(57)【要約】【課題】  基板上の所望の位置へスペーサを簡易かつ低コストに配置できるスペーサの配置方法を提供することを目的とする。【解決手段】  スペーサ２３０を含有する複数の液滴２００をカラーフィルタ（基板）１００の表面に付着させる付着工程と、光を透過させる開口部４００ａ及び光を透過させない遮光部４００ｂを有する遮光板４００を介して基板１００に対して光を照射することにより開口部４００ａと対向する液滴２００中のスペーサ２３０をカラーフィルタ１００に対して固着させる固着工程と、固着工程の後に、基板１００の表面から未固着のスペーサ２３０を除去する未乾燥液滴除去工程と、を備える。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のスペーサを含有する液膜を基板上に付着させる、又は、スペーサを含有する複数の液滴を基板上に付着させる付着工程と、
光を透過させる開口部及び前記光を透過させない遮光部を有する遮光板を介して前記基板に対して光を照射することにより、前記遮光板の開口部と対向するスペーサを前記基板に対して固着させる固着工程と、
前記基板の表面から未固着のスペーサを除去する未固着スペーサ除去工程と、
を備えるスペーサ配置方法。
【請求項２】
前記固着工程において赤外線を照射し、前記遮光板の開口部と対向するスペーサ周りの液体を乾燥させる請求項１に記載のスペーサ配置方法。
【請求項３】
前記スペーサの表面が樹脂により形成されている、又は、前記スペーサの表面に前記基板と結合可能な官能基が結合されている請求項２に記載のスペーサの配置方法。
【請求項４】
前記付着工程において、前記スペーサの表面が可視光線又は紫外線の照射により硬化する樹脂により形成されており、
前記固着工程では、前記スペーサ周りの液体を乾燥させた後に、前記遮光板を介して前記基板に対してさらに可視光線又は紫外線を照射する請求項２に記載のスペーサの配置方法。
【請求項５】
前記付着工程において、前記スペーサの表面は前記光の照射により硬化する樹脂により形成され、
前記固着工程において前記光を照射する際に、前記スペーサは前記基板の表面と接触している請求項１に記載のスペーサ配置方法。
【請求項６】
前記樹脂は紫外線の照射により硬化する樹脂であり、前記固着工程では紫外線を照射する請求項５に記載のスペーサ配置方法。
【請求項７】
前記固着工程において、前記遮光板を介して前記基板に対してさらに赤外線を照射し、前記遮光板の開口部と対向するスペーサ周りの液体を乾燥させる請求項５又は６に記載のスペーサ配置方法。
【請求項８】
前記未固着スペーサ除去工程を、前記基板の表面に液体を供給することにより行う請求項１〜７のいずれかに記載のスペーサの配置方法。
【請求項９】
前記供給する液体は、前記付着工程において用いられる液膜又は液滴を構成する液体と相溶する液体である請求項８に記載のスペーサの配置方法。
【請求項１０】
前記付着工程において、所定のピッチで配置された複数の開口からそれぞれ前記スペーサを含有する液滴を吐出することにより、前記複数の液滴を前記基板に付着させる請求項１〜９のいずれかに記載のスペーサ配置方法。
【請求項１１】
前記付着工程において、複数のスペーサを含有する液を噴霧することにより、前記液膜を基板上に付着させる、又は、前記複数の液滴を基板上に付着させる請求項１〜９のいずれかに記載のスペーサ配置方法。
【請求項１２】
前記付着工程において、複数のスペーサを含有する液を前記基板上に塗布することにより、前記液膜を基板上に付着させる請求項１〜９のいずれかに記載のスペーサ配置方法。
【請求項１３】
前記遮光板配置工程では、前記遮光板を前記基板に対して対向配置させ、前記遮光板を介して前記基板に対して光を照射する請求項１〜１２のいずれかに記載のスペーサ配置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スペーサの配置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶パネル等の製造において、基板上に複数のスペーサを配置することが行われている。このようなスペーサ配置方法として、ヘッド容器の開口からスペーサ含有液の液滴を吐出して基板上の所望の位置、例えば、ブラックマトリクス上に液滴を付着させ、その後、この液滴を乾燥させることによりスペーサを基板上の所望の位置に固着させる方法が知られている。
【０００３】
液晶パネル等の製造においては、基板上における極めて多数の位置に対してスペーサをそれぞれ配置する必要がある。したがって、多数の開口が所定のピッチで配置されたヘッド容器を用い、このヘッド容器の各開口から多数の液滴を一行分吐出して基板に付着させると共に、このヘッド容器と基板とを相対的に開口の配列方向と交差する方向に移動させ、基板上に液滴をマトリクス状に付着させることが考えられる（例えば特許文献１、２参照）。
【特許文献１】特開２００５−１０４１２号公報
【特許文献２】特開２００５−４０９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年では、カラーフィルタ上におけるスペーサの配置をより高精度に行いたいという要望がある。しかしながら、ヘッド容器をカラーフィルタに対して高精度に移動させたとしても、種々の要因により、ヘッド容器の開口から吐出された液滴が基板上における意図しない場所に飛ぶ、すなわち、液滴の目的着弾位置から大きくずれたり、また、ヘッド容器の開口から、意図した液滴以外に意図しないサテライト液滴が吐出される場合もある。そして、このような液滴がスペーサを含んでいると、スペーサの高精度な配置を妨げることとなる。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、基板上の所望の位置へ簡易かつ低コストにスペーサを配置できるスペーサの配置方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るスペーサの配置方法は、付着工程、固着工程、及び、未固着スペーサ除去工程を備える。付着工程では、複数のスペーサを含有する液膜を基板上に付着させる、又は、スペーサを含有する複数の液滴を基板上に付着させる。固着工程では、光を透過させる開口部及び光を透過させない遮光部を有する遮光板を介して基板に対して光を照射することにより、遮光板の開口部と対向するスペーサを基板に対して固着させる。未固着スペーサ除去工程では、基板の表面から未固着のスペーサを除去する。
【０００７】
本発明によれば、基板に付着した液膜中の複数のスペーサ又は基板に付着した複数の液滴中のスペーサの内、遮光板の開口部に対向する場所に存在するスペーサが選択的に基板に固着する。その後、未固着のスペーサを基板上から除去することにより、付着工程での基板上におけるスペーサの配置に関わらず、遮光板の開口部の配置に応じて、基板上の所望の位置にスペーサを配置することができる。言い換えると、本発明によれば、所望の場所以外に付着したスペーサが基板と固着することを容易に防止できるため、極めて高精度なスペーサ配置方法が実現する。
【０００８】
ここで、具体的には、固着工程では赤外線を照射し、遮光板の開口部と対向するスペーサ周りの液体を乾燥させることが好ましい。
【０００９】
このようにして、所望の位置に存在するスペーサ周りの液膜又は液滴の液体を乾燥させることにより、スペーサの種類、材質等を問わず液滴又は液膜中のそのスペーサがほぼその場で基板の表面に良好に固着する。
【００１０】
特に、スペーサの表面がポリマー等の樹脂により形成されている、又は、スペーサの表面に基板と結合可能な官能基が結合されていると、スペーサ周りの液体を乾燥させることによって極めて良好にスペーサを基板に対して固着できる。
【００１１】
ここで、付着工程においてスペーサの表面が可視光線又は紫外線の照射により硬化する樹脂により形成されており、固着工程では、スペーサ周りの液体を乾燥させた後に、遮光板を介して基板に対してさらに可視光線又は紫外線を照射してもよい。
【００１２】
この場合には、スペーサの表面が硬化するので、スペーサと基板との固着力をより高めることができる。
【００１３】
一方、付着工程において、スペーサの表面が光の照射により硬化する樹脂により形成されており、固着工程においてその光を照射する際に、スペーサが基板の表面と接触していることも好ましい。
【００１４】
これによれば、液体中において基板と接触しているスペーサの表面が光により硬化するので、液滴を乾燥させること無く所望の場所のスペーサを基板に固着させることができる。
【００１５】
光の照射により硬化する樹脂としては、例えば、紫外線硬化樹脂、可視光硬化樹脂、赤外線硬化樹脂等が挙げられる。
【００１６】
特に、スペーサの表面が紫外線の照射により硬化する樹脂により形成された物である場合には、紫外線を照射することにより、好適にスペーサと基板とを固着させることができる。
【００１７】
また、固着工程では、液体を乾燥させることなく光によりスペーサを固着させた後、遮光板を介して基板に対してさらに赤外線を照射し、遮光板の開口部と対向するスペーサ周りの液体を乾燥させることも好ましい。こうすると、液体の乾燥によって、より強い固着が可能となる。なお、光による硬化により既にスペーサが固着しているので、その後、赤外線による液滴／液体の乾燥を行うまでの間に、基板搬送等の作業を行っても、付着した液滴や、液滴／液膜中のスペーサが所望の位置からズレ無いので好ましい。
【００１８】
また、未固着スペーサ除去工程を、基板の表面に液体を供給することにより行うことが好ましい。
【００１９】
これにより、未固着スペーサの除去を容易に行い得る。特に、付着工程において用いられる液膜や液滴を構成する液体と相溶する液体を用いると好適である。
【００２０】
また、本発明においては、付着工程において、所定のピッチで配置された複数の開口からそれぞれスペーサを含有する液滴を吐出することにより複数の液滴を基板にマトリクス状に付着させることができる。この場合、開口部の配置に応じて、ヘッドの複数の開口の配置にとらわれない自在なかつ高精度のスペーサの配置が可能となる。
【００２１】
例えば、特定の開口から吐出された液滴の列に対して光が照射されないように遮光部を配置することにより、特定の列の液滴中のスペーサが基板に固着することを防止でき、開口のピッチよりも広い幅でスペーサを配置することができる。
【００２２】
また、本発明においては、付着工程において、複数のスペーサを含有する液を噴霧することにより、上述の液膜を基板上に付着させる、又は、複数の液滴を基板上に付着させることが好ましい。噴霧により多数の液滴の付着又は液膜の形成が極めて容易にかつ迅速に行える。
【００２３】
また、本発明においては、付着工程において、複数のスペーサを含有する液を基板上に塗布することにより液膜を基板上に付着させることも好ましい。塗布により極めて簡易に多数のスペーサを含む液膜を基板上に配置できる。
【００２４】
また、遮光板配置工程では、上記の遮光板を基板に対して対向配置させ、遮光板を介して基板に対して光を照射することが好ましい。基板に予め設計配置されている配線等の部材の内、遮光可能な部材を遮光板として用いることもできるが、基板とは異なる遮光板を用いる方が、特にブラックマトリクスを有するカラーフィルタに対するスペーサの配置には好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、基板上の所望の位置へ簡易かつ低コストにスペーサを配置できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明に係るスペーサの配置方法の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明においては、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。また、図面においては、寸法比率は説明のものとは必ずしも一致していない。
【００２７】
（第一実施形態）
まず、図１に示すような、カラーフィルタ（基板）１００を用意する。このカラーフィルタ１００は、透明基板１１０、ブラックマトリクス１２０、赤色着色部１３０Ｒ、緑色着色部１３０Ｇ、青色着色部１３０Ｂ、上膜１６０を備えている。
【００２８】
透明基板１１０は、ガラス等から形成された透明な平板である。
【００２９】
ブラックマトリクス１２０は、可視光を遮光する材料からなる膜である。ブラックマトリクス１２０の材料としては、例えば、クロム、クロム／酸化クロム等の金属系材料や、樹脂材料等が挙げられる。このブラックマトリクス１２０は格子形状又はストライプ形状をなし、多数の開口１２０ｐを形成している。本実施形態に係る図面では、ストライプ形状のブラックマトリクスを採用している。ブラックマトリクスの幅１２０Ｗは、例えば、５〜３０μｍ程度とすることができる。また、ブラックマトリクスの高さ１２０Ｈは、例えば０．１〜２μｍ程度とすることができる。
【００３０】
赤色着色部１３０Ｒ、緑色着色部１３０Ｇ、青色着色部１３０Ｂは、それぞれ、ブラックマトリクス１２０の各開口１２０ｐ内にこの順に配置されている。赤色着色部１３０Ｒ、緑色着色部１３０Ｇ、青色着色部１３０Ｂは、それぞれ、各色の可視光を選択的に透過可能な透明着色材料からなり、例えば、透明着色樹脂を使用できる。各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂの幅１３０Ｗは、例えば、５〜１００μｍとすることができる。各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂの高さ１３０Ｈは、例えば、１〜２μｍとすることができる。
【００３１】
ここで、各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂの高さ１３０Ｈは、ブラックマトリクス１２０の高さ１２０Ｈよりも十分に高くされている。
【００３２】
そして、これらの各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂ及びブラックマトリクス１２０上に亘って上膜１６０が形成されている。この上膜１６０は、透明基板１１０側から順に、必要に応じて設けられる透明平坦化膜（不図示）、透明電極膜１４０、及び配向膜１５０等を有する積層体である。
【００３３】
透明電極膜１４０は、液晶ディスプレイの駆動基板の画素電極（不図示）に対向配置されるべき共通電極であり、ＩＴＯ等の透明な導電材料により形成される。透明電極膜１４０の厚みは、例えば、約０．１μｍ程度である。
【００３４】
配向膜１５０は、液晶を所望の方向に配向させるものであり、例えば、ポリイミド等の樹脂材料等により形成できる。配向膜１５０の厚みは、例えば、約０．１μｍ程度である。
【００３５】
そして、ブラックマトリクス１２０の上面と、各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂの上面と、の段差に対応して、カラーフィルタ１００の表面、すなわち、上膜１６０の表面においては、ブラックマトリクス１２０上に窪み部１６０ａが形成されている。ブラックマトリクス１２０は格子状又はストライプ状であり、この窪み部６０ａは、ブラックマトリクス１２０に沿う溝形状となっている。また、各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂのブラックマトリクス１２０側の端部はそれぞれ盛り上がっている。
【００３６】
このようなカラーフィルタ１００は、例えば、透明基板１１０上に、フォトリソグラフィー法等によってブラックマトリクス１２０を形成した後、ブラックマトリクス１２０の開口１２０ｐに、フォトリソグラフィー法等によって順次各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂをブラックマトリクス１２０よりもそれぞれ高くなるように形成し、その後、ブラックマトリクス１２０及び各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂ上にスパッタリング法や蒸着法等によって所定の厚みの透明電極膜１４０を形成し、透明電極膜１４０の上にさらにポリイミド樹脂等の配向膜材料を所定の厚み塗布して固化し、その表面をラビングして配向膜１５０とすることにより容易に得られる。
【００３７】
続いて、このようなカラーフィルタ１００の上膜１６０上に、図２に示すようなスペーサ配置装置１を用いて、スペーサを含む液滴を付着させる。このスペーサ配置装置１は、ヘッド装置４１から上方のカラーフィルタ１００に対してスペーサ含有液をそれぞれ噴射して、カラーフィルタ１００の下面にスペーサ含有液の液滴を付着させる装置である。
【００３８】
スペーサ配置装置１は、主として、スペーサ含有液１２を攪拌する攪拌槽２０と、攪拌槽２０内から供給されるスペーサ含有液１２を上方のカラーフィルタ１００に向けて液滴２００として噴射するヘッド装置４１と、カラーフィルタ１００をヘッド装置４１の上方で移動させる基板移動ユニット８０と、ヘッド装置４１や基板移動ユニット８０等を制御するコントローラ９０と、を主として備えている。
【００３９】
ヘッド装置４１は、ヘッド容器４２を有している。ヘッド容器４２は、カラーフィルタ１００の幅方向に延在した箱状をなす。ヘッド容器４２の上面には開口３７が所定のピッチ３７Ｐで多数一列に並んで形成されている。開口３７の配列方向はカラーフィルタの幅方向と平行であり、カラーフィルタの移動方向と垂直である。
【００４０】
ここで、開口３７の径は、例えば、１０〜５０μｍ程度とすることができる。また、開口３７のピッチ３７Ｐは、例えば、１００μｍ程度とされる。このピッチ３７Ｐは、開口３７から吐出されカラーフィルタ１００の表面に付着する液滴の径（例えば８０μｍ）に基づいて、開口３７の配列方向に隣り合う液滴同士が互いに合一しないように定めればよい。
【００４１】
ヘッド容器４２内には上から順にハンマー５２及びピエゾ素子５４が設けられている。ピエゾ素子５４の底部はヘッド容器４２の底部に固定されている。また、ピエゾ素子５４は、コントローラ９０に接続されており、コントローラ９０からの信号に応じて上下に伸縮する。
【００４２】
ハンマー５２はピエゾ素子５４上に固定されている。ハンマー５２の上面は各開口３７に対して下から対向すると共に各開口３７に対して所定間隔離間している。
【００４３】
そして、ピエゾ素子５４が、コントローラ９０からの信号により上方に伸びると、ハンマー５２が上方に動く。したがって、開口３７近傍のスペーサ含有液１２がハンマー５２の上端面５２ｄによって開口３７から押し出され、上方に向かってスペーサ含有液１２の液滴が噴射される。
【００４４】
攪拌槽２０はモータ１７ａにより回転する攪拌翼１７を備え、スペーサ含有液１２を攪拌してスペーサ２３０をスペーサキャリア液１１中に分散させる。スペーサ２３０としては、例えば、粒径１〜７μｍ程度のシリカ等の珪素酸化物粒子や、シリコン変性ポリマー等のプラスチック粒子等を使用できる。また、スペーサ２３０が分散されるスペーサキャリア液１１としては、例えば、水とＩＰＡの混合液等が利用できる。
【００４５】
なお、スペーサの表面がポリマー等の樹脂により形成されている、又は、スペーサの表面にカラーフィルタの表面と結合可能な官能基、例えば、エポキシ基、グリシジル基、オキセタン基、酸無水物基、ラクトン基、アミド基、カルボキシル基等が結合されていると固着力を強くできて好ましい。
【００４６】
例えば、スペーサの表面が樹脂により形成されていると、後述する乾燥時の熱等によりスペーサとカラーフィルタとの固着性をより高められる。樹脂としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、及び、光の照射により硬化する樹脂、例えば、可視光線硬化樹脂、紫外線硬化性樹脂、赤外線硬化樹脂等が挙げられる。ここで、スペーサ全体が樹脂から形成されていても、表層のみが樹脂から形成されていてもよい。また、スペーサの表面に上述の官能基がついていても、官能基とカラーフィルタとの化学的結合等によりスペーサとカラーフィルタとの固着性を高められる。
【００４７】
ヘッド容器４２の一端はラインＬ１により攪拌槽２０と接続されている。また、ヘッド容器４２の他端は、循環ポンプ７０を備えるラインＬ２により攪拌槽２０と接続されている。循環ポンプ７０は、ヘッド容器４２内のスペーサ含有液を吸引し攪拌槽２０内に排出する。これに対応して、攪拌槽２０内のスペーサ含有液がラインＬ１を介してヘッド容器４２内に供給される。
【００４８】
基板移動ユニット８０は、基板吸引部８２と基板移動部８４とを有している。基板吸引部８２は、ヘッド装置４１の上方でカラーフィルタ１００を静電気や減圧等によって吸引してカラーフィルタ１００を支持する。ここでは、上膜１６０の窪み部１６０ａが下向きかつ開口３７の配列方向と平行となるように基板吸引部８２がカラーフィルタ１００を支持する。
【００４９】
また、基板移動部８４は、カラーフィルタ１００を吸引した基板吸引部８２をカラーフィルタ移動方向、すなわち、カラーフィルタの幅方向と直交する方向に水平に移動させる。また、基板移動部８４は、カラーフィルタ１００をカラーフィルタの幅方向にも所定距離動かせるようになっており、カラーフィルタ１００のアラインメントが可能となっている。基板移動部８４としては、カラーフィルタ１００を高精度に移動可能なリニアモータ式のものが好ましい。
【００５０】
コントローラ９０は、予め定められたプログラムに基づいて処理を行うコンピュータ装置であり、基板移動ユニット８０、ピエゾ素子５４、循環ポンプ７０、及び、モータ１７ａに接続され、これらの駆動を制御する。
【００５１】
そして、本実施形態では、カラーフィルタ１００をカラーフィルタ移動方向に移動させつつ、ヘッド容器４２の各開口３７から液滴を繰り返し吐出し、複数の液滴からなる行（ライン）を基板表面に繰り返し付着させることにより、図３及び図４に示すように、カラーフィルタ１００の表面に複数の液滴２００をマトリクス状に付着させる。液滴２００はスペーサ２３０を含んでいる。
【００５２】
ここでは、基板移動ユニット８０及びピエゾ素子５４を制御することにより、上膜１６０の表面のうちの窪み部１６０ａ上に液滴２００が付着するようにカラーフィルタ１００の移動を制御する。各窪み部１６０ａ上における液滴２００のピッチ３７Ｐは、ヘッド容器４２の開口３７のピッチ３７Ｐに対応する。カラーフィルタ１００上における液滴２００の径は、例えば、５０〜１００μｍ程度とすることができる。
【００５３】
ここで、図３及び図４において、液滴２００Ａは、スペーサ配置装置１により意図した通りにくぼみ部１６０ａ上にマトリクス状に配置された複数の液滴の内、スペーサ２３０を固着させたい場所に存在する液滴２００である。また、液滴２００Ｂは、スペーサ配置装置１により意図した通りにくぼみ部１６０ａ上にマトリクス状に配置された液滴の内、スペーサ２３０を固着させたくない場所Ｂに存在する液滴である。液滴２００Ａ中のスペーサをスペーサ２３０Ａ、液滴２００Ｂ中のスペーサをスペーサ２３０Ｂと呼ぶ。
【００５４】
さらに、図３に示すように、液滴２００Ｃは、何らかの事情（例えば、外乱等）によりヘッド容器４２の開口３７から意図しない方向に射出され、予定された場所から図示右にずれた場所に付着した液滴である。また、液滴２００Ｄは、ヘッド容器４２の開口３７から、意図しないで副次的に形成及び吐出された、他の液滴に比べて径が小さなサテライトといわれる液滴であり、これも意図しない場所に付着している。液滴２００Ｃはスペーサ２３０Ｃを含み、液滴２００Ｄはスペーサ２３０Ｄを含む。さらに、液滴２００Ｅは、液滴自体は意図した通りの場所に付着したものの、その中のスペーサ２３０（２３０Ｅ）がブラックマトリクス１２０上でなく透明着色樹脂１３０Ｒ上に存在する液滴である。
【００５５】
ここで整理すると、カラーフィルタ１００に固着させたいスペーサは液滴２００Ａ中のスペーサ２３０Ａのみであり、これ以外の液滴２００Ｂ〜２００Ｅ中のスペーサ２３０Ｂ〜２３０Ｅは、カラーフィルタに固着させたくないスペーサである。
【００５６】
なお、本実施形態では、光を照射する段階で、図４のように、液滴２００中のスペーサ２３０がカラーフィルタ１００の表面に接触するようにカラーフィルタ１００の向きが調整されている。具体的には、液滴２００中のスペーサ２３０をカラーフィルタ１００に接触させる方法としては、例えば、スペーサ２３０の比重が液の比重よりも大きい場合には、図４に示すようにカラーフィルタ１００の上面側に液滴２００が存在するようにカラーフィルタ１００を配置すればよく、スペーサ２３０の比重が液の比重よりも小さい場合には、カラーフィルタ１００の下面側に液滴が存在するようにカラーフィルタを配置すればよい。なお、カラーフィルタ１００とは、前述のように、透明基板１１０、ブラックマトリクス１２０、赤色着色部１３０Ｒ、緑色着色部１３０Ｇ、青色着色部１３０Ｂ、及び、上膜１６０を含む全体を指す。
【００５７】
続いて、図５及び図６に示すように、光を遮光可能な遮光板４００を用意し、これをカラーフィルタ１００の表面に対向して配置する。なお遮光板４００は、カラーフィルタ１００の液滴付着面、又は、液滴非付着面のいずれに対向させても良いが、液滴付着面に対向させることが好ましい。
【００５８】
この遮光板４００にはマトリクス状に配置された複数の開口部４００ａが形成されている。開口部４００ａの幅４００Ｗは、ブラックマトリクス１２０の幅１２０Ｗとほぼ対応している。また、開口部４００ａの長さ４００Ｌは、例えば、液滴２００の径と同程度〜２倍程度とされている。
【００５９】
この遮光板４００の開口部４００ａは、カラーフィルタ１００のブラックマトリクス１２０上の内でも特にスペーサ２３０を固着させたい部分と対向するように配置され、遮光部４００ｂは、カラーフィルタ１００上におけるスペーサを固着させたくない部分と対向するように配置されている。
【００６０】
すなわち、図６に示すように、開口部４００ａが液滴２００Ａ中のスペーサ２３０Ａに対向する一方、遮光部４００ｂが液滴２００Ｂ中のスペーサ２３０Ｂと対向し、さらに、図示は省略するが、遮光部４００ｂが、液滴２００Ｃ中の各スペーサ２３０Ｃ、液滴２００Ｄ中の各スペーサ２３０Ｄ、液滴２００Ｅ中のスペーサ２３０Ｅにそれぞれ対向することとなる。
【００６１】
このような遮光板４００は、金属や樹脂等の材料を、公知のパターニング方法でパターニングすることにより容易に製造できる。また、遮光板４００は、赤外線の遮光性に加えてさらに断熱効果を有する材料、例えば、セラミック等から形成することもできる。この場合には、遮光板４００自体が加熱されにくくなり、遮光板４００の熱が液滴２００へ到達し難くなるので好ましい。また、後述するようにさらに紫外線の照射により固着強度を挙げる場合には、遮光板４００は、紫外線を遮光できるものであることが好ましい。
【００６２】
続いて、固着工程を行う。具体的には、図６に示すように、この遮光板４００をはさんでカラーフィルタ１００と反対側にある赤外線ランプ４５０Ｉから、遮光板４００の開口部４００ａを介して赤外線（熱線）をカラーフィルタ１００に対して照射する。
【００６３】
ここで、赤外線の好適な波長範囲は０．７６μｍ〜１０００μｍ程度、特に、遠赤外線、すなわち、４μｍ〜１０００μｍが好適である。
【００６４】
そうすると、赤外線は、遮光板４００の開口部４００ａを通過して液滴２００Ａ中のスペーサ２３０Ａ及びその周りに選択的に照射され、スペーサ２３０Ａ及びその周りの液体の温度上昇により、スペーサ２３０Ａ周りのスペーサキャリア液が蒸発する。したがって、図７に示すように、液滴２００Ａに含まれていたスペーサ２３０Ａがカラーフィルタ１００のブラックマトリクス１２０上に固着する。
【００６５】
一方、遮光板４００の遮光部４００ｂにより遮蔽される液滴２００Ｂ〜２００Ｅ中のスペーサ２３０Ｂ〜２３０Ｅには赤外線が照射されない。したがって、これらのスペーサ２３０Ｂ〜２３０Ｅはカラーフィルタ１００と固着しない。
【００６６】
ここで、スペーサ２３０の表面が可視光線により硬化する樹脂や紫外線により硬化する樹脂により形成されている場合には、乾燥による固着後に、遮光板４００を介してさらに可視光線や紫外線を照射すると、既に固着したスペーサ２３０Ａの表面の硬化によりスペーサ２３０Ａとカラーフィルタ１００とのより強固な固着が実現する。
【００６７】
続いて、残った未固着のスペーサ２３０Ｂ〜スペーサ２３０Ｅをカラーフィルタ１００上から除去する。
【００６８】
ここでは、図８に示すように、カラーフィルタ１００を斜めに配置し、その表面にノズル４８０から液体４９０を供給して未固着のスペーサ２３０Ｂ〜２３０Ｅを未乾燥の液体と共に洗い流すことにより、これら未固着のスペーサ２３０Ｂ〜２３０Ｅをカラーフィルタ１００の表面から除去できる。このとき、既述の固着工程によってカラーフィルタ１００と固着したスペーサ２３０Ａは、液体４９０によって洗い流されることは殆どない。
【００６９】
ここで、液体４９０は特に限定されないが、残存する液滴２００と相溶する液体、例えば、スペーサキャリア液等を用いると、未固着スペーサ２３０Ｂ〜２３０Ｅの除去が容易である。
【００７０】
この後、カラーフィルタ１００上の液体を乾燥させればよい。そうすると、図９に示すように、スペーサを配置したくない場所Ｂにはスペーサ２３０が配置されない。また、サテライト液滴２００Ｄ中のスペーサ２３０Ｄや、所望の場所に配置されなかった液滴２００Ｃ中のスペーサ２３０Ｃはカラーフィルタ１００に固着しない。さらに、液滴自体は所望の場所に付着したものの、その液滴２００Ｅ中においてブラックマトリクス上に配置されなかったスペーサ２３０Ｅもカラーフィルタ１００上には固着しない。これでスペーサ配置工程が終了する。
【００７１】
その後、このスペーサ２３０Ａを挟んで、図示しない電極基板を重ね、カラーフィルタ１００と電極基板との間に液晶を封入することにより液晶ディスプレイが完成する。なお、一度スペーサがカラーフィルタに固着すると、電極基板を重ねる際にスペーサが動いてしまうことも殆ど無く、また、電極基板を重ねる前等にカラーフィルタを搬送等する際のカラーフィルタの取り扱いも極めて容易である。
【００７２】
本実施形態によれば、遮光板４００の開口部４００ａ及び遮光部４００ｂの配置に応じて、カラーフィルタ１００に付着した多数の液滴２００中のスペーサ２３０の内、所望の位置に配置されたスペーサ２３０Ａのみを乾燥によりカラーフィルタに固着させることができる。そして、その後、未固着のスペーサ２３０Ｂ〜２３０Ｅをカラーフィルタ１００上から除去することにより、付着工程での液滴２００の配置等に関わらず、所望の位置にスペーサ２３０を配置することができる。
【００７３】
これにより、特に、所定の固定ピッチで開口が配置されたヘッド容器を用いて、個々の開口毎に液滴の吐出の有無を制御することを不要としつつ、このピッチよりも広いピッチで液滴、すなわち、スペーサを散布することもできる。また、種々の外乱により、カラーフィルタ上の意図しない位置に液滴が配置された場合や、液滴自体は所望の場所に配置されたものの液滴中でスペーサが意図しない場所に配置された場合に、そのようなスペーサがカラーフィルタ上の意図しない位置に固着することを防止できる。
【００７４】
また、未固着スペーサを含む液滴２００Ｂ〜２００Ｅの除去を、カラーフィルタ１００の表面に液体を供給することにより行っているので、これらの除去を容易に行い得る。
【００７５】
なお、上記実施形態では、液滴２００中のスペーサ２３０がカラーフィルタ１００に接触した状態で赤外線の照射を行っているが、固着工程開始時、すなわち、赤外線の照射の際に、液滴２００中におけるスペーサ２３０の位置は特に限定されず、例えば、カラーフィルタに接触せずに液滴２００内を浮遊していてもよく、また、液滴２００内で浮上していてもよい。本実施形態は、固着させたい部分上の液体を乾燥させることによりスペーサ２３０を固着させるので、液滴２００中のスペーサ２３０がどのような状態であっても、遮光板によってスペーサを付着させたい部分上の液体を乾燥させると、スペーサ２３０は、乾燥した位置に固着しているか、乾燥しなかった残りの液体内に取り残されるかのいずれかとなる。
【００７６】
（第２実施形態）
続いて本発明に係る第２実施形態について説明する。本実施形態が第一実施形態と異なる点は、固着工程において、スペーサ周りの液体を乾燥させないでスペーサ２３０Ａをカラーフィルタ１００の表面に固着させる点である。
【００７７】
具体的には、液滴２００中に含有させるスペーサ２３０として、光の照射により硬化する樹脂により表面が形成されたスペーサを用いる。
【００７８】
ここでのスペーサ２３０は、全体が光の照射により硬化する樹脂により形成されていてもよく、表面のみが光の照射により硬化する樹脂により形成されていてもよい。光の照射により硬化する樹脂としては、例えば、紫外線硬化樹脂、可視光線硬化樹脂、赤外線硬化樹脂等が挙げられる。光により硬化する樹脂としては、例えば、所望の波長の光に感応する光重合開始剤及びモノマーやオリゴマーを混合したものが挙げられる。
【００７９】
そして、光を照射する前に、予め、図６の状態のように、液滴２００中のスペーサ２３０がカラーフィルタ１００の表面に接触するようにカラーフィルタ１００の向きを調整しておく。
【００８０】
具体的には、液滴２００中のスペーサ２３０をカラーフィルタ１００に接触させる方法としては、例えば、スペーサ２３０の比重が液の比重よりも大きい場合には、図６に示すようにカラーフィルタ１００の上面側に液滴２００が存在するようにカラーフィルタ１００を配置すればよく、スペーサ２３０の比重が液の比重よりも小さい場合には、カラーフィルタ１００の下面側に液滴が存在するようにカラーフィルタを配置すればよい。
【００８１】
そして、このようにスペーサ２３０がカラーフィルタ１００と接触した状態において、遮光板４００の開口部４００ａを通して、ランプ４５０Ｕから、スペーサの表面を硬化させるための光、例えば、紫外線（波長４〜４００ｎｍ）、可視光線（波長４００〜７６０ｎｍ）、赤外線等を照射する。
【００８２】
遮光板４００の開口部４００ａから液滴２００Ａ中のスペーサ２３０Ａに光が照射されると、スペーサ２３０Ａの表面が硬化し、スペーサ２３０Ａがカラーフィルタ１００、例えば、ブラックマトリクス１２０上に固着する。
【００８３】
一方、遮光板４００の遮光部４００ｂに対向する液滴２００Ｂ〜２００Ｅ中のスペーサ２３０Ｂ〜２３０Ｅには光が照射されず、各スペーサ２３０Ｂ〜２３０Ｅはカラーフィルタと固着しない。なお、紫外線や可視光線では液滴２００は乾燥しないが、赤外線を照射する場合でも第一実施形態と異なりスペーサ２３０周りの液体を乾燥させる必要はない。
【００８４】
なお、必要に応じて、スペーサの固着後に、遮光板４００の開口部４００ａを介してさらに赤外線を照射してスペーサ２３０周りの液体を乾燥させると、スペーサ２３０Ａの固着力をより一層増加できる場合が多い。
【００８５】
その後、第一実施形態における図８と同様にして、カラーフィルタ１００上から未固着のスペーサ２３０Ｂ〜２３０Ｅを除去し、必要に応じて乾燥等を行うことにより、所望の位置へスペーサ２３０Ａを配置させることができる。
【００８６】
本実施形態によれば、固着すべきスペーサ周りの液体を乾燥させなくてもよいので、短時間での効率のよい固着処理が可能となる。
【００８７】
（第３実施形態）
続いて、本発明に係る第３実施形態について説明する。第３実施形態では、図１０に示すように、第１実施形態及び第２実施形態のようなスペーサ配置装置１でなく、液滴噴霧ノズル２０２を有する噴霧装置２を用いてカラーフィルタ１００上に液滴２００を付着させる。
【００８８】
液滴噴霧ノズル２０２としては、通常の２流体ノズル等を利用できる。この液滴噴霧ノズル２０２には、ラインＬ２０を介してブロア２０４が接続されていると共に、ラインＬ２２を介してポンプ２０６及び第１実施形態と同様の攪拌槽２０が接続されている。そして、ポンプ２０６によりスペーサ含有液１２が液滴噴霧ノズル２０２に供給されると共に、ブロア２０４によりエアーが液滴噴霧ノズル２０２に供給され、液滴噴霧ノズル２０２からスペーサ含有液の液滴２００が多数形成される。この多数の液滴２００は、液滴噴霧ノズル２０２に対向して配置されるカラーフィルタ１００の表面に付着する。なお、液滴噴霧ノズル２０２のオリフィス径、スペーサ含有液やエアーの圧力等の噴霧条件は、液滴の径が所望の大きさとなるように設定される。なお、各液滴２００は、それぞれスペーサ２３０を含んでいる。
【００８９】
このような噴霧法では、カラーフィルタ１００上における液滴２００の付着位置を第１実施形態のように制御することは困難であり、図１１に示すように、スペーサ２３０を含む液滴２００はカラーフィルタ１００上にほぼランダムに配置されることとなる。そして、液滴２００中のスペーサ２３０は、ブラックマトリクス１２０上に配置されるスペーサ２３０Ｇと、ブラックマトリクス１２０以外の部分の上に配置されるスペーサ２３０Ｈとに区別される。
【００９０】
続いて、図１２に示すように、カラーフィルタ１００のブラックマトリクス１２０の部分に対応する部分が開口部４０２ａとされ、他の部分が遮光部４０２ｂとされたストライプ状の遮光板４０２を用意する。
【００９１】
そして、この遮光板４０２を、開口部４０２ａがブラックマトリクス１２０と対向するように配置して、この開口部４０２ａを介してカラーフィルタ１００のブラックマトリクス１２０に対して光を照射する。
【００９２】
例えば、第１実施形態のように遮光板４０２を介して赤外線を照射すると、液滴２００におけるブラックマトリクス１２０上の部分が乾燥する、すなわち、ブラックマトリクス１２０上にあるスペーサ２３０Ｇの周りの液体が乾燥するので、スペーサ２３０Ｇがブラックマトリクス１２０上に固着する。一方、ブラックマトリクス１２０以外の部分には赤外線が照射されないので、ブラックマトリクス１２０以外の部分の上にあるスペーサ２３０Ｈはカラーフィルタ１００と固着しない。
【００９３】
そして、スペーサ２３０の表面が紫外線により硬化する樹脂や可視光線による硬化する樹脂から形成されている場合には、さらに、乾燥後に遮光板４０２を介して赤外線や紫外線を照射してより強固にスペーサ２３０Ａをカラーフィルタ１００に固着させることもできる。
【００９４】
一方、第２実施形態のように、液滴を乾燥させずに固着させることもできる。例えば、スペーサ２３０の表面が光の照射により硬化する樹脂により形成されている場合には、液滴２００中のスペーサ２３０がカラーフィルタ１００に接触している状態で、遮光板４０２を介して、カラーフィルタ１００に対して樹脂硬化用の光、例えば、紫外線、赤外線、可視光線等を照射する。そうすると、液滴２００中のスペーサ２３０Ｇの表面が硬化してスペーサ２３０がブラックマトリクス１２０上に固着する。一方、液滴２００中のスペーサ２３０Ｈには光が照射されないので、このスペーサ２３０Ｈがブラックマトリクス１２０と固着することはない。なお、硬化による固着と同時、又は、硬化による固着の後に、遮光板４０２を介してカラーフィルタ１００に対して赤外線を照射し、スペーサ２３０Ｇ周りの液体を乾燥させてスペーサ２３０Ｇとカラーフィルタ１００との固着力を増加させることも可能である。
【００９５】
そして、このようにして、ブラックマトリクス１２０上のスペーサ２３０Ｇをカラーフィルタに固着させた後に、第１実施形態及び第２実施形態と同様に、未固着スペーサ２３０Ｂをカラーフィルタ表面から除去すれば、図１３のように、ブラックマトリクス１２０上に選択的にスペーサ２３０（２３０Ｇ）を配置することができる。
【００９６】
（第４実施形態）
本実施形態では、図１４及び図１５に示すように、液滴２００でなく、スペーサ含有液１２の液膜２０３をカラーフィルタ１００上に付着させる。具体的には、公知の種々の塗布装置を用いてスペーサ含有液１２の液膜２０３をカラーフィルタ１００上に形成できる。例えば、図１４に示すダイコータ３等を用いて、液膜２０３の形成が可能である。また、第３実施形態のようなスプレーノズルによる液滴の噴霧を十分長時間行うことによっても液膜の形成は可能である。
【００９７】
このような液膜２０３を形成すると、図１４及び図１５に示すように、液膜２０３中において、スペーサ２３０はカラーフィルタ１００上にほぼランダムに配置される。ここで、ブラックマトリクス１２０上に配置されたスペーサを２３０Ｇとし、ブラックマトリクス１２０以外の部分の上に配置されたスペーサを２３０Ｈとする。
【００９８】
その後、第３実施形態と同様に、遮光板４０２を介して光を照射すればよい。第３実施形態と同様に、赤外線によりブラックマトリクス１２０上のスペーサ２３０Ｇ周りの液体を乾燥させることによりスペーサ２３０Ｇをカラーフィルタ１００に固着させても良く、また、光によりスペーサ２３０Ｇの表面を硬化させてスペーサ２３０Ｇとカラーフィルタ１００とを固着させてもよい。そして、固着後に、未固着のスペーサ２３０Ｈを洗浄等により除去すればよい。これにより、図１３のように、ブラックマトリクス１２０上に選択的にスペーサ２３０が配置されることとなる。
【００９９】
本発明は上記実施形態に限定されず、さまざまな変形態様が可能である。例えば、上記第１実施形態等では、未乾燥の液滴２００Ｂ及びスペーサ２３０Ｂの除去をすべくカラーフィルタを斜めにしてその表面に液体４９０を流下させることにより液体をカラーフィルタの表面に供給しているが、例えば、液体を貯留する槽内にカラーフィルタを浸漬させることによっても除去可能できる。また、カラーフィルタ１００の表面に液体を供給しなくても実施は可能であり、例えば、カラーフィルタ１００の表面にガス等を吹き付けて液滴２００Ｂ及びスペーサ２３０を吹き飛ばしても良い。
【０１００】
また、上記第１実施形態では、マトリクス状に配置された液滴２００の内の一つの液滴２００Ｂを未乾燥としその後除去しているが、未乾燥としその後除去する液滴２００Ｂの位置や個数は任意であり、遮光板４００の開口部４００ａ及び遮光部４００ｂの位置の選択により任意の形態での実施が可能である。例えば、特定の開口３７から形成されカラーフィルタ１００の移動方向に並ぶ１列の液滴群に対して光が照射され無いように遮光板４００の遮光部を設定することにより、特定の開口３７から形成された液滴中のスペーサがカラーフィルタに固着しないようにすることができ、開口３７のピッチ３７Ｐを広げたのと同じ効果を得ることができる。
【０１０１】
また、上記第１及び第２実施形態において、スペーサ配置装置１は下から上に向けて液滴２００を吐出し、上膜１６０が下向きに配置されたカラーフィルタ１００の下面に液滴を付着させているが、スペーサ配置装置１によって上から下に向けて液滴２００を吐出し、上膜１６０が下向きに配置されたカラーフィルタ１００の上面に液滴２００を付着させてもよい。
【０１０２】
また、開口３７の配列やピッチ、さらには、開口３７の配列方向と、カラーフィルタ移動方向との関係も特に限定されないことは言うまでもない。
【０１０３】
また、遮光板の開口部の幅と、スペーサを配置させたい場所（例えば、ブラックマトリクス）の幅との関係は、概ね同等の関係とすればよく、光の種類（紫外線／可視光線／赤外線：種類によって直線性が異なる）、遮光板とカラーフィルタとの距離、カラーフィルタの凹凸の程度、光源からカラーフィルタまで光がどのように到達するか（平行光か収束光か）等の性質に応じて、開口部の幅と、スペーサを配置させたい場所の幅との関係は任意好適に設定できる。通常は、（開口部の幅）≦（スペーサを配置させたい場所の幅）とすればよい。
【０１０４】
さらに、第１及び第２実施形態では開口部がマトリクス状に形成された遮光板４００を用い、第３実施形態及び第４実施形態では開口部がストライプ状に形成された遮光板４０２を用いているが、第１及び第２実施形態で開口部がストライプ状に形成された遮光板４０２を用い、第３実施形態及び第４実施形態で開口部がマトリクス状に形成された遮光板４０２を用いてもよく、これ以外でも、遮光板の開口部は、スペーサを固着させたい場所の形状に応じて任意好適に設定可能である。
【０１０５】
具体的には、例えば、上記各実施形態では、開口部の形状及び位置を、カラーフィルタ１００のブラックマトリクス１２０と対応させることによりブラックマトリクス上にスペーサを固着させているが、ブラックマトリクス以外の部分にスペーサを配置させたい場合には、その場所に対応する位置に開口部を設ければよい。例えば、透明着色樹脂上にスペーサを配置したい場合には、透明着色樹脂に対応する開口部を設定すればよい。
【０１０６】
また、上述の各実施形態では、カラーフィルタ上の液膜／液体に対して、カラーフィルタとは異なるマスク（遮光板）をカラーフィルタに対して対向配置して光を照射している、すなわち、／光源／遮光板／液滴／ブラックマトリクスを含む基板／という構成であったが、遮光板として、ブラックマトリクス自体を使用する、すなわち、／液滴／ブラックマトリクスを含む基板／光源／のような背面露光をすることもできる。例えば、図１４の状態では、基板１００における液滴／液体が付着した面とは反対側の面（図の下面）から光を照射すると、光はブラックマトリクス１２０を透過しないので、透明着色樹脂１３０Ｒ、１３０Ｇ、１３０Ｂが開口部として、ブラックマトリクス１２０が遮光部として機能する。したがって、スペーサ２３０Ｈを透明着色樹脂１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂ上に固着させることができる一方、スペーサ２３０Ｇがブラックマトリクス１２０上に固着することを防止できる。特に、カラーフィルタ以外の基板ではこのような散布方法も考えられ得る。また、図１４において、参照符号１２０が紫外線及び／又は赤外線を透過する膜であり、かつ、透明着色樹脂１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂが赤外線及び／又は紫外線を透過しない膜である場合には、透明着色樹脂１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂが遮光部として機能し、膜１２０が開口部として機能するので、透明着色樹脂１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂ上でなく膜１２０上にスペーサを固着させることができる。要するに、本発明の遮光板において、開口部及び遮光部は、固着工程で用いる光の透過率が互いに十分に異なればよい。
【０１０７】
また、カラーフィルタ以外の製造の際、例えば、TFT基板、また、球状スペーサによるセルギャップを必要とする液晶表示素子、さらにはギャップ制御を必要とするマルチモード光導波路やコネクターなどの光学デバイスなどを製造する際に、基板等に対してスペーサを配置するのに上記各実施形態の方法を用いることももちろん可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】図１は、各実施形態で用いるカラーフィルタを説明する概略断面図である。
【図２】図２は、第１及び第２実施形態でカラーフィルタ上にスペーサを含む液滴を付着させる方法を示す概略斜視図である。
【図３】図３は、カラーフィルタ上に液滴が付着した状態を示す平面図である。
【図４】図４は、図３の断面図である。
【図５】図５は、遮光板の平面図である。
【図６】図６は、カラーフィルタに対して遮光板を対向配置し、遮光板を解してカラーフィルタに光を照射する状態を示す概略断面図である。
【図７】図７は、第１実施形態において液滴２００Ａが乾燥した後の状態を示す図６に続く概略断面図である。
【図８】図８は、カラーフィルタの表面から液滴２００Ｂ及びスペーサ２３０Ｂを除去する様子を示す図７に続く概略断面図である。
【図９】図９は、カラーフィルタの場所Ｂ等を除く部分にスペーサ２３０が配置された状態を示す図８に続く概略断面図である。
【図１０】図１０は、第３実施形態に係るスペーサ含有液滴散布方法を示す概念図である。
【図１１】第３実施形態でカラーフィルタ上に液滴が付着した状態を示す平面図である。
【図１２】図１２は、遮光板の平面図である。
【図１３】図１３は、ブラックマトリクス上のみにスペーサが固着した様子を示すカラーフィルタの平面図である。
【図１４】図１４は、第４実施形態に係るスペーサ含有液膜形成方法を示す概念断面図である。
【図１５】図１５は、図１４の平面図である。
【符号の説明】
【０１０９】
１…スペーサ配置装置、１２０…ブラックマトリクス、１２０ｐ…開口、１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂ…着色部、１４０…透明電極膜、１５０…配向膜、１６０…上膜、１６０ａ…窪み部、１００…カラーフィルタ、２００，２００Ａ，２００Ｂ、２００Ｃ，３００Ｄ，２００Ｅ…液滴、２３０，２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ，２３０Ｄ，２３０Ｅ…スペーサ、４００、４０２…遮光板、４００ａ…開口部、４００ｂ…遮光部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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