(57)【要約】【課題】金属ベースを介して回転ドラムに固定され、磁気テープを用いて信号の記録又は再生を行う磁気ヘッド１５において、薄膜素子２０の摩耗を防ぐためにテープ摺接面１６と同一平面状に配設した保護板２１の帯電により、ＥＳＤ破壊が発生するのを防止する。【解決手段】ウェハー基板１２２に積層されてなる薄膜素子２０と、薄膜素子２０の積層方向にあたる側面に固着され、薄膜素子２０の磁気テープとの摺接面１６と同一の平面を形成する保護板２１とを備え、前記ウェハー基板１２２、薄膜素子２０および保護板２１の各側面に例えば銀ペーストから成る導電材２５を塗布し、保護板２１に触れた電荷を、導電材２５およびウェハー基板１２２を介して金属ベース側に接地する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属ベースを介して回転ドラムに固定され、磁気テープを用いて信号の記録又は再生を行う磁気ヘッドにおいて、
半導体基板に積層されてなる薄膜ヘッド素子と、
前記薄膜ヘッド素子の積層方向にあたる側面に固着され、前記薄膜ヘッド素子の磁気テープとの摺接面と同一の平面を形成する保護部材と、
前記保護部材と前記金属ベースの間を電気的に接続する導通手段と
を備えたことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
前記導通手段は、前記薄膜ヘッド素子の磁気テープとの摺接面以外の部位と前記保護部材とに塗布された導電材を有することを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
前記導通手段は、前記薄膜ヘッド素子に設けられ、前記保護部材との当接面と前記金属ベースとの間を結ぶ接地用端子を有することを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
金属ベースを介して回転ドラムに固定され、磁気テープを用いて信号の記録又は再生を行う磁気ヘッドを備えたヘッドドラム装置において、
半導体基板に積層されてなる薄膜ヘッド素子と、
前記薄膜ヘッド素子の積層方向にあたる側面に固着され、前記薄膜ヘッド素子の磁気テープとの摺接面と同一の平面を形成する保護部材と、
前記保護部材と前記金属ベースの間を電気的に接続する導通手段と
を備えたことを特徴とするヘッドドラム装置。
【請求項５】
前記導通手段は、前記薄膜ヘッド素子の磁気テープとの摺接面以外の部位と前記保護部材とに塗布された導電材を有することを特徴とする請求項４に記載のヘッドドラム装置。
【請求項６】
前記導通手段は、前記薄膜ヘッド素子に設けられ、前記保護部材との当接面と前記金属ベースとの間を結ぶ接地用端子を有することを特徴とする請求項４に記載のヘッドドラム装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転ドラムに固定され、磁気テープを用いて信号の記録または再生を行う磁気ヘッドに係り、特に磁気テープとの摺接面と同一平面状に保護部材を設けて薄膜ヘッド素子の摩耗を防ぐようにした磁気ヘッドおよびヘッドドラム装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
テープ状の磁気記録媒体である磁気テープに対して信号を記録し、あるいは磁気テープの信号を再生するために、回転ドラム装置（ヘッドドラム装置）が用いられている。この回転ドラム装置は、例えば、ビデオテープレコーダのドライブ装置に搭載されており、例えば図５のように構成されている。図５（ａ）は磁気テープドライブ装置１の概要を示し、図５（ｂ）は回転ドラム装置の構造を示している。
【０００３】
磁気テープドライブ装置１は、回転ドラム装置２と、テープカセット３から磁気テープ４を引き出すとともに、引き出した磁気テープ４を上記回転ドラム装置２に巻き付けて所定のテープパスを形成するガイドピン５、５…と、テープカセット３のリール６、６を支持するリール台７、７とピンチローラ８と協動して磁気テープ４を走行させるキャプスタン軸９等を備えている。
【０００４】
回転ドラム装置２は、シャーシ１０に対して軸心がやや斜めに傾斜して配設され、カセット装着部にテープカセット３が装着されるとガイドピン５、５により磁気テープ４が回転ドラム装置２側に引き出され、回転ドラム装置２に巻き付けられるとともに、磁気テープ４がピンチローラ８とキャプスタン軸９とに挟持されて図示のようなテープパスが形成される。
【０００５】
回転ドラム装置２は、シャーシ１０に立設された固定軸１１と、該固定軸１１に対してベアリング（図示省略）を介して回転自在に支持された回転ドラム１２と、該回転ドラム１２の下側に配置され上記シャーシ１０に固着された固定ドラム１３とを備え、これら固定ドラム１３と回転ドラム１２とが所定の間隙を挟んで対向されている。そして、回転ドラム１２は図示しないモータにより回転されるようになっている。
【０００６】
回転ドラム１２の下端縁には、周方向に適宜間隔を空けて複数の切欠（以下、「ヘッド配置孔」という。）１４、１４、・・・が形成され、これらヘッド配置孔１４、１４、・・・に各別に磁気ヘッド１５、１５、・・・が配置されている。
【０００７】
上記のように構成された、回転ドラムを用いたいわゆるヘリカルスキャン方式の装置においては、回転ドラム１２に搭載した磁気ヘッド１５と磁気テープ４とを回転ドラム１２の外周面において接触させ、信号の記録または再生を実行している。この磁気ヘッド１５として、ＭＲ（Magneto Resistive)ヘッドやＧＭＲ（Giant Magneto Resistive)ヘッド等が用いられ、薄膜プロセスで形成される薄膜ヘッド素子の幅は、ＭＲヘッドの場合１μｍ単位、又はＧＭＲヘッドの場合０．１μｍ単位で形成されている。
【０００８】
近年、端面に薄膜ヘッド素子を有する磁気ヘッドが、磁気テープに対してほぼ平面形状を有し、磁気テープの剛性に拘わらず磁気ヘッドの磁気テープとの摺接面をドラム面から浮上した磁気テープの位置より低い位置に位置させると共に、上記磁気ヘッドと磁気テープとを減圧により接触させる技術が、例えば下記特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開２００３−２４２６１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図６は特許文献１に開示された磁気ヘッドの構成、および磁気ヘッド、回転ドラム、磁気テープの配置関係を示しており、図５と同一部分は同一符号をもって示している。
【００１０】
図６において、金属ベース１８の先端部に取り付けられた磁気ヘッド１５は、ヘッド配置孔１４内に配設されているとともに、そのテープ摺接面１６は、回転ドラム１２のドラム面２ａよりも内側（回転軸側）に位置させている。
【００１１】
磁気ヘッド１５は、図６（ｂ）のように所定厚みを有した金属ベース１８の先端部の磁気ヘッド貼り付け面１８ａに貼り付けられ、ウェハー基板２２と、その一方の端部に図６（ｃ）のように積層された薄膜素子２０とを有している。
【００１２】
図６（ａ）において、回転ドラム１２が回転すると、ドラム面２ａと磁気テープ４との間に空気が入り込み、当該ドラム面２ａに対して所定量浮上した状態で磁気テープ４が走行する。これは、ドラム面２ａと磁気テープ４との間に空気層が形成され、該空気層と磁気テープ４を挟んで位置する大気との間の圧力差が、磁気テープ４のテープテンションなどとの関係で均衡状態を保ち、これにより所定の浮上量で磁気テープ４が回転ドラム１２のドラム面２ａに沿って走行するためである。
【００１３】
そして、磁気テープ４のうち、ヘッド配置孔１４に対応した部分は、該部分において空気層の断面積が増加した分、空気層の圧力が減圧される。
【００１４】
また、磁気テープ４は、所定のテンションがかかって回転ドラム装置２に巻き付けられているため、そのテンションによりヘッド配置孔１４内に落ち込むようにして磁気テープ４の通り道が直線的となって走行する。そして、磁気テープ４は、ヘッド配置孔１４内に対向した部位がヘッド配置孔１４内に吸引されて、磁気テープ１５のテープ摺接面１６に接触することになる。
【００１５】
このように減圧により、磁気テープ４を磁気ヘッド１５に接触させるため、高剛性の磁気テープであっても、低剛性の磁気テープであっても、所定の接触圧又はそれ以上の接触圧で磁気ヘッド１５に安定的に接触させることができる。
【００１６】
上記のように、磁気テープ４の剛性の高低に拘わらず「当たり」を確保するためにテープ摺接面１６の形状をほぼ平面としている。
【００１７】
ところが減圧の効果が強くなると平面であるために、図６（ｄ）に示すように磁気テープ４からの圧力が磁気ヘッド端部１９に強くかかってしまう。薄膜素子２０を採用していると素子が端部に配置されているため、圧力による磨耗が発生してしまう。
【００１８】
薄膜素子２０は素子の特性を引き出すために寸法がμｍ単位で形成されている。特に高感度を必要とされる場合にはＧＭＲを用いる場合があり、深さ方向の寸法はコンマ数μｍ単位で制御が必要なため、磨耗量が多いと寿命が短くなってしまう。
【００１９】
この磨耗を低減させるために図７に示すように、薄膜素子２０が配置されている側の端部１９に片もち形状の保護板２１（保護部材）を貼り付けて端部１９を１９′に遠ざけて、素子部を端部から離すように構成することが考えられる。
【００２０】
この片もち形状の保護板２１は薄膜素子２０を覆うアルミナ等の絶縁層上に貼り付けられている。そして保護板２１は導電性の材料（アルチック等）を用いているが、絶縁層を介しているため図７（ｂ）に示すように、電位的に浮いている状態となり、磁気テープ４や外部からの電荷２３が保護板２１に触れた場合には帯電する恐れがある。ＧＭＲは静電気に弱く保護板２１の電荷２３が相当量になると、ＥＳＤ破壊（静電気破壊）を引き起こしかねない。
【００２１】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものでその目的は、薄膜素子の摩耗を防ぐためにテープ摺接面と同一平面状に配設した保護部材の帯電により、ＥＳＤ破壊が発生するのを防止した磁気ヘッドおよびヘッドドラム装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記課題を解決するための本発明の磁気ヘッドは、金属ベースを介して回転ドラムに固定され、磁気テープを用いて信号の記録又は再生を行う磁気ヘッドにおいて、半導体基板に積層されてなる薄膜ヘッド素子と、前記薄膜ヘッド素子の積層方向にあたる側面に固着され、前記薄膜ヘッド素子の磁気テープとの摺接面と同一の平面を形成する保護部材と、前記保護部材と前記金属ベースの間を電気的に接続する導通手段とを備えたことを特徴としている。
【００２３】
また上記課題を解決するための本発明のヘッドドラム装置は、金属ベースを介して回転ドラムに固定され、磁気テープを用いて信号の記録又は再生を行う磁気ヘッドを備えたヘッドドラム装置において、半導体基板に積層されてなる薄膜ヘッド素子と、前記薄膜ヘッド素子の積層方向にあたる側面に固着され、前記薄膜ヘッド素子の磁気テープとの摺接面と同一の平面を形成する保護部材と、前記保護部材と前記金属ベースの間を電気的に接続する導通手段とを備えたことを特徴としている。
【００２４】
また前記導通手段は、前記薄膜ヘッド素子の磁気テープとの摺接面以外の部位と前記保護部材とに塗布された導電材を有することを特徴としている。
【００２５】
また前記導通手段は、前記薄膜ヘッド素子に設けられ、前記保護部材との当接面と前記金属ベースとの間を結ぶ接地用端子を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２６】
（１）本発明によれば、保護部材に帯電する電荷は導通手段を介して金属ベース側へ接地されるので、保護部材の電荷上昇という不安要素が改善され、磁気ヘッドのＥＳＤ（静電気）耐性が向上し、ＥＳＤ破壊を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明するが、本発明は下記実施形態例に限定されるものではない。まず図１に薄膜素子を用いる場合の磁気ヘッドの構造を示す。薄膜素子を用いた磁気ヘッド１５は、図１（ａ）のようにウェハー基板１２２に、あらかじめ指定された寸法で形成される（薄膜形成位置３０）。
【００２８】
完成したウェハー基板１２２は多くの素子が配置されており、磁気ヘッドに用いる寸法に、切り出し面３１を境として切り出される。尚３２は信号取り出し端子である。
【００２９】
このように加工され切り出された磁気ヘッド１５は、回転ドラムに搭載するために金属ベース１８の端部に貼り付けられて、信号取り出し端子３２と金属ベース１８側のベース側基板３４とが配線３３によって接続される。尚薄膜素子２０は記録用素子であっても再生用素子であっても良い。
【００３０】
図２は本発明の一実施形態例を表し、（ａ）は要部側面図、（ｂ）は要部分解斜視図を示し、磁気ヘッド１５が取り付けられる金属ベース（１８）は図示省略している。
【００３１】
図２において、ウェハー基板１２２の端面に積層された薄膜素子２０に保護板２１を貼り付け、その後それらウェハー基板１２２、薄膜素子２０および保護板２１の各側面に例えば銀ペーストから成る導電材２５を塗布し、これによってウェハー基板１２２と保護板２１の導通をとる。
【００３２】
この構成により、保護板２１に触れた電荷は導電材２５およびウェハー基板１２２を介して図示省略の金属ベースにアースされ、ＥＳＤ耐性が向上する。尚図２（ｂ）において導電材２５は図示省略している。
【００３３】
また前記図２のように、導電材を磁気ヘッド１５の完成後に塗布する方法以外に、図３に示すように薄膜形成時に保護板を貼り付ける位置に接地を目的とした端子を設けて、保護板を貼り付けた時点で導電材を塗布して工程の簡素化を行うことも可能である。
【００３４】
すなわち図３（ａ）では、薄膜素子（層）２０の、保護板２１が貼り付けられる部位に保護板接続端子２６を設け、金属ベース（図示省略）側に外部接地用端子２７を設け、保護板接続端子２６および外部接地用端子２７を電気的に導通状態に構成しておき、その後保護板２１を薄膜素子２０に貼り付けた。
【００３５】
また図３（ｂ）では、図３（ａ）と同様に構成した後、さらに保護板接続端子２６に導電材２５を塗布した。
【００３６】
また図３（ｂ）のように導電材２５を保護板接続端子２６に塗布する代わりに、図４の要部断面図のように、外部接地用端子２７と導通状態にされる保護板接続端子２６を、保護板２１の貼り付けに支障がない厚みに増厚して形成し、直接保護板２１との導通を図るようにしても良い。尚図４において２８は保護板接着剤を示している。
【００３７】
図３、図４の構成においても、保護板２１に触れた電荷は保護板接続端子２６および外部接地用端子２７を介して図示省略の金属ベースにアースされ、ＥＳＤ耐性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の磁気ヘッドの製造工程を表し、（ａ）は磁気ヘッドの切り出しまでの概略説明図、（ｂ）は磁気ヘッドの配線例を示す要部斜視図。
【図２】本発明の一実施形態例を表し、（ａ）は要部側面図、（ｂ）は要部分解斜視図。
【図３】本発明の他の実施形態例を表し、（ａ）は要部分解斜視図、（ｂ）は要部斜視図。
【図４】本発明の他の実施形態例を示す要部断面図。
【図５】本発明が適用される磁気テープドライブ装置を表し、（ａ）はドライブ装置の概略構成図、（ｂ）は回転ドラム装置の斜視図。
【図６】従来の磁気ヘッドおよび回転ドラム装置を表し、（ａ）は磁気ヘッド配置を示す要部断面略図、（ｂ）は磁気ヘッドの斜視図、（ｃ）は薄膜素子を用いた磁気ヘッドの要部斜視図、（ｄ）は磁気ヘッド端部とテープ走行位置を示す説明図。
【図７】保護板を備えた磁気ヘッドを表し、（ａ）は要部斜視図、（ｂ）は保護板と磁気テープからの電荷の移動イメージを示す説明図。
【符号の説明】
【００３９】
２…回転ドラム装置、２ａ…ドラム面、４…磁気テープ、１２…回転ドラム、１３…固定ドラム、１４…ヘッド配置孔、１５…磁気ヘッド、１６…摺接面、１８…金属ベース、１９、１９′…磁気ヘッド端部、２０…薄膜素子、２１…保護板、２２、１２２…ウェハー基板、２３…電荷、２５…導電材、２６…保護板接続端子、２７…外部接地用端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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