(57)【要約】【課題】太陽電池基板のようなＡｌを含む被熱処理物を搬送する場合において、前記Ａｌと支持具の構成材料中に含有されるＮｉとの共晶反応による合金化が抑制され、当該合金化に起因する支持具の溶断等の損傷が効果的に防止できるような、長寿命な支持具を提供する。【解決手段】連続式熱処理炉内で被熱処理物４００を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の被熱処理物４００を支持するために使用される支持具１００，２００であって、Ｎｉ含有量が８０質量％以下の耐熱金属鋼からなるとともに、支持具１００，２００の少なくとも被熱処理物４００と接触する部位の表面にアルミナ層が形成された搬送機構用支持具。【選択図】図１
2007225172.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続式熱処理炉内で被熱処理物を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の前記被熱処理物を支持するために使用される支持具であって、
Ｎｉ含有量が８０質量％以下の耐熱金属鋼からなるとともに、前記支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にアルミナ層が形成された搬送機構用支持具。
【請求項２】
連続式熱処理炉内で被熱処理物を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の前記被熱処理物を支持するために使用される支持具であって、
Ｎｉ含有量が８０質量％以下の耐熱金属鋼からなるとともに、前記支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にＮｉ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｓｉ及びＣの内の何れか２種以上から形成された合金からなる溶射皮膜が形成された搬送機構用支持具。
【請求項３】
連続式熱処理炉内で被熱処理物を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の前記被熱処理物を支持するために使用される支持具であって、
Ｎｉ含有量が８０質量％以下の耐熱金属鋼からなるとともに、前記支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にセラミック板が装着された搬送機構用支持具。
【請求項４】
前記被熱処理物が太陽電池基板である請求項１ないし３の何れか一項に記載の搬送機構用支持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続式熱処理炉内で被熱処理物を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の被熱処理物を支持するために使用される支持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池基板の製造においては、基板の表面及び裏面に導電性の電極ペーストを所定のパターンで印刷等により塗布した後、連続式の熱処理炉内を移動させながら熱処理（乾燥・焼成）する工程がある。従来、この太陽電池基板のような板状の被熱処理物を熱処理炉内において搬送するための搬送機構としては、メッシュベルトやチェーンを使用したコンベアや、炉長方向に張り渡されたワイヤー等の線材又はビームにウォーキングビームのような所定の動作を行わせることにより被熱処理物の搬送を行うものなどが知られている。
【０００３】
太陽電池基板を、このような搬送機構で搬送する場合、搬送機構のメッシュベルトや線材等に支持具を装着し、当該支持具が太陽電池基板の縁部とのみ接触するような状態で搬送中の太陽電池基板を支持するようにしている（例えば、特許文献１及び２を参照）。太陽電池基板を直接メッシュベルトや線材等の上に載置しないのは、基板の裏に塗布された電極ペーストがメッシュベルトや線材等に貼り付いて基板が損傷したり、電極ペーストに含まれる成分がメッシュベルトや線材等に移行して合金化し、寿命低下を引き起こしたりするのを防止するためである。
【０００４】
また、支持具が太陽電池基板の縁部とのみ接触するようにするのは、太陽電池基板の縁部には電極ペーストが塗布されていないため、支持具が接触していても、通常は、前記のような貼り付きや合金化の問題が生じないと考えられていたからである。
【特許文献１】特開２００２−２０３８８８号公報
【特許文献２】特開２００５−１６９０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、実際に搬送を行うと、搬送時の基板の振動や位置ズレ等により支持具が基板裏面の電極ペースト塗布部分と接触して摩耗粉が付着したり、電極ペーストが溶融して支持具上に滴下したりすることがあり、このようなことが原因となって支持具の合金化が起こり、支持具の寿命が低下することがわかった。
【０００６】
通常、この種の支持具は、耐熱性を考慮してインコネル（米国インコ社のＮｉ系耐熱鋼の商品名）やＳＵＳ３１０のようなＮｉを比較的多く含有する材料を使用して作製されるが、支持具に含まれるＮｉと太陽電池基板の電極ペーストに含まれるＡｌとは、共晶反応により合金化しやすく、この合金化により生じたＡｌ−Ｎｉ合金は融点が６４０℃程度と低いため、支持具の一部に合金化が生じると、その合金化した部位が溶断しやすくなるのである。
【０００７】
本発明は、このような従来の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、太陽電池基板のようなＡｌを含む被熱処理物を搬送する場合において、前記Ａｌと支持具の構成材料中に含有されるＮｉとの共晶反応による合金化が抑制され、当該合金化に起因する支持具の溶断等の損傷が効果的に防止できるような、長寿命な支持具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、連続式熱処理炉内で被熱処理物を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の前記被熱処理物を支持するために使用される支持具であって、Ｎｉ含有量が８０質量％以下の耐熱金属鋼からなるとともに、前記支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にアルミナ層が形成された搬送機構用支持具（第一の支持具）、が提供される。
【０００９】
また、本発明によれば、連続式熱処理炉内で被熱処理物を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の前記被熱処理物を支持するために使用される支持具であって、Ｎｉ含有量が８０質量％以下の耐熱金属鋼からなるとともに、前記支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にＮｉ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｓｉ及びＣの内の何れか２種以上から形成された合金からなる溶射皮膜が形成された搬送機構用支持具（第二の支持具）、が提供される。
【００１０】
更に、本発明によれば、連続式熱処理炉内で被熱処理物を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の前記被熱処理物を支持するために使用される支持具であって、Ｎｉ含有量が８０質量％以下の耐熱金属鋼からなるとともに、前記支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にセラミック板が装着された搬送機構用支持具（第三の支持具）、が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の搬送機構用支持具によれば、太陽電池基板のようなＡｌを含む被熱処理物を搬送する場合において、前記Ａｌと支持具の構成材料中に含有されるＮｉとの共晶反応による合金化が抑制されるため、当該合金化に起因する支持具の溶断等の損傷が効果的に防止でき、支持具が長寿命化するという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、連続式熱処理炉内において被熱処理物の搬送を行うために使用される搬送機構と、それに装着される支持具との実施形態の一例を示す概要図である。本例の搬送機構は、連続式熱処理炉の炉長方向に張り渡された線材に所定の動作を行わせることにより、被熱処理物の搬送を行うものであり、第一の線材１０４と第二の線材２０４という２種の線材を有する。第一の線材１０４と第二の線材２０４とは、被熱処理物４００の搬送路の中央線Ｌの左右両側にそれぞれ２本ずつ平行に配設されており、これら２種の線材１０４、２０４の各々に、被熱処理物４００の縁部とのみ接触して被熱処理物４００を支持する支持具１００、２００が、搬送方向に間隔を置いて複数個装着されている。なお、本例の搬送機構を上方から見た場合、第一の線材１０４は、中央線Ｌの左右両側において、それぞれ２本の第二の線材２０４の間に位置するように設けられている。
【００１３】
第一の線材１０４の両端部は、図面上では省略されているが、バネを介して線材固定用ホルダーに固定され、一定の張力が付与された状態で炉長方向（搬送方向）に張り渡されている。第一の線材１０４の端部が固定された線材固定用ホルダーは、図示しない駆動機構に固定的に支持される。この駆動機構は、一定の移動ストロークで上昇、前進、下降、後退という動作を周期的に繰り返す、いわゆる一般的なウォーキングビームの動作をするものであり、この駆動機構の動作によって、第一の線材１０４も、同様に上述のウォーキングビーム的動作を周期的に繰り返すことになる。
【００１４】
第二の線材２０４の両端部も、図面上では省略されているが、バネを介して線材固定用ホルダー（前記第一の線材１０４の端部が固定されている物とは別の物）に固定され、一定の張力が付与された状態で炉長方向に張り渡されている。第二の線材２０４の端部が固定された線材固定用ホルダーは、図示しない駆動機構に固定的に支持される。この駆動機構は、一定の移動ストロークで前進、後退という動作を周期的に繰り返すものであり、この駆動機構の動作によって、第二の線材２０４も、同様の動作を周期的に繰り返すことになる。
【００１５】
図２（ａ）〜（ｅ）は、本例に示す搬送機構の搬送動作の一例を示す説明図である。図中の三角印は、各動作の時点で被熱処理物を支持している支持具の位置を示している。また、白矢印は第一の線材１０４の移動方向を、黒矢印は第二の線材２０４の移動方向をそれぞれ示している。
【００１６】
まず、最初は、図２（ａ）に示すように、第一の線材１０４が下降した状態にあり、被熱処理物４００は第二の線材２０４に装着された支持具２００により支持されている。次いで、図２（ｂ）に示すように、第二の線材２０４が所定のストローク分前進し、一方、第一の線材１０４は下降したまま所定のストローク分後退する。続いて、図２（ｃ）に示すように、第一の線材１０４が所定のストローク分上昇し、その上昇過程において被熱処理物４００は第一の線材１０４に装着された支持具１００上に移載される。次に、図２（ｄ）に示すように、第一の線材１０４が上昇したまま所定のストローク分前進し、一方、第二の移動線材２０４は所定のストローク分後退する。最後に、図２（ｅ）に示すように、第一の線材１０４が下降し、その下降過程において被熱処理物４００は第二の線材２０４に装着された支持具２００上に移載され、各線材は当初の位置に戻る。これらの動作を繰り返すことで、被熱処理物４００を搬送することができ、熱処理炉（図示せず）内を通過させながら、所定の熱処理を行うことが可能となる。
【００１７】
次に、第一の線材１０４と第二の線材２０４とにそれぞれ装着される支持具の構造について説明する。図３（ａ）及び図３（ｂ）は、それぞれ第一の線材１０４に装着される支持具１００の構造の一例を示す斜視図及び側面図である。支持具１００は、線材１０４に装着された状態で、搬送路の中央線Ｌ側に向かって低くなるよう傾斜する傾斜部位１０１を有する。図２（ａ）〜（ｅ）に示したように、１枚の被熱処理物４００は通常３つ以上の支持具１００にて第一の線材１０４上に支持されるが、この際、被熱処理物４００の縁部が各支持具１００の傾斜部位１０１に接触して水平に保たれている状態が、位置ズレのない正規の支持状態となる。
【００１８】
本例の支持具１００には、搬送路の中央線Ｌの左右両側にそれぞれ配設される２本の第一の線材１０４の間隔に合わせて、逆Ｕ字型断面を有する４つのクランプ１０３が設けられており、このクランプ１０３を第一の線材１０４に対してかしめることにより、支持具１００を第一の線材１０４に固定することができる。なお、支持具１００の固定方法としては、かしめの他、第一の線材１０４に直接、ロウ付け、溶接などで固定しても良い。また、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示す斜視図及び側面図のように、支持具１００の底部にネジ止めにより装着される固定板１０２を設け、前記ネジを締めることにより、クランプ１０３と固定板１０２との間で線材１０４を狭圧して、支持具１００を線材１０４に固定する構造とするのも好ましい。このような固定構造とすると、支持具の着脱が自在に行えるので、一部の支持具にのみ損傷が生じた場合に、線材全体を交換する必要がなく、当該支持具のみを新しいものと取り替えて、使用を継続することができる。
【００１９】
図５（ａ）及び図５（ｂ）は、それぞれ第二の線材２０４に装着される支持具２００の構造の一例を示す斜視図及び側面図である。前記支持具１００と同様に、支持具２００も、線材２０４に装着された状態で、搬送路の中央線Ｌ側に向かって低くなるよう傾斜する傾斜部位２０１を有する。図２（ａ）〜（ｅ）に示したように、１枚の被熱処理物４００は通常３つ以上の支持具２００にて第二の線材２０４上に支持されるが、この際、被熱処理物４００の縁部が各支持具２００の傾斜部位２０１に接触して水平に保たれている状態が、位置ズレのない正規の支持状態となる。
【００２０】
本例の支持具２００には、搬送路の中央線Ｌの左右両側にそれぞれ配設される２本の第二の線材２０４の間隔に合わせて、逆Ｕ字型断面を有する４つのクランプ２０３が設けられており、このクランプ２０３を第二の線材２０４に対してかしめることにより、支持具２００を第二の線材２０４に固定することができる。なお、支持具２００の固定方法としては、かしめの他、第二の線材２０４に直接、ロウ付け、溶接などで固定しても良い。また、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す斜視図及び側面図のように、支持具２００の底部にネジ止めにより装着される固定板２０２を設け、前記ネジを締めることにより、クランプ２０３と固定板２０２との間で線材２０４を狭圧して、支持具２００を線材２０４に固定する構造とするのも好ましい。このような固定構造とすると、支持具の着脱が自在に行えるので、一部の支持具にのみ損傷が生じた場合に、線材全体を交換する必要がなく、当該支持具のみを新しいものと取り替えて、使用を継続することができる。
【００２１】
本発明の第一の支持具は、これら支持具１００や支持具２００のように、連続式熱処理炉内で被熱処理物を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の被熱処理物を支持するために使用されるものであって、Ｎｉ含有量が８０質量％以下の耐熱金属鋼からなるとともに、前記支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にアルミナ層が形成されていることをその特徴とするものである。
【００２２】
Ｎｉ含有量が８０質量％以下であるような耐熱金属鋼としては、例えば、従来この種の支持具に使用されてきたインコネル（Ｎｉ含有量約８０質量％）やＳＵＳ３１０（Ｎｉ含有量約２０質量％）の他、Ｎｉをほとんど含有しないＳＵＳ４３０（Ｎｉ含有量０．６質量％以下）等を挙げることができる。支持具本体を構成する耐熱金属鋼のＮｉ含有量が８０質量％以下であれば、以下のアルミナ層の形成と相俟って、被熱処理物中のＡｌと支持具中のＮｉとの共晶反応による合金化が効果的に抑制できる。なお、支持具を構成する耐熱金属鋼のＮｉ含有量が８０質量％を超える場合は、十分な合金化の抑制が困難となる。
【００２３】
本発明の第一の支持具は、前記のようなＮｉ含有量が所定量以下の耐熱金属鋼からなるとともに、当該支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にアルミナ層が形成されている。
【００２４】
前述のとおり、支持具の合金化は、太陽電池基板のようなＡｌを含む被熱処理物を搬送する場合において、前記Ａｌと支持具の構成材料中に含有されるＮｉとの共晶反応により引き起こされるものであるので、支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にアルミナ層を形成し、このアルミナ層によって被熱処理物中のＡｌと支持具の構成材料中のＮｉとの接触を防止すれば、支持具の合金化を抑制し、当該合金化に起因する支持具の溶断等の損傷を防止して、支持具を長寿命化することが可能となる。なお、当然、アルミナ層の形成は、支持具の表面全体に渡って行っても良い。
【００２５】
アルミナ層の形成方法は限定されるものではないが、滲透工業株式会社によって開発されたアルプレックス（登録商標）処理を用いてアルミナ層を形成することが特に好ましい。「アルプレックス処理」とは、Ａｌを処理対象となる金属の表面から拡散浸透させることにより、表面に高Ａｌ濃度の合金層を作り出す金属表面改質処理であるカロライジング（アルミニウム拡散浸透法）を、より高性能化させたものであり、カロライジング層のマトリックス中にアルミナ層のようなセラミック層を形成し、耐食性や耐摩耗性を更に向上させた金属表面改質処理である。この処理法により支持具の表面に形成されたアルミナ層は、極めて高い耐食性と耐摩耗性を発揮し、支持具に含有されるＮｉと被熱処理物に含まれるＡｌとの反応を長期に渡って効果的に抑制することができる。アルミナ層の厚さは、被熱処理物中のＡｌと支持具の構成材料中のＮｉとの接触を確実に防止するため、５０〜４００μｍ程度とすることが好ましい。
【００２６】
本発明の第二の支持具は、前記の支持具１００や支持具２００のように、連続式熱処理炉内で被熱処理物を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の被熱処理物を支持するために使用されるものであって、Ｎｉ含有量が８０質量％以下の耐熱金属鋼からなるとともに、前記支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にＮｉ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｓｉ及びＣの内の何れか２種以上から形成された合金からなる溶射皮膜が形成されていることをその特徴とするものである。
【００２７】
Ｎｉ含有量が８０質量％以下であるような耐熱金属鋼としては、前記第一の支持具と同様のものを例示できる。支持具本体を構成する耐熱金属鋼のＮｉ含有量が８０質量％以下であれば、以下の溶射皮膜の形成と相俟って、被熱処理物中のＡｌと支持具中のＮｉとの共晶反応による合金化が効果的に抑制できる。なお、支持具を構成する耐熱金属鋼のＮｉ含有量が８０質量％を超える場合は、十分な合金化の抑制が困難となる。
【００２８】
本発明の第二の支持具は、前記のようなＮｉ含有量が所定量以下の耐熱金属鋼からなるとともに、当該支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にＮｉ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｓｉ及びＣの内の何れか２種以上から形成された合金からなる溶射皮膜が形成されている。
【００２９】
前述のとおり、支持具の合金化は、太陽電池基板のようなＡｌを含む被熱処理物を搬送する場合において、前記Ａｌと支持具の構成材料中に含有されるＮｉとの共晶反応により引き起こされるものであるので、支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にＮｉ、Ｃｏ、Ａｌ、Ｓｉ及びＣの内の何れか２種以上から形成された合金からなる溶射皮膜を形成し、この溶射皮膜によって被熱処理物中のＡｌと支持具の構成材料中のＮｉとの接触を防止すれば、支持具の合金化を抑制し、当該合金化に起因する支持具の溶断等の損傷を防止して、支持具を長寿命化することが可能となる。なお、当然、溶射皮膜の形成は、支持具の表面全体に渡って行っても良い。
【００３０】
溶射皮膜の形成方法には特に制限はなく、溶射材料であるＮｉ、Ｃｏ、Ａｌ等の粉体を従来公知の溶射方法によって支持具表面に溶射すれば良い。溶射皮膜の厚さは、被熱処理物中のＡｌと支持具の構成材料中のＮｉとの接触を確実に防止するため、０．１〜０．５μｍ程度とすることが好ましい。
【００３１】
本発明の第三の支持具は、前記の支持具１００や支持具２００のように、連続式熱処理炉内で被熱処理物を搬送するための搬送機構に装着され、搬送中の被熱処理物を支持するために使用されるものであって、Ｎｉ含有量が８０質量％以下の耐熱金属鋼からなるとともに、前記支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にセラミック板が装着されていることをその特徴とするものである。
【００３２】
Ｎｉ含有量が８０質量％以下であるような耐熱金属鋼としては、前記第一の支持具と同様のものを例示できる。支持具本体を構成する耐熱金属鋼のＮｉ含有量が８０質量％以下であれば、以下のセラミック板の装着と相俟って、被熱処理物中のＡｌと支持具中のＮｉとの共晶反応による合金化が効果的に抑制できる。なお、支持具を構成する耐熱金属鋼のＮｉ含有量が８０質量％を超える場合は、十分な合金化の抑制が困難となる。
【００３３】
本発明の第三の支持具は、前記のようなＮｉ含有量が所定量以下の耐熱金属鋼からなるとともに、当該支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にセラミック板が装着されている。
【００３４】
前述のとおり、支持具の合金化は、太陽電池基板のようなＡｌを含む被熱処理物を搬送する場合において、前記Ａｌと支持具の構成材料中に含有されるＮｉとの共晶反応により引き起こされるものであるので、支持具の少なくとも被熱処理物と接触する部位の表面にセラミック板を装着し、このセラミック板によって被熱処理物中のＡｌと支持具の構成材料中のＮｉとの接触を防止すれば、支持具の合金化を抑制し、当該合金化に起因する支持具の溶断等の損傷を防止して、支持具を長寿命化することが可能となる。
【００３５】
図７（ａ）及び図７（ｂ）は、それぞれ前記の支持具１００にセラミック板１０５を装着して第三の支持具を構成した例を示す斜視図及び側面図である。また、図８（ａ）及び図８（ｂ）は、それぞれ前記の支持具２００にセラミック板２０５を装着して第三の支持具を構成した例を示す斜視図及び側面図である。セラミック板の装着方法は特に制限されないが、例えばこれらの図に示すように、セラミック板１０５、２０５の裏面に柱状の突起を複数本設けておき、支持具１００、２００のそれぞれの傾斜部位１０１、２０１に前記突起が挿入される孔部を穿設しておけば、セラミック板を所定位置に容易に装着することができる。セラミック板の厚さは、被熱処理物中のＡｌと支持具の構成材料中のＮｉとの接触を確実に防止するため、０．１〜２ｍｍ程度とすることが好ましい。また、セラミック板の具体的な材質としては、アルミナ、ＳｉＣ、ムライト等が好適なものとして挙げられる。
【００３６】
なお、本発明に係る第一〜第三の支持具の形態は、図３〜８等に示したようなものに限られるものではなく、搬送機構に装着されて同様の役割を果たすものであれば如何なる形態の支持具にも適用できる。また、支持具の装着対象となる搬送機構も、図１に示したような線材を使用したものに限定されるものではなく、例えばメッシュベルトコンベアやウォーキングビームのような、連続式熱処理炉の搬送機構として使用可能な様々な搬送機構に装着される支持具に適用することができる。また、本発明に係る第一〜第三の支持具の支持対象となる被熱処理物も特に限定されるものではないが、太陽電池基板が被熱処理物である場合に特に有用である。
【実施例】
【００３７】
以下、本発明を実施例に基づいて更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３８】
（比較例１）
図１に示すような線材を用いた搬送機構に装着して使用する支持具を、構成材料としてインコネルを使用して作製し、これを実際に搬送機構に装着して、連続式熱処理炉内での太陽電池基板の搬送に供した。炉内の最高温度は７００℃以上、処理量（炉内を通過する太陽電池基板の枚数）は１日当たり約４万枚で、４週間以上に渡って連続して搬送を続け、支持具にＡｌとＮｉとの共晶反応による合金化が生じるかどうかを調べた。その結果を表１に示す。
【００３９】
（比較例２）
図１に示すような線材を用いた搬送機構に装着して使用する支持具を、構成材料としてＳＵＳ３１０を使用して作製し、これを実際に搬送機構に装着して、前記比較例１と同様に合金化が生じるかどうかを調べた。その結果を表１に示す。
【００４０】
（比較例３）
図１に示すような線材を用いた搬送機構に装着して使用する支持具を、構成材料としてＳＵＳ４３０を使用して作製し、これを実際に搬送機構に装着して、前記比較例１と同様に合金化が生じるかどうかを調べた。その結果を表１に示す。
【００４１】
（実施例１）
図１に示すような線材を用いた搬送機構に装着して使用する支持具を、支持具本体の構成材料としてインコネルを使用して作製し、その表面全体にアルプレックス処理によりアルミナ層を形成した。こうして得られた支持具を実際に搬送機構に装着して、前記比較例１と同様に合金化が生じるかどうかを調べた。その結果を表１に示す。
【００４２】
（実施例２）
図１に示すような線材を用いた搬送機構に装着して使用する支持具を、支持具本体の構成材料としてインコネルを使用して作製し、その表面全体にＮｉとＡｌの粉体を溶射して、ＮｉとＡｌとの合金からなる溶射皮膜を形成した。こうして得られた支持具を実際に搬送機構に装着して、前記比較例１と同様に合金化が生じるかどうかを調べた。その結果を表１に示す。
【００４３】
（実施例３）
図１に示すような線材を用いた搬送機構に装着して使用する支持具を、支持具本体の構成材料としてインコネルを使用して作製し、図７（ａ）及び図７（ｂ）並びに図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、太陽電池基板と接触する部位の表面にアルミナからなるセラミック板を装着した。こうして得られた支持具を実際に搬送機構に装着して、前記比較例１と同様に合金化が生じるかどうかを調べた。その結果を表１に示す。
【００４４】
【表１】
2007225172.tif 000003
【００４５】
表１に示すとおり、合金化を抑制するための特別な対策を施さず、単にインコネルやＳＵＳ３１０やＳＵＳ４３０で構成した比較例１〜３の支持具は４週間程度以内で合金化が生じたのに対し、溶射皮膜を形成した実施例２、アルミナ板を装着した実施例３の各支持具については、４週間経過後も合金化が生じておらず、更にアルミナ層を形成した実施例１の支持具に関しては、３ヶ月以上経過しても合金化が生じていなかった。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、連続式熱処理炉内で太陽電池基板のようなＡｌを含む被熱処理物を搬送するための搬送機構用の支持具として好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】連続式熱処理炉内において被熱処理物の搬送を行うために使用される搬送機構と、それに装着される支持具との実施形態の一例を示す概要図である。
【図２（ａ）】搬送機構の搬送動作の一例を示す説明図である。
【図２（ｂ）】搬送機構の搬送動作の一例を示す説明図である。
【図２（ｃ）】搬送機構の搬送動作の一例を示す説明図である。
【図２（ｄ）】搬送機構の搬送動作の一例を示す説明図である。
【図２（ｅ）】搬送機構の搬送動作の一例を示す説明図である。
【図３（ａ）】第一の線材に装着される支持具の実施形態の一例を示す斜視図である。
【図３（ｂ）】第一の線材に装着される支持具の実施形態の一例を示す側面図である。
【図４（ａ）】第一の線材に装着される支持具の実施形態の他の一例を示す斜視図である。
【図４（ｂ）】第一の線材に装着される支持具の実施形態の他の一例を示す側面図である。
【図５（ａ）】第二の線材に装着される支持具の実施形態の一例を示す斜視図である。
【図５（ｂ）】第二の線材に装着される支持具の実施形態の一例を示す側面図である。
【図６（ａ）】第二の線材に装着される支持具の実施形態の他の一例を示す斜視図である。
【図６（ｂ）】第二の線材に装着される支持具の実施形態の他の一例を示す側面図である。
【図７（ａ）】第三の支持具の実施形態の一例を示す斜視図である。
【図７（ｂ）】第三の支持具の実施形態の一例を示す側面図である。
【図８（ａ）】第三の支持具の実施形態の一例を示す斜視図である。
【図８（ｂ）】第三の支持具の実施形態の一例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１００：支持具、１０１：傾斜部位、１０２：固定板、１０３：クランプ、１０４：第一の線材、１０５：セラミック板、２００：支持具、２０１：傾斜部位、２０２：固定板、２０３：クランプ、２０４：第二の線材、２０５：セラミック板、４００：被熱処理物。
【図１】
2007225172.tif 000004
【図２（ａ）】
2007225172.tif 000005
【図２（ｂ）】
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【図２（ｃ）】
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【図２（ｄ）】
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【図２（ｅ）】
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【図３（ａ）】
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【図３（ｂ）】
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【図４（ａ）】
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【図４（ｂ）】
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【図５（ａ）】
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【図５（ｂ）】
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【図６（ａ）】
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【図６（ｂ）】
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【図７（ａ）】
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【図７（ｂ）】
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【図８（ａ）】
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【図８（ｂ）】
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