(57)【要約】【課題】  粘着シートに対し貫通孔を確実に形成するとともに、全ての貫通孔について粘着シートの外観を良好なものとすることのできる貫通孔形成粘着シートの製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】  基材１１と、粘着剤層１２とを積層してなる粘着シート１ｐ（貫通孔形成前の粘着シート）に対しレーザ光を照射して粘着シート１ｐに貫通孔１３を形成し、貫通孔形成粘着シート１を製造する方法において、レーザ光照射時に、粘着シート１ｐのレーザ光が照射される全ての部分におけるレーザ光入射面の反対面に、深さ１５０μｍ以上の空間（例えば吸引装置３の吸着ステージを構成する支持体２Ａの吸引孔２１Ａ）を存在させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも基材と粘着剤層とを備えた粘着シートに対しレーザ光を照射して前記粘着シートに貫通孔を形成する貫通孔形成粘着シートの製造方法において、
レーザ光照射時に、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分におけるレーザ光入射面の反対面に、深さ１５０μｍ以上の空間を存在させることを特徴とする貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項２】
レーザ光照射時に、前記粘着シートのレーザ光入射面の反対面側から吸引を行うことを特徴とする請求項１に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項３】
前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ１５０μｍ以上の孔および／または溝が形成されている支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項４】
前記支持体は、吸引装置の吸着部を構成し、前記深さ１５０μｍ以上の孔が前記吸引装置の吸引孔となっていることを特徴とする請求項３に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項５】
前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ１５０μｍ以上の孔および／または溝が形成されている、連続空隙を有する多孔質の支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項６】
前記多孔質の支持体は、吸引装置の吸着部上に位置しており、前記多孔質の支持体を介して前記粘着シートを吸引することを特徴とする請求項５に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項７】
前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ１５０μｍ以上の孔および／または溝が形成されているロール状の支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項８】
前記ロール状の支持体には、周方向に沿って前記溝が形成されていることを特徴とする請求項７に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項９】
前記ロール状の支持体は、複数の吸引孔を有し内側から吸引可能な円筒状になっていることを特徴とする請求項７または８に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項１０】
前記ロール状の支持体を複数設置し、前記粘着シートを前記複数のロール状の支持体に密着させながら搬送し、前記粘着シートの前記ロール状の支持体との密着部近傍に対して、レーザ光照射を行うことを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項１１】
レーザ光が照射され貫通孔が形成される粘着シートを、前記粘着シートのレーザ光入射面の反対面側で支持する粘着シート支持体であって、
前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ１５０μｍ以上の孔および／または溝が形成されていることを特徴とする粘着シート支持体。
【請求項１２】
前記粘着シート支持体は、平板状となっていることを特徴とする請求項１１に記載の粘着シート支持体。
【請求項１３】
前記平板状の粘着シート支持体は、吸引装置の吸着部を構成し、前記深さ１５０μｍ以上の孔が前記吸引装置の吸引孔となっていることを特徴とする請求項１２に記載の粘着シート支持体。
【請求項１４】
前記粘着シート支持体は、連続空隙を有する多孔質体からなることを特徴とする請求項１１に記載の粘着シート支持体。
【請求項１５】
前記粘着シート支持体は、ロール状となっていることを特徴とする請求項１１に記載の粘着シート支持体。
【請求項１６】
前記ロール状の粘着シート支持体には、周方向に沿って前記溝が形成されていることを特徴とする請求項１５に記載の粘着シート支持体。
【請求項１７】
前記ロール状の粘着シート支持体は、複数の吸引孔を有し内側から吸引可能な円筒状になっていることを特徴とする請求項１５または１６に記載の粘着シート支持体。
【請求項１８】
請求項１３または１７に記載の粘着シート支持体を吸着部として備え、前記吸引孔から吸引を行うことのできる吸引装置。
【請求項１９】
請求項１５〜１７のいずれかに記載の複数のロール状の粘着シート支持体と、
粘着シートを前記複数のロール状の粘着シート支持体に密着させることができるように、前記ロール状の粘着シート支持体の相互間に設けられた吸引搬送装置と、
粘着シートの前記ロール状の支持体との密着部近傍に対してレーザ光照射することのできるレーザ光照射装置と
を備えたことを特徴とする貫通孔形成粘着シート製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気溜まりやブリスターを防止または除去することのできる貫通孔を有する粘着シートを製造する方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
粘着シートを手作業で被着体に貼付する際に、被着体と粘着面との間に空気溜まりができ、粘着シートの外観を損ねてしまうことがある。このような空気溜まりは、特に粘着シートの面積が大きい場合に発生し易い。
【０００３】
また、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂等の樹脂材料は、加熱により、または加熱によらなくても、ガスを発生することがあるが、このような樹脂材料からなる被着体に粘着シートを貼付した場合には、被着体から発生するガスによって粘着シートにブリスター（ふくれ）が生じることとなる。
【０００４】
上記のような問題を解決するために、特許文献１には、孔径が０．１〜３００μｍの貫通孔を３０〜５０,０００個／１００ｃｍ２の孔密度で形成した粘着シートが提案されている。かかる粘着シートによれば、粘着面側の空気やガスを貫通孔から粘着シート表面側に抜くことにより、粘着シートの空気溜まりまたはブリスターを防止することが可能である。
【０００５】
上記粘着シートにおける貫通孔の形成には、レーザ穴開け加工が利用される場合がある。レーザ穴開け加工としては、例えば、多層プリント基板等に対するものが一般的に知られている。しかしながら、多層プリント基板等に対するレーザ穴開け加工では、通常全ての層を貫通させないため、かかるレーザ穴開け加工で使用されるステージは貫通孔形成には配慮されていない。したがって、粘着シートにおける貫通孔の形成に上記のようなステージを使用すると、ステージでのレーザ光反射や蓄熱等により貫通孔の周縁部がダメージを受けて良好な外観の粘着シートが得られないことが多く、場合によっては貫通孔が形成できないこともある。
【０００６】
また、特許文献２、特許文献３には、多孔ステージ上にワークを載せて、多孔ステージの孔から吸引しながらワークにレーザ光を照射する方法、または複数並設されたローラ上にワークを載せて、各ローラの間隙から吸引しながらワークにレーザ光を照射する方法が開示されており、特許文献４には、紙等の繊維状体を多孔ステージの上に載せ、その繊維状体の上にワークを載せて、多孔ステージの孔から吸引しながらワークにレーザ光を照射する方法が開示されている。
【特許文献１】国際公開第２００４／０６１０３１号パンフレット
【特許文献２】特開平８−１８７５８６号公報
【特許文献３】特開２００３−１６４９８８号公報
【特許文献４】特開平１１−２６７８６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献２および特許文献３におけるレーザ穴開け加工によっても、上記のようなレーザ光反射や蓄熱等の問題は完全には解決されておらず、貫通孔を確実に形成するとともに、全ての貫通孔について粘着シートの外観を良好なものとすることは困難であった。また、特許文献４におけるレーザ穴開け加工では、レーザ光が照射された繊維状体の分解物が粘着シートの貫通孔周縁部に付着して、良好な外観の粘着シートが得られないという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、粘着シートに対し貫通孔を確実に形成するとともに、全ての貫通孔について粘着シートの外観を良好なものとすることのできる貫通孔形成粘着シートの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、少なくとも基材と粘着剤層とを備えた粘着シートに対しレーザ光を照射して前記粘着シートに貫通孔を形成する貫通孔形成粘着シートの製造方法において、レーザ光照射時に、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分におけるレーザ光入射面の反対面に、深さ１５０μｍ以上の空間を存在させることを特徴とする貫通孔形成粘着シートの製造方法を提供する（請求項１）。なお、本明細書において、「シート」にはフィルムおよびテープの概念、「フィルム」にはシートおよびテープの概念が含まれるものとする。
【００１０】
上記発明（請求項１）においては、粘着シートのレーザ光入射面の反対面に深さ１５０μｍ以上の空間が存在することにより、レーザ光は粘着シートを貫通して確実に貫通孔を形成することができるとともに、レーザ光が支持体の表面で反射すること又は粘着シートと支持体との間にレーザ光の熱が蓄熱することによって貫通孔の周縁部が熱変形または溶融（以下「熱変形等」という。）して粘着シートの外観が悪化することを、全ての貫通孔について防止することができる。なお、本明細書における「支持体」とは、レーザ光照射時に粘着シートをレーザ光入射面の反対面から支持するものをいい、吸引装置の吸着部を構成するものであってもよいし、吸引装置の吸着部上に載置されるものであってもよいし、吸引装置とは関係なく提供されるものであってもよい。
【００１１】
上記発明（請求項１）においては、レーザ光照射時に、前記粘着シートのレーザ光入射面の反対面側から吸引を行うことが好ましい（請求項２）。かかる発明（請求項２）によれば、粘着シートと支持体との間におけるレーザ光の熱の蓄熱をより抑制することができるとともに、レーザ光照射によって発生した粘着剤層および基材の分解物（デブリー）を吸引除去することができ、当該デブリーが粘着シート表面における貫通孔の周縁部に付着することを効果的に防止することができる。
【００１２】
上記発明（請求項１，２）においては、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ１５０μｍ以上の孔および／または溝が形成されている支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うようにしてもよい（請求項３）。
【００１３】
上記発明（請求項３）において、前記支持体は、吸引装置の吸着部を構成し、前記深さ１５０μｍ以上の孔が前記吸引装置の吸引孔となっていてもよい（請求項４）。かかる発明（請求項４）によれば、吸引装置とは別個の支持体を必要としない。
【００１４】
上記発明（請求項１，２）においては、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ１５０μｍ以上の孔および／または溝が形成されている、連続空隙を有する多孔質の支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うようにしてもよい（請求項５）。この場合、前記多孔質の支持体は、吸引装置の吸着部上に位置しており、前記多孔質の支持体を介して前記粘着シートを吸引することが好ましい（請求項６）。
【００１５】
上記発明（請求項５）によれば、多孔質の支持体から熱が逃げ易く、粘着シートと吸引装置の吸着部との間にレーザ光の熱が蓄熱することを効果的に防止することができ、特に上記発明（請求項６）によれば、粘着シート全体を吸引して粘着シートを確実に固定し、貫通孔の精度をより高いものとすることができるとともに、レーザ光照射によって発生した粘着シートのデブリーの除去性を格段に向上させることができ、当該デブリーが粘着シート表面における貫通孔の周縁部に付着することを極めて効果的に防止することができる。
【００１６】
上記発明（請求項１，２）においては、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ１５０μｍ以上の孔および／または溝が形成されているロール状の支持体上の前記粘着シートに対して、レーザ光照射を行うようにしてもよい（請求項７）。
【００１７】
上記発明（請求項７）において、前記ロール状の支持体には、周方向に沿って前記溝が形成されていることが好ましい（請求項８）。かかる発明（請求項８）によれば、溝がロール状の支持体の軸方向に形成される場合と比較して、レーザ光照射のタイミングに高い精度が要求されない。
【００１８】
上記発明（請求項７，８）において、前記ロール状の支持体は、複数の吸引孔を有し内側から吸引可能な円筒状になっていてもよい（請求項９）。
【００１９】
上記発明（請求項７〜９）においては、前記ロール状の支持体を複数設置し、前記粘着シートを前記複数のロール状の支持体に密着させながら搬送し、前記粘着シートの前記ロール状の支持体との密着部近傍に対して、レーザ光照射を行うようにしてもよい（請求項１０）。かかる発明（請求項１０）によれば、貫通孔を連続的に形成することができるとともに、粘着シートの上下方向の振れがない部分で貫通孔を形成することができるため、貫通孔の精度が高いものとなる。
【００２０】
第２に本発明は、レーザ光が照射され貫通孔が形成される粘着シートを、前記粘着シートのレーザ光入射面の反対面側で支持する粘着シート支持体であって、前記粘着シートの前記レーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に深さ１５０μｍ以上の孔および／または溝が形成されていることを特徴とする粘着シート支持体を提供する（請求項１１）。
【００２１】
上記発明（請求項１１）において、前記粘着シート支持体は、平板状となっていてもよい（請求項１２）。この場合、前記平板状の粘着シート支持体は、吸引装置の吸着部を構成し、前記深さ１５０μｍ以上の孔が前記吸引装置の吸引孔となっていてもよい（請求項１３）。
【００２２】
また、上記発明（請求項１１）において、前記粘着シート支持体は、連続空隙を有する多孔質体からなっていてもよいし（請求項１４）、ロール状となっていてもよい（請求項１５）。
【００２３】
上記発明（請求項１５）において、前記ロール状の粘着シート支持体には、周方向に沿って前記溝が形成されていることが好ましい（請求項１６）。
【００２４】
上記発明（請求項１５，１６）において、前記ロール状の粘着シート支持体は、複数の吸引孔を有し内側から吸引可能な円筒状になっていてもよい（請求項１７）。
【００２５】
第３に本発明は、前記粘着シート支持体（請求項１３，１７）を吸着部として備え、前記吸引孔から吸引を行うことのできる吸引装置を提供する（請求項１８）。
【００２６】
第４に本発明は、複数の前記ロール状の粘着シート支持体（請求項１５〜１７）と、粘着シートを前記複数のロール状の粘着シート支持体に密着させることができるように、前記ロール状の粘着シート支持体の相互間に設けられた吸引搬送装置と、粘着シートの前記ロール状の支持体との密着部近傍に対してレーザ光照射することのできるレーザ光照射装置とを備えたことを特徴とする貫通孔形成粘着シート製造装置を提供する（請求項１９）。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、粘着シートの支持体におけるレーザ光反射や蓄熱等が防止され、粘着シートに対し貫通孔を確実に形成するとともに、全ての貫通孔について粘着シートの外観を良好なものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態について説明する。
〔第１の実施形態〕
図１は、本発明の第１の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図であり、図２は、同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図である。
【００２９】
本実施形態では、図１に示すように、基材１１と、粘着剤層１２とを積層してなる粘着シート１ｐ（貫通孔形成前の粘着シート）を、吸引装置３の吸着ステージを構成する支持体２Ａ上に載置し、吸引装置３により粘着シート１ｐを吸引しながら当該粘着シート１ｐに対してレーザ光照射装置Ｒからレーザ光を照射して、粘着剤層１２および基材１１を貫通する貫通孔１３を複数形成し、もって貫通孔形成粘着シート１（以下「粘着シート１」という場合がある。）とする。
【００３０】
基材１１の材料としては、レーザ加工によって貫通孔１３が形成され得る材料であれば特に限定されるものではなく、例えば、樹脂フィルム、金属フィルム、金属を蒸着させた樹脂フィルム、紙、それらの積層体等が挙げられる。基材１１が樹脂フィルムからなる場合、基材１１は不透明であってもよいし、透明であってもよいが、一般的に基材１１が不透明の方が、貫通孔１３が目立ち難い。
【００３１】
樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ポリメタクリル酸メチル、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ＡＢＳ樹脂、オレフィン系、ウレタン系、エステル系およびスチレン系の熱可塑性エラストマー樹脂、アイオノマー樹脂などの樹脂からなるフィルム、発泡フィルム、またはそれらの積層フィルム等を使用することができる。樹脂フィルムは、市販のものを使用してもよいし、工程材料を用いてキャスティング法等で形成したものを使用してもよい。また、紙としては、例えば、上質紙、グラシン紙、コート紙、ラミネート紙等を使用することができる。
【００３２】
基材１１の厚さは、通常は１〜５００μｍ、好ましくは３〜３００μｍ程度であるが、貫通孔形成粘着シート１の用途に応じて適宜変更することができる。
【００３３】
粘着剤層１２を構成する粘着剤の種類としては、上記のような貫通孔１３が形成され得る材料であれば特に限定されるものではなく、アクリル系、ポリエステル系、ポリウレタン系、ゴム系、シリコーン系等のいずれであってもよい。また、粘着剤はエマルション型、溶剤型または無溶剤型のいずれでもよく、架橋タイプまたは非架橋タイプのいずれであってもよい。さらに、粘着剤は、粘着力の強い強粘タイプ、粘着力の弱い弱粘タイプ、粘着および剥離を繰り返すことのできる再剥離タイプのいずれであってもよい。
【００３４】
粘着剤層１２の厚さは、通常は１〜３００μｍ、好ましくは５〜１００μｍ程度であるが、貫通孔形成粘着シート１の用途に応じて適宜変更することができる。
【００３５】
貫通孔１３の横断面形状は特に限定されるものではないが、貫通孔１３の基材１１および粘着剤層１２における孔径は０.１〜３００μｍであることが好ましく、特に０.１〜１５０μｍであることが好ましい。貫通孔１３の孔径が０.１μｍ未満であると、貫通孔１３から空気またはガスが抜け難く、貫通孔１３の孔径が３００μｍを超えると、貫通孔１３が目立つようになる。
【００３６】
また、貫通孔１３の基材１１表面における孔径が４２μｍ以下であり、貫通孔１３周縁のレーザによる溶融部（ドロス）を含む孔径が５０μｍ以下であると、基材１１の条件によっては貫通孔１３が肉眼では見えなくなる（貫通孔１３の存在が肉眼では認識できなくなる）ため、特に粘着シート１の外観において貫通孔１３が見えないことが要求されるような場合には、基材１１表面における貫通孔１３の孔径の上限を４２μｍ、貫通孔１３周縁のドロスを含む孔径の上限を５０μｍとするのが好ましい。
【００３７】
貫通孔１３の孔径は、粘着シート１の厚さ方向に一定であってもよいし、粘着シート１の厚さ方向に変化していてもよいが、貫通孔１３の孔径が粘着シート１の厚さ方向に変化する場合は、粘着剤層１２の粘着面から基材１１表面にかけて漸次小さくなるのが好ましい。このように貫通孔１３の孔径が変化することにより、基材１１表面にて貫通孔１３がより目立ち難くなり、粘着シート１の外観を良好に保つことができる。
【００３８】
レーザ加工によって貫通孔１３を形成する場合、貫通孔１３には先細りのテーパがつくことが多いため、上記形状の貫通孔１３は、図１に示すように、粘着剤層１２の粘着面側からレーザ光を照射することにより形成することができる。
【００３９】
貫通孔１３の孔密度は、３０〜５０,０００個／１００ｃｍ２であることが好ましく、特に１００〜１０,０００個／１００ｃｍ２であることが好ましい。貫通孔１３の孔密度が３０個／１００ｃｍ２未満であると、空気またはガスが抜け難く、貫通孔１３の孔密度が５０,０００個／１００ｃｍ２を超えると、粘着シート１の機械的強度が低下するおそれがある。
【００４０】
本実施形態における支持体２Ａは、図２に示すように、略平板状の形状を有し、当該支持体２Ａを厚さ方向に貫通する吸引孔２１Ａが複数形成されてなる。この支持体２Ａは、吸引装置３における吸引ボックス３１の上壁部に該当する吸着ステージを構成する。
【００４１】
本実施形態における支持体２Ａの吸引孔２１Ａは、粘着シート１ｐにおいてレーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に形成されている。支持体２Ａがこのような構成を有することにより、粘着シート１ｐにおけるレーザ光入射面の反対面（基材１１表面）の下側に空間が存在することとなり、したがって、レーザ光は粘着剤層１２および基材１１を貫通して確実に貫通孔１３を形成することができるとともに、レーザ光が支持体２Ａの表面で反射すること又は粘着シート１と支持体２Ａとの間にレーザ光の熱が蓄熱することによって貫通孔１３の周縁部が熱変形等して粘着シート１の外観が悪化することを、全ての貫通孔１３について防止することができる。特に本実施形態では、支持体２Ａの吸引孔２１Ａから吸引を行うため、上記のような蓄熱が起こり難く、また、レーザ光照射によって発生した粘着剤層１２および基材１１の分解物（デブリー）が吸引除去されて、当該デブリーが基材１１表面における貫通孔１３の周縁部に付着することが効果的に防止される。
【００４２】
吸引孔２１Ａの孔径は、貫通孔１３の基材１１表面における孔径（ドロスを含む孔径）をＤｔとしたときに、１×Ｄｔ〜５０×Ｄｔであることが好ましく、特に１×Ｄｔ〜３０×Ｄｔであることが好ましい。吸引孔２１Ａの孔径が１×Ｄｔ未満であると、レーザ光反射や蓄熱等の問題が生じるおそれがあり、吸引孔２１Ａの孔径が５０×Ｄｔを超えると、貫通孔１３の周縁部が吸引孔２１Ａの空間部側に凸状になるように変形するおそれがある。
【００４３】
支持体２Ａの厚さまたは吸引ボックス３１の高さは、粘着シート１ｐにおけるレーザ光入射面の反対面（基材１１表面）の下側に、深さ１５０μｍ以上の空間が存在する限り、特に限定されるものではない。
【００４４】
支持体２Ａの材質は、レーザ光照射時に粘着シート１ｐに悪影響を与えないものであれば特に限定されることなく、例えば、アルミニウムまたはアルミニウム合金、表面にアルマイトを形成したアルミニウムまたはアルミニウム合金、スチール、表面にハードクロムメッキ、亜鉛メッキ等を形成したスチール、ステンレス鋼、銅などの各種金属材料またはメッキ処理を施した金属材料の他、アルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ステアタイト、フォルステライト、ムライト等のセラミックス（非金属無機材料）、両面銅貼りガラスエポキシ基板等の複合材料を使用することができる。
【００４５】
粘着シート１ｐは、支持体２Ａ上に載置されて吸引装置３により吸引されることで平面度が高くなるため、その状態でレーザ加工を施すことにより、貫通孔１３を高精度で形成することが可能となる。吸引装置３による吸引力は、粘着シート１ｐを支持体２Ａ上に吸着・固定するとともに、デブリーを吸引除去することができれば、特に限定されるものではない。
【００４６】
レーザ光照射装置Ｒの種類は特に限定されるものではなく、例えば、炭酸ガス（ＣＯ２）レーザ、ＴＥＡ−ＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザ、ＵＶ−ＹＡＧレーザ、エキシマレーザ、半導体レーザ、ＹＶＯ４レーザ、ＹＬＦレーザ、フェムト秒レーザ等を利用することができる。
【００４７】
本実施形態では、粘着シート１ｐに複数の貫通孔１３を形成するにあたり、レーザ光照射装置Ｒを移動させてもよいし、支持体２Ａ（吸引装置３）を移動させてもよいが、いずれの場合であっても、レーザ光の照射位置が支持体２Ａの吸引孔２１Ａの位置に一致するように移動させる必要がある。
【００４８】
なお、粘着剤層１２には、所望により剥離材を積層してもよいが、レーザ光照射時には剥離材は粘着剤層１２から剥離しておくことが好ましい。剥離材を粘着剤層１２に積層した状態で剥離材側からレーザ光を照射した場合、剥離材の材質によっては、剥離材の貫通孔１３開口部周縁に形成されるドロスが、粘着剤層１２の貫通孔１３開口部を拡げてしまうことがあり、この場合、粘着シート１に形成される貫通孔１３の孔径や孔密度の精度が低くなってしまう。また、粘着剤層１２の貫通孔１３開口部が拡がると、貫通孔１３の内部空間が大きくなり、粘着シート１を被着体に貼付した後に、貫通孔１３中の空気や貫通孔１３中に入った水等が粘着シート１の表面に何らかの影響を与えるおそれがある。
【００４９】
これに対し、図１に示すように、粘着剤層１２に対して直接レーザ光を照射すれば、粘着剤層１２の貫通孔１３開口部が拡がることがなく、孔径や孔密度の精度が高く、内部空間の小さい貫通孔１３を形成することができる。また、粘着剤層１２に対するレーザ光照射において、剥離材を介在させないことにより、レーザ光の照射時間を短縮すること、またはレーザの出力エネルギーを小さくすることができる。レーザの出力エネルギーが小さければ、粘着剤層１２および基材１１に対する熱影響が小さくなり、熱変形等の少ない、形の整った貫通孔１３を形成することが可能となる。なお、貫通孔１３を形成した後、粘着剤層１２には再度剥離材を貼り付けてもよい。
【００５０】
以上のようにして得られる貫通孔形成粘着シート１においては、全ての貫通孔１３について、レーザ光反射、蓄熱等による基材１１表面における貫通孔１３の周縁部の熱変形等や、基材１１表面における貫通孔１３の周縁部へのデブリーの付着などが防止されるため、粘着シート１の外観が非常に良好なものとなる。
【００５１】
また、上記貫通孔形成粘着シート１においては、貫通孔１３が確実に形成されているため、被着体と粘着剤層１２の粘着面との間の空気や被着体から発生するガスは、貫通孔１３からスムーズに基材１１表面の外側に抜け、したがって、空気溜まりやブリスターを容易に防止または除去することができる。
【００５２】
〔第２の実施形態〕
図３は、本発明の第２の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図であり、図４は、同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図である。
【００５３】
本実施形態では、図３に示すように、基材１１と、粘着剤層１２とを積層してなる粘着シート１ｐを、吸引装置３の吸着ステージ２Ｂ上に設けられた多孔質支持体４上に載置し、吸引装置３により多孔質支持体４を介して粘着シート１ｐを吸引しながら当該粘着シート１ｐに対してレーザ光照射装置Ｒからレーザ光を照射して、粘着剤層１２および基材１１を貫通する貫通孔１３を複数形成し、もって貫通孔形成粘着シート１とする。
【００５４】
基材１１、粘着剤層１２および貫通孔１３に関しては、上記第１の実施形態と同じであるため、ここでは説明を省略する（以下の実施形態にて同じ）。
【００５５】
本実施形態における多孔質支持体４は、連続空隙を有する多孔質の材料からなり、図４に示すように、シート状の形状を有し、当該多孔質支持体４を厚さ方向に貫通する貫通孔４１が複数形成されてなる。
【００５６】
このような多孔質支持体４を介して吸引装置３により粘着シート１ｐを吸引することにより、粘着シート１ｐ全体を吸引して粘着シート１ｐを確実に固定し、貫通孔１３の精度をより高いものとすることができるとともに、レーザ光照射によって発生した粘着剤層１２および基材１１のデブリーの吸引除去性を格段に向上させることができ、当該デブリーが基材１１表面における貫通孔１３の周縁部に付着することを極めて効果的に防止することができる。また、粘着シート１ｐと吸着ステージ２Ｂとの間にレーザ光の熱が蓄熱することも効果的に防止することができる。
【００５７】
多孔質支持体４を構成する材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリウレタン、ポリアクリル、ポリエステル、ポリ塩化ビニル等からなる連続気泡を有する樹脂シートの他、紙、不織布、織布等の繊維集合体などを使用するができる。それらの中でも、連続気泡を有する樹脂シートであって、平面度が高く、耐熱性に優れたものを使用することが好ましい。
【００５８】
多孔質支持体４の端面部４２は、通気性が低くなるように加工されていることが好ましい。これにより、多孔質支持体４の端面部４２からの空気吸引量が減るため、粘着シート１ｐの吸引をより効率良く行うことができる。このような加工は、多孔質支持体４の端面部４２に樹脂等を塗布することにより、あるいは、多孔質支持体４が熱可塑性樹脂からなる場合には、多孔質支持体４の端面部４２を熱溶融させて連続気泡を潰すことにより行うことができる。
【００５９】
本実施形態における多孔質支持体４の貫通孔４１は、粘着シート１ｐにおいてレーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に形成されている。多孔質支持体４がこのような構成を有することにより、粘着剤層１２および基材１１を貫通したレーザ光が多孔質支持体４に当たり、そのレーザ光照射による多孔質支持体４のデブリーが貫通孔１３の周縁部に付着して粘着シート１の外観が悪化することを、全ての貫通孔１３について防止することができる。
【００６０】
貫通孔４１の孔径は、貫通孔１３の基材１１表面における孔径（ドロスを含む孔径）をＤｔとしたときに、１×Ｄｔ〜５０×Ｄｔであることが好ましく、特に１×Ｄｔ〜３０×Ｄｔであることが好ましい。貫通孔４１の孔径が１×Ｄｔ未満であると、レーザ光照射による多孔質支持体４のデブリーが貫通孔１３の周縁部に付着するおそれがあり、貫通孔４１の孔径が５０×Ｄｔを超えると、貫通孔１３の周縁部が貫通孔４１の空間部側に凸状になるように変形するおそれがある。
【００６１】
多孔質支持体４の厚さは、１５０μｍ以上であることが好ましい。多孔質支持体４がかかる厚さを有することにより、多孔質支持体４に形成されている貫通孔４１の高さも１５０μｍ以上となり、粘着シート１ｐにおけるレーザ光入射面の反対面（基材１１表面）の下側に深さが１５０μｍ以上の空間が存在することとなる。これにより、レーザ光が吸着ステージ２Ｂの表面で反射しても基材１１表面にダメージを与えることはなく、また、粘着シート１ｐと吸着ステージ２Ｂとの間にレーザ光の熱が蓄熱することも抑制される。したがって、基材１１表面における貫通孔１３の周縁部が熱変形等して粘着シート１の外観が悪化することが防止される。
【００６２】
多孔質支持体４の特に好ましい厚さは、１５０〜３０００μｍである。多孔質支持体４の厚さが厚すぎると、厚さのばらつきが大きくなり、所望の孔径の貫通孔が得られ難くなるおそれがある。
【００６３】
上記多孔質支持体４は、吸引装置３における吸引ボックス３１の吸着ステージ２Ｂ上に載置される。吸着ステージ２Ｂには、当該吸着ステージ２Ｂを厚さ方向に貫通する吸引孔２１Ｂが複数形成されているが、本実施形態では、粘着シート１ｐと吸着ステージ２Ｂとの間に前述した多孔質支持体４が介在しているため、吸着ステージ２Ｂの吸引孔２１Ｂは、粘着シート１ｐにおいてレーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に形成されている必要はない。したがって、吸着ステージ２Ｂは、当該貫通孔形成粘着シート１専用のものにする必要はなく、また、吸引装置３としては、既存のものを使用することができる。
【００６４】
以上のようにして得られる貫通孔形成粘着シート１においては、全ての貫通孔１３について、レーザ光反射、蓄熱等による基材１１表面における貫通孔１３の周縁部の熱変形等や、基材１１表面における貫通孔１３の周縁部へのデブリーの付着などが防止されるため、粘着シート１の外観が非常に良好なものとなる。また、上記貫通孔形成粘着シート１においては、貫通孔１３が確実に形成されているため、被着体と粘着剤層１２の粘着面との間の空気や被着体から発生するガスは、貫通孔１３からスムーズに基材１１表面の外側に抜け、したがって、空気溜まりやブリスターを容易に防止または除去することができる。
【００６５】
なお、上記多孔質支持体４の替わりに、上記第１の実施形態における支持体２Ａの材料と同様の材料からなる非多孔質の支持体を使用することもできる。
【００６６】
この場合には、吸着ステージ２Ｂの表面（非多孔質支持体側の面）または非多孔質支持体の裏面（吸着ステージ２Ｂ側の面）は粗面となっていることが好ましい。吸着ステージ２Ｂの表面または非多孔質支持体の裏面がこのように粗面となっていることにより、非多孔質支持体の吸引孔の位置と吸着ステージ２Ｂの吸引孔の位置が一致していなくても、吸着ステージ２Ｂと非多孔質支持体の界面を介して非多孔質支持体の吸引孔から吸引することが可能となる。具体的には、吸着ステージ２Ｂまたは非多孔質支持体の裏面の表面粗さ（Ｒａ）は、０．０５〜５μｍであることが好ましく、特に０．１〜３μｍであることが好ましい。
【００６７】
〔第３の実施形態〕
図５は、本発明の第３の実施形態に係る粘着シート支持体を示す斜視図である。
本実施形態に係る支持体２Ｃは、図５に示すように、平板状の形状を有し、支持体２Ｃの表面側には溝２２Ｃが格子状に形成されている。粘着シート１ｐは、この支持体２Ｃ上に載置されてレーザ光が照射されるが、溝２２Ｃは、粘着シート１ｐにおいてレーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に形成されている。また、溝２２Ｃの深さは１５０μｍ以上であることが好ましい。
【００６８】
支持体２Ｃが上記のような構成を有することにより、粘着シート１ｐにおけるレーザ光入射面の反対面（基材１１表面）の下側に深さが１５０μｍ以上の空間が存在することとなる。これにより、レーザ光は粘着剤層１２および基材１１を貫通して確実に貫通孔１３を形成することができるとともに、レーザ光が支持体２Ｃの表面で反射することなく、また溝２２Ｃの底面で反射しても基材１１表面にダメージを与えることはなく、さらには、粘着シート１ｐと支持体２Ｃとの間にレーザ光の熱が蓄熱することも抑制される。したがって、基材１１表面における貫通孔１３の周縁部が熱変形等して粘着シート１の外観が悪化することを、全ての貫通孔１３について防止することができる。
【００６９】
溝２２Ｃの特に好ましい深さは、３００μｍ以上である。また、溝２２Ｃの幅は、貫通孔１３の基材１１表面における孔径（ドロスを含む孔径）をＤｔとしたときに、１×Ｄｔ〜５０×Ｄｔであることが好ましく、特に１×Ｄｔ〜３０×Ｄｔであることが好ましい。溝２２Ｃの幅が１×Ｄｔ未満であると、レーザ光反射や蓄熱等の問題が生じるおそれがあり、溝２２Ｃの幅が５０×Ｄｔを超えると、貫通孔１３の周縁部が溝２２Ｃの空間部側に凸状になるように変形するおそれがある。
【００７０】
支持体２Ｃの材料としては、上記第１の実施形態における支持体２Ａの材料または上記第２の実施形態における多孔質支持体４の材料と同様のものを使用することができる。
【００７１】
ここで、レーザ加工時、支持体２Ｃが非多孔質の材料からなる場合には、支持体２Ｃにおける溝２２Ｃの側端開口部から吸引を行うことが好ましく、支持体２Ｃが多孔質の材料からなる場合には、支持体２Ｃの裏面側から吸引を行うことが好ましい。このような吸引を行うことにより、上記のような蓄熱がより起こり難くなり、また、レーザ光照射によって発生した粘着剤層１２および基材１１のデブリーが吸引除去されて、当該デブリーが基材１１表面における貫通孔１３の周縁部に付着することが抑制される。
【００７２】
なお、上記支持体２Ｃの替わりに、図６に示すような支持体２Ｄを使用することもできる。支持体２Ｄには、支持体２Ｃと同様の溝２２Ｄが形成されているとともに、溝２２Ｄの底面から支持体２Ｄの裏面にかけて貫通する吸引孔２１Ｄが複数形成されている。吸引孔２１Ｄの孔径は、吸引が可能な限り特に限定されるものではない。かかる支持体２Ｄは、上記第１の実施形態における支持体２Ａのように、吸引装置における吸着ステージを構成し得る。
【００７３】
上記支持体２Ｄによれば、粘着シート１ｐの平面方向の位置の如何によらず、上記のような蓄熱がより起こり難くなり、また、レーザ光照射によって発生した粘着剤層１２および基材１１のデブリーを効果的に吸引除去することができる。
【００７４】
〔第４の実施形態〕
図７は、本発明の第４の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図であり、図８は、同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図であり、図９は、同実施形態における粘着シート支持体の溝部近傍の拡大図である。
【００７５】
本実施形態に係る貫通孔形成粘着シート製造装置は、図７に示すように、複数のロール状の支持体５Ｅと、支持体５Ｅの相互間に設けられた吸引搬送装置（サクションベルト）７と、支持体５Ｅの上方に設けられたレーザ光照射装置Ｒとを備えている。本実施形態では、図７および図９に示すように、基材１１と、粘着剤層１２とを積層してなる長尺の粘着シート１ｐを、吸引搬送装置７によって下方に吸引してロール状の支持体５Ｅの上部外周面に密着させながら搬送し、粘着シート１ｐの支持体５Ｅとの密着部近傍に対してレーザ光照射装置Ｒからレーザ光を照射して、粘着剤層１２および基材１１を貫通する貫通孔１３を複数形成し、もって貫通孔形成粘着シート１とする。
【００７６】
図８に示すように、ロール状の支持体５Ｅは、全体として円筒状になっている。ロール状の支持体５Ｅには、その周方向に沿って溝５２Ｅが複数形成されており、また、図８および図９に示すように、溝５２Ｅの底面から支持体５Ｅの内壁にかけて貫通する吸引孔５１Ｅが複数形成されている。
【００７７】
上記溝５２Ｅは、粘着シート１ｐにおいてレーザ光が照射される全ての部分に対応する位置に形成されている。また、溝５２Ｅの深さは１５０μｍ以上であることが好ましい。
【００７８】
支持体５Ｅが上記のような構成を有することにより、粘着シート１ｐにおけるレーザ光入射面の反対面（基材１１表面）の下側に深さが１５０μｍ以上の空間が存在することとなる。これにより、レーザ光は粘着剤層１２および基材１１を貫通して確実に貫通孔１３を形成することができるとともに、レーザ光が支持体５Ｅの表面で反射することなく、また溝５２Ｅの底面で反射しても基材１１表面にダメージを与えることはなく、さらには、粘着シート１ｐと支持体５Ｅとの間にレーザ光の熱が蓄熱することも抑制される。したがって、基材１１表面における貫通孔１３の周縁部が熱変形等して粘着シート１の外観が悪化することを、全ての貫通孔１３について防止することができる。特に本実施形態では、支持体５Ｅの吸引孔５１Ｅから吸引を行うため、上記のような蓄熱が起こり難く、また、レーザ光照射によって発生した粘着剤層１２および基材１１のデブリーが吸引除去されて、当該デブリーが基材１１表面における貫通孔１３の周縁部に付着することが効果的に防止される。
【００７９】
溝５２Ｅの特に好ましい深さは、３００μｍ以上である。また、溝５２Ｅの幅は、貫通孔１３の基材１１表面における孔径（ドロスを含む孔径）をＤｔとしたときに、１×Ｄｔ〜５０×Ｄｔであることが好ましく、特に１×Ｄｔ〜３０×Ｄｔであることが好ましい。溝５２Ｅの幅が１×Ｄｔ未満であると、レーザ光反射や蓄熱等の問題が生じるおそれがあり、溝５２Ｅの幅が５０×Ｄｔを超えると、貫通孔１３の周縁部が溝５２Ｅの空間部側に凸状になるように変形するおそれがある。
【００８０】
一方、吸引孔５１Ｅの孔径は、吸引が可能な限り特に限定されるものではなく、図８および図９に示すように、溝５２Ｅの幅よりも小さくてもよいし、図１０に示す支持体５Ｆの吸引孔５１Ｆのように、溝５２Ｆの幅よりも大きくてもよい。
【００８１】
なお、支持体５Ｅに溝５２Ｅを設けることなく吸引孔５１Ｅのみを設け、吸引孔５１Ｅ上に位置する粘着シート１ｐに対してレーザ光を照射することにより、上記と同様の効果を得ることも可能であるが、その場合には、支持体５Ｅの回転角（吸引孔５１Ｅの位置）とレーザ光照射のタイミングに高い精度が要求されることとなる。
【００８２】
支持体５Ｅの径は、特に限定されるものではないが、通常は半径２．５〜３０ｃｍ程度であり、好ましくは半径３〜２５ｃｍ程度である。
【００８３】
支持体５Ｅの材料としては、上記第１の実施形態における支持体２Ａの材料と同様のものを使用することができる。
【００８４】
本実施形態では、支持体５Ｅの内部に、上部が側面視扇状に切り欠かれて吸引部６１となっている芯体６が設けられており、支持体５Ｅはこの芯体６の周りを回転する。この芯体６の吸引部６１から吸引することにより、支持体５Ｅの上部に位置する吸引孔５１Ｅを介して粘着シート１ｐが吸引され、吸引搬送装置７による吸引と相まって、支持体５Ｅの上部外周面に粘着シート１ｐが密着する。
【００８５】
粘着シート１ｐに対するレーザ光照射位置は、上記のように支持体５Ｅに密着している粘着シート１ｐの当該密着部分の近傍とすることが好ましい。このような位置にレーザ光を照射することにより、粘着シート１ｐの上下方向の振れがなく、貫通孔１３を高い精度で形成することができる。
【００８６】
本実施形態では、粘着シート１ｐに複数の貫通孔１３を形成するにあたり、レーザ光照射装置Ｒを支持体５Ｅの軸方向に移動させるのが一般的である。また、本実施形態ではレーザ光照射装置Ｒは複数存在するが、各レーザ光照射装置Ｒのレーザ光照射位置の区分けは特に限定されるものではなく、粘着シート１ｐの長手方向で区分けしてもよいし、粘着シート１ｐの短手方向で区分けしてもよいし、粘着シート１ｐの長手方向および短手方向の両方で区分けしてもよい。
【００８７】
本実施形態のように、長尺の粘着シート１ｐに対して複数の各レーザ光照射装置Ｒを使用して連続的に貫通孔１３を形成することにより、貫通孔形成粘着シート１を非常に効率良く製造することができる。
【００８８】
以上のようにして得られる貫通孔形成粘着シート１においては、全ての貫通孔１３について、レーザ光反射、蓄熱等による基材１１表面における貫通孔１３の周縁部の熱変形等や、基材１１表面における貫通孔１３の周縁部へのデブリーの付着などが防止されるため、貫通孔形成粘着シート１の外観が非常に良好なものとなる。また、上記貫通孔形成粘着シート１においては、貫通孔１３が確実に形成されているため、被着体と粘着剤層１２の粘着面との間の空気や被着体から発生するガスは、貫通孔１３からスムーズに基材１１表面の外側に抜け、したがって、空気溜まりやブリスターを容易に防止または除去することができる。
【００８９】
なお、上記ロール状の支持体５Ｅの替わりに、図１１に示すようなロール状の支持体５Ｇを使用することもできる。支持体５Ｇには、支持体５Ｅと同様の溝５２Ｇが形成されているが、吸引孔は形成されていない。かかる支持体５Ｇを使用しても、全ての貫通孔１３について、レーザ光反射、蓄熱等による基材１１表面における貫通孔１３の周縁部の熱変形等が防止されるため、粘着シート１の外観は良好なものとなる。
【００９０】
また、上記実施形態において、吸引搬送装置７は、剥離材を積層していない粘着シート１ｐの粘着剤層１２に対して直接レーザ光を照射する場合に有効な手段であり、この場合、粘着剤層１２の貫通孔１３には前述した剥離材による不具合は生じない。しかし、吸引搬送装置７の替わりに、粘着剤層１２が貼り付き難い材料からなる回転ロールを粘着剤層１２側（粘着シート１ｐを挟んで支持体５Ｅの反対側）に設けてもよいし、粘着剤層１２上に剥離材を積層した場合には、通常の回転ロールを粘着剤層１２側に設けてもよい。
【００９１】
〔その他の実施形態〕
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００９２】
例えば、図５に示す支持体２Ｃの溝２２Ｃまたは図６に示す支持体２Ｄの溝２２Ｄは、格子状ではなく、一方向のみに延在するように形成されていてもよいし、また、支持体２Ｄの吸引孔２１Ｄの径は、溝２２Ｄの幅よりも大きくてもよい（図１０参照）。
【実施例】
【００９３】
以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。
【００９４】
〔粘着シートの作製〕
アクリル系粘着剤（日本合成化学工業社製，コーポニールＮ−２１４７，固形分：３５質量％）１００質量部に酢酸エチル２５質量部を配合し、次いでイソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業社製，コロネートＬ）を１質量部配合し、十分に攪拌して粘着剤の塗布剤とした。
【００９５】
上質紙の両面をポリエチレンでラミネートし、片面にシリコーン系剥離剤を塗布した剥離材（リンテック社製，ＦＰＭ−１１，厚さ：１７５μｍ）の剥離処理面に、上記粘着剤の塗布剤を乾燥後の厚さが３０μｍになるようにナイフコーターによって塗布し、９０℃で１分間乾燥させた。このようにして形成した粘着剤層に、ポリ塩化ビニルからなる黒色不透明の基材（厚さ：１００μｍ）を圧着し、これを粘着シートとした。
【００９６】
〔実施例１〕
粘着シートの支持体として、両面銅貼りガラスエポキシ基板（日立化成工業社製，ＦＲ−４，厚さ１．６ｍｍ）に、０．３ｍｍφの貫通孔を２ｍｍピッチで形成したものを用意し、吸引装置（図３参照）における吸引ボックスの吸着ステージ上に載置した。なお、吸着ステージは、表面にアルマイトが形成された厚さ１０ｍｍ、表面粗さ（Ｒａ）０．７μｍのアルミニウム合金からなり、３ｍｍφの吸引孔が２０ｍｍピッチで形成されたものであった。
【００９７】
剥離材を剥した上記粘着シートを、粘着剤層を上側にして上記支持体上に載置した。そして、吸引装置によって粘着シートを吸引しながら、レーザ加工機として松下産業機器社製のＹＢ−ＨＣＳ０３を使用して、粘着剤層側から上記粘着シートに対してＣＯ２レーザを照射した。このとき、レーザ光の照射位置は、上記支持体の貫通孔に対応する位置とした。すなわち、貫通孔の孔密度は、２５００個／１００ｃｍ２であった。
【００９８】
このようにして得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の基材表面における孔径（ドロスを含まない孔径・ドロスを含む孔径）および粘着面における孔径を測定した。結果を表１に示す。
【００９９】
〔実施例２〕
粘着シートの支持体として、超高分子量ポリエチレンからなる多孔質シート（日東電工社製，サンマップＬＣ，厚さ２ｍｍ）に、０．３ｍｍφの貫通孔を２ｍｍピッチで形成したものを使用して、実施例１と同様にして貫通孔形成粘着シートを作製した。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例１と同様にして測定した。結果を表１に示す。
【０１００】
〔実施例３〕
吸着ステージにおける吸引孔の孔径が０．５ｍｍφ、ピッチが２ｍｍである以外、実施例１と同様の吸引装置を用意した。そして、剥離材を剥した上記粘着シートを、粘着剤層を上側にして上記吸引装置の吸着ステージ上に直接載置して、実施例１と同様にしてレーザ加工を行った。ただし、レーザ光の照射位置は、上記吸着ステージの吸引孔に対応する位置とした。すなわち、貫通孔の孔密度は、２５００個／１００ｃｍ２であった。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例１と同様にして測定した。結果を表１に示す。
【０１０１】
〔実施例４〕
粘着シートの支持体として、超高分子量ポリエチレンからなる多孔質シート（日東電工社製，サンマップＬＣ，厚さ２ｍｍ）に、幅０．５ｍｍ、深さ０．２ｍｍの溝を２ｍｍピッチで格子状に形成したものを使用して、実施例１と同様にして貫通孔形成粘着シートを作製した。ただし、レーザ光の照射位置は、上記支持体の溝に対応する位置とし、貫通孔の孔密度は、２５００個／１００ｃｍ２とした。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例１と同様にして測定した。結果を表１に示す。
【０１０２】
〔実施例５〕
粘着シートの支持体として、両面銅貼りガラスエポキシ基板（日立化成工業社製，ＦＲ−４，厚さ１．６ｍｍ）に、幅０．５ｍｍ、深さ０．５ｍｍの溝を２ｍｍピッチで格子状に形成し、格子の交差点に該当する溝の底面に０．３ｍｍφの貫通孔を４ｍｍピッチで形成したものを使用して、実施例１と同様にして貫通孔形成粘着シートを作製した。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例１と同様にして測定した。結果を表１に示す。
【０１０３】
〔実施例６〕
粘着シートの支持体として、アルミニウム合金からなるロール（３００ｍｍφ）に、幅０．５ｍｍ、深さ０．５ｍｍの溝を周方向に２ｍｍピッチで複数形成したもの（図１１参照）を複数用意した。そして、それら支持体の間に、粘着シートを下方に吸引しながら搬送することのできる吸引搬送装置を設置した（図７参照）。
【０１０４】
剥離材を剥した上記粘着シートを、粘着剤層を上側にして上記支持体の上部外周面に密着させながら、上記吸引搬送装置を使用して搬送し、粘着シートの支持体との密着部分に対して実施例１と同様にしてＣＯ２レーザを照射した。このとき、レーザ光の照射位置は、上記支持体の溝に対応する位置とし、貫通孔の孔密度は、２５００個／１００ｃｍ２とした。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例１と同様にして測定した。結果を表１に示す。
【０１０５】
〔実施例７〕
粘着シートの支持体として、実施例６におけるロールの溝の底面に０．４ｍｍφの吸引孔を周方向に１０ｍｍピッチで複数形成し（図８参照）、その吸引孔から吸引しながらレーザ加工を施す以外、実施例６と同様にして貫通孔形成粘着シートを作製した。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例１と同様にして測定した。結果を表１に示す。
【０１０６】
〔比較例１〕
粘着シートの支持体として、貫通孔なしの両面銅貼りガラスエポキシ基板（日立化成工業社製，ＦＲ−４，厚さ１．６ｍｍ）を使用し、吸引を行わない以外、実施例１と同様にして貫通孔形成粘着シートを作製した。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例１と同様にして測定した。結果を表１に示す。
【０１０７】
〔比較例２〕
実施例１で使用した吸引装置の吸着ステージ上に、粘着シートの支持体としてコピー用紙（富士ゼロックスオフィスサプライ社製，Ｃ２カラー／モノクロ兼用紙，厚さ８５μｍ）、および粘着シートをその順に重ねて載置した。そして、実施例１と同様にして吸引およびレーザ光照射を行い、貫通孔形成粘着シートを作製した。ただし、レーザ光の照射位置は、上記吸着ステージの貫通孔の位置には対応しなかった。得られた貫通孔形成粘着シートの貫通孔の孔径を、実施例１と同様にして測定した。結果を表１に示す。
【０１０８】
〔試験例〕
実施例および比較例で得られた粘着シートについて、以下のようにして空気溜まり消失性試験、孔可視性検査およびデブリーの付着検査を行った。結果を表１に示す。
【０１０９】
空気溜まり消失性試験：５０ｍｍ×５０ｍｍに裁断した貫通孔形成粘着シートを、直径約１５ｍｍの円形の空気溜まりができるようにメラミン塗装板に貼り、その粘着シートをスキージにより圧着した。その結果、空気溜まりが消失したものを○、空気溜まりがそのまま残存したものを×で表す。
【０１１０】
孔可視性検査：３０ｍｍ×３０ｍｍに裁断した貫通孔形成粘着シートを白色のメラミン塗装板に貼り、室内蛍光灯の下、肉眼によって、貫通孔形成粘着シート表面（基材表面）において貫通孔が見えるか否かについて検査した。なお、目から貫通孔形成粘着シートまでの距離は約３０ｃｍとし、貫通孔形成粘着シートを見る角度は種々変えた。その結果、貫通孔が見えなかったものを○、貫通孔が見えたものを×で表す。
【０１１１】
デブリーの付着検査：３０ｍｍ×３０ｍｍに裁断した貫通孔形成粘着シートの表面（基材表面）において、貫通孔の周縁にデブリーが付着しているかどうかを、室内蛍光灯の下、肉眼によって検査した。その結果、白っぽいものが付着していなかったものを○、白っぽいものがわずかに付着していたものを△、白っぽいものが連続的に付着していたものを×で表す。
【０１１２】
【表１】
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【０１１３】
表１から明らかなように、実施例で得られた粘着シートは、空気溜まりが容易に除去され得るとともに、粘着シート表面において貫通孔が肉眼で見えず、極めて良好な外観を有する。
【産業上の利用可能性】
【０１１４】
本発明は、一般的に粘着シートに空気溜まりやブリスターが生じやすい場合、例えば粘着シートの面積が大きい場合や、被着体からガスが発生する場合等であって、貫通孔が見えず外観が極めて良好であることが要求される粘着シートの製造に有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図である。
【図２】同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図である。
【図４】同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る粘着シート支持体を示す斜視図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る粘着シート支持体を示す斜視図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係る貫通孔形成粘着シートの製造装置を示す断面図である。
【図８】同実施形態における粘着シート支持体を示す斜視図である。
【図９】同実施形態における粘着シート支持体の溝部近傍の拡大図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る粘着シート支持体の溝および吸引孔を示す拡大図である。
【図１１】本発明の別の実施形態に係る粘着シート支持体を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１１６】
１ｐ…粘着シート（貫通孔形成前）
１…貫通孔形成粘着シート
１１…基材
１２…粘着剤層
１３…貫通孔
２Ａ，２Ｃ，２Ｄ，５Ｅ，５Ｆ，５Ｇ…支持体
２１Ａ，２１Ｄ，５１Ｅ，５１Ｆ…吸引孔
２２Ｃ，２２Ｄ，５２Ｅ，５２Ｆ，５２Ｇ…溝
２Ｂ…吸着ステージ（吸着部）
２１Ｂ…吸引孔
３…吸引装置
３１…吸引ボックス
４…多孔質支持体
４１…貫通孔
４２…端面部
６…芯体
６１…吸引部
７…吸引搬送装置
Ｒ…レーザ光照射装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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