(57)【要約】【課題】一方の面に第１のシートが貼付された板状部材の反対側の面に第２のシートを貼付して切断する際に、第１のシート外周部を第２のシートに接着させ、第２のシートを回収するときに、第１のシート外周部分も同時に回収することに適したシート切断装置及び切断方法を提供すること。【解決手段】半導体ウエハＷの回路面側に保護シートＳが貼付され、裏面が上面側となるように半導体ウエハＷがテーブル１０上に載置される。ウエハＷの裏面側にはダイボンディングシートＤＳを貼付する際に、ウエハＷの外側にはみ出た保護シートＳの外周部分がダイボンディングシートＤＳに貼付される。その後、ウエハＷの形状に合わせてカッター刃１５でダイボンディングシートＤＳと、保護シートＳのはみ出た部分を閉ループ状に切断する。ダイボンディングシートの不要シート部分ＤＳ１を回収する時に、保護シートの不要シート部分Ｓ１も同時に回収される。【選択図】図３
2007157833.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材の一方の面に当該板状部材の外縁よりはみ出る大きさの第１のシートを貼付するとともに、当該第１のシートが下面側になるように前記板状部材をテーブル上に載置し、前記板状部材の他方の面に当該板状部材の外縁よりも外側にはみ出る大きさを備えた第２のシートを貼付して、当該第２のシートを前記板状部材の形状に合わせてカッター刃で切断するシート切断装置において、
前記第２のシートを前記板状部材の外縁からはみ出した第１のシート部分に接着させる押圧ローラを含み、
前記カッター刃は、前記板状部材の形状に合わせて前記第１及び第２のシートを同時に切断することを特徴とするシート切断装置。
【請求項２】
回路面側に保護シートが貼付された半導体ウエハの裏面側を研削した後、前記保護シートが下面側になるように前記半導体ウエハをテーブル上に載置し、前記半導体ウエハの他方の面に前記半導体ウエハの外縁よりも外側にはみ出る大きさを備えたダイボンディングシートを貼付して、当該ダイボンディングシートを前記半導体ウエハの形状に合わせてカッター刃で切断するシート切断装置において、
前記ダイボンディングシートを前記半導体ウエハの裏面研削によって当該半導体ウエハの外縁からはみ出した保護シート部分に接着させる押圧ローラを含み、
前記カッター刃は、前記半導体ウエハの形状に合わせて前記ダイボンディングシート及び保護シートを同時に切断することを特徴とするシート切断装置。
【請求項３】
板状部材の一方の面に当該板状部材の外縁よりはみ出る大きさの第１のシートを貼付するとともに、当該第１のシートが下面側になるように前記板状部材をテーブル上に載置し、前記板状部材の他方の面に当該板状部材の外縁よりも外側にはみ出る大きさを備えた第２のシートを貼付して、当該第２のシートを前記板状部材の形状に合わせてカッター刃で切断するシート切断方法において、
前記切断を行う前に、前記第２のシートを押圧ローラで押圧して前記板状部材の外周からはみ出した第１のシート部分に接着させておき、
次いで、前記カッター刃の先端が前記第１のシートを突き抜ける位置まで差し込んで前記第１のシートと第２のシートとを前記板状部材の形状に合わせて同時に切断することを特徴とするシート切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート切断装置及び切断方法に係り、更に詳しくは、板状部材の各面にシートが貼付されて当該板状部材の外周からはみ出したシート部分を切断して除去するときに、不要なシート部分を同時に回収することに適したシート切断装置及び切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ウエハ処理工程においては、例えば、その回路面を保護するために保護シートを貼付した状態で裏面研削を行い、その後当該裏面側に、感熱接着性のダイボンディングシートを貼付することが行われている。
【０００３】
図４ないし図７には、ウエハの一方の面（回路面）に保護シートを貼付して他方の面（裏面）にダイボンディングシートを貼付する一般的な工程断面図が示されている。図４に示されるように、裏面研削前のウエハＷに保護シートＳを貼付する場合には、シート貼付用の第１のテーブル５０に、前記回路面が上面側となるようにウエハＷが吸着保持され、回路面にウエハＷの外縁よりはみ出る幅を有する帯状の保護シートＳが供給され、図示しない押圧ローラによって保護シートＳを押圧することで当該保護シートＳが粘着剤層Ａを介して貼付される。なお、この段階におけるウエハＷは、その外周が面取り処理されて厚み方向の中央付近が最も大きい寸法となって断面視で略円弧状の曲面となるものが一般的となっている
【０００４】
ウエハＷに保護シートＳを貼付した後は、上方よりカッター刃５３が略垂直姿勢で下降し、保護シートＳの面を突き抜けて第１のテーブル５０に形成された円周溝５５内に先端が位置するように差し込まれ、この状態でカッター刃５３とウエハＷとを平面内で相対回転することでウエハＷの形状に合うように保護シートＳに閉ループ状の切り込みが形成される。そして、ウエハＷの外縁よりはみ出した保護シート部分が保護シートの不要シート部分Ｓ１として除去され、これにより、保護シートＳの貼付が完了する。
【０００５】
保護シートＳが貼付されたウエハＷは、図５に示されるように、反転されて研削用の第２のテーブル５６に移載され、裏面側からグラインダー５７によって数十μｍオーダーの板厚となるように研削される。このような研削を終了した状態では、ウエハＷの板厚が極薄レベルまで加工されたことにより、保護シートＳの外周部がウエハＷの外縁から僅かにはみ出る状態となる。
【０００６】
裏面研削されたウエハＷは、研削側が上面側となる状態でシート貼付用の第３のテーブル６０に移載された後に、ウエハＷの外縁よりはみ出る幅を有する帯状のダイボンディングシートＤＳが貼付され、ウエハＷの形状に合わせて切断されることとなる。この際、カッター刃６２は、第３のテーブル６０に形成された円周溝６１内に位置するように略垂直姿勢で差し込まれ、この状態でカッター刃６２とウエハＷとを平面内で相対回転させてウエハＷの形状に合うようにダイボンディングシートＤＳと保護シートＳに閉ループ状の切り込みが形成され、ウエハＷの外縁より外側にはみ出たダイボンディングシートＤＳ部分がダイボンディングシートの不要シート部分ＤＳ１として除去され、これにより、ダイボンディングシートＤＳの貼付が完了する。
【０００７】
しかしながら、図６に示されるように、カッター刃６２は、保護シートＳを突き抜ける差し込み量で前述した切断を行うため、保護シートＳの外周部分Ｓ２が切り落とされ、ゴミとなって装置内に取り残されてしまい、次のウエハを処理する時に障害となりウエハを破損しまうという不都合を生ずる他、切り落とされた外周部分Ｓ２を装置内から取り出さなければならない面倒な作業が不可避になるという不都合を招来する。
【０００８】
そこで、図７に示されるように、カッター刃５３による切断を行う際に、カッター刃６２の差し込み量を小さくしてダイボンディングシートＤＳのみを切断する、ということも考えられるが、この場合には、図８に示されるように、切断を終了したときに、ウエハＷの外縁より外側に位置するダイボンディングシートの不要シート部分ＤＳ１が自重で落下して保護シートＳの粘着剤層Ａに粘着してしまうことが多々発生する。
このような場合、図９に示されるように、ダイボンディングシートの不要シート部分ＤＳ１を除去するときに、当該不要シート部分ＤＳ１に接着した保護シートＳも同時に上方に引き上げてしまい、これによってウエハＷが持ち上げられて当該ウエハＷを割ってしまう、という不都合を招来する。
【０００９】
なお、特許文献１には、テーブル上に吸着保持されたウエハの裏面側にダイボンディングシート等の熱接着性シートを貼付した後に、ウエハの形状に合うようにカッター刃で熱接着性シートを切断する構成が開示されている。
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−１８６４８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１は、ウエハの回路面側に貼付された保護シートの外周部分がウエハ外縁からはみ出ている場合には、カッター刃による切断によって、保護シートの外周部分がゴミとして残り、個別に回収しなければならない、という不都合を招来する。
【００１２】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、第１のシートが貼付された板状部材の反対側の面に第２のシートを貼付して切断する際に、第２のシートを板状部材の外縁からはみ出した第１のシート部分に接着させ、これらシートを同時に切断することで不要シート部分を同時に回収することに適したシート切断装置及び切断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するため、本発明は、板状部材の一方の面に当該板状部材の外縁よりはみ出る大きさの第１のシートを貼付するとともに、当該第１のシートが下面側になるように前記板状部材をテーブル上に載置し、前記板状部材の他方の面に当該板状部材の外縁よりも外側にはみ出る大きさを備えた第２のシートを貼付して、当該第２のシートを前記板状部材の形状に合わせてカッター刃で切断するシート切断装置において、
前記第２のシートを前記板状部材の外縁からはみ出した第１のシート部分に接着させる押圧ローラを含み、
前記カッター刃は、前記板状部材の形状に合わせて前記第１及び第２のシートを同時に切断する、という構成を採っている。
【００１４】
また、本発明は、回路面側に保護シートが貼付された半導体ウエハの裏面側を研削した後、前記保護シートが下面側になるように前記半導体ウエハをテーブル上に載置し、前記半導体ウエハの他方の面に前記半導体ウエハの外縁よりも外側にはみ出る大きさを備えたダイボンディングシートを貼付して、当該ダイボンディングシートを前記半導体ウエハの形状に合わせてカッター刃で切断するシート切断装置において、
前記ダイボンディングシートを前記半導体ウエハの裏面研削によって当該半導体ウエハの外縁からはみ出した保護シート部分に接着させる押圧ローラを含み、
前記カッター刃は、前記半導体ウエハの形状に合わせて前記ダイボンディングシート及び保護シートを同時に切断する、という構成を採っている。
【００１５】
更に、本発明は、板状部材の一方の面に当該板状部材の外縁よりはみ出る大きさの第１のシートを貼付するとともに、当該第１のシートが下面側になるように前記板状部材をテーブル上に載置し、前記板状部材の他方の面に当該板状部材の外縁よりも外側にはみ出る大きさを備えた第２のシートを貼付して、当該第２のシートを前記板状部材の形状に合わせてカッター刃で切断するシート切断方法において、
前記切断を行う前に、前記第２のシートを押圧ローラで押圧して前記板状部材の外周からはみ出した第１のシート部分に接着させておき、
次いで、前記カッター刃の先端が前記第１のシートを突き抜ける位置まで差し込んで前記第１のシートと第２のシートとを前記板状部材の形状に合わせて同時に切断する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、第２のシートをカッター刃で切断する際に、第１のシートのはみ出した部分を第２のシートに接着させた状態で切断するため、第１のシートのはみ出した部分が第２のシートに接着した状態で回収されることとなり、第１のシートの外周部分が独立したゴミとなることを効果的に防止することができる。
また、第１のシートを板状部材に貼付して当該板状部材の外縁に沿って第１のシートを切断する前工程において、板状部材の形状に一致させる精度で第１のシートを切断する必要もなく、板状部材の外縁に対して余裕をもった外周位置での切断が許容されることとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１８】
図１ないし図３には、本実施形態に係る切断工程を示す断面図が示されている。これらの図において、板状部材としてのウエハＷの一方の面となる下面側（回路面側）には、粘着剤層Ａを介して第１のシートとしての保護シートＳが貼付され、当該保護シートＳがウエハＷの下面側に位置する状態で、図示しないヒータによって過熱可能なテーブル１０に吸着保持されている。ウエハＷは、裏面研削が行われて数十μｍオーダーの板厚に加工されており、そのため保護シートＳは、ウエハＷの外縁よりはみ出た状態となっている。なお、第１のテーブル１０は、外側テーブル１０Ａと内側テーブル１０Ｂとからなり、内側テーブル１０Ｂは、図示しないシリンダを介して昇降可能となっている。
【００１９】
前記ウエハＷの他方の面となる裏面側（上面側）には、ウエハＷの外縁より外側にはみ出す幅を備えた第２のシートとしてのダイボンディングシートＤＳが図示しない繰出装置を介して繰り出され、押圧ローラ１１の押圧力によって貼付される。押圧ローラ１１は、外周面に軟質部材１１Ａを巻装して構成されており、当該軟質部材１１Ａのクッション性により、ウエハＷの厚み分の変形をもたらして前記ダイボンディングシートＤＳを保護シートＳのはみ出た部分すなわち保護シートの不要シート部分Ｓ１（図２参照）に接着させるようになっている。
【００２０】
ダイボンディングシートＤＳに保護シートＳの不要シート部分Ｓ１を接着した状態で、ダイボンディングシートＤＳの繰出方向下流側（図１中左側）が紙面直交方向に往復移動する図示しない切断刃によって切り離され、図２に示される第２のテーブル１２にウエハＷが移載される。この状態では、ダイボンディングシートＤＳは、ウエハＷの外縁からはみ出た部分すなわちダイボンディングシートの不要シート部分ＤＳ１を含んだ状態となる。なお、第２のテーブル１２は、ウエハＷ外周に沿う周溝１３を備えて構成されている。
【００２１】
前記保護シートＳ及びダイボンディングシートＤＳが貼付されたウエハＷは、第２のテーブル１２に吸着保持され、前記ダイボンディングシートＤＳ側から差し込まれるカッター刃１５によって、ダイボンディングシートＤＳ及び保護シートＳの各不要シート部分ＤＳ１及びＳ１がカッター刃１５によって切断される。このカッター刃１５は、本実施形態では、図示しない多関節型のロボットアームの先端に取り付けられており、ウエハＷの外縁に合わせて予め移動軌跡を設定しておくことで切断が行われる。この際、カッター刃１５の向き、角度等は、ロボットアームによって調整可能に保たれる。カッター刃１５が切断を開始するときに、当該カッター刃１５は、略垂直姿勢に保たれるとともに、保護シートＳを突き抜けて前記周溝１３に達する位置まで差し込まれるようになっている。
【００２２】
カッター刃１５によりダイボンディングシートＤＳ及び保護シートＳがウエハＷの外縁に合わせて閉ループ状に切断されると、ウエハＷの外周側に不要シート部分ＤＳ１、Ｓ１が生ずることとなるが、これら不要シート部分ＤＳ１、Ｓ１は、図示しない回収装置を介して回収される。この回収が行われるときは、図３に示されるように、保護シートの不要シート部分Ｓ１は、ダイボンディングシートの不要シート部分ＤＳ１に接着しているので、同時に回収して除去することが可能となる。
【００２３】
従って、このような実施形態によれば、ダイボンディングシートＤＳに保護シートＳのはみ出した部分である保護シートの不要シート部分Ｓ１が接着するため、カッター刃１５による切断後に、保護シートの不要シート部分Ｓ１が独立したゴミとなることなくダイボンディングシートの不要シート部分ＤＳ１と共に回収することができる、という効果を得る。
【００２４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００２５】
例えば、前記実施形態では、第１のシートとして保護シートＳを採用する一方、第２のシートとしてダイボンディングシートＤＳを採用した場合を示したが、これらシートは、対象とする板状部材に応じて任意に変更することができるものである。因みに、ダイボンディングシートＤＳに替え、被着体の面を保護するための感熱接着性の保護シートであってもよい。また、特開２００２−２８０３２９号に開示された保護膜形成用のシートや、ドライレジストフイルムを貼付して切断する場合も例示できる。
【００２６】
また、板状部材としてウエハＷを対象としたが、本発明における板状部材は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また板状部材は、円形のものに限らず、多角形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】ウエハにダイボンディングシートを貼付した状態を示す断面図。
【図２】ダイボンディングシートを保護シートと共に切断する状態を示す断面図。
【図３】前記切断終了後の不要シート部分を除去する状態を示す断面図。
【図４】半導体ウエハに貼付された保護シートを切断する従来例を示す断面図。
【図５】半導体ウエハの裏面を研削した従来例を示す断面図。
【図６】研削済み半導体ウエハの裏面にダイボンディングシートを貼付して切断する従来例を示す断面図。
【図７】研削済み半導体ウエハの裏面にダイボンディングシートを貼付して切断する他の従来例を示す断面図。
【図８】切断終了時にダイボンディングシートが自重で落下して保護シートに接着する状態を示す断面図。
【図９】半導体ウエハの割れ原因を示す断面図。
【符号の説明】
【００２８】
１０  第１のテーブル
１１  押圧ローラ
１２  第２のテーブル
１５  カッター刃
Ｗ  ウエハ（板状部材）
Ｓ  保護シート（第１のシート）
Ｓ１  保護シートの不要シート部分
ＤＳ  ダイボンディングシート（第２のシート）
ＤＳ１  ダイボンディングシートの不要シート部分
【図１】
2007157833.tif 000003
【図２】
2007157833.tif 000004
【図３】
2007157833.tif 000005
【図４】
2007157833.tif 000006
【図５】
2007157833.tif 000007
【図６】
2007157833.tif 000008
【図７】
2007157833.tif 000009
【図８】
2007157833.tif 000010
【図９】
2007157833.tif 000011