(57)【要約】【課題】有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体において、軸方向両端側からの少量の酸素および水分の侵入に対して、陰電極層の酸化を防止することができる有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を提供する。【解決手段】帯状の樹脂フィルム１１の片面の幅方向両端部に、酸素および水分に対して反応性を有する材料からなる薄膜１３が長手方向に所定幅で形成され、その両端部の薄膜１３の間の部分に、多数の陰電極層１２が分布形成されてなる陰電極フィルム１が、軸体の外周面にロール状に巻かれ、最後の１周部分１ａの樹脂フィルム１１の片面には、陰電極層１２が形成されていない。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の樹脂フィルムの片面に、有機ＥＬ素子を構成する陰電極層が多数分布形成されてなる陰電極フィルムが、長手方向に巻かれ密着しているロール状の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体であって、上記帯状の樹脂フィルムの片面のうち、幅方向両端部に、酸素および水分に対して反応性を有する材料からなる薄膜が長手方向に沿って所定幅で形成され、その幅方向両端部の間の部分に、多数の陰電極層が分布形成されており、上記陰電極層が形成されている片面を外側または内側にして、軸体の外周面にロール状に巻かれ、最後の１周部分の樹脂フィルムの片面には、陰電極層が形成されていないことを特徴とする有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体。
【請求項２】
上記陰電極層が形成された樹脂フィルムの片面において、上記陰電極フィルムの長手方向の後端部である巻き終わりの最後の１周部分にも、酸素および水分に対して反応性を有する材料からなる上記薄膜が形成されている請求項１記載の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体。
【請求項３】
上記陰電極層が形成されていない樹脂フィルムのもう一方の片面に、酸素および水分に対して反応性を有する材料からなる薄膜、または酸素および水分を透過しない材料からなる薄膜が形成されている請求項１または２記載の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体。
【請求項４】
上記陰電極層と樹脂フィルムとの間において、上記樹脂フィルム上に、酸素および水分に対して反応性を有する材料からなる薄膜が陰電極層パターンよりも広く形成され、その薄膜上に、絶縁膜が上記薄膜パターンと同パターンで形成され、この絶縁膜上に、上記陰電極層が形成されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体。
【請求項５】
酸素および水分に対して反応性を有する上記材料が、マグネシウム，リチウム，カルシウム，ルビジウム，セシウムもしくはバリウム、またはそのフッ化物もしくはこれらのうちのいずれかを含む合金である請求項１〜４のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体。
【請求項６】
酸素および水分に対して反応性を有する上記材料が、陰電極層と同じ材料である請求項１〜４のいずれか一項に記載の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）素子を構成する陰電極層がフィルムの片面に多数形成されてなる陰電極フィルムを、ロール状に巻いた有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ素子は、ガラス基板等の透明基板の表面に、陽電極層，有機発光層および陰電極層が、この順で積層されている。そして、その有機発光層では、陽電極層から注入される正孔と陰電極層から注入される電子とが結合し励起子となり、この励起子が基底状態に戻る際に光子を放出することにより、有機発光層が発光する。
【０００３】
このことから、陰電極層は、有機発光層に電子を効率よく放出する能力が求められ、通常、電気化学的に卑な（イオン化傾向が大きい）金属材料から形成されている。このため、陰電極層は、酸素や水分に触れると短時間で酸化され劣化する。陰電極層が劣化すると、有機ＥＬ素子の輝度が低下するという問題が発生する。
【０００４】
一方、上記陰電極層の形成方法として、下記特許文献１に示す方法が提案されている。すなわち、真空槽において、図９（ａ），（ｂ）に示すように、陰電極層１２が、帯状の樹脂フィルム１１の片面に、スパッタリング等により、整然と多数分布形成され、このようにして作製された陰電極フィルム１０が、同じ真空槽において、長手方向に巻かれ密着したロール状の巻装体に形成される。そして、その巻装体が上記真空槽から取り出され、真空包装される。その後、上記陰電極層１２を用い、有機ＥＬ素子を形成する際には、酸素および水分の濃度が低く抑えられたグローブボックス内で、上記包装が開封され、陰電極フィルム１０のままの状態で有機発光層に貼着される。作製された有機ＥＬ素子は、同じグローブボックス内で、気密封止される。このように、上記陰電極層１２は、有機ＥＬ素子が形成されるまで、空気との接触が抑制されている。
【特許文献１】特開２００５−３８８１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記巻装体は、真空槽から取り出されてから、真空包装されるまでの間に、短時間ではあるが空気に晒される。上記巻装体では、陰電極フィルム１０が密着して巻かれているため、陰電極層１２は、直接空気に触れないものの、本発明者らの研究によれば、上記巻装体の軸方向両端側（帯状の陰電極フィルム１０の幅方向両端側）から少量の酸素や水分が侵入し、この少量の酸素や水分が陰電極層１２を酸化させ劣化させることがわかった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体において、軸方向両端側からの少量の酸素および水分の侵入に対して、陰電極層の酸化を防止することができる有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体は、帯状の樹脂フィルムの片面に、有機ＥＬ素子を構成する陰電極層が多数分布形成されてなる陰電極フィルムが、長手方向に巻かれ密着しているロール状の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体であって、上記帯状の樹脂フィルムの片面のうち、幅方向両端部に、酸素および水分に対して反応性を有する材料からなる薄膜が長手方向に沿って所定幅で形成され、その幅方向両端部の間の部分に、多数の陰電極層が分布形成されており、上記陰電極層が形成されている片面を外側または内側にして、軸体の外周面にロール状に巻かれ、最後の１周部分の樹脂フィルムの片面には、陰電極層が形成されていないという構成をとる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体は、帯状の樹脂フィルムの片面のうち、幅方向両端部に、酸素および水分に対して反応性を有する材料からなる薄膜が長手方向に沿って所定幅で形成され、その幅方向両端部の間の部分に、多数の陰電極層が分布形成されているため、このような陰電極フィルムが、陰電極層が形成されている片面を外側または内側にして、軸体の外周面にロール状に巻かれている状態では、その有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の軸方向両端側から、少量の酸素および水分が侵入したとしても、その少量の酸素および水分は、まず、上記薄膜に触れ、そこで反応して実質的に全て消費される。このため、それよりも軸方向内側（帯状の樹脂フィルムの幅方向両端部の間の部分）に形成されている陰電極層まで、上記酸素および水分は侵入せず、陰電極層の酸化が防止される。しかも、最後の１周部分の樹脂フィルムの片面には、陰電極層が形成されていないため、陰電極層が形成されている片面を外側にして巻かれていても内側にして巻かれていても、最も外側の陰電極層は、空気に触れず、酸化が防止される。
【０００９】
また、上記陰電極層が形成された樹脂フィルムの片面において、上記陰電極フィルムの長手方向の後端部である巻き終わりの最後の１周部分にも、酸素および水分に対して反応性を有する材料からなる上記薄膜が形成されている場合には、巻き終わりの後端から酸素および水分が侵入しても、その酸素および水分は、上記巻き終わりの最後の１周部分に形成された上記薄膜と反応して実質的に全て消費され、それよりも内側への侵入を阻止される。このため、上記巻き終わりの最後の１周部分の近傍に形成されている陰電極層の酸化防止がより高められる。
【００１０】
さらに、上記陰電極層が形成されていない樹脂フィルムのもう一方の片面に、酸素および水分に対して反応性を有する材料からなる薄膜、または酸素および水分を透過しない材料からなる薄膜が形成されている場合には、陰電極層が形成されていない樹脂フィルムのもう一方の片面から樹脂フィルム内に酸素および水分が侵入することを防止し、酸素および水分が樹脂フィルムを透過して陰電極層まで達することを阻止することができる。
【００１１】
そして、上記陰電極層と樹脂フィルムとの間において、上記樹脂フィルム上に、酸素および水分に対して反応性を有する材料からなる薄膜が陰電極層パターンよりも広く形成され、その薄膜上に、絶縁膜が上記薄膜パターンと同パターンで形成され、この絶縁膜上に、上記陰電極層が形成されている場合には、樹脂フィルム内に拡散する酸素および水分が樹脂フィルム上から出てきたとしても、その酸素および水分は、上記樹脂フィルム上に広く形成された薄膜と反応して実質的に全て消費される。さらに、その薄膜上に絶縁膜が形成されているため、上記酸素および水分は、陰電極層まで到達せず、陰電極層の酸化が防止される。
【００１２】
特に、酸素および水分に対して反応性を有する上記材料が、マグネシウム，リチウム，カルシウム，ルビジウム，セシウムもしくはバリウム、またはそのフッ化物もしくはこれらのうちのいずれかを含む合金である場合には、酸素および水分との反応性が高く、短時間で酸素および水分を消費することができる。
【００１３】
また、酸素および水分に対して反応性を有する上記材料が、陰電極層と同じ材料である場合には、陰電極層の形成と同時に上記薄膜を形成することができるため、効率よく有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。但し、本発明は、これに限定されるわけではない。
【００１５】
図１は、本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第１の実施の形態を示している。この実施の形態の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体は、軸体２の外周面に、陰電極フィルム１が密着して巻かれたものとなっている。この陰電極フィルム１は、図２（ａ），（ｂ）に示すように、帯状の樹脂フィルム１１の片面に、マグネシウムと銀の合金（以下、「ＭｇＡｇ」という）からなる、長方形の陰電極層１２が、幅方向および長手方向にそれぞれ隣り合う陰電極層１２と陰電極層１２との間に隙間をあけて、整然と分布形成されているものであり、この実施の形態では、陰電極層１２が形成されている面（上記樹脂フィルム１１の片面）と同じ面の幅方向両端部に、陰電極層１２と同じ材料であるＭｇＡｇからなる薄膜１３が長手方向に沿って帯状に形成されている。この帯状の薄膜１３が形成されている長手方向の範囲は、上記陰電極層１２が形成されている領域の長手方向の範囲以上となっている。そして、上記有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体は、上記陰電極フィルム１の陰電極層１２が形成されている側の面（上記樹脂フィルム１１の片面）を外側にして、軸体２（図１参照）の外周面にロール状に巻かれている。また、最後の１周部分１ａの樹脂フィルム１１の片面には、陰電極層１２が形成されていず、それよりも１周内側の陰電極フィルム１を密着して覆っている。
【００１６】
ここで、上記陰電極層１２および薄膜１３の形成材料であるＭｇＡｇは、電気化学的に卑な（イオン化傾向が大きい）金属材料であり、酸素および水分に対して反応性を有する材料である。上記ＭｇＡｇは、通常、Ｍｇ（マグネシウム）が主体（５０モル％以上）となっている。
【００１７】
つぎに、本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を構成する軸体２，樹脂フィルム１１，陰電極層１２，薄膜１３の寸法等について説明する。
【００１８】
上記軸体２は、特に限定されないが、通常、プラスチック製の管の表面に、アルミニウムを平滑にコート（厚み３００μｍ程度）したものが用いられ、その寸法は、通常、外径５０〜１００ｍｍの範囲内、長さ２５０〜１５００ｍｍの範囲内となっている。
【００１９】
上記樹脂フィルム１１の形成材料としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ），ポリアミド，ポリイミド，ポリカーボネート，ポリエーテルスルホン，ポリエーテルイミド，ポリフェニレンサルファイド，ポリスルホン，ポリエーテルエーテルケトン，ポリメタクリル酸メチル，ポリエチレンナフタレート，ポリアリレート，シクロオレフィンポリマー等があげられる。また、上記樹脂フィルム１１の寸法は、通常、幅２００〜１５００ｍｍの範囲内、長さ１０〜１０００ｍの範囲内、厚み３０〜２００μｍの範囲内のものが用いられる。
【００２０】
上記長方形の陰電極層１２の寸法は、デバイスの単位や大きさに対応し、特に限定されないが、通常、１０ｍｍ×２０ｍｍ〜２５０ｍｍ×３００ｍｍの範囲内であり、厚みが５０〜１００ｎｍの範囲内に形成される。また、隣り合う陰電極層１２と陰電極層１２との隙間は、幅方向１０〜５０ｍｍの範囲内、長手方向１０〜５０ｍｍの範囲内に設定される。そして、陰電極層１２の形成数は、幅方向１〜２０個の範囲内とされる。
【００２１】
上記薄膜１３の寸法は、幅５〜２０ｍｍの範囲内、厚み５０〜５００ｎｍの範囲内に形成される。
【００２２】
つぎに、この実施の形態の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の製法ついて説明する。
【００２３】
まず、図３に示すように、ロール状に巻かれた樹脂フィルム巻装体１１ａを、真空スパッタリングを行う真空槽３１内にセットする。ついで、その樹脂フィルム巻装体１１ａから樹脂フィルム１１を帯状に繰り出し、第１のガイドロール３２を経て、冷温調ドラム３３にかけた後、第２のガイドロール３４を経て、上記有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の軸体２に、その樹脂フィルム１１の先端を固定する。そして、上記真空槽３１内を真空状態にし、上記樹脂フィルム巻装体１１ａから樹脂フィルム１１を帯状に繰り出しながら、張力をかけて上記軸体２で巻き取ると同時に、上記冷温調ドラム３３の外周部のカソード３５から冷温調ドラム３３の表面の樹脂フィルム１１に上記ＭｇＡｇをスパッタリングする。このとき、カソード３５と樹脂フィルム１１との間に、上記陰電極層１２および薄膜１３と同じパターンが形成されたマスク３６を樹脂フィルム１１と同調させて走行させる。これにより、上記陰電極層１２および薄膜１３が形成される。その後、マスク３６のみを元の位置に戻し、同様に同調走行させながら、つぎの陰電極層１２および薄膜１３を形成する。これを繰り返すことにより、陰電極層１２および薄膜１３を長手方向に順に形成する。そして、巻き取られる最後の１周部分１ａには、上記スパッタリングを行わないようにする。このようにして、上記有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を作製することができる。なお、この実施の形態では、樹脂フィルム１１の走行方向に沿って、同じカソード３５を２個用い、上記陰電極層１２および薄膜１３の形成速度を２倍にしている。
【００２４】
上記有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の作製において、真空槽３１内の真空状態（スパッタリング条件）は、特に限定されないが、例えば、アルゴンガス１００％の雰囲気下で圧力０．２５Ｐａ（絶対圧）に設定される。また、ＭｇＡｇをスパッタリングするカソード３５は、形成する陰電極層１２および薄膜１３によって適宜選択され、この実施の形態では、例えば、Ｍｇ（マグネシウム）９０モル％、Ａｇ（銀）１０モル％の合金が用いられる。そして、形成される陰電極層１２および薄膜１３も、それと略同じ成分比となる。さらに、上記マスク３６の位置は、樹脂フィルム１１との隙間が０．２ｍｍ程度に設定される。
【００２５】
上記有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体が作製された後は、上記真空槽３１から取り出し、素早く真空包装する。このとき、短時間ではあるが空気に晒され、上記有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の軸方向両端側から少量の酸素や水分が侵入するが、その少量の酸素および水分は、軸方向両端部の上記薄膜１３に触れ、そこで反応して実質的に全て消費されるため、それよりも軸方向内側の陰電極層１２までは、上記酸素および水分は侵入せず、陰電極層１２の酸化が防止される。しかも、最後の１周部分１ａの樹脂フィルム１１の片面には、陰電極層１２が形成されていず、その最後の１周部分１ａの樹脂フィルム１１が、その内側の陰電極層１２に密着しているため、その内側の陰電極層１２は、空気に触れず、酸化が防止される。なお、上記真空包装に用いられる袋としては、アルミニウム蒸着フィルムからなる袋が好適である。
【００２６】
図４は、本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第２の実施の形態における陰電極フィルム１を示している。この実施の形態の陰電極フィルム１は、上記第１の実施の形態（図２参照）における陰電極フィルム１の、陰電極層１２が形成されている面のうちの巻き終わりの最後の１周部分１ａにも、上記ＭｇＡｇからなる薄膜１３が形成されている。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００２７】
この実施の形態の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体では、巻き終わりの後端から酸素および水分が侵入しても、その酸素および水分は、上記巻き終わりの最後の１周部分１ａに形成された上記薄膜１３と反応して実質的に全て消費され、それよりも内側への侵入が阻止される。
【００２８】
図５は、本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第３の実施の形態における陰電極フィルム１を示している。この実施の形態の陰電極フィルム１は、上記第２の実施の形態（図４参照）における陰電極フィルム１の、陰電極層１２が形成されている面のうちの巻き始めの部分１ｂにも、上記ＭｇＡｇからなる薄膜１３が形成されている。それ以外は、上記第２の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００２９】
この実施の形態の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体では、軸方向両端側から、軸体２（図１参照）と陰電極フィルム１の最初の１周部分との隙間から酸素や水分が侵入し、巻き始めの前端に至っても、その酸素および水分は、上記巻き始めの部分１ｂに形成された上記薄膜１３と反応して実質的に全て消費され、それよりも内側への侵入が阻止される。
【００３０】
図６は、本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第４の実施の形態における陰電極フィルム１の断面図を示している。この実施の形態の陰電極フィルム１は、上記第３の実施の形態（図５参照）における陰電極フィルム１の、陰電極層１２が形成されていない面（もう一方の片面）の全面にも、上記ＭｇＡｇからなる第２の薄膜１４（厚み２０〜１００ｎｍの範囲内）が形成されている。それ以外は、上記第３の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００３１】
この実施の形態の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体は、つぎのようにして作製される。すなわち、まず、図３において、樹脂フィルム巻装体１１ａを右側（図３とは逆側）にセットし、図３とは逆方向に樹脂フィルム１１を帯状に繰り出しながら、張力をかけて左側（図３とは逆側）で巻き取ると同時に、第１の実施の形態（図３参照）と同様にして、上記冷温調ドラム３３の表面の樹脂フィルム１１の全面に上記ＭｇＡｇをスパッタリングして上記第２の薄膜１４を形成する。このとき、ＭｇＡｇを全面にスパッタリングするため、マスク３６は用いない。また、巻き取りは、巻き取り側（図３では左側）を図３と同方向に回転させることにより、上記第２の薄膜１４を内側にして行われる。ついで、その巻き取ったロール体を、巻き方向が反対になるよう、同じ巻き取り側（図３では左側）で反転させて付け替える。その後は、第１の実施の形態（図３参照）と同様にして、上記ロール体から、上記第２の薄膜１４が形成された樹脂フィルム１１を繰り出しながら、上記第２の薄膜１４とは反対側の面に、陰電極層１２および薄膜（第１の薄膜）１３を形成することにより、上記有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を作製することができる。
【００３２】
この実施の形態の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体では、樹脂フィルム１１内に拡散した酸素および水分は、その拡散過程で第２の薄膜１４と接触する可能性が非常に高くなる。このため、その酸素および水分は、上記陰電極層１２が形成されていない面に形成された上記第２の薄膜１４と反応して実質的に全て消費され、樹脂フィルム１１を透過して陰電極層１２まで達することを阻止される。また、上記有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の作成において、ロール体を反転させて付け替える際には、そのロール体は空気に触れるが、そのときの酸素や水分は、第２の薄膜１４の軸方向両端部分に触れ、そこで反応して実質的に全て消費されるため、それよりも軸方向内側（後に形成される陰電極層１２の裏面に相当する部分）は、酸化されない。すなわち、第２の薄膜１４の、酸素および水分に対する反応性は維持できる。
【００３３】
なお、この第４の実施の形態では、上記陰電極層１２が形成されていない面に形成された上記ＭｇＡｇからなる第２の薄膜１４に代えて、酸素および水分を透過しない材料（アルミニウム等）からなる別の第２の薄膜１４をスパッタリング等により形成してもよい。また、この第４の実施の形態では、上記第３の実施の形態（図５参照）における陰電極フィルム１の、陰電極層１２が形成されていない面に上記第２の薄膜１４を形成したが、その第２の薄膜１４を、上記第１または第２の実施の形態（図２，４参照）における陰電極フィルム１に対して同様に形成してもよい。
【００３４】
図７は、本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第５の実施の形態における陰電極フィルム１の断面図を示している。この実施の形態の陰電極フィルム１は、上記第３の実施の形態（図５参照）における陰電極フィルム１の陰電極層１２および薄膜（第１の薄膜）１３と樹脂フィルム１１との間において、上記樹脂フィルム１１上全面に、上記ＭｇＡｇからなる第３の薄膜１５が形成され、その第３の薄膜１５上全面に、ＴｉＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 ，ＳｉＯ2 等の金属酸化物からなる絶縁膜１６が形成され、この絶縁膜１６上に、上記陰電極層１２および薄膜（第１の薄膜）１３が形成されている。それ以外は、上記第３の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００３５】
この実施の形態の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体は、つぎのようにして作製される。すなわち、まず、図３において、左側のカソード３５をＭｇＡｇからなるものとし、右側のカソード３５をＴｉＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 ，ＳｉＯ2 等の金属酸化物からなるものとする。そして、第１の実施の形態（図３参照）と同様にして、図３の左側から樹脂フィルム１１を帯状に繰り出しながら、図３の右側で張力をかけて巻き取るとともに、左側のカソード３５から樹脂フィルム１１の全面に上記ＭｇＡｇをスパッタリングして上記第３の薄膜１５を形成するのにつづいて、右側のカソード３５から上記第３の薄膜１５の全面にＴｉＯ2 等の金属酸化物をスパッタリングして上記絶縁膜１６を形成する。このとき、ＭｇＡｇおよびＴｉＯ2 等を全面にスパッタリングするため、マスク３６は用いない。ついで、上記巻き取り側（図３では右側）から、上記第３の薄膜１５および絶縁膜１６が形成された樹脂フィルム１１を繰り出しながら（図３とは逆方向になる）、図３の左側で張力をかけて巻き取ると同時に、第１の実施の形態（図３参照）と同様にして、上記絶縁膜１６の表面に、陰電極層１２および第１の薄膜１３を形成する。このとき、右側のカソード３５は用いない。このようにして、上記有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を作製することができる。なお、この実施の形態では、各層（陰電極層１２，第１の薄膜１３，第３の薄膜１５，絶縁膜１６）の形成にカソード３５を１個だけ用いるため、第１の実施の形態（図３参照：２個のカソード３５を使用）と比較して、樹脂フィルム１１の走行速度を１／２にすることにより、各層の厚みを確保している。
【００３６】
この実施の形態の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体では、樹脂フィルム１１内に酸素および水分が侵入し、その酸素および水分が樹脂フィルム１１上から出ようとしても、その酸素および水分は、上記樹脂フィルム１１上の第３の薄膜１５と反応して実質的に全て消費される。そして、その第３の薄膜１５上に絶縁膜１６が形成されているため、上記酸素および水分は、陰電極層１２まで到達せず、陰電極層１２の酸化が防止される。
【００３７】
なお、この第５の実施の形態では、樹脂フィルム１１上全面に、ＭｇＡｇからなる第３の薄膜１５が形成されたが、その第３の薄膜１５は、陰電極層１２パターンよりも広ければ、樹脂フィルム１１上全面に形成する必要はなく、図８に示す第６の実施の形態のように、所定のパターンに形成してもよい。この場合、絶縁膜１６は上記第３の薄膜１５パターンと同パターンで形成される。また、この第５，第６の実施の形態では、上記第３の実施の形態（図５参照）における樹脂フィルム１１上に上記第３の薄膜１５および絶縁膜１６を形成したが、その第３の薄膜１５および絶縁膜１６を、上記第１，第２，第４のいずれかの実施の形態（図２，４，６参照）における樹脂フィルム１１上に同様に形成してもよい。
【００３８】
上記第１〜第６の実施の形態では、侵入する酸素および水分と反応させる薄膜（第１〜第３の薄膜１３〜１５）の形成材料として、ＭｇＡｇを用いたが、これに限定されるものではなく、マグネシウム，リチウム，カルシウム，ルビジウム，セシウムもしくはバリウム、またはそのフッ化物（フッ化カルシウム等）もしくはこれらのうちのいずれかを含む合金を用いても、酸素および水分に対して反応性を有する。さらに、酸化カルシウム，酸化バリウム等の、水和物をつくり易い酸化物でもよい。このような酸化物は、特に水分との反応性に優れており、単独でもしくは上記金属合金とともに用いられる。
【００３９】
また、上記第１〜第６の実施の形態では、陰電極層１２の形成材料として、ＭｇＡｇを用いたが、これに限定されるものではなく、マグネシウムと銅の合金，アルミニウムとリチウムの合金，ナトリウムとカリウムの合金，アルミニウム，チタン，マグネシウム，ルビジウム，セシウム等の電気化学的に卑な（イオン化傾向が大きい）金属材料を用いてもよい。
【００４０】
さらに、上記第１〜第６の実施の形態では、陰電極層１２を長方形に形成したが、陰電極層１２の大きさはデバイスの単位や大きさに対応している。共通陰電極を用いる有機ＥＬ製品の場合には、このようにデバイス単位で一つの陰電極となるが、パッシブマトリクスパネルの場合には、陰電極は平行ストライプパターンとなる。この場合、陰電極ストライプのピッチがパネル解像度となる。有機ＥＬ素子となるに際しては、陽電極は陰電極と直交したストライプパターンとなり、その交点が１画素に対応するためである。
【００４１】
そして、上記第１〜第６の実施の形態では、有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体は、陰電極フィルム１の陰電極層１２が形成されている側の面を外側にして、軸体２の外周面にロール状に巻かれているが、その陰電極層１２が形成されている側の面を内側にして巻かれたものであってもよい。
【００４２】
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。
【実施例１】
【００４３】
図２と同様の陰電極フィルム１を巻いてなる有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を作製した。すなわち、ＰＥＴ製フィルム（幅２５０ｍｍ×長さ１００ｍ×厚み１００μｍ）の片面の幅方向両端部にＭｇＡｇからなる薄膜１３（幅１５ｍｍ×厚み１００ｎｍ）を長手方向に沿って帯状に形成するとともに、その間に多数の陰電極層１２（３２ｍｍ×６０ｍｍ×厚み１００ｎｍ）を分布形成した（幅方向の隙間１０ｍｍ、長手方向の隙間１０ｍｍ）。それを密着させて軸体２（樹脂製の管の表面に厚み１０μｍのアルミニウムを平滑にコートしたもの：外径７５ｍｍ、長さ３００ｍｍ）に巻き取り、上記有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を得た。その後、真空槽３１から取り出し、素早く、アルミニウム蒸着フィルムからなる袋を用いて脱水剤および脱酸素剤とともに（三菱ガス化学社製、ＲＰシステム）真空包装した。
【実施例２】
【００４４】
図５と同様の陰電極フィルム１を巻いてなる有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を作製した。すなわち、上記実施例１において、陰電極層１２が形成されている面のうちの巻き始めの部分１ｂ（長手方向２５０ｍｍ）および、巻き終わりの最後の１周部分１ａ（長手方向４００ｍｍ）にも、ＭｇＡｇからなる薄膜１３（厚み１００ｎｍ）を形成した。それ以外は実施例１と同様とした。
【実施例３】
【００４５】
図６と同様の陰電極フィルム１を巻いてなる有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を作製した。すなわち、上記実施例２において、陰電極層１２が形成されていない面の全面にも、上記ＭｇＡｇからなる第２の薄膜１４（厚み３０ｎｍ）を形成した。それ以外は実施例１と同様とした。
【実施例４】
【００４６】
図７と同様の陰電極フィルム１を巻いてなる有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を作製した。すなわち、上記実施例３の陰電極層１２および薄膜１３とＰＥＴ製フィルムとの間において、上記ＰＥＴ製フィルム上全面に、ＭｇＡｇからなる第３の薄膜１５（厚み３０ｎｍ）を形成し、その第３の薄膜１５上全面に、ＴｉＯ2 からなる絶縁膜１６（厚み３０ｎｍ）を形成し、この絶縁膜１６上に、上記陰電極層１２（厚み１００ｎｍ）および薄膜１３（厚み１００ｎｍ）を形成した。それ以外は実施例１と同様とした。
【００４７】
〔比較例１〕
図９と同様の陰電極フィルム１０を巻いてなる有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を作製した。すなわち、上記実施例１において、幅方向両端部にＭｇＡｇからなる薄膜１３を形成しないものとした。それ以外は、上記実施例１と同様にした。
【００４８】
〔有機ＥＬデバイスの作製〕
まず、ガラス基板の表面にＩＴＯ（酸化インジウム錫）からなる陽電極層（幅２ｍｍ、厚み１５０ｎｍ）をストライプパターン（１０ｍｍピッチ）に形成した。ついで、それを洗浄した後、上記陽電極層形成面に、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸）混合物（Ｈ．Ｃ．Ｓｔａｒｋ社製）の水溶液をスピンコートし乾燥させ、正孔輸送層（厚み６０ｎｍ）を形成した。つぎに、その正孔輸送層の表面に、ＭＥＨ−ＰＰＶ〔ポリ２−メトキシ，５−（２’−エチル−ヘキシルオキシ−１，４−フェニレンビニレン〕（Ｈ．Ｗ．Ｓａｎｄｓ社製）のテトラハイドロフラン溶液をスピンコートし乾燥させ、有機発光層（厚み６０ｎｍ）を形成した。一方、上記実施例１〜４および比較例１の各有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の真空包装体を、酸素および水分の濃度が低く抑えられたグローブボックス内で開封し、各有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体から陰電極フィルム１，１０を帯状に繰り出し、所定の大きさに切断した。そして、その切断した陰電極フィルム１，１０の陰電極層１２と上記ガラス基板の有機発光層とを貼り合わせた。この貼り合わせは、ストライプパターンに形成された陽電極層の長手方向と帯状の陰電極フィルム１，１０の長手方向とが直交するよう、陰電極層１２と有機発光層とを当接させ、その状態で、陰電極フィルム１，１０とガラス基板を２本の熱ロール（温度１５０℃）の間に通して加圧し、有機発光層を軟化させて陰電極層１２に融着させることにより行った。このようにして、上記実施例１〜４および比較例１の各陰電極フィルム１，１０を用いた有機ＥＬデバイスを作製した。
【００４９】
〔陰電極層１２の酸化の評価〕
このようにして得られた各有機ＥＬデバイスの陽電極層の１本と陰電極層１２との間に電圧を印加した。これにより、陽電極層の幅２ｍｍの線状に発光する。そして、上記電圧値を徐々に大きくし、輝度が１００ｃｄ／ｍ2 になる電圧値を測定した。この輝度の測定は、輝度計を用いて行い、陰電極フィルム１，１０の幅方向中心部のうち長手方向の任意の位置に対応する部分で行った。さらに、同様の測定を、電圧を印加する陽電極層を替え、合計３本の陽電極層について行い、その平均値をとった。すなわち、陰電極層１２の酸化が進むと、陰電極層１２から有機発光層への電子注入能力が低下し、同一電圧値に対する発光輝度が低下する。言い換えると、同一発光輝度に達する電圧値が大きくなる。このことに基づき、上記電圧値の測定により、陰電極層１２の酸化を評価した。
【００５０】
その結果、輝度が１００ｃｄ／ｍ2 になる電圧値の平均値は、実施例１が６．２Ｖ、実施例２が６．２Ｖ、実施例３が６．０Ｖ、実施例４が６．１Ｖ、比較例１が６．９Ｖであった。このように、実施例１〜４は、比較例１と比較して、上記電圧値の平均値が低いことから、いずれも陰電極層１２の酸化が抑制されていることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体を示す斜視図である。
【図２】本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第１の実施の形態における陰電極フィルムを示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ断面図である。
【図３】本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の製法を示す説明図である。
【図４】本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第２の実施の形態における陰電極フィルムを示す平面図である。
【図５】本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第３の実施の形態における陰電極フィルムを示す平面図である。
【図６】本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第４の実施の形態における陰電極フィルムを示す断面図である。
【図７】本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第５の実施の形態における陰電極フィルムを示す断面図である。
【図８】本発明の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体の第６の実施の形態における陰電極フィルムを示す断面図である。
【図９】従来の有機ＥＬ素子用陰電極フィルム巻装体における陰電極フィルムを示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）は（ａ）のＹ−Ｙ断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  陰電極フィルム
１ａ  最後の１周部分
１１  樹脂フィルム
１２  陰電極層
１３  薄膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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