(57)【要約】【課題】放電ランプからの放熱効果を低減することなく、外部電極のズレを抑えることが可能な光化学処理装置を提供する。【解決手段】内部電極１ａを有する管状の放電ランプ１と、放電ランプ１を円周方向で保持するための溝２ａを有する灯具２と、灯具２の溝２ａ内部に配置され、放電ランプ１の外周部より放電ランプ１に電圧を供給するための外部電極４と、外部電極４の円周方向の端部に設けられ、円周方向のズレを抑制するための突起部４ａ、４ｂを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部電極を有する管状の放電ランプと、
前記放電ランプを円周方向で保持するための溝を有する灯具と、
前記灯具の溝内部に配置され、前記放電ランプの外周部より前記放電ランプに電圧を供給するための外部電極と、
前記外部電極の円周方向の端部に設けられ、円周方向のズレを抑制するための突起部を備えることを特徴とする光化学処理装置。
【請求項２】
前記外部電極の厚さは、０．０５〜０．３ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の光化学処理装置。
【請求項３】
前記突起部は、前記放電ランプ外周から１〜１０ｍｍ突起していることを特徴とする請求項１又は２に記載の光化学処理装置。
【請求項４】
前記灯具に接続され、前記放電ランプ長手方向の中心部を下方より保持する保持機構を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光化学処理装置。
【請求項５】
前記放電ランプの近傍に設置される水冷用管を有する冷却機構を備えることを特徴する請求項１乃至４のいずれかに記載の光化学処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶基板などの洗浄に用いられる光化学処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶基板などの洗浄に、紫外線と、これにより励起された酸素原子により、有機物を酸化分解させ、揮発させることにより、液晶基板などを洗浄する光洗浄方法が用いられている。近年、この紫外線光源として用いられているＸｅエキシマランプは、発光波長が１７２ｎｍと短波長であることから、高い洗浄性が得られるものである。
【０００３】
このようなエキシマランプは、Ｘｅガスを封入した石英ガラス管の内部に内部電極を、外周部に外部電極を設け、高周波電圧を印加することにより、放電発光させるものである。外部電極は、管外周に密着するように設けられるが、ランプから発生する熱で、熱膨張・収縮を起こすなどにより、ランプとの間にギャップが生じたり、それに起因してズレを生じるという問題がある（例えば特許文献１参照）。このとき、ズレは、ランプの長手方向にのみならず、円周方向にも生じているが、特に、灯具と外部電極を分離した構造においては、熱膨張・収縮の影響は大きくなり、円周方向へのズレから、外部電極が大きく回転してしまい、発光強度などに影響を与えるという問題がある。そこで、外部電極をある程度の厚さとすることにより、熱膨張・収縮の影響を抑えることができるが、放熱効果が低減する、という問題が生じている。
【特許文献１】特開２００５−２６７９８６公報（［０００３］、［図２］、［図５］など）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、放電ランプからの放熱効果を低減することなく、外部電極のズレを抑えることが可能な光化学処理装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、内部電極を有する管状の放電ランプと、放電ランプを円周方向で保持するための溝を有する灯具と、灯具の溝内部に配置され、放電ランプの外周部より放電ランプに電圧を供給するための外部電極と、外部電極の円周方向の端部に設けられ、円周方向のズレを抑制するための突起部を備えることを特徴とする光化学処理装置が提供される。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の一実施態様によれば、光化学処理装置において、放電ランプからの放熱効果を低減することなく、外部電極のズレを抑えることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
【０００８】
図１に本実施形態の光化学処理装置の側面図を、図２にそのＡ−Ａ’断面図を示す。図に示すように、複数の例えばＸｅエキシマランプなどの内部電極１ａを有する放電ランプ１が、平行に配置されており、これら放電ランプ１は、例えばバルクＡｌ材から構成される灯具２に形成された溝２ａに収納されている。放電ランプ１と溝２ａとの間には、インバータ回路（図示せず）からの高周波電圧を、電圧印加手段３を介して、放電ランプ１に印加するための、ＳＵＳ、Ａｌなどからなり反射機能を有する膜厚０．３ｍｍ以下の外部電極４が、放電ランプ１と密着するように配置されている。灯具２内には、夫々の放電ランプ１に対応するように、放電ランプ１を冷却するための、水冷用管５が設けられている。水冷用管５は、夫々並列にポンプなどの給水装置（図示せず）と接続され、水冷用管５内に水を供給することにより、放電ランプ１からの発熱を熱交換する構成となっている。さらに、灯具２下方には、放電ランプ１の垂れを防止するために、各放電ランプ１の長手方向の中心部において放電ランプ１を保持するための例えば弗素系樹脂ブロックからなるコマ６が設置されている。
【０００９】
図３に放電ランプ近傍の詳細構造を示す。図に示すように、灯具２に形成された溝２ａ内に、放電ランプ１が保持されており、放電ランプ１の約１／２を覆うような状態で、外部電極４が配置されている。外部電極４は、その円周側端部が１ｍｍ以上の突起４ａ、４ｂを有するように、成形加工されている。放電ランプ１間には、放電ランプ１を保持するためのコマ６が設置されており、コマ６には、突起４ａの回転移動を抑制するための溝部６ａが形成されている。
【００１０】
このような光化学処理装置において、インバータ回路（図示せず）からの高周波電圧を放電ランプ１に印加し、放電ランプ１を点灯させる。このとき発生する熱は、薄い外部電極３を介して、応答性良く水冷用管５により水冷される。一方、放電ランプ１の点灯により発生する熱により、薄い外部電極４は大きく膨張するが、水冷用管５により水冷され収縮し、さらに放電ランプ１の非点灯時においても、継続して水冷され、さらに大きく収縮する。このように、膨張・収縮をくりかえすことにより、外部電極４のズレが生ずる。
【００１１】
このとき、灯具２の溝２ａに対して、放電ランプ１の径が小さくなるとき、ズレが発生するが、放電ランプ１が灯具側（上方）に寄っている場合、突起４ａが灯具２のエッジ部分に引っかかり、それ以上円周方向にズレないことになる。一方、反対にコマ側（下方）に寄っている場合、突起４ｂが今度はコマ６の溝部６ａに引っかかり、それ以上の円周方向のズレが抑制される。
【００１２】
このようにして、本実施形態によれば、外部電極を薄化することにより、放電ランプから発生する熱を応答性良く放出することができ、且つ外部電極の薄化により生ずる外部電極のズレや移動を抑えることが可能となる。
【００１３】
本実施形態において、外部電極４の厚さを０．３ｍｍ以下としたが、０．３ｍｍを超えると十分な放熱特性が得られない。一方、０．０５ｍｍより薄いと、安定して高周波電圧を印加することが困難となるため、０．０５〜０．３ｍｍとすることが好ましい。また、外部電極の突起部４ａ、４ｂは、放電ランプ1の外周から１ｍｍ以上突起するように加工されているが、１ｍｍ未満であると、熱収縮を生じたときに安定して機能しなくなってしまう。一方、１０ｍｍより突起が大きいと、隣接する突起部が接触したり、適正な放電ランプ配列にできないため、１〜１０ｍｍとすることが好ましい。
【００１４】
尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。その他要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一態様の光化学処理装置を示す側面図。
【図２】本発明の一態様の光化学処理装置を示す断面図。
【図３】本発明の一態様の光化学処理装置における、放電ランプ近傍の詳細構造を示すを示す図。
【符号の説明】
【００１６】
１…放電ランプ、２…灯具、３…電圧印加手段、４…外部電極、５…水冷用管、６…コマ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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