(57)【要約】      （修正有）【課題】球状スペ−サが２段に積層され易い。【解決手段】本発明による液晶表示装置の製造装置は、表面に複数のくぼみが形成されているスペーサ供給用ローラ、スペーサ供給用ローラと噛合って回動し、くぼみに注入された複数のスペーサが表面に第１転写される転写ローラ、スペーサ供給用ローラと転写ローラとの間に介されている転写ベルト、転写ベルトを通して転写ローラに連結されている補助ローラ、及び転写ローラの回動によって、転写ローラと接触している転写ベルト表面のスペーサが第２転写される基板が搭載される支持板を含むのが好ましい。したがって、本発明による液晶表示装置の製造装置は、連続的に回動するスペーサ供給用ローラ、転写ローラ、及び補助ローラの３個のローラを使用することにより、基板が大型化されるに伴って要求される大型のスペーサ供給用基板及び転写ローラが不要となる。【選択図】図１
2007025667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数のくぼみが形成され、第１方向に回動するスペーサ供給用ローラと、
前記スペーサ供給用ローラと接する位置に配置され、前記第１方向と逆方向の第２方向に回動する転写ローラと、
前記第２方向に回動する補助ローラと、
前記転写ローラと前記補助ローラとに張った状態でかけられて回転し、前記スペーサ供給用ローラのくぼみに注入された複数のスペーサが、前記スペーサ供給用ローラと接触した部分に第１転写される転写ベルトと、
を含む液晶表示装置の製造装置。
【請求項２】
搭載される基板が前記転写ローラと接する位置に配置された支持板をさらに含み、
前記転写ローラの回動によって前記支持板上の基板と接触した前記転写ベルト表面のスペーサが、前記基板上に第２転写される、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項３】
前記スペーサ供給用ローラにスペーサを供給するスペーサ供給装置をさらに含む、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項４】
前記スペーサ供給装置は、熱硬化剤又は紫外線硬化剤と共に、スペーサを前記スペーサ供給用ローラに供給する、請求項３に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項５】
前記スペーサ供給用ローラに設置され、前記スペーサ供給装置に連結されている第１洗浄部をさらに含む、請求項３に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項６】
前記第１洗浄部は、前記スペーサ供給用ローラに空気を噴射する空気噴射部を含む、請求項５に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項７】
前記補助ローラに設置されており、前記転写ベルトに残っているスペーサを除去する第２洗浄部をさらに含む、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項８】
前記第２洗浄部は、前記転写ベルトに空気を噴射する空気噴射部を含む、請求項７に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項９】
前記スペーサは球状スペーサである、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１０】
前記スペーサ供給用ローラの表面と接する位置に設けられ、前記くぼみにスペーサを入れるブレードをさらに含む、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、現在広く使用されている平板表示装置のうちの一つであって、電界生成電極が形成されている二枚の表示板と、その間に挿入されている液晶層とを含む。このような液晶表示装置では、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列させることによって、液晶層を通過する光の透過率を調節する。
このような液晶表示装置の上部基板及び下部基板は、基板周縁部に形成され液晶物質を封じ込める密封材によって結合されている。両基板の間にはスペーサが設けられ、両基板間にセルギャップを形成する。
【特許文献１】特開平９−２９９４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
スペーサは、球形であり不規則なパターンで形成される球状スペーサと、一定のパターンで形成される柱状スペーサと、に区分される。
柱状スペーサは、色フィルター表示板に感光膜を塗布し、これを露光及び現像して、画素内部の光の透過しない部分、例えば、チャンネル部、ゲート線、維持電極線又は遮光部材などに対応させて所望のパターンに形成する。このような柱状スペーサ形成方法では、別途の写真エッチング工程が追加されるので、製品の単価が上昇する。また、プラスチック系の球状スペーサとは異なり、柱状スペーサは弾性力が小さいため、液晶滴下量のマージンが減り、不完全充填不良やスペーサ又は下部膜が破られるスミア不良などが発生し易い。
【０００４】
一方、不規則的に散布する球状スペーサ形成方法は、球状スペーサが異物として作用し、光漏れを誘発させてコントラスト比を低下させ、一部の球状スペーサは、微細移動して配向膜に損傷を与える場合もある。
このような問題点を解決するために、球状スペーサを基板の所定の位置に印刷する球状スペーサ印刷装置が開発されている。しかし、基板が大型化するほど、スペーサ供給用基板及び転写ローラの大きさも大型化されなければならない。また、スペーサ供給用基板で転写ローラを用いてスペーサを転写する際、転写できなかったスペーサがスペーサ供給用基板のくぼみに残留してしまい、スペーサを転写ローラから基板へ転写する際、スペーサが２段に積層される問題点が発生する。
【０００５】
本発明の技術的課題は、球状スペーサが２段に積層されることを防止する液晶表示装置の製造装置を提供することにある。
本発明の別の技術的課題は、基板が大型化されてもスペーサ供給用基板及び転写ローラの大型化を不要とする液晶表示装置の製造装置を提供することにある。
本発明の別の技術的課題は、スペーサをリサイクルすることができる液晶表示装置の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するために、発明１は、下記の構成を含む液晶表示装置の製造装置を提供する。
・表面に複数のくぼみが形成され、第１方向に回動するスペーサ供給用ローラ、
・前記スペーサ供給用ローラと接する位置に配置され、前記第１方向と逆方向の第２方向に回動する転写ローラ、
・前記第２方向に回動する補助ローラ、
・前記転写ローラと前記補助ローラとに張った状態でかけられて回転し、前記スペーサ供給用ローラのくぼみに注入された複数のスペーサが、前記スペーサ供給用ローラと接触した部分に第１転写される転写ベルト。
【０００７】
発明２は、前記発明１において、搭載される基板が前記転写ローラと接する位置に配置された支持板をさらに含む液晶表示装置の製造装置を提供する。この装置において、前記転写ローラの回動によって前記支持板上の基板と接触した転写ベルト表面のスペーサが、前記基板上に第２転写される。
発明３は、前記発明１において、前記スペーサ供給用ローラにスペーサを供給するスペーサ供給装置をさらに含む液晶表示装置の製造装置を提供する。
【０００８】
発明４は、前記発明３において、前記スペーサ供給装置が、熱硬化剤又は紫外線硬化剤と共に、スペーサを前記スペーサ供給用ローラに供給する液晶表示装置の製造装置を提供する。
発明５は、前記発明３において、前記スペーサ供給用ローラに設置され、前記スペーサ供給装置に連結されている第１洗浄部をさらに含む液晶表示装置の製造装置を提供する。
【０００９】
スペーサ供給用ローラに第１洗浄部を設置することにより、スペーサ供給用ローラのくぼみに残存するスペーサを除去してスペーサが２段に表示板に積層されることを防止することができる。さらに、スペーサ供給装置に連結された吸入部を第１洗浄部に設置することによって、スペーサをリサイクルすることができる。
発明６は、前記発明５において、前記第１洗浄部が、前記スペーサ供給用ローラに空気を噴射する空気噴射部を含む液晶表示装置の製造装置を提供する。
【００１０】
発明７は、前記発明１において、前記補助ローラに設置されており、前記転写ベルトに残っているスペーサを除去する第２洗浄部をさらに含む液晶表示装置の製造装置を提供する。
転写ローラに連結された補助ローラに第２洗浄部を設置することにより、転写ベルトに残存するスペーサを除去して、スペーサが２段に積層されることをさらに防止することができる。
【００１１】
発明８は、前記発明７において、前記第２洗浄部は、前記転写ベルトに空気を噴射する空気噴射部を含む液晶表示装置の製造装置を提供する。
発明９は、前記発明１において、前記スペーサは球状スペーサである液晶表示装置の製造装置を提供する。
発明１０は、前記発明１において、前記スペーサ供給用ローラの表面と接する位置に設けられ、前記くぼみにスペーサを入れるブレードをさらに含む液晶表示装置の製造装置を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明による液晶表示装置の製造装置は、連続的に回動するスペーサ供給用ローラ、転写ローラ、及び補助ローラの３個のローラを使用することにより、基板が大型化されてもスペーサ供給用基板及び転写ローラの大型化を不要とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように、本発明の実施例について添付した図面を参照して詳細に説明する。しかし、本発明は多様な相違した形態で実現でき、ここで説明する実施例に限定されない。
図面において、いろいろな層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。明細書全体を通じて類似な部分については同一図面符号を付けた。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の“上にある”とすれば、これは他の部分の“直上にある”場合だけでなく、その中間に他の部分がある場合も含む。反対に、ある部分が他の部分の“直上にある”とすれば、中間に他の部分がないことを意味する。
＜液晶表示装置の製造装置＞
次に、本発明の実施例による液晶表示装置の製造装置について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施例による液晶表示装置の製造装置の概略図である。
図１に示したように、本発明の一実施例による液晶表示装置の製造装置は、第１方向（図中Ｒ１方向）に回動するスペーサ供給用ローラ１０、スペーサ供給用ローラ１０と噛合って第２方向（図中Ｒ２方向）に回動する転写ローラ２０、転写ベルト２５を通して転写ローラ２０に連結されている補助ローラ３０、スペーサ３２０が最終的に配置される表示板２００が搭載される支持板４０を含む。
【００１５】
スペーサ供給用ローラ１０は、ガラス、プラスチック又は金属材料で形成される。スペーサ供給用ローラ１０の表面には、半球状のくぼみ１１が所定の間隔で複数個形成されている。くぼみ１１には、複数の球状スペーサ３２０及び硬化剤３２１を含むスペーサインキ３２が注入される。１つのくぼみ１１に注入される球状スペーサ３２０の数は、設定セルギャップや表示板２００の大きさによって変わる。このような複数のくぼみ１１は、表示板２００上に形成されるスペーサ３２０の集合体の間隔と同一な間隔で形成される。スペーサ供給用ローラ１０の表面上の凹凸のくぼみ１１は、写真エッチング法、金型法又はレーザー加工法によって形成され得る。
【００１６】
転写ローラ２０は、スペーサ供給用ローラ１０と表示板２００との間に位置し、スペーサ供給用ローラ１０及び表示板２００上に搭載される基板とそれぞれ転写ベルト２５を挟んで接する位置に配置されている。スペーサ供給用ローラ１０及び転写ローラ２０は、互いに逆方向に回動する。
補助ローラ３０は、転写ローラ２０の回動方向（図中、Ｒ２方向）と同一な第２方向に回動し、転写ローラ２０と共に転写ベルト２５を回転させる。補助ローラ３０には、第２洗浄部７０が設けられている。第２洗浄部７０は、転写ベルト２５に空気を噴射する空気噴射部７５を含む。第２洗浄部７０は、転写ベルト２５に空気を噴射することにより、表示板２００に第２転写されずに転写ベルト２５に残っているスペーサインキ３２を、転写ベルト２５から除去する。
【００１７】
転写ベルト２５は、転写ローラ２０及び補助ローラ３０に張った状態でかけられ、両ローラの回動により回転する。転写ベルト２５は、親水性の良いシリコンなどで形成されるのが好ましい。転写ベルト２５のうち、スペーサ供給用ローラ１０と転写ローラ２０とに挟まれる位置には、スペーサ供給用ローラ１０のくぼみ１１のスペーサインキ３２が転写される。また、転写ベルト２５上に転写されたスペーサインキ３２は、転写ベルト２５の回転により支持板４０上の表示板２００と接触し、ここに第２転写される。
【００１８】
スペーサ供給装置５０は、スペーサ供給用ローラ１０上に設置され、スペーサ供給用ローラ１０にスペーサインキ３２を供給する。スペーサ供給装置５０は、複数の球状スペーサ３２０及びこのような球状スペーサ３２０を表示板２００上に硬化させて固着させるための硬化剤３２１を含むスペーサインキ３２を、スペーサ供給用ローラ１０上に滴下する。球状スペーサ３２０は、ポリマーを形成することのできるアクリル系有機化合物、テフロン（登録商標）、ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）、サイトップ（cytop）、ペルフルオロシクロブテン（ＰＦＣＢ）などの、誘電定数の小さい有機物で形成される。硬化剤３２１は、熱硬化剤又は紫外線硬化剤のどちらでもよい。
【００１９】
ブレード５は、スペーサ供給用ローラ１０の回動方向（図中、Ｒ１方向）を基準にすれば、スペーサ供給装置５０の前方、すなわち下流側に設置されている。ブレード５は、スペーサ供給用ローラ１０の表面と接触し、スペーサ供給用ローラ１０の表面に滴下されたスペーサインキ３２でスペーサ供給用ローラ１０のくぼみ１１を満たす。また一方で、ブレード５は、くぼみ１１に入らなかったスペーサインキ３２を、スペーサ供給用ローラ１０の表面から除去する。
【００２０】
第１洗浄部６０は、スペーサ供給用ローラ１０に設置されている。第１洗浄部６０は、スペーサ供給用ローラ１０に空気を噴射する空気噴射部６５と、スペーサ供給装置５０に連結されている吸入部５５と、が設けられている。
空気噴射部６５は、スペーサ供給用ローラ１０のくぼみ１１に入っていない、または転写ベルト２５に第１転写されなかったスペーサインキ３２を、空気の噴射によりスペーサ供給用ローラ１０から除去する。スペーサ供給用ローラ１０のくぼみ１１に残存するスペーサインキ３２を除去することにより、スペーサインキ３２が表示板２００に２段に積層されることを防止することができる。
【００２１】
吸入部５５は、空気噴射部６５によってスペーサ供給用ローラ１０の表面から除去されたスペーサインキ３２を吸入し、再びスペーサ供給装置５０へ回収する。吸入部５５の一端、すなわち吸いこみ口は、空気噴射部６５から噴射される空気流の下流側に設けられ、スペーサ供給用ローラ１０から吹き飛ばされたスペーサインキ３２を吸入する。吸入部５５の他端は、スペーサ供給装置５０に連結され、吸入されたスペーサインキ３２をスペーサ供給装置５０に供給する。これにより、未使用のスペーサインキ３２のリサイクルが可能になる。
【００２２】
以上のように構成された液晶表示装置の製造装置では、スペーサ供給用ローラ１０のくぼみ１１に注入された複数のスペーサインキ３２が、スペーサ供給用ローラ１０と転写ローラ２０とが噛合って互いに逆方向に回動することにより、転写ベルト２５に第１転写される。さらに転写ローラ２０の回動により、転写ローラ２０の回動と共に回転している転写ベルト２５表面のスペーサインキ３２が、表示板２００に第２転写される。
＜液晶表示装置の製造方法＞
前述の本発明の一実施例による液晶表示装置の製造装置を利用して液晶表示装置を製造する方法について、以下で詳細に説明する。
【００２３】
図２は、スペーサ供給用ローラにスペーサインキを滴下する段階を示す。図３Ａは、スペーサ供給用ローラに滴下されたスペーサインキを、ブレードを利用して複数のくぼみに均一に入れる段階を示す。図３Ｂは、くぼみにスペーサインキが入れられた状態のスペーサ供給用ローラの斜視図である。図４は、スペーサ供給用ローラで転写ベルトの表面にスペーサインキを第１転写し、転写ベルト表面に付着されたスペーサインキを表示板上に第２転写する状態を示す。図５は、表示板上に転写されたスペーサインキを硬化させる工程を示す。
【００２４】
まず、図２に示したように、スペーサ供給装置５０を利用し、スペーサインキ３２をスペーサ供給用ローラ１０上に滴下する。スペーサインキ３２は、複数の球状スペーサ３２０と硬化剤３２１とを含む。この時、スペーサ供給用ローラ１０は、時計反対方向（図中、Ｒ１方向）に回動する。
次に、図３Ａに示したように、ブレード５を利用して、スペーサ供給用ローラ１０に形成されている複数のくぼみ１１にスペーサインキ３２を入れる。この時、図３Ａ及び図３Ｂに示したように、複数の球状スペーサ３２０と硬化剤３２１とが共にくぼみ１１を満たす。スペーサ３２０の直径は、くぼみ１１の直径より小さいことが好ましい。例えば、一つのくぼみには６乃至７個のスペーサ３２０が入る程度に、スペーサ３２０とくぼみ１１との直径の差を持たせることが挙げられる。
【００２５】
次に、図４に示したように、スペーサ供給用ローラ１０が転写ローラ２０と噛合って時計反対方向（図中、Ｒ１方向）に回動することにより、スペーサ供給用ローラ１０のくぼみ１１を満たしたスペーサインキ３２は、転写ベルト２５の表面に第１転写される。この時、スペーサインキ３２は、くぼみ１１間の間隔と同一の間隔を維持したまま、転写ベルト２５の表面に付着する。転写ベルト２５に第１転写されずにスペーサ供給用ローラ１０の表面に残存するスペーサインキ３２は、第１洗浄部６０によって除去され、吸入部５５を通して再びスペーサ供給装置５０へ回収される。
【００２６】
そして、転写ローラ２０が時計方向（図中、Ｒ１方向）に回動することにより、転写ベルト２５の表面に付着されていたスペーサインキ３２は、表示板２００に第２転写される。したがって、表示板２００上の所定の位置に均一な間隔でスペーサインキ３２が配置される。この時、表示板２００に第２転写されずに転写ベルト２５に残存するスペーサインキ３２は、第２洗浄部７０によって除去される。
【００２７】
図４は、遮光部材２２０、色フィルター２３０、オーバーコート２５０、共通電極２７０及び配向膜２１が順に形成されている表示板２００上に、スペーサインキ３２が第２転写される状態を示している。なお、配向膜２１形成の前にスペーサインキ３２を転写することもできる。この時、スペーサインキ３２、すなわち複数個のスペーサ３２０を、遮光部材２２０に対応する領域に正確に配置することにより、光漏れ発生を防止することができる。具体的には、複数個のくぼみ１１の間隔が遮光部材２２０の間隔と一致するようにくぼみ１１を形成し、スペーサ供給用ローラ１０を回転させれば、くぼみ１１内のスペーサ３２０を遮光部材２２０上に配置することができる。
【００２８】
次に、図５に示したように、硬化剤３２１と共に第２転写されたスペーサ３２０は、熱又は紫外線によって硬化されて表示板２００に堅く付着する。
次に、スペーサ３２０が配置された上部表示板２００を、下部表示板１００（図７参照）上に加圧して付着する。
このように、連続的に回動するスペーサ供給用ローラ１０、転写ローラ２０及び補助ローラ３０の３個のローラを使用することにより、基板が大型化してもスペーサ供給用基板及び転写ローラの大型化を不要とすることができる。
＜薄膜トランジスタ表示基板の配置＞
図６は、本発明の一実施例による液晶表示装置の製造装置によって形成された薄膜トランジスタ表示板の配置図である。図７は、図６の薄膜トランジスタ表示板及びこれを含む液晶表示装置のＶＩＩ−ＶＩＩ´−ＶＩＩ”線による断面図である。
（１）下部表示板
透明なガラス又はプラスチックなどで形成された絶縁基板１１０上に、複数のゲート線１２１及び複数の維持電極線１３１が形成されている。
【００２９】
ゲート線１２１は、主に図中横方向に延び、ゲート信号を伝達する。各ゲート線１２１は、図中上下方向に突出した複数のゲート電極１２４と、他の層又は外部駆動回路との接続のために形成された、面積の広い端部１２９とを含む。ゲート信号を生成するゲート駆動回路（図示せず）は、基板１１０上に付着される可撓性印刷回路膜（図示せず）上に装着されたり、基板１１０上に直接装着されたり、基板１１０に集積されることができる。ゲート駆動回路が基板１１０上に集積されている場合、ゲート線１２１を延長することによりゲート駆動回路と直接連結できる。
【００３０】
維持電極線１３１は、ゲート線１２１とほぼ並行に配置され、所定の電圧の印加を受ける。各維持電極線１３１は、隣接した二つのゲート線１２１の間に挟まれて位置し、二つのゲート線１２１のうちの図中下側のゲート線に近い。維持電極線１３１は、図中上下方向に幅が広くなった部分である維持電極１３７を含む。しかし、維持電極線１３１の形状及び配置は、必要に応じて適宜変更することができる。
【００３１】
ゲート線１２１及び維持電極線１３１は、アルミニウム（Ａｌ）やアルミニウム合金などのアルミニウム系金属、銀（Ａｇ）や銀合金などの銀系金属、銅（Ｃｕ）や銅合金などの銅系金属、モリブデン（Ｍｏ）やモリブデン合金などのモリブデン系金属、クロム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔａ）、及びチタニウム（Ｔｉ）などで形成されることができる。また、ゲート線１２１及び維持電極線１３１は、物理的性質が異なる二つの導電膜（図示せず）を含む多重膜構造を有することもできる。このうちの一つの導電膜は、信号遅延や電圧降下を減らすことができるように、比抵抗の低い金属、例えばアルミニウム系金属、銀系金属、銅系金属などで形成されることが好ましい。他の導電膜は、他の物質、特に、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）及びＩＺＯ（インジウムジンク酸化物）との物理的・化学的・電気的接触特性に優れた物質、例えば、モリブデン系金属、クロム、タンタル、チタニウムなどで形成されることが好ましい。このような組み合わせの良い例としては、クロム下部膜及びアルミニウム（合金）上部膜や、アルミニウム（合金）下部膜及びモリブデン（合金）上部膜が挙げられる。しかし、ゲート線１２１及び維持電極線１３１は、その他にも多様な金属又は導電体で形成されることができる。
【００３２】
ゲート線１２１及び維持電極線１３１の側面は、基板１１０面に対して傾いている。その傾斜角は、約３０度乃至約８０度であるのが好ましい。
ゲート線１２１及び維持電極線１３１の上には、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）又は酸化ケイ素（ＳｉＯｘ）などで形成されたゲート絶縁膜１４０が形成されている。
ゲート絶縁膜１４０上には、水素化非晶質シリコン（α−Ｓｉ）又は多結晶シリコンなどで形成された複数の線状半導体１５１が形成されている。線状半導体１５１は、主に図中縦方向に延びている。線状半導体１５１は、ゲート電極１２４に向かって延びて出た複数の突出部１５４を含む。線状半導体１５１は、ゲート線１２１及び維持電極線１３１の付近で幅が広くなり、これらを幅広く覆っている。
【００３３】
半導体１５１上には、複数の線状抵抗性接触部材１６１及び島状抵抗性接触部材１６５が形成されている。抵抗性接触部材１６１、１６５は、リンなどのｎ型不純物が高濃度にドーピングされているｎ+水素化非晶質シリコンや、シリサイドなどで形成することができる。線状抵抗性接触部材１６１は、複数の突出部１６３を有しており、この突出部１６３と島状抵抗性接触部材１６５とは、対を成して半導体１５１の突出部１５４上に配置されている。
【００３４】
半導体１５１及び抵抗性接触部材１６１、１６５の側面も、基板１１０面に対して傾いており、傾斜角は３０度乃至８０度程度である。
抵抗性接触部材１６１、１６５及びゲート絶縁膜１４０上には、複数のデータ線１７１と複数のドレーン電極１７５とが形成されている。
データ信号を伝達するデータ線１７１は、主に図中縦方向に延び、ゲート線１２１及び維持電極線１３１と交差する。各データ線１７１は、ゲート電極１２４に向かって延びた複数のソース電極１７３と、他の層又は外部駆動回路との接続のために形成された面積の広い端部１７９とを含む。データ信号を生成するデータ駆動回路（図示せず）は、基板１１０上に付着される可撓性印刷回路膜（図示せず）上に装着されたり、基板１１０上に直接装着されたり、基板１１０に集積されることができる。データ駆動回路が基板１１０上に集積されている場合、データ線１７１を延長することによりデータ駆動回路と直接連結できる。
【００３５】
ドレーン電極１７５は、データ線１７１と分離されており、ゲート電極１２４を中心にソース電極１７３と対向する。各ドレーン電極１７５の一端は幅広に形成され、他端は棒状に形成されている。広い端部１７７は維持電極１３７と重なり、棒状端部は曲がったソース電極１７３で一部囲まれている。
一つのゲート電極１２４、一つのソース電極１７３及び一つのドレーン電極１７５は、半導体１５１の突出部１５４と共に一つの薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成する。薄膜トランジスタのチャンネルは、ソース電極１７３とドレーン電極１７５との間の突出部１５４に形成される。
【００３６】
データ線１７１及びドレーン電極１７５は、モリブデン、クロム、タンタル、及びチタニウムなどの耐火性金属又はこれらの合金で形成されるのが好ましく、耐火性金属膜（図示せず）と低抵抗導電膜（図示せず）とを含む多重膜構造を有することができる。多重膜構造の例としては、クロム又はモリブデン（合金）下部膜及びアルミニウム（合金）上部膜の二重膜、モリブデン（合金）下部膜・アルミニウム（合金）中間膜及びモリブデン（合金）上部膜の三重膜を挙げることができる。しかし、データ線１７１及びドレーン電極１７５は、その他にも多様な金属又は導電体で形成されることができる。
【００３７】
データ線１７１及びドレーン電極１７５もまた、その側面が基板１１０面に対して３０度乃至８０度程度の傾斜角で傾いていることが好ましい。
抵抗性接触部材１６１、１６５は、その下の半導体１５１とその上のデータ線１７１及びドレーン電極１７５との間にだけ存在し、これらの間の接触抵抗を低下させる。抵抗性接触部材１６１、１６５は、大部分の所では線状半導体１５１がデータ線１７１より狭い。ただし、抵抗性接触部材１６１、１６５は、ゲート線１２１と交差する部分で幅が広くなっている。これは、表面のプロファイルを滑らかにすることによってデータ線１７１が断線することを防止するためである。半導体１５１には、ソース電極１７３とドレーン電極１７５との間など、データ線１７１及びドレーン電極１７５で覆われずに露出された部分がある。
【００３８】
データ線１７１、ドレーン電極１７５及び半導体１５１の露出部分の上には保護膜１８０が形成されている。保護膜１８０は、無機絶縁物又は有機絶縁物などで形成され、表面が平坦であることができる。無機絶縁物の例としては、窒化ケイ素や酸化ケイ素が挙げられる。有機絶縁物は、感光性を有することができ、その誘電常数は約４以下であるのが好ましい。保護膜１８０は、有機絶縁膜の優れた絶縁特性を生かしながらも露出された半導体１５１部分に悪影響を与えないように、無機絶縁物で形成された下部膜と有機絶縁物で形成された上部膜との二重膜構造を有することができる。
【００３９】
保護膜１８０には、データ線１７１の端部１７９とドレーン電極１７５を各々露出する複数の接触孔１８２、１８５が形成されている。また保護膜１８０及びゲート絶縁膜１４０には、ゲート線１２１の端部１２９を露出する複数の接触孔１８１が形成されている。
保護膜１８０上には、複数の画素電極１９１及び複数の接触補助部材８１、８２が形成されている。これらは、ＩＴＯ又はＩＺＯなどの透明な導電物質や、アルミニウム、銀、クロム又はその合金などの反射性金属で形成することができる。
【００４０】
ドレーン電極１７５からデータ電圧の印加を受ける画素電極１９１は、接触孔１８５を介してドレーン電極１７５と物理的・電気的に連結されている。データ電圧が印加された画素電極１９１は、共通電圧の印加を受ける他の表示板（図示せず）の共通電極２７０と共に電場を生成することによって、二つの電極間の液晶層（図示せず）の液晶分子の方向を決定する。このように決定された液晶分子の方向によって、液晶層を通過する光の偏光が変わる。画素電極１９１と共通電極２７０とは、キャパシタ（以下、“液晶キャパシタ”とする）を構成し、薄膜トランジスタがターンオフされた後にも印加された電圧を維持する。
【００４１】
画素電極１９１及びこれに連結されたドレーン電極１７５は、維持電極線１３１と重なる。画素電極１９１及びこれと電気的に連結されたドレーン電極１７５が維持電極線１３１と重なって成すキャパシタをストレージキャパシタとし、ストレージキャパシタは液晶キャパシタの電圧維持能力を強化する。
接触補助部材８１、８２は、各々接触孔１８１、１８２を介してゲート線１２１の端部１２９及びデータ線１７１の端部１７９に連結される。接触補助部材８１、８２は、ゲート線１２１の端部１２９及びデータ線１７１の端部１７９と外部装置との接着性を補完し、これらを保護する。
【００４２】
画素電極１９１上には、液晶の配向を決定する下部配向膜１１が形成されている。
（２）上部表示板
次に、上部表示板、すなわち共通電極表示板について、図面を参照して詳細に説明する。
下部配向膜１１と所定の間隔だけ離隔して、上部に透明なガラス又はプラスチックなどで形成された絶縁基板２１０が位置する。絶縁基板２１０上に、マトリックス状に形成されて画素領域を区分するブラックマトリックスなどの遮光部材２２０が形成されている。画像を表示するために必要な三原色を示す色フィルター、例えば、赤色フィルター、緑色フィルター、及び青色フィルターが、遮光部材２２０の一部と重なって、遮光部材２２０の間に形成されている。なお、赤色フィルター、緑色フィルター及び青色フィルターを帯状形態に形成することもでき、赤色フィルター、緑色フィルター及び青色フィルターを各々の画素ごとに分離して形成することもできる。
【００４３】
遮光部材２２０及び色フィルターを保護するために、遮光部材２２０及び色フィルター２３０上にはオーバーコート２５０が形成されている。オーバーコート２５０は、有機絶縁物で形成されることができ、色フィルター２３０が露出されることを防止し、平坦面を提供する。なお、オーバーコート２５０は省略できる。
オーバーコート２５０上には、ＩＴＯ、ＩＺＯなどの透明な導電体などで形成され、画素電極１９０と共に電界を形成する共通電極２７０が形成されている。共通電極２７０上には上部配向膜２１が形成されている。
【００４４】
遮光部材２２０に対応する上部配向膜２１上には、複数の球状スペーサ３２０が集まって配置されている。このような複数の球状スペーサは、均一なセルギャップを形成する。また、スペーサ３２０そのものの弾性力を増加させ、表示板２００に圧力を加える場合に発生しやすいスミア不良を防止することができる。
以上、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であるという点を理解することができる。したがって、本発明の権利範囲はこれに限定されるわけではなく、本発明の特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者のいろいろな変形及び改良形態もまた本発明の権利範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施例による液晶表示装置の製造装置の概略図である。
【図２】スペーサ供給用ローラにスペーサインキを滴下する段階を示した図である。
【図３Ａ】スペーサ供給用ローラに滴下されたスペーサインキを、複数のくぼみにブレードを利用して均一に注入する段階を示した図である。
【図３Ｂ】スペーサ供給用ローラのくぼみにスペーサインキが注入されたスペーサ供給用ローラの斜視図である。
【図４】スペーサ供給用ローラで転写ベルトの表面にスペーサインキを第１転写し、転写ベルト表面に付着されたスペーサインキを表示板上に第２転写する状態を示した図である。
【図５】表示板上に転写されたスペーサインキを硬化させてスペーサとして形成する状態を示した図である。
【図６】本発明の一実施例による液晶表示装置の製造装置によって形成された薄膜トランジスタ表示板の配置図である。
【図７】図６の薄膜トランジスタ表示板及びこれを含む液晶表示装置のＶＩＩ−ＶＩＩ´−ＶＩＩ”線による断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
５  ブレード
１０  スペーサ供給用ローラ
１１  くぼみ
２０  転写ローラ
２５  転写ベルト
３０  補助ローラ
３２  スペーサインキ
４０  支持板
５０  スペーサ供給装置
５５  吸入部
６０  第１洗浄部
６５、７５  空気噴射部
８１、８２  接触補助部材
１１０  基板
１２１、１２９  ゲート線
１２４  ゲート電極
１３１  共通電極
１４０  ゲート絶縁膜
１５１、１５４  半導体
１６１、１６５  抵抗性接触部材
１７１、１７９  データ線
１７３  ソース電極
１７５  ドレーン電極
１８０  保護膜
１８１、１８２、１８５  接触孔
１９０  画素電極
２１０  上部基板
２２０  遮光部材
２３０  色フィルター
２５０  オーバーコート
２７０  共通電極
３２０  スペーサ
【図１】
2007025667.tif 000003
【図２】
2007025667.tif 000004
【図３Ａ】
2007025667.tif 000005
【図３Ｂ】
2007025667.tif 000006
【図４】
2007025667.tif 000007
【図５】
2007025667.tif 000008
【図６】
2007025667.tif 000009
【図７】
2007025667.tif 000010