(57)【要約】【課題】      基板面内の結晶粒の位置や結晶粒径を容易に制御しつつ、製造工程数を削減することができる半導体薄膜、電子デバイス及び液晶表示デバイスの製造方法を提供する。【解決手段】  半導体薄膜（又は電子デバイス若しくは液晶表示デバイス）の製造方法において、第１の透明基板２上に非晶質半導体薄膜５１５を形成する工程と、表面の一部（２１）に金属元素を含む転写体２０を形成する工程と、転写体２０の表面の一部を非晶質半導体薄膜５１５の表面に当接させ、金属元素を含む溶液２５を非晶質半導体薄膜５１５の表面上に転写する工程と、非晶質半導体薄膜５１５を溶融させ、金属元素を結晶生成核として非晶質半導体薄膜５１５を結晶化する工程とを備える。【選択図】        図５
2007073855.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に半導体薄膜を形成する工程と、
表面の一部に金属元素を含む転写体を形成する工程と、
前記転写体表面の一部を前記半導体薄膜表面に当接させ、前記金属元素を前記半導体薄膜表面上に転写する工程と、
前記半導体薄膜を溶融させ、前記金属元素を結晶生成核として前記半導体薄膜を結晶化する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体薄膜の製造方法。
【請求項２】
基板上に半導体薄膜を形成する工程と、
結晶生成核となる金属元素を含む溶液を転写体表面の一部に選択的に塗布する工程と、
前記転写体表面の一部を前記半導体薄膜表面に当接させ、前記転写体表面の一部に塗布された前記溶液を前記半導体薄膜表面上に転写する工程と、
前記半導体薄膜を溶融させ、前記溶液に含まれる金属元素を結晶生成核として、前記半導体薄膜を結晶化する工程と、
を備えたことを特徴とする半導体薄膜の製造方法。
【請求項３】
前記溶液を前記転写体表面の一部に塗布する工程は、Ｎｉ、Ｃｏ及びＦｅのうち選択された１つの金属元素を含む溶液を前記転写体表面の一部に塗布する工程であることを特徴とする請求項２に記載の半導体薄膜の製造方法。
【請求項４】
前記溶液を前記転写体表面の一部に塗布する工程は、前記半導体薄膜に比べて硬度が低い凸型形状の転写体の突出表面上に選択的に前記溶液を塗布する工程であり、前記転写体表面の一部に塗布された前記溶液を前記半導体薄膜表面上に転写する工程は、前記転写体の突出表面上に塗布された溶液を半導体薄膜表面上に転写する工程であることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の半導体薄膜の製造方法。
【請求項５】
前記半導体薄膜を結晶化する工程は、前記半導体薄膜にレーザビームを照射して前記半導体薄膜を溶融させ、この固化のときに前記溶液に含まれる前記金属元素を結晶生成核として、前記半導体薄膜を結晶化する工程であることを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれかに記載の半導体薄膜の製造方法。
【請求項６】
基板上に半導体薄膜を形成する工程と、
結晶生成核となる金属元素を含む溶液を、転写体表面において行列状に一定間隔離間された一部に選択的に塗布する工程と、
前記転写体表面の一部を前記半導体薄膜表面に当接させ、前記転写体表面の一部に塗布された前記溶液を前記半導体薄膜表面上に転写する工程と、
前記半導体薄膜を溶融させ、前記溶液に含まれる金属元素を結晶生成核として、前記半導体薄膜を結晶化し、半導体素子を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項７】
前記溶液を転写体表面において一部に塗布する工程は、前記半導体薄膜のトランジスタのソース領域及びドレイン領域の形成領域上、又は前記トランジスタ間の素子間分離領域上に前記溶液を選択的に塗布する工程であることを特徴とする請求項６に記載の電子デバイスの製造方法。
【請求項８】
第１の透明基板上に半導体薄膜を形成する工程と、
トランジスタの主電極領域又は前記トランジスタ間の素子間分離領域に対応する一部に結晶生成核となる金属元素を含む転写体を形成する工程と、
前記転写体表面の一部を前記半導体薄膜表面に当接させ、前記転写体表面の一部の金属元素を前記半導体薄膜表面に転写する工程と、
前記半導体薄膜を溶融させ、前記金属元素を結晶生成核として、前記半導体薄膜を結晶化する工程と、
結晶化された前記半導体薄膜にトランジスタを形成する工程と、
前記第１の透明基板上に第２の透明基板を対向配置させ、前記第１の透明基板と前記第２の透明基板との間に液晶を封入する工程と、
を備えたことを特徴とする液晶表示デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体薄膜の製造方法、電子デバイスの製造方法及び液晶表示デバイスの製造方法に関し、特に結晶性を有する半導体薄膜の製造方法、この製造方法を含む電子デバイスの製造方法及びこの製造方法を含む液晶表示デバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば下記特許文献１に記載されているように、キャリア移動度が高い結晶性半導体薄膜の製造方法として、絶縁基板上に非晶質半導体薄膜を形成し、この非晶質半導体薄膜にエネルギビームを照射し、結晶性を変化させて結晶性半導体薄膜を形成する製造方法が知られている。非晶質半導体薄膜にエネルギビームを照射すると、そのエネルギによって半導体薄膜は溶融し、この溶融状態から固化することによって非晶質から結晶性を有する結晶性半導体薄膜を製造することができる。
【０００３】
この種の結晶性半導体薄膜の製造方法は液晶表示デバイス（液晶表示パネル）の薄膜トランジスタ（TFT：thin film transistor）の製造方法に応用されている。すなちわ、液晶表示デバイスの製造方法は、透明石英基板上に絶縁層を介在して非晶質Ｓｉ（珪素）薄膜を成膜し、この非晶質Ｓｉ薄膜にレーザビームを照射して溶融し、非晶質Ｓｉ薄膜から多結晶Ｓｉ薄膜に結晶性を変えるプロセスを含んでいる。この多結晶Ｓｉ薄膜は、薄膜トランジスタのソース領域、チャネル形成領域及びドレイン領域として使用されている。
【０００４】
結晶性半導体薄膜の製造方法において、平坦な透明石英基板上に形成された非晶質Ｓｉ薄膜にエネルギビームを照射すると、このエネルギによって非晶質Ｓｉ薄膜に加えられた熱の透明石英基板への伝導は基板面内において均一である。このため、非晶質Ｓｉ薄膜内に生成される結晶生成核の位置や非晶質Ｓｉ薄膜が溶融状態から固化する速度を、基板面内において制御することは難しい。結晶化した後の結晶性Ｓｉ薄膜においては、基板面内のＳｉ結晶粒の位置やＳｉ結晶粒径を制御することが不可能である。
【０００５】
すなわち、液晶表示デバイスにおいては、それを構築する薄膜トランジスタ毎にソース領域、チャネル形成領域及びドレイン領域中に存在するＳｉ結晶粒界の位置並びに数が異なるので、キャリア移動度、閾値電圧、リーク電流等の電気的特性にばらつきが生じる。また、製造ロット毎の液晶表示デバイスの薄膜トランジスタ間においては、ソース領域、チャネル形成領域及びドレイン領域中に存在するＳｉ結晶粒界の位置並びに数、更に製造条件のばらつきに起因するＳｉ結晶粒径が異なるので、キャリア移動度、閾値電圧、リーク電流等の電気的特性にばらつきが生じる。このような薄膜トランジスタの電気的特性のばらつきは、液晶表示特性に影響を及ぼす。
【０００６】
そこで、非晶質Ｓｉ薄膜にエネルギビームを照射した際に、不規則な結晶核の発生を抑制し、予め設定位置から結晶核を発生させかつ成長させ、大きなＳｉ結晶粒を有する結晶性Ｓｉ薄膜を形成する必要がある。下記特許文献２には、結晶化を助長する金属元素を非晶質薄膜に選択的に導入することにより、結晶化薄膜の結晶化温度を低温化する技術が開示されている。この結晶化薄膜の製造方法の詳細は以下の通りである。まず、非晶質薄膜表面上に窒化アルミニウム等のマスク材料を堆積し、フォトリソグラフィ技術を使用してマスク材料の一部に開口を形成したマスクを製作する。次に、マスクの開口を通して非晶質薄膜表面に結晶化を助長する金属元素を含む溶液を選択的に塗布する。そして、この金属元素が塗布された非晶質薄膜の一部から結晶化を行い、結晶性薄膜を製造する。
【特許文献１】特願２００４−１１９５１８号公報
【特許文献２】特許第３４６４２８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前述の特許文献２に記載された結晶性薄膜の製造方法においては、以下の点について、配慮がなされていなかった。すなわち、前述の結晶性薄膜の製造方法においては、金属元素を含む溶液の選択的な塗布に使用するマスクの製作に、マスク材料の堆積工程、フォトレジスト膜の塗布、露光及び現像を含むフォトマスクの製作工程、フォトマスクを使用したマスク材料のパターンニング（エッチング）工程等の多数の製造工程が必要になる。このため、製造工程数の増加に伴い、生産性の低下、歩留まりの低下、製造コストの増加が生じる。
【０００８】
本発明は前述の課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、基板面内の結晶粒の位置や結晶粒径を容易に制御しつつ、結晶化に要する製造工程数を削減することができる半導体薄膜の製造方法を提供することである。
【０００９】
更に、本発明の目的は、半導体素子の電気的特性を決定する結晶化のばらつきを減少させつつ、結晶化に要する製造工程数を削減することができる電子デバイスの製造方法を提供することである。
【００１０】
更に、本発明の目的は、画素を構築するトランジスタの電気的特性を決定する結晶化のばらつきを減少させつつ、結晶化に要する製造工程数を削減することができる液晶表示デバイスの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、半導体薄膜の製造方法において、基板上に半導体薄膜を形成する工程と、表面の一部に金属元素を含む転写体を形成する工程と、転写体表面の一部を半導体薄膜表面に当接させ、金属元素を半導体薄膜表面上に転写する工程と、半導体薄膜を溶融させ、金属元素を結晶生成核として半導体薄膜を結晶化する工程とを備える。
【００１２】
本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、半導体薄膜の製造方法において、基板上に半導体薄膜を形成する工程と、結晶生成核となる金属元素を含む溶液を転写体表面の一部に選択的に塗布する工程と、転写体表面の一部を半導体薄膜表面に当接させ、転写体表面の一部に塗布された溶液を半導体薄膜表面上に転写する工程と、半導体薄膜を溶融させ、溶液に含まれる金属元素を結晶生成核として、半導体薄膜を結晶化する工程とを備える。
【００１３】
本発明の実施の形態に係る第３の特徴は、電子デバイスの製造方法において、基板上に半導体薄膜を形成する工程と、結晶生成核となる金属元素を含む溶液を、転写体表面において行列状に一定間隔離間された一部に選択的に塗布する工程と、転写体表面の一部を半導体薄膜表面に当接させ、転写体表面の一部に塗布された溶液を半導体薄膜表面上に転写する工程と、半導体薄膜を溶融させ、溶液に含まれる金属元素を結晶生成核として、半導体薄膜を結晶化し、半導体素子を形成する工程とを備える。
【００１４】
本発明の実施の形態に係る第４の特徴は、液晶表示デバイスの製造方法において、第１の透明基板上に半導体薄膜を形成する工程と、トランジスタの主電極領域又はトランジスタ間の素子間分離領域に対応する一部に結晶生成核となる金属元素を含む転写体を形成する工程と、転写体表面の一部を半導体薄膜表面に当接させ、転写体表面の一部の金属元素を半導体薄膜表面に転写する工程と、半導体薄膜を溶融させ、金属元素を結晶生成核として、半導体薄膜を結晶化する工程と、結晶化された前記半導体薄膜にトランジスタを形成する工程と、第１の透明基板上に第２の透明基板を対向配置させ、第１の透明基板と第２の透明基板との間に液晶を封入する工程とを備える。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基板面内の結晶粒の位置や結晶粒径を容易に制御しつつ、結晶化に要する製造工程数を削減することができる半導体薄膜の製造方法を提供することができる。
【００１６】
更に、本発明によれば、半導体素子の電気的特性を決定する結晶化のばらつきを減少させつつ、結晶化に要する製造工程数を削減することができる電子デバイスの製造方法を提供することができる。
【００１７】
更に、本発明によれば、トランジスタの電気的特性を決定する結晶化のばらつきを減少させつつ、結晶化に要する製造工程数を削減することができる液晶表示デバイスの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の実施の形態は本発明を液晶表示デバイスに適用した例であり、以下、この実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００１９】
（第１の実施の形態）
［液晶表示デバイスの構造］
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示デバイス１は、第１の透明基板２と、第１の透明基板２の表面上（図１中、上側表面上）に配設された下地層３と、下地層３の表面上において結晶性半導体薄膜をチャネル形成領域５１０、第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２とする薄膜トランジスタ（TFT）５０とを備えている。更に、液晶表示デバイス１は、画素電極５１と、液晶１５と、共通画素電極１２と、第２の透明基板１０とを備えている。
【００２０】
第１の透明基板２、第２の透明基板１０にはいずれも例えば透明石英基板が使用されている。第１の透明基板２に対して第２の透明基板１０は対向配置され、第１の透明基板２と第２の透明基板１０との間は離間配置されている。この第１の透明基板２と第２の透明基板１０との間には液晶１５が封入されている。
【００２１】
薄膜トランジスタ５０は、第１の透明基板２の表面上に下地層３を介在して配設され、第１の透明基板２の表面上において行列状に規則的に複数配列されている。第１の実施の形態において、１つの薄膜トランジスタ５０に対して例えば１つの画素電極５１が配設されている。この１つの薄膜トランジスタ５０（その第１の主電極領域５１１）と１つの画素電極５１との間は電気的に直列に接続されており、この薄膜トランジスタ５０及び画素電極５１は１つの画素（ピクセル）５を構築する。
【００２２】
薄膜トランジスタ５０は、チャネル形成領域５１０と、チャネル形成領域５１０の一端（図１中右側）に配設されソース領域として使用される第１の主電極領域５１１と、チャネル形成領域５１０の他端（図１中左側）に配設されドレイン領域として使用される第２の主電極領域５１２と、チャネル形成領域５１０上のゲート絶縁膜５２０と、ゲート絶縁膜５２０上の制御電極（ゲート電極）５３０とを備えている。
【００２３】
第１の実施の形態において、チャネル形成領域５１０、第１の主電極領域５１１、第２の主電極領域５１２はいずれも同一層の結晶性半導体薄膜（５１６）、詳細には多結晶Ｓｉ薄膜により形成されている。この多結晶Ｓｉ薄膜は、液晶表示デバイス１の製造プロセス（半導体薄膜又は電子デバイスの製造方法）において、非晶質（アモルファス）Ｓｉ薄膜を成膜した後、この非晶質Ｓｉ薄膜を結晶化したものである。後述する製造方法において詳細に説明するが、結晶化においては、結晶化を助長する金属元素を含む溶液（２５）を非晶質Ｓｉ薄膜の表面上の一部に選択的に塗布し、この溶液に含まれる金属元素を結晶生成核とし、この結晶生成核を中心としたその周囲に向かって非晶質Ｓｉ薄膜の結晶化が進められる。
【００２４】
下地層３は薄膜トランジスタ５０、特にチャネル形成領域５１０、第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２の下地層として使用されている。この下地層３の表面は平坦であることが好ましい。下地層３には、例えば酸化Ｓｉ膜、窒化Ｓｉ膜又はそれらを積層した複合膜を実用的に使用することができる。
【００２５】
薄膜トランジスタ５０のゲート絶縁膜５２０は少なくともチャネル形成領域５１０の表面上に配設されている。ゲート絶縁膜５２０には、例えば酸化Ｓｉ膜、窒化Ｓｉ膜、オキシナイトライド膜、又はそれらを積層した複合膜を実用的に使用することができる。制御電極５３０は、チャネル形成領域５１０の表面上にゲート絶縁膜５２０を介在して配設されている。制御電極５３０には、例えば多結晶Ｓｉ膜、若しくはＷ、Ｍｏ等の高融点金属膜、若しくは多結晶Ｓｉと高融点金属との化合物であるシリサイド膜のいずれかの単層膜、又は多結晶Ｓｉ膜上に高融点金属膜若しくはシリサイド膜を積層した複合膜を実用的に使用することができる。
【００２６】
画素電極５１は、薄膜トランジスタ５０の表面上を覆う層間絶縁膜６上に配設され、この層間絶縁膜６に形成された接続孔６Ｈを通して薄膜トランジスタ５０の第１の主電極領域５１１に電気的に接続されている。画素電極５１には、例えばＩＴＯ膜を実用的に使用することができる。
【００２７】
図２に模式的に示すように、行方向に配列された複数の薄膜トランジスタ５０のそれぞれの制御電極５３０には垂直走査線（ゲート信号線）５３が電気的に接続されている。垂直走査線５３は、例えば制御電極５３０と同一層により形成され、かつ一体的に形成されている。更に、列方向に配列された複数の薄膜トランジスタ５０のそれぞれの第２の主電極領域５１２には水平走査線（映像信号線）５４が電気的に接続されている。水平走査線５４は、図２において模式的に示しているが、例えば制御電極５３０よりも上層の配線により形成されている。水平走査線５４には、例えば前述の高融点金属膜若しくはシリサイド膜の単層膜、アルミニウム膜の単層膜、若しくは多結晶Ｓｉ膜上に高融点金属膜若しくはシリサイド膜を積層した複合膜等を実用的に使用することができる。
【００２８】
図１に示すように、画素５の表面上、詳細には画素電極５１の表面上には保護膜７が配設されている。この保護膜７上に液晶１５が封入されている。
【００２９】
一方、第２の透明基板１０の表面上（図１中、下側表面上）には下地層１１が配設されており、この下地層１１の表面上に共通画素電極１２が配設されている。共通画素電極１２は、複数の画素５の複数の画素電極５１に対向する領域に配設されている。共通画素電極１２は前述の画素電極５１と同様に例えばＩＴＯ膜により形成されている。共通画素電極１２の表面上には保護膜１３が配設され、この保護膜１３上に液晶１５が封入されている。
【００３０】
［液晶表示デバイスの製造方法（半導体薄膜の製造方法）］
次に、電子デバイスの製造方法の一例として、前述の液晶表示デバイス１の製造方法、特に薄膜トランジスタ５０のチャネル形成領域５１０、第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２を形成する半導体薄膜の製造方法を説明する。
【００３１】
まず最初に、第１の透明基板２を準備し、図３に示すように、この第１の透明基板２の表面上の全面に下地層３を形成し、引き続き下地層３の表面上の全面に非晶質半導体薄膜５１５を形成する。下地層３には、例えば酸化Ｓｉ膜、窒化Ｓｉ膜の単層膜、又はそれらを組み合わせた複合膜を使用することができる。非晶質半導体薄膜５１５には、例えばCVD法により成膜された非晶質Ｓｉ膜を使用することができる。
【００３２】
一方、図４に示すように、転写体２０を準備し、非晶質半導体薄膜５１５の表面に向かい合う、転写体２０の表面の一部である転写部２１に、結晶生成核となる金属元素を含む溶液２５を塗布する。転写体２０の転写部２１は凸部であり、この転写部２１の表面（溶液２５が塗布される表面）はそれ以外の周囲の表面に対して非晶質半導体薄膜５１５の表面側に突出している。溶液２５は、その貯留漕に転写体２０の少なくとも転写部２１の表面を浸漬することにより塗布される。すなわち、第１の実施の形態において、塗布とは、転写部２１の表面に溶液２５を付着する、又は転写部２１の表面に溶液２５の層を生成するという意味において使用されている。
【００３３】
また、溶液２５はその塗布の方法によっては転写部２１の表面以外の周囲の凹部にも塗布されてしまうが、転写部２１の表面がその周囲の凹部の表面に比べて突出しているので、転写部２１の表面に塗布された溶液２５のみが選択的に非晶質半導体薄膜５１５の表面に付着するようになっている。転写部２１の表面の高さは、周囲の凹部に塗布（付着）された溶液２５が非晶質半導体薄膜５１５の表面に転写されずに、転写部２１の表面に塗布された溶液２５のみが非晶質半導体薄膜５１５の表面に転写されるように、設定されている。
【００３４】
第１の実施の形態において、転写体２０は、非晶質半導体薄膜５１５に比べて硬度が低く（柔らかく）、製作加工を容易に行うことができ、かつ溶液２５の付着並びに離脱を容易に行うことができる、例えばシリコーン樹脂により製作されている。このような材質により転写体２０（少なくとも転写部２１）を製作することによって、非晶質半導体薄膜５１５の表面に起伏が生じていても、その起伏に転写部２１の表面の形状が追従して変形し、転写部２１に塗布された溶液２５を余すことなく非晶質半導体薄膜５１５の表面に転写することができる。
【００３５】
図２に示すように、転写体２０の転写部２１は、第１の実施の形態において、非晶質半導体薄膜５１５の表面上であって、薄膜トランジスタ５０の第１の主電極領域（例えばソース領域）５１１及び第２の主電極領域（例えばドレイン領域）５１２の形成領域の直上に配置される。すなわち、非晶質半導体薄膜５１５の第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２の形成領域が結晶生成核になるように、転写体２０の表面において、転写部２１が、行列状に一定間隔離間されて配置されている。
【００３６】
溶液２５には、結晶生成核となる金属元素を含む溶液、例えばＮｉ、Ｃｏ、Ｆｅ等の金属元素を含む溶液を使用することができる。第１の実施の形態において、溶液２５は、金属元素としてＮｉを含むスルファミン酸ニッケル溶液又は酢酸ニッケル溶液を使用する。また、金属元素としてＣｏを含む溶液には、硝酸コバルト溶液、金属元素としてＦｅを含む溶液には、希酸鉄水溶液等を実用的に使用することができる。
【００３７】
次に、図３に示す工程において形成された非晶質半導体薄膜５１５の表面上に、図４に示す工程において溶液２５が塗布された転写体２０を対向させて配置する。そして、図５に示すように、非晶質半導体薄膜５１５の表面に転写体２０の転写部２１を近接若しくは押し付け、転写部２１の表面に塗布された溶液２５を非晶質半導体薄膜５１５の表面に転写する。前述のように、非晶質半導体薄膜５１５の表面においては、薄膜トランジスタ５０の第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２の形成領域にのみ溶液２５が転写される。
【００３８】
図６に示すように、非晶質半導体薄膜５１５の表面から転写体２０の転写部２１を離間させると、転写部２１に塗布された溶液２５が非晶質半導体薄膜５１５の表面に残存する。転写体２０の転写部２１以外の周囲の凹部に塗布された溶液２５は、非晶質半導体薄膜５１５の表面に接触しないので、転写されずに塗布されたままである。この結果、非晶質半導体薄膜５１５の表面において、第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２の形成領域にのみに選択的に溶液２５が転写されたことになる。
【００３９】
次に、例えばエキシマレーザを使用してエネルギビームを前述の非晶質半導体薄膜５１５に照射し、非晶質半導体薄膜５１５を溶融させることにより、溶液２５に含まれた金属元素が非晶質半導体薄膜５１５のＳｉと化合物（Ｓｉ−Ｎ）を生成し、この化合物が結晶生成核となって非晶質半導体薄膜５１５の再結晶化が行われ、図７に示すように、結晶化半導体薄膜（多結晶Ｓｉ薄膜）５１６を形成することができる。再結晶化は、非晶質半導体薄膜５１５の全域において、溶液２５が転写された、薄膜トランジスタ５０の第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２の形成領域からその周囲に結晶化が進むようになっているので、結晶化半導体薄膜５１６の結晶粒の位置を正確に制御することができ、かつ結晶粒径の大きさを均一に制御することができる。なお、再結晶化は、エキシマレーザに限らず、第１の透明基板２に熱損傷を与えないランプアニールを使用することができる。
【００４０】
なお、第１の実施の形態においては、非晶質半導体薄膜５１５の再結晶化を第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域１１２の形成領域を結晶生成核として行っているので、チャネル形成領域５１０には結晶粒界が存在する可能性がある。しかしながら、チャネル形成領域５１０の結晶粒界の存在状態は、結晶生成核の配置位置つまり結晶粒の配置位置を制御しかつ結晶粒径の大きさを制御しているので、複数の薄膜トランジスタ５０のそれぞれにおいて同様である。すなわち、複数の薄膜トランジスタ５０においては閾値電圧、リーク電流等の電気的特性が均一になり、結果として、液晶表示デバイス１の表示性能を均一化することができる。一方、金属元素を含む溶液２５は、第１の主電極領域５１１と第２の主電極領域５１２との間の電気的な短絡を誘発するので、非晶質半導体薄膜５１５においてチャネル形成領域５１０の形成領域には転写しない。また、非晶質半導体薄膜５１５のチャネル形成領域５１０の形成領域においては、溶液２５に含まれる金属元素が汚染源となって薄膜トランジスタ５０の閾値電圧に変動を及ぼすことがあるので、溶液２５は転写されない。
【００４１】
次に、結晶化半導体薄膜５１６の表面上にゲート絶縁膜５１０、制御電極５２０のそれぞれを順次形成した後、結晶化半導体薄膜５１６に第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２を形成するとともに、双方の間において結晶化半導体薄膜５１６からチャネル形成領域５１０を形成する。この工程が終了すると、薄膜トランジスタ５０を完成させることができる（図１参照。）。
【００４２】
次に、薄膜トランジスタ５０を覆う層間絶縁膜６を形成した後、第１の主電極領域５１１上において層間絶縁膜６に接続孔６Ｈを形成し、この接続孔６Ｈを通して第１の主電極領域５１１に接続される画素電極５１を層間絶縁膜６上に形成する（図１参照。）。この画素電極５１が形成されると、薄膜トランジスタ５０と画素電極５１との直列回路からなる画素５を完成させることができる。そして、画素５を覆う保護膜７を形成する。
【００４３】
一方、第２の透明基板１０を準備し、この第２の透明基板１０の表面上の全面に下地層１１、共通画素電極１２、保護膜１３のそれぞれを順次形成する。
【００４４】
そして、第１の透明基板２と第２の透明基板１０とを対向配置し、双方の間に液晶１５を封入することにより、第１の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造プロセスが完了し、液晶表示デバイス１が完成する。
【００４５】
以上説明したように、第１の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造方法、特に半導体薄膜の製造方法によれば、転写体２０の転写部２１に塗布した金属元素を含む溶液２５を非晶質半導体薄膜５１５の表面上に選択的に転写し、この溶液２５が転写された領域を結晶生成核として非晶質半導体薄膜５１５の再結晶化を行い、結晶性半導体薄膜５１６を形成することができるので、第１の透明基板２の非晶質半導体薄膜５１５の表面内において結晶粒の位置や結晶粒径を容易に制御しつつ、結晶生成核の製作にマスク製作工程を必要としないことから結晶化に要する製造工程数を削減することができる。
【００４６】
更に、第１の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造方法においては、非晶質半導体薄膜５１５の、薄膜トランジスタ５０の第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２の形成領域を結晶生成核として再結晶化しているので、チャネル形成領域５１０内に結晶粒界が存在していても、複数の薄膜トランジスタ５０のそれぞれにおいて結晶粒界の存在状態を均一化することができ、薄膜トランジスタ５０の電流電圧特性のばらつきを減少することができる。結果として、液晶表示デバイス１の表示特性のばらつきを減少することができる。
【００４７】
なお、第１の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造方法においては、結晶生成核となる溶液２５を、非晶質半導体薄膜５１５において薄膜トランジスタ５０の第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２の形成領域に転写したが、本発明は、これに限定されず、非晶質半導体薄膜５１５において互いに隣接する薄膜トランジスタ５０間の素子間分離領域（アイソレーション領域）に溶液２５を転写し、この領域に結晶生成核を形成してもよい。
【００４８】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態は、前述の液晶表示デバイス１の製造方法において、転写体２０の構造並びに結晶生成核の生成方法を代えた例を説明するものである。
【００４９】
第２の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造方法は、まず最初に、前述の図３に示す工程と同様に、第１の透明基板２の表面上に下地層３を形成し、この下地層３の表面上に非晶質半導体薄膜５１５を形成する。
【００５０】
一方、非晶質半導体薄膜５１５の再結晶化のための結晶生成核を形成するために、図８に示す転写体２０を製作する。この転写体２０は、必ずしもこのような形状に限定されるものではないが、第２の実施の形態において円錐形状若しくは角錐形状に形成された転写部２１を有する。少なくともこの転写部２１は結晶生成核を生成する材料によって製作されている。ここで、「少なくともこの転写部２１」とは、最小限、転写部２１が結晶生成核を生成する材料により製作されるという意味であり、転写体２０の大半若しくは全部を転写部２１と同一の材料により製作することも含む意味である。
【００５１】
第２の実施の形態において、転写部２１を含む転写体２０全体はＮｉにより製作されている。この転写体２０の転写部２１を非晶質半導体薄膜５１５の表面に押し付けると、この押し付けられた領域において転写部２１の一部の金属元素であるＮｉと非晶質半導体薄膜５１５のＳｉとの反応によってＮｉ−Ｓｉ化合物を非晶質半導体薄膜５１５の表面に生成することができる。この化合物は結晶生成核として使用する。また、少なくとも転写部２１はＦｅ、Ｃｏ等の金属材料により製作してもよい。
【００５２】
次に、前述の図３に示す工程において形成された非晶質半導体薄膜５１５の表面上に、図８に示す転写体２０を対向させて配置する。そして、図９に示すように、非晶質半導体薄膜５１５の表面に転写体２０の転写部２１を押し付け、転写部２１が押し付けられた非晶質半導体薄膜５１５の表面に化合物（第２の実施の形態においてＮｉ−Ｓｉ化合物）からなる結晶生成核５１７を形成する。すなわち、第２の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造方法は、前述の第１の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造方法と同様に、転写体２０の転写部２１の金属元素（Ｎｉ）を非晶質半導体薄膜５１５の表面に転写し、この転写された金属元素と非晶質半導体薄膜５１５とによって非晶質半導体薄膜５１５の表面に化合物を生成し、この化合物を結晶生成核として使用する。前述のように、非晶質半導体薄膜５１５の表面において、結晶生成核５１７は、薄膜トランジスタ５０の第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２（又は素子間分離領域）の形成領域にのみ形成される。
【００５３】
そして、非晶質半導体薄膜５１５の表面から転写体２０を離間させた後、前述の第１の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造方法と同様に、非晶質半導体薄膜５１５の再結晶化が結晶生成核５１７から行われ、結晶化半導体薄膜５１６を形成する（前述の図７参照。）。再結晶化は、非晶質半導体薄膜５１５の全域において、結晶生成核５１７が形成された、薄膜トランジスタ５０の第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２の形成領域からその周囲に結晶化が進むようになっているので、結晶化半導体薄膜５１６の結晶粒の位置を正確に制御することができ、かつ結晶粒径の大きさを均一に制御することができる。
【００５４】
次に、前述の第１の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造方法と同様に、薄膜トランジスタ５０、画素電極５１、第２の透明基板１０の共通画素電極１２等を形成し、液晶１５を封入することにより、第２の実施の形態に係る液晶表示デバイス１を完成させることができる（図１参照。）。
【００５５】
以上説明したように、第２の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造方法、特に半導体薄膜の製造方法によれば、転写体２０の転写部２１の金属元素を非晶質半導体薄膜５１５の表面上に選択的に押し付け、この押し付けられた非晶質半導体薄膜５１５の領域に結晶生成核５１７を形成し、この結晶生成核５１７を使用して非晶質半導体薄膜５１５の再結晶化を行い、結晶性半導体薄膜５１６を形成することができるので、第１の透明基板２の非晶質半導体薄膜５１５の表面内において結晶粒の位置や結晶粒径を容易に制御しつつ、結晶生成核５１７の製作にマスク製作工程を必要としないことから結晶化に要する製造工程数を削減することができる。また、非晶質半導体薄膜５１５のチャネル形成領域５１０の形成領域に結晶生成核５１７を生成しないようにしているので、転写部２１の金属元素を汚染源とする、薄膜トランジスタ５０の閾値電圧の変動を防止することができる。
【００５６】
更に、第２の実施の形態に係る液晶表示デバイス１の製造方法においては、非晶質半導体薄膜５１５の、薄膜トランジスタ５０の第１の主電極領域５１１及び第２の主電極領域５１２の形成領域を結晶生成核５１７として再結晶化しているので、チャネル形成領域５１０内に結晶粒界が存在していても、複数の薄膜トランジスタ５０のそれぞれにおいて結晶粒界の存在状態を均一化することができ、薄膜トランジスタ５０の電流電圧特性のばらつきを減少することができる。結果として、液晶表示デバイス１の表示特性のばらつきを減少することができる。
【００５７】
（その他の実施の形態）
本発明は、前述の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変形可能である。例えば、本発明は、液晶表示デバイス１に限定されるものではなく、結晶性半導体薄膜を動作領域として使用するトランジスタ例えばＳＯＩ（silicon on insulator）基板上に形成されるトランジスタを集積化したロジック、メモリ等を搭載する電子デバイスに適用することができる。また、本発明は、トランジスタとしてバイポーラトランジスタに適用することができ、或いはトランジスタだけでなく、抵抗素子、容量素子等にも適用することができる。
【００５８】
また、本発明において、転写体２０の転写部２１の平面形状つまり結晶生成核の平面形状は、円形状若しくは正方形状だけでなく、長方形状、楕円形状、五角形以上の多角形形状等により構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示デバイスの要部断面図である。
【図２】図１に示す液晶表示デバイスの製造方法において転写工程における要部斜視図である。
【図３】第１の実施の形態に係る液晶表示デバイス（半導体薄膜）の製造方法を説明する第１の工程断面図である。
【図４】第２の工程断面図である。
【図５】第３の工程断面図である。
【図６】第４の工程断面図である。
【図７】第５の工程断面図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る液晶表示デバイスの製造方法において転写工程に使用する転写体の要部断面図である。
【図９】第２の実施の形態に係る液晶表示デバイスの製造方法を説明する工程断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１…液晶表示デバイス、２…第１の透明基板、２０…転写体、２１…転写部、２５…溶液、３、１１…下地層、５…画素、５０…薄膜トランジスタ、５１…画素電極、５３…垂直走査線、５４…水平走査線、５１０…チャネル形成領域、５１１…第１の主電極領域、５１２…第２の主電極領域、５１５…非晶質半導体薄膜、５１６…結晶化半導体薄膜、５１７…結晶生成核、５２０…ゲート絶縁膜、５３０…制御電極、１０…第２の透明基板、１２…共通画素電極。
【図１】
2007073855.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2007073855.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月27日(2006.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2007073855.tif 000012
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
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