(57)【要約】【課題】  本発明では、複数の素材からなる部品のいずれの素材に、環境負荷物質など特定物質が含有されているかについての判定をより簡易に行う方法、装置を提供することを課題とする。【解決手段】  本発明の特定物質の含有判定方法は、複数素材が層状に形成された判定対象物（１０６）において、特定物質を含有する素材を判定する方法であり、照射工程（ステップＳ２０１）と、検出工程（ステップＳ２０２）と、判定工程（ステップＳ２０４）とを備える。照射工程（ステップＳ２０１）は、判定対象物（１０６）に対して、照射条件を変化させてＸ線を照射する。検出工程（ステップＳ２０２）は、判定対象物（１０６）より放射する蛍光Ｘ線を検出する。判定工程（ステップＳ２０４）は、特定物質とほぼ同期的に検出される素材を、特定物質を含有する素材として判定する。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数素材が層状に形成された判定対象物において、特定物質を含有する素材を判定する方法であって、
前記判定対象物に対して、照射条件を変化させてＸ線を照射する照射工程と、
前記判定対象物より放射する蛍光Ｘ線を検出する検出工程と、
前記検出工程の検出により前記特定物質とほぼ同期的に検出される素材を、前記特定物質を含有する素材として判定する判定工程と、
を備える特定物質の含有判定方法。
【請求項２】
前記特定物質は、環境負荷物質である、
請求項１に記載の特定物質の含有判定方法。
【請求項３】
前記環境負荷物質は、Ｃｄ，Ｐｂ，Ｈｇ，Ｂｒ，Ｃｒの少なくともいずれかを含む、
請求項２に記載の特定物質の含有判定方法。
【請求項４】
前記判定対象物は、前記Ｘ線の照射時には、前記Ｘ線の照射方向と、前記複数素材の層の長手方向に沿った方向とが交わるように配置される、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の特定物質の含有判定方法。
【請求項５】
前記判定工程は、検出された前記蛍光Ｘ線における、前記複数素材のそれぞれの素材に対応するピークと前記特定物質に対応するピークとを比較し、前記特定物質に対応するピークに最も近い位置にピークを有する素材が前記特定物質を含有すると判定する、
請求項１〜４のいずれか一項に記載の特定物質の含有判定方法。
【請求項６】
複数素材が層状に形成された判定対象物において、特定物質を含有する素材を判定する装置であって、
前記判定対象物にＸ線を照射する照射部と、
前記判定対象物から放射する蛍光Ｘ線を検出する検出部と、
前記判定対象物に対して、照射条件を変化させてＸ線を照射するように前記照射部を動作させ、前記検出部の検出により前記特定物質とほぼ同期的に検出される素材を、前記特定物質を含有する素材として判定する判定部と、
を備える特定物質の含有判定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定物質の含有判定方法および含有判定装置、特に、複数素材が層状に形成された判定対象物において、特定物質を含有する素材を判定する特定物質の含有判定方法および含有判定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子・電気機器を構成する部品内に含有する環境負荷物質の危険性が指摘され、法律、条令によりこれら環境負荷物質の含有量を制限する国、または州が登場している。例えば、ＥＵ各国においては、ＲｏＨＳ指令（特定有害物質使用禁止令：Ｒｅｓｔｒｉｃｔｉｏｎ  ｏｆ  ｔｈｅ  ｕｓｅ  ｏｆ  ｃｅｒｔａｉｎ  Ｈａｎｚａｒｄｏｕｓ  Ｓｕｂｓｔａｎｃｅｓ  ｉｎ  ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ  ａｎｄ  ｅｌｅｃｔｒｉｃ  ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ）により、カドミウム（Ｃｄ）、鉛（Ｐｂ）、水銀（Ｈｇ）、特定臭素系難燃剤（２種類：ポリ臭化ビフェニル（ＰＢＢ），ポリ臭化ビフェニルエーテル（ＰＢＤＥ））、６価クロム（Ｃｒ（ＶＩ））を１０００ｐｐｍ（Ｃｄは１００ｐｐｍ）以上含有する部品の使用などが禁止されようとしている。そのため、電気・電子機器製造メーカでは、製品を構成する各部品に規制値以上の環境負荷物質が含有していないことを確認することが必要不可欠となっている。
【０００３】
各部品における環境負荷物質の含有を判定する際には、数１０ｐｐｍの感度を有し、かつ非破壊で測定することができる蛍光Ｘ線分析装置を用いるのが一般的である。この蛍光Ｘ線分析装置を用いて、各部品に含まれている元素の濃度を定量する手順がよく知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
蛍光Ｘ線分析装置を用いて各部品における環境負荷物質の含有を判定する際には、それが複数の素材からなる部品であれば、各部品を素材別に分解し、素材毎に蛍光Ｘ線分析を行う。さらに、この素材毎の蛍光Ｘ分析の結果、部品全体としての環境負荷物質が所定の規制値を超えて含まれているか否かの判定が行われる。
【特許文献１】特開平８−４３３２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
環境負荷物質の含有の判定とともにあるいは独立に、複数の素材からなる部品のいずれの素材に環境負荷物質が含有されているかについての判定を行うことも求められている。このような判定は、製品の製造時やる品質確認や、リサイクル時における品質確認において行われる。
【０００６】
このような判定を行う場合、従来技術では、部品を素材別に分解し、その後、各素材毎に蛍光Ｘ線分析を行う。このため、多数の部品の判定を行うことが求められているにもかかわらず、判定のために必要となる分解に時間と手間とを要し、判定の効率向上を妨げている。特に、部品が複雑な構成を有する部品である場合には、このような分解にはさらに時間と手間とを要する。また、環境負荷物質に限らず、複数の素材からなる部品のいずれの素材に特定物質が含有されているかについての判定を行う場合にも、従来技術は同様の課題を有している。
【０００７】
そこで、本発明は、複数の素材からなる部品のいずれの素材に、環境負荷物質など特定物質が含有されているかについての判定をより簡易に行う方法、装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
発明１に係る特定物質の含有判定方法は、複数素材が層状に形成された判定対象物において、特定物質を含有する素材を判定する方法であって、照射工程と、検出工程と、判定工程とを備えている。照射工程は、判定対象物に対して、照射条件を変化させてＸ線を照射する。検出工程は、判定対象物より放射する蛍光Ｘ線を検出する。判定工程は、検出工程の検出により特定物質とほぼ同期的に検出される素材を、特定物質を含有する素材として判定する。
【０００９】
ここで、判定対象物とは、例えば、特定物質の含有を判定する必要のある、電気・電子部品などである。また、複数素材とは、例えば、金属、プラスチック、それらに施されるめっきなどを含む複数の素材で構成される電子・電気部品などである。特定物質とは、例えば、環境負荷物質（より詳しくは、ＲｏＨＳ指令で指定されている物質）などである。
【００１０】
照射工程では、照射条件を変化させる際に、例えば、Ｘ線を発生するＸ線管に印加する電圧を変化させることにより、Ｘ線強度を変化させる。検出工程では、Ｘ線が照射されることにより判定対象物より放射する蛍光Ｘ線が検出される。判定工程は、検出された蛍光Ｘ線に基づいて、判定対象物の蛍光Ｘ線分析を行う。照射工程では、照射条件を変化させてＸ線の照射を行っており、照射条件に応じて、判定対象物における蛍光Ｘ線分析の分析位置が変化する。このため、特定物質と特定物質を含む素材とは、ほぼ同期的に検出される。判定工程は、特定物質とほぼ同期的に検出される素材を、特定物質を含有する素材として判定する。ここで、「ほぼ同期的に検出」とは、特定物質の検出とある素材の検出とが照射条件の変化に応じて似通った傾向を示すことを意味し、例えば、特定物質の検出のピークとある素材の検出のピークとが、同じまたはほぼ同じ照射条件の時にあらわれることなどを意味する。
【００１１】
本発明の特定物質の含有判定方法では、複数の素材からなる部品のいずれの素材に、環境負荷物質など特定物質が含有されているかについての判定をより簡易に行うことが可能となる。より具体的には、本発明では、判定に際して、複数の素材を素材毎に分割する必要が無い。このため、分割に要する時間および手間の削減を行うことが可能となる。このことは、特に多数の部品について判定を行う場合には、有効である。
【００１２】
発明２に係る特定物質の含有判定方法は、発明１に記載の方法であって、特定物質は、環境負荷物質である。
ここで、環境負荷物質とは例えば、ＲｏＨＳ指令で指定されている物質である、カドミウム、鉛、水銀、特定臭素系難燃剤（２種類：ポリ臭化ビフェニル（ＰＢＢ），ポリ臭化ビフェニルエーテル（ＰＢＤＥ））、６価クロムなどである。
【００１３】
本発明の特定物質の含有判定方法では、複数の素材からなる部品のいずれの素材に、環境負荷物質が含有されているかについての判定をより簡易に行うことが可能となる。
発明３に係る特定物質の含有判定方法は、発明２に記載の方法であって、環境負荷物質は、Ｃｄ，Ｐｂ，Ｈｇ，Ｂｒ，Ｃｒの少なくともいずれかを含む。
【００１４】
発明４に係る特定物質の含有判定方法は、発明１〜３のいずれか一項に記載の方法であって、判定対象物は、Ｘ線の照射時には、Ｘ線の照射方向と、複数素材の層の長手方向に沿った方向とが交わるように配置される。
ここで、複数素材の層の長手方向に沿った方向とは、例えば、積層方向に直交する方向である。
【００１５】
上記のように判定対象物が配置されるため、照射条件、例えば、Ｘ線を照射するための印加電圧を変更することにより、判定対象物における蛍光Ｘ線分析の分析または測定対象深さを変更し、複数素材のそれぞれにおける蛍光Ｘ線分析を行うことが可能となる。
本発明の特定物質の含有判定方法では、層状に形成された判定対象物のいずれの層に環境負荷物質が含有されているかについての判定を行うことが可能となる。
【００１６】
発明５に係る特定物質の含有判定方法は、発明１〜４のいずれかに一項に記載の方法であって、判定工程は、検出された蛍光Ｘ線における、複数素材のそれぞれの素材に対応するピークと特定物質に対応するピークとを比較し、特定物質に対応するピークに最も近い位置にピークを有する素材が特定物質を含有すると判定する。
【００１７】
ここで、検出された蛍光Ｘ線におけるピークとは、例えば、蛍光Ｘ線の強度のピークを意味する。
判定工程は、検出された蛍光Ｘ線における、特定物質のピーク位置と複数素材のそれぞれの素材のピーク位置とを比較し、特定物質のピーク位置に最も近いピーク位置の素材を、特定物質を含有する素材として判定する。
【００１８】
本発明の特定物質の含有判定方法では、特定物質を含む素材のピーク位置と特定物質のピーク位置とが同期的に検出されることを利用して、複数の素材からなる部品のいずれの素材に、環境負荷物質など特定物質が含有されているかについての判定をより簡易に行うことが可能となる。
【００１９】
発明６に係る特定物質の含有判定装置は、複数素材が層状に形成された判定対象物において、特定物質を含有する素材を判定する装置であって、照射部と、検出部と、判定部とを備えている。照射部は、判定対象物にＸ線を照射する。検出部は、判定対象物から放射する蛍光Ｘ線を検出する。判定部は、判定対象物に対して、照射条件を変化させてＸ線を照射するように照射部を動作させ、検出部の検出により特定物質とほぼ同期的に検出される素材を、特定物質を含有する素材として判定する。
【００２０】
ここで、判定対象物とは、例えば、特定物質の含有を判定する必要のある、電気・電子部品などである。また、複数素材とは、例えば、金属、プラスチック、それらに施されるめっきなどを含む複数の素材で構成される電子・電気部品などである。特定物質とは、例えば、環境負荷物質（より詳しくは、ＲｏＨＳ指令で指定されている物質）などである。照射部とは、例えば、Ｘ線を発生するＸ線管を含む。検出部とは、例えば、蛍光Ｘ線を検出する半導体装置などを含む。
【００２１】
判定部は、照射条件を変化させる際に、例えば、照射部に印加する電圧を変化させることにより、Ｘ線強度を変化させる。検出部では、Ｘ線が照射されることにより判定対象物より放射する蛍光Ｘ線が検出される。判定部は、検出された蛍光Ｘ線に基づいて、判定対象物の蛍光Ｘ線分析を行う。照射部は、照射条件を変化させてＸ線の照射を行っており、照射条件に応じて、判定対象物における蛍光Ｘ線分析の分析位置が変化する。このため、特定物質と特定物質を含む素材とは、ほぼ同期的に検出される。判定部は、特定物質とほぼ同期的に検出される素材を、特定物質を含有する素材として判定する。ここで、「ほぼ同期的に検出」とは、特定物質の検出とある素材の検出とが照射条件の変化に応じて似通った傾向を示すことを意味し、例えば、特定物質の検出のピークとある素材の検出のピークとが、同じまたはほぼ同じ照射条件の時にあらわれることなどを意味する。
【００２２】
本発明の特定物質の含有判定方法では、複数の素材からなる部品のいずれの素材に、環境負荷物質など特定物質が含有されているかについての判定をより簡易に行うことが可能となる。より具体的には、本発明では、判定に際して、複数の素材を素材毎に分割する必要が無い。このため、分割に要する時間および手間の削減を行うことが可能となる。このことは、特に多数の部品について判定を行う場合には、有効である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明では、複数の素材からなる部品のいずれの素材に、環境負荷物質など特定物質が含有されているかについての判定をより簡易に行う方法、装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の実施形態について、図を用いて説明する。
＜含有判定装置の構成＞
以下、含有判定装置の構成について、図１を用いて説明する。
図１は、本発明に係る特定物質の含有判定装置１００の概略図である。含有判定装置１００は、複数の素材から構成される部品のいずれの素材に、特定物質、例えば、環境負荷物質の特定元素が含有されているかについての判定を行う装置である。ここで、環境負荷物質とは、例えば、ＲｏＨＳ指令において指定されるカドミウム（Ｃｄ）、鉛（Ｐｂ）、水銀（Ｈｇ）、特定臭素系難燃剤（２種類：ポリ臭化ビフェニル（ＰＢＢ），ポリ臭化ビフェニルエーテル（ＰＢＤＥ））、６価クロム（Ｃｒ（ＶＩ））などを示し、特定元素とは、例えば、Ｃｄ，Ｐｂ，Ｈｇ，Ｂｒ，Ｃｒなどを示す。
【００２５】
含有判定装置１００は、入力部１０１、演算制御部１０２（判定部）、コントローラ１０３、Ｘ線管１０４（照射部）、検出器１０８（検出部）、増幅器１０９、表示部１１０、記憶部１１１により構成される蛍光Ｘ線分析装置である。
入力部１０１は、判定対象物１０６に関する情報を入力するキーボードなどからなる。判定対象物１０６とは、例えば、電気・電子部品である。より具体的には、複数の素材が層状に形成された部品、一例としては、鉄に対して防錆めっきとして亜鉛めっきを施し、さらにクロメート処理（クロムめっき、例えば３価クロムクロメート処理など）した部品である。また、判定対象物１０６に関する情報とは、判定対象物１０６の部品番号や、判定対象物１０６の測定条件などである。
【００２６】
演算制御部１０２は、測定条件を信号処理し、判定対象物１０６の蛍光Ｘ線分析を行う。コントローラ１０３は、Ｘ線管１０４の印加電圧、電流を制御し、それに基づいてＸ線管１０４は、Ｘ線を発光させ、一次線１０５として照射する。それにより、判定対象物１０６からは、蛍光Ｘ線１０７が放射され、検出器１０８は、蛍光Ｘ線１０７の光量を検出し、検出信号が得られる。さらに、増幅器１０９は、検出信号を増幅する。上述の演算制御部１０２は、増幅された検出信号を用いて、特定物質が判定対象物１０６のいずれの素材に含有されるかについての判定を行う（詳細は後述する）。表示部１１０は、判定結果などを出力、表示する。記憶部１１１は、判定対象物１０６の情報、演算結果などを保存している。
【００２７】
＜判定の動作＞
以下、判定の動作について、図２〜図４を用いて説明する。
図２は、本実施形態に係る判定方法の概要を模式的に示す説明図である。図３は、本実施形態に係る判定方法の実行時に得られる蛍光Ｘ線分析の結果を示すグラフである。図４は、本実施形態の判定方法について説明するフローチャートである。
【００２８】
まず、図２を用いて、本発明の判定方法の概要を説明する。図２は、鉄に対して防錆めっきとして亜鉛めっきを施し、さらにクロメート処理した判定対象物１０６の断面と、判定対象物１０６に対して照射される一次線１０５と、判定対象物１０６から放射される蛍光Ｘ線１０７とを示している。図２に示すように、蛍光Ｘ線分析に際して、判定対象物１０６は、一次線１０５の照射方向と、判定対象物１０６の層の長手方向に沿った方向とが交わるように配置されている。
【００２９】
図２に示すように、一次線１０５の強度（Ｘ線管１０４に印加される電圧）に応じて、判定対象物１０６における一次線１０５の到達位置（到達深度）が変化する。すなわち、一次線１０５の強度が低い（Ｘ線管１０４に印加される電圧が低い）場合には、一次線１０５は、判定対象物１０６の表面近傍にしか到達せず、得られる蛍光Ｘ線１０７により判定対象物１０６の表層の分析を行うことができる。一方、一次線１０５の強度が高い（Ｘ線管１０４に印加される電圧が高い）場合には、一次線１０５は、判定対象物１０６の内部にまで到達し、得られる蛍光Ｘ線１０７により判定対象物１０６の深層の分析を行うことができる。より具体的には、図２に示すように、Ｘ線管１０４に印加する電圧を５ＫＶ（キロボルト）とすると、判定対象物１０６の表層であるクロムめっき層の分析を行うことができる。電圧を１５ＫＶに上げると、判定対象物１０６の中間層である亜鉛めっき層の分析を行うことができる。電圧を３０ＫＶに上げると、判定対象物１０６の深層である鉄層の分析を行うことができる。さらに電圧を５０ＫＶに上げると、判定対象物１０６の鉄層のさらに内部の分析を行うことができる。なお、ここに示す数値は、あくまで一例であり、電圧と一次線１０５の到達位置との関係は、判定対象物１０６のめっき層の厚さなどにより変わる。
【００３０】
図３は、図２に示すように、一次線１０５の強度を変更しつつ、蛍光Ｘ線分析を行った結果を示している。より詳しくは、図３は、Ｘ線管１０４に印加した電圧（ＫＶ）を横軸に示し、それに対応して発生する元素毎の蛍光Ｘ線の強度（ａｒｂ  ＵＮＩＴ）を縦軸に示している。
【００３１】
一次線１０５の強度に応じて、判定対象物１０６における蛍光Ｘ線分析の分析位置が異なる。このため、図３に示すように、元素毎の蛍光Ｘ線の強度は、異なる位置にピークを有する。言い換えれば、検出される元素の主成分は、一次線１０５の強度に応じて変化する。例えば、判定対象物１０６の表層に位置するクロムは、一次線１０５が表層までしか到達しないＸ線強度（例えば、電圧５ＫＶ）の場合に主に検出される。また、判定対象物１０６の中間層に位置する亜鉛は、一次線１０５が中間層まで到達するＸ線強度（例えば、電圧１５ＫＶ）の場合に主に検出される。さらに、判定対象物１０６の深層に位置する鉄は、一次線１０５が深層層まで到達するＸ線強度（例えば、電圧３０ＫＶ）を超える強度の場合に主に検出される。これらの現象は、一次線１０５の強度に応じて、判定対象物１０６における一次線１０５の到達深度が変化し、蛍光Ｘ線分析の分析位置が変化し、分析位置の主成分に応じた蛍光Ｘ線が放射されるために起こる。
【００３２】
ここで、判定対象物１０６のいずれかの層に環境負荷物質などの特定物質が含まれているとする。例えば、亜鉛めっき層に環境負荷物質の特定元素であるカドミウムが含まれているとする。この場合、図３に示すように、カドミウムは、一次線１０５が亜鉛めっき層まで到達する強度（例えば、電圧１５ＫＶ）の場合に検出される。すなわち、特定元素は、それが含まれる層の主成分と同期的に検出される。本発明は、このことを利用して、判定対象物１０６において特定物質を含有する位置（層）を特定する。
【００３３】
図４を用いて、以上の処理についてさらに説明を加える。図４は、判定方法について説明するフローチャートである。
まず、入力部１０１から測定時間、Ｘ線の照射条件（印加電圧）などの測定条件が入力され、測定の開始が指令されると（ステップＳ２００）、演算制御部１０２は、入力された測定条件に応じてコントローラ１０３にＸ線の照射条件を設定する（ステップＳ２０１）。これにより、コントローラ１０３は、Ｘ線管１０４への電圧の印加を行い、一次線１０５が判定対象物１０６に照射される。
【００３４】
検出器１０８は、判定対象物１０６が放射する蛍光Ｘ線を検出する。さらに、演算制御部１０２は、検出された信号から、それぞれの元素に応じた蛍光Ｘ線の強度を測定する（ステップＳ２０２）。
さらに、演算制御部１０２は、入力部１０１から入力された測定条件の全てを用いて測定が行われたか否かを判断する（ステップＳ２０３）。具体的には、全ての照射条件（印加電圧）を用いたＸ線の照射が行われたか否かを判断する。判断結果が否定的である場合には、ステップＳ２０１に戻り、照射条件を再設定、具体的にはＸ線管１０４への印加電圧を変化させ、再度蛍光Ｘ線の強度を測定する。
【００３５】
一方、判断結果が肯定的である場合には、上述したような判定処理が行われる。具体的には、演算制御部１０２は、ステップＳ２０２の測定結果に基づいて、特定元素（例えば、カドミウム）と同期的に検出される元素を特定し、特定された元素により構成される判定対象物１０６の層が特定物質を含むと判定する（ステップＳ２０４）。より具体的には、特定元素の蛍光Ｘ線の強度がピークを示す印加電圧に最も近い印加電圧でピークを示す元素により構成される層が特定物質を含むと判定する。さらに、演算制御部１０２は、表示部１１０に対して、判定結果を表示する（ステップＳ２０５）。判定結果は、特定物質が含まれる素材、層などを示す。
【００３６】
以上により、複数の素材から構成される部品のいずれの素材に、環境負荷物質などの特定物質が含有されているかについて簡易に判定することが可能となる。より具体的には、複数の素材から構成される部品を分解することなく、特定物質を含む素材を特定することができるため、分解に要する時間の短縮、手間の削減を行うことが可能となる。
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００３７】
（１）
上記実施形態では、特定元素と同期的に検出される元素とは、特定元素の蛍光Ｘ線の強度がピークを示す印加電圧に最も近い印加電圧でピークを示す元素である、と説明した。
一方、特定元素と同期的に検出される元素は、他の方法で特定されてもよい。例えば、特定元素の蛍光Ｘ線の強度がピークを示す測定条件（印加電圧）と同じ測定条件で検出される元素のうちの主要元素が、特定元素と同期的に検出される元素として特定されてもよい。
【００３８】
（２）
上記実施形態では、含有を判定する特定物質である環境負荷物質の特定元素として主な５元素を挙げたが、判定の対象はこれに限定されない。例えば、同様の方法で、金、銀、白金、パラジウムなどの他の物質（有害物質を含む）でも、本発明の効果が得られる。
【００３９】
（３）
上記実施形態では、記憶部１１１が含有判定装置１００に内蔵されている例を示したが、構成はこれに限定されない。例えば、記憶部１１１は、含有判定装置１００とケーブルなどで接続されている外部記憶装置であってもよい。
【００４０】
（４）
上記実施形態では、結果出力が表示部１１０に表示される例を示したが、これに限定されない。例えば、結果を用紙に出力する形態などでもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明にかかる特定物質の含有判定方法および含有判定装置は、複数の素材からなる部品のいずれの素材に、環境負荷物質など特定物質が含有されているかについての判定をより簡易に行う方法、装置が求められる分野において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】含有判定装置１００の概略図
【図２】判定方法の概要を模式的に示す説明図
【図３】判定方法の実行時に得られる蛍光Ｘ線分析の結果を示すグラフ
【図４】判定方法について説明するフローチャート
【符号の説明】
【００４３】
１００    含有判定装置
１０１    入力部
１０２    演算制御部
１０３    コントローラ
１０４    Ｘ線管
１０５    １次線
１０６    判定対象物
１０７    蛍光Ｘ線
１０８    検出器
１０９    増幅器
１１０    表示部
１１１    記憶部
【図１】
2007017306.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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