(57)【要約】【課題】  発熱による異常摩耗を未然に防止するとともに、圧電素子を効率よく動作させるのに好適な圧電アクチュエータキ装置を提供する。【解決手段】  圧電アクチュエータ７は、圧電素子１２と、可動体を設置する走行プレート６と、走行プレート６と圧電素子１２の間に設けられたフィンガ８とを備え、圧電素子１２に電圧を印加することにより圧電素子１２を変位させ、その変位によって可動体を駆動する。また、温度変化により抵抗値が変化する導線１３をフィンガ８に巻き付け、フィンガ８の温度を検出する。【選択図】  図１
2007124840.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子と、可動体を設置する走行プレートと、前記走行プレートと前記圧電素子の間に設けられ前記圧電素子の振動を前記走行プレートに伝達する駆動体とを備え、前記圧電素子に電圧を印加することにより前記圧電素子を振動させ、その振動によって前記可動体を駆動する圧電アクチュエータにおいて、
前記駆動体に温度センサを設けたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１において、
前記温度センサは、温度変化により抵抗率が変化する導線からなり、前記導線を前記駆動体に巻き付けて設けたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項２において、
前記導線は、０℃の抵抗率と１００℃の抵抗率の比が０．５以上であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記圧電素子の対向する２つの面の一方に設けられた第１電極および第２電極と、前記圧電素子の前記対向する２つの面の他方に設けられた第３電極と、前記第１電極および前記第２電極に電圧を印加する電圧印加手段とをさらに備え、
前記電圧印加手段は、周波数が前記圧電素子の共振周波数未満でかつ位相が９０°異なる２つの電圧波形の電圧を前記第１電極および前記第２電極にそれぞれ印加することを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項４において、
前記第１電極および前記第２電極に印加する電圧波形の極性を反転させる極性反転手段をさらに備えることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記圧電素子を設置する筐体をさらに備え、
前記圧電素子の端部のうち前記可動体とは反対側の端部が前記筐体に固定されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項６において、
ばね部材をさらに備え、
前記圧電素子の前記端部が前記ばね部材を介して前記筐体に固定されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項８】
請求項６および７のいずれか１項において、
支持体をさらに備え、
前記圧電素子の変位方向と直交する面が前記支持体を介して前記筐体に固定されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項において、
複数の前記圧電素子を備え、
前記複数の圧電素子を配置し、その駆動によって前記可動体を駆動することを特徴とする圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子の振動により可動体を駆動させる圧電アクチュエータに係り、特に、発熱による異常摩耗を未然に防止するとともに、圧電素子を効率よく動作させるのに好適な圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電アクチュエータとしては、例えば、特許文献１記載のマイクロモータが知られている。
図１３は、従来の圧電アクチュエータの構造を示す図である。
圧電アクチュエータ７は、図１３に示すように、圧電素子１２と、圧電素子１２の一方の面に４分割して設けられた電極膜１０ｄ〜１０ｇと、圧電素子１２の他方の面のほぼ全面に設けられた電極膜（図示せず）と、圧電素子１２の先端部に設けられたフィンガ８とを備えている。
【０００３】
圧電素子１２は、筐体に収められており、筐体内部で側面が４つの点で支持されている。また、圧電素子１２の後端と筐体との間に設けられたコイルばね１４によってフィンガ８が走行プレート６に押し付けられるようになっている。
また、圧電素子１２の温度を監視するため、一般に圧電素子１２には、熱電対からなる温度センサ３０が貼り付けられており、温度センサ３０により圧電素子１２の温度を検出している。圧電素子１２の温度を監視する技術としては、例えば、「Nanomotion製、HR8-TC-10」で実現されている。
【特許文献１】特開平７−１８４３８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、フィンガ８の温度が上昇すると、異常摩耗の原因となり、圧電アクチュエータ７の耐久性が低下する。そのため、フィンガ８の温度を監視し、発熱による異常摩耗を未然に防止することが望まれる。
しかしながら、従来の圧電アクチュエータ７にあっては、温度センサ３０が圧電素子１２に設けられているため、圧電素子１２自体の温度を検出することはできるが、フィンガ８の温度を検出することができない。そのため、発熱による異常摩耗を未然に防止することができないという問題があった。
【０００５】
また、温度センサ３０を圧電素子１２に設けると、圧電素子１２の固有値や振動モードが変化し、圧電素子１２が効率よく動作しないという問題もあった。
そこで、本発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、発熱による異常摩耗を未然に防止するとともに、圧電素子を効率よく動作させるのに好適な圧電アクチュエータを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係る請求項１記載の圧電アクチュエータは、圧電素子と、可動体を設置する走行プレートと、前記走行プレートと前記圧電素子の間に設けられ前記圧電素子の振動を前記走行プレートに伝達する駆動体とを備え、前記圧電素子に電圧を印加することにより前記圧電素子を振動させ、その振動によって前記可動体を駆動する圧電アクチュエータにおいて、前記駆動体に温度センサを設けた。
このような構成であれば、圧電素子に電圧が印加されると、圧電素子が振動し、その振動が駆動体を介して走行プレートに伝達し、走行プレートが設置された可動体が駆動する。また、駆動体に温度センサが設けられているので、温度センサにより駆動体の温度が検出される。
【０００７】
さらに、本発明に係る請求項２記載の圧電アクチュエータは、請求項１記載の圧電アクチュエータにおいて、前記温度センサは、温度変化により抵抗率が変化する導線からなり、前記導線を前記駆動体に巻き付けて設けた。
このような構成であれば、駆動体に導線を巻き付けるだけなので、圧電素子に熱電対を貼り付ける場合に比して、温度センサを設けるためのスペースの確保および配線処理を行う必要がない。
【０００８】
さらに、本発明に係る請求項３記載の圧電アクチュエータは、請求項２記載の圧電アクチュエータにおいて、前記導線は、０℃の抵抗率と１００℃の抵抗率の比が０．５以上である。
このような構成であれば、温度変化に対する抵抗率の変化が大きいので、駆動体の温度を精度よく検出することができる。
【０００９】
さらに、本発明に係る請求項４記載の圧電アクチュエータは、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記圧電素子の対向する２つの面の一方に設けられた第１電極および第２電極と、前記圧電素子の前記対向する２つの面の他方に設けられた第３電極と、前記第１電極および前記第２電極に電圧を印加する電圧印加手段とをさらに備え、前記電圧印加手段は、周波数が前記圧電素子の共振周波数未満でかつ位相が９０°異なる２つの電圧波形の電圧を前記第１電極および前記第２電極にそれぞれ印加する。
【００１０】
このような構成であれば、電圧印加手段により、周波数が圧電素子の共振周波数未満でかつ位相が９０°異なる２つの電圧波形の電圧が第１電極および第２電極にそれぞれ印加される。これにより、圧電素子が非共振駆動して形成される駆動体の円運動により可動体が駆動する。
圧電素子の駆動が非共振駆動であるので、駆動体の運動を制御することが容易となる。また、第１電極および第２電極に印加する電圧波形の位相が９０°異なる信号を用いることで駆動体に円運動を形成することができる。
【００１１】
さらに、本発明に係る請求項５記載の圧電アクチュエータは、請求項４記載の圧電アクチュエータにおいて、前記第１電極および前記第２電極に印加する電圧波形の極性を反転させる極性反転手段をさらに備える。
このような構成であれば、極性反転手段により、第１電極および第２電極に印加する電圧波形の極性が反転する。これにより、可動体の進行方向が逆転する。
【００１２】
さらに、本発明に係る請求項６記載の圧電アクチュエータは、請求項１ないし５のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記圧電素子を設置する筐体をさらに備え、前記圧電素子の端部のうち前記可動体とは反対側の端部が前記筐体に固定されている。
さらに、本発明に係る請求項７記載の圧電アクチュエータは、請求項６記載の圧電アクチュエータにおいて、ばね部材をさらに備え、前記圧電素子の前記端部が前記ばね部材を介して前記筐体に固定されている。
このような構成であれば、圧電素子へ予圧が負荷され、圧電素子の変位を効率的に可動体に伝達することができる。
【００１３】
さらに、本発明に係る請求項８記載の圧電アクチュエータは、請求項６および７のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータにおいて、支持体をさらに備え、前記圧電素子の変位方向と直交する面が前記支持体を介して前記筐体に固定されている。
このような構成であれば、支持体により圧電素子の変位方向と直交する方向の変位が抑制される。
【００１４】
さらに、本発明に係る請求項９記載の圧電アクチュエータは、請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータにおいて、複数の前記圧電素子を備え、前記複数の圧電素子を配置し、その駆動によって前記可動体を駆動する。
このような構成であれば、複数の圧電素子が駆動し、その振動によって可動体が駆動するので、一方の圧電素子が可動体または走行プレート等から離れていても、他の圧電素子が可動体または走行プレート等に接して駆動するため、可動体を常に保持することができ、より安定した駆動が可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本発明に係る請求項１記載の圧電アクチュエータによれば、温度センサにより駆動体の温度を検出することができるので、従来に比して、発熱による異常摩耗を未然に防止することができるという効果が得られる。また、圧電素子ではなく駆動体に温度センサが設けられているので、温度センサの設置により圧電素子の固有値や動作モードが変化することがなく、従来に比して、圧電素子を効率よく動作させることができるという効果も得られる。
【００１６】
さらに、本発明に係る請求項２記載の圧電アクチュエータによれば、温度センサを設けるためのスペースの確保および配線処理を行わなくて済むので、小型化を図ることができるという効果が得られる。また、熱電対より取付面積が小さく済むので、異常摩耗が発生しやすい箇所に効果的に取り付けることができるという効果も得られる。さらに、導線であるため、熱電対よりも安価であり、取付が容易であるという効果も得られる。
さらに、本発明に係る請求項４記載の圧電アクチュエータによれば、圧電素子の駆動が非共振駆動であるので、駆動体の円運動を用いた高速駆動と圧電素子にＤＣ電圧を印加することが可能となり、可動体の位置決めを高精度に行うことができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図１ないし図１０は、本発明に係る圧電アクチュエータの実施の形態を示す図である。
まず、本発明に係る圧電アクチュエータ７の構造を説明する。
図１は、圧電アクチュエータ７の構造を示す正面図である。
圧電アクチュエータ７は、図１に示すように、圧電素子１２を有して構成されている。圧電素子１２としては、非積層の直方体圧電素子を用いる。これにより、圧電素子１２自体の耐久性を向上することができる。
【００１８】
圧電素子１２の一方の面には、図１（ａ）に示すように、電極膜１０ａ，１０ｂが横並びに設けられ、電極膜１０ａ，１０ｂには、電圧を印加するための導線１１ａ，１１ｂが接続されている。圧電素子１２の他方の面には、図１（ｂ）に示すように、電極膜１０ｃが全面を覆うようにして設けられ、電極膜１０ｃには、グランドに接地するための導線１１ｃが接続されている。
圧電素子１２の先端には、圧電素子１２の振動を可動体に伝達するためのフィンガ８が設けられている。フィンガ８および圧電素子１２は、個別の部品からなり、それらを接合することで構成している。
【００１９】
フィンガ８には、その外周に導線１３が巻き付けられている。導線１３は、０℃の抵抗率と１００℃の抵抗率の比が０．５以上であることが好ましい。フィンガ８の材質は、例えば、セラミック等の任意のものを採用することができる。導線１３は、フィンガ８に巻き付け締結することのみで取り付けてもよいし、フィンガ８に接着固定してもよい。また、導線１３のうちフィンガ８に巻き付いていない部分は、フィンガ８の円運動を阻害しないように張力をあまりかけないことが好ましい。
【００２０】
図２は、圧電アクチュエータ７の構造を示す斜視図である。
図３は、圧電アクチュエータ７の構造を示す正面図である。
圧電素子１２は、図２に示すように、筐体１６に収納されている。また、圧電素子１２の後端が板ばね１８を介して筐体１６に固定されており、図３に示すように、板ばね１８によってフィンガ８が走行プレート６に押し付けられるようになっている。圧電素子１２の固定方法としては、板ばね１８に代えて弾性ヒンジを使用してもよいし、圧電素子１２が片持ち梁のように一端を完全に固定してもよい。走行プレート６の押付予圧力は、駆動条件に応じて設定する。
また、図２に示すように、圧電素子１２の変位方向と直交する側面が支持部材２０ａ，２０ｂを介して筐体１６に固定されている。図２の例では、１つの側面に対して１カ所しか支持していないが、１つの側面に対して複数の支持部材を用いてもよい。
【００２１】
次に、導線１３を含む温度検出回路の構成を説明する。
図４は、導線１３を含む結線構成を示す図である。
図５は、導線１３を含む温度検出回路の回路図である。
図４に示すように、導線１３の一端には電源Ｖが接続され、導線１３の他端には抵抗Ｒ２が接続されている。電源Ｖと抵抗Ｒ２は直列に接続され、抵抗Ｒ２には、その電圧値Ｖ２を測定するための電圧計が並列に接続されている。
導線１３は、温度変化により抵抗率が変化する抵抗素子である。そのため、導線１３の抵抗値をＲ１とすると、図５に示すように、電源Ｖおよび抵抗Ｒ１、Ｒ２を直列に接続した閉回路を構成する。
【００２２】
例えば、電源Ｖ＝５[Ｖ]、Ｒ２＝１[Ω]、導線１３の長さＬ＝0.05[ｍ]、導線１３の材質をタングステンとして、以下に実施例を説明する。
圧電アクチュエータ７が駆動する際、発熱が生じる。このとき、フィンガ８も温度が上昇する。
フィンガ８の温度が上昇すると、これに伴い、フィンガ８に巻き付けた導線１３の温度が上昇し、導線１３の抵抗率が変化する。導線１３の抵抗率ρは、下式（１）により表すことができる。下式（１）において、ρ0は、０℃での抵抗率（＝4.9×10-8[Ωｍ]）、αは、平均温度係数（＝4.9×10-3[／Ｋ]）である。
ρ＝ρ0（１＋αｔ）                                                …（１）
また、導線１３の抵抗値Ｒ１は、下式（２）により表すことができる。下式（２）において、Ａは、導線１３の断面積である。
Ｒ１＝ρ×Ｌ／Ａ                                                      …（２）
【００２３】
図６は、導線１３の温度変化に対する抵抗値Ｒ１の変化を示すグラフである。
図７は、導線１３の温度変化に対する電圧値Ｖ２の変化を示すグラフである。
したがって、抵抗値Ｒ１は、図６に示すように、導線１３の温度の上昇とともに上昇し、電圧値Ｖ２は、逆に、図７に示すように、導線１３の温度の上昇とともに低下する。
【００２４】
次に、圧電アクチュエータ７の駆動部の構成を説明する。
図８は、圧電アクチュエータ７の構造を示すブロック図である。
圧電アクチュエータ７は、図８に示すように、導線１１ａに接続し電極膜１０ａに電圧を印加する電源２２ａと、導線１１ｂに接続し電極膜１０ｂに電圧を印加する電源２２ｂと、電源２２ａ，２２ｂの電圧波形の極性を反転させる極性反転部２４と、電源２２ａ，２２ｂおよび極性反転部２４を制御する制御部２６とを有して構成されている。
【００２５】
制御部２６は、位相が９０°異なる２つの電圧波形を発生させ、発生させた電圧波形の電圧を電極膜１０ａ，１０ｂにそれぞれ印加するように電源２２ａ，２２ｂを制御する。電圧波形の周波数は、ＤＣ（０[Hz]）から圧電素子１２の共振周波数未満の範囲で設定する。これは、圧電素子１２を共振周波数領域で使用すると、圧電素子１２が共振振動を起こしてしまうので、これを抑制するためである。
制御部２６は、フィンガ８の回転方向を逆転させるときは、極性反転部２４により電圧波形の極性を反転する。
【００２６】
次に、圧電アクチュエータ７の駆動原理を説明する。
図９は、圧電アクチュエータ７の駆動状態を示す図である。
図９の例は、位相が９０°異なるパルス電圧を電極膜１０ａ，１０ｂに印加した場合である。
まず、電極膜１０ａ，１０ｂにそれぞれマイナスの電圧が印加されると、図９（ａ）に示すように、圧電素子１２の左半面（電極膜１０ａが設けられている部位）および右半面（電極膜１０ａが設けられている部位）が電極膜１０ａ，１０ｂに対して直交方向に収縮し、フィンガ８が上方向に変位する。
【００２７】
次いで、電極膜１０ｂに印加する電圧がプラスになると、図９（ｂ）に示すように、圧電素子１２の左半分が電極膜１０ａ，１０ｂに対して直交方向に収縮した状態で右半面が電極膜１０ａ，１０ｂに対して直交方向に伸長し、フィンガ８が右方向に変位する。
次いで、電極膜１０ａに印加する電圧がプラスになると、図９（ｃ）に示すように、圧電素子１２が電極膜１０ａ，１０ｂに対して直交方向に伸長し、フィンガ８が下方向に変位する。
そして、電極膜１０ｂに印加する電圧がマイナスになると、図９（ｄ）に示すように、圧電素子１２の左半面が収縮した状態で右半面が伸長し、フィンガ８が左方向に変位する。
【００２８】
この４つの変位を繰り返すことにより、フィンガ８の先端は、円運動を描くように駆動する。この運動により可動体を移動させることができる。運動の速度は、電極膜１０ａ，１０ｂに印加する電圧の周波数を変化させることで調整することができる。また、電極膜１０ａ，１０ｂに印加する電圧波形は、パルス波に限らず、正弦波または三角波にすることもできる。
【００２９】
図１０は、圧電アクチュエータ７をＤＣ駆動した場合の駆動状態を示す図である。
圧電アクチュエータ７をＤＣ駆動する場合は、例えば、図１０に示すように、電極膜１０ａ，１０ｂのうち一方にプラスの電圧を、他方にマイナスの電圧をそれぞれ印加し、圧電素子１２を変位させることができる。また、電極膜１０ａ，１０ｂのいずれか一方にのみプラスまたはマイナスの電圧を印加し、圧電素子１２を変位させることもできる。
【００３０】
微動の際、移動量は、印加する電圧の大きさを変化させることにより、圧電素子１２の変位量を調整することができる。その結果、可動体を極微少な変位量で動かすことができる。
このようにして、本実施の形態では、温度変化により抵抗値が変化する導線１３をフィンガ８に巻き付け、フィンガ８の温度を検出するようにした。
【００３１】
これにより、導線１３の抵抗率ρと温度の関係を把握すれば、フィンガ８の温度を検出することができるので、従来に比して、発熱による異常摩耗を未然に防止することができる。また、圧電素子１２ではなくフィンガ８に導線１３が設けられ、かつ、圧電素子１２に対して左右対称に取付が可能となるため、導線１３の取付により圧電素子１２の固有値や動作モードが変化することがなく、従来に比して、圧電素子１２を効率よく動作させることができる。
【００３２】
さらに、圧電素子１２に熱電対を貼り付ける場合に比して、導線１３を設けるためのスペースの確保および配線処理を行わなくて済むので、小型化を図ることができる。また、熱電対より取付面積が小さく済むので、異常摩耗が発生しやすい箇所に効果的に取り付けることができる。さらに、導線１３であるため、熱電対よりも安価であり、取付が容易である。
【００３３】
また、電圧値Ｖ２に対してあらかじめ閾値を設け、電圧値Ｖ２が閾値以下になれば、アラーム出力するように設定すると、圧電アクチュエータ７の使用中に温度が上昇し、異常摩耗を生じる可能性が出たときに操作者に通知されるので、圧電アクチュエータ７を停止するか、駆動電圧のデューティ比を下げ駆動するといった対処が可能となる。さらに、分解点検をしなくてもフィンガ８の温度上昇度合いを把握できるため、異常摩耗が生じてフィンガ８または走行プレート６が破損する前に圧電アクチュエータ７を停止するか、部品を交換するといった対処が可能となる。
【００３４】
さらに、本実施の形態では、導線１３は、０℃の抵抗率と１００℃の抵抗率の比が０．５以上のものを採用した。
これにより、温度変化に対する抵抗率の変化が大きいので、フィンガ８の温度を精度よく検出することができる。
さらに、本実施の形態では、圧電素子１２と、圧電素子１２の一方の面に設けられた２つの電極膜１０ａ，１０ｂと、圧電素子１２の他方の面に設けられた電極膜１０ｃと、電極膜１０ａ，１０ｂに電圧を印加する電源２２ａ，２２ｂと、電源２２ａ，２２ｂを制御する制御部２６とを備え、制御部２６は、周波数が圧電素子１２の共振周波数未満でかつ位相が９０°異なる２つの電圧波形の電圧を電極膜１０ａ，１０ｂにそれぞれ印加するように電源２２ａ，２２ｂを制御する。
【００３５】
これにより、圧電素子１２の駆動が非共振駆動であるので、フィンガ８の円運動を用いた高速駆動と圧電素子１２にＤＣ電圧を印加することが可能となり、可動体の位置決めを高精度に行うことができる。
さらに、本実施の形態では、電極膜１０ａ，１０ｂに印加する電圧波形の極性を反転させる極性反転部２４を備える。
【００３６】
これにより、圧電素子１２の回転方向を逆転させることができる。なお、回転方向を逆転させるために、２つの電圧波形の位相関係を反転するよう制御してもよい。
さらに、本実施の形態では、圧電素子１２の変位方向と直交する側面が支持部材２０ａ，２０ｂを介して筐体１６に固定されている。
これにより、支持部材２０ａ，２０ｂにより圧電素子１２の変位方向と直交する方向の姿勢変化を抑制することができる。
【００３７】
上記実施の形態において、フィンガ８は、請求項１または２記載の駆動体に対応し、導線１３は、請求項１または２記載の温度センサに対応し、電極膜１０ａは、請求項４または５記載の第１電極に対応し、電極膜１０ｂは、請求項４または５記載の第２電極に対応し、電極膜１０ｃは、請求項４記載の第３電極に対応している。また、電源２２ａ，２２ｂおよび制御部２６は、請求項４記載の電圧印加手段に対応し、極性反転部２４は、請求項５記載の極性反転手段に対応し、支持部材２０ａ，２０ｂは、請求項８記載の支持体に対応している。
なお、上記実施の形態においては、圧電素子１２の一方の面に２つの電極膜１０ａ，１０ｂを設けた構造の圧電アクチュエータ７に適用したが、これに限らず、圧電素子１２の一方の面に電極膜を４分割して設けた構造の圧電アクチュエータ７に適用することもできる。
【００３８】
図１１は、圧電アクチュエータ７の構造を示す正面図である。
圧電アクチュエータ７は、図１１に示すように、圧電素子１２と、圧電素子１２の一方の面に４分割して設けられた電極膜１０ｄ〜１０ｇと、圧電素子１２の他方の面のほぼ全面に設けられた電極膜（図示せず）と、圧電素子１２の先端部に設けられたフィンガ８とを備えている。
【００３９】
圧電素子１２は、筐体に収められており、筐体内部で４つの支持部材２０ｄ〜２０ｇによって側面が支持されている。支持部材２０ｄ〜２０ｇは、圧電素子１２が交流電圧を印加し振動する際、その振動の節を支持する。また、圧電素子１２の後端と筐体との間に設けられたコイルばね１４によってフィンガ８が走行プレート６に押し付けられるようになっている。
フィンガ８には、上記実施の形態と同様に、その外周に導線１３が巻き付けられている。
【００４０】
なお、図１および図１１の構造の圧電アクチュエータ７に限らず、他の構造の圧電アクチュエータ７にも適用できる。
また、上記実施の形態においては、１つの圧電素子１２を用いて可動体を駆動するように構成したが、これに限らず、複数の圧電素子１２を用いて可動体を駆動するように構成することもできる。
【００４１】
図１２は、２つの圧電素子１２を用いて可動体を駆動する場合を示す図である。
２つの圧電素子１２を用いて可動体を駆動する場合、互いの圧電素子１２は、図１２に示すように、位相差を有して駆動する。その結果、一方の圧電素子１２が走行プレート６から離れていても、他方の圧電素子１２が走行プレート６に接して駆動するため、走行プレート６を常に保持することができ、より安定した駆動が可能となる。駆動力を増したときは、さらに多数の圧電素子１２を用いるとよい。
また、本発明に係る圧電アクチュエータは、上記実施の形態の限らず、本発明の主旨を逸脱しない範囲で他の場合にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】圧電アクチュエータ７の構造を示す正面図である。
【図２】圧電アクチュエータ７の構造を示す斜視図である。
【図３】圧電アクチュエータ７の構造を示す正面図である。
【図４】導線１３を含む結線構成を示す図である。
【図５】導線１３を含む温度検出回路の回路図である。
【図６】導線１３の温度変化に対する抵抗値Ｒ１の変化を示すグラフである。
【図７】導線１３の温度変化に対する電圧値Ｖ２の変化を示すグラフである。
【図８】圧電アクチュエータ７の構造を示すブロック図である。
【図９】圧電アクチュエータ７の駆動状態を示す図である。
【図１０】圧電アクチュエータ７をＤＣ駆動した場合の駆動状態を示す図である。
【図１１】圧電アクチュエータ７の構造を示す正面図である。
【図１２】２つの圧電素子１２を用いて可動体を駆動する場合を示す図である。
【図１３】従来の圧電アクチュエータの構造を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
７                    圧電アクチュエータ
６                    走行プレート
８                    フィンガ
１０ａ〜１０ｇ        電極膜
１２                  圧電素子
１１ａ〜１１ｃ、１３  導線
１６                  筐体
１８                  板ばね
２０ａ〜２０ｇ        支持部材
２２ａ，２２ｂ        電源
２４                  極性反転部
２６                  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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