(57)【要約】【課題】内径寸法精度に優れた石英ガラス管の製造方法および製造装置の提供。【解決手段】石英ガラスシリンダ２を加熱し、変形領域において石英ガラスシリンダ２の内面を内径成形治具５に接触させながら延伸して、石英ガラス管を製造する。石英ガラスシリンダ２の内面を、その上流側から挿入した内径成形治具５に接触させながら延伸するのがよい。内径成形治具５としては、円柱状の成形部および胴体部を有し、胴体部の外径が〔成形部の外径〕以上、〔石英ガラスシリンダの内径−10mm〕以下であるのが望ましい。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
石英ガラスシリンダを加熱しつつ、延伸する石英ガラス管の製造方法であって、変形領域において石英ガラスシリンダの内面を内径成形治具に接触させながら延伸することを特徴とする石英ガラス管の製造方法。
【請求項２】
石英ガラスシリンダの内面を、その上流側から挿入した内径成形治具に接触させながら延伸することを特徴とする請求項１に記載の石英ガラス管の製造方法。
【請求項３】
内径成形治具として、円柱状の成形部および胴体部で構成され、胴体部の外径が〔成形部の外径〕以上、かつ〔石英ガラスシリンダの内径−10mm〕以下であるものを用いることを特徴とする請求項２に記載の石英ガラス管の製造方法。
【請求項４】
石英ガラスシリンダを回転可能な状態で保持するチャックと、石英ガラスシリンダを加熱する加熱装置と、石英ガラスシリンダ内部に挿入して内径を成形する内径成形治具を有することと特徴とする石英ガラス管の製造装置。
【請求項５】
内径成形治具は、上流側から石英ガラスシリンダに挿入されていることを特徴とする請求項４に記載の石英ガラス管の製造装置。
【請求項６】
内径成形治具は、円柱状の成形部および胴体部を有し、胴体部の外径が〔成形部の外径〕以上、かつ〔石英ガラスシリンダの内径−10mm〕以下であることを特徴とする請求項５に記載の石英ガラス管の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバプリフォーム製造用のクラッド管などに用いることができる内径寸法精度の優れた石英ガラス管の製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、光通信の更なる高速化・大容量化をはかるため光通信システムにおいては、波長多重数の増大、使用波長領域の拡大が進められている。そして、波長多重(WDM：Wavelength Division Multiplexing)光伝送を行う光伝送システムにおいて幹線系では、ノンゼロ分散シフト光ファイバのような比較的コア径の小さい光ファイバが使用される。このような光ファイバにおいては、伝送損失の低減が求められている。伝送損失を生じさせる原因の一つとして、光ファイバ同士の接続によって生じる接続損失と呼ばれるものがある。
【０００３】
この接続損失を発生させる要因の一つに、つなぎ合わせる光ファイバのコアの軸芯が一致していないこと挙げられる。これは光ファイバの規格において、コア／クラッド偏芯量として定義されている。コア／クラッド偏芯量による接続損失の影響は、特にコア径の小さい光ファイバにおいて大きくなる。
【０００４】
一般的に光ファイバプリフォームは、主としてＭＣＶＤ法（Modified Chemical Vapor Deposition Method；内付け法）、ＶＡＤ法（Vapor Phase Axial Deposition Method；気相軸付け法）、ＯＶＤ法（Outside Vapor Phase Deposition Method；外付け法）により製造される。光ファイバは、この光ファイバプリフォームを線引きすることによって得られる。
【０００５】
ＭＣＶＤ法の場合には、まずサブストレイト管と呼ばれる石英ガラス管を使用し、光ファイバのコアに相当する部分をＭＣＶＤ法により内付けしてコアロッドを作製する。光ファイバプリフォームは、コアロッドをクラッド管と呼ばれる石英ガラス管に挿入し、これらを加熱して一体化することで製造される。なお、コアロッドとクラッド管とを一体化する技術は、ＶＡＤ法やＯＶＤ法で製作されたコアロッドをクラッド管と一体化する場合にも用いられる。
【０００６】
これらの製造方法で使用される石英ガラス管の寸法精度は、コア／クラッド偏芯量に多大な影響を及ぼすため、その偏肉量、内径等の精度に対する要求が厳しい。即ち、石英ガラス管の偏肉量が大きいと、石英ガラス管の外径軸中心および内径軸中心のズレが大きくなる。また、石英ガラス管の内径が設計値と異なると、一体化した際にクラッド管とコアロッドの軸中心がずれる。従って、いずれの場合もコア／クラッド偏芯量が悪化する。
【０００７】
これらの問題を回避する一つの手段として、特許文献１には、熱間プラグ圧入法により石英ガラス体を開口する方法において、開口された部分を減圧しつつ開口する石英ガラスシリンダ（半製品）の製造方法、および、この石英ガラスシリンダを所望の寸法に延伸する石英ガラス管の製造方法が開示されている。
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−１２４３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に記載の方法で製造された石英ガラスシリンダそれ自体は、非常に寸法精度が優れている。しかし、その後の延伸工程において、製造条件によっては内径を安定させるのが困難となる場合がある。また、特許文献１の段落０００６に記載されているように、この方法では、石英ガラスシリンダの外径／内径比は、石英ガラス管の外径／内径比とほぼ同じであるような製造条件を前提としている。しかし、このような前提のもとでは、他品種の生産をする場合に、それぞれの石英ガラス管の外径／内径比にあわせて、対応する外径／内径比の石英ガラスシリンダを準備する必要がある。
【００１０】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであって、光ファイバを製造する際に使用される石英ガラス管の内径寸法精度を良くし、かつ延伸前後で外径／内径比を変更することができる石英ガラス管の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、下記の（１）〜（３）に示す石英ガラスの製造方法および下記（４）〜（６）に示す製造装置を要旨とする。
【００１２】
（１）石英ガラスシリンダを加熱しつつ、延伸する石英ガラス管の製造方法であって、変形領域において石英ガラスシリンダの内面を内径成形治具に接触させながら延伸することを特徴とする石英ガラス管の製造方法。
【００１３】
（２）石英ガラスシリンダの内面を、その上流側から挿入した内径成形治具に接触させながら延伸することを特徴とする上記の（１）に記載の石英ガラス管の製造方法。
【００１４】
（３）内径成形治具として、円柱状の成形部および胴体部で構成され、胴体部の外径が〔成形部の外径〕以上、かつ〔石英ガラスシリンダの内径−10mm〕以下であるものを用いることを特徴とする上記の（２）に記載の石英ガラス管の製造方法。
【００１５】
（４）石英ガラスシリンダを回転可能な状態で保持するチャックと、石英ガラスシリンダを加熱する加熱装置と、石英ガラスシリンダ内部に挿入して内径を成形する内径成形治具を有することと特徴とする石英ガラス管の製造装置。
【００１６】
（５）内径成形治具は、上流側から石英ガラスシリンダに挿入されていることを特徴とする上記の（４）に記載の石英ガラス管の製造装置。
【００１７】
（６）内径成形治具は、円柱状の成形部および胴体部を有し、胴体部の外径が〔成形部の外径〕以上、かつ〔石英ガラスシリンダの内径−10mm〕以下であることを特徴とする上記の（５）に記載の石英ガラス管の製造装置。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、石英ガラス管の内径寸法精度を安定化できるので、この石英ガラス管を光ファイバプリフォーム製造用クラッド管に用いた場合には、接続損失の小さい光ファイバを提供することができる。また、延伸前の石英ガラスシリンダの外径ＯＤ1および内径ＩＤ1ならびに延伸後の石英ガラス管の外径ＯＤ2および内径ＩＤ2がＯＤ1＞ＯＤ2およびＩＤ1＞ＩＤ2の条件を満足する延伸条件において、ＯＤ1／ＩＤ1≧ＯＤ2／ＩＤ2の条件を満たす延伸も、ＯＤ1／ＩＤ1＜ＯＤ2／ＩＤ2の条件を満たす延伸も行うことができるので、他品種小ロット生産においても、準備すべき石英ガラスシリンダの種類を少なくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、本発明の石英ガラス管の製造装置を例示した模式図である。
【００２０】
図１に示すように、本発明の石英ガラス管の製造装置１においては、例えば、石英ガラスシリンダ２を回転可能な状態で保持するチャック3-1、3-2と、石英ガラスシリンダ２を加熱するヒータ４と、石英ガラスシリンダ２内部に挿入して内径を成形する内径成形治具５が設置されている。石英ガラスシリンダ２は、ダミー材6-1、6-2を介してチャック3-1、3-2に保持されており、上流側ダミー材（ダミーシリンダ）6-1後端には密閉ホルダ7-1が設置され、その後方には真空ポンプ（図示しない）が配置されている。
【００２１】
なお、下流側のダミー材6-2としては、石英ガラスシリンダ２の先端が閉塞している場合は、ダミーロッドを使用し、石英ガラスシリンダ２先端が開口している場合は、ダミーシリンダもしくはダミーロッドを使用すればよい。また、ダミー材6-2としてダミーシリンダを使用する場合には、ダミーシリンダ後端（図の右側）に密閉ホルダ7-2を設置し、その後方には真空ポンプ（図示しない）が配置されていることが好ましい。
【００２２】
石英ガラスシリンダ２は、予めダミー材6-1と溶着された状態でチャック3-1に保持され、回転が与えられた状態で、ヒータ４内に挿入される。一方、ダミー材6-2はチャック3-2に保持され、回転が与えられた状態で、下流側からヒータ４内に挿入される。そして、石英ガラスシリンダ２およびダミー材6-2は、ヒータ４の中心部付近で加熱され、溶着され、一体化した状態となる。
【００２３】
ダミー材6-2と一体化した石英ガラスシリンダ２は、チャック3-1、3-2により回転が与えられつつ、ヒータ４により所定の温度に加熱された状態で、所定の移動速度で下流側へと移動する。このとき、溶着した位置の移動とともに内径成形治具５も移動させ、所定の位置に内径成形治具５の先端が到達した時点でこれを固定する。その後、石英ガラスシリンダ２内部を減圧し、石英ガラスシリンダの内面と内径成形治具５外表面とを接触させる。
【００２４】
本発明の石英ガラス管の製造装置においては、内径成形治具５は、上流側から石英ガラスシリンダ２に挿入されていることが望ましい。延伸後の石英ガラス管は延伸前の石英ガラスシリンダより相当長くなり、しかも、石英ガラス管の内径は石英ガラスシリンダのそれより小さい。このため、内径成形治具を、下流側から石英ガラスシリンダに挿入する場合には、石英ガラス管の内径目標値と同じ外径を有する成形部と、更にそれより小さい外径の胴体部および指示ロッドを設ける必要がある。そうすると、内径成形治具の剛性が不十分となって、偏芯量が増加したり、内径にバラツキが生じたりする場合がある。このため、内径成形治具は、上流側から石英ガラスシリンダに挿入されていることが望ましい。
【００２５】
なお、図１では、石英ガラスシリンダの上流側および石英ガラス管の下流側からそれぞれ減圧する構成の装置を示しているが、このような減圧を行うのは必須ではない。チャック3-1の移動速度を調整するなどにより石英ガラスシリンダの内面を内径成形治具の外面に密着させて延伸させることができるからである。
【００２６】
しかし、石英ガラスシリンダ内を減圧すれば、石英ガラスシリンダ内を減圧しない場合よりも石英ガラスシリンダ内面の収縮が進みやすくなる。このため、石英ガラスシリンダの内面が内径成形治具の外面に密着が容易となり、石英ガラス管の内径変動を抑制しやすくなる。また、延伸過程において内径変動が抑制されているため、外径の変動も抑制された石英ガラス管を製造することが可能である。従って、石英ガラスシリンダ内および／または石英ガラス管内を減圧するのが望ましい。
【００２７】
図２は、内径成形治具を例示した模式図である。図２に示すように、内径成形治具は、内径成形治具支持ロッド（図１の８）と接続される胴体部5-1と目的とする石英ガラス管の内径寸法と同一の外径を有する成形部5-3とを有し、胴体部5-1と成形部5-3の間にはテーパー部5-2を有するものが望ましい。胴体部5-1とテーパー部5-2の外径は、成形部5-3の外径と同一にしても良いが、目的とする石英ガラス管の内径寸法が小さい場合は、内径成形治具支持ロッド（図１の８）と胴体部5-1との接続部の強度が低下し、使用中に破損する恐れがある。
【００２８】
このため、内径成形治具５としては、胴体部5-1の外径が（成形部5-3の外径）以上であるものを用いるのがよい。また、胴体部5-1が石英ガラスシリンダと接触すると、内面疵を生じさせるので、胴体部5-1の外径の上限は、石英ガラスシリンダ５内面と接触しない程度、即ち、〔石英ガラスシリンダの内径−10mm〕以下であることが好ましい。なお、胴体部5-1の形状は、円柱状のみならず角柱等の非円形柱状でもよい。さらに、胴体部5-1の表面には凹凸状の加工等が施されていてもよい。
【００２９】
成形部5-3の長さについては、石英ガラスシリンダを石英ガラス管に延伸する際の変形領域が十分に確保されていればよい。内径成径治具は、回転させても、固定させてもよいが、石英ガラス管内面に発生する傷を防止するためには、内径成形治具との摺擦を少なくするべく、内径成形治具を回転させることが望ましい。特に、内径成形治具は、それ自体が回転する必要はなく、延伸過程において石英ガラス管内面によって拘束されて必然的に同期回転する構造にしておけばよい。成形部5-3の形状は、円柱状が好ましいが、内径成形治具を回転させない場合は、非円形柱状でもよい。また、成形部5-3の表面に凹凸状の加工等が施されていてもよい。成形部5-3の先端部形状は、図２に示す例では半球状であるが、それ以外の形状としてもよい。
【００３０】
本発明の製造方法においては、石英ガラスシリンダが変形する領域、即ち、ヒータの中央付近（ヒータ入口から全長の１／３〜２／３の位置）から後端までの領域に連続的に目的とする石英ガラス管の内径寸法を有する内径成形治具が配置されているため、目的とする内径寸法を有する石英ガラス管を連続的に安定して製造することができる。尚、図１では、両側のダミーシリンダから減圧可能なように真空ポンプを配置しているが、いずれか片側のダミーシリンダのみから減圧しても良い。
【００３１】
図３は、石英ガラスシリンダの変形状況を例示した模式図であり、(a)は、ＯＤ1／ＩＤ1≧ＯＤ2／ＩＤ2の条件を満たす延伸状態、(b)は、ＯＤ1／ＩＤ1＜ＯＤ2／ＩＤ2の条件を満たす延伸状態を示す。ただし、ＯＤ1は石英ガラスシリンダの外径、ＩＤ1は石英ガラスシリンダの内径、ＯＤ2は石英ガラス管の外径、ＯＤ2は石英ガラス管内径をそれぞれ意味する。本発明の製造装置を用いれば、石英ガラスシリンダの断面積に対する石英ガラス管の断面積に応じて、石英ガラス管の引き抜き速度を調整することにより、図３(a)および(b)のいずれの延伸の状態にすることも可能である。
【００３２】
本発明の製造方法において、石英ガラスシリンダの回転数は、製造する石英ガラス管の寸法によるが、５〜２０rpmとすることが望ましい。これは、回転数が５rpm未満の場合、石英ガラスシリンダの均熱性が損なわれるため、減圧した際断面方向で均等に石英ガラスシリンダが収縮せず、断面内で肉厚が不均一になる可能性がある。また回転数が２０rpmを超える場合には、石英ガラス管の内面と内径成形治具外面との摺擦力が大きくなり石英ガラス管の内面に傷を発生させてしまうことがある。
【００３３】
入側チャックの走行速度と出側チャック走行速度との比は、石英ガラスシリンダの断面積と製造される石英ガラス管の断面積の比の逆数と一致するように設定すればよい。また、入側チャックの回転速度と出側チャックの回転速度とは、基本的には速度差を持たせないことが望ましい。また速度差を持たせる場合でも、入側チャックの走行速度並びに出側チャックの走行速度にもよるが、石英ガラス管のねじれ防止の観点から１rpm以下とする必要がある。
【００３４】
石英ガラスシリンダを形成する石英ガラス素材としては、ＶＡＤ法などで製造される合成石英ガラスのみではなく、天然石英ガラスその他の石英ガラスを用いてもよい。
【００３５】
加工時の石英ガラスシリンダの温度は、軟化点を左右するＯＨ基、Ｃｌ基等の濃度との関係で設定すればよい。加熱炉内は、酸化防止のため不活性雰囲気であるのがよい。これらの温度域に適用できる内径成形治具としては、酸化アルミナ系の酸化物、タングステン、モリブデン等の金属、黒鉛等を用いればよい。この中でも高温域での強度並びに純度の面から黒鉛を用いるのが最も好ましい。
【実施例】
【００３６】
高純度のＳｉＣｌ4を酸水素火炎中で加水分解反応させて、ＳｉＯ2微粒子を堆積成長させた多孔質体を焼結、透明化して、合成石英ガラスインゴットとし、この合成石英ガラスインゴットを出発素材として、石英ガラス素材としての石英ガラスシリンダ（外径１６０mm、内径６０mm、外径／内径の比２．６７）を作製した。
【００３７】
（本発明例１）
上記の石英ガラスシリンダ（長さ１１００mm）を、図１に記載の製造装置を用いて延伸し、石英ガラス管(外径６０mm、内径２２.５mm、外径／内径の比２.６７)の製作を試みた。このとき、ヒータ温度は２３００℃、回転速度は１０rpm、石英ガラスシリンダの内圧は５０,０００Paにし、更に石英ガラスシリンダの送り込み速度を１７.５４mm/min、石英ガラス管の延伸速度を１２４.７１mm/minに設定し、長さ１１００mmの石英ガラスシリンダ全域を延伸させ長さ７２００mmの石英ガラス管を得た。内径成形治具としては、概ね図２に示す形状であって、胴体部の長さが150mm、外径が42mm、テーパー部の長さが150mm、成形部の長さが550mm、外径が22.5mmであるものを用いた。
【００３８】
（本発明例２）
外径／内径の比を大きくする延伸における効果を確認するため、上記の石英ガラスシリンダ（長さ８００mm）を、図１に記載の製造装置を用いて延伸し、石英ガラス管（外径６０mm、内径２０mm、外径／内径の比３.００）の製作を試みた。このとき、ヒータ温度は２３５０℃、回転速度は１２rpm、石英ガラスシリンダの内圧は４０,０００Paにし、更に石英ガラスシリンダの送り込み速度を１７.５４mm/min、石英ガラス管の延伸速度を１２０.５７mm/minに設定し、長さ８００mmの石英ガラスシリンダ全域を延伸させ、長さ４６００mmの石英ガラス管を得た。内径成形治具としては、概ね図２に示す形状であって、胴体部の長さが150mm、外径が42mm、テーパー部の長さが150mm、成形部の長さが550mm、外径が20mmであるものを用いた。
【００３９】
（本発明例３）
外径／内径の比を小さくする延伸における効果を確認するため、上記の石英ガラスシリンダ（長さ１０００mm）を、図１に記載の製造装置を用いて延伸し、石英ガラス管（外径６０mm、内径２５mm、外径／内径の比２.４０）の製作を試みた。このとき、ヒータ温度は２２５０℃、回転速度は７rpm、石英ガラスシリンダの内圧は４０,０００Paにし、更に石英ガラスシリンダの送り込み速度を１７.５４mm/min、石英ガラス管の延伸速度を１２９.６９mm/minに設定し、長さ１０００mmの石英ガラスシリンダ全域を延伸させ、長さ６９００mmの石英ガラス管を得た。内径成形治具としては、概ね図２に示す形状であって、胴体部の長さが150mm、外径が42mm、テーパー部の長さが150mm、成形部の長さが550mm、外径が25mmであるものを用いた。
【００４０】
（比較例１）
上記の石英ガラスシリンダ（長さ１１００mm）を、図１に示す装置と同様の装置（内径成形治具を用いず、減圧を実施しなかった。）により、延伸し、石英ガラス管(外径６０mm、内径２２.５mm、外径／内径の比２.６７)の作製を試みた。このとき、ヒータ温度は２３００℃、回転速度は１０rpm、石英ガラスシリンダの送り込み速度を１７.５４mm/min、石英ガラス管の延伸速度を１２４.７１mm/minに設定し、長さ１１００mmの石英ガラスシリンダ全域を延伸させ、長さ６９００ｍｍの石英ガラス管を得た。
【００４１】
延伸開始から終了までの間、延伸中の石英ガラス管の外径をモニタしながら、目的とする石英ガラス管の外径に近づけるため石英ガラス管の延伸速度を１１１〜１３９mm/minの間で調整した。石英ガラス管の外径をモニタしながら延伸速度を調整するものの、目的とする石英ガラス管の外径に到達するまでに一定の時間を費やし、また目的とする外径に到達しても、終了までの間、絶えず外径が変動した。
【００４２】
（評価）
製作した石英ガラス管の外径を長手方向１００mmピッチ、円周方向２点(９０゜ピッチ)測定した。また内径については、石英ガラス管の肉厚を長手方向１００mmピッチ、円周方向４点(９０゜ピッチ)測定し、計算により求めた。
【００４３】
なお、１断面内での外径差および内径差は、本発明例１および本発明例２ではいずれの測定箇所においても０.０２mm以下であり、本発明例３および比較例１ではいずれの測定箇所においても０.０３mm以下であった。
【００４４】
本発明例１および比較例１における石英ガラス管の外径および内径の変動状況を図４および図５に示す。また、本発明例２における石英ガラス管の外径および内径の変動状況を図６に、本発明例３における石英ガラス管の外径および内径の変動状況を図７にそれぞれ示す。なお、図４〜７における測定原点とは、得られた石英ガラス管の下流側（延伸開始側）の先端部を意味する。
【００４５】
図４および図５に示すように、比較例１では、延伸開始直後および延伸終了直前の変動が大きいとともに、中間位置においても、外径および内径ともに変動した。これに対し、本発明例１では、延伸開始時から延伸終了までの間、安定して目的とする寸法を有する石英ガラス管が得られた。
【００４６】
図６および図７に示すように、外径／内径の比を大きくする延伸を施した本発明例２、外径／内径の比を小さくする延伸を施した本発明例３のいずれの場合においても、延伸開始時から延伸終了までの間、安定して目的とする寸法を有する石英ガラス管が得られた。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明によれば、石英ガラス管の内径寸法精度を安定化できるので、この石英ガラス管を光ファイバプリフォーム製造用クラッド管に用いた場合には、接続損失の小さい光ファイバを提供することができる。また、延伸前の石英ガラスシリンダの外径ＯＤ1および内径ＩＤ1ならびに延伸後の石英ガラス管の外径ＯＤ2および内径ＩＤ2がＯＤ1＞ＯＤ2およびＩＤ1＞ＩＤ2の条件を満足する延伸条件において、ＯＤ1／ＩＤ1≧ＯＤ2／ＩＤ2の条件を満たす延伸も、ＯＤ1／ＩＤ1＜ＯＤ2／ＩＤ2の条件を満たす延伸も行うことができるので、他品種小ロット生産においても、準備すべき石英ガラスシリンダの種類を少なくできる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の石英ガラス管の製造装置を例示した模式図である。
【図２】内径成形治具を例示した模式図である。
【図３】石英ガラスシリンダの変形状況を例示した模式図であり、(a)は、ＯＤ1／ＩＤ1≧ＯＤ2／ＩＤ2の条件を満たす延伸状態、(b)は、ＯＤ1／ＩＤ1＜ＯＤ2／ＩＤ2の条件を満たす延伸状態を示す。
【図４】本発明例１および比較例１の外径変動を示す図である。
【図５】本発明例１および比較例１の内径変動を示す図である。
【図６】本発明例２の外径変動および内径変動を示す図である。
【図７】本発明例３の外径変動および内径変動を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１．石英ガラス管の製造装置
２．石英ガラスシリンダ
3-1、3-2．チャック
４．ヒータ
５．内径成形治具（5-1．胴体部、5-2．テーパー部、5-3．成形部）
6-1、6-2．ダミー材
7-1、7-2．密閉ホルダ
８. 内径成形治具支持ロッド
【図１】
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【図２】
2007008763.tif 000004
【図３】
2007008763.tif 000005
【図４】
2007008763.tif 000006
【図５】
2007008763.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007008763.tif 000009