(57)【要約】      （修正有）【課題】パラメータの推奨値を容易に確認できるようにすることにより、パラメータの管理を容易に行うことができる基板処理装置のパラメータ設定装置を提供する。【解決手段】現在値記憶部３５ａに記憶されているパラメータの現在値と、推奨値記憶部３５ｂに記憶されているパラメータの推奨値とを表示部６５に隣接して表示させる。したがって、操作者は、パラメータの現在値とパラメータの推奨値とを表示部６５で比較確認しつつ、パラメータの現在値を設定することができるので、パラメータの管理を容易に行うことができる。その結果、条件出しを効率的に行うことができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理に係るパラメータを設定する基板処理装置のパラメータ設定装置において、
パラメータの現在値を記憶する現在値記憶部と、
パラメータの推奨値を記憶する推奨値記憶部と、
パラメータを設定するための設定部と、
パラメータを含む情報を表示する表示部と、
前記設定部でパラメータを設定する際には、前記現在値記憶部に記憶されているパラメータの現在値と、前記推奨値記憶部に記憶されているパラメータの推奨値とを前記表示部に表示させる制御部と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置のパラメータ設定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のパラメータ設定装置において、
前記制御部は、パラメータの現在値と推奨値とを前記表示部に隣接して表示させることを特徴とする基板処理装置のパラメータ設定装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置のパラメータ設定装置において、
推奨値の変更を指示する変更指示部をさらに備え、
前記制御部は、前記変更指示部が操作された場合、前記推奨値記憶部に記憶されているパラメータの推奨値を、前記現在値記憶部に記憶されているパラメータの現在値で書き換えることを特徴とする基板処理装置のパラメータ設定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の基板処理装置のパラメータ設定装置において、
パスワードを入力パスワードとして入力する入力部と、
予め設定されているパスワードを設定パスワードとして記憶するパスワード記憶部と、
前記設定パスワードと前記入力パスワードとを比較して、一致しているか否かを判断する判断部とをさらに備え、
前記制御部は、パラメータの推奨値を書き換える際に、前記判断部が一致していると判断している場合にのみパラメータの推奨値を書き換えることを特徴とする基板処理装置のパラメータ設定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）等の基板を処理する基板処理装置のパラメータ設定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の装置において、基板の処理に係るパラメータを変更する際には、パラメータ変更画面がモニタに表示された状態で、操作者が所望のパラメータにカーソルを移動させた後、そこに任意の値を入力して変更ボタンを操作する。すると、元のパラメータが任意の値に変更されるように構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００６−１９４９９号公報（「００３７」及び図５、図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、パラメータの現在値だけしか表示部に表示されないので、パラメータの変更を行った後、変更前の元のパラメータの値を同一画面上で確認することができない。換言すると、パラメータの管理が容易にできないという問題がある。
【０００４】
ところで、基板処理装置においては、種々のパラメータを変更しては基板を実際に処理し、その結果を考慮してさらにパラメータを変更する等の試行（「条件出し」とも呼ばれる）が頻繁に行われる。そのため、一旦パラメータを変更した後、その結果によっては変更前のパラメータに戻したり、変更前のパラメータと現在値とを考慮して、さらにパラメータを変更したりといったことが頻繁に生じるにもかかわらず、従来の装置では容易に元のパラメータを確認することができない。そのため、条件出しを効率的に行うことができないという事態も生じることがある。
【０００５】
なお、基板の処理に係る全パラメータを推奨値（default値とも呼ばれる）に一斉に戻すという操作が可能な場合があるが、通常、基板の処理に係るパラメータの全てを推奨値に戻すことは条件出しにおいては、あまり意味をなさない。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、パラメータの推奨値を容易に確認できるようにすることにより、パラメータの管理を容易に行うことができる基板処理装置のパラメータ設定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板の処理に係るパラメータを設定する基板処理装置のパラメータ設定装置において、パラメータの現在値を記憶する現在値記憶部と、パラメータの推奨値を記憶する推奨値記憶部と、パラメータを設定するための設定部と、パラメータを含む情報を表示する表示部と、前記設定部でパラメータを設定する際には、前記現在値記憶部に記憶されているパラメータの現在値と、前記推奨値記憶部に記憶されているパラメータの推奨値とを前記表示部に表示させる制御部と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００８】
［作用・効果］請求項1に記載の発明によれば、制御部は、装置の操作者が設定部でパラメータを設定する際には、現在値記憶部に記憶されているパラメータの現在値と、推奨値記憶部に記憶されているパラメータの推奨値とを表示部に表示させる。したがって、操作者は、パラメータの現在値とパラメータの推奨値とを表示部で比較確認しつつ、パラメータの現在値を設定部で設定することができるので、パラメータの管理を容易に行うことができる。その結果、条件出しを効率的に行うことができる。
【０００９】
また、本発明において、前記制御部は、パラメータの現在値と推奨値とを前記表示部に隣接して表示させることするのが好ましい（請求項２）。パラメータ同士が隣接表示されているので、視線移動を少なく確認することができる。
【００１０】
また、本発明において、推奨値の変更を指示する変更指示部をさらに備え、前記制御部は、前記変更指示部が操作された場合、前記推奨値記憶部に記憶されているパラメータの推奨値を、前記現在値記憶部に記憶されているパラメータの現在値で書き換えることが好ましい（請求項３）。条件出しの結果、好適なパラメータが設定できた場合には、変更指示部を操作してパラメータの推奨値をパラメータの現在値に変更することにより、パラメータの推奨値を一時的に変更したのか、恒久的に変更したのかという操作者の意図を判断しやすくできる。
【００１１】
また、本発明において、パスワードを入力パスワードとして入力する入力部と、予め設定されているパスワードを設定パスワードとして記憶するパスワード記憶部と、前記設定パスワードと前記入力パスワードとを比較して、一致しているか否かを判断する判断部とをさらに備え、前記制御部は、パラメータの推奨値を書き換える際に、前記判断部が一致していると判断している場合にのみパラメータの推奨値を書き換えることが好ましい（請求項４）。制御部は、パラメータの推奨値を書き換える際に、判断部によりパスワードが一致していると判断された場合にのみパラメータの推奨値を書き換えるので、誤操作や不用意な操作により、不適切なパラメータが推奨値に書き込まれてしまうことを防止することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る基板処理装置のパラメータ設定装置によれば、制御部は、装置の操作者が設定部でパラメータを設定する際には、現在値記憶部に記憶されているパラメータの現在値と、推奨値記憶部に記憶されているパラメータの推奨値とを表示部に表示させる。したがって、操作者は、パラメータの現在値とパラメータの推奨値とを表示部で比較確認しつつ、パラメータの現在値を設定部で設定することができるので、パラメータの管理を容易にできる。その結果、基板の処理に係る条件出しを効率的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明する。
図１は、実施例に係る基板処理装置のパラメータ設定装置を備えた基板処理装置の概略構成を示す平面図であり、図２は、実施例に係る基板処理装置のパラメータ設定装置を備えた基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【００１４】
基板処理装置１は複数個の処理部を備えており、具体的には、搬入部３と、搬送機構５と、ストッカ７と、載置部９と、主搬送機構１０と、第１薬液槽１１と、第１純水槽１３と、第２薬液槽１５と、第２純水槽１７と、乾燥室１９と、載置部２１と、ストッカ２３と、搬送機構２５と、搬出部２７とを備えている。特に、載置部９と、主搬送機構１０と、第１薬液槽１１と、第１純水槽１３と、第２薬液槽１５と、第２純水槽１７と、乾燥室１９と、載置部２１とは、ロットＬが搬送されていく方向に並設されている。
【００１５】
搬入部３は、ロットＬに相当する複数枚の未処理の基板ＷをカセットＣに搭載した状態で搬入されるものであり、その隣接する位置には、オペレータによってレシピを指示したり、レシピを入力・編集したり、パラメータを設定するための操作部２９が配設されている。搬入部３の奥側には、搬入部３とストッカ７との間及びストッカ７と載置部９との間でロットＬを搬送する搬送機構５が備えられている。ストッカ７は、未処理の複数のロットＬを一時的に収納するバッファのような役割を備えている。載置部９は、ストッカ７から搬送されてきたロットＬを載置するとともに、カセットＣから基板Ｗだけを搬送するように処理する機能を備えている。
【００１６】
なお、上記の操作部２９が本発明における基板処理装置のパラメータ設定装置に相当する。
【００１７】
主搬送機構１０は、載置部９と、第１薬液槽１１と、第１純水槽１３と、第２薬液槽１５と、第２純水槽１７と、乾燥室１９と、載置部２１に沿って移動可能に構成されている。主搬送機構１０は、昇降可能に構成された一対のアーム１０ａを備えており、一対のアーム１０ａで複数枚の基板Ｗを挟持し、載置部９，２１及び後述する昇降機構３１との間でロットＬを受け渡す機能を備えている。
【００１８】
第１薬液槽１１は、槽内に薬液を貯留可能であり、この薬液にロットＬをレシピに応じた時間だけ浸漬させて薬液処理を行うものである。また、槽内と槽の上方にわたって昇降自在に構成された昇降機構３１を備えており、昇降機構３１と主搬送機構１０との間でロットＬの受け渡しを行う。
【００１９】
第１純水槽１３は、槽内に純水を貯留可能であり、この純水にロットＬをレシピに応じた時間だけ浸漬させて純水処理を行うものである。また、第１薬液槽１１と同様に、昇降機構３１を備えている。第２薬液槽１５と第２純水槽１７は、それぞれ上述した第１薬液槽１１及び第１純水槽１３と同様の構成である。
【００２０】
乾燥室１９は、純水から引き上げられて搬送されてきたロットＬを乾燥させる機能を有する。載置部２１は、乾燥されたロットＬをカセットＣに収容するとともに、一時的にロットを載置しておく。ストッカ２３は、処理済みの複数のロットＬを一時的に載置するバッファのような役割を備える。搬送機構２５は、載置部２１とストッカ２３との間及びストッカ２３と搬出部２７との間でロットＬを搬送する機能を備えている。
【００２１】
上述した装置は、図２に示すように以下の制御系を備えている。
【００２２】
主制御部３３は、ＣＰＵ等を内蔵しており、各部を統括的に制御する機能を備えている。メモリ３５は、処理手順を規定するレシピ、処理内容を規定するパラメータ、制御プログラムなどを予め記憶している。記憶されているレシピの編集や指示、新たに入力されるレシピ、パラメータの設定等は、操作部２９から行われる。
【００２３】
さらに、メモリ３５は、現在値記憶部３５ａと、推奨値記憶部３５ｂと、パスワード記憶部３５ｃとを備えている。現在値記憶部３５ａは、パラメータの現在値を記憶し、推奨値記憶部３５ｂは、パラメータの推奨値（default値）を記憶する。また、パスワード記憶部３５ｃは、パスワードを設定パスワードとして予め記憶している。
【００２４】
搬送機構制御部３７は、主制御部３３の制御の下で、搬送機構５による未処理のロットＬの搬送を司る。ストッカ制御部３９は、ストッカ７に収容された未処理のロットＬの管理等を担う。載置部シーケンサ４１と、第１薬液槽シーケンサ４３と、第１純水槽シーケンサ４５等とは、それぞれ載置部９、第１薬液槽１１、第１純水槽１３等における薬液や純水等の管理・制御を主制御部３３の制御に応じて行う。また、第１薬液槽シーケンサ４３等の薬液を扱うものでは、薬液の寿命を使用時間（ライフタイム）や使用回数（ライフカウント）で管理しており、いずれかがアップしたことに基づき行う薬液の交換処理の制御も行う。主搬送機構制御部５５は、主制御部３３の制御の下で、主搬送機構１０の水平移動や、一対のアーム１０ａの昇降及び開閉等を制御する。ストッカ制御部５７は、ストッカ２３に収容された、処理済みのロットＬの管理等を担う。搬送機構制御部５９は、主制御部３３の制御の下で、搬送機構２５によるロットＬの搬送を制御する。
【００２５】
本発明における設定部に相当する操作部２９は、変更指示部に相当するマウス６１と、キーボード６３と、表示部６５とを備え、これらは主制御部３３に接続されている。主制御部３３は、グラフィカルユーザインターフェイス（ＧＵＩ）を介して、装置の操作者によりマウス６１やキーボード６３で指示された内容に基づいてレシピやパラメータの編集、装置の動作などを行わせる。また、主制御部３３は、操作者がパラメータを編集する際に、後述するように表示部６５に対してパラメータの現在値と推奨値とを同時に表示させる。さらに、主制御部３３は、操作者が推奨値の変更を指示したことを受けて、現在値記憶部３５ａの現在値で、推奨値記憶部３５ｂの推奨値を書き換える。また、その際には、操作者にパスワードの入力を促し、パスワード記憶部３５ｃに記憶されている設定パスワードと、キーボード６３等から入力された入力パスワードを比較して、それらが一致しているか否かについても判断する。
【００２６】
なお、上述した主制御部３３は、本発明における制御部及び判断部に相当する。
【００２７】
ここで、図３を参照する。なお、図３は、表示部における表示例を示す模式図である。
【００２８】
操作者がパラメータを編集する際には、図３に示すような表示が表示部６５にされる。具体的には、ユーザパラメータ表示領域６７と、ボタン領域６９とが表示される。さらに、ユーザパラメータ表示領域６７には、ユーザパラメータ名が表示されるパラメータ名領域７１と、その単位が表示される単位領域７３と、その現在値が表示される現在値領域７５と、この現在値領域７５に横方向に隣接して推奨値領域７７とが表示される。現在値領域７５には、現在値記憶部３５ａから読み出されたパラメータの現在値が表示され、推奨値領域７７には、推奨値記憶部３５ｂから読み出されたパラメータの推奨値が並記される。ボタン領域６９には、現在値の書き込みを指示するWriteボタン７９と、現在値を推奨値として記憶させるDefaultボタン８１などが表示されている。現在値領域７５では、操作者がマウス６１を介して任意のパラメータの現在値を選択可能であり、キーボード６３から所望の現在値を設定可能である。また、ボタン領域７９では、マウス６１を介して各ボタンをソフト的に押下可能になっている。
【００２９】
次に、図４を参照して上述した装置におけるパラメータの変更処理について説明する。なお、図４は、パラメータ変更処理の流れを示すフローチャートである。以下においては、操作者がキーボード６３やマウス６１を介してパラメータの変更処理を選択した状態であり、表示部６５には、図３に示す表示がされているものとして説明する。
【００３０】
ステップＳ１
操作者は、変更したいパラメータをパラメータ名領域７１の中から見つけ、その現在値領域７５をマウス６１で選択する。そして、その箇所に、キーボード６３から所望の数値を入力する。この現在値の入力があった場合には、ステップＳ２へ処理が移行する。キャンセル処理がされた場合には、この処理を終了するが、それまではステップＳ１を繰り返し実行する。
【００３１】
ステップＳ２，Ｓ３
パラメータの入力がされた後、操作者がマウス６１でWriteボタン７９を押下したか否かにより処理を分岐する。Writeボタン７９が押下された場合には、ステップＳ３に移行して、主制御部３３はその値を現在値記憶部３５ａに書き込む。一方、Writeボタン７９が押下されない場合や処理のキャンセルが指示された場合には、この処理を終了する。
【００３２】
上記のように、現在値記憶部３５ａに記憶されているパラメータの現在値と、推奨値記憶部３５ｂに記憶されているパラメータの推奨値とを表示部６５に隣接して表示させる。したがって、操作者は、パラメータの現在値とパラメータの推奨値とを表示部６５で比較確認しつつ、パラメータの現在値を設定することができるので、パラメータの管理を容易に行うことができる。その結果、条件出しを効率的に行うことができる。また、パラメータ同士が隣接表示されているので、視線移動を少なく確認することができる。
【００３３】
次に、図５を参照して上述した装置におけるパラメータの推奨値の変更処理について説明する。なお、図５は、パラメータの推奨値の変更処理の流れを示すフローチャートである。ここでは、上述したようにパラメータの現在値を変更した後、実際に基板Ｗに対する処理を行った結果、つまり条件出しを行った結果、変更したパラメータの現在値が処理に適切であることが分かったとする。このときには、以下のようにしてパラメータの推奨値を変更する。
【００３４】
ステップＳ１０〜Ｓ１２
操作者は、複数のパラメータのうち、現在値を記憶させたいパラメータをパラメータ名領域７１内で指示するとともに、Defaultボタン８１をマウス６１で押下する。すると、主制御部３３は、表示部６５にパスワードの入力を促す表示を行う。主制御部３３は、操作者がキーボード６３等から入力したパスワード（入力パスワード）と、パスワード記憶部３５ｃに予め記憶されているパスワード（設定パスワード）とを比較して、その結果により処理を分岐する。一致している場合には、ステップＳ１３に移行し、不一致の場合には処理を終了する。
【００３５】
ステップＳ１３
主制御部３３は、現在値記憶部３５ａに記憶されているパラメータの現在値のうち、パラメータ名領域７１内で指示されているパラメータに対応するパラメータの現在値を、推奨値記憶部３５ｃに記憶する。これにより、パラメータの推奨値のうち、所望のものだけを現在値で書き換えることができる。
【００３６】
上述したように、条件出しの結果、好適なパラメータが設定できた場合には、パラメータの推奨値をパラメータの現在値に変更するので、パラメータの推奨値を一時的に変更したのか、恒久的に変更したのかという操作者の意図を判断しやすくできる。また、パスワードの入力を促し、設定パスワードと入力パスワードとが一致していると判断された場合にのみパラメータの推奨値を書き換えるので、誤操作や不用意な操作により、不適切なパラメータが推奨値に書き込まれてしまうことを防止することができる。
【００３７】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００３８】
（１）上述した実施例では、第１薬液槽１１や第２純水槽１５などを備え、ロットＬを順次に搬送して処理を行う基板処理装置のパラメータ設定装置を例に採って説明しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、基板にフォトレジスト液などの塗布液を供給する基板処理装置等のパラメータ設定装置にも適用することができる。
【００３９】
（２）上述した実施例では、パラメータの現在値と推奨値とを横方向に隣接して表示させているが、例えば、縦方向に隣接させて表示させてもよい。
【００４０】
（３）上述した実施例では、パラメータの推奨値を現在値で書き換える際には、パスワードの入力を促し、その一致がみられた場合にのみ書き換えるようにしているが、これを省略して容易に書き換え可能に構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】実施例に係る基板処理装置のパラメータ設定装置を備えた基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置のパラメータ設定装置を備えた基板処理装置の概略構成を示すブロック図である。
【図３】表示部における表示例を示す模式図である。
【図４】パラメータ変更処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】パラメータの推奨値の変更処理の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４２】
１  …  基板処理装置
Ｗ  …  基板
３３  …  主制御部
３５  …  メモリ
３５ａ  …  現在値記憶部
３５ｂ  …  推奨値記憶部
３５ｃ  …  パスワード記憶部
６１  …  マウス
６３  …  キーボード
６５  …  表示部
６７  …  ユーザパラメータ表示領域
６９  …  ボタン領域
７１  …  パラメータ名領域
７５  …  現在値領域
７７  …  推奨値領域
７９  …  Writeボタン
８１  …  Defaultボタン
【図１】
2007258563.tif 000003
【図２】
2007258563.tif 000004
【図３】
2007258563.tif 000005
【図４】
2007258563.tif 000006
【図５】
2007258563.tif 000007