(57)【要約】【課題】より容易に液滴吐出ヘッドを製造する。【解決手段】第二電極層を平坦な面に形成し、エッチングなどで分割除去し（パターニングし）、個別電極１３６とするので、作業が容易である。また、個別電極１３６を能動領域部１００Ａよりも大きく形成している。換言すると、平面視すると能動領域部１００Ａを個別電極が覆っている。したがって、圧電体１００が撓み変形する領域は、能動領域部１００Ａの一方の面の共通電極１３７の大きさ、すなわち、溝部１０２によって形成される能動領域部１００Ａとなる。つまり、溝部１０２の加工精度が、撓み変形する領域の精度となるので高精度である。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室の壁面の一部を構成する振動板を変位させ、前記圧力室に連通したノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
板状の圧電体の一方の面に第一電極層を形成する第一工程と、
前記第一電極層が形成された前記圧電体の一方の面に所定の深さの溝部を形成し、前記圧力室に対応する能動領域部を形成すると共に、前記第一電極層が前記能動領域部の一方の面の全域に設けられた共通電極となる第二工程と、
前記能動領域部に前記振動板を接合する第三工程と、
前記振動板に第一支持部材を接合する第四工程と、
前記圧電体を、前記溝部の深さよりも厚く薄膜化する第五工程と、
薄膜化した前記圧電体の他方の面に第二電極層を形成する第六工程と、
前記第二電極層を分割し、前記能動領域部に対応する個別電極を形成する第七工程と、
前記第一支持部材を除去する第八工程と、
前記圧電体が接合している前記振動板を、前記圧力室を備える流路部に接合する第九工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
第七工程では、平面視すると、前記個別電極が前記能動領域部を覆うように、該個別電極を該能動領域部より大きく形成することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第二工程では、平面視すると、前記能動領域部が前記圧力室に収まるように前記溝部を形成し、
前記第七工程では、平面視すると、前記個別電極には前記圧力室からはみ出た電極パッド部を備えるように形成することを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第六工程で、前記圧電体の他方の面に、前記第二電極層を前記個別電極として形成し、
前記第七工程を省略したことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第八工程の前に、前記圧電体の他方の面に第二支持部材を接合する工程を有し、
前記第九工程の後に、前記第二支持部材を除去する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
圧力室の壁面の一部を構成する振動板を変位させ、前記圧力室に連通したノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドであって、
一方の面に形成された溝部と、前記溝部によって分割され前記圧力室に対応し一方の面の全域に共通電極が設けられた能動領域部と、他方の面に形成され前記能動領域部に対応する個別電極と、を備え、前記能動領域部が前記振動板に接合された板状の圧電体と、
前記圧力室を備え、振動板が接合された流路部と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
平面視すると、前記個別電極が前記能動領域部を覆うように、該個別電極を該能動領域部より大きく形成したことを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
平面視すると、
前記能動領域部は、前記圧力室に収まり、
前記電極パターンは、前記圧力室からはみ出た電極パッドを備えることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドに使用している圧電素子は、焼結したセラミクス（ＰＺＴ）のインゴットを約１００μｍの厚さで切り出したのち、機械加工により厚さ約３５μｍに薄膜化した圧電体を分割して製造している。
【０００３】
圧電素子（薄膜化し分割した圧電体）の厚さのバラツキが大きくなると、同じ電圧を印加した場合でも各圧電素子の変形量が異なる。すなわち、吐出するインク滴量が異なり、印字品質が低下する。このため、両面研磨加工法を用いて薄膜化を行うことで、比較的容易に厚さのバラツキが小さい圧電素子を得ている。
【０００４】
しかしながら、両面研磨加工法は、加工中は板状の圧電体の両面が研磨盤に接触していなければならないので、薄膜化した圧電体に対して補強等はできない。よって、薄膜化が完了した時点では、非常に脆く破損しやすい状態になっている。このため、薄膜化した圧電体の研磨盤からの取り出しや洗浄などの工程において、薄膜化した圧電体の取り扱いに起因する不良（割れや欠けなど）が発生しやすいので、製造が容易ではない。
【０００５】
さて、圧電素子は、薄くなれば圧電素子自身の剛性が変形に与える影響が小さくなるため、変形効率が向上、すなわちインク滴の吐出効率が向上する。よって、更なる薄膜化が求められている。
【０００６】
しかし、上述したように、現時点でも薄膜化した圧電体の取り扱いに起因する不良が発生しているので、薄膜化した圧電体の取り扱い性（ハンドリング性）を考えると、両面研磨加工法では、圧電体（圧電素子）の薄膜化（厚さ）の限界は３０μｍ前後であると思われる。よって、両面研磨法では、更なる薄膜化は困難である。
【０００７】
更に、現状、圧電体は直径約３０ｍｍの円盤状をしているが、より多くの圧電素子を得ようとするために、圧電体の外形を大きくしようとすると、取り扱い性（ハンドリング性）は更に悪くなるので、薄膜化はより困難となる。
【０００８】
さて、取り扱い性（ハンドリング性）を向上させるため、複数の圧電素子を振動板に接着したのち、複数の圧電素子を所定の厚さに一括して薄膜化する方法が提案されている。（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
しかし、この方法で対象とする圧電素子の厚みは、０．１ｍｍから０．１５ｍｍ程度の場合であり、これ以上薄膜化した場合の取り扱い性は、やはり困難であると思われる。
【００１０】
また、薄い圧電素子は、スパッタ法によって製造することが可能である。しかし、スパッタ法は非常に製造上の効率が悪く、現実的に得られる厚さは数μｍ程度と考えられる。よって、例えば１５μｍ程度の厚さにすることは、製造上の効率から考えて、非常に困難である。更に、圧電素子が薄すぎると、圧電素子がインクの反力に耐えられず、逆に変形効率が低下する（インク滴の吐出効率が低下する）。このためスパッタ法を用いて製造する場合は、十分な圧電性を得るため、高価なＭｇＯ等を圧電素子上に形成して、結晶軸の配向を揃える等、高コストで煩雑な製造プロセスを行う必要がある。（例えば、特許文献２参照）。
【００１１】
また、複数枚の圧電シートで圧力室の一面が塞がれると共に、圧電シート間に共通電極が設けられ、そして、各圧力室に対応する形状の個別電極が設けられた構造のインクジェット記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【００１２】
このような構造では、個別電極に対応する領域が撓み変形する領域となる。この場合、吐出特性を均一にするためには、個別電極の形状を正確にパターニングする必要がある。また、個別電極の領域以外の部分（撓み変形しない領域）が、圧電体の撓み変形を拘束してしまうので、圧電体の変形効率があまり良くない。
【特許文献１】特許２７０４５２号
【特許文献２】特開平１０−２８６９５３号公報
【特許文献３】特開２００４−１６０９６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたもので、より容易に液滴吐出ヘッドを製造することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法は、圧力室の壁面の一部を構成する振動板を変位させ、前記圧力室に連通したノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、板状の圧電体の一方の面に第一電極層を形成する第一工程と、前記第一電極層が形成された前記圧電体の一方の面に所定の深さの溝部を形成し、前記圧力室に対応する能動領域部を形成すると共に、前記第一電極層が前記能動領域部の一方の面の全域に設けられた共通電極となる第二工程と、前記能動領域部に前記振動板を接合する第三工程と、前記振動板に第一支持部材を接合する第四工程と、前記圧電体を、前記溝部の深さよりも厚く薄膜化する第五工程と、薄膜化した前記圧電体の他方の面に第二電極層を形成する第六工程と、前記第二電極層を分割し、前記能動領域部に対応する個別電極を形成する第七工程と、前記第一支持部材を除去する第八工程と、前記圧電体が接合している前記振動板を、前記圧力室を備える流路部に接合する第九工程と、を有することを特徴としている。
【００１５】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法では、第一工程で板状の圧電体の一方の面に第一電極層を形成し、第二工程で所定の深さの溝部を形成し、圧力室に対応する能動領域部を形成する。また、溝部によって第一電極層が能動領域部の一方の面の全域に設けられた共通電極となる。つまり、溝部を形成することで、一方の面の全域に共通電極が設けられた能動領域部を形成できる。
【００１６】
第三工程で能動領域部に振動板を接合し、第四工程で振動板に第一支持基板を接合する。そして、第五工程で圧電体を溝部の深さよりも厚く薄膜化する。このとき圧電体には、第一支持基板が接合されおり、更に、圧電体は完全に分割されていないので、圧電体を薄くしても、破損しにくい。このため、取り扱いが非常に容易である。（ハンドリング性が非常に良い）。
【００１７】
第六工程で、薄膜化した圧電体の他方の面に第二電極層を形成し、第七工程で、第二電極層を、例えば、エッチングなどで分割し、能動領域部に対応する個別電極とする。このとき圧電体の他方の面は平坦であるので、第六工程と第七工程とを容易に行うことができる。
【００１８】
このように、容易に液滴吐出ヘッドを製造している。
【００１９】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法は、請求項１に記載の製造方法において、第七工程では、平面視すると、前記個別電極が前記能動領域部を覆うように、該個別電極を該能動領域部より大きく形成することを特徴としている。
【００２０】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法では、第七工程で、個別電極が能動領域を覆うように、個別電極を能動領域よりも大きく形成している。
【００２１】
したがって、圧電体が撓み変形する領域は能動領域部の一方の面の共通電極の大きさとなる。すなわち、撓み変形する領域は、溝部によって形成される能動領域部の精度に依存する。よって、例えば、電極をパターニングして形成する場合のように、電極形成の位置ズレ等により、撓み変形する領域のバラツキがない。
【００２２】
更に、個別電極の位置ズレ等の精度もラフでよい。また、個別電極を大きくすることで、配線スペースが大きくなるので、個別電極への配線の信頼性が向上する。
【００２３】
請求項３に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法は、請求項２に記載の製造方法において、前記第二工程では、平面視すると、前記能動領域部が前記圧力室に収まるように前記溝部を形成し、前記第七工程では、平面視すると、前記個別電極には前記圧力室の領域からはみ出た電極パッド部を備えるように形成することを特徴としている。
【００２４】
請求項３に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法では、平面視すると、能動領域部が圧力室に収まるように溝部を形成し、個別電極には圧力室の領域からはみ出た電極パッド部を備えるように形成している。
【００２５】
このように、個別電極を大きくし電極パッド部を備えることで、配線の信頼性がより向上する。
【００２６】
更に、能動領域部は圧力室に収まっており、一方の面の他の領域は溝部が形成されている。よって、能動領域部の撓み変形に対する拘束が小さくなり、変形効率が向上する。
【００２７】
請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の製造方法において、前記第六工程で、前記圧電体の他方の面に、前記第二電極層を前記個別電極として形成し、前記第七工程を省略したことを特徴としている。
【００２８】
請求項４に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法では、第六工程で、圧電体の他方の面に、第二電極層を、例えばパターンニングして個別電極として形成したので、第七工程が省略される。
【００２９】
請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の製造方法において、前記第八工程の前に、前記圧電体の他方の面に第二支持部材を接合する工程を有し、前記第九工程の後に、前記第二支持部材を除去する工程を有することを特徴としている。
【００３０】
請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法では、第八工程の前に、圧電体の他方の面に第二支持部材を接合したので、第一支持部材を取り外した後の取り扱いが、より容易となっている。
【００３１】
請求項６に記載の液滴吐出ヘッドは、圧力室の壁面の一部を構成する振動板を変位させ、前記圧力室に連通したノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドであって、一方の面に形成された溝部と、前記溝部によって分割され前記圧力室に対応し一方の面の全域に共通電極が設けられた能動領域部と、他方の面に形成され前記能動領域部に対応する個別電極と、を備え、前記能動領域部が前記振動板に接合された板状の圧電体と、前記圧力室を備え、振動板が接合された流路部と、を有することを特徴としている。
【００３２】
請求項６に記載の液滴吐出ヘッドでは、溝部によって能動領域部の一方の面の全域に共通電極が設けられた能動領域部が容易に形成されている。
【００３３】
また、能動領域部に対応する個別電極は、平坦な圧電体の他方の面に形成しているので、個別電極の形成が容易である。
【００３４】
請求項７に記載の液滴吐出ヘッドは、請求項６に記載の構成において、前記個別電極が前記能動領域部を覆うように、該個別電極を該能動領域部より大きく形成したことを特徴としている。
【００３５】
請求項７に記載の液滴吐出ヘッドは、個別電極が能動領域部を覆うように、個別電極を能動領域部よりも大きく形成している。
【００３６】
したがって、圧電体が撓み変形する領域は能動領域部の一方の面の共通電極の大きさとなる。すなわち、溝部によって形成される能動領域部の精度に依存する。よって、例えば、電極をパターニングして形成する場合のように、電極形成の位置ズレ等による撓み変形する領域のバラツキが非常に少ない。
【００３７】
更に、個別電極の位置ズレなどの精度もラフで良い。また、個別電極を大きくすることで、配線スペースが大きくなるので、個別電極への配線の信頼性も向上する。
【００３８】
請求項８に記載の液滴吐出ヘッドは、請求項７に記載の構成において、平面視すると、前記能動領域部は、前記圧力室に収まり、前記電極パターンは、前記圧力室の領域からはみ出た電極パッドを備えることを特徴としている。
【００３９】
請求項８に記載の液滴吐出ヘッドでは、平面視すると、能動領域部が圧力室に収まるように溝部を形成し、個別電極が圧力室からはみ出た電極パッド部を備えるように形成している。
【００４０】
このように、個別電極を大きくし電極パッド部を備えることで、配線の信頼性がより向上する。
【００４１】
更に、能動領域部は圧力室に収まっており、一方の面の他の領域は溝部が形成されている。よって、能動領域部の撓み変形に対する拘束が小さくなり、変形効率が向上する。
【発明の効果】
【００４２】
以上説明したように本発明によれば、容易に液滴吐出ヘッドを製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
まず、本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置についての概要を説明する。
【００４４】
図１に示すように、インクジェット記録装置１１０には、キャリッジ１１４が設けられている。このキャリッジ１１４には、ノズル１０（図２参照）を有するブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各色のインクジェット記録ヘッド１１２が、用紙Ｐとノズル１０が対向するようにして搭載されている。そして、キャリッジ１１４は、走査位置信号に基づき主走査機構１１８によって主走査方向（矢印Ｘで示す）に移動する。これにより、インクジェット記録ヘッド１１２は、副走査機構１２０によって副走査方向（矢印Ｙで示す）へ搬送される用紙Ｐへ、画像情報に応じてインク滴を吐出することにより、用紙Ｐの全面に画像の記録を行う。
【００４５】
つぎに、インクジェット記録ヘッドについて説明する。
【００４６】
図２と図３に示すようにインクジェット記録ヘッド１１２は、マトリックス状に配置されたインク滴を吐出するノズル１０と菱形形状をした圧力室１２とを備えている。そして、ノズル１０と圧力室１２とはノズル連通路１６で連通されている。
【００４７】
また、図示しないインク供給部から導入されたインクが充填される共通インク流路１４を備えている。そして、共通インク流路１４の開口部２０と圧力室１２とが、インク供給路１８で連通されている。
【００４８】
圧力室１２は、壁面の一部を振動板３４が構成している。この振動板３４には板状の圧電体１００が接着されている。更に、圧電体１００の振動板３４との接着面と反対側の面には、各圧力室１２に対応する個別電極１３６が形成されている。そして、個別電極１３６の電極パッド部１３６Ｂにボール半田４０を介して配線基板３８（図３（Ｂ）参照）が接合されている。
【００４９】
なお、圧電体１００の、振動板３４との接着面側を一方の面とし、反対側を他方の面とする。
【００５０】
図３（Ａ）に示すように、ノズル１０は圧力室１２の菱形形状の角部に位置し、インク供給路１８はノズル１０の位置と対角線上に反対の角部と連通している。
【００５１】
さて、図３（Ｂ）、図６、図７に示すように、圧電体１００の、振動板３４との一方の面（接合面側）には、幅広の溝部１０２が形成され、溝部１０２以外の部分が能動領域部１００Ａとなっている。これらの能動領域部１００Ａは、圧力室１２に相当する領域に各々配設され、その大きさは圧力室１２より若干小さく、圧力室１２と略同形状となっている。また、平面視すると能動領域部１００Ａは圧力室１２に収まっている（図３（Ａ）も参照）。
【００５２】
また、この能動領域部１００Ａの一方の面の全域には共通電極１３７（詳細は後述する）が形成され、この共通電極１３７によって、振動板３４と能動領域部１００Ａとが電気的に接合する。
【００５３】
圧電体１００の他方の面（振動板３４と反対側の面）は、前述したように、電極パッド部１３６Ｂを備える個別電極１３６が形成されている。個別電極１３６は能動領域部１００Ａより大きく、平面視すると能動領域部１００Ａを覆う。また、電極パット部１３６Ｂは圧力室１２の領域外に延出した部分で、ボール半田４０を介して配線基板３８と接続されている（図３（Ａ）も参照）。
【００５４】
インクジェット記録ヘッド１１２は、このような構成としたので、駆動電圧が電極パット部１３６Ｂと振動板３４との間に印加されると、圧電体１００の能動領域部１００Ａが撓み変形して、圧力室１２内のインクを加圧し、ノズル１０からインク滴が吐出する。
【００５５】
つぎに、インクジェット記録ヘッド１１２の製造工程を説明する。
【００５６】
図４（Ａ）（及び、図２、図３も参照）に示すように、ノズル１０が形成されるノズルプレート２２と、ノズル連通路１６と共通インク流路１４となる孔が形成されたインクプールプレート２４、２６と、ノズル連通路１６と共通インク流路１４の開口部２０となる孔が形成されたスループレート２８と、インク供給路１８となる孔が形成されたインク供給路プレート３０と、圧力室１２となる孔が形成された圧力室プレート３２と、を順番に積層し接合する。
【００５７】
なお、各プレートが接合された、図４（Ａ）を、流路部１１１とする。
【００５８】
また、ノズルプレート２２の材質はポリイミドであり、ノズルプレート２２、インクプールプレート２４、２６、スループレート２８、圧力室プレート３２の材質はＳＵＳである。また、圧力室１２等になる各孔は、エッチング加工によって形成されている。
【００５９】
つぎに、図４（Ｂ）、図４（Ｃ）に示すように、ノズルプレート２２の表面に撥水コート膜（図示せず）を被覆すると共に、エキシマレーザでノズル１０を開ける。
【００６０】
図４（Ｄ）に示すようにノズル１０を形成後に圧力室プレート３２に、圧電体１００が接合された振動板３４を接着する。なお、圧電体１００が接合された振動板３４についての製造方法についての詳細は後述する。
【００６１】
そして、図４（Ｅ）、図４（Ｆ）に示すように、個別電極１３６毎（図２、図３を参照）（能動領域部１００Ａ毎、圧力室１２毎）にボール半田４０を形成し、配線基板３８を接合する。
【００６２】
なお、前述したように、圧電体１００の能動領域部１００Ａの一方の面の全域には、共通電極１３７（図３（Ｂ）参照）が形成されており、圧電体１００の能動領域部１００Ａと振動板３４とは導電性材（導電フィラー入り熱硬化性エポキシ系接着剤等）にて接着接合されることで、電気的にも接続される。
【００６３】
つぎに、圧電体１００が接合された振動板３４の製造方法についての詳細を説明する。
【００６４】
圧電体１００の原料となる微細粒子（平均粒径約３．０μｍのＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）粒子）を焼結用の円筒炉に入れ、加圧しながら焼成する。焼結された微細粒焼結体のインゴットを取り出す。そして、インゴットを切り出して研磨し、直径３１ｍｍ、厚さ０．２ｍｍ（２００μｍ）の円盤状の圧電体（図示略）にする。
【００６５】
図５（Ａ）に示すように、円盤状の圧電体の一方の面（振動板３４と接合される面）に共通電極１３７となる第一電極層２３７を、スパッタリング、メッキ工法、印刷などによって形成すると共に、所定の形状（本実施形態では、一辺１０ｍｍの正方形）にカットし、板状の圧電体２００とする。
【００６６】
図５（Ｂ）に示すように、板状の圧電体２００の一方の面（振動板３４と接合される面）に、所定の深さの溝部１０２を形成する。そして、この溝部１０２の以外の残った部分が、能動領域部１００Ａとなる。また、溝部１０２を形成することで、第一電極層２３７が、能動領域部１００Ａの一方の面全域に設けられる共通電極１３７となる。
【００６７】
図５（Ｃ）に示すように、１枚、乃至、数枚の、溝部１０２が形成された板状の圧電体２０２を、複数の圧力室１２（図２、図３参照）を覆うように配置した後、約０．０２ｍｍ（２０μｍ）のＳＵＳからなる振動板３４（図３参照）に、熱硬化性エポキシ系接着剤で接合する。
【００６８】
更に、メルトワックスを用いて、振動板３４と支持基板５００とを接合する。
【００６９】
また、板状の圧電体２０２を取り囲むようにラップストッパー５０２を配置する。このラップストッパー５０２は振動板３４に接合されていなくても良いが、板状の圧電体２０２の周囲を傷つける可能性があるので、メルトワックス等で精度良く振動板３４に接合されていることが望ましい。なお、このラップストッパー５０２は必ずしも必要ではなく、無くても良い。
【００７０】
図５（Ｄ）に示すように、研磨加工により、板状の圧電体２０２の他方の面（支持基板５００と振動板３４が接合されていない方の面）を研磨し、溝部１０２の深さより厚い所望の厚み（本実施形態では約１５μｍ）に薄膜化された薄膜状の圧電体１００とする。なお、ラップストッパー５０２は、この所望の厚さと同じ高さをしており、このラップストッパー５０２まで研磨すれば、所望の厚さに薄膜化された薄膜状の圧電体１００となるので、精度良く薄膜化（機械加工）できる。
【００７１】
また、支持基板５００に接合されているので、薄膜化に伴う薄膜状の圧電体１００の反りが抑えられる。また、薄膜状の圧電体１００は脆くて割れやすいが、支持基板５００に接合されているので、以降の工程での取り扱いが容易である（ハンドリング性が良い）。更に、完全に分割されていないので、更に取り扱いなどが容易となる。よって、製造が容易であり、歩留まりも向上する。また、従来よりも薄くし、撓み変形の変形効率を向上させることも容易である。
【００７２】
つぎに、図５（Ｅ）に示すように、薄膜状の圧電体１００の研磨された面（他方の面）の全域に、個別電極１３６となる第二電極層２３６を形成する。なお、第二電極層２３６は、平坦な面上に形成するので、均一に容易に形成できる。
【００７３】
そして、図５（Ｆ）に示すように、第二電極層２３６をエッチングなどで分割除去し、個別電極１３６を形成する（パターニングする）。なお、同様に、第二電極層２３６は平坦な面であるので、エッチング時のマスク形成などが容易である。
【００７４】
そして、所定の温度で加熱してメルトワックスを溶かし、支持基板５００とラップストッパー５０２とを除去する。
【００７５】
更に、反転基板５０６を、他方の面にホットメルトワックスなどで接合しても良い。
【００７６】
このようにして製造された、薄膜状の圧電体１００が接合された振動板３４を、前述したように流路部１１１に接合する。（図４（Ｄ）参照）。なお、反転基板５０６が接合されていると、振動板３４は平面に保たれた状態となる。よって、より精度の高い接合が可能となる。また、取り扱いもより容易である。
【００７７】
そして、接合後、所定の温度で加熱してメルトワックスを溶かし、反転基板５０６を除去する。
【００７８】
なお、本実施形態では、支持基板５００、反転基板５０６の接合には、メルトワックスを用いているが、精度の高い接合ができ、熱など何らかのトリガーによって容易に剥離できるものであれば、その他の方法でも接合しても良い。例えば、所定の温度で加熱すると、発泡して接着力が大幅に低下する性質を有する熱発泡性接着フィルムを用いて接着しても良い。
【００７９】
つぎに、本実施形態の作用について説明する。
【００８０】
薄膜状の圧電体１００は完全に分割されていないので、取り扱いなどが容易である（図８（Ａ）と図８（Ｃ）を比較参照）。
【００８１】
また、前述したように、図５（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、第二電極層２３６は平坦な面に形成し、エッチングなどで分割除去し（パターニングし）、個別電極１３６とするので、作業が容易である。
【００８２】
また、図６、図３（Ａ）に示すように、個別電極１３６を能動領域部１００Ａよりも大きく形成し、平面視すると能動領域部１００Ａを個別電極１３６が覆っている（図３（Ａ）参照）。したがって、圧電体１００が撓み変形する領域は、能動領域部１００Ａの一方の面の共通電極１３７の大きさ、すなわち、溝部１０２によって形成される能動領域部１００Ａとなる。つまり、溝部１０２の加工精度が撓み変形する領域の精度となるので高精度である。よって、例えば、電極をパターニングして形成する場合のように、電極形成の位置ズレ等により、撓み変形する領域のバラツキがない。
【００８３】
更に、個別電極１３６の位置ズレ等の精度にも影響されない（図６（Ｂ）のＸ分、位置ズレを許容できる）。
【００８４】
また、平面視すると、能動領域部１００Ａが圧力室１２の領域に収まるように溝部１０２を形成し、個別電極１３６が圧力室１２の領域からはみ出た電極パッド部１３６Ｂを備えるように形成している。（図３（Ａ）も参照）
このように、個別電極１３６を大きくし電極パッド部１３６Ｂを備えることで、配線スペースが大きくなる。よって、配線の信頼性がより向上する。
【００８５】
更に、図６（Ｂ）のＡ−Ａ断面である図７にも示すように、能動領域部１００Ａは圧力室１２の領域に収まっており、圧電パット部１３６Ｂに対応する部分の領域は溝部１０２が形成されている。つまり、図中のＹ部分には圧電体がない。よって、能動領域部１００Ａの撓み変形に対する拘束が小さくなり、変形効率が向上する。（Ｙ部分の圧電体での拘束がない）。なお、図中の矢印Ｗは、従来の圧電素子（例えば、図８（Ａ）の圧電素子６００）の大きさを表している。
【００８６】
さて、図８（Ａ）は、圧電体を完全に分割し、複数の圧電素子６００として接合する構成を模式的に表している。このような構成は、圧電素子６００が完全に分割されているので、変形効率は良いが、更なる薄膜化は難しい。また、取り扱いも比較的難しい。さらに、配線スペースも少ない。
【００８７】
また、図８（Ｂ）は、圧電体６０２を分割せずに、撓み変形する領域を個別電極６０４で規定している。このような構成は、圧電体６０２が分割されていないので、取り扱いは比較的容易であるが、変形効率があまり良くない。また、個別電極６０４の形成精度（パターンの位置決め精度など）によって撓み変形する領域が決まるので、各種誤差（位置ズレや大きさ）が比較的大きい。
【００８８】
これらに対し、図８（Ｃ）に示すように本実施形態では、圧電体１００は完全に分離されていない。よって、薄膜化しても、図８（Ａ）よりも取り扱いが容易である。更に、溝部１０２の精度が撓み変形する領域（能動領域部１００Ａ）の精度となるので、撓み変形する領域の位置ズレや大きさのバラツキが少ない。また、変形効率も図８（Ａ）よりは劣るが、図８（Ｂ）よりは格段に良い。更に、個別電極が大きく配線スペースが大きいので、配線の信頼性が高い。
【００８９】
つぎに、圧電体１００が接合された振動板３４の製造方法についての変形例について説明する。
【００９０】
図９の、（Ａ）から（Ｄ）までは、図５と同様であるので、説明を省略する。
【００９１】
図９（Ｅ）に示すように、薄膜状の圧電体１００の研磨された面に、個別電極１３６を、パターニングなどにより形成する。なお、個別電極１３６は、平坦な面上に形成するので容易に形成できる。
【００９２】
そして、所定の温度で加熱してメルトワックスを溶かし、支持基板５００とラップストッパー５０２とを除去する。更に、反転基板５０６を、他方の面にホットメルトワックスなどで接合しても良い。
【００９３】
このように、個別電極１３６を一回で形成するので、図５の方法より作業工程を一回少なくできる。
【００９４】
尚、本発明は上記の実施形態に限定されない。
【００９５】
例えば、上記の実施形態のインクジェット記録装置１１０では、主走査機構１１８と副走査機構１２０とを有するＰａｒｔｉａｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＰＷＡ）の例で説明したが、本発明におけるインクジェット記録は、これに限定されず、紙幅対応の１パス印字、いわゆるＦｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＦＷＡ）であってもよい。
【００９６】
また、例えば、上記の実施形態のインクジェット記録装置１１０は、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各色のインクジェット記録ヘッド１１２がそれぞれキャリッジ１１４に搭載され、それら各色のインクジェット記録ヘッド１１２から画像データに基づいて選択的にインク滴が吐出されてフルカラーの画像が記録紙Ｐに記録されるようになっているが、本発明におけるインクジェット記録は、記録紙Ｐ上への文字や画像の記録に限定されるものではない。
【００９７】
すなわち、記録媒体は記録紙Ｐに限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成するなど、液滴吐出ヘッド全般、及び液滴吐出装置全般に対して、本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】インクジェット記録装置を示す図である。
【図２】（Ａ）は、インクジェット記録ヘッドの内部の要部を示す部分断面斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＸ部分の拡大図である。
【図３】（Ａ）はインクジェット記録ヘッドの内部の要部を平面視した図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ断面の断面図である。
【図４】インクジェット記録ヘッドの製造工程を、（Ａ）から（Ｆ）へと順番に示す説明図である。
【図５】圧電体が接合した振動板を製造する製造工程を、（Ａ）から（Ｆ）へと順番に示す説明図である。
【図６】（Ａ）は、インクジェット記録ヘッド内部の要部の断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の丸で囲んだ部分の拡大図である。
【図７】図６（Ｂ）のＡ−Ａ断面の断面図である。
【図８】（Ａ）は圧電体を完全に分割し圧電素子とした構成を模式的に示す図であり、（Ｂ）は圧電体を分割していない構成を模式的に示す図であり、（Ｃ）は本発明の構成を模式的に示す図である。
【図９】圧電体が接合した振動板を製造する製造工程の変形例を、（Ａ）から（Ｆ）へと順番に示す説明図である。
【符号の説明】
【００９９】
１０      ノズル
１２      圧力室
３４      振動板
１００      圧電体
１００Ａ    能動領域部
１０２      溝部
１１１      流路部
１１２      インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
１３６      個別電極
１３６Ｂ    電極パッド部
１３７      共通電極
２３６      第二電極層
２３７      第一電極層
５００      支持基板（第一支持部材）
５０６      反転基板（第二支持部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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