(57)【要約】  【課題】  フォトマスクに、より確実に固定できるようにペリクルの支持枠にかかる荷重をより均一にして輸送可能なペリクル用収納容器を提供する。  【解決手段】  ペリクル膜６と当該ペリクル膜６を支持する支持枠７とを有するペリクル５を輸送するためのペリクル用収納容器１であって、トレイ３とこれの蓋となるカバー２と、トレイ３およびカバー２の少なくともいずれか一方の内側に、支持枠７を載置すると共に、トレイ３およびカバー２よりも剛性の高い材料で構成される載置部４とを備えるペリクル用収納容器１とする。【選択図】  図５
2007025183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、
トレイと
これの蓋となるカバーと、
上記トレイおよび上記カバーの少なくともいずれか一方の内側に、上記支持枠を載置すると共に、上記トレイおよび上記カバーよりも剛性の高い材料で構成される載置部と、
を備えることを特徴とするペリクル用収納容器。
【請求項２】
前記載置部は、その曲げこわさ（Ｅ×Ｉ）が、前記載置部に発生するペリクル用収納容器の曲げモーメントのマイナス値と許容反り量とを乗じた値（Ｍｆ×Ｐｆ）よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のペリクル用収納容器。
【請求項３】
前記載置部は、前記トレイおよび前記カバーの少なくともいずれか一方の内側の周部に備えられるリング形状の成形体としたことを特徴とする請求項１または２に記載のペリクル用収納容器。
【請求項４】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、
トレイと
これの蓋となるカバーと、
上記トレイおよび上記カバーの少なくともいずれか一方の内側に設けられ、上記支持枠を載置する載置部と、
その載置部の内部に挿入されると共に、上記トレイおよび上記カバーよりも剛性の高い材料で構成される載置部補強体と、
を備えることを特徴とするペリクル用収納容器。
【請求項５】
前記載置部補強体は、その曲げこわさ（Ｅ×Ｉ）が、前記載置部に発生するペリクル用収納容器の曲げモーメントのマイナス値と許容反り量とを乗じた値（Ｍｆ×Ｐｆ）よりも大きいことを特徴とする請求項４に記載のペリクル用収納容器。
【請求項６】
前記載置部は、前記トレイおよび前記カバーの少なくともいずれか一方の内側の周部に備えられ、
前記載置部補強体は、前記載置部の内部に挿入されるリング形状の成形体としたことを特徴とする請求項４または５に記載のペリクル用収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体回路パターンの製造工程におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクの防塵を目的に、ペリクルが用いられている。ペリクルは、一般的に、ニトロセルロース等の透明な高分子膜から成る厚さ約１０ミクロン程度のペリクル膜と、それを一方の周端面にて支持する厚さ数ミリ程度の支持枠とを備えている。フォトマスク上に異物が付着すると、その異物のパターンが転写され、半導体チップの多くを不良品としてしまう危険性がある。このため、フォトマスクの上方にペリクル膜が配置されるようにペリクルをセッティングし、フォトマスク上に異物が入ることを防止するようにしている。
【０００３】
一方、近年、ペリクルは、液晶表示体の製造工程におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクの防塵手段としても多用されてきている。液晶表示体は、シリコンウェハに比べて大きな面積を有することから、フォトマスクも大型化している。これに伴い、ペリクル膜も大型化してきており、１０００ｍｍ×１０００ｍｍ以上のペリクル膜が多く使用されている。
【０００４】
ペリクルが大型化すると、これを輸送するためのペリクル用収納容器も大型化する。ペリクル用収納容器は、一般的に樹脂製であるが、その大型化に伴い、射出成形品から真空成形品に移行している。ペリクルを構成する支持枠におけるペリクル膜と反対側の周端面には、フォトマスクに支持枠を固定するためのフィルム付きの粘着材が備えられている。フォトマスクに支持枠を固定する際には、フィルムを剥がして、粘着材を介して支持枠をフォトマスクと固定するようにしている。
【０００５】
ペリクル用収納容器が大型化すると、真空成形の成形残留応力およびそれ自体の自重による反りに代表される変形の問題が顕在化してくる。ペリクル用収納容器に変形が生じると、粘着材にその変形が転写される危険性が高くなる。すると、粘着材の厚さが場所によって不均一になり、フォトマスクとペリクルの支持枠との間に接着不良の箇所が生じ、フォトマスク上に異物が入る危険性が高まる。このような問題に鑑み、ペリクル用収納容器を構成しているトレイおよび蓋の少なくともいずれか一方に補強板を取り付けることによって、ペリクル用収納容器の変形を軽減する技術が知られている（例えば、特許文献１参照。）。また、同様の趣旨から、トレイおよび蓋の少なくともいずれか一方のペリクル搭載面にリブを設けることによって、ペリクル用収納容器の変形を軽減する技術も知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開２００５−４９７６５号公報（特許請求の範囲）
【特許文献２】特開２０００−１７３８８７号公報（特許請求の範囲）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ペリクル用収納容器において変形が問題となる箇所は、正確に言うと、ペリクルの支持枠を載置する載置部である。当該載置部が変形のない平らな状態を保持できるようにすることが重要である。
【０００７】
しかし、上述の従来技術は、トレイあるいは蓋全体の反り等の変形を防止するための手段であって、支持枠に備えられた粘着材が不均一になることを間接的に防止しているに過ぎない。したがって、トレイあるいは蓋の変形を防止しようとする従来の方法では、必ずしも、ペリクルの支持枠に備えられた粘着材が均一な厚さを保持できるとは限らない。
【０００８】
また、ペリクル用収納容器の材質を変えあるいは厚みを大きくして剛性を高めることも考えられるが、重量増によって輸送が難かしくなったり、加工が難しくなるといった新たな問題が生じるので好ましくない。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、フォトマスクに、より確実に固定できるようにペリクルの支持枠にかかる荷重をより均一にして輸送可能なペリクル用収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、トレイとこれの蓋となるカバーと、トレイおよびカバーの少なくともいずれか一方の内側に、支持枠を載置すると共に、トレイおよびカバーよりも剛性の高い材料で構成される載置部とを備えるペリクル用収納容器としている。
【００１１】
このため、ペリクル用収納容器が変形しにくくなる。特に、ペリクル用収納容器の内部においてペリクルの支持枠を支持する載置部を、ペリクル用収納容器を構成する材料よりも剛性の高い材料で構成しているので、載置部自体の変形を防止でき、支持枠にかかる荷重をより均一に保つことができる。ここで、ペリクルを載置する載置部は、トレイおよびカバーのいずれか一方、あるいはトレイおよびカバーの両方に設けることができる。
【００１２】
ペリクル用収納容器を構成するトレイおよびカバーの材料には、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂の他、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂等を用いることができ、特に、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂を用いるのがより好ましい。ただし、上述の樹脂は一例に過ぎず、他の樹脂材料を採用しても良い。
【００１３】
また、載置部の材料には、トレイおよびカバーよりも剛性の高い材料を採用する限り、材料に限定されず、金属、セラミックス、あるいは樹脂であっても良い。好ましくは、軽量で、かつ比較的剛性が高いアルミニウムまたはアルミニウム合金製の載置部を採用すると良い。ここで、「剛性が高い」とは、ヤング率が大きいことを意味する。
【００１４】
また、別の本発明は、先の発明における載置部を、その曲げこわさ（Ｅ×Ｉ）が、載置部に発生するペリクル用収納容器の曲げモーメントのマイナス値と許容反り量とを乗じた値（Ｍｆ×Ｐｆ）よりも大きくしたペリクル用収納容器としている。
【００１５】
このため、ペリクル用収納容器を構成するトレイまたはカバーの変形、載置部自体の変形をより効果的に防止することができる。ここで、Ｅは載置部の縦弾性率（ｋｇｆ／ｃｍ２）、Ｉは載置部の断面２次モーメント（ｃｍ４）、Ｍｆは載置部に発生するペリクル用収納容器の曲げモーメント（ｋｇ・ｃｍ）、Ｐｆは載置部の許容反り量から算出される載置部の曲げ半径（ｃｍ）である。曲げこわさは、Ｅ×Ｉで定義される。
【００１６】
また、別の本発明は、先の発明における載置部を、トレイおよびカバーの少なくともいずれか一方の内側の周部に備えられるリング形状の成形体としたペリクル用収納容器としている。
【００１７】
このため、ペリクル用収納容器を構成するトレイまたはカバーの変形、載置部自体の変形をさらに効果的に防止することができる。ただし、載置部を完全に閉じたリング形状の構成部材とせずに、一部を欠く非リング形状の構成部材としても良い。
【００１８】
また、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、トレイとこれの蓋となるカバーと、トレイおよびカバーの少なくともいずれか一方の内側に設けられ、支持枠を載置する載置部と、その載置部の内部に挿入されると共に、トレイおよびカバーよりも剛性の高い材料で構成される載置部補強体とを備えるペリクル用収納容器としている。
【００１９】
このため、載置部自体を剛性の高い材料で構成しなくても、効果的に、ペリクル用収納容器を構成するトレイまたはカバーの変形、載置部の変形を防止することができる。また、トレイまたはカバーの一部を載置部としているので、載置部をトレーまたはカバーと別体で備えている場合と異なり、ペリクル用収納容器にペリクルを収納した状態で使用している最中に、載置部がトレーから外れる危険性はない。
【００２０】
また、別の本発明は、先の発明における載置部補強体を、その曲げこわさ（Ｅ×Ｉ）が、載置部に発生するペリクル用収納容器の曲げモーメントのマイナス値と許容反り量とを乗じた値（Ｍｆ×Ｐｆ）よりも大きくしたペリクル用収納容器としている。このため、ペリクル用収納容器を構成するトレイまたはカバーの変形、載置部の変形をより効果的に防止することができる。
【００２１】
また、別の本発明は、先の発明における載置部を、トレイおよびカバーの少なくともいずれか一方の内側の周部に備え、載置部補強体を、載置部の内部に挿入されるリング形状の成形体としたペリクル用収納容器としている。このため、ペリクル用収納容器を構成するトレイまたはカバーの変形、載置部の変形をさらに効果的に防止することができる。ただし、載置部補強体を完全に閉じたリング形状の構成部材とせずに、一部を欠く非リング形状の構成部材としても良い。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、フォトマスクに、より確実に固定できるようにペリクルの支持枠にかかる荷重をより均一にして、ペリクルを輸送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明に係るペリクル用収納容器の好適な実施の形態について、図面を参照しながら詳述する。
【００２４】
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係るペリクル用収納容器１の分解斜視図である。また、図２は、図１に示すペリクル用収納容器１の斜視図である。
【００２５】
図１に示すように、ペリクル用収納容器１は、トレイ３と、その蓋であるカバー２と、カバー２とトレイ３によって形成される内部空間において固定されるペリクルを載置するための載置部４と、を備えている。
【００２６】
カバー２およびトレイ３は、元板の厚さが約３ｍｍのＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル、ブタジエンおよびスチレンの３種類の単量体からなる共重合体）を真空成形用金型を用いて真空成形することにより製造される。ただし、ＡＢＳ樹脂以外の樹脂を用いても良い。さらに、元板の厚みは３ｍｍに限定されず、３ｍｍより薄いあるいは３ｍｍを超える板状の樹脂を成形しても良い。
【００２７】
ここで、「真空成形」とは、軟化状態の樹脂を金型に配置して、その樹脂と金型との間の空間を真空にすることによって、樹脂を金型に吸い付けて成形する方法をいい、金型への樹脂の供給方法は問わない。したがって、シート形状の樹脂を金型に配置したり、あるいは溶融状態の樹脂を金型に吐出しても良い。真空成形の例としては、雌型を用いるストレート法、雄型によるドレープ法、樹脂シートを半球状にふくらませてその中に雄型を入れて成形するエアスリップ法、エアスリップ法で用いられる雄型の代わりに雌型を用いるリバースドロー法、雌型上にクランプした樹脂シートをプラグで雌型に突き降ろし、樹脂シートを予張して真空にひく補助プラグ法などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００２８】
載置部４は、比較的高い剛性と低比重とを兼ね備えたアルミニウム製の成形体である。ただし、アルミニウム以外の金属、例えば、チタニウム、アルミニウム合金、ステンレス製の載置部を用いても良い。また、非金属製、例えば、セラミックス製の載置部を用いても良い。
【００２９】
この実施の形態では、載置部４の形状は、四角形のリング形状である。後述するペリクルを構成している支持枠の下端面を載置部４の上面で均等に支持する必要からである。ただし、完全に閉じたリング形状以外に、部分的に切れた複数のパーツから構成される載置部を採用しても良い。また、四角形以外のリング形状を有する載置部を採用しても良い。
【００３０】
後述のペリクルを製造者から使用者に輸送する場合には、トレイ３に載置部４を固定し、その固定された載置部４に後述のペリクルを載置して、その上からカバー２を被せて、トレイ３にはめ込む。トレイ３への載置部４の固定方法は、特に限定されないが、この実施の形態では、接着剤を用いた固定方法を採用している。この他に、後述するように、トレイ３へのはめ込み、溶着、真空成形による一体成形等の方法を採用することもできる。
【００３１】
カバー２をトレイ３にはめこんだ状態のペリクル用収納容器１は、図２に示すような状態となる。このように、ペリクル用収納容器１にペリクルを収納した状態にて、ペリクルの輸送が行われる。
【００３２】
図３は、図２に示すペリクル用収納容器１を、Ａ−Ａ線にて切った時の断面図である。
【００３３】
カバー２は、トレイ３と対向する側に開口部を有する凹状のカバー本体２０と、当該カバー本体２０の外周縁部から外方向に水平に延びる外延部２１とを備えている。一方、トレイ３は、カバー２と対向する側に開口部を有する凹状のトレイ本体３０と、当該トレイ本体３０の外周縁部から外方向に水平に延びる外延部３１とを備えている。外延部２１と外延部３１とを、不図示のクリップで挟むことにより、カバー２とトレイ３を安定して結合することができる。
【００３４】
図４は、図３に示すペリクル用収納容器１に収納されるペリクル５を図２に示すＡ−Ａ線で切ったときの断面図である。
【００３５】
ペリクル５は、ニトロセルロース等の材質からなる厚さ１０ミクロン以下のペリクル膜６を、四角形のリング形状の支持枠７の一方の端面に展張して貼り付けた構成を有している。支持枠７の高さは、約５ミリメートルである。ただし、ペリクル膜６の材質および厚さならびに支持枠７の高さは、上記に限定されない。
【００３６】
図４におけるＸで示す部分の拡大図に示すように、支持枠７におけるペリクル膜６と反対側の周端面には、粘着材８が備えられている。粘着材８の表面には、薄い透明シート（不図示）が貼られている。ペリクル５を使用する場合には、当該透明シートを粘着材８から剥がして、粘着力を発揮し得る状態としてから、支持枠７をフォトマスクに貼り付けて固定する。この粘着材８の厚みが不均一になると、フォトマスクとの間に隙間が生じるおそれがあるため、粘着材８の厚みを不均一な状態にしないように、ペリクル５を輸送する必要がある。
【００３７】
図５は、図３に示すペリクル用収納容器１内に、図４に示すペリクル５を収納した状態の図である。なお、カバー２の内側に存在する同材質の一部分であって、カバー２側からペリクル５を固定する部分は、その図示を省略している。
【００３８】
ペリクル５は、その支持枠７の下端面が載置部４の上端面に接した状態にて収納される。トレイ３は、載置部４と固定されることによって、ゆがみ、反り等の変形を生じにくくなる。仮に、載置部４がわずかに変形しても、載置部４の剛性は、トレイ３の剛性に比べて大きい。したがって、載置部４自体が変形を起こすことがない。このため、支持枠７の下端面に存在する粘着材８の厚みが不均一になる危険性は極めて小さくなる。
【００３９】
本発明の実施の形態に係るペリクル用収納容器１は、例えば、次のような工程を有する製造方法によって製造可能である。
【００４０】
すなわち、トレイ３およびカバー２の少なくともいずれか一方の内側に設けられ支持枠７を載置すると共にトレイ３およびカバー２よりも剛性の高い材料で構成される載置部４を、真空成形用金型にインサートする工程と、当該インサートの後に、真空成形用金型を用いて、載置部４を設けるトレイ３およびカバー２の少なくともいずれか一方を真空成形して当該いずれか一方と載置部４とを一体化する工程とを含むペリクル用収納容器の製造方法を採用できる。
【００４１】
このような製造方法を採用すると、載置部４とトレイ３またはカバー２との接合をより強固にすることができる。しかも、載置部４とトレイ３またはカバー２とを別々に製造する場合と異なり、載置部４の外寸と、トレイ３またはカバー２に設ける載置部４との接合部分（例えば、凹部）の大きさとの間のクリアランスを考慮しなくても良い。このため、製造コストを低減できる。また、載置部４と、トレイ３またはカバー２との接触面にプライマー処理を施すことにより、載置部４とトレイ３またはカバー２との接合をさらに強固にすることができる。
【００４２】
（第２の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第２の実施の形態について説明する。第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器１は、先に説明した第１の実施の形態に係るペリクル用収納容器１のカバー２およびトレイ３と同一形態のカバー２およびトレイ３を備えている。また、第１の実施の形態にて採用可能な製造方法は、第２の実施の形態においても同様に採用可能である。なお、以後、第２の実施の形態以降の実施の形態の説明において、ペリクル用収納容器、トレイ、カバー、トレイおよびカバーの各構成部について共通する部分については、第１の実施の形態と同じ符号で示し、形態の異なる部分については異なる符号で示す。
【００４３】
図６は、第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器１の構成部の一部である載置部１０の斜視図である。また、図７は、図６に示す載置部を図６に示すＡ−Ａ線で切ったときの断面図である。
【００４４】
図６および図７に示すように、第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器１に固定される載置部１０は、四角形のリングの内側に段差を有している。載置部１０の最も外側には、水平の上端面１１が設けられ、その上端面１１から垂直下方に延びる垂直面１２が設けられ、垂直面１２から内側に向かって水平に延びる内側端面１３が設けられ、さらに、その内側端面１３から垂直下方に延びる垂直面１４が設けられている。このように、上端面１１と内側端面１３からなる段付きの構成を有する載置部１０を採用することによって、ペリクル５の支持枠７を垂直面１２と内側端面１３の２面で確実に保持することができる。
【００４５】
図８は、図６に示す載置部１０に、図４に示すペリクル５を載置した状態を示す図である。
【００４６】
載置部１０は、その下端面をトレイ３に接着固定されている。ペリクル５の支持枠７は、図８に示すように、載置部１０の上端において２面で支持されている。なお、第１の実施の形態と同様、カバー２の内側に存在する同材質の一部分であって、カバー２側からペリクル５を固定する部分は、その図示を省略している。ただし、載置部１０の内側端面１３の外側の寸法を、支持枠７の外周の寸法と同じ若しくは小さめにすることにより、カバー２側からペリクル５を固定する部分を設けなくても良い。その場合には、載置部１０の垂直面１２と支持枠７の外周面との摩擦力のみによってペリクル５を保持し得るからである。
【００４７】
（第３の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第３の実施の形態について説明する。第１の実施の形態にて採用可能な製造方法は、第３の実施の形態においても同様に採用可能である。
【００４８】
図９は、第３の実施の形態に係るペリクル用収納容器１を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切ったときの断面図である。
【００４９】
このペリクル用収納容器１は、先に説明した第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器１のカバー２および載置部１０と同一形態のカバー２および載置部１０を備えている。一方、この実施の形態におけるトレイ３は、第１および第２の実施の形態におけるトレイ３の形態と異なる形態を有している。
【００５０】
図９に示すように、トレイ３は、ほぼ水平の板３２の外面の周部に、四角形のリング形状の凸部３３を有している。板３２の外縁端部からカバー２側に向かう構造は、第１および第２の実施の形態におけるトレイ３と近似する構造である。トレイ３は、凸部３３にて接地可能な形態を有している。凸部３３は、その内側に、凸形状に合わせた凹部３４を有している。当該凹部３４の大きさは、載置部１０の下端部の大きさよりもわずかに大きい。このため、載置部１０とトレイ３を別々に作製した場合には、トレイ３の凹部３４に載置部１０をはめ込んで固定することができる。
【００５１】
載置部１０とトレイ３とを別々に作製せずに、トレイ３を製造する工程で、載置部１０とトレイ３とを一体的に製造することもできる。
【００５２】
先に説明したように、ペリクル用収納容器が大型化してくると、射出成形よりも真空成形の方が有利になる。真空成形にて図９に示すトレイ３を製造する場合、予め載置部１０をセットする凹部と、載置部１０以外の部分をトレイ３の形状に合わせた凹凸形状部とを有する金型を用意し、載置部１０を凹部に挿入し、その上にＡＢＳ樹脂の板を加熱しながら金型にセットする。続いて、金型側から真空にひくと、載置部１０をセットした状態の金型の形状に沿ってＡＢＳ樹脂の板を成形できる。次に、冷却してから、ＡＢＳ樹脂成形品と金型とを分離すると、載置部１０と一体化したトレイ３ができる。このような製造方法を採用することにより、載置部１０とトレイ３との接合をより強固にすることができる。しかも、載置部１０とトレイ３とを別々に製造する場合と異なり、載置部１０の外寸と、トレイ３に設ける凹部３４の大きさとの間のクリアランスを考慮しなくても良い。このため、製造コストを低減できる。また、載置部１０と、トレイ３との接触面にプライマー処理を施すことにより、載置部１０とトレイ３との接合をさらに強固にすることができる。
【００５３】
（第４の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第４の実施の形態について説明する。
【００５４】
図１０は、第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器１を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切ったときの断面図である。また、図１１は、図１０に示すペリクル用収納容器１を構成するトレイ３のみを、拡大して示す図である。
【００５５】
第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器１は、先に説明した第１、第２および第３の各実施の形態に係るペリクル用収納容器１と大きく異なる形態を有している。
【００５６】
第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器１は、カバー２とトレイ３とを備えている。カバー２は、天面とその周端から垂直下方に延びる側面とから構成されるカバー本体２３と、そのカバー本体２３の外周縁部から外方向に水平に延びる外延部２１とを有している。トレイ３は、底面３５と、その底面３５内のやや外周よりにカバー２側にへこむ凹状の載置部３６と、その載置部３６の外周縁部から外方向に水平に延びる外延部３７とを有している。
【００５７】
載置部３６の外周寸法と、カバー本体２３の内周寸法とはほぼ同じ大きさに設計されている。このため、カバー２をトレイ３の上から押し込むと、載置部３６の外周とカバー本体２３の内周との摩擦力によって、容易に分離し得ない状態で接合できる。ただし、載置部３６の外周とカバー本体２３の内周とのクリアランスを大きくして、外延部２１と外延部３７とを別の部材で挟んで、カバー２とトレイ３とを接合しても良い。また、外延部２１と外延部３７との互いに接触する面にそれぞれ凹部および凸部を設け、それら凹部と凸部とをはめ込むことによって、カバー２とトレイ３とを接合しても良い。
【００５８】
図１１に示すように、トレイ３の載置部３６の内部には、トレイ３の底部側で露出するように載置部補強体１５が埋設されている。載置部補強体１５は、比較的高い剛性と低比重とを兼ね備えたアルミニウム製の成形体である。ただし、アルミニウム以外の金属、例えば、チタニウム、アルミニウム合金、ステンレス製の載置部補強体１５を用いても良い。また、非金属製、例えば、セラミックス製の載置部補強体１５を用いても良い。
【００５９】
載置部３６の表面は、トレイ３と同じ樹脂で成形されているが、その裏側に、載置部３６の凸形状に合わせた凹部がある。当該凹部の大きさは、これと接する載置部補強体１５の大きさよりもわずかに大きい。このため、載置部補強体１５とトレイ３を別々に作製した場合には、載置部３６の内方に設けられた凹部に載置部補強体１５をはめ込んで固定することができる。
【００６０】
載置部補強体１５とトレイ３とを別々に作製せずに、トレイ３を製造する工程で、載置部補強体１５とトレイ３とを一体的に製造することもできる。真空成形にて図１１に示すトレイ３を製造する場合、予め、載置部補強体１５の底面側を金型に固定し、その上にＡＢＳ樹脂の板を加熱しながら金型にセットする。続いて、金型側から真空にひくと、載置部補強体１５をセットした状態の金型の形状に沿ってＡＢＳ樹脂の板を成形できる。次に、冷却してから、ＡＢＳ樹脂成形品と金型とを分離すると、載置部補強体１５と一体化したトレイ３ができる。このような製造方法を採用することにより、載置部補強体１５とトレイ３との接合をより強固にすることができる。しかも、載置部補強体１５とトレイ３とを別々に製造する場合と異なり、載置部補強体１５の外寸と、トレイ３の載置部３５の裏側に設けられた凹部の大きさとの間のクリアランスを考慮しなくても良い。このため、製造コストを低減できる。また、載置部補強体１５と、トレイ３の載置部３５の裏側に設けられた凹部との接触面にプライマー処理を施すことにより、載置部補強体１５とトレイ３との接合をさらに強固にすることができる。
【００６１】
図１１に示すように、第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器１に固定される載置部３６は、四角形のリングの内側に段差を有している。載置部３６の最上部には、水平の上端面３８が設けられ、その上端面３８の内側から垂直下方に延びる垂直面３９が設けられ、垂直面３９から内側に向かって水平に延びる内側端面４０が設けられ、さらに、その内側端面４０から垂直下方に延びる垂直面４１が設けられている。このように、上端面３８と内側端面４０からなる段付きの構成を有する載置部３６を採用することによって、ペリクル５の支持枠７を垂直面３９と内側端面４０の２面で確実に保持することができる。また、載置部３６の内部に載置部補強体１５を埋設しているので、トレイ３の変形が載置部３６に影響を与えにくく、載置部３６の変形を有効に防止できる。
【００６２】
なお、第１の実施の形態と同様、カバー２の内側に存在する同材質の一部分であって、カバー２側からペリクル５を固定する部分は、その図示を省略している。ただし、載置部３６の内側端面４０の外周の寸法を、支持枠７の外周の寸法と同じ若しくは小さめにすることにより、カバー２側からペリクル５を固定する部分を設けなくても良い。その場合には、載置部３６の垂直面３９と支持枠７の外周面との摩擦力のみによってペリクル５を保持し得るからである。
【００６３】
本発明の実施の形態に係るペリクル用収納容器１は、例えば、次のような工程を有する製造方法によって製造可能である。
【００６４】
すなわち、トレイ３およびカバー２の少なくともいずれか一方の内側に設けられ支持枠７を載置する載置部３６の内部に挿入され、トレイ３およびカバー２よりも剛性の高い材料で構成される載置部補強体１５を、真空成形用金型にインサートする工程と、当該インサートの後に、真空成形用金型を用いて、載置部補強体１５を設けるトレイ３およびカバー２の少なくともいずれか一方を真空成形して当該いずれか一方と載置部補強体１５とを一体化する工程とを含むペリクル用収納容器の製造方法を採用できる。
【００６５】
このような製造方法を採用すると、載置部補強体１５とトレイ３またはカバー２との接合をより強固にすることができる。しかも、載置部補強体１５とトレイ３またはカバー２とを別々に製造する場合と異なり、載置部補強体１５の外寸と、トレイ３またはカバー２に設ける載置部補強体１５との接合部分（例えば、凹部）の大きさとの間のクリアランスを考慮しなくても良い。このため、製造コストを低減できる。また、載置部補強体１５と、トレイ３またはカバー２との接触面にプライマー処理を施すことにより、載置部補強体１５とトレイ３またはカバー２との接合をさらに強固にすることができる。
【００６６】
（第５の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第５の実施の形態について説明する。第１の実施の形態にて採用可能な製造方法は、第５の実施の形態においても同様に採用可能である。第５の実施の形態に係るペリクル用収納容器１は、先に説明した第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器１のカバー２、トレイ３および載置部１０と同一形態のカバー２、トレイ３および載置部１０を、それぞれ備えている。第５の実施の形態に係るペリクル用収納容器１において第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器１と大きく異なる点は、トレイ３のみならずカバー２にも載置部を備えている点である。
【００６７】
図１２は、第５の実施の形態に係るペリクル用収納容器１を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切ったときの断面図である。
【００６８】
図１２に示すように、第５の実施の形態に係るペリクル用収納容器１を構成しているカバー２のカバー本体２０には、トレイ３の方向に突出するように載置部１６が固定されている。固定方法は特に限定されないが、接着、はめ込み等を採用できる。ペリクル５は、載置部１０と載置部１６によってそれぞれ支持枠７の下面および上面を挟まれた状態でペリクル用収納容器１内に収納される。したがって、ペリクル５をより安定した状態にて輸送可能である。
【００６９】
載置部１０と載置部１６を比較すると、支持枠７に接するそれぞれの端部の形状が異なる。しかし、載置部１０と同じ形状の載置部１６を採用して、２面で支持枠７の上下両端部を支持するようにしても良い。また、載置部１６と同じ形状の載置部１０を採用して、一面でのみ支持枠７の上下両端部を支持するようにしても良い。
【００７０】
なお、カバー２の内側に存在する同材質の一部分であって、カバー２側からペリクル５を固定する部分は、あってもなくても良い。載置部１６が、かかる部材の代替部材となっているからである。ただし、載置部１６のみでは、ペリクル５を支持するのに十分ではない場合には、載置部１６とカバー２側からペリクル５を固定する部分とを両方設けても良い。
【００７１】
また、これまでの説明では、ペリクル用収納容器１の上側の構成部および下側の構成部を、それぞれカバー２およびトレイ３と称してきたが、逆に、上側の構成部および下側の構成部を、それぞれトレイ３およびカバー２と称しても良い。その場合、カバー２に載置部を固定し、トレイ３に載置部を設けないようにすることもできる。すなわち、載置部は、トレイ３およびカバー２のいずれか一方に備えたり、あるいは上述の第５の実施の形態で説明したように、トレイ３およびカバー２の両方に備えることもできる。
【００７２】
次に、載置部４，１０，１６，３６として好ましい力学的な条件について、図１３から図１５に基づいて説明する。(以後、図１３から図１５に基づく説明において、「載置部」に続く符号を省略する。）
【００７３】
トレイ３の投影面積をＳｋ（ｃｍ２）、トレイ３の板厚をＴｋ（ｃｍ）、トレイ３の最大反り量をΔｋ（ｃｍ）、トレイ３の最大反り部の長さをＬｋ（ｃｍ）、トレイ３の素材の縦弾性係数をＥｋ（ｋｇｆ／ｃｍ２）とすると、トレイ３に発生する応力σｋ（ｋｇｆ／ｃｍ２）は、反りのない状態の体積Ｖ（ｃｍ３）と反りの発生した状態の体積Ｖ’ （ｃｍ３）から算出される体積変化率ΔＶにＥｋを乗じた値になる。ここで、Ｖ＝Ｓｋ×Ｔｋ、Ｖ’＝∫ＰＰ−ＴＴ（ｘ）ｄｘ、Ｐ＝Ｌｋ２／（２×Δｋ）、Ｐ−Ｔ＝Ｐ−Ｔｋ、Ｔ（ｘ）＝Ｔｋ（ｘ−Ｔｋ）２／ｘ２とする。すると、ΔＶ＝（Ｖ−Ｖ’）／Ｖと算出される。
【００７４】
したがって、載置部の全投影面積をＳｆ（ｃｍ２）、載置部のある一面の投影面積をＳｆ１（ｃｍ２）、載置部のある一辺の長さをＬｆ１（ｃｍ）、載置部の許容反り量をΔｆ（ｃｍ）とした場合、載置部に発生するペリクル用収納容器の曲げモーメントＭｆ＝−σｋ×（Ｓｆ／Ｓｆ１）×Ｌｆ１／８、載置部の許容反り半径Ｐｆ＝（Ｌｆ１２／８）×Δｆとそれぞれ算出される。ここで、載置部の曲げこわさＥ×Ｉが−Ｍｆ×Ｐｆを上回らないと、載置部の許容反り量を超えてしまうので、Ｅ×Ｉ＞−Ｍｆ×Ｐｆであることが好ましい条件となる。ここで、Ｅは載置部の縦弾性率（ｋｇｆ／ｃｍ２）、Ｉは載置部の断面２次モーメント（ｃｍ４）、Ｍｆは載置部に発生するペリクル用収納容器の曲げモーメント（ｋｇ・ｃｍ）、Ｐｆは載置部の許容反り量から算出される載置部の曲げ半径（ｃｍ）である。
【００７５】
ここで、図１５に示す３種類の断面を持つ各載置部を用いた場合を例にして具体的に説明する。
【００７６】
図１５（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）に示す各断面を持つ載置部を用いた場合、その断面２次モーメント（Ｉ）は、それぞれ、（ｂ×ｈ３／１２）、（（ｂ１−ｂ２）×ｈ２３＋ｂ２×ｈ１３）／１２、（（ｂ１−ｂ２）×（ｈ１−ｈ２）３＋ｂ２×ｈ１３）／１２となる。
【００７７】
Ｓｋ＝７３６０（ｃｍ２）、Ｔｋ＝０．３（ｃｍ）、Δｋ＝０．２（ｃｍ）、Ｌｋ＝９０（ｃｍ）、Ｅｋ＝３０００（ｋｇｆ／ｃｍ２）、Ｓｆ＝６２０（ｃｍ２）、Ｓｆ１＝１４０（ｃｍ２）、Ｌｆ１＝７０（ｃｍ）、Δｆ＝０．０５（ｃｍ）とすると、Ｍｆ＝−１．５（ｋｇ・ｃｍ）、Ｐｆ＝１２２５０（ｃｍ）となる。このため、Ｅ×Ｉ＞１．５×１２２５０（＝１８３７５）となる必要がある。ここで、図１５（Ａ）に示す断面を持つ載置部を用いた場合において、ｂ＝２（ｃｍ）、ｈ＝０．６（ｃｍ）とすると、Ｉ＝０．０３６（ｃｍ４）となる。したがって、Ｅ＞０．５×１０６の材質からなる載置部を採用すると良い。載置部をアルミニウム製とすると、アルミニウムのＥ＝０．７２×１０６であるから、条件を満足する。
【００７８】
逆に、アルミニウム製の載置部であって、図１５（Ａ）に示す断面を持つ載置部を用いた場合には、ｂ×ｈ３／１２×０．７２×１０６＞１８３７５（ｃｍ４）となるように、載置部の形状を設計すると良い。同様に、アルミニウム製の載置部であって、図１５（Ｂ）および（Ｃ）に示す各断面を持つ載置部を用いた場合には、それぞれ（（ｂ１−ｂ２）×ｈ２３＋ｂ２×ｈ１３）／１２×０．７２×１０６＞１８３７５（ｃｍ４）、（（ｂ１−ｂ２）×（ｈ１−ｈ２）３＋ｂ２×ｈ１３）／１２×０．７２×１０６＞１８３７５（ｃｍ４）となるように、各載置部の形状を設計すると良い。
【００７９】
以上、本発明の各実施の形態について説明してきたが、本発明は、上述の各実施の形態に限定されることなく、種々変形を施した形態にて実施可能である。
【００８０】
例えば、載置部４，１０，３６の支持枠７との接触部分を平面若しくは段差面とする形状としたが、当該接触部分に、支持枠７の端部周面に接触する凹部を設けるようにしても良い。
【００８１】
また、載置部４，１０，３６に存在する角部を面取りしても良い。また、カバー２またはトレイ３の製造方法として、真空成形以外に、圧空成形あるいは真空圧空成形を採用することもできる。また、載置部４，１０，３６または載置部補強体１５とトレイ３とを真空成形、圧空成形または真空圧空成形にて一体的に製造する場合、カバー２をトレイ３と別の成形方法にて製造しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は、ペリクルを輸送するための収納容器を製造あるいは使用する産業において利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかるペリクル用収納容器の分解斜視図である。
【図２】図１に示すペリクル用収納容器の斜視図である。
【図３】図２に示すペリクル用収納容器を、Ａ−Ａ線にて切った時の断面図を示す。
【図４】図３に示すペリクル用収納容器に収納するペリクルを図２に示すＡ−Ａ線で切ったときの断面図である。
【図５】図３に示すペリクル用収納容器内に、図４に示すペリクルを載置した状態を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器の構成部の一部である載置部の斜視図である。
【図７】図６に示す載置部を図６に示すＡ−Ａ線で切ったときの断面図である。
【図８】図６に示す載置部に、図４に示すペリクルを収納した状態の図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切ったときの断面図である。
【図１０】本発明の第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切ったときの断面図である。
【図１１】図１０に示すペリクル用収納容器を構成するトレイのみを、拡大して示す図である。
【図１２】本発明の第５の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切ったときの断面図である。
【図１３】本発明の各実施の形態に係るペリクル用収納容器に備えられる載置部の形態として力学的に好ましい条件を説明するための図である。
【図１４】図１３に続いて、本発明の各実施の形態に係るペリクル用収納容器に備えられる載置部の形態として力学的に好ましい条件を説明するための図である。
【図１５】図１４に続いて、本発明の各実施の形態に係るペリクル用収納容器に備えられる載置部の形態として力学的に好ましい条件を説明するための図である。
【符号の説明】
【００８４】
１    ペリクル用収納容器
２    カバー
３    トレイ
４    載置部
５    ペリクル
６    ペリクル膜
７    支持枠
８    粘着材
１０    載置部
１５    載置部補強体
１６    載置部
３４    凹部
３６    載置部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007025183.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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