(57)【要約】【課題】  搭載した磁気ヘッドスライダの変形を抑制することができるサスペンションを提供すると共に、安定したデータの記録再生を実現する高品質なヘッドジンバルアッセンブリ、ハードディスクドライブを提供すること。【解決手段】  磁気ヘッドスライダ１を装着するタング面２１を有するサスペンション２であって、タング面２１に、当該タング面２１と磁気ヘッドスライダ１との熱変形差を吸収する変形差吸収手段２２，２３を設けた。【選択図】図１
2007012111.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダを装着するタング面を有するサスペンションであって、
前記タング面に、当該タング面と前記磁気ヘッドスライダとの熱変形差を吸収する変形差吸収手段を設けた、
ことを特徴とするサスペンション。
【請求項２】
前記変形差吸収手段は、装着される磁気ヘッドスライダの長手方向に対する前記タング面の伸縮変形を吸収する、ことを特徴とする請求項１記載のサスペンション。
【請求項３】
前記磁気ヘッドスライダが、前記タング面に半田のみを用いて装着されている、ことを特徴とする請求項１又は２記載のサスペンション。
【請求項４】
前記変形差吸収手段は、前記タング面を貫通する少なくとも一つの貫通孔である、ことを特徴とする請求項１，２又は３記載のサスペンション。
【請求項５】
前記貫通孔は、前記タング面内に閉じて設けられた閉スリット状孔、又は、前記タング面の側端から切り込まれ一端部が開放されるように設けられた一端部開放スリット状孔である、ことを特徴とする請求項４記載のサスペンション。
【請求項６】
前記貫通孔は、装着された磁気ヘッドスライダの記録再生素子側端面とほぼ平行に延びる形状である、ことを特徴とする請求項４又は５記載のサスペンション。
【請求項７】
前記タング面に、同一の前記各スリット状孔を複数個、又は、前記各スリット状孔を組み合わせて複数個設けた、ことを特徴とする請求項５又は６記載のサスペンション。
【請求項８】
隣接する前記各スリット状孔の中心が、前記磁気ヘッドスライダの長手方向に対してほぼ同一直線状に並ばないように前記複数の各スリット状孔を配置した、ことを特徴とする請求項５，６又は７記載のサスペンション。
【請求項９】
前記タング面に、前記閉スリット状孔と前記一端部開放スリット状孔とを交互に設けた、ことを特徴とする請求項７記載のサスペンション。
【請求項１０】
隣接する前記各スリット状孔の間隔が狭くなるよう当該各スリット状孔を設けた、ことを特徴とする請求項７，８又は９記載のサスペンション。
【請求項１１】
請求項１乃至１０記載のサスペンションを備えたことを特徴とするヘッドジンバルアッセンブリ。
【請求項１２】
請求項１１記載のヘッドジンバルアッセンブリを備えたことを特徴とするハードディスクドライブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドスライダを搭載するサスペンションにかかり、特に、搭載された磁気ヘッドスライダの変形を抑制するサスペンションに関する。また、このサスペンションを備えたヘッドジンバルアッセンブリ、及び、ハードディスクドライブに関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブに搭載されるヘッドジンバルアッセンブリは、磁気ディスクに対してデータの記録再生を行う磁気ヘッドスライダを搭載するサスペンションを備えている。そして、サスペンションは、磁気ヘッドスライダ１０１を直接装着するフレキシャ１０２を備えており、そのフレキシャ１０２の先端部の構成を図１０に示す。ここで、図１０（ａ）は、フレキシャ１０２の磁気ヘッドスライダ装着側を図示したものであり、図１０（ｂ）は、その裏面側を図示したものである。
【０００３】
図１０（ａ）に示すように、従来例におけるフレキシャ１０２には、磁気ヘッドスライダ１０１のほぼ一面全体が当接して固定される薄板状のタング面１２１が形成されている。このタング面は、ジンバルとも呼ばれ、一端側がフレキシャ１０２に連結していて、かかる連結部がばね性を有する。これにより、装着された磁気ヘッドスライダ１０１が磁気ディスクに対して適切な浮上高度を維持できるよう作用する。
【０００４】
そして、タング面１２１と磁気ヘッドスライダ１０１は、例えば、これらの間に充填される接着剤にて固着される。このため、タング面１２１には一様に接着剤が塗布されることから、特許文献１や図１０に示すように、その形状は平面状に形成されている。
【０００５】
また、磁気ヘッドスライダ１０１の装着に、接着剤を用いる、用いないにかかわらず、半田にて固定する場合がある。例えば、図１０に示すように、磁気ヘッドスライダ１０１の記録再生素子部が形成された端面とその反対側の端面、つまり、略直方体形状である磁気ヘッドスライダの長手方向の両端面を、タング面１２１（サスペンション）に半田１４１，１４２、にて固定する。このとき、半田１４１は、フレキシャ１２１上に装備された配線トレースの端子と、磁気ヘッドスライダ１０１に形成された端子とを接続するためにも用いられる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１５５３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、磁気ヘッドスライダ１０１とフレキシャ１０２との熱膨張係数が異なると、タング面１２１部分の熱変形に伴い、磁気ヘッドスライダ１０１に反りや歪みが生じる、という問題があった。その一例を図１２に模式的に示す。図１２（ａ）に示すように、磁気ヘッドスライダ１０１の両端（記録再生素子側端部とその反対側端部）がフレキシャ１０２のタング面１２１に半田１４１，１４２にて装着されている場合には、低い温度の時にはタング面１２１が図１２（ｂ）の矢印に示すように縮んで変形し、これに伴って磁気ヘッドスライダ１０１に反り（クラウン）が生じる。また、温度が高くなると、図１２（ｃ）に示すようにタング面が矢印に示すように伸びるため、これによっても磁気ヘッドスライダ１０１に反りが生じる。
【０００８】
そして、上述した磁気ヘッドスライダの変形は、タング面と磁気ヘッドスライダとが接着剤にて固着されている場合にも同様に生じうる。また、特許文献１に開示されているように、両部剤の熱膨張差を吸収する低弾性のエポキシ接着剤を用いたとしても、かかる接着剤にてその膨張差を吸収できないような変形に対しては対応することができない、という問題が生じうる。特に、タング面の伸縮といった変形に対する抑制技術ではないため、当該タング面の変形によって磁気ヘッドスライダの浮上特性に影響を及ぼす、という問題が生じうる。
【０００９】
さらに、図１１に、図１０に示した形状のフレキシャ１０２を５５℃に加熱した場合において、当該フレキシャ１０２に生じる熱膨張に伴う応力分布を示す。この図においては、網掛けが薄い部分ほど応力が集中していることを示している。すると、応力が半田付け部分に集中していることがわかり、かかる箇所で半田にて固定される磁気ヘッドスライダ１０１にも応力がかかることとなる。つまり、かかる応力により、上述したように磁気ヘッドスライダ１０１の変形が生じたり、フレキシャ１０２のばね特性に変化が生じうる。
【００１０】
上記説明したように、磁気ヘッドスライダやタング面に反りが生じることとなると、磁気ヘッドスライダの浮上特性に影響を及ぼすと共に、サスペンションへの取り付け角度の変化により磁気ディスクに対するピッチ角も変化しうる。すると、磁気ディスクに対するデータの記録再生精度が低下してしまう、という問題が生じうる。
【００１１】
このため、本発明では、上記従来例の有する不都合を改善し、特に、搭載した磁気ヘッドスライダの変形を抑制することができるサスペンションを提供することを目的とすると共に、安定したデータの記録再生を実現する高品質なヘッドジンバルアッセンブリ、ハードディスクドライブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
そこで、本発明の一形態であるサスペンションは、磁気ヘッドスライダを装着するタング面を有するサスペンションであって、タング面に、当該タング面と磁気ヘッドスライダとの熱変形差を吸収する変形差吸収手段を設けた、ことを特徴としている。特に、変形差吸収手段は、装着される磁気ヘッドスライダの長手方向に対するタング面の伸縮変形を吸収する、ことを特徴としている。そして、本発明は、磁気ヘッドスライダが、タング面に半田のみを用いて装着されている場合に特に適している。
【００１３】
上記発明によると、まず、サスペンションのタング面と磁気ヘッドスライダ自体との熱膨張率が異なる場合には、加熱されることによってタング面と磁気ヘッドスライダとはそれぞれ異なる伸縮状態となる。このとき、タング面に設けた変形差吸収手段にて、当該タング面の伸縮による変形量が吸収される。すると、タング面の伸縮に伴い、当該タング面に接着剤や半田にて固着されている磁気ヘッドスライダに生じうる反り（クラウン）を抑制することができる。従って、磁気ヘッドスライダの変形を抑制し、安定したデータの記録再生を実現することができ、製品の高品質化を図ることができる。
【００１４】
また、上記変形差吸収手段は、タング面を貫通する少なくとも一つの貫通孔である、ことを特徴としている。そして、貫通孔は、タング面内に閉じて設けられた閉スリット状孔、又は、タング面の側端から切り込まれ一端部が開放されるように設けられた一端部開放スリット状孔、という形状であると望ましい。特に、貫通孔は、装着された磁気ヘッドスライダの記録再生素子側端面とほぼ平行に延びる形状である、ことを特徴としている。
【００１５】
このように、タング面に貫通孔を形成することで、当該貫通孔の周囲部分はばね性を有することとなり、タング面の熱膨張による変形を吸収することができる。同時に、貫通孔周辺は強度が弱くなるため、かかる部分に熱膨張に伴って生じる応力を分散させることができる。従って、装着される磁気ヘッドスライダへの応力の伝達も抑制することができ、その変形を抑制することができる。さらに、貫通孔を上述したように各種のスリット状に形成することで、かかるスリット状孔の長手方向の端部にて形成されるタング面上の連結部分が、よりばね性を有することとなり、より効果的にタング面の熱膨張による変形を吸収することができる。特に、磁気ヘッドスライダの記録再生素子側端面とその反対側の端面とがタング面に半田にて固定されている場合には、これら端面とほぼ垂直な方向のタング面の伸縮を効果的に吸収することができ、磁気ヘッドスライダの変形をより抑制することができる。
【００１６】
また、タング面に、同一の各スリット状孔を複数個、又は、各スリット状孔を組み合わせて複数個設けた、ことを特徴としている。このとき、隣接する各スリット状孔の中心が、磁気ヘッドスライダの長手方向に対してほぼ同一直線状に並ばないように複数の各スリット状孔を配置した、ことを特徴としている。また、タング面に、上述した異なる形状である閉スリット状孔と一端部開放スリット状孔とを交互に設けた、ことを特徴としている。さらに、隣接する各スリット状孔の間隔が狭くなるよう当該各スリット状孔を設けた、ことを特徴としている。
【００１７】
このように、同一形状や異なる形状のスリット状孔を複数設けることで、ばね性を有するスリットの長手方向における端部箇所がタング面上に増え、また、応力も分散させることができ、より熱膨張によるタング面の変形を吸収することができる。特に、隣接する各スリット状孔の中心が、タング面の長手方向に対してほぼ同一直線状に並ばないよう各スリット状孔を形成したり、スリット状孔の間隔を狭くすることで、タング面の強度を保ちつつ、より効果的に変形を吸収することができる。
【００１８】
また、本発明の他の形態は、上述したサスペンションを備えたヘッドジンバルアッセンブリ、さらには、このヘッドジンバルアッセンブリを備えたハードディスクドライブである。上記構成のサスペンションを用いることで、信頼性の高いハードディスクドライブを製造することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は、以上のように構成され機能するので、これによると、タング面の伸縮に伴い、当該タング面に固定装備されている磁気ヘッドスライダに、これらの熱膨張差による反り（クラウン）などの発生を抑制することができ、磁気ヘッドスライダの変形を抑制し、安定したデータの記録再生を実現することができるサスペンション、さらには、ヘッドジンバルアッセンブリ、ハードディスクを提供することができる、という従来にない優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明は、磁気ヘッドスライダを装着するサスペンションの装着部分の熱による変形を吸収することに特徴を有する。これにより、磁気ヘッドスライダとサスペンションとの変形差、つまり、熱による収縮差、あるいは、膨張差を吸収し、サスペンションの収縮、膨張に伴い磁気ヘッドスライダに生じうる反りなどの変形を抑制し、浮上特性の低下、及び、記録再生精度の低下の抑制を図る。以下、具体的な構成及び作用を、実施例にて説明する。
【実施例１】
【００２１】
本発明の第１の実施例を、図１、図２、及び、図８、図９を参照して説明する。図１は、サスペンションの構成を示す図であり、図２は、加熱されたときのストレスコンター図を示す。また、図８はサスペンションを搭載したヘッドジンバルアッセンブリを複数備えたヘッドスタックアッセンブリの構成を示す図であり、さらに、これを搭載したハードディスクドライブの構成を図９に示す。
【００２２】
［構成］
図１に、磁気ヘッドスライダ１を装着するサスペンションの一部であるフレキシャ２の形状を示す。このフレキシャ２は、図８に示すように、ロードビーム１１に固定され、さらには、ロードビーム１１がベースプレート１２に固定されて、サスペンション１３を構成する。また、かかる構成のサスペンション１３は、ベースプレート１２を介してヘッドアーム１４に装着され、ヘッドジンバルアッセンブリ１０を構成する。さらに、複数のヘッドジンバルアッセンブリ１０の各ヘッドアーム１４がボイスコイルモータにて回転駆動されるよう軸支されることでヘッドスタックアッセンブリ２０を構成している（図８参照）。
【００２３】
そして、上記ヘッドスタックアッセンブリ２０を、磁気ディスク３０が装備された筐体４０に収容することで、ハードディスクドライブ５０を構成する。以下、特に、本発明では、サスペンションの一部であるフレキシャ２の形状に特徴を有するため、かかるフレキシャ２について説明する。なお、上述したように図８に示したフレキシャ２の形状は、簡略的に図示したものであるため、以下では図１を参照して詳述する。
【００２４】
本実施例における図１に示すフレキシャ２は、図１０に示す従来例におけるものとほぼ同様の構成を採っている。すなわち、磁気ヘッドスライダ１を装着する略長方形形状のタング面２１を備えており、このタング面２１は、先端側（図１の左側）でフレキシャ２本体に連結していて、ばね性を有している。これにより、磁気ヘッドスライダ１の上下方向、ピッチ方向、ロール方向に弾性変形し、磁気ディスクに対向して浮上する際の磁気ヘッドスライダ１の姿勢を適切に調整する役割を果たす。なお、図１では、磁気ヘッドスライダ１は、タング面２１の裏面側に装着される。また、この図においては、略長方形状のタング面２１は、その長手方向が先後端方向に沿って形成されており、その長手方向に合わせて略直方体形状の磁気ヘッドスライダ１も装着されることとする。但し、タング面２１の形状は図示するものに限定されない。
【００２５】
また、磁気ヘッドスライダ１は、タング面２に半田４１，４２にて固定される。具体的には、略長方形状の磁気ヘッドスライダ１の長辺方向の両端面を半田付けする。さらに詳述すると、まず、フレキシャ２の磁気ヘッドスライダ１の装着面側には、トレース配線を形成するＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）３が装備されており（図１０（ａ）参照）、磁気ヘッドスライダ１に対するデータの受け渡しを行うトレース側端子が形成されている。一方で、磁気ヘッドスライダ１のフレキシャ２装着時に先端部側となる端面（図１の左側端面）には、記録再生素子が装備され、これに対するデータの入出力を行うための磁気ヘッド側端子が形成されている。従って、これらを接続するために、半田が用いられる（符号４１参照）。つまり、この図においては、先端部側で４箇所、半田４１にて固定されている（点線で図示）。また、磁気ヘッドスライダ１の後端部側の端面（図１の右側端面）は、スライダ１自身をフレキシャ２に固定するために半田が用いられる（符号４２参照、点線で図示）。つまり、この図においては、後端部側で２箇所、半田４１にて固定されている。なお、半田付けの状況は、図１０（ａ）に示すもの（符号１４１，１４２）と同様である。
【００２６】
このように、フレキシャ２には、磁気ヘッドスライダ１が長手方向の両端部で半田４１，４２のみにて固定されている。但し、磁気ヘッドスライダ１は、さらに接着剤にてタング面２１に固着されていてもよい。あるいは、半田を用いず、接着剤のみで固着されていてもよい。
【００２７】
そして、本実施例におけるフレキシャ２のタング面２１には、装着される磁気ヘッドスライダ１の記録再生素子側端面とほぼ平行（図１では上下方向）に延びる２つのスリット状孔２２，２３が形成されている。換言すると、タング面２１の長手方向に対してほぼ垂直に延びる溝状の貫通孔が形成されている。ここで、このスリット状孔２２，２３は、タング面２１の両側端付近（各長辺側）にスリットの長手方向の端部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂが位置し、タング面２１内に閉じて設けられている。従って、以下では、かかる形状のスリット状孔を、閉スリット状孔と呼ぶこととする。これにより、タング面２１の閉スリット状孔２２，２３が形成されている両側端付近は、部材の強度が弱くなると共に、ばね性を有するようになる。
【００２８】
なお、図１に示す例では、閉スリット状孔２２，２３をタング面２１の長手方向にほぼ垂直に延びるよう形成する例を示したが、かかる方向の閉スリット状孔２２，２３であることに限定されない。また、貫通孔（スリット状孔）の形状も、必ずしもスリット状（所定の長さを有する溝状）であることに限定されず、例えば、円形であってもよい。さらに、図１では、２本の閉スリット状孔２２，２３が形成されているが、かかる数に限定されず、それ以上の数の貫通孔（スリット状孔あるいは他の形状の孔）が形成されていてもよく、さらには、１つの貫通孔が形成されているだけでもよい。
【００２９】
［動作］
次に、上記構成のフレキシャの動作を、図１乃至図２さらには図７を参照して説明する。ここで、図２は、磁気ヘッドスライダ１を半田４１，４２にて固定したフレキシャ２の温度を、基準温度を２５℃として５５℃まで上昇させた場合における、当該フレキシャ２に熱膨張などの変形によってかかる応力分布のシミュレーション結果を示すものである。なお、網掛けの濃度が薄くなるほど応力が高くかかっていることを示している。そして、ここでは、フレキシャ２のタング面２１と磁気ヘッドスライダ１自体との熱膨張率が異なることとする。
【００３０】
フレキシャ２が加熱されると、熱膨張率の差から、タング面２１と磁気ヘッドスライダ１とはそれぞれ異なる長さだけ膨張する。このとき、タング面２１における閉スリット状孔２２，２３の両端部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ付近がばね性を有しているため、かかる部分にて当該タング面２１の膨張が吸収されることとなる。つまり、熱によってタング面２１が長手方向に膨張し、これに伴い磁気ヘッドスライダ１の半田４１，４２による固定箇所間が引張られる力が働くが、かかる力を閉スリット状孔２２，２３が吸収することとなる。従って、スリット状孔２２，２３は、タング面２１と磁気ヘッドスライダ１との熱変形差を吸収する変形差吸収手段として機能する。
【００３１】
さらに、このときのフレキシャ２にかかる応力を示す図２を見ると、閉スリット状孔２２，２３の端部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ付近に応力が集中し、また、これらの端部間（符号２２ａと２３ａとの間、符号２２ｂと２３ｂとの間）にも応力が集中している。換言すると、タング面２１全体にかかる熱変形に伴う応力がかかる箇所に分散されることとなるため、装着される磁気ヘッドスライダ１に応力が伝達することも抑制することができる。このことからも、有効に磁気ヘッドスライダ１の変形を抑制することができる。
【００３２】
ここで、図７に、従来例における場合と比較した磁気ヘッドスライダ１の変形量を表す反り量（クラウン量）を示す。この図では、横軸に磁気ヘッドスライダ１の長さ、つまり、磁気ヘッドスライダ１の長手方向の位置を取り、縦軸に反り量を取る。
【００３３】
そして、図７の曲線（１）にタング面２１が通常の従来例における磁気ヘッドスライダ１の反り量を示し、曲線（２）に、本実施例における構成のタング面２１を用いた場合の磁気ヘッドスライダ１の反り量を示す。これら曲線を比較するとわかるように、効果的に磁気ヘッドスライダ１に生じうる反り（クラウン）、つまり、変形を抑制することができる。
【００３４】
なお、上記では、加熱してタング面２１が膨張する方向に変形する場合を例示したが、逆に、温度が低下して、タング面２１が収縮し、磁気ヘッドスライダ１の半田４１，４２による固定箇所間が近接するような力が働く場合も同様である。つまり、磁気ヘッドスライダ１とタング面２１との収縮差を、タング面２１に形成された閉スリット状孔２２，２３が吸収し、当該タング面２１及び磁気ヘッドスライダ１の変形を抑制することができる。
【００３５】
以上のように、タング面の伸縮に伴い、当該タング面に接着剤や半田にて固着されている磁気ヘッドスライダに生じうる反り（クラウン）を抑制することができる。従って、磁気ヘッドスライダの変形を抑制し、安定したデータの記録再生を実現することができ、製品の高品質化を図ることができる。
【００３６】
ここで、図１に示した例とは異なり、タング面２１に閉スリット状孔２２，２３を複数形成する場合に、各閉スリット状孔の中心がタング面２１の長手方向に沿って同一直線状に並ばないよう配置してもよい。例えば、図１の例のように同一の閉スリット状孔２２，２３を複数形成する際に、各閉スリット状孔２２，２３の各端部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂがタング面２１の長手方向に沿って同一直線状に並ばないように、その形成位置をずらして配置してもよい。
【実施例２】
【００３７】
次に、本発明の第２の実施例を、図３乃至図４を参照して説明する。本実施例では、上記実施例１にて説明した場合と、タング面２１に形成するスリット状孔２４の形状及び位置が異なる。
【００３８】
［構成］
図３に示すように、本実施例においては、タング面２１の両側端から中央に向かって切り込まれたスリット状孔２４が形成されている。つまり、このスリット状孔２４は、タング面２１の側端から切り込まれ、一端部が開放された形状にて形成されている。さらに換言すると、タング面２１の中央付近から両側端側に向かってそれぞれ開口するスリット状孔２４ａ，２４ｂに分かれて形成されている。従って、タング面２１の中央付近には、それぞれのスリットの長手方向の端部２４ａａ，２４ｂａが位置し、これら端部２４ａａ，２４ｂａ間にてタング面２１の先端側と後端側とが連結した状態になっている。以下、かかるスリット状孔２４ａ，２４ｂを一端部開放スリット状孔と呼ぶ。
【００３９】
なお、一端部開放スリット状孔２４ａ，２４ｂは、上述したように、必ずしも対となって形成されている必要は無く、一方の側端側にのみ開口するよう形成されていてもよい。また、上記ではタング面２１の長手方向のほぼ中央に形成した場合を示したが、他の位置に形成してもよい。
【００４０】
［動作］
上記構成のフレキシャの動作を、図３乃至４を参照して説明する。ここで、図４は、上記同様に、フレキシャ２にかかる応力分布のシミュレーション結果を示すものである。
【００４１】
フレキシャ２が加熱（あるいは冷却）されると、熱膨張率の差から、タング面２１と磁気ヘッドスライダ１とはそれぞれ異なる長さだけ伸縮する。このとき、タング面２１における一端部開放スリット状孔２４ａ，２４ｂの各端部２４ａａ，２４ｂａの間の連結部分が、ばね性を有するよう作用するため、かかる部分にて当該タング面２１の伸縮が吸収されることとなる。さらに、このときのフレキシャ２にかかる応力を図４を参照して見ると、スリットの端部２４ａａ，２４ｂａ付近に応力が集中し、また、タング面２１のフレキシャ２本体との連結部分である付け根部分からスリットの端部２４ａａ，２４ｂａ付近にかけても応力が集中している。換言すると、かかる箇所に応力が分散されることとなるため、装着される磁気ヘッドスライダ１に応力が伝達することも抑制することができる。このことからも、有効に磁気ヘッドスライダ１の変形を抑制することができる。
【００４２】
ここで、図７に、従来例における場合と比較した磁気ヘッドスライダ１の変形量を表す反り量（クラウン量）を示す。各軸については、実施例１にて説明したとおりである。そして、図７の曲線（１）にタング面２１が通常の従来例における磁気ヘッドスライダ１の反り量を示し、曲線（３）に、本実施例における構成のタング面２１を用いた場合の磁気ヘッドスライダ１の反り量を示す。これら曲線を比較するとわかるように、効果的に磁気ヘッドスライダ１に生じうる反り（クラウン）、つまり、変形を抑制することができる。
【００４３】
なお、図３に示した例とは異なり、タング面２１に一対の一端部開放スリット状孔２４を複数設けてもよい。そして、かかる場合には、一対の一端部開放スリット状孔の中心、つまり、タング面２１の連結部分を、当該タング面２１の長手方向に沿って同一直線状に並ばないよう配置するとよい。これにより、タング面上におけるばね性を有する部分を分散させて形成することができ、当該タング面２１の剛性を高く保つことができる。
【実施例３】
【００４４】
次に、本発明の第３の実施例を、図５乃至図６を参照して説明する。本実施例では、上記実施例１及び２にて説明したスリット状孔２２，２３，２４を組み合わせた形状になっている。以下、詳述する。
【００４５】
［構成］
図３に示すように、本実施例においては、タング面２１に４本のスリット状孔２２，２３，２４（２４ａ，２４ｂ）が形成されている。具体的には、まず、タング面２１の先端部付近（付け根付近）と後端部付近に、それぞれ実施例１にて説明したタング面２１の側端側に端部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂを有する閉スリット状孔２２，２３が形成されている。また、タング面２１の長手方向における中央付近には、両側端側から内部に切り込まれて当該内部にて２つに分かれた一対の一端部開放スリット状孔２４（２４ａ，２４ｂ）が形成されている。
【００４６】
このように、複数のスリット状孔（閉スリット状孔２２，２３、一端部開放スリット状孔２４）を形成することで、結果として、各スリット状孔の間隔（図５のＰ１，Ｐ２を参照）を狭く設定できる。このとき、各スリットの端部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ，２４ａａ，２４ｂａ（図１、図３参照）、すなわち、タング面２１の連結部分が、当該タング面の長手方向における同一直線状に並んで位置しないよう、異なる形状のスリット状孔２２，２３，２４を交互に形成しているため、タング面上におけるばね性を有する部分を分散させて形成することができ、当該タング面２１の剛性を高く保つことができる。
【００４７】
［動作］
上記構成のフレキシャの動作を、図５乃至６を参照して説明する。ここで、図６は、上記同様に、フレキシャ２にかかる応力分布のシミュレーション結果を示すものである。
【００４８】
フレキシャ２が加熱（あるいは冷却）されると、熱膨張率の差から、タング面２１と磁気ヘッドスライダ１とはそれぞれ異なる長さだけ伸縮する。このとき、タング面２１における閉スリット状孔２２，２３、及び、一端部開放スリット状孔２４の各端部付近がばね性を有するよう作用する。そして、本実施例における各スリットの端部は、タング面２１の側端側と中央部分に多数形成されているため、かかる複数の部分にて当該タング面２１の伸縮がより効果的に吸収されることとなる。
【００４９】
さらに、このときのフレキシャ２にかかる応力を図６を参照して見ると、各スリットの端部付近に応力が集中し、また、これら端部間などにも応力が集中している。換言すると、かかる箇所に応力が分散されることとなるため、装着される磁気ヘッドスライダ１に応力が伝達することも抑制することができる。このことからも、有効に磁気ヘッドスライダ１の変形を抑制することができる。一方で、応力が集中する箇所を分散して形成しているため、タング面２１の剛性を高く保つことが出来る。
【００５０】
ここで、図７に、従来例における場合と比較した磁気ヘッドスライダ１の変形量を表す反り量（クラウン量）を示す。各軸については、実施例１にて説明したとおりである。そして、図７の曲線（１）にタング面２１が通常の従来例における磁気ヘッドスライダ１の反り量を示し、曲線（４）に、本実施例における構成のタング面２１を用いた場合の磁気ヘッドスライダ１の反り量を示す。これら曲線を比較するとわかるように、効果的に磁気ヘッドスライダ１に生じうる反り（クラウン）、つまり、変形を抑制することができる。特に、本実施例では、他の実施例の場合（曲線（２）、（３））と比較してもさらに効果的に反り量を抑制することができることがわかる。
【００５１】
なお、複数のスリット状孔２２，２３，２４は、上記組み合わせによる配置に限定されない。実施例１，２にて説明したように、同一形状のスリット状孔（閉スリット状孔、あるいは、一端部開放スリット状孔）を複数個設けてもよく、異なる形状の各スリット状孔を任意の数だけ組み合わせて設けてもよい。さらに、各スリット状孔を設ける位置も任意であり、特に、隣接する各スリット状孔の中心が、磁気ヘッドスライダの長手方向に対してほぼ同一直線状に並ばないようにそれぞれ配置するとよい。例えば、同一形状のスリット状孔を複数個設けるであっても、それらの中心位置を長手方向に向かって左右にずらして配置することで、上述したようにタング面の剛性を高く維持しつつ、効果的に変形を抑制することができる。
【実施例４】
【００５２】
上記各実施例にて説明したフレキシャ２に磁気ヘッドスライダ１を装着すると共に、これを用いて図８に示すように、ヘッドジンバルアッセンブリ１０を製造することができる。さらには、図９に示すように、かかるヘッドジンバルアッセンブリ１０を装着したハードディスクドライブ５０を製造することができる。
【００５３】
上述したフレキシャ２を用いたハードディスクドライブ５０によると、当該フレキシャ２の熱膨張に伴う磁気ヘッドスライダ１のクラウン変化などの熱変形を有効に抑制することができるため、安定したデータの記録再生を実現することができる。従って、製品の信頼性の向上、及び、高品質化、を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明であるサスペンションは、磁気ディスクに対してデータの記録再生を行う磁気ヘッドスライダを装着し、ハードディスクドライブに搭載することができ、産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施例１におけるフレキシャの構成を示す図である。
【図２】実施例１におけるフレキシャのストレスコンター図を示す。
【図３】実施例２におけるフレキシャの構成を示す図である。
【図４】実施例２におけるフレキシャのストレスコンター図を示す。
【図５】実施例３におけるフレキシャの構成を示す図である。
【図６】実施例３におけるフレキシャのストレスコンター図を示す。
【図７】本発明のフレキシャと従来例のフレキシャとを用いた場合における磁気ヘッドスライダに生じるクラウン量を示す図である。
【図８】本発明におけるフレキシャを搭載したヘッドジンバルアッセンブリ及びヘッドスタックアッセンブリの構成を示す図である。
【図９】本発明におけるフレキシャを用いたハードディスクドライブの構成を示す図である。
【図１０】従来例におけるフレキシャの構成を示す図である。図１０（ａ）は磁気ヘッドスライダ装着側を示し、図１０（ｂ）はその反対側を示す。
【図１１】従来例におけるフレキシャのストレスコンター図を示す。
【図１２】図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）は、従来例におけるフレキシャとこれに装着された磁気ヘッドスライダとの熱変形の様子を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  磁気ヘッドスライダ
２  フレキシャ（サスペンション）
３  ＦＰＣ
１０  ヘッドジンバルアッセンブリ
１１  ロードビーム
１２  ベースプレート
１３  サスペンション
１４  ヘッドアーム
２０  ヘッドスタックアッセンブリ
２１  タング面
２２，２３  閉スリット状孔（スリット状孔、貫通孔、変形差吸収手段）
２４，２４ａ，２４ｂ  一端部開放スリット状孔（スリット状孔、貫通孔、変形差吸収手段）
２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ  閉スリット状孔の端部
２４ａａ，２４ｂａ  一端部開放スリット状孔の端部
４１，４２  半田
５０  ハードディスクドライブ
【図１】
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【図３】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図２】
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【図４】
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【図６】
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【図１１】
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