(57)【要約】      （修正有）【課題】基板収納箱の製造コストを低減することができ、しかも基板収納箱における基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる基板収納箱の位置決めシステムを提供することである。【解決手段】基板収納箱２は、ガラス基板が収納される収納空間７が形成される箱本体８と、前記収納空間７に収納されるガラス基板を保持する保持体９とを有する。保持体９は、箱本体８よりも剛性が高い。第１位置決め装置５は、第１〜第４保持体押圧片３１，３２，３３，３４を有する。第１位置決め装置５は、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を保持体９に当接させて、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４によって保持体９を押圧することによって、保持体９を位置決めする。このように保持体９が位置決めされることによって、基板収納箱２におけるガラス基板の収納位置が位置決めされる。【選択図】図１
2007299957.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が収納される収納空間が形成される箱本体と、箱本体よりも剛性が高く、箱本体の内面部に設けられ、前記収納空間に収納される基板を保持する保持体とを有する基板収納箱と、
保持体を押圧する保持体押圧片を有し、保持体押圧片を保持体に当接させて、保持体押圧片によって保持体を押圧することによって、保持体を位置決めする位置決め装置とを含むことを特徴とする基板収納箱の位置決めシステム。
【請求項２】
保持体は、互いに対向する一対の保持部材を有し、各保持部材の対向部分は、基板の端部が緩やかに嵌まり込む溝部と、保持体押圧片に嵌合する嵌合部とを有し、
位置決め装置は、保持体押圧片を前記収納空間に挿入して、保持体押圧片を各対向部分の嵌合部に当接させて、保持体押圧片によって各対向部分の嵌合部を押圧することによって、保持体を位置決めすることを特徴とする請求項１記載の基板収納箱の位置決めシステム。
【請求項３】
箱本体を押圧する箱本体押圧片を有し、箱本体押圧片を箱本体の外面部に当接させて、箱本体押圧片によって箱本体の外面部を押圧することによって、箱本体を位置決めする他の位置決め装置をさらに含むことを特徴とする請求項２記載の基板収納箱の位置決めシステム。
【請求項４】
各保持部材の対向部分は、複数の前記嵌合部を有することを特徴とする請求項２または３記載の基板収納箱の位置決めシステム。
【請求項５】
位置決め装置は、基板収納箱に基板を挿入しまたは基板収納箱から基板を取出す移載装置に固定されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の基板収納箱の位置決めシステム。
【請求項６】
基板収納箱は、保持体の前記保持体押圧片が当接する当接部分を補強する補強部をさらに有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の基板収納箱の位置決めシステム。
【請求項７】
基板収納箱は、保持体と箱本体との間に介在して弾性変形する弾性変形部をさらに有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の基板収納箱の位置決めシステム。
【請求項８】
保持体は、発泡樹脂成形体から成ることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の基板収納箱の位置決めシステム。
【請求項９】
請求項１記載の基板収納箱の位置決めシステムに用いられる基板収納箱であって、
基板が収納される収納空間が形成される箱本体と、
箱本体よりも剛性が高く、箱本体の内面部に設けられ、前記収納空間に収納される基板を保持する保持体とを有し、
保持体は、互いに対向する一対の保持部材を有し、各保持部材の対向部分は、基板の端部が緩やかに嵌まり込む溝部と、保持体押圧片に嵌合する嵌合部とを有することを特徴とする基板収納箱。
【請求項１０】
請求項１記載の基板収納箱の位置決めシステムに用いられる位置決め装置であって、
保持体を押圧する保持体押圧片を有し、保持体押圧片を保持体に当接させて、保持体押圧片によって保持体を押圧することによって、保持体を位置決めすることを特徴とする位置決め装置。
【請求項１１】
請求項９記載の基板収納箱に基板を挿入しまたは前記基板収納箱から基板を取出す移載装置と、
請求項１０記載の位置決め装置であって、前記移載装置に固定される位置決め装置とを含むことを特徴とする基板移載設備。
【請求項１２】
基板が収納される収納空間が形成される箱本体と、箱本体よりも剛性が高く、箱本体の内面部に設けられ、前記収納空間に収納される基板を保持する保持体とを有する基板収納箱を位置決めする基板収納箱の位置決め方法であって、
箱本体を位置決めした後、保持体を位置決めすることを特徴とする基板収納箱の位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収納箱の位置決めシステムに関する。また本発明は、前記基板収納箱の位置決めシステムに用いられる、基板収納箱および位置決め装置に関し、また前記基板収納箱の位置決めシステムを利用した基板移載設備に関する。さらに本発明は、基板収納箱の位置決め方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ装置およびプラズマディスプレイ装置をはじめとするフラットパネルディスプレイ装置においては、ガラス基板が用いられる。フラットパネルディスプレイ装置の製造工程において、ガラス基板を保管するときあるいはガラス基板を搬送するとき、ガラス基板は、基板収納箱に収納される。ガラス基板は破損しやすいので、基板収納箱は、緩衝材の役割を果たす材料から成る。
【０００３】
特許文献１および２には、発泡樹脂成形体から成る基板収納箱に関する技術が開示される。発泡樹脂成形体から成る基板収納箱は、金型を用いて形成される。このように金型を用いて基板収納箱が形成される場合、形状および寸法の再現性が高く、したがって基板収納箱の外形と基板収納箱におけるガラス基板の収納位置との位置関係は、必然的に決まる。この場合、基板収納箱の外形を基準として基板収納箱を位置決めすることによって、基板収納箱におけるガラス基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる。したがって基板収納箱の外形を基準として基板収納箱を位置決めした状態で、移載装置によって基板収納箱にガラス基板を挿入しまたは基板収納箱からガラス基板を取出す。これによって基板収納箱におけるガラス基板の収納位置の位置決め不良に起因して、基板収納箱または移載装置が不所望にガラス基板に接触してガラス基板が破損してしまうという不具合を防ぐことができる。
【０００４】
近年、フラットパネルディスプレイ装置の大型化が進み、それに伴い基板収納箱の大型化も必要となってきている。基板収納箱が大型化すると、基板収納箱を形成するための金型が大型化するので金型の形成費用が高くなってしまい、また基板収納箱の材料費が高くなってしまう。この点を考慮して、金型を必要とする部分、すなわち発泡樹脂成形体から成る部分を、ガラス基板を支えるための溝部を有する最小限の部分に限るという技術がある。この技術では、基板収納箱の前記最小限の部分を除く残余の部分である箱本体には、単価が低く、かつ、形成が容易な材料が用いられる。
【０００５】
箱本体が前記最小限の部分よりも剛性が低い場合、箱本体は、前記最小限の部分に比べて、外部からの押圧力に対して大きく変形する。したがって箱本体を基準とした位置決めでは、基板収納箱におけるガラス基板の収納位置の位置決め精度が低下してしまうという問題が生じる。位置決め精度が低下すると、移載装置によって基板収納箱にガラス基板を挿入しまたは基板収納箱からガラス基板を取出す際に、基板収納箱または移載装置が不所望にガラス基板に接触してガラス基板が破損してしまう。
【０００６】
【特許文献１】特開平８−３０１３５４公報
【特許文献２】特開２００１−３１１６５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、基板収納箱の製造コストを低減することができ、しかも基板収納箱における基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる基板収納箱の位置決めシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、基板が収納される収納空間が形成される箱本体と、箱本体よりも剛性が高く、箱本体の内面部に設けられ、前記収納空間に収納される基板を保持する保持体とを有する基板収納箱と、
保持体を押圧する保持体押圧片を有し、保持体押圧片を保持体に当接させて、保持体押圧片によって保持体を押圧することによって、保持体を位置決めする位置決め装置とを含むことを特徴とする基板収納箱の位置決めシステムである。
【０００９】
また本発明は、保持体は、互いに対向する一対の保持部材を有し、各保持部材の対向部分は、基板の端部が緩やかに嵌まり込む溝部と、保持体押圧片に嵌合する嵌合部とを有し、
位置決め装置は、保持体押圧片を前記収納空間に挿入して、保持体押圧片を各対向部分の嵌合部に当接させて、保持体押圧片によって各対向部分の嵌合部を押圧することによって、保持体を位置決めすることを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、箱本体を押圧する箱本体押圧片を有し、箱本体押圧片を箱本体の外面部に当接させて、箱本体押圧片によって箱本体の外面部を押圧することによって、箱本体を位置決めする他の位置決め装置をさらに含むことを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、各保持部材の対向部分は、複数の前記嵌合部を有することを特徴とする。
【００１２】
また本発明は、位置決め装置は、基板収納箱に基板を挿入しまたは基板収納箱から基板を取出す移載装置に固定されることを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、基板収納箱は、保持体の前記保持体押圧片が当接する当接部分を補強する補強部をさらに有することを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、基板収納箱は、保持体と箱本体との間に介在して弾性変形する弾性変形部をさらに有することを特徴とする。
【００１５】
また本発明は、保持体は、発泡樹脂成形体から成ることを特徴とする。
また本発明は、前記基板収納箱の位置決めシステムに用いられる基板収納箱であって、
基板が収納される収納空間が形成される箱本体と、
箱本体よりも剛性が高く、箱本体の内面部に設けられ、前記収納空間に収納される基板を保持する保持体とを有し、
保持体は、互いに対向する一対の保持部材を有し、各保持部材の対向部分は、基板の端部が緩やかに嵌まり込む溝部と、保持体押圧片に嵌合する嵌合部とを有することを特徴とする基板収納箱である。
【００１６】
また本発明は、前記基板収納箱の位置決めシステムに用いられる位置決め装置であって、
保持体を押圧する保持体押圧片を有し、保持体押圧片を保持体に当接させて、保持体押圧片によって保持体を押圧することによって、保持体を位置決めすることを特徴とする位置決め装置である。
【００１７】
また本発明は、前記基板収納箱に基板を挿入しまたは前記基板収納箱から基板を取出す移載装置と、
前記位置決め装置であって、前記移載装置に固定される位置決め装置とを含むことを特徴とする基板移載設備である。
【００１８】
また本発明は、基板が収納される収納空間が形成される箱本体と、箱本体よりも剛性が高く、箱本体の内面部に設けられ、前記収納空間に収納される基板を保持する保持体とを有する基板収納箱を位置決めする基板収納箱の位置決め方法であって、
箱本体を位置決めした後、保持体を位置決めすることを特徴とする基板収納箱の位置決め方法である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、箱本体には、基板が収納される収納空間が形成される。箱本体の内面部には、保持体が設けられる。保持体は、前記収納空間に収納される基板を保持する。本発明では、箱本体は、保持体に比べて、剛性上の制約が小さい。このような箱本体は、保持体に比べて、材質および形成方法などの選択の自由度が高い。したがって箱本体について、製造コストが低くなるように、材質および形成方法などを選択することによって、基板収納箱の製造コストを低減することができる。
【００２０】
位置決め装置は、保持体を押圧する保持体押圧片を有する。位置決め装置は、保持体押圧片を保持体に当接させて、保持体押圧片によって保持体を押圧することによって、保持体を位置決めする。このように保持体が位置決めされることによって、基板収納箱における基板の収納位置が位置決めされる。
【００２１】
保持体は、箱本体よりも剛性が高い。このような保持体は、外部からの押圧力による変形が、箱本体よりも小さい。この点を踏まえて、本発明では、基板収納箱における基板の収納位置を位置決めするにあたって、前述のように保持体を位置決めする。したがって箱本体を位置決めする場合に比べて、基板収納箱における基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる。
【００２２】
また本発明によれば、一対の保持部材が、互いに対向する。各保持部材の対向部分は、基板の端部が緩やかに嵌まり込む溝部と、保持体押圧片に嵌合する嵌合部とを有する。各対向部分の溝部に基板の端部が嵌まり込むことによって、基板が保持される。位置決め装置は、保持体押圧片を前記収納空間に挿入して、保持体押圧片を各対向部分の嵌合部に当接させて、保持体押圧片によって各対向部分の嵌合部を押圧することによって、保持体を位置決めする。このように保持体が位置決めされることによって、基板収納箱における基板の収納位置が位置決めされる。このような本発明では、保持体を位置決めするにあたって、保持体押圧片を保持体に当接させるために、箱本体の収納空間内にスペースを別途、必要としない。
【００２３】
また本発明によれば、他の位置決め装置は、箱本体を押圧する箱本体押圧片を有する。他の位置決め装置は、箱本体押圧片を箱本体の外面部に当接させて、箱本体押圧片によって箱本体の外面部を押圧することによって、箱本体を位置決めする。このように箱本体が位置決めされることによって、基板収納箱における基板の収納位置が大略的に位置決めされる。
【００２４】
このような本発明では、位置決め装置によって保持体を位置決めする前に、他の位置決め装置によって箱本体を位置決めすることによって、位置決め装置による保持体の位置決めを確実に行うことができる。また基板収納箱における基板の収納位置のずれに起因して、前記収納空間に収納される基板に保持体押圧片が接触して、前記基板が破損してしまうという不具合を防ぐことができる。箱本体押圧片は、箱本体の外面部に当接するので、前記収納空間に収納される基板に箱本体押圧片が接触することはない。
【００２５】
また本発明によれば、各保持部材の対向部分は、複数の嵌合部を有するので、基板収納箱における基板の収納位置を、さらに高い精度で位置決めすることができる。
【００２６】
また本発明によれば、位置決め装置は、移載装置に固定されるので、位置決め装置によって基板収納箱における基板の収納位置を位置決めすることによって、移載装置に対して、基板収納箱における基板の収納位置を位置決めすることができる。したがって移載装置によって基板収納箱に基板を挿入しまたは基板収納箱から基板を取出す際に、基板収納箱または移載装置が不所望に基板に接触して基板が破損してしまうという不具合を防ぐことができる。
【００２７】
また本発明によれば、補強部によって、保持体の前記保持体押圧片が当接する当接部分が補強されるので、保持体押圧片からの押圧力による前記当接部分の変形を確実に防ぐことができる。このように前記当接部分の変形が確実に防がれるので、基板収納箱における基板の収納位置を、さらに高い精度で位置決めすることができる。
【００２８】
また本発明によれば、保持体と箱本体との間には、弾性変形部が介在するので、保持体押圧片からの押圧力による、箱本体の変形および保持体の変形を、防ぐことができる。箱本体の変形が防がれるので、箱本体に対する剛性上の制約がさらに小さくなり、これによって箱本体について、材質および形成方法などの選択の自由度がさらに高くなる。したがって基板収納箱の製造コストを容易に低減することができる。また保持体の変形が防がれるので、基板収納箱における基板の収納位置を、さらに高い精度で位置決めすることができる。
【００２９】
また本発明によれば、保持体は、発泡樹脂成形体から成る。発泡樹脂成形体から成る保持体は、安定して高い精度で形成することができ、したがって基板収納箱における基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる。また発泡樹脂成形体から成る保持体は、表面が柔らかく、適度な弾性を備えているので、保持体によって衝撃力を吸収することができる。このように保持体によって衝撃力が吸収されるので、たとえば搬送時の振動による衝撃力によって基板が破損してしまうという不具合を防ぐことができる。
【００３０】
また本発明によれば、箱本体には、基板が収納される収納空間が形成される。箱本体の内面部には、保持体が設けられる。保持体は、前記収納空間に収納される基板を保持する。本発明では、箱本体は、保持体に比べて、剛性上の制約が小さい。このような箱本体は、保持体に比べて、材質および形成方法などの選択の自由度が高い。したがって箱本体について、製造コストが低くなるように、材質および形成方法などを選択することによって、基板収納箱の製造コストを低減することができる。
【００３１】
保持体は、箱本体よりも剛性が高い。このような保持体は、外部からの押圧力による変形が、箱本体よりも小さい。この点を踏まえて、本発明では、基板収納箱における基板の収納位置を位置決めするにあたって、位置決め装置が、保持体押圧片を保持体に当接させて、保持体押圧片によって保持体を押圧することによって、保持体を位置決めする。これによって箱本体を位置決めする場合に比べて、基板収納箱における基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる。
【００３２】
保持体は、互いに対向する一対の保持部材を有する。各保持部材の対向部分は、基板の端部が緩やかに嵌まり込む溝部と、保持体押圧片に嵌合する嵌合部とを有する。各対向部分の溝部に基板の端部が嵌まり込むことによって、基板が保持される。位置決め装置は、保持体押圧片を前記収納空間に挿入して、保持体押圧片を各対向部分の嵌合部に当接させて、保持体押圧片によって各対向部分の嵌合部を押圧することによって、保持体を位置決めする。このように保持体が位置決めされることによって、基板収納箱における基板の収納位置が位置決めされる。このような本発明では、保持体を位置決めするにあたって、保持体押圧片を保持体に当接させるために、箱本体の収納空間内にスペースを別途、必要としない。
【００３３】
また本発明によれば、保持体押圧片を保持体に当接させて、保持体押圧片によって保持体を押圧することによって、保持体を位置決めする。このように保持体が位置決めされることによって、基板収納箱における基板の収納位置が位置決めされる。保持体は、箱本体よりも剛性が高い。このような保持体は、外部からの押圧力による変形が、箱本体よりも小さい。この点を踏まえて、本発明では、基板収納箱における基板の収納位置を位置決めするにあたって、前述のように保持体を位置決めする。したがって箱本体を位置決めする場合に比べて、基板収納箱における基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる。
【００３４】
また本発明によれば、位置決め装置は、移載装置に固定されるので、位置決め装置によって基板収納箱における基板の収納位置を位置決めすることによって、移載装置に対して、基板収納箱における基板の収納位置を位置決めすることができる。したがって移載装置によって基板収納箱に基板を挿入しまたは基板収納箱から基板を取出す際に、基板収納箱または移載装置が不所望に基板に接触して基板が破損してしまうという不具合を防ぐことができる。
【００３５】
また本発明によれば、基板収納箱を位置決めするにあたって、まず、箱本体を位置決めし、これによって基板収納箱における基板の収納位置を、大略的に位置決めすることができる。この後、保持体を位置決めし、これによって基板収納箱における基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる。
【００３６】
保持体は、箱本体に形成される収納空間に設けられる。このような保持体を位置決めする場合、保持体を位置決めするための治具を、前記収納空間に挿入する必要がある。基板収納箱における基板の収納位置が予め定める位置決め位置から大きくずれていると、前記収納空間に収納される基板に前記治具が接触して基板が破損してしまうという不具合が生じる。この点を考慮して、本発明では、保持体を位置決めする前に、箱本体を位置決めし、これによって基板収納箱における基板の収納位置を、大略的に位置決めする。したがって前述のような不具合を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
図１は、本発明の実施の一形態である基板収納箱の位置決めシステム１の構成を簡略化して示す斜視図である。基板収納箱２は、液晶ディスプレイ装置またはプラズマディスプレイ装置によって実現されるフラットパネルディスプレイ装置に用いられるガラス基板３を収納する。このような基板収納箱２は、フラットパネルディスプレイ装置の製造工程において、ガラス基板３を保管するときまたはガラス基板３を搬送するときに、用いられる。
【００３８】
基板収納箱の位置決めシステム１は、後述の移載装置４によって基板収納箱２にガラス基板３を挿入しまたは基板収納箱２からガラス基板３を取出すにあたって、移載装置４に対して基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を位置決めするために用いられる。基板収納箱の位置決めシステム１は、基板収納箱２と、位置決め装置である第１位置決め装置５と、他の位置決め装置である第２位置決め装置６とを含む。
【００３９】
基板収納箱２は、ガラス基板３が収納される収納空間７が形成される箱本体８と、前記収納空間７に収納されるガラス基板３を保持する保持体９とを有する。一例として述べると、ガラス基板３は、矩形板状であり、４００ｍｍ×７００ｍｍ、厚み寸法１ｍｍ、質量１ｋｇである。基板収納箱２は、ガラス基板３を２０枚、収納可能である。
【００４０】
本実施の形態では、保持体９は、箱本体８よりも剛性が高い。保持体９は、発泡樹脂成形体から成る。保持体９は、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）またはポリスチロール（ＰＳ）を、発泡倍率１０倍〜２０倍に発泡して形成される。保持体９は、金型を用いて形成され、これによって形状および寸法の再現性が向上される。箱本体８の各部分は、板状であってもよく、あるいは中芯とライナとによって構成されてもよい。箱本体８は、箱本体８は、紙またはプラスチックから成る。具体的には、箱本体８は、段ボールまたは段プレートによって実現される。
【００４１】
箱本体８は、矩形筒状の周壁部１１と、周壁部１１の一端部１１ａに連なる底部１２とを有する。これらの周壁部１１および底部１２によって、前記収納空間７が形成される。周壁部１１の他端部１１ｂには、開口１３が形成され、この開口１３を介して、前記収納空間７にガラス基板３が挿入され、また前記収納空間７からガラス基板３が取出される。箱本体８は、基板収納箱２の外形を成す。
【００４２】
保持体９は、箱本体８の内面部に設けられる。後述の図６および図７をも参照して、保持体９は、互いに対向する一対の保持部材である第１および第２保持部材１４，１５と、他の保持部材である複数の第３保持部材１６とを有する。本実施の形態では、第３保持部材１６は、３つである。第１保持部材１４は、周壁部１１のうち底部１２の長手方向Ａ１一側部１２ａに連なる第１周壁部分１７の内面部に設けられる。第２保持部材１５は、周壁部１１のうち底部１２の長手方向Ａ１他側部１２ｂに連なる第２周壁部分１８の内面部に設けられる。各第３保持部材１６は、底部１２の内面部に、底部１２の長手方向Ａ１に間隔をあけて設けられる。
【００４３】
第１保持部材１４は、第２保持部材１５に対向する対向部分である第１対向部分２１を有する。第１対向部分２１は、ガラス基板３の対辺の一方に相当する端部が緩やかに嵌まり込む溝部である第１溝部２２を有する。第１溝部２２には、周壁部１１の一端部１１ａから他端部１１ｂに向かう方向に平行に延びる溝２３が複数、形成される。第２保持部材１５は、第１保持部材１４に対向する対向部分である第２対向部分２４を有する。第２対向部分２４は、ガラス基板３の前記対辺の他方に相当する端部が緩やかに嵌まり込む溝部である第２溝部２５を有する。第２溝部２５には、周壁部１１の一端部１１ａから他端部１１ｂに向かう方向に平行に延びる溝２６が複数、形成される。各第３保持部材１６の、底部１２に臨む側とは反対側の部分２７は、ガラス基板３の端部が緩やかに嵌まり込む溝部である第３溝部２８を有する。各第３保持部材１６の第３溝部２８には、底部１２の長手方向Ａ１に延びる溝２９が複数、形成される。
【００４４】
基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置は、第１および第２溝部２２，２５に形成される各溝２３，２６によって定められる。前記収納空間７に収納されるガラス基板３の端部は、第１および第２溝部２２，２５ならびに各第３溝部２８に緩やかに嵌め込まれ、これによってガラス基板３の相互の干渉が防がれる。このようにガラス基板３の相互の干渉が防がれることによって、ガラス基板３の相互の干渉に起因するガラス基板３の破損を防ぐことができる。
【００４５】
第１位置決め装置５は、保持体９を押圧する保持体押圧片である第１〜第４保持体押圧片３１，３２，３３，３４と、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を変位駆動する保持体押圧片駆動手段３５とを有する。第１〜第４保持体押圧片３１〜３４は、金属などの硬質な材料から成る。第１〜第４保持体押圧片３１〜３４は、円柱状に形成される。第１〜第４保持体押圧片３１〜３４は、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を位置決めするための位置決め治具として用いられる。保持体押圧片駆動手段３５は、シリンダまたはモータによって実現される駆動源を含んで構成される。
【００４６】
第１位置決め装置５は、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を保持体９に当接させて、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４によって保持体９を押圧することによって、保持体９を位置決めする。このように保持体９が位置決めされることによって、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が位置決めされる。
【００４７】
詳しくは、第１位置決め装置５は、第１および第２保持体押圧片３１，３２を第１保持部材１４に当接させて、第１および第２保持体押圧片３１，３２によって第１保持部材１４を押圧するとともに、第３および第４保持体押圧片３３，３４を第２保持部材１５に当接させて、第３および第４保持体押圧片３３，３４によって第２保持部材１５を押圧する。これによって第１および第２保持部材１４，１５を位置決めする。このように第１および第２保持部材１４，１５が位置決めされることによって、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が位置決めされる。
【００４８】
第２位置決め装置６は、箱本体８を押圧する箱本体押圧片である第１〜第４箱本体押圧片４１，４２，４３，４４と、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４を変位駆動する箱本体押圧片駆動手段４５とを有する。第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４は、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を位置決めするための位置決め治具として用いられる。箱本体押圧片駆動手段４５は、シリンダまたはモータによって実現される駆動源を含んで構成される。
【００４９】
第２位置決め装置６は、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４を箱本体８の外面部に当接させて、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４によって箱本体８の外面部を押圧することによって、箱本体８を位置決めする。このように箱本体８が位置決めされることによって、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が位置決めされる。
【００５０】
詳しくは、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４は、箱本体８の周壁部１１の他端部１１ｂにおける各角隅部の外面部４６，４７，４８，４９に沿うようにＬ字状に形成される。第２位置決め装置６は、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４を前記各角隅部の外面部４６〜４９に当接させて、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４によって前記各角隅部の外面部４６〜４９を押圧することによって、箱本体８を位置決めする。
【００５１】
図２は、基板収納箱２の一部を拡大して示す図である。この図２では、第１保持部材１４およびその付近を拡大して示す。前記図１をも参照して、基板収納箱２について説明する。
【００５２】
第１対向部分２１は、保持体押圧片に嵌合する嵌合部である第１および第２嵌合部５１，５２をさらに有する。第１嵌合部５１は、第１保持体押圧片３１に嵌合する。第１嵌合部５１は、第１対向部分２１の、箱本体８の周壁部１１の他端部１１ｂに形成される前記開口１３寄りに配置され、かつ、第１溝部２２に関して、箱本体８の底部１２の幅方向Ａ２一方側に配置される。第２嵌合部５２は、第２保持体押圧片３２に嵌合する。第２嵌合部５２は、第１対向部分２１の、箱本体８の周壁部１１の他端部１１ｂに形成される前記開口１３寄りに配置され、かつ、第１溝部２２に関して、箱本体８の底部１２の幅方向Ａ２他方側に配置される。
【００５３】
第１および第２嵌合部５１，５２には、第２保持部材１５に臨んで開放される凹所５３，５４が形成される。第１および第２嵌合部５１，５２は、第１保持部材１４から第２保持部材１５に向かうにつれて拡開する拡開面５５，５６を有し、拡開面５５，５６によって前記凹所５３，５４が形成される。本実施の形態では、第１および第２嵌合部５１，５２の拡開面５５，５６は、第１および第２保持体押圧片３１，３２の外周面に沿うように半円筒面を形成する。拡開面５５，５６の軸線は、箱本体８の周壁部１１の一端部１１ａから他端部１１ｂに向かう方向に平行である。
【００５４】
第２対向部分２４は、保持体押圧片に嵌合する嵌合部である第３および第４嵌合部６１，６２をさらに有する。第３嵌合部６１は、第３保持体押圧片３３に嵌合する。第３嵌合部６１は、第２対向部分２４の、箱本体８の周壁部１１の他端部１１ｂに形成される前記開口１３寄りに配置され、かつ、第２溝部２５に関して、箱本体８の底部１２の幅方向Ａ２一方側に配置される。第４嵌合部６２は、第４保持体押圧片３４に嵌合する。第４嵌合部６２は、第２対向部分２４の、箱本体８の周壁部１１の他端部１１ｂに形成される前記開口１３寄りに配置され、かつ、第２溝部２５に関して、箱本体８の底部１２の幅方向Ａ２他方側に配置される。
【００５５】
第３および第４嵌合部６１，６２には、第１保持部材１４に臨んで開放される凹所６３，６４が形成される。第３および第４嵌合部６１，６２は、第２保持部材１５から第１保持部材１４に向かうにつれて拡開する拡開面６５，６６を有し、拡開面６５，６６によって前記凹所６３，６４が形成される。本実施の形態では、第３および第４嵌合部６１，６２の拡開面６５，６６は、第３および第４保持体押圧片３３，３４の外周面に沿うように半円筒面を形成する。拡開面６５，６６の軸線は、箱本体８の周壁部１１の一端部１１ａから他端部１１ｂに向かう方向に平行である。
【００５６】
第１保持部材１４では、第１溝部２２ならびに第１および第２嵌合部５１，５２が、第１対向部分２１に、換言すれば同一面に、設けられる。また第２保持部材１５では、第２溝部２５ならびに第３および第４嵌合部６１，６２が、第２対向部分２４に、換言すれば同一面に、設けられる。このような第１保持部材１４および第２保持部材１５は、同一の金型を用いて容易に形成することができる。第１保持部材１４および第２保持部材１５を、金型を用いて形成することによって、製造コストを低減することができ、また寸法および形状の精度を向上することができる。
【００５７】
基板収納箱２は、保持体９の前記保持体押圧片が当接する当接部分を補強する補強部である第１〜第４補強部７１，７２，７３，７４をさらに有する。第１〜第４補強部７１〜７４は、保持体９、詳しくは第１および第２保持部材１４，１５よりも剛性が高い部材によって実現される。具体的には、第１〜第４補強部７１〜７４は、金属から成る板状部材によって実現される。このような第１〜第４補強部７１〜７４によって、前記当接部分である第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２が補強される。
【００５８】
第１補強部７１は、第１保持部材１４の第１対向部分２１とは反対側の部分７６と、第１嵌合部５１との間に介在する。第２補強部７２は、第１保持部材１４の第１対向部分２１とは反対側の部分７６と、第２嵌合部５２との間に介在する。ここで、第１対向部分２１から前記反対側の部分７６に向かう方向に垂直な投影面を想定する。前記投影面に第１嵌合部５１と第１補強部７１とを平行投影したとき、第１補強部７１の投影領域は、第１嵌合部５１の投影領域を含む。前記投影面に第２嵌合部５２と第２補強部７２とを平行投影したとき、第２補強部７２の投影領域は、第２嵌合部５２の投影領域を含む。
【００５９】
第３補強部７３は、第２保持部材１５の第２対向部分２４とは反対側の部分７７と、第３嵌合部６１との間に介在する。第４補強部７４は、第２保持部材１５の第２対向部分２４とは反対側の部分７７と、第４嵌合部６２との間に介在する。ここで、第２対向部分２４から前記反対側の部分７７に向かう方向に垂直な投影面を想定する。前記投影面に第３嵌合部６１と第３補強部７３とを平行投影したとき、第３補強部７３の投影領域は、第３嵌合部６１の投影領域を含む。前記投影面に第４嵌合部６２と第４補強部７４とを平行投影したとき、第４補強部７４の投影領域は、第４嵌合部６２の投影領域を含む。
【００６０】
第１および第２補強部７１，７２は、第１保持部材１４に埋め込まれて、設けられる。第３および第４補強部７３，７４は、第２保持部材１５に埋め込まれて、設けられる。第１および第２補強部７１，７２は、分割された第１保持部材１４の各部分に挟み込まれるようにして、設けられてもよい。第３および第４補強部７３，７４は、分割された第２保持部材１５の各部分に挟み込まれるようにして、設けられてもよい。
【００６１】
基板収納箱２は、保持体９と箱本体８との間に介在して弾性変形する弾性変形部である第１および第２弾性変形部８１，８２をさらに有する。第１および第２弾性変形部８１，８２は、プラスチックまたはゴムから成る。第１弾性変形部８１は、前記第１周壁部分１７の内面部と、第１保持部材１４との間に介在する。第２弾性変形部８２は、前記第２周壁部分１８の内面部と、第２保持部材１５との間に介在する。第１および第２弾性変形部８１，８２は、緩衝材としても用いられる。
【００６２】
図３は、載置台に載置される基板収納箱２を上方から見た図である。後述の移載装置４によって基板収納箱２にガラス基板３を挿入しまたは基板収納箱２からガラス基板３を取出すにあたって、基板収納箱２は、箱本体８の周壁部１１の他端部１１ｂに形成される前記開口１３を上方にして、水平な載置面に載置される。この状態で、移載装置４に対して、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が位置決めされる。以下、載置面に対して平行な予め定める方向を「基準方向Ｂ」という。基板収納箱２は、箱本体８の底部１２の長手方向Ａ１と基準方向Ｂとが大略的に平行になるように、載置面に載置される。
【００６３】
第１位置決め装置５は、第１および第２保持体押圧片３１，３２を第１および第２嵌合部５１，５２に当接させて、第１および第２保持体押圧片３１，３２によって第１および第２嵌合部５１，５２を基準方向一方Ｂ１に押圧する。また第１位置決め装置５は、第３および第４保持体押圧片３３，３４を第３および第４嵌合部６１，６２に当接させて、第３および第４保持体押圧片３３，３４によって第３および第４嵌合部６１，６２を基準方向他方Ｂ２に押圧する。このように第１〜第４保持体押圧片３１〜３４によって第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２をそれぞれ押圧する。これによって第１〜第４保持体押圧片３１〜３４と第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２とがそれぞれ嵌合するように、第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２が、基準方向Ｂ、および載置面内で基準方向Ｂに垂直な方向に変位する。第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２が変位することによって、第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２を有する第１および第２保持部材１４，１５が変位する。このように第１および第２保持部材１４，１５が変位することによって、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が位置決めされる。
【００６４】
第２位置決め装置６は、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４を、箱本体８の周壁部１１の他端部１１ｂにおける各角隅部の外面部４６〜４９に当接させて、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４によって前記各角隅部の外面部４６〜４９を、載置面に平行な仮想一平面内で箱本体８の内方に向かう方向に押圧する。これによって前記各角隅部の外面部４６〜４９が変位する。前記各角隅部の外面部４６〜４９が変位することによって、箱本体８の内面部に設けられる第１および第２保持部材１４，１５が変位する。このように第１および第２保持部材１４，１５が変位することによって、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が位置決めされる。
【００６５】
図４は、基板収納箱の位置決めシステム１を利用した基板移載設備９１の構成を簡略化して示す斜視図である。図５は、基板移載設備９１の電気的構成を示すブロック図である。図４では、理解を容易にするために、第１位置決め装置５および第２位置決め装置６を省略して示す。基板移載設備９１は、移載装置４と、第１位置決め装置５と、第２位置決め装置６と、移載装置４ならびに第１および第２位置決め装置６を関連して動作するように制御する制御装置９２とを含む。
【００６６】
移載装置４は、基部９３と、基部９３に設けられるアーム９４と、アーム９４を基部９３に対して駆動するアーム駆動手段９５と、アーム９４の先端部９４ａに設けられ、ガラス基板３を把持するハンド９６と、ハンド９６をアーム９４に対して駆動するハンド駆動手段９７とを有する。このような移載装置４は、基板ステージ９８からガラス基板３を取ってこのガラス基板３を基板収納箱２に挿入し、または基板収納箱２からガラス基板３を取出してこのガラス基板３を基板ステージ９８に乗せる。基板ステージ９８は、ガラス基板３に対して予め定める処理をするための処理装置に備えられ、ガラス基板３を位置決めするために用いられる。
【００６７】
第１位置決め装置５は、移載装置４に固定され、詳しくは第１位置決め装置５の基部は、移載装置４の基部９３に固定される。第１位置決め装置５の基部は、移載装置４の基部９３に直接、固定されてもよく、あるいは移載装置４の基部９３に間接的に固定されてもよい。第１位置決め装置５の基部が移載装置４の基部９３に間接的に固定されるとは、第１位置決め装置５の基部と移載装置４の基部９３とが、共通の基台または共通の床に固定されることをいう。第２位置決め装置６についても、第１位置決め装置５も同様に、移載装置４に固定される。
【００６８】
図６は、基板収納箱２の箱本体８の一部を切欠いて、箱本体８の底部１２の幅方向Ａ２から見た図である。図７は、基板収納箱２の箱本体８の一部を切欠いて、箱本体８の底部１２の長手方向Ａ１から見た図である。図６および図７では、理解を容易にするために、第１および第２保持部材１４，１５を省略して示している。
【００６９】
移載装置４のハンド９６は、Ｕ字状の受け部１０１を有する。受け部１０１の各先端部１０１ａ，１０１ｂには、爪部１０２が設けられる。このようなハンド９６では、受け部１０１によってガラス基板３の表面または裏面を支持するとともに、爪部１０２によってガラス基板３の端部を支持し、これによってガラス基板３を把持することができる。受け部１０１では、ガラス基板３の表面または裏面を真空吸着することによって、ガラス基板３を確実に把持することができる。
【００７０】
基板収納箱２にガラス基板３を挿入するにあたって、移載装置４は、ハンド９６によってガラス基板３を把持した状態で、ハンド９６を前記収納空間７に挿入し、さらにハンド９６の受け部１０１の各先端部１０１ａ，１０１ｂを、各第３保持部材１６間の隙間に挿入する。このようにして、基板保管箱２におけるガラス基板３の収納位置に、ガラス基板３を配置する。この後、移載装置４は、ハンド９６をガラス基板３から離し、ハンド９６を前記収納空間７から引出す。
【００７１】
基板収納箱２からガラス基板３を取出すにあたって、移載装置４は、ハンド９６を前記収納空間７に挿入し、さらにハンド９６の受け部１０１の各先端部１０１ａ，１０１ｂを、各第３保持部材１６間の隙間に挿入する。この後、移載装置４は、基板保管箱２におけるガラス基板３の収納位置に配置されるガラス基板３をハンド９６によって把持し、ハンド９６によってガラス基板３を把持した状態で、ハンド９６を前記収納空間７から引出す。
【００７２】
図８は、基板移載装置９１の基板移載動作を説明するためのフローチャートである。この図８を参照して、基板収納箱の位置決めシステム１を用いた基板収納箱の位置決め方法をも説明する。
【００７３】
基板収納箱２は、箱本体８の周壁部１１の他端部１１ｂに形成される前記開口１３を上方にして、水平な載置面に載置される。このとき、基板収納箱２は、箱本体８の底部１２の長手方向Ａ１と基準方向Ｂとが大略的に平行になるように、載置面に載置される。このとき、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４は、基板収納箱２の上方に配置される。また第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４は、基板収納箱２の箱本体８から、載置面に平行な仮想一平面内で箱本体８の外方に向かう方向に離間して配置される。基板収納箱２が載置面に載置されると、基板移載装置９１の基板移載動作が開始される。
【００７４】
まず、ステップａ１で、制御装置９２は、箱本体押圧片駆動手段４５によって、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４を変位駆動する。箱本体押圧片駆動手段４５は、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４を、載置面に平行な仮想一平面内で箱本体８の内方に向かう方向に移動させる。
【００７５】
制御装置９２は、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４が、それらに対して予め設定される各位置に到達するまで、箱本体押圧片駆動手段４５によって、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４を、前記箱本体８の内方に向かう方向に移動させる。第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４に対して予め設定される各位置は、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４が前記各位置に到達した状態で、移載装置４に対して基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が大略的に位置決めされるように、設定される。
【００７６】
このように第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４が、前記箱本体８の内方に向かう方向に移動されると、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４は、箱本体８の周壁部１１の他端部１１ｂにおける各角隅部の外面部４６〜４９に当接する。第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４が、前記箱本体８の内方に向かう方向にさらに移動されると、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４によって前記各角隅部の外面部４６〜４９が押圧される。
【００７７】
これによって前記各角隅部の外面部４６〜４９が変位する。前記各角隅部の外面部４６〜４９が変位することによって、箱本体８の内面部に設けられる第１および第２保持部材１４，１５が変位する。このように第１および第２保持部材１４，１５が変位することによって、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が大略的に位置決めされる。
【００７８】
次に、ステップａ２で、制御装置９２は、保持体押圧片駆動手段３５によって、第１〜第４箱本体押圧片３１〜３４を変位駆動する。保持体押圧片駆動手段３５は、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を下降して、前記収納空間７、詳しくは第１および第２保持部材１４，１５間に挿入する。第１〜第４保持体押圧片３１〜３４は、これらの第１〜第４保持体押圧片３１〜３４が第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２にそれぞれ対向する位置に、配置される。また保持体押圧片駆動手段３５は、第１および第２保持体押圧片３１，３２を基準方向一方Ｂ１に移動させるとともに、第３および第４保持体押圧片３３，３４を基準方向他方Ｂ２に移動させる。
【００７９】
制御装置９２は、第１および第２保持体押圧片３１，３２が、それらに対して予め設定される各位置に到達するまで、第１および第２保持体押圧片３１，３２を基準方向一方Ｂ１に移動させ、また第３および第４保持体押圧片３３，３４が、それらに対して予め設定される各位置に到達するまで、第３および第４保持体押圧片３３，３４を基準方向他方Ｂ２に移動させる。第１〜第４保持体押圧片３１〜３４に対して予め設定される各位置は、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４が前記各位置に到達し、かつ、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４と第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２とがそれぞれ嵌合した状態で、移載装置４に対して基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が位置決めされるように、設定される。
【００８０】
このように第１および第２保持体押圧片３１，３２が、基準方向一方Ｂ１に移動されると、第１および第２保持体押圧片３１，３２は、第１および第２嵌合部５１，５２に当接する。また第３および第４保持体押圧片３３，３４が、基準方向他方Ｂ２に移動されると、第３および第４保持体押圧片３３，３４は、第３および第４嵌合部６１，６２に当接する。第１および第２保持体押圧片３１，３２が、基準方向一方Ｂ１にさらに移動され、また第３および第４保持体押圧片３３，３４が、基準方向他方Ｂ２にさらに移動されると、第１および第２保持体押圧片３１，３２によって第１および第２嵌合部５１，５２が基準方向一方Ｂ１に押圧され、また第３および第４保持体押圧片３３，３４によって第３および第４嵌合部６１，６２が基準方向他方Ｂ２に押圧される。
【００８１】
これによって第１〜第４保持体押圧片３１〜３４と第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２とがそれぞれ嵌合するように、第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２が変位する。第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２が変位することによって、第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２を有する第１および第２保持部材１４，１５が変位する。このように第１および第２保持部材１４，１５が変位することによって、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が位置決めされる。
【００８２】
このとき、第１保持部材１４は、第１および第２保持体押圧片３１，３２と、第１および第２箱本体押圧片４１，４２とによって挟まれる。また第２保持部材１５は、第３および第４保持体押圧片３３，３４と、第３および第４箱本体押圧片４３，４４との間に挟まれる。
【００８３】
次に、ステップａ３で、制御装置９２は、アーム駆動手段９５およびハンド駆動手段９７を制御することによって、基板ステージ９８からガラス基板３を取ってこのガラス基板３を基板収納箱２に挿入し、または基板収納箱２からガラス基板３を取出してこのガラス基板３を基板ステージ９８に乗せる。このようなガラス基板３の移載が所定回数、実行された後、基板移載装置９１の基板移載動作が終了される。
【００８４】
以上のような本実施の形態によれば、箱本体８は、保持体９に比べて、剛性上の制約が小さい。このような箱本体８は、保持体９に比べて、材質および形成方法などの選択の自由度が高い。したがって箱本体８について、製造コストが低くなるように、材質および形成方法などを選択することによって、基板収納箱２の製造コストを低減することができる。
【００８５】
保持体９は、箱本体８よりも剛性が高い。このような保持体９は、外部からの押圧力による変形が、箱本体８よりも小さい。この点を踏まえて、本実施の形態では、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を位置決めするにあたって、保持体９を位置決めする。したがって箱本体８を位置決めする場合に比べて、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる。
【００８６】
また本実施の形態によれば、第１位置決め装置５は、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を前記収納空間７に挿入して、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２に当接させて、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４によって第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２を押圧することによって、保持体９を位置決めする。このように保持体９が位置決めされることによって、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が位置決めされる。このような本実施の形態では、保持体９を位置決めするにあたって、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を保持体９に当接させるために、箱本体８の収納空間７内にスペースを別途、必要としない。また第１位置決め装置５の構成を簡素化することができる。
【００８７】
また本実施の形態によれば、第２位置決め装置６は、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４を箱本体８の外面部に当接させて、第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４によって箱本体８の外面部を押圧することによって、箱本体８を位置決めする。このように箱本体８が位置決めされることによって、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が大略的に位置決めされる。第１位置決め装置５によって保持体９を位置決めする前に、第２位置決め装置６によって箱本体８を位置決めすることによって、第１位置決め装置５による保持体９の位置決めを確実に行うことができる。第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４は、箱本体８の外面部に当接するので、前記収納空間７に収納されるガラス基板３に第１〜第４箱本体押圧片４１〜４４が接触することはない。
【００８８】
また本実施の形態によれば、第１および第２対向部分２１，２４には、嵌合部が２つずつ、設けられるので、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を、さらに高い精度で位置決めすることができる。詳しくは、各嵌合部が、第１および第２対向部分２１，２４の、箱本体８の周壁部１１の各角隅部寄りに配置されることによって、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を、さらに高い精度で位置決めすることができる。
【００８９】
また本実施の形態によれば、第１位置決め装置５は、移載装置４に固定されるので、第１位置決め装置５によって基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を位置決めすることによって、移載装置４に対して、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を位置決めすることができる。したがって移載装置４によって基板収納箱２にガラス基板３を挿入しまたは基板収納箱２からガラス基板３を取出す際に、基板収納箱２または移載装置４が不所望にガラス基板３に接触してガラス基板３が破損してしまうという不具合を防ぐことができる。
【００９０】
また本実施の形態によれば、第１〜第４補強部７１〜７４によって、第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２が補強されるので、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４からの押圧力による第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２の変形を確実に防ぐことができる。このように第１〜第４嵌合部５１，５２，６１，６２の変形が確実に防がれるので、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を、さらに高い精度で位置決めすることができる。
【００９１】
また本実施の形態によれば、第１保持部材１４と前記第１周壁部分１１ａとの間には第１弾性変形部８１が介在し、第２保持部材１５と前記第１周壁部分１１ｂとの間には第２弾性変形部８２が介在するので、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４からの押圧力による、箱本体８の変形および保持体９の変形を、防ぐことができる。箱本体８の変形が防がれるので、箱本体８に対する剛性上の制約がさらに小さくなり、これによって箱本体８について、材質および形成方法などの選択の自由度がさらに高くなる。したがって基板収納箱２の製造コストを容易に低減することができる。また保持体９の変形が防がれるので、基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を、さらに高い精度で位置決めすることができる。
【００９２】
また本実施の形態によれば、保持体９は、発泡樹脂成形体から成る。発泡樹脂成形体から成る保持体９は、安定して高い精度で形成することができ、したがって基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる。また発泡樹脂成形体から成る保持体９は、表面が柔らかく、適度な弾性を備えているので、保持体９によって衝撃力を吸収することができる。このように保持体９によって衝撃力が吸収されるので、たとえば搬送時の振動による衝撃力によってガラス基板３が破損してしまうという不具合を防ぐことができる。
【００９３】
また本実施の形態によれば、基板収納箱の全体を金型を用いて形成するのではなく、保持体９を金型を用いて形成する。このような本実施の形態では、基板収納箱の全体が金型を用いて形成される場合に比べて、金型を小型化することができ、したがって金型の形成費用を抑えることができる。これによっても基板収納箱２の製造コストを低減することができる。
【００９４】
また本実施の形態によれば、基板収納箱２を位置決めするにあたって、まず、箱本体８を位置決めし、これによって基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を、大略的に位置決めすることができる。この後、保持体９を位置決めし、これによって基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる。
【００９５】
保持体９は、箱本体８に形成される収納空間７に設けられる。このような保持体９を位置決めする場合、保持体９を位置決めするための治具である第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を、前記収納空間７に挿入する必要がある。基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置が予め定める位置決め位置から大きくずれていると、前記収納空間７に収納されるガラス基板３に第１〜第４保持体押圧片３１〜３４が接触してガラス基板３が破損してしまうという不具合が生じる。この点を考慮して、本実施の形態では、保持体９を位置決めする前に、箱本体８を位置決めし、これによって基板収納箱２におけるガラス基板３の収納位置を、大略的に位置決めする。したがって前述のような不具合を防ぐことができる。
【００９６】
図９は、本発明の実施の他の形態である基板収納箱１１１の一部を拡大して示す図である。本実施の形態は、図１〜図８に示す前述の実施の形態に類似するので、対応する部分には同一の符号を付し、異なる点についてだけ説明する。本実施の形態では、第１保持体押圧片３１は、三角柱状に形成される。第１嵌合部５１の拡開面５５は、前述のような第１保持体押圧片３１の外周面の２つの面に沿うように、三角筒面の２つの面を形成する。第２〜第４保持体押圧片３２〜３４および第２〜第４嵌合部５２，６１，６２についても同様である。このような本実施の形態でも、図１〜図８に示す前述の実施の形態と同様の効果を達成することができる。
【００９７】
図１０は、本発明の実施のさらに他の形態である基板収納箱１１２の一部を拡大して示す図である。本実施の形態は、図１〜図８に示す前述の実施の形態に類似するので、同一の部分には同一の符号を付し、異なる点についてだけ説明する。本実施の形態では、第１保持体押圧片３１は、基部１１３と、基部１１３から同一方向に突出する複数（本実施の形態では２）の突出部分１１４ａ，１１４ｂとを有する。各突出部分１１４ａ，１１４ｂは、半円柱状に形成される。各突出部分１１４ａ，１１４ｂの軸線方向は平行である。第１嵌合部５１には、第１保持体押圧片３１の各突出部分１１４ａ，１１４ｂと同数の凹所１１５ａ，１１５ｂが形成される。第１嵌合部５１の各凹所１１５ａ，１１５ｂは、第１保持体押圧片３１の各突出部分１１４ａ，１１４ｂの外周面に沿うように半円筒面を形成する各拡開面５５ａ，５５ｂによって、形成される。第２〜第４保持体押圧片３２〜３４および第２〜第４嵌合部５２，６１，６２についても同様である。このような本実施の形態でも、図１〜図８に示す前述の実施の形態と同様の効果を達成することができる。
【００９８】
図１１は、本発明の実施のさらに他の形態である基板収納箱１１６の一部を拡大して示す図である。本実施の形態は、図１〜図８に示す前述の実施の形態に類似するので、同一の部分には同一の符号を付し、異なる点についてだけ説明する。本実施の形態では、第１嵌合部５１は、半円柱状に形成される突出部分１１７を有する。第１保持体押圧片３１には、凹所１１８が形成される。第１保持体押圧片３１の凹所１１８は、第１嵌合部５１の突出部分１１７の外周面に沿うように半円筒面を形成する拡開面１１９によって、形成される。第２〜第４保持体押圧片３２〜３４および第２〜第４嵌合部５２，６１，６２についても同様である。このような本実施の形態でも、図１〜図８に示す前述の実施の形態と同様の効果を達成することができる。
【００９９】
前述の実施の各形態は、本発明の例示に過ぎず、本発明の範囲内において構成を変更することができる。たとえばガラス基板３以外の基板が基板収納箱２に収納されてもよい。基板収納箱２には、必要に応じて適宜、フレーム、蓋およびキャスターなどが設けられてもよい。第１対向部分２１は、嵌合部を１つだけ有していてもよく、あるいは３つ以上の嵌合部を有していてもよい。第２対向部分２４についても同様である。前述の実施の各形態では、第１および第２嵌合部５１，５２は、第１対向部分２１の、箱本体８の周壁部１１の他端部１１ｂに形成される前記開口１３寄りに配置されるけれども、これに限定されるものではない。第３および第４嵌合部６１，６２についても同様である。移載装置４は、基板ステージ９８に代えて、基板カセットあるいはローダにガラス基板３を移載するようにしてもよい。第１位置決め装置５は、基板収納箱２を上下方向にも位置決めできるように構成されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】本発明の実施の一形態である基板収納箱の位置決めシステム１の構成を簡略化して示す斜視図である。
【図２】基板収納箱２の一部を拡大して示す図である。
【図３】載置台に載置される基板収納箱２を上方から見た図である。
【図４】基板収納箱の位置決めシステム１を利用した基板移載設備９１の構成を簡略化して示す斜視図である。
【図５】基板移載設備９１の電気的構成を示すブロック図である。
【図６】基板収納箱２の箱本体８の一部を切欠いて、箱本体８の底部１２の幅方向Ａ２から見た図である。
【図７】基板収納箱２の箱本体８の一部を切欠いて、箱本体８の底部１２の長手方向Ａ１から見た図である。
【図８】基板移載装置９１の基板移載動作を説明するためのフローチャートである。
【図９】本発明の実施の他の形態である基板収納箱１１１の一部を拡大して示す図である。
【図１０】本発明の実施のさらに他の形態である基板収納箱１１２の一部を拡大して示す図である。
【図１１】本発明の実施のさらに他の形態である基板収納箱１１６の一部を拡大して示す図である。
【符号の説明】
【０１０１】
１  基板収納箱の位置決めシステム
２，１１１，１１２，１１６  基板収納箱
３  ガラス基板
４  移載装置
５  第１位置決め装置
６  第２位置決め装置
７  収納空間
８  箱本体
９  保持体
１４  第１保持部材
１５  第２保持部材
２１  第１対向部分
２２  第１溝部
２４  第２対向部分
２５  第２溝部
３１  第１保持体押圧片
３２  第２保持体押圧片
３３  第３保持体押圧片
３４  第４保持体押圧片
４１  第１箱本体押圧片
４２  第２箱本体押圧片
４３  第３箱本体押圧片
４４  第４箱本体押圧片
５１  第１嵌合部
５２  第２嵌合部
６１  第３嵌合部
６２  第４嵌合部
７１  第１補強部
７２  第２補強部
７３  第３補強部
７４  第４補強部
８１  第１弾性変形部
８２  第２弾性変形部
９１  基板移載設備
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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