(57)【要約】【課題】  チャンバの内壁等に付着したダストを、より効果的に除去し、チャンバ外に排出することが可能なレーザ発振器を提供する。【解決手段】  チャンバの内部にレーザ媒質ガスが収容される。ガス供給手段から、チャンバ内にレーザ媒質ガスが供給される。ガス排出手段を経由して、チャンバ内からガスが排出される。チャンバ内に、放電によってレーザ媒質ガスを励起させる放電電極が配置されている。加振装置が、チャンバの壁面を振動させる。これにより、壁面に付着していたダストを除去することができる。除去されたダストは、レーザ媒質ガスと共に、チャンバ外に排出される。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にレーザ媒質ガスを収容するチャンバと、
前記チャンバ内にレーザ媒質ガスを供給するガス供給手段と、
前記チャンバ内からガスを排出するガス排出手段と、
前記チャンバ内に配置され、放電によってレーザ媒質ガスを励起させる放電電極と、
前記チャンバの壁面を振動させる第１の加振装置と
を有するレーザ発振器。
【請求項２】
さらに、前記チャンバ内に配置され、該チャンバ内に収容されたレーザ媒質ガスに含まれるダストを吸着面に吸着する集塵機と、
前記集塵機の吸着面を振動させる第２の加振装置と
を有する請求項１に記載のレーザ発振器。
【請求項３】
前記チャンバの壁面に開口が形成されており、
前記第２の加振装置が、振動を発生させる本体と、本体で発生した振動を伝達させる伝達部材とを含み、該本体が前記チャンバの外に配置されており、該伝達部材が、前記チャンバの壁面に形成された開口を通過してチャンバ内まで導入されており、
前記集塵機が前記伝達部材に取り付けられており、
さらに、前記伝達部材が前記開口内を通過する部分の気密性を確保すると共に、該伝達部材を伝達される振動が前記チャンバの壁面に伝達されることを防止する柔軟性を持つ気密性保持部材を有する請求項２に記載のレーザ発振器。
【請求項４】
内部にレーザ媒質ガスを収容するチャンバと、
前記チャンバ内にレーザ媒質ガスを供給するガス供給手段と、
前記チャンバ内からガスを排出するガス排出手段と、
前記チャンバ内に配置され、放電によってレーザ媒質ガスを励起させる放電電極と、
前記チャンバ内に配置され、該チャンバ内に収容されたレーザ媒質ガスに含まれるダストを吸着面に吸着する集塵機と、
前記集塵機の吸着面を振動させる第２の加振装置と
を有するレーザ発振器。
【請求項５】
前記チャンバの壁面に開口が形成されており、
前記第２の加振装置が、振動を発生させる本体と、本体で発生した振動を伝達させる伝達部材とを含み、該本体が前記チャンバの外に配置されており、該伝達部材が、前記チャンバの壁面に形成された開口を通過してチャンバ内まで導入されており、
前記集塵機が前記伝達部材に取り付けられており、
さらに、前記伝達部材が前記開口内を通過する部分の気密性を確保すると共に、該伝達部材を伝達される振動が前記チャンバの壁面に伝達されることを防止する柔軟性を持つ気密性保持部材を有する請求項４に記載のレーザ発振器。
【請求項６】
（ａ）内部にレーザ媒質ガスを収容するチャンバの壁面を振動させて、該壁面の内面に付着しているダストを剥離させる工程と、
（ｂ）剥離したダストと共に、前記チャンバ内のレーザ媒質ガスを該チャンバ内から排出する工程と
を有するレーザ発振器のダスト除去方法。
【請求項７】
前記工程ｂにおいて、前記チャンバ内で前記レーザ媒質ガスを強制的に循環させながらレーザ媒質ガスを排出する請求項６に記載のダスト除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ媒質としてガスを用いたレーザ発振器、及びレーザ発振器のチャンバ内に付着したダストを除去する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
パルス放電方式のガスレーザ発振器では、レーザ媒質ガスをチャンバ内に封入し、その中で放電を生じさせ、レーザ光を発生させる。その際、放電によってスパッタ現象が生じ、ダストが発生する。発生したダストは、レーザ性能を低下させる要因になる。レーザ媒質ガス中に浮遊するダストは、レーザ媒質ガスを交換する際に、ガスと一緒にチャンバから排出される。ところが、チャンバの内壁に付着し、堆積したダストは排除しきれない。
【０００３】
下記の特許文献１に開示されたガスレーザ装置では、チャンバ内の所要部位に向けてパージガスを噴射させることにより、各部位に堆積したダストを吹き飛ばし、チャンバ外に排出する。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３５４８６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、チャンバの内壁等に付着したダストを、より効果的に除去し、チャンバ外に排出することが可能なレーザ発振器及びダスト除去方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一観点によれば、内部にレーザ媒質ガスを収容するチャンバと、前記チャンバ内にレーザ媒質ガスを供給するガス供給手段と、前記チャンバ内からガスを排出するガス排出手段と、前記チャンバ内に配置され、放電によってレーザ媒質ガスを励起させる放電電極と、前記チャンバの壁面を振動させる第１の加振装置とを有するレーザ発振器が提供される。
【０００７】
本発明の他の観点によると、内部にレーザ媒質ガスを収容するチャンバと、前記チャンバ内にレーザ媒質ガスを供給するガス供給手段と、前記チャンバ内からガスを排出するガス排出手段と、前記チャンバ内に配置され、放電によってレーザ媒質ガスを励起させる放電電極と、前記チャンバ内に配置され、該チャンバ内に収容されたレーザ媒質ガスに含まれるダストを吸着面に吸着する集塵機と、前記集塵機の吸着面を振動させる第２の加振装置とを有するレーザ発振器画提供される。
【０００８】
さらに、本発明の他の観点によると、（ａ）内部にレーザ媒質ガスを収容するチャンバの壁面を振動させて、該壁面の内面に付着しているダストを剥離させる工程と、（ｂ）剥離したダストと共に、前記チャンバ内のレーザ媒質ガスを該チャンバ内から排出する工程とを有するレーザ発振器のダスト除去方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
チャンバの壁面や集塵機の吸着面を振動させることにより、その上に付着しているダストを除去することができる。除去されたダストは、レーザ媒質ガスと共に、ガス排出手段からチャンバ外に排出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１及び図２に、実施例によるエキシマレーザ発振器の断面図を示す。図１は、レーザビームの伝搬方向に直交する断面図を示し、図２は、レーザビームの伝搬方向に平行な断面図を示す。なお、下記に説明する実施例は、エキシマレーザ発振器のみではなく、他のガスレーザ発振器にも適用することが可能である。
【００１１】
図１及び図２に示すように、チャンバ１内に、中心部材２、放電電極３、ブロワ４、熱交換器５、及び集塵機６が配置されている。チャンバ１は、断面が楕円状の側壁１Ａ、及びその両端を塞ぐ蓋１Ｂにより構成されており、内部に、密閉された空間が画定される。中心部材２は、チャンバ１内に、その軸方向に延在するように配置され、その周囲に、断面が環状の空間を形成する。
【００１２】
ガス供給管２０からチャンバ１内に、レーザ媒質ガスが供給される。ガス排出管２１から、チャンバ１内のレーザ媒質ガスが排出される。
【００１３】
放電電極３は、チャンバ１の軸方向に延在する一対の導体で構成され、その間の空間に放電を生じさせる。放電電極３により挟まれた空間をチャンバ１の軸方向に延長した領域と、蓋１Ｂとが交差する部分に、開口が形成され、この開口にウィンドウ８が取り付けられている。放電電極３の間に発生したレーザ光が、ウィンドウ８を通過してチャンバ１の外に放出される。
【００１４】
ブロワ４は、チャンバ１内のレーザ媒質ガスを循環させる。熱交換器５は、レーザ媒質ガスを冷却する。集塵機６は、レーザ媒質ガス内に浮遊するダストを、その吸着面に吸着する。集塵機６として、例えば静電気力を利用したもの、または化学反応を利用したもの等を用いることができる。
【００１５】
チャンバ１の外側に第１の加振装置１０が配置されている。第１の加振装置１０は、振動を発生させる本体１０Ａと、本体１０Ａで発生した振動を伝達させる振動伝達部材１０Ｂにより構成される。振動伝達部材１０Ｂの先端が、チャンバ１の側壁１Ａに固定されている。第１の加振装置１０を動作させることにより、チャンバ１の側壁１Ａを振動させることができる。第１の加振装置１０として、チャンバ１の側壁１Ａの肉厚及び剛性に応じて、側壁１Ａを振動させるのに十分な強度の振動を発生させることが可能な装置が用いられる。チャンバ１の側壁１Ａを振動させることにより、側壁１Ａの内面に付着したダストを飛散させることができる。
【００１６】
チャンバ１の側壁１Ａに、開口７が形成されている。チャンバ１の外側に第２の加振装置１５の本体１５Ａが配置されている。本体１５Ａに取り付けられた振動伝達部材１５Ｂが、開口７を通過してチャンバ１内まで導入されている。振動伝達部材１５Ｂの先端に、集塵機６が取り付けられている。振動伝達部材１５Ｂが開口７を通過する部分は、真空ベローズ１２により気密性が確保されている。
【００１７】
本体１５Ａで発生した振動が振動伝達部材１５Ｂによって集塵機６の吸着面に伝達される。集塵機６の吸着面を振動させることにより、吸着面に吸着されたダストを飛散させることができる。真空ベローズ１２は、振動伝達部材１５Ｂを伝達される振動がチャンバ１の壁面に伝達されることを防止する柔軟性を持つ。
【００１８】
次に、チャンバ１の内壁及び集塵機６の吸着面に付着したダストを除去する手順について説明する。レーザ発振器の動作時には、チャンバ１内が、大気圧以上に加圧されている。
【００１９】
まず、第１の加振装置１０及び第２の加振装置１５を動作させて、チャンバ１の側壁１Ａの内面に付着しているダスト及び集塵機６に付着しているダストを飛散させる。ガス排出管２１を開放して、チャンバ１内のレーザ媒質ガスをチャンバ１の外に排出する。このとき、側壁１Ａ及び集塵機６から飛散したダストが、レーザ媒質ガスと共にチャンバ１の外に排出される。
【００２０】
ガス排出後、ガス供給管２０からチャンバ１内に新しいレーザ媒質ガスを導入する。
【００２１】
第１の加振装置１０及び第２の加振装置１５により、側壁１Ａ及び集塵機６の吸着面を振動させている期間、及びレーザ媒質ガスを排出している期間に、ブロワ４を動作させておくことが好ましい。ブロワ４を動作させておくことにより、飛散したダストがチャンバ１の底面に堆積することを防止し、効率よくダストを排出することができる。
【００２２】
第１の加振装置１０及び第２の加振装置１５により発生させる振動の周波数は、側壁１Ａや集塵機６の吸着面に付着したダストを効率的に飛散させることができる高さとすることが好ましい。例えば、１０００〜５０００Ｈｚ程度とすることが好ましい。
【００２３】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施例によるレーザ発振器の断面図である。
【図２】実施例によるレーザ発振器の断面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  チャンバ
１Ａ  側壁
１Ｂ  蓋
２  中心部材
３  放電電極
４  ブロワ
５  熱交換器
６  集塵機
７  開口
８  ウィンドウ
１０  第１の加振装置
１０Ａ、１５Ａ  本体
１０Ｂ、１５Ｂ  振動伝達部材
１２  真空ベローズ
１５  第２の加振装置
２０  ガス供給管
２１  ガス排出管
【図１】
2007258559.tif 000003
【図２】
2007258559.tif 000004