(57)【要約】      （修正有）【課題】テーピング処理する全面において、安定したテープ剥離強度を得るとともに、高速なテーピング処理が可能なテーピング装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】キャリアテープＰを間欠的に搬送するための搬送部１と、搬送部を駆動するための搬送駆動機構２と、キャリアテープＰにカバーテープＱを熱圧着するための熱圧着部３と、熱圧着部３を駆動するための熱圧着駆動機構４と、熱圧着部３がキャリアテープ及びカバーテープＱを押圧する際にキャリアテープ受けを追従し得るように支持する追従部５と、追従部５を駆動するための追従駆動機構６により構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を挿入したキャリアテープを間欠的に搬送するための搬送部と、前記搬送部を駆動するための搬送駆動部と、前記キャリアテープにカバーテープを熱圧着するための熱圧着部と、前記熱圧着部を駆動するための前記熱圧着駆動部と、を備えたテーピング装置において、
前記キャリアテープを下方から支持するキャリアテープ受けと、
前記キャリアテープ受けを追従する追従部と、を備えたことを特徴とするテーピング装置。
【請求項２】
前記追従部による前記キャリアテープ受けの下方から押圧を支持するとともに、熱圧着部を常時前記キャリアテープに対して押圧させる方向に引っ張る追従駆動部と、
前記搬送駆動部、前記熱圧着駆動部及び前記追従駆動部とを制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記熱圧着駆動部の駆動により、前記熱圧着部が前記搬送部による前記キャリアテープの搬送時のみ前記追従駆動部の押圧力に打ち勝って熱圧着状態を解除させることを特徴とする請求項１記載のテーピング装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記搬送駆動部と前記熱圧着部とを同期して制御するものであり、
この制御部は、前記搬送駆動部による前記キャリアテープの搬送と、前記熱圧着部による前記キャリアテープの熱圧着状態の解除と、を同期させることを特徴とする請求項２記載のテーピング装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記熱圧着部と前記追従駆動部とを同期して制御するものであり、
この制御部は、前記追従駆動部による前記追従部の前記キャリアテープ受けの下方から押圧の支持と、前記熱圧着部による前記キャリアテープの熱圧着状態と、を同期させることを特徴とする請求項２又は３記載のテーピング装置。
【請求項５】
前記追従部は、前記キャリアテープ下部に球面ジョイントを備えていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のテーピング装置。
【請求項６】
電子部品を挿入したキャリアテープを間欠的に搬送するための搬送部と、前記搬送部を駆動するための搬送駆動部と、前記キャリアテープにカバーテープを熱圧着するための熱圧着部と、前記熱圧着部を駆動するための前記熱圧着駆動部と、前記キャリアテープを下方から支持するキャリアテープ受けと、前記キャリアテープ受けを追従する追従部と、前記追従部による前記キャリアテープ受けの下方から押圧を支持するとともに、熱圧着部を常時前記キャリアテープに対して押圧させる方向に引っ張る追従駆動部と、前記搬送駆動部、前記熱圧着駆動部及び前記追従駆動部とを制御する制御部と、を用いて行うテーピング装置の制御方法において、
前記制御部は、前記熱圧着駆動部の駆動により、前記熱圧着部が前記搬送部による前記キャリアテープの搬送時のみ前記追従駆動部の押圧力に打ち勝って熱圧着状態を解除させることを特徴とするテーピング装置の制御方法。
【請求項７】
前記制御部は、前記搬送駆動部と前記熱圧着部とを同期して制御するものであり、
この制御部は、前記搬送駆動部による前記キャリアテープの搬送と、前記熱圧着部による前記キャリアテープの熱圧着状態の解除と、を同期させることを特徴とする請求項６記載のテーピング装置の制御方法。
【請求項８】
前記制御部は、前記熱圧着部と前記追従駆動部とを同期して制御するものであり、
この制御部は、前記追従駆動部による前記追従部の前記キャリアテープ受けの下方から押圧の支持と、前記熱圧着部による前記キャリアテープの熱圧着状態と、を同期させることを特徴とする請求項６又は７記載のテーピング装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型半導体等の電子部品をキャリアテープのポケットに挿入し、カバーテープを熱圧着してパッキングするためのテーピング装置及びその制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造工程においては、製品を検査しながら搬送するための装置が不可欠である。例えば、ダイオードなどのディスクリート半導体や、小ピンのＩＣなどの小型半導体の製造工程においては、製品を検査しながら搬送するための装置として、テストハンドラーが用いられる。最も一般的なテストハンドラーは、製品の電気特性のテストを行うテスト装置、製品表面へのマーキングを行うマーキング装置、製品をキャリアテープなどへ収容してパッキングを行うテーピング装置を備え、ターンテーブル等の搬送部により、各装置に対して電子部品を搬送しながら、各工程の処理を実行するものである。
【０００３】
上記のようなテーピング装置のパッキング機構として、カバーテープをキャリアテープに対して常に均等に加圧し、一定の安定した剥離強度を得るため、キャリアテープ受けを追従するために球面ジョイントを設けた熱融着装置が提案されている（特許文献１）。また、製品テープを均一に圧着するため、加圧機構とともに、受け面調整機構を備えた熱圧着部が提案されている（特許文献２）。
【特許文献１】特開平５−８５５０８号公報
【特許文献２】特開平１０−１５４７３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のいずれの従来技術においても、（１）上方又は下方の一方向からの押圧する機構である、（２）搬送機構と熱圧着部とのタイミングが合わずテープ剥離強度が不安定となる、（３）キャリアテープ及びカバーテープの局部的な厚み差に起因するテープ剥離強度が不安定となる、といった課題があった。
【０００５】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、テーピング処理する全面において、安定したテープ剥離強度を得るとともに、高速なテーピング処理が可能なテーピング装置及びその制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、請求項１の発明は、電子部品を挿入したキャリアテープを間欠的に搬送するための搬送部と、前記搬送部を駆動するための搬送駆動部と、前記キャリアテープにカバーテープを熱圧着するための熱圧着部と、前記熱圧着部を駆動するための前記熱圧着駆動部と、を備えたテーピング装置において、前記キャリアテープを下方から支持するキャリアテープ受けと、前記キャリアテープ受けを追従する追従部と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
以上のような態様では、熱圧着部とキャリアテープ受けを追従する追従部によって、キャリアテープとカバーテープとを上下から保持してテーピング処理を行うことができるため、テーピング処理する全面において、キャリアテープとカバーテープ間に安定したテープ剥離強度を得ることができる。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記追従部による前記キャリアテープ受けの下方から押圧を支持するとともに、熱圧着部を常時前記キャリアテープに対して押圧させる方向に引っ張る追従駆動部と、前記搬送駆動部、前記熱圧着駆動部及び前記追従駆動部とを制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記熱圧着駆動部の駆動により、前記熱圧着部が前記搬送部による前記キャリアテープの搬送時のみ前記追従駆動部の押圧力に打ち勝って熱圧着状態を解除させることを特徴とする。
【０００９】
請求項６の発明は、請求項２の発明を方法の観点から捉えたものであって、電子部品を挿入したキャリアテープを間欠的に搬送するための搬送部と、前記搬送部を駆動するための搬送駆動部と、前記キャリアテープにカバーテープを熱圧着するための熱圧着部と、前記熱圧着部を駆動するための前記熱圧着駆動部と、前記キャリアテープを下方から支持するキャリアテープ受けと、前記キャリアテープ受けを追従する追従部と、前記追従部による前記キャリアテープ受けの下方から押圧を支持するとともに、熱圧着部を常時前記キャリアテープに対して押圧させる方向に引っ張る追従駆動部と、前記搬送駆動部、前記熱圧着駆動部及び前記追従駆動部とを制御する制御部と、を用いて行うテーピング装置の制御方法において、前記制御部は、前記熱圧着駆動部の駆動により、前記熱圧着部が前記搬送部による前記キャリアテープの搬送時のみ前記追従駆動部の押圧力に打ち勝って熱圧着状態を解除させることを特徴とする。
【００１０】
以上のような態様では、熱圧着部は常時上方から押圧するようにしておき、追従部で必要なタイミング時のみ押圧をキャンセルするようにするため、安定したテーピング処理をすることができるようになる。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項２の発明において、前記制御部は、前記搬送駆動部と前記熱圧着部とを同期して制御するものであり、この制御部は、前記搬送駆動部による前記キャリアテープの搬送と、前記熱圧着部による前記キャリアテープの熱圧着状態の解除と、を同期させることを特徴とする。
【００１２】
請求項７の発明は、請求項２の発明を方法の観点から捉えたものであって、請求項６の発明において、前記制御部は、前記搬送駆動部と前記熱圧着部とを同期して制御するものであり、この制御部は、前記搬送駆動部による前記キャリアテープの搬送と、前記熱圧着部による前記キャリアテープの熱圧着状態の解除と、を同期させることを特徴とする。
【００１３】
以上のような態様では、搬送駆動部によるキャリアテープ間欠搬送動作と熱圧着部によるキャリアテープの熱圧着動作とを制御部の制御により同期させているため、タイムロスの発生を抑えてテーピング処理速度を向上させることができる。
【００１４】
請求項４の発明は、請求項２又は３の発明において、前記制御部は、前記熱圧着部と前記追従駆動部とを同期して制御するものであり、この制御部は、前記追従駆動部による前記追従部の前記キャリアテープ受けの下方から押圧の支持と、前記熱圧着部による前記キャリアテープの熱圧着状態と、を同期させることを特徴とする。
【００１５】
請求項８の発明は、請求項４の発明を方法の観点から捉えたものであって、請求項６又は７の発明において、前記制御部は、前記熱圧着部と前記追従駆動部とを同期して制御するものであり、この制御部は、前記追従駆動部による前記追従部の前記キャリアテープ受けの下方から押圧の支持と、前記熱圧着部による前記キャリアテープの熱圧着状態と、を同期させることを特徴とする。
【００１６】
以上のような請求項８の発明では、上方からは熱圧着部による安定した押圧が働き、また、下方には追従部による追従支持があり、安定した圧力のもとテーピング処理を施すことができるとともに、これらを駆動する熱圧着駆動部及び追従駆動部の駆動を同期させることによって、タイムロスの発生を抑えてテーピング処理速度を向上させることができる。
【００１７】
請求項５の発明は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の発明において、前記追従部は、前記キャリアテープ下部に球面ジョイントを備えていることを特徴とする。
以上のような態様では、キャリアテープ及びカバーテープの厚み差を吸収するための球面ジョイントを備えているため、テープ送り方向でのテープ厚み差及びテープ左右方向でのテープ厚み差を吸収し、安定した押圧を得ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、テーピング処理する全面において、安定したテープ剥離強度を得るとともに、高速なテーピング処理が可能なテーピング装置及びその制御方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本発明を実施するための最良の形態を、図１乃至図３を参照して説明する。
【００２０】
[実施形態の構成]
本実施形態のテーピング装置は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、キャリアテープＰを間欠的に搬送するための搬送部１と、搬送部１を駆動するための搬送駆動機構２と、キャリアテープＰにカバーテープＱを熱圧着するための熱圧着部３と、熱圧着部３を駆動するための熱圧着駆動機構４と、熱圧着部３がキャリアテープ及びカバーテープＱを押圧する際にキャリアテープ受けを追従し得るように支持する追従部５と、追従部５を駆動するための追従駆動機構６により構成されている。また、これらの搬送駆動機構２、熱圧着駆動機構４及び追従駆動機構６は、図示しない制御部により図４のタイミングチャートで示すタイミングにより制御されている。
【００２１】
搬送部１は、キャリアテープＰを間欠的に搬送するスプロケット１１と、電子部品をキャリアテープＰのポケットに挿入する吸着ノズル１２とから構成される。なお、この吸着ノズル１２は、テストハンドラー等に設けられたターンテーブル等の搬送部に設けられるものである。
【００２２】
搬送駆動機構２は、キャリアテープの搬送用のモータ２１と、モータ２１の動力を伝えるベルト車のプーリー２２と、このプーリー２２に取り付けられたベルト２３とから構成される。
【００２３】
熱圧着部３は、ヒータブロック３１と、ヒータブロック３１に加熱するヒータ３２と、これらを覆ってヒータブロック３１を保温する断熱材３４とを備える。ここで、図２に示すように、本発明では、ヒータブロック３１のキャリアテープＰ搬送方向に対する長さを長く構成し、ヒータブロック３１のサイズを全体として大きく構成している。より具体的には、従来は、キャリアテープ搬送方向の長さが例えば４ｍｍ×８ピッチであったが、本実施形態では４ｍｍ×１０ピッチに長く構成している。
【００２４】
ヒータ３２近傍には温度センサの熱電対３３が設けられている。熱圧着部３はまた、ヒータブロック３１をキャリアテープＰに対して固定させるための移動プレート３５と、搬送駆動機構全体をまとめるサイドプレート３６に支持され、熱圧着部３全体を上方へ押圧するための機構として、偏芯カム３７と、カムフォロア３８と、偏芯カム３７を戻すためのバネ３７ａ、プーリー３７ｂ及びベルト３７ｃとを備える。
【００２５】
また、熱圧着駆動機構４は、熱圧着部を駆動するためのモータ４１とこのモータ４１の動力をベルト３７ｃへ伝えるプーリー４２とを備えている。
【００２６】
追従部５は、キャリアテープＰを下方から支持するキャリアテープ受け５１と、これを追従し得るように支持する球面ジョイント５２及び球面ジョイント受け５３から構成される。
【００２７】
追従駆動機構６は、エアシリンダ６１及びフローティングジョイント６２を備え、エアシリンダ６１は、移動プレート３５を常時下方に引っ張るように働く構成となっている。すなわち、このエアシリンダ６１の作用により熱圧着部３がキャリアテープに対して上方から押圧するよう構成されている。一方で、熱圧着部３のモータ４１は、エアシリンダ６１により移動プレート３５の下方に対する押圧力に打ち勝ち、図３（ａ）又は（ｂ）に示すように、偏芯カム３７を高位置と低位置に順次回転させることにより、熱圧着部３の位置を調整するように構成されている。
【００２８】
このモータ４１による熱圧着部３の構成を、より具体的に説明すると、通常時は、図３（ａ）に示すように、上方からヒータブロック３１を押し当てる状態、すなわちキャリアテープＰを熱圧着した状態に維持し、キャリアテープＰの搬送時のみ偏芯カム３７を回転させてヒータブロック３１を押し上げることとすることで安定した熱圧着ができるようになる。
【００２９】
[実施形態の作用]
以上のような構成からなる本実施形態の作用について、図１〜３と、図４のタイミングチャートを用いて説明する。なお、図４では、本テーピング装置を構成する各機構の動作を縦に（ａ）〜（ｅ）として表し、作用の時系列を横に（１）〜（６）として表す。
【００３０】
電気特性検査工程、マーキング工程等の各工程処理を終えた電子部品が、ターンテーブル等の搬送部によって搬送されながら、本テーピング装置へ搬送されてくる。
【００３１】
電子部品が本テーピング装置上に搬送され、ターンテーブルが停止すると（図４（１））、図１（ａ）に示すように、吸着ノズル１２が下降し（図４（ｂ））、電子部品をキャリアテープＰのポケットに挿入する（図４（２））。その後、キャリアテープ搬送用のモータ２１が回転し、プーリー２２、ベルト２３及びスプロケット１１の作用により、キャリアテープＰを搬送する（図４（ｃ））。
【００３２】
ここで、このキャリアテープＰの搬送時には、偏芯カム３７は、図３（ａ）に示すように、高位置にあり、ヒータブロック３１は上昇した状態となっている。そして、タイムラグを解消するため、キャリアテープの搬送が終了する５ｍｓ前からヒータブロック３１は、偏芯カム３７の回転により下降し始める（図４（３））。
【００３３】
そして、図２（ｂ）に示すように偏芯カム３７は回転し、低位置の状態に遷移する（図４（４））。この偏芯カム３７が低位置に遷移すると、これに伴ってヒータブロック３１が下降し、キャリアテープＰ及びカバーテープＱに対して圧接し、熱圧着を開始する（図４（５））。
【００３４】
熱圧着後、偏芯カム３７は再び回転して高位置に復帰し、これに伴ってヒータブロック３１は上昇する（図４（６））。この場合にも、タイムラグを解消するため、ヒータブロック３１の偏芯カム３７の上昇が終了する５ｍｓ前から、モータ２４を駆動させ、キャリアテープＰの搬送を開始するようにする。
【００３５】
［本実施形態の効果］
熱圧着部とキャリアテープ受けを追従する追従部によって、キャリアテープとカバーテープとを上下から保持してテーピング処理を行うことができるため、テーピング処理する全面において、キャリアテープとカバーテープ間に安定したテープ剥離強度を得ることができる。
【００３６】
熱圧着部と追従駆動機構とを同期させることにより、熱圧着部は常時上方から押圧するようにしておき、追従機構で必要なタイミング時のみ押圧をキャンセルするようにするため、安定したテーピング処理をすることができるようになる。
【００３７】
また、搬送駆動機構によるキャリアテープ間欠搬送動作と熱圧着部によるキャリアテープの熱圧着動作とを制御部の制御により同期させているため、タイムロスの発生を抑えてテーピング処理速度を向上させることができる。
【００３８】
さらに、上方からは熱圧着部による安定した押圧が働き、また、下方には追従部による追従支持があり、安定した圧力のもとテーピング処理を施すことができるとともに、これらを駆動する熱圧着駆動機構及び追従駆動機構の駆動を同期させることによって、タイムロスの発生を抑えてテーピング処理速度を向上させることができる。
【００３９】
また、熱圧着の前後各々にタイムラグ対応に５ｍｓずつ設け、熱圧着の時間をできるだけ長く取るようにしている。これにより搬送駆動機構と熱圧着部とを同期させることができ、ヒータブロックの上昇及び下降に伴うタイムラグを解消させることができる。
【００４０】
さらに、従来のヒータブロックにおいては、キャリアテープ搬送方向の長さが、例えば、４ｍｍ×８ピッチであったが、本実施形態では、４ｍｍ×１０ピッチに長くしたこと及びヒータブロックサイズを大きくしたことにより、蓄えられる熱容量も大きくなり、１回の熱圧着に要する処理時間を短縮しても、安定したテープ剥離強度を得ることができる。従って、高速テーピング処理をすることが可能となる。
【００４１】
また、追従部が球面ジョイントを備えることにより、図２又は図４に示すように、テープの左右でまたテープの送り方向でのキャリアテープ又はカバーテープの厚み差を吸収することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施形態におけるテーピング装置の全体構成を示す側面図（ａ）及び正面図（ｂ）。
【図２】本発明の実施形態におけるヒータブロックの構成を示す図。
【図３】本発明の実施形態における熱圧着部の構成を示す図。
【図４】本発明の実施形態におけるテーピング装置の作用を示すタイミングチャート。
【図５】本発明の実施形態における熱圧着部の構成を示す図。
【符号の説明】
【００４３】
１…搬送部
２…搬送駆動機構
３…熱圧着部
４…熱圧着駆動機構
５…追従部
６…追従駆動機構
１１…スプロケット
１２…吸着ノズル
２１…モータ
２２…プーリー
２３…ベルト
２４…モータ
３１…ヒータブロック
３２…ヒータ
３３…熱電対
３４…断熱材
３５…移動プレート
３６…サイドプレート
３７…偏芯カム
３７ａ…バネ
３７ｂ…プーリー
３７ｃ…ベルト
３８…カムフォロア
４１…モータ
４２…プーリー
５１…キャリアテープ受け
５２…球面ジョイント
５３…球面ジョイント受け
６１…エアシリンダ
６２…フローティングジョイント
Ｐ…キャリアテープ
Ｑ…カバーテープ
【図１】
2007137426.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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