(57)【要約】【課題】繰り返し入力を行っても、透明導電膜が損傷せず、耐久性および耐摩耗性が高く、且つ効率よく製造可能なタッチパネルおよびその製造方法を提供する。【解決手段】上部電極（１０１Ａ）の透明導電膜（１０２Ａ）および／または下部電極（１０１Ｂ）の透明導電膜（１０２Ｂ）の表面にＤＬＣ膜（１０４）をプラズマＣＶＤ法により形成し、ＤＬＣ膜（１０４）が２つの透明導電膜（１０２Ａ、１０２Ｂ）の間に位置するように上部電極（１０１Ａ）および下部電極（１０１Ｂ）を組み立てて、非押圧時にはＤＬＣ膜（１０４）が絶縁体として機能し、押圧時には低抵抗となって上部および下部電極間を導通状態にする、抵抗膜式タッチパネル（１００）を構成する。【選択図】図１
2007122568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部電極および下部電極を有し、当該２つの電極の対向する透明導電膜の間にダイヤモンドライクカーボン膜を有して成る、抵抗膜式タッチパネル。
【請求項２】
ダイヤモンドライクカーボン膜に関するラマンスペクトルにおいて、波数１５４０ｃｍ−１付近に存在するピークのピーク強度（Ｂ）とガウス関数により蛍光強度を差し引いたピーク強度（Ａ）に対する比（Ｂ／Ａ）が１７以上である、請求項１に記載の抵抗膜式タッチパネル。
【請求項３】
ダイヤモンドライクカーボン膜に関するラマンスペクトルにおいて、波数１５４０ｃｍ−１付近に存在するピークのピーク強度（Ｂ）とガウス関数により蛍光強度を差し引いたピーク強度（Ａ）に対する比（Ｂ／Ａ）が２０以上である、請求項１に記載の抵抗膜式タッチパネル。
【請求項４】
ダイヤモンドライクカーボン膜の厚さが、１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の抵抗膜式タッチパネル。
【請求項５】
透明基体の少なくとも一方の表面に透明導電膜を有する、上部電極および下部電極をそれぞれ形成すること、および
上部電極および／または下部電極の少なくとも一方の透明導電膜の表面にダイヤモンドライクカーボン膜をプラズマＣＶＤ法により形成すること、
を含む、抵抗膜式タッチパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は抵抗膜式タッチパネルおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、抵抗膜式タッチパネルは、携帯情報端末（ＰＤＡ）および現金自動支払機（ＡＴＭ）等に広く利用されている。図５に示すように、抵抗膜式タッチパネル（５０）は一般的に上部電極（５０Ａ）および下部電極（５０Ｂ）が、ドットスペーサー（５５）と呼ばれる絶縁体を介して向かい合う構成を有する。具体的には、上部電極（５０Ａ）および下部電極（５０Ｂ）は、透明基体（５１Ａ，５１Ｂ）の一方の面にＩＴＯ等から成る透明導電膜（５２Ａ，５２Ｂ）を積層した構成を有する。ドットスペーサー（５５）は、いずれか一方の電極の透明導電膜の表面に、印刷等により形成される。ドットスペーサー（５５）は、一般的には、直径約３０〜１００μｍ、高さ約１０〜３０μｍの絶縁体が、約２ｍｍ間隔で升目状に設けられて構成される。ドットスペーサー（５５）は、未入力時の上下電極部の間の導通を防止している。情報入力は、ディスプレイ等の画面上をペンや指で押圧して、上下電極（５０Ａ，５０Ｂ）の透明導電膜（５２Ａ，５２Ｂ）を互いに接触させて導通させることにより行われる。
【０００３】
図５に示すようなタッチパネルは、基体および導電膜がいずれも透明であるため、ドットスペーサーそれ自体が画面上で観察されることがある。そのため、画面映像が不鮮明になることがある。また、抵抗膜式タッチパネルにおいては、入力を行うごとに透明導電膜同士が接触することとなり、入力を多数回繰り返すと、透明導電膜が損傷を受けることがある。また、透明導電膜は、ドットスペーサーによっても損傷を受けることがある。透明導電膜が傷つくと、導電性が低下し、タッチパネルの機能が低下するという不都合が生じる。かかる不都合を避けるために、例えば、特許文献１においては、ドットスペーサーの形状を丸くすることが提案され、特許文献２においては、結晶粒子半径の異なる２つの透明導電膜を積層することが提案されている。
【特許文献１】特開２０００−２４３１７３号公報
【特許文献２】特開２００３−２６３９２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献に開示された技術を利用したタッチパネルは、耐久性および耐圧性において未だ充分ではない。また、上記文献に開示された技術の適用に際しては、製造工程が煩雑になるなど、製造面での課題もある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、種々検討した結果、ドットスペーサーそれ自体の存在が抵抗膜式タッチパネルの耐久性等に大きく影響し、これを無くすことができれば上記課題を解決できると考えた。さらに、ドットスペーサーに代えて、加圧下で低抵抗となり、圧力が加えられていない状態では高抵抗となる材料で薄膜を形成すれば、上部電極と下部電極との直接的な接触を避けることができ、ドットスペーサーを無くすことと相俟ってタッチパネルの耐久性をより向上させ得ると考えた。かかる着想に基づいて、さらに検討したところ、ダイヤモンドライクカーボンから成る薄膜がこのような特性を有することを見出し、本発明に至った。
【０００６】
即ち、本発明は、上部電極および下部電極を有し、２つの電極の対向する透明導電膜の間にダイヤモンドライクカーボン膜を有して成る、抵抗膜式タッチパネルを提供する。この抵抗膜式タッチパネルは、ダイヤモンドライクカーボン膜が上部電極に設けられている透明導電膜と下部電極に設けられている透明導電膜との間に設けられていることを特徴とする。
【０００７】
ここで、ダイヤモンドライクカーボン膜について説明する。ダイヤモンドライクカーボン（以下、「ＤＬＣ」と表示することがある）膜は、一般にプラズマＣＶＤ法により成膜される非晶質の炭素膜であり、アモルファスカーボンとも呼ばれる。ＤＬＣ膜はダイヤモンドおよびグラファイトとは異なるものであり、ある炭素膜がＤＬＣ膜であるか否かは、例えばラマンスペクトルによって知ることができ、そのことは既に知られている。また、ＤＬＣ膜は、絶縁膜であることが知られている。本発明者らは、このＤＬＣ膜が極めて薄い膜として形成された場合に、所定の大きさ以上の電圧が印加されると、低抵抗となり、電圧の印加を中止すると絶縁状態に戻るという特性を有すること、および絶縁状態を保つ電圧（換言すれば、低抵抗状態になる電圧）の大小がＤＬＣ膜の厚さに依存することを見出した。さらに、この特性は、ＤＬＣ膜に圧力を加えて、一時的にＤＬＣ膜の厚さを変化させる場合でも観察されることを確認した。
【０００８】
本発明は、ＤＬＣ膜のこの電気的特性を活かしたものである。すなわち、本発明の抵抗膜式タッチパネルにおいて、透明導電膜間に位置するＤＬＣ膜は、ペンまたは指の押圧により弾性変形して一時的に厚さが薄くなると、比較的低い電圧の印加により、上下電極間を導通状態とし、押圧を中止すると元の厚さ（またはそれに近い厚さ）に戻って、上下電極間を絶縁するように機能する。このようにＤＬＣ膜が機能するために、本発明の抵抗膜式タッチパネルは、ドットスペーサーを設けることなく構成することも可能である。さらに、上部電極と下部電極との間で導通状態となるときも、ＤＬＣ膜が両者の間に介在して両者は直接接触しない。
【０００９】
したがって、本発明によれば、ペンまたは指によるタッチ操作（例えば、データ入力操作）のときに、各電極に形成した透明導電膜が直接接触しないから、透明導電膜の摩耗を無くす又は少なくすることができる。また、本発明によれば、ドットスペーサーを設けなくてもよいため、ドットスペーサーを形成しない場合には、ドット状に絶縁体を形成することに代えて、連続した膜であるＤＬＣ膜を形成すればよいから、タッチパネルをより効率的に製造し得る。
【００１０】
本発明のタッチパネルにおいて、ＤＬＣ膜は、押圧により厚さが小さくなり、押圧を解除すると元の厚さにできるだけ戻る性質を有することが好ましい。即ち、ＤＬＣ膜は柔軟で弾性を有することが好ましい。これは、ＤＬＣ膜を、押圧されていないときには絶縁体として機能させることが好ましいことによる。具体的には、ＤＬＣ膜に関するラマンスペクトルにおいて、波数１５４０ｃｍ−１付近に存在するピークのピーク強度（Ｂ）とガウス関数により蛍光強度を差し引いたピーク強度（Ａ）に対する比（Ｂ／Ａ）が１７以上であることが好ましく、２０以上であることがより好ましい。ここで、ラマンスペクトルにおける波数１５４０ｃｍ−１付近に存在するピークのピーク強度Ｂとガウス関数により蛍光強度を差し引いたピーク強度Ａの比Ｂ／Ａは、ダイヤモンドライクカーボンの硬度を示す指標として採用される。Ｂ／Ａが大きいほど、ＤＬＣ膜は軟らかい。
【００１１】
本発明のタッチパネルにおいて、ＤＬＣ膜は、その厚さが１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下であることが好ましい。厚さが１０ｎｍ未満であると、ペンまたは指により圧力を加えなくても低抵抗となって、上下電極間で導通が生じる可能性がある。厚さが３０ｎｍを越えると、ペンまたは指により圧力を加えても、高い電圧を印加しない限り、上下電極間で導通が生じなくなる。
【００１２】
本発明はまた、上記本発明の抵抗膜式タッチパネルの製造方法を提供する。本発明の製造方法は、透明基体の少なくとも一方の表面に透明導電膜を有する、上部電極および下部電極をそれぞれ形成すること、および
上部電極および／または下部電極の少なくとも一方の透明導電膜の表面にダイヤモンドライクカーボン膜をプラズマＣＶＤ法により形成すること、
を含む。このように、本発明の抵抗膜式タッチパネルは、複雑なドットスペーサーの製造工程を必ずしも必要とせず、公知の成膜技術によって製造することが可能である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のタッチパネルは、対向する上部電極と下部電極との間に、ＤＬＣ膜を形成することを特徴とする。この特徴により、対抗膜式タッチパネルにおいてドットスペーサーを必ずしも設ける必要がなくなり、したがってドットスペーサーによる透明導電膜の損傷の問題を回避または軽減することができる。また、上部電極−下部電極間の導通状態が、透明導電膜同士が直接接触することなく、ＤＬＣ膜を介して得られるため、透明導電膜の損傷がより防止され、タッチパネルの耐摩耗性が向上する。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態の一例による抵抗膜式タッチパネルの断面図である。図１に示すタッチパネル（１００）は、上部電極（１００Ａ）と下部電極（１００Ｂ）との間にダイヤモンドライクカーボン膜（１０４）が位置する構成である。上部電極（１００Ａ）および下部電極（１００Ｂ）はそれぞれ、透明基体（１０１Ａ，１０１Ｂ）の一方の表面に透明導電膜（１０２Ａ，１０２Ｂ）が形成されて成る。
【００１５】
まず、上部電極（１００Ａ）を構成する透明基体（１０１Ａ）について説明する。上部電極（１００Ａ）の透明基体（１０１Ａ）は、例えば、高分子フィルムである。高分子フィルムは、常套的な方法で製造されたものであってよく、具体的には、有機高分子を溶融して押出成形加工を実施し、必要に応じて長手方向および／または幅方向に延伸処理を実施した後、冷却および熱固定処理に付すことにより得られる。透明基体（１０１Ａ）を構成する高分子は、ペン又は指等による押圧を受けて撓む可撓性を有し、且つ、透明性および耐熱性を有するものであれば、特に限定されない。具体的には、透明基体（１０１Ａ）は、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト、ナイロン、ポリ塩化ビニ−ル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニールアルコール、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリエ−テルイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、およびエチレンビニールアルコールから成る群より選択される、１または複数の有機高分子を使用して構成される。あるいは、透明基体（１０１Ａ）は、ここに例示した有機高分子を構成する２以上のモノマーが共重合した共重合体で構成されてよい。あるいはまた、透明基体（１０１Ａ）は二以上の層から成る積層体であってよい。
【００１６】
上部電極（１００Ａ）を構成する透明導電膜（１０２Ａ）は、例えば、ＩＴＯ（インジウム−スズ酸化物）、ＩＴＺＯ（インジウム−スズ−亜鉛系酸化物）、またはスズ、アンチモンもしくは亜鉛等の金属の酸化物を用いて、真空蒸着、スパッタリングまたはイオンプレーティング等の方法で形成される。透明導電膜（１０２Ａ）の厚さは、例えば、１０〜２００ｎｍ程度である。本発明においては、透明導電膜（１０２Ａ）もまた特に限定されず、その材料、形成方法および厚さ等は、ここに例示した以外に、常套的に採用されているものを任意に使用してよいことに留意されたい。
【００１７】
次に、下部電極（１００Ｂ）について説明する。下部電極（１００Ｂ）を構成する透明基体（１０１Ｂ）は、上部電極（１００Ａ）の透明基体（１００Ａ）と同様の高分子フィルムであってよく、あるいはガラス板であってよい。ガラス板は、抵抗膜式タッチパネルにおいて常套的に採用されているものを任意に使用してよい。
【００１８】
下部電極（１００Ｂ）を構成する透明導電膜（１０２Ｂ）は、上部電極（１００Ａ）を構成する透明導電膜（１０２Ａ）に関連して説明した材料を用いて、真空蒸着等の成膜方法により形成される。透明導電膜（１０２Ｂ）の形成に際しても、抵抗膜式タッチパネルの製造において常套的に採用されている材料、形成方法および厚さを用いてよいことに留意されたい。また、１つのタッチパネルにおいて、透明導電膜（１０２Ａ）と透明導電膜（１０２Ｂ）は同じ材料で形成されてよく、または異なる材料で形成されてよい。
【００１９】
次に、ＤＬＣ膜（１０４）について説明する。前述したように、ＤＬＣ膜（１０４）は押圧を受けて薄くなると低抵抗となり、押圧が解除されると絶縁体となる電気的特性を有する。この電気的特性を良好に発現させるために、ＤＬＣ膜（１０４）は、柔軟で弾性を有することがより好ましい。前述したように、本発明においては、ＤＬＣ膜（１０４）の硬度の指標として、ラマンスペクトルにおける、波数１５４０ｃｍ−１付近に存在するピークのピーク強度（Ｂ）とガウス関数により蛍光強度を差し引いたピーク強度（Ａ）に対する比（Ｂ／Ａ）を採用する。
【００２０】
ＤＬＣ膜のラマンスペクトル測定は、具体的には、波長５１４．５nmのアルゴンレーザーを用いて実施できる。また、波数１５４０ｃｍ−１付近に存在するピークとは、具体的には、波数１５２０〜１５６０ｃｍ−１の間に存在するピークのことをいう。参考のために、波数１５４０ｃｍ−１付近にピークを有するＤＬＣ膜の代表的なラマンスペクトル分析図を図４として示す。
【００２１】
ピーク強度Ｂとは、ピークにおけるブランクレベルからピークまでの高さをいう。蛍光強度はピーク前後のスペクトルを結んだ仮想線（図４中、破線で表示）に相当し、ガウス関数により蛍光強度を差し引いたピーク強度Ａとは、ピークにおけるブランクレベルから蛍光強度までの高さをピーク強度Ｂから差し引いたものをいう。図４のラマンスペクトルは、Ｂ／Ａが小さくピークは高いが、Ｂ／Ａが大きくなるほど、ピークは低くなる。
【００２２】
ＤＬＣ膜に関するラマンスペクトルにおいて、波数１５４０ｃｍ−１付近に存在するピークのピーク強度Ｂとガウス関数により蛍光強度を差し引いたピーク強度Ａの比Ｂ／Ａ（単に「ピーク強度比」と呼ぶ場合がある）が小さいほどＤＬＣ膜は硬く、Ｂ／Ａが大きいほどＤＬＣ膜はポリマー成分をより多く含み、軟らかい。本発明の抵抗式タッチパネル（１００）を構成するＤＬＣ膜（１０４）は、それに関するラマンスペクトルにおいてＢ／Ａが１７以上であることが好ましく、２０以上であることがより好ましい。さらに、本発明においては、ＤＬＣ膜に関するラマンスペクトルにおいて波数１５４０ｃｍ−１付近にピークが存在しない（即ちＢ／Ａが無限大である）ことが最も好ましい。ピークが存在しないラマンスペクトル分析図を図３に示す。
【００２３】
ＤＬＣ膜（１０４）は、透明導電膜（１０２Ａ、１０２Ｂ）それぞれの表面に形成してよい。その場合、上部電極（１００Ａ）および下部電極（１００Ｂ）の表面にそれぞれ形成されたＤＬＣ膜が向かい合うように、２つの電極を重ね合わせてタッチパネルを組み立てる。あるいは、ＤＬＣ膜（１０４）は２つの透明導電膜のうち一方の透明導電膜に形成してもよい。製造工程の簡素化という点からは、一方の透明導電膜の表面にＤＬＣ膜を形成することが好ましい。
【００２４】
ＤＬＣ膜（１０４）の形成には、熱プラズマ法またはマイクロ波プラズマ法等のＣＶＤ法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等が用いられる。プラズマＣＶＤ法において使用する原料ガス（モノマーガス）は、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、メチレン、エチレン、プロピレン、ブチレン、トルエン、およびベンゼン等の炭化水素系ガスである。原料ガスには、水素ガス、窒素ガス、アルゴンガス、およびヘリウムガス等の反応促進ガスを混合してよい。原料ガスに炭化水素系ガスを用いることから、ＤＬＣ膜は通常水素を含有する。
【００２５】
プラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ膜の形成は、具体的には、反応容器中に原料ガスを導入し、容器内の圧力を１〜１００Paに保った状態で反応容器内部で炭化水素系ガスのプラズマを発生させることにより実施する。プラズマは、例えば反応容器中で放電を発生させることによって発生させ得る。プラズマを放電により発生させる場合、放電形式は外部電極方式および内部電極方式のいずれでもよく、放電周波数は実験的に決めることができる。放電の際に印加する電圧を変化させることによって、Ｂ／Ａを変化させることができる。通常、電圧が大きいとＢ／Ａは小さくなり、電圧が小さいとＢ／Ａは大きくなる傾向にある。Ｂ／Ａはまた、原料ガスの圧力を変化させることによっても変化させ得る。
【００２６】
あるいは、プラズマは、マイクロ波と磁場により電子を共鳴させて原料ガスをプラズマ化する方法、即ち、電子サイクロトロン共鳴（Electron Cyclotron Resonance；ＥＣＲ）を用いて発生させてもよい。ＥＣＲプラズマＣＶＤ法においては、マイクロ波を供給する際の電力を変化させることにより、Ｂ／Ａを変化させることができ、例えば、電力が大きいほどプラズマの密度が高くなりＢ／Ａは小さくなる。
【００２７】
図２に、ＤＬＣ膜をプラズマＣＶＤ法を用いて形成する成膜装置の一例として、ＥＣＲプラズマＣＶＤ装置の概略を示す。以下その動作を説明する。図２において、６は真空槽、７は巻き出しロール、８および９はパスロール、１０は冷却キャン、１１は巻き取りロール、１２はマイクロ波電源、１３はマイクロ波導波管、１４はマイクロ波導入窓、１５磁石、１６はガス導入口である。
【００２８】
まず、真空槽６内部を、図示しない真空ポンプを用いて圧力が１０−２Ｐａ〜１０−３Ｐａの高真空状態となるように排気を行う。予め透明導電膜を形成した透明基体（３Ａ）は、巻き出しロール（７）から送り出され、２本のパスロール（８、９）及び円筒状の冷却キャン（１０）の外周面を経由して巻き取りロール（１１）に巻き取られる。ここで、冷却キャン（１０）は透明導電膜を有する透明基体（３Ａ）を一定速度で搬送できるように回転制御する働きをしているとともに、温度コントロール機能を持ち合わせている。途中、マイクロ波電源（１２）により発振されたマイクロ波はマイクロ波導波管（１３）を通って、マイクロ波導入窓（１４）より真空槽（６）内に供給され、ガス導入口（１６）より導入された原料ガスをプラズマ化する。プラズマ化したガスは、透明基体（３Ａ）に形成された透明導電膜上にＤＬＣ膜（４）を形成する。
【００２９】
ＤＬＣ膜（４）の厚さ（上部電極および下部電極の透明導電膜の表面にそれぞれＤＬＣ膜を形成する場合には２つのＤＬＣ膜を合わせた厚さ）は、１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下であることが好ましく、１５ｎｍ以上２５ｎｍ以下であることがより好ましい。ＤＬＣ膜（４）の厚さが１０ｎｍ未満であると、ペンまたは指による押圧を受けない場合でも上部電極と下部電極との間で導通状態となることがあり、３０ｎｍを越えると、押圧しても、高電圧を印加しない限り、上部電極と下部電極との間で導通状態を得ることができないことがある。
【００３０】
ＤＬＣ膜（４）は、完全に透明である必要はない。画面上の文字や図、絵が視認できる限りにおいて、ＤＬＣ膜（４）は例えば半透明であってよい。ＤＬＣ膜が半透明であっても、ＤＬＣ膜は一様な膜であるため、間隔をあけて並べられたドットスペーサーごしに画面映像（例えば、文字等）を視認する場合と比較して、画面映像の鮮明さはそれほど損なわれない。ＤＬＣ膜が透明であるほど、画面映像をより鮮明に視認でき、好ましいことはいうまでもない。
【００３１】
ＤＬＣ膜（１０４）の形成後、ＤＬＣ膜（１０４）が２つの透明導電膜（１０２Ａ、１０２Ｂ）の間に位置するように、上部電極（１００Ａ）および下部電極（１００Ｂ）を貼り合わせてタッチパネルを作製する。貼り合わせに際しては、通常、抵抗膜式タッチパネルの組み立てに用いられている手法、材料および部品を任意に採用してよい。図示したタッチパネルにおいては、２つの対向する透明導電膜の間にはドットスペーサーが設けられず、厚さが１０〜３０ｎｍ程度のＤＬＣ膜のみが位置することとなる。したがって、このタッチパネルは、上部電極と下部電極の貼り合わせの際に使用する糊剤等を適宜選択することを条件として、ドットスペーサー（通常、１０〜３０μｍ程度の高さを有する）を有するものよりも薄くすることも可能である。また、対向する透明導電膜は、導通状態にあるときも直接接触することがないため、損傷されにくく、したがって、タッチパネル全体の耐久性が向上する。さらに、ＤＬＣ膜（１０４）は、一定の厚さを有する膜として形成されるため、ＤＬＣ膜（１０４）の形成はドットスペーサーの形成よりも容易に且つ短時間で実施し得る。
【００３２】
図示した形態は、ドットスペーサーを設けない抵抗膜式タッチパネルの一例である。別の形態においては、ドットスペーサーを併用してよい。ドットスペーサーは、例えば、ＤＬＣ膜の絶縁性が何らかの理由により失われた場合に、上部電極と下部電極とが導通することを防止するために補助的に用いることができる。ＤＬＣ膜は前述のように、それ自体がドットスペーサーとして機能するから、ＤＬＣ膜とドットスペーサーを併用することにより、例えば、ドットスペーサーの数を減らすことが可能となる。あるいは、極めて薄いＤＬＣ膜（例えば、５ｎｍ以下の厚さである）を専ら透明導電膜の保護膜として機能させ、ドットスペーサーによって上部および下部電極間の絶縁を確保してよい。ドットスペーサーはＤＬＣ膜を形成する前に、下部電極の透明導電膜の表面に形成してよく、あるいは、ＤＬＣ膜を形成した後に形成してよい。
【実施例】
【００３３】
（実施例１）
図１に示す構成の抵抗膜式タッチパネルを作製した。まず、透明基体（１０１Ａ）として、厚さ１５０μｍのＰＥＴフィルムを用意し、この一方の表面にスパッタリング法によりＩＴＯからなる、厚さ３０ｎｍの透明導電膜（１０２Ａ）を形成した。次いで、プラズマＣＶＤ法により、透明導電膜（１０２Ａ）の表面に厚さ２０ｎｍのＤＬＣ膜（１０４）を形成した。ＤＬＣ膜（１０４）は図２に示すＥＣＲプラズマＣＶＤ装置を用いて形成した。原料ガスはメタンガスとアルゴンガスとの混合気体とした。このとき、供給するマイクロ波電力を表１に示すように２００Ｗ〜７００Ｗの間で試料ごとに変えて、各試料のＤＬＣ膜がラマンスペクトルにおいてそれぞれ異なるＢ／Ａとなるようにした。各試料のＤＬＣ膜のラマンスペクトルは、Jobin Yvon製レーザーラマン分光装置（RAMANOR S-320）を用いて得た。また、ＤＬＣ膜の厚さは、走査型電子顕微鏡（日本電子製のＪＳＭ−６４６０）を用いて、ＤＬＣ膜の厚さ方向の断面を観察することにより測定した。このようにして得た上部電極（１００Ａ）を１５０ｍｍ四方に切断し、周辺に銀ペーストを用いて銀電極を取り付けた。
【００３４】
次に、透明基体（１０１Ｂ）として、厚さ１８０μｍのガラス板を用意し、この一方の表面にスパッタリング法によりＩＴＯからなる、厚さ３０ｎｍの透明導電膜（１０２Ｂ）を形成し、下部電極（１０１Ｂ）を作製した。次いで、下部電極（１０１Ｂ）を、１５０ｍｍ四方に切断し、周辺に銀ペーストを用いて銀電極を取り付けた。上部電極（１０１Ａ）のＤＬＣ膜（１０４）面と下部電極（１０１Ｂ）の透明導電膜（１０２Ｂ）面を内側にして、接着剤により貼り合わせて、抵抗膜方式のタッチパネル（１００）を得た。
【００３５】
各タッチパネルの導電性を評価するために、試験を行った。具体的には、タッチパネルの対向する透明導電膜（１０２Ａ、１０２Ｂ）間に直流２０Ｖの電圧を印加し、ペン入力による押圧時（２．５Ｎ／ｍｍ２）の導電膜間の抵抗値を測定した。結果を表１に示す。
【００３６】
【表１】
2007122568.tif 000003
【００３７】
表１より、ＤＬＣ膜のＢ／Ａの値が大きくなるほど、押圧を受けてＤＬＣ膜の抵抗が小さくなり、２つの透明導電膜（１０２Ａ、１０２Ｂ）の間で導通状態を得やすくなった。特に、ＤＬＣ膜のラマンスペクトルにおいて波数１５４０ｃｍ−１付近にピークが存在しない（即ち、Ｂ／Ａが無限大である）試料１、ならびにＢ／Ａの値が１７以上である試料２および３においては、導電膜間の電気抵抗が約３００Ωであり、安定した導通状態が得られた。Ｂ／Ａの値が小さい試料６および試料７については、押圧により導通状態を得ることはできなかった。これは、ＤＬＣ膜の膜質が硬くなり、押圧により弾性変形が生じにくくなったためであると考えられる。
【００３８】
（実施例２）
実施例１と同様にして、上部電極（１００Ａ）を作製した。本実施例においては、ＤＬＣ膜（４）形成時に、供給するマイクロ波電力を３００Ｗとし、試料ごとに成膜スピードを変えて、試料ごとにＤＬＣ膜の厚さが異なるようにした。ＤＬＣ膜のＢ／Ａはいずれも１７．９であった。上部電極（１００Ａ）をこのように作製したことを除いては、実施例１と同様にして抵抗膜式タッチパネルを作製し、導通性および耐久性を評価した。
【００３９】
導通性は、タッチパネルの対向する透明導電膜（１０２Ａ、１０２Ｂ）間に直流２０Ｖの電圧を印加し、ペン入力による押圧時（２．５Ｎ／ｍｍ２）の導電膜間の抵抗値および押圧していないときの導電膜間の抵抗値を測定することにより、評価した。耐久性は、２．５Ｎ／ｍｍ２の圧力でペンによる押圧を１０万回繰り返し、繰り返し押圧を実施する前後の導電膜間の抵抗値（押圧時）の変化の大小により評価した。評価結果を表２に示す。
【００４０】
【表２】
2007122568.tif 000004
【００４１】
表２より、ＤＬＣ膜の厚さが５ｎｍと薄い試料８は、非押圧時においても、押圧時と同様の電気抵抗の値を示し、非押圧時のＤＬＣ膜の絶縁性は不十分であった。ＤＬＣ膜の厚さが大きい試料１４では、押圧時の抵抗値が高く、導通が不安定となり、ＤＬＣ膜の厚さがより大きい試料１５では、押圧時に導電膜間で導通しなかった。ＤＬＣ膜の厚さが１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下の範囲内にある試料９〜１３において、押圧時および非押圧時の導電膜間の抵抗はいずれも実用可能な範囲内にあった。ＤＬＣ膜の厚さが３０ｎｍとやや厚い試料１３においては、押圧時の抵抗値が若干高かったが、タッチパネルとして使用し得る範囲内にあった。ＤＬＣ膜の厚さが１０ｎｍ以上３０ｎｍ以下の範囲内にある試料９〜１３は、押圧時の抵抗値がいずれも低く、非押圧時は導電膜同士が十分に絶縁されており、タッチパネルとして良好に機能し得るものであった。押圧時および非押圧時の抵抗が実用可能な範囲にある試料９〜１３はいずれも、１０万回の繰り返し押圧を実施した後の抵抗値の変化が小さいものであった。
【００４２】
実施例１および２においては、ＤＬＣ膜を上部電極の透明導電膜の表面にのみ設けた。上部電極ではなく、下部電極の透明導電膜の表面にのみＤＬＣ膜を形成して、同様にタッチパネルを作製した場合にも、上記実施例と同じ効果が得られることを確認した。また、上部および下部電極の両方の透明導電膜の表面にＤＬＣ膜を設けた場合にも、同等の効果が得られることを確認した。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明の抵抗膜式タッチパネルは、ＤＬＣ膜をドットスペーサーとして機能させることを可能にするものであって大量生産により適しているから、電子手帳、パーソナル携帯情報機器、ノートパソコン、現金自動支払機、およびファクシミリ等に使用する入力機器として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明のタッチパネルの一例の断面図
【図２】本発明のタッチパネルを構成するＤＬＣ膜を形成するＥＣＲプラズマＣＶＤ装置の一例の概略図
【図３】ＤＬＣ膜のラマンスペクトルの一例
【図４】ＤＬＣ膜のラマンスペクトルの別の例
【図５】従来のタッチパネルの一例の断面図
【符号の説明】
【００４５】
１００，５０  抵抗膜式タッチパネル
１００Ａ，５０Ａ  上部電極
１００Ｂ，５０Ｂ  下部電極
１０１Ａ，１０１Ｂ，５１Ａ，５１Ｂ  透明基体
１０２Ａ，１０２Ｂ，５２Ａ，５２Ｂ  透明導電膜
１０４  ＤＬＣ膜
５５    ドットスペーサー
６    真空槽
７    巻き出しロール
８，９  パスロール
１０    冷却キャン
１１    巻き取りロール
１２    マイクロ波電源
１３    マイクロ波導波管
１４    マイクロ波導入窓
１５    磁石
１６    ガス導入口
【図１】
2007122568.tif 000005
【図２】
2007122568.tif 000006
【図３】
2007122568.tif 000007
【図４】
2007122568.tif 000008
【図５】
2007122568.tif 000009