(57)【要約】      （修正有）【課題】シート基板から製造されるシート状の製品に対し、製品ごとに固有の基板識別コードを付加されてない状態でも、各製造工程での進捗管理、或は、不良管理を行う。【解決手段】シート基板からシート状の製品を製造する各工程を担当する各装置と、各装置に在席する各シート基板の状況を管理するシート基板在席状況管理装置とが実行する方法であって、  前記シート基板在席状況管理装置が、シート基板に仮識別コードを付与して、その情報を記憶する段階と、  前記各装置が、装置自身に在席するシート基板の仮識別コードを一時的に記憶し、このシート基板を次工程の装置に受け渡す時に、このシート基板と共に、この仮識別コードも、次工程の装置に受け渡す段階と、  前記各装置が、シート基板の受け渡し時に、受け渡すシート基板或は受け渡されるシート基板の仮識別コードを、シート基板在席状況管理装置に送信する段階と含むことを特徴とするシート基板の特定方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート基板からシート状の製品を製造する各工程を担当する各装置と、各装置に在席する各シート基板の状況を管理するシート基板在席状況管理装置とが実行する方法であって、
前記シート基板在席状況管理装置が、シート基板に仮識別コードを付与して、その情報を記憶する段階と、
前記各装置が、装置自身に在席するシート基板の仮識別コードを一時的に記憶し、このシート基板を次工程の装置に受け渡す時に、このシート基板と共に、この仮識別コードも、次工程の装置に受け渡す段階と、
前記各装置が、シート基板の受け渡し時に、受け渡すシート基板或は受け渡されるシート基板の仮識別コードを、シート基板在席状況管理装置に送信する段階と含むことを特徴とするシート基板の特定方法。
【請求項２】
装置が検査装置の場合に、この検査装置が、検査結果をシート基板在席状況管理装置に送信する段階を含むことを特徴とする請求項１に記載のシート基板の特定方法。
【請求項３】
シート基板からシート状の製品を製造する各工程を担当する各装置と、各装置に在席する各シート基板の状況を管理するシート基板在席状況管理装置とを備えるシステムであって、
前記シート基板在席状況管理装置は、シート基板に仮識別コードを付与して、その情報を記憶する機能を有し、
前記各装置は、装置自身に在席するシート基板の仮識別コードを一時的に記憶し、このシート基板を次工程の装置に受け渡す時に、このシート基板と共に、この仮識別コードも、次工程の装置に受け渡す機能と、シート基板の受け渡し時に、受け渡すシート基板或は受け渡されるシート基板の仮識別コードを、シート基板在席状況管理装置に送信する機能とを有することを特徴とするシート基板の特定システム。
【請求項４】
装置が検査装置の場合に、この検査装置は、検査結果をシート基板在席状況管理装置に送信する機能を有することを特徴とする請求項３に記載のシート基板の特定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート基板から製造されるシート状の製品に対し、製品ごとに固有の基板識別コードを付加されてない状態でも、各製造工程での進捗管理、或は不良管理を行う技術に関し、特に、検査装置で欠陥が発生された製品がどのシート基板に該当するかを特定することに好適に利用できるものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の加工装置によって異なった処理を行う加工工程と、検査装置によって欠陥が存在するか否かを検出する検査工程とを持った製造ラインにおいて、シート基板からシート状の製品を製造する場合、各加工装置及び検査装置において当該装置内にシート基板が在席しているか否かを一括監視するシート基板在席状況管理装置が用いられている。
【０００３】
この場合、シート基板には各固有の例えば1次元コードや２次元コードなどの基板識別コードが加工装置によってラベル貼付により或は直接に形成され、そのコードを読取装置で読取り、シート基板在席状況管理装置に受け渡すことで、どのシート基板がどこで処理されているかが枚葉単位で把握でき、詳細な製造ラインの状況把握などに利用されている。
【０００４】
また、例えば検査装置によって欠陥が発見された場合、シート基板在席状況管理装置によって、検査装置で検査されたシート基板がどの装置で処理されてきたかを追跡でき、不良原因の特定の迅速化などに利用されている。
【０００５】
このように、シート基板に基板識別コードを付与し、それを製造ラインの管理などに用いる手段は実用化されている（特許文献１参照）。
【０００６】
また、製造ラインでシート基板の在席状況を監視し、検査装置で欠陥が発見された場合にシート基板の在席状況と加工装置の処理履歴，処理情報と結びつけて不良原因の特定に結びつける手段もシステム化されている（特許文献２参照）。
【０００７】
ところで、上述したような不良原因特定の手段は、例えば1次元コードや２次元コードなどの基板識別コードが備えられたシート基板に対して、コードを読み取ることで実現されている。
【特許文献１】特開平１１−１０１９０７号公報
【特許文献２】特開平１１−１３３２２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、シート基板からシート状の製品を製造する工程において、最初からシート基板に基板識別コードが備えられているわけではなく、基板識別コードを形成するまでにも複数の加工工程が存在する場合がある。この場合、基板識別コード形成前の加工工程では上述のシステムが使用できない問題がある。
【０００９】
それにより、基板識別コードが形成されていないシート基板が製造ラインに投入されると、例えば、そのシート基板が、投入時にケースに収納されていた場合、どのケースに収納されていたかを知ることができなくなり、後の検査工程で欠陥が発見された場合、欠陥
発生の原因をシート基板とケースとで結びつけて調査することができない。
【００１０】
基板識別コードが形成されていないシート基板の場合、シート基板の材質等の情報はケースと紐付けて保持することがあるため、シート基板とケースを結びつけることができない場合、シート基板の材料等の情報を用いて欠陥原因を調査することも叶わない。
【００１１】
また、基板識別コードの読取装置を持たない加工装置では、基板識別コードをシート基板在席状況管理装置に受け渡すことが出来ないため、上述のシステムが使用できない問題がある。
【００１２】
全ての加工装置に基板識別コードの読取装置を設置すれば上記問題は解決されるが、加工装置が多数存在する製造ラインに適用することは、費用、運用負荷などの面を考えると適切な方法とは言い難い。
【００１３】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、シート基板から製造されるシート状の製品に対し、製品ごとに固有の基板識別コードを付加されてない状態でも、各製造工程での進捗管理、或は、不良管理を行え、特に、不良管理では、検査装置で欠陥が発生された製品がどのシート基板に該当するかを容易に特定できるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明において上記課題を達成するために、まず請求項１の発明では、シート基板からシート状の製品を製造する各工程を担当する各装置と、各装置に在席する各シート基板の状況を管理するシート基板在席状況管理装置とが実行する方法であって、
前記シート基板在席状況管理装置が、シート基板に仮識別コードを付与して、その情報を記憶する段階と、
前記各装置が、装置自身に在席するシート基板の仮識別コードを一時的に記憶し、このシート基板を次工程の装置に受け渡す時に、このシート基板と共に、この仮識別コードも、次工程の装置に受け渡す段階と、
前記各装置が、シート基板の受け渡し時に、受け渡すシート基板或は受け渡されるシート基板の仮識別コードを、シート基板在席状況管理装置に送信する段階と含むことを特徴とするシート基板の特定方法としたものである。
【００１５】
また請求項２の発明では、装置が検査装置の場合に、この検査装置が、検査結果をシート基板在席状況管理装置に送信する段階を含むことを特徴とする請求項１に記載のシート基板の特定方法としたものである。
【００１６】
また請求項３の発明では、シート基板からシート状の製品を製造する各工程を担当する各装置と、各装置に在席する各シート基板の状況を管理するシート基板在席状況管理装置とを備えるシステムであって、
前記シート基板在席状況管理装置は、シート基板に仮識別コードを付与して、その情報を記憶する機能を有し、
前記各装置は、装置自身に在席するシート基板の仮識別コードを一時的に記憶し、このシート基板を次工程の装置に受け渡す時に、このシート基板と共に、この仮識別コードも、次工程の装置に受け渡す機能と、シート基板の受け渡し時に、受け渡すシート基板或は受け渡されるシート基板の仮識別コードを、シート基板在席状況管理装置に送信する機能とを有することを特徴とするシート基板の特定システムとしたものである。
【００１７】
また請求項４の発明では、装置が検査装置の場合に、この検査装置は、検査結果をシート基板在席状況管理装置に送信する機能を有することを特徴とする請求項３に記載のシー
ト基板の特定システムとしたものである。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１及び３の発明は、シート基板から製造されるシート状の製品に対し、製品ごとに固有の基板識別コードを付加されてない状態でも、各シート基板が、どの装置に在席しているかが容易に特定できるので、各製造工程での進捗管理が行えるという効果がある。
【００１９】
請求項２及び４の発明は、シート基板から製造されるシート状の製品に対し、製品ごとに固有の基板識別コードを付加されてない状態でも、各シート基板の検査結果を容易に把握できるので、不良管理を行えるという効果がある。特に、不良管理では、検査装置で欠陥が発生された製品がどのシート基板に該当するかを容易に特定できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら、一例を説明する。
【００２１】
図１は、本実施例に係るシート基板の特定方法を適用したシート基板の特定システムにおいて、製造ライン投入前のシート基板収納状態を表した図である。
【００２２】
本図において、シート基板１がケース２に複数収納されている。製造ラインへはこのケース２単位で投入を行ってもよい。また、ケース２に収納されているシート基板１の枚数について、本実施例で特に指定はしない。
【００２３】
図２は、本実施例に係るシート基板の特定方法を適用したシート基板の特定システムにおいて、製造ラインの一部を示した概念図である。
【００２４】
本図において、複数の加工装置３及び検査装置４によって構成される製造ラインに、シート基板１が複数収納されているケース２が投入される。検査装置４は、シート基板１が製造ラインに投入され、加工装置３によって加工処理が順次施される過程において、欠陥が発生しやすい工程の直後など、欠陥発見に効率の良い場所に設置されることが一般的である。本実施例では、検査装置４の台数、場所に影響されるものではなく、いずれの台数，場所においても適用可能である。
【００２５】
また、検査装置４は図２で表現した加工装置３と組み合わせられた形で製造ラインに設置されるものや、検査装置単体が1つの装置として製造ラインに設置されるものがある。本実施例では検査装置４の構成について特に指定はしない。
【００２６】
加工装置３及び検査装置４は、それぞれがネットワークケーブルなどによってシート基板在席状況管理装置５に接続されている。ネットワークの構成については、本実施例において必要な量の情報の送受信を円滑に実施することができる通信能力を持つものであれば、内容について特に指定はしない。
【００２７】
シート基板在席状況管理装置５は、シート基板の特定システムの全体制御を司る部位であって、加工装置３及び検査装置４から情報を受け取り、受け取った情報を所定の部位に出力して、この情報を用いた所定の処理を実行させる。
【００２８】
図３は、本実施例に係るシート基板の特定方法を適用したシート基板の特定システムにおいて、シート基板に割当てる仮識別コードの例を表した図である。
【００２９】
本図において、仮識別コード１０がシート基板１に割当てられている。加工装置３及び検査装置４によって構成される製造ラインにシート基板１が複数収納されたケース２が投入された際、シート基板在席状況管理装置５において、ケース２に収納されている各シート基板１に対し、固有の仮識別コード１０が割当てられる。シート基板在席状況管理装置５は、予め設定されたアルゴリズムの規則に従って仮識別コード１０を生成する。
【００３０】
本実施例では、仮識別コード１０は英数字５桁によって表現しているが、形式はこれに限定されるものではなく、必要な情報を表現可能で、かつ送受信を円滑に行うことが可能なものであれば、特に指定は無い。
【００３１】
アルゴリズムについては、例えばシート基板の材料やロット番号の相違などによって、仮識別コード１０の割り当て内容を変更したり（図３の場合、Ａ１００１から仮識別ＩＤを割り当てていき、ロット番号が変化するとＢ１００１から割り当てるなど）、様々なパターンを想定して設計しておけば、変化する製造方法にも対応可能である。ここではその図示及び詳細説明は省略する。
【００３２】
図４は、本実施例に係るシート基板の特定方法を適用したシート基板の特定システムにおいて、加工装置３のシート基板在席状況を示した概念図である。
【００３３】
一般的に、加工装置３は装置内部において異なった処理を行う複数のポジションを持つ。例えば図４の3番目の加工装置３（＃３）の場合、ポジションを４つ持っている。本実施例では、加工装置３が持つポジションの数に影響されない。
【００３４】
図４では１番目の加工装置３（＃１）のポジションは２つ、２番目の加工装置３（＃２）のポジションは1つ、３番目の加工装置３（＃３）のポジションは４つ、４番目の加工装置３（＃４）のポジションは１つとなっている。それぞれに対して、ある加工装置のあるポジションにシート基板１が在席している場合、そこにシート基板１が存在することを網掛けの四角で表現している。
【００３５】
また、そのシート基板がどの仮識別コード１０が割り当てられているかは、シート基板在席状況管理装置５によって図４の表のように管理されている。例えば１番目の加工装置３（＃１）のポジション２にはＡ１００５の仮識別コード１０が割当てられたシート基板１が存在している。また、２番目の加工装置３（＃２）にはシート基板が存在していないため、それを表すハイフンの記号が入っている。
【００３６】
シート基板１と仮識別コード１０の受け渡しについて、１番目の加工装置３（＃１）及び２番目の加工装置３（＃２）を例に用いて説明する。尚、加工装置は、次工程にシート基板を渡す時は、渡せるかどうかの確認をして、渡せる場合に渡している。
【００３７】
まず同じ加工装置内でのシート基板1と仮識別コード１０の受け渡しについて、加工装置３（＃１）のポジション１でシート基板１に施す処理が終了すると、ポジション２がシート基板受入可能状態にあるかを確認して、ポジション２がシート基板受入可能状態にある時、シート基板１がポジション１からポジション２に搬送される。この時、シート基板１の仮識別コード１０がＡ１００５であった場合、シート基板１がポジション１からポジション２に搬送された時点で、加工装置３（＃１）が持つ記憶領域において、ポジション２にＡ１００５のデータが書き込まれ、ポジション１が保持していたＡ１００５のデータが消去される。同時に、シート基板在席状況管理装置５にも同様の情報が送信され、仮識別コード１０と加工装置３（＃１）の情報が更新される。この時、どの装置から仮識別コードが来たのかを判別する手段としては、装置自身の識別コードを当該装置が仮識別コードといっしょに渡しても良いし、シート基板在席状況管理装置において、例えばアドレス
１〜５番は装置Ａが書き込む領域、アドレス６〜１０番は装置Ｂが書き込む領域、というようにすれば、装置自身の識別コードを送信しなくても、どの装置のデータであるかを特定可能である。
【００３８】
次に、異なった加工装置間でのシート基板１と仮識別コード１０の受け渡しについて、加工装置３（＃１）のポジション２でシート基板１に施す処理が終了すると、加工装置３（＃２）がシート基板受入可能状態であるかを確認して、加工装置３（＃２）がシート基板受入可能状態にある時、シート基板１が加工装置３（＃１）のポジション２から加工装置３（＃２）に搬送される。この時、シート基板１の仮識別コード１０がＡ１００５であった場合、シート基板１が加工装置３（＃１）のポジション２から加工装置３（＃２）に搬送された時点で、加工装置３（＃２）が持つ記憶領域において、ポジション１にＡ１００５のデータが書き込まれ、加工装置３（＃１）が持つ記憶領域において、ポジション２のＡ１００５のデータが消去される。同時に、シート基板在席状況管理装置５にも同様の情報が送信され、仮識別コード１０と加工装置３（＃１）及び加工装置３（＃２）の情報が更新される。
【００３９】
このようにして、シート基板１と仮識別コード１０の情報がシート基板在席状況管理装置５に送信され、シート基板の在席状況が管理される。
【００４０】
尚、シート基板が最初に加工される加工装置３へ搬送されるときに行われる、この加工装置３への仮識別コード１０の受け渡しは、シート基板が最初に加工される加工装置３が、シート基板在席状況管理装置５に問い合わせることにより行われても良いし、或は、シート基板を渡す搬送装置に予めシート基板在席状況管理装置５が仮識別コード１０を全て教えておくことで行なわれても良い。
【００４１】
ここで、図２の製造ラインにおいて検査装置４で欠陥を含むシート基板１が発見された場合、シート基板在席状況管理装置５によって、検査装置内に在席しているシート基板の仮識別コード１０が引き当てられる。仮識別コード１０は、シート基板１が複数収納されたケース２が製造ラインに投入された際、シート基板在席状況管理装置５によってシート基板ごとに割り当てられたものであるため、欠陥を含むシート基板１は仮識別コード１０とシート基板在席状況管理装置５によって、どのケースのどの段に収納されていたかを特定することが可能となる。検査結果と仮識別コードの紐付け作業はシート基板在席状況管理装置で一括で行うとしているが、検査装置が紐付け作業を行ってもよい。しかし、装置側は加工・検査処理に集中させ、データ加工などの処理は集中管理させた方が生産効率が高くなるため好ましい。
【００４２】
次に、以上のように構成した本実施例に係るシート基板の特定方法を適用したシート基板の特定システムの動作について、図５のフローチャートを参照して説明する。
【００４３】
先ず、カラーフィルタのような製品が製造される際、シート基板１が複数収納されたケース２が製造ラインに投入される（Ｓ１）。この後、シート基板在席状況管理装置５によって、固有の仮識別コード１０が割当てられる（Ｓ２）。このとき、シート基板在席状況管理装置５は、ケース内を走査して存在するシート基板にのみ、予め設定されたアルゴリズムの規則に従って仮識別コード１０を生成して付与する。
【００４４】
その後、複数の加工装置３によってそれぞれ加工処理が施される。シート基板が最初に加工される加工装置３へ搬送されるとき、シート基板が最初に加工される加工装置３へ、仮識別コード１０が受け渡される。この受け渡しは、シート基板が最初に加工される加工装置３が、シート基板在席状況管理装置５に問い合わせることにより行われても良いし、或は、シート基板を渡す搬送装置に予めシート基板在席状況管理装置５が仮識別コード１
０を全て教えておくことで行なわれても良い。また、加工装置３はシート基板１を自装置内のあるポジションから次のポジションに搬送した場合や、自装置から他装置へシート基板を搬送した場合に、仮識別コード１０を受け渡していく（Ｓ３）。但し、これらのシート基板の搬送は、シート基板の搬送が可能かを確認して、可能な場合に行う。同様の仮識別コード１０の受け渡し情報はシート基板在席状況管理装置５に送信され、シート基板在席状況管理装置５によって製造ライン全体の仮識別コード１０の在席状況、すなわちシート基板１の在席状況が管理される。
【００４５】
製造ラインに複数設置された検査装置で検査が行われ（Ｓ４）、欠陥が発見されるか否かの判定が下される（Ｓ５）。
【００４６】
欠陥が発見されなかった場合、検査されたシート基板１は欠陥を含まない良品として次の加工工程に移される。但し、移せるかを確認して、移せる場合に移す。
【００４７】
一方、欠陥が発見された場合、欠陥発見の情報がシート基板在席状況管理装置５に送信される。シート基板在席状況管理装置５では、欠陥が発見されたシート基板の仮識別コード１０を、保持している在席情報を元に引き当てを行う（Ｓ６）。
【００４８】
さらにシート基板在席状況管理装置５は、欠陥が発見されたシート基板の仮識別コード１０と、ケース２を投入した際に割り当てたシート基板ごとの仮識別コード１０の対応を元に、欠陥が発見されたシート基板１がケース２のどの場所に収納されているかを取得する（Ｓ７）。
【００４９】
以上の処理により、シート基板から製造されるシート状の製品に対し、製品ごとに固有に割当てられた基板識別コードをシート基板に付加するよりも前の段階において、検査機で欠陥が発生された製品がどのシート基板に該当するか容易に特定でき、またそのシート基板がどのケースのどこに収納されていたか容易に特定できる。それにより、例えばカラーフィルタのような製品を製造する段階で欠陥品が発生した場合、基板識別コードをシート基板に付加するよりも前の段階でも欠陥内容の調査や欠陥発生防止策を迅速に講じることができ、品質改善に大きく寄与し、歩留まりが向上する。
【００５０】
以上、本発明を実施する為の最良の形態について、一例を添付図面を参照しながら説明したが、本発明はかかる構成に限定されない。特許請求の範囲の発明された技術的思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】製造ライン投入前のシート基板収納状態を表す図。
【図２】本発明の実施例に係るシート基板の特定方法を適用したシート基板の特定システムが適用される製造ラインの一部を示す概念図。
【図３】本発明の実施例に係るシート基板の特定方法を適用したシート基板の特定システムが適用されるシート基板に割当てる仮識別コードの例を表す図。
【図４】本発明の実施例に係るシート基板の特定方法を適用したシート基板の特定システムが適用される加工装置のシート基板在席状況を示す概念図。
【図５】本発明の実施例に係るシート基板の特定方法を適用したシート基板の特定システムの動作を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００５２】
１…シート基板
２…ケース
３…加工装置
４…検査装置
５…シート基板在席状況管理装置
１０…仮識別コード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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