(57)【要約】【課題】高品位な多層構成光記録媒体を低コストで生産性良く製造する。【解決手段】凹凸パターン（信号パターン）と凹凸パターン上に反射層又は記録層が形成された支持基材の反射層又は記録層上に紫外線硬化性樹脂を供給し、紫外線硬化性樹脂上に透明スタンパを載置し、透明スタンパを介して紫外線を照射することにより紫外線硬化性樹脂を硬化させ、透明スタンパを剥離して、透明スタンパの凹凸パターンが転写された硬化後の紫外線硬化性樹脂から成る凹凸パターン形成層を形成し、さらに凹凸パターン形成層上に反射層又は記録層を形成する方法において、その透明スタンパとして、熱可塑性樹脂シート５と金属スタンパ３を重ね合わせて熱と圧力を加えて金属スタンパ３の凹凸パターンを転写形成した熱可塑性樹脂シート５を用いることを特徴とする多層構成光記録媒体の製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹凸パターンと該凹凸パターン上に反射層又は記録層が形成された支持基材の該反射層又は記録層上に紫外線硬化性樹脂を供給し、該紫外線硬化性樹脂上に透明スタンパを載置し、該透明スタンパを介して紫外線を照射することにより紫外線硬化性樹脂を硬化させ、該透明スタンパを剥離して、該透明スタンパの凹凸パターンが転写された硬化後の紫外線硬化性樹脂から成る凹凸パターン形成層を形成し、さらに該凹凸パターン形成層上に反射層又は記録層を形成する多層構成光記録媒体の製造方法において、
前記透明スタンパとして、熱可塑性樹脂シートとスタンパを重ね合わせて熱と圧力を加えることにより該スタンパの凹凸パターンを転写形成した熱可塑性樹脂シートを用いることを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項２】
透明スタンパの外径が、支持基材の外径よりも大きい請求項１記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項３】
熱可塑性樹脂シートと複数のスタンパを重ね合わせて熱と圧力を加えることにより、該複数のスタンパの凹凸パターンを同時に転写形成した熱可塑性樹脂シートを、複数個の透明スタンパとして用いる請求項１又は２記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項４】
紫外線硬化性樹脂上に透明スタンパを載置した後、該透明スタンパ上に透明板状部材を載置して紫外線硬化性樹脂を広げ、その後、該透明板状部材及び該透明スタンパを介して紫外線を照射することにより紫外線硬化性樹脂を硬化させる請求項１乃至３の何れか一項記載の光記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持基材上に複数の反射層又は記録層を形成する多層構成の光記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光記録媒体は、コンピュータ、オーディオビジュアル等の分野で各種情報を記録する媒体として応用されてつつある。そして、モバイルコンピュータの普及や情報の多様化が進むに伴い、小型大容量の光記録媒体の要求が高まっている。
【０００３】
光記録媒体は、光によって情報の記録もしくは再生を行うものである。光記録媒体の支持基材上には、例えば、トラッキングサーボ信号等の信号を得る為のピットやプリグルーブ或いはデータ情報等の信号を得る為の微細凹凸パターン（信号パターン）が形成されている。そして、この支持基材上に記録層又は反射層が形成され、更にその上に有機保護層が形成された単板構成の光記録媒体、或いは、その２枚の支持基材の記録層又は反射層面を対向させて貼り合せた構成の光記録媒体がある。
【０００４】
上述した単板構成又は貼り合わせ構成の光記録媒体は、１つの支持基材面上に記録層又は反射層を１つしか有していない。これに対して、記録密度の高密度化を図る為に、１つの支持基材面上に複数の記録層等を有する多層構成の光記録媒体が提案されている。この多層構成の光記録媒体は、例えば、微細な凹凸パターン（信号パターン）が形成された支持基材上に、反射層又は記録層を形成し、その記録層上に凹凸パターン（信号パターン）形成層を形成し、その凹凸パターン形成層上にさらに反射層又は記録層を形成したものである。このような記録層と凹凸パターン形成層とを、必要に応じて繰り返し形成し、最後に有機保護層を形成する。これにより、１つの支持基材面上に複数の記録層を有する光記録媒体が得られる。
【０００５】
情報の記録、再生、消去を行うための光の入射は、支持基材面側からでも有機保護層面側からでも可能である。また、両方の面を用いることもできる。ただし、有機保護層面側から行う方が、支持基材の厚さを薄くすることが容易であり、ピックアップの対物レンズのＮＡ（開口度）を高めることができ、高密度化を図るうえで有利であることが知られている。
【０００６】
多層構成光記録媒体の製造方法としては、例えば、以下の方法が知られている。まず、支持基材に凹凸パターンと反射層又は記録層を形成する。次いで（１）反射層又は記録層上に紫外線硬化性樹脂を塗布する。次いで（２）その紫外線硬化性樹脂に透明スタンパを重ね合わせる。次いで（３）透明スタンパを介して紫外線を照射することにより、紫外線硬化性樹脂を硬化させて凹凸パターン形成層を作製する。次いで（４）透明スタンパを剥離する。次いで（５）凹凸パターン上に反射層又は記録層を形成する。そして、上記（１）から（５）の工程を必要に応じて繰り返し、最後に反射層又は記録層上に有機保護層を形成する。
【０００７】
上記積層方法は、従来の２Ｐ法（Photo Polymer法）を応用したものである。ただし、従来の２Ｐ法は金属製スタンパ上に紫外線硬化性樹脂及び透明支持基材を重ね合わせ、透明支持基材側から紫外線を照射することで、紫外線硬化性樹脂を硬化させていた。支持基材側から紫外線を照射すると紫外線エネルギーの減衰が生じ、紫外線硬化性樹脂を充分に硬化できない。特に、反射層又は記録層が複数積層されている場合は、それが顕著であり、過剰な紫外線を照射することにより、支持基材の樹脂などが紫外線により劣化を生じる問題が発生する。このため上記方法では、透明なスタンパを用いて、透明スタンパ側から紫外線を照射している。透明スタンパとしては、ガラス製スタンパでは割れ易いので、樹脂製スタンパを用いることが考えられている。しかし、紫外線による樹脂の劣化や樹脂製スタンパに紫外線硬化性樹脂が残留する問題がある。また、透明スタンパを繰り返し用いる場合、凹凸パターンや透明スタンパ自体の形状変化が発生してしまう。これにより、品質及び生産性上再利用することが困難であり、凹凸パターン形成毎に透明スタンパを使い捨てており、コストが高くなる問題がある。
【０００８】
以上述べた透明スタンパの作製方法は、例えば、特許文献１及び特許文献２に記載されている。
【０００９】
特許文献１では、射出成形或いは光硬化性樹脂を用いたキャスト法で透明スタンパを作製している。射出成形方式では、容易に高品質な透明スタンパを作製できるものの、複数の透明スタンパを一度に成形することは転写性の問題があり実現できていない。また、射出成形における透明スタンパの厚さは、薄くすると転写不良が発生し易いので、０.６ｍｍ程度以上の厚さが必要となる。このため、射出成形方式では、光入射面となる基板用の材料よりも光学特性が劣る低コスト材料を用いてコストを抑えることが可能であるが、生産タクト及び材料使用量の観点から大幅なコスト低減は見込めない。
【００１０】
一方、光硬化性樹脂を用いる方法は、従来の２Ｐ法であり、射出成形方式などに比べて生産性が悪い。したがって、多数の透明スタンパを必要とする多層構成光記録媒体においては実用的でない。
【００１１】
特許文献２では、押し出し成形において、ローラーに平坦なスタンパを取り付けて、そのローラーを通過させることで透明スタンパを製造している。この成形方法では、連続的に透明スタンパを製造できる。しかし、平坦なスタンパをロール状に反らせているので、凹凸パターンが緻密な高密度パターンの場合、正確に形状を転写できない。また、凹凸パターンの転写性を維持するためには押し出し速度をある程度遅くする必要があり、生産性に問題がある。
【００１２】
すなわち、上述したような従来の透明スタンパの製造方法では、高密度凹凸パターンを高品質・低コストで製造することができなかった。また、紫外線硬化性樹脂と透明スタンパの樹脂材料は、金属スタンパに比べて密着力が高くなり、剥離が困難になる。したがって、透明スタンパの凹凸パターン面に金属薄膜を形成すること、或いはポリオレフィン系樹脂やノルボルネン系樹脂を用いることが考えられている。しかし、金属薄膜の形成は紫外線のエネルギー減衰の問題がある。また、ポリオレフィン系樹脂やノルボルネン系樹脂などの材料は高価なので、成形材料を多量に用いる従来法ではコストが極めて高くなる。
【００１３】
更に、上述したような従来の透明スタンパを用いる場合は、転写性の観点からスタンパを厚くする必要がある。またコストの観点から、成形材料の使用量を極力抑える必要がある。したがって、射出成形法やキャスト法により得た従来の透明スタンパは、支持基材と同程度の大きさのものが用いられている。これでは、透明スタンパを支持基材から剥離することが困難である。また、一般に、透明スタンパの厚さが増大すると、外力に対する抵抗力が樹脂の弾性で増大することになり、それを変形させることが困難になる。したがって、透明スタンパを紫外線硬化性樹脂の界面から剥離する際に、剥離のきっかけとなる起点を得る工程及びこの起点から剥離領域を拡大させる工程において、大きな力が必要となる。その結果、設備が複雑化、大型化する。特に、支持基材と透明スタンパが同程度の大きさの場合は、それが顕著であり、剥離の起点を得ることが困難である。
【特許文献１】実開平５−５９６１５号公報
【特許文献２】特開平５−４７０４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、多層構成光記録媒体の製造工程に用いる透明スタンパを高品位かつ低コストで製造すると共に、その透明スタンパを用いた各層の形成工程において、透明スタンパを容易に剥離可能な方法を提供することにある。
【００１５】
さらに本発明の目的は、高品位な多層構成光記録媒体を低コストで生産性良く製造できる方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、凹凸パターンと該凹凸パターン上に反射層又は記録層が形成された支持基材の該反射層又は記録層上に紫外線硬化性樹脂を供給し、該紫外線硬化性樹脂上に透明スタンパを載置し、該透明スタンパを介して紫外線を照射することにより紫外線硬化性樹脂を硬化させ、該透明スタンパを剥離して、該透明スタンパの凹凸パターンが転写された硬化後の紫外線硬化性樹脂から成る凹凸パターン形成層を形成し、さらに該凹凸パターン形成層上に反射層又は記録層を形成する多層構成光記録媒体の製造方法において、
前記透明スタンパとして、熱可塑性樹脂シートとスタンパを重ね合わせて熱と圧力を加えることにより該スタンパの凹凸パターンを転写形成した熱可塑性樹脂シートを用いることを特徴とする光記録媒体の製造方法である。
【００１７】
さらに本発明の光記録媒体の製造方法においては、透明スタンパの外径が、支持基材の外径よりも大きいことが好ましい。
【００１８】
さらに本発明の光記録媒体の製造方法においては、熱可塑性樹脂シートと複数のスタンパを重ね合わせて熱と圧力を加えることにより、該複数のスタンパの凹凸パターンを同時に転写形成した熱可塑性樹脂シートを、複数個の透明スタンパとして用いることが好ましい。
【００１９】
さらに本発明の光記録媒体の製造方法においては、紫外線硬化性樹脂上に透明スタンパを載置した後、該透明スタンパ上に透明板状部材を載置して紫外線硬化性樹脂を広げ、その後、該透明板状部材及び該透明スタンパを介して紫外線を照射することにより紫外線硬化性樹脂を硬化させることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、熱可塑性樹脂シートとスタンパを重ね合わせ、熱と圧力を加えることによりスタンパの凹凸パターン（信号パターン）を熱可塑性樹脂シートに転写形成し、この凹凸パターンが形成された熱可塑性樹脂シートを透明スタンパとして用いる。これにより、従来の射出成形法などでは困難であった薄いシート状の透明スタンパを高精度で容易に作製でき、材料コストを大幅に低減できる。また、透明スタンパの形状を支持基材の外径よりも大きくすることが容易となる。これにより、透明スタンパの有効領域外の外周部を保持して支持基材から容易に剥離可能になる。更に、従来の射出成形では困難だった、複数のスタンパを用いて、同時に複数の透明スタンパを作製することができ、生産性を向上することができる。
【００２１】
したがって、本発明によれば、低コストで高品質な透明スタンパを生産性良く作製でき、かつ多層構成光記録媒体において、凹凸パターン（信号パターン）を高品位かつ容易に、低コストで製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明において、凹凸パターンとは、光記録媒体の信号パターンとして機能する凹凸パターンであり、例えば、トラッキングサーボ信号等の信号を得る為のピットやプリグルーブ或いはデータ情報等の信号を得る為の微細凹凸パターンである。
【００２３】
図１及び図２は、本発明の多層構成光記録媒体の製造方法における、透明スタンパの作製方法を模式的に表したものであり、図１はその斜視図、図２はその断面図である。これら図１及び図２を参照して、透明スタンパの作製方法の実施形態を以下に説明する。
【００２４】
まず、金属スタンパ１を、金属スタンパ固定治具２により金型３上に固定する。次いで、金属スタンパ１上に、熱可塑性樹脂シート５を重ね合わせる。次いで、上部の可動金型４を下降させて、加熱及び加圧を行い、金属スタンパ１の凹凸パターンを熱可塑性樹脂シート５に転写する。次いで、必要に応じて、金型３と可動金型４を冷却することにより熱可塑性樹脂シート５の温度を下げる。次いで、可動金型４を上昇させて、さらに金属スタンパ１から熱可塑性樹脂シート５を剥離する。こうして得た熱可塑性樹脂シート５には金属スタンパ１の凹凸パターンが転写しており、これを透明スタンパとして用いることができる。
【００２５】
以上の通り、本発明においては熱可塑性樹脂シートとスタンパを重ね合わせて加熱加圧して透明スタンパを作製する。したがって、熱と圧力で凹凸パターンを転写する際に水平に加圧することで軟化した熱可塑性樹脂シートの膜厚を均一にすることが可能となる。その結果、材料の高精度な膜厚均一性を必要とせず、一般に入手可能な安価な樹脂シートを使用でき、材料コストを大幅に削減することが可能になる。
【００２６】
このようにして作製した透明スタンパは、シート状のまま用いることも可能であり、また必要に応じて、所定の大きさに形状加工して用いること可能である。形状加工する場合は、支持基材よりも大きな形状に加工することが望ましい。その好適な形状は、透明スタンパを凹凸パターン形成層から剥離する際に透明スタンパの有効領域外の外周部を掴める部分があればよい。ここで有効領域外とは、転写すべき凹凸パターン（信号パターン）の領域以外の部分を意味する。具体的な透明スタンパの形状としては、例えば、円形、多角形などが挙げられる。形状加工法は、特に限定されない。形状加工法の代表例としては、打ち抜きプレス機により形状加工する方法が挙げられる。また、レーザー加工や機械的な切削での切り出しによる形状加工などの他の方法も可能である。
【００２７】
熱可塑性樹脂シートは、熱と圧力で金属スタンパの凹凸パターンを転写形成できるものであれば良い。また、紫外線透過率の高いものの方が良いが、複屈折などの光学特性に優れる光記録媒体用材料に限定されない。シートを構成する熱可塑性樹脂の具体例としては、ポリカーボネイト樹脂、アクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂（ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂等）、ノルボルネン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、塩化ビニル樹脂など、様々な樹脂が挙げられる。また、複数の樹脂を積層して成るシートを用いることもできる。紫外線硬化性樹脂との剥離性の観点からは、ポリオレフィン樹脂やノルボルネン樹脂が好適である。
【００２８】
熱可塑性樹脂シートは、少なくとも凹凸パターンを形成する面が熱可塑性樹脂で構成されているシートであれば良い。したがって、熱可塑性樹脂以外の材料に熱可塑性樹脂層を積層したシートを使用することもできる。また、使用済みの透明スタンパをリサイクルして使用することも可能である。
【００２９】
熱可塑性樹脂シートの厚さは、金属スタンパの凹凸パターン形状を転写可能で取扱い上支障の無い厚さに最適化すればよく、特に限定されない。特に、材料コストと転写性の観点から、その厚さは０.０１ｍｍ〜０.３ｍｍの範囲内であることが好ましい。
【００３０】
図１及び図２に示した凹凸パターン転写工程における具体的な成形条件は、シートを構成する熱可塑性樹脂の種類、シート厚さ及び凹凸パターンなどに応じて最適化すればよく、特に限定されない。特に、熱可塑性樹脂のガラス転移点又は軟化点近傍以上の温度に加熱して転写を行い、次いで、ガラス転移点及び軟化点よりも低い温度に冷却し、金属スタンパと熱可塑性樹脂シートを剥離することが望ましい。また、金属スタンパと熱可塑性樹脂シートを重ね合わせる際は、空気やゴミの混入を避ける目的で、真空中で重ね合わせることが望ましい。また、この重ね合わせにおける両者の位置合わせは、高精度な位置合わせは不要であり、少なくとも金属スタンパの有効領域が熱可塑性樹脂シートで覆われていればよく、特別な工程や機構を必要としない。
【００３１】
図１では、金型３上に６枚の金属スタンパ１を設置しているが、本発明において金型３上に設置するスタンパの数は特に限定されない。そのスタンパの数は、必要に応じて決めればよく、例えばスタンパを１枚だけ設置して実施することも可能である。
【００３２】
図１及び図２においては金属スタンパ１を用いているが、本発明において金型３上に設置するスタンパの種類は特に限定されない。そのスタンパの種類は必要に応じて決めればよく、金属スタンパ以外に、例えばガラス又はセラミックから成るスタンパを用いることも可能である。ただし、加圧及び加熱に対する耐久性の観点から、金属スタンパが好ましい。その具体例としては、Ｎｉ、Ｔｉ又はその合金などの公知の金属材料から成るスタンパが挙げられる。
【００３３】
次に、上述のようにして作製した透明スタンパを用いて、多層構成光記録媒体を製造する方法について説明する。図３は、本発明の多層構成光記録媒体の製造方法における透明スタンパを用いた層形成の工程を模式的に表した図である。
【００３４】
まず、凹凸パターン（不図示）と凹凸パターン上に反射層又は記録層７が形成された支持基材６を準備する［図３（Ａ）］。支持基材６における凹凸パターンの形成は、射出成形や２Ｐ法などの公知技術により形成すれば良く、特に限定されない。本発明において記録層は、記録膜及び誘電体膜等の複数の膜から構成される記録層であってもよいし、単層膜から構成される記録層であってもよい。また、ＲＯＭ用の信号を与える為の反射層を形成してもよい。
【００３５】
次いで、反射層又は記録層７上に紫外線硬化性樹脂８を供給し、更にその上に透明スタンパ１２を重ね合わせる［図３（Ｂ）］。この重ね合わせ後又は重ね合わせと同時に、透明スタンパ１２と支持基材６との相対的な位置関係を調整することが好ましい。この位置関係の調整は、透明スタンパ１２の凹凸パターンと支持基材６の凹凸パターンとの相対的位置関係を一致させることを目的とする。また、透明スタンパ１２上に両面が平坦な透明板状部材（例えば両面研磨した石英ガラスなど）を載せて、紫外線硬化性樹脂８を全面に広げることが好ましい。透明板状部材を用いると、透明スタンパ１２が薄い場合であっても、その平坦性を補正することができ、平坦性の高い凹凸パターン形成層８'を形成できる。
【００３６】
なお、図３に示す例においては、紫外線硬化性樹脂８を全面に広げているが、本発明はこれに限定されない。例えば、支持基材６の外周部（特にディスク状の形状の場合はその外周部及び内周部）に紫外線硬化性樹脂８を成膜しない領域を設けることもできる。この場合、はみだし部分が生じない分、透明スタンパ１２と紫外線硬化性樹脂８との剥離性が向上する。
【００３７】
次いで、透明スタンパ１２を介して紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂８を硬化させて凹凸パターン形成層（信号パターン形成層）８'を形成する。ここで、透明スタンパ１２上に透明板状部材を載せた場合は、透明スタンパ１２及び透明板状部材を介して紫外線を照射する。ここに示す例においては、透明スタンパ１２の外径は支持基材６の外径よりも大きい。したがって、透明スタンパ１２の引き上げは、透明スタンパ１２の外周部（スタンパの有効領域以外の部分）を掴んで引き上げを行えばよい。このような工程により、透明スタンパ１２の凹凸パターンが硬化後の紫外線硬化性樹脂８に転写形成され、これが凹凸パターン形成層８'となる。
【００３８】
支持基材６の凹凸パターンを有しない面を真空吸着機構などにより保持し、透明スタンパ１２を引き上げることにより、凹凸パターン形成層８'（硬化後の紫外線硬化性樹脂８）と透明スタンパ１２を剥離する。これにより、凹凸パターン形成層８'が得られる。ここで、凹凸パターン形成層８'とは、その上に形成される反射層又は記録層に所望の凹凸パターン（信号パターン）を付与する役割、すなわち上述した支持基材６とは別の支持基材としての機能を担う層である。
【００３９】
次いで、凹凸パターン形成層８'の上に、反射層又は記録層９を形成する［図３（Ｃ）］。次いで、光入射面となる透明な有機保護層１０を反射層又は記録層９上に形成して多層構成光記録媒体が得られる［図３（Ｄ）］。
【００４０】
図３においては、２層構成の光記録媒体を製造する例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、反射層又は記録層９上にさらに凹凸パターン形成層を形成し、その上にさらなる反射層又は記録層を形成し、この工程を必要に応じて繰り返せば、３層以上の多層構成の光記録媒体を製造することもできる。
【００４１】
紫外線硬化性樹脂８は、光記録媒体の記録・再生・消去を行う上で光学的に支障のない樹脂であれば良く、特に限定されない。ただし、近年、記録・再生・消去に用いられる光の波長は、ＣＤで７８５ｎｍ、ＤＶＤで６６０ｎｍと短波長化され、ブルーレイディスクでは４０５ｎｍの波長が検討されている。したがって、これらの波長域での吸収や反射及び複屈折が少ない樹脂が望ましい。具体的には、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、フェノール系樹脂、及び各種変性樹脂などを用いることができるが、これらのうち上記波長域での吸収の少ないものが好ましい。また、紫外線硬化性樹脂８は、通常、光重合開始剤が配合され、そこに紫外線が照射されることにより硬化する。したがって、その光重合開始剤の吸収域は、光記録媒体の記録・再生・消去に用いる光の波長域と異なることが好ましい。また、例えば、未硬化や半硬化状態でシート状に形成したドライフォトポリマーを、紫外線硬化性樹脂８として使用することもできる。
【００４２】
凹凸パターン形成層８'（硬化後の紫外線硬化性樹脂８）の厚さは、特に制限されない。通常は１μｍ〜３００μｍ程度の層厚が好ましいが、記録層等を構成する膜数や球面収差補正機構のダイナミックレンジなどにより最適な膜厚を選択すればよい。また、必要に応じて各反射層又は記録層の層間距離を調整するために、接着剤やシート基材を反射層又は記録層と凹凸パターン形成層８'との間に設けることができる。
【００４３】
反射層又は記録層７及び９の成膜方法は特に制限されず、例えば、スパッタ法、蒸着法、ＣＶＤ法、ディッピング塗布、スピンコート塗布などが挙げられる。具体的には、各々の生産工程、生産装置及び生産する光記録媒体に最適な方式であれば良い。
【００４４】
反射層又は記録層７及び９を構成する材料も特に制限されない。例えば、光記録層の材料として公知の材料が使用できる。その具体例としては、Ｔｅ、Ｉｎ、Ｇａ、Ｓｂ、Ｓｅ、Ｐｂ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｓ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｗ、Ｐｄ、Ｔｉ、Ｂｉ、Ｚｎ、Ｓｉなどの材料のうちの少なくとも１種類以上から成る合金が挙げられる。その他、光磁気記録層の材料として公知の材料も使用できる。その具体例としては、Ｔｂ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｃｅ、Ｈｏなどの材料のうちの少なくとも１種類以上から成る合金や希土類−遷移金属合金が挙げられる。また、光反射層の材料として公知の材料も使用できる。その具体例としては、ＡｌやＡｌ合金、ＳｉやＳｉＮ、ＡｇやＡｇ合金などが挙げられる。更に、シアニン系材料、フタロシアニン系材料、アゾ系材料などの有機色素系材料を、光記録層として用いることもできる。
【００４５】
反射層又は記録層７及び９の厚さは、必要に応じて設定すればよい。記録、再生又は消去用の光が光記録媒体の光入射面に入射した際、その光の減衰は、光入射面側から各反射層又は記録層７及び９で生じる。したがって、その光の波長における各層の透過率は、入射面側に近い層ほど高いことが好ましい。例えば、反射層又は記録層７の透過率をＬ０とし、反射層又は記録層９の透過率をＬ１とした場合、以下の関係になるように成膜するとよい。
【００４６】
Ｌ０＜Ｌ１
透過率を上記関係になるように成膜する為には、例えば、成膜圧力やガス流量やパワー及び膜厚などの成膜条件を適宜調整して成膜すればよい。
【００４７】
また、各反射層又は記録層の組成や膜厚を調整して、各層の記録・再生・消去に支障のない構成にすることが好ましい。各反射層又は記録層７毎に組成や膜厚及び成膜条件などを最適化することで、任意の透過率と反射率の反射層又は記録層を形成できる。本発明においては、所望の光記録媒体に適した公知のものを用いればよく、特に限定されない。
【００４８】
多層構成光記録媒体は、凹凸パターン形成層８'（硬化後の紫外線硬化性樹脂８）を形成する際に、紫外線硬化性樹脂８が外周部（ディスク状等の形状の場合は外周部及び内周部）からはみ出すことがある。その対策として、例えば、外周部等を先行して硬化させてはみ出しを防止する方法、未硬化状態ではみ出し部を払拭する方法、製造後の光記録媒体を形状加工してはみ出し部を除去する方法などがある。はみ出し部除去の為の形状加工法は、特に限定されない。代表的な方法として、打ち抜きプレス機による形状加工が挙げられる。またそれ以外にも、例えば、レーザー加工、機械的な切削での切り出しによる形状加工なども可能である。
【００４９】
また、支持基材６から紫外線硬化性樹脂８がはみ出した部分が、支持基材の外周端部に沿って盛り上がる形状で膜厚が厚くなれば、その部分の透明スタンパ１２との密着力が増大する。この場合、透明スタンパ１２を引き上げると、はみ出し部分のみが透明スタンパ１２側に残留し、はみ出し部が除去された光記録媒体が得られる。
【００５０】
また、光記録媒体がディスク状の形状の場合、形成される各層の偏芯が大きいとトラッキングサーボが外れるなどの支障が生じる。したがって、透明スタンパ１２と支持基材６の重ね合わせの際には、通常、中心位置合わせ（以下「芯出し」と称す）工程を併せて行う。透明スタンパ１２の中心部を凹凸パターン形成時に切断し、或いは凹凸パターン形成後に切断することで、支持基材６の中心部と透明スタンパ１２の中心部を機械的に調整し、容易に芯出しすることもできる。具体的には、２Ｐ法等における公知の芯出し工程を用いることができる。また、中心部に開口部を設けずに、支持基材及び透明スタンパの凹凸パターンなどの位置情報を読み取り、支持基材或いは透明スタンパの位置を調整して芯出しを行う位置補正機構を設けることも可能である。この位置補正機構を設けることで、高精度な芯出しを行うことができる。
【００５１】
以上のようにして製造した多層構成光記録媒体は、光により情報の記録、再生、消去を行うものである。光の入射面は特に制限されないが、有機保護層面側、すなわち支持基材とは反対側であることが好ましい。
【実施例】
【００５２】
＜実施例＞
図１及び図２に示した工程に従い、以下の通り、透明スタンパを作製した。
【００５３】
まず、金属スタンパ１を、金属スタンパ固定治具２により金型３上に固定した。次いで金属スタンパ１上に、厚さ０.１ｍｍのポリカーボネイト樹脂製の熱可塑性樹脂シート５を重ね合わせた。具体的には、間に気泡が混入しないようにローラーを用いて徐々に重ね合わせて、金属スタンパ１に熱可塑性樹脂シート５を密着させた。次いで、真空中で上部の可動金型４を下降させて、熱可塑性樹脂シート５上に可動金型４を密着させた。ここでは真空中で重ね合わせることにより、気泡の混入を防止できた。更に、金型３と可動金型４を１５０℃に加熱し、可動金型４を１０ＭＰａの圧力で下方に加圧して、３分間保持した。次いで、金型３と可動金型４を４０℃まで冷却した。次いで、可動金型４を上昇させて、熱可塑性樹脂シート５の外周端部を保持して、金属スタンパ１から剥離した。得られた熱可塑性樹脂シート５には金属スタンパ１の凹凸パターン（信号パターン）が転写しており、これを透明スタンパ１２（図３）として使用できる。なお、この透明スタンパは、中心孔を有しない形状とし、またその外径は支持基材の外径よりも大きくした。
【００５４】
以上の工程において、熱可塑性樹脂シート５を構成するポリカーボネイト樹脂のガラス転移点は１４０℃、熱変形温度は約１２０℃である。また、金型を開いた時の熱可塑性樹脂シート５の温度は、約４０℃〜約５０℃であった。
【００５５】
次に、上記方法で作製した透明スタンパを用いて、図３に示した工程に従い、以下の通り多層構成光記録媒体（多層構成光ディスク）を製造した。
【００５６】
まず、支持基材６として、射出成形により凹凸パターン（不図示）を形成した厚さ１.１ｍｍ、外径１２０ｍｍ、内径１５ｍｍのポリカーボネイト樹脂製のディスク状基板を用意した。この支持基材６の凹凸パターン面に、成膜装置により反射層７を形成した［図３（Ａ）］。具体的には、ＳｉＮをスパッタ法により１０ｎｍの厚さで成膜し、これを反射層７とした。
【００５７】
次いで、反射層７上に紫外線硬化性樹脂８（日本化薬製、商品名ＩＮＣ−１１８）を塗布し、さらにその上に透明スタンパ１２を重ね合わせた［図３（Ｂ）］。
【００５８】
次いで、支持基材６を真空吸着機構で保持し、支持基材６の凹凸パターンと透明スタンパの凹凸パターンの位置が一致するように、凹凸パターン読み取り機構と位置調整機構により透明スタンパ１２の位置を調整した。次いで、板厚が均一で両面を研磨した石英ガラスを透明スタンパ１２上に載せて、紫外線硬化性樹脂８を全面に広げた。次いで、石英ガラス側から紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂８を硬化させた。なお、支持基材６外周部からはみ出した紫外線硬化性樹脂８は、その外周端部に沿って盛り上がる形状で膜厚が厚くなった。
【００５９】
次いで、石英ガラスを取り外し、支持基材６を真空吸着機構により保持した状態で、透明スタンパ１２の有効領域外の外周端部を掴み、上方に引き上げた。これにより、まず支持基材６の外周部で透明スタンパ１２と紫外線硬化性樹脂８の界面の剥離起点を得た。さらに、透明スタンパ１２を上方に引き上げることで、透明スタンパ１２の剥離を完了させた。ここで、紫外線硬化性樹脂８の外周端部からのはみ出した部分は透明スタンパ１２側に接着したままで、透明スタンパ１２の剥離と共に除去された。
【００６０】
以上のようにして、透明スタンパ１２の凹凸パターンを転写形成した紫外線硬化性樹脂８（硬化後）を得た。これが凹凸パターン形成層８'となる。この凹凸パターン形成層８'の膜厚は、平均値で１５μｍであり、全面±１μｍ以内の膜厚ばらつきであった。
【００６１】
次いで、凹凸パターン形成層８'（硬化後の紫外線硬化性樹脂８）の上に、成膜装置により反射層９を形成した［図３（Ｃ）］。具体的には、ＳｉＮをスパッタ法により７ｎｍの厚さで成膜し、これを反射層９とした。なお、反射層９の透過率Ｌ１が反射層７の透過率Ｌ０よりも大きくなるように、両層の成膜条件を適宜調整した。
【００６２】
次いで、反射層９上に、紫外線硬化型樹脂（日本化薬製：ＩＮＣ−１１８）をスピンコートし、ＵＶ硬化装置によってその塗膜を全面硬化して、厚さ７５μｍ有機保護層１０を形成した［図３（Ｄ）］。この有機保護層１０が、光入射面となる。以上のような工程により、２層構成の光記録媒体を得た。
【００６３】
この２層構成の光記録媒体の有機保護層１０面から記録情報の再生を行ったところ、各層において全面支障なく再生ができた。
【００６４】
さらに、本実施例においては、透明スタンパ１２の厚さが薄く、有効領域外に保持できる領域が形成されているので、透明スタンパ１２の外周部を掴み、透明スタンパが変形しやすいのでロール状に巻き取ることなどが可能になった。また、従来方法では困難であった剥離工程が容易になり、生産性が飛躍的に向上すると共に、透明スタンパの作製が容易であるため、生産コストも大幅に低減することができた。
【００６５】
＜比較例＞
図４は、従来の多層構成光記録媒体の作製方法の模式図である。この図４に示す工程で使用する透明スタンパ１１は、射出成形で作製されたものなので厚さが比較的厚く、また内外径のサイズは支持基材６と同じである。図４に示す工程は、このような透明スタンパ１１を用いたこと以外は、図３に示した工程と同様のものである。
【００６６】
本比較例においては、まず、射出成形により作製された厚さ１.１ｍｍ、外径１２０ｍｍ、内径１５ｍｍのポリカーボネイト樹脂製の透明スタンパ１１を用意した。そして、この透明スタンパ１１を用いて、図４に示した工程に従い、以下の通り多層構成光記録媒体（多層構成光ディスク）を製造した。
【００６７】
まず、実施例と同様にして、支持基材６の凹凸パターン面に反射層７を形成した［図４（Ａ）］。次いで実施例と同様にして、反射層７上に紫外線硬化性樹脂８を塗布した。
【００６８】
次いで、この紫外線硬化性樹脂８上に、先に用意した透明スタンパ１１を重ね合わせた［図４（Ｂ）］。この透明スタンパ１１の内外径のサイズは支持基材６のサイズ（外径１２０ｍｍ、内径１５ｍｍ）と同じであり、実施例で用いた透明スタンパ１２の方が大きい。また、この透明スタンパ１１射出成形で作製されたものなので厚さが比較的厚く（１.１ｍｍ）、実施例で用いた透明スタンパ１２の方が薄い。
【００６９】
次いで、実施例と同様にして、位置調整を行い、石英ガラスを載せて紫外線硬化性樹脂８を全面に広げ、紫外線照射により紫外線硬化性樹脂８を硬化させ、石英ガラスを取り外した、
次いで、支持基材６を真空吸着機構により保持した状態で透明スタンパ１１を上方に引き上げたところ、透明スタンパ１１と紫外線硬化性樹脂８の界面における剥離の起点を得ることが困難であった。また、起点を得た後、剥離領域を拡大する際に、透明スタンパ１１の弾性により透明スタンパ１１自体に強い形状復元力が生じた。これは、透明スタンパ１１が厚過ぎることに因る。この結果、剥離が不十分なまま透明スタンパ１１が再度紫外線硬化性樹脂８に接触してしまい、微細な凹凸パターンを２度打ちすることになり、欠陥が多発した。また、支持基材６の外周部において、紫外線硬化性樹脂８のはみ出しが発生しており、はみ出し部がバリとなり発塵したので、ゴミ欠陥が多発した。
【００７０】
以上の通り、透明スタンパ１１を用いたこと以外は、実施例と同様にして凹凸パターン形成層８'を形成した。この凹凸パターン形成層８'の膜厚は、平均値で１５μｍであったが、全面の膜厚ばらつきは±１０μｍであった。これは、透明スタンパ１１が射出成形により作製されたものなので、実施例で用いた透明スタンパ１２と比較して表面の平坦性が劣り、板厚にばらつきがあるからと考えられる。
【００７１】
次いで、この凹凸パターン形成層８'上に、実施例と同様にして反射層９を形成し［図４（Ｃ）］、有機保護層１０を形成し［図４（Ｄ）］、２層構成の光記録媒体を得た。
【００７２】
この２層構成の光記録媒体の有機保護層１０面から記録情報の再生を行ったところ、トラッキングサーボの特性が不安定であり、記録情報を再生する上で支障が生じていた。これは、光入射面側の反射層９における凹凸パターンの精度や層間距離の変動及び欠陥に因るものである。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の透明スタンパの作製工程を示した模式的斜視図である。
【図２】本発明の透明スタンパの作製工程を示した模式断面図である。
【図３】本発明の透明スタンパを用いた多層構成光記録媒体の製造工程を示した模式図である。
【図４】従来の透明スタンパを用いた多層構成光記録媒体の製造工程を示した模式図である。
【符号の説明】
【００７４】
１：金属スタンパ
２：金属スタンパ固定治具
３：金型
４：可動金型
５：熱可塑性樹脂シート
６：支持基材
７：反射層又は記録層（Ｌ０）
８：紫外線硬化性樹脂
８'：凹凸パターン形成層
９：反射層又は記録層（Ｌ１）
１０：有機保護層
１１：従来の透明スタンパ
１２：透明スタンパ
【図１】
2007323769.tif 000003
【図２】
2007323769.tif 000004
【図３】
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【図４】
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