(57)【要約】【課題】  研磨布の微細孔の中に溜まった目詰まり物質を確実に排除して、研磨布全面の砥粒保持能力を回復できるドレッサー及びドレッシング方法を提供する。【解決手段】  被研磨体を研磨する研磨布の目立てに用いられるドレッサーＡであって、円盤状のドレッサー本体１と、研磨布に押圧されるとともに研磨布を目立て処理するドレス作用部２とが形成され、ドレス作用部２は、ドレッサー本体１の中心軸Ｏ１と直交する面１ａに突設されているとともに、その先端の肉厚を０．３から２．５ｍｍとする。【選択図】  図１
2007111807.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨体を研磨する研磨布の目立てに用いられるドレッサーであって、
円盤状のドレッサー本体と、前記研磨布に押圧されるとともに該研磨布を目立て処理するドレス作用部とが形成され、該ドレス作用部は、前記ドレッサー本体の中心軸と直交する面に突設されているとともに、その先端の肉厚が０．３から２．５ｍｍとされていることを特徴とするドレッサー。
【請求項２】
請求項１記載のドレッサーにおいて、
前記ドレス作用部が、前記ドレッサー本体の同心円上に形成されていることを特徴とするドレッサー。
【請求項３】
請求項１記載のドレッサーにおいて、
前記ドレス作用部は、前記ドレッサー本体の中心に対して放射状に形成されていることを特徴とするドレッサー。
【請求項４】
請求項２記載のドレッサーにおいて、
前記ドレス作用部の側面に外周から内周に向けて貫通する少なくとも一つの貫通孔が形成されていることを特徴とするドレッサー。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか記載のドレッサーにおいて、
前記ドレス作用部は、その肉厚が先端に向かって漸次小となるように形成されていることを特徴とするドレッサー。
【請求項６】
被研磨体を研磨する研磨布の目立てを行うドレッシング方法であって、
請求項１から請求項５のいずれか記載のドレッサーを用いて研磨布の目立てを行うことを特徴とする研磨布のドレッシング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密研磨加工に用いられる研磨布の目立てに使用されるドレッサー及びドレッシング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置やプラズマディスプレイ等の平面表示装置は、液晶を封入したり、放電セルを真空密閉する構造から透明薄板が使用され、この種の透明薄板には、耐熱性や平坦性に優れている点からガラス板が多用されている。また、液晶表示装置やプラズマディスプレイ等の平面表示装置は大型化に対する要求が急速に高まっており、これに伴いガラス板も大型のものが必要とされているとともに、その平坦性への要求がますます厳しいものとなっている。
【０００３】
従来、ガラス板などの高い平坦性を実現する技術の一つとして、化学機械的研磨法（ＣＭＰ法）が用いられている。このＣＭＰ法によるガラス板など（被研磨体）の研磨は、研磨機を用いて行われており、上面に研磨布が固着された下定盤を回転させ、被研磨体を上定盤によって回転させつつ研磨布面内で揺動し、被研磨体と研磨布の間に研磨液（スラリー）を供給することによって行われる。このとき、研磨液は下定盤の中央に形成された研磨液供給孔から供給される。
【０００４】
ここで、研磨布には研磨液中に分散させた砥粒を保持する微細孔や溝など（以下、微細孔という）が多数設けられており、この微細孔によって研磨布の表面に保持された砥粒で研磨が行われる。しかしながら、被研磨体の研磨を繰り返すと研磨布の表面の平坦度が低下したり、目詰まり、目つぶれ等の現象が生じるため、次第に被研磨体の研磨精度と研磨効率が低下する。このため、研磨を終えた段階で、研磨布の表面にドレッサーを当接させ、研磨布側を回転するかまたは回転駆動装置によりドレッサーを回転することによって、研磨布の表面のうち、被研磨体の研磨に使用する範囲を削り取り、研磨布の表面の平坦度等を回復又は維持し、また目詰まり、目つぶれなどを解消することが行われている。この研磨布の表面を削り取るためのドレッサーとしては、研磨布の表面に当接される部分に、例えばダイヤモンドの微粒子を電着し砥粒層を形成した、いわゆるダイヤモンドドレッサーと称されるものが多用されている。（例えば、特許文献１参照）
【０００５】
他方、研磨布の微細孔に目詰まりした目詰まり物質を排除するドレッサーとしては、ドレッサーにブラシを取り付け、このブラシを当接するとともに回転することによって目詰まり物質を微細孔から掻き出し排出する、いわゆるブラシドレッサーと称されるものもある。（例えば、特許文献１参照）
【特許文献１】特開平１１−３３３６９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、研磨布を削り取る方法では、研磨布の寿命が短くなるという問題があった。また、大きな被研磨体を研磨する場合には、研磨液供給孔が設けられた下定盤（研磨布）の中央にも、研磨時、常に被研磨体が位置する状態となるが、この研磨液供給孔が設けられた中央の部分は、平坦性を確保しつつ研磨布を削り取ることが困難で、目立て処理（ドレッシング）することができない場合がある。このような場合には、研磨布の中央付近にドレッシングされていない研磨布が残されることとなる。ドレッシングされていない中央の部分を使用しない場合（被研磨体が小さい場合）には問題はないが、大きな被研磨体を研磨する場合にはドレッシングされていない部分にも被研磨体が当接されるため、被研磨体の全面を均等に研磨できなくなるという問題があった。
【０００７】
また、研磨布をブラシで擦って微細孔から目詰まり物質を排除する方法は、研磨布の中央付近も含め全面をドレッシングすることが可能であるが、微細孔の中に溜まった目詰まり物質を確実に排除することができず、研磨布の砥粒保持能力を回復させることができない場合があるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記事情を鑑み、研磨布の微細孔の中に溜まった目詰まり物質を確実に排除して、研磨布全面の砥粒保持能力を回復できるドレッサー及びドレッシング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【００１０】
請求項１に係る発明は、被研磨体を研磨する研磨布の目立てに用いられるドレッサーであって、円盤状のドレッサー本体と、前記研磨布に押圧されるとともに該研磨布を目立て処理するドレス作用部とが形成され、該ドレス作用部は、前記ドレッサー本体の中心軸と直交する面に突設されているとともに、その先端の肉厚が０．３から２．５ｍｍとされていることを特徴とする。
【００１１】
この発明に係るドレッサーにおいては、ドレス作用部がドレッサー本体の中心軸と直交する面に突設されているとともに、その先端の肉厚が０．３から２．５ｍｍに形成されていることによって、研磨布の微細孔を画成する凸部にドレス作用部の先端の隅角部を押圧させることができ、研磨布に対する面圧を好適な状態にすることができるため、微細孔から目詰まり物質を確実に絞り出すことができる。ここで、ドレス作用部の先端の肉厚を０．３ｍｍ以上としたのは、０．３ｍｍよりも肉厚を大きく取れば、研磨布に対するドレス作用部の面圧によって研磨布を傷つける恐れがなくなるためであり、２．５ｍｍ以下としたのは、２．５ｍｍよりも肉厚を小さくすれば、研磨布に対するドレス作用部の面圧を目詰まり物質を絞り出すのに適した面圧とすることができ、微細孔から目詰まり物質を絞り出す排除効率がよくなるためである。
【００１２】
請求項２に係る発明は、請求項１記載のドレッサーにおいて、前記ドレス作用部が、前記ドレッサー本体の同心円上に形成されていることを特徴とする。
【００１３】
この発明に係るドレッサーにおいては、ドレス作用部が、ドレッサー本体の同心円上に形成されているため、ドレッサー又は研磨布、もしくはこの双方を軸線回りに回転させるとともに、ドレッサーを押圧しつつ研磨布の径方向に相対運動させることにより、研磨布全面の微細孔を画成する凸部にドレス作用部の先端の隅角部を押圧させることができ、微細孔から目詰まり物質を確実に絞り出すことができる。
【００１４】
請求項３に係る発明は、請求項１記載のドレッサーにおいて、前記ドレス作用部は、前記ドレッサー本体の中心に対して放射状に形成されていることを特徴とする。
【００１５】
この発明に係るドレッサーにおいては、ドレス作用部が、ドレッサー本体の中心に対して放射状に突出して形成されているため、ドレッサー又は研磨布、もしくはこの双方を軸線回りに回転させるとともに、ドレッサーを押圧しつつ研磨布の径方向に相対運動させることにより、研磨布全面の微細孔を画成する凸部にドレス作用部の先端の隅角部を押圧させることができ、微細孔から目詰まり物質を確実に絞り出すことができる。また、ドレッシング時に洗浄液をドレッサー本体の下方へ確実に供給することができ、ドレス作用部によって微細孔から排除された目詰まり物質を、この洗浄液とともにドレッサー外部に確実に排出させることができる。
【００１６】
請求項４に係る発明は、請求項２記載のドレッサーにおいて、前記ドレス作用部の側面に外周から内周に向けて貫通した少なくとも一つの貫通孔が形成されていることを特徴とする。
【００１７】
この発明に係るドレッサーにおいては、ドレス作用部の側面に外周から内周に向けて貫通した少なくとも一つの貫通孔を形成することによって、ドレッシング時に洗浄液をドレッサー本体の下方へ確実に供給することができ、ドレス作用部によって微細孔から排除された目詰まり物質を、洗浄液とともにドレッサー外部に確実に排出させることができる。
【００１８】
請求項５に係る発明は、請求項１から請求項４のいずれか記載のドレッサーにおいて、前記ドレス作用部は、その肉厚が先端に向かって漸次小となるように形成されていることを特徴とする。
【００１９】
この発明に係るドレッサーにおいては、ドレス作用部の肉厚が先端に向かって漸次小となるように形成されていることから、ドレス作用部を確実にドレッサー本体に固定でき、ドレス作用部の剛性を高めることができるため、研磨布に対するドレス作用部の面圧を好適な状態にすることができる。
【００２０】
請求項６に係る発明は、被研磨体を研磨する研磨布の目立てを行うドレッシング方法であって、請求項１から請求項５のいずれか記載のドレッサーを用いて研磨布の目立てを行うことを特徴とする。
【００２１】
この発明に係るドレッシング方法においては、ドレッサー本体の中心軸と直交する面に突設され、先端の肉厚が０．３から２．５ｍｍに形成されているドレス作用部を、研磨布の微細孔を画成する凸部に押圧させることにより、微細孔から目詰まり物質を確実に絞り出すことができる。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１に係る発明によれば、ドレス作用部がドレッサー本体の中心軸と直交する面に突設されているとともに、その先端の肉厚が０．３から２．５ｍｍに形成されていることによって、研磨布の微細孔を画成する凸部にドレス作用部の先端の隅角部を押圧させることができ、また、研磨布に対する面圧を好適な状態にすることができるため、微細孔から目詰まり物質を確実に絞り出すことができる。これによって、研磨布を削り取ることなく、確実に目詰まり物質を排除することができるため、研磨布の寿命を短くすることなく、研磨布全面の砥粒保持能力を回復させることができる。
【００２３】
請求項２に係る発明によれば、ドレス作用部が、ドレッサー本体の同心円上に形成されているため、ドレッサー又は研磨布、もしくはこの双方を軸線回りに回転させるとともに、ドレッサーを押圧しつつ研磨布の径方向に相対運動させることにより、研磨布全面の微細孔を画成する凸部にドレス作用部の先端の隅角部を押圧させることができ、微細孔から目詰まり物質を確実に絞り出すことができる。これによって、研磨布を削り取ることなく、確実に目詰まり物質を排除することができるため、研磨布の寿命を短くすることなく、研磨布全面の砥粒保持能力を回復させることができる。
【００２４】
請求項３に係る発明によれば、ドレス作用部が、ドレッサー本体の中心に対して放射状に形成されているため、ドレッサー又は研磨布、もしくはこの双方を軸線回りに回転させるとともに、ドレッサーを押圧しつつ研磨布の径方向に相対運動させることにより、研磨布全面の微細孔を画成する凸部にドレス作用部の先端の隅角部を押圧させることができ、微細孔から目詰まり物質を確実に絞り出すことができる。また、ドレッシング時に洗浄液をドレッサー本体の下方へ確実に供給することができ、ドレス作用部によって微細孔から排除された目詰まり物質を、この洗浄液とともにドレッサー外部に確実に排出させることができる。これによって、研磨布を削り取ることなく、確実に目詰まり物質を排除することができるため、研磨布の寿命を短くすることなく、研磨布全面の砥粒保持能力を回復させることができる。
【００２５】
請求項４に係る発明によれば、ドレス作用部の側面に外周から内周に向けて貫通した少なくとも一つの貫通孔を形成することによって、ドレッシング時に洗浄液をドレッサー本体の下方に供給することができ、ドレス作用部によって微細孔から排出された目詰まり物質を、この洗浄液とともにドレッサー外部に確実に排出させることができる。これによって、確実に目詰まり物質を排除することができ、研磨布の砥粒保持能力を回復させることができる。
【００２６】
請求項５に係る発明によれば、ドレス作用部の肉厚が先端に向かって漸次小となるように形成されていることから、ドレス作用部を確実にドレッサー本体に固定でき、ドレス作用部の剛性を高めることができるため、研磨布に対するドレス作用部の面圧を好適な状態にすることができる。これによって、研磨布を削り取ることなく、確実に目詰まり物質を排除することができるため、研磨布の寿命を短くすることなく、研磨布全面の砥粒保持能力を回復させることができる。
【００２７】
請求項６に係る発明によれば、ドレッサー本体の中心軸と直交する面に突設され、先端の肉厚が０．３から２．５ｍｍに形成されているドレス作用部を、研磨布の微細孔を画成する凸部に押圧させることにより、微細孔から目詰まり物質を確実に絞り出すことができる。これによって、研磨布を削り取ることなく、確実に目詰まり物質を排除することができるため、研磨布の寿命を短くすることなく、研磨布全面の砥粒保持能力を回復させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、図１から図５を参照し、本発明の第１実施形態に係るドレッサーＡについて説明する。
【００２９】
本発明の第１実施形態は、ガラス板などの精密研磨加工に用いられる研磨布の目立てに使用されるドレッサーに関するものであり、図１は本発明に係るドレッサーの第１実施形態を示す断面図であり、図２は図１に示したドレッサーの平面図、図３から図４は第１実施形態に示すドレッサーを用いて研磨布の目立てを行う操作概念図、図５は第１実施形態に示すドレッサーによる目詰まり物質の排除状態を概念的に示した図である。
【００３０】
図１から図２に示すように、ドレッサーＡは、円盤状のドレッサー本体１と、このドレッサー本体１の中心軸Ｏ１に直交する内面１ａに突設されるドレス作用部２とから構成されている。ここで、ドレッサーＡは、金属製円盤状のドレッサー本体１の外周縁１ｂに、リング状に形成された、例えばステンレス製のドレス作用部２を溶接などによって一体化したものである。また、ドレッサー本体１の外周縁１ｂにドレス作用部２が突設されることにより、ドレッサーＡには、ドレス作用部２が突設する側に中空部１ｃが形成されている。
【００３１】
ドレス作用部２は、外周側にテーパー２ａが形成されており、これにより肉厚が先端２ｂに向かって漸次小となるように形成されている。このとき、ドレス作用部２の、図３から図４に示す研磨布３に当接される先端２ｂの幅は、０．３〜２．５ｍｍに形成されている。また、ドレス作用部２の側面２ｃには、外周から内周に向けて貫通する貫通孔２ｄがドレッサーＡの中心を挟み対称の位置に２箇所設けられている。
【００３２】
ついで、上記の構成からなるドレッサーＡを用いて研磨布３の目立てを行う方法について説明する。
【００３３】
図３から図４は、研磨機４の下定盤５を示すものである。この下定盤５の上面５ａには研磨布３が固着されている。ここで、研磨機４は、下定盤５とともに研磨布３を回転させ、図示しない被研磨体を図示しない上定盤によって回転させつつ、研磨布３面内で揺動して被研磨体の研磨を行うものである。このとき、被研磨体と研磨布３の間に、下定盤５の中央５ｂに形成された研磨液供給孔５ｃから研磨液が供給される。
【００３４】
研磨布３は、例えば合成樹脂繊維、不織布、あるいはウレタン等からなるものであり、図５に示すような多数の微細孔３ａを有する多孔質材である。また、研磨機４において、研磨布３は、供給された研磨液中の砥粒を微細孔３ａに保持するためのものであり、微細孔３ａに保持された砥粒に、上定盤に保持された被研磨体が押圧されることによって被研磨体が研磨される。
【００３５】
図５に示すように、研磨作業の進行に伴い、研磨布３の微細孔３ａは、研磨能力が低下した砥粒や研磨屑等（目詰まり物質３ｂ）が目詰まり、供給される新しい砥粒を保持できなくなる。このため、例えば一つの被研磨体の研磨を終えた段階で、ドレッサーＡによる研磨布３のドレッシングが行われる。
【００３６】
ドレッサーＡによる研磨布３の目立ては、次のように行われる。図１から図４に示すように、研磨を終えた被研磨体を研磨布３面上から移動したのち、研磨布３面上にドレッサーＡを載置して、ドレス作用部２の先端２ｂを研磨布３に当接させる。ついで、下定盤５を回転駆動手段によって、例えば矢印ａ方向に回転させるとともに、可動軸Ｏ１に支持されたドレッサーＡを研磨布３に押圧しつつ、研磨布３の径方向（矢印ｂ方向）に繰り返し摺動させる。ドレッサーＡは、ドレス作用部２の先端２ｂの外周縁２ｅが研磨布３の外周縁３ｂから研磨液供給孔５ｃの外周縁５ｄに接する間で摺動される。また、研磨布３面上には、適宜手段によって洗浄液が供給されている。このとき、下定盤５（研磨布３）の回転数は３０〜５０ｒｐｍで、研磨布３に対するドレッサーＡの押圧力は０．３〜２．５ＭＰａとされている。
【００３７】
図５（ａ）から図５（ｃ）に示すように、微細孔３ａの目詰まり物質３ｂは、ドレス作用部２の先端２ｂに形成された隅角部２ｆが、微細孔３ａを画成する凸部３ｄを押圧することにより絞り出される。このとき、ドレス作用部２の先端２ｂの肉厚を０．３〜２．５ｍｍとしていることによって、研磨布３に対する面圧が好適な状態とされ、微細孔３ａから確実に目詰まり物質３ｂを絞り出すことが可能となる。また、ドレッサーＡは、研磨布３に対して相対運動しているため、ドレス作用部２の隅角部２ｆが、順次隣り合う凸部３ｄを押圧してゆく。最終的には、研磨布３全面の凸部３ｄが押圧され、研磨布３を削り取ることなく、研磨布３全面の目詰まり物質３ｂが微細孔３ａから排除される。ここで、ドレス作用部２が、先端２ｂに向かって漸次小となるように形成されていることによって、凸部３ｄを押圧するのに必要な剛性は十分に確保される。また、ドレッシング時に、図１から図２に示すように、研磨布３上に供給された洗浄液がドレス作用部２の側面２ｃに形成された貫通孔２ｄから、ドレッサーＡの摺動に伴う付勢力によって中空部１ｃに供給される。この供給された洗浄液は、中空部１ｃに溜まった目詰まり物質３ｂを、貫通孔２ｄを通して外部に排出させる。
【００３８】
したがって、上記の構成においては、ドレス作用部２がドレッサー本体１の中心軸Ｏ１と直交する面１ａに突設されているとともに、その先端２ｂの肉厚が０．３〜２．５ｍｍに形成されていることによって、研磨布３の微細孔３ａを画成する凸部３ｄに、ドレス作用部２の先端２ｂの隅角部２ｆを押圧させることができ、また、研磨布３に対する面圧を好適な状態にすることができるため、微細孔３ａから目詰まり物質３ｂを確実に絞り出すことができる。
【００３９】
また、上記の構成においては、ドレス作用部２が、ドレッサー本体１の同心円上に形成されているため、ドレッサーＡ又は研磨布３、もしくはこの双方を軸線回りに回転させるとともに、ドレッサーＡを押圧しつつ研磨布３の径方向に相対運動させることにより、研磨布３全面の微細孔３ａを画成する凸部３ｄに、ドレス作用部２の先端２ｂの隅角部２ｆを押圧させることができ、微細孔３ａから目詰まり物質３ｂを確実に絞り出すことができる。
【００４０】
さらに、上記の構成においては、ドレス作用部２の側面２ｃに外周から内周に向けて貫通した貫通孔２ｄを形成することによって、ドレッシング時に洗浄液をドレッサー本体１の下方に供給することができ、ドレス作用部２によって微細孔２ａから排出された目詰まり物質３ｂを、この洗浄液とともにドレッサーＡ外部に確実に排出させることができる。
【００４１】
また、上記構成においては、ドレス作用部２の肉厚が先端２ｂに向かって漸次小となるように形成されていることから、ドレス作用部２を確実にドレッサー本体１に固定でき、ドレス作用部２の剛性を高めることができるため、研磨布３に対するドレス作用部２の面圧を好適な状態で確保することができる。
【００４２】
よって、上記の構成によれば、研磨布３を削り取ることなく、確実に目詰まり物質３ｂを排除することができるため、研磨布３の寿命を短くすることなく、研磨布３全面の砥粒保持能力を回復させることができる。
【００４３】
なお、ドレス作用部２に設けられた貫通孔２ｄは２箇所としたが、必ずしもこの限りではない。中空部１ｃへの洗浄液の供給および中空部１ｃから除去された目詰まり物質３ｂを排出するためのものであるため、その位置および数が限定されるものではない。
【００４４】
また、ドレッサーＡは、研磨布３面内で径方向に摺動されるものとしたが、このとき、可動軸Ｏ１に支持されたドレッサーＡが軸線回りに回転されてもよいものである。
【００４５】
さらに、ドレス作用部２は、先端２ｂに向かって漸次小となるように形成されるものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、ドレス作用部２の剛性が確保できる場合には側面２ｃにテーパー２ａを形成せず、先端２ｂと同じ肉厚で形成されてもよいものである。
【００４６】
また、ドレス作用部２は、ドレッサー本体１の中心軸Ｏ１と直交する面１ａに突設され、その先端２ｂの肉厚が０．３から２．５ｍｍとされていればよいものであり、ドレッサー本体１の同心円上以外の位置に形成されていてもよく、さらに、貫通孔２ｄが設けられていなくてもよいものである。
【００４７】
ついで、図６から図９を参照し、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の説明においては、第１実施形態に係るドレッサーと共通する構成に対して同一符号を付し、詳細についての説明を省略する。
【００４８】
本発明の第２実施形態は、前記第１実施形態と同様に、ガラス板などの精密研磨加工に用いられる研磨布の目立てに使用されるドレッサーに関するものであり、図６は本発明に係るドレッサーの第２実施形態を示す断面図であり、図７は図６に示したドレッサーの平面図、図８から図９は第２実施形態に示すドレッサーを用いて研磨布の目立てを行う操作概念図を示すものである。
【００４９】
図６から図７に示すように、ドレッサーＢは、円盤状のドレッサー本体１と、このドレッサー本体１の中心軸Ｏ２に直交する内面１ａに突設されるドレス作用部２とから構成されている。
【００５０】
ドレス作用部２は、ドレッサー本体１の中心軸Ｏ２に対して放射状に突設されている。また、ドレッサーＢは、中心軸（回転軸）Ｏ２の軸線回りに回転可能に取り付けられて使用されるものであり、ドレス作用部２には、ドレッサーＢの回転方向とは逆の側面２ｃにテーパー２ａが形成されている。このテーパー２ａによって、ドレス作用部２は、肉厚が先端２ｂに向かって漸次小とされている。このとき、ドレス作用部２の、図８から図９に示す研磨布３に当接される先端２ｂの幅は、０．３〜２．５ｍｍに形成されている。
【００５１】
ついで、上記の構成からなるドレスＢを用いて研磨布３の目立てを行う方法について説明する。
【００５２】
図８から図９は、第１実施形態で示した図３から図４と同様に、研磨機４の、上面５ａに研磨布３が固着された下定盤５を示すものである。
【００５３】
ドレッサーＢによる研磨布３の目立ては、図６から図９に示すように、ほぼ第１実施形態と同様に行われる。ここで、ドレッサーＢは、可動軸Ｏ２の軸線回りに、例えば矢印ｃ方向に回転している。このとき、ドレッサーＢの回転数は３０〜５０ｒｐｍとされている。
【００５４】
ドレッサーＢによる目詰まり物質３ｂの微細孔３ａからの排除は、第１実施形態で示した図５（ａ）から図５（ｃ）と同様に行われる。ここで、排除された目詰まり物質３ｂは、ドレス作用部２がドレッサー本体１の中心軸Ｏ２に対して放射状に突設されているため、ドレス作用部２が形成されている以外の空間から、洗浄液が供給され、この洗浄液とともに目詰まり物質３ｂが排出される。
【００５５】
したがって、上記の構成においては、ドレス作用部２がドレッサー本体１の中心軸Ｏ２と直交する面１ａに突設されているとともに、その先端２ｂの肉厚が０．３〜２．５ｍｍに形成されていることによって、研磨布３の微細孔３ａを画成する凸部３ｄに、ドレス作用部２の先端２ｂの隅角部２ｆを押圧させることができ、また、研磨布３に対する面圧を好適な状態にすることができるため、微細孔３ａから目詰まり物質３ｂを確実に絞り出すことができる。
【００５６】
また、上記の構成においては、ドレッサー本体１の中心に対して放射状に形成されているため、ドレッサーＢ又は研磨布３、もしくはこの双方を軸線回りに回転させるとともに、ドレッサーＢを押圧しつつ研磨布３の径方向に相対運動させることにより、研磨布３全面の微細孔３ａを画成する凸部３ｄに、ドレス作用部２の先端２ｂの隅角部２ｆを押圧させることができ、微細孔３ａから目詰まり物質３ｂを確実に絞り出すことができる。また、ドレッシング時に洗浄液をドレッサー本体１の下方へ確実に供給することができ、ドレス作用部２によって微細孔３ａから排除された目詰まり物質３ｂを、この洗浄液とともにドレッサーＢ外部に確実に排出させることができる。
【００５７】
さらに、上記の構成においては、ドレス作用部２の肉厚が先端２ｂに向かって漸次小となるように形成されていることから、ドレス作用部２を確実にドレッサー本体１に固定でき、ドレス作用部２の剛性を高めることができるため、研磨布３に対するドレス作用部２の面圧を好適な状態で確保することができる。
【００５８】
よって、上記の構成によれば、研磨布３を削り取ることなく、確実に目詰まり物質３ｂを排除することができるため、研磨布３の寿命を短くすることなく、研磨布３全面の砥粒保持能力を回復させることができる。
【００５９】
なお、ドレッサーＢは、研磨布３面内で径方向に摺動されるとともに、可動軸Ｏ２に支持されたドレッサーＢが軸線回りに回転されるものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、研磨布３が下定盤５によって回転されている場合には、ドレッサーＢが可動軸Ｏ２の軸線回りに回転されていなくてもよいものである。
【００６０】
さらに、ドレス作用部２は、先端２ｂに向かって漸次小となるように形成されるものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、ドレス作用部２の剛性が確保できる場合には側面２ｃにテーパー２ａを形成せず、先端２ｂと同じ肉厚で形成されてもよいものである。
【００６１】
また、ドレス作用部２は、ドレッサー本体１の中心軸Ｏ２と直交する面１ａに突設され、その先端２ｂの肉厚が０．３から２．５ｍｍとされていればよいものであり、ドレッサー本体１の中心に対して放射状に形成されていなくてもよいものである。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るドレッサーＡを示す側面図である。
【図２】図１に示したドレッサーＡの平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るドレッサーＡを用いて研磨布の目立てを行う操作概念図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係るドレッサーＡを用いて研磨布の目立てを行う操作概念図である。
【図５】本発明の第１実施形態および第２実施形態に係るドレッサーＡ、Ｂによる目詰まり物質の排除状態を概念的に示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係るドレッサーＢを示す側面図である。
【図７】図６に示したドレッサーＢの平面図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るドレッサーＢを用いて研磨布の目立てを行う操作概念図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るドレッサーＢを用いて研磨布の目立てを行う操作概念図である。
【符号の説明】
【００６３】
１    ドレッサー本体
１ｂ  外周縁
１ｃ  中空部
２    ドレス作用部
２ｂ  先端部
２ｃ  側面
２ｄ  貫通孔
２ｆ  隅角部
３    研磨布
４    研磨機
５    下定盤
５ａ  上面
５ｃ  研磨液供給孔
５ｄ  外周縁
【図１】
2007111807.tif 000003
【図２】
2007111807.tif 000004
【図３】
2007111807.tif 000005
【図４】
2007111807.tif 000006
【図５】
2007111807.tif 000007
【図６】
2007111807.tif 000008
【図７】
2007111807.tif 000009
【図８】
2007111807.tif 000010
【図９】
2007111807.tif 000011