(57)【要約】【課題】  電極端子を介して不要な電気信号が入力されることで圧電デバイスの特性劣化を引き起こすことのない信頼性の高い圧電デバイスを提供する。【解決手段】  パッケージ１３の外表面には回路素子１４および圧電振動片１２、または回路素子１４と圧電振動片１２のいずれかと電気的に接続され、回路素子１４への制御データの書込みまたは圧電デバイス１０の特性を出力する複数の電極端子１５が形成され、少なくとも一つの電極端子１５の表面が絶縁部材１７により被覆されている圧電デバイスとする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動片と回路素子とがパッケージの内部に収納された圧電デバイスにおいて、
前記パッケージの外表面には前記回路素子および圧電振動片、または前記回路素子と前記圧電振動片のいずれかと電気的に接続され、前記回路素子への制御データの書込みまたは前記圧電デバイスの特性を出力する複数の電極端子が形成され、
少なくとも一つの前記電極端子の表面が絶縁部材により被覆されていることを特徴とする圧電デバイス。
【請求項２】
前記パッケージは底面部と側壁部により形成される凹部に前記圧電振動片と前記回路素子を収納するベースと、前記ベースの凹部を封止する蓋体とにより構成され、前記電極端子が前記ベースの底面部および側壁部、または底面部および側壁部のいずれか一方に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電デバイスに係るものであり、特にＩＣと接続され、このＩＣとデータの入出力を行う圧電デバイスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯機器などの高機能化にともない、それに使われる圧電デバイスに対する高安定化、高精度化への要求も強くなってきており、圧電デバイスの高安定化、高精度化を実現するために、圧電振動子と回路素子を組み合わせた圧電デバイスが用いられるようになってきている。
【０００３】
このような高安定、高精度の圧電デバイスを得るため、例えば特許文献１に示すような圧電デバイスが開示されている。図３は従来例における圧電デバイスの構造を示す斜視図であり、（ａ）は従来における圧電デバイスの構成を説明するための斜視図、（ｂ）は従来における圧電デバイスを上面から見た斜視図、（ｃ）は従来における圧電デバイスを底面から見た斜視図である。以下、従来の圧電デバイスについて図を用いて説明する。
【０００４】
図３に示すように、この圧電デバイス３０は、パッケージ３３の中に、回路素子３４と圧電振動片３２とを接着剤（図示せず）などで順次、固定、収納した後、蓋体３１をパッケージ３３の開口面に接合して、これら回路素子３４と圧電振動片３２を気密に封止することで得られる。
【０００５】
このようにして得られた圧電デバイス３０のパッケージ３３の側面や裏面には、データ入出力用の端子として電極端子３５や外部接続端子３６が設けられており、これらの電極端子３５や外部接続端子３６を利用して、圧電デバイス３０の特性を高安定化、高精度化するための制御データを回路素子３４に電気信号で入力している。また、回路素子３４に入力された制御データをもとに得られる圧電デバイス３０の特性データを出力し、特性検査に利用することも可能となっている。外部接続端子３６は圧電デバイスの回路素子への制御データの入力や圧電デバイスの特性検査等を実施した後も、電源電圧供給端子や発振出力端子等の外部機器との接続に利用される端子である。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２１４７９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記構成の圧電デバイスの場合、パッケージに設けられている各端子には、圧電デバイスの特性を高安定、高精度にするための制御データを回路素子に入力し、さらに製品として完成した後には、実用上この圧電デバイスにとっては不要となる電極端子も圧電デバイスのパッケージの表面に露出した状態のまま、製品の一部分として存在している。
【０００８】
このため、これら不要な電極端子を通して、不要な電気信号が回路素子に入力されてしまい、その結果、不要なデータが回路素子に入力されるなどして、圧電デバイスの特性劣化を引き起こすという課題を有していた。
【０００９】
そこで本発明は、圧電デバイスの回路素子に所定のデータを入力した後、不要な電気信号の誤入力による圧電デバイスの特性劣化を引き起こすことのない信頼性の高い圧電デバイスを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の圧電デバイスは、圧電振動片と回路素子とがパッケージの内部に収納された圧電デバイスにおいて、前記パッケージの外表面には前記回路素子および圧電振動片、または前記回路素子と前記圧電振動片のいずれかと電気的に接続され、前記回路素子への制御データの書込みまたは前記圧電デバイスの特性を出力する複数の電極端子が形成され、少なくとも一つの前記電極端子の表面が絶縁部材により被覆された構造とする。
【００１１】
さらには、前記パッケージは底面部と側壁部により形成される凹部に前記圧電振動片と前記回路素子を収納するベースと、前記ベースの凹部を封止する蓋体とにより構成され、前記電極端子が前記ベースの底面部および側壁部、または底面部および側壁部のいずれか一方に形成されている圧電デバイスとする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、圧電デバイスの回路素子に所定の制御データを入力し、さらに製品として完成した後には、実用上この圧電デバイスにとっては不要となる電極端子のうち、不要な電気信号が入力される恐れのある端子表面を絶縁部材で覆うことにより、これらの電極端子からの電気信号の誤入力を防ぐことが可能となり、圧電デバイスの特性劣化を引き起こすことのない信頼性の高い圧電デバイスを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の最良の実施形態について図１および図２を用いて説明する。
【実施例１】
【００１４】
図１は本発明の一実施例における圧電デバイスの構造を示す斜視図であり、（ａ）は本発明における圧電デバイスの構成を説明するための斜視図、（ｂ）は本発明における圧電デバイスを上面から見た斜視図、（ｃ）は本発明における圧電デバイスを底面から見た斜視図である。なお、（ａ）は本発明の圧電デバイスの構成をわかりやすく説明するため、構造の一部を切り取った状態の斜視図としている。
【００１５】
図１に示すように、圧電デバイス１０は、底面部１３ａと側壁部１３ｂに制御データを入出力するための電極端子１５ならびに外部接続端子１６を有するベース１３と、このベース１３の開口部１３ｃの内部に配置され、金や半田から成るバンプあるいは導電性接着剤などの接着部材（図示せず）を用いて、ベース１３と機械的、電気的に接続固定される回路素子１４および圧電振動片１２と、これら回路素子１４と圧電振動片１２をベース１３の開口部１３ｃ内部に気密に封止するための蓋体１１と、電極端子１５を覆うための樹脂、セラミックあるいはガラスなどの絶縁物から成る絶縁部材１７で構成する。
【００１６】
なお、回路素子１４の電極パッド（図示せず）と、電極端子１５や外部接続端子１６とは配線（図示せず）でそれぞれつながっているので、電極端子１５や外部接続端子１６を通して、回路素子１４はベース１３の外部と、電気信号によるデータの入出力が可能となっている。
【００１７】
圧電デバイス１０を作製する過程で、電極端子１５や外部接続端子１６は、圧電デバイス１０のデバイス特性を高安定化、高精度化するための制御データを回路素子１４に入力したり、回路素子１４に入力された制御データをもとに得られる圧電デバイス１０のデバイス特性を出力するために用いられる。
【００１８】
外部接続端子１６は圧電デバイス１０が製品として完成した後も外部機器の接続等に利用される端子であるが、電極端子１５は回路素子１４への制御データの入力や圧電デバイス１０の特性検査の後には実用上不要となる端子である。
【００１９】
この電極端子１５が、ベース１３の表面に露出した状態のまま存在していると、その電極端子１５から回路素子１４に不要な電気信号の進入が発生するなどして圧電デバイスの特性劣化を引き起こすが、本発明では、圧電デバイス１０の回路素子１４への制御データの入力や圧電デバイス１０の特性検査の後不要となる電極端子１５を絶縁部材１７で覆うことにより、不要な電気信号の進入を防げるので、電気信号の誤入力による圧電デバイスの特性劣化が発生しなくなる。
【００２０】
なお、絶縁部材１７は、絶縁物の塗布、印刷、スパッタリングや蒸着などの成膜、あるいは、絶縁物の微粒子を吹き付けるエアロゾルデポジションなどの手法により形成する。
【実施例２】
【００２１】
図２は本発明の他の実施例における圧電デバイスの構造を示す斜視図であり、（ａ）は本発明における圧電デバイスの底面の構造を説明するための斜視図、（ｂ）は本発明における圧電デバイスを底面から見た斜視図である。
【００２２】
図１に示す実施例では、電極端子がベースの側壁部にある場合を示したが、図２に示すように、電極端子２５はベース２２の底面部にあっても良い。
【００２３】
なお、図１に示した実施例と同様に、電極端子２５や外部接続端子２６は配線（図示せず）で回路素子（図示せず）と接続されており、圧電デバイス２０が製品として完成した後も外部接続端子２６は利用されるが、電極端子２５は実用上不要となるため、絶縁部材２７で覆う構造となっている。
【００２４】
本発明の実施例では、電極端子がベースと蓋体で構成されたパッケージの側面あるいは底面のどちらかに設けた場合で示したが、電極端子はパッケージの側面および底面の両方にあっても何ら問題ない。
【００２５】
また、本発明の実施例では、電極端子の露出部分の周囲も含めて、絶縁部材で覆う構造としたが、少なくとも電極端子の露出部分が絶縁部材で覆われていれば、本発明と同様な効果が得られることは言うまでもない。
【００２６】
さらに、本発明の実施例では、圧電デバイスの構造として、圧電振動片と回路素子を一つのパッケージの同じ空間に収納する場合を示したが、圧電デバイスとしては、一つのパッケージで別空間に圧電振動片および回路素子を各々収納する構造、あるいは、別々のパッケージに圧電振動片および回路素子を各々収納した後、両者を組み合わせる構造などであっても良く、すなわち、回路素子へデータを入出力するための端子を有するあらゆる圧電デバイスに対して適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は、高精度の圧電デバイスに活用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明における圧電デバイスの一実施例を説明する斜視図。
【図２】本発明における圧電デバイスの他の実施例を説明する斜視図。
【図３】従来例における圧電デバイスを説明する斜視図。
【符号の説明】
【００２９】
１０    圧電デバイス
１１    蓋体
１２    圧電振動片
１３    ベース
１３ａ  底面部
１３ｂ  側壁部
１３ｃ  凹部
１４    回路素子
１５    電極端子
１６    外部接続端子
１７    絶縁部材
２０    圧電デバイス
２２    ベース
２７    絶縁部材
【図１】
2007258948.tif 000003
【図２】
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【図３】
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