(57)【要約】  【課題】    遊離砥粒を取り込むための凹凸部をワイヤの表面に形成しても上記凹凸部に残留応力による変質が生じる惧れがない共に、凹凸部が精度良く形成されたソーワイヤ及びその製造方法を提供すること。  【解決手段】  走行しているワイヤをワークに接触させると共に両者が接触している部分に遊離砥粒を吹き付けながら当該ワークをスライシング加工するためのソーワイヤＡであって、前記ワイヤ１とジェットノズル３との間に電圧を印加した状態で該ワイヤ１にジェットノズル３から金属イオンを含む電解液４３を噴射することにより該ワイヤ１の表面に、当該ワイヤとワークの間に遊離砥粒を取り込むための取込み用凹凸２（取込み用凹部２ａ及び/又は取込み用凸部２ｂ）を形成してなる。  【選択図】    図１
2007196312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行しているワイヤをワークに接触させると共に両者が接触している部分に遊離砥粒を吹き付けながら当該ワークをスライシング加工するためのソーワイヤであって、
前記ワイヤとジェットノズルとの間に電圧を印加した状態で該ワイヤに前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴射することにより該ワイヤの表面に、当該ワイヤとワークの間に遊離砥粒を取り込むための凹部及び/又は凸部からなる取込み用凹凸を形成してなることを特徴とするソーワイヤ。
【請求項２】
走行しているワイヤをワークに接触させると共に両者が接触している部分に遊離砥粒を吹き付けながら当該ワークをスライシング加工するためのソーワイヤであって、
前記ワイヤとジェットノズルとの間に電圧を印加した状態で該ワイヤに前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴出することにより当該ワイヤの表面に、当該ワイヤとワークの間に遊離砥粒を取り込むための取込み用凸部を形成してなることを特徴とするソーワイヤ。
【請求項３】
ワイヤとジェットノズルとの間に電圧を印加した状態で該ワイヤに前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴射させることにより該ワイヤの表面に、当該ワイヤとワークの間に遊離砥粒を取り込むための取込み用凹凸を形成するソーワイヤの製造方法において、
前記ジェットノズル側を陽極とし前記ワイヤ側を陰極とし、前記ジェットノズル側に正のパルス電流を流した状態で前記ワイヤの表面に金属イオンを含む電解液を噴射させることにより当該ワイヤ表面に凸加工を施して取込み用凸部を形成することを特徴とするソーワイヤの製造方法。
【請求項４】
ワイヤとジェットノズルとの間に電圧を印加した状態で該ワイヤに前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴射させることにより該ワイヤの表面に、当該ワイヤとワークの間に遊離砥粒を取り込むための取込み用凹凸を形成するソーワイヤの製造方法において、
前記ジェットノズル側を陰極とし前記ワイヤ側を陽極とし、前記ワイヤ側に正のパルス電流を流しながら当該ワイヤの表面に前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴射させることにより当該ワイヤ表面に凹加工を施して取込み用凹部を形成することを特徴とするソーワイヤの製造方法。
【請求項５】
ワイヤとジェットノズルとの間に電圧を印加した状態で該ワイヤに前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴射させることにより該ワイヤの表面に、当該ワイヤとワークの間に遊離砥粒を取り込むための取込み用凹凸を形成するソーワイヤの製造方法において、
前記ワイヤとジェットノズルとの間に流すパルス電流を正負交互に入れ替えながら前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を前記ワイヤの表面に噴射させることにより当該ワイヤの表面に凸加工と凹加工を交互に施して凹部と凸部が混じった取込み用凹凸部を形成することを特徴とするソーワイヤの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコン、水晶、磁性体、等のワークをワイヤソーカット法によりスライシング加工（切断）する際にワイヤソーとして用いられるソーワイヤに関し、特に、高速で走行しているワイヤをワークに接触させると共に、ワイヤとワークが接触している部分に遊離砥粒を吹き付けながら当該ワークをスライシング加工するためのソーワイヤ及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、シリコンインゴットからシリコンウエハをワイヤソーカット法により切り出す場合、ソーワイヤとシリコンインゴット（ワーク）が接触している部分に、砥粒が混合されたスラリーを吹き付けながらスライシング加工する、いわゆる遊離砥粒方式が従来から実施されている。この遊離砥粒方式によれば、シリコンウエハの大口径化に容易に対応することができ、しかも同時に多数本のワイヤを用いることにより多数枚の薄いウエハを容易に切り出すことが可能となる。
【０００３】
一方、ソーワイヤでスライスされた製品（シリコンウエハ）には、そのスライス面精度及び反り等について非常に厳しい品質が要求され、その高い品質を実現させるためにはワークとソーワイヤとの間に遊離砥粒を安定して導入させることが重要な要素となる。
しかし、遊離砥粒方式のワイヤソーカット法に用いられるソーワイヤは、高強度の高炭素鋼（ピアノ線）や超高強度合金線などが使用され、且つその表面にはソーワイヤの製作時における伸線性を向上させるために極薄いブラスメッキ・銅メッキや亜鉛メッキなどが施された滑面状態となっている。従って、ワークとソーワイヤとの間に遊離砥粒を安定して導入させることが難しく、その為に高品質の製品（シリコンウエハ）を高い加工効率でスライシングすることが難しかった。
【０００４】
そこで、ワークとソーワイヤとの間に遊離砥粒を安定して導入させるべく、遊離砥粒を取り込むための凹部をワイヤの表面に形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照。）。
しかし乍ら、上記特許文献に開示された加工方法では、遊離砥粒を取り込むための凹部をワイヤ表面に形成する際に、ワイヤの表面が非常に硬い（通常、硬度800〜900Ｍｖ）こともあって、加工自体が非常に困難であるだけでなく、取込み用凹凸の加工部分（上記特許文献の場合、取込み用凹部）に残留応力による変質が生じ易く、母材に極端な破断力低下等の致命的な欠陥を与えることとなり、ソーワイヤとしての機能を果たし得なくなる。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２８８９０１公報
【特許文献２】特開２００１−１９８７９０公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はこのような現状に鑑みてなされたものであり、ソーワイヤとワークの間に遊離砥粒を取り込み易くするための取込み用凹凸（以下、凹部又は凸部或いは凹部と凸部が混じった凹凸部を総称して取込み用凹凸と言う。）をワイヤの表面に精度良く形成することが出来ると共に、上記取込み用凹凸の加工をワイヤの表面に施す際に当該ワイヤの表面に残留応力による変質等が生じる惧れのないソーワイヤ及びその製造方法を提供する事を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
斯かる目的を達成する本発明の請求項１に記載のソーワイヤは、走行しているワイヤをワークに接触させると共に両者が接触している部分に遊離砥粒を吹き付けながら当該ワークをスライシング加工するためのソーワイヤであって、前記ワイヤとジェットノズルとの間に電圧を印加した状態で該ワイヤに前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴射することにより該ワイヤの表面に、当該ワイヤとワークの間に遊離砥粒を取り込むための凹部及び/又は凸部からなる取込み用凹凸を形成してなることを特徴としたものである。
また、請求項２に記載のソーワイヤは、前記ワイヤとジェットノズルとの間に電圧を印加した状態で該ワイヤに前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴出することにより当該ワイヤの表面に、遊離砥粒を取り込むための取込み用凸部を形成してなることを特徴としたものである。
そして、本発明に係るソーワイヤの製造方法は、ワイヤとジェットノズルとの間に電圧を印加した状態で該ワイヤに前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴射させることにより該ワイヤの表面に、当該ワイヤとワークの間に遊離砥粒を取り込むための取込み用凹凸を形成するソーワイヤの製造方法において、前記ジェットノズル側を陽極とし前記ワイヤ側を陰極とし、前記ジェットノズル側に正のパルス電流を流した状態で前記ワイヤの表面に金属イオンを含む電解液を噴射させることにより当該ワイヤ表面に凸加工を施して取込み用凸部を形成することを特徴としたものである(請求項３)。
また、本発明に係る別のソーワイヤの製造方法は、前記ジェットノズル側を陰極とし前記ワイヤ側を陽極とし、前記ワイヤ側に正のパルス電流を流しながら当該ワイヤの表面に前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴射させることにより当該ワイヤ表面に凹加工を施して取込み用凹部を形成することを特徴としたものである(請求項４)。
また、本発明に係る更に別のソーワイヤの製造方法は、前記ワイヤとジェットノズルとの間に流すパルス電流を正負交互に入れ替えながら前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を前記ワイヤの表面に噴射させることにより当該ワイヤの表面に凸加工と凹加工を交互に施して凹部と凸部が混じった取込み用凹凸部を形成することを特徴としたものである(請求項５)。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係るソーワイヤ及びその製造方法によれば、ワイヤとジェットノズルとの間に電圧を印加した状態で該ワイヤの表面に前記ジェットノズルから金属イオンを含む電解液を噴射することにより該ワイヤの表面に、当該ワイヤとワークの間に遊離砥粒を取り込むための凹部及び/又は凸部からなる取込み用凹凸、すなわち凹部又は凸部或いは凹部と凸部が混じった凹凸部を形成してなるので、上記取込み用凹凸を精度良く形成することが出来ると共に、上記取込み用凹凸の加工が施された部分において熱残留層や残留応力の加工変質層がなく且つ加工部分にバリの発生もない。
よって、ワイヤ表面に対し相対的に高くなった凸加工部分周辺はワイヤとワーク間に隙間が生じることにより砥粒が入り込み、また凹加工部分はワイヤ表面に対し穴状になっているので砥粒が入りやすくなり、その結果ワイヤの砥粒キャリー能力が向上し、ワークとソーワイヤとの間に遊離砥粒を安定して取り込み導入させることが可能となり、ワーク（例えばシリコンウエハ）を歩留まり良く且つ高品質にスライシングすることが可能となる。
【０００９】
しかも、ワイヤの表面に施した取込み用凹凸の加工部分に熱残留層やバリ、クラック、残留応力等が残らないため、ワイヤの破断強度低下を最小限に抑えることができる。
更に、取込み用凹凸の凸部分と凹部分をワイヤ表面長手方向にランダムに形成することにより、遊離砥粒のキャリー能力を相乗的に向上させることが出来るだけでなく、ワイヤとワークの間に隙間ができることにより切削屑が切削面からスムーズに排出されるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の具体的な好適実施例を、図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明は図示した実施例のものに限定されるものではない。
なお、全図面を通して、同様の構成部材には同じ符号を付してある。
【００１１】
図中の符号Ａは本発明に係るソーワイヤを示し、符号１はソーワイヤＡを構成するワイヤを示し、符号２はワイヤ１の表面に形成された凹部及び/又は凸部からなる取込み用凹凸を示し、その中で２ａはワイヤ１の表面より相対的に低くなった凹部分を、２ｂはワイヤ１の表面より相対的に高くなった凸部分を示す。すなわち、本明細書で言う『取込み用凹凸』には、取込み用凹部２ａだけからなる場合と、取込み用凸部２ｂだけからなる場合と、更には取込み用凹部２ａと取込み用凸部２ｂとが混じった凹凸部とからなる場合がある。図１はその取込み用凹凸２が取込み用凹部２ａと取込み用凸部２ｂとが混じった凹凸部２ａ，２ｂとからなる場合を例示したものであり、図２はその取込み用凹凸２が取込み用凸部２ｂのみからなる場合を例示したものである。
【００１２】
ソーワイヤＡを構成するワイヤ１としては、従来と同様に太さ（線径）が40〜400μｍの高強度の高炭素鋼（ピアノ線）や超高強度合金線などが使用され、その表面（外周面）に、当該ワイヤ１とワーク（図示せず）の間に遊離砥粒を取り込み易くするための取込み用凹凸（凹部２ａ又は凸部２ｂ、或いは凹部２ａと凸部２ｂが混じった凹凸部）２が形成される。
【００１３】
取込み用凹凸（取込み用凹部２ａ，取込み用凸部２ｂ）２は、図４に示すごとく、ワイヤ１とジェットノズル３との間に電圧を印加した状態で、ジェットノズル３からワイヤ１の表面に金属イオンを含む電解液ジェット４３を噴射することにより形成される。
【００１４】
この際、ジェットノズル３側を陰極としワイヤ１側を陽極とし、ワイヤ１側に正のパルス電流を流しながらジェットノズル３からワイヤ１の表面に金属イオンを含む電解液ジェット４３を噴射させることによりワイヤ１の表面に凹加工が施されて、ワイヤ１の表面に取込み用凹部２ａが形成される。
【００１５】
逆に、ジェットノズル３側を陽極としワイヤ１側を陰極とし、ジェットノズル３側に正のパルス電流を流しながらジェットノズル３からワイヤ１の表面に金属イオンを含む電解液ジェット４３を噴射させることによりワイヤ１の表面に凸加工が施されて、ワイヤ１の表面に取込み用凸部２ｂが形成される。
【００１６】
更に、ワイヤ１とジェットノズル３との間に流すパルス電流を正負交互に入れ替えながらジェットノズル３からワイヤ１表面に金属イオンを含む電解液ジェット４３を噴射させることによりワイヤ１の表面に凹加工及び凸加工が交互に施されて、ワイヤ１の表面に取込み用凹部２ａと取込み用凸部２ｂとが混じった取込み用凹凸部（２ａ及び２ｂ）が形成される。
【００１７】
ここで、取込み用凹凸（取込み用凹部２ａ，取込み用凸部２ｂ）２の形状としては、ディンプル形状でも、溝形状、長溝形状、螺旋形状でも、いかなる形状でも可能である。
また、取込み用凹凸２（取込み用凹部２ａ，取込み用凸部２ｂ）の深さないし高さは、粒径にもよるが、使用される遊離砥粒の平均粒径（Ｄ）に対して0.05〜１倍（0.05Ｄ〜Ｄ）の範囲が好ましい。取込み用凹凸２の深さないし高さが、使用される遊離砥粒の平均粒径（Ｄ）の0.05倍より小さいと遊離砥粒を当該ワイヤ１とワークの間に効率良く取り込むことが難しくなり、使用される遊離砥粒の平均粒径（Ｄ）より大きいとソーワイヤ用ワイヤとしての強度に影響を及ぼすことになる。
【００１８】
なお、本発明に係る取込み用凹凸（２ａ，２ｂ）２は、ワイヤ１とジェットノズル３との間に電圧を印加した状態でジェットノズル３から当該ワイヤ１の表面に金属イオンを含む電解液を噴射することにより形成する電解液ジェット加工法により形成されるが、電解液ジェット加工法そのものは周知である（例えば、型技術第16巻，第７号，2001年, p61-p 67  国枝正典「電解液ジェット加工の原理と応用」等参照。）ので、ここでは電解液ジェット加工法についての詳細な説明は省略する。
【００１９】
図３に、本発明に係るワイヤ１の表面に取込み用凹凸（２ａ，２ｂ）２を連続的に形成する加工装置の概念図を示す。
図中の符号４１はワイヤ供給ボビン、符号４２はワイヤ巻取りボビンであり、ワイヤ供給ボビン４１とワイヤ巻取りボビン４２の間でワイヤ１が一定の張力となるように調整されている。
【００２０】
そして、ワイヤ１の直上位置に、金属イオンを含む電解液を噴射するジェットノズル３が配設され、ワイヤ供給ボビン４１からワイヤ巻取りボビン４２に向かって走行しているワイヤ１の表面に、金属イオンを含む電解液ジェット４３が連続的に噴射され、ワイヤ１の表面に連続的に電解液ジェット加工が施され、ワイヤ１の表面に取込み用凹凸（２ａ，２ｂ）２が連続的に形成される。
【００２１】
この際、ジェットノズル３の口径、すなわちワイヤ１の表面に噴射される電解液ジェットの外径が生産性に大きく影響するので、ジェットノズル３の口径を適切に選定する必要がある。現在一般的に使用されているソーワイヤ用ワイヤの線径である0.14ｍｍのワイヤの表面に取込み用凹凸（２ａ，２ｂ）２を加工する場合には、ジェットノズルの詰まりと生産性を考慮して線径の10％〜200％径のジェットノズルを使用することが好ましい。使用するワイヤの線径の20％〜50％径のジェットノズルを使用すればより高精度の加工形状を得るのに効果的であり、140〜200％径のジェットノズルを使用すると多少加工精度は落ちるが加工スピードを向上させるのに効果的である。
【００２２】
また、ジェットノズル３から噴射される電解液ジェット４３の液圧は、当該ジェットノズル３内で発生する詰まりを無くする為にもできるだけ高圧であることが望ましく、少なくとも0.4ＭPaより高圧であることが好ましい。
【００２３】
なお、図３中の符号４４は、圧縮空気等によって所定の液圧に加圧された電解液を溜めておく耐圧タンクであり、符号４５はコンプレッサー、符号４６はジェットノズル３から噴射された電解液を受けるための受液タンク、符号４７は電解液の貯留タンク、そして符号４８は電流計を備えた電源である。
【００２４】
而して、ワイヤ１とジェットノズル３を、それぞれコード49ａ，49ｂを介して電源４８と電気的に接続する。この際、ワイヤ１側を陽極としジェットノズル３側を陰極となし、ワイヤ１側に正のパルス電流を流しながら当該ワイヤ１にジェットノズル３から電解液ジェット４３を噴射することにより、ワイヤ１表面に凹加工が施され、当該ワイヤ１とワークの間に遊離砥粒を取り込み易くするための取込み用凹部２ａがワイヤ１の表面に形成され、逆にジェットノズル３側を陽極としワイヤ１側を陰極とし、ジェットノズル３側に正のパルス電流を流した状態でワイヤ１に電解液ジェット４３を噴射することにより、ワイヤ１の表面に選択的に凸加工が施されてワイヤ１の表面に取込み用凸部２ｂが形成される。また、ワイヤ１とジェットノズル３との間に流すパルス電流を正負交互に入れ替えながらジェットノズル３から金属イオンを含む電解液ジェット４３をワイヤ１に噴射することにより、当該ワイヤ１の表面に凸加工と凹加工が交互に施され、当該ワイヤ１の表面に取込み用凹凸部（凹部２ａと凸部２ｂ）が形成される。
【００２５】
また、ワイヤ1の表面（外周面）に取込み用凹凸部（凹部２ａと凸部２ｂ）をランダムに形成する場合には、図５及び図６に例示したように、ジェットノズル３をワイヤ１を中心にして放射状に配置して加工すれば良い。
【００２６】
更に、取込み用凹凸（取込み用凹部２ａ，取込み用凸部２ｂ）２をワイヤ１の長手方向に沿って形成する場合には、先ずジェットノズル３の方向と位置決めを行ない、ジェットノズル３側を陰極とし、ワイヤ１側にプラスのパルス電流を流しながら、ジェットノズル３から金属イオンを含む電解液ジェット４３をワイヤ１に噴射することにより、走行しているワイヤ１表面にワイヤ１の長手方向に沿って凹溝（取込み用凹部２ａ）が形成され、電極を反転してワイヤ１側を陰極とし、ジェットノズル３側にプラスのパルス電流を流しながら、ジェットノズル３から金属イオンを含む電解液ジェット４３をワイヤ１に噴射することにより、走行しているワイヤ１表面にワイヤ１の長手方向に沿って凸条（取込み用凸部２ｂ）が形成され、そして、ワイヤ１とジェットノズル３との間に流すパルス電流を正負交互に入れ替えることによって１つのジェットノズル３で凹溝（取込み用凹部２ａ）と凸条（取込み用凸部２ｂ）を交互に形成することができる。
【００２７】
しかしながら、実際問題として、通常知られている電解液ジェット加工技術では、細いワイヤ１の表面に凸凹加工を施し得るような極細径のジェットノズルを使用することは、ノズルの詰まりやジェットノズル自体の加工精度上困難であり実現不可能とされていたが、本発明者等はこれらの問題を以下の方策で解決した。
【００２８】
すなわち、ワイヤ供給ボビン４１からワイヤ巻取りボビン４２に向かって走行している細いワイヤ１の表面に、ジェットノズル３から噴射された電解液ジェット４３を的確に命中させるべく、図４に示すごとく、電解液ジェット４３を噴射するジェットノズル３を高精度のＸ軸テーブル６に装着せしめ、走行中のワイヤ１には電解液ジェット４３を通じて電圧を印加し、ジェットノズル３が装着されたＸ軸テーブル６を操作して、電流が流れる範囲を電解液ジェット４３とワイヤ１が接触する範囲となし、その電流が流れる範囲（距離）の中心位置が走行しているワイヤ１の中心軸上にあるように設定したものである。
【００２９】
更に、走行しているワイヤ１の表面に電解液ジェット４３を正確に当てるために、ジェットノズル３を高精度Ｘ軸テーブル６に取り付け、ワイヤ１と電解液ジェット４３先端との相対的位置を電流信号で検知してＸ軸テーブル６にフィードバックさせることにより、電解液ジェット４３先端の位置決めを行なうようにする。
【００３０】
しかし、走行しているワイヤ１の表面にジェットノズル３から電解液ジェット４３を噴射すると、その液圧でワイヤ１がぶれやすくなる。ワイヤ１がぶれると、ジェットノズル３からの距離が変化し電流密度の分布も変化するため、目的通りの取込み用凹凸の形状、すなわち目的通りの取込み用凹部２ａの深さ並びに目的通りの取込み用凸部２ｂの高さに形成することが難しくなる。
【００３１】
そこで、図５及び図６に示すごとく２個一対のジェットノズル３a，３ｂをワイヤ１に対してシメントリーに配置することによって解消した。通常では、２個一対のジェットノズルをワイヤ１に対して正確にシメントリーに配置すると、２つの電解液ジェットの先端同士が接触して干渉するために、高精度Ｘ軸テーブルを使用しての電解液ジェットとワイヤ１との電流検知による電解液ジェットの位置決めを行うことが難しくなるが、一対のジェットノズル３a，３ｂのシメントリーの位置を、ワイヤ１の長手方向に対して電解液ジェットの先端同士が干渉しない程度に離間させて配置し、且つワーク側の電極も電解液ジェットと接触しない程度に近接させて配置することによって、ワイヤ１のぶれを解消した。
【００３２】
すなわち、図７に示すごとくに、一対の電解液ジェット同士（43aと43b，43cと43d，43eと43f）は互いに接触しない程度に近接させた位置に配置し、ワーク側の電極同士（７aと７b，７cと７d，７eと７f）もそれぞれの電解液ジェットと干渉しない程度に接近させた位置に配置するものである。一対の電解液ジェット同士とワーク側の電極をこの様に配置することにより、電解液ジェットの外径が比較的太い例えばノズル径１ｍｍのジェットノズルを使用することが可能となり、同時に表面加工中のワイヤ１のぶれを最小限に抑えて精密且つ高速加工が可能となる。
【００３３】
更に、一対のジェットノズル（３a，３ｂ）をワイヤ１に対してシメントリーに配置する際に、電解液ジェットの先端をそれぞれにワイヤ１の軸芯より外側に少しずらすことが好ましい（図７に例示した電解液ジェット43cと43dを参照。）。そうすれば、ワイヤ１が電解液ジェット43a，43bでもって挟み込まれるようになるため、ワイヤ１のぶれ抑制により効果的であり、ワイヤ１表面の高速加工が可能となる。
【００３４】
また、一対のジェットノズル（３，３）をワイヤ１に対してシメントリーに配置する場合に、一対だけでなく複数の対を配置しても良い。すなわち、図７に例示したごとくワイヤ１に対してシメントリーに配置された一対のジェットノズル（電解液ジェット43aと43b）に隣接させて別に一対のジェットノズルを配置する場合に、そのジェットノズル（電解液ジェット43cと43d）を、電極同士（７bと７c）が干渉しない範囲でできるだけ近い位置に、隣接するジェットノズル（電解液ジェット43aと43b）に対してワイヤ１を中心にして90°回転させた位置に配置させ、更に別に一対のジェットノズル（電解液ジェット43eと43f）を配置する場合には、同様に隣接するジェットノズル（電解液ジェット43cと43d）に対してワイヤ１を中心にして90°回転させた位置に配置させるようにする。
この様に、複数の対のジェットノズル、すなわち電解液ジェット（43aと43b，43cと43d，43eと43f，…）を配置することにより、ワイヤ１のぶれをより一層のこと抑制することができるようになる。
【００３５】
ちなみに、ジェットノズル３の設置個数としては、移動しているワイヤ１をぶれないように支承しているガイドローラー８間の距離が150ｍｍ程度の場合には、４〜８個（２〜４対）程度が好ましい。そうすれば、ワイヤ１のぶれを、ワイヤ１の断面方向からみて全周にわたってほぼ完全に押さえることが出来るようになる。
【００３６】
また、走行しているワイヤ１の正確な位置決めは、ガイドローラー８を介して行なう。すなわち、図８に示すごとく、走行しているワイヤ１を絶縁体で形成されたガイドローラー８の外周に接触するように配置し、ガイドローラー８の外周に接触している部分のワイヤ１に電解液ジェット４３が命中するようにガイドローラー８の中心軸方向に向けて電解液ジェット４３を噴射させることにより、ワイヤ１に電解液ジェット流が命中することによって生じるワイヤ１の振動を無視することが出来る。その結果、走行しているワイヤ１が正確に位置決めされ、ワイヤ１の揺動を無視することが出来るので、ワイヤ１に電解液ジェット流が正確に命中し、もって高精度の加工が可能となる。
【００３７】
なお、ガイドローラー８の外周に溝加工８１を施す場合、単純なＵ溝やＶ溝でも良いが、二次曲線状に加工することにより、ワイヤ１に接触した後の電解液及び加工液が溝部分から効率よく排出されるようになる。
また、ガイドローラー８の回転方向に対して垂直になるように電解液ジェットを噴射することによっても、電解液及び加工液が高効率で排出されることを確認している。
【００３８】
更にワイヤ１に対する加工スピードを上げて生産性の向上を図るためには、図９に示すごとく、使用するジェットノズル３の径を、加工されるワイヤ径より1.5〜２倍程度大きくすると共に、ワイヤ１がガイドローラー８の外周に接触する接線から接線までの範囲を広めに設定し、且つワイヤ１に電解液ジェット４３を噴射した際にその先端がワイヤ１表面にわずかに接触するようにジェットノズル３を配置すると良い。そうすれば、この場合比較的ノズル径が大きいためジェットノズル３が目詰まりするのを抑制できると同時に、電解液ジェット中に発生する水素がジェット流中に占める面積を減少することができるので、電流密度を上げることができる。
【００３９】
また、特にジェットノズル３側を陰極としワイヤ１側にプラスのパルス電流を流すとジェットノズル３側にメッキ作用がはたらき、ジェットノズル３の内側に生成されたメッキ成分が剥がれてジェットノズル３を目詰まりさせる惧れがあるので、ジェットノズル３の直近にメッキ成分除去用のフィルター５を設けることが望ましい。
【００４０】
フィルター５としては市販されている精密ろ過膜を使用することができ、そのメッシュとしては、ジェットノズル３のノズル径にもよるが１〜40μｍの範囲が好ましく、20μｍが最適である。
【００４１】
また、ジェットノズル３の口径が小さいと、異物（メッキ成分）を原因としたノズル詰まりの発生も多くなるので、フィルター５をジェットノズル３の噴射口にできるだけ近づけて設置することが望ましい。例えば、ジェットノズル３の口径を0.1ｍｍとした場合、その噴射口とフィルター５までの距離を５〜７ｍｍ程度に設定することが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明に係るソーワイヤは、難切削材のスライス用ソーワイヤとして好適に利用される。
本発明は係るソーワイヤは、遊離砥粒方式のワーク切断時における加工速度の向上、スライスの面精度、ウエハーのソリ精度の向上に役に立つ。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明に係るワイヤ表面に施された取込み用凹凸の一例を示す模式斜視図。
【図２】本発明に係るワイヤ表面に施された取込み用凸部の一例を示す模式斜視図。
【図３】本発明に係るワイヤ表面に電解液ジェット加工を施す装置の一例を示す概念図。
【図４】同装置の要部を示す概念図。
【図５】本発明に係るワイヤ表面に取込み用凹凸を形成する方法を説明する概念図。
【図６】同ワイヤ表面に取込み用凹凸を形成する他の方法を説明する概念図。
【図７】同ワイヤ表面に取込み用凹凸を形成する方法を説明する模式斜視図。
【図８】ガイドローラーを用いて電解液ジェット加工を施す実施の一例を示す概念図。
【図９】ガイドローラーを用いて電解液ジェット加工を施す他の実施例を示す概念図。
【符号の説明】
【００４４】
Ａ：ソーワイヤ                １：ワイヤ
２：取込み用凹凸            ２ａ：取込み用凹部
２ｂ：取込み用凸部                ３：ジェットノズル
４１：ワイヤ供給ボビン          ４２：ワイヤ巻取りボビン
４３：電解液ジェット        43a〜43f：電解液ジェット
４５：コンプレッサー            ４４：耐圧タンク
４６：受液タンク                ４７：貯留タンク
４８：電源                      49ａ，49ｂ：コード
５：フィルター                  ６：Ｘ軸テーブル
７ａ〜７ｆ：電極
８：ガイドローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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