(57)【要約】【課題】メタルマスク用収納容器において、メタルマスク用収納容器内での発塵を防止し、収納、又は搬送時でのメタルマスク用収納容器内のメタルマスクの振動を防止し、メタルマスクへの傷、変形を防止することを可能としたメタルマスク用収納容器を提供する。【解決手段】収納容器はメタルマスクを収納する箱部と、容器内を密閉する蓋部からなり、メタルマスクの裏面を支持する部分に角部材と、角部材のメタルマスクと接する面上に段差部と、メタルマスク裏面と接する段差部の面上にの弾性体層とを有し、蓋部はメタルマスクの表面と接する押さえ用部材と、押さえ用部材上の弾性体層とを有し、収納したメタルマスクが上、又は下側のゴム硬度４０〜５０のシリコンゴムからなる弾性体層に固定され、且つ載置したメタルマスクの自重によりゴム硬度４０〜５０のシリコンゴムの弾性体層に固定するメタルマスク用収納容器。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ蒸着用に用いるメタルマスク用収納容器において、収納容器はメタルマスクを収納する箱部と、容器内を密閉する蓋部からなり、箱部にメタルマスクを載置するための、メタルマスクの裏面を支持する部分に角部材と、角部材のメタルマスクと接する面上に段差部と、メタルマスク裏面と接する段差部の面上に弾性体からなる層とを有し、載置したメタルマスクの自重により弾性体からなる層とメタルマスクが固定されることを特徴とするメタルマスク用収納容器。
【請求項２】
前記弾性体は、ＪＩＳＫ６２５３に準拠したゴム硬度４０〜５０のシリコンゴムであることを特徴とする請求項１記載のメタルマスク用収納容器。
【請求項３】
前記蓋部は、箱部の容器内を密閉する形状であり、メタルマスクを載置した箱部を密閉するための、メタルマスクの表面と接する部分に押さえ用部材と、押さえ用部材のメタルマスクの表面と接する面に弾性体からなる層とを有し、収納したメタルマスクが上、又は下側の弾性体からなる層に固定されることを特徴とする請求項１、又は２記載のメタルマスク用収納容器。
【請求項４】
前記抑え用部材は、取り外し自在な装着方法であるネジを有し、その締め、緩めで脱着すること特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のメタルマスク用収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）製造に用いるメタルマスクを収納するメタルマスク用収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の有機ＥＬ、液晶ディスプレー等に用いるカラーフィルタの製造工程では、電極の成膜時、又は画素部の形成時にメタルマスクを用いる。例えばカラーフィルタの製造方法では、最初に、基板上にブラックマトリックス（以下ＢＭと記す）を形成した後、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素からなる着色層（以下着色エリアと記す）を形成する。次いで、前記基板の着色エリア上にスパッタリング法を用いて電極を形成する。前記電極は、各々着色エリアと導電膜との位置合わせ精度が重要となる。合わせ精度に不具合のある場合、液晶ディスプレーの表示装置の色特性不良等の原因となる。
【０００３】
通常、有機ＥＬ若しくは、カラーフィルタの製造方法では、基板上に複数個を面付けした多面付けが一般的であり、その各々着色エリアに所望する被膜をスパッタリングや蒸着にて形成する際、マスキングを行って成膜する方法が一般的である。
【０００４】
前記マスキングには、スパッタ用メタルマスク（以下メタルマスクと記す）が用いられている。前記メタルマスクは、開口部エリアと枠エリアにより形成されている。メタルマスクの開口部は、前記ＢＭ、Ｒ画素、Ｇ画素、又はＢ画素の着色エリアの直上位置に形成され、着色エリアに近似した形状である。メタルマスクの変形や傷は、画素部を形成での不具合となる場合がある。
【０００５】
前記メタルマスクは、金属基板をフォトプロセス法によるエッチング処理により形成されることが通常である。
【０００６】
近年の市場では、画像表示装置のコストダウンのために、基板の大型化の傾向と、基板上により多くの着色エリアが面付け配置される傾向が加速されている。その結果、メタルマスクの大型化と、その枠エリア、すなわち面付け間隔が狭くなる傾向がある。さらにメタルマスク自身の強度維持のためメタルマスク板厚を厚くする傾向がある。
【０００７】
従来の有機エレクトロルミネッセンスや、液晶ディスプレー等で用いられるメタルマスクは、蒸着部が多面付けされ、蒸着部の面積が大きくなり、大型化、例えば外形で６５０×６５０ｍｍとなる傾向である。
【０００８】
メタルマスクは金属枠を有するもので、メタルマスクの大型化に伴い、その重量も２０Ｋｇと重くなる傾向である。
【０００９】
メタルマスクを用いて電極や有機ＥＬの画素部を形成する工程では、基板の大型化、品質の高精細化等により、使用するメタルマスクが大型化に伴う保管及び搬送の改善、例えば、メタルマスクの出し入れを容易にする工夫、例えば、メタルマスクの清浄度を維持することが重要となる。
【００１０】
従来では、メタルマスクを搬送する際、角部材を有するアクリル樹脂の収納容器にメタルマスクを収納し、蓋で密封した状態で搬送する。
【００１１】
図３は、従来の収納容器の上面図である。
【００１２】
従来のメタルマスクを収納する収納容器３０は、各四隅に角部材３１が配置され、メタルマスク１は角部材上３１に載置され、蓋で密閉されている。
【００１３】
図４は、従来の収納容器の角部材の形状を説明する図面で、（ａ）は、上面図であり、（ｂ）は、側断面図である。
【００１４】
図４（ａ）では、段差部３２上にメタルマスクが載置されている。メタルマスクの収納、若しくは取出を容易にするため、角部材３１とメタルマスク１とは０．５ｍｍ程度のギャップ３４を設けている。図４（ｂ）に示すように、角部材３１では、その一方内側に段差部３２が設けられ、その段差によりメタルマスクの四隅を規制し、所定位置に収納されている。
【００１５】
そのキャップ３４の間隙で、メタルマスクが移動し、接触による擦れ、衝突による異物が発生する問題がある。
【００１６】
搬送時の振動が伝わり、メタルマスクが移動し、メタルマスクの微細部、例えば蒸着部に打傷、基材の曲がり等が発生する。
【００１７】
以下に公知文献を記す。
【特許文献１】特開２００１−３０１８１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
本発明の課題は、メタルマスク用収納容器内での発塵を防止し、収納、又は搬送時でのメタルマスク用収納容器内のメタルマスクの振動を防止し、メタルマスクへの傷、変形を防止することを可能としたメタルマスク用収納容器を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の請求項１に係る発明は、有機ＥＬの蒸着の製造時に用いるメタルマスク用収納容器において、収納容器はメタルマスクを収納する箱部と蓋部からなり、箱部にメタルマスクを載置するための、メタルマスクの裏面と接する部分に角部材を有し、角部材のメタルマスクと接する段差部のメタルマスクと接する面上に弾性体からなる層を有し、載置したメタルマスクの自重により弾性体からなる層とメタルマスクが固定されることを特徴とするメタルマスク用収納容器である。
【００２０】
本発明の請求項２に係る発明は、前記弾性体は、ＪＩＳＫ６２５３に準拠したゴム硬度４０から５０のシリコンゴムであることを特徴とする請求項１記載のメタルマスク用収納容器である。
【００２１】
本発明の請求項３に係る発明は、前記蓋部は、箱部の容器内を密閉する形状であり、メタルマスクを載置した箱部を密閉するための、メタルマスクの表面と接する部分に押さえ用部材を有し、押さえ用部材のメタルマスクの表面と接する面に弾性体からなる層を有し、収納したメタルマスクが上、又は下側の弾性体からなる層に固定されることを特徴とする請求項１、又は２記載のメタルマスク用収納容器である。
【００２２】
本発明の請求項４に係る発明は、前記抑え用部材は、取り外し自在な装着方法であるネジを有し、その締め、緩めで脱着すること特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のメタルマスク用収納容器である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のメタルマスク用収納容器を用いれば、容器内の異物の発生が防止されるため、収納容器内のメタルマスクは清浄な状態を維持できる。
【００２４】
本発明のメタルマスク用収納容器を用いれば、容器内でのメタルマスクの振動の発生が防止されるため、収納容器内のメタルマスクは傷、変形の発生を解消できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明のメタルマスク用収納容器を一実施形態に基づいて以下説明する。
【００２６】
図１は、本発明のメタルマスク用収納容器の一実施例を説明する上面図で、（ａ）は、箱部（ｂ）は、蓋部である。
【００２７】
図１（ａ）は、本発明のメタルマスク用収納容器の箱部１０である。箱部１０は、角部材１１を備えている。角部材１１は、メタルマスクを支持する部材であり、直接メタルマスク裏面と接触するエリア近傍は段差部１２であり、その段差部上面は弾性体からなる層１３を備えている。
【００２８】
図１（ａ）に示す角部材１１は、メタルマスクの四隅を支持する部材であり、その支持位置に装着されている。角部材１１の形状及び使用個数は、適宜に選択することが重要である。形状の選択では、点支持、又は線支持、個数の選択では、４、８、１２個等の支持荷重の分散等を考慮し、最適化する。
【００２９】
図１（ｂ）は、本発明のメタルマスク用収納容器の蓋部２０であり、箱部１０にメタルマスクを収納したあと、蓋部２０を重ねて内部を密閉する。蓋部２０は、押さえ用部材２２を備えている。押さえ用部材２２は、メタルマスクを固定する部材であり、直接メタルマスク表面と接触するエリアであり、その押さえ用部材２２の表面が弾性体からなる層２３を備えている。
【００３０】
図１（ｂ）に示す押さえ用部材２２は、メタルマスク表面の四隅を固定する部材であり、その支持位置に装着されている。押さえ用部材２２の形状及び使用個数は、適宜に選択することが重要である。
【００３１】
箱部１０に蓋部２０を重ねた場合、メタルマスクの載置する位置は、図１（ａ）では、メタルマスク１自身の位置で、図１（ｂ）では、破線枠の位置となる。従って、段差部１２と押さえ用部材２２は、同じ位置で重ね合わせる状態で嵌合する。
【００３２】
前記押さえ用部材２２、角部材１１、及び弾性体からなる層１３、２３は、取り外し自在な装着方法であるネジを有し、その締め、緩めで脱着することができる。従って、適宜疲労、劣化の点検を実施し、適宜更新するメタルマスク用収納容器である。
【００３３】
前記弾性体層１３、２３は、ＪＩＳＫ６２５３に準拠したゴム硬度４０から５０のシリコンゴムを用いている。シリコンゴムは、シリコンポリマーにシリカ、添加剤、硬化触媒を混合したもので、例えばＳＲ−５０（商品名：タイガーストリマ（株）製造）を用いた。
【００３４】
メタルマスク用収納容器の材質は、アクリルニトリル・メタクリル酸ブジェン重合体であり、例えばバレックス（（商品名：三協化成（株）製造）を用いた。なお、貼り合せる場合では、その接着剤は、アセトニトリル系のサンボンドＳＢ１００（商品名：山王工業
（株）製造）を用いた。
【００３５】
段差部１２及び押さえ用部材２２上に弾性体層１３を貼り合せる場合では、両面テープ＃８８０ＷＰ（商品名：エビス化成（株）製造）を用いて弾性体層１３を形成した。
【００３６】
前記材料の選択では、溌塵と、アウトガスの発生しないものから選択し、ケース洗浄に耐える、例えば洗浄水の不溶なものを選択することが重要である。
【００３７】
本発明のメタルマスク用収納容器は、繰り返し再使用するため、ケースを洗浄する。収納容器の形状は、洗浄しやすい形状、例えば、内側のコーナーではＲ形状等の工夫がされている。収納容器の形状は、メタルマスクの出し入れに便利な形状、例えば、側面を開放し、アームによる自動移載装置等の自動化に対応等の工夫がされている。
【００３８】
本発明のメタルマスク用収納容器の作製方法は、公知の方法、板状基材を張り合わせる方法、又は金型等による成型方法を用いている。
【００３９】
本発明のメタルマスク用収納容器の蓋部２０は、箱部１０の容器内を密閉する形状で形成されている。メタルマスク１を載置した箱部１０を密閉する際、メタルマスク１の表面と接する部分に押さえ用部材２２を有し、押さえ用部材２２のメタルマスクの表面と接する面に弾性体層２３を有し、収納したメタルマスク１では、メタルマスクの裏面側が弾性体層１３と、その表面側が弾性体層２３に固定されている。
【００４０】
図２は、本発明のメタルマスク用収納容器の一実施例の角部材の部分拡大図で、（ａ）は、上面図であり、（ｂ）は、メタルマスクを載置した状態の側断面図であり、（ｃ）は密閉した状態の側断面図である。なお、図２（ａ）〜（ｃ）は、図１の左下の破線丸枠の部分の拡大図であり、メタルマスクを載置後の上面図、及び（ｂ）〜（ｃ）は、箱部内にメタルマスクを載置後の側断面図と蓋部を重ねた後の側断面図である。
【００４１】
図２（ａ）〜（ｂ）に示すように、本発明のメタルマスク用収納容器の箱部１０にメタルマスク１を載置する際、メタルマスク１の裏面と接する部分の段差部１２に弾性体層１３を有し、弾性体層１３上に載置したメタルマスク１の自重により弾性体層１３へ沈み込むようにメタルマスク１が固定される。本発明では、弾性体層のゴム硬度を最適化し、適度な沈み込みの深さを選択し、ＪＩＳＫ６２５３に準拠したゴム硬度４０〜５０のシリコンゴムを用いた。
【００４２】
図２（ｃ）に示すように、収納したメタルマスク１では、メタルマスクの裏面側が弾性体層１３と、その表面側が弾性体層２３に固定されている。本発明のメタルマスク用収納容器に収納されたメタルマスクは、弾性体層１３に沈み込むように左右方向に固定され、且つ蓋部の弾性体２３により押さえ付けるように上下方向に固定されている。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明のメタルマスク用収納容器の一実施例を説明する上面図で、（ａ）は、箱部であり、（ｂ）は、蓋部である。
【図２】本発明のメタルマスク用収納容器の一実施例の角部材の部分拡大図で、（ａ）は、上面図であり、（ｂ）は、メタルマスクを載置した状態の側断面図であり、（ｃ）は、密閉した状態の側断面図である。
【図３】従来のメタルマスク用収納容器の一例を説明する上面図である。
【図４】従来のメタルマスク用収納容器のメタルマスクを載置した状態の部分拡大図で、（ａ）は、上面図であり、（ｂ）は、側断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１…メタルマスク
１０…箱部
１１…角部材
１２…段差部
１３…弾性体層
２０…蓋部
２２…押さえ用部材
２３…弾性体層
３０…従来のメタルマスク用収納容器
３１…角部材
３２…段差部
３４…ギャップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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