(57)【要約】【課題】  重りを挟んで配置される一対の磁性体間のギャップのバラツキを抑えることにより、安定した検出特性を得ることのできる電磁駆動型角速度センサを提供する。【解決手段】  センサチップ１の支持体１１を、重り１３よりも厚くして重り１３から上側ヨーク３側に突出させ、この突出端面を、上側ヨーク３の凸状部３１の平面３３に当接させて固着する。下側ヨーク４の凸状部４１の平面４３と支持体１１との間に、該支持体１１の下面に固着したスペーサ９を介在させる。上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１の平面３３，４３間に、センサチップ１の支持体１１およびスペーサ９を介在させて、ヨーク３，４間のギャップを一定以上に確保するとともに、重り１３が上下のヨーク３，４に接触することを防ぐ。【選択図】      図２
2007033227.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠状の支持体の内側に、支持梁を介して、所定の質量を有し、かつ、駆動用電極および検出用電極が形成された重りが振動可能に支持されてなる検出部と、
この検出部を挟んで配置される一対の磁性体、およびこれら磁性体に近接して配置される磁石とからなり、前記検出部に磁界を付与する磁界形成部とを有し、
前記駆動用電極に電流を流すことによって生じる電磁力の作用に伴って前記重りに一定方向の振動が誘起し、この誘起振動の方向に直交する方向に働くコリオリ力の作用に伴って生じる誘導起電力を前記検出用電極を介して検出し、これをもって角速度を検出する電磁駆動型角速度センサであって、
前記一対の磁性体には、前記重りの振動範囲に特に磁束が強く作用するよう重りに向かって突出する凸状部がそれぞれ形成され、
これら凸状部には支持平面が形成され、
前記一対の磁性体の各前記支持平面間に、これら一対の磁性体間のギャップを所定距離に確保するギャップ形成部が介在していることを特徴とする電磁駆動型角速度センサ。
【請求項２】
前記ギャップ形成部は、前記支持体に、前記磁性体に向かって突出して形成された突出部か、あるいは、前記重りよりも前記磁性体側に突出する支持体自身であることを特徴とする請求項１に記載の電磁駆動型角速度センサ。
【請求項３】
前記ギャップ形成部は、前記支持体とは別体のスペーサであることを特徴とする請求項１に記載の電磁駆動型角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体の角速度を検出する振動式角速度センサに係り、特に、振動を電磁力の作用で誘起する電磁駆動型角速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
振動式角速度センサは、所定質量の重りを、周囲に配した支持体に、弾性を有する支持梁を介してＸ方向およびＹ方向に振動可能に連結し、重りを、Ｘ方向に一定の振幅で振動するよう駆動する構造となっている。そして、センサ全体がＺ軸回りに回転すると、重りがＹ方向にも振動し、このＹ方向の振動の状態を検出することにより、Ｚ軸回りの角速度が求められようになっている。
【０００３】
このような振動式角速度センサの振動方式を電磁駆動で行う形式のものが、電磁駆動型角速度センサである。この電磁駆動型角速度センサでは、重りに、駆動用と検出用の電極をそれぞれ形成し、その重りに対しＺ軸方向に磁界をかけて形成される磁束により、電磁力が発生して重りがＸ方向に振動する。そして、センサ全体がＺ軸回りに回転すると、Ｙ方向に働くコリオリ力の作用に伴って誘導起電力が生じ、この誘導起電力を検出用電極で検出して、角速度を検出するものである。このような原理を用いた電磁駆動型角速度センサとしては、例えば特許文献１で公知である。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２８３６７号公報（図１６等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、上記のように重りに磁界をかけて形成される磁束は、重りに近接配置させた磁性体および磁石といった複数の構成要素で形成される。上記特許文献１では、同文献の図１６に示されるように、重り（板状構造体２３０の周囲部２３３に可撓部２３２を介して結合された中央部２３１）を間に挟んで対向配置された上下の磁性体（キャップ２２０の磁気ヘッド２２１および支持体２５０の磁気ヘッド２５１）と、下側の磁性体に密着する磁石２６０とによって、磁束は形成される。
【０００６】
ところで、電磁駆動型角速度センサにあっては、重りが配置される磁性体間のギャップでの磁束密度が、性能に直接影響を及ぼすとされている。したがって、そのギャップは、安定した検出特性を確保する上でなるべく一定であることが求められ、また、小さければ小さいほど高い磁束密度が得られて性能が向上する。さらに、上記特許文献１の磁性体のように、磁性体の重りへの対向部分を突出した形状にすると、磁束の断面積が絞られ、重りに磁束密度が集中して性能の向上が図られることも知られており、このように磁性体が突出した形状のものにおいては、磁性体間のギャップの影響は特に顕著となる。
【０００７】
さて、このように、一定で、かつ微小な間隔が求められる磁性体間のギャップは、上記特許文献１に示されるような構造の場合、重りを挟む一対の磁性体と磁石とが組み合わせられた状態で決まってくるものである。そして、これら部材の寸法精度や組立精度といった製造上の理由により、ギャップには当然バラツキが生じる。
【０００８】
このバラツキは、上述の如く検出特性のバラツキを招くために抑える必要があり、そのためには、公差（部材の寸法および組立状態などでの公差）を管理するといった手段が考えられる。ギャップの下限値に関しては、なるべく小さくすれば磁束密度が大きくなるものの、磁性体が重りに接触して角速度が検出不能になる可能性を考慮すると、一定以上を確保する必要があり、一方、上限値は、部材の寸法精度や組立精度で決まってくる。
【０００９】
したがって、ギャップのバラツキを抑えるには、バラツキに関与する部材である磁性体および磁石の寸法精度を上げればよい。しかしながら、そのためには部材の製造方法を見直して工程の変更や追加を余儀なくされるので、製造上のコストあるいは部材そのもののコストが大幅に高騰し、このため、製品を安価に提供することが難しくなってしまうといった問題が生じる。
【００１０】
よって本発明は、重りを挟んで配置される一対の磁性体間のギャップのバラツキを抑えて安定した検出特性を得ることのできる電磁駆動型角速度センサを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、枠状の支持体の内側に、支持梁を介して、所定の質量を有し、かつ、駆動用電極および検出用電極が形成された重りが振動可能に支持されてなる検出部と、この検出部を挟んで配置される一対の磁性体、およびこれら磁性体に近接して配置される磁石とからなり、検出部に磁界を付与する磁界形成部とを有し、駆動用電極に電流を流すことによって生じる電磁力の作用に伴って重りに一定方向の振動が誘起し、この誘起振動の方向に直交する方向に働くコリオリ力の作用に伴って生じる誘導起電力を検出用電極を介して検出し、これをもって角速度を検出する電磁駆動型角速度センサであって、一対の磁性体には、重りの振動範囲に特に磁束が強く作用するよう重りに向かって突出する凸状部がそれぞれ形成され、これら凸状部には支持平面が形成され、一対の磁性体の各支持平面間に、これら一対の磁性体間のギャップを所定距離に確保するギャップ形成部が介在していることを特徴としている。
【００１２】
本発明では、重りに磁界を付与する磁界形成部は、重りの両側に配される一対の磁性体と磁石とによって構成される。そして、重りは磁性体間（厳密に言うと凸状部間）のギャップに配されるが、そのギャップは、磁性体の凸状部に形成された支持平面間に挟み込まれて両者の間に介在するギャップ形成部によって、一定もしくは一定以上に保たれる。
【００１３】
本発明の電磁駆動型角速度センサは、磁性体および磁石を組み立てた状態で、磁性体の凸状部がギャップ形成部に当接するか、もしくは当接しないように公差を設定する組立構造と、磁性体がギャップ形成部に確実に当接する組立構造の２通りの場合がある。
【００１４】
前者の組立構造では、寸法精度や組立精度などの要素によって磁性体間のギャップが公差の範囲内で小さくなる場合には、凸状部がギャップ形成部に当接することで、重りに接触しない範囲で磁性体間のギャップを最小とすることができる。また、ギャップが大きい場合には、磁性体の凸状部はギャップ形成部から離れる。
【００１５】
本発明では、ギャップ形成部によって磁性体の凸状部が重りに接触することを確実に防ぐことができるので、公差の中央値を小さい側に振ることができる。これによって、ギャップ形成部から凸状部が離れた場合の、両者の離間距離を小さくすることができ、このため、磁性体間のギャップをなるべく小さく設定することができるとともに、バラツキを抑えることができる。これらのことから、磁性体が重りに接触することを確実に防ぐことができるとともに、磁性体間のギャップを小さく、かつ、バラツキを抑えることができる。
【００１６】
一方、磁性体がギャップ形成部に確実に当接する組立構造では、磁性体の凸状部をギャップ形成部に当接させることにより、その凸状部が重りに接触することを確実に防ぐように設定することができるとともに、磁性体間のギャップを一定とすることができる。このため、そのギャップにおける磁束密度が一定となり、より安定した検出特性を得ることができる。
【００１７】
本発明の上記ギャップ形成部の具体的構成としては、検出部の支持体に、磁性体に向かって突出して形成された突出部や、検出部の重りよりも磁性体側に突出する支持体自身が挙げられる。また、これらの代わりに、支持体とは別体のスペーサで構成することもできる。
【００１８】
図１（ａ）〜（ｃ）は、本発明の概念を模式的に示すとともに、ギャップ形成部の形態例を示している。これら図では、互いに平行に配され、凸状部１０１が対向面に形成された上下の磁性体１００の間に、支持体１１１の内側に支持梁１１２を介して重り１１３を支持した検出部１１０が配置されており、磁性体１００においては、凸状部１０１の互いの対向面が支持平面１０２とされている。なお、同図では磁界形成部の磁石は図示していない。
【００１９】
図１（ａ）では、検出部１１０の支持体１１１の両側（上下の面）に、ギャップ形成部として突出部１２１が形成されている。また、図１（ｂ）の支持体１１１は、重り１１３よりも厚く、重り１１３は支持体１１１の厚さの中間部分に支持されている。これによって支持体１１１が重り１１３よりも上下の磁性体１００側に突出しており、支持体１１１自身がギャップ形成部として機能している。図１（ｃ）では、支持体１１１の下面と下側の磁性体１００の支持平面１０２との間に、図１（ａ）の突出部１２１の代わりにスペーサ１２２が設けられている。
【００２０】
図１（ａ），（ｃ）の突出部１２１や、図１（ｃ）のスペーサは、支持体１１１の全周にわたって形成されたものでもよく、部分的に形成されていてもよい。また、図１（ｂ）の支持体１１１は、全周にわたって重りよりも厚く形成されていてもよく、部分的に厚く形成されていてもよい。
【００２１】
図１で示した各種ギャップ形成部は、上下の磁性体１００の支持平面１０２に当接しているが、少なくとも一方の磁性体１００から離れている場合も、上述したように本発明に含まれる。また、ギャップ形成部は、上記の突出部１２１、支持体１１１自身、スペーサ１２２のうちから１種類を採用する他に、これらを任意に組み合わせてもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の電磁駆動型角速度センサによれば、重りを挟んで配置される一対の磁性体の支持平面間に、磁性体間のギャップを所定距離に確保するギャップ形成部を介在させたので、磁性体間のギャップのバラツキが抑えられ、これによってそのギャップにおける磁束密度が一定化し、安定した検出特性を得ることができるといった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明を具体化した一実施形態を説明する。
図２は、一実施形態に係る電磁駆動型角速度センサの縦断面図であり、該角速度センサは、センサチップ１と、センサチップ１の周囲に配設されるリング状の磁石２と、センサチップ１および磁石２を挟んで組み付けられる上下一対のヨーク３，４と、上側ヨーク３の外面に重ねて固着される回路基板５とを備えている。この場合、磁石２と上下のヨーク３，４との組み合わせで、磁界を形成する磁界形成部６が構成される。図３は、図２中の下側ヨーク４を外した状態での当該角速度センサの下面図、図４は図３の中央部分の拡大図である。
【００２４】
上側ヨーク３は、図５および図７（ａ）に示すように、円盤状であって、その片面（組立状態で内面）には、Ｘ字状で、断面が略三角形状の凸状部３１が形成されている。この凸状部３１は、２本の直線部３２が上側ヨーク３の中心で交差する点対称のＸ字状を呈しており、直線部３２の長さは、上側ヨーク３の直径の約半分程度とされている。凸状部３１の頂上部分は、所定の幅を有する平面（支持平面）３３に形成されている。また、上側ヨーク３には、センサチップ１に回路基板５を接続させるための接続用孔３４と、上下のヨーク３，４の互いの面方向の相対位置を位置決めさせるための位置決め用孔３５とが形成されている。
【００２５】
接続用孔３４は、凸状部３１が形成された正方形状の領域（直線部３２の４箇所の端部を結ぶ領域）の周囲であって、直線部３２の端部間の中央部の外側に、それぞれ形成されている。すなわち接続用孔３４は４つ形成されており、この場合、図５に示すように、同図で凸状部３１の左右に形成された２つは径方向に長い長方形状であり、上下の２つは矩形状である。
【００２６】
位置決め用孔３５は、小さな丸孔であって、図５に示すように、同図で左右の接続用孔３４の下側に１つずつ、計２つ形成されている。図５で判るように、凸状部３１、接続用孔３４および位置決め用孔３５は、左右対称的に形成されている。
【００２７】
下側ヨーク４は、接続用孔３４が形成されていないことを除けば、上側ヨーク３と同様のものである。すなわち、その片面には上側ヨーク３と同様の交差する２本の直線部４２によるＸ字状の凸状部４１が形成されており、位置決め用孔３５と同じ箇所に位置決め用孔（図示されていない）が形成されている。上下のヨーク３，４を、凸状部３１，４１側の面を互いに対面させて、図７に示す位置決めピン７を両ヨーク３，４の位置決め用孔（上側ヨーク３では３５）に嵌め込むと、それぞれの凸状部３１，４１が互いに対向するようになっている。
【００２８】
回路基板５は、図６および図７（ｂ）に示すように、上側ヨーク３と同径の円盤状に形成されたもので、上側ヨーク３の上面に外周縁を合わせて重ねられ、接着等の手段で固着されている。回路基板５の上側ヨーク３への合わせ面である内面であって、上側ヨーク３の接続用孔３４に対応する箇所には、それら接続用孔３４を貫通して下側ヨーク４に向かって突出するホルダ部５１が形成されている。回路基板５およびホルダ部５１は、回路基板用として一般周知である樹脂等の絶縁体で一体成形されている。ホルダ部５１内には、その突出方向に沿って複数の導線５２が埋め込まれており、ホルダ部５１の先端面には、各導線５２の端子が露出している。
【００２９】
回路基板５の上面には、複数の回路部品５３が搭載されており、これら回路部品５３は図６（ｂ）に示す回路基板５の内面に形成された回路パターン５４を介して、各ホルダ部５１内の所定の導線５２に接続されている。
【００３０】
センサチップ１は、図２〜図４に示すように、正方形の枠状に形成された支持体１１と、この支持体１１の内側に支持梁１２を介して弾性的に支持された所定質量を有する重り１３とを備えている。支持体１１は、上記ヨーク３，４のＸ字状の凸状部３１，４１が形成された領域とほぼ同じ外形寸法を有している。
【００３１】
重り１３は、２本の直線状の細長い板状部１４を９０°の角度で交差させたＸ字状を呈しており、各板状部１４が支持体１１の対角線をなすようにして配置されている。支持梁１２は、適宜な弾性を有し、この支持梁１２によって、重り１３は支持体１１に対して中空状態で、図３中、Ｘ方向およびＹ方向に振動可能に支持されている。この場合、重り１３と各支持梁１２とにより、振動体１５が構成される。
【００３２】
支持体１１、重り１３および支持梁１２は、１枚の薄いシリコン基板をエッチング処理して一体的に形成されたもので、重り１３および支持梁１２は、厚さ方向にもエッチング処理されることにより、支持体１１よりも薄く、その下面が支持体１１の下面と面一となっている。したがって、図２に示すように、支持体１１の内側には、支持体１１が支持梁１２および重り１３よりも厚く上方に突出していることにより、凹所１６が形成されている。
【００３３】
重り１３の各端部（各板状部１４の両端部：４箇所）は、支持体１１の内側の四隅に近接しており、支持梁１２は、重り１３の各端部と、支持体の各辺部をつなぐように、支持体１１と重り１３との間に形成される平面視が二等辺三角形状の４つの空間に配されている。なお、各支持梁１２においては、Ｘ方向およびＹ方向のバネ定数が同一であってもよく、また、Ｘ方向とＹ方向とでバネ定数が異なるものであってもよい。
【００３４】
重り１３の下面には、金属薄膜による駆動用、モニタ用、検出用の３種の電極が適宜に分割して形成されている。そして、支持梁１２の下面には、これらの電極に接続された配線が、同じく金属薄膜によって形成されている。３種の電極は、支持梁１２が配されている二等辺三角形状の空間に面する各板状部１４の縁に沿って形成されており、例えば、図３中、Ｘ方向に並ぶ空間のうちの、左側の空間に面する側（板状部１４の縁のやや内側）には駆動用電極が形成され、右側の空間に面する側にはモニタ用電極が形成される。また、Ｙ方向に並ぶ２つの空間に面する側には、検出用電極が形成される。そして、これら電極が形成された側の空間に配された支持梁１２に形成された配線は、それらの電極に接続されている。支持梁１２の配線は、支持体１１の下面に、各電極ごとに一対の状態で形成された端子に接続されている。
【００３５】
これら支持体１１の下面に形成された上記各電極の端子と、上記回路基板５に形成されたホルダ部５１内の導線５１の各端子とは、対応するものどうしが、図２および図３に示すように、ボンディングワイヤ８によって接続されている。
【００３６】
図２および図７（ｃ）に示すように、上記センサチップ１は、凹所１６が形成された側の面を上側ヨーク３に対面させて、支持体１１の四隅を、上側ヨーク３の平面３３の各端部に合わせ、接着等の手段によって上側ヨーク３に固着されている。したがって、凹所１６のへこみ分のギャップが、重り１３と上側ヨーク３の凸状部３１との間に形成されており、このギャップは、重り１３が上側ヨーク３の凸状部３１に接触しない距離に設定されている。
【００３７】
上記磁石２は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ（ネオジ）磁石等からなる永久磁石であり、上下のヨーク３，４とほぼ同じ外径を有する所定厚さのリング状を呈している。この磁石２は、上下のヨーク３，４の間に、これらヨーク３，４と外周縁どうしを合わせて挟み込まれ、接着等の手段で固着されている。このように磁石２を挟んでヨーク３，４を積層させる際には、図７（ｃ）に示すように、上側ヨーク３の２つの位置決め孔３５に位置決めピン７を嵌め、これら位置決めピン７に、下側ヨーク４の位置決め用孔を嵌め込む。これにより、上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１が互いに対向した状態に組み込まれる。
【００３８】
上記センサチップ１は、磁石２を挟む上下のヨーク３，４で挟み込まれており、その状態で、上下のヨーク３，４のＸ字状の凸状部３１，４１は、Ｘ字状の重り１３に沿った状態に配置されている。なお、各凸状部３１，４１の頂上部分の平面３３，４３の幅は、重り１３の板状部１４の可動幅よりも広く設定されている。
【００３９】
図２および図３に示すように、センサチップ１と下側ヨーク４との間には、スペーサ（ギャップ形成部）９が挟み込まれている。このスペーサ９は、図７（ｄ）にも示すように、八角形の孔９１が中央に形成されたリング状であって、十字に相当する４箇所は厚さが比較的薄く、これら肉薄部９２の間に厚肉部９３が形成されている。また、スペーサ９の上側ヨーク３側の面には、センサチップ１を保持するための凹部が設けられている。このスペーサ９は、外径が磁石２の内径よりも小さく、磁石２の内側に配されている。
【００４０】
図３および図７（ｄ）に示すように、これら図でスペーサ９の外周部の左右部分には、接続用孔３４に貫通する上記回路基板５のホルダ部５１と、位置決めピン７とに干渉しないための切欠き９４が形成されている。また、上下の薄肉部９２には、上下のホルダ部５１を貫通させる貫通孔９５がそれぞれ形成されている。
【００４１】
スペーサ９は、図３の破線に示すように、孔９１の周囲の内周部分であって、センサチップ１の支持体１１における端部４箇所に対応する部分が、センサチップ１の支持体１１に対し接着等の手段で固着されている。したがって、上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１の各端部の平面３３，４３間に、スペーサ９が挟み込まれている。
【００４２】
スペーサ９と下側ヨーク４の凸状部４１との間は、図２に示すように、ギャップが空いているか、あるいは両者が当接するかのいずれかの場合がある。そのギャップの距離や、当接するか否かは、磁石２の厚さや上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１の突出高さなどの寸法誤差や、組立誤差などによって変わってくる。下側ヨーク４の凸状部４１がスペーサ９に当接した場合でも、その凸状部４１と重り１３との間に形成されるギャップは、凸状部４１が重り１３に接触しない距離に設定される。
【００４３】
以上が本実施形態の角速度センサの構成であり、以下に、この角速度センサの組立手順の概略を、図７を参照して説明する。
【００４４】
図７（ａ）に示す上側ヨーク３の、凸状部３１が形成されていない側の外面に、図７（ｂ）に示す回路基板５を重ねて各ホルダ部５１を接続用孔３４に通し、回路基板５を上側ヨーク３に固着する。次に、図７（ｃ）に示すように、センサチップ１を上側ヨーク３の凸状部３１に合わせて固着し、また、位置決めピン７を位置決め用孔３５に嵌め込む。
【００４５】
続いて、図７（ｄ）に示すように、スペーサ９をセンサチップ１の支持体１１に固着する。次いで、図７（ｅ）に示すように、上側ヨーク３に磁石２を固着し、この後、凸状部４１を内側に向けた下側ヨーク４の位置決め用孔に位置決めピン７を嵌め込み、この下側ヨーク４を磁石２に固着する。
【００４６】
上記の手順で角速度センサは組み立てられ、この角速度センサでは、磁石２および上下のヨーク３，４で構成される磁界形成部６によって、センサチップ１の重り１３に対して図２に示すＺ方向の上方から下方に向けて磁界が付与される。
【００４７】
本実施形態の角速度センサは、角速度を測定する物体に取り付けられ、検出時には、交流電圧の印加によって駆動用電極に電流が流される。すると、磁石２と上下のヨーク３，４による磁界の方向（図２のＺ方向の下向き）に基づく電磁力が発生して、磁界中の重り１３に、図３におけるＸ方向への振動が誘起される。重り１３は、各支持梁１２のバネ定数と重り１３の質量に応じた振幅でＸ方向に振動する。この振動によりモニタ用電極に誘導起電力が発生し、その電圧がモニタ用電極に接続された回路部品５３から出力され、重り１３の振動がモニタされる。
【００４８】
この稼働状態から、例えばＸＹ面内に沿ってＺ軸回りに物体が回転すると、その回転力を受けて同様に当該角速度センサが回転する。すると、Ｙ方向に働くコリオリ力が発生し、重り１３にはＹ方向への振動が誘起される。重り１３は、駆動によるＸ方向と、回転によるＹ方向との合成方向に振動し、この振動によって検出用電極には誘導起電力が発生する。検出用電極に発生した誘導起電力の電圧は、検出用電極に接続された回路部品５３から出力され、さらにその電圧を適宜に処理することにより、物体に生じた角速度が検出される。
【００４９】
さて、このようにして角速度を検出する本実施形態の角速度センサによると、センサチップ１の重り１３を挟み込む上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１間のギャップは、これら凸状部３１，４１間に挟み込まれた支持体１１およびスペーサ９によって一定以上に保たれる。
【００５０】
すなわち、上側ヨーク３はセンサチップ１の支持体１１に固着されていることにより、その上下方向（Ｚ方向）の位置決めはなされており、したがって下側ヨーク４の上下方向の位置で、双方間のギャップが決まってくる。本実施形態では、支持体１１の下面にスペーサ９を固着して、この支持体１１と下側ヨーク４との間にスペーサ９を配することにより、このスペーサ９と支持体１１の厚さ分、確実にヨーク３，４間のギャップが確保される。このギャップは、磁石２の厚さや上下のヨーク３，４の凸状部３１，４１の突出高さなどの寸法誤差、あるいは組立誤差によって変わってくるものであり、その変動によって、下側ヨーク４の凸状部４１がスペーサ９に当接したものや、離れたものが組み立てられる（図２では離れている）。
【００５１】
本実施形態では、支持体１１およびスペーサ９の厚さをそれぞれ適宜に設定することにより、上下の凸状部３１，４１が重り１３に接触することを確実に防ぐことができる。このため、上記の寸法精度や組立精度を考慮して設定する設計上の公差の中央値を、小さい側に振ることができる。これによって、スペーサ９から凸状部４１が離れた場合の、両者の離間距離を小さくすることができ、このため、ヨーク３，４間のギャップをなるべく小さく設定することができるとともに、バラツキを抑えることができる。これらのことから、凸状部３１，４１が重り１３に接触することを確実に防ぐことができるとともに、ヨーク３，４間のギャップを小さく、かつ、バラツキを抑えることができる。その結果、ヨーク３，４間のギャップにおける磁束密度が一定化し、安定した検出特性を得ることができる。
【００５２】
また、センサチップ１においては、矩形枠状の支持体１１の内側にＸ字状の重り１３を配することにより、これらの間の空間を三角形状に広くとることができ、このため、両者を連結する支持梁１２を長く取り回して感度の向上を図ることができる。また、Ｘ字状の重り１３は軽量化に有利であり、帯域幅を大きくすることができる。
【００５３】
また、上下のヨーク３，４のＸ字状の凸状部３１，４１が、同じくＸ字状の重り１３に重なるようにして配置されているので、これら凸状部３１，４１によって重り１３に磁束が集中し、重り１３の振動範囲に対して特に磁束を強く作用させることができる。このため、小さな駆動電流で重り１３を振動させることができるとともに、大きな検出信号を得ることができ、その結果、磁気効率や検出感度のより一層の向上が図られる。
【００５４】
図８は、上記実施形態と基本構造を同じくする他の実施形態を示している。
上記実施形態では、下側ヨーク４の凸状部４１がスペーサ９に当接するか、もしくは当接しない組立構造であったが、図８のものは、下側ヨーク４をスペーサ９に確実に当接させる組立構造である。
【００５５】
この実施形態の下側ヨーク４は、外径が磁石２の内径よりも小さく、磁石２の内側に配されて凸状部４１の端部の平面４３がスペーサ９に当接している。下側ヨーク４は、スペーサ９に接着等の手段で固着されるか、あるいは適宜な固定手段で磁石２に固定される。
【００５６】
このような組立構造の場合には、下側ヨーク４の凸状部４１がスペーサ９に当接することにより、その凸状部４１が重り１３に接触することを確実に防ぐように設定することができるとともに、上下のヨーク３，４間のギャップを一定とすることができる。このため、そのギャップにおける磁束密度が一定となり、より安定した検出特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の概念を模式的に示す断面図であり、（ａ）〜（ｃ）でギャップ形成部の形態例を示している。
【図２】本発明の一実施形態に係る電磁駆動型角速度センサの縦断面図である。
【図３】図２中の下側ヨークを外した状態での角速度センサの下面図である。
【図４】図３の中央部分の拡大図である。
【図５】上側ヨークの内面を示す図である。
【図６】回路基板の（ａ）側面図、（ｂ）下面図である。
【図７】組立手順を（ａ）〜（ｅ）の順に示す斜視図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係る電磁駆動型角速度センサの縦断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１…センサチップ（検出部）
２…磁石
３…上側ヨーク（磁性体）
４…下側ヨーク（磁性体）
６…磁界形成部
９…スペーサ
１１…支持体
１２…支持梁
１３…重り
３１…凸状部
３３…ヨークの平面（支持平面）
４３…ヨークの平面（支持平面）
１００…磁性体
１０１…凸状部
１０２…支持平面
１１０…検出部
１１１…支持体
１１２…支持梁
１１３…重り
１２１…突出部（ギャップ形成部）
１２２…スペーサ（ギャップ形成部）
【図１】
2007033227.tif 000003
【図２】
2007033227.tif 000004
【図３】
2007033227.tif 000005
【図４】
2007033227.tif 000006
【図５】
2007033227.tif 000007
【図６】
2007033227.tif 000008
【図７】
2007033227.tif 000009
【図８】
2007033227.tif 000010