(57)【要約】【課題】低電圧で駆動でき、空気中および真空中で安定にかつ速い応答性で作動し、さらに変位量、変位力が大きく、柔軟性も含めて機械的強度が高いため繰り返し耐久性が長く、しかも製造法が極めて簡単であり、かつ簡単な構造のため小型化が容易であり、幅広い用途への実用化を進め得るアクチュエータ素子を提供する。【解決手段】（Ｉ）官能基含有含フッ素ポリマー、および(II)イオン性液体とを含み、該官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）が、ポリマー側鎖および／またはポリマー主鎖末端に−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基よりなる群から選ばれる官能基を有するポリマーであることを特徴とするアクチュエータ素子用イオン伝導層と、該官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）とイオン性液体(II)と導電性ナノフィラー（III）とを含む電極層を含むアクチュエータ素子。【選択図】図１
2007204682.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ｉ）官能基含有含フッ素ポリマー、および(II)イオン性液体とを含み、該官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）が、ポリマー側鎖および／またはポリマー主鎖末端に−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基よりなる群から選ばれる官能基を有するポリマーであることを特徴とするアクチュエータ素子用イオン伝導層。
【請求項２】
前記官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）が、式（１）：
【化１】
2007204682.tif 000064
（式中、Ｘ1およびＸ2は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ；Ｘ3はＨ、Ｆ、ＣＨ3またはＣＦ3；Ｘ4およびＸ5は同じかまたは異なり、Ｈ、ＦまたはＣＦ3；Ｒｆは官能基Ｙ（Ｙは同じかまたは異なりいずれも−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基）を１〜５個有し、官能基に含まれる炭素数を除く炭素数が１〜５０の含フッ素アルキル基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；ａは０〜１０の整数；ｂおよびｃは同じかまたは異なり、０または１）で示される含フッ素エチレン性単量体に由来する構造単位、構造単位Ａは該式（Ｍ）で示される含フッ素エチレン性単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位である］で示され、構造単位Ｍを０．１〜１００モル％および構造単位Ａを０〜９９．９モル％含む官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）である請求項１記載のアクチュエータ素子用イオン伝導層。
【請求項３】
（Ｉ）官能基含有含フッ素ポリマー、(II)イオン性液体および（III）導電性ナノフィラーとを含み、該官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）が、ポリマー側鎖および／またはポリマー主鎖末端に−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基よりなる群から選ばれる官能基を有するポリマーであることを特徴とするアクチュエータ素子用電極層。
【請求項４】
前記官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）が、式（１）：
【化２】
2007204682.tif 000065
（式中、Ｘ1およびＸ2は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ；Ｘ3はＨ、Ｆ、ＣＨ3またはＣＦ3；Ｘ4およびＸ5は同じかまたは異なり、Ｈ、ＦまたはＣＦ3；Ｒｆは官能基Ｙ（Ｙは同じかまたは異なりいずれも−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基）を１〜５個有し、官能基に含まれる炭素数を除く炭素数が１〜５０の含フッ素アルキル基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；ａは０〜１０の整数；ｂおよびｃは同じかまたは異なり、０または１）で示される含フッ素エチレン性単量体に由来する構造単位、構造単位Ａは該式（Ｍ）で示される含フッ素エチレン性単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位である］で示され、構造単位Ｍを０．１〜１００モル％および構造単位Ａを０〜９９．９モル％含む官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）である請求項３記載のアクチュエータ素子用電極層。
【請求項５】
請求項１または２記載のイオン伝導層の表面に、請求項３または４記載の電極層が相互に絶縁状態で少なくとも２個形成され、該電極層に電位差を与えることにより湾曲および変形を生じさせ得るアクチュエータ素子。
【請求項６】
請求項１または２記載のイオン伝導層の表面に、請求項３または４記載の電極層が相互に絶縁状態で少なくとも２個形成され、該電極層の表面に導電層が形成され、該導電層に電位差を与えることにより湾曲および変形を生じさせ得るアクチュエータ素子。
【請求項７】
ポリマー側鎖および／またはポリマー主鎖末端に−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基よりなる群から選ばれる官能基を有する官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体とを含むアクチュエータ素子用イオン伝導層の形成用組成物。
【請求項８】
前記官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）が、式（１）：
【化３】
2007204682.tif 000066
（式中、Ｘ1およびＸ2は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ；Ｘ3はＨ、Ｆ、ＣＨ3またはＣＦ3；Ｘ4およびＸ5は同じかまたは異なり、Ｈ、ＦまたはＣＦ3；Ｒｆは官能基Ｙ（Ｙは同じかまたは異なりいずれも−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基）を１〜５個有し、官能基に含まれる炭素数を除く炭素数が１〜５０の含フッ素アルキル基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；ａは０〜１０の整数；ｂおよびｃは同じかまたは異なり、０または１）で示される含フッ素エチレン性単量体に由来する構造単位、構造単位Ａは該式（Ｍ）で示される含フッ素エチレン性単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位である］で示され、構造単位Ｍを０．１〜１００モル％および構造単位Ａを０〜９９．９モル％含む官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）である請求項７記載のアクチュエータ素子用イオン伝導層の形成用組成物。
【請求項９】
ポリマー側鎖および／またはポリマー主鎖末端に−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基よりなる群から選ばれる官能基を有する官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体（II）と導電性ナノフィラー（III）とを含むアクチュエータ素子用電極層の形成用組成物。
【請求項１０】
前記官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）が、式（１）：
【化４】
2007204682.tif 000067
（式中、Ｘ1およびＸ2は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ；Ｘ3はＨ、Ｆ、ＣＨ3またはＣＦ3；Ｘ4およびＸ5は同じかまたは異なり、Ｈ、ＦまたはＣＦ3；Ｒｆは官能基Ｙ（Ｙは同じかまたは異なりいずれも−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基）を１〜５個有し、官能基に含まれる炭素数を除く炭素数が１〜５０の含フッ素アルキル基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；ａは０〜１０の整数；ｂおよびｃは同じかまたは異なり、０または１）で示される含フッ素エチレン性単量体に由来する構造単位、構造単位Ａは該式（Ｍ）で示される含フッ素エチレン性単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位である］で示され、構造単位Ｍを０．１〜１００モル％および構造単位Ａを０〜９９．９モル％含む官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）である請求項９記載のアクチュエータ素子用電極層の形成用組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気化学反応や電気二重層の充放電などの電気化学プロセスを駆動力とする電気化学型アクチュエータ素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
医療機器や産業用、およびパーソナルロボット、マイクロマシンなどの分野において小型かつ軽量で柔軟性に富むアクチュエータの必要性が高まっている。
【０００３】
小型アクチュエータとしては、静電引力型、圧電型、超音波式、形状記憶合金式、高分子伸縮式のほか、電気化学反応を利用した電子導電性高分子アクチュエータやイオン導電性高分子アクチュエータなどの電気化学型が提案されている。
【０００４】
これらのうち、小型アクチュエータの用途をより広範なものに拡張させるため、低電圧で駆動し、応答性が速く、柔軟性に富み、小型化および軽量化が容易で、しかも小電力で作動する電気化学型の高分子アクチュエータの開発が行われてきた。これらの中には、ポリピロール、ポリアニリン等の電子導電性ポリマーの電解質中におけるレドックス伸縮を利用したもの（電子導電性高分子アクチュエータ）、また、イオン交換膜と接合電極とからなり、イオン交換膜の含水状態において、イオン交換膜に電位差をかけてイオン交換膜に湾曲、変形を生じさせることにより、アクチュエータとして機能させることのできるもの（イオン導電性高分子アクチュエータ）の大きく分けると２種のものが知られている。
【０００５】
これらのなかで、電子導電性高分子アクチュエータは、低電圧駆動で、伸縮率が大きく、発生圧力も大きいなどの利点があるが、応答速度が遅く、最も性能の良いポリピロールの製造法が電解重合のみであること、また、応答がレドックス反応に基づいたイオンのドーピング、脱ドーピングによることから、原理として繰り返し耐久性に問題のあることが指摘されてきた。
【０００６】
これらの問題を克服するために、カーボンナノチューブをペーパー状に成形した電極に二重層充放電に基づく界面応力変化による伸縮現象を利用したアクチュエータが提案された（非特許文献１参照）。このアクチュエータは、応答速度が速く、二重層充放電に基づく原理から寿命も長い。また、発生圧も大きいことが分かっている。ただ伸縮率が小さく、製造法においても、長時間に渡るろ過という極めて煩雑な操作を必要とする。加えて、このアクチュエータは、機械的強度も脆弱であり、作動条件も電解質溶液中に限られている。
【０００７】
一方、従来の電子導電性高分子アクチュエータ、あるいはイオン導電性高分子アクチュエータは、いずれも、その動作のために電解質が必要なことから、主に電解質水溶液中で使用されてきた。イオン導電性高分子アクチュエータは、イオン交換樹脂が水で膨潤した状態でないと十分なイオン伝導性を示さないため、基本的には水中で使用する。空中でこのアクチュエータを使用するためには、水の蒸発を防ぐ必要がある。そのため、樹脂コーティングの方法が報告されているが、この方法では、完全にコーティングするのが困難なこと、また、電極反応によるわずかな気体発生によってもコーティングが破れること、さらに、コーティング自身が変形応答の抵抗となることから、実用化されていない。また、水の代わりに、プロピレンカーボネートなどの高沸点有機溶媒なども使用されているが、これについても同様の問題があり、しかも、水ほどイオン導電性が大きくなく、応答性が劣る点でも問題がある。
【０００８】
かくして、従来型のアクチュエータは、主に電解質溶液中という限られた環境でのみ駆動するため、用途が極めて限られていた。従って、空中で駆動するアクチュエータ素子の開発は、小型アクチュエータの幅広い用途への実用化のために不可欠である。
【０００９】
アクチュエータの空中作動への適用の目的で、イオン交換樹脂の両側に電子導電性高分子を貼付けた例、あるいはプロピレンカーボネートなどの高沸点有機溶媒を含んだゲル膜に導電性高分子を貼付け、両側の電極の伸縮を利用してアクチュエータの素子として利用した例がある。これらの例も、イオン導電性高分子アクチュエータの場合と同様、溶媒の乾燥の問題、イオン導電性の低さの問題があり、本質的な解決となっていない。
【００１０】
これらの問題を解決するために、最近、イオン性液体（ionic liquid）として知られており、常温溶融塩または単に溶融塩などとも称される、常温（室温）を含む幅広い温度域で溶融状態を呈する塩を用いた応用研究が進められている。イオン性液体は、蒸気圧が無視できるため、揮発による溶媒の乾燥を防ぐことが可能である。
【００１１】
電子導電性高分子アクチュエータの空中作動への適用の目的で、イオン性液体中における導電性ポリマーの伸縮現象の研究（非特許文献２参照）、およびポリピロールとイオン性液体のポリフッ化ビニリデンの複合体を用いた、全固体素子の研究（非特許文献３参照）がある。しかしながら、これらの研究においても、前述した、導電性ポリマーに起因する原理的な問題、すなわち、応答性の遅さ、製造法、寿命の問題は解決されていない。
【００１２】
これらの未解決の課題を克服するべく、特許文献１では、カーボンナノチューブとイオン性液体とのゲルを導電性と伸縮性のある活性層として用い、またイオン性液体とフッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体やポリフッ化ビニリデン、パーフルオロスルホン酸（ナフィオン。デュポン社の商標）などの含フッ素ポリマーを含む層を伝導層とすることにより、空気中または真空中でも作動可能なアクチュエータ素子が提案されている。
【００１３】
しかし、アクチュエータ素子の繰り返し耐久性を高めるためには、さらに電気化学的な安定性を向上させる必要があり、また機械的強度を向上させる必要があり、さらに伸縮率、発生力の大きい樹脂が要求される。
【００１４】
【特許文献１】特開２００５−１７６４２８号公報
【非特許文献１】サイエンス（Science），第２８４巻，１９９９年，ｐ．１３４０
【非特許文献２】サイエンス（Science），第２９７巻，２００２年，ｐ．９８３
【非特許文献３】エレクトロチミカ アクタ（Electrochimica Acta），第４８巻，２００３年，ｐ．２３５５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、低電圧で駆動でき、空気中および真空中で安定にかつ速い応答性で作動し、柔軟性も含めて機械的強度が高く、繰り返し耐久性が長く、しかも製造法が極めて簡単であり、かつ簡単な構造のため小型化が容易であり、幅広い用途への実用化を進め得るアクチュエータ素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
すなわち本発明は、（Ｉ）官能基含有含フッ素ポリマー、および(II)イオン性液体とを含み、該官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）が、ポリマー側鎖および／またはポリマー主鎖末端に−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基よりなる群から選ばれる官能基を有するポリマーであることを特徴とするアクチュエータ素子用イオン伝導層に関する。
【００１７】
また本発明は、（Ｉ）官能基含有含フッ素ポリマー、(II)イオン性液体および（III）導電性ナノフィラーとを含み、該官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）が、ポリマー側鎖および／またはポリマー主鎖末端に−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基よりなる群から選ばれる官能基を有するポリマーであることを特徴とするアクチュエータ素子用電極層に関する。
【００１８】
さらに本発明は、前記本発明のイオン伝導層の表面に、前記本発明の電極層が相互に絶縁状態で少なくとも２個形成され、該電極層に電位差を与えることにより湾曲および変形を生じさせ得る３層構造のアクチュエータ素子、および前記本発明のイオン伝導層の表面に、前記本発明の電極層が相互に絶縁状態で少なくとも２個形成され、該電極層の表面に導電層が形成され、該導電層に電位差を与えることにより湾曲および変形を生じさせ得る５層構造のアクチュエータ素子にも関する。
【００１９】
さらにまた、前記官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体（II）とを含むアクチュエータ素子用イオン伝導層の形成用組成物、および前記官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体（II）と導電性ナノフィラー（III）とを含むアクチュエータ素子用電極層の形成用組成物にも関する。
【００２０】
前記特定の官能基含有含フッ素ポリマー（I）としては、たとえば式（１）：
【００２１】
【化１】
2007204682.tif 000003
（式中、Ｘ1およびＸ2は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ；Ｘ3はＨ、Ｆ、ＣＨ3またはＣＦ3；Ｘ4およびＸ5は同じかまたは異なり、Ｈ、ＦまたはＣＦ3；Ｒｆは官能基Ｙ（Ｙは同じかまたは異なりいずれも−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基）を１〜５個有し、官能基に含まれる炭素数を除く炭素数が１〜５０の含フッ素アルキル基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；ａは０〜１０の整数；ｂおよびｃは同じかまたは異なり、０または１）で示される含フッ素エチレン性単量体に由来する構造単位、構造単位Ａは該式（Ｍ）で示される含フッ素エチレン性単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位である］で示され、構造単位Ｍを０．１〜１００モル％および構造単位Ａを０〜９９．９モル％含む官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）が好ましくあげられる。
【００２２】
かかるアクチュエータ素子は、前記官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体（II）と導電性ナノフィラー（III）との組成物、および官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体（II）との組成物を、展延、塗布、印刷、押し出し、または射出により積層することにより、電極層およびイオン伝導層を形成することにより製造できる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、低電圧で駆動でき、空気中および真空中で安定にかつ速い応答性で作動し、さらに変位量、変位力が大きく、柔軟性も含めて機械的強度が高いため繰り返し耐久性が長く、しかも製造法が極めて簡単であり、かつ簡単な構造のため小型化が容易であり、幅広い用途への実用化を進め得るアクチュエータ素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
まず最初に、本発明において共通して使用する特定の官能基を含有する含フッ素ポリマー（I）およびイオン性液体（II）について説明する。
【００２５】
本発明で使用可能な特定の官能基含有含フッ素ポリマー(I)の第１は、式（１）：
【００２６】
【化２】
2007204682.tif 000004
（式中、Ｘ1およびＸ2は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ；Ｘ3はＨ、Ｆ、ＣＨ3またはＣＦ3；Ｘ4およびＸ5は同じかまたは異なり、Ｈ、ＦまたはＣＦ3；Ｒｆは官能基Ｙ（Ｙは同じかまたは異なりいずれも−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基）を１〜５個有し、官能基に含まれる炭素数を除く炭素数が１〜５０の含フッ素アルキル基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；ａは０〜１０の整数；ｂおよびｃは同じかまたは異なり、０または１）で示される含フッ素エチレン性単量体に由来する構造単位、構造単位Ａは該式（Ｍ）で示される含フッ素エチレン性単量体と共重合可能な単量体に由来する構造単位である］で示され、構造単位Ｍを０．１〜１００モル％および構造単位Ａを０〜９９．９モル％含む官能基含有含フッ素ポリマーである。このように官能基含有含フッ素ポリマー(Ia)には、パーフルオロスルホン酸ポリマーは含まれない。
【００２７】
本発明において、式（１）の官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）における構造単位Ｍは、なかでも式（３）で示される構造単位Ｍ１：
【００２８】
【化３】
2007204682.tif 000005
（式中、Ｘ1、Ｘ2、Ｘ3、Ｘ4、Ｘ5、Ｒｆ、ａおよびｃは前記と同じ）で示される含フッ素エチレン性単量体に由来する構造単位が好ましい。
【００２９】
この構造単位Ｍ１を含む共重合体は、官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）のイオン性液体への相溶性を上げることで、イオン伝導性を向上させ、応答速度、駆動幅を上げるだけでなく、弾性率の制御や密着性などの性能を付与させるのに、好ましいものである。
【００３０】
この構造単位Ｍ１を含む重合体は、特に共重合体に限らず、構造単位Ｍ１のみからなるホモポリマーにおいても好ましいものである。
【００３１】
さらに構造単位Ｍ１のより好ましい具体例は式（４）で示される構造単位Ｍ２：
【００３２】
【化４】
2007204682.tif 000006
（式中、Ｒｆは前記と同じ）で示される含フッ素エチレン性単量体に由来する構造単位である。
【００３３】
この構造単位Ｍ２は特定の官能基を少なくとも１個有する含フッ素アリルエーテル由来の構造単位であり、イオン性液体の相溶性を上げるだけでなく、重合性が良好であり、特にホモ重合性および他の含フッ素エチレン系単量体との共重合性が良好であるため好ましい。
【００３４】
また、構造単位Ｍ１の別の好ましい具体例は式（５）で示される構造単位Ｍ３：
【００３５】
【化５】
2007204682.tif 000007
（式中、Ｒｆは前記と同じ）で示される含フッ素エチレン性単量体に由来する構造単位である。
【００３６】
この構造単位Ｍ３は特定の官能基を少なくとも１個有する含フッ素ビニルエーテル由来の構造単位であり、イオン性液体の相溶性を上げることができ、また他の含フッ素エチレン系単量体との共重合性が良好である点で好ましい。
【００３７】
本発明で使用する式（１）の官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）において構造単位Ｍ、Ｍ１、Ｍ２およびＭ３に含まれるＲｆは、前記のとおり、特定の官能基Ｙを１〜５個有し、該官能基中の炭素を除く炭素数１〜５０の含フッ素アルキル基または該官能基中の炭素を除く炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキル基である。
【００３８】
このＲｆ中の官能基Ｙは、−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基または（メタ）アクリロイル基であり、複数含有している場合は同じでも異なっていてもよい。
【００３９】
また、官能基Ｙを除いたＲｆは、炭素数１〜４９の含フッ素アルキレン基または炭素数２〜９９のエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基であり、含まれる炭素原子にフッ素原子が結合していればよく、一般に、炭素原子にフッ素原子と水素原子もしくは塩素原子が結合した含フッ素アルキレン基またはエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基である。
【００４０】
官能基Ｙを除くＲｆ基の炭素数は大きすぎると、含フッ素アルキレン基の場合は官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）のイオン性液体への溶解性が低下することがあり、好ましくない。含フッ素アルキレン基の炭素数は、好ましくは１〜２０、より好ましくは１〜１０である。エーテル結合を有する含フッ素アルキレン基の炭素数は好ましくは２〜３０、より好ましくは２〜２０である。
【００４１】
官能基Ｙを除くＲｆ基の好ましい具体例としては、
【００４２】
【化６】
2007204682.tif 000008
などがあげられる。
【００４３】
前述のとおり、本発明で用いる官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）を構成する構造単位Ｍは構造単位Ｍ１が好ましく、構造単位Ｍ１はさらに構造単位Ｍ２および構造単位Ｍ３が好ましい。そこで、つぎに構造単位Ｍ２およびＭ３の具体例について述べる。
【００４４】
構造単位Ｍ２を与える単量体として好ましい具体例としては、特定の官能基含有部分をＲｆ′で示すと
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］nＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）m−Ｒｆ′（ｍは０〜１０の整数；ｎは０〜８の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］nＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）m−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ｌは１〜４の整数；ｍは０〜１０の整数；ｎは０〜８の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n−（ＣＦ2）m−Ｒｆ′（ｍは０〜８の整数；ｎは０〜８の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n−（ＣＦ2）m−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ｌは１〜４の整数；ｍは０〜１０の整数；ｎは０〜８の整数）
などがあげられる。
【００４５】
より具体的には、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］nＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）m−Ｉ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］nＣＦ（ＣＦ3）ＣＯ2Ｒ（ｎは０〜８の整数；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］nＣＦ（ＣＦ3）ＣＨ2ＯＨ（ｎは０〜８の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］nＣＦ（ＣＦ3）ＣＮ（ｎは０〜８の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］nＣＦ（ＣＦ3）ＣＨ2Ｏ−
【００４６】
【化７】
2007204682.tif 000009
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n−（ＣＦ2）m−Ｉ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n−（ＣＦ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n−（ＣＦ2）m−ＣＨ2ＯＨ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n−（ＣＦ2）m−ＣＮ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
【００４７】
【化８】
2007204682.tif 000010
などがあげられる。
【００４８】
構造単位Ｍ３を与える単量体として好ましい具体例としては、特定の官能基含有部分をＲｆ′で示すと、
ＣＦ2＝ＣＦ［ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）］n−（ＣＦ2）m−Ｒｆ′（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ［ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）］n−（ＣＦ2）m−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2）m−Ｒｆ′（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2）m−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）
などがあげられる。
【００４９】
より具体的には、
ＣＦ2＝ＣＦ［ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）］n−（ＣＦ2）m−Ｉ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ［ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）］n−（ＣＦ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数；ＲはＨまたは炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＦ2＝ＣＦ［ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）］n−（ＣＦ2）m−ＣＮ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ［ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）］n−（ＣＦ2）m−ＣＨ2ＯＨ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
【００５０】
【化９】
2007204682.tif 000011
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2）m−Ｉ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数；Ｒは水素原子またはハロゲン原子で置換されていてもよいアルキル基）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2）m−ＣＮ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2）m−ＣＨ2ＯＨ（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
【００５１】
【化１０】
2007204682.tif 000012
などがあげられる。
【００５２】
これらの構造単位Ｍ２およびＭ３以外に、官能基含有フッ素ポリマー（Ｉ）の構造単位Ｍを構成する単量体の好ましい具体例としては、たとえば特定の官能基含有部分をＲｆ′で示すと、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＲｆB）n−Ｒｆ′（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＲｆB）n−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｌは１〜４の整数；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＲｆB）n−Ｒｆ′（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＲｆB）n−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｌは１〜４の整数；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＲｆB）n−Ｒｆ′（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＲｆB）n−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｌは１〜４の整数；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−Ｒｆ′（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−Ｒｆ′（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−Ｒｆ′（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−Ｒｆ′（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−Ｒｆ′（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−Ｒｆ′（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｒｆ′（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−Ｒｆ′（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−（ＣＨ2）n−Ｒｆ′（ＸはＨまたはＦ；ｎは１〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−Ｒｆ′（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−（ＣＨ2）n−Ｒｆ′（ＸはＨまたはＦ；ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｘ4−Ｒｆ′（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｘ4−（ＣＨ2）n−Ｒｆ′（ＸはＨまたはＦ；ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＸ−ＣＯ2−（ＣＨ2）l−（ＣＦ2）n−（ＣＨ2）m−Ｒｆ′（ＸはＦまたはＣＦ3；ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜４の整数）などがあげられる。
【００５３】
より具体的には、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）n−Ｉ（ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）n−ＣＯ2Ｒ（ｎは０〜２０の整数；ＲはＨまたは炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）n−ＣＮ（ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）n−ＣＨ2ＯＨ（ｎは０〜２０の整数）、
【００５４】
【化１１】
2007204682.tif 000013
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2ＣＦＣｌ）n−（ＣＦ2）m−Ｉ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2ＣＦＣｌ）n−（ＣＦ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数；ＲはＨまたは炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2ＣＦＣｌ）n−（ＣＦ2）m−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2ＣＦＣｌ）n−（ＣＦ2）m−ＣＨ2ＯＨ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
【００５５】
【化１２】
2007204682.tif 000014
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＨ2ＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−Ｉ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＨ2ＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数；ＲはＨまたは炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＨ2ＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＨ2ＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＨ2ＯＨ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
【００５６】
【化１３】
2007204682.tif 000015
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）n−Ｉ（ｎは０〜２０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）n−ＣＯ2Ｒ（ｎは０〜２０の整数；ＲはＨまたは炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）n−ＣＮ（ｎは０〜２０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）n−ＣＨ2ＯＨ（ｎは０〜２０の整数）、
【００５７】
【化１４】
2007204682.tif 000016
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2ＣＦＣｌ）n−（ＣＦ2）m−Ｉ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2ＣＦＣｌ）n−（ＣＦ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数；ＲはＨまたは炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2ＣＦＣｌ）n−（ＣＦ2）m−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2ＣＦＣｌ）n−（ＣＦ2）m−ＣＨ2ＯＨ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
【００５８】
【化１５】
2007204682.tif 000017
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＨ2ＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−Ｉ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＨ2ＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数；ＲはＨまたは炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＨ2ＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＨ2ＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＨ2ＯＨ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
【００５９】
【化１６】
2007204682.tif 000018
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）n−Ｉ（ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）n−ＣＯ2Ｒ（ｎは０〜２０の整数；ＲはＨまたは炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）n−ＣＮ（ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）n−ＣＨ2ＯＨ（ｎは０〜２０の整数）、
【００６０】
【化１７】
2007204682.tif 000019
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦＣｌＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−Ｉ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦＣｌＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数；ＲはＨまたは炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦＣｌＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦＣｌＣＦ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＨ2ＯＨ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
【００６１】
【化１８】
2007204682.tif 000020
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2ＣＨ2）n−（ＣＦ2）m−Ｉ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2ＣＨ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数；ＲはＨまたは炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2ＣＨ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2ＣＨ2）n−（ＣＦ2）m−ＣＨ2ＯＨ（ｎは１〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数）、
【００６２】
【化１９】
2007204682.tif 000021
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−Ｉ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−ＣＯ2Ｒ（ＸはＨまたはＦ；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−ＣＮ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−ＯＨ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−ＣＹ2ＯＨ（ＸはＨまたはＦ；ＹはＨまたはＣＦ3）、
【００６３】
【化２０】
2007204682.tif 000022
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ5（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−Ｉ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＣＯ2Ｒ（ＸはＨまたはＦ；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＣＮ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＯＨ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＣＹ2ＯＨ（ＸはＨまたはＦ；ＹはＨまたはＣＦ3）、
【００６４】
【化２１】
2007204682.tif 000023
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ5（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−Ｉ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−ＣＯ2Ｒ（ＸはＨまたはＦ；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−ＣＮ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−ＯＨ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−ＣＹ2ＯＨ（ＸはＨまたはＦ；ＹはＨまたはＣＦ3）、
【００６５】
【化２２】
2007204682.tif 000024
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ5（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−Ｉ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＣＯ2Ｒ（ＸはＨまたはＦ；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＣＮ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＯＨ（ＸはＨまたはＦ）、
【００６６】
【化２３】
2007204682.tif 000025
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＣＹ2ＯＨ（ＸはＨまたはＦ；ＹはＨまたはＣＦ3）、
【００６７】
【化２４】
2007204682.tif 000026
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｘ5（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｘ4−Ｉ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｘ4−ＣＯ2Ｒ（ＸはＨまたはＦ；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｘ4−ＣＮ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｘ4−ＯＨ（ＸはＨまたはＦ）、
【００６８】
【化２５】
2007204682.tif 000027
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｘ4−ＣＹ2ＯＨ（ＸはＨまたはＦ；ＹはＨまたはＣＦ3）、
【００６９】
【化２６】
2007204682.tif 000028
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｏ−Ｃ6Ｘ5（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−Ｉ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＣＯ2Ｒ（ＸはＨまたはＦ；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＣＮ（ＸはＨまたはＦ）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＯＨ（ＸはＨまたはＦ）、
【００７０】
【化２７】
2007204682.tif 000029
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｏ−Ｃ6Ｘ4−ＣＹ2ＯＨ（ＸはＨまたはＦ；ＹはＨまたはＣＦ3）、
【００７１】
【化２８】
2007204682.tif 000030
ＣＨ2＝ＣＦ−ＣＯ2−（ＣＨ2）l−（ＣＦ2）n−（ＣＨ2）m−Ｉ（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜４の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ−ＣＯ2−（ＣＨ2）l−（ＣＦ2）n−（ＣＨ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜４の整数；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＦ−ＣＯ2−（ＣＨ2）l−（ＣＦ2）n−（ＣＨ2）m−ＣＮ（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜４の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ−ＣＯ2−（ＣＨ2）l−（ＣＦ2）n−（ＣＨ2）m−ＯＨ（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜４の整数）、
【００７２】
【化２９】
2007204682.tif 000031
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＦ3）−ＣＯ2−（ＣＨ2）l−（ＣＦ2）n−（ＣＨ2）m−Ｉ（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜４の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＦ3）−ＣＯ2−（ＣＨ2）l−（ＣＦ2）n−（ＣＨ2）m−ＣＯ2Ｒ（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜４の整数；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＦ3）−ＣＯ2−（ＣＨ2）l−（ＣＦ2）n−（ＣＨ2）m−ＣＮ（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜４の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＦ3）−ＣＯ2−（ＣＨ2）l−（ＣＦ2）n−（ＣＨ2）m−ＯＨ（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜４の整数）、
【００７３】
【化３０】
2007204682.tif 000032
などがあげられる。
【００７４】
式（１）の官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）において、構造単位Ｍ、Ｍ１、Ｍ２およびＭ３に含まれるＹが（メタ）アクリロイル基Ｙ1の場合は、末端がエチレン性炭素−炭素二重結合となっており、これを含フッ素プレポリマー（ＩＡ）の形態で使用することもできる。
【００７５】
このＹ1中の炭素−炭素二重結合はラジカル重合、カチオン重合などを起こす能力を有し、硬化（架橋）体を与えることができるものである。詳しくは、たとえばラジカルやカチオンの接触によって、含フッ素プレポリマー（ＩＡ）分子間で、または含フッ素プレポリマー（ＩＡ）と必要に応じて加えられる硬化（架橋）剤との間で重合反応や環化反応を起こし、硬化（架橋）物を与えることができるものである。
【００７６】
好ましいＹ1の第１としては、
【００７７】
【化３１】
2007204682.tif 000033
（式中、Ｙ2は末端にエチレン性炭素−炭素二重結合を有する炭素数２〜５のアルケニル基または含フッ素アルケニル基；ｄおよびｅは同じかまたは異なり、０または１）である。
【００７８】
好ましいＹ2としては、
−ＣＸ30＝ＣＸ31Ｘ32
（式中、Ｘ30はＨ、Ｆ、ＣＨ3またはＣＦ3；Ｘ31およびＸ32は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ）であり、この基はラジカルやカチオンの接触による硬化反応性が高く、好ましいものである。
【００７９】
好ましいＹ2の具体例としては、
【００８０】
【化３２】
2007204682.tif 000034
などがあげられる。
【００８１】
また好ましいＹ1の第２としては、
−Ｏ（Ｃ＝Ｏ）ＣＸ30＝ＣＸ31Ｘ32
（式中、Ｘ30はＨ、Ｆ、ＣＨ3またはＣＦ3；Ｘ31およびＸ32は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ）があげられ、この基は特にラジカルの接触による硬化反応性がより高い点で好ましく、光硬化などにより容易に硬化物を得ることができる点で好ましい。
【００８２】
上記好ましいＹ1の第２の具体例としては、
2007204682.tif 000035
などがあげられる。
【００８３】
その他の好ましいＹ1としては、
2007204682.tif 000036
などがあげられる。
【００８４】
Ｙ1のなかでも、−Ｏ（Ｃ＝Ｏ）ＣＨ＝ＣＨ2、−Ｏ（Ｃ＝Ｏ）Ｃ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、−Ｏ（Ｃ＝Ｏ）ＣＦ＝ＣＨ2、−Ｏ（Ｃ＝Ｏ）Ｃ（ＣＦ3）＝ＣＨ2の構造を有するものが、硬化（架橋）反応性が特に高く、効率よく硬化物を得ることができる点で好ましい。
【００８５】
なお、（メタ）アクリロイル基Ｙ1は、ポリマー主鎖末端に導入してもよい。
【００８６】
本発明で用いる官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）において、構造単位Ａは任意成分であり、構造単位Ｍ、Ｍ１、Ｍ２またはＭ３と共重合し得る単量体であれば特に限定されず、目的とする官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）の要求特性などに応じて適宜選択すればよい。
【００８７】
構造単位Ａとして、たとえばつぎの構造単位が例示できる。
(i)特定の官能基Ｙを含有していない官能基を有する含フッ素エチレン性単量体から誘導される構造単位
これらは、官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）およびその組成物のイオン性液体との相溶性を維持しながら、基材への密着性や溶剤、特に汎用溶剤への溶解性を付与できる点で好ましく、そのほか架橋性などの機能を付与できる点で好ましい。
【００８８】
官能基を有する好ましい含フッ素エチレン性単量体の構造単位は、式（６）：
【００８９】
【化３３】
2007204682.tif 000037
（式中、Ｘ1およびＸ2は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ；Ｘ3はＨ、Ｆ、ＣＨ3またはＣＦ3；Ｘ4およびＸ5は同じかまたは異なり、Ｈ、ＦまたはＣＦ3；Ｒｆは官能基Ｚ1（Ｚ1は同じかまたは異なりいずれも−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−ＣＯＯＲ、−ＣＮ、ヨウ素原子、エポキシ基、（メタ）アクリロイル基またはスルホニル基以外の官能基）を１〜５個有し、官能基に含まれる炭素数を除く炭素数が１〜５０の含フッ素アルキル基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキル基；ａは０〜１０の整数；ｂおよびｃは同じかまたは異なり、０または１）。Ｚ1としては、アミノ基、アミン誘導体基、アルコキシル基、アシロキシル基、ホルミル基、アシル基、チオール基、リン酸基、リン酸エステル基、フェニル基、シリル基、シロキシ基などが例示できる。
【００９０】
なかでも、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2ＯＲｆ13−Ｚ1
（式中、Ｒｆ13は炭素数１〜４０の含フッ素アルキレン基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基；Ｚ1は前記と同じ）から誘導される構造単位が好ましい。
【００９１】
より具体的には、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］nＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）m−Ｚ1（ｍは０〜１０の整数；ｎは０〜８の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］nＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）m−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ｌは１〜４の整数；ｍは０〜１０の整数；ｎは０〜８の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n−（ＣＦ2）m−Ｚ1（ｍは０〜１０の整数；ｎは０〜８の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n−（ＣＦ2）m−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ｌは１〜４の整数；ｍは０〜１０の整数；ｎは０〜８の整数）
などがあげられる。
（式中、Ｚ1は前記と同じ）などの含フッ素エチレン性単量体から誘導される構造単位が好ましくあげられる。
【００９２】
また、
ＣＦ2＝ＣＦＯＲｆ13−Ｚ1
（式中、Ｒｆ13およびＺ1は前記と同じ）から誘導される構造単位も好ましく例示でき、より具体的には、
ＣＦ2＝ＣＦ［ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）］n−（ＣＦ2）m−Ｚ1（ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ［ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）］n−（ＣＦ2）m−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2）m−Ｚ1（ｎは１〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＯＣＦ2ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2）m−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜８の整数；ｍは０〜１０の整数）
（式中、Ｚ1は前記と同じ）などの単量体から誘導される構造単位があげられる。
【００９３】
その他、官能基含有含フッ素エチレン性単量体としては、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｒｆ20−Ｚ1、
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｒｆ20−Ｚ1、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｒｆ20−Ｚ1、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ−Ｒｆ20−Ｚ1（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ−Ｒｆ20−Ｚ1（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）nＯ−Ｒｆ20−Ｚ1（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ−ＣＯ2−Ｒｆ20−Ｚ1
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＦ3）−ＣＯ2−Ｒｆ20−Ｚ1
（Ｒｆ20は炭素数１〜４０の含フッ素アルキレン基または炭素数２〜１００のエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基）などがあげられ、より具体的には、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＲｆB）n−Ｚ1（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＲｆB）n−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｌは１〜４の整数；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＲｆB）n−Ｚ1（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＲｆB）n−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｌは１〜４の整数；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＲｆB）n−Ｚ1（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＲｆB）n−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ＲｆBはＣＦ2、ＣＨ2、ＣＦ2ＣＦＣｌ、ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2ＣＨ2；ｌは１〜４の整数；ｎは０〜２０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−Ｚ1（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−Ｚ1（ｎは０〜１０の整数；ｐは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−Ｚ1（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜１０の整数；ｐは０〜８の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）nＯ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ］mＣＦ（ＣＦ3）−（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−Ｚ1（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−Ｚ1（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−Ｚ1（ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ（ＣＦ2）nＯ（ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）m（ＣＦ2）p−（ＣＨ2）l−Ｚ1（ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜８の整数；ｐは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−Ｚ1（ＸはＨまたはＦ）
ＣＨ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−（ＣＨ2）n−Ｚ1（ＸはＨまたはＦ；ｎは１〜１０の整数）
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−Ｚ1（ＸはＨまたはＦ）
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｃ6Ｘ4−（ＣＨ2）n−Ｚ1（ＸはＨまたはＦ；ｎは１〜１０の整数）
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｘ4−Ｚ1（ＸはＨまたはＦ）
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｘ4−（ＣＨ2）n−Ｚ1′（ＸはＨまたはＦ；ｎは１〜１０の整数）
ＣＨ2＝ＣＸ−ＣＯ2−（ＣＨ2）l−（ＣＦ2）n−（ＣＨ2）m−Ｚ1（ＸはＦまたはＣＦ3；ｌは１〜４の整数；ｎは０〜１０の整数；ｍは０〜４の整数）などがあげられる
（式中、Ｚ1は前記と同じ）などがあげられる。
【００９４】
(ii)官能基を含まない含フッ素エチレン性単量体から誘導される構造単位
これらは官能基含有含フッ素ポリマーまたはその硬化物の耐酸化性、耐熱性、高応答性、機械的強度などを向上させることができる点で好ましい。目的とする用途によって単量体を種々選択でき、伸び、降伏強さ、硬度、誘電率、弾性率、加工性、耐熱性、結晶度、ガラス転移点などを調整でき、特に構造単位Ｍと共重合して、機械的特性を幅広く制御することができ、好ましいものである。
【００９５】
この含フッ素エチレン性単量体(ii)の構造単位としては、式（７）：
【００９６】
【化３４】
2007204682.tif 000038
（式中、Ｘ15、Ｘ16およびＸ18は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ；Ｘ17はＨ、ＦまたはＣＦ3；ｈ１、ｉ１およびｊは同じかまたは異なり、０または１；Ｚ2はＨ、ＦまたはＣｌ；Ｒｆ14は炭素数１〜２０の含フッ素アルキレン基または炭素数２〜１００のエーテル結合を含む含フッ素アルキレン基）で示されるものが好ましい。
【００９７】
具体例としては、
【００９８】
【化３５】
2007204682.tif 000039
などの単量体から誘導される構造単位が好ましくあげられる。
【００９９】
(iii)フッ素を有する脂肪族環状の構造単位
これらの構造単位(iii)を導入すると、硬度を補った官能基含有含フッ素ポリマーが得られる点で好ましい。
【０１００】
含フッ素脂肪族環状の構造単位(iii)としては式（８）：
【０１０１】
【化３６】
2007204682.tif 000040
（式中、Ｘ19、Ｘ20、Ｘ23、Ｘ24、Ｘ25およびＸ26は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ；Ｘ21およびＸ22は同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、ＣｌまたはＣＦ3；Ｒｆ15は炭素数１〜１０の含フッ素アルキレン基または炭素数２〜１０のエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基；ｎ２は０〜３の整数；ｎ１、ｎ３、ｎ４およびｎ５は同じかまたは異なり、０または１の整数）で示されるものが好ましい。
【０１０２】
たとえば、
【０１０３】
【化３７】
2007204682.tif 000041
（式中、Ｒｆ15、Ｘ21およびＸ22は前記と同じ）で示される構造単位があげられる。
【０１０４】
具体的には、
【０１０５】
【化３８】
2007204682.tif 000042
（式中、Ｘ19、Ｘ20、Ｘ23およびＸ24は前記と同じ）などがあげられる。
【０１０６】
(iv)フッ素を含まないエチレン性単量体から誘導される構造単位
それによって、汎用溶剤への溶解性、イオン性液体との相溶性が向上したり、また、光触媒や必要に応じて添加する硬化剤との相溶性を改善できるので好ましい。
【０１０７】
非フッ素系エチレン性単量体の具体例としては、つぎのものが例示できる。
【０１０８】
(iv-1)エチレン、プロピレン、ブテン、イソプレン、ブタジエン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、無水マレイン酸。
【０１０９】
(iv-2)ビニルエーテル系またはビニルエステル系単量体：ＣＨ2＝ＣＨＯＲ、ＣＨ2＝ＣＨＯＣＯＲ（Ｒ：炭素数１〜２０の炭化水素基）、−（ＣＨ2）1-10ＣＨ2ＯＨ。
アクリロニトリル：ＣＨ2＝ＣＸＣＮ（Ｘ：Ｈ、Ｆ、ＣＨ3、Ｃｌ）。
スチレン：ＣＨ2＝ＣＸ−Ｃ6Ｈ4−Ｒ（Ｘ：Ｈ、Ｆ、ＣＨ3、Ｒ：Ｈ、ＯＨ、ＯＲ、ＣＯ2Ｈ、ＣＯ2Ｒ1（Ｒ1：炭素数１〜２０の炭化水素基）、ＣＯ2Ｍ、ＳＯ3Ｈ、ＳＯ3Ｒ1（Ｒ1：炭素数１〜２０の炭化水素基）、ＳＯ3Ｍ、ＮＯ2、ＣＮ、ＣＦ3。
【０１１０】
(iv-3)アクリル系またはメタクリル系単量体：ＣＨ2＝ＣＸＣＯＲ、ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＲ[Ｘ：Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、Ｒ：ＯＨ，ＯＲ1（Ｒ1：炭素数１〜２０の炭化水素基］、−（ＣＨ2）1-10ＣＨ2ＯＨ）、ＮＨ2-XＲ1X（ｘ：０〜２，Ｒ1：炭素数１〜２０の炭化水素基）、−（ＣＨ2）1-10ＣＨ2ＯＨ）。
【０１１１】
本発明で用いる官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）において、構造単位Ｍ（Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３）と構造単位Ａとの組み合わせや組成比率は、上記の例示から目的とする用途、物性（弾性率、伸び、降伏強さ、ガラス転移点、硬度、耐熱性、誘電率、結晶度など）によって種々選択できる。
【０１１２】
本発明で用いる官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）においては、構造単位Ｍ（Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３）を必須成分として含むものであり、イオン性液体を溶解させ易くする特徴を有している。したがって官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）は、構造単位Ｍを多く含む組成、極端には構造単位Ｍのみ（１００モル％）からなる重合体であってもイオン性液体を溶解させやすくする特徴を高く維持できる。
【０１１３】
またさらに、官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）の構造単位Ｍと構造単位Ａとからなる共重合体の場合、構造単位Ａを前述の例示から選択することによって、さらに耐酸化性、耐熱性、高応答性、機械的強度の高いポリマーとすることができる。
【０１１４】
官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）が構造単位Ｍと構造単位Ａとの共重合体の場合、構造単位Ｍの含有比率は、官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）を構成する全構造単位に対し０．１モル％以上であればよい。
【０１１５】
構造単位Ａのイオン性液体との相溶性、および官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）と混ぜるイオン性液体の濃度にもよるが、官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）の分離を起こさないようにするには１．０モル％以上とすることが好ましい。
【０１１６】
本発明で用いる官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）は、構成単位Ｍの比率を増やしても利用可能である。構造単位Ａの機械的強度にもよるが、構造単位Ｍの増加は機械的物性が不充分となりやすいことから、６０モル％以下とすることが好ましい。
【０１１７】
本発明で用いる官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉａ）の分子量は、たとえば数平均分子量において５００〜１００００００の範囲から選択できるが、好ましくは１０００〜５０００００、特に２０００から２０００００の範囲から選ばれるものが好ましい。
【０１１８】
分子量が低すぎると、機械的物性が不充分となりやすく、特に硬化物や硬化膜が脆く強度不足となりやすい。分子量が高すぎると、溶剤溶解性が損なわれ、特に薄膜形成時に成膜性やレベリング性が悪くなりやすい。コーティング用途としては、最も好ましくは数平均分子量が５０００から１０００００の範囲から選ばれるものである。
【０１１９】
本発明で使用可能な官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）の第２としては、式（１ｂ）：
【化３９】
2007204682.tif 000043
（式中、構造単位Ｎは前記の特定の官能基をもたない含フッ素単量体の１種または２種以上に由来する構造単位；構造単位Ｂは前記特定の官能基をもつ非フッ素系単量体の１種または２種以上に由来する構造単位）で示される官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）があげられる。ポリマー（Ｉｂ）には、さらに要すれば、特定の官能基をもたない非フッ素系単量体を共重合してもよい。
【０１２０】
この第２の官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）は公知のポリマーであり、たとえば特開平５−１９４６６８号公報、特開平９−１６９８２２号公報、特開２０００−３１３８３９号公報などに記載されているのもが使用できる。通常の付加重合ポリマーだけでなく、特開平９−１６５４９０号公報、特開２０００−８０１３６号公報などに記載されているブロック重合や、特開平９−１５７６１９号公報などに記載されているグラフト重合ポリマーなど幅広く使用できる。
【０１２１】
構造単位Ｎを与える特定の官能基をもたない含フッ素単量体としては、たとえばＣＦ2＝ＣＦ2、ＣＦ2＝ＣＨ2、ＣＦ2＝ＣＦＣｌ、ＣＦ2＝ＣＦ（ＣＦ3）、ＣＦ2＝Ｃ（ＣＦ3）2、ＣＦ2＝ＣＣｌ2、ＣＦ2＝ＣＨＦ、ＣＨ2＝ＣＨＦ、ＣＨ2＝Ｃ（ＣＦ3）2、
ＣＦ2＝ＣＦＯ（ＣＦ2）nＦ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＦ2＝ＣＦＯ［ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）］nＯＣ3Ｆ7（ｎは０〜８の整数）、
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2Ｏ［ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2］nＯＣＨＦＣＦ3（ｎは０〜８の整数）
などが例示できる。
【０１２２】
さらに、構造単位Ｎは含フッ素脂肪族環状の構造単位であってもよく、たとえば式（８）：
【０１２３】
【化４０】
2007204682.tif 000044
（式中、Ｘ19、Ｘ20、Ｘ23、Ｘ24、Ｘ25およびＸ26は同じかまたは異なり、ＨまたはＦ；Ｘ21およびＸ22は同じかまたは異なり、Ｈ、Ｆ、ＣｌまたはＣＦ3；Ｒｆ15は炭素数１〜１０の含フッ素アルキレン基または炭素数２〜１０のエーテル結合を有する含フッ素アルキレン基；ｎ２は０〜３の整数；ｎ１、ｎ３、ｎ４およびｎ５は同じかまたは異なり、０または１の整数）を与える含フッ素脂肪族環状構造単位が好ましい。
【０１２４】
含フッ素脂肪族環状の構造単位としては、たとえば
【０１２５】
【化４１】
2007204682.tif 000045
（式中、Ｒｆ15、Ｘ21およびＸ22は前記と同じ）で示される構造単位があげられる。
【０１２６】
具体的には、
【０１２７】
【化４２】
2007204682.tif 000046
（式中、Ｘ19、Ｘ20、Ｘ23およびＸ24は前記と同じ）などがあげられる。
【０１２８】
また、構造単位Ｂを与える特定の官能基をもつ非フッ素系単量体としては、特定の官能基含有部分をＲｆ′で示すと、たとえば
ＣＨ2＝ＣＸＲｆ′（ＸはＨ、ＣＨ3、Ｃｌ）、
ＣＨ2＝ＣＨＯ−ＣＨ2（ＣＨ2）n−Ｒｆ′（ｎは炭素数０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＯＣＯ−ＣＨ2（ＣＨ2）n−Ｒｆ′（ｎは炭素数０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＸ−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−Ｒｆ′（ＸはＨ、ＣＨ3、Ｃｌ；ｎは炭素数０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＸＣＯＯ−（ＣＨ2）n−Ｒｆ′（ＸはＨ、ＣＨ3、Ｃｌ；ｎは炭素数１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＸＣＯＮＲ−（ＣＨ2）n−Ｒｆ′（ＸはＨ、ＣＨ3、Ｃｌ；Ｒは水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基；ｎは炭素数１〜１０の整数）
などが例示できる。
【０１２９】
より具体的には
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＮ、
ＣＨ2＝ＣＨＩ、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＮ、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）Ｉ、
ＣＨ2＝ＣＣｌＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基）、
ＣＨ2＝ＣＣｌＣＮ、
ＣＨ2＝ＣＣｌＩ、
ＣＨ2＝ＣＨＯ−ＣＨ2（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＯ−ＣＨ2（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＯ−ＣＨ2（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＯ−ＣＨ2（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＯＣＯ−ＣＨ2（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＯＣＯ−ＣＨ2（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＯＣＯ−ＣＨ2（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＯＣＯ−ＣＨ2（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌ−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌ−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌ−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌ−Ｃ6Ｈ4−（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは０〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯ−（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯ−（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯ−（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯ−（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯ−（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯ−（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯ−（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＯ−（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌＣＯＯ−（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌＣＯＯ−（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌＣＯＯ−（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌＣＯＯ−（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＮ（ＣＨ3）−（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＮ（ＣＨ3）−（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＮ（ＣＨ3）−（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＨＣＯＮ（ＣＨ3）−（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）ＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−ＣＯＯＲ1（Ｒ1は水素原子または炭素数１〜２０の炭化水素基、ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−ＣＮ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−Ｉ（ｎは１〜１０の整数）、
ＣＨ2＝ＣＣｌＣＯＮＨ−（ＣＨ2）n−ＯＨ（ｎは１〜１０の整数）
などがあげられる。
【０１３０】
任意の共単量体である特定の官能基をもたない非フッ素系単量体としては、たとえばエチレン、プロピレン、ブテン、イソプレン、ブタジエン、塩化ビニル、塩化ビニリデンなどの非フッ素系オレフィン；ＣＨ2＝ＣＨＯＲ、ＣＨ2＝ＣＨＯＣＯＲ（Ｒ：炭素数１〜２０の炭化水素基、−（ＣＨ2）1-10ＣＨ2ＯＨなどのビニルエーテル系またはビニルエステル系単量体；ＣＨ2＝ＣＸ−Ｃ6Ｈ4−Ｒ（Ｘ：Ｈ、ＣＨ3、Ｒ：Ｈ、ＯＨ、ＯＲ、ＣＯ2Ｈ、ＣＯ2Ｒ1（Ｒ1：炭素数１〜２０の炭化水素基）、ＣＯ2Ｍ、ＮＯ2などのスチレン系単量体などが例示できる。
【０１３１】
本発明で用いる官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）において、構造単位Ｎと構造単位Ｂとの組み合わせや組成比率は、上記の例示から目的とする用途、物性（弾性率、伸び、降伏強さ、ガラス転移点、硬度、耐熱性、誘電率、結晶度など）によって種々選択できる。
【０１３２】
本発明で用いる官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）においては、構造単位Ｂは必須成分であり、イオン性液体を溶解させ易くする特徴を有している。したがって分子量が比較的小さい場合は、構造単位Ｂが少なくてもイオン性液体を溶解させやすくすることができる。
【０１３３】
またさらに、官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）の構造単位Ｎと構造単位Ｂとを含む共重合体の場合、構造単位Ｎを前述の例示から選択することによって、さらに耐酸化性、耐熱性、高応答性、機械的強度の高いポリマーとすることができる。
【０１３４】
官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）が構造単位Ｎと構造単位Ｂとの共重合体の場合、構造単位Ｂの含有比率は、官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）を構成する全構造単位に対し０．１モル％以上であればよい。
【０１３５】
構造単位Ｂのイオン性液体との相溶性、および官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）と混ぜるイオン性液体の濃度にもよるが、官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）の分離を起こさないようにするには１．０モル％以上とすることが好ましい。
【０１３６】
本発明で用いる官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）は、構成単位Ｂの比率を増やしても利用可能である。構造単位Ｎの機械的強度にもよるが、構造単位Ｂの増加は機械的物性が不充分となりやすいことから、６０モル％以下とすることが好ましい。
【０１３７】
本発明で用いる官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉｂ）の分子量は、たとえば数平均分子量において５００〜１００００００の範囲から選択できるが、好ましくは１０００〜５０００００、特に２０００から２０００００の範囲から選ばれるものが好ましい。
【０１３８】
分子量が低すぎると、機械的物性が不充分となりやすく、特に硬化物や硬化膜が脆く強度不足となりやすい。分子量が高すぎると、溶剤溶解性が損なわれ、特に薄膜形成時に成膜性やレベリング性が悪くなりやすい。コーティング用途としては、最も好ましくは数平均分子量が５０００から１０００００の範囲から選ばれるものである。
【０１３９】
本発明で使用可能な官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）の第３は、含フッ素単量体単独または含フッ素単量体を含む単量体混合物をヨウ素移動重合法により重合させて得られる末端にヨウ素原子を有する含フッ素ポリマー（Ｉｃ）である。
【０１４０】
ヨウ素移動重合法およびそれで製造される含フッ素ポリマー（Ｉｃ）は公知であり、たとえば特開２００５−１０４９９２号公報、特開２００４−５９５９７号公報などに記載されており、本発明でも使用できる。
【０１４１】
ヨウ素原子は片末端だけでもよいが、両末端に存在する方が、イオン性液体との相溶性を向上させる点で好ましい。
【０１４２】
ヨウ素末端含フッ素ポリマー（Ｉｃ）としては、なかでも、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−クロロトリフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロアセトン共重合体、フッ化ビニリデン−ペンタフルオロプロピレン共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体、プロピレン−テトラフルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロ−２，２−ジメチル−１，３−ジオキソール共重合体、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などが好ましい。
【０１４３】
本発明で用いるヨウ素末端含フッ素ポリマー（Ｉｃ）の分子量は、たとえば数平均分子量において５００〜１００００の範囲から選択できるが、好ましくは１０００〜５０００の範囲から選ばれるものが好ましい。
【０１４４】
分子量が低すぎると、機械的物性が不充分となりやすく、特に硬化物や硬化膜が脆く強度不足となりやすい。分子量が高すぎると、溶剤溶解性が損なわれ、特に薄膜形成時に成膜性やレベリング性がわるくなりやすい。
【０１４５】
本発明で使用可能な官能基含有含フッ素ポリマー（Ｉ）の第４は、含フッ素構造単位を含む含フッ素ポリマーの末端を前記特定の官能基に変性した末端変性含フッ素ポリマー（Ｉｄ）である。
【０１４６】
かかる末端変性法およびそれで製造される末端変性含フッ素ポリマー（Ｉｄ）は公知であり、たとえば特開２００１−８１１３１号公報、特開平１１−３２２８４２号公報、特開２００３−１７６３９４号公報などに記載されており、本発明でも使用できる。
【０１４７】
変性は片末端だけでもよいが、両末端に施す方がイオン性液体との相溶性を向上させる点で好ましい。変性後の官能基としては、変性の容易さから、−ＣＯＯＨ、−ＯＨ基などが好ましい。
【０１４８】
末端変性含フッ素ポリマー（Ｉｄ）としては、なかでも、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−クロロトリフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロアセトン共重合体、フッ化ビニリデン−ペンタフルオロプロピレン共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体、プロピレン−テトラフルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロ−２，２−ジメチル−１，３−ジオキソール共重合体、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などが好ましい。
【０１４９】
本発明で用いる末端変性含フッ素ポリマー（Ｉｄ）の分子量は、たとえば数平均分子量において５００〜１００００の範囲から選択できるが、好ましくは１０００〜５０００の範囲から選ばれるものが好ましい。
【０１５０】
分子量が低すぎると、機械的物性が不充分となりやすく、特に硬化物や硬化膜が脆く強度不足となりやすい。分子量が高すぎると、溶剤溶解性が損なわれ、特に薄膜形成時に成膜性やレベリング性がわるくなりやすい。
【０１５１】
本発明に用いられるイオン性液体（ionic liquid）（II）は、常温溶融塩または単に溶融塩などとも称されるものであり、常温（室温）を含む幅広い温度域で溶融状態を呈する塩である。
【０１５２】
本発明においては、従来より知られた各種のイオン性液体を使用することができるが、常温（室温）または可及的に常温に近い温度において液体状態を呈し安定なものが好ましい。本発明においては、常温溶融塩であって、導電率が０．１Ｓｍ-1以上のものが好ましい。
【０１５３】
本発明において用いられる好適なイオン性液体としては、下記の一般式（Ｉ）〜（IV）で表わされるカチオン（好ましくは、イミダゾリウムイオン）と、アニオン（Ｘ-）よりなるものを例示することができる。
【０１５４】
【化４３】
2007204682.tif 000047
式（III）:
［ＮＲxＨ4-x］+
式（IV）:
［ＰＲxＨ4-x］+
【０１５５】
これらの式（Ｉ）〜（IV）において、Ｒはハロゲン原子を含んでいてもよい炭素数１〜１２のアルキル基またはエーテル結合を含み炭素と酸素の合計数が３〜１２のハロゲン原子を含んでいてもよいアルキル基であり、式（Ｉ）においてＲ1は炭素数１〜４のハロゲン原子を含んでいてもよいアルキル基または水素原子である。式（Ｉ）において、ＲとＲ1は同一ではないことが好ましい。式（III）および（IV）において、ｘはそれぞれ１〜４の整数である。
【０１５６】
さらに式（V）:
【０１５７】
【化４４】
2007204682.tif 000048
（式中、Ｒaは同じかまたは異なりいずれもハロゲン原子、官能基または有機基であって、かつ存在していても存在していなくてもよく、存在する場合は、ヘテロ芳香環の水素原子の全部または一部を置換している；Ｒｆc1は式（ｃ）：
【０１５８】
【化４５】
2007204682.tif 000049
（式中、Ｒc1、Ｒc2およびＲc3は同じかまたは異なり、いずれもＨ、ハロゲン原子、官能基、またはハロゲン原子で置換されていてもよくエーテル結合を含んでいてもよく重合性基を有していてもよい１価の有機基）で示されるフルオロアルキル基、または式（Ｖ）からＲｆc1基を除いた残基を１個以上有していてもよい１価の有機基）；ＲｄはＨまたは１価の有機基；Ｘは対アニオン）で示される含フッ素イミダゾール化合物塩も使用できる。
【０１５９】
この含フッ素イミダゾール化合物塩のうち、Ｒｆc1が−ＣＦＨＣＦ3、−ＣＦ2ＣＦＺ3Ｈ、−ＣＦ＝ＣＦＺ3（Ｚ3はＦまたはＣｌ）である化合物以外は新規化合物である。
【０１６０】
式（V）の含フッ素イミダゾール化合物塩は、式（Ａ）：
【０１６１】
【化４６】
2007204682.tif 000050
（式中、Ｒaは同じかまたは異なりいずれもハロゲン原子、官能基または有機基であって、かつ存在していても存在していなくてもよく、存在する場合は、ヘテロ芳香環の水素原子の全部または一部を置換している）で示されるイミダゾール化合物と、式（Ｂ）：
【０１６２】
【化４７】
2007204682.tif 000051
（式中、Ｒb1、Ｒb2およびＲb3は同じかまたは異なり、いずれもＨ、ハロゲン原子、官能基、またはハロゲン原子で置換されていてもよくエーテル結合を含んでいてもよく重合性基を有していてもよい１価の有機基）で示されるフルオロアルケン（Ｂ）とを反応させ、式（Ｃ）：
【０１６３】
【化４８】
2007204682.tif 000052
【０１６４】
（式中、Ｒaは同じかまたは異なりいずれもハロゲン原子、官能基または有機基であって、かつ存在していても存在していなくてもよく、存在する場合は、ヘテロ芳香環の水素原子の全部または一部を置換している；ＲｆはＲｆ1（Ｒｆ1は式（ｃ）と同じかまたは式（Ｃ）からＲｆ基を除いた残基を１個以上有していてもよい１価の有機基））で示される含フッ素イミダゾール化合物を合成し、ついで、塩形成化合物を作用させ、要すればさらにアニオン交換することにより製造することができる。
【０１６５】
イミダゾール化合物カチオンの好ましい具体例としては、たとえば１−エチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−プロピルイミダゾリウムカチオン、１−イソプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−イソブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−ｓｅｃブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メトキシメチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メトキシエチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−プロピルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−イソプロピルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−ブチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−イソブチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−ｓｅｃブチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−メトキシメチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−メトキシエチルイミダゾリウムカチオン、１−メチルイミダゾリウムカチオン、１−エチルイミダゾリウムカチオン、１−プロピルイミダゾリウムカチオン、１−イソプロピルイミダゾリウムカチオン、１−ブチルイミダゾリウムカチオン、１−イソブチルイミダゾリウムカチオン、１−ｓｅｃブチルイミダゾリウムカチオン、１−メトキシメチルイミダゾリウムカチオン、１−メトキシエチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−エチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−プロピルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−イソプロピルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−ブチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−イソブチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−ｓｅｃブチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−メトキシメチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−メトキシエチルイミダゾリウムカチオンなどの非フッ素系イミダゾール化合物カチオン；１−メチル−３−トリフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、１−ジフルオロメチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−ペンタフルオロエチルイミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−（２，２，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（１，１−ジフルオロエチル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−（１，１，２，２−テトラフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−ヘプタフルオロプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−ヘプタフルオロイソプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−（１，１，２，３，３，４，４，４−オクタフルオロブチル）イミダゾリウムカチオン、１−メチル−３−（２−トリフルオロメトキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−ヘプタフルオロプロポキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−トリフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、１−ジフルオロメチル−３−エチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−ペンタフルオロエチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（２，２，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（１，１−ジフルオロエチル）−３−エチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（１，１，２，２−テトラフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチル）−３−エチルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−ヘプタフルオロプロピルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−ヘプタフルオロイソプロピルイミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）イミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（１，１，２，３，３，４，４，４−オクタフルオロブチル）イミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（２−トリフルオロメトキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−エチル−３−（２−ヘプタフルオロプロポキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−トリフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、１−ジフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、１−ペンタフルオロエチルイミダゾリウムカチオン、１−（２，２，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（１，１−ジフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−１，１，２，２−テトラフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−ヘプタフルオロプロピルイミダゾリウムカチオン、１−ヘプタフルオロイソプロピルイミダゾリウムカチオン、１−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）イミダゾリウムカチオン、１−（１，１，２，３，３，４，４，４−オクタフルオロブチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−トリフルオロメトキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−ヘプタフルオロプロポキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−エチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−プロピルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−イソプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−ブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−イソブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−ｓｅｃブチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メトキシメチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メトキシエチル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−トリフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−ペンタフルオロエチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−（２，２，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−（１，１−ジフルオロエチル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−（１，１，２，２−テトラフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１−（２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチル）−２−フルオロ−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−ヘプタフルオロプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−ヘプタフルオロイソプロピル−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−（１，１，２，３，３，４，４，４−オクタフルオロブチル）イミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−メチル−３−（２−トリフルオロメトキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、２−フルオロ−１−（２−ヘプタフルオロプロポキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）−３−メチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−トリフルオロメチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−ペンタフルオロエチルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（２，２，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（１，１−ジフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（１，１，２，２−テトラフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−ヘプタフルオロプロピルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−ヘプタフルオロイソプロピルイミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（１，１，２，３，３，４，４，４−オクタフルオロブチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（２−トリフルオロメトキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオン、１，２−ジメチル−３−（２−ヘプタフルオロプロポキシ−１，１，２−トリフルオロエチル）イミダゾリウムカチオンなどのフッ素系イミダゾール化合物カチオンが例示できるが、これらに限定されるものではない。
【０１６６】
アニオン（Ｘ-）としては、テトラフルオロホウ酸アニオン、ヘキサフルオロリン酸アニオン、ビス（トリフルオロメタンスルホニル）イミド酸アニオン、過塩素酸アニオン、トリス（トリフルオロメタンスルホニル）炭素酸アニオン、トリフルオロメタンスルホン酸アニオン、ジシアンアミドアニオン、トリフルオロ酢酸アニオン、有機カルボン酸アニオンおよびハロゲンイオンより選ばれる少なくとも１種が好ましい。
【０１６７】
本発明のイオン伝導層は、これらの官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体とを含む。イオン性液体（II）と官能基含有含フッ素ポリマー（I）の配合比（質量比）は、電解質イオンの大きさ、電極材料、ポリマーにより変化するが、イオン性液体（II）：ポリマー（I）が１：８〜４：１であるのが好ましく、（II）：（I）が１：４〜２：１であるのが、電圧保持特性、放電容量が最適な値となるため特に好ましい。
【０１６８】
本発明のイオン伝導層には、さらに他のポリマーや電解質などを添加してもよい。
【０１６９】
添加可能な他のポリマーとしては、たとえばポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイソブテン、ポリメチルビニルケトン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリピロール、ポリインドール、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリアセチレン、ポリイソチアナフテン、ポリフラン、ポリセレノフェン、ポリテルロフェン、ポリチオフェンビニレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリカルボン酸ビニル、ポリカーボネート樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、セルロース樹脂、ポリシロキサン、ポリビニルピリジン、デンプン、ポリペプチド、ポリアルキルメタクリレート、ポリアルキルアクリレート、ポリヒドロキシアルキルメタクリレート、ポリヒドロキシアルキルアクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリスチレン、パーフルオロポリエーテル、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−クロロトリフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロアセトン共重合体、フッ化ビニリデン−ペンタフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−（メタ）アクリル酸共重合体、フッ化ビニリデン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体、プロピレン−テトラフルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロメチルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロプロピルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロ−２，２−ジメチル−１，３−ジオキソール共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロスルホン酸モノマー共重合体、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−パーフルオロメチルビニルエーテル共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−パーフルオロプロピルビニルエーテル共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−ペンタフルオロプロピレン共重合体、スチレン−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート共重合体、スチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体などの１種または２種以上が例示できる。その添加量は特に限定されないが、官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体の合計１００質量％に対して８０質量％以下、特に５０質量％以下が好ましい。
【０１７０】
電解質としては、臭素、ヨウ素、塩素などのハロゲン類；ＢＸ3、ＰＸ5、ＡｓＸ5、ＳｂＸ5、ＳＯ3などのルイス酸（Ｘはハロゲン原子）；硫酸、硝酸、リン酸、過塩素酸、テトラフルオロホウ酸などのプロトン酸；ＦｅＣｌ3、ＭｏＣｌ5、ＳｎＣｌ4、ＭｏＦ5などの遷移金属ハライド；Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｃｓなどのアルカリ金属塩；テトラエチルアンモニウムやテトラブチルアンモニウムなどのアルキルアンモニウム塩などがあげられ、単体の形態または水系電解液あるいは非水系電解液などの形態で添加することができる。
【０１７１】
非水系電解液の溶媒には、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、 γ−ブチロラクトン、アセトニトリル、ジメチルホルムアミドや、スルホラン誘導体などがあげられる。
【０１７２】
本発明はまた、官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体（II）とを含むアクチュエータ用のイオン伝導層形成用組成物にも関する。成分(I)と（II）の割合は上記のとおりである。
【０１７３】
この組成物を調製する際には、４−メチルペンタン−２−オン、２−ペンタノン、２−ブタノン、シクロヘキサノン、アセトン、酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルアルコール、ｓｅｃ−ブチルアルコール、ｔ−ブチルアルコール、シクロヘキサノール、ジエチルエーテル、t−ブチルメチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジメトキシメタン、ジメトキシエタン、ジグライム、トリグライム、テトラグライム、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、ヘキサメチルリン酸トリアミド、ベンゼン、トルエン、キシレン、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン、トリクロロエタン、ジクロロペンタフルオロプロパン、ジクロロフルオロエタン、トリクロロトリフルオロエタン、テトラクロロヘキサフルオロブタン、ジクロロオクタフルオロブタン、ペンタクロロペンタフルオロヘキサン、ジブロモテトラフルオロエタン、パーフルオロヘキサン、パーフルオロ（ブチルテトラヒドロフラン）、パーフルオロトリブチルアミンなどの溶媒を用いてもよい。
【０１７４】
本発明のアクチュエータ素子用電極層は、前記官能基含有含フッ素ポリマー（I）と前記イオン性液体（II）と導電性ナノフィラー（III）を含む。
【０１７５】
導電性ナノフィラー（III）としては、導電性ナノカーボン材および導電性金属ナノ粒子があげられ、これらのうちの１種または２種以上を選択して用いることができる。ここにいう「ナノフィラー」とは、少なくとも１つの部分がナノレベル（０．１ｎｍから１０００ｎｍ）の構造（粒子状、シート状、層状、針状、棒状、繊維状、筒状）を有するフィラーを意味する。以下、各導電性ナノフィラーについて詳述する。
【０１７６】
（Ａ）導電性ナノカーボン材
ナノレベルの構造を有する炭素原子から構成される化合物のうち導電性をもつ化合物であり、具体的には以下のものが例示できる。
【０１７７】
（Ａ−１）フラーレン
球状に結合した構造をもつ炭素数が６０以上の炭素分子である。
【０１７８】
（Ａ−２）カーボンナノボール（カーボンブラック）
炭化水素化合物の不完全燃焼物が熱分解することにより生成される黒色か帯灰黒色の粉末である。
【０１７９】
（Ａ−３）カーボンナノファイバー
鉄やコバルトなどの金属触媒を用いて気相の炭素源を適切な条件下で熱分解することにより合成される。繊維状炭素の組織としては、炭素網面の繊維軸に対する配向が平行（リボン型）、垂直（プレートレット型）、傾斜（へリングボーン型）の３種類が主に知られている。
【０１８０】
（Ａ−４）カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）
カーボンナノファイバーの一種である。炭素によって形成される六員環ネットワーク（グラフェンシート）が単層あるいは多層の同軸管状になった“フラーレン”フラーレンの一種である。単層のものをシングルウォールナノチューブ（ＳＷＮＴ）、複層のものをマルチウォールナノチューブ（ＭＷＮＴ）という。特に二層のものはダブルウォールナノチューブ（ＤＷＮＴ）とも呼ばれる。
【０１８１】
（Ａ−５）カーボンナノホーン（ＣＮＨ）
カーボンナノファイバーの一種である。炭素によって形成される六員環ネットワーク（グラフェンシート）が通常多層の角（ホーン）状に繋がった炭素構造物である。
【０１８２】
なお、これらのナノカーボン材としては、化学工業５６巻、Ｐ５０−６２（２００５）に記載されるものや、Ｌａｎｇｍｕｉｒ、１１巻、Ｐ３６８２−３８６６（１９９５）に記載のものなどもあげられる。そして、これらナノカーボン材の中では、カーボンナノファイバーが好ましく、さらにカーボンナノチューブが特に好ましい。
【０１８３】
（Ｂ）導電性金属ナノ粒子
粒径が１ｎｍ〜１００ｎｍの金属粒子である。金属ナノ粒子の構成金属は、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケル、ロジウム、アルミニウム、スズ、亜鉛、鉛、チタンおよび、タンタルの金属からなるナノ粒子または、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケル、ロジウム、アルミニウム、スズ、亜鉛、鉛、チタン、タンタル、および炭素のうちから選択される二種以上の金属からなる合金からなるナノ粒子を利用することでき、目的・用途に合わせて適宜選定する。
【０１８４】
これらの導電性ナノフィラーは使用する環境により適宜選択すればよいが、表面積が大きいことと、量子効果などにより高い伝導性を有する点で、導電性ナノカーボン材、さらにはカーボンナノチューブが好ましい。実用に供されるカーボンナノチューブの好適な例として、一酸化炭素を原料として比較的量産が可能なＨｉＰｃｏ（カーボン・ナノテクノロジー・インコーポレーテッド社製）があげられるが、これに限定されるものではない。
【０１８５】
本発明のイオン伝導層は、これらの官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体とを含む。イオン性液体（II）と官能基含有含フッ素ポリマー（I）の配合比（質量比）は、電解質イオンの大きさ、電極材料、ポリマーにより変化するが、イオン性液体（II）：ポリマー（I）が１：８〜４：１であるのが好ましく、（II）：（I）が１：４〜２：１であるのが、電圧保持特性、放電容量が最適な値となるため特に好ましい。
【０１８６】
本発明の電極層は、これらの官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体と導電性ナノフィラー（III）を含む。イオン性液体（II）と官能基含有含フッ素ポリマー（I）の配合比（質量比）は、電解質イオンの大きさ、電極材料、ポリマーにより変化するが、イオン性液体（II）：ポリマー（I）が１：８〜４：１であるのが好ましく、（II）：（I）が１：４〜２：１であるのが、電圧保持特性、放電容量が最適な値となるため特に好ましい。導電性ナノフィラー（III）の含有量は、蓄電容量の点から、電極層全体の１〜６０質量％であるのが好ましく、５〜４０質量％であるのがより好ましい。
【０１８７】
本発明の電極層には、さらに他のポリマー、電解質などを添加してもよい。
【０１８８】
添加可能な他のポリマーとしては、たとえばポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイソブテン、ポリメチルビニルケトン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリピロール、ポリインドール、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリアセチレン、ポリイソチアナフテン、ポリフラン、ポリセレノフェン、ポリテルロフェン、ポリチオフェンビニレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリカルボン酸ビニル、ポリカーボネート樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、セルロース樹脂、ポリシロキサン、ポリビニルピリジン、デンプン、ポリペプチド、ポリアルキルメタクリレート、ポリアルキルアクリレート、ポリヒドロキシアルキルメタクリレート、ポリヒドロキシアルキルアクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリスチレン、パーフルオロポリエーテル、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−クロロトリフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロアセトン共重合体、フッ化ビニリデン−ペンタフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−（メタ）アクリル酸共重合体、フッ化ビニリデン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体、プロピレン−テトラフルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロメチルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロプロピルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロ−２，２−ジメチル−１，３−ジオキソール共重合体、テトラフルオロエチレン−パーフルオロスルホン酸モノマー共重合体、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−パーフルオロメチルビニルエーテル共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−パーフルオロプロピルビニルエーテル共重合体、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン−ペンタフルオロプロピレン共重合体、スチレン−ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート共重合体、スチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体などの１種または２種以上が例示できる。その添加量は官能基含有含フッ素ポリマー（I）と前記イオン性液体（II）と導電性ナノフィラー（III）の合計１００質量％に対して８０質量％以下、特に５０質量％以下が好ましい。
【０１８９】
電解質としては、臭素、ヨウ素、塩素などのハロゲン類；ＢＸ3、ＰＸ5、ＡｓＸ5、ＳｂＸ5、ＳＯ3などのルイス酸（Ｘはハロゲン原子）；硫酸、硝酸、リン酸、過塩素酸、テトラフルオロホウ酸などのプロトン酸；ＦｅＣｌ3、ＭｏＣｌ5、ＳｎＣｌ4、ＭｏＦ5などの遷移金属ハライド；Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｃｓなどのアルカリ金属塩；テトラエチルアンモニウムやテトラブチルアンモニウムなどのアルキルアンモニウム塩などがあげられ、単体の形態または水系電解液あるいは非水系電解液などの形態で添加することができる。
【０１９０】
非水系電解液の溶媒には、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、 γ−ブチロラクトン、アセトニトリル、ジメチルホルムアミドや、スルホラン誘導体などがあげられる。
【０１９１】
本発明はまた、官能基含有含フッ素ポリマー（I）とイオン性液体（II）と導電性ナノフィラー（III）を含むアクチュエータ用の電極層形成用組成物にも関する。成分(I)と（II）と成分（III）の割合は上記のとおりである。
【０１９２】
この組成物を調製する際には、４−メチルペンタン−２−オン、２−ペンタノン、２−ブタノン、シクロヘキサノン、アセトン、酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルアルコール、ｓｅｃ−ブチルアルコール、ｔ−ブチルアルコール、シクロヘキサノール、ジエチルエーテル、t−ブチルメチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジメトキシメタン、ジメトキシエタン、ジグライム、トリグライム、テトラグライム、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、ヘキサメチルリン酸トリアミド、ベンゼン、トルエン、キシレン、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン、トリクロロエタン、ジクロロペンタフルオロプロパン、ジクロロフルオロエタン、トリクロロトリフルオロエタン、テトラクロロヘキサフルオロブタン、ジクロロオクタフルオロブタン、ペンタクロロペンタフルオロヘキサン、ジブロモテトラフルオロエタン、パーフルオロヘキサン、パーフルオロ（ブチルテトラヒドロフラン）、パーフルオロトリブチルアミンなどの溶媒を用いてもよい。
【０１９３】
これらのイオン伝導層および電極層を用いて、本発明のアクチュエータ素子は形成される。
【０１９４】
本発明のアクチュエータ素子としては、前記本発明のイオン伝導層の表面に、前記本発明の電極層が相互に絶縁状態で少なくとも２個形成され、該電極層に電位差を与えることにより湾曲および変形を生じさせ得る３層構造のアクチュエータ素子と、前記本発明のイオン伝導層の表面に、前記本発明の電極層が相互に絶縁状態で少なくとも２個形成され、該電極層の表面に導電層が形成され、該導電層に電位差を与えることにより湾曲および変形を生じさせ得る５層構造のアクチュエータ素子が代表例としてあげられる。
【０１９５】
本発明のアクチュエータ素子は、各層の材料以外は、特許文献１に記載されているアクチュエータ素子と同様であるので、以下、特許文献１の図面および記載に従って説明する。
【０１９６】
３層構造のアクチュエータ素子の一実施形態の構成（概略断面図）は、図１に示すように、イオン伝導層１を電極層２ａ、２ｂで挟んだ３層構造である。電極層２ａ、２ｂは、相互に絶縁状態に形成されている。
【０１９７】
イオン伝導層１の表面に、電極層２ａ、２ｂを形成して、アクチュエータ素子を得るには、たとえば各層の形成用の組成物を順次、展延法（キャスト法）により製膜し、溶媒を蒸発、乾燥させればよい。
【０１９８】
イオン伝導層１の厚さ、および電極層２の厚さは、いずれも１０〜５００μｍの範囲、さらには５０〜２００μｍの範囲で選択することが好ましい。また、各層の形成用組成物の製膜にあたっては、スピンコート法、印刷法、スプレー法などが採用できる。さらに、押出成形法、射出成形法なども用いることができる。
【０１９９】
５層構造のアクチュエータ素子の一実施形態の構成（概略断面図）は、図２に示すように、電極の表面伝導性を増すために、イオン伝導層１、ついで電極層２ａ、２ｂ、さらに電極層の外側に導電層３ａ、３ｂが形成された５層構造である。
【０２００】
導電層３ａ、３ｂは、導電性材料から形成されていればよく、導電性材料としては、たとえばフラーレン、カーボンブラック、カーボンファイバー、カーボンナノチューブ、カーボンナノホーン、黒鉛、活性炭、導電性複酸化物、導電性金属酸化物、導電性金属リン酸塩、導電性金属カルコゲン化物、導電性金属（金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケル、ロジウム、アルミニウム、スズ、亜鉛、鉛、チタン、タンタルなどからなる群から選ばれた１種または２種以上の金属、またはこれら金属の少なくとも２種からなる合金）などが例示できる。
【０２０１】
また、モンモリロナイト、ベントナイト、カオリナイト、イモゴライト、マイカ、ヘクトライト、フルオロヘクトライト、サポナイト、ベイデライト、ノントロナイト、ステベンサイト、バーミキュライト、ハロイサイト、ボルコンスコイト、スコナイト、マガダイト、ケニアライトなどの粘土鉱物や複水酸化物に坦持させて使用しても良く、また、ポリピロール、ポリインドール、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリアセチレンなどの導電性樹脂に混合させて使用してもよい。
【０２０２】
導電層３ａ、３ｂの形成にあたっては、プレス法、展延法（キャスト法）などによるカーボンナノチューブペーパーの接合；スパッタ法、蒸着法などによる貴金属層の接合；スプレー法、印刷法などによるカーボンペーストの塗布などの方法がある。これらのうち、スパッタ法による貴金属層の接合がより好ましい。導電層３の厚さは、１０〜５０ｎｍの範囲で選定することが好ましい。
【０２０３】
このようにして得られたアクチュエータ素子は、電極間に０．５〜３Ｖの直流電圧を加えると、数秒以内に素子長の０．５〜１倍程度の変位を得ることができる。また、このアクチュエータ素子は、空気中あるいは真空中で、柔軟に作動することができる。
【０２０４】
このようなアクチュエータ素子の作動原理は、図３に示すように、イオン伝導層１の表面に相互に絶縁状態で形成された電極層２ａ、２ｂに電位差がかかると、電極層２ａ、２ｂ内の導電性ナノフィラー相とイオン性液体相の界面に電気二重層が形成され、それによる界面応力によって、電極層２ａ、２ｂが伸縮するためである。図３に示すように、プラス極側に曲がるのは、量子化学的効果により、導電性ナノフィラーがマイナス極側でより大きくのびる効果があることと、現在よく用いられるイオン性液体では、カチオン４のイオン半径が大きく、その立体効果によりマイナス極側がより大きくのびるからであると考えられる。図３において、４はイオン性液体のカチオンを示し、５はイオン性液体のアニオンを示す。
【０２０５】
上記の方法で得ることのできるアクチュエータ素子によれば、導電性ナノフィラーとイオン性液体との界面有効面積が極めて大きくなることから、界面電気二重層におけるインピーダンスが小さくなり、導電性ナノフィラーの電気伸縮効果が有効に利用される効果に寄与する。また、機械的には、界面の接合の密着性が良好となり、素子の耐久性が大きくなる。その結果、空気中、真空中で、応答性がよく変位量の大きい、且つ耐久性のある素子を得ることができる。しかも、構造が簡単で、小型化が容易であり、小電力で作動することができる。
【０２０６】
本発明のアクチュエータ素子は、空気中、真空中で耐久性良く作動し、しかも低電圧で柔軟に作動することから、安全性が必要な人と接するロボットのアクチュエータ（たとえば、ホームロボット、ペットロボット、アミューズメントロボットなどのパーソナルロボットのアクチュエータ）、また、宇宙環境用、真空チェンバー内用、レスキュー用などの特殊環境下で働くロボット、また、手術デバイスやマッスルスーツなどの医療、福祉用ロボット、さらにはマイクロマシーンなどのためのアクチュエータとして最適である。
【０２０７】
特に、純度の高い製品を得るために、真空環境下、超クリーンな環境下での材料製造において、試料の運搬や位置決め等のためのアクチュエータの要求が高まっており、全く蒸発しないイオン性液体を用いた本発明のアクチュエータ素子は、汚染の心配のないアクチュエータとして、真空環境下でのプロセス用アクチュエータとして有効に用いることができる。
【０２０８】
なお、イオン伝導層表面への電極層の形成は少なくとも２層必要であるが、図４に示すように、平面状のイオン伝導層１の表面に多数の電極層２を配置することにより、複雑な動きをさせることも可能である。このような素子により、蠕動運動による運搬や、マイクロマニピュレータなどを実現可能である。また、本発明のアクチュエータ素子の形状は、平面状とは限らず、任意の形状の素子が容易に製造可能である。例えば、図５に示すものは、径が１ｍｍ程度のイオン伝導層１のロッドの周囲に４本の電極層２を形成したものである。この素子により、細管内に挿入できるようなアクチュエータが実現可能である。
【実施例】
【０２０９】
以下、本発明を合成例、実施例および比較例によって、より具体的かつ詳細に説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。
【０２１０】
実施例に用いたイオン性液体は、ブチルメチルイミダゾリウムテトラフルオロボラート（以下、「ＢＭＩＢＦ4」ともいう）を用いた。
【０２１１】
実施例に用いたカーボンナノチューブは、単層カーボンナノチューブ（カーボン・ナノテクノロジー・インコーポレーテッド社製「Ｈｉ Ｐｃｏ」）（以下、「ＳＷＮＴ」ともいう）である。
【０２１２】
実施例に用いた溶媒は、４−メチルペンタン−２−オン（以下、「ＭＩＢＫ」ともいう）である。
【０２１３】
実施例に用いたカーボンナノチューブペーパーは、次のようにして得た。すなわち、単層カーボンナノチューブをｐＨ＝１０のＴｒｉｔｏｎＸ−１００水溶液（０．５容量％）中に、超音波洗浄器中で２時間、超音波をかけて分散させた（０．６ｍｇ／ｍｌ）。その分散液５０ｍｌを、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルターを用いて吸引ろ過し、大量の水、メタノールで洗浄した。得られたものを自然乾燥後、フィルターから剥がすと、自立的なカーボンナノチューブのみが絡み合ってできた紙状のカーボンナノチューブペーパーが得られた（厚さは５０μｍ程度）。表面の抵抗は、テスターで測って距離１ｃｍ程度で数オーム以下であった。
【０２１４】
また応答性の評価は、実施例で得られた３層構造フィルムまたは５層構造フィルムを、幅１ｍｍ×長さ１５ｍｍの短冊状に切断し、図６に示すように、端３ｍｍの部分を電極付きホルダーに挟み、空気中で電圧を加え、レーザー変位計を用いて、固定端から１０ｍｍの位置の変位を測定して行った。同時に、電圧と電流を測定した。
【０２１５】
合成例１（ＯＨ基を有する含フッ素アリルエーテル／ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体の合成）
３００ｍＬのステンレス製オートクレーブに、１Ｈ，１Ｈ，９Ｈ，９Ｈ−パーフルオロ−２，５−ジメチル−３，６−ジオキサ−８−ノネン−１−オール：ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2ＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2ＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＨ2ＯＨ（７．７５ｇ，１９．０ｍｍｏｌ）と１，１−ジクロロ−１−フルオロエタン（３００ｇ）、およびビス（ノルマルプロピル）パーオキシジカーボネートの５０重量％メタノール溶液（２．４１ｇ）を入れ、ドライアイス／メタノール溶液で冷却し、系内を窒素ガスで３回置換した。その後、フッ化ビニリデン（ＶＤＦ）（１２．１ｇ；１９０ｍｍｏｌ）とヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）（１２．４ｇ；８４．０ｍｍｏｌ）を導入し、４０℃に昇温して、１２時間攪拌させた。反応の進行とともに、系内のゲージ圧が反応前の０．４８ＭＰａから１２時間後に０．１７ＭＰａまで低下した。
【０２１６】
この時点で未反応モノマーを放出し、析出した固形物を取り出し、アセトンに溶解させ、ついでヘキサンとトルエンの混合溶剤（５０／５０）で再沈殿させることにより共重合体を分離した。この共重合体を恒量になるまで真空乾燥し、共重合体（１６．９ｇ）を得た。
【０２１７】
この共重合体の組成比は、1Ｈ−ＭＮＲ分析および19Ｆ−ＮＭＲ分析により分析したところ、ＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテルが８７／５／８（モル％）であった。また、ＴＨＦを溶媒として用いるＧＰＣ分析により測定した数平均分子量は１２０００、重量平均分子量は１８０００であった。
【０２１８】
合成例２（ＯＨ基を有する含フッ素アリルエーテル／ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体の合成）
３００ｍＬのステンレス製オートクレーブに、１Ｈ，１Ｈ，９Ｈ，９Ｈ−パーフルオロ−２，５−ジメチル−３，６−ジオキサ−８−ノネン−１−オール：ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2ＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2ＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＨ2ＯＨ（７．７５ｇ，１９．０ｍｍｏｌ）と１，１−ジクロロ−１−フルオロエタン（３００ｇ）、およびビス（ノルマルプロピル）パーオキシジカーボネートの５０重量％メタノール溶液（２．４１ｇ）を入れ、ドライアイス／メタノール溶液で冷却し、系内を窒素ガスで３回置換した。その後、ＶＤＦ（１０．６ｇ；１６５ｍｍｏｌ）とＨＦＰ（１２．６ｇ，８４．２ｍｍｏｌ）を導入し、４０℃に昇温して、１２時間攪拌させた。反応の進行とともに、系内のゲージ圧が反応前の０．４３ＭＰａから１２時間後に０．１６ＭＰａまで低下した。
【０２１９】
この時点で未反応モノマーを放出し、析出した固形物を取り出し、アセトンに溶解させ、ついでヘキサンとトルエンの混合溶剤（５０／５０）で再沈殿させることにより共重合体を分離した。この共重合体を恒量になるまで真空乾燥し、共重合体（１６．９ｇ）を得た。
【０２２０】
この共重合体の組成比は、1Ｈ−ＭＮＲ分析および19Ｆ−ＮＭＲ分析により分析したところ、ＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテルが８２／１１／７（モル％）であった。また、ＴＨＦを溶媒として用いるＧＰＣ分析により測定した数平均分子量は１２０００、重量平均分子量は１８０００であった。
【０２２１】
合成例３（ＣＯ2Ｈ基を有する含フッ素アリルエーテル／ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体の合成）
３００ｍＬのステンレス製オートクレーブに、９Ｈ，９Ｈ−パーフルオロ−２，５−ジメチル−３，６−ジオキサ−８−ノネン酸：ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2ＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2ＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＯ2Ｈ（８．００ｇ，１９．０ｍｍｏｌ）と１，１−ジクロロ−１−フルオロエタン（３００ｇ）、およびビス（ノルマルプロピル）パーオキシジカーボネートの５０重量％メタノール溶液（２．４１ｇ）を入れ、ドライアイス／メタノール溶液で冷却し、系内を窒素ガスで３回置換した。その後、ＶＤＦ（１２．１ｇ，１９０ｍｍｏｌ）とＨＦＰ（１２．４ｇ，８４．０ｍｍｏｌ）を導入し、４０℃に昇温して、１２時間攪拌させた。反応の進行とともに、系内のゲージ圧が反応前の０．４７ＭＰａから１２時間後に０．１５ＭＰａまで低下した。
【０２２２】
この時点で未反応モノマーを放出し、析出した固形物を取り出し、アセトンに溶解させ、ついでヘキサンとトルエンの混合溶剤（５０／５０）で再沈殿させることにより共重合体を分離した。この共重合体を恒量になるまで真空乾燥し、共重合体（１８．３ｇ）を得た。
【０２２３】
この共重合体の組成比は、1Ｈ−ＭＮＲ分析および19Ｆ−ＮＭＲ分析により分析したところ、ＶＤＦ／ＨＦＰ／ＣＯ2Ｈ基含有含フッ素アリルエーテルが８８／５／７（モル％）であった。また、ＴＨＦを溶媒として用いるＧＰＣ分析により測定した数平均分子量は１１０００、重量平均分子量は１６０００であった。
【０２２４】
合成例４（メタクリロイル基含有含フッ素アリルエーテル／ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体の合成）
２００ｍＬ三つ口フラスコに、ＭＩＢＫ（１００ｍｌ）、合成例１で得たＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル／ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体１０．０ｇと、ピリジン（１．４４ｇ，１８．２ｍｍｏｌ）を入れ、３℃に冷却した。窒素気流下、メタクリル酸クロリド（０．９５ｇ，９．１ｍｍｏｌ）を滴下した。滴下終了後、室温まで温度を上げさらに６時間撹拌した。
【０２２５】
反応後のＭＩＢＫ溶液を分液漏斗に入れ、イオン交換水洗、２％塩酸水洗浄、５％ＮａＣｌ水洗浄し、さらにイオン交換水洗を行った。有機層を分取した後、無水硫酸マグネシウムで乾燥し、濾過後、減圧下で溶媒を除去した。このポリマーをアセトンに再度溶解させ、ヘキサンで再沈殿させることにより共重合体を分離した。この共重合体を室温で恒量になるまで真空乾燥し、共重合体（９．３ｇ）を得た。
【０２２６】
このＭＥＫ溶液を、19Ｆ−ＮＭＲ分析により調べたところ、メタクリロイル基含有率は８９モル％であった。またＩＲ分析を行なったところ、炭素−炭素二重結合の吸収が１６６０ｃｍ-1に、Ｃ＝Ｏの吸収が１７７０ｃｍ-1に観測された。
【０２２７】
比較例１［イオン性液体（ＢＭＩＢＦ4）とＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体とカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルム］
【０２２８】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）とＢＭＩＢＦ4のゲル状組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）とＢＭＩＢＦ4（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮ
Ｔを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。練り合わせることにより、イオン性液体がカーボンナノチューブによりゲル化された。
【０２２９】
（２）イオン性液体のＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体をＳＷＮＴで挟んだ３層構造の膜の作製：
上記（１）で調製したＳＷＮＴのゲル状組成物（１６０ｍｇ）、ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ＝８５：１５，８０ｍｇ）およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して、１層目（電極層）と３層目（電極層）を構成するゲル状組成物を調製した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）を構成するゲル状組成物は、ＢＭＩＢＦ4（１６３ｍｇ）、ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ＝８５：１５，８２ｍｇ）およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して調製した。１層目のゲル状組成物を基板に流し込み、スペーサーをガイドとして平坦にならし、数分間乾燥した後に、もう一枚のスペーサーを重ねて、２層目のゲル状組成物を流し込んでならした。同様にして、３層目を重ね、一昼夜自然乾燥した後に真空乾燥して３層構造のフィルムを作製した。
【０２３０】
（３）３層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は、上述した方法によりレーザー変位計を用いて行った。表１に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値とその時の応答変位量を示す。
【０２３１】
【表１】
2007204682.tif 000053
【０２３２】
実施例１［イオン性液体（ＢＭＩＢＦ4）とＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体とカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルム］
【０２３３】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）とＢＭＩＢＦ4のゲル状組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）とＢＭＩＢＦ4（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮ
Ｔを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。練り合わせることにより、イオン性液体がカーボンナノチューブによりゲル化された。
【０２３４】
（２）イオン性液体のＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体をＳＷＮＴで挟んだ３層構造の膜の作製：
上記（１）で調製したＳＷＮＴのゲル状組成物（１６０ｍｇ）、合成例１で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８７：５：８，８０ｍｇ）およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して、１層目（電極層）と３層目（電極層）を構成するゲル状組成物を調製した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）を構成するゲル状組成物は、ＢＭＩＢＦ4（１６３ｍｇ）、合成例１で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８７：５：８，８２ｍｇ）およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して調製した。１層目のゲル状組成物を基板に流し込み、スペーサーをガイドとして平坦にならし、数分間乾燥した後に、もう一枚のスペーサーを重ねて、２層目のゲル状組成物を流し込んでならした。同様にして、３層目を重ね、一昼夜自然乾燥した後に真空乾燥して３層構造のフィルムを作製した。
【０２３５】
（３）３層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は、上述した方法によりレーザー変位計を用いて行った。表２に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値とその時の応答変位量を示す。
【０２３６】
【表２】
2007204682.tif 000054
【０２３７】
実施例２［イオン性液体（ＢＭＩＢＦ4）とＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体とカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルム］
【０２３８】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）とＢＭＩＢＦ4のゲル状組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）とＢＭＩＢＦ4（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮ
Ｔを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。練り合わせることにより、イオン性液体がカーボンナノチューブによりゲル化された。
【０２３９】
（２）イオン性液体のＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体をＳＷＮＴで挟んだ３層構造の膜の作製：
上記（１）で調製したＳＷＮＴのゲル状組成物（１６０ｍｇ）、合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８２：１１：７，８０ｍｇ）およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して、１層目（電極層）と３層目（電極層）を構成するゲル状組成物を調製した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）を構成するゲル状組成物は、ＢＭＩＢＦ4（１６３ｍｇ）、合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８１：１２：７，８２ｍｇ）およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して調製した。１層目のゲル状組成物を基板に流し込み、スペーサーをガイドとして平坦にならし、数分間乾燥した後に、もう一枚のスペーサーを重ねて、２層目のゲル状組成物を流し込んでならした。同様にして、３層目を重ね、一昼夜自然乾燥した後に真空乾燥して３層構造のフィルムを作製した。
【０２４０】
（３）３層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は、上述した方法によりレーザー変位計を用いて行った。表３に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値とその時の応答変位量を示す。
【０２４１】
【表３】
2007204682.tif 000055
【０２４２】
実施例３［イオン性液体（１−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）−３−メチルイミダゾリウムビストリフルオロメチルスルホンイミド）とＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体とカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルム］
【０２４３】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）と１−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）−３−メチルイミダゾリウムビストリフルオロメチルスルホンイミドのゲル状組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）と１−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）−３−メチルイミダゾリウムビストリフルオロメチルスルホンイミド（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮＴを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。練り合わせることにより、イオン性液体がカーボンナノチューブによりゲル化された。
【０２４４】
（２）イオン性液体のＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体をＳＷＮＴで挟んだ３層構造の膜の作製：
上記（１）で調製したＳＷＮＴのゲル状組成物（１６０ｍｇ）、合成例１で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８７：５：８，８０ｍｇ）およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して、１層目（電極層）と３層目（電極層）を構成するゲル状組成物を調製した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）を構成するゲル状組成物は、１−（１，１，２，３，３，３−ヘキサフルオロプロピル）−３−メチルイミダゾリウムビストリフルオロメチルスルホンイミド（１６３ｍｇ）、合成例１で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８７：５：８，８２ｍｇ）およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して調製した。１層目のゲル状組成物を基板に流し込み、スペーサーをガイドとして平坦にならし、数分間乾燥した後に、もう一枚のスペーサーを重ねて、２層目のゲル状組成物を流し込んでならした。同様にして、３層目を重ね、一昼夜自然乾燥した後に真空乾燥して３層構造のフィルムを作製した。
【０２４５】
（３）３層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は、上述した方法によりレーザー変位計を用いて行った。表４に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値とその時の応答変位量を示す。
【０２４６】
【表４】
2007204682.tif 000056
【０２４７】
実施例４［イオン性液体（ＢＭＩＢＦ4）とＶＤＦ／ＨＦＰ／ＣＯ2Ｈ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体とカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルム］
【０２４８】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）とＢＭＩＢＦ4の組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）とＢＭＩＢＦ4（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮ
Ｔを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。練り合わせることにより、イオン性液体がカーボンナノチューブによりゲル化された。
【０２４９】
（２）イオン性液体のＶＤＦ／ＨＦＰ／ＣＯ2Ｈ基含有フッ素アリルエーテル共重合体をＳＷＮＴで挟んだ３層構造の膜の作製：
上記（１）で調製したＳＷＮＴのゲル状組成物（１６０ｍｇ）、合成例３で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＣＯ2Ｈ基含有フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＣＯ2Ｈ基含有含フッ素アリルエーテル＝８７：５：８，８０ｍｇ）およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して、１層目（電極層）と３層目（電極層）を構成するゲル状組成物を調製した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）を構成するゲル状組成物は、ＢＭＩＢＦ4（１６３ｍｇ）、合成例３で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＣＯ2Ｈ基含有フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＣＯ2Ｈ基含有含フッ素アリルエーテル＝８８：５：７，８２ｍｇ）およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して調製した。１層目のゲル状組成物を基板に流し込み、スペーサーをガイドとして平坦にならし、数分間乾燥した後に、もう一枚のスペーサーを重ねて、２層目のゲル状組成物を流し込んでならした。同様にして、３層目を重ね、一昼夜自然乾燥した後に真空乾燥して３層構造のフィルムを作製した。
【０２５０】
（３）３層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は、上述した方法によりレーザー変位計を用いて行った。表５に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値とその時の応答変位量を示す。
【０２５１】
【表５】
2007204682.tif 000057
【０２５２】
実施例５［イオン性液体（ＢＭＩＢＦ4）とＶＤＦ／ＨＦＰ／メタクリロイル基含有含フッ素アリルエーテル共重合体とカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルム］
【０２５３】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）とＢＭＩＢＦ4のゲル状組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）とＢＭＩＢＦ4（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮ
Ｔを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。練り合わせることにより、イオン性液体がカーボンナノチューブによりゲル化された。
【０２５４】
（２）イオン性液体の合成例４で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／メタクリロイル基含有含フッ素アリルエーテル共重合体をＳＷＮＴのゲル状組成物で挟んだ３層構造の膜の作製：
上記（１）で調製したＳＷＮＴのゲル状組成物（１６０ｍｇ）、合成例４で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／メタクリロイル基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：メタクリロイル基含有含フッ素アリルエーテル＝８７：５：８，８０ｍｇ）と活性エネルギー線硬化開始剤として２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン（２．０ｍｇ）、およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合することで、１層目（電極層）と３層目（電極層）を構成するゲル状組成物を調製した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）を構成するゲル状組成物は、ＢＭＩＢＦ4（１６３ｍｇ）、合成例４で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体のメタクリル変性共重合体ゲル（ＶＤＦ：ＨＦＰ：メタクリロイル基含有含フッ素アリルエーテル：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８７：５：７：１，８２ｍｇ）と活性エネルギー線硬化開始剤として２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン（２．０ｍｇ）、およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を、７０〜８０℃で加熱混合して調製した。１層目のゲル状組成物を基板に流し込み、スペーサーをガイドとして平坦にならし、数分間乾燥した後、室温下、１５００ｍＪ／ｃｍ2の強度で光照射し、もう一枚のスペーサーを重ねて、２層目のゲル状組成物を流し込んでならし、室温下、１５００ｍＪ／ｃｍ2の強度で光照射した。同様にして、３層目を重ね、一昼夜自然乾燥した後に真空乾燥して３層構造のフィルムを作製した。
【０２５５】
（３）３層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は、上述した方法によりレーザー変位計を用いて行った。表６に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値とその時の応答変位量を示す。
【０２５６】
【表６】
2007204682.tif 000058
【０２５７】
比較例２［イオン性液体（ＢＭＩＢＦ4）とＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体とカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルムを、さらにカーボンナノチューブペーパーをプレスで接合した５層構造フィルム］
【０２５８】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）とＢＭＩＢＦ4のゲル状組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）とＢＭＩＢＦ4（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮＴを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。
【０２５９】
（２）イオン性液体のＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体をＳＷＮＴで挟んだ３層構造の膜の作製：
比較例１と同様の方法で３層構造のフィルムを作製した。配合割合は、１層目（電極層）と３層目（電極層）として、上記（１）で調製したＳＷＮＴゲル（１６０ｍｇ）、ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ＝８８：１２，８０ｍｇ）およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を配合した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）として、ＢＭＩＢＦ4（１６３ｍｇ）、ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ＝８８：１２，８２ｍｇ）およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を配合した。
【０２６０】
（３）５層構造フィルムの作製：
上記（２）で作製した３層構造のフィルムに、カーボンナノチューブペーパー（導電層）をプレスで両面から接合した。
【０２６１】
（４）５層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は実施例１と同様にして行った。表７に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値とその時の応答変位量を示す。
【０２６２】
【表７】
2007204682.tif 000059
【０２６３】
実施例６［イオン性液体（ＢＭＩＢＦ4）とＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体とカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルムを、さらにカーボンナノチューブペーパーをプレスで接合した５層構造フィルム］
【０２６４】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）とＢＭＩＢＦ4のゲル状組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）とＢＭＩＢＦ4（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮＴを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。
【０２６５】
（２）イオン性液体の合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体をＳＷＮＴで挟んだ３層構造の膜の作製：
実施例１と同様の方法で３層構造のフィルムを作製した。配合割合は、１層目（電極層）と３層目（電極層）として、上記（１）で調製したＳＷＮＴゲル（１６０ｍｇ）、合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８２：１１：７，８０ｍｇ）およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を配合した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）として、ＢＭＩＢＦ4（１６３ｍｇ）、合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８２：１１：７，８２ｍｇ）およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を配合した。
【０２６６】
（３）５層構造フィルムの作製：
上記（２）で作製した３層構造のフィルムに、カーボンナノチューブペーパー（導電層）をプレスで両面から接合した。
【０２６７】
（４）５層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は実施例１と同様にして行った。表８に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値（ピーク・ツー・ピーク）とその時の応答変位量（ピーク・ツー・ピーク）を示す。
【０２６８】
【表８】
2007204682.tif 000060
【０２６９】
実施例７［イオン性液体（ＢＭＩＢＦ4）とＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体とカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルムを、さらにカーボンナノチューブペーパーをプレスで接合した５層構造フィルム］
【０２７０】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）とＢＭＩＢＦ4のゲル状組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）とＢＭＩＢＦ4（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮＴを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。
【０２７１】
（２）イオン性液体の合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体をＳＷＮＴで挟んだ３層構造の膜の作製：
実施例１と同様の方法で３層構造のフィルムを作製した。配合割合は、１層目（電極層）と３層目（電極層）として、上記（１）で調製したＳＷＮＴのゲル状組成物（１６０ｍｇ）、合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８８：５：７，８０ｍｇ）およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を配合した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）として、ＢＭＩＢＦ4（１６３ｍｇ）、合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８８：５：７，８２ｍｇ）およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を配合した。
【０２７２】
（３）５層構造フィルムの作製：
上記（２）で作製した３層構造のフィルムに、カーボンナノチューブペーパー（導電層）をプレスで両面から接合した。
【０２７３】
（４）５層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は実施例１と同様にして行った。表９に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値（ピーク・ツー・ピーク）とその時の応答変位量（ピーク・ツー・ピーク）を示す。
【０２７４】
【表９】
2007204682.tif 000061
【０２７５】
比較例３［イオン性液体（ＢＭＩＢＦ4）のＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体ゲルとカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルムを、金スパッタ法で導電層を形成した５層構造フィルム］
【０２７６】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）とＢＭＩＢＦ4のゲル状組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）とＢＭＩＢＦ4（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮＴを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。
【０２７７】
（２）イオン性液体のＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体をＳＷＮＴで挟んだ３層構造の膜の作製：
比較例１と同様の方法で３層構造のフィルムを作製した。配合割合は、１層目（電極層）と３層目（電極層）として、上記（１）で調製したＳＷＮのゲル状組成物（１６０ｍｇ）、ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ＝８８：１２，８０ｍｇ）およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を配合した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）として、ＢＭＩＢＦ4（１６３ｍｇ）、ＶＤＦ／ＨＦＰ共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ＝８８：１２，８２ｍｇ）およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を配合した。
【０２７８】
（３）５層構造フィルムの作製：
上記（２）で作製した３層構造のフィルムの両面に、導電層としてスパッタ法により金をつけた（走査電子顕微鏡試料作製用スパッタマシンを使用、２０ｍＡで片面計２０分）。
【０２７９】
（４）５層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は比較例１と同様にして行った。表１０に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値とその時の応答変位量を示す。
【０２８０】
【表１０】
2007204682.tif 000062
【０２８１】
実施例８［イオン性液体（ＢＭＩＢＦ4）のＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体とカーボンナノチューブから構成される３層構造フィルムを、金スパッタ法で導電層を形成した５層構造フィルム］
【０２８２】
（１）単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）とＢＭＩＢＦ4のゲル状組成物の調製：
ＳＷＮＴ（６３ｍｇ）とＢＭＩＢＦ4（２４５ｍｇ）とを１５分間練り合わせ、ＳＷＮＴを２１重量％含むゲル状組成物を調製した。
【０２８３】
（２）イオン性液体の合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体をＳＷＮＴで挟んだ３層構造の膜の作製：
実施例１と同様の方法で３層構造のフィルムを作製した。配合割合は、１層目（電極層）と３層目（電極層）として、上記（１）で調製したＳＷＮＴゲル（１６０ｍｇ）、合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８８：５：７，８０ｍｇ）およびＭＩＢＫ（１．５ｍｌ）を配合した。その間に挟む２層目（イオン伝導層）として、ＢＭＩＢＦ4（１６３ｍｇ）、合成例２で得られたＶＤＦ／ＨＦＰ／ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル共重合体（ＶＤＦ：ＨＦＰ：ＯＨ基含有含フッ素アリルエーテル＝８２：１１：７，８２ｍｇ）およびＭＩＢＫ（０．６ｍｌ）を配合した。
【０２８４】
（３）５層構造フィルムの作製：
上記（２）で作製した３層構造のフィルムの両面に、導電層としてスパッタ法により金をつけた（走査電子顕微鏡試料作製用スパッタマシンを使用、２０ｍＡで片面計２０分）。
【０２８５】
（４）５層構造フィルムの応答性の評価：
応答性の評価は実施例１と同様にして行った。表１１に、加えた０．１Ｈｚの方形波電圧の電圧値とその時の応答変位量を示す。
【０２８６】
【表１１】
2007204682.tif 000063
【図面の簡単な説明】
【０２８７】
【図１】本発明のアクチュエータ素子（３層構造）の一例の構成の概略断面図である。
【図２】本発明のアクチュエータ素子（５層構造）の一例の構成の概略断面図である。
【図３】本発明のアクチュエータ素子の作動原理を示す図である。
【図４】本発明のアクチュエータ素子の他の例の概略図である。
【図５】本発明のアクチュエータ素子の他の例の概略図である。
【図６】本発明の実施例で使用した変位測定装置の概略説明図である。
【符号の説明】
【０２８８】
１    イオン伝導層
２    電極層
２ａ  電極層
２ｂ  電極層
３ａ  導電層
３ｂ  導電層
４    イオン性液体のカチオン
５    イオン性液体のアニオン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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