(57)【要約】【課題】光源の寿命を長持ちさせることができ、かつ各観察方法に応じて必要な光源の光量を調整すること。【解決手段】顕微鏡光源１２の定格電圧に対して所定比率の電圧値以上の電圧範囲内で電圧値を可変して顕微鏡光源１２に印加することにより調光し、又は所定比率の電圧値に固定して顕微鏡光源１２に印加すると共に、顕微鏡光源１２から放射される光束を減光フィルタに透過させて調光する。【選択図】      図１
2007066740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射される照明光の調光を操作する調光操作部と、
前記調光操作部に対する操作に応じて所定の電圧値以上の範囲内で前記光源に印加する電圧値を変化させて調光を行う第１の調光部と、
前記調光操作部に対する操作に応じて前記所定の電圧値に固定し、前記光源から出射される前記照明光を光学素子を介することで調光を行う第２の調光部と、
を備えることを特徴とする照明装置。
【請求項２】
前記光源は、ハロゲンランプであり、前記第１の調光部は、前記ハロゲンランプがハロゲンサイクルを発生する前記所定の電圧値以上の範囲内で前記光源に印加する電圧値を変化させることを特徴とする請求項１記載の照明装置。
【請求項３】
前記光源は、ハロゲンランプであり、前記第２の調光部は、前記ハロゲンランプがハロゲンサイクルを発生する前記所定の電圧値に固定して前記光源に印加することを特徴とする請求項１記載の照明装置。
【請求項４】
前記調光操作部からの出力に応じて、前記第１の調光部と前記第２の調光部のいずれか一方に切り換えることを特徴とする請求項１記載の照明装置。
【請求項５】
前記光学素子は減光フィルタであり、前記第２の調光部は、前記照明光を前記減光フィルタを介して減光することを特徴とする請求項１記載の照明装置。
【請求項６】
光源に対する所定の電圧値以上の範囲内で、前記光源に印加する前記電圧値を可変することで前記光源から出射される照明光を調光し、
前記光源に印加する前記電圧値を前記所定の電圧値に固定して前記照明光を光学素子を介して減光して前記光源の調光を行う、
ことを特徴とする調光方法。
【請求項７】
調光を操作する調光操作部からの出力に応じて前記光源に印加する電圧値を所定の電圧値以上の範囲内で可変する調光と、前記光源に印加する前記電圧値を固定し、前記光源から出射される前記照明光を光学素子を介して減光する調光と、を切り換えることを特徴とする調光方法。
【請求項８】
前記光源としてハロゲンランプを用い、前記光源に印加する電圧値を、前記ハロゲンランプにおけるハロゲンサイクルが発生する範囲内にて変更可能であることを特徴とする請求項６乃至７記載の調光方法。
【請求項９】
前記光学素子は、連続的に又は隔離的に減光率を変更することを特徴とする請求項６乃至７記載の調光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照明装置及びその調光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に顕微鏡は、医学、生物学の分野だけではなく、工業分野においても使用されている。工業分野において使用される顕微鏡は、様々な用途で使用されている。この種の顕微鏡は、例えばＩＣウェハや磁気ヘッドの検査及び測定、金属組織などの品質管理、新素材等の研究開発で使用され、近年では、半導体基板・液晶基板検査メーカが、顕微鏡を検査装置の一部として生産ラインの一部に組み込み、例えば無人のクリーンルームに設置して使用するというケースが増えている。
【０００３】
一般的に顕微鏡操作者は、例えば明視野観察法や暗視野観察法といった様々な観察方法を用いて試料を観察する。その場合に操作者は、光源から射出される光量を調整して観察を行う。操作者は、光量を調整するために顕微鏡操作部に設けられる調光ボリュームを操作する。この操作により操作者は、対物レンズの倍率や観察方法に応じて観察する視野の明るさを操作者が所望する明るさに得ることができる。一般に光量を調節する顕微鏡の光源には、主にハロゲンランプが使用されている。
【０００４】
顕微鏡の光源に使用されるハロゲンランプは、長時間点灯すると、光量が初期に比べて徐々に低下し、寿命を迎えてしまう。そこでランプメーカーは、ハロゲンランプの使用開始時から光量が初期光量の例えば５０％まで低下したまでの時間を寿命時間と定義している。
【０００５】
従来、ハロゲンランプの点灯時間が寿命時間に達すると、操作者は、ハロゲンランプを交換しなければならない。そのため、ＩＣウェハなどを検査するために生産ラインの一部としてハロゲンランプを光源として搭載している顕微鏡は、ハロゲンランプを交換する際に多大な時間を必要とし、生産ラインの効率を低下させてしまう。
【０００６】
また、半導体基板・液晶基板を検査する検査装置の一部として顕微鏡ユニットに組み込まれたハロゲンランプを交換する場合、操作者は無人のクリーンルームに入り、半導体基板・液晶基板の検査装置の内部に設けられているハロゲンランプを交換しなければならない。クリーンルームに入りハロゲンランプを交換することは、操作者にとって非常に面倒であり、クリーンルーム内の環境を悪化させてしまうことも懸念される。また、顕微鏡単体でハロゲンランプを使用する場合に比べて、膨大に交換時間がかかってしまう問題点がある。
【０００７】
そこで、上述した従来の問題点を解決するために、２つの従来技術が公知である。
【０００８】
第１の従来技術は、ハロゲンランプの印加電圧をハロゲンサイクルが行われる一定の範囲内で可変して点灯させることにより、ハロゲンランプの寿命を長持ちさせる方法である。ハロゲンランプでは、ランプ管内でフィラメントから蒸発したタングステンはハロゲンと結合し、ハロゲン化タングステンを形成する。このハロゲン化タングステンは、管壁が一定温度以上を保つことにより、壁に付着することなく封入ガスにより管内を移動し高温のフィラメント付近に戻ってタングステンとハロゲンに熱分解される。分解後、タングステンはランプ管の管壁に付着せずにフィラメントに付着し、ハロゲンはバルブに向かって拡散して新たな循環過程に入り前記の過程の戻るが、このプロセスをハロゲンサイクルという。一般的にハロゲンサイクルが行われる印加電圧は、ハロゲンランプの定格電圧の約５０％以上である。ハロゲンランプの印加電圧が定格電圧の５０％未満になると、ハロゲンサイクルが行われず、タングステンがハロゲンランプの管壁に付着して黒化してしまう。これによりハロゲンランプの寿命が短くなる。
【０００９】
第２の従来技術として、ハロゲンランプに印加する最大電圧を定格電圧に対して下げるという方法がある。この方法は、ディレーティングしてハロゲンランプを使用する方法である。
【００１０】
ハロゲンランプの光量がＭＡＸ時の印加電圧は、ハロゲンランプの寿命を長持ちさせるために、ハロゲンランプの定格電圧より下げて使用している。また、ハロゲンランプの寿命は、以下の式で定義されている。  
ハロゲンランプ寿命＝Ｈ０（Ｖ０／Ｖ）１３．１    （１）  
Ｈ０＝ハロゲンランプの定格寿命（Ｈｏｕｒ）    （２）  
Ｖ０＝ハロゲンランプの定格電圧（Ｖ）    （３）  
Ｖ＝ハロゲンランプの印加電圧（Ｖ）    （４）  
上述した式からハロゲンランプの印加電圧が、定格電圧から５％減少すると、ハロゲンランプの寿命は、約２倍に延びる。さらに印加電圧が下げられると、ハロゲンランプの寿命は、急激に延びることがわかる。
【００１１】
上述した第１及び第２の従来技術から顕微鏡に設けられたハロゲンランプは、ハロゲンランプの印加電圧を定格電圧からディレーティングさせた状態からハロゲンサイクルが行われる電圧までの範囲内で点灯されている。ハロゲンランプの定格電圧からディレーティングさせた状態は、光の強弱を目視により識別できる限界の光量時の電圧（以下、ディレーティング電圧とする。）である。例えば、ハロゲンランプの光量ＭＡＸ時の印加電圧を定格電圧より５％減らした際のハロゲンランプの全光量は、ハロゲンランプを定格電圧で点灯した場合より３０％減少する。一般的に操作者は、照度（明るさ）が定格電圧で点灯した際に比べて５０％まで減少したところで、はじめて暗くなることを感じると言われている。よってハロゲンランプを定格電圧で点灯した場合と比べて、使用上、照度が（印加電圧が定格電圧の）５０％以上であれば大きな問題は生じない。
【００１２】
上述した方法によると、ハロゲンサイクルが行われる電圧範囲内（印加電圧が定格電圧の５０％以上）において、ハロゲンランプの光量が調光される。ところが上述した方法は、例えば、明視野観察法の際に低倍率の対物レンズを用い、観察する視野の明るさを低下して観察する場合において、ハロゲンサイクルが行われる範囲内よりもハロゲンランプの光量を減少することができない。つまり操作者が所望する明るさに光量を調整することができないという問題が生じてしまう。
【００１３】
この問題を解決するために、特許文献１において、ハロゲンランプの印加電圧をディレーティング電圧とハロゲンサイクルが行われる電圧までの範囲内で任意の電圧に固定して、ＮＤ（Ｎｅｕｔｒａｌ  Ｄｅｎｓｉｔｙ）フィルタによって調光する調光方法が開示されている。
【特許文献１】特開平０５−３４１２００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかし前述した特許文献１において、ハロゲンランプの印加電圧を定格電圧よりも下げた状態に設定した場合、ディレーティング電圧では、ハロゲンランプの印加電圧が大きいため、ハロゲンランプの寿命を長持ちさせる効果が少ない。また、ＮＤフィルタの透過率が下がるにつれて遮る光量が増加してしまう。これによりハロゲンランプからの余剰エネルギーが増大し、ハロゲンランプの寿命を長持ちさせる効果が少なくなってしまう。
【００１５】
ハロゲンランプの寿命を長持ちさせるために、ハロゲンサイクルが行われる電圧範囲内において、ディレーティング電圧よりも低い電圧でハロゲンランプの印加電圧を固定した際、例えば、暗視野観察時に照明光量を大きく設定したい場合、照明光量が不足し、さらに光量を上げることができないといった問題点が生じる。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、光源から出射される照明光の調光を操作する調光操作部と、調光操作部に対する操作に応じて所定の電圧値以上の範囲内で光源に印加する電圧値を変化させて調光を行う第１の調光部と、調光操作部に対する操作に応じて所定の電圧値に固定し、光源から出射される照明光を光学素子を介することで調光を行う第２の調光部と、を備えることを特徴とする照明装置と、光源に対する所定の電圧値以上の範囲内で、光源に印加する電圧値を可変することで光源から出射される照明光を調光し、光源に印加する電圧値を所定の電圧値に固定して照明光を光学素子を介して減光して光源の調光を行う、ことを特徴とする調光方法、を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ハロゲンランプを長持ちさせることができ、かつ各観察方法に応じて必要なハロゲンランプの光量を調整する照明装置及び調光方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。  
本発明に係る第１の実施形態について図１乃至図９を参照して詳細に説明する。図１は、本実施形態における装置全体の概略構成図である。
【００１９】
図１に示すように顕微鏡本体１には、試料２を載置するステージ３が設けられている。このステージ３は、観察のためにＸ，Ｙ方向に移動可能になっており、ステージ３をＺ方向に移動させる焦準部２７の上に取り付けられている。操作者は、焦準部２７に設けられた図示しない焦準ハンドルを回転させることにより、ステージ３と対向に配置された対物レンズ８のピント位置に合せることができる。
【００２０】
ステージ３と対向する位置には、レボルバユニット４が設けられている。このレボルバユニット４には、マウンタ５と、レボルバモータ６と、レボルバセンサ群７と、が設けられている。対物レンズ８を回転保持するマウンタ５には、対物レンズ８を取り付けるために図示しない取り付け穴が設けられている。この取り付け穴には、例えば「１」〜「６」の番号が割り当てられ、最大６個まで対物レンズ８を取り付けることが可能である。レボルバモータ６は、マウンタ５を回転駆動させるモータである。またレボルバセンサ群７には、マウンタ５と対物レンズ８が接続されていることを検知する図示しないレボルバ接続センサと、光軸Ｌ上に配置されたマウンタ５の現在の穴番号を検知する図示しない穴番号センサと、観察に用いる対物レンズ８が光軸Ｌ上に置かれたことを検知する図示しない移動完了センサと、が設けられている。
【００２１】
顕微鏡本体１上方には、照明部１１が設けられている。この照明部１１は、試料２を照射するために光を射出する。この照明部１１には、ハロゲンランプを用いた顕微鏡光源１２と、この顕微鏡光源１２から出射される光を透過させる照明系レンズ１３と、照明系レンズ１３を透過した光を調光させる光学素子として減光フィルタである例えばＮＤフィルタユニット１４と、ＮＤフィルタユニット１４を透過した光を絞る開口絞り部材１５と、この開口絞り部材１５を透過した光を集光させる照明系レンズ１６と、照明系レンズ１６により集光された後、光を絞る視野絞り部材１７と、視野絞り部材１７により絞られた後に対物レンズ８に向けて光を９０度下方に偏向させ、試料２によって反射された光を透過させるハーフミラー１８と、が設けられている。
【００２２】
顕微鏡光源１２は、電源回路１９から出力される印加電圧Ｖｌａｍｐによって点灯される。
【００２３】
照明部１１内の光軸Ｌ上に設けられたＮＤフィルタユニット１４は、スロットに例えば最大６個まで図示しないＮＤフィルタを取り付けることが可能である。図示しないＮＤフィルタを取り付けるスロットには、例えば「１」〜「６」の番号が割り当てられている。
【００２４】
このＮＤフィルタユニット１４には、ＮＤフィルタを光軸Ｌ上に載置するＮＤフィルタターレット１４ａと、ＮＤフィルタターレット１４ａを電動で駆動させるためのＮＤフィルタモータ１４ｂと、光軸Ｌ上に載置されたＮＤフィルタターレット１４ａのスロット１〜６を検出するためのＮＤフィルタセンサ１４ｃと、が設けられている。
【００２５】
次にＮＤフィルタターレットについて図２及び図３を参照して詳細に説明する。図２は、ＮＤフィルターターレットの断面図である。図３は、ＮＤフィルタ用位置検出センサのブロック図である。
【００２６】
図２に示すようにＮＤフィルタターレット１４ａには、図示しない６つのスロット「１」〜「６」がターレット状に配置されている。ＮＤフィルタターレット１４ａに配置された各スロットには、それぞれ異なる透過率を有するフィルタ２０ａ〜２０ｆが取り付けられている。図示するようにスロット「１」には、ＮＤフィルタ２０ａが取り付けられ、スロット「２」には、透過率６％のＮＤフィルタ２０ｂが取り付けられ、スロット「３」には、透過率１２．５％のＮＤフィルタ２０ｃが取り付けられ、スロット「４」には、透過率２５％のＮＤフィルタ２０ｄが取り付けられ、スロット「５」には、透過率５０％のＮＤフィルタ２０ｅがそれぞれ取り付けられている。また、スロット「６」は、開口状態２０ｆになっている。
【００２７】
また、各ＮＤフィルタの外縁上のスペースには、磁力が異なるマグネット２１ａ〜２１ｆが埋め込まれ、接着された状態で配置されている。
【００２８】
次に、図３を参照してＮＤフィルタセンサについて説明する。ＮＤフィルタセンサ１４ｃには、ＮＤフィルタセンサ基板２２と、ＮＤフィルタホール素子２３と、が設けられている。
【００２９】
各マグネット２１ａ〜２１ｆは、光軸Ｌ上に位置するスロットに対応し設けられている。これらマグネット２１ａ〜２１ｆは、光軸Ｌ上に位置するスロットを検出する。これらマグネット２１ａ〜２１ｆのいずれか１つが光軸Ｌ上に位置した場合に、ＮＤフィルタホール素子２３に重なると、ＮＤフィルタセンサ基板２２は、検出信号を制御ユニット４０に出力する。この制御ユニット４０は、ＮＤフィルタセンサ基板２２からの検出信号を入力し、光軸Ｌ上に位置するＮＤフィルタターレット１４ａのスロット番号を検出する。
【００３０】
また顕微鏡本体１には、操作者が顕微鏡本体１の電動駆動部であるレボルバユニット４を操作するためにフロントスイッチ２８が設けられている。
【００３１】
次に調光ユニット３０について図１及び図４を参照して説明する。
【００３２】
図４は、調光操作部である調光ユニットを示す回路である。
【００３３】
調光ユニット３０は、顕微鏡光源１２から試料２に射出される光量を調節するために設置されている。調光ユニット３０は、調光操作を行うための回転操作部３１ａと、調光回路３２で構成されている。調光回路３２には、回転操作部３１ａに連結された可変抵抗器３１ｂと、電源３３と、アンプ３４と、が設けられている。
【００３４】
調光ユニット３０は、電源３３がＯＮになり、回転操作部３１ａが回転されると、例えば０Ｖと電源電圧Ｖmax間の任意のボリューム電圧Ｖｖｏｌを制御ユニット４０へ出力する。制御ユニット４０は、入力されたボリューム電圧Ｖｖｏｌに基づいて演算したランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔを電源回路１９に出力する。電源回路１９は、入力されたランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔを電流増幅し、印加電圧Ｖｌａｍｐとして顕微鏡光源１２に出力し、光を射出させる。
【００３５】
次に制御ユニットの構成について図５を参照して説明する。図５は、制御ユニットを示す構成図である。
【００３６】
図５に示すように制御ユニット４０は、ＣＰＵ４１と、演算データなどデータが格納されるＲＡＭ４２と、制御プログラムなどが格納されているＲＯＭ４３と、調光ユニット３０から出力されたボリューム電圧Ｖｖｏｌをデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路４４と、ＣＰＵ４１から受信したデジタル信号を印加電圧に変換し電源回路１９に出力するＤ／Ａ変換回路４５と、レボルバセンサ群７の制御を行うレボルバセンサＩ／Ｏ部４６ａと、レボルバセンサＩ／Ｏ部４６ａにより信号を入力されレボルバモータ６を駆動するためのレボルバモータドライバ４６ｂと、ＮＤフィルタターレット１４ａの制御を行うＮＤフィルタＩ／Ｏ部４７ａと、ＮＤフィルタＩ／Ｏ部４７ａにより信号を入力されＮＤフィルタモータ１４ｂを駆動するためのＮＤフィルタモータドライバ４７ｂと、フロントスイッチ２８の入出力の制御を行うフロントスイッチＩ／Ｏ部４８と、により構成されている。
【００３７】
またＣＰＵ４１は、ＲＡＭ４２と、ＲＯＭ４３と、Ａ／Ｄ変換回路４４と、Ｄ／Ａ変換回路４５と、をバス４９により接続している。  
なお、ＲＯＭ４３は、ボリューム電圧Ｖｖｏｌと電源電圧Ｖｍａｘとの変化率（以下、ＲＣと略する）によって、出力すべき印加電圧Ｖｌａｍｐと照明部１１の光軸Ｌ上に挿入すべきＮＤフィルタターレット１４ａのスロット番号の組み合わせが格納されている。
【００３８】
ＲＣは、  
（Ｖｖｏｌ／Ｖｍａｘ）×１００    （単位：％）  
の式で求められる。  
ＲＣ＞９５％の場合は、  
定格電圧Ｖｌａｍｐｍａｘの９５％の電圧値がＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして出力される。
【００３９】
５０％≦ＲＣ≦９５％の場合は、  
Ｖｌａｍｐｍａｘ×（Ｖｖｏｌ／Ｖｍａｘ）  
の式で演算された電圧値がＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして出力される。
【００４０】
ＲＣ＜５０％の場合は、  
定格電圧Ｖｌａｍｐｍａｘの５０％の電圧値がＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして電源回路１９に出力される。そしてこの電源回路１９から出力される印加電圧Ｖｌａｍｐによって顕微鏡光源１２から光が射出される。
【００４１】
顕微鏡光源１２から射出した光は、照明系レンズ１３により、ＮＤフィルタユニット１４を透過し、開口絞り部材１５の位置に集光される。集光した後、光は、照明系レンズ１６を透過し、視野絞り部材１７により絞られ、ハーフミラー１８へと導かれる。このハーフミラー１８により９０度下方に偏向された光は、対物レンズ８を透過し、試料２を照射する。試料２を照射し、反射された光は、再び対物レンズ８を透過し、ハーフミラー１８を透過した後、ハーフミラー１８上方に配置された鏡筒２４へ導かれる。操作者は、接眼レンズ２５、もしくはＣＣＤカメラ２６により撮像された画像を、ここでは図示しないモニタを通じて、試料２を観察することが可能となる。
【００４２】
次に上記のように構成された本実施形態の動作について図６及び図７のフローチャートを参照して説明する。
【００４３】
操作者は、回転操作部３１ａを回転させ（ＳＴＥＰ１）、調光ユニット３０より、ボリューム電圧Ｖｖｏｌが制御ユニット４０に出力される。入力されたボリューム電圧Ｖｖｏｌは、制御ユニット４０内のＡ／Ｄ変換回路４４によって、デジタル信号に変換される（ＳＴＥＰ２）。変換されたデジタル信号は、バス４９を介してＣＰＵ４１に入力され、ＣＰＵ４１で演算した結果、ＲＣが求められる（ＳＴＥＰ３）。
【００４４】
次に、ＣＰＵ４１は、求められたＲＣがＲＣ＜５０％か否かを判定する（ＳＴＥＰ４）。
【００４５】
５０％以下であれば（Ａ）、図７に示すように続いてＣＰＵ４１は、ＲＣが４０％≦ＲＣ＜５０％であるか否か判断する（ＳＴＥＰ５）。  
判断結果がＹＥＳの場合、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット５が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ６）。
【００４６】
ＳＴＥＰ５の結果がＮＯの場合、次にＣＰＵ４１は、ＲＣが３０％≦ＲＣ＜４０％であるか否か判断する（ＳＴＥＰ７）。  
判断結果がＹＥＳの場合、ＣＰＵ４１は、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット４が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ８）。
【００４７】
ＳＴＥＰ７の結果がＮＯの場合、次にＣＰＵ４１は、ＲＣが２０％≦ＲＣ＜３０％であるか否か判断する（ＳＴＥＰ９）。  
判断結果がＹＥＳの場合、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット３が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ１０）。
【００４８】
ＳＴＥＰ９の結果がＮＯの場合、次にＣＰＵ４１は、ＲＣが１０％≦ＲＣ＜２０％であるか否か判断する（ＳＴＥＰ１１）。  
判断結果がＹＥＳの場合、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット２が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ１２）。  
ＳＴＥＰ１１の判断結果がＮＯの場合、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット１が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ１３）。
【００４９】
次に、ＳＴＥＰ６、ＳＴＥＰ８、ＳＴＥＰ１０、ＳＴＥＰ１２、ＳＴＥＰ１３において定格電圧Ｖｌａｍｐｍａｘの５０％の電圧値がＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして電源回路１９に出力される（ＳＴＥＰ１４）。そして電源回路１９から顕微鏡光源１２に印加電圧Ｖｌａｍｐが印加される（ＳＴＥＰ１５）。
【００５０】
次にＳＴＥＰ４においてＲＣ≧５０％であった場合、ＣＰＵ４１は、ＲＣが９５％＜ＲＣ≦１００％であるか否か判断する（ＳＴＥＰ１６）。
【００５１】
ＳＴＥＰ１６の判断結果がＮＯの場合、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＮＤフィルタユニット１４のスロット６が照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ１７）。
【００５２】
次に、上述したＶｌａｍｐｍａｘ×（Ｖｖｏｌ／Ｖｍａｘ）の式で演算されたランプセット電圧ＶｌａｍｐｓｅｔをＤ／Ａ変換回路４５から電源回路１９へ出力される（ＳＴＥＰ１８）。
【００５３】
最後に電源回路１９から印加電圧Ｖｌａｍｐが印加される（ＳＴＥＰ１９）。
【００５４】
ＳＴＥＰ１６の結果がＹＥＳの場合、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＮＤフィルタユニット１４のスロット６が照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ２０）。
【００５５】
次に、定格電圧Ｖｌａｍｐｍａｘの９５％の電圧値がＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして電源回路１９へ出力される（ＳＴＥＰ２１）。
【００５６】
最後に電源回路１９から印加電圧Ｖｌａｍｐが印加される（ＳＴＥＰ２２）。
【００５７】
図８に示すように定格電圧の５０％未満の印加電圧において光量は、急激に減少してしまう。そこで印加電圧が５０％未満の場合をＮＤフィルタにより調光し、５０％以上の印加電圧を可変することで調光する。調光を可変抵抗器である回転操作部３１ａにより行う結果、印加電圧は、図９に示す状態になる。
【００５８】
つまりＲＣが５０％以下の場合、印加電圧を定格電圧の５０％に設定し、可変抵抗器で構成されている回転操作部３１ａを回した位置で透過率の異なるＮＤフィルタが連動して光路に入り調光を行うように配置されている。
【００５９】
ＲＣが５０％≦ＲＣ≦９５％の場合、印加電圧をそのまま可変し、透過率が１００％のＮＤフィルタに固定され調光を行う。可変抵抗器でまわすことでＲＣが決まり電源回路から印可電圧が出力される。ＲＣの決定はロータリーエンコーダやスイッチボタン、ＰＣからのコマンドによって決定しても良い。
【００６０】
ＲＣが９５％＜ＲＣ≦１００％の場合、印加電圧を定格電圧の９５％に設定し、透過率が１００％のＮＤフィルタに固定され調光を行う。
【００６１】
本実施形態は、ハロゲンランプの寿命に影響が表れる印加電圧（ＲＣが５０％未満）になると例えばＮＤフィルタに切り換えて、調光を行う。操作者は、回転操作部３１ａを用いることにより任意に印加電圧を決め、ＮＤフィルタにより調光することでハロゲンランプからの余剰エネルギーの発生を削減でき、ランプ寿命を長持ちさせることができる。  
なお本実施形態では印加電圧が定格電圧の５０％未満の際は、ＮＤフィルタにより定格電圧の５０％の光量に固定される。その際ＮＤフィルタは、回転操作部３１ａの回転に応じて透過率の異なるＮＤフィルタを連動させて光路に入る。
【００６２】
操作者は、回転操作部３１ａのみを操作するだけで印加電圧とＮＤフィルタの切り替え行い、調光を行うことができるために、装置に新たに特別な操作部を設ける必要がない。
【００６３】
また、ハロゲンサイクルが行われる印加電圧の範囲内では、印加電圧を可変することができる。また減光する時は印加電圧を固定又は設定された印可電圧に可変した値にしてからＮＤフィルタによって調光を行うことができる。
【００６４】
また、顕微鏡光源１２は、印加電圧Ｖｌａｍｐをディレーティング電圧とハロゲンサイクルが行われる電圧までの範囲内で常に点灯させているため、顕微鏡光源１２の寿命を長持ちさせた状態で使用することができ、かつ試料２への照明光量を操作者の任意の光量に調光することができる。
【００６５】
また、ハロゲンランプの寿命を長持ちさせることは、ランプ交換の回数を減らすことができ、設備にかかるコストを削減でき、ハロゲンランプを使用・生産・廃棄する際に発生する環境有害物質の排出を削減できる。
【００６６】
次に図面を参照して本発明に係る第２の実施形態について説明する。
【００６７】
第２の実施形態については、第１の実施形態と異なる構成部分についてのみ説明する。
【００６８】
図５に示すＲＯＭ４３は、ＲＣによって、出力すべき印加電圧Ｖｌａｍｐと照明部１１の光軸Ｌ上に挿入すべきＮＤフィルタターレット１４ａのスロット番号の組み合わせと、図１０に示すＲＣ＜５０％の際のＲＣと印加電圧Ｖｌａｍｐの組み合わせを格納している。
【００６９】
またＲＯＭ４３は、以下に示す出力電圧データを格納している。
【００７０】
ＲＣ＜５０％の場合は、図９に示すデータに基づいて定格電圧Ｖｌａｍｐｍａｘ５０％〜７０％の範囲でランプセット電圧Ｖｌａｍｐを可変し、Ｄ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして出力する。
【００７１】
５０％≦ＲＣ≦９５％の場合は、  
Ｖｌａｍｐｍａｘ×（Ｖｖｏｌ／Ｖｍａｘ）  
の式で演算された電圧値をＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして出力する。
【００７２】
ＲＣ＞９５％の場合は、顕微鏡光源１２の定格電圧Ｖｌａｍｐｍａｘの９５％の電圧値をＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして出力する。
【００７３】
以上のように構成された本実施形態の動作について図１１及び図１２に示すフローチャートを参照して説明する。
【００７４】
操作者は、回転操作部３１ａを回転させると（ＳＴＥＰ３１）、調光ユニット３０より、ボリューム電圧Ｖｖｏｌが制御ユニット４０に出力される。入力されたボリューム電圧Ｖｖｏｌは、制御ユニット４０のＡ／Ｄ変換回路４４によって、デジタル信号に変換される（ＳＴＥＰ３２）。変換されたデジタル信号は、バス４９を介してＣＰＵ４１に入力され、ＣＰＵ４１で演算した結果、ＲＣが求められる（ＳＴＥＰ３３）。
【００７５】
ＳＴＥＰ３３で求めた結果、ＣＰＵ４１は、ＲＣ＜５０％であるかを否かを判断する（ＳＴＥＰ３４）。
【００７６】
ＳＴＥＰ３４の結果がＹＥＳの場合（A）、図１２に示すようにＣＰＵ４１は、ＲＣが４０％≦ＲＣ＜５０％であるか否かを判断する（ＳＴＥＰ３５）。
【００７７】
ＳＴＥＰ３５の結果がＹＥＳの場合、ＣＰＵ４１は、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＮＤフィルタユニット１４のスロット５が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ３６）。
【００７８】
ＳＴＥＰ３５の結果がＮＯの場合、ＣＰＵ４１は、ＲＣが３０％≦ＲＣ＜４０％であるか否かを判断する（ＳＴＥＰ３７）。
【００７９】
ＳＴＥＰ３７の結果がＹＥＳの場合、ＣＰＵ４１は、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット４が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ３８）。
【００８０】
ＳＴＥＰ３７の結果がＮＯの場合、ＣＰＵ４１は、ＲＣが２０％≦ＲＣ＜３０％であるか判断する（ＳＴＥＰ３９）。  
ＳＴＥＰ３９の結果がＹＥＳの場合、ＣＰＵ４１は、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット３が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ４０）。
【００８１】
ＳＴＥＰ３９の結果がＮＯの場合、ＣＰＵ４１は、ＲＣが１０％≦ＲＣ＜２０％であるか判断する（ＳＴＥＰ４１）。
【００８２】
ＳＴＥＰ４１の結果がＹＥＳの場合、ＣＰＵ４１は、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット２が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ４２）。
【００８３】
ＳＴＥＰ４１の結果がＮＯの場合、ＣＰＵ４１は、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット１が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ４３）。
【００８４】
次に、ＳＴＥＰ３６、ＳＴＥＰ３８、ＳＴＥＰ４０、ＳＴＥＰ４２、ＳＴＥＰ４３においてデジタル信号を出力した後、図１０に示すデータに基づいて定格電圧Ｖｌａｍｐｍａｘの５０％〜７０％の範囲内のランプセット電圧ＶｌａｍｐｓｅｔがＤ／Ａ変換回路４５から電源回路１９へ出力される（ＳＴＥＰ４４）。
【００８５】
最後に電源回路１９から顕微鏡光源１２に印加電圧Ｖｌａｍｐが印加される（ＳＴＥＰ４５）。
【００８６】
なお、ＳＴＥＰ３４でＲＣ≧５０％であった場合、前述した第１の実施形態に示すＳＴＥＰ１６〜ＳＴＥＰ２２と同様の動作のために同じＳＴＥＰを付し、その詳細な説明は省略する。
【００８７】
本実施形態では、ＲＣが５０％未満の場合、透過率の異なるＮＤフィルタが、回転操作部３１ａにより回した位置に連動して光路に入る。図１３に示すように印加電圧は、回転操作部３１ａを回すことで決められた基準電圧に対応して出力される。印加電圧の変化は、次のＮＤフィルタが切り換わるまで印加電圧が定格電圧の７０％まで増加していき、ＮＤフィルタが切り換わったら印加電圧が定格電圧の５０％にまで戻る。
【００８８】
よって前述した第１の実施形態に比べてＲＣが５０％未満の場合、細かい調光が行えるようになる。また、顕微鏡光源１２は、その印加電圧Ｖｌａｍｐをディレーティング電圧とハロゲンサイクルが行われる電圧までの範囲内で常に点灯させているので、顕微鏡光源１２の寿命を長持ちさせた状態で使用することができ、かつ試料２への照明光量を操作者の任意の光量に調光することができる。
【００８９】
次に本発明に係る第３の実施の形態について図１４乃至図２０を参照して説明する。本実施形態は前述した第１の実施形態とは異なる部分について説明を行い、同一部分の詳細な説明は省略する。図１４は、本実施形態における装置全体の概略構成図である。
【００９０】
本実施形態において、照明部１１内部の光軸Ｌ上にはハーフミラーユニット５０が配置されている。このハーフミラーユニット５０には、明視野（ＢＦ）用ハーフミラーユニット５０ａと、暗視野（ＤＦ）用ハーフミラーユニット５０ｂと、制御ユニット４０から出力されるデジタル信号を受けた後、明視野用ハーフミラーユニット５０ａ、または暗視野用ハーフミラーユニット５０ｂのどちらか一方を光軸Ｌ上に配置するように電気的駆動を行うミラーモータ５０ｃと、光軸Ｌ上に配置されている暗視野用ハーフミラーユニット５０ｂを検知する暗視野用センサ５０ｄと、が設けられている。
【００９１】
次に図１５を参照して設定部について説明する。図１５は、設定部５１の外観構成図である。  
設定部５１には、ロータリー式スイッチＢＦ５１ａと、ロータリー式スイッチＤＦ５１ｂと、スイッチ５１ｃと、が設けられている。
【００９２】
この２つのロータリー式スイッチは１６ビットのスイッチであり、観察方法により印加電圧Ｖｌａｍｐの上限値を設定するスイッチである。スイッチ５１ｃは、ＯＮであれば、ロータリー式スイッチの設定が有効となり、ＯＦＦであれば、ロータリー式スイッチの設定が無効となる構成である。
【００９３】
次に図１６を参照して調光ユニットについて説明する。図１６は、調光ユニットを示すブロック図である。
【００９４】
この調光ユニット５２は、試料２の像に照射される光量を調節するために設置されている。調光ユニット５２には、ロータリーエンコーダにより構成されている調光部５３と、弁別回路５４と、が設けられている。操作者は、調光部５３を時計回り（以下、ＣＷ（Ｃｌｏｃｋ  Ｗｉｓｅ）と称する）、もしくは反時計回り（以下、ＣＣＷ（Ｃｏｕｎｔｅｒ  Ｃｌｏｃｋ  Ｗｉｓｅ）と称する）に回転させることで、弁別回路５４からパルス信号を出力し、制御ユニット４０に送る。制御ユニット４０は、入力されたパルス信号に基づいて演算したＲＣを基にしてランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔを出力する。電源回路１９は、入力されたランプセット電圧ＶＩａｍｐｓｅｔを電流増幅した印加電圧Ｖｌａｍｐを顕微鏡光源１２に出力する。
【００９５】
次に図１７及び図１８を参照して制御ユニットについて説明する。図１７は、制御ユニットを示す図である。図１８は、不揮発性メモリ内の設定テーブルを示す図である。  
本実施形態における制御ユニット４０には、調光ユニット５２から入力されるパルス信号を検出するパルスカウンタ５５と、印加電圧Ｖｌａｍｐのディレーティング電圧が記憶されている不揮発性メモリ５６と、光軸Ｌ上に配置されるハーフミラーの制御を行うハーフミラーＩ／Ｏ部５７ａと、ハーフミラーＩ／Ｏ部５７ａからの出力信号を受けハーフミラーモータ５０ｃを駆動するためのハーフミラーモータドライバ５７ｂと、設定部５１のスイッチ５１ｃのＩ／Ｏ部５８と、が配置されている。
【００９６】
パルスカウンタ５５は、調光ユニット５２から出力されたパルス信号をカウントし、ＣＰＵ４１で演算した結果、ＲＣを求める。
【００９７】
不揮発性メモリ５６のＡＰ（アクセスポイント）番地には、図１８に示すように、プリセット印加電圧Ｖｓｅｔの設定テーブルが形成されている。プリセット印加電圧Ｖｓｅｔの設定は、設定部５１から操作者が設定可能である。
【００９８】
ＲＯＭ４３には、ＲＣによって、出力すべき印加電圧Ｖｌａｍｐと照明部１１の光軸Ｌ上に挿入すべきＮＤフィルタターレット１４ａのスロット番号の組み合わせが格納されている。
【００９９】
またその他にＲＯＭ４３において、ＲＣの値がＲＣ＞プリセット印加電圧Ｖｓｅｔの場合、Ｄ／Ａ変換回路４５からプリセット印加電圧Ｖｓｅｔの電圧値がランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして出力される。
【０１００】
ＲＣの値が５０％≦ＲＣ≦プリセット印加電圧Ｖｓｅｔの場合、  
Ｖｌａｍｐｍａｘ×（Ｖｖｏｌ／Ｖｍａｘ）  
の式で演算された電圧値がＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして出力される。
【０１０１】
ＲＣ＜５０％では、顕微鏡光源１２の定格電圧Ｖｌａｍｐｍａｘの５０％の電圧値がＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして出力される。
【０１０２】
また、図１０に示すように、ＲＣ＜５０％時のＲＣと印加電圧Ｖｌａｍｐの組み合わせデータと、ＲＣの求め方などのデータが格納されている。
【０１０３】
次に図１９及び図２０に示すフローチャートを参照して以上のように構成された本実施形態の動作について説明する。
【０１０４】
顕微鏡本体１の電源がＯＮされると、まず、制御ユニット４０内のＣＰＵ４１が初期化される（ＳＴＥＰ６１）。次にＣＰＵ４１は、設定部５１からロータリー式スイッチＢＦ５１ａと、ロータリー式スイッチＤＦ５１ｂと、の設定値を読み込み、図１８に示す不揮発性メモリ５６内のＡＰ［１］〜［Ｆ］番地にセットする（ＳＴＥＰ６２）。その後、ＣＰＵ４１は、暗視野用ハーフミラーユニット５０ｂが入っているか否か確認する（ＳＴＥＰ６３）。
【０１０５】
ＳＴＥＰ６３の結果がＮＯの場合、明視野用ハーフミラーユニット５０ａが照明部１１の光軸Ｌ上に挿入されていることになり、ＣＰＵ４１は、印加電圧Ｖｌａｍｐをロータリー式スイッチＢＦ５１ａで設定したプリセット電圧Ｖｂｆｓｅｔに設定する（ＳＴＥＰ６４）。
【０１０６】
ＳＴＥＰ６３の結果がＹＥＳの場合は、暗視野用ハーフミラーユニット５０ｂが照明部１１の光軸Ｌ上に挿入されていることになり、ＣＰＵ４１は、印加電圧Ｖｌａｍｐをロータリー式スイッチＤＦ５１ｂで設定したプリセット電圧Ｖｄｆｓｅｔに設定する。（ＳＴＥＰ６５）
次に、調光部５３を回転させると（ＳＴＥＰ６６）、調光ユニット５２より、パルス信号が出力され、制御ユニット４０のパルスカウンタ５５により、カウントされる（ＳＴＥＰ６７）。カウントされた信号は、バス４９を介してＣＰＵ４１に入力され、ＣＰＵ４１で演算した結果、ＲＣが求められる（ＳＴＥＰ６８）。
【０１０７】
次にＣＰＵ４１は、ＲＣ＜５０％であるか否かを判断する（ＳＴＥＰ６９）。
【０１０８】
ＳＴＥＰ６９の結果がＹＥＳの場合、図２０に示すように続いてＣＰＵ４１は、ＲＣが４０％≦ＲＣ＜５０％であるか否か判断する（ＳＴＥＰ７０）。
【０１０９】
ＳＴＥＰ７０の結果がＹＥＳの場合、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＮＤフィルタユニット１４のスロット５が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ７１）。
【０１１０】
ＳＴＥＰ７０の結果がＮＯの場合、次にＣＰＵ４１は、ＲＣが３０％≦ＲＣ＜４０％であるか否か判断する（ＳＴＥＰ７２）。
【０１１１】
ＳＴＥＰ７２の結果がＹＥＳの場合は、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット４が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ７３）。
【０１１２】
ＳＴＥＰ７２の結果がＮＯの場合、次にＣＰＵ４１は、ＲＣが２０％≦ＲＣ＜３０％であるか否か判断する（ＳＴＥＰ７４）。
【０１１３】
ＳＴＥＰ７４の結果がＹＥＳの場合は、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット３が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ７５）。
【０１１４】
ＳＴＥＰ７４の結果がＮＯの場合、次にＣＰＵ４１は、ＲＣが１０％≦ＲＣ＜２０％であるか否か判断する（ＳＴＥＰ７６）。
【０１１５】
ＳＴＥＰ７６の結果がＹＥＳの場合は、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット２が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ７７）。
【０１１６】
ＳＴＥＰ７６の結果がＮＯの場合、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＲＣの値で決められたＮＤフィルタユニット１４のスロット１が、照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ７８）。
【０１１７】
ＳＴＥＰ７１、ＳＴＥＰ７３、ＳＴＥＰ７５、ＳＴＥＰ７７及びＳＴＥＰ７８においてデジタル信号を出力した後、図８に示した電圧値をＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔが電源回路１９へ出力される（ＳＴＥＰ７９）。この電源回路１９から顕微鏡光源１２に印加電圧Ｖｌａｍｐが印加される（ＳＴＥＰ８０）。
【０１１８】
また、ＳＴＥＰ６９でＲＣ≧５０％であった場合、ＣＰＵ４１は、プリセット印加電圧Ｖｓｅｔ＜ＲＣ値＜１００％であるか否か判断する（ＳＴＥＰ８１）。
【０１１９】
ＳＴＥＰ８１がＮＯの場合、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＮＤフィルタユニット１４のスロット６が照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ８２）。
【０１２０】
次に、Ｖｌａｍｐｍａｘ×（Ｖｖｏｌ／Ｖｍａｘ）の式で演算されたランプセット電圧ＶｌａｍｐｓｅｔをＤ／Ａ変換回路４５から電源回路１９へ出力される（ＳＴＥＰ８３）。最後に電源回路１９から印加電圧Ｖｌａｍｐが印加される（ＳＴＥＰ８４）。
【０１２１】
ＳＴＥＰ８１がＹＥＳの場合、ＮＤフィルタモータドライバ４７ｂにデジタル信号を出力し、ＮＤフィルタユニット１４のスロット６が照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される（ＳＴＥＰ８５）。
【０１２２】
次に、プリセット印加電圧Ｖｓｅｔの電圧値がＤ／Ａ変換回路４５からランプセット電圧Ｖｌａｍｐｓｅｔとして電源回路１９へ出力される（ＳＴＥＰ８６）。最後に電源回路１９から印加電圧Ｖｌａｍｐが印加される（ＳＴＥＰ８７）。
【０１２３】
本実施形態では、前述した第１及び第２の実施形態に示した調光手段を有する顕微鏡に加えて、操作者が観察方法ごとに任意でＶｌａｍｐの上限値を決めることができるので、操作者は、観察で使う余分な光量を使う必要がない。例えばＢＦ時は、定格電圧の８０％の際に印加電圧が切り換わる。またＤＦ時は、定格電圧の９５％の際に印加電圧が切り換わる。よって顕微鏡光源１２に余計な印加電圧をかけることがなくなり、顕微鏡光源１２の寿命を長持ちさせた状態で顕微鏡による観察を行うことができる。また、観察方法を切り換えたときの光量調整の煩わしさを軽減できる。更に観察方法の切り替えに連動して、操作者が任意に設定した印加電圧に切り替わるので、観察方法を切り換えることによる光量調整の煩わしさが生じない。
【０１２４】
次に図２１及び図２２を参照して本発明に係る第４の実施形態について説明する。本実施の形態については、前述した第３の実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図２１は、ハーフミラーセンサ群を示すブロック図である。図２２は、本実施形態の動作方法を示すフローチャートを示す図である。
【０１２５】
図２１に示すように、ハーフミラーセンサ群６１には、照明部１１の光軸Ｌ上に配置されているハーフミラーが明視野用ハーフミラーユニット５０ａであることを感知する明視野用センサ６１ａと、暗視野用ハーフミラーユニット５０ｂであることを感知する暗視野用センサ６１ｂと、明視野用ハーフミラーユニット５０ａと、暗視野用ハーフミラーユニット５０ｂの中間に配置されている中間センサ６１ｃと、が設けられている。
【０１２６】
また、ハーフミラーセンサ群６１が照明部１１の光軸Ｌ上に配置されているハーフミラーを検知している場合は、ハーフミラーセンサ群６１から制御ユニット４０に入力される信号は“Ｈ”信号になる。ハーフミラーセンサ群６１が照明部１１の光軸Ｌ上に配置されているハーフミラーが外れている場合には、ハーフミラーセンサ群６１から制御ユニット４０に入力される信号は“Ｌ”信号になる。
【０１２７】
次に図２２に示すフローチャートを参照して本実施形態の動作方法について説明する。まず、顕微鏡本体１の電源をＯＮすると、顕微鏡本体１はまず初期化を行う。次に明視野用センサ６１ａの入力信号を検出する（ＳＴＥＰ９１）。次に明視野ハーフミラーユニット５０ａが光軸Ｌに挿入されていることを検知し、明視野用センサ６１ａからの制御ユニット４０に入力される信号が“Ｈ”か“Ｌ”か否かを判別する（ＳＴＥＰ９２）。
【０１２８】
Ｈ信号であれば、明視野用ハーフミラーユニット５０ａが照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される。よって印加電圧Ｖｌａｍｐは、ロータリー式スイッチＢＦ５１ａのプリセット電圧Ｖｂｆｓｅｔに設定される（ＳＴＥＰ９３）。
【０１２９】
ＳＴＥＰ９２において明視野用センサ６１ａから制御ユニット４０に入力される信号が“Ｌ”信号が入力された場合は、中間センサ６１ｃの状態を確認する（ＳＴＥＰ９４）。
【０１３０】
中間センサ６１ｃから制御ユニット４０に入力される信号が“Ｈ”信号が入力された場合は、次に照明部１１の光軸Ｌ上に挿入されるのは、暗視野用ハーフミラーユニット５０ｂであると判断し、ロータリー式スイッチＤＦ５１ｂのプリセット電圧Ｖｄｆｓｅｔが設定される（ＳＴＥＰ９５）。
【０１３１】
中間センサ６１ｃから制御ユニット４０に入力される信号が“Ｌ”信号が入力された場合は、暗視野用センサ６１ｂの入力信号を検出する（ＳＴＥＰ９６）。
【０１３２】
次に暗視野用センサ６１ｂに検出され、制御ユニット４０に入力される信号が“Ｈ”か“Ｌ”か否かを判別する（ＳＴＥＰ９７）。  
入力される信号が“Ｈ”信号である場合は、暗視野用ハーフミラーユニット５０ｂが照明部１１の光軸Ｌ上に挿入されるため、印加電圧Ｖｌａｍｐは、ロータリー式スイッチＤＦ５１ｂのプリセット電圧Ｖｄｆｓｅｔが設定される（ＳＴＥＰ９５）。
【０１３３】
暗視野用センサ６１ｂから制御ユニット４０に入力される信号が“Ｌ”信号が入力される場合は、中間センサ６１ｃの状態を確認する（ＳＴＥＰ９８）。
【０１３４】
ＳＴＥＰ９８において中間センサ６１ｃから制御ユニット４０に入力される信号が“Ｈ”信号が入力された場合は、次に照明部１１の光軸Ｌ上に挿入されるのは、明視野用ハーフミラーユニット５０ａであると判断し、ロータリー式スイッチＢＦ５１ｂのプリセット電圧Ｖｂｆｓｅｔが設定される（ＳＴＥＰ９３）。
【０１３５】
またＳＴＥＰ９８において、中間センサ６１ｃから制御ユニット４０に入力される信号が“Ｌ”信号が入力された場合は、プリセット設定は無効になる（ＳＴＥＰ９９）。
【０１３６】
前述した第３の実施形態では、各観察方法を切り替わった後に、印加電圧Ｖｌａｍｐを操作者が設定した任意の電圧値に切り換えている。しかし本実施形態は、明視野用センサ６１ａと中間センサ６１ｃを増やしたことで、次に照明部１１の光軸Ｌ上に挿入されるハーフミラーを事前に検知し、次のハーフミラーが照明部１１の光軸Ｌ上に挿入される前に、操作者が設定した任意の印加電圧に切り換えることができるために、観察効率が向上する。
【０１３７】
検知センサは、明視野用センサ６１ａ及び暗視野用センサ６１ｂの２つで行う構成としたが、明視野用センサ６１ａ及び暗視野用センサ６１ｂの中間にセンサを配置することで、センサ１つでも実現することができる。
【０１３８】
本発明は、ＰＣを顕微鏡操作部とシリアルＩ／Ｆで制御ユニット４０に接続し、アプリケーションソフトウェアを用いて、操作者が顕微鏡電動部の操作や印加電圧Ｖｌａｍｐの決定を行っても良い。
【０１３９】
本発明では、ＮＤフィルタユニット１４をターレット形式でターレットのスロットに複数の異なるフィルタを挿入し、ターレットをモータで回転させることでフィルタ交換を行っていたが、液晶の濃度を変化させて調光を行う構成としても良い。
【０１４０】
また、照明系レンズ１３を透過した光を調光する手段として、ＮＤフィルタ以外に光を減光するものであればその他のものであってもよい。
【０１４１】
第１及び第２の実施形態では、調光ユニット３０の回転操作部３１ａには回転式の可変抵抗器を用いていたが、ロータリーエンコーダやスイッチボタンを使用してパルス信号を制御ユニット４０送り、ＣＰＵ４１によってＲＣを演算しても良い。
【０１４２】
第３及び第４の実施形態では、各観察方法の切り替えによって操作者が任意に設定した印加電圧に切り替わるが、図示はしないレボルバユニット４の対物レンズ８の取り付ける穴番号１〜６に印加電圧Ｖｌａｍｐの設定を割り当て、対物レンズ８の切り替えに連動して、プリセット印加電圧Ｖｓｅｔが出力されるようにもできる。
【０１４３】
第３の実施形態では、光軸Ｌ上に挿入されているハーフミラーの検知を３つのセンサを用いて行っていたが、明視野用ハーフミラーと暗視野用ハーフミラーのキューブの中間にある中間センサを１つだけ用いることで実現することは可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４４】
【図１】本発明に係る第１の実施形態における装置全体の概略構成を示す図。
【図２】ＮＤフィルターターレットの断面図。
【図３】ＮＤフィルタ用位置検出センサのブロック図。
【図４】調光ユニットを示す回路図。
【図５】制御ユニットの内部構成図。
【図６】本実施形態の処理を示すフローチャート。
【図７】本実施形態の処理を示すフローチャート。
【図８】印加電圧と光量の関係を示した図。
【図９】印加電圧とＲＣの関係を示した図。
【図１０】ＲＣ＜５０％の時のＲＣと印加電圧Ｖｌａｍｐの組み合わせを格納した設定テーブル。
【図１１】第２の実施形態の処理を示すフローチャート。
【図１２】第２の実施形態の処理を示すフローチャート。
【図１３】印加電圧とＲＣの関係を示した図。
【図１４】第３の実施形態における装置全体の概略構成を示す図。
【図１５】設定部の外観構成図。
【図１６】調光ユニットのブロック図。
【図１７】制御ユニットの内部構成図。
【図１８】不揮発性メモリ内の設定テーブルを示す図。
【図１９】第３の実施形態の処理を示すフローチャート。
【図２０】第３の実施形態の処理を示すフローチャート。
【図２１】ハーフミラーセンサ群を示すブロック図。
【図２２】第４の実施形態の処理を示すフローチャートを示す図。
【符号の説明】
【０１４５】
１：顕微鏡本体、２：試料、３：ステージ、４：レボルバユニット、５：マウンタ、６：レボルバモータ、７：レボルバセンサ群、８：対物レンズ、１１：照明部、１２：顕微鏡光源、１３，１６：照明系レンズ、１４：ＮＤフィルタユニット、１５：開口絞り部材、１７：視野絞り部材、１８：ハーフミラー、１９：電源回路、２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ：ＮＤフィルタ、２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ：マグネット、２２：ＮＤフィルタセンサ基板、２３：ＮＤフィルタホール素子、２４：鏡筒、２５：接眼レンズ、２６：ＣＣＤカメラ、２７：焦準部、２８：フロントスイッチ、３０：調光ユニット、３１ａ：回転操作部、３１ｂ：可変抵抗器、３２：調光回路、３３：電源、３４：アンプ、４０：制御ユニット、４１：ＣＰＵ、４２：ＲＡＭ、４３：ＲＯＭ、４４：Ａ／Ｄ変換回路、４５：Ｄ／Ａ変換回路、４６（ａ）：レボルバセンサＩ／Ｏ部、４６（ｂ）：レボルバモータドライバ、４７（ａ）：ＮＤフィルタＩ／Ｏ部、４７（ｂ）：ＮＤフィルタモータドライバ、４８：フロントスイッチＩ／Ｏ部、４９：バス。
【図１】
2007066740.tif 000003
【図２】
2007066740.tif 000004
【図３】
2007066740.tif 000005
【図４】
2007066740.tif 000006
【図５】
2007066740.tif 000007
【図６】
2007066740.tif 000008
【図７】
2007066740.tif 000009
【図８】
2007066740.tif 000010
【図９】
2007066740.tif 000011
【図１０】
2007066740.tif 000012
【図１１】
2007066740.tif 000013
【図１２】
2007066740.tif 000014
【図１３】
2007066740.tif 000015
【図１４】
2007066740.tif 000016
【図１５】
2007066740.tif 000017
【図１６】
2007066740.tif 000018
【図１７】
2007066740.tif 000019
【図１８】
2007066740.tif 000020
【図１９】
2007066740.tif 000021
【図２０】
2007066740.tif 000022
【図２１】
2007066740.tif 000023
【図２２】
2007066740.tif 000024