(57)【要約】      （修正有）【課題】露点管理、及び、冷却速度の制御が可能であって、高信頼性を有する被焼成物を安価で製造することができる焼成装置を提供する。【解決手段】第１の置換室１と、第２の置換室２と、焼成室３とを有する。第１の置換室１は、外部から置換ガスの導入が可能であり、室外に向かって開口する外部搬送口１１を有する。外部搬送口１１は、開閉可能な仕切り部材１１０を有する。第２の置換室２は、外部から置換ガスの導入が可能であり、室外に向かって開口する外部搬送口２１を有する。外部搬送口２１は、開閉可能な仕切り部材２１０を有する。焼成室３は、連絡搬送口を有する。第１の置換室１に連なっている連絡搬送口は昇降装置３１１を有し、開閉可能であり、第２の置換室２に連なっている連絡搬送口は昇降装置３２１を有し、開閉可能である。【選択図】図１
2007187396.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
置換室と、焼成室とを有する焼成装置であって、
前記置換室は、外部から雰囲気ガスの導入が可能であり、室外に向かって開口する外部搬送口を有しており、
前記外部搬送口は、開閉可能な仕切り部材を有しており、
前記焼成室は、連絡搬送口を有しており、
前記連絡搬送口は、開閉可能な仕切り部材を有し、前記置換室に連なっている、
焼成装置。
【請求項２】
請求項１に記載された焼成装置であって、前記焼成室は、さらに搬入側と、搬出側とにそれぞれ前記連絡搬送口を有しており、
前記搬入側の連絡搬送口は、開閉可能な仕切り部材を有し、前記置換室に連なっており、
前記搬出側の連絡搬送口は、開閉可能な仕切り部材を有し、前記置換室に連なっている、
焼成装置。
【請求項３】
請求項２に記載された焼成装置であって、前記置換室は、さらに第１の置換室と、第２の置換室とを有しており、
前記第１の置換室は、前記焼成室の前記搬入側の連絡搬送口に連なっており、
前記第２の置換室は、前記焼成室の搬出側の連絡搬送口に連なっている、
焼成装置。
【請求項４】
請求項１乃至３に記載された焼成装置であって、
前記焼成室は、同一室内に、焼成空間と、冷却空間とを有する、焼成装置。
【請求項５】
請求項４に記載された焼成装置であって、
前記焼成空間と、前記冷却空間とは、ガスカーテンで仕切られている、焼成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、焼成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック電子部品などを雰囲気焼成する場合、バッチ式焼成炉が広く用いられている。例えば、特許文献１に開示されているように、この種のバッチ式焼成炉では、炉床と、炉壁とが分離可能に組み合わされており、両者の組み合わせ状態において炉室が密閉されている。この炉室内に焼成前の焼成対象物（以下、未焼成物と称する）を搬入する場合、油圧シリンダや、チェーンブロック等の昇降機により炉床を下降させ、炉室を一時的に開放する。そして、炉床上に未焼成物を載置した後、再び、昇降機により炉床を上昇させ、炉床と、炉壁とを組み合わせるとともに、密閉された炉室内で未焼成物を雰囲気焼成する。
【０００３】
さらに炉室から焼成後の焼成対象物（以下、被焼成物と称する）を搬出する場合、昇降機により炉床を下降させ、炉室を一時的に開放し、被焼成物を搬出する。
【０００４】
上述したバッチ式焼成炉の問題点の１つは、炉室内の露点管理を行うことができない点にある。即ち、従来のバッチ式焼成炉では、未焼成物の搬入時、及び、被焼成物の搬出時に炉室が開放されることにより、炉壁が外気にさらされ、外気中の水分（湿気）が炉壁に吸湿される。この水分は、焼成工程において密閉された炉室内に放出されるから、例えば、水分の影響を受けやすい焼成対象物を雰囲気焼成する場合、炉壁から路室内に放出された水分により、被焼成物に特性のばらつきや劣化が生じる。
【０００５】
加えて、従来のバッチ式焼成炉では、被焼成物は、焼成後に炉室内で自然冷却されるか、又は、炉室からの搬出後に外気中で自然冷却されるため、冷却速度の制御ができず、冷却期間の長期化による生産性の低下、又は、急冷による特性劣化を招くなどの問題がある。
【特許文献１】特開平６−１５９９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、露点管理の可能な焼成装置を提供することである。
【０００７】
本発明のもう一つの課題は、冷却速度の制御の可能な焼成装置を提供することである。
【０００８】
本発明の更にもう一つの課題は、高信頼性を有する被焼成物を、効率的に製造することができる焼成装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するため、本発明に係る焼成装置は、置換室と、焼成室とを有する。置換室は、外部から雰囲気ガスの導入が可能であり、室外に向かって開口する外部搬送口を有し、この外部搬送口は、開閉可能な仕切り部材を有する。焼成室は、連絡搬送口を有し、この連絡搬送口は、開閉可能な仕切り部材を有し、置換室に連なっている。
【００１０】
上述したように、本発明に係る焼成装置において、置換室は、室外に向かって開口する外部搬送口を有する。この外部搬送口は、開閉可能な仕切り部材を有するから、仕切り部材を開放操作することにより未焼成物を置換室内に搬入し、また、仕切り部材を閉鎖操作することにより置換室内を外気と遮断し、密閉することができる。さらに、置換室は、外部から雰囲気ガスの導入が可能であるから、置換室を密閉した状態で、未焼成物の搬入時に置換室内に流れ込んだ外気を、雰囲気ガスによって置換することができる。
【００１１】
焼成室は、連絡搬送口を通じて置換室に連なっている。この連絡搬送口は、開閉可能な仕切り部材を有するから、仕切り部材を閉鎖操作することにより焼成室内を外気と遮断して密閉し、また、仕切り部材を開放操作することにより置換室に搬入された未焼成物を、さらに焼成室内に搬送して焼成することができる。
【００１２】
具体的に焼成室に未焼成物を搬入するまでの工程について、まず、焼成室の連絡搬送口を閉鎖し、焼成室内と、外気とが遮断された状態で、置換室の外部搬送口が開放される。未焼成物は、この外部搬送口を通じて置換室内に搬入される。置換室では、未焼成物の搬入後に外部搬送口が閉鎖され、未焼成物の搬入時に、外部搬送口を通じて室内に流れ込んだ外気が、雰囲気ガスによって置換される。この置換処理後に、連絡搬送口が開放されることにより、未焼成物が焼成室内に搬入され、雰囲気焼成される。この構成によると、焼成室への未焼成物の搬入時において、置換室は、外気と遮断されており、且、室内に雰囲気ガスが充満されている。従って、焼成室の連絡搬送口が開放されたとしても、焼成室内に、外気が流入する不都合は回避される。
【００１３】
さらに言えば、焼成室には、連絡搬送口が開放されることにより、未焼成物の搬入時に、焼成室内に、置換室内の雰囲気ガスが流入するから、置換室での置換処理に用いられる雰囲気ガスを適宜選択することにより、焼成室の露点管理を適正に行い、高信頼性を有する被焼成物を製造することができる。
【００１４】
一方、焼成室から被焼成物を搬出する工程について、まず、置換室の外部搬送口を閉鎖し、置換室と、外気とが遮断された状態で、焼成室の連絡搬送口が開放される。被焼成物は、この連絡搬送口を通じて焼成室から置換室へ搬出される。連絡搬送口は、全ての被焼成物が焼成室から搬出されて後、再び閉鎖される。次に、置換室では、連絡搬送口の閉鎖後に、外部搬送口が開放され、被焼成物が外部搬送口を通して置換室から搬出される。さらに、置換室では、全ての被焼成物の搬出後に、外部搬送口が再び閉鎖されるとともに、被焼成物の搬出時に、外部搬送口を通して室内に流れ込んだ外気が、雰囲気ガスによって置換される。この構成によると、焼成室からの被焼成物の搬出時において、置換室は、外気と遮断されており、且、室内に雰囲気ガスが充満されている。従って、焼成室の連絡搬送口が開放されたとしても、焼成室内に、外気が流入する不都合は回避される。
【００１５】
さらに言えば、焼成室には、連絡搬送口が開放されることにより、被焼成物の搬出時に、焼成室内に、置換室内の雰囲気ガスが流入するから、置換室の置換処理に用いられる雰囲気ガスを適宜選択することにより、焼成室の露点管理を行い、高信頼性を有する被焼成物を製造することができる。
【００１６】
加えて、本発明に係る焼成装置によると、被焼成物の搬出工程について、予め置換室に充満される雰囲気ガスの湿度や温度を適宜選択することにより、置換室における被焼成物の冷却速度を制御し、製造効率を向上することができる。
【００１７】
本発明に係る焼成装置において、焼成室は、好ましくは、搬入側と、搬出側とにそれぞれ連絡搬送口を有する。搬入側の連絡搬送口は、開閉可能な仕切り部材を有し、置換室に連なっており、搬出側の連絡搬送口は、開閉可能な仕切り部材を有し、置換室に連なっている。この構成によると、焼成対象物を、一方の置換室から焼成室を通じて他方の置換室へ一方向に連続して搬送し、焼成することができる。従って、効率的な製造が可能となり、生産性が向上する。
【００１８】
本発明の他の目的、構成及び利点については、添付図面を参照し、更に詳しく説明する。添付図面は、単に、例示に過ぎない。
【発明の効果】
【００１９】
以上述べたように、本発明によれば、次のような効果を得ることができる。
（１）高信頼性を有する被焼成物を安価で製造しえる焼成装置を提供することができる。
（２）露点管理が可能な焼成装置を提供することができる。
（３）冷却速度の制御が可能な焼成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は本発明の一実施形態に係る焼成装置の斜視図、図２は図１に示した焼成装置の内部構造を模式的に示す正面断面図、図３は図１に示した焼成装置の内部構造を模式的に示す平面断面図である。
【００２１】
図１乃至図３に示された焼成装置は、セラミック電子部品などを雰囲気焼成するために用いられるものであって、第１の置換室１と、第２の置換室２と、焼成室３と、熱交換装置４とを有する。
【００２２】
第１の置換室１は、外部から室内空間１００への置換用雰囲気ガス（以下、置換ガスと称する）の導入が可能であり、この室内空間１００を室外に向かって開放する外部搬送口１１を有する。外部搬送口１１は、開閉可能な仕切り部材１１０を有する。仕切り部材１１０は、例えば可動式気密シャッターである。
【００２３】
さらに、第１の置換室１は、昇降装置１１１と、ガス供給管１２と、排気管１３と、第１の搬送路１５と、搬入アーム１６とを有する。昇降装置１１１は、例えば油圧シリンダ、又は、チェーンブロック等であって、外部搬送口１１の上部側に備えられており、仕切り部材１１０を昇降させることにより、外部搬送口１１を開閉する。
【００２４】
ガス供給管１２は、ガス供給装置（図示しない）に接続されており、室内空間１００に置換ガスを供給する。ガス供給管１２を通じて室内空間１００に供給される置換ガスは、窒素ガス、又は、窒素を主成分とするガスが好ましい。
【００２５】
排気管１３は、好ましくはブロワ装置（図示しない）に接続されており、室内空間１００の換気、及び、置換ガス濃度の制御に用いられる。さらに好ましくは、排気管１３は、ガス供給管１２と通気的に接続される。即ち、第１の置換室１は、排気管１３により排気した室内空間１００内の置換ガスを、再びガス供給管１２から室内空間１００に供給させる置換ガス循環システムを有することにより、製造コストを低減することができる。
【００２６】
第１の搬送路１５は、搬送路面内に送りローラ１５０を有し、外部搬送口１１に連なっている。送りローラ１５０は、好ましくは、駆動装置（図示しない）により回転数や回転ピッチが制御されており、仕切り部材１１０の昇降動作に同期して、室内空間１００への未焼成物５ａの搬入を行うことができる。
【００２７】
搬入アーム１６は、所謂プッシャーであって、第１の搬送路１５から送られてきた未焼成物５ａを焼成室３に搬入する。
【００２８】
第２の置換室２は、第１の置換室１と同様の基本的構成を有する。即ち、第２の置換室２は、外部から室内空間２００への置換ガスの導入が可能であり、この室内空間２００を室外に向かって開放する外部搬送口２１を有する。外部搬送口２１は、開閉可能な仕切り部材２１０を有する。さらに、第２の置換室２は、昇降装置２１１と、ガス供給管２２と、排気管２３と、第２の搬送路２５とを有する。
【００２９】
昇降装置２１１は、外部搬送口２１の上部側に備えられており、仕切り部材２１０を昇降させることにより、外部搬送口２１の開閉を制御する。
【００３０】
ガス供給管２２は、好ましくはガス供給装置（図示しない）に接続されており、室内空間２００に置換ガスを供給する。
【００３１】
排気管２３は、好ましくはブロワ装置（図示しない）に接続されており、室内空間１００の換気、及び、置換ガス濃度の制御に用いられる。さらに好ましくは、排気管２３は、熱交換装置４を介してガス供給管２２に接続される。即ち、第２の置換室２は、冷却室としての機能を併せ持ち、排気管２３により排気した室内空間２００の置換ガスを、熱交換装置４によって冷却し、さらには乾燥させ、再びガス供給管２２に供給する置換ガス循環システムを有する。この構成によると、室内空間２００の温度制御、湿度制御、及び、雰囲気ガス濃度制御を効率的、且、経済的に行うことができる。
【００３２】
第２の搬送路２５は、搬送路面内に送りローラ２５０を有し、外部搬送口２１に連なっている。送りローラ２５０は、好ましくは、駆動装置（図示しない）により回転数や回転ピッチが制御されており、仕切り部材２１０の昇降動作に同期して、室内空間２００からの被焼成物５ｂの搬出を行う。
【００３３】
焼成室３は、室内空間３００と、連絡搬送口３１、３２と、ガス供給管３４を有する。図１乃至図３を参照すると、焼成室３は、室内空間３００の搬入側に連絡搬送口３１を有し、搬出側に連絡搬送口３２を有するとともに、室内空間３００の底面に、連絡搬送口３１、３２の間を連絡する送りローラ３３を有している。
【００３４】
連絡搬送口３１は、開閉可能な仕切り部材３１０を有し、第１の置換室１に連なっている。より詳細に説明すると、連絡搬送口３１は、仕切り部材３１０の上部側に昇降装置３１１を有し、この昇降装置３１１が、搬入アーム１６と協働して仕切り部材３１０を昇降させることにより、連絡搬送口３１が開閉される。昇降装置３１１と、搬入アーム１６との具体的な協働機構としては、例えば、搬入アーム１６が、カムリンク及びカムフロアを有することにより、仕切り部材３１０の開閉と、焼成室３への未焼成物５ａの搬入とを同期して行うことができる。
【００３５】
また、連絡搬送口３２は、開閉可能な仕切り部材３２０を有し、第２の置換室２に連なっている。連絡搬送口３２は、仕切り部材３２０の上部側に昇降装置３２１を有し、この昇降装置３２１により仕切り部材３２０を昇降して、連絡搬送口３２の開閉を行う。
【００３６】
ガス供給管３４は、図示しないガス供給装置に接続されており、室内空間３００に焼成用雰囲気ガス（以下、単に焼成ガスと称する）を供給する。ガス供給管３４を通じて室内空間３００に供給される焼成ガスは、典型的には窒素と水素との混合ガスが好ましい。
【００３７】
送りローラ３３には、好ましくは駆動装置（図示しない）により回転制御が加えられており、仕切り部材３１０の開閉動作に同期して、室内空間１００から室内空間３００への未焼成物５ａの搬入を行うとともに、仕切り部材３２０の開閉動作に同期して、室内空間３００から室内空間２００への被焼成物５ｂの搬出を行う。
【００３８】
なお、第２の置換室２は、搬入アーム１６に対応する搬出アーム（図示しない）を備えることにより、昇降装置３２１と、搬出アームとが協働して仕切り部材３２０を昇降し、連絡搬送口の開閉を行うこともできる。即ち、第２の置換室２と、第１の置換室１との構成要件の相違は、矢印Ｆ１〜Ｆ２で示す焼成対象物５の搬送方向に応じて設定される設計的事項である。さらに第２の置換室２は、第１の置換室１と同様の構成を備えることにより、焼成対象物の搬送方向Ｆ１〜Ｆ２を逆方向に反転することができる。
【００３９】
図１乃至図３に示した焼成装置の利点について、以下、図４乃至図１１を参照して説明する。図４乃至図１０は、図１乃至図３に示した焼成装置を用いた焼成工程を模式的に示す図である。図４乃至図１０において、図１乃至図３に図示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。また、図１１は図４乃至図１０に示した焼成工程の温度プロファイルを示すグラフである。
【００４０】
図１乃至図３に示した焼成装置を用いた焼成工程について、まず、図４を参照すると、連絡搬送口３１が仕切り部材３１０によって閉鎖され、焼成室３と、外気とが遮断された状態で、昇降装置１１１により仕切り部材１１０を上昇させ、外部搬送口１１を開放させる。送りローラ１５０上の未焼成物５ａは、外部搬送口１１を通じて、第１の置換室１の室内空間１００に搬入される。送りローラ１５０は、好ましくは仕切り部材１１０の上昇動作に同期して回転駆動することにより、未焼成物５ａを連続して第１の置換室１に搬送させる。
【００４１】
次に、図５を参照すると、図４に示す工程により室内空間１００に所定の数の未焼成物５ａが搬入された後、仕切り部材１１０を下降させて、外部搬送口１１を閉鎖し、室内空間１００と外気とを遮断する。このようにして室内空間１００と、外気とが遮断された状態で、未焼成物５ａの搬入時に、外部搬送口１１を通じて室内空間１００に流れ込んだ外気が、排気管１３から排出されるとともに、ガス供給管１２から室内空間１００に供給される置換ガスによって置換される。例えば、置換ガスとして窒素ガスを用いた場合、純窒素の露点は通常−５０℃以下であるから、室内空間１００の露点が−４０℃程度に制御される。
【００４２】
次に、図６を参照すると、図５に示す工程により室内空間１００を置換ガスで充満させた状態で、昇降装置３１１と、搬入アーム１６との協働により、仕切り部材３１０を上昇させ、連絡搬送口３１を開放させるとともに、搬入アーム１６により未焼成物５ａを焼成室３に搬入させる。なお、図４乃至図６に示した一連の搬入工程は、所定の数の未焼成物５ａを、焼成室３に搬入し終わるまで、繰り返し行われる。
【００４３】
次に、図７を参照すると、図６に示す工程により所定の数の未焼成物５ａを焼成室３に搬入して後、連絡搬送口３１が有する仕切り部材３１０を再び閉鎖して、室内空間３００と、外気とを遮断する。この密閉された室内空間３００において、さらにガス供給管３４から焼成ガスを室内空間３００に供給して後、未焼成物５ａを焼成する。ここで、図１１を参照すると、焼成室３の室内空間３００では、焼成開始後４時間程度までは１３００℃まで徐々に上昇した後、１３００℃の温度条件で９０分間ほどの高温雰囲気焼成を行う。
【００４４】
次に、図８を参照すると、図７に示す工程により得られた被焼成物５ｂを、焼成室３から第２の置換室２に搬出する。即ち、昇降装置３２１により仕切り部材３２０を上昇させ、連絡搬送口３２を開放させるとともに、仕切り部材３２０の上昇動作に同期して回転する送りローラ３３により、被焼成物５ｂを第２の置換室２に搬出させる。この第２の置換室２への被焼成物５ｂの搬送工程において、予め第２の置換室２では、外部搬送口２１を閉鎖させ、外気の流入を防止するとともに、室内空間２００を置換ガスで充満させておく。
【００４５】
次に、図９を参照すると、図８に示す工程により焼成室３から第２の置換室２に搬出された被焼成物５ｂは、室内空間２００において５時間程度、置換ガス中で冷却処理される（図１１参照）。
【００４６】
次に、図１０を参照すると、図９に示す工程により第２の置換室２で冷却された被焼成物５ｂを、第２の搬送路２５を通じて第２の置換室２から室外に搬出する。即ち、昇降装置２１１により仕切り部材２１０を上昇させて、部搬送口２１を開放させるとともに、この仕切り部材２１０の上昇動作に同期して回転する送りローラ２５０により、被焼成物５ｂを第２の置換室２から室外に搬出する。この第２の置換室２からの被焼成物５ｂの搬出工程において、連絡搬送口３２は閉鎖されており、焼成室３への外気の流入を防止する。図８乃至図１０に示した一連の搬出工程は、所定の数の未焼成物５ａを焼成室３から搬入し終わるまで、繰り返し行われる。
【００４７】
図１乃至図１０を参照して説明したように、焼成室３は、室内空間３００の搬入側に第１の置換室１を有するとともに、室内空間３００の搬出側に第２の置換室２を有するから、第１及び第２の置換室１、２で外気を遮断することにより、室内空間３００の露点管理を行うことができる。より具体的に、本発明の一実施形態に係る焼成装置において、第１の置換室１の外部搬送口１１は、開閉可能な仕切り部材１１０を有するから、仕切り部材１１０を昇降操作することにより外部搬送口１１を開放し、未焼成物５ａを室内空間１００に搬入することができるとともに、外部搬送口１１を閉鎖することにより室内空間１００を外気から遮断して密閉することができる。さらに、第１の置換室１は、外部から雰囲気ガスの導入が可能であるから、室内空間１００を密閉した状態で、未焼成物５ａの搬入時に室内空間１００に流れ込んだ外気を、置換ガスによって置換することができる。
【００４８】
焼成室３は、連絡搬送口３１を通じて第１の置換室１に連なっている。この連絡搬送口３１は、開閉可能な仕切り部材３１０を有するから、仕切り部材３１０を昇降操作することにより連絡搬送口３１を閉鎖し、焼成室３の室内空間３００を外気と遮断して密閉することができるとともに、連絡搬送口３１を開放することにより第１の置換室１に搬入された未焼成物５ａをさらに室内空間３００に搬入することができる。
【００４９】
しかも、第１の置換室１から焼成室３への未焼成物５ａの搬入時において、室内空間１００は置換ガスで充満されているから、連絡搬送口３１を開放したとしても、焼成室３に、外気が流入する不都合を回避することができる。
【００５０】
さらに言えば、焼成室３への未焼成物５ａの搬入時において、連絡搬送口３１が開放されることにより、室内空間３００に、室内空間１００の置換ガスが流入させることができる。例えば、置換ガスとして窒素ガスを用いた場合、純窒素の露点は通常−５０℃以下であるから、室内空間１００、及び、室内空間３００の露点が−４０℃程度に制御される。従って、焼成室３の露点管理を確実に行うことができ、水分（湿気）の影響を受けやすい未焼成物５ａを雰囲気焼成する場合にも、特性のばらつきや劣化が生じない高信頼性の被焼成物５ｂを製造することができる。
【００５１】
一方、被焼成物５ｂが、焼成室３から第２の置換室２へ搬出される時、室内空間２００は置換ガスで充満されているから、連絡搬送口３２を開放したとしても、焼成室３に、外気が流入する不都合を回避することができる。
【００５２】
さらに言えば、第２の置換室２への被焼成物５ｂの搬出時において、連絡搬送口３２が開放されることにより、室内空間３００に、室内空間２００の置換ガスが流入する。第２の置換室２の置換ガスは、第１の置換室１の置換ガスと同じものを用いることができるから、焼成室３の露点管理を確実に行うことができ、高信頼性の被焼成物５ｂを製造することができる。
【００５３】
図１乃至図１１に示した焼成装置は、第２の置換室２を有し、第２の置換室２は外部から置換ガスの導入が可能であるから、置換処理に用いられる雰囲気ガスの温度や湿度を適宜選択することにより、第２の置換室２において被焼成物５ｂの冷却速度を制御することができる。即ち、従来、バッチ炉など気密性を必要とする雰囲気焼成炉では、緩慢な冷却勾配を制御することができず、冷却までのリードタイムが長くなり（製造所要全体で３４時間程度）、生産量に大きく影響していた。また冷却勾配を制御することができなかったため、セラミック製の匣や、セッター等の道具材に、急冷によりサーマルクラックが発生し、寿命を短くしていた。これに対して、本発明の一実施形態に係る焼成装置によると、被焼成物５ｂを、雰囲気調整された第２の置換室２内で冷却させることができるから、冷却勾配の制御が可能であり（図１１参照）、冷却期間の短縮（製造所要全体で１０時間程度）による生産性の向上を実現し、且、特性劣化、及び、製品寿命の短縮を引き起こす急冷によるサーマルクラック等を回避することができる。
【００５４】
また、焼成室３は、搬入側と、搬出側とにそれぞれ連絡搬送口３１、３２を有する。搬入側の連絡搬送口３１は、開閉可能な仕切り部材３１０を有し、第１の置換室１に連なっており、搬出側の連絡搬送口３２は、開閉可能な仕切り部材３２０を有し、第２の置換室２に連なっている。この構成によると、焼成目的物５を第１の置換室１から焼成室３を通じて第２の置換室２へ一方向Ｆ１〜Ｆ２に連続して搬送し、焼成することができる。従って、被焼成物５ｂを効率的に製造することができる。
【００５５】
図１２は本発明のもう一つの実施形態に係る焼成装置の斜視図、図１３は図１２に示した焼成装置の内部構造を模式的に示す正面断面図、図１４は図１２に示した焼成装置の内部構造を模式的に示す平面断面図である。図１２乃至図１４において、図１乃至図１１に図示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【００５６】
図１２乃至図１４に図示された焼成装置は、図１乃至図１１を参照して説明した焼成装置と同様の基本的構成を有することに加え、さらに、焼成室３の構造に工夫を加えた点に特徴がある。即ち、図１２乃至図１４に示された焼成室３では、炉床３０ａと、炉壁３０ｂとが分離可能に組み合わされており、炉床３０ａの下面側に油圧シリンダや、チェーンブロック等の昇降機３０３が備えられ、この昇降機３０３により炉床３０ａを昇降させる。
【００５７】
焼成室３は、炉床３０ａの上昇状態、及び、下降状態のいずれにおいても、室内空間３００が密閉された状態にあり、且、この密閉された同一室内空間３００において、雰囲気ガスカーテン３０４で仕切られた焼成空間３０１と、冷却空間３０２とを有する。
【００５８】
図１２乃至図１４に示した焼成装置は、図１乃至図１１を参照して説明した焼成装置の利点を有するとともに、以下、図１５乃至図２５を参照して説明する利点を有する。図１５乃至図２５は、図１２乃至図１４に示した焼成装置を用いた焼成工程を模式的に示す図である。図１５乃至図２５において、図１乃至図１４に図示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【００５９】
図１５は第１の置換室１に未焼成物５ａを搬入する工程、図１６は第１の置換室１を置換ガスで置換する工程、及び、図１７及び図１８は未焼成物５ａを第１の置換室１から焼成室３に搬入する工程を示す。これらは、図４乃至図６を参照して説明した工程と同様である。
【００６０】
さらに、図１９及び図２０を参照すると、焼成室３は、同一室内空間３００において、上面側に焼成空間３０１を有し、下面側に冷却空間３０２を有する。両者の境界は、高圧で噴出する雰囲気ガスカーテン３０４により区画され、熱または空気の移動が規制されている。この焼成室３において、炉床３０ａを昇降機３０３により上昇させ、未焼成物５ａを焼成空間３０１内に搬送させるとともに、この焼成空間３０１において未焼成物５ａを焼成する。
【００６１】
次に、図２１を参照すると、図１９及び図２０に示す焼成工程の後、炉床３０ａを昇降機３０３により下降させ、未焼成物５ａを冷却空間３０２内に搬送させるとともに、この冷却空間３０２において被焼成物５ｂを冷却する。
【００６２】
図２２及び図２３は被焼成物５ｂを焼成室３から第２の置換室２に搬入する工程、図２４は第２の置換室２を置換する工程、及び、図２５は被焼成物５ｂを第２の置換室２から搬出する工程を示す。これらは、図８乃至図１０を参照して説明した工程と同様である。
【００６３】
図１２乃至図２５を参照して説明した焼成装置、及び、これを用いた焼成工程によると、図１乃至図１１を参照して説明した焼成装置の利点を全て有するとともに、全ての被焼成物５ｂを焼成室３内で画一的に、且、迅速に冷却することができるから、製造効率を向上することができる。
【００６４】
以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種種の変形態様を採り得ることは自明である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の一実施形態に係る焼成装置の斜視図である。
【図２】図１に示した焼成装置の内部構造を模式的に示す正面断面図である。
【図３】図１に示した焼成装置の内部構造を模式的に示す平面断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る焼成装置を用いた焼成工程を模式的に示す平面断面図である。
【図５】図４に示した工程の後の工程を示す図である。
【図６】図５に示した工程の後の工程を示す図である。
【図７】図６に示した工程の後の工程を示す図である。
【図８】図７に示した工程の後の工程を示す図である。
【図９】図８に示した工程の後の工程を示す図である。
【図１０】図９に示した工程の後の工程を示す図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る焼成装置を用いた焼成工程の温度プロファイルを示すグラフである。
【図１２】本発明のもう一つの実施形態に係る焼成装置の斜視図である。
【図１３】図１２に示した焼成装置の内部構造を模式的に示す正面断面図である。
【図１４】図１２に示した焼成装置の内部構造を模式的に示す平面断面図である。
【図１５】本発明のもう一つの実施形態に係る焼成装置を用いた焼成工程を模式的に示す平面断面図である。
【図１６】図１５に示した工程の後の工程を示す図である。
【図１７】図１６に示した工程の後の工程を示す図である。
【図１８】図１７に示した工程の正面断面図である。
【図１９】図１７及び図１８に示した工程の後の工程を示す図である。
【図２０】図１９に示した工程の正面断面図である。
【図２１】図１９及び図２０に示した工程の後の工程を示す図である。
【図２２】図２１に示した工程の正面断面図である。
【図２３】図２１及び図２２に示した工程の後の工程を示す図である。
【図２４】図２３に示した工程の正面断面図である。
【図２５】図２３及び図２４に示した工程の後の工程を示す図である。
【符号の説明】
【００６６】
１      第１の置換室
１１    外部搬送口
１１０  仕切り部材
２      第２の置換室
２１    外部搬送口
２１０  仕切り部材
３      焼成室
３００  室内空間
３０１  焼成空間
３０２  冷却空間
３０４  ガスカーテン
３１    搬入側の連絡搬送口
３１０  仕切り部材
３２    搬出側の連絡搬送口
３２０  仕切り部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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