(57)【要約】【課題】処理槽から回収タンクへ回収される処理液の泡発生を抑制する。【解決手段】洗浄部は、回収管１８を通じて処理槽から回収される使用済みの洗浄液を貯溜する貯溜用タンク１２を有する。タンク１２内には、水平面に対して鋭角をなし、回収管１８を通じて回収される洗浄液を流下させつつ液溜まりＰに合流させるスロープ部３２をもつ液受部材３０が設けられ、このスロープ部３２には、戻り液の勢いを減殺する緩衝部材１９Ｃが設けられている。この緩衝部材１９Ｃは塩化ビニリデン系繊維の集合物により構成されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理液を供給することにより処理を施す処理槽と、使用済みの処理液を前記処理槽から回収して貯溜するタンクとを備えた基板処理装置において、
前記処理槽からタンク内の液溜まりに至る処理液の回収経路上の少なくとも一部に、この回収経路に沿って流動する処理液の勢いを減殺する緩衝部材が設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項２に記載の基板処理装置において、
前記緩衝部材は繊維状部材からなることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の基板処理装置において、
前記回収経路は、前記処理槽からタンクに至る処理液の回収配管を有し、この回収配管内の少なくとも一部に前記緩衝部材が設けられることを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の基板処理装置において、
前記緩衝部材は、前記回収配管のうち前記処理槽との接続部分の近傍に設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の基板処理装置において、
前記緩衝部材は、前記回収配管のうち前記タンクとの接続部分の近傍に設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項３乃至４の何れかに記載の基板処理装置において、
前記緩衝部材は繊維状部材からなるものであって、前記回収配管内に圧縮された状態で充填されることによりその復元力によって回収配管内に保持されていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
請求項１又は２に記載の基板処理装置において、
前記回収経路は、前記タンク内に導入された処理液を流下させつつ同タンク内の液溜まりに合流させるスロープ部材を有し、このスロープ部材は、その上面に前記緩衝部材が設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示ディスプレイ（ＬＣＤ）又はプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用ガラス基板、半導体基板などの各種基板の表面に各種処理液を供給して所定の処理を行う基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ＬＣＤ用ガラス基板等の矩形の基板をローラコンベアにより搬送しながら、その上方に配置されたシャワーユニットから処理液を供給することにより基板表面に各種処理を施すとともに、この処理に使用された処理液を回収し、再度シャワーユニットに給送して使用するように構成された処理液循環型の基板処理装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２０００−１７３８９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この種の装置では、基板に供給された処理液は、排液管を通じて回収タンクに導入されるが、特に界面活性剤を含むものなど泡立ちの良い処理液が使用されている場合には、回収過程で多量の泡が発生し、回収タンク内が多量の泡で満たされる場合がある。例えば、排液管の垂直部分から水平部分に処理液が流れ込む際には、水平部分の壁面に処理液が衝突することにより攪拌されて泡が発生する。また、処理液（戻り液）が回収タンク内の溜まり液に合流する際に液面が波立ち、これによって処理液が攪拌されて泡が発生する。
【０００４】
ところが、回収タンク内が泡で満たされると種々のトラブルの原因となる。例えば処理液循環型の基板処理装置では、泡の吸引により負荷が急変してポンプが破損するとったトラブルを招くことが考えられる。また、シャワーユニットからの処理液の供給に斑が生じるなどの処理液の供給不良を招くことも考えられる。そのため、上記のような泡の発生を抑制することが求められる。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、基板処理後の処理液をタンクに回収する過程において泡の発生を効果的に抑制することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、基板に処理液を供給することにより処理を施す処理槽と、使用済みの処理液を前記処理槽から回収して貯溜するタンクとを備えた基板処理装置において、前記処理槽からタンク内の液溜まりに至る処理液の回収経路上の少なくとも一部に、この回収経路に沿って流動する処理液の勢いを減殺する緩衝部材が設けられているものである（請求項１）。
【０００７】
この基板処理装置によると、処理槽から導出され、回収経路に沿って流れる処理液の勢いが緩衝部材によって減殺されることにより、例えば処理液と配管内壁との衝突、あるいは処理液とタンク内の液溜まりとの衝突が緩和される。また、緩衝部材よって適度に処理液が堰き止められることにより渦流等の発生が抑えられ、これらの作用により泡の発生が抑制される。
【０００８】
この構成において、前記緩衝部材は繊維状部材からなるのが好適である（請求項２）。このような緩衝部材によると、処理液の勢いを適度に減殺する一方で、必要以上に多くの処理液が堰き止められるのを回避することが可能となる。
【０００９】
より具体的に、例えば前記回収経路として前記処理槽からタンクに至る処理液の回収配管を有する場合には、この回収配管の少なくとも一部に前記緩衝部材が設けられる（請求項３）。この場合、前記緩衝部材は、前記回収配管のうち前記処理槽との接続部分の近傍に設けられているのが好適である（請求項４）。
【００１０】
この構成によれば、使用済みの処理液が適度に液溜まりを形成しながら処理槽から回収配管内に流れ込むこととなるため、処理槽内の使用済みの処理液が、渦流を形成して多量の空気を巻き込みながら回収配管内に流れ込むといった現象の発生が抑えられる。
【００１１】
また、前記緩衝部材は、前記回収配管のうち前記タンクとの接続部分の近傍に設けられていてもよい（請求項５）。
【００１２】
この構成によれば、タンクへの導入直前に処理液の勢いが減殺される。これによりタンク内の液溜まりに処理液が激しく衝突して液面が波立つといった現象の発生が抑えられる。
【００１３】
なお、回収配管内に緩衝部材を配置する方法としては種々の方法があるが、前記緩衝部材が繊維状部材からなる場合、回収配管内に圧縮された状態で充填されることによりその復元力（弾発力）によって回収配管内に保持されているのが好適である（請求項６）。
【００１４】
この構成によれば、回収配管に対する緩衝部材の脱着が容易となり、メンテナンス性が向上する。
【００１５】
また、上記のように回収配管内に緩衝部材を設ける以外に、例えばダンク内に導入される処理液を流下させつつ同タンク内の液溜まりに合流させるスロープ部材を有する場合には、このスロープ部材の上面、すなわち処理液の流動面に前記緩衝部材が設けられているものであってもよい（請求項７）。
【００１６】
すなわち、タンク内には、処理液を緩い斜面、つまりスロープ部材に沿って流下させつつ液溜まりに合流させることにより泡立ちを抑えるようにするものもあり、上記のようにこのスロープ部材に緩衝部材を設ける構成によれば、スロープ部材に沿って流下する処理液と液溜まりとの合流時の衝突を緩和して波立ちを抑えることが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の基板処理装置によれば、処理槽から回収経路に沿って流動する処理液の勢いを積極的に減殺し、これにより処理液と配管内壁の衝突、あるいはタンク導入時の処理液と液溜まりとの衝突を緩和するようにしたので、当該衝突等による泡の発生を効果的に抑制することができる。また、緩衝部材よって処理液を適度に堰き止め、これにより渦流等の発生を防止し得るようにしているので、このような渦流に起因する泡の発生を効果的に抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１９】
図１は、本発明に係る基板処理装置が組み込まれた基板処理システムを概略的に示している。同図に示す基板処理システム１は、基板Ｂに洗浄処理を施すためのシステムで、基板導入部２、洗浄部３（本発明に係る基板処理装置に相当する）、水洗部４および基板導出部５を直列に備えており、基板導入部２に導入される基板Ｂを、ローラコンベア６（以下、単にコンベア６という）により搬送しつつ、順次洗浄部３による洗浄処理、水洗部４による水洗処理を施した後、基板導出部５から次工程へと導出するように構成されている。
【００２０】
基板導入部２には、上工程から、例えば基板Ｂを受け取る図外のロボットハンドが付設されており、基板Ｂは、このロボットハンドに支持された状態で基板導入部２内に搬入され、前記コンベア６上に載置されるようになっている。なお、コンベア６側には、リフトピンが出没（昇降）可能に設けられており、基板Ｂはロボットハンドからリフトピン上に移載され、その後、リフトピンが下降することによりコンベア６上に載置されるようになっている。
【００２１】
洗浄部３は、箱形の処理槽３ａと、この処理槽３ａ内に配設されるシャワーユニット１０と、洗浄液（処理液）の循環系統等とを有しており、コンベア６によって搬送されてくる基板Ｂに対し、前記シャワーユニット１０により洗浄液を供給することにより洗浄処理を施すとともに、使用後の洗浄液を回収しつつ再度シャワーユニット１０に供給するように構成されている。
【００２２】
シャワーユニット１０はコンベア６の上方に配置されており、例えばマトリックス状に設けられた複数のノズル１１から霧状、あるいは液滴状の洗浄液を吐出することにより基板Ｂの表面（同図では上面）に対して洗浄液を供給するようになっている。なお、洗浄液（処理液）の循環系統については後に詳述することにする。
【００２３】
水洗部４は、洗浄部３と同様、箱形の処理槽４ａと、この処理槽４ａ内に配設される一対のシャワーユニット２０ａ，２０ｂと、純水（処理液）の供給および回収系統等とを有している。シャワーユニット２０ａ，２０ｂは、コンベア６を挟んで上下両側に配置されており、これらユニット２０ａ，２０ｂに設けられたノズル２１から液滴状の純水を吐出することにより、コンベア６に沿って搬送されてくる基板Ｂに対してその上下両面に純水を供給するようになっている。
【００２４】
純水の供給系統は、純水の供給源２４と図外のポンプを備えた供給管２６とからなり、ポンプの作動により常に新しい純水をシャワーユニット２０ａ，２０ｂに供給するように構成されている。また、回収系統は、処理槽３ａから使用済みの純水を導出する回収管２８と、これを通じて導出された使用済みの純水を廃液として貯溜する廃液用タンク２２とから構成されており、タンク２２内の廃液は一定量溜まると廃棄されるようになっている。
【００２５】
基板導出部５には、基板Ｂに対してエアを吹き付ける一対のエアナイフ２９ａ，２９ｂが設けられている。エアナイフ２９ａ，２９ｂは、コンベア６を挟んで上下両側に配置されており、コンベア６に沿って搬送されてくる基板Ｂに対してその上下両面から斜め上流側に向かってエアを吹き付けるようになっている。
【００２６】
基板導出部５には、基板導入部２と同様にロボットハンドが付設されており、このロボットハンドによりコンベア６上の基板Ｂをピックアップして次工程に搬出するように構成されている。なお、基板導出部５においてもコンベア６側にはリフトピンが出没（昇降）可能に設けられており、基板Ｂは、まずリフトピンの上昇によりコンベア６からリフトアップされ、その後、ロボットハンドによりその下側から支持された状態でピックアップされるようになっている。
【００２７】
以上の構成により、この基板処理システム１では、基板導入部２に導入される基板Ｂをコンベア６により搬送しつつ洗浄処理および水洗処理を基板Ｂに順次施した後、基板導出部５から次工程へと搬出するようになっている。
【００２８】
次に、上記洗浄部３における洗浄液の循環系統について説明する。
【００２９】
洗浄液の循環系統は、図１に示すように、洗浄液を貯溜するタンク１２と、ここに貯溜される洗浄液をシャワーユニット１０に供給するためのポンプ１４および液供給管１６と、前記処理槽３ａから使用済みの洗浄液を導出してタンク１２に戻す回収管１８とから構成されている。すなわち、ポンプ１４の作動により液供給管１６を通じてタンク１２内の洗浄液をシャワーユニット１０に給送し、シャワーユニット１０から基板Ｂに洗浄液を供給しつつ処理を施した後、処理槽３ａに形成された漏斗状内底部に沿って使用済みの洗浄液を一箇所に集めながら回収管１８を通じてタンク１２に戻すようになっている。
【００３０】
なお、洗浄液には界面活性剤を含むものもあり、この種の洗浄液が使用される場合には、使用済みの洗浄液が処理槽３ａからタンク１２内に回収される過程で多量の泡が発生することが考えられる。そこで、洗浄部３では、このような泡の発生を抑制し得るように洗浄液の回収経路が構成されており、この点について以下に詳述する。
【００３１】
当実施形態において、洗浄部３の前記回収管１８は、図外の機器又は配管を避けるために屈曲した構成を有しており、具体的には、図１に示すように、処理槽３ａの底部に接続されて垂直に延びる基端部１８ａと、その下端から水平に延びる水平部１８ｂと、その先端から下向きに垂直に延びる垂直部１８ｃと、その下端から水平に延びてタンク１２内に挿入、固定される先端部１８ｄとを有している。
【００３２】
図２および図３に示すように、回収管１８のうち基端部１８ａおよび先端部１８ｄの部分には緩衝部材１９Ａ，１９Ｂがそれぞれ充填されている。これらの緩衝部材１９Ａ，１９Ｂは、処理槽３ａから排出される洗浄液の勢い（流動速度）を減殺するための部材で、耐薬品性に優れた繊維（毛様体）の集合物（繊維状部材）からなり、当実施形態では塩化ビニリデン系繊維（例えばサランロック（登録商標））の集合物から構成されている。
【００３３】
緩衝部材１９Ａ，１９Ｂは、所定量束ねられた状態で管内に圧入されることによりその弾発力で管内に保持されており、基端部１８ａについは洗浄液の入口部分に、また、先端部１８ｄについては洗浄液の出口部分にそれぞれ圧入されている。
【００３４】
一方、タンク１２は、図４に示すように、中空の直方体で、一方側の側面１２ａ（同図では左側面；以下、左側面１２ａという）の上部に前記回収管１８が挿入されている。
【００３５】
タンク１２内には、前記回収管１８の接続部分よりもやや下側には液受部材３０が固定されている。この液受部材３０は、回収管１８の末端からタンク内に導入される使用済みの洗浄液（以下、戻り液という）をタンク１２内の貯溜液（以下、液溜まりＰという）の液面Ｐｆ部分まで案内するもので、同図に示すようにタンク１２の左側面１２ａから水平に延びる水平部３１と、この水平部の先端から斜め下向きに真っ直ぐ延び、かつ右側面１２ｂの近傍に至るスロープ部３２（本発明に係るスロープ部材に相当する）とを有しており、スロープ部３２に沿って戻り液を流下させることによりこれを整流しつつ液面Ｐｆ部分まで案内して液溜まりＰに合流させるようになっている。
【００３６】
液受部材３０のうちスロープ部３２の部分には緩衝部材１９Ｃが設けられている。この緩衝部材１９Ｃは、スロープ部３２に沿って流下する戻り液の勢いを減殺するためのもので、回収管１８のものと同様の塩化ビニリデン系繊維（サランロック（登録商標））から構成されている。この緩衝部材１９Ｃは、厚みを持った板状に成形されており、例えばスロープ部３２に設けられる図外の爪に緩衝部材１９Ｃの繊維を係合させることに当該スロープ部３２に固定されている。なお、液受部材３０は、幅方向両端（図２では奥行き方向両端）がタンク１２の側壁に隙間無く固定され、これにより例えば液受部材３０についてその途中部分で戻り液が液溜まりＰに落下することが無いようにされており、前記緩衝部材１９Ｃについてもタンク１２の側壁まで隙間無く設けられている。
【００３７】
このような回収経路の構成によると、処理槽３ａにおいて処理に供された使用済みの洗浄液は、処理槽３ａから回収管１８を通じてタンク１２に回収されることとなるが、上記のように回収管１８に緩衝部材１９Ａ，１９Ｂが、タンク１２に緩衝部材１９Ｃが設けられている結果、泡の発生が効果的に抑制される。
【００３８】
すなわち、回収管１８のうち基端部１８に緩衝部材１９Ａが設けられ、これが流動抵抗となる結果、処理槽３ａ内の戻り液は、図２に示すように、適度に堰き止められて液溜まりを形成しながら緩衝部材１９Ａを通じて基端部１８ａの内壁を伝って流下し、または少量の液滴として落下することとなる。そのため、処理槽３ａ内の戻り液が渦流を形成して多量の空気を巻き込みながらから回収管１８内に流れ込むという現象、さらに、戻り液が水平部１８ｂの内壁に衝突して激しく攪拌されるといった現象の発生が防止される。そのため、これら渦流等の発生に起因した泡の発生が抑えられることとなる。
【００３９】
同様に、回収管１８の先端部１８ｄに緩衝部材１９Ｂが設けられている結果、図３に示すように、戻り液は、垂直部１８ｃに適度に液溜まりを形成しながら、緩衝部材１９Ｂを通じて徐々にタンク１２内に流入することとなる。そのため、戻り液が回収管１８内で激しく攪拌されながら流動し、そのまま勢いよくタンク１２内に吐出されるといった現象の発生が防止され、その結果、泡の発生が抑えられることとなる。
【００４０】
さらに、タンク１２については、回収管１８を通じてタンク１２内に導入される戻り液を液受部材３０（スロープ部３２）に沿って流下させつつ液面Ｐｆ部分まで案内して液溜まりＰに合流させるが、上記のようにスロープ部３２に緩衝部材１９Ｃが設けられている結果、戻り液の勢いが効果的に減殺される。そのため、スロープ部３２に沿って流下する戻り液が激しく液面Ｐｆに衝突して波立つといった現象の発生が効果的に抑えられ、その結果、戻り液が液溜まりＰへ合流する際の泡立ちが抑えられる。
【００４１】
従って、処理槽３ａから導出されてタンク１２内の液溜まりＰに合流するまでの回収経路において、泡の発生が効果的に抑制され、その結果、タンク１２に多量の泡が溜まることによるトラブル、例えば多量の泡をポンプ１４が吸い込むことにより負荷変動を起こして破損に至るといったトラブルや、あるいはシャワーユニット１０に泡が供給されることによるトラブル、例えばノズル１１からの洗浄液の吐出が不規則になる（斑が生じる）といった洗浄液の吐出不良や、処理槽３ａ内に泡が蓄積されてコンベア６から基板Ｂが持ち上げられる基板の搬送不良といったトラブルの発生が未然に防止されることとなる。特に、基板Ｂのサイズが大きく、一度に多量の洗浄液を基板Ｂに供給するものでは、回収管１８を通じてタンク１２に導入される戻り液の液量が多いため、タンク１２内での泡立ちによる上記トラブルの発生が懸念されるが、上記の洗浄部３によれば、大サイズの基板Ｂを対象とする場合でも上記のようなトラブルの発生が防止されることとなる。
【００４２】
なお、上記洗浄部３では、緩衝部材１９Ａ〜１９Ｃを設けることにより戻り液の流れを妨げる（堰き止める）こととなるが、緩衝部材１９Ａ，１９Ｂは上記の通り繊維（毛様体）の集合物からが構成されているため、過度に戻り液の流れを妨げることがない。そのため、戻り液の流れを過剰に妨げることなく泡の発生を効果的に防止することができるという利点もある。すなわち、例えば、背景技術の特許文献１に開示されるように、配管にバルブを設けて戻り液の流量を強制的に制限して渦流等の発生を抑えることも考えられるが、この場合には、循環する液量に拘わらず常にバルブ開度に対応した一定量の戻り液しか通過させないため多くの戻り液が堰き止められることが考えられる。これに対して繊維体（毛様体）からなる上記のような緩衝部材１９Ａ，１９Ｂによれば、繊維間の隙間が液圧に応じて変動するため戻り液が過度に堰き止められることがない。従って、戻り液の流れを過剰に妨げることなく泡の発生を防止することができるという利点がある。
【００４３】
ところで、以上説明した基板処理システム１は、本発明に係る基板処理装置である洗浄部３が適用された基板処理システムの好ましい実施形態の一例であって、システムの具体的な構成や、洗浄部３の具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば次のような態様を採ることも可能である。
【００４４】
（１）実施形態では、回収管１８のうちその基端部１８ａおよび先端部１８ｄに緩衝部材１９Ａ，１９Ｂを設けているが、その全体に亘って緩衝部材を連続的に、あるいは断続的に設けるようにしてもよい。また、液受部材３０についても、スロープ部３２のみならず水平部３１についても同様に緩衝部材を設けるようにしてもよい。
【００４５】
（２）実施形態では、緩衝部材１９Ａ〜１９Ｃとして塩化ビニリデン系繊維（例えばサランロック（登録商標））から構成されたものを適用しているが、勿論、緩衝部材１９Ａ〜１９Ｃを構成する繊維（毛様体）の材質はこれ以外のものであってもよい。例えばステンレス等の金属であっても構わない。また、繊維の態様は織布、不織布のいずれであってもよい。さらに、緩衝部材１９Ａ〜１９Ｃとして硬質の多孔質体、例えば軽石等を適用するようにしてもよい。要は、緩衝部材１９Ａ〜１９Ｃの材質としては、戻り液を流通させながらその勢いを効果的に減殺し得るような空隙率を有するものであればよい。
【００４６】
（３）実施形態では、緩衝部材１９Ａ，１９Ｂを束ねて回収管１８に圧入することにより、その復元力（弾発力）を利用して回収管１８内に緩衝部材１９Ａ，１９Ｂを保持するようにしているが、勿論、係止爪を回収管１８に設ける等して戻り液の流れに対してより強固に緩衝部材１９Ａ，１９Ｂが保持されるようにしてもよい。但し、実施形態のように緩衝部材１９Ａ，１９Ｂを回収管１８に圧入するだけの構成によれば、回収管１８に対する脱着作業を比較的簡単に行うことができるためメンテナンス性が良いというメリットがある。
【００４７】
（４）回収管１８の先端部１８ｄについては、上記のような繊維（毛様体）からなる緩衝部材１９Ｂを設ける代わりにゲート型の緩衝部材を設けてもよい。例えば、回収管１８（先端部１８ｄ）の端面部分に、上部を水平軸回りに可動可能に支持することによりその自重により閉止する蓋体を設けるようにしてもよい。この構成によれば、蓋体が抵抗となって戻り液の勢いが減殺されるとともに、戻り液の液量に比例して蓋体が開くため、上述した繊維からなる緩衝部材１９Ｂと同等の効果を得ることが可能となる。
【００４８】
（５）実施形態では、本発明を洗浄部３に適用しているが、勿論、これ以外の処理装置、例えば現像装置や剥離装置等に本発明を適用してもよい。また、洗浄部３のように処理液（洗浄液）の循環系統をもつもの以外に、上記水洗部４のように処理液（純水）の循環系統をもたない装置についても本発明は適用可能である。例えば使用済みの処理液をタンクに貯溜し、この使用済みの処理液をポンプで別の工程の装置に給送して使用し、あるいはタンクごと別の工程に運んで使用するケースもある。このような場合には、使用済みの処理液を回収する際のタンク内での泡の発生を抑える必要があり、本発明を適用する余地がある。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】基板処理システム（本発明に係る基板処理装置が適用される基板処理システム）を示す概略図である。
【図２】回収管の一部（基端部）を示す断面概略図である。
【図３】回収管の一部（先端部）を示す断面概略図である。
【図４】貯溜用タンクの構成を示す断面概略図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  基板処理システム
３  洗浄部
１２  タンク
１４  ポンプ
１６  液供給管
１８  回収管
１９Ａ〜１９Ｃ  緩衝部材
３０  液受部材
３１  水平部
３２  スロープ部
Ｂ  基板
Ｐ  液溜まり
Ｐｆ  液面
【図１】
2007258649.tif 000003
【図２】
2007258649.tif 000004
【図３】
2007258649.tif 000005
【図４】
2007258649.tif 000006