(57)【要約】【課題】複数のフィード機構を具えたフィード装置の提供。【解決手段】フィード装置は動力源、底座、回転軸、複数のフィード機構、複数の連接装置、及び複数の位置決め装置を包含する。この単一動力源で回転軸を駆動して回転させ、各フィード機構を駆動し回転させてフィードする。このほか、各フィード機構は連接装置と位置決め装置の制御により、同時に回転或いはそれぞれに回転してフィード可能である。これにより本発明のフィード装置は生産能力を高めることができ且つ必要な動力源を減らして製造コストを減らすことができる。【選択図】図４
2007099506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィード装置において、
動力源と、
ベースと、
該ベース上に設置されて該動力源と接続され、該動力源の駆動により回転する回転軸と、
複数のフィード機構であって、フィードを行うのに用いられ、各フィード機構は一端にフィード口を具え、別端に開口を具え、並びに該回転軸の各該開口の貫通により複数のフィード機構が直列に接続された、上記複数のフィード機構と、
複数の連接装置であって、それぞれ該複数のフィード機構の該回転軸に近い一端に設置され、該複数のフィード機構と該回転軸を接続し、該フィード機構を駆動して該回転軸に伴い回転させる、上記複数の連接装置と、
該ベース上に設置されて、該フィード機構を開始位置に位置決めして該回転軸に伴い回転させないようにする、複数の位置決め装置、
を包含したことを特徴とする、フィード装置。
【請求項２】
請求項１記載のフィード装置において、複数のホルダフレームが該ベースの表面に設置されて回転軸を収容することを特徴とする、フィード装置。
【請求項３】
請求項１記載のフィード装置において、前記連接装置が連接気圧シリンダとされたことを特徴とする、フィード装置。
【請求項４】
請求項１記載のフィード装置において、各フィード機構が固定構造をさらに包含し、該固定構造が位置決め装置と接続されて、該フィード機構を開始位置に固定することを特徴とする、フィード装置。
【請求項５】
請求項４記載のフィード装置において、前記位置決め装置が位置決め気圧シリンダとされたことを特徴とする、フィード装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一種のフィード装置に係り、特に、集積回路デバイス試験機に用いられるフィード装置であて、チューブを組み合わせてフィードするものに関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路デバイスの製造過程では、通常、パッケージ後に、厳格に製品の品質の管理が行われ、集積回路デバイスに対して試験を行って品質不良の製品、特に、パッケージ工程中に損傷した製品をを排除する必要がある。一般にはチューブを保護と載置のために用い、すでにパッケージされた集積回路デバイスをその中に入れてさらに試験工場或いは試験機に送り試験を行う。試験を行う時は、チューブを試験機のフィード装置に入れてフィードし、集積回路デバイスをチューブ中より試験機に進入させる。
【０００３】
図１は伝統的な集積回路デバイス試験装置の側面図である。集積回路デバイス試験装置１００の一側にはフィード機構１０４が設けられ、チューブ１０２を挿入して試験する半導体デバイス（図示せず）をフィードでき、以下の記述中、それは被試験デバイスと称する。集積回路デバイス試験装置において、フィード機構１０４の後方に勾配を有する暫停エリア１０６が設けられ、被試験デバイスを暫時保存して後続の分配が行えるようにする。分配機構１０８は暫停エリア１０６の上に設けられ、暫停エリア１０６上の被試験デバイスの分配を行う。試験エリア１１０は被試験デバイスの試験に用いられ、試験完成したデバイスは収集装置１１２により収集される。
【０００４】
図２はフィード機構１０４の拡大図である。チューブ１０２がフィード機構１０４に挿入された時、フィード機構１０４の傍らに位置する回転機構１０４ａがその内部動力源の駆動を受けて回転し、並びにチューブ１０２を駆動して定位まで回転させて起こす。重力の作用により、チューブ１０２内の被試験デバイス１０３は下向きに滑り落ちて暫停エリア１０６に進入し、分配後に試験が行われる。集積回路デバイス体積の縮小と、生産能力アップの要求に対応するため、現在の試験機は一度に一つだけの集積回路デバイスを試験できるだけのものではなくなり、一度に複数の集積回路デバイスを試験できるようになっている。試験機は一度に４個、８個、１６個、更には３２個或いは６４個、或いはそれ以上の集積回路デバイスを試験できるようにするには、一つのフィード装置だけを使用してフィードするのは明らかに不足し並びに時間がかかる。
【０００５】
このことから、試験機は通常複数のフィード機構が結合され、図３に示されるものでは、二つのフィード機構１０４が直列に接続され、それはチューブを挿入できる二つのフィード口１０４ｂを具え、また両辺にそれぞれ回転機構１０４ａを具えて、それぞれフィード口１０４ｂに挿入されたチューブを制御するのに用いられ、それを定位まで回転させて立てて、これにより被試験デバイス１０３を試験機に進入させて試験に供する。
【０００６】
上述の複数のフィード機構は直列に接続されてフィードするが、各フィード機構にそれぞれ回転機構が必要であり、このため空間を占有し且つ複数のフィード機構の間が緊密に直列に接続不能であるために、直列接続の数が多くなるほど、占拠する空間が大きくなる。さらに、複数の動力源によりそれぞれのフィード機構の回転機構を駆動してフィードするため、製造コストの増加をもたらす。しかし、試験工場中の機械は通常一つに一つが接続されて並列に配置され、このためこのような膨大な空間要求を提供することはできず、このため二つのフィード機構を直列に接続することしかできないことが多く、試験装置に対して急速なフィードを行えず、生産能力を高められない。このことから、場所をとらず、並びに急速且つ同時に複数の被試験デバイスをフィードできるフィード装置の提供が必要である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の背景を鑑み、本発明の目的は、一種のフィード装置を提供することにあり、それは複数のフィード機構を具え、それは複数のチューブを挿入して、複数の被試験デバイスを同時に試験装置に提供でき、ゆえにフィード速度をアップして生産能力をアップできる装置であるものとする。
【０００８】
本発明の別の目的は、一種の、体積が小さく且つ場所を取らないフィード装置を提供することにあり、このフィード装置は複数の大体積で場所を取る回転機構を具えた伝統的なフィード装置に代わるものとされ、ゆえに体積を縮減し、空間を節約できる装置であるものとする。
【０００９】
本発明のさらに別の目的は、一種の、単一動力源を具えたフィード装置を提供することにあり、このフィード装置は複数のフィード機構を回転させ起立させてフィードを行うのにわずかに一つの動力源のみ必要とし、伝統的なフィード装置の複数の動力源に代わり、ゆえに、フィード装置が必要とするコストを低減できるものとする。
【００１０】
上述の目的を達成するため、本発明は複数のフィード機構を具えたフィード装置を提供し、それは、動力源、ベース、回転軸、複数のフィード機構、複数の連接装置、及び複数の位置決め装置を包含する。この回転軸はベース上に設置され並びに動力源と接続され、このほか、回転軸は各フィード機構の一端を貫通し複数のフィード機構を直列に接続している。各フィード機構の別端にはフィード口があって相互に対向し、並びに各フィード機構の回転軸に近い一端に連接装置が設けられている。フィード時には、回転させるフィード機構上の連接装置をフィード機構と回転軸に接続し、並びに位置決め装置にフィード機構を開放させてフィード機構を分離する。動力源を駆動して回転軸を回転させてフィード機構を駆動して定位まで回転させチューブを起立させ、チューブ内の被試験デバイスを重力により落下させて試験機内で試験を行う。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１の発明は、フィード装置において、
動力源と、
ベースと、
該ベース上に設置されて該動力源と接続され、該動力源の駆動により回転する回転軸と、
複数のフィード機構であって、フィードを行うのに用いられ、各フィード機構は一端にフィード口を具え、別端に開口を具え、並びに該回転軸の各該開口の貫通により複数のフィード機構が直列に接続された、上記複数のフィード機構と、
複数の連接装置であって、それぞれ該複数のフィード機構の該回転軸に近い一端に設置され、該複数のフィード機構と該回転軸を接続し、該フィード機構を駆動して該回転軸に伴い回転させる、上記複数の連接装置と、
該ベース上に設置されて、該フィード機構を開始位置に位置決めして該回転軸に伴い回転させないようにする、複数の位置決め装置、
を包含したことを特徴とする、フィード装置としている。
請求項２の発明は、請求項１記載のフィード装置において、複数のホルダフレームが該ベースの表面に設置されて回転軸を収容することを特徴とする、フィード装置としている。
請求項３の発明は、請求項１記載のフィード装置において、前記連接装置が連接気圧シリンダとされたことを特徴とする、フィード装置としている。
請求項４の発明は、請求項１記載のフィード装置において、各フィード機構が固定構造をさらに包含し、該固定構造が位置決め装置と接続されて、該フィード機構を開始位置に固定することを特徴とする、フィード装置としている。
請求項５の発明は、請求項４記載のフィード装置において、前記位置決め装置が位置決め気圧シリンダとされたことを特徴とする、フィード装置としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のフィード装置は複数のフィード機構を具え、試験要求により同時或いは別個にフィードを行える。このほか、複数の大体積で場所をとる回転機構を必要とせず、ゆえに複数のフィード機構を増し、試験の生産能力を増し、その体積を縮小し、占有空間を節約できる。さらに、本発明のフィード装置は一つの動力源のみ必要とし複数のフィード機構に同時或いは別個にフィードさせることができ、コストを節約できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施例は以下に詳細に説明される。しかし、この詳細な説明のほか、本発明はその他の実施例において広く施行可能である。即ち、本発明の範囲は提出される実施例の制限を受けず、本発明の特許請求の範囲に準じる。次に、本発明の実施例図中の各部品或いは構造は単一部品或いは構造の説明を限定として認知されるべきではなく、以下の説明で特別に数上の制限がない時、本発明の精神と応用範囲は複数の部品或いは構造が併存する構造と方法に及ぶ。さらに、本明細書中、各部品の異なる部分は実際のサイズに応じて記載されているわけではない。それらのサイズとその他の関係サイズは誇張或いは簡易化されて、本発明を明らかに記述し理解を得られるようにしている。本発明が援用する既存の技術は、ここでは重点式の引用にとどめ、本発明の記述を助けている。
【００１４】
図４は本発明の好ましい実施例の複数のフィード機構を具えたフィード装置１０の立体分解図である。このフィード装置１０は、ベース１２を包含し、該ベース１２に複数のホルダフレーム１４が設けられて回転軸１６を支持し、並びに回転軸１６がホルダフレーム１４にあって回転自在とされている。動力源１８が該回転軸１６に接続され、回転軸１６の回転を制御するのに用いられる。本実施例は二つのフィード機構２０ａ、２０ｂを具え、各フィード機構２０ａ、２０ｂの一端にフィード口２２があり、別端に開口２４があり、この開口２４は回転軸１６に貫通されてこの二つのフィード口２２が直列に接続される。このほか、各フィード機構２０ａ、２０ｂの開口２４に近い一端にそれぞれ連接装置２８が設けられ、フィード機構２０ａ、２０ｂと回転軸１６の連接と不連接を制御するのに用いられる。各フィード機構２０ａ、２０ｂには固定構造２６が設けられている。このほか、各フィード機構２０ａ、２０ｂの傍らに位置決め装置３０が設けられて、固定構造２６と結合されてフィード機構２０ａ、２０ｂを開始位置に固定し、回転軸１６に伴い回転しないようにするのに用いられる。
【００１５】
図５は本発明の実施例の連接装置２８と回転軸１６の局部拡大図である。各連接装置２８は連接ピン２８ａを具え、回転軸１６にそれに対応する連接ピン孔１６ａが設けられ、連接ピン２８ａの挿入によりフィード機構２０ａ、２０ｂと回転軸１６を相互に結合させられる。図６は本発明の実施例の固定構造２６と位置決め装置３０の局部拡大図である。固定構造２６は固定ピン孔とされ、位置決め装置３０はそれに対応する位置決めピン３０ａを具え、該位置決めピン３０ａを固定構造２６即ち固定ピン孔に挿入することでフィード機構２０ａ、２０ｂを開始位置に固定して回転軸１６に伴い回転しないようにすることができる。本実施例では、動力源１８は気圧シリンダとされ、並びに連接装置２８と位置決め装置３０はそれぞれ連接気圧シリンダと位置決め気圧シリンダとされる。
【００１６】
本発明の実施例のフィード装置１０は二つのフィード機構２０ａ、２０ｂを具えるが、これに限定されるわけではない。試験の必要に応じてフィード機構の数量を増すことができる。伝統的なフィード装置と比較すると、本発明は大体積で場所をとる回転機構が不要で、各フィード機構２０ａ、２０ｂがいずれも連接装置２８とそれに対応する位置決め装置３０を具え、これにより、それぞれ独立して各フィード機構を制御して回転とフィードを行える。
【００１７】
図４に示される例では、フィード機構２０ａとフィード機構２０ｂがそれぞれ回転させないフィード機構と回転させるフィード機構とされる。まず、フィード機構２０ｂのフィード口２２中にチューブを挿入し、その連接装置２８（即ち連接気圧シリンダ）を駆動し、連接ピン２８ａを押動して回転軸１６の連接ピン孔１６ａに挿入し、フィード機構２０ｂと回転軸１６を接続する。続いて、フィード機構２０ｂに対応する位置決め装置３０（即ち、位置決め気圧シリンダ）を駆動し、それにフィード機構２０ｂ上の固定構造２６（即ち固定ピン孔）内の位置決めピン３０ａを回収させ、位置決め装置３０とフィード機構２０ｂを分離させる。続いて、動力源１８を起動して回転軸１６を駆動して回転させ、連接装置２８によりフィード機構２０ｂを駆動してそれに伴い回転させる。フィード機構２０ｂが回転して定位に至り、チューブが起立する時、チューブ内の被試験デバイスが重力作用により試験機内へと滑り落ち、試験に供される。フィード完成後に、動力源１８により回転軸１６を駆動してフィード機構２０ｂを開始位置に戻し、続いて、位置決め装置３０の位置決めピン３０ａを新たにフィード機構２０ｂの固定構造２６に挿入し、連接装置２８は即ち連接ピン孔１６ａに再挿入される連接ピン２８ａとされる。
【００１８】
回転させないフィード機構２０ａは、対応する位置決め装置３０の位置決めピン３０ａをフィード機構２０ａの固定構造２６（即ち固定ピン孔）に挿入することにより、開始位置に固定して回転させない。このとき、フィード機構２０ａ上の連接装置２８はどんな動作も行わず、これによりフィード機構２０ａと回転軸１６は分離状態とされる。
以上の実施例は本発明の請求範囲を限定するものではなく、本発明の実施例の内容範疇内より逸脱せずに変化を実施することができ、これらの変化は本発明の範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】伝統的な集積回路デバイス試験装置の側面図である。
【図２】伝統的なフィード機構の拡大図である。
【図３】二つのフィード機構を具えた伝統的なフィード装置の正面図である。
【図４】本発明の好ましい実施例のフィード装置の立体図である。
【図５】本発明の好ましい実施例の連接装置と回転軸の局部拡大図である。
【図６】本発明の好ましい実施例の位置決め装置の立体図である。
【符号の説明】
【００２０】
１０  フィード装置
１２  ベース
１４  ホルダフレーム
１６  回転軸
１６ａ  連接ピン孔
１８  動力源
２０ａ、２０ｂ  フィード機構
２２  フィード口
２４  開口
２６  固定構造
２８  連接装置
２８ａ  連接ピン
３０  位置決め装置
３０ａ  位置決めピン
１００  集積回路デバイス試験装置
１０２  チューブ
１０３  被試験デバイス
１０４  フィード機構
１０４ａ  回転機構
１０６  暫停エリア
１０８  分配機構
１１０  試験エリア
１１２  収集装置
【図１】
2007099506.tif 000003
【図２】
2007099506.tif 000004
【図３】
2007099506.tif 000005
【図４】
2007099506.tif 000006
【図５】
2007099506.tif 000007
【図６】
2007099506.tif 000008