(57)【要約】【課題】ローラコンベアにおいて、搬送ローラを支持する長スパンのシャフトを用いる場合、その中間位置に、メンテナンス性を損なうことなく、且つ、粉塵を発生させることなく中間ベアリングによって支持する。【解決手段】ローラコンベア１０は、搬送用ローラ１４を支持するシャフト１２を中空のサブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂとから構成し、このサブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂを軸方向の隙間４０をあけてカップリング３８により連結し、このカップリング３８を中間ベアリング３２によって支持する。中間ベアリング３２の両側は、中間カバーケース３６によって囲まれ、中間ベアリング３２で発生した粉塵が、中間カバーケース３６のスリット状連通孔４１Ｂとカップリング３８のスリット状連通孔４１Ａを通って前記隙間４０を経て、サブ中空シャフト１３Ａ内の内側空間１３Ｃを介して、排出される。【選択図】図１
2007008695.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面内に互いに平行に配置された複数のシャフト、前記複数のシャフトに軸方向に間隔をあけて取り付けられた複数のローラ、前記複数のシャフトの軸方向一方の端部である駆動側端部近傍に配置され、該シャフトを回転駆動するための駆動装置、前記シャフト毎に、前記駆動側端部近傍を回転自在に支持する駆動側ベアリング、及びその反対側の軸方向端部である非駆動側端部近傍を回転自在に支持する非駆動側ベアリング、を有するローラコンベアであって、
前記シャフトの中間部を回転自在に支持する中間ベアリングと、
この中間ベアリングを支持する中間ベアリングホルダと、
前記駆動側ベアリングを支持する駆動側ベアリングホルダ及び前記非駆動側ベアリングを支持する非駆動側ベアリングホルダと、
前記中間ベアリング及び中間ベアリングホルダを囲む中間カバーケースと、
前記駆動装置、駆動側ベアリング及び駆動側ベアリングホルダを囲む駆動側カバーケースと、
前記非駆動側ベアリング及び非駆動側ベアリングホルダを囲む非駆動側カバーケースと、
前記駆動側カバーケース、非駆動側カバーケース、中間カバーケース内の気体を、個々に又は同時に直接吸引する吸気装置と、
を有していることを特徴とするローラコンベア。
【請求項２】
請求項１において、
前記シャフトは２本のサブ中実シャフト及びこれらを軸方向に接続する筒状のカップリングにより構成され、これらのサブ中実シャフトは、前記中間カバーケース内で、前記カップリングにより軸方向に隙間を介して連結され、前記カップリングは、前記中間ベアリングにより支持されていることを特徴とするローラコンベア。
【請求項３】
請求項１において、前記シャフトは中空シャフトとされ、前記駆動側端部は前記駆動側カバーケース内に開口され、且つ、前記非駆動側端部は前記非駆動側カバーケース内に開口されるとともに、前記中間カバーケース内の位置で、内側空間を該中間カバーケース内に連通する連通路を有していることを特徴とするローラコンベア。
【請求項４】
請求項３において、
前記中空シャフトは２本のサブ中空シャフト及びこれらを軸方向に接続する筒状のカップリングにより構成され、これらのサブ中空シャフトは、前記中間カバーケース内で、前記カップリングにより軸方向に隙間を介して連結され、前記連通路は、前記２本のサブ中空シャフトの、対向する軸方向端面間の前記隙間と、これに連続して、前記カップリングの円周方向複数箇所に筒状壁を貫通して形成された連通孔とから構成されていることを特徴とするローラコンベア。
【請求項５】
請求項２、３又は４において、
前記中間ベアリングホルダは吸気路を有し、この吸気路の一端は、支持する中間ベアリングの軸方向両端面に臨んで形成され、且つ、これらと平行なスリット状の吸引口とされ、他端は、前記中間カバーケースの内側に開口された排出口とされたことを特徴とするローラコンベア。
【請求項６】
請求項３において、
前記中空シャフトは２本のサブ中空シャフト及びこれらを軸方向に接続する筒状のカップリングにより構成され、これらのサブ中空シャフトは、前記カップリングにより軸方向に隙間を介して連結され、前記中間カバーケースは、前記カップリングの外周を囲むようにして、これに取り付けられ、前記連通路は、前記２本のサブ中空シャフトの、対向する軸方向端面間の前記隙間と、この隙間に連続して、前記カップリングの円周方向複数箇所に筒状壁を貫通して形成された連通孔とから構成されていることを特徴とするローラコンベア。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、
前記中間ベアリングホルダは、前記中間ベアリングの外側リングと一体の着脱部と、コンベア本体側に固定され、前記着脱部が上方から着脱自在に挿入される固定部と、を有してなり、前記着脱部の下側部は、下向きに先細りとなるテーパ先端部を有し、前記固定部は上向きに拡開し、前記着脱部のテーパ先端部が上方から嵌合するテーパ凹部を有することを特徴とするローラコンベア。
【請求項８】
平面内に互いに平行に配置された複数のシャフト、前記複数のシャフトに軸方向に間隔をあけて取り付けられた複数のローラ、前記複数のシャフトの軸方向一方の端部である駆動側端部近傍に配置され、該シャフトを回転駆動するための駆動装置、前記シャフト毎に、前記駆動側端部近傍を回転自在に支持する駆動側ベアリング、及びその反対側の軸方向端部である非駆動側端部近傍を回転自在に支持する非駆動側ベアリング、を有するローラコンベアであって、
前記シャフトの中間部を回転自在に支持する中間ベアリングと、
この中間ベアリングを支持する中間ベアリングホルダと、
前記駆動側ベアリングを支持する駆動側ベアリングホルダ及び前記非駆動側ベアリングを支持する非駆動側ベアリングホルダと、を有してなり、
前記中間ベアリングホルダは、前記中間ベアリングの外側リングと一体の着脱部と、コンベア本体側に固定され、前記着脱部が上方から着脱自在に挿入される固定部と、を有してなり、前記着脱部の下側部は、下向きに先細りとなるテーパ先端部を有し、前記固定部は上向きに拡開し、前記着脱部のテーパ先端部が上方から嵌合するテーパ凹部を有することを特徴とするローラコンベア。
【請求項９】
平面内に互いに平行に配置された複数のシャフト、前記複数のシャフトに、軸方向に間隔をあけて取り付けられた複数のローラ、前記複数のシャフトの軸方向一方の端部である駆動側端部近傍に配置され、該シャフトを回転駆動するための駆動装置、前記シャフト毎に、前記駆動側端部近傍を回転自在に支持する駆動側ベアリング、及びその反対側の軸方向端部である非駆動側端部近傍を回転自在に支持する非駆動側ベアリング、を有するローラコンベアであって、
前記駆動側ベアリングを支持する駆動側ベアリングホルダ及び前記非駆動側ベアリングを支持する非駆動側ベアリングホルダと、
前記シャフトにおける前記駆動側端部、駆動装置、駆動側ベアリング及び駆動側ベアリングホルダを囲む駆動側カバーケースと、
前記シャフトにおける前記非駆動側端部、非駆動側ベアリング及び非駆動側ベアリングホルダを囲む非駆動側カバーケースと、
前記駆動側カバーケースと非駆動側カバーケースのうち少なくとも駆動側カバーケース内の気体を直接吸引する吸気装置と、を設けてなり、
前記駆動側ベアリングホルダ及び非駆動側ベアリングホルダは、各々吸気路を有し、この吸気路の一端は、支持する駆動側ベアリング及び非駆動側ベアリングの軸方向両端面に臨んで成形され、且つ、これらと平行なスリット状吸引口とされ、他端は、前記駆動側カバーケース及び非駆動側カバーケースの内側に開口された排気口とされたことを特徴とするローラコンベア。
【請求項１０】
請求項９において、
前記シャフトは中空であり、その内側空間は、シャフトの軸方向両端で開口されていることを特徴とするローラコンベア。
【請求項１１】
シャフトが挿通嵌合可能な内側リング及びこの内側リングを回転自在に支持する外側リングを備えたベアリングと、このベアリングを保持するベアリングホルダと、を有してなり、前記ベアリングホルダは、前記外側リングの外周面の全部又は一部に係合して、ベアリングを直径方向に拘束する保持溝と、この保持溝に拘束された外側リングの軸方向両端面の全部又は一部に係合して、ベアリングを軸方向に拘束する一対の保持リブと、この保持リブよりも、更に軸方向外側に設けられ、拘束されたベアリングの外側リングの軸方向両端面に沿って設けられたスリット状の吸引口と、ベアリングホルダ外側壁に開口された排気口と、この排気口と前記吸引口とを接続する排気路と、を有していることを特徴とするベアリング組立体。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記ベアリングホルダは、上端が開口し、軸方向から見てＵ字形状であって、前記開口から、前記ベアリングが挿入可能な案内溝を備えたホルダ本体と、前記案内溝の前記上端の開口を閉じるように、前記案内溝の上端に着脱自在で、且つ、取付け時に、前記案内溝の一部と共に、前記外側リングを径方向に拘束する蓋部と、を有してなり、前記案内溝における円弧状部の少なくとも一部が、前記保持溝を構成し、前記案内溝の軸方向両端には、前記保持リングが設けられ、前記外側リングの軸方向両端面よりも軸方向外側位置に、該軸方向両端面との間で前記スリット状の吸引口を形成するカバーリブが設けられたことを特徴とするベアリング組立体。
【請求項１３】
請求項１２において、
前記案内溝を形成する壁部におけるＵ字の平行辺部分が、前記開口側の端部を自由端として、相互に弾力的に隣接又は拡開するように、反対側の端部において、Ｕ字の半円弧状部に連結された構造とされ、前記吸気路は、前記Ｕ字の平行部分の軸方向両端面に沿って形成されていることを特徴とするベアリング組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、クリーンルーム内で大型のガラス基板等を搬送するに適したローラコンベア及びこのローラコンベアに用いて好適なベアリング組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
大型フラットパネルディスプレイに用いる大型ガラス基板は、僅かな埃が付着しても、不良発生の原因となるので、クリーンルーム内で取り扱われる。
【０００３】
このような大型ガラス基板を搬送するためのローラコンベアは、当然、回転部分からの粉塵の発生を防止しなければならない。
【０００４】
これに対して、従来は、ローラコンベアにおけるシャフトの軸受部の外周を筐体で覆って、筐体内の空気を吸引することによって、粉塵を吸い出すようにしていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような筐体は、ローラコンベアの軸方向両端部に配置された軸受部を、それぞれ軸方向外側から覆うようにしているため、ベアリングの軸方向外側位置から発生する粉塵は吸引することができるが、軸方向内側（搬送面側）から発生する粉塵は吸引することができなかった。
【０００６】
更に、上記のように、フラットパネルディスプレイが大型化すると共に、ガラス基板サイズがますます大型化し、これを搬送する際のローラコンベアにおけるローラが取付けられたシャフトも長くなり、このシャフトの軸方向両端部位置にのみベアリングを設けた場合、軸方向中間部分で、大型ガラス基板の重みによって、シャフトが下向きに湾曲する力を受けるという問題点が発生している。
【０００７】
これに対しては、シャフトの軸方向中間位置にベアリングを配置して、即ち、シャフトを３点支持することによって、大型ガラス基板の湾曲を防止することが考えられる。
【０００８】
しかしながら、このような、シャフトの中間位置に設けたベアリングからの粉塵を吸引処理すること、及び、ベアリングのメンテナンスの際に、シャフトの長さが２ｍを越えるような場合、ローラコンベアの外側から作業をすることが困難となってしまうという新たな問題点が生じる。
【０００９】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、ベアリングの、ローラコンベア搬送面側部分からの粉塵を吸引することができるローラコンベアを提供することを課題とする。
【００１０】
又、コンベアシャフトの長手方向中間位置にベアリングを設けた場合に、このベアリングから発生する粉塵等を吸引することができるローラコンベアを提供することを課題とする。
【００１１】
更に又、この発明は、軸方向両端面から、発生する粉塵を吸引可能としたローラコンベア用のベアリング組立体を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（１）平面内に互いに平行に配置された複数のシャフト、前記複数のシャフトに軸方向に間隔をあけて取り付けられた複数のローラ、前記複数のシャフトの軸方向一方の端部である駆動側端部近傍に配置され、該シャフトを回転駆動するための駆動装置、前記シャフト毎に、前記駆動側端部近傍を回転自在に支持する駆動側ベアリング、及びその反対側の軸方向端部である非駆動側端部近傍を回転自在に支持する非駆動側ベアリング、を有するローラコンベアであって、前記シャフトの中間部を回転自在に支持する中間ベアリングと、この中間ベアリングを支持する中間ベアリングホルダと、前記駆動側ベアリングを支持する駆動側ベアリングホルダ及び前記非駆動側ベアリングを支持する非駆動側ベアリングホルダと、前記中間ベアリング及び中間ベアリングホルダを囲む中間カバーケースと、前記駆動装置、駆動側ベアリング及び駆動側ベアリングホルダを囲む駆動側カバーケースと、前記非駆動側ベアリング及び非駆動側ベアリングホルダを囲む非駆動側カバーケースと、前記駆動側カバーケース、非駆動側カバーケース、中間カバーケース内の気体を、個々に又は同時に直接吸引する吸気装置と、を有していることを特徴とするローラコンベア。
【００１３】
（２）前記シャフトは２本のサブ中実シャフト及びこれらを軸方向に接続する筒状のカップリングにより構成され、これらのサブ中実シャフトは、前記中間カバーケース内で、前記カップリングにより軸方向に隙間を介して連結され、前記カップリングは、前記中間ベアリングにより支持されていることを特徴とする（１）のローラコンベア。
【００１４】
（３）前記シャフトは中空シャフトとされ、前記駆動側端部は前記駆動側カバーケース内に開口され、且つ、前記非駆動側端部は前記非駆動側カバーケース内に開口されるとともに、前記中間カバーケース内の位置で、内側空間を該中間カバーケース内に連通する連通路を有していることを特徴とする（１）のローラコンベア。
【００１５】
（４）前記中空シャフトは２本のサブ中空シャフト及びこれらを軸方向に接続する筒状のカップリングにより構成され、これらのサブ中空シャフトは、前記中間カバーケース内で、前記カップリングにより軸方向に隙間を介して連結され、前記連通路は、前記２本のサブ中空シャフトの、対向する軸方向端面間の前記隙間と、これに連続して、前記カップリングの円周方向複数箇所に筒状壁を貫通して形成された連通孔とから構成されていることを特徴とする（３）のローラコンベア。
【００１６】
（５）前記中間ベアリングホルダは吸気路を有し、この吸気路の一端は、支持する中間ベアリングの軸方向両端面に臨んで形成され、且つ、これらと平行なスリット状の吸引口とされ、他端は、前記中間カバーケースの内側に開口された排出口とされたことを特徴とする（２）、（３）又は（４）のローラコンベア。
【００１７】
（６）前記中空シャフトは２本のサブ中空シャフト及びこれらを軸方向に接続する筒状のカップリングにより構成され、これらのサブ中空シャフトは、前記カップリングにより軸方向に隙間を介して連結され、前記中間カバーケースは、前記カップリングの外周を囲むようにして、これに取り付けられ、前記連通路は、前記２本のサブ中空シャフトの、対向する軸方向端面間の前記隙間と、この隙間に連続して、前記カップリングの円周方向複数箇所に筒状壁を貫通して形成された連通孔とから構成されていることを特徴とする（３）のローラコンベア。
【００１８】
（７）前記中間ベアリングホルダは、前記中間ベアリングの外側リングと一体の着脱部と、コンベア本体側に固定され、前記着脱部が上方から着脱自在に挿入される固定部と、を有してなり、前記着脱部の下側部は、下向きに先細りとなるテーパ先端部を有し、前記固定部は上向きに拡開し、前記着脱部のテーパ先端部が上方から嵌合するテーパ凹部を有することを特徴とする（１）乃至（６）のいずれかのローラコンベア。
【００１９】
（８）平面内に互いに平行に配置された複数のシャフト、前記複数のシャフトに軸方向に間隔をあけて取り付けられた複数のローラ、前記複数のシャフトの軸方向一方の端部である駆動側端部近傍に配置され、該シャフトを回転駆動するための駆動装置、前記シャフト毎に、前記駆動側端部近傍を回転自在に支持する駆動側ベアリング、及びその反対側の軸方向端部である非駆動側端部近傍を回転自在に支持する非駆動側ベアリング、を有するローラコンベアであって、前記シャフトの中間部を回転自在に支持する中間ベアリングと、この中間ベアリングを支持する中間ベアリングホルダと、前記駆動側ベアリングを支持する駆動側ベアリングホルダ及び前記非駆動側ベアリングを支持する非駆動側ベアリングホルダと、を有してなり、前記中間ベアリングホルダは、前記中間ベアリングの外側リングと一体の着脱部と、コンベア本体側に固定され、前記着脱部が上方から着脱自在に挿入される固定部と、を有してなり、前記着脱部の下側部は、下向きに先細りとなるテーパ先端部を有し、前記固定部は上向きに拡開し、前記着脱部のテーパ先端部が上方から嵌合するテーパ凹部を有することを特徴とするローラコンベア。
【００２０】
（９）平面内に互いに平行に配置された複数のシャフト、前記複数のシャフトに、軸方向に間隔をあけて取り付けられた複数のローラ、前記複数のシャフトの軸方向一方の端部である駆動側端部近傍に配置され、該シャフトを回転駆動するための駆動装置、前記シャフト毎に、前記駆動側端部近傍を回転自在に支持する駆動側ベアリング、及びその反対側の軸方向端部である非駆動側端部近傍を回転自在に支持する非駆動側ベアリング、を有するローラコンベアであって、前記駆動側ベアリングを支持する駆動側ベアリングホルダ及び前記非駆動側ベアリングを支持する非駆動側ベアリングホルダと、前記シャフトにおける前記駆動側端部、駆動装置、駆動側ベアリング及び駆動側ベアリングホルダを囲む駆動側カバーケースと、前記シャフトにおける前記非駆動側端部、非駆動側ベアリング及び非駆動側ベアリングホルダを囲む非駆動側カバーケースと、前記駆動側カバーケースと非駆動側カバーケースのうち少なくとも駆動側カバーケース内の気体を直接吸引する吸気装置と、を設けてなり、前記駆動側ベアリングホルダ及び非駆動側ベアリングホルダは、各々吸気路を有し、この吸気路の一端は、支持する駆動側ベアリング及び非駆動側ベアリングの軸方向両端面に臨んで成形され、且つ、これらと平行なスリット状吸引口とされ、他端は、前記駆動側カバーケース及び非駆動側カバーケースの内側に開口された排気口とされたことを特徴とするローラコンベア。
【００２１】
（１０）前記シャフトは中空であり、その内側空間は、シャフトの軸方向両端で開口されていることを特徴とする（９）のローラコンベア。
【００２２】
（１１）シャフトが挿通嵌合可能な内側リング及びこの内側リングを回転自在に支持する外側リングを備えたベアリングと、このベアリングを保持するベアリングホルダと、を有してなり、前記ベアリングホルダは、前記外側リングの外周面の全部又は一部に係合して、ベアリングを直径方向に拘束する保持溝と、この保持溝に拘束された外側リングの軸方向両端面の全部又は一部に係合して、ベアリングを軸方向に拘束する一対の保持リブと、この保持リブよりも、更に軸方向外側に設けられ、拘束されたベアリングの外側リングの軸方向両端面に沿って設けられたスリット状の吸引口と、ベアリングホルダ外側壁に開口された排気口と、この排気口と前記吸引口とを接続する排気路と、を有していることを特徴とするベアリング組立体。
【００２３】
（１２）前記ベアリングホルダは、上端が開口し、軸方向から見てＵ字形状であって、前記開口から、前記ベアリングが挿入可能な案内溝を備えたホルダ本体と、前記案内溝の前記上端の開口を閉じるように、前記案内溝の上端に着脱自在で、且つ、取付け時に、前記案内溝の一部と共に、前記外側リングを径方向に拘束する蓋部と、を有してなり、前記案内溝における円弧状部の少なくとも一部が、前記保持溝を構成し、前記案内溝の軸方向両端には、前記保持リングが設けられ、前記外側リングの軸方向両端面よりも軸方向外側位置に、該軸方向両端面との間で前記スリット状の吸引口を形成するカバーリブが設けられたことを特徴とする（１１）のベアリング組立体。
【００２４】
（１３）前記案内溝を形成する壁部におけるＵ字の平行辺部分が、前記開口側の端部を自由端として、相互に弾力的に隣接又は拡開するように、反対側の端部において、Ｕ字の半円弧状部に連結された構造とされ、前記吸気路は、前記Ｕ字の平行部分の軸方向両端面に沿って形成されていることを特徴とする（１２）のベアリング組立体。
【発明の効果】
【００２５】
この発明は、ベアリングを保持するベアリングホルダに、ベアリングの軸方向端面に沿って形成されたスリット状吸引口から、ベアリングの滑動面で発生し両端面から漏出してくる粉塵を吸引することができるという効果を有する。
【００２６】
又、シャフトを軸方向中間位置で支持する中間ベアリングを設ける場合、シャフトを中空とし、且つこれを支持する中間ベアリングを囲んで中間カバーケースを設け、中間ベアリングの軸方向両端面から発生した粉塵を中間カバーケース、連通路、中空シャフトの内側空間を経て、その端部開口から排出することができる。又、中空シャフトを２本のサブ中空シャフトから構成しているので、重量及びコストの低減を図ることができると共に、両者の間から中間ベアリングで発生した粉塵を吸引できる。
【００２７】
更に、ベアリング組立体は、ベアリングを保持するベアリングホルダに、ベアリングの軸方向両端面に沿ってスリット状の吸引口と、ベアリングホルダ外側壁に開口された排気口と、これらを連通する排気路とを設けて、ベアリングの軸方向両端から発生する粉塵を確実に吸引排出することができるという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
この発明の実施のための最良の形態は、ローラが取付けられているシャフトを２本のサブ中空シャフト及びこれらを軸方向に隙間をもって接続する筒状のカップリングから構成し、シャフトの軸方向両端近傍及びカップリングをベアリングで回転自在に支持し、このベアリングを保持するベアリングホルダに、該ベアリングの軸方向両端面に沿ってスリット状の吸引口を設け、この吸引口から吸引された気体を、前記中空シャフトの軸方向両端部を囲む端部及びベアリングホルダを囲むカバーケース内に排出して、更に、カバーケース内からは、気体を吸い出すことによって、このカバーケース内の気体及び中空シャフトを介して反対側のカバーケース内の気体を吸出し、又、カップリングを支持する中間ベアリングを囲む中間カバーケース内の気体を、前記２本のサブ中空シャフトの隙間から中空シャフトを介して排出し、ベアリングで発生する粉塵を吸引除去することができる。
【実施例１】
【００２９】
以下図１、図２を参照して、本発明の実施例１に係るローラベアリング１０について詳細に説明する。
【００３０】
このローラコンベア１０は、平行に配置された複数の中空シャフト１２、前記複数の中空シャフトに、軸方向に間隔をあけて取付けられた複数のローラ１４、前記複数の中空シャフト１２の軸方向一方の端部近傍（図２において左端側）に配置され、該中空シャフト１２を回転駆動するための駆動装置１６、前記中空シャフト１２毎に、前記駆動装置１６側の軸方向端部（以下、駆動側端部１２Ａ）近傍を回転自在に支持する駆動側ベアリング１８、及びその反対側の軸方向端部（以下、非動側端部１２Ｂ）近傍を回転自在に支持する非動側ベアリング２０を有するものである。
【００３１】
又、前記ローラコンベア１０には、前記駆動側ベアリング１８を支持する駆動側ベアリングホルダ２２及び前記非動側ベアリング２０を支持する非動側ベアリングホルダ２４と、前記中空シャフト１２における前記駆動側端部１２Ａ、駆動装置１６、駆動側ベアリング１８及び駆動側ベアリングホルダ２２を囲む駆動側カバーケース２６と、前記中空シャフト１２における前記非動側端部１２Ｂ、非動側ベアリング２０及び非動側ベアリングホルダ２４を囲む非動側カバーケース２８と、前記駆動側カバーケース２６内の気体を直接吸引する吸引装置３０と、が設けられている。
【００３２】
前記中空シャフト１２の軸方向中間部分は、筒状のカップリング３８（詳細後述）を介して、中間ベアリング３２により回転自在に支持されている。この中間ベアリング３２は、中間ベアリングホルダ３４を介して中間フレーム３３に支持されている（図３参照）。又、前記中間ベアリング３２の軸方向両端面及びこの近傍の中間ベアリングホルダ３４の一部は、中間カバーケース３６によって囲まれている。
【００３３】
前記中空シャフト１２は、カップリング３８と、前記中間カバーケース３６内の位置で、前記カップリング３８により軸方向に隙間４０を介して連結された、２本の同一長さのサブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂとから構成されている。又、前記中間カバーケース３６は、前記カップリング３８の外周に、中間ベアリング３２の両側から嵌合される一対のカバーリング３６Ａ、３６Ｂから構成されている。
【００３４】
前記カップリング３８には、中心軸線回りに１８０°の等角度間隔で、且つ、軸方向中間部分を残して筒状壁を貫通して２本のスリット状の連通孔４１Ａが形成されている。一方、前記カバーリング３６Ａ、３６Ｂの内周面にも、その軸方向両端から一定深さで、中心軸線回りに１８０°の等角度間隔で、２本のスリット状の連通孔４１Ｂが形成されていて、前記カップリング３８の連通孔４１Ａと重なることによって、前記２本のサブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂ間の隙間４０に連通されるようになっている。
【００３５】
又、前記カバーリング３６Ａ、３６Ｂにおける、前記２本の連通孔４１Ｂの一方は、図４に詳細に示されるように、半径方向外側にまで延在されていて、カバーリング３６Ａ、３６Ｂを摺り割り構造としている。図２、４の符号３７はこの摺り割り構造のカバーリング３６Ａ、３６Ｂを、カップリング３８に嵌合した状態でこれに締付け固定するためのボルトを示す。
【００３６】
前記中間ベアリング３２は、前記カップリング３８における軸方向中間部分の外周に嵌合されている。前記中間ベアリングホルダ３４は、図５に分解して示されるように、前記中間ベアリング３２の外側リングと一体の着脱部３４Ａと、前記中間フレーム３３にボルト３３Ａにより固定され、前記着脱部３４Ａが上方から着脱自在に挿入される固定部３４Ｂと、を有してなり、前記着脱部３４Ａの下側部は、下向きに先細りとなるテーパ先端部３５Ａを有し、前記固定部３４Ｂは、上向きに拡開していて、前記着脱部３４Ａのテーパ先端部３５Ａが上方から嵌合するテーパ凹部３５Ｂを有している。
【００３７】
前記駆動側ベアリング１８及び非駆動側ベアリング２０、及び、これらを支持する駆動側ベアリングホルダ２２及び非駆動側ベアリングホルダ２４は同一の構成とされているので、駆動側のみを図６に拡大して示して、非駆動側の説明を兼ねるものとする。
【００３８】
図６において、前記駆動側ベアリング１８及び前記駆動側ベアリングホルダ２２は、ベアリング組立体５０を構成している。
【００３９】
前記駆動側ベアリング１８は、例えば前記中空シャフト１２のようなシャフトが挿通嵌合可能な内側リング４４Ａ、この内側リング４４Ａをベアリングボール４４Ｂを介して回転自在に支持する外側リング４４Ｃとを備えて構成されている。又、前記駆動側ベアリングホルダ２２は、ホルダ本体５６と蓋部５８とを備えた構成とされている。前記ホルダ本体５６は、上端が開口５２とされ、前記開口５２から、前記駆動側ベアリング１８が挿入可能な、軸方向から見てＵ字形状の案内溝５４を備えている。前記蓋部５８は、前記案内溝５４の、前記上端の開口５２を閉じるように、前記案内溝５４の上端に着脱自在で、且つ取付け時に前記案内溝５４の一部と共に、前記駆動側ベアリング１８における外側リング４４Ｃを径方向に拘束するように構成されている。
【００４０】
前記案内溝５４の軸方向両側には、この案内溝５４内で拘束された状態の外側リング４４Ｃの軸方向両端面の一部に係合して、駆動側ベアリング１８を軸方向に拘束する一対の保持リブ６２Ａ、６２Ｂが設けられている。
【００４１】
更に、前記ホルダ本体５６には、前記外側リング４４Ｃの軸方向両端面よりも軸方向外側位置で、該軸方向両端面との間でスリット状の吸引口６４Ａ、６４Ｂを形成するカバーリブ６６Ａ、６６Ｂが設けられている。
【００４２】
前記一対のカバーリブ６６Ａ、６６Ｂのうち、一方のカバーリブ６６Ｂは、図６に示されるように、案内溝５４内で拘束された駆動側ベアリング１８の前記内側リング４４Ａの外側位置にまで、例えば中空シャフト１２と干渉しない範囲でＵ字形状に延在されている。
【００４３】
又、前記ホルダ本体５６において、前記Ｕ字形状の案内溝５４を形成する壁部は、Ｕ字の平行部分６８Ａ、６８ＢとＵ字の半円弧状部６８Ｃとから構成されている。前記Ｕ字の平行部分６８Ａ、６８Ｂは、前記開口５２側の端部を自由端として、相互に弾力的に接近又は拡開するように、反対側の端部において、前記Ｕ字の半円弧状部６８Ｃに連結されている。
【００４４】
前記平行部分６８Ａ、６８Ｂは、その軸方向両端面及び上端とホルダ本体５６の側壁との間に隙間６９が形成されることによって、上記のように弾力的に接近又は拡開できるようにされている。この隙間６９は、前記スリット状の吸引口６４Ａ、６４Ｂに連通され、従って、吸引口６４Ａ、６４Ｂと隙間６９とは、ホルダ本体５６の外側面に至る吸気路７０を構成することになる。
【００４５】
図６の符号５８Ａは、蓋部５８が開口５２を閉じたとき、カバーリブ６６Ｂと対向して中空シャフト１２の外周近傍にまで延在して覆うように蓋部５８に付けられたカバープレートを示す。
【００４６】
前記駆動側ベアリングホルダ２２は、駆動側フレームユニット７２に前記駆動側カバーケース２６と共に取り付けられ、又、前記非駆動側ベアリングホルダ２４は、非駆動側カバーケース２８と共に、非駆動側フレームユニット７４にそれぞれ取り付けられている。
【００４７】
図１の符号１９は、駆動側ベアリング１８、非駆動側ベアリング２０及び中間ベアリング３２をそれぞれ中空シャフト１２に対して軸方向に固定するための止め輪を示す。
【００４８】
前記駆動装置１６は、前記中空シャフト１２の駆動側端部１２Ａに取り付けられた磁気従動車１７Ａ及び前記中空シャフト１２に対して直角に食い違う方向に配置された磁気駆動車１７Ｂとから構成されている。
【００４９】
これら磁気従動車１７Ａ、磁気駆動車１７Ｂは、その外周にＮ極とＳ極の磁性を示す磁石（図示省略）を交互に配置して、磁気駆動車１７Ｂを駆動軸１７Ｃにより回転させることによって、非接触で磁気従動車１７Ａを回転駆動させるものである。
【００５０】
前記駆動側カバーケース２６の、図１において左下部分には、吸引ポンプである前記吸引装置３０の吸込み口が接続され、これによって、駆動側カバーケース２６内の気体、更には、中空シャフト１２内の気体、この中空シャフト１２を介して反対側の非駆動側カバーケース２８内の気体及び前記中間カバーケース３６内の気体が吸引されるようになっている。
【００５１】
ここで、図２に示されるように、前記駆動側カバーケース２６、非駆動側カバーケース２８は、いずれも、ローラコンベア１０の搬送方向に一定範囲で、連続的に形成され、複数の中空シャフト１２の対応する両端部を覆うようにされている。
【００５２】
図１の符号７６は、前記駆動側カバーケース２６、非駆動側カバーケース２８それぞれの搬送面側を覆う仕切り板を示す。これにより、各ベアリングホルダ間の搬送方向の隙間が覆われる。
【００５３】
この実施例１に係るローラコンベア１０において、例えばガラス基板８０を搬送する場合、駆動軸１７Ｃにより、各中空シャフト１２の駆動側端部１２Ａにおける、駆動装置１６を駆動して、各中空シャフト１２を同一方向に回転させる。このとき、同時に、前記吸引装置３０を駆動させ、駆動側カバーケース２６内の気体を吸引排気する。
【００５４】
駆動側カバーケース２６内は、中空シャフト１２の内側空間１３Ｃを介して反対側の非動側カバーケース２８内と連通され、更に、前記サブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂ間の隙間４０と連通孔４１Ａ、４１Ｂを介して中間カバーケース３６内と連通されているので、駆動側カバーケース２６、非駆動側カバーケース２８及び中間カバーケース３６内の気体は吸引装置３０によって排出されることになる。
【００５５】
従って、各カバーケース内には負圧が発生して、ベアリングホルダ５０（２２、２４）における吸引孔６４に対しても、吸気路７０を介して負圧がかかり、吸引孔６４から、駆動側ベアリング１８の軸方向両端面近傍の気体が、駆動側ベアリング１８において発生する粉塵と共に吸引され、吸気路７０を経てカバーケース２６、２８内空間に排出される。
【００５６】
このカバーケース２６、２８内の気体は、前述のように、吸引装置３０によって直接又は中空シャフト１２の内側空間１３Ｃを介して排気される。又、中間カバーケース３６（３６Ａ、３６Ｂ）内においては、該中間カバーケース３６内の気体がカバーリング３６Ａ、３６Ｂの連通孔４１Ｂ、カップリング３８の連通孔４１Ａ、サブ中間シャフト１３Ａ、１３Ｂ間の隙間４０及び中空シャフト１２の内側空間１３Ｃを介して駆動側カバーケース２６内に至り、更に外部に排出される。
【００５７】
中空シャフト１２、これと一体のローラ１４、又はベアリングを交換したり、メンテナンス作業をする場合は、中空シャフト１２の両端を持ち上げれば、中間ベアリング３２を支持している中間ベアリングホルダ３４の着脱部３４Ａが固定部３４Ｂから簡単に分離するので、コンベア内に入り込んだり、特別な治具を用いることなく容易に作業をすることができる。
【００５８】
なお、上記実施例１において、中空シャフト１２は、その軸方向中間位置で中間ベアリング３２によって回転自在に支持されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、中間ベアリング３２、中間ベアリングホルダ３４、中間カバーケース３６を設けない場合にも適用されるものである。この場合、当然、中空シャフト１２は連続した１本のパイプからなり、２本のサブ中空シャフトに分割する必要は無い。
【実施例２】
【００５９】
次に、図７に示される実施例２に係るローラコンベア１００について説明する。
【００６０】
このローラコンベア１００は、前記図１に示されるローラコンベア１０における、中間ベアリング、中間ベアリングホルダ、中間カバーケース及びカップリングの構成を変えたものであり、他の構成は前記ローラコンベア１０におけると同様であるので図示及び説明を省略する。
【００６１】
このローラコンベア１００における中間ベアリング１０２は、２本のサブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂを接続するカップリング１０４の軸方向両側に一対配置され、且つ、その各々が、中間ベアリングホルダ１０６を介して、中間フレームユニット１０８に支持されている。
【００６２】
前記一対の中間ベアリング１０２及びこれを支持する中間ベアリングホルダ１０６は、前記実施例１における駆動側ベアリング１８及びこれを支持するためのベアリングへホルダ５０と同一構成とされている。
【００６３】
前記中間フレームユニット１０８には、前記中間ベアリング１０２、これら一対の中間ベアリング１０２の間のサブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂの一部とこれを連結する前記カップリング１０４、中間ベアリングホルダ１０６は、連続中間カバーケース１１０により囲まれている。
【００６４】
前記カップリング１０４には、円周方向と１８０°の等角度間隔に２個の連通孔１１２が、その円筒壁を貫通して形成され、且つ、この連通孔１１２は前記サブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂ間の隙間４０に連通するようにされている。
【００６５】
図７の符号１１４は前記連続中間カバーケース１１０の一部であって、中間ベアリングホルダ１０６間の搬送方向の隙間を覆うように、中間フレームユニット１０８の幅方向両側面位置に取り付けられた仕切板である。
【００６６】
この実施例２において、前記中間ベアリングホルダ１０６における、中間ベアリング１０２で発生した粉塵を吸引する作用は、前記実施例１におけるベアリングホルダ５０におけると同一であるので説明を省略する。
【００６７】
この中間ベアリング１０２の回転部分で発生した粉塵は、中間ベアリングホルダ１０６の吸気路を通って連続中間カバーケース１１０内に排出され、この連続中間カバーケース１１０内の気体は、前記カップリング１０４に設けられた連通孔１１２と前記隙間４０を介して中空シャフト１２内に吸引されて、実施例１の場合と同様に、吸引装置３０から排出される。
【００６８】
なお、上記実施例１において、吸引装置３０は駆動側にのみ設けられているが、本発明はこれに限定されるものでなく、非駆動側にも吸引装置を設けて、両側から粉塵を吸引するようにしてもよい。この場合、中間ベアリング３２で発生した粉塵は、駆動側の吸引装置３０あるいは非駆動側の吸引装置（図示省略）の一方又は両方によって吸引されるようにしてもよい。又、中空シャフトを用いる場合は、単純な円管でもよいが、例えば、図８（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、内面リブ付き中空シャフト１２１、リブ付き多重中空シャフト１２２等の断面形状として断面剛性を増大させてもよい。
【００６９】
更に、実施例１の構成において、中間ベアリングを設けない場合は、吸引装置を駆動側及び非駆動側として、且つ、シャフトは中実としてもよい。
【００７０】
更に又、図１、図７においてローラコンベア１０、１００は、ガラス基板８０を水平に搬送するように示されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、搬送面を水平から９０°未満の角度範囲に設定した場合にも適用されるものである。特に、搬送面を傾斜させると、大型のガラス基板を搬送する際に、自重による撓み量を低減することができる。
【００７１】
又、本発明は、シャフトの中間を、中間ベアリングで支持し、且つ、中間ベアリングホルダを着脱部と固定部とから構成するローラコンベアに適用されるものである。この場合、シャフトは、中実、中空のいずれでもよく、又、２本のサブ忠実シャフトあるいは２本のサブ中空シャフトから構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施例１に係るローラコンベアを示す断面図
【図２】同ローラコンベアの一部を示す平面図
【図３】図１のIII−III線に沿う断面図
【図４】図２のIV−IV線に沿う拡大断面図
【図５】図３に示される状態から、中空シャフト及び中間ベアリング、中間ベアリングホルダの一部を抜き出した状態を示す図３と同様の断面図
【図６】同実施例に用いたベアリング組立体を示す分解斜視図
【図７】本発明の実施例２に係るローラコンベアにおける中間ベアリング及びその近傍を拡大して示す断面図
【図８】本発明の実施例に用いた中空シャフトの変形例を示す断面図
【符号の説明】
【００７３】
１０、１００…ローラコンベア
１２…中空シャフト
１２Ａ…駆動側端部
１２Ｂ…非駆動側端部
１３Ａ、１３Ｂ…サブ中空シャフト
１３Ｃ…内側空間
１４…ローラ
１６…駆動装置
１８…駆動側ベアリング
１９…止め輪
２０…非駆動側ベアリング
２２…駆動側ベアリングホルダ
２４…非駆動側ベアリングホルダ
２６…駆動側カバーケース
２８…非駆動側カバーケース
３０…吸引装置
３２、１０２…中間ベアリング
３２…中間フレーム
３４、１０６…中間ベアリングホルダ
３６…中間カバーケース
３８、１０４…カップリング
４０…隙間
４１Ａ、４１Ｂ、１１２…連通孔
４４Ａ…内側リング
４４Ｂ…ベアリングボール
４４Ｃ…外側リング
５０…ベアリング組立体
５２…開口
５４…案内溝
５６…ホルダ本体
５８…蓋部  ６２Ａ、６２Ｂ…保持リブ
６４…吸引口
６６Ａ、６６Ｂ…カバーリブ
６８Ａ、６８Ｂ…平行部分
６８Ｃ…半円弧状部
７０…吸気路
８０…ガラス基板
１０８…中間フレームユニット
１１０…連続中間カバーケース
１１４…仕切り板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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