(57)【要約】【課題】プラスチック基板素材の熱変形防止と液晶表示装置の製造原価の似減および生産性を向上させることができる液晶表示装置の製造装置が提供される。【解決手段】本発明は液晶表示装置の製造装置と液晶表示装置の製造方法に関するものである。本発明による液晶表示装置の製造装置は、基板と前記基板の上部に位置する転写感光フィルムを載置させて支持する第１支持部材と；前記第１支持部材に対向して配置されている第２支持部材と；前記第２支持部材の表面に位置し、前記転写感光フィルムを前記基板に密着させる弾性部材と；前記第１支持部材と前記第２支持部材とを相互に接近および離隔させる駆動部と；前記第１支持部材と前記第２支持部材を受容する真空チャンバーとを含む。【選択図】図１
2007025671.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板の上部に位置する転写感光フィルムと、を載置させて支持する第１支持部材と、
前記第１支持部材に対向して配置されている第２支持部材と、
前記第２支持部材の表面に位置し、前記転写感光フィルムを前記基板に密着させる弾性部材と、
前記第１支持部材と前記第２支持部材とを相互に接近および離隔させる駆動部と、
前記第１支持部材と前記第２支持部材とを受容する真空チャンバーと、
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造装置。
【請求項２】
前記基板はプラスチック基板素材を含んでいることを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項３】
前記弾性部材の周縁は前記真空チャンバーまたは前記第２支持部材に固定されており、
前記弾性部材が前記転写感光フィルムに圧力を加えることによって前記転写感光フィルムが前記基板に密着するように前記第２支持部材と前記弾性部材との間に流体を注入する流体注入部材をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項４】
前記弾性部材はゴムを含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項５】
前記流体は空気であることを特徴とする、請求項３に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項６】
前記真空チャンバーは、
前記第１支持部材を受容する第１受容部と；
前記第２支持部材を受容する第２受容部とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項７】
前記第１支持部材と前記第２支持部材のうちの少なくともいずれか一つに形成されている発熱部をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項８】
前記発熱部は抵抗加熱要素を含むことを特徴とする、請求項７に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項９】
前記転写感光フィルムと前記基板のうちの少なくともいずれか一つが前記第１支持部材の載置位置に移動して載置するようにする移動手段をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１０】
前記移動手段はローラーを含むことを特徴とする、請求項９に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１１】
第１支持部材の載置位置に、表面上に転写感光フィルムが位置する基板を位置させる段階と；
前記第１支持部材に対向する第１表面を有する第２支持部材を設ける段階と；
前記基板上に前記転写感光フィルムを加圧するために前記第１支持部材と前記第２支持部材を互いに向かって移動させる段階と
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記基板と前記転写感光フィルムとの間の空気を除去する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項１１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記第２支持部材は前記第１表面に隣接して位置する弾性部材をさらに含み、
前記移動段階では前記第２支持部材と前記弾性部材との間に流体を注入する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項１１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記転写感光フィルムは、
フォトレジスト層と；
前記フォトレジスト層上に形成されている酸素浸透防止層と；
前記酸素浸透防止層上に形成されているベース層と；
前記ベース層上に形成されている静電気防止層とを含むことを特徴とする、請求項１１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記基板の位置段階は、
前記第１支持部材の載置位置上に前記基板および前記転写感光フィルムのうちの少なくともいずれか一つを輸送させる段階を含むことを特徴とする、請求項１１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記輸送は前記第１連結部材に支持される前記基板の前記載置位置への移動および前記第２連結部材によって支持される前記転写感光フィルムの前記載置位置への移動のうちの少なくともいずれか一つの移動を含むことを特徴とする、請求項１５に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記第１支持部材および前記第２支持部材は真空チャンバー内に位置し、
前記空気の除去は前記真空チャンバーを真空になるようにすることによって行われることを特徴とする、請求項１２に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１８】
前記第１支持部材および前記第２支持部材のうちの少なくともいずれか一つには熱が供給されることを特徴とする、請求項１１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１９】
前記熱は抵抗熱構造を用いることによって供給されることを特徴とする、請求項１８に記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示装置の製造装置および液晶表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は大きく液晶表示パネル、バックライトユニット、駆動部などからなる。そのうち、液晶表示パネルは薄膜トランジスターが形成された薄膜トランジスター基板、カラーフィルターが形成されたカラーフィルター基板、および両基板の周縁に沿って位置し両基板の間に満たされた液晶層を含む。最近、両基板のベースになる基板素材には、ガラスより厚さを薄く構成でき柔軟性を有するため携帯用ディスプレイを構成することに適当なプラスチックが多く使用されている。
【０００３】
薄膜トランジスター基板の製造過程では、ゲート電極、ソース／ドレーン電極、アクティブ領域、無機膜、有機膜および画素電極などを所望のパターンに形成する段階を経なければならない。また、カラーフィルター基板の製造過程でも、ブラックマトリックス、カラーフィルターなどを所望のパターンに形成する段階を経なければならない。このようなパターンを形成するためには基板に薄膜蒸着、感光膜積層、露光、現像、エッチングなどの工程が必要によって反復的に行われる。
【０００４】
感光膜を積層する方法には、パターンが要求される薄膜が蒸着された基板上に、感光液を塗布した後、ソフトベーク（ｓｏｆｔ  ｂａｋｅ）工程によって溶媒を蒸発させて積層させる方法がある。また、他の方法としては、パターンが要求される薄膜が蒸着された基板に、感光層を含む転写感光フィルムを密着させる方法がある。
前者の方法では、感光液を塗布した後に溶媒であるソルベントなどを蒸発除去するために、温度を約１２０℃として加熱する熱工程のソフトベーク工程を行う。しかし、このような熱を加える工程は、熱に弱いプラスチック基板素材が熱変形してしまうという問題点がある。それで、転写感光フィルムを利用する方法が最近多く使用されている。転写感光フィルムを利用する方法では、予め熱工程のソフトベーク工程を行い、感光層を含む転写感光フィルムを形成しておく。そして、その感光層を含む転写感光フィルムを、プラスチック基板素材を含む基板に密着させる。これにより、プラスチック基板素材の熱変形を防止する。
【０００５】
従来の転写感光フィルムを利用した方法による液晶表示装置の製造装置は、基板に転写感光フィルムを密着させて積層させるために圧力印加手段の使用が必須であった。基板にはパターンが形成されているため段差が存在している。したがって、圧力印加手段を用いて転写感光フィルムを段差がある基板の表面に沿って完全に密着させなければ、気泡が基板と転写感光フィルムとの間に残存するという問題点があった。このような問題点を解決するために、転写感光フィルムは感光膜の上部にクッション層を含むように構成された。クッション層を含む転写感光フィルムは、クッション層の弾力を利用して感光膜が基板の表面に沿って完全に密着するようにして、気泡の残存量を減少させることができる。これと共に、気泡の残存量をさらに減少させるために、クッション層は十分な弾力を有しなければならない。クッション層は一定の程度まで温度が上がるほど弾力が増加する。したがって、気泡の残存量を減らすためには、転写感光フィルムにある程度の熱を供給しなければならない。しかし、供給された熱によって基板に含まれているプラスチック基板素材に熱変形を起こせるという問題点があった。また、熱処理工程の追加によって製造原価が上昇するという問題点があった。
【特許文献１】韓国公開特許2005-002241号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、本発明の目的は、プラスチック基板素材の熱変形の防止と液晶表示装置の製造原価の低減および生産性を向上させることができる液晶表示装置の製造装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、プラスチック基板素材の熱変形の防止と液晶表示装置の製造原価の似減および生産性を向上させることができる液晶表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的は、本発明１によって、基板と前記基板の上部に位置する転写感光フィルムを載置させて支持する第１支持部材と；前記第１支持部材に対向して配置されている第２支持部材と；前記第２支持部材の表面に位置し、前記転写感光フィルムを前記基板に密着させる弾性部材と；前記第１支持部材と前記第２支持部材とを相互に接近および離隔させる駆動部と；前記第１支持部材と前記第２支持部材を受容する真空チャンバーとを含む液晶表示装置の製造装置によって達成される。
【０００８】
第１支持部材と第２支持部材とを駆動部により接近させて、真空チャンバ内を真空にする。これにより、凹凸パターンが形成された基板と転写感光フィルムとの間に存在する空気を減らす。また、第２支持部材に設けられた弾性部材により、転写感光フィルムを基板に押圧する。これにより、転写感光フィルムが基板の凹凸パターンに沿うように変形し、基板と転写感光フィルムとが密着する。
【０００９】
これにより、基板と転写感光フィルムとの間に残存する気泡の量を減らすことができるため、残存する気泡を取り除くためのクッション層が不要である。また、残存する気泡を除去するための熱工程が不要であり、プラスチック基板素材の熱変形を阻止し、製造工程の減少、製造コストの低廉化を達成することができる。さらに、弾性部材により押圧することにより、基板のパターンに沿うように基板と転写感光フィルムと密着させることができる。これらにより、生産性を向上することができる。
【００１０】
発明２は、発明１において、前記基板はプラスチック基板素材を含んでいるのが好ましい。
発明３は、発明１において、前記弾性部材の周縁は前記真空チャンバーまたは前記第２支持部材に固定されており、前記液晶表示装置の製造装置は前記弾性部材が前記転写感光フィルムに圧力を加えることによって前記転写感光フィルムが前記基板に密着されるように前記第２支持部材と前記弾性部材との間に流体を注入する流体注入部材をさらに含むのが好ましい。
【００１１】
流体は、自由に変形可能であり、基板の凹凸パターンに沿って弾性部材を変形させる。よって、弾性部材を基板の凹凸パターンに沿って自由に変形させ、基板と転写感光フィルムとを密着することができる。
発明４は、発明１において、前記弾性部材は弾性力が優れたゴムを含むのが好ましい。
発明５は、発明３において、前記流体は注入および放出が容易な空気であるのが好ましい。
【００１２】
発明６は、発明１において、前記真空チャンバーは、前記第１支持部材を受容する第１受容部と；前記第２支持部材を受容する第２受容部とを含むのが好ましい。
発明７は、発明１において、前記第１支持部材と前記第２支持部材のうちの少なくともいずれか一つに形成されている発熱部をさらに含むのが好ましい。
発熱部により、プラスチック基板素材が熱変形を起こさない温度まで熱を供給し、転写感光フィルムと基板との密着力を高める。
【００１３】
発明８は、発明７において、前記発熱部は抵抗加熱要素を含むのが好ましい。
発明９は、発明１において、前記転写感光フィルムと前記基板のうちの少なくともいずれか一つが前記第１支持部材の載置位置に移動して載置されるようにする移動手段をさらに含むのが好ましい。
発明１０は、発明９において、前記移動手段はローラーを含むのが好ましい。連続工程が可能な液晶表示装置を提供することができる。
【００１４】
本発明１１の他の目的は、第１支持部材の載置位置に表面上に転写感光フィルムが位置する基板を載置させる段階と；前記第１支持部材に対向する第１表面を有する第２支持部材を設ける段階と；前記基板上に前記転写感光フィルムを加圧するために前記第１支持部材と前記第２支持部材を互いに向かって相互移動させる段階とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法によって達成される。
【００１５】
発明１２は、発明１１において、前記基板と前記転写感光フィルムとの間の空気を除去する段階をさらに含むのが好ましい。
発明１３は、発明１１において、前記第２支持部材は前記第１表面に隣接して位置する弾性部材をさらに含み、前記移動段階では前記第２支持部材と前記弾性部材との間に流体を注入する段階をさらに含むのが好ましい。
【００１６】
発明１４は、発明１１において、前記転写感光フィルムは、フォトレジスト層と；前記フォトレジスト層上に形成されている酸素浸透防止層と；前記酸素浸透防止層上に形成されているベース層と；前記ベース層上に形成されている静電気防止層とを含むのが好ましい。
発明１５は、発明１１において、前記基板の位置段階は、前記第１支持部材の載置位置上に前記基板および前記転写感光フィルムのうちの少なくともいずれか一つを輸送させる段階を含むのが好ましい。
【００１７】
発明１６は、発明１５において、前記輸送は前記第１連結部材に支持される前記基板の前記載置位置への移動および前記第２連結部材によって支持される前記転写感光フィルムの前記載置位置への移動のうちの少なくともいずれか一つの移動を含むのが好ましい。
発明１７は、発明１２において、前記第１支持部材および前記第２支持部材は真空チャンバー内に位置し、前記空気の除去は前記真空チャンバーを真空になるようにすることによって行われるのが好ましい。
【００１８】
発明１８は、発明１１において、前記第１支持部材および前記第２支持部材のうちの少なくともいずれか一つには熱が供給されるのが好ましい。
発明１９は、発明１８において、前記熱は抵抗熱構造を使用することによって供給されるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、プラスチック基板素材の熱変形の防止と液晶表示装置の製造原価の似減および生産性を向上させることができる液晶表示装置の製造装置および液晶表示装置の製造方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照して本発明をより詳しく説明する。
いろいろな実施形態において、同一な構成要素に対しては同一な参照番号を付与し、同一な構成要素に対しては第１実施形態で代表的に説明し、他の実施形態では省略されることができる。
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置を図１を参照して説明する。図１は本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置の断面図である。
【００２１】
本発明の第１実施形態による液晶表示装置１は、第１支持部材１０、第２支持部材２０、弾性部材３０、駆動部６０、真空チャンバー４０、および流体注入部材５０を含んでいる。
第１支持部材１０は、パターンが要求され上部の表面に段差が形成されている基板２００と、基板２００の上部に位置して圧着によって基板２００と密着される転写感光フィルム３００を載置させて支持している。第１支持部材１０は、第２支持部材２０と相互加圧されることによって基板２００と、転写感光フィルム３００とを密着させる。第１支持部材１０は、加圧に耐えられる強度をもつと共に熱伝導度が優れた金属であるアルミニウムなどを用いることができる。
【００２２】
基板２００は、液晶表示装置の液晶表示パネルに使用されるために製造過程中にある、薄膜トランジスター基板またはカラーフィルター基板などをいう。基板２００のベースになる基板素材２１０は、厚さを薄く構成でき柔軟性を有するプラスチック素材であるが、これに限定されるのではなく、既存のガラス素材も可能である。プラスチック素材の種類としては、ポリカーボン（ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎ）、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等が可能である。基板２００にはパターンの要求される物質が薄膜形態に蒸着されている。基板２００の上部の表面は、いろいろな段階のパターニング過程を経ることによって段差が生じて、突出部（‘Ａ’部分）と陥没部（‘Ｂ’部分）とが形成されている。
【００２３】
転写感光フィルム３００は、図２Ａに示すように、順次に積層されたベース層３３０、酸素浸透防止層３２０、およびフォトレジスト層３１０を含んでいる。フォトレジスト層３１０の上部にはカバー層（図示せず）が形成されるが、基板２００との密着工程の開始前に除去される。ベース層３３０の背面には静電気防止層３４０が形成されている。酸素浸透防止層３２０とベース層３３０との間に形成されるクッション層は、本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置１を使用する場合には形成させる必要がない。したがって、転写感光フィルム３００の製造原価を減らすことができ、その理由は下記で説明する。
【００２４】
ベース層３３０は、転写感光フィルム３００の形状を維持するための骨格になる層であって、転写感光フィルム３００のフォトレジスト層３１０が基板２００に密着された後、露光前に、静電気防止層３４０と共に除去される層である。
ベース層３３０の上部には酸素浸透防止層３２０が積層されている。酸素浸透防止層３２０は、露光によって硬化される前に酸素に脆弱なフォトレジスト層３１０に酸素が侵入することを防止する層である。酸素浸透防止層３２０は、露光およびエッチング工程後に、灰化（ａｓｈｉｎｇ：アッシング）過程等によってフォトレジスト層３１０と共に除去されることができる。
【００２５】
酸素浸透防止層３２０の上部にはフォトレジスト層３１０が積層されている。フォトレジスト層３１０は基板２００に実質的に密着して積層される層であり、フォト工程で露光過程によって硬化される層である。フォトレジスト層３１０は、基板２００に積層される前に予め熱処理のソフトベーク処理を行うことによって、溶媒のソルベントなどが除去されて、固体状態で存在している層である。
【００２６】
ベース層３３０の背面には静電気防止層３４０が形成されている。静電気防止層３４０は、転写感光フィルム３００が基板２００に密着して積層された後にベース層３３０を除去する過程で発生する静電気から基板２００を保護するために形成されている層である。
第２支持部材２０は第１支持部材１０に対向して配置されており、第１支持部材１０と相互加圧される部材である。第２支持部材２０も、第１支持部材１０と同様に、強度を持つと共に熱伝導度が優れた金属であるアルミニウムなどを用いることができる。
【００２７】
第２支持部材２０の表面には弾性部材３０が位置している。弾性部材３０は第１支持部材１０と第２支持部材２０の加圧によって第２支持部材２０の圧力を第１支持部材１０に載置されている転写感光フィルム３００に伝達する。これによって、段差がある基板２００の上部の表面の全体に転写感光フィルム３００のフォトレジスト層３１０が密着されるようにする役割を果たす。弾性部材３０は、段差がある基板２００の上部の表面の全体に転写感光フィルム３００が密着されるように伸びる性質があり、圧力が除去されると元の形状に復元される弾性のゴムを含んで設けられている。弾性部材３０の周縁は下記の真空チャンバー４０の第２受容部４２に固定されている。
【００２８】
第１支持部材１０及び第２支持部材２０は、真空チャンバー４０内に受容されている。真空チャンバー４０は、第１支持部材１０が受容されている第１受容部４１と、第２支持部材２０が受容されている第２受容部４２とを含む。第１受容部４１と第２受容部４２とが相互結合することによって、装置内部が外部と閉鎖される。真空チャンバー４０の外部にはチャンバー駆動部（図示せず）が設けられて第１受容部４１と第２受容部４２とを相互に接近および離隔させる。
【００２９】
第１受容部４１の外部には真空排気管４７を通じて真空チャンバー４０の内部と連結されている真空形成部材４５が形成されている。真空形成部材４５は、真空チャンバー４０が外部と閉鎖された状態で真空バルブ４６を開放して、真空チャンバー４０内の空気を除去する役割を果たす。真空形成部材４５としては真空ポンプなどを用いることができる。
第１受容部４１の下部には、第１受容部４１を貫通して一側が第１支持部材１０に連結されている駆動部６０が設けられている。駆動部６０は、第１受容部４１と第２受容部４２とにそれぞれ受容されている第１支持部材１０及び第２支持部材２０を相互加圧するために接近位置に移動させる。つまり、駆動部６０によって、第１支持部材１０及び第２支持部材２０は、相互に接近位置および離隔位置の間を往復するようになる。駆動部６０は、第２受容部４２の上部の対応位置に形成させることもでき、第１受容部４１と第２受容部４２との一部のみならず外部に全て形成させることもできる。
【００３０】
第２受容部４２の外部には、流体注入管５３を通じて真空チャンバー４０の内部と連結されている流体注入部材５０が形成されている。流体注入部材５０は、弾性部材３０が転写感光フィルム３００に圧力を加えることによって、転写感光フィルム３００が基板２００の上部の表面の全体に完全に密着されるようにする部材である。つまり、流体注入部材５０が第２支持部材２０と弾性部材３０との間に流体を注入することによって、弾性部材３０を膨張させる。そして、転写感光フィルム３００が、段差が形成されている基板２００の上部の表面の陥没部（‘Ｂ’部分）の内部まで完全に密着されるようにする。流体は、自由に変形可能であるので、基板の凹凸パターンに沿って弾性部材３０を変形させることができる。また、流体は、注入および放出が容易である、取り扱いが容易な空気を主に使用する。
【００３１】
以下、本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用して液晶表示装置を製造する方法を図２ａ乃至図２ｄを参照して説明する。図２ａ乃至図２ｄは本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するための断面図である。
本発明による液晶表示装置の製造装置１を利用して液晶表示装置を製造する方法は、まず、図２ａに示されているように、第１支持部材１０に基板２００と、基板２００の上部に位置する転写感光フィルム３００を載置させる。この際、真空チャンバー４０は第１受容部４１と第２受容部４２とが離隔して開放された状態で位置しておく。これにより、第１受容部４１に受容されている第１支持部材１０に、基板２００及び転写感光フィルム３００が容易に載置できるようにする。
【００３２】
その後、図２ｂに示されているように、基板２００と転写感光フィルム３００との間の空気を除去する段階を経る。この過程を詳しく見てみると、まず、チャンバー駆動部（図示せず）が駆動して、真空チャンバー４０の第１受容部４１と第２受容部４２とを相互結合させることによって真空チャンバー４０を密閉させる。その後、第１受容部４１の外部に位置する真空ポンプである真空形成部材４５の真空バルブ４６を開放した後に、真空ポンプを作動させて真空チャンバー４０内部の空気を除去する。この過程で、基板２００と転写感光フィルム３００との間の部分、特に、基板の上部の表面の陥没部（‘Ｂ’部分）の空気が除去されるため、基板２００と転写感光フィルム３００とを密着させる過程で、基板２００と転写感光フィルム３００とのフォトレジスト層３１０の間に存在する気泡の残存量を減少させることができる。このように、真空形成過程を通じて気泡の発生原因になる空気を除去することによって、転写感光フィルム３００に別途のクッション層を形成させる必要がない。また、液晶表示装置の製造過程で熱工程を減らすことができ、基板２００に含まれているプラスチック基板素材の熱変形発生を減少させることができる。したがって、液晶表示装置の製造原価を低下することができ、不良率を減少させ工程を短縮させて液晶表示装置の生産性を向上させることができる。
【００３３】
その後、第１支持部材１０と第２支持部材２０とを相互加圧して、基板２００と転写感光フィルム３００とを密着して積層させる段階を経るようになる。この過程を見てみると、まず、図２ｃに示されているように、第１支持部材１０に連結されている駆動部６０を駆動させて第１支持部材１０を第２支持部材２０に接近させる。これによって第１支持部材１０と、第２支持部材２０の上部に位置する弾性部材３０と、が互いに接するようになる。この後、図２ｄに示されているように、流体注入部材５０の流体注入バルブ５２を開放して、流体注入管５３に沿って第２支持部材２０と弾性部材３０との間に流体を注入する。本実施形態で使用される流体は取り扱いが容易な空気である。これによって、第２支持部材２０は流体を支持しており弾力をもつ弾性部材３０が流体の圧力によって膨張しながら転写感光フィルム３００に圧力を加えるようになる。圧力を受けた転写感光フィルム３００は、段差が形成されている基板２００の上部の表面の陥没部（‘Ｂ’領域）の内部まで陥没部の形状に合うように変形されて入りながら完全に密着されるようになる。
【００３４】
本実施形態では流体の注入前に、第１支持部材１０と第２支持部材２０とを相互に接近させたが、これに限定されるわけではない。したがって、流体は第１支持部材１０と第２支持部材２０とを相互に接近する前に注入されても関係なく、接近と同時に注入されることも可能である。
その後、流体注入部材５０が流圧を解除し、真空チャンバー４０の真空を解除した後に真空チャンバー４０を開放して転写感光フィルム３００が密着された基板２００を取り出すと、積層工程が完了するようになる。
【００３５】
このように、本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置１およびこれを利用した液晶表示装置の製造方法によれば、第１支持部材と第２支持部材とを駆動部により接近させて、真空チャンバ内を真空にする。これにより、凹凸パターンが形成された基板と転写感光フィルムとの間に存在する空気を減らす。また、第２支持部材に設けられた弾性部材により、転写感光フィルムを基板に押圧する。これにより、転写感光フィルムが基板の凹凸パターンに沿うように変形し、基板と転写感光フィルムとが密着する。よって、基板と転写感光フィルムとの間に残存する気泡の量を減らすことができるため、残存する気泡を取り除くためのクッション層を除去することができる。また、残存する気泡を除去するための熱工程が不要であり、プラスチック基板素材の熱変形を阻止し、製造工程の減少、製造コストの低廉化を達成することができる。さらに、弾性部材により押圧することにより、基板のパターンに沿うように基板と転写感光フィルムと密着させることができる。これらにより、生産性を向上することができる。
【００３６】
＜第２実施形態＞
以下、本発明の第２実施形態による液晶表示装置の製造装置を図３を参照して説明する。図３は本発明の第２実施形態による液晶表示装置の製造装置の断面図である。
本発明の第２実施形態による液晶表示装置の製造装置２は、本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置１とは弾性部材の位置が異なる。第１実施形態では、弾性部材３０が真空チャンバー４０の第２受容部４２に固定されているが、第２実施形態では、弾性部材３２が第２支持部材２０の側面に固定されている。したがって、第２支持部材２０と弾性部材３２との間に流体を注入するための通路である流体注入管５３が第２支持部材２０を貫通して第２支持部材２０の上部まで延長されている。第２支持部材２０と弾性部材３２との間には、流体注入管５３から流体が導入され、押圧される。よって、弾性部材３２が膨張して転写感光フィルム３００に圧力を加え、転写感光フィルム３００が基板２００の陥没部（‘Ｂ’領域）の内部まで入り込む。これにより、転写感光フィルム３００と基板２００とが密着される。このように、第２実施形態の構成を有する液晶表示装置の製造装置２によっても、本発明の第１実施形態の液晶表示装置の製造装置１０と同一な効果を得ることができる。
【００３７】
また、本発明の第２実施形態による製造装置２は、第１支持部材１０の内部に、発熱部として抵抗によって熱が発生する抵抗加熱要素の熱線１２が形成されている。熱線１２は、基板２００と転写感光フィルム３００とが密着される過程で、プラスチック基板素材が熱変形を起こさない温度まで熱を供給し、転写感光フィルム３００の密着力を高めるために設けられる。熱線１２は、第２支持部材２０の内部に形成されることもでき、第１支持部材１０と第２支持部材２０との両者の内部に形成されることもできる。
【００３８】
前記のように本発明の第２実施形態による液晶表示装置の製造装置２は本発明の第１実施形態の製造装置１と異なる構成要素を有しているが、液晶表示装置の製造方法は第１実施形態の製造方法と同一なので説明を省略する。
＜第３実施形態＞
以下、本発明の第３実施形態による液晶表示装置の製造装置およびこれを利用した液晶表示装置の製造方法を図４を参照して説明する。図４は本発明の第３実施形態による液晶表示装置の製造装置の断面図である。
【００３９】
本発明の第３実施形態による液晶表示装置の製造装置３は、本発明の第１実施形態および第２実施形態の液晶表示装置の製造装置１、２とは異なり、真空チャンバー４０の外部に基板２００及び転写感光フィルム３００を移動させる移動手段であるローラー７０が設けられている。ローラー７０は下部ローラー７２と上部ローラー７４を含んでいる。
下部ローラー７２は、基板２００を連続的に第１支持部材１０の載置位置に移動させて載置するようにする。上部ローラー７４は、転写感光フィルム３００を第１支持部材１０の載置位置に載置されている基板２００の上部の対応位置に移動させて連続的に載置するようにする。基板２００と転写感光フィルム３００とが第１支持部材１０に連続的に載置して密着されるようにするために、それぞれ複数の基板２００および転写感光フィルム３００は連結部材４００に連結されている。
【００４０】
連結部材４００は厚さが薄いながらも強度が優れた合成樹脂のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムなどが主に使用される。連結部材４００は、真空チャンバー４０の第１受容部４１と第２受容部４２とが相互に結合される場合、第１受容部と第２受容部の結合部分にかみ合われるようになる。連結部材４００は厚さが薄いながらも軟性なので真空チャンバーの真空形成に問題にならない。
【００４１】
従って、本発明の第３実施形態による液晶表示装置の製造装置３によれば、本発明の第１実施形態および第２実施形態による液晶表示装置の製造装置１、２と同一な効果を得ることができるだけでなく、断続工程でない連続工程が可能な液晶表示装置の製造装置３が提供される。したがって、液晶表示装置の製造効率をさらに向上させることができる。
本発明の第３実施形態による液晶表示装置の製造装置３は本発明の第１実施形態および第２実施形態による液晶表示装置の製造装置１、２と異なる構成要素を有しているが、液晶表示装置の製造方法は第１実施形態および第２実施形態の製造方法と同一なので説明を省略する。
【００４２】
本発明のいろいろな実施形態が図示され説明されたが、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する当業者であれば、本発明の原則や精神から離脱せずに本実施形態を変形できることが分かる。発明の範囲は添付された請求項とその均等物によって決められる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置の断面図である。
【図２ａ】本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図２ｂ】本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図２ｃ】本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図２ｄ】本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態による液晶表示装置の製造装置の断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態による液晶表示装置の製造装置の断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０      第１支持部材
１２      熱線
２０      第２支持部材
３０、３２      弾性部材
４０      真空チャンバー
４１      第１受容部
４２      第２受容部
４５      真空形成部材
４６      真空バルブ
４７      真空排気管
５０      流体注入部材
５２      流体注入バルブ
５３      流体注入管
６０      駆動部
７０      ローラー
７２      下部ローラー
７４      上部ローラー
２００      基板
３００      転写感光フィルム
３１０      フォトレジスト層
３２０      酸素浸透防止層
３３０      ベース層
３３０      静電気防止層
４００      連結部材
【図１】
2007025671.tif 000003
【図２ａ】
2007025671.tif 000004
【図２ｂ】
2007025671.tif 000005
【図２ｃ】
2007025671.tif 000006
【図２ｄ】
2007025671.tif 000007
【図３】
2007025671.tif 000008
【図４】
2007025671.tif 000009