(57)【要約】【課題】無声放電および／又は沿面放電によるオゾン生成装置とオゾン生成方法に関して、オゾン生成効率のより一層の向上を図る。【解決手段】このオゾン生成装置１は、酸素を含む原料ガスが流れるガス流路３０内に、高電圧が印加される触媒電極１２と、該触媒電極１２に対して電気的に絶縁された触媒金属体１３とを備える。これらは、ガス流路３０の上流側から順に、触媒電極１２、次いで触媒金属体１３の順に配置されている。触媒電極１２および触媒電極体１３を構成する触媒は、窒素、アルゴン、アンチモン、ビスマスの一種、或いはこれらから選択される二以上の物質の混合物である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
無声放電および／又は沿面放電によるオゾン生成装置であって、
酸素を含む原料ガスが流れるガス流路内に、高電圧が印加される触媒電極と、該触媒電極に対して電気的に絶縁された触媒金属体とが、該ガス流路の上流側から順に配置されていることを特徴とするオゾン生成装置。
【請求項２】
無声放電および／又は沿面放電によるオゾン生成装置であって、
酸素を含む原料ガスが流れるガス流路内に、高電圧が印加される触媒電極と、該触媒電極に対して電気的に絶縁された触媒金属体とが配置されており、
前記触媒金属体が前記触媒電極の近傍に配置されていることを特徴とするオゾン生成装置。
【請求項３】
前記触媒電極および前記触媒金属体を構成する触媒が、窒素、アルゴン、アンチモン、ビスマスの一種、或いはこれらから選択される二以上の物質の混合物である請求項１又は２記載のオゾン生成装置。
【請求項４】
前記触媒電極が、アンチモンが蒸着されたチタン電極であり、
前記触媒金属体が、アンチモンが蒸着された金属多孔体である請求項１又は２記載のオゾン生成装置。
【請求項５】
無声放電および／又は沿面放電によるオゾン生成方法であって、
酸素を含む原料ガスが流れるガス流路内に、高電圧が印加される触媒電極と、該触媒電極に対して電気的に絶縁された触媒金属体とが、該ガス流路の上流側から順に配置されており、
前記ガス流路内において、前記原料ガスを前記触媒電極、次いで前記触媒金属体に順に経由させるようにしたことを特徴するオゾン生成方法。
【請求項６】
前記触媒電極および前記触媒金属体を構成する触媒が、窒素、アルゴン、アンチモン、ビスマスの一種、或いはこれらから選択される二以上の物質の混合物である請求項５記載のオゾン生成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無声放電および／又は沿面放電によりオゾンを生成するオゾン生成装置およびオゾン生成方法に関し、特にオゾン生成効率の向上を図る技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のオゾン生成技術の従来例として、高電圧電極を接地電極の反りや曲がりに順応させてオゾン発生効率の向上を図ったもの（特許文献１）、酸素原子発生部の圧力を大気圧以下の所定の低圧力としたもの（特許文献２）、あるいは電極の表面に１０重量％以上の酸化チタンを含有させた誘電体を積層させたもの（特許文献３）などがある。しかし、これら各特許文献に記載のオゾン生成技術は、放電部分のメカニズムとオゾン生成のメカニズムについて十分に考慮されたものではなく、オゾンを効率良く生成することはできない。
【０００３】
具体的には、特許文献１などのように、空気中にて放電を行う場合には、空気に含まれる窒素ガスに対しても放電が行われるため、ＮＯｘなどの副産物が生成されやすく、オゾンの生成効率が低下することが避けられない。放電のために多くの電力が必要で、生成コストが多大に掛かる点でも不利がある。
特許文献２の発明方法では、低圧条件下において酸素原子を発生させるため、酸素原子の供給量を増大させることが難しく、オゾン生成効率の向上を図ることが困難である。
特許文献３の発明方法では、生成効率が酸化チタン層に含まれる窒素量に左右されやすく、長期に渡って安定的にオゾンを生成することができない。
【０００４】
このように、特許文献１乃至３に記載の従来のオゾン生成技術では、実用上十分なオゾン生成能を得ることが不可能であった。
【０００５】
以上のような従来のオゾン生成技術が有する問題を解消することを目的として、本発明者等は、先に非特許文献１を提案した。図１１に、当該非特許文献１にかかるオゾン生成装置の構成を示す。この装置１０１では、セラミックス誘電体１２０ａ・１２０ｂで区画された放電空隙１１１内に触媒電極１１２を配置し、当該放電空隙１１１内に酸素を含む原料ガスを送り込みながら、触媒電極１１２に対して高電圧を印加することにより、触媒電極１１２の表面で無声放電と沿面放電の複合放電を生じさせて、オゾンを生成している。
【０００６】
装置１０１の外殻を構成するハウジング１１０の上部には原料ガスの供給口１２６が設けられ、ハウジング１１０の下部には生成されたオゾンを送り出すための送出口１２７が設けられている。放電空隙１１１には、これら供給口１２６から送出口１２７に至るガス流路１３０が形成されており、供給口１２６から装置１０１内に送り込まれた原料ガスは、触媒電極１１２に接触しながらガス流路１３０を通って送出口１２７から装置１０１外に送り出される。触媒電極１１２を構成する触媒としては、窒素、アルゴン、アンチモン、ビスマスの一種、或いはこれらから選択される二以上の物質の混合物（以下、これを第三体と記す）が用いられている。
【０００７】
かかる装置１０１において、酸素ガスの供給下において触媒電極１１２により放電が行われると、電極表面（触媒表面）に存在する酸素分子にエネルギーが与えられて、酸素分子は基底状態から励起状態に移行する。そして、励起状態とされた酸素分子に、酸素原子が結合することによりオゾンが生成される。
このとき、酸素分子と酸素原子とが結合した結果与えられたエネルギーが、オゾンの生成に必要なエネルギーを上回ると、オゾンが不安的な励起状態となって分解されやすく、オゾン生成効率が低下するおそれがある。
その点、非特許文献１に係る発明方法・装置のように、電極の表面に第三体を配置していると、酸素分子と酸素原子とが結合した結果与えられたエネルギーが、オゾンの生成に必要なエネルギーを上回った場合でも、余分なエネルギーを第三体に直ちに伝達させることができるので、生成されたオゾンが不安定な励起状態に留まることを確実に防ぐことができる。これにより、生成されたオゾンを安定化させることができるので、オゾン生成効率の向上を図ることができる。
【特許文献１】特開２００３−１４６６２２号公報
【特許文献２】特開平９−８６９０４号公報
【特許文献３】特開平１１−２１１１０号公報
【非特許文献１】金属触媒によるオゾン生成法の考察（平成１７年電気学会全国大会、平成１７年３月１７日）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明者等は、上下水道のオゾン処理に、先の非特許文献１に係るオゾン生成方法および装置を適用することを考えている。しかし、この種の上下水道のオゾン処理においては、莫大な量のオゾンを消費するため、実用上十分なオゾン生成能を得るためには、オゾン生成効率のより一層の向上が望まれ、その点に改良の余地があった。
【０００９】
本発明は以上のような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、無声放電および／又は沿面放電によるオゾン生成装置とオゾン生成方法に関して、オゾン生成効率のより一層の向上を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者等は、上記課題について鋭意研究を行った結果、上記の第三体を具備する電極（以下、触媒電極と記す）よりも下流側に、該触媒電極に対して電気的に絶縁された触媒金属体を配置すれば、触媒電極の最終部分で生成された酸素原子をオゾン生成に寄与させることができ、これにてオゾン生成効率の格段の向上を図ることができることを見出して、本発明を完成するに至った。
【００１１】
すなわち、請求項１に記載の本発明は、無声放電および／又は沿面放電によるオゾン生成装置であって、酸素を含む原料ガスが流れるガス流路内に、高電圧が印加される触媒電極と、該触媒電極に対して電気的に絶縁された触媒金属体とが、該ガス流路の上流側から順に配置されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項２記載の本発明は、無声放電および／又は沿面放電によるオゾン生成装置であって、酸素を含む原料ガスが流れるガス流路内に、高電圧が印加される触媒電極と、該触媒電極に対して電気的に絶縁された触媒金属体とが配置されており、前記触媒金属体が前記触媒電極の近傍に配置されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項３のように、前記触媒電極および前記触媒電極体を構成する触媒が、窒素、アルゴン、アンチモン、ビスマスの一種、或いはこれらから選択される二以上の物質の混合物（第三体）とすることができる。
すなわち、気体吸着により、窒素、アルゴンの１種若しくは両者を電極等に含ませてなるものを触媒電極や触媒金属体として採用してもよいし、アンチモンを真空蒸着してなるもの（アンチモン電極）を触媒電極や触媒金属体として採用することもできる。
かかる触媒は、触媒電極や触媒金属体を構成する電極本体上において、均一若しくは間欠状に、触媒層として形成することができる。格子状のパターンで構成してもよい。
触媒層の形成方法としては、蒸着、貼り付け、合金化などの方法を挙げることができる。
【００１４】
具体的には、請求項４のように、前記触媒電極が、アンチモンが蒸着されたチタン電極であり、前記触媒金属体が、アンチモンが蒸着された金属多孔体とすることができる。金属多孔体の具体例としては、金属網であるメッシュ、パンチングメタル、エキスパンドメタルなどを挙げることができる。
【００１５】
請求項５記載の本発明に係るオゾン生成方法は、無声放電若しくは沿面放電によるオゾン生成方法であって、酸素を含む原料ガスが流れるガス流路内に、高電圧が印加される触媒電極と、該触媒電極に対して電気的に絶縁された触媒金属体とが、該ガス流路の上流側から順に配置されており、前記ガス流路内において、前記原料ガスを前記触媒電極、次いで前記触媒金属体に順に経由させるようにしていることを特徴する。
【００１６】
請求項６のように、前記触媒電極および前記触媒電極体を構成する触媒が、窒素、アルゴン、アンチモン、ビスマスの一種、或いはこれらから選択される二以上の物質の混合物（第三体）とすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のように、酸素を含む原料ガスが流れるガス流路内に、高電圧が印加される触媒電極と、該触媒電極に対して電気的に絶縁された触媒金属体とを、該ガス流路の上流側から順に配置してあると、無声放電および／又は沿面放電により触媒電極の最終部分で生成された酸素原子を、触媒金属体上に存する酸素分子と結合させることができるので、オゾン生成効率の向上を図ることができる。つまり、従来においては、オゾン生成に寄与することなく、未反応の原料ガス等とともに排出されていた酸素原子を、触媒金属体上に存する酸素分子と結合させて、オゾンの生成に活用することができ、したがって、オゾン生成効率の格段の向上を図ることができる。
【００１８】
本発明におけるオゾン生成効率の向上効果は、原料ガスの供給量を多くしたときに、顕著に発揮される（図９、図１０参照）。したがって、本発明に係るオゾン生成方法・装置は、オゾンの大量生産に適しており、特に、上下水道の処理用のオゾン生成装置に適している。
【００１９】
また、本発明に係るオゾン生成装置は、実質的に非特許文献１に係る図１１に示した装置に触媒金属体を付与するだけで得ることができる。従って、構造が簡単で安価に製造することができる点でも優れている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は本発明に係るオゾン生成装置の構成を模式的に示す側面断面図、図２はオゾン生成装置を含むオゾン発生システムの全体構成図、図３はオゾン生成装置の側面図、図４はオゾン生成装置の正面図、図５はオゾン生成装置の分解側面図、図６はオゾン生成装置を構成する触媒電極および触媒金属体の組み付け位置を説明するための図である。
【００２１】
図２に示すように、このオゾン発生システムは、電離室となるオゾン生成装置１、原料ガスとなる高濃度酸素が充填された酸素ガスボンベ２、酸素ガスボンベ２から送出された原料ガスのガス流量をコントロールして、原料ガスをオゾン生成装置１に供給するガス流量制御装置３、オゾン生成装置１に高電圧を印加するための高電圧電源４、オゾン生成装置１を水冷するための冷却装置５、冷却装置５からオゾン生成装置に供給される冷却水の温度を測定する温度計７などで構成される。符号８は、オゾン生成装置１から送出されるオゾンガスの濃度を測定する濃度モニタを示す。
【００２２】
図１、図３、図５および図６に示すように、オゾン生成装置１の外殻を構成するハウジング１０は、前後一対の金属製のプレート９ａ・９ｂと、両プレート９ａ・９ｂの間に介在される一枚のスペーサ１５とを構成要素とし、これらプレート９ａ・９ｂおよびスペーサ１５の三者を不離一体的にボルト止め固定してなる。ハウジング１０の内部には放電空隙１１が形成されており、この放電空隙１１内に触媒電極１２と触媒金属体１３とが組み付けられている。両プレート９ａ・９ｂは長方形状の金属板であり、ハウジング１０は、上下に長い四角扁平状を呈している。図６に示すように、スペーサ１５は長方四角枠状の金属板であり、その盤面中央に開口部１６を備える。そして、プレート９ａ・９ｂによって前後方向が区画された開口部１６が放電空隙１１とされる。
【００２３】
図５に示すように、スペーサ１５の開口部１６に臨む両プレート９ａ・９ｂの対向面１９ａ・１９ｂには、セラミック誘電体２０ａ・２０ｂが層状に形成されている。両プレート９ａ・９ｂのセラミック誘電体２０ａ・２０ｂは、放電空隙１１を挟んで対向状に配置され、これらセラミック誘電体２０ａ・２０ｂの間に、触媒電極１２および触媒金属体１３が配置される。スペーサ１５の開口部１６には、触媒電極１２および触媒金属体１３の位置決め用のパッキン２１が装着されている。パッキン２１は、長方形状の開口部２２を有する角枠状の樹脂成形品であり、この中空開口部２２内に触媒電極１２および触媒金属体１３が遊動不能に装着される。
【００２４】
触媒電極１２は、金属多孔体４１の表面に、窒素、アルゴン、アンチモン、ビスマスにいずれか一種、或いはこれらの中から選択される複数種類の混合物（第三体）を蒸着してなるものである（図８参照）。かかる第三体は、触媒層４０として、貼り付け、合金化などの方法により、金属多孔体と一体化することができる。
【００２５】
金属多孔体の具体例としては、金属板に穿孔（パンチング）を施したパンチングメタルや、金属板を引き伸ばし、網目状にしたエキスパンドメタルなどを挙げることができる。本実施形態では、台形状のチタン製のエキスパンドメタルの表面にアンチモンを真空蒸着してなるアンチモン電極を触媒電極１２として採用している。
【００２６】
触媒金属体１３は、表面が触媒で被覆された金属多孔体である。かかる金属多孔体の具体例としては、金属網であるメッシュ、パンチングメタル、エキスパンドメタルなどを挙げることができる。触媒の具体例としては、窒素、アルゴン、アンチモン、ビスマスなどの第三体を挙げることができる。これら触媒は、蒸着、貼り付け、合金化などの方法で金属多孔体と一体化することができる。本実施形態では、台形状のステンレスメッシュにアンチモンを真空蒸着して触媒金属体とした。
【００２７】
図６に示すように、パッキン２１は、その中空開口部２２の左右の幅寸法が、下方向に行くに従って漸次幅広となる下拡がりのテーパー状に形成されている。また、この中空開口部２２のテーパー形状に対応して、触媒電極１２は、その左右の幅寸法が下方向に行くに従って漸次幅広となる下拡がりのテーパー形状（台形形状）に形成されている。触媒金属体１３は、長方形状に形成されている。
【００２８】
図６において、符号２５は、触媒電極１２に接続された電極線を放電空隙１１から引き出すことを目的として、プレート９ａに開設された導出口を示す。かかる導出口２５から引き出された電極線を介して、高電圧電源４から触媒電極１２に対して高電圧が印加される。
【００２９】
図１、図５および図６に示すように、一方のプレート９ａ（前側のプレート９ａ）の上部には、原料ガスの供給口２６が設けられ、プレート９ａの下部には、生成されたオゾンガスを送り出すための送出口２７が設けられている。放電空隙１１には、これら供給口２６から送出口２７に至るガス流路３０が形成されており、供給口２６から装置１の放電空隙１１内に送り込まれた原料ガスは、触媒電極１２と触媒金属体１３に接触しながらガス流路３０を通って、送出口２７から装置１外に送り出される。送出口２７から送り出されたガスに含まれるオゾンガスの濃度は、濃度モニタ８で測定することができる。
【００３０】
図１、図３および図４に示すように、各プレート９ａ・９ｂの上下の中央部分には、オゾン生成装置１を水冷するための冷却ジャケット３１ａ・３１ｂがボルト止め固定されている。冷却ジャケット３１ａ・３１ｂの内部には、冷却装置５から送られてきた冷却水を流すための冷却水通路が蛇行状に形成されており、それぞれの冷却ジャケット３１ａ・３１ｂの上部には、冷却水通路の入口ノズル３２（３２ａ・３２ｂ）と出口ノズル３３（３３ａ・３３ｂ）とが張り出し形成されている。
これら冷却装置５と二つの冷却ジャケット３１ａ・３１ｂとの間には、冷却水の循環経路が形成されている。すなわち、冷却装置５から送られてきた冷却水は、前方側の冷却ジャケット３１ａの入口ノズル３２ａから冷却水通路内に流入したのち、出口ノズル３３ａからチューブ３４を介して後方側の冷却ジャケット３１ｂの入口ノズル３２ｂに送られる。そして、冷却ジャケット３１ｂの冷却水通路を流れて出口ノズル３３ｂから冷却装置５に回収される。
【００３１】
そのうえで、本実施形態においては、ガス流路３０内において、触媒金属体１３が触媒電極１２よりも下流寄りに、しかも該触媒電極１２から電気的に絶縁した状態で配置されている点が着目される。すなわち、送出口２７の近傍にかかるガス流路３０の最下流位置に、触媒電極１２から所定間隔を置いて、触媒電極１２に対して電気的に絶縁された状態で触媒金属体１３が配置されている。繰り返すが、この触媒金属体１３には、高電圧は印加されていない。
【００３２】
ここで図７および図８を用いて、触媒金属体１３の働きについて説明する。
図７は酸素ガスの放電生成物のエネルギー状態を示す図、図８は触媒電極上におけるオゾンの生成反応を説明するための図である。電気放電による酸素気体中の放電生成物としては、図７に示すようなＯ２＋、Ｏ２（Ｅ、Ｆ）、Ｏ（１Ｄ）、Ｏ、Ｏ２（ｂ１Σｇ＋）、Ｏ−、Ｏ２（ａ１Δｇ）、Ｏ２−を挙げることができる。これらの内、オゾンの生成エネルギーに近い生成エネルギーを有するＯ（１Ｄ）、Ｏ、Ｏ２（ｂ）、Ｏ２（ａ）等の粒子が、主にオゾンの生成に関与すると考えられている。
【００３３】
ここで、図７に示すように、Ｏ２（ｂ）の酸素分子からの生成エネルギーが１．６３、Ｏ２（ａ）の酸素分子からの生成エネルギーが０．９３、Ｏの酸素分子からの生成エネルギーが、３．０であると、Ｏ２（ｂ）とＯもしくは、Ｏ２（ａ）とＯによりオゾンが生成されると、そのエネルギーはそれぞれ４．６３、３．９３となり、オゾンの生成に必要なエネルギー２．６を上回る。そのため、生成されたオゾンが不安的な励起状態となって分解されやすくなり、オゾン生成効率が低下するおそれがある。
【００３４】
以上のような不具合は、先の非特許文献１において本発明者等が提案したように、電極にオゾン生成を促進する第三体（窒素、アルゴン、アンチモン、ビスマスのいずれか１種、もしくはこれらから選択される複数種の物質の混合物）である触媒を担持させることで解決することができる。つまり、本実施形態のような触媒電極１２を採用することで解決できる。
【００３５】
具体的には、図８に示すように、酸素ガスの供給下において触媒電極１２で無声放電と沿面放電の複合放電が行われると、酸素分子にエネルギーが与えられて、該触媒電極１２上において、酸素分子は基底状態からエネルギー励起状態（Ｏ２（ｂ）、Ｏ２（ａ）：図７参照）に移行する。そして、励起状態の酸素分子に、放電生成物である酸素原子が結合することにより、オゾンが生成される。そして、オゾン生成の際に付与された過剰なエネルギーが、触媒層４０、すなわち第三体に伝達されることにより、生成されたオゾンを基底状態に移行させて、当該オゾンを安定化させることができる。
【００３６】
しかし、この形態では、触媒電極１２の最終部分（原料ガスの流れ方向において最下流となる部分）で生成された酸素原子が、オゾン生成に寄与せず、オゾン生成効率の低下を招く不利がある。そこで、本実施形態においては、図１のように、ガス流路３０内に触媒電極１２と該触媒電極１２に対して電気的に絶縁された触媒金属体１３とを上流側から順に配置するとともに、原料ガスを触媒電極１２、次いで触媒金属体１３に順に経由させるようにした。
【００３７】
以上のようなオゾン生成方法、装置によれば、触媒電極１２の最終部分で生成された酸素原子を、触媒金属体１３上に存する酸素分子と結合させることができるので、オゾン生成効率の向上を図ることができる。つまり、従来においては、オゾン生成に寄与することなく、未反応の原料ガス等とともに放出されていた酸素原子を、触媒金属体１３上に存する酸素分子と結合させて、オゾンの生成に活用することができるので、オゾン生成効率の向上を図ることができる。
【実施例】
【００３８】
以下の実施例においては、触媒電極と触媒金属体とを併用したことによる、オゾン生成効率の向上効果を確認することを目的とする。
【００３９】
この実施例においては、上記実施形態に示したオゾン生成装置およびシステムを用いて実験を行った。触媒電極１２としては、チタン製のエキスパンドメタルの表面にアンチモンを蒸着してなるアンチモン電極を用いた。触媒金属体１３としては、ステンレスメッシュにアンチモンを蒸着してなるアンチモンメッシュを用いた。
【００４０】
図９に、触媒金属体（アンチモンメッシュ）を併用した場合と、併用しなかった場合におけるオゾン収率の挙動を示す。つまり、図９のＡ群は、放電空隙１１内に触媒電極１２（アンチモン電極）と触媒金属体１３（アンチモンメッシュ）とを組み付けた場合のオゾン収率の挙動を示している。Ｂ群は、触媒金属１２（アンチモン電極）のみを放電空隙１１内に組み付けた場合のオゾン収率の挙動を示している。そこでは、０．５〜４（Ｎｌ／ｍｉｎ）の範囲の４段階で、原料ガスの装置への流量（酸素の流量）を変更し、各流量におけるオゾンの収率を測定した。
また、図１０（ａ）に、触媒電極体１２と触媒金属体１３を併用したときのオゾン濃度の挙動を、図１０（ｂ）に、チタン電極のみをつかってオゾンを生成したときのオゾン濃度の挙動を示す。
【００４１】
図９のＡ群とＢ群との比較より明らかなように、酸素流量が２Ｎｌ／ｍｉｎ以下の場合には、触媒金属体１３の有無によっては、オゾン収率に殆ど差は認められないが、４Ｎｌ／ｍｉｎにおいて、触媒電極のみの形態に比べて、５％以上収率が向上することが確認できた。
【００４２】
また、図１０（ａ）（ｂ）の結果より明らかなように、触媒電極１２と触媒金属体１３を併用した形態（図１０（ａ））のほうが、第三体を具備しないチタン電極のみの形態（図１０（ｂ））に比べて、オゾン濃度が格段に向上することが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明に係るオゾン生成装置の構成を模式的に示す側面断面図。
【図２】オゾン生成装置を含むオゾン発生システムの全体構成図。
【図３】オゾン生成装置の側面図。
【図４】オゾン生成装置の正面図。
【図５】オゾン生成装置の分解側面図。
【図６】オゾン生成装置を構成する触媒電極および触媒金属体の組み付け位置を説明するための図。
【図７】酸素ガスの放電生成物のエネルギー状態を示す図。
【図８】電極上におけるオゾンの生成反応を説明するための図。
【図９】触媒金属体の有無によるオゾン収率の挙動を示す図。
【図１０】（ａ）は、触媒電極体と触媒金属体とを併用したときのオゾン濃度の挙動を示す図、（ｂ）は、チタン電極のみをつかってオゾンを生成したときのオゾン濃度の挙動を示す図。
【図１１】従来のオゾン生成装置の構成を模式的に示す側面断面図。
【符号の説明】
【００４４】
１  オゾン生成装置
１２  触媒電極
１３  触媒金属体
２６  供給口
２７  送出口
３０  ガス流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図９】
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