(57)【要約】【課題】高い発光効率、長い製品寿命を有する有機ＥＬディスプレイを低廉且つ高い生産効率で製造可能な製造方法を提供する。【解決手段】大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気を有するハウジング１０において有機ＥＬ発光層３４を形成する。【選択図】図２
2007122914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極の間に設けられた有機エレクトロルミネッセンス発光層を備えた有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法であって、
大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気を有するハウジングにおいて上記有機エレクトロルミネッセンス発光層を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い調整空気を上記ハウジング内に送入することにより、該ハウジング内を大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気にすることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
水分濃度を低減させる水分低減手段とオゾン濃度を低減させるオゾン低減手段とを用いて上記調整空気を生成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
上記ハウジング内の水分及びオゾンの少なくとも一部を除去することにより、該ハウジング内を大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気にすることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
水分濃度を低減させる水分低減手段とオゾン濃度を低減させるオゾン低減手段とを用いて上記ハウジング内の水分及びオゾンの少なくとも一部を除去することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
【請求項６】
請求項３又は５に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
上記水分低減手段は、水分を吸着させる手段、空気を冷却することにより該空気中の水分の少なくとも一部を除去する手段、及び空気を圧縮することにより該空気中の水分の少なくとも一部を除去する手段のうちの少なくとも一つの手段を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
【請求項７】
請求項３又は５に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
上記オゾン低減手段は、オゾン分解手段、及びオゾン吸着手段のうちの少なくとも一つの手段を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
【請求項８】
請求項１に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
上記有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時における上記ハウジング内の水分濃度は５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
上記有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時における上記ハウジング内の水分濃度は０．１８ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以上であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
【請求項１０】
請求項１に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法において、
上記有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時における上記ハウジング内のオゾン濃度は３０ｐｐｂ以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
【請求項１１】
一対の電極の間に設けられた有機エレクトロルミネッセンス発光層を備えた有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置であって、
上記有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成を行うためのハウジングと、
上記有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時において、上記ハウジング内を大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気にするための雰囲気調整手段と、
を備えたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記雰囲気調整手段は上記ハウジングの外に設けられており、
上記雰囲気調整手段は、水分濃度を低減させる水分低減手段及びオゾン濃度を低減させるオゾン低減手段を有し、該水分低減手段と該オゾン低減手段とにより大気より水分濃度が低く、且つ大気よりオゾン濃度が低い調整空気を調整するための調整空気生成手段と、該調整空気を上記ハウジング内に送入する送入手段とを有する有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記雰囲気調整手段は上記ハウジング内に設けられており、該ハウジング内の水分濃度を低減させる水分低減手段と該ハウジング内のオゾン濃度を低減させるオゾン低減手段とを有する有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。
【請求項１４】
請求項１２又は１３に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記水分低減手段は、水分を吸着させる手段、空気を冷却することにより該空気中の水分を除去する手段、及び空気を圧縮することにより該空気中の水分を除去する手段のうちの少なくとも一つの手段を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。
【請求項１５】
請求項１２又は１３に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記オゾン低減手段は、オゾン分解手段、及びオゾン吸着手段のうちの少なくとも一つの手段を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。
【請求項１６】
請求項１１に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時における上記ハウジング内の水分濃度は５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時における上記ハウジング内の水分濃度は０．１８ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以上であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。
【請求項１８】
請求項１１に記載された有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置において、
上記有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時における上記ハウジング内のオゾン濃度は３０ｐｐｂ以下であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法及びそれに用いる製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（以下、「有機ＥＬディスプレイ」とすることがある。）は、駆動電圧が低く、高速応答性に優れている。また、自発光性のディスプレイであるため、広い視野角を有する。このため、有機ＥＬディスプレイは次世代フラットパネルディスプレイとして大いに期待されており、種々の有機ＥＬディスプレイの開発、量産化実現に向けた製造方法の開発が盛んに行われている。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイは、有機エレクトロルミネッセンス発光層（以下、「有機ＥＬ発光層」とすることがある。）を少なくとも含む１層又は複数の層の積層からなる有機エレクトロルミネッセンス層（以下、「有機ＥＬ層」とすることがある。）と、有機ＥＬ層を狭持する陰極及び陽極とを有する。陰極は有機ＥＬ発光層に電子を注入するものであり、陽極は有機ＥＬ発光層にホール（正孔）を注入するものである。有機ＥＬ発光層において、陰極及び陽極からそれぞれ注入された電子とホールとが再結合することにより励起子（エキシトン）が形成される。そして、形成された励起子が失活する際に有機ＥＬ発光層から発光が発せられる。有機ＥＬディスプレイはこの発光を利用して文字や画像等を表示させるものである。
【０００４】
有機ＥＬディスプレイは有機ＥＬ層の種類によって大別される。具体的には、高分子有機エレクトロルミネッセンス材料（以下、「高分子有機ＥＬ材料」とすることがある。）を含む有機ＥＬ層を有する高分子有機ＥＬディスプレイと、低分子有機エレクトロルミネッセンス材料を含む有機ＥＬ層を有する低分子有機ＥＬディスプレイとに大別することができる。低分子有機ＥＬディスプレイの場合、通常、有機ＥＬ層は、蒸着法等といった乾式法（ドライ法）により形成される。一方、高分子有機ＥＬディスプレイの場合、通常、有機ＥＬ層は、印刷法やインクジェット法（例えば、特許文献１、２等）等といった湿式法（ウエット法）により形成される。
【０００５】
一般的に、有機ＥＬ層に含まれる有機ＥＬ材料は、大気中において非常に劣化しやすい性質を有する。従って、有機ＥＬ層を大気中で形成した場合は、有機ＥＬ層の形成工程において有機ＥＬ材料が劣化してしまうため、有機ＥＬ層本来の特性を得ることができないという問題がある。尚、「有機ＥＬ層の特性」とは、有機ＥＬ層の発光輝度、発光効率、輝度半減期、発光寿命等の性質のことをいう。
【０００６】
このような問題に鑑み、有機ＥＬ層の形成工程を含めた有機ＥＬディスプレイの製造工程における製造雰囲気を制御するための種々の技術が提案されている。例えば、特許文献３には、有機エレクトロルミネッセンス積層構造体を成膜する工程で形成された有機エレクトロルミネッセンス積層構造体を大気に曝すことなく、真空中又は水分含有量が１００ｐｐｍ以下の不活性ガス雰囲気下でシールド部材組み付け工程に搬送する搬送工程を有する技術が開示されている。
【０００７】
特許文献４には、有機層を形成する最初の工程から、封止手段を形成する封止工程までを、水分量を制限した雰囲気中（水分濃度０．２１ｍｇ／ｌ以下）で行うことを特徴とする技術が開示されている。また、特許文献５には、発光機能材料を吐出する吐出工程を不活性ガスの雰囲気中（水分濃度１０ｐｐｍ以下）で行う技術が開示されている。
【０００８】
特許文献３〜５に記載された技術を用いることによって、有機ＥＬ層を形成する工程における高分子有機ＥＬ材料の劣化を抑制することができる。このため、優れた特性の有機ＥＬディスプレイを製造することが可能となる。
【特許文献１】特開平１０−１２３７７号公報
【特許文献２】特開平１０−１５３９６７号公報
【特許文献３】特開平１０−２４１８５８号公報
【特許文献４】特開２００３−７７６５５号公報
【特許文献５】特開２００３−２１７８４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献３〜５に開示された製造方法のように、真空雰囲気中、不活性ガス雰囲気中といた、酸素や水分を実質的に含まない雰囲気中で有機ＥＬ層を形成しようとすると、有機ＥＬ層を形成する工程をグローブボックス等の密閉空間中で行う必要がある。研究室における実験的、試験的な制作段階においては、グローブボックス内で有機ＥＬ層を形成することも可能であるが、量産工程において、グローブボックス内で有機ＥＬ層を形成することは、生産性（生産効率）、生産コストの観点から困難であるという問題がある。
【００１０】
本発明は、係る点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高発光効率、及び製品寿命の長い有機ＥＬディスプレイを低廉に、且つ高い生産効率で製造する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
従来、有機ＥＬ層を大気中で形成した場合に有機ＥＬ層の本来の特性が得られないことの主たる原因は、有機ＥＬ材料が酸素や水分に接触することであると考えられている。このため、上述のように、通常、有機ＥＬ層は真空中や水分含有量が１００ｐｐｍ以下という極めて水分含有量が少ない不活性ガス雰囲気中で形成されている。
【００１２】
しかしながら、本発明者が誠意研究した結果、有機ＥＬ材料の劣化の主たる原因は水分及びオゾンであることが見出された。すなわち、水分濃度とオゾン濃度とが双方低ければ、酸素を含有する雰囲気中であっても比較的高い特性を有する有機ＥＬ層を形成することができることが見出された。
【００１３】
また、本発明者は、有機ＥＬ層の形成雰囲気における水分濃度と有機ＥＬ材料の劣化とは一次的な相関（線形的な相関）を示さないことを見出した。すなわち、所定の水分濃度以下である場合は、比較的高い特性を有する有機ＥＬ層を形成することができ、有機ＥＬ層を実質的に水分が含まれない雰囲気中（例えば、乾燥窒素雰囲気中）で形成する必要が必ずしもないことを見出した。同様に、有機ＥＬ層の形成雰囲気におけるオゾン濃度と有機ＥＬ材料の劣化とは一次的な相関（線形的な相関）を示さないことを見出した。すなわち、所定のオゾン濃度以下である場合は、比較的高い特性を有する有機ＥＬ層を形成することができ、有機ＥＬ層を実質的にオゾンが含まれない雰囲気中（例えば、乾燥窒素雰囲気中）で形成する必要が必ずしもないことを見出した。
【００１４】
その結果、本発明者は水分濃度とオゾン濃度との双方を調整した空気雰囲気中においても高い特性を有する有機ＥＬ層の形成が可能であることを見出し、本発明を成すに至った。
【００１５】
すなわち、本発明に係る製造方法は、一対の電極の間に設けられた有機エレクトロルミネッセンス発光層（例えば、高分子有機エレクトロルミネッセンス発光層）を備えた有機エレクトロルミネッセンスディスプレイを製造するための方法であり、大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気を有するハウジングにおいて有機エレクトロルミネッセンス発光層を形成することを特徴とする。これによれば、有機ＥＬ発光層を形成する工程において、有機ＥＬ材料がオゾンや水分と接触することが効果的に抑制される。従って、有機ＥＬ発光層の形成工程における有機ＥＬ材料の劣化を抑制することができるため、高い発光効率を有し、長い製品寿命を有する、高い特性を備えた有機ＥＬディスプレイを製造することができる。
【００１６】
また、例えば、乾燥不活性ガス雰囲気を有するハウジングにおいて有機ＥＬ発光層を形成する従来の方法であれば、ハウジング内への外気の流入をほぼ完全に規制する必要がある。このため、従来ハウジングに要求される気密性は非常に高く、ハウジングは気密性の高いグローブボックス等である必要があった。それに対して、本発明では、有機ＥＬ発光層は空気雰囲気中で形成される。このため、ハウジング内への外気の流入を完全に規制する必要はなく、ハウジングは例えば半密閉空間であってもよい。従って、従来の方法と比較して、ハウジングからの有機ＥＬディスプレイの搬出やハウジング内への材料等の搬入などを容易に行うことができる。また、作業員の出入りも容易に行うことができる。従って、本発明によれば、有機ＥＬディスプレイの高い生産効率（高い作業性、搬送容易性）を実現することができる。
【００１７】
さらに、本発明に係る製造方法は、ランニングコストを要する不活性ガス（窒素やアルゴン等）を必要としない。このため、本発明に係る製造方法によれば、安価に有機ＥＬディスプレイを製造することができる。
【００１８】
調整空気雰囲気にする方法は特に限定されない。例えば、水分濃度を低減させる水分低減手段とオゾン濃度を低減させるオゾン低減手段とを用いて大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い調整空気を生成し、その調整空気をハウジング内に送入することにより調整空気雰囲気を形成してもよい。また、例えば、水分低減手段とオゾン低減手段とを用いてハウジング内の水分及びオゾンの少なくとも一部を除去することにより、調整空気雰囲気を形成してもよい。尚、調整空気をハウジング内に送入する工程（以下、「送入工程」とすることがある。）は有機ＥＬ発光層を形成する工程（以下、「形成工程」とすることがある。）の実施期間中、継続的に行ってもよい。また、送入工程は形成工程の実施期間中、断続的に行ってもよい。例えば、ハウジング内の水分濃度を水分センサ（湿度計）等によりモニタリングし、ハウジング内の水分濃度が所定の水分濃度を超えた際に、送入工程を所定の期間の間行うようにしてもよい。
【００１９】
水分低減手段は、水分を吸着させる手段、空気を冷却することにより空気中の水分の少なくとも一部を除去する手段、及び空気を圧縮することにより空気中の水分の少なくとも一部を除去する手段のうちの少なくとも一つの手段を含むことが好ましい。水分を吸着させる手段としては水分吸着剤等が挙げられる。空気を冷却することにより空気中の水分の少なくとも一部を除去する手段は、例えば、冷却器と循環ポンプとにより形成することができる。空気を圧縮することにより空気中の水分の少なくとも一部を除去する手段は、例えば圧縮機と循環ポンプにより構成することができる。
【００２０】
オゾン低減手段は、オゾン分解手段、及びオゾン吸着手段のうちの少なくとも一つの手段を含むことが好ましい。具体的には、オゾン分解触媒やオゾン吸着剤等が挙げられる。
【００２１】
本発明に係る有機ＥＬディスプレイの製造方法では、有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時におけるハウジング内の水分濃度が５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下であることが好ましい。また、０．１８ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以上であることが好ましい。有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時におけるハウジング内の水分濃度を５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下とすることにより、高い特性を有する有機ＥＬディスプレイを製造することが可能となる。
【００２２】
同様に、高い特性を有する有機ＥＬディスプレイを得る観点から、本発明に係る有機ＥＬディスプレイの製造方法では、有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時におけるハウジング内のオゾン濃度は３０ｐｐｂ以下であることが好ましい。
【００２３】
本発明に係る製造装置は、一対の電極の間に設けられた有機エレクトロルミネッセンス発光層（例えば、高分子有機エレクトロルミネッセンス発光層）を備えた有機エレクトロルミネッセンスディスプレイを製造するためのものである。本発明に係る製造装置は、有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成を行うためのハウジングと、有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時において、ハウジング内を大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気にするための雰囲気調整手段とを備えている。
【００２４】
本発明に係る製造装置によれば、有機ＥＬ発光層の形成工程において、有機ＥＬ材料がオゾンや水分と接触することが抑制されるので、有機ＥＬ材料の劣化を抑制することができる。従って、高い発光効率を有し、長い製品寿命を有する、高い特性を備えた有機ＥＬディスプレイを製造することができる。
【００２５】
また、例えば、乾燥不活性ガス雰囲気を有するハウジングにおいて有機ＥＬ層を形成する従来の製造装置であれば、ハウジング内への外気の流入をほぼ完全に規制する必要がある。このため、従来ハウジングに要求される気密性は非常に高く、ハウジングは気密性の高いグローブボックス等である必要があった。それに対して、本発明では、ハウジング内は調整空気雰囲気である。このため、ハウジング内への外気の流入を完全に規制する必要はなく、ハウジングは例えば半密閉空間であってもよい。従って、本発明に係る製造装置では、ハウジングからの有機ＥＬディスプレイの搬出やハウジング内への材料等の搬入などが容易である。また、作業員の出入りも容易に行うことができる。従って、本発明によれば、高い生産効率（高い作業性、搬送容易性）で有機ＥＬディスプレイを製造することができる。
【００２６】
さらに、本発明に係る製造装置は、ランニングコストを要する不活性ガス（窒素やアルゴン等）を必要としない。このため、本発明に係る製造方法によれば、安価に有機ＥＬディスプレイを製造することができる。
【００２７】
雰囲気調整手段はハウジングの外に設けられていてもよい。雰囲気調整手段は、水分低減手段とオゾン低減手段とにより大気より水分濃度が低く、且つ大気よりオゾン濃度が低い調整空気を調整するための調整空気生成手段と、調整された調整空気をハウジング内に送入する送入手段とを有していてもよい。調整空気生成手段は、水分濃度を低減させる水分低減手段及びオゾン濃度を低減させるオゾン低減手段を有していてもよい。
【００２８】
また、雰囲気調整手段は、ハウジング内に設けられており、ハウジング内の水分濃度を低減させる水分低減手段とハウジング内のオゾン濃度を低減させるオゾン低減手段とを有するものであってもよい。
【００２９】
水分低減手段は、水分を吸着させる手段、空気を冷却することにより空気中の水分の少なくとも一部を除去する手段、及び空気を圧縮することにより空気中の水分の少なくとも一部を除去する手段のうちの少なくとも一つの手段を含むことが好ましい。水分を吸着させる手段としては水分吸着剤等が挙げられる。空気を冷却することにより空気中の水分の少なくとも一部を除去する手段は、例えば、冷却器と循環ポンプとにより形成することができる。空気を圧縮することにより空気中の水分の少なくとも一部を除去する手段は、例えば圧縮機と循環ポンプにより構成することができる。
【００３０】
オゾン低減手段は、オゾン分解手段、及びオゾン吸着手段のうちの少なくとも一つの手段を含むことが好ましい。具体的には、オゾン分解触媒やオゾン吸着剤等が挙げられる。
【００３１】
本発明に係る製造装置では、有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時におけるハウジング内の水分濃度が５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下であることが好ましい。また、０．１８ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以上であることが好ましい。そうすることによって、高い特性を有する有機ＥＬディスプレイを製造することが可能となる。
【００３２】
また、同様に、高い特性を有する有機ＥＬディスプレイを得る観点から、有機エレクトロルミネッセンス発光層の形成時におけるハウジング内のオゾン濃度は３０ｐｐｂ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００３３】
以上説明したように、本発明によれば、形成工程において、有機ＥＬ層に含まれる有機ＥＬ材料の劣化を効果的に抑制することができるので、高い発光効率、長い製品寿命を有する有機ＥＬディスプレイを低廉且つ高い生産効率で製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００３５】
（実施形態）
図１は本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイ３０の要部の構成を表す断面図である。
【００３６】
図１に示すように、本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイ３０は、ガラス、プラスティック等からなる絶縁基板３１と、絶縁基板３１の上に形成された第１電極（陽極）３２と、第１の電極３２の上に形成されたバッファ層３３及び有機ＥＬ発光層３４を有する有機ＥＬ層３７と、有機ＥＬ発光層３４の上に形成された第２の電極（陰極）３５と、第２の電極３５の上に、有機ＥＬディスプレイ３０を封止するように形成された封止部材３６とを備えている。
【００３７】
第１電極（陽極）３２は、例えばインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）やインジウム亜鉛酸化物）ＩＺＯ）等の透明導電性酸化物により形成することができる。バッファ層３３は電荷輸送層であってもよく、より具体的には、正孔輸送層や正孔注入層であってもよい。バッファ層３３は単層であっても積層であってもよく、例えば、正孔注入層と正孔輸送層との積層としてもよい。また、バッファ層３３は表面を平坦化する機能を兼ね備えている。
【００３８】
本実施形態では、有機ＥＬ発光層３４と第２の電極（陰極）３５との間にバッファ層が設けられていないが、有機ＥＬ発光層３４と第２の電極（陰極）３５との間に、電子輸送層や電子注入層といったバッファ層を設けてもよい。バッファ層３３の材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスルホン酸との混合体（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ、例えばスタルクヴィテック社製ＢＹＴＲＯＮ  Ｐ  ＣＨ８０００）、Ｐｏｌｙ−ＴＰＤ（Ｐｏｌｙ（Ｎ，Ｎ’−ｂｉｓ−（４−ｂｕｔｙｌｐｈｅｎｙｌ）−Ｎ，Ｎ’−ｂｉｓ（ｐｈｅｎｙｌ）ｂｅｎｚｉｄｉｎｅ）、ＰＡＮＩ−ＣＳＡ等が挙げられる。
【００３９】
有機ＥＬ発光層３４は、第１の電極３２及び第２の電極３５からそれぞれ注入された電子とホール（正孔）とを再結合させて光を出射させるそうである。有機ＥＬ発光層３４は有機ＥＬ発光材料を含む。有機ＥＬ発光材料としては、例えば、下記化学式１により表された化合物（以下、「化合物Ａ」とすることがある。）に代表されるポリフルオレン化合物、ポリフェニレンビニレン化合物、ポリスパイロ化合物、ポリパラフェニレン化合物、ポリチオフェン化合物等が挙げられる。
【００４０】
【化１】
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【００４１】
（式中、Ｒ、Ｒ'は、アルキル鎖を表し、Ａｒ、Ａｒ'は、芳香族アリール化合物を表す。ｌ、ｍは、１以上の整数であり、ｎは、０又は１以上の整数である。分子量は５万以上５０万以下である。）
尚、化学式１において、芳香族アリール化合物は、ジメチルベンゼン、ピリジン、ベンゼン、アントラセン、スピロビフルオレン、カルバゾール、ベンゾアミン、ビピリジン、ベンゾチアジアゾール等であってもよい。化合物Ａの発光色はＡｒ、Ａｒ'の種類、及び化学式１中のｌ、ｍ、ｎの比率によって異なる。
【００４２】
第２の電極３５は、例えば、リチウム、カルシウム、等のアルカリ金属又はアルカリ土類金属、若しくはそれらのフッ化物等により形成することができる。
【００４３】
封止部材３６は素子内に水分やオゾン等が進入することを抑制する機能を有するもので、例えば、ガラスや樹脂により形成することができる。
【００４４】
次に、図２を参照しながら、本実施形態に係る有機ＥＬディスプレイ３０の製造工程について詳細に説明する。
【００４５】
まず、ガラス、プラスティック等からなる絶縁基板３１上に、例えばインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）等の透明導電性酸化物からなる第１の電極３２を形成する。第１の電極３２は化学気相蒸着法（ＣＶＤ）に代表される蒸着法等により形成することができる。次に、以下に詳述する工程により有機ＥＬ層３７（バッファ層３３及び有機ＥＬ発光層３４）を形成する。尚、有機ＥＬ層３７は湿式法、印刷法、レーザー転写法等により形成することができる。湿式法の例としては、スピンコート法、インクジェット法、ノズルコート法、スリットコート法、ダイコート法等が挙げられる。印刷法としては、例えば、オフセット印刷法、凹版印刷法が挙げられる。
【００４６】
最後に、有機ＥＬ発光層３４の上に第２の電極（陰極）３５を形成し、窒素等の不活性ガス雰囲気中でガラスキャップ等の封止部材３６により封止することにより、有機ＥＬディスプレイ３０を完成させることができる。
【００４７】
次に、本実施形態における有機ＥＬ層３７（有機ＥＬ発光層３４及びバッファ層３３）の形成工程について、図２を参照しながら詳細に説明する。
【００４８】
図２は本実施形態における製造装置１の構成を表す図である。
【００４９】
製造装置１は、有機ＥＬ層３７を形成するためのハウジング１０と、ハウジング１０にダクトにより連結された雰囲気調整手段２０とを有する。ハウジング１０の内部には、例えば第１の電極３２が形成された絶縁基板３１を設置するための台が設けられている。
【００５０】
雰囲気調整手段２０は、送入手段としてのポンプ２１と、水分低減手段２２及びオゾン低減手段２３により構成される調整空気生成手段とを備えている。尚、本実施形態では、オゾン低減手段２３がハウジング１０にダクトにより直接連結されており、水分低減手段２２はオゾン低減手段２３を介してハウジング１０に連結されているが、例えば、オゾン低減手段２３をハウジング１０に直接連結し、水分低減手段２２はオゾン低減手段２３を介してハウジング１０に連結させてもよい。また、ポンプ２１は、例えば、オゾン低減手段２３とハウジング１０との間、又はオゾン低減手段２３と水分低減手段２２との間に設けてもよい。さらに、ポンプ２１と水分低減手段２２との間に塵や埃等をフィルターするクリーンフィルターを設けてもよい。クリーンフィルターを設けることによって、ハウジング１０内に塵や埃等が流入することを効果的に抑制することができる。
【００５１】
ポンプ２１は外気を吸入・加圧し、水分低減手段２２及びオゾン低減手段２３により調整された空気をハウジング１０内に送入する機能を有する。水分低減手段２２はポンプ２１から挿入された空気の水分濃度を低減し、オゾン低減手段２３に向けて水分濃度が低減された空気を排出する機能を有する。水分低減手段２２は水分を吸着させる水分吸着手段（例えば液体式水分吸着剤や固体式水分吸着剤）を含んでいてもよい。水分低減手段２２は空気を冷却することにより空気中の水分の少なくとも一部を除去する冷却除去手段を含んでいてもよい。例えば、冷却除去手段は、取り込んだ空気を露点温度以下に冷却することによって、空気中の水分の少なくとも一部を凝縮・除去する機能を有する冷却器（熱交換機）により構成することができる。
【００５２】
また、水分低減手段２２は空気を圧縮することにより空気中の水分の少なくとも一部を除去する圧縮除去手段を含んでいてもよい。圧縮除去手段は、例えば、外気を取り込み圧縮して、空気の飽和水蒸気量を低下させることにより、空気中の水分の少なくとも一部を凝縮・除去する圧縮機により構成してもよい。
【００５３】
勿論、水分吸着手段、冷却除去手段、及び圧縮除去手段のうちの２種類以上の手段を組み合わせて水分低減手段２２を構成しても構わない。例えば、外気を取り込んで圧縮する圧縮機と、圧縮機によって圧縮された空気を冷却し、空気中の水分の少なくとも一部を凝縮・除去する冷却器とにより水分低減手段２２を構成しても構わない。
【００５４】
オゾン低減手段２３は、水分低減手段２２により水分濃度が低減された空気のオゾン濃度を低減することにより調整空気を調整し、その調整空気をハウジング１０に向けて排出する機能を有する。オゾン低減手段２３は、例えば、オゾンを吸着及び／又は分解することにより調整空気のオゾン濃度を低減する機能を有するオゾンフィルターにより構成することができる。オゾンフィルターは、例えば、オゾン分解触媒と、オゾンを吸着する機能を有するオゾン吸着剤（例えば、活性炭等）とを含んでいてもよい。また、オゾン分解触媒又はオゾン吸着剤のいずれか一方を含むものであってもよい。
【００５５】
以上説明したように、製造装置１では、水分低減手段２２とオゾン低減手段２３とにより調整された水分濃度及びオゾン濃度が大気以下である調整空気がハウジング１０内に挿入される仕組みになっている。図１に示すように、調整空気はハウジング１０の上面（天井）の全面から送入され、下面（床）に向かって流れる。ハウジング１０の下面（床）はグレーティングされており、下面（床）に向かって流れた調整空気は下面（床）からハウジング１０外に排気される（ダウンフォロー）。
【００５６】
このように、調整空気をダウンフォローすることによって、ハウジング１０内の塵や埃等をＥＬ層形成室の下面（床）からハウジング１０外に排出することができる。このため、ハウジング１０内の塵や埃等を低減することができる。
【００５７】
まず、雰囲気調整手段２０を動作させてハウジング１０内を大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い調整空気雰囲気にする。調整空気雰囲気においてバッファ層３３及び有機ＥＬ発光層３４を、インクジェット法等の湿式法等により形成する。このため、有機ＥＬ層３７形成工程においてバッファ層３３や有機ＥＬ発光層３４に含まれる有機ＥＬ発光材料や電荷輸送材料等の有機ＥＬ材料が水分やオゾンと接触することが抑制される。よって、有機ＥＬ材料の劣化が抑制される。従って、高い発光特性を有する有機ＥＬディスプレイ３０を製造することが可能となる。
【００５８】
より高い発光高特性を実現する観点から、ハウジング１０内の水分濃度が５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下であることが好ましい。さらに好ましくは３ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）である。また、ハウジング１０内のオゾン濃度は３０ｐｐｂ以下であることが好ましい。尚、例えば、５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）とは、乾燥空気１Ｋｇ中に水が５ｇ含有されていることをいう。
【００５９】
尚、有機ＥＬ層３７の形成工程におけるハウジング１０内の水分濃度は原則として低いほど好ましい。しかしながら、ハウジング１０内の水分濃度は０．１８ｇ／Ｋｇ未満にまで低減する必要は必ずしもない。ハウジング１０内の水分濃度を０．１８ｇ／Ｋｇとすることにより、実質的に水分を含まない（水分濃度が０である）乾燥不活性ガス（例えば窒素）雰囲気中において有機ＥＬ層３７を形成した場合とほぼ同様の特性が得られるからである。また、ハウジング１０内のオゾン濃度に関しても３０ｐｐｂ以下であれば、どのようなオゾン濃度においてもほぼ同様の高い特性が得られる。このため、ハウジング１０内のオゾン濃度を完全にゼロにする必要は必ずしもない。このため、ハウジング１０は外気の流入を完全に防止することができるものである必要はなく、外気の流入を抑制することができるものであればよい。すなわち、ハウジング１０はグローブボックスといった大がかりなものである必要はなく、例えば、外部からの空気の流入が抑制されたハウジングや、壁やドア等で外気から遮断された部屋等であってもよい。このため、本実施形態に係る製造装置１は、グローブボックス等を要する従来の製造装置と比較して安価である。
【００６０】
また、ハウジング１０からの有機ＥＬディスプレイ３０の搬出、作業者の入出も容易であるため、有機ＥＬディスプレイ３０の高い生産性を実現することができる。さらに、不活性ガス雰囲気中で有機ＥＬ層３７を形成する場合のように、窒素等の不活性ガスも要さない。このため、本実施形態に係る製造装置１によれば容易且つ安価に有機ＥＬディスプレイを製造することができる。
【００６１】
尚、雰囲気調整手段２０は有機ＥＬ層３７の形成工程にわたって常時稼働させてもよいが、ハウジング１０内の空気雰囲気の水分濃度及びオゾン濃度が所定値以下に保持されればよいため、雰囲気調整手段２０は必ずしも形成工程にわたって常時稼働させる必要は必ずしもない。例えば、有機ＥＬ層３７の形成工程を行う前に稼働させ、形成工程実行中は、ハウジング１０内の水分濃度及びオゾン濃度を水分センサ（湿度計）、オゾン濃度測定器等によりモニタリングし、ハウジング１０内の水分濃度及び／又はオゾン濃度が所定値に達した際に、雰囲気調整手段２０を所定の期間稼働させるようにしてもよい。
【００６２】
尚、例えば、インクジェット法等の湿式法により有機ＥＬ層３７を形成する場合、その形成工程は有機ＥＬ材料を含むインクを塗布する塗布工程と、塗布したインクを乾燥させる乾燥工程とを含む。これらの工程のうち、少なくとも塗布工程は水分濃度が低減された調整空気雰囲気中（ハウジング１０内）において行うことが好ましい。塗布工程及び乾燥工程の双方を調整空気雰囲気中（ハウジング１０内）で行うことがより好ましい。さらに、有機ＥＬ層３７を形成した後、陰極を形成するために真空に保持された部屋に移動させる工程も水分濃度が低減された調整空気雰囲気中で行うことが好ましい。勿論、有機ＥＬディスプレイの製造工程のすべてをハウジング１０内において行っても構わない。
【００６３】
（変形例）
図３は本変形例に係る製造装置２の構成を表す図である。
【００６４】
図３に示すように、雰囲気調整手段２０はハウジング１０内に設置してもよい。この場合、雰囲気調整手段２０は、ハウジング１０内の空気を吸入し、水分濃度及びオゾン濃度を低減させた後に再度ハウジング１０内に排出する。すなわち、本変形例に係る製造装置２は、雰囲気調整手段２０によりハウジング１０内の水分及びオゾンの少なくとも一部が除去される構成となっている。この構成によっても、上記実施形態１における製造装置１と同様に、ハウジング１０内を大気よりも大気よりも水分濃度が低く、且つ大気よりもオゾン濃度が低い空気雰囲気にすることが可能である。
【００６５】
尚、上記実施形態及び変形例ではパッシブマトリクス型の有機ＥＬディスプレイ３０の形成例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、アクティブマトリクス型の有機ＥＬディスプレイ３０にも好適に適用することができるものである。
【００６６】
また、上記実施形態に示すように、有機ＥＬ層３７を構成するすべての層をハウジング１０内の調整空気雰囲気中で形成することが好ましい。しかし、種々の有機ＥＬ材料の中で有機ＥＬ発光材料が最もオゾン及び水分と接触することによって劣化しやすい性質を有する。このため、有機ＥＬ層３７のうち少なくとも有機ＥＬ発光層３４は調整空気雰囲気中で形成されることが好ましく、例えばその他の有機ＥＬ層は大気中で形成してもよい。
【実施例】
【００６７】
実施例及び比較例として、図１に示す上記実施形態に係る有機ＥＬディスプレイ３０と同様の構成を有する有機ＥＬディスプレイを、図２に示す製造装置１を用いて種々作製した。具体的には、有機ＥＬ発光層３４を形成する際の雰囲気の水分濃度及びオゾン濃度を種々変化させて、以下の製造方法により有機ＥＬディスプレイを種々作製し、実施例１〜１５及び比較例１〜４とした。
【００６８】
まず、絶縁基板３１（旭硝子社製ガラス基板）の上に、スパッタ法を用いて、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）からなる陽極３２を形成した。第１の電極（陽極）３２の層厚は２００ｎｍであった。
【００６９】
陽極３２の上に、インクジェット法を用いて、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスルホン酸との混合体（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ、スタルクヴィテック社製ＢＹＴＲＯＮ  Ｐ  ＣＨ８０００）を含むバッファ層３３を形成した。具体的には、実施例１〜５及び比較例１では、バッファ層３３を形成するためのインクの組成は、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを６重量部、水を５重量部、エタノールを５重量部、エチレングリコールを５重量部とした。実施例６〜１１及び比較例２では、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを６重量部、水を５重量部、エタノールを９重量部とした。また、実施例１２〜１５及び比較例３、４では、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを６重量部、水を４重量部とした。
【００７０】
ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを含むインクを成膜後、２００℃で１０分間焼成することによりバッファ層３３を形成した。実施例１〜１１及び比較例１、２では、形成されたバッファ層３３の層厚は６０ｎｍであった。実施例１２〜１５及び比較例３、４では、形成されたバッファ層３３の層厚は５０ｎｍであった。
【００７１】
バッファ層３３の上に、スピンコート法を用いて各種発光材料を含む有機ＥＬ発光層３４を形成した。具体的に、実施例１〜５及び比較例１では、上記化学式１で表される青色高分子発光材料（青色の光を出射させる材料）を用いた。実施例６〜１１及び比較例２では、赤色高分子発光材料（赤色の光を出射させる材料）を用いた。実施例１２〜１５及び比較例３、４では、緑色高分子発光材料（緑色の光を出射させる材料）を用いた。
【００７２】
また、有機ＥＬ発光層３４を形成するためのインクの組成は、実施例１〜５及び比較例１では、青色高分子発光材料を８重量部、テトラリンを５００重量部、キシレンを５００重量部とした。実施例６〜１１及び比較例２では、赤色高分子発光材料を１重量部、メシチレンを５０重量部、キシレンを５０重量部とした。実施例１２〜１５及び比較例３、４では、緑色高分子発光材料を１重量部、キシレンを１００重量部とした。
【００７３】
インク塗布後、焼成することにより有機ＥＬ発光層３４を形成した。詳細には、実施例１〜１１及び比較例１、２では、１５０℃で１０分間焼成した。実施例１２〜１５及び比較例３、４では、２００℃で６０分間焼成した。
【００７４】
形成された有機ＥＬ発光層３４の層厚は、実施例１〜５及び比較例１では、１００ｎｍであった。実施例６〜１１及び比較例２では、８０ｎｍであった。実施例１２〜１５及び比較例３、４では、７０ｎｍであった。
【００７５】
有機ＥＬ発光層３４の上に、真空蒸着法により層厚５ｎｍのバリウム層と層厚１００ｎｍのアルミニウム層とを成膜することにより第２の電極（陰極）３５を形成した。その後、窒素雰囲気下において、ガラス（旭硝子社製）からなる封止部材（封止キャップ）３６により封止することにより有機ＥＬディスプレイを完成させた。尚、絶縁基板３１と封止部材（封止キャップ）３６との接着はＵＶ硬化樹脂を用いて行った。
【００７６】
実施例１〜１５及び比較例１、２では、バッファ層３３の形成は大気中で行い、有機ＥＬ発光層３４の形成は所定の水分濃度・オゾン濃度に調整された調整空気雰囲気中で行った。詳細には、実施例１〜１５では、ハウジング１０内を大気よりもオゾン濃度が低く、且つ水分濃度が低い空気雰囲気とした。比較例１では、大気と同じオゾン濃度とし、水分濃度だけを大気よりも低く調整した。比較例２では、大気と同じ水分濃度とし、オゾン濃度だけを大気よりも低く調整した。
【００７７】
実施例１〜１５及び比較例１、２における水分濃度の調整は乾式除湿型の水分除去装置（ダイキン工業社製ハニードライ）を用いて行った。また、オゾン濃度の調整はオゾンフィルターの厚みを変化させることにより行った。
【００７８】
比較例３では、バッファ層３３の形成は大気中で行い、有機ＥＬ発光層３４を乾燥窒素を充填したグローブボックス中（実質的にオゾン及び水分を含まない窒素雰囲気中）で形成した。
【００７９】
比較例４では、バッファ層３３及び有機ＥＬ層３７の双方を、水分濃度及びオゾン濃度を調整していない大気中で行った。
【００８０】
以上のように製造された実施例１〜１５及び比較例１〜４に係る有機ＥＬディスプレイのそれぞれの発光効率及び輝度半減時間を測定した。発光効率は大塚電子製、有機ＥＬ特性測定装置により測定した。尚、青色高分子発光材料を用いた実施例１〜５及び比較例１では、２００ｃｄ／ｍ2のときの発光効率を測定した。赤色高分子発光材料を用いた実施例６〜１１及び比較例２では、５００ｃｄ／ｍ2のときの発光効率を測定した。緑色高分子発光材料を用いた実施例１２〜１５及び比較例３、４では、１０００ｃｄ／ｍ2のときの発光効率を測定した。
【００８１】
輝度半減時間は大塚電子製有機ＥＬエージング装置により測定した。尚、「輝度半減時間」とは、初期輝度から初期輝度の半分の輝度になるまでに要する時間のことをいう。青色高分子発光材料を用いた実施例１〜５及び比較例１では、初期輝度を１５００ｃｄ／ｍ2として測定した。赤色高分子発光材料を用いた実施例６〜１１及び比較例２では、初期輝度を３０００ｃｄ／ｍ2として測定した。緑色高分子発光材料を用いた実施例１２〜１５及び比較例３、４では、初期輝度を８０００ｃｄ／ｍ2として測定した。
【００８２】
下記表１に各実施例及び各比較例における水分濃度（絶対湿度）、オゾン濃度、発光効率、及び輝度半減寿命を示す。
【００８３】
【表１】
2007122914.tif 000004
【００８４】
図４は青色高分子発光材料を用いた実施例１〜５及び比較例１におけるハウジング１０内のオゾン濃度と得られた有機ＥＬディスプレイの発光効率・輝度半減寿命との関係を表すグラフである。
【００８５】
図５は赤色高分子発光材料を用いた実施例６〜１１及び比較例２におけるハウジング１０内のオゾン濃度と得られた有機ＥＬディスプレイの発光効率・輝度半減寿命との関係を表すグラフである。
【００８６】
表１及び図４に示すように、大気よりも低い水分濃度を有するものの、大気と同じオゾン濃度を有するハウジング１０内で有機ＥＬ発光層３４を形成した比較例１では、発光効率、輝度半減寿命共に低い値しか得られなかった。それに対して、ハウジング１０内の水分濃度を大気よりも低くすると共に、オゾン濃度も大気より低く調整した場合は、実施例１〜５の結果の通り、比較例１と比較して２倍以上の発光効率、６倍以上の輝度半減寿命が得られた。この結果から、水分濃度のみを大気よりも低くするだけでは十分に高い発光効率及び輝度半減寿命が得られず、水分濃度とオゾン濃度との両方を大気よりも低くすることにより高い発光効率及び輝度半減寿命が実現できることがわかった。
【００８７】
また、図４に示すように、オゾン濃度が３０ｐｐｂ〜５０ｐｐｂの範囲で発光効率及び輝度半減寿命が大きく変化し、オゾン濃度が３０ｐｐｂ以下の範囲では、発光効率及び輝度半減寿命はほとんど変化しなかった。言い換えれば、オゾン濃度が３０ｐｐｂ以下である場合に特に高い発光効率及び輝度半減寿命が実現されることがわかった。
【００８８】
また、表１及び図５に示すように、大気よりも低いオゾン濃度を有するものの、大気と同じ水分濃度を有するハウジング１０内で有機ＥＬ発光層３４を形成した比較例２では、発光効率、輝度半減寿命共に低い値しか得られなかった。それに対して、ハウジング１０内のオゾン濃度を大気よりも低くすると共に、水分濃度も大気より低く調整した場合は、実施例６〜１１の結果の通り、比較例２と比較して２倍以上の発光効率、１．７５倍以上の輝度半減寿命が得られた。この結果から、オゾン濃度のみを大気よりも低くするだけでは十分に高い発光効率及び輝度半減寿命が得られず、オゾン濃度と水分濃度との両方を大気よりも低くすることにより高い発光効率及び輝度半減寿命が実現できることがわかった。
【００８９】
また、図５に示すように、水分濃度が５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以上の範囲で発光効率及び輝度半減寿命が大きく変化し、水分濃度が５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下の範囲では、発光効率及び輝度半減寿命はほとんど変化しなかった。言い換えれば、水分濃度が５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下である場合に特に高い発光効率及び輝度半減寿命が実現されることがわかった。
【００９０】
次に、実施例１２〜１５及び比較例４の結果に着目すると、上記実施例１〜１１及び比較例１、２の結果と同様に、ハウジング１０内のオゾン濃度及び水分濃度を低減することによって高い発光効率及び輝度半減寿命が実現されることがわかった。
【００９１】
オゾン濃度が３ｐｐｂ以下で水分濃度が０．１８ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下のハウジング１０内で有機ＥＬ発光層３４を形成した実施例１２、１３の結果と、実質的にオゾン及び水分を含まない窒素雰囲気中において有機ＥＬ発光層３４を形成した比較例３の結果を比較すると、これらすべての実施例及び比較例においてほぼ同様の発光効率、輝度半減寿命が測定された。この結果より、有機ＥＬ発光層３４の形成は、実質的にオゾン及び水分が含まれない雰囲気中で行う必要はなく、ある程度水分及びオゾンを含んでいる雰囲気中で行ってもよいことがわかった。実施例１２、１３で使用したハウジングと較べて比較例３で使用するようなグローブボックスが非常に高価である（例えば５倍のコストを要する）こと、及びグローブボックスにおける作業性の低さを考慮すると、むしろある程度の水分濃度を有する雰囲気中で有機ＥＬ発光層３４を形成することが好ましいといえる。具体的には、水分濃度が０．１８ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）未満にまで水分濃度を低減する必要性は低いことがわかった。
【００９２】
また、窒素雰囲気中で有機ＥＬ発光層３４を形成した比較例３と調整空気雰囲気中で有機ＥＬ発光層３４を形成した実施例１２、１３の結果から、酸素との接触により有機ＥＬ材料はあまり劣化しないことがわかった。
【００９３】
以上の結果から、水分濃度が０．１８ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下５ｇ／Ｋｇ（Ｄ．Ａ．）以下且つ、オゾン濃度が３０ｐｐｂ以下である調整空気雰囲気中において有機ＥＬ発光層３４を形成することが特に好ましいことがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
以上説明したように、本発明に係る有機ＥＬディスプレイの製造方法によれば、長寿命な有機ＥＬディスプレイを製造することができるため、携帯電話、ＰＤＡ、テレビ、電子ブック、モニター、電子ポスター、時計、電子棚札、非常案内等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】実施形態に係る有機ＥＬディスプレイ３０の要部の構成を表す断面図である。
【図２】製造装置１の構成を表す図である。
【図３】製造装置２の構成を表す図である。
【図４】実施例１〜５及び比較例１におけるハウジング１０内のオゾン濃度と得られた有機ＥＬディスプレイの発光効率・輝度半減寿命との関係を表すグラフである。
【図５】実施例６〜１１及び比較例２におけるハウジング１０内のオゾン濃度と得られた有機ＥＬディスプレイの発光効率・輝度半減寿命との関係を表すグラフである。
【符号の説明】
【００９６】
１、２      製造装置
１０      ハウジング
２０      雰囲気調整手段
２１      ポンプ
２２      水分低減手段
２３      オゾン低減手段
３０      有機ＥＬディスプレイ
３１      絶縁基板
３２      第１の電極
３３      バッファ層
３４      有機ＥＬ発光層
３５      第２の電極
３６      封止部材
３７      有機ＥＬ層
【図１】
2007122914.tif 000005
【図２】
2007122914.tif 000006
【図３】
2007122914.tif 000007
【図４】
2007122914.tif 000008
【図５】
2007122914.tif 000009