(57)【要約】【課題】  ハンドラーの消耗品の保全時期を的確にユーザに通報すると共に、保全時期を予測することが可能なハンドラー管理システムを実現する。【解決手段】  ハンドラーと、その稼動情報を収集して管理する管理サーバよりなるハンドラー管理システムにおいて、  前記管理サーバは、前記ハンドラーの動作状態を記録した情報にタイムスタンプを付加した動作監視情報を含む稼動情報を収集する稼動情報収集手段を備える。【選択図】                    図１
2007094489.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハンドラーと、その稼動情報を収集して管理する管理サーバよりなるハンドラー管理システムにおいて、
前記管理サーバは、前記ハンドラーの動作状態を記録した情報にタイムスタンプを付加した動作監視情報を含む稼動情報を収集する稼動情報収集手段を備えたことを特徴とするハンドラー管理システム。
【請求項２】
前記管理サーバは、
前記動作監視情報に基づき前記ハンドラーの所定部品の保全時期を推定するデータを抽出する推定データ抽出手段と、
抽出データの値が閾値を越えたときに保全情報を出力する監視手段と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載のハンドラー管理システム。
【請求項３】
前記管理サーバは、前記推定データのトレンドに基づいて前記保全時期を予測する保全時期予測手段を備えることを特徴とする請求項２に記載のハンドラー管理システム。
【請求項４】
前記管理サーバは、前記ハンドラーの通常動作情報を保持し、収集された稼動情報と比較し、比較結果に応じて警報を発生する警報手段を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のハンドラー管理システム。
【請求項５】
前記管理サーバは、自己が生成した情報をユーザに通知する、ユーザ通知手段を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のハンドラー管理システム。
【請求項６】
前記ハンドラーは、前記管理サーバの生成情報を参照するサーバ参照手段を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のハンドラー管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハンドラーと、その稼動情報を収集して管理する管理サーバよりなるハンドラー管理システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
分散した半導体生産工場のデータを、データセンターのサーバに収集して管理する半導体生産管理システムについては特許文献１に開示されている。本発明は、管理対象をハンドラーの稼動情報に特化した管理システムを提供する。
【０００３】
半導体の試験装置においては、被試験対象の半導体を試験工程に沿って搬送するハンドラーが複数台稼動する形態が一般である。これらハンドラーの消耗品の交換管理のために、各ハンドラーの稼動情報を管理サーバがオンラインで収集するハンドラー管理システムが知られている。
【０００４】
図３は、従来のハンドラー管理システムの構成例を示す機能ブロック図である。１，２，３はハンドラーであり、複数台中の３台を示す。これらハンドラーは、通信バス４に接続されている。１１，２１，３１は、各ハンドラーが備える実績情報保持手段である。
【０００５】
５は管理サーバであり、通信バス４に接続されてハンドラー１，２，３と通信する。５１は稼動情報収集手段であり、各ハンドラーが備える実績情報保持手段１１，２１，３１が保持する実績情報ｄ１，ｄ２，ｄ３を稼動情報として収集し、データベース５２に保持する。データベース５２に保持された実績情報は、表示手段５３を介してモニタ５４に表示される。
【０００６】
図４は、稼動情報収集手段５１が収集する実績情報の具体例を示す表であり、セットしたＩＣ数、搬送したＩＣ数、不良と判定されたＩＣ数、アラーム発生履歴、等の主として数値データである。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−６７０２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のハンドラー管理システムでは、次のような問題点がある。
（１）管理サーバがハンドラーから収集する稼働情報は、数値的な実績情報であり、消耗品の保全管理を行うためのデータを完全には取得していない。
【０００９】
（２）そのデータから予知保全に必要な情報を抽出する手段も持たない。従って、効率的な保全作業を立案し、実行するための情報は得られない。
【００１０】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、ハンドラーの消耗品の保全時期を的確にユーザに通報すると共に、保全時期を予測することが可能なハンドラー管理システムを実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような課題を達成するために、本発明は次の通りの構成になっている。
（１）ハンドラーと、その稼動情報を収集して管理する管理サーバよりなるハンドラー管理システムにおいて、
前記管理サーバは、前記ハンドラーの動作状態を記録した情報にタイムスタンプを付加した動作監視情報を含む稼動情報を収集する稼動情報収集手段を備えたことを特徴とするハンドラー管理システム。
【００１２】
（２）前記管理サーバは、
前記動作監視情報に基づき前記ハンドラーの所定部品の保全時期を推定するデータを抽出する推定データ抽出手段と、
抽出データの値が閾値を越えたときに保全情報を出力する監視手段と、
を備えることを特徴とする（１）に記載のハンドラー管理システム。
【００１３】
（３）前記管理サーバは、前記推定データのトレンドに基づいて前記保全時期を予測する保全時期予測手段を備えることを特徴とする（２）に記載のハンドラー管理システム。
【００１４】
（４）前記管理サーバは、前記ハンドラーの通常動作情報を保持し、収集された稼動情報と比較し、比較結果に応じて警報を発生する警報手段を備えることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載のハンドラー管理システム。
【００１５】
（５）前記管理サーバは、自己が生成した情報をユーザに通知する、ユーザ通知手段を備えることを特徴とする（１）乃至（４）のいずれかに記載のハンドラー管理システム。
【００１６】
（６）前記ハンドラーは、前記管理サーバの生成情報を参照するサーバ参照手段を備えることを特徴とする（１）乃至（５）のいずれかに記載のハンドラー管理システム。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
（１）管理サーバは、ハンドラーの動作状態を記録した情報にタイムスタンプを付加した動作監視情報を収集して保全時期を推定するデータを抽出するので、消耗品の消耗具合を精度よく監視でき、これが所定の閾値を越えたときに的確な保全通知をユーザに提供することが可能となる。
【００１８】
（２）管理サーバは、保全時期の推定データのトレンドから保全時期の予測をしてユーザに通知することが可能となる。
【００１９】
（３）管理サーバは、収集した動作監視情報と通常動作との差異を監視することにより、システムの不具合箇所を検出してユーザに警報することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図１は本発明を適用したハンドラー管理システムの一実施形態を示す機能ブロック図である。図３で説明した従来システムと同一要素には同一符号を付して説明を省略する。以下、本発明の特徴部につき説明する。
【００２１】
図１において、１００，２００，３００は本発明が適用されたがハンドラーであり、複数台中の３台を示す。これらハンドラーは通信バス４に接続されている。１０１，２０１，３０１は、各ハンドラーが備える稼動情報保持手段である。
【００２２】
これら稼動情報保持手段１０１，２０１，３０１において、１０２，２０２，３０２は保持された動作監視情報、１０３，２０３，３０３は保持された実績情報である。実績情報１０３，２０３，３０３は、従来システムで収集される図４に示した数値主体のデータである。
【００２３】
動作監視情報１０２，２０２，３０２は、ハンドラーの動作状態を記録した情報にタイムスタンプを付加した情報であり、ハンドラーの動作すべてが記録される。図２は、稼動情報収集手段５０１が収集する動作監視情報の具体例を示す表であり、例えば、シリンダーのバルブをＯＮした時刻、センサがシリンダーの目的位置に達した時刻、パッドが吸着開始した時刻、パッドの真空センサがＯＮした時刻、モータが動作を開始した時刻、モータが位置決め完了した時刻、時系列的なモータ駆動電流データ等である。
【００２４】
５００は管理サーバであり、通信バス４に接続されてハンドラー１００，２００，３００と通信する。５０１は稼動情報収集手段であり、各ハンドラーが備える稼動情報保持手段１０１，２０１，３０１が保持する稼動情報Ｄ１，Ｄ２，Ｄｄ３を収集し、データベース５０２に保持する。稼動情報Ｄ１，Ｄ２，Ｄｄ３には、動作監視情報１０２，２０２，３０２と実績情報１０３，２０３，３０３が含まれる。
【００２５】
５０３は通常動作情報保持手段であり、各ハンドラーの所定部材の標準動作時間等のデータを予め設定保持している。データベース５０２に保持された稼動情報及び通常動作情報保持手段５０３に保持された情報は、ハンドラー毎に備えられるデータ処理手段５０４でデータ処理され、生成されたハンドラーの保全に関する処理データＵが、データベース５０５に保持される。
【００２６】
データ処理手段５０４で処理されるリアルタイムの保全データＷ及びデータベース５０５に保持された処理データＵは、表示手段５０６に渡されてモニタ５０７に表示されると共に、ユーザ通知手段５０８に渡される。
【００２７】
６は、管理サーバ５００が接続される汎用通信バス、７はこの通信バスに接続されたユーザＰＣであり、管理サーバ５００内のユーザ通知手段５０８にアクセスして各ハンドラーの保全情報を取得して利用することができる。
【００２８】
１０４，２０４，３０４は、ハンドラー１００，２００，３００内に必要に応じて備えられるサーバ参照手段であり、ハンドラーからも管理サーバ５００の保全情報を参照することが可能である。
【００２９】
データ処理手段５０４の機能を説明する。５０９は、推定データ抽出手段であり、データベース５０２より稼動情報を取得して、付加されたタイムスタンプから、例えば、シリンダーの動作時間、パッドの吸着完了までの時間、モータの移動時間、動作のリトライ回数等の演算を行い、消耗品交時期、メンテナンス時期等の保全に関する推定データＦを抽出する。
【００３０】
５１０は、抽出データＦ及び設定される閾値Ｓを入力する監視手段であり、推定データＦが閾値Ｓを超えたら、交換時期、メンテナンス時期に達したとする保全データＰを出力手段５１１に渡す。
【００３１】
５１２は、推定データ抽出手段５０９の推定データＦを入力するトレンド手段であり、推定データＦのトレンドデータＴを生成し、保全時期予測手段５１３に渡す。保全時期予測手段５１３は、トレンドデータＴに基づいて経験則を反映したアルゴリズムによりハンドラーの所定部品の保全時期を予測し、予測データＱを出力手段５１１に渡す。
【００３２】
５１４は警報手段であり、各ハンドラーの所定部材の標準動作時間等のデータを予め設定保持している通常動作情報保持手段５０３のデータと、データベース５０２に収集されて保持された稼動情報とを比較し、比較結果に応じて異常警報データＲを出力手段５１１に渡す。また、時系列的なモータ駆動電流データを定常値と比較監視することで、モータ異常を検出して警報し、ユーザに注油期や交換時期を通知する。
【００３３】
更に、自己の監視だけではなく、他のハンドラーの情報と比較することにより、個体の健全性を確認することができる。例えば、パッドの吸着時間について、特定のハンドラーの吸着時間が変化して長くなった場合、エア漏れの可能性、パッドのへたり等を推定した警報を出力することが可能である。
【００３４】
出力手段５１１は、監視手段５１０の保全データＰ、保全時期予測手段５１３の予測データＱ、警報手段５１４の異常警報データＲを取得し、リアルタイムの保全データＷとして表示手段５０６に渡す。
【００３５】
尚、ハンドラー毎に備えられるデータ処理手段５０４で生成される全ての処理データＵは、データベース５０５に保持される。このデータには、ジャミング番号とデバイス確認場所、再発防止確認事項、調整項目等のデータも含まれる。
【００３６】
ユーザ通知手段５０８による通知形態は、ユーザＰＣ７や各ハンドラーのサーバ参照手段の画面上にアラームとして通知する形態や、ウェブサーバ機能を備えて指定されたアドレスに電子メール等の電子媒体を発信することも可能である。
【００３７】
以上説明した本発明の実施形態では、管理サーバ５００の稼動情報収集手段５０１はオンラインで各ハンドラーの稼動情報を収集する形態を示したが、ユーザによる日常点検等のオフライン点検結果も稼動情報収集手段５０１に入力して日常点検結果管理することにより、管理サーバ５００から日常作業の点検項目をユーザに提供するサービスを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明を適用したハンドラー管理システムの一実施形態を示す機能ブロック図である。
【図２】稼動情報収集手段が収集する動作監視情報の具体例を示す表である。
【図３】従来のハンドラー管理システムの構成例を示す機能ブロック図である。
【図４】稼動情報収集手段が収集する実績情報の具体例を示す表である。
【符号の説明】
【００３９】
４  通信バス
６  汎用通信バス
７  ユーザＰＣ
１００，２００，３００  ハンドラー
１０１，２０１，３０１  稼動情報保持手段
１０２，２０２，３０２  動作監視情報
１０３，２０３，３０３  実績情報
１０４，２０４，３０４  サーバ参照手段
５００  管理サーバ
５０１  稼動情報収集手段
５０２  データベース
５０３  通常動作情報保持手段
５０４  データ処理手段
５０５  データベース
５０６  表示手段
５０７  モニタ
５０８  ユーザ通知手段
５０９  推定データ抽出手段
５１０  監視手段
５１１  出力手段
５１２  トレンド手段
５１３  保全時期予測手段
５１４  警報手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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