(57)【要約】【課題】表面目減りを抑制しながら、効率よくエッチングピットを成長させることのできる電解コンデンサ用エッチング箔を提供すること。【解決手段】電解コンデンサ用電極箔を製造するにあたって、前処理工程において、アルミニウム原箔を水酸化ナトリウム水溶液に浸漬してアルミニウム箔表面に付着している圧延油、不純物層および表面酸化皮膜を除去した後、水洗工程で水洗浄を行い、その後、エッチング工程に入る。また、水洗工程の後、熱処理工程を設け、薄い酸化皮膜を形成した後、エッチング工程に入る。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム箔に対して、酸または／およびアルカリによる前処理工程と、水洗工程と、塩素イオンを含むエッチング液中でのエッチング工程とを有する電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、
前記水洗工程の後、前記エッチング工程の前に、前記アルミニウム箔に対する熱処理工程を設けたことを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。
【請求項２】
前記熱処理工程における熱処理温度が４００〜５００℃であることを特徴とする請求項１に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。
【請求項３】
前記の前処理工程では前記アルミニウム箔を水酸化ナトリウム水溶液に浸漬することを特徴とする請求項１または２に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法に関するものであり、特に、陰極用エッチング箔または低圧陽極用エッチング箔の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電解コンデンサ用電極箔を製造するにあたっては、塩素イオンを含むエッチング液中でアルミニウム箔にエッチング工程を行い、アルミニウム箔の有効表面積を拡大する。
ここで、エッチング液では、塩酸の他、硫酸、リン酸、硝酸等が配合されることもある（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
なお、エッチング工程の前に、アルミニウム原箔表面に付着した圧延油や不純物層を除去するため、硫酸、塩酸、リン酸、硝酸等の酸溶液や、水酸化ナトリウム、アルミン酸ソーダ等のアルカリ溶液に浸漬する前処理工程を設けることが多く、この場合、前処理工程の後、前処理に用いられた薬品がエッチング液に混入しないよう、水洗工程を入れ、しかる後にエッチング工程に入る。
【非特許文献１】永田伊佐也著、「電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ」、日本蓄電器工業株式会社、平成９年２月２４日、第２版、ｐ．２４３−２４５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、アルミニウム材料の有効利用や電解コンデンサの更なる小型化に対応するために、ますます高倍率エッチングが行われている。
しかしながら、高倍率エッチングを行うと、エッチングが進行するにともなってアルミニウム箔の最表面で目減り（表面溶解）が多くなり、電解エッチング処理時間に対して、静電容量の増加率が低下するという問題がある。
また、電解コンデンサ用電極箔のうち、陰極用のエッチング箔は、コンデンサ用素子を製造する際に、最外部に素子止め用の粘着テープが貼られることが多いが、高倍率の陰極箔では、表面目減りに起因して粘着テープが剥がれやすくなってしまう。すなわち、表面目減りによって表面が脆くなっていると、粘着テープを貼った際、表面が崩れ、粘着テープが剥がれてしまう問題があった。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、表面目減りを抑制しながら、効率よくエッチングピットを成長させることのできる電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明では、アルミニウム箔に対して、酸または／およびアルカリによる前処理工程と、水洗工程と、塩素イオンを含むエッチング液中でのエッチング工程とを有する電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、前記水洗工程の後、前記エッチング工程の前に、前記アルミニウム箔に対する熱処理工程を設けたことを特徴とする。
【０００７】
本発明において、前記熱処理工程における熱処理温度は４００〜５００℃であることが好ましい。
【０００８】
本発明において、前処理工程では、例えば、前記アルミニウム箔を水酸化ナトリウム水溶液に浸漬する。このような前処理工程によれば、アルミニウム箔表面に付着している圧延油、不純物層および表面酸化皮膜を除去することができ、かつ、かかる前処理を行った後、熱処理工程を行えば、形成される酸化皮膜の厚さや膜質を容易に制御することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、前処理工程および水洗工程を行った後、エッチング工程の前に、アルミニウム箔に対する熱処理工程を設けるため、この熱処理工程により、アルミニウム箔の表面に適当な腐食開始点を備えた酸化皮膜を形成した状態でエッチング工程に入ることができる。
このため、エッチングピットを好適に発生させ、かつ、成長させることができ、表面の目減りを抑えることができる。このため、静電容量を向上することができる。また、テープ付性を向上することができる。
【実施例】
【００１０】
以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明する。本発明を評価するにあたっては、以下の実施例および従来例のいずれにおいても、アルミニウム原箔としては、純度９９．８％の陰極箔用５０μｍ厚さのものを使用し、アルミニウム原箔を水酸化ナトリウム水溶液に浸漬して、アルミニウム箔表面に付着している圧延油、不純物層および表面酸化皮膜を除去した後（前処理工程）、水洗浄を行い（水洗工程）、その後、エッチング工程に入る。
【００１１】
エッチング工程では、塩酸水溶液に、リン酸、硝酸、硫酸等を添加したエッチング液を用い、エッチング液の温度を２０〜６０℃に設定した条件で交流（電圧波形：正弦波、周波数：４０Ｈｚ、電流密度：０．１〜１．０Ａ／ｃｍ2）を印加する。
【００１２】
このような方法で電解コンデンサ用エッチング箔を製造するにあたって、本発明の実施例では、水洗工程の後、エッチング工程の前に、熱処理工程を設ける。
【００１３】
この熱処理工程においては、表１に示すように、実施例１では熱処理温度が１００℃、実施例２では熱処理温度が２００℃、実施例３では熱処理温度が３００℃、実施例４では熱処理温度が４００℃、実施例５では熱処理温度が５００℃である。加熱時間としては、１０〜３００秒である。これに対して、熱処理工程を行わないものを従来例とし、表１には熱処理なしとして表してある。
【００１４】
【表１】
2007299876.tif 000002
【００１５】
このような方法で製造したエッチング箔について、電解エッチング処理による減量、未化成静電容量測定、テープ付性試験を行い、従来例と比較した結果を表１に示す。なお、表１内の数値は、通常の方法、すなわち熱処理を行わない従来例の結果に対する割合で表わしてある。
また、テープ付性試験については、試料上に長さ１５０ｍｍに切ったテープをしわが出ないように軽く乗せた後、テープ上で２０Ｎのプレスローラーを１往復させて均一な荷重で接着し、しかる後に、接着したテープを１８０°方向に剥離するのに必要な引張力の平均値をプッシュプルゲージにて測定した。従って、テープ付性を示す数値が高い方が良好であることを示す。
【００１６】
表１に示すように、実施例１〜５は、熱処理を行わない従来例に比較して、電解エッチング処理による減量が少なく、静電容量値の割にはテープ付性試験が良好であった。特に、実施例４、５については、３〜４％未化成容量の向上が見られた。またテープ付性試験においても、実施例４、５については大幅に向上していることが分かった。
なお、熱処理温度が５００℃を超えても、未化成容量、テープ付性の向上効果は小さいため、電力消費面を考慮して、熱処理温度の上限は５００℃とし、熱処理温度の範囲は４００〜５００℃とするのが好ましい。
【００１７】
このように本発明の実施例では、前処理工程および水洗工程を行った後、エッチング工程の前に、アルミニウム箔に対する熱処理工程を挿入することで、この熱処理工程により、アルミニウム箔の表面に適当な腐食開始点を備えた酸化皮膜を形成した状態でエッチング工程を行うことができる。
このため、エッチングピットを好適に発生させ、かつ、成長させることができ、表面の目減りを抑えることができる。よって、静電容量を向上させることができ、また、テープ付性を向上させることができる。
【００１８】
なお、上記実施例では、前処理工程においてアルカリ洗浄を行ったが、酸洗浄、またはアルカリ洗浄と酸洗浄の双方を行ってもよい。
【００１９】
また、上記実施例では陰極を例に説明したが、表面の目減りは、陽極酸化時の化成効率や、陽極酸化後にリードタブ等を接続した際の電気抵抗に大きな影響を及ぼすことから、陽極箔の製造に本発明を適用してもよい。