(57)【要約】【課題】大型液晶基板等のカセットを搬送する場合において、スタッカクレーンの大型化、大重量化を回避するとともに、移載速度が速く作業効率の高いストッカを提供する。【解決手段】垂直方向及び水平方向に複数並べてカセット３５を保管可能な棚本体７（保管棚）を備えるとともに、棚本体７と平行に敷設されたレール２８と、該レール２８上を走行可能なスタッカクレーン５と、カセット３５をストッカ６に対し入出庫するためのコンベアポート１７と、を備える。前記スタッカクレーン５は、垂直方向に昇降自在な昇降フレーム３２と、該昇降フレーム３２上に設置され前記棚本体７に対向して進退自在なリニアスライドフォーク３３とを備える移載手段３６と、この移載手段３６から前記カセット３５を受け継いで前記コンベアポート１７へ受渡しする、ローラ３０を有するコンベアテーブル３４と、を備えている。【選択図】図１
2007137599.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直方向及び水平方向に複数並べて被搬送物を保管可能な保管棚を備えたストッカにおいて、
前記保管棚と平行に敷設されたレールと、
該レール上を走行可能なスタッカクレーンと、
被搬送物をストッカに対し入出庫するためのポートと、
を備え、
前記スタッカクレーンは、
垂直方向に昇降自在なテーブルと、該テーブル上に設置され前記保管棚に対向して進退自在なリニアスライドフォークとを備える移載手段と、
この移載手段から前記被搬送物を受け継いで前記ポートへ受渡しするローラコンベアと、
を備えていることを特徴とするストッカ。
【請求項２】
請求項１に記載のストッカであって、
前記スタッカクレーンの移載手段は、前記リニアスライドフォークの被搬送物載置面を前記ローラコンベアのローラ上面よりも低い位置まで下降させることが可能に構成していることを特徴とするストッカ。
【請求項３】
垂直方向及び水平方向に複数並べて被搬送物を保管可能な保管棚を備えたストッカにおいて、
前記保管棚と平行に敷設されたレールと、
このレール上を走行可能な複数のスタッカクレーンと、
被搬送物をストッカに対し入出庫するためのポートと、
を備え、
前記レールは、互いに平行かつ隣接する複数の走行経路を構成するように敷設されるとともに、それぞれの走行経路を前記複数のスタッカクレーンが互いに独立に走行可能とされ、
前記保管棚は、前記複数の走行経路の両側に配置され、
前記スタッカクレーンのそれぞれは、
垂直方向に昇降自在なテーブルと、該テーブル上に設置され前記保管棚に対向して進退自在なリニアスライドフォークとを備える移載手段と、
この移載手段から前記被搬送物を受け継いで前記ポートへ受渡しするローラコンベアと、
を備え、
一の前記走行経路を走行するスタッカクレーンのリニアスライドフォークの配設向きと、それに隣接する前記走行経路を走行するスタッカクレーンのリニアスライドフォークの配設向きとが反対であることを特徴とするストッカ。
【請求項４】
請求項３に記載のストッカであって、
前記スタッカクレーンの移載手段は、前記リニアスライドフォークの被搬送物載置面を前記ローラコンベアのローラ上面よりも低い位置まで下降させることが可能に構成していることを特徴とするストッカ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示デバイスや半導体デバイス等の製造プロセスにおいて、工程待ちのFront Opening Unified Pod（ＦＯＵＰ）やカセット等を一時的に保管するストッカに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のストッカとしては、特許文献１に開示されるものがある。この構成が本願の図９に示され、ストッカ１０は、棚１２と、スタッカクレーン２７と、ポート１４と、外壁１５等を主要な構成として備えている。スタッカクレーン２７は、移載ロボット２０と、一対の支柱２５と、一対のテーブル昇降手段２６と、一組の車輪２９と、一対のレール２８とを主要な構成として備えている。また、前記移載ロボット２０は、ベース２１と、旋回テーブル２２と、アーム２３と、グリッパ２４とから構成されている。棚１２はスタッカクレーン２７の両側に配置され、液晶表示デバイス用ガラス基板や半導体デバイス用シリコン基板等の収納されたカセット１１を載置保管できるようになっている。
【０００３】
この構成において、ストッカ１０へのカセット１１の搬入は、以下のようにして行われる。即ち、図示しない搬送台車がカセット１１を搭載してポート１４に到着し、搬送台車が装備する移載手段を使用してポート１４にカセット１１を載置する。次いで、ポート１４上に搭載されたカセット１１は、スタッカクレーン２７に装備されている移載ロボット２０に搭載され、図示しないシステムコントローラにより指示された棚位置まで運搬し、その棚１２上に載置される。また、ストッカ１０からのカセット１１の搬出（棚１２からカセット１１を取り出して搬送台車に移載する作業）は、上記と逆の手順で行われる。
【特許文献１】特開２００５−２７７３２６号公報
【０００４】
また特許文献２は他の構成のストッカを開示しており、この特許文献２では、ストッカ内部に設置されるスタッカの両側に設けられた一対のポートに、ストッカ内部棚と同一構造に作られたコンテナがベルトコンベアで搬入出され、ストッカ内に設置された一台のスタッカロボットが、該コンテナの棚にカセットを搬入出させ、これらコンテナから搬入出された該カセットをスタッカロボットの両側に配置されたストッカ側に搬入出する構成になっている。
【特許文献２】特開２００３−１６３２５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記特許文献１や２のストッカでは、スタッカロボットは、スタッカクレーンの両側に配置した棚にカセットの搬入出を行う構成であるため、少なくとも１８０°の回転機能を具備しなければならない（図９の構成においては旋回テーブル２２）。例えば被搬送物が液晶表示装置用のガラス基板である場合、被搬送物のカセット重量は数百キロ以上となり、ロボットの旋回に大きな駆動トルクが必要になる。従って、これを実現するための駆動源が大型化、大重量化し、スタッカクレーンのコンパクト化、軽量化の障害となってしまっている。
【０００６】
また、装置の大型化、大重量化に伴って装置の作業速度も鈍化しやすく、これを回避しようとすると更なる駆動力の増強が必要になり、駆動源が大型化、大重量化する矛盾に陥る。従って、従来技術の延長による装置の大型化では装置の稼動効率の低下は不可避になっている。
【０００７】
本願発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、大型液晶基板等のカセットを搬送する場合において、スタッカクレーンの大型化、大重量化を回避するとともに、移載速度が速く作業効率の高いストッカを提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００８】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
【０００９】
本発明の第１の観点によれば、以下のように構成するストッカが提供される。即ち、垂直方向及び水平方向に複数並べて被搬送物を保管可能な保管棚を備えるとともに、前記保管棚と平行に敷設されたレールと、該レール上を走行可能なスタッカクレーンと、被搬送物をストッカに対し入出庫するためのポートと、を備える。前記スタッカクレーンは、垂直方向に昇降自在なテーブルと、該テーブル上に設置され前記保管棚に対向して進退自在なリニアスライドフォークとを備える移載手段と、この移載手段から前記被搬送物を受け継いで前記ポートへ受渡しするローラコンベアと、を備えている。
【００１０】
このようにスタッカクレーンの移載手段においてリニアスライドフォークを採用し、旋回機能を省略することで、小型化、軽量化を図ることができるとともに、軽快に動作させることができ、入出庫作業の時間を短縮できる。また、保管棚と反対側にポートが配置されていた場合でも、ローラコンベアとポートとで被搬送物を受け渡すことができる。従って、特許文献１に示すような旋回機能を有する移載手段と実質的に同等の効果を発揮させることができる。
【００１１】
前記のストッカにおいては、前記スタッカクレーンの移載手段は、前記リニアスライドフォークの被搬送物載置面を前記ローラコンベアのローラ上面よりも低い位置まで下降させることが可能に構成していることが好ましい。
【００１２】
この構成により、単純に移載手段を下降させるだけでローラコンベアに被搬送物を受け継がせることができるので、より簡素な構成を実現できる。また、移載手段からローラコンベアへ被搬送物を素早く中継させることができ、被搬送物の入出庫に必要な時間を一層短縮することができる。
【００１３】
本発明の第２の観点によれば、以下のように構成するストッカが提供される。即ち、垂直方向及び水平方向に複数並べて被搬送物を保管可能な保管棚を備えるとともに、前記保管棚と平行に敷設されたレールと、このレール上を走行可能な複数のスタッカクレーンと、被搬送物をストッカに対し入出庫するためのポートと、を備える。前記レールは、互いに平行かつ隣接する複数の走行経路を構成するように敷設されるとともに、それぞれの走行経路を前記複数のスタッカクレーンが互いに独立に走行可能とされる。前記保管棚は、前記複数の走行経路の両側に配置される。前記スタッカクレーンのそれぞれは、垂直方向に昇降自在なテーブルと、該テーブル上に設置され前記保管棚に対向して進退自在なリニアスライドフォークとを備える移載手段と、この移載手段から前記被搬送物を受け継いで前記ポートへ受渡しするローラコンベアと、を備える。一の前記走行経路を走行するスタッカクレーンのリニアスライドフォークの配設向きと、それに隣接する前記走行経路を走行するスタッカクレーンのリニアスライドフォークの配設向きとが反対である。
【００１４】
この構成においても、スタッカクレーンの移載手段においてリニアスライドフォークを採用し、旋回機能を省略することで、小型化、軽量化を図ることができるとともに、軽快に動作させることができ、入出庫作業の時間を短縮できる。また、保管棚と反対側にポートが配置されていた場合でも、ローラコンベアとポートとで被搬送物を簡単に受け渡すことができる。更に、収容能力が高く、入出庫に要する時間が短く、設備コストが安価なストッカを提供することができる。
【００１５】
前記のストッカにおいては、前記スタッカクレーンの移載手段は、前記リニアスライドフォークの被搬送物載置面を前記ローラコンベアのローラ上面よりも低い位置まで下降させることが可能に構成していることが好ましい。
【００１６】
この構成により、単純に移載手段を下降させるだけでローラコンベアに被搬送物を受け継がせることができるので、より簡素な構成を実現できる。また、移載手段からローラコンベアへ被搬送物を素早く中継させることができ、被搬送物の入出庫に必要な時間を一層短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施形態に係るストッカの全体的な構成を示す上方斜視図、図２はスタッカクレーンのローラコンベアの動作説明を示す要部側面断面図である。
【００１８】
図１において、本実施形態のストッカ６は、保管棚の棚本体７と、スタッカクレーン５と、コンベアポート（ポート）１７と、レール２８と、を主要な構成として備えている。棚本体７はレール２８の一側に配置され、コンベアポート１７は、棚本体７とレール２８を挟んで対向位置に配置されている。
【００１９】
棚本体７は、切欠き３８が設けられた棚１２と、ストッカ外壁１５と、を備えており、カセット（被搬送物）３５を垂直方向及び水平方向に複数並べて保管可能になっている。
【００２０】
レール２８は棚本体７と平行に２本一対で敷設され、１台の前記スタッカクレーン５がこのレール２８上を走行可能に構成されている。このスタッカクレーン５は、移載手段３６と、コンベアテーブル（ローラコンベア）３４と、支柱３７と、車輪２９と、を主要な構成として備えている。
【００２１】
また、コンベアポート１７は、前記カセット３５をストッカ６に対し入出庫するためのものであって、ポートフレーム１３とローラ１６とを備えている。ローラ１６は適宜の間隔で複数配設され、図示しないモータによって駆動可能に構成されている。
【００２２】
前記移載手段３６は、昇降フレーム（テーブル）３２と、リニアスライドフォーク３３と、テーブル昇降手段２６と、を備えている。昇降フレーム３２は、テーブル昇降手段２６によって垂直方向に昇降自在に構成されている。リニアスライドフォーク３３は、前記昇降フレーム３２上に設置されるとともに、保管棚（棚本体７）に対して突出するように伸張し、かつ縮退可能に構成している。なお、このリニアスライドフォーク３３は旋回不能に前記昇降フレーム３２に対して設置されているので、棚本体７から離れる方向に進出させることはできないようになっている。リニアスライドフォーク３３の先端部の上面には、前記カセット３５を載置可能な載置面が構成されている。
【００２３】
また、コンベアテーブル３４は、前記移載手段３６からカセット３５を受け継いでコンベアポート１７へ受け渡すためのものであって、スタッカクレーン５の下部に設置された上方開放形状のコンベアフレーム３１と、このコンベアフレーム３１に回転自在に支持された複数のローラ３０と、を備えている。このローラ３０は、その上面の高さが前記コンベアポート１７のローラ１６の上面の高さと一致するように設けられている。ローラ３０は図示しないモータによって駆動可能とされており、ローラ３０上に載置されたカセット３５を、前記リニアスライドフォーク３３の伸縮に沿う方向（もっと言えば、リニアスライドフォーク３３の退避方向）に移送できるようになっている。
【００２４】
コンベアテーブル３４は、前記昇降フレーム３２及びリニアスライドフォーク３３に対し干渉しない形状に構成されている。即ち、コンベアテーブル３４のコンベアフレーム３１の側壁部には、枠体状に構成された昇降フレーム３２を受け入れ可能な隙間部を形成するとともに、側壁部の間には前記リニアスライドフォーク３３を収容可能な空間が形成されている。
【００２５】
次に、スタッカクレーン５におけるコンベアテーブル３４の機能について、図３〜図６を用いて説明する。なお、図３〜図６の各図においてＡ）は正面図、Ｂ）は側面断面図を示している。
【００２６】
図３は、棚１２からカセット３５を取り出し、これからリニアスライドフォーク３３を縮退させようとする状況を示している。リニアスライドフォーク３３が退避を完了させると、図４に示すように、カセット３５、リニアスライドフォーク３３が昇降フレーム３２の直上方に位置する。次いで、スタッカクレーン５はテーブル昇降手段２６を作動させて昇降フレーム３２を下降させる。昇降フレーム３２及びリニアスライドフォーク３３は上述のとおりコンベアテーブル３４に対し干渉しないように構成されているので、昇降フレーム３２はコンベアテーブル３４を上から下へくぐり抜け、コンベアテーブル３４の下部（厳密に言えば、前記コンベアフレーム３１の内部）まで侵入・下降できる。
【００２７】
リニアスライドフォーク３３がカセット３５を搭載した状態でコンベアテーブル３４の下部まで侵入・下降すると、図５に示すようにカセット３５はコンベアテーブル３４のローラ３０にすくい取られ、ローラ３０上に残留する。次いで、コンベアテーブル３４はコンベアフレーム３１に支持されたローラ３０を回転駆動させ、コンベアテーブル３４に隣接しつつ対向するコンベアポート１７にカセット３５を輸送する（図６及び図２）。カセット３５がコンベアテーブル３４の昇降動作領域外に移送された時点で、コンベアテーブル３４は昇降自在になる。
【００２８】
また、図７に平面図を示すストッカ６は、図１と基本的に同一の構成であるが、共通のレール２８上にスタッカクレーン５が複数（３台）設置され、コンベアポート１７以外に３つのインラインポート１８を棚本体７に隣接して備える点で、図１の構成と相違する。インラインポート１８は、液晶製造装置８がカセット３５をストッカ６に対し直接入出庫する場合に使用されるポートである。
【００２９】
このインラインポート１８は棚本体７と同じ側に設けられており、スタッカクレーン５との間のカセット３５の受渡しは移載手段３６のリニアスライドフォーク３３により行われる。例えば、インラインポート１８に前記棚１２と同じように切欠き３８を設けることとすれば、リニアスライドフォーク３３とインラインポート１８との間でカセット３５の受渡しを行うことができる。なお、液晶製造装置８のインラインポート１８は、ストッカ６と液晶製造装置８とを接続するポートであって、ローラコンベアで直結したり、搬送ロボットを介して接続させることが考えられる。
【００３０】
次に、図１や図７に示すストッカ６に於ける棚１２へのカセット３５の入庫動作と出庫動作について説明する。
【００３１】
入庫動作を説明すると、先ず、図１等に示すコンベアポート１７上に、図示しない無人搬送台車、あるいはリフタなどの他の搬送手段により搬送されてきたカセット３５が載置される。すると、スタッカクレーン５がコンベアポート１７の対向位置まで走行して停止するとともに、昇降フレーム３２を昇降範囲の下限まで下降させる。このとき、図２に示すように、コンベアポート１７のローラ１６の上面の高さとコンベアテーブル３４のローラ３０の上面の高さがほぼ一致している。
【００３２】
続いて、コンベアポート１７のローラ１６とスタッカクレーン５のコンベアテーブル３４のローラ３０が駆動され、コンベアポート１７上に載置されたカセット３５がスタッカクレーン５のコンベアテーブル３４上に移送される。移送の完了はコンベアテーブル３４に取り付けられた図略のセンサで検知され、このセンサによって、カセット３５はコンベアテーブル３４上で正確に位置決めされる。
【００３３】
次いでスタッカクレーン５は昇降フレーム３２を下限位置から上昇させ、このとき、コンベアテーブル３４上に載置されたカセット３５は、昇降フレーム３２と一体的に上昇するリニアスライドフォーク３３によってすくい取られる。その後、スタッカクレーン５はレール２８上を棚１２に沿って水平移動するとともに、昇降フレーム３２を上昇させ、目的とする棚位置に移載手段３６を対向させた状態で停止する。
【００３４】
スタッカクレーン５の停止後、移載手段３６はリニアスライドフォーク３３にカセット３５を載せたまま、棚１２の載置位置までフォークを伸張させるとともに、フォーク先端部（即ち、カセット３５）を位置合わせする。次に、昇降フレーム３２を少量下降させると、フォークの先端部が前記切欠き３８を下方へ通過し、棚面よりフォークの先端部上面が低くなると同時にカセット３５が棚１２にすくい取られて、棚１２上に残留する。以上によりストッカ６へのカセット３５の収納が完了し、その後はスタッカクレーン５はリニアスライドフォーク３３のフォークを縮退させ、次の動作に移る。
【００３５】
次に出庫動作を説明するが、この出庫動作は上記の入庫動作と全く逆の手順で進められる。まずスタッカクレーン５は、目的とするカセット３５の収納された棚位置に移載手段３６を移動させ、リニアスライドフォーク３３を進出させた後、リニアスライドフォーク３３の先端部が前記切欠き３８を下から上に通過するように昇降フレーム３２を若干上昇させ、カセット３５を載置面上にすくい上げる（図３）。そして、リニアスライドフォーク３３を図４のように縮退させてカセット３５をスタッカクレーン５内部に引き込み、コンベアポート１７位置まで走行する。
【００３６】
コンベアポート１７への走行中にスタッカクレーン５は昇降フレーム３２を下降させるが、コンベアポート１７に到着後は昇降フレーム３２を更にコンベアテーブル３４の下まで下降させて、カセット３５をコンベアポート１７へ受け継ぐ（図５）。次いで、コンベアテーブル３４とコンベアポート１７のローラ３０・１６が駆動されて、カセット３５はコンベアテーブル３４からコンベアポートへ受け渡す（図６）。コンベアポート１７に載置されたカセット３５は、搬送台車等に移載され、外部に搬出される。
【００３７】
なお、これら一連の移載搬送動作は、生産管理を司るＭＣＳや、搬送システムを統括管理するＭＥＳ等の制御装置からの指令信号に基づき行われる。また、オフライン時にはストッカ６のコントローラが同様の指令信号を発することも可能である。
【００３８】
以上に示すように、本実施形態のストッカ６は、垂直方向及び水平方向に複数並べてカセット３５を保管可能な棚本体７を備えるとともに、この棚本体７と平行に敷設されたレール２８と、該レール２８上を走行可能なスタッカクレーン５と、前記カセット３５をストッカ６に対し入出庫するためのコンベアポート１７と、を備える。そして、前記スタッカクレーン５は、垂直方向に昇降自在な昇降フレーム３２と、該昇降フレーム３２上に設置され前記棚本体７に対向して進退自在なリニアスライドフォーク３３とを備える移載手段３６と、この移載手段３６から前記カセット３５を受け継いで前記コンベアポート１７へ受渡し可能なコンベアテーブル３４と、を備えている。
【００３９】
以上のようにスタッカクレーン５の移載手段３６においてリニアスライドフォーク３３を採用し、旋回機能を省略することで、小型化、軽量化を図ることができるとともに、軽快に動作させることができ、入出庫作業の時間を短縮できる。この効果は、特にカセット３５が大重量の場合に顕著に発揮される。また、図１や図７に示すように棚本体７と反対側にコンベアポート１７が配置されていた場合でも、コンベアテーブル３４とコンベアポート１７とでカセット３５を受け渡すことができる。従って、特許文献１等に示すような旋回機能を有する移載手段と実質的に同等の効果を発揮させることができる。
【００４０】
また、上記のストッカ６において、スタッカクレーン５の移載手段３６は、リニアスライドフォーク３３の先端上面（カセット載置面）を前記コンベアテーブル３４のローラ３０上面よりも低い位置まで下降させることが可能に構成されている。
【００４１】
これにより、単純に昇降フレーム３２を下降させるだけでコンベアテーブル３４にカセット３５を受け継がせることができるので、より簡素な構成を実現できる。また、移載手段３６からコンベアテーブル３４へカセット３５を素早く中継させることができ、カセット３５の出庫に必要な時間を一層短縮することができる。また入庫時においても、下限位置から昇降フレーム３２を上昇させるだけでコンベアテーブル３４から移載手段３６へカセット３５を受継できるので、入庫の必要時間も短縮されることは勿論である。
【００４２】
なお、図８には変形例が示されており、このストッカ６は図７のストッカを互いに対向させて２つ配置したような構成となっている。図８のストッカ６において、レール２８は２対敷設されて、スタッカクレーン５が互いに独立して走行可能な、互いに平行かつ隣接する複数の走行経路を構成している。そして、保管棚の棚本体７は、前記２対のレール２８を挟むように、両側に配置されている。コンベアポート１７は、例えば、一側の棚本体７から他側の棚本体７へカセット３５を受け渡すのに使用される。
【００４３】
そして、図８で上側のレール２８を走行するスタッカクレーン５においては、その移載手段３６のリニアスライドフォーク３３は、図中上側の棚本体７に対して進出可能に設置され、下側のレール２８を走行するスタッカクレーン５のリニアスライドフォーク３３は、図中下側の棚本体７に対して進出可能に設置されている。端的に言えば、スタッカクレーン５のリニアスライドフォーク３３の配設向きが、図中上側と下側で逆になっている。これにより、レール２８の両側に配設された棚本体７に対して容易にカセット３５を受渡しすることができる。
【００４４】
以上に示すように、図８の構成のストッカ６において、互いに平行かつ隣接する複数の走行経路を構成するようにレール２８が敷設されるとともに、それぞれの走行経路を複数のスタッカクレーン５が互いに独立に走行可能とされている。そして、棚本体７は前記複数の走行経路の両側に配置されるとともに、一の前記走行経路を走行するスタッカクレーン５のリニアスライドフォーク３３の配設向きと、それに隣接する前記走行経路を走行するスタッカクレーン５のリニアスライドフォーク３３の配設向きとが反対になっている。
【００４５】
このように構成することで、図１や図７の構成と実質的に同様の効果を奏するとともに、収容能力の向上を容易に図ることができる。なお、この図８の構成は機能的には図９の従来の構成と類似するが、発明者の知見によれば、従来の構成に比較して図８の構成は、装置サイズ、入出庫に要する時間、設備コストの何れにおいても優れていることが確認されている。
【００４６】
以上に本発明の好適な実施形態及び変形例を示したが、以上の構成は一例であって、例えば以下のように変更することができる。
【００４７】
コンベアポート１７は、棚本体７と反対側でなく、棚本体７と同じ側にも配設することができる。また、コンベアポート１７は、入出庫を兼ねる場合に限らず、入庫専用のポートと出庫専用のポートとで分けて配置することができる。更に、被搬送物としては、カセット３５の代わりに上記のＦＯＵＰ等を採用することができる。
【００４８】
昇降フレーム３２やコンベアテーブル３４は、図１等で示した形状に限らず、適宜の形状に変更することができる。ただし、移載手段３６とコンベアテーブル３４とを互いに干渉しない形状に構成して、コンベアテーブル３４のローラ３０上面より下に移載手段３６が下降できるようにすると、前述したとおり有利である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係るストッカの全体的な構成を示す上方斜視図。
【図２】スタッカクレーンのローラコンベア部の動作説明を示す要部側面断面図。
【図３】出庫のためにリニアスライドフォークでカセットをすくい上げて引き込む様子を示す説明図であって、Ａ）は正面図、Ｂ）は側面断面図。
【図４】スタッカクレーンに引き込んだカセットを下降させる様子を示す説明図であって、Ａ）は正面図、Ｂ）は側面断面図。
【図５】カセットを移載手段からローラコンベアに受け継いだ様子を示す説明図であって、Ａ）は正面図、Ｂ）は側面断面図。
【図６】カセットをローラコンベアからコンベアポートへ受け渡す様子を示す説明図であって、Ａ）は正面図、Ｂ）は側面断面図。
【図７】他の構成のストッカを示す平面図。
【図８】図７のストッカの更なる変形例を示す平面図。
【図９】ストッカの従来の構成を示す上方斜視図。
【符号の説明】
【００５０】
５  スタッカクレーン
６  ストッカ
７  棚本体（保管棚）
１７  コンベアポート（ポート）
１８  インラインポート（ポート）
２８  レール
３２  昇降フレーム（テーブル）
３３  リニアスライドフォーク
３４  コンベアテーブル（ローラコンベア）
３６  移載手段
【図１】
2007137599.tif 000003
【図２】
2007137599.tif 000004
【図３】
2007137599.tif 000005
【図４】
2007137599.tif 000006
【図５】
2007137599.tif 000007
【図６】
2007137599.tif 000008
【図７】
2007137599.tif 000009
【図８】
2007137599.tif 000010
【図９】
2007137599.tif 000011