(57)【要約】【課題】被覆層を経由して水分が侵入するのを防止することができ、信頼性を高めた有機発光表示装置を提供する。【解決手段】駆動パネル１０と封止パネル２０とが、中間層３０を介して対向配置されている。駆動パネル１０は、駆動用基板１１上に、駆動素子層４０およびこれを覆う被覆層５０を介して、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを有している。中間層３０は、駆動パネル１０と封止パネル２０との間に有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを覆うように設けられると共に、被覆層５０の表面５０Ａだけでなく端面５０Ｂをも覆っている。被覆層５０の端面５０Ｂが駆動パネル１０と封止パネル２０との間から露出せず、外部の水分が被覆層５０を経路として侵入することがない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動用基板上に、駆動素子層および前記駆動素子層を覆う被覆層を介して、第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を前記駆動用基板の側から順に積層した複数の有機発光素子を有する駆動パネルと、
封止用基板を有し、前記封止用基板が前記駆動パネルの前記有機発光素子側に対向配置された封止パネルと、
前記駆動パネルと前記封止パネルとの間に前記複数の有機発光素子を覆うように設けられた中間層と
を備え、
前記被覆層は有機材料により構成されると共に、前記中間層の端面からはみ出したはみ出し部分と、前記はみ出した部分と前記被覆層の他の部分とを、前記中間層の端面よりも内側において分離する分離溝とを有する
ことを特徴とする有機発光表示装置。
【請求項２】
前記被覆層は、ポリイミドにより構成されている
ことを特徴とする請求項１記載の有機発光表示装置。
【請求項３】
前記中間層は、シリコン（Ｓｉ）を含む透明誘電体により構成された保護膜を有する
ことを特徴とする請求項１記載の有機発光表示装置。
【請求項４】
前記保護膜は、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）または窒化シリコン（ＳｉＮ）により構成されている
ことを特徴とする請求項３記載の有機発光表示装置。
【請求項５】
前記保護膜は、前記分離溝内に埋め込まれている
ことを特徴とする請求項３記載の有機発光表示装置。
【請求項６】
前記中間層は、前記保護膜と前記封止用基板との間に、前記駆動パネルおよび前記保護膜と前記封止パネルとを全面にわたって貼り合わせるための接着層を含む
ことを特徴とする請求項３記載の有機発光表示装置。
【請求項７】
前記有機発光素子は、前記発光層で発生した光を前記第２電極の側から取り出す
ことを特徴とする請求項１記載の有機発光表示装置。
【請求項８】
前記有機発光素子は、前記第２電極の電圧降下を抑制するための補助配線を有し、前記補助配線は、前記被覆層の上に形成され、または前記駆動用基板上に形成され且つ前記被覆層により覆われている
ことを特徴とする請求項１記載の有機発光表示装置。
【請求項９】
駆動用基板に、駆動素子層および前記駆動素子層を覆う被覆層を介して、第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を前記駆動用基板の側から順に積層した複数の有機発光素子を形成し、駆動パネルを形成する工程と、
前記複数の有機発光素子を覆う中間層を形成する工程と、
前記中間層を介して、前記駆動パネルの前記発光素子側に、封止用基板を有する封止パネルを対向配置する工程と
を含み、前記被覆層を有機材料により構成すると共に前記被覆層に分離溝を設け、
前記中間層を、前記分離溝が前記中間層の端面よりも内側になるように形成することにより、前記被覆層に前記中間層の端面からはみ出したはみ出し部分を形成すると共に、前記はみ出し部分と前記被覆層の他の部分を前記分離溝で分離する
ことを特徴とする有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記被覆層を、ポリイミドにより構成する
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記中間層として、シリコン（Ｓｉ）を含む透明誘電体により構成された保護膜を形成する
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記保護膜を、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）または窒化シリコン（ＳｉＮ）により構成する
ことを特徴とする請求項１１記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記保護膜を、前記分離溝内に埋め込む
ことを特徴とする請求項１１記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記被覆層を、シート状被覆膜を配置することにより形成する
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記被覆層を、感光性を有する材料よりなる感光性膜を形成したのち前記感光性膜を露光および現像することにより形成する
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記中間層として、前記保護膜の上に接着層を形成したのち、前記接着層を介して前記駆動パネルおよび前記保護膜と前記封止パネルとを全面にわたって貼り合わせる
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記有機発光素子は、前記発光層で発生した光を前記第２電極の側から取り出す
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光素子を有する駆動パネルと封止パネルとを中間層を介して対向配置した有機発光表示装置およびその製造方法に係り、特に上面発光の有機発光素子を用いたものに好適な有機発光表示装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイに代わる表示装置として、有機発光素子を用いた有機発光ディスプレイが注目されている。有機発光ディスプレイは、自発光型であるので視野角が広く、消費電力が低いという特性を有し、また、高精細度の高速ビデオ信号に対しても十分な応答性を有するものと考えられており、実用化に向けて開発が進められている。
【０００３】
有機発光ディスプレイでは、例えば、基板上にＴＦＴ（Thin Film Transistor；薄膜トランジスタ）などの駆動素子が形成され、この駆動素子の上に、平坦化層を介して有機発光素子が形成されている。平坦化層は、通常は表示領域のみに形成される（例えば、特許文献１参照。）。ただし、平坦化層を表示領域外部、基板の背面の周縁部に保護筐体を接着するためのシールの下まで延在させ、平坦化層をシール硬化時のストレスを吸収する緩衝層として利用するようにした構成もある（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
また、平坦化層の材料については、例えば、有機発光素子への水分の進入を阻止するため、ＳＯＧ（Spin On Glass ）材料など水分を蒸発させる温度に耐えうる膜を採用するようにした提案がある（例えば、特許文献３参照。）。あるいは、エポキシ基を含有するアルカリ可溶性樹脂と１，２−キノンジアジド化合物とを含有する材料を採用することにより、スルーホール等を高解像度で形成できることが報告されている（例えば、特許文献４参照。）。
【特許文献１】特開２００１−１０２１６８号公報
【特許文献２】特開２００１−１０２１６６号公報
【特許文献３】特開２００１−１０２１６５号公報
【特許文献４】特開２００２−１８２３８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年では、高輝度・高開口度の有機発光ディスプレイとして、駆動パネルと封止パネルとを接着層を介して全面にわたって貼り合わせ、有機発光素子により発生した光を封止パネルの側から取り出すようにした上面発光・完全固体封止構造が提案されている。駆動パネルは、例えば、駆動用基板上に、ＴＦＴ等の駆動素子層およびこれを覆う平坦化層としての被覆層を介して、複数の有機発光素子を有している。
【０００６】
しかしながら、この構造では、被覆層をパターニングすることなく駆動用基板の全面にわたって形成していたので、接着層の端部から被覆層の端部が露出した状態となっていた。そのため、外部の水分が被覆層を経路として侵入し、有機発光素子の劣化の原因となるおそれがあった。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、被覆層を経由して水分が侵入するのを防止することができ、信頼性を高めた有機発光表示装置およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による有機発光表示装置は、駆動用基板上に、駆動素子層および駆動素子層を覆う被覆層を介して、第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を駆動用基板の側から順に積層した複数の有機発光素子を有する駆動パネルと、封止用基板を有し、封止用基板が駆動パネルの有機発光素子側に対向配置された封止パネルと、駆動パネルと封止パネルとの間に複数の有機発光素子を覆うように設けられた中間層とを備え、被覆層は有機材料により構成されると共に、中間層の端面からはみ出した部分と、はみ出した部分と被覆層の他の部分とを、中間層の端面よりも内側において分離する分離溝とを有するものである。
【０００９】
本発明による有機発光表示装置の製造方法は、駆動用基板に、駆動素子層および駆動素子層を覆う被覆層を介して、第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を駆動用基板の側から順に積層した複数の有機発光素子を形成し、駆動パネルを形成する工程と、複数の有機発光素子を覆う中間層を形成する工程と、中間層を介して、駆動パネルの発光素子側に、封止用基板を有する封止パネルを対向配置する工程とを含み、被覆層を有機材料により構成すると共に被覆層に分離溝を設け、中間層を、分離溝が中間層の端面よりも内側になるように形成することにより、被覆層に中間層の端面からはみ出したはみ出し部分を形成すると共に、はみ出し部分と被覆層の他の部分を分離溝で分離するようにしたものである。
【００１０】
本発明による有機発光表示装置では、被覆層が、中間層の端面からはみ出した部分と、はみ出した部分と被覆層の他の部分とを、中間層の端面よりも内側において分離する分離溝とを有しているので、外部の水分がはみ出した部分を経路として発光素子部分へ侵入することがない。
【００１１】
本発明による有機発光表示装置の製造方法では、駆動用基板に、駆動素子層およびこれを覆う被覆層を介して複数の有機発光素子が形成され、駆動パネルが形成される。このとき、被覆層は有機材料により構成されると共に被覆層に分離溝が設けられる。次いで、複数の有機発光素子を覆う中間層が、分離溝が中間層の端面よりも内側になるように形成される。これにより、被覆層に、中間層の端面からはみ出したはみ出し部分が形成されると共に、はみ出し部分と被覆層の他の部分が分離溝で分離される。続いて、中間層を介して、駆動パネルの発光素子側に、封止用基板を有する封止パネルが対向配置される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の有機発光表示装置およびその製造方法によれば、被覆層が、中間層の端面からはみ出した部分と、はみ出した部分と被覆層の他の部分とを、中間層の端面よりも内側において分離する分離溝とを有するように構成したので、外部の水分がはみ出した部分を経路として内部の素子部分に侵入することがなくなる。よって、素子が劣化することがなくなり、有機発光表示装置の信頼性が高まる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施の形態に係る表示装置の断面構造を表すものである。この表示装置は、例えば極薄型の有機発光ディスプレイとして用いられるものであり、駆動パネル１０と封止パネル２０とが対向配置され、駆動パネル１０と封止パネル２０との間に中間層３０が設けられている。駆動パネル１０は、例えば、図１（Ａ）に示したように、ガラスなどの絶縁材料よりなる駆動用基板１１上に、駆動素子層４０およびこの駆動素子層４０を覆う被覆層５０を介して、赤色の光を発生する有機発光素子１０Ｒと、緑色の光を発生する有機発光素子１０Ｇと、青色の光を発生する有機発光素子１０Ｂとが、順に全体としてマトリクス状に設けられている。また、駆動用基板１１の周辺部分には、図１（Ｂ）に示したように、周辺回路部６０および補助配線７０が設けられている。
【００１５】
有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、例えば、駆動用基板１１の側から、陽極としての第１電極１２、絶縁層１３、発光層を含む有機層１４、および陰極としての第２電極１５がこの順に積層されている。第２電極１５は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂのすべてを覆う共通電極として形成され、補助配線７０の支線７０Ａに電気的に接続されている。また、第２電極１５は、駆動用基板１１の周辺部分まで延長され、補助配線７０に電気的に接続されている。
【００１６】
第１電極１２は、反射層としての機能も兼ねており、例えば、白金（Ｐｔ），金（Ａｕ），クロム（Ｃｒ）またはタングステン（Ｗ）などの金属または合金により構成されている。
【００１７】
絶縁層１３は、第１電極１２と第２電極１５との絶縁性を確保すると共に、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂにおける発光領域の形状を正確に所望の形状とするためのものである。この絶縁層１３は、例えば、二酸化ケイ素（ＳｉＯ2 ）などの絶縁材料により構成されている。
【００１８】
有機層１４は、有機発光素子の発光色によって構成が異なっている。有機発光素子１０Ｒ，１０Ｂは、正孔輸送層，発光層および電子輸送層が第１電極１２の側からこの順に積層された構造を有しており、有機発光素子１０Ｇは、正孔輸送層および発光層が第１電極１２の側からこの順に積層された構造を有している。正孔輸送層は、発光層への正孔注入効率を高めるためのものである。発光層は、電界をかけることにより電子と正孔との再結合が起こり、光を発生するものである。電子輸送層は、発光層への電子注入効率を高めるためのものである。
【００１９】
有機発光素子１０Ｒの正孔輸送層の構成材料としては、例えば、ビス［（Ｎ−ナフチル）−Ｎ−フェニル］ベンジジン（α−ＮＰＤ）が挙げられ、有機発光素子１０Ｒの発光層の構成材料としては、例えば、２，５−ビス［４−［Ｎ−（４−メトキシフェニル）―Ｎ−フェニルアミノ］］スチリルベンゼン―１，４−ジカーボニトリル（ＢＳＢ）が挙げられ、有機発光素子１０Ｒの電子輸送層の構成材料としては、例えば、８−キノリノールアルミニウム錯体（Ａｌｑ3 ）が挙げられる。
【００２０】
有機発光素子１０Ｂの正孔輸送層の構成材料としては、例えば、α−ＮＰＤが挙げられ、有機発光素子１０Ｂの発光層の構成材料としては、例えば、４，４′−ビス（２，２′−ジフェニルビニン）ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）が挙げられ、有機発光素子１０Ｂの電子輸送層の構成材料としては、例えば、Ａｌｑ3 が挙げられる。
【００２１】
有機発光素子１０Ｇの正孔輸送層の構成材料としては、例えば、α−ＮＰＤが挙げられ、有機発光素子１０Ｇの発光層の構成材料としては、例えば、Ａｌｑ3 にクマリン６（Ｃ６；Coumarin６）を１体積％混合したものが挙げられる。
【００２２】
第２電極１５は、半透過性電極により構成されており、発光層で発生した光は第２電極１５の側から取り出されるようになっている。第２電極１５は、例えば、銀（Ａｇ），アルミニウム（Ａｌ），マグネシウム（Ｍｇ），カルシウム（Ｃａ），ナトリウム（Ｎａ）などの金属または合金により構成されている。
【００２３】
封止パネル２０は、封止用基板２１を有しており、この封止用基板２１は、駆動パネル１０の有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの側に配置され、中間層３０と共に有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを封止している。封止用基板２１は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光に対して透明なガラスなどの材料により構成されている。封止用基板２１には、例えば、カラーフィルタおよびブラックマトリクスとしての反射光吸収膜（図示せず）が設けられており、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂで発生した光を取り出すと共に、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂおよびその間の配線において反射された外光を吸収し、コントラストを改善するようになっている。
【００２４】
中間層３０は、駆動パネル１０と封止パネル２０との間に有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを覆うように設けられると共に、被覆層５０の表面５０Ａおよび端面５０Ｂを覆っている。これにより、この表示装置では、被覆層５０の端面５０Ｂが駆動パネル１０と封止パネル２０との間から外部に露出することがなく、外部の水分が被覆層５０を経路として内部の有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに侵入することが防止されている。
【００２５】
中間層３０は、例えば、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ並びに被覆層５０の表面５０Ａおよび端面５０Ｂを覆う保護膜３１と、この保護膜３１と封止用基板２１との間の接着層３２とを有している。保護膜３１は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを保護し、その劣化を防止するためのものであり、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ），窒化シリコン（ＳｉＮ）などの透明誘電体により構成されている。接着層３２は、例えば、熱硬化性樹脂により構成され、駆動パネル１０および保護膜３１と封止パネル２０とを全面にわたって貼り合わせるものである。なお、駆動用基板１１の周辺部分においては、接着層３２は、駆動用基板１１上に保護膜３１を介して形成されていることが好ましい。保護膜３１は、ガラスよりなる駆動用基板１１よりも接着層３２との密着性が良いからである。
【００２６】
駆動素子層４０は、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを駆動する駆動素子としてＴＦＴ４１を含んでいる。ＴＦＴ４１のゲート電極（図示せず）は、図示しない走査回路に接続され、ソースおよびドレイン（いずれも図示せず）は、例えば酸化シリコンあるいはＰＳＧ（Phospho-Silicate Glass）などよりなる層間絶縁膜４２を介して設けられた配線４３に接続されている。配線４３は、層間絶縁膜４２に設けられた図示しない接続孔を介してＴＦＴ４１のソースおよびドレインに接続され、信号線として用いられる。配線４３は、例えばアルミニウム（Ａｌ）もしくはアルミニウム（Ａｌ）―銅（Ｃｕ）合金により構成されている。なお、ＴＦＴ４１の構成は、特に限定されず、例えば、ボトムゲート型でもトップゲート型でもよい。
【００２７】
被覆層５０は、駆動素子層４０および周辺回路部６０を覆うように設けられており、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの製造工程において駆動素子層４０および周辺回路部６０を保護するものである。また、被覆層５０は、駆動素子層４０が形成された駆動用基板１１の表面を平坦化し、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂにおける欠陥の発生を抑制するための平坦化層としての機能も有している。被覆層５０には、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの第１電極１２と配線４３とを接続する接続孔５１が設けられている。
【００２８】
被覆層５０は、微細な接続孔５１が形成されるため、パターン精度が良い材料により構成されていることが好ましい。更に、被覆層５０の上に有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂが形成されるので、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの劣化を防ぐため、吸水率の低い材料により構成されていればより好ましい。吸水率は、例えば、所定の測定条件下で約１％以下であることが好ましい。具体的には、被覆層５０は、例えばポリイミド等の有機材料により構成されている。
【００２９】
補助配線７０および支線７０Ａは、第２電極１５における電圧降下を抑制するものであり、例えば、アルミニウム（Ａｌ）あるいはクロム（Ｃｒ）のような低抵抗の導電性材料を単層あるいは積層構造としたものにより構成されている。補助配線７０は、例えば、駆動用基板１１の周辺部分において、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの形成されている領域を取り囲むように形成されている。支線７０Ａは、例えば、絶縁層１３の上に行列状に形成されており、補助配線７０に接続されている。補助配線７０は、支線７０Ａよりも厚みを厚く、幅も広くすることが可能である。
【００３０】
なお、補助配線７０は、図１に示したように被覆層５０の上に形成されていてもよいし、あるいは、駆動用基板１１上に形成されていると共にコンタクトホールにより第２電極１５と接続されていてもよい。このように補助配線７０が駆動用基板１１上に形成されている場合には、被覆層５０は補助配線７０を覆うように形成されていることが好ましい。被覆層５０により補助配線７０を保護することができるからである。
【００３１】
図２は、駆動パネル１０，封止パネル２０，中間層３０および被覆層５０の平面的な位置関係を表すものである。駆動パネル１０および封止パネル２０は必ずしも同じ大きさである必要はなく、例えば、駆動用基板１１の一部は、封止パネル２０および中間層３０により覆われておらず、露出している。この露出した部分には、例えばチタン（Ｔｉ）―アルミニウム（Ａｌ）合金よりなる端子部８０が設けられている。
【００３２】
中間層３０は、図２に示したように、封止パネル２０の全面に形成されている。また、被覆層５０の形成範囲は、中間層３０の形成された領域よりも内側の領域（図２の斜線を施した領域）となっている。
【００３３】
この表示装置では、例えば、第１電極１２と第２電極１５との間に所定の電圧が印加されると、有機層１４の発光層に電流が注入され、正孔と電子とが再結合することにより発光が起こる。この光は、封止パネル２０の側から取り出される。ここでは、中間層３０、すなわち、保護膜３１および接着層３２によって被覆層５０の表面５０Ａだけでなく、その端面５０Ｂが覆われている。したがって、被覆層５０の端面５０Ｂが駆動パネル１０と封止パネル２０との間から外部に露出せず、外部の水分が被覆層５０を経路として内部に侵入することが防止され、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの劣化が防止される。
【００３４】
この表示装置は、例えば、次のようにして製造することができる。
【００３５】
図３ないし図６はこの表示装置の製造方法を工程順に表すものである。まず、図３に示したように、例えば、上述した材料よりなる駆動用基板１１に、ＴＦＴ４１，層間絶縁膜４２および配線４３を有する駆動素子層４０と、周辺回路部６０とを形成する。
【００３６】
次に、図４に示したように、駆動用基板１１の全面に、感光性を有する材料よりなる感光性膜９１を形成する。感光性膜９１の構成材料としては、例えば被覆層５０の材料として上述した材料を用いることができる。
【００３７】
続いて、図５に示したように、感光性膜９１を露光および現像することにより、駆動素子層４０および周辺回路部６０を覆う被覆層５０を形成する。同時に接続孔５１も形成することが可能である。
【００３８】
そののち、図６に示したように、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂおよび端子部８０（図２参照）を形成する。すなわち、まず、被覆層５０の接続孔５１に対応して、上述した材料よりなる第１電極１２を形成し、駆動素子層４０と第１電極１２との電気的導通をとる。次いで、この第１電極１２の上に、絶縁層１３を所定のパターンで形成する。続いて、絶縁層１３の上に補助配線７０の支線７０Ａを形成すると共に、駆動用基板１１の周辺部分には補助配線７０を形成する。次に、上述した材料よりなる正孔注入層，正孔輸送層，発光層および電子輸送層を順次成膜して有機層１４を形成したのち、上述した材料よりなる第２電極１５を形成する。
【００３９】
有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを形成したのち、図７に示したように、保護膜３１を、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ並びに被覆層５０の表面５０Ａおよび端面５０Ｂを覆うように形成する。続いて、上述した材料よりなる接着層３２を形成する。これにより、中間層３０が形成される。
【００４０】
次に、上述した材料よりなり、必要に応じてカラーフィルタなどを形成した封止用基板２１を有する封止パネル２０を用意し、駆動パネル１０および保護膜３１と封止パネル２０とを接着層３２を介して全面にわたって貼り合わせる。以上により、図１および図２に示した表示装置が完成する。
【００４１】
また、この表示装置は、例えば、次のようにして製造することもできる。
【００４２】
まず、図３に示した工程により、駆動用基板１１に、駆動素子層４０および周辺回路部６０を形成する。
【００４３】
次いで、図８に示したように、被覆層５０が形成される領域（図２の斜線を施した領域）と同等のサイズを有するシート状平坦化膜９２を用意する。このシート状平坦化膜９２を、駆動素子層４０および周辺回路部６０が形成された駆動用基板１１の所定の位置に配置する。これにより、図９に示したように、被覆層５０を形成する。
【００４４】
続いて、図５に示した工程により、被覆層５０に接続孔５１を形成する。そののち、図６に示した工程により、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂおよび端子部８０を形成する。続いて、図７に示した工程により、保護膜３１および接着層３２を順に形成し、接着層３２を介して駆動パネル１０および保護膜３１と封止パネル２０とを全面にわたって貼り合わせる。以上により、図１および図２に示した表示装置が完成する。
【００４５】
このように本実施の形態では、駆動パネル１０と封止パネル２０との間の中間層３０が、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂおよび被覆層５０の表面５０Ａだけでなく、更に、被覆層５０の端面５０Ｂをも覆うように構成したので、被覆層５０の端面５０Ｂが駆動パネル１０と封止パネル２０との間から外部に露出することがなくなる。従って、外部の水分が被覆層５０を経路として内部に侵入し、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂを劣化させることがなくなり、これにより表示装置の信頼性が向上する。
【００４６】
特に、本実施の形態では、保護膜３１により有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ並びに被覆層５０の表面５０Ａおよび端面５０Ｂを覆い、かつ保護膜３１と封止用基板２１との間に接着層３２を介在させるようにしたので、保護膜３１および接着層３２によって有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの劣化を効果的に防止することができる。よって、封止性能を向上させることができ、特に、駆動パネル１０と封止パネル２０とが接着層３２を介して全面にわたって貼り合わせられた完全固体封止構造の表示装置に好適である。
【００４７】
なお、本実施の形態では、中間層３０が保護膜３１および接着層３２を有する場合について説明したが、保護膜３１は必ずしも設けなくてもよい。例えば、図１０に示したように、中間層３０が保護膜３１を含まず、接着層３２のみを含むようにしてもよい。
【００４８】
（変形例）
図１１は、上記実施の形態の変形例に係る表示装置の断面構造を表すものである。この表示装置は上記実施の形態と同様に、駆動パネル１０と封止パネル２０との間に中間層３０が設けられ、中間層３０が被覆層５０の表面５０Ａだけでなく端面５０Ｂをも覆うように構成されたものである。よって、対応する構成要素には同一の符号を付して説明する。
【００４９】
被覆層５０は、中間層３０の端面３０Ａからはみ出した部分５２を有しており、はみ出した部分５２と被覆層５０の他の部分とは分離溝５３により離間している。これにより、この表示装置では、外部の水分がはみ出した部分５２を経路として内部に侵入することがなく、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの劣化が防止されるようになっている。
【００５０】
この表示装置は、上記実施の形態と同様にして製造することができる。また、この表示装置の作用は上記実施の形態と同様である。
【００５１】
このように本変形例では、被覆層５０に、中間層３０の端面３０Ａからはみ出した部分５２を設け、はみ出した部分５２と被覆層５０の他の部分とを分離溝５３により離間するようにしたので、外部の水分がはみ出した部分５２を経路として内部に侵入することがなく、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの劣化を防止することができる。
【００５２】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記実施の形態において説明した各層の材料および厚み、または成膜方法および成膜条件などは限定されるものではなく、他の材料および厚みとしてもよく、または他の成膜方法および成膜条件としてもよい。例えば、上記実施の形態においては、駆動用基板１１に、第１電極１２，絶縁層１３，有機層１４および第２電極１５を駆動用基板１１の側から順に積層し、封止パネル２０の側から光を取り出すようにした場合について説明したが、積層順序を逆にして、駆動用基板１１の上に、第２電極１５，有機層１４および第１電極１２を駆動用基板１１の側から順に積層し、駆動用基板１１の側から光を取り出すようにすることもできる。
【００５３】
更に、例えば、上記実施の形態では、第１電極１２を陽極、第２電極１５を陰極とする場合について説明したが、陽極および陰極を逆にして、第１電極１２を陰極、第２電極１５を陽極としてもよい。さらに、第１電極１２を陰極、第２電極１５を陽極とすると共に、駆動用基板１１の上に、第２電極１５，有機層１４および第１電極１２を駆動用基板１１の側から順に積層し、駆動用基板１１の側から光を取り出すようにすることもできる。
【００５４】
加えて、上記実施の形態では、有機発光素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの構成を具体的に挙げて説明したが、全ての層を備える必要はなく、また、他の層を更に備えていてもよい。
【００５５】
更にまた、上記実施の形態では、第２電極１５が半透過性反射層により構成され、第２電極１５の電圧降下を抑制するための補助配線７０および支線７０Ａを備えている場合について説明したが、第２電極１５は、半透過性反射層と透明電極とが第１電極１２の側から順に積層された構造としてもよい。この透明電極は、半透過性反射層の電気抵抗を下げるためのものであり、発光層で発生した光に対して十分な透光性を有する導電性材料により構成されている。透明電極を構成する材料としては、例えば、ＩＴＯまたはインジウムと亜鉛（Ｚｎ）と酸素とを含む化合物が好ましい。室温で成膜しても良好な導電性を得ることができるからである。
【００５６】
加えてまた、上記実施の形態では、駆動パネル１０および保護膜３１と封止パネル２０とが接着層３２を介して全面にわたって貼り合わせられている場合について説明したが、本発明は、例えば、駆動パネル１０の周縁部のみに接着層３２を形成して金属缶などを接着するようにした場合など、接着層３２が駆動パネル１０と封止パネル２０との間の一部分のみに形成された場合についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施の形態に係る表示装置の断面構造を表す断面図である。
【図２】図１に示した駆動パネル，封止パネル，中間層および被覆層の位置関係を表す平面図である。
【図３】図１に示した表示装置の製造工程を説明するための断面図である。
【図４】図３の工程に続く製造工程を説明するための図である。
【図５】図４の工程に続く製造工程を説明するための図である。
【図６】図５の工程に続く製造工程を説明するための図である。
【図７】図６の工程に続く製造工程を説明するための図である。
【図８】図１に示した表示装置の他の製造方法を説明するための図である。
【図９】図８の工程に続く製造工程を説明するための図である。
【図１０】図１に示した表示装置の変形例を表す断面図である。
【図１１】図１に示した表示装置の変形例を表す断面図である。
【図１２】図１１に示した駆動パネル，封止パネル，中間層および被覆層の位置関係を表す平面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０…駆動パネル、１１…駆動用基板、１２…第１電極、１３…絶縁層、１４…有機層、１５…第２電極、２０…封止パネル、２１…封止用基板、３０…中間層、３０Ａ…端面、３１…保護膜、３２…接着層、４０…駆動素子層、４１…ＴＦＴ、４２…層間絶縁膜、４３…配線、５０…被覆層、５０Ａ…表面、５０Ｂ…端面、５１…接続孔、５２…はみ出した部分、５３…分離溝、６０…周辺回路部、７０…補助配線、７０Ａ…支線、８０…端子部
【図１】
2007280964.tif 000003
【図２】
2007280964.tif 000004
【図３】
2007280964.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007280964.tif 000007
【図６】
2007280964.tif 000008
【図７】
2007280964.tif 000009
【図８】
2007280964.tif 000010
【図９】
2007280964.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年7月18日(2007.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動用基板上に、駆動素子層および前記駆動素子層を覆う被覆層を介して、第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を前記駆動用基板の側から順に積層した複数の有機発光素子を有する駆動パネルと、
封止用基板を有し、前記封止用基板が前記駆動パネルの前記有機発光素子側に対向配置された封止パネルと、
前記駆動パネルと前記封止パネルとの間に前記複数の有機発光素子を覆うように設けられた中間層と
を備え、
前記被覆層は有機材料により構成されると共に、前記封止パネルおよび前記中間層の同一面でなる端面からはみ出したはみ出し部分と、前記はみ出し部分と前記被覆層の他の部分とを、前記中間層の端面よりも内側において分離する分離溝とを有する
ことを特徴とする有機発光表示装置。
【請求項２】
前記被覆層は、ポリイミドにより構成されている
ことを特徴とする請求項１記載の有機発光表示装置。
【請求項３】
前記中間層は、シリコン（Ｓｉ）を含む透明誘電体により構成された保護膜を有する
ことを特徴とする請求項１記載の有機発光表示装置。
【請求項４】
前記保護膜は、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）または窒化シリコン（ＳｉＮ）により構成されている
ことを特徴とする請求項３記載の有機発光表示装置。
【請求項５】
前記保護膜は、前記分離溝内に埋め込まれている
ことを特徴とする請求項３記載の有機発光表示装置。
【請求項６】
前記中間層は、前記保護膜と前記封止用基板との間に、前記駆動パネルおよび前記保護膜と前記封止パネルとを全面にわたって貼り合わせるための接着層を含む
ことを特徴とする請求項３記載の有機発光表示装置。
【請求項７】
前記有機発光素子は、前記発光層で発生した光を前記第２電極の側から取り出す
ことを特徴とする請求項１記載の有機発光表示装置。
【請求項８】
前記有機発光素子は、前記第２電極の電圧降下を抑制するための補助配線を有し、前記補助配線は、前記被覆層の上に形成され、または前記駆動用基板上に形成され且つ前記被覆層により覆われている
ことを特徴とする請求項１記載の有機発光表示装置。
【請求項９】
駆動用基板に、駆動素子層および前記駆動素子層を覆う被覆層を介して、第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を前記駆動用基板の側から順に積層した複数の有機発光素子を形成し、駆動パネルを形成する工程と、
前記複数の有機発光素子を覆う中間層を形成する工程と、
前記中間層を介して、前記駆動パネルの前記発光素子側に、封止用基板を有する封止パネルを対向配置する工程と
を含み、前記被覆層を有機材料により構成すると共に前記被覆層に分離溝を設け、
前記封止パネルおよび前記中間層の端面を同一面とし、前記分離溝を、前記封止パネルおよび前記中間層の端面よりも内側にすることにより、前記被覆層に前記封止パネルおよび前記中間層の端面からはみ出したはみ出し部分を形成すると共に、前記はみ出し部分と前記被覆層の他の部分とを前記分離溝で分離する
ことを特徴とする有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記被覆層を、ポリイミドにより構成する
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記中間層として、シリコン（Ｓｉ）を含む透明誘電体により構成された保護膜を形成する
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記保護膜を、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）または窒化シリコン（ＳｉＮ）により構成する
ことを特徴とする請求項１１記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記保護膜を、前記分離溝内に埋め込む
ことを特徴とする請求項１１記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記被覆層を、シート状被覆膜を配置することにより形成する
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記被覆層を、感光性を有する材料よりなる感光性膜を形成したのち前記感光性膜を露光および現像することにより形成する
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記中間層として、前記保護膜の上に接着層を形成したのち、前記接着層を介して前記駆動パネルおよび前記保護膜と前記封止パネルとを全面にわたって貼り合わせる
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記有機発光素子は、前記発光層で発生した光を前記第２電極の側から取り出す
ことを特徴とする請求項９記載の有機発光表示装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明による有機発光表示装置は、駆動用基板上に、駆動素子層および駆動素子層を覆う被覆層を介して、第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を駆動用基板の側から順に積層した複数の有機発光素子を有する駆動パネルと、封止用基板を有し、封止用基板が駆動パネルの有機発光素子側に対向配置された封止パネルと、駆動パネルと封止パネルとの間に複数の有機発光素子を覆うように設けられた中間層とを備え、被覆層は有機材料により構成されると共に、封止パネルおよび中間層の同一面でなる端面からはみ出したはみ出し部分と、はみ出し部分と被覆層の他の部分とを、中間層の端面よりも内側において分離する分離溝とを有するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明による有機発光表示装置の製造方法は、駆動用基板に、駆動素子層および駆動素子層を覆う被覆層を介して、第１電極、発光層を含む有機層および第２電極を駆動用基板の側から順に積層した複数の有機発光素子を形成し、駆動パネルを形成する工程と、複数の有機発光素子を覆う中間層を形成する工程と、中間層を介して、駆動パネルの発光素子側に、封止用基板を有する封止パネルを対向配置する工程とを含み、被覆層を有機材料により構成すると共に被覆層に分離溝を設け、封止パネルおよび中間層の端面を同一面とし、分離溝を、封止パネルおよび中間層の端面よりも内側にすることにより、被覆層に封止パネルおよび中間層の端面からはみ出したはみ出し部分を形成すると共に、はみ出し部分と被覆層の他の部分とを分離溝で分離するようにしたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明による有機発光表示装置では、被覆層が、封止パネルおよび中間層の同一面でなる端面からはみ出したはみ出し部分と、はみ出し部分と被覆層の他の部分とを、中間層の端面よりも内側において分離する分離溝とを有しているので、外部の水分がはみ出し部分を経路として発光素子部分へ侵入することがない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明による有機発光表示装置の製造方法では、駆動用基板に、駆動素子層およびこれを覆う被覆層を介して複数の有機発光素子が形成され、駆動パネルが形成される。このとき、被覆層は有機材料により構成されると共に被覆層に分離溝が設けられる。次いで、複数の有機発光素子を覆う中間層が形成され、この中間層を介して、駆動パネルの発光素子側に、封止用基板を有する封止パネルが対向配置される。封止パネルおよび中間層の端面は同一面とされ、分離溝は封止パネルおよび中間層の端面よりも内側とされる。これにより、被覆層に、封止パネルおよび中間層の端面からはみ出したはみ出し部分が形成されると共に、はみ出し部分と被覆層の他の部分とが分離溝で分離される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の有機発光表示装置およびその製造方法によれば、被覆層が、封止パネルおよび中間層の同一面でなる端面からはみ出したはみ出し部分と、はみ出し部分と被覆層の他の部分とを、中間層の端面よりも内側において分離する分離溝とを有するように構成したので、外部の水分がはみ出し部分を経路として内部の素子部分に侵入することがなくなる。よって、素子が劣化することがなくなり、有機発光表示装置の信頼性が高まる。