(57)【要約】【課題】  単電池に被覆された接着材の乾燥に、容易に適用することが可能な真空乾燥装置を提供する。【解決手段】  揮発成分を含んでいる接着材２０が被覆された単電池１０を、配置するための密閉容器１１２，１１４、密閉容器１１２，１１４を減圧し、接着材２０の揮発成分を蒸発させるための減圧機構、および、密閉容器１１２，１１４の内圧と単電池１０の内圧との差圧に基づく、単電池１０の膨出変形を妨げるための押さえ機構１４０を有する。【選択図】            図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
揮発成分を含んでいる接着材が被覆された単電池を、配置するための密閉容器、
前記密閉容器を減圧し、前記接着材の揮発成分を蒸発させるための減圧機構、および、
前記密閉容器の内圧と前記単電池の内圧との差圧に基づく、前記単電池の膨出変形を妨げるための押さえ機構
を有することを特徴とする真空乾燥装置。
【請求項２】
前記接着材の揮発成分は、水を含んでいることを特徴とする請求項１に記載の真空乾燥装置。
【請求項３】
前記接着材は、離間して複数配置される線状パターンの被覆部を形成していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の真空乾燥装置。
【請求項４】
前記押さえ機構は、前記単電池の表面と当接するパッド部を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の真空乾燥装置。
【請求項５】
前記パッド部の当接面は、多孔質構造部を有することを特徴とする請求項４に記載の真空乾燥装置。
【請求項６】
前記パッド部の当接面は、前記接着材の被覆部を覆う溝部を有することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の真空乾燥装置。
【請求項７】
前記パッド部によって発揮される加圧力は、大気圧と前記密閉容器の内圧との差圧に基づいていることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載の真空乾燥装置。
【請求項８】
前記押さえ機構は、前記パッド部に連結される伸縮自在の管部材を有し、
前記管部材は、大気圧下にある内面部と、前記密閉容器の内部に連通している外面部とを有することを特徴とする請求項７に記載の真空乾燥装置。
【請求項９】
前記押さえ機構は、前記パッド部によって発揮される加圧力を調整するための加圧力調整装置を有することを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の真空乾燥装置。
【請求項１０】
前記加圧力調整装置は、伸縮によって反力を生じる弾性体と、前記弾性体の伸縮量を調整するための制御機構とを有し、前記パッド部によって発揮される加圧力は、前記弾性体の反力によって調整されることを特徴とする請求項９に記載の真空乾燥装置。
【請求項１１】
前記押さえ機構は、前記パッド部に連結される伸縮自在の２重管部材と、前記パッド部によって発揮される加圧力を調整するための加圧力調整装置とを有し、
前記２重管部材は、大気圧下にある内面部、前記密閉容器の内部に連通している外面部、および、前記内面部と前記外面部との間に位置しかつ流体が導入される内部空間を有し、
前記加圧力調整装置は、前記流体の圧力を調整するための制御機構を有し、前記パッド部によって発揮される加圧力は、前記流体の圧力によって調整されることを特徴とする請求項７に記載の真空乾燥装置。
【請求項１２】
前記密閉容器は、前記単電池が、複数配置されており、
前記押さえ機構は、前記単電池の配置数に対応させて、複数設置されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の真空乾燥装置。
【請求項１３】
前記密閉容器は、前記単電池が、複数配置されており、
前記押さえ機構は、前記単電池の配置数に対応させて、複数設置されており、
前記真空乾燥装置は、前記複数の押さえ機構における２重管部材の内部空間に導入される前記流体の圧力を均圧化するための平衡機構を有しており、
前記複数の押さえ機構の前記パッド部によって発揮される加圧力は、均一化されることを特徴とする請求項１２に記載の真空乾燥装置。
【請求項１４】
前記平衡機構は、前記複数の押さえ機構の２重管部の内部空間を連通するための共通の配管系を有することを特徴とする請求項１３に記載の真空乾燥装置。
【請求項１５】
前記平衡機構は、前記共通の配管系の途中に配置される液体圧シリンダを有し、
前記液体圧シリンダは、往復動自在に配置されかつ前記流体の圧力の変動を吸収するピストンを有することを特徴とする請求項１４に記載の真空乾燥装置。
【請求項１６】
揮発成分を含んでいる接着材が被覆された単電池を、密閉容器に配置し、
前記密閉容器を減圧し、前記接着材の揮発成分を蒸発させる際に、前記密閉容器の内圧と前記単電池の内圧との差圧に基づく、前記単電池の膨出変形を、押さえ機構によって妨げることを特徴とする真空乾燥方法。
【請求項１７】
前記押さえ機構は、パッド部を前記単電池の表面に当接させることによって、前記単電池の膨出変形を妨げることを特徴とする請求項１６に記載の真空乾燥方法。
【請求項１８】
前記パッド部の当接面に配置される多孔質構造部によって、前記接着材の揮発成分の蒸発経路を確保することを特徴とする請求項１７に記載の真空乾燥方法。
【請求項１９】
前記接着材の被覆部を覆っている、前記パッド部の当接面に配置される溝部によって、前記接着材の揮発成分の蒸発経路を確保すること、および、前記パッド部の当接面と、接着材との接触を防ぐことを特徴とする請求項１７又は請求項１８に記載の真空乾燥方法。
【請求項２０】
前記パッド部によって発揮される加圧力は、大気圧と前記密閉容器の内圧との差圧に基づいていることを特徴とする請求項１６〜１９のいずれか１項に記載の真空乾燥方法。
【請求項２１】
前記押さえ機構は、前記パッド部に連結される伸縮自在の管部材を有し、
前記管部材は、大気圧下にある内面部と、前記密閉容器の内部に連通している外面部とを有することを特徴とする請求項２０に記載の真空乾燥方法。
【請求項２２】
前記押さえ機構の有する加圧力調整装置によって、前記パッド部によって発揮される加圧力を、調整することを特徴とする請求項２０又は請求項２１に記載の真空乾燥方法。
【請求項２３】
前記加圧力調整装置は、伸縮によって反力を生じる弾性体と、前記弾性体の伸縮量を調整するための制御機構とを有しており、
前記パッド部によって発揮される加圧力を、前記弾性体の反力によって調整することを特徴とする請求項２２に記載の真空乾燥方法。
【請求項２４】
前記押さえ機構は、前記パッド部に連結される伸縮自在の２重管部材と、前記パッド部によって発揮される加圧力を、調整するための加圧力調整装置とを有し、
前記２重管部材は、大気圧下にある内面部、前記密閉容器の内部に連通している外面部、および、前記内面部と前記外面部との間に位置しかつ流体が導入される内部空間を有しており、
前記加圧力調整装置は、前記流体の圧力を調整するための制御機構を有しており、
前記パッド部によって発揮される加圧力を、前記流体の圧力によって調整することを特徴とする請求項２２に記載の真空乾燥方法。
【請求項２５】
前記密閉容器は、前記単電池が、複数配置されており、
前記押さえ機構は、前記単電池の配置数に対応させて、複数設置されており、
前記密閉容器を減圧し、前記接着材の揮発成分を蒸発させる際に、前記複数の押さえ機構の前記パッド部によって発揮される加圧力を、均一化することを特徴とする請求項２４に記載の真空乾燥方法。
【請求項２６】
前記複数の押さえ機構における２重管部材の内部空間に導入される前記流体の圧力を、均圧化することによって、前記複数の押さえ機構の前記パッド部によって発揮される加圧力は、均一化されることを特徴とする請求項２５に記載の真空乾燥方法。
【請求項２７】
前記複数の押さえ機構における２重管部の内部空間を、共通の配管系によって連通することによって、前記内部空間に導入される前記流体の圧力を、均圧化することを特徴とする請求項２６に記載の真空乾燥方法。
【請求項２８】
前記共通の配管系の途中に、往復動自在に配置されるピストンを有する液体圧シリンダが配置されており、前記ピストンの往復動によって前記流体の圧力の変動を吸収することを特徴とする請求項２７に記載の真空乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空乾燥装置および真空乾燥方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
単電池は、電池モジュールを形成する際や、容器（ケーシング）に収容される際において、固定するために、接着材が予め被覆される。接着材は、揮発成分を含んでいるため、乾燥することで、揮発成分を蒸発させている。しかし、乾燥に赤外線や熱風を利用する場合、単電池の熱劣化を抑制しつつ、乾燥することが困難である。
【０００３】
一方、真空乾燥は、減圧による沸点低下を利用し、被乾燥物を低温で処理可能であり、乾燥による熱劣化が防げる点で、好ましい（例えば、特許文献１および特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開平１１−６７８３６号公報
【特許文献２】特開平２００４−２３２９６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、真空乾燥を、単電池に被覆された接着材の乾燥に適用する場合、問題を生じる。例えば、単電池の内部は密閉（封止）されているため、減圧雰囲気下においては、単電池の膨出破壊を生じる虞があり、真空乾燥の適用が困難である。
【０００５】
本発明は、上記従来技術に伴う課題を解決するためになされたものであり、単電池に被覆された接着材の乾燥に、容易に適用することが可能な真空乾燥装置および真空乾燥方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための請求項１に記載の発明は、
揮発成分を含んでいる接着材が被覆された単電池を、配置するための密閉容器、
前記密閉容器を減圧し、前記接着材の揮発成分を蒸発させるための減圧機構、および、
前記密閉容器の内圧と前記単電池の内圧との差圧に基づく、前記単電池の膨出変形を妨げるための押さえ機構
を有することを特徴とする真空乾燥装置である。
【０００７】
上記目的を達成するための請求項１６に記載の発明は、
揮発成分を含んでいる接着材が被覆された単電池を、密閉容器に配置し、
前記密閉容器を減圧し、前記接着材の揮発成分を蒸発させる際に、前記密閉容器の内圧と前記単電池の内圧との差圧に基づく、前記単電池の膨出変形を、押さえ機構によって妨げることを特徴とする真空乾燥方法である。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１に記載の発明によれば、密閉容器を減圧し、単電池に被覆された接着材の揮発成分を蒸発させる際に、単電池の膨出変形を、押さえ機構によって妨げることが可能であり、単電池の膨出破壊を容易に避けることができる。また、減圧による揮発成分の沸点低下により、乾燥温度を、例えば、常温まで低下させることで、乾燥による熱劣化を抑制することが可能である。つまり、単電池に被覆された接着材の乾燥に、容易に適用することが可能な真空乾燥装置を提供することができる。
【０００９】
請求項１６に記載の発明によれば、密閉容器を減圧し、単電池に被覆された接着材の揮発成分を蒸発させる際に、単電池の膨出変形は、押さえ機構によって妨げられ、単電池の膨出破壊が容易に避けられる。また、減圧による揮発成分の沸点低下により、乾燥温度を、例えば、常温まで低下させることで、乾燥による熱劣化が抑制される。つまり、単電池に被覆された接着材の乾燥に、容易に適用することが可能な真空乾燥方法を提供することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。図１は、実施の形態１に係る真空乾燥装置を説明するための平面図、図２は、図１の真空乾燥装の側面図、図３は、図２に示される押さえ機構を説明するための断面図、図４は、図１の真空乾燥装置に適用される処理物（被乾燥物）である単電池を説明するための斜視図である。
【００１１】
真空乾燥装置（減圧乾燥装置）１００は、密閉容器１１０、減圧機構１３０および押さえ機構１４０を有する。
【００１２】
密閉容器１１０は、基部１１２、蓋体１１４、封止部材１１６、吸気管１１８および排気管１２０を有し、接着材２０が被覆（塗布）された単電池１０を、配置するために使用される。
【００１３】
接着材２０は、揮発成分として水を含んでいる感圧性接着剤であり、電池モジュールを形成する際や、容器（ケーシング）に収容する際において、単電池１０を固定するために、予め被覆されている。接着材２０は、揮発成分の蒸発を容易かつ促進するために、離間して複数配置される線状パターンの被覆部を形成している。
【００１４】
単電池１０は、例えば、扁平型のリチウムイオン二次電池であり、正極板、負極板およびセパレータを順に積層した発電要素を有する。発電要素は、ラミネートフィルムなどの外装材１２によって封止されている。単電池１０は、外装材１２から外部に導出される板状の電極タブ１４，１６を有する。
【００１５】
基部１１２は、略矩形の平板形状を有し、複数の単電池１０が並置される。蓋体１１４は、略矩形の中空形状を有し、単電池１０における接着材２０の被覆部に相対して、配置される。封止部材１１６は、例えば、Ｏリング等のパッキンからなり、基部１１２に対する蓋体１１４の取り付けによって形成される内部空間を、密閉状態とするために使用される。吸気管１１８は、バルブ１１９を介し、大気に開放されている。排気管１２０は、バルブ１２１を介し、減圧機構１３０に連結されている。
【００１６】
減圧機構１３０は、真空ポンプ１３２および配管系１３４を有し、密閉容器１１０を減圧し、接着材２０の揮発成分である水の沸点を低下させ、容易に蒸発（乾燥）させるために使用される。真空ポンプ１３２は、例えば、常温（２５℃）における水蒸気圧（約２．９×１０３Ｐａ）以下に、密閉容器１１０の内圧を減圧させ得る性能を有しておれば、特に限定されず、形式、排気速度、到達圧力等を、適宜選択することが可能である。なお、配管系１３４は、真空ポンプ１３２と、密閉容器１１０の排気管１２０とを連結する。
【００１７】
押さえ機構１４０は、密閉容器１１０の内圧と単電池１０の内圧との差圧に基づく、単電池１０の膨出変形を妨げるために使用され、単電池１０の配置数に対応させて、密閉容器１１０の蓋体１１４に複数設置されている。
【００１８】
したがって、密閉容器１１０を減圧し、単電池１０に被覆された接着材２０の揮発成分を蒸発させる際に、単電池１０の膨出変形を、押さえ機構１４０によって妨げることが可能であり、単電池１０の膨出破壊を容易に避けることができる。また、減圧による揮発成分の沸点低下により、乾燥温度を、例えば、常温まで低下させることで、乾燥による熱劣化を抑制することが可能である。
【００１９】
押さえ機構１４０は、パッド部１５０およびベローズ部１６０を有する。パッド部１５０は、単電池１０の表面（接着材が被覆された外装材１２）と当接し、加圧力を発揮するために使用される。パッド部１５０の当接面は、多孔質構造部１５２を有し、かつ、接着材の被覆部を覆う溝部１５４が形成されている。
【００２０】
ベローズ部１６０は、支持部１６２、底部１７８およびベローズ（伸縮自在の管部材）１７０を有する。支持部１６２は、密閉容器１１０の蓋体１１４に固定され、蓋体１１４の外面に配置される外部延長部１６３と、蓋体１１４の内部に位置する内部延長部１６８とを有する。外部延長部１６３は、中央開口部１６４が形成される。中央開口部１６４の周囲には、例えば、Ｏリング等のパッキンからなる封止部材１６５が配置されている。底部１７８は、支持部１６２の内部延長部１６８にスライド自在に連結され、かつ、パッド部１５０が固定されている。
【００２１】
ベローズ１７０は、支持部１６２の中央開口部１６４に密着して固定される上端部１７１、および、パッド部１５０に連結される底部１７８に密着して固定される下端部１７２を有する。ベローズ１７０の内面部は、中央開口部１６４を介して大気に開放されており、大気圧下にある。ベローズ１７０の外面部は、密閉容器１１０の内部に連通している。したがって、密閉容器１１０を減圧し、接着材２０の揮発成分を蒸発させる場合、大気圧と密閉容器１１０の内圧との差圧に基づいて、ベローズ１７０を、伸張させることが可能である。
【００２２】
ベローズ１７０は、下端部１７２が固定された底部１７８を介して、パッド部１５０に連結されているため、前記差圧に基づく加圧力は、パッド部１５０に伝達される。つまり、パッド部１５０によって発揮される加圧力は、大気圧と密閉容器の内圧との差圧に基づいている。
【００２３】
次に、図５の断面図を参照し、実施の形態１に係る真空乾燥方法を説明する。
【００２４】
例えば、接着材２０が被覆された単電池１０が並置されたトレイが、搬入される。単電池１０は、密閉容器１１０の基部１１２に、押さえ機構１４０に相対するように、配置される。密閉容器１１０の蓋体１１４が、基部１１２に取り付けられ、内部空間が、密閉状態とされる。この際、押さえ機構１４０のパッド部１５０の当接面に配置される溝部１５４は、単電池１０の表面における接着材２０の被覆部を覆うように位置決めされる。
【００２５】
密閉容器１１０の吸気管１１８のバルブ１１９および排気管１２０のバルブ１２１は、それぞれ、閉および開に設定され、減圧機構１３０の真空ポンプ１３２が稼動される。密閉容器１１０の内部空間に存在する空気は、密閉容器１１０の排気管１２０および減圧機構１３０の配管系１３４を経由し、真空ポンプ１３２によって吸引される。
【００２６】
その結果、密閉容器１１０が減圧され、例えば、水の沸点が常温となる気圧（約２．７×１０３Ｐａ）に到達する。したがって、単電池１０に被覆された接着材２０の揮発成分である水は、容易に蒸発し、接着材２０が乾燥することで、乾燥による熱劣化が抑制される。
【００２７】
一方、押さえ機構１４０のベローズ１７０は、大気圧と密閉容器１１０の内圧との差圧に基づいて、伸張し、ベローズ１７０に連結されるパッド部１５０が、単電池１０の表面に当接し、大気圧と密閉容器１１０の内圧との差圧に基づく加圧力を発揮する。パッド部１５０は、密閉容器１１０の内圧と単電池１０の内圧との差圧に基づく、単電池１０の膨出変形を妨げるため、単電池１０の膨出破壊を容易に避けられる。
【００２８】
パッド部１５０の当接面に配置される溝部１５４は、接着材２０の被覆部を覆うため、パッド部１５０の当接面と接着材２０との接触が防がれる。また、パッド部１５０の当接面に配置される多孔質構造部１５２は、溝部１５４と共に、接着材２０の揮発成分の蒸発経路が確保する。したがって、パッド部１５０は、接着材２０の揮発成分の蒸発に悪影響を及ぼさない。
【００２９】
接着材２０の揮発成分の蒸発が終了し、接着材２０の乾燥が完了すると、排気管１２０のバルブ１２１が閉にされ、減圧機構１３０の真空ポンプ１３２の稼動が停止される。乾燥の完了は、例えば、所定の真空度に到達してからの経過時間によって判断することが可能である。
【００３０】
吸気管１１８のバルブ１１９が開にされ、密閉容器１１０の内部が大気に開放される。密閉容器１１０の内部が常圧（大気圧）になると、蓋体１１４が取り外され、乾燥した接着材２０の被覆部を有する単電池１０が取り出される。単電池１０は、例えば、電池モジュールを形成したり、容器（ケーシング）に収容したりされ、接着材２０は、その際において、単電池１０を固定するために、使用される。
【００３１】
以上のように、実施の形態１は、単電池に被覆された接着材の乾燥に、容易に適用することが可能な真空乾燥装置および真空乾燥方法を提供することができる。
【００３２】
なお、単電池に被覆される接着材は、水系に限定されず、溶媒系の揮発成分を含んでいる接着材を適用することも可能である。また、非感圧性接着材を適用することも可能である。接着材の物性などを考慮し、パッド部の当接面に配置される多孔質構造部や、接着材の被覆部を覆う溝部を、適宜省略することも可能である。
【００３３】
次に、実施の形態２〜５を、順次説明する。実施の形態１と同様の機能を有する部材については類似する符号を使用し、重複を避けるため、その説明を省略する。
【００３４】
図６は、実施の形態２に係る真空乾燥装置を説明するための平面図、図７は、図６の真空乾燥装の側面図である。
【００３５】
実施の形態２は、密閉容器の構造に関し、実施の形態１と概して異なる。つまり、密閉容器２１０は、大気圧と密閉容器２１０の内圧との差圧に基づく座屈を防止するための補強リブ２２４を有する。補強リブ２２４は、蓋体２１４の背面に配置（固定）される網目状部２２６と、網目状部を支持する支柱部２２８とを有する。
【００３６】
網目状部２２６の網目は、押さえ機構２４０の周囲を取り囲めるサイズに設定されている。支柱部２２８は、網目の端部および交点部から基部２１２に向かって延長している。したがって、補強リブ２２４は、密閉容器２１０の内部における気体の流れに対する妨げとならず、密閉容器２１０の減圧に対する影響は、抑制されている。
【００３７】
以上のように、実施の形態２に係る密閉容器は、補強リブによって強度が向上するため、蓋体の軽量化、密閉容器の大型化、あるいは、高真空度化を容易に図ることが可能である。
【００３８】
図８は、実施の形態３に係る真空乾燥装置を説明するための断面図である。
【００３９】
実施の形態３は、パッド部３５０によって発揮される加圧力を調整するための加圧力調整装置３８０を有する点で、実施の形態１と概して異なる。
【００４０】
加圧力調整装置３８０は、コイルばね（伸縮によって反力を生じる弾性体）３８２と、コイルばね３８２の伸縮量を調整するための制御機構３８４とを有する。制御機構３８４は、フランジ部３８６および支柱部３８７を有するハンドル部３８５と、調整リング３８８とを有する。
【００４１】
支柱部３８７は、フランジ部３８６が固定される一端と、ベローズ部３６０の底部３７８に固定される他端とを有し、ベローズ３７０の内部を延長している。調整リング３８８は、支柱部３８７に挿通され、フランジ部３８６の近傍に配置される。調整リング３８８の開口部の内面と支柱部３８７の外周とは、螺合しており、調整リング３８８を回転させることで、フランジ部３８６と調整リング３８８との間隔が、変更自在に設定されている。
【００４２】
コイルばね３８２は、支柱部３８７に挿通され、調整リング３８８とベローズ部３６０の支持部３６２との間に配置される。コイルばね３８２のサイズは、調整リング３８８より小さく、かつ、ベローズ部３６０の支持部３６２の中央開口部３６４より大きく設定されており、コイルばね３８２の一端および他端は、調整リング３８８およびベローズ部３６０の支持部３６２に当接している。
【００４３】
調整リング３８８を回転させ、フランジ部３８６と調整リング３８８との間隔を変更する場合、コイルばね３８２は、前記間隔に対応する反力を生じる。コイルばね３８２の一端は、調整リング３８８と当接しているため、反力は、調整リング３８８を経由して、調整リング３８８が螺合しているハンドル部３８５の支柱部３８７に伝達される。
【００４４】
支柱部３８７が固定されるベローズ部３６０の底部３７８は、接着材２０が被覆された単電池１０に当接するパッド部３５０が配置されている。したがって、コイルばね３８２の反力は、最終的にパッド部３５０に伝達され、基部３１２および蓋体３１４を連結して形成される密閉容器３１０と、大気圧との内圧の差圧に基づいて発揮されるパッド部３５０の加圧力を、調整することが可能である。
【００４５】
以上のように、実施の形態３は、パッド部によって発揮される加圧力を調整するための加圧力調整装置を有しており、加圧力の調整の自由度が向上している。したがって、密閉容器を減圧し、接着材の揮発成分を蒸発させる際に、単電池の膨出変形を妨げるための加圧力を、安定的かつ容易に制御すことが可能である。
【００４６】
図９は、実施の形態４に係る真空乾燥装置を説明するための断面図である。
【００４７】
実施の形態４は、ベローズ部４６０および加圧力調整装置４８０の構造の構造に関し、実施の形態３と概して異なる。
【００４８】
ベローズ部４６０は、２重構造のベローズ（伸縮自在の２重管部材）４７０を有する。ベローズ４７０は、大気圧下にある内面部４７４、密閉容器の内部に連通している外面部４７５、および、内面部４７４と外面部４７５との間に位置する内部空間Ｓを有する。内部空間Ｓは、半径方向に膨張せずかつ長手方向に変位するように構成されている。
【００４９】
加圧力調整装置４８０は、ベローズ４７０の内部空間Ｓに流体を導入するための配管系４８２と、流体の圧力を調整するための制御機構４８４を有する。制御機構４８４は、流体を吐出するためのポンプや、吐出圧を調整するための圧力調整弁などを有する。
【００５０】
ベローズ４７０の内部空間Ｓに導入される流体の圧力を変更する場合、ベローズ４７０は、長手方向に変位しようとする力を生じる。ベローズ４７０の下端部４７２が固定される底部４７８は、接着材２０が被覆された単電池１０に当接するパッド部４５０が配置されている。したがって、流体の圧力に基づく前記力は、パッド部４５０に伝達され、基部４１２および蓋体４１４を連結して形成される密閉容器４１０と、大気圧との内圧との差圧に基づいて発揮されるパッド部４５０の加圧力を、調整することが可能である。
【００５１】
以上のように、実施の形態４は、パッド部によって発揮される加圧力を、流体の圧力によって調整するこが可能である。
【００５２】
図１０は、実施の形態５に係る真空乾燥装置を説明するための平面図、図１１は、図１０の真空乾燥装置の断面図である。
【００５３】
実施の形態５は、複数のパッド部５５０によって発揮される加圧力を、均一化するための平衡機構５９０を有する点で、実施の形態４と概して異なる。
【００５４】
平衡機構５９０は、共通の配管系５９２および液体圧シリンダ５９７を有する。配管系５９２は、全ての押さえ機構５４０のベローズ５７０の内部空間Ｓを連通自在に連結されている。
【００５５】
配管系５９２は、１対の押さえ機構５４０を連結する１次配管系５９３、１対の１次配管系５９３を連結する２次配管系５９４、１対の２次配管系５９４を連結する３次配管系５９５を有する。３次配管系５９５は、単一（共通）の加圧力調整装置５８０に連結されている。
【００５６】
液体圧シリンダ５９７は、往復動自在に配置されるピストン５９８を有し、１次配管系５９３および２次配管系５９４の途中に配置される。ピストン５９８は、中立状態を維持し、往復動によって流体の圧力の変動を吸収し得るように構成されている。
【００５７】
押さえ機構５４０における２重構造のベローズ５７０の内部空間Ｓに導入される流体の圧力は、共有の配管系５９２および液体圧シリンダ５９７によって、全体として均圧化される。したがって、全ての押さえ機構５４０のパッド部によって発揮される加圧力は、均一化される。
【００５８】
以上のように、実施の形態５においては、パッド部によって発揮される加圧力の安定性を、向上させることが可能である。
【００５９】
なお、必要に応じ、液体圧シリンダ５９７を部分的あるいは全て省略したり、配管系５９２の構成を簡略化したりすることも可能である。また、押さえ機構５４０および配管系５９２を複数のグループに分割し、グループ毎に、専用の加圧力調整装置５８０を配置することも可能である。
【００６０】
また、図１２に示されるように、実施の形態３に係る加圧力調整装置を、実施の形態４および実施の形態５に係る真空乾燥装置に、さらに組み込むことも可能である。
【００６１】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の範囲内で種々改変することができる。
【００６２】
例えば、実施の形態２に係る密閉容器を、実施の形態１，３〜５に係る真空乾燥装置に適用することが可能である。また、実施の形態１〜５に係る真空乾燥装置に、加熱装置を配置し、単電池を相対的に低い温度で加熱することで、乾燥時間の短縮や、真空度の条件緩和を図ることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】実施の形態１に係る真空乾燥装置を説明するための平面図である。
【図２】図１の真空乾燥装の側面図である。
【図３】図２に示される押さえ機構を説明するための断面図である。
【図４】図１の真空乾燥装置に適用される被乾燥物である単電池を説明するための斜視図である。
【図５】実施の形態１に係る真空乾燥方法を説明するための断面図である。
【図６】実施の形態２に係る真空乾燥装置を説明するための平面図である。
【図７】図６の真空乾燥装の側面図である。
【図８】実施の形態３に係る真空乾燥装置を説明するための断面図である。
【図９】実施の形態４に係る真空乾燥装置を説明するための断面図である。
【図１０】実施の形態５に係る真空乾燥装置を説明するための平面図である。
【図１１】図１０の真空乾燥装置の断面図である。
【図１２】実施の形態４および実施の形態５に係る変形例を説明するための平面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０・・単電池、
１２・・外装材、
１４，１６・・電極タブ、
２０・・接着材、
１００・・真空乾燥装置（減圧乾燥装置）、
１１０・・密閉容器、
１１２・・基部、
１１４・・蓋体、
１１６・・封止部材、
１１８・・吸気管、
１１９・・バルブ、
１２０・・排気管、
１２１・・バルブ、
１３０・・減圧機構、
１３２・・真空ポンプ、
１３４・・配管系、
１４０・・押さえ機構、
１５０・・パッド部、
１５２・・多孔質構造部、
１５４・・溝部、
１６０・・ベローズ部、
１６２・・支持部、
１６３・・外部延長部、
１６４・・中央開口部、
１６５・・封止部材、
１６８・・内部延長部、
１７０・・ベローズ、
１７１・・上端部、
１７２・・下端部、
１７８・・底部、
２１０・・密閉容器、
２１２・・基部、
２１４・・蓋体、
２２４・・補強リブ、
２２６・・網目状部、
２２８・・支柱部、
２４０・・押さえ機構、
３１０・・密閉容器、
３１２・・基部、
３１４・・蓋体、
３５０・・パッド部、
３６０・・ベローズ部、
３６２・・支持部、
３６４・・中央開口部、
３７０・・ベローズ、
３７８・・底部、
３８０・・加圧力調整装置、
３８２・・コイルばね、
３８４・・制御機構、
３８５・・ハンドル部、
３８６・・フランジ部、
３８７・・支柱部、
３８８・・調整リング、
４１０・・密閉容器、
４１２・・基部、
４１４・・蓋体、
４４０・・押さえ機構、
４５０・・パッド部、
４６０・・ベローズ部、
４７０・・ベローズ、
４７２・・下端部、
４７４・・内面部、
４７５・・外面部、
４７８・・底部、
４８０・・加圧力調整装置、
４８２・・配管系、
４８４・・制御機構、
５４０・・押さえ機構、
５５０・・パッド部、
５７０・・ベローズ、
５８０・・加圧力調整装置、
５９０・・平衡機構、
５９２・・配管系、
５９３・・１次配管系、
５９４・・２次配管系、
５９５・・３次配管系、
５９７・・液体圧シリンダ、
５９８・・ピストン、
Ｓ・・内部空間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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