(57)【要約】【課題】  下地である絶縁樹脂層との接合強度を十分に確保した配線を形成する方法を提供する。【解決手段】  基層配線が形成されている絶縁基板上に、半硬化状態の熱硬化性樹脂フィルムと、マット面を樹脂フィルム側にした金属箔とを重ねて加熱下で加圧する工程、  金属箔に、絶縁樹脂層のビアホール形成予定箇所を露出させる開口を形成する工程、  この金属箔をマスクとしてレーザビーム加工等により絶縁樹脂層にビアホールを形成する工程、  金属箔の開口を介してビアホールのデスミア処理を行う工程、  金属箔をエッチングにより除去する工程、  絶縁樹脂層の上面と、ビアホールの側面と、ビアホールの底部を成す基層配線の上面とを連続して覆う無電解金属めっき層を形成する工程、および  無電解金属めっき層上にセミアディティブ法により電解金属めっき層から成る配線を形成する工程を含む。【選択図】      図２
2007073834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多層配線基板の層間絶縁層を構成するための絶縁樹脂層上に配線を形成する方法において、
基層配線が形成されている絶縁基板上に、半硬化状態の熱硬化性樹脂フィルムと、マット面を該樹脂フィルム側にした金属箔とをこの順に重ねて加熱下で加圧し、該基板上に硬化状態の該樹脂フィルムから成る絶縁樹脂層と該金属箔とが積層した一体構造を形成する工程、
該金属箔に、該絶縁樹脂層のビアホール形成予定箇所を露出させる開口を形成する工程、
該開口を形成した該金属箔をマスクとして高エネルギービームを照射して該絶縁樹脂層にビアホールを形成する工程、
該金属箔の開口を介して該ビアホールのデスミア処理を行う工程、
該金属箔をエッチングにより除去することにより該絶縁樹脂層の上面を露出させる工程、
該絶縁樹脂層の上面と、該ビアホールの側面と、該ビアホールの底部を成す該基層配線の上面とを連続して覆う無電解金属めっき層を形成する工程、および
該無電解金属めっき層上にセミアディティブ法により電解金属めっき層から成る配線を形成する工程、
を含むことを特徴とする絶縁樹脂層上の配線形成方法。
【請求項２】
請求項１において、該セミアディティブ法が、下記の工程：
該無電解金属めっき層上に配線パターンを規定する開口部を有するレジストパターンを形成する工程、
該レジストパターンの開口部に露出した該無電解金属めっき層上に電解金属めっき層を形成する工程、
該レジストパターンを除去することにより、該電解金属めっき層が形成されていない部分の該無電解金属めっき層を露出させる工程、および
該露出した該無電解金属めっき層をフラッシュエッチングして除去することにより、該電解金属めっき層から成る配線を確定する工程
を含むことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多層配線基板の層間絶縁層を構成するための絶縁樹脂層上に配線を形成する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板、半導体パッケージ（ビルドアップ基板、パッケージ）、薄型部品内蔵基板、パーケージオンパッケージ（ＰＯＰ）等を構成する多層配線基板の製造においては、層間絶縁層となる絶縁樹脂層上に配線を形成する必要がある。
【０００３】
典型的な一例として、ビルドアップパッケージ等の製造において、絶縁樹脂層上に電解めっきによりＣｕ等の金属から成る配線層を形成する場合、一般にビルドアップ樹脂の表層を過マンガン酸系水溶液に浸漬することにより粗化するデスミア処理が行なわれる。デスミア処理は本来は、レーザビーム加工によって形成したビアホールなどの内部の加工屑（スミア）を除去するための処理であり、樹脂に対して強い侵食作用があるため樹脂表面の粗化に応用したものである。粗化された樹脂表面に無電解Ｃｕめっき層（シード層）とセミアディティブ法による電解Ｃｕめっき層から成る配線層とを形成すると、粗化表面の凹凸がアンカー効果を発揮して樹脂／配線間の接合強度を確保できる。
【０００４】
ところが昨今は、多層配線基板を用いた半導体パッケージ等では、諸特性を向上させるために、絶縁樹脂のシリカ含有量を増加させて熱膨張係数を低下させている。しかし、シリカ含有量が増加すると、樹脂のデスミア性が低下し樹脂表面の粗化が困難になり、その結果として樹脂／配線間の接合強度を十分に確保できなくなる。
【０００５】
同様に、ガラスクロスに樹脂を含浸させたプリプレグ材も硬質であり、デスミア処理による粗化が困難なためセミアディティブ法で形成した配線との接合強度が確保できないため、銅箔付きプリプレグを用いサブトラクティブ法による配線形成が主流となっている。
【０００６】
しかし、サブトラクティブ法による配線形成は微細化に適さないため、次世代のファイン化対応には限界がある。
【０００７】
これに対して、デスミア処理によらずに樹脂表面の粗化を行ない、セミアディティブ法により配線形成した際の樹脂／配線間の接合強度を確保する方法も従来から行なわれている（例えば特許文献１を参照）。この従来方法を、図１を参照して説明する。なお、便宜上、基板の片面のみについて説明するが、基板両面について並行して同様に処理を行うことができることは勿論である。
【０００８】
図１（１）に示したように、表面に絶縁樹脂層１２を介して銅箔から成る基層配線層１４が形成されたガラス・エポキシ樹脂基板１０を用意する。
【０００９】
次に図１（２）に示すように、基板１０上に、半硬化状態の熱硬化性樹脂フィルム１６と、銅箔１８とを重ねて加熱下で加圧（熱間プレス）する。その際、銅箔１８のマット面（粗化面）を半硬化樹脂フィルム１６の表面に当てて重ねる。銅箔１８のマット面を押し付けられた半硬化状態の樹脂フィルム１６の上面は、マット面の凹凸が転写されて粗化面Ｒが形成される。これにより、絶縁層１２および基層配線１４を備えた基板１０と、熱硬化した樹脂フィルムから成る絶縁樹脂層１６と、銅箔１８とが積層した一体構造が得られる。
【００１０】
次に図１（３）に示すように、銅箔１８をエッチングにより除去する。これにより絶縁樹脂層１６の粗化面Ｒが露出される。この粗化面Ｒは一般に銅箔のマット面の粗さＲａ＝２．０〜４．０μｍ程度であり、その上にめっきにより形成される配線層との間で十分大きな機械的アンカー効果を発揮して高い接合強度を確保できる。
【００１１】
次に図１（４）に示すように、レーザビーム加工等により絶縁樹脂層１６の所定箇所にビアホール２０を開口する。
【００１２】
次に図１（５）に示すように、デスミア処理によりビアホール２０内のスミア除去を行なう。その際、絶縁樹脂層１６の上面はデスミア処理により粗化されるよりも、むしろ粗化面Ｒの凹凸がデスミア処理により平滑化され、粗化軽減面Ｒ’となる。
【００１３】
次に図１（６）に示すように、基板１０の上側にある露出面全体（絶縁樹脂層１６の上面〔粗化軽減面〕Ｒ’、ビアホール２０の側面、ビアホール２０の底面に露出している基層配線層１４の上面）に、連続層としての無電解銅めっき層２２を形成する。
【００１４】
次に図１（７）に示すように、無電解銅めっき層２２を給電層として用い、セミアディティブ法により電解銅めっき層から成る配線２４を形成する。
【００１５】
得られた配線２４は、下地である絶縁樹脂層１６との界面が粗化軽減面Ｒ’であるため、本来の粗化面Ｒに比べて機械的なアンカー効果が低下しており、銅箔マット面の凹凸転写により本来得られるべき大きなアンカー効果が得られず、樹脂／配線間の接合強度を十分に確保できないという問題があった。
【００１６】
【特許文献１】特開２００３−３０４０６８号公報（従来技術の欄、特に段落０００７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、下地である絶縁樹脂層との接合強度を十分に確保した配線を形成する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記の目的を達成するために、本発明は、多層配線基板の層間絶縁層を構成するための絶縁樹脂層上に配線を形成する方法において、
基層配線が形成されている絶縁基板上に、半硬化状態の熱硬化性樹脂フィルムと、マット面を該樹脂フィルム側にした金属箔とをこの順に重ねて加熱下で加圧し、該基板上に硬化状態の該樹脂フィルムから成る絶縁樹脂層と該金属箔とが積層した一体構造を形成する工程、
該金属箔に、該絶縁樹脂層のビアホール形成予定箇所を露出させる開口を形成する工程、
該開口を形成した該金属箔をマスクとして高エネルギービームを照射して該絶縁樹脂層にビアホールを形成する工程、
該金属箔の開口を介して該ビアホールのデスミア処理を行う工程、
該金属箔をエッチングにより除去することにより該絶縁樹脂層の上面を露出させる工程、
該絶縁樹脂層の上面と、該ビアホールの側面と、該ビアホールの底部を成す該基層配線の上面とを連続して覆う無電解金属めっき層を形成する工程、および
該無電解金属めっき層上にセミアディティブ法により電解金属めっき層から成る配線を形成する工程、
を含むことを特徴とする絶縁樹脂層上の配線形成方法を提供する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、半硬化状態の熱硬化性樹脂フィルムの上面が金属箔のマット面の凹凸の転写により粗化され、絶縁樹脂層のビアホールをデスミア処理する時点では金属箔がビアホール以外の絶縁樹脂層の上面を被覆して保護しており、デスミア処理の完了後に、金属箔を除去するので、絶縁樹脂層の上面は金属箔のマット面から転写された凹凸をそのまま維持した粗化面であるため、この粗化面上にめっきにより形成した配線と絶縁樹脂層との界面で大きな機械的アンカー効果が発揮され、高い接合強度が確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図２を参照して、本発明の望ましい実施形態により絶縁樹脂層上に配線を形成する方法を説明する。
【００２１】
図２（１）に示すように、従来と同様に、表面に絶縁樹脂層１２を介して金属箔から成る基層配線層１４が形成された絶縁樹脂基板１０を用意する。
【００２２】
図２（２）に示すように、従来と同様に、基板１０上に、半硬化状態の熱硬化性樹脂フィルム１６と、金属箔１８とを重ねて加熱下で加圧（熱間プレス）する。その際、金属箔１８のマット面（粗化面）を半硬化樹脂フィルム１６の表面に当てて重ねる。金属箔１８のマット面を押し付けられた半硬化状態の樹脂フィルム１６の上面は、マット面の凹凸が転写されて粗化面Ｒが形成される。これにより、絶縁層１２および基層配線１４を備えた基板１０と、熱硬化した樹脂フィルムから成る絶縁樹脂層１６と、金属箔１８とが席相した一体構造が得られる。
【００２３】
熱硬化性樹脂フィルム１６は、多層配線基板の層間絶縁層用に用いられる熱硬化性樹脂フィルムであればよく、特に限定する必要はないが、本発明の効果を得るために特に有利な材料としては、（１）エポキシベースの絶縁樹脂（ビルドアップ用樹脂）、（２）ガラス・エポキシ樹脂（ガラスクロス含浸のプリプレグ材も含む）、（３）エンジニアリングプラスチックス（液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリエーテル・エーテル・ケトン（ＰＥＥＫ））等がある。
【００２４】
金属箔１８は、一般に多層配線基板に用いられる金属箔（配線材料としてだけでなくプレス時の離型材として）であればよく、特に限定する必要はないが、代表的なものとしては銅箔、ニッケル箔等がある。これらの金属箔は、一面は平滑度の高い所謂シャイニー面であり、他方の面は樹脂との密着性を高めるために粗化したマット面である。代表的な銅箔の表面粗度は、シャイニー面がＲａ＝０．１５〜０．２５μｍ、マット面がＲａ＝２．０〜４．０μｍである。
【００２５】
加熱下で加圧する処理の条件は、用いる材料によって多種多様であるが、代表的なものとしては、上記（１）（２）の場合には真空ラミネート（１１０℃、０．１ＭＰａ、真空４０sec、プレス２０sec）＋平坦化プレス（１００〜１５０℃、０．３〜１．０ＭＰａ）、上記（３）の場合には加圧プレス積層（１５０〜２３０℃、１．０〜５．０ＭＰａ）である。
【００２６】
以上は従来と同様の工程であったが、以下は本発明の特徴的な工程である。
【００２７】
すなわち、図２（３）に示すように、後に絶縁樹脂層１２に形成するビアホールの位置に対応する位置に開口２５を有するレジストパターン２６を、金属箔１８上に形成する。
【００２８】
次に、図２（４）に示すように、レジストパターン２６をマスクとしてエッチングを行ない、レジストパターン２６の開口２５内に露出した部分の金属箔１８を除去して開口２８を形成した後、レジストパターン２６を除去する。開口２８内には絶縁樹脂層１６が露出する。
【００２９】
次に、図２（５）に示すように、高エネルギービームの照射により金属箔１８の開口２８内に露出した絶縁樹脂層１６にビアホール２０を形成する。その後、デスミア処理によりビアホール２０内のスミア除去を行なう。
【００３０】
次に、図２（６）に示すように、金属箔１８をエッチングにより除去する。これにより絶縁樹脂層１６の粗化面Ｒが露出する。粗化面Ｒは上記のデスミア処理時に金属箔１８により保護されているので、金属箔１８のマット面から転写された凹凸が損なわれずにそのまま維持されている。
【００３１】
以下は従来と同様の工程により、無電解金属めっき層の形成と、その上にセミアディティブ法により電解金属めっき層とを形成する。
【００３２】
すなわち、図２（７）に示すように、基板１０の上側にある露出面全体（絶縁樹脂層１６の上面〔粗化面〕Ｒ、ビアホール２０の側面、ビアホール２０の底面に露出している基層配線層１４の上面）に、連続層としての無電解金属めっき層２２を形成する。
【００３３】
最後に、図２（８）に示すように、無電解金属めっき層２２を給電層として用い、セミアディティブ法により電解金属めっき層から成る配線２４を形成する。無電解金属めっき層２２および電解金属めっき層は、代表的には無電解銅めっき層および電解銅めっき層である。
【００３４】
セミアディティブ法は、典型的には下記の工程（Ａ）〜（Ｄ）により行なう。
【００３５】
（Ａ）無電解金属めっき層２２上に配線パターンを規定する開口部を有するレジストパターンを形成する工程、
（Ｂ）レジストパターンの開口部に露出した無電解金属めっき層２２上に電解金属めっき層２４を形成する工程、
（Ｃ）レジストパターンを除去することにより、電解金属めっき層が形成されていない部分の無電解金属めっき層を露出させる工程、および
（Ｄ）露出した無電解金属めっき層をフラッシュエッチングして除去することにより、電解金属めっき層から成る配線２４を確定する工程。
【００３６】
本発明の工程（１）〜（８）により得られた配線２４は、下地である絶縁樹脂層１６との界面が粗化面Ｒであるため、高い機械的アンカー効果が発揮され、樹脂／配線間の接合強度を十分に確保できる。
【実施例】
【００３７】
本発明の方法により形成した配線の剥離強度を試験し、従来法により形成した配線と比較した。剥離試験はＪＩＳ  Ｚ２２０１による試験片を用いて、ＪＩＳ  Ｚ２２４１による引張試験方法により行なった。
【００３８】
〔試験サンプル〕
図２（８）と同じ状態のサンプルを用意した。ただし、ビアホール２０は形成せず、配線２４は実際の配線パターン形状ではなく幅５〜１０ｍｍの矩形状とし、膜厚は１５〜２５μｍ程度とした。
【００３９】
〔試験方法〕
引張圧縮試験機により、矩形状の配線２４（無電解めっきシード層２２を含む）を長手方向に引っ張る。その際、垂直に引き上げながら速度約３０ｍｍ／ｍｉｎで移動し、５秒毎に引張強度値を測定する。これら測定値の平均値を樹脂層１６の剥離強度とした。
【００４０】
〔試験結果〕
上記試験の結果、絶縁樹脂層の表面を粗化しない場合に対する剥離強度の向上は、本発明による試験サンプルでは最高で７Ｎ／ｃｍが得られた。現時点で必要とされる剥離強度の向上は５Ｎ／ｃｍ以上であるので、本発明の方法によれば十分この要求水準を満たしている。
【００４１】
これに対して従来法では、剥離強度の向上が最高で３Ｎ／ｃｍであり、要求水準を満たせなかった。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明によれば、下地である絶縁樹脂層との接合強度を十分に確保した配線を形成する方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】従来の方法により絶縁樹脂層上に配線を形成する工程を示す断面図である。
【図２】本発明の方法により絶縁樹脂層上に配線を形成する工程を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０    基板
１２    絶縁樹脂層
１４    基層配線層
１６    絶縁樹脂層（熱硬化性樹脂フィルム）
１８    金属箔（銅箔）
２０    ビアホール
２２    無電解金属めっき層（無電解銅めっき層）
２４    電解金属めっき層（電解銅めっき層：配線）
２５    開口
２６    レジストパターン
２８    開口
Ｒ    粗化面
Ｒ’    粗化軽減面
【図１】
2007073834.tif 000003
【図２】
2007073834.tif 000004