(57)【要約】【課題】固定翼を半円環状固定翼に切断するのに、切断幅が小さいワイヤ放電加工等によらず、よりコストの安い切削や研削によって切断しても、固定翼と回転翼との干渉が起こらない真空ポンプを提供する。【解決手段】固定翼外輪部１２ａの基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）から、対応する回転翼端面４ａａ（４ａｂ）を含む平面までの距離ｈを、ポンプ運転時の回転翼４ａの変形範囲よりも大きく設定する。これにより、組立工程で、固定翼１２の半円環切断幅ｗが大きくて、固定翼１２がリング状スペーサ１３に対して径方向にずれ、外輪部１２ａが回転翼４ａと固定翼１２の間の空間にはみ出した場合にも、運転中に固定翼１２の外輪部１２ａが回転翼４ａにぶつかるおそれがない。固定翼１２の半円環切断幅ｗが大きくても外輪部１２ａと回転翼４ａとの干渉が起こらないのであるから、固定翼１２の半円環切断に高価なワイヤ放電加工を用いずに、カッター等、切削加工や研削加工を用いて経済的に加工でき、しかも、ポンプ組立ても容易になる。【選択図】図５
2007309245.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のポンプケースと、
上記ポンプケースの筒内に回転可能に設けられたロータと、
上記ロータの外周に多段に形成された複数の回転翼と、
上記ポンプケースの筒内に設けられ、かつ、上記回転翼と所定の間隙をもって交互に多段に配置された複数の固定翼と、
上記ポンプケースの筒内に設けられ、かつ、上記固定翼と固定翼との間にそれぞれ介挿された複数のリング状スペーサと
を有し、
上記回転翼には上下に回転翼端面が形成され、
上記固定翼は、切断された半円環状固定翼をふたつ合わせて円環状に形成されるとともに、回転翼端面に対向する固定翼翼部端面を有する翼部と、上記リング状スペーサの円筒当接端面と当接する基準端面を有する外輪部とが備えられ、
上記外輪部の基準端面から該基準端面に対応する上記回転翼端面を含む平面までの距離が、ポンプ運転時の回転翼の変形範囲よりも大きく設定されていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
上記外輪部の基準端面が、固定翼翼部端面よりも突出している請求項１記載のターボ分子ポンプ。
【請求項３】
翼部と外輪部とを有する円環状の固定翼を形成する固定翼形成工程と、
上記外輪部の端面に基準端面を形成し、該基準端面が真空ポンプのリング状スペーサの円筒当接端面と当接したとき、基準端面から対応する真空ポンプの回転翼端面を含む平面までの距離がポンプ運転時の回転翼の変形範囲よりも大きく設定する基準端面仕上げ工程と、
上記基準端面が形成された固定翼を半円環状に切削により切断する半円環状切削切断工程と
を備えた真空ポンプの固定翼の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ部を有する真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプ部を有する真空ポンプとして、たとえば特許文献１が知られている。特許文献１には、上下段の固定翼（１１，１１）間にスペーサ（５０）を介在設置し、スペーサ（５０）の外周部（５０ａ）とポンプケース（１）の内周部（１ａ）とを当接させて、スペーサ（５０）を径方向に位置決めするとともに、固定翼（１１）の外周部（１１ａ）をポンプケース（１）の内周部（１ａ）に直接当接させたり、ポンプケース（１）の内周部（１ａ）に当接位置決めされているスペーサ（５０）の当接部に当接させて、固定翼（１１）を径方向に位置決めし、また、スペーサ（５０）により固定翼（１１，１１）間の間隔を所定の距離に設定する真空ポンプが開示されている。スペーサ（５０）の形状は比較的簡単なものでよく、コストダウンが図れる。
【０００３】
特許文献１の固定翼（１１）は、放射状に配置された複数の翼が半円弧状の内外両フランジ部（１１−１、１１−２）を介して一体的に連結されている。外側フランジ部（１１−１）がない構造のものもある。詳細な説明には記載がないが、図面を参照すると、固定翼（１１）は側面から見て単純な円板形で、その内外両フランジ部（１１−１、１１−２）の厚みも翼のある部分と同一で、全体がフラットな上下面をなしている。
【０００４】
特許文献１は、固定翼（１１）とスペーサ（５０）の径方向位置決めに重点があり、固定翼（１１，１１）間の間隔設定はほぼ従来と同じであるので、固定翼（１１，１１）間の間隔設定については詳細には説明していない。しかし、固定翼（１１，１１）間の間隔は、固定翼（１１，１１）間に配置される回転翼（１０）と固定翼（１１）との間隔を適正に確保するために設定するものである。そして、回転翼（１０）と固定翼（１１）とは交互に複数重畳されるものであるから、個々のスペーサおよび固定翼の厚みの僅かなばらつき、組立上の誤差が累積される。それ故、回転翼（１０）と固定翼（１１）と間隔を全て適正に確保することは、製造上重要な課題であり、スペーサおよび固定翼の厚みの精密な加工および綿密な組立てが要求されるものである。
【０００５】
ところで、固定翼（１１）は、上述のように、放射状に配置された複数の翼が半円弧状の内側フランジ部（１１−２）を介して一体的に連結されているか、更に、外側フランジ部（１１−１）によっても連結されている。放射状の翼の部分は、比較的薄肉で外力により変形しやすいから、外側フランジ部（１１−１）のない固定翼（１１）の場合、ポンプ組立時にスペーサとスペーサの間で押されて変形しやすく、固定翼間の間隔設定を所定の値に確保することがむずかしい。外側フランジ部（１１−１）を付ければこの変形の問題は解消するが、外側フランジ部のスペーサ当接面の精度に問題がある。一般に、固定翼は、放射状の翼部を持つ複雑な形状の故に、アルミ合金の精密鋳造等で形成される。外側フランジ部の上下のスペーサ当接面は、精密鋳造等で形成されたままでは粗く、厚み精度も充分でなく、スペーサ当接面としての機能を果たさないから、更に、切削や研削等による仕上げ加工を施して、所定の厚みと上下スペーサ当接面の平行度を得るようにしている。
【０００６】
特許文献１においては、固定翼間の間隔設定を意図しているものではないから、これについての詳細な説明はなく、図面の固定翼の断面は単純な平板状に描かれている。つまり、特許文献１では、スペーサ当接面に仕上げ加工を施しやすい固定翼は説明されていない。しかし、実際の固定翼には、図８に示すような、外側フランジ部の上下のスペーサ当接面に仕上げ加工を施すのに好適な固定翼が、従来から用いられている。
【０００７】
図８は、外側フランジ部の上下のスペーサ当接面に仕上げ加工を施すのに好適な固定翼を用いた従来の真空ポンプを示している。
【０００８】
図８（ａ）において、図示省略のロータに一体形成された複数の回転翼４ａと、ポンプケース１１の筒内に設けられリング状スペーサ１３により所定の間隔に多段に保持された複数の固定翼１２とが、所定の間隔ｇ１をもって交互に配置されている。固定翼１２の外周には外輪部１２ａがあって、その上下の端面が基準端面１２ｔｂ、１２ｔａとなっている。この基準端面１２ｔｂ、１２ｔａは、リング状スペーサ１３の下面１３ｆ、上面１３ｅに当接している。
【０００９】
外輪部１２ａは固定翼１２の翼部よりも仕上げ加工を施すのに充分な段差ｓだけ厚くなっている。この段差ｓにより、仕上げ加工用工具が、翼部に触れることなく安全に、基準端面１２ｔｂ、１２ｔａを仕上げ加工することができる。充分な削りしろを確保するために、従来から、段差ｓは、回転翼４ａと固定翼１２との小さい間隔ｇ１よりも更にｆだけ大きくして、固定翼翼部に工具が触れることなく、充分な削りしろが取れるようにしてある。
【００１０】
このような形状にすることで、基準端面１２ｔｂ、１２ｔａは、リング状スペーサ１３の加工精度と同レベルの仕上げ加工により良好な平行度で仕上げられ、外輪部１２ａの厚みも精度よく加工されている。こうして基準面が精密に加工されたスペーサ１３と固定翼１２とにより、回転翼４ａと固定翼１２との軸線方向間隔ｇ１が適正な値に組付けられることができる。
【００１１】
固定翼１２の外輪部外周面１２ａｃは、ポンプケース１１の内筒面１１ｂに当接して、固定翼１２の径方向の位置を定め、これにより、回転翼４ａと固定翼１２との径方向間隔ｇ２が適正な値に組付けられる。
【００１２】
回転翼４ａと固定翼１２との軸線方向間隔ｇ１および径方向間隔ｇ２は、小さい方がポンプ性能がよい。しかし、回転翼４ａが回転中、ポンプ内に突入するガス等によって回転翼４ａが瞬間的に変形したり、回転翼４ａ、固定翼１２、スペーサ１３の加工誤差、ポンプ組立て誤差等によって、回転翼４ａと固定翼１２とが接触するのを避けるために、適正な軸線方向間隔ｇ１および径方向間隔ｇ２が必要である。
【００１３】
この種の真空ポンプでは、特許文献１にも記載されているように、ポンプ組立てを可能とするために、固定翼１２は半円環状に２分割されている。円環状の固定翼を工具で半分に切断するのである。この切断によって、ほぼ工具の幅に相当する切断幅ｗだけ削り取られて、円形の中央部が直線状に切断幅ｗだけ欠落している（図３参照）。
【００１４】
一方、半円環状をふたつ合わせた固定翼１２のそれぞれが、図８（ａ）のように、ポンプケース内筒面１１ｂにぴったり当たっているのが標準であるが、ふたつの半円環状の間に切断幅ｗだけの隙間があるので、ポンプ組立工程では、半径方向にずれてポンプケース内筒面１１ｂから若干離れ、図８（ｂ）や図８（ｃ）のようになる可能性がある。
【００１５】
図８（ｂ）は、固定翼１２が切断幅ｗよりは小さい量ｗ’だけずれて、回転翼４ａと固定翼外輪部１２ａとがｋ’に接近した状態を示している。この状態では、回転翼４ａ外周と固定翼外輪部１２ａ内周とが径方向に接触するおそれがある。
【００１６】
図８（ｃ）は、固定翼１２が切断幅ｗだけずれて、回転翼４ａと固定翼外輪部１２ａとが接近し過ぎ、回転翼４ａの角が固定翼外輪部１２ａの角と軸線方向にｆ、径方向にｋだけ干渉して、組立て不能となった状態を示している。
【００１７】
図８（ｂ）や（ｃ）のようにならないためには、固定翼１２の切断幅ｗをできるだけ小さくすることが求められ、従来は、切断が細いワイヤを用いたワイヤ放電加工等により行なわれてきた。このワイヤ放電加工は加工時間も長く、コスト高でもあるという問題がある。切断幅ｗが小さくて効率のよい実用的な切断方法は未だ見つかっていない。
【００１８】
【特許文献１】特開２００３−２６９３６４号公報（特許請求の範囲、段落番号００２１、００３４、図２、図３、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
この発明は、上述の問題点を解消し、固定翼を半円環状固定翼に切断するのに、切断幅が小さいワイヤ放電加工等によらず、よりコストの安い切削や研削によって切断しても、固定翼と回転翼との干渉が起こらない真空ポンプを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上述の課題を解決するために、この発明の真空ポンプは、筒状のポンプケースと、上記ポンプケースの筒内に回転可能に設けられたロータと、上記ロータの外周に多段に形成された複数の回転翼と、上記ポンプケースの筒内に設けられ、かつ、上記回転翼と所定の間隙をもって交互に多段に配置された複数の固定翼と、上記ポンプケースの筒内に設けられ、かつ、上記固定翼と固定翼との間にそれぞれ介挿された複数のリング状スペーサとを有し、上記回転翼には上下に回転翼端面が形成され、上記固定翼は、切断された半円環状固定翼をふたつ合わせて円環状に形成されるとともに、回転翼端面に対向する固定翼翼部端面を有する翼部と、上記リング状スペーサの円筒当接端面と当接する基準端面を有する外輪部とが備えられ、上記外輪部の基準端面から該基準端面に対応する上記回転翼端面を含む平面までの距離が、ポンプ運転時の回転翼の変形範囲よりも大きく設定されている。
【００２１】
上記の発明において、上記外輪部の基準端面が、固定翼翼部端面よりも突出しているようにすると、基準端面の仕上げ加工が容易になる。
【００２２】
上述の課題を解決するために、この発明の真空ポンプの固定翼の製造方法は、翼部と外輪部とを有する円環状の固定翼を形成する固定翼形成工程と、上記外輪部の端面に基準端面を形成し、該基準端面が真空ポンプのリング状スペーサの円筒当接端面と当接したとき、基準端面から対応する真空ポンプの回転翼端面を含む平面までの距離がポンプ運転時の回転翼の変形範囲よりも大きく設定する基準端面仕上げ工程と、上記基準端面が形成された固定翼を半円環状に切削により切断する半円環状切削切断工程とを備える。
【００２３】
この発明において、「基準端面に対応する回転翼端面」の「対応する」とは、（固定翼の）基準端面と同じ側の固定翼翼部端面が回転翼端面と対向していることを意味している。
【００２４】
この発明において、「外輪部の基準端面から該基準端面に対応する上記回転翼端面を含む平面までの距離」の「距離」とは、基準端面１２ｔａ、１２ｔｂと、回転翼端面４ａａ、４ａｂを含んで基準端面１２ｔａ、１２ｔｂに向き合うところまで延長した平面との距離ｈ、ｈ、すなわち、ポンプ軸線方向距離を意味している。
【００２５】
この発明において、「ポンプ運転時の回転翼の変形範囲よりも大きく設定」の「変形範囲よりも大きく設定」とは、ポンプ内に突入するガス等によって回転翼４ａが瞬間的に変形すると実験的あるいは理論的に想定される変形量に、回転翼４ａ、固定翼１２、スペーサ１３の加工誤差、ポンプ組立て誤差等による位置ずれを加味した変形範囲よりも大きく設定することを意味する。
【００２６】
この発明において、「切削」には、切削に加えて、研削を含む。
【発明の効果】
【００２７】
この発明においては、固定翼外輪部１２ａ（図５参照）の基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）から、対応する回転翼端面４ａａ（４ａｂ）を含む平面までの距離ｈが、ポンプ運転時の回転翼４ａの変形範囲よりも大きく設定されるから、組立工程で、固定翼１２の半円環切断幅ｗが大きくて、固定翼１２がリング状スペーサ１３に対して径方向にずれ、外輪部１２ａが回転翼４ａと固定翼１２の間の空間にはみ出した場合にも、運転中に固定翼１２の外輪部１２ａが回転翼４ａにぶつかるおそれがない。固定翼１２の半円環切断幅ｗが大きくても外輪部１２ａと回転翼４ａとの干渉が起こらないのであるから、固定翼１２の半円環切断に高価なワイヤ放電加工を用いずに、カッター等の切削加工や研削加工を用いて経済的に加工でき、しかも、ポンプ組立ても容易になる。ポンプ性能は維持できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
この発明の実施の形態を、以下、図１〜図７を参照して説明する。図１は、この発明の一実施形態を示す縦断面図、図２は、図１の要部拡大断面図、図３は、図１における固定翼を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、図４は、図３におけるＩＶ−ＩＶ拡大断面図、図５は、図２において固定翼のセットがずれた場合を示す断面図、図６は、この発明の他の実施形態を示す要部拡大断面図、図７は、この発明の固定翼の製造方法を示す説明図である。
【００２９】
図１において、１はベース、２はステータコラム、３はロータ軸、４はロータ、５はラジアル磁気軸受、６はアキシアル磁気軸受、７はモータである。
【００３０】
上記ベース１の中央には、コラム挿入穴１ａが設けられている。円筒状のステータコラム２は、コラム挿入穴１ａに上側から下部が挿入嵌合され、ボルト結合されて、ベース１の中央上方に立設されている。コラム挿入穴１ａは、ベース１の下面に取り付けられた底蓋８により塞がれている。
【００３１】
上記ロータ軸３は、その上部で結合して上記ロータ４を一体に保持し、ステータコラム２の内筒内に空隙を保って回転自在に挿入されている。
【００３２】
すなわち、ロータ軸３とステータコラム２の間には、上記ラジアル磁気軸受５とアキシアル磁気軸受６が配設され、上記ステータコラム２がロータ軸３を回転自在に保持するために、ラジアル磁気軸受５がロータ軸３を半径方向に保持し、アキシアル磁気軸受６がロータ軸３を軸線方向に保持している。
【００３３】
また、ロータ軸３とステータコラム２の間には、上記モータ７が配設され、このモータ７が上記ステータコラム２に対してロータ軸３、ロータ４を回転駆動するようになっている。
【００３４】
上記ロータ４の上部外周には、複数の回転翼４ａ、４ａ、‥‥が多段に形成されている。
【００３５】
両磁気軸受５、６とモータ７のそれぞれのステータコラム２側の部材とロータ軸３側の部材との間には、若干の空隙があって、磁気軸受５、６の各空隙が制御されることにより、ロータ軸３、ロータ４は空間上に安定保持され、モータ７により高速回転される。
【００３６】
１１はポンプケース、１２、１２、‥‥は複数の固定翼、１３、１３、‥‥は複数のリング状スペーサである。
【００３７】
上記ポンプケース１１は、円筒状で、上記ベース１の上方に取り付けられ、その筒内にステータコラム２を収容するとともに、ロータ軸３、ロータ４を回転可能に収容している。
【００３８】
上記固定翼１２、１２、‥‥は、上記ロータ４の複数の回転翼４ａ、４ａ、‥‥と所定の隙間を保って交互に重ね合わされ、回転翼４ａ、４ａ、‥‥と固定翼１２、１２、‥‥とでターボ分子ポンプ部を形成している。
【００３９】
上記リング状スペーサ１３、１３、‥‥は、上記ポンプケース１１の筒内上部に軸方向に重畳して設けられ、上記固定翼１２と固定翼１２との間にそれぞれ介挿されている。
【００４０】
１４は、ベース１と上記固定翼１２、１２、‥‥との間のポンプケース１１の内壁に設けられ、内周面にネジ溝１４ａを形成したネジステータである。このネジステータ１４のネジ溝１４ａは、上記ロータ４下部の薄肉円筒状のスカート部４ｂの外周面と近接対向し、ネジ溝１４ａとスカート部４ｂとでネジ溝ポンプ部を形成している。
【００４１】
１５はポンプの吸気口、１６は排気口である。吸気口１５は、ポンプ上部に、排気口１６は、ベース１内にそれぞれ設けられている。
【００４２】
１８は、ステータコラム２とロータ軸３との間に設けられた保護用ベアリングである。この保護用ベアリング１８は、停電や回路異常時など磁気軸受の制御不能時等に、磁気軸受５、６とモータ７の各ステータコラム側とロータ軸側との接触を防止するためのものである。
【００４３】
次に、この発明の特徴であるターボ分子ポンプ部の詳細について、図２〜図７を参照して説明する。
【００４４】
図２（ａ）において、上記回転翼４ａには上下に回転翼端面４ａａ、４ａｂが形成されている。上記回転翼端面４ａａ（４ａｂ）は、回転翼４ａに形成されている放射状の複数の羽根（図示省略）の上面（下面）を包絡するロータ軸線と直交する平面をなしている。また、固定翼翼部端面１２ｙａ（１２ｙｂ）は、固定翼翼部１２ｂに形成されている放射状の複数の羽根１２ｗ、１２ｗ、‥‥（図３および図４参照）の上面（下面）を包絡するロータ軸線と直交する平面をなしている。
【００４５】
リング状スペーサ１３には、この実施の形態では、内筒面１３ａ、外筒面１３ｂ、固定翼径方向規制内筒面１３ｃ、段部外筒部１３ｄ、上部円筒当接端面１３ｅおよび中間部円筒当接端面１３ｆが備えられている。
【００４６】
上記内筒面１３ａはスペーサの上部に形成され、外筒面１３ｂはスペーサ外周のほぼロータ軸線方向全体にわたって形成され、固定翼径方向規制内筒面１３ｃは、内筒面１３ａと外筒面１３ｂとの中間の径であって、スペーサの下部に形成され、段部外筒部１３ｄは、内筒面１３ａと外筒面１３ｂとの中間の径であって、上隣りのリング状スペーサ１３の固定翼径方向規制内筒面１３ｃと嵌合するようにスペーサの上部に形成されている。これらの内筒面１３ａと外筒面１３ｂと固定翼径方向規制内筒面１３ｃと段部外筒部１３ｄとは、互いに同芯に形成されている。
【００４７】
上記上部円筒当接端面１３ｅは、スペーサの最上端で内筒面１３ａと段部外筒部１３ｄとをつなぎ、上隣りの固定翼１２の下側の基準端面１２ｔａに当接する円筒当接端面となっている。上記中間部円筒当接端面１３ｆは、内筒面１３ａと固定翼径方向規制内筒面１３ｃとをつなぎ、下隣りの固定翼１２の上側の基準端面１２ｔｂに当接する円筒当接端面となっている。
【００４８】
固定翼１２は、その外輪部１２ａの外周面１２ａｃがリング状スペーサ１３の上記固定翼径方向規制内筒面１３ｃに嵌め込まれ、外輪部１２ａの上下の基準端面１２ｔｂ、１２ｔａが、上記のように、円筒当接端面１３ｆ、１３ｅとそれぞれ当接して、リング状スペーサ１３に上下方向に挟まれ、固定されている。この状態で、固定翼１２の翼部１２ｂは、上下の回転翼４ａ、４ａの間に位置されている。
【００４９】
次に、複数の固定翼１２、１２、‥‥とリング状スペーサ１３、１３、‥‥のロータ軸線方向および径方向位置決め構造について、図２（ａ）および（ｂ）を参照して説明する。
【００５０】
この実施の形態では、最上段のスペーサ１３（Ｔ）の上部円筒当接端面１３ｅがポンプケース１１の内筒上部に設けたスペーサ当接用端面１１ａに当接し（図２（ａ））、最下段の固定翼１２（Ｂ）の下側の基準端面１２ｔａがネジステータ１４の上面に設けた固定翼当接用端面１４ｂに当接している（図２（ｂ））。ポンプ組立ての際は、ネジステータ１４上に固定翼１２、１２、‥‥とリング状スペーサ１３、１３、‥‥を交互に積み重ねた状態でポンプケース１１を上から被せ、ベース１にポンプケース１１をボルト１９により締結する（図１参照）と、全ての固定翼１２、１２、‥‥のロータ軸線方向の位置決めがなされ、各固定翼１２と回転翼４ａとの間隔、すなわち、対向する固定翼翼部端面１２ｙａ（１２ｙｂ）と回転翼端面４ａｂ（４ａａ）との距離が所定の値ｇ１に設定される。
【００５１】
最上段のスペーサ１３（Ｔ）の段部外筒部１３ｄは上記スペーサ当接用端面１１ａに隣接するスペーサ当接用円筒面１１ｃに嵌め込まれ、最下段のリング状スペーサ１３（Ｂ）の固定翼径方向規制内筒面１３ｃには、最下段の固定翼１２（Ｂ）の外周面１２ａｃと上記固定翼当接用端面１４ｂに隣接するスペーサ当接用円筒面１４ｃとが嵌め込まれている。更に、上下に重なった複数のリング状スペーサ１３、１３、‥‥が、互いに固定翼径方向規制内筒面１３ｃと段部外筒部１３ｄとで嵌合しているから、全ての固定翼１２、１２、‥‥とリング状スペーサ１３、１３、‥‥のロータ径方向の位置決めがなされる。これにより、ロータ４の回転翼４ａとリング状スペーサ１３との径方向間隔ｇ２が設定される。
【００５２】
固定翼１２を、図３および図４を参照して、より詳細に説明する。
【００５３】
図３に示すように、上記固定翼１２は、上記の外輪部１２ａ、翼部１２ｂに加えて、更に、内輪部１２ｃを有している。
【００５４】
上記外輪部１２ａは、既に説明したように、その上下面にリング状スペーサ１３の円筒当接端面１３ｅ、１３ｆと当接する基準端面１２ｔａ、１２ｔｂを有し、上記翼部１２ｂには、放射状の複数の羽根１２ｗ、１２ｗ、１２ｗ、‥‥を備えている。羽根１２ｗは、図４に示すように、捩れた断面を持ち、羽根１２ｗと逆向きに捩じれた羽根（図示省略）を持つロータ４が回転すると、両者の羽根により気体分子をポンプの下方に移動させるようにしてある。
【００５５】
これらの羽根１２ｗ、１２ｗ、１２ｗ、‥‥の先端は外輪部１２ａにつながり、基端は内輪部１２ｃにつながっていて、外輪部１２ａと内輪部１２ｃとが、各羽根１２ｗの配置が規定するとともに、羽根１２ｗを強固に保持して、大気突入時等の羽根１２ｗの変形を防いでいる。なお、羽根１２ｗの保持強度はやや落ちるが、内輪部１２ｃがなくてもよい。
【００５６】
ところで、この発明の真空ポンプの構造では、上記固定翼１２は、切断された半円環状固定翼をふたつ合わせて円環状に形成されるものである。このように、円環状固定翼１２を半円環状固定翼に２分割する理由は、固定翼１２、１２、‥‥と交互に重畳配設される回転翼４ａ、４ａ、‥‥は、ロータ４と一体に形成されていて、固定翼１２が円環状のままではポンプの組立てができないからである。そこで、固定翼１２を切断して、図３のように、半円環状固定翼１２Ｈ、１２Ｈにしておいて、ポンプ組立工程において回転翼４ａと回転翼４ａとの間にふたつの半円環状固定翼１２Ｈ、１２Ｈを向き合わせて挿入して円環状の固定翼１２の形状にする。
【００５７】
固定翼１２の切断により、固定翼１２は切断工具の幅により切断幅ｗだけ削り取られたうえで、ふたつの半円環状固定翼１２Ｈ、１２Ｈとなる。切断幅ｗだけ削り取られた半円環状固定翼１２Ｈ、１２Ｈを向き合わせて復元した固定翼１２は、完全な円環状ではない。それ故、組立工程でリング状スペーサ１３、１３に挟まれた固定翼１２は、図５の２点鎖線で示したように、リング状スペーサ１３の固定翼径方向規制内筒面１３ｃに外周面１２ａｃが当接することもあるし、逆に、径方向反対側に寄せられて実線で示したように固定翼径方向規制内筒面１３ｃと外周面１２ａｃとがｗだけ離れてしまうこともある。その中間の位置になることもある。つまり、外輪部１２ａが回転翼４ａ側にはみ出すことがある。
【００５８】
そこで、もし、固定翼翼部端面１２ｙａ（１２ｙｂ）と基準端面１２ｔｂ（１２ｔａ）との段差ｓが、回転翼４ａと固定翼１２との軸線方向間隔ｇ１よりも大きかったり、あるいは、ｇ１より小さくても、外輪部１２ａがポンプ運転時の回転翼４ａの変形範囲内にはみ出すと、外輪部１２ａが回転翼４ａと干渉するおそれが出る。
【００５９】
そこで、この発明では、段差ｓを小さくして、外輪部１２ａの基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）から該基準端面に対応する回転翼端面４ａａ（４ａｂ）を含む平面までの距離ｈを、ポンプ運転時の回転翼４ａの変形範囲よりも大きく設定する。このようにすると、半円環状固定翼１２Ｈの位置が図５の最も左にｗだけずれた場合にも、基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）と回転翼端面４ａａ（４ａｂ）との間に高さｈ分だけ空間が確保され、回転翼４ａがポンプ運転時に変形した場合にも回転翼４ａと固定翼の外輪部１２ａが干渉することがない。
【００６０】
固定翼１２の製造上は、外輪部１２ａの基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）が、図５のように、固定翼翼部端面１２ｙｂ（１２ｙａ）よりも突出していると、基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）を仕上げ加工する際、固定翼の羽根１２ｗに工具が触れるおそれがなくて好ましい。
【００６１】
しかし、この発明は、図５の例に限られるものではなく、図６のように、外輪部１２ａの基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）が固定翼翼部端面１２ｙｂ（１２ｙａ）よりもｒだけ凹ませてもよい。この場合は、基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）を仕上げ加工する際、固定翼の羽根１２ｗに固定翼の取り付け台や工具が触れないように、取り付け台に固定翼翼部１２ｂの逃げを設けたり、工具が固定翼翼部１２ｂを避けて仕上げ加工するのがよい。
【００６２】
固定翼１２の製造は、図７の（ａ）〜（ｃ）のステップで行なう。
【００６３】
先ず、（ａ）精密鋳造等により、円板状で翼部１２ｂに放射状の複数の羽根１２ｗ、１２ｗ、‥‥が形成され、翼部１２ｂの内側に内輪部１２ｃ、外側に外輪部１２ａとなっている固定翼素材１２を形成する。外輪部１２ａは、この実施の形態では、外輪部１２ａが翼部１２ｂ、内輪部１２ｃよりも厚くなっていて、両端面１２ｔａ、１２ｔｂには仕上げ加工に備えて削りしろがある。
【００６４】
次に、（ｂ）両端面１２ｔａ、１２ｔｂの一方を基準端面仕上げ用取り付け台（図示省略）の基準面に当てて固定翼素材１２を取り付け、他方の端面１２ｔａ（１２ｔｂ）を旋削して仕上げる。端面１２ｔａ（１２ｔｂ）と固定翼翼部端面１２ｙｂ（１２ｙａ）との段差ｓ（図５参照）を設計値に合わせる。その後、固定翼素材１２を裏返して、仕上げて基準端面となった端面を基準端面仕上げ用取り付け台の基準面に当てて固定翼素材１２を取り付け、他の面を同様にして仕上げ、外輪部１２ａの厚みを設計値に合わせ、両面の段差をｓに仕上げる。上記ステップ（ａ）の加工誤差のため両面の段差は必ずしも正確に一致はしないが、若干の誤差は上記距離ｈの値に加味しておくので差し支えない。外輪部１２ａの厚みは、組立ての際、その誤差が累積されるから、できるだけ精密に設計値に合わせる。
【００６５】
最後に、（ｃ）上記ステップ（ｂ）で仕上げた外輪部１２ａの一方の基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）を切断用取り付け台（図示省略）に合わせて固定翼１２を取り付け、切断用カッターで切断して半円環状固定翼１２Ｈ、１２Ｈに２分する。切断幅ｗは、ほぼ切断用カッター幅であり、従来のワイヤ放電加工による切断幅よりも大きいが、この発明では、外輪部１２ａの基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）から該基準端面に対応する回転翼端面４ａａ（４ａｂ）を含む平面までの距離ｈを、ポンプ運転時の回転翼４ａの変形範囲よりも大きく設定したから、組立て時に半円環状固定翼１２Ｈが径方向にずれても回転翼４ａと固定翼外輪部１２ａとの干渉は起こらず、ポンプ機能に何ら支障は起こらない。しかも、切断工具も安価で、切断時間も短く、非常に経済的である。
【００６６】
上記（ｃ）のステップでは、切断用カッターのほか、ダイヤモンド・ホイール、ＣＢＮホイール、レジンボンドホイール等の研削ホイールを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】この発明の一実施形態を示す縦断面図。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ図１の要部拡大断面図。
【図３】図１における固定翼を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図。
【図４】図３におけるＩＶ−ＩＶ拡大断面図。
【図５】図２において固定翼のセットがずれた場合を示す断面図。
【図６】この発明の他の実施形態を示す要部拡大断面図。
【図７】この発明の固定翼の製造方法を示す説明図。
【図８】（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、従来の真空ポンプの問題点を説明する説明図。
【符号の説明】
【００６８】
１  ベース
１ａ  コラム挿入穴
２  ステータコラム
３  ロータ軸
４  ロータ
４ａ  回転翼
４ａａ、４ａｂ  回転翼端面
４ｂ  スカート部
５  ラジアル磁気軸受
６  アキシアル磁気軸受
７  モータ
８  底蓋
１１  ポンプケース
１１ａ  スペーサ当接用端面
１１ｃ  スペーサ当接用円筒面
１２  固定翼
１２ａ  外輪部
１２ｔａ、１２ｔｂ  基準端面
１２ａｃ  外輪部外周面
１２ｂ  翼部
１２ｙａ、１２ｙｂ  固定翼翼部端面
１２ｃ  内輪部
１２ｗ  固定翼の羽根
１２Ｈ  半円環状固定翼
１２（Ｂ）  最下段の固定翼
１３  リング状スペーサ
１３ａ  内筒面
１３ｂ  外筒面
１３ｃ  固定翼径方向規制内筒面
１３ｄ  段部外筒部
１３ｅ  上部円筒当接端面
１３ｆ  中間部円筒当接端面
１３（Ｂ）  最下段のリング状スペーサ
１３（Ｔ）  最上段のスペーサ
１４  ネジステータ
１４ａ  ネジ溝
１４ｂ  固定翼当接用端面
１４ｃ  スペーサ当接用円筒面
１５  吸気口
１６  排気口
１８  保護用ベアリング
１９  ボルト
ｇ１  固定翼１２と回転翼４ａとの軸線方向間隔
ｇ２  ロータ４の回転翼４ａとリング状スペーサ１３との径方向間隔
ｈ  固定翼外輪部１２ａの基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）から、対応する回転翼端面４ａａ（４ａｂ）を含む平面までの距離
ｓ  固定翼翼部端面１２ｙａ（１２ｙｂ）と基準端面１２ｔｂ（１２ｔａ）との段差
ｗ  切断幅
ｒ  基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）の固定翼翼部端面１２ｙｂ（１２ｙａ）からの凹み量
【図１】
2007309245.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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