(57)【要約】【課題】板状部材の有無並びに、飛び出しの双方についてもいずれも検出が可能で、かつ装置の小型化を図ることを課題とする。【解決手段】  検出センサ３０は、センサヘッド４０と、センサアンプ７０と、光ファイバＦ１〜Ｆ４と、から構成される。センサヘッド４０には、検出光軸Ｌ１と、検出光軸Ｌ２の２光軸が設定されている。検出光軸Ｌ１は、正規収容状態にあるウエハＷの端部を、図４における左右に横切るような配置とされているのに対し、検出光軸Ｌ２は、正規収容状態のウエハＷを避けるように光軸Ｌを取出口１２側に平行移動させた位置にある。すなわち、検出光軸Ｌ２は、ウエハＷが正規収容状態にある場合にはこれを横切らず、ウエハＷが正規収容状態から取出口１２側に飛び出した状態となったときに、ウエハＷの端部を左右に横切るような設定になっている。これにより、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２について、センサヘッド４０の共用化を図ることが出来る。【選択図】図２
2007324365.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面が取出口として開口する収容体に、隙間を空けて重ねて収容される板状部材を検出対象とする検出センサであって、
前記板状部材の側方にあって前記板状部材の重ね方向にほぼ直交する方向に検出光を出射可能な光出射部と、前記光出射部と対をなして検出光軸を形成する光受部と、からなる光検出手段を有するセンサヘッドと、
前記センサヘッドが接続され、前記センサヘッドの光受部で受けた光の光量に基づいて前記板状部材の判定を行なう判定手段を備えるセンサアンプとを備え、前記取出口の近傍において前記センサヘッドを前記板状部材の重ね方向に移動させつつ検出を行なうものであるとともに、
前記センサヘッドには、前記光検出手段として、
第一の検出光軸を形成する第一光検出手段と、第二の検出光軸を形成する第二光検出手段の二つの光検出手段が設けられ、
前記第一の光検出手段の第一の検出光軸は、前記収容体に前記板状部材が収められている収容状態のときに、同板状部材をその端面方向から横切るように設定とされているのに対し、
第二の光検出手段の第二の検出光軸は、前記板状部材が前記収容状態にあるときには同板状部材を横切らず、板状部材が取出口側に飛び出した飛出状態にあるときに、同板状部材をその端面方向から横切る設定とされ、
前記センサアンプの判定手段は、前記第一検出光軸の検出光を受光して得られる受光信号のレベル並びに、前記第二検出光軸の検出光を受光して得られる受光信号のレベルに基づいて、前記各板状部材の有無、並びに飛び出しを検出することを特徴とする検出センサ。
【請求項２】
前記センサヘッドは前記板状部材の端面方向において、同板状部材の両側に対向配置される一対の検出ヘッドからなり、
同検出ヘッドのうちの、一方側の検出ヘッドに光出射部が設定され、
相手側となる他方側の検出ヘッドに光受部が設置され、
前記光出射部から出射された光を、前記光受部で受けることで前記各検出光軸を形成することを特徴とする請求項１に記載の検出センサ。
【請求項３】
前記センサヘッドは前記板状部材の端面方向において、同板状部材の両側に対向配置される一対の検出ヘッドからなり、
同検出ヘッドのうちの、一方側の検出ヘッドに前記光出射部並びに前記光受部が共に設置され、
相手側となる他方側の検出ヘッドに反射体が設置され、
前記光出射部より出射された光を前記反射体で出射側に反射させ、この光を光受部で受けることで前記各検出光軸を形成することを特徴とする請求項１に記載の検出センサ。
【請求項４】
前記収容体に、隙間を空けて重ねて収容される板状部材同士の対向間隔をＤと定義したときに、
前記検出ヘッドの内部に、同検出ヘッドから出射される検出光を絞る絞り手段が設けられるとともに、
前記検出光は、前記絞り手段により、前記板状部材の中心付近に達したときの光芒ｄが、少なくとも、検出対象となる板状部材に隣接する板状部材同士の対向間隔Ｚより狭くなるように前記検出ヘッド内において絞られて出射されることを特徴とする請求項２又は請求３に記載の検出センサ。
【請求項５】
前記センサアンプには検出光を投光する投光素子並びに、検出光を受光するための受光素子がそれぞれ内蔵されるとともに、
投光側となる検出ヘッドには前記光出射部とされた出射窓が設けられる一方、受光側となる検出ヘッドには前記光受部とされた受光窓が設けられ、
前記センサアンプと投光側となる検出ヘッドとの間が、投光用光ファイバにより接続され、
前記センサアンプと受光側となる検出ヘッドとの間が、受光用光ファイバにより接続され、
前記センサアンプ内の投光素子によって投光された光は投光用光ファイバ内を伝送された後、投光側の検出ヘッドの前記出射窓から出射されるとともに、
出射された検出光は受光側となる検出ヘッドに設けられる前記受光窓を通って受光用光ファイバに導かれて、同光ファイバ内を伝送された後、受光素子により受光されることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項６】
前記第二の検出光軸は、前記第一の検出光軸に対して前記センサヘッドの移動方向について前側にあって、前記第二の検出光軸が前記第一の検出光軸よりも早いタイミングで、前記板状部材を通過することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項７】
前記検出ヘッドのうち、前記板状部材に向けて配置される先端は、第二の検出光軸に対応する部分が段差状に切り欠かれ、当該切り欠かれた部分が前記板状部材に対する逃がしとなっていることを特徴とする請求項６に記載の検出センサ。
【請求項８】
前記センサアンプに、前記センサヘッドの移動に応じた外部からのタイミング信号が入力される信号入力部が設けられ、
受光側においては、第一の検出光軸用の受光素子と前記第二の検出光軸用の受光素子が、単一の受光素子により共用化され、
前記判定手段は、前記タイミング信号に基づいて、前記共用化された受光素子の受光信号を取り込むことで、
前記第一の検出光軸が前記板状部材を通過する時の受光信号と、
前記第二の検出光軸が前記板状部材を通過する時の受光信号と、を判別することを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の検出センサ。
【請求項９】
前記第一の検出光軸と、前記第二の検出光軸とは前記センサヘッドの移動方向について同じ高さ位置にあって、前記センサヘッドを移動させると、両検出光軸が前記板状部材をほぼ同時に通過する構成であるとともに、
前記両検出光軸用の受光素子が単一の受光素子により共用化され、
前記センサアンプには、共用化された単一の受光素子から出力される受光信号に関し、両検出光軸の双方が遮光されていない状態に対応する第一の基準レベルと、両検出光軸の双方がいずれも遮光された状態に対応する第二の基準レベルが予め設定され、
前記判定手段は、これら予め設定された第一・第二の基準レベルと、前記受光信号の信号レベルを大小比較する処理を行なうことで、前記各板状部材の有無、並びに飛び出しを検出することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項１０】
一の投光素子から出射された検出光を２つの検出光として分岐させる光分岐手段が設けられていることを特徴とする請求項８又は、請求項９に記載の検出センサ。
【請求項１１】
投光側となる検出ヘッドと、前記センサアンプとの間には、２つの検出光軸に対応して２つの投光用光ファイバが設けられるとともに、
前記センサアンプには、前記光分岐手段が設けられ、同光分岐手段によって分岐された２つの検出光が、前記各投光用光ファイバにそれぞれ導かれる構成としてあることを特徴とする請求項１０に記載の検出センサ。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項１１のいずれかに記載の検出センサと、
前記検出センサを構成するセンサヘッドを前記取出口の近傍において前記板状部材の重ね方向に移動させる移動手段と、
前記移動手段によるセンサヘッドの移動を制御する制御手段と、を備えた検出装置。
【請求項１３】
前記センサアンプの判定手段は、前記センサヘッドが一の板状部材に対応する位置を通過するごとに前記受光信号を取り込んで、同板状部材についての収容状況を随時判定する構成であり、かつ同判定により板状部材の飛び出しが検出されたときには、前記制御手段にエラー出力を行なって、前記センサヘッドの移動を停止させることを特徴とする請求項１２に記載の検出装置。
【請求項１４】
請求項７に記載の検出センサと、前記検出センサを構成するセンサヘッドを前記取出口の近傍において前記板状部材の重ね方向に移動させる移動手段と、前記移動手段によるセンサヘッドの移動を制御する制御手段と、を備え、
前記センサアンプの判定手段は、前記センサヘッドが一の板状部材に対応する位置を通過するごとに前記受光信号を取り込んで、同板状部材についての収容状況を随時判定する構成であり、かつ同判定により板状部材の飛び出しが検出されたときには、前記制御手段にエラー出力を行なって、前記センサヘッドの移動を停止させることを特徴とする検出装置。
【請求項１５】
一面が取出口として開口する収容体に、隙間を空けて重ねて収容される板状部材を検出対象とし、前記取出口の近傍において前記板状部材の重ね方向に移動可能に支持されるセンサヘッドであって、
前記板状部材の側方にあって前記板状部材の重ね方向にほぼ直交する方向に検出光を出射可能な第一の光出射部と前記第一の光出射部と対をなして第一の検出光軸を形成する第一の光受部と、からなる第一の光検出手段と、
前記板状部材の重ね方向にほぼ直交する方向に検出光を出射可能な第二光出射部と前記第二光出射部と対をなして第二の検出光軸を形成する第二の光受部と、からなる第二の光検出手段とが設けられ、
前記第一の光検出手段の第一の検出光軸は、前記収容体に前記板状部材が収められている収容状態のときに、同板状部材をその端面方向から横切るように設定とされているのに対し、
第二の光検出手段の第二の検出光軸は、前記板状部材が前記収容状態にあるときには同板状部材を横切らず、板状部材が取出口側に飛び出した飛出状態にあるときに、同板状部材をその端面方向から横切る設定とされ、
更に、前記第二の検出光軸は、前記第一の検出光軸に対して前記センサヘッドの移動方向について前側にあって、前記第二の検出光軸が前記第一の検出光軸よりも早いタイミングで、前記板状部材を通過することを特徴とするセンサヘッド。
【請求項１６】
前記検出ヘッドのうち、前記板状部材に向けて配置される先端は、第二の検出光軸に対応する部分が段差状に切り欠かれ、当該切り欠かれた部分が前記板状部材に対する逃がしとなっていることを特徴とする請求項１５に記載のセンサヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多段に収容される板状部材について検出を行なうためのセンサヘッド、並びにそれを用いた検出センサ、検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程では、一側面が取り出し口として開口する箱状のカセットに複数枚のシリコンウエハ等を多段に収容した状態で、取り扱われることがある。これは、熱処理や拡散処理等をカセットに収容した状態で一括処理するためであるが、シリコンウエハは、前述の処理に続いて専用の装置によって取り出されるので、カセットに対して出し入れ自在な状態となっている。すなわち、ウエハはカセットに対して固定されていないため、例えば、各工程間を移動している間にカセットから飛び出した状態となることがある。また、場合によっては、カセットに収容をし忘れて、あるべき位置にウエハが元から収容されていないこともある。
上述の点を鑑み、熱処理や拡散処理等が既に完了したウエハをカセットから取り出すに先立って、カセット内におけるウエハの収容状況、すなわちウエハの有無並びに、カセットからの飛び出しを検出することが行なわれ、この種の技術が種々提案されている（下記特許文献１、特許文献２）。
【０００３】
特許文献１のものは、ウエハを間に挟んで第一のアームと、第二のアームを対向配置している。各アームにはそれぞれ発光素子、受光素子が設置され、両間において光を投光・受光するようになっている。そして、受光素子の出力情報に基づいてウエハの有無を検出している（特許文献１中の図３参照）。一方、特許文献２のものでは、カセットの開口部分に光軸を上下に向けて投光ヘッドと、受光ヘッドを配置して、ウエハの飛び出しを検出している（特許文献２中の図１参照）。
【特許文献１】特許２８６８６４５号
【特許文献２】特開２００３−１７５４８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のようにウエハの有無並びに、飛び出しをそれぞれ検出する専用の装置は既に、提案されているが、近年では、これらを単一の装置により検出したいという要請がある。
しかしながら、特許文献１のものでは、ウエハの周面に横から光を当てて検出を行なう形式であるのに対し、特許文献２のものは、ウエハの板面上に垂直に光を当てて検出を行なう形式であるため、一の装置に統合できない。仮に、統合できたとしても、検出光軸として互いに直交する２光軸を必要とするため装置が大型化し、また、各投光素子、受光素子をそれぞれ個別に保持する必要があるるので部品点数も多くなるという問題がある。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、板状部材の有無並びに、飛び出しの双方についてもいずれも検出が可能で、かつ装置を最小限のサイズに収めることが可能な検出センサ等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、一面が取出口として開口する収容体に、隙間を空けて重ねて収容される板状部材を検出対象とする検出センサであって、前記板状部材の側方にあって前記板状部材の重ね方向にほぼ直交する方向に検出光を出射可能な光出射部と、前記光出射部と対をなして検出光軸を形成する光受部と、からなる光検出手段を有するセンサヘッドと、前記センサヘッドが接続され、前記センサヘッドの光受部で受けた光の光量に基づいて前記板状部材の判定を行なう判定手段を備えるセンサアンプとを備え、前記取出口の近傍において前記センサヘッドを前記板状部材の重ね方向に移動させつつ検出を行なうものであるとともに、前記センサヘッドには、前記光検出手段として、第一の検出光軸を形成する第一光検出手段と、第二の検出光軸を形成する第二光検出手段の二つの光検出手段が設けられ、前記第一の光検出手段の第一の検出光軸は、前記収容体に前記板状部材が収められている収容状態のときに、同板状部材をその端面方向から横切るように設定とされているのに対し、第二の光検出手段の第二の検出光軸は、前記板状部材が前記収容状態にあるときには同板状部材を横切らず、板状部材が取出口側に飛び出した飛出状態にあるときに、同板状部材をその端面方向から横切る設定とされ、前記センサアンプの判定手段は、前記第一検出光軸の検出光を受光して得られる受光信号のレベル並びに、前記第二検出光軸の検出光を受光して得られる受光信号のレベルに基づいて、前記各板状部材の有無、並びに飛び出しを検出するところに特徴を有する・
【０００６】
請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記センサヘッドは前記板状部材の端面方向において、同板状部材の両側に対向配置される一対の検出ヘッドからなり、同検出ヘッドのうちの、一方側の検出ヘッドには光出射部が設置され、相手側となる他方側の検出ヘッドには光受部が設置され、前記光出射部から出射された光を、前記光受部で受けることで前記各検出光軸を形成するところに特徴を有する。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記センサヘッドは前記板状部材の端面方向において、同板状部材の両側に対向配置される一対の検出ヘッドからなり、同検出ヘッドのうちの、一方側の検出ヘッドに前記光出射部並びに前記光受部が共に設置され、相手側となる他方側の検出ヘッドに反射体が設置され、前記光出射部より出射された光を前記反射体で出射側に反射させ、この光を光受部で受けることで前記各検出光軸を形成するところに特徴を有する。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項２又は請求項３に記載のものにおいて、前記収容体に、隙間を空けて重ねて収容される板状部材同士の対向間隔をＤと定義したときに、前記検出ヘッドの内部に、同検出ヘッドから出射される検出光を絞る絞り手段が設けられるとともに、前記検出光は、前記絞り手段により、前記板状部材の中心付近に達したときの光芒ｄが、少なくとも、検出対象となる板状部材に隣接する板状部材同士の対向間隔Ｚより狭くなるように前記検出ヘッド内において絞られて出射されるところに特徴を有する。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項２ないし請求項４のいずれかに記載のものにおいて、前記センサアンプには検出光を投光する投光素子並びに、検出光を受光するための受光素子がそれぞれ内蔵されるとともに、投光側となる検出ヘッドには前記光出射部とされた出射窓が設けられる一方、受光側となる検出ヘッドには前記光受部とされた受光窓が設けられ、前記センサアンプと投光側となる検出ヘッドとの間が、投光用光ファイバにより接続され、前記センサアンプと受光側となる検出ヘッドとの間が、受光用光ファイバにより接続され、前記センサアンプ内の投光素子によって投光された光は投光用光ファイバ内を伝送された後、投光側の検出ヘッドの前記出射窓から出射されるとともに、出射された検出光は受光側となる検出ヘッドに設けられる前記受光窓を通って受光用光ファイバに導かれて、同光ファイバ内を伝送された後、受光素子により受光されるところに特徴を有する。
【００１０】
請求項６の発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のものにおいて、前記第二の検出光軸は、前記第一の検出光軸に対して前記センサヘッドの移動方向について前側にあって、前記第二の検出光軸が前記第一の検出光軸よりも早いタイミングで、前記板状部材を通過するところに特徴を有する。
【００１１】
請求項７の発明は、請求項６に記載のものにおいて、前記検出ヘッドのうち、前記板状部材に向けて配置される先端は、第二の検出光軸に対応する部分が段差状に切り欠かれ、当該切り欠かれた部分が前記板状部材に対する逃がしとなっているところに特徴を有する。
【００１２】
請求項８の発明は、請求項６又は請求項７に記載のものにおいて、前記センサアンプに、前記センサヘッドの移動に応じた外部からのタイミング信号が入力される信号入力部が設けられ、受光側においては、第一の検出光軸用の受光素子と前記第二の検出光軸用の受光素子が、単一の受光素子により共用化され、前記判定手段は、前記タイミング信号に基づいて、前記共用化された受光素子の受光信号を取り込むことで、前記第一の検出光軸が前記板状部材を通過する時の受光信号と、前記第二の検出光軸が前記板状部材を通過する時の受光信号と、を判別するところに特徴を有する。
【００１３】
請求項９の発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のものにおいて、前記第一の検出光軸と、前記第二の検出光軸とは前記センサヘッドの移動方向について同じ高さ位置にあって、前記センサヘッドを移動させると、両検出光軸が前記板状部材をほぼ同時に通過する構成であるとともに、前記両検出光軸用の受光素子が単一の受光素子により共用化され、前記センサアンプには、共用化された単一の受光素子から出力される受光信号に関し、両検出光軸の双方が遮光されていない状態に対応する第一の基準レベルと、両検出光軸の双方がいずれも遮光された状態に対応する第二の基準レベルが予め設定され、前記判定手段は、これら予め設定された第一・第二の基準レベルと、前記受光信号の信号レベルを大小比較する処理を行なうことで、前記各板状部材の有無、並びに飛び出しを検出するところに特徴を有する。
【００１４】
請求項１０の発明は、請求項８又は請求項９に記載のものにおいて、一の投光素子から出射された検出光を２つの検出光として分岐させる光分岐手段が設けられているところに特徴を有する。
【００１５】
請求項１１の発明は、請求項１０に記載のものにおいて、投光側となる検出ヘッドと、前記センサアンプとの間には、２つの検出光軸に対応して２つの投光用光ファイバが設けられるとともに、前記センサアンプには、前記光分岐手段が設けられ、同光分岐手段によって分岐された２つの検出光が、前記各投光用光ファイバにそれぞれ導かれる構成としてあるところに特徴を有する。
【００１６】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１２の発明は、請求項１ないし請求項１１のいずれかに記載の検出センサと、前記検出センサを構成するセンサヘッドを前記取出口の近傍において前記板状部材の重ね方向に移動させる移動手段と、前記移動手段によるセンサヘッドの移動を制御する制御手段と、を備える。
【００１７】
請求項１３の発明は、請求項１２に記載のものにおいて、前記センサアンプの判定手段は、前記センサヘッドが一の板状部材に対応する位置を通過するごとに前記受光信号を取り込んで、同板状部材についての収容状況を随時判定する構成であり、かつ同判定により板状部材の飛び出しが検出されたときには、前記制御手段にエラー出力を行なって、前記センサヘッドの移動を停止させるところに特徴を有する。
【００１８】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１４の発明は、請求項７に記載の検出センサと、前記検出センサを構成するセンサヘッドを前記取出口の近傍において前記板状部材の重ね方向に移動させる移動手段と、前記移動手段によるセンサヘッドの移動を制御する制御手段と、を備え、前記センサアンプの判定手段は、前記センサヘッドが一の板状部材に対応する位置を通過するごとに前記受光信号を取り込んで、同板状部材についての収容状況を随時判定する構成であり、かつ同判定により板状部材の飛び出しが検出されたときには、前記制御手段にエラー出力を行なって、前記センサヘッドの移動を停止させるところに特徴を有する。
【００１９】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１５の発明は、一面が取出口として開口する収容体に、隙間を空けて重ねて収容される板状部材を検出対象とし、前記取出口の近傍において前記板状部材の重ね方向に移動可能に支持されるセンサヘッドであって、前記板状部材の側方にあって前記板状部材の重ね方向にほぼ直交する方向に検出光を出射可能な第一の光出射部と前記第一の光出射部と対をなして第一の検出光軸を形成する第一の光受部と、からなる第一の光検出手段と、前記板状部材の重ね方向にほぼ直交する方向に検出光を出射可能な第二光出射部と前記第二光出射部と対をなして第二の検出光軸を形成する第二の光受部と、からなる第二の光検出手段とが設けられ、前記第一の光検出手段の第一の検出光軸は、前記収容体に前記板状部材が収められている収容状態のときに、同板状部材をその端面方向から横切るように設定とされているのに対し、第二の光検出手段の第二の検出光軸は、前記板状部材が前記収容状態にあるときには同板状部材を横切らず、板状部材が取出口側に飛び出した飛出状態にあるときに、同板状部材をその端面方向から横切る設定とされ、更に、前記第二の検出光軸は、前記第一の検出光軸に対して前記センサヘッドの移動方向について前側にあって、前記第二の検出光軸が前記第一の検出光軸よりも早いタイミングで、前記板状部材を通過するところに特徴を有する。
【００２０】
請求項１６の発明は、請求項１５に記載のものにおいて、前記検出ヘッドのうち、前記板状部材に向けて配置される先端は、第二の検出光軸に対応する部分が段差状に切り欠かれ、当該切り欠かれた部分が前記板状部材に対する逃がしとなっているところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００２１】
＜請求項１並びに請求項１２の発明＞
請求項１並びに請求項１１の発明によれば、前記収容体に前記板状部材が収められている収容状態のときに、同板状部材を横切るような第一の検出光軸と、板状部材が収容状態にあるときには板状部材を横切らず、板状部材が取出口側に飛び出した飛出状態にあるときに、板状部材を横切る第二の検出光軸の２軸を設定した。このような構成であれば、従来に見られるように、板状部材に対して板面に垂直に光を照射することなく、端面方向からの光で飛び出しの有無についても検出できる。すなわち、本発明であれば、第一の検出光軸、第二の検出光軸の２光軸を必要とするものの、板状部材の有無、並びに飛び出しの双方の検出を、板状部材に対してその端面方向から光を出射する検出形式で実現出来る。このような構成であれば、第一の検出光軸のセンサヘッド、第二の検出光軸用のセンサヘッドをそれぞれ個別に設ける必要がなくなるので、装置の小型化を容易に行なうことが出来る。
【００２２】
＜請求項２の発明＞
光電式の検出センサには、いわゆる反射型のものと、透過型のものがある。反射型のものでは、検出対象で反射された光を受光することとしており、検出対象の有無は、この反射光の光量に基づいて判別される。本発明では、板状部材に対して側方から光を出射するので、反射型の光電センサを使用した場合には、板状部材の周面で反射した反射光を受光することとなるが、板状部材の周面は面が粗いことが多く、そこでは一般に乱反射が起こる。そのため、光の反射方向が定まらず、板状部材が検出領域中にあっても受光される光量は微量であることが予想される。すなわち、板状部材が有る状態と無い状態とで、受光信号のレベルに変化が現れ難く検出精度を高く出来ない。
【００２３】
この点に関し、請求項２の発明によれば、光出射部と光受部とを検出領域を挟んで対向配置させて検出光軸を形成させる構成とした。これにより、検出領域中に板状部材がない場合には、出射した光がそのまま、相手側で受光される。一方、検出領域に遮光物体（板状部材）が位置していると、そこで光が遮光される結果、相手側に達する光量が大きく減少し、これをもって、検出光軸の遮光が検出される（いわゆる透過型）。このように、検出光軸の遮光を使用する透過型のものであれば、必然的に板状部材が有る状態と無い状態とで、受光信号のレベルの変化が顕著に現れるので、検出精度が高く出来る。
【００２４】
＜請求項３の発明＞
請求項３の発明によれば、検出ヘッドの一方側に光出射部並びに光受部を共に配し、相手側となる他方側の検出ヘッドを反射体により構成した。このように、一方側の検出ヘッドを反射体により構成してやれば、反射面が有る程度大きなものを使用することで、両検出ヘッドに相対的な位置ずれがあったとしても、光出射部より出射された光を、反射体で出射側に反射させることが出来る。あとは、反射された光を光受部で受けるだけでよく、従って、両検出ヘッド間のシビアな位置合わせ作業が不要になる。
【００２５】
＜請求項４の発明＞
請求項４の発明によれば、絞り手段を設けて、板状部材の中心付近に達したときの光芒ｄが、少なくとも、検出対象となる板状部材に隣接する板状部材同士の対向間隔Ｚより狭くなるようにした。このような構成であれば、検出の対象とされる板状部材に隣接する他の板状部材で反射された光が、光受部において結像することがなく、これにより、反射光に起因する測定誤差を抑えることが出来る。
【００２６】
＜請求項５の発明＞
請求項５の発明によれば、投光素子、並びに受光素子をセンサアンプに内蔵させ、検出ヘッド側には設置しないこととした。このような構成であれば、検出ヘッドの小型化を進める上で好適な構成であるし、また、発火の恐れがあるような状況下においても問題なく使用できる。
【００２７】
＜請求項６並びに請求項１５の発明＞
請求項６の発明並びに請求項１５の発明によれば、第二の検出光軸すなわち、板状部材の飛び出しを検出する光軸が、第一の検出光軸すなわち、板状部材の有無を検出する光軸より先に板状部材を通過する構成とした。このような構成であれば、板状部材の有無に先立って、板状部材の飛び出しを検出することができる。板状部材の飛び出し具合によっては、周囲の装置に干渉することもあるので、飛び出しを先に検出することで、このような干渉を早期に回避することが出来る。
【００２８】
＜請求項７並びに請求項１６の発明＞
請求項７並びに請求項１６の発明によれば、検出ヘッドは先端が段差状をなし、第二の検出光軸に対応する部分が逃がされている。検出ヘッドの第二の検出光軸と対応する部分は、先に板状部材に接近するが、ここに、逃がしを設けることで、仮に、板状部材が飛び出した状態にあったとしても、それとの干渉を回避できる。
なお、そのまま検出ヘッド全体を移動させてゆくと、検出ヘッドの第二の検出光軸に対応する部分に続いて、今度は、検出ヘッドの第一の検出光軸に対応する部分が、飛び出した板状部材に接近してゆくので、やがて、干渉することとなるが、第二の検出光軸により板状部材の飛び出しを検出することが出来るので、検出ヘッドの第一の検出光軸に対応する部分が板状部材に干渉する前に検出ヘッドの移動そのものを停止してやれば、係る干渉についても、未然に回避できる。
【００２９】
＜請求項８の発明＞
請求項８の発明によれば、第一の検出光軸用の投光素子と、前記第二の検出光軸用の投光素子がそれぞれ専用に設けて、これらを交互に時分割投光させる構成とした。このような構成であれば、受光素子を共用化しても、投光タイミングに同期させて受光信号を検出することで、共通の受光素子から出力される信号について、検出光軸の別、すなわち第一の検出光軸の光を受光した受光信号が、第二の検出光軸の光を受光した受光信号か判別出来る。
【００３０】
＜請求項９の発明＞
請求項９の発明によれば、一の検出光軸と、第二の検出光軸の両光軸をセンサヘッドの移動方向について同じ高さ位置に配して、板状部材の有無並びに、飛び出しを同時検出するようにした。このような構成であれば、検出の高速化に好適である。また、同時検出を行なうと、板状部材が無い状態であれば、２光軸ともに同時に透過の状態になるのに対し、板状部材が飛び出した状態にあれば、２光軸とも同時に遮光される。そのため、２光軸透過に対応する基準値（第一の基準レベル）と、２光軸遮光に対応する基準値（第二の基準値レベル）を予め設定しておけば、共用化された受光素子の出力信号を、これらと比較することで、板状部材の有無、飛び出しを知ることが出来る。
【００３１】
＜請求項１０並びに請求項１１の発明＞
請求項１０の発明によれば、光分岐手段を設けて、検出光を分岐させる構成とした。これにより、両検出光軸間において、投光素子を共用化出来るので、低コスト化に寄与する。また、請求項１１の発明によれば、光分岐手段をセンサアンプに内蔵させた。
【００３２】
＜請求項１３並びに請求項１４の発明＞
請求項１３の発明によれば、板状部材の飛び出しが検出されたときには、前記制御手段にエラー出力を行なって、センサヘッドの移動を停止させることとした。これにより、飛び出した板状部材を早期に正規状態に戻すことが可能となり、センサヘッドを含む周辺装置との干渉を回避できる。
【００３３】
また、請求項１４の発明によれば、検出ヘッドは先端が段差状をなし、第二の検出光軸に対応する部分が逃がされている。検出ヘッドの第二の検出光軸と対応する部分は、先に板状部材に接近するが、ここに、逃がしを設けることで、仮に、板状部材が飛び出した状態にあったとしても、それとの干渉を回避（板状部材の破損防止に効果的）できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図６によって説明する。
図１には、シリコンウエハＷ（本発明の板状部材に相当するものであって、以下、ウエハＷと称する）を収容するカセット１０が示されている。カセット１０はボックス状をなし、前面が開口している。カセット１０の左右の内壁には、ウエハＷを下支えする支持溝１１が、上下方向に複数段形成されている。
尚、以下の説明において前後方向を、以下のように定義するものとする。すなわち、カセット１０については、取付口１２が設けられた側を前側、これと対向する奥壁側を後側とする。一方、後述するセンサヘッド４０については、カセット１０の取付口１２に差し込まれる側を前側とし、これとは反対の側（光ファイバＦ１〜Ｆ４が導出される側）を後側とする。
【００３５】
各支持溝１１はカセット１０の奥行き方向に水平に延びており、カセット１０の前面から左右の支持溝１１間にウエハＷを差し入れることで、カセット１０内において、水平な姿勢を保ってウエハＷを多段に収容させることが出来る。
【００３６】
カセット１０の前面は取出口１２とされており、同取出口１２より、図示しないロボットアームによって、多段に収容された各ウエハＷが、一つずつ出し入れされるようになっている。
尚、本発明における、「板状部材の重ね方向」とは、図５における上下方向（高さ方向）のことであり、本発明における、「板厚部材の重ね方向に直交する方向」とは、図５における左右方向（水平方向）のことである。
【００３７】
次にウエハ検出装置２０について説明する。
図２に示すように、ウエハ検出装置２０は、大まかには、検出センサ３０と、昇降装置８０と、制御装置９０と、から構成されている。ウエハ検出装置２０は、上述したカセット１０内に収容されるウエハＷの収容状況、すなわちウエハＷの有無、並びにウエハＷの飛び出しを各段ごとに検出するものである。尚、昇降装置８０が本発明の移動手段に相当するものであり、制御手装置９０が本発明の制御手段に相当するものである。
【００３８】
検出センサ３０は、センサヘッド４０と、センサアンプ７０と、光ファイバＦ１〜Ｆ４と、から構成される。センサアンプ７０は後述するＣＰＵ（本発明の判定手段に相当）７７が実装される制御基板（図示せず）を内蔵し、信号の処理並びに、検出結果についての判定などを行なう機能を有する。また、本センサアンプ７０内には、投光素子７１、７２、並びに受光素子７３、７４が内蔵（図６参照）されている。
【００３９】
センサアンプ７０に内蔵される投光素子７１、７２、並びに受光素子７３、７４はウエハＷについて検出を行なうための検出光軸Ｌを形成するためのものであり、本実施形態のものは、第一の検出光軸Ｌ１並びに、第二の検出光軸Ｌ２の２光軸を形成するべく投光素子７１、７２、受光素子７３、７４ともに、２つずつ設けられている。尚、以下の説明において、第一の検出光軸Ｌ１を検出光軸Ｌ１と呼び、第二の検出光軸Ｌ２を検出光軸Ｌ２と呼ぶ。
【００４０】
図３は、センサヘッド４０の拡大図であるが、センサヘッド４０は投光ヘッド（本発明の検出ヘッドに相当）４１と、受光ヘッド（本発明の検出ヘッドに相当）５１とを備える。投光ヘッド４１は、一方向に長いブロック状をなす。投光ヘッド４１には、長手方向を前後に貫通するようにして溝が形成されている。溝は図３において奥側半分がやや幅広とされているのに対し、手前側半分がやや幅狭とされている。
【００４１】
幅広とされた部分はスリーブ保持溝４５であり、そこには、後述するスリーブ６１、６２が保持されるようになっている。一方、幅狭とされた部分はファイバ挿通溝４６であり、そこには、スリーブ６１、６２に連なる光ファイバＦ１、Ｆ２が挿通されるようになっている。そして、投光ヘッド４１には、上述したスリーブ保持溝４５、ファイバ挿通溝４６が上面側と、下面側のそれぞれに形成されている。
【００４２】
受光ヘッド５１も、投光ヘッド４１と同様の構成であり、一方向に長いブロック状をなす。受光ヘッド５１の上面、下面にはスリーブ保持溝５５、ファイバ挿通溝５６がそれぞれに形成されている。
【００４３】
これら投光ヘッド４１と受光ヘッド５１は、互いに正対するように位置決めされた状態で、端部同士を連結ブロックＢにより固定されている。
【００４４】
光ファイバＦ１〜Ｆ４は、センサヘッド４０とセンサアンプ７０との間において、検出光を伝送させるためのものであり、２つの投光素子７１、７２に対応して２つの投光用光ファイバＦ１、Ｆ２と、２つの受光素子７３、７４に対応して２つの受光用光ファイバＦ３、Ｆ４が設けられている。
【００４５】
各光ファイバＦ１〜Ｆ４の一端には、筒状のスリーブ６１〜６４がそれぞれ取り付けられている。これら各スリーブ６１〜６４の先端部には、投光側のスリーブ６１、６２であれば出射窓６１Ａ、６２Ａがそれぞれ設けられ、受光側のスリーブ６３、６４であれば、受光窓６３Ａ、６４Ａがそれぞれ設けられている。
【００４６】
図３に示すように、スリーブ６１〜６４は、センサヘッド４０に設けられるスリーブ保持溝４５、５５にそれぞれ嵌め合わされて固定されるが、センサヘッド４０の上面側に装着されるスリーブ６１、６４同士、並びにセンサヘッド４０の下面側に装着されるスリーブ６２、６３同士がそれぞれ対をなして、検出光軸Ｌ１、Ｌ２を構成する設定となっている。
【００４７】
具体的に言えば、センサヘッド４０の上面側においては、図３に示すように、出射窓６１Ａ並びに受光窓６４Ａを、それぞれ内側に向けた状態でスイーブ６１、６４が固定されている。これら、出射窓６１Ａと受光窓６４Ａは、スリーブ装着の際に、互いに正対するように位置合わせされる。そして、ファイバ挿通溝４６、５６には各スイーブ６１、６４に連なる光ファイバＦ１、Ｆ４が収容され、センサヘッド４０の後端面から同光ファイバＦ１、Ｆ４がそれぞれ引き出されている。
【００４８】
センサヘッド４０から引き出された各光ファイバＦ１、Ｆ４の他端は、センサアンプ７０内に引き込まれており、投光側となる光ファイバＦ１の端部が投光素子７１の投光面に対峙し、受光側となる光ファイバＦ４の端部が受光素子７４の受光面に対峙している（図６参照）。
【００４９】
かくして、投光素子７１から検出光が出射されると、その光は投光用光ファイバＦ１を通って投光ヘッド４１へと導かれる。そして、スイーブ６１の出射窓６１Ａから、検出光が受光ヘッド５１に向かって水平（図５において水平）に出射される。出射された検出光は受光ヘッド５１に達し、受光窓６４Ａを通ってスリーブ６４内に導かれた後、受光用光ファイバＦ４内を通って受光素子７４の受光面へと導かれる。以上のように、対をなすスリーブ６１、６４により検出光軸Ｌ１が形成され、係る検出光軸Ｌ１の光が受光素子７４によって受光されることとなる。
尚、スリーブ６１とスリーブ６４により、本発明で言うところの、第一検出手段が構成されている。
【００５０】
一方、スリーブ６２、６３は、共に、センサヘッド４０の下面側に装着されるが、これらも、上述の構成と同様に、対をなして検出光軸Ｌ２を構成するようになっている。すなわち、投光素子７２から検出光が出射されると、その光は投光用光ファイバＦ２を通って投光ヘッド４１へと導かれる。そして、スイーブ６２の出射窓６２Ａから、検出光が受光ヘッド５１に向かって水平（図５において水平）に出射される。出射された検出光は受光ヘッド５１に達し、受光窓６３Ａを通ってスリーブ６３内に導かれる。その後、受光用光ファイバＦ３内を通った光は、受光素子７３の受光面へと導かれ、受光素子７３によって受光される。
尚、スリーブ６２とスリーブ６３とにより、本発明で言うところの、第二検出手段が構成されている。
【００５１】
上述のセンサヘッド４０は、図２に示すように、カセット１０の取出口１２の近傍において、両ヘッド４１、５１を水平に寝かせ、かつ検出光軸Ｌ１が形成される先端を、カセット１０内に差し入れた姿勢で設置されている。すなわち、投光ヘッド４１がカセット１０の左内壁寄りに位置する一方、受光ヘッド５１がカセット１０の右内壁寄りに位置して、カセット１０内に収容されるウエハＷを両ヘッド４１、５１が左右から挟みこむようにして設置される。
【００５２】
図４は、ヘッドを設置した状態における、ウエハＷと各検出光軸Ｌ１、Ｌ２との相対的な位置関係を示す図である。尚、図４において、カセット１０内にウエハＷが正しく収容された正規収容状態を実線で示し、ウエハＷが正規収容状態から取出口１２側（図４の下側）に飛び出した飛出状態を一点鎖線で示してある。
【００５３】
両検出光軸Ｌ１、Ｌ２は図４に示すように、カセット１０の奥行き方向（図４に示す上下方向）において位置が前後に異ならせてある。すなわち、検出光軸Ｌ１は、正規収容状態にあるウエハＷの端部を、図４における左右に横切るような配置とされているのに対し、検出光軸Ｌ２は、正規収容状態のウエハＷを避けるように光軸Ｌを取出口１２側に平行移動させた位置にある。すなわち、検出光軸Ｌ２は、ウエハＷが正規収容状態にある場合にはこれを横切らず、ウエハＷが正規収容状態から取出口１２側に飛び出した状態となったときに、ウエハＷの端部を左右に横切るような設定になっている。
【００５４】
上記に構成により、本発明の「前記第一の光検出手段の第一の検出光軸は、前記収容体に前記板状部材が収められている収容状態のときに、同板状部材をその端面方向から横切るように設定とされているのに対し、第二の光検出手段の第二の検出光軸は、前記板状部材が前記収容状態にあるときには同板状部材を横切らず、板状部材が取出口側に飛び出した飛出状態にあるときに、同板状部材をその端面方向から横切る設定とされ」が実現されている。
また、本発明における「板状部材を端面方向から横切る」とは、本実施形態であれば、ウエハＷの側方からウエハＷをほぼ水平に横切るという意味である。
【００５５】
これにより、後述する昇降装置８０によって、センサヘッド４０の全体をカセット１０の高さ方向に沿って移動させつつ、投光・受光を行なうと、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２が、各段のウエハＷに対応した高さ位置を通過する時に、ウエハＷの収容状況によって、光が遮光されたり、或いは遮光されなかったりする。従って、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２の遮光の有無を判別することで、各段におけるウエハＷの有無、並びにウエハＷの飛び出しを検出することが出来る。
【００５６】
具体的に言えば、カセット１０内のある段においてウエハＷが収められていれば、その段に対応する高さ位置を通過するときに、検出光軸Ｌ１が端面方向からウエハＷを水平に横切るので、検出光軸１は遮光された状態になる。これとは反対に、ウエハＷが無ければ、検出光軸Ｌ１は遮光されることなく、素通りする。よって、検出光軸１の遮光の有無を判別することで、ウエハＷの有無を知ることが出来る。
【００５７】
また、カセット１０内のある段において、収容されたウエハＷが正規収容状態にあれば、その段に対応する高さ位置を、検出光軸Ｌ２は素通りする。これとは反対に、ウエハＷが正規収容状態から飛び出していると、検出光軸Ｌ２が飛び出したウエハＷを端面方向からほぼ水平に横切るので、検出光軸Ｌ２は遮光された状態となる。従って、検出光軸Ｌ２について遮光の有無を判別することで、ウエハＷの飛び出しを検出出来る。
【００５８】
また、図５においては、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２０の上下方向に関する位置関係が示されている。同図に示すように、検出光軸Ｌ２は、検出光軸Ｌ１より図５における上下方向で下側に配置されている。これは、検出を行なう際の、センサヘッド４０の移動方向を考慮したものである。
【００５９】
本実施形態のものは、図５に示すように、カセット１０内において、上下に重ね置かれたウエハＷ１〜Ｗ５の上方にセンサヘッド４０を設置しておき、センサヘッド４０を下降させて検出を行なうようにしている。上述のように、検出光軸Ｌ２を検出光軸Ｌ１より下方位置に配置しておけば、検出光軸Ｌ１より検出光軸Ｌ２が早いタイミングで、各段を通過する。これにより、ウエハＷ１〜Ｗ５の有無についての検出よりも先に、ウエハＷ１〜Ｗ５の飛び出しの検出を行なうことが可能となる。
【００６０】
また、図５に示すように、センサヘッド４０を構成する投光ヘッド４１、５１の先端形状は、検出光軸Ｌ２が装着される下部側が切り欠かれ、段差状をなしている。言い換えると、検出光軸Ｌ２に対応する先端下部４３、５３が、検出光軸Ｌ１に対する先端上部４２、５２に対して、図５における右方向（カセット１０から見て外側）に退避した形状をなす。これは、以下の点を考慮したものである。
【００６１】
図４に示すように、カセット１０は、ウエハＷの外形に対してそれほど余裕をもった大きさに作られておらず、カセット１０内において、センサヘッド４０を配置するスペースが限られている。そのため、ウエハＷが、図４に示す一点鎖線のように飛び出した状態にあると、ヘッド４１、５１の先端がウエハＷの端部に干渉（図４中のＡ部）する恐れがある。
【００６２】
そのため、上述の如くヘッド４１、５１の先端を段差状とすることで、飛び出したウエハＷに対する干渉を回避出来る。尚、ウエハＷに対する逃がしは、ヘッド４１、５１の下部側にしか設けられていないので、飛び出しがあれば、ヘッド４１、５１の上部はウエハＷに干渉してしまう。しかしながら、検出光軸Ｌ２によって、ウエハＷの飛び出しが検出されたときには、後記する制御装置９０がセンサヘッド４０の移動を停止させるようになっている。これにより、飛び出したウエハＷにヘッド４１、５１の先端上部４２、５２が干渉する前に、センサヘッド４０全体の移動が停止され、干渉が未然に回避されるようになっている。
【００６３】
尚、本実施形態では、図５に示すＥ寸法（検出光軸Ｌ１と検出光軸Ｌ２の高さの差）を、図５に示すＤ寸法（隣接するウエハ間の対向距離）に比べて小さく設定してある。
【００６４】
昇降装置８０は、センサヘッド４０を上下動可能なものであればよいが、その一例としては、例えば、上下に延びるベース８１に対してスライダ８２を移動自在に嵌合させておき、これを、駆動用のモータＭなどで昇降させるような構成が挙げられる。本実施形態のものは、図２に示すように、スライダ８２に投光ヘッド４１の左外面が固定されている。そのため、モータＭの駆動によりスライダ８２がベース８１に沿って上下動すると、これと一体的に、センサヘッド４０の全体が上下動するようになっている。
【００６５】
制御装置９０は、昇降装置８０並びにセンサアンプ７０間において、各種制御信号Ｓａ〜Ｓｄを送信受信させて、ウエハ検出装置２０の全体を制御統括する機能を有する。具体的に説明すると、制御装置９０から昇降装置８０に対しては出力される信号Ｓｃは、モータ制御信号Ｓｃである。モータ制御信号Ｓｃは、モータＭの駆動・停止などを制御するための信号である。
【００６６】
一方、昇降装置８０から制御装置９０に対して出力される信号Ｓｄは、位置信号Ｓｄである。位置信号Ｓｄは、モータＭの駆動によって可動するスライダ８２の移動量に応じて出力されるパルス信号であり、例えばスライダ８２が１ｍｍ移動するごとに、昇降装置８０はパルスを１つ出力する。
【００６７】
制御装置９０では、入力された位置信号Ｓｄに基づいて各検出光軸Ｌ１、Ｌ２が各段に収容されたウエハＷに対応する高さを通過するタイミングを検出する処理が行なわれる。すなわち、位置信号Ｓｄのパルスの数をカウンタ等で数えることで、スライダ８２ひいてはセンサヘッド４０の移動量を算出することが可能である。一方、制御装置９０には、多段に重ねられたウエハＷの対向距離Ｄや、ウエハＷの厚みＣ、ウエハＷの収容段数などの情報が予め記憶されている。
【００６８】
そのため、これらの情報と、センサヘッド４０の移動距離に基づいて、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２が各段のウエハＷに対応する高さ位置を通過するタイミングを知ることが出来る。尚、各段のウエハＷに対応する高さ位置（以下、検出位置ともいう）とは、図５におけるＹ１〜Ｙ５のことである。
【００６９】
制御装置９０からセンサアンプ７０に出力される信号Ｓａは、同期検出信号Ｓａである。同期検出信号Ｓａは、上述した各検出光軸Ｌ１、Ｌ２が各検出位置Ｙ１〜Ｙ４を通過するタイミングに合わせて出力されるものである。
図６における符号Ｐは、入力ポート（本発明の信号入力部に相当）であり、そこに、同期検出信号Ｓａが入力される。入力ポートＰに同期検出信号Ｓａが入力されると、ＣＰＵ７７は、それに同期させて、各受光素子７３、７４から受光信号Ｓ３、Ｓ４の取り込み行なう。
尚、同期検出信号Ｓａが、本発明のタイミング信号に相当するものであり、ＣＰＵ７７に設けられる入力ポートＰが、本発明の信号入力部に相当するものである。
【００７０】
ＣＰＵ７７は各受光信号Ｓ３、Ｓ４を取り込むと、予め定められた閾値と比較する処理を行い各検出光軸Ｌ１、Ｌ２について遮光状態の有無を検出する。すなわち、受光信号Ｓ３、Ｓ４のレベルが閾値を上回っている場合には、「検出光軸Ｌは遮光されていない」と判定し、これとは反対に受光信号Ｓ３、Ｓ４のレベルが閾値を下回っている場合には、「検出光軸Ｌは遮光されている」と判定する。
【００７１】
また、ＣＰＵ７７から制御装置９０に対してはエラー信号Ｓｂが出力されるようになっている。エラー信号Ｓｂは検出光軸Ｌ２について、遮光が検出されたときに、出力されるものである。
【００７２】
次に、上記の如く構成されたウエハ検出装置２０について、一連の検出動作を簡単に説明する。センサヘッド４０は、図５に示すように、上下に重ねて収容されたウエハＷの上方にセットされる。検出が開始されると、まず、センサアンプ７０の両投光素子７１、７２が同時に点灯される。これにより、検出光は光ファイバＦ１、Ｆ２を通ってセンサヘッド４０へと導かれ、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２が共に点灯状態とされる。これとほぼタイミングを同じくして、制御装置９０によってモータ制御信号Ｓｃが昇降装置８０に与えられる。
【００７３】
これによりモータＭが駆動され、その駆動力を受けてスライダ８２がベース８１に沿って下降を始める。かくして、センサヘッド４０は、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２が共に点灯された状態で、下降してゆく。
【００７４】
やがて、検出光軸Ｌ２が、図５に示す検出位置Ｙ１に達したときに、制御装置９０からＣＰＵ７７に対して、同期検出信号Ｓａが出力される。すると、これを受けたＣＰＵ７７では、同期検出信号Ｓａの入力タイミングに合わせて、受光素子７４から出力される受光信号Ｓ４を取り込む処理が行なわれる。
【００７５】
これにより、検出光軸Ｌ２が、検出位置Ｙ１を丁度通過するときの、受光信号Ｓ４が得られる。ＣＰＵ７７は受光信号Ｓ４を取り込むと、これを、閾値と比較して、検出光軸Ｌ２について遮光の有無を判定する。図５の例であれば、検出光軸Ｌ２はウエハＷ１により遮ぎられることなくウエハ１の側方を素通りするので、受光素子７４からはレベルの高い受光信号Ｓ４が検出され、受光信号Ｓ４のレベルは閾値を上回る。以上のことから、ＣＰＵ７７により検出光軸Ｌ２は遮光されていない、すなわち、ウエハＷ１は正規収容状態にあると判定される。
【００７６】
続いて、センサヘッド４０が更に下降してゆく結果、今度は、検出光軸Ｌ１が、図５に示す検出位置Ｙ１に達する。すると、制御装置９０からＣＰＵ７７に対して、再び、同期検出信号Ｓａが出力される。これにより、ＣＰＵ７７では、受光素子７３から受光信号Ｓ３を取り込む処理が行なわれる。
【００７７】
かくして、検出光軸Ｌ１が検出位置Ｙ１を丁度通過するときの、受光信号Ｓ３が得られる。ＣＰＵ７７は受光信号Ｓ３を取り込むと、これを、閾値と比較して、検出光軸Ｌ１について遮光の有無を判定する。図５の例であれば、検出光軸Ｌ１はウエハＷ１により遮ぎられるので、受光信号Ｓ３の信号レベルは小さくなり閾値を下回る。以上のことから、ＣＰＵ７７により検出光軸Ｌ１は遮光されている、すなわち、カセット１０の初段にはウエハＷ１が収められていると判定される。
【００７８】
かくして、初段について、正規収容状態からのウエハＷの飛び出し検出並びに、ウエハＷそのものの有無の検出が完了する。
【００７９】
それ以降は、センサヘッド４０の下降に伴って、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２が、各段のウエハＷに対応する検出位置Ｙ２〜Ｙ５を順に通過する。すると、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２が各検出位置Ｙに達したときに、上述の要領で、制御装置９０からＣＰＵ７７に対して、同期検出信号Ｓａがそれぞれ出力される。
【００８０】
すると、これを受けたＣＰＵ７７では、同期検出信号Ｓａに同期させて受光素子７４から受光信号Ｓ４を取り込む処理を行なって、得られた受光信号Ｓ４に基づいて２段目について正規収容状態からのウエハＷの飛び出し検出を行なう。続いて、次に入力される同期検出信号Ｓａに同期させて受光素子７３から受光信号Ｓ３を取り込む処理を行なって、得られた受光信号Ｓ３に基づいて、ウエハＷそのものの有無が検出される。これにより、２段目の検出が完了する。
【００８１】
その後は、３段目、４段目の順に、上述と同じ手順で検出が行なわれる。
【００８２】
検出の結果、各段について、少なくともウエハＷの飛び出しの検出がされなければ、センサヘッド４０は移動を停止されることなく、検出動作を行いつつ下降してゆき、やがて、全段について検出が完了すると、カセット１０の底面に達して停止する（一連の検出完了）。
【００８３】
このとき、いずれかの段では、ウエハＷが収容されていないこともあるが、そのときは、その旨の表示がＣＰＵ７７の指令により図示しない表示手段に対して行なわれる。
【００８４】
一方、いずれかの段において、ウエハＷの飛び出しがあれば、そこで、センサヘッド４０の下降動作が停止される。図５の例であれば、４段目のウエハＷ４を通過する際に、ウエハＷ４の端部によって検出光軸Ｌ２は遮られ、それまでは閾値を上回っていた受光信号Ｓ４のレベルが閾値を下回る。これにより、ウエハＷ４の飛び出しがＣＰＵ７７により検出される。
【００８５】
ウエハＷの飛び出しが検出されると、ＣＰＵ７７は制御装置９０にエラー信号Ｓｂを出力（本発明のエラー出力に相当）する処理を行なう。これにより、エラー信号Ｓｂを受けた制御装置９０は昇降装置８０に、モータ制御信号Ｓｃを出力し、モータＭの駆動が即時停止される。これにより、その場で、スライダ８２、ひいてはセンサヘッド４０の下降動作が停止される。
【００８６】
仮に、ウエハＷ４の飛び出しが検出されたにも拘わらず、センサヘッド４０を更に、下降させてしまうと、先にも述べてあるが、飛び出したウエハＷの端部にセンサヘッド４０の一部が干渉して、ウエハＷを破損させる恐れがあるためである（図４のＡ部参照）。
【００８７】
本実施形態によれば、ウエハＷの有無、並びにウエハＷの飛び出しを検出するのに、２つの検出光軸Ｌ１、Ｌ２を用いたが、これらは、カセット１０の奥行き方向について、光軸の配置の異なるものの、共にほぼ水平な光軸であり、軸の延び方向が一致している。
【００８８】
このような構成であれば、投光ヘッド４１、並びに受光ヘッド５１をカセット１０の奥行き方向に長い形状にしてやれば、投光側であれば、検出光軸Ｌ１、Ｌ２用のスリーブ６１、６２共に、一の投光ヘッド４１に装着でき、受光側においても、検出光軸Ｌ１、Ｌ２用のスリーブ６３、６４共に、一の受光ヘッド５１に装着できる。すなわち、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２について、それぞれ専用にセンサヘッドを設ける必要がなく、一のセンサヘッド４０による共用化を図ることが出来るので部品点数を削減でき、また、装置の小型化を容易に行なうことが出来る。
【００８９】
また、本実施形態では、光電式のセンサを使用しているが、これには、いわゆる反射型のものと、透過型のものがある。反射型のものは検出対象に対して光を出射し、検出対象で反射された光を受光するものである。本実施形態では、ウエハＷに対して側方から水平に光を出射するので、反射型の光電センサを使用した場合には、ウエハＷの外周面で反射した反射光を受光することとなるが、ウエハＷの外周面は面が粗いことが多く、そこでは一般に乱反射が起こる。
【００９０】
そのため、光の反射方向が定まらず、受光される光量は微量であることが予想される。すなわち、ウエハＷを光軸が横切る状態と横切らない状態とで、受光信号のレベルに変化が現れ難く検出精度を高く出来ない。
この点に関し、本実施形態のものは、透過型のものを使用した。透過型であれば、光軸がウエハを横切らない場合には、出射した光がそのまま、相手側で受光される。そして、検出領域にウエハＷが位置していると、そこで光が遮光される結果、相手側に達する光量が大きく減少する。このように、透過型のものであれば、受光信号のレベルの変化が顕著に現れるので、検出精度が高く出来る。
【００９１】
また、本実施形態によれば、投光素子７１、７２並びに受光素子７３、７４をセンサアンプ７０に内蔵させ、センサヘッド４０側には設置しないこととした。このような構成であれば、光電素子をセンサヘッド４０に内蔵させる構成のものに比べて、ヘッドの小型化を進める上で好適な構成である。また、発火の恐れがあるような状況下においても問題なく使用できる。
【００９２】
＜実施形態２＞
次に、本発明の実施形態２を図７、図８によって説明する。
実施形態２のものは、実施形態１の構成に対して、受光素子の共用化を図ったものである。すなわち、実施形態１では各検出光軸Ｌ１、Ｌ２に対応させて受光素子７３、７４をそれぞれ専用に設けたが、この実施形態では、これら両受光素子７３、７４を受光素子７５によって共通化している。この場合に、受光素子７５の受光面には、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２の光が同時に入光し、出力される受光信号についても、それに、応じたレベルの信号が出力されることとなる。
【００９３】
そこで、この実施形態においても、実施形態１の場合と同様に、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２が各検出位置Ｙ１〜Ｙ４を通過するタイミングに同期させて、受光信号の取り出しを行なっている。すなわち、制御装置９０から出力される同期検出信号Ｓａの入力タイミングに合わせて、ＣＰＵ７７が受光素子７４から出力される受光信号Ｓｅを取り込む処理を行なう。
【００９４】
このような構成とすることで、検出光軸Ｌ１が各検出位置Ｙ１〜Ｙ４を通過する時の受光信号Ｓｅと、検出光軸Ｌ２が各検出位置Ｙ１〜Ｙ４を通過する時の受光信号Ｓｅと、をＣＰＵ７７により判別することが可能となる。
【００９５】
よって、検出光軸Ｌ１が各検出位置Ｙ１〜Ｙ４を通過する時の受光信号Ｓｅに基づき、検出光軸Ｌ１の遮光の有無を知ることが出来、検出光軸Ｌ２が各検出位置Ｙ１〜Ｙ４を通過する時の受光信号Ｓｅに基づき、検出光軸Ｌ２の遮光の有無を知ることが出来る。
詳しく言えば、受光素子７５には検出光軸Ｌ１、Ｌ２の双方の光が入光する。しかし、例えば、検出光軸Ｌ２を例にとって言えば、検出光軸Ｌ２が各検出位置Ｙ１〜Ｙ４を通過する時に、検出光軸Ｌ１は、今だ、検出位置に至っておらず、必ず、透過の状態になる。そのため、共通の受光素子７５から出力される受光信号Ｓｅのレベルは、結局、検出光軸Ｌ２の遮光状態に応じて変わるので、これに基づき、遮光の有無を知ることが出来る。
【００９６】
尚、上述の構成により、本発明の「前記判定手段（ここでは、ＣＰＵ）は、前記タイミング信号（ここでは、同期検出信号）に基づいて、前記共用化された受光素子（ここでは、受光素子７５）の受光信号を取り込むことで、前記第一の検出光軸が前記板状部材を通過する時の受光信号と、前記第二の検出光軸が前記板状部材を通過する時の受光信号と、を判別する」が実現されている。
【００９７】
また、この実施例の変形例として、投光素子７１、７２を時分割点灯させてもよい。すなわち、上述においては、検出中、投光タイミングについて特に制御を行なわず、両投光素子７１、７２を、常時点灯させていた。これに対して、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２が各検出位置Ｙ１〜Ｙ４を通過するタイミングに合わせて各投光素子７１、７２を時分割点灯させてやれば、投光タイミングに同期させて受光信号Ｓｅを取り出すことで、共通の受光素子７５から各検出光軸Ｌ１、Ｌ２の受光信号Ｓｅを別々に取り出すことが可能となる。
【００９８】
＜実施形態３＞
次に、本発明の実施形態３を図９ないし、図１５によって説明する。
図９は、実施形態３に適用されたウエハ検出装置の電気的・光学的構成を示すブロック図である。この実施形態では、センサアンプ７０内に光分岐部（本発明の光分岐手段に相当）１１０を設けて、投光素子７６から出射された光を分岐させる構成をとっている。光分岐部１１０の構成は、図１０に示す通りであり、投光素子７６の投光方向の前側（図１０においては左側）に配置されるハーフミラー１１１と、反射ミラー１１３とから構成される。投光素子７６から出射された光は、ハーフミラー１１１により分岐される。
【００９９】
すなわち、光の一部はハーフミラー１１１を透過して投光用光ファイバＦ１に向かう。また、光の一部はハーフミラー１１１によって図示下方に反射される。反射方向の前側には反射ミラー１１３が配置されており、ハーフミラー１１１で反射された光は、反射ミラー１１３で図示左方に反射され投光用光ファイバＦ２に向かう。
【０１００】
図１１、図１２には、実施形態３に適用されたウエハ検出装置の斜視図、並びにセンサヘッド１２０の斜視図が示されている。この実施形態のものも、投光用光ファイバＦ１、Ｆ２によって光をセンサヘッド１２０に伝送させ、２つの検出光軸Ｌ１、Ｌ２を形成するようになっている。また、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２は、実施形態１において、図４に示したように、カセット１０の奥行き方向において配置位置が前後にずれており、この点は、実施形態１の構成と同じである。
【０１０１】
さて、図１３には高さ方向における両検出光軸Ｌ１、Ｌ２の関係を示してあるが、実施形態３のものは、上下方向について、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２を同じ高さに設置しており、この点が、実施形態１と異なっている。これにより、実施形態３のものは、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２が同じタイミングで各検出位置Ｙ１〜Ｙ５を通過することとなる。
【０１０２】
図１４には、ウエハＷの収容状況を３つの状態に分けて、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２が遮光状態となるか、透過するのかをまとめてある。
第一の状態は、ウエハＷが未収容の状態である。このときには、検出を行なったときに、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２はいずれも透過状態となる。
第二の状態は、ウエハＷが正しく収容された態である。このときには、検出を行なったときに、検出光軸Ｌ１は遮光された状態となり、検出光軸Ｌ２は透過状態となる。
第三の状態は、ウエハＷが飛ひ出した状態である。このときには、検出を行なったときに、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２共に、遮光された状態となる。
【０１０３】
一方、この実施形態においては、図９において示すように、受光素子７５が両検出光軸Ｌ１、Ｌ２について共用化されており、受光素子７５に対して両検出光軸Ｌ１、Ｌ２の検出光が同時に入光される。その結果、共通の受光素子７５から出力される受光信号Ｓｒのレベルは、図１４の下段に示すようなレベルを取る。すなわち、第一の状態であれば、２光軸Ｌ１、Ｌ２とも透過になるので、受光素子Ｓｒのレベルが非常に高く（大）なる。一方、第二の状態であれば、検出光軸Ｌ１のみ遮光されるので、受光素子Ｓｒのレベルは、やや低下（中）する。また、第三の状態であれば、２つの検出光軸Ｌ１、Ｌ２の双方が共に遮光されるので、受光信号Ｓｒのレベルは、非常に小さくなる（小）。
【０１０４】
以上の点を考慮して、本実施形態では、２つの基準値Ｈ、Ｌが設定されている。第一の基準値Ｈは第一の状態と、第二の状態とを判別するものであり、その大きさは、第一の状態において検出される受光信号Ｓｒのレベルと、第二の状態において検出される受光信号Ｓｒのレベルの中間の値に設定されている。尚、第一の基準値Ｈが本発明の第一の基準レベルに相当するものであり、第二の基準値Ｌが本発明の第二の基準レベルに相当するものである。
【０１０５】
また、第二の基準値Ｌは第二の状態と、第三の状態とを判別するものであり、その大きさは、第二の状態において検出される受光信号Ｓｒのレベルと、第三の状態において検出される受光信号Ｓｒのレベルの中間の値に設定されている。
【０１０６】
係る構成とすることで、共通の受光素子７５から出力される受光信号Ｓｒのレベルを両基準値Ｈ、Ｌと比較する処理をＣＰＵ７７によって行なうことで、ウエハＷの収容状況を判別できる。図１５には、受光素子７５から出力される受光信号Ｓｒの推移の一例が示してある。
【０１０７】
図１５に示された受光信号Ｓｒの推移は、図１３と対応しており、図１５における時刻ｔ１が、図１３における検出位置Ｙ１の通過時に対応している。また、時刻ｔ２が、図１３における検出位置Ｙ２の通過時に対応しており、時刻ｔ３が、図１３における検出位置Ｙ３の通過時、時刻ｔ４が、図１３における検出位置Ｙ４の通過時にそれぞれ対応している。
【０１０８】
図１５において、明らかなように、時刻ｔ１では、受光信号Ｓｒのレベルが第二の基準値Ｌを下回っており、これにより、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２は双方とも遮光、すなわち、ウエハＷは飛び出した状態にあると判定できる。
【０１０９】
一方、時刻ｔ２〜ｔ４では、いずれも、受光信号Ｓｒのレベルが、第一の基準値Ｈと第二の基準値Ｌの間に収まっている。これにより、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２のうち一方が遮光、すなわち、ウエハＷは正規収容状態にあると判定できる。
【０１１０】
このように、本実施形態では、検出光軸としてＬ１、Ｌ２の２光軸を必要とするものの、これを、投光側、受光側とも一の検出素子７５、７６によって実現させているので、装置の低コスト化を図る上で好適な構成である。また、検出光軸Ｌ１、Ｌ２の両光軸を同じ高さ位置に配して、ウエハＷの有無並びに、飛び出しを同時検出するようにした。このような構成であれば、検出の高速化を図る上でも、好適である。
【０１１１】
＜実施形態４＞
実施形態４について、図１６を参照して説明する。
実施形態４では、実施形態３の場合と同様に、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２の光を一の受光素子７５で受光させる構成としている。このように、両光軸Ｌ１、Ｌ２について受光素子７５が共通使用されていると、投光側を同時点灯させた場合には、共通の受光素子７５から次のような信号が出力される。すなわち、検出光軸Ｌ１の光を受光した信号成分と、検出光軸Ｌ２の光を受光した信号成分とが混ざった信号である。
【０１１２】
この点に関して、実施形態４では、光の波長に着目して、検出光軸Ｌ１の光と、検出光軸Ｌ２の光の波長を予め異ならせておくことで、共通の受光素子７５から出力される信号を、事後的に検出光軸Ｌ１の光を受光した信号成分と、検出光軸Ｌ２の光を受光した信号成分とに分けるというものである。
【０１１３】
具体的には、共通の受光素子７５から出力される受光信号Ｓｒの信号成分を、所定波長ごとに分解するべく、受光素子７５の出力段と、ＣＰＵ７７の入力段との間に信号処理回路１４０が設けられている。信号処理回路１４０は、信号増幅用のアンプ１４１と、第一のフィルタ１４２、第二のフィルタ１４３とからなる。
【０１１４】
出願人の知見によれば、光の波長が予め異なっていれば、それを、受光して出力される受光信号の波長もことなる。従って、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２を形成する光の波長に応じた２種のフィルタ１４２、１４３を設けてやれば、受光信号Ｓｒから所望波長の信号だけを取り出すことが可能となる。
【０１１５】
このような構成であれば、両検出光軸Ｌ１、Ｌ２の光を、受光素子７５に同時に入光させても、出力される受光信号Ｓｒを事後的に、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２の成分に分けることが出来る。従って、フィルタ通過後の信号のレベルに基づいて、各検出光軸Ｌ１、Ｌ２の遮光状況を判別することが可能となるので、これにより、ウエハの有無並びに、ウエハの飛び出しを検出できる。
【０１１６】
また、本実施形態においては、投光側においても、投光素子の共用化を図っている。この場合に、検出光軸Ｌ１と検出光軸Ｌ２とで、光の波長を異ならせる必要があるが、これを、光学フィルタ１５１、１５２を設置することで実現させている。
光学フィルタ１５１、１５２は特定波長の光のみを通過させる機能を有するが、通過させる波長を両フィルタ１５１、１５２で異ならせてある。これにより、投光素子７６から発せられた光（各種の波長を含む光）は光分岐部１１０によって分岐されるが、その後、フィルタ１５１、１５２を通過するに伴って、波長の異なる光となる。すなわち、検出光軸Ｌ１と、検出光軸Ｌ２が異なる波長の光によって構成されることとなる。
【０１１７】
＜実施形態５＞
次に、本発明の実施形態５を図１７、図１８によって説明する。
実施形態１では、センサヘッド４０の一方側から光を出射して、この光を反対側で受ける構成とした。より具体的に言えば、例えば、検出光軸Ｌ１であれば、投光ヘッド４１に設置されたスリーブ６１の出射窓６１Ａから光を出射し、これを相手側の受光ヘッド５１に設置されたスリーブ６４に設けられる受光窓６４Ａで受けるようにした。
【０１１８】
これに対して、実施形態５のものは、対をなすヘッド１７０、１９０の、一方側１７０に投光用のスリーブ１７１並びに、受光用のスリーブ１８１の双方を設置し、相手側のヘッド１９０には、検出光の出射窓１７５と対向する位置に反射体１９１を設置する構成とした。反射体１９１は、反射面１９２がコーナーキューブ構造をなし、反射面１９２に向けて出射された光を、反転させて出射側に戻す機能を果たす（いわゆる回帰反射）。
【０１１９】
上述の構成であれば、ウエハＷが検出領域中に存在しない場合には、ヘッド１７０の出射窓１７５から出射された光は、途中で遮られることなく反対側のヘッド１９０に達し、そこで、反射体１９１によって回帰反射される。その後、回帰反射された光は、ヘッド１７０に向かい、ヘッド１７０に形成される受光窓１８５により受けられる。このように、出射された光は、ロスなく受光されるので、受光素子からレベルの高い受光信号が出力されることとなる。
【０１２０】
一方、ウエハＷが検出領域中に存在していれば、ヘッド１７０から出射された光は、途中で遮られ、そこで乱反射する。従って、ヘッド１７０では、乱反射光した光の一部のみが受光されることとなり、受光信号のレベルが低下する。
【０１２１】
上述の構成であっても、実施形態１の透過型の場合と同様に、検出領域中にウエハが存在したときには遮光状態となって、受光信号のレベルが低下するので、実施形態１の検出手順と同様の方法で、ウエハの有無、飛び出しを検出することが可能となる。また、係る構成とすることで、以下の効果が得られる。すなわち、一方側のヘッド１９０に反射体１９１を設置するものであれば、反射面１９２を有る程度大きくとることで、両ヘッド１７０、１９０に相対的な位置ずれがあったとしても、出射された光を、反射面１９２で出射側に反射させることが出来る。あとは、反射された光を受光窓１８５によって受けるだけでよく、従って、両ヘッド１７０、１９０間のシビアな位置合わせ作業が不要になる。
【０１２２】
また、この実施形態においては、スリーブ１７１、１８１内に、それぞれ、レンズ１７２、１８２が収容されている。レンズ１７２は、光ファイバＦ１を通過してきた光を絞る（光芒を小さくする）ものであり、レンズ１８２は、光ファイバＦ２に向かう光を絞る（光芒を小さくする）ものである。このような構成とすることで、出射窓１７５から検出光として光芒の狭い光を出射することが出来、また、受光窓１８５を通って、光ファイバＦ４へと向かう光を効果的に光ファイバＦ４内に導くことが出来る。尚、レンズ１７２が、本発明の絞り手段に相当するものである。
【０１２３】
光芒ｄの狭い光（検出光）を出射することの利点は以下の点にある。本実施形態のものは、上下に重ねられたウエハＷが検出対象であり、しかも、図１８に示すように、ウエハＷに対して側方から光を出射する。出射された検出光は、図１８に示すように有る程度の広がりを持つので、光芒ｄが元から広いと、光の広がりもその分、大きくなる。
【０１２４】
そのため、上下に隣接するウエハＷの板面で光が反射する場合があり、これが、受光窓１８５に入光すると、検出誤差を生じさせる。この点、本実施形態のものは、図１８に示すＺ寸法に比べて、図１８に示すｄ寸法が小さくなるように、検出光を絞っている。尚、図１８に示すＺ寸法は、検出対象となる中央のウエハＷの上下に位置するウエハＷ同士の対向間隔であり、図１８に示すｄ寸法は、ウエハＷの中心付近に達したときの光芒の径である。
【０１２５】
このような構成であれば、上下に隣接するウエハＷの板面で光が反射したとしても、反射光が受光窓１８５で結像することがなく、これにより、反射光の影響を抑えることが出来る。尚、図１８中では、効果を分かり易くするため、投光側のスリーブ１７１と、受光側のスリーブ１８１を対向させて示し、向きも変えてある。
【０１２６】
尚、図１７中には、検出光軸Ｌ１に関する構造のみ示してあり、検出光軸Ｌ２に関するものは省略してある。また、実施形態５における、回帰反射を利用した透過型の検出形式は、実施形態２〜実施形態４のものに対しても、適用することが出来る。
【０１２７】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【０１２８】
（１）実施形態１ないし実施形態５では、いずれも、検出光軸Ｌの遮光を検出することで、ウエハの有無を判別する、いわゆる透過型の検出方式を採用したが、検出方式は、これに限定されるものではなく、いわゆる反射型のものであってもよい。尚、ここでいう、反射型とは、ウエハで反射された反射光を受光することで、ウエハの有無を検出するタイプのものを言う。
【０１２９】
（２）実施形態３では、光分岐部として、ハーフミラー１１１と反射ミラー１１３による構成を挙げたが、光分岐部は投光素子７６から出射された光を２つに分岐可能であればよく、例えば、二股状の光ファイバにより分岐させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】実施形態１において、カセットにウエハを収容した状態を示す斜視図
【図２】ウエハ検出装置の全体構成を示す斜視図
【図３】センサヘッドの斜視図
【図４】両検出光軸とウエハの位置関係を示す図
【図５】両検出光軸の上下方向の位置関係を示す図
【図６】ウエハ検出装置の電気的構成を示すブロック図
【図７】実施形態２における、ウエハ検出装置の電気的構成を示すブロック図
【図８】両投光素子の投光タイミングを示す図
【図９】実施形態３における、ウエハ検出装置の電気的構成を示すブロック図
【図１０】光分岐部の構成を示す図
【図１１】ウエハ検出装置の全体構成を示す斜視図
【図１２】センサヘッドの斜視図
【図１３】両検出光軸の上下方向に関する位置関係を示す図
【図１４】両検出光軸における遮光・透過をまとめた図
【図１５】受光信号Ｓｒの推移を示す図
【図１６】実施形態４において、ウエハ検出装置の電気的構成を示すブロック図
【図１７】実施形態５において、センサヘッドの構成を示す図
【図１８】検出光の一部が、隣接するウエハの板面で反射した現象を表す図
【符号の説明】
【０１３１】
２０…ウエハ検出装置
３０…センサヘッド
４０…投光ヘッド
５０…受光ヘッド
７０…センサアンプ
８０…昇降装置
９０…制御装置
Ｆ１〜Ｆ４…光ファイバ
Ｌ１…検出光軸
Ｌ２…検出光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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