(57)【要約】【課題】新規で有用な磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法および磁気ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】スキュー角を設定するステップ（Ｓ１０２）と、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成するステップと（Ｓ１０６，Ｓ１０８）と、トラックのトラックプロファイルを測定するステップ（Ｓ１１０）と、異なる温度Ｔiに設定してＳ１０４〜Ｓ１１０のステップを繰り返すステップと、異なる温度で得られたトラックプロファイルと、測定用媒体の保磁力と温度との関係に基づいて磁界強度に変換するステップ（Ｓ１１６）とからなる。【選択図】図４
2007122823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法であって、
前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、
磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、
前記第１のステップにおいて複数の互いに異なる温度に加熱して、磁気的なトラックを形成するステップおよびトラックプロファイルを測定するステップを繰り返す第３のステップと、
前記異なる温度で得られたトラックプロファイルを記録磁界強度分布に変換する第４のステップと、
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
【請求項２】
磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法であって、
前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、
磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、
前記第１のステップにおいて複数の互いに異なる温度に加熱し、第１のおよび第２のステップを繰り返すステップと、
前記第１のステップにおいて、所定の範囲の互いに異なるスキュー角に設定して記録し、前記第３のステップを繰り返す第４のステップと、
前記異なる温度で得られた各々のトラックプロファイルを記録磁界強度分布に変換する第５のステップと、
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
【請求項３】
前記第１のステップは、磁気ヘッドにより記録する領域にレーザ光を照射して加熱することを特徴とする請求項１または２記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
【請求項４】
前記測定用磁気記録媒体は、透明基板の一方の面にのみ記録層が形成されてなり、
前記第１のステップは、記録層が設けられた面とは反対側の面からレーザ光を照射することを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
【請求項５】
前記トラックプロファイルから記録磁界強度分布への変換は、トラックプロファイルに含まれるピークが現れた最も低い温度における測定用磁気記録媒体の保磁力を記録磁界強度とすることを特徴とする請求項１または２記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
【請求項６】
前記トラックプロファイルから記録磁界強度分布への変換は、トラックプロファイルに含まれるピークが飽和した温度における測定用磁気記録媒体の保磁力を記録磁界強度とすることを特徴とする請求項１または２記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
【請求項７】
磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法であって、
前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、
磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、
前記トラックプロファイルに基づいて、前記温度における測定用磁気記録媒体の保磁力以上の記録磁界を発生する位置を同定する第３のステップと、
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
【請求項８】
前記記録層はＣｏおよびＰｔを含む強磁性材料からなることを特徴とする請求項１，２および７のうちいずれか一項記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
【請求項９】
磁気ヘッドの製造方法であって、
前記磁気ヘッドの検査工程を含み、
前記検査工程は、
前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、
磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、
前記トラックプロファイルに基づいて、前記温度における測定用磁気記録媒体の保磁力以上の記録磁界を発生する位置を同定する第３のステップと、
前記記録磁界を発生する位置または該位置での記録磁界強度が、所定の範囲内であるか否かを比較して、該範囲内の場合は良品と判定する第４のステップと、
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定装置であって、
磁気ヘッド位置決め手段と、
測定用磁気記録媒体を加熱する加熱手段と、
前記加熱手段により測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、前記磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する記録手段と、
前記トラックのトラックプロファイルを磁界検出素子により測定するトラックプロファイル測定手段と、
前記トラックプロファイルに基づいて、前記温度における測定用磁気記録媒体の保磁力以上の記録磁界を発生する位置を同定する演算手段と、を備える磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法、その測定装置、および磁気ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記憶装置の高記録密度化に伴い、磁気記録媒体では信号対雑音比（Ｓ／Ｎ比）の向上や記録された情報の長期安定性の向上が図られている。一方、磁気記録媒体に記録再生を行う磁気ヘッドでも高記録密度化に伴い様々技術革新が図られている。再生素子では、スピンバルブ構造の磁気抵抗効果型（ＭＲ）素子やトンネル磁気抵抗効果型（ＴＭＲ）素子が採用され高出力化および高Ｓ／Ｎ比化が図られている。また、記録素子では、高保磁力の磁気記録媒体に２００ｎｍ以下程度のトラック幅で記録するため、狭い領域に鋭くかつ強い磁界強度の記録磁界の発生が要求される。このような記録素子の設計には記録磁界の強度分布をコンピュータによる磁界計算で支援しながら行っている。
【０００３】
しかし、磁界計算により得られた記録磁界強度分布では所望の分布が得られたとしても、実際に製造した磁気ヘッドでは所望の記録特性が得られない場合がある。例えば、所定のトラックで繰り返し記録を行うと隣接トラックを消磁してしまう、いわゆるオフトラックイレーズが生じる場合がある。また、所望の記録密度において十分な出力やノンリニアトランジッションシフト（ＮＬＴＳ）特性が得られない場合がある。その原因は、磁気ヘッドの加工ばらつきによる異常な磁界発生や、磁気記録媒体の磁化による磁界強度分布の変化等である。これらの場合、磁気ヘッドの記録磁界の実測が必要となる。
【０００４】
磁気ヘッドの記録磁界を直接測定する手法として、電子ビームが記録磁界により偏向する現象を利用する手法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。この手法では、高価で大がかりな設備を必要とするため手軽に使用できず、磁気ヘッドの製造工程に検査用装置として導入するのはコスト面から困難である。
【０００５】
また、磁気光学効果を示す薄膜を磁界検出素子として、その薄膜を透過した光の偏光角により薄膜に印加された磁界強度を測定する手法が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。また、磁気ヘッドにより飽和記録磁界が既知の磁気記録媒体に記録して、記録電流と飽和磁界との関係から磁気ヘッドの記録磁界強度を間接的に測定する手法が提案されている（例えば、特許文献３参照。）。
【特許文献１】特開平３−１３８５８１号公報
【特許文献２】特開２０００−１８０５２２号公報
【特許文献３】特開平５−１２８４４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、新規で有用な磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法、その測定装置、および磁気ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によれば、磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法であって、前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、前記第１のステップにおいて複数の互いに異なる温度に加熱して、磁気的なトラックを形成するステップおよびトラックプロファイルを測定するステップを繰り返す第３のステップと、前記異なる温度で得られたトラックプロファイルを記録磁界強度分布に変換する第４のステップと、を含むことを特徴とする磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法が提供される。
【０００８】
本発明によれば、測定用磁気記録媒体を加熱して、所定の互いに異なる温度に設定して測定用磁気記録媒体の保磁力を増減させ、その状態で測定対象の磁気ヘッドを用いて記録する。そして磁気検出素子によりトラックプロファイルを測定し、各温度でのトラックプロファイルから、測定用磁気記録媒体の保磁力と温度の関係に基づいて磁界強度に変換する。測定用磁気記録媒体を加熱して保磁力を変化させているので、室温では保磁力が高いため熱安定性に優れる測定用磁気記録媒体を使用できる。したがって、残留磁化の熱安定性が高く、つまり再生出力の経時変化が小さいので、トラックプロファイルの正確な測定が可能となる。他方、このような測定用磁気記録媒体を加熱してその保磁力を低下させた状態で記録するので、磁界強度の小さな記録磁界を検知することができる。さらに、残留磁化の熱安定性が良好なため結晶粒子を微細化した記録層を有する測定用媒体を用いることができる。したがって、高分解能のトラックプロファイルが得られる。それらの結果から、本発明は、信頼性が高く高分解能の磁界強度分布が得られる。
【０００９】
なお、トラックプロファイルは、トラック幅方向の各位置での再生出力をトラック幅方向に対してプロットしたものである。
【００１０】
本発明の他の観点によれば、磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法であって、前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、前記第１のステップにおいて複数の互いに異なる温度に加熱し、第１のおよび第２のステップを繰り返すステップと、前記第１のステップにおいて、所定の範囲の互いに異なるスキュー角に設定して記録し、前記第３のステップを繰り返す第４のステップと、前記異なる温度で得られた各々のトラックプロファイルを記録磁界強度分布に変換する第５のステップと、を含むことを特徴とする磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法が提供される。
【００１１】
本発明によれば、測定対象の磁気ヘッドのスキュー角を様々に設定して記録することにより上記の発明の効果に加え、磁界強度分布をより詳細に測定できる。
【００１２】
本発明のその他の観点によれば、磁気ヘッドの製造方法であって、前記磁気ヘッドの検査工程を含み、前記検査工程は、前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、前記トラックプロファイルに基づいて、前記温度における測定用磁気記録媒体の保磁力以上の記録磁界を発生する位置を同定する第３のステップと、前記記録磁界を発生する位置または該位置での記録磁界強度が、所定の範囲内であるか否かを比較して、該範囲内の場合は良品と判定する第４のステップと、を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法が提供される。
【００１３】
本発明によれば、磁気ヘッドの製造方法における検査工程において、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定すると共に該磁気ヘッドにより記録してトラックプロファイルを得る。トラックプロファイルは、記録した温度における測定用磁気記録媒体の保磁力と同等以上の強度の記録磁界を発生する位置を示している。得られたトラックプロファイルが、基準となるトラックプロファイルの所定の磁界強度あるいは発生位置が範囲内か否かを比較することで、異常な磁界強度や異常な位置での記録磁界の発生等の情報が得られるので、磁気ヘッドの良品および不良品の選別が可能となる。
【００１４】
本発明のその他の観点によれば、磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定装置であって、磁気ヘッド位置決め手段と、測定用磁気記録媒体を加熱する加熱手段と、前記加熱手段により測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、前記磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する記録手段と、前記トラックのトラックプロファイルを磁界検出素子により測定するトラックプロファイル測定手段と、前記トラックプロファイルに基づいて、前記温度における測定用磁気記録媒体の保磁力以上の記録磁界を発生する位置を同定する演算手段と、を備える磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定装置が提供される。本発明によれば、上記測定方法を使用した測定装置が実現できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、新規で有用な磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法および磁気ヘッドの製造方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
最初に本発明の原理を簡単に説明する。本発明は、磁気ヘッドの記録磁界強度分布（以下、「記録磁界強度」を単に「磁界強度」と称することもある。）を測定するために、測定用磁気記録媒体（以下、単に「測定用媒体」と称する。）を加熱して様々な温度に昇温して記録を行い（記録動作）、略室温に冷却後、記録された情報、例えば磁気的に記録層に形成されたトラックを磁界検出素子により再生（読み出し）を行う（再生動作）。上記記録動作において、測定用媒体を加熱することで測定用媒体の保磁力を増減させている。測定用媒体を加熱しない場合は、測定用媒体の記録層の保磁力は高く、温度が高くなるにしたがって保磁力は低下する。保磁力が低くなると、磁気ヘッドの磁界強度分布のうち磁界強度の小さい領域でも記録層を磁化させられるので、記録磁界を取り去り、記録層の温度が略室温に戻った後に記録層には残留磁化が形成される。これを磁界検出素子により再生できる。すなわち、本発明は、測定用媒体を加熱して記録したときの温度と保磁力との関係と、その記録動作による残留磁化が形成されているか否か等を判定することで磁気ヘッドの磁界強度分布を測定するものである。
【００１７】
以下図面を参照しつつ実施の形態を説明する。
【００１８】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定装置の概略構成図である。
【００１９】
図１を参照するに、磁気ヘッドの磁界強度分布の測定装置１０は、測定用媒体５０、磁界強度分布の測定対象となる磁気ヘッド１１、磁気ヘッド１１の位置決め機構１４ａ、位置決め制御部１３ａ、測定用媒体５０にレーザ光を照射するレーザ光照射部１６、照射制御部１５、磁気ヘッド１１によって記録されたトラックプロファイルを再生する再生ヘッド６０、再生ヘッド６０の位置決め機構１４ｂ、位置決め制御部１３ｂ、磁気ヘッド１１および再生ヘッド６０の記録再生動作を行う記録制御部１９、再生出力測定部２１、測定用媒体５０を回転させる回転駆動部１８、測定装置１０の全体を制御する制御演算部２２、入力部２３、メモリ、表示部２５等から構成される。
【００２０】
測定装置１０は、メモリ２４に記憶されたプログラムや入力部２３から入力された命令に従って、後の図４に示すフロー図のステップに従って動作する。まず、測定装置１０の各構成要素を説明する。
【００２１】
図２は、磁気ヘッドの斜視図である。図３は、図２に示す磁気ヘッドのヘッドスライダの媒体対向面の要部構成図である。図３に示すＸ軸方向を記録素子長手方向、Ｙ軸方向を記録素子幅方向あるいは単に素子幅方向と称する。記録素子長手方向は、通常、記録素子および再生素子の各層の積層方向と平行である。
【００２２】
図２および図３を先の図１と共に参照するに、磁気ヘッド１１は、大略、板状の金属材料からなるサスペンション３１と、サスペンション３１の先端部に係止されたジンバル３２と、ジンバル３２に固定され、記録素子３６および再生素子３８が設けられたヘッドスライダ３４から構成される。また、サスペンション３１には、記録素子３６および再生素子３８と記録制御部とを電気的に接続する記録および再生信号の信号配線が設けられている。
【００２３】
サスペンション３１はその基部が、測定装置１０の位置決め機構１４ａに固定される。ヘッドスライダ３４は、測定用媒体５０の回転により、ヘッドスライダ３４の媒体対向面と磁気ディスク表面との間に生じる空気ベアリングにより測定用媒体５０上を浮上する。
【００２４】
図３に示すように、磁気ヘッド１１の素子部は、記録素子３６および再生素子３８からなり、再生素子３８は、軟磁性材料からなる下部シールド層４０ａおよび上部シールド層４０ｂと、下部シールド層４０ａと上部シールド層４０ｂとから挟まれた磁気抵抗効果膜３９からなる。磁気抵抗効果膜３９は、印加された磁界を検出し電気信号に変換する。磁気抵抗効果膜３９は、例えば、ＣＩＰ型やＣＰＰ型のスピンバルブ膜や、ＴＭＲ膜等からなる。なお、磁気ヘッド１１は再生素子が必須ではない。
【００２５】
記録素子３６は、軟磁性材料、例えば、ＦｅＣｏ合金やＮｉＦｅ合金等からなる下部磁極３６ａおよび上部磁極３６ｂと、下部磁極３６ａと上部磁極３６ｂとに挟まれたアルミナ膜からなる記録ギャップ部３７等からなる。下部磁極３６ａと上部磁極３６ｂとは媒体対向面の奥行き方向で軟磁性材料からなるヨーク（図示されず。）を介して磁気的に接続されている。さらに、ヨークを巻回するように記録コイル（図示されず。）が設けられている。記録コイルに記録電流を流すことで、下部磁極３６ａおよび上部磁極３６ｂから記録磁界が漏洩あるいは吸い込まれ、記録ギャップ部３７の表面から測定用媒体側に記録磁界が生じる。なお、アルミナ膜４１は、記録ギャップ部３７を形成すると共に、下部シールド４０ａの下側や、上部シールド４０ｂと下部磁極３６ａとの間や、下部磁極３６ａおよび上部磁極３６ｂを覆うように形成されている。
【００２６】
図１に戻り、再生ヘッド６０は、上述した磁気ヘッドと略同様の構造を有する。ただし、再生ヘッド６０は記録素子が必須でなく、再生素子のみでもよい。再生ヘッド６０は、磁気抵抗効果膜の幅（図３に示す磁気抵抗効果膜のＹ方向の長さ）が、磁気ヘッド１１の記録素子３６の幅よりも小さい方が好ましい。これにより、後述するトラックプロファイルの測定において、より高分解能で再生出力を測定できるので、より詳細に磁気ヘッドの磁界強度分布を測定できる。
【００２７】
位置決め機構１４ａ，１４ｂ、および位置決め制御部１３ａ、１３ｂは、それぞれ磁気ヘッド１１および再生ヘッド６０を支持する共に、測定用媒体５０の径方向の位置（トラック位置）を制御する。
【００２８】
なお、測定用媒体５０に予めトラックサーボ情報を記録し、磁気ヘッド１１および再生ヘッド６０の位置制御を行ってもよい。磁気ヘッド１１および再生ヘッド６０の各々がトラックサーボ情報を再生し、記録再生制御部１９を介して送出されるトラックサーボ信号に基づいて制御演算部２２および位置決め制御部１３ａ，１３ｂにより位置を制御する。これにより、磁気ヘッド１１および再生ヘッド６０の位置をより正確に制御でき、高精度にトラック位置決めが可能となる。これにより、より正確で高精度のトラックプロファイルが得られる。
【００２９】
レーザ光照射部１６は、図示を省略するが、例えば、半導体レーザ等の光源、集光レンズ、位置決め機構、フォーカスサーボ機構等からなる。レーザ光照射部１６は、制御演算部２２から照射制御部１５を介して、出力パワーに応じた駆動電流や磁気ヘッド１１のトラック位置情報を受信し、測定用媒体５０の記録位置付近の領域にレーザ光を照射する。
【００３０】
また、レーザ光照射部１６は、図１に示すように磁気ヘッド１１に対して測定用媒体５０の反対側の面側に配置される。これは、この配置の方が空間上の制約が少ないからである。後ほど説明するが、測定用媒体５０の基板を透明基板にすることで、測定用媒体５０の記録層を効率良く加熱できる。
【００３１】
なお、レーザ光照射部１６は、空間上の制約の点では不利であるが、もちろん、磁気ヘッド１１側から測定用媒体５０の記録領域を直接加熱するように配置されてもよい。この方がより効率的に加熱できる。この場合は、測定用媒体５０の記録位置よりも回転方向手前にレーザ光を照射すればよい。
【００３２】
記録再生制御部１９は、制御演算部２２の命令に基づいて、所定の記録周波数の記録信号を記録電流に変換し磁気ヘッド１１の記録コイルに送出し、磁気ヘッド１１により測定用媒体５０への記録動作を行う。また、再生ヘッド６０により得られたトラックプロファイルを形成する再生信号を再生出力測定部２１に送出する。
【００３３】
再生出力測定部２１は、再生信号の波高値を検出してＡ／Ｄ変換を行い、デジタルデータとして制御演算部２２に送出する。
【００３４】
制御演算部２２は、得られたトラックプロファイル、すなわち再生出力データとこれに対応するヘッドの位置情報を共にメモリに記録する。また、制御演算部２２は、トラックプロファイルを、メモリ２４に予め記憶されている測定用媒体５０の保磁力と温度との関係（後の図６に示す。）に基づいて磁気ヘッドの磁界強度に変換する。さらに、制御演算部２２は、磁気ヘッドの磁界強度を、ＲＡＭ、ハードディスク装置、光ディスク装置等のメモリに記録し、表示部に表示する。
【００３５】
次に、測定装置１０を用いて磁気ヘッドの磁界強度分布を測定する方法を説明する。
【００３６】
図４は、本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法を示すフロー図である。図４を参照しつつ、磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法を説明する。
【００３７】
最初に、測定装置１０の位置決め機構に１４ａに磁界強度分布の測定対象となる磁気ヘッド１１を取り付け、磁気ヘッド１１のスキュー角を設定する（Ｓ１０２）。スキュー角は、磁気ヘッド１１の記録素子３６の記録素子長手方向が測定用媒体５０の移動方向（記録方向）となす角度であり、測定用媒体の基板面に平行な仮想面の面内における角度である。なお、スキュー角の定義は再生ヘッド６０の場合も同様である。
【００３８】
第１の実施の形態では、スキュー角は０度に設定するとして説明する。なお、スキュー角の設定は、入力部２３から直接、あるいはメモリに記憶されているプログラムに行ってもよい。なお、このステップでは加熱する温度をＴ1（Ti：ｉ＝１）に設定する。
【００３９】
次いで、測定用媒体５０を消磁してトラックが記録層に残留していない状態にする（Ｓ１０４）。消磁する範囲は、トラックを記録する領域よりも十分に広い方が好ましい。また消磁方法は直流消磁、交流消磁、あるいは記録層等を損傷しない場合は熱消磁でもよい。直流消磁をする場合は、測定用媒体５０を回転駆動部１８に取り付け、磁気ヘッド１１により直流磁界を記録層に印加する。ただし、測定用媒体５０に予めトラックサーボ情報が記録されている場合は、トラックサーボ情報が記録されている領域では直流磁界を切るようにする。
【００４０】
次いで、測定用媒体５０を測定装置１０にセットして所定の回転数で回転させ、磁気ヘッド１１を測定用媒体５０上にロードする。さらに、測定用媒体５０にレーザ光を照射して記録層を温度Ｔ1に設定する（Ｓ１０６）。
【００４１】
図５は、第１の実施の形態の記録処理を説明するための図である。図５を参照するに、測定用媒体５０は、基板５１、その基板５１上に下地層５２、記録層５３、および、保護膜５４を順次積層されてなる。
【００４２】
測定用媒体５０は、記録層の磁化容易軸が基板面に略平行であるいわゆる面内磁気記録媒体や、記録層の磁化容易軸が基板面に略垂直ないわゆる垂直磁気記録媒体や、記録層の磁化容易軸が基板面に対して０度よりも大きくかつ９０度よりも小さい角度を有するいわゆる斜め配向磁気記録媒体である。磁気ヘッド１１の記録磁界の方向（例えば、基板面に平行な方向や垂直な方向や斜め方向）のうち、測定の目的とする方向に応じて、測定用媒体５０が上記の磁気記録媒体から選択される。第１の実施の形態では、磁気ヘッド１１の基板面に平行な方向の磁界強度（いわゆる水平磁界強度）を測定することとし、測定用媒体５０は面内磁気記録媒体であるとして説明する。
【００４３】
基板５１は、ガラス基板のような透明基板であることが好ましい。透明基板は、レーザ光照射により記録層５３を加熱する場合、レーザ光を透過するので、下地層５２にレーザ光が照射されるので記録層５３の昇温速度が高まるため好ましい。
【００４４】
また、基板５１の表面、あるいは基板５１の表面にさらにＮｉＰ膜等の配向制御膜を設け、基板５１の表面あるいは配向制御膜の表面のいずかに記録方向に沿って、線状の凹凸、いわゆるテクスチャを形成してもよい。これにより、記録層５３の磁化容易軸が記録方向に配向し、一軸異方性を有する記録層５３が形成される。その結果、記録層５３の磁化容易軸の揺らぎが小さくなるので、より高分解能のトラックプロファイルが得られる。
【００４５】
下地層５２は、例えば、Ｃｒ、Ｃｒ合金（例えば、ＣｒＭｏ、ＣｒＶ等。）からなる。また、記録層２３は、公知の強磁性材料を用いることができるが、磁気異方性の大きなＣｏＰｔ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＰｔＢ等のＣｏおよびＰｔを含む強磁性材料からなることが好ましい。これは、記録層２３の結晶粒子を微細化、例えば平均粒子径を１０ｎｍ以下に設定しても、残留磁化の熱安定性が良好であるので、残留磁化が測定中に減少することを抑制できる。
【００４６】
また、記録層２３は、各々強磁性材料からなる２層の磁性層とそれらの間に例えばＲｕからなる非磁性結合層を有し、２層の磁性層が互いに反強磁性的に結合した構造を有してもよい。このような記録層２３は、残留磁化の熱安定性がいっそう良好であるのでさらに好ましい。
【００４７】
なお、記録層２３には、強磁性材料からなる結晶粒子とそれを取り囲む非磁性材料（例えばＳｉＯ2）からなる、いわゆるグラニュラー構造の記録層を用いてもよい。この場合も強磁性材料は、磁気異方性の大きく熱安定性が良好な点で、上記のＣｏおよびＰｔを含む強磁性材料からなることが好ましい。なお、この場合は、下地層と記録層との間にＲｕまたはＲｕを主成分とするＲｕ合金を用いることが好ましい。高記録密度でのジグザグノイズを低減できるので、より高分解能でトラックプロファイルが測定可能となる。
【００４８】
保護膜５４は、カーボン膜や水素化カーボン等の公知の材料を用いることができ、さらに、図示を省略するが保護膜５４上に潤滑層が形成されてもよい。
【００４９】
測定用媒体５０は、予め、その保磁力と温度との関係を取得しておく。
【００５０】
図６は、測定用媒体の保磁力と温度との関係を示す図である。なお、図６は模式的に示したものである。図６を参照するに、測定用媒体５０を加熱して設定する温度Ｔ1〜Ｔn（Ｔ1＜Ｔ2＜…＜Ｔn）の各々に対する保磁力Ｈｃ1〜Ｈｃnを、例えば、振動試料型磁力計（ＶＳＭ）により測定しておく。すなわち、測定用媒体５０は、温度Ｔ1のときの保磁力がＨｃ1、Ｔ2のときがＨｃ2、…、ＴnのときがＨｃnである。測定用媒体５０の保磁力Ｈｃ1〜Ｈｃnは、温度Ｔ1〜Ｔnが高いほど減少する傾向にある。これは、強磁性材料の性質、つまり加熱温度が高くなると常磁性に相転移するキュリー点に近づくためである。なお、測定用媒体５０の保磁力と温度との関係は線形的な関係を有することが好ましい。トラックプロファイルから磁界強度への変換が容易となる。さらに、磁界強度分布を等間隔で示すことが容易となる。これらの点で、記録層はＣｏＣｒＰｔＢからなることが好ましい。
【００５１】
なお、測定範囲で最も低い温度Ｔ1は室温、例えば２５℃に設定されることが、測定装置の構造を簡易化できる点で好ましい。この場合、Ｔ1はレーザ光照射を行う必要はない。もちろん、測定装置１０に測定用媒体５０を冷却する冷却手段をさらに設け、温度Ｔ1を室温以下に設定してもよい。
【００５２】
測定用媒体５０は、記録層５３の２５℃における保磁力は、後ほど説明するトラックプロファイルから磁界強度に変換する処理方法に応じて選択されるが、磁気ヘッドの最大磁界強度よりも大きく設定することが好ましい。これにより、磁気ヘッドの最大磁界強度を確実に測定できる。記録層の２５℃の保磁力は、例えば、１０ｋＯｅ以上に設定する。
【００５３】
なお、磁気ヘッド１１に供給する記録電流の周波数が高い場合、例えば実際に磁気ヘッド１１が使用されるときの記録周波数を使用して測定用媒体５０に記録する場合は、上述したＶＳＭを用いて測定した保磁力の代わりに、高周波、例えば記録周波数と略同等の周波数で交番する磁界を測定用媒体に印加して得られる保磁力、いわゆる動的保磁力を用いることが好ましい。すなわち、図６に示す保磁力（ＶＳＭを用いて測定した保磁力）と温度との関係の代わりに、動的保磁力と温度との関係を用いる。なお、動的保磁力は、ＶＳＭを用いて測定した保磁力よりも大きく、周波数が高いほど増大する傾向がある。
【００５４】
また、磁気ディスク５０には、磁気ヘッド１１により記録磁界が印加される領域にレーザ光照射部１６によりレーザ光が照射される。レーザ光の照射によって加熱され、温度が均一となる範囲ＡＲは、記録素子１３により記録磁界が印加される領域よりも広いことが好ましい。これは、記録磁界が印加される領域で温度差が生じる場合は補正処理が必要となる場合があるが、その補正処理を省略できる点で好ましい。なお、温度Ｔ1は室温（２５℃）としてレーザ光を照射しなくともよい。
【００５５】
なお、図６に示す保磁力と温度との関係の代わりに、レーザ出力と温度との関係を取得して、保磁力とレーザ出力との関係を用いてもよい。なお、レーザ出力と温度との関係は、測定用媒体の周速によっても変わるので使用する周速に合わせて、これらの関係を取得する。
【００５６】
次いで、測定用媒体５０が所定の温度に加熱された状態で、所定の記録電流を記録素子に供給して記録を行う（Ｓ１０８）。記録電流は電流値が正負に交番する略矩形波の交流電流、あるいは直流である。記録電流が交流電流である場合は、トラックプロファイル測定処理（Ｓ１１０）では再生信号が交流波形となり、その信号振幅を測定することになる。以下、記録電流が交流電流であるとして説明する。なお、記録電流が直流の場合、ノイズトラックプロファイルを測定してもよく、後述する磁気力顕微鏡でトラックプロファイルを測定してもよい。
【００５７】
また、トラックは測定用媒体の１周に亘って記録する方がトラックプロファイル測定が容易になるが、１周よりも短くてもよく、トラックの長さに特に限定はない。このトラックの定義は第２〜第５の実施の形態においても同様である。
【００５８】
図５に示すように、磁気ヘッド１１には、記録素子３６のコイルに所定の周波数の記録電流が記録再生制御部（図１に示す符号１９）から供給される。記録素子３６の磁極の先端から記録磁界が記録層２３に印加され、記録層２３に磁気的に形成されたトラック５６が形成される。
【００５９】
なお、記録電流値は、磁界強度分布を測定する目的に応じて適宜設定する。記録電流値は、例えば、磁気ヘッドが実際にハードディスク装置等で使用される電流値としてもよく、記録磁界分布の異常を発見し易くするために、ハードディスク装置等で使用される電流値よりも大きな電流値に設定してもよい。ただし、記録電流値は、過度に大きな電流に起因して磁気ヘッドが破損するおそれのある電流値よりも小さい電流値に設定すべきである。
【００６０】
図７は、第１の実施の形態の記録処理を説明するための図である。なお、図７は模式図であり、磁気ヘッドの再生素子はその図示を省略している。
【００６１】
図７を参照するに、記録処理によって磁気ヘッド１１の記録素子３６により測定用媒体５０の移動方向（記録方向、図７示すＸ軸方向）に沿って１本のトラック５６が形成される。トラック５６には、記録磁界強度分布に対応した、Ｎ極とＳ極からなる磁化領域５６ａが形成される。
【００６２】
なお、図７は、スキュー角（磁気ヘッド１１の記録素子３６の長手方向と記録方向となす角）が０度に設定されている。また、トラック５６の両側（トラック幅方向、図７示すＹ軸方向）の領域は消磁状態である。
【００６３】
次いで、記録層５３の温度が略室温に低下した後、再生ヘッド６０によりトラックのトラック幅方向に対する再生出力、いわゆるトラックプロファイルを得る（Ｓ１１０）。
【００６４】
図８は、トラックプロファイル測定処理を説明するための図である。図８を参照するに、トラックプロファイルは、具体的には、再生ヘッド６０をトラック幅方向（図８示すＹ軸方向）に順次走査して、トラック幅方向のトラック中心からの距離に対する再生出力を測定する。再生出力は、トラック長手方向の所定の位置（例えば、測定用媒体５０の所定の基準位置から所定の角度）の信号振幅を測定する。なお、トラック長手方向に沿った所定の範囲に亘って、再生出力の平均値を測定してもよい。トラックプロファイルの測定は、例えば、以下のようにして行う。再生ヘッド６０によりトラック幅方向のある位置で測定用媒体が回転して１周する間のトラック長手方向に再生出力を測定し、再生出力の平均化を行う。次いで、トラック幅方向に少し磁気ヘッドを移動して、上述した測定と同様にして再生出力を測定する。これらの移動・測定を繰り返してトラック幅よりも広い範囲に亘って測定を行うことでトラックプロファイルが得られる。なお、再生出力を測定する場合は、記録された信号の周波数付近のみを通過させるバンドパスフィルタ等を用いることがノイズの影響を抑制できる点で好ましい。
【００６５】
また、トラックプロファイルのトラック幅方向の分解能が向上する点で、磁気ヘッド１１の記録素子３６よりも素子幅の狭い再生素子６２を備えたヘッドを用いることが好ましい。
【００６６】
また、再生ヘッド６０のスキュー角は０度に設定されている。再生ヘッドのスキュー角は、第２の実施の形態において説明するが、磁気ヘッド１１のスキュー角と同じ角度に設定する方が、より正確にトラックプロファイルを測定可能な点で好ましい。ただし、再生ヘッド６０のスキュー角は、再生ヘッド６０の位置決め機構１４ｂの取り付けの制約や再生ヘッドの浮上特性の制御等の理由で必ずしも０度でなくともよい。  なお、再生ヘッド６０の代わりに磁気ヘッド１１の再生素子を用いてトラックプロファイルを測定してもよい。これにより、測定装置の制御が単純化する。
【００６７】
次いで、温度をＴ1よりも高いＴ2に設定し（Ｓ１１４）、Ｓ１０４〜Ｓ１１０を上述した方法で行い、さらに温度Ｔnまで順次温度Ｔiを設定して、それぞれの温度Ｔiにおいてトラックプロファイルを測定する（Ｓ１１２）。
【００６８】
図９Ａ〜図９Ｄは、温度Ｔ2，Ｔ3，Ｔ8，Ｔ9（Ｔ2＜Ｔ3＜Ｔ8＜Ｔ9）でのトラックプロファイルを示す図である。図９Ａ〜図９Ｄの各々の縦軸は再生出力を示し、横軸はトラック幅方向の位置（例えばトラック中心からの距離）を示す。
【００６９】
図９Ａを参照するに、温度Ｔ2では再生出力が全く得られていない。これは、温度Ｔ2での測定用媒体５０の保磁力が記録磁界強度よりも高く、記録層が磁化されていないことを示す。
【００７０】
次に図９Ｂを参照するに、温度Ｔ3（温度Ｔ2の次に高い測定温度）では、プロファイルＰａが現れている。これはプロファイルＰａが現れた位置には温度Ｔ3における保磁力よりも大きな記録磁界強度が印加されたことが分かる。
【００７１】
次に図９Ｃを参照するに、温度Ｔ8では、プロファイルＰａが増加している。これは、測定用媒体５０の温度が上昇したため保磁力が低下し、記録層がより磁気的に飽和しているためである。
【００７２】
次に図９Ｄを参照するに、温度Ｔ9（温度Ｔ8の次に高い測定温度）では、プロファイルＰｂ1，Ｐｂ2が新たに現れている。このことからプロファイルＰｂ1，Ｐｂ2は、この温度Ｔ9での保磁力Ｈｃ9と同等かそれよりも大きく、かつ先の温度Ｔ8での保磁力Ｈｃ8よりも小さい磁界強度を有することが分かる。
【００７３】
次いで、このようにして得られた温度Ｔ1〜Ｔnのトラックプロファイルと、測定用媒体の保磁力Ｈｃ1〜Ｈｃnと温度Ｔ1〜Ｔnとの関係に基づいて磁界強度に変換する（Ｓ１１６）。
【００７４】
図１０は、再生出力値と温度との関係図である。図１０は、先の図９Ｂにおいて現れたプロファイルＰａにおけるトラック幅方向のピーク位置における再生出力値を示している。
【００７５】
図１０を参照するに、再生出力は温度Ｔ2で零であり、温度Ｔ3で増加し始めている。これは、図９Ａおよび図９Ｂに対応している。プロファイルＰａが現れたのは、温度Ｔａにおいてであることが推察されるが、初めてプロファイルＰａが観察された温度Ｔ3を、プロファイルＰａが現れた温度とする。すなわち、プロファイルＰａに対応する磁気ヘッドの記録素子の位置には、測定用媒体の保磁力に相当する磁界強度が生じているとする。これを一般化して説明すると、温度の低いＴiではトラックプロファイルのある位置にプロファイルが現れず、Ｔiの次に高い温度Ｔi+1ではその位置にプロファイルが現れた場合、そのプロファイルの位置においてＴi+1における保磁力Ｈｃi+1に等しい磁界強度を有するとする。このようにして、トラックプロファイルから磁界強度に変換し、磁界強度分布を得る。これにより、磁気ヘッドの記録素子幅方向の磁界強度分布が得られる。
【００７６】
図１１は、磁気ヘッドの記録素子幅方向の記録磁界強度分布を示す図である。図１１は、縦軸が磁界強度Ｈａ1〜Ｈａnであり、磁界強度Ｈａ1〜Ｈａnの各々は保磁力Ｈｃ1〜Ｈｃnに対応している。なお、図１１では、磁界強度Ｈａ1，Ｈａ10〜Ｈａnの図示を省略している。また、図１１の横軸が記録素子幅方向の位置を示し、“０”の位置は記録素子幅方向の中央を示している。記録素子幅方向の位置は、トラックプロファイルのトラック幅方向の位置から換算して求めたものである。
【００７７】
図１１を参照するに、磁界強度分布は、磁気ヘッドの記録素子幅方向の磁界強度分布である。これは、測定用媒体の記録方向の上流あるいは下流側から磁気ヘッドの磁界強度分布を見た図に相当する。記録素子幅方向の“０”の位置のピークＨpaは、図３に示す下部磁極３６ａと上部磁極３６ｂとの間の記録ギャップ３７付近に生じる記録磁界強度を示している。また、ピークＨpaの急峻さ、すなわちピークＨpaの勾配はオフトラックイレーズの程度に関係するため重要である。
【００７８】
さらに、ピークＨpaの記録素子幅方向の両側の磁界強度Ｈａ9程度の記録磁界は、図３に示す下部磁極３６ａ付近の記録磁界強度を示している。例えば、この磁界強度が比較的大きい場合は、記録動作の際に記録するトラックに隣接するトラックに悪影響を与えてしまう。
【００７９】
なお、図１１の磁界強度分布は、磁界強度が大きな領域と同じ記録素子幅方向の位置でかつ記録素子長手方向が異なる位置に、磁界強度が大きな領域よりも磁界強度の小さい領域があってもその情報は得ることができない。しかし、上述したように、実際の記録特性に与える磁界強度分布は、記録素子幅方向の各々の位置での最大となる磁界強度であるので、図１１により十分な情報が得られる。
【００８０】
また、図１１の磁界強度分布の磁界強度は、測定用媒体の保磁力と対応させたものであるので、相対的に比較する上では十分であるが、真の磁界強度ではない。図４に示す測定方法のフロー図のＳ１１６において、さらに真の磁界強度の磁界強度分布を算出する処理を行ってもよい。次に２つの算出処理を説明する。
【００８１】
まず、第１の算出処理は、予め真の磁界強度を測定した基準ヘッドを用意する。このような基準ヘッドは、例えば、背景技術の欄で説明した電子ビームが記録磁界により偏向する現象を利用して測定する。この測定の場合は、静的な記録磁界であるが真の磁界強度を測定できる。なお、電子ビームによる測定の際に基準ヘッドの流す記録電流は、次に行う図４の測定方法と同じ記録電流とする。
【００８２】
次いで、基準ヘッドを用いて、上述した図４のＳ１０２〜Ｓ１１４と同様の手順で磁気ヘッド１１に使用した測定用媒体５０と同じ測定用媒体を用いてプロファイルが現れた温度とその保磁力と、基準ヘッドの既知の磁界強度から、図１１の示す磁界強度を真の磁界強度に変換する。具体的には、プロファイルが現れた温度における測定用媒体の保磁力と、基準ヘッドの既知の磁界強度との関係を求める。そして、その関係から図１１の磁界強度を真の磁界強度に変換する。
【００８３】
また、第２の算出処理は、基準ヘッドを用いて測定用媒体に予め温度Ｔ1〜Ｔnに加熱してそれぞれ記録したトラック（以下、「参照トラック」と称する。）を形成しておく。参照トラックは、上述した図４に示す測定において使用しない領域に形成する。また、基準ヘッドは第１の算出処理と同様の基準ヘッドであり、磁界強度分布が既知のヘッドである。
【００８４】
次いで、上述した図４のＳ１１０のトラックプロファイル（以下、「測定トラックプロファイル」と称する。）の測定の際に、測定するトラックと同じ温度で記録した参照トラックのトラックプロファイル（以下、「参照トラックプロファイル」と称する。）を測定する。
【００８５】
次いで、測定トラックプロファイルと参照トラックプロファイルとのピーク強度の大きさを比較して、そのピーク強度の大きさから、磁界強度（保磁力に相当する。）と真の磁界強度との変換係数を求める。この変換係数を用いて、磁界強度を真の磁界強度に変換する。この算出処理では、全ての温度Ｔ1〜Ｔｎで参照トラックを用意する必要はなく、２つあるいはそれ以上の温度の参照トラックを用意すればよい。
【００８６】
以上の２つの算出処理のいずれかを用いることにより、真の磁界強度の磁界強度分布が得られる。
【００８７】
図１２はトラックプロファイルの測定例を示す図である。図１２において、加熱のためのレーザ出力を０ｍＷ（照射しない場合）から、１．４ｍＷまで異ならせて測定用媒体の温度を変化させ、そのそれぞれの温度において記録したトラックのトラックプロファイルを示している。
【００８８】
図１２を参照するに、レーザ出力が０ｍＷ（室温）でのトラックプロファイルは、１つの主ピークＰｃが現れたプロファイルを示している。レーザ出力を増加させて１ｍＷにすると、主ピークＰｃの両側にサブピークＰｄ、Ｐｅが現れ始めている。さらにレーザ出力を増加させて１．４ｍＷにすると、サブピークＰｄ、Ｐｅがより明確に現れている。第１の実施の形態では、サブピークＰｄ、Ｐｅの出現した温度における測定用媒体の保磁力が、サブピークＰｄ、Ｐｅの位置に対応する記録素子の位置の磁界強度としている。このように、第１の実施の形態では、測定用媒体の温度を増加させることで、室温での記録再生では見出せない比較的小さな磁界強度の記録磁界が生じていることが測定できる。
【００８９】
なお、図１２の測定例では、磁気ヘッドの記録素子幅（図３に示す上部磁極の幅）が２５０ｎｍ、記録電流を５０ｍＡ、記録周波数を１．４２ＭＨｚ、測定用媒体の回転数を３０００ｒｐｍに設定した。また、トラックプロファイルの測定は、測定対象の磁気ヘッドの再生素子（スピンバルブ膜）を用いた。
【００９０】
第１の実施の形態では、測定用媒体５０を加熱して様々な温度Ｔ1〜Ｔnに設定して測定用媒体５０の保磁力を増減させ、その状態で測定対象の磁気ヘッド１１を用いて記録する。そして残留磁化が形成された最も低い温度における測定用媒体５０の保磁力を記録素子の磁界強度とする。トラックプロファイルを得ることで記録素子幅方向の磁界強度分布が得られる。
【００９１】
この測定方法によれば、簡便な測定装置により磁気ヘッドの磁界強度分布を測定できる。また、従来不可能であった、実際に磁気ディスク装置等で使用する記録周波数における磁界強度分布をも測定できる。したがって、実使用時に近い状態で磁界強度分布が測定できるので、磁気ヘッドの性能や品質の良否を正確に判定可能である。
【００９２】
第１の実施の形態のような測定用媒体の加熱を行わず、様々な保磁力を有する複数の測定用媒体を用いて、測定用媒体の保磁力と、残留磁化が形成されているか否か等を判定することで、本発明と同様の磁気ヘッドの磁界強度分布が得られるように思われるが、以下の点で、本発明が優れた効果を有している。
【００９３】
まず、磁界強度分布をできるだけ高分解能に測定するためには、測定用媒体の記録層を形成する結晶粒子が微細である必要がある。例えば、加熱せずに磁界強度分布を測定する場合、１ｋＯｅ程度の磁界強度の分布を得たい場合、室温で保磁力が１ｋＯｅの、例えば、ＣｏＣｒからなる記録層の測定用媒体が必要となる。保磁力がこのように低い場合でかつ結晶粒子を微細化すると、残留磁化の安定性が劣化し、残留磁化は時間の経過に伴い減少する傾向にある（熱安定性に劣る）。例えば、記録後に、残留磁化を検出している間に残留磁化が減少するという事態を招き、正確な測定が困難となる。
【００９４】
一方、本願発明の測定用媒体のように、室温では保磁力が高いため熱安定性に優れているため、上記の事態を招くことなく、結晶粒子を微細化した記録層を有する測定用媒体を用いることで、高分解能のトラックプロファイルが得られ、その結果、高分解能の磁界強度分布が得られる。
【００９５】
なお、第１の実施の形態に係る磁界強度分布の測定方法の変形例として、図４の磁界強度変換のステップ（Ｓ１１６）の具体的処理を変更した例を説明する。Ｓ１１６以外は第１の実施の形態と同様であるのでその説明を省略する。
【００９６】
上述した磁界強度変換のステップ（Ｓ１１６）では、図９Ａ〜図９Ｄおよび図１０において説明したように、プロファイルが出現する温度に対応する保磁力を磁界強度としていた。本変形例では、プロファイルが出現する温度の代わりに、プロファイルが飽和した温度を用いる。
【００９７】
具体的には、図９Ｃおよび図９Ｄを参照するに、プロファイルＰａは、図９Ｃの温度Ｔ8と図９Ｄの温度Ｔ9でもその再生出力は略同等であり、温度Ｔ8で飽和している。これは、図１０にも示されている。この温度Ｔ8での測定用媒体の保磁力をそのプロファイル位置の磁界強度とする。これにより、プロファイルが飽和する温度では、他のプロファイルの裾野により埋まってしまうという影響を受ける可能性が低くなるので、より正確に磁界強度を決定できる。
【００９８】
なお、磁界強度は、第１の実施の形態では同じプロファイルＰａにおいてＨａ3であり、変形例ではＨａ8となる。Ｈａ3とＨａ8とはその絶対値に違いがあるが、磁界強度分布は、その分布内で相対的な大小関係が判明するだけでも十分であるので、この違いは問題とならない。もちろん、第１の実施の形態と同様に、上述した真の磁界強度の磁界強度分布を算出する処理（第１および第２の算出処理のいずれか）を行ってもよい。また、変形例の場合は、測定用媒体の室温での保磁力は、第１の実施の形態の場合よりも低くてもよいので、測定用媒体の選択の幅が広がるという利点がある。
【００９９】
なお、第１の実施の形態およびその変形例では温度Ｔ1〜Ｔnの各温度で記録し、その各々についてトラックプロファイルを測定したが、所望の磁界強度の記録磁界が生じているか否かを測定する場合は、その磁界強度に対応する温度だけで記録してトラックプロファイルを測定すればよい。これにより所望の磁界強度以上の記録磁界が生じているか否かの判定を行うことができる。
【０１００】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法は、様々なスキューを設定して磁界強度分布を求め、磁界強度分布を合成して記録素子幅方向および記録素子長手方向の２軸方向の磁界強度分布を測定する方法である。以下、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
【０１０１】
図１３は、本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法を示すフロー図である。図１４は、第２の実施の形態の記録処理を説明するための図である。図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【０１０２】
図１３および図１４を参照するに、最初に、磁気ヘッド１１のスキュー角θj（＝θ1）を設定する（Ｓ１０２）。そして、Ｓ１０４〜Ｓ１１４までを第１の実施の形態と同様に行い、スキュー角θ1における温度Ｔ1〜Ｔnの各々の温度で記録したトラックプロファイルを得る。図１４に示すように、トラック５６には、スキュー角θ1（θj）に応じて、平行四辺形の形状の磁化領域５６ｃが形成される。
【０１０３】
なお、トラックプロファイルの測定処理は、先の図８の説明と同様である。ただし、再生ヘッドのスキュー角を磁気ヘッドのスキュー角θ1（θj）と同等とすることが好ましい。これにより、より正確に測定でき、特に、線記録密度が高い場合、つまり磁化領域５６ｃのトラック長手方向の長さが短い場合に、再生出力の波形が時間軸方向に広がらず、正確に測定が可能となる。
【０１０４】
次いで、このようにして得られたスキュー角θ1における温度Ｔ1〜Ｔnのトラックプロファイルと測定用媒体の保磁力Ｈｃ1〜Ｈｃnと温度Ｔ1〜Ｔnの関係に基づいて磁界強度に変換する（Ｓ１１６）。この結果、スキュー角θ1における磁界強度分布が得られる。
【０１０５】
次いで、スキュー角をθ2〜θnの各々に設定して（Ｓ１２０，Ｓ１２２）、Ｓ１０４〜Ｓ１１６を同様に行う。スキュー角θ1〜θnの範囲はプラス側およびマイナス側のスキュー角で可能な限り広い方が、より多くの磁界強度分布の情報が得られるので好ましい。なお、プラス側あるいはマイナス側のみの範囲のスキュー角を設定してもよく、さらにその範囲は０度を含んでもよく、含まなくてもよい。また、磁気ヘッド１１の浮上が不安定にならない範囲、例えば±１５度以内に設定してもよい。
【０１０６】
以上のステップにより、第１の実施の形態と同様に記録素子の様々な方向（スキュー角）について磁界強度分布が得られる。
【０１０７】
図１５Ａ〜図１５Ｃは、様々なスキュー角で記録したトラックプロファイルを示す図である。なお、記録の際の温度は、第１の実施の形態における図９ＤのＴ9と同等である。図１５Ａ〜図１５Ｃの各々の縦軸は再生出力、横軸はトラック幅方向の位置を示している。
【０１０８】
図１５Ａを参照するに、スキュー角が−１２度で記録した場合は、ピークＰａ，Ｐｂ1，Ｐｂ2，Ｐｃ1が得られる、ピークＰａ，Ｐｂ1，Ｐｂ2は、図９Ｄのスキュー角０度の場合のトラックプロファイルに現れていたピークＰａ，Ｐｂ1，Ｐｂ2と同様である。また、ピークＰｃ1は、図３に示す上部磁極３６ｂの記録方向下流側の２つの角の一方の位置に現れている。このことから、スキュー角を０度から変えることにより、スキュー角０度では測定できなかったピークが測定できることが分かる。
【０１０９】
図１５Ｂおよび図１５Ｃを参照するに、図１５Ａで現れていたピークＰｃ1の他、ピークＰｃ2が現れている。このことからもスキュー角を０度から変えることにより、スキュー角０度では測定できなかったピークが測定できることが分かる。
【０１１０】
図１３に戻り、各スキュー角における磁界強度分布の座標変換により合成して、記録素子幅方向および記録素子長手方向の２軸に対する磁界強度分布が得られる（Ｓ１２４）。
【０１１１】
図１６は、磁気ヘッドの記録磁界強度分布を示す図である。図１６は、図３に示す上部磁極３６ｂ側から斜め方向に見た模式的な鳥瞰図である。
【０１１２】
図１６を参照するに、記録ギャップ部の位置のピークＨｐａに加え、上部磁極の２つの角の位置のピークＨｐｂ1，Ｈｐｂ2、および下部磁極の位置に記録素子幅方向に広がったピークＨｐｃ1，Ｈｐｃ2が観察される。なお、図１６の見る方向を変えることで、例えばピークＨｐａの記録方向下流側の裾野を観察できる。
【０１１３】
図１７Ａはスキュー角０度、図１７Ｂはスキュー角１２度で各々記録したトラックプロファイルの測定例を示す図である。
【０１１４】
図１７Ａを参照するに、測定用媒体にレーザ出力２．６ｍＷのレーザ光を照射して、スキュー角０度で記録した例である。記録ギャップ部の位置に主ピークＰａの他に主ピークの両側にピークＰｂ1およびＰｂ2が観察された。また、図１７Ｂを参照するに、レーザ出力の条件を図１７Ａと同様にしてスキュー角を−１２度すると、図１７Ａでは主ピークＰａがあるために測定できなかったピークＰｃが観察された。このことからもスキュー角を変えて測定することで、より多くの磁界強度分布の情報が得られることが分かる。
【０１１５】
なお、図１７Ｂに示すピークＰｂ2が、図１７Ａに示すピークＰｂ2よりも再生出力が低くなっている。これは図１７Ｂの測定の際にレーザ光の照射位置がずれてしまい、ピークＰｂ2に対応する領域付近の温度が他のピークＰａ，Ｐｃに対応する領域の温度よりも低くなっていたためであり、これは本発明の本質的な問題ではない。なお、図１７Ａおよび図１７Ｂの測定例の条件は先の図１２に示す測定例と同様とした。
【０１１６】
第２の実施の形態によれば、測定対象の磁気ヘッド１１のスキュー角をプラス側および／あるいはマイナス側に様々に設定して、第１の実施の形態と同様の測定をすることで、記録素子全体の磁界強度分布が得られる。なお、第２の実施の形態は、第１の実施の形態と同様の効果があることはいうまでもない。
【０１１７】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法は、第１および第２の実施の形態に対して、測定対象の磁気ヘッドと測定用媒体が異なる以外は同様である。
【０１１８】
図１８は、本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法の記録処理を説明するための図である。図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【０１１９】
図１８を参照するに、磁界強度分布の測定対象の磁気ヘッド７０は、垂直記録用の磁気ヘッドであり、記録素子７１に特徴がある。記録素子７１は、主磁極７１ａと、主磁極７１ａの記録方向下流側に設けられたトレーリング側補助磁極７１ｂと、主磁極７１ａの記録方向上流側に設けられたリーディング側補助磁極７１ｃと、これらの磁極７１ａ〜７１ｃを接続するヨークに巻回されたコイルからなる。主磁極７１ａ、トレーリング側補助磁極７１ｂ、リーディング側補助磁極７１ｃ、およびヨークは軟磁性材料からなり、磁気的に接続されている。主磁極７１ａはその先端部から磁界強度の大きな記録磁界を漏洩あるいは吸い込みを行う。トレーリング側補助磁極７１ｂは主磁極７１ａに近接して設けられ、主磁極７１ａの先端部周辺から漏洩する比較的小さな記録磁界を吸い込み、測定用媒体８０に印加されない構造となっている。
【０１２０】
また、測定用媒体８０は、基板５１上に軟磁性裏打ち層８２、記録層８３、保護膜５４が順次堆積されてなる。軟磁性裏打ち層８２は、非晶質もしくは微結晶の軟磁性材料からなる。このような軟磁性材料としては、ＦｅＳｉ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＴａＣ、ＣｏＮｂＺｒ、ＣｏＺｒＴａ、ＣｏＣｒＮｂ、ＮｉＦｅ、ＮｉＦｅＮｂ等が挙げられる。
【０１２１】
記録層８３は、垂直磁化膜であり、磁化容易軸方向が基板面に対して略垂直になっている。記録層８３は、公知の強磁性材料を用いることができるが、磁気異方性の大きなＣｏＰｔ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＰｔＢ等のＣｏおよびＰｔを含む強磁性材料からなることが好ましい。これは、記録層８３の結晶粒子を微細化、例えば平均粒子径を１０ｎｍ以下に設定しても、残留磁化の熱安定性が良好であるので、残留磁化が測定中に減少することを抑制できる。なお、記録層８３には、強磁性材料からなる結晶粒子とそれを取り囲む非磁性材料（例えばＳｉＯ2）からなる、いわゆるグラニュラー構造の記録層８３を用いてもよい。
【０１２２】
また、記録層８３は、１層あるいは数層のＣｏ膜およびＰｄ膜を交互に積層した、いわゆる人工格子膜でもよい。磁気異方性定数が大きいので、残留磁化の熱安定性に優れている。なお、人工格子膜は特に限定されず、例えばＣｏ膜とＰｔ膜との組み合わせでもよい。
【０１２３】
第３の実施の形態では、図４に示す第１の実施の形態に係る測定方法、または図１３に示す第２の実施の形態に係る測定方法と同様の測定方法により、垂直磁気記録用の磁気ヘッド７０の磁界強度分布を測定する。以下、図４のフロー図を参照しつつ、第３の実施の形態に係る測定方法を説明する。
【０１２４】
最初に、測定対象となる磁気ヘッド７０のスキュー角を、第１または第２の実施の形態と同様の角度範囲に設定する（Ｓ１０２）。スキュー角を９０度に設定してもよく、以下、９０度の場合を例に説明する。
【０１２５】
図１９は、第３の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法の記録処理を説明するための図である。図１９を図１８と共に参照するに、９０度のスキュー角７は、磁気ヘッド７０の記録素子７１の記録素子長手方向が測定用媒体の移動方向（図１９に示すＸ軸方向）に対して直交する配置である。この場合、記録により形成された磁化領域５６ｂは記録層の表面にＮ極とＳ極（図１９に示す“Ｎ”、“Ｓ”）が交互に現れるように形成される。
【０１２６】
次いで、先の図４に示すトラックプロファイル測定処理（Ｓ１１０）と同様にして、図８に示すように再生ヘッド６０のスキュー角を０度として測定することでトラックプロファイルが得られる。これは、測定用媒体８０の記録層８３の磁化容易軸が基板面に対して垂直方向に配向しているためである。
【０１２７】
次いで、図４に示すＳ１０４〜Ｓ１１４を第１の実施の形態と同様にして行い、各温度でのトラックプロファイルから磁界強度に変換して記録磁界強度分布を得る（Ｓ１１６）。なお、この際に使用する保磁力は、基板面に対して垂直方向の保磁力、いわゆる垂直保磁力である。
【０１２８】
以上により、磁気ヘッドの記録素子長手方向の基板面に対して垂直方向の記録磁界強度分布が得られる。この記録磁界強度分布の図示は省略するが、記録素子長手方向の磁界強度分布が得られるので、記録ギャップより記録方向下流側の磁界強度の勾配や、その下流側で記録磁界方向が反転した記録磁界の磁界強度が得られる。したがって、記録素子長手方向の磁界強度分布を測定することでノンリニアトランジッションシフト（ＮＬＴＳ）特性の劣化や記録素子自体が記録したビットを記録直後に消去する等の不具合を有する磁気ヘッドを抽出できる。
【０１２９】
また、垂直磁気記録用の磁気ヘッド７０の場合、実際の記録動作では、磁気ヘッド７０の主磁極７０ａが一方の磁極となり、磁気記録媒体の軟磁性裏打ち層（測定用媒体８０の軟磁性裏打ち層８２に相当する。）が他方の磁極となり、これらの磁極間の記録磁界の分布により記録特性が決まってくる。したがって、従来技術、例えば背景技術の欄で説明した方法では、垂直磁気記録用の磁気ヘッドの磁界強度分布を正確に測定できなかった。しかし、第３の実施の形態では、測定用媒体８０として垂直磁気記録用媒体を用いて、図４あるいは図１３に示す、第１または第２の実施の形態に係る測定方法を用いることで、垂直磁気記録用の磁気ヘッド７０の記録磁界の磁界強度分布を正確に測定できる。
【０１３０】
なお、スキュー角は必ずしも９０度に限定されるわけではない。また、磁気ヘッド７０が安定に浮上しない場合は、図１に示す測定装置１０の回転駆動部１８の代わりにＸステージやＸ−Ｙステージ等の１軸方向あるいは２軸方向に移動するステージを用いて、図１８に示す測定用媒体８０を移動させながら記録処理およびトラックプロファイル測定処理を行ってもよい。この方法によっても記録素子長手方向の基板面に対して垂直方向の記録磁界強度分布が得られる。
【０１３１】
（第４の実施の形態）
本発明の第４の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法は、トラックプロファイルの測定方法が異なる以外は第１〜第３の実施の形態に係る方法と同様であり、重複する説明は省略する。
【０１３２】
第４の実施の形態では、図４あるいは図１３のトラックプロファイルの測定（Ｓ１１０）において、再生ヘッドあるいは磁気ヘッドの再生素子等の磁界検出素子の代わりに磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）を用いる。ＭＦＭはその探針を測定用媒体の表面に近接して走査することで、測定用媒体の表面の磁界強度分布を求めることができ、例えば、図９Ａ〜図９Ｄに示すトラックプロファイルと同様のトラックプロファイルが得られる。
【０１３３】
また、記録処理（Ｓ１１０）において、記録方向に一記録磁界反転分の記録磁界を印加して、その領域をＭＦＭで走査してトラックプロファイルを測定してもよい。ＭＦＭは感度が良好で、探針の走査を高精度で行えるので、一記録磁界反転分の残留磁化領域があれば十分に測定可能である。これにより、図１６に示す記録素子幅および記録素子長手方向の磁界強度分布を得ることができる。
【０１３４】
なお、記録処理（Ｓ１１０）において、測定用媒体を停止し、所定の温度に加熱した状態で１つのパルス状の記録電流を磁気ヘッドに供給し、測定用媒体に記録素子の大きさにほぼ等しい大きさの残留磁化を有する領域を形成してもよい。その領域をＭＦＭで走査することで記録素子の形状に対応する測定用媒体の表面の磁界強度分布を求めることができる。第１あるいは第２実施の形態と同様に、これにより、磁気ヘッドの記録磁界強度分布を求めることができる。
【０１３５】
（第５の実施の形態）
本発明の第５の実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法は、上述した第１〜第４の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法を磁気ヘッドの検査工程に応用したものである。
【０１３６】
磁気ヘッドの製造工程は、ウェハに再生素子および記録素子を形成する素子部形成工程と、ウェハを短冊状に切り出したローバーに浮上面を形成する浮上面形成工程と、ローバーを個々のヘッドスライダに切り出してサスペンションに固定等する組立工程と、検査工程等からなる。
【０１３７】
先の図２を参照するに、磁気ヘッド１１のサスペンション３１とヘッドスライダ３４との組立工程の後に、磁気ヘッド１１の検査工程を行う。検査工程は、所定の記録電流値において記録素子から発生する磁界強度分布が基準となる磁気強度分布の範囲内か否かを判定する。その範囲内である場合は良品として、その範囲外の場合は不良品として取り除く。以下、具体的に検査工程を説明する。
【０１３８】
この検査は、図１に示す第１の実施の形態の測定装置１０を用いる。そして、図４に示すフロー図の一部のステップであるＳ１０２〜Ｓ１１０を行い、得られたトラックプロファイルと、基準となる所定の範囲のトラックプロファイルを比較して、その範囲内であるか否かの判定を行う。この検査では良品と不良品とを選別すればよいので、記録の際の測定用媒体の加熱の温度は、判定基準となる磁界強度に対応する１つの設定温度だけでよい。もちろん、図４のフロー図のステップの全てを行い、例えば、図１１に示す記録素子幅方向の記録磁界強度分布を測定して、基準となる磁界強度分布の範囲内か否かを判定してもよい。さらに、図１３のフロー図のステップの全てを行い、図１６に示す記録素子全体についての記録磁界強度分布を測定して、基準となる磁界強度分布の範囲内か否かを判定してもよい。
【０１３９】
第５の実施の形態の製造方法によれば、磁気ヘッドの磁界分布強度を簡単な方法で間接的あるいは直接的に測定して良品か否かの判定をするので、信頼性の高い磁気ヘッドを製造することができる。
【０１４０】
以上本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【０１４１】
例えば、第１および第２の実施の形態では測定用媒体に面内磁気記録媒体を用いて、面内記録用の磁気ヘッドの水平磁界強度分布を測定したが、その代わりに図１８に示す垂直磁気記録用の測定用媒体８０を用いて磁気ヘッドの垂直磁界強度分布を測定することができる。また、第３の実施の形態では、図１８に示す測定用媒体８０に垂直磁気記録媒体を用いて、垂直磁気用の磁気ヘッド７０の垂直磁界強度分布を測定したが、測定用媒体に図５に示す面内磁気記録用の測定用媒体５０を用いて、垂直記録用の磁気ヘッドの水平磁界強度分布を測定してもよい。さらに、測定用媒体として斜め配向媒体を用いて、磁気ヘッドの斜め方向の磁界強度分布を測定してもよい。
【０１４２】
また、第１〜第４の実施の形態に係る測定方法において、記録磁界印加方向のうちの一方向に沿ってバイアス磁界（直流磁界）を印加して、各温度で記録を行ってもよい。バイアス磁界を印加する方向は、例えば、測定用媒体が面内磁気記録媒体の場合は、基板面に対して平行でかつ記録素子長手方向であり、測定用媒体が垂直磁気記録媒体の場合は、基板面に対して垂直方向である。これにより、磁気ヘッドから生じる記録磁界に対してバイアス磁界の分だけ磁界強度を増加することで、測定用媒体を高温度に加熱しなくても残留磁化を形成できる。なお、この場合、磁気ヘッドの磁界強度は、バイアス磁界の磁界強度を差し引いた磁界強度となる。
【０１４３】
また、図１に示す測定装置１０では、回転駆動部１８により測定用媒体５０を回転させ磁気ヘッド１１および再生ヘッド６０を浮上させて記録処理およびトラックプロファイルの測定を行ったが、回転駆動部１８の代わりにＸステージやＸ−Ｙステージ等の１軸方向あるいは２軸方向に移動するステージを用いてもよい。この場合、ステージに測定用媒体を載置して、ステージを移動させて記録処理およびトラックプロファイルを第１〜第３の実施の形態と同様にして測定する。また、トラックプロファイルの測定の際に測定用媒体を移動させず、再生ヘッドをトラック幅方向に単に移動させて測定してもよい。なお、この場合、磁気ヘッド１１および再生ヘッド６０は測定用媒体の表面に接触することになるが、磁界強度分布の測定には影響しない。
【０１４４】
なお、以上の説明に関してさらに以下の付記を開示する。
（付記１）  磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法であって、
前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、
磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、
前記第１のステップにおいて複数の互いに異なる温度に加熱して、磁気的なトラックを形成するステップおよびトラックプロファイルを測定するステップを繰り返す第３のステップと、
前記異なる温度で得られた各々のトラックプロファイルを記録磁界強度分布に変換する第４のステップと、
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記２）  前記第１のステップは、磁気ヘッドにより記録する領域にレーザ光を照射して加熱することを特徴とする付記１記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記３）  前記測定用磁気記録媒体は、透明基板の一方の面にのみ記録層が形成されてなり、
前記第１のステップは、記録層が設けられた面とは反対側の面からレーザ光を照射することを特徴とする付記２記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記４）  前記前記トラックプロファイルから記録磁界強度分布への変換は、トラックプロファイルに含まれるピークが現れた最も低い温度における測定用磁気記録媒体の保磁力を記録磁界強度とすることを特徴とする付記１記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記５）  前記前記トラックプロファイルから記録磁界強度分布への変換は、トラックプロファイルに含まれるピークが飽和した温度における測定用磁気記録媒体の保磁力を記録磁界強度とすることを特徴とする付記１記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記６）  磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法であって、
前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、
磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、
前記第１のステップにおいて複数の互いに異なる温度に加熱し、第１のおよび第２のステップを繰り返す第３のステップと、
前記第１のステップにおいて、所定の範囲の互いに異なるスキュー角に設定して記録し、前記第３のステップを繰り返す第４のステップと、
前記異なる温度で得られた各々のトラックプロファイルを記録磁界強度分布に変換する第５のステップと、
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記７）  前記第１のステップは、磁気ヘッドにより記録する領域にレーザ光を照射して加熱することを特徴とする付記６記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記８）  前記測定用磁気記録媒体は、透明基板の一方の面にのみ記録層が形成されてなり、
前記第１のステップは、記録層が設けられた面とは反対側の面からレーザ光を照射することを特徴とする付記７記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記９）  前記トラックプロファイルから記録磁界強度分布への変換は、トラックプロファイルに含まれるピークが現れた最も低い温度における測定用磁気記録媒体の保磁力を記録磁界強度とすることを特徴とする付記６記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記１０）  前記前記トラックプロファイルから記録磁界強度分布への変換は、トラックプロファイルに含まれるピークが飽和した温度における測定用磁気記録媒体の保磁力を記録磁界強度とすることを特徴とする付記６記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記１１）  磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法であって、
前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、
磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、
前記トラックプロファイルに基づいて、前記温度における測定用磁気記録媒体の保磁力以上の記録磁界を発生する位置を同定する第３のステップと、
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記１２）  前記記録層はＣｏおよびＰｔを含む強磁性材料からなることを特徴とする付記１，６および１１のうちいずれか一項記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記１３）  前記記録層は、その磁化容易軸が当該記録層の膜面に対して略垂直方向に配向してなり、磁気ヘッドの垂直方向の記録磁界強度分布が得られることを特徴とする付記１２記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記１４）  前記記録層は、その磁化容易軸が当該記録層の膜面に対して略平行に配向してなり、磁気ヘッドの面内方向の記録磁界強度分布が得られることを特徴とする付記１２記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記１５）  前記磁界検出素子は磁気抵抗効果型素子、トンネル磁気抵抗効果型素子、および探針型素子からなる群のうちから選択されることを特徴とする付記１，６および１１のうちいずれか一項の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定方法。
（付記１６）  磁気ヘッドの製造方法であって、
前記磁気ヘッドの検査工程を含み、
前記検査工程は、
前記磁気ヘッドを所定のスキュー角に設定し、測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、該磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する第１のステップと、
磁界検出素子により前記トラックのトラックプロファイルを測定する第２のステップと、
前記トラックプロファイルに基づいて、前記温度における測定用磁気記録媒体の保磁力以上の記録磁界を発生する位置を同定する第３のステップと、
前記記録磁界を発生する位置と、基準となる記録磁界を発生する位置とを比較して、両者の位置が一致する場合は良品と判定する第４のステップと、
を含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
（付記１７）  磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定装置であって、
磁気ヘッド位置決め手段と、
測定用磁気記録媒体を加熱する加熱手段と、
前記加熱手段により測定用磁気記録媒体を所定の温度に加熱した状態で、前記磁気ヘッドにより記録して磁気的なトラックを形成する記録手段と、
前記トラックのトラックプロファイルを磁界検出素子により測定するトラックプロファイル測定手段と、
前記トラックプロファイルに基づいて、前記温度における測定用磁気記録媒体の保磁力以上の記録磁界を発生する位置を同定する演算手段と、を備える磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定装置。
（付記１８）  前記測定用磁気記録媒体はディスク状であり、当該測定用磁気記録媒体を回転駆動する回転駆動手段を備え、
前記加熱手段は、レーザ光を測定用磁気記録媒体に照射することを特徴とする付記１７記載の磁気ヘッドの記録磁界強度分布の測定装置。
（付記１９）  基板上に記録層を備え、
付記１、６、および１１のうちいずれか一項記載の測定方法に使用する測定用磁気記録媒体。
（付記２０）  前記磁気ヘッドの記録磁界強度分布を測定する所定の温度範囲において、記録層の保磁力と温度との関係が実質的に線形であることを特徴とする付記１９記載の測定用磁気記録媒体。
（付記２１）  前記所定の温度範囲の低温側において前記保磁力は磁気ヘッドの最大磁界強度よりも大きな保磁力を有することを特徴とする付記１９記載の測定用磁気記録媒体。
（付記２２）  前記記録層はその磁化容易軸が略一方向に配向してなることを特徴とする付記１９記載の測定用磁気記録媒体。
【図面の簡単な説明】
【０１４５】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定装置の概略構成図である。
【図２】磁気ヘッドの斜視図である。
【図３】図２に示す磁気ヘッドのヘッドスライダの媒体対向面の要部構成図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法を示すフロー図である。
【図５】第１の実施の形態の記録処理を説明するための図（その１）である。
【図６】測定用媒体の保磁力と温度との関係を示す図である。
【図７】第１の実施の形態の記録処理を説明するための図（その２）である。
【図８】トラックプロファイル測定処理を説明するための図である。
【図９Ａ】温度Ｔ2で記録したトラックプロファイルを示す図である。
【図９Ｂ】温度Ｔ3で記録したトラックプロファイルを示す図である。
【図９Ｃ】温度Ｔ8で記録したトラックプロファイルを示す図である。
【図９Ｄ】温度Ｔ9で記録したトラックプロファイルを示す図である。
【図１０】再生出力値と温度との関係図である。
【図１１】磁気ヘッドの記録素子幅方向の記録磁界強度分布を示す図である。
【図１２】トラックプロファイルの測定例を示す図である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法を示すフロー図である。
【図１４】第２の実施の形態の記録処理を説明するための図である。
【図１５Ａ】スキュー角−１２度で記録したトラックプロファイルを示す図である。
【図１５Ｂ】スキュー角−１８度で記録したトラックプロファイルを示す図である。
【図１５Ｃ】スキュー角−４５度で記録したトラックプロファイルを示す図である。
【図１６】磁気ヘッドの記録磁界強度分布を示す図である。
【図１７Ａ】スキュー角０度で記録したトラックプロファイルの測定例を示す図である。
【図１７Ｂ】スキュー角１２度で記録したトラックプロファイルの測定例を示す図である。
【図１８】本発明の第３の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法の記録処理を説明するための図（その１）である。
【図１９】第３の実施の形態に係る磁気ヘッドの磁界強度分布の測定方法の記録処理を説明するための図（その２）である。
【符号の説明】
【０１４６】
１０    測定装置
１１，７０    磁気ヘッド
１６    レーザ光照射部
１９    記録再生制御部
２１    再生出力測定部
３３    素子部
３４，６１    ヘッドスライダ
３６，７１    記録素子
３８，６２    再生素子
５０，８０    測定用磁気記録媒体（測定用媒体）
５１    基板
５２    下地層
５３，８３    記録層
５６    トラック
５６ａ，５６ｂ，５６ｃ    磁化領域（ビット）
６０    再生用磁気ヘッド
７１ａ    主磁極
７１ｂ    トレーリング側副磁極
７１ｃ    リーディング側副磁極
８２    軟磁性裏打ち層
【図１】
2007122823.tif 000003
【図２】
2007122823.tif 000004
【図３】
2007122823.tif 000005
【図４】
2007122823.tif 000006
【図５】
2007122823.tif 000007
【図６】
2007122823.tif 000008
【図７】
2007122823.tif 000009
【図８】
2007122823.tif 000010
【図９Ａ】
2007122823.tif 000011
【図９Ｂ】
2007122823.tif 000012
【図９Ｃ】
2007122823.tif 000013
【図９Ｄ】
2007122823.tif 000014
【図１０】
2007122823.tif 000015
【図１１】
2007122823.tif 000016
【図１２】
2007122823.tif 000017
【図１３】
2007122823.tif 000018
【図１４】
2007122823.tif 000019
【図１５Ａ】
2007122823.tif 000020
【図１５Ｂ】
2007122823.tif 000021
【図１５Ｃ】
2007122823.tif 000022
【図１６】
2007122823.tif 000023
【図１７Ａ】
2007122823.tif 000024
【図１７Ｂ】
2007122823.tif 000025
【図１８】
2007122823.tif 000026
【図１９】
2007122823.tif 000027