(57)【要約】【課題】パネル封着時のパネル内とパネル外の圧力差を適切に設定することで、パネルの封着状態を良好にする。【解決手段】表示パネルとして機能する構成要素を形成した前面側の基板と背面側の基板とを、一方の基板の周辺に加熱により溶着する封着材を配置して対向させ、両基板からなるパネルの封着材を加熱して封着する際、パネル内の圧力をパネル外の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差が５〜９５ｋＰａの範囲となるように調整しながら、パネル内の排気を行うとともにパネル内に圧力調整ガスを導入する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルとして機能する構成要素を形成した前面側の基板と背面側の基板とを、一方の基板の周辺に加熱により溶着する封着材を配置して対向させ、これらの基板からなるパネルの封着材を加熱して封着する際、パネル内の圧力をパネル外の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差が５〜９５ｋＰａの範囲となるように調整しながら、パネル内の排気を行うとともにパネル内に圧力調整ガスを導入することを特徴とする表示パネルの封着方法。
【請求項２】
封着材を加熱して封着する際、パネル内の圧力をパネル外の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差が２０〜８０ｋＰａの範囲となるように調整することを特徴とする請求項１記載の表示パネルの封着方法。
【請求項３】
封着材を加熱して封着する際、パネル内を真空状態にし、パネル外を大気圧よりも低い減圧状態にする請求項１記載の表示パネルの封着方法。
【請求項４】
封着材を加熱して封着する際、パネル内を大気圧よりも低い減圧状態にし、パネル外を大気圧にする請求項１記載の表示パネルの封着方法。
【請求項５】
封着材を加熱して封着する際、パネル内を大気圧にし、パネル外を大気圧以上の加圧状態にする請求項１記載の表示パネルの封着方法。
【請求項６】
前記圧力調整ガスがアルゴンガス、窒素ガス、および乾燥空気から選択された１種または２種以上の混合ガスである請求項１記載の表示パネルの封着方法。
【請求項７】
前記圧力調整ガスが放電ガスである請求項１記載の表示パネルの封着方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つに記載の封着方法で封着された表示パネル。
【請求項９】
表示パネルとして機能する構成要素が形成されるとともに一方の基板の周辺に加熱により溶着する封着材が配置された前面側の基板と背面側の基板とからなるパネルを内部に配置することが可能なチャンバーと、
チャンバー内に配置されたパネルを加熱する加熱部と、
チャンバー内を減圧または加圧する第１圧力ポンプと、
チャンバー内に圧力調整ガスを導入する第１ガス導入部と、
チャンバー内の圧力を計測する第１圧力計と、
パネル内を減圧または加圧する第２圧力ポンプと、
パネル内に圧力調整ガスを導入する第２ガス導入部と、
パネル内の圧力を計測する第２圧力計と、
第１圧力計と第２圧力計との双方の圧力を検出し、パネル内の圧力をチャンバー内の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差が５〜９５ｋＰａの範囲となるように、加熱部、第１圧力ポンプ、第１ガス導入部、第２圧力ポンプ、および第２ガス導入部を制御しながら、前面側の基板と背面側の基板とを加熱して封着した後、パネル内の排気を行うとともにパネル内に圧力調整ガスを導入させる制御部とを備えてなる表示パネルの封着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの封着方法およびその装置に関し、さらに詳しくは、たとえば前面側の基板と背面側の基板からなるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）を封着する際の封着状態を良好にする封着方法およびその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示パネルとしてＰＤＰを例に挙げて説明する。従来のＰＤＰとして、ＡＣ駆動型の３電極面放電型ＰＤＰが知られている。このＰＤＰは、一方の基板（例えば前面側の基板）の内面に面放電が可能な表示電極を水平方向に多数設け、他方の基板（例えば背面側の基板）の内面に発光セル選択用のアドレス電極を表示電極と交差する方向に多数設け、表示電極とアドレス電極との交差部を１つのセル（単位発光領域）とするものである。１画素は、赤色（Ｒ）セルと、緑色（Ｇ）セルと、青色（Ｂ）セルとの３つのセルで構成される。
【０００３】
前面側の基板の表示電極は誘電体層で覆われている。背面側の基板のアドレス電極も誘電体層で覆われ、アドレス電極とアドレス電極との間には隔壁が形成され、Ｒセル、Ｇセル、Ｂセルの各対応領域の隔壁間には、それぞれＲ用、Ｇ用、Ｂ用の蛍光体層が形成されている。
【０００４】
ＰＤＰは、このように作製した前面側の基板と背面側の基板とを対向させ、一方の基板の周辺に封着材を配置し、加熱により封着材を溶融させて両基板を封着した後、パネル内部に放電ガスを封入することにより製造されている。
【０００５】
このパネルを封着する工程は、通常は、大気圧（１気圧）中、つまりパネル内とパネル外とを同じ大気圧状態にして行われるか、あるいはパネル外を大気圧状態にし、パネル内を真空状態にして行われていた（特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１５０２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、パネル内とパネル外を大気圧にしてパネルの封着を行うと、封着材のつぶれ量が不十分になるため、背面側の隔壁と前面側の基板との間に空隙が生じ、その空隙により、パネルを表示した際にパネル内の電極に印加される周期的な電圧に前面側の基板が共振し、それにより騒音が発生することがあった。
【０００８】
また、パネル外を大気圧状態にし、パネル内を真空状態にしてパネルの封着を行うと、封着材がつぶれすぎるため、この場合も背面側の隔壁と前面側の基板との間に空隙が生じ、上記と同様に騒音が発生することがあった。
【０００９】
本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、パネル封着時のパネル内とパネル外の圧力差を適切に設定することで、パネルの封着状態を良好にするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、表示パネルとして機能する構成要素を形成した前面側の基板と背面側の基板とを、一方の基板の周辺に加熱により溶着する封着材を配置して対向させ、これらの基板からなるパネルの封着材を加熱して封着する際、パネル内の圧力をパネル外の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差が５〜９５ｋＰａの範囲となるように調整しながら、パネル内の排気を行うとともにパネル内に圧力調整ガスを導入することを特徴とする表示パネルの封着方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、封着時に、背面側の隔壁と前面側の基板との間に空隙が生じないので、パネルを表示した際の前面側の基板の共振がなくなり、パネル表示時の騒音の発生を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明において、前面側の基板と背面側の基板は、表示パネルとして機能する構成要素を形成したものであればよい。この前面側の基板と背面側の基板としては、ガラス、石英、セラミックス等の基板が含まれる。表示パネルとして機能する構成要素としては、たとえば表示パネルがプラズマディスプレイパネルである場合には、電極、誘電体層、保護膜、隔壁、蛍光体層等が挙げられる。
【００１３】
封着材は、一方の基板の周辺に配置可能で、加熱により溶着するものであればよい。この封着材としては、たとえば低融点ガラスフリットに、バインダー樹脂、溶媒等を混合した低融点ガラスペーストを塗布して、仮焼成したものを用いることができる。
【００１４】
封着材の加熱、封着は、たとえばヒーターを設けたチャンバー内にパネルを配置することで行うことができる。このとき用いるヒーターは、ニクロム線や赤外線等の、当該分野で公知の各種のヒーターを適用することができる。
【００１５】
封着材を加熱して封着する際は、パネル内の圧力をパネル外の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差が２０〜８０ｋＰａの範囲となるように調整することが望ましい。
【００１６】
この場合、パネル内を真空状態にし、パネル外を大気圧よりも低い減圧状態にしてもよく、あるいは、パネル内を大気圧よりも低い減圧状態にし、パネル外を大気圧にしてもよく、またあるいは、パネル内を大気圧にし、パネル外を大気圧以上の加圧状態にしてもよい。
【００１７】
圧力調整ガスとしては、アルゴンガスを用いることが望ましいが、窒素ガスまたは乾燥空気を用いてもよい。あるいはアルゴンガス、窒素ガス、乾燥空気等を混合したガスを用いてもよい。また、たとえば表示パネルがＰＤＰである場合には、ＰＤＰ内に充填する放電ガスを圧力調整ガスとして用いてもよい。この場合には、ＰＤＰ内から圧力調整ガスを抜いて、放電ガスを充填する手間が省ける。
【００１８】
本発明は、また、上記いずれかの封着方法で封着された表示パネルである。
【００１９】
本発明は、さらに、表示パネルとして機能する構成要素が形成されるとともに一方の基板の周辺に加熱により溶着する封着材が配置された前面側の基板と背面側の基板とからなるパネルを内部に配置することが可能なチャンバーと、チャンバー内に配置されたパネルを加熱する加熱部と、チャンバー内を減圧または加圧する第１圧力ポンプと、チャンバー内に圧力調整ガスを導入する第１ガス導入部と、チャンバー内の圧力を計測する第１圧力計と、パネル内を減圧または加圧する第２圧力ポンプと、パネル内に圧力調整ガスを導入する第２ガス導入部と、パネル内の圧力を計測する第２圧力計と、第１圧力計と第２圧力計との双方の圧力を検出し、パネル内の圧力をチャンバー内の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差が５〜９５ｋＰａの範囲となるように、加熱部、第１圧力ポンプ、第１ガス導入部、第２圧力ポンプ、および第２ガス導入部を制御しながら、前面側の基板と背面側の基板とを加熱して封着した後、パネル内の排気を行うとともにパネル内に圧力調整ガスを導入させる制御部とを備えてなる表示パネルの封着装置である。
【００２０】
以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を詳述する。なお、本発明はこれによって限定されるものではなく、各種の変形が可能である。
【００２１】
図１（ａ）および図１（ｂ）は本発明の封着方法により封着されたＰＤＰの構成を示す説明図である。図１（ａ）は全体図、図１（ｂ）は部分分解斜視図である。このＰＤＰはカラー表示用のＡＣ駆動型の３電極面放電型ＰＤＰである。
【００２２】
ＰＤＰ１０は、ＰＤＰとして機能する構成要素が形成された前面側の基板１１と背面側の基板２１から構成されている。前面側の基板１１と背面側の基板２１としては、ガラス基板、石英基板、セラミック基板等を使用することができる。
【００２３】
前面側の基板１１の内側面には、水平方向に表示電極Ｘと表示電極Ｙが等間隔に配置されている。隣接する表示電極Ｘと表示電極Ｙとの間が全て表示ラインＬとなる。各表示電極Ｘ，Ｙは、ＩＴＯ、ＳｎＯ2などの幅の広い透明電極１２と、例えばＡｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ及びそれらの積層体（例えばＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒの積層構造）等からなる金属製の幅の狭いバス電極１３から構成されている。表示電極Ｘ，Ｙは、Ａｇ、Ａｕについてはスクリーン印刷のような厚膜形成技術を用い、その他については蒸着法、スパッタ法等の薄膜形成技術とエッチング技術を用いることにより、所望の本数、厚さ、幅及び間隔で形成することができる。
【００２４】
なお、本ＰＤＰでは、表示電極Ｘと表示電極Ｙが等間隔に配置され、隣接する表示電極Ｘと表示電極Ｙとの間が全て表示ラインＬとなる構造のＰＤＰを示したが、これに限定されず、対となる表示電極Ｘ，Ｙが放電の発生しない間隔（非放電ギャップ）を隔てて配置された構造のＰＤＰであっても、本発明を適用することができる。
【００２５】
表示電極Ｘ，Ｙの上には、表示電極Ｘ，Ｙを覆うように交流（ＡＣ）駆動用の誘電体層１７が形成されている。誘電体層１７は、低融点ガラスペーストを、前面側の基板１１上にスクリーン印刷法で塗布し、焼成することにより形成している。
【００２６】
誘電体層１７の上には、表示の際の放電により生じるイオンの衝突による損傷から誘電体層１７を保護するための保護膜１８が形成されている。この保護膜はＭｇＯで形成されている。保護膜は、電子ビーム蒸着法やスパッタ法のような、当該分野で公知の薄膜形成プロセスによって形成することができる。
【００２７】
背面側の基板２１の内側面には、平面的にみて表示電極Ｘ，Ｙと交差する方向に複数のアドレス電極Ａが形成され、そのアドレス電極Ａを覆って誘電体層２４が形成されている。アドレス電極Ａは、Ｙ電極との交差部で発光セルを選択するためのアドレス放電を発生させるものであり、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒの３層構造で形成されている。このアドレス電極Ａは、その他に、例えばＡｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ等で形成することもできる。アドレス電極Ａも、表示電極Ｘ，Ｙと同様に、Ａｇ、Ａｕについてはスクリーン印刷のような厚膜形成技術を用い、その他については蒸着法、スパッタ法等の薄膜形成技術とエッチング技術を用いることにより、所望の本数、厚さ、幅及び間隔で形成することができる。アドレス電極Ａの上には、アドレス電極Ａを覆うように交流（ＡＣ）駆動用の誘電体層２４が形成されている。誘電体層２４は、誘電体層１７と同じ材料、同じ方法を用いて形成することができる。
【００２８】
隣接するアドレス電極Ａとアドレス電極Ａとの間の誘電体層２４上には、ストライプ状の複数の隔壁２９が形成されている。隔壁２９の形状はこれに限定されず、放電空間をセルごとに区画するメッシュ状（ボックス状）であってもよい。隔壁２９は、サンドブラスト法、印刷法、フォトエッチング法等により形成することができる。例えば、サンドブラスト法では、低融点ガラスフリット、バインダー樹脂、溶媒等からなるガラスペーストを誘電体層２４上に塗布して乾燥させた後、そのガラスペースト層上に隔壁パターンの開口を有する切削マスクを設けた状態で切削粒子を吹きつけて、マスクの開口に露出したガラスペースト層を切削し、さらに焼成することにより形成する。また、フォトエッチング法では、切削粒子で切削することに代えて、バインダー樹脂に感光性の樹脂を使用し、マスクを用いた露光及び現像の後、焼成することにより形成する。
【００２９】
隔壁２９の側面及び隔壁間の誘電体層２４上には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂが形成されている。蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂは、蛍光体粉末とバインダー樹脂と溶媒とを含む蛍光体ペーストを隔壁２９間の凹溝状の放電空間内にスクリーン印刷、又はディスペンサーを用いた方法などで塗布し、これを各色毎に繰り返した後、焼成することにより形成している。この蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂは、蛍光体粉末と感光性材料とバインダー樹脂とを含むシート状の蛍光体層材料（いわゆるグリーンシート）を使用し、フォトリソグラフィー技術で形成することもできる。この場合、所望の色のシートを基板上の表示領域全面に貼り付けて、露光、現像を行い、これを各色毎に繰り返すことで、対応する隔壁間に各色の蛍光体層を形成することができる。
【００３０】
ＰＤＰは、このような構成要素を形成した前面側の基板１１と背面側の基板２１とを、表示電極Ｘ，Ｙとアドレス電極Ａとが交差するように対向配置し、周囲を封着し、隔壁２９で囲まれた放電空間３０にＸｅとＮｅとを混合した放電ガスを充填することにより作製されている。このＰＤＰでは、表示電極Ｘ，Ｙとアドレス電極Ａとの交差部の放電空間３０が、表示の最小単位である１つのセル（単位発光領域）となる。１画素はＲ、Ｇ、Ｂの３つのセルで構成される。
【００３１】
図２はＰＤＰの封着装置の構成を示す説明図である。
図において、３１はチャンバー、３２はヒーター、３３は第１圧力ポンプ、３４は第１ガス導入バルブ、３５は第１圧力計、３６は第２圧力ポンプ、３７は第２ガス導入バルブ、３８は第２圧力計、３９は放電ガス導入バルブ、４０はマニホールド、４１は通気管チップオフ機構、４２は制御装置である。
【００３２】
チャンバー３１内には、封着部２２を形成した背面側の基板２１と前面側の基板１１とを対向させたパネルを、横置きの状態で保持することが可能である。
ヒーター３２は、ＰＤＰ１０を封着部２２の軟化温度まで加熱することが可能である。このヒーター３２は赤外線ヒーターである。第１圧力ポンプ３３は、チャンバー３１内を減圧または加圧するポンプである。第１ガス導入バルブ３４は、圧力調整ガスを収容したボンベ３４ａからチャンバー３１内に圧力調整ガスを導入するバルブである。第１圧力計３５はチャンバー３１内の圧力を計測する。
【００３３】
第２圧力ポンプ３６は、ＰＤＰ１０内を減圧または加圧するポンプである。第２ガス導入バルブ３７は、圧力調整ガスを収容したボンベ３７ａからＰＤＰ１０内に圧力調整ガスを導入するバルブである。放電ガス導入バルブ３９は、放電ガスを収容したボンベ３９ａからＰＤＰ１０内に放電ガスを導入するバルブである。第２圧力計３８はＰＤＰ１０内の圧力を計測する。マニホールド４０は複数の通路を制御装置４１の指示に応じて制御する多岐管である。
【００３４】
前面側の基板１１と背面側の基板２１とを封着する際、つまりパネル封着の工程に際しては、表示電極、誘電体層、保護膜を形成した前面側の基板１１と、アドレス電極、誘電体層、隔壁、蛍光体層を形成した背面側の基板２１を用意する。
【００３５】
背面側の基板２１の裏面には、事前に、ＰＤＰ１０内の不純物ガスを排気したり、ＰＤＰ１０内に圧力調整ガスや放電ガスを導入するための通気孔（図示していない）を設けておく。また、背面側の基板２１の周辺には、低融点ガラスフリットに、バインダー樹脂、溶媒等を加えた低融点ガラスペーストからなる封着材を塗布し、これを仮焼成することで封着部２２を形成しておく。
【００３６】
そして、背面側の基板２１と前面側の基板１１とを対向させ、背面側の基板２１の通気孔に通気管２３を配置する。この際、通気管２３の基板当接面には、封着材と同じ程度の軟化点を有する接着材を配置しておく。そして、通気管２３を前面側の基板１１および背面側の基板２１と共にクリップで仮止めして、チャンバー３１内に配置する。通気管２３には、通気管チップオフ機構４１を配置しておき、ＰＤＰ１０内に放電ガスを導入した後、通気管２３を加熱してチップオフすることで、ＰＤＰ１０内に放電ガスを封入することができるようにしておく。
【００３７】
制御装置４２は、第１圧力計３５と第２圧力計３８との双方の圧力を検出し、ＰＤＰ１０内の圧力をチャンバー３１内の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差が５〜９５ｋＰａの範囲、好ましくは２０〜８０ｋＰａの範囲となるように、ヒーター３２、第１圧力ポンプ３３、第１ガス導入バルブ３４、第２圧力ポンプ３６、第２ガス導入バルブ３７、および放電ガスバルブ３９を制御しながら、ヒーター３２に通電して、前面側の基板１１と背面側の基板２１とを加熱して封着した後、ＰＤＰ１０内の排気を行うとともにＰＤＰ１０内に圧力調整ガスを導入させる。
【００３８】
図３は制御装置の制御の一例を示すフローチャートである。
パネル封着の工程においては、制御装置４２は、まず、ヒーター３２へ通電して、ＰＤＰ１０を加熱し、封着部２２の封着材を軟化させて、前面側の基板１１と背面側の基板２１とを封着する（ステップＳ１）。
【００３９】
次に、第２圧力ポンプ３６を制御して、ＰＤＰ１０内の真空引きを行い（ステップＳ２）、第１圧力ポンプ３３を制御して、チャンバー３１内を減圧し（ステップＳ３）、その後、第２ガス導入バルブ３７を制御して、ＰＤＰ１０内に圧力調整ガスを導入する（ステップＳ４）。圧力調整ガスとしてはアルゴンガスを用いる。アルゴンガスの代わりに窒素ガスまたは乾燥空気を用いてもよい。あるいは、放電ガスを直接導入してもよい。放電ガスを直接導入した場合には、後述のステップＳ６，Ｓ７は不要である。
【００４０】
この工程の間、つまりＰＤＰ１０を封着材の軟化点以上で加熱している間は、制御装置４２は、ＰＤＰ１０内の圧力をチャンバー３１内の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差が５〜９５ｋＰａの範囲、好ましくは２０〜８０ｋＰａの範囲となるように制御を行う。ＰＤＰ１０間の圧力が小さくなる、つまり負圧となることで、両基板間に吸引力が生じ、溶融（軟化）状態の封着材を押しつぶすことになる。
【００４１】
次に、ヒーター３２への通電を停止して、ＰＤＰ１０を自然冷却し（ステップＳ５）、第２圧力ポンプ３６を制御して、ＰＤＰ１０内の真空引きを行い（ステップＳ６）、放電ガスバルブ３９を制御して、ＰＤＰ１０内に放電ガスを導入する（ステップＳ７）。その後、通気管２３のチップオフを行う（ステップＳ８）。なお、ヒーター通電停止後の降温状態で溶融状態にあった封着材が固化して、前面側の基板と背面側の基板とを固着する。
【００４２】
通気管２３のチップオフは、制御装置４２で通気管チップオフ機構４１を制御して、自動的に行うようにしてもよいし、人力で行うようにしてもよい。
【００４３】
図４は制御装置の制御の他の例を示すフローチャートである。
この例では、制御装置４２は、まず、第１圧力ポンプ３３を制御して、チャンバー３１内を減圧する（ステップＳ１１）。この際、前面側の基板１１と背面側の基板２１は、まだ封着されていないので、ＰＤＰ１０内もチャンバー３１内の圧力と同じ圧力に減圧される。
【００４４】
次に、ヒーター３２へ通電して、ＰＤＰ１０を加熱し、封着部２２の封着材を軟化させて、前面側の基板１１と背面側の基板２１とを封着する（ステップＳ１２）。
【００４５】
次に、第２圧力ポンプ３６を制御して、ＰＤＰ１０内の真空引きを行い（ステップＳ１３）、その後、第２ガス導入バルブ３７を制御して、ＰＤＰ１０内に圧力調整ガスを導入する（ステップＳ１４）。
【００４６】
この工程の間、制御装置４２は、ＰＤＰ１０内の圧力をチャンバー３１内の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差が５〜９５ｋＰａの範囲、好ましくは２０〜８０ｋＰａの範囲となるように制御を行う。ＰＤＰ１０冷却後のステップＳ１５〜Ｓ１８の工程については、図３と同じである。
【００４７】
図５は封着時のパネル内外の圧力差とパネル騒音との関係を示すグラフである。グラフに示したパネル騒音（任意単位）の１〜５のレベルは、１は騒音が気にならないレベル、２は時々気になるレベル、つまりＰＤＰの表示パターンによっては気になるレベルである。３〜４は騒音が常時気になるレベルである。
【００４８】
このグラフに示すように、パネルの封着工程において、パネル内の圧力をパネル外の圧力よりも小さくし、かつパネル内外の圧力差を５〜９５ｋＰａの範囲に維持しておけば、パネルの騒音レベルを「２」以下とすることができる。また、パネル内外の圧力差を２０〜８０ｋＰａの範囲に維持しておけば、パネルの騒音レベルを「１」以下とすることができる。
【００４９】
図６（ａ）および図６（ｂ）はパネル封着時の基板の状態を示す説明図である。図６（ａ）は封着部が加熱される前の状態を示し、図６（ｂ）は封着部が加熱されて常温に冷却された状態を示している。
パネルの封着工程においては、クリップ５１で前面側の基板１１と背面側の基板２１とを仮止めして、チャンバー内に保持し、加熱するのであるが、パネル内の圧力をパネル外の圧力よりも小さくし、パネル内外の圧力差を５〜９５ｋＰａ、好ましくは２０〜８０ｋＰａの範囲に維持しているので、封着部２２の封着材が軟化すると、パネル内の空間５２の負圧力により、封着部２２の溶融状態にある封着材が適度につぶれ、背面側の隔壁２９と前面側の基板１１との間に空隙ができない。
【００５０】
比較例１
図７（ａ）および図７（ｂ）は比較例１であり、パネル内とパネル外とを大気圧状態にして封着を行った場合の基板の状態を示している。図７（ａ）は封着部が加熱される前の状態を示し、図７（ｂ）は封着部が加熱されて常温に冷却された状態を示している。
【００５１】
パネルの封着工程においては、クリップ５１で前面側の基板１１と背面側の基板２１とを仮止めして、封着部２２の軟化点以上にＰＤＰを加熱する。この場合、図７（ａ）に示すように、クリップ５１で仮止めしているため、クリップ５１の押さえ位置である、図中Ｐの位置から封着部２２の位置まで距離があり、これによりクリップ５１のバネ力は封着部２２に直接には伝わらず、基板１１，２１の弾性（ヤング率）を介して封着部２２を押しつぶすことになる。ところが、封着部２２の封着材は一定の粘度を持っているため、隔壁２９の高さまで封着部２２をつぶすことはできない。この場合、パネル内の空間５２は大気圧であるので、それ以上の力は封着部２２にはかからない。
【００５２】
封着完了後、ＰＤＰを常温に冷却するのであるが、常温になって封着材が固化した後、クリップ５１を外すと、図７（ｂ）に示すように、基板の弾力により、背面側の隔壁２９と前面側の基板１１との間に空隙５３が生じる。この空隙５３により、ＰＤＰを表示した際に、ＰＤＰ内の電極に印加される周期的な電圧に前面側の基板１１が共振し、騒音が発生される。
【００５３】
比較例２
図８（ａ）および図８（ｂ）は比較例２であり、パネル外を大気圧状態にし、パネル内を真空状態にして封着を行った場合の基板の状態を示している。図８（ａ）は封着部が加熱される前の状態を示し、図８（ｂ）は封着部が加熱されて常温に冷却された状態を示している。
【００５４】
パネルの封着工程においては、クリップ５１で前面側の基板１１と背面側の基板２１とを仮止めして、封着材の軟化点以上にＰＤＰを加熱する。この場合、パネル内の空間５２が真空状態であるため、封着部２２を押しつぶす力は、基板の弾性力と大気圧を加えたものとなる。そのため、図８（ａ）に示すように、封着部２２は隔壁２９の高さ以下にまで押しつぶされることになる。
【００５５】
封着完了後、ＰＤＰを常温に冷却するのであるが、常温になって封着材が固化した後、クリップ５１を外すと、図８（ｂ）に示すように、基板の弾力により、背面側の隔壁２９と前面側の基板１１との間に空隙５４が生じる。この空隙５３により、比較例１と同様に騒音が発生される。
【００５６】
このように、パネルの内側と外側の圧力差を調整した状態で封着材の軟化点あるいは融点まで加熱し、その状態のまま封着材を常温まで冷却することにより、封着材のつぶれ量を制御して、背面側の隔壁と前面側の基板との間の空隙をなくすことができる。そして、この空隙をなくすことにより、ＰＤＰを表示した際の、ＰＤＰ内の電極に印加される周期的な電圧に対する基板の共振を抑制して、表示の際の騒音の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の封着方法により封着されたＰＤＰの構成を示す説明図である。
【図２】ＰＤＰの封着装置の構成を示す説明図である。
【図３】制御装置の制御の一例を示すフローチャートである。
【図４】制御装置の制御の他の例を示すフローチャートである。
【図５】封着時のパネル内外の圧力差とパネル騒音との関係を示すグラフである。
【図６】パネル封着時の基板の状態を示す説明図である。
【図７】比較例１のパネル封着時の基板の状態を示す説明図である。
【図８】比較例２のパネル封着時の基板の状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０  ＰＤＰ
１１  前面側の基板
１２  透明電極
１３  バス電極
１７，２４  誘電体層
１８  保護膜
２１  背面側の基板
２２  封着部
２３  通気管
２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ  蛍光体層
２９  隔壁
３０  放電空間
３１  チャンバー
３２  ヒーター
３３  第１圧力ポンプ
３４  第１ガス導入バルブ
３４ａ  圧力調整ガスボンベ
３５  第１圧力計
３６  第２圧力ポンプ
３７  第２ガス導入バルブ
３７ａ  圧力調整ガスボンベ
３８  第２圧力計
３９  放電ガス導入バルブ
３９ａ  放電ガスボンベ
４０  マニホールド
４１  通気管チップオフ機構
４２  制御装置
５１  クリップ
５２  パネル内の空間
５３，５４  空隙
Ａ  アドレス電極
Ｌ  表示ライン
Ｘ，Ｙ  表示電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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