(57)【要約】【課題】本発明は、安定した流速分布且つ圧力を供給しながら細胞を安定して保持することができる細胞電気生理センサおよびその製造方法を実現することを目的とする。【解決手段】第一の開口部３と第二の開口部５を有する貫通孔２を設けたダイアフラム１からなる細胞電気生理センサであって、前記貫通孔２の中間部に貫通孔２の開口径よりも大きな開口径を有する空洞部４を設けるとともに、前記第一および第二の開口部３、５の大きさを細胞８の大きさよりも十分に小さくした構成とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の開口部と第二の開口部を有する貫通孔を設けたダイアフラムからなる細胞電気生理センサであって、前記貫通孔の中間部に貫通孔の開口径よりも大きな開口径を有する空洞部を設けるとともに、前記第一および第二の開口部の大きさを細胞の大きさよりも十分に小さくした細胞電気生理センサ。
【請求項２】
第一の開口部および第二の開口部の大きさを３μｍ以下とした請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項３】
第二の開口部からの貫通孔の深さを０．５〜５．０μｍとした請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項４】
第二の開口部の孔形状を円形状とした請求項１に記載の細胞電気生理センサ。
【請求項５】
第一の開口部と第二の開口部を有する貫通孔を設けたダイアフラムからなる細胞電気生理センサであって、前記貫通孔の中間部に貫通孔の開口径よりも大きな開口径を有する空洞部を設けるとともに、前記第一および第二の開口部の大きさを細胞の大きさよりも十分に小さくした細胞電気生理センサの製造方法であって、
前記ダイアフラムの第一面に第一の開口部を有する貫通孔の一部をエッチングするためのマスクをフォトリソによって形成する工程と、この第一の開口部用のマスクを用いて第一の開口部をエッチングを抑制するガスとエッチングを促進するガスの二種類を用いてドライエッチングによって形成する工程を経た後、前記ダイアフラムの第二面に第二の開口部をエッチングするためのマスクをフォトリソによって形成する工程と、この第二の開口部のマスクを用いて第二の開口部をエッチングを抑制するガスとエッチングを促進するガスの２種類を用いてドライエッチングによって貫通孔を形成する工程を備え、さらにこの後、第一の開口部あるいは第二の開口部側からエッチングを促進するガスのみを用いてエッチングを行って貫通孔の中間部に空洞部を形成する工程からなる細胞電気生理センサの製造方法。
【請求項６】
エッチングを促進するガスはＳＦ6、ＣＦ4、ＸｅＦ2のうちいずれか一つまたは混合であり、エッチングを抑制するガスはＣＨＦ3、Ｃ4Ｆ8のうちのいずれか一つまたは混合ガスである請求項５に記載の細胞電気生理センサの製造方法。
【請求項７】
第一の開口部および第二の開口部をエッチングする工程において、エッチングを終了する直前においては、エッチングを抑制するガスのみを流して生成物を貫通孔の壁面に形成する請求項５に記載の細胞電気生理センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、細胞の電気生理的活動の測定に用いられる細胞電気生理センサとその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気生理学におけるパッチクランプ法は、細胞膜に存在するイオンチャンネルを測定する方法として知られており、このパッチクランプ法によってイオンチャンネルの様々な機能が解明されてきた。そして、イオンチャンネルの働きは細胞学において重要な関心ごとであり、これは薬剤の開発にも応用されている。
【０００３】
しかし、一方でパッチクランプ法は測定技術に微細なマイクロピペットを１個の細胞に高い精度で挿入するという極めて高い能力を必要としているため、熟練作業者が必要であり、高いスループットで測定を必要とする場合には適切な方法でない。
【０００４】
このため、微細加工技術を利用した基板型プローブの開発がなされており、これらは個々の細胞についてマイクロピペットの挿入を必要としない自動化システムに適している。例えば、基板の上に設けられた細胞保持手段を備えたウエルと、このウエルの電気信号を検出する測定用電極と、基準電極とを備えた細胞外電位測定用デバイスによって細胞外電位を測定する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。図７はこの従来の細胞電気生理センサのウエル構造を模式断面図で示したものであり、ウエル２０の内部に培養液２７が入れられ、被験体細胞２６は基板２３に設けられた細胞保持手段によって捕捉または保持されている。細胞保持手段は基板２３に形成された窪み２２および開口部を介してこの窪み２２に連絡する貫通孔２４を備えた構成となっている。
【０００５】
さらに貫通孔２４の内部にはセンサ手段である測定電極２５が配置されており、この電極２５は配線を経て信号検出部に連結されている。
【０００６】
そして、測定の際には被験体細胞２６を貫通孔２４から吸引ポンプなどの手段により、この被験体細胞２６が窪み２２に密着保持される。このようにして被験体細胞２６の活動により発生する電気信号はウエル２０の内部の培養液２７に漏れることなく、貫通孔２４に設けた測定電極２５と参照電極２８によって電位の変化あるいは電流の変化を検出する。
【０００７】
このように、基板２３に形成された貫通孔２４はガラスピペットにおける先端穴と同様の役割を果たし、高精度な細胞の電気生理現象を記録できるとともに、基板２３の裏面側からの吸引によって被験体細胞２６が自動的に引きつけられ、被験体細胞２６を容易に保持できるという利点を有している。このとき、被験体細胞２６が高い密着性を持って保持されることは、低いバックグラウンドノイズでイオンチャンネル活動によって生じる細胞外電位、或いは細胞内電位を測定するためには重要な要素である。
【特許文献１】国際公開第０２／０５５６５３号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら前記従来の構成においては、細胞を固定するための吸引圧力を安定化させる貫通孔の形状について明示されていなかった。細胞の微小な電位変化を測定するには、細胞が安定して保持されることが非常に重要となる。
【０００９】
本発明は、安定した流速分布且つ圧力を供給しながら細胞を安定して保持することができる細胞電気生理センサおよびその製造方法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記従来の課題を解決するために、本発明は、第一の開口部と第二の開口部を有する貫通孔を設けたダイアフラムからなる細胞電気生理センサであって、前記貫通孔の中間部に貫通孔の開口径よりも大きな開口径を有する空洞部を設けるとともに、前記第一および第二の開口部の大きさを細胞の大きさよりも十分に小さくした構成とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の細胞電気生理センサおよびその製造方法は、流体が空洞部に分散するため、流速分布が第一の開口部よりも均一となり安定化することから空洞部において圧力も安定化し、細胞保持が行われる第二の開口部に安定した流速分布かつ圧力を供給することができる。これによって、細胞を安定して確実に保持することができる細胞電気生理センサおよびその製造方法を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における細胞電気生理センサについて、図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は本発明の実施の形態１における細胞電気生理センサの構成を示す上面図であり、図２は図１のＡ−Ａ部における断面図である。また、図３は細胞の保持状態を説明するための断面図である。
【００１４】
図１〜図３において、１はシリコン基板などのダイアフラムであり、このダイアフラム１の厚み方向に貫通孔２を形成している。そして、ダイアフラム１は第一面６と、第一面６に対向した第二面７を有し、貫通孔２は第一面６から第二面７にかけて貫通している。そして、この貫通孔２の中間部には空洞部４を形成している。従って、ダイアフラム１には少なくとも一つの貫通孔２を有するとともに、第一面６から第二面７にかけて第一の開口部３、空洞部４、第二の開口部５の順に構成している。この空洞部４の最大開口径は第一の開口部３および第二の開口部５の最大開口径よりも大きくしており、少なくとも第二の開口部５の大きさは細胞の大きさよりも十分小さい形状としている。さらにまた、空洞部４は曲面で構成している。
【００１５】
ここで、第二の開口部５の開口径は、測定する細胞８の大きさ、形状、性質によって決定されるが、細胞８が１０〜５０μｍ程度の大きさの場合、細胞８が第二の開口部５を通り抜けずに確実に保持される開口径として３μｍ以下が望ましい。
【００１６】
また第二の開口部５の深さは細胞８の保持を行う時に第二の開口部５のエッジ部が破壊しない厚さとして０．５〜５μｍが望ましい。
【００１７】
次に、本発明の細胞電気生理センサの動作について図３を用いて説明する。
【００１８】
図３は第二面７から第二の開口部５において細胞８の保持を行った時の断面図である。まず第二面７に細胞８を培養液９ｂと共に満たした後、第一面６側の領域を減圧するか、第二面７側の領域を加圧すると、細胞８と第二面７側の培養液９ｂは貫通孔２に引き込まれ、細胞８は第二の開口部５を塞ぐように保持される。
【００１９】
一方、第一面６側の領域は第二面７側とは異なる、あるいは同じ培養液９ａによって満たしておく。
【００２０】
その後、細胞８への刺激となりうる行為を第二面７側から施す。この刺激の種類としては、例えば化学薬品、毒物、などの化学的な刺激に加え、機械的変位、光、熱、電気、電磁波などの物理的な刺激などがある。そして、この細胞８がこれらの刺激に対して活発に反応する場合、例えば細胞８は細胞膜が保有するチャンネルを通じて各種イオンを放出あるいは吸収する。この結果として細胞外の電位が変化し、その変化を電圧あるいは電流の変化として検出することができる。
【００２１】
ここで、図３に示したように第一面６側の領域を矢印の方向に減圧した場合には、第一の開口部３付近の内部での流速は壁面が遅くなり、中心が速くなるという不均一な流速分布の状態となっている（図３のように流速をベクトルで図示し、ベクトルの長さは長いほど流速が速く、短いほど流速が遅いことを表している）。
【００２２】
その後、空洞部４の付近では、流体は空洞部４に分散するため、流速分布が第一の開口部３よりも均一となり安定化する。そして圧力も空洞部４において安定化し、細胞８の保持を行う第二の開口部５に安定した流速分布かつ圧力を供給することができる。これにより、細胞８を安定して確実に保持することができる細胞電気生理センサを実現することができる。
【００２３】
なお、細胞８の保持は第二面７側の領域を加圧することでも行うことができる。
【００２４】
また、第一面６に対して平行方向に流体を流すことによっても第一の開口部３を減圧させることができるが、この場合は第一の開口部３付近の内部での流速分布はより大きく乱れた状態になっている。このような状態に対しても、空洞部４を設けることによって流速分布を均一化させ、細胞８の保持を行う第二の開口部５に安定した流速分布かつ圧力を供給することができ、同様の効果を得ることができる。
【００２５】
また、図１に示したように第二の開口部５の孔形状を円形状とすることによって、エッジ部を有しないことから流体の流れのロスをより少なくすることができる。
【００２６】
また、円の中心に対して同心円状の均一な流速分布となることから、細胞８の保持を行う第二の開口部５に安定した流速分布かつ圧力を供給することができ、同様の効果を得ることができる。
【００２７】
以上のように構成した細胞電気生理センサについて、以下にその製造方法を図面を用いて説明する。
【００２８】
図４〜図６は本発明の実施の形態１における細胞電気生理センサの製造方法を説明するための断面図である。
【００２９】
まず始めに、図４に示すように、第一の開口部３を形成するためのレジストマスク１３と、第二の開口部５を形成するためのレジストマスク１４をそれぞれ、ダイアフラム１の第一面６と第二面７に形成する。
【００３０】
その後、第一面６側から第一の開口部３のエッチングを所定の深さになるまで行う。このときエッチングの方法としては、ドライエッチングが望ましく、なおかつエッチングガスとしてエッチングを促進するガスとエッチングを抑制するガスを用いることが好ましい。このエッチングを促進するガスにはＳＦ6、ＣＦ4などを用いるが、これらはシリコンのエッチングを深さ方向だけではなく、横方向へも促進する作用がある。そこで、ＣＨＦ3、Ｃ4Ｆ8等のエッチングを抑制するガスを混合させておくことで、エッチングの壁面にＣＦ2のポリマーである保護膜を作成することから、エッチングをエッチングマスクの下方のみに進行させることが可能となる。
【００３１】
また、別の方法として、エッチング形状をさらに垂直なものにしたい場合には、エッチングを促進するガスによってエッチングを少しだけ行った後、エッチングを抑制するガスによって保護膜を少しだけ形成する工程を繰り返すことで、ほぼ垂直なエッチング形状とすることができる。実験では、大きさ２０μｍの第一の開口部３を形成するのに、ＳＦ6を１３０ｓｃｃｍ流して１３秒間プラズマ発生させることで約１μｍのエッチングを行い、その後Ｃ4Ｆ8を８５ｓｃｃｍ流して７秒間プラズマ発生させて約０．０１μｍの保護膜を形成し、またエッチングを行うということを約６０回繰り返した結果、６０μｍの深さのほぼ垂直なエッチング形状とすることができた。
【００３２】
なお、エッチングを抑制するガスによって保護膜は第一の開口部３の壁面だけでなく、底面にも形成されるが、底面に形成された保護膜は壁面に形成された保護膜に比べてエッチングを促進するガスによって容易に除去されるので、エッチングは下方のみに進めることができる。
【００３３】
さらに、このときのエッチング工程においては、エッチングを終了する直前はエッチングを抑制するガスによって保護膜を形成することで終了しておけば、第一の開口部３の壁面には確実に保護膜が形成されるので、後のエッチング工程において、空洞部４を形成する際にも第一の開口部３の壁面が侵されることがない。
【００３４】
次に、図５に示すように、ダイアフラム１の下面側から第二の開口部５を形成するためのエッチングを行う。ここでも第一の開口部３を形成する際と同様にエッチングを促進するガスとエッチングを抑制するガスの切り替えによるエッチングを行って壁面をほぼ垂直になるよう形成しておく。
【００３５】
さらに、第一の開口部３の場合と同様に、エッチングを終了する直前にはエッチングを抑制するガスによって保護膜を形成して終了しておく。これにより、第二の開口部５の壁面にも保護膜が確実に形成されるので、後のエッチング工程において空洞部４を形成する際にも第二の開口部５壁面が侵されることがない。
【００３６】
次に、図６に示すように第一の開口部３側から、エッチングを促進するガスのみを用いてエッチングを行う。先ほどの工程で、第一の開口部３の壁面には保護膜が形成されているので、壁面はエッチングによって侵されることなく、下方にエッチングが進むが、新しくエッチングされたところには保護膜が形成されないので、横方向にもエッチングが進むことになり、結果的に図６に示すように、第一の開口部３と第二の開口部５の間に球状の空洞部４が形成される。このエッチング量を適当な量行えば、空洞部４の形状は曲面を持った空洞部４を形成することができ、流体の流れをよりスムーズに行うことができる。
【００３７】
なお、空洞部４のエッチングの際には第二の開口部５側に貫通された後も第二の開口部５の壁面にも保護膜が形成されているので、空洞部４の大きさが所望の大きさとなるまでしばらくエッチングを続けても、第二の開口部５の壁面が侵されることはない。ここで、あまりエッチングを続けると、横方向のみではなく、図６の点線に示すように全体に広がった形状となるので、適当なところで止める必要がある。なお、この工程におけるエッチングを促進するガスはＳＦ6、ＣＦ4が利用できるが、望ましくはＸｅＦ2がもっとも適している。これはこのガスでは保護膜がほとんどエッチングされないので、壁面をほとんど侵すことなく空洞部４を形成することが可能なのである。ただし、このガスの場合は、前工程で形成されたエッチング底面の保護膜をエッチングする速度も遅くなるので、これを回避するため、ＸｅＦ2によるエッチングをする前にＳＦ6、ＣＦ4、Ａｒガスなどを用いて底面の保護膜のみをエッチングすればよい。
【００３８】
なお、本実施の形態１では第一の開口部３、第二の開口部５、空洞部４の順番でエッチングを行ったが、この順番は、第二の開口部５、第一の開口部３、空洞部４の順番、あるいは第一の開口部３、空洞部４、第二の開口部５の順番でも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明の細胞電気生理センサおよびその製造方法は、細胞を固定する際の流速分布かつ圧力が貫通孔内の形状を変えることによって均一化するため、安定した細胞測定を行うのに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態１における細胞電気生理センサの上面図
【図２】同断面図
【図３】同動作を説明するための断面図
【図４】同製造方法を示すための断面図
【図５】同断面図
【図６】同断面図
【図７】従来の細胞電気生理センサの断面図
【符号の説明】
【００４１】
１  ダイアフラム
２  貫通孔
３  第一の開口部
４  空洞部
５  第二の開口部
６  第一面
７  第二面
８  細胞
９ａ、９ｂ  培養液
１３  レジストマスク
１４  レジストマスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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