(57)【要約】【課題】  例えばフラットディスプレイパネル基板等の各種基板の製造又は検査工程に用いられるＸＹステージ装置において、パネル基板の大型化に対応できる、製造コスト及び運送コストの低いＸＹステージ装置を提供する。【解決手段】  ＸＹステージ装置１は、平坦な平面を有するベース板２と、前記平面に沿って移動可能なＸＹ移動機構３と、を少なくとも備える。そして前記ベース板２は、幅方向に２分割した分割体１１・１２を接合して構成されている。このＸＹステージ装置１は、分割体１１・１２の状態で製造され、分割体１１・１２の状態で納入先の工場２４へ搬送された後、当該納入先の工場２４で接合され、更にＸＹ移動機構３を取り付けることで製造される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦な平面を有するベース板と、このベース板に取り付けられたＸＹ移動機構と、を少なくとも備えるＸＹステージ装置において、
前記ベース板は、少なくとも幅方向又は奥行き方向に分割した複数の分割体を接合して構成されていることを特徴とする、ＸＹステージ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＸＹステージ装置であって、前記分割体は鉄製とされていることを特徴とするＸＹステージ装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のＸＹステージ装置であって、フラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置に用いられることを特徴とするＸＹステージ装置。
【請求項４】
平坦な平面を有するベース板と、このベース板に取り付けられたＸＹ移動機構と、を少なくとも備えるＸＹステージ装置の製造方法において、
前記ベース板を少なくとも幅方向又は奥行き方向に分割した複数の分割体を製造する第１工程と、
製造された複数の前記分割体を搬送する第２工程と、
搬送された複数の前記分割体を搬送先で接合して前記ベース板とする第３工程と、
前記ベース板に前記ＸＹ移動機構を取り付ける第４工程と、
を含むことを特徴とする、ＸＹステージ装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載のＸＹステージ装置の製造方法であって、前記分割体は鉄製とされていることを特徴とするＸＹステージ装置の製造方法。
【請求項６】
請求項４又は５に記載のＸＹステージ装置の製造方法であって、フラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置に用いられるＸＹステージ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットディスプレイパネル基板（例えば液晶基板）等の各種基板の製造又は検査工程に用いられるＸＹステージ装置の構成、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの製造の際、ＸＹステージ装置を用いて製造や検査等を行うことが知られている。
【０００３】
例えば特許文献１の第５図には、光学部品などの表面測定において用いられる二軸移動装置が開示されており、この二軸移動装置によって製造や検査を行うことが考えられる。この二軸移動装置は、板状のベースの上に２本のガイド棒を互いに直交するように配設し、それぞれのガイド棒はリニアモータによりＸおよびＹ方向に駆動される。そして、２本のガイド棒の交差箇所に移動テーブルが配置され、移動テーブルがベースの上面に沿って移動するように構成している。
【特許文献１】特開昭６４−８１２４６号公報（第５図、ベース１２、ガイド棒１，２、移動テーブル１１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、上記のようなフラットパネルディスプレイ基板は、マザーガラス基板のサイズが大きいほど１枚から取れるパネルの数が増えてコストを低減できることから、近年ではマザーガラス基板は大型化の一途をたどっているのが実情である。実例を挙げると、マザーガラス基板は現在は第５世代（１３００ｍｍ×１５００ｍｍ）及び第６世代（１５００ｍｍ×１８００ｍｍ）が稼動しているが、将来的には第７世代（１８００ｍｍ×２２００ｍｍ）や第８世代（２２００ｍｍ×２４００ｍｍ）の計画が示されている。従って、そのような大型パネル基板を製造・検査する際に用いられるＸＹステージについても、大型化の要請が年々強くなってきている。
【０００５】
しかしながら、そのような大型パネル基板用のＸＹステージ装置は、前記ベース板が大サイズかつ大重量となり、ＸＹステージ装置の納入先への搬送が困難になりつつある。例えばＸＹステージ装置を陸路で運搬する場合、前記ベース板が道路法などの規制で定められている大きさの制限や重量制限を超えてしまい、特殊車両通行許可が必要になる場合がある。
【０００６】
また、上記のように大きなベース板を一体物で製造しようとしても、通常の工作機械で加工することが困難であり、ベース板の製造コストも増大しつつあるのが現状である。
【０００７】
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、大型パネル基板に適用可能なＸＹステージ装置であって、製造コスト及び搬送コストを抑制できる構成、及び、当該ＸＹステージ装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００８】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
【０００９】
本発明の第１の観点によれば、以下のように構成する、ＸＹステージ装置が提供される。平坦な平面を有するベース板と、このベース板に取り付けられたＸＹ移動機構と、を少なくとも備える。前記ベース板は、少なくとも幅方向又は奥行き方向に分割した複数の分割体を接合して構成されている。
【００１０】
これにより、ベース板を分割された状態で製造・搬送して、搬送先で接合してベース板とする製造方法を採ることができるので、ベース板の運搬コスト及び製造コストを顕著に低減できる。この結果、ＸＹステージ装置の製造コストを低減できる。
【００１１】
前記のＸＹステージ装置においては、前記分割体は鉄製とされていることが好ましい。
【００１２】
これにより、いわゆる石製のベース板とする場合に比べて調達や加工が容易となり、製造コストを一層削減することができる。
【００１３】
前記のＸＹステージ装置は、フラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置に用いられるＸＹステージ装置であることが好ましい。
【００１４】
即ち、上記の構成は、対象基板が年々大型化し、前記ベース板の大型化が特に必要とされているフラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置用のＸＹステージ装置としての用途に特に好適である。
【００１５】
本発明の第２の観点によれば、平坦な平面を有するベース板と、このベース板に取り付けられたＸＹ移動機構と、を少なくとも備えるＸＹステージ装置の、以下のような製造方法が提供される。前記ベース板を少なくとも幅方向又は奥行き方向に分割した複数の分割体を製造する第１工程と、製造された複数の前記分割体を搬送する第２工程と、搬送された複数の前記分割体を搬送先で接合して前記ベース板とする第３工程と、前記ベース板に前記ＸＹ移動機構を取り付ける第４工程と、を含む。
【００１６】
このように、ベース板を分割された状態で製造・搬送して、搬送先で接合してベース板とする製造方法とすることで、ベース板の運搬コスト及び製造コストを顕著に低減できる。この結果、ＸＹステージ装置を安価に提供できる。
【００１７】
前記のＸＹステージ装置の製造方法においては、前記分割体は鉄製とされていることが好ましい。
【００１８】
これにより、いわゆる石製のベース板とする場合に比べて調達や加工が容易となり、製造コストを一層削減することができる。
【００１９】
前記のＸＹステージ装置の製造方法においては、フラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置に用いられるＸＹステージ装置を製造することが好ましい。
【００２０】
即ち、上記の製造方法は、対象基板が年々大型化し、前記ベース板の大型化が特に必要とされているフラットディスプレイパネル基板の製造装置又は検査装置用のＸＹステージ装置の製造に特に好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
次に、発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施形態に係るＸＹステージ装置の全体的な構成を示した概略斜視図、図２はＸＹステージ装置の製造方法を示す説明図である。
【００２２】
図１に示す本実施形態のＸＹステージ装置１は、フラットディスプレイパネル基板としての図示しない液晶マザーガラス基板を検査するものである。このＸＹステージ装置１は、その上面に前記液晶基板（検査対象基板）を載置・吸着可能なベース板２と、その上側に取り付けられたＸＹ移動機構３と、を備えて構成されている。
【００２３】
ベース板２は鉄製とされており、例えば幅ｗが３ｍ程度、奥行きｄが３．３ｍ程度である厚板状に構成されている。また、このベース板２は、幅方向に２分割された２つの分割体１１・１２を互いに接合することで構成されている。
【００２４】
前記ＸＹ移動機構３は、所定のストロークで直線方向に移動可能な門型の第１移動体４と、この第１移動体４に取り付けられるとともに当該第１移動体４の移動方向と垂直に移動可能な第２移動体５と、を備えている。第１移動体４及び第２移動体５にはそれぞれリニアモータが備えられて、第１移動体４をＹ方向に、第２移動体５をＸ方向に、それぞれ駆動するように構成されている。
【００２５】
この第２移動体５には図示しない画像測定装置の測定ヘッドが設けられて、ベース板２上に載置された液晶基板を撮像して検査できるようになっている。この測定ヘッドとしては、例えばＣＣＤカメラを備える構成が考えられる。測定ヘッドで撮影された画像は図示しない制御部へ送信され、適宜の画像処理が行われて、表示装置等の出力装置に出力されたり、あるいは液晶基板の欠陥の自動検出に用いられたりする。
【００２６】
そして、以上の構成のＸＹステージ装置１は、図２に示す方法で製造・納入される。即ち、ステージ装置作成工場２１内で、前記分割体１１・１２をそれぞれ機械加工により製造する。そして、分割体１１・１２のそれぞれをトレーラ（搬送手段）２２・２２に別個に積載し、納品先としての液晶パネル製造工場２４へ向かって道路２３上を搬送させる。
【００２７】
搬送されて液晶パネル製造工場２４へ到着した各分割体１１・１２は、当該工場２４内で互いに接合されて前記ベース板２となる。なお、この接合の際は、接合後のベース板２の精度を出すために、シム調整や例えばレーザ等を使った測定、位置決めピン等を用いて精密な位置決めを行うこととする。その後、ベース板２上に、前記分割体１１・１２とは別に搬送されたＸＹ移動機構３を取り付け、ＸＹステージ装置１が完成する。
【００２８】
本実施形態ではこのような方法でＸＹステージ装置１が製造されるので、幅が２分割された状態のベース板２を搬送するだけでよく、上述の道路法等の法規制を免れる余地があり、運搬コストを低減できる。また、ベース板２が一体物でなく分割された状態で製造され、分割体１１・１２があまり大きくならないので、ステージ装置作成工場２１での分割体１１・１２の製造の際も通常の工作機械で加工を行うことができ、製造コストを低減することができる。
【００２９】
以上に示すように本実施形態のＸＹステージ装置１は、液晶基板を載置可能なベース板２と、このベース板２に取り付けられたＸＹ移動機構３と、を少なくとも備える。前記ベース板２は、図１に示すように、幅方向に分割した複数の分割体１１・１２を接合して構成されている。
【００３０】
従って、ベース板２を分割した状態で製造・搬送して接合する製造工程（図２を参照）を採ることができ、ベース板２の加工コストや運送コストを顕著に低減することができる。この効果は、年々大型化している液晶基板の検査工程に用いられるＸＹステージ装置１に特に好適であるということができる。
【００３１】
また、前記分割体１１・１２は鉄製とされているので、いわゆる石製のベース板２とする場合に比べ調達や加工が容易であり、製造コストを一層削減することができる。
【００３２】
また、本実施形態のＸＹステージ装置１は、図２に示すように、以下の方法で製造される。前記ベース板２を幅方向に分割した複数の分割体１１・１２をステージ装置作成工場２１で製造し、この製造された複数の前記分割体１１・１２を（個別に）搬送し、搬送先の液晶パネル製造工場２４で複数の前記分割体１１・１２を接合して前記ベース板２とする。そして、前記ベース板２の上に前記ＸＹ移動機構３を取り付ける。
【００３３】
上記のような製造方法を採ることで、ベース板２の加工コストや運送コストを顕著に低減することができる。
【００３４】
以上に本発明の好適な実施形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
【００３５】
本実施形態のＸＹステージ装置１は、ベース板２上に液晶基板を載置し、その上を測定ヘッドがＸＹ移動機構３によってＸＹ方向に移動する、いわゆるガントリータイプの構成とされている。この結果、大型の液晶基板の検査を可能としつつ、設置スペースのコンパクト化が実現されている。しかしながら、ＸＹ移動機構は、いわゆる重ねタイプ（Ｘ軸移動機構とＹ軸移動機構がＺ方向に重ねられた構成で、液晶基板をＸＹ方向に移動させるもの）や、分離タイプ（測定ヘッドをＸ軸方向に移動させ、液晶基板をＹ軸方向に移動させる構成）のもの等に変更することができる。
【００３６】
ベース板２は、幅方向に２分割することに代えて、奥行き方向に２分割したり、幅及び奥行き方向に２分割ずつ、計４分割したりする構成に変更することができる。あるいは、幅方向や奥行き方向に３つ以上に分割する構成に変更することができる。
【００３７】
ベース板２は、鉄製とせず、他の金属製や、石製（いわゆる石定盤）等のものに変更することができる。
【００３８】
前記のＸＹステージ装置１は、液晶基板の検査でなく製造工程に用いるように変更することができる。また、液晶以外のフラットパネルディスプレイ基板、あるいは半導体基板の製造・検査工程に用いるように変更することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施形態に係るＸＹステージ装置の全体的な構成を示した概略斜視図。
【図２】ＸＹステージ装置の製造方法を示す説明図。
【符号の説明】
【００４０】
１  ＸＹステージ装置
２  ベース板
３  ＸＹ移動機構
４  第１移動体
５  第２移動体
１１・１２  分割体
【図１】
2007073688.tif 000003
【図２】
2007073688.tif 000004