(57)【要約】【課題】光スキャナパッケージを提供する。【解決手段】入射ビームをスキャニングするものであって、スキャニングミラー（１１２）及びスキャニングミラー（１１２）を作動させるコーム電極構造体（１１４）を備える光スキャナ素子（１１０）と、光スキャナ素子（１１０）を受容するパッケージ容器（１２０）と、パッケージ容器（１２０）上に設置されてパッケージ容器（１２０）を密閉するものであって、光スキャナ素子（１１０）から入射されるスキャンビームをスクリーン部（Ｓ）に反射させる反射ミラー（１４０）と、  反射ミラー（１４０）を一の面に備えて、スキャンビームの経路を入射ビームから派生するノイズビームの経路と分離させるパッケージウィンドウ（１３０）と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射ビームをスキャニングするものであって、スキャニングミラー及び前記スキャニングミラーを作動させるコーム電極構造体を備える光スキャナ素子と、
前記光スキャナ素子を受容するパッケージ容器と、
前記パッケージ容器上に設置されて前記パッケージ容器を密閉するものであって、前記光スキャナ素子から入射されるスキャンビームをスクリーン部に反射させる反射ミラーと、
前記反射ミラーを一の面に備え、前記スキャンビームの経路を入射ビームから派生するノイズビームの経路を分離させるパッケージウィンドウと、
を備えることを特徴とする光スキャナパッケージ。
【請求項２】
前記パッケージウィンドウは、透光性物質で形成されたことを特徴とする請求項１に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項３】
前記反射ミラーは、光反射物質でコーティングされて形成されたことを特徴とする請求項２に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項４】
前記光反射物質は、Ａｇ、Ａｌ、及びＡｕからなる群から選択された少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項３に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項５】
前記パッケージウィンドウは、前記光スキャナ素子に入射される入射ビームが順次に透過する第１透光面及び第２透光面、前記反射ミラーが形成された第３透光面、及び前記反射ミラーにより反射されてスクリーン部に進むスキャンビームを透過させる第４透光面を備えることを特徴とする請求項２に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項６】
前記パッケージウィンドウの縦断面形状は、非対称の台形であることを特徴とする請求項５に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項７】
前記反射ミラー上に透明性の誘電体物質で形成された高反射コーティング膜をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項８】
前記透明性の誘電体物質は、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、及びＳｉＯ２からなる群から選択されたいずれか一つであることを特徴とする請求項７に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項９】
前記第１透光面、前記第２透光面、及び第４透光面上にそれぞれ非反射コーティング膜がさらに形成されたことを特徴とする請求項５に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項１０】
前記非反射コーティング膜は、ＭｇＦ２またはＳｉＯ２物質で形成されたことを特徴とする請求項９に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項１１】
前記パッケージウィンドウは、
前記パッケージ容器と対向して配置されるものであって、前記光スキャナ素子に入射される入射ビームが順次に透過する第１透光面及び第２透光面を有する第１ウィンドウと、
前記パッケージ容器の一の側壁上に設置されて前記第１ウィンドウの一端側を支持するものであって、非対称の逆台形の縦断面形状を有する第２ウィンドウと、
前記第２ウィンドウの一の面に形成された反射ミラーと、
前記パッケージ容器の他の側壁上に設置されて前記第１ウィンドウの他端側を支持するものであって、前記反射ミラーにより反射されてスクリーン部に進むスキャンビームが順次に透過する第３透光面及び第４透光面を有する第３ウィンドウと、
を備えることを特徴とする請求項２に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項１２】
前記反射ミラー上に透明性の誘電体物質で形成された高反射コーティング膜をさらに備えることを特徴とする請求項１１に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項１３】
前記透明性の誘電体物質は、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、及びＳｉＯ２からなる群から選択されたいずれか一つであることを特徴とする請求項１２に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項１４】
前記第１透光面、前記第２透光面、前記第３透光面、及び前記第４透光面上にそれぞれ非反射コーティング膜がさらに形成されたことを特徴とする請求項１１に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項１５】
前記非反射コーティング膜は、ＭｇＦ２またはＳｉＯ２物質で形成されたことを特徴とする請求項１４に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項１６】
前記パッケージウィンドウは、
前記パッケージ容器を密閉する第１ウィンドウと、
前記第１ウィンドウ上に設置されるものであって、前記光スキャナ素子に入射される入射ビームが順次に透過する第１透光面及び第２透光面、前記反射ミラーが形成された第３透光面、及び前記反射ミラーにより反射されてスクリーン部に進むスキャンビームが透過する第４透光面を有する第２ウィンドウと、
を備えることを特徴とする請求項２に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項１７】
前記第２ウィンドウの縦断面形状は、非対称の台形であることを特徴とする請求項１６に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項１８】
前記反射ミラー上に透明性の誘電体物質で形成された高反射コーティング膜をさらに備えることを特徴とする請求項１６に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項１９】
前記透明性の誘電体物質は、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、及びＳｉＯ２からなる群から選択されたいずれか一つであることを特徴とする請求項１８に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項２０】
前記第１透光面、前記第２透光面、及び前記第４透光面上にそれぞれ非反射コーティング膜がさらに形成されたことを特徴とする請求項１６に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項２１】
前記非反射コーティング膜は、ＭｇＦ２またはＳｉＯ２物質で形成されたことを特徴とする請求項２０に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項２２】
前記第１ウィンドウ及び前記第２ウィンドウは、ＵＶグルーでボンディングされたことを特徴とする請求項１６に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項２３】
前記第１ウィンドウ及び前記第２ウィンドウは、一体に組み合わせられて形成されたことを特徴とする請求項１６に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項２４】
前記パッケージウィンドウは、
前記光スキャナ素子に入射される入射ビームが順次に透過する第１透光面及び第２透光面、前記反射ミラーが形成された第３透光面、及び前記反射ミラーにより反射されてスクリーン部に進むスキャンビームが透過する第４透光面を有する第１ウィンドウと、
一の面が前記反射ミラーと接触するものであって、非対称の逆台形の断面形状を有する第２ウィンドウと、
を備えることを特徴とする請求項２に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項２５】
前記第１ウィンドウの縦断面形状は、非対称の台形であることを特徴とする請求項２４に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項２６】
前記反射ミラー及び前記第２ウィンドウは、ＵＶグルーでボンディングされたことを特徴とする請求項２４に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項２７】
前記反射ミラー上に透明性の誘電体物質で形成された高反射コーティング膜をさらに備えることを特徴とする請求項２４に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項２８】
前記透明性の誘電体物質は、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、及びＳｉＯ２からなる群から選択されたいずれか一つであることを特徴とする請求項２７に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項２９】
前記第１透光面、前記第２透光面、及び前記第４透光面上にそれぞれ非反射コーティング膜がさらに形成されたことを特徴とする請求項２４に記載の光スキャナパッケージ。
【請求項３０】
前記非反射コーティング膜は、ＭｇＦ２またはＳｉＯ２物質で形成されたことを特徴とする請求項２９に記載の光スキャナパッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光スキャナパッケージに係り、特に映像の具現において、ノイズが減少するようにその構造が改善された光スキャナパッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクションテレビジョンなどでレーザビームを偏向させる光スキャナであって、櫛状のコーム電極構造による静電効果を利用するＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）構造の光スキャナ素子が使われている。しかし、前記光スキャナ素子は、ミラーのサイズが数ｍｍ以下に作られるため、外部環境に非常に敏感である。したがって、光スキャナ素子の性能を維持し、外部環境の変化から保護するために、密閉（ｈｅｒｍｅｔｉｃａｌｌｙ  ｓｅａｌ）されたパッケージが必ず必要である。
【０００３】
図１は、従来の光スキャナパッケージの構造を示す概略的な断面図である。
【０００４】
図１に示すように、従来の光スキャナパッケージは、光スキャナ素子１０、それを受容するパッケージ容器２０、及びパッケージ容器２０を密閉して、光スキャナ素子１０を外部から完全に密閉させるパッケージウィンドウ３０を備える。
【０００５】
光スキャナ素子１０は、入射ビームをスキャニングするスキャニングミラー１２、及びスキャニングミラー１２を作動させるコーム電極構造体１４を備え、外部から供給される電源により入射ビームをスキャニングしてスクリーン部Ｓに映像を具現する。光スキャナパッケージの製造工程は、光スキャナ素子１０をパッケージ容器２０にダイボンディングする工程、光スキャナ素子１０に外部電源を連結する工程、及びパッケージ容器２０にパッケージウィンドウ３０をボンディングして光スキャナ素子１０を外部から密閉させる工程などを含む。光スキャナ素子の構造及びその製造方法は、特許文献１、２及び３に詳細に開示されているので、これを参照する。
【０００６】
しかし、従来の光スキャナパッケージにおいて、入射ビームがパッケージウィンドウ３０を透過して光スキャナ素子１０に到達する過程で、前記入射ビームがパッケージウィンドウ３０の表面で反射されて必然的にノイズビームが発生する。このようなノイズビームは、光スキャナ素子１０からのスキャンビームにより、スクリーン部Ｓに形成される映像に所望しないイメージを生成することによって悪影響を与える可能性がある。
【特許文献１】大韓民国特許出願公開２００４−３５１１６号公報
【特許文献２】大韓民国特許出願２００３−８６６２４号
【特許文献３】大韓民国特許出願２００４−８３５３７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、前述した従来の技術の問題点を改善するためのものであって、映像の具現において、ノイズが減少するようにその構造が改善された光スキャナパッケージを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために、本発明による光スキャナパッケージは、入射ビームをスキャニングするものであって、スキャニングミラー及び前記スキャニングミラーを作動させるコーム電極構造体を備える光スキャナ素子と、前記光スキャナ素子を受容するパッケージ容器と、その上に設置されて前記パッケージ容器をハーメチックシーリングするものであって、前記光スキャナ素子から入射されるスキャンビームをスクリーン部に反射させる反射ミラーをその一の面に備えて、前記スキャンビームの経路を入射ビームから派生するノイズビームの経路と分離させるパッケージウィンドウと、を備える。
【０００９】
ここで、前記パッケージウィンドウは、透光性物質で形成され、前記反射ミラーは、Ａｇ，Ａｌ及びＡｕのような光反射物質でコーティングされて形成される。
望ましくは、前記パッケージウィンドウは、前記光スキャナ素子に入射される入射ビームが順次に透過する第１及び第２透光面、前記反射ミラーが形成された第３透光面、及び前記反射ミラーにより反射されてスクリーン部に進むスキャンビームが透過する第４透光面を備える。かかる前記パッケージウィンドウの縦断面は、非対称の台形である。前記反射ミラー上にＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５及びＳｉＯ２のような透明性の誘電体物質で形成された高反射コーティング膜がさらに設けられうる。そして、前記第１、第２及び第４透光面上に、それぞれＭｇＦ２またはＳｉＯ２物質で形成された非反射コーティング膜がさらに設けられうる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、スクリーン部に進むスキャンビームの経路と入射ビームから派生するノイズビームの経路とが互いに分離されて、映像の具現において、ノイズが減少するようにその構造が改善された光スキャナパッケージが得られる。したがって、よれば、画像の輝度及びコントラスト比が改善される。また、チップスケールのパッケージングが可能な構造を有するため、小型化され、パッケージング工程が単純化され、その製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係る光スキャナパッケージの望ましい実施形態を、添付された図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図２は、本発明の第１実施形態に係る光スキャナパッケージの構造を示す概略的な断面図である。
【００１３】
図２に示すように、第１実施形態による光スキャナパッケージは、入射ビームをスキャニングする光スキャナ素子１１０、光スキャナ素子１１０を受容するパッケージ容器１２０、及びパッケージ容器１２０を密閉して、光スキャナ素子１１０を外部から密閉させるパッケージウィンドウ１３０を備える。
【００１４】
光スキャナ素子１１０は、スキャニングミラー１１２、及びスキャニングミラー１１２を作動させるコーム電極構造体１１４を備え、外部から供給される電源により入射ビームをスキャニングしてスクリーン部Ｓに映像を具現できる。
【００１５】
パッケージ容器１２０上に設置されたパッケージウィンドウ１３０は、光スキャナ素子１１０から入射されるスキャンビームをスクリーン部Ｓに反射させる反射ミラー１４０を一の面１３０ｃ（第３光透面）に備える。具体的に、パッケージウィンドウ１３０は、光スキャナ素子１１０に入射される入射ビームが順次に透過する第１透光面１３０ａ、第２透光面１３０ｂ、反射ミラー１４０が形成された第３透光面１３０ｃ、及び反射ミラー１４０により反射されてスクリーン部Ｓに進むスキャンビームが透過する第４透光面１３０ｄを備える。パッケージウィンドウ１３０の縦断面形状は、非対称の台形である。ここで、パッケージウィンドウ１３０は、透光性物質で形成され、反射ミラー１４０は、Ａｇ，Ａｌ及びＡｕのような光反射物質で第３透光面１３０ｃ上にコーティングされて形成される。
【００１６】
上記構造を有する光スキャナパッケージにおいて、入射ビームは、パッケージウィンドウ１３０の第１透光面１３０ａ，第２透光面１３０ｂを順次に透過して光スキャナ素子１１０に到達し、光スキャナ素子１１０によりスキャンされる。そして、光スキャナ素子１１０からのスキャンビームは、再び順次に第２透光面１３０ｂ及び第３透光面１３０ｃを透過して反射ミラー１４０に到達し、前記スキャンビームは、反射ミラー１４０から反射されて第４透光面１３０ｄを透過してスクリーン部Ｓに進む。したがって、スクリーン部Ｓに進むスキャンビームの経路とパッケージウィンドウ１３０の表面で入射ビームから派生するノイズビームの経路とが互いに分離されて、映像の具現においてノイズを減少させることができる。
【００１７】
望ましくは、反射ミラー１４０上にＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、及びＳｉＯ２のような透明性の誘電体物質で形成された高反射コーティング膜（図示せず）がさらに設けられることができる。そして、第１透光面１３０ａ、第２透光面１３０ｂ、及び第４透光面１３０ｄ上に、それぞれＭｇＦ２またはＳｉＯ２のような物質で形成された非反射コーティング膜１５０がさらに設けることができる。
【００１８】
図３は、本発明の第２実施形態に係る光スキャナパッケージの構造を示す概略的な断面図である。ここで、第１実施形態と同じ構成要素については重複説明を省略し、また、同じ参照番号は同じ構成要素を示している。
【００１９】
第２実施形態は、パッケージウィンドウ２３０の変形された実施形態を示す。すなわち、第２実施形態のパッケージウィンドウ２３０は、光スキャナ素子１１０から入射されるスキャンビームをスクリーン部Ｓに反射させる反射ミラー２４０を一の面に備える。これは、第１実施形態のパッケージウィンドウ１３０と同一であるが、第１実施形態のパッケージウィンドウ１３０とは異なる構造を有している。具体的には、第２実施形態のパッケージウィンドウ２３０は、パッケージ容器１２０上にそれと対向して配置されるものであって、光スキャナ素子１１０に入射される入射ビームが順次に透過する第１透光面２３１ａ及び第２透光面２３１ｂを有する第１ウィンドウ２３１、パッケージ容器１２０の一側壁上に設置されて第１ウィンドウ２３１の一端側を支持するものであって、非対称の逆台形の縦断面形状を有する第２ウィンドウ２３２、第２ウィンドウ２３２の一の面に形成された反射ミラー２４０、及びパッケージ容器１２０の他側壁上に設置されて第１ウィンドウ２３１の他端側を支持するものであって、反射ミラー２４０により反射されてスクリーン部Ｓに進むスキャンビームが順次に透過する第３透光面２３３ａ及び第４透光面２３３ｂを有する第３ウィンドウ２３３を備える。
【００２０】
本実施形態における光スキャナパッケージにおいて、入射ビームは、第１ウィンドウ２３１の第１透光面２３１ａ及び第２透光面２３１ｂを順次に透過して光スキャナ素子１１０に到達し、光スキャナ素子１１０によりスキャンされる。そして、光スキャナ素子１１０からのスキャンビームは、第２ウィンドウ２３２の一の面に形成された反射ミラー２４０に到達し、前記スキャンビームは、反射ミラー２４０から反射されて第３ウィンドウ２３３の第３透光面２３３ａ及び第４透光面２３３ｂを順次に透過してスクリーン部Ｓに進む。したがって、スクリーン部Ｓに進むスキャンビームの経路とパッケージウィンドウ２３０の表面で入射ビームから派生するノイズビームの経路とが互いに分離されて、映像の具現においてノイズを減少させることができる。
【００２１】
望ましくは、反射ミラー２４０上に、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、及びＳｉＯ２のような透明性の誘電体物質で形成された高反射コーティング膜（図示せず）がさらに設けることができる。そして、第１透光面２３１ａ、第２透光面２３１ｂ、第３透光面２３３ａ、及び第４透光面２３３ｂ上に、それぞれＭｇＦ２またはＳｉＯ２のような物質で形成された非反射コーティング膜２５０がさらに設けられることができる。
【００２２】
図４は、本発明の第３実施形態に係る光スキャナパッケージの構造を示す概略的な断面図である。ここで、第１実施形態と同じ構成要素については重複説明を省略し、また、同じ参照番号は同じ構成要素を示している。
【００２３】
第３実施形態は、パッケージウィンドウ３３０の変形された実施形態を示す。すなわち、第３実施形態のパッケージウィンドウ３３０は、光スキャナ素子１１０から入射されるスキャンビームをスクリーン部Ｓに反射させる反射ミラー３４０をその一の面に備える。これは、第１実施形態のパッケージウィンドウ１３０と同一であるが、第１実施形態のパッケージウィンドウ１３０とは異なる構造を有する。具体的には、第３実施形態のパッケージウィンドウ３３０は、パッケージ容器１２０を密閉する第１ウィンドウ３３１、及び第１ウィンドウ３３１上に設置される第２ウィンドウ３３２を備える。ここで、第２ウィンドウ３３２は、光スキャナ素子１１０に入射される入射ビームが順次に透過する第１透光面３３２ａ及び第２透光面３３２ｂ、反射ミラー３４０が形成された第３透光面３３２ｃ、及び反射ミラー３４０により反射されてスクリーン部Ｓに進むスキャンビームが透過する第４透光面３３２ｄを有する。第２ウィンドウ３３２の縦断面形状は、非対称の台形である。
【００２４】
本実施形態における光スキャナパッケージにおいて、入射ビームは、第２ウィンドウ３３２の第１透光面３３２ａ及び第２透光面３３２ｂ、第１ウィンドウ３３１を順次に透過して光スキャナ素子１１０に到達し、光スキャナ素子１１０によりスキャンされる。そして、光スキャナ素子１１０からのスキャンビームは、再び順次に第１ウィンドウ３３１、第２３３２ｂ及び第３透光面３３２ｃを透過して反射ミラー３４０に到達し、前記スキャンビームは、反射ミラー３４０から反射されて第２ウィンドウ３３２の第４透光面３３２ｄを透過してスクリーン部Ｓに進む。したがって、スクリーン部Ｓに進むスキャンビームの経路とパッケージウィンドウ３３０の表面で入射ビームから派生するノイズビームの経路とが互いに分離されて、映像の具現においてノイズを減少させることができる。
【００２５】
ここで、第１ウィンドウ３３１及び第２ウィンドウ３３２は、ＵＶグルー（ＵＶ  ｇｌｕｅ）でボンディングされてもよいが、第１ウィンドウ３３１及び第２ウィンドウ３３２は、一体に組み合わせられて形成されてもよい。望ましくは、反射ミラー３４０上に、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、またはＳｉＯ２のような透明性の誘電体物質で形成された高反射コーティング膜（図示せず）がさらに設けることができる。そして、第１透光面３３２ａ、第２透光面３３２ｂ、及び第４透光面３３２ｄ上に、それぞれＭｇＦ２またはＳｉＯ２のような物質で形成された非反射コーティング膜３５０がさらに設けることができる。
【００２６】
図５は、本発明の第４実施形態による光スキャナパッケージの構造を示す概略的な断面図である。ここで、第１実施形態と同じ構成要素については重複説明を省略し、また、同じ参照番号は同じ構成要素を示している。
【００２７】
第４実施形態は、パッケージウィンドウ４３０の変形された実施形態を示す。すなわち、第４実施形態のパッケージウィンドウ４３０は、光スキャナ素子１１０から入射されるスキャンビームをスクリーン部Ｓに反射させる反射ミラー４４０を一の面に備える。これは、第１実施形態のパッケージウィンドウ１３０と同一であるが、第１実施形態のパッケージウィンドウ１３０とは異なる構造を有する。具体的に、第４実施形態のパッケージウィンドウ４３０は、第１ウィンドウ４３１、第１ウィンドウ４３１の側面で延びる第２ウィンドウ４３２、及びそれらの間に介在される反射ミラー４４０を備える。第１ウィンドウ４３１は、光スキャナ素子１１０に入射される入射ビームが順次に透過する第１及び第２透光面４３１ａ，４３１ｂ、反射ミラー４４０が形成された第３透光面４３１ｃ、及び反射ミラー４４０により反射されてスクリーン部Ｓに進むスキャンビームが透過する第４透光面４３１ｄを有する。第１ウィンドウ４３１の縦断面は、非対称の台形である。そして、第２ウィンドウ４３２は、非対称の逆台形の縦断面形状を有し、反射ミラー４４０上にＵＶグルーでボンディングされている。
【００２８】
本実施形態における光スキャナパッケージにおいて、入射ビームは、パッケージウィンドウ４３０の第１透光面４３１ａ及び第２透光面４３１ｂを順次に透過して光スキャナ素子１１０に到達し、光スキャナ素子１１０によりスキャンされる。そして、光スキャナ素子１１０からのスキャンビームは、再び順次に第２透光面４３１ｂ及び第３透光面４３１ｃを透過して反射ミラー４４０に到達し、前記スキャンビームは、反射ミラー４４０から反射されて第４透光面４３１ｄを透過してスクリーン部Ｓに進む。したがって、スクリーン部Ｓに進むスキャンビームの経路とパッケージウィンドウ４３０の表面で入射ビームから派生するノイズビームの経路とが互いに分離されて、映像の具現においてノイズを減少させることができる。
【００２９】
望ましくは、反射ミラー４４０上に、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、及びＳｉＯ２のような透明性の誘電体物質で形成された高反射コーティング膜（図示せず）がさらに設けることができる。そして、第１透光面４３１ａ、第２透光面４３１ｂ、及び第４透光面４３１ｄ上に、それぞれＭｇＦ２またはＳｉＯ２のような物質で形成された非反射コーティング膜４５０がさらに設けることができる。
【００３０】
本発明は、図面に示された実施形態を参考に説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これより多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲によって決定されなければならない。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明は、光スキャナパッケージ素子関連の技術分野に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】従来の光スキャナパッケージの構造を示す概略的な断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態による光スキャナパッケージの構造を示す概略的な断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態による光スキャナパッケージの構造を示す概略的な断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態による光スキャナパッケージの構造を示す概略的な断面図である。
【図５】本発明の第４実施形態による光スキャナパッケージの構造を示す概略的な断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１１０    光スキャナ素子、
１１２    スキャニングミラー、
１１４    コーム電極構造体、
１２０    パッケージ容器、
１３０    パッケージウィンドウ、
１３０ａ    第１透光面、
１３０ｂ    第２透光面、
１３０ｃ    第３透光面、
１３０ｄ    第４透光面、
１４０    反射ミラー、
１５０    非反射コーティング膜、
Ｓ    スクリーン部。
【図１】
2007017983.tif 000003
【図２】
2007017983.tif 000004
【図３】
2007017983.tif 000005
【図４】
2007017983.tif 000006
【図５】
2007017983.tif 000007