(57)【要約】      （修正有）【課題】電子部品実装装置の移動レールから作業ヘッドに到る可動部品の電子部品の搭載位置における振動を抑制する手段を提供する。【解決手段】回転軸を中心に間欠的に回転するロータリヘッド６と、ロータリヘッド６の円周方向に複数配置され、回転軸の軸方向に移動する移動レール４と、移動レール４に取付けられたマルチノズルユニット２とを備えた電子部品実装装置に板バネと、減衰体とを有する片持ち梁構造の動吸振器１５を設け、移動レール４からマルチノズルユニット２に到る可動部のロータリヘッド６の半径方向および円周方向の加振力による固有振動を打ち消す方向に、動吸振器１５の振動方向を一致させるように位置を調整して位置調整手段により固定し、動吸振器１５の固有振動数を調整する振動数調整手段により動吸振器１５の固有振動数を可動部の固有振動数と一致させるように調整する。【選択図】        図１
2007027533.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸を中心に間欠的に回転するロータリヘッドと、該ロータリヘッドの円周方向に複数配置され、前記回転軸の軸方向に移動する移動レールと、該移動レールに取付けられた作業ヘッドとを備えた電子部品実装装置において、
バネ部材と、減衰部材とを有し、一端を自由端とし、他端を固定端とする片持ち梁構造の動吸振器と、
前記移動レールから前記作業ヘッドに到る部位を可動部とし、該可動部の前記ロータリヘッドの半径方向および円周方向の加振力による固有振動を打ち消す方向に、前記動吸振器の振動方向を一致させるように位置を調整して固定する位置調整手段と、
前記動吸振器の固有振動数を調整する振動数調整手段とを設け、
前記動吸振器を、前記可動部に前記位置調整手段により固定し、前記振動数調整手段により前記動吸振器の固有振動数を、前記可動部の固有振動数と一致させるように調整することを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項２】
請求項１おいて、
前記バネ部材の自由端に、補助質量体を接合したことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２おいて、
前記バネ部材を金属材料からなる板バネとし、前記減衰部材を樹脂材料からなる減衰体とし、前記板バネに前記減衰体を接合して動吸振器を形成したことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２おいて、
前記バネ部材を、樹脂材料で形成した減衰バネで形成し、前記樹脂材料の減衰性を前記減衰部材として用いて動吸振器を形成したことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３または請求項４おいて、
前記バネ部材を、磁性材料で形成したことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項６】
請求項１から請求項４または請求項５おいて、
前記バネ部材の固定端を、磁石の磁力により固定することを特徴とする電子部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップ等の電子部品を基板に実装する電子部品実装ロボット等の電子部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の電子部品実装装置は、電子部品を供給する供給部と、ＸＹテーブル上に基板を設置した実装部との間に回転軸を中心に間欠的に回転するロータリヘッドを配置し、ロータリヘッドの円周方向に複数設置されたスライドガイドにそれぞれ嵌合する移動レールに設けたカムフォロアを固定部の外周面に設けたカムリングに従動させて回転軸の軸方向に昇降可能に構成し、移動レールに取付けた作業ヘッドの吸着ノズルを供給部の保持する電子部品に応じて自転させ、その先端で電子部品を吸着保持し、ロータリヘッドを間欠的に回転させ、移動レールをカムリングに従動させたカムフォロアにより下降させながら実装部の基板上に搬送して停止させ、実装部のＸＹテーブルにより基板の搭載位置を位置決めした後に、作業ヘッドのヘッド昇降機構の下降動作により電子部品を搭載している。（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００２−１４１６９８号公報（主に第３頁段落００１１−第４頁段落００２３、第１図、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
一般に、電子部品実装装置のロータリヘッドは、タクトタイムの向上を図るために高速で間欠的に回転し、その回転開始時および停止時には急加減速が繰返される。
しかしながら、上述した従来の技術においては、移動レールに取付けた作業ヘッドの吸着ノズルに電子部品を吸着保持し、ロータリヘッドを間欠的に回転させて実装部に搬送し、移動レールをカムリングに従動させたカムフォロアにより下降させて停止させ、実装部の基板上に電子部品を搭載しているため、移動レールが下降する電子部品の搭載位置では移動レールが最も長く突出した状態で高速回転から急停止し、作業ヘッドが質量となってロータリヘッドの半径方向および円周方向の加振力、つまり高速回転に伴う遠心力および急停止に伴う慣性力に起因する振動が発生し、吸着ノズルに吸着保持されている電子部品の搭載位置精度にずれが生ずるという問題がある。
【０００４】
このため、振動が減衰するまで停止させると、結果として停止時間が長くなってタクトタイムが長くなり、電子部品の実装工程の作業効率が低下するという問題がある。
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、移動レールから作業ヘッドに到る可動部の電子部品の搭載位置における振動を抑制する手段を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために、回転軸を中心に間欠的に回転するロータリヘッドと、該ロータリヘッドの円周方向に複数配置され、前記回転軸の軸方向に移動する移動レールと、該移動レールに取付けられた作業ヘッドとを備えた電子部品実装装置において、バネ部材と、減衰部材とを有し、一端を自由端とし、他端を固定端とする片持ち梁構造の動吸振器と、前記移動レールから前記作業ヘッドに到る部位を可動部とし、該可動部の前記ロータリヘッドの半径方向および円周方向の加振力による固有振動を打ち消す方向に、前記動吸振器の振動方向を一致させるように位置を調整して固定する位置調整手段と、  前記動吸振器の固有振動数を調整する振動数調整手段とを設け、前記動吸振器を、前記可動部に前記位置調整手段により固定し、前記振動数調整手段により前記動吸振器の固有振動数を、前記可動部の固有振動数と一致させるように調整することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
これにより、本発明は、電子部品の搭載位置での高速回転からの急停止時に、高速回転に伴う遠心力および急停止に伴う慣性力に起因する可動部の固有振動に近づけた動吸振器により可動部の振動を抑制することができ、電子部品の実装工程におけるタクトタイムを短縮してその作業効率向上させることができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下に、図面を参照して本発明による電子部品実装装置の実施例について説明する。
【実施例１】
【０００８】
図１は実施例１の電子部品実装装置の側面を示す説明図、図２は実施例１の動吸振器の取付状態を示す斜視図、図３は図１のＡ部を示す説明図である。
なお、図１および図２に示すマルチノズルユニットは、実装プロセス便覧１９９８（発行所：社団法人  日本ロボット工業会、１９９８年１０月、ｐ．３６）の図を参考に描いたものである。
【０００９】
図１において、１は電子部品実装装置である。
２は作業ヘッドとしてのマルチノズルユニットであり、その略円筒状のケース２ａの内部に複数の自転可能な吸着ノズル３が設けられており、図示しない昇降機構により吸着ノズル３を昇降する機能を備えている。
４は移動レールであり、ブラケット５を介してマルチノズルユニット２が取付けられており、回転軸Ｃｒを中心としてθ方向に回転するロータリヘッド６の円周方向に複数設置されたスライドガイド７にそれぞれ摺動可能に嵌合している。
【００１０】
８はカムフォロアであり、移動レール４の一の端部に設けられており、電子部品実装装置１の固定部９のカムリング１０にロータリヘッド６の回転に伴って従動し、移動レール４をロータリヘッド６の軸方向に移動させる。
１２はＸＹテーブルであり、電子部品を実装する基板１３が設置される。
図２において、１５は動吸振器であり、一端を自由端１６とし、他端を固定端１７とする片持ち梁構造のダイナミックダンパであって、バネ部材としての金属材料の薄板からなる板バネ１８に、減衰部材としての高減衰性を有する樹脂材料からなる減衰体１９を板バネ１８の表面に張り合わせて接合し、自由端１６に金属材料等からなる補助質量体２０を質量要素として接合して構成され、その固定端１７には動吸振器１５の片持ち梁の長さを調整するための長穴２１が設けられている。
【００１１】
本実施例の動吸振器１５は、図３に示すようにマルチノズルユニット２のケース２ａの円周方向の全周に渡って形成されたＴ字溝２３に挿入されたナット２４に、固定具２５ａ、２５ｂで固定端１７を挟みつけてボルト２６で締結して固定される。このＴ字溝２３およびボルト２６、ナット２４により本実施例の位置調整手段が形成され、動吸振器１５のマルチノズルユニット２の円周方向の取付位置を任意に選択することが可能になる。
【００１２】
また、上記の長穴２１を固定具２５ａ、２５ｂで挟みつけてボルト２６、ナット２４により締結することにより本実施例の振動数調整手段が形成される。
上記の場合に、Ｔ字溝２３にボルト２６の頭部を挿入し、Ｔ字溝２３から突出しているボルト２６のねじ部にナット２４を螺合させて締結するようにしてもよい。
このような動吸振器１５の固有振動数と振動方向の調整は、電子部品実装装置１の移動レール４に取付けられたマルチノズルユニット２のＴ字溝２３に動吸振器１５を仮に取付け、ロータリヘッド６を作動させて電子部品の搭載位置に停止させ、このときのブラケット５を介してマルチノズルユニット２を取付けた移動レール４（この移動レール４からマルチノズルユニット２に到る部材を可動部という。）のロータリヘッドの半径方向および円周方向の加振力、つまり高速回転に伴う遠心力と急停止に伴う慣性力による固有振動を打ち消す方向、つまり遠心力と慣性力との合力の方向の振動方向を見極め、ボルト２６を緩めて動吸振器１５をＴ字溝２３に沿わせて移動させ、可動部の振動方向と動吸振器１５の振動方向（板バネ１８の厚さ方向）とが一致する位置に動吸振器１５を固定する。
【００１３】
そして、再度ロータリヘッド６を作動させて電子部品の搭載位置に停止させ、そのときの残留振動特性を測定し、振動が最も速く減衰するように固定端１７の長穴２１を用いて動吸振器１５の長さを調整して動吸振器１５の固有振動数を可動部の固有振動数と一致させるように調整する。
このとき、可動部の固有振動数と動吸振器１５の固有振動数とが一致していることが望ましい。この場合の動吸振器１５の吸振性（動吸振器１５の減衰特性および振動特性により可動部の振動を吸収する性質をいう。）は最大限に発揮され、可動部の振動の減衰時間は最短となる。
【００１４】
この吸振性の確認結果を以下に示す。
図４は動吸振器の吸振性確認試験装置の側面を示す説明図、図５は動吸振器の取付位置を示す説明図である。
なお、図５は図４の実験ヘッドのＢ方向矢視図として示してある。また上記と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００１５】
本確認試験に用いた移動レール４は、ロータリヘッド６の外周面の軸方向の２箇所に設けられたスライドガイド７に嵌合しており、これらのスライドガイド７の間に設けられたカムフォロア８が、図示しない固定部位に固定されたカムリング１０に従動して移動レール４を昇降するように構成されている。
３０は実験ヘッドであり、本体部３１と質量部３２とを比較的細い接続部３３で接続してその質量および剛性がマルチノズルユニット２の質量および剛性と等価になるように構成され、移動レール４の端部に固定されている。
【００１６】
本確認試験に用いた動吸振器１５は、板バネ１８と、この板バネ１８に高減衰性の樹脂材料からなる樹脂チューブを差し込みこれを加熱収縮させて接合した減衰体３６とを備え、板バネ１８の質量を動吸振器１５の質量要素として構成されている。
また固定端１７は板バネ１８のままで比較的長く形成され、この固定端１７を固定具３７ａ、３７ｂで挟みつけて２本のボルト３８で締結して図５にＰ１〜Ｐ４で示す各取付部位に取付けられる。
【００１７】
この動吸振器１５の振動数調整手段は、平面として比較的長く形成された固定端１７を固定具３７ａ、３７ｂで挟みつけてボルト３８により締結することにより形成される。
なお、図４、図５は動吸振器１５をＰ４の位置に取付けられた状態を示している。
上記の吸振性確認試験装置を用い、ロータリヘッド６を間欠的にθ方向に回転させ、移動レールが最も長く突出した状態、つまりカムリング１０の最下部の位置にカムフォロア８が位置したときに高速回転から急停止させた場合の質量部３２の先端の残留振動振幅特性を測定した。
【００１８】
なお、本確認試験に用いた動吸振器１５は、前記の振動数調整手段により各取付部位での可動部（移動レール４から実験ヘッド３０に到る部材）の固有振動数に近づけて調整し、その状態で測定した結果である。
図６は取付部位Ｐ１の残留振動振幅特性を、図７は取付部位Ｐ２の残留振動振幅特性を、図８は取付部位Ｐ３の残留振動振幅特性を、図９は取付部位Ｐ４の残留振動振幅特性を示し、図１０は動吸振器１５を取外した状態の残留振動振幅特性を示す。
【００１９】
図から明らかに、図１０に示す動吸振器１５を取外した状態の減衰時間に較べて、図６〜図９に示すそれぞれの取付部位に動吸振器１５を取付けた場合の減衰時間は動吸振器１５の吸振性により短縮されており、中でも図６に示す取付部位Ｐ１、つまり実験ヘッド３０の先端に近い部位に動吸振器１５を取付けたときに減衰時間が最短となっている。
以上説明したように、本実施例では、動吸振器を移動レールからマルチノズルユニットに到る可動部のロータリヘッドの半径方向と円周方向の合力の方向の固有振動の方向と、動吸振器の振動方向とを一致させるように位置調整手段により固定し、振動数調整手段により動吸振器の固有振動数を可動部の固有振動数に一致させるように調整するようにしたことによって、電子部品の搭載位置での高速回転からの急停止時に、高速回転に伴う遠心力および急停止に伴う慣性力に起因する可動部の固有振動に近づけた動吸振器により可動部の振動を抑制することができ、吸着ノズルに吸着保持されている電子部品の搭載位置精度を向上させることができると共に、振動の減衰時間を短くすることができ、停止時間の短縮によりタクトタイムを短くして電子部品の実装工程の作業効率を向上させることができる。
【００２０】
また、動吸振器を板バネおよび樹脂材料からなる減衰体で構成したことによって、動吸振器の質量を軽くすることができ、可動部の質量の増加を抑制して可動部の固有振動数の低下を抑制することができると共に、高速回転および高加減速で作動する可動部への取付を容易に行うことができる。
更に、動吸振器の振動数調整手段を、固定端を板バネとし、板バネの平面またはそこに長穴を設けて固定具で挟みつけて固定する構成にしたことによって、動吸振器の長さを容易に調整することができ、動吸振器の固有振動数の調整を容易に行うことができると共に、移動レールの長さや作業ヘッドの質量を変更した場合であっても、動吸振器の固有振動数の調整を即座に行うことができる。
【００２１】
更に、動吸振器の位置調整手段を、マルチノズルユニットのケースの円周方向に設けたＴ字溝にボルトとナットで固定する構成にしたことによって、動吸振器の取付位置をロータリヘッドの回転方向（θ方向）に容易に調整することができ、遠心力と慣性力の合力による可動部の振動方向に動吸振器の振動方向を容易に一致させることができると共に、ロータリヘッドの回転速度や可動部の質量を変更した場合であっても、動吸振器の取付位置の調整を即座に行うことができる。
【００２２】
更に、減衰部材を高減衰性の樹脂材料からなるチューブを加熱収縮させて板バネに接合するようにしたことによって、動吸振器を容易に製作することができると共に、動吸振器の減衰特性の変更を容易に行うことができる。
なお、本実施例においては、動吸振器１５の長さの調整は固定端１７の板バネ１８の平面または固定端１７に設けた長穴２１により行うとして説明したが、固定端１７に図１１に示す円形のボルト穴３９を設けた動吸振器１５の長さを変えたものを複数用意し、これらを可動部の固有振動数に応じて取替えるようにしてもよい。
【００２３】
また、動吸振器１５の固有振動数の調整は、板バネ１８の長さを変更して調整するとして説明したが、固有振動数を調整する手段は前記に限らず、補助質量体２０の質量を変更するようにしてもよい。
【実施例２】
【００２４】
図１２は実施例２の位置調整手段を示す説明図である。
なお、上記実施例１と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図１２において、４１は帯体であり、金属材料等からなる薄板を略円形に丸めて形成された帯状部材の両端部に締結ブロック４２をそれぞれ接合して形成されている。
締結ブロック４２の一方には、ボルト４３を挿入するボルト穴４４および動吸振器１５を取付けるボルト２６が螺合するねじ穴４５が設けられ、他方にはボルト４３が螺合するねじ穴４６が設けられており、帯体４１をマルチノズルユニット２のケース２ａの外周面に巻きつけ、それぞれの締結ブロック４２をボルト穴４４に挿入したボルト４３をねじ穴４６に螺合させ、帯体４１をケース２ａに締付けて固定する。
【００２５】
上記の帯体４１およびボルト４３により本実施例の位置調整手段が形成される。
なお、本実施例の動吸振器１５は、上記実施例１の長穴２１を有する動吸振器１５と同様の動吸振器である。
また、動吸振器１５を取付けるボルト２６が螺合するねじ穴４５は他方の締結ブロック４２に設けるようにしてもよい。
【００２６】
このような位置調整手段による動吸振器１５の振動方向の調整は、実施例１と同様に動吸振器１５を締結ブロック４２に取付けた帯体４１をボルト４３を用いてマルチノズルユニット２のケース２ａに仮に取付け、ロータリヘッド６を作動させて可動部の振動方向を見極め、ボルト４３を緩めて帯体４１をケース２ａの外周面に沿わせて移動させ、可動部の振動方向と動吸振器１５の振動方向とが一致する位置に動吸振器１５を取付けた帯体４１をボルト４３を用いて固定する。
【００２７】
なお、動吸振器１５の長さの調整は、上記実施例１と同様であるのでその説明を省略するが、本実施例の帯体４１は可動部の軸方向の位置を調整することが可能であるので、実施例１の吸振性確認試験で説明したように、動吸振器１５の吸振性を最大限に発揮できる位置に動吸振器１５を取り付けることが可能になる。
このように、動吸振器の位置調整手段を、マルチノズルユニットのケースの外周面に帯体の締結ブロックの間をボルトにより締付けて固定する構成にしたことによって、実施例１の位置調整手段と同様の効果に加えて、動吸振器の取付位置を移動レールの軸方向の位置においても容易に調整することができ、動吸振器の吸振性を最大限に発揮できる位置への動吸振器の取付を容易に行うことができる。
【実施例３】
【００２８】
図１３は実施例３の動吸振器を示す説明図である。
なお、上記実施例１と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図１３において、５１は減衰バネであり、磁性粉を練り込んだ樹脂材料で成形された弾性および減衰性を備えた板状部材であって、その自由端１６にはインサート成形等により補助質量体２０が取付けられる。
【００２９】
本実施例の動吸振器１５は、バネ部材と減衰部材とを兼ねた減衰バネ５１に補助質量体２０を付加して構成される。
５２は磁石ブロックであり、磁石で形成された略直方体のブロックであって、６つの略長方形の側面の内、最も広い面積を有する２つの側面の一方に、マルチノズルユニット２のケース２ａの外周面の半径と同等の半径を有する円弧凹面が形成され、他方は平面とされている。
【００３０】
５３は固定金具であり、金属材料等からなる帯状の薄板を磁石ブロック５２の幅に合わせてコの字状に折り曲げ、その両端部を外側に折り曲げてフランジ部５４を形成し、フランジ部５４にボルト穴５５を穿孔して形成される。
本実施例の位置調整手段は、Ｔ字溝２３と磁石ブロック５２および減衰バネ５１を介して磁石ブロック５２をケース２ａとの間に挟みつける固定金具５３、固定金具５３をＴ字溝２３に締結するボルト２６とナット２４とで形成され、振動数調整手段は磁石ブロック５２と磁性粉を練り込んだ減衰バネ５１の平面とした固定端１７を貼付することにより形成される。
【００３１】
なお、本実施例のマルチノズルユニット２のケース２ａ等は、鉄等の磁性材料で形成されている。
上記の磁性粉を練り込んだ減衰バネ５１を有する動吸振器１５の固有振動数と振動方向の調整は、電子部品実装装置１の移動レール４に取付けられたマルチノズルユニット２のケース２ａの外周面のＴ字溝２３上に磁石ブロック５２の円弧凹面の側を当接してその磁力により貼付し、その平面の側に磁性粉を練り込んだ減衰バネ５１の固定端１７を磁力により貼付して仮に取付け、実施例１と同様にロータリヘッド６を作動させて可動部の振動方向を見極め、磁石ブロック５２をケース２ａから引き剥がして可動部の振動方向と動吸振器１５の振動方向とが一致する位置に動吸振器１５を貼付した磁石ブロック５２を取付ける。
【００３２】
そして、再度ロータリヘッド６を作動させて電子部品の搭載位置に停止させ、そのときの残留振動特性を測定し、振動が最も速く減衰するように動吸振器１５の減衰バネ５１を磁石ブロック５２から引き剥がして動吸振器１５の長さを調整し、動吸振器１５の固有振動数を調整する。その後に固定金具５３を２本のボルト２６でＴ字溝２３に挿入されているナット２４に締結して減衰バネ５１と磁石ブロック５２をケース２ａと固定金具５３との間に挟みこんで固定する。
【００３３】
このように、動吸振器の位置調整手段を、マルチノズルユニットのケースの円周方向に設けたＴ字溝に動吸振器を取付けた磁石ブロックを固定金具とボルトとナットで固定する構成にしたことによって、実施例１の位置調整手段と同様の効果の効果を得ることができる。
また、動吸振器の振動数調整手段を、固定端の減衰バネの平面を磁石ブロックの平面に貼付する構成にしたことによって、動吸振器の長さの調整を更に容易にした状態で実施例１と同様の効果を得ることができる。
【００３４】
なお、本実施例では動吸振器のバネ部材を磁性粉を練りこんだ減衰バネで形成して動吸振器に磁性を付与するとして説明したが、実施例１で説明した動吸振器の板バネを鉄等の磁性材料で形成し、その固定端に長穴を設けずに平面を形成すれば、上記と同様の効果を得ることができる。
また、動吸振器１５の固有振動数の調整は、減衰バネの長さを変更して調整するとして説明したが、固有振動数を調整する手段は前記に限らず、減衰バネのバネ定数を変更するようにしてもよい。
【実施例４】
【００３５】
図１４は実施例４の動吸振器を示す説明図である。
なお、上記実施例１および実施例３と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図１４において、６１は減衰バネであり、樹脂材料やガラス繊維等のウイスカを練り込んだ樹脂材料等の非磁性材料で成形された弾性および減衰性を備えた板状部材であって、その自由端１６にはインサート成形等により補助質量体２０が取付けられる。
【００３６】
本実施例の動吸振器１５は、バネ部材と減衰部材とを兼ねた減衰バネ６１に補助質量体２０を付加して構成される。
本実施例の磁石ブロック５２の横幅は、減衰バネ６１の幅より長く形成されている。
６２はホルダであり、鉄等の磁性材料からなる略直方体の板材の中央部に、減衰バネ６１の幅と略同等の幅で、かつ減衰バネ６１の厚さと略同等深さの溝部６３を形成した略コの字状部材である。
【００３７】
本実施例の位置調整手段は、磁石ブロック５２とホルダ６２とで形成され、振動数調整手段は磁石ブロック５２と非磁性の減衰バネ６１の平面とした固定端１７をホルダ６２で磁力により挟みつけて形成される。
なお、本実施例のマルチノズルユニット２のケース２ａ等は、実施例３と同様に磁性材料で形成されている。
【００３８】
上記の非磁性の減衰バネ６１を有する動吸振器１５の固有振動数と振動方向の調整は、電子部品実装装置１の移動レール４に取付けられたマルチノズルユニット２のケース２ａの外周面に磁石ブロック５２の円弧凹面の側を当接してその磁力により貼付し、その平面の側にホルダ６２の溝部６３に嵌合させた減衰バネ６１をホルダ６２と磁石ブロック５２との間の磁力で挟みつけて動吸振器１５を仮に取付け、実施例１と同様にロータリヘッド６を作動させて可動部の振動方向を見極め、磁石ブロック５２をケース２ａから引き剥がして可動部の振動方向と動吸振器１５の振動方向とが一致する位置に動吸振器１５をホルダ６２で挟みつけた磁石ブロック５２を取付ける。
【００３９】
そして、再度ロータリヘッド６を作動させて電子部品の搭載位置に停止させ、そのときの残留振動特性を測定し、ホルダ６２を磁石ブロック５２から引き剥がして振動が最も速く減衰するように動吸振器１５の長さを調整し、ホルダ６２で減衰バネ６１を固定して動吸振器１５の固有振動数を調整する。
このように、動吸振器の位置調整手段を、マルチノズルユニットのケースの外周面にホルダで動吸振器を挟みつけた磁石ブロックを貼付する構成にしたことによって、動吸振器を非磁性材料で構成しても上記実施例２の位置調整手段と同様の効果の効果を得ることができる。
【００４０】
また、動吸振器の振動数調整手段を、固定端の減衰バネの平面を磁石ブロックの平面にホルダで挟みつける構成にしたことによって、動吸振器を非磁性材料で構成しても上記実施例３の振動数調整手段と同様の効果を得ることができる。
なお、本実施例では動吸振器のバネ部材を非磁性材料である樹脂材料からなる減衰バネで形成するとして説明したが、実施例１で説明した動吸振器の板バネをアルミニウムや非磁性のステンレス等の非磁性材料で形成し、その固定端に長穴を設けずに平面を形成すれば、上記と同様の効果を得ることができる。
【００４１】
上記各実施例においては、可動部のロータリヘッドの半径方向および円周方向の加振力による固有振動を打ち消すために、動吸振器はその振動方向を可動部の遠心力と慣性力の合力による振動方向に一致させて一つ設置するとして説明したが、振動数の異なる動吸振器を複数設置してその複数の動吸振器の振動の合方向を、ロータリヘッドの半径方向および円周方向の加振力による振動を打ち消す方向に一致させるようにしても上記と同様の効果を得ることができる。
【００４２】
なお、上記各実施例で説明した動吸振器や位置調整手段、振動数調整手段は、適宜組合せて用いれば、各実施例で説明した効果を組合せて得ることができる。この場合に実施例３、実施例４で説明した位置調整手段、振動数調整手段はマルチノズルユニットのケースが鉄等の磁性材料の場合に適しており、実施例１、実施例２で説明した位置調整手段、振動数調整手段はケースがアルミニウム等の非磁性材料の場合においても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】実施例１の電子部品実装装置の側面を示す説明図
【図２】実施例１の動吸振器の取付状態を示す斜視図
【図３】図１のＡ部を示す説明図
【図４】動吸振器の吸振性確認試験装置の側面を示す説明図
【図５】動吸振器の取付位置を示す説明図
【図６】動吸振器を取付部位Ｐ１に取付けたときの残留振動振幅特性を示すグラフ
【図７】動吸振器を取付部位Ｐ２に取付けたときの残留振動振幅特性を示すグラフ
【図８】動吸振器を取付部位Ｐ３に取付けたときの残留振動振幅特性を示すグラフ
【図９】動吸振器を取付部位Ｐ４に取付けたときの残留振動振幅特性を示すグラフ
【図１０】動吸振器を取外した状態の残留振動振幅特性を示すグラフ
【図１１】実施例１の他の振動数調整手段を示す説明図
【図１２】実施例２の位置調整手段を示す説明図
【図１３】実施例３の動吸振器を示す説明図
【図１４】実施例４の動吸振器を示す説明図
【符号の説明】
【００４４】
１    電子部品実装装置
２    マルチノズルユニット
２ａ  ケース
３    吸着ノズル
４    移動レール
５    ブラケット
６    ロータリヘッド
７    スライドガイド
８    カムフォロア
９    固定部
１０  カムリング
１２  ＸＹテーブル
１３  基板
１５  動吸振器
１６  自由端
１７  固定端
１８  板バネ
１９、３６  減衰体
２０  補助質量体
２１  長穴
２３  Ｔ字溝
２４  ナット
２５ａ、２５ｂ、３７ａ、３７ｂ  固定具
２６、３８、４３  ボルト
３０  実験ヘッド
３１  本体部
３２  質量部
３３  接続部
３９、４４、５５  ボルト穴
４１  帯体
４２  締結ブロック
４５、４６  ねじ穴
５１、６１減衰バネ
５２  磁石ブロック
５３  固定金具
５４  フランジ部
６２  ホルダ
６３  溝部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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