(57)【要約】【課題】積層体とプレス用型との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体の寸法ばらつきを抑制できるセラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置を提供する。【解決手段】このセラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置１０では、長尺状をなす上フィルム２４ａ及び下フィルム２４ｂを介して積層体３０をプレスする。これにより、各フィルム２４ａ，２４ｂの長手方向に対する積層体３０の位置決めのトレランスが緩和され、各フィルム２４ａ，２４ｂと積層体３０との位置決めが容易なものとなる。したがって、プレス時に上型１１ａ及び下型１１ｂから積層体３０に加わる圧力を均一化でき、上型１１ａ及び下型１１ｂと積層体３０との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体３０の寸法ばらつきを抑制できる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いのプレス面が対向するように配置された上型及び下型により、複数のセラミックグリーンシートを積層した積層体をプレスするセラミックグリーンシート積層体のプレス方法であって、
前記上型のプレス面及び前記下型のプレス面に対向するように、長尺状をなす第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムをそれぞれ搬送する工程と、
前記上型のプレス面及び前記下型のプレス面の間において、前記積層体を前記第１の可撓性フィルム及び前記第２の可撓性フィルムの間に配置する工程と、
前記各プレス面が相対的に接近するように前記上型及び前記下型の少なくとも一方を他方に向けて進出させ、前記第１の可撓性フィルム及び前記第２の可撓性フィルムを介して、前記積層体を前記セラミックグリーンシートの積層方向に加圧する工程とを備えたことを特徴とするセラミックグリーンシート積層体のプレス方法。
【請求項２】
前記積層体の側面を囲うように、前記第１の可撓性フィルム及び前記第２の可撓性フィルムの間に環状の枠体を配置する工程を更に備えたことを特徴とする請求項１記載のセラミックグリーンシート積層体のプレス方法。
【請求項３】
前記上型及び前記下型の配置位置よりも下流側において、前記第１の可撓性フィルム又は前記第２の可撓性フィルムの搬送方向をエッジ部によって折り返す工程を更に備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のセラミックグリーンシート積層体のプレス方法。
【請求項４】
互いのプレス面が対向するように配置された上型及び下型により、複数のセラミックグリーンシートを積層した積層体をプレスするプレス装置であって、
前記上型のプレス面及び前記下型のプレス面に対向するように、長尺状をなす第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムをそれぞれ搬送する第１のフィルム搬送手段及び第２のフィルム搬送手段と、
前記各プレス面が相対的に接近するように、前記上型及び前記下型の少なくとも一方を他方に向けて進出させ、前記第１の可撓性フィルム及び前記第２の可撓性フィルムを介して、前記積層体を前記セラミックグリーンシートの積層方向に加圧する型制御手段とを備えたことを特徴とするプレス装置。
【請求項５】
前記積層体の側面を囲うように、前記第１の可撓性フィルム及び前記第２の可撓性フィルムの間に環状の枠体を配置する枠体配置手段を更に備えたことを特徴とする請求項４記載のプレス装置。
【請求項６】
前記上型及び前記下型の配置位置よりも下流側において、前記第１の可撓性フィルム又は前記第２の可撓性フィルムの搬送方向を折り返すエッジ部を更に備えたことを特徴とする請求項４又は５記載のプレス装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層型電子部品の製造工程には、複数のセラミックシートを所定順に積層した積層体をプレスによって圧着する工程が含まれる。このようなプレスに関する技術として、例えば特許文献１に記載の積層セラミック電子部品の製造方法がある。この従来の積層セラミック電子部品の製造方法では、プレスに用いる金型の表面に例えばポリテトラフルオロエチレン樹脂からなる離型材層を接着し、この離型材層を介して積層体のプレスを行っている。
【特許文献１】特開平１０−２１４７４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述した離型材層のように、プレス時において積層体と金型との間に剥離性の高いフィルムを介在させる技術は、プレスした積層体と金型との剥離性を確保し、金型への付着による積層体の剥離や変形を抑止できる点で有意義な技術である。しかしながら、上述した従来の積層セラミック電子部品の製造方法のように、積層体と略同等の面積のフィルムを用いる場合、積層体とフィルムとの間に位置ずれが生じ易いという問題があった。このような位置ずれが生じると、プレス時に金型から積層体に加わる圧力の均一性が損なわれるため、プレス後の積層体の寸法ばらつきを増大させるおそれがある。
【０００４】
本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、積層体とプレス用型との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体の寸法ばらつきを抑制できるセラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題の解決のため、本発明に係るセラミックグリーンシート積層体のプレス方法は、互いのプレス面が対向するように配置された上型及び下型により、複数のセラミックグリーンシートを積層した積層体をプレスするセラミックグリーンシート積層体のプレス方法であって、上型のプレス面及び下型のプレス面に対向するように、長尺状をなす第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムをそれぞれ搬送する工程と、上型のプレス面及び下型のプレス面の間において、積層体を第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムの間に配置する工程と、各プレス面が相対的に接近するように上型及び下型の少なくとも一方を他方に向けて進出させ、第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムを介して、積層体をセラミックグリーンシートの積層方向に加圧する工程とを備えたことを特徴としている。
【０００６】
このセラミックグリーンシート積層体のプレス方法では、長尺状をなす第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムを上型及び下型の間に介在させ、第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムを介してセラミックグリーンシートの積層体のプレスを行う。このように、長尺状をなす可撓性フィルムを用いることにより、可撓性フィルムの長手方向に対する積層体の位置決めのトレランスが緩和され、可撓性フィルムと積層体との位置決めが容易なものとなる。したがって、プレス時にプレス用型から積層体に加わる圧力を均一化でき、上型及び下型と積層体との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体の寸法ばらつきを抑制できる。
【０００７】
また、積層体の側面を囲うように、第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムの間に環状の枠体を配置する工程を更に備えたことが好ましい。この場合、プレス時の積層体の変形を環状の枠体によって規制できる。
【０００８】
また、上型及び下型の配置位置よりも下流側において、第１の可撓性フィルム又は第２の可撓性フィルムの搬送方向をエッジ部によって折り返す工程を更に備えたことが好ましい。こうすると、プレス後の積層体から可撓性フィルムを剥離する際の剥離不良を防止できる。
【０００９】
また、本発明に係るプレス装置は、互いのプレス面が対向するように配置された上型及び下型により、複数のセラミックグリーンシートを積層した積層体をプレスするプレス装置であって、上型のプレス面及び下型のプレス面に対向するように、長尺状をなす第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムをそれぞれ搬送する第１のフィルム搬送手段及び第２のフィルム搬送手段と、各プレス面が相対的に接近するように、上型及び下型の少なくとも一方を他方に向けて進出させ、第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムを介して、積層体をセラミックグリーンシートの積層方向に加圧する型制御手段とを備えたことを特徴としている。
【００１０】
このプレス装置では、長尺状をなす第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムを上型及び下型の間に介在させ、第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムを介してセラミックグリーンシートの積層体をプレスすることができる。このように、長尺状をなす可撓性フィルムを用いることにより、可撓性フィルムの長手方向に対する積層体の位置決めのトレランスが緩和され、可撓性フィルムと積層体との位置決めが容易なものとなる。したがって、プレス時にプレス用型から積層体に加わる圧力を均一化でき、上型及び下型と積層体との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体の寸法ばらつきを抑制できる。
【００１１】
また、積層体の側面を囲うように、第１の可撓性フィルム及び第２の可撓性フィルムの間に環状の枠体を配置する枠体配置手段を更に備えたことが好ましい。この場合、プレス時の積層体の変形を環状の枠体によって規制できる。
【００１２】
上型及び下型の配置位置よりも下流側において、第１の可撓性フィルム又は第２の可撓性フィルムの搬送方向を折り返すエッジ部を更に備えたことが好ましい。こうすると、プレス後の積層体から可撓性フィルムを剥離する際の剥離不良を防止できる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明に係るセラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置によれば、積層体とプレス用型との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体の寸法ばらつきを抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら、本発明に係るセラミックグリーンシート積層体のプレス方法、及びプレス装置の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態に係るセラミックグリーンシート積層体のプレス方法を用いて製造されるセラミックコンデンサの構成を示す斜視図である。また、図２は、図１におけるＩＩ−ＩＩ線断面図である。図１及び図２に示すように、セラミックコンデンサ１は、略直方体形状をなす素子部２と、素子部２の長手方向の両端部に形成された１対の端子電極３，３とを備えている。
【００１６】
素子部２は、図２に示すように、誘電体層４と内部電極層５とが交互に積層されて構成されている。このような素子部２は、図３に示すように、矩形の内部電極層５が形成された誘電体層４を順次積層することによって形成される。また、素子部２の積層方向の両端には、内部電極層５が形成されていない誘電体層６が保護層としてそれぞれ積層されている。なお、図２では簡略化されているが、実際には誘電体層４は約３００層程度積層されている。
【００１７】
上下に隣り合う内部電極層５，５同士は、一定の面積で対向していると共に、誘電体層４によって互いに電気的に絶縁されている。また、内部電極層５，５は、誘電体層４の端まで延在し、互いに異なる一方の端子電極３，３に電気的に接続されている。したがって、端子電極３，３に所定の電圧を印加すると、上下で対向する内部電極層５，５間に、対向面積に比例する電荷が蓄えられる。
【００１８】
続いて、上述したセラミックコンデンサ１の製造方法について説明する。
【００１９】
まず、ＢａＴｉＯ３を主成分とする誘電体材料を用い、複数層のセラミックグリーンシート７，８を作製する。次に、例えばＡｇを主成分とする導電ペーストをスクリーン印刷し、所定の乾燥工程を行うことにより、セラミックグリーンシート７上に矩形の導電パターン６をマトリクス状に形成する。所定数のセラミックグリーンシート７を形成して順次積層した後、セラミックグリーンシート７における積層方向の両端面に、導電パターン６を有しないセラミックグリーンシート８を２層ずつ積層すると、図４に示すように、積層体３０が形成される。なお、この時点では、グリーンシート７，８は、積層体３０として一体的に取り扱うことが可能な程度に仮圧着する。
【００２０】
積層体３０を形成した後、積層体３０をプレスして圧着する圧着工程を行う。図５は、圧着工程に用いるプレス装置１０の装置構成を示す図である。図５に示すように、プレス装置１０は、上型１１ａ及び下型１１ｂからなるプレス用型１１と、真空吸着板１２と、上フィルム搬送機構（第１のフィルム搬送手段）１３と、下フィルム搬送機構（第２のフィルム搬送手段）１４と、環状の枠体１５と、動作制御部（型制御手段、枠体配置手段）１６とを備えている。
【００２１】
上型１１ａ及び下型１１ｂは、プレス位置Ｐにおいて、互いのプレス面２０ａ，２０ｂが対向するように上下１対に配置されている。上型１１ａは、動作制御部１６からの制御により、プレス位置Ｐに積層体３０、及び後述する可撓性フィルム２４が搬送されたことに同期して下型１１ｂ側に下降し、プレス後は元の位置に上昇する。また、真空吸着板１２は、積層体３０をプレス位置Ｐに搬送し、後述する下フィルム２４ｂを介して下型１１ｂ上に積層体３０を載置する。真空吸着板１２は、プレスが完了した後、積層体３０を所定の取り出し位置（図示しない）に搬送する。
【００２２】
上フィルム搬送機構１３は、繰出ローラ２１と、巻取ローラ２２と、繰出ローラ２１及び巻取ローラ２２の間に配置された補助ローラ２３，２３とを備えている。繰出ローラ２１からは、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）からなる長尺状の可撓性フィルム２４（第１の可撓性フィルム、以下「上フィルム２４ａ」と称す）が繰り出される。上フィルム２４ａは、積層体３０の幅よりも若干小さい程度の幅を有している（図１０参照）。繰り出された上フィルム２４ａは、補助ローラ２３，２３によって案内され、上型１１ａのプレス面２０ａに対向するようにプレス位置Ｐに搬送された後、巻取ローラ２２によって巻き取られる。
【００２３】
下フィルム搬送機構１４は、上フィルム搬送機構１３と同様に、繰出ローラ２５と、巻取ローラ２６と、繰出ローラ２５及び巻取ローラ２６の間に配置された補助ローラ２７，２７と、プレス位置Ｐの下流側に配置された補助ローラ２８，２８とを備えている。繰出ローラ２５からは、上フィルム２４ａと同様の長尺状の可撓性フィルム２４（第２の可撓性フィルム、以下「下フィルム２４ｂ」と称す）が繰り出される。下フィルム２４ｂは、上フィルム２４ａよりも大きな幅を有している（図１０参照）。繰り出された下フィルム２４ｂは、補助ローラ２７，２７によって案内され、上フィルム２４ａと中心を合わせた状態で下型１１ｂのプレス面２０ｂに対向するようにプレス位置Ｐに搬送される。
【００２４】
また、下フィルム搬送機構１４において、プレス位置Ｐよりも下流側には、下フィルム２４ｂを折り返すエッジ部２９が設けられている。そして、下フィルム２４ｂは、エッジ部２９の先端に沿って下側に鋭角に折り返された後、補助ローラ２８，２８を介して巻取ローラ２６に巻き取られる。
【００２５】
環状の枠体１５は、図６に示すように、例えば金属によって略正方形状に形成されている。この環状の枠体１５は、図５に示すように、例えば支持アーム（図示しない）により、プレス位置Ｐにおいて上フィルム２４ａと下フィルム２４ｂとの間で支持されている。そして、環状の枠体１５は、動作制御部１６による支持アームの制御により、真空吸着板１２によって積層体３０がプレス位置Ｐに搬送されると下型１１ｂ側に下降し、積層体３０の側面を囲うようにして下フィルム２４ｂ上に載置される。プレス後、環状の枠体１５は、元の位置に上昇する。
【００２６】
このようなプレス装置１０を用いた圧着工程には、図７に示すように、フィルム搬送工程（ステップＳ０１）、積層体搬送工程（ステップＳ０２）、枠体配置工程（ステップＳ０３）、加圧工程（ステップＳ０４）、及び剥離工程（ステップＳ０５）の５つの工程が含まれている。
【００２７】
まず、フィルム搬送工程において、上フィルム搬送機構１３及び下フィルム搬送機構１４により、上型１１ａのプレス面２０ａ及び下型１１ｂのプレス面２０ｂにそれぞれ対向するように、上フィルム２４ａ及び下フィルム２４ｂがプレス位置Ｐに搬送される。次に、積層体搬送工程において、図８（ａ）に示すように、真空吸着板１２によって積層体３０がプレス位置Ｐに向けて搬送される。そして、図８（ｂ）に示すように、上フィルム２４ａ及び下フィルム２４ｂに挟まれた状態で、積層体３０が下型１１ｂのプレス面２０ｂ上に配置された後、真空吸着板１２はプレス位置Ｐの下流側に退避する。
【００２８】
さらに、枠体配置工程において、図９（ａ）に示すように、図示しない支持アームによって環状の枠体１５が下型１１ｂに向かって下降する。これにより、図９（ａ）及び図１０に示すように、プレス位置Ｐにおいて、下型１１ｂに載置された積層体３０の上下には、上フィルム２４ａ及び下フィルム２４ｂがそれぞれ配置され、環状の枠体１５は、積層体３０の側面を囲うようにして、下フィルム２４ｂを介して下型１１ｂの上面に載置された状態となる。
【００２９】
積層体３０、上フィルム２４ａ、下フィルム２４ｂ、及び環状の枠体１５の配置が終了した後、加圧工程において、図９（ｂ）に示すように、上型１１ａが下型１１ｂに向けて下降する。これにより、積層体３０は、上フィルム２４ａ及び下フィルム２４ｂを介し、上型１１ａのプレス面２０ａ及び下型１１ｂのプレス面２０ｂで挟み込まれ、積層方向に一定の圧力でプレス圧着される。なお、プレス圧着時の上型１１ａ及び下型１１ｂの温度は、約５０℃〜約７０℃の範囲とすることが好ましく、プレス圧力は、約６００ｋｇ／ｃｍ２〜約８００ｋｇ／ｃｍ２の範囲とすることが好ましい。温度範囲及び圧力範囲が下限より低いと圧着不良が発生し易く、温度範囲及び圧力範囲が上限より高いと、積層体３０の変形が発生し易くなるためである。
【００３０】
プレス圧着の後、図１１（ａ）に示すように、上型１１ａと環状の枠体１５とが元の位置に上昇すると、下流側に退避していた真空吸着板１２がプレス位置Ｐに搬送される。真空吸着板１２は、図１１（ｂ）に示すように、プレス後の積層体３０を吸着し、下フィルム２４ｂと共に積層体３０をプレス位置Ｐの下流側に搬送する。
【００３１】
剥離工程では、図１２に示すように、プレス位置Ｐからエッジ部２９を通過するまで、巻取ローラ２６による下フィルム２４ｂの搬送に追随させて真空吸着板１２による積層体３０の搬送を行う。そして、下フィルム２４ｂの搬送方向をエッジ部２９の先端に沿って鋭角に折り返すことにより、積層体３０の下面から下フィルム２４ｂを剥離する。下フィルム２４ｂを剥離した後、真空吸着板１２は、所定の取り出し位置（図示しない）まで積層体３０を搬送し、圧着工程が終了する。
【００３２】
圧着工程が終了した後、積層体３０をダイシングによって所定の形状・寸法に切断し、所定の温度で焼成を行うことにより、素子部２が完成する。その後、素子部２の両端部に導体ペーストを塗布・焼付けして端子電極３，３を形成し、端子電極３，３にめっき層（図示しない）を形成すると、図１〜図３に示したセラミックコンデンサ１が完成する。
【００３３】
以上説明したように、このセラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置１０では、長尺状をなす上フィルム２４ａ及び下フィルム２４ｂを上型１１ａのプレス面２０ａ及び下型１１ｂのプレス面２０ｂに対向するようにそれぞれ配置することにより、上フィルム２４ａ及び下フィルム２４ｂを介して積層体３０をプレスする。このように、長尺状をなす上フィルム２４ａ及び下フィルム２４ｂを用いることにより、各フィルム２４ａ，２４ｂの長手方向に対する積層体３０の位置決めのトレランスが緩和され、各フィルム２４ａ，２４ｂと積層体３０との位置決めが容易なものとなる。したがって、プレス時に上型１１ａ及び下型１１ｂから積層体３０に加わる圧力を均一化でき、上型１１ａ及び下型１１ｂと積層体３０との剥離性を確保しつつ、プレス後の積層体３０の寸法ばらつきを抑制できる。
【００３４】
また、このセラミックグリーンシート積層体のプレス方法及びプレス装置１０では、プレス位置Ｐに搬送された積層体３０の側面を囲うように環状の枠体１５を配置しているので、プレスの際の積層体３０の変形を環状の枠体１５によって規制できる。さらに、プレス後の積層体３０と下フィルム２４ｂとの剥離を行う際には、プレス位置Ｐの下流側において、下フィルム２４ｂの搬送方向をエッジ部２９によって鋭角に折り返し、プレス位置Ｐからエッジ部２９を通過するまで、下フィルム２４ｂに追随させて積層体３０を搬送している。このような構成により、プレス後の積層体３０から下フィルム２４ｂを好適に剥離することが可能となり、下フィルム２４ｂの剥離不良による積層体３０の変形や破損等を抑止できる。
【００３５】
続いて、上述したセラミックグリーンシート積層体のプレス方法を用いた場合の積層体の寸法ばらつき抑制効果を検証するために行った実験について説明する。
【００３６】
本実験は、長尺状をなす可撓性フィルムを介して積層体のプレス圧着を行った場合と、積層体の大きさに合わせてカットした可撓性フィルム（カットフィルム）を介して積層体のプレス圧着を行った場合とで、プレス後の積層体の各辺の寸法がどのように変化したかを調べたものである。積層体のサンプルとして、厚さが０．５ｍｍのものと、０．３ｍｍのものとを用意し、それぞれのサンプルについて、図１３（ａ）に示す各辺ａ〜ｄの寸法の変化を測定した。
【００３７】
図１３（ｂ）は、その実験結果を示す図である。図１３（ｂ）に示すように、カットフィルムを使用した場合、厚さが０．５ｍｍのサンプルでは、プレス後の各辺ａ〜ｄの変化量は０．０６２％〜０．１４５％であり、各辺ａ〜ｄ間での寸法差は約０．０８％となっている。また、厚さが０．３ｍｍのサンプルでは、プレス後の各辺ａ〜ｄの変化量は０．０９８％〜０．２８０％であり、各辺ａ〜ｄ間での寸法差は、約０．１８％となっている。
【００３８】
一方、長尺状のフィルムを使用した場合、厚さが０．５ｍｍのサンプルでは、プレス後の各辺ａ〜ｄの変化量は０．０２０％〜０．０５３％であり、各辺ａ〜ｄ間での寸法差は約０．０３％となっている。また、厚さが０．３ｍｍのサンプルでは、プレス後の各辺ａ〜ｄの変化量は０．００８％〜０．０２８％であり、各辺ａ〜ｄ間での寸法差は、約０．０２％となっている。
【００３９】
このように、長尺状の可撓性フィルムを使用した場合、カットフィルムを使用した場合に比べて、プレス後の積層体の各辺の寸法差を低く抑えられている。これは、長尺状の可撓性フィルムを使用する場合に、積層体とフィルムとの位置決めが容易となり、プレスの際にプレス用型から積層体に加わる圧力の均一化が図れるためであり、本発明の有効性が確認できた。
【００４０】
本発明は、上記実施形態に限られるものではない。例えば、上述した実施形態では、下フィルム２４ｂの幅は、上フィルム２４ａの幅よりも大きく、環状の枠体１５とほぼ等幅としているが（図１０参照）、下フィルム２４ｂの幅は、上フィルム２４ａと等幅としてもよい。また、図１４に示すように、環状の枠体１５を設ける代わりに、環状の枠体１５に対応する大きさの矩形の凹部４０を下型１１ｂの上面側に設け、この凹部４０の底面を下型１１ｂのプレス面２０ｂとしてもよい。この場合、凹部４０に沿って下フィルム２４ｂを搬送し、凹部４０に積層体３０を嵌め込んだ後、上型１１ａを下型１１ｂに向けて下降させれば。上述した実施形態と同様の作用効果を得ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態に係るセラミックグリーンシート積層体のプレス方法を用いて製造されるセラミックコンデンサの斜視図である。
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】各誘電体層に形成される内部電極層の構成を示す図である。
【図４】積層体の分解斜視図である。
【図５】プレス装置の構成を示す図である。
【図６】環状の枠型の斜視図である。
【図７】図５に示したプレス装置を用いて行う圧着工程のフローチャートである。
【図８】図４に示した積層体の圧着工程を示す図である。
【図９】図８の後続の工程を示す図である。
【図１０】プレスの際の積層体の状態を示す平面図である。
【図１１】図９の後続の工程を示す図である。
【図１２】エッジ部の近傍の構成を拡大して示す図である。
【図１３】長尺状の可撓性フィルムを使用してプレス圧着した積層体と、カットフィルムを使用してプレス圧着した積層体とのプレス後の寸法ばらつきの差を検証した実験の実験結果を示す図である。
【図１４】変形例に係るプレス装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１…セラミックコンデンサ、７，８…セラミックグリーンシート、１０…プレス装置、１１ａ…上型、１１ｂ…下型、１３…上フィルム搬送機構（第１のフィルム搬送手段）、１４…下フィルム搬送機構（第２のフィルム搬送手段）、１５…環状の枠体、１６…動作制御部（型制御手段、枠体配置手段）、２０ａ…上型のプレス面、２０ｂ…下型のプレス面、２４ａ…上フィルム（第１の可撓性フィルム）、２４ｂ…下フィルム（第２の可撓性フィルム）、２９…エッジ部、３０…積層体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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