(57)【要約】【課題】  光学アダプタとイメージセンサの位置合わせが短時間かつ容易に行える技術を提供。【解決手段】  照射光を出射する照射装置１０と、イメージセンサ９０の検査領域に照射光による像を形成するための光学アダプタ２０と、光学アダプタ２０について、イメージセンサとの相対位置関係を調整する光学アダプタ変位調整機構３０と、照射光に基づいてイメージセンサ９０について検査のための計測を行って、計測結果を示す情報を出力する計測装置８０と、計測装置８０から出力される計測結果の情報について演算処理して結果を出力する演算処理装置６０と、を有する。演算処理装置６０は、ずれ量を計測し、計測されたずれ量を表示装置６３０に表示させる。【選択図】図１
2007033335.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イメージセンサの検査装置において、
照射光を出射する照射装置と、
イメージセンサの検査領域に前記照射光による像を形成するための光学アダプタと、
前記光学アダプタについて、イメージセンサとの相対位置関係を調整する光学アダプタ変位調整機構と、
照射光に基づいてイメージセンサについて検査のための計測を行って、計測結果を示す情報を出力する計測装置と、
前記計測装置から出力される計測結果の情報について演算処理して結果を出力する演算処理装置と、を有し、
前記演算処理装置は、
ずれ量を計測するずれ量計測手段と、
計測されたずれ量を表示装置に表示させるずれ量表示手段と、を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
前記ずれ量計測手段は、前記光学アダプタにより前記イメージセンサの画素エリアに投影される像の中心位置を求める処理と、イメージセンサの中心位置とのずれ量を算出する処理とを行うこと、を特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１および２のいずれか一項に記載の検査装置において、
前記光学アダプタ変位調整機構は、ＸＹ平面での調整を行う平面変位調整機構と、角度変位させて調整を行うθ変位調整機構とを有することを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の検査装置において、
前記光学アダプタは、複数個の光学アダプタ要素を配置したものであり、複数個の光学アダプタ要素のうち１つを、前記θ変位調整の際の回転中心とすることを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項１、２、３および４のいずれか一項に記載の検査装置において、
前記光学アダプタ変位調整機構は、変位調整のための機構と駆動装置とを有し、
前記光学アダプタ変位調整手段は、前記光学アダプタの変位を調整する操作信号を生成して、前記駆動装置に出力する処理を行うことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イメージセンサの検査装置の位置合わせ技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にイメージセンサの検査では、照射装置は、プローバ、テスタと接続して使用される。照射装置は、プローバの上に位置し、プローバとテスタが接続される。照射装置には、アダプタ駆動部を有し、光学アダプタは自動で光路に出し入れすることができる。また、アダプタ駆動部または光学アダプタには、光学アダプタの位置調整機構(ＸＹθ)を有する。イメージセンサの検査装置では、プローバ内の基板、プローブカードを交換すると、イメージセンサと光学アダプタの位置合わせが必要になる。
【０００３】
次に、従来のイメージセンサと光学アダプタの位置合わせ方法について説明する。位置合わせとはイメージセンサの画素エリアの中心と光学アダプタの中心位置を合致させることである。
【０００４】
位置合わせの一例としては、まず、ピンホール(絞り)像を投影できる位置決め工具アダプタを用意する。この位置決め工具アダプタの中心位置と検査で使用する光学アダプタの中心位置は、Ｆ値ターレットに設置した場合、同じ位置にくる構造とする。位置決め工具アダプタのピンホール像をイメージセンサに投影する。投影された像を表示装置上に映して目視で観察しながら、イメージセンサの画素エリアの中心とのズレ量を予測し、アダプタ駆動部のＸＹ調整機構を用いて、イメージセンサの画素エリアの中心にピンホール像が投影されるように、手動で調整する。
【０００５】
次に、２個以上のイメージセンサの場合はθ調整を行う。θ調整は光学アダプタを設置するＦ値ターレットの中心を回転中心として調整を行う。ＸＹ調整とθ調整を交互に行う方法で調整を行う。その後、実際に使用する光学アダプタと交換して、テスタに取り込んだ信号を見ながら手動で調整を行う。これらの作業により位置合わせが完了する。
【０００６】
なお、イメージセンサの検査装置については、例えば、特許文献１および２に記載される技術がある。
【０００７】
【特許文献１】特開平６−２６７３１５号公報
【特許文献２】特開２００４−２０７４８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来は、実際に使用する光学アダプタでは位置決め調整ができず、一度位置決め工具アダプタを設置し、その後実際に使用する光学アダプタに交換するという二段階方式になっていた。また、従来は、偶数個のイメージセンサの場合、θ調整の回転中心が光学アダプタの中心にないため、ＸＹ調整とθ調整とを交互に行う追い込み方式の調整になっていた。そのため、表示装置に映し出した像を目視で観察し、移動量及び方向を予測しながら調整を行っている。その結果、移動量、方向を定量的に算出できないため、調整が容易でなく、時間もかかっていた。
【０００９】
本発明は、光学アダプタとイメージセンサの位置合わせが短時間かつ容易に行える技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、イメージセンサの検査装置において、
照射光を出射する照射装置と、
イメージセンサの検査領域に前記照射光による像を形成するための光学アダプタと、
前記光学アダプタについて、イメージセンサとの相対位置関係を調整する光学アダプタ変位調整機構と、
照射光に基づいてイメージセンサについて検査のための計測を行って、計測結果を示す情報を出力する計測装置と、
前記計測装置から出力される計測結果の情報について演算処理して結果を出力する演算処理装置と、を有し、
前記演算処理装置は、
ずれ量を計測するずれ量計測手段と、
計測されたずれ量を表示装置に表示させるずれ量表示手段と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、光学アダプタとイメージセンサの位置合わせが短時間かつ容易に行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。図１に、本発明が適用される検査装置の一例を示す。図１に示す検査装置は、イメージセンサ９０の検査を行うための装置である。もちろん、本発明は、これに限定されない。
【００１３】
本実施形態の検査装置は、照射光を出射する照射装置１０と、イメージセンサ９０の検査領域に照射光による像を形成するための光学アダプタ２０と、光学アダプタ２０の対象となるイメージセンサとの相対位置関係を調整する光学アダプタ変位調整機構３０と、照射光に基づいてイメージセンサ９０について検査のための計測を行う計測装置８０と、計測装置８０からの検査情報を受け付けて、演算処理して、結果を出力する演算処理装置６０と、を有する。
【００１４】
照射装置１０は、プローバ４０のヘッドプレート４１上に配置される。この照射装置１０は、光源１１と、光源１１からの照射光を案内する案内光学系１２と、光学アダプタ２０の上部において遮光を行うライトシールド１３と、光学アダプタ２０を光路に出し入れするための光学アダプタ駆動部１４と、を有する。照射装置１０の先端側に、光学アダプタ駆動部１４と、光学アダプタ２０とが配置される。光学アダプタは、着脱可能に配置される。
【００１５】
計測装置８０は、プローバ４０と、プローバ４０により検出されたデータに基づいて検査を行うテスタ本体５０と、を有する。プローバ４０の周辺にテスタ本体５０が配置される。
【００１６】
プローバ４０の内部には、プローブカード４３と、テスタ基板４２とが配置される。プローバ４０の上部には、照射装置１０からの照射光をプローバ４０内部に導くための開口部４４が設けられている。プローブカード４３は、検査対象のイメージセンサ９０の電極に接触して電気的接続を行うためのプローブ（探針）が複数個設けられている。プローブカード４３は、テスタ基板４２に取り付けられると共に、電気的に接続される。テスタ基板４２には、プローブと接続される配線が設けられ、その配線は、テスタ基板４２の周縁部に設けられた端子群（図示せず）に導かれる。この端子群にケーブル４５が接続される。
【００１７】
テスタ基板４２は、ケーブル４５によりテスタ本体５０と結ばれている。テスタ本体５０では、得られた信号をディジタル情報に変換して、ケーブル５５を介して演算処理装置６０に送る。演算処理装置６０と光学アダプタ駆動部１４とが、ケーブル６５により接続されている。
【００１８】
光学アダプタ２０は、照射光学系１０からの照射光を検査対象のイメージセンサ９０に投射するためのアダプタ要素２４と、このアダプタ要素２４を複数個（図２および図３の例では４個）固定間隔で配置するアダプタ要素ユニット２３と、アダプタ要素固定板２３を角度変位可能に支持すると共に、Ｆ値ターレットに嵌合するターレット嵌合体２１とを有する。
【００１９】
アダプタ要素２４は、拡散板２５と、絞り２６と、これらを支持する筒体２７とこれらを前述したアダプタ要素ユニット２３に固定するためのフランジ２８とを有する。アダプタ要素２４は、本実施形態では、拡散板と絞りとで構成されるアダプタ要素を用いているが、これに限られない。例えば、投影レンズ系と絞りとで構成されるアダプタ要素を用いる構成とすることもできる。本実施形態では、図２に示すように、４つのイメージセンサに対応するため、４個のアダプタ要素２４ａから２４ｄを配置している。
【００２０】
アダプタ要素ユニット２３は、ターレット嵌合体２１の支持板２２に角度変位可能に取り付けられる。アダプタ要素ユニット２３には、貫通孔２３１が複数個設けられている。本実施形態では、４個のアダプタ要素ユニット２４を取り付けるため４個の貫通孔２３１が設けられている。各アダプタ要素２４は、それぞれ貫通孔２３１に先端側を嵌合させ、かつ、フランジ２３において、アダプタ要素ユニット２３にネジ止めされる。本実施形態では、アダプタ要素ユニット２３においては、アダプタ要素２４ａから２４ｄが間隔固定で一列に配置される。もちろん、これに限定されない。
【００２１】
Ｆ値ターレット嵌合体２１の支持板２２には、アダプタ要素ユニット２３に対応して、３個の貫通孔２２１、および、１個の貫通孔２２２が設けられる。貫通孔２２１は、図２、図３に示すように、アダプタ要素２４の筒体２７の外径より大きな内径を有する。一方、貫通孔２２２は、アダプタ要素２４の通体２７の外径と同等の内径を有する。これにより、アダプタ要素２４ｂは、貫通孔２２２に嵌合されて、アダプタ要素ユニット２３に固定的に連結されることになる。一方、他のアダプタ要素２４ａ、２４ｃおよび２４については、遊び２２ａのある状態でそれぞれ貫通孔２２１に挿通されている。このような構造とすることにより、後述するように、アダプタ要素ユニット２３について、アダプタ要素２４ｂを中心として角度変位をさせることが可能となる。
【００２２】
光学アダプタ変位調整機構３０は、図３に示すように、例えば、光学アダプタ２０と、光学アダプタ駆動部１４の光学アダプタ保持部１５とに関わる形で設けられる。光学アダプタ変位調整機構３０は、ＸＹ平面での変位を調整する平面変位調整機構と、角度変位による調整を行うθ調整機構とを有する。平面変位調整機構は、Ｙ軸方向に作用するＹ軸調整機構３１，３２と、Ｘ軸方向に作用するＸ軸調整機構３３，３４と、を有する。Ｙ軸調整機構３１，３２とＸ軸調整機構３３，３４とは、調整方向がＸとＹとであることを除いて、同じ構造を持ち、同様に作用する。従って、ここでは、Ｙ軸調整機構３１，３２を中心にして説明する。
【００２３】
Ｙ軸調整機構３１，３２は、ボルト３１ａとナット３１ｂと、付勢機構３２ａ，３２ｂとにより構成される。ナット３１ｂは、光学アダプタ保持部１５側に固定される。一方、ボルト３１ａは、ナット３１ｂに支持されると共に、先端側がターレット嵌合体２１に接して、これを押圧（減圧を含む）する方向に作用する。一方、ターレット嵌合体２１の反対側に、ターレット嵌合体２１に常時押圧する方向に作用する付勢部材３２ａと、その付勢を一方向とするストッパ３２ｂとを有する。この状態で、ボルト３１ａをねじ込む方向に回転させると、ボルト３１ａの先端がターレット嵌合体２１を、付勢部材３２ａの押圧力に抗して押圧し、ターレット嵌合体２１は、変位する。ボルト３１ａを緩める方向に回転させると、逆に、付勢部材３２ａからの力が作用して、ターレット嵌合体２１は、ボルト３１ａ側に向かって変位する。
【００２４】
θ調整機構３５，３６は、本実施形態においては、基本的には、Ｙ軸調整機構と同様の構成となっている。すなわち、ボルト３５ａとナット３５ｂと、付勢機構３６ａ，３６ｂとにより構成される。ナット３５ｂは、支持板２２側に固定される。一方、ボルト３５ａは、ナット３５ｂに支持されると共に、先端側がアダプタ要素ユニット２３の一辺に接して、これを押圧（減圧を含む）する方向に作用する。一方、アダプタ要素ユニット２３の反対側の辺に、アダプタ要素ユニット２３に常時押圧する方向に作用する付勢部材３６ａと、その付勢を一方向とするストッパ３６ｂとを有する。ボルト３５ａをねじ込む方向に回転させると、ボルト３５ａの先端がアダプタ要素ユニット２３を、付勢部材３６ａの押圧力に抗して押圧し、アダプタ要素ユニット２３は、アダプタ要素２４ｂの中心軸を中心として回動変位（角度変位）する。図３の状態では、反時計回りに角度変位する。ボルト３５ａを緩める方向に回転させると、逆に、付勢部材３６ａからの力が作用して、アダプタ要素ユニット２３は、ボルト３５ａ側に向いた力が作用し、図３の状態では、時計回りに角度変位する。例えば、図２（Ａ）において、アダプタ要素ユニット２３のＸ軸方向の中心軸２３０ｘがＸ軸２００ｘに対して“θ”傾いている状態が示されている。このアダプタ要素ユニット２３が、時計回りに“θ”変位することによって、図２（Ｃ）に示すように、中心軸２３０ｘがＸ軸２００ｘと一致して、傾き角θが“０”になるように、変位が調整される。ここで、変位量は、前述した貫通孔２２１の遊びの範囲である。
【００２５】
図３に示す例では、各ボルト３１ａ、３３ａおよび３５ａについての駆動装置を示していない。しかし、実際には、図４に示すように、例えば、ステッピングモータ等の高精度のアクチュエータ３１ｃ、３３ｃ、３５ｃを、直接、または、ギア機構などの伝達機構を介して、それぞれ連結して、演算処理装置６０から、調整方向と、調整量を示す操作信号の指示を受けて、自動的に調整を行う構成とする。もちろん、手動で調整することも可能である。
【００２６】
演算処理装置６０は、図４に示すように、演算処理部６１０と、記憶部６２０とを有する。また、演算処理装置６０には、表示装置６３０と、入力装置６４０とが接続されて、全体として情報処理システムを構成する。さらに、テスタ本体５０と、光学アダプタ駆動部１４とが接続される。この他に、光学アダプタ変位調整機構３０における自動調整のための駆動装置を有する。具体的には、アクチュエータとして、Ｙ軸アクチュエータ３１ｃと、Ｘ軸アクチュエータ３３ｃと、θアクチュエータ３５ｃとが接続される。これらのアクチュエータ３１ｃ、３３ｃおよび３５ｃは、例えば、作動する機構と、動力源と、制御装置とを含み、操作指令に応じた動作を実行する。
【００２７】
表示装置６３０としては、液晶ディスプレイなどが一般的に用いられる。表示装置６３０には、ずれ量表示画面、操作方法画面、操作の受付画面等の表示が行われる。また、入力装置６４０は、操作指示、数値等の入力を行う。このために用いることができる各種入力機器を用いることができる。例えば、キーボード、マウス、タッチパネルなどの入力機器を用いることができる。
【００２８】
演算処理部６１０は、中央演算ユニット（ＣＰＵ）を有し、ずれ量を計測するずれ量計測手段６１１と、計測されたずれ量を表示装置６３０に表示させるずれ量表示手段６１２と、光学アダプタの変位を調整する操作信号を生成して、各種アクチュエータ３１ｃ、３３ｃおよび３５ｃに出力する光学アダプタ変位調整手段６１３と、光学アダプタ２０を、照射光学系１０の光路に出没させる駆動の制御を行う光学アダプタ駆動手段６１４と、を含む各種機能を、プログラムを実行することにより実現する。
【００２９】
ずれ量計測手段６１１は、光学アダプタ２０によりイメージセンサ９０の画素エリア９０ａに投影される像の中心位置を求める処理と、イメージセンサ９０の画素エリア９０ａの中心位置とのずれ量を算出する処理とを行う。
【００３０】
記憶部６２０は、例えば、演算処理部６１０が実行するプログラム６２１を格納すると共に、データとして、イメージセンサ９０の画素エリアが存在する座標位置を示す設計座標値６２２と、照射光源の中心位置とイメージセンサの画素エリアの中心とのずれを示すずれ量６２３とを記憶する。
【００３１】
次に、本実施形態の検査装置における位置合わせについて説明する。位置合わせに際しては、まず、プローバ４０内部にイメージセンサ９０の画素エリアの配置に応じた基板とプローブカード４３が設置される。次に、イメージセンサ９０の画素エリアと照射光源像との位置合わせを行う。位置合わせには、光学アダプタ２０を使用する。
【００３２】
まず、本実施形態での情報の流れについて図５を参照して説明する。本実施形態では、イメージセンサの画素エリアに、照射光が照射されることによって生じる光検出出力をプローブカード４３に設けられたプローブを介して検出する。検出した信号をテスタ基板４２で集めて、ケーブル４５を介してテスタ本体５０に送る。ここで、ディジタル信号に変換して、演算処理装置６０に送る。演算処理装置６０では、ずれ量を求めて、表示装置６３０の表示画面において、ずれ量の表示を行う。
【００３３】
ずれ量の表示の一例を図８に示す。図８では、ずれ量表示画面６３１において、イメージセンサ９０の画素エリアの中心を原点として、座標格子６３２を示し、その上に、光学アダプタの中心をＸ６３６で示している。これにより、光学アダプタ２０の中心がどのようにずれているかを目視で分かるようにしている。また、図８では、光学アダプタのＸＹ面でのずれ量を数値で移動量６３４として定量的に示している。さらに、角度変位の方位を示す線６３３と、角度変位の大きさである角度６３５とを示すことで、定量的に示している。この画面を見ることで、オペレータは、ずれ量に基づいて、変位の調整を容易に手動で行うことができる。
【００３４】
次に、ずれ量を求めるための処理の流れについて、図６を参照して説明する。ここでは、まず、テスタ本体５０においてイメージセンサの信号をテスタ基板４２からケーブル４５を介して取り込むことから始める（ステップ６０１）。光学アダプタ２０の絞り２６による瞳の像が拡散板２５を介してイメージセンサ９０の画素エリアに投影される。瞳の像の強度分布がイメージセンサ９０の画素エリアに投影され、電圧情報として出力される。この電圧情報は、プローブカード４３により検出される。得られた電圧情報は、テスタ基板を経由してテスタ本体５０に電圧情報として伝達される。テスタ本体５０は、電圧情報を演算処理装置６０に送られる。
【００３５】
演算処理装置６０では、ずれ量計測手段６１１により、得られた電圧情報から、ＸＹ各方向のピーク(重心)を検出し、光学アダプタの中心位置（Ｘ１，Ｙ１）とする（ステップ６０２）。図７に、イメージセンサ９０の画素エリアに投影された瞳の像による照射光の強度分布１８の位置関係を示す。図７によれば、イメージセンサ９０の画素エリアの中心位置Ｘ（０，０）に対して、照射光の強度分布１８の中心位置Ｙは座標が（Ｘ１，Ｙ１）であり、ずれが生じている。また、ずれ量計測手段６１１により、予め分かっているイメージセンサ９０の画素エリアにおける中心位置の座標値を、記憶部６２０の設計座標値６２２から読み出して、この中心位置（Ｘ１，Ｙ１）と比較して、距離および方向を求め、これらからずれ量を求める（ステップ６０３）。求めたずれ量は、記憶部６２０に、ずれ量６２３として格納される。さらに、ずれ量表示手段６１２により、求めたずれ量、方向を表示装置６３０に表示する（ステップ６０４）。図８に、表示例を示す。
【００３６】
なお、上の例では、瞳の像の照射光の強度分布に基づいてずれ量を求めたが、本発明はこれに限られない。例えば、投影レンズ系と絞りとで構成されるものがある。この光学アダプタを用いる場合には、イメージセンサ９０には、像の部分が高い電圧出力、像のない部分が低い電圧出力となる。この高い電圧出力の部分におけるＸＹ各方向の中心位置を検出し、光学アダプタの中心位置とする。
【００３７】
次に、ずれ量に基づいて、変位調整を行う場合の動作について説明する。ここでは、回転中心となる光学アダプタ２４ｂと、それに固定間隔Ｌで隣接する光学アダプタ２４ａとについて、平面変位調整（ＸＹ位置調整）と、θ変位調整とを行うものとして説明する。
【００３８】
図９（Ａ）〜（Ｅ）に、ずれ量に基づいて光学アダプタの変位調整を行う場合の手順と状態遷移とを示す。図９（Ａ）は、ずれが生じている状態を示す。図９（Ｂ）はＸＹ位置調整を行う段階を示す。図９（Ｃ）はＸＹ変位調整後、角度変位が残っている状態を示す。図９（Ｄ）はθ変位調整を行う段階を示す。図９（Ｅ）はθ変位調整後のずれが解消された状態を示す。なお、図９（Ａ）〜（Ｅ）では、光学アダプタ２４ｂの検査対象であるイメージセンサの画素エリア９０ｂと、光学アダプタ２４ａの検査対象であるイメージセンサの画素エリア９０ａについて図示している。
【００３９】
図９（Ａ）に、イメージセンサの画素エリア９０ｂの中心座標（０，０）に対して、回転中心にある光学アダプタの瞳画像の中心座標が（Ｘ１，Ｙ１）であって、ずれが発生していることが示されている。この状態については、イメージセンサ９０の出力に基づいて、ずれ量計測手段６１１により、前述した手順によりずれ量の算出が行われる。ずれ量表示手段６１２により、表示装置６３０にずれ量の表示を、例えば、図８に示すような態様により行う。
【００４０】
光学アダプタ変位調整手段６１３は、得られたずれ量に基づいて、Ｙ軸アクチュエータ３１ｃおよびＸ軸アクチュエータ３３ｃに対する操作量（ＸＹの各変位量）を求めて、それぞれに対して、制御情報として、操作指令を送る。操作指令は、各アクチュエータにおいて駆動パルスに変換され、具体的な動作が実行される。変位が調整されたかについては、イメージセンサ９０において検出される信号に基づいて、ずれ量計測手段６１１が監視する。また、ずれ量表示手段６１２により行われるずれ量表示により、オペレータも確認することができる。
【００４１】
図９（Ｃ）に示すように、イメージセンサ９０の画素エリア９０ｂについて、平面でのずれ量が調整された後、角度のずれ量がある場合には、角度についてのずれ量の調整を行う。図９（Ｃ）では、イメージセンサ９０の画素エリア９０ａにおいて、その中心位置（０，０）に対して、光学アダプタにより投影される像の中心位置の座標（Ｘ２，Ｙ２）がずれて表れる。ここでは、平面変位調整ではなく、θ変位調整を行う。ずれ量計測手段６１１は、得られたずれ量を示す情報と、光学アダプタの間隔Ｌとを用いて、画素エリア９０ｂの中心位置を中心とする角度θを算出する。このずれ量は、ずれ量表示手段６１２により、例えば、図８に示すような画面に表示される。一方、得られた角度θに基づいて、光学アダプタ変位調整手段６１３は、θアクチュエータ３５ｃに対する操作量（角度変位量）を求めて、制御情報として、操作指令を送る。操作指令は、θアクチュエータ３５ｃにおいて駆動パルスに変換され、具体的な動作が実行される。変位が調整されたかについては、イメージセンサ９０において検出される信号に基づいて、ずれ量計測手段６１１が監視する。また、ずれ量表示手段６１２により行われるずれ量表示により、オペレータも確認することができる。
【００４２】
この回転角度θを回転移動して、光学アダプタ２４ａの中心と対応するイメージセンサ９０の画素エリア９０ａの中心とを一致させる。この操作により、図示していないが、他の光学アダプタ２４ｃ、２４ｄについても、それらの中心と対応するイメージセンサの画素エリアの中心とが一致することになる。
【００４３】
以上に説明した実施形態では、光学アダプタ変位調整手段によりアクチュエータを制御して、自動的にずれ量を補正している。本発明はこれに限定されない。例えば、ずれ量表示画面をオペレータが見ながらスイッチをオンオフすることで、アクチュエータの動作を操作して、ずれをなくす方向に調整する構成とすることができる。また、アクチュエータを使用せず、手動で、変位調整機構を操作して、変位を調整する構成とすることもできる。さらに、本実施形態において、ずれについて、自動調整、アクチュエータに対する手動操作による調整、アクチュエータを使わない手動調整の三つのモードのうち、２乃至３のモードを用意して、選択的に操作できるようにしてもよい。
【００４４】
以上に述べたように、本発明の実施形態によれば、実際に使用する光学アダプタの瞳像の強度分布を基に光学アダプタの中心位置を検出することにより、従来のような位置決め工具アダプタを使用することなく調整が可能である。また、θ調整の回転中心を光学アダプタの中心にすることにより、まずＸＹ調整を行い、次にθ調整を行うことにより調整が完了する。そのため、従来のように、ＸＹ調整とθ調整を繰り返し行う必要がなくなる。これまで、表示装置に映し出した像を目視で確認し、追い込み方式で調整していたが、移動量、方向を定量的に算出することにより、調整が容易になり、時間も短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態が適用される検査装置の概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態において用いられる光学アダプタの一例を示し、図２（Ａ）および（Ｃ）は底面図、図２（Ｂ）および（Ｄ）は断面図である。
【図３】本発明の一実施形態においてもいられる光学アダプタと、光学アダプタ変位調整機構について示す説明図である。
【図４】本発明の一実施形態におけるずれ量を求め、かつ、光学アダプタの変位調整のための操作量を出力する演算処理装置のシステム構成の一例を示すブロック図である。
【図５】本発明の一実施形態における情報の流れを示す説明図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るずれ量を求める処理の手順概要を示すフローチャートである。
【図７】ずれ量を求め方の考え方の一例を示す説明図である。
【図８】本発明の一実施形態において求められたずれ量の表示例を示す説明図である。
【図９】本発明において、ずれ量に基づいて光学アダプタの変位調整を行う場合の手順と状態遷移とを示す説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０…照射装置、１１…光源、１２…案内光学系、１３…ライトシールドボックス、１４…アダプタ駆動部、２０…光学アダプタ、２４ａから２４ｄ…光学アダプタ要素、３０…光学アダプタ変位調整機構、４０…プローバ、４１…ヘッドプレート、４２…テスタ基板、４３…プローブカード、４４…開口部、４５…ケーブル、５０…テスタ、６０…演算処理装置、６１０…演算処理部、６１１…ずれ量計測手段、６１２…ずれ量表示手段、６１３…光学アダプタ変位調整手段、６１４…光学アダプタ駆動手段、６２０…記憶部、６２１…プログラム、６２２…設計座標値、６２３…ずれ量、６３０…表示装置、６４０…入力装置、９０…イメージセンサ、９０ａ、９０ｂ…画素エリア。
【図１】
2007033335.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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