(57)【要約】      （修正有）【課題】貼り合わせる下側部品と上側部品を精密に位置調整された状態で貼り合わせが可能な部品貼り合わせ組立装置を得る。【解決手段】回折格子素子のような複数個の光学部品を接着剤で貼り合わせて組み立てる工程において、顕微鏡２０で確認しながら重ね合わせた部品の位置関係をμｍオーダで調整でき、予め、上側部品Ｄｇ２を載せる下側部品Ｄｇ１の面を顕微鏡２０のＺ軸に対して垂直にあおり調整ができ、また、この時、接着剤の膜厚を均一にできるように錘Ｗを載せた状態で重ね合わせた両部品の間隔を調整ができ、その錘Ｗ自身が上側部品Ｄｇ２をバキュームにより保持でき、錘Ｗの中央部には貫通孔Ｗａが開けられていて顕微鏡２０で位置調整のために上側部品Ｄｇ２及び又は下側部品Ｄｇ１を確認でき、そして錘Ｗの上下がスムースで重ね合わせた部品同士が接すると同時に前記バキューム保持力が切れて錘Ｗの自重のみの加圧になることを特徴とする。【選択図】図２
2007025494.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
倍率を上げて被撮影面を確認するための顕微鏡と、
該顕微鏡の下方に配設され、貼り合わせようとする一方の部品を載置する平面を備えた部品載置台と、
該部品載置台の前記平面を、前記顕微鏡のＺ軸に対して垂直に調整できるあおり機能及び昇降機能を備えた第１位置決め調整機構と、
前記部品載置台と前記顕微鏡との間に介挿、配設され、前記部品の上面に接着剤を供給する接着剤供給手段と、
前記部品載置台と前記顕微鏡との間に介挿、配設され、他の部品を下部で保持して前記顕微鏡の光軸に対して垂直になるようにあおり機能及び昇降機能の第２位置決め調整機構を備え、そして重ね合わされた前記両部品に重力を加える錘を備えた錘装置と、
前記部品載置台と前記確認用顕微鏡との間に介挿、配設され、前記他の部品を保持して前記接着剤が塗布された前記一方の部品の上面に位置決めするためのあおり機能及び昇降機能を備えた第３位置決め調整機構と、
前記塗布した接着剤を乾燥させる乾燥手段と
を備えた部品貼り合わせ組立装置。
【請求項２】
前記第１位置決め調整機構、前記第２位置決め調整機構、前記第３位置決め調整機構を支持する共通の支持ベースと、
該支持ベースを支持し、ＸＹθ軸を調整できる第４位置決め調整機構と
を備えた請求項１に記載の部品貼り合わせ組立装置。
【請求項３】
前記錘装置は前記錘と該錘を上下方向に支持する支持プレートとを備え、該支持プレートには前記錘が最低位置に下がった場合に該錘により密閉される支持貫通孔が開けられており、また、前記錘の中央部には前記一方の部品または前記他方の部品を観察でき、そして前記他方の部品を吸着できる貫通孔が開けられており、そして前記錘が前記支持プレートの前記支持貫通孔を密閉している場合に、前記支持プレート及び前記錘の上方を覆って減圧空間を形成する部品保持兼加重機構を備えていることを特徴とする請求項１に記載の部品貼り合わせ組立装置。
【請求項４】
前記映像撮影装置の出力側に映像モニタ装置が接続されていることを特徴とする請求項１に記載の部品貼り合わせ組立装置。
【請求項５】
前記接着剤が紫外線硬化材であり、前記乾燥手段が紫外線照射装置であって、紫外線照射は前記貫通孔を通じて前記紫外線硬化接着剤を照射し、前記紫外線接着剤を硬化させるように構成されていること下側部品の上面に滴下或いは塗布されている接着剤をを特徴とする請求項３に記載の部品貼り合わせ組立装置。
【請求項６】
前記部品が光学部品であることを特徴とする請求項１、請求項３に記載の部品貼り合わせ組立装置。
【請求項７】
前記光学部品が回折格子素子であることを特徴とする請求項６に記載の部品貼り合わせ組立装置。
【請求項８】
複数個の部品を重ねて貼り合わせることにより複合部品を組み立てる部品貼り合わせ組立方法において、
位置決めされ、上面に接着剤が滴下或いは塗布された状態の下側部品に対して、錘の下部にバキュームにより吸着されている上側部品を位置調整した状態で上方から載置し、前記錘の自重で前記下側部品及び前記上側部品共々加圧し、その後、前記接着剤を硬化させることによって前記下側部品と前記上側部品とが合体した複合部品を得ることを特徴とする部品貼り合わせ組立方法。
【請求項９】
前記錘の中央部に前記下側部品及び又は前記上側部品を顕微鏡により観察できる大きさの貫通孔が開けられていて、該貫通孔から前記下側部品及び又は前記上側部品を観察しながらそれらの位置調整を行うことを特徴とする請求項８に記載の部品貼り合わせ組立方法。
【請求項１０】
前記下側部品の上面に滴下或いは塗布されている接着剤は紫外線硬化型接着剤であって、前記錘の中央部に開けられている前記貫通孔を通じて前記下側部品の上面の接着剤を紫外線を照射し、硬化させることを特徴とする請求項９に記載の部品貼り合わせ組立方法。
【請求項１１】
前記錘の下部にバキュームにより吸着、保持されている前記上側部品が前記下側部品の上面に当接すると同時に前記バキュームによる吸着保持力が切れて、前記錘の自重のみで前記下側部品と前記上側部品とが加圧されることを特徴とする請求項８に記載の部品貼り合わせ組立方法。
【請求項１２】
顕微鏡を用いて複数個の部品をＸＹ軸方向及びあおり位置を合わせながら上下に重ねて貼り合わせることにより複合部品を組み立てる部品貼り合わせ組立方法において、
下側部品を載置する下側部品受け台の上面を前記顕微鏡の光軸に対して予め垂直に調整しておき、その後、前記下側部品を下側部品受け台の上面に位置調整して載置し、その後、錘の下部にバキュームにより吸着されている上側部品を位置調整した状態で上方から載置し、前記錘の自重で前記下側部品及び前記上側部品共々加圧し、その後、前記接着剤を硬化させることによって前記下側部品と前記上側部品とが合体した複合部品を得ることを特徴とする部品貼り合わせ組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２枚の光学部品を重ね合わせ、貼り合わせて組み立てる場合に、それら光学部品の相対的位置を高精度に保って貼り合わせることができる部品貼り合わせ組立方法及び部品貼り合わせ組立装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザディスク装置においては、一台でＤＶＤ、ブルーレイディスク、ＣＤなどのレーザディスクに記録されている情報を読み取れるように構成されている。そしてこれら異なる規格のレーザディスクに記録されている異なる波長の情報を読み取ることができる共通の光学ピックアップが組み込まれている。このような光学ピックアップには、それぞれのレーザディスクに対応した波長のレーザ光が必要であることから、一光学部品である回折格子素子Ｄｇ（本明細書では「複合回折格子素子Ｄｇ」と記す）を組み込むことによって０次光、１次光、２次光・・・を発生させ、それらを適宜利用して記録されている情報を読み取ることができるように構成されている。
【０００３】
図３に示したように、この回折格子Ｄが形成されている回折格子素子Ｄｇは、図４に示したように、２枚の回折格子素子Ｄｇ、即ち、下側回折格子素子Ｄｇ１と上側回折格子素子Ｄｇ２とを接着剤Ａｄを用いて、両者の位置関係及び間隔が全面で均一になるように貼り合わせて複合回折格子素子Ｄｇに組み立てられている。
【０００４】
このような２枚以上の光学部品を重ね合わせた複合光学部品を組み立てる場合に、それぞれの光学部品の位置決めを行い、両者間に接着剤を挟んで重ね合わせた状態で上方に錘を載せて貼り合わせ、組み立てる技術は［特許文献１］、［特許文献２］、［特許文献３］などで公知である。
【０００５】
［特許文献１］に開示されている技術は、下方の光学部品を載置する着座板を上面に突設させた下台と、着座板の周縁にあって、下台上に突設されて前記光学部品の周囲に当接する接着剤の流下ガイド兼用の位置決めピンと、下台の両側に着脱かつ回動自在に軸受され、かつ下面に上方の光学部品を着脱可能に吸着保持する機能を設けた移載台とを備え、双方の光学部品をそれぞれの位置に固定し、接着剤滴下後に、前記移載台を回動させて前記着座版に合致させ、回動に応じた傾斜角度変化に伴い、接着剤の拡散流動方向が一定となるように構成されている。前記移載台を回動されることにより排出された接着剤は光学部品の外周に接する位置決めピンを伝って流下排出するようになされており、下面側への回り込みを防止している。その後、前記移載台を下台より除去した後、前記光学部品上に位置決め設置される錘板を載置することにより、位置決め接着後の両光学部品を接着状態に固定している。前記移載台は透明部材から構成されており、接着剤樹脂の流動方向、挙動を目視確認できるうになされている。また、前記着座板の頂面に位置確認用の標的が刻設されており、そして前記移載台の下面にも前記標的に合致する標的を刻設されていて、これらの標的によって、接着時における両光学素子の位置決めの確認ができるような構造となっている。
【０００６】
そして［特許文献２］に開示されている技術は、加圧接着機構であって、基板を支持する複数の基板吸着部と、その基板上に加圧する錘と、前記基板の上方にあり、ＵＶ硬化型接着剤を硬化させるＵＶ照射装置と、前記基板の下方にハブを設置するハブ設置部と、このハブ設置部を駆動させるアクチュエータと、前記基板吸着部を支持する吸着ガイド部とから構成されていて、先ず、前記円盤状のハブにＵＶ硬化接着剤を塗布し、前記アクチュエータを作動させ、前記ハブ設置部を上昇させ、ハブが基板の下から錘により加圧される。この時、前記基板吸着部は、前記基板を吸着のまま吸着ガイド部に沿って前記ハブ設置部と共に上昇する。更にＵＶ照射装置により前記ＵＶ硬化接着剤を硬化させ、接着させている。
【０００７】
また、［特許文献３］に開示されている技術は、ロータリトランスの組立方法を採り上げており、ベースの中央部に取り付けたフランジ位置決め軸と、前記ベースの上面に載置したコアーに対して前記フランジ位置決め軸に、前記コアーの上方からフランジを挿入して、その上に錘を載置し，この錘の重量で前記コアーと前記フランジとの間に介在している接着剤を押荷しながら前記ベースの穴底面に当接させる。この状態で前記接着剤を固化させることでフランジとコアーの相関寸法を得て一体化させる方法を採っている。
【特許文献１】特開平９−３２８３２６号（第２〜３頁、図１及び図２）
【特許文献２】特開平６−７６３６７号（第２頁、図１）
【特許文献３】特開昭５５−５２２１０号（第２頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記［特許文献１］に開示されている従来技術は、下方の光学部品は着座板に吸着され、そして着座板に設けられている位置決めピンで位置決めされ、上方の光学部品は移載台に吸着、位置決めされて、前記移載台を回動することにより前記上方の光学部品を下方の光学部品にただ載せるのみで、載せた後では特に両光学部品の位置合わせや平行度を調整をする機構を備えていない。両光学部品の位置合わせは前記着座板と前記移載台の標的を合わせるのみで、両光学部品の位置合わせを行っているものではない。
【０００９】
また、本従来技術では、マウントする移載台と錘板とは別体の部品で、接着剤を硬化させる前に前記移載台を外す必要があり、折角位置合わせを行ってもズレが発生するということが考えられる。
【００１０】
更に前記移載台を載せる時も、前記重り板を載せる時も、そのスピードを抑えられない構造である。
【００１１】
更にまた、前記上方の光学部品を斜めの方向から回動にて貼り合わせていることから接着剤の粘性が高い場合、上下光学部品の平行度を保ち難くなる。
【００１２】
前記［特許文献２］に開示されている従来技術は、上方の部品である基板と下方の部品であるハブとが初めからから合っていることを前提にした加圧接着機構であって、吸着したハブを突き上げて、上方の基板が上下方向にフリーに構成しているだけの機構で、特に両者が接した後に位置調整を行う手段を備えていない。従って、２個の部品の超精密な位置合わせ、平行度を出すことができない。
【００１３】
前記［特許文献３］に開示されている従来技術は、貼り合わせに錘を使用しているが、位置出しはワークの穴径の寸法精度が予め出ており、その基準穴を使ったピンによる位置合わせ方法である。
【００１４】
前記の何れの従来技術においても、錘を使って２個の部品接着する点は同じであるが、接着しようとする２個の部品を重ね合わせた後で位置調整及び平行度の調整を行う手段を備えておらず、何れも調整は考えていない。
【００１５】
本発明は、これらの課題を解決しようとするものであって、錘が上側部品を下側部品にマウントする機能を兼ね備えていること、また、上側部品を下側部品に対してＸＹ軸方向にまた両者の平行度（あおり）を均一に調整できる機能を備え、何れの前記位置調整も前記平行度もミクロンオーダーの高精度で調整できる部品貼り合わせ組立方法及び部品貼り合わせ組立装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
それ故、本発明の部品貼り合わせ組立装置は、倍率を上げて被撮影面を確認するための顕微鏡と、その顕微鏡の下方に配設され、貼り合わせようとする一方の部品を載置する平面を備えた部品載置台と、その部品載置台の前記平面を、前記顕微鏡のＺ軸に対して垂直に調整できるあおり機能及び昇降機能を備えた第１位置決め調整機構と、前記部品載置台と前記顕微鏡との間に介挿、配設され、前記部品の上面に接着剤を供給する接着剤供給手段と、前記部品載置台と前記顕微鏡との間に介挿、配設され、他の部品を下部で保持して前記顕微鏡の光軸に対して垂直になるようにあおり機能及び昇降機能の第２位置決め調整機構を備え、そして重ね合わされた前記両部品に重力を加える錘を備えた錘装置と、前記部品載置台と前記顕微鏡との間に介挿、配設され、前記他の部品を保持して前記接着剤が塗布された前記一方の部品の上面に位置決めするためのあおり機能及び昇降機能を備えた第３位置決め調整機構と、前記塗布した接着剤を乾燥させる乾燥手段とを備えて構成されている。
【００１７】
また、前記部品貼り合わせ組立装置は、前記第１位置決め調整機構、前記第２位置決め調整機構、前記第３位置決め調整機構を支持する共通の支持ベースと、その支持ベースを支持し、ＸＹθ軸を調整できる第４位置決め調整機構とを備えている。
【００１８】
そしてまた、前記部品貼り合わせ組立装置における前記錘装置は、前記錘とその錘を上下方向に支持する支持プレートとを備え、その支持プレートには前記錘が最低位置に下がった場合にその錘により密閉される支持貫通孔が開けられており、また、前記錘の中央部には前記一方の部品または前記他方の部品を観察でき、そして前記他方の部品を吸着できる貫通孔が開けられており、そして前記錘が前記支持プレートの前記支持貫通孔を密閉している場合に、前記支持プレート及び前記錘の上方を覆って減圧空間を形成する部品保持兼加重機構を備えていることを特徴とする。
【００１９】
前記映像撮影装置の出力側に映像モニタ装置が接続されていることが望ましい。
【００２０】
前記接着剤としては紫外線硬化材を用いることが望ましく、従って、前記乾燥手段としては紫外線照射装置からの紫外線照射で乾燥させることが望ましい。
【００２１】
前記部品が光学部品であり、その光学部品は回折格子素子であってもよい。
【００２２】
また、本発明の部品貼り合わせ組立方法は、複数個の部品を重ねて貼り合わせることにより複合部品を組み立てる部品貼り合わせ組立方法において、位置決めされ、上面に接着剤が滴下された状態の下側部品に対して、錘の下部にバキュームにより吸着されている上側部品を位置調整した状態で上方から載置し、前記錘の自重で前記下側部品及び前記上側部品共々加圧し、その後、前記接着剤を硬化させることによって前記下側部品と前記上側部品とが合体した複合部品を得ることを特徴とする。
【００２３】
前記錘の中央部に前記下側部品及び又は前記上側部品を顕微鏡により観察できる大きさの貫通孔が開けられていて、その貫通孔から前記下側部品及び又は前記上側部品を観察しながらそれらの位置調整を行う方法を採っている。
【００２４】
また、前記錘の下部にバキュームにより吸着、保持されている前記上側部品が前記下側部品の上面に当接すると同時に前記バキュームによる吸着保持力が切れて、前記錘の自重のみで前記下側部品と前記上側部品とが加圧される方法を採っている。
【００２５】
更にまた、本発明の部品貼り合わせ組立方法は、顕微鏡を用いて複数個の部品をＸＹ軸方向及びあおり位置を合わせながら上下に重ねて貼り合わせることにより複合部品を組み立てる部品貼り合わせ組立方法において、下側部品を載置する下側部品受け台の上面を前記顕微鏡の光軸に対して予め垂直に調整しておき、その後、前記下側部品を下側部品受け台の上面に位置調整して載置し、その後、錘の下部にバキュームにより吸着されている上側部品を位置調整した状態で上方から載置し、前記錘の自重で前記下側部品及び前記上側部品共々加圧し、その後、前記接着剤を硬化させることによって前記下側部品と前記上側部品とが合体した複合部品を得る方法を採っている。
【００２６】
従って、本発明の部品貼り合わせ組立方法及び部品貼り合わせ組立装置によれば、貼り合わせようとする下側部品も上側部品も重ね合わされた状態で精密に位置調整され、そして前記上側部品をバキュームにより吸着している錘の自重で前記両部品が共々加圧することができる。また、前記錘の中央部に貫通孔を設けることにより、前記上側部品を前記下側部品に位置あわせして重ね合わせる場合に、前記貫通孔を通じて少なくとも前記下側部品のマークなどを前記顕微鏡で観察しながら位置合わせを精密に行うことができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の部品貼り合わせ組立方法及び部品貼り合わせ組立装置によれば、
１．適度な重さの錘を載せることで複数個の部品の平行度を保ちながら調整でき、組み立  てられた複合部品も求める平行度を達成できること
２．また、平行度を保ちながら調整できることで、上側部品を通して下側部品を確認した  時の傾きによる誤差を少なくでき、高精  度な複数個の部品の位置調整を行うことがで  きること
３．適度な重さの錘を載せること、また、錘に上側部品をバキューム保持させることで上  側部品を安定して下側部品の上に載置させることができ、その際の接着剤の広がりをス  ムーズにし、接着剤の広がり状態や膜厚を均一にすることができること
４．少なくとも上側部品が透明部品であれば、錘の中央部に貫通孔を開けることで顕微鏡  によりセンター調整状態や接着剤の広がり状態を何時でも確認できること
５．部品に合わせて錘の重さを自由に設定でき、その交換も容易にできること
６．錘を載せて適度な加圧状態で調整できることで、部品を掴むクランプ力を最小、或い  はゼロとすることができ、これにより紫外線照射時の部品へのストレスを少なくして組  立することができること
など、数々の優れた効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明は、部品、例えば、一光学部品である複数個の回折格子素子を接着剤やＵＶ硬化樹脂で貼り合わせて複合回折格子素子を組み立てる工程において、顕微鏡で倍率を上げてＣＣＤカメラなどの映像撮影装置でそれぞれの回折格子素子（部品）のＸＹ軸方向の位置及びあおり状態を確認しながらそれら複数個の部品の位置関係をミクロンオーダーで調整することができ、予め、上側部品を載せる下側部品の面を前記顕微鏡のＺ軸に対して垂直にあおり調整ができ、また、この時、接着剤やＵＶ硬化樹脂などの膜厚を均一にできるように錘を載せた状態で重ね合わせた上下部品の間隔を調整ができ、その錘自身が前記上側部品をバキュームにより保持でき、前記錘の中央部には貫通孔が開けられていて前記顕微鏡で位置調整のために前記上側部品及び又は前記下側部品を確認でき、そして前記錘の上下がスムースで重ね合わせた部品同士が接すると同時に前記バキューム保持力が切れて前記錘の自重のみの加圧になることを特徴とした部品貼り合わせ組立方法であり、また、その部品貼り合わせ組立方法を実現できる部品貼り合わせ組立装置である。
【実施例１】
【００２９】
以下、図を用いて、本発明の部品貼り合わせ組立方法及び部品貼り合わせ組立装置を説明する。
【００３０】
図１は本発明の一実施例の部品貼り合わせ組立装置の全体構成を示した一部断面側面図、図２は図１に示した部品貼り合わせ組立装置における部品位置調整機構部の断面側面図、図３は一光学部品である複合回折格子素子の平面図、図４は２個の回折格子素子を接着剤で貼り合わせる状態を示した斜視図、図５は図４における下側回折格子素子のクランプ状態を示した上面図、図６は図１に示した部品貼り合わせ組立装置による２個の回折格子素子の貼り合わせ組立工程図、そして図７は２個の回折格子素子の貼り合わせ組立チャートである。
【００３１】
なお、以下の実施例の説明においては、部品として一光学部品である回折格子素子を採り上げて説明するが、本発明ではこの回折格子素子のみならず、アクロマートレンズの貼り合わせ組立、［特許文献２］に開示されている技術のように基板と他の部品との貼り合わせ組立などにも応用できることを予め付言しておく。
【００３２】
先ず、図１に示した本発明の一実施例の部品貼り合わせ組立装置の構成を説明する。
【００３３】
図１において、符号１は本発明の部品貼り合わせ組立装置を指す。この部品貼り合わせ組立装置１は、複数個の部品、例えば、図３及び図４に示したような光学部品の一つである回折格子素子Ｄｇ１、Ｄｇ２を図４に示したように２個貼り合わせる場合に、両者の相対位置を高精度に保って組み立てることを実現できる装置であって、請求項に記載の第４位置決め調整機構であり、支持基台となるユニット調整部１０、部品位置決めの確認用顕微鏡部（以下、単に「顕微鏡」と記す）２０、第１位置決め調整機構である下側部品位置決めユニット３０、第３位置決め調整機構である上側部品調整ユニット４０、第２位置決め調整機構である錘上下ユニット５０、上側部品受け渡しジグ６０、映像撮影装置であるＣＣＤカメラ７０、映像モニタ装置であるモニタ８０、ＵＶ（紫外線硬化型）接着剤などの接着剤を塗布する接着剤ディスペンサ９０、ＵＶ（紫外線）照射装置１００を備えて構成されている。
【００３４】
次に、図２を共に用いて、部品貼り合わせ組立装置１における各部の部品位置調整機構部の構成及び構造を説明する。
【００３５】
ユニット調整部１０は、装置のベース１１上に設置されていて、ユニット全体を調整するユニットＸＹθ調整ステージ１２を備えている。そしてユニットＸＹθ調整ステージ１２上に固定されているユニットベース３１には、下側回折格子素子Ｄｇ１を載置、固定する下側部品位置決めユニット３０と、下側回折格子素子Ｄｇ１の上に上側回折格子素子Ｄｇ２を重ね合わせる機能を備えた上側部品調整ユニット４０と、重ね合わされた下側回折格子素子Ｄｇ１及び上側回折格子素子Ｄｇ２全体を自重で加圧する錘上下ユニット５０とが搭載されている。前記ユニット調整部１０は、この錘上下ユニット５０全体を顕微鏡部２０に対するＸＹθ軸を調整する機能を備えていている。
【００３６】
顕微鏡部２０は、例えば、図３に示したような回折格子Ｄｇのパターンを拡大して確認するための対物レンズ２１と上側回折格子素子Ｄｇ２や下側回折格子素子Ｄｇ１のパターン等に焦点を合わせるために対物レンズ２１を上下する顕微鏡Ｚ軸ステージ２２から構成されている。
【００３７】
下側部品位置決めユニット３０は、支持ベースであるユニットベース３１上に構築されており、顕微鏡Ｚ軸ステージ２２に平行に上下できるようにあおり調整を行うめのクランプ部あおり調整ステージ３２、クランプ部Ｚ軸調整ステージ３３、下側回折格子素子Ｄｇ１をクランプする下側部品クランプユニット３４からなる。
【００３８】
下側部品クランプユニット３４は下側回折格子素子Ｄｇ１を置く下側部品受け台３６、開閉可能で下側回折格子素子Ｄｇ１の形状に合わせた形状の下側部品クランプ爪３７、３８、下側部品受け面を平行にするための下側部品あおり調整部３５からなる。
【００３９】
上側部品調整ユニット４０は、上側回折格子素子Ｄｇ２をクランプ、或いは押し引きできる構造の上側部品クランプ爪４１、４２、これら上側部品クランプ爪４１、４２をできるだけ平行にするための上クランプ爪あおり調整部４３、クランプ爪の高さ調整用の上クランプ爪Ｚ軸調整ステージ４４、そして上側回折格子素子Ｄｇ２の位置調整を行うための上クランプ爪ＸＹ調整ステージ４５から構成されている。
【００４０】
錘上下ユニット５０は、調整時に上から荷重を掛けるための錘Ｗを上下させる錘Ｚ軸移動ステージ５１、錘Ｗと上側回折格子素子Ｄｇ２を下側回折格子素子Ｄｇ１に対して水平に下降、載置させることができるようにあおりを調整するための錘あおり調整部５２、錘Ｗを支える錘上下プレート５３を備えている。
【００４１】
上側部品受け渡しジグ６０は、アーム６１の先端部に上側回折格子素子Ｄｇ２を載せ、錘Ｗが上方位置に在る時に、その上側回折格子素子Ｄｇ２を錘Ｗの下部に吸着させて受け渡すための機能を備えている。
【００４２】
ＣＣＤカメラ７０は、部品位置決め用顕微鏡部２０で映出された画像を撮影し、映像信号としてモニタ８０に送出する機能を備え、モニタ８０はＣＣＤカメラ７０が撮像した下側回折格子素子Ｄｇ１及び又は上側回折格子素子Ｄｇ２の映像を画像表示し、作業者がその表示された映像を見て両者の重なり状態などを観察し、下側回折格子素子Ｄｇ１、上側回折格子素子Ｄｇ２の位置を微細に調整する用に供する表示装置であり、ライン発生器８１を備えいる。
【００４３】
接着剤ディスペンサ９０は、シリンジ９１を備え、下側回折格子素子Ｄｇ１の上面にＵＶ硬化接着剤などの接着剤Ａｄを適量滴下或いは塗布する機能を備え、そしてＵＶ照射装置１００はＵＶ照射ヘッド１１０を備え、下側回折格子素子Ｄｇ１の上面に塗布したＵＶ硬化接着剤を硬化させる機能を備えている。
【００４４】
なお、錘装置は錘Ｗとその錘Ｗを上下方向に支持する支持プレート５３とを備え、錘Ｗは、図６Ｃ乃至図６Ｈに示したように、逆円錐形の構造に形成されており、その錘Ｗの中央部には下側回折格子素子Ｄｇ１及び又は上側回折格子素子Ｄｇ２を観察でき、そして上側回折格子素子Ｄｇ２を吸着できる貫通孔Ｗａが開けられている。
【００４５】
一方、錘Ｗを上下方向に支持する支持プレート５３には、錘Ｗが最低位置に下がった場合に、その錘Ｗにより密閉される錘Ｗの円錐に合致するテーパー状の支持貫通孔５４（図６Ｅ）が開けられており、そして錘Ｗが支持プレート５３の支持貫通孔５４を密閉している場合に、その支持プレート５３上で錘Ｗの周囲を囲む枠５５の上方を蓋体５６で密閉して空間Ｓを形成し（図６Ｃ）、また、枠５５の側面に逆止弁或いは開閉バルブ（不図示）付きのバキュームパイプ５７を設けて、このバキュームパイプ５７に真空ポンプ（不図示）を接続し、吸引して空間Ｓを減圧できる部品保持兼加重機構で構成されている。
【００４６】
次に、図１乃至図４と共に図５乃至図７をも用いて、本発明の部品貼り合わせ組立装置１の動作を説明する。
【００４７】
初めに、部品、即ち、この実施例では２枚の下側回折格子素子Ｄｇ１及び上側回折格子素子Ｄｇ２の貼り合わせ組立を始める前に、部品貼り合わせ組立装置１におけるクランプ部Ｚ軸調整ステージ３３が顕微鏡Ｚ軸ステージ２２と平行になるようクランプ部あおリステージ３２を調整し、上側部品クランプ爪４１、４２と錘Ｗが顕微鏡Ｚ軸ステージ２２に垂直になるよう上クランプあおり調整部４３と錘あおり調整部５２を調整しておく。
【００４８】
そして次に、下側回折格子素子Ｄｇ１を下側部品受け台３６の上にセットし、図５に示したように、下側部品クランプ爪３７、３８によりクランプする（ステップＳ１）。下側部品クランプ爪３７の下側回折格子素子Ｄｇ１が当接する面は平面であり、反対側の下側部品クランプ爪３８の下側回折格子素子Ｄｇ１が当接する面は対称的にＶ字型に切り込まれている。
【００４９】
顕微鏡部２０により拡大された下側回折格子素子Ｄｇ１の回折格子Ｄｇのセンターなどの映像はモニタ８０に映出し、ライン発生器８１などで発生させた基準ラインで位置を確認して、ユニットＸＹθ調整ステージ１２にて位置出しを行う（ステップＳ２、図６Ａ）。
【００５０】
次に、下側回折格子素子Ｄｇ１の上面に接着剤ディスペンサ９０で調整されたＵＶ硬化樹脂などの接着剤Ａｄをシリンジ９１を用いて適量滴下或いは塗布する（図６Ｂ、ステップＳ３）。
【００５１】
続いて、上側回折格子素子Ｄｇ２を上側部品受け渡しジグ６０の先端部に吸引などの手段でセットする。一方、錘Ｗの上の周囲の枠５５の上端を蓋体５６で閉鎖して密閉室である空間Ｓを形成し、真空ポンプ（不図示）を作動させて空間Ｓ内の空気をバキュームし（図６Ｃ、ステップＳ４）、その状態で上側部品受け渡しジグ６０の上側回折格子素子Ｄｇ２と錘Ｗの先端を合わせてバキュームにより上側回折格子素子Ｄｇ２の受け渡しを行う（図６Ｃ、ステップＳ５）。この時、錘Ｗは錘上下ユニット５０が作動して錘上下プレート５３により上に持ち上げられていて、錘Ｗの円錐面と錘上下プレート５３の支持貫通孔５４のテーパー部とは密着し、空気は漏れない状態となる。
【００５２】
錘Ｗへの上側回折格子素子Ｄｇ２の受け渡しが終わると、上側部品受け渡しジグ６０は錘Ｗと下側回折格子素子Ｄｇ１との間から後退して待機位置（或いは元の位置）に戻る。そして、錘上下プレート５３を錘Ｚ軸移動ステージ５１により錘Ｗに吸着した上側回折格子素子Ｄｇ２と錘Ｗとを共々下降させる（図６Ｄ、ステップＳ６）。
【００５３】
そうすると、上側回折格子素子Ｄｇ２は接着剤Ａｄを引き伸ばしながら下側回折格子素子Ｄｇ１に接近し、これと同時に錘上下プレート５３の支持貫通孔５４のテーパー部と錘Ｗのテーパー部とが離れて隙間ができることで空間Ｓ内の減圧状態は大気圧状態となる（バキュームがオフ、図６Ｅ、ステップＳ７）。しかし、錘Ｗは依然として下側回折格子素子Ｄｇ１及び上側回折格子素子Ｄｇ２を合わせて自重で加圧し続ける。
【００５４】
続いて蓋体５６を取り外し、また、上側部品調整ユニット４０を作動させ、上側回折格子素子Ｄｇ２を上側部品クランプ爪４１、４２によりクランプ、或いは押し引きできるように若干の隙間を空けて閉じる。そして、顕微鏡部２０により錘Ｗの貫通孔Ｗａ及び上側回折格子素子Ｄｇ２を通じて下側回折格子素子Ｄｇ１の回折格子Ｄの、例えば、センターを基準に上側回折格子素子Ｄｇ２を上クランプ爪ＸＹ軸調整ステージ４５によりＸＹ軸方向の位置を調整し、また、上クランプ爪Ｚ軸位置調整ステージ４４によりＺ軸方向の位置、即ち、下側回折格子素子Ｄｇ１と上側回折格子素子Ｄｇ２との間隔が全面で均一になるようにを調整する（図６Ｆ、ステップＳ８）。
【００５５】
この調整が終了すると、ＵＶ照射装置１００のＵＶ照射ヘッド１１０を錘Ｗの上部に配置し、錘Ｗの貫通孔Ｗａを通じてＵＶ照射Ｉｒを行い、ＵＶ接着剤Ａｄを硬化させる（図６Ｇ、ステップＳ９）。
【００５６】
次に、錘Ｗを上昇させ（図６Ｈ、ステップＳ１０）、また、下側回折格子素子Ｄｇ１をクランプしていた下側部品クランプ爪３７、３８及び上側回折格子素子Ｄｇ２をクランプしていた上側部品クランプ爪４１、４２を解除し（図６Ｈ、ステップＳ１１）、複合部品である複合回折格子素子Ｄｇを部品貼り合わせ組立装置１からピンセット等で取り出す（図６Ｉ、ステップＳ１２）。
【００５７】
以上で複合回折格子素子Ｄｇの貼り合わせ組立が完了する。
【００５８】
以上の実施例１では、２枚の回折格子素子を精密に貼り合わせ、組み立てるための部品貼り合わせ組立方法及びその装置を採り上げて説明したが、３個以上の部品を貼り合わせて複合部品を組み立てることもできる。
【００５９】
例えば、３個の部品を貼り合わせて複合部品を組み立てる場合には、前記下側回折格子素子Ｄｇ１と前記上側回折格子素子Ｄｇ２との複合回折格子素子Ｄｇを下側部品とし、下側部品受け台３６にその内の上側回折格子素子Ｄｇ２を上側にして載置した場合、その上側回折格子素子Ｄｇ２の方を下側部品クランプ爪３７、３８でクランプ、固定し、第３個目の回折格子素子を上側回折格子素子Ｄｇ３（不図示）として錘Ｗの下部でバキュームにより吸着、保持し、そして複合回折格子素子Ｄｇの上側回折格子素子Ｄｇ２の上面に接着剤Ａｄを介して加圧する時に上側部品クランプ爪４１、４２でクランプ、固定して位置を調整し、錘Ｗの自重で下側部品である複合回折格子素子Ｄｇと第３個目の回折格子素子とを共に加圧し、貼り付ければ、３個の回折格子素子が一体化された複合回折格子素子（複合部品）を得ることができる。
【００６０】
以上、説明したように、本発明の部品貼り合わせ組立装置１は、２個の部品の貼り合わせ組立のみに限定されるものではなく、３個以上の部品の貼り合わせ組立の場合にも適用できることは容易に理解されよう。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明は光学産業界のみならず、電子産業界、部品産業界などに利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の一実施例の部品貼り合わせ組立装置の全体構成を示した一部断面側面図である。
【図２】図１に示した部品貼り合わせ組立装置における部品位置調整機構部の断面側面図である。
【図３】一光学部品である複合回折格子素子の平面図である。
【図４】２個の回折格子素子を接着剤で貼り合わせる状態を示した斜視図である。
【図５】図４における下側回折格子素子のクランプ状態を示した上面図である。
【図６】図１に示した部品貼り合わせ組立装置による２個の回折格子素子の貼り合わせ組立工程図である。
【図７】２個の回折格子素子の貼り合わせ組立チャートである。
【符号の説明】
【００６３】
１…本発明の一実施例の部品貼り合わせ組立装置、１０…ユニット調整部、１１…ベース、１２…ユニットＸＹθ調整ステージ、２０…顕微鏡、２１…対物レンズ、２２…顕微鏡Ｚ軸ステージ、３０…下側部品位置決めユニット、３１…ユニットベース、３２…クランプ部あおりステージ、３３…クランプ部Ｚ軸調整ステージ、３４…下側部品クランプユニット、３５…下側部品あおり調整部、３６…下側部品受け台、３７，３８…下側部品クランプ爪、４０…上側部品調整ユニット、４１，４２…上側部品クランプ爪、４３…上クランプ爪あおり調整部、４４…上クランプ爪Ｚ軸調整ステージ、４５…上クランプ爪ＸＹ調整ステージ、５０…錘上下ユニット、５１…錘Ｚ軸調整ステージ、５２…錘あおり調整部、５３…錘上下プレート、６０…上側部品受け渡しジグ、７０…ＣＣＤカメラ、８０…モニタ、９０…接着剤ディスペンサ、９１…シリンジ、１００…ＵＶ照射装置、１１０…ＵＶ照射ヘッド、Ｄｇ…複合回折格子素子、Ｄｇ１…下側回折格子素子、Ｄｇ２…上側回折格子素子、Ｄ…回折格子、Ｗ…錘、Ｗａ…錘Ｗの貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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