(57)【要約】【課題】新たな工程を設けることなく、圧電体の耐熱性を向上する。【解決手段】圧電体に抗電界以上の第１の電界を印加する第１の分極処理と、第１の分極処理がなされた圧電体に、第１の電界と向きが逆であってかつ抗電界以上の第２の電界を印加する第２の分極処理と、第２の分極処理がなされた圧電体に、第１の電界と向きが同方向であってかつ抗電界以上の第３の電界を印加する第３の分極処理と、を備える圧電体の分極方法。第１の分極処理〜第３の分極処理は、電界の向きを除いて、条件を一致させてもよいし、異ならせてもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体に抗電界以上の第１の電界を印加する第１の分極処理と、
前記第１の分極処理がなされた前記圧電体に、前記第１の電界と向きが逆であってかつ前記抗電界以上の第２の電界を印加する第２の分極処理と、
前記第２の分極処理がなされた前記圧電体に、前記第１の電界と向きが同方向であってかつ前記抗電界以上の第３の電界を印加する第３の分極処理と、
を備えることを特徴とする圧電体の分極方法。
【請求項２】
前記第１の分極処理、前記第２の分極処理及び前記第３の分極処理の条件が、電界の向きを除いて一致又は異なることを特徴とする請求項１に記載の圧電体の分極方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電体の分極方法に関し、特に圧電体の耐熱性を向上することのできる分極方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電体は、その結晶に応力を加えることにより電荷を発生する圧電効果と、逆に電界を加えると応力が発生する逆圧電効果を持っている。電気機械変換効率と、温度特性などの安定性で優れたチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ系材料）の出現が、圧電体の応用分野を一挙に拡大させた。
【０００３】
一般に、セラミックスからなる圧電体は焼成処理したままでは、各結晶粒子内の自発分極が分域構造を取り、圧電体全体では圧電変形が打ち消されてしまうため、圧電特性を示さない。圧電特性を付与するには、圧電体に対し、直流電界を印加し、自発分極を電極方向に配向する分極処理を施さなければならない。
従来、圧電体の分極処理は、ＰＺＴ系材料について説明すると、圧電体を焼成した後、その表裏面に、銀等の導電性ペーストでなる仮の両面電極を設け、５０〜３００℃の絶縁シリコンオイル中に浸漬し、１．０〜２．５Ｅｃ（Ｅｃは抗電界）の電圧を０．５〜３０分間程度印加することにより行っていた（特許文献１〜３）。
【０００４】
圧電フィルタや圧電共振子のような圧電部品では、使用される圧電体の分極度が特性に大きく影響する。従って、圧電体は所望の分極度に分極処理されることが求められる。ところが、圧電体の分極処理に際しては、単に電界を印加して所望の分極度を高精度に得ることが非常に困難である。そこで、特許文献４は、圧電体に電界を印加して該圧電体を飽和分極状態とする工程と、この圧電体の分極軸方向に対して逆方向にバイアス電界を印加して分極反転させる工程と、分極反転後、逆方向バイアス電界を印加し続けることにより所望の分極度を得る工程とを備える圧電体の分極方法を提案している。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６４−１２５８７号公報
【特許文献２】特公昭５７−４１１０９号公報
【特許文献３】実公昭４９−３２８６５号公報
【特許文献４】特公平７−１０５６８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、近年では表面実装型部品が広く普及しており、圧電体をプリント基板に実装する際に、ハンダリフロー炉を通すために耐熱性の高い圧電体が求められている。このため、圧電体の耐熱性を向上させるために、分極処理された圧電体に熱処理を施すことが提案されている（例えば、特許文献５〜１０参照）。
【０００７】
【特許文献５】特開平８−３３３１５８号公報
【特許文献６】特開平８−３３３１５９号公報
【特許文献７】特開平８−３３３１６０号公報
【特許文献８】特開平１１−２０９１７６号公報
【特許文献９】特開平１１−３２２４１９号公報
【特許文献１０】特開平１１−３２２４２０号公報
【０００８】
以上の熱処理を施すことによる耐熱性の向上は所定の効果を得ることができる。しかし、この熱処理は、新たな工程の付加となるため、製造コストの観点から好ましくない。
本発明は、このような技術的課題に基づいてなされたもので、新たな工程を設けることなく、圧電体の耐熱性を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者等は上記課題を解決するべく、分極方法について検討を行った。その結果、分極の際に印加する電界の方向を変える操作を所定回数繰り返すことにより、耐熱性を向上できることを知見した。本発明はこの知見に基づくものであり、圧電体に抗電界以上の第１の電界を印加する第１の分極処理と、第１の分極処理がなされた圧電体に、第１の電界と向きが逆であってかつ抗電界以上の第２の電界を印加する第２の分極処理と、第２の分極処理がなされた圧電体に、第１の電界と向きが同方向であってかつ抗電界以上の第３の電界を印加する第３の分極処理と、を備えることを特徴とする。
本発明の圧電体の分極方法において、電界の向きを除いて、第１の分極処理、第２の分極処理及び第３の分極処理の条件は、一致していても良いし、異なっていてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、本発明によれば、分極処理を、その電界の向きを変えて３度以上行うことにより、圧電体の耐熱性を向上することができる。このように分極処理を複数回行うことは、分極を終えた圧電体に対して別途熱処理を行うのと異なり、新たな工程を付加するものではないため、コスト上昇をほとんど伴うことなく圧電体の耐熱性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明について詳述する。
本発明は、第１の分極処理、第２の分極処理及び第３の分極処理という少なくとも３回の分極処理を行う。
第１の分極処理と第３の分極処理とは印加する電界の向きが同方向であるが、第２の分極処理は第１の分極処理及び第３の分極処理とは印加する電界の向きが逆方向である。例えば、第１の分極処理における第１の電界及び第３の分極処理における第３の電界が正（＋）の電界を印加したとすれば、第２の分極処理における第２の電界は負（−）の電界を印加する。
【００１２】
本発明において、印加する第１の電界、第２の電界及び第３の電界の絶対値は、抗電界以上、好ましくは抗電界の１．５倍以上、さらに好ましくは抗電界の２倍以上である。第２の電界の絶対値を抗電界以上とすることにより、第２の分極処理により分極軸を反転させることができる。また、第３の電界の絶対値を抗電界以上とすることにより、第３の分極処理により分極軸を反転させることができる。この様子を図１に示している。焼成後の圧電体は、多結晶構造になっており、図１（ａ）に示すように、この結晶粒内あるいは結晶粒毎に内部の自発分極の向き（矢印で示される）が任意の方向を向いている。そこで圧電性を持たせるために第１の分極処理を行なうと、図１（ｂ）に示すように、自発分極の向きが下方の一方向に揃う。次いで、第２の分極処理を行うと、図１（ｃ）に示すように、自発分極の向きは、その分極軸が反転し、上方の一方向に揃う。さらに、第３の分極処理を行うと、図１（ｄ）に示すように、自発分極の向きは、その分極軸が反転し、下方の一方向に揃う。なお、抗電界（Coercive Field）とは、周知のように、自発分極の向きが反転する電界をいう。
【００１３】
本発明により耐熱性が向上する理由は明らかとなっていないが、以下によるものと本発明者は理解している。すなわち、１回の分極処理では熱的に安定した分極状態を実現することが難しく、２回目、３回目と繰り返す内に熱的に安定した分極状態に近づいていくと考えることができる。このようにして、本発明の分極処理を施すことにより、分極がより理想的に行われる結果、耐熱性が向上したものと解される。
【００１４】
第１の分極処理〜第３の分極処理の他の条件について以下説明する。
第１の分極処理は、焼結体からなる圧電体に分極処理用の電極を形成した後に行う。分極処理は、５０〜３００℃の温度で、１．０Ｅｃ以上の（Ｅｃは抗電界）の電界を焼結体に対して０．５〜３０分間印加することが好ましい。
分極処理温度が５０℃未満になると、Ｅｃが高くなるため分極電圧が高くなり、分極が困難になる。一方、分極処理温度が３００℃を超えると、絶縁オイルの絶縁性が著しく低下するため分極が困難となる。よって、分極処理温度は５０〜３００℃とする。望ましい分極処理温度は６０〜２５０℃、より望ましい分極処理温度は８０〜２００℃である。
【００１５】
また、印加する電界が１．０Ｅｃを下回ると分極が進行しないとともに、第２の分極処理及び第３の分極処理における分極軸の反転を行うことができない。一方、印加する第１〜第３の電界の上限値を本発明は限定するものではないが、４．０Ｅｃを超えると実電圧が高くなって焼結体が絶縁破壊しやすくなる。よって、分極処理の際に印加する電界は１．０〜４．０Ｅｃとすることが好ましい。さらに好ましい印加電界は１．５〜３．５Ｅｃである。
【００１６】
分極処理時間は、０．５分未満となると、分極が不十分となって十分な特性を得ることができない。一方、分極処理時間が３０分を超えると分極処理に要する時間が長くなり、生産効率が劣る。よって、分極処理時間は０．５〜３０分とする。望ましい分極処理時間は０．７〜２０分、より望ましい分極処理時間は０．９〜１５分である。
分極処理は、上述した温度に加熱された絶縁オイル、例えばシリコンオイル浴中で行う。なお、分極方向は所望の振動モードに応じて決定すればよい。
【００１７】
本発明は、第３の分極処理以降の分極処理を排除するものでない。例えば、本発明の分極処理の条件を備えた第４以降の分極処理を行うことができるし、本発明によらない分極処理の条件を備えた第４以降の分極処理を行ってもよい。
【００１８】
本発明が適用される圧電体は特に限定されず、前述のＰＺＴ系材料に限らず、チタン酸鉛（ＰＺ系材料）、ビスマスレイヤ系材料等の他の圧電体に対して適用することができる。
ＰＺＴ系材料としては、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を含み、特に主成分としてＰｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｍｇ及びＮｂを含む圧電磁器組成物に対して適用することが好ましい。例えば、以下の式（１）で示される主成分を有することが好ましい。
【００１９】
Ｐｂα[（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）ｘＴｉｙＺｒｚ]Ｏ３…式（１）
ただし、０．９５≦α≦１．０２、
０．０１≦ｘ≦０．１０、
０．４０≦ｙ≦０．５０、
０．４５≦ｚ≦０．５６
なお、式（１）中、α、ｘ、ｙ及びｚはそれぞれモル比を表す。
【００２０】
また、上記主成分に対して、副成分としてＣｒ、Ａｌ及びＳｉの１種又は２種以上を含有することができる。副成分としてＣｒ、Ａｌ及びＳｉを含むことで、電気機械結合係数ｋｔが大きく、耐熱性に優れた圧電磁器組成物を得ることができる。
副成分の量は主成分に対して、ＣｒをＣｒ２Ｏ３換算で０．０５〜０．５０ｗｔ％、ＡｌをＡｌ２Ｏ３換算で０．００５〜１．５００ｗｔ％、ＳｉをＳｉＯ２換算で０．００５〜０．１００ｗｔ％とすることが望ましい。
【００２１】
以上のような焼結体からなる圧電体は以下のようにして製造することができる。
（原料粉末、秤量）
主成分の原料として、酸化物または加熱により酸化物となる化合物の粉末を用いる。上記（１）式を主成分とする場合には、ＰｂＯ粉末、ＴｉＯ２粉末、ＺｒＯ２粉末、ＭｇＣＯ３粉末、Ｎｂ２Ｏ５粉末等を用いることができる。原料粉末は所定の割合で秤量すればよい。秤量された主成分の原料粉末に対して、必要な副成分を添加する。各原料粉末の平均粒径は０．１〜３．０μｍの範囲で適宜選択すればよい。なお、上述した原料粉末に限らず、２種以上の金属を含む複合酸化物の粉末を原料粉末としてもよい。
【００２２】
（仮焼）
原料粉末を湿式混合した後、７００〜９５０℃の範囲内で所定時間保持する仮焼を行う。このときの雰囲気はＮ２または大気とすればよい。仮焼の保持時間は０．５〜５時間の範囲で適宜選択すればよい。
なお、主成分の原料粉末と副成分の原料粉末を混合した後に、両者をともに仮焼に供する場合について示したが、副成分の原料粉末を添加するタイミングは上述したものに限定されるものではない。例えば、まず主成分の粉末のみを秤量、混合、仮焼および粉砕する。そして、仮焼粉砕後に得られた主成分の粉末に、副成分の原料粉末を所定量添加し混合するようにしてもよい。
【００２３】
（造粒・成形）
粉砕粉末は、後の成形工程を円滑に実行するために顆粒に造粒される。この際、粉砕粉末に適当なバインダ、例えばポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を少量添加し、かつこれらを十分に混合し、その後３５０μｍのメッシュを通過させて整粒することにより造粒粉末を得る。次いで、造粒粉末を２００〜３００ＭＰａの圧力で加圧成形し、所望の形状の成形体を得る。
【００２４】
（焼成）
成形時に添加したバインダを除去した後、１１００〜１２５０℃の範囲内で所定時間成形体を加熱保持し焼結体を得る。このときの雰囲気はＮ２または大気とすればよい。加熱保持時間は０．５〜４時間の範囲で適宜選択すればよい。得られた焼結体に対して、上述した本発明の分極方法を適用する。
【実施例１】
【００２５】
出発原料として、ＰｂＯ粉末、ＴｉＯ２粉末、ＺｒＯ２粉末、ＭｇＣＯ３粉末、Ｎｂ２Ｏ５粉末、Ｃｒ２Ｏ３粉末、ＳｉＯ２粉末を準備した。この原料粉末を、モル比でＰｂ[（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）０．０５Ｔｉ０．４６Ｚｒ０．４９]Ｏ３となるように秤量した後、各粉末の総重量に対して副成分としてのＣｒ２Ｏ３粉末を０．２ｗｔ％、ＳｉＯ２粉末を０．０５ｗｔ％添加し、ボールミルを用いて湿式混合を１０時間行った。
得られたスラリを十分に乾燥させた後、大気中、８００℃で２時間保持する仮焼を行った。仮焼体が平均粒径０．７μｍになるまでボールミルにより微粉砕した後、微粉砕粉末を乾燥させた。乾燥させた微粉砕粉末に、バインダとしてＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を適量加え、造粒した。１軸プレス成形機を用いて造粒粉末を２４５ＭＰａの圧力で成形した。得られた成形体に対して脱バインダ処理を行った後、大気中、１１５０〜１２５０℃で２時間保持して、縦２０ｍｍ×横２０ｍｍ×厚さ１．０ｍｍの焼結体（試料）を得た。
【００２６】
試料の両面をラップ盤で厚さ０．３ｍｍに平面加工した後に、ダイシングソーで縦×横＝１５ｍｍ×１５ｍｍに切断加工し、その表裏両面に分極用の仮電極（縦×横＝１４ｍｍ×１４ｍｍ）を形成した。その後、温度１２０℃のシリコンオイル槽中で、２ｋＶ／ｍｍの電界を印加する分極処理を行った。この分極処理は、１回目に２ｋＶ／ｍｍの電界（正）を印加した後に、次の２回目には電界の向きを逆にして２ｋＶ／ｍｍの電界（負）を印加し、次いで３回目には電界の向きを逆にして２ｋＶ／ｍｍの電界（負）を印加し、以後も同様に印加する電解の向きを変えながら分極処理を合計９回行った。また、電界の強さを３ｋＶ／ｍｍとした以外は、上記と同様に都合９回の分極処理を行った。なお、分極方向は試料の平面方向とした。また、この試料の抗電界は１ｋＶ／ｍｍである。
【００２７】
その後、仮電極を除去した。なお、仮電極除去後の試料のサイズは縦１５ｍｍ×横１５ｍｍ×厚さ０．３ｍｍである。再度ラップ盤でおよそ厚さ０．２２ｍｍまで研磨した後に、ダイシングソーで縦×横＝７．５ｍｍ×７．０ｍｍに切断加工して試験片とした。
真空蒸着装置を用いて試験片の両面（研磨された両面）に振動電極を形成し、電気機械結合係数ｋｔの測定用試料を得た。振動電極の重なりはφ１．０ｍｍとした。なお、振動電極は厚さ１．５μｍのＣｕから構成される。
【００２８】
各試料について、下記の式（２）より電気機械結合係数ｋｔを測定した。電気機械結合係数ｋｔの測定は、測定周波数約１０ＭＨｚにおいてインピーダンスアナライザ（ヒューレッドパッカード社製ＨＰ４１９４Ａ）を用いた。
【００２９】
ｋｔ２＝π／２・ｆｒ／ｆａ・ｃｏｔ（π／２・ｆｒ／ｆａ）…式（２）
【００３０】
各回数の分極処理が終わった各試料をアルミ箔で包み、２５０℃のはんだ槽に３０秒間浸漬した後にアルミ箔を除去してから１時間室温で放置し、再度、電気機械結合係数ｋｔ（％）を測定し、以下の式（３）により、電気機械結合係数ｋｔ（％）のはんだ槽浸漬前後の変化率Δｋｔ（％）を求めた。さらに、電気機械結合係数ｋｔ測定の過程で求められる共振周波数Ｆｒ（ＭＨｚ）についても、はんだ槽浸漬前後の変化率ΔＦｒ（％）を以下の式（４）により求めた。
Δｋｔ（％）＝（ｋｔ１−ｋｔ０）／ｋｔ０×１００…式（３）
ｋｔ０：はんだ槽浸漬前の電気機械結合係数ｋｔ（％）
ｋｔ１：はんだ槽浸漬後の電気機械結合係数ｋｔ（％）
ΔＦｒ（％）＝（Ｆｒ１−Ｆｒ０）／Ｆｒ０×１００…式（４）
Ｆｒ０：はんだ槽浸漬前の共振周波数Ｆｒ（ＭＨｚ）
Ｆｒ１：はんだ槽浸漬後の共振周波数Ｆｒ（ＭＨｚ）
【００３１】
はんだ浸漬前の電気機械結合係数ｋｔ（％）の結果を図２に示す。図２に示すように、分極処理の回数に係らず、電気機械結合係数ｋｔ（％）はほぼ一定である。
図３にはんだ浸漬前後の電気機械結合係数ｋｔの変化率Δｋｔ（％）を示す。３回目の分極処理を施すことにより、Δｋｔ（％）が小さくなることがわかる。また、図４にはんだ浸漬前後の共振周波数の変化率ΔＦｒ（％）を示すが、３回目の分極処理を施すことにより、ΔＦｒ（％）が小さくなることがわかる。このように、３回目の分極処理を施すことにより、耐熱性を向上できる。なお、３回目とは、１回目及び３回目は電界の向きが一致し、２回目は電界の向きが１回目及び３回目とは逆向きである。
【００３２】
比較として、以下の３種類の分極処理を行った。得られた圧電体について、以上と同様の測定を行い、その結果を図２〜図４に示す。比較例の結果からわかるように、電界の印加時間を長くし、または温度を高くしても、本発明のように耐熱性向上することはできない。
比較例１：シリコンオイル槽の温度を１２０℃、印加電界を３ｋＶ／ｍｍ、電界の印加時間を３０分とする１回の分極処理を行った。
比較例２：シリコンオイル槽の温度を１５０℃、印加電界を３ｋＶ／ｍｍ、電界の印加時間を３分とする１回の分極処理を行った。
比較例３：シリコンオイル槽の温度を１２０℃、印加電界を３ｋＶ／ｍｍ（正）、電界の印加時間を３分とする１回目の分極処理を行った後、シリコンオイル槽の温度を１２０℃、印加電界を１．８ｋＶ／ｍｍ（負）、電界の印加時間を３分とする２回目の分極処理を行った。
【実施例２】
【００３３】
分極処理を以下の要領とした以外は、実施例１と同様にして、電気機械結合係数ｋｔ（％）のはんだ槽浸漬前後の変化率Δｋｔ（％）、共振周波数Ｆｒ（ＭＨｚ）のはんだ槽浸漬前後の変化率ΔＦｒ（％）を求めた。その結果を図２〜図４に示す。
図３及び図４に示すように、各分極処理において印加する電界値を変えても、本発明の耐熱性向上効果が得られた。
【００３４】
３→２．５→２ｋＶ（図２〜図４の表示）
１回目：正方向３ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ、２回目：負方向２．５ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ、
３回目：正方向２ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ
２→２．５→３ｋＶ（図２〜図４の表示）
１回目：正方向２ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ、２回目：負方向２．５ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ、
３回目：正方向３ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ
【実施例３】
【００３５】
以下のＰＴ系材料、ビスマスレイヤ系材料を用い、以下の分極処理条件とした以外は、実施例１と同様にして、電気機械結合係数ｋｔ（％）及びそのはんだ槽浸漬前後の変化率Δｋｔ（％）、共振周波数Ｆｒ（ＭＨｚ）のはんだ槽浸漬前後の変化率ΔＦｒ（％）を求めた。
＜材料組成＞
ＰＴ系材料：（Ｐｂ０．８２Ｓｒ０．１０Ｌａ０．０４Ｂｉ０．０２）（Ｔｉ０．９５Ｍｎ０．０２Ｎｂ０．０３）Ｏ３
抗電界（Ｅｃ）＝３．４ｋＶ／ｍｍ（１２０℃における）
ビスマスレイヤ系材料：主成分；（Ｓｒ０．９Ｌａ０．１）Ｂｉ４Ｔｉ４Ｏ１５
副成分；ＭｎＣＯ３＝０．５ｗｔ％
抗電界（Ｅｃ）＝３．４ｋＶ／ｍｍ（２５０℃における）
＜分極処理＞
ＰＴ系材料：（いずれも１２０℃）
１回目：正方向７ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ、２回目：負方向７ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ、
３回目：正方向７ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ
ビスマスレイヤ系材料：（いずれも２５０℃）
１回目：正方向１０ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ、２回目：負方向１０ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ、
３回目：正方向１０ｋＶ／ｍｍ×３ｍｉｎ
【００３６】
はんだ浸漬前の電気機械結合係数ｋｔ（％）の結果を図５（ＰＴ系材料）、図８（ビスマスレイヤ系材料）に、浸漬前後の電気機械結合係数ｋｔの変化率Δｋｔ（％）を図６（ＰＴ系材料）、図９（ビスマスレイヤ系材料）に、はんだ浸漬前後の共振周波数の変化率ΔＦｒ（％）を図７（ＰＴ系材料）、図１０（ビスマスレイヤ系材料）に示す。ＰＺＴ系材料に係らず、本発明の耐熱性向上効果が確認された。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の分極処理の過程における電気双極子の変動係数を模式的に示す図である。
【図２】実施例１、２（ＰＺＴ系材料）における分極処理の回数と電気機械結合係数ｋｔの関係を示すグラフである。
【図３】実施例１、２（ＰＺＴ系材料）における分極処理の回数と電気機械結合係数ｋｔのはんだ浸漬前後の変化率（Δｋｔ）の関係を示すグラフである。
【図４】実施例１、２（ＰＺＴ系材料）における分極処理の回数と共振周波数Ｆｒのはんだ浸漬前後の変化率（ΔＦｒ）の関係を示すグラフである。
【図５】実施例３（ＰＴ系材料）における分極処理の回数と電気機械結合係数ｋｔの関係を示すグラフである。
【図６】実施例３（ＰＴ系材料）における分極処理の回数と電気機械結合係数ｋｔのはんだ浸漬前後の変化率（Δｋｔ）の関係を示すグラフである。
【図７】実施例３（ＰＴ系材料）における分極処理の回数と共振周波数Ｆｒのはんだ浸漬前後の変化率（ΔＦｒ）の関係を示すグラフである。
【図８】実施例３（ビスマスレイヤ系材料）における分極処理の回数と電気機械結合係数ｋｔの関係を示すグラフである。
【図９】実施例３（ビスマスレイヤ系材料）における分極処理の回数と電気機械結合係数ｋｔのはんだ浸漬前後の変化率（Δｋｔ）の関係を示すグラフである。
【図１０】実施例３（ビスマスレイヤ系材料）における分極処理の回数と共振周波数Ｆｒのはんだ浸漬前後の変化率（ΔＦｒ）の関係を示すグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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