(57)【要約】【課題】  液滴吐出特性の低下を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】  液滴を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、この流路形成基板１０の一方面側の圧力発生室１２に対応する領域に振動板（弾性膜５０）を介して設けられて圧力発生室１２内に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、流路形成基板１０の他方面に接着剤によって接着される接合基板（図３ではノズルプレート２０）とを具備する液体噴射ヘッドに関し、圧力発生室１２の接合基板側の隅部１２ａの縁形状を曲率半径１９μｍ以上、又は鈍角の少なくとも何れか一方で形成する。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面側の前記圧力発生室に対応する領域に振動板を介して設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記流路形成基板の他方面に接着剤によって接着される接合基板とを具備し、前記圧力発生室の前記接合基板側の隅部の縁形状は、曲率半径１９μｍ以上、又は鈍角の少なくとも何れか一方で形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、前記圧力発生室の隅部の縁形状は、前記圧力発生室の幅寸法の半分の曲率半径で形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記圧力発生室は、前記流路形成基板をドライエッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記接合基板は、前記ノズル開口が設けられたノズルプレートであることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を介して圧電素子を設けて、圧電素子の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。そして、たわみ振動モードのアクチュエータを使用したものとしては、例えば、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものが知られている。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドは、例えば、圧力発生室が形成された流路形成基板と、インク滴を吐出するための複数のノズル開口が設けられたノズルプレートとを接着剤によって接着した構造を有する。
【０００４】
このため、流路形成基板とノズルプレートとを接着剤によって接着した際に、両者の接合領域から接着剤が圧力発生室内に流れ出し、インク吐出に悪影響を及ぼすという問題がある。例えば、流路形成基板として結晶面方位（１１０）のシリコン単結晶基板を用いて、圧力発生室を異方性エッチング加工により形成すると、圧力発生室の長手方向両端部は、圧力発生室内に向かって傾斜した傾斜面で形成される。また、傾斜面のノズルプレート側の端部は、鋭く尖った鋭角の角部が形成される。このため、接着剤が、このような角部から傾斜面の外縁を通って圧力発生室の振動板に達するまで流れ出す現象が生じ、接着剤が振動板に付着することで振動板の変形が阻害されて、インク吐出特性が低下してしまうという問題がある。
【０００５】
そこで、例えば、流路形成基板のノズルプレートとの接合面に一部が圧力発生室に連通する溝を形成し、この溝内に接着剤を流出させて、接着剤が圧力発生室内に流出しないようにした液体噴射ヘッドが提案されている（特許文献１参照）。しかしながら、溝が圧力発生室に連通しているため、溝内には気泡が溜まり易く、ノズル開口から気泡を除去することができないという問題がある。また、溝が形成された部分は、圧力発生室内に供給されるインクの流路でもあるため、インクの流れを阻害し、インク吐出特性が低下してしまうという問題がある。なお、このような問題は、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外の液滴を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１２７３６０号公報（第４頁、第１〜２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上述した事情に鑑み、液滴吐出特性の低下を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液滴を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面側の前記圧力発生室に対応する領域に振動板を介して設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記流路形成基板の他方面に接着剤によって接着される接合基板とを具備し、前記圧力発生室の前記接合基板側の隅部の縁形状は、曲率半径１９μｍ以上、又は鈍角の少なくとも何れか一方で形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、圧力発生室の隅部の縁形状を所定以上の曲率半径又は鈍角の少なくとも何れか一方で形成しているため、流路形成基板と接合基板との接着領域から圧力発生室内への接着剤の流れ出しが圧力発生室の隅部によって有効に抑制され、振動板に接着剤が付着することが有効に抑制される。したがって、ヘッドの液滴吐出特性の低下が抑制され、ヘッドの信頼性が向上する。
【０００９】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記圧力発生室の隅部の縁形状は、前記圧力発生室の幅寸法の半分の曲率半径で形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、圧力発生室の端部全体が、所定の曲率で湾曲した形状となるので、流路形成基板と接合基板との接着領域から圧力発生室内への接着剤の流れ出しがより効果的に抑制される。
【００１０】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記圧力発生室は、前記流路形成基板をドライエッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、圧力発生室の少なくとも隅部を所望の形状に高精度に加工することができる。
【００１１】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記接合基板は、前記ノズル開口が設けられたノズルプレートであることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第４の態様では、圧力発生室の振動板に対向する領域にノズル開口が設置された液体噴射ヘッドが実現される。
【００１２】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第５の態様では、液滴吐出特性の低下を抑制した液体噴射装置が実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及びＡ−Ａ′断面図である。流路形成基板１０は、本実施形態では結晶面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、図示するように、この流路形成基板１０には、隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には連通部１３が形成され、連通部１３と各圧力発生室１２とが、圧力発生室１２毎に設けられたインク供給路１４を介して連通されている。連通部１３は、後述する保護基板３０のリザーバ部３２と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００の一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、これら圧力発生室１２等は、詳細は後述するが、ドライエッチングにより形成される。
【００１４】
このような圧力発生室１２等が形成される流路形成基板１０の厚さは、圧力発生室１２を配設する密度に合わせて最適な厚さを選択することが好ましい。例えば、１インチ当たり１８０個（１８０ｄｐｉ）程度に圧力発生室１２を配置する場合には、流路形成基板１０の厚さは、１８０〜２８０μｍ程度、より望ましくは、２２０μｍ程度とするのが好適である。また、例えば、３６０ｄｐｉ程度と比較的高密度に圧力発生室１２を配置する場合には、流路形成基板１０の厚さは、１００μｍ以下とするのが好ましい。これは、隣接する圧力発生室１２間の隔壁１１の剛性を保ちつつ、配列密度を高くできるからである。
本実施形態では、圧力発生室１２の配列密度を３６０ｄｐｉ程度としているため、流路形成基板１０の厚さを約７０μｍとしている。
【００１５】
また、流路形成基板１０の一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。このような流路形成基板１０の表面の弾性膜５０上には、厚さが例えば、約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。また、この絶縁体膜５５上には、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とからなる圧電素子３００が形成されている。また、このような各圧電素子３００の上電極膜８０には、リード電極９０がそれぞれ接続され、このリード電極９０を介して各圧電素子３００に選択的に電圧が印加されるようになっている。
【００１６】
一方、流路形成基板１０の弾性膜５０側とは反対の開口面側には、流路形成基板１０に接合される接合部材として、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤３５によって接着されている。
【００１７】
ここで、図３を参照し、流路形成基板１０に形成される圧力発生室１２について具体的に説明する。図３は、圧力発生室の要部拡大図であって、図３（ａ）は上面図であり、図３（ｂ）はＢ−Ｂ′断面図である。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、圧力発生室１２は、細長い形状を有している。また、流路形成基板１０の振動板（弾性膜５０）側とは反対側の面上には、接着剤３５によってノズルプレート２０が接着され、これにより圧力発生室１２は、ノズルプレート２０で塞がれている。そして、本実施形態では、この圧力発生室１２の長手方向一端側（図中左側）の端部である隅部１２ａ、より詳細には、ノズルプレート２０側の隅部１２ａの縁形状が、圧力発生室１２の幅寸法の半分の曲率半径で形成されている。
【００１８】
また、本実施形態では、このような圧力発生室１２の長手方向一端部側の壁面は、圧力発生室１２のノズルプレート２０側の隅部１２ａの縁形状に沿って弾性膜５０に達するまで延設され、弾性膜５０に対しては略垂直方向に立設されている。すなわち、圧力発生室１２の長手方向一端部側の壁面は、圧力発生室１２の幅寸法の半分の曲率半径で湾曲した形状となっている。
【００１９】
このように、本実施形態では、圧力発生室１２の隅部１２ａを所定の曲率半径で湾曲した形状としているので、このような圧力発生室１２のノズルプレート２０側の縁部で接着剤３５の移動が制限（規制）され、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接着領域から圧力発生室１２内への接着剤３５の流れ出しを有効に抑制することができる。このため、振動板（弾性膜５０）に接着剤３５が付着することを有効に抑制することができ、接着剤３５によって振動板の変形（変位）が阻害され難くなる。特に、本実施形態では、圧力発生室１２の隅部１２ａを弾性膜５０に達するまで所定の曲率半径で湾曲した形状としているので、接着剤３５が弾性膜に付着することをより効果的に抑制することができる。これにより、ヘッドのインク吐出特性の低下を抑制することができ、ヘッドの信頼性を向上することができる。
【００２０】
なお、本実施形態では、圧力発生室１２の長手方向一端部側の壁面を弾性膜５０に対して略垂直方向に立設したが、勿論これに限定されず、例えば、圧力発生室のノズルプレート側の隅部から弾性膜に向かって所定の角度で傾斜する壁面（傾斜面）を設けた場合でも、圧力発生室内への接着剤の流れ出しは、圧力発生室のノズルプレート側の隅部だけで十分に食い止めることができるため、弾性膜に接着剤が付着することを有効に抑制することができる。
【００２１】
また、本実施形態では、流路形成基板１０に接着される接合部材としてノズルプレート２０を例示し、圧力発生室１２の隅部１２ａの縁形状を圧力発生室の幅寸法の半分の曲率半径で形成したが、勿論本発明はこれに限定されるものではない。本発明は、流路形成基板に接着剤によって接合基板を接合する場合に、圧力発生室の接合基板側の隅部の縁形状が、圧力発生室の幅寸法の半分以上（例えば、圧力発生室の幅寸法が３８μｍである場合には曲率半径１９μｍ以上）、又は鈍角の少なくとも何れか一方で形成されているのが好ましい。
【００２２】
ここで、図４には、圧力発生室の変形例を例示する。例えば、図４（ａ）に示すように、圧力発生室１２Ａの隅部１２ａの縁形状を、１つの頂点が鈍角となった形状としてもよい。また、図４（ｂ）に示すように、圧力発生室１２Ｂの隅部１２ａの縁形状を、２つの頂点が鈍角となった形状としてもよい。さらに、図４（ｃ）に示すように、圧力発生室１２Ｃの隅部１２ａの縁形状を、１つの頂点が鈍角で且つその頂点が湾曲した所定の曲率半径を有する形状としてもよい。さらには、図４（ｄ）に示すように、圧力発生室１２Ｄの隅部１２ａの縁形状を、１つの頂点が鋭角で且つその頂点が湾曲した所定の曲率半径を有する形状としてもよい。なお、これら図４（ｃ）及び図４（ｄ）の形状では、頂点の曲率半径については、例えば、圧力発生室の幅寸法の半分より小さくしてもよいし、勿論、半分以上でもよく、何れにしても、各圧力発生室１２Ｃ及び１２Ｄ内に接着剤が流れ出さない程度の曲率で形成されていればよい。
【００２３】
このような圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０の圧電素子３００側の面には、圧電素子３００に対向する領域に圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。なお、圧電素子保持部３１は、空間が密封されていてもよいし密封されていなくてもよい。保護基板３０には、流路形成基板１０の連通部１３と連通してリザーバ１００を構成するリザーバ部３２が形成されている。
【００２４】
さらに、この保護基板３０上には、圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ２００が実装されている。そして、各圧電素子３００から圧電素子保持部３１の外側まで引き出された各リード電極９０の先端部と、駆動ＩＣ２００とが駆動配線２１０を介して電気的に接続されている。
【００２５】
また、保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されてリザーバ部３２が封止されている。なお、固定板４２のリザーバ部３２に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっており、リザーバ部３２は、実際には可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２６】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ２００からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、圧電素子３００及び振動板をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインクが吐出する。
【００２７】
以下、このようなインクジェット式記録ヘッドの製造方法について、図５〜図７を参照して説明する。なお、図５〜図７は、インクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す圧力発生室の長手方向の断面図である。
【００２８】
まず、図５（ａ）に示すように、シリコンウェハである流路形成基板用ウェハ１１０を約１１００℃の拡散炉で熱酸化し、その表面に弾性膜５０を構成する酸化シリコン膜５１を形成する。なお、本実施形態では、流路形成基板用ウェハ１１０として、厚さが約６２５μｍと比較的厚く剛性の高いシリコンウェハを用いている。
【００２９】
次に、図５（ｂ）に示すように、弾性膜５０（酸化シリコン膜５１）上に、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成する。具体的には、弾性膜５０（酸化シリコン膜５１）上に、例えば、スパッタ法等によりジルコニウム（Ｚｒ）層を形成後、このジルコニウム層を、例えば、５００〜１２００℃の拡散炉で熱酸化することにより酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜５５を形成する。
【００３０】
次いで、図５（ｃ）に示すように、例えば、白金とイリジウムとを絶縁体膜５５上に積層することにより下電極膜６０を形成した後、この下電極膜６０を所定形状にパターニングする。次に、図５（ｄ）に示すように、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層７０と、例えば、イリジウムからなる上電極膜８０とを流路形成基板用ウェハ１１０の全面に形成し、これら圧電体層７０及び上電極膜８０を、各圧力発生室１２に対向する領域にパターニングして圧電素子３００を形成する。次いで、図６（ａ）に示すように、リード電極９０を形成する。具体的には、例えば、金（Ａｕ）等からなる配線層９５を全面に形成し、この配線層９５をパターニングすることにより各圧電素子３００から引き出されるリード電極９０を形成する。
【００３１】
次に、図６（ｂ）に示すように、保護基板用ウェハ１３０を、流路形成基板用ウェハ１１０上に接着剤３５によって接着する。このように保護基板用ウェハ１３０を流路形成基板用ウェハ１１０に接合した後は、図６（ｃ）に示すように、流路形成基板用ウェハ１１０をある程度の厚さとなるまで研磨し、さらにフッ硝酸によってウェットエッチングすることにより所定の厚さに形成する。
【００３２】
そして、図７に示すように、図示しないマスク膜を介して、流路形成基板用ウェハ１１０を弾性膜５０が露出するまでドライエッチングすることにより、圧力発生室１２、連通部１３及びインク供給路１４等を所定形状に形成する。本実施形態では、圧力発生室１２に関しては、圧力発生室１２の長手方向一端部、すなわち、インク供給路１４側とは反対側の隅部１２ａの縁形状を、圧力発生室１２の幅寸法の半分の曲率半径で形成するようにした。このようにして圧力発生室１２等を形成した後は、弾性膜５０及び絶縁体膜５５を貫通させて連通部１３とリザーバ部３２とを連通させてリザーバ１００を形成する。
【００３３】
なお、図示しないが、その後、保護基板用ウェハ１３０に図示しない配線パターンを介して駆動ＩＣ２００を実装すると共に、駆動ＩＣ２００とリード電極９０とを駆動配線２１０によって接続する。さらに、流路形成基板用ウェハ１１０及び保護基板用ウェハ１３０の外周縁部の不要部分を、例えば、ダイシング等により切断することによって除去する。
【００３４】
そして、流路形成基板用ウェハ１１０の保護基板用ウェハ１３０とは反対側の面に接着剤３５を塗って、その上から、ノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０を接合する（図７参照）。ここで、本実施形態では、上述したように、圧力発生室の隅部１２ａの縁形状を所定の曲率半径で形成されているので、流路形成基板１０に対してノズルプレート２０を接着剤３５により接着する際には、このような圧力発生室の隅部１２ａ（縁部）で接着剤３５の移動が制限され、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接着領域から圧力発生室１２内に接着剤３５が流れ出すことを有効に抑制することができる。これにより、振動板（弾性膜５０）に接着剤３５が付着することを有効に抑制することができ、ヘッドのインク吐出特性の低下を抑制することができ、ヘッドの信頼性を向上することができる。
【００３５】
なお、実際には、保護基板用ウェハ１３０にコンプライアンス基板４０を接合すると共に、流路形成基板用ウェハ１１０等を図１に示すような一つのチップサイズの流路形成基板１０等に分割することによって上述した構造のインクジェット式記録ヘッドが製造される。
【００３６】
（他の実施形態）
以上、本発明を実施形態１に基づいて詳細に説明したが、本発明は上述した実施形態１に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、流路形成基板１０に対してノズル開口２１を有するノズルプレート２０を接着したが、勿論これに限定されず、例えば、図示しないが、流路形成基板に圧力発生室に連通するノズル開口を設けると共に、この流路形成基板に圧力発生室を塞ぐように接合基板を接着剤によって接着するようにしてもよい。
【００３７】
また、このような本発明の液体噴射ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、液体噴射装置に搭載される。図８は、その液体噴射装置の一例を示す概略図である。
【００３８】
図８に示すように、液体噴射ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００３９】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上に搬送されるようになっている。
【００４０】
ここで、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例として液体噴射ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【００４１】
勿論、このような液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置も特に限定されるものではない。また、本発明は、このような液体噴射ヘッドに圧力発生手段として搭載されるアクチュエータ装置だけでなく、あらゆる装置に搭載されるアクチュエータ装置に適用することもできる。例えば、アクチュエータ装置は、上述したヘッドの他に、センサー等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】実施形態１のインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図。
【図２】実施形態１のインクジェット式記録ヘッドの平面図及びＡ−Ａ′断面図。
【図３】実施形態１の圧力発生室の要部拡大図。
【図４】実施形態１の圧力発生室の変形例を示す概略図。
【図５】実施形態１のインクジェット式記録ヘッドの製造工程を示す断面図。
【図６】実施形態１のインクジェット式記録ヘッドの製造工程を示す断面図。
【図７】実施形態１のインクジェット式記録ヘッドの製造工程を示す断面図。
【図８】他の実施形態に係る液体噴射装置の概略図。
【符号の説明】
【００４３】
１０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  １４  インク供給路、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ３１  リザーバ部、  ３２  圧電素子保持部、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  １００  リザーバ、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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