(57)【要約】 【課題】従来のダイヤモンド半導体を受光部に用いた紫外線センサー素子は、紫外線を検出するために必ず印加電圧が必要であり、印加電圧が無くても、即ちゼロ電圧であっても紫外線を検出することはできなかった。【解決手段】受光部材料の電気抵抗の変化又は光電流の変化によって、受光部に照射される光を検出する、２端子電極を持つショットキー型光センサー素子であって、表面伝導層を除去したダイヤモンド表面を電極との接合界面に用い、ショットキー性電極に高融点金属元素のカーバイド化合物又は窒化物を単一層として用い、オーム性電極にダイヤモンドと反応することによってカーバイド又は炭素との固溶体を形成することができる単一金属を用いた構造を持ち、電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫外線センサー。【選択図】図１
2007066976.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光部材料の電気抵抗の変化又は光電流の変化によって、受光部に照射される光を検出す
る、２端子電極を持つショットキー型光センサー素子であって、
表面伝導層を除去したダイヤモンド表面を電極との接合界面に用い、ショットキー性電極
に高融点金属元素のカーバイド化合物又は窒化物を単一層として用い、
オーム性電極にダイヤモンドと反応することによってカーバイド又は炭素との固溶体を形
成することができる単一金属を用いた構造を持ち、電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫外
線センサー。
【請求項２】
受光部材料の電気抵抗の変化又は光電流の変化によって、受光部に照射される光を検出す
る、２端子電極を持つショットキー型光センサー素子であって、表面伝導層を除去したダ
イヤモンド表面を電極との接合界面に用い、
少なくとも１つの電極において、ダイヤモンド表面に接触する電極層が、高融点金属元素
のカーバイド化合物又は窒化物から構成され、電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫外線セ
ンサー。
【請求項３】
受光部材料の電気抵抗の変化又は光電流の変化によって、受光部に照射される光を検出す
る、２端子電極を持つショットキー型光センサー素子であって、表面伝導層を除去したダ
イヤモンド表面を電極との接合界面に用い、
少なくとも１つの電極において、ダイヤモンドと反応することによってカーバイド又は炭
素との固溶体を形成することができる単一金属を用いた構造を持ち、電圧ゼロで駆動する
ダイヤモンド紫外線センサー。
【請求項４】
表面伝導層を除去したダイヤモンド表面がダイヤモンドの水素終端表面を酸化処理して形
成された表面であることを特徴とする請求項１、２、および３のいずれかに記載の電圧ゼ
ロで駆動するダイヤモンド紫外線センサー。
【請求項５】
ショットキー性電極の単一層の厚さが１０ｎｍ以下あることを特徴とする請求項１、２、
および３のいずれかに記載の電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫外線センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤモンド紫外線センサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイヤモンド半導体は、バンドギャップが室温で約５．５eV（光波長で約２２５ｎｍに
対応）とかなり大きく、ドーパント（不純物）が添加されていない真性状態において絶縁
体として振舞うことが知られている。単結晶薄膜を成長させる方法は、実質的に炭素及び
水素を含む雰囲気、例えば、CH4（メタン）とH2（水素）ガスを用いたマイクロ波励起プ
ラズマ気相成長法が開発（特許文献１）されており、工業的に広く普及している。また、
マイクロ波励起プラズマ気相成長法においてドーパントとしてB（ボロン）を添加するこ
とによって、ｐ型（主たるキャリアが正孔）の電気伝導性を制御することも広く行われて
いる。
【０００３】
マイクロ波励起プラズマ気相成長法は、水素を含む雰囲気を用いる気相成長法であるた
め、成長させたダイヤモンド単結晶膜表面には、実質的に水素で覆われた表面であること
が知られている。即ち、表面には炭素原子（Ｃ）の未結合手が水素原子（Ｈ）によって結
合終端されたＣ−Ｈ分子構造が存在し（以後「水素化」と呼ぶ）、この水素化に伴ってダ
イヤモンド表面近傍のダイヤモンド内には主たるキャリアの正孔が表面近傍（２ｎｍ以内
）に局在した表面伝導層が発生していることが知られている。この表面電気伝導層は、ア
ンドープ及びボロンドープの（１００）および（１１１）面単結晶薄膜、及び多結晶薄膜
においても同様に存在することも知られている。
【０００４】
この表面伝導層の発生機構は世界的にも論争段階にあるが、少なくとも実験的には表面
伝導層は、（１）２００℃程度までは安定に存在し、（２）水素化されたダイヤモンド表
面にのみ発生していることがわかっている。表面の結合水素を除去する溶液処理（酸化処
理と呼ぶ）、例えば、沸騰させた硫酸・硝酸混合液中に浸す処理を施すことによって、こ
の表面伝導層は消滅することも知られている。
【０００５】
受光部半導体の電気抵抗の変化又は光電流量の変化によって受光部に照射される紫外線
を検出する、いわゆるショットキー型光センサー素子としては、波長４００ｎｍから６５
０ｎｍの範囲の可視光等にも検出感度を持つＳｉ半導体、また上記可視光等や赤外域の雑
音光には検出感度を全く持たないＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦１）半導体及びダイヤモ
ンド半導体を受光部の固体材料として用いたもの等が従来から考えられている。
【０００６】
これらのショットキー型光センサー素子の光検出原理は、受光部のショットキー性電極
を通して、ショットキー性電極直下の半導体表面近傍にバンドギャップ以上のエネルギー
を持つ光を照射することによって、半導体内に電子−正孔対を発生させ、電圧印加したシ
ョットキー性電極直下の半導体表面近傍に発生する外部電場によって、このキャリアを走
行させることによる光電流量の変化を検出するものである。
【０００７】
２端子素子からなる光センサー素子の中でも、２つのショットキー性電極から構成され
且つくし型電極構造を持つ金属−半導体−金属構造（MSM）型素子、およびショットキー
性電極とオーム性電極の２種類の異なった電極から構成されるショットキー型素子が広く
使われているが、本発明においても、少なくとも一つのショットキー性電極を利用して紫
外線を検出する方式を採用している。
【０００８】
ダイヤモンド半導体を紫外線センサー素子に応用した例として、例えば、非特許文献１
には、多結晶ダイヤモンド薄膜の表面伝導層を受光部に用い、第１層電極にTi、第２層電
極にAu用いたMSM型の光伝導型センサー素子において、２００ｎｍの紫外線照射に対して
０．０３Ａ／Ｗの検出感度を達成しているものが記載されている。また、非特許文献２に
は、酸化処理を施すことによって表面伝導層を除去した多結晶ダイヤモンド膜を受光部に
用い、更に第１層電極にTi、第２層電極にAu用いたMSM型の光伝導型センサー素子におい
て、２００ｎｍの紫外線照射に対して、０．０２Ａ／Ｗの検出感度を得ているものが記載
されている。また、非特許文献３には、整流性電極としてAu、およびオーム性電極として
Ti/Ag/Au（ここで、“/”記号は堆積順序を示す）を多結晶ダイヤモンド薄膜上に形成し
たショットキー型のセンサー素子において、検出感度は不明であるが２００ｎｍと６００
ｎｍ光照射時の可視光ブラインド比が５桁であるものが記載されている。
【０００９】
また、先行技術例として、特許文献２は、厚さ４０μｍのダイヤモンド多結晶薄膜又は
（１００）及び（１１１）配向薄膜と表面の結合水素を除去した表面を受光部に利用した
ダイヤモンド紫外線センサー素子に関する技術であり、検出感度が実用化には不十分であ
る。特許文献３は、ダイヤモンドの表面伝導層を受光部に利用したダイヤモンド紫外線セ
ンサー素子であり、その検出感度波長は可視光域全体にわたる特性を持っており、ダイヤ
モンドのバンドギャップ内の欠陥準位を利用した光伝導型センサー素子であり、２５０ｎ
ｍ以下の紫外線を選択的に検出することはできない。
【００１０】
以上のすべての従来のダイヤモンド紫外線センサーは、紫外線を検出するためには、少
なくも１V以上の印加電圧が必要であり、印加電圧が無い（ゼロV）時には紫外線を検出す
ることができない欠点を持っている。
【００１１】
【非特許文献１】H. J. Looi ,M. D. Whitfield, and R. B. Jackman, Appl. Phys. Letts. 74, 3332 (1999)
【非特許文献２】R. D. McKeag and R. B. Jackman, Diamond Relat.Mater. 7, 513 (1998)
【非特許文献３】M. D .Whitfield, S. SM. Chan, and R. B. Jackman, Appl. Phys. Lett.. 68, 290 (1996)
【特許文献１】特公昭５９−２７７５４号公報
【特許文献２】特開平１１−２４８５３１号公報
【特許文献３】特開平１１−０９７７２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
従来のダイヤモンド半導体を受光部に用いた紫外線センサー素子は、紫外線を検出する
ために必ず印加電圧が必要であり、印加電圧が無くても、即ちゼロ電圧であっても紫外線
を検出することはできなかった。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、素子構造の複雑化を回避しながらショットキー型センサー素子の特徴を生か
しつつ、極めて膜厚の薄い高融点金属のカーバイド化合物又は窒化物をショットキー性電
極に用いることによって、印加電圧ゼロVであっても波長２８０ｎｍ以下の紫外線に対す
る受光感度を持つダイヤモンド紫外線センサーを提供するものである。
【００１４】
具体的には、受光部の電気抵抗変化又は光電流量の変化によって、印加電圧ゼロVであ
っても受光部に照射される波長２６０ｎｍ以下の紫外線を検出し、波長４００ｎｍ以上の
可視光の検出感度が極めて小さい光センサー素子、その光センサー素子を用いた火炎セン
サー及び紫外線センサーである。紫外線センサー素子は、光伝導型、ｐｎ型、ｐｉｎ型、
及びショットキー型が既に工業化されている。本発明は、この中でも２端子電極を持つシ
ョットキー型センサー素子に関するものである。
【００１５】
本発明は、（１）受光部材料の電気抵抗の変化又は光電流の変化によって、受光部に照
射される光を検出する、２端子電極を持つショットキー型光センサー素子であって、表面
伝導層を除去したダイヤモンド表面を電極との接合界面に用い、
ショットキー性電極に高融点金属元素のカーバイド化合物又は窒化物を単一層として用い
、オーム性電極にダイヤモンドと反応することによってカーバイド又は炭素との固溶体を
形成することができる単一金属を用いた構造を持ち、電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫
外線センサー、である
【００１６】
また、本発明は、（２）受光部材料の電気抵抗の変化又は光電流の変化によって、受光
部に照射される光を検出する、２端子電極を持つショットキー型光センサー素子であって
、表面伝導層を除去したダイヤモンド表面を電極との接合界面に用い、少なくとも１つの
電極において、ダイヤモンド表面に接触する電極層が、高融点金属元素のカーバイド化合
物又は窒化物から構成され、電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫外線センサー、である。
【００１７】
また、本発明は、（３）受光部材料の電気抵抗の変化又は光電流の変化によって、受光
部に照射される光を検出する、２端子電極を持つショットキー型光センサー素子であって
、表面伝導層を除去したダイヤモンド表面を電極との接合界面に用い、少なくとも１つの
電極において、ダイヤモンドと反応することによってカーバイド又は炭素との固溶体を形
成することができる単一金属を用いた構造を持ち、電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫外
線センサー。
【００１８】
また、本発明は、（４）表面伝導層を除去したダイヤモンド表面がダイヤモンドの水素
終端表面を酸化処理して形成された表面であることを特徴とする請求項１、２、および３
のいずれかに記載の電圧ゼロで駆動するダイヤモンド紫外線センサー、である。
【００１９】
また、本発明は、（５）ショットキー性電極の単一層の厚さが１０ｎｍ以下あることを
特徴とする請求項１、２、および３のいずれかに記載の電圧ゼロで駆動するダイヤモンド
紫外線センサー、である。
【発明の効果】
【００２０】
従来のダイヤモンド紫外線センサーではできなかった紫外線照射によって印加電圧がゼ
ロであっても光電流を発生させることができる電池機能を持っており、且つ印加電圧がゼ
ロ電圧においても波長２２０ｎｍの紫外線と波長４００から６００ｎｍの可視光に対する
受光感度の比（可視光ブラインド比と呼ぶ）５桁を達成している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の紫外線センサーは、２端子電極を持つショットキー型素子であり、ダイヤモン
ドに対するショットキー性電極においては、例えば、単一層のWC（厚さ５ｎｍ）高融点金
属元素のカーバイド化合物を用い、オーム性電極においては、例えば、ダイヤモンドとの
反応性金属であるTi層（厚さ５０ｎｍ）を用いている。紫外線はWCショットキー性電極層
を通して直下のダイヤモンド内で受光されるため、WC単一層の厚さは厚すぎると紫外線が
吸収されてしまうため、１０ｎｍ以下の厚さが好ましい。また実施例において用いるマグ
ネトロンスパッタリング法では、WC薄膜を連続膜として堆積させるには少なくとも厚さ３
ｎｍ必要であるから、実用上はWCショットキー電極の厚さは３ｎｍ以上とすればよい。
【００２２】
ショットキー性電極においては、ダイヤモンドと冶金学的な反応を起こさない高融点金
属カーバイド化合物や窒化物を単一層として用いる必要がある。電流―電圧特性が線形関
係となるオーム性電極としては、熱処理によってダイヤモンドと反応可能な単一金属元素
であることが必要である。
【００２３】
熱処理は、真空中またはアルゴンガス雰囲気中での温度５００℃から６００℃までの条
件でよく、反応可能な単一金属は、この熱処理の結果カーバイド又は炭素との固溶体をダ
イヤモンドと電極との接合界面近傍に形成する。オーム性電極を得るためには、ダイヤモ
ンドと接合する金属が、熱処理によってダイヤモンドと反応した結果、カーバイドを形成
できる金属（以下カーバイド形成金属と呼ぶ）又は炭素との固溶体を形成できる金属（以
下固溶体形成金属と呼ぶ）、即ち反応可能な単一金属であればよく、実施例では、例えば
カーバイド形成金属としてTi（チタン）を使っている。
【００２４】
カーバイド形成金属か又は固溶体形成金属かは、広く普及している炭素―金属間の２元
状態図データから判断することが可能である。熱処理温度は異なるものの、カーバイド形
成金属としては、例えばZr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、およびW等が上げられる。また固溶
体形成金属としては、熱処理温度に依存するもののNi、 Pt、 Co、 及びPdが上げられる
。
【００２５】
また、電気的・光学的に高品質なダイヤモンド半導体は、ＣＨ４(メタン)及びＨ２(水
素)を原料ガスとして用いるマイクロ波励起プラズマ気相成長法によって、高圧合成させ
たダイヤモンド（１００）又は（１１１）面単結晶基板上にエピタキシャル成長させるこ
とによって得られる。
【００２６】
本発明の実施例においてもこの方法を用いるが、ダイヤモンドの成長表面には水素化さ
れた表面伝導層が存在するため、沸騰させた硫酸・塩酸溶液処理によってダイヤモンドの
水素終端表面の酸化処理を行い、表面伝導層を除去したダイヤモンド表面を受光部および
電極との接合界面に用いる。ショットキー性電極及びオーム性電極ともに、電極との接合
界面は表面伝導層を除去したダイヤモンド表面を用いる。
【００２７】
本発明は、この酸化処理表面に、図１及び図２に示すショットキー性電極およびオーム
性電極を形成したショットキー型センサー素子において、波長２２０〜６００ｎｍの紫外
線および可視光線をこのショットキー性電極を通してダイヤモンド／金属に照射すること
によって、印加電圧ゼロVでも紫外線に対する受光感度を持ち、且つ可視光ブラインド比
５桁を実現する。
【００２８】
本発明のショットキー型光センサー素子の光検出原理は、ショットキー性電極を通して
照射された紫外線によって発生したキャリアが、ショットキー性電極直下のダイヤモンド
表面近傍に形成されている空間電荷領域中の電場によって走行することにより、光電流が
流れることによる。ダイヤモンド／金属接合界面に自然発生する電場を利用しているため
、印加電圧がセロであっても紫外線検出が可能である。
【実施例１】
【００２９】
図１及び図２に示すショットキー型センサー素子を以下に記すプロセスで作製し、紫外
線に対する光応答特性を測定した。
【００３０】
図１に示すように、ｐ型ドーパント元素であるＢ（ボロン）を添加したダイヤモンド・
エピタキシャル単結晶膜２は、ＣＨ４（メタン）を原料ガス、及びＨ２（水素）を希釈用
キャリアガス、更に１Ｖｏｌ（０．０１）％水素希釈Ｂ（ＣＨ３）３（トリメチルボロン
）をドーパントＢの原料ガスとして用いたマイクロ波励起プラズマ気相成長法によって、
高圧合成法によって作製された長さ２．５×幅２．５×厚さ０．５ｍｍの窒素含有量がＩ
ｂクラスであるダイヤモンド（１００）単結晶基板１上に厚さ０．７μｍ成長させた。
【００３１】
この時の成長条件は以下のとおりであった。基板温度８００℃、成長圧力８０Ｔｏｒｒ
、及びマイクロ波パワー３６０Ｗ、更にＣＨ４流量５００ｓｃｃｍ、ＣＨ４／Ｈ２濃度比
０．０８％（vol）、及びＢ（ＣＨ３）３／ＣＨ４濃度比３（vol）ｐｐｍ、成長時間は１
０時間であった。
【００３２】
成長させたダイヤモンド（１００）面エピタキシャル単結晶膜２は、沸騰させた硫酸お
よび塩酸混合溶液中に１５分間浸すことによって酸化処理を施した後、超純水にてオーバ
ーフロー洗浄された。その後アセトン及びイソプロピルアルコールそれぞれの溶液中で超
音波洗浄され、フォトリソグラフィー法によって、図１の３および図２の３に示すTi電極
の作製のためのレジストのパターニングが行なわれた。
【００３３】
その後、Arガスを用いたマグネトロンスパッタリング法によって、TiおよびWCターゲッ
ト材のスパッタリングからＴｉ層（厚さ５０ｎｍ）を堆積させ、リフトオフ法により、Ti
電極を形成した。その後、Ar雰囲気中において６００℃、１時間の熱処理を施すことによ
ってオーム性電極を形成した。
【００３４】
続いて、超純水オーバーフロー洗浄後、再びフォトリソグラフィー法によって図１の４
および図２の４に示すWC電極のレジストのパターニングが行われた。その後、同様にスパ
ッタリング法によってWC層（厚さ５nm）を堆積させ、リフトオフ法によりWCショトキー性
電極を形成した。
【００３５】
Ti電極およびWC電極間の幅は（図１および図２の１Ｌに相当する）は１０μｍであり、
WC電極の直径（図１および図２の２Lに相当する）は４００μｍであった。
【００３６】
このように作製されたショットキー型センサー素子は２短針プローバを装備した真空チ
ャンバー内にセットされ、チャンバー内はターボ分子ポンプによって０．１Ｐａの真空度
に維持された。Ｉ−Ｖ特性は２端子法によって測定された。光応答特性は、分光器を通し
て２２０から６００ｎｍの範囲で単色化されたキセノンランプからの放射光を、石英窓を
通して上記紫外線センサー素子に照射することによって測定された。
【００３７】
図３に、作製したショットキー型センサー素子のゼロバイアスにおける光応答特性を示
す。波長２８０ｎｍ以下において波長の減少とともに指数関数的な受光感度の増加が見ら
れる。可視光ブラインド比は５桁が得られている。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
従来のダイヤモンド紫外線センサー素子は、紫外線を検出するためには印加電圧を必要
としており、ゼロバイアスにおいて動作するダイヤモンドセンサー素子を製造することが
できなかった。本発明により、印加電圧が無い場合においても十分動作可能なダイヤモン
ド紫外線センサーが開発された。
【００３９】
本発明の紫外線センサー素子は、印加電圧を必要としないため、極めて低消費電力性能
を持つ。従って、工業用燃焼炉、ガスタービンエンジン、並びにジェットエンジン等の燃
焼制御モニター、及び火災報知器と連動した炎探知機用の火炎センサー、更にシリコン大
規模集積回路作製プロセスに使われるステッパー露光装置や紫外線照射装置内の紫外線セ
ンサーに応用され、新たな紫外線センサー素子の市場が切り開かれる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明のダイヤモンド紫外線センサーの断面図である。
【図２】本発明のダイヤモンド紫外線センサーの電極パターンを示す平面図である。
【図３】本発明のダイヤモンド紫外線センサーの受光感度の波長依存性を示す。
【符号の説明】
【００４１】
１：ダイヤモンド（１００）単結晶基板
２：ダイヤモンド単結晶膜
３：オーム性電極
４：ショットキー性電極
【図１】
2007066976.tif 000003
【図２】
2007066976.tif 000004
【図３】
2007066976.tif 000005