(57)【要約】【課題】ピクセル単位の位置合わせを行う必要がなく、また、光学的なずれや機械的なずれが存在していても虚報を生じさせないような検査方法において、検査対象物の各部位毎に正確な検査を行えるようにする。【解決手段】あらかじめ基準対象物となるピクセルの位置毎に、輝度と、許容輝度幅α1と当該ピクセル位置(x,y)を基準として検査対象物の対応するピクセルを探索するための探索距離d1をテーブル化して記憶しておく。そして、検査対象物１１を検査する場合、基準対象物１０のピクセル位置(x,y)での輝度を読み出し、許容輝度幅テーブルや探索距離テーブルを参照して許容輝度幅や探索距離を抽出し、検査対象物１１における位置(x,y)からの探索距離d1内に許容輝度幅α1内のピクセルが存在するか否かを判定する。【選択図】図１
2007309703.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
あらかじめ基準対象物となるピクセルの位置毎に、輝度と、許容輝度幅と、検査対象物の対応したピクセルを探索するための探索距離を記憶しておき、検査対象物における前記位置を基準とした探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在している場合に、対応するピクセルが存在すると判定するようにしたピクセルの検査方法であって、あらかじめ各輝度毎に許容輝度幅を設定した許容輝度幅テーブルを作成しておき、基準対象物のピクセルの位置における輝度から許容輝度幅テーブルを参照して許容輝度幅を抽出し、検査対象物における当該位置を基準とする探索距離内に許容輝度幅内の輝度のピクセルが存在している場合に、基準対象物となるピクセルの位置に対応するピクセルが存在すると判定するようにしたピクセルの検査方法。
【請求項２】
あらかじめ基準対象物となるピクセルの位置毎に、輝度と、許容輝度幅と、検査対象物の対応したピクセルを探索するための探索距離を記憶しておき、検査対象物における前記位置を基準とした探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在している場合に、対応するピクセルが存在すると判定するようにしたピクセルの検査方法であって、あらかじめ各輝度毎に探索距離を設定した探索距離テーブルを作成しておき、基準対象物のピクセルの位置における輝度から探索距離テーブルを参照して探索距離を抽出し、検査対象物における当該位置を基準とする探索距離内に対応する輝度のピクセルが存在した場合に、基準対象物となるピクセルに対応するピクセルが存在すると判定するようにしたピクセルの検査方法。
【請求項３】
前記許容輝度幅テーブルが、検査対象物における輝度の異なる検査領域毎に許容輝度幅を設定したものである請求項１に記載のピクセルの検査方法。
【請求項４】
前記探索距離テーブルが、検査対象物における輝度の異なる検査領域毎に探索距離を設定したものである請求項２に記載のピクセルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像処理によって検査対象物を検査するための検査方法に関し、より詳しくは、あらかじめ生成された基準データと検査データとを比較することによって検査対象物の形成状態を検査するようにしたピクセルの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリント基板の表面に形成されたパッドや配線パターン、レジストなどは、検査装置によって自動的に検査される。このプリント基板の形成状態を検査する検査装置に関しては、例えば、下記の特許文献１に記載されるような装置が存在する。
【０００３】
例えば、下記の特許文献１に記載される検査装置について説明すると、この検査装置は、複数の基準パターンをそれぞれ撮像し、基準データ記憶部に基準パターンにおける各ピクセル毎に輝度上限基準値及び輝度下限基準値から構成される基準データを格納する。そして、検査対象物を検査する場合は、検査パターンの画像を撮像し、基準パターンの画像と位置合わせをした後、一次判定部にて、検査画像データの各ピクセルの輝度値が基準データの輝度上限基準値と輝度下限基準値の範囲内にあるかどうかを判定し、そのピクセルが基準範囲を越える場合に欠陥候補のピクセルであると判定し、一方、基準範囲内に含まれている場合には良ピクセルであると判定するものである。
【特許文献１】特開平１１−０７３５１３号公報（第１０７段落目等参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような検査装置を用いて検査する場合、次のような問題を生ずる。例えば、上述のような基準パターンと検査パターンのピクセルを対応させて検査する方法では、基準パターンの画像と検査対象物のパターンの画像をピクセル単位まで位置合わせなければならず、光学的なずれや機械的なずれが存在する場合は、虚報が増えてしまう。また、精密な検査を行うために分解能を上げようとすると、さらにピクセル単位までの位置合わせが困難となり、分解能を上げても検査の精度を向上しないばかりでなく、許容輝度の上限値や下限値を決定する場合は、個々のピクセル毎に上限値や下限値を設定するのに手間が掛かってしまうという問題も生ずる。
【０００５】
そこで、本発明は、かかる課題に着目してなされたもので、ピクセル単位の位置合わせが不要であり、また、光学的なずれや機械的なずれが存在していても虚報を生じさせないようにするとともに、ピクセル毎の輝度の上限値や下限値を容易に設定できるようにした検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち、本発明は上記課題を解決するために、あらかじめ基準対象物となるピクセルの位置毎に、輝度と、許容輝度幅と、検査対象物の対応したピクセルを探索するための探索距離を記憶しておき、検査対象物における前記位置を基準とした探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在している場合に、対応するピクセルが存在すると判定するようにしたピクセルの検査方法であって、あらかじめ各輝度毎に許容輝度幅を設定した許容輝度幅テーブルを作成しておき、基準対象物のピクセルの位置における輝度から許容輝度幅テーブルを参照して許容輝度幅を抽出し、検査対象物における当該位置を基準とする探索距離内に許容輝度幅内の輝度のピクセルが存在している場合に、基準対象物となるピクセルの位置に対応するピクセルが存在すると判定するようにしたものである。
【０００７】
また、このような発明において、あらかじめ各輝度毎に探索距離を設定した探索距離テーブルを作成しておき、基準対象物のピクセル位置における輝度から探索距離テーブルを参照して探索距離を抽出し、検査対象物における当該位置を基準とする探索距離内に対応する輝度のピクセルが存在した場合に、基準対象物のピクセル位置に対応するピクセルが存在すると判定する。
【０００８】
また、この許容輝度幅テーブルや探索距離テーブルを用いる場合、例えば、プリント基板のスルーホール、基板上のレジスト、パターン上のレジスト、シルク、パッドなどのように輝度の異なる検査領域毎に許容輝度幅や探索距離を変える。
【発明の効果】
【０００９】
このように、本発明によれば、探索距離内で対応するピクセルを探すので、検査対象物をピクセル単位までの位置合わせする必要がなくなる。また、輝度の異なる検査領域毎に適正な検査を行うことができるようになる。しかも、許容輝度幅テーブルや探索距離テーブルを生成するだけで輝度の異なる検査領域毎に異なる基準で検査を行うことができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施の形態におけるピクセルの良否判定の概要を示したものであり、基準対象物１０の画像を基準として検査対象物１１の対応するピクセルの有無を検査する例を示したものである。また、図２は、本実施の形態における検査装置１の機能ブロック図を示したものであり、図３は、各ピクセルの輝度毎の許容輝度幅や探索距離を設定するテーブルを示したものである。また、図４および図５は補正処理手段６によって検査対象物１１の全体画像や矩形領域画像を補正処理する例を示したものであり、図６はこの検査方法における基準データの生成フローチャート、図７は検査処理のフローチャートを示したものである。
【００１１】
この実施の形態における検査装置１は、プリント基板などの検査対象物１１の表面画像を撮像する撮像手段２と、基準対象物１０の基準データや許容輝度幅テーブル、探索距離テーブルを記憶する記憶手段５とを備えてなる。ここで、「基準対象物」とは、検査対象物１１を検査するに際して基準となるデータ（基準データ）を生成するためのもので、目視もしくは他の検査装置などによって既に良品であると判定されたものである。検査対象物１１の各ピクセルの良否を判定するに際しては、まず最初に、撮像された検査対象物１１の画像を基準対象物１０の画像にほぼ一致させるための補正処理を行う。そして、次に、基準対象物１０に対応するピクセルの有無を判定する場合は、基準対象物１０の各ピクセル位置に対応する補正処理された後の検査対象物１１の位置(x,y)を特定し、その位置(x,y)を基準とする第一の探索距離d1内に基準対象物１０の輝度a1に対する許容輝度幅α1内のピクセルが存在するか否かを判定する。また、今度は逆に、その検査対象物１１の位置(x,y)に対応する基準対象物１０の位置(x,y)を基準とする探索距離d2内に、その検査対象物１１の輝度a2に対する許容輝度幅α2内のピクセルが存在するか否かを判定する。そして、それぞれの探索距離内に許容輝度幅に含まれるピクセルが存在している場合に、その基準対象物の位置(x,y)のピクセルが良ピクセル（すなわち、対応するピクセルが存在するピクセル）であると判定するようにしたものである。以下、この検査装置１の具体的構成について詳細に説明する。
【００１２】
この検査装置１は、図２に示すように撮像手段２、前処理手段３、画像メモリ３０、基準データ生成手段４、記憶手段５、補正処理手段６、ピクセル判定手段７、クラスタ判定手段８、出力手段９を備えてなる。
【００１３】
撮像手段２は、検査に際して基準対象物１０や検査対象物１１の表面画像を撮像するもので、この実施の形態では、２５６階調のグレースケールによりその表面画像を取得する。この撮像手段２は、斜め方向から光を照射する照射装置と、その反射光を真上から取得するＣＣＤカメラなどによって構成される。
【００１４】
前処理手段３は、この撮像手段２によって撮像された基準対象物１０もしくは検査対象物１１の画像をＡ／Ｄ変換し、画像メモリ３０に格納する。
【００１５】
基準データ生成手段４は、撮像手段２によって撮像された基準対象物１０の画像から基準データを生成する。この基準データは、基準対象物１０の全体形状に関するデータや、その内側の複数の矩形領域に関するデータ、各ピクセルに関するデータなどから構成される。ここで「全体形状に関するデータ」とは、プリント基板の縦横長などのデータであり、また「矩形領域に関するデータ」とは、矩形領域内のパターン画像などのデータであり、「各ピクセルに関するデータ」とは、輝度や許容輝度幅及び探索距離などのデータなどである。このピクセルに関するデータのうち許容輝度幅は、ピクセルの輝度の上限値と下限値との差（α）を示しており、また、探索距離は、所定のピクセル位置を基準として、許容輝度幅内のピクセルを探索するための距離を示している。この許容輝度幅や探索距離は、図３に示すような許容輝度幅テーブル（図３（ａ））や探索距離テーブル（図３（ｂ））を参照して、スルーホール、基板上のレジスト、パターン上のレジスト、シルク、パッドなど輝度毎に設定される。図３（ａ）の許容輝度幅テーブルについて説明すると、例えば、高輝度領域に属するシルク内においては、あまり輝度が変化しないため、相対的に輝度変化の大きいパッドよりも許容輝度幅を小さく設定しておき、また、シルクの位置（図３（ｂ））についてはパッドの位置よりも相対的に大きく変化するため、探索距離を大きく設定している。また、最高輝度領域に属するパッドについては、酸化の状態によって輝度が大きく変化するため、許容輝度幅を大きく設定しており、また、その位置については、あまり大きく変化しないため、探索距離を小さく設定している。これらの許容輝度幅と探索距離を設定する場合、あらかじめ基準対象物１０である基準のプリント基板を複数枚用意しておき、これらのプリント基板の画像を取得して各プリント基板の対応するピクセルの距離と輝度を取得することによって行う。この距離と輝度の取得は自動で行うようにしてもよく、あるいは目視によって行うようにしてもよい。そして、この取得された距離や輝度から最も外れた値を除く距離や輝度を抽出し、これらの距離や輝度から探索距離や許容輝度幅を設定する。より具体的には、輝度や位置のほとんど変化しない部分については、許容輝度幅を±１０、探索距離を１ピクセルと設定し、輝度や位置が大きく変化する部分については、許容輝度幅を±３０、探索距離を３ピクセルなどと設定する。そして、このように複数枚の基準対象物１０の画像を取得することによって、図３（ａ）に示すように、横軸を輝度とし、縦軸を許容輝度幅とした許容輝度幅テーブルを設定し、また、同様に、図３（ｂ）に示すように、横軸を輝度、縦軸を探索距離とする探索距離テーブルを生成する。なお、図３（ａ）（ｂ）においては、横軸の輝度の小さい領域から順に、「スルーホール」「基板上のレジスト」「パターン上のレジスト」「シルク」「パッド」の領域となっており、これらの領域毎にそれぞれ許容輝度幅や探索距離が設定される。
【００１６】
記憶手段５は、この基準データ生成手段４によって生成された許容輝度幅テーブルや探索距離テーブルなどを含む基準データを格納する。
【００１７】
補正処理手段６は、撮像手段２によって撮像された検査対象物１１の画像を、基準対象物１０にほぼ一致させるための補正処理を行う。この補正処理における全体画像の補正の例を図４に示す。図４において、斜線で網掛けされた実線部分は基準対象物１０を示し、破線は検査対象物１１を示している。図４（ａ）に示すように、検査対象物１１が基準対象物１０よりも小さい場合は、全体形状をδx、δyだけ拡大させる補正処理を行い、また、検査対象物１１が基準対象物１０よりもδθだけ回転している場合は、その角度だけ回転させる補正処理を行う（図４（ｂ））。また、検査対象物１１が基準対象物１０に対して平行にずれている場合は、そのずれ量だけ平行移動させる補正処理を行う（図４（ｃ））。これらの補正処理は、例えば、検査対象物１１がステージ上の正規の位置に固定されていない場合や、検査対象物１１の寸法上に誤差が存在する場合などに有効となる。
【００１８】
次に、この補正処理の別の態様を図５に示す。図５（ａ）は、基準対象物１０のある矩形領域の画像を示したものであり、図５（ｂ）は、検査対象物１１の同じ位置における矩形領域を示したものである。図５（ｂ）においては、図５（ａ）の配線パターンよりも右側に配線パターンがずれている。実際の製品では、図５（ｂ）に示すように、検査対象物１１のパッドや配線パターンなどが、基準対象物１０のパッドや配線パターンなどよりも所定方向にずれている場合がある。このような場合に、検査対象物１１の矩形領域内の画像を基準対象物１０にほぼ一致させるような平行移動処理を行う。これらの補正処理を行うことにより、検査対象物１１のパッドや配線パターンなどと基準対象物１０のパッドや配線パターンなどとをほぼ一致させることにより、あまり探索距離を大きくしなくても許容輝度幅内のピクセルを見つけることができる。すなわち、本来ならば、補正前のずれた画像の対応する位置まで探索距離を広げてピクセルを見つけ出さなければならないところを、狭い探索距離で対応するピクセルを見つけ出すことができ、これによって、無関係なピクセルでたまたま輝度が一致するものを「対応するピクセル」であると判定してしまうことを防止させる。
【００１９】
ピクセル判定手段７は、基準対象物１０の各ピクセルに対応するピクセルが検査対象物１１に存在するか否かを判定するもので、次に示すような第一のピクセル判定手段７０と第二のピクセル判定手段７１を備える。
【００２０】
まず、第一のピクセル判定手段７０は、基準対象物１０を基準として、その基準対象物１０の各ピクセル位置(x,y)に対応する検査対象物１１の位置(x,y)を特定するとともに、基準対象物１０における位置(x,y)の輝度a1を読み出す。そして、その輝度a1をもとに、許容輝度幅テーブルと探索距離テーブルを参照し、その読み出された探索距離d1内に、基準対象物１０のピクセルの輝度a1に対する許容輝度幅α1内のピクセルが存在するか否かを判定する。この判定に際しては、探索距離d1内に許容輝度幅α1内のピクセルが一つでも存在する場合は、「良ピクセル」（すなわち、「対応ピクセルが存在する」）と判定し、逆に、探索距離d1内に許容輝度幅α1内のピクセルが全く存在しない場合は「不良ピクセル」（すなわち、「対応ピクセルが存在しない」）と判定する。通常、補正処理手段６によって基準対象物１０と検査対象物１１を完全に一致させることができれば、基準対象物１０のピクセル位置(x,y)に対応する検査対象物１１の位置(x,y)のピクセルを検査すれば良いが、実際には、光学的なずれや機械的なずれが存在することから、完全に一致させることが困難で、また、分解能を上げた場合は数ピクセル程度ずれる可能性がある。このため、探索距離d1内においてほぼ輝度の一致するものが存在すれば、一次的判断として「良ピクセル」と判定する。この第一のピクセル判定手段７０による判定結果は、ディスプレイ装置などに可視的に表示され、例えば、「不良ピクセル」と判定された部分には、基準対象物１０の画像上に「×」印などを示す。
【００２１】
第二のピクセル判定手段７１は、今度は逆に、検査対象物１１を基準として、基準対象物１０のピクセルの位置(x,y)の輝度a2を抽出し、記憶手段５に記憶されている許容輝度幅テーブルと探索距離テーブルを参照して、その探索距離d2内に、検査対象物１１のピクセルの輝度a2に対する許容輝度幅α2内のピクセルが一つでも存在するか否かを判定する。この判定に際しても、探索距離d2内に許容輝度幅α2内のピクセルが一つでも存在する場合は、「良ピクセル」と判定し、逆に、探索距離d2内に許容輝度幅α2内のピクセルが全く存在しない場合は「不良ピクセル」と判定する。この検査対象物１１を基準として比較処理を行う場合、前述の補正処理された後の検査対象物１１の画像を用いる。そして、補正処理された後の検査対象物１１の位置(x,y)の輝度a2から許容輝度幅α2と探索距離d2を記憶手段５から読み出し、基準対象物１０における位置(x,y)の探索距離d2内に輝度a2の許容輝度幅α2内のピクセルが存在するか否かを判定する。この第二の判定結果は、先の第一の判定結果と同様に、ディスプレイ装置に可視的に表示され、第一のピクセル判定手段７０による判定画像に上書きして、「不良ピクセル」と判定された部分に「×」印などを示していく。
【００２２】
そして、最後に、ピクセル判定手段７は、検査対象物１１の探索距離d1内に許容輝度幅α1内のピクセルが一つでも存在すること、及び、基準対象物１０の探索距離d2内に許容輝度幅α2内のピクセルが一つでも存在することを条件に、その基準対象物１０の位置(x,y)に存在するピクセルを良ピクセルと判定する。また、逆に、検査対象物１１の探索距離d2内に許容輝度幅α2内のピクセルが全く存在しない場合、もしくは、基準対象物１０の探索距離d1内に許容輝度幅α1内のピクセルが全く存在しない場合は、その基準対象物１０の位置に存在するピクセルを不良ピクセルと判定する。
【００２３】
クラスタ判定手段８は、このピクセル判定手段７によって「不良ピクセル」と判定された基準対象物１０のピクセル群の大きさに基づいて、その検査対象物１１が全体として不良品であるか否かを判定する。この良否の判定は、「不良ピクセル」と判定されたピクセルが隣接して所定数以上存在する場合に、不良品であると判定する。
【００２４】
出力手段９は、このクラスタ判定手段８による判定結果を報知可能に出力する。その際、どの部分が不良のクラスタであるかをユーザに知らせる必要があるため、クラスタ判定手段８によって不良クラスタと判定されたクラスタの位置をディスプレイ装置に可視的に出力する。
【００２５】
次に、このように構成された検査装置１を用いて検査対象物１１を検査する方法について説明する。
【００２６】
＜基準データの生成フロー＞
【００２７】
まず、検査対象物１１を検査するに際して基準データを生成する場合のフローチャートを図６に示す。基準データを生成する場合、まず、あらかじめ用意された複数の基準対象物１０を検査装置１の図示しないステージ上にセットし、撮像手段２を用いて複数枚の画像を取得する（ステップＳ１）。そして、所定枚以上の基準対象物１０の画像が取り込まれた場合、基準対象物１０毎に、それぞれ全体領域に関するデータ、矩形領域に関するデータ、ピクセルに関するデータを生成し（ステップＳ２）、複数の基準対象物１０について、全体領域に関するデータの平均値や、矩形領域に関するデータの平均値を演算する（ステップＳ３）。また、各ピクセルについては、複数の基準対象物１０の対応するピクセルの輝度や位置から許容輝度幅テーブルや探索距離テーブルを生成する（ステップＳ４）。
【００２８】
そして、ステップ４で生成された許容輝度幅テーブルや探索距離テーブルに基づいて、各ピクセル毎に輝度に対応した許容輝度幅や探索距離を設定し（ステップＳ５）、記憶手段５に格納する（ステップＳ６）。
【００２９】
＜検査対象物１１の検査フロー＞
【００３０】
次に、検査対象物１１を検査する場合のフローチャートを図７に示す。まず、検査対象物１１を検査する場合、その検査対象物１１を検査装置１のステージ上にセットし、撮像手段２を用いてその表面の画像を取得する（ステップＴ１）。この撮像された画像は、ステージ上へのセットの仕方によっては、ずれている可能性があるため、基準対象物１０と検査対象物１１の画像をほぼ一致させるための補正処理を行う（ステップＴ２）。この補正処理を行うに際しては、まず、全体領域における形状の補正処理を行う。具体的には、検査対象物１１上のコーナーの３点を抽出し、その３点から検査対象物１１の縦横の長さ、回転角度、平行移動距離などを演算する。そして、これらの縦横長さや回転角度、平行移動距離などに基づいて、検査対象物１１の全体領域を基準データの全体画像にほぼ一致させるための補正処理を行う。
【００３１】
次の補正処理として、図５に示すように、矩形領域の補正処理を行う。この矩形領域の補正処理を行う場合、基準対象物１０の所定の矩形領域の画像と検査対象物１１の対応する矩形領域の画像とがほぼ一致するように検査対象物１１の画像を平行移動させる。
【００３２】
そして、これらの補正処理が終了した後、基準対象物１０の各ピクセルの位置に対応するピクセルが存在するか否かの検査を行う。この検査に際しては、まず、基準対象物１０の各ピクセル位置(x,y)の輝度a1から許容輝度幅テーブルと探索距離テーブルを参照して許容輝度幅α1と探索距離d1を読み出す（ステップＴ３）。そして、そのピクセル位置(x,y)を基準として、その読み出された探索距離d1内に、基準対象物１０のピクセルの輝度a1に対する許容輝度幅α1内の輝度のピクセルが存在するか否かを判定する（ステップＴ４）。この判定は第一のピクセル判定手段７０によって行われる。ここで、探索距離d1内に許容輝度幅α1内のピクセルが一つも存在しない場合は、その基準対象物１０の位置のピクセルを「不良ピクセル」であると判定する（ステップＴ８）。
【００３３】
一方、探索距離d1内に許容輝度幅α1内のピクセルが存在する場合は、その基準対象物１０の位置のピクセルを「良ピクセル」であると判定し、次に、今度は逆に、補正処理された後の検査対象物１１の画像を基準として、その検査対象物１１の位置(x,y)に対応する基準対象物１０の輝度a2を抽出し、許容輝度幅テーブルや探索距離テーブルを参照して探索距離d2と許容輝度幅α2を抽出する（ステップＴ５）。そして、基準対象物１０における位置(x,y)を基準とする探索距離d2内に許容輝度幅α2内のピクセルが存在するか否かを判定する（ステップＴ６）。この判定は第二のピクセル判定手段７１によって行われ、その探索距離d2内に許容輝度幅α2内の輝度のピクセルが一つも存在しない場合、その基準対象物１０の位置のピクセルを「不良ピクセル」と判定する（ステップＴ８）。
【００３４】
一方、ステップＴ４で、探索距離d2内に許容輝度幅α2内の輝度のピクセルが存在していると判定され、かつ、ステップＴ６で「良ピクセル」と判定された場合には、その基準対象物１０の位置に対するピクセルを「良ピクセル」と判定する（ステップＴ７）。
【００３５】
このような処理を繰り返すことにより、基準対象物１０における全位置でのピクセル検査が終了すると（ステップＴ９：Ｙｅｓ）、次の処理として、「不良ピクセル」と判定された基準対象物１０のピクセルのうち、隣接する不良ピクセルの数をカウントする。として、所定数以上の不良ピクセルの存在する場合は（ステップＴ１０）、この検査対象物１１は不良品である旨の出力を行い（ステップＴ１１）、一方、全ての隣接する不良ピクセルの数が所定数よりも少ない場合は良品である旨の出力を行う（ステップＴ１２）。
【００３６】
このように上記実施の形態によれば、あらかじめ基準対象物１０におけるピクセルの位置毎に、輝度と、許容輝度幅と、探索距離を記憶しておき、検査対象物１１を検査する場合に、基準対象物１０の各ピクセル位置に対応する検査対象物１１の位置を基準とする第一の探索距離d1内に第一の許容輝度幅α1内のピクセルが存在するか否かを判定するようにしたので、従来のように基準対象物と検査対象物をピクセル単位まで正確に位置合わせする必要がなく、分解能を上げても光学的なずれや機械的なずれなどを吸収して精度良い検査を行うことができるようになる。
【００３７】
しかも、各ピクセルでの許容輝度幅や探索距離を設定する場合、あらかじめ輝度毎に許容輝度幅や探索距離を設定した許容輝度幅テーブルと探索距離テーブルを生成しておき、基準対象物のピクセル位置における輝度から許容輝度幅テーブルや探索距離テーブルを参照して許容輝度幅と探索距離を抽出するようにしたので、プリント基板のスルーホール、基板上のレジスト、パターン上のレジスト、シルク、パッドなどのように輝度の異なる部位毎に適正な検査を行うことができるようになる。しかも、テーブルによって許容輝度幅や探索距離を一括して変更することができるため、個々のピクセル毎に都度許容輝度幅や探索距離を設定する必要がなくなり、簡単に許容輝度幅や探索距離の設定を行うことができる。
【００３８】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。
【００３９】
例えば、上記実施の形態では、検査対象物１１としてプリント基板を例に挙げて説明したが、これに限らず、液晶パネル、物品の表面に付された文字、図形、記号などを検査対象物としても良い。
【００４０】
また、上記実施の形態では、補正処理手段６によって全体形状の補正処理と矩形領域毎の補正処理を行うようにしているが、これに限らず、検査対象物１１と基準対象物１０との位置をほぼ一致させるようにすれば、どのような補正処理方法を行ってもよい。また、上記では、領域毎の補正処理として矩形領域の補正処理を例に挙げているが、必ずしも矩形領域に限定されるものではなく、種々の領域の補正処理を行うようにしてもよい。
【００４１】
また、上記実施の形態では、最初に基準対象物を基準として検査対象物内の探索距離内に許容輝度幅内のピクセルがあるか否かを検査し、今度は逆に検査対象物を基準としてその検査対象物の位置のピクセルの許容輝度幅内のピクセルが基準対象物内に存在するか否かを検査するようにしているが、前者のみの検査を行うようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施の形態における検査処理方法の概要を示す図
【図２】同形態における検査装置の機能ブロック図
【図３】同形態における許容輝度幅テーブルと探索距離テーブルを示す図
【図４】同形態における全体補正の処理の概要を示す図
【図５】同形態における矩形領域の補正の処理の概要を示す図
【図６】同形態における基準データの生成フローを示す図
【図７】同形態における検査処理のフローを示す図
【符号の説明】
【００４３】
１・・・検査装置
２・・・撮像手段
３・・・前処理手段
４・・・基準データ生成手段
５・・・記憶手段
６・・・補正処理手段
７・・・ピクセル判定手段
７０・・・第一のピクセル判定手段
７１・・・第二のピクセル判定手段
８・・・クラスタ判定手段
９・・・出力手段
１０・・・基準対象物
１１・・・検査対象物
【図１】
2007309703.tif 000003
【図２】
2007309703.tif 000004
【図３】
2007309703.tif 000005
【図４】
2007309703.tif 000006
【図５】
2007309703.tif 000007
【図６】
2007309703.tif 000008
【図７】
2007309703.tif 000009