(57)【要約】【課題】情報を再生、記録、消去可能な範囲における光透過膜の厚さの差を低減可能とする、光記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】略円形のフィルム１１を、中心孔２を有する円板状の透明基板１の所定の範囲に、この中心孔２を塞ぎフィルム１１の中心と透明基板１の中心とが略一致するようにして接着剤１２を介して貼り付け、フィルム１１上に液状の光硬化性樹脂１８を滴下して、スピンコート法により、遠心力によって透明基板の径方向に広がった光硬化性樹脂１８を硬化させて光透過膜２０とする。【選択図】図５
2007122787.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンコート法を用いる光記録媒体の製造方法において、
中心に第１の半径を有する貫通孔を備えた円板状の透明基板の一面側の所定範囲に、前記第１の半径よりも大きい第２の半径を有する略円形のフィルムを、前記貫通孔を塞ぎ前記フィルムの中心と前記透明基板の中心とが略一致するように、接着剤を介して貼り付ける貼付工程と、
前記フィルム上に、液状の光硬化性樹脂を滴下し、滴下した前記光硬化性樹脂をスピンコート法により前記フィルムの径方向に流延させ、前記透明基板の一面上に流延した前記光硬化性樹脂に光を照射して前記光硬化性樹脂が硬化してなる光透過膜を形成する光透過膜形成工程と、
前記貼付工程で塞がれた前記貫通孔を再び開口する開口工程と、
を有することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記フィルムの厚さを２０〜５０μｍの範囲内とすることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記フィルムの厚さと前記接着剤の厚さとの合計の厚さを１２０〜１５０μｍの範囲内とすることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録媒体の製造方法に係る。
【背景技術】
【０００２】
近年、大容量の情報を再生、記録、消去するための記録媒体として、ＢＤ（Blu-ray Disk），ＣＤ（Compact Disk）等の光記録媒体が用いられている。
例えばＢＤは、中心に半径が１５ｍｍの貫通孔を有し半径が６０ｍｍの円板状の透明基板であり、中心から半径方向に２０ｍｍの位置から５９ｍｍの位置までの範囲に、情報として再生可能な凹凸や情報を記録可能な記録膜が設けられている。また、この凹凸や記録膜上にはこれらを保護すると共に入射するレーザ光を透過可能な光透過膜が形成されている。
【０００３】
この光透過膜は、例えば特許文献１に記載されているように、透明基板をターンテーブルに取り付け、透明基板の内周部近傍に液状の光硬化性樹脂を環状に滴下し、この透明基板を回転させて、光硬化性樹脂を遠心力により径方向に流延させる方法、所謂、スピンコート法により、形成される。
このスピンコート法は、一般的に、生産効率が良好で、生産コストが安いことから、光透過膜の形成方法として常用されている方法である。
【特許文献１】特開２００１−３０７３８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、スピンコート法により形成された光透過膜は、一般的に、その厚さが透明基板の内周部側から外周部側に向かって薄くなる。そして、光透過膜内における厚さの差が大きくなると、例えば光ピックアップによる記録再生の際に集光スポットが収差を生じ、記録再生信号の劣化によりエラーが発生する場合がある。
また、近年、光記録媒体の大容量、高密度化に対応して、情報を記録再生するためのレーザ光の短波長化が進んでいる。
このレーザ光の波長が短いほど、光透過膜の厚さが厚いと、ディスクの反りなどによりレーザ光が正確に記録膜にフォーカスできない場合が発生する。この解決手段として、光透過膜の厚さを薄くし、厚さのばらつきをより低減することが有効である。
例えば、レーザ光の波長がＢＤに用いられる波長である４０５ｎｍの場合、光透過膜の厚さは約１００μｍであり、そのばらつきを１００±４μｍ以内に抑えることが望ましい。また、光透過膜の厚さにおけるロット間ばらつきを考慮して、光透過膜の膜内における厚さの差（最大膜厚と最小膜厚との差、以下単に、厚さの差という）を４μｍ以下に抑えることが望ましい。
【０００５】
しかし、上述したようなスピンコート法、即ち光硬化性樹脂を透明基板の内周部近傍に環状に塗布する方法では、光透過膜の厚さは透明基板の内周部側よりも外周部側の方が薄くなり、光透過膜の膜内における厚さの差を４μｍ以下に抑えることが困難である。
【０００６】
発明者は、上述した方法と同様の方法により光透過膜を形成し、この光透過膜の膜内における厚さの差を調べた。その結果を以下に詳述する。
【０００７】
まず、透明基板をスピンコータのステージに真空吸着して固定し、この透明基板の中心から径方向に約１７ｍｍの位置に、紫外線硬化性樹脂を滴下すると共にステージを約７０ｒｐｍの回転数で回転させて、環状の紫外線硬化性樹脂部を形成する。そして、ステージの回転数を約７０ｒｐｍから約５００ｒｐｍに上げ、さらに１８００ｒｐｍに上げて、紫外線硬化性樹脂を遠心力により透明基板の径方向に流延させる。その後、ステージの回転を止めて紫外線を照射することによって、この紫外線硬化性樹脂が硬化してなる光透過膜を得る。
【０００８】
ここで、紫外線硬化性樹脂として、粘度が約２００ｍＰａ・ｓ、及び、約１０００ｍＰａ・ｓのものを用いた。各紫外線硬化性樹脂を用いて形成した各光透過膜の膜内における厚さの差を、表３にまとめた。
【０００９】
【表３】
2007122787.tif 000003
【００１０】
表３から、いずれの粘度の紫外線硬化性樹脂を用いた場合も、光透過膜の膜内における厚さの差は４μｍよりも大きいことを確認した。また、いずれの粘度の紫外線硬化性樹脂を用いた場合も、光透過膜の厚さは１００±４μｍの範囲内になっていないことを確認した。
【００１１】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、情報を再生、記録、消去可能な範囲における光透過膜の膜内における厚さの差を低減可能とする、光記録媒体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために、本願各発明は次の手段を有する。
１）スピンコート法を用いる光記録媒体の製造方法において、中心に第１の半径（ｒ２）を有する貫通孔（２）を備えた円板状の透明基板（１）の一面側の所定範囲（Ｓ２）に、前記第１の半径（ｒ２）よりも大きい第２の半径を有する略円形のフィルム（１１）を、前記貫通孔（２）を塞ぎ前記フィルム（１１）の中心と前記透明基板（１）の中心とが略一致するように、接着剤（１２）を介して貼り付ける貼付工程と、前記フィルム（１１）上に、液状の光硬化性樹脂（１８）を滴下し、滴下した前記光硬化性樹脂（１８）をスピンコート法により前記フィルム（１１）の径方向に流延させ、前記透明基板（１）の一面上に流延した前記光硬化性樹脂（１８）に光を照射して前記光硬化性樹脂（１８）が硬化してなる光透過膜（２０）を形成する光透過膜形成工程と、前記貼付工程で塞がれた前記貫通孔（２）を再び開口する開口工程と、を有することを特徴とする光記録媒体（５０）の製造方法である。
２）前記フィルム（１１）の厚さを２０〜５０μｍの範囲内とすることを特徴とする１）記載の光記録媒体（５０）の製造方法である。
３）前記フィルム（１１）の厚さと前記接着剤（１２）の厚さとの合計の厚さを１２０〜１５０μｍの範囲内とすることを特徴とする１）記載の光記録媒体（５０）の製造方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、略円形のフィルムを、中心孔を有する略円板状の透明基板の所定の範囲に、この中心孔を塞ぎフィルムの中心と透明基板の中心とが略一致するようにして接着剤を介して貼り付け、この透明基板の略中心部であるフィルムの略中心部に液状の光硬化性樹脂を滴下して、スピンコート法を用いて遠心力によって透明基板の径方向に広がった光硬化性樹脂を硬化させて光透過膜とすることにより、透明基板の中心から径方向に２０〜５９ｍｍの範囲における光透過膜の膜内における厚さの差を低減でき、この低減によって、記録再生信号の劣化によるエラー発生等を抑制可能とするという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施の形態を、好ましい実施例により図１〜図７を用いて説明する。
以下に、本発明の光記録媒体の製造方法の実施例を、第１工程〜第４工程として、図１〜図５を用いて順に説明する。
図１は、本発明の光記録媒体の製造方法の実施例における第１工程を説明するための模式的断面図である。
図２は、本発明の光記録媒体の製造方法の実施例における第２工程を説明するための模式的断面図である。
図３及び図４は、本発明の光記録媒体の製造方法の実施例における第３工程を説明するための模式的断面図である。
図５は、本発明の光記録媒体の製造方法の実施例における第４工程を説明するための模式的断面図である。
【００１５】
＜実施例＞
（第１工程）［図１参照］
光透過性を有する円板状の透明基板１を準備する。
この透明基板１は、半径ｒ１が約６０ｍｍであり、厚さｔが約１．１ｍｍであり、その中心に半径ｒ２が約７．５ｍｍの貫通孔である中心孔２を有している。また、この透明基板１の表面には、その中心から径方向に約２０〜５９ｍｍの範囲Ｓ１に、情報として再生可能な微細な凹凸（図示せず）や情報を記録再生可能な記録膜が設けられている。
実施例では、記録膜が設けられている場合について、以下に説明する。
【００１６】
この透明基板１の表面上に、真空成膜法により、Ａｌ（アルミニウム）合金からなり厚さが１０〜１００ｎｍである反射層４と、ＺｎＳ（硫化亜鉛）からなり厚さが１５〜３０ｎｍである第１の誘電体層５と、ＳｉＯ２（酸化シリコン）からなり厚さが１００〜１３０ｎｍである第２の誘電体層６と、ＧｅＳｂＴｅ（ゲルマニウムアンチモンテルル）系の材料からなり厚さが２０〜４０ｎｍである記録層７とが順次積層されてなる記録膜８を成膜する。
この成膜の際、透明基板１の表面において、その中心から径方向に２０ｍｍ未満までの範囲Ｓ２に、記録膜８が成膜されないように、予めこの範囲Ｓ２をマスキングしておく。
また、真空成膜法とは、スパッタ法や蒸着法などを示す。
【００１７】
（第２工程）［図２参照］
記録膜８が成膜されていない範囲Ｓ２に、例えば、半径が９〜９．５ｍｍであり厚さが約２５μｍである略円形の樹脂フィルム１１を、透明基板１の中心孔２を塞ぎ樹脂フィルム１１の中心と透明基板１の中心とが略一致するように、接着剤１２を用いて貼り付ける。貼り付け後の接着剤１２の厚さは約１００μｍである。
実施例では、樹脂フィルム１１として、アセテート樹脂フィルムを用いた。
また、樹脂フィルム１１の厚さを約２５μｍとした理由については後で詳述する。
【００１８】
（第３工程）［図３及び図４参照］
図３に示すように、樹脂フィルム１１が貼られた透明基板１を、スピンコータ（図示せず）の略円板状のステージ１３に、透明基板１の中心とステージ１３の中心とが略一致するように載置する。
また、ステージ１３には透明基板１を真空吸着して固定するための真空吸着溝１５が形成されている。
次に、透明基板１をステージ１３に真空吸着して固定し、透明基板１の略中心部に相当する樹脂フィルム１１の略中心部に、ディスペンサ１７を用いて液状の紫外線硬化性樹脂１８を滴下する。
さらに、図４に示すように、ステージ１３を所定の回転数で回転させると共に、マスク１９により透明基板１の中心から径方向に約５９〜６０ｍｍの範囲を除く略全面に紫外線を照射し、遠心力により透明基板１の径方向に流延した紫外線硬化性樹脂１８を硬化させて光透過膜２０とする。
【００１９】
実施例では、光透過膜２０の厚さが約１００μｍとなるように、紫外線硬化性樹脂１８の粘度を約５００ｍＰａ・ｓに調整し、ステージ１３の回転数を７５０ｒｐｍとした。
また、実施例では、紫外線を照射するための光源として、５００Ｗ高圧水銀灯紫外線照射装置（図示せず）を用い、透明基板１の表面からこの装置の紫外線照射部に相当するレンズ２２までの距離ｄ１を約１００ｍｍに設定し、透明基板１の表面からマスク１９までの距離ｄ２を約１２ｍｍに設定した。また、紫外線の強度を約１０００ｍＪ／ｃｍ２とした。
また、実施例では、樹脂フィルム１１の略中心部に紫外線硬化性樹脂１８を滴下したが、これに限定されるものではない。即ち、紫外線硬化性樹脂１８を樹脂フィルム１１上の任意の位置に滴下すればよいが、実施例のように樹脂フィルム１１の略中心部に紫外線硬化性樹脂１８を滴下することが好ましい。
【００２０】
（第４工程）［図５参照］
上述の光透過膜２０が形成された透明基板１をステージ１３から取り外した後、透明基板１の中心部に、透明基板１の中心孔２の外形と略一致するように、半径ｒ３が約７．５ｍｍの貫通孔である中心孔２１を形成する。この中心孔２１は、ドリル加工やプレス加工により形成することができ、実施例ではプレス加工により中心孔２１を形成した。
【００２１】
また、実施例では、透明基板１の中心孔２を塞ぐ範囲における、樹脂フィルム１１と光透過膜２０と接着剤１２とを除去したが、これに限定されるものではない。即ち、透明基板１の塞がれた中心孔２を再び開口すればよいのであって、例えば、樹脂フィルム１１全体を剥がしたり溶かすことによって、樹脂フィルム１１と樹脂フィルム１１が貼り付けられた範囲における光透過膜２０及び接着剤１２とを除去してもよい。また、樹脂フィルム１１を除去する手段は特に限定するものではない。
【００２２】
上述した第１乃至第４工程により、光記録媒体５０を得る。
【００２３】
そこで、この光記録媒体５０における光透過膜２０の膜内の厚さの差、この場合は、記録領域である、中心から径方向に２０〜５９ｍｍの環状範囲Ｓ１における光透過膜２０の膜内の厚さの差（最大膜厚と最小膜厚との差、以下、単に厚さの差という）を調べた。光記録媒体５０の中心から径方向の各位置における光透過膜２０の厚さの測定には、反射型分光顕微鏡を用いた。
実施例では、光記録媒体５０の中心から径方向に所定の位置を通る同心円上に位置し互いに等間隔となる４点、例えば、図６に示すように、半径ｒ１１の同心円上に位置し互いに等間隔となる４点Ｇ１１，Ｈ１１，Ｊ１１，Ｋ１１における光透過膜２０の厚さをそれぞれ測定し、その平均値をその径方向の位置における光透過膜２０の厚さとした。図６は、光透過膜の厚さを測定するポイントを説明するための光記録媒体の上面図である。
その結果、この光記録媒体５０における光透過膜２０の膜内の厚さの差は、約１．８μｍであることを確認した。この光透過膜２０の膜内の厚さの差については、後で詳述する。
【００２４】
ここで、実施例の第２工程において、樹脂フィルム１１の厚さを約２５μｍとした理由について説明する。
【００２５】
スピンコート法を用いて光透過膜を形成する場合、発明者が鋭意実験した結果、ステージの略中心部、即ち透明基板の略中心部に光硬化性樹脂を滴下することにより、形成された光透過膜における膜内の厚さの差を低減できることを見出した。
【００２６】
そして、発明者は、まず、光透過膜における膜内の厚さの傾向を調べるために、実施例の第２工程までの工程を経た透明基板１上に、３つの異なる条件でそれぞれ光透過膜を形成した。この各光透過膜を有する透明基板を、それぞれ、サンプルＡ、サンプルＢ、及びサンプルＣとする。
【００２７】
サンプルＡは、実施例の第３工程において、紫外線硬化性樹脂１８の粘度を約２００ｍＰａ・ｓに調整し、ステージ１３の回転数を５００ｒｐｍとして光透過膜を透明基板上に形成したものである。なお、これ以降の工程は実施例と同様である。
また、サンプルＢは、実施例と同様に、紫外線硬化性樹脂１８の粘度を約５００ｍＰａ・ｓに調整し、ステージ１３の回転数を７５０ｒｐｍとして光透過膜を透明基板上に形成したものである。なお、これ以降の工程は実施例と同様である。
即ち、サンプルＢは、上述した第１工程乃至第４工程により作製した光記録媒体５０である。
また、サンプルＣは、実施例の第３工程において、紫外線硬化性樹脂１８の粘度を約１０００ｍＰａ・ｓに調整し、ステージ１３の回転数を１３００ｒｐｍとして光透過膜を透明基板上に形成したものである。なお、これ以降の工程は実施例と同様である。
また、各サンプルＡ，Ｂ，Ｃの光透過膜の厚さの目標値をそれぞれ約１００μｍとして、紫外線硬化性樹脂１８の各粘度に対応して、ステージ１３の回転数を設定した。各サンプルＡ，Ｂ，Ｃの接着剤の厚さは１００μｍである。
【００２８】
次に、各サンプルＡ，Ｂ，Ｃについて、それぞれの光透過膜における膜内の厚さの傾向を調べた。また、厚さの測定範囲を、記録領域である、透明基板の中心から径方向に２０〜５９ｍｍの環状の範囲とした。
各サンプルＡ，Ｂ，Ｃそれぞれの光透過膜における膜内の厚さの傾向を図７に示す。図７は、各サンプルＡ，Ｂ，Ｃそれぞれの径方向の光透過膜の厚さを示す図である。
【００２９】
図７から、各サンプルＡ，Ｂ，Ｃともに、光透過膜は、透明基板の中心から径方向に２０ｍｍの位置で最も厚く、径方向に徐々に薄くなり、透明基板の中心から径方向に５９ｍｍの位置で最も薄くなることを確認した。
従って、光透過膜における膜内の厚さの差（最大膜厚と最小膜厚との差）は、透明基板の中心から径方向の２０ｍｍの位置における光透過膜の厚さと５９ｍｍの位置における光透過膜の厚さとの差により、表すことができる。
そこで、図７の結果を表１にまとめた。
【００３０】
【表１】
2007122787.tif 000004
【００３１】
表１から、各サンプルＡ，Ｂ，Ｃとも、光透過膜における膜内の厚さの差が４μｍ以下であることを確認した。また、各サンプルＡ，Ｂ，Ｃとも、光透過膜の厚さが１００±４μｍの範囲内であることを確認した。
【００３２】
次に、発明者は、樹脂フィルム１１の厚さと、光透過膜における膜内の厚さの差、即ち、透明基板の中心から径方向の２０ｍｍの位置における光透過膜の厚さと５９ｍｍの位置における光透過膜の厚さとの差、との関係について調べ、その結果を図８に示す。図８は、樹脂フィルム（樹脂フィルム＋接着剤）の厚さと光透過膜における膜内の厚さの差との関係を示す図である。
【００３３】
ここで、図８中のサンプルＤは、実施例の第２工程までの工程を経た透明基板１上に、実施例の第３工程において、紫外線硬化性樹脂１８の粘度を約２００ｍＰａ・ｓに調整し、ステージ１３の回転数を５００ｒｐｍとして光透過膜を形成したものである。なお、これ以降の工程は実施例と同様である。
また、サンプルＥは、実施例の第２工程までの工程を経た透明基板１上に、実施例と同様に、紫外線硬化性樹脂１８の粘度を約５００ｍＰａ・ｓに調整し、ステージ１３の回転数を７５０ｒｐｍとして光透過膜を形成したものである。なお、これ以降の工程は実施例と同様である。
即ち、サンプルＥは、上述した第１工程乃至第４工程により作製した光記録媒体５０である。
また、サンプルＦは、実施例の第２工程までの工程を経た透明基板上に、実施例の第３工程において、紫外線硬化性樹脂１８の粘度を約１０００ｍＰａ・ｓに調整し、ステージ１３の回転数を１３００ｒｐｍとして光透過膜を形成したものである。なお、これ以降の工程は実施例と同様である。
また、各サンプルＤ，Ｅ，Ｆの光透過膜の厚さの目標値をそれぞれ約１００μｍとして、紫外線硬化性樹脂１８の各粘度に対応して、ステージ１３の回転数を設定した。各サンプルＤ，Ｅ，Ｆの接着剤の厚さは１００μｍである。
【００３４】
図８の結果を表２にまとめた。
【００３５】
【表２】
2007122787.tif 000005
【００３６】
表２から、各サンプルＤ，Ｅ，Ｆともに、樹脂フィルムの厚さが２０〜５０μｍの範囲、換言すれば、樹脂フィルムの厚さと接着剤の厚さとの合計が１２０〜１５０μｍの範囲において、光透過膜における膜内の厚さの差が４μｍ以下となることを確認した。
また、表２から、各サンプルＤ，Ｅ，Ｆともに、樹脂フィルムの厚さが２０〜５０μｍの範囲、換言すれば、樹脂フィルムの厚さと接着剤の厚さとの合計が１２０〜１５０μｍの範囲において、光透過膜の厚さが１００±４μｍの範囲内であることを確認した。
【００３７】
従って、上述したように、中心孔を有する円板状の透明基板に、厚さが２０〜５０μｍの略円形の樹脂フィルムを、この中心孔を塞ぎ樹脂フィルムの中心と透明基板の中心とが略一致するようにして厚さが１００μｍとなる接着剤を介して貼り付け、この透明基板の略中心部である樹脂フィルムの略中心部に液状の光硬化性樹脂を滴下して、スピンコート法を用いて、遠心力により透明基板の径方向に流延した光硬化性樹脂を硬化させて光透過膜とすることにより、透明基板の中心から径方向に２０〜５９ｍｍの範囲における光透過膜の膜内の厚さの差（最大膜厚と最小膜厚との差）を４μｍ以下にすることができる。また、光透過膜の膜内の厚さの差を低減することにより、ロット間における光透過膜の厚さの差を低減することができるので、例えば、レーザ光の波長がＢＤに用いられる波長である４０５ｎｍの場合、光透過膜の厚さを１００±４μｍ以内に抑えることが可能となる。
【００３８】
よって、本発明の光記録媒体の製造方法によれば、レーザ光の波長が短くなっても、例えばＢＤに用いられる波長である４０５ｎｍの場合においても、記録再生の際に集光スポットが収差を生じないので、記録再生信号の劣化によるエラーの発生を抑制することができる。
【００３９】
本発明の実施例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。
【００４０】
例えば、実施例では、樹脂フィルムの半径を９〜９．５ｍｍとしたが、これに限定されるものではない。但し、この半径が９ｍｍ未満であると、透明基板と樹脂フィルムとの接着面積が小さくなるため、安定した接着強度が得られなくなり、形成された光透過膜における膜内の厚さの差が大きくなる場合がある。
また、樹脂フィルムの半径が９．５ｍｍよりも大きいと、樹脂フィルムを透明基板に貼り付ける際に、樹脂フィルムにシワが生じる場合がある。樹脂フィルムにシワが生じると、このシワにより光硬化性樹脂が透明基板の径方向に均一に広がらないため、形成された光透過膜における膜内の厚さの差が大きくなる。
従って、実施例のように、樹脂フィルムの半径を９〜９．５ｍｍの範囲とすることが望ましい。
また、この樹脂フィルムの他の形態として、例えば、アルミ箔等の金属箔を用いることも可能である。
【００４１】
また、実施例では、樹脂フィルムと接着剤とを別々に準備したが、これに限定されるものではなく、例えば、予め所定の厚さの接着剤が塗布された接着剤付き樹脂フィルムを用いることもできる。
【００４２】
また、実施例では、光透過膜の材料として、紫外線硬化性樹脂を用いたが、これに限定されるものではなく、紫外線以外の波長を有する光によって硬化される光硬化性樹脂を用いることも可能であり、光硬化性樹脂材料を特に限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の光記録媒体の製造方法の実施例における第１工程を説明するための模式的断面図である。
【図２】本発明の光記録媒体の製造方法の実施例における第２工程を説明するための模式的断面図である。
【図３】本発明の光記録媒体の製造方法の実施例における第３工程を説明するための模式的断面図である。
【図４】本発明の光記録媒体の製造方法の実施例における第３工程を説明するための模式的断面図である。
【図５】本発明の光記録媒体の製造方法の実施例における第４工程を説明するための模式的断面図である。
【図６】光透過膜の厚さを測定するポイントを説明するための光記録媒体の上面図である。
【図７】透明基板の径方向に対する光透過膜の厚さを示す図である。
【図８】樹脂フィルム（樹脂フィルム＋接着剤）の厚さと光透過膜における膜内の厚さの差との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  透明基板、  ２，３１  中心孔、  ４  反射層、  ５，６  誘電体層、  ７  記録層、  ８  記録膜、  １１  樹脂フィルム、  １２  接着剤、  １３  ステージ、  １５  真空吸着溝、  １７  ディスペンサ、  １８  光硬化性樹脂、  １９  マスク、  ２０  光透過膜、  ２２  レンズ、  ５０  光記録媒体、  ｒ１，ｒ２，ｒ１１〜ｒ１４  半径、  Ｇ１１〜Ｇ１４，Ｈ１１〜Ｈ１４，Ｊ１１〜Ｊ１４，Ｋ１１〜Ｋ１４  測定ポイント、  Ｓ１，Ｓ２  範囲、  ｄ１，ｄ２  距離
【図１】
2007122787.tif 000006
【図２】
2007122787.tif 000007
【図３】
2007122787.tif 000008
【図４】
2007122787.tif 000009
【図５】
2007122787.tif 000010
【図６】
2007122787.tif 000011
【図７】
2007122787.tif 000012
【図８】
2007122787.tif 000013