステップＳ１６では、基板Ｐ上にパターンが、まだ完成していない状態なので、ステージ５を描画ユニット３の所定の位置（塗布位置Ｐ１）に移動して、ステップＳ３に戻る。ステップＳ３において、再度、機能液滴吐出ヘッド１１から機能液滴Ｌを吐出して、基板Ｐ上にパターンを形成する。そして、基板Ｐ上にパターンが完成した場合には、ステージ５から基板Ｐを取り外して作業が終了する。なお、ステップＳ７〜ステップＳ１４までの工程のうち、ステップＳ８、Ｓ９、Ｓ１１〜Ｓ１４の各工程は、乾燥作業の都度、実施する必要はなく、排気部としての配管４２や、捕集部４４内の汚染度の状況に合わせてその都度実施することが好ましい。
【００６４】
次に、本実施形態の機能液滴塗布装置を用いて形成された表示装置としての液晶表示装置について説明する。
【００６５】
図３は、表示装置としての液晶表示装置の構成を示す概略断面図である。
【００６６】
図３に示すように、液晶表示装置５０は、ガラスや、プラスチックなどからなる矩形平板形状の基板５２と、基板５４とがシール材およびスペーサ（図示省略）を介して対向配置されている。この基板５２と、基板５４との間にＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶等からなる液晶５６が挟持されている。
【００６７】
基板５２と液晶５６との間には、基板５２側から順に、複数のセグメント電極５８および機能膜としての配向膜６０が形成されている。セグメント電極５８は、図３に示すように、ストライプ状に形成されており、インジウム錫酸化物（Ｉｎｄｉｕｍｕ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ、以下ＩＴＯと略記する）等の透明導電膜により形成されている。また、配向膜６０は、ポリイミド樹脂等により形成されている。
【００６８】
基板５４と液晶５６との間には、基板５４側から順に、カラーフィルタ６２、オーバーコート膜６６、コモン電極６８および機能膜としての配向膜７０が形成されている。カラーフィルタ６２は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂから構成されている。カラーフィルタ６２を構成する各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂの間（境界）には、樹脂ブラックや、光の反射率が低いクロム（Ｃｒ）等の金属により構成されるブラックマトリックス６４が形成されている。なお、カラーフィルタ６２を構成する各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂは、基板５２に形成されているセグメント電極５８に対向して配置されている。
【００６９】
また、オーバーコート膜６６は、各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂ間の段差を平坦化するとともに各色素層６２ｒ、６２ｇ、６２ｂの表面を保護するものである。アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコン酸化膜などの無機膜により形成されている。また、コモン電極６８は、ＩＴＯ等の透明導電膜から形成されており、基板５２に形成されているセグメント電極５８と直交する位置にストライプ状に形成されている。また、配向膜７０は、ポリイミド樹脂等により形成されている。
【００７０】
次に、セグメント電極５８が形成された基板５２またはカラーフィルタ６２、ブラックマトリックス６４、オーバーコート膜６６およびコモン電極６８が形成された基板５４に対する配向膜６０、７０の形成方法について説明する。
【００７１】
図４は、表示装置としての液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。
【００７２】
図４に示すように、液晶表示装置５０における機能膜としての配向膜６０（および、７０）の製造方法は、基板洗浄工程、配向膜材料塗布工程、減圧乾燥工程、焼成工程とから概略構成される。
【００７３】
図４のステップＳ３１では、例えば図３に示すように、セグメント電極５８が形成された基板５２をアルカリ系洗剤や、純水などを用いて洗浄する。洗浄された基板５２は、所定の温度および時間、例えば、８０〜９０℃で５〜１０分間乾燥させる処理が行われる。
【００７４】
次に、図４のステップＳ３２では、配向膜材料を基板５２（図３参照）に塗布する。なお、配向膜材料の組成は、溶媒（γブチルラクトン）が９８％で、固形分（ポリイミド）が２％である。配向膜材料を塗布するには液滴吐出装置を用いて行い、所定の描画領域に所定の量の配向膜材料を配置させることができる。
【００７５】
ここで、液滴吐出法の吐出技術は様々あるが、オンデマンドで微細な配線パターンが形成可能であるので、インクジェット法を用いることが好ましい。インクジェット法としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。ここで、帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加してノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００７６】
また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。なお、液滴吐出法により吐出される液体材料の一滴の量は例えば１〜３００ナノグラムである。
【００７７】
以上説明した液滴吐出装置は、本発明に係る配置方法や製造方法において用いることができるものであるが、本発明はこれに限られることはなく、液滴を吐出し、所定の着弾予定位置に着弾させることができるものであれば、如何なる方法および装置を用いることも可能である。例えば、スピンコート法や、スリットコート法、ディスペンス法、印刷法などの方法で配向膜材料を塗布してもよい。
【００７８】
次に、図４のステップＳ３３では、基板５２（図３参照）に塗布された配向膜材料を、例えば、図１に示す機能液滴塗布装置１０を用いて、常温下における減圧乾燥処理を行う。ここで、減圧するときの減圧乾燥条件は、真空度が約０．５Ｔｏｒｒで、その処理時間が、約３０秒である。ここで設定した真空度や、処理時間などの減圧乾燥条件は、配向膜材料を減圧乾燥させて配向膜材料に含まれる溶媒を蒸発させるのに適当な時間でよい。なお、減圧乾燥条件はこれにこだわることはなく、配向膜材料の種類や、その塗布量などによって適宜変更してもよい。
【００７９】
最後に、図４のステップＳ３４では、配向膜材料を焼成する。例えば、温度が１８０〜２５０℃の温度範囲で処理を行い、配向膜材料を完全に固化若しくは硬化させて機能膜としての配向膜６０（図３参照）を形成する。この焼成処理の温度は、配向膜材料の組成等によって適宜に決定できる。また、特に高温に加熱することなく、単に通常とは異なる雰囲気（窒素ガス中や乾燥空気中等）などで乾燥若しくはエージングさせるだけでもよい。そして、組立装置（図示省略）において、図３に示すように、セグメント電極５８、配向膜６０が形成された基板５２は、カラーフィルタ６２、ブラックマトリックス６４、オーバーコート膜６６およびコモン電極６８および配向膜７０が形成された基板５４と貼り合わせられる。そして、基板５２と基板５４との間に液晶５６が注入されることにより、図３に示す表示装置としての液晶表示装置５０ができる。
【００８０】
以上のような実施形態では、以下の効果が得られる。
【００８１】
（１）機能液滴Ｌが塗布された基板Ｐを乾燥する乾燥作業において、機能液滴Ｌを乾燥するときに、機能液滴Ｌから蒸発する生成物を捕集部４４が捕集して、捕集した生成物を加熱部としてのヒータ４３が加熱分解することによって、生成物を蒸散させることができるから、生成物を除去することが可能な機能液滴塗布装置１０を提供できる。そのうえに、機能液滴Ｌの塗布作業から乾燥作業までを一貫して処理できるから、基板Ｐの搬送時での、異物や塵埃などのコンタミが基板Ｐに付着することを抑制することができるので、品質の良好な膜を形成することができる。
（２）加熱部としてのヒータ４３が排気部としての配管４２を加熱することができるから、排気部としての配管４２の中に溜まった生成物を加熱分解することが可能な機能液滴塗布装置１０を提供できる。
（３）生成物を捕集部４４に導入することが可能な生成物導入バルブ４５を備えているから、生成物導入バルブ４５を開くことにより生成物を効率よく捕集することができ、生成物導入バルブ４５を閉じることにより捕集部４４に効率よく生成物を溜めることができる。そこで、溜まった生成物を一括して加熱分解処理することができるので、生産効率の向上可能な機能液滴塗布装置１０を提供できる。
（４）乾燥室２５内へ不活性ガスを導入可能な不活性ガス導入バルブ４６を備えているから、乾燥室２５内を不活性ガスでパージすることにより、乾燥室２５内を大気に戻すことなく捕集部４４や、減圧部としての減圧ポンプ４１の交換をすることができるので、メンテナンス時間の短縮可能な機能液滴塗布装置１０を提供できる。
【００８２】
図５は、本実施形態の電子機器を示す図である。
【００８３】
図５に示すように、本実施形態の電子機器としての大型液晶テレビ２００は、本実施形態で説明した表示装置としての液晶表示装置５０を表示手段として搭載している。大型液晶テレビ２００は、表示部２０１を備えている。このように本発明に係る電子機器としての大型液晶テレビ２００は、表示性能が良好で、生産性に優れた表示装置としての液晶表示装置５０を備えることができるので、生産性に優れ、より安価な電子機器としての大型液晶テレビ２００を提供できる。
【００８４】
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造および形状に設定できる。
【００８５】
（変形例１）前述の実施形態で、表示装置としての液晶表示装置５０が搭載される電子機器は、大型液晶テレビ２００に限定されない。例えば、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯端末機器、パーソナルコンピュータ、ワードプロセッサ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、モニタ直視型のデジタルビデオレコーダ、カーナビゲーション装置、電子手帳、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等々の画像表示手段として好適に用いることができる。このようにすれば、表示装置としての液晶表示装置５０の用途は広がり、いろいろな電子機器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】実施形態における機能液滴塗布装置を説明するための概略図。
【図２】機能液滴塗布装置の動作手順を説明するためのフローチャート。
【図３】表示装置としての液晶表示装置の構成を示す概略断面図。
【図４】表示装置としての液晶表示装置の製造方法を示すフローチャート。
【図５】電子機器としての大型液晶テレビを示す概略斜視図。
【符号の説明】
【００８７】
３…描画ユニット、４…乾燥ユニット、５…ステージ、１０…機能液滴塗布装置、１１…機能液滴吐出ヘッド、２０…乾燥チャンバ、２５…乾燥室、４１…減圧部としての減圧ポンプ、４２…排気部としての配管、４３…加熱部としてのヒータ、４４…捕集部、４５…生成物導入バルブ、４６…不活性ガス導入バルブ、５０…表示装置としての液晶表示装置、６０…機能膜としての配向膜、７０…機能膜としての配向膜、２００…電子機器としての大型液晶テレビ、Ｌ…機能液滴、Ｐ…基板。
【図１】
2007245125.tif 000003
【図２】
2007245125.tif 000004
【図３】
2007245125.tif 000005
【図４】
2007245125.tif 000006
【図５】
2007245125.tif 000007