(57)【要約】【課題】筐体をラック本体に容易に収納できるようにする。【解決手段】電子機器の筐体３０を収容可能な箱型のラック本体１０の棚に、ラック本体１０の前後方向へ延びるガイド溝２５が形成されている。ガイド溝２５にはラック本体１０内に収容される筐体３０の底面３１に形成された複数の凸部３２が係合する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器の筐体を収容可能な棚を有するラック本体と、
前記ラック本体の棚に形成され、前記ラック本体内に収容される前記電子機器の筐体の底面に形成された複数の凸部と係合可能な前記ラック本体の前後方向へ延びるガイド溝と
を備えていることを特徴とする電子機器収容ラック。
【請求項２】
前記電子機器の筐体の底面にエンボス加工によって凸部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の電子機器収容ラック。
【請求項３】
棚を有するラック本体に収容可能な電子機器の筐体において、
前記電子機器の筐体の底面に形成され、前記ラック本体の棚に形成され前後方向へ延びるガイド溝に係合可能な複数の凸部を備えていることを特徴とする筐体。
【請求項４】
請求項１又は２記載の電子機器収容ラックと請求項３記載の筐体とからなることを特徴とする電子機器収納システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は電子機器収容ラック、筐体及び電子機器収納システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体露光装置のウエハステージ及びレチクルステージには複数のモータが使用され、各モータを駆動するために複数の電子機器を組み込んだアンプ筐体（筐体）が必要である。アンプ筐体はアンプ筐体の形状に合致する複数の収納室を有するラック（ラック本体）に収納される（特開平６−６９６７５号公報参照）。
【０００３】
ラックの正面に収納室が開口しており、アンプ筐体はラックの正面側から収納室に収納される。
【０００４】
ラック内部にはアンプ筐体を載置する棚が配置されている。棚はラックの正面側から背面側へ水平に延びている。ラックの背面側内壁には、アンプ筐体の背面に設けられた筐体側コネクタと嵌合可能なラック側コネクタが取り付けられている。
【特許文献１】特開平６−６９６７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
筐体側コネクタとラック側コネクタとを嵌合させるためには、アンプ筐体の公差を所定の範囲内に押さえる必要がある。例えばアンプ筐体の横幅を３００ｍｍとした場合、公差を±０．３ｍｍ以下に押さえなければならない。
【０００６】
また、ラック内部の棚にはガイドレールが配置され、アンプ筐体はガイドレールに沿って挿入される。筐体側コネクタとラック側コネクタとを正しく嵌合させるためには、ガイドレールの折曲げ精度、ガイドレールの取付精度を所定値以下に押さえる必要がある。
【０００７】
アンプ筐体の加工精度、ガイドレールの折曲げ精度及びガイドレールの取付精度が得られないと、アンプ筐体を容易に収納室に収納できないという問題があった。
【０００８】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は筐体をラック本体に容易に収納できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前述の課題を解決するため請求項１記載の発明は、電子機器の筐体を収容可能な棚を有するラック本体と、前記ラック本体の棚に形成され、前記ラック本体内に収容される前記電子機器の筐体の底面に形成された複数の凸部と係合可能な前記ラック本体の前後方向へ延びるガイド溝とを備えていることを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の電子機器収容ラックにおいて、前記電子機器の筐体の底面にエンボス加工によって凸部が形成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載の発明は、棚を有するラック本体に収容可能な電子機器の筐体において、前記電子機器の筐体の底面に形成され、前記ラック本体の棚に形成され前後方向へ延びるガイド溝に係合可能な複数の凸部を備えていることを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載の発明は、請求項１又は２記載の電子機器収容ラックと請求項３記載の筐体とからなることを特徴とする電子機器収納システムである。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、筐体をラック本体に容易に収納できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１はこの発明の一実施形態に係る電子機器収容システムの正面図である。
【００１６】
この電子機器収容システムは電子機器収容ラック（以下単にラックという）１と筐体３０とからなる。ラック１はラック本体１０と棚２０とを備えている。
【００１７】
ラック本体１０は箱型である。ラック本体１０には直方体状の筐体３０を収容可能な収納室１１を有する。収納室１１の開口部１２はラック本体１０の正面側に位置し、外部に臨む。ラック本体１０の４つの棚２０にそれぞれ３台の筐体３０を載置することができる。
【００１８】
図２は図１のII−II線に沿う断面を示す概念図、図３は筐体の底面図である。
【００１９】
ラック本体１０の棚２０の上面２０Ａにはラック本体１０の前後方向へ平行に延びる２本のガイド溝２５が形成されている。ガイド溝２５は、鉄鋼の板材を折り曲げてラック本体１０を形成する前に、その板材に例えばレーザカッティング法等によって形成される。レーザカッティングによれば精度良く加工できる。
【００２０】
筐体３０の底面３１には４つの凸部（図３参照）３２が形成され、凸部３２はガイド溝２５と係合可能である。ガイド溝２５の長さはそのガイド溝２５と係合する２つの凸部３２間の長さに一致する。図示しないが、筐体３０内には電子機器ユニットや電気基板が配置されている。
【００２１】
凸部３２は筐体３０の底面３１の所定位置にエンボス加工によって形成されている。エンボス加工は例えばステンレス鋼等の板材を折り曲げて筐体３０を形成する前に行われる。
【００２２】
筐体３０の背面３３にはラック本体１０の背面側内壁１０Ｂに設けられたラック側コネクタ１５と嵌合可能な筐体側コネクタ３５が取り付けられている。筐体３０の全部の凸部３２がガイド溝２５と係合したときに、ラック側コネクタ１５と筐体側コネクタ３５とが嵌合する。
【００２３】
なお、ラック側コネクタ１５は図示しないホストコンピュータ、リニアモータ、外部電源等に接続されている。筐体３０内に配置される電子機器ユニットや電気基板はラック側コネクタ１５を介してホストコンピュータ、リニアモータ等に接続される。
【００２４】
筐体３０を収納室１１に収納するときには、後側の凸部３２をガイド溝２５と係合させ、筐体３０を収納室１１の奥へ押し込む。全部の凸部３２がガイド溝２５とに係合したとき（図２参照）、筐体３０の収納室１１への収納が完了する。このとき、ラック側コネクタ１５と筐体側コネクタ３５とが嵌合される。
【００２５】
この実施形態によれば、筐体３０の案内機構としてガイドレールを採用する代わりに、棚２０に筐体３０の底面３１の凸部３２と係合可能なガイド溝２５を形成したので、ラック本体１０の製造が容易になり、ラック本体１０への筐体３０の収納が容易になる。また、ガイド溝２５に４つの凸部３２が落ち込んでラック側コネクタ１５と筐体側コネクタ３５とが嵌合するので、両コネクタ１５，３５の嵌合状態をラック本体１０の正面から容易に認識でき、コネクタの接触不良による事故を未然に防ぐことができる。更に、ガイドレールを折り曲げたり、棚２０の上面２０Ａにガイドレールを取り付けたりする工程が省略されるので、製造コストの低減を図ることができる。
【００２６】
なお、上記実施形態では凸部３２を４つ、ガイド溝２５を２本形成したが、この数に限るものではなく、少なくとも凸部３２が２つあり、ガイド溝２５が１本あればよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１はこの発明の一実施形態に係る電子機器収容システムの正面図である。
【図２】図２は図１のII−II線に沿う断面を示す概念図である。
【図３】図３は筐体の底面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０：ラック本体、２０：棚、２０Ａ：棚の上面、２５：ガイド溝、３０：筐体、３１：底面、３２：凸部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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