(57)【要約】【課題】画素ピッチとマイクロミラーの読み出し間ピッチが異なっている場合であっても、高速に読出処理が行えるようにする。【解決手段】基板に形成される画素ピッチと、マイクロミラーの読み出し間ピッチとが異なっている場合に、画像データ２００を、メモリアドレスが連続する予め分割した分割画像データ２００Ａ、２００Ｂとしてメモリに格納しておく。メモリに格納された分割画像データ２００Ａ、２００Ｂからそれぞれメモリ読出手段によりデータを、高速（短時間）に読み出して、ミラーデータ２０２Ａ、２０２Ｂを作成することができる。【選択図】図８
2007122041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像を形成するための画素データからなる画像データに基づき複数の描画点形成要素を、描画面上の走査方向に沿って所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に描画点列を形成することで、前記描画面上に画像を形成する描画装置において、
前記画素データの画素ピッチと、前記送りピッチとが異なっている場合に、前記画像データを、予め分割した分割画像データとして格納する記憶手段を有し、
前記分割画像データは、前記画像データが、前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での描画点形成位置の位相に合わせ、かつ前記走査方向と前記記憶手段のメモリアドレスが連続する方向とを一致させて分割されている
ことを特徴とする描画装置。
【請求項２】
画素データからなる画像データに基づき複数の描画点形成要素を、描画面上の走査方向に沿って相対的に移動して前記描画面上に描画点列を形成することで、前記描画面上に画像を形成する描画装置において、
前記画像データ上における、前記描画点形成要素を制御する前記画素データの読み出し位置の読み出し方向に沿った位相毎に、前記画像データを分割した分割画像データを格納する記憶手段を有する
ことを特徴とする描画装置。
【請求項３】
請求項２記載の描画装置において、
さらに、前記位相毎に、前記描画点形成要素に与えるための前記画素データを前記分割画像データから読み出すアクセス手段を有する
ことを特徴とする描画装置。
【請求項４】
請求項３記載の描画装置において、
前記アクセス手段が、前記描画点形成要素毎に、前記分割画像データから前記画素データを読み出す
ことを特徴とする描画装置。
【請求項５】
請求項２記載の描画装置において、
前記分割画像データを、前記走査方向と前記記憶手段のメモリアドレスが連続する方向とを一致させて格納する
ことを特徴とする描画装置。
【請求項６】
請求項５記載の描画装置において、
さらに、前記位相毎に、前記描画点形成要素に与えるための前記画素データを前記分割画像データから読み出すアクセス手段を有し、前記アクセス手段が、前記描画点形成要素毎に、前記分割画像データから複数の前記画素データを連続して読み出す
ことを特徴とする描画装置。
【請求項７】
請求項５記載の描画装置において、
前記描画点形成要素の相対移動に応じて、前記描画点形成要素毎に読み出した前記画素データを時系列順に前記描画点形成要素に与えて前記描画点列を形成する
ことを特徴とする描画装置。
【請求項８】
請求項２記載の描画装置において、
走査方向に並ぶ互いに離隔した前記描画点形成要素が互いに近接した位置に前記描画点を描画する
ことを特徴とする描画装置。
【請求項９】
請求項２記載の描画装置において、
前記描画面に対する前記描画点形成要素の配置に応じて、前記描画点形成要素の各々に対応する前記位相を決める
ことを特徴とする描画装置。
【請求項１０】
請求項２記載の描画装置において、
前記分割画像データ毎に圧縮を施す
ことを特徴とする描画装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の描画装置において、
前記描画点形成要素毎に、前記読み出し位相に対応する前記分割画像データから、前記画素データを、少なくとも一部が圧縮された状態で読み出す
ことを特徴とする描画装置。
【請求項１２】
請求項２記載の描画装置において、
前記画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチが、前記画素ピッチの整数倍であるとき、
前記分割画像データは、
前記走査方向と直交する画素データ列単位で分割される
ことを特徴とする描画装置。
【請求項１３】
請求項２記載の描画装置において、
前記画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチが前記画素ピッチの有理数倍であるとき、
前記分割画像データは、
前記画素ピッチを、前記読み出し間ピッチが割り切れる高解像度に変換した解像度変換後画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での描画点形成位置の位相にあった分割画像データが作成される
ことを特徴とする描画装置。
【請求項１４】
請求項２記載の描画装置において、
前記画素ピッチが前記読出間ピッチの有理数Ｐ倍であるとき、前記描画点形成要素の異なる読み出し位相の数を、前記有理数Ｐを既約分数Ｐ＝Ｒ／Ｑで表したときの分子Ｒとし、
Ｎ（Ｎ＝０，１…，Ｑ−１）位相目の前記分割画像データを、異なる読み出し位相の前記描画点形成要素毎に、前記画像データからＰ×ｉ（ｉ＝０，１，…）＋Ｎ／Ｑの整数部分で決定される順番で画素データを読み出して作成する
ことを特徴とする描画装置。
【請求項１５】
請求項２記載の描画装置において、
前記描画面に形成される前記画像の長さ補正を行うために、前記画像データに画素データを追加又は削除する場合、
前記分割画像データから対応する画素データが追加又は削除され、前記走査方向上、追加又は削除された画素データ以降で、前記記憶手段のメモリアドレスの連続アクセス読出が継続されるように、前記複数の描画点形成要素のそれぞれに前記分割画像データの再割当が行われている
ことを特徴とする描画装置。
【請求項１６】
請求項２記載の描画装置において、
前記描画面に形成される前記画像の長さ補正を行うために、前記分割画像データが記憶されている前記記憶手段から画素データを読み出す際、描画点を削除又は追加する画素データが記憶されているメモリアドレスを読み飛ばし又は重複して読み出す
ことを特徴とする描画装置。
【請求項１７】
画像を形成するための画素データからなる画像データに基づき複数の描画点形成要素を、描画面上の走査方向に沿って所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に描画点列を形成することで、前記描画面上に画像を形成する際に用いられる画像データの作成方法において、
前記画素データの画素ピッチと、前記送りピッチとが異なっている場合に、前記画像データを、前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での描画点形成位置の位相に合わせ、かつ前記走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させて予め分割した分割画像データとして記憶手段に格納しておく分割画像データ作成ステップ
を備えることを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項１８】
画素データからなる画像データに基づき複数の描画点形成要素を、描画面上の走査方向に沿って相対的に移動して前記描画面上に描画点列を形成することで、前記描画面上に画像を形成する際に用いられる画像データの作成方法において、
前記画像データ上における、前記描画点形成要素を制御する前記画素データの読み出し位置の読み出し方向に沿った位相毎に、前記画像データを分割し分割画像データを作成する分割ステップと、
前記分割画像データを記憶手段に格納する格納ステップと
を有することを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項１９】
請求項１８記載の画像データの作成方法において、
さらに、前記位相毎に、前記描画点形成要素に与えるための前記画素データを前記分割画像データからアクセス手段により読み出すアクセスステップ
を有することを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項２０】
請求項１９記載の画像データの作成方法において、
前記アクセス手段が、前記描画点形成要素毎に、前記分割画像データから前記画素データを読み出す
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項２１】
請求項１８記載の画像データの作成方法において、
前記格納ステップでは、前記分割画像データを、前記走査方向と前記記憶手段のメモリアドレスが連続する方向とを一致させて格納する
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項２２】
請求項２１記載の画像データの作成方法において、
さらに、前記位相毎に、前記描画点形成要素に与えるための前記画素データを前記分割画像データからアクセス手段により読み出すアクセスステップを有し、前記アクセスステップでは、前記描画点形成要素毎に、前記分割画像データから複数の前記画素データを連続して読み出す
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項２３】
請求項２１記載の画像データの作成方法において、
前記描画点列を形成する際、前記描画点形成要素の相対移動に応じて、前記描画点形成要素毎に読み出した前記画素データを時系列順に前記描画点形成要素に与えて前記描画点列を形成する
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項２４】
請求項１８記載の画像データの作成方法において、
走査方向に並ぶ互いに離隔した前記描画点形成要素が互いに近接した位置に前記描画点を描画する
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項２５】
請求項１８記載の画像データの作成方法において、
前記描画面に対する前記描画点形成要素の配置に応じて、前記描画点形成要素の各々に対応する前記位相を決める
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項２６】
請求項１８記載の画像データの作成方法において、
前記分割画像データ毎に圧縮を施す
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項２７】
請求項２６記載の画像データの作成方法において、
前記描画点形成要素毎に、前記読み出し位相に対応する前記分割画像データから、前記画素データを、少なくとも一部が圧縮された状態で読み出す
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項２８】
請求項１８記載の画像データの作成方法において、
前記画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチが、前記画素ピッチの整数倍であるとき、
前記分割画像データは、
前記走査方向と直交する画素データ列単位で分割される
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項２９】
請求項１８記載の画像データの作成方法において、
前記画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチが前記画素ピッチの有理数倍であるとき、
前記分割画像データ作成ステップでは、前記画素ピッチを、前記読み出し間ピッチが割り切れる高解像度に変換した解像度変換後画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での描画点形成位置の位相にあった分割画像データを作成し、前記記憶手段に格納しておく
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項３０】
請求項１８記載の画像データの作成方法において、
前記画素ピッチが前記読出間ピッチの有理数Ｐ倍であるとき、前記描画点形成要素の異なる読み出し位相の数を、前記有理数Ｐを既約分数Ｐ＝Ｒ／Ｑで表したときの分子Ｒとし、
Ｎ（Ｎ＝０，１…，Ｑ−１）位相目の前記分割画像データは、異なる読み出し位相の前記描画点形成要素毎に、前記画像データからＰ×ｉ（ｉ＝０，１，…）＋Ｎ／Ｑの整数部分で決定される順番で画素データを読み出して作成する
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項３１】
請求項１８記載の画像データの作成方法において、
前記描画面に形成される前記画像の長さ補正を行うために、前記画像データに画素データを追加又は削除する場合、
前記分割画像データ作成ステップでは、前記分割画像データから対応する画素データを追加又は削除し、前記走査方向上、追加又は削除した画素データ以降で、前記記憶手段のメモリアドレスの連続アクセス読出が継続されるように、前記複数の描画点形成要素のそれぞれに前記分割画像データの再割当を行う
ことを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項３２】
請求項１８記載の画像データの作成方法において、
前記分割画像データ作成ステップの次に、さらに、
前記描画面に形成される前記画像の長さ補正を行うために、前記分割画像データが記憶されている前記記憶手段から画素データを読み出す際、描画点を削除又は追加する画素データが記憶されているメモリアドレスを読み飛ばし又は重複して読み出す長さ補正読み出しステップ
を備えることを特徴とする画像データの作成方法。
【請求項３３】
画像を形成するための画素データからなる画像データに基づき描画点形成要素を、描画面上の正走査方向に沿って所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に間欠描画点列を形成するとともに、前記正走査方向と反対方向の逆走査方向に前記所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に前記間欠描画点列を埋める間欠描画点列を形成して、前記描画面上に連続描画点列からなる画像を形成する描画装置であって、
前記描画面に形成される前記画像の解像度と、前記所定送りピッチとが異なっている場合に、前記画像データを、予め分割した分割画像データとして格納する記憶手段を有し、
前記分割画像データは、前記描画点形成要素の前記正走査方向及び前記逆走査方向での描画点形成位置の位相に合わされ、かつ前記正走査方向とメモリアドレスが連続する方向とが一致された分割画像データ及び前記逆走査方向とメモリアドレスが連続する方向とが一致された分割画像データとされている
ことを特徴とする描画装置。
【請求項３４】
画像を形成するための画素データからなる画像データに基づき描画点形成要素を、描画面上の正走査方向に沿って所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に間欠描画点列を形成するとともに、前記正走査方向と反対方向の逆走査方向に前記所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に前記間欠描画点列を埋める間欠描画点列を形成して、前記描画面上に連続描画点列からなる画像を形成する際に用いられる画像データの作成方法であって、
前記描画面に形成される前記画像の解像度と、前記所定送りピッチとが異なっている場合に、前記画像データを、前記描画点形成要素の前記正走査方向及び前記逆走査方向での描画点形成位置の位相に合わせ、かつ前記正走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させた分割画像データ及び前記逆走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させた分割画像データとして記憶手段に格納しておく分割画像データ作成ステップと、
を備えることを特徴とする画像データの作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、画像を形成するための画素データからなる画像データに基づき描画点形成要素を描画面に対して走査方向に相対的に移動させることで、前記描画面上に描画点列を形成し、前記描画面上に画像を形成する描画装置及び画像データの作成方法に関する。
【０００２】
また、この発明は、画像を形成するための画素データからなる画像データに基づき描画点形成要素を、描画面上の正走査方向に沿って所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に間欠描画点列を形成するとともに、前記正走査方向と反対方向の逆走査方向に前記所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に前記間欠描画点列を埋める間欠描画点列を形成して、前記描画面上に連続描画点列からなる画像を形成する描画装置及び画像データの作成方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
従来、プリント配線板やフラットパネルディスプレイの基板に所定のパターンを記録する装置として、フォトリソグラフの技術を利用した露光装置が種々提案されている。
【０００４】
上記のような露光装置としては、例えば、フォトレジストが塗布された基板上に光ビームを主走査及び副走査方向に走査させるとともに、その光ビームを、配線パターンを表す画像データに基づいて変調することにより配線パターンを形成する露光装置が提案されている。
【０００５】
このような露光装置として、例えば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（以下、ＤＭＤという）等の空間光変調素子を利用し、画像データに応じて前記空間光変調素子により光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。
【０００６】
ＤＭＤは、シリコン等の半導体基板上のメモリアレイ（ＳＲＡＭアレイ）に、微小なマイクロミラーが２次元状に多数配置されて構成されたものである。そして、メモリアレイに蓄積される電荷による静電気力を制御することによってマイクロミラーを傾斜させて反射面の角度を変化させることができ、この反射面の角度変化により描画面上の所望の位置に描画点を形成して画像を形成することができるものである。
【０００７】
そして、上記のようなＤＭＤを用いた露光装置として、この出願の出願人は、例えば、ＤＭＤを露光面の走査方向に対して傾斜させたままでＤＭＤを走査方向に移動させる露光装置を提案している（特許文献１）。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−９５９５号公報（図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この特許文献１に係る露光装置は、ＤＭＤを露光面の走査方向に対して傾斜させることで、露光ビームの走査軌跡（走査線）のピッチを狭くして走査方向と直交する方向の解像度を高くするとともに、１つの走査線上を異なるマイクロミラー列により重ねて露光することで、画像むらを少なくした露光装置である。
【００１０】
ところで、このような露光装置において、図４２の模式図に示すように、画素ピッチ（画像解像度）が、例えば１［μｍ］で、ＤＭＤ２の走査方向への送りピッチ（画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチ）が２倍の２［μｍ］等と、画素ピッチと読み出し間ピッチが異なっている場合を考慮する。
【００１１】
この図４２例では、メモリ（ハードディスクや主メモリを含む。）に格納されている画素データからなる画像データ２００中、同図に示す、例えば２行目の画像データに基づき基板上に１本の走査線に対応する描画点列が形成されるがこの１本の描画点列がミラーＡ、ミラーＢが読み出し間ピッチ毎に駆動制御されることにより形成される。この場合、ミラー（マイクロミラー）Ａの読み出し間ピッチの位相とミラー（マイクロミラー）Ｂの読み出し間ピッチの位相が１／２ピッチ分ずれているので、ミラーＡに対して、画素「２、４、６、８、１０」の列の画素データがメモリ読出手段により読み出されてミラーＡに供給され基板上に描画点として露光される一方、ミラーＢに対して、画素「１、３、５、７、９」の列の画素データがメモリ読出手段により読み出されてミラーＢに供給され基板上に描画点が露光されることで、描画面に２行目の画素１〜１０の描画点からなる１本の走査線に対応する描画点列からなる画像が形成される。
【００１２】
しかしながら、画像データ２００から、メモリ読出手段により、離散的に配置されたメモリアドレス、この場合、１つ置きのメモリアドレスをアクセスしながら、画像データを読み出すのは、メモリの制御上、時間がかかり、このメモリ読出のアクセス時間により、走査時間が制限される。
【００１３】
また、上記のような露光装置により、多層プリント配線板を形成するような場合には、各層の配線パターンの位置合わせを高度に行う必要があるが、各層を張り合わせるプレス工程において基板に熱が加えられ、その熱により基板が変形してしまう場合があるため、予め設定された位置に各層の配線パターンを露光したのでは各層の配線パターンの記録位置ずれが生じ、各層の配線パターンの高精度な位置合わせが困難となるおそれがある。また、フラットパネルディスプレイにおいてもカラーフィルタパターンを露光する際、基板に加熱処理が施されるのでその熱によって基板が伸縮し、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色の記録位置ずれが生じてしまうおそれがある。さらに、例えば、基板を所定の走査方向に移動させることによって基板上を光ビームで走査するようにした場合には、基板を移動させる移動機構の制御精度に応じて、基板の移動方向にずれが生じるような場合があり、このようなずれが生じるとやはり配線パターン等の高精度の位置合わせが困難となるおそれがある。
【００１４】
基板が走査方向に伸縮している場合には、描画面に形成される画像の長さ補正が必要となる。そして、この長さ補正を行うために、画像データに画素データを追加又は削除することが考えられるが、画像データに画素データを追加又は削除した場合には、上記したメモリ読出のアクセス制御がさらに複雑となる。
【００１５】
この発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、画素ピッチとマイクロミラー等により形成される像（描画点形成要素）の画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチとが異なる場合であっても、画像データからメモリ読出手段によりデータを読み出す処理を高速（短時間）に行うことを可能とする描画装置及び画像データの作成方法を提供することを目的とする。
【００１６】
また、この発明は、画素ピッチとマイクロミラー等により形成される像（描画点形成要素）の画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチとが異なる場合であって、さらに画像データに画素データを追加又は削除した場合であっても、画像データからメモリ読出手段によりデータを読み出す処理を高速（短時間）に行うことを可能とする描画装置及び画像データの作成方法を提供することを目的とする。
【００１７】
さらに、この発明は、描画面上に形成される画像の長さ補正を簡単な構成で実施することを可能とする描画装置及び画像データの作成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
この発明に係る描画装置は、画像を形成するための画素データからなる画像データに基づき複数の描画点形成要素を、描画面上の走査方向に沿って所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に描画点列を形成することで、前記描画面上に画像を形成する描画装置において、前記画素データの画素ピッチと、前記送りピッチとが異なっている場合に、前記画像データを、予め分割した分割画像データとして格納する記憶手段を有し、前記分割画像データは、前記画像データが、前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での描画点形成位置の位相に合わせ、かつ前記走査方向と前記記憶手段のメモリアドレスが連続する方向とを一致させて分割されていることを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、前記画像を形成するための画素データからなる前記画像データを、前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での画像形成位置の位相に合わせ、かつ前記走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させて予め分割した分割画像データとして記憶手段に格納しておくようにしているので、画素ピッチと、前記複数の描画点形成要素の送りピッチが異なる場合であっても、分割画像データからそれぞれメモリ読出手段によりデータを読み出すことにより、高速（短時間）に読出処理を行うことができる。  この発明に係る描画装置は、画素データからなる画像データに基づき複数の描画点形成要素を、描画面上の走査方向に沿って相対的に移動して前記描画面上に描画点列を形成することで、前記描画面上に画像を形成する描画装置において、
前記画像データ上における、前記描画点形成要素を制御する前記画素データの読み出し位置の読み出し方向に沿った位相毎に、前記画像データを分割した分割画像データを格納する記憶手段を有することを特徴とする。
【００２０】
この発明によれば、描画点形成要素の位相毎に画像データを分割し分割画像データとして記憶手段に格納するようにしているので、前記描画点形成要素の位相毎の分割画像データの処理が容易になる。
【００２１】
この場合、さらに、前記位相毎に、前記描画点形成要素に与えるための前記画素データを前記分割画像データから読み出すアクセス手段を有することが好ましい。
【００２２】
そして、前記アクセス手段が、前記描画点形成要素毎に、前記分割画像データから前記画素データを読み出すように構成することが好ましい。
【００２３】
この場合、前記分割画像データを、前記走査方向と前記記憶手段のメモリアドレスが連続する方向とを一致させて格納することが好ましい。
【００２４】
このようにすれば、さらに、前記位相毎に、前記描画点形成要素に与えるための前記画素データを前記分割画像データから読み出すアクセス手段を有し、前記アクセス手段が、前記描画点形成要素毎に、前記分割画像データから複数の前記画素データを連続して読み出すことができる。
【００２５】
なお、前記描画点形成要素の相対移動に応じて、前記描画点形成要素毎に読み出した前記画素データを時系列順に前記描画点形成要素に与えて前記描画点列を形成することが好ましい。
【００２６】
また、走査方向に並ぶ互いに離隔した前記描画点形成要素が互いに近接した位置に前記描画点を描画することが好ましい。
【００２７】
さらにまた、前記描画面に対する前記描画点形成要素の配置に応じて、前記描画点形成要素の各々に対応する前記位相を決めることが好ましい。
【００２８】
また、前記分割画像データ毎に圧縮を施すことが好ましい。
【００２９】
この場合、前記描画点形成要素毎に、前記読み出し位相に対応する前記分割画像データから、前記画素データを、少なくとも一部が圧縮された状態で読み出すことが好ましい。
【００３０】
なお、前記画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチが、前記画素ピッチの整数倍であるとき、前記分割画像データは、前記走査方向と直交する画素データ列単位で分割されることが好ましい。
【００３１】
前記画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチが前記画素ピッチの有理数倍であるとき、前記分割画像データは、前記画素ピッチを、前記読み出し間ピッチが割り切れる高解像度に変換した解像度変換後画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での描画点形成位置の位相にあった分割画像データが作成されることを特徴とする。
【００３２】
この発明によれば、読み出し間ピッチが画素ピッチの整数倍でない場合であっても有理数倍であれば、解像度変換により読み出し間ピッチが整除（この明細書では、実数Ａを実数Ｂで割ったときの商が整数で余りがでないとの意味）できるような数の分割画像データが得られるように解像度変換された解像度変換後画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での画像形成位置の位相にあった前記分割画像データを作成して前記記憶手段に格納しておくようにしているので、メモリアドレスの連続する分割画像データを得ることができる。
【００３３】
また、前記画素ピッチが前記読出間ピッチの有理数Ｐ倍であるとき、前記描画点形成要素の異なる読み出し位相の数を、前記有理数Ｐを既約分数Ｐ＝Ｒ／Ｑで表したときの分子Ｒとし、Ｎ（Ｎ＝０，１…，Ｑ−１）位相目の前記分割画像データは、異なる読み出し位相の前記描画点形成要素毎に、前記画像データからＰ×ｉ（ｉ＝０，１，…）＋Ｎ／Ｑの整数部分で決定される順番で画素データを読み出して作成することで、同様にメモリアドレスの連続する分割画像データを得ることができる。
【００３４】
前記描画面に形成される前記画像の長さ補正を行うために、前記画像データに画素データを追加又は削除する場合、前記分割画像データから対応する画素データが追加又は削除され、前記走査方向上、追加又は削除された画素データ以降で、前記記憶手段のメモリアドレスの連続アクセス読出が継続されるように、前記複数の描画点形成要素のそれぞれに前記分割画像データの再割当が行われているようにすることで、長さ補正を行っても、記憶手段のメモリアドレスの連続アクセス読出を継続することができる。
【００３５】
また、前記描画面に形成される前記画像の長さ補正を行うために、前記分割画像データが記憶されている前記記憶手段から画素データを読み出す際、描画点を削除又は追加する画素データが記憶されているメモリアドレスを読み飛ばし又は重複して読み出すようにすることで、分割画像データの再割当を行うことなく、長さ補正を行うことができる。
【００３６】
この発明に係る画像データの作成方法は、画像を形成するための画素データからなる画像データに基づき複数の描画点形成要素を、描画面上の走査方向に沿って所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に描画点列を形成することで、前記描画面上に画像を形成する際に用いられる画像データの作成方法において、前記画素データの画素ピッチと、前記送りピッチとが異なっている場合に、前記画像データを、前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での描画点形成位置の位相に合わせ、かつ前記走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させて予め分割した分割画像データとして記憶手段に格納しておく分割画像データ作成ステップと、を備えることを特徴とする。
【００３７】
この発明によれば、分割画像データ作成ステップでは、前記画像を形成するための画素データからなる前記画像データを、前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での描画点形成位置の位相に合わせ、かつ前記走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させて予め分割した分割画像データとして記憶手段に格納しておくようにしているので、画素ピッチと、前記複数の描画点形成要素の送りピッチが異なる場合であっても、分割画像データからそれぞれメモリ読出手段によりデータを読み出すことにより、高速（短時間）に読出処理を行うことができる。
【００３８】
この発明に係る画像データの作成方法は、画素データからなる画像データに基づき複数の描画点形成要素を、描画面上の走査方向に沿って相対的に移動して前記描画面上に描画点列を形成することで、前記描画面上に画像を形成する際に用いられる画像データの作成方法において、前記画像データ上における、前記描画点形成要素を制御する前記画素データの読み出し位置の読み出し方向に沿った位相毎に、前記画像データを分割し分割画像データを作成する分割ステップと、前記分割画像データを記憶手段に格納する格納ステップとを有することを特徴とする。
【００３９】
この発明によれば、描画点形成要素の位相毎に画像データを分割し分割画像データとして記憶手段に格納するようにしているので、前記描画点形成要素の位相毎の分割画像データの処理が容易になる。
【００４０】
この場合、さらに、前記位相毎に、前記描画点形成要素に与えるための前記画素データを前記分割画像データからアクセス手段により読み出すアクセスステップを有することが好ましい。
【００４１】
そして、前記アクセス手段が、前記描画点形成要素毎に、前記分割画像データから前記画素データを読み出すように構成することが好ましい。
【００４２】
この場合、前記格納ステップでは、前記分割画像データを、前記走査方向と前記記憶手段のメモリアドレスが連続する方向とを一致させて格納することが好ましい。
【００４３】
このようにすれば、さらに、前記位相毎に、前記描画点形成要素に与えるための前記画素データを前記分割画像データからアクセス手段により読み出すアクセスステップを有し、前記アクセスステップでは、前記描画点形成要素毎に、前記分割画像データから複数の前記画素データを連続して読み出すことができる。
【００４４】
なお、前記描画点列を形成する際、前記描画点形成要素の相対移動に応じて、前記描画点形成要素毎に読み出した前記画素データを時系列順に前記描画点形成要素に与えて前記描画点列を形成することが好ましい。
【００４５】
また、走査方向に並ぶ互いに離隔した前記描画点形成要素が互いに近接した位置に前記描画点を描画することが好ましい。
【００４６】
さらにまた、前記描画面に対する前記描画点形成要素の配置に応じて、前記描画点形成要素の各々に対応する前記位相を決めることが好ましい。
【００４７】
また、前記分割画像データ毎に圧縮を施すことが好ましい。
【００４８】
この場合、前記描画点形成要素毎に、前記読み出し位相に対応する前記分割画像データから、前記画素データを、少なくとも一部が圧縮された状態で読み出すことが好ましい。
【００４９】
なお、前記画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチが、前記画素ピッチの整数倍であるとき、前記分割画像データは、前記走査方向と直交する画素データ列単位で分割されることが好ましい。
【００５０】
前記画素データの読み出し位置の読み出し間ピッチが前記画素ピッチの有理数倍であるとき、前記分割画像データ作成ステップでは、前記画素ピッチを、前記読み出し間ピッチが割り切れる高解像度に変換した解像度変換後画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での描画点形成位置の位相にあった分割画像データを作成し記憶手段に格納しておくことを特徴とする。
【００５１】
この発明によれば、前記読み出し間ピッチが画素ピッチの整数倍でない場合であっても有理数倍であれば、解像度変換により読み出し間ピッチが整除できるような数の分割画像データが得られるように解像度変換された解像度変換後画像データから前記複数の描画点形成要素のそれぞれの前記走査方向での画像形成位置の位相にあった前記分割画像データを作成して前記記憶手段に格納しておくようにしているので、メモリアドレスの連続する分割画像データを得ることができる。
【００５２】
また、前記画素ピッチが前記読出間ピッチの有理数Ｐ倍であるとき、前記描画点形成要素の異なる読み出し位相の数を、前記有理数Ｐを既約分数Ｐ＝Ｒ／Ｑで表したときの分子Ｒとし、Ｎ（Ｎ＝０，１…，Ｑ−１）位相目の前記分割画像データは、異なる読み出し位相の前記描画点形成要素毎に、前記画像データからＰ×ｉ（ｉ＝０，１，…）＋Ｎ／Ｑの整数部分で決定される順番で画素データを読み出して作成することで、同様にメモリアドレスの連続する分割画像データを得ることができる。
【００５３】
この場合、前記描画面に形成される前記画像の長さ補正を行うために、前記画像データに画素データを追加又は削除する場合、前記分割画像データ作成ステップでは、前記分割画像データから対応する画素データを追加又は削除し、前記走査方向上、追加又は削除した画素データ以降で、前記記憶手段のメモリアドレスの連続アクセス読出が継続されるように、前記複数の描画点形成要素のそれぞれに前記分割画像データの再割当を行うようにすることで、長さ補正を行っても、記憶手段からメモリアドレスの連続アクセス読出を継続することができる。
【００５４】
また、前記分割画像データ作成ステップの次に、さらに、前記描画面に形成される前記画像の長さ補正を行うために、前記分割画像データが記憶されている前記記憶手段から画素データを読み出す際、描画点を削除又は追加する画素データが記憶されているメモリアドレスを読み飛ばし又は重複して読み出す長さ補正読み出しステップを備えることで、分割画像データの再割当を行うことなく、長さ補正を行うことができる。
【００５５】
さらに、この発明は、画像を形成するための画素データからなる画像データに基づき描画点形成要素を、描画面上の正走査方向に沿って所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に間欠描画点列を形成するとともに、前記正走査方向と反対方向の逆走査方向に前記所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に前記間欠描画点列を埋める間欠描画点列を形成して、前記描画面上に連続描画点列からなる画像を形成する描画装置であって、前記描画面に形成される前記画像の解像度と、前記所定送りピッチとが異なっている場合に、前記画像データを、予め分割した分割画像データとして格納する記憶手段を有し、前記分割画像データは、前記描画点形成要素の前記正走査方向及び前記逆走査方向での描画点形成位置の位相に合わされ、かつ前記正走査方向とメモリアドレスが連続する方向とが一致された分割画像データ及び前記逆走査方向とメモリアドレスが連続する方向とが一致された分割画像データとされていることを特徴とする。
【００５６】
この発明によれば、描画点形成要素を描画面上に相対的に往復移動させて、前記描画面上に連続描画点列からなる画像を形成する際に、前記描画点形成要素の前記正走査方向及び前記逆走査方向での位相に合わせ、かつ前記正走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させた分割画像データ及び前記逆走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させた分割画像データとして記憶手段に格納しているので、メモリ読出手段により画像データを連続アクセスして読み出すことができ、高速（短時間）に読出処理を行うことができる。
【００５７】
さらにまた、この発明は、画像を形成するための画素データからなる画像データに基づき描画点形成要素を、描画面上の正走査方向に沿って所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に間欠描画点列を形成するとともに、前記正走査方向と反対方向の逆走査方向に前記所定送りピッチで相対的に移動して前記描画面上に前記間欠描画点列を埋める間欠描画点列を形成して、前記描画面上に連続描画点列からなる画像を形成する際に用いられる画像データの作成方法であって、前記描画面に形成される前記画像の解像度と、前記所定送りピッチとが異なっている場合に、前記画像データを、前記描画点形成要素の前記正走査方向及び前記逆走査方向での描画点形成位置の位相に合わせ、かつ前記正走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させた分割画像データ及び前記逆走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させた分割画像データとして記憶手段に格納しておく分割画像データ作成ステップと、を備えることを特徴とする。
【００５８】
この発明によれば、描画点形成要素を描画面上に往復移動させて、前記描画面上に連続描画点列からなる画像を形成する際に、前記描画点形成要素の前記正走査方向及び前記逆走査方向での位相に合わせ、かつ前記正走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させた分割画像データ及び前記逆走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致しさせた分割画像データとして記憶手段に格納しているので、メモリ読出手段により画像データを連続アクセスして読み出すことができ、高速（短時間）に読出処理を行うことができる。
【００５９】
なお、上記発明において、描画点形成要素としては、マイクロミラーを有するＤＭＤの他、インクジェット記録ヘッド等が含まれ、描画点形成要素を描画面上に往復移動させる描画装置としては、１ビーム走査露光機等が含まれる。
【発明の効果】
【００６０】
この発明によれば、画素ピッチと描画点形成要素の読み出し間ピッチとが異なる場合であっても、画像データからメモリ読出手段によりデータを読み出す処理を高速（短時間）に行うことができる。
【００６１】
また、この発明によれば、画素ピッチと複数の描画点形成要素の読み出し間ピッチとが異なる場合であって、さらに画像データに画素データを追加又は削除した場合であっても、画像データからメモリ読出手段によりデータを読み出す処理を高速（短時間）に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６２】
以下、図面を参照してこの発明の描画装置及び画像データの作成方法の実施形態を用いた露光装置について詳細に説明する。
【００６３】
図１は、第１〜第３実施形態に係る露光装置１０の概略構成を示す斜視図である。この露光装置１０は、多層プリント配線板である基板１２の各層の配線パターンを露光する装置である。
【００６４】
露光装置１０は、描画面を有する基板１２を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１４を備えている。そして、４本の脚部１６に支持された厚い板状の設置台１８の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド２０が設置されている。移動ステージ１４は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されるとともに、ガイド２０によって往復移動可能に支持されている。
【００６５】
設置台１８の中央部には、移動ステージ１４の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート２２が設けられている。コの字状のゲート２２の端部の各々は、設置台１８の両側面に固定されている。このゲート２２を挟んで一方の側にはスキャナ２４が設けられ、他方の側には基板１２の先端及び後端と、基板１２に予め設けられている円形状の複数の基準マーク１２ａの位置とを検知するための複数のカメラ２６が設けられている。
【００６６】
ここで、基板１２における基準マーク１２ａは、予め設定された基準マーク位置情報に基づいて基板１２上に形成された、例えば、孔である。なお、孔の他にランドやヴィアやエッチングマークを用いてもよい。また、基板１２に形成された所定のパターン、例えば、露光しようとする層の下層のパターン等を基準マーク１２ａとして利用するようにしてもよい。また、図１においては、基準マーク１２ａを６個しか示していないが実際には多数の基準マーク１２ａが設けられている。基準マーク１２ａは、後述するアライメント補正に使用される基準位置であるので、基板１２の辺や隅により代替してもよい。
【００６７】
スキャナ２４及びカメラ２６はゲート２２に各々取り付けられて、移動ステージ１４の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ２４及びカメラ２６は、これらを制御する後述するコントローラ７０に接続されている。
【００６８】
スキャナ２４は、図２及び図３Ｂに示すように、２行５列の略マトリックス状に配列された１０個の露光ヘッド３０（３０Ａ〜３０Ｊ）を備えている。
【００６９】
各露光ヘッド３０の内部には、図４に示すように入射された光ビームを空間変調する空間光変調素子（ＳＬＭ）であるデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）３６が設けられている。ＤＭＤ３６は、マイクロミラー３８が直交する方向に２次元状に多数配列されたものであり、そのマイクロミラー３８の列方向が走査方向と所定の設定傾斜角度θをなすように取り付けられている。したがって、各露光ヘッド３０による露光エリア３２（３２Ａ〜３２Ｊ：図３Ｂ参照）は、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。移動ステージ１４の移動に伴い、基板１２には露光ヘッド３０ごとに、図３Ａに示すような帯状の露光済み領域３４が形成される。なお、各露光ヘッド３０に光ビームを入射する光源については図示省略してあるが、例えば、レーザ光源等を利用することができる。
【００７０】
露光ヘッド３０の各々に設けられたＤＭＤ３６は、マイクロミラー３８単位でオン・オフ制御され、基板１２には、ＤＭＤ３６のマイクロミラー３８に対応したドットパターン（マイクロミラー３８がオンの場合にドットが形成され、オフの場合ドットが形成されない。）が露光される。前述した帯状の露光済み領域３４は、図４に示すマイクロミラー３８に対応した２次元配列されたドットによって形成される。二次元配列のドットパターンは、走査方向に対して傾斜されていることで、走査方向に並ぶドットが、走査方向と交差する方向に並ぶドット間を通過するようになっており、高解像度化を図ることができる。なお、傾斜角度の調整のバラツキによって、利用しないドットが存在する場合もあり、例えば、図４では、斜線としたドットは利用しないドットとなり、このドットに対応するＤＭＤ３６におけるマイクロミラー３８は常にオフ状態となる。
【００７１】
また、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、帯状の露光済み領域３４のそれぞれが、隣接する露光済み領域３４と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド３０の各々は、その配列方向に所定間隔ずらして配置されている。このため、例えば、１行目の最も左側に位置する露光エリア３２Ａ、露光エリア３２Ａの右隣に位置する露光エリア３２Ｃとの間の露光できない部分は、２行目の最も左側に位置する露光エリア３２Ｂにより露光される。同様に、露光エリア３２Ｂと、露光エリア３２Ｂの右隣に位置する露光エリア３２Ｄとの間の露光できない部分は、露光エリア３２Ｃにより露光される。
【００７２】
次に、図５を参照して、この露光装置１０を含む露光記録システム４の電気的構成について説明する。
【００７３】
この露光記録システム４は、基本的には、露光しようとする配線パターンを表わす画像データを作成しベクトルデータとして出力するＣＡＤ装置（ＣＡＤサーバ）６と、ＣＡＤ装置６から転送されたベクトルデータをラスタイメージデータであるビットマップデータに変換して出力するラスタイメージプロセッサ（ＲＩＰ）８と、ＲＩＰ８から転送された画像データを一旦記憶し、ＤＭＤ３６で取り扱うのに都合のよい画像データに変換するコントローラ７０を含む露光装置１０とから構成されている。
【００７４】
模式的に内部構成を描いているコントローラ７０は、コンピュータであって図示しないＣＰＵと、ハードディスク８２、主メモリ８４、ミラーデータ一時格納用バッファ（以下、ミラーバッファという。）９０、フレームデータ一時格納用バッファ（以下、フレームバッファという。）９４を含む記憶手段８０とを含み、ＣＰＵはハードディスク８２に記憶されているプログラムを実行することで、分割画像データ作成手段４４等、後述する各種機能手段として動作する。
【００７５】
なお、ミラーデータとは、図４２に示した画像データ２００を参照して説明すると、図６Ａに示すように、ＤＭＤ３６を構成するミラーＡ、ミラーＢ、…による基板１２の露光点（描画点）の各軌跡｛ミラーの像（描画点形成要素）の軌跡と考えることもできる。｝に沿ったミラー毎に作成されたデータ（ミラー単位のデータ）である。
【００７６】
また、フレームデータとは、図６Ｂに示すように、ミラーデータをＤＭＤ３６の露光時点ｔ１、ｔ２、…毎にまとめたデータであり、ミラーデータをマトリクスにおける転置処理と同様な処理で変換して得られるデータである。
【００７７】
後述するように、ＤＭＤ３６による基板１２の露光に際して、画像データに基づきミラーデータが作成され、このミラーデータからフレームデータが作成される。
【００７８】
なお、前記ＣＰＵにより達成される機能としては、図５のコントローラ７０の模式的な構成で示すように、さらに、カメラ２６により撮影された基準マーク１２ａの画像に基づいて基準マーク１２ａの検出位置情報を取得する検出位置情報取得手段５２と、移動ステージ１４のステージ移動方向（走査方向）と直交する方向へのずれ情報を取得するずれ情報取得手段５５と、ずれ情報取得手段５５により取得されたずれ情報と検出位置情報取得手段５２により取得された検出位置情報とに基づいて、実際の露光の際における基板１２上の各マイクロミラー３８の露光軌跡の情報を取得する露光軌跡情報取得手段５４と、この露光軌跡情報取得手段５４により取得された各マイクロミラー３８毎の露光軌跡情報とＲＩＰ８から供給された画像データに基づいて、各マイクロミラー３８毎のミラーデータを作成するミラーデータ作成手段４１と、ミラーデータ作成手段４１により取得された各マイクロミラー３８毎のミラーデータから上述したフレームデータを作成するフレームデータ作成手段４２と、システム管理サーバー１１から供給される基板１２に形成される画素ピッチとマイクロミラー３８の読み出し間ピッチとが異なっているかどうか判定する判定手段４３と、異なっていると判定した場合に、画像データを、各マイクロミラー３８の走査方向での描画点形成位置（描画点、露光点）の位相に合わせ、かつ走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させて予め分割した分割画像データとして記憶手段としての主メモリ８４又はハードディスク８２に格納しておく分割画像データ作成手段４４と、記憶手段８０に対するメモリ読出・書込を行うメモリアクセス手段４５とを備える。
【００７９】
露光装置１０は、さらに、フレームデータ作成手段４２により作成されたフレームデータに基づいて露光ヘッド３０のＤＭＤ３６により露光されるよう露光ヘッド３０を制御する露光ヘッド制御部５８と、移動ステージ１４をステージ移動方向へ移動させる移動機構６０とを備えている。なお、移動機構６０は、移動ステージ１４をガイド２０に沿って往復移動させるものであればどのような既知の構成を採用してもよい。
【００８０】
この第１実施形態に係る露光装置１０を含む露光記録システム４は、基本的には以上のように構成されるものである次に露光装置１０の動作について説明する。
【００８１】
まず、ＣＡＤ装置６において、基板１２に露光しようとする配線パターンを表すベクトルデータが作成される。そして、そのベクトルデータはＲＩＰ８に入力され、ＲＩＰ８においてラスタデータに変換され、メモリアクセス手段４５を介して露光装置１０内のハードディスク８２に記憶される。
【００８２】
ハードディスク８２に記憶されたラスタデータは、図４２を再掲した図７に示す画素データからなる画像データ２００であるものとする。
【００８３】
画像データ２００がハードディスク８２に格納されたとき、判定手段４３は、システム管理サーバー１１から供給される基板１２に形成される画素ピッチと、読み出し間ピッチとが異なっているかどうかを判定する（判定ステップ）。
【００８４】
この図７例においては、画素ピッチ（ここでは、走査方向の１画素の大きさ）が１０［μｍ］で、基板１２の走査方向に沿うＤＭＤ３６（マイクロミラー３８）の読み出し間ピッチが、その整数倍である２倍の２０［μｍ］であるとする。すなわち、判定手段４３により画素ピッチと読み出し間ピッチとが異なっていると判定される。
【００８５】
そして、異なっていると判定した場合には、分割画像データ作成手段４４は、メモリアクセス手段４５を利用して、画像データ２００を、マイクロミラー３８のそれぞれの、この実施形態では理解の容易化のためにミラーＡとミラーＢの走査方向での描画点形成位置の位相（図７中、各矢印の先端位置とする。）に合わせ、かつ走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させて分割し分割画像データとしてハードディスク８２あるいは主メモリ８４に格納する（分割画像データ作成ステップ）。
【００８６】
すなわち、図８Ａに示す画像データ２００を、図８Ｂに示すように、ミラーＡと同じ画素「２、４、６、８、１０」の列の画素データを利用するマイクロミラー３８用の分割画像データ２００Ａと、ミラーＡと読み出し間ピッチが１／２ピッチ異なるミラーＢと同じ画素「１、３、５、７、９」の列（ハッチングで示している。）の画素データを利用するマイクロミラー３８用の分割画像データ２００Ｂに分割し、分割した分割画像データ２００Ａ、２００Ｂをハードディスク８２又は主メモリ８４のメモリアドレスが連続する位置に一時格納する。
【００８７】
一方、上記のようにして分割画像データ２００Ａ、２００Ｂがハードディスク８２又は主メモリ８４に格納されると、露光装置１０全体の動作を制御するコントローラ７０が移動機構６０に制御信号を出力し、移動機構６０はその制御信号に応じて移動ステージ１４を図１に示す位置からガイド２０に沿って一旦上流側の所定の初期位置まで移動させた後、下流側に向けて所望の速度で移動させる。
【００８８】
なお、上記上流側とは、図１における右側、つまりゲート２２に対してスキャナ２４が設置されている側のことであり、上記下流側とは、図１における左側、つまりゲート２２に対してカメラ２６が設置されている側のことである。
【００８９】
そして、上記のようにして移動する移動ステージ１４上の基板１２が複数のカメラ２６の下を通過する際、これらのカメラ２６により基板１２が撮影され、その撮影画像を表す撮影画像データが検出位置情報取得手段５２に入力される。
【００９０】
検出位置情報取得手段５２は、入力された撮影画像データに基づいて基板１２の基準マーク１２ａの位置を示す検出位置情報を取得する。基準マーク１２ａの検出位置情報の取得方法については、例えば、円形状の画像を抽出することにより取得するようにすればよいが、他のどのような既知の取得方法を採用してもよい。また、上記基準マーク１２ａの検出位置情報は、具体的には座標値として取得されるが、その座標値の原点は、例えば、基板１２の撮影画像データの４つの角のうちの１つの角のとしてもよいし、撮影画像データにおける予め設定された所定の位置でもよいし、複数の基準マーク１２ａのうちの１つの基準マーク１２ａの位置としてもよい。上記のようにこの実施形態においては、カメラ２６と検出位置情報取得手段５２とにより位置情報検出手段が構成されている。
【００９１】
そして、上記のようにして取得された基準マーク１２ａの検出位置情報は、検出位置情報取得手段５２から露光軌跡情報取得手段５４に出力される。
【００９２】
そして、露光軌跡情報取得手段５４において、入力された検出位置情報に基づいて、実際の露光の際における基板１２上の各マイクロミラー３８毎の露光軌跡の情報が取得される。具体的には、露光軌跡情報取得手段５４には、各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６の各マイクロミラー３８の像が通過する位置を示す通過位置情報が各マイクロミラー３８毎に予め設定されている。上記通過位置情報は、移動ステージ１４上の基板１２の設置位置に対する、各露光ヘッド３０の設置位置によって予め設定されているものであり、上記基準マーク位置情報及び上記検出位置情報と同じ点を原点として、ベクトル又は複数点の座標値で表わされるものである。通過位置情報は、例えば移動ステージ１４と同一平面状に「＜」字状のスリットを設け、そのスリットを通過するビームを検出するエリアイメージセンサを設け、このエリアイメージセンサでビーム位置を検出することによって求めることもできる。
【００９３】
図９に、プレスエ程等を経ていない理想的な形状の基板１２、つまり、歪等の変形が生じておらず、基準マーク１２ａが予め設定された基準マーク位置情報１２ｂの示す位置に配置している基板１２と、所定のマイクロミラー３８の通過位置情報１２ｃとの関係を示す模式図を示す。
【００９４】
そして、露光軌跡情報取得手段５４においては、図１０に示すように、走査方向に直交する方向について隣接する検出位置情報１２ｄを結ぶ直線と各マイクロミラー３８の通過位置情報１２ｃを表わす直線との交点の座標値が求められる。つまり、図１０における×印の点の座標値が求められ、さらに、×印とその×印に上記直交する方向に隣接する各検出位置情報１２ｄとの距離が求められ、上記隣接する検出位置情報１２ｄのうちの一方の検出位置情報１２ｄと×印との距離と、他方の検出位置情報１２ｄと×印との距離との比が求められる。具体的には、図１０におけるａ１：ｂ１、ａ２：ｂ２、ａ３：ｂ３及びａ４：ｂ４が露光軌跡情報として求められる。上記のようにして求められた比が、変形後の基板１２上におけるマイクロミラー３８の露光軌跡（描画点形成軌跡）を表わしていることになる。つまり、実際の露光の際の基板１２上におけるマイクロミラー３８の露光軌跡を表わしていることになる。
【００９５】
なお、例えば、通過位置情報１２ｃが、図１１に示すように、検出位置情報１２ｄで囲まれる範囲外に位置する場合には、図１１に示すような外分による比が求められる。
【００９６】
そして、上記のようにして各マイクロミラー３８毎に求められた露光軌跡情報が、ミラーデータ作成手段４１に入力される。
【００９７】
ミラーデータ作成手段４１は、上記のようにして入力された露光軌跡情報に基づいて、各マイクロミラー３８用のミラーデータを分割画像データ２００Ａ又は分割画像データ２００Ｂよりメモリアクセス手段４５により取得してミラーバッファ９０に格納する。
【００９８】
この場合、図８Ｃに示すように、ミラーＡに対するミラーデータ２０２Ａは、分割画像データ２００Ａから連続アドレス指定でミラーバッファ９０に格納することができ、ミラーＢに対するミラーデータ２０２Ｂも分割画像データ２００Ｂから連続アドレス指定でミラーバッファ９０に格納することができる。
【００９９】
より具体的には、図１２に示すように、画像データＤ（分割画像データ２００Ａと分割画像データ２００Ｂを模式的に表した画像データ）には、図１２に示すように、上記基準マーク位置情報１２ｂが示す位置に対応した位置に配置された露光画像データ基準位置情報１２ｅが付されており、走査方向に直交する方向に隣接する露光画像データ基準位置情報１２ｅを結ぶ直線を、露光軌跡情報の示す比に基づいて分割した点の座標値が求められる。つまり、以下の式を満たすような点の座標値が求められる。
【０１００】
ａ１：ｂ１＝Ａ１：Ｂ１
ａ２：ｂ２＝Ａ２：Ｂ２
ａ３：ｂ３＝Ａ３：Ｂ３
ａ４：ｂ４＝Ａ４：Ｂ４
そして、上記のようにして求められた点を結ぶ直線上にある画素データｄが、実際にマイクロミラー３８の露光軌跡情報に対応したミラーデータである。したがって、露光画像データＤ上を上記直線が通過する点の画素データｄがミラーデータ（ミラーデータ２０２Ａ、２０２Ｂに対応する。）として取得される。なお、画素データｄとは露光画像データＤを構成する最小単位のデータである。図１２の太線で囲まれた範囲を抽出した図を図１３に示す。具体的には、図１３のハッチングされた部分の画素データがミラーデータとして取得される。なお、露光軌跡情報の示す比に基づいて分割した点を結んだ直線が、露光画像データＤ上に存在しない場合には、その直線上のミラーデータは０として取得される。
【０１０１】
なお、上記のように露光軌跡情報の示す比に基づいて分割した点を直線で結び、その直線上にある画素データをミラーデータとして取得するようにしてもよいし、図１４に示すように、上記点をスプライン補間等によって曲線で結び、その曲線上にある画素データをミラーデータとして取得するようにしてもよい。
【０１０２】
上記のようにスプライン補間等によって曲線で結ぶようにすれば、より基板１２の変形に忠実な露光点データを取得することができる。また、上記スプライン補間等の演算方法に基板１２の材質の特性（例えば、特定の方向にしか伸縮しない等）を反映するようにすれば、さらに、より基板１２の変形に忠実なミラーデータを取得することができる。
【０１０３】
ミラーデータには、基板１２の変形の他、移動ステージ１４の移動軌跡のずれ情報を含ませることができる。
【０１０４】
すなわち、ずれ情報取得手段５５によって移動ステージ１４のずれ情報が取得される。ずれ情報とは、図１５に示すように、予め設定されたステージ移動方向に対する、実際の移動ステージ１４の移動方向のずれを示したものである。具体的には、図１５に示すように、予め設定されたステージ移動方向への移動軌跡に対する実際の移動ステージ１４の移動軌跡の、ステージ移動方向に直交する方向についてのずれ量を所定の間隔で取得したものである。図１５に示す点線矢印の向きと長さがずれ量を示すものである。
【０１０５】
ここで、上記のように移動ステージ１４の移動軌跡にずれがある場合、露光の際の各マイクロミラー３８の基板１２上における実際の露光軌跡は、図１６に示すように、予め設定された各マイクロミラー３８の通過位置情報１２ｃに対して上記ずれ量に応じてずれることになる。したがって、各マイクロミラー３８の実際の露光軌跡に対応したミラーデータを取得する必要がある。また、図１６に示すように、マイクロミラーｍ１とマイクロミラーｍ２とは、基板１２上における同じ位置を通過するものであるが、上記のような移動ステージ１４の移動軌跡にずれがあると、これらの実際の露光軌跡は位相がずれたものになる。したがって、これらの位相ずれも考慮してミラーデータを取得する必要がある。
【０１０６】
そこで、露光装置１０においては、上記のような各マイクロミラー３８の露光軌跡のずれ量に応じたミラーデータが取得される。具体的には、予め移動ステージ１４のずれ量が計測され、その計測されたずれ量が、上記のようにしてずれ情報取得手段５５によって取得される。
【０１０７】
そして、ずれ情報取得手段５５は、取得したずれ量を露光軌跡情報取得手段５４に出力する。ずれ量の計測方法としては、例えば、ＩＣウェーハ・ステッパー装置等で利用されるレーザ光を用いた測定方法を用いることができる。例えば、移動ステージ１４に、ステージ移動方向に延びる反射面を設けるとともに、その反射面に向けてレーザ光を射出するレーザ光源及び上記反射面において反射した反射光を検出する検出部を設け、移動ステージ１４の移動にともなって、反射光の位相ずれを順次検出部により検出することによって上記ずれ量を計測することができる。
【０１０８】
露光軌跡情報取得手段５４には、各マイクロミラー３８毎の通過位置情報１２ｃが設定されており、露光軌跡情報取得手段５４は、入力されたずれ量と各マイクロミラー３８毎の通過位置情報１２ｃに基づいて、露光の際の各マイクロミラー３８毎の基板１２上における実際の露光軌跡を表わす露光軌跡情報を取得する。なお、図１６に示す通過位置情報１２ｃは、図９〜図１１を参照して説明した通過位置情報１２ｃの説明と同様である。
【０１０９】
そして、その各マイクロミラー３８毎の露光軌跡情報をミラーデータ作成手段４１に出力する。そして、ミラーデータ作成手段４１は、各マイクロミラー３８毎の露光軌跡情報に対応するミラーデータを、一時記憶された露光画像データＤから取得する。
【０１１０】
具体的には、図１７に示す露光画像データＤにおいて曲線で示された露光軌跡情報Ｍ１、Ｍ２上に配置されたミラーデータが取得される。図１７の太線で囲まれた範囲を抽出した図を図１８に示す。具体的には、図１８のハッチングされた部分の画素データが露光点データとして取得される。なお、図１７に示す露光軌跡情報Ｍ１は、図１６に示すマイクロミラーｍ１の露光軌跡情報であり、図１７に示す露光軌跡情報Ｍ２は、図１６に示すマイクロミラーｍ２の露光軌跡情報である。また、露光画像データＤは、通過位置情報１２ｃと相対的な位置関係を有しており、露光画像データＤの各画素データｄの配置の基準となる原点と、上記通過位置情報１２ｃの原点とは一致しているものとする。
【０１１１】
露光装置１０においては、上述のようにして検出位置情報取得手段５２において取得された基準マーク１２ａの検出位置情報と、上述のようにしてずれ情報取得手段５５において取得されたずれ情報とが、露光軌跡情報取得手段５４に入力される。
【０１１２】
そして、露光軌跡情報取得手段５４は、入力された上記検出位置情報と上記ずれ情報とに基づいて、露光の際の各マイクロミラー３８毎の基板１２上における実際の露光軌跡を表わす露光軌跡情報を取得する。
【０１１３】
具体的には、露光軌跡情報取得手段５４において、図９〜図１１を参照して説明したように、走査方向に直交する方向について隣接する検出位置情報１２ｄ同士を結ぶ直線と各マイクロミラー３８の通過位置情報１２ｃを表わす直線との交点の座標値が求められ、その交点とその交点に上記直交する方向に隣接する各検出位置情報１２ｄとの距離が求められ、上記隣接する検出位置情報１２ｄのうちの一方の検出位置情報１２ｄと上記交点との距離と、他方の検出位置情報１２ｄと上記交点との距離との比が求められる。
【０１１４】
一方、露光軌跡情報取得手段５４は、入力されたずれ量と各マイクロミラー３８毎の通過位置情報１２ｃに基づいて、図１７に曲線で示されるような、各マイクロミラー３８毎の基板１２上における仮露光軌跡情報を取得する。
【０１１５】
そして、露光軌跡情報取得手段５４は、上記のようにして求められた比と仮露光軌跡情報とを露光軌跡情報としてミラーデータ作成手段４１に出力する。
【０１１６】
そして、ミラーデータ作成手段４１は、図１９に示すように、露光画像データＤにおいて、走査方向に直交する方向に隣接する露光画像データ基準位置情報１２ｅを結ぶ直線を、入力された比に基づいて分割した点を求めた後、その点を結ぶ直線を求め、その直線の走査方向に対する傾き分だけ仮露光軌跡情報を傾けて露光軌跡情報を表わす曲線を求め、その曲線上における画素データｄを露光点データとして取得する。つまり、図１９のハッチングされた部分の画素データが露光点データとして取得される。なお、図１９におけるＡ１：Ｂ１、Ａ２：Ｂ２は、露光軌跡情報取得手段５４から入力された比がａ１：ｂ１、ａ２：ｂ２である場合に、ａ１：ｂ１＝Ａ１：Ｂ１、ａ２：ｂ２＝Ａ２：Ｂ２を満たすような比である。
【０１１７】
そして、マイクロミラー３８毎のミラーデータがそれぞれ作成され、そのマイクロミラー３８毎のミラーデータがミラーバッファ９０に格納される。
【０１１８】
一方、上記のように、マイクロミラー３８毎のミラーデータがミラーバッファ９０に格納されると、移動ステージ１４が、再び上流側に所望の速度で移動させられる。
【０１１９】
そして、基板１２の先端がカメラ２６により検出されると露光が開始される。具体的には、露光ヘッド制御部５８から各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６にミラーデータに基づいた制御信号が出力され、露光ヘッド３０は入力された制御信号に基づいてＤＭＤ３６のマイクロミラーをオン・オフさせて基板１２を露光する。
【０１２０】
なお、露光ヘッド制御部５８から各露光ヘッド３０へ制御信号が出力される際には、基板１２に対する各露光ヘッド３０の各位置に対応した制御信号が、移動ステージ１４の移動にともなって順次露光ヘッド制御部５８から各露光ヘッド３０に出力されるが、このとき、例えば、図２０（図６Ａと同一の技術を示す図）に示すように、各マイクロミラー３８毎に取得されたｍ個のミラーデータの列の各列から、各露光ヘッド３０の各位置に応じたミラーデータを１つずつ順次読み出して各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６に出力するようにしてもよいが、この実施形態では、フレームデータ作成手段４２により、図２０に示すように取得されたミラーデータに９０度回転処理もしくは行列を用いた転置変換等を施し、図２１（図６Ｂと同一の技術を示す図）に示すように、基板１２に対する各露光ヘッド３０の各位置に応じたフレームデータ１〜ｍを生成し、このフレームデータ１〜ｍを各露光ヘッド３０に順次出力するようにしている。
【０１２１】
そして、移動ステージ１４の移動にともなって順次各露光ヘッド３０に制御信号が出力されて露光が行われ、基板１２の後端がカメラ２６により検出されると露光が終了する。
【０１２２】
以上のように上述した第１実施形態によれば、基板１２に画像を形成するための画素データからなる画像データ２００に基づき複数のマイクロミラー３８の像（描画点形成要素）を、基板（描画面）１２上の走査方向に沿って相対的に移動して基板（描画面）１２上に描画点列を形成することで、基板（描画面）１２上に画像を露光記録（形成）する露光装置（描画装置）１０において、基板（描画面）１２に形成される画素ピッチ（１０［μｍ］）と、読み出し間ピッチ（２０［μｍ］）とが異なっている場合に、画像データ２００を、予め分割した分割画像データ２００Ａ、２００Ｂとして格納する記憶手段８０（主メモリ８４又はハードディスク８２）を有している。
【０１２３】
この分割画像データ２００Ａ、２００Ｂは、画像データ２００が、複数のマイクロミラー３８のそれぞれの走査方向での描画点形成位置の位相に合わせ、かつ走査方向と記憶手段８０のメモリアドレスが連続する方向とを一致させて分割されている。
【０１２４】
このように、画像を形成するための画素データからなる画像データ２００を、複数のマイクロミラー３８のそれぞれの走査方向での画像形成位置の位相に合わせ、かつ走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させて予め分割した分割画像データ２００Ａ、２００Ｂとして記憶手段８０に格納しておくようにしているので、画素ピッチと、複数のマイクロミラー３８の読み出し間ピッチが異なる場合であっても、分割画像データ２００Ａ、２００Ｂからそれぞれメモリアクセス手段（メモリ読出手段）４５によりデータを読み出すことにより、高速（短時間）に読出処理を行うことができる。
【０１２５】
なお、図１２〜図１９に示したようなアライメントが異なることによる補正（傾き補正）は、各分割画像データ２００Ａ、２００Ｂ内で行うことができる。
【０１２６】
次に、第２実施形態について説明する。
【０１２７】
上述した第１実施形態においては、マイクロミラー３８に対する読み出し間ピッチは、画素ピッチの２倍と整数倍であり、整数倍である場合には、この２倍のときと同様に、画像データを（１／整数倍）に分割した分割画像データとして記憶手段８０にメモリアドレスが連続する方向に格納しておくことで高速読出が達成される。
【０１２８】
しかし、整数倍でなくとも、有理数倍（有理数倍であっても、ハードウエアやソフトウエアの制約をなるべく少なくするために、好ましくは整数倍からあまりかけ離れすぎずに整数倍に近い有理数倍）ならば、位相分割による画像データの分割が可能である。この場合には、画像を高解像度化し、このときの画像解像度（画素ピッチを見かけ上分割して短かくした画素ピッチ）で読み出し間ピッチが余りなく割り切れれば、位相分割による画像データの分割が可能である。
【０１２９】
以下、この考えに基づく第２実施形態についてより具体的に説明する。
【０１３０】
例えば、画素ピッチが０．５［μｍ］であって、読み出し間ピッチが０．９［μｍ］である場合を考慮する。この場合、読み出し間ピッチは、画素ピッチの有理数倍（０．９／０．５＝９／５）である。
【０１３１】
図２２は、画素データからなる１走査線分の画像データ２０４に対するミラーａ、ｂ、ｃの露光軌跡情報の関係を示している。実際上、露光軌跡情報は、露光軌跡情報取得手段５４に得られる。
【０１３２】
図２３は、ミラーデータ作成手段４１により、図２２の露光軌跡情報を参照して作成されたミラーａ、ｂ、ｃに対するミラーデータ２０６ａ、２０６ｂ、２０６ｃを示している。
【０１３３】
このとき、分割画像データ作成手段４４は、画素ピッチ０．５［μｍ］を、読み出し間ピッチ０．９［μｍ］に対して、画素ピッチ０．５［μｍ］の整数分の１倍の画素ピッチ（整数倍解像度）が等しくなるように解像度変換する。ここでは、画素ピッチ０．５［μｍ］を５倍（整数倍）高い解像度（整数分の１倍の画素ピッチ）０．１［μｍ］に変換すれば、この整数倍高解像度０．１［μｍ］で読み出し間ピッチ０．９［μｍ］を割れば、０．９／０．１＝９と割り切れるので、この商９が位相パターンの数となる。
【０１３４】
図２４は、１走査線分の画像データ２０４を、解像度０．１［μｍ］の解像度変換後画像データ２１４に変換した図を示している。
【０１３５】
図２５は、図２４に示した解像度変換後画像データ２１４から９種類の位相パターンに対応して、分割画像データ作成手段４４により作成された分割画像データ２０４１〜２０４９を示している。この９種類の分割画像データ２０４１〜２０４９をメモリアドレスが連続する方向でハードディスク８２又は主メモリ８４に格納しておくことで、ミラーａ、ｂ、ｃ用の分割画像データ２０４７、２０４５、２０４９の他、読み出し間ピッチ０．９［μｍ］の残りの図示していないマイクロミラー３８の全てに対するメモリアドレスの連続した分割画像データを得ることができる。
【０１３６】
このように上述した第２実施形態では、マイクロミラー３８の読み出し間ピッチが画素ピッチの有理数倍である場合、判定手段４３により、読み出し間ピッチ０．９［μｍ］が画素ピッチ０．５［μｍ］の有理数倍９／５であると判定されたとき、分割画像データ作成手段４４は、画素ピッチ０．５［μｍ］を、読み出し間ピッチ０．９［μｍ］が割り切れる高解像度０．１［μｍ］に変換した解像度変換後画像データ２１４と露光軌跡情報から各マイクロミラー３８のそれぞれの走査方向での描画点形成位置の位相にあった分割画像データ２０４１〜２０４９を作成しハードディスク８２又は主メモリ８４に格納するようにしている。
【０１３７】
このため、読み出し間ピッチ０．９［μｍ］が画素ピッチ０．５［μｍ］の整数倍でない場合であっても有理数倍９／５であれば、解像度変換により読み出し間ピッチ０．９［μｍ］が整除｛実数Ａ（Ａ＝０．９）を実数Ｂ（Ｂ＝０．１）で割ったときの商Ｃが整数であまりがでないとの意｝できるような数９の分割画像データが得られるように解像度が高解像度０．１［μｍ］に変換された解像度変換後画像データ２１４からＤＭＤ３６を構成する各マイクロミラー３８のそれぞれの走査方向での画像形成位置の位相にあった分割画像データ２０４１〜２０４９を作成してハードディスク８２又は主メモリ８４に格納しておくようにしているので、メモリアドレスの連続する分割画像データ２０４１〜２０４９を得ることができる。
【０１３８】
次に、第３実施形態について説明する。
【０１３９】
この第３の実施形態では、基板１２が走査方向に伸縮している場合で、描画面に形成される画像の長さ補正が必要となった場合のメモリ読出のアクセス制御を高速に行えるようにする構成について説明する。
【０１４０】
例えば、図２６に示すように、走査方向について基板１２が伸縮している場合には、その伸縮の程度に応じて、画像データＤにおける１つの画素データｄから取得するミラーデータの数を変化させるようにしてもよい。具体的には、例えば、上記のように走査方向に基板１２が伸縮し、検出位置情報１２ｄと通過位置情報１２ｃとが図２６に示すような関係となり、走査方向に隣接する検出位置情報１２ｄの間隔が、理想的な長さＬの領域Ａと、基板１２が走査方向に伸びての上記間隔が長さＬの２倍となった領域Ｂと、基板１２が走査方向に縮んで上記間隔が長さＬの１/２となった領域Ｃとが存在する場合には、例えば、図２７に示すように、領域Ａに対応するミラーデータについては、１つの画素データｄに対し１つのミラーデータを取得し、領域Ｂに対応するミラーデータについては、１つの画素データｄに対して２つのミラーデータを取得し、領域Ｃのミラーデータについては、２つの画素データに対して１つのミラーデータを取得するようにしてもよい。なお、図２７おける点線矢印は、各領域について取得するミラーデータの数とそのミラーデータに対応する画素データｄとを示している。
【０１４１】
また、２つの画素データに対して１つのミラーデータを取得する際には、２つの画素データのうちの１つの画素データをミラーデータとして選択して取得するようにすればよい。上記のように基板１２の伸縮に応じてミラーデータの数を変化させるようにすれば、基板１２上の所望の位置に所望の露光画像を露光することができる。
【０１４２】
次に、長さ補正を行い、位相分割画像データから画素データを連続アクセスする方法について説明する。
【０１４３】
図２８に示すように画素ピッチ０．５［μｍ］の画像データ２２０に対して、送りピッチ１［μｍ］の４つのミラーｐ、ｑ、ｒ、ｓが画像形成用に用いられるものとする。
【０１４４】
ここで、図２９に示すように、画素「７」と同じ画素データの画素「７´」を１画素挿入した画像データ２２１とした場合に、各ミラーｐ、ｑ、ｒ、ｓによる走査軌跡（露光軌跡）に係わる位相が挿入前後で変わる。
【０１４５】
同様に、図３０に示すように、画素「７」を削除して画像データ２０９とした場合に、各ミラーｐ、ｑ、ｒ、ｓによる走査軌跡に係わる位相が削除前後で変わる。
【０１４６】
次に、図３１〜図３６Ｂを参照して、このように長さ補正を行った場合の分割画像データからなるべくメモリアドレスの連続性を崩さないでアクセスするデータアクセス処理について説明する。
【０１４７】
図３１は、長さ補正前の画素「１〜３２」までの画像データ２３０とミラーｐ、ｑ、ｒ、ｓとの位相関係を示している。
【０１４８】
図３２は、長さ補正前の画像データ２３０に対して画素「１１」と画素「２２」の画素データを追加した２画素データ追加の長さ補正後の画像データ２３２とミラーｐ、ｑ、ｒ、ｓとの位相関係を示している。
【０１４９】
図３３は、長さ補正前の画像データ２３０に対して画素「１１」と画像「２２」の画素データを削除した２画素データ削除の長さ補正後の画像データ２２０とミラーｐ、ｑ、ｒ、ｓとの位相関係を示している。
【０１５０】
このとき、長さ補正前のミラーｐ、ｑ、ｒ、ｓに対する分割画像データは、図３１を参照すれば、ミラーｐ、ｑ、ｒ、ｓによる軌跡の矢印の先端位置から図３４に示すような分割画像データ２３０ｐ、２３０ｑ、２３０ｒ、２３０ｓが得られる。
【０１５１】
長さ補正前の分割画像データ２３０ｐ、２３０ｒ、２３０ｑ、２３０ｓを表す図３４中、Ｉｎｄｅｘ「０、１、…７」は、メモリアドレスの連続する方向である。また、図３４に示すように、分割画像データ２３０ｐ、２３０ｒ、２３０ｑ、２３０ｓの画像データのファイル番号をそれぞれ、ＦｉｌｅＮｏ＝０、１、２、３とする。さらに、図３４において、下向きの矢線は、データ追加の情報を示し、ハッチングはデータ削除の情報を示している。
【０１５２】
そうすると、データ追加の場合のミラーｐ用の分割画像データの読出方を例として説明すると、ミラーｐは、画素「１、５、９」を読み出す際、図３２、図３４、図３５Ａを参照すれば、分割画像データ２３０ｐが割り当てられることが分かるが、次に露光する画素「１２、１６、２０」を読み出す際、下向きの矢線を参照して、分割画像データ２３０ｓが割り当てられ、次に露光する画素「２３、２７、３１」を読み出す際、下向きの矢線を参照して、分割画像データ２３０ｑが割り当てられることが分かる。このように読み出すことにより、図３５Ｂに示すように、２データ追加後の読出画像データ２４０Ｐが正しく得られる。
【０１５３】
同様に、データ削除の場合のミラーｐ用の分割画像データの読出方を例として説明すると、図３３、図３４、図３６Ａを参照すれば、ミラーｐは、画素「１、５、９」を読み出す際、分割画像データ２３０ｐが割り当てられることが分かるが、次に露光する画素「１４、１８」を読み出す際、削除画素「１１」を参照すれば、分割画像データ２３０ｒが割り当てられ、次に露光する画素「２３、２７、３１」を読み出す際、削除画素「２２」を参照すれば、分割画像データ２３０ｑが割り当てられることが分かる。このように読み出すことにより、図３６Ｂに示すように、２データ削除後の読出画像データ２５０ｐが正しく得られる。
【０１５４】
以上説明したように、第３実施形態によれば、基板１２に形成される画像の長さ補正を行うために、長さ補正前の画像データ２３０に画素データを追加又は削除する場合、分割画像データ作成手段４４は、長さ補正前の分割画像データ２３０ｐ、２３０ｒ、２３０ｑ、２３０ｓから対応する画素データを追加又は削除し、走査方向上、追加又は削除した画素データ以降で、メモリアドレスの連続アクセス読出が継続されるように、図３４に示したような、下向き矢印に対応する追加情報、ハッチングに対応する削除情報を長さ補正前の分割画像データ２３０ｐ、２３０ｒ、２３０ｑ、２３０ｓに目当てを付けておいて記憶しておけば、この目当てに沿って、分割画像データ２３０ｐ、２３０ｒ、２３０ｑ、２３０ｓの再割当を行うようにすることで、長さ補正を行っても、ハードディスク８２又は主メモリ８４からメモリアドレスの連続アクセス読出を継続することができる。
【０１５５】
なお、長さ補正時に、分割画像データ２３０ｐ、２３０ｒ、２３０ｑ、２３０ｓで、実際に画素データの追加や画素データの削除を行うことなく、描画点を削除又は追加する画素データが記憶されているメモリアドレスを読み飛ばし（削除の場合）又は重複して読み出す（追加の場合）ようにすれば、分割画像データ２３０ｐ、２３０ｒ、２３０ｑ、２３０ｓの再割当を行うことなく、長さ補正を行うことができる。
【０１５６】
次に、この発明を１ビーム走査露光装置に適用した第４実施形態について説明する。
【０１５７】
図３７は、図１に示した露光装置１０におけるスキャナ２４を１ビーム走査露光装置２４Ａに変更した斜視図を示している。この１ビーム走査露光装置２４Ａは、光学定盤３００を有し、この光学定盤３００上に取り付けられたレーザ発生装置３０２から出力したレーザビームが、光変調器３０４で画像信号に基づきオン・オフ変調され、レンズ３０６、反射ミラー３０８を通じて光偏向器である走査用のガルバノメータミラー３１０に入射する。
【０１５８】
ガルバノメータミラー３１０によって偏向往復走査されたレーザビームが、走査レンズ３１２、反射ミラー３１４、光学定盤３００上のスリットを通じて、基板１２上を往復走査する。なお、往復走査側の光偏向器としては、ガルバノメータミラー３１０に代替して共振型ミラーを用いることができる。
【０１５９】
この場合、図３８に示すように、１ビーム走査露光装置２４Ａは、基板１２上左から右に（正走査方向とする。）走査して偶数描画点の間欠描画点列を基板１２上に形成するとともに、基板１２上右から左に（前記正走査方向と反対方向の逆走査方向とする。）走査して前記偶数描画点の間欠描画点列を埋める奇数描画点の間欠描画点列を形成して、基板１２上に連続描画点列からなる画像を形成する。
【０１６０】
この場合にも、基板１２に形成される画素ピッチに対して送りピッチ（読み出し間ピッチ）が２倍となっていると考えることができる。
【０１６１】
したがって、画像データをガルバノメータミラー３１０による正走査方向及び逆走査方向での位相に合わせ、かつ正走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させた分割画像データ及び逆走査方向とメモリアドレスが連続する方向とを一致させた分割画像データとしてハードディスク８２又は主メモリ８４に格納しておくことで、メモリアクセス手段４５により分割画像データから画像データを連続アクセスして読み出すことができ、高速（短時間）に読出処理を行うことができる。この場合、基板１２の変形等は、画像データの変更により吸収し、露光軌跡に対応した画像上のミラーデータ取得経路は変えない、換言すればデータを読み出す行は変えないようにしてもよい。
【０１６２】
なお、上記の第１乃至第３実施形態では、描画点形成要素としての空間光変調素子としてＤＭＤ３６を備えた露光装置１０について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子を使用することもできる。例えば、液晶セルを用いることができる。ＬＥＤ（発光ダイオード）アレイを使用することもできる。
【０１６３】
また、上記第１乃至第３実施形態では、いわゆるフラットベッドタイプの露光装置を例に挙げたが、感光材料が外面又は内面に巻きつけられるドラムを有する、いわゆるアウタードラムタイプ又はインナードラムタイムの露光装置としてもよい。
【０１６４】
また、上記第１〜第４実施形態の露光対象である基板１２は、プリント配線基板だけでなく、フラットパネルディスプレイの基板であってもよい。また、基板１２の形状は、シート状のものであっても、長尺状のもの（フレキシブル基板等）であってもよい。
【０１６５】
また、本発明は、インクジェット方式等のプリンタにおける描画にも適用することができる。例えば、インクの吐出による描画点を、本発明と同様に形成することができる。つまり、本発明における描画点形成領域を、インクジェット方式のプリンタの各ノズルから吐出されたインクが付着する領域として考えることができる。
【０１６６】
画像データを格納するメモリは、主メモリ８４に使用しているＤＲＡＭの他、ＳＲＡＭでもよい。ＳＲＡＭの場合、連続的にビットアクセス可能な方向をアドレスの連続方向と定義してもよい。
【０１６７】
分割画像データ作成手段４４で作成した分割画像データ毎に、データ圧縮手段５１により圧縮処理をして主メモリ８４に記憶するようにしてもよい。圧縮処理として、例えば、データの中に同じ符号が連続して並んでいる場合に、その「符号」と「個数」によって表現することで圧縮するランレングス圧縮（ＲＬＥ）を用いた場合、圧縮データをそのまま読み出せば、それが、圧縮されたミラーデータ（各ミラーに与えるべき時系列データ）となる。所定ビット分の読み出し単位ずつデータを読み出す場合、読み出し単位の境界部分では、部分的に圧縮データが解凍されるが、その他の部分は、圧縮されたままの状態を維持することができる。
【０１６８】
基板１２に対する描画は、例えば図３９に示すように、走査方向（Ｙ方向）の走査線１５０上に互いに離隔した２つ以上のマイクロミラー３８によるビームが互いに近接した位置に描画点を形成する多重露光により、描画を行うことが好ましい。多重露光は、例えば、ビームの並び方向のうち、走査方向に角度θが近い方に並んだビーム列ｒｂが、隣接する他のビーム列ｒｂと、走査方向Ｙに重なるように配置することによって実現される。
【０１６９】
次に、読み出し間ピッチが画素ピッチの有理数倍である場合の位相分割による画像データの分割の第２実施形態の変形例（リサンプリング処理という。）について説明する。
【０１７０】
図４０は、画素ピッチｆの分割前のオリジナル画像データ２６０を、読み出し間ピッチ１．２５×ｆの異なる読み出し位相の数が５個（０位相目から４位相目）のマイクロミラーａ〜ｅの像（描画点形成要素）によりに描画する例を示している。
【０１７１】
０位相目のマイクロミラーａの読み出し位相は、０、１位相目のマイクロミラーｂの読み出し位相は、０．２５、２位相目のマイクロミラーｃの読み出し位相は、０．５、３位相目のマイクロミラーｄの読み出し位相は、０．７５、４位相目のマイクロミラーｅの読み出し位相は、１である。
【０１７２】
ここで、画素ピッチｆが読み出し間ピッチ１．２５ｆの有理数倍Ｐであることを考えると、有理数Ｐを既約分数Ｐ＝Ｒ／Ｑで表したときの分子Ｒが描画点形成要素の異なる位相の数となる。すなわち、Ｐ＝Ｒ／Ｑ＝５／４＝１．２５と表したときの分子Ｒ＝５が異なる位相（０位相目〜４位相目）の数になる。
【０１７３】
この場合、Ｎ（Ｎ＝０，１，２，３，４）位相目の分割画像データは、異なる読み出し位相の前記描画点形成要素毎に、オリジナル画像データ２６０から次の（１）式で決定される順番の画素データを読み出して作成することができる。
【０１７４】
［Ｐ×ｉ（ｉ＝０，１，…）＋Ｎ／４＝Ｐｉ＋Ｎ／Ｑ］            …（１）
ただし、（１）式で［Ｚ］は、Ｚの整数部分を表す。
【０１７５】
具体的に、Ｎ＝０位相目のミラーａに与える分割画像データ２０５０（図４０参照）は、１．２５×ｉ（ｉ＝０，１，２…）の整数部分であるので、［０］＝０、［１．２５］＝１、［２．５］＝２、［３．７５］＝３、［５］＝５、［６．２５］＝６、［７．５］＝７、［８．７５］＝８、［１０］＝１０、［１１．２５］＝１１、［１２．５］＝１２、［１３．７５］＝１３、［１５］＝１５、…で決定される順番の画素データを画像データ２６０から読み出して作成される。
【０１７６】
また、Ｎ＝１位相目のミラーｂに与える分割画像データ２０５１は、１．２５×ｉ（ｉ＝０，１，２…）＋０．２５の整数部分であるので、［０．２５］＝０、［１．５］＝１、［２．７５］＝２、［４］＝４、［５．２５］＝５、［６．５］＝６、［７．７５］＝７、［９］＝９、［１０．２５］＝１０、［１１．５］＝１１、［１２．７５］＝１２、［１４］＝１４、［１５．２５］＝１５、…で決定される順番の画素データを画像データ２６０から読み出して作成される。  このように、読み出し間ピッチ、図４０例では、１．２５ｆが、画素ピッチｆの有理数Ｐ倍である場合、描画点形成要素の異なる位相の数Ｒは、整数Ｑに対しＰ×Ｑの値が最小となる整数で決定される。この図４０例では、異なる位相の数Ｒは、Ｐ×Ｑ＝１．２５×４＝５と決定される。
【０１７７】
上述した分割画像データのファイルとしての格納の仕方は、図４１Ａに示すように、完全に位相毎に異なる分割画像データ２７０Ａ、２７０Ｂのファイルにする以外に、図４１Ｂに示すように、位相分割したライン毎にまとめたり、図４１Ｃに示すようにライン方向にセグメント分割した上で位相分割しセグメント単位で格納する方策等がある。
【０１７８】
すなわち、位相を分割する場合に、図４１Ａに示すように、各分割画像データ２７０Ａ、２７０Ｂを別のファイルとして形成してもよいし、１つのファイルの中で、位相毎に格納領域を分けた分割画像データとしてもよい。例えば、図４１Ｂに示すように、１つのファイルの中で、各位相（位相０、位相１）のデータを例えば１ライン単位で交互に配置した分割画像データ２７２としてもよいし、図４１Ｃに示すように、セグメント分割された単位（セグメント０、セグメント１）で、各位相のデータを交互に配置した分割画像データ２７４としてもよい。この場合、各位相に対応するデータをそれぞれ別の分割画像データとみなしてもよい。なお、図４１Ｂ及び図４１Ｃ中のライン番号（ライン０、ライン１、ライン２、…）は、図４１Ａ中のライン番号に対応している。
【図面の簡単な説明】
【０１７９】
【図１】この発明の描画装置及び画像データの作成方法の第１〜第３実施形態を用いた露光装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１の露光装置のスキャナの構成を示す斜視図である。
【図３】図３Ａは、基板の露光面上に形成される露光済み領域を示す平面図、図３Ｂは、露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す平面図である。
【図４】図１の露光ヘッドにおけるＤＭＤを示す説明図である。
【図５】この発明の第１〜第３実施形態の露光装置の電気制御系の構成を示すブロック図である。
【図６】図６Ａは、ミラーデータの説明図、図６Ｂは、フレームデータの説明図である。
【図７】画像データの解像度とＤＭＤを構成するミラーの送りピッチとの関係説明図である。
【図８】図８Ａは、分割前の画像データの説明図、図８Ｂは、分割画像データの説明図、図８Ｃは、ミラーデータの説明図である。
【図９】理想的な形状の基板上における基準マークと所定のマイクロミラーの通過位置情報との関係を示す模式図である。
【図１０】マイクロミラーの露光軌跡情報の取得方法の説明図である。
【図１１】マイクロミラーの露光軌跡情報の取得方法の説明図である。
【図１２】マイクロミラーの露光軌跡情報に基づいてミラーデータを取得する方法の説明図である。
【図１３】図１２の太枠内を抽出した説明図である。
【図１４】マイクロミラーの露光軌跡情報に基づいてミラーデータを取得する方法の説明図である。
【図１５】移動ステージの移動方向のずれの説明図である。
【図１６】所定のマイクロミラーの露光軌跡を示す説明図である。
【図１７】マイクロミラーの露光軌跡情報に基づいてミラーデータを取得する方法の説明図である。
【図１８】図１７の太線枠内を抽出した説明図である。
【図１９】マイクロミラーの露光軌跡情報の取得方法の説明図である。
【図２０】ミラーデータの説明図である。
【図２１】フレームデータの説明図である。
【図２２】１走査線分の画像データに対するミラーの露光軌跡情報の関係を示す説明図である。
【図２３】図２２の露光軌跡情報を参照して作成されたミラーデータの説明図である。
【図２４】図２２の画像データを５倍の解像度に変換した解像度変換画像データに対するミラーの露光軌跡情報の関係を示す説明図である。
【図２５】図２４に示した解像度変換画像データから９種類の位相パターンに対応して作成された有理数倍分割に係わる分割画像データの説明図である。
【図２６】基板の走査方向への伸縮の説明図である。
【図２７】基板の伸縮に応じたミラーデータの取得方法の説明図である。
【図２８】長さ補正前の画像データと露光軌跡情報の位相との関係説明図である。
【図２９】１画素挿入した長さ補正後の画像データと露光軌跡情報の位相との関係説明図である。
【図３０】１画素削除した長さ補正後の画像データと露光軌跡情報の位相との関係説明図である。
【図３１】長さ補正前の画像データと露光軌跡情報の位相との関係説明図である。
【図３２】２箇所に１画素を挿入した長さ補正後の画像データと露光軌跡情報の位相との関係説明図である。
【図３３】２箇所で１画素を削除した長さ補正後の画像データと露光軌跡情報の位相との関係説明図である。
【図３４】長さ補正前の分割画像データの説明図である。
【図３５】図３５Ａは、２箇所に１画素を挿入した長さ補正後の分割画像データの読出方法の説明図、図３５Ｂは、読み出された後の分割画像データの説明図である。
【図３６】図３６Ａは、２箇所で１画素を削除した長さ補正後の分割画像データの読出方法の説明図、図３６Ｂは、読み出された後の分割画像データの説明図である。
【図３７】図１に示した露光装置におけるスキャナを１ビーム走査露光装置に変更した斜視図を示している。
【図３８】往復走査により１走査線線上に偶数画素と奇数画素からなる描画点列を形成する説明図である。
【図３９】複数のマイクロミラーによる多重露光の説明図である。
【図４０】５種類の位相パターンに対応して作成された有理数倍分割に係わる分割画像データの説明図である。
【図４１】図４１Ａは、位相毎にまとめた分割画像データの説明図、図４１Ｂは、位相分割したライン毎にまとめた分割画像データの説明図、図４１Ｃは、セグメント分割した単位で各位相のデータを交互に配置した分割画像データの説明図である。
【図４２】画像データの解像度とＤＭＤを構成するミラーの送りピッチとの関係説明図である。
【符号の説明】
【０１８０】
４…露光記録システム                ６…ＣＡＤ装置
８…ＲＩＰ                          １０…露光装置
１１…システム管理サーバー          １２…基板
１４…移動ステージ                  ２４…スキャナ
２６…カメラ                        ３０…露光ヘッド
３６…ＤＭＤ                        ３８…マイクロミラー
４３…判定手段                      ４４…分割画像データ作成手段
４５…メモリアクセス手段            ５２…検出位置情報取得手段
５４…露光軌跡情報取得手段          ５５…ずれ情報取得手段
５８…露光ヘッド制御部              ７０…コントローラ
８０…記憶手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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