(57)【要約】【課題】  検出部と回路基板とにより挟まれる磁性体に形成される導体貫通用の接続用孔に貫通させた導体によって検出信号等を外部に取り出す構造において、接続用孔による磁気効率の損失を抑えて性能の向上が図られる電磁駆動型角速度センサを提供する。【解決手段】  センサチップ１の電極と回路基板５とを、これらの間に配された上側ヨーク３に形成した接続用孔３４を貫通する導線５２で接続する構造において、接続用孔３４を、センサチップ１の支持梁１２に対する対向領域か、もしくはこの対向領域から重り１３とは反対側に広がる領域か、もしくはこれら双方の領域にわたって位置する領域のうちの、いずれかの領域に形成し、さらに、回路基板５に一体成形された樹脂製ホルダ部５１に複数の導線５２を埋め込み、このホルダ部５１ごと導線５２を接続用孔３４に貫通させた。【選択図】      図１
2007033228.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠状の支持体の内側に、弾性部材を介して、所定の質量を有し、かつ、駆動用電極および検出用電極が形成された重りが振動可能に支持されてなる検出部と、
この検出部を挟んで配置される一対の磁性体、およびこれら磁性体に近接して配置される磁石とからなり、前記検出部に磁界を付与する磁界形成部と、
前記検出部から出力される信号を処理する検出回路が搭載され、前記一対の磁性体のうちの少なくとも一方の磁性体を前記検出部とで挟む位置に配された回路基板とを備え、
前記駆動用電極に電流を流すことによって生じる電磁力の作用に伴って前記重りに一定方向の振動が誘起し、この誘起振動の方向に直交する方向に働くコリオリ力の作用に伴って生じる誘導起電力を、前記検出用電極を介して検出するとともに前記検出回路で処理し、これをもって角速度を検出する電磁駆動型角速度センサであって、
前記検出部と前記回路基板とで挟まれた前記磁性体の、前記弾性部材に対する対向領域か、この対向領域から前記重りとは反対側に広がる領域か、もしくはこれら双方の領域にわたって位置する領域のうちの、いずれかの領域に、接続用孔が形成され、この接続用孔に貫通させた導体によって、検出部と前記回路基板とが電気的に接続されていることを特徴とする電磁駆動型角速度センサ。
【請求項２】
前記重りは、２本の直線体を交差させたＸ字状に形成され、前記弾性部材は、隣り合う直線体の間の三角形状の空間に配されており、前記接続用孔は、隣り合う直線体の間の中間部分と、２本の直線体の交差点を結ぶ十字状の線に対向する領域を含む箇所に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電磁駆動型角速度センサ。
【請求項３】
前記接続用孔には、前記回路基板に一体成形もしくは固着された立体的な絶縁体が貫通され、この絶縁体に、前記導体が配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の電磁駆動型角速度センサ。
【請求項４】
前記絶縁体に、複数の前記導体が一括して配設されていることを特徴とする請求項３に記載の電磁駆動型角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体の角速度を検出する振動式角速度センサに係り、特に、振動を電磁式で駆動する電磁駆動型角速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
振動式角速度センサは、所定質量の重りを、周囲に配した支持体に、弾性を有する支持梁を介してＸ方向およびＹ方向に振動可能に連結し、重りを、Ｘ方向に一定の振幅で振動するよう駆動する構造となっている。そして、センサ全体がＺ軸回りに回転すると、重りがＹ方向にも振動し、このＹ方向の振動の状態を検出することにより、Ｚ軸回りの角速度が求められようになっている。
【０００３】
このような振動式角速度センサの振動方式を電磁駆動で行う形式のものが、電磁駆動型角速度センサである。この電磁駆動型角速度センサでは、重りに、駆動用と検出用の電極をそれぞれ形成し、その重りに対しＺ軸方向に磁界をかけて形成される磁束により、電磁力が発生して重りがＸ方向に振動する。そして、センサ全体がＺ軸回りに回転すると、Ｙ方向に働くコリオリ力の作用に伴って誘導起電力が生じ、この誘導起電力を検出用電極で検出して、角速度を検出するものである。このような原理を用いた電磁駆動型角速度センサとしては、例えば特許文献１で公知である。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２８３６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、上記のように重りに磁界をかけて形成される磁束は、重りに近接配置させた磁性体および磁石といった複数の構成要素で形成される。上記特許文献１では、同文献の図１６に示されるように、重り（板状構造体２３０の周囲部２３３に可撓部２３２を介して結合された中央部２３１）を間に挟んで対向配置された上下の磁性体（キャップ２２０の磁気ヘッド２２１および支持体２５０の磁気ヘッド２５１）と、下側の磁性体に密着する磁石２６０とによって、磁束は形成される。
【０００６】
上記特許文献１に記載のものでは、装置筐体を構成する磁性体（底板２１０）に孔を空けて導体（配線ピン２７１，２７２）を貫通させ、これら導体を、ボンディングワイヤ２８１，２８２を介して電極に接続して、導体により外部から駆動用信号を供給するとともに、導体から検出用の電気信号を外部に取り出している。このような配線構造によれば、磁性体を迂回して導体を配線しないことから、装置のコンパクト化が図られるなどの利点がある。
【０００７】
しかしながら、磁性体に孔を空けることは、磁路断面積の減少に伴う磁気抵抗の増大によって磁気効率が悪化し、性能が低下するといった問題を招く。したがって、検出精度の向上などを目的として電極を増加させると、導体の増加に伴って貫通用の孔も増えたり大きくなったりするため、この問題は顕著となる。また、磁性体を貫通する導体が増加すると、導体を配置するスペースを確保するために、磁石の体積を減少させたり、重りの電極間の間隔を広くするなどの対策を採ることが考えられるが、これでは、性能が低下し、装置のコンパクト化が難しいといった問題が生じる。
【０００８】
また、この種の角速度センサにおいては、重り以外の導体部を通過する磁束は不要であり、特に、重りを振動可能に支持する弾性部材（上記文献１では可撓部２３２）を磁束が通過することは、重りに不要な振動を与えることになって検出精度を低下させることにつながる。したがって、弾性部材には磁束を通過させないか、あるいは通過する磁束の磁束密度をなるべく小さくすることが望まれる。
【０００９】
よって本発明は、磁性体に空けた孔に貫通させた導体によって外部から駆動信号を供給し、かつ、検出信号を取り出す構造の電磁駆動型角速度センサにおいて、磁性体の孔による磁気効率の損失を抑えて性能の向上が図られるとともに、小型化も達成可能な電磁駆動型角速度センサを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、枠状の支持体の内側に、弾性部材を介して、所定の質量を有し、かつ、駆動用電極および検出用電極が形成された重りが振動可能に支持されてなる検出部と、この検出部を挟んで配置される一対の磁性体、およびこれら磁性体に近接して配置される磁石とからなり、検出部に磁界を付与する磁界形成部と、検出部から出力される信号を処理する検出回路が搭載され、一対の磁性体のうちの少なくとも一方の磁性体を検出部とで挟む位置に配された回路基板とを備え、駆動用電極に電流を流すことによって生じる電磁力の作用に伴って重りに一定方向の振動が誘起し、この誘起振動の方向に直交する方向に働くコリオリ力の作用に伴って生じる誘導起電力を、検出用電極を介して検出するとともに検出回路で処理し、これをもって角速度を検出する電磁駆動型角速度センサであって、検出部と回路基板とで挟まれた磁性体の、弾性部材に対する対向領域か、この対向領域から前記重りとは反対側に広がる領域か、もしくはこれら双方の領域にわたって位置する領域のうちの、いずれかの領域に、接続用孔が形成され、この接続用孔に貫通させた導体によって、検出部と回路基板とが電気的に接続されていることを特徴としている。
【００１１】
本発明によれば、回路基板と検出部とが磁性体に形成された接続用孔を貫通する導体によって接続され、その接続用孔は、検出部の重りを振動可能に支持体に支持する弾性部材に対する対向領域か、この対向領域から重りとは反対側に広がる領域か、もしくはこれら双方の領域にわたって位置する領域のうちの、いずれかの領域に形成されている。これら３つの領域のうちの最後の“双方の領域にわたって位置する領域”に形成される接続用孔は、一部が上記対向領域に存在し、他の部分は上記反対側に広がる領域に存在しており、双方の領域の境界が、その接続用孔内を通過する状態を言う。接続用孔が形成されるこれらの領域は、重りから外れた磁束の通過を不要とする領域であり、なおかつ、磁束を通したくない、あるいは通過する磁束密度を小さくしたい弾性部材に対向するか、あるいはそれよりも重りから遠ざかる方向に広がる領域である。
【００１２】
このため、磁束のロスが低減するとともに、弾性部材を通過する磁束を無くすか、あるいは磁束密度を小さくすることができるので、磁気効率が向上するとともに、検出精度の低下が抑えられ、性能の向上が図られる。また、磁性体を迂回して導体を配線することなく、導体を磁性体に貫通させるので、小型化を図ることができる。
【００１３】
本発明の具体的な形態としては、重りの形状が、２本の直線体を交差させたＸ字状に形成され、この重りを支持体に支持する弾性部材が、隣り合う直線体の間の三角形状の空間に配されており、このような検出部に対して、接続用孔が、隣り合う直線体の間の中間部分と、２本の直線体の交差点を結ぶ十字状の線に対向する領域を含む箇所に形成されている形態が挙げられる。
【００１４】
また、本発明では、接続用孔に、回路基板に一体成形もしくは固着された立体的な絶縁体が貫通され、この絶縁体に、上記導体が配設されている形態を含む。この形態では、絶縁体ごと導体を接続用孔に貫通させるので、導体を接続用孔に通す作業が容易となって生産性が大幅に向上する。
【００１５】
また、この絶縁体の内部または表面に、複数の上記導体を一括して配設すると、導体ごとに絶縁体を設けた場合に比べると、作業性が格段に向上する。さらに、絶縁体の数を減少させること、ひいては接続用孔の数を減少させることができるため、小型化が達成可能になるとともに、磁路断面積の減少が抑えられて性能の向上が図られる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の電磁駆動型角速度センサによれば、検出部と回路基板とにより挟まれる磁性体に形成される導体貫通用の接続用孔を、検出部の弾性部材に対する対向領域か、もしくはこの対向領域から重りとは反対側に広がる領域に形成されているので、接続用孔による磁気効率の損失が抑えられて性能の向上が図られるとともに、小型化が達成されるといった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
図１は、一実施形態に係る電磁駆動型角速度センサの縦断面図であり、該角速度センサは、センサチップ（検出部）１と、センサチップ１の周囲に配設されるリング状の磁石２と、センサチップ１および磁石２を挟んで組み付けられる上下一対のヨーク（磁性体）３，４と、上側ヨーク３の外面に重ねて固着される回路基板５とを備えている。この場合、磁石２と上下のヨーク３，４との組み合わせで、磁界を形成する磁界形成部６が構成される。図２は、図１中の下側ヨーク４を外した状態での当該角速度センサの下面図、図３は、図２の中央部分の拡大図である。
【００１８】
上側ヨーク３は、図４および図６（ａ）に示すように、円盤状であって、その片面（組立状態で内面）には、Ｘ字状で、断面が略三角形状の凸状部３１が形成されている。この凸状部３１は、２本の直線部３２が上側ヨーク３の中心で交差する点対称のＸ字状を呈しており、直線部３２の長さは、上側ヨーク３の直径の約半分程度とされている。凸状部３１の頂上部分は、所定の幅を有する平面（支持平面）３３に形成されている。また、上側ヨーク３には、センサチップ１に回路基板５を接続させるための接続用孔３４と、上下のヨーク３，４の互いの面方向の相対位置を位置決めさせるための位置決め用孔３５とが形成されている。
【００１９】
接続用孔３４は、凸状部３１が形成された正方形状の領域（直線部３２の４箇所の端部を結ぶ領域）の周囲であって、直線部３２の端部間の中央部の外側に、それぞれ形成されている。すなわち接続用孔３４は４つ形成されているが、換言すると、これら接続用孔３４は、凸状部３１の直線部３２の交差点と、隣り合う直線部３２間の中間部分とを結ぶ十字状の線上に１つずつ形成されている。この場合の十字状の線は、Ｘ字状の凸状部３１に対して位相が４５°ずれた位置にあると言える。図４に示すように、同図で凸状部３１の左右に形成された２つは径方向に長い長方形状であり、上下の２つは矩形状である。
【００２０】
位置決め用孔３５は、小さな丸孔であって、図４に示すように、同図で左右の接続用孔３４の下側に１つずつ、計２つ形成されている。図４で判るように、凸状部３１、接続用孔３４および位置決め用孔３５は、左右対称的に形成されている。
【００２１】
下側ヨーク４は、接続用孔３４が形成されていないことを除けば、上側ヨーク３と同様のものである。すなわち、その片面には上側ヨーク３と同様の交差する２本の直線部４２によるＸ字状の凸状部４１が形成されており、位置決め用孔３５と同じ箇所に位置決め用孔（図示されていない）が形成されている。上下のヨーク３，４を、凸状部３１，４１側の面を互いに対面させて、図６に示す位置決めピン７を両ヨーク３，４の位置決め用孔（上側ヨーク３では３５）に嵌め込むと、それぞれの凸状部３１，４１が互いに対向するようになっている。
【００２２】
回路基板５は、図５および図６（ｂ）に示すように、上側ヨーク３と同径の円盤状に形成されたもので、上側ヨーク３の上面に外周縁を合わせて重ねられ、接着等の手段で固着されている。回路基板５の上側ヨーク３への合わせ面である内面であって、上側ヨーク３の接続用孔３４に対応する箇所には、それら接続用孔３４を貫通して下側ヨーク４に向かって突出するホルダ部（絶縁体）５１が形成されている。回路基板５およびホルダ部５１は、回路基板用として一般周知である樹脂等の絶縁体で一体成形されている。ホルダ部５１内には、その突出方向に沿って複数の導線（導体）５２が埋め込まれており、ホルダ部５１の先端面には、各導線５２の端子が露出している。
【００２３】
このようなホルダ部５１への導線５２の埋め込みは、ＭＩＤ(Molded Interconnect Device)といった手法の他に、インサート成形、ＦＰＣの立体加工といった手法によってなすことができる。
【００２４】
回路基板５の上面には、複数の回路部品５３が搭載されており、これら回路部品５３は図５（ｂ）に示す回路基板５の内面に形成された回路パターン５４を介して、各ホルダ部５１内の所定の導線５２に接続されている。
【００２５】
センサチップ１は、図１〜図３に示すように、正方形の枠状に形成された支持体１１と、この支持体１１の内側に支持梁（弾性部材）１２を介して弾性的に支持された所定質量を有する重り１３とを備えている。支持体１１は、上記ヨーク３，４のＸ字状の凸状部３１，４１が形成された領域とほぼ同じ外形寸法を有している。
【００２６】
重り１３は、２本の直線状の細長い板状部（直線体）１４を９０°の角度で交差させたＸ字状を呈しており、各板状部１４が支持体１１の対角線をなすようにして配置されている。支持梁１２は、適宜な弾性を有し、この支持梁１２によって、重り１３は支持体１１に対して中空状態で、図２中、Ｘ方向およびＹ方向に振動可能に支持されている。この場合、重り１３と各支持梁１２とにより、振動体１５が構成される。
【００２７】
支持体１１、重り１３および支持梁１２は、１枚の薄いシリコン基板をエッチング処理して一体的に形成されたもので、重り１３および支持梁１２は、厚さ方向にもエッチング処理されることにより、支持体１１よりも薄く、その下面が支持体１１の下面と面一となっている。したがって、図１に示すように、支持体１１の内側には、支持体１１が支持梁１２および重り１３よりも厚く上方に突出していることにより、凹所１６が形成されている。
【００２８】
重り１３の各端部（各板状部１４の両端部：４箇所）は、支持体１１の内側の四隅に近接しており、支持梁１２は、重り１３の各端部と、支持体の各辺部をつなぐように、支持体１１と重り１３との間に形成される平面視が二等辺三角形状の４つの空間に配されている。なお、各支持梁１２においては、Ｘ方向およびＹ方向のバネ定数が同一であってもよく、また、Ｘ方向とＹ方向とでバネ定数が異なるものであってもよい。
【００２９】
重り１３の下面には、金属薄膜による駆動用、モニタ用、検出用の３種の電極が適宜に分割して形成されている。そして、支持梁１２の下面には、これらの電極に接続された配線が、同じく金属薄膜によって形成されている。３種の電極は、支持梁１２が配されている二等辺三角形状の空間に面する各板状部１４の縁に沿って形成されており、例えば、図２中、Ｘ方向に並ぶ空間のうちの、左側の空間に面する側（板状部１４の縁のやや内側）には駆動用電極が形成され、右側の空間に面する側にはモニタ用電極が形成される。また、Ｙ方向に並ぶ２つの空間に面する側には、検出用電極が形成される。そして、これら電極が形成された側の空間に配された支持梁１２に形成された配線は、それらの電極に接続されている。支持梁１２の配線は、支持体１１の下面に、各電極ごとに一対の状態で形成された端子に接続されている。
【００３０】
これら支持体１１の下面に形成された上記各電極の端子と、上記回路基板５に形成されたホルダ部５１に埋め込まれた導線５２の各端子とは、対応するものどうしが、図１および図２に示すように、ボンディングワイヤ８によって接続されている。
【００３１】
図１および図６（ｃ）に示すように、上記センサチップ１は、凹所１６が形成された側の面を上側ヨーク３に対面させて、支持体１１の四隅を、上側ヨーク３の平面３３の各端部に合わせ、接着等の手段によって上側ヨーク３に固着されている。したがって、凹所１６のへこみ分のギャップが、重り１３と上側ヨーク３の凸状部３１との間に形成されており、このギャップは、重り１３が上側ヨーク３の凸状部３１に接触しない距離に設定されている。
【００３２】
上記磁石２は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ（ネオジ）磁石等からなる永久磁石であり、上下のヨーク３，４とほぼ同じ外径を有する所定厚さのリング状を呈している。この磁石２は、上下のヨーク３，４の間に、これらヨーク３，４と外周縁どうしを合わせて挟み込まれ、接着等の手段で固着されている。このように磁石２を挟んでヨーク３，４を積層させる際には、図６（ｃ）に示すように、上側ヨーク３の２つの位置決め孔３５に位置決めピン７を嵌め、これら位置決めピン７に、下側ヨーク４の位置決め用孔を嵌め込む。これにより、上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１が互いに対向した状態に組み込まれる。
【００３３】
上記センサチップ１は、磁石２を挟む上下のヨーク３，４で挟み込まれており、その状態で、上下のヨーク３，４のＸ字状の凸状部３１，４１は、Ｘ字状の重り１３に沿った状態に配置されている。なお、各凸状部３１，４１の頂上部分の平面３３，４３の幅は、重り１３の板状部１４の可動幅よりも広く設定されている。
【００３４】
このようにセンサチップ１が組み込まれた状態で、上側ヨーク３に形成された接続用孔３４は、重り１３を構成する２本の板状部１４の交差点と、隣り合う板状部１４の間の中間部分とを結ぶ十字状の線に対向する領域を含む箇所に形成されている。この領域は、重り１３の支持梁１２に対する対向領域よりも外側、つまり重り１３とは反対側に広がる領域である。
【００３５】
図１および図２に示すように、センサチップ１と下側ヨーク４との間には、スペーサ（ギャップ形成部）９が挟み込まれている。このスペーサ９は、図６（ｄ）にも示すように、八角形の孔９１が中央に形成されたリング状であって、十字に相当する４箇所は厚さが比較的薄く、これら肉薄部９２の間に厚肉部９３が形成されている。また、スペーサ９の上側ヨーク３側の面には、センサチップ１を保持するための凹部が設けられている。このスペーサ９は、外径が磁石２の内径よりも小さく、磁石２の内側に配されている。
【００３６】
図２および図６（ｄ）に示すように、これら図でスペーサ９の外周部の左右部分には、接続用孔３４に貫通する上記回路基板５のホルダ部５１と、位置決めピン７とに干渉しないための切欠き９４が形成されている。また、上下の薄肉部９２には、上下のホルダ部５１を貫通させる貫通孔９５がそれぞれ形成されている。
【００３７】
スペーサ９は、図２の破線に示すように、孔９１の周囲の内周部分であって、センサチップ１の支持体１１における端部４箇所に対応する部分が、センサチップ１の支持体１１に対し接着等の手段で固着されている。したがって、上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１の各端部の平面３３，４３間に、スペーサ９が挟み込まれている。
【００３８】
スペーサ９と下側ヨーク４の凸状部４１との間は、図１に示すように、ギャップが空いているか、あるいは両者が当接するかのいずれかの場合がある。そのギャップの距離や、当接するか否かは、磁石２の厚さや上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１の突出高さなどの寸法誤差や、組立誤差などによって変わってくる。下側ヨーク４の凸状部４１がスペーサ９に当接した場合でも、その凸状部４１と重り１３との間に形成されるギャップは、凸状部４１が重り１３に接触しない距離に設定される。このスペーサ９により、下側ヨーク４は重り１３に接触することが防止されるとともに、上側ヨーク３とのギャップを一定以上に保つことができるようになっている。
【００３９】
以上が本実施形態の角速度センサの構成であり、以下に、この角速度センサの組立手順の概略を、図６を参照して説明する。
【００４０】
図６（ａ）に示す上側ヨーク３の、凸状部３１が形成されていない側の外面に、図６（ｂ）に示す回路基板５を重ねて各ホルダ部５１を接続用孔３４に通し、回路基板５を上側ヨーク３に固着する。次に、図６（ｃ）に示すように、センサチップ１を上側ヨーク３の凸状部３１に合わせて固着し、また、位置決めピン７を位置決め用孔３５に嵌め込む。
【００４１】
続いて、図６（ｄ）に示すように、スペーサ９をセンサチップ１の支持体１１に固着する。次いで、図６（ｅ）に示すように、上側ヨーク３に磁石２を固着し、この後、凸状部４１を内側に向けた下側ヨーク４の位置決め用孔に位置決めピン７を嵌め込み、この下側ヨーク４を磁石２に固着する。
【００４２】
上記の手順で角速度センサは組み立てられ、この角速度センサでは、磁石２および上下のヨーク３，４で構成される磁界形成部６によって、センサチップ１の重り１３に対して図１に示すＺ方向の上方から下方に向けて磁界が付与される。
【００４３】
本実施形態の角速度センサは、角速度を測定する物体に取り付けられ、検出時には、交流電圧の印加によって駆動用電極に電流が流される。すると、磁石２と上下のヨーク３，４による磁界の方向（図１のＺ方向の下向き）に基づく電磁力が発生して、磁界中の重り１３に、図２におけるＸ方向への振動が誘起される。重り１３は、各支持梁１２のバネ定数と重り１３の質量に応じた振幅でＸ方向に振動する。この振動によりモニタ用電極に誘導起電力が発生し、その電圧がモニタ用電極に接続された回路部品５３から出力され、重り１３の振動がモニタされる。
【００４４】
この稼働状態から、例えばＸＹ面内に沿ってＺ軸回りに物体が回転すると、その回転力を受けて同様に当該角速度センサが回転する。すると、Ｙ方向に働くコリオリ力が発生し、重り１３にはＹ方向への振動が誘起される。重り１３は、駆動によるＸ方向と、回転によるＹ方向との合成方向に振動し、この振動によって検出用電極には誘導起電力が発生する。検出用電極に発生した誘導起電力の電圧は、検出用電極に接続された回路部品５３で処理され、物体に生じた角速度が検出される。
【００４５】
さて、このようにして角速度を検出する本実施形態の角速度センサによると、センサチップ１の各電極と回路基板５とは、ホルダ部５１に配設された導線５２によって電気的に接続されており、ホルダ部５１は、上側ヨーク３に形成された接続用孔３４に貫通している。この接続用孔３４は、センサチップ１の支持梁１２に対する対向領域から重り１３とは反対側の外側であって、磁石２との間に広がる領域に形成されている。接続用孔３４が形成されたこの領域は、重り１３から外れた磁束の通過を不要とする領域であり、なおかつ、支持梁１２と、その周囲に配置される磁石２との間であって、磁石２から上側ヨーク３の支持梁１２と対向する領域に磁束が流れ込む領域である。
【００４６】
このため、磁束のロスが低減するとともに、支持梁１２を通過する磁束の磁束密度を小さくすることができるので、磁気効率が向上するとともに検出精度の低下が抑えられ、その結果、性能の向上が図られる。
【００４７】
また、導線５２は、回路基板５に一体に設けられた立体的なホルダ部５１に埋め込まれており、ホルダ部５１ごと接続用孔３４に貫通している構造であるから、導線５２を接続用孔３４に通す作業が容易となって生産性が大幅に向上する。特に本実施形態では、ホルダ部５１に複数の導線５２を一括して配設しているので、これら導線５２を接続用孔３４に通す作業性が格段に向上する。
【００４８】
複数の導線５２を１つのホルダ部５１に一括して配設するということは、ホルダ部５１の数が減少すること、ひいては接続用孔３４の数が減少することにつながり、このため、小型化が達成可能になるとともに、磁路断面積の減少が抑えられて性能が向上する。
【００４９】
また、本実施形態のセンサチップ１においては、矩形枠状の支持体１１の内側にＸ字状の重り１３を配することにより、これらの間の空間を三角形状に広くとることができ、このため、両者を連結する支持梁１２を長く取り回して感度の向上を図ることができる。また、Ｘ字状の重り１３は軽量化に有利であり、帯域幅を大きくすることができる。
【００５０】
また、上下のヨーク３，４のＸ字状の凸状部３１，４１が、同じくＸ字状の重り１３に重なるようにして配置されているので、これら凸状部３１，４１によって重り１３に磁束が集中し、重り１３の振動範囲に対して特に磁束を強く作用させることができる。このため、小さな駆動電流で重り１３を振動させることができるとともに、大きな検出信号を得ることができ、その結果、磁気効率や検出感度のより一層の向上が図られる。
【００５１】
図７〜図９は、上記実施形態と基本構造を同じくする他の実施形態を示している。
この実施形態では、上記スペーサ９は具備されておらず、図７および図８に示すように、上側ヨーク３の下面であって、Ｘ字状の凸状部３１の周囲に、リング状のホルダプレート６０が固着されている。このホルダプレート６０の上面には、上記各電極の数に対応した数の突起６１が形成されており、これら突起６１は、図７に示すように、上側ヨーク３および回路基板５に形成された連続する接続用孔３９，５９に嵌合されている。
【００５２】
ホルダプレート６０の突起６１の部分には、表裏面に貫通する端子孔６２がそれぞれ形成され、これら端子孔６２に、ピン状の端子５５が貫通する状態に固定されている。これら端子５５は、上端部が回路基板５の回路部品５３に接続され、下端部は、ボンディングワイヤ８を介してセンサチップ１の各電極の端子に接続されている。
【００５３】
図９に示すように、上側ヨーク３に形成された接続用孔３９は、凸状部３１の周囲に環状に並ぶように配列されており、この形成箇所は、上記実施形態と同様に、センサチップ１の支持梁１２に対する対向領域から重り１３とは反対側の外側に広がる領域である。したがって、上記実施形態と同様に、磁束のロスが低減するとともに、支持梁１２を通過する磁束の磁束密度を小さくすることができることによる効果、すなわち磁気効率が向上するとともに検出精度の低下が抑えられるといった効果を同様に得ることができる。
【００５４】
なお、上記各実施形態では、上側ヨーク３の接続用孔３４（３９）は、センサチップ１の重り１３の支持梁１２に対する対向領域よりも外側に形成しているが、支持梁１２に対して対向する領域に形成してもよい。この場合の方が、支持梁１２への磁束の影響をより低減することができ、検出精度をさらに向上させることができる。
【００５５】
また、支持梁１２への対向領域と、この領域の外側の領域とにわたって位置するように接続用孔３４（３９）を形成しても、同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一実施形態に係る電磁駆動型角速度センサの縦断面図である。
【図２】図１中の下側ヨークを外した状態での角速度センサの下面図である。
【図３】図２の中央部分の拡大図である。
【図４】一実施形態の上側ヨークの内面を示す図である。
【図５】一実施形態の回路基板の（ａ）側面図、（ｂ）下面図である。
【図６】一実施形態のセンサの組立手順を（ａ）〜（ｅ）の順に示す斜視図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る電磁駆動型角速度センサの縦断面図である。
【図８】図７中の下側ヨークを外した状態での角速度センサの下面図である。
【図９】他の実施形態の上側ヨークの内面を示す図である。
【符号の説明】
【００５７】
１…センサチップ（検出部）
２…磁石
３…上側ヨーク（磁性体）
４…下側ヨーク（磁性体）
５…回路基板
６…磁界形成部
１１…支持体
１２…支持梁（弾性部材）
１３…重り
１４…板状部（直線体）
３４…接続用孔
５１…ホルダ部（絶縁体）
５２…導線（導体）
５３…回路部品（検出回路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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