(57)【要約】【目的】  非線形誤差を補正して高精度な位置を測定する手法を提供することを目的とする。【構成】  移動可能なＸＹステージ１０５と、レーザを用いて、ＸＹステージ１０５の移動位置を測定するレーザ干渉計３００と、レーザ干渉計３００の測定値から所定の周波数領域の成分を減衰させるＬＰＦ１２２と、ＬＰＦ１２２と並列に接続されたＨＰＦ１２４と、ＨＰＦ１２４と直列に接続されたＬＰＦ１２６と、ＨＰＦ１２４と直列にＬＰＦ１２６と並列に接続されたＨＰＦ１３４と、ＨＰＦ１３４と直列に接続されＬＰＦ１３６と、ＬＰＦ１２２を通過した測定値と、ＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６を通過した測定値と、ＨＰＦ１２４とＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６を通過した測定値とを加算して出力する加算器１２８と、を備えたことを特徴とする。【選択図】        図３
2007033282.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能なステージと、
レーザを用いて、前記ステージの移動位置を測定する測定部と、
前記測定部の測定値から所定の周波数領域の成分を減衰させる第１のフィルタと、
前記第１のフィルタと並列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域以外の成分を減衰させる第２のフィルタと、
前記第２のフィルタと直列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域の成分を減衰させる第３のフィルタと、
前記第２のフィルタと直列に前記第３のフィルタと並列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域以外の成分を減衰させる第４のフィルタと、
前記第４のフィルタと直列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域の成分を減衰させる第５のフィルタと、
前記第１のフィルタを通過した前記測定部の測定値と、前記第２と第３のフィルタを通過した前記測定部の測定値と、前記第２と第４と第５のフィルタを通過した前記測定部の測定値とを合成し、合成された合成値を出力する合成部と、
を備えたことを特徴とする位置測定装置。
【請求項２】
前記第１と第３のフィルタとして、ローパスフィルタを用い、
前記第２のフィルタとして、ハイパスフィルタを用い、
前記第４のフィルタとして、ハイパスフィルタとローパスフィルタとのうち、いずれか一方を用い、
前記第５のフィルタとして、前記ローパスフィルタとハイパスフィルタとのうち、前記第４のフィルタとは逆の一方を用いることを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。
【請求項３】
前記位置測定装置は、さらに、
前記第４のフィルタと直列に前記第５のフィルタと並列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域以外の成分を減衰させる第６のフィルタと、
前記第６のフィルタと直列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域の成分を減衰させる第７のフィルタと、
を備え、
前記合成部は、さらに、前記第２と第４と第６と第７のフィルタを通過した前記測定部の測定値を合成し、合成された合成値を出力することを特徴とする請求項１記載の位置測定装置。
【請求項４】
試料を載置し、前記試料を載置した状態で移動するステージと、
レーザを用いて、前記ステージの移動位置を測定する測定部と、
所定のカットオフ周波数に設定した状態で前記測定部の測定値を通過させるローパスフィルタと、
前記所定のカットオフ周波数と同一なカットオフ周波数に設定した状態で、前記測定部の測定値を通過させる１組目のローパスフィルタとハイパスフィルタと、
前記所定のカットオフ周波数と同一なカットオフ周波数に設定した状態で、前記１組目のローパスフィルタとハイパスフィルタとのうち、ハイパスフィルタを通過した測定値を通過させる２組目のローパスフィルタとハイパスフィルタと、
前記ローパスフィルタを通過した前記測定部の測定値と、前記１組目のローパスフィルタとハイパスフィルタを通過した前記測定部の測定値と、前記２組目のローパスフィルタとハイパスフィルタを通過した前記測定部の測定値との合成値に基づいて、前記試料の所望する位置に所定のパターンを描画する描画部と、
を備えたことを特徴とする描画装置。
【請求項５】
レーザを用いて、ステージの移動位置を測定する測定工程と、
所定のカットオフ周波数に設定されたローパスフィルタを用いて、前記測定工程により測定された測定値から非線形誤差成分を除去する非線形誤差成分除去工程と、
前記所定のカットオフ周波数に設定された１組目のローパスフィルタとハイパスフィルタとを用いて、前記測定工程により測定された測定値に対する速度比例の位置ずれの発生を補正する速度比例位置ずれ補正工程と、
前記所定のカットオフ周波数に設定された２組目のローパスフィルタとハイパスフィルタとを用いて、前記測定値に対する加速度比例の位置ずれの発生を補正する加速度比例位置ずれ補正工程と、
を備えたことを特徴とする位置測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置測定装置、描画装置及び位置測定方法に関し、特に、レーザ測長によるステージの位置測定手法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、半導体装置に要求される回路線幅は年々微細化されてきている。これらの半導体装置へ所望の回路パターンを形成するためには、従来所望の回路パターンが形成された数十種類の原画パターン（レチクル或いはマスクともいう。）をステージ上に搭載されたウェハの露光領域に高精度に位置合わせし、その後、光源からレーザ光等を照射することで、マスクに形成された所望の回路パターンがかかるウェハ上の露光領域に転写される。例えば、縮小投影露光装置が用いられる。かかる原画パターンは、高精度に仕上げられたガラス基板上に描かれ、レジストプロセス等を経て形成される。一般的には、片面にクロム（Ｃｒ）を蒸着したガラス基板上にレジスト材を均一に塗布したものに、電子線やレーザ等を光源としたエネルギービームを用いて所望の場所のレジスト材を感光させる。そして、現像後、Ｃｒをエッチングすることでパターンを形成することができる。
【０００３】
従来、半導体デバイスの生産では、上述したようにレーザ等の光露光技術が用いられてきたが、近年、半導体デバイスの微細化に伴って、原画パターンにおいても優れた解像成を有する電子線（電子ビーム）露光技術が生産に用いられている。
【０００４】
図２９は、可変成形型電子線描画装置の動作を説明するための概念図である。
可変成形型電子線描画装置（ＥＢ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  ｂｅａｍ）描画装置）における第１のアパーチャ４１０には、電子線３３０を成形するための矩形例えば長方形の開口４１１が形成されている。また、第２のアパーチャ４２０には、第１のアパーチャ４１０の開口４１１を通過した電子線３３０を所望の矩形形状に成形するための可変成形用開口４２１が形成されている。荷電粒子ソース４３０から照射され、第１のアパーチャ４１０の開口４１１を通過した電子線３３０は、偏向器により偏向され、第２のアパーチャ４２０の可変成形用開口４２１の一部を通過して、所定の一方向（例えば、Ｘ方向とする）に連続的に移動するステージ上に搭載された試料に照射される。すなわち、第１のアパーチャ４１０の開口４１１と第２のアパーチャ４２０の可変成形用開口４２１との両方を通過できる矩形形状が、Ｘ方向に連続的に移動するステージ上に搭載された試料３４０の描画領域に描画される。第１のアパーチャ４１０の開口４１１と第２のアパーチャ４２０の可変成形用開口４２１との両方を通過させ、任意形状を作成する方式を可変成形方式という（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
以上のようなレーザ光等を照射する光露光装置や電子線を照射する電子線露光装置のいずれの装置においても、ステージの高精度な位置合わせが必要となる。一般に、ステージの位置は、レーザ干渉計を用いたレーザ測長システムにより測定される。しかしながら、レーザ干渉計を用いたレーザ測長システムによりステージの位置を測定する場合には、測定された位置データに非線形誤差を含んでしまう。パターンの微細化に伴い、かかる非線形誤差が描画精度に影響するようになってきた。
【０００６】
ここで、レーザ測長システムによる非線形誤差を補正する技術ではないが、ウェハのゆがみやアライメントマークの崩れによる非線形誤差を補正する技術が文献に開示されている（例えば、特許文献２，３参照）。また、制御対象機械を目標位置に移動させる機械装置において送りねじのバックラッシュまたはカップリングのねじれによる誤差要素をローパスフィルタやハイパスフィルタにて補正する技術が文献に開示されている（例えば、特許文献４参照）。その他、ローパスフィルタやハイパスフィルタに関連した技術が文献に開示されている（例えば、特許文献５，６参照）。
【特許文献１】特開２０００−５８４２４号公報
【特許文献２】特開平６−２９１０２１号公報
【特許文献３】特開平６−３４９７０７号公報
【特許文献４】特開２００４−１７１３３３号公報
【特許文献５】特開平８−２８５５３８号公報
【特許文献６】特開平３−１５２７７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したように、レーザ光等を照射する光露光装置や電子線を照射する電子線露光装置のいずれの装置においても、ステージの高精度な位置合わせが必要となる。しかしながら、ステージの位置を測定するレーザ干渉計を用いたレーザ測長システムの測定結果には、上述したように非線形誤差を含んでしまうといった問題があった。
理想的には測定器から被測定物までの距離とその位置データは完全なリニアリティ（線形）の関係になるはずであるが、レーザ測長の場合、光学的なパス（光路）の問題で誤差を含んでしまう。具体的には、レーザ光中に混在している垂直波と水平波とが互いに干渉してしまい非線形誤差を生じさせる。すなわち、レーザ測長システム中のミラー等の反射により垂直波には水平波の成分が、水平波には垂直波の成分が干渉して非線形誤差を発生させてしまう。パターンの微細化に伴い、かかる非線形誤差が描画精度に影響するようになってきており、かかる非線形誤差の影響により正確なステージ位置が測定できず、所望する位置から外れた位置にパターンを描画してしまうといった問題が生じてしまう。
また、かかる非線形誤差成分をローパスフィルタによって除去しようとした場合、フィルタの特性によりフィルタ起因の位置ずれを生じてしまう。特に、速度が変化するステージの場合には、速度成分だけでなく、加速度成分、或いは、加加速度成分、或いは、さらに高次の成分の位置ずれが発生してしまうという問題点がある。
【０００８】
本発明は、かかる問題点を克服し、非線形誤差を補正して高精度な位置を測定する手法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様の位置測定装置は、
移動可能なステージと、
レーザを用いて、前記ステージの移動位置を測定する測定部と、
前記測定部の測定値から所定の周波数領域の成分を減衰させる第１のフィルタと、
前記第１のフィルタと並列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域以外の成分を減衰させる第２のフィルタと、
前記第２のフィルタと直列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域の成分を減衰させる第３のフィルタと、
前記第２のフィルタと直列に前記第３のフィルタと並列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域以外の成分を減衰させる第４のフィルタと、
前記第４のフィルタと直列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域の成分を減衰させる第５のフィルタと、
前記第１のフィルタを通過した前記測定部の測定値と、前記第２と第３のフィルタを通過した前記測定部の測定値と、前記第２と第４と第５のフィルタを通過した前記測定部の測定値とを合成し、合成された合成値を出力する合成部と、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
かかる構成により、非線形誤差の領域に所定の周波数領域を設定することで、前記第１のフィルタを通過した前記測定部の測定値に、前記第２と第３のフィルタを通過した前記測定部の測定値を合成することで、非線形誤差成分を除去し、かつ、速度比例成分の位置ずれを補正することができる。さらに、速度変化するステージの場合には、速度比例成分の他に、加速度比例成分の位置ずれも生じることになるが、ここで、前記第２と第４と第５のフィルタを通過した前記測定部の測定値を合成することで、後述するように、さらに、加速度比例成分の位置ずれを補正することができる。
【００１１】
そして、本発明における前記第１と第３のフィルタとして、ローパスフィルタを用い、
前記第２のフィルタとして、ハイパスフィルタを用い、
前記第４のフィルタとして、ハイパスフィルタとローパスフィルタとのうち、いずれか一方を用い、
前記第５のフィルタとして、前記ローパスフィルタとハイパスフィルタとのうち、前記第４のフィルタとは逆の一方を用いることを特徴とする。
【００１２】
通常、前記非線形誤差成分は、ステージの移動速度に対応する周波数領域よりも高い周波数となる。そこで、第１のフィルタとしてローパスフィルタを用いることによりかかる非線形誤差成分を除去することができる。ここで、後述するように、第１のフィルタとしてローパスフィルタを通すだけでは、フィルタの特性に起因する、速度比例の位置ずれが残ってしまう。そこで、さらに、第２のフィルタとしてのハイパスフィルタと第３のフィルタとしてのローパスフィルタにより速度比例成分の位置ずれを除去することができる。しかし、速度変化するステージの移動では、まだ、第２のフィルタとしてのハイパスフィルタと第３のフィルタとしてのローパスフィルタを通しても、加速度比例成分の位置ずれが残ってしまう。そこで、さらに、第４或いは第５のフィルタとしてのハイパスフィルタと第５或いは第４のフィルタとしてのローパスフィルタにより加速度比例成分の位置ずれを除去することができる。
【００１３】
そして、本発明における前記位置測定装置は、さらに、
前記第４のフィルタと直列に前記第５のフィルタと並列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域以外の成分を減衰させる第６のフィルタと、
前記第６のフィルタと直列に接続され、前記測定部の測定値から前記所定の周波数領域の成分を減衰させる第７のフィルタと、
を備え、
前記合成部は、さらに、前記第２と第４と第６と第７のフィルタを通過した前記測定部の測定値を合成し、合成された合成値を出力することを特徴とする。
【００１４】
速度変化するステージの場合には、ローパスフィルタによる非線形誤差成分の除去を行うと、速度比例成分、加速度比例成分の他に、加加速度比例成分の位置ずれも生じる場合があるが、さらに、前記第２と第４と第６と第７のフィルタを通過した前記測定部の測定値を合成することで、加加速度比例の位置ずれを除去することができる。
【００１５】
また、本発明の一態様の描画装置は、
試料を載置し、前記試料を載置した状態で移動するステージと、
レーザを用いて、前記ステージの移動位置を測定する測定部と、
所定のカットオフ周波数に設定した状態で前記測定部の測定値を通過させるローパスフィルタと、
前記所定のカットオフ周波数と同一なカットオフ周波数に設定した状態で、前記測定部の測定値を通過させる１組目のローパスフィルタとハイパスフィルタと、
前記所定のカットオフ周波数と同一なカットオフ周波数に設定した状態で、前記１組目のローパスフィルタとハイパスフィルタとのうち、ハイパスフィルタを通過した測定値を通過させる２組目のローパスフィルタとハイパスフィルタと、
前記ローパスフィルタを通過した前記測定部の測定値と、前記１組目のローパスフィルタとハイパスフィルタを通過した前記測定部の測定値と、前記２組目のローパスフィルタとハイパスフィルタを通過した前記測定部の測定値との合成値に基づいて、前記試料の所望する位置に所定のパターンを描画する描画部と、
を備えたことを特徴とする。
【００１６】
上述したように、かかる構成により速度比例および加速度比例の位置ずれを補正し、非線形誤差成分を除去することができる。よって、描画部が、速度比例および加速度比例の位置ずれを生じさせずに非線形誤差成分が除去された前記ステージの移動位置に基づいて前記試料の所望する位置に所定のパターンを描画することができる。
【００１７】
また、上述した各装置の位置測定手法を方法で表すと、本発明の一態様の位置測定方法は、
レーザを用いて、ステージの移動位置を測定する測定工程と、
所定のカットオフ周波数に設定されたローパスフィルタを用いて、前記測定工程により測定された測定値から非線形誤差成分を除去する非線形誤差成分除去工程と、
前記所定のカットオフ周波数に設定された１組目のローパスフィルタとハイパスフィルタとを用いて、前記測定工程により測定された測定値に対する速度比例の位置ずれの発生を補正する速度比例位置ずれ補正工程と、
前記所定のカットオフ周波数に設定された２組目のローパスフィルタとハイパスフィルタとを用いて、前記測定値に対する加速度比例の位置ずれの発生を補正する加速度比例位置ずれ補正工程と、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、速度比例と加速度比例、さらに、場合により加加速度比例の位置ずれを補正し、非線形誤差成分を除去することができるので、より高精度な位置を測定することができる。より高精度な位置を測定することができるので、高精度な描画を行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１における描画装置の構成を示す概念図である。
図１において、描画装置１００は、描画部の一例となる電子鏡筒１０２、描画演算回路１１１、描画室１０３と、ＸＹステージ１０５、駆動部１０６、測定部の一例となるレーザ干渉計３００、位置演算部１０９、フィルタ部１１０を備えている。電子鏡筒１０２内には、電子銃２０１、照明レンズ２０２、第１のアパーチャ２０３、投影レンズ２０４、偏向器２０５、第２のアパーチャ２０６、対物レンズ２０７、偏向器２０８を有している。レーザ干渉計３００は、レーザ光源となるレーザヘッド１０７、ミラー１０４、光学系１１２、受光部１０８を有している。
【００２０】
電子銃２０１から出た電子線２００は、照明レンズ２０２により矩形例えば長方形の穴を持つ第１のアパーチャ２０３全体を照明する。ここで、電子線２００をまず矩形例えば長方形に成形する。そして、第１のアパーチャ２０３を通過した第１のアパーチャ像の電子線２００は、投影レンズ２０４により第２のアパーチャ２０６上に投影される。かかる第２のアパーチャ２０６上での第１のアパーチャ像の位置は、偏向器２０５によって制御され、ビーム形状と寸法を変化させることができる。そして、第２のアパーチャ２０６を通過した第２のアパーチャ像の電子線２００は、対物レンズ２０７により焦点を合わせ、偏向器２０８により偏向されて、描画室１０３内に移動可能に配置されたＸＹステージ１０５上の試料１０１の所望する位置に照射される。
【００２１】
図２は、ステージ移動の様子を説明するための図である。
試料１０１に描画する場合には、ＸＹステージ１０５を駆動部１０６によりＸ方向に連続移動させながら、描画（露光）面を電子線２００が偏向可能な短冊状の複数のストライプ領域に仮想分割された試料１０１の１つのストライプ領域上を電子線２００が照射する。ＸＹステージ１０５のＸ方向の移動は、連続移動とし、同時に電子線２００のショット位置もステージ移動に追従させる。連続移動させることで描画時間を短縮させることができる。そして、１つのストライプ領域を描画し終わったら、ＸＹステージ１０５を駆動部１０６によりＹ方向にステップ送りしてＸ方向（今度は逆向き）に次のストライプ領域の描画動作を行なう。各ストライプ領域の描画動作を蛇行させるように進めることでＸＹステージ１０５の移動時間を短縮することができる。
【００２２】
図３は、フィルタ部の内部構成を示すブロック図である。
レーザ測長システムの一例であるレーザ干渉計３００にて描画室１０３内に設置されたＸＹステージ１０５の位置を測定する。かかるレーザ干渉計３００にて測定された測定値を位置演算部１０９にて位置成分のデータに変換する。そして、所定のカットオフ周波数に設定したローパスフィルタ（以降ＬＰＦという）１２２に前記位置成分のデータを通過させる。一方で、ＬＰＦ１２２と並列に配置され、ＬＰＦ１２２のカットオフ周波数と同一なカットオフ周波数に設定した１組目のハイパスフィルタ（以降ＨＰＦという）１２４とＬＰＦ１２６に、前記位置成分のデータを通過させる。さらに、ＨＰＦ１２４と直列に、そしてＬＰＦ１２６と並列に配置され、ＬＰＦ１２２のカットオフ周波数と同一なカットオフ周波数に設定した２組目のＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６に、ＨＰＦ１２４を通過後の前記位置成分のデータを分岐して通過させる。そして、ＬＰＦ１２２を通過したデータと１組目のＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６を通過したデータと１組目のＨＰＦ１２４と２組目のＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６を通過したデータとを合成部の一例となる加算器１２８で加算し合成する。そして、合成された合成値を描画部の描画演算回路１１１に出力する。
【００２３】
図４は、本実施の形態１における位置測定方法のフローチャートを示す図である。
Ｓ（ステップ）５０２において、測定工程として、上述したように、レーザ干渉計３００にて描画室１０３内に設置された連続移動するＸＹステージ１０５の位置を測定する。すなわち、描画室１０３内に設置されたＸＹステージ１０５上に取付けられたミラー１０４に、レーザ投光部となるレーザヘッド１０７から光学系１１２を介してレーザ光を当てて、反射したレーザ光を、光学系１１２を介して受光部１０８にて受光する。かかるレーザ干渉計３００にて測定された測定値を位置演算部１０９にて位置成分のデータに変換する。ここで、上述したように、かかる位置成分のデータには、非線形誤差成分が内在している。
【００２４】
図５は、速度パターンの一例を示す図である。
ここでは、図５に示すように、所定の一定加速度で加速された後、一定速度で移動し、さらに、前記所定の一定加速度で減速した後、また、反対方向に一定の加速度で加速し、一定速度で移動するといった、いわゆる台形速度パターンを示している。
【００２５】
図６は、変位パターンの一例を示す図である。
上述した図５に示す台形パターンに沿って、ＸＹステージ１０５を移動させると、図６に示すような変位パターンで推移する。レーザ測長の場合、光学的なパス（光路）の問題で非線形誤差成分を含んでしまう。具体的には、レーザ光中に混在している垂直波と水平波とが互いに干渉してしまい非線形誤差を生じさせる。すなわち、レーザ測長システム中のミラー等の反射により垂直波には水平波の成分が、水平波には垂直波の成分が干渉して非線形誤差を発生させてしまう。かかる非線形誤差成分が変位データにのってしまうこととなる。
【００２６】
Ｓ５０４において、非線形誤差成分除去工程として、前記測定工程により測定された測定値から非線形誤差成分を除去する。通常、かかる非線形誤差成分は、ＸＹステージ１０５の位置成分に対して高周波であるため、第１のフィルタとしてＬＰＦ１２２を通過させることで、レーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータから、所定のカットオフ周波数で高周波領域の非線形誤差成分を含む周波数領域を減衰させることができる。
【００２７】
図７は、ＬＰＦ通過後の位置成分のデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
図７（ａ）に示すように、ＬＰＦ１２２を所定のカットオフ周波数に設定することで、レーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータから、高周波領域の非線形誤差成分を含む周波数領域を減衰させ、実質的に除去することができる。しかし、図７（ｂ）に示すように、ＬＰＦ１２２を通過させることで、位置成分のデータに位相遅れが生じてしまう。このままＬＰＦ１２２を通過したデータに基づいてＸＹステージ１０５の位置を判断すると、位相遅れによる位置ずれで、後述するビーム照射位置にずれが生じてしまう恐れがある。
【００２８】
図８は、ＬＰＦ１２２の伝達関数式を示す図である。
カットオフ周波数をｆｎ、時定数をτｎ（但し、τ＝１／（２πｆ））、ラプラス演算子をＳとして、図８（ａ）に示すように、ＬＰＦ１２２の伝達関数式は、伝達関数Ｇ１（ｓ）＝１／（１＋τ１・Ｓ）で示すことができる。しかし、レーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータをかかるＬＰＦ１２２を通過させただけの場合、図８（ｂ）に示すように、τ１・Ｓ／（１＋τ１・Ｓ）で示される１次の時間微分項、言い換えれば、速度成分項が残差として残ってしまうことがわかる。
【００２９】
図９は、ＬＰＦのみを通過させただけの場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
図９に示すように、ＬＰＦ１２２を通過させただけの場合、図５に示す台形速度パターンでは、速度比例の位置ずれが発生してしまう。
【００３０】
そこで、かかる速度比例の位置ずれを補正することが望ましい。
Ｓ５０６において、速度比例位置ずれ補正工程として、速度比例の位置ずれを補正する。第１のフィルタとしてＬＰＦ１２２と並列にＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６を通過させることで、速度比例の位置ずれを発生させずに、レーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータから、所定のカットオフ周波数で高周波領域の非線形誤差成分を含む周波数領域を減衰させることができる。
【００３１】
図１０は、１組目のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
図１０（ｂ）に示すように、ＨＰＦ１２４を通過させることで、位置成分のデータの位相が速まる。そして、図１０（ａ）に示すように、ＬＰＦ１２２が減衰させる周波数領域以外の成分を減衰させておく。さらに、ＬＰＦ１２６を通過させることで、ＬＰＦ１２２が減衰させる周波数領域の成分と同じ周波数領域の成分を減衰させておく。かかる位相を早め、かつＬＰＦ１２２と同じカットオフ周波数で両側の周波数領域を減衰させた位置成分のデータを形成する。
【００３２】
図１１は、ＬＰＦを通過後の位置成分のデータと１組のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータとを合成したデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
図１１（ｂ）に示すように、２つのデータを加算して合成することで、位相遅れを修正し、位相遅れが始まる周波数領域を高周波側にずらすことができる。また、図１１（ａ）に示すように、ゲインの減衰開始位置も若干高周波側にずらすことができる。
【００３３】
必要な周波数領域におけるゲインと位相がずれないようにＬＰＦ１２２とＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６のカットオフ周波数を調整することで、位相ずれを抑えながら非線形誤差成分を除去することができる。しかし、以下に示すような残差がまだ解消していない。
【００３４】
図１２は、速度補正付きフィルタの伝達関数式を示す図である。
カットオフ周波数をｆｎ、時定数をτｎ（但し、τ＝１／（２πｆ））、ラプラス演算子をＳとして、ＨＰＦ１２４の伝達関数式は、τ２・Ｓ／（１＋τ２・Ｓ）で示すことができる。同様に、ＬＰＦ１２６の伝達関数式は、１／（１＋τ３・Ｓ）で示すことができる。ここで、ＬＰＦ１２２とＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６のカットオフ周波数は、同一のカットオフ周波数が望ましい。ただし、上述したような非線形誤差成分の除去効果が認められる範囲での若干のずれを排除するものではない。同一のカットオフ周波数の場合、τ１＝τ２＝τ３となる。図８（ａ）に示した伝達関数式に１次の時間微分項（速度成分項）を補正すると、図１２（ａ）に示すように、速度補正付きフィルタの伝達関数式は、Ｇ２（ｓ）＝｛１／（１＋τ・Ｓ）｝｛１＋τ・Ｓ／（１＋τ・Ｓ）｝で示すことができる。しかし、レーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータをかかる速度補正付きフィルタを通過させただけの場合、図１２（ｂ）に示すように、τ２・Ｓ２／（１＋τ・Ｓ）２で示される２次の時間微分項、言い換えれば、加速度成分項が残差として残ってしまうことがわかる。
【００３５】
図１３は、速度補正付きデジタルフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
図１３に示すように、ＬＰＦ１２２と１組目のＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６とを通過させた場合、図５に示す台形速度パターンでは、加速度比例の位置ずれが発生してしまう。
【００３６】
そこで、かかる加速度成分項を補正することが望ましい。
Ｓ５０８において、加速度比例位置ずれ補正工程として、前記測定工程により測定された測定値から非線形加速度誤差成分を除去する。ＬＰＦ１２２とＬＰＦ１２６とに並列にＨＰＦ１２４と直列に、ＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６を通過させることで、加速度比例の位置ずれを発生させずに、レーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータから、所定のカットオフ周波数で高周波領域の非線形誤差成分を含む周波数領域を減衰させることができる。
【００３７】
図１４は、ＬＰＦを通過後の位置成分のデータと１組目のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータと２組目のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータとを合成したデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
図１４（ｂ）に示すように、３つのデータを加算して合成することで、位相遅れを修正し、位相遅れが始まる周波数領域を高周波側にずらすことができる。また、図１４（ａ）に示すように、ゲインの減衰開始位置もさらに若干高周波側にずらすことができる。
【００３８】
必要な周波数領域におけるゲインと位相がずれないようにＬＰＦ１２２とＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６とＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６のカットオフ周波数を調整することで、さらに位相ずれを抑えながら非線形誤差成分を除去することができる。しかし、以下に示すような残差がまだ解消していない。
【００３９】
図１５は、加速度補正付きフィルタの伝達関数式を示す図である。
カットオフ周波数をｆｎ、時定数をτｎ（但し、τ＝１／（２πｆ））、ラプラス演算子をＳとして、ＨＰＦ１３４の伝達関数式は、τ４・Ｓ／（１＋τ２・Ｓ）で示すことができる。同様に、ＬＰＦ１３６の伝達関数式は、１／（１＋τ５・Ｓ）で示すことができる。ここで、ＬＰＦ１２２とＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６とＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６のカットオフ周波数は、同一のカットオフ周波数が望ましい。ただし、上述したような非線形誤差成分の除去効果が認められる範囲での若干のずれを排除するものではない。同一のカットオフ周波数の場合、τ１＝τ２＝τ３＝τ４＝τ５となる。図１２（ａ）に示した伝達関数式に２次の時間微分項（加速度成分項）を補正すると、図１５（ａ）に示すように、加速度補正付きフィルタの伝達関数式は、Ｇ３（ｓ）＝｛１／（１＋τ・Ｓ）｝〔１＋τ・Ｓ／（１＋τ・Ｓ）｛１＋τ・Ｓ／（１＋τ・Ｓ）｝〕で示すことができる。しかし、レーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータをかかる加速度補正付きフィルタを通過させた場合、図１５（ｂ）に示すように、τ３・Ｓ３／（１＋τ・Ｓ）３で示される３次の時間微分項、言い換えれば、加加速度成分項が残差として残ってしまうことがわかる。
【００４０】
図１６は、加速度誤差成分補正付きフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
図１６に示すように、ＬＰＦ１２２と１組目のＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６と２組目のＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６とを通過させた場合、図５に示す台形速度パターンでは、一定加速度でＸＹステージ１０５が移動している場合の位置ずれを補正することができる様子を示している。ただし、スパイクノイズ状の位置ずれは残っていることを示している。
【００４１】
Ｓ５１０において、合成工程として、合成部の一例となる加算器１２８が、ＬＰＦ１２２を通過したレーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータと、ＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６とを通過したレーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータと、ＨＰＦ１２４とＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６とを通過したレーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータとを加算して合成し、合成された合成値を描画部の描画演算回路１１１に出力する。
【００４２】
以上のように、ＬＰＦ１２２とＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６とＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６とにより構成された加速度補正付きフィルタ部１１０により、速度比例と加速度比例の位置ずれを補正し、非線形誤差成分が除去された位置成分のデータを描画演算回路１１１が入力することで、入力された位置成分のデータでＸＹステージ１０５の位置を検出することができる。よって、描画演算回路１１１は、かかる高精度な位置データにより高精度なパターン位置精度を実現することができる。そして、描画演算回路１１１は、電子線２００が偏向されて、描画室１０３内で連続移動するＸＹステージ１０５上の試料１０１の所望する位置に追従して照射されるように偏向器２０８を制御する。その結果、描画部により前記試料１０１の所望する位置に所定のパターンを描画することができる。
【００４３】
実施の形態２．
実施の形態１では、速度変化するＸＹステージの移動について、一定加速度で変化する場合について説明したが、加速度変化するＸＹステージの移動も想定するとより望ましい。実施の形態２では、ＸＹステージの移動において加速度が変化する移動パターンの場合における非線形誤差成分の除去手法について説明する。描画装置１００の構成は、図１と同様であるので説明を省略する。
【００４４】
図１７は、実施の形態２におけるフィルタ部の内部構成を示すブロック図である。
レーザ測長システムの一例であるレーザ干渉計３００にて描画室１０３内に設置されたＸＹステージ１０５の位置を測定する。かかるレーザ干渉計３００にて測定された測定値を位置演算部１０９にて位置成分のデータに変換する。そして、所定のカットオフ周波数に設定したＬＰＦ１２２に前記位置成分のデータを通過させる。一方で、ＬＰＦ１２２と並列に配置され、ＬＰＦ１２２のカットオフ周波数と同一なカットオフ周波数に設定した１組目のＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６に、前記位置成分のデータを通過させる。さらに、ＨＰＦ１２４と直列に、そしてＬＰＦ１２６と並列に配置され、ＬＰＦ１２２のカットオフ周波数と同一なカットオフ周波数に設定した２組目のＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６に、ＨＰＦ１２４を通過後の前記位置成分のデータを分岐して通過させる。そして、実施の形態２では、さらに、ＨＰＦ１３４と直列に、そしてＬＰＦ１３６と並列に配置され、ＬＰＦ１２２のカットオフ周波数と同一なカットオフ周波数に設定した３組目のＨＰＦ１４４とＬＰＦ１４６に、ＨＰＦ１３４を通過後の前記位置成分のデータを分岐して通過させる。そして、ＬＰＦ１２２を通過したデータと１組目のＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６を通過したデータと１組目のＨＰＦ１２４と２組目のＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６を通過したデータと１組目のＬＰＦ１２４と２組目のＨＰＦ１３４と３組目のＨＰＦ１４４とＬＰＦ１４６を通過したデータとを合成部の一例となる加算器１２８で加算し合成する。そして、合成された合成値を描画部の描画演算回路１１１に出力する。
【００４５】
図１８は、加速度パターンと速度パターンの一例を示す図である。
図１８（ａ）では、加速度パターンの一例を示し、かかる加速度パターンを時間で積分して図１８（ｂ）に示す速度パターンの一例を示している。ここでは、図１８（ａ）と図１８（ｂ）に示すように、所定の一定の加加速度で加速された後、さらに、前記所定の一定の加加速度で減速した後、図１８（ｂ）に示すように、一定速度で移動する。そして、図１８（ａ）と図１８（ｂ）に示すように、前記所定の一定の加加速度で反対方向に加速した後、前記所定の一定の加加速度で減速し、その後、図１８（ｂ）に示すように、一定速度で移動する。かかる加速度変更パターンを示している。
【００４６】
図１９は、ＬＰＦのみを通過させただけの場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
図１９に示すように、ＬＰＦ１２２を通過させただけの場合、図１８に示す加速度変更パターンでは、速度比例の位置ずれが発生してしまう。
【００４７】
図２０は、速度補正付きフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
図２０に示すように、ＬＰＦ１２２と１組目のＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６とを通過させた場合、図１４に示す加速度変更パターンでは、加速度比例の位置ずれが残ってしまう。
【００４８】
図２１は、加速度誤差成分補正付きフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
図２１に示すように、ＬＰＦ１２２と１組目のＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６と２組目のＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６とを通過させた場合、図１８に示す加速度変更パターンでは、加加速度比例の位置ずれが残る。
【００４９】
図２２は、加速度パターンと速度パターンの別の一例を示す図である。
図２２（ａ）では、加速度パターンの一例を示し、かかる加速度パターンを時間で積分して図２２（ｂ）に示す速度パターンの一例を示している。ここでは、図２２（ａ）と図２２（ｂ）に示すように、所定の一定の加加速度で加速された後、さらに、前記所定の一定の加加速度で減速した後、図２２（ｂ）に示すように、一定速度で移動する。そして、図２２（ａ）と図２２（ｂ）に示すように、前記所定の一定の加加速度で反対方向に加速した後、前記所定の一定の加加速度で減速し、その後、図２２（ｂ）に示すように、一定速度で移動する。かかる加速度変更パターンを示している。
【００５０】
図２３は、加速度補正付きフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
図２３に示すように、ＬＰＦ１２２と１組目のＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６と２組目のＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６とを通過させた場合、図２２に示す加速度変更パターンでは、加加速度比例の位置ずれが残る。ただし、ここでは、カットオフ周波数を変化させることで、一定加加速度成分の大きさを調整すること、すなわち、小さくすることができることを示している。例えば、カットオフ周波数を１００Ｈｚから３００Ｈｚ側に大きくしていくことで、ここでは、一定加加速度成分の大きさを小さくすることができる一例を示している。しかし、図１５（ｂ）において説明したように、加加速度成分項が残差として残ってしまい、かかる加加速度成分項をゼロにすることはできていない。
【００５１】
そこで、かかる加加速度成分項を補正することが望ましい。
図示していない加加速度比例位置ずれ補正工程として、加加速度比例の位置ずれを補正する。ＬＰＦ１２２とＬＰＦ１２６とＬＰＦ１３６とに並列にＨＰＦ１２４とＨＰＦ１３４とに直列に、ＨＰＦ１４４とＬＰＦ１４６を通過させることで、加加速度比例の位置ずれを補正し、レーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータから、所定のカットオフ周波数で高周波領域の非線形誤差成分を含む周波数領域を減衰させることができる。
【００５２】
図２４は、ＬＰＦを通過後の位置成分のデータと１組目のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータと２組目のＨＰＦとＬＰＦと３組目のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータとを合成したデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
図２４（ｂ）に示すように、４つのデータを加算して合成することで、位相遅れを修正し、位相遅れが始まる周波数領域をさらに高周波側にずらすことができる。また、図２４（ａ）に示すように、ゲインの減衰開始位置もさらに若干高周波側にずらすことができる。
【００５３】
必要な周波数領域におけるゲインと位相がずれないようにＬＰＦ１２２とＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６とＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６とＨＰＦ１４４とＬＰＦ１４６のカットオフ周波数を調整することで、さらに位相ずれを抑えながら非線形誤差成分を除去することができる。
【００５４】
図２５は、加加速度補正付きフィルタの伝達関数式を示す図である。
カットオフ周波数をｆｎ、時定数をτｎ（但し、τ＝１／（２πｆ））、ラプラス演算子をＳとして、ＨＰＦ１４４の伝達関数式は、τ６・Ｓ／（１＋τ２・Ｓ）で示すことができる。同様に、ＬＰＦ１４６の伝達関数式は、１／（１＋τ７・Ｓ）で示すことができる。ここで、ＬＰＦ１２２とＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６とＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６とＨＰＦ１４４とＬＰＦ１４６のカットオフ周波数は、同一のカットオフ周波数が望ましい。ただし、上述したような非線形誤差成分の除去効果が認められる範囲での若干のずれを排除するものではない。同一のカットオフ周波数の場合、τ１＝τ２＝τ３＝τ４＝τ５＝τ６＝τ７となる。図１５（ａ）に示した伝達関数式に３次の時間微分項（加加速度成分項）を補正すると、図２５（ａ）に示すように、加加速度補正付きデジタルフィルタの伝達関数式は、Ｇ４（ｓ）＝｛１／（１＋τ・Ｓ）｝〔１＋τ・Ｓ／（１＋τ・Ｓ）〔１＋τ・Ｓ／（１＋τ・Ｓ）｛１＋τ・Ｓ／（１＋τ・Ｓ）｝〕〕で示すことができる。しかし、レーザ干渉計３００の測定値から変換された位置成分のデータをかかる加加速度補正付きデジタルフィルタを通過させた場合、図２５（ｂ）に示すように、τ４・Ｓ４／（１＋τ・Ｓ）４で示される４次の時間微分項が残差として残ってしまうことがわかる。
【００５５】
図２６は、加加速度補正付きフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
図２６に示すように、ＬＰＦ１２２と１組目のＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６と２組目のＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６と３組目のＨＰＦ１４４とＬＰＦ１４６とを通過させた場合、図２２に示す加速度変更パターンでは、加加速度比例の位置ずれまでは除去されている。ただし、加加加速度比例の位置ずれは残ってしまう。
【００５６】
以上のように、ＬＰＦ１２２とＨＰＦ１２４とＬＰＦ１２６とＨＰＦ１３４とＬＰＦ１３６とＨＰＦ１４４とＬＰＦ１４６とにより構成された加加速度補正付きフィルタ部１１０により、速度比例と加速度比例と加加速度比例の位置ずれを補正し、非線形誤差成分が除去された位置成分のデータを描画演算回路１１１が入力することで、入力された位置成分のデータでＸＹステージ１０５の位置を検出することができる。よって、描画演算回路１１１は、かかる高精度な位置データにより高精度なパターン位置精度を実現することができる。そして、描画演算回路１１１は、電子線２００が偏向されて、描画室１０３内で連続移動するＸＹステージ１０５上の試料１０１の所望する位置に追従して照射されるように偏向器２０８を制御する。その結果、描画部により前記試料１０１の所望する位置に所定のパターンを描画することができる。
【００５７】
図２７は、ＬＰＦのみのフィルタと速度補正付きフィルタと加速度補正付きフィルタと加加速度補正付きフィルタを通過後の位置成分のデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
図２７（ａ）では、周波数に対するゲインの関係を示している。図２７（ｂ）では、周波数に対する位相の関係を示している。図２７（ｂ）に示すように、高次の補正、加加速度補正側に向かって位相遅れが始まる周波数領をさらに高周波側にずらすことができる。よって、加加速度補正側に向かってより位置ずれを抑制することができる。
【００５８】
以上の説明において、加加速度誤差成分の除去までの説明としているが、これに限るものではなく、さらに、ＨＰＦとＬＰＦとの組み合わせを前段のＨＰＦと直列に前段のＬＰＦと並列に接続していくことで、さらに高次の非線形誤差成分を除去することができる。
【００５９】
ここで、上述した各実施の形態におけるフィルタ部１１０は、デジタルフィルタとして構成することができる。例えば、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）内にプログラムとして組み込まれても構わない。言い換えれば、「フィルタ部」は、コンピュータで動作可能なプログラムにより構成することができる。或いは、ソフトウェアとなるプログラムだけではなく、ハードウェアとソフトウェアとの組合せにより実施させても構わない。或いは、ファームウェアとの組合せでも構わない。また、プログラムにより構成される場合、プログラムは、磁気ディスク装置、磁気テープ装置、ＦＤ、或いはＲＯＭ（リードオンリメモリ）等の記録媒体に記録される。
【００６０】
図２８は、従来技術との比較を説明するための図である。
図２８（ａ）には、従来技術として、本実施の形態１或いは本実施の形態２における組合わせフィルタを通さないで電子線露光を行なった場合を示している。非線形誤差成分により正確なＸＹステージ１０５の位置が測定できないため、ＸＹステージ１０５上の試料１０１の所望する位置も正確に特定することができない。その結果、電子線のショット位置がずれてしまう。図２８（ａ）では、位置ずれによりパターンが断線している様子を示している。これに対し、上述した各実施の形態における組合わせフィルタを通すことにより、非線形誤差成分が除去され、高精度なＸＹステージ１０５の位置を測定することができる。その結果、図２８（ｂ）に示すように、電子線のショット位置にずれがなく、所望する位置に所定のパターンを描画することができる。
【００６１】
また、各実施の形態における組合わせフィルタを通すことによる効果として、さらに、デジタルノイズを低減させることもできる。かかるデジタルノイズとして、例えば、レーザ干渉計３００の位置データのＬＳＢ（Ｌｅａｓｔ  Ｓｉｇｎｉｆｉｃａｎｔ  Ｂｉｔ）がゆらぐことにより位置誤差が生じてしまうものが挙げられる。本実施の形態１における組合わせフィルタを通すことによりＬＳＢのゆらぎがなくなり位置精度を向上させることができる。
【００６２】
以上の説明において、各実施の形態では、電子線を用いているが、これに限るものではなく、イオン等を含めた荷電粒子線でも構わない。また、描画装置として、可変成形型電子線描画装置を一例として記載したが、これに限るものではなく、可変させない電子線を用いる描画装置であっても構わない。
【００６３】
通常、ステージをゆっくり動かす場合には、非線形誤差成分の周波数が低くなり、ステージを速く動かす場合には、非線形誤差成分の周波数が高くなる。よって、より高速、高加速、或いは高加加速で動かすマスクステージやウェハステージの位置検出時の方が非線形誤差成分がより高周波側となるため、より減衰された領域となり、より非線形誤差成分を除去することができる。
【００６４】
以上、具体例を参照しつつ実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。描画装置に限らず連続移動するステージおよび不連続移動するステージの位置測定に各実施の形態における組合わせフィルタを組み込むことで、より高精度な位置測定を実現することができる。
【００６５】
また、装置構成や制御手法等、本発明の説明に直接必要しない部分等については記載を省略したが、必要とされる装置構成や制御手法を適宜選択して用いることができる。例えば、描画装置１００を制御する制御部構成については、記載を省略したが、必要とされる制御部構成を適宜選択して用いることは言うまでもない。
【００６６】
その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全ての位置測定装置、描画装置及び位置測定方法は、本発明の範囲に包含される。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】実施の形態１における描画装置の構成を示す概念図である。
【図２】ステージ移動の様子を説明するための図である。
【図３】フィルタ部の内部構成を示すブロック図である。
【図４】本実施の形態１における位置測定方法のフローチャートを示す図である。
【図５】速度パターンの一例を示す図である。
【図６】変位パターンの一例を示す図である。
【図７】ＬＰＦ通過後の位置成分のデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
【図８】ＬＰＦ１２２の伝達関数式を示す図である。
【図９】ＬＰＦのみを通過させただけの場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
【図１０】１組目のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
【図１１】ＬＰＦを通過後の位置成分のデータと１組のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータとを合成したデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
【図１２】速度補正付きデジタルフィルタの伝達関数式を示す図である。
【図１３】速度補正付きデジタルフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
【図１４】ＬＰＦを通過後の位置成分のデータと１組目のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータと２組目のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータとを合成したデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
【図１５】加速度補正付きデジタルフィルタの伝達関数式を示す図である。
【図１６】加速度補正付きデジタルフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
【図１７】実施の形態２におけるフィルタ部の内部構成を示すブロック図である。
【図１８】加速度パターンと速度パターンの一例を示す図である。
【図１９】ＬＰＦのみを通過させただけの場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
【図２０】速度補正付きデジタルフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
【図２１】加速度補正付きデジタルフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
【図２２】加速度パターンと速度パターンの別の一例を示す図である。
【図２３】加速度補正付きデジタルフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
【図２４】ＬＰＦを通過後の位置成分のデータと１組目のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータと２組目のＨＰＦとＬＰＦと３組目のＨＰＦとＬＰＦとを通過後の位置成分のデータとを合成したデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
【図２５】加加速度補正付きデジタルフィルタの伝達関数式を示す図である。
【図２６】加加速度補正付きデジタルフィルタを通過させた場合の位置ずれシミュレーション結果を示す図である。
【図２７】ＬＰＦのみのフィルタと速度補正付きフィルタと加速度補正付きフィルタと加加速度補正付きフィルタを通過後の位置成分のデータの周波数に対するゲインと位相の関係を示す図である。
【図２８】従来技術との比較を説明するための図である。
【図２９】可変成形型電子線露光装置の動作を説明するための概念図である。
【符号の説明】
【００６８】
１００  描画装置
１０１，３４０  試料
１０２  電子鏡筒
１０３  描画室
１０４  ミラー
１０５  ＸＹステージ
１０６  駆動部
１０７  レーザヘッド
１０８  受光部
１０９  位置演算部
１１０  フィルタ部
１１１  描画演算回路
１１２  光学系
１２２，１２６，１３６，１４６  ＬＰＦ
１２４，１３４，１４４  ＨＰＦ
１２８  加算器
２００，３３０  電子線
２０１  電子銃
２０２  照明レンズ
２０３，２０６，４１０，４２０  アパーチャ
２０４  投影レンズ
２０５，２０８  偏向器
２０７  対物レンズ
３００  レーザ干渉計
４１１  開口
４２１  可変成形開口
４３０  荷電粒子ソース
【図１】
2007033282.tif 000003
【図２】
2007033282.tif 000004
【図３】
2007033282.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007033282.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007033282.tif 000009
【図８】
2007033282.tif 000010
【図９】
2007033282.tif 000011
【図１０】
2007033282.tif 000012
【図１１】
2007033282.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2007033282.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2007033282.tif 000017
【図１６】
2007033282.tif 000018
【図１７】
2007033282.tif 000019
【図１８】
2007033282.tif 000020
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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