(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドの目詰まり等による交換の頻度を低減する。【解決手段】液滴吐出面と、この液滴吐出面に形成された第１ノズル孔３を有する圧力室１ａと、圧力室１ａの液滴吐出面と対向する面に形成された圧電素子と、を有し、圧電素子の動作に応じて、圧力室に導入された液滴を第１ノズル孔３から吐出させる液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置の使用方法において、第１ノズル孔３から液滴が吐出不能となった場合に、液滴吐出面に第２ノズル孔３ａを形成し、第２のノズル孔３ａから圧力室１ａに導入された液滴を吐出させる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出面と、前記液滴吐出面に形成された第１ノズル孔を有する圧力室と、
前記圧力室の前記液滴吐出面と対向する面に形成された圧電素子と、を有し、
前記圧電素子の動作に応じて、前記圧力室に導入された液滴が前記第１ノズル孔から吐出される液滴吐出ヘッドの再加工方法であって、
前記第１ノズル孔の少なくとも一部が塞がった場合に、
前記液滴吐出面に第２ノズル孔を形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの再加工方法。
【請求項２】
液滴吐出面と、前記液滴吐出面に形成された第１ノズル孔を有する圧力室と、
前記圧力室の前記液滴吐出面と対向する面に形成された圧電素子と、を有し、
前記圧電素子の動作に応じて、前記圧力室に導入された液滴を前記第１ノズル孔から吐出させる液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置の使用方法であって、
前記第１ノズル孔の少なくとも一部が塞がった場合に、
前記液滴吐出面に第２ノズル孔を形成し、前記第２のノズル孔から前記圧力室に導入された前記液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置の使用方法。
【請求項３】
前記液滴吐出面は、シリコンもしくは金属材料よりなり、
前記第２ノズル孔はエキシマレーザを用いたレーザ光の照射により形成されること
を特徴とする請求項２記載の液滴吐出装置の使用方法。
【請求項４】
前記圧電素子は、第１電極および第２電極との間に配置された圧電体膜を有し、
前記第１電極および第２電極に電位を印加することにより、前記圧電体膜に歪みを生じさせ、前記圧力室を加圧することを特徴とする請求項２又は３記載の液滴吐出装置の使用方法。
【請求項５】
前記液滴吐出装置は、
前記液滴吐出ヘッドを第１方向および第２方向に移動可能に配置した移送手段と、
前記移送手段を制御する制御手段と、を有し、
前記第１ノズル孔と前記第２ノズル孔との位置関係に応じて、前記第２ノズル孔からの液滴の吐出位置を調整することを特徴とする請求項２乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の使用方法。
【請求項６】
前記液滴吐出ヘッドは、
液滴吐出面の外周に位置決めマークを有することを特徴とする請求項５記載の液滴吐出装置の使用方法。
【請求項７】
前記液滴吐出装置の使用方法は、
さらに、前記第１ノズル孔を被覆する工程を有することを特徴とする請求項２乃至６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の使用方法。
【請求項８】
液滴吐出面と、前記液滴吐出面に形成された第１ノズル孔を有する圧力室と、
前記圧力室の前記液滴吐出面と対向する面に形成された圧電素子と、
前記液滴吐出面の外周に配置された位置決めマークと、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
液滴吐出面を有する圧力室と、
前記液滴吐出面に形成され、液滴吐出不能となった第１ノズル孔と、
前記液滴吐出面に形成された第２のノズル孔と、
前記圧力室の前記液滴吐出面と対向する面に形成された圧電素子と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記第１ノズル孔は被覆されていることを特徴とする請求項９記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１１】
液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置であって、
請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドの再加工方法、液滴吐出装置の使用方法、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドは、圧力室を圧電素子により加圧し、その内部のインク（液）を圧力室底部のノズル孔から吐出する部材である。このような、インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等に利用され、ノズル孔から吐出されるインクによって印刷がなされる。
【０００３】
例えば、下記特許文献１には、インクの吐出不良をなくすために、ヘッド部材（２１０）と、ヘッドケース（２１８）の接着面に、インク供給口（２１８ｈ）の周りを一周する接着剤溝（２１８ｅ）を設け、接着剤注入口（２１８ｄ）から接着剤を注入し、空気抜き孔（２１８ｆ）まで充填する技術が開示されている。なお、括弧内は、当該文献に記載の符号である。
【０００４】
一方、液滴吐出ヘッドは、上記インクの吐出だけでなく、例えば、液晶装置の製造装置として用いられ、液晶装置を構成する液晶等の吐出にも用いられる。
【特許文献１】特開平１１−３２０９０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明者らは、液体噴射装置、特に、半導体装置の製造に用いる、産業用の液体噴射装置に関する研究・開発を行っている。
【０００６】
上記産業用の液体噴射装置は、例えば液晶装置のカラーフィルタ材料や配向膜材料等を基板上に吐出する。即ち、これら材料溶液を基板上に吐出し、適宜処理を施してカラーフィルタや配向膜を形成する。
【０００７】
これらの材料溶液には有機溶媒が用いられ、処理の高速化等から速乾性が要求されるため、揮発性の高い溶液が用いられる傾向にある。また、溶質も、高分子材料等、粘度の高い溶液が用いられる。
【０００８】
かかる材料溶液をノズル孔から吐出させる場合には、ノズルの少なくとも一部が塞がり、目詰まりや吐出した液滴の飛行曲がり等が起こりやすい。特に、ノズル孔は、材料溶液が、外気と接触する場所であるため、溶媒の揮発等により材料溶液が固化しやすい。
【０００９】
このような、ノズルの目詰まり等が起こった場合には、処理が一時中断し、そのメンテナンスに時間をとられる等、処理のスループットを悪化させていた。
【００１０】
このような問題に対し、本発明者は、ノズルを定期的に空打ち（フラッシング）し、目詰まりを解消する。もしくはノズル孔の内壁に付着した固形物を目詰まりする前に、空打ちにより取り除く等の方法や、ノズル孔から材料溶液を吐出させない程度の微振動を圧力室に与える方法を検討していた。また、圧力室を減圧し、ノズル孔の内壁に付着した固形物を圧力室内部に吸引することで、ノズル孔を回復させる方法を検討していた。
【００１１】
しかしながら、このような方法によってもノズル孔の目詰まり解消には限界があり、装置の継続使用（継続吐出）の際には、ノズル孔に強固に固形物（固形成分）が付着し、回復不可能な液滴吐出ヘッドが発生し得る。
【００１２】
このような場合には、新しい液滴吐出ヘッドに交換し、処理を継続せざるを得なかった。追って詳細に説明するように、産業用の液滴吐出装置に用いられる液滴吐出ヘッドは、その耐久性や剛性を保つためシリコンや金属を加工して形成されるものも多く、また、その汎用性が小さいことから、その単価は、大きなものである。
【００１３】
従って、ノズルの目詰まり等による液滴吐出ヘッドの交換が頻発すると、製品製造のスループットが低下するばかりか、そのコストも増大するといった問題があった。また、前述したように、製品に用いられる材料の多様化により、揮発性の高い溶媒の使用や粘性の高い材料溶液の使用にも適宜対応可能なノズルの目詰まり等の対策が緊急の課題であった。
【００１４】
本発明は、ノズルの目詰まり等の対策に有効な液滴吐出ヘッドの再加工方法、液滴吐出装置の使用方法を提供することを目的とする。また、ノズルの目詰まり等の対策に有効な液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
（１）本発明の液滴吐出ヘッドの再加工方法は、液滴吐出面と、上記液滴吐出面に形成された第１ノズル孔を有する圧力室と、上記圧力室の上記液滴吐出面と対向する面に形成された圧電素子と、を有し、上記圧電素子の動作に応じて、上記圧力室に導入された液滴が上記第１ノズル孔から吐出される液滴吐出ヘッドの再加工方法であって、上記第１ノズル孔の少なくとも一部が塞がった場合に、上記液滴吐出面に第２ノズル孔を形成することを特徴とする。
【００１６】
上記方法によれば、目詰まり等により第１ノズル孔から液滴が吐出不能となった場合に、液滴吐出面に第２ノズル孔を形成し、この第２ノズル孔を用いて液滴を吐出することができるので、液滴吐出ヘッドの目詰まり等による交換の頻度を低減することができる。また、液滴吐出処理のスループットを向上させることができる。また、処理コストを低減することができる。
【００１７】
（２）本発明の液滴吐出装置の使用方法は、液滴吐出面と、上記液滴吐出面に形成された第１ノズル孔を有する圧力室と、上記圧力室の上記液滴吐出面と対向する面に形成された圧電素子と、を有し、上記圧電素子の動作に応じて、上記圧力室に導入された液滴が上記第１ノズル孔から吐出される液滴吐出装置の使用方法であって、上記第１ノズル孔の少なくとも一部が塞がった場合に、上記液滴吐出面に第２ノズル孔を形成し、上記第２のノズル孔から上記圧力室に導入された液滴を吐出させることを特徴とする。
【００１８】
上記方法によれば、目詰まり等により第１ノズル孔の少なくとも一部が塞がった場合に、液滴吐出面に第２ノズル孔を形成し、この第２ノズル孔を用いて液滴を吐出することができるので、液滴吐出ヘッドの目詰まり等による交換の頻度を低減することができる。また、液滴吐出処理のスループットを向上させることができる。また、処理コストを低減することができる。
【００１９】
上記液滴吐出面は、シリコンもしくは金属材料よりなり、上記第２ノズル孔は、例えばエキシマレーザを用いたレーザ光の照射により形成される。
【００２０】
上記圧電素子は、例えば、第１電極および第２電極との間に配置された圧電体膜を有し、上記第１電極および第２電極に電位を印加することにより、上記圧電体膜に歪みを生じさせ、上記圧力室を加圧する。
【００２１】
上記液滴吐出装置は、例えば、上記液滴吐出ヘッドを第１方向および第２方向に移動可能に配置した移送手段と、上記移送手段を制御する制御手段と、を有し、上記第１ノズル孔と上記第２ノズル孔との位置関係に応じて、上記第２ノズル孔からの液滴の吐出位置を調整する。
【００２２】
例えば、上記液滴吐出ヘッドは、液滴吐出面の外周に位置決めマークを有する。
【００２３】
例えば、上記液滴吐出装置の使用方法は、さらに、上記第１ノズル孔を被覆する工程を有する。
【００２４】
（３）本発明の液滴吐出ヘッドは、液滴吐出面と、上記液滴吐出面に形成された第１ノズル孔を有する圧力室と、上記圧力室の上記液滴吐出面と対向する面に形成された圧電素子と、上記液滴吐出面の外周に配置された位置決めマークと、を有することを特徴とする。
【００２５】
（４）本発明の液滴吐出ヘッドは、液滴吐出面を有する圧力室と、上記液滴吐出面に形成され、液滴吐出不能となった第１ノズル孔と、上記液滴吐出面に形成された第２のノズル孔と、上記圧力室の上記液滴吐出面と対向する面に形成された圧電素子と、を有する。
【００２６】
例えば、上記第１ノズル孔は被覆されている。
【００２７】
（５）本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置であって、上記液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。なお、同一の機能を有するものには同一もしくは関連の符号を付し、その繰り返しの説明を省略する。
【００２９】
＜液滴吐出装置構成＞
図１は、本実施の形態の液滴吐出装置の概略斜視図である。図１に示すように、液滴吐出装置１０１は、液滴吐出ヘッド１０３およびその移動手段１０５を有する。移動手段１０３は、液滴吐出ヘッド１０３を脱着可能に保持し、液滴吐出ヘッド１０３をｘ方向ガイド１０７およびｙ方向ガイド１０９に沿って移動させる。また、移動手段１０５には、制御手段１１５が接続され、制御手段１１５によって液滴吐出ヘッド１０３を所望の位置に移動させる。なお、この制御手段１１５については、追って詳細に説明する。
【００３０】
また、液滴吐出ヘッド１０３の下部には、載置台１１３が配置され、その上部には、図示しない処理対象材（例えば、ガラス基板など）が設置され、液滴吐出ヘッド１０３から液滴が処理対象材に対し吐出される。
【００３１】
なお、液滴吐出ヘッド１０３を上下方向（ｚ方向）に移動させる手段を備ええもよい
また、載置台１１３を、ｘ方向、ｙ方向およびｚ方向に移動させる手段を備えてもよい。
【００３２】
＜液滴吐出ヘッド構成＞
図２〜図５は、本実施の形態の液滴吐出ヘッドの構成を示す要部斜視図、要部断面図もしくは要部平面図である。
【００３３】
図２〜図５に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッドは、シリコン基板１とその上部に配置されたダイヤフラム５と、ダイヤフラム５上に配置された縦型圧電素子（振動子）７と封止ケース９を有する。言い換えれば、縦型圧電素子（振動子）７は、圧力室の上面（液滴吐出面と対向する面）の上部にダイヤフラム５を介して形成されている。
【００３４】
シリコン基板１には、圧力室（キャビティ、凹部）１ａ、メイン流路（リザーバ）１ｂおよびサブ流路１ｃが設けられている。また、圧力室１ａの底面（液滴吐出面）には、ノズル孔３が開口されている。圧力室１ａ、メイン流路（リザーバ）１ｂ等は、シリコン基板１のエッチングにより形成される。なお、これらをエレクトロフォーミング（鋳金）により形成してもよい。また、ノズル孔３は、シリコン基板１のエッチングや、パンチ加工、レーザ加工などで形成することができる。ノズル孔３の孔の直径（孔径）は、例えば２０μｍである。
【００３５】
従って、材料溶液は、メイン流路（リザーバ）１ｂからサブ流路１ｃを介して圧力室１ａに充填され、縦型圧電素子７の駆動によって圧力室１ａが加圧され、ノズル孔３から材料溶液が吐出される。
【００３６】
ダイヤフラム５は、例えば薄い金属板であり、縦型圧電素子７の駆動を圧力室１ａに伝える役割を有する。
【００３７】
また、縦型圧電素子７は、複数の電極７ａが積層された構成を有し、これらの電極７ａ間には、圧電体膜（ピエゾ）７ｂが配置されている。圧電体膜７ｂは、例えば、ＰＺＴ
（チタン酸ジルコン酸鉛、Ｐｂ（Ｚｒ1-xＴｉx））よりなる。また、電極７ａは、底部（ダイヤフラム５方向）から延在する電極と、上部から延在する電極とが交互に配置されている（図４参照）。また、縦型圧電素子７の側壁には、外部引き出し電極７ｃが配置され（図３参照）、当該電極が駆動回路等と接続されることにより、電極７ａに印加される電位が制御される。
【００３８】
前述したノズル孔３は、圧力室１ａの底面（液滴吐出面）に形成され、図５に示すように、各圧力室１ａ毎に１個ずつ、ｙ方向において同じ位置に配置されている。即ち、各ノズル孔３のｙ座標は同じである。
【００３９】
＜液滴吐出ヘッドの再加工方法および液滴吐出装置の使用方法＞
次いで、液滴吐出ヘッドの再加工方法（再生方法、修理方法）について説明する。
【００４０】
図６〜図８は、本実施の形態の液滴吐出ヘッドの再加工方法を示す要部平面図もしくは要部断面図である。
【００４１】
図６に示すように、各圧力室１ａは、ｙ方向に長辺を有する略矩形状であり、各圧力室１ａは、ｘ方向に並んでいる。各ノズル孔３は、各圧力室１ａの底面（液滴吐出面）にそれぞれ形成されている。
【００４２】
かかるノズル孔３を有する液滴吐出ヘッドを用いて、処理対象材を処理する。例えば、液晶装置に用いられるカラーフィルム（カラーフィルタ）であって、赤、緑、青のフィルム領域がアレイ状に配置されたカラーフィルムを形成すべく、基板上に各種材料溶液を吐出する。
【００４３】
この際、処理を繰り返し、図６に示す、一番右側の圧力室１ａのノズル孔（第１ノズル孔）３に目詰まりが生じ、吐出不能（使用不能）となった場合、同じ圧力室１ａの底面（液滴吐出面）に、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａを形成する。言い換えれば、圧力室１ａのノズル孔（第１ノズル孔）３のｙ方向に隣接する位置に、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａを形成する。１３は、目詰まり部（固化樹脂部）を示す。なお、そもそも圧力室１ａには、その液滴を精度良く吐出させるため、即ち、吐出回数や圧力室１ａの位置が異なっても同じ量の液滴を吐出させるため、各圧力室に均一に圧力が加わるよう制御されている。従って、ノズル孔の位置を変化させても、吐出量に大きなばらつきが生じることはない。また、ここでの吐出不能とは、完全にノズル孔（第１ノズル孔）３が塞がった場合の他、部分的にノズル孔（第１ノズル孔）３が塞がり、液滴の飛行曲がりが起こったり、十分な吐出量が確保できなくなった場合も含む。
【００４４】
この新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａは、目詰まりが生じたノズル孔（第１ノズル孔）の中心からｙ方向（圧力室１ａの長辺方向）に例えば１０μｍ離れた位置を中心に開口する。新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａの孔の直径（孔径）は、２０μｍである。
【００４５】
この開口は、例えば、液滴吐出ヘッド１０３を液滴吐出装置１０１から取り外し、レーザ加工装置に、その底面（液滴吐出面）を上側にして載置し、図７に示すように、上記ｙ方向に１０μｍ離れた位置にレーザ光照射部１５からレーザ光を照射することにより形成する。例えば、エキシマレーザを光源に用いた場合には、レーザ光照射部のシリコン基板１をアブレーションにより気化させることができ、容易にノズル孔（第２ノズル孔）３ａを形成することができる。用いるレーザ光源としては、ＹＡＧレーザやＣＯ2レーザを用いることも考えられる。いずれにせよ、波長が短く、パルス強度が大きいレーザ光を用いることで、熱負荷を与えずに基板を加工することができる。また、レーザ加工の他、放電加工を用いてもよい。
【００４６】
また、上記レーザ加工装置には、位置決め検出手段が組み込まれている。即ち、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａの位置は、図６に示すアライメントマーク（位置決めマーク）１１の位置情報を基準に行うことにより、精度良く開口することができる。このアライメントマーク１１は、液滴吐出面の外周（圧力室１ａが形成されていないシリコン基板１の裏面）に形成されている。
【００４７】
例えば、位置決め検出手段の一例である画像カメラによりアライメントマーク１１を認識し、その座標（第１座標）を記憶する。次いで、画像カメラをｘ方向に走査し、目詰まりが生じたノズル孔（第１ノズル孔）３を自動的もしくは手動入力により認識し、その座標（第２座標）を記憶する。次いで、第２座標のｙの値に１０μｍを加えた座標（第３座標）を記憶する。この第３座標に基づき、レーザ光照射位置を定める。また、この新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａの位置情報は、後述するように、制御手段１１５に入力され、吐出位置の調整が行われる。
【００４８】
また、このアライメントマーク１１を前述したレーザ光照射部により形成してもよい。即ち、シリコン基板１の裏面にレーザ光を照射し、例えば、十字状の凹部もしくは開口部を形成し、アライメントマーク１１とする。マークの形状は、矩形等、他の形状でもよい。
【００４９】
このように、本実施の形態によれば、ノズル孔（第１ノズル孔）３に目詰まり等が生じた場合、同じ圧力室１ａの底面（液滴吐出面）に、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａを形成したので、液滴吐出ヘッドの目詰まり等による交換の頻度を低減することができる。また、液滴吐出処理工程のスループットを向上させることができる。従って、製品、この場合は、液晶装置の製造の効率化を図ることができる。また、液滴吐出処理工程のコストを低減することができる。言い換えれば、液滴吐出装置のランニングコストを低減できる。従って、製品、この場合は、液晶装置の製造コストの低減を図ることができる。また、液滴吐出ヘッドの目詰まり等による廃棄量を低減でき、環境負荷（環境破壊）を低減することができる。
【００５０】
図６においては、一番右側の圧力室１ａのノズル孔（第１ノズル孔）３に目詰まりが生じ、液滴が吐出不能であると判断したが、当該ノズル孔（第１ノズル孔）３の目詰まり部が完全にノズル孔を覆っていない場合や当初目詰まりが完全であっても、その後の処理、即ち、圧力室１ａの加圧によって、目詰まりが解消することも考えられる。
【００５１】
このような場合には、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａのみならず、ノズル孔（第１ノズル孔）３からも液滴が吐出する恐れがある。ノズル孔（第１ノズル孔）３からも液滴が吐出した場合、吐出量にばらつきが生じてしまう。
【００５２】
そこで、図８に示すように、各圧力室１ａの底面（液滴吐出面）を上面とし、ノズル孔（第１ノズル孔）３の上部に樹脂封止用ノズル１１から溶融樹脂を滴下し、固化させる。その結果、ノズル孔（第１ノズル孔）３が樹脂膜１７で覆われることとなる。
【００５３】
このように、本実施の形態によれば、少なくとも一部が塞がり、吐出した液滴に飛行曲がりが発生したり目詰まりが生じたりするノズル孔（第１ノズル孔）３を樹脂膜１７で被覆したので、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａのみから液滴が吐出し、吐出量のばらつきを防止することができる。
【００５４】
次いで、液滴吐出装置の使用方法について説明する。
【００５５】
図９は、本実施の形態の液滴吐出装置の使用方法を示す要部断面図である。図６に示すように、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａは、他の圧力室１ａのノズル孔（第１ノズル孔）３とｙ方向の位置がずれている。従って、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａが形成された圧力室１ａから液滴を吐出する場合には、このずれを制御した吐出位置の位置決めをする必要がある。
【００５６】
従って、図９（Ａ）に示すように、他の圧力室（通常の圧力室）１ａ1のノズル孔（第１ノズル孔）３の吐出位置と比較し、図９（Ｂ）に示すように、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａについては、距離ｄ（ここでは、１０μｍ）だけ圧力室１ａ2自身をずらして吐出を行う。
【００５７】
例えば、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａが形成された圧力室１ａ2においては、ｙ方向について、前述した第２座標位置からｙ方向に距離ｄずれた位置にて吐出を行い、ｙ方向について、前述の第３座標位置にて吐出を行う。２１は、液滴である。
【００５８】
なお、第２、第３座標位置は、前述したアライメントマーク１１に基づき認識してもよいし、あらかじめ第２座標を絶対値として認識させておき、ｙ座標にｄを加えたものを第３座標としてもよい。
【００５９】
このような、座標の認識および吐出位置の制御は、図１の制御手段１１５で行うことができる。この制御手段１１５には、ＣＰＵ（中央演算装置）、ＲＯＭ（read only memory）およびＲＡＭ（random access memory）等のメモリが内蔵されている。ＲＯＭには、例えば、制御プログラムや制御データが格納され、ＲＡＭには例えば、図示しない外部装置から入力された入力データが一時的に格納される。
【００６０】
例えば、あらかじめ吐出量、吐出タイミングと吐出位置に合わせて吐出を行うようＲＯＭにプログラムが格納され、具体的な、吐出量、吐出タイミングと吐出位置の値を手動で入力する。なお、画像カメラ等を接続し、ノズル孔の位置からこれらの値の一部もしくは全部を自動で制御するようにしてもよい。さらに、新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａが形成された場合には、その位置情報（例えば座標）を手動で入力する。また、前述した画像カメラのデータを用いて自動認識するようにしてもよい。
【００６１】
このように、本実施の形態によれば、液滴吐出ヘッド１０３をｘ方向およびｙ方向に移動可能に配置した移送手段１０５を制御手段１１５によって、第１ノズル孔３と第２ノズル孔３ａとの位置関係（例えば、座標の差）に応じて、第２ノズル孔からの液滴の吐出位置を調整したので、ノズル孔３、３ａの位置が各圧力室１ａによって異なっても、所望の吐出位置に精度良く液滴２１の吐出を行うことができる。
【００６２】
図１０は、本実施の形態の他の液滴吐出ヘッドの再加工方法を示す要部平面図である。図８においては、少なくとも一部が塞がり、吐出した液滴に飛行曲がりが発生したり目詰まりが生じたりするノズル孔（第１ノズル孔）３の上部にのみ樹脂膜１７を形成したが、図１０においては、一の圧力室１ａノズル孔（第１ノズル孔）３に目詰まりが生じた場合、すべてのノズル孔（第１ノズル孔）３を樹脂膜１７で覆い、各圧力室１ａにそれぞれ新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａを形成する。
【００６３】
このような形態によれば、すべての圧力室１ａの第２ノズル孔３ａのｙ座標が同じであるため、すべての制御を、ｙ方向について、距離ｄ（ここでは、１０μｍ）だけずらす設定とすることができる。従って、圧力室１ａ毎の座標の認識や制御を行う必要がないため、移送手段１０５の制御が簡単となる。よって、その高速動作が可能となる。また、誤動作等が低減する。また、ｘ方向に並ぶすべての圧力室１ａから同時に液滴を吐出させる制御を行う場合には、これらの圧力室１ａの吐出位置がｙ方向において揃うことになるので、図１０に示す形態を用いて好適である。
【００６４】
なお、上述した画像カメラ、レーザ加工装置（レーザ光照射部１５）および樹脂封止用吐出装置（樹脂封止用ノズル１９）を図１に示した液滴吐出装置１０１に組み込んでもよい。即ち、例えば、液滴吐出装置１０１の載置台１１３の外側に、レーザ加工装置を設け、かかる位置に液滴吐出ヘッド１０３をその底面（液滴吐出面）を上側にして載置し、新しいノズル孔を開口する。なお、レーザ光照射部１５を液滴吐出ヘッド１０３の底面（液滴吐出面）側からレーザ照射可能なように構成し、液滴吐出ヘッド１０３の底面（液滴吐出面）を下にしたままノズル孔を開口してもよい。
【００６５】
以上、詳細に説明したように、本実施の形態においては、液滴吐出ヘッドの目詰まり等による交換の頻度を低減する等の上記効果を奏する。特に、製品に用いられる材料の多様化により、揮発性の高い溶媒や粘性の高い材料溶液が使用されても十分対応し得る。
【００６６】
なお、液滴吐出ヘッドの目詰まり部の成分は、主に、有機物や金属粒子である。従って、これらの有機物や金属粒子を適宜分解、気化（蒸発）させる手段を用いて、目詰まり部自身１３の再加工を行ってもよい。例えば、目詰まり部の成分が金属粒子である場合には、上記エキシマレーザ光の照射により当該金属粒子を気化させることができる。また、有機物の場合には、上記ＹＡＧレーザ光やＣＯ2レーザ光の熱により、溶融および揮発させることが可能である。
【００６７】
また、上記実施の形態においては、樹脂膜１７を樹脂封止用ノズル１９を用いた液滴吐出法で形成したが、この他、接着面を有する樹脂等を貼り付けることによりノズル孔（第１ノズル孔）３を覆ってもよい。
【００６８】
また、上記実施の形態においては、目詰まり等が生じたノズル孔（第１ノズル孔）３に対する対策を前提に説明したが、あらかじめ、液滴吐出ヘッドの使用時間や使用吐出回数に応じて、定期的に（目詰まりの有無に関わらず）新しいノズル孔（第２ノズル孔）３ａを形成するようにしてもよい。
【００６９】
また、上記実施の形態においては、処理対象材として液晶装置のカラーフィルムを例に説明したが、配向膜材料や液晶等の吐出にも適用可能である。また、液晶装置の他、例えば、有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置、表面伝導型電子放出(Surface-conduction Electron-emitting)装置等の液体電極材料等の吐出にも適用可能である。また、バイオチップの製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用可能である。もちろん、インクジェットプリンタにも適用可能である。このように、幅広い分野に適用可能であるが、前述した産業用の液滴吐出装置に用いて好適である。特に、有機溶媒や速乾性の溶液の吐出に用いて好適である。
【００７０】
また、上記実施の形態においては、新しいノズル孔の開口手段としてレーザ加工や放電加工について説明したが、この他、パンチ加工等を用いてもよい。但し、圧力室１ａの変形防止等のため、レーザ加工や放電加工のような非接触加工がより好ましい。
【００７１】
また、上記実施の形態においては、圧電素子として縦型圧電素子７を例に説明したが、横方向に圧電体膜や電極が延在する構成のものでもよく、要は、第１電極および第２電極との間に配置された圧電体膜を有し、第１電極および第２電極に電位を印加することにより、圧電体膜の歪みを生じさせ、圧力室を加圧できる構成のものであればよい。
【００７２】
また、上記実施の形態においては、圧力室１ａとその底面（液滴吐出面）が一体形成された例について説明したが、本発明は、圧力室１ａの側壁と液滴吐出面が異なる部材で形成された液滴吐出装置等にも適用可能である。
【００７３】
また、上記実施の形態と、前述したノズル孔の空打ちや微振動を圧力室に与える方法もしくは圧力室を減圧し、ノズル孔の内壁に付着した固形物を圧力室内部に吸引する方法等を併用してもよい。
【００７４】
また、上記実施の形態を通じて説明された実施例や応用例は、用途に応じて適宜に組み合わせて、又は変更若しくは改良を加えて用いることができ、本発明は上述した実施の形態の記載に限定されるものではない。そのような組み合わせ又は変更若しくは改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本実施の形態の液滴吐出装置の概略斜視図である。
【図２】本実施の形態の液滴吐出ヘッドの構成を示す要部斜視図である。
【図３】本実施の形態の液滴吐出ヘッドの構成を示す要部断面図である。
【図４】本実施の形態の液滴吐出ヘッドの構成を示す要部断面図である。
【図５】本実施の形態の液滴吐出ヘッドの構成を示す要部平面図である。
【図６】本実施の形態の液滴吐出ヘッドの再加工方法を示す要部平面図である。
【図７】本実施の形態の液滴吐出ヘッドの再加工方法を示す要部断面図である。
【図８】本実施の形態の液滴吐出ヘッドの再加工方法を示す要部断面図である。
【図９】本実施の形態の液滴吐出装置の使用方法を示す要部断面図である。
【図１０】実施の形態の他の液滴吐出ヘッドの再加工方法を示す要部平面図である。
【符号の説明】
【００７６】
１…シリコン基板、１ｂ…圧力室、１ｂ…メイン流路、１ｃ…サブ流路、３…ノズル孔（第１ノズル孔）、３ａ…ノズル孔（第２ノズル孔）、５…ダイヤフラム、７…縦型圧電素子、７ａ…電極、７ｂ…圧電体膜、７ｃ…外部引き出し電極、９…封止ケース、１１…アライメントマーク、１３…目詰まり部、１５…レーザ光照射部、１７…樹脂膜、１９…樹脂封止用ノズル、２１…液滴、１０１…液滴吐出装置、１０３…液滴吐出ヘッド、１０５…移送手段、１０７…ｘ方向ガイド、１０９…ｙ方向ガイド、１１３…載置台、１１５…制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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