(57)【要約】    【課題】  電流値が大きく、かつ同一の有機半導体を用いてｐ・ｎチャネル双方の有機電界効果トランジスタを提供する。    【解決手段】  ＯＦＥＴ１は、最下層となるゲート電極２と、ｎ形シリコンからなるｎ−Ｓｉ（シリコン）層３と、ＳｉＯ２（二酸化シリコン）層４と、電荷発生層としてのＶ２Ｏ５（五酸化バナジウム）層５と、有機半導体層としてのＣｕＰｃ（銅フタロシアニン）層６と、最上層となるソース電極７及びドレイン電極８とを積層して構成されている。Ｖ２Ｏ５層５に生じた正孔がＣｕＰｃ層６に注入されることによりその移動度を向上させることができる。また、正のゲート電圧Ｖｇを印加することで動作させることができるため、ｎチャネルのＦＥＴとして動作させることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲート電極と、有機半導体からなる有機半導体層と、有機半導体層とゲート電極を絶縁する絶縁層と、ドレイン電極及びソース電極から構成される有機電界効果トランジスタにおいて、電子または正孔を生成する電荷発生層を前記有機半導体層に密接させて設けたことを特徴とする有機電界効果トランジスタ。
【請求項２】
前記絶縁層と前記有機半導体層との間に前記電荷発生層を備え、前記有機半導体層にドレイン電極及びソース電極を設けたことを特徴とする請求項１記載の有機電界効果トランジスタ。
【請求項３】
前記絶縁層と前記電荷発生層との間に前記有機半導体を備え、前記電荷発生層にドレイン電極及びソース電極を設けたことを特徴とする請求項１記載の有機電界効果トランジスタ。
【請求項４】
前記ドレイン電極および前記ソース電極と、前記有機半導体層又は前記電荷発生層との間に、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物、または単体からなる薄膜を備えたことを特徴とする請求項２又は請求項３記載の有機電界効果トランジスタ。
【請求項５】
前記電荷発生層は抵抗率が１．０×１０２Ω・ｃｍ以上の絶縁性物質からなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の有機電界効果トランジスタ。
【請求項６】
前記電荷発生層は、その膜厚が前記有機半導体層の膜厚より小さいものであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の有機電界効果トランジスタ。
【請求項７】
前記電荷発生層は、２種類以上の物質の混合もしくは積層で形成されたものであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の有機電界効果トランジスタ。
【請求項８】
前記電荷発生層と前記有機半導体層との間に、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物、または単体からなる薄膜を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の有機電界効果トランジスタ。
【請求項９】
前記有機半導体層は、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物、または単体を含有するものであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の有機電界効果トランジスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機半導体を用いた有機電界効果トランジスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機電界発光素子（ＯＬＥＤ）が実用段階を迎えている。ＯＬＥＤは、有機物を用いていることから軽量・柔軟であり、折り曲げや着用が可能なディスプレイなども提案されている。このようなデバイスの実現には駆動用のトランジスタが必要であるが、ＯＬＥＤと同様に軽量・柔軟であることが必要である。このため、有機電界効果トランジスタ（ＯＦＥＴ）の研究が盛んに進められている（例えば、特許文献１，特許文献２）。
【０００３】
特許文献１では、基板上に形成されたゲート電極の上に、ゲート絶縁層と、ｐ形半導体材料である銅フタロシアニン等からなる第１半導体層とｎ形半導体材料であるフッ化銅フタロシアニンとからなる第２半導体層と、ソース・ドレイン電極が形成された保護層とを積層して構成される有機電界効果トランジスタが開示されている。
【０００４】
また、特許文献２では、基板上に形成されたゲート電極の上に、ゲート絶縁層と、銅フタロシアニンからなる第１半導体層と亜鉛フタロシアニンとからなる第２半導体層と、ソース・ドレイン電極が形成された保護層とを積層して構成される有機電界効果トランジスタが開示されている。
【特許文献１】特開２００４−２３５６２４号公報
【特許文献２】特開２００４−２６６２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
最近の報告では、ペンタセンなどを用いることでアモルファスシリコン程度の移動度を持つ素子が報告されてきている。ここで、移動度は素子の動作速度や電流値に関係する値である。これまでのＯＦＥＴにおいて、一般にはキャリヤ濃度や移動度はそれほど高いものは得られておらず、そのため素子動作時のドレイン電流値も大きくない。
【０００６】
そこで本発明は上記問題点に鑑み、動作時ドレイン電流値の大きい有機電界効果トランジスタを提供することを目的とする。
【０００７】
また、ＯＦＥＴにおいてはｐチャネルおよびｎチャネルＦＥＴを作製するにあたって、それぞれ適宜ｐ形またはｎ形の有機半導体材料を選択する必要があった。そこで本発明は上記問題点に鑑み、ｐ形またはｎ形一方のみの有機半導体により、ｎチャネルまたはｐチャネルＦＥＴとしての動作が可能なＯＦＥＴを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明における請求項１では、ゲート電極と、有機半導体からなる有機半導体層と、ゲート電極と有機半導体層とを絶縁する絶縁層と、ドレイン電極及びソース電極から構成される有機電界効果トランジスタにおいて、正孔（ラジカルカチオン）または伝導電子（ラジカルアニオン）を生成する電荷発生層を前記有機半導体層に密接させて設けている。
【０００９】
また本発明における請求項２の有機電界効果トランジスタでは、前記絶縁層と前記有機半導体層との間に前記電荷発生層を備えている。
【００１０】
このようにすると、電荷発生層に生じた電荷が有機半導体層に注入される。すなわち、正のゲート電圧を印加することで正孔、負のゲート電圧を印加することで電子が有機半導体層に注入される。この時有機半導体層がｐ形であっても、正のゲート電圧で正孔を有機半導体層に注入することでＦＥＴ動作させることができるため、外部回路から見た場合あたかもｎチャネルのＦＥＴとして動作させることができる。
【００１１】
本発明における請求項３の有機電界効果トランジスタでは、前記絶縁層と前記電荷発生層との間に前記有機半導体を備えている。
【００１２】
このようにすると、ゲート電圧の印加により電荷発生層に生じた電荷が有機半導体層に注入される。すなわち、有機半導体層のキャリヤ濃度が大きくなり、大きなドレイン電流を得ることができる。
【００１３】
本発明における請求項４の有機電界効果トランジスタでは、前記ドレイン電極及び前記ソース電極と、前記有機半導体層又は前記電荷発生層との間に、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物、または単体からなる薄膜を備えている。
【００１４】
このようにすると、ドレイン電極及びソース電極と有機半導体層または電荷発生層との間に挿入した、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物、または単体の薄膜は、ソースまたはドレイン電極から有機半導体層または電荷発生層へ電子または正孔を効率よく注入・注出する。また、上述したものと同様に電荷発生層に生じた電子または正孔がゲート電圧により有機半導体層に注入される。これらの手法は有機半導体層のキャリヤ濃度を向上させるための効果的な手段であり、大きなドレイン電流値を得ることができる。
【００１５】
本発明における請求項５の有機電界効果トランジスタでは、抵抗率が１．０×１０２Ω・ｃｍ以上の絶縁性物質を電荷発生層に用いている。これにより、電荷発生層によって常に導通状態になることはなく、良好なＦＥＴ動作をさせることができる。
【００１６】
本発明における請求項６の有機電界効果トランジスタでは、電荷発生層の膜厚を有機半導体層の膜厚よりも小さくしている。これによって、ＦＥＴ動作させるにあたって大きなゲート電圧を必要としない。
【００１７】
本発明における請求項７の有機電界効果トランジスタでは、２種類以上の物質の混合もしくは積層で形成され、かつ内部で生成された電子または正孔がゲート電圧により前記有機半導体層に注入される電荷発生層を備えている。これによって、１種類の物質よりも効率よく電子または正孔を発生・注入させることができる。
【００１８】
本発明における請求項８または９の有機電界効果トランジスタでは、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物、または単体の薄膜が電荷発生層と有機半導体の間に挿入または有機半導体に含有されている。このようにすると、電荷発生層に生じた電子または正孔が有機半導体層に注入されやすくなる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の請求項１，２によると、同一の有機半導体を用いてｐ・ｎチャネル双方の有機電界効果トランジスタを提供できる。すなわち、ｎ形の有機半導体でｐチャネル動作が可能な有機電界効果トランジスタ、およびｐ形の有機半導体でｎチャネル動作が可能な有機電界効果トランジスタを提供することができる。
【００２０】
また本発明の請求項３，４，７，８によると、ドレイン電流値が大きい有機電界効果トランジスタを提供することができる。
【００２１】
本発明の請求項５，６によると、ＦＥＴ動作に関する性能を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付図面を参照しながら、本発明における有機電界効果トランジスタの好ましい実施例を説明する。
【００２３】
本実施例では電荷発生層にＶ２Ｏ５を使用しているが、電圧を印加すると電子または正孔が発生する電荷発生作用を持つ材料、例えば特開２００３−０４５６７６号公報、あるいは特開２００３−２７２８６０号公報に記載されている材料などであれば、電荷発生層として用いることができる。電荷発生層は、具体的には、例えば有機半導体層を酸化し得る物質ＴＣＮＱ（テトラシアノキノジメタン），４Ｆ−ＴＣＮＱ（テトラフルオロ−テトラシアノキノジメタン），塩化第２鉄などや、絶縁性物質では五酸化バナジウムなどが挙げられる。また、当該材料から選択された２種類以上の物質の混合もしくは積層で形成されていてもよい。また、電荷発生層には、抵抗率が１．０×１０２Ω・ｃｍ以上の絶縁性物質を用いるのが好ましい。この場合には、電荷発生層によって常に導通状態になることはなく、良好なＦＥＴ動作をさせることができる。
【００２４】
図１は、本実施例におけるＯＦＥＴの構成例を示したものである。このＯＦＥＴ１は、最下層となるゲート電極２と、ｎ形シリコンからなるｎ−Ｓｉ（シリコン）層３と、絶縁層としてのＳｉＯ２（二酸化シリコン）層４と、電荷発生層としてのＶ２Ｏ５（五酸化バナジウム）層５と、有機半導体層としてのＣｕＰｃ（銅フタロシアニン）層６と、最上層となるソース電極７及びドレイン電極８とを積層して構成されている。具体的な製造方法としては、ゲート電極２が設けられたｎ−Ｓｉ層３となるｎ形Ｓｉウエハの表面を酸化して厚さ１００ｎｍのＳｉＯ２層４を形成し、このＳｉＯ２層４の表面に真空蒸着法で、厚さ２０ｎｍのＶ２Ｏ５層５と厚さ７０ｎｍのＣｕＰｃ層６とを積層状態に堆積し、そして、端子材料としての金をソース電極７，ドレイン電極８としてＣｕＰｃ層６の上に堆積することによりＯＦＥＴ１となる。Ｖ２Ｏ５層５の膜厚は、ＣｕＰｃ層６の膜厚よりも小さくなっており、これによって、ＦＥＴ動作させるにあたって大きなゲート電圧を必要としない。なお、ソース電極７，ドレイン電極８がＣｕＰｃ層６の下に堆積されていても良い。
【００２５】
ゲート電極２に正のゲート電圧Ｖｇを印加すると、ドレイン−ソース間を流れるドレイン電流Ｉｄｓが増大し電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）として作用する。このような動作は電荷発生の機能を持つＶ２Ｏ５層５から、有機物であるＣｕＰｃ層６に正孔が注入されることに基づくと考えられる。
【００２６】
次に、上記構成を有するＯＦＥＴ１の動作について図３に基づき説明する。
【００２７】
ＯＦＥＴ１が動作しないバイアスの無い状態では、ＣｕＰｃ層６は電気的に中性になっている。ＯＦＥＴ１に正のゲート電圧Ｖｇが印加されると、Ｖ２Ｏ５層５からＣｕＰｃ層６へ正孔が注入される。当該正孔によりＣｕＰｃ層６の導電率が向上し、大きなドレイン電流を誘導することができる。一方、Ｖ２Ｏ５層５には電子が蓄積されるので、この電子をドレイン電流として流出することもできる。すなわち、ＯＦＥＴ１にＶ２Ｏ５層５を設けることによりそのドレイン電流及び増幅度が向上する。なお、Ｖ２Ｏ５層５に生じた正孔がＣｕＰｃ層６に注入されやすくするため、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物又は単体からなる薄膜をＶ２Ｏ５層５とＣｕＰｃ層６との間に挿入するか、またはＣｕＰｃ層６にこれらを含有させるのが好ましい。
【００２８】
図４（ａ）は、ＯＦＥＴ１からＶ２Ｏ５層５を除去したＯＦＥＴにおいて、負のゲート電圧Ｖｇを印加した場合のドレイン−ソース電圧Ｖｄｓに対するドレイン電流Ｉｄｓの値をグラフにした静特性である。同図から、ドレイン電流Ｉｄｓは、ゲート電圧Ｖｇの増加と共に直線的に増加し、やがて飽和に至るのが分かる。なお、ゲート電圧Ｖｇに対するドレイン電流Ｉｄｓの値の平方根が図４（ｂ）のグラフに描かれており、その電界効果移動度が曲線の傾きから計算されている。ここでは電界効果移動度μの値が約２．５×１０−４ｃｍ２／Ｖｓと見積もられる。
【００２９】
これに対して、様々な正のゲート電圧Ｖｇで操作されたＯＦＥＴ１のドレイン−ソース電圧Ｖｄｓに対するドレイン電流Ｉｄｓの値をグラフにしたものが図５（ａ）である。Ｖ２Ｏ５層５を有するＯＦＥＴ１では、ゲート電圧Ｖｇを正としたにもかかわらず、Ｖ２Ｏ５層５がない場合の特性を示す図４（ａ）に比べ、ドレイン電流Ｉｄｓの値が大きく増加している。なお、ゲート電圧Ｖｇに対するドレイン電流Ｉｄｓの値の平方根が図５（ｂ）のグラフに描かれており、その電界効果移動度が曲線の傾きから計算される。この場合、電界効果移動度μの値が約３．６×１０−３ｃｍ２／Ｖｓと見積もられる。
【００３０】
ＣｕＰｃを用いた一般的なＯＦＥＴ（ＯＦＥＴ１においてＶ２Ｏ５層５を除去したＯＦＥＴ）では、負のゲート電圧Ｖｇを印加することでＣｕＰｃ層６とＳｉＯ２層４の界面付近にＣｕＰｃの正孔を集めることでｐチャネルのＦＥＴとして動作させる。本発明のＯＦＥＴ１では、正のゲート電圧Ｖｇを印加することで動作しており、外部からはｎチャネルのＦＥＴとして動作しているように観測される。有機物の多くはｐ形動作するためｎチャネルのＦＥＴの報告は少ないが、回路構成上ｎチャネル動作のＦＥＴは重要である。また、動作時のドレイン電流はＶ２Ｏ５層５を挿入することで飛躍的に向上している。
【００３１】
本実施例の変形例として、図２のような構成のＯＦＥＴとすることもできる。本変形例のＯＦＥＴ１では、図１のＯＦＥＴ１におけるＶ２Ｏ５層５とＣｕＰｃ層６の位置を入れ替えた構造になっている。すなわち、本変形例のＯＦＥＴ１は、最下層となるゲート電極２と、ｎ−Ｓｉ層３と、ＳｉＯ２層４と、ＣｕＰｃ層６と、Ｖ２Ｏ５層５と、最上層となるソース電極７及びドレイン電極８とを積層して構成されている。
【００３２】
ＯＦＥＴ１に負のゲート電圧Ｖｇが印加されると、Ｖ２Ｏ５層５からＣｕＰｃ層６へ正孔が注入される。当該正孔によりＣｕＰｃ層６の導電率が向上し、大きなドレイン電流を誘導することができる。すなわち、ＯＦＥＴ１にＶ２Ｏ５層５を設けることによりそのドレイン電流及び増幅度が向上する。
【００３３】
また、ドレイン電極８及びソース電極７とＶ２Ｏ５層５との間に、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物又は単体からなる薄膜を挿入すると、ソース電極７又はドレイン電極８からＶ２Ｏ５層５へ正孔または電子が効率よく注入される。
【００３４】
この変形例において、ドレイン電極８およびソース電極７はＶ２Ｏ５層５とＣｕＰｃ層６の間にあっても良い。
【００３５】
これらの手法は有機半導体層のキャリヤ濃度を向上させるための効果的な手段であり、大きなドレイン電流値を得ることができる。
【００３６】
以上のように本実施例では、ゲート電極２と、有機半導体からなる有機半導体層としてのＣｕＰｃ層６と、ゲート電極２とＣｕＰｃ層６とを絶縁する絶縁層としてのＳｉＯ２層４と、ドレイン電極８及びソース電極７から構成される有機電界効果トランジスタとしてのＯＦＥＴ１において、正孔または電子を生成する電荷発生層としてのＶ２Ｏ５層５をＣｕＰｃ層６に密接させて設けている。
【００３７】
また本実施例のＯＦＥＴ１は、ＳｉＯ２層４とＣｕＰｃ層６との間にＶ２Ｏ５層５を備えている。
【００３８】
このようにすると、Ｖ２Ｏ５層５に生じた電荷がＣｕＰｃ層６に注入される。すなわち、正のゲート電圧Ｖｇを印加することで正孔、負のゲート電圧−Ｖｇを印加することで電子がＣｕＰｃ層６に注入される。この時ＣｕＰｃ層６がｐ形であっても、正のゲート電圧Ｖｇで正孔をＣｕＰｃ層６に注入することでＦＥＴ動作させることができるため、外部回路から見た場合あたかもｎチャネルのＦＥＴとして動作させることができる。
【００３９】
さらに本実施例のＯＦＥＴ１は、ゲート電極２とＣｕＰｃ層６とを絶縁するＳｉＯ２層４を設けると共に、ドレイン電極８及びソース電極７とＣｕＰｃ層６との間にＶ２Ｏ５層５を備えている。
【００４０】
また本実施例のＯＦＥＴ１は、ドレイン電極８及びソース電極７とＶ２Ｏ５層５との間に、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物、または単体からなる薄膜を備えている。
【００４１】
このようにすると、Ｖ２Ｏ５層５に生じた正孔がゲート電圧ＶｇによりＣｕＰｃ層６に注入される。また、ドレイン電極８及びソース電極７とＶ２Ｏ５層５の間に挿入した、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物、または単体の薄膜は、ソースまたはドレイン電極８からＶ２Ｏ５層５へ正孔を効率よく注入する。これらの手法はＣｕＰｃ層６のキャリヤ濃度を向上させるための効果的な手段であり、大きなドレイン電流値を得ることができる。
【００４２】
さらに本実施例のＯＦＥＴ１は、抵抗率が１．０×１０２Ω・ｃｍ以上の絶縁性物質を電荷発生層に用いている。これにより、電荷発生層によって常に導通状態になることはなく、良好なＦＥＴ動作をさせることができる。
【００４３】
また本実施例のＯＦＥＴ１は、Ｖ２Ｏ５層５の膜厚をＣｕＰｃ層６の膜厚よりも小さくしている。これによって、ＦＥＴ動作させるにあたって大きなゲート電圧Ｖｇを必要としない。
【００４４】
さらに本実施例のＯＦＥＴ１は、１種類または２種類以上の物質の混合もしくは積層で形成され、かつ内部で生成された正孔または電子がゲート電圧により前記有機半導体層に注入される電荷発生層を備えている。これによって、１種類の物質よりも効率よく正孔または電子を発生・注入させることができる。
【００４５】
また本実施例のＯＦＥＴ１は、アルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオンおよび希土類金属イオンのうち、少なくとも１種類を含む化合物、または単体の薄膜が電荷発生層と有機半導体の間に挿入または有機半導体に含有されている。このようにすると、電荷発生層に生じた正孔または電子が有機半導体層に注入されやすくなる。
【００４６】
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。ＯＦＥＴ１の構成材料や素子構造は、様々な変形例が考えられる。特に電荷発生層が、同種もしくは異なる種類の有機半導体層で挟持され、それぞれの有機半導体層内に正孔または電子がゲート電圧により注入され得る構造であっても構わない。また複数の電荷発生層および有機半導体層を有する構造であっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施例における有機電界効果トランジスタの構造を示す模式図である。
【図２】同上、有機電界効果トランジスタの変形例を示す模式図である。
【図３】同上、有機電界効果トランジスタの動作原理を示す説明図である。
【図４】同上、有機電界効果トランジスタの静特性を示すグラフである。
【図５】従来例における有機電界効果トランジスタの静特性を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４８】
１  ＯＦＥＴ（有機電界効果トランジスタ）
２  ゲート電極
４  ＳｉＯ２層（絶縁層）
５  Ｖ２Ｏ５層（電荷発生層）
６  ＣｕＰｃ層（有機半導体層）
７  ソース電極
８  ドレイン電極
【図１】
2007027326.tif 000003
【図２】
2007027326.tif 000004
【図３】
2007027326.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007027326.tif 000007