(57)【要約】【課題】  反射ミラーを可動させる光スキャナにおいて、従来の光スキャナと異なり、反射ミラーと平面コイルとを一体形成することなく電磁石と磁気回路構成部材を用いて反射ミラーを可動させる構成とすることにより、小型化及び軽量化を図った光スキャナを提供する。【解決手段】  光スキャナは、反射ミラー１を有するミラープレート２を含むミラーブロック１６と、このミラーブロック１６を駆動する電磁石１９を備える。ミラーブロック１６は、永久磁石１２の上部に設けられた磁性体からなる磁性体支柱１７に枢支される。反射ミラー１は、コイル１４に交流電流が流れることにより発生する電磁石１９の磁束の影響を受けて突起１８を枢支点としてシーソー運動を行う。反射ミラー１と平面コイルを一体形成することなく反射ミラー１をシーソー運動させることができるため、光スキャナの小型、軽量化を図ることが可能となる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を反射する反射ミラー及び磁気回路を構成する部材を有し、この反射ミラーの中心を枢支点としてシーソー運動自在なアマチュアとして機能するミラーブロックと、このミラーブロックの共振周波数に対応した周波数の交流磁界を発生する電磁石とを備え、
前記電磁石による磁束の通路に前記ミラーブロックが挿入され、該電磁石の動作に応じて前記ミラーブロックがシーソー運動することを特徴とする光スキャナ。
【請求項２】
前記ミラーブロックは、前記反射ミラーを構成するミラープレートと、このミラープレートを支持するヒンジバネとを備えていることを特徴とする請求項１に記載の光スキャナ。
【請求項３】
前記ミラープレートは、前記ヒンジバネと一体形成されていることを特徴とする請求項２に記載の光スキャナ。
【請求項４】
前記ヒンジバネは、磁性体により形成されていることを特徴とする請求項２に記載の光スキャナ。
【請求項５】
前記ミラープレート及びヒンジバネは、シリコン基板により形成されていることを特徴とする請求項２に記載の光スキャナ。
【請求項６】
前記磁気回路を構成する部材は、磁性材により形成されていることを特徴とする請求項２に記載の光スキャナ。
【請求項７】
前記磁気回路を構成する部材は、永久磁石により形成されていることを特徴とする請求項２に記載の光スキャナ。
【請求項８】
前記電磁石は、前記ミラーブロックの両端に対向して配置された固定磁極を持つことを特徴と請求項６に記載の光スキャナ。
【請求項９】
前記電磁石は、前記ミラーブロックの下方に設けられた側面視Ｕ字形状の固定ヨークと、
前記固定ヨークの中央部に固定された永久磁石と、
前記固定ヨークに巻回されたコイルを有することを特徴とする請求項６に記載の光スキャナ。
【請求項１０】
前記永久磁石は、前記固定ヨークと磁気結合された側と反対側の端面に配置された磁性体を持ち、この磁性体により前記ミラーブロックを枢支していることを特徴とする請求項９に記載の光スキャナ。
【請求項１１】
前記ミラーブロックに形成された磁気回路を構成する磁性材に対向する固定側の磁性材に、前記ミラーブロックを枢支する突起が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の光スキャナ。
【請求項１２】
前記ミラーブロックに形成された磁気回路を構成する可動側の磁性材に突起が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の光スキャナ。
【請求項１３】
前記ミラーブロックに形成された磁気回路を構成する磁性材に対向する固定側の永久磁石に、前記ミラーブロックを枢支する突起が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の光スキャナ。
【請求項１４】
前記電磁石は、前記永久磁石の両端に対向して配置された固定磁極を持つことを特徴とする請求項７に記載の光スキャナ。
【請求項１５】
前記電磁石は、前記固定ヨークの中央部に固定された非磁性材から成る支柱を持ち、前記固定ヨークに複数のコイルが巻回されていることを特徴とする請求項７に記載の光スキャナ。
【請求項１６】
前記電磁石は、前記固定ヨークの両端側に支持されて中央部に前記ミラーブロックを枢支する非磁性材から成る支柱を持ち、前記固定ヨークに１つのコイルが巻回されていること特徴とする請求項７に記載の光スキャナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を偏光走査させることができる光スキャナに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ある種の光スキャナは、例えば、特許文献１に示されるように、レーザ光を偏光走査させる可動可能な反射ミラーを備え、可動可能な反射ミラーと平面コイルとが一体に形成され磁界中に配置された構成が知られている。この反射ミラー及び平面コイルは、中央部分両端がバネによって枢支されており、その周囲には複数の永久磁石が配置されている。平面コイルに電流が流されると電流と磁束に関連して発生する電磁力によって反射ミラー及び平面コイルが可動しレーザ光を偏光走査させる。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に示される技術においては、可動部分として反射ミラーと平面コイルが一体に形成されると共に可動するため、平面コイルに電流を供給するリード線が断線する可能性があった。また、反射ミラーと平面コイルが一体に形成されているため、可動部分を小型化することができなかった。さらに、可動部分の周囲に複数の永久磁石を使用するため、部品点数及び組立工数の増加によりコスト高となっていると共に、軽量化を図ることができなかった。
【特許文献１】特開平７−１７５００５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記従来例の問題を解決するためになされたものであり、従来の光スキャナと異なり、反射ミラーと平面コイルとを一体形成することなく電磁石と磁気回路部材を用いて反射ミラーを可動させる構成とすることにより、小型化及び軽量化することを可能とし、さらには、部品点数及び組立工数を減少させることによりコスト高を抑えることができる光スキャナを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、光を反射する反射ミラー及び磁気回路を構成する部材を有し、この反射ミラーの中心を枢支点としてシーソー運動自在なアマチュアとして機能するミラーブロックと、このミラーブロックの共振周波数に対応した周波数の交流磁界を発生する電磁石とを備え、電磁石による磁束の通路にミラーブロックが挿入され、電磁石の動作に応じてミラーブロックがシーソー運動するようにしたものである。
【０００６】
また、請求項２の発明は、請求項１の光スキャナにおいて、ミラーブロックは、反射ミラーを構成するミラープレートと、このミラープレートを支持するヒンジバネとを備えているようにしたものである。
【０００７】
また、請求項３の発明は、請求項２の光スキャナにおいて、ミラープレートは、ヒンジバネと一体形成されているようにしたものである。
【０００８】
また、請求項４の発明は、請求項２の光スキャナにおいて、ヒンジバネは、磁性体により形成されているようにしたものである。
【０００９】
また、請求項５の発明は、請求項２の光スキャナにおいて、ミラープレート及びヒンジバネは、シリコン基板により形成されているようにしたものである。
【００１０】
また、請求項６の発明は、請求項２の光スキャナにおいて、磁気回路を構成する部材は、磁性材により形成されているようにしたものである。
【００１１】
また、請求項７の発明は、請求項２の光スキャナにおいて、磁気回路を構成する部材は、永久磁石により形成されているようにしたものである。
【００１２】
また、請求項８の発明は、請求項６の光スキャナにおいて、電磁石は、ミラーブロックの両端に対向して配置された固定磁極を持つようにしたものである。
【００１３】
また、請求項９の発明は、請求項６の光スキャナにおいて、電磁石は、ミラーブロックの下方に設けられた側面視Ｕ字形状の固定ヨークと、固定ヨークの中央部に固定された永久磁石と、固定ヨークに巻回されたコイルを有するようにしたものである。
【００１４】
また、請求項１０の発明は、請求項９の光スキャナにおいて、永久磁石は、ヨークと磁気結合された側と反対側の端面に配置された磁性体を持ち、この磁性体によりミラーブロックを枢支しているようにしたものである。
【００１５】
また、請求項１１の発明は、請求項６の光スキャナにおいて、ミラーブロックに形成された磁気回路を構成する磁性材に対向する固定側の磁性材に、ミラーブロックを枢支する突起が形成されているようにしたものである。
【００１６】
また、請求項１２の発明は、ミラーブロックに形成された磁気回路を構成する可動側の磁性材に突起が形成されているようにしたものである。
【００１７】
また、請求項１３の発明は、請求項６の光スキャナにおいて、ミラーブロックに形成された磁気回路を構成する磁性材に対向する固定側の永久磁石に、ミラーブロックを枢支する突起が形成されているようにしたものである。
【００１８】
また、請求項１４の発明は、請求項７の光スキャナにおいて、電磁石は、永久磁石の両端に対向して配置された固定磁極を持つようにしたものである。
【００１９】
また、請求項１５の発明は、請求項７の光スキャナにおいて、電磁石は、固定ヨークの中央部に固定された非磁性材から成る支柱を持ち、固定ヨークに複数のコイルが巻回されているようにしたものである。
【００２０】
また、請求項１６の発明は、請求項７の光スキャナにおいて、電磁石は、固定ヨークの両端側に支持されて中央部にミラーブロックを枢支する非磁性材から成る支柱を持ち、固定ヨークに１つのコイルが巻回されているようにしたものである。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１の発明によれば、ミラーブロックの共振周波数に対応した周波数の交流電流により電磁石が駆動されることにより、電磁石は該周波数の交流磁界を発生し、磁気回路部材を有する可動部としてのミラーブロックを励起しシーソー運動させる。これにより、従来のように可動部にコイルを一体形成することなく、ミラーブロックを小型、軽量化することができ、低消費電力でミラーブロックを振動させることができる。
【００２２】
請求項２の発明によれば、ミラーブロックを簡易な構成とすることができるため小型化を図ることが可能となる。
【００２３】
請求項３の発明によれば、ミラープレートの部品点数を削減することができるため低コスト化を図ることができる。
【００２４】
請求項４の発明によれば、ミラーブロック及びヒンジバネは加工が容易となるため、光スキャナの低コスト化を図ることができる。
【００２５】
請求項５の発明によれば、ミラープレート及びヒンジバネは、ミラーブロックが高頻度にシーソー運動を行っても金属疲労しないため、光スキャナは長寿命化を図ることができる。
【００２６】
請求項６の発明によれば、ミラーブロックの磁気回路が磁性体で形成されているので、従来のコイルで駆動力を発生している構成と異なり、コイルの大きさに影響されず、小型で高出力を得ることができる。また、ミラーブロックの厚みを変えることにより軽量化を図ることができ、ミラーブロックを高速で動作させることが可能となる。
【００２７】
請求項７の発明によれば、電磁石による磁束と永久磁石による磁束との磁気吸引力を有効に活用できるので小型で高出力を得ることができる。
【００２８】
請求項８の発明によれば、光スキャナの全体構造を変えることなく、ミラーブロックのシーソー運動の振れ角を設定することが可能となる。
【００２９】
請求項９の発明によれば、側面視Ｕ字形状の固定ヨークに電磁石の磁束を発生させるコイルを収めているので、光スキャナを低背構造とすることができる。
【００３０】
請求項１０の発明によれば、永久磁石に突起を形成することなく、簡易形状で小型の永久磁石を適用することができるので、低コスト化を図ることが可能となる。
【００３１】
請求項１１の発明によれば、ミラーブロックは突起を枢支点として磁気効率を低下させることなくスムーズにシーソー運動をすることができる。
【００３２】
請求項１２の発明によれば、平板プレス加工などにより容易にミラーブロックに突起を形成することができるので、構成部材の低コスト化を図ることができる。
【００３３】
請求項１３の発明によれば、ミラーブロックを枢支する支持柱に磁性体が不要となるので、部品点数を削減することができ、かつ、組立作業が容易になる。
【００３４】
請求項１４の発明によれば、永久磁石の両端近傍に固定磁極が設けられているので、光スキャナの全体構造を変えることなく、反射ミラーのシーソー運動の振れ角を設定することが可能となる。
【００３５】
請求項１５の発明によれば、非磁性材から成る支柱を用いているので、固定ヨークに収められるコイルのスペースを大きくとることができ、従って、巻回されるコイルを多く収めて電磁石の磁束を強くすることができ、シーソー運動する永久磁石の振り角を大きくすると共に、高速運動させることが可能となる。
【００３６】
請求項１６の発明によれば、固定ヨーク上の全面にコイルを収めることができるので、コイル巻回数と多くとれて、組立性に優れ、かつ高出力が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明の第１の実施形態に係る光スキャナについて、図１から図３を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る光スキャナを上面から見た構成を示し、図２は、同光スキャナのミラーカバーを取り除いた状態のレーザ光を反射させる様子を示す。図３は、図１におけるＡ−Ａ線断面を示す。光スキャナは、ミラープレート２と、このミラープレート２を含むミラーブロック１６と、このミラーブロック１６を駆動する電磁石１９を備える。ミラープレート２はレーザ光Ｌ１を反射させる反射ミラー１と、この反射ミラー１をシーソー運動自在に枢支するヒンジバネ３を備える。ヒンジバネ３の一端は、磁性材から成る固定支持板８に接続されている。ミラープレート２及びヒンジバネ３は、固定支持板８を打ち抜いて形成される。ミラーブロック１６は、ヒンジバネ３による枢支点の回りにシーソー運動可能とされている。
【００３８】
レーザ光Ｌ１は、光スキャナの上方に位置された物品などに印されたバーコードや文字などを走査する。レーザ光Ｌ１は、反射ミラー１に照射され、反射ミラー１により反射光Ｌ２となる。光スキャナは、反射ミラー１がヒンジバネ３を軸としてシーソー運動することにより、反射光Ｌ２の方向を変化させることにより、光学走査する。なお、反射ミラー１は、ミラープレート２の上面をミラーコーティングして形成すればよく、また、ミラープレート２の裏面にアマチュアとして機能するための磁性材（磁気回路構成部材）をコーティングしてもよい。
【００３９】
固定支持板８は、反射ミラー１及びヒンジバネ３の部分を開口してミラープレート２を位置決め固定するミラーカバー４の下側に設けられている。固定支持板８の下側には、電磁石１９を構成する固定磁極９が設けられている。ミラーカバー４及び固定支持板８は、ねじ６によって固定磁極９に固定されている。固定磁極９の両端は、絶縁体からなるベース１０に支持されている。ベース１０の中央部には固定ヨーク５を保持する保持部材１１が設けられている。
【００４０】
絶縁体からなるボビン１３ａは、保持部材１１の上面と固定ヨーク５の間に設けられている。永久磁石１２は、固定ヨーク５の上面中央部に上下にＮ極とＳ極が配置されるように設けられている。絶縁体からなるボビン１３ｂは、永久磁石１２の両側の固定ヨーク５の周りに設けられている。コイル１４は、ボビン１３ａ及びボビン１３ｂに収められている。各コイル１４のリード端はベース１０を貫通して形成されている通電端子１５に接続され、交流電源が印加される。
【００４１】
永久磁石１２の上部には、ミラーブロック１６を枢支するための磁性体１７（以後、磁性体支柱という）が設けられている。磁性体支柱１７の上部には、ミラーブロック１６を枢支するライン状の突起１８が形成されている。反射ミラー１は、ミラープレート２がヒンジバネ３によって枢支されている点を軸とし、ミラーブロック１６が接している突起１８を枢支点としてシーソー運動可能とされている。コイル１４、固定ヨーク５及び固定磁極９は、コイル１４に交流電流が流されることにより磁束を発生させる電磁石１９を構成している。
【００４２】
本実施形態のミラープレート２及びヒンジバネ３は磁性材で形成されていることにより、加工が容易となり低コスト化を図ることができると共に、ミラープレート２とヒンジバネ３とを容易に一体形成することが可能となる。さらに、ミラープレート２及びヒンジバネ３を一体形成することにより部品点数を削減することができるため、低コスト化を図ることができる。また、シリコンでミラープレート２及びヒンジバネ３を形成することにより、反射ミラー１が高頻度にシーソー運動を行っても金属疲労しないため長寿命化を図ることができる。
【００４３】
図４（ａ），（ｂ）は、同光スキャナの反射ミラー１の動作状態を示す。図４（ａ）は、コイル１４に交流電流が流れていない状態を示す。永久磁石１２は、ミラーブロック１６の中央を境にして左右方向に２つの永久磁石磁束Ｍ１を発生させている。永久磁石磁束Ｍ１は、永久磁石１２のＮ極から順次、磁性体支柱１７、ミラーブロック１６、固定磁極９、及び固定ヨーク５を経由して永久磁石１２のＳ極に向かっている。永久磁石磁束Ｍ１は、磁性体支柱１６から左側の固定磁極９へ向かう反時計回り永久磁石磁束ＬＭ１と、磁性体支柱１６から右側の固定磁極９へ向かう時計回り永久磁石磁束ＲＭ１とからなる。このとき、ミラーブロック１６の左右両端は、共に永久磁石磁束ＬＭ１と永久磁石磁束ＲＭ１に引っ張られているため、ミラーブロック１６は均衡が保たれており水平状態となっている。
【００４４】
図４（ｂ）は、電磁石１９のコイル１４に交流電圧が印加されたときの、半サイクルの交流磁界発生状態を示す。この半サイクルの交流磁界による磁束の方向を破線で示しているが、次の半サイクルでは逆方向となり、磁束の方向は順次、交互に切り替る。いま、図示のように反時計回りに電磁石磁束Ｍ２が発生しているとき、磁性体支柱１７の左側は、反時計回り永久磁石磁束ＬＭ１と電磁石磁束Ｍ２とが互いに強め合い、磁性体支柱１６の右側は、時計回り永久磁石磁束ＲＭ１と電磁石磁束Ｍ２とが互いに打ち消しあうため、ミラーブロック１６はヒンジバネ３がねじれて左側に傾くこととなる。次の半サイクルでコイル１４に流れる交流電流の向きが変わると、電磁石磁束Ｍ２の向きが変わり、ミラーブロック１６は右側に傾く。この交流電流の共振周波数に応じてミラーブロック１６はシーソー運動を行う。ここで、コイル１４に流される交流電流の周波数は、例えば５００Ｈｚである。
【００４５】
図５は、本発明の第２の実施形態に係る光スキャナの構成を示す。ここで、磁性体支柱１２の上端は平坦に形成されており、ミラーブロック１６の裏面中央部にライン状の突起１８が形成されている。ミラーブロック１６は、突起１８を枢支点としてシーソー運動を行う。ミラーブロック１６の裏面中央部の突起１８は、ミラーブロック１６を平板プレス加工することにより、容易に形成することができるため、製造コストを抑えることが可能となる。
【００４６】
図６は、本発明の第３の実施形態に係る光スキャナの構成を示す。ここで、永久磁石１２の上端にはライン状の突起１８が形成され、突起１８はミラーブロック１６の裏面中央部に当接する。ミラーブロック１６は、突起１８を枢支点としてシーソー運動を行う。磁性体支柱１７を用いずに永久磁石１２でミラーブロック１６を支持することにより、部品点数を削減することができるため組立作業が容易になる。
【００４７】
図７は、本発明の第４の実施形態に係る光スキャナの構成を示す。本実施形態においては、反射ミラー１を有するミラープレート２の裏面には磁気回路を構成する部材としての永久磁石１２が水平方向にＮ極とＳ極が配置されるように取り付けられている。固定ヨーク５の上面中央部には、永久磁石１２の裏面中央部を支えるための非磁性体からなる支柱２０（以後、非磁性体支柱という）が設けられている。非磁性体支柱２０の上部には、永久磁石１２と接するライン状の突起１８が形成されている。ミラープレート２は、ミラープレート２がヒンジバネ３による枢支点を軸とし、永久磁石と接している突起１８を枢支点としてシーソー運動を行う。
【００４８】
本実施形態においては、永久磁石１２をミラープレート２の裏面に水平に取り付けることにより、永久磁石１２による磁束を有効に活用することができるため、低消費電力でミラープレート２をシーソー運動させることができる。また、非磁性材から成る支柱を用いることで、固定ヨークに収められるコイルのスペースを大きくとることができる。このため、巻回されるコイルを多く収めて電磁石の磁束を強くすることができ、シーソー運動する永久磁石の振り角を大きくすると共に、高速運動させることが可能となる。
【００４９】
図８は、同上の光スキャナの反射ミラー１の動作状態を示す。永久磁石磁束Ｍ１は、永久磁石１２のＮ極から順次、左側の固定磁極９、固定ヨーク５、右側の固定磁極９を経由して永久磁石１２のＳ極に向かっている。ここで、コイル１４に交流電流が流れると、半サイクルで電磁石１９は破線で示すように、時計回りに電磁石磁束Ｍ２を発生する。電磁石磁束Ｍ２が永久磁石磁束Ｍ１に影響を与えることにより、永久磁石１２は左右いずれか一方に傾く。コイル１４に流れる交流電流の向きは交互に変わるので、永久磁石１２は他方向に傾く。こうして、永久磁石１２はシーソー運動を行うこととなる。
【００５０】
図９は、本発明の第５の実施形態に係る光スキャナの構成を示す。本実施形態においては、非磁性体支柱２０の下部は、固定ヨーク５の上面と平行となるように左右に延出部２１を備える。非磁性体支柱２０は、延出部２１が固定ヨーク５の側面に接することにより延出部２１に支持されて、固定ヨーク５の中央部に位置決めされる。これにより、固定ヨーク上の全面にコイルを収めることができるので、コイル巻回数を多くとれて、組立性に優れ、かつ高出力が得られる。
【００５１】
図１０は、本発明の第６の実施形態に係る光スキャナの構成を示す。本実施形態においては、ミラープレート２の裏面中央部にのみ、永久磁石１２が水平方向にＮ極とＳ極が配置されるように取り付けられている。反射ミラー１の下面であって永久磁石１２の両端には、磁性体２２が取り付けられている。これにより、反射ミラー１の下面に小型の永久磁石１２を使用した場合であっても、永久磁石１２の磁束を活用することができるため、永久磁石１２の小型化による低コスト化を図ることが可能となる。
【００５２】
以上のように本発明の第１乃至第３の実施形態の光スキャナにおいては、ミラーブロック１６及びヒンジバネ３を磁性体で形成することにより容易に加工することができる。ミラープレート２及びヒンジバネ３を一体形成することにより部品点数を削減することができるため、低コスト化を図ることができる。また、ミラープレート２及びヒンジバネ３をシリコン基板で形成することにより、ミラーブロック１６が高頻度にシーソー運動を行っても金属疲労しないため長寿命化を図ることができる。従来のように可動部にコイルを一体形成することなく、ミラーブロックを小型、軽量化することができ、低消費電力でミラーブロックを振動させることができる。
【００５３】
また、ミラーブロック１６の裏面中央部に突起１８を形成する構成とすると、平板プレス加工などにより容易にミラーブロック１６に突起を形成することができるので、構成部材の低コスト化を図ることができる。さらに、永久磁石１２に突起１８を形成する構成とすると、ミラーブロック１６を枢支する支持柱に磁性体１７が不要となるので、部品点数を削減することができるため組立作業が容易になる。
【００５４】
本発明の第４乃至第６の実施形態の光スキャナにおいては、永久磁石１２をミラープレート２の裏面に水平に取り付けることにより、永久磁石１２による磁束を有効に活用することができるため、低消費電力で反射ミラー１をシーソー運動させることができる。また、非磁性体支柱２０の下部の左右に延出部２１を設け、延出部２１を固定ヨーク５の側面に固定することにより、固定ヨーク上の全面にコイルを収めることができるので、コイル巻回数を多くとれて、組立性に優れ、かつ高出力が得られる。
【００５５】
なお、本発明は、上記各種実施形態の構成に限られず、発明の趣旨を変更しない範囲で種々の変形が可能である。例えば、ボビン１３ａ及びボビン１３ｂを共に備える構成でなく、ボビン１３ａ及びボビン１３ａに収められるコイル１４を備えない構成であっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る光スキャナの上面図。
【図２】同光スキャナのミラーカバーを取り除いた状態のレーザ光を反射させる様子を示す斜視図。
【図３】図１におけるＡ−Ａ線断面図。
【図４】（ａ），（ｂ）はそれぞれ同光スキャナの反射ミラーの動作状態を示す説明図。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る光スキャナの断面図。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る光スキャナの断面図。
【図７】本発明の第４の実施形態に係る光スキャナの断面図。
【図８】光スキャナの反射ミラーの動作状態を示す説明図。
【図９】本発明の第５の実施形態に係る光スキャナの断面図。
【図１０】本発明の第６の実施形態に係る光スキャナの断面図。
【符号の説明】
【００５７】
１  反射ミラー
２  ミラープレート（磁気回路を構成する部材）
３  ヒンジバネ
５  固定ヨーク
９  固定磁極
１２  永久磁石（磁気回路を構成する部材）
１４  コイル
１６  ミラーブロック
１７  磁性体（磁性体支柱）
１８  突起
１９  電磁石
２０  支柱（非磁性体支柱）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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