(57)【要約】【課題】人の介在を考慮しながら、かつ自動搬送の機能を組み込み、より自由度のある搬送管理システムを提供する。【解決手段】ロットの工程フローと工程進捗を管理する工程管理システムの情報から、搬送すべきロットの候補を判断し、搬送すべきロットの予約を促す次工程判断部と、  キャリアを収納する自動棚を管理する自動棚管理システムの情報から、選択された搬送すべきロットのキャリアを検索し、対象のキャリアがあれば自動棚管理システムに次工程への搬送指示を出力する自動棚情報管理部と、  工程毎に設けられ、工程での生産状況を管理する複数のライン管理システムの情報から、搬送対象ロットの処理終了を監視し、対象ロットの終了前にキャリアの回収があれば、前記自動棚情報管理部に搬送情報を渡す工程処理状態監視部と、  前記自動棚管理システムとライン管理システムの情報からロットの終了を判断するロット終了判断部と、  を有する搬送管理システム。【選択図】図２
2007114927.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品をロット単位で管理し、製品が複数入るカセット等のキャリアを使用して搬送している製品の搬送管理システムであって、
ロットの工程フローと工程進捗を管理する工程管理システムの情報を受けて、搬送すべきロットの候補を判断し、搬送すべきロットの予約を促す次工程判断部と、
キャリアを収納する自動棚を管理する自動棚管理システムの情報を受けて、選択された搬送すべきロットのキャリアを検索し、対象のキャリアがあれば自動棚管理システムに次工程への搬送指示を出力する自動棚情報管理部と、
工程毎に設けられ、工程での生産状況を管理する複数のライン管理システムの情報を受けて、搬送対象ロットの処理終了を監視し、対象ロットの終了前にキャリアの回収があれば、前記自動棚情報管理部に搬送情報を渡す工程処理状態監視部と、
前記自動棚管理システムとライン管理システムの情報に基づいてロットの終了を判断するロット終了判断部と、
を有することを特徴とする搬送管理システム。
【請求項２】
前記ロット終了判断部は、選択したロットのキャリアが自動棚の中にない、かつ、ライン管理システムによる情報から対象ロットの前工程での処理が完了していることを条件としてロット終了を判断するとともに、予約された次のロットを搬送対象にすることを特徴とする請求項１に記載の搬送管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品をロット単位で管理し、製品が複数入るカセット等の搬送キャリアによって工程間を搬送される製品の製造工程において、各工程への製品の供給時間を少ない待ち時間で実行する搬送管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶や半導体等を製造する工場において、製品はカセット等の搬送キャリアによって工程間を搬送され、製品の所在や搬送元、搬送先、搬送指示は搬送管理システムによって管理、制御されている。
【０００３】
また、複数の処理装置で同一処理が可能な工程や、処理時間が短い工程等を考慮し、人の手を介さずに自動的に搬送することのできる搬送管理方法および搬送管理プログラムは提供されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
また、手動により搬送指示を出す場合、搬送指示の単位はキャリア毎、ロット毎を選択し指示を出している。
【０００５】
しかしながら、ある工程へのロットの投入は前工程の検査結果や特性値の測定結果を考慮する必要がある為、ある程度人の介在、判断が必要であり、それが故に搬送指示の忘れ等による搬送効率や装置の稼働率が悪化するという問題がある。
【特許文献１】特開２００２−３４７９３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、人の介在を考慮しながら、かつ自動搬送の機能を組み込み、より自由度のある搬送管理システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明において上記課題を達成するために、まず請求項１の発明では、製品をロット単位で管理し、製品が複数入るカセット等のキャリアを使用して搬送している製品の搬送管理システムであって、
ロットの工程フローと工程進捗を管理する工程管理システムの情報を受けて、搬送すべきロットの候補を判断し、搬送すべきロットの予約を促す次工程判断部と、
キャリアを収納する自動棚を管理する自動棚管理システムの情報を受けて、選択された搬送すべきロットのキャリアを検索し、対象のキャリアがあれば自動棚管理システムに次工程への搬送指示を出力する自動棚情報管理部と、
工程毎に設けられ、工程での生産状況を管理する複数のライン管理システムの情報を受けて、搬送対象ロットの処理終了を監視し、対象ロットの終了前にキャリアの回収があれば、前記自動棚情報管理部に搬送情報を渡す工程処理状態監視部と、
前記自動棚管理システムとライン管理システムの情報に基づいてロットの終了を判断するロット終了判断部と、
を有することを特徴とする搬送管理システムとしたものである。
【０００８】
また請求項２の発明では、前記ロット終了判断部は、選択したロットのキャリアが自動棚の中にない、かつ、ライン管理システムによる情報から対象ロットの前工程での処理が
完了していることを条件としてロット終了を判断するとともに、予約された次のロットを搬送対象にすることを特徴とする請求項１に記載の搬送管理システムとしたものである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１の発明は、人の判断が必要となる工程が工程内に存在する製品の製造工程においても、人の介在を考慮しながら、かつ自動搬送の機能を組み込み、より自由度のある搬送管理システムを提供でき、これにより、搬送効率や装置の稼働率を向上させることが可能となるという効果がある。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明の効果に加えて、さらに、ロット終了を判断すると同時に、予約された次のロットを搬送対象にすることが確実に行え、各工程への製品の供給時間を少ない待ち時間で実行できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、本発明の搬送管理システムついて、最良の一実施形態を、図面を参照しつつ説明する。
【００１２】
図１は、本発明による搬送管理システムを適用する工程レイアウトの一例を示す説明図である。同図に示す工程レイアウトはキャリアを収納する自動棚１０と、自動棚１０を管理する自動棚管理システム１１と、ロットの工程フローと工程進捗を管理する工程管理システム１２と、Ｎ個の生産工程１３１〜１３Ｎと、各生産工程での生産状況を管理するライン管理システム１４と、前述の各システムの情報をもとにキャリア搬送の管理を行う搬送管理システム１５とを備えて構成されている。
【００１３】
また、自動棚１０と各工程１３１〜１３ＮのＬＤ／ＵＬＤは直結若しくは自動搬送車（ＡＧＶ）で接続されており、自動棚管理システム１１からの指示によりキャリアのラインへの供給と回収を実施している。なお後述の通り、自動棚管理システム１１への搬送指示は搬送管理システム１５より出されている。
【００１４】
図２は搬送管理システムの内部構成及びクライアントＰＣ、他のシステムとの情報の連携について示したものである。同図において、図１と同じものを示すものについては同一の符号を付す。図２のように搬送管理システム１５は自動棚情報管理部２１と、工程処理状態監視部２２と、ロット終了判断部２３と、次工程判断部２４とから構成されている。また、実際の搬送要求はクライアントＰＣ２５より実施される。
【００１５】
ライン管理システム１４は各工程毎に設置され、各工程での生産を管理しており、ロットの進捗情報を搬送管理システム１５の工程処理状態監視部２２に報告している。
【００１６】
また工程管理システム１２はロットの工程フローとロットの工程進捗を管理しており、それらの情報を搬送管理システム１５の次工程判断部２４に報告している。
【００１７】
また自動棚管理システム１１は自動棚１０内のキャリア在庫の管理、キャリアの自動棚１０への入出庫を管理しており、それらの情報を搬送管理システム１５の自動棚情報管理部２１に報告している。
【００１８】
クライアントＰＣ２５では前工程での処理が完了しているか、若しくは前工程処理中のロットが表示され、その中で検査結果及び、特性値の測定結果が問題なかったものに対して、人が再度確認し、搬送すべきロットを選択し搬送を実行する。この際、対象工程となる工程の前が何の工程か、すなわち画面に表示される前工程のロットという判断は次工程判断部２４により判断され表示されている。尚、特性値の測定結果が問題なかったものに
対して、人が再度確認するのは、しきい値のないものもあって、判断を自動化できないからである。
【００１９】
前工程処理中のロットに対しての搬送要求２６がクライアントＰＣ２５から出されると搬送管理システム１５は自動棚情報管理部２１を使用し、自動棚内１０に搬送要求２６と一致するキャリアがないかを検索する。キャリアがあれば自動棚管理システム１５へ搬送指示２７をだし、キャリアを対象工程に供給する。対象のキャリアが無い、若しくは対象のキャリアを全て搬送した場合、自動棚情報管理部２１は工程処理状態監視部２２に処理を引き渡す。
【００２０】
また、工程処理状態監視部２２はライン管理システム１４よりリアルタイムに情報を受け取り、搬送対象ロットの処理終了を監視している。ロットが終わる前にキャリアが回収されると自動棚情報管理部２１に搬送情報を渡して処理を戻し、対象キャリアの現工程への搬送を実施する。ロット終了判断部２３にてロット終了と判断されると、前工程処理の監視を終了し、搬送要求２６に対する処理を完了する。
【００２１】
図３はロット終了判断部でのロット終了報告と最終キャリア回収報告の関係について示したものである。ここでの工程１とは搬送対象となる工程の前工程のことを示している。ライン管理システム１４は工程１での処理状態を管理しており、対象のロットが規定の枚数に達した時、（１）ロット終了報告３１を、搬送管理システム１５のロット終了判断部２３と、工程１のＵＬＤ３２とに報告する。但し、搬送管理システム１５のロット終了判断部２３への報告は、図２に示すように、工程処理状態監視部２２を介して行われる。報告を受けたＵＬＤ３２は回収中若しくは回収が完了した製品のキャリアへの回収を終え、（２）最終キャリア回収報告３３を、自動棚管理システム１１に報告し、その報告をさらに搬送管理システム１５のロット終了判断部２３に報告する。
【００２２】
ここで搬送管理システム１５のロット終了判断部２３に到達する情報は（１）ロット終了報告３１が先に報告され、その後に（２）最終キャリア回収報告３３が報告される。その為、ロット終了判断部２３にて、ロット切り替えの判断を（１）ロット終了報告３１のみで判断すると、最終キャリアの搬送が実施されない。よって、搬送管理システム１５内のロット終了判断部２３では（１）ロット終了報告３１の情報を一時保管し、（２）最終キャリア回収報告３３の報告があった後、ロット終了を認識し、搬送処理を完了する。
【００２３】
また、トラブルやイレギュラーな事象の為、（１）ロット終了報告３１の報告の後に、（２）最終キャリア回収報告３３がなかった場合は次ロットキャリアの回収報告を（２）最終キャリア回収報告３３に置き換え上記の処理を実施する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】工程レイアウトの一例を示す説明図
【図２】搬送管理システムの内部構成と他のシステムとの情報の連携を示す説明図
【図３】ロット終了報告と最終キャリア回収報告の関係を示す説明図
【符号の説明】
【００２５】
１０…自動棚
１１…自動棚管理システム
１２…工程管理システム
１３…製品の生産ライン
１３１…生産ラインの工程１（装置群１）
１３２…生産ラインの工程２（装置群２）
１３N…生産ラインの工程N（装置群Ｎ）
１４…ライン管理システム
１５…搬送管理システム
２１…自動棚情報管理部
２２…工程処理状態監視部
２３…ロット終了判断部
２４…次工程判断部
２５…クライアントＰＣ（搬送管理システム）
２６…クライアントＰＣからの搬送要求
２７…搬送管理システムからの搬送指示
３１…ロット終了報告
３２…工程１ＵＬＤ
３３…最終キャリア回収報告
【図１】
2007114927.tif 000003
【図２】
2007114927.tif 000004
【図３】
2007114927.tif 000005