(57)【要約】    【課題】  簡単な構成で、プローブと検査対象物とを確実に位置合わせすることができるプローブ装置を提供する。    【解決手段】  プローブ装置１０３は、コンタクトピンを備えたプローブ本体１０７と、プローブ本体の周縁に設けられたフランジ部材１１１およびフランジ部材をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に収容するプローブホルダ１０８を備えた保持手段とを備え、プローブホルダ１０８内に、スライドしたフランジ部材１１１を定常位置に復帰させる下り斜面１５６が形成され、プローブホルダ１０８が、フランジ部材１１１とともにプローブ本体１０７を垂直状態のままスライドさせるガイドプレート１５３を備えている。【選択図】  図４
2007017448.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンタクトピンを備えたプローブ本体と、
前記プローブ本体の周縁に設けられたフランジ部材および前記フランジ部材をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に収容するプローブホルダを備えた保持手段とを備え、
前記プローブホルダ内に、スライドした前記フランジ部材を定常位置に復帰させる下り斜面が形成され、
前記プローブホルダが、前記フランジ部材とともに前記プローブ本体を垂直状態のままスライドさせるガイドプレートを備えたことを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
前記プローブ本体の先端部がテーパー状に形成されたことを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
【請求項３】
コンタクトピンを備えたプローブ本体と、前記プローブ本体の周縁に設けられたフランジ部材および前記フランジ部材をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に収容するプローブホルダを備えた保持手段とを備え、前記プローブホルダ内に、スライドした前記フランジ部材を定常位置に復帰させる下り斜面が形成され、前記プローブホルダが、前記フランジ部材とともに前記プローブ本体を垂直状態のままスライドさせるガイドプレートを備えたプローブ装置と、前記プローブ装置を昇降させる昇降機構とを備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項４】
前記プローブ装置の前記プローブ本体の先端部がテーパー状に形成されたことを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ装置およびプローブ装置を備えた検査装置に関するものであり、さらに詳細には、プローブと検査対象物の中心軸がずれていても、その誤差を吸収して、検査対象物を確実に検査することができるプローブ装置およびこれを用いた検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品が実装されたプリント基板の検査工程や、プリント基板へのデータの書き込み工程では、プリント基板上に実装されたコネクタにプローブを当てて、そこからデータを書き込み、あるいは、データを測定することが行われている。このときに問題となるのは、プローブとコネクタとの位置合わせである。すなわち、プリント基板をステージに搭載した際の位置ずれやプリント基板上のコネクタの実装のばらつきなどによって、コネクタが所望の位置に位置していなくても、プローブを確実にコネクタ接触させることが必要である。
【０００３】
従来、コネクタとプローブを確実に位置合わせする方法として、コネクタの位置を光学顕微鏡やビデオカメラで撮像しながら、プローブを移動させて、プローブと被測定体との位置合わせを行う方法が知られている（特許文献１および特許文献２参照）。この方法によれば、正確かつ確実に、しかも、自動的に位置合わせを行うことができるという利点がある。
【特許文献１】特開２００２−２９６１４８号公報
【特許文献２】特開平０８−３３０３７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、この方法では、プローブの制御システムが複雑かつ大型化し、装置自体のコストが上昇するという問題がある。また、この方法は、プローブを積極的に移動させるシステムには適しているが、プローブとコネクタとのわずかな位置ずれを補正するための方法としては適しておらず、簡単な構成で、コネクタとプローブを確実に位置合わせすることができる方法が望まれている。
【０００５】
したがって、本発明は、簡単な構成で、プローブと検査対象物とを確実に位置合わせすることができるプローブ装置およびプローブ装置を用いた検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のかかる目的は、コンタクトピンを備えたプローブ本体と、前記プローブ本体の周縁に設けられたフランジ部材および前記フランジ部材をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に収容するプローブホルダを備えた保持手段とを備え、前記プローブホルダ内に、スライドした前記フランジ部材を定常位置に復帰させる下り斜面が形成され、前記プローブホルダが、前記フランジ部材とともに前記プローブ本体を垂直状態のままスライドさせるガイドプレートを備えたことを特徴とするプローブ装置によって達成される。
【０００７】
本発明によれば、プローブ本体と検査対象物の中心軸がずれている場合に、プローブ本体が検査対象物と同軸状態となる方向に外力を受けると、下り斜面に案内されて、スライドし、コンタクトピンは検査対象物に接続される。外力から解放されると、プローブ本体は、下り斜面に案内されて、スライド前の定常位置に戻るので、定常位置を中心とした一定の範囲内の位置ずれがカバーされ、プローブ本体と検査対象物との位置合わせを簡単に行うことができる。
【０００８】
本発明の好ましい実施態様においては、前記プローブ本体の先端部がテーパー状に形成されている。
【０００９】
本発明の好ましい実施態様によれば、テーパー状の先端部と検査対象物が当接すると、プローブ本体はこのテーパー状の先端部によって検査対象物と同軸状態となる方向に外力を受けてその方向へスライドする。したがって、簡単な構成で、プローブ本体のコンタクトピンを検査対象物に接続させることができる。
【００１０】
本発明の前記目的はまた、コンタクトピンを備えたプローブ本体と、前記プローブ本体の周縁に設けられたフランジ部材および前記フランジ部材をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に収容するプローブホルダを備えた保持手段とを備え、前記プローブホルダ内に、スライドした前記フランジ部材を定常位置に復帰させる下り斜面が形成され、前記プローブホルダが、前記フランジ部材とともに前記プローブ本体を垂直状態のままスライドさせるガイドプレートを備えたプローブ装置と、前記プローブ装置を昇降させる昇降機構とを備えたことを特徴とする検査装置によって達成される。
【００１１】
本発明によれば、プローブ本体と検査対象物の中心軸がずれている場合に、昇降機構によって、プローブ装置のプローブ本体を降下させると、プローブ本体は検査対象物と同軸状態となる方向に外力を受けて、スライドし、プローブ本体のコンタクトピンは検査対象物に接続される。一方、昇降機構によって、プローブ装置のプローブ本体を上昇させると、外力が解除されるため、プローブ本体はスライド前の定常位置に復帰する。したがって、簡単な構成で、プローブ本体と検査対象物との位置合わせを行うことができる。
【００１２】
本発明の好ましい実施態様においては、前記プローブ装置の前記プローブ本体の先端部がテーパー状に形成されている。
【００１３】
本発明の好ましい実施態様によれば、テーパー状の先端部と検査対象物が当接すると、プローブ本体はこのテーパー状の先端部によって検査対象物と同軸状態となる方向に外力を受けてその方向へスライドする。したがって、簡単な構成で、プローブ本体のコンタクトピンを検査対象物に接続させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、簡単な構成で、プローブと検査対象物とを確実に位置合わせすることができるプローブ装置およびプローブ装置を用いた検査装置を提供することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。
【００１６】
図１は、本発明の好ましい実施形態にかかる検査装置の外観構成を示す略斜視図である。
【００１７】
図１に示されるように、本実施形態にかかるこの検査装置１００は、検査装置本体１０１と、検査対象物が搭載されるステージ１０２と、ステージ１０２の上方に設けられるプローブ装置１０３と、プローブ装置１０３を昇降させる昇降装置１０４を備えている。
【００１８】
検査装置本体１０１は、検査対象物への検査用信号の供給や測定結果の処理などを行う機能を備えており、前面に設けられた操作パネル１０１ａを操作することにより、検査の開始や停止などを指示することができる。また、操作パネル１０１ａには、ランプや液晶ディスプレイによって検査状況も表示されるように構成されている。
【００１９】
ステージ１０２は、検査装置本体１０１の上面に設けられ、ステージ１０２上に、検査対象物であるプリント基板１０５が搭載されるように構成されている。ステージ１０２には、プリント基板１０５の面積に相当する凹面１０２ｃが形成され、さらに、凹面１０２ｃの両側に、ガイドブロック１０６が形成されている。このよう形成された凹面１０２ｃとガイドブロック１０６によって、搭載されるプリント基板１０５の位置ずれが最小限に抑えられるように構成されている。
【００２０】
ステージ１０２にはプリント基板１０５が搭載されているか否か、または、プリント基板１０５がほぼ所定の位置に配置されているか否かを検出するセンサが設けられていることが好ましい。このようなセンサを設けることによって、プリント基板１０５が正しく搭載されていないにもかかわらず、検査が実行されることを防止することができる。
【００２１】
プローブ装置１０３は、プリント基板１０５上の同軸コネクタ１０５ａに接続されるプローブ本体１０７と、プローブ本体１０７をその定常位置を中心とした一定の範囲内でスライド自在に保持するプローブホルダ１０８を備えている。プローブ本体１０７は、その両端部がプローブホルダ１０８の上下面から突出するように、プローブホルダ１０８によって保持され、プローブ本体１０７の後端部には、同軸ケーブル１０９が接続される。
【００２２】
昇降装置１０４は、プローブ装置１０３がプリント基板１０５の上方に配置されるように、検査装置本体１０１の上方に立設された支持台１１０によって、検査装置本体１０１の上面よりも十分高い位置に設置されている。昇降装置１０４としては、たとえば、モータ、エアシリンダ、油圧シリンダなどを用いることができる。昇降装置１０４の動作は、検査装置本体１０１からの制御信号によって制御される。
【００２３】
ステージ１０２上に配置されるプリント基板１０５には、検査用の同軸コネクタ１０５ａが実装されている。プローブ装置１０３は、同軸コネクタ１０５ａの鉛直方向上方に配置され、プローブ装置１０３が降下した場合には、プローブ本体１０７が同軸コネクタ１０５ａと接続するようになっている。すなわち、検査装置本体１０１からの制御にしたがって、昇降装置１０４がプローブ装置１０３を降下させると、プローブ本体１０７はその鉛直方向下方にある同軸コネクタ１０５ａに接続する。この状態で、検査装置本体１０１から検査用信号を供給し、その応答結果を処理することにより、プリント基板１０５が正常に動作するか否かを判定することができる。
【００２４】
検査が終了し、検査装置本体１０１からの制御信号にしたがって、昇降装置１０４がプローブ装置１０３を上昇させると、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａとの接続も解除される。検査が終了したプリント基板１０５は、ステージ１０２上から取り出されて、検査結果に応じたスタッカに収納された後、未検査のプリント基板１０５が新たにステージ１０２上に搭載される。なお、ステージ１０２上へのプリント基板の搭載や取り出しは、手作業で行ってもよく、吸着アームなどの移送機構で自動的に行ってもよい。
【００２５】
図２は、検査装置１００のシステム構成を示すブロック図である。
【００２６】
図２に示されるように、このシステムは、検査装置本体１０１内に、検査の開始や終了を指示するための操作パネル１０１ａと、検査プログラムを実行して、各ブロックを制御する検査プログラム処理部２０１と、検査プログラムを格納するプログラムメモリ２０２と、昇降装置１０４を制御する駆動制御部２０３と、プローブ装置１０３への信号供給および測定結果の処理を行う測定処理部２０４と、処理されたデータを格納するデータメモリ２０５と、パーソナルコンピュータやプリンタなどの外部機器を接続可能な外部端子２０６を備えている。検査プログラムは、外部端子２０６に接続したパーソナルコンピュータからプログラムメモリ２０２内へ転送され、実際の検査時に、検査プログラム処理部２０１内で処理される。データメモリ２０５内の測定結果データは、外部端子２０６を介して、パーソナルコンピュータやプリンタへ転送することができる。
【００２７】
図３は、検査装置１００による検査手順を示すフローチャートである。
【００２８】
図３に示されるように、操作パネル１０１ａから検査開始が指示されると、検査プログラム処理部２０１によって、検査プログラムが実行され、プリント基板がステージ１０２上に搭載されているか否かの確認が行われる（Ｓ３０１）。なお、プリント基板を吸着アームで自動搭載する場合には、自動搭載が行われた後に、プリント基板の搭載の有無を確認する。
次いで、駆動制御部２０３が昇降装置１０４を制御して、プローブ装置１０３を降下させ、プリント基板１０５上の同軸コネクタ１０５ａに、プローブ本体１０７が接続される（Ｓ３０２）。
その後、検査プログラムにしたがって、所定の検査および設定情報の書き込みが行われる（Ｓ３０３）。すなわち、測定処理部２０４が、プローブ本体１０７へ検査項目に対応する信号を供給し、その応答結果を処理することによって所定の検査が行われるとともに、プリント基板上のメモリに所定の設定情報が書き込まれる。
検査および設定情報の書き込みが完了すると、駆動制御部２０３が昇降装置１０４を制御して、プローブ装置１０３を上昇させ、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａとの接続が解除される（Ｓ３０４）。最後に、検査完了後のプリント基板がステージ１０２から取り出される（Ｓ３０５）。
【００２９】
図４は、本発明の好ましい実施形態にかかるプローブ装置１０３の一部破断図である。また、図５は、プローブ装置１０３の分解斜視図である。
【００３０】
図４に示されるように、本実施形態にかかるプローブ装置１０３は、円筒状のプローブ本体１０７と、プローブ本体１０７をスライド自在に保持するプローブホルダ１０８と、プローブ本体１０７の周縁に固定される円型のフランジ部材１１１と、プローブホルダ１０８内に収容されるドーナツ板状のガイドプレート１５３を備えている。
【００３１】
プローブ本体１０７は、その先端部１０７ａが伸縮しない固定タイプのものが用いられることが好ましい。これは、プローブ本体１０７がスライドする場合に、垂直方向の移動も伴うことから、水平方向および垂直方向の外力が直接伝わるようにするためである
プローブ本体１０７は、その先端部１０７ａの内側に、コンタクトピンが設けられており、また、後端部には、同軸ケーブル（図示せず）が接続されている。フランジ部材１１１は、プローブ本体１０７の長手方向の略中央位置に設けられる。フランジ部材１１１は、プローブ本体１０７とは別の部材として提供されてもよく、最初から、プローブ本体１０７と一体的に形成されていても構わない。フランジ部材１１１としては、金属製または樹脂製のものを用いることができる。
【００３２】
プローブホルダ１０８は、円型のプローブホルダ本体１０８ａと、その側面から突出したハンドル部１０８ｂとを備えており、ハンドル部１０８ｂは、昇降装置１０４のパイプ部１０４ｐに接続している。
【００３３】
本実施形態において、これらは長円形の支持板１１３と、その上面の前方寄りに設けられる円型のケース１５１と、ケース１５１の上方の開口部に被せられる上部カバー１５２との組み合わせによって構成されている。ケース１５１と支持板１１３およびケース１５１と上部カバー１５２とは、ねじ１１５によって固定されている。
【００３４】
プローブホルダ本体１０８ａの中央部には、プローブ本体１０７の両端部をプローブホルダ本体の上下面から突出させるための貫通孔１０８ｃが設けられている。
【００３５】
本実施形態において、この貫通孔１０８ｃは、上部カバー１５２の上面中央部とこれに対応した支持板１１３上の所定の位置に設けられている。貫通孔１０８ｃの径は、プローブ本体１０７の径よりも大きく設定され、貫通孔１０８ｃとプローブ本体１０７との間には、ある程度の遊び（隙間）が形成される。フランジ部材１１１が、プローブホルダ本体１０８ａ内に収容されると、プローブ本体１０７は、その先端部１０７ａが、プローブホルダ本体１０８ａの下面（支持板の下面）よりも下方に突出し、その後端部が、プローブホルダ本体１０８ａの上面（ケースの上面）よりも上方に突出するように、貫通孔１０８ｃ内に垂直に配置される。
【００３６】
プローブホルダ本体１０８ａの内部の上方には、フランジ部材１１１が収容される第１の内部空間１５４が形成されており、その下方には、ガイドプレート１５３が収容される第２の内部空間１５５が形成されている。第１の内部空間１５４の高さは、フランジ部材１１１の板厚よりも高く設定される。また、第１の内部空間１５４の径は、その底面において、フランジ部材１１１とほぼ等しく、上方に行くほど、広がっており、第１の内部空間１５４を形成するプローブホルダ本体１０８ａの内周面は、下り斜面１５６となっている。第２の内部空間１５５の高さは、できるだけ遊び（隙間）が生じないように、ガイドプレート１５３の板厚とほぼ等しく設定される。また、第２の内部空間１５５の径は、ガイドプレート１５３の外径よりも大きく設定され、第２の内部空間１５５を形成するプローブホルダ本体１０８ａの内周面とガイドプレート１５３の周縁との間には、ある程度の遊び（隙間）が形成される。
【００３７】
ガイドプレート１５３は、フランジ部材１１１とともに、プローブ本体１０７を垂直状態のままスライドさせる役割を果たす。ガイドプレート１５３の内径は、できるだけ遊び（隙間）がないように、プローブ本体１０７の径とほぼ等しく設定される。その結果、プローブ本体１０７は、垂直方向には、ガイドプレート１５３と無関係に移動することができるが、水平方向には、ガイドプレート１５３ととともに、スライドする。そして、プローブ本体１０７は、水平状態のフランジ部材１１１およびガイドプレート１５３により、２点で支持されるため、プローブ本体１０７は傾くことな、く垂直状態のまま、スライドすることができる。
【００３８】
第１の内部空間１５４を形成する下り斜面１５６は、プローブ本体１０７をスライドさせるとともに、スライドして中心軸からずれたプローブ本体１０７をもとの位置に復帰させる役割を果たす。これにより、フランジ部材１１１およびプローブ本体１０７は、その中心軸が貫通孔１０８ｃの中心軸と一致する位置である定常位置を保っている。
【００３９】
プローブ本体１０７に垂直方向の外力が加えられると、プローブ本体１０７とともに、フランジ部材１１１が上方に持ち上げられる。このとき、外力に水平方向の成分も含まれている場合には、プローブ本体１０７は垂直状態のまま、斜め方向に持ち上げられる。すなわち、プローブ本体１０７は、フランジ部材１１１およびガイドプレート１５３によって、２点で支持されているため、プローブ本体１０７は上方に持ち上げられながら、垂直状態のまま、スライドする。その後、プローブ本体１０７が外力から解放されると、フランジ部材１１１はプローブ本体１０７とともに、自重によって、下り斜面１５６に沿って落下し、スライド前の定常位置に戻ることができる。
【００４０】
なお、下り斜面１５６の角度は、フランジ部材１１１とともに、プローブ本体１０７を定常位置に確実に復帰させることができるように、４５度以上に設定されていることが好ましく、より好ましくは、スライド量も十分に確保するために、４５度に設定される。また、貫通孔１０８ｃとプローブ本体１０７との間に形成される遊び（隙間）の幅は、プローブ本体１０７が最大限にスライドしたとしても、そのスライドを妨げないように、十分広く設定されていることが好ましい。このように、貫通孔１０８ｃとプローブ本体１０７との間に形成される遊び（隙間）の幅を十分広く設定すれば、プローブ本体１０７のスライドが貫通孔１０８ｃによって妨げられることはない。
【００４１】
以上のように構成されているため、フランジ部材１１１およびプローブ本体１０７は、その定常位置を中心とした一定の範囲内で、スライド自在に保持され、スライドしたプローブ本体１０７は定常位置に復帰することができる。
【００４２】
なお、実際のセッティングでは、図５に示されるように、ガイドプレート１５３を第２の内部空間１５５に収容した状態で、ケース１５１を、支持板１１３上に、ねじ１１５で固定する。次いで、プローブ本体１０７の先端部を貫通孔１０８ｃに挿入した状態で、フランジ部材１１１が固定されたプローブ本体１０７を第１の内部空間１５４にセットし、上方の開口部に、上部カバー１５２を被せることによって、フランジ部材１１１をケース１５１内に収容し、ケース１５１と上部カバー１５２を、ねじ１１５で固定する。
【００４３】
図６および図７は、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【００４４】
図６に示されるように、プローブ装置１０３が上昇位置にあるとき、プローブ本体１０７には、何の外力も加わっていないため、プローブ本体１０７は定常位置であるプローブホルダ本体１０８ａの中央に位置し、プローブホルダ本体１０８ａと同軸状態を保っている。
【００４５】
図７に示されるように、プローブ装置１０３を降下させると、プローブ本体１０７の先端部が同軸コネクタ１０５ａと接触する。プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸が一致していれば、コンタクトピン６０２も同軸コネクタ１０５ａに接触するとともに、同軸コネクタ１０５ａの周縁部がプローブ本体１０７の先端部に設けられたテーパー部６０７ａと均等に接触するので、プローブ装置１０３をさらに降下させると、フランジ部材１１１が天井面にぶつかるまで、プローブ本体１０７は真っ直ぐ上方に持ち上げられる。したがって、プローブ本体１０７がスライドすることはない。図７に示した状態から、プローブ装置１０３を上昇させると、プローブ本体１０７およびフランジ部材１１１は自重により落下し、図６に示した元の上昇位置へ戻る。
【００４６】
図８ないし図１０は、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【００４７】
図８に示されるように、プローブ装置１０３が上昇位置にあるとき、プローブ本体１０７には、何の外力も加わっていないため、プローブ本体１０７は定常位置であるプローブホルダ本体１０８ａの中央に位置し、プローブホルダ本体１０８ａと同軸状態を保っている。一方、プローブ本体１０７の中心軸に対し、同軸コネクタ１０５ａの中心軸は左側にずれている。
【００４８】
図９に示されるように、プローブ装置１０３を降下させると、プローブ本体１０７の先端部が同軸コネクタ１０５ａと接触する。ここに、プローブ本体１０７の中心軸と同軸コネクタ１０５ａの中心軸がずれているので、プローブ本体１０７の先端部に設けられたテーパー部６０７ａには、同軸コネクタ１０５ａの外周の一部のみが接触する。
【００４９】
図１０に示されるように、プローブ装置１０３をさらに降下させると、その接触部分がテーパー部６０７ａに沿って、徐々に奥へと相対的に移動して、プローブ本体１０７は、その中心軸が同軸コネクタ１０５ａの中心軸と一致する最終的な位置まで移動する。したがって、コンタクトピン６０２が同軸コネクタ１０５ａに接触するとともに、プローブ本体１０７およびフランジ部材１１１は、斜め上方に持ち上げられる。また、プローブ本体１０７とともに、ガイドプレート１５３もスライドするため、プローブ本体１０７の垂直状態が維持される。
【００５０】
図１０に示した状態からプローブ装置１０３を上昇させると、図９の状態を経て、図８に示した元の上昇位置へ戻る。すなわち、同軸コネクタ１０５ａとテーパー部６０７ａとの圧接力によってスライドしたプローブ本体１０７が、その圧接力から解放されると、フランジ部材１１１がプローブ本体１０７とともに、自重によって、下り斜面１５６に沿って、落下し、元の位置に戻るので、図８に示されるように、プローブ本体１０７とプローブホルダ本体１０８ａは再び同軸状態となる。このように、プローブ装置は、定常位置を中心とした３６０度の一定範囲で、同軸コネクタ１０５ａの位置ずれを吸収することができる。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態によれば、プローブ本体と同軸コネクタの中心軸がずれていても、その誤差を吸収し、確実に検査を行うことができる。
【００５２】
図１１は、本発明の他の好ましい実施形態にかかる検査装置の構成を示す略斜視図である。
【００５３】
図１１に示されるように、本実施形態にかかる検査装置９００は、昇降機構として、駆動レバー９９１を備え、駆動レバー９９１を引き下げると、駆動レバー９９１に連結したパイプ部１０４ｐも降下し、逆に駆動レバー９９１を押し上げると、パイプ部１０４ｐが上昇するようになっている。
【００５４】
したがって、本実施形態においては、パイプ部１０４ｐの降下に連動して、プローブ装置１０３も降下し、プローブ本体１０７は、その鉛直方向下方に位置するプリント基板１０５上の同軸コネクタ１０５ａに接続される。この状態で、検査用信号を供給し、その応答結果を処理することによって、プリント基板１０５が正常に動作するか否かを判定することができる。また、パイプ部１０４ｐの上昇に連動して、プローブ本体１０７と同軸コネクタ１０５ａとの接続も解除される。
【００５５】
したがって、プローブ装置１０３を手動で昇降させる場合であっても、モータやシリンダなどの駆動源を用いて昇降させる場合と同様の作用効果を奏し、プローブ本体と同軸コネクタの中心軸がずれていても、その誤差を吸収し、確実に位置合わせを行うことができる。
【００５６】
本発明は、以上の実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更を加えることが可能であり、これらも本発明に包含されるものであることは言うまでもない。
【００５７】
たとえば、図１ないし図３に示された実施形態においては、昇降装置１０４として、モータ、エアシリンダ、油圧シリンダなどが用いられ、図１１に示された実施形態においては、昇降機構として、駆動レバー９９１が用いられているが、本発明にかかる検査装置は、図４ないし図１０に示されたプローブ装置を備えていればよく、その他の構成はとくに限定されるものではない。
【００５８】
また、前記実施形態においては、プローブホルダ本体１０８ａの内部の上方に、フランジ部材１１１が収容される第１の内部空間１５４を形成し、その下方に、ガイドプレート１５３が収容される第２の内部空間１５５が形成されているが、プローブホルダ本体１０８ａの内部の上方に、フランジ部材１１１が収容される第１の内部空間１５４を形成し、その下方に、ガイドプレート１５３が収容される第２の内部空間１５５を形成することは必ずしも必要でなく、第２の内部空間１５５を上方に形成し、第１の内部空間１５４を下方に形成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施形態にかかる検査装置の外観構成を示す略斜視図である。
【図２】図２は、検査装置のシステム構成を示すブロック図である。
【図３】図３は、検査装置による検査手順を示すフローチャートである。
【図４】図４は、本発明の他の好ましい実施形態にかかるプローブ装置の一部破断図である。
【図５】図５は、図４に示されたプローブ装置の分解斜視図である。
【図６】図６は、プローブ本体の中心軸と同軸コネクタの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【図７】図７は、プローブ本体の中心軸と同軸コネクタの中心軸にずれがない場合の接続動作を示す略断面図である。
【図８】図８は、プローブ本体の中心軸と同軸コネクタの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【図９】図９は、プローブ本体の中心軸と同軸コネクタの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【図１０】図１０は、プローブ本体の中心軸と同軸コネクタの中心軸にずれがある場合の接続動作を示す略断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の他の好ましい実施形態にかかる検査装置の構成を示す略斜視図である。
【符号の説明】
【００６０】
１００      検査装置
１０１      検査装置本体
１０１ａ      操作パネル
１０２      ステージ
１０２ｃ      凹面
１０３      プローブ装置
１０４      昇降装置
１０４ｐ      パイプ部
１０５      プリント基板
１０５ａ      同軸コネクタ
１０６      ガイドブロック
１０７      プローブ本体
１０４ｐ      パイプ部
１０５      プリント基板
１０５ａ      同軸コネクタ
１０６      ガイドブロック
１０７      プローブ本体
１０７ａ      プローブ本体の先端部
１０８      プローブホルダ
１０８ａ      プローブホルダ本体
１０８ｂ      ハンドル部
１０８ｃ      貫通孔
１１０      支持台
１１１      フランジ部材
１１３      支持板
１１５      ねじ
１５１      ケース
１５２      上部カバー
１５３      ガイドプレート
１５４      第１の内部空間
１５５      第２の内部空間
１５６      下り斜面
２０１      検査プログラム処理部
２０２      プログラムメモリ
２０３      駆動制御部
２０４      測定処理部
２０５      データメモリ
２０６      外部端子
９００      検査装置
９９１      駆動レバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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