(57)【要約】【課題】  搬送される板ガラスを加工位置で停止させることによる時間のロスを可及的に低減し、作業能率の改善及び生産性の向上を図る。【解決手段】  板ガラスＧにおける上流側の搬入エリアＥ１と下流側の搬出エリアＥ２との間で加工テーブル３を往復動させると共に、加工テーブルが搬入エリアＥ１に位置している時に、加工テーブル３上に流体の噴出に伴って形成されている流体層３ｂより、板ガラスＧを水平姿勢で浮上させつつ加工テーブル３上に移載し、その後、加工テーブル３が搬入エリアＥ１から搬出エリアＥ２に到達するまでの間に、加工テーブル３上の流体層３ｂを実質的に除去して板ガラスＧに加工を施し、然る後、加工テーブル３上に再び流体を噴出して流体層３ｂを形成し、その流体層３ｂにより、板ガラスＧを水平姿勢で浮上させつつ搬出エリアＥ２で加工テーブル３から搬出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板ガラスにおける上流側の搬入エリアと下流側の搬出エリアとの間で加工テーブルを往復動させると共に、該加工テーブルが前記搬入エリアに位置している時に、前記加工テーブル上に流体の噴出に伴って形成されている流体層により、板ガラスを水平姿勢で浮上させつつ該加工テーブル上に移載し、その後、前記加工テーブルが前記搬入エリアから搬出エリアに到達するまでの間に、前記加工テーブル上の流体層を実質的に除去して板ガラスに加工を施し、然る後、前記加工テーブル上に再び流体を噴出して流体層を形成し、該流体層により、板ガラスを水平姿勢で浮上させつつ前記搬出エリアで該加工テーブルから搬出することを特徴とする板ガラスの加工方法。
【請求項２】
前記搬入エリアの直上流側に、前記加工テーブルに移載されるべき板ガラスを水平姿勢で搬送する上流側コンベアを備えると共に、前記搬出エリアの直下流側に、前記加工テーブルから搬出された板ガラスを受け取って水平姿勢で搬送する下流側コンベアを備えてなることを特徴とする請求項１に記載の板ガラスの加工方法。
【請求項３】
前記上流側コンベアにより板ガラスが搬入エリアまで搬送された時点で、加工テーブルが上流側に向かって復動して搬入エリアに到達することを特徴とする請求項２に記載の板ガラスの加工方法。
【請求項４】
前記加工テーブルは、連続して往復動を繰り返すことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の板ガラスの加工方法。
【請求項５】
前記板ガラスは、上流側コンベアによる搬送時から下流側コンベアによる搬送時まで連続して下流側に向かって移動することを特徴とする請求項２〜４の何れかに記載の板ガラスの加工方法。
【請求項６】
前記加工は、板ガラスの上面に直線または湾曲線からなるスクライブ線を刻設する加工であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の板ガラスの加工方法。
【請求項７】
前記加工は、板ガラスの上面に縦方向に沿う線と横方向に沿う線との２種を含む加工であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の板ガラスの加工方法。
【請求項８】
板ガラスにおける上流側の搬入エリアと下流側の搬出エリアとの間で加工テーブルを往復動させ、該加工テーブルが前記搬入エリアに位置している時に、前記加工テーブル上に流体の噴出に伴って形成されている流体層により、板ガラスを水平姿勢で浮上させつつ該加工テーブル上に移載し、且つ、前記加工テーブルが前記搬入エリアから搬出エリアに到達するまでの間に、前記加工テーブル上で板ガラスに加工を施すべく、流体層を実質的に除去して該加工テーブル上に板ガラスを接触させ、前記加工テーブル上に再び流体を噴出して形成した流体層により、前記搬出エリアで、板ガラスを水平姿勢で浮上させつつ該加工テーブルから搬出するように構成したことを特徴とする板ガラスの加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板ガラスの加工方法及びその装置に係り、詳しくは、板ガラスを上流側から加工テーブル上に水平姿勢で移載させ、加工テーブル上で板ガラスに加工を施した後、加工を終えた板ガラスを加工テーブル上から下流側に水平姿勢で受け渡すようにした板ガラスの加工方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、プラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等の各種画像表示機器用のガラスパネルの製作に用いられる板ガラス、及び各種電子表示機能素子や薄膜を形成するための基材として用いられる板ガラス、並びに建築用の窓ガラスの基材として用いられる板ガラスは、生産性の向上等を目的として大板化が推進されているのが現状である。
【０００３】
これらの板ガラスに対しては、成形処理を終えた後、所定の大きさに切断したり或いは不要部分を除去するためのスクライブ線の刻設や、端面（各辺）の研削・研磨等の所定の加工が施される。これらの加工は、板ガラスを加工テーブル（定盤）の上に載せ且つ堅固に固定支持した状態で行うのが好ましいと言えるが、この種の板ガラスは、上述のように大板化が推進されていることから、その取り扱い作業、つまり加工テーブル上への移載作業や加工テーブルからの取り出し作業等の困難化を余儀なくされている。
【０００４】
このような問題に対処すべく、例えば下記の特許文献１〜３によれば、流体を利用して板ガラスを案内面或いは搬送面に非接触で支持し、加工位置や処理位置まで非接触支持状態で搬送した後に、板ガラスに所定の加工或いは処理を施すことが開示されている。
【０００５】
詳述すると、特許文献１には、略垂直姿勢に立てられた板ガラスの底辺を、ベルトコンベアが支持した状態で搬送すると共に、その搬送方向に沿って略垂直姿勢の板ガラスの面に流体（気体または液体）を噴出させて非接触支持する流体ガイドを配設し、搬送方向の所定の位置で板ガラスに縦方向のスクライブ線を刻設する構成が開示されている。また、特許文献２、３には、気体によって浮上して水平姿勢で搬送される板ガラスを、加工エリアで気体の噴出を停止し且つ負圧吸引により当該エリアに固定保持し、この状態で所定の加工や処理を板ガラスに施すことが記載されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１６７８３３号公報
【特許文献２】特開２００４−１８２３７８号公報
【特許文献３】特開２００４−２３１３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記の特許文献１に開示された板ガラスの加工設備は、流体を利用して板ガラスの面が案内面に接触しないように配慮されているものの、板ガラスの底面がベルトコンベア上に接触支持されて搬送される構成であるため、板ガラスの底面に接触傷が付くおそれがあり、搬送時の振動等が大きければ、この種の問題がより一層大きくなり、クラックの発生ひいては割れをも惹き起こす要因となる。しかも、板ガラスが大板化（例えば１辺が１５００ｍｍ以上または２０００ｍｍ以上に大板化）されている現状に照らせば、その重量増に起因して板ガラスの底辺に作用する荷重が大きくなり、上記の接触傷や割れ等の問題はより一層深刻なものと成り得る。
【０００８】
更に、上記の板ガラスは、略垂直姿勢に非接触支持されているものの、その倒れを防止するために、流体噴出を行う流体ガイドに板ガラスの上辺が下辺よりも近づくように僅かに傾斜していることから、板ガラスをそのような姿勢に維持して搬送するためには、流体ガイドから板ガラスの面に噴出される流体圧を上部と下部とで微妙に相違させるべく微調整を行うなどの必要性が生じ得る。そのため、流体圧の制御が面倒且つ煩雑になるおそれがあるばかりでなく、板ガラスが大板（更には薄肉）であると、自重により撓みが生じるため、その流体圧の制御が困難或いは実質的に不可能となり、板ガラスが流体ガイドに接触して傷が付き、もしくは板ガラスが倒れて致命的な欠陥が生じるおそれがある。
【０００９】
加えて、この板ガラスの加工設備は、加工位置で板ガラスにスクライブ線を刻設するに際して、板ガラスの搬送を一時的に停止させる必要性があることから、連続して板ガラスを搬送することができず、これに起因して作業能率が悪化すると共に、生産性が低下する。特に、板ガラスが大板であると、長尺なスクライブ線を刻設せねばならないため、その作業に長時間を要し、この種の問題がより一層顕著となる。
【００１０】
また、上記の特許文献２、３に開示された板ガラスの搬送方法は、空気の噴出により板ガラスを水平姿勢で浮上させて搬送するものであるが、この搬送方法においても、板ガラスが加工エリアに達した時点で、板ガラスの搬送を一時的に停止して、加工エリアで板ガラスに対して所定の加工や処理を行うものであるため、上記と同様に、作業能率の悪化や生産性の低下を招くと共に、板ガラスの大板化によって問題が深刻となる。
【００１１】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、搬送される板ガラスを加工位置で停止させることによる時間のロスを可及的に低減し、作業能率の改善及び生産性の向上を図ることを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係る板ガラスの加工方法は、板ガラスにおける上流側の搬入エリアと下流側の搬出エリアとの間で加工テーブルを往復動させると共に、該加工テーブルが前記搬入エリアに位置している時に、前記加工テーブル上に流体の噴出に伴って形成されている流体層により、板ガラスを水平姿勢で浮上させつつ該加工テーブル上に移載し、その後、前記加工テーブルが前記搬入エリアから搬出エリアに到達するまでの間に、前記加工テーブル上の流体層を実質的に除去して該加工テーブル上で板ガラスに加工を施し、然る後、前記加工テーブル上に再び流体を噴出して流体層を形成し、該流体層により、板ガラスを水平姿勢で浮上させつつ前記搬出エリアで該加工テーブルから搬出することに特徴づけられる。
【００１３】
このような方法によれば、上流側の搬入エリアと下流側の搬出エリアとの間で往復動する加工テーブルが、搬入エリアに位置している時に、板ガラスが加工テーブル上に移載されていくが、この移載は、加工テーブル上に既に噴出して形成されている流体層（液体層または気体層）により、板ガラスが水平姿勢で浮上した状態で行われる。そして、加工テーブルが搬入エリアから搬出エリアに到達するまでの間に、加工テーブル上の流体層が実質的に除去された状態の下で板ガラスに対して所定の加工が施され、その加工を終えた板ガラスが、再び加工テーブル上に形成された流体層により浮上して、搬出エリアで加工テーブルから搬出される。この後は、加工テーブルが再び搬入エリアに戻り、後続の板ガラスに対して、上記と同様に移載及び加工が実行される。このように、加工テーブルが搬入エリアと搬出エリアとの間で往復動し、且つ加工テーブルが搬入エリアから搬出エリアに到達するまでの間に板ガラスに対して加工が施されるため、板ガラスは加工のために一時的に停止する必要がなくなり、作業能率の改善ひいては生産性の向上が図られる。そして、加工テーブルが往復動する距離を長くすれば、板ガラスに対して加工を施す時間も長くできるため、大型の板ガラス（例えば２０００ｍｍ×４０００ｍｍ、或いはそれ以上）であっても、適切に加工を行えることになる。しかも、板ガラスを加工テーブル上に移載する際及び加工テーブル上から搬出する際には、流体層により浮上して非接触状態となることから、板ガラスが加工テーブルと接触して傷が付く等の不具合が生じなくなる。尚、上記の「加工テーブル上の流体層を実質的に除去して」とは、流体層が液体層である場合に、加工テーブルのテーブル面が僅かに濡れた状態であっても板ガラスを浮上させるに足る液体量よりも少量にすることを意味する。
【００１４】
この場合、前記搬入エリアの直上流側に、前記加工テーブルに移載されるべき板ガラスを水平姿勢で搬送する上流側コンベアを備えると共に、前記搬出エリアの直下流側に、前記加工テーブルから搬出された板ガラスを受け取って水平姿勢で搬送する下流側コンベアを備えてなることが好ましい。
【００１５】
このようにすれば、上流側コンベアにより水平姿勢で搬送されてきた板ガラスを加工テーブル上に移載する動作と、加工テーブルを下流側に向かって往動させつつ板ガラスに加工を施す動作と、加工テーブルが搬出エリアに到達した時点で板ガラスを下流側コンベアに受け渡す動作と、加工テーブルを再び搬入エリアに復動させる動作とを、適切に連係させることが可能となり、流れ作業の円滑化が図られる。
【００１６】
また、以上の方法においては、前記上流側コンベアにより板ガラスが搬入エリアまで搬送された時点で、加工テーブルが上流側に向かって復動して搬入エリアに到達することが好ましい。
【００１７】
このようにすれば、板ガラスを停止させることなく加工テーブル上に移載することが可能となり、移載作業の迅速化が図られる。
【００１８】
更に、前記加工テーブルは、連続して往復動を繰り返すことが好ましい。
【００１９】
このようにすれば、加工テーブルが一時的に待機することによる時間的な損失がなくなると共に、流れ作業がより一層円滑に行われる。
【００２０】
また、前記板ガラスは、上流側コンベアによる搬送時から下流側コンベアによる搬送時まで連続して下流側に向かって移動することが好ましい。
【００２１】
このようにすれば、板ガラスが常に搬送されている状態を維持しつつ、板ガラスに加工を施すことができるため、生産性が可及的に高められる。
【００２２】
以上の方法における加工としては、板ガラスの上面に直線または湾曲線からなるスクライブ線を刻設する加工を挙げることができる。
【００２３】
ここで、上記の直線からなるスクライブ線は、例えば板ガラスを２分割或いはそれ以上に複数分割する際の折割りの基準線であってもよく、或いは不要部分を除去する際の折割りの基準線であってもよい。また、上記の湾曲線からなるスクライブ線は、例えば円形や楕円形等の板ガラスを得るためにその周囲を除去する際の折割りの基準線であってもよく、或いは板ガラスのコーナー部に大きな曲率半径のＲ面取りを形成するためにその周囲を除去する際の折割りの基準線であってもよい。
【００２４】
また、以上の方法における他の加工としては、板ガラスの上面に縦方向に沿う線と横方向に沿う線との２種を含む加工を挙げることができる。
【００２５】
このようにすれば、板ガラスを９０°回転させなくても、直交する２方向に沿うスクライブ線を同一姿勢の板ガラスに刻設することができ、作業能率の向上を図ることが可能となる。
【００２６】
一方、上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係る板ガラスの加工装置は、板ガラスにおける上流側の搬入エリアと下流側の搬出エリアとの間で加工テーブルを往復動させ、該加工テーブルが前記搬入エリアに位置している時に、前記加工テーブル上に流体の噴出に伴って形成されている流体層により、板ガラスを水平姿勢で浮上させつつ該加工テーブル上に移載し、且つ、前記加工テーブルが前記搬入エリアから搬出エリアに到達するまでの間に、前記加工テーブル上で板ガラスに加工を施すべく、流体層を実質的に除去して該加工テーブル上に板ガラスを接触させ、前記加工テーブル上に再び流体を噴出して形成した流体層により、前記搬出エリアで、板ガラスを水平姿勢で浮上させつつ該加工テーブルから搬出するように構成したことに特徴づけられる。
【００２７】
この板ガラスの加工装置は、特徴となる構成要素が、既に述べた基本となる板ガラスの加工方法と実質的に同一であり、したがって、この加工装置についての作用効果等に関する事項は、上記の基本となる加工方法について既に述べた事項と同一であるため、ここでは便宜上、その説明を省略する。
【発明の効果】
【００２８】
以上のように本発明に係る板ガラスの加工方法及びその装置によれば、加工テーブルが搬入エリアと搬出エリアとの間で往復動し、且つ加工テーブルが搬入エリアから搬出エリアに到達するまでの間に板ガラスに対して加工が施されるため、板ガラスは加工のために一時的に停止する必要がなくなり、作業能率の改善ひいては生産性の向上が図られる。しかも、板ガラスを加工テーブル上に移載する際及び加工テーブル上から搬出する際には、流体層により浮上して非接触状態となることから、板ガラスが加工テーブルと接触して傷が付く等の不具合が生じなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。
【００３０】
図１〜図５は、本発明の実施形態に係る板ガラスの加工装置の概略構成及びその動作を例示している。先ず、図１、図２及び図３に基づいて、板ガラスの加工装置の構成を説明すると、この加工装置１は、上流側の搬入エリアＥ１から下流側の搬出エリアＥ２に向かって一直線上に延びる一対のガイドレール２を有し、このガイドレール２に加工テーブル（定盤）３がａ−ｂ方向に往復動可能に保持されている。即ち、加工テーブル３は、搬入エリアＥ１と搬出エリアＥ２との間で、ａ方向に往動し且つｂ方向に復動するように構成されている。
【００３１】
加工テーブル３は、その上面に多数の噴出孔３ａが形成され（図３参照）、これらの噴出孔３ａから均一な噴出圧で液体（この実施形態では水）が噴出されることにより、加工テーブル３上に板ガラスＧを水平姿勢で浮上させるための液体層３ｂが形成されるようになっている。尚、加工テーブル３上に噴出されて液体層３ｂを形成した液体は、一旦外部に排出され、異物濾過フィルタ（図示略）を通過した後、再び加工テーブル３の噴出孔３ａから噴出されて液体層３ｂを形成するようになっている。また、この加工装置１は、加工テーブル３上から板ガラスＧを浮上させている液体層３ｂが実質的に除去された段階で板ガラスＧの下面に負圧吸引力を作用させる負圧吸引手段（図示略）を有している。
【００３２】
更に、一対のガイドレール２には、加工時に対応する一部領域（全領域でもよい）において加工テーブル３と一体的に移動するスクライブユニット４が保持されている。このスクライブユニット４は、板ガラスＧの上面に、縦方向（ａ−ｂ方向）に沿うスクライブ線を刻設する一対の第１スクライブ刃４ａを保持し且つ上記の領域で加工テーブル３と一体移動可能な横架部材４ｘと、横方向（ａ−ｂ方向と直交する方向）に沿うスクライブ線を刻設する一対の第２スクライブ刃４ｂを保持し且つ横架部材４ｘに横方向にスライド可能に保持された縦架部材４ｙとを備えている。加えて、この加工装置１は、板ガラスＧの上面にスクライブ線を刻設しながら或いは刻設した後に、そのスクライブ線に上方から洗浄用液体（この実施形態では水）を噴射供給して、スクライブ線の刻設に伴って生成されるガラス粉等の異物を洗い流す洗浄用液体供給手段（図示略）を有している。この洗浄用液体供給手段は、第１スクライブ刃４ａ及び第２スクライブ刃４ｂにそれぞれ対応するように複数設けられ、これらのスクライブ刃４ａ、４ｂとそれぞれ一体となって移動するものであってもよく、或いは加工テーブル３上に固定設置されるものであってもよい。
【００３３】
また、一対のガイドレール２にはそれぞれ、横方向及び縦方向に移動可能とされ且つ搬入エリアＥ１と搬出エリアＥ２とにおいて板ガラスＧの移動を案内すると共に加工テーブル３上での板ガラスＧの位置決めを行うガイド部材５が保持されている。尚、この一対のガイド部材５は、図示のように１箇所に配設してもよいが、例えば、搬入エリアＥ１に対応する部位と、搬出エリアＥ２に対応する部位との２箇所に配設してもよい。
【００３４】
更に、搬入エリアＥ１の直上流側には、板ガラスＧを水平姿勢で搬送して搬入エリアＥ１に送り出す上流側コンベア６が配設されると共に、搬出エリアＥ２の直下流側には、板ガラスＧを搬出エリアＥ２から受け取って水平姿勢で搬送する下流側コンベア７が配設されている。そして、この実施形態では、上流側コンベア６は、定位置に設置された長尺な不動コンベア６ａと、該不動コンベア６ａから独立して下流側に移動可能とされた短尺な可動コンベア６ｂとから構成され、また下流側コンベア７も、定位置に設置された長尺な不動コンベア７ａと、該不動コンベア７ａから独立して上流側に移動可能とされた短尺な可動コンベア７ｂとから構成されている。
【００３５】
次に、以上の構成を備えてなる板ガラスの加工装置１の動作を、順を追って説明する。尚、この加工装置１により加工される板ガラスＧは、横方向寸法が２０００〜３０００ｍｍ、縦方向寸法が３０００〜５０００ｍｍ、厚みが１．５〜３ｍｍであって、プラズマディスプレイのパネルの製作に使用されるものである。
【００３６】
先ず、図１に示すように、上流側コンベア６により搬送されてきた板ガラスＧは、搬入エリアＥ１で、一対のガイド部材５により挟持され、案内移動されて加工テーブル３上に移載されていく。この場合、板ガラスＧが搬入エリアＥ１に達した時点では、加工テーブル３上に液体層３ｂが形成されているため、板ガラスＧは少なくとも下面が液体層３ｂによって洗浄されつつ且つ液体層３ｂの上に水平姿勢で浮上した状態で加工テーブル３上に移載されていく。尚、一対のガイド部材５は、板ガラスＧの下流側端部における横方向の両縁を把持した状態でその移動を案内する。
【００３７】
そして、図１に示す板ガラスＧの加工テーブル３上への移載開始時においては、加工テーブル３がｂ方向に復動すると同時に、板ガラスＧは上流側コンベア６（可動コンベア６ａ）によりａ方向に搬送されることになるので、それぞれの移動速度の総和に相当する高速度で板ガラスＧが液体層３ｂの表面を滑動しながら加工テーブル３上に移載されていく。
【００３８】
このような動作が行われて加工テーブル３がｂ方向への復動端に達した時点またはその付近で、図２に示すように、板ガラスＧは液体層３ｂ上に浮上した状態で所定の加工位置に達し、一対のガイド部材５は搬出エリアＥ２に移行して待機する。この時点で、加工テーブル３上の液体層３ｂが実質的に除去されて、板ガラスＧの下面が加工テーブル３の上面に接触し、更に負圧吸引力により板ガラスＧが加工テーブル３の上面に強固に固定支持される。また、このような板ガラスＧの固定支持が行われる直前または直後に、加工テーブル３はａ方向に往動する。
【００３９】
そして、加工テーブル３がａ方向に往動している間に、図３に示すように、スクライブユニット４の縦架部材４ｙが横方向にスライドするが、このスクライブユニット４は加工テーブル３と同速度でａ方向に移動していることから、板ガラスＧの上面には、縦架部材４ｙに保持されている一対の第２スクライブ刃４ｂにより、横方向に直線上に延びる一対のスクライブ線が刻設される。このスクライブ線が刻設されている間は、洗浄用液体供給手段からスクライブ線（板ガラスＧの上面全域でもよい）に向かって洗浄用液体が噴射供給される（以下のスクライブ線の刻設時においても同様）。そして、このスクライブ線が板ガラスＧの横方向全長に亘って刻設された後は、加工テーブル３がａ方向に継続して往動するのに対して、スクライブユニット４は停止するため、板ガラスＧの上面には、横架部材４ｘに保持されている一対の第１スクライブ刃４ａにより、縦方向に直線上に延びる一対のスクライブ線が刻設される。
【００４０】
このような動作が継続して行われて、縦方向に沿うスクライブ線が板ガラスＧの縦方向全長に亘って刻設された後、図４に示すように、加工テーブル３上に再び液体層３ｂが形成され、この液体層３ｂによって板ガラスＧは浮上する。このような状態で、加工テーブル３が継続して僅かにａ方向に往動した時点で、板ガラスＧが一対のガイド部材５により既述と同様の態様で案内移動される。
【００４１】
そして、図５に示すように、加工テーブル３がａ方向の往動端付近に達することに伴って、板ガラスＧが搬出エリアＥ２で液体層３ｂにより浮上されつつ一対のガイド部材５により加工テーブル３上から下流側コンベア７に受け取られていく。この受け取り時には、板ガラスＧが液体層３ｂの表面を滑動しながら、先ず上流側に突出した状態にある可動コンベア７ｂにより受け取られ、その後に不動コンベア７ａに移載されていく。
【００４２】
このような動作が行われることにより、下流側コンベア７への板ガラスＧの移載が完了した時点で、その板ガラスＧは下流側コンベア７により下流側に搬送されると共に、加工テーブル３は液体層３ｂが形成されたままの状態でｂ方向に復動する。そして、図１に示すように、後続の板ガラスＧが再び既述と同様の手順で加工テーブル３上に移載され、既述と同様の動作が繰り返し実行される。
【００４３】
したがって、加工テーブル３は連続してａ−ｂ方向に往復動を繰り返すと共に、加工テーブル３のａ方向への往動時に板ガラスＧに対するスクライブ線の刻設作業を終了し、且つ、搬出エリアＥ２で板ガラスＧの搬出を終えた加工テーブル３がｂ方向に復動して搬入エリアＥ１に到達すると同時に、後続の板ガラスＧが上流側コンベア６により搬入エリアＥ１まで搬送されることになる。これにより、上流側コンベア６により搬送されてきた板ガラスＧは、停止することなく連続して加工テーブル３上に移載されていくと共に、移載された後も加工テーブル３によって停止することなく連続してａ方向に移動し、且つ加工テーブル３から下流側コンベア７に停止することなく連続して移載される。このように、板ガラスＧが連続して移動すると共に、その移動時にスクライブ線を刻設するための加工が施される結果、作業能率が改善されて、生産性が大幅に向上する。
【００４４】
しかも、搬入エリアＥ１で板ガラスＧが加工テーブル３上に移載されていく間においては、液体層３ｂにより板ガラスＧの少なくとも下面が洗浄されることになるため、上流側コンベア６による板ガラスＧの搬送時にその下面に異物が付着していても、その異物は板ガラスＧの加工テーブル３への移載時に洗い流される。そして、板ガラスＧの下面が清浄になった後に、液体層３ｂの除去により板ガラスＧの下面が加工テーブル３のテーブル面に接触するため、この両面が異物を介在させた状態で接触するという不具合が回避される。しかも、板ガラスＧに対するスクライブ線の刻設後に、板ガラスＧが再び液体層３ｂにより浮上して搬出エリアＥ２で下流側コンベア７に移載されていくため、スクライブ線の刻設時に発生したガラス粉等が仮に板ガラスＧの下面に付着していても、そのガラス粉は板ガラスＧの下流側コンベア７への移載時に液体層３ｂにより洗い流される。
【００４５】
尚、上記実施形態は、加工テーブル３上に液体を噴出させて液体層３ｂを形成するようにしたが、これに代えて、加工テーブル３上に空気等の気体を噴出させて気体層を形成するようにしてもよい。
【００４６】
また、上記実施形態は、プラズマディスプレイのパネルの製作に用いられる板ガラスＧの加工装置１に本発明を適用したが、これ以外に、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等のパネルの製作に用いられる板ガラスの加工装置や、各種電子表示機能素子や薄膜を形成するための基材として用いられる板ガラスの加工装置、更には建築用の窓ガラスの基材として用いられる板ガラスの加工装置についても、同様にして本発明を適用することが可能である。
【００４７】
更に、上記実施形態は、板ガラスに施す加工として、スクライブ線を刻設する場合に本発明を適用したが、これ以外の加工、例えば板ガラスの端面（各辺）を研削或いは研磨する場合についても、本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施形態に係る板ガラスの加工装置（上流側コンベアから板ガラスを加工テーブル上に移載している状態）を模式的に示す概略斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る板ガラスの加工装置（加工テーブル上に板ガラスが移載された直後の状態）を模式的に示す概略斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る板ガラスの加工装置（加工テーブル上で板ガラスに加工を施している状態）を模式的に示す概略斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る板ガラスの加工装置（加工テーブル上で加工を終えた板ガラスが搬送されている状態）を模式的に示す概略斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係る板ガラスの加工装置（加工テーブル上から板ガラスを下流側コンベアに受け渡している状態）を模式的に示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  板ガラスの加工装置
３  加工テーブル（定盤）
３ｂ  液体層（流体層）
４  スクライブユニット
６  上流側コンベア
７  下流側コンベア
ａ  加工テーブルの往動方向
ｂ  加工テーブルの復動方向
Ｅ１  搬入エリア
Ｅ２  搬出エリア
Ｇ  板ガラス
【図１】
2007099429.tif 000003
【図２】
2007099429.tif 000004
【図３】
2007099429.tif 000005
【図４】
2007099429.tif 000006
【図５】
2007099429.tif 000007