(57)【要約】【課題】  輝度ムラ欠陥の限度サンプルの収集が容易であり、特定形状の欠陥等を画像検査前に除去することが可能な画像検査装置を実現する。【解決手段】  表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、カメラと、表示装置と、表示素子に検査パターンを供給して画像を表示させ、擬似欠陥を生成してカメラで撮影された画像に付加して表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを設ける。【選択図】                    図１
2007033280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
カメラと、
表示装置と、
前記表示素子に検査パターンを供給して画像を表示させ、擬似欠陥を生成して前記カメラで撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項２】
表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
カメラと、
表示装置と、
前記表示素子に検査パターンを供給して画像を表示させ、前記カメラで撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、擬似欠陥を生成し合成画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項３】
撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示素子或いは光源と、
表示装置と、
検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記撮像素子で撮影させ、擬似欠陥を生成して撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項４】
撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示素子或いは光源と、
表示装置と、
検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記撮像素子で撮影させ、撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、擬似欠陥を生成して合成画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項５】
表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
カメラと、
表示装置と、
検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記カメラで撮影させ、前記カメラが原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記カメラで撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項６】
表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
カメラと、
表示装置と、
検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記カメラで撮影させ、前記カメラで撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、前記カメラが原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記カメラで撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項７】
撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示素子と、
表示装置或いは光源と、
検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記撮像素子で撮影させ、前記撮像素子が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記撮像素子で撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項８】
撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示素子と、
表示装置或いは光源と、
検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記撮像素子で撮影させ、前記撮像素子で撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、前記撮像素子が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記撮像素子で撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項９】
表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
カメラと、
表示装置と、
前記表示素子が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を前記検査パターンに付加して前記表示素子に供給して画像を表示させ、前記カメラで撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成して前記表示装置に表示させると共に、合成画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項１０】
撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示素子と、
表示装置と、
前記表示素子が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を前記検査パターンに付加して前記表示素子に供給して画像を表示させ、前記撮像素子で撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成して前記表示装置に表示させると共に、合成画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項１１】
表示素子若しくは撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示装置と、
検査される画像が格納された記憶装置と、
格納された前記画像の特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記記憶装置に格納されている画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【請求項１２】
表示素子若しくは撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示装置と、
検査される画像が格納された記憶装置と、
前記記憶装置に格納されている画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、格納された前記画像の特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記記憶装置に格納されている画像と像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置と
を備えたことを特徴とする画像検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ等の表示素子やＣＣＤ（Charge-Coupled Devices）イメージセンサやＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）イメージセンサ等の撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置に関し、特に輝度ムラ欠陥の限度サンプル（以下、単に限度サンプルと呼ぶ。）の収集が容易であり、特定形状の欠陥等を画像検査前に除去することが可能な画像検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の画像デバイスの検査を行う画像検査装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平０８−０２９３６０号公報
【特許文献２】特開平０８−２０１２２８号公報
【特許文献３】特開平１０−０６３２２９号公報
【特許文献４】特開平１１−０９５１８２号公報
【０００４】
図９はこのような従来の画像検査装置の一例を示す構成斜視図である。図９において１は撮影用のカメラ、２はコンピュータ等の画像処理装置、３はＣＲＴ（Cathode Ray Tube）やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等の表示装置、４は液晶ディスプレイ等の表示素子である画像デバイスである。
【０００５】
カメラ１の画像出力は画像処理装置２に接続され、画像処理装置２の表示出力は表示装置３に接続される。また、画像処理装置２の検査パターン出力は画像デバイス４の表示入力端子に接続される。
【０００６】
ここで、図９に示す従来例の動作を簡単に説明する。画像処理装置２で発生させた検査パターンは画像デバイス４に供給され、画像デバイス４は印加された検査パターンに基づき検査用の画像を表示させる。
【０００７】
カメラ１は画像デバイス４上に表示された検査用の画像を撮影して、撮影画像を画像処理装置２に出力させる。画像処理装置２では入力された撮影画像を処理し、抽出された輝度ムラ欠陥の良否を予め格納されている限度サンプルに基づき判定を行うことにより、当該画像デバイス４の良品／不良品の判断を行う。
【０００８】
図１０は図９における画像処理装置２の詳細を説明する構成ブロック図である。図１０において１，３及び４は図９と同一符号を付してあり、５は画像取込手段、６はＣＰＵ（Central Processing Unit）等の演算制御手段、７は画像デバイス４を駆動して画像を表示させる駆動手段、８は予め限度サンプルが格納されるＲＡＭ（Random Access Memory）やハードディスク等の記憶手段である。また、５，６，７及び８は画像処理装置５０を構成している。
【０００９】
カメラ１と画像取込手段５とは相互に接続され、画像取込手段５の出力は演算制御手段６に接続される。演算制御手段６の表示出力は表示装置３に接続され、演算制御手段６の制御信号は駆動手段７に接続される。また、演算制御手段６の入出力が記憶手段８に相互に接続され、駆動手段７の出力が画像デバイス４に供給される。
【００１０】
ここで、図１０に示す従来例の動作を図１１を用いて詳細に説明する。図１１は演算制御手段６の動作を説明するフロー図である。図１１中”Ｓ００１”において演算制御手段６は、駆動手段７を制御して検査パターンを発生させ、発生させた検査パターンを画像デバイス４に供給させる。
【００１１】
図１１中”Ｓ００２”において演算制御手段６は、画像取込手段５を介してカメラ１を制御して画像デバイス４上に表示された検査用の画像を撮影させる。図１１中”Ｓ００３”において演算制御手段６は、撮影画像を取り込み画像処理し輝度ムラ欠陥を抽出して表示装置３に表示させる。
【００１２】
そして、図１１中”Ｓ００４”において演算制御手段６は、処理画像（或いは、抽出された輝度ムラ欠陥）の良否を記憶手段８に予め格納されている限度サンプル等に基づき判断して、当該画像デバイス４の良否を判断する。
【００１３】
もし、図１１中”Ｓ００５”において良品と判断された場合には、図１１中”Ｓ００６”において演算制御手段６は、良品に対応する処理を行う。例えば、表示装置３上に”良品”、或いは、”ＧＯ”等の表示を行う。
【００１４】
もし、図１１中”Ｓ００５”において不良品と判断された場合には、図１１中”Ｓ００７”において演算制御手段６は、不良品に対応する処理を行う。例えば、表示装置３上に”不良品”、或いは、”ＮＧ”等の表示を行う。
【００１５】
この結果、検査対象である画像デバイス４に対して検査パターンを供給して画像を表示させ、カメラ１で撮影された画像から輝度ムラ欠陥を抽出し、限度サンプル等に基づき抽出された輝度ムラ欠陥の良否を判断することにより、検査対象である画像デバイス４の良否を判断することが可能になる。
【００１６】
また、図９等の従来例の説明に際しては、検査対象を表示素子（例えば、液晶ディスプレイ等）である画像デバイスと想定して説明しているが、検査対象が撮像素子（例えば、ＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサ等の）である画像デバイスの場合であってもほほ同様である。
【００１７】
異なる点としては、カメラ１を検査対象である画像デバイス（撮像素子）に置換し、当該画像デバイス（撮像素子）に光源の光、或いは、表示素子等に表示させた検査パターンを撮影させ、当該画像デバイス（撮像素子）で撮影された画像から輝度ムラ欠陥を抽出し、抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプル等に基づき判断することにより、検査対象である画像デバイス（撮像素子）の良否を判断することが可能になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかし、図９等に示す従来例では抽出された輝度ムラ欠陥の良否を輝度ムラ欠陥の限度サンプルに基づき判断するため、輝度ムラ欠陥の限度サンプルを予め用意しておく必要性がある。このような限度サンプルの取得方法としては、カメラによって実際に欠陥を有する画像デバイスを撮影したり、市販の画像処理ソフトウェア等によって撮影した画像に擬似的な欠陥を付加して限度サンプルを別途生成する等、非常に手間がかかってしまうと言った問題点があった。
【００１９】
また、予め限度サンプルを用意しておく必要性があるため、希望する輝度ムラ欠陥の限度サンプルを逐次作成することが困難であると言った問題点があった。
【００２０】
さらに、取り込まれる画像には、ただ単純に輝度ムラ欠陥が撮影されるだけではなく、検査対象の画像デバイスの仕様や、検査環境の影響等に起因して、特定形状の欠陥や背景等が映り込んでしまい検査結果に影響を及ぼしてしまうと言った問題点があった。
従って本発明が解決しようとする課題は、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの収集が容易であり、特定形状の欠陥等を画像検査前に除去することが可能な画像検査装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
カメラと、表示装置と、前記表示素子に検査パターンを供給して画像を表示させ、擬似欠陥を生成して前記カメラで撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている特定の形状の欠陥が補償されることになる。
【００２２】
請求項２記載の発明は、
表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
カメラと、表示装置と、前記表示素子に検査パターンを供給して画像を表示させ、前記カメラで撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、擬似欠陥を生成し合成画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている特定の形状の欠陥が補償されることになる。
【００２３】
請求項３記載の発明は、
撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示素子或いは光源と、表示装置と、検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記撮像素子で撮影させ、擬似欠陥を生成して撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている特定の形状の欠陥が補償されることになる。
【００２４】
請求項４記載の発明は、
撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示素子或いは光源と、表示装置と、検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記撮像素子で撮影させ、撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、擬似欠陥を生成して合成画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている特定の形状の欠陥が補償されることになる。
【００２５】
請求項５記載の発明は、
表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
カメラと、表示装置と、検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記カメラで撮影させ、前記カメラが原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記カメラで撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、カメラ（撮像素子）が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【００２６】
請求項６記載の発明は、
表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
カメラと、表示装置と、検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記カメラで撮影させ、前記カメラで撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、前記カメラが原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記カメラで撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、カメラ（撮像素子）が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【００２７】
請求項７記載の発明は、
撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示素子と、表示装置或いは光源と、検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記撮像素子で撮影させ、前記撮像素子が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記撮像素子で撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、カメラ（撮像素子）が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【００２８】
請求項８記載の発明は、
撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示素子と、表示装置或いは光源と、検査パターンを供給して前記表示素子に表示させた画像、或いは、光源を前記撮像素子で撮影させ、前記撮像素子で撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、前記撮像素子が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記撮像素子で撮影された画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、カメラ（撮像素子）が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【００２９】
請求項９記載の発明は、
表示素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
カメラと、表示装置と、前記表示素子が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を前記検査パターンに付加して前記表示素子に供給して画像を表示させ、前記カメラで撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成して前記表示装置に表示させると共に、合成画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、表示素子が原因で生じる特定の形状の欠陥（特定の位置に現れる輝度ムラ）を補償して画像検査することが可能になる。
【００３０】
請求項１０記載の発明は、
撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示素子と、表示装置と、前記表示素子が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を前記検査パターンに付加して前記表示素子に供給して画像を表示させ、前記撮像素子で撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成して前記表示装置に表示させると共に、合成画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、表示素子が原因で生じる特定の形状の欠陥（特定の位置に現れる輝度ムラ）を補償して画像検査することが可能になる。
【００３１】
請求項１１記載の発明は、
表示素子若しくは撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示装置と、検査される画像が格納された記憶装置と、格納された前記画像の特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記記憶装置に格納されている画像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、記憶装置に予め格納されている画像が有している特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【００３２】
請求項１２記載の発明は、
表示素子若しくは撮像素子である画像デバイスの検査を行う画像検査装置において、
表示装置と、検査される画像が格納された記憶装置と、前記記憶装置に格納されている画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、格納された前記画像の特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して前記記憶装置に格納されている画像と像に付加して前記表示装置に表示させると共に、擬似欠陥付加画像から抽出された輝度ムラ欠陥の良否を限度サンプルに基づき判断する画像処理装置とを備えたことにより、記憶装置に予め格納されている画像が有している特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば次のような効果がある。
請求項１，２，３及び請求項４の発明によれば、検査対象である画像デバイスに対して検査パターンを供給して画像を表示させ、カメラで撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、擬似欠陥を生成して合成画像に付加して輝度ムラ欠陥を抽出し、限度サンプル等に基づき抽出された輝度ムラ欠陥の良否を判断することにより、検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている特定の形状の欠陥が補償されることになる。
【００３４】
また、撮影された画像等に擬似欠陥を付加した画像を輝度ムラ欠陥の限度サンプルとして記憶手段に記憶させることにより、カメラによって実際に欠陥を有する画像デバイスを撮影したり、市販の画像処理ソフトウェア等によって撮影した画像に擬似的な欠陥を付加して限度サンプルを別途生成する必要がなくなるので、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの収集が容易になる。
【００３５】
さらに、現場で任意の輝度ムラ欠陥の限度サンプルを作成することが可能であるので、営業等でデモンストレーションする際に、ユーザの希望する輝度ムラ欠陥の限度サンプルを作成してその場で画像検査をすることが可能になる。
【００３６】
また、請求項５，６，７及び請求項８の発明によれば、検査対象である画像デバイスに対して検査パターンを供給して画像を表示させ、カメラ若しくは撮像素子で撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、カメラ若しくは撮像素子が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償するような擬似欠陥を生成して合成画像に付加し、限度サンプルと比較することにより、カメラ若しくは撮像素子が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【００３７】
また、請求項９及び請求項１０の発明によれば、検査パターンに対して画像デバイス若しくは表示素子が原因で生じる特定の形状の欠陥（特定の位置に現れる輝度ムラ）を補償する擬似欠陥を付加して、画像デバイス若しくは表示素子に供給することにより、画像デバイス若しくは表示素子が原因で生じる特定の形状の欠陥（特定の位置に現れる輝度ムラ）を補償して画像検査することが可能になる。
【００３８】
また、請求項１１及び請求項１２の発明によれば、記憶装置に格納されている画像から輝度ムラ欠陥を抽出し、設定情報に基づき生成された画像と処理画像とを設定情報に基づき合成し、格納された画像の特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して合成画像に付加し、限度サンプルと比較することにより、記憶装置に予め格納されている画像が有している特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係る画像検査装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
【００４０】
図１において９は撮影用のカメラ、１０は画像取込手段、１１はＣＰＵ等の演算制御手段、１２はＣＲＴやＬＣＤ等の表示装置、１３は画像デバイス４を駆動して画像を表示させる駆動手段、１４は予め限度サンプル及び設定情報が格納されるＲＡＭやハードディスク等の記憶手段、１５は液晶ディスプレイ等の表示素子である画像デバイスである。また、１０，１１，１３及び１４は画像処理装置５１を構成している。
【００４１】
カメラ９と画像取込手段１０とは相互に接続され、画像取込手段１０の出力は演算制御手段１１に接続される。演算制御手段１１の表示出力は表示装置１２に接続され、演算制御手段１１の制御信号は駆動手段１３に接続される。また、演算制御手段１１の入出力が記憶手段１４に相互に接続され、駆動手段１３の出力が画像デバイス１６に供給される。
【００４２】
ここで、図１に示す実施例の動作を図２、図３、図４、図５、図６及び図７を用いて説明する。図２は演算制御手段１２の動作を説明するフロー図、図３、図４、図５、図６及び図７は画像合成や擬似欠陥付加の状態を説明する説明図である。
【００４３】
図２中”Ｓ１０１”において演算制御手段１１は、駆動手段１３を制御して検査パターンを発生させ、発生させた検査パターンを画像デバイス１５に供給させる。
【００４４】
図２中”Ｓ１０２”において演算制御手段１１は、画像取込手段１０を介してカメラ９を制御して画像デバイス１５上に表示された検査用の画像を撮影させる。図２中”Ｓ１０３”において演算制御手段１１は、撮影画像を取り込み表示装置１２に表示させる。
【００４５】
そして、図２中”Ｓ１０４”において演算制御手段１１は、設定情報（例えば、画像幅、画像高さ、検査対象領域等）に基づき生成した画像と処理画像とを設定情報に基づき合成する。
【００４６】
例えば、図３中”ＧＩ０１”に示すような処理画像を取得した場合、演算制御手段１１は図３中”ＩＦ０１”に示す設定情報に基づき”画像幅”や”画像高さ”の条件を満たす図３中”ＩＭ０１”に示す画像を生成する。
【００４７】
そして、前述の設定情報に基づき処理画像が検査対象領域に一致するようにして、図３中”ＭＩ０１”に示すように処理画像と生成した画像とを合成する。
【００４８】
図２中”Ｓ１０５”において演算制御手段１１は、擬似欠陥を生成すると共に先の合成画像に擬似欠陥を付加する。
【００４９】
例えば、図４中”ＭＩ１１”に示すような合成画像において、検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている図４中”ＤＦ１１”及び”ＤＦ１２”に示す特定の形状の欠陥を補償するような、図５中”ＤＦ２１”及び”ＤＦ２２”に示すような擬似欠陥を有する図５中”ＩＭ２１”に示すような画像を生成する。
【００５０】
そして、例えば、図４中”ＭＩ１１”に示すような合成画像に対して、図５中”ＩＭ２１”に示すような画像を付加することにより、図６中”ＡＩ３１”に示すような検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている特定の形状の欠陥が補償されることになる。
【００５１】
図２中”Ｓ１０６”において演算制御手段１１は、このように得られた擬似欠陥付加画像から輝度ムラ欠陥を抽出し、処理画像（或いは、抽出された輝度ムラ欠陥）の良否を記憶手段１４に予め格納されている限度サンプル等に基づき判断して、当該画像デバイス１５の良否を判断する。
【００５２】
もし、図２中”Ｓ１０７”において良品と判断された場合には、図２中”Ｓ１０８”において演算制御手段１１は、良品に対応する処理を行う。例えば、表示装置１２上に”良品”、或いは、”ＧＯ”等の表示を行う。
【００５３】
もし、図２中”Ｓ１０７”において不良品と判断された場合には、図２中”Ｓ１０９”において演算制御手段１１は、不良品に対応する処理を行う。例えば、表示装置１２上に”不良品”、或いは、”ＮＧ”等の表示を行う。
【００５４】
例えば、演算制御手段１１は、限度サンプルに基づき抽出された輝度ムラ欠陥の良否を判断することにより、図７中”ＡＩ４１”に示す擬似欠陥付加画像において図７中”ＤＤ４１”に示す部分が欠陥（言い換えれば、画像デバイスは不良品である）として判断されることになる。
【００５５】
この結果、検査対象である画像デバイス１５に対して検査パターンを供給して画像を表示させ、カメラ９で撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、擬似欠陥を生成して合成画像に付加して輝度ムラ欠陥を抽出し、限度サンプル等に基づき抽出された輝度ムラ欠陥の良否を判断することにより、検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている特定の形状の欠陥が補償されることになる。
【００５６】
また、撮影された画像等に擬似欠陥を付加した画像を輝度ムラ欠陥の限度サンプルとして記憶手段１４に記憶させることにより、カメラによって実際に欠陥を有する画像デバイスを撮影したり、市販の画像処理ソフトウェア等によって撮影した画像に擬似的な欠陥を付加して限度サンプルを別途生成する必要がなくなるので、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの収集が容易になる。
【００５７】
また、現場で任意の輝度ムラ欠陥の限度サンプルを作成することが可能であるので、営業等でデモンストレーションする際に、ユーザの希望する輝度ムラ欠陥の限度サンプルを作成してその場で画像検査をすることが可能になる。
【００５８】
さらに、カメラ９で撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成することにより、監査対象カメラの仕様に応じて大きさの異なる撮影された画像の設定を、検査対象カメラが交換されるごとに変更する必要がなくなる。また、撮影された画像の背景を調節・補正することが可能になる。
【００５９】
なお、図１の実施例の説明に際しては、図２中”Ｓ１０４”に示す画像合成のステップと、図２中”Ｓ１０５”に示す擬似欠陥付加のステップを双方行っているが、何れか一方のステップのみを行うものであっても構わない。
【００６０】
また、図１の実施例の説明に際しては、検査対象を表示素子（例えば、液晶ディスプレイ等）である画像デバイスと想定して説明しているが、検査対象が撮像素子（例えば、ＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサ等の）である画像デバイスの場合であってもほほ同様である。
【００６１】
異なる点としては、カメラ９を検査対象である画像デバイス（撮像素子）に置換し、当該画像デバイス（撮像素子）に光源の光、或いは、表示素子等に表示させた検査パターンを撮影させ、当該画像デバイス（撮像素子）で撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、擬似欠陥を生成して合成画像に付加して輝度ムラ欠陥を抽出し、限度サンプル等に基づき抽出された輝度ムラ欠陥の良否を判断することにより、検査対象である画像デバイス（撮像素子）の良否を判断することが可能になる。
【００６２】
また、図１に示す実施例では、検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている特定の形状の欠陥が補償について説明しているが、カメラ９が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【００６３】
例えば、図２中”Ｓ１０５”で生成される擬似欠陥として、カメラ９が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償するような擬似欠陥を生成して合成画像に付加することにより、カメラ９が原因で生じる特定の形状の欠陥が補償されることになる。
【００６４】
この結果、検査対象である画像デバイスに対して検査パターンを供給して画像を表示させ、カメラで撮影された画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、カメラ９が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償するような擬似欠陥を生成して合成画像に擬似欠陥を付加して輝度ムラ欠陥を抽出し、限度サンプル等に基づき抽出された輝度ムラ欠陥の良否を判断することにより、カメラ９が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【００６５】
ちなみに、前述の説明では画像処理装置５１を構成する演算制御手段１１において欠陥の補償を行っているが、勿論、カメラ９自身に欠陥の補償機能を具備させても構わない。
【００６６】
この場合には、カメラ９で撮影された画像に擬似欠陥（カメラ９が原因で生じる特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥）を付加した画像が、直接、画像処理装置５１に対して供給されることになるので、画像処理装置５１側では単純にカメラ９からの画像から輝度ムラ欠陥を抽出し、限度サンプル等に基づき抽出された輝度ムラ欠陥の良否を判断することにより、検査対象である画像デバイスの良否を判断すれば良いことになる。
【００６７】
また、図１に示す実施例では、検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている特定の形状の欠陥が補償について説明しているが、画像デバイス１５が原因で生じる特定の形状の欠陥（特定の位置に現れる輝度ムラ）を補償して画像検査することも可能である。
【００６８】
図８はこのような画像デバイスが原因で生じる特定の形状の欠陥（特定の位置に現れる輝度ムラ）を補償する場合の演算制御手段１１の動作を説明するフロー図である。
【００６９】
図８中”Ｓ２０１”において演算制御手段１１は、駆動手段１３を制御して検査パターンを発生させ、図８中”２０２”において演算制御手段１１は、発生させた検査パターンに対して特定の形状の欠陥（特定の位置に現れる輝度ムラ）を補償するような擬似欠陥を生成して先に生成された検査パターンに付加する。
【００７０】
そして、図８中”Ｓ２０３”において演算制御手段１１は、駆動手段１３を制御して擬似欠陥を付加した検査パターンを画像デバイス１５に供給させる。
【００７１】
図８中”Ｓ２０４”において演算制御手段１１は、画像取込手段１０を介してカメラ９を制御して画像デバイス１５上に表示された検査用の画像を撮影させる。図８中”Ｓ２０５”において演算制御手段１１は、撮影画像を取り込み表示装置１２に表示させる。
【００７２】
図８中”Ｓ２０６”において演算制御手段１１は、このように得られた撮影画像から輝度ムラ欠陥を抽出し、処理画像（或いは、抽出された輝度ムラ欠陥）の良否を記憶手段１４に予め格納されている限度サンプル等に基づき判断して、当該画像デバイス１５の良否を判断する。
【００７３】
もし、図８中”Ｓ２０７”において良品と判断された場合には、図８中”Ｓ２０８”において演算制御手段１１は、良品に対応する処理を行う。例えば、表示装置１２上に”良品”、或いは、”ＧＯ”等の表示を行う。
【００７４】
もし、図８中”Ｓ２０７”において不良品と判断された場合には、図８中”Ｓ２０９”において演算制御手段１１は、不良品に対応する処理を行う。例えば、表示装置１２上に”不良品”、或いは、”ＮＧ”等の表示を行う。
【００７５】
この結果、検査パターンに対して画像デバイス１５が原因で生じる特定の形状の欠陥（特定の位置に現れる輝度ムラ）を補償する擬似欠陥を付加して、画像デバイス１５に供給することにより、画像デバイス１５が原因で生じる特定の形状の欠陥（特定の位置に現れる輝度ムラ）を補償して画像検査することが可能になる。
【００７６】
また、図１に示す実施例では、検査対象の画像デバイスの仕様や検査環境の影響等に起因して生じている特定の形状の欠陥が補償について説明しているが、記憶手段１４或いは外部記憶媒体等の記憶装置に予め格納されている画像が有している特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【００７７】
例えば、記憶手段１４或いは外部記憶媒体等の記憶装置から予め格納されている画像を読み出す際に、当該画像が有している特定の形状の欠陥を補償するような擬似欠陥を生成して付加することにより、記憶手段１４に格納されている画像が有している特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【００７８】
この結果、記憶装置に格納されている画像と設定情報に基づき生成された画像とを設定情報に基づき合成し、格納された画像の特定の形状の欠陥を補償する擬似欠陥を生成して合成画像に付加し、輝度ムラ欠陥を抽出して限度サンプル等に基づき抽出された輝度ムラ欠陥の良否を判断することにより、記憶装置に予め格納されている画像が有している特定の形状の欠陥を補償して画像検査することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明に係る画像検査装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
【図２】演算制御手段の動作を説明するフロー図である。
【図３】画像合成や擬似欠陥付加の状態を説明する説明図である。
【図４】画像合成や擬似欠陥付加の状態を説明する説明図である。
【図５】画像合成や擬似欠陥付加の状態を説明する説明図である。
【図６】画像合成や擬似欠陥付加の状態を説明する説明図である。
【図７】画像合成や擬似欠陥付加の状態を説明する説明図である。
【図８】画像デバイスが原因で生じる特定の形状の欠陥（特定の位置に現れる輝度ムラ）を補償する場合の演算制御手段の動作を説明するフロー図である。
【図９】従来の画像検査装置の一例を示す構成斜視図である。
【図１０】画像処理装置の詳細を説明する構成ブロック図である。
【図１１】演算制御手段の動作を説明するフロー図である。
【符号の説明】
【００８０】
１，９  カメラ
２，５０，５１  画像処理装置
３，１２  表示装置
４，１５  画像デバイス
５，１０  画像取込手段
６，１１  演算制御手段
７，１３  駆動手段
８，１４  記憶手段
【図１】
2007033280.tif 000003
【図２】
2007033280.tif 000004
【図８】
2007033280.tif 000005
【図９】
2007033280.tif 000006
【図１０】
2007033280.tif 000007
【図１１】
2007033280.tif 000008
【図３】
2007033280.tif 000009
【図４】
2007033280.tif 000010
【図５】
2007033280.tif 000011
【図６】
2007033280.tif 000012
【図７】
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