(57)【要約】【課題】  静電吸引力を効率良く利用し、より大きな駆動力で可動子を駆動できるようにした静電アクチュエータ及びその制御方法を提供する。【解決手段】  移動方向に複数の電気系統（相）を形成する複数の固定子電極２３が前記移動方向およびこれと直交する幅方向に繰り返しブラシ状に配列された固定子２０と、前記幅方向に隣り合う前記固定子電極２３間に配置される可動子電極３３を複数備えるとともに前記固定子２０に面対向する姿勢で前記移動方向に移動させられる可動子３０と、前記固定子電極２３と可動子電極３３との間に所定の駆動電圧を印加する給電部４２と、前記給電部４２を制御することにより前記固定子電極２３を所定の駆動電圧が印加される印加状態、グランド電位に接地される接地状態又は前記グランド電位から浮いた高インピーダンス状態のいずれかに切り換える制御部４１と、を有するようにした。【選択図】図２
2007124823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動方向に複数の電気系統（相）を形成する複数の固定子電極が繰り返し配列された固定子と、可動子電極を複数備えるとともに前記固定子に面対向する姿勢で前記移動方向に移動させられる可動子と、前記固定子電極と可動子電極との間に所定の駆動電圧を印加する給電部と、前記給電部を制御することにより前記固定子電極を所定の駆動電圧が印加される印加状態又はグランド電位に接地される接地状態又は前記グランド電位から浮いた高インピーダンス状態のいずれかに切り換える制御部と、を有することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
前記固定子電極が前記移動方向およびこれと直交する幅方向に繰り返しブラシ状に配列されており、前記可動子が前記幅方向に隣り合う前記固定子電極間に配置されていることを特徴とする請求項１記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
移動方向にＡ相電極、Ｂ相電極及びＣ相電極の順で並ぶ一組の固定子電極が繰り返し配列された固定子と、可動子電極を複数備えるとともに前記固定子に面対向する姿勢で前記移動方向に移動させられる可動子と、前記固定子電極と可動子電極との間に所定の駆動電圧を印加する給電部と、前記給電部を制御し各電極を所定の状態に切り換える制御部と、を備えた静電アクチュエータの制御方法であって、
前記電極は、所定の駆動電圧が印加される印加状態、グランド電位に接地される接地状態、前記グランド電位から浮いた高インピーダンス状態のいずれかに設定されるとともに、前記可動子電極は常に接地状態に設定されており、前記可動子電極が前記Ａ相電極と面対向する状態を初期状態としたときに、
前記Ｂ相電極を印加状態とし、且つ前記Ａ相電極及びＣ相電極を接地状態に設定する第１のステップと、前記Ｃ相電極のみを高インピーダンス状態に切り換える第２のステップと、前記Ｂ相電極を高インピーダンス状態に切り換えるとともに、前記Ｃ相電極を印加状態に切り換える第３のステップと、を有することを特徴とする静電アクチュエータの制御方法。
【請求項４】
前記第３のステップ動作の後に、前記可動子電極と面対向する電極を接地状態に切り換えるとともに、前記面対向する電極を除いた他固定子電極を印加状態に切り換えるようにしたことを特徴とする請求項３記載の静電アクチュエータの制御方法。
【請求項５】
移動方向にＡ相電極、Ｂ相電極、Ｃ相電極及びＤ相電極の順で並ぶ一組の固定子電極が繰り返し配列された固定子と、可動子電極を複数備えるとともに前記固定子に面対向する姿勢で前記移動方向に移動させられる可動子と、前記固定子電極と可動子電極との間に所定の駆動電圧を印加する給電部と、前記給電部を制御し各電極を所定の状態に切り換える制御部と、を備えた静電アクチュエータの制御方法であって、
前記電極は、所定の駆動電圧が印加される印加状態、グランド電位に接地される接地状態、前記グランド電位から浮いた高インピーダンス状態のいずれかに設定されるとともに、前記可動子電極は常に接地状態に設定されており、前記可動子電極が前記Ｂ相電極及びＣ相電極の双方と面対向する状態を初期状態としたときに、
前記Ａ相電極及びＢ相電極を接地状態に設定し且つ前記Ｃ相電極及びＤ相電極を印加状態に設定する第１のステップと、
前記Ａ相電極のみを高インピーダンス状態に切り換える第２のステップと
前記Ａ相電極を印加状態に切り換えるとともに、前記Ｃ相電極を高インピーダンス状態に切り換える第３のステップと、を有することを特徴とする静電アクチュエータの制御方法。
【請求項６】
前記第３のステップ動作の後に、前記可動子電極と面対向する電極を印加状態に切り換えるとともに、前記面対向する電極を除いた他固定子電極を接地状態に切り換えるようにしたことを特徴とする請求項５記載の静電アクチュエータの制御方法。
【請求項７】
移動方向にＡ相電極、Ｂ相電極、Ｃ相電極、Ｄ相電極及びＥ相電極の順で並ぶ一組の固定子電極が繰り返し配列された固定子と、第１の可動子電極と第２の可動子電極を備えるとともに前記固定子に面対向する姿勢で前記移動方向に移動させられる可動子と、前記固定子電極と可動子電極との間に所定の駆動電圧を印加する給電部と、前記給電部を制御し各電極を所定の状態に切り換える制御部と、を備えた静電アクチュエータの制御方法であって、
前記電極は、所定の駆動電圧が印加される印加状態、グランド電位に接地される接地状態、前記グランド電位から浮いた高インピーダンス状態のいずれかに設定されるとともに、前記可動子電極は常に接地状態に設定されており、前記第１の可動子電極が前記Ａ相電極及びＢ相電極との間に跨る状態で対向し且つ前記第２の可動子電極が前記Ｄ相電極に面対向する状態を初期状態としたときに、
前記Ａ相電極及びＤ相電極を接地状態に設定し、前記Ｂ相電極を印加状態に設定し、且つ前記Ｃ相電極を高インピーダンス状態に同時に設定する第１のステップと、前記Ｂ相電極を接地状態に切り換え、且つ前記Ｃ相電極を印加状態に切り換える第２のステップと、前記Ａ相電極のみを高インピーダンス状態に切り換える第３のステップと、を有することを特徴とする静電アクチュエータの制御方法。
【請求項８】
前記第３のステップ動作の後に、前記第２の可動子電極と面対向するＥ相電極を接地状態に切り換えるとともに、前記Ｅ相電極を除いた他固定子電極を印加状態に切り換えるようにしたことを特徴とする請求項７記載の静電アクチュエータの制御方法。
【請求項９】
前記固定子電極が前記移動方向およびこれと直交する幅方向に繰り返しブラシ状に配列されており、前記可動子が前記幅方向に隣り合う前記固定子電極間に配置されていることを特徴とする請求項３乃至８記載の静電アクチュエータの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動子を静電吸引力で移動させる静電アクチュエータに係わり、特に静電吸引力を効率良く利用することにより、可動子をより大きな駆動力で駆動できるようにした静電アクチュエータ及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の静電アクチュエータに関する先行技術文献としては、例えば以下の特許文献１などが存在している。図１０は、特許文献１に図１として示されている静電アクチュエータの概略構成を示す図、図１１は同じく図２として示されている電極に印加される駆動電圧を示すタイミングチャートである。
【０００３】
この静電アクチュエータでは、図１０に示すように第１の固定子２ａと第２の固定子２ｂとが所定の距離を隔てた状態で互いに対向配置され、その間にスライド移動する可動子３が配置されている。
【０００４】
前記第１の固定子２ａには所定方向に順次配列された３系統の電極Ａ，Ｂ，Ｃ（第１電極）が設けられ、前記第２の固定子２ｂには一様な１系統の電極Ｄが設けられている。また前記可動子３は、一方の表面に前記第１の固定子２ａの各電極Ａ，Ｂ，Ｃの電極ピッチに対応して設けられた電極部３ａと、他方の表面に前記第２の固定子２ｂに対向して設けられた平坦な電極部３ｄとを有しており、前記両電極部３ａおよび３ｄは同一電位に維持される１系統の電極Ｅ（第３電極）を形成している。
【０００５】
図１１に示すように、前記第１の固定子２ａに設けられる電極Ａに電圧を印加して、電極Ａの電位を可動子３に設けられる電極Ｅの電位よりも高くすると、電極Ａと電極Ｅとの間で作用する静電力（クーロン力）により、可動子３は第１の固定子２ａ側に吸引される。その際、電極Ａと電極部３ａがぴったり重なり合う状態がもっとも安定であるため、可動子３は電極Ａと電極部３ａとが重なり合うように電極Ａより作用力を受ける。続いて、電圧を印加する電極を第２の固定子２ｂに設けられる電極Ｄに切り換えると、可動子３は第２の固定子２ｂ側に吸引される。さらに、電圧を印加する電極を第１の固定子２ａに設けられる電極Ｂに切り換えると、電極Ａに電圧を印加した際と同様なメカニズムにより、可動子３は電極Ｂと電極部３ａが重なり合う用に電極Ｂより作用力を受ける。このような一連の動作、即ち電圧を電圧源６からスイッチング回路５を介して電極Ａ→電極Ｄ→電極Ｂ→電極Ｄ→電極Ｃ→電極Ｄ→電極Ａ…と順次繰り返して印加する（第１の固定子２ａに設けられる電極Ａ〜Ｃと第２の固定子２ｂに設けられる電極Ｄとに交互に電圧を印加するとともに、第１の固定子２ａに設けられる電極を前記所定方向に順次切り換える）ことにより、可動子３は微視的には上下振動をしながら、巨視的には第１の固定子に配列された電極の配列方向（図中の右側）に駆動させられるようになっている。
【特許文献１】特開２００１−３４６３８５号公報（図１、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のような静電アクチュエータを、例えばカメラなどに搭載し、オートフォーカスのためのレンズを移動させるための駆動装置として用いる場合には、レンズを移動させるだけの駆動力を得ること、およびその際の移動速度や応答速度などを高める必要がある。そして、そのためには大きな静電吸引力（クーロン力）の発生させることにより、大きな駆動力を得ることができるような静電アクチュエータとする必要がある。
【０００７】
ここで前記静電吸引力は、一般に印加電圧の二乗および電極間の対向面積に比例するとともに、ギャップの隙間寸法の二乗に反比例するという性質を有する。したがって、これら各要素を最適な値に設定することにより大きな静電吸引力を得ることが可能となる。
【０００８】
ところで、上記特許文献１では各固定子電極に対し所定の順序で電圧を印加すれば駆動力を得ることができる旨の記載はあるもの、固定子電極に対し電圧を印加しない場合の処理、すなわち電圧が与えられていないときの固定子電極がどのような状態（グランドに接地されているのか、あるいは単にオープンの状態にあるのか）については記載されていない。
【０００９】
前記駆動電圧が与えられていない固定子電極が、例えばオープンの状態にあって、近傍の固定子電極に高電圧が印加されると、オープン状態にある固定子電極は高電圧が印加された前記固定子電極の影響を受け、少なからず電荷を帯びる。このため、駆動電圧が与えられていないが前記電荷を帯びた固定子電極と可動子電極との間にも静電吸引力が作用することがある。
【００１０】
ただし、このような静電吸引力は、必ずしも移動方向の駆動力として寄与するとは限らず、前記オープン状態にある固定子電極と前記可動子電極との位置関係によっては前記駆動力が逆向きに発生して、可動子の移動を妨げる負の力（損失）として作用することがある。
【００１１】
したがって、駆動電圧が印加されないときの電極の状態がしっかりと管理されていない場合には、前記オープンの状態にある固定子電極が、静電アクチュエータの駆動効率を低下させる損失の原因になることがあるという問題がある。
【００１２】
一方、駆動電圧が与えられていない固定子電極は常にグランド電位に接地されるようにすれば、接地された固定子電極と可動子電極との間の電位差は零であり、この間にはそもそも静電吸引力が作用しないため、負の力（損失）として作用することもない。
【００１３】
しかし、この方法では、前記接地された固定子電極と前記駆動電圧が印加された固定子電極との間にも電気力線が発生するため、本来は駆動電圧が印加された固定子電極と可動子電極間に発生すべき電気力線の数が減じられ、すなわち電界分布が弱められてしまうため、可動子に作用する駆動力が低減させられるという問題がある。
【００１４】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、駆動電圧が印加されないときの電極を適切な状態に設定することにより、静電吸引力を効率良く利用し、損失として作用することを低減してより大きな駆動力で可動子を駆動できるようにした静電アクチュエータ及びその制御方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、移動方向に複数の電気系統（相）を形成する複数の固定子電極が繰り返し配列された固定子と、可動子電極を複数備えるとともに前記固定子に面対向する姿勢で前記移動方向に移動させられる可動子と、前記固定子電極と可動子電極との間に所定の駆動電圧を印加する給電部と、前記給電部を制御することにより前記固定子電極を所定の駆動電圧が印加される印加状態、グランド電位に接地される接地状態又は前記グランド電位から浮いた高インピーダンス状態のいずれかに切り換える制御部と、を有することを特徴とするものである。
【００１６】
本発明の静電アクチュエータでは、固定子電極を印加状態、接地状態又は高インピーダンス状態のいずれかの状態に適切に切り換え、各電極間に発生する静電吸引力のベクトルを一致させることにより、可動子をより大きな駆動力で移動させることができる。
【００１７】
また本発明は、前記固定子電極が前記移動方向およびこれと直交する幅方向に繰り返しブラシ状に配列されており、前記可動子が前記幅方向に隣り合う前記固定子電極間に配置されていることが好ましい。
【００１８】
上記手段では、固定子電極と可動子電極がブラシ状に形成されていることにより、電極間の対向面積が大きくなり、駆動力を大きくすることができる。
【００１９】
また本発明は、移動方向にＡ相電極、Ｂ相電極及びＣ相電極の順で並ぶ一組の固定子電極が繰り返し配列された固定子と、可動子電極を複数備えるとともに前記固定子に面対向する姿勢で前記移動方向に移動させられる可動子と、前記固定子電極と可動子電極との間に所定の駆動電圧を印加する給電部と、前記給電部を制御し各電極を所定の状態に切り換える制御部と、を備えた静電アクチュエータの制御方法であって、
前記電極は、所定の駆動電圧が印加される印加状態、グランド電位に接地される接地状態、前記グランド電位から浮いた高インピーダンス状態のいずれかに設定されるとともに、前記可動子電極は常に接地状態に設定されており、前記可動子電極が前記Ａ相電極と面対向する状態を初期状態としたときに、
前記Ｂ相電極を印加状態とし、且つ前記Ａ相電極及びＣ相電極を接地状態に設定する第１のステップと、前記Ｃ相電極のみを高インピーダンス状態に切り換える第２のステップと、前記Ｂ相電極を高インピーダンス状態に切り換えるとともに、前記Ｃ相電極を印加状態に切り換える第３のステップと、を有することを特徴とするものである。
【００２０】
上記制御方法では、いわゆる３相駆動方式の静電アクチュエータを効率良く駆動させることができる。
【００２１】
上記において、前記第３のステップ動作の後に、前記可動子電極と面対向する電極を接地状態に切り換えるとともに、前記面対向する電極を除いた他固定子電極を印加状態に切り換えるようにしたものが好ましい。
【００２２】
上記手段では、３相駆動方式で駆動される静電アクチュエータの可動子を確実に停止させることができる。
【００２３】
また本発明は、移動方向にＡ相電極、Ｂ相電極、Ｃ相電極及びＤ相電極の順で並ぶ一組の固定子電極が繰り返し配列された固定子と、可動子電極を複数備えるとともに前記固定子に面対向する姿勢で前記移動方向に移動させられる可動子と、前記固定子電極と可動子電極との間に所定の駆動電圧を印加する給電部と、前記給電部を制御し各電極を所定の状態に切り換える制御部と、を備えた静電アクチュエータの制御方法であって、
前記電極は、所定の駆動電圧が印加される印加状態、グランド電位に接地される接地状態、前記グランド電位から浮いた高インピーダンス状態のいずれかに設定されるとともに、前記可動子電極は常に接地状態に設定されており、前記可動子電極が前記Ｂ相電極及びＣ相電極の双方と面対向する状態を初期状態としたときに、
前記Ａ相電極及びＢ相電極を接地状態に設定し且つ前記Ｃ相電極及びＤ相電極を印加状態に設定する第１のステップと、
前記Ａ相電極のみを高インピーダンス状態に切り換える第２のステップと
前記Ａ相電極を印加状態に切り換えるとともに、前記Ｃ相電極を高インピーダンス状態に切り換える第３のステップと、を有することを特徴とするものである。
【００２４】
上記制御方法では、いわゆる４相駆動方式の静電アクチュエータを効率良く駆動させることができる。
【００２５】
上記においては、前記第３のステップ動作の後に、前記可動子電極と面対向する電極を印加状態に切り換えるとともに、前記面対向する電極を除いた他固定子電極を接地状態に切り換えるようにしたものが好ましい。
【００２６】
上記手段では、４相駆動方式で駆動される静電アクチュエータの可動子を確実に停止させることができる。
【００２７】
さらに本発明は、移動方向にＡ相電極、Ｂ相電極、Ｃ相電極、Ｄ相電極及びＥ相電極の順で並ぶ一組の固定子電極が繰り返し配列された固定子と、前記幅方向に隣り合う前記固定子電極間に配置される第１の可動子電極と第２の可動子電極を備えるとともに前記固定子に面対向する姿勢で前記移動方向に移動させられる可動子と、前記固定子電極と可動子電極との間に所定の駆動電圧を印加する給電部と、前記給電部を制御し各電極を所定の状態に切り換える制御部と、を備えた静電アクチュエータの制御方法であって、
前記電極は、所定の駆動電圧が印加される印加状態、グランド電位に接地される接地状態、前記グランド電位から浮いた高インピーダンス状態のいずれかに設定されるとともに、前記可動子電極は常に接地状態に設定されており、前記第１の可動子電極が前記Ａ相電極及びＢ相電極との間に跨る状態で対向し且つ前記第２の可動子電極が前記Ｄ相電極に面対向する状態を初期状態としたときに、
前記Ａ相電極及びＤ相電極を接地状態に設定し、前記Ｂ相電極を印加状態に設定し、且つ前記Ｃ相電極を高インピーダンス状態に同時に設定する第１のステップと、前記Ｂ相電極を接地状態に切り換え、且つ前記Ｃ相電極を印加状態に切り換える第２のステップと、前記Ａ相電極のみを高インピーダンス状態に切り換える第３のステップと、を有することを特徴とするものである。
【００２８】
上記制御方法では、いわゆる５相駆動方式の静電アクチュエータを効率良く駆動させることができる。
【００２９】
上記においては、前記第３のステップ動作の後に、前記第２の可動子電極と面対向するＥ相電極を接地状態に切り換えるとともに、前記Ｅ相電極を除いた他固定子電極を印加状態に切り換えるようにしたものが好ましい。
【００３０】
上記手段では、５相駆動方式で駆動される静電アクチュエータの可動子を確実に停止させることができる。
【００３１】
上記においては、前記固定子電極が前記移動方向およびこれと直交する幅方向に繰り返しブラシ状に配列されており、前記可動子が前記幅方向に隣り合う前記固定子電極間に配置されていることが好ましい。
【００３２】
上記手段では、電極間の対向面積を大きくなり、大きな駆動力を発生させることができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明の静電アクチュエータ及びその制御方法では、各電極間に発生する静電吸引力を効率良く利用することにより、より大きな駆動力を発生させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
図１は本発明の静電アクチュエータを示す分解斜視図、図２は固定子と可動子とが対向した状態を示しており、図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図である。図３は固定子の構造を部分的に示す平面図、図４は本発明の第１の実施の形態として静電アクチュエータの固定子側の電極と可動子側の電極との関係を示す部分平面図である。なお、図４はｎ行ある可動子電極のうちの一行とその幅方向の両端に位置する固定子電極のみを抜き出して示したものである。また以下においては図示Ｙ方向が移動方向、Ｘ方向が幅方向、Ｚ方向が高さ方向である。
【００３５】
図１に示すように、本発明の静電アクチュエータ１０は、高さ方向の図示Ｚ２側に設けられた固定子２０と、図示Ｚ１側に設けられた可動子３０とを有している。
【００３６】
前記固定子２０は、移動方向であるＹ方向に延設された平板状の部材であり、前記固定子２０の図示Ｚ１方向を向く対向面（固定子側対向面）２０ａの幅方向（Ｘ方向）の両端部には、移動方向（Ｙ方向）に沿って互いに平行に延びる一対のＶ字形状の案内溝２１，２１が設けられている。前記案内溝２１，２１の表面は摩擦抵抗の小さな平滑面で形成されている。
【００３７】
一方、前記可動子３０の移動（Ｙ）方向の長さ寸法は、前記固定子２０よりも短い寸法で形成されている。前記可動子３０は導電材料で形成され、その下面には図示Ｚ２方向を向く対向面（可動子側対向面）３０ａが形成されている。あるいは可動子３０を絶縁材料で形成し、その一方（Ｚ２側）の面に導電性の平板など取り付けて可動子側対向面３０ａとしたものであってもよい。
【００３８】
前記可動子対向面３０ａ側の幅方向（Ｘ方向）の両端部には、図示Ｚ２方向に凸状に突出するとともに移動方向（Ｙ方向）に沿って互いに平行に延びる一対の案内凸部３１，３１が設けられている。案内凸部３１，３１の先端には、前記Ｖ字形状の案内溝２１，２１に対向する台形状の一対の対向部３１ａ，３１ａが形成されている。なお、前記対向部３１ａ，３１ａの表面も摩擦抵抗の小さな平滑面で形成されている。
【００３９】
図２に示すように、前記固定子２０の固定子対向面２０ａと可動子３０の可動子対向面３０ａとを対向する姿勢に設定すると、前記案内凸部３１，３１の対向部３１ａ，３１ａが前記案内溝２１，２１に嵌合的に挿入され、前記静電アクチュエータ１０が組み付けられる。この姿勢において前記可動子３０に移動方向の力を与えると、前記可動子３０をＹ方向（移動方向）に直線的に移動させることが可能とされている。すなわち、この実施の形態における前記案内溝２１，２１と前記案内凸部３１，３１とは、前記可動子３０を移動方向に案内するガイド手段として機能している。
【００４０】
なお、前記案内凸部３１，３１の代わりに固定子２０側同様のＶ字形状の一対の案内溝を前記可動子３０に設け、前記固定子２０側の案内溝２１，２１と可動子３０側の案内溝とが対向する部分に複数の球体（ボール）を配置する構成であってもよい。この場合、前記球体が対向し合う案内溝内を転動することにより、可動子３０を移動方向に移動させることが可能であり、この場合には各案内溝と球体をガイド手段として機能させることができる。
【００４１】
図１に示すように、前記固定子２０の前記固定子対向面２０ａ上には複数の平板状の固定子電極２３からなる固定子側電極群２２が設けられている。
【００４２】
個々の固定子電極２３は、例えば銅などの導電性金属をＺ方向に垂直にメッキ成長させることにより形成されている。前記固定子電極２３の向きは、幅広の電極面が前記移動（Ｙ）方向に対して平行となるように、すなわち前記電極面が幅方向に対し垂直となるように形成されている。そして、このような複数の固定子電極２３が、前記移動方向および幅方向に沿って前記固定子対向面２０ａ上に等間隔で規則正しく配列されている。
【００４３】
図３に示す実施の形態では、Ｘ方向（幅方向）に６列形成された固定子電極２３が、Ｙ方向（移動方向）に所定の間隔を開けてｎ行形成されている。すなわち、ｎ行６列からなる固定子側電極群２２がブラシ状に形成されている。なお、前記固定子側電極群２２の並びは、前記のようなｎ行６列に限られるものではなく、これよりも多い配列でもよいし、少ない配列でもよい。
【００４４】
また前記固定子対向面２０ａ、即ち前記固定子電極２３の基部には図示Ｘ方向に延びる複数の導電部２４がＹ方向にｎ行形成されており、各導電部２４は一行ごとに６ヶ（６列）の固定子電極２３がすべて同じ電位となるように導通接続されている。ただし、移動方向（Ｙ）方向に隣り合う導電部２４と導電部２４との間は電気的に絶縁された状態にある。そして、前記各導電部２４ごとに固定子２０の外部に引き出されており、外部に設けられた制御部４１からの制御を受けた給電部４２から各導電部２４ごとに所定の駆動電圧を印加することができるようになっている。
【００４５】
なお、以下の説明においては、各電極に所定の駆動電圧を印加した状態を印加状態、前記電極をグランド電位に接地した状態を接地状態、前記電極を前記印加状態及び接地状態のいずれでもないオープン状態、すなわちグランド電位から浮いた状態を高インピーダンス状態として説明する。
【００４６】
一方、図１に示すように、前記可動子３０側の対向面対向面３０ａ上にも複数の平板状の可動子電極３３からなる可動子側電極群３２が形成されている。前記可動子電極３３は、上記固定子２０の場合同様に、銅などの導電性金属をＺ方向に垂直にメッキ成長させることにより形成されており、幅広の電極面を移動（Ｙ）方向に平行とした状態で、前記移動方向および幅方向に沿って所定の間隔で規則正しく整列されている。なお、図１に示す本実施の形態では、可動子電極３３が可動子対向面３０ａ上に７行５列でブラシ状に形成されている。
【００４７】
そして、図２および図４に示すように、幅方向に隣り合う固定子２０側の固定子電極２３と固定子電極２３との間に前記可動子３０側の可動子電極３３を挿入すると、前記固定子２０側の固定子電極２３の電極面と前記可動子３０側の可動子電極３３の電極面とが互いに幅（Ｘ）方向を向いて面対向するように配置される。
【００４８】
そして、面対向する固定子電極２３と可動子電極３３との間に所定の駆動電圧を印加し、両電極間に電位差を生じさせると、固定子電極２３と可動子電極３３は一種の平板型コンデンサが形成される。このとき、所定の駆動電圧をプラスとマイナスのいずれか一方のみとすると、両電極間に静電吸引力を発生させることができるようになっている。なお、所定の駆動電圧をプラス電源とマイナス電源の双方を利用するようにすると、静電吸引力に加えて静電反発力をも作用させることが可能である。ただし、２種類の力を効率良く利用するには、静電アクチュエータ自体およびその制御方法が複雑化し簡素化に寄与しないため、以下においては一方のプラス電源のみを利用した場合について説明する。
【００４９】
図１に示すように、前記固定子２０側の固定子電極２３の幅方向の電極間隔Ｗ１は前記可動子３０側の可動子電極３３の幅方向の厚さ寸法ｔ２よりも広く形成され、同様に前記可動子３０側の可動子電極３３の幅方向の電極間隔Ｗ２は前記固定子２０側の固定子電極２３の幅方向の厚さ寸法ｔ１よりも広く形成されている。
【００５０】
また図４に示すように、第１の実施の形態に示す前記固定子２０側では、前記固定子電極２３の移動方向の長さ寸法と、前記固定子電極２３と固定子電極２３との間に形成される隙間の移動方向の長さ寸法とが共に等しい長さ寸法Ｌ１（例えば、２０μｍ）で形成されている。なお、固定子電極２３の1周期の配列ピッチ寸法は２Ｌ１＝４０μｍになる。
【００５１】
一方、前記可動子３０側は移動方向の長さ寸法が異なる可動子電極３３ａ，３３ｂおよび３３ｃを有しており。これら可動子電極３３ａ，３３ｂおよび３３ｃがこの順番で移動方向に繰り返し形成されている。ただし、可動子電極３３ａと可動子電極３３ｂとの間のピッチ寸法、可動子電極３３ｂと可動子電極３３ｃとの間のピッチ寸法は同じピッチ寸法Ｐ１で形成されている。このピッチ寸法Ｐ１は、固定子側電極群２２側における系統間のピッチ寸法、すなわちＡ相電極間の距離（Ｂ相電極間距離又はＣ相電極間距離でも同様）に一致しており、上記の例ではＰ１＝１２０μｍに設定されている。
【００５２】
したがって、図４に示すように、可動子電極３３ａがＡ相電極を形成する固定子電極２３ａ１に対向する場合には、可動子電極３３ｂは次のＡ相電極を形成する固定子電極２３ａ２に対向し、可動子電極３３ｃは次のＡ相電極を形成する固定子電極２３ａ３に対向している。
【００５３】
図５は、第１の実施の形態の静電アクチュエータの駆動タイミングをステップごとに示す説明図である。以下においては、可動子３０を図示右側の移動方向に固定子電極２３の1周期の配列ピッチ寸法（２Ｌ１＝４０μｍ）だけ移動させる場合をステップ（ＳＴ）毎に説明する。
【００５４】
まず、図５ＡにステップＳＴ０で示す停止状態（初期状態）について説明する。
この停止状態では、可動子電極３３ａ，３３ｂ，３３ｃがＡ相電極（固定子電極２３ａ１，２３ａ２および２３ａ３）に面対向配置されており、Ａ相電極を除く他のすべての固定子電極（Ｂ相電極及びＣ相電極）が印加状態に設定されている。
【００５５】
なお、可動子電極３３ａ，３３ｂ，３３ｃがＢ相電極（固定子電極２３ｂ１，２３ｂ２および２３ｂ３）に面対向配置されている状態にある場合にはＢ相電極を除くＡ相電極及びＣ相電極が印加状態に設定されており、また可動子電極３３ａ，３３ｂ，３３ｃがＣ相電極に面対向配置されている場合にはＣ相電極を除くＡ相電極及びＢ相電極が印加状態に設定される。
【００５６】
図５Ａに示す状態では、例えば可動子電極３３ａについていえば、その上流（Ｙ１）側位置するＣ相電極を形成する固定子電極２３ｃ０との間には左向きの静電吸引力が発生し、その下流（Ｙ２）側に位置するＢ相電極を形成する固定子電極２３ｂ１との間には右向きの静電吸引力が発生する。前記左向きの静電吸引力と前記右向きの静電吸引力とは相殺し合うため、前記可動子電極３３ａは前記固定子電極２３ｃ０と固定子電極２３ｂ１との間の中間地点（固定子電極２３ａ１と面対向する位置）にバランス保持される。このような関係は他の可動子電極３３ｂおよび可動子電極３３ｃにおいても同様であるため、可動子３０全体が図５ＡのステップＳＴ０に示す位置で停止状態（初期状態）に設定される。なお、前記左向きの静電吸引力が、可動子３０を右方向に移動させる駆動力を妨げる負の力として作用している。
【００５７】
次に、可動子３０を前記停止状態（初期状態）からＹ１方向に移動させる動作について説明する。
【００５８】
第１のステップＳＴ１では、図５Ｂに示すようにＣ相電極（固定子電極２３ｃ０，２３ｃ1，２３ｃ２，２３ｃ３，・・・）のみが接地状態に切り換えられ、その他のＡ相電極及びＢ相電極はそれぞれステップＳＴ０と同じ状態が維持される。その結果、前記左向きに作用している静電吸引力（負の力）が消滅するため、図５Ｃに示すように可動子３０の全体が図示右方向に移動させられる。
【００５９】
次の第２のステップＳＴ２では、図５Ｄに示すように接地状態にあるＣ相電極（固定子電極２３ｃ０，２３ｃ1，２３ｃ２，２３ｃ３，・・・）のみが前記グランド電位から切り離され（オープン状態）、Ｃ相電極の電位をグランドから浮いた高インピーダンス状態に設定する。
【００６０】
図５Ｄに示すように、前記Ｃ相電極の上流（Ｙ１側）には、駆動電圧が印加されているＢ相電極が存在しており、前記Ｃ相電極は前記Ｂ相電極の影響を受けてわずかに帯電させられる。このとき、前記Ｂ相電極とＣ相電極間の電界分布により、可動子電極３３ａ，３３ｂ，３３ｃには、前記Ｂ相電極のみならず前記Ｃ相電極との間にも正方向（Ｙ１方向）の静電吸引力が発生する。結果として、図５Ｅに示すように、前記Ｃ相電極による静電吸引力が可動子３０の駆動力を増強させるため、より大きな駆動力で前記可動子３０を図示右方向に移動させることができる（図５Ｅ参照）。
【００６１】
第３のステップＳＴ３では、図５Ｆに示すように、前記Ｂ相電極の状態と前記Ｃ相電極の状態の入れ換えられる。すなわち前記Ｂ相電極が高インピーダンス状態に設定され、同時に前記Ｃ相電極が印加状態に切り換えられる。なお、Ａ相電極はステップＳＴ２の状態（接地状態）が維持される。
【００６２】
この第３のステップＳＴ３では、可動子電極３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、主としてＣ相電極から正方向（Ｙ１方向）の静電吸引力を受けるが、帯電による電界分布によっても前記Ｂ相電極から静電吸引力を受ける。このため、さらに前記可動子３０を大きな駆動力で図示右方向に移動させることができる（図５Ｇ参照）。
【００６３】
なお、上記においては始動時のステップＳＴ１の切換時において、可動子電極３３ａ，３３ｂ，３３ｃに面対向している電極（上記においてはＡ相電極）は、その後のステップＳＴ１〜ＳＴ３の動作中は常に接地状態に設定される。このため、前記ステップＳＴ１〜ＳＴ３の動作中に、可動子電極３３ａ，３３ｂ，３３ｃが前記電極（Ａ相電極）から負の力を受けることがない。
【００６４】
以上のように、第１の実施の形態では、Ａ相電極、Ｂ相電極およびＣ相電極の状態を、ＳＴ１→ＳＴ２→ＳＴ３→ＳＴ１と３（段階）ステップに切り換えることにより、可動子３０を固定子電極２３の1周期の配列ピッチ寸法分（２Ｌ１＝４０μｍ）移動させるができる。
【００６５】
さらに同様のステップ動作を繰り返し行うことにより、可動子３０をＹ２方向に連続的に移動させることが可能である。また前記とは逆の動作、すなわちＳＴ３→ＳＴ２→ＳＴ１→ＳＴ３→・・・のステップ動作を繰り返し行うと、可動子を逆方向（Ｙ１方向）に移動させることが可能である。
【００６６】
なお、図５ＨにステップＳＴ０’で示すように、第３のステップＳＴ３の動作の終了後（図５Ｇの後）に、Ａ相電極とＣ相電極を印加状態に設定し、且つＢ相電極を接地状態に設定すると、上記ステップＳＴ０同様に前記可動子電極３３，３３ｂ，３３ｃをＢ相電極と対向する位置に停止させることができる。
【００６７】
次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
図６は本発明の第２の実施の形態として静電アクチュエータの固定子側の電極と可動子側の電極との関係を示す部分平面図、図７は第２の実施の形態の静電アクチュエータの駆動タイミングをステップごとに示す説明図である。
【００６８】
第２の実施の形態に示す静電アクチュエータ１０が、上記第１の実施の形態に示す静電アクチュエータ１０と相違する点は、図６に示すように、主として固定子側電極群２２の電気系統がＡ相電極、Ｂ相電極、Ｃ相電極およびＤ相電極からなる４相駆動方式である点、各可動子電極３４ａ，３４ｂが同じ長さ寸法で所定のピッチ寸法で形成されている点、および可動子電極間のピッチ寸法（可動子電極３４ａと可動子電極３４ｂとの間）Ｐ１とピッチ寸法（可動子電極３４ｂと可動子電極３４ａとの間）Ｐ２とが異なる点（Ｐ１＜Ｐ２）にある。なお、その他の構成は上記第１の実施の形態と同様である。
【００６９】
まず、図７ＡにステップＳＴ０で示す停止状態（初期状態）について説明する。この停止状態では、上流（Ｙ１）側に設けられた可動子電極３４ａが上流側の位置においてＢ相電極を形成する固定子電極２３ｂ１とＣ相電極を形成する固定子電極２３ｃ１の双方に対向しており、下流（Ｙ２）側に設けられた可動子電極３４ｂが下流側の位置においてＢ相電極を形成する固定子電極２３ｂ２とＣ相電極を形成する固定子電極２３ｃ２の双方に対向している。そして、Ｂ相電極及びＣ相電極が印加状態に設定され、且つその他のＡ相電極及びＤ相電極が接地状態に設定されている。
【００７０】
なお、可動子電極３４ａ，３４ｂが、Ａ相とＢ相電極との間、またはＣ相とＤ相電極との間、あるいはＤ相とＡ相電極との間に対向する場合には、それぞれ対向する２つの相電極が印加状態に設定され、且つ対向しない２つの相電極が接地状態に設定される。
【００７１】
図７Ａに示す状態では、図示左側の上流（Ｙ１）側ではＢ相電極（固定子電極２３ｂ１）とＣ相電極（固定子電極２３ｃ１）が前記可動子電極３４ａを左方向（Ｙ１方向）に静電吸引し、図示右側ではＢ相電極（固定子電極２３ｂ２）とＣ相電極（固定子電極２３ｃ２）が前記可動子電極３４ｂを右方向（Ｙ２方向）に静電吸引する。
【００７２】
このため、前記左向きの静電吸引力と前記右向きの静電吸引力とが相殺し合うため、前記可動子電極３４ａおよび３４ｂは、左側に位置するＢ相電極（固定子電極２３ｂ１）及びＣ相電極（固定子電極２３ｃ１）と、右側に位置するＢ相電極（固定子電極２３ｂ２）及びＣ相電極（固定子電極２３ｃ２）との間にバランス保持される。
【００７３】
このような関係は図示しない他の可動子電極３４ａおよび可動子電極３４ｂにおいても同様であり、可動子３０全体は図５ＡのステップＳＴ０に示すような停止状態に設定されている。
【００７４】
次に、可動子を停止状態（初期状態）からＹ１方向に移動させる動作について説明する。
【００７５】
第１のステップＳＴ１では、図５Ｂの切換時に示すようにＢ相電極（固定子電極２３ｂ１，２３ｂ２）が接地状態に切り換えられ、同時にＤ相電極（固定子電極２３ｄ１，２３ｄ２）が印加状態に切り換えられる。その他のＡ相電極及びＣ相電極はそれぞれ前記ステップＳＴ０と同じ状態が維持される。
【００７６】
その結果、Ｂ相電極が接地状態に至ることにより、左向きの静電吸引力（負の力）を消滅させることができる。同時に、前記Ｄ相電極が、新たに右向きの静電吸引力を発生させるため、図７Ｃに示すように可動子３０の全体が図示右方向に移動させられる。
【００７７】
次の第２のステップＳＴ２では、図７Ｄに示すようにＡ相電極（固定子電極２３ａ１，２３ａ２，・・・）のみが高インピーダンス状態に切り換えられる。
【００７８】
前記Ｃ相電極の左隣のＤ相電極は印加状態に設定されており、前記Ａ相電極は前記Ｄ相電極の影響を受けてわずかに帯電する。このため、上記同様に電荷を帯びたＡ相電極と可動子電極３４ａ，３４ｂとの間にも静電吸引力が発生する。結果として、可動子電極３４ａ，３４ｂに作用する前記静電吸引力を増強させることができるため、より大きな駆動力で前記可動子３０を図示右方向に移動させることができる（図７Ｅ参照）。
【００７９】
第３のステップＳＴ３では、前記Ａ相電極の状態と前記Ｃ相電極の状態の入れ換えが行われる。すなわち前記Ａ相電極は駆動電圧が印加された印加状態に切り換えられ、同時に前記Ｃ相電極が高インピーダンス状態に設定される。なお、Ｂ相電極及びＤ相電極の状態はステップＳＴ２の状態（接地状態）が維持される。
【００８０】
この第３のステップＳＴ３では、可動子電極３４ａ，３４ｂは、主としてＡ相電極とＤ相電極の双方から正方向（Ｙ１方向）の静電吸引力を受ける。このため、さらに前記可動子３０を大きな駆動力で図示右方向に移動させることができる（図７Ｇ参照）。
【００８１】
なお、上記第２の実施の形態においては、始動時のステップＳＴ１の切換時において、可動子電極３３ａ，３３ｂに面対向している２つの電極のうちより右側（上流側）に位置する電極（上記においてはＢ相電極）は、その後のステップＳＴ１〜ＳＴ３の動作中は常に接地状態に設定される。このため、前記ステップＳＴ１〜ＳＴ３の動作中に、可動子電極３３ａ，３３ｂが前記電極（Ｂ相電極）から負の力を受けることがない。
【００８２】
以上のように、第２の実施の形態では、Ａ相電極、Ｂ相電極、Ｃ相電極およびＤ相電極の状態を、ＳＴ１→ＳＴ２→ＳＴ３→ＳＴ１と３（段階）ステップに切り換えることにより、可動子３０を固定子電極２３の1周期の配列ピッチ寸法分（２Ｌ１＝４０μｍ）移動させるができる。
【００８３】
さらに同様のステップ動作を繰り返し行うことにより、可動子３０をＹ２方向に連続的に移動させることが可能である。また前記とは逆の動作、すなわちＳＴ３→ＳＴ２→ＳＴ１→ＳＴ３→・・・のステップ動作を繰り返し行うと、可動子を逆方向（Ｙ１方向）に移動させることが可能である。
【００８４】
なお、図７ＨにステップＳＴ０’で示すように、第３のステップＳＴ３の動作の終了後（図７Ｇの後）に、Ｃ相電極とＤ相電極を印加状態に設定し、且つＡ相電極とＢ相電極を接地状態に設定すると、上記ステップＳＴ０同様に前記可動子電極３３，３３ｂをＣ相電極及びＤ相電極と対向する位置に停止させることができる。
【００８５】
次に本発明の第３の実施の形態について説明する。
図８は本発明の第３の実施の形態として静電アクチュエータの固定子側の電極と可動子側の電極との関係を示す部分平面図、図９は第３の実施の形態の静電アクチュエータの駆動タイミングをステップごとに示す説明図である。
【００８６】
第３の実施の形態に示す静電アクチュエータが、上記第１および第２の実施の形態に示す静電アクチュエータと相違する点は、図８に示すように、主として固定子側電極群２２の電気系統がＡ相電極、Ｂ相電極、Ｃ相電極、Ｄ相電極およびＥ相電極からなる５相駆動方式である点、前記Ａ相電極ないしＤ相電極からなる１サイクル内に同じ長さ寸法からなる２ヶの可動子電極（第１の可動子電極）３５ａと可動子電極（第２の可動子電極）３５ｂが設けられる点にある。なお、その他の構成は上記第１の実施の形態と同様である。
【００８７】
まず、図９ＡにステップＳＴ０で示す停止状態（初期状態）について説明する。
第３の実施の形態に示す停止状態（初期状態）では、可動子電極３５ａがＡ相電極（固定子電極２３ａ１）とＢ相電極（固定子電極２３ｂ１）との間に跨る状態で対向し、可動子電極３５ｂがＤ相電極（固定子電極２３ｄ１）に面対向させられており、Ｄ相電極（固定子電極２３ｄ１，２３ｄ２，・・・）が接地状態に設定され、且つ前記Ｄ相電極を除く他のすべての固定子電極（Ａ相、Ｂ相、Ｃ相及びＥ相を形成する固定子電極）２３が印加状態に設定されている。
【００８８】
前記図９Ａに示す状態では、例えば可動子電極３５ａについていえば、その上流（Ｙ１）側に位置するＡ相電極（固定子電極２３ｃ１）との間には左向きの静電吸引力が発生し、その下流（Ｙ２）側に位置するＢ相電極（固定子電極２３ｂ１）との間には右向きの静電吸引力が発生する。前記左向きの静電吸引力と前記右向きの静電吸引力とが相殺し合うため、前記可動子電極３５ａは前記Ａ相電極（固定子電極２３ｃ１）とＢ相電極（固定子電極２３ｂ１）との間の中間地点に保持される。
【００８９】
また可動子電極３５ｂにおいても同様であり、その上流（Ｙ１）側に位置するＣ相電極（固定子電極２３ｃ１）との間には左向きの静電吸引力が発生し、その下流側に位置するＥ相電極（固定子電極２３ｅ１）との間には右向きの静電吸引力が発生するため、前記可動子電極３５ｂは前記Ｃ相電極（固定子電極２３ｃ１）とＥ相電極（固定子電極２３ｅ１）との間の中間地点（Ｄ相電極（固定子電極２３ｄ１）と面対向する地点）に保持される。
【００９０】
このような関係は図示しない他の可動子電極３５ａおよび可動子電極３５ｂにおいても同様であり、可動子３０全体は図９ＡのステップＳＴ０に示すような停止状態に設定されている。
【００９１】
次に、可動子を停止状態（初期状態）からＹ１方向に移動させる動作について説明する。
【００９２】
第１のステップＳＴ１では、図９Ｂに示すようにＡ相電極（固定子電極２３ａ1，２３ａ２，・・・）を接地状態に切り換え、且つＣ相電極（固定子電極２３ｃ1，２３ｃ２，・・・）が高インピーダンス状態に切り換えられる。なお、その他のＢ相、Ｄ相およびＥ相電極の状態はそれぞれステップＳＴ０と同じ状態が維持される。その結果、Ａ相電極による左向きの静電吸引力（負の力）は消滅させられる。また各Ｃ相電極は、Ｂ相電極からの影響を受けて電荷を帯びる。このため、可動子電極３５ａは、各Ｂ相電極と前記電荷を帯びた各Ｃ相電極の電界分布による正方向（Ｙ１方向）の静電吸引力を受け、可動子３０の全体が図示右方向に移動させられる（図９Ｃ参照）。
【００９３】
次の第２のステップＳＴ２では、図９Ｄに示すように印加状態にあったＢ相電極（固定子電極２３ｂ1，２３ｂ２，・・・）が接地状態に切り換えられ、同時に高インピーダンス状態にあったＣ相電極（固定子電極２３ｃ1，２３ｃ２，・・・）が印加状態に切り換えられる。なお、その他のＡ相、Ｄ相およびＥ相電極はそれぞれステップＳＴ１と同じ状態が維持される。その結果、可動子電極３５ａには前記Ｃ相電極による右向きの静電吸引力が作用し、可動子電極３５ｂには前記Ｅ相電極による右向きの静電吸引力が作用するため、可動子３０全体を図示右方向に移動さることができる（図９Ｅ参照）。
【００９４】
次の第３のステップＳＴ３では、図９Ｆに示すように、接地状態にあったＡ相電極（固定子電極２３ａ1，２３ａ２，・・・）のみが高インピーダンス状態に切り換えられ、その他の電極はそれぞれ前記ステップＳＴ２の状態が維持される。前記高インピーダンス状態に切り換えられたＡ相電極は、その上流（Ｙ１）側に隣接し且つ印加状態にあるＥ相電極（固定子電極２３ｅ1）の影響を受けてわずかに帯電させられる。このため、可動子電極３５ｂは、前記Ａ相電極から右方向（Ｙ２方向）の静電吸引力を受けるため、上記同様に大きな駆動力で図示右方向に移動させられる（図９Ｇ参照）。
【００９５】
以上のように第３の実施の形態においても、Ａ相電極、Ｂ相電極、Ｃ相電極、Ｄ相電極及びＥ相電極の状態を、ＳＴ１→ＳＴ２→ＳＴ３→ＳＴ１と３（段階）ステップに切り換えることにより、可動子３０を固定子電極２３の1周期の配列ピッチ寸法分（２Ｌ１＝４０μｍ）移動させるができる。
【００９６】
さらに同様のステップ動作を繰り返し行うことにより、可動子３０をＹ２方向に連続的に移動させることが可能である。また前記とは逆の動作、すなわちＳＴ３→ＳＴ２→ＳＴ１→ＳＴ３→・・・のステップ動作を繰り返し行うことにより、可動子３０を逆方向（Ｙ１方向）に移動させることが可能である。
【００９７】
なお、図９ＨにステップＳＴ０’で示すように、第３のステップＳＴ３の動作の終了後（図９Ｇの後）に、可動子電極３５ｂが対向しているＥ相電極（固定子電極２３ｅ１）を除く、他のすべての固定子電極（Ａ相電極、Ｂ相電極、Ｃ相電極及びＤ相電極）を印加状態に設定し、且つ前記Ｅ相電極を接地状態に設定すると、上記ステップＳＴ０の場合同様に前記可動子電極３５ａ，３５ｂを停止状態（初期状態）に設定することが可能である。
【００９８】
以上のように、本願発明の静電アクチュエータでは、可動子電極との位置関係に基づいて、固定子電極を印加状態、高インピーダンス状態、接地状態のいずれか適切な状態に常に切り換えるようにしたため、より大きな静電吸引力を得ることができる。しかも、各可動子電極と固定子電極に発生する静電吸引力を適切なタイミングで切り換えることにより、前記大きな静電吸引力を可動子の駆動力として効率良く利用することができる。
【００９９】
なお、上記各実施の形態では、給電部４２を固定子２０側に接続し、固定子側電極群２２の状態が印加状態、高インピーダンス状態、接地状態のいずれかに切り換えられる場合について説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、前記給電部４２は可動子側の可動子側電極群３２に接続される構成であってもよい。ただし、この場合には、可動子側電極群３２は上記同様の導電部２４によって分離されていることが必要であり、固定子側電極群２２はすべて同電位となるように設定されていることが必要である。
【０１００】
また、上記各実施の形態では、固定子電極と可動子電極がブラシ状に配列して形成された場合について説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、固定子電極と可動子電極が移動方向に直交する方向に帯状に平面的に形成される構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】本発明の静電アクチュエータを示す分解斜視図、
【図２】固定子と可動子とが対向した状態を示しており、図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図、
【図３】固定子の構造を部分的に示す平面図、
【図４】本発明の第１の実施の形態として静電アクチュエータの固定子側の電極と可動子側の電極との関係を示す部分平面図、
【図５】第１の実施の形態の静電アクチュエータの駆動タイミングをステップごとに示す説明図、
【図６】本発明の第２の実施の形態として静電アクチュエータの固定子側の電極と可動子側の電極との関係を示す部分平面図、
【図７】第２の実施の形態の静電アクチュエータの駆動タイミングをステップごとに示す説明図、
【図８】本発明の第３の実施の形態として静電アクチュエータの固定子側の電極と可動子側の電極との関係を示す部分平面図、
【図９】第３の実施の形態の静電アクチュエータの駆動タイミングをステップごとに示す説明図、
【図１０】特許文献１に図１として示されている静電アクチュエータの概略構成を示す図、
【図１１】特許文献１に図２として示されている電極に印加される駆動電圧を示すタイミングチャート、
【符号の説明】
【０１０２】
１０  静電アクチュエータ
２０  固定子
２０ａ  固定子対向面
２１  案内溝（ガイド手段）
２２  固定子側電極群
２３  固定子電極
２３ａ１，２３ａ２  固定子電極（Ａ相電極）
２３ｂ１，２３ｂ２  固定子電極（Ｂ相電極）
２３ｃ０，２３ｃ１，２３ｃ２  固定子電極（Ｃ相電極）
２３ｄ１，２３ｄ２  固定子電極（Ｄ相電極）
２３ｅ１，２３ｅ２  固定子電極（Ｅ相電極）
２４  導電部
３０  可動子
３０ａ  可動子対向面
３１  案内凸部（ガイド手段）
３２  可動子側電極群
３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３４ａ，３４ｂ  可動子電極
３５ａ  第１の可動子電極
３５ｂ  第２の可動子電極
４１  制御部
４２  給電部
【図１】
2007124823.tif 000003
【図２】
2007124823.tif 000004
【図３】
2007124823.tif 000005
【図４】
2007124823.tif 000006
【図５】
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【図６】
2007124823.tif 000008
【図７】
2007124823.tif 000009
【図８】
2007124823.tif 000010
【図９】
2007124823.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2007124823.tif 000013