(57)【要約】【課題】オゾン濃度測定を、ポンプ、切換弁等を用いず、簡便に行う。【解決手段】オゾン濃度測定流路内の一側の入口から試料ガスを測定流路内に導入して、紫外線の吸収量を測定し、その後該測定流路の他側の入口から測定流路内に基準ガスを導入して紫外線の吸収量を測定し、得られた試料ガスの紫外線吸収量と基準ガスの紫外線吸収量とを比較することによって、試料ガスのオゾン濃度を測定する。この方法を実施するために、オゾンガス測定流路の一側に試料ガス導入ファン及び整流格子を配置した試料ガス導入口を接続すると共に、該測定流路の他側に基準ガス生成用導入ファン及び基準ガス生成器を配置した基準ガス導入口を接続したオゾン濃度測定装置を用いる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
オゾン濃度測定流路内の一側の入口から試料ガスを測定流路内に導入して、紫外線の吸収量を測定し、その後該測定流路の他側の入口から測定流路内に基準ガスを導入して紫外線の吸収量を測定し、得られた試料ガスの紫外線吸収量と基準ガスの紫外線吸収量とを比較することによって、試料ガスのオゾン濃度を測定する、オゾンガス濃度測定方法。
【請求項２】
オゾンガス測定流路の一側に試料ガス及び基準ガス導入ファンを配置した試料ガス導入口を接続すると共に、該測定流路の他側に基準ガス生成器を配置した基準ガス導入口を接続した、オゾン濃度測定装置。
【請求項３】
前記基準ガス生成器にオゾン分解用触媒を配置した、請求項２に記載のオゾン濃度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、工業的に高濃度のオゾンを利用するような浄水場における高度処理、半導体工場におけるような洗浄、成膜プロセス等において、オゾンガスのリーク監視が必要な場所に配置して、オゾンガス濃度を測定すると共に、当該場所のオゾン濃度が規定値以上に達した時、何らかの警報発信を行うようにした、簡易で安価なオゾン濃度測定装置に関する。また食品工場などにおいて、空気、機材の殺菌、脱臭を目的に行う、燻蒸など室内環境を一定濃度に制御する為のオゾン濃度の監視用に使用する簡易で安価なオゾン濃度測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
オゾンは、紫外線領域の２５４ｎｍ付近をピークとする吸収スペクトル（ハートレー帯）を有しており、また低圧水銀ランプは２５３．７ｎｍに強い耀線スペクトルを有している。そこで測定セル内に初めオゾンを含まない試料（ゼロガス）を流入し、この時の紫外線の透過量Ｌｏを測定し、次いで試料ガスを測定セル内に流入し、同様に紫外線透過量Ｌｘを測定し、次式によりオゾン濃度Ｃを求めていた。
［式１］    Ｃ＝Ｋｌｏｇ  Ｌｏ／Ｌｘ   Ｋ：比例定数
【０００３】
このような紫外線吸収式オゾン濃度測定器では、ゼロガス生成器からのゼロガスと、オゾンを含む試料ガスとを交互に測定セル内に送り込み、夫々の紫外線透過量を演算器に送りオゾン濃度を求めているので、精密なオゾンガス濃度検出を可能にしたが、測定セルに試料ガスと基準セルとを交互に送り込むための切換弁装置と、測定後のガスを
強制的に排出させるためのポンプ装置等を必要とした。このようなオゾン濃度測定装置の一例として、下記の非特許文献を提示する。
【非特許文献１】荏原実業株式会社製  高精度オゾンモニタＥＧ−２００１シリーズ・カタログ（平成１７年１月頒布）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来型のオゾン濃度測定装置では、ポンプ、切換弁等を備えるので、セルの管径が細いのでガスの入れ替えが早く行えるが、装置全体が複雑且つ高価になっていた。オゾン濃度測定は出来るだけ多くの箇所で、サンプリングを行うことが必要なので、この需要に応えて出来るだけ多くのオゾン濃度測定装置を、必要な箇所に多数配置するのが望ましい。その為に、従来のポンプ、切換え弁を備えた複雑な構造のオゾン濃度測定装置に代えて、室内に多数設置し雰囲気の濃度を監視するための、簡易で安価なオゾン濃度測定装置の需要が高まっている。
【０００５】
ポンプを使用する場合、細い配管でもチューブでサンプリングが可能で多数の箇所を測定する場合もチューブを施設し測定装置側で電磁弁等の切換装置により測定可能であるが、構造がより複雑になる。また、配管チューブが長くなると配管中のガスの容積が大きくなりガスの入れ替えに時間が掛かることや、配管内で起こる分解等の影響により誤差を生じる原因となっていた。また、配管チューブを介して試料ガスの紫外線吸収量と基準ガスの紫外線吸収量とを比較することによって、試料ガスのオゾン濃度を測定する場合に、長い配管チューブ内で測定器内の残留オゾンが基準ガスに混じる等の問題があり、正確なオゾンガス測定出来ない等の問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこでこの発明では、オゾン濃度測定流路内の一側の入口から試料ガスを測定流路内に導入して、紫外線の吸収量を測定し、その後該測定流路の他側の入口から測定流路内に基準ガスを導入して紫外線の吸収量を測定し、単一の測定流路内でガスの逆流をさせる事で測定器内の残留オゾンが基準ガスに混じる事を極力防止し、試料ガスのオゾン濃度を測定する方法を創出した。この発明は、測定する場所ごとに直に設置することでそうしたサンプリングによる弊害を排除することが可能となる。
【０００７】
この方法を実施する装置として、試料ガスの紫外線吸収量と基準ガスの紫外線吸収量とを比較測定するオゾンガス測定流路とその測定流路の一側に試料ガス及び基準ガス導入ファン及び整流格子を配置した試料ガス導入口を接続すると共に、該測定流路の他側に基準ガス生成器と整流格子を配置した基準ガス導入口を接続したオゾン濃度測定装置を用いるようにする。試料ガス導入ファンは逆回転させることによって、オゾンガス測定流路に基準ガスを導入する。別の実施例として、試料ガス導入ファンと基準ガス導入ファンを別々に設けることも可能である。
【０００８】
このような、オゾン濃度測定流路内に試料ガスと基準ガスとを、導入ファンによって、別々の導入口から単一の測定流路内に交互に逆流させて流し、試料ガスの紫外線吸収量と基準ガスの紫外線吸収量とを比較することによって、試料ガスのオゾン濃度を測定する際に、従来は基準ガスを粒状の活性炭や、二酸化マンガンを不織布等で挟み込んで構成せざるを得なかったため、圧力損失が大きくなっていた。そのために高圧ポンプや切換弁の操作で測定流路内のガスを常に所定のものに置き換える必要があったが、近年、一例としてハニカム構造に構成した圧力損失の小さな高性能のオゾン分解触媒が実用化されるようになったので、基準ガス生成器にこのハニカム状のオゾン分解用触媒を配置することによって整流効果が得られることから整流格子を省略できるほか、高圧ポンプや切換弁の操作で測定流路内のガスを常に所定のものに置き換える必要が無くなり、上記のような簡便なファンによる導入方式で正確な、オゾン濃度測定が可能になった。
【発明の効果】
【０００９】
この発明は以上のように、ポンプ装置や切換弁等を必要とせず、簡便で安価な測定流路及び導入口、及びファンの組合せによって構成したので、迅速且つ正確なオゾン濃度測定を行うことができる。このような簡便な測定装置が安価に製造できるので、オゾン発生機能を持つ機器を設置した室内適所に配置して、基準値以上のオゾンの漏洩を探知して警報等を作動させることにより、人体等への悪影響を未然に防ぐことができる。
【実施例】
【００１０】
この発明のオゾン濃度測定方法及び装置を、図１に概念的に示す実施例に基づいて説明する。最初に、オゾンガス測定流路１の一側に試料ガス導入ファン２及び整流格子３を配置した試料ガス導入口４を接続すると共に、この測定流路１の他側に、基準ガス生成用導入ファン５及び基準ガス生成器６及び整流格子３を配置した基準ガス導入口７を接続する。測定流路１の一端部には、紫外線ランプ（低圧水銀ランプなど）８を配置すると共に、測定流路１の他端部には紫外線センサー９を配置し、その紫外線発光回路１０及び測定回路１１を、表示、計算器１２に接続する。表示、計算器１２は同時に、試料ガス導入ファン２及び基準ガス生成用導入ファン５を運転制御する制御機構１３を備えている。
【００１１】
最初に測定流路Ｉ試料ガス導入口４から試料ガス導入ファン２により整流格子３を介してオゾンが均等に分散するようにして、試料ガスを測定流路１内に導入し、紫外線ランプ８から照射された紫外線吸収量を紫外線センサー９によって計測する。
次に、基準ガス生成口７から基準ガス生成用導入ファン５及び基準ガス生成器６及び整流格子を介して、基準ガスを測定流路１内に導入し、紫外線ランプ８から照射された紫外線吸収量を紫外線センサー９によって計測する。最初に計測した紫外線吸収量と、次に計測した紫外線吸収量を、表示、計算機１２により比較演算し、測定結果を数値表示する他、基準値以上のオゾン濃度の発生を探知した場合に警報を発する等、所望の表示を行う。
【００１２】
基準ガス生成器６には、オゾン分解用触媒を配置する。この触媒としては、
高純度活性炭素材や非貴金属系触媒をハニカム形状に成型したものが用いられる。ハニカム形状のセル数は２３~７８セル／平方センチメートルであって、オゾン濃度が５ｐｐｍ以下の場合、高純度活性炭素材を、５〜１０００ｐｐｍの範囲では高純度活性炭素材と非貴金属系触媒とを混在させ、１０００ｐｐｍを超える場合は専ら非貴金属系触媒を用いる。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
この発明のオゾン濃度測定装置は、ポンプ、弁装置等を必要とせず、測定部のみならず制御部、電源等をコンパクトな箱体に集約して、測定すべき箇所に持ち運び配置することが出来るので、製造施設、化学プラント、病院、事業所等オゾン発生、殺菌等を行う箇所で、簡便なオゾン濃度の測定を行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】この発明のオゾン濃度測定装置の概念図である。
【符号の説明】
【００１５】
１    測定流路
２    試料ガス導入ファン
３    整流格子
４    試料ガス導入口
５    基準ガス生成用導入ファン
６    基準ガス生成器
７    基準ガス導入口
８    紫外線ランプ
９    紫外線センサー
１０  発光回路
１１  測定回路
１２  表示、計算器
１３  制御回路
【図１】
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