(57)【要約】【課題】炉心管を取り外すことなく、熱処理炉内に残留するウエーハの破片等の異物を効率的に除去することができる異物除去装置および異物除去方法、さらには異物の確実な除去により生産性高くウエーハに熱処理を施すことのできるウエーハの熱処理方法を提供する。【解決手段】ウエーハに熱処理を施すための熱処理炉の内部に残留する異物を除去する装置であって、少なくとも、前記異物を吸引するためのノズルと、該ノズルにより吸引された異物を捕獲するための捕獲容器と、該捕獲容器につながるポンプとを具備し、前記熱処理炉の内部に残留する異物を、前記ノズルを通して前記ポンプにより吸引して前記捕獲容器に捕獲することで除去するものである熱処理炉の異物除去装置および異物除去方法、ならびに異物をノズルを通してポンプにより吸引し除去して、次に処理するウエーハに熱処理を施すウエーハの熱処理方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハに熱処理を施すための熱処理炉の内部に残留する異物を除去する装置であって、少なくとも、前記異物を吸引するためのノズルと、該ノズルにより吸引された異物を捕獲するための捕獲容器と、該捕獲容器につながるポンプとを具備し、前記熱処理炉の内部に残留する異物を、前記ノズルを通して前記ポンプにより吸引して前記捕獲容器に捕獲することで除去するものであることを特徴とする熱処理炉の異物除去装置。
【請求項２】
前記熱処理炉が、横型炉であることを特徴とする請求項１に記載の熱処理炉の異物除去装置。
【請求項３】
前記ノズルは、異物を吸引する口が円弧を有する形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の熱処理炉の異物除去装置。
【請求項４】
前記ノズルは、石英製または炭化珪素製であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の熱処理炉の異物除去装置。
【請求項５】
前記捕獲容器は、捕獲された異物を冷却するための冷却水を内部に有するものであることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の熱処理炉の異物除去装置。
【請求項６】
前記捕獲容器が、透明な容器で内部が透視できるものであることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の熱処理炉の異物除去装置。
【請求項７】
ウエーハに熱処理を施すための熱処理炉の内部に残留する異物を除去する方法であって、前記熱処理炉内にノズルを挿入し、前記異物を前記ノズルを通してポンプにより吸引し除去することを特徴とする熱処理炉の異物除去方法。
【請求項８】
熱処理炉を用いてウエーハに熱処理を施す方法であって、前記熱処理炉内に残留する異物を、前記熱処理炉内にノズルを挿入し、該ノズルを通してポンプにより吸引し除去し、その後、次に処理するウエーハに熱処理を施すことを特徴とするウエーハの熱処理方法。
【請求項９】
前記異物の吸引除去を、前記熱処理炉を加熱したまま行うことを特徴とする請求項８に記載のウエーハの熱処理方法。
【請求項１０】
前記熱処理炉を、横型炉とすることを特徴とする請求項８または９に記載のウエーハの熱処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱処理炉内部の清浄度を維持する技術に関し、特に、横型熱処理炉内に残留する異物を吸引除去する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３に熱処理炉の概略の一例を示す。ここでは、横型炉を例に挙げる。この横型熱処理炉１は炉心管（例えば石英チューブ）２を備えており、この炉心管２内には、その一端開口部２ａから、ウエーハ４を保持したボート３が挿入可能となっている。炉心管２の開口部２ａと相対する側の口にはガスシステムが取り付けられており、このガスシステムにより、炉心管２内にガスを供給できるようになっている。そして、同図において符号５は前記開口部２ａを閉塞するための石英キャップを示しており、この石英キャップ５にはガスを逃がすための小さな孔５ａが設けられている。また、この孔５ａは熱処理炉１内のガスを層流にする機能を持つ。さらに、炉心管２の周囲にはヒーター６が配置されている。
【０００３】
このような横型熱処理炉１を用いて熱処理をウエーハ４に施す場合は、ボート３に載置したウエーハ４を、ヒーター６によって予め加熱されている炉心管２内に開口部２ａより挿入し、炉心管２内に配置する。このとき、ガスシステムによりガスを炉心管２内に供給する。このようにして、所定時間ウエーハ４に熱処理を施した後に、ウエーハ４をボート３に載置させたまま炉心管２から引き出す。
【０００４】
このようなウエーハの熱処理工程において、例えば、加熱終了後の冷却時にウエーハが収縮して生じる熱応力によって、ウエーハが炉心管内で割れる場合がある。このウエーハの割れにより発生したウエーハの破片やチップ、粉塵等の異物が炉心管内に残留してしまい、次に熱処理されるロットのウエーハに影響を与えることによって、他のウエーハに不良が発生することがある。
【０００５】
具体的には、このような異物が新しく炉心管内に挿入されてきたウエーハに付着し、異物が付着したウエーハに熱処理を続けることにより、例えば酸化膜の形成では、付着した異物が障害となり酸化が不足したり、逆に付着した異物から酸素が供給され酸化過剰になるといった不良が発生する場合がある。
さらに、異物が不純物汚染を受け、熱処理中にウエーハ表面に付着し、拡散することによって、特にバルクライフタイムが低下するという問題があった。
【０００６】
そこで、熱処理終了後、ボート３を取り出し、炉心管を加熱した状態で炉心管２の底部に残留しているウエーハの破片等の異物を、石英棒などを使用し、石英棒の先端で掻き出す方法をとっていた。さらに、細かい破片は石英棒で掻き出しても取り切れないため、炉心管を洗浄する必要があった。また、特に横型炉の場合、定期的に炉心管を取り外して洗浄を行っていた。
【０００７】
しかし、このように炉心管を取り外し、洗浄済みの炉心管に交換した後、特許文献１で開示するような空焼きなどを行う必要があり、熱処理炉を再立ち上げするには手間および長い時間を要するため、生産性が著しく低下するといった問題があった。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−１４６４８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、このような問題点に鑑みなされたもので、本発明の目的は、炉心管を取り外すことなく、熱処理炉内に残留するウエーハの破片等の異物を効率的に除去することができる異物除去装置および異物除去方法、さらには異物の確実な除去により生産性高くウエーハに熱処理を施すことのできるウエーハの熱処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するために、ウエーハに熱処理を施すための熱処理炉の内部に残留する異物を除去する装置であって、少なくとも、前記異物を吸引するためのノズルと、該ノズルにより吸引された異物を捕獲するための捕獲容器と、該捕獲容器につながるポンプとを具備し、前記熱処理炉の内部に残留する異物を、前記ノズルを通して前記ポンプにより吸引して前記捕獲容器に捕獲することで除去するものであることを特徴とする熱処理炉の異物除去装置を提供する（請求項１）。
【００１１】
このように、熱処理炉（炉心管）内に残留する異物を除去する装置であって、少なくとも、前記異物を吸引するためのノズルと、該ノズルにより吸引された異物を捕獲するための捕獲容器と、該捕獲容器につながるポンプとを具備するものであれば、前記ノズルを通して前記ポンプにより吸引して前記捕獲容器に捕獲することで、炉心管を取り外して洗浄することなく、熱処理炉内の異物を安全かつ確実に除去することが可能である。
【００１２】
このように炉心管の取り外し、洗浄、交換を行わなくても、炉心管内の清浄度を極めて高く維持することができ、手間や時間を省き、熱処理炉のウエーハの生産効率を向上することができる。また、異物を捕獲容器に捕獲するので、クリーンルーム内に異物を飛散させることもない。
【００１３】
このとき、前記熱処理炉が、横型炉であっても良い（請求項２）。そして、前記ノズルは、異物を吸引する口が円弧を有する形状であるのが好ましい（請求項３）。
横型熱処理炉は横に長いため異物を取り出し難く、異物の影響を特に受け易いので、定期的に炉心管を洗浄する必要があるが、上記異物除去装置により、横型熱処理炉内に残留する異物を確実に除去することができる。このため、定期的な熱処理炉の洗浄をしなくても、あるいは、洗浄する時間的間隔を長くしても、熱処理炉の清浄度を極めて高く維持することができる。そして、このときのノズルの吸引口が円弧を有する形状であれば、特に横型熱処理炉の底部形状に整合する形状であるので、より確実に熱処理炉内の異物を取り除くことができ、残留した異物が細かいものであっても取り逃すことなく除去することが可能である。
【００１４】
また、前記ノズルは、石英製または炭化珪素製であるのが好ましい（請求項４）。
このように、ノズルが石英製または炭化珪素製であれば、不純物となり難いし、熱処理炉が例えば加熱されたままで高温に維持された状態であったとしても、耐熱性が高いため、熱によりノズルが破損することなく、熱処理炉内の異物の吸引除去を行うことが可能である。
【００１５】
さらに、前記捕獲容器は、捕獲された異物を冷却するための冷却水を内部に有するものであるのが好ましい（請求項５）。
このように、捕獲容器内に冷却水を有していれば、熱処理炉内に残留し、高温状態にある異物を安全に捕獲することができる。
【００１６】
そして、前記捕獲容器が、透明な容器で内部が透視できるものであるのが好ましい（請求項６）。
このように、捕獲容器が透明な容器で内部が透視できるものであれば、捕獲容器内に捕獲した異物の種類や量を即座に把握することができ、また、容器内の異物を廃棄するタイミングを容易に図ることが可能である。
【００１７】
また、本発明は、ウエーハに熱処理を施すための熱処理炉の内部に残留する異物を除去する方法であって、前記熱処理炉内にノズルを挿入し、前記異物を前記ノズルを通してポンプにより吸引し除去することを特徴とする熱処理炉の異物除去方法を提供する（請求項７）。
【００１８】
このように、熱処理炉内にノズルを挿入し、炉内に残留する異物を、前記ノズルを通してポンプにより吸引し除去する方法であれば、炉心管を取り外して洗浄を行わずとも、異物を取り逃すことなく吸引して安全かつ確実に除去することが可能であり、熱処理炉内の清浄度を常に高く維持することができる。
また、従来は、このように炉心管の取り外し、洗浄、交換、空焼き等を行い、熱処理炉の再立ち上げには手間や長時間を要していたが、本発明の異物除去方法により、これらの手間や時間を省くことができ、そのためウエーハの生産性を大幅に向上することができる。
【００１９】
さらに、本発明は、熱処理炉を用いてウエーハに熱処理を施す方法であって、前記熱処理炉内に残留する異物を、前記熱処理炉内にノズルを挿入し、該ノズルを通してポンプにより吸引し除去し、その後、次に処理するウエーハに熱処理を施すことを特徴とするウエーハの熱処理方法を提供する（請求項８）。
【００２０】
このように、熱処理炉内に残留する異物を、前記熱処理炉内にノズルを挿入し、該ノズルを通してポンプにより吸引し除去して、その後、次に処理するウエーハに熱処理を施せば、異物を効果的に除去することができるので、次に処理するウエーハに異物による影響を与えることを無くして品質を高めることができる。さらに、従来のように炉心管の洗浄や交換を行わなくとも、熱処理炉内の清浄度を高く保つことが可能であり、再立ち上げに要する手間や時間を省くことができ、生産性を大幅に向上することが可能である。
【００２１】
このとき、前記異物の吸引除去を、前記熱処理炉を加熱したまま行うのが好ましい（請求項９）。
このように、異物の吸引除去を、前記熱処理炉を加熱したまま行えば、異物の除去のために熱処理炉を冷却し、取り外し、洗浄等をする必要がないことから、異物を吸引除去後、次のウエーハに速やかに熱処理を施すことができ、生産性をさらに向上することができる。
【００２２】
そして、前記熱処理炉を、横型炉とすることができる（請求項１０）。
本発明は、特に、横に長いため異物を取り出し難く、異物の影響を受け易い横型炉に有効であり、異物が炉内に残留していても、確実に異物を除去して炉内を清浄化することができ、効率良く次のウエーハに熱処理を施し、品質の高いウエーハを生産することが可能である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の熱処理炉の異物除去装置および異物除去方法によって、炉心管の洗浄を行うことなく、あるいは洗浄する時間的間隔を長くしても、熱処理炉内の異物を効果的に除去することができ、熱処理炉内を清浄に保つことが可能である。さらに、熱処理炉内の異物を効率的に除去することができることから、効率良く熱処理を施すことができるとともに、バルクライフタイム等の品質の高いウエーハを得ることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下では、本発明の実施の形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
上記のように、ウエーハの熱処理において、熱処理中や熱処理後のウエーハの取り出し時にウエーハが破損して飛散し、それらの破片、チップ、粉塵等の異物が熱処理炉内に残留することがある。この異物を熱処理炉内に残留させたまま次のロットのウエーハに熱処理を施すと、ウエーハに異物が付着して影響を及ぼし、特にバルクライフタイムが低下するという問題があり、異物を除去する必要があった。
従来の石英棒で掻き出す除去方法では、除去が完全ではなく炉心管の洗浄が必要であり、熱処理炉を再立ち上げするには手間や長時間を要し、生産性が低下するという問題があった。
【００２５】
そこで、本発明者らは、熱処理炉で熱処理中にウエーハが破損し、飛散したウエーハ等の異物を効率よく、かつ確実に除去する方法を鋭意検討した結果、少なくとも、異物を吸引するためのノズルと、該ノズルにより吸引された異物を捕獲するための捕獲容器と、該捕獲容器につながるポンプとを具備し、熱処理炉の内部に残留する異物を、前記ノズルを通して前記ポンプにより吸引して前記捕獲容器に捕獲することで除去する熱処理炉の異物除去装置および除去方法であれば、熱処理炉内の異物を確実に取り除くことができることを見出した。
【００２６】
さらには、熱処理炉内に残留する異物を、熱処理炉内にノズルを挿入し、該ノズルを通してポンプにより吸引し除去し、その後、次に処理するウエーハに熱処理を施すウエーハの熱処理方法であれば、効率良くウエーハに熱処理を施し、品質が高いウエーハを得られることを見出し、本発明を完成させた。
【００２７】
以下では、本発明の実施の形態について図を用いて具体的に説明する。
図１は、図３に示す横型熱処理炉内の異物を本発明に従う熱処理炉の異物除去装置を用いて除去する様子を示した概略説明図である。
本発明の異物除去装置１０は、少なくとも、異物８を吸引するためのノズル１１と、該ノズル１１により吸引された異物８を捕獲するための捕獲容器１３と、該捕獲容器１３につながるポンプ１５から構成されている。図１に示すように、例えば、その他にノズル１１と捕獲容器１３の間にフレキシブル金属チューブ１２を設けても良い。このようなフレキシブル金属チューブ１２を設けることにより、ノズル１１を移動し易くなり、熱処理炉１内の異物８の除去を行い易くすることができる。このフレキシブル金属チューブ１２の材質は、耐熱性に優れ、柔軟性に富んでいれば特に限定されない。
【００２８】
次に、図２を参照してノズル１１について述べる。ノズル１１は、熱処理炉１内に挿入することができる大きさ（太さ、長さ）で、異物８を吸引することのできる大きさの吸引口１６を有していればよく、その形状は限定されるものではない。例えば図２に示すような形状とすることができる。
図２のように、異物を吸引する口の下部が円弧を有する形状のノズル１１であれば、特に横型の熱処理炉１に最適なものとなる。このような形状であれば、横型の熱処理炉１の底部形状に整合させることができ、ノズル１１と横型熱処理炉１底部の隙間を狭くして例えば０．１ｍｍ程度にすることができるので、熱処理炉１内の底部に堆積した極めて細かい異物８であっても確実に吸引除去することが可能である。特に、横型炉の場合であっても、定期的な洗浄を行なわずとも、あるいは、洗浄する時間的間隔を長くしても、高い清浄度を維持することができる。
【００２９】
また、例えば高純度の石英製または炭化珪素製のものであれば、耐熱性に優れたものであり、熱処理炉１が高温の状態であったとしても、熱により破損することもなく、熱処理炉１内にノズル１１を挿入して異物８の吸引除去を行うことが可能である。また、これらの材質であれば不純物となりにくい。
【００３０】
そして、捕獲容器１３はポンプ１５による空気の流れを妨げず、ノズル１１から吸引された異物８を確実に捕獲することのできるものであれば良い。
このとき、冷却水１４をその内部に入れることによって、捕獲する異物８が高温であったとしても、冷却水１４により即座に冷却することができるため、安全に異物８を捕獲することが可能である。この場合、冷却水を容器内でシャワーしたり、吸引ガスを冷却水中をバブリングするようにすれば、より効率的に異物の冷却および捕獲をすることができる。
【００３１】
また、捕獲容器が透明な容器で内部が透視できるものであれば、捕獲した異物８の種類や量を判別し易く、また、捕獲量が一目で判るため、適当な時期に捕獲容器１３内の異物８を廃棄することが可能である。例えば塩化ビニールであれば、このような内部を透視できる捕獲容器１３を作製することができる。
【００３２】
次に、ポンプ１５について述べると、ノズル１１からの異物８の吸引を可能にするものであれば良い。例えば、排気静圧１５０Ｐａ、線速５ｍ／ｓｅｃ程度の排気能力があれば、熱処理炉１内の異物８をノズル１１の吸引口１６から吸引することができる。
【００３３】
以上のような熱処理炉１の異物除去装置１０であれば、炉心管を取り外して洗浄、交換等することなく、熱処理炉１内の異物８を安全で確実に除去することが可能である。したがって、熱処理炉１内を清浄に保つことができるとともに、それらに要する手間や時間を省くことができ、熱処理工程における生産効率を著しく向上することができる。
【００３４】
そして、このような熱処理炉の異物除去装置１０を用い、熱処理炉１内にノズル１１を挿入し、熱処理炉１内に残留する異物８を前記ノズル１１を通してポンプ１５により吸引し除去すれば、従来の石英棒による除去方法では取ることのできなかった細かな異物８も取り逃すことなく確実に吸引して除去することが可能であり、熱処理炉１内の清浄度を常に高く維持することができる。このため、熱処理工程において、ウエーハ４の生産性や品質を向上することが可能である。
【００３５】
ここで、このような異物除去装置１０、異物除去方法を用いたウエーハの熱処理方法について述べる。ここでは、図１、図３に示す横型の熱処理炉１を用いた例を挙げて説明する。当然、本発明は横型炉に限定される方法ではないが、横型炉は横に長いため、特に異物８の除去がしづらく、また、ウエーハが異物８の影響を受けやすいため、本発明は横型炉に対して特に有効である。
まず、例えば直径２００ｍｍのウエーハ４を２００枚程度石英製ボート３に搭載し、開口部２ａより石英ボート３を５０ｃｍ／分の速度で、ヒーター６により８００℃に加熱された炉心管２内に挿入する。なお、本発明の熱処理方法は、特に、処理するウエーハ４の種類や大きさ等を限定するものではなく、どのようなウエーハに対しても有効である。
このとき、例えば５ｌ／分程度の酸素をガスシステムにより供給する。
そして、３０分間程度ウエーハ４に熱処理を施した後、石英ボート３を５０ｃｍ／分の速度で炉心管２から引き出す。
【００３６】
このとき、上記したように、例えば加熱終了後の冷却時にウエーハ４が収縮して生じる熱応力によって、ウエーハ４が割れる場合がある。この破損により飛散したウエーハ４の破片が炉心管内に残留し次に熱処理されるロットのウエーハ４の表面に付着して、バルクライフタイム等のウエーハの品質に悪影響を与えることが分かっている。
【００３７】
ここで、このようなウエーハ４の破片等の異物８を、本発明に従う異物除去装置１０および異物除去方法を用い、熱処理炉１を加熱した状態のまま、熱処理炉１内にノズル１１を挿入し、ノズル１１を通してポンプ１５により残留する異物８を吸引して熱処理炉１内から除去する。このようにして、熱処理炉１内に残留する異物８を、例え細かなものであってもノズル１１から吸引除去し、熱処理炉１内を清浄化された状態にすることができる。
そして、次に処理するべきウエーハを、前と同様にして、ボート３に載置し熱処理炉１内に挿入して熱処理を施すことができる。
【００３８】
このようなウエーハの熱処理方法であれば、熱処理炉１内に残留する異物８を効率的に除去できることから、従来のように、炉心管の洗浄、交換等を行わなくとも、炉内の洗浄度を高く保つことが可能である。
このため、次に処理するウエーハ４に異物８による影響を与えることを無くし、バルクライフタイム等の品質の高いウエーハを得ることが可能である。
また、熱処理炉１の洗浄を必要としないか、あるいは洗浄する時間的間隔を長くできることから、従来洗浄した場合における熱処理炉１の再立ち上げに要する手間や時間を省くことができるため、生産効率を大幅に向上することができる。
【００３９】
また、上記のように、異物８の吸引除去を、熱処理炉１を加熱したまま行うことが可能である。このように、異物８の吸引除去を、熱処理炉１を加熱したまま行えば、異物８の除去のために熱処理炉１を冷却する必要がないことから、異物８を吸引除去後、次のウエーハ４に速やかに熱処理を施すことができ、生産効率をさらに向上することができる。
さらに、本発明では、炉内から除去した異物を捕獲容器で捕獲するので、クリーンルーム内を汚染することもない。
【実施例】
【００４０】
以下、本発明を実施例及び比較例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれに限定されない。
（実施例）
図１に示す横型熱処理炉で、アズカットウエーハ表面のダメージをエッチングした直径２００ｍｍ、厚さ３００μｍ、比抵抗０．５Ω・ｃｍの、ホウ素ドープ、結晶方位｛１００｝、ｐ型シリコンウエーハ２００枚を石英ボートに搭載し、酸素雰囲気で８００℃、２時間の熱処理を行い、シリコンウエーハ表面に１００ｎｍの酸化膜を形成した。その後、石英ボートを炉心管より取り出し、炉心管を加熱した状態のまま、本発明の異物除去装置を準備して、ノズルを熱処理炉内に挿入し、静かに炉心管の炉口から炉尾方向へ移動し、炉心管底部にある異物をポンプにより吸い取った。異物はフレキシブル金属チューブを通って、捕獲容器内の冷却水内に収容された。捕獲した異物を確認したところ、１〜５ｍｍ角のシリコンウエーハの破片や、直径１ｍｍ程度の石英片が多数確認された。
【００４１】
そして、続けて、次のロットのウエーハに上記と同じ条件で熱処理を行った。このようにして熱処理を行った後、石英ボートを熱処理炉内から取りだし、両端に搭載したシリコンウエーハを抜き取り、酸化膜を除去後、ケミカルパッシベーション処理してそれぞれのバルクライフタイムを測定した。
バルクライフタイムを測定した結果、以下の表１のＡ１、Ａ２の値となった。
【００４２】
（比較例１）
実施例と同じ条件で熱処理した後、炉心管底部にあった異物を、従来の方法である石英棒でかき出した後、続けて、実施例と同様に次のロットのウエーハに熱処理を行った。このようにして熱処理を行った後、石英ボートの両端に搭載したシリコンウエーハを抜き取り、バルクライフタイムを測定した結果、表１のＢ１、Ｂ２の値となった。
【００４３】
（比較例２）
実施例と同じ条件で熱処理した後、炉心管内の異物を完全に取り除くため、熱処理炉より炉心管を取り外し、１％ＨＦ溶液に３０分間浸漬し、水洗、乾燥した。そして、再び熱処理炉に炉心管をセットして、ガスシステムから酸素を５ｌ／分で供給して、１０００℃、１２時間の空焼きを行った。空焼き後、次のロットのウエーハに熱処理を行った。このようにして熱処理を行った後、石英ボートの両端に搭載したシリコンウエーハを抜き取り、バルクライフタイムを測定した結果、表１のＣ１、Ｃ２の値となった。
【００４４】
【表１】
2007111584.tif 000003
【００４５】
表１に示すように、本発明の異物除去装置により異物を除去してから熱処理を実施したときのウエーハのバルクライフタイムは、比較例２の炉心管を洗浄してから熱処理を実施したときのウエーハバルクライフタイムと同等の値とすることができる。これは、本発明の異物除去装置・方法によって、炉心管を洗浄したときと同等の清浄度を得られることができることを示している。しかも、比較例２と異なり、短時間で実施できるので、著しく生産性を改善できる。
【００４６】
一方で、比較例１の石英棒による除去方法では、バルクライフタイムは著しく小さな値であった。
このように、従来の石英棒による掻き出し方法では、熱処理炉内の清浄の度合いが低く、本発明の異物除去装置・方法によって確実に異物を吸引除去して効果的に清浄化することができ、品質の高いウエーハに熱処理して仕上げることができる。
【００４７】
さらに、従来の石英棒による除去方法では、細かな異物は除去できないため、比較例２のような炉心管の洗浄を必要とする。この場合、洗浄、交換、空焼きなど熱処理炉の再立ち上げのために手間や時間を要してしまう。しかしながら、本発明のウエーハの熱処理方法では、熱処理炉内の異物を吸引除去した後に、次に処理するウエーハに熱処理を施すことができるため、上記の炉心管の洗浄、交換、空焼き等の手間や時間をかける必要がなく、ウエーハの生産効率を大幅に向上することができる。
【００４８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００４９】
例えば、本発明が適用できる炉は横型に限らず、縦型、枚葉式の炉であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に従う熱処理炉の異物除去装置を用いて熱処理炉内の異物を除去する様子を示す概略説明図である。
【図２】本発明のノズル形状の一例を示した概略図である。
【図３】横型熱処理炉の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５１】
１…熱処理炉、  ２…炉心管、  ２ａ…開口部、  ３…ボート、
４…ウエーハ、  ５…石英キャップ、  ５ａ…孔、  ６…ヒーター、
８…異物、  １０…異物除去装置、  １１…ノズル、
１２…フレキシブル金属チューブ、  １３…捕獲容器、
１４…冷却水、  １５…ポンプ、  １６…吸引口。
【図１】
2007111584.tif 000004
【図２】
2007111584.tif 000005
【図３】
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