(57)【要約】 【課題】  本発明は、基板を洗浄する際に使用する基板洗浄用ラック及び前記ラックに使用する枠体の発明である。従来の基板洗浄用ラックでは、基板のサイズが限定され、大きさの違う基板を洗浄するには別の基板洗浄用ラックを用意しなければならないため経費がかかり、また、保管にも場所を取るものであった。【解決手段】本発明は、上記の課題を解決するために、洗浄する基板を挟み前後に固定するラック部と、洗浄する基板の台となり固定する可動式台とを内側に持つ枠体部と、枠体部上部に取り付けられ吊り下げ具で引き上げる際の引っ掛け部分となる左右ハンガーとからなる基板洗浄用ラックの前記枠体部の左右上連結材の内側に溝を等間隔に複数設けたラック固定枠を備えたことを特徴とする基板洗浄用ラックの構成とした。【選択図】  図１
2007111637.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄する基板を挟み前後に固定するラック部と、洗浄する基板の台となり固定する可動式台とを内側に持つ枠体部と、枠体部上部に取り付けられ吊り下げ具で引き上げる際の引っ掛け部分となる左右ハンガーとからなる基板洗浄用ラックの前記枠体部の左右上連結材の内側に溝を等間隔に複数設けたラック固定枠を備えたことを特徴とする基板洗浄用ラック。
【請求項２】
同形同大の上下枠の両端に突出部を残した状態で上枠と下枠を背面に凸板を備え複数の孔を穿設した左右側面枠で連結し、上下枠の中央部同士を左右支持棒で連結し、更に左側面枠と左支持棒の上端同士を左上枠で連結し、右側面枠と右支持棒の上端同士を右上枠で連結した枠体で、左右支持棒の背面の左右凸板で凸部を形成したことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄用ラックに使用する枠体。
【請求項３】
同形同大の上下枠の両端に突出部を残した状態で上枠と下枠を中板を備えた縦長の環状をした左右側面枠で連結し、上下枠の中央部同士を複数の孔を穿設した左右支持棒で連結し、更に左側面枠と左支持棒の真ん中の位置に左側面枠と平行して左中枠を備え、右側面枠と右支持棒の真ん中の位置に右側面枠と平行して右中枠を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄用ラックに使用する枠体。
【請求項４】
同形同大の上下枠の両端に突出部を残した状態で上枠と下枠を複数の孔を穿設した左右側面枠で連結し、上下枠の中央部同士を複数の孔を穿設した中枠で連結し、更に左側面枠と中枠の真ん中の位置に左側面枠と平行して左中枠を備え、右側面枠と中枠の真ん中の位置に右側面枠と平行して右中枠を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄用ラックに使用する枠体。
【請求項５】
同形同大の上下枠の両端に突出部を残した状態で上枠と下枠を複数の平坦部と上中下凸面からなる左右側面枠で連結し、上下枠の中央部同士を左右側面枠と同形同大の中枠で連結し、左側面枠と中枠の真ん中の位置に左側面枠と平行して中枠と同形同大の左中枠を備え、右側面枠と中枠の真ん中の位置に右側面枠と平行して中枠と同形同大の右中枠を備えた合わせ側枠体と、同形同大の上下枠の両端に突出部を残した状態で上枠と下枠を複数の孔を穿設した凸部を背面に備え正面に折返面を備えた左右側面枠で連結し、上下枠の中央部同士を複数の平坦部と上中下凸面からなる中枠で連結し、左側面枠と中枠の真ん中の位置に左側面枠と平行して中枠と同形同大の左中枠と備え、右側面枠と中枠の真ん中の位置に中枠と同形同大の右中枠と備えた受け側枠体とからなり、合わせ側枠体と受け側枠体を重ねて使用することを特徴とする請求項１に記載の祈願洗浄用ラックに使用する枠体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を洗浄する際に使用する基板洗浄用ラック及びそれに使用する枠体に関するの発明である。
【背景技術】
【０００２】
従来から存在する基板洗浄用ラックは、箱形の基板固定用のラックに基板を設置し、洗浄液を四方から噴射し洗浄するものであった。
【０００３】
しかしながら、従来の基板洗浄用ラックでは、基板のサイズが限定され、大きさの違う基板を洗浄するには別の基板洗浄用ラックを用意しなければならないため経費がかかり、また、保管にも場所を取るものであった。
【０００４】
また、基板を固定する枠体の大きさが限定されているため、基板の大きさと枠体の大きさが異なる場合、洗浄中や洗浄後の乾燥の際に枠体から基板が外れてしまうことがあり安心して基板を洗浄することができなかった。
【０００５】
更に、幾重にも重ねられた枠体の間に乾燥のための風が通りにくく、基板の乾燥に時間がかかる上、十分に基板を乾燥させることができなかった。
【特許文献１】特願２００４−２８３７１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、基板を固定するラック部と台部を調節可能としたことで、一台で様々な大きさの基板に対応でき基板の大きさに合わせて複数洗浄用ラックを用意することがなく、基板の洗浄や乾燥の際に基板が枠体から外れることがなく基板の乾燥は速い基板洗浄用ラックと枠体を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記の課題を解決するために、洗浄する基板を挟み前後に固定するラック部と、洗浄する基板の台となり固定する可動式台とを内側に持つ枠体部と、枠体部上部に取り付けられ吊り下げ具で引き上げる際の引っ掛け部分となる左右ハンガーとからなる基板洗浄用ラックの前記枠体部の左右上連結材の内側に溝を等間隔に複数設けたラック固定枠を備えたことを特徴とする基板洗浄用ラックと、同形同大の上下枠の両端に突出部を残した状態で上枠と下枠を背面に凸板を備え複数の孔を穿設した左右側面枠で連結し、上下枠の中央部同士を左右支持棒で連結し、更に左側面枠と左支持棒の上端同士を左上枠で連結し、右側面枠と右支持棒の上端同士を右上枠で連結した枠体で、左右支持棒の背面の左右凸板で凸部を形成したことを特徴とする枠体の構成、同形同大の上下枠の両端に突出部を残した状態で上枠と下枠を中板を備えた縦長の環状をした左右側面枠で連結し、上下枠の中央部同士を複数の孔を穿設した左右支持棒で連結し、更に左側面枠と左支持棒の真ん中の位置に左側面枠と平行して左中枠を備え、右側面枠と右支持棒の真ん中の位置に右側面枠と平行して右中枠を備えたことを特徴とする枠体の構成、同形同大の上下枠の両端に突出部を残した状態で上枠と下枠を複数の孔を穿設した左右側面枠で連結し、上下枠の中央部同士を複数の孔を穿設した中枠で連結し、更に左側面枠と中枠の真ん中の位置に左側面枠と平行して左中枠を備え、右側面枠と中枠の真ん中の位置に右側面枠と平行して右中枠を備えたことを特徴とする枠体の構成及び  同形同大の上下枠の両端に突出部を残した状態で上枠と下枠を複数の平坦部と上中下凸面からなる左右側面枠で連結し、上下枠の中央部同士を左右側面枠と同形同大の中枠で連結し、左側面枠と中枠の真ん中の位置に左側面枠と平行して中枠と同形同大の左中枠を備え、右側面枠と中枠の真ん中の位置に右側面枠と平行して中枠と同形同大の右中枠を備えた合わせ側枠体と、同形同大の上下枠の両端に突出部を残した状態で上枠と下枠を複数の孔を穿設した凸部を背面に備え正面に折返面を備えた左右側面枠で連結し、上下枠の中央部同士を複数の平坦部と上中下凸面からなる中枠で連結し、左側面枠と中枠の真ん中の位置に左側面枠と平行して中枠と同形同大の左中枠と備え、右側面枠と中枠の真ん中の位置に中枠と同形同大の右中枠と備えた受け側枠体とからなり、合わせ側枠体と受け側枠体を重ねて使用することを特徴とする枠体の構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明である、基板洗浄用ラックは、以上のような構成であるから、以下の効果が得られる。第１に、一つ種類の基板洗浄用ラックで大きさの異なる基板を固定し洗浄することができるため、様々大きさの基板洗浄用ラックを用意することがなく、無駄な経費がかからず経済的である。
【０００９】
第２に、上下左右から乾燥の為の風を通すことができるため、短時間で効果的に基板の乾燥を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
基板がしっかりと固定され、基板洗浄中及び基板乾燥中に基板がずれたり外れたりすることがない基板洗浄用ラック及び枠体という目的を、基板洗浄用ラックに複数の溝を設けたラック固定部材を備え、密着部を多く備えた枠体とすることで実現した。
【実施例１】
【００１１】
以下に、添付図面に基づいて本発明である基板洗浄用ラックと枠体を詳細に説明する。
【００１２】
先ず、本発明である基板洗浄用ラックと枠体の基板洗浄用ラックについて説明する。図１は本発明である基板洗浄用ラックと枠体の基板洗浄用ラックの正面図、図２は基板洗浄用ラックの右側面図、図３は基板洗浄用ラックの左側面図、図４は基板洗浄用ラックの平面図である。
【００１３】
図１に示すように、基板洗浄用ラック１は、枠体部２と枠体部２の左上部に連結された左ハンガー３と枠体部２の右上部に連結された右ハンガー４と枠体部２内に取り付けられるラック部５と枠体部２内を上下に調節して設置することが可能な可動式台６とからなる。洗浄する基板７を各ラック部５間に挟み枠体部２内へ設置する。
【００１４】
正面枠２ａの左右上部に回動可能に取り付けられた右前ラックホルダー２ｏと左前ラックホルダー２ｐは、ラック部５の複数のラック５ｈ、５ｈ、５ｈ・・・・を固定しているラック固定部材２ｑ、２ｑとともに、ラック部５が倒れないように保持している。
【００１５】
枠体部２の中央横向きに設置されている可動式台６は、Ａ方向、Ｂ方向に移動させ設定することが可能である。また、枠体部２の左右上部にはステーにより持ち上げられる時に使用する左右ハンガー３、４が設置されている。
【００１６】
図２及び図３に示すように、正面枠２ａ及び背面枠２ｂは、右側が右上連結材２ｃ、右中連結材２ｄ、右下連結材２ｆにより連結されており、左側は左上連結材２ｉ、左中連結材２ｊ、左下連結材２ｌにより連結されている。尚、正面枠２ａの左右両辺には、左右前柱２ｍ、２ｇで補強されており、背面枠２ｂの左右両面にも、左右後柱２ｎ、２ｈで補強されている。
【００１７】
図２に示すように、右中連結材２ｄと右下連結材２ｆの間には、内側両端に受け部２ｒ、２ｒが設けられている複数枚の右台支持材２ｅ、２ｅ、２ｅが設置されている。図３示すように、左中連結材２ｊと左下連結材２ｌの間には、溝２ｓ、２ｓが設けられている複数枚の左台支持材２ｋ、２ｋ、２ｋが設置されている。この左右台支持材２ｅ、２ｋの設置すべき数及び設置すべき位置については、特に限定していない。
【００１８】
図２に示すように、右台支持材２ｅの受け部２ｒ、２ｒには、可動式台６の右係止材６ｉに形成されている溝６ｊ、６ｊを嵌め込む。また図３に示すように、前記左台支持材２ｋの溝２ｓ、２ｓにはコの字状の左係止材６ｈの両端部分が嵌め込んで可動式台６を取り付ける。
【００１９】
図２に示すように、右上連結材２ｃと右中連結材２ｄの中央には、右ハンガー４の右連結材４ａにより固定されており、右連結材４ａの上部は右ハンガー軸４ｂに接続している。
【００２０】
右ハンガー軸４ｂは右補強材４ｃで補強されており、右ハンガー軸４ｂの上部には略Ｌ字状に屈曲した右ハンガー部４ｅが右ハンガー軸４ｂより正面方向に向かって折り返すように接合されている。
【００２１】
折り返した右ハンガー部４ｅは前方に向かって斜めに折り返されているため、右ハンガー軸４ｂとＶ字型の隙間４ｆを作り、後にステーをかけることができる。尚、前記右ハンガー部４ｅには略Ｌ字に添って右起立部４ｄが補強材として接合されている。
【００２２】
図３に示すように、左上連結材２ｉと左中連結材２ｊの中央は左ハンガー３の左連結材３ａにより連結されており、左連結材３ａの上部は左ハンガー軸３ｂに連結固定している。
【００２３】
左ハンガー軸３ｂは左補強材３ｃで補強されており、左ハンガー軸３ｂの上部には略Ｌ字状に屈曲した左ハンガー部３ｅが左ハンガー軸より正面方向に向かって折り返すように接合されている。
【００２４】
折り返した左ハンガー部３ｅは前方に向かって斜めに折り返しているため、前記左ハンガー軸３ｂとＶ字型の隙間３ｆを作り、後にステーをかけることができる。尚、左ハンガー部３ｅには、略Ｌ字状に添って左起立部３ｄが補強材として接合されている。
【００２５】
図４に示すように、左ハンガー３の左連結部３ａ及び右ハンガー４の右連結部４ａは、ハンガー連結棒３ｇにより連結されている。
【００２６】
正面枠２ａ及び背面枠２ｂの間には、ラック部５があり、複数枚のラック５ｈ、５ｈ、５ｈ・・・が挟まれており、右上連結材２ｃと左上連結材２ｉ間の中央部にあるラック固定部材２ｑ、２ｑ、２ｑ、２ｑにより固定されている。
【００２７】
正面枠２ａの上部には、回動可能に設置された左右前ラックホルダー２ｐ、２ｏがあり、ラック部５の各ラック５ｈ、５ｈ、５ｈ、５ｈ・・・・が倒れないように保持している。また、背面枠２ｂ上部にも回動可能に設置された左右後ラックホルダー２ｕ、２ｔが設置されていて、ラック部５の各ラック５ｈ、５ｈ、５ｈ・・・を保持している。
【００２８】
図５は、基板洗浄用ラックの右側面図である。図５に示すように、左右前ラックホルダー２ｐ、２ｏを外し、ラック固定部材２ｑを外すとラック部５の各ラック５ｈ、５ｈ・・・・は外方に向かって倒れる。ラック部５の各ラック５ｈ、５ｈ・・・の下端部は回動可能に取り付けられているために各ラック５ｈ、５ｈ、５ｈの上部だけが外方に向かって倒れる。
【００２９】
図６は、本発明である基板洗浄用ラックと枠体のラック部の正面図である。ラック部５の各ラック５ｈ、５ｈ、５ｈ・・・・は、上枠５ａ、下枠５ｂ、横断面形状が略Ｕ字状の左Ｕ字枠５ｃ、横断面形状が略Ｕ字状の右Ｕ字枠５ｄ及び支持棒５ｅとからなる。
【００３０】
支持棒５ｅの上端には上連結部材５ｆが取り付けられているとともに、下端には下連結部材５ｇが取り付けられている。支持棒５ｅの上連結部材５ｆは上枠５ａの中央に取り付けられ、下連結部材５ｇは下枠５ｂの中央に取り付けられている。即ち、支持棒５ｅの上端は上枠５ａの中央部に、下端は下枠５ｂの中央部に着脱可能に取り付けられている。
【００３１】
図７は本発明である基板洗浄用ラックと枠体の可動式台の正面図、図８は基板洗浄用ラックと枠体の可動式台の平面図である。図７に示すように、可動式台６は、第１台６ｄ、第２台６ｅ、第３台６ｆ、第４台６ｇ、台連結材６ａ、左右係止材６ｈ、６ｉ及び左右取っ手６ｂ、６ｃとからなる。
【００３２】
第１台６ｄと第４台６ｇは同形同大であるとともに、第２台６ｅと第３台６ｆも同形同大である。第１、第２、第３、第４台６ｄ、６ｅ、６ｆ、６ｇは、それぞれ複数個からなり連結されている。
【００３３】
即ち、第１台６ｄは台連結材６ｋ、６ｋにより、第２台６ｅは台連結材６ｌ、６ｌにより、第３台６ｆは台連結材６ｍ、６ｍにより、第４台６ｇは台連結材６ｎ、６ｎにより等間隔に連結されている。
【００３４】
図８に示すように、第１台６ｄ、第２台６ｅ、第３台６ｆ、第４台６ｇは台連結材６ａにより連結されている。台連結材６ａ上部には左右取っ手６ｂ、６ｃが設置されており、台連結材６ａの左右両端には左係止材６ｈ、右係止材６ｉが設置されている。
【００３５】
左係止材６ｈはコの字状をしており、両端部分は枠体部２の左台支持材２ｋに用意された溝２ｓ、２ｓに嵌め込む。右係止材６ｉには、溝６ｊ、６ｊが形成されており、枠体部２の右台支持材２ｅ内側に設けられた受け部２ｒ、２ｒに嵌め込む。
【００３６】
図９は本発明である基板洗浄用ラックの一部拡大図である。図９に示すように、基板洗浄用ラック１の左上連結材２ｉの内側にはラック固定枠２ｖが設けられており、ラック固定枠２ｖの上面には等間隔に複数の溝２ｗ、２ｗ、２ｗ・・・が形成されている。本発明では、この溝２ｗの数を２０としたが、この数は限定したものではない。また、右上連結材２ｃの内側にも複数の溝２ｗを形成したラック固定枠２ｖが設けられている。ラック５ｈの上枠５ａの両端に突出部が設けられている場合、固定枠２ｖの各溝２ｗに上枠５ａの左右突出部を係止する。
【００３７】
図１０は本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第２実施例の正面図、図１１は枠体の第２実施例の平面図、図１２は枠体の第２実施例の左側面図、図１３は枠体の第２実施例のＡ−Ａ線の断面図である。
【００３８】
図１０から図１２に示すように、枠体８は上枠８ｈと下枠８ｃと左右側面枠８ｄ、８ｅで略長方形状の枠を構成し、上枠８ｈの前面側に上枠８ｈと平行して左右上枠８ａ、８ｂが設けられており、中央に左右側面枠８ｄ、８ｅと平行して左右支持棒８ｆ、８ｇが設けられている。
【００３９】
左右上枠８ａ、８ｂは上枠８ｈの半分程の長さであり、左上枠８ａの両端は左側面枠８ｄと左支持棒８ｆに連結されている。一方右上枠８ｂの両端は右側面枠８ｅと右支持棒８ｇに連結されている。尚、上枠８ｈ及び下枠８ｃは両端に突出部８ｉを設けて左右側面枠８ｄ、８ｅ及び左右支持棒８ｆ、８ｇすべてに連結されている。
【００４０】
左側面枠８ｄには複数の孔８ｑが穿設されており、背面側には左凸板８ｒが設けられている。図１３に示すように、右側面枠８ｅの背面側にも右凸板８ｐが設けられており、更に図示はされていないが複数の孔８ｑも穿設されている。右側面枠８ｅは上面より見ると略コの字型をして中空８ｍを形成しており、図示はされていないが、右側面枠８ｅと同様に左側面枠８ｄも上面よりみると略コの字型をして中空を形成している。
【００４１】
左支持棒８ｆは背面側に左凸板８ｎを設け、上面よりみると略コの字型をし左中空８ｋを形成している。一方右支持棒８ｇも背面側に右凸板８ｏを設け、上面より見ると略コの字型をし右中空８ｌを形成している。左右支持棒８ｆ、８ｇは左右凸板８ｎ、８ｏを連結して凸部８ｊを形成している。尚、左右支持棒８ｆ、８ｇにも前記左側面枠８ｄと同様に複数の孔８ｑが穿設されている。
【００４２】
図９において前述した基板洗浄用ラックのラック固定枠２ｖに形成された各溝２ｗに枠体８の突出部８ｉを嵌め込んで基板洗浄用ラックに枠体８を取り付けた状態では、各枠体８同士の左右側面枠８ｄ、８ｅ同士及び左右支持棒８ｆ、８ｇ同士は密着している。
【００４３】
この密着した左右側面枠８ｄ、８ｅ及び左右支持棒８ｆ、８ｇ同士の間に洗浄する基板７の縁を挟み込むことで、基板７はしっかりと固定され洗浄や乾燥によりずれ落ちることがない。また、枠体８の左右側面枠８ｄ、８ｅ及び左右支持棒８ｆ、８ｇには複数の孔８ｑが穿設されているため側面から送られる乾燥のための風を通しやすく短時間で基板７を乾燥させることができる。
【００４４】
図１４は本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第３実施例の正面図、図１５は枠体の第３実施例の平面図、図１６は枠体の第３実施例の左側面図、図１７は枠体の第３実施例の左中枠を示した図、図１８は枠体の第３実施例のＢ−Ｂ線の断面図である。
【００４５】
図１４及び図１５に示すように、枠体９は同形同大の上下枠９ａ、９ｂと同形同大の左右側面枠９ｃ、９ｄと同形同大の左右支持棒９ｅ、９ｆとからなり、略長方形状をしている。左側面枠９ｃと左支持棒９ｅとの真ん中の位置には左中枠９ｇが取り付けられており、右側面枠９ｄと右支持棒９ｆの真ん中の位置には右中枠９ｈが取り付けられている。また、上下枠９ａ、９ｂの両端は突出部９ｉが設けられている。
【００４６】
図１６に示すように、左側面枠９ｃは側面より見ると縦に長く伸びた環状をしており、３枚の中板９ｋ、９ｋ、９ｋが等間隔に設置されている。中板９ｋ同士の間は大きな中空９ｊとなっている。尚、右側面枠９ｄについても左側面枠９ｃと同様の形状をしている。即ち、縦に長く伸びた環状をして３枚の中板を備え、各中板同士の間は大きな中空を形成している。
【００４７】
図１７に示すように、左中枠９ｇは側面より見ると縦に長く伸びた略長方形状の板で、等間隔に複数の孔９ｌを穿設している。尚、右中枠９ｈ及び左右支持棒９ｅ、９ｆも同様の形状をしている。即ち、右中枠９ｈ及び左右支持棒９ｅ９ｆは縦に長く伸びた略長方形状の板で、等間隔に複数の孔を穿設している。
【００４８】
図１８に示すように、前記左右側面枠９ｃ、９ｄ及び左右支持棒９ｅ、９ｆ並びに左右中枠９ｇ、９ｈの幅は同じである。図９において前述した基板洗浄用ラックのラック固定枠２ｖに形成された各溝２ｗに枠体９の突出部９ｉを嵌め込んで基板洗浄用ラックに枠体９を取り付けた状態では、各枠体９同士の左右側面枠９ｃ、９ｄ同士及び左右支持棒９ｅ、９ｆ並びに左右中枠９ｇ、９ｈ同士は密着している。
【００４９】
この密着した左右側面枠９ｃ、９ｄ及び左右支持棒９ｅ、９ｆ並びに左右中枠９ｇ、９ｈ同士の間に洗浄する基板７の縁を挟み込むことで、基板７はしっかりと固定され洗浄や乾燥によりずれ落ちることがない。また、枠体９の左右側面枠９ｃ、９ｄには中空９ｊが設けられ、左右支持棒９ｅ、９ｆ及び左右中枠９ｇ、９ｈには複数の孔９ｌが穿設されているため側面から送られる乾燥のための風を通しやすく短時間で基板７を乾燥させることができる。
【００５０】
図１９は本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第４実施例の正面図、図２０は枠体の第４実施例の平面図、図２１は枠体の第４実施例の左側面図、図２２は枠体の第４実施例のＣ−Ｃ線の断面図である。
【００５１】
図１９及び図２０に示すように、枠体１０は同形同大の上下枠１０ａ、１０ｂと同形同大の左右側面枠１０ｃ、１０ｄと中枠１０ｅとからなる略長方形状の枠体である。上下枠１０ａ、１０ｂの両端は突出部１０ｈが設けられており、前記中枠１０ｅと左側面枠１０ｃの真ん中には左中枠１０ｆを備え、中枠１０ｅと右側面枠１０ｄの真ん中には右中枠１０ｇを備えている。
【００５２】
前記左右側面枠１０ｃ、１０ｄ及び中枠１０ｅは同形同大であり、左右中枠１０ｆ、１０ｇも同形同大である。また、左右側面枠１０ｃ、１０ｄ及び中枠１０ｅと左右中枠１０ｆ、１０ｇは形状は同じであり、正面から見た幅が異なるだけである。即ち、左右側面枠１０ｃ、１０ｄ及び中枠１０ｅの幅の方が左右中枠１０ｆ、１０ｇの幅よりも広い。
【００５３】
左右側面枠１０ｃ、１０ｄ及び中枠１０ｅと左右中枠１０ｆ、１０ｇは前述のように形状がほぼ一緒であるので、左中枠１０ｆのみを説明することとする。図２１及び図２２に示すように、左中枠１０ｆは縦に長く伸びた略長方形状をしており、断面形状はコの字型をしている。また、複数の孔１０ｉを穿設している。
【００５４】
図２２に示すように、左中枠１０ｆと同形同大の右中枠１０ｇも断面形状がコの字型をしており、左中枠１０ｆとほぼ同形の左右側面枠１０ｃ、１０ｄ及び中枠１０ｅも断面形状がコの字型をし、幅が広いという違いがある。
【００５５】
図９において前述した基板洗浄用ラックのラック固定枠２ｖに形成された各溝２ｗに枠体１０の突出部１０ｈを嵌め込んで基板洗浄用ラックに枠体１０を取り付けた状態では、各枠体１０同士の左右側面枠１０ｃ、１０ｄ同士及び中枠１０ｅ並びに左右中枠１０ｆ、１０ｇ同士は密着している。
【００５６】
この密着した左右側面枠１０ｃ、１０ｄ及び中枠１０ｅ並びに左右中枠１０ｆ、１０ｇ同士の間に洗浄する基板７の縁を挟み込むことで、基板７はしっかりと固定され洗浄や乾燥によりずれ落ちることがない。また、枠体１０の左右側面枠１０ｃ、１０ｄ及び中枠１０ｅ並びに左右中枠１０ｆ、１０ｇには複数の孔１０ｉが穿設されているため側面から送られる乾燥のための風を通しやすく短時間で基板７を乾燥させることができる。
【００５７】
図２３は本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例の正面図である。図２３に示すように、枠体１３は枠体１１及び枠体１２を一対とした枠体である。先に合わせ側枠体である枠体１１を説明することとする。
【００５８】
図２４は本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する合わせ側枠体の正面図、図２５は枠体の第５実施例で使用する合わせ側枠体の平面図、図２６は枠体の第５実施例で使用する合わせ側枠体の左側面枠を示した図、図２７は枠体の第５実施例で使用する合わせ側枠体のＤ−Ｄ線の断面図である。
【００５９】
図２４及び図２５に示すように、合わせ側枠体１１は同形同大の上下枠１１ａ、１１ｂと同形同大の左右側面枠１１ｃ、１１ｄ及び中枠１１ｅとからなる略長方形状の枠体で、上下枠１１ａ、１１ｂの両端には突出部１１ｈが設けられている。
【００６０】
前記左右側面枠１１ｃ、１１ｄ及び中枠１１ｅは同形同大であり、左側面枠１１ｃと中枠１１ｅの真ん中には左中枠１１ｆを設け、右側面枠１１ｄと中枠１１ｅの真ん中には右中枠１１ｇが設けられている。尚、左右側面枠１１ｃ、１１ｄ及び中枠１１ｅと左右中枠１１ｆ、１１ｇも同形同大である。
【００６１】
前述のように左右側面枠１１ｃ、１１ｄ及び中枠１１ｅ並びに左右中枠１１ｆ、１１ｇは同形同大であるため、図２６において左側面枠１１ｃのみを説明することとする。図２６に示すように、左側面枠１１ｃは側面より見ると傾斜１１ｉを複数形成して凹凸を繰り返した形状をしている。
【００６２】
即ち、上部より平坦部１１ｊ→傾斜１１ｉ→上凸面１１ｋ→傾斜１１ｉ→平坦部１１ｌ→傾斜１１ｉ→中凸面１１ｍ→傾斜１１ｉ→平坦部１１ｎ→傾斜１１ｉ→下凸面１１ｏ→傾斜１１ｉ→平坦部１１ｐとなっている。
【００６３】
全ての平坦部１１ｊ、１１ｌ、１１ｎ、１１ｐは垂直方向に同じ位置にあり、平坦部１１ｊ、１１ｐは同じ長さで、平坦部１１ｌ、１１ｎが同じ長さである。また、平坦部１１ｊ、１１ｐの長さより平坦部１１ｌ、１１ｎの長さの方が若干長い。各平坦部１１ｊ、１１ｌ、１１ｎ、１１ｐから傾斜１１ｉを経て突出した上中下凸面１１ｋ、１１ｍ、１１ｏは垂直方向に同じ位置にあり、全て同じ長さである。
【００６４】
図２７に示すように、前記左右側面枠１１ｃ、１１ｄ及び中枠１１ｅ並びに左右中枠１１ｆ、１１ｇは傾斜１１ｉが同方向を向くように設置されている。即ち、上中下凸面１１ｋ、１１ｍ、１１ｏが同方向に向くように設置されている。
【００６５】
次に受け側枠体である枠体１２を説明することとする。図２８は本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する受け側枠体の正面図、図２９は枠体の第５実施例で使用する受け側枠体の平面図、図３０は枠体の第５実施例で使用する受け側枠体の左側面図、図３１は枠体の第５実施例で使用する受け側枠体の中枠を示した図、図３２は枠体の第５実施例で使用する受け側枠体のＥ−Ｅ線の断面図である。
【００６６】
図２８及び図２９に示すように、受け側枠体１２は同形同大の上下枠１２ａ、１２ｂと同形同大の左右側面枠１２ｃ、１２ｄと中枠１２ｅとからなる略長方形状の枠体で、前記左側面枠１２ｃと中枠１２ｅの真ん中の位置に左中枠１２ｆを備え、右側面枠１２ｄと中枠１２ｅの真ん中の位置に右中枠１２ｇを備えている。上下枠１２ａ、１２ｂの両端には突出部１２ｈが設けられており、中枠１２ｅと左右中枠１２ｆ、１２ｇは同形同大である。
【００６７】
左側面枠１２ｃの正面側には外側から内側に向かって左折返面１２ｉが設けられており、右側面枠１２ｄの正面側にも外側から内側に向かって右折返面１２ｊが設けられている。左折返面１２ｉの上下端は傾斜１２ｋとなっており、右折返面１２ｊの上下端も傾斜１２ｌとなっている。
【００６８】
左側面枠１２ｃの背面側には左側面枠１２ｃと同じ長さの左凸板１２ｍが設けられており、右側面枠１２ｄの背面側にも右側面枠１２ｄと同じ長さの右凸板１２ｎが設けられている。
【００６９】
図３０に示すように、左側面枠１２ｃは側面より見ると、背面に設けられた左凸板１２ｍに複数の孔１２ｏが等間隔に穿設されている。左右側面枠１２ｃ、１２ｄは同形同大であるため、右側面枠１２ｄの背面に設けられた右凸板１２ｎにも同様に複数の孔１２ｏが等間隔に穿設されている。
【００７０】
図３１に示すように、中枠１２ｅは側面より見ると傾斜１２ｐを複数形成して凹凸を繰り返した形状をしている。即ち、上部より平坦部１２ｑ→傾斜１２ｐ→上凸面１２ｒ→傾斜１２ｐ→平坦部１２ｓ→傾斜１２ｐ→中凸面１２ｔ→傾斜１２ｐ→平坦部１２ｕ→傾斜１２ｐ→下凸面１２ｖ→傾斜１２ｐ→平坦部１２ｗとなっている。
【００７１】
全ての平坦部１２ｑ、１２ｓ、１２ｕ、１２ｗは垂直方向に同じ位置にあり、平坦部１２ｑ、１２ｗは同じ長さで、平坦部１２ｓ、１２ｕが同じ長さである。また、平坦部１２ｑ、１２ｗの長さより平坦部１２ｓ、１２ｕの長さの方が若干長い。各平坦部１２ｑ、１２ｓ、１２ｕ、１２ｗから傾斜１２ｐを経て突出した上中下凸面１２ｒ、１２ｔ、１２ｖは垂直方向に同じ位置にあり、全て同じ長さである。尚、中枠１２ｅと左右中枠１２ｆ、１２ｇは同形同大である。
【００７２】
図３２に示すように、前記中枠１２ｅ及び左右中枠１２ｆ、１２ｇは傾斜１２ｐが同方向を向くように設置されている。即ち、上中下凸面１２ｒ、１２ｔ、１２ｖが同方向に向くように設置されている。
【００７３】
以上の構成を踏まえて枠体１３を説明する。図２３に示すように、枠体１３は一対の合わせ側枠体１１及び受け側枠体１２からなり、枠体１１、１２の間に基板７を挟んで使用する。合わせ側枠体１１の受け側枠体１２への合わせ位置は次の通りである。
【００７４】
受け側枠体１２の左側面枠１２ｃの正面側に合わせ側枠体１１の左側面枠１１ｃを合わせ、受け側枠体１２の右側面枠１２ｄの正面側に合わせ側枠体１１の右側面枠１１ｄを合わせる。このとき、合わせ側枠体１１の左右側面枠１１ｃ、１１ｄは受け側枠体１２の左右折返面１２ｉ、１２ｊの内側の左右側面枠１２ｃ、１２ｄ正面に合わせられる。
【００７５】
合わせ側枠体１１の中枠１１ｅは受け側枠体１２の中枠１２ｅに合わせられ、合わせ側枠体１１の左右中枠１１ｆ、１１ｇはそれぞれ受け側枠体１２の左右中枠１２ｆ、１２ｇに合わせられる。合わせ側枠体１１に備えられた中枠１１ｅ及び左右中枠１１ｆ、１１ｇの上中下凸面１１ｋ、１１ｍ、１１ｏと受け側枠体１２に備えられた中枠１２ｅ及び左右中枠１２ｆ、１２ｇの上中下凸面１２ｒ、１２ｔ、１２ｖは反対方向に向いており、凸面同士が接することがない。
【００７６】
そのため、合わせ側枠体１１の中枠１１ｅ及び左右中枠１１ｆ、１１ｇと受け側枠体１２の中枠及び左右中枠１２ｆ、１２ｇは互いに対応する平坦部同士が密着する。即ち平坦部１１ｊと１２ｑ、１１ｌと１２ｓ、１１ｎと１２ｕ、１１ｐと１２ｗがそれぞれ対応し、密着する。
【００７７】
図９において前述した基板洗浄用ラックのラック固定枠２ｖに形成された各溝２ｗに突出部１１ｈ又は１２ｈを嵌め込みながら、枠体１３を嵌め込んでゆく。枠体１３を構成する合わせ側枠体１１及び受け側枠体１２の間には基板７が固定される状態となっている。
【００７８】
枠体１１、１２にはそれぞれ上中下凸面１１ｋ、１１ｍ、１１ｏ、１２ｒ、１２ｔ、１２ｖが設けられており、この上中下面の場所は基板７とは接せず空間となっているため、洗浄後の乾燥のための風が通りやすく短時間で基板７を乾燥させることができる。
【００７９】
上記のように各枠体９、１０、１１、１２、１３を使用して基板７を洗浄する場合、各枠体同士の密着により基板７がずれ落ちたり、外れたりすることはないが、本発明では更に基板７を強力に固定するためラック固定部材２ｑを使用して枠体全てを挟んで使用するため、洗浄中や乾燥中に基板がずれ落ちたり、外れたりする心配はなく、安心して基板を洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の基板洗浄用ラックの正面図である。
【図２】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の基板洗浄用ラックの右側面図である。
【図３】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の基板洗浄用ラックの左側面図である。
【図４】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の基板洗浄用ラックの平面図である。
【図５】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の基板洗浄用ラックの右側面図である。
【図６】本発明である基板洗浄用ラックと枠体のラック部の正面図である。
【図７】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の可動式台の正面図である。
【図８】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の可動式台の平面図である。
【図９】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の基板洗浄用ラックの一部拡大図である。
【図１０】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第２実施例の正面図である。
【図１１】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第２実施例の平面図である。
【図１２】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第２実施例の左側面図である。
【図１３】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第２実施例のＡ−Ａ線の断面図である。
【図１４】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第３実施例の正面図である。
【図１５】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第３実施例の平面図である。
【図１６】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第３実施例の左側面図である。
【図１７】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第３実施例の左中枠を示した図である。
【図１８】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第３実施例のＢ−Ｂ線の断面図である。
【図１９】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第４実施例の正面図である。
【図２０】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第４実施例の平面図である。
【図２１】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第４実施例の左側面図である。
【図２２】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第４実施例のＣ−Ｃ線の断面図である。
【図２３】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例の正面図である。
【図２４】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する合わせ側枠体の正面図である。
【図２５】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する合わせ側枠体の平面図である。
【図２６】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する合わせ側枠体の左側面枠を示した図である。
【図２７】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する合わせ側枠体のＤ−Ｄ線の断面図である。
【図２８】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する受け側枠体の正面図である。
【図２９】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する受け側枠体の平面図である。
【図３０】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する受け側枠体の左側面図である。
【図３１】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する受け側枠体の中枠を示した図である。
【図３２】本発明である基板洗浄用ラックと枠体の枠体の第５実施例で使用する受け側枠体のＥ−Ｅ線の断面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１      基板洗浄用ラック
２      枠体部
２ａ    正面枠
２ｂ    背面枠
２ｃ    右上連結材
２ｄ    右中連結材
２ｅ    右台支持材
２ｆ    右下連結材
２ｇ    右前柱
２ｈ    右後柱
２ｉ    左上連結材
２ｊ    左中連結材
２ｋ    左台支持材
２ｌ    左下連結材
２ｍ    左前柱
２ｎ    左後柱
２ｏ    右前ラックホルダー
２ｐ    左前ラックホルダー
２ｑ    ラック固定部材
２ｒ    受け部
２ｓ    溝
２ｔ    右後ラックホルダー
２ｕ    左後ラックホルダー
２ｖ    ラック固定枠
２ｗ    溝
３      左ハンガー
３ａ    左連結材
３ｂ    左ハンガー軸
３ｃ    左補強材
３ｄ    左起立部
３ｅ    左ハンガー部
３ｆ    隙間
３ｇ    ハンガー部連結棒
４      右ハンガー
４ａ    右連結材
４ｂ    右ハンガー軸
４ｃ    右補強材
４ｄ    右起立部
４ｅ    右ハンガー部
４ｆ    隙間
５      ラック部
５ａ    上枠
５ｂ    下枠
５ｃ    左Ｕ字枠
５ｄ    右Ｕ字枠
５ｅ    支持棒
５ｆ    上連結部材
５ｇ    下連結部材
５ｈ    ラック
６      可動式台
６ａ    台連結材
６ｂ    左取っ手
６ｃ    右取っ手
６ｄ    第１台
６ｅ    第２台
６ｆ    第３台
６ｇ    第４台
６ｈ    左係止材
６ｉ    右係止材
６ｊ    溝
６ｋ    台連結材
６ｌ    台連結材
６ｍ    台連結材
６ｎ    台連結材
７      基板
８      枠体
８ａ    左上枠
８ｂ    右上枠
８ｃ    下枠
８ｄ    左側面枠
８ｅ    右側面枠
８ｆ    左支持棒
８ｇ    右支持棒
８ｈ    上枠
８ｉ    突出部
８ｊ    凸部
８ｋ    左中空
８ｌ    右中空
８ｍ    中空
８ｎ    左凸板
８ｏ    右凸板
８ｐ    右凸板
８ｑ    孔
８ｒ    左凸板
９      枠体
９ａ    上枠
９ｂ    下枠
９ｃ    左側面枠
９ｄ    右側面枠
９ｅ    左支持棒
９ｆ    右支持棒
９ｇ    左中枠
９ｈ    右中枠
９ｉ    突出部
９ｊ    中空
９ｋ    中板
９ｌ    孔
１０    枠体
１０ａ  上枠
１０ｂ  下枠
１０ｃ  左側面枠
１０ｄ  右側面枠
１０ｅ  中枠
１０ｆ  左中枠
１０ｇ  右中枠
１０ｈ  突出部
１０ｉ  孔
１１    合わせ側枠体
１１ａ  上枠
１１ｂ  下枠
１１ｃ  左側面枠
１１ｄ  右側面枠
１１ｅ  中枠
１１ｆ  左中枠
１１ｇ  右中枠
１１ｈ  突出部
１１ｉ  傾斜
１１ｊ  平坦面
１１ｋ  上凸面
１１ｌ  平坦面
１１ｍ  中凸面
１１ｎ  平坦面
１１ｏ  下凸面
１１ｐ  平坦面
１２    受け側枠体
１２ａ  上枠
１２ｂ  下枠
１２ｃ  左側面枠
１２ｄ  右側面枠
１２ｅ  中枠
１２ｆ  左中枠
１２ｇ  右中枠
１２ｈ  突出部
１２ｉ  左折返面
１２ｊ  右折返面
１２ｋ  傾斜
１２ｌ  傾斜
１２ｍ  左凸板
１２ｎ  右凸板
１２ｏ  孔
１２ｐ  傾斜
１２ｑ  平坦部
１２ｒ  上凸面
１２ｓ  平坦部
１２ｔ  中凸面
１２ｕ  平坦部
１２ｖ  下凸面
１２ｗ  平坦部
１３    枠体
【図１】
2007111637.tif 000003
【図２】
2007111637.tif 000004
【図３】
2007111637.tif 000005
【図４】
2007111637.tif 000006
【図５】
2007111637.tif 000007
【図６】
2007111637.tif 000008
【図７】
2007111637.tif 000009
【図８】
2007111637.tif 000010
【図９】
2007111637.tif 000011
【図１０】
2007111637.tif 000012
【図１１】
2007111637.tif 000013
【図１２】
2007111637.tif 000014
【図１３】
2007111637.tif 000015
【図１４】
2007111637.tif 000016
【図１５】
2007111637.tif 000017
【図１６】
2007111637.tif 000018
【図１７】
2007111637.tif 000019
【図１８】
2007111637.tif 000020
【図１９】
2007111637.tif 000021
【図２０】
2007111637.tif 000022
【図２１】
2007111637.tif 000023
【図２２】
2007111637.tif 000024
【図２３】
2007111637.tif 000025
【図２４】
2007111637.tif 000026
【図２５】
2007111637.tif 000027
【図２６】
2007111637.tif 000028
【図２７】
2007111637.tif 000029
【図２８】
2007111637.tif 000030
【図２９】
2007111637.tif 000031
【図３０】
2007111637.tif 000032
【図３１】
2007111637.tif 000033
【図３２】
2007111637.tif 000034