(57)【要約】【課題】スリットコーターを効果的に洗浄できるスリットコーター洗浄剤が提供される。【解決手段】本発明によるスリットコーター洗浄剤は、７０〜９０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）、５〜２０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、および５〜２０質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）を含むことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
７０〜９０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）、５〜２０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、および５〜２０質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）を含むことを特徴とするスリットコーター洗浄剤。
【請求項２】
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルの含量は７５〜８５質量％、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は７〜１３質量％、前記３−エトキシプロピオン酸エチルの含量は７〜１３質量％であることを特徴とする、請求項１に記載のスリットコーター洗浄剤。
【請求項３】
５〜１０質量％のアセトンをさらに含むことを特徴とする、請求項１または２に記載のスリットコーター洗浄剤。
【請求項４】
８０〜９７質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）および３〜２０質量％のアセトンを含むことを特徴とするスリットコーター洗浄剤。
【請求項５】
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は９０〜９５質量％であり、前記アセトンの含量は５〜１０質量％であることを特徴とする、請求項４に記載のスリットコーター洗浄剤。
【請求項６】
５〜１５質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）をさらに含むことを特徴とする、請求項４または５に記載のスリットコーター洗浄剤。
【請求項７】
５〜１５質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）をさらに含むことを特徴とする、請求項４〜６のいずれか１項に記載のスリットコーター洗浄剤。
【請求項８】
スリットノズルと；
前記スリットノズルに、互いに異なる色を有する少なくとも２つ以上のカラー感光液を供給するカラー感光液供給部と；
前記スリットノズルに、７０〜９０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）、５〜２０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、および５〜２０質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）を含むスリットコーター洗浄剤を供給する洗浄剤供給部と；
を含むことを特徴とする表示装置製造用スリットコーター。
【請求項９】
前記スリットコーター洗浄剤において、
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルの含量は７５〜８５質量％、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は７〜１３質量％、前記３−エトキシプロピオン酸エチルの含量は７〜１３質量％であることを特徴とする、請求項８に記載の表示装置製造用スリットコーター。
【請求項１０】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１０質量％のアセトンをさらに含むことを特徴とする、請求項８または９に記載の表示装置製造用スリットコーター。
【請求項１１】
スリットノズルと；
前記スリットノズルに、互いに異なる色を有する少なくとも２つ以上のカラー感光液を供給するカラー感光液供給部と；
前記スリットノズルに、８０〜９７質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）および３〜２０質量％のアセトンを含むスリットコーター洗浄剤を供給する洗浄剤供給部と；
を含むことを特徴とする表示装置製造用スリットコーター。
【請求項１２】
前記スリットコーター洗浄剤において、
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は、９０〜９５質量％であり、前記アセトンの含量は、５〜１０質量％であることを特徴とする、請求項１１に記載の表示装置製造用スリットコーター。
【請求項１３】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１５質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）をさらに含むことを特徴とする、請求項１１または１２に記載の表示装置製造用スリットコーター。
【請求項１４】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１５質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）をさらに含むことを特徴とする、請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の表示装置製造用スリットコーター。
【請求項１５】
スリットノズルを通じて基板上に第１カラー感光液をコーティングして第１カラー感光層を形成する段階と；
前記第１カラー感光層をパターニングして第１サブカラーフィルターを形成し、前記スリットノズルに７０〜９０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）、５〜２０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、および５〜２０質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）を含むスリットコーター洗浄剤を供給して、前記スリットノズルを洗浄する段階と；
前記第１サブカラーフィルター上に前記スリットノズルを通じて第２カラー感光液をコーティングして第２カラー感光層を形成する段階と；
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記スリットコーター洗浄剤において、
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルの含量は７５〜８５質量％、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は７〜１３質量％、前記３−エトキシプロピオン酸エチルの含量は７〜１３質量％であることを特徴とする、請求項１５に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１０質量％のアセトンをさらに含むことを特徴とする、請求項１５または１６に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１８】
スリットノズルを通じて基板上に第１カラー感光液をコーティングして第１カラー感光層を形成する段階と；
前記第１カラー感光液をパターニングして第１サブカラーフィルターを形成し、前記スリットノズルに８０〜９７質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、および３〜２０質量％のアセトンを含むスリットコーター洗浄剤を供給して、前記スリットノズルを洗浄する段階と；
前記第１サブカラーフィルター上に前記スリットノズルを通じて第２カラー感光液をコーティングして第２カラー感光層を形成する段階と；
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１９】
前記スリットコーター洗浄剤において、
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は、９０〜９５質量％であり、前記アセトンの含量は、５〜１０質量％であることを特徴とする、請求項１８に記載の表示装置の製造方法。
【請求項２０】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１５質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）をさらに含むことを特徴とする、請求項１８または１９に記載の表示装置の製造方法。
【請求項２１】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１５質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）をさらに含むことを特徴とする、請求項１８〜２０のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリットコーター洗浄剤、表示装置製造用スリットコーター、および表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、従来の陰極線管（ＣＲＴ；Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）の代わりに、液晶表示装置（ＬＣＤ；Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ；ｐｌａｓｍａ  ｄｉｓｐｌａｙ  ｐａｎｅｌ）、有機発光ダイオード（有機ＥＬ：ＯＬＥＤ；ｏｒｇａｎｉｃ  ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｏｄｅ）等の平板表示装置が多く使用されている。
【０００３】
これら平板表示装置の製造には基板上にコーティング層を形成する工程が多く使用される。コーティング層は、必要によって露光、現像等によってパターニングされる。
【０００４】
コーティング層を形成する方法としては、スピンコーティング（ｓｐｉｎ  ｃｏａｔｉｎｇ）およびスリットコーティング（ｓｌｉｔ  ｃｏａｔｉｎｇ）等がある。スリットコーティングは、細長型のノズルを有するスリットコーターを基板上で移動しながらノズルを通じてコーティング液を吐出する方法である。
【０００５】
スリットコーターの使用において、必要によって洗浄剤を用いてスリットコーターを洗浄する。例えば、互いに異なる色のカラー感光液を使用して液晶表示装置のカラーフィルターを形成する場合にカラー感光液の交替に先立ちスリットコーターを洗浄しなければならない（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
しかしながら、スリットコーターのノズル部は狭く形成されているため洗浄が容易でない問題がある。
【特許文献１】韓国公開特許２００５−０９９２７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従って、本発明の目的は、スリットコーターを効果的に洗浄できるスリットコーター洗浄剤を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、洗浄が効果的に行われる表示装置製造用スリットコーターを提供することにある。
【０００９】
本発明のまた他の目的は、スリットコーターの洗浄が効果的に行われる表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的は、７０〜９０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）、５〜２０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、および５〜２０質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）を含むことを特徴とするスリットコーター洗浄剤によって達成される。
【００１１】
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルの含量は７５〜８５質量％、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は７〜１３質量％、前記エチル３−エトキシプロピオネートの含量は７〜１３質量％であるのが好ましい。
【００１２】
また、５〜１０質量％のアセトンをさらに含むのが好ましい。
【００１３】
本発明の目的は、８０〜９７質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）および３〜２０質量％のアセトンを含むことを特徴とするスリットコーター洗浄剤によっても達成される。
【００１４】
前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は９０〜９５質量％であり、前記アセトンの含量は５〜１０質量％であるのが好ましい。
【００１５】
また、５〜１５質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）をさらに含むのが好ましい。
【００１６】
また、５〜１５質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）をさらに含むのが好ましい。
【００１７】
前記本発明の他の目的は、スリットノズルと；前記スリットノズルに、互いに異なる色を有する少なくとも２つ以上のカラー感光液を供給するカラー感光液供給部と；前記スリットノズルに、７０〜９０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）、５〜２０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、および５〜２０質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）を含むスリットコーター洗浄剤を供給する洗浄剤供給部と；を含むことを特徴とする表示装置製造用スリットコーターによって達成される。
【００１８】
前記スリットコーター洗浄剤において、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルの含量は７５〜８５質量％、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は７〜１３質量％、前記３−エトキシプロピオン酸エチルの含量は７〜１３質量％であるのが好ましい。
【００１９】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１０質量％のアセトンをさらに含むのが好ましい。
【００２０】
前記本発明の他の目的は、スリットノズルと；前記スリットノズルに、互いに異なる色を有する少なくとも２つ以上のカラー感光液を供給するカラー感光液供給部と；前記スリットノズルに、８０〜９７質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）および３〜２０質量％のアセトンを含むスリットコーター洗浄剤を供給する洗浄剤供給部と；を含むことを特徴とする表示装置製造用スリットコーターによっても達成される。
【００２１】
前記スリットコーター洗浄剤において、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は９０〜９５質量％であり、前記アセトンの含量は５〜１０質量％であるのが好ましい。
【００２２】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１５質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）をさらに含むのが好ましい。
【００２３】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１５質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）をさらに含むのが好ましい。
【００２４】
前記本発明のまた他の目的は、スリットノズルを通じて基板上に第１カラー感光液をコーティングして第１カラー感光層を形成する段階と；前記第１カラー感光層をパターニングして第１サブカラーフィルターを形成し、前記スリットノズルに７０〜９０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）、５〜２０質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、および５〜２０質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）を含むスリットコーター洗浄剤を供給して、前記スリットノズルを洗浄する段階と；前記第１サブカラーフィルター上に前記スリットノズルを通じて第２カラー感光液をコーティングして第２カラー感光層を形成する段階と；を含むことを特徴とする表示装置の製造方法によって達成される。
【００２５】
前記スリットコーター洗浄剤において、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルの含量は７５〜８５質量％、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は７〜１３質量％、前記３−エトキシプロピオン酸エチルの含量は７〜１３質量％であるのが好ましい。
【００２６】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１０質量％のアセトンをさらに含むのが好ましい。
【００２７】
前記本発明のまた他の目的は、スリットノズルを通じて基板上に第１カラー感光液をコーティングして第１カラー感光層を形成する段階と；前記第１カラー感光液をパターニングして第１サブカラーフィルターを形成し、前記スリットノズルに８０〜９７質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ）、および３〜２０質量％のアセトンを含むスリットコーター洗浄剤を供給して、前記スリットノズルを洗浄する段階と；前記第１サブカラーフィルター上に前記スリットノズルを通じて第２カラー感光液をコーティングして第２カラー感光層を形成する段階と；を含むことを特徴とする表示装置の製造方法によっても達成される。
【００２８】
前記スリットコーター洗浄剤において、前記プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの含量は９０〜９５質量％であり、前記アセトンの含量は５〜１０質量％であるのが好ましい。
【００２９】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１５質量％のプロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ）をさらに含むのが好ましい。
【００３０】
前記スリットコーター洗浄剤は、５〜１５質量％の３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）をさらに含むのが好ましい。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、スリットコーターを効果的に洗浄できるスリットコーター洗浄剤が提供される。
【００３２】
また、洗浄が効果的に行われる表示装置製造用スリットコーターとこれを利用した表示装置の製造方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、添付図面を参照して本発明をさらに詳しく説明する。
【００３４】
図１を参照して本発明の一実施形態によるスリットコーターを説明する。図１は、本発明の一実施形態によるスリットコーターのブロック図である。
【００３５】
スリットコーター１は、スリットノズル１０、カラー感光液供給部２０、および洗浄剤供給部３０を含む。図示していないが、スリットコーター１は、スリットノズル１０を平面運動させることができる駆動部をさらに含むことができる。
【００３６】
スリットノズル１０は、カラー感光液供給部２０からカラー感光液の供給を受けて、これを基板上に吐出する。スリットノズル１０の詳しい構成は後述する。
【００３７】
カラー感光液供給部２０は、３つのカラー感光液タンク２１ａ、２２ａ、２３ａと各タンク２１ａ、２１ｂ、２１ｃに連結されている質量流量調節器（マスフローコントローラー；ｍａｓｓ  ｆｌｏｗ  ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ；図中、ＭＦＣと表記する。）２１ｂ、２２ｂ、２２ｃを含む。カラー感光液タンク２１ａ、２２ａ、２３ａは互いに異なる色のカラー感光液を貯蔵しており、例えば、それぞれ青色感光液、緑色感光液および赤色感光液を貯蔵することができる。
【００３８】
洗浄剤供給部３０は、洗浄剤タンク３０ａと、これに連結されている質量流量調節器３０ｂとを含む。
【００３９】
カラー感光液供給部２０と洗浄剤供給部３０は、カラー感光液とスリットコーター洗浄剤をスリットノズル１０に供給し、これによってスリットノズル１０はカラー感光液を吐出するか内部が洗浄される。
【００４０】
本発明で洗浄剤供給部３０は、第１スリットコーター洗浄剤（以下、単に第１洗浄剤ともいう）または第２スリットコーター洗浄剤（以下、単に第２洗浄剤ともいう）を供給する。
【００４１】
第１洗浄剤は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ  ａｃｅｔａｔｅ、以下、ＰＧＭＥＡとも称する。）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  ｇｌｙｃｏｌ  ｍｏｎｏ−ｍｅｔｈｙｌ  ｅｔｈｅｒ、以下、ＰＧＭＥとも称する。）、および３−エトキシプロピオン酸エチル（ｅｔｈｙｌ−３−ｅｔｈｏｘｙ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ；エチル−３−エトキシプロピオネート、以下、ＥＥＰとも称する。）を含む。
【００４２】
第１洗浄剤において、ＰＧＭＥは７０〜９０質量％、ＰＧＭＥＡは５〜２０質量％、ＥＥＰは５〜２０質量％であることができ、さらに好ましくは、ＰＧＭＥは７５〜８５質量％、ＰＧＭＥＡ７〜１３質量％、ＥＥＰは７〜１３質量％が良い。
【００４３】
ＰＧＭＥＡは２５℃で比重が０．９６８であり、２５℃で粘度が１．３ｃｐｓであり、大気圧で沸騰点が１４５〜１４６℃であり、引火点（ｆｌａｓｈ  ｐｏｉｎｔ）は４２℃である物理的特性を有する。ＰＧＭＥＡが５質量％より小さかったり２０質量％より大きい場合には第１洗浄剤の溶解度が問題になる。ＥＥＰも５質量％より小さかったり２０質量％より大きい場合には第１洗浄剤の溶解度が問題になる。一方、ＥＥＰは、ＰＧＭＥＡやＰＧＭＥに比べて高価であるため、含量が増加すると第１洗浄剤の製造費用が増加する。
【００４４】
第１洗浄剤は、５〜１０質量％のアセトンをさらに含むことができる。
【００４５】
第２洗浄剤は、ＰＧＭＥＡとアセトン（ａｃｅｔｏｎｅ）を含む。
【００４６】
第２洗浄剤において、ＰＧＭＥＡの含量は８０〜９７質量％、アセトンは３〜２０質量％であることができ、好ましくはＰＧＭＥＡの含量は９０〜９５質量％であり、アセトンの含量は５〜１０質量％であるのが良い。
【００４７】
アセトンの含量が３質量％より小さいと洗浄効果の改善が微小である。アセトンの含量が増加することによって第２洗浄剤の洗浄力は増加する。しかし、アセトンの含量が２０質量％より大きい場合、引火点が−１℃程度に非常に低くなって、工程が危なくなることがある。
【００４８】
下記の表１は第２洗浄剤においてアセトン含量による第２洗浄剤の引火点を示したものである。表１においてアセトン含量を除いた残りはＰＧＭＥＡである。
【００４９】
【表１】
2007217689.tif 000003
【００５０】
第２洗浄剤は、５〜１５質量％のＰＧＭＥをさらに含み／含んだり、５〜１５質量％のＥＥＰをさらに含むことができる。
【００５１】
図２は、本発明の一実施形態によるスリットコーターにおけるスリットノズルの斜視図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。図４は、図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【００５２】
図２〜図４に示すように、スリットノズル１０は、長く延長されており、カラー感光液供給部２０と洗浄剤供給部３０からカラー感光液と洗浄剤の供給を受ける。スリットノズル１０の長さ（Ｗ；図４参照）は、コーティング対象基板の大きさに応じて変わることができ、約８００ｍｍ〜２０００ｍｍであり得る。
【００５３】
スリットノズル１０は、互いに結合されている第１サブ本体１１および第２サブ本体１２を含む。第１サブ本体１１は、第２サブ本体１２に比べて複雑な形状を有し注入部１３、キャビティ１４およびノズル部１５を形成する。
【００５４】
注入部１３は、カラー感光液供給部２０および洗浄剤供給部３０に連結されており、カラー感光液または洗浄剤の供給を受ける。注入部１３は、スリットノズル１０の長手方向でほぼ中心部分に位置している。
【００５５】
キャビティ１４は、注入部１３に連結されており注入部１３を中心に両側に延長されている。キャビティ１４は、注入部１３を中心に両側が対称に形成されている。
【００５６】
注入部１３を通じて供給されたカラー感光液または洗浄剤は、キャビティ１４を経た後、ノズル部１５に進行する。キャビティ１４は、注入部１３を中心に注入部１３から遠くなるほど下向きしている。傾いた傾斜角、即ち、ハンガアングル（ｈａｎｇｅｒ  ａｎｇｌｅ、θ）は１度内外であり得る。
【００５７】
第１サブ本体１１と第２サブ本体１２は、小さいギャップ（ｇ）を介して対向しながらノズル部１５を形成する。ノズル部１５は、キャビティ１４と連結されており、ノズル部１５のギャップ（ｇ；図３参照）は、６０μｍ〜１４０μｍであり得る。
【００５８】
ノズル部１５のオリフィス長さ（ｏｒｉｆｉｃｅ  ｌｅｎｇｔｈ、Ｌ）は、キャビティ１４の位置によって変わる。つまり、ノズル部１５のオリフィス長さ（Ｌ；図３、４参照）は、キャビティ１４が最上部に位置するスリットノズル１０の中心部で最も長く、キャビティ１４が最下部に位置するスリットノズル１０の両末端で最も短くなる。
【００５９】
以下、本発明の第１洗浄剤と第２洗浄剤を実験結果を参照して説明する。
【００６０】
実験では基板上に形成された青色カラーフィルターに洗浄剤を加えながら、時間による青色カラーフィルターの除去程度を観察した。
【００６１】
青色カラーフィルターは、青色感光液（大韓民国のトンウファインケムの商標名のＹＢ−７５５）を注射器を用いて基板上にドロッピングした後、乾燥させて設けた。青色感光液の固形分含量は約１２質量％であり、溶媒はＰＧＭＥＡとＥＥＰの６：４（質量比）混合物である。
【００６２】
洗浄剤は、定量ポンプを用いて１分当り１．３ｍｌの流量で青色カラーフィルターに供給された。青色カラーフィルターの乾燥状態による誤差を減らすために実験は同一基板に同時にドロッピングされた青色カラーフィルターに対して行われた。
【００６３】
図５は、比較例１〜４に対する結果を示したものであり、図６は、実施例１〜３に対する結果を示したものである。
【００６４】
図５で見れば、それぞれＰＧＭＥＡ、ＰＧＭＥ、ＥＥＰを単独で使用した比較例１〜３は、５０秒の経過後にも青色カラーフィルターが多少残っていることが分かる。反面、ＰＧＭＥＡ７０質量％とアセトン３０質量％からなる比較例４を見れば、３０秒の経過後に青色カラーフィルターが大部分除去されたことが分かる。比較例４は、洗浄力に優れるが、引火点が−７℃程度（表１参照）であって使用するに不適である。
【００６５】
図６で見れば、ＰＧＭＥ８０質量％＋ＥＥＰ１０質量％＋ＰＧＭＥＡ１０質量％を使用した実施例１の場合、約５０秒の経過後に青色カラーフィルターが大部分除去されたことが分かる。ＰＧＭＥＡ９０質量％＋アセトン１０質量％を使用した実施例２の場合、４０秒の経過後に青色カラーフィルターが大部分除去され、ＰＧＭＥＡ９５質量％＋アセトン５質量％を使用した実施例３の場合、５０秒の経過後に青色カラーフィルターが大部分除去されたことを確認することができる。
【００６６】
実験結果を総合すれば、実施例１〜３とも比較例１〜３に比べて青色カラーフィルターの洗浄力に優れることが分かる。
【００６７】
このような結果は青色カラーフィルターだけでなく赤色カラーフィルターおよび緑色カラーフィルターの場合も同様である。
【００６８】
以下、本発明の一実施形態によるスリットコーターを用いて製造された表示装置を図７を参照して説明する。
【００６９】
本発明によって製造された液晶表示装置１００は、薄膜トランジスタ基板１１０、カラーフィルター基板１２０、そして両基板１１０、１２０の間に位置した液晶層１３０を含む。
【００７０】
薄膜トランジスタ基板１１０を見れば、絶縁基板１１１上に複数の薄膜トランジスタ１１２が形成されている。薄膜トランジスタ１１２は保護層１１３が覆っており、保護層１１３の一部は除去されて薄膜トランジスタ１１２を露出させる接触孔１１４を形成する。透明な導電物質からなる画素電極１１５は接触孔１１４を通じて薄膜トランジスタ１１２と接続されている。
【００７１】
カラーフィルター基板１２０を見れば、絶縁基板１２１上に格子形状のブラックマトリックス１２２が形成されている。ブラックマトリックス１２２は、ブラック顔料を含む有機物で形成されることができ、薄膜トランジスタ基板１１０の薄膜トランジスタ１１２およびその配線（図示せず）に対応するように形成されている。
【００７２】
ブラックマトリックス１２２の間にはカラーフィルター１２３が形成されている。カラーフィルター１２３は有機物からなっており、互いに異なる色を有する３つのサブ層１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃを含む。ブラックマトリックス１２２とカラーフィルター層１２３の上部にはオーバーコート層１２４と透明な導電物質からなる共通電極１２５が形成されている。
【００７３】
両基板１１０、１２０の間に位置した液晶層１３０は画素電極１１５と共通電極１２５が形成する電界によってその配列状態が決定される。薄膜トランジスタ基板１１０の下部から供給された光は液晶層１３０で透過率が調整された後、カラーフィルター層１２３およびカラーフィルター基板１２０の外部に付着された偏光板（図示せず）を通過しながら色が付与される。
【００７４】
以下、図８および図９ａ乃至図９ｇを参照して本発明による表示装置の製造方法を説明する。図８は、本発明による表示装置の製造方法を説明するためのフローチャートであり、図９ａ乃至図９ｇは、本発明による表示装置の製造方法を説明するための図面である。
【００７５】
まず、図９ａおよび図９ｂのように、絶縁基板１２１上に格子状のブラックマトリックス１２２を形成する（Ｓ１００）。
【００７６】
その次に、図９ｃおよび図９ｄのように、ブラックマトリックス１２２が形成された絶縁基板１２１上に本発明によるスリットコーター１を用いて青色感光液をコーティングして、青色感光層１２６ａを形成する（Ｓ２００）。スリットノズル１０はカラー感光液タンク２１ａから青色感光液の供給を受け、絶縁基板１２１上を通過しながら青色感光層１２６ａをコーティングする。
【００７７】
その次に、図９ｅのように、青色感光層１２６ａをパターニングして青色カラーフィルター（第１サブカラーフィルター）１２３ａを形成しながら、スリットノズル１０に洗浄剤を供給する（Ｓ３００）。
【００７８】
青色カラーフィルター（第１サブカラーフィルター）１２３ａは、青色感光層１２６ａを予備ベーキング（プレベーキング；ｐｒｅ−ｂａｋｉｎｇ）した後、露光、現像、洗浄および後ベーキング（ポストベーキング；ｐｏｓｔ−ｂａｋｉｎｇ）して形成する。予備ベーキングは、ホットプレートで約２〜４分間行われ、後ベーキングは２００〜２３０℃で約２０〜６０分間行われることができる。この際、予備ベーキングの温度は、後ベーキングの温度よりも低い温度で行われる。
【００７９】
青色感光層１２６ａのパターニングと共に、スリットノズル１０は洗浄剤供給部３０から洗浄剤の供給を受けてキャビティ１４およびノズル部１５を洗浄する。洗浄剤は本発明による第１洗浄剤または第２洗浄剤である。
【００８０】
青色感光液がスリットノズル１０内に停滞しており、スリットノズル１０内で青色感光液の溶剤が蒸発されながらノズル部１５を塞いだり、パーティクルを形成する問題がある。洗浄剤はスリットノズル１０内の青色感光液を押し出しスリットノズル１０を洗浄してノズルの詰りとパーティクルの形成を防止する。また、青色感光液を効果的に除去して、以後に供給される緑色感光液と青色感光液の混合を防止する。
【００８１】
その次に、図９ｆのように、青色カラーフィルター（第１サブカラーフィルター）１２３ａ上に緑色感光層１２６ｂを形成する（Ｓ４００）。この過程でスリットノズル１０はカラー感光液タンク２１ｂから緑色感光液の供給を受け、絶縁基板１２１上を通過しながら緑色感光層１２６ｂをコーティングする。
【００８２】
一方、本発明による洗浄剤は感光液の除去力に優れるため、感光液の交替時間が短くても互いに異なる色の感光液が混ざる問題が減少する。
【００８３】
その後、緑色感光層１２６ｂをパターニングして緑色カラーフィルター（第２サブカラーフィルター）１２３ｂを形成し、同様な方法で赤色カラーフィルター（第３サブカラーフィルター）１２３ｃを形成する。これによって、図９ｇのようにカラーフィルター１２３の形成が完了する。
【００８４】
その次に、カラーフィルター１２３上にオーバーコート膜１２４と透明電極層１２５を形成すると、カラーフィルター基板１２０が完成される。
【００８５】
その後、公知の方法で製造される薄膜トランジスタ基板１１０とカラーフィルター基板１２０を合着し、両基板１１０、１２０の間に液晶層１３０を注入すると、図７に示す表示装置１００が完成される。
【００８６】
本発明によるスリットコーター洗浄剤の使用は、カラーフィルターの製造に限られない。本発明のスリットコーター洗浄剤は、２種類以上の感光液を使用するスリットコーターで感光液の交替の中間に適用することができる。また、単一の感光液を使用するスリットコーターでも洗浄と維持のために用いることができる。
【００８７】
本発明のいくつかの実施形態が図示されて説明されたが、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する当業者であれば、本発明の原則や精神から外れずに本実施形態を変形できることが分かる。本発明の範囲は、添付された請求項とその均等物によって決められる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の一実施形態によるスリットコーターのブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態によるスリットコーターにおけるスリットノズルの斜視図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】本発明による比較例１〜４の実験結果を示す図面である。
【図６】本発明による実施例１〜３の実験結果を示す図面である。
【図７】本発明の一実施形態によるスリットコーターを用いて製造された表示装置を示した図面である。
【図８】本発明による表示装置の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図９ａ】本発明による表示装置の製造方法を説明するための図面である。
【図９ｂ】本発明による表示装置の製造方法を説明するための図面である。
【図９ｃ】本発明による表示装置の製造方法を説明するための図面である。
【図９ｄ】本発明による表示装置の製造方法を説明するための図面である。
【図９ｅ】本発明による表示装置の製造方法を説明するための図面である。
【図９ｆ】本発明による表示装置の製造方法を説明するための図面である。
【図９ｇ】本発明による表示装置の製造方法を説明するための図面である。
【符号の説明】
【００８９】
１０    スリットノズル、
１１、１２    サブ本体、
１３    注入部、
１４    キャビティ、
１５    ノズル部、
２０    カラー感光液供給部、
２１ａ、２２ａ、２３ａ    カラー感光液タンク、
２１ｂ、２２ｂ、２３ｂ、３０ｂ    質量流量調節器（ＭＦＣ）、
３０    洗浄剤供給部、
３０ａ    洗浄剤タンク、
１００    液晶表示装置、
１１０    薄膜トランジスタ基板、
１１１    絶縁基板、
１１２    薄膜トランジスタ、
１１３    保護層、
１１４    接触孔、
１１５    画素電極、
１２０    カラーフィルター基板、
１２１    絶縁基板、
１２２    ブラックマトリックス、
１２３    カラーフィルター、
１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ    サブ層、
１２４    オーバーコート層、
１２５    共通電極、
１３０    液晶層、
ｇ    ノズル部のギャップ、
Ｌ    ノズル部のオリフィス長さ、
Ｗ    スリットノズルの長さ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図８】
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【図９ａ】
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【図９ｂ】
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【図９ｃ】
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【図９ｅ】
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【図９ｆ】
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【図９ｇ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９ｄ】
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