(57)【要約】【課題】確認作業が容易なパターンレイアウト方法を提供する。【解決手段】新製品のパターンレイアウト中の所定領域をモニタに表示させる。新製品のパターンレイアウト中の所定領域に対応した表示領域座標を入力する。表示領域座標に相当する元製品のパターンレイアウト中の領域が新製品のパターンレイアウト中の所定領域と等しい倍率で拡大されてモニタに連動して表示される。モニタに表示されている元製品のパターンレイアウト中の所定領域と新製品のパターンレイアウトの所定領域とを交互に目視して確認する。元製品のパターンレイアウトと新製品のパターンレイアウトとを瞬時に比較できる。【選択図】図１
2007122470.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のパターンレイアウトの電子データである第１のパターンレイアウトデータと、この第１のパターンレイアウトに基づいて作成した第２のパターンレイアウトの電子データである第２のパターンレイアウトデータとを記憶させるステップと、
前記ステップで記憶されている前記第２のパターンレイアウトデータに基づく第２のパターンレイアウト中の所定領域と、この第２のパターンレイアウト中の所定領域に対応した前記第１のパターンレイアウトデータに基づく第１のパターンレイアウト中の所定領域とを連動させて表示手段に表示させるステップと
を具備したことを特徴とするパターンレイアウト方法。
【請求項２】
第１のパターンレイアウトの電子データである第１のパターンレイアウトデータと、この第１のパターンレイアウトに基づいて作成した第２のパターンレイアウトの電子データが読み出し可能に記憶される記憶装置と、
この記憶装置に記憶させた前記第２のパターンレイアウトデータに基づく第２のパターンレイアウトと、前記第１のパターンレイアウトデータに基づく第１のパターンレイアウトとが表示可能な表示手段と、
前記記憶装置に記憶させた前記第２のパターンレイアウトデータに基づく第２のパターンレイアウト中の所定領域と、この第２のパターンレイアウト中の所定領域に対応した前記第１のパターンレイアウト中の所定領域とを連動させて前記表示手段に表示させる制御手段と
を具備したことを特徴とするパターンレイアウト装置。
【請求項３】
第１のパターンレイアウトの電子データである第１のパターンレイアウトデータと、この第１のパターンレイアウトに基づいて作成した第２のパターンレイアウトの電子データである第２のパターンレイアウトデータとを記憶装置に記憶させるステップと、
この記憶装置に記憶させた前記第２のパターンレイアウトデータに基づく第２のパターンレイアウト中の所定領域と、この第２のパターンレイアウト中の所定領域に対応した前記第１のパターンレイアウトデータに基づく第１のパターンレイアウト中の所定領域とを連動させて表示手段に表示させるステップと
を具備したことを特徴とするパターンレイアウトプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１のパターンレイアウトに基づいて作成した第２のレイアウトパターンのパターンレイアウト方法、その装置およびそのプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶に代表されるフラットパネルディスプレイを用いた表示装置としては、携帯電話器、テレビジョン表示あるいはグラフィックスディスプレイ用などの大型で高密度なフラットパネルディスプレイが開発されている。そして、この種の表示装置は、アレイ基板上に所定の配線や各パターンを形成することによって製造されている。
【０００３】
また、このアレイ基板上の配線や各パターンを設計するためには、コンピュータ上のＣＡＤ（Computer-Aided Design）ソフト上にパターンレイアウトとして描画することによって設計される。そして、このパターンレイアウト作業は、過去に設計した元製品のパターンレイアウトデータを、ＣＡＤソフト上で複製し、この複製したパターンレイアウトデータを修正する作業である。（例えば、特許文献１参照。）
さらに、このパターンレイアウト作業としては、手作業でパターンレイアウトの座標位置を読み取って指定し、この指定した座標を手作業で拡大し、モニタ上に表示させる。そして、新製品のレイアウトデータの表示領域と、元製品のレイアウトデータとの表示領域を、手作業で揃えてから、この新製品のレイアウトデータと元製品のレイアウトデータとを相互に確認して見比べて、この新製品のレイアウトデータの修正を確認している。
【０００４】
特に、この新製品のレイアウトデータをミクロン単位で修正している場合には、元製品のレイアウトデータをミクロン単位で確認しなければならない。したがって、これらレイアウトデータをモニタ上に拡大して表示させる作業に手間が掛かるのみならず、確認作業がずれることにより修正ミスが発生することになる。
【特許文献１】特開２０００−１１４３８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、上記パターンレイアウト方法では、新製品のレイアウトデータと元製品のレイアウトデータとを相互に確認して見比べるために、手作業でパターンレイアウトの座標位置を読み取って指定し、この指定した座標を手作業で拡大して、モニタ上に表示させる必要があるから、確認作業に時間が掛かるとともに、座標間違いによるパターンの修正ミスが発生するおそれがあるという問題を有している。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、確認作業が容易なパターンレイアウト方法、その装置およびそのプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、第１のパターンレイアウトの電子データである第１のパターンレイアウトデータと、この第１のパターンレイアウトに基づいて作成した第２のパターンレイアウトの電子データである第２のパターンレイアウトデータとを記憶させるステップと、前記ステップで記憶されている前記第２のパターンレイアウトデータに基づく第２のパターンレイアウト中の所定領域と、この第２のパターンレイアウト中の所定領域に対応した前記第１のパターンレイアウトデータに基づく第１のパターンレイアウト中の所定領域とを連動させて表示手段に表示させるステップとを具備したものである。
【０００８】
そして、第１のパターンレイアウトの電子データである第１のパターンレイアウトデータと、第１のパターンレイアウトに基づいて作成した第２のレイアウトパターンの電子データである第２のレイアウトパターンとを記憶装置に記憶させる。この後、この記憶装置に記憶させた第２のパターンレイアウトパターンに基づく第２のパターンレイアウト中の所定領域と、この第２のパターンレイアウト中の所定領域に対応した第１のパターンレイアウトデータに基づく第１のパターンレイアウト中の所定領域とを連動して表示手段に表示させる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、第２のパターンレイアウト中の所定領域と、この第２のパターンレイアウト中の所定領域に対応した第１のパターンレイアウト中の所定領域とが連動して表示手段に表示される。したがって、第２のパターンレイアウト中の所定領域と、この第２のパターンレイアウト中の所定領域に対応した第１のパターンレイアウト中の所定領域とを見比べる作業が容易になるから、この第２のパターンレイアウト中の所定領域のパターンレイアウトを確認する作業を容易にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施の形態の液晶表示装置用のパターンレイアウト方法を図１ないし図３を参照して説明する。
【００１１】
このパターンレイアウト方法は、フラットパネルディスプレイ表示装置としての図示しない液晶表示装置のアレイ基板のガラス基板上に形成するマスク設計用やレチクル設計用などのマスクパターンやレチクルパターンなどのパターンレイアウトの設計方法である。
【００１２】
具体的に、このパターンレイアウト方法は、図示しないステッパ式の露光装置を用いて生産されるアレイ基板のガラス基板上のマスクパターンやレチクルパターンなどのレイアウト方法である。ここで、このステッパ式の露光装置とは、アレイ基板のガラス基板上の全面を一度に露光せず複数回に分けて繰り返して露光する装置である。
【００１３】
そして、このパターンレイアウト方法は、パターンレイアウト装置としてのコンピュータ１を用いて、液晶表示装置のパターンレイアウトを設計するためのＣＡＤ（Computer-Aided Design：コンピュータ支援設計システム）システムである。ここで、このコンピュータ１には、画像表示が可能な表示手段としての画面を有するモニタ２が接続されている。さらに、このコンピュータ１内には、記憶手段としての図示しないメモリや、制御手段としての中央処理装置である図示しないＣＰＵなどが搭載されている。また、このコンピュータ１には、入力手段としてのキーボード３やマウス４なども接続されている。
【００１４】
さらに、このコンピュータ１は、このコンピュータ１上に保存されたパターンレイアウトの位置座標ファイルと、ＣＡＤ上に描画されたパターンレイアウトから、所定座標のパターンレイアウトを表示する機能を有している。さらに、このコンピュータ１は、このコンピュータ１内のメモリから、このメモリに記憶させたデータを読み出す機能と、このメモリに種々のデータを読み出し可能に記憶させて保存させる機能とを有している。
【００１５】
具体的に、このパターンレイアウト方法としては、旧製品のパターンレイアウトに基づいて予め作成した作成途中の新製品のパターンレイアウトの電子データである新製品のパターンレイアウトデータ５を、コンピュータ１のメモリに保存されているＣＡＤソフト上に読み込む(ステップ１)。
【００１６】
ここで、この新製品のパターンレイアウトデータ５は、この新製品の元となる元製品のパターンレイアウトデータ６をコピーしたデータを修正することによって作成されたパターンデータである。
【００１７】
さらに、元製品のパターンレイアウトデータ６とは、第１のパターンレイアウトとしての元製品のパターンレイアウト12の電子データである。また、新製品のパターンレイアウトデータ５とは、第２のパターンレイアウトとしての新製品のパターンレイアウト11の電子データである。
【００１８】
次いで、元製品のパターンレイアウトデータ６を、コンピュータ１のＣＡＤソフト上に読み込む(ステップ２)。
【００１９】
この後、図２に示すように、新製品のパターンレイアウトデータ５に基づく新製品のパターンレイアウト11中の修正したい領域である所定領域Ａを、キーボード３やマウス４などにて入力して決定して、所定の大きさ、例えばメートル(ｍ)単位からマイクロメートル(μｍ)単位にズームアップして拡大しモニタ２の画面の右側略半分の領域に表示させて、この新製品のパターンレイアウト11中の所定領域Ａに対して所定の修正を加える(ステップ３)。
【００２０】
このとき、このステップ３での新製品のパターンレイアウト11中の所定領域Ａでの修正作業中に、元製品のパターンレイアウト12を参照する場合(ステップ４)には、ステップ３での新製品のパターンレイアウト11中の所定領域Ａに対応した座標である表示領域座標Ｂを、キーボード３やマウス４などにて入力してコンピュータ１のメモリのＣＡＤファイル上の表示領域座標保存ファイル７に保存する(ステップ５)。
【００２１】
さらに、このステップ５にて表示領域座標保存ファイル７に保存させた表示領域座標Ｂを、元製品のパターンレイアウトデータ６上から読み込んで(ステップ６)、この表示領域座標Ｂに相当する領域となるとともに、ステップ５で読み込んだ所定領域に合うように元製品のパターンレイアウトデータ６の所定領域を調整する(ステップ７)。
【００２２】
この結果、図３に示すように、ステップ５にて入力した新製品のパターンレイアウトデータ５の表示領域座標Ｂに基づいて、この表示領域座標Ｂに対応した元製品のパターンレイアウトデータ６に基づく元製品のパターンレイアウト12中の所定領域Ｃを、モニタ２の右側略半分の領域に表示されている新製品のパターンレイアウト11中の所定領域Ａと等しい倍率でズームアップして拡大した状態で、モニタ２の画面の左側略半分の領域に連動して表示される。
【００２３】
この後、このステップ７で表示された元製品のパターンレイアウト12中の所定領域Ｃと、ステップ３で表示された新製品のパターンレイアウト11の所定領域Ａとを作業者による目視にて交互に比較して確認する(ステップ８)。このとき、この確認項目としては、各画素の画素パターンを変更した場合や、これら画素の周辺部分のドライバ回路21などのデバイスを変更した場合、ガラス基板との距離を変更した場合などに、新製品のパターンレイアウト11中のシール材22間の幅や、アレイ基板と対向基板とを位置合わせするための組立てマークとしてのアライメントマーク23の位置、配線24のパターンの引き出し形状などがある。
【００２４】
そして、このステップ８での確認の後、ステップ３に戻って新製品のパターンレイアウトデータ５の修正を続ける。
【００２５】
さらに、元製品のパターンレイアウトデータ６と新製品のパターンレイアウトデータ５との確認が必要なく(ステップ４)、この新製品のパターンレイアウトデータ５の修正が全て完了した場合(ステップ９)には、この新製品のパターンレイアウトデータ５を保存して、パターンレイアウト作業を終了させる。
【００２６】
ここで、従来の液晶表示装置のアレイ設計工程では、新製品のパターンレイアウト11と元製品のパターンレイアウト12とをモニタ２上で相互に確認するために、このモニタ２上に新製品のパターンレイアウト11と、元製品のパターンレイアウト12とを揃えて表示させる作業を、キーボード３あるいはマウス４からパターンレイアウトの座標位置を手作業で入力し、この入力した座標位置を手作業で拡大して表示させて確認する必要があった。
【００２７】
特に、この新製品のパターンレイアウト11を数マクロメートル単位で修正している状態で、この修正部分の元製品のパターンレイアウト12を確認しなければならない場合には、この元製品のパターンレイアウト12の所定領域Ｃをズームアップさせて拡大して表示させる作業に非常に手間が掛かるから、確認作業に時間が掛かるとともに、座標間違いによる確認位置のずれなどによってパターンの修正ミスが発生してしまうおそれがあった。
【００２８】
そこで、上述した一実施の形態のように、モニタ２の右側略半分の領域に表示されている新製品のパターンレイアウト11中の所定領域Ａの修正作業中に、この新製品のパターンレイアウト11中の所定領域Ａに対応した表示領域座標Ｂを、キーボード３やマウス４などにて入力することにより、この表示領域座標Ｂに相当する元製品のパターンレイアウト12中の所定領域Ｃが調整されて、新製品のパターンレイアウト11中の所定領域Ａと等しい倍率でズームアップして拡大した状態で、モニタ２の画面の左側略半分の領域に連動して自動的に表示される構成とした。
【００２９】
この結果、このモニタ２の右側略半分に表示されている元製品のパターンレイアウト12中の所定領域Ｃと、このモニタ２の左側略半分に表示されている新製品のパターンレイアウト11の所定領域Ａとを設計者が交互に目視にて確認することにより、元製品のパターンレイアウト12と新製品のパターンレイアウト11とを瞬時にパターン比較できる。したがって、このモニタ２に表示されている新製品のパターンレイアウト11の所定領域Ａのパターンレイアウトの確認作業が容易にできる。
【００３０】
さらに、モニタ２の右側略半分に表示されている新製品のパターンレイアウト11の所定領域Ａ中のパターンレイアウトを修正する必要がある場合には、キーボード３あるいはマウス４などにて新製品のパターンレイアウトデータ５を修正することにより、このモニタ２の右側略半分に表示されている新製品のパターンレイアウト11の所定領域Ａに関する新製品のパターンレイアウトデータ５を修正できるので、この新製品のパターンレイアウトデータ５を修正する作業が容易にできる。
【００３１】
したがって、新製品のパターンレイアウトデータ５の確認作業効率を向上できるとともに、この新製品のパターンレイアウトデータ５の設計時間を短縮でき、この新製品のパターンレイアウトデータ５を設計する上での設計ミスを低減できる。よって、短時間に高精度な液晶表示装置を得ることができる。
【００３２】
具体的に、新製品のパターンレイアウト11と元製品のパターンレイアウト12とをモニタ２上で相互に確認するために、このモニタ２上に新製品のパターンレイアウト11と、元製品のパターンレイアウト12とを揃えて表示させる作業を手作業による入力で拡大して表示させる場合には、設計作業と確認作業とに約１時間程度掛かっていたが、上述のように新製品のパターンレイアウト11と元製品のパターンレイアウト12とを連動させてモニタ２上に自動的に表示させることによって、設計作業と確認作業との全体で約１／２程度短縮できるとともに、設計ミスの低減も達成できた。
【００３３】
なお、上記一実施の形態では、新製品のパターンレイアウト11中の所定領域Ａに対応した表示領域座標Ｂの入力に基づいて、この表示領域座標Ｂに相当する元製品のパターンレイアウト12中の所定領域Ｃを調整して等しい倍率に拡大して自動的にモニタ２に表示させる構成としたが、コンピュータ１のパフォーマンスに余裕がある場合などには、新製品のパターンレイアウト11と元製品のパターンレイアウト12とを連動して自動的に表示させるタイミングを、新製品のパターンレウアウト11中の所定領域Ａを決定して入力すると同時に連動させて、元製品のパターンレイアウト12中の所定領域Ｃである対象領域を新製品のパターンレウアウト11中の任意の領域である所定領域Ａと同じ倍率に拡大してモニタ２上に表示させる構成とすることもできる。
【００３４】
また、複数のモニタ２を用いて、一方のモニタ２に新製品のパターンレイアウト11中の所定領域Ａを表示させ、他方のモニタ２に元製品のパターンレイアウト12中の所定領域Ｃである対応領域を表示させる構成とすることもできる。さらに、新製品のパターンレイアウト11中の確認済みの領域の座標データを記憶した確認済みデータを自動的に作成させ、この確認済みデータに基づいて、まだ確認していない領域を順次確認する構成とすることもできる。また、新製品のパターンレイアウト11中の確認する必要のある領域のリストを確認リストとして作成し、この確認リスト中の項目に連動させて新製品のパターンレイアウト11中の所定領域Ａを順次表示させて、この新製品のパターンレイアウト11を効率良く確認させることもできる。
【００３５】
さらに、上記一実施の形態の動作をコンピュータ読み取り可能な液晶表示装置用のパターンレイアウトプログラムとしたり、計算機にて自動的に計算できる液晶表示装置用のＣＡＤソフトウエアとしたりすることもできる。さらに、これらパターンレイアウトプログラムあるいはＣＡＤソフトウエアを記録した光ディスクあるいは磁気ディスクその他の記録媒体に格納し、この記録媒体を計算機に自動的に動作させるために用いることもできる。また、これらパターンレイアウトプログラムあるいはＣＡＤソフトウエアに基づいて、パターンレイアウトを設計するコンピュータなどの計算機として用いることもできる。
【００３６】
そして、上記一実施の形態では、液晶表示装置のアレイ基板のガラス基板上に形成するマスクパターンやレチクルパターンなどのパターンレイアウト方法について説明したが、この液晶表示装置のアレイ基板や対向基板上にパターニングする種々の配線24のパターン、レジストパターンあるいはマスクパターンや、液晶表示装置以外のＳＥＤ(Surface-conduction Electron-emitter Display:表面電界ディスプレイ)や、ＰＤＰ(Plasma Display Panel:プラズマディスプレイ)などのフラットパネルディスプレイ表示装置などにパターニングする種々のパターンであっても対応させて用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施の形態のパターレイアウト方法を示すフローチャートである。
【図２】同上パターンレイアウト方法を用いたパターンレイアウト装置を示す説明図である。
【図３】同上パターンレイアウト装置で新製品のパターンレイアウトおよび元製品のパターンレイアウトを連動させて拡大して表示させた状態を示す説明図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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