(57)【要約】【課題】搬送時間を短縮することができる方向転換装置を提供する。【解決手段】同じ長さを有し、何れか一方が第１搬送レール１６と同じ高さで、他方が一方よりも下方に配置され、且つ、互いに垂直で、２つの中点が同一鉛直線上に位置するように配置され、ＦＯＵＰ５を搬送する直線状の第１及び第２搬送路３・４と、その中点を中心に、第１及び第２搬送路３・４を同時に回転させるターンテーブル２及び回転部２２と、第１及び第２搬送路３・４を鉛直方向に移動させる昇降部２３と第１搬送レール１６からＦＯＵＰ５が第１搬送レール１６と同じ高さの搬送路に排出されると、第１及び第２搬送路３・４を略９０度回転させ、ＦＯＵＰ５を搬送路外に搬出した後、第１及び第２搬送路３・４の鉛直方向の位置を入れ替えるように制御する制御部２１とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬送する搬送レールから排出されたワークを方向転換する方向転換装置において、
同じ長さを有し、何れか一方が前記搬送レールと同じ高さで、他方が前記一方よりも下方に配置され、且つ、互いに垂直で、２つの中点が同一鉛直線上に位置するように配置され、ワークを搬送する直線状の第１及び第２搬送路と、
前記中点を中心に、前記第１及び第２搬送路を同時に回転させる回転部と、
前記第１及び第２搬送路を鉛直方向に移動させる昇降部と
前記搬送レールから前記ワークが前記搬送レールと同じ高さの搬送路に排出されると、前記第１及び第２搬送路を略９０度回転させ、前記ワークを前記搬送路外に搬出した後、前記第１及び第２搬送路の鉛直方向の位置を入れ替えるように制御する制御部と
を備えていることを特徴とする方向転換装置。
【請求項２】
前記搬送レール、前記第１及び第２搬送路は、両側に沿って回転可能な複数のローラを有しており、前記ローラ上に載置されたワークを前記ローラの回転によって搬送することを特徴する請求項１に記載の方向転換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送される物品の搬送方向を転換する方向転換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造、液晶製造、ＦＡ（Factory Automation）等における搬送手段として、例えば、特許文献１に記載の搬送装置がある。特許文献１の搬送装置は、一対のレールの上面から突出するようにホイールが回転可能に設けられており、ホイールに載置された物品がそのホイールの回転により、レールに沿って移送されるようになっている。また、特許文献１において、直角に配置されたレールには、物品の方向を変換するディレクター駆動レールが設けられている。ディレクター駆動レールは、直角に配置された２つのレールの間を旋回可能に設けられており、物品を載置した状態で旋回することで、物品を方向転換できるようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特表２００３−５０６２８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のように物品を方向転換する場合、方向転換終了後に、ディレクター駆動レールを再び旋回し、元の位置に戻さなければ、次に搬送レールを移送されてくる物品を方向転換できなくなってしまう。このため、方向転換する度に、ディレクター駆動レールを元の位置に戻す必要があり、その間は、物品を搬送できないため、無駄な時間が発生してしまい、搬送時間が長くなってしまうという問題が発生する。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、搬送時間を短縮することができる方向転換装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は、ワークを搬送する搬送レールから排出されたワークを方向転換する方向転換装置において、同じ長さを有し、何れか一方が搬送レールと同じ高さで、他方が一方よりも下方に配置され、且つ、互いに垂直で、２つの中点が同一鉛直線上に位置するように配置され、ワークを搬送する直線状の第１及び第２搬送路と、中点を中心に、第１及び第２搬送路を同時に回転させる回転部と、第１及び第２搬送路を鉛直方向に移動させる昇降部と搬送レールからワークが搬送レールと同じ高さの搬送路に排出されると、第１及び第２搬送路を略９０度回転させ、ワークを搬送路外に搬出した後、第１及び第２搬送路の鉛直方向の位置を入れ替えるように制御する制御部とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によると、ワークを方向転換して搬出した後、短時間で、次のワークを方向転換させる準備を行うことができる。具体的には、第１搬送路を搬送レールの高さと一致させると共に、第２搬送路を第１搬送路と垂直で第１搬送路より下方に配置しておくことで、第２搬送路が邪魔になることなく搬送レールのワークを第１搬送路に排出することができるようになっている。そして、搬送レールから第１搬送路にワークが排出されると、第１及び第２搬送路を略９０度回転させることで、ワークを９０度方向転換できる。そして、第１搬送路からワークを搬出した後に、第１及び第２搬送路の鉛直方向の位置を入れ替えることで、搬送レールのワークを第２搬送路に排出できるようになる。
【０００８】
即ち、回転部に搬送路を一つだけ設けた場合、搬送路を回転させ、ワークを搬出した後に、その搬送路を再び搬送レールからワークを受け取ることができる位置まで回転させる必要があるが、上記のように２つの搬送路の鉛直方向の位置を入れ替えるようにすることで、無駄な時間を短縮できるようになる。
【０００９】
また、本発明の搬送レール、第１及び第２搬送路は、両側に沿って回転可能な複数のローラを有しており、ローラ上に載置されたワークをローラの回転によって搬送することを特徴する。
【００１０】
この構成によると、搬送レール及び搬送路の両側に沿って設けられているローラの回転によりワークが搬送されるようになっているため、ワークの方向が乱れることなくワークを搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態に係る方向転換装置は、半導体製品製造施設のように、工程内や工程間を搬送レールで処理対象物を搬送して処理を加えながら最終製品とする搬送システム等に好適に適用される。尚、以降の説明においては、処理対象物を半導体とし、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物を搬送する搬送システムについて説明するが、これに限定されるものではなく、電子部品や機械部品、化学品、食品、書類等の荷物を搬送する全業種の搬送システムに適用することができる。
【００１２】
また、半導体とは、例えば、図５に示すＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるカセット内に複数枚収納された半導体ウェハ（図示せず）である。ＦＯＵＰは略立方体の２つの角取りした形状を有している。半導体は、カセット単位で搬送され、後述の各処理装置１５内で所定の処理が施されていく。以下の説明で、搬送レール１０上を搬送される搬送物をＦＯＵＰ５（ワーク）と称する。
【００１３】
本実施の形態の搬送システムは、図４に示すように、複数の処理装置１５と、ＦＯＵＰ５を各処理装置１５に搬送する搬送レール１０と、方向転換装置１と、搬送システム全体を制御する図示しない制御装置とを有している。なお、搬送システムは、複数の処理装置１５を含む複数のベイからなっており、ＦＯＵＰ５は１つのベイ内で処理が終了すると、次のベイへと搬送される。
【００１４】
処理装置１５は、例えば、薄膜フィルムをウェハ上に形成させるための装置、種々の段階としてウェハを洗浄、調整、測定するための装置、ウェハを保管する装置（所謂、「ストッカ」）等を含む。各処理装置１５は、入出口にロードポート１５ａを有しおり、ロードポート１５ａにより搬送レール１０上を搬送されるＦＯＵＰ５を取り込み、収納される半導体を処理装置に取り込んだり、処理後の半導体をＦＯＵＰ５に収納し、搬送レール１０に排出したりすることができるようになっている。
【００１５】
搬送レール１０は、ＦＯＵＰ５を処理装置１５から他の処理装置１５に、又は次のベイに搬送するレールである。搬送レール１０は、例えば図５に示すように、ＦＯＵＰ５の底面を支持可能な幅で隔てられた１対のレール１１・１２と、各レール１１・１２の上面から突出した複数のローラ１３とを有している。ローラ１３は、レール１１・１２の長手方向に沿って略均等な間隔で配置され、一定方向に回転するようになっている。そして、ローラ１３に載置されたＦＯＵＰ５は、ローラ１３が回転することにより、ローラ１３の回転方向に移動するようになっている。
【００１６】
なお、ローラ１３を駆動させる駆動モータは、各ベイ毎に独立して作動するようになっている。これにより、各ベイ毎にローラ１３の回転速度を変えることができるため、搬送するＦＯＵＰ５の搬送速度を変えることができるようになる。即ち、処理工程の処理時間が異なるベイ毎に応じてＦＯＵＰ５の搬送速度を変えることができる。また、次のベイ内のＦＯＵＰ５数が多い場合は、ローラ１３の回転速度を減速させることで、ＦＯＵＰ５の搬送速度も減速でき、次のベイに搬送されるＦＯＵＰ５の数を減らすことができるようになり、処理能力以上の数のＦＯＵＰ５がベイに存在することを防ぐことができるようになる。
【００１７】
また、搬送レール１０のレール１１・１２は、図示しないが、外側の縁に沿って上方に突起した形状となることが好ましい。この突起部分を搬送ガイドとすることにより、搬送されるＦＯＵＰ５が水平方向に横ズレを生じることを防ぐことができるようになる。
【００１８】
方向転換装置１は、ＦＯＵＰ５の搬送方向を転換する装置である。方向転換装置１は、図４に示すように、２つ以上の搬送レール１０が交差する交差部に設けられ、ＦＯＵＰ５の搬送方向を転換できるようになっている。交差部は、四方十字型交差部であってもよいし、三方「Ｔ字型」交差部、垂直交差部であってもよく、２つ以上の搬送レールの搬送方向が夫々垂直となる交差部であればよい。本実施の形態では、図１に示すように、第１搬送レール１６、第２搬送レール１７及び第３搬送レール１８からなる三方「Ｔ字型」交差部に方向転換装置１を配置した場合について説明する。具体的には、三方「Ｔ字型」交差部を形成する第１搬送レール１６及び第２搬送レール１７は一直線上に配置され、それらの搬送レールに垂直に第３搬送レール１８が配置され、方向転換装置１は、これら３つの搬送レール１６・１７・１８の交差部分に配置される。なお、搬送レール１６・１７は、ＦＯＵＰ５を図中上方向に搬送し、搬送レール１８は、ＦＯＵＰ５を図中左方向に搬送するようになっている。
【００１９】
方向転換装置１は、図１に示すように、水平方向に回転するターンテーブル２（回転部）と、ターンテーブル２に設けられ、上方から見て互いに十字型に交差する第１搬送路３及び第２搬送路４を有している。ターンテーブル２は、略円筒形状であって、その中心軸が回転軸となり、一定方向（図中矢印方向）に９０度間隔で回転する。第１搬送路３は、搬送レール１０のレール１１・１２に設けられたローラ１３の幅と同じ幅に隔てられた一対のローラ３ａを直線上に複数有しており、ローラ３ａに載置されたＦＯＵＰ５がそのローラ３ａの回転により搬送されるようになっている。また、第２搬送路４も、第１搬送路３と同様に、一対のローラ４ａを直線上に複数有している。なお、第１搬送路３及び第２搬送路４は、鉛直方向に昇降可能になっており、ローラ３ａ・４ａは、昇降時に互いに接触しないように設けられている。
【００２０】
十字型に交差する第１搬送路３及び第２搬送路４は、その交点がターンテーブル２の中心軸と一致するように配置される。より具体的には、第１搬送路３及び第２搬送路４は、同じ長さを有しており、それらの中点がターンテーブル２の中心軸と一致するように配置される。即ち、第１搬送路３及び第２搬送路４は、それらの中点を中心に回転するようになっている。さらに、ターンテーブル２に設けられた第１搬送路３が、第１搬送レール１６及び第２搬送レール１７と一直線となるように配置され、第２搬送路４が第３搬送レール１８と一直線となるように配置される。従って、ターンテーブル２を略９０度回転させると、第１搬送路３は、第３搬送レール１８と一直線となり、第２搬送路４は、第１及び第２搬送レール１６・１７と一直線となり、さらに９０度回転させると、第１搬送路３は、再び第１搬送レール１６及び第２搬送レール１７と一直線となり、第２搬送路４は第３搬送レール１８と一直線となる
【００２１】
なお、ローラ３ａ・４ａは、正逆回転可能となっており、第１搬送路３及び第２搬送路４を回転させて向きが逆になっても、ローラ３ａ・４ａを逆方向に回転することで、ＦＯＵＰ５を常に一定方向に搬送できるようになっている。
【００２２】
また、ローラ３ａ・４ａは、図示しないが、ＦＯＵＰ５が載置される円筒状の載置部と、該載置部分よりも一回り略大きい径を有する円筒状の縁部とからなり、ＦＯＵＰ５は、移動部に載置され搬送される際に、載置部よりも径が大きい縁部がガイドの役割を果たすことにより、ＦＯＵＰ５の横ズレを防ぐことができるようになっている。
【００２３】
また、回転駆動される方向転換装置に設置される駆動モータであって、第１、２搬送路のローラ駆動や昇降動作を司る電力モータへの外部からの電力供給手段には非接触給電方式、スリップリング方式などの慣用技術を用い、場合によりバッテリー搭載などの方法を採用する。
【００２４】
ここで、回転及び昇降移動する、方向転換装置１の第１搬送路３及び第２搬送路４の位置関係について説明する。
【００２５】
搬送システムの開始時等においては、図１（ａ）に示すように、第１搬送路３は、第１搬送レール１６及び第２搬送レール１７と一直線となる位置で、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、ローラ３ａが搬送レール１６・１７のローラ１３の高さと略同じ位置になり、第２搬送路４は、ローラ４ａが第１搬送路３から突出しないように第１搬送路３の下方の位置に配置される。これにより、第１搬送レール１６を搬送されるＦＯＵＰ５は、第２搬送路４に邪魔されることなく、第１搬送路３を介して第２搬送レール１７に搬送されることが可能になる。
【００２６】
次に、第１搬送レール１６上のＦＯＵＰ５を、第１搬送レール１６と搬送方向が垂直な第３搬送レール１８に進入させる場合、ＦＯＵＰ５が、第１搬送レール１６から第１搬送路３に進入すると、図１（ｂ）に示すように、ターンテーブル２を回転させる。そして、ターンテーブル２を略９０度回転させると、図２（ａ）や図３（ｃ）に示すように、ＦＯＵＰ５を載置した第１搬送路３は、第３搬送レール１８と一直線となる。これにより、第１搬送路３上のＦＯＵＰ５は、第３搬送レール１８に進入可能となる。
【００２７】
第１搬送路３が第３搬送レール１８と一直線となると、第１搬送路３と垂直に配置された第２搬送路４は、第１搬送レール１６及び第２搬送レール１７と一直線となる。従って、第１搬送路３上のＦＯＵＰ５が第３搬送レール１８に進入した後、図２（ｂ）や図３（ｄ）に示すように、第１搬送路３を下降させると共に、第２搬送路４を、ローラ４ａがローラ１３の高さと一致するまで上昇させることより、第１搬送レール１６を搬送されるＦＯＵＰ５は、第２搬送路４に進入可能となる。即ち、図１（ａ）で説明した状態と同じになる。
【００２８】
次に、方向転換装置１を制御する制御装置２０について説明する。図６は、方向転換装置１を制御する制御装置のブロック図である。
【００２９】
制御装置２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）を有する制御部２１と、ターンテーブル２を回転させる回転部２２と、第１及び第２搬送路３・４を昇降させる昇降部２３と、第１及び第２搬送路３・４のローラ３ａ・４ａを回転させるローラ駆動部２４と、ＦＯＵＰ５がターンテーブル２に載置されたことを検知するセンサ２５とを有している。
【００３０】
制御部２１のＣＰＵは、ＲＯＭ等に格納される図７に示すデータテーブルやプログラムを実行することで、図８に示す処理ルーチンを実行し、回転部２２や昇降部２３、ローラ駆動部２４を制御するようになっている。
【００３１】
図７に示すデータテーブルは、ＦＯＵＰ５を第１搬送レール１６から第３搬送レール１８に搬送する際に使用されるテーブルであって、回転角度欄と、モード欄と、ＦＯＵＰ欄と、ローラ回転方向欄と、上下位置欄とを有している。回転角度欄には、ターンテーブル２の回転角度、０度、９０度、１８０度、２７０度が格納されている。本実施の形態では、回転角度は、第１搬送路３の回転を基準とし、図１（ａ）で説明した、第１搬送路３が第１搬送レール１６及び第２搬送レール１７と一直線となる状態を「０度」とする。
【００３２】
モード欄には、搬出モードと搬入モードとが格納されている。搬出モードは、ターンテーブル２から第３搬送レール１８にＦＯＵＰ５を搬出する際のモードであり、搬入モードは、第１搬送レール１６からターンテーブル２にＦＯＵＰ５を搬入する際のモードである。
【００３３】
ＦＯＵＰ欄には、「なし」、「あり」が格納されている。「なし」の場合、ターンテーブル２上にＦＯＵＰ５が載置されていない状態であり、「あり」の場合、ＦＯＵＰ５が載置された場合である。より具体的には、本実施の形態では、ＦＯＵＰ５が第１搬送レール１６からターンテーブル２の略中心まで移動すると、センサ２５がそれを検知し、ＦＯＵＰ５が「なし」の状態から「あり」の状態となる。また、ＦＯＵＰ５がターンテーブル２から第３搬送レール１８に搬出されると、ＦＯＵＰ５が「あり」の状態から「なし」の状態となる。
【００３４】
ローラ回転方向欄は、第１搬送路欄及び第２搬送路欄に区分され、ターンテーブル２の回転角度に対応する、ローラ３ａ又はローラ４ａの回転方向が格納されている。なお、回転角度が「０度」の場合において、ＦＯＵＰ５を第１搬送レール１６から第２搬送レール１７方向に搬送させるように回転する方向をローラ３ａの「正」方向とする。即ち、回転角度が「１８０度」の場合、ローラ３ａの回転方向を「逆」にすることで、回転角度が「０度」の場合にローラの回転方向を「正」とした場合と同方向にＦＯＵＰ５を搬送できるようになる。また、回転角度が「９０度」の場合において、ＦＯＵＰ５を第１搬送レール１６から第２搬送レール１７方向に搬送させるように回転する方向をローラ４ａの「正」方向とする。また、テーブル中の「−」は、ローラを回転させないことを意味する。さらに、後述するが、ターンテーブル２が回転中は、ローラ３ａ・４ａは回転しないようになっている。
【００３５】
上下位置欄は、第１搬送路欄及び第２搬送路欄に区分され、ターンテーブル２の回転角度における第１搬送路３と第２搬送路４の位置が格納されている。ここで、位置が「上」とは、ローラ３ａ又はローラ４ａが搬送レール１６・１７・１８のローラ１３の高さと同じ位置となる状態であり、「下」とは、ローラ３ａ又はローラ４ａが「上」にあるローラ３ａ又はローラ４ａから突出しない位置となる状態を言う。例えば、回転角度が「０度」で、ＦＯＵＰが「なし」の状態の場合、第１搬送路３及び第２搬送路４の位置関係は、第１搬送路３が「上」の位置、第２搬送路４が「下」の位置となる状態となる。
【００３６】
（制御装置の動作）
次に、第１搬送レール１６のＦＯＵＰ５を第３搬送レール１８に進入させる場合の方向転換装置１の制御装置の動作について説明する。
【００３７】
図８に示す方向転換処理ルーチンにおいて、まず、第１搬送路３を基準とし、ターンテーブル２の回転角度を取得する（Ｓ１）。そして、取得した回転角度及び図７のデータテーブルに基づいて、搬送路のローラを駆動する（Ｓ２）。具体的には、回転角度が「０度」で、モードが「搬入モード」である場合、第１搬送路３のローラ３ａを正方向に回転させる。なお、このとき、第２搬送路４のローラ４ａは回転しない。
【００３８】
次に、ターンテーブル２にＦＯＵＰ５が載置されているか否かを判定する（Ｓ３）。具体的には、ＦＯＵＰ５が第１搬送レール１６から第１搬送路３の中央にまで進入したか否かを判定する。ＦＯＵＰ５が載置されていない場合（Ｓ３：ＮＯ）、Ｓ３を繰り返す。ＦＯＵＰ５が載置された場合（Ｓ３：ＹＥＳ）、ローラ３ａの回転を停止すると共に（Ｓ４）、ターンテーブル２を略９０度回転させる（５）。なお、このとき、ＦＯＵＰ５が第１搬送路３を移動しながらターンテーブルを回転するようにしてもよい。
【００３９】
そして、ターンテーブル２が９０度回転し、第１搬送路３が第３搬送レール１８と一直線となった後、再びローラ３ａを回転させる（Ｓ６）。続いて、ターンテーブル２にＦＯＵＰ５が載置されてないか否かを判定する（Ｓ７）。即ち、第１搬送路３上のＦＯＵＰ５が第３搬送レール１８に排出されたか否かを判定する。ＦＯＵＰ５が載置されている場合（Ｓ７：ＮＯ）、Ｓ７を繰り返す。ＦＯＵＰ５が載置されていない場合（Ｓ７：ＹＥＳ）、ローラ３ａの回転を停止し（Ｓ８）、第１搬送路３を下降させると共に、第２搬送路４を上昇させ、第１搬送路３及び第２搬送路４の高さの位置を入れかえる（Ｓ９）。その後、Ｓ１に戻り、上記動作を繰り返す。
【００４０】
（本実施形態の概要）
以上説明したように、本実施の形態において、ＦＯＵＰ５を搬送する第１搬送レール１６から排出されたＦＯＵＰ５を方向転換する方向転換装置において、同じ長さを有し、何れか一方が第１搬送レール１６と同じ高さで、他方が一方よりも下方に配置され、且つ、互いに垂直で、２つの中点が同一鉛直線上に位置するように配置され、ＦＯＵＰ５を搬送する直線状の第１及び第２搬送路３・４と、中点を中心に、第１及び第２搬送路３・４を同時に回転させるターンテーブル２及び回転部２２と、第１及び第２搬送路３・４を鉛直方向に移動させる昇降部２３と第１搬送レール１６からＦＯＵＰ５が第１搬送レール１６と同じ高さの搬送路に排出されると、第１及び第２搬送路３・４を略９０度回転させ、ＦＯＵＰ５を搬送路外に搬出した後、第１及び第２搬送路３・４の鉛直方向の位置を入れ替えるように制御する制御部２１とを備えた構成となっている。
【００４１】
この構成によると、ＦＯＵＰ５を方向転換して搬出した後、短時間で、次のＦＯＵＰ５を方向転換させる準備を行うことができる。具体的には、第１搬送路３を第１搬送レール１６の高さと一致させると共に、第２搬送路４を第１搬送路と垂直で第１搬送路３より下方に配置しておくことで、第２搬送路４が邪魔になることなく第１搬送レール１６のＦＯＵＰ５を第１搬送路３に排出することができるようになっている。そして、第１搬送レール１６から第１搬送路３にＦＯＵＰ５が排出されると、第１及び第２搬送路３・４を略９０度回転させることで、ＦＯＵＰ５を９０度方向転換できる。そして、第１搬送路３からＦＯＵＰ５を搬出した後に、第１及び第２搬送路３・４の鉛直方向の位置を入れ替えることで、第１搬送レール１６のＦＯＵＰ５を第２搬送路４に排出できるようになる。
【００４２】
即ち、回転部に搬送路を一つだけ設けた場合、搬送路を回転させ、ＦＯＵＰ５を搬出した後に、その搬送路を再び第１搬送レール１６からＦＯＵＰ５を受け取ることができる位置まで回転させる必要があるが、上記のように２つの搬送路の鉛直方向の位置を入れ替えるようにすることで、無駄な時間を短縮できるようになる。
【００４３】
また、本発明の第１搬送レール１６、第１及び第２搬送路３・４は、両側に沿って回転可能な複数のローラ３ａ・４ａを有しており、ローラ上に載置されたＦＯＵＰ５をローラの回転によって搬送する構成となっている。
【００４４】
この構成によると、第１搬送レール１６及び搬送路の両側に沿って設けられているローラの回転によりＦＯＵＰ５が搬送されるようになっているため、ＦＯＵＰ５の方向が乱れることなくＦＯＵＰ５を搬送することができる。
【００４５】
（変形例）
本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の趣旨と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【００４６】
例えば、本実施の形態では、ＦＯＵＰ５が第１搬送路３に載置されると、第１搬送路３のローラ３ａの回転を停止し、ターンテーブル２を回転させているが、ＦＯＵＰ５を搬送しながらターンテーブル２を回転するようにしてもよい。この場合、第１搬送路３上のＦＯＵＰ５を停止させることなく、第１搬送レール１６から第３搬送レール１８に搬送できるようになるため、方向転換に要する時間をより短縮できるようになる場合がある。さらに、本実施の形態では、方向転換装置１を三方「Ｔ字型」交差部に配置した場合について説明したが、上記したようにこれに限定されることはなく、２つ以上の搬送レールが交差する位置に設けることができる。
【００４７】
また、方向転換装置１上において、ＦＯＵＰ５をローラ３ａ・４ａの回転により搬送するようにしているが、例えば、ベルトコンベアにより搬送するようにしてもよく、その搬送方法は上述の実施の形態に限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施の形態の方向転換装置を上面から見た概略図。
【図２】本実施の形態の方向転換装置を上面から見た概略図。
【図３】本実施の形態の方向転換装置を側面から見た概略図。
【図４】本実施の形態の搬送システムの一部分の概略図。
【図５】図４の搬送システムに用いられる搬送レールの概略図。
【図６】方向転換装置のブロック図。
【図７】データテーブルを示す図。
【図８】方向転換処理ルーチンのフローチャートを示す図。
【符号の説明】
【００４９】
１    方向転換装置
２    ターンテーブル
３    第１搬送路
４    第２搬送路
５    ＦＯＵＰ
１６    第１搬送レール
１７    第２搬送レール
１８    第３搬送レール
【図１】
2007217078.tif 000003
【図２】
2007217078.tif 000004
【図３】
2007217078.tif 000005
【図４】
2007217078.tif 000006
【図５】
2007217078.tif 000007
【図６】
2007217078.tif 000008
【図７】
2007217078.tif 000009
【図８】
2007217078.tif 000010