(57)【要約】【課題】安価かつ簡素な装置構成にて、液漏れに対する所望のシール性を維持しつつ、良好な処理品質を確保可能な、シートの処理装置およびそれを用いたシートの製造方法を提供する。  【解決手段】処理液１４が収容され、シートの入口および出口が設けられた処理槽３１と、該処理槽の入口部および／または出口部の近傍に、シート３２をニップするために設けられた２個のニップロール４１，４２とを備えたシートの処理装置であって、前記２個のロール４１，４２が、前記シートの搬送方向に対し６０°以上１２０°以下の角度を有するよう設けられた前記処理槽の外側の壁面３９に対し、０．０３ｍｍ以上１ｍｍ以下の間隙を形成するように配されていることを特徴とするシートの処理装置、およびそれを用いたシートの製造方法。【選択図】図５Ａ
2007204776.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液が収容され、シートの入口および出口が設けられた処理槽と、該処理槽の入口部および／または出口部の外側の壁面に沿ってシートをニップするために設けられた２個のニップロールとを備えたシートの処理装置であって、前記外側の壁面は、前記シートの搬送経路に対し６０°以上１２０°以下の角度をなすよう設けられたものであり、前記２個のニップロールは、それぞれ前記外側の壁面との間に、０．０３ｍｍ以上１ｍｍ以下の間隙を形成するように配されていることを特徴とするシートの処理装置。
【請求項２】
前記２個のニップロールを挟んで前記処理槽の反対側にはシートに接する別のロールが設けられており、前記別のロールの前記２個のニップロール側外周面から前記２個のニップロールの前記別のロール側外周面までの距離が５ｍｍ以上４００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載のシートの処理装置。
【請求項３】
前記外側の壁面と、前記２個のニップロールの外周表面との間隙を調整するための位置調整機構を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のシートの処理装置。
【請求項４】
前記シートの処理装置がシートにメッキ処理するための装置である、請求項１から３のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項５】
前記シートの幅方向を略重力方向に保ちながら、前記処理槽を通過させることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項６】
巻出工程からシートが巻き出される巻出ステップと、処理槽の入口部および／または出口部の外側の壁面に沿って設けられた２個のニップロールでシートをニップしながら処理槽の処理液でシートに処理を施す処理ステップと、巻取工程にてシートが巻き取られる巻取ステップとから構成されるシートの製造方法であって、前記処理槽の外側の壁面は、前記シートの搬送経路に対し６０°以上１２０°以下の角度をなすよう設けられたものであり、前記２個のニップロールは、それぞれ前記外側の壁面との間に、０．０３ｍｍ以上１ｍｍ以下の間隙を形成するように配されていることを特徴とするシートの処理装置を用いてシートを処理することを特徴とする、シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートの処理装置およびそれを用いたシートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
連続的に搬送されるシートに対し処理液を使用してシートを処理する装置、例えば、連続的に搬送されるプラスチックフィルムの表面に、処理液としてのメッキ液を収容した複数のメッキ槽を順次通過させることにより所定のメッキ処理を施すようにしたシートの処理装置においては、各メッキ槽にシート走行のための、例えばスリット状の入口、出口が設けられるが、槽内のメッキ液が大量に外部に流出しないように、液シールを施すことが一般的である。
【０００３】
図１に、このような装置の例として、基材としてのプラスチックフィルム１（例えば、ポリイミドフィルム）に銅（Ｃｕ）メッキを施す装置の例を示す。図１は、シートの処理装置の概略構成を模式的に示した平面図である。巻出部２から基材走行方向に搬送されてきたフィルム１は、給電部３で給電（給電工程）された後、メッキ槽４を備えたメッキ部５でメッキ処理（メッキ工程）が施される。この給電工程とメッキ工程が、複数回順次繰り返され、目標とする厚みのメッキ層が形成され、所定のメッキ層が形成された後、巻取部６で巻き取られる。給電部３では、例えば図２に示すように、搬送ロール１１（例えば、表面ＳＵＳ製）と搬送ロール１２（例えば、表面ＳＵＳ製）の間に、給電ロール１３（例えば、表面銅製）がフィルム１を押圧するように配置され、フィルム１のメッキ面１０に給電される。メッキ部５では、例えば図３に示すように、メッキ液１４（例えば、硫酸銅）および銅塊１５を収容したメッキ槽４内にフィルム１が連続的に通されるが、通常、メッキ槽４内のメッキ液１４の外部への流出量を抑えるために、メッキ槽４の入口、出口に液シール機構が設けられる。この液シール機構に、図３に示すような一対の液シールロール７を用いることは知られている（例えば、特許文献１〜５）。なお、図１のシートの処理装置においては、フィルム１は、巻出部２から巻取部６まで、その幅方向が実質的に鉛直方向に保たれながら搬送され、これによって良好なハンドリング性とメッキの均一性を確保するようにしている（以下、シート幅方向を略鉛直方向に保ちながら搬送することを縦型搬送と呼ぶ）。
【０００４】
上記処理槽としてのメッキ槽４の入口および／または出口における液シール性を確保するために、従来、特許文献１で提案されている図４に示すような機構が使用されている。すなわち、メッキ液１４が充満されたメッキ槽４の入口および／または出口の処理槽４の内側の壁面に沿って、または、図４に示した例の如く、入口および／または出口部の外側に、小チャンバ２９を形成し、その外壁面２５の内側に、２個の（一対の）表面がスポンジのロール２１が設けられ、両スポンジロール２１が搬送される基材２２をニップするとともに、スポンジロール２１が壁面Ａ（２５）に近接するように配置されて、液シールが行われるようになっている。（壁面Ｂ（２６）との間には、比較的大きな間隙が形成されている）。そしてこの場合、ロール２１間のクリアランスは固定とされている。なお、壁面Ａ，Ｂとは図４において、引き出し線がでている方の面を指す。
【０００５】
また、特許文献２には、図８に示すようにメッキ槽８１の両端壁にスリット８４，８５を形成し、壁内側に２本のシールロール８２を配設し、シールロール８２はシート８０を挟む状態で配列され、軸と直交する方向に移動自在、かつ周面が離接自在なことを特徴とする連続メッキ装置における液もれ防止装置が提案されている。ロール表面には例えば軟質塩化ビニル＋溝加工の構造が採用されている。シールロール８２は槽壁面８６，８７に対し離接可能であり、摩擦力でシート８０に密着し、さらには液圧で壁面８６，８７に密着する。
【０００６】
しかしながら、このような液シール機構では、入口および／または出口部は液の流出により液圧が下がるため液圧差でロール２１が壁面Ａ（２５）の方向（図４に矢印で図示）に撓むおそれがある。壁面Ａ（２５）の方向に撓むと、ロール２１が壁面Ａ（２５）と強く接触することになり、ロール２１の回転不良が発生してロール２１の表面と基材２２が擦れ、基材２２や製品の傷発生の原因となるおそれがある。特許文献２にも同様の問題点がある。
【０００７】
このような問題を含む従来一般の技術に対し、種々の改良が提案されている（例えば、特許文献３〜５）。
【０００８】
特許文献３には、図９に示すように被処理面が重力方向に平行となるように搬送される被処理板の通過する処理槽の入口と出口の少なくとも一方の槽外に互いに被処理板に向い開いたコの字形断面のシール用ハウジング９４を設け、各シール用ハウジング９４の中に被処理板９０に当接する駆動シールロール９２の被処理板９０と反対側に当接するシール板９５と、シール板９５を駆動シールロール９２に押圧する上下に長いエアバルーン９６を配置したことを特徴とするメッキ装置の液漏れ防止機構が提案されている。この提案は、それ以前の、槽壁とシールロールの隙間からの液漏れ量が大きいこと、摩耗で液漏れが悪化することを改良しようとしたものである。シールロール９２は駆動されており、ロール軸端位置を長穴で変更し、被処理板９０への圧接力を調整できるようにしている。ロール表面には、ネオプレンゴムや塩化ビニル、”テフロン（登録商標）”等を使用している。
【０００９】
特許文献４には、図１０に示すようにワーク１００の被処理面が重力方向に平行となるように搬送・処理する装置であって、処理槽１０１の端壁に設けられた垂直なスリット１０４のシールがルーズに配置されたロッド又は管の対１０２で形成されており、ロッド１０２は液圧でワーク１００に圧着されるようにした装置が提案されている。また、ロッド１０２が円筒状断面を有する構成、シールは処理槽１０１とは別の区画（スルース室）内に配置されている構成、シールがプラスチックから成る構成等も提案されている。この提案は、それ以前の、弾性的な圧着（ロール位置固定）＋駆動方式では液の流出を十分に防止することができず、かつ装置が複雑になるという欠点を改良しようとしたものである。液圧でロール同士が密着され、かつスリットのある壁面へも密着するため、フリーロールでも良好なシール性が確保されると記載されている。
【００１０】
特許文献５には、図１１に示すように処理槽側壁に垂直なスリット１１４を設け、スリット１１４に近接する処理槽内側にロール対１１２を垂直に配置し、ロール対１１２は磁石１１５、１１６の磁力で相互に吸着するようにしたことを特徴とするメッキ装置の液漏れ防止機構が提案されている。また、ロールを処理槽内に別に設けた区画内に収容し、一方のロールには磁石、もう一方には磁性体を内蔵し、両ロールに内蔵した磁石の極性を逆にする構成等も提案されている。この提案は、それ以前の、ロールが液圧で相互に又は壁面に圧着するため、液圧変動でシール性能が変動し、シール性が不十分になるという欠点を改良しようとしたものである。ロールはワーク移送方向の壁面にも押し付けられるためシール性が維持されると記載されているが、壁面との接触による回転不良については記載されていない。
【特許文献１】特開２００３-１４７５８２号公報
【特許文献２】特開平２-１８２８９５号公報
【特許文献３】特開平８-２３９７９７号公報
【特許文献４】特表平９-５０５６３８号公報
【特許文献５】特開２００２-２７５６８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述の如く、ロールと壁面を接触させることでシール性を確保することは公知である。しかし、本発明者らの知見によれば、上述のシール機構においては、シール性能を高めようとすればロールと壁面との接触圧力を強くしなければならないが、接触圧力を強くすればロールが回転せず、シートに傷を発生させ、さらにはロール表面も摩耗させてしまうという技術的矛盾があるために、完全な液シールを達成することはできない。仮に、これらのシール機構を実用的、すなわちロール表面に大きな摩耗が発生しない接触圧力で使用したとしても、処理槽の内側の壁面や処理槽の外に設けられた小チャンバ（またはスルース室）の内側の壁面（処理槽の外壁面と略平行で処理槽側に面している壁面）にロールを接触させる方式（特許文献１、２、４、５）や基材搬送方向に略平行な壁面にロールを接触させる方式（特許文献３）では、壁面とのシール部から流出、飛散する処理液が基材に干渉し、基材をバタつかせるため、処理槽の前後にある搬送ロールとの間で傷を発生させてしまうおそれがある。また、流出、飛散した処理液に影響されないために、処理槽のシート出入り口から前後の搬送ロールなどの別ロールまでの距離を十分にとらなければならず、処理槽を複数有するメッキ装置においては、装置を大型化させる原因となっていた。
【００１２】
また、ロールと壁面を積極的に接触させると、ロール回転不良でウェブに傷が発生するおそれやロール表面が摩耗し、シール性が損なわれるおそれがあり、スリットのある内側の壁面とロールを近接させても（特許文献１、４、５）、前述のようにロール回転不良による傷が発生するおそれやロール表面が摩耗し、シール性が損なわれるおそれがある。
【００１３】
さらに、ロールを回転駆動することで回転不良は解消するものの（例えば、特許文献３）、そうすれば装置コストが高くなるため、図１に示したように多数のロールが必要なメッキ装置では致命的な欠点となる場合がある。
【００１４】
また、上記のとおり、縦型搬送メッキ工程におけるメッキ槽の液シール方法について、一対のロールを用いることについても公知である。しかし、本発明者らの知見によれば、ロール同士を液圧で密着させる方式では（特許文献１、２、４）、とくに液圧変動でシール性が安定しないため、十分なシール性を確保することができない。また、ロール同士を内部に埋め込まれた磁石で密着させる方式（特許文献５）には、次のような問題がある。（１）ロール径の経時変化やウェブの厚み変動で軸間距離が変化すると密着力も変化するため、シール性能が経時で安定しない。（２）ロール構造が複雑になりコスト高となる。（３）密着力が強すぎると、シールロールの回転不良でウェブに傷が発生する。
【００１５】
そこで、本発明の課題は、安価かつ簡素な装置構成にて、液漏れに対する所望のシール性を維持しつつ、良好な処理品質を確保可能であり、好ましい形態においては従来の処理装置に比べコンパクトに構成しうるシートの処理装置およびそれを用いたシートの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために、本発明に係るシートの処理装置は、処理液が収容され、シートの入口および出口が設けられた処理槽と、該処理槽の入口部および／または出口部の外側の壁面に沿ってシートをニップするために設けられた２個のニップロールとを備えたシートの処理装置であって、前記外側の壁面は、前記シートの搬送経路に対し６０°以上１２０°以下の角度をなすよう設けられたものであり、前記２個のニップロールは、それぞれ前記外側の壁面との間に、０．０３ｍｍ以上１ｍｍ以下の間隙を形成するように配されていることを特徴とするものからなる。
【００１７】
このような本発明に係るシートの処理装置においては前記２個のニップロールを挟み前記処理槽の反対側にはシートの搬送ロールが設けられており、前記搬送ロールの前記２個のニップロール側外周面から前記２個のニップロールの前記搬送ロール側外周面までの距離を５ｍｍ以上４００ｍｍ以下とすることが出来る。距離が５ｍｍ以下の場合は、ニップロール間から漏れる処理液が前記搬送ロールに付着するおそれがあるため好ましくないことがある。また、距離が４００ｍｍ以上の場合は、装置のスペースが大きくなるため好ましくないことがある。
【００１８】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記それぞれのニップロールの端部軸受け近傍に、前記処理槽の入口部および出口部それぞれ外側の壁面と、ニップロール外周表面との間隙を調整するための位置調整機構を備えたシートの処理装置が提供される。
【００１９】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記シートの処理装置がシートにメッキ処理するための装置からなる、シートの処理装置が提供される。
【００２０】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記シートの幅方向を略重力方向に保ちながら、前記処理槽を通過させるシートの処理装置が提供される。
【００２１】
また、本発明に係るシートの製造方法は、上記のようなシートの処理装置を用いてシートを処理することを特徴とする方法からなる。
【００２２】
本発明において、「ニップロール」とは、２個のロール間にシートを挟み、シートに線圧を加えるためのロールのことをいう。
【００２３】
本発明において、２個の壁面が、シートの搬送経路に対しなす角が６０°以下および１２０°以上の場合は、シール部から飛散した処理液がシートに付着するおそれがあるため好ましくないことがある。本発明において、壁面がシート搬送経路に対しなす角とは、壁面とロールの間隙が最も狭くなる部分におけるロールの接線方向がシート搬送経路に対してなす角を指す。２個のロールが、処理槽の外側の壁面（実際に処理液を溜めている壁の外側の面）に対し、０．０３ｍｍ以下の間隙を形成する場合は、ロールの振れや円筒度不良によって、ロールと壁面が接触するおそれがあるため、好ましくないことがある。また、１ｍｍ以上の間隙を形成する場合は、大量の処理液が処理層外に流出してしまうため好ましくないことがある。なお、上記間隙は、使用状態においてロール軸方向範囲における、最も狭い部分を測定したものをいう。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係るシートの処理装置によれば、ロール外周面とシートの搬送方向に対し６０°以上１２０°以下の角度で設けられた処理槽の外側の壁面との間に、０．０３ｍｍ以上１ｍｍ以下の間隙を有するシール部が形成されるので、シール部から流出、飛散した処理液の基材への干渉を防止できるので、基材のバタツキに起因する傷を防止され、加えて、ロールに対する液圧が外側の壁面の方向にかからないため、ロールが外側の壁面の方向に撓むことがないのでロール外周面と処理槽壁面との間が非接触状態に保たれつつ、特定の狭い間隙により液漏れに対する良好なシール性が確保され、ロール接触によるロール回転不良に起因するシートへの傷の発生や、ロール表面の摩耗によるシール性の低下が防止されるとともに、シール性向上により、例えば処理液循環系が低コスト化される（例えば、ポンプ容量を小さくできる）。
【００２５】
また、上述のようにシール部から流出する処理液がシート搬送方向に飛散することがないので、ニップロールを挟んで処理槽の反対側に設けられている別のロールのニップロール側外周面から前ニップロールの別のロール側外周面までの距離を５ｍｍ以上４００ｍｍ以下とすることができるので、例えばメッキ処理装置のように処理槽を多数有するシートの処理装置においては、装置全体のスペースを小さくでき、ひいては装置価格を低減させることが出来る。
【００２６】
また、本発明に係る好ましい形態によれば、前記２個のロールに処理槽の外側の壁面とロール外周面との間隙を調整するための位置調整機構が備えられているので、ロールの外径精度やロール外周面の摩耗による径変化によらず、間隙を調整できるため、安定したシール性を維持することが出来る。
【００２７】
また、本発明は処理装置がメッキ装置である場合に特に好適なものであり、例えば銅メッキに代表される表面が比較的軟かくキズが発生しやすいメッキ装置において特に好適である。なおメッキ装置では前述の如く処理槽が多数必要であるため、本発明による低コスト化の恩恵を最も得られることになる。とくに、シートが処理槽を縦に通過する場合に好適なものであり、処理槽のシート入口・出口に図３に示したようなスリットが不可避であることから、本発明による優れたシール性の効果の恩恵を最も得られることになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に、本発明の望ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２９】
図５Ａ、図５Ｂ、図６および図７は、本発明の一実施形態に係るシートの処理装置の処理槽の出口における２個のロール設置部を示しており、本発明の一実施形態を、図１に示したようなシートが縦型に搬送されるメッキ処理装置、すなわち、シートの幅方向が重力方向と略平行な方向に保たれながら各処理槽を通過するメッキ処理装置に適用した場合を示している。なお、図５Ａは装置を重力方向上から見たときの概略平面図、図６はシート搬送方向から見たときの概略縦正面図、図７はシート処理面の法線方向から見たときの概略縦断面図である。
メッキ処理装置全体の構成は、図１に示したとおりである。
【００３０】
図５Ａにおいて、処理槽３１は処理液としてのメッキ液１４が供給され充満される処理槽（メッキ槽）３１を示しており、複数設けられた各処理槽３１に、基材シートとしてのプラスチックフィルム３２が順次通過される。例えば、前述の如く、ポリイミドフィルム（厚さ：例えば３８μｍ程度）に例えば銅がメッキされる（最終メッキ厚：例えば８μｍ程度）。このフィルムは、ハンドリング性、メッキ処理の均一性、メンテナンス性等の面から、上記の如く縦型搬送される。したがって、図５Ａは、ロール設置部を上方からみた概略透視平面図である。
【００３１】
処理槽３１の入口または出口部には、基材幅方向に沿って、スリット３５が設けられており、基材３２が走行、通過できるようになっている。スリット３５の幅は任意に設定可能であるが、処理槽内のメッキ液１４の流れによって基材が揺らいで、スリット部のエッジに接触しないよう、基材に対し５ｍｍから１５ｍｍ程度のクリアランスを取れるようにすることが好ましい。なお、走行速度は、メッキ処理の場合例えば１ｍ／分と非常に遅い。
【００３２】
また、処理槽３１の入口または出口部の外側には、基材シート３２に対しニップ部４０を形成する２個のロール４１、４２が配置されている。本実施形態では、各ロール４１、４２のロール表面部４３はゴム（例えば、ＥＰＤＭ）で形成されている。また、本実施形態では、両ロール４１、４２は同一の外径を有する。これら２個のロール４１、４２とメッキ槽の外側の壁面Ｃ（３９）との間は、基本的に非接触状態に保たれている。ゴムロールの振れ精度は高々０．０３ｍｍ程度であるため、非接触状態を保つにはロール外周面と壁面Ｃ（３９）との間にそれぞれ０．０３ｍｍ以上の間隙が必要であるが、間隙が大きすぎるとメッキ液１４の流出量が増えてしまい、メッキ槽内のメッキ液面が低下したり、より高能力のポンプが必要となるため、間隙を１ｍｍ以下にする必要がある。故に、それぞれのロール４１、４２の外周面と壁面Ｃ（３９）との間には、各々０．０３ｍｍ以上１ｍｍ以下の間隙を有するシール部４４が少なくとも１ヶ所形成されている。本実施形態ではロール４１、４２それぞれの外周面と壁面Ｃ（３９）との間の２箇所にシール部４４が形成されている。ただし、ゴムロールの加工精度、およびゴムロール両端に装着されるベアリングの回転精度向上によってゴムロールの振れ精度が向上できる場合は、振れ精度に合わせて間隙を狭くすることがより好ましい。
【００３３】
また、図５Ｂに示すように、ロール４１、４２と上記の間隙を形成する壁面Ｃ（３９）は基材搬送方向に対し６０°〜１２０°の角度θを有している。これにより、処理槽３１から流出するメッキ液５０は壁面Ｃ（３９）と略同一方向、すなわち基材搬送方向に対し６０°〜１２０°の方向に流出するため、基材の搬送を妨げるおそれがない。本実施形態では図５Ａに示すように壁面Ｃが基材搬送方向に対し略垂直に設けられている。
【００３４】
上記ニップ部４０を形成するために、本実施形態では、一方のロール４１を他方のロール４２に向けて押圧するための押圧手段として、機械的押圧手段が設けられている。この機械的押圧手段は、本実施形態では、先端のボール部を押し引き可能なボールプランジャ４５からなる。ボールプランジャ４５は、図６に示すように、ロール４１の軸方向両端側に設けられており、先端のボール部４５ａでロール４１の両端のベアリングハウジング４６を押圧できるようになっており、それによってロール４１を他方のロール４２に向けて押圧できるようになっている。
【００３５】
また、図４に示す従来の液シール構成における小チャンバ２４のように容積の小さなチャンバは設けないことが好ましい。このようなチャンバを設けると、前述のように流出、飛散したメッキ液５０の干渉により基材２２がバタついてしまい、処理槽の前後に配置された搬送ロールなどとの滑りによって傷が入ってしまうおそれがある。ただし、上記のようにメッキ液１４の流路を形成しない（例えば容量が大きい）チャンバであれば、設けてもよい。例えば、図５Ａに示す本実施形態においては、メッキ液１４が基材搬送方向に対し略鉛直方向に流出するため、流出したメッキ液５０が広範囲に飛散しないよう隔壁３８を設けているが、隔壁の内側でかつ、ニップ部４０よりも外側にメッキ液１４が充満する部位がないから、メッキ液１４の飛散による干渉が発生しないのである。
【００３６】
図５Ａにおいて、ロール４１、４２のロール軸方向の上下面は上下からの処理液１４の流出を防ぐために、例えば図６に示すように、ロールの可動代を確保するための隙間３６（例えば、長穴構成）以外、上下壁３７ａ、３７ｂによって封止されている。
【００３７】
図７はロール設置部を基材面の法線方向から見た概略縦断面図を示すが、処理槽３１から流出したメッキ液１４は補助槽４８に溜められ、ポンプ４９によって処理槽３１へと戻される。また、ロール４１、４２の両端には処理槽の外側の壁面Ｃ（３９）とロール４１、４２との間隙を調整するための位置調整機構としてのネジ４７を備えているとロール４１、４２の径精度に左右されず間隙を調整できるため好ましい。図７に示すように、本実施形態ではロール４１、４２の両端に位置調整機構としてのネジ４７を設けている。
【００３８】
このように構成されたシートの処理装置においては、シール部から流出、飛散する処理液５０の流出方向を基材搬送方向に対して略垂直とすることにより、基材のバタツキを防止できるため傷が防止されるばかりでなく、処理液の基材搬送方向への飛散によって約４００ｍｍより短くすることの出来なかった次または手前の搬送ロールまでの距離（図１にＬで図示）を、ニップロールと搬送ロールが接触しない限界値（現実的な設計値としては５ｍｍ程度）まで短くすることができ、装置スペースの縮小、装置価格の低減が出来る。
【００３９】
また、ロール４１、４２の外周面と処理槽壁面との間が非接触状態に保たれつつ、上記のような特定の狭い間隙により液漏れに対する良好なシール性を有するシール部４４が形成されているので、処理槽壁面とロール４１、４２との接触によるロール回転不良に起因するシートへの傷の発生が防止される。従来装置では、図４に示すようにとくにロール２１は液圧（矢印で表示）でスリット２８ｂを有する壁面Ａ（２５）方向に撓みやすく、この部分での接触が生じやすかったが、図５Ａに示す上記実施形態では、壁面Ｃ（３９）との間隙を上記特定の範囲内の間隙とすることにより、この部分で良好なシール性を確保するようにしたので、ロールと処理槽壁面との接触を回避しつつ、シール性に対するロール撓みの影響を小さく抑えることができる。
【００４０】
また、ロール４１、４２の端部に壁面Ｃ（３９）とロール外周面との間隙を調整するための位置調整機構としてのネジ４７を設けることにより、外径精度によらず安定したシール性を保つことができ、ロール外径が摩耗によって減少した場合でも、容易に間隙を調整、つまり良好なシール性を復元することが出来る。
【００４１】
また、ロール４１、４２同士は機械的押圧手段としてのボールプランジャ４５で密着させることにより、極めて簡素な押圧機構でありながら、ロール径の経時変化や基材シートの厚み変動に因らない良好なシール性を維持でき、経時的に安定したシール性を維持することが可能になる。したがって、密着不足や強密着によるロール回転不良の解消（傷防止）をはかることができる。また、シール性が安定することで、壁面とロール外周面、ロール間からの液漏れを低減できるとともに、液の動圧による基材シート３２のバタツキ等も低減でき、基材シートを高品位を維持しつつ安定して搬送することができる。
【００４２】
また、ロールの押圧手段を機械的押圧手段、とくにボールプランジャ４５から構成することにより、ロール径の経時変化等に対しても所望の均一なニップ圧のニップ部４０を容易に形成できるようになる。
【００４３】
したがって、このような良好なシール性を不都合なく実現できるシートの処理装置を使用することにより、処理品質のすぐれたシートを安定して製造することが可能になる。
【００４４】
本実施形態ではロール４１、４２はフリーロールであり、駆動のための付帯設備を設けることなく、ロールとフィルムを同期させることができるため、回転不良によるシートへのキズ発生を防止することができる。また、ロール４１、４２にモータ等の駆動装置を連結し、駆動ロールとして使用した場合でも、処理槽内外でシートをバタツキなく安定して搬送できるため、シートのメッキ品質を向上させることができるうえ、別途設置していたシート搬送用の駆動ロール（図省略）を削減することもできるため、装置を安価にする効果もある。なお、ロール４１、４２の一方のみにモータ等の駆動装置を連結した場合には、ロール間の同期を制御することなく、高品位なメッキシートを得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、シートがプラスチックフィルムである場合に好適なものであり、とくにメッ
キ処理に好適なものであるが、その応用範囲はこれらには限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明が適用可能なシートのメッキ装置の概略平面図である。
【図２】図１の装置の給電部の拡大平面図である。
【図３】図１の装置の従来のメッキ部の拡大概略横断面図である。
【図４】従来の技術における液シール部の概略構成図である。
【図５Ａ】本発明の一実施形態に係るシートの処理装置の処理槽のロール設置部の概略部分横断面図である。
【図５Ｂ】図５Ａの壁面がシート搬送経路に対しなす角を示した概略図である。
【図６】図５Ａのロール設置部を基材搬送方向から見たときの概略部分縦断面図である。
【図７】図５Ａのロール設置部を基材搬送方向に対し垂直方向から見たときの概略部分縦断面図である。
【図８】別の従来の技術における液シール部の概略構成図である。
【図９】別の従来の技術における液シール部の概略構成図である。
【図１０】別の従来の技術における液シール部の概略構成図である。
【図１１】別の従来の技術における液シール部の概略構成図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  基材シートとしてのプラスチックフィルム
２  巻出部
３  給電部
４  処理槽としてのメッキ槽
５  メッキ部
６  巻取部
７  シールロール
１０  メッキ面
１１、１２  搬送ロール
１３  給電ロール
１４  処理液としてのメッキ液
１５  銅塊
２１  スポンジロール
２２  基材
２４  小チャンバ
２５  壁面Ａ
２６  壁面Ｂ
２７  壁面Ｃ
２８ａ、２８ｂ  スリット
３１  処理槽（メッキ槽）
３２  基材シートとしてのプラスチックフィルム
３５  スリット
３６  隙間
３７ａ、３７ｂ  上下壁
３８  隔壁
３９  処理槽壁面としての壁面Ｃ
４０  ニップ部
４１、４２  ロール
４３  ロール表面部
４４  シール部
４５  機械的押圧手段としてのボールプランジャ
４５ａ  先端のボール部
４６  ベアリングハウジング
４７  位置調整機構としてのネジ
４８  補助槽
４９  ポンプ
５０  シール部から流出、飛散した処理液（メッキ液）
８０  基材シート
８１  メッキ槽
８２  シールロール
８３  処理液
８４，８５  スリット
８６，８７  メッキ槽壁面
９０  被処理板
９１  処理槽
９２  シールロール
９３  処理液
９４  ハウジング
９５  シール板
９６  エアバルーン
１００  ワーク
１０１  処理槽
１０２  ロッド（または管）
１０３  処理液
１０４  スリット
１１０  被処理板
１１１  処理槽
１１２  シールロール
１１３  処理液
１１４  スリット
１１５，１１６  磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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