(57)【要約】【課題】  板状体側面の切断角度、切断面の平面度に関わらず、正確な外観検査が可能となる板状体の欠陥検出方法及び装置を提供する。【解決手段】１つの投光装置１５については、ＸＹ軸を含む平面内における、電子写真用ブレード１２の測定点を含む側面部（観察面１２ａ）に対して投光装置１５の投光軸１５ａのなす角度θ１が２５度を超え４５度以下に、他の１つの投光装置１５については、前期観察面に対して投光装置１５の投光軸１５ａのなす角θ２が８０度を超え１１０度以下に設定されている。また、１つの投光装置１５については、電子写真用ブレード１２の測定点を含む水平面に対して投光装置１５の投光軸１５ａがＺ軸上方向へ傾斜する角度θ３が１度を超え１０度未満に、他の１つの投光装置１５については、前記水平面に対して投光装置１５の投光軸１５ａがＺ軸下方向へ傾斜する角度θ４が１度を超え１０度未満に設定されている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
投光手段にて板状体に投光し該板状体の側面部で反射させ、反射した光を撮像手段で撮像して得られた画像を用い、画像処理により前記板状体の側面部における欠陥部を検出する、板状体の欠陥検出方法において、
前記板状体の測定点を含む水平面に対して直交する軸をＺ軸とし、該板状体の測定点を含む水平面で該Ｚ軸と直交する２軸をＸ軸、Ｙ軸としたときに、前記投光手段を２つ以上用い、このうち１つの投光手段を、Ｘ軸とＹ軸を含む平面内において前記板状体の測定点を含む検出面に対して該１つの投光手段の投光軸がなす角度θ１が鋭角になり、かつ、前記１つの投光手段の投光軸がＺ軸方向へ傾斜する角度θ３が１度を超え１０度以下になるように配置し、さらに、もう１つの投光手段を、Ｘ軸とＹ軸を含む平面内において前記板状体の測定点を含む検出面に対して該もう１つの投光手段の光軸がなす角度θ２が８０度を超え１１０度以下になり、かつ、前記もう１つの投光手段の投光軸がＺ軸方向へ傾斜する角度θ４が１度を超え１０度以下になるように配置することを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項２】
それぞれの投光手段のＺ軸方向への配置角度を、１つはＺ軸上方向へ０．５度〜３度、もう１つはＺ軸下方向へ０．５度〜３度に設定したことを特徴とする、請求項１に記載の欠陥検出方法。
【請求項３】
前記板状体が電子写真用ブレードであることを特徴とする請求項１に記載の欠陥検出方法。
【請求項４】
投光手段と、撮像手段とを少なくとも有し、該投光手段にて板状体に投光し該板状体の側面部で反射させ、反射した光を前記撮像手段で撮像して得られた画像を用い、画像処理により前記板状体の側面部における欠陥部を検出する、板状体の欠陥検出装置において、
該投光手段が２つ以上備えられており、
前記板状体の測定点を含む水平面に対して直交する軸をＺ軸とし、該板状体の測定点を含む水平面で該Ｚ軸と直交する２軸をＸ軸、Ｙ軸としたときに、該２つの投光手段のうちの１つが、Ｘ軸とＹ軸を含む平面内において前記板状体の測定点を含む検出面に対して該１つの投光手段の投光軸がなす角度θ１が鋭角になり、かつ、前記１つの投光手段の投光軸がＺ軸方向へ傾斜する角度θ３が１度を超え１０度以下になるように配置され、さらに、該２つ投光手段のうちのもう１つが、Ｘ軸とＹ軸を含む平面内において前記板状体の測定点を含む検出面に対して該もう１つの投光手段の光軸がなす角度θ２が８０度を超え１１０度以下になり、かつ、前記もう１つの投光手段の投光軸がＺ軸方向へ傾斜する角度θ４が１度を超え１０度以下になるように配置されていることを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項５】
それぞれの投光手段のＺ軸方向への配置角度が、１つはＺ軸上方向へ０．５度〜３度、もう１つはＺ軸下方向へ０．５度〜３度に設定されていることを特徴とする、請求項４に記載の欠陥検出装置。
【請求項６】
前記板状体が電子写真用ブレードであることを特徴とする請求項５に記載の欠陥検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明または半透明の板状体（例えば電子写真用ブレード）に光を照射して行なう欠陥検出方法及び欠陥検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状体の側面の状態を検査する方法として、一般に数々の方法が知られているが、ＣＣＤカメラにより、板状体側面部を撮影し、その画像を演算処理することによって板状体側面の状態を検査する方法が採用されている。この場合、例えばＣＣＤカメラで、撮影した画像中において被検査面を示している画素から、１０点程度選択してそれら輝度の平均値を算出し、標準値として定め、測定対象点の画素の輝度をこの標準値と比較して、板状体側面の状態を検査する方法が行なわれている（例えば特許文献１参照。）。
【０００３】
また、検査装置を用いて行なう方法に関しては、ＣＣＤカメラを用いた電子撮像装置による外観検査手法も明らかにされている（例えば特許文献２参照。）。これらは、被検査物に照射した光が、被検査物に欠陥があった場合には、その欠陥部分で光の乱反射が起こることを利用し、それら乱反射を撮像装置により撮影し、映像信号化し、その映像信号を２値化処理することにより、欠陥部分を検出する方法である。
【特許文献１】特開2003-222595号公報
【特許文献２】特開平4-305144号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような検査方法によると、室内照明、太陽光などといった外部環境の変化、画像を照明する為の照明の光量のムラにより、検査結果が一定しないという課題がある。また、厚みのある透明または半透明の板状体側面部に対して、正確に検査が出来るのは板状体側面部の切断角度が板状体平面部に対して垂直なときで、且つ板状体側面部が均一に平面なときのみであり、板状体側面部の切断状況の違い、つまり板状体側面部の切断角度の違い、切断面の平面度の違いなどがあると、板状体に照射し反射した光がカメラに届かず、十分な光量が得られない為、正確な外観検査が出来ないという課題があった。
【０００５】
そこで本発明は、板状体側面に対して、板状体側面部の切断角の違い、板状体側面部の切断した側面の平面度の違いに対しても、反射する光量を一定化させ正確な外観検査を可能にした板状体板状体欠陥検出方法及び板状体欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明は、投光手段と、撮像手段とを少なくとも有し、該投光手段にて板状体に投光し該板状体の側面部で反射させ、反射した光を撮像手段で撮像して得られた画像を用い、画像処理により板状体の側面部における欠陥部を検出する、板状体の欠陥検出方法および装置を前提としている。このような方法および装置において、板状体の測定点を含む水平面に対して直交する軸をＺ軸とし、該板状体の測定点を含む水平面で該Ｚ軸と直交する２軸をＸ軸、Ｙ軸としたときに、投光手段を２つ以上用い、このうち１つの投光手段が、Ｘ軸とＹ軸を含む平面内において板状体の測定点を含む検出面に対して該１つの投光手段の投光軸がなす角度θ１が鋭角になり、かつ、１つの投光手段の投光軸がＺ軸方向へ傾斜する角度θ３が１度を超え１０度以下になるように配置されている。さらに、もう１つの投光手段が、Ｘ軸とＹ軸を含む平面内において前記板状体の測定点を含む検出面に対して該もう１つの投光手段の光軸がなす角度θ２が８０度を超え１１０度以下になり、かつ、もう１つの投光手段の投光軸がＺ軸方向へ傾斜する角度θ４が１度を超え１０度以下になるように配置されている。
【０００７】
このように投光手段を設置することにより、板状体側面部の切断角の違い、板状体側面部の切断した側面の平面度の違いがあっても、反射する光量がムラを生じず、正確な外観検査を行うことができる。
【発明の効果】
【０００８】
以上のように本発明によれば、電子写真用クリーニングブレード、電子写真用ワイパーブレードなどの透明または半透明の板状体の側面の切断角度、切断面の平面度に関わらず、外観を検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に好ましい実施の形態を挙げて本発明を更に詳しく説明する。
【００１０】
本実施形態においては、撮影手段としてCCDカメラを使用し、撮像手段の撮影範囲を板状体側面の検査対象範囲内に設置する。なお、本発明における撮像手段としてはCCDカメラに限定されない。
【００１１】
本実施形態の検査対象物である板状体としては、電子写真用ブレードを用いたが、板状体のものであれば、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１２】
検査時には電子写真用ブレードを移動ステージにより移動させることにより、撮像手段が電子写真用ブレードの検査対象範囲場所に対し逐次撮影を行い、検査対象範囲全域を撮影する。
【００１３】
その撮像手段で撮像された複数の画像において、欠陥がある場合には、移動ステージより出されているトリガより、取り込み画像番号、及び欠陥が発見された画像における位置情報を算出し、検査物における不良箇所の位置情報を得る。同時に、欠陥の大きさ、１回の検査における欠陥の数等も記憶して表示可能としておく。
【００１４】
本発明の特徴的なところは、電子写真用ブレードの測定点を含む水平面に対して直交する軸をＺ軸とし、該電子写真用ブレードの測定点を含む水平面で該Ｚ軸と直交する２軸をＸ軸、Ｙ軸としたときに、該投光手段を２つ以上用い、このうち１つの投光手段を、Ｘ軸とＹ軸を含む平面内において該１つの投光手段の光軸と前記電子写真用ブレードの測定点を含む側面部とがなす角度θ１が鋭角になり、かつ、前記１つの投光手段の光軸のＺ軸方向へ傾斜する角度θ３が１度を超え１０度以下になるように配置し、さらに、もう１つの投光手段を、Ｘ軸とＹ軸を含む平面内において該もう１つの投光手段の光軸と前記電子写真用ブレードの測定点を含む側面部とがなす角度θ２が８０度を超え１１０度以下になり、かつ、前記もう１つの投光手段のＺ軸方向へ傾斜する角度θ４が１度を超え１０度以下になるように配置することにより、電子写真用ブレード側面に対して、切断角の違い、厚みの違いに関わらず、反射する光量を一定化させ、電子写真用ブレード側面の外観を検査可能にした要素を導入した点にある。
【００１５】
本発明においては、対象となる透明ないしは半透明の電子写真用ブレードの持つ製品としての公差の観点から、撮像した画像において、透明ないしは半透明の電子写真用ブレード側面よりの反射光が電子写真用ブレードの切断角度の違いによっても撮像手段に入射可能な撮像手段の傾斜配置角度、及び撮像手段の被写界深度を設定し、各々の特徴的な欠陥画像を取り込めるよう、レンズ倍率及び、レンズ光量絞り、投光手段の光量、投光手段の照射範囲との合体構成に苦慮した。
【００１６】
すなわち、単に、電子写真用ブレードに対して投光手段の光軸と撮像手段の傾斜配置角度を合わせればよいのではなく、適合配置があった。
【００１７】
投光手段の傾斜配置角度は単に設定すればよいのではなく、撮像した画像において、十分な光量が得られるような角度になるように配置する必要がある。なお、投光手段の光軸と撮像手段の傾斜配置角度の関係は実験的に最適値は得られる。
【００１８】
電子写真用ブレード測定点を含む側面部（検出面）とそれぞれの投光手段のなす角度θ１，θ２については、透明または半透明の電子写真用ブレード側面部に投光し反射した光が十分撮像手段に入るような角度にする必要があり、また同時に、電子写真用ブレード側面部の切断角度の違い、切断面の平面度の違いなどによって側面方向に変化が生じる場合においても撮像手段に十分な光量が入ることを要する。
【００１９】
１つの投光手段については電子写真用ブレード測定点を含む側面部（検出面）と該投光手段のなす角θ１が鋭角になるように、また、他の１つの投光手段については電子写真用ブレード測定点を含む側面部（検出面）と該投光手段のなす角θ２が４５度を超え１３５度以下になるように設定することが出来るが、透明または半透明の電子写真用ブレード側面部に投光し反射した光が十分撮像手段に入るようにするという観点、及び、検出対象としている欠陥の高さ方向の検出分解能の観点より、１つの投光手段については電子写真用ブレード測定点を含む側面部（検出面）と該投光手段のなす角θ１を２５度を超え４５度以下の範囲に設定し、他の１つの投光手段については電子写真用ブレード測定点を含む側面部（検出面）と該投光手段のなす角θ２を８０度を超え１１０度以下の範囲に設定することが好ましい。
【００２０】
それぞれの投光手段のＺ軸方向についての傾斜配置角度については、透明または半透明の電子写真用ブレード側面部に投光し反射した光が十分撮像手段に入るような角度にする必要があり、また同時に、電子写真用ブレード側面部の切断角度の違い、切断面の平面度の違いなどによって側面方向に変化が生じる場合においても撮像手段に十分な光量が入ることを要する。
【００２１】
このＺ軸方向についての傾斜配置角度について、１つの投光手段については、Ｚ軸下方向に１度を超え１０度未満、他の１つの投光手段についてはＺ軸上方向に１度を超え１０度未満に設定することができるが、透明または半透明の電子写真用ブレード側面部に投光し反射した光が十分撮像装置に入るようにするという観点から、１つの投光装置については、Ｚ軸下方向に０．５度を超え３度未満の範囲に設定し、他の１つの投光装置についてはＺ軸上方向に０．５度を超え３度未満の範囲に設定することが好ましい。
【００２２】
投光手段においては、透明または半透明の電子写真用ブレード側面部に投光し反射した光が十分撮像手段に入るような光量にする必要があり、また同時に、検査においてハロゲン光を用いたが、投光手段の光源は経年劣化するため、安定した輝度を維持できるよう、光量を絶えずフィードバックできるように制御されている。
【００２３】
撮像手段の傾斜配置角度は、Ｚ軸上方向に−５°を超え４５°未満に設定することができるが、好ましくは、撮像手段の角度により変化する分解能と被写界深度、照射する投光手段の配置の関係、製品の持つ切断角度の公差の関係から、Ｚ軸上方向に０．５°以上１５°以下の範囲が好ましい。
【００２４】
撮像手段の撮像可能範囲について、撮像手段の撮像可能範囲の位置は、被検査物の電子写真用ブレード側面が、撮像可能範囲内に入るような位置に設定する必要があり、被検査物の公差などによって側面幅方向に変化が生じる場合においても撮像可能範囲内に入ることを要する。
【００２５】
本発明では、撮像手段はレンズ倍率の調節ができ、そのレンズ倍率が０．７５倍〜３．０倍まで調節可能なレンズを備えていることにより、被検査物の側面部を製品の公差に関わり無く取込むことが可能になった。レンズ倍率については本実施形態においては、２．０倍としたが、被測定物の撮影が可能であれば、この数値に限定するものではない。
【００２６】
撮像手段の被写界深度について、撮影手段に撮影される被検査物の電子写真用ブレード側面部が撮像手段の被写界深度内に入る位置に設定する必要があり、また同時に、被検査物の歪みなどによって側面幅方向に変化が生じる場合においても被写界深度内に入ることを要する。
【００２７】
本発明では、撮像手段はアイリス絞りの調節ができ、被写界深度の調節が可能で、その被写界深度が０．３〜０．５［mm］まで調節可能なレンズを備えていることにより、被検査物の欠陥を画像データとして取込むことが可能になった。被写界深度については本実施形態においては０．５［mm］としたが、被検査物の撮影が可能であれば、この数値に限定するものではない。
【実施例】
【００２８】
以下、実施例に基づき、本発明のより具体的な実施の形態を説明する。
【００２９】
本発明の欠陥検査方法の実施例について、図１を用いて以下に説明する。
【００３０】
図１は本発明の実施例による欠陥検査装置を上から見た装置構成図である。
【００３１】
図１において、本実施例の欠陥検査装置は、板状体の検査対象物である電子写真用ブレード１２を保持し移動させることができる検査ステージ１１を備えている。電子写真用ブレードはその平面部が、直交するＸＹ軸を含む平面と略平行となり、かつ、欠陥を検査される側面部がＹ軸と略垂直となるように検査ステージ１１に保持されている。検査ステージ１１はＸ軸方向にステージ駆動装置１３によって移動自在である。
【００３２】
電子写真用ブレード１２の側面部の前には、電子写真用ブレード１２の側面部の測定点に光を投光する２つの投光装置１５と、その測定点を撮像する１つの撮像装置１４とが設置されている。
【００３３】
各投光装置１５は、光源制御装置１６により光源の輝度が一定になるように制御されている。光源制御装置１６により、輝度が一定となるように制御された光が、各投光装置１５より電子写真用ブレード１２の側面に照射され、電子写真用ブレード１２の側面より反射した光が撮像装置１４に撮像される。
【００３４】
撮像装置１４は制御/画像処理/記憶装置２０より、画像ボード１９を介して撮像する為の命令を受け、初めて動作するものである。撮像装置１４で撮像された画像は画像ボード１９を経由し、DMS伝送することにより高速に制御/画像処理/記憶装置２０へデータ転送が行なわれる。その際、転送された画像番号は制御/画像処理/記憶装置２０に記憶しておくようにしておく。また、制御/画像処理/記憶装置２０はＰＩＯボード（入出力ボード）を介してステージ駆動装置１３を制御している。
【００３５】
制御/画像処理/記憶装置２０には、欠陥について判別された結果を表示する表示装置２１が付属している。
【００３６】
光源制御装置１６と制御/画像処理/記憶装置２０と表示装置２１の各々は電力を供給する電源装置１７に接続されている。
【００３７】
また、電子写真用ブレード１２の測定点を含む側面部（観察面１２ａ）に対して各投光装置１５の投光軸１５ａがなす角度については、電子写真用ブレード１２の側面部に投光し反射した光が十分撮像装置１４に入るようにするという観点、及び、検出対象としている欠陥の高さ方向の検出分解能の観点より、１つの投光装置１５については、ＸＹ軸を含む平面内における、電子写真用ブレード１２の測定点を含む側面部（観察面１２ａ）に対して投光装置１５の投光軸１５ａのなす角度θ１（図２）が２５度を超え４５度以下に設定され、他の１つの投光装置１５については、電子写真用ブレード１２の測定点を含む側面部（観察面）に対して投光装置１５の投光軸１５ａのなす角θ２（図２）が８０度を超え１１０度以下の範囲に設定されていることが好ましい。
【００３８】
各投光装置１５のＺ軸方向についての傾斜配置角度については、電子写真用ブレード１２の側面部に投光し反射した光が十分撮像装置１４に入るようにするという観点から、１つの投光装置１５については、電子写真用ブレード１２の測定点を含む水平面に対して投光装置１５の投光軸１５ａがＺ軸上方向へ傾斜する角度θ３（図３）が１度を超え１０度未満の範囲に設定され、他の１つの投光装置１５については、電子写真用ブレード１２の測定点を含む水平面に対して投光装置１５の投光軸１５ａがＺ軸下方向へ傾斜する角度θ４（図３）が１度を超え１０度未満の範囲に設定されていることが好ましい。
【００３９】
また、撮像装置１４の設置角度については、電子写真用ブレード１２の側面より反射した光が撮像装置１４に入射可能な角度に設定する必要がある。したがって、撮像装置１４の撮像可能範囲の位置は、画像を撮像する際に電子写真用ブレード１２の側面が映る任意点でよい。なお、本実施形態では撮像装置１４の被写界深度が、電子写真用ブレード１２の側面部を十分にカバーできる幅とする為に、電子写真用ブレード側面側の表層に設定してある。
【００４０】
次に、欠陥検出装置の動作について説明する。
【００４１】
図４によれば、欠陥部の画像判定処理を開始すると、電子写真用ブレード１２の側面部の任意の測定点に向けて２つの投光装置１５が光を照射する。投光装置１５は電源装置１７によって電源を供給された、光源制御装置１６によって、ランプの経年劣化の影響を受けずに均一化された輝度の可視光を発光する。
【００４２】
次に、制御/画像処理/記憶装置２０は、撮像装置１４により画像取り込みを開始させる事と同時に、ＰＩＯボード１８及びステージ駆動装置１３を介して、検査ステージ１１をＸ軸方向に目的のスピード、目的の範囲において移動させる事により、電子写真用ブレード１２の側面部全体を検査する。検査ステージ１１の移動スピードに関しては、１５ｍｍ/ｓｅｃ以上３５０ｍｍ/ｓｅｃ以下に設定することが可能であるが、撮像装置１４の画像取り込みスピード、及び検査を行なう為に必要な電子写真用ブレード１２に対しての撮像枚数を合わせるという観点より、４０ｍｍ/ｓｅｃ以上、２４０ｍｍ/ｓｅｃ以下が好ましい。
【００４３】
投光装置１５により投光される光源のスポットの大きさは、投光装置１５の先端に装着させている投光レンズによりスポット光の径、光束の分布形状を変化させることが可能である。撮像装置１４における、レンズ倍率と撮像装置視野の関係、及び均一な輝度での取り込みを可能にさせるという観点からスポット光の径はφ１５ｍｍ程度とした。このスポット光は電子写真用ブレード１２の側面部に照射される。
【００４４】
このスポット光は電子写真用ブレード１２の側面部に照射され、側面部の表面で反射したスポット光は、撮像装置１４にて結像され画像データとして画像ボード１９を介して制御/画像処理/記憶装置２０に取込まれる。この中で、電子写真用ブレード１２の側面部上に欠陥がある場合、該スポット光は欠陥によって影となり、その欠陥によって形成された影付きのスポット光は、撮像装置１４にて結像され画像データとして画像ボード１９を介して制御/画像処理/記憶装置２０に取込まれる。
【００４５】
制御/画像処理/記憶装置２０において、前記２条件の画像に対して、画像処理加工をほどこし、前記２条件の画像を比較することにより、欠陥部分の有無を判定し、結果を表示装置２１にて表示させると同時に、装置内における記憶部分に結果を記憶させるようにしている。また、欠陥がある画像に関しては、撮像装置１４に撮像した画像、欠陥が発見された画像における欠陥の位置情報（重心位置）、大きさ、形状等も記録可能なようにしておく。
【００４６】
また、制御/画像処理/記憶装置２０には、撮像装置１４に装着されているレンズの倍率、撮像装置１４の設置角度、撮像可能範囲の位置、及び、各々の投光装置１５の設置角度、投光可能範囲などがあらかじめ設定、登録されており、画像処理を行う際にこれらが使用される。
【００４７】
（比較例）
比較例として、上記実施例のように１つの撮像装置を用い、２つの投光装置を用いたが、２つの投光装置ついてはＺ軸方向へ傾斜角を設定せずに配置して検査を行なった。
【００４８】
このときに用いた電子写真用ブレードのサンプルは、製品の側面側に欠陥がある物で、欠陥部の大きさは拡大顕微鏡による測定により、８０〜１５０［μｍ］程度ものを１０本選択した。同時に、電子写真用ブレード側面側の切断角度、切断面の平面度の違いに対しては、無作為に選定した。
【００４９】
その際、電子写真用ブレード側面側の切断角度、切断面の平面度の違いに関わらず１０本中７本のサンプルの欠陥箇所の検出が可能であった。同時に、１０本中２本が良品部分にも関わらず、電子写真用ブレード側面側の切断角度、切断面の平面度の違いより発生した、光量のムラより欠陥部分として誤判定をした。
【００５０】
これに対し、上述した実施例においては、１つの撮像装置と、２つの投光装置を用い、それぞれの投光装置のＺ軸方向へなす角度を１つは、Ｚ軸上方向への傾斜角を２°に設定し、１つは、Ｚ軸下方向への傾斜角を３°に設定し、同一のサンプル、同一の検出アルゴリズムを用い検査を行なった。
【００５１】
その際、電子写真用ブレードの側面側の切断角度、切断面の平面度の違いに関わらず１０本中全てのサンプルの欠陥部分の検出が可能であった。
【００５２】
このことより、上述した実施例における電子写真用ブレードの欠陥検出方法は本比較例における検出方法よりも正確に検査が可能であるということがいえた。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施例１による欠陥検査装置を上方向から見た装置構成図である。
【図２】図１に示す投光装置と撮像装置のＸ-Ｙ平面における装置配置概略図である。
【図３】図１に示す投光装置と撮像装置のＹ-Ｚ平面における装置配置概略図である。
【図４】図１に示した欠陥検査装置を用いて電子写真用ブレードの欠陥を検出する流れを示したフローチャートである。
【符号の説明】
【００５４】
１２  電子写真用ブレード
１４  撮像装置
１５  投光装置
【図１】
2007033240.tif 000003
【図２】
2007033240.tif 000004
【図３】
2007033240.tif 000005
【図４】
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