(57)【要約】【課題】  液状体の乾燥速度ばらつきに起因する機能性のばらつきを抑止する。【解決手段】  スキャン方向と交わる方向に直列に複数配列された液滴吐出ヘッド１１０，１２０から複数のノズル１３０を介して液状体を吐出する液滴吐出方法であって、所定の液滴吐出ヘッド１１０の異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔と、上記所定の吐出ヘッド１３０と隣合う他の液滴吐出ヘッド１２０の異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔とを同一とし、かつ、上記所定の液滴吐出ヘッドの最も上記他の液滴吐出ヘッド寄りの上記ノズルから吐出される液状体と上記他の液滴吐出ヘッドの最も上記所定の液滴吐出ヘッド寄りの上記ノズルから吐出される液状体との吐出時間間隔とを同一とする。【選択図】              図２
2007054703.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを介して液状体を吐出する液滴吐出ヘッドをスキャン方向と交わる方向に直列に複数配列して備える液滴吐出装置であって、
所定の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔と、前記所定の吐出ヘッドと隣合う他の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔とが同一であり、かつ、前記所定の液滴吐出ヘッドの最も前記他の液滴吐出ヘッド寄りの前記ノズルから吐出される液状体と前記他の液滴吐出ヘッドの最も前記所定の液滴吐出ヘッド寄りの前記ノズルから吐出される液状体との吐出時間間隔とが同一であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
各前記液滴吐出ヘッドは、直列される方向と直交する方向に並列に配列される複数のサブ液滴吐出ヘッドを備えて構成されていることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記所定の液滴吐出ヘッドと前記他の液滴吐出ヘッドとが、前記直列される方向と直交する方向に、前記サブ液滴吐出ヘッド同士間と同一距離離間されて配置されていることを特徴とする請求項２記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
各前記液滴吐出ヘッドの前記ノズルは、直列される方向と直交する方向に複数列に亘って複数形成されていることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記所定の液滴吐出ヘッドのノズルと前記他の液滴吐出ヘッドのノズルとが、前記直列される方向と直交する方向に、前記ノズルの各列同士間と同一距離離間されて配置されていることを特徴とする請求項４記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
スキャン方向と交わる方向に直列に複数配列された液滴吐出ヘッドから複数のノズルを介して液状体を吐出する液滴吐出方法であって、
所定の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔と、前記所定の吐出ヘッドと隣合う他の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔とを同一とし、かつ、前記所定の液滴吐出ヘッドの最も前記他の液滴吐出ヘッド寄りの前記ノズルから吐出される液状体と前記他の液滴吐出ヘッドの最も前記所定の液滴吐出ヘッド寄りの前記ノズルから吐出される液状体との吐出時間間隔とを同一とすることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項７】
請求項１〜５いずれかに記載の液滴吐出装置あるいは請求項６記載の液滴吐出方法を用いて製造されることを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項７記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置及び方法、電気光学装置、並びに電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して、基板上の所望位置に所定量の液状体を塗布する液滴吐出装置（例えば、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタ等）が考え出されている。
このような液滴吐出装置によって、液滴吐出ヘッドの長さ以上の横幅を持つ領域に液状体を塗布する場合には、液滴吐出ヘッドを一方向にスキャンしながら液状体を吐出した後、液滴吐出ヘッドを改行して再びスキャンしながら液状体を吐出することとなる。しかしながら、このような場合には、液滴吐出ヘッドの改行前に吐出された液状体と、液滴吐出ヘッドの改行後に吐出された液状体との吐出後の経過時間が異なることとなり、先に塗布された液状体と後に塗布された液状体との間にスジムラが生じる。このようなスジムラは、例えば、液状体を所定領域に塗布して機能膜を生成するような場合には、機能膜の機能にムラを生じさせることとなるため好ましくない。
そこで、このような問題を解決するために、複数の液滴吐出ヘッドを直列に配置することによって、単一の液滴吐出ヘッドの長さ以上の横幅を持つ領域に液状体を一度のスキャンで吐出する方法が提案されている。
【特許文献１】特開平１０−１９７８７３号公報
【特許文献２】特開２００３−２４９６２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、液滴吐出ヘッドを直列に配置する場合には、一方の液滴吐出ヘッドの端部に位置するノズルと他方の液滴吐出ヘッドの端部に位置するノズルとの間を他のノズル間隔と同一にする必要がある。ところが、液滴吐出ヘッドの構造的な制約から、一方の液滴吐出ヘッドの端部と他方の液滴吐出ヘッドの端部とを接触させた場合であっても、一方の液滴吐出ヘッドの端部に位置するノズルと他方の液滴吐出ヘッドの端部に位置するノズルとの間を他のノズル間隔と同一にすることは物理的に不可能である。このため、現状においては、液滴吐出ヘッドを直列に複数配置する場合には、隣合う液滴吐出をスキャン方向にずらすことによって、一方の液滴吐出ヘッドと他方の液滴吐出ヘッドとが干渉しないようにした上で、一方の液滴吐出ヘッドの端部に位置するノズルと他方の液滴吐出ヘッドの端部に位置するノズルとの間を他のノズル間隔と同一にしている。
しかしながら、このように隣合う液滴吐出をスキャン方向にずらした場合には、多少なりとも一方の液滴吐出ヘッドの吐出タイミングと他方の液滴吐出ヘッドの吐出タイミングとが異なることとなり、スジムラが生じる恐れがある。特に、配向膜インクのように乾燥速度の早い機能性液体を液滴吐出装置によって吐出する場合には、上述のような多少のタイミングのずれであってもスジムラが発生する。
【０００４】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、液状体の乾燥速度ばらつきに起因する機能性のばらつきを抑止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルを介して液状体を吐出する液滴吐出ヘッドをスキャン方向と交わる方向に直列に複数配列して備える液滴吐出装置であって、所定の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔と、上記所定の吐出ヘッドと隣合う他の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔とが同一であり、かつ、上記所定の液滴吐出ヘッドの最も上記他の液滴吐出ヘッド寄りの上記ノズルから吐出される液状体と上記他の液滴吐出ヘッドの最も上記所定の液滴吐出ヘッド寄りの上記ノズルから吐出される液状体との吐出時間間隔とが同一であることを特徴とする。
【０００６】
このような特徴を有する本発明の液滴吐出装置によれば、所定の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔と、所定の吐出ヘッドと隣合う他の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔とが同一とされ、かつ、所定の液滴吐出ヘッドの最も他の液滴吐出ヘッド寄りのノズルから吐出される液状体と他の液滴吐出ヘッドの最も所定の液滴吐出ヘッド寄りのノズルから吐出される液状体との吐出時間間隔とが同一とされている。
このため、異なるタイミングで吐出されかつ隣合う液状体同士の吐出間隔が全て同一となる。この結果、液状体の乾燥速度ばらつきがパターン化される。すなわち、局所的にスジムラが形成されるのではなく、スジムラが均等に形成される。このため、機能性のばらつきを抑止することが可能となる。
【０００７】
また、本発明の液滴吐出装置によれば、各上記液滴吐出ヘッドは、直列される方向と直交する方向に並列に配列される複数のサブ液滴吐出ヘッドを備えて構成されているという構成を採用することができる。
このような構成を採用することによって、各サブ液滴吐出ヘッドの吐出タイミングをずらすことで、容易に液状体を異なるノズルから異なるタイミングで吐出することができる。
さらに、上記所定の液滴吐出ヘッドと上記他の液滴吐出ヘッドとが、上記直列される方向と直交する方向に、上記サブ液滴吐出ヘッド同士間と同一距離離間されて配置されているという構成を採用することによって、液滴吐出ヘッドを同一速度でスキャンさせ、さらに各サブ液滴吐出ヘッドから同一間隔で順次液状体を吐出することで、容易に、所定の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔と、所定の吐出ヘッドと隣合う他の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔とを同一とし、かつ、所定の液滴吐出ヘッドの最も他の液滴吐出ヘッド寄りのノズルから吐出される液状体と他の液滴吐出ヘッドの最も所定の液滴吐出ヘッド寄りのノズルから吐出される液状体との吐出時間間隔とを同一とすることができる。
【０００８】
また、本発明の液滴吐出装置によれば、各上記液滴吐出ヘッドの上記ノズルは、直列される方向と直交する方向に複数列に亘って複数形成されているという構成を採用することもできる。
このような構成を採用することによって、各列毎に吐出タイミングをずらすことで、容易に液状態を異なるノズルから異なるタイミングで吐出することができる。
さらに、上記所定の液滴吐出ヘッドのノズルと上記他の液滴吐出ヘッドのノズルとが、上記直列される方向と直交する方向に、上記ノズルの各列同士間と同一距離離間されて配置されているという構成を採用することによって、液滴吐出ヘッドを同一速度でスキャンさせ、さらに各列から同一間隔で順次液状体を吐出することで、容易に、所定の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔と、所定の吐出ヘッドと隣合う他の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔とを同一とし、かつ、所定の液滴吐出ヘッドの最も他の液滴吐出ヘッド寄りのノズルから吐出される液状体と他の液滴吐出ヘッドの最も所定の液滴吐出ヘッド寄りのノズルから吐出される液状体との吐出時間間隔とを同一とすることができる。
【０００９】
次に、本発明の液滴吐出方法は、スキャン方向と交わる方向に直列に複数配列された液滴吐出ヘッドから複数のノズルを介して液状体を吐出する液滴吐出方法であって、所定の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔と、上記所定の吐出ヘッドと隣合う他の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔とを同一とし、かつ、上記所定の液滴吐出ヘッドの最も上記他の液滴吐出ヘッド寄りの上記ノズルから吐出される液状体と上記他の液滴吐出ヘッドの最も上記所定の液滴吐出ヘッド寄りの上記ノズルから吐出される液状体との吐出時間間隔とを同一とすることを特徴とする。
【００１０】
このような特徴を有する本発明の液滴吐出方法によれば、所定の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔と、所定の吐出ヘッドと隣合う他の液滴吐出ヘッドの異なるノズルから異なるタイミングで吐出される液状体の吐出時間間隔とが同一とされ、かつ、所定の液滴吐出ヘッドの最も他の液滴吐出ヘッド寄りのノズルから吐出される液状体と他の液滴吐出ヘッドの最も所定の液滴吐出ヘッド寄りのノズルから吐出される液状体との吐出時間間隔とが同一とされている。
このため、異なるタイミングで吐出されかつ隣合う液状体同士の吐出間隔が全て同一となる。この結果、液状体の乾燥速度ばらつきがパターン化される。すなわち、局所的にスジムラが形成されるのではなく、スジムラが均等に形成される。このため、機能性のばらつきを抑止することが可能となる。
【００１１】
次に、本発明の電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置あるいは本発明の液滴吐出方法を用いて製造されていることを特徴とする。
本発明の液滴吐出装置及び本発明の液滴吐出方法によれば、液状体の乾燥速度ばらつきに起因する機能性のばらつきを抑止することができるため、このような本発明の液滴吐出装置あるいは本発明の液滴吐出方法を用いて製造される電気光学装置は、機能性のばらつきが抑制されたものとなる。
【００１２】
次に、本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
本発明の電気光学装置は、機能性のばらつきが抑止されているため、本発明の電子機器も機能性のばらつきが抑止されたものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明に係る液滴吐出装置及び方法、電気光学装置、並びに電子機器の一実施形態について説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１４】
（液滴吐出装置及び方法）
図１は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図である。本実施形態の液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１００、Ｘ方向駆動軸４、Ｙ方向駆動モータ３、Ｙ方向ガイド軸５、制御装置６、ステージ７、クリーニング機構部８及び基台９を有している。
【００１５】
液滴吐出ヘッド１００は、機能性液体（液状体）が貯蔵されたタンク１０９から供給パイプ１０７を介して供給された機能性液体をそのノズルから吐出するためのものである。ステージ７は、液滴吐出装置１から吐出された機能性液体が着弾する基板Ｗを載置するためのものであり、この基板Ｗを所定の基準位置に固定する機構を有している。
【００１６】
Ｘ方向駆動軸４は、ボールねじなどから構成され、端部にはＸ方向駆動モータ２が接続されている。Ｘ方向駆動モータ２は、ステッピングモータなどであり、制御装置６からＸ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｘ方向駆動軸４を回転させる。Ｘ方向駆動軸４が回転すると液滴吐出ヘッド１００がＸ方向駆動軸４上をＸ方向に移動する。
Ｙ方向ガイド軸５もボールねじなどから構成されているが、基台９上に所定位置に配置されている。このＹ方向ガイド軸５上にステージ７が配置されている。ステージ７はＹ方向駆動モータ３を備えている。Ｙ方向駆動モータ３は、ステッピングモータなどであり、制御装置６からＹ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸５を回転させる。Ｙ方向ガイド軸５が回転すると、ステージ７がＹ方向に移動する。
【００１７】
このようにして液滴吐出装置１は、Ｘ軸方向の駆動とＹ軸方向の駆動とを行うことにより液滴吐出ヘッド１００を基板Ｗ上の任意の場所に移動させることができる。
また、液滴吐出装置１に備えられている制御装置６は、液滴吐出装置１全体の動作を制御するものである。すなわち、制御装置６は、液滴吐出ヘッド１００に機能性液体の吐出制御用の信号を供給するとともに、Ｘ方向駆動モータ２及びＹ方向駆動モータ３に液滴吐出ヘッド１００とステージ７との位置関係を制御する信号を供給する。また、液滴吐出装置１に備えられているクリーニング機構部８は、液滴吐出ヘッド１００をクリーニングする機構である。このクリーニング機構部８は、Ｙ方向の駆動モータ（図示せず）を備えている。この駆動モータの駆動により、クリーニング機構部８はＹ方向ガイド軸５に沿って移動する。このようなクリーニング機構部８の移動も制御装置６によって制御される。
【００１８】
図２は、本実施形態の液滴吐出装置１が備える液滴吐出ヘッド１００を模式的示した下面図である。この図に示すように、本実施形態においては、液滴吐出ヘッド１００は、２つ（複数）の液滴吐出ヘッド１１０，１２０が図１に示すＸ方向に直列して配列された構成を有している。また、液滴吐出ヘッド１１０（所定の液滴吐出ヘッド）は、Ｙ方向（液滴吐出ヘッド１１０，１２０が直列される方向と直交する方向）に配列されるサブ液滴吐出ヘッド１１１，１１２から構成されている。また、液滴吐出ヘッド１２０（他の液滴吐出ヘッド）は、Ｙ方向に配列されるサブ液滴吐出ヘッド１２１，１２２から構成されている。そして、各サブ液滴吐出ヘッド１１１，１１２，１２１，１２２には、Ｙ方向に複数のノズル１３０が配列されている。
なお、本実施形態においては、Ｙ方向が液滴吐出ヘッド１００のスキャン方向である。
【００１９】
また、図２に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１においては、液滴吐出ヘッド１１０と液滴吐出ヘッド１２０との間Ｄ１が、Ｙ方向に、サブ液滴吐出ヘッド１１１，１１２同士間Ｄ２及びサブ液滴吐出ヘッド１２１，１２２同士間Ｄ３と同一距離離間されて配置されている。すなわち、液滴吐出ヘッド１１０と液滴吐出ヘッド１２０との間Ｄ１、サブ液滴吐出ヘッド１１１，１１２同士間Ｄ２及びサブ液滴吐出ヘッド１２１，１２２同士間Ｄ３が同一距離となっている。
【００２０】
次に、このように構成された本実施形態の液滴吐出装置の動作（液滴吐出方法）について、図３〜図６の模式図を用いて説明する。なお、図３〜図６においては、説明の便宜上、液滴吐出ヘッド１００の下面から示している。
【００２１】
まず、制御装置６がＸ方向駆動モータ２及びＹ方向駆動モータ３を介して液滴吐出ヘッド１００とステージ７とを相対移動させることによって、ステージ７上に載置された基板Ｗの所定領域（機能性液体を塗布する領域）の上方に液滴吐出ヘッド１００を位置合わせする。なお、以下の説明において、特に断りがない場合には、液滴吐出ヘッド１００の動作（例えば、移動動作や機能性液体吐出動作）は、制御装置６が行うものとする。
【００２２】
このようにして、液滴吐出ヘッド１００が基板Ｗの所定領域の上方に位置合わせされると、図３に示すように、液滴吐出ヘッド１１０のサブ液滴吐出ヘッド１１１からノズル１３０を介して基板Ｗに向けて機能性液体ａ１が吐出配置される。
その後、液滴吐出ヘッド１００がＸ方向にスキャンされ、次に、図４に示すように、液滴吐出ヘッド１１０のサブ液滴吐出ヘッド１１２からノズル１３０を介して基板Ｗに向けて機能性液体ａ２が吐出配置される。なお、サブ液滴吐出ヘッド１１２から基板Ｗに向けて吐出された機能性液体ａ２はサブ液滴吐出ヘッド１１１から基板Ｗに向けて吐出配置された機能性液体ａ１の隣りに配置される。
その後、再び液滴吐出ヘッド１００がＸ方向にスキャンされ、次に、図５に示すように、液滴吐出ヘッド１２０のサブ液滴吐出ヘッド１２１からノズル１３０を介して基板Ｗに向けて機能性液体ａ３が吐出配置される。なお、サブ液滴吐出ヘッド１２１から基板Ｗに向けて吐出された機能性液体ａ３のうち最も液滴吐出ヘッド１１２側の機能性液体ａ３１はサブ液滴吐出ヘッド１１２から基板Ｗに向けて吐出配置された機能性液体ａ２のうち最も液滴吐出ヘッド１２１側の機能性液体ａ２１の隣りに配置される。言い換えれば、液滴吐出ヘッド１１０の最も液滴吐出ヘッド１２０側のノズルから吐出される機能性液体と、液滴吐出ヘッド１２０の最も液滴吐出ヘッド１１０側のノズルから吐出される機能性液体とが隣り合わせに配置される。
その後、再び液滴吐出ヘッド１００がＸ方向にスキャンされ、次に、図６に示すように、液滴吐出ヘッド１２０のサブ液滴吐出ヘッド１２２からノズル１３０を介して基板Ｗに向けて機能性液体ａ４が吐出配置される。なお、サブ液滴吐出ヘッド１２２から基板Ｗに向けて吐出された機能性液体ａ４はサブ液滴吐出ヘッド１２１から基板Ｗに向けて吐出配置された機能性液体ａ３の隣りに配置される。
この図３〜図６の工程を繰り返すことによって、基板Ｗの所定領域の全面に機能性液体が配置される。
【００２３】
ここで、本実施形態の液滴吐出装置においては、液滴吐出ヘッド１１０と液滴吐出ヘッド１２０との間Ｄ１、サブ液滴吐出ヘッド１１１，１１２同士間Ｄ２及びサブ液滴吐出ヘッド１２１，１２２同士間Ｄ３が同一距離となっている。このため、液滴吐出ヘッド１００を同一速度でＸ方向にスキャンすることによって、液滴吐出ヘッド１１０のサブ液滴吐出ヘッド１１１のノズル１３０から吐出される機能性液体ａ１とサブ液滴吐出ヘッド１１２のノズル１３０から吐出される機能性液体ａ２との吐出時間間隔Ｔ１と、液滴吐出ヘッド１２０のサブ液滴吐出ヘッド１２１のノズル１３０から吐出される機能性液体ａ３とサブ液滴吐出ヘッド１２２のノズル１３０から吐出される機能性液体ａ４との吐出時間間隔Ｔ２と、サブ液滴吐出ヘッド１１２から基板Ｗに向けて吐出配置された機能性液体ａ２のうち最も液滴吐出ヘッド１２１側の機能性液体ａ２１とサブ液滴吐出ヘッド１２１から基板Ｗに向けて吐出された機能性液体ａ３のうち最も液滴吐出ヘッド１１２側の機能性液体ａ３１との吐出時間間隔Ｔ３とが同一となる。
したがって、本実施形態の液滴吐出装置及び方法によれば、異なるタイミングで吐出されかつ隣合う機能性液体同士の吐出間隔が全て同一となる。この結果、機能性液体の乾燥速度ばらつきがパターン化される。すなわち、基板Ｗの所定領域上に塗布された機能性液体の層に、局所的にスジムラが形成されるのではなく、スジムラが均等に形成される。このため、機能性のばらつきを抑止することが可能となる。
【００２４】
また、本実施形態の液滴吐出装置においては、液滴吐出ヘッド１１０が、直列される方向と直交する方向に並列に配列されるサブ液滴吐出ヘッド１１１，１１２を備えて構成されている。また、液滴吐出ヘッド１２０が、直列される方向と直交する方向に並列に配列されるサブ液滴吐出ヘッド１２１，１２２を備えて構成されている。
このため、サブ液滴吐出ヘッド１１１，１１２の吐出タイミングをずらすことで、容易に機能性液体を液滴吐出ヘッド１１０の異なるノズルから異なるタイミングで吐出することができる。また、サブ液滴吐出ヘッド１２１，１２２の吐出タイミングをずらすことで、容易に機能性液体を液滴吐出ヘッド１２０の異なるノズルから異なるタイミングで吐出することができる。
【００２５】
なお、本実施形態においては、液滴吐出ヘッド１１０が、直列される方向と直交する方向に並列に配列されるサブ液滴吐出ヘッド１１１，１１２を備えて構成され、液滴吐出ヘッド１２０が、直列される方向と直交する方向に並列に配列されるサブ液滴吐出ヘッド１２１，１２２を備えて構成されるという構成を採用している。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、図７の模式図に示すように、液滴吐出ヘッド１１０のノズル１３０が２列（複数列）に亘って複数配列されているという構成を採用することもできる。このような構成を採用する場合であっても、各列毎に吐出タイミングをずらすことで、容易に機能性液体を異なるノズルから異なるタイミングで吐出することができる。
また、液滴吐出ヘッド１１０のノズル１３０と液滴吐出ヘッド１２０のノズル１３０との間Ｄ４が、Ｙ方向に、ノズル１３０の各列同士間Ｄ５，Ｄ６と同一距離離間されて配置されているという構成を採用することによって、液滴吐出ヘッド１００を同一速度でスキャンすることで、容易に、異なるタイミングで吐出されかつ隣合う機能性液体同士の吐出間隔を全て同一とすることができる。
【００２６】
また、図８の模式図に示すように、単一列に形成されたノズルのみを液滴吐出ヘッド１１０，１２０に形成し、各液滴吐出ヘッド１１０，１２０に形成されたノズルを１つ飛ばしで交互に使用することも可能である。
また、本実施形態においては２つの液滴吐出ヘッド１１０，１２０が直列に配置されている構成とした。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、さらに多くの液滴吐出ヘッドが直列されている構成を採用することもできる。
【００２７】
（電気光学装置）
次に、本発明の液滴吐出装置及び方法を用いて製造される電気光学装置の一例として液晶表示装置について説明する。
図９は本実施形態の液晶表示装置の全体構造を示す平面図である。図１０は図９の液晶表示装置の縦断面図である。図１１は本実施形態の液晶表示装置の画像表示領域を構成するマトリックス状に配置された複数の画素におけるスイッチング素子、信号線等を示す等価回路図である。
【００２８】
図９及び図１０に示すように、この液晶表示装置１５０は、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とがシール材５２によって貼り合わされ、このシール材５２によって区画された領域内に液晶５０が封入、保持されている。シール材５２には、製造時においてＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とを貼り合わせた後に液晶を注入するための液晶注入口５５が形成されており、該液晶注入口５５は液晶注入後に封止材５４により封止されている。
【００２９】
シール材５２の内側の領域には、遮光性材料からなる周辺見切り（図示略）が形成される一方、シール材５２の外側の領域には、データ線駆動回路２０１及び実装端子２０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って形成されており、この一辺に隣接する２辺に沿って走査線駆動回路２０４が形成されている。ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺には、画像表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路２０４の間を接続するための複数の配線２０５が設けられている。
【００３０】
図１１に示すように、画像表示領域を構成するマトリックス状に配置された複数の画素に、画素電極７０と、この画素電極７０を制御するためのスイッチング素子であるＴＦＴ素子３０とがそれぞれ形成されており、画像信号が供給されるデータ線６ａが当該ＴＦＴ素子３０のソースに電気的に接続されている。データ線６ａに供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、この順に線順次に供給されるか、あるいは相隣接する複数のデータ線６ａに対してグループ毎に供給される。
【００３１】
また、走査線３ａがＴＦＴ素子３０のゲートに電気的に接続されており、複数の走査線３ａに対して走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍが所定のタイミングでパルス的に線順次で印加される。また、画素電極７０はＴＦＴ素子３０のドレインに電気的に接続されており、このＴＦＴ素子３０を一定期間だけオン状態とすることにより、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定のタイミングで書き込むようになっている。
【００３２】
画素電極７０を介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、後述する共通電極との間で一定期間保持される。この液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能にする。
保持された画像信号がリークすることを防止するために、画素電極７０と共通電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量１７が付加されている。
【００３３】
図９及び図１０に戻り、ＴＦＴアレイ基板１０の液晶層５０側の表面には、画素電極７０と、電圧無印加時における液晶層５０内の液晶分子の配向を制御するための配向膜４０が形成されている。なお、ＴＦＴアレイ基板１０の液晶層５０側と反対側の表面には、所定の偏光のみを透過する偏光板、及び必要に応じて防塵板が配設される。
【００３４】
他方、対向基板２０の液晶層５０側の表面には、ＩＴＯ等の透明電極材料からなる共通電極２１と、電圧無印加時における液晶層５０内の液晶分子の配向を制御するための配向膜６０とが形成されている。なお、ＴＦＴアレイ基板１０の液晶層５０側と反対側の表面には、所定の偏光のみを透過する偏光板、及び必要に応じて防塵板が配設される。
【００３５】
そして、本実施形態の液晶表示装置１５０においては、配向膜４０，５０が本発明の液滴吐出装置及び方法によって形成されている。本発明の液滴吐出装置及び方法によれば、機能性のばらつきを抑止することができるため、本実施形態の液晶表示装置１５０は、均一な機能性を有する配向膜４０，５０を備えて構成している。したがって、機能性のばらつきが抑制されたものとなり、安定した機能性を発揮することができる。
【００３６】
なお、本実施形態においては、本発明の液滴吐出装置及び方法を用いて製造される電気光学装置の一例として液晶表示装置について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の液滴吐出装置及び方法は、金属配線を形成する際や有機ＥＬ表示装置の有機機能層を形成する際にも適用することが可能である。
【００３７】
（電子機器）
次に、本発明の電気光学装置を備える電子機器の具体例について説明する。
図１２は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１２において、６００は携帯電話本体を示し、６０１は上記実施形態の液晶表示装置を備えた液晶表示部を示している。
上記実施形態の液晶表示装置は、機能性のばらつきが抑制されたものであるため、安定した機能性を発揮することができる。
【００３８】
なお、上述した液晶表示装置は、携帯電話以外にも種々の電子機器に適用することができる。例えば、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置などの電子機器に適用することが可能である。
【００３９】
以上、添付図面を参照しながら本発明の液滴吐出装置及び方法、電気光学装置、並びに電子機器に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドを模式的示した下面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するための説明図である。
【図４】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するための説明図である。
【図５】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するための説明図である。
【図６】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するための説明図である。
【図７】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの変形例である。
【図８】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの変形例である。
【図９】本発明の実施形態に係る液晶表示装置の全体構造を示す平面図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る液晶表示装置の断面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る液晶表示装置の画像表示領域の等価回路図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る電子機器の具体例を示した斜視図である。
【符号の説明】
【００４１】
１……液滴吐出装置、１００，１１０，１２０……液滴吐出ヘッド、１１１，１１２，１２１，１２２……サブ液滴吐出ヘッド、１５０……液晶表示装置（電気光学装置）、６００……携帯電話本体（電子機器）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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