(57)【要約】      （修正有）【課題】透明化処理を必要としない電磁波シールドフィルムの製造方法の提供。【解決手段】金属箔10に感光性熱分解樹脂層11を設ける感光性熱分解樹脂形成工程、金属箔の感光性熱分解樹脂層形成面に、接着剤層13を介して透明基材フィルム12を貼り合わせ積層シート14にする透明基材フィルム積層工程、積層シートの金属箔面にレジスト液を塗布、パターンマスクを介して露光，現像し所定のパターンの保護層を形成後、腐食によりパターン状に金属箔を除去するエッチング工程、金属箔がパターン状に除去された積層シートの金属箔面側から平行エネルギー線15を照射して金属箔が除去された部分の感光性熱分解樹脂層を分解する平行エネルギー線照射工程、分解された感光性熱分解樹脂層を除去する加熱工程、加熱された積層シートを洗浄、冷却、乾燥する洗浄、乾燥工程，上記各工程をこの順序で行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属箔の片面に感光性熱分解樹脂層を設ける感光性熱分解樹脂層形成工程、
感光性熱分解樹脂層が設けられた金属箔の感光性熱分解樹脂層形成面に、接着剤層を介して透明基材フィルムを貼り合わせて積層シートにする透明基材フィルム積層工程、
積層シートの金属箔面にレジスト液を塗布、パターンマスクを介して露光、現像し所定のパターンの保護層を形成後、腐食によりパターン状に金属箔を除去するエッチング工程、
金属箔がパターン状に除去された積層シートの金属箔面側から平行エネルギー線を照射して、金属箔が除去された部分の感光性熱分解樹脂層を分解する平行エネルギー線照射工程、
平行エネルギー線の照射により分解された感光性熱分解樹脂層を除去する加熱工程、
加熱された積層シートを洗浄、冷却、乾燥する洗浄、乾燥工程、
上記各工程をこの順序で行うことを特徴とする、電磁波シールドフィルムの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法により製造されたことを特徴とする、電磁波シールドフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイなどのディスプレイから発生する電磁波を遮蔽する目的で画面表面に配置される電磁波シールドフィルムの製造方法と該製造方法により作製された電磁波シールドフィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
代表的な電磁波シールド層の形成方法として、以下に述べる３つの方法がある。すなわち、第１の方法は、フィルム上にラミネートした金属箔をパターン状にエッチングする、金属エッチングによる電磁波シールドフィルムである。この方法により作製した電磁波シールド層は、高い電磁波シールド性能を発揮するが接着層が白濁化するため透明化処理が必要となる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
第２の方法は、銀、ＩＴＯなどの透明導電層をスパッタ、蒸着などの方法でフィルムやガラスなどの基材上に形成させる透明導電層によるシールド膜である。この方法は銀がスポット状に白化する．電磁波シールド性能が第１の方法に比較して低い．等の問題がある。また、第３の方法は、導電性を持つ粉体を混ぜた塗材をパターン状に塗布する導電性パターン印刷法である。しかしこの方法は、抵抗値が高く電磁波シールド性能が低い．開口部が第１の方法より狭く透過率が低い．等の問題がある。
【０００４】
上記先行技術文献を示す。  
【特許文献１】特開２０００−３２３８９１号公報。
【０００５】
電磁波シールド性能において第１の方法が最も優れているが、金属箔をエッチングする工程の都合で、背面に裏打ち用の光学用透明フィルムが必要となる。
【０００６】
このようにして製造される電磁波シールドフィルムは、ディスプレイの前面フィルタなどの光学部品に貼合されるが、この際背面フィルムが光学部品の構成部品として組み込まれる。そのため、同フィルムによる光線透過率のロスが発生する。
【０００７】
また、金属箔が溶解した後の接着層表面には貼り合わせた金属面の凹凸が鋳型となって残るためヘイズ値が高くなり、別途透明化処理と呼ばれるコーティング等による平滑化処理が必要となる。
【０００８】
さらに、本用途で使用される金属箔の中には、光線反射率を下げるため、酸化・メッキ処理など一般に黒化処理と呼ばれる表面処理が施されている場合がある。このような箔をラミネートする際、黒化処理面から脱離した黒色粉末が接着層内に埋まってしまいエッチング後の光線透過率を下げることがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、電磁波シールドフィルムの製造方法と該製造方法を用いて作製した電磁波シールドフィルムに関する以上のような問題に鑑みてなされたもので、透明化処理を必要としない電磁波シールドフィルムの製造方法と該製造方法を用いて作製した電磁波シールドフィルムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の請求項１の発明は、金属箔の片面に感光性熱分解樹脂層を設ける感光性熱分解樹脂層形成工程、
感光性熱分解樹脂層が設けられた金属箔の感光性熱分解樹脂層形成面に、接着剤層を介して透明基材フィルムを貼り合わせて積層シートにする透明基材フィルム積層工程、
積層シートの金属箔面にレジスト液を塗布、パターンマスクを介して露光、現像し所定のパターンの保護層を形成後、腐食によりパターン状に金属箔を除去するエッチング工程、
金属箔がパターン状に除去された積層シートの金属箔面側から平行エネルギー線を照射して、金属箔が除去された部分の感光性熱分解樹脂層を分解する平行エネルギー線照射工程、
平行エネルギー線の照射により分解された感光性熱分解樹脂を除去する加熱工程、
加熱された積層シートを洗浄・冷却・乾燥する洗浄・乾燥工程、
上記各工程をこの順序で行うことを特徴とする、電磁波シールドフィルムの製造方法である。
【００１１】
このように請求項１記載の発明によれば、金属箔の片面に感光性熱分解樹脂層を設ける感光性熱分解樹脂層形成工程、感光性熱分解樹脂層が設けられた金属箔の感光性熱分解樹脂層形成面に、接着剤層を介して透明基材フィルムを貼り合わせて積層シートにする透明基材フィルム積層工程、積層シートの金属箔面にレジスト液を塗布、パターンマスクを介して露光、現像し所定のパターンの保護層を形成後、腐食によりパターン状に金属箔を除去するエッチング工程、金属箔がパターン状に除去された積層シートの金属箔面側から平行エネルギー線を照射して、金属箔が除去された部分の感光性熱分解樹脂層を分解する平行エネルギー線照射工程、平行エネルギー線の照射により分解された感光性熱分解樹脂を除去する加熱工程、加熱された積層シートを洗浄・冷却・乾燥する洗浄・乾燥工程、上記各工程をこの順序で行う電磁波シールドフィルムの製造方法は、従来工程では、ラミネート層に残存する金属黒化面起因の黒色粉末は、感光性熱分解樹脂層形成工程で、一旦感光性熱分解樹脂層に取り込まれ、その後加熱工程で開放され、つぎの洗浄・乾燥工程で容易に除去が可能となる。
また、金属箔除去部の表面は、感光性熱分解樹脂層の対向ラミネート面が残るため、平滑となり透明化処理が不要となる。
【００１２】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の電磁波シールドフィルムの製造方法により製造されたことを特徴とする、電磁波シールドフィルムである。
【発明の効果】
【００１３】
このように本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法によれば、透明化処理が不要になるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法を一実施形態に基づいて以下に詳細に説明する（図１、図２参照）。
【００１５】
先ず、金属パターン形成の母体となる金属箔（１０）を準備する。金属箔としては、銅、鉄、ニッケル等の金属を１０μｍ程度の厚さに圧延した箔が好ましく使用できる。
【００１６】
この金属箔（１０）の片面に感光性熱分解樹脂を塗工して感光性熱分解樹脂層（１１）を形成させる。（感光性熱分解樹脂層形成工程〜Ａ）
層厚は金属箔面の凹凸が埋まり平滑化されるに十分な厚みであれば良い。
【００１７】
感光性熱分解樹脂としては、ポリプロピレンカーボネート（ＰＰＣ：Ｍｗ〜５０，０００以下）、ポリシクロヘキサンカーボネート（ＰＣＣ）、ポリエチレンカーボネート（ＰＥＣ）等が使用できるが、透明基材フィルムの耐熱温度を鑑みると、分解温度の低いポリプロピレンカーボネート（ＰＰＣ）がより好ましく使用できる。
【００１８】
この感光性熱分解樹脂を主剤として、この主剤１２〜２０ｗｔ％に対して、ＤＰＩ−ＴＰＦＰＢ（ｔｅｔｒａｋｉｓ（ｐｅｎｔａｆｌｕｏｒｏｐｈｅｎｙｌ）ｂｏｒａｔｅ−４−ｍｅｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌ〔４−（１−ｍｅｔｈｙｌｅｔｈｙｌ）ｐｈｅｎｙｌ  ｉｏｄｏｎｉｕｍ）、ＴＴＢＰＳ−ＴＰＦＰＢ（ｔｒｉｓ（４−ｔ−ｂｕｔｙｌｐｈｅｎｙｌ）ｓｕｌｆｏｎｉｕｍ  ｔｅｔｒａｋｉｓ−（ｐｅｎｔａｆｌｕｏｒｏｐｈｅｎｙｌ）ｂｏｒａｔｅ）、ＴＴＢＰＳ−ＨＦＰ（ｔｒｉｓ（４−ｔ−ｂｕｔｙｌｐｈｅｎｙｌ）ｓｕｌｆｏｎｉｕｍ  ｈｅｘａｆｌｕｏｒｏｐｈｏｓｐｈａｔｅなどの光酸生成剤（Ｐｈｏｔｏａｃｉｄ  Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ）を３〜５ｗｔ％、それに溶剤（メトキシベンゼン等）を加えて感光性熱分解樹脂溶液とする。
【００１９】
なお、この組成の場合、ＵＶ露光部の熱分解重量半減温度は１０２°Ｃ、非露光部の熱分解重量半減温度は１８０°Ｃである。
感光性熱分解樹脂は、ＵＶ露光部と非露光部で熱分解温度が異なる点に特長がある。
【００２０】
つぎに、感光性熱分解樹脂層（１１）を形成させた金属箔（１０）の感光性熱分解樹脂層形成面に、例えば、二液反応型のポリエステル樹脂系接着剤（１３）を介してドライラミネート法により、透明基材フィルム（１２）を貼り合わせ、積層シート（１４）を形成する。（透明基材フィルム積層工程〜Ｂ）
透明基材フィルム（１２）としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート等の透明なプラスチックフィルムが好ましく使用できる。厚さは１００μｍ前後のものが好適に使用できる。
【００２１】
つぎに、積層シート（１４）の金属箔面にレジスト液を塗布、パターンマスクを介して露光、現像し、所定の尾あターンの保護層を形成後、腐食によりパターン状に金属箔を除去して、幾何学形状の金属パターンを形成する。（エッチング工程〜Ｃ）
なお、レジスト液を塗布する代わりに、ドライレジストフィルムを貼合しても良い。すなわち、レジスト層を形成すれば良い。
【００２２】
金属箔がパターン状に除去された積層シート（１４）の金属箔面側に平行エネルギー線（１５）を照射して、金属箔が除去された部分の感光性熱分解樹脂層を分解する。〜平行エネルギー線照射工程（Ｄ）
平行エネルギー線（１５）としては、ＵＶ光、電磁波、ＥＢ、放射線などがあげられる。
露光部分（１６）の熱分解温度は低下する。
【００２３】
平行エネルギー線（１５）を照射後、積層シートを加熱する。〜加熱工程（Ｅ）
この際、加熱温度は先の非露光部（１７）の熱分解温度よりも低く、かつ露光部（１６）の熱分解温度よりも高い温度とする。このような加熱処理を施すことにより露光部の熱分解層が除去される。
【００２４】
最後に、積層シートを洗浄・乾燥・冷却して本発明の電磁波シールドフィルム（１）とする。〜洗浄・乾燥工程（Ｆ）
以上のような工程により、従来工程ではラミネート層に残存する金属黒化面起因の黒色粉末は、透明基材フィルム積層工程（Ｂ）で一旦熱分解樹脂層に取り込まれ、その後、加熱工程（Ｅ）で開放され、洗浄・乾燥工程（Ｆ）で容易に除去が可能となる。
また、同方法で作製されたメッシュの非画線部（金属箔除去部分）表面は、熱分解樹脂層の対向する透明基材フィルム面が残るため平滑となり、透明化処理が不要となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】（ａ）〜（ｇ）は、本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法の一実施例を図解した説明図である。
【図２】本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法の作業工程を示す、工程説明図である。
【符号の説明】
【００２６】
１‥‥電磁波シールドフィルム
１０‥‥金属箔
１１‥‥感光性熱分解樹脂層
１２‥‥透明基材フィルム
１３‥‥接着剤層
１４‥‥積層シート
１５‥‥平行エネルギー線
１６‥‥露光部分
１７‥‥非露光部分  
【図１】
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【図２】
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