(57)【要約】【課題】圧電振動部品の周波数測定方法による不具合を抑えて周波数測定を安定させる。【解決手段】圧電振動部品の周波数測定方法は、測定する周波数の帯域と周波数の複数の測定ポイントを設定し、基準測定ポイントと隣接測定ポイントとを設定した重み付け条件により重み付けを行なって基準測定ポイントのゲインを測定する。重み付け条件では、基準測定ポイントのゲインを、基準測定ポイントと隣接測定ポイントのゲインから構成し、基準測定ポイントと隣接測定ポイントのゲインの割合を設定し、基準測定ポイントのゲインの割合を隣接測定ポイントのゲインの割合に対して多くする。また、低周波数側と高周波数側との間を一方向に掃引しながら測定する際に隣接測定ポイントに対して急峻にゲインが増加して最初の凸点の頂点となる測定ポイントを仮共振点とし、仮共振点とその隣接測定ポイントからゲインの近似式を導き、近似式により真共振点を導く。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動部品の各周波数におけるゲインを、低周波数側と高周波数側との間を一方向に掃引しながら測定する圧電振動部品の周波数測定方法において、
測定する周波数の帯域を設定し、前記帯域内で測定する周波数の測定ポイントを複数設定する設定工程と、
前記測定ポイントのゲインを順次測定する測定工程と、
前記測定工程による前記各測定ポイントのゲインのデータについて、当該測定ポイントとその隣接する測定ポイントに対して予め設定した重み付け条件により重み付けを行なって当該測定ポイントのゲインのデータを得る補正データ取得工程と、を有し、
前記重み付け条件では、当該測定ポイントのゲインを、当該測定ポイントのゲインとその隣接する測定ポイントのゲインとから構成し、当該測定ポイントのゲインのうち、当該測定ポイントのゲインの割合と前記隣接する測定ポイントのゲインの割合とを設定し、当該測定ポイントのゲインの割合をその隣接する測定ポイントのゲインの割合に対して多くすることを特徴とする圧電振動部品の周波数測定方法。
【請求項２】
基準となる測定ポイントの隣接する測定ポイントの範囲は、当該測定ポイントのそれぞれ低周波数側および高周波数側に１ポイント隣もしくは２ポイント隣であることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動部品の周波数測定方法。
【請求項３】
前記低周波数側と高周波数側との間を一方向に掃引しながら測定する際に、最も低周波数側であって、隣接する測定ポイントのゲインに対して急峻にゲインが増加して最初の凸点の頂点となる測定ポイントを前記圧電振動部品の共振点とすることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電振動部品の周波数測定方法。
【請求項４】
前記測定ポイントのうち、最も低周波数側の測定ポイントと最も高周波数側の測定ポイントは、前記重み付け条件における当該測定ポイントから外すことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１つに記載の圧電振動部品の周波数測定方法。
【請求項５】
前記補正データ取得工程による各補正ゲインのデータについて、さらに補正データ取得工程を行うことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１つに記載の圧電振動部品の周波数測定方法。
【請求項６】
圧電振動部品の各周波数におけるゲインを、エアーギャップ方式により低周波数側と高周波数側との間を一方向に掃引しながら測定することを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１つに記載の圧電振動部品の周波数測定方法。
【請求項７】
前記周波数の帯域を、前記帯域の中心周波数から低周波数側の帯域と、前記中心周波数から高周波数側の帯域とに区分して、前記低周波数側の帯域から低周波数特定帯域を設定するとともに、前記高周波数側の帯域内から高周波数特定帯域を設定する区分工程と、
前記低周波数特定帯域における各測定ポイントにおけるゲインの平均値を算出するとともに、前記高周波数特定帯域における各測定ポイントにおけるゲインの平均値を算出する算出工程と、
前記低周波数特定帯域でのゲインの平均値と、前記高周波数特定帯域でのゲインの平均値とから、周波数の高低によるゲインの変動を算出し、周波数の高低によるゲインの変動を補正する補正工程とを有することを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１つに記載の圧電振動部品の周波数測定方法。
【請求項８】
前記低周波数特定帯域は、前記低周波数側の帯域のうち最も低周波数の測定ポイントから高周波数側に向けて前記周波数の帯域のうち約１／４の帯域であり、
前記高周波数特定帯域は、前記高周波数側の帯域のうち最も高周波数の測定ポイントから低周波数側に向けて前記周波数の帯域のうち約１／４の帯域であることを特徴とする請求項７に記載の圧電振動部品の周波数測定方法。
【請求項９】
前記測定工程を行うことにより得た前記圧電振動部品の共振点または共振点近傍の測定ポイントを仮共振点とする仮共振点設定工程と、
前記仮共振点の測定ポイントと、当該仮共振点の測定ポイントの隣接する測定ポイントとから、前記仮共振点を含むその近傍の各測定ポイントにおけるゲインの近似式を導き、前記近似式により真共振点を導く真共振点導出工程と、を有することを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１つに記載の圧電振動部品の周波数測定方法。
【請求項１０】
圧電振動部品の各周波数におけるゲインを、低周波数側と高周波数側との間を一方向に掃引しながら測定する圧電振動部品の周波数測定方法において、
測定する周波数の帯域を設定し、前記帯域内で測定する周波数の測定ポイントを複数設定する設定工程と、
前記測定ポイントのゲインを順次測定する測定工程と、
前記測定工程を行うことにより得た前記圧電振動部品の共振点または共振点近傍の測定ポイントを仮共振点とする仮共振点設定工程と、
前記仮共振点の測定ポイントと、当該仮共振点の測定ポイントの隣接する測定ポイントとから、前記仮共振点を含むその近傍の各測定ポイントにおけるゲインの近似式を導き、前記近似式により真共振点を導く真共振点導出工程と、を有することを特徴とする圧電振動部品の周波数測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動部品の周波数測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、圧電振動部品として、例えば、圧電振動デバイスや、圧電振動デバイス内に設けられた圧電振動片などが挙げられる。この圧電振動デバイスでは、圧電振動片がベースとキャップとにより気密封止されている。
【０００３】
上記した圧電振動デバイスは、その製造工程において複数回周波数測定を行い、圧電振動デバイスの圧電振動片の周波数調整を行なう（例えば、下記する特許文献１ご参照。）。
【０００４】
下記する特許文献１の圧電振動片の周波数測定は、電極が形成されていない圧電振動片を対象としたエアーギャップ方式の非接触の周波数測定である。
【特許文献１】特開平１１−１４２４５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記した特許文献１に開示の周波数測定などの圧電振動部品の周波数測定を行なう場合、周波数測定装置自体の整備不良や分解能の低さなどが原因となる不具合により、周波数の測定結果に変動が生じる場合がある。
【０００６】
そこで、上記課題を解決するために、本発明は、圧電振動部品の周波数測定方法による不具合を抑えて周波数測定を安定させる圧電振動部品の周波数測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明にかかる圧電振動部品の周波数測定方法は、圧電振動部品の各周波数におけるゲインを、低周波数側と高周波数側との間を一方向に掃引しながら測定する圧電振動部品の周波数測定方法において、測定する周波数の帯域を設定し、前記帯域内で測定する周波数の測定ポイントを複数設定する設定工程と、前記測定ポイントのゲインを順次測定する測定工程と、前記測定工程による前記各測定ポイントのゲインのデータについて、当該測定ポイントとその隣接する測定ポイントに対して予め設定した重み付け条件により重み付けを行なって当該測定ポイントのゲインのデータを得る補正データ取得工程と、を有し、前記重み付け条件では、当該測定ポイントのゲインを、当該測定ポイントのゲインとその隣接する測定ポイントのゲインとから構成し、当該測定ポイントのゲインのうち、当該測定ポイントのゲインの割合と前記隣接する測定ポイントのゲインの割合とを設定し、当該測定ポイントのゲインの割合をその隣接する測定ポイントのゲインの割合に対して多くすることを特徴とする。
【０００８】
上記した本発明によれば、前記設定工程と前記測定工程と前記補正データ取得工程とを有し、前記重み付け条件では、当該測定ポイントのゲインを、当該測定ポイントのゲインとその隣接する測定ポイントのゲインとから構成し、当該測定ポイントのゲインのうち、当該測定ポイントのゲインの割合と前記隣接する測定ポイントのゲインの割合とを設定し、当該測定ポイントのゲインの割合をその隣接する測定ポイントのゲインの割合に対して多くするので、前記圧電振動部品の周波数測定の不具合を抑えて周波数測定を安定させることが可能となる。すなわち、上記した本発明によれば、前記設定工程と前記測定工程と前記補正データ取得工程とを有するので、当該測定ポイントとその隣接する測定ポイントとの差異を明確にしながら当該測定ポイントとその隣接する測定ポイントとの関連付けを行なうことが可能となり、全測定ポイントにおいてゲインが急峻に増加した測定ポイントを明確にすることが可能となる。その結果、当該圧電振動部品の共振点を短時間で容易に発見することが可能となる。また、本発明によれば、前記設定工程と前記測定工程と前記補正データ取得工程とを有するので、エアーギャップ方式の圧電振動部品の周波数測定方法の場合であっても、前記各測定ポイントを関係付けて周波数測定時のギャップ量の変化による周波数測定の変動を抑えることが可能となる。
【０００９】
前記方法において、基準となる測定ポイントの隣接する測定ポイントの範囲は、当該測定ポイントのそれぞれ低周波数側および高周波数側に１ポイント隣もしくは２ポイント隣であってもよい。
【００１０】
この場合、基準となる測定ポイントの隣接する測定ポイントの範囲は、当該測定ポイントのそれぞれ低周波数側および高周波数側に１ポイント隣もしくは２ポイント隣であるので、例えば、当該測定ポイントに関係する測定ポイントを合計５点以内にすることで、全測定ポイントから見て夫々隣接する測定ポイントの差異をより明確にしながら、全測定ポイントから見て夫々隣接するポイントとの関連付けを行なうのに好ましい。すなわち、当該測定ポイントに関係する測定ポイントの範囲を広くすると（例えば測定ポイントの範囲を５点とする）、当該測定ポイントに隣接する測定ポイントの値（ゲインデータ）を考慮した高精度な周波数測定の補正を行うことが可能となる。また、当該測定ポイントに関係する測定ポイントが合計３点であることも好適である。すなわち、当該測定ポイントに関係する測定ポイントの範囲を狭くすると（例えば測定ポイントの範囲を３点とする）、実用的な精度で高速な周波数測定の補正を行うことが可能となる。そのため、周波数測定時間の短縮を図ることが可能となる。
【００１１】
前記方法において、前記低周波数側と高周波数側との間を一方向に掃引しながら測定する際に、最も低周波数側であって、隣接する測定ポイントのゲインに対して急峻にゲインが増加して最初の凸点の頂点となる測定ポイントを前記圧電振動部品の共振点としてもよい。
【００１２】
この場合、前記低周波数側と高周波数側との間を一方向に掃引しながら測定する際に、最も低周波数側であって、隣接する測定ポイントのゲインに対して急峻にゲインが増加して最初の凸点（ピークゲイン）の頂点となる測定ポイントを前記圧電振動部品の共振点とすることで、その後に発生するスプリアスによる励起点（ピークゲイン）を共振点とする誤測定を防止することが可能となる。
【００１３】
前記方法において、前記測定ポイントのうち、最も低周波数側の測定ポイントと最も高周波数側の測定ポイントは、前記重み付け条件における当該測定ポイントから外してもよい。
【００１４】
この場合、前記測定ポイントのうち、最も低周波数側の測定ポイントと最も高周波数側の測定ポイントは、前記重み付け条件における当該測定ポイントから外すので、最初の測定ポイント前の前記周波数の帯域外である前ポイントと、最後の測定ポイント後の前記周波数の帯域外である後ポイントをその隣接する測定ポイントとして仮測定ポイント設定しなくてもよく、仮測定ポイントを設定することによる誤測定を防止することが可能となる。
【００１５】
前記方法において、前記補正データ取得工程による各補正ゲインのデータについて、さらに補正データ取得工程を行ってもよい。すなわち、補正データ取得工程を複数回行ってもよい。
【００１６】
この場合、前記補正データ取得工程による各補正ゲインのデータについて、さらに補正データ取得工程を行っているので、周波数測定の際に発生するノイズを除去することが可能となり、補正データ取得工程が１回の時と比較して測定値を安定させるのに好ましい。具体的に、本発明では、２回目の補正データ取得工程では、１回目の補正データ取得工程で得た各補正ゲインのデータを用いるので、２回目の補正データ取得工程を１回目の補正データ取得工程に対して全体的な補正として行うことが可能となる。すなわち、複数回の補正データ取得工程（補正処理）を行うことにより、補正対象となる測定ポイント範囲が広がる。
【００１７】
前記方法において、圧電振動部品の各周波数におけるゲインを、エアーギャップ方式により低周波数側と高周波数側との間を一方向に掃引しながら測定してもよい。
【００１８】
この場合、エアーギャップ方式の前記圧電振動部品の周波数測定方法であるので、周波数測定時のギャップ量の変化が発生しやすいために周波数測定が安定しないが、本発明の構成によれば、エアーギャップ方式の前記圧電振動部品の周波数測定方法による不具合を抑えて周波数測定を安定させることが可能となる。なお、エアーギャップ方式の測定とは、圧電振動部品として水晶振動片を例にして、水晶振動片を下電極体上に搭載し、上電極体に近接させた状態で交流電圧を印加して水晶振動片の周波数を測定することである。このエアーギャップ方式の測定においては、隣接する搬送装置の振動により、水晶振動片と上電極体との近接距離（エアーギャップ）が微少変動する等、外的要因により測定が不安定になり、測定ノイズの原因になるが、本発明の特徴的な作用効果である周波数測定の補正はこの場合に特に有効である。
【００１９】
前記方法において、前記周波数の帯域を、前記帯域の中心周波数から低周波数側の帯域と、前記中心周波数から高周波数側の帯域とに区分して、前記低周波数側の帯域から低周波数特定帯域を設定するとともに、前記高周波数側の帯域内から高周波数特定帯域を設定する区分工程と、前記低周波数特定帯域における各測定ポイントにおけるゲインの平均値を算出するとともに、前記高周波数特定帯域における各測定ポイントにおけるゲインの平均値を算出する算出工程と、前記低周波数特定帯域でのゲインの平均値と、前記高周波数特定帯域でのゲインの平均値とから、周波数の高低によるゲインの変動を算出し、周波数の高低によるゲインの変動を補正する補正工程とを有してもよい。
【００２０】
この場合、区分工程と算出工程と補正工程とを有するので、当該圧電振動部品の周波数測定を行なう測定装置自体の整備不良などによって前記各測定ポイントにおけるゲインの変動がある場合であっても、すなわち、前記各測定ポイントにおけるゲイン波形全体が斜めに傾く場合、この変動（傾き）を補正することが可能となり、ゲインの最大点（共振点）を抽出することが確実となる。その結果、各周波数のゲイン特性の精度を高めることが可能となる。なお、測定器の機器校正を十分に行なえば、測定波形に傾きは生じないが、例えばエアーギャップ方式の場合、校正作業において測定電極（上電極体と下電極体）のショートを行うので、電極体の変形等が生じ、逆に整備不良になることがあるが、本発明によればこの問題が回避できる。
【００２１】
前記方法において、前記低周波数特定帯域は、前記低周波数側の帯域のうち最も低周波数の測定ポイントから高周波数側に向けて前記周波数の帯域のうち約１／４の帯域であり、前記高周波数特定帯域は、前記高周波数側の帯域のうち最も高周波数の測定ポイントから低周波数側に向けて前記周波数の帯域のうち約１／４の帯域であってもよい。
【００２２】
この場合、前記低周波数特定帯域は、前記低周波数側の帯域のうち最も低周波数の測定ポイントから高周波数側に向けて前記周波数の帯域のうち約１／４の帯域であり、前記高周波数特定帯域は、前記高周波数側の帯域のうち最も高周波数の測定ポイントから低周波数側に向けて前記周波数の帯域のうち約１／４の帯域であるので、これらの測定ポイントに共振点が含まれることは少なく、測定装置自体の整備不良などによる前記各測定ポイントにおけるゲインの変動（前記各測定ポイントにおけるゲイン波形全体の傾き）を正確に算出することが可能となる。
【００２３】
前記方法において、前記測定工程を行うことにより得た前記圧電振動部品の共振点または共振点近傍の測定ポイントを仮共振点とする仮共振点設定工程と、前記仮共振点の測定ポイントと、当該仮共振点の測定ポイントの隣接する測定ポイントとから、前記仮共振点を含むその近傍の各測定ポイントにおけるゲインの近似式を導き、前記近似式により真共振点を導く真共振点導出工程と、を有してもよい。
【００２４】
この場合、安定していない状態での周波数測定による共振点を前記仮共振点とし、この仮共振点を用いてゲインの近似式を導き、この近似式から前記真共振点を測定するので、共振点である測定ポイントが前記真共振点から外れている場合であってもこの共振点を仮共振点とし、前記仮共振点を前記真共振点とせずに前記真共振点導出工程により正確に前記真共振点を求めることが可能となる。その結果、共振点付近の近似式化は、測定ポイントが粗くても真の共振点を求めやすくなる。具体的に、例えば、本発明がエアーギャップ方式の圧電振動部品の周波数測定方法の場合であり、周波数測定時のギャップ量の変化によって周波数測定が安定していない場合であっても前記真共振点を導出することが可能となり、周波数測定の安定化を図ることが可能となる。また、エアーギャップ方式の圧電振動部品の周波数測定方法では、前記各測定ポイントのいずれかが前記真共振点であればよいが、前記各測定ポイント自体が前記真共振点から外れている場合がある。この場合、前記真共振点近傍の周波数を大体の前記真共振点として導くことはできるが、前記各測定ポイントのいずれかから前記真共振点を導くことはできない。しかしながら、本発明によれば、仮共振点設定工程と真共振点導出工程とを有するので、前記各測定ポイントのいずれかから前記真共振点を導くことが可能となる。
【００２５】
また、上記の目的を達成するため、本発明にかかる圧電振動部品の周波数測定方法は、圧電振動部品の各周波数におけるゲインを、低周波数側と高周波数側との間を一方向に掃引しながら測定する圧電振動部品の周波数測定方法において、測定する周波数の帯域を設定し、前記帯域内で測定する周波数の測定ポイントを複数設定する設定工程と、前記測定ポイントのゲインを順次測定する測定工程と、前記測定工程を行うことにより得た前記圧電振動部品の共振点または共振点近傍の測定ポイントを仮共振点とする仮共振点設定工程と、前記仮共振点の測定ポイントと、当該仮共振点の測定ポイントの隣接する測定ポイントとから、前記仮共振点を含むその近傍の各測定ポイントにおけるゲインの近似式を導き、前記近似式により真共振点を導く真共振点導出工程と、を有することを特徴とする。
【００２６】
上記した本発明によれば、設定工程と測定工程と仮共振点設定工程と真共振点導出工程とを有するので、前記圧電振動部品の周波数測定の不具合を抑えて周波数測定を安定させることが可能となる。すなわち、上記した本発明によれば、安定していない状態での周波数測定による共振点を前記仮共振点とし、この仮共振点を用いてゲインの近似式を導き、この近似式から前記真共振点を測定するので、共振点である測定ポイントが前記真共振点から外れている場合であってもこの共振点を仮共振点とし、前記仮共振点を前記真共振点とせずに前記真共振点導出工程により正確に前記真共振点を求めることが可能となる。その結果、共振点付近の近似式化は、測定ポイントが粗くても真の共振点を求めやすくなる。具体的に、本発明がエアーギャップ方式の圧電振動部品の周波数測定方法の場合であり、周波数測定時のギャップ量の変化によって周波数測定が安定していない場合であっても前記真共振点を導出することが可能となり、周波数測定の安定化を図ることが可能となる。また、エアーギャップ方式の圧電振動部品の周波数測定方法では、前記各測定ポイントのいずれかが前記真共振点であればよいが、前記各測定ポイント自体が前記真共振点から外れている場合がある。この場合、前記真共振点近傍の周波数を大体の前記真共振点として導くことはできるが、前記各測定ポイントのいずれかから前記真共振点を導くことはできない。しかしながら、本発明によれば、設定工程と測定工程と仮共振点設定工程と真共振点導出工程とを有するので、前記各測定ポイントのいずれかから前記真共振点を導くことが可能となる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、圧電振動部品の周波数測定方法による不具合を抑えて周波数測定を安定させる圧電振動部品の周波数測定方法ことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示す実施例では、圧電振動デバイスとしてＡＴカット水晶振動子に本発明を適用した場合を示す。
【００２９】
本実施例にかかるＡＴカット水晶振動子１（以下、水晶振動子という）は、図１に示すように、ＡＴカット水晶振動片２（以下、水晶振動片という）と、この水晶振動片２を保持するベース３１と、ベース３１に保持した水晶振動片２を気密封止するためのキャップ３２とからなる。
【００３０】
この水晶振動子１では、ベース３１とキャップ３２とが接合されてその筐体であるパッケージ３が構成され、このパッケージ３内に内部空間４が形成される。この内部空間４のベース３１上に水晶振動片２が保持されるとともに、パッケージ３の内部空間４が気密封止されている。なお、図１に示すように、ベース３１と水晶振動片２とは、接合材５を用いて接合されている。次に、この水晶振動子１の各構成について説明する。
【００３１】
ベース３１は、図１に示すように、底部と、この底部から上方に延出した壁部とから構成される箱状体に形成されている。このベース３１は、セラミック材料からなる平面視矩形状の一枚板の底部上に、セラミック材料の直方体の壁部が積層して凹状に一体的に焼成されている。また、壁部は、底部の表面外周に沿って成形されている。この壁部の上面は、キャップ３２との接合領域であり、この接合領域には、キャップ３２と接合するためのメタライズ部３９が設けられている。
【００３２】
また、内部空間４内のベース３１の表面３３には、水晶振動片２の励振電極２４，２５と電気的に接続する電極パッド３４，３５が形成されている。これら電極パッド３４，３５は、ベース３１の裏面３６に形成される端子電極３７，３８に電気的に接続され、これら端子電極３７，３８が外部部品や外部機器の外部電極に接続される。なお、これらの電極パッド３４，３５や端子電極３７，３８は、タングステン、モリブデン等のメタライズ材料を印刷した後にベース３１と一体的に焼成して形成される。
【００３３】
キャップ３２は、金属材料からなり、図１に示すように、平面視矩形状の一枚板に成形されている。このキャップ３２は、シーム溶接やビーム溶接等の手法によりベース３１のメタライズ部３９に接合されて、キャップ３２とベース３１とによる水晶振動子１のパッケージ３が構成される。また、キャップ３２をセラミック材料とし、メタライズ部３９に代わりにガラス材料を用いて気密封止してもよい。
【００３４】
接合材５の材料には、複数の銀フィラを含有したシリコンからなる導電性接着剤が用いられ、接合材５を硬化させることで、複数の銀フィラが結合して導電性物質となる。
【００３５】
上記したパッケージ３の内部空間４に配された水晶振動片２は、図１に示すように、ＡＴカットの水晶片（図示省略）からなり一枚板の直方体に成形されている。また、この水晶振動片２の両主面２１，２２には、それぞれ励振電極２４，２５と、これらの励振電極２４，２５を外部電極（本実施例では、上記したベース３１の電極パッド３４，３５）と電気的に接続するために励振電極２４，２５から引き出した引出電極２６，２７とが形成されている。
【００３６】
そして、上記した水晶振動片２の引出電極２６，２７とベース３１の電極パッド３４，３５とが、接合材５により接合され、図１に示すように、水晶振動片２は、その一端部２８においてベース３１に片保持されている。
【００３７】
ところで、上記した水晶振動子１では、その製造工程の一工程に、周波数測定を行なって水晶振動子１の周波数調整などを行なう工程が含まれる。そこで、上記した水晶振動子１の周波数測定工程として、例えば、一枚のＡＴカットの水晶片から一枚板の直方体に成形されたブランク状態（電極未形成時の状態）の時の水晶振動片２の周波数測定工程（以下、第１周波数測定工程とする）や、水晶振動片２をベース３１に接合材５により接合した時の水晶振動子１の周波数測定工程（以下、第２周波数測定工程とする）や、ベース３１上に水晶振動片２を接合した後の水晶振動子１の周波数の所定周波数への合わせこみ時の周波数測定工程（以下、第３周波数測定とする）や、ベース３１にキャップ３２を接合してパッケージ３を構成した時の水晶振動子１の周波数測定工程（以下、第４周波数測定とする）や、出荷前の水晶振動子１の周波数測定工程（以下、第５周波数測定とする）などが挙げられる。
【００３８】
上記した第１周波数測定工程は、エアーギャップ方式の周波数測定装置（図示省略）を用いて行なっている。このエアーギャップ方式の周波数測定装置では、電極面が対向した上下電極が用いられ、これら上下電極の対向空間にブランク状態の水晶振動片２を配してブランク状態の水晶振動片２の周波数測定するものである。このエアーギャップ方式の周波数測定方法では、一方の電極（例えば下電極）をブランク状態の水晶振動片２に接触させ、かつ、他方の電極（例えば上電極）をブランク状態の水晶振動片２と非接触状態として他方の電極とブランク状態の水晶振動片２とには間隙（エアーギャップ）を形成する。この状態で、ネットワークアナライザを用いて上電極と下電極とによりブランク状態の水晶振動片２に対して交流電圧を印加してブランク状態の水晶振動片２の周波数測定（各周波数におけるゲイン（出力信号）特性の測定）を行なう。なお、この第１周波数測定工程は多くの場合用いられるが、それ以降の周波数調整は必要に応じて任意に行う工程である。
【００３９】
また、上記した第２〜５周波数測定工程は、プローブピンを用いた接触型の周波数測定装置（図示省略）を用いて行なっている。この周波数測定方装置では、一対のプローブピンを用い、この一対のプローブピンを水晶振動子１の各入出力電極（端子電極３７，３８）に接触させる。この状態で、ネットワークアナライザを用いて一対のプローブピンにより水晶振動子１に対して交流電圧を印加して水晶振動子１の周波数測定（各周波数におけるゲイン（出力信号）特性の測定）を行なう。
【００４０】
上記した第１〜５周波数測定工程では、すべてネットワークアナライザを用いて圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定を行なっている。そこで、次に、このネットワークアナライザを用いた圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定について図面を用いて以下に説明する。なお、本実施例の第１〜５周波数測定では、それぞれ周波数測定範囲のスケールが異なり、そのため、本実施例の第１〜５周波数測定で用いる周波数測定装置はそれぞれ異なる場合もあるが、これら本実施例の第１〜５周波数測定の基本的な周波数測定工程は共通であるので、本実施例では同一工程として扱うが、上記したことから第１〜５周波数測定が本実施例に限定されることはない。また、本実施例にかかる周波数測定では、３つの特徴となる周波数測定が含まれており、便宜上これらの周波数測定を第１〜３周波数測定（下記参照）とする。また、本実施例にかかる周波数測定（第１〜３周波数測定）は、圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲイン（出力信号）を、低周波数側から高周波数側にかけて掃引しながら測定するものである。なお、上記したように、第１周波数測定ではエアーギャップ方式の非接触の周波数測定であり、第２〜５周波数測定ではプローブピン接触による周波数測定である。
【００４１】
第１周波数測定では、まず、測定する周波数の帯域を設定し、この帯域内で測定する周波数の測定ポイントを複数設定する（本発明でいう設定工程）。なお、本実施例では、測定する周波数の帯域を、４５．５３５〜４７．８６５ＭＨｚに設定し、測定ポイントを１６００ポイントに設定し、ネットワークアナライザにより圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲインを、低周波数側から高周波数側にかけて掃引しながら測定する。なお、図２に示すデータは、第１周波数測定を行なわずに従来の方法による周波数測定によって、ネットワークアナライザにより圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲインを、低周波数側から高周波数側にかけて掃引しながら測定したデータであり、図２に示すように、低周波数側から高周波数側にかけてゲインの波形全体が右肩上がりに傾いていることがわかる。これは、周波数測定装置自体の整備不良などが原因となる不具合により周波数の測定結果に変動が生じていることを表す。
【００４２】
設定工程の後に、１６００ポイントの各測定ポイントにおいて、測定ポイントのゲインを順次測定する測定し（本発明でいう測定工程）、測定工程による各測定ポイントのゲインのデータについて、各測定ポイントとその隣接する測定ポイント（以下、隣接測定ポイントともいう）とに対して予め設定した重み付け条件により重み付けを行なって各測定ポイントのゲインのデータを得る（本発明でいう補正データ取得工程）。
【００４３】
ここでいう重み付けとは、中心値の正負の度数が同程度に広がる正規分布状態に行うことや、重み付けして参照範囲の値を加算して補正値とすることを意味する。そこで、本実施例にかかる重み付け条件では、各測定ポイントのゲインを、基準となる測定ポイント（以下、基準測定ポイントともいう）のゲインとその隣接測定ポイントのゲインとから構成し、基準測定ポイントのゲインのうち、基準測定ポイントのゲインの割合と隣接測定ポイントのゲインの割合とを設定する。なお、ここでの設定割合条件として、基準測定ポイントのゲインの割合を隣接測定ポイントのゲインの割合に対して多くすることが挙げられる。具体的に、本実施例でいう隣接測定ポイントの範囲は、基準測定ポイントのそれぞれ低周波数側および高周波数側に１ポイント隣の測定ポイントとする。そのため、合計３ポイントにより基準測定ポイントの重み付けを行なっている。また、基準測定ポイントのゲインのうちの約１／２を基準測定ポイントのゲインの割合とし、約１／４ずつを隣接する２つの隣接測定ポイントのゲインの割合と設定する。
【００４４】
また、低周波数側から高周波数側にかけて周波数を掃引しながら測定する際に、最も低周波数側であって、隣接する測定ポイントのゲインに対して急峻にゲインが増加して最初の凸点（ピークゲイン）の頂点となる測定ポイントを圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の共振点とする。
【００４５】
また、測定ポイントのうち、最も低周波数側の測定ポイント（設定した周波数の帯域のうち最低周波数側から１ポイント目）と最も高周波数側の測定ポイント（設定した周波数の帯域のうち最低周波数側から１６００ポイント目）は、重み付け条件における測定ポイントから外している。
【００４６】
この第１周波数測定では、低周波数側から高周波数側にかけて掃引して測定する回数（周波数測定回数）は通常１回でよいが、複数回周波数測定を行ってその平均値を測定データとして設定してもよい。例えば、周波数測定の際に圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）にかける電力（ドライブレベル）を小さくすると測定結果（波形）が小さくなるため、周囲からのノイズ成分が無視できなくなる場合があるが、複数回の周波数測定を行いその平均値を測定データとしてすることにより、ノイズ成分の低減を行うことができる。
【００４７】
また、測定工程による前記各測定ポイントのゲインのデータ（測定データ測定データ）に対して、重み付けによる補正データ取得工程を実行するが、この補正データ取得工程は複数回繰り返してもよい。例えば、測定データに対して重み付けによる補正データ取得工程にて第１次補正データを取得し、当該第１次補正データに対してさらに重み付けによる補正データ取得工程を実行することにより第２次補正データを取得する。このように補正データ取得工程を複数回（例えば５回）繰り返すことにより、よりノイズ成分を抑制することができる。
【００４８】
そこで、上記した設定条件に基づいて第１周波数測定により圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定を行なったところ、図３（ａ）に示すような圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲイン特性を得た。
【００４９】
この図３（ａ）に示す圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲイン特性によれば、図２に示すデータと比較して各周波数におけるゲインの変動を抑えていることが分かる。そのため、図２に示すデータと比較して確実に共振点が４６．７００〜４６．８４６ＭＨｚの間のピークゲインであることがわかる。
【００５０】
次に、第２周波数測定では、まず、測定する周波数の帯域を設定し、この帯域内で測定する周波数の測定ポイントを複数設定する（本発明でいう設定工程）。なお、本実施例では、測定する周波数の帯域を、上記した第１周波数測定と同様に４５．５３５〜４７．８６５ＭＨｚに設定し、測定ポイントを１６００ポイントに設定し、ネットワークアナライザにより圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲインを、低周波数側から高周波数側にかけて掃引しながら測定する。
【００５１】
この第２周波数測定では、周波数の帯域を、帯域の中心周波数から低周波数側の帯域と、中心周波数から高周波数側の帯域とに区分して、低周波数側の帯域から低周波数特定帯域を設定するとともに、高周波数側の帯域内から高周波数特定帯域を設定する（本発明でいう区分工程）。本実施例では、低周波数特定帯域は、低周波数側の帯域のうち最も低周波数の測定ポイント（設定した周波数の帯域のうち最低周波数側から１ポイント目）から高周波数側に向けて周波数の帯域のうち約１／４の帯域に設定され、高周波数特定帯域は、高周波数側の帯域のうち最も高周波数の測定ポイント（設定した周波数の帯域のうち最高周波数側から１ポイント目）から低周波数側に向けて周波数の帯域のうち約１／４の帯域に設定されている。なお、ここでいう約１／４の帯域とは、厳密にいう１／４の帯域だけでなく、ほぼ１／４の帯域をも含む。
【００５２】
そして、区分工程において設定した低周波数特定帯域における各測定ポイントにおけるゲインの平均値を算出するとともに、高周波数特定帯域における各測定ポイントにおけるゲインの平均値を算出する（本発明でいう算出工程）。
【００５３】
算出工程において算出した低周波数特定帯域でのゲインの平均値と、高周波数特定帯域でのゲインの平均値とから、周波数の高低によるゲインの変動を算出し、周波数の高低によるゲインの変動を補正する（本発明でいう補正工程）。
【００５４】
そこで、上記した設定条件に基づいて第２周波数測定により圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定を行なったところ、図３（ｂ）に示すような圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲイン特性を得た。すなわち、ここでは、各周波数（測定ポイント）におけるゲインの波形を一次近似化し、その傾き分（量）に基づいて各測定ポイント毎のゲインのデータを補正する。
【００５５】
この図３（ｂ）に示す圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲイン特性によれば、図２に示すデータと比較して各周波数におけるゲインの傾きを抑えていることが分かる。
【００５６】
なお、上記した第１，２周波数測定はそれぞれ単独で用いるだけでなく、併せて同時に用いてもよい。そこで、上記した第１，２周波数測定を実際に併せて用いた周波数測定のデータを図３（ｃ）に示す。
【００５７】
この図３（ｃ）に示す圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲイン特性によれば、図２に示すデータと比較して各周波数におけるゲインの変動および傾きを抑えることが分かる。このことから、上記した第１，２周波数測定を単独で用いた周波数測定よりも、上記した第１，２周波数測定を併せて用いた周波数測定がより精度が高い周波数測定であることがわかる。
【００５８】
次に、第３周波数測定では、まず、測定する周波数の帯域を設定し、この帯域内で測定する周波数の測定ポイントを複数設定する（本発明でいう設定工程）。なお、本実施例では、測定する周波数の帯域を、上記した第１，２周波数測定と同様に４５．５３５〜４７．８６５ＭＨｚに設定し、測定ポイントを１６００ポイントに設定し、ネットワークアナライザにより圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲインを、低周波数側から高周波数側にかけて掃引しながら測定する。
【００５９】
また、測定工程を行うことにより得た圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の共振点または共振点近傍の測定ポイントを仮共振点とする（本発明でいう仮共振点設定工程）。例えば、本実施例では、低周波数側から高周波数側にかけて周波数を掃引しながら測定する際に隣接する測定ポイントに対して急峻にゲインが増加して最初の凸点（ピークゲイン）の頂点となる測定ポイントを圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の仮共振点とする。
【００６０】
そして、仮共振点設定工程において設定した仮共振点の測定ポイントと、仮共振点の測定ポイントの隣接する測定ポイントとから、仮共振点を含むその近傍の各測定ポイントにおけるゲインの近似式を導き、近似式により真共振点を導く（本発明でいう真共振点導出工程）。
【００６１】
第３周波数測定では、上記した設定条件に基づいて圧電振動部品の周波数測定を行なう。
【００６２】
そこで、上記した設定条件に基づいて第３周波数測定により圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定を行なったところ、図３（ｄ）に示すような圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の各周波数におけるゲインの近似式を導いた。この図３（ｄ）に示すように、測定した共振点が仮共振点の場合、この共振点は真共振点ではないことがわかる。しかしながら、第３周波数測定では、ゲインの近似式（近似線）を導いているので、このゲインの近似式（近似線）から真共振点を容易に導くことができる。
【００６３】
なお、この第３周波数測定は単独で用いるだけでなく、上記した第１，２周波数測定と併せて用いることもできる。また、これら第１〜３周波数測定の併合は、圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の製造工程において周波数測定の精度を重要視するか否かによって決定することが好ましい。
【００６４】
また、上記したように、上記した第１〜５周波数測定工程では、水晶振動子１の製造工程の後工程になるほど高精度の周波数測定を必要とする。そのため、第１〜５周波数測定工程それぞれにおいて、上記した第１〜３周波数測定を単独で用いるか、もしくはこれら第１〜３周波数測定の組み合わせを、周波数測定の精度に応じて任意に設定することが好ましい。
【００６５】
上記したように、本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法によれば、設定工程と測定工程と補正データ取得工程とを有し、重み付け条件では、当該測定ポイントのゲインを、当該測定ポイントのゲインとその隣接する測定ポイントのゲインとから構成し、当該測定ポイントのゲインのうち、当該測定ポイントのゲインの割合と隣接する測定ポイントのゲインの割合とを設定し、当該測定ポイントのゲインの割合をその隣接する測定ポイントのゲインの割合に対して多くするので、圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定の不具合を抑えて周波数測定を安定させることができる。
【００６６】
すなわち、上記した本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法によれば、設定工程と測定工程と補正データ取得工程とを有するので、当該測定ポイント（基準測定ポイント）とその隣接する測定ポイント（隣接測定ポイント）との差異を明確にしながら基準測定ポイントと隣接測定ポイントとの関連付けを行なうことができ、全測定ポイントにおいてゲインが急峻に増加した測定ポイントを明確にすることができる。その結果、圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の共振点を短時間で容易に発見することができる。
【００６７】
また、上記した本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法によれば、設定工程と測定工程と補正データ取得工程とを有するので、エアーギャップ方式の圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法の場合であっても、各測定ポイントを関係付けて周波数測定時のギャップ量の変化による周波数測定の変動を抑えることができる。
【００６８】
また、上記した本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法によれば、隣接測定ポイントの範囲は、基準測定ポイントのそれぞれ低周波数側および高周波数側に１ポイント隣であるので、全測定ポイントから見て夫々隣接する測定ポイントの差異をより明確にしながら、全測定ポイントから見て夫々隣接するポイントとの関連付けを行なうのに好ましい。特に、本実施例のように、基準測定ポイントに関係する測定ポイントが合計３点であることが好適である。すなわち、当該測定ポイントに関係する測定ポイントの範囲を狭くすると（例えば測定ポイントの範囲を３点とする）、実用的な精度で高速な周波数測定の補正を行うことが可能となる。そのため、周波数測定時間の短縮を図ることが可能となる。なお、本実施例では測定ポイントの範囲を３点としたが、これは好適な例でありこれに限定されるものではない。すなわち、当該測定ポイントに関係する測定ポイントの範囲を広くすると（例えば測定ポイントの範囲を５点とする）、当該測定ポイントに隣接する測定ポイントの値（ゲインデータ）を考慮した高精度な周波数測定の補正を行うことが可能となる。
【００６９】
また、上記した本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法によれば、低周波数側から高周波数側にかけて周波数を掃引しながら測定する際に、最も低周波数側であって、隣接する測定ポイントのゲインに対して急峻にゲインが増加して最初の凸点（ピークゲイン）の頂点となる測定ポイントを圧電振動部品の共振点とすることで、その後に発生するスプリアスによる励起点（ピークゲイン）を共振点とする誤測定を防止することができる。
【００７０】
また、上記した本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法によれば、測定ポイントのうち、最も低周波数側の測定ポイントと最も高周波数側の測定ポイントは、重み付け条件における当該測定ポイントから外すので、最初の測定ポイント前の周波数の帯域外である前ポイントと、最後の測定ポイント後の周波数の帯域外である後ポイントをその隣接する測定ポイントとして仮測定ポイント設定しなくてもよく、仮測定ポイントを設定することによる誤測定を防止することができる。
【００７１】
また、上記した本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法によれば、補正データ取得工程による各補正ゲインのデータについて、さらに補正データ取得工程を行っているので、周波数測定の際に発生するノイズを除去することができ、補正データ取得工程が１回の時と比較して測定値を安定させるのに好ましい。具体的に、本実施例では、２回目の補正データ取得工程において、１回目の補正データ取得工程で得た各補正ゲインのデータを用いるので、２回目の補正データ取得工程を１回目の補正データ取得工程に対して全体的な補正として行うことができる。すなわち、複数回の補正データ取得工程（補正処理）を行うことにより、補正対象となる測定ポイント範囲が広がる。
【００７２】
また、上記した本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法は、エアーギャップ方式の圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法であるので、周波数測定時のギャップ量の変化が発生しやすいために周波数測定が安定しないが、本実施例の構成によれば、エアーギャップ方式の圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法による不具合を抑えて周波数測定を安定させることができる。なお、エアーギャップ方式の測定とは、圧電振動部品として水晶振動片を例にして、水晶振動片を下電極体上に搭載し、上電極体に近接させる状態で交流電圧を印加して水晶振動片の周波数を測定することである。このエアーギャップ方式の測定においては、隣接する搬送装置の振動により、水晶振動片と上電極体との近接距離（エアーギャップ）が微少変動する等、外的要因により測定が不安定になり、測定ノイズの原因になるが、本実施例の特徴的な作用効果である周波数測定の補正はこの場合に特に有効である。
【００７３】
また、上記した本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法によれば、設定工程と区分工程と算出工程と補正工程とを有するので、圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定を行なう測定装置自体の整備不良などによって各測定ポイントにおけるゲインの変動がある場合であっても、すなわち、各測定ポイントにおけるゲイン波形全体が斜めに傾く場合、この変動（傾き）を補正することができ、ゲインの最大点（共振点）を抽出することが確実となる。その結果、各周波数のゲイン特性の精度を高めることができる。なお、測定器の機器校正を十分に行なえば、測定波形に傾きは生じないが、例えばエアーギャップ方式の場合、校正作業において測定電極（上電極体と下電極体）のショートを行うので、電極体の変形等が生じ、逆に整備不良になることがあるが、本実施例によればこの問題が回避できる。各周波数のゲイン特性の精度を高めることができる。
【００７４】
また、上記した本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法によれば、低周波数特定帯域は、低周波数側の帯域のうち最も低周波数の測定ポイントから高周波数側に向けて周波数の帯域のうち約１／４の帯域であり、高周波数特定帯域は、高周波数側の帯域のうち最も高周波数の測定ポイントから低周波数側に向けて周波数の帯域のうち約１／４の帯域であるので、これらの測定ポイントに共振点が含まれることは少なく、測定装置自体の整備不良などによる各測定ポイントにおけるゲインの変動（各測定ポイントにおけるゲイン波形全体の傾き）を正確に算出することができる。
【００７５】
また、上記した本実施例にかかる圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定方法によれば、設定工程と測定工程と仮共振点設定工程と真共振点導出工程とを有するので、圧電振動部品（水晶振動子１，水晶振動片２）の周波数測定の不具合を抑えて周波数測定を安定させることができる。すなわち、上記した本実施例によれば、安定していない状態での周波数測定による共振点を仮共振点とし、この仮共振点を用いてゲインの近似式を導き、この近似式から真共振点を測定するので、共振点である測定ポイントが真共振点から外れている場合であってもこの共振点を仮共振点とし、仮共振点を真共振点とせずに真共振点導出工程により正確に真共振点を求めることができる。その結果、共振点付近の近似式化は、測定ポイントが粗くても真の共振点を求めやすくなる。具体的に、例えば、本実施例がエアーギャップ方式の圧電振動部品の周波数測定方法の場合であり、周波数測定時のギャップ量の変化によって周波数測定が安定していない場合であっても、真共振点を導出することができ、周波数測定の安定化を図ることができる。また、エアーギャップ方式の圧電振動部品の周波数測定方法では、各測定ポイントのいずれかが真共振点であればよいが、各測定ポイント自体が真共振点から外れている場合がある。この場合、真共振点近傍の周波数を大体の真共振点として導くことはできるが、各測定ポイントのいずれかから真共振点を導くことはできない。しかしながら、本実施例によれば、設定工程と測定工程と仮共振点設定工程と真共振点導出工程とを有するので、各測定ポイントのいずれかから真共振点を導くことができる。
【００７６】
なお、本実施例では、圧電振動デバイスとしてＡＴカット水晶振動子を用いているが、これに限定されるものではなく、厚みすべり系であれば他の形態の水晶振動子であってもよい。
【００７７】
また、本実施例では、水晶振動片２が一枚板の直方体に成形されているが、これに限定されるものではなく、水晶振動片２の両主面２１，２２に凹部が形成され（逆メサ形成）、水晶振動子１の高周波化に対応してもよい。
【００７８】
また、本実施例では、接合材５として導電性接着剤を用いているが、これに限定されるものではなく、接続バンプを用いてもよく、この場合パッケージ３の小型化に有用である。
【００７９】
なお、本実施例では、低周波数側から高周波数側にかけて掃引しながら周波数を測定しているが、これに限定されるものではなく、高周波数側から低周波数側にかけて掃引しながら周波数を測定してもよい。
【００８０】
また、本実施例では、隣接測定ポイントが、基準測定ポイントからそれぞれ低周波数側および高周波数側に１ポイントずつ隣の測定ポイントであるが、これに限定されるものではなく、それぞれ２ポイントずつ隣であってもよい。この場合であっても、全測定ポイントから見て夫々隣接する測定ポイントの差異をより明確にしながら、全測定ポイントから見て夫々隣接するポイントとの関連付けを行なうことができる。
【００８１】
また、本実施例では、補正データ取得工程の工程回数を例えば５回としているが、これに限定されるものではなく、１回や３回や７回など任意の回数に設定してもよい。なお、補正データ取得工程の工程回数を増加させることは、補正データ取得工程の工程回数が１回の時と比較して測定値を安定させるのに好ましい。
【００８２】
なお、本発明は、その精神や主旨または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施例はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明は、圧電振動部品、特に水晶振動子や水晶振動片の周波数測定に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】図１は、本実施例にかかる水晶振動子の概略構成図である。図１（ａ）は、本実施例にかかる、キャップを外した状態の水晶振動子の概略平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図２】図２は、従来の圧電振動部品の周波数測定による各周波数のゲインを示したデータ図である。
【図３】図３は、本実施例にかかる圧電振動部品の周波数測定による各周波数のゲインを示したデータ図である。図３（ａ）は、本実施例にかかる第１周波数測定による各周波数のゲインを示したデータ図である。図３（ｂ）は、本実施例にかかる第２周波数測定による各周波数のゲインを示したデータ図である。図３（ｃ）は、本実施例にかかる第１，２周波数測定による各周波数のゲインを示したデータ図である。図３（ｄ）は、本実施例にかかる第３周波数測定による各周波数のゲインを示したデータ図である。
【符号の説明】
【００８５】
１  水晶振動子
２  水晶振動片
２４，２５  励振電極
３  パッケージ
３１  ベース
３２  キャップ
４  内部空間
【図１】
2007198799.tif 000003
【図２】
2007198799.tif 000004
【図３】
2007198799.tif 000005