(57)【要約】【課題】光電変換素子における受光面上の座標軸と回転体の基準軸とを効率よくかつ迅速に一致させること。【解決手段】調整装置２００は、基準ＬＤ２０５が、レーザ光をＰＳＤ受光面に照射し、ＰＳＤ座標変換器２１０が、ＰＳＤ座標を検出し、制御器２２０が、ＰＳＤ座標値を基にして、ＰＳＤ受光面１１１上で定義された座標軸の傾きが規定値以下か否かを判定し、規定値よりも傾きが大きい場合には、回転調整駆動機構コントローラ２３０に調整移動量の情報を出力して回転調整駆動機構２３０ａあるいは回転調整駆動機構２３０ｂを駆動させ、ＰＳＤ受光面上の座標軸の傾きを調整する。【選択図】        図３
2007225391.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換素子の角度を調整する調整装置であって、
前記光電変換素子を移動させつつ当該光電変換素子の受光面上にレーザ光を照射して、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸上での座標値を検出する座標値検出手段と、
前記座標値検出手段によって検出された座標値を基にして、前記光電変換素子の角度を調整する調整手段と、
を備えたことを特徴とする調整装置。
【請求項２】
前記調整手段は、前記座標値を基にして、前記光電変換素子が設置される回転体の基準軸と、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸とが一致するように、前記光電変換素子の角度を調整することを特徴とする請求項１に記載の調整装置。
【請求項３】
前記調整手段は、前記座標値を基にして前記座標軸の傾きを算出する傾き算出手段と、前記算出手段によって算出された傾きが規定値以下か否かを判定する判定手段と、前記判定手段によって前記傾きが規定値よりも大きいと判定された場合に、前記光電変換素子の角度を調整する調整実行手段とを備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の調整装置。
【請求項４】
光電変換素子の角度を調整する調整方法であって、
前記光電変換素子を移動させつつ当該光電変換素子の受光面上にレーザ光を照射して、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸上での座標値を検出する座標値検出工程と、
前記座標値検出工程によって検出された座標値を基にして、前記光電変換素子の角度を調整する調整工程と、
を含んだことを特徴とする調整方法。
【請求項５】
前記調整工程は、前記座標値を基にして、前記光電変換素子が設置される回転体の基準軸と、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸とが一致するように、前記光電変換素子の角度を調整することを特徴とする請求項４に記載の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光電変換素子の角度を調整する調整装置および調整方法に関し、特に、光電変換素子における受光面上の座標軸と回転体の基準軸とを効率よくかつ迅速に一致させることができる調整装置および調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、空間安定化機構（例えば、シャフトなど）の回転体における回転動作（ロール（ｘ軸回り）、ピッチ（ｙ軸回り）、ヨー（ｚ軸回り）の回転動作）は、構造的に拘束されて独立したそれぞれの軸で行われている。そして、回転体の回転角度を調整する場合には、各軸にエンコーダ、レゾルバなどの角度検出器を取り付け、角度検出器によって検出される回転角度の情報を基にして、回転体の回転角度を調整する手法が一般的に用いられている。
【０００３】
しかしながら、回転体の回転中心要素が球面軸受けなどのピボット要素の場合には、構造的に拘束された軸が存在しないため、各軸に角度検出器を取り付けて、回転体の角度を調整する方法を適用することができないという問題があった。
【０００４】
そこで、特許文献１では、回転体に光電変換素子であるＰＳＤ（Position Sensing Detector）を取り付けて、ＰＳＤにＬＤ（Laser Diode）からのレーザ光を照射し、ＰＳＤ受光面上でのレーザ光の移動から回転角度を算出するという技術が公開されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２１４８６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した従来技術では、ＰＳＤ受光面の座標軸（ＰＳＤを用いた角度算出を行うために定義される座標軸）を、回転体の基準軸に合わせて固定する必要があったが、この固定作業は、作業者にかかる負担が大きいという問題があった。
【０００７】
さらに、市販のＰＳＤでは、パッケージ外側の面に対する受光面の座標軸の精度が規定されていないために、ＰＳＤ受光面の座標軸と回転体の基準軸とを一致される作業が一層複雑となり、この問題は更に深刻なものとなっていた。
【０００８】
この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するためになされたものであり、作業者に負担をかけることなく、ＰＳＤ受光面の座標軸と回転体の基準軸とを効率よくかつ迅速に一致させることができる調整装置および調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明は、光電変換素子の角度を調整する調整装置であって、前記光電変換素子を移動させつつ当該光電変換素子の受光面上にレーザ光を照射して、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸上での座標値を検出する座標値検出手段と、前記座標値検出手段によって検出された座標値を基にして、前記光電変換素子の角度を調整する調整手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、上記発明において、前記調整手段は、前記座標値を基にして、前記光電変換素子が設置される回転体の基準軸と、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸とが一致するように、前記光電変換素子の角度を調整することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上記発明において、前記調整手段は、前記座標値を基にして前記座標軸の傾きを算出する傾き算出手段と、前記算出手段によって算出された傾きが規定値以下か否かを判定する判定手段と、前記判定手段によって前記傾きが規定値よりも大きいと判定された場合に、前記光電変換素子の角度を調整する調整実行手段とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、光電変換素子の角度を調整する調整方法であって、前記光電変換素子を移動させつつ当該光電変換素子の受光面上にレーザ光を照射して、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸上での座標値を検出する座標値検出工程と、前記座標値検出工程によって検出された座標値を基にして、前記光電変換素子の角度を調整する調整工程と、を含んだことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、上記発明において、前記調整工程は、前記座標値を基にして、前記光電変換素子が設置される回転体の基準軸と、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸とが一致するように、前記光電変換素子の角度を調整することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、光電変換素子を移動させつつこの光電変換素子の受光面上にレーザ光を照射して、受光面上に定義された座標軸上での座標値を検出し、検出した座標軸を基にして、光電変換素子の角度を調整するので、効率よくかつ迅速に光電変換素子の角度を調整することができる。
【００１５】
また、本発明によれば、座標値を基にして、光電変換素子が設置される回転体の基準軸と、光電変換素子の受光面上に定義された座標軸とが一致するように、光電変換素子の角度を調整するので、作業者自身が、座標軸と基準軸とを調整する必要がなくなり、作業者の負担を軽減させることができる。
【００１６】
また、本発明によれば、座標値を基にして座標軸の傾きを算出し、算出した傾きが規定値以下となるか否かを判定し、傾きが規定値よりも大きい場合に、光電変換素子の角度を調整するので、効率よく光電変換素子の角度を調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に添付図面を参照して、この発明に係る調整装置および調整方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【実施例】
【００１８】
まず、従来技術の問題点について説明を行い、その後に、本発明の特徴について説明する。図９は、従来にかかる姿勢角検出装置のシャフトの全体図であり、図１０は、ＬＤの固定条件を説明するための説明図である。図９に示すように、このシャフト１０には、シャフトの基準軸（ＡＺ軸、ＥＬ軸）とＰＳＤ（Position Sensing Detector；以下、単にＰＳＤと表記する）受光面の座標軸（ＡＺ’軸、ＥＬ’軸）とが一致するように、ＰＳＤ２０が接着して取り付けられており、このＰＳＤ２０にレーザ光を照射するＬＤ（Laser Diode）３０，４０は、図１０に示すようにそれぞれのレーザ光軸が、回転中心５０で互いに直交するようにシャフト１０に固定されている。
【００１９】
姿勢角検出装置が、回転体の回転角度を算出する場合には、ＬＤ３０，４０から照射されるレーザ光をＰＳＤ２０の受光面で受光し、その受光点の位置情報を検出して、回転体のロール角（図示しない）、ヨー角（図９に示すＡＺ軸回り）、ピッチ角（図９に示すＥＬ軸回り）の３軸回りの角度で表現される回転体の回転角度を算出している。
【００２０】
なお、姿勢角検出装置が、上記した手法を用いて、回転体の回転角度を算出するには、特開２００５−２１４８６４号公報に示されているように、その計算の都合上、ＰＳＤ受光面上に座標軸を定義する必要があった。
【００２１】
図１１は、座標軸定義にかかる概念図である。同図に示すように、ＰＳＤ受光面に定義される座標軸（ＡＺ’軸、ＥＬ’軸）によって、位置検出３次元座標（Ａx、Ａy、Ａz）が定義されている。
【００２２】
図１１に示すように、Ａx軸は、回転中心５０を原点とし、ＰＳＤ受光面の中心に向かうベクトルとして定義され、ＰＳＤ受光面に対して垂直に交差している。Ａy軸、Ａz軸は、回転中心５０を視点とし、それぞれ、ＡＺ’軸、ＥＬ’軸と同じ向きとなるベクトルとして定義する。
【００２３】
そして、回転体が回転することにより、ＬＤ３０から発せられるレーザ光の光軸が変位した場合には、姿勢角検出装置は、予め定義した位置検出３次元座標（Ａx、Ａy、Ａz）と光軸の変位とを基にして、回転体の回転角度を算出していた。
【００２４】
このように、従来の姿勢角検出装置が回転体の角度を正確に算出する場合には、ＰＳＤ受光面上に定義された座標軸と、シャフトの基準軸とを正確に一致させることが大前提となっている。また、現在市販されているＰＳＤは、パッケージ外側の面に対する受光面の座標軸が規定されていないため、予め、ＰＳＤ受光面の座標軸とシャフトの基準軸とが一致するように、直接シャフトにＰＳＤを接着するという方法が取られている。
【００２５】
しかしながら、ＰＳＤ受光面の座標軸をシャフトの基準軸に合わせて固定する作業は、作業者にかかる負担が大きいという問題があった。
【００２６】
また、従来では、ＰＳＤを直接シャフトに接着して固定するという方法が取られているので、取り付け後にＰＳＤ受光面の座標軸とシャフトの基準軸とのずれを調節するような方法がなく、回転体の角度算出における精度が悪化する要因となっていた。更に、ＰＳＤをシャフトに接着して固定しているため、ＰＳＤの交換などで分解する必要が生じた場合、シャフトごと交換する必要があり、コストが高くなっていた。
【００２７】
そこで、本発明では、作業者の負担を軽減させるべく、ＰＳＤを移動させつつＰＳＤ受光面にレーザ光を照射してＰＳＤ受光面上に定義された座標軸上の座標値を検出し、検出した座標値を基にして、ＰＳＤの角度を自動的に調整する調整装置を提供する。また、調整装置によって調整されたＰＳＤの状態を維持してアセンブリ（複数の構成部品からなる組み立て品）化することで、ＰＳＤの交換を効率よくかつ低コストで行うことを可能とする。
【００２８】
次に、本発明にかかる実施例について説明する。ここではまず、調整装置が回転調整を行うＰＳＤ固定部の説明を行った後に、調整装置の構成について説明する。図１は、ＰＳＤ固定部の構成を示す図であり、図２は、図１に示したＰＳＤ固定部の断面図（断面Ａ−Ａ）である。図１に示すように、このＰＳＤ固定部１００は、ＰＳＤ１１０と、ＰＳＤ受光面１１１と、部品１２０と、部品１３０とを備えて構成される。
【００２９】
部品１２０と部品１３０との間には、隙間１４０が存在する。また、部品１３０は、取り付け用穴１３１〜１３４と、回転調整用穴１３５，１３６とを有する。このうち、取り付け用穴１３１〜１３４は、シャフトまたは調整装置とＰＳＤ固定部１００とをねじで固定する場合に用いられる穴であり、回転調整用穴１３５，１３６は、調整装置が、部品１２０を回転調整する場合に用いる穴である。
【００３０】
図２の説明に移ると、ＰＳＤ１１０は、調整装置（図示しない）と電気的に接続するためのＰＳＤ端子１１０ａを有し、ＰＳＤ配線用穴１２０ａ、１３０ａを介して、調整装置と接続される。
【００３１】
部品１２０は、図１の説明に加えて、ＰＳＤ１１０をはめ込むくぼみ１２１を有し、ＰＳＤ１１０は、このくぼみ１２１にはめ込まれ、接着されて固定されている。また、部品１２０は、ＰＳＤ１１０を回転させるためのピン１２２を有する。
【００３２】
部品１３０は、図１の説明に加えて、部品１２０を入れるくぼみ１３７と、ピン１２２と嵌め合う嵌め合い穴１３８とを有する。また、部品１３０には、ＰＳＤ固定部１００の回転を防止するための回り止めピン１５０が接続されている。
【００３３】
続いて、本実施例にかかる調整装置の構成について説明する。図３は、本実施例にかかる調整装置の構成を示す機能ブロック図である。同図に示すように、この調整装置２００は、ＰＳＤ固定部１００と、ＰＳＤ固定台２０１と、基準ＬＤ２０５と、ＬＤ保持具２０５ａと、ＰＳＤ座標変換器２１０と、制御器２２０と、回転調整駆動機構コントローラ２３０と、回転調整駆動機構２３０ａ、２３０ｂと、ピン２３１，２３２と、ステージ駆動機構コントローラ２４０と、水平ステージ駆動機構２４０ａと、垂直ステージ駆動機構２４０ｂと、水平移動用ステージ２４１と、垂直移動用ステージ２４２とを備えて構成される。
【００３４】
このうち、ＰＳＤ固定台２０１は、図１に示したＰＳＤ固定部１００を固定する台である。なお、ＰＳＤ固定部１００をＰＳＤ固定台２０１に固定する場合に、作業者は、前準備を行う。ここで、作業者が行う前準備について、図１、図２を用いて説明すると、作業者は、ＰＳＤ１１０を部品１２０のくぼみ１２１に接着し、部品１２０を部品１３０にはめ込む（部品１２０裏面のピン１２２を部品１３０の嵌め合い穴１３８に嵌め合わせる）。ここまで組み立てたものを、調整装置２００のＰＳＤ固定台２０１に取り付ける（部品１３０の裏面から出ているピン１２２と、回り止めピン１５０とをＰＳＤ固定台２０１に設けられた嵌合穴に差込み、取り付け用穴１３１〜１３４を利用してねじで固定する）。
【００３５】
図３の説明にもどると、基準ＬＤ２０５は、ＰＳＤ固定部１００のＰＳＤ受光面１１１にレーザ光を照射する装置であり、ＬＤ保持具２０５ａによって固定されている。この基準ＬＤ２０５は、水平移動用ステージ２４１あるいは垂直移動用ステージ２４２の駆動に伴って水平方向あるいは垂直方向に移動する。
【００３６】
ＰＳＤ座標変換器２１０は、ＰＳＤ固定部１００のＰＳＤ端子１１０ａから出力されるデータを取得して、基準ＬＤ２０５からのレーザ光が照射されているＰＳＤ受光面１１１上の座標値を検出する装置である。なお、ＰＳＤ座標変換器２１０は、図９〜１１で説明した座標軸（定義されたＡＺ’軸とＥＬ’軸）の情報を保持しており、この座標軸を基準とした座標の値（以下、ＰＳＤ座標値）を検出する。例えば、ＰＳＤ座標変換器２１０は、ＡＺ’軸とＥＬ’軸との交点を座標軸の原点とし、レーザ光が照射されたＰＳＤ受光面１１１上の絶対的な座標値から原点の座標値を差し引いた相対的な座標値をＰＳＤ座標値として検出してもよい。
【００３７】
制御器２２０は、ＰＳＤ座標変換器２１０から出力されるＰＳＤ座標値を基にして、ＰＳＤ１１０の傾きを算出し、このＰＳＤ１１０の座標軸とシャフトの基準軸とを一致させるための移動量（回転調整駆動機構の押し込み量；以下、調整移動量）を算出する装置である。
【００３８】
ここで、制御器２２０が行うＰＳＤ１１０の傾き算出について説明する。図４は、制御器２２０が行うＰＳＤ１１０の傾き算出を説明するための説明図である。まず、制御器２２０が、水平方向（ＥＬ’軸）の傾きを算出する手法を示した後に、垂直方向（ＡＺ’軸）の傾きを算出する手法について説明する。
【００３９】
まず水平方向の傾きを算出する場合には、制御器２２０は、水平方向に対する所定の移動量の情報をステージ駆動機構コントローラ２４０に入力して、水平移動用ステージ２４０を駆動させ、２つの座標、例えば、座標Ａと、座標Ｂとを取得し、水平方向の傾きを算出する。
【００４０】
ここで、ステージ駆動機構コントローラ２４０は、制御器２２０から入力される移動量の情報に応じて、水平ステージ駆動機構あるいは垂直ステージ駆動機構２４０を駆動させる装置である。なお、ステージ駆動機構コントローラ２４０は、水平移動用ステージ２４１あるいは垂直移動用ステージ２４２を駆動させる場合には、水平ステージ駆動機構２４０ａあるいは垂直ステージ駆動機構２４０ｂに駆動信号を出力する。また、ステージ駆動機構コントローラ２４０は、水平ステージ駆動機構２４０ａおよび垂直ステージ駆動機構２４０ｂから出力される位置信号を取得して、移動量を検出する。
【００４１】
制御器２２０の説明にもどると、制御器２２０が、水平方向の傾きθｈを算出する具体的な数式は、
【数１】
2007225391.tif 000003
によって表すことができる。θｈが０となった場合に、ＥＬ’軸は、シャフトのＥＬ軸に対して平行となる。（制御器２２０は、水平方向に対する規定値を保持しており、θｈの値が規定値以下となった場合に、ＥＬ’軸がシャフトのＥＬ軸に対して平行になったと判定してもよい。）
【００４２】
また、垂直方向の傾きを算出する場合には、制御器２２０は、垂直方向に対する所定の移動量の情報をステージ駆動機構コントローラ２４０に入力して、垂直移動用ステージ２４２を駆動させ、２つの座標、例えば、座標Ａと、座標Ｃとを取得し、垂直方向の傾きを算出する。垂直方向の傾きθｖを算出する具体的な数式は、ゼロ割を考慮すると、
【数２】
2007225391.tif 000004
によって表すことができる。θｖが０となった場合に、ＡＺ’軸は、シャフトのＡＺ軸に対して平行となる。（制御器２２０は、水平方向に対する規定値を保持しており、θｖの値が規定値以下となった場合に、ＡＺ’軸がシャフトのＡＺ軸に対して平行になったと判定してもよい。）
【００４３】
続いて、制御器２２０が行う調整移動量の求め方の一例について説明する。図５は、制御器２２０が保持する移動量算出テーブルである。すなわち、制御器２２０は、水平方向の傾きθｈあるいは垂直方向の傾きθｖの値と、移動量算出テーブルを比較することによって、調整移動量を決定することができ、この調整移動量の情報を回転調整移動機構コントローラ２３０に出力する。なお、制御器２２０は、調整移動量をどのように求めても良く、例えば、傾き（水平方向の傾きθｈあるいは垂直方向の傾きθｖ）から調整移動量を算出可能な数式を用いて、移動量算出テーブルの代わりに利用してもよい。
【００４４】
ここで、回転調整駆動機構コントローラ２３０は、制御器２２０から調整移動量の情報を取得し、取得した調整移動量となるように、回転調整駆動機構２３０ａ（回転調整駆動機構２３０ａは、ピン２３１を介して、ＰＳＤ固定部１００の部品１２０を時計方向に回転させる）あるいは回転調整駆動機構２３０ｂ（回転調整駆動機構２３０ｂは、ピン２３２を介して、ＰＳＤ固定部１００の部品１２０を反時計方向に回転させる）を駆動させる装置である。
【００４５】
なお、回転調整駆動機構コントローラ２３０は、回転調整駆動機構２３０ａあるいは２３０ｂを駆動させる場合には、駆動させる回転調整駆動機構に対して駆動信号を出力する。また、回転調整駆動機構コントローラ２３０は、回転調整駆動機構２３０ａおよび２３０ｂから出力される位置信号を取得して、移動量を検出する。
【００４６】
制御器２２０は、水平方向の傾きθｈおよび垂直方向の傾きθｖが規定値以下となるまで、ＰＳＤ固定部１００に対する調整を繰り返し実行する。なお、制御器２２０は、水平方向の傾きθｈおよび垂直方向の傾きθｖとの調整が完了したと判定した場合（水平方向の傾きθｈおよび垂直方向の傾きθｖが規定値以下となった場合）には、調整作業が完了した旨をディスプレイ（図示しない）に表示させ、作業者に通知する。
【００４７】
この場合、作業者は、部品１２０と部品１３０との隙間１４０に接着剤を流し込み、部品１２０と部品１３０とを接着固定し、アセンブリ化する。そして、アセンブリ化したＰＳＤ固定部１００をシャフトに取り付ける場合には、作業者は、部品１３０から飛び出ているピン１２２および回り止めピン１５０で位置決めし、取り付け用穴１３１〜１３４を用いてシャフトにねじで固定する。
【００４８】
また、ＰＳＤ１１０を交換する場合には、作業者は、取り付け用穴１３１〜１３４のねじをはずせば、ＰＳＤ１１０を部品１２０および部品１３０ごとにはずすことができる。すなわち、従来のようにシャフトごとＰＳＤ１１０を交換する必要がなくなり、ＰＳＤ交換にかかるコストを大幅に削減することができる。
【００４９】
次に、図３に示した調整装置２００が行う処理について説明する。図６は、調整装置２００が行う処理を示すフローチャートである。なお、このフローチャートでは、調整装置２００が行う処理のみを示し、作業者が行う作業（ＰＳＤ固定部１００をＰＳＤ固定台に取り付ける作業など）の説明は省略する。
【００５０】
同図に示すように、調整装置２００は、基準ＬＤ２０５がレーザ光をＰＳＤ受光面１１１に照射し（ステップＳ１０１）、制御器２２０が、ステージ駆動機構コントローラ２４０に移動量の情報を入力して、水平移動用ステージ２４１を水平方向に駆動させる（ステップＳ１０２）。
【００５１】
そして、制御器２２０は、ＰＳＤ座標変換器２１０からＰＳＤ座標値を取得し（ステップＳ１０３）、水平方向の傾きを算出し（ステップＳ１０４）、傾きが規定値以下か否かを判定する（ステップＳ１０５）。
【００５２】
傾きが規定値よりも大きい場合には（ステップＳ１０６，Ｎｏ）、制御器２２０は、傾きから調整移動量を算出し、算出した調整移動量の情報を回転調整駆動機構コントローラ２３０に出力し、ＰＳＤ固定部１００のＰＳＤ受光面１１１の回転角度を調整し（ステップＳ１０７）、ステップＳ１０２に移行する。
【００５３】
一方、傾きが規定値以下の場合には（ステップＳ１０６，Ｙｅｓ）、制御器２２０は、ステージ駆動機構コントローラ２４０に移動量の情報を入力して、垂直移動用ステージ２４２を駆動させる（ステップＳ１０８）。
【００５４】
そして、制御器２２０は、ＰＳＤ座標変換器２１０からＰＳＤ座標値を取得し（ステップＳ１０９）、垂直方向の傾きを算出し（ステップＳ１１０）、傾きが規定値以下か否かを判定する（ステップＳ１１１）。
【００５５】
傾きが規定値よりも大きい場合には（ステップＳ１１２，Ｎｏ）、制御器２２０は、傾きから調整移動量を算出し、算出した調整移動量の情報を回転調整駆動機構コントローラ２３０に出力し、ＰＳＤ固定部１００のＰＳＤ受光面１１１の回転角度を調整し（ステップＳ１１３）、ステップＳ１０８に移行する。
【００５６】
一方、傾きが規定値以下の場合には（ステップＳ１１２，Ｙｅｓ）、制御器２２０は、調整作業が完了した旨を図示しないディスプレイに出力し、表示させる（ステップＳ１１４）。
【００５７】
このように、調整装置２００は、制御器２２０が、水平移動用ステージ２４１あるいは垂直移動用ステージ２４２を駆動させ、ＰＳＤ座標を取得し、傾きを算出して、算出した傾きが規定値より大きい場合には、調整移動量を算出して、調整移動量を回転調整駆動機構コントローラ２３０に出力してＰＳＤ受光面１１１の回転角度を調整するので、作業者にかかる負担を軽減させることができる。
【００５８】
上述してきたように、本実施例にかかる調整装置２００は、基準ＬＤ２０５が、レーザ光をＰＳＤ受光面１１１に照射し、ＰＳＤ座標変換器２１０が、ＰＳＤ座標を検出し、制御器２２０が、ＰＳＤ座標値を基にして、ＰＳＤ受光面１１１上で定義された座標軸の傾きが規定値以下か否かを判定し、規定値よりも傾きが大きい場合には、回転調整駆動機構コントローラ２３０に調整移動量の情報を出力して回転調整駆動機構２３０ａあるいは回転調整駆動機構２３０ｂを駆動させ、ＰＳＤ受光面上の座標軸の傾きを調整するので、作業者は、ＰＳＤ受光面上に定義された座標軸とシャフトの基準軸とを容易に一致させることができ、作業者にかかる負担が大幅に軽減される。
【００５９】
なお、本実施例では、調整装置２００によるＰＳＤ受光面の傾き調整が完了した後に、部品１２０と部品１３０との隙間１４０に接着剤を流し込み、部品１２０と部品１３０とを接着固定し、アセンブリ化していたが、これに限定されるものではない。図７は、ＰＳＤ固定部の他の構成を示す図であり、図８は、図７に示したＰＳＤ固定部の断面図（断面Ａ−Ａ）である。
【００６０】
図７および図８に示すように、このＰＳＤ固定部３００は、固定用ねじ３４０〜３４３を有する。この固定用ねじを利用することによって、接着剤を用いなくとも、部品３１０と部品３２０とを固定することができるので、ＰＳＤ１１０が埋め込まれた部品３１０のみを交換することができ、更にＰＳＤ交換にかかる費用を削減することができる。
【００６１】
また、同図に示すように、ＰＳＤ固定部３００に回転調整用ねじ３３０を取り付けることによって、手動でＰＳＤ１１０の傾きを調整することもできる。
【００６２】
（付記１）光電変換素子の角度を調整する調整装置であって、
前記光電変換素子を移動させつつ当該光電変換素子の受光面上にレーザ光を照射して、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸上での座標値を検出する座標値検出手段と、
前記座標値検出手段によって検出された座標値を基にして、前記光電変換素子の角度を調整する調整手段と、
を備えたことを特徴とする調整装置。
【００６３】
（付記２）前記調整手段は、前記座標値を基にして、前記光電変換素子が設置される回転体の基準軸と、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸とが一致するように、前記光電変換素子の角度を調整することを特徴とする付記１に記載の調整装置。
【００６４】
（付記３）前記調整手段は、前記座標値を基にして前記座標軸の傾きを算出する傾き算出手段と、前記算出手段によって算出された傾きが規定値以下か否かを判定する判定手段と、前記判定手段によって前記傾きが規定値よりも大きいと判定された場合に、前記光電変換素子の角度を調整する調整実行手段とを備えたことを特徴とする付記１または２に記載の調整装置。
【００６５】
（付記４）前記調整実行手段は、前記傾きを基にして前記光電変換素子の角度を調整する調整量を算出し、算出した調整量に基づいて前記光電変換素子の角度を調整することを特徴とする付記３に記載の調整装置。
【００６６】
（付記５）光電変換素子の角度を調整する調整方法であって、
前記光電変換素子を移動させつつ当該光電変換素子の受光面上にレーザ光を照射して、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸上での座標値を検出する座標値検出工程と、
前記座標値検出工程によって検出された座標値を基にして、前記光電変換素子の角度を調整する調整工程と、
を含んだことを特徴とする調整方法。
【００６７】
（付記６）前記調整工程は、前記座標値を基にして、前記光電変換素子が設置される回転体の基準軸と、前記光電変換素子の受光面上に定義された座標軸とが一致するように、前記光電変換素子の角度を調整することを特徴とする付記５に記載の調整方法。
【００６８】
（付記７）前記調整工程は、前記座標値を基にして前記座標軸の傾きを算出する傾き算出工程と、前記算出工程によって算出された傾きが規定値以下か否かを判定する判定工程と、前記判定工程によって前記傾きが規定値よりも大きいと判定された場合に、前記光電変換素子の角度を調整する調整実行工程とを含んだことを特徴とする付記５または６に記載の調整方法。
【００６９】
（付記８）前記調整実行工程は、前記傾きを基にして前記光電変換素子の角度を調整する調整量を算出し、算出した調整量に基づいて前記光電変換素子の角度を調整することを特徴とする付記７に記載の調整方法。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
以上のように、本発明にかかる調整装置および調整方法は、空間安定化機構の回転体に取り付けられる光電変換素子上の座標軸と、回転体の基準軸を効率よくかつ迅速に一致させる必要のある調整装置などに対して有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】ＰＳＤ固定部の構成を示す図である。
【図２】図１に示したＰＳＤ固定部の断面図である。
【図３】本実施例にかかる調整装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図４】制御器が行うＰＳＤの傾き算出を説明するための説明図である。
【図５】制御器が保持する移動量算出テーブルである。
【図６】調整装置が行う処理を示すフローチャートである。
【図７】ＰＳＤ固定部の他の構成を示す図である。
【図８】図７に示したＰＳＤ固定部の断面図である。
【図９】従来にかかる姿勢角検出装置のシャフトの全体図である。
【図１０】ＬＤの固定条件を説明するための説明図である。
【図１１】座標軸定義にかかる概念図である。
【符号の説明】
【００７２】
１０    シャフト
２０，１１０    ＰＳＤ（光電変換素子）
３０，４０    ＬＤ
５０    回転中心
１００，３００    ＰＳＤ固定部
１１０ａ  ＰＳＤ端子
１１１    ＰＳＤ受光面
１２０，１３０，３１０，３２０    部品
１２０ａ，１３０ａ  ＰＳＤ端子配線用穴
１２２    ピン
１３１，１３２，１３３，１３４    取り付け用穴
１３５    回転調整用穴
１２１，１３７    くぼみ
１４０    隙間
１５０    回り止めピン
２００    調整装置
２０１    ＰＳＤ固定台
２０５    基準ＬＤ
２０５ａ  ＬＤ保持具
２１０    ＰＳＤ座標変換器
２２０    制御器
２３０    回転調整駆動機構コントローラ
２３０ａ、２３０ｂ  回転調整駆動機構
２３１，２３２    ピン
２４０    ステージ駆動機構コントローラ
２４０ａ  水平ステージ駆動機構
２４０ｂ  垂直ステージ駆動機構
２４１    水平移動用ステージ
２４２    垂直移動用ステージ
３３０    回転調整用ねじ
３４０，３４１，３４２，３４３    固定用ねじ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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