(57)【要約】      （修正有）【課題】  非導通性被加工物に砥石で高精度な研削加工をすることが可能である非導通性被加工物の研削加工方法およびその装置を提供する。【解決手段】  テーブル１９上の非導通性被加工物Ｗを砥石１５で研削する非導通性被加工物の研削加工方法において、非導通性被加工物上に導通性模擬体２１を載乗し、この導通性模擬体に少なくとも導電性を有した砥石を下降して接近させ、導通性模擬体と砥石との接触による導通を検出すると共に、この導通による導通検出位置を導通性模擬体厚み分が加えられた被加工物研削開始位置として検出し、砥石を上昇させて待機位置に戻して導通性模擬体から離し、非導通性被加工物上から導通性模擬体を取り出した後、砥石を前記待機位置から前記被加工物研削開始位置に下降させて非導通性被加工物を研削開始する。【選択図】  図１
2007245315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブル上の非導通性被加工物を砥石で研削する非導通性被加工物の研削加工方法において、非導通性被加工物上に導通性模擬体を載乗し、この導通性模擬体に少なくとも導電性を有した砥石を下降して接近させ、導通性模擬体と砥石との接触による導通を検出すると共に、この導通による導通検出位置を導通性模擬体厚み分が加えられた被加工物研削開始位置として検出し、砥石を上昇させて待機位置に戻して導通性模擬体から離し、非導通性被加工物上から導通性模擬体を取り出した後、砥石を前記待機位置から前記被加工物研削開始位置に下降させて非導通性被加工物を研削開始するようにしたことを特徴とする非導通性被加工物の研削加工方法。
【請求項２】
予め設定された研削指令量に基づいて砥石を下降させて非導通性被加工物を被加工物研削開始位置から研削した後に、砥石を上昇させて待機位置に戻して非導通性被加工物から離し、非導通性被加工物上に導通性模擬体を載乗し、この導通性模擬体に砥石を待機位置から下降して接近させ、導通性模擬体と砥石との接触による導通を検出すると共に、この導通による導通検出位置を導通性模擬体厚み分が加えられた被加工物研削終了位置として検出し、この被加工物研削終了位置が設定研削量外であるときに、テーブル上の非導通性被加工物に対して、前記した砥石による再研削と、導通性模擬体による被加工物研削終了位置の再検出を繰り返し、研削するようにしたことを特徴とする請求項１記載の非導通性被加工物の研削加工方法。
【請求項３】
被加工物研削開始位置を検出するまで砥石，導通性模擬体，非導通性被加工物にエアを吹き付けることを特徴とする請求項１又は２記載の非導通性被加工物の研削加工方法。
【請求項４】
テーブル上の非導通性被加工物を導電性が有る昇降および回転可能な砥石で研削可能な研削手段と、非導通性被加工物上に載乗および当該被加工物上から取り出し可能な導通性模擬体と、この非導通性被加工物上の導通性模擬体に対する砥石の相対的な位置を検出する位置検出手段と、導通性模擬体と砥石との接触による導通を検出する導通検出手段と、この導通検出手段の検出結果と前記位置検出手段の検出結果に基づいて非導通性被加工物に対する砥石の被加工物研削開始位置を導通性模擬体厚み分を加算することで求める研削開始位置演算手段と、を備えてなることを特徴とする非導通性被加工物の研削加工装置。
【請求項５】
導通検出手段の検出結果と位置検出手段の検出結果に基づいて非導通性被加工物の被加工物研削終了位置を導通性模擬体厚み分を加算することで求める研削終了位置演算手段を備えてなることを特徴とする請求項４記載の非導通性被加工物の研削加工装置。
【請求項６】
砥石に給電可能な導通性ブラシを備え、この導通性ブラシをバネで砥石に弾性的に接触するようにしてあることを特徴とする請求項４または５記載の非導通性被加工物の研削加工装置。
【請求項７】
砥石が絶縁体を経てモータの出力軸に取り付けられていると共に、この砥石を絶縁体に取り付けている締結具を該絶縁体上面に非露出状態に形成してあることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項記載の非導通性被加工物の研削加工装置。
【請求項８】
少なくとも砥石，導通性模擬体，非導通性被加工物にエアを吹き付けるエア吹き付け手段を備えてなることを特徴とする請求項４〜７のいずれか１項記載の非導通性被加工物の研削加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、砥石でガラス，セラミック，石等の非導通性被加工物に研削加工を行うのに有用な非導通性被加工物の研削加工方法およびその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、研削用の砥石を回転させながら上下方向に移動させ被加工物としてのワークに研削加工を行う研削盤はよく知られている。この研削盤において砥石とワークとの接触位置を検出する手段としては、砥石面とワークとの接触時の火花や砥石軸に加わる電気的負荷又は、砥石軸を下方向に移動させながら砥石面をワークに押し付けるときに発生する送りモータにかかる電気的負荷を検出する方法が知られている。これらの検出方法はいずれも安全で安定性のある検出方法ではなかった。
さらに、砥石とワークとの接触位置を検出する手段としては、例えば特許文献１等で知られているように、砥石とワークとの導通を検出して行う方法も知られている。
ところで、上述した従来の砥石とワークとの導通を検出して接触位置を検出する検出方法では、ワークすなわち被加工物が導通性部材であるものに限定され、非導通性被加工物については導通による接触位置の検出が不可能であり、砥石による高精度の研削加工を望めないでいる。
また、研削量については、操作パネルを通じて適宜設定することにより行っているが、装置の剛性やニゲ等により設定値通りに研削されていないことがあり、特にワークの大きさや硬さ等の様々な条件が加わることで設定値通りには研削できない場合がある。そのため、各ワーク毎に機外に取り出して測定し、研削し直して設定値に近づけており、作業者の経験と感に頼ることが多く、その機外取り出し，測定，機内取り付けが複数回になることもあって、なかなか研削効率を向上できないでいる。
【特許文献１】特開昭５９−１６６４６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
解決しようとする課題は、第１には、非導通性被加工物に砥石で高精度な研削加工をすることが可能である非導通性被加工物の研削加工方法を、第２には、さらに、非導通性被加工物を機外に取り出さずとも研削量を確認して再研削可能にすることで研削加工効率が高い非導通性被加工物の研削加工方法を、第３には、さらに、加工精度が高い非導通性被加工物の研削加工方法およびその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は前記した課題を達成するため、非導通性被加工物の研削加工方法では、以下の構成にしたことを特徴とする。
１．テーブル上の非導通性被加工物を砥石で研削する非導通性被加工物の研削加工方法において、非導通性被加工物上に導通性模擬体を載乗し、この導通性模擬体に少なくとも導電性を有した砥石を下降して接近させ、導通性模擬体と砥石との接触による導通を検出すると共に、この導通による導通検出位置を導通性模擬体厚み分が加えられた被加工物研削開始位置として検出し、砥石を上昇させて待機位置に戻して導通性模擬体から離し、非導通性被加工物上から導通性模擬体を取り出した後、砥石を前記待機位置から前記被加工物研削開始位置に下降させて非導通性被加工物を研削開始するようにしたことを特徴とする。
２．前記した１において、予め設定された研削指令量（上下の距離）に基づいて砥石を下降させて非導通性被加工物を被加工物研削開始位置から研削した後に、砥石を上昇させて待機位置に戻して非導通性被加工物から離し、非導通性被加工物上に導通性模擬体を載乗し、この導通性模擬体に砥石を待機位置から下降して接近させ、導通性模擬体と砥石との接触による導通を検出すると共に、この導通による導通検出位置を導通性模擬体厚み分が加えられた被加工物研削終了位置として検出し、この被加工物研削終了位置が設定研削量外であるときに、テーブル上の非導通性被加工物に対して、前記した砥石による再研削と、導通性模擬体による被加工物研削終了位置の再検出を繰り返し、研削するようにしたことを特徴とする。
３．前記した１または２において、被加工物研削開始位置を検出するまで砥石，導通性模擬体，非導通性被加工物にエアを吹き付けることを特徴とする。
そして、非導通性被加工物の研削加工装置では、以下の構成にしたことを特徴とする。
４．テーブル上の非導通性被加工物を導電性が有る昇降および回転可能な砥石で研削可能な研削手段と、非導通性被加工物上に載乗および当該被加工物上から取り出し可能な導通性模擬体と、この非導通性被加工物上の導通性模擬体に対する砥石の相対的な位置（上下の距離）を検出する位置検出手段と、導通性模擬体と砥石との接触による導通を検出する導通検出手段と、この導通検出手段の検出結果と前記位置検出手段の検出結果に基づいて非導通性被加工物に対する砥石の被加工物研削開始位置を導通性模擬体厚み分を加算することで求める研削開始位置演算手段と、を備えてなることを特徴とする。
５．前記した４において、導通検出手段の検出結果と位置検出手段の検出結果に基づいて非導通性被加工物の被加工物研削終了位置を導通性模擬体厚み分を加算することで求める研削終了位置演算手段を備えてなることを特徴とする。
６．前記した４または５において、砥石に給電可能な導通性ブラシを備え、この導通性ブラシをバネで砥石に弾性的に接触するようにしてあることを特徴とする。
７．前記した４〜６のいずれか１において、砥石が絶縁体を経てモータの出力軸に取り付けられていると共に、この砥石を絶縁体に取り付けている締結具を該絶縁体上面に非露出状態に形成してあることを特徴とする。
８．前記した４〜７のいずれか１において、少なくとも砥石，導通性模擬体，非導通性被加工物にエアを吹き付けるエア吹き付け手段を備えてなることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
Ａ．請求項１および４により、被加工物が非導通性材であっても、導通性模擬体を用いることで、非導通性被加工物に対する砥石の被加工物研削開始位置を、誤差を少なくして検出することができると共に、非導通性被加工物に研削精度良好な研削加工を行うことができる。
Ｂ．請求項２および５により、さらに、非導通性被加工物を機外に取り出さずとも研削量を確認して再研削することができるので研削加工効率が高い。
Ｃ．請求項３および８により、さらに、被加工物研削開始位置および被加工物研削終了位置の検出時に、エアで非導通性被加工物，導通性模擬体，砥石の表面が清掃されて、水分や研削カス等が除去されるので、砥石が導通性模擬体に接触したことがより一層正確に検出され、被加工物研削開始位置そして被加工物研削終了位置の測定精度が高くて加工精度が高い。
Ｄ．請求項６により、さらに、砥石への給電を、この砥石に対して弾性的に接触する導通性ブラシを通じて行うことができる。
Ｅ．請求項７により、さらに、砥石を絶縁体に取り付ける締結具が該絶縁体上面に非露出状態になっているため、絶縁体表面が砥石の冷却水などで濡れた場合でも、締結具を通じた絶縁体表面側と砥石側との導通は起きず絶縁状態を保つことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
図１および図２には本発明の非導通性被加工物研削加工装置における実施の１形態を例示しており、研削加工装置１は立設されたフレーム２を備えており、このフレーム２の上部前側（図１において左側）には複数のガイドレール３が敷設されている。このガイドレール３には複数のスライダ４を介して平板形状のＺ軸キャレッジ５がＺ軸方向（図１において上下方向）へ移動可能に設けられている。このキャレッジ５における後部には前後方向（図１において水平方向）へ延伸したナット部材６が設けられており、このナット部材６にはＺ軸方向へ延伸したボールねじ７が螺合されている。このボールねじ７の上部は前記フレーム２の上部に設けられた送りモータ８に連結されていると共に、前記ボールねじ７の下部はフレーム２に設けられた軸受９に回転可能に支承されている。前記送りモータ８には位置検出手段の一例としてのエンコーダ１０が備えられている。
【０００７】
上記構成により、送りモータ８を駆動せしめると、ボールねじ７が回転されるから、ナット部材６が上下動される。このナット部材６の上下動によりスライダ４を介してＺ軸キャレッジ５がガイドレール３に沿って上下動されることになる。
【０００８】
前記Ｚ軸キャレッジ５の前部には回転用モータ１１が設けられており、この回転用モータ１１には絶縁体１３を介して例えばカップ状の砥石１５が回転可能に連結されている。この砥石１５は例えば砥粒とカーボンとが混合されバインダにより結合されて導電性を有している。また、砥石１５は絶縁体１３にボルトなどの締結具１６で取り付けられており、締結具１６は絶縁体１３上面に露出しておらず、砥石１５側と回転用モータ１１側が絶縁体１３を経て非導通状態に保たれるようにしてある。
【０００９】
上記構成により、回転用モータ１１を駆動せしめると、砥石１５が同方向へ回転されることになる。
前記フレーム２の下部前側（図１において左側）には上方を開口した箱形状の支持フレーム１７が取付けられており、この支持フレーム１７の下部フレーム１７ａに軸受１８を介してワークテーブル１９が回転可能に支承されている。このワークテーブル１９の上部にはチャック２０でもって加工すべき非導通性被加工物としてのワークＷがクランプされるものである。このワークＷの代りドレッサーがクランプされることもある。
【００１０】
前記ワークテーブル１９の下部にはプーリ２５が装着されている。前記下部フレーム１７ａの左側にはモータベース２６が取付けられていると共に、このモータベース２６には回転用モータ２７が設けられている。前記回転用モータ２７の出力軸２９には駆動プーリ３０が装着されている。この駆動プーリ３０と前記プーリ２５とにはベルト３１が巻回されている。
【００１１】
上記構成により、回転用モータ２７を駆動せしめると、出力軸２９を介して駆動プーリ３０が回転されるから、ベルト３１，プーリ２５を介してワークテーブル１９が回転される。このワークテーブル１９にはチャック２０でもってワークＷがクランプされて取り付けられているから、ワークテーブル１９の回転によって同方向へワークＷが回転されることになる。
【００１２】
前記ワークテーブル１９に取り付けられるワークＷ上に載乗可能な導通性模擬体２１と砥石１５間には、フレーム２に設けられた支え部２２におけるバネ２３で押されて砥石１５に弾性的に接触しているカーボンブラシ２４を通じて、電源３２を有した電気回路３４が形成されている。この電気回路３４には導通検出手段の一例としての電流計などのセンサ３５が設けられている。しかも、このセンサ３５，送りモータ８，回転用モータ１１，２７およびエンコーダ１０が制御装置３６に接続されている。この制御装置３６には例えば研削開始位置演算手段３７を備えており、センサ３５で砥石１５がワークＷ上の導通性模擬体２１に当接して導通したことを検出すると、導通検出位置であると判断し、さらに、研削開始位置演算手段３７でワーク研削開始位置が演算される。すなわち、研削開始位置演算手段３７では、導通検出位置に導通性模擬体２１の厚さ分を加算することでワーク研削開始位置が演算される。
また制御装置３６には研削終了位置演算手段３８を備えており、砥石１５によるワークＷの研削後に、センサ３５で砥石１５がワークＷ上に載乗された導通性模擬体２１に当接して導通したことを検出すると、導通検出位置であると判断し、さらに、研削終了位置演算手段３８でワーク研削終了位置が演算される。すなわち、研削終了位置演算手段３８では、導通検出位置に導通性模擬体２１の厚さ分を加算することでワーク研削終了位置が演算される。
そして、かかるワーク研削開始位置とワーク研削終了位置との間の上下の距離が実際に研削された実研削量として制御装置３６における実研削量演算手段３９で演算される。
【００１３】
前記Ｚ軸キャレッジ５には、先端にエア吹き付け手段の一例としてのエアノズル４０を備えたホース４１の一部が取付けられていると共にホース４１の他端には図示省略のエア源が接続されている。したがって、Ｚ軸キャレッジ５が下降して砥石１５がワークＷ上の導通性模擬体２１に当接して接触による導通検出位置を検出するときに、圧力源から圧縮エアがホース４１を経てエアノズル４０から絶縁体１３および砥石１５へ向けて噴射されて、絶縁体１３表面および砥石１５に付着している水分や研削カスなどが絶縁体１３および砥石１５の表面から吹き飛ばされて除去される（清掃される）ものである。
また、砥石１５に向けて吐水ノズル４２が配設されており、図示していないポンプが運転することで吐水ノズルから冷却水が噴射され、砥石１５の冷却および研削屑の排除を可能にしてある。
【００１４】
前記した図１の研削加工装置により、非導通性被加工物であるワークに砥石で研削加工する請求項１発明に係る実施の１形態を、図３に示したフローチャートを基にして説明すると、まずステップＳ１では、ワークテーブル１９上におけるチャック２０でクランプしたワークＷ上に厚さがたとえば１０ｍｍの導通性模擬体２１を載乗する。このとき、ワークテーブル１９および砥石１５は回転していない。
ステップＳ２では、回転用モータ１１を駆動せしめて絶縁体１３および砥石１５を回転せしめると共に、エアノズル４０から圧縮エアを絶縁体１３，砥石１５へ向けて噴射して、絶縁体１３表面および砥石１５などに付着している水分や研削カスなどを吹き飛ばして除去する。このときの砥石１５の回転数は研削加工時の回転数であってもよいし、そうでなくともよい。また、圧縮エアの供給は水分や研削カスなどが除去される程度の時間経過後に停止し、同時に砥石１５も停止する。
【００１５】
ステップＳ３では、送りモータ８を駆動せしめてＺ軸キャレッジ５を下降せしめる。このときの下降速度は研削加工時の下降速度より等しいか速いものとする。また、ワークテーブル１９および砥石１５は回転していない。
次いで、ステップＳ４では、Ｚ軸キャレッジ５が下降し続けて、砥石１５がワークＷ上の導通性模擬体２１に接触し導通すると、センサ３５がＯＮし制御装置３６へ検出信号が取り込まれ、またＺ軸キャレッジ５は下降を停止する。
ステップＳ５では、センサ３５からの導通検出位置としての検出信号が制御装置３６の研削開始位置演算手段３７へ取り込まれて演算され、ワーク研削開始位置とされる（図５参照）。このときのワーク研削開始位置はエンコーダ１０によって検出されて制御装置３６に取り込まれる。
【００１６】
ステップＳ６では、Ｚ軸キャレッジ５をワークＷ上の導通性模擬体２１の取り出しに支障がない程度に上昇たとえば２ｍｍ上げて待機位置に戻した後、次に、ステップＳ７では、ワークＷ上から導通性模擬体２１を取り出す。
ステップＳ８では、回転用モータ１１，２７を運転開始することにより、砥石１５およびワークテーブル１９を回転させ、砥石１５ならびにワークＷが回転すると共に砥石１５が研削加工時の下降速度あるいはそうでなくてもよい速度で下降する。また、ポンプが運転して吐水ノズル４２から冷却水が砥石１５に向けて噴射され、砥石１５の冷却および研削屑の排除にそなえる。
そしてステップＳ９では、砥石１５が研削加工時の下降速度あるいはそうでなくてもよい速度で待機位置から導通性模擬体２１の厚さ分の下降距離を下降すなわちステップ６における上昇分の２ｍｍと導通性模擬体２１厚さ分の１０ｍｍの計１２ｍｍを下降してワーク研削開始位置に到達し、ステップ１０で、引き続き研削速度で下降する砥石１５によるワークＷの研削加工が、設定された研削指令量たとえば５ｍｍ行われ、ステップ１１で、研削加工が終了すると、ステップ１２で、Ｚ軸キャレッジ５は上昇して待機位置へ戻り、ワークＷ上から砥石１５が離れ、チャック２０を緩めて、研削済みのワークＷをワークテーブル１９上から取り出す。
【００１７】
而して、非導通性のワークを、誤差の少ないワーク研削開始位置を検出することで、高精度な研削加工を行うことができる。
また、少なくともステップＳ１からステップＳ５までの間エアノズル４０から圧縮エアを絶縁体１３および砥石１５へ向け噴射し続けておけば、絶縁体１３および砥石１５の表面に付着している水分や研削カスが圧縮エアにより吹き飛ばされて除去され、絶縁体１３および砥石１５の表面はきれいに清掃される。その結果、ワーク研削開始位置を検出する際の誤動作をする邪魔物がなくなり、誤動作も少なくなり、正確にワーク研削開始位置を検出することができる。而して、研削加工時の研削精度を良好にした研削加工を行うことができる。また、構造が非常に簡単で低価格で提供できる。
【００１８】
次に、前記した図１の研削加工装置により、非導通性被加工物であるワークに砥石で研削加工する請求項２発明に係る実施の１形態を、図４に示したフローチャートを基にして説明すると、ステップ１からステップ１０までは図３のフローチャートにおけるステップ１〜１０と同じであるため符号を準用して説明を省略し、ステップ１１以降について説明する。
ステップ１１で、Ｚ軸キャレッジ５が導通性模擬体２１厚み分の１０ｍｍを加えた計１２ｍｍ上昇し、砥石１５は待機位置へ戻る。
ステップＳ１２では、回転用モータ１１を駆動せしめて砥石１５を回転せしめると共に、エアノズル４０から圧縮エアを絶縁体１３，砥石１５，ワークＷへ向けて噴射して、絶縁体１３，砥石１５，ワークＷ表面に付着している水分や研削カスなどを吹き飛ばして除去する。このときの砥石１５の回転数は研削加工時の回転数であってもよいし、そうでなくともよい。また、圧縮エアの供給は水分や研削カスなどが除去される程度の時間経過後に停止し、同時に砥石１５も停止する。
【００１９】
ステップＳ１３では、研削されてワークテーブル１９上にチャック２０でクランプされたままのワークＷ上に導通性模擬体２１を載乗し、ステップ１４で、送りモータ８を駆動せしめてＺ軸キャレッジ５を下降させて、導通性模擬体２１に砥石１５を相対的に接近させる。このとき、ワークテーブル１９および砥石１５は回転していない。下降速度は研削加工時の下降速度より等しいか速いものとする。
次いで、ステップＳ１５では、Ｚ軸キャレッジ５が下降し続けて、砥石１５がワークＷ上の導通性模擬体２１に接触し導通すると、センサ３５がＯＮし制御装置３６へ検出信号が取り込まれる。このときのＺ軸キャレッジ５の下降分はステップ１１における上昇分の２ｍｍとワークＷが実際に研削された実研削量（上下の距離）分との合計になり、またＺ軸キャレッジ５は下降を停止する。
【００２０】
ステップＳ１６では、センサ３５からの導通検出位置としての検出信号が制御装置３６の研削終了位置演算手段３８へ取り込まれて演算され、ワーク研削終了位置とされる。このときのワーク研削終了位置はエンコーダ１０によって検出されて制御装置３６に取り込まれる。
そして、ステップＳ１６で、ワークＷにおける検出されたワーク研削終了位置が研削指令量と一致していることが実研削量演算手段３９を通じて確認された場合（図６参照）、次のステップ１７で、研削加工を終了する。ステップＳ１８では、Ｚ軸キャレッジ５を上昇せしめて砥石１５を待機位置に戻した後、ワークＷ上から導通性模擬体２１を取り出し、チャック２０を緩めて、研削指令量の範囲内に研削済みのワークＷをワークテーブル１９上から取り出す。
【００２１】
一方、前記したステップＳ１６で、検出されたワーク研削終了位置が研削指令量の範囲外である場合、たとえば実研削量（距離）が足りずに研削指令量の５ｍｍに対して不足量（距離）が仮に１ｍｍあるときには（図７および図８参照）、前記したステップＳ６〜Ｓ１６に準じてステップ６Ａ〜１６Ａを繰り返し、ワークＷを研削指令量の範囲内に研削して仕上げる。
具体的には、ステップＳ６Ａに戻り、ステップＳ６Ａで、Ｚ軸キャレッジ５を２ｍｍ上げて待機位置に戻した後、次に、ステップＳ７Ａで、ワークＷ上から導通性模擬体２１を取り出す。
ステップＳ８Ａでは、回転用モータ１１，２７を運転開始することにより、砥石１５およびワークテーブル１９を回転させ、砥石１５ならびにワークＷが回転すると共に砥石１５が研削加工時の下降速度で待機位置から下降する。また、ポンプが運転して吐水ノズル４２から冷却水が砥石１５に向けて噴射され、砥石１５の冷却および研削屑の排除にそなえる。
【００２２】
そしてステップＳ９Ａでは、砥石１５が待機位置から下降すなわちステップ６における上昇分の２ｍｍと導通性模擬体２１厚み分の１０ｍｍを加えた計１２ｍｍを下降してワークに到達して研削を開始し、ステップ１０Ａで、引き続き砥石１５が研削指令量よりも不足している不足量の１ｍｍを下降してワークＷの再研削加工が行われる。
ステップ１１Ａで、Ｚ軸キャレッジ５が導通性模擬体２１厚み分を加えて１２ｍｍ上昇し、砥石１５は待機位置へ戻る。
ステップＳ１２Ａでは、回転用モータ１１を駆動せしめて砥石１５を回転せしめると共に、エアノズル４０から圧縮エアを絶縁体１３，砥石１５，ワークＷへ向けて噴射して、絶縁体１３，砥石１５，ワークＷ表面に付着している水分や研削カスなどを吹き飛ばして除去した後に停止し、同時に砥石１５も停止する。
【００２３】
ステップＳ１３Ａでは、再研削されてワークテーブル１９上にチャック２０でクランプされたままのワークＷ上に導通性模擬体２１を載乗し、ステップ１４Ａで、送りモータ８を駆動せしめてＺ軸キャレッジ５を下降させて、導通性模擬体２１に砥石１５を相対的に接近させる。このとき、ワークテーブル１９および砥石１５は回転していない。
次いで、ステップＳ１５Ａでは、Ｚ軸キャレッジ５が下降して、砥石１５がワークＷ上の導通性模擬体２１に接触し導通すると、センサ３５がＯＮし制御装置３６へ検出信号が取り込まれる。このときのＺ軸キャレッジ５の下降分はステップ１１における上昇分の２ｍｍと不足量（距離）分１ｍｍとの合計３ｍｍになる。
【００２４】
ステップＳ１６Ａでは、センサ３５からの導通検出位置としての検出信号が制御装置３６の研削終了位置演算手段３８へ取り込まれて演算され、ワーク研削終了位置とされる。このときのワーク研削終了位置はエンコーダ１０によって検出されて制御装置３６に取り込まれる。
ステップＳ１６Ａで、ワークＷにおける検出されたワーク研削終了位置が研削指令量と一致していることが実研削量演算手段３９を通じて確認された場合（図６参照）、次のステップ１７に移行して研削加工を終了する。ステップＳ１８では、Ｚ軸キャレッジ５を上昇せしめて砥石１５を待機位置に戻した後、ワークＷ上から導通性模擬体２１を取り出し、チャック２０を緩めて、研削指令量の範囲内に研削済みのワークＷをワークテーブル１９上から取り出す。
また前記したステップＳ１６Ａで、検出されたワーク研削終了位置が研削指令量の範囲外である場合には、前記したステップ６Ａ〜１６Ａを不足量に応じて繰り返し、ワークＷを再研削および再測定して研削指令量に仕上げる。
【００２５】
而して、非導通性のワークＷを、誤差の少ないワーク研削開始位置を検出することで、高精度な研削加工を行うことができると共に、ワークの研削量を当該ワークがワークテーブルに取り付けられた状態のままで測定し、研削指令量と一致している場合、研削加工を終了し、研削指令量と不一致である場合は、再度研削および測定を繰り返すことにより、研削指令量内に研削加工して高精度に仕上げることができる。
【００２６】
なお、この発明は、前述した発明の実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他の態様で実施し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の非導通性被加工物の研削加工装置における実施の１形態を例示している側面図。
【図２】砥石周りを示す部分拡大縦断面図。
【図３】本発明の非導通性被加工物の研削加工方法における実施の１形態として、ワークに研削加工を行う動作のフローチャートである。
【図４】本発明の非導通性被加工物の研削加工方法における実施の１形態として、ワークに研削加工を行う他の動作のフローチャートである。
【図５】非導通性被加工物の研削開始位置を検出する状態の概略図。
【図６】非導通性被加工物の研削終了位置を検出する状態の概略図。
【図７】非導通性被加工物の研削量が不足する場合における研削開始位置と研削終了位置と不足量を示す概略図
【図８】非導通性被加工物の研削量が不足している場合における研削終了位置を検出する状態の概略図
【符号の説明】
【００２８】
１  研削加工装置
２  フレーム
３  ガイドレール
４  スライダ
５  Ｚ軸キャレッジ
６  ナット部材
７  ボールねじ
８  送りモータ
９，１８  軸受
１０  エンコーダ（位置検出手段）
１１，２７  回転用モータ
１３  絶縁体
１５  砥石（研削手段）
１６  締結具
１７  支持フレーム
１７ａ  下部フレーム
１９  ワークテーブル（テーブル）
２０  チャック
２１  導通性模擬体
２２  支え部
２３  バネ
２４  カーボンブラシ（導通性ブラシ）
２５  プーリ
２６  モータベース
２９  出力軸
３０  駆動プーリ
３１  ベルト
３２  電源
３４  電気回路
３５  センサ（導通検出手段）
３６  制御装置
３７  研削開始位置演算手段
３８  研削終了位置演算手段
３９  実研削量演算手段
４０  エアノズル（エア吹き付け手段）
４１  ホース
４２  吐水ノズル
Ｗ  ワーク（非導通性被加工物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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