(57)【要約】【課題】フィルム上に形成されたアライメントマークが、本来想定している位置と異なる位置に変位しているような場合であっても、隣接する導体パターンを等間隔にフィルムに形成することができる投影露光装置を提供する。【解決手段】感光体を間歇的に移動させる前後において、レチクル基準マークの位置と感光体基準マークの位置との相対位置関係が、維持されるようにする。【選択図】      図１
2007114357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光体を所定の距離だけ移動させて、少なくとも２つのパターン像を露光光によって前記感光体に形成する投影露光装置であって、
前記感光体に投影されて前記パターン像を前記感光体に形成するためのパターンと、前記パターンの基準位置を示す基準マークであって、前記所定の距離に応じた間隔を有する第１のレチクル基準マーク及び第２のレチクル基準マークと、が形成されたレチクルを含み、かつ、
前記感光体には、前記所定の距離に基づいた間隔を有する少なくとも２つの第１の感光体基準マークと第２の感光体基準マークとが前記感光体の移動方向に沿って形成され、かつ、
前記感光体を前記所定の距離だけ移動させ、かつ、前記感光体を所望する位置に位置づける搬送手段と、
前記第１のレチクル基準マークの位置と、前記第１の感光体基準マークの位置と、前記第２のレチクル基準マークの位置と、前記第２の感光体基準マークの位置と、を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段によって検出された前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第１の感光体基準マークの位置とが所定の位置関係を満たしたときに、前記位置検出手段によって検出された前記第２のレチクル基準マークの位置と前記第２の感光体基準マークの位置との第１の相対位置関係を記憶する位置記憶手段と、
前記搬送手段が、前記所定の距離だけ前記感光体を移動させたときに、前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第２の感光体基準マークの位置との第２の相対位置関係を前記第１の相対位置関係と照合する照合手段と、を含むことを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】
前記照合手段の照合によって、前記第２の相対位置関係が前記第１の相対位置関係を満たさないと判別したときには、前記第２の相対位置関係が前記第１の相対位置関係を満たすように前記感光体の位置を調節する請求項１記載の投影露光装置。
【請求項３】
前記位置検出手段によって検出した前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第１の感光体基準マークの位置とが所定の位置関係を満たしたときに、前記パターンを前記感光体に投影して前記パターン像を前記感光体に形成する請求項１記載の投影露光装置。
【請求項４】
前記所定の距離だけ前記感光体を移動したときに、前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第２の感光体基準マークとの第２の相対位置関係が前記第１の相対位置関係を満たしたときに、前記パターンを前記感光体に投影して前記パターン像を前記感光体に形成する請求項１記載の投影露光装置。
【請求項５】
前記位置検出手段は、第１の検出手段と第２の検出手段とを含み、かつ、
前記第１の検出手段によって、前記第１のレチクル基準マークの位置と、前記第１の感光体基準マークの位置とが検出されて、前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第１の感光体基準マークの位置とが所定の位置関係を満たしたときに、前記第２の検出手段によって、前記第２のレチクル基準マークの位置と、前記第２の感光体基準マークの位置とが検出されて、前記第２のレチクル基準マークの位置と前記第２の感光体基準マークの位置との相対位置関係を前記位置記憶手段に記憶される請求項１記載の投影露光装置。
【請求項６】
前記搬送手段が、前記所定の距離だけ前記感光体を移動したときに、前記第１の検出手段によって、前記第１のレチクル基準マークの位置と、前記第２の感光体基準マークの位置とが検出される請求項３記載の投影露光装置。
【請求項７】
前記感光体は、前記感光体が移動する方向に沿って延在する長尺な形状を有する請求項１記載の投影露光装置。
【請求項８】
前記パターンを前記感光体に投影して前記パターン像を前記感光体に形成する位置に前記感光体を載置する載置手段を含み、
前記搬送手段は、前記感光体を前記載置手段に向かって送り出す送出手段と、前記感光体を前記載置手段から引き取る引取手段と、を含む請求項１記載の投影露光装置。
【請求項９】
前記少なくとも２つの第１の感光体基準マークと第２の感光体基準マークとの各々は、前記感光体に形成された貫通孔又は凹部である請求項１記載の投影露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
すくなくとも２つの導体パターンを間歇的に形成する投影露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の投影露光装置では、長尺なフィルムに導体パターンを形成するときに、レチクルのアライメントマークの投影像が、フィルムのアライメントマークと一致するように位置決めをして、レチクルのパターンをフィルムに投影していた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平６−４５４０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述したように、従来の投影露光装置では、レチクルのアライメントマークの位置が、フィルムのアライメントマークの位置と一致するように位置決めして、フィルムに導体パターンを形成していた。このフィルムのアライメントマークは、一般的に、フィルムを穿孔加工することによって形成された貫通孔をアライメントマークとしたものが多い。しかしながら、フィルムを穿孔加工するための穿孔装置の位置決め精度が十分に高くない場合があり、本来想定していた位置とは異なる位置にアライメントマークである貫通孔が形成されてしまうことがあった。
【０００４】
また、フィルムは、樹脂等を基材としたものが多いため、アライメントマークを精度よく形成できたとしても、光源から発せられる熱や、フィルムを搬送する際に加えられる外力によって、フィルムが伸縮等の変形をする場合もあり、アライメントマークの位置が変位することもあった。
【０００５】
このように、アライメントマークの位置が変位した状態のフィルムを用いて、従来の投影露光装置のように、レチクルのアライメントマークの位置が、フィルムのアライメントマークの位置と一致するように位置決めして、フィルムに導体パターンを形成した場合には、隣接する導体パターン同士の間隔が異なるように、導体パターンがフィルムに形成される場合が生じた。
【０００６】
一方、フィルムに導体パターンを形成した後に、ＬＳＩやトランジスタ等の電子部品をフィルムに搭載する際には、フィルムを一定の間隔ごとに搬送して、これらの電子部品をフィルムに載置する作業が行われる。この作業をするときには、フィルムに形成された導体パターンの所定の位置に電子部品の位置が適合しなければならない。しかしながら、隣接する導体パターン同士の間隔が異なって導体パターンが形成されていた場合には、フィルムを一定の間隔ごとに搬送しても、電子部品を的確に搭載できる位置に導体パターンを位置づけることができず、形成された導体パターンの位置に応じてフィルムの位置決めをしなければならず、電子部品の搭載作業が煩雑にならざるを得なかった。
【０００７】
このような、電子部品の搭載作業の観点から、隣接する導体パターン同士の間隔が等しくなるように、複数の導体パターンをフィルムに形成できる投影露光装置が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、フィルム上に形成されたアライメントマークが、本来想定している位置と異なる位置に変位しているような場合であっても、隣接する導体パターンを等間隔にフィルムに形成することができる投影露光装置を提供することにある。
【０００９】
以上のような目的を達成するために、本発明においては、感光体を間歇的に移動させる前後において、レチクル基準マークの位置と感光体基準マークの位置との相対位置関係が、維持されるようにする。
【００１０】
具体的には、本発明に係る投影露光装置は、
感光体を所定の距離だけ移動させて、少なくとも２つのパターン像を露光光によって前記感光体に形成する投影露光装置であって、
前記感光体に投影されて前記パターン像を前記感光体に形成するためのパターンと、前記パターンの基準位置を示す基準マークであって、前記所定の距離に応じた間隔を有する第１のレチクル基準マーク及び第２のレチクル基準マークと、が形成されたレチクルを含み、かつ、
前記感光体には、前記所定の距離に基づいた間隔を有する少なくとも２つの第１の感光体基準マークと第２の感光体基準マークとが前記感光体の移動方向に沿って形成され、かつ、
前記感光体を前記所定の距離だけ移動させ、かつ、前記感光体を所望する位置に位置づける搬送手段と、
前記第１のレチクル基準マークの位置と、前記第１の感光体基準マークの位置と、前記第２のレチクル基準マークの位置と、前記第２の感光体基準マークの位置と、を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段によって検出された前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第１の感光体基準マークの位置とが所定の位置関係を満たしたときに、前記位置検出手段によって検出された前記第２のレチクル基準マークの位置と前記第２の感光体基準マークの位置との第１の相対位置関係を記憶する位置記憶手段と、
前記搬送手段が、前記所定の距離だけ前記感光体を移動させたときに、前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第２の感光体基準マークの位置との第２の相対位置関係を前記第１の相対位置関係と照合する照合手段と、を含むことを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る投影露光装置は、感光体を所定の距離だけ移動させることによって、少なくとも２つのパターン像を露光光によって感光体に形成する。感光体の移動は、一定の距離だけ間歇的に移動させるものが好ましい。少なくとも２つのパターン像は、感光体の移動方向に沿って形成される。ここで、感光体に形成されるパターン像は、導体パターンだけでなく、露光光が照射されることにより、感光体の感光性の物質が硬化して形成される硬化箇所（導体パターンの上に形成されるレジスト）もパターン像に含まれ、露光光を照射することによって、最終的な導体パターンを形成するために形成される中間的なものも含まれる。導体パターンは、プリント配線体で導電性材料によって形成される図形をいう。
【００１２】
本発明に係る投影露光装置は、レチクルを含む。このレチクルとは、プリント配線体や半導体デバイスのウエハを製造するときに、感光体に導体パターンを形成するために用いられるフォトマスクをいう。感光体は、銅張積層板等のシートやフィルムからなり、導体パターンが形成される前のシートやフィルムであり、その表面がレジスト等の感光性の物質によって覆われているシートやフィルムをいう。
【００１３】
上述したレチクルには、パターンと、第１のレチクル基準マーク及び第２のレチクル基準マークとが形成されている。パターンは、光源から発せられた露光光によって、感光体に投影されることによりパターン像を感光体に形成するためのものである。第１のレチクル基準マーク及び第２のレチクル基準マークは、ともに、パターンの基準位置を示すための基準マークである。この第１のレチクル基準マークと第２のレチクル基準マークとは、上述した「所定の距離」に応じた間隔を有するようにレチクルに形成されている。
【００１４】
上述した感光体には、少なくとも２つの第１の感光体基準マークと第２の感光体基準マークとが形成されている。これらの少なくとも２つの第１の感光体基準マーク及び第２の感光体基準マークは、いずれも感光体の移動方向に沿って形成されている。また、少なくとも２つの第１の感光体基準マークと第２の感光体基準マークとは、上述した所定の距離に基づいた間隔を有するように、感光体に形成されている。この「所定の距離に基づいた間隔」とは、本来、理想的には、「所定の距離」に等しい間隔となるが、実際には、「所定の距離」とは異なる間隔になる場合もあることを意味する。したがって、「所定の距離に基づいた間隔」には、「所定の距離」に等しい間隔のほか、「所定の距離」に近似した間隔も含まれる。この近似した間隔は、例えば、感光体に第１の感光体基準マークや第２の感光体基準マーク等の感光体基準マークを形成するための装置の位置決め精度が十分に高くない場合によって生ずる誤差や、感光体が熱や外力によって変形したときの変形の度合いによって定まる量であり、感光体基準マークを形成過程や、感光体の取り扱い環境によって定まる。
【００１５】
本発明に係る投影露光装置は、さらに、搬送手段と、位置検出手段と、位置記憶手段と、照合手段と、を含む。
【００１６】
搬送手段は、上述した「所定の距離」ごとに間歇的に感光体を移動させるとともに、感光体を所望する位置に位置づける。
【００１７】
位置検出手段は、第１のレチクル基準マークの位置と、第１の感光体基準マークの位置と、第２のレチクル基準マークの位置と、第２の感光体基準マークの位置と、を検出する。なお、これらの位置の検出は、全てを同時刻に行う必要はなく、異なる時刻に検出してもよい。この位置検出手段は、複数の検出部を含むものが好ましい。例えば、位置検出手段が顕微鏡である場合には、複数のレチクル基準マークや、複数の感光体基準マークを、検出するための複数のレンズや、複数のＣＣＤカメラを有する。
【００１８】
位置記憶手段は、上述した位置検出手段によって検出された第２のレチクル基準マークの位置と第２の感光体基準マークの位置との第１の相対位置関係を記憶する。この「第１の相対位置関係」は、第２のレチクル基準マークの位置を基準としたときには、第２の感光体基準マークの位置を特定することができ、第２の感光体基準マークの位置を基準としたときには、第２のレチクル基準マークの位置を特定することができる情報が含まれていればよい。また、用いる座標系は、これらの基準マークの位置を特定することができるものであればよい。例えば、Ｘ−Ｙ座標系による座標によって特定しても、曲座標系（ｒ−θ）による座標によって特定してもよい。
【００１９】
位置記憶手段は、第１のレチクル基準マークの位置と第１の感光体基準マークの位置とが所定の位置関係を満たしたときに、上述した第１の相対位置関係を記憶する。この「所定の位置関係」は、第１のレチクル基準マークの位置と第１の感光体基準マークの位置との相対位置関係に基づくものが好ましい。例えば、第１のレチクル基準マークの位置と第１の感光体基準マークの位置とが一致した場合などが含まれるが、第１のレチクル基準マークの位置と第１の感光体基準マークの位置とが一致した場合のみならず、第１のレチクル基準マークの位置と第１の感光体基準マークの位置との相対的な位置関係を一義的に特定できる位置関係であればよい。
【００２０】
照合手段は、所定の距離だけ感光体を移動させたときに、上述した第１の相対位置関係と第２の相対位置関係とを照合する。この第２の相対位置関係は、第１のレチクル基準マークの位置と第２の感光体基準マークの位置との相対的な位置関係である。
【００２１】
言い換えれば、上述した第１の相対位置関係は、感光体の移動前における第２のレチクル基準マークの位置と第２の感光体基準マークの位置との相対的な位置関係を示す。また、第２の相対位置関係は、感光体の移動後における第１のレチクル基準マークの位置と第２の感光体基準マークの位置との相対的な位置関係である。照合手段は、所定の距離だけ感光体を移動させたときに、第２の相対位置関係と、感光体を移動させる前の第１の相対位置関係と、を照合する。
【００２２】
すなわち、感光体の移動の前後における第２の感光体基準マークの位置に着目している。感光体の移動前では、第２のレチクル基準マークの位置を基準にして、第２の感光体基準マークの相対的な位置関係を第１の相対位置関係としている。一方、感光体の移動後では、第１のレチクル基準マークの位置を基準にして、第２の感光体基準マークの相対的な位置関係を第２の相対位置関係としている。
【００２３】
したがって、照合手段は、感光体の移動の前後において、第２の感光体基準マークの位置について、相対的な位置関係が維持されているか否かを判断するために、所定の距離だけ感光体を移動させたときに、上述した第１の相対位置関係と第２の相対位置関係とを照合する。
【００２４】
照合手段によって、感光体の移動の前後において、第２の感光体基準マークの位置について、相対的な位置関係が維持されているとされれば、感光体を移動させたときに、感光体を移動方向に沿って所定の距離だけ実際に移動させたことを保証することができ、感光体に形成された感光体基準マークが、本来想定している位置と異なる位置に変位しているような場合であっても、隣接する導体パターンを等間隔に感光体に形成することができる。
【００２５】
また、本発明に係る投影露光装置は、
前記照合手段の照合によって、前記第２の相対位置関係が前記第１の相対位置関係を満たさないと判別したときには、前記第２の相対位置関係が前記第１の相対位置関係を満たすように前記感光体の位置を調節するものが好ましい。
【００２６】
上述した照合手段の照合によって、第２の相対位置関係が第１の相対位置関係を満たさないと判別される場合がある。このような場合には、第２の相対位置関係が第１の相対位置関係を満たすように、搬送手段によって感光体の位置を調節する。このようにすることで、常に、第２の相対位置関係が第１の相対位置関係を満たすようにすることができ、感光体に形成された感光体基準マークが、本来想定している位置と異なる位置に変位しているような場合であっても、隣接する導体パターンを等間隔に感光体に形成することができる。
【００２７】
さらに、本発明に係る投影露光装置は、
前記位置検出手段によって検出した前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第１の感光体基準マークの位置とが所定の位置関係を満たしたときに、前記パターンを前記感光体に投影して前記パターン像を前記感光体に形成するものが好ましい。
【００２８】
搬送手段によって感光体を搬送する前には、感光体を何らかの基準位置に位置づける必要がある。例えば、新たな感光体を投影露光装置に搭載するようなときや、感光体を交換して別の感光体を投影露光装置に搭載するようなときには、第１の相対位置関係が記憶されていない。このようなときには、第１のレチクル基準マークの位置と第１の感光体基準マークの位置とが所定の位置関係を満たすようにし、このような条件を満たした場合にのみ、パターンを感光体に投影してパターン像を感光体に形成する。このようにすることで、最初のパターン像を的確に感光体に形成することができる。
【００２９】
さらにまた、本発明に係る投影露光装置は、
前記所定の距離だけ前記感光体を移動したときに、前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第２の感光体基準マークとの第２の相対位置関係が前記第１の相対位置関係を満たしたときに、前記パターンを前記感光体に投影して前記パターン像を前記感光体に形成するものが好ましい。
【００３０】
搬送手段によって感光体を少なくとも１回搬送した後には、第１の相対位置関係が既に記憶されている。このため、第２の相対位置関係と第１の相対位置関係とを照合することができ、第２の相対位置関係が第１の相対位置関係を満たしたときに、パターンを感光体に投影すれば、感光体に形成された感光体基準マークが、本来想定している位置と異なる位置に変位しているような場合であっても、隣接する導体パターンを等間隔に感光体に形成することができる。
【００３１】
また、本発明に係る投影露光装置は、
前記位置検出手段は、第１の検出手段と第２の検出手段とを含み、かつ、
前記第１の検出手段によって、前記第１のレチクル基準マークの位置と、前記第１の感光体基準マークの位置とが検出されて、前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第１の感光体基準マークの位置とが所定の位置関係を満たしたときに、前記第２の検出手段によって、前記第２のレチクル基準マークの位置と、前記第２の感光体基準マークの位置とが検出されて、前記第２のレチクル基準マークの位置と前記第２の感光体基準マークの位置との第１の相対位置関係を前記位置記憶手段に記憶されるものが望ましい。
【００３２】
位置検出手段は、第１の検出手段と第２の検出手段とを含む。この第１の検出手段は、第１のレチクル基準マークの位置と、第１の感光体基準マークの位置とを検出する。第１の検出手段によって検出された第１のレチクル基準マークの位置と、第１の感光体基準マークの位置とが所定の位置関係を満たしたときには、第２の検出手段によって、第２のレチクル基準マークの位置と、第２の感光体基準マークの位置とを検出する。さらに、この第２のレチクル基準マークの位置と、第２の感光体基準マークの位置との第１の相対位置関係を位置記憶手段に記憶する。このように、位置検出手段を、第１の検出手段と第２の検出手段とに分けたことにより、処理に応じて必要となる基準マークの位置のみを検出することができ、処理を簡素にすることができる。
【００３３】
さらに、本発明に係る投影露光装置は、
前記搬送手段が、前記所定の距離だけ前記感光体を移動したときに、前記第１の検出手段によって、前記第１のレチクル基準マークの位置と、前記第２の感光体基準マークの位置とが検出されるものが好ましい。
【００３４】
所定の距離だけ感光体を移動したときには、第２の感光体基準マークも移動している。このとき、第２の感光体基準マークは、感光体の移動前の第１の感光体基準マークの位置に移動していることになる。このため、所定の距離だけ感光体を移動したときには、第２の感光体基準マークを第１の検出手段によって検出することができる。このようにしたことにより、処理に応じて必要となる基準マークの位置のみを検出することができ、処理を簡素にすることができる。
【００３５】
さらにまた、本発明に係る投影露光装置は、
前記感光体は、前記感光体が移動する方向に沿って延在する長尺な形状を有するものが好ましい。
【００３６】
感光体をこのようにすることで、感光体を所定の距離だけ間歇的に移動させることができ、その移動ごとにパターン像を感光体に形成することができるので、複数のパターン像を感光体の移動方向に沿って円滑に形成することができる。
【００３７】
また、本発明に係る投影露光装置は、
前記パターンを前記感光体に投影して前記パターン像を前記感光体に形成する位置に前記感光体を載置する載置手段を含み、
前記搬送手段は、前記感光体を前記載置手段に向かって送り出す送出手段と、前記感光体を前記載置手段から引き取る引取手段と、を含むものがより望ましい。
【００３８】
このようにすることで、感光体を的確に移動させて、パターン像を形成すべき位置に感光体を位置づけることができ、パターン像を感光体に的確に形成することができる。
【００３９】
さらに、本発明に係る投影露光装置は、
前記少なくとも２つの第１の感光体基準マークと第２の感光体基準マークとの各々は、前記感光体に形成された貫通孔又は凹部であるものがより望ましい。
【００４０】
少なくとも２つの第１の感光体基準マークと第２の感光体基準マークとの各々を貫通孔又は凹部とすることで、穿孔装置や押圧装置等によって、これらの基準マークを容易に形成することができる。また、位置検出手段が光学的に検出するもの、例えば顕微鏡等のものであるときには、貫通孔又は凹部の端部を明確に形成できるものが好ましい。このように形成することで、貫通孔や凹部を的確に検出することができ、貫通孔や凹部の位置を容易に特定することが可能となる。
【発明の効果】
【００４１】
感光体に形成された感光体基準マークが、本来想定している位置と異なる位置に変位しているような場合であっても、隣接する導体パターンを等間隔に感光体に形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下に、本発明の実施例について図面に基づいて説明する。
【００４３】
＜＜＜第１の実施の形態＞＞＞
第１の実施の形態では、投影露光装置１００として、プリント配線シートやプリント配線フィルムを製造するためのものを示すが、露光光の照射によってパターンを形成できる、例えば、半導体デバイスのウエハ等を製造するための投影露光装置であってもよい。
【００４４】
＜＜構成＞＞
＜光学系＞
［光源１１０］
投影露光装置１００の上部には、光源１１０が、支持部材（図示せず）によって支持されて設けられている。光源１１０は、図面に示す＋Ｙ方向に向かって所定の波長の露光光、例えば、紫外線を発するように支持部材に設置されている。光源１１０から発せられる露光光は、後述する感光フィルム１８０のレジスト層を構成する感光性の物質を感光し得る波長を含むものであればよい。
【００４５】
［反射ミラー１１２］
光源１１０から発せられた露光光の進行方向には、反射ミラー１１２が設けられている。反射ミラー１１２は、光源１１０から発せられた露光光を、下方（−Ｚ方向）に進むように支持部材（図示せず）に支持されて設けられている。このようにすることで、反射ミラー１１２は、光源１１０から発せられて、＋Ｙ方向に進行する露光光が−Ｚ方向に進行するように、露光光の進行方向を変換する。
【００４６】
［投影レンズ１１４］
上述した反射ミラー１１２の下方には、投影レンズ１１４が設けられている。投影レンズ１１４の外形は、図１に示すように、略円柱状の形状を有している。この投影レンズ１１４は、入射面１１４ａと射出面（図示せず）とを有し、入射面１１４ａが上側に位置し、射出面が下側に位置するように、支持部材（図示せず）に支持されて設けられている。
【００４７】
投影レンズ１１４の入射面１１４ａには、上述した光源１１０から発せられた露光光が入射する。投影レンズ１１４は、少なくとも１つ以上の各種のレンズから構成され、投影レンズ１１４の内部で、これらのレンズによって、入射した露光光の光束の断面の大きさが所望する大きさになるように変換され、変換された露光光が射出面から射出される。このようにすることで、後述するレチクル１６０に形成されたパターン１６６の像の大きさを投影レンズ１１４によって変え、そのパターン１６６の像を後述する感光フィルム１８０に投影し、感光フィルム１８０上に所望する大きさの導体パターンを形成することができる。
【００４８】
＜ステージ＞
［レチクル搭載ステージ１１６］
上述した反射ミラー１１２と投影レンズ１１４との間には、レチクル搭載ステージ１１６が設けられている。レチクル搭載ステージ１１６は、Ｘ方向、Ｙ方向及びθ方向に移動できるレチクル載置テーブル１１８からなり、支持部材（図示せず）によって支持されて設けられている。このレチクル載置テーブル１１８は、水平面（Ｘ−Ｙ面）を有し、この水平面に後述するレチクル１６０が載置される。レチクル載置テーブル１１８には、レチクル１６０が位置する箇所に貫通孔（図示せず）が形成されている。上述した光源１１０から発せられた露光光を、この貫通孔を介して、投影レンズ１１４の入射面１１４ａに入射させることができる。
【００４９】
レチクル搭載ステージ１１６には、Ｘ方向、Ｙ方向及びθ方向（Ｘ−Ｙ面内における回転方向）の各々の方向に駆動するためのモータ（図示せず）が設けられている。これらのモータは、制御装置（図示せず）に電気的に接続されている。制御装置は、レチクル載置テーブル１１８を所望する位置に移動させるための駆動信号をモータに発する。このようにすることで、レチクル載置テーブル１１８に載置されたレチクル１６０を、Ｘ−Ｙ面内の所望する位置に位置づけることができる。
【００５０】
［レチクル１６０］
レチクル１６０は、プリント配線フィルムや、プリント配線板や、半導体デバイスのウエハを製造するときに、後述する感光フィルム１８０に導体パターンを形成するために用いられるフォトマスクである。このレチクル１６０は、光源１１０から発せられた露光光によって、レチクル１６０に形成されたパターンを感光フィルム１８０に転写して、感光フィルム１８０に導体パターンを転写するためのネガに相当する。
【００５１】
なお、後述するように、感光フィルム１８０は、銅張積層フィルム等のフィルムからなり、導体パターンが形成される前のフィルムであり、その表面がレジスト等の感光性の物質によって覆われているフィルムをいう。導体パターンは、プリント配線フィルムで導電性材料によって形成される図形をいう。本明細書では、プリント配線フィルムは、銅張積層フィルム等のフィルムに導体パターンが形成されたものをいい、通常のプリント配線板に相当する。本実施の形態におけるレチクル１６０は、プリント配線フィルムを製造するためのものであり、感光フィルム１８０に導体パターンを形成するために用いられるものである。
【００５２】
図２（ａ）は、レチクル１６０の１つの例を示す平面図である。レチクル１６０には、光源１１０から発せられた露光光が透過できる箇所と、露光光が透過できない箇所とがある。図２（ａ）では、露光光が透過できる箇所と露光光が透過できない箇所とを明確に示すために、露光光が透過できない箇所には、斜線を付して示した。
【００５３】
レチクル１６０は、平板状のガラス基板１６２からなる。ガラス基板１６２は、光源１１０から発せられた露光光が透過できる透明な材料からなる。
【００５４】
図２に示すように、ガラス基板１６２の略中央部には、パターン形成部１６４が形成されている。図２では、パターン形成部１６４の外周部を長方形の破線で示した。このパターン形成部１６４には、後述する感光フィルム１８０に形成する導体パターンに対応したパターン１６６がガラス基板１６２上に形成されている。パターン１６６では、光源１１０から発せられた露光光が通過できるように、ガラス基板１６２の透明な状態が維持されている。パターン形成部１６４でパターン１６６が形成されていない領域では、光源１１０から発せられた露光光を遮る材料で覆われている。この露光光を遮る材料は、クロム等の金属からなるのが好ましい。
【００５５】
パターン形成部１６４を周回する周辺領域の４箇所には、パターン１６６の基準位置を示すための４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄが形成されている。これらの４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄでは、ガラス基板１６２の透明な状態が維持されており、光源１１０から発せられた露光光が透過できる。レチクル基準マーク１６８ａが、「第１のレチクル基準マーク」に対応し、レチクル基準マーク１６８ｃが、「第２のレチクル基準マーク」に対応する。また、レチクル基準マーク１６８ｂを「第１のレチクル基準マーク」としたときには、レチクル基準マーク１６８ｄが、「第２のレチクル基準マーク」に対応する。
【００５６】
パターン形成部１６４を周回する周辺領域であって、４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄが形成された箇所以外の領域は、露光光を遮る材料によって覆われている。
【００５７】
本実施の形態では、図２（ａ）に示すように、これらのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄの各々は、プラス字状（＋）の形状を有する。なお、図１、図８、図１０、図１１及び図１３では、レチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄを簡略化して示すために丸形で示した。レチクル基準マーク１６８ａと１６８ｃとの間隔Ｐ、又はレチクル基準マーク１６８ｂと１６８ｄとの間隔Ｐが、後述する感光フィルム１８０を搬送する距離である送りピッチＰ’に対応するように、４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄは形成されている。
【００５８】
なお、上述したように、本実施の形態では、レチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄの各々は、プラス字状（＋）の形状を有するので、ピッチＰは、レチクル基準マーク１６８ａの縦線と横線の交点と、レチクル基準マーク１６８ｃの縦線と横線の交点との間隔、又はレチクル基準マーク１６８ｂの縦線と横線の交点と、レチクル基準マーク１６８ｄの縦線と横線の交点との間隔である。
【００５９】
また、間隔Ｐと送りピッチＰ’との関係は、投影レンズ１１４の倍率に応じて定めることができる。例えば、レチクル１６０に形成されたパターン１６６を等倍率で、感光フィルム１８０に投影して、感光フィルム１８０に導体パターンを形成する場合には、Ｐ＝Ｐ’となるようにすればよい。後述するように、送りピッチＰ’が、「所定の距離」に対応する。レチクル基準マーク１６８ａと１６８ｃとの間隔Ｐ、又はレチクル基準マーク１６８ｂと１６８ｄとの間隔Ｐが、「所定の距離に基づいた間隔」に対応する。「所定の距離に基づいた」とは、本実施の形態では、間隔Ｐが送りピッチＰ’に基づいて定められればよいことを意味する。例えば、間隔Ｐは、投影レンズ１１４の倍率と送りピッチＰ’とから定めることができる。
【００６０】
レチクル１６０は、上述したレチクル搭載ステージ１１６の水平面に載置される。光源１１０から発せられた露光光は、レチクル載置テーブル１１８の水平面に載置されたレチクル１６０に照射される。上述したように、レチクル１６０に形成されたパターン１６６と、４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄとは、ガラス基板１６２の透明な状態が維持されている。このため、レチクル１６０に照射された露光光は、パターン１６６が形成された箇所や、４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄが形成された箇所を透過することができ、これらの箇所を透過した露光光は、投影レンズ１１４の入射面１１４ａに入射することができる。
【００６１】
［ワーク載置ステージ１３０］
図１に示すように、投影レンズ１１４の下方には、ワーク載置ステージ１３０が設けられている。ワーク載置ステージ１３０は、Ｘ方向移動用ステージ（図示せず）、Ｙ方向移動用ステージ（図示せず）、並びにθ方向移動用ステージ（図示せず）からなる。さらに、θ方向移動用ステージの上部には、テーブル１３８が設けられている。このテーブル１３８は、水平面（Ｘ−Ｙ面）を有し、後述するように、この水平面に感光フィルム１８０（図８、図１０、図１１及び図１３参照）が載置される。
【００６２】
上述したＸ方向移動用ステージには、Ｘ方向に移動させるための駆動用モータ（図示せず）が設けられている。Ｙ方向移動用ステージには、Ｙ方向に移動させるための駆動用モータ（図示せず）が設けられている。θ方向移動用ステージには、θ方向に移動させるための駆動用モータ（図示せず）が設けられている。これらの駆動用モータの各々は、後述する位置制御手段１９８に電気的に接続されている。位置制御手段１９８は、テーブル１３８を所定の位置に移動させるための駆動信号を、これらの駆動用モータに発する。駆動信号により、Ｘ方向、Ｙ方向及びθ方向の駆動用モータは、感光フィルム１８０が載置されたテーブル１３８をＸ−Ｙ平面内の所望する位置に移動させる。
【００６３】
テーブル１３８の周辺には、４つのテーブル基準マーク（フィジシャルマ−ク）１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄが形成されている。この４つのテーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄは、後述する顕微鏡１５０によって明確に撮像できるように、テーブル１３８とは異なる材料によって形成されている。４つのテーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄは、長方形の４つの頂点の各々に位置するように配置されている。
【００６４】
レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ａが、テーブル１３８に投影されたときには、レチクル基準マーク１６８ａの投影像がテーブル１３８上にできる。テーブル基準マーク１３６ａは、このレチクル基準マーク１６８ａの投影像の近傍に位置するように配置されている。レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ｂが、テーブル１３８に投影されたときには、レチクル基準マーク１６８ｂの投影像がテーブル１３８上にできる。テーブル基準マーク１３６ｂは、このレチクル基準マーク１６８ｂの投影像の近傍に位置するように配置されている。レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ｃが、テーブル１３８に投影されたときには、レチクル基準マーク１６８ｃの投影像がテーブル１３８上にできる。テーブル基準マーク１３６ｃは、このレチクル基準マーク１６８ｃの投影像の近傍に位置するように配置されている。レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ｄが、テーブル１３８に投影されたときには、レチクル基準マーク１６８ｄの投影像がテーブル１３８上にできる。テーブル基準マーク１３６ｄは、このレチクル基準マーク１６８ｄの投影像の近傍に位置するように配置されている。
【００６５】
後述する第１のステップの処理で、テーブル基準マーク１３６ａの投影像の位置をレチクル基準マーク１６８ａの位置に一致させ、テーブル基準マーク１３６ｂの投影像の位置をレチクル基準マーク１６８ｂの位置に一致させ、テーブル基準マーク１３６ｃの投影像の位置をレチクル基準マーク１６８ｃの位置に一致させ、テーブル基準マーク１３６ｄの投影像の位置をレチクル基準マーク１６８ｄの位置に一致させることで、テーブル１３８をレチクル１６０に対して位置を合わせることができる。
【００６６】
なお、図１、図８、図１０、図１１及び図１３に示した４つのテーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄは、簡略化して丸形で示したが、４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄと同様に、プラス字状（＋）の形状を有する（図４参照）。
【００６７】
［顕微鏡ステージ１４０］
ワーク載置ステージ１３０の側方には、顕微鏡ステージ１４０（図示せず）が設けられている。顕微鏡ステージ１４０は、後述する顕微鏡１５０を移動可能に支持する。顕微鏡ステージ１４０には、顕微鏡１５０を±Ｙ方向に移動させるためのモータ（図示せず）が設けられている。このモータは、制御装置（図示せず）に電気的に接続されている。制御装置は、顕微鏡１５０を所望する位置に移動させるための駆動信号をモータに発する。具体的には、後述する退避位置と測定位置とに顕微鏡１５０を位置づけるように、顕微鏡ステージ１４０のモータを駆動する。
【００６８】
顕微鏡１５０の退避位置は、顕微鏡１５０が、感光フィルム１８０の露光や種々の作業等の障害とならないようにするために、顕微鏡１５０を退避させる位置である。例えば、光源１１０から露光光を発して、導体パターンを感光フィルム１８０に形成したりするときに、顕微鏡１５０を位置づける位置である。この顕微鏡１５０の退避位置は、顕微鏡１５０のホームポジションにするのが好ましい。
【００６９】
顕微鏡１５０の測定位置は、基準マークを撮像するときに顕微鏡１５０を位置づける位置である。例えば、後述する第１のステップで、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄの投影像を撮像するときに、顕微鏡１５０を位置づける位置である。また、後述する第１のステップや第３のステップで、感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（１）及び１８８ｂ（１）や、１８８ａ（２）及び１８８ｂ（２）等を撮像したりするときに、顕微鏡１５０を位置づける位置でもある。
【００７０】
なお、顕微鏡１５０は、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影された４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄの投影像を直接撮像することはない。後述するように、本実施の形態では、４つのテーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄを、４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄの投影像として扱うので、顕微鏡１５０は、４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄの投影像として、４つのテーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄを撮像する。
【００７１】
上述した顕微鏡１５０の測定位置は、一定の位置であることを保障できればよく、位置検出装置を用いて顕微鏡１５０の位置を検出する必要はない。すなわち、顕微鏡１５０を退避位置から測定位置に位置づけたときに、常に一定の位置に顕微鏡１５０を位置づけることができればよい。
【００７２】
＜測定系及び制御系＞
［顕微鏡１５０］
上述したように、顕微鏡ステージ１４０には、顕微鏡１５０が設けられている。この顕微鏡１５０は、４つの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄ（図１、図８、図１０、図１１及び図１３参照）を含む。これらの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄは、例えば、ＣＣＤカメラ等の撮像素子からなる。なお、図１、図８、図１０、図１１及び図１３では、顕微鏡１５０として、４つの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄのみを示した。
【００７３】
この第１の実施の形態では、２つの撮像部１５２ａ及び１５２ｃによって第１の撮像素子集合体１５４が構成される。第１の撮像素子集合体１５４は、顕微鏡１５０の支持部材（図示せず）によって±Ｙ方向に移動できるように支持されている。このようにしたことにより、第１の撮像素子集合体１５４の２つの撮像部１５２ａ及び１５２ｃは、一体となって±Ｙ方向に移動できる。上述した顕微鏡１５０の退避位置は、第１の撮像素子集合体１５４の退避位置であり、２つの撮像部１５２ａと１５２ｃとの退避位置である。言い換えれば、２つの撮像部１５２ａ及び１５２ｃは、一体となって、退避位置に移動することができる。また、顕微鏡１５０の測定位置は、第１の撮像素子集合体１５４の測定位置であり、２つの撮像部１５２ａと１５２ｃとの測定位置である。すなわち、２つの撮像部１５２ａ及び１５２ｃは、一体となって、測定位置に移動することができる。
【００７４】
また、第１の実施の形態では、２つの撮像部１５２ｂ及び１５２ｄによって第２の撮像素子集合体１５６が構成される。第２の撮像素子集合体１５６も、顕微鏡１５０の支持部材（図示せず）によって±Ｙ方向に移動できるように支持されている。このようにしたことにより、第２の撮像素子集合体１５６の２つの撮像部１５２ｂ及び１５２ｄも、一体となって±Ｙ方向に移動できる。上述した顕微鏡１５０の退避位置は、第２の撮像素子集合体１５６の退避位置であり、２つの撮像部１５２ｂと１５２ｄとの退避位置である。言い換えれば、２つの撮像部１５２ｂ及び１５２ｄは、一体となって、退避位置に移動することができる。また、顕微鏡１５０の測定位置は、第２の撮像素子集合体１５６の測定位置であり、２つの撮像部１５２ｂと１５２ｄとの測定位置である。すなわち、２つの撮像部１５２ｂ及び１５２ｄは、一体となって、測定位置に移動することができる。
【００７５】
これらの退避位置と測定位置について以下に説明する。
【００７６】
２つの撮像部１５２ａと１５２ｃとからなる第１の撮像素子集合体１５４の退避位置は、光源１１０から露光光を発して、導体パターンを感光フィルム１８０に形成するときに、２つの撮像部１５２ａと１５２ｃが障害とならないように、＋Ｙ方向に移動した位置である（図１０及び図１３参照）。また、２つの撮像部１５２ｂと１５２ｄとからなる第２の撮像素子集合体１５６の退避位置も、光源１１０から露光光を発して、導体パターンを感光フィルム１８０に形成するときに、２つの撮像部１５２ｂと１５２ｄとが障害とならないように、−Ｙ方向に移動した位置である（図１０及び図１３参照）。
【００７７】
また、第１の撮像素子集合体１５４の測定位置は、テーブル１３８に形成されたレチクル基準マーク１６８ａ及び１６８ｃの投影像を撮像したり、感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（１）及び１８８ａ（２）等を撮像したりできるように、−Ｙ方向に移動した位置である（図８及び図１１参照）。また、第２の撮像素子集合体１５６の測定位置は、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ｂ及び１６８ｄの投影像を撮像したり、感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ｂ（１）及び１８８ｂ（２）等を撮像したりできるように、＋Ｙ方向に移動した位置である（図８及び図１１参照）。
【００７８】
なお、撮像部１５２ａは、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影されたレチクル基準マーク１６８ａの投影像を直接撮像することはない。後述するように、本実施の形態では、テーブル基準マーク１３６ａを、レチクル基準マーク１６８ａの投影像として扱うので、撮像部１５２ａは、レチクル基準マーク１６８ａの投影像として、テーブル基準マーク１３６ａを撮像する。撮像部１５２ｂは、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影されたレチクル基準マーク１６８ｂの投影像を直接撮像することはない。本実施の形態では、テーブル基準マーク１３６ｂを、レチクル基準マーク１６８ｂの投影像として扱うので、撮像部１５２ｂは、レチクル基準マーク１６８ｂの投影像として、テーブル基準マーク１３６ｂを撮像する。撮像部１５２ｃは、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影されたレチクル基準マーク１６８ｃの投影像を直接撮像することはない。本実施の形態では、テーブル基準マーク１３６ｃを、レチクル基準マーク１６８ｃの投影像として扱うので、撮像部１５２ｃは、レチクル基準マーク１６８ｃの投影像として、テーブル基準マーク１３６ｃを撮像する。撮像部１５２ｄは、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影されたレチクル基準マーク１６８ｄの投影像を直接撮像することはない。本実施の形態では、テーブル基準マーク１３６ｄを、レチクル基準マーク１６８ｄの投影像として扱うので、撮像部１５２ｄは、レチクル基準マーク１６８ｄの投影像として、テーブル基準マーク１３６ｄを撮像する。
【００７９】
また、上述した第１の撮像素子集合体１５４の測定位置は、一定の位置であればよく、撮像部１５２ａと１５２ｃとの位置を、位置検出装置を用いて検出する必要はない。第１の撮像素子集合体１５４を退避位置から測定位置に移動させたときに、第１の撮像素子集合体１５４を構成する撮像部１５２ａと１５２ｃとを常に一定の測定位置に位置付けることができればよい。これらの撮像部１５２ａと１５２ｃとを測定位置に位置付けたときに、撮像部１５２ａと１５２ｃとの具体的な座標を得る必要はない。言い換えれば、２つの撮像部１５２ａと１５２ｃとを測定位置に位置付けたときには、感光フィルム１８０の一定の範囲を常に撮像できるようにすればよい。
【００８０】
例えば、第１の撮像素子集合体１５４を移動させるためのモータがステッピングモータで構成されているような場合には、所定のパルス信号をステッピングモータ（モータ駆動用ドライバ（図示せず））に供給することで、第１の撮像素子集合体１５４を移動させることができる。このステッピングモータを用いた場合には、ステッピングモータに供給するパルス信号の数で、第１の撮像素子集合体１５４の移動距離が定められる。したがって、ホームポジション（退避位置）から測定位置までの距離に応じたパルス信号の数を、モータを制御するための制御手段に予め記憶させておき、ホームポジションから測定位置へ位置づけるときには、その記憶させたパルス信号の数だけ、パルス信号を制御手段からモータへ供給することにより、ホームポジションから一定の測定位置へ常に位置づけることができる。このように構成することで、撮像部１５２ａや１５２ｃの位置を測定する測定装置を用いることなく、撮像部１５２ａと１５２ｃとを一定の測定位置に位置づけることができ、感光フィルム１８０の一定の範囲を撮像することができる。
【００８１】
後述するように、第１の撮像素子集合体１５４が測定位置に位置づけられたときには、撮像部１５２ａによって、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａの投影像や、感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（１）等を撮像する。同様に、第１の撮像素子集合体１５４が測定位置に位置づけられたときには、撮像部１５２ｃによって、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ｃの投影像や、感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（２）等を撮像する。このとき、撮像部１５２ａや撮像部１５２ｃによって撮像された投影体の位置を、撮像領域内で十分に特定できる程度に、撮像部１５２ａと１５２ｃとの撮像領域が十分に大きく、かつ、解像度を高くして撮像できればよい。
【００８２】
このようにすることで、撮像部１５２ａ及び１５２ｃが撮像した撮像領域内におけるレチクル基準マークの投影体の位置や感光体基準マークの位置を特定することができる。この撮像領域におけるレチクル基準マークの投影体の位置や感光体基準マークの位置は、画素（ピクセル）等を単位とした座標系の位置であればよく、ミリメートル等の一般的に用いられる長さの単位を用いた位置の情報である必要はない。
【００８３】
同様に、第２の撮像素子集合体１５６も退避位置から測定位置に移動させたときに、第２の撮像素子集合体１５６を構成する撮像部１５２ｂと１５２ｄとを一定の測定位置に位置付けることができればよい。この一定の測定位置に位置づける手法は、第１の撮像素子集合体１５４と同様に行うことができる。この第２の撮像素子集合体１５６の撮像部１５２ｂ及び１５２ｄも、撮像領域内で十分に基準マークの位置を特定できる程度に、撮像領域が十分に大きく、かつ、解像度を高くして撮像できればよい。
【００８４】
［撮像データ処理部１９０］
図３に示すように、４つの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄの各々は、撮影処理と演算処理とを行う撮像データ処理部１９０に電気的に接続されている。撮像データ処理部１９０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、ＲＯＭ（リードオンリーメモリ）及びＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等からなる。撮像データ処理部１９０は、撮像処理部１９２と演算処理部１９４とを含む。
【００８５】
４つの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄは、撮影した画像を電気信号に変換し、撮像処理部１９２にその電気信号を供給する。撮像処理部１９２は、供給された電気信号に基づいて、４つの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄによって撮影された像をデータ化する。演算処理部１９４は、撮像処理部１９２によってデータ化された撮影データを用いて、画像処理を行い、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄの投影像の位置（テーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄの位置）や、感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（１）及び１８８ｂ（１）等の位置を算出して、その値を位置記憶手段１９６に記憶させる。この演算処理部１９４で得られる位置は、４つの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄの各々で撮像された撮像領域における位置であればよい。例えば、画像データの画素（ピクセル）を単位としてＸ−Ｙ座標系を用いた位置でよい。上述したように、４つの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄの測定位置は一定であるので、撮像領域における位置を特定することができれば、ミリメートル等の一般的に用いられる長さの単位を用いた位置に変換することなく、撮像した基準マークの位置を特定することができる。
【００８６】
また、演算処理部１９４は、テーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（１）との第０相対位置関係ａや、テーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（１）との第０相対位置関係ｂを算出する（後述する図６のステップＳ１２及びＳ１３参照）。さらに、演算処理部１９４は、テーブル基準マーク１３６ｃと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第１相対位置関係ａや、テーブル基準マーク１３６ｄと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第１相対位置関係ｂを算出する（後述する図６のステップＳ１４及びＳ１５参照）。さらにまた、演算処理部１９４は、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’だけ搬送した後に、テーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第２相対位置関係ａや、テーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第２相対位置関係ｂを算出する（後述する図７のステップＳ２１及びＳ２２参照）。
【００８７】
演算処理部１９４は、これらの相対位置関係の算出の処理のほか、上述した第０相対位置関係ａや第０相対位置関係ｂが、所定の関係を満たすか否かを判断し、これらの相対位置関係が所定の関係を満たすときには、上述した第１相対位置関係ａと第１相対位置関係ｂとを位置記憶手段１９６に記憶させる。
【００８８】
なお、第０相対位置関係ａ、第０相対位置関係ｂ、第１相対位置関係ａ、第１相対位置関係ｂ、第２相対位置関係ａ、及び第２相対位置関係ｂのいずれも、Ｘ−Ｙ平面内において、テーブル基準マークと感光体基準マークとの互いの位置関係を特定できる情報であればよい。したがって、例えば、Ｘ，Ｙ座標系を用いて特定するものでも、曲座標系（ｒ，θ）を用いて特定するものでもよい。上述した第１相対位置関係ａと第１相対位置関係ｂとが、「第１の相対位置関係」に対応し、第２相対位置関係ａと第２相対位置関係ｂとが、「第２の相対位置関係」に対応する。上述したように、演算処理部１９４で得られる位置は、４つの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄの各々で撮像された撮像領域における位置であればよく、画像データの画素（ピクセル）を単位としたＸ−Ｙ座標系を用いた位置にすることができる。このため、第０相対位置関係ａ、第０相対位置関係ｂ、第１相対位置関係ａ、第１相対位置関係ｂ、第２相対位置関係ａ、及び第２相対位置関係ｂのいずれも、画像データの画素（ピクセル）を単位として表すことができる。
【００８９】
また、上述したように、４つの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄは、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影された４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄの投影像を直接撮像することはなく、４つのテーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄを介して撮像する。したがって、画像処理を行うことによって得られるレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄの投影像の位置は、テーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄを撮像して得られた位置である。この処理については、後述する第１のステップで詳述する。
【００９０】
演算処理部１９４には、照合手段１９７も含まれる。この照合手段１９７は、送りピッチＰ’だけ感光フィルム１８０を移動させたときに、テーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第２相対位置関係ａを上述した第１相対位置関係ａと照合し、かつ、テーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第２相対位置関係ｂを上述した第１相対位置関係ｂと照合する。
【００９１】
例えば、照合手段１９７は、送りピッチＰ’だけ感光フィルム１８０を移動させたときのテーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第２相対位置関係ａを、感光フィルム１８０を移動させる前のテーブル基準マーク１３６ｃと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第１相対位置関係ａと照合し、かつ、送りピッチＰ’だけ感光フィルム１８０を移動させたときのテーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第２相対位置関係ｂを、感光フィルム１８０を移動させる前のテーブル基準マーク１３６ｄと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第１相対位置関係ｂと照合する。この照合をした結果として、第２相対位置関係ａが第１相対位置関係ａと一致し、かつ、第２相対位置関係ｂが第１相対位置関係ｂと一致するか否かを判断する。なお、この照合手段１９７による処理は、後述する第４のステップで詳述する。
【００９２】
［位置制御手段１９８］
図３に示すように、撮像データ処理部１９０は、位置制御手段１９８に電気的に接続されている。後述する第２のステップの処理では、位置制御手段１９８は、感光体基準マーク１８８ａ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ａの位置とが一致するように、かつ、感光体基準マーク１８８ｂ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ｂの位置とが一致するように、Ｘ方向移動用ステージ、Ｙ方向移動用ステージ及びθ方向移動用ステージを移動させたり、送りローラ１７２及び引き取りローラ１７４を回転させたりして、感光フィルム１８０の位置を調節する。また、後述する第３のステップの処理では、位置制御手段１９８は、第１相対位置関係ａと第２相対位置関係ａとが同じになり、第１相対位置関係ｂと第２相対位置関係ｂとが同じになるように、Ｘ方向移動用ステージ、Ｙ方向移動用ステージ及びθ方向移動用ステージを移動させたり、送りローラ１７２及び引き取りローラ１７４を回転させたりして、感光フィルム１８０の位置を調節する。
【００９３】
［位置決め手段１９９］
さらに、図３に示すように、位置制御手段１９８は、位置決め手段１９９に電気的に接続されている。位置決め手段１９９は、ワーク載置ステージ１３０を含み、上述したように、ワーク載置ステージ１３０は、Ｘ方向移動用ステージとＹ方向移動用ステージとθ方向移動用ステージとを含む。さらに、位置決め手段１９９には、送りローラ１７２及び引き取りローラ１７４も含まれる。
【００９４】
位置制御手段１９８から発せられた制御信号に応じて、Ｘ方向移動用ステージや、Ｙ方向移動用ステージや、θ方向移動用ステージは移動したり、送りローラ１７２や、引き取りローラ１７４は回転したりして、感光フィルム１８０の位置の調節を行うことができる。
【００９５】
＜感光フィルム１８０＞
感光フィルム１８０は、図１に示すように、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に載置することができる。本実施の形態では、感光フィルム１８０は、長尺な形状を有する。なお、感光フィルム１８０は、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に載置して露光光を照射できるものであればよい。この感光フィルム１８０が、「感光体」に対応する。
【００９６】
感光フィルム１８０は、絶縁フィルムと、導体層と、感光性の物質からなるレジスト層と、からなる。絶縁フィルムは、絶縁性の樹脂等フィルムからなる。導体層は、プリント配線フィルムの導体パターンを形成するための導電性材料の薄いシート状のフィルムであり、銅等の導電性材料からなる。導体層の材料が銅であるときに、絶縁フィルムと導体層とによって、上述した銅張積層フィルムが構成される。本明細書では、１つの例として、この銅張積層フィルムを用いた場合として説明する。
【００９７】
レジスト層は、プリント配線フィルムを製造するときのエッチング処理で残す部分のマスクや、半田の不要な部分などを覆うためのものであり、露光光によって硬化する感光性の物質からなる。この感光性の物質は、露光光が照射されると、硬化する。すなわち、本発明の投影露光装置１００によって露光処理が行われると、感光フィルム１８０の露光光が照射された箇所の感光性の物質は硬化し、露光光が照射されていない箇所の感光性の物質は硬化しない。
【００９８】
なお、投影露光装置１００による露光処理の後に、感光フィルム１８０からプリント配線フィルムにする工程について簡単に説明する。
【００９９】
まず、投影露光装置１００による露光処理が行われた感光フィルム１８０をアルカリ溶液で現像する。露光光が照射されていない箇所の感光性の物質は硬化していないので、レジスト層を感光フィルム１８０の表面からアルカリ溶液によって除去することができる。感光フィルム１８０の表面からレジスト層が除去された箇所では、銅張積層フィルムの銅が露出することになる。一方、露光光が照射された箇所の感光性の物質は、硬化しているので、レジスト層は除去されず感光フィルム１８０の表面に残る。以下では、感光フィルム１８０の表面に残って硬化した感光性の物質を単にレジストと称する。この感光性の物質が硬化して、感光フィルム１８０の表面に残った箇所も「パターン像」に含まれる。
【０１００】
次に、塩化第二銅溶液等の溶液で、レジストに覆われていない導体層の銅を溶解して、導体層を絶縁フィルムから除去する。一方、レジストに覆われている箇所は、レジストが保護材として機能するため、塩化第二銅溶液等の溶液では導体層は絶縁フィルムから除去されない。
【０１０１】
さらに、強アルカリ溶液で、導体層を覆っているレジストを除去する。レジストを除去することで、レジストの下に位置した導体層の銅が露出し、露出した銅が導体パターンとなる。上述したように、導体パターンは、銅等の導電性材料によって絶縁フィルムに形成される図形である。このように、絶縁フィルムに導体パターンが形成されたものが、プリント配線フィルムであり、通常のプリント配線板に相当する。また、プリント配線フィルムにＬＳＩ、ＩＣ、トランジスタ等の電子部品が搭載され、はんだ付けが行われて電気的接続が形成されている構成品が、プリント回路フィルムであり、通常のプリント回路板に相当する。
【０１０２】
図２（ｂ）は、本実施の形態で用いる感光フィルム１８０の例を示す平面図である。なお、感光フィルム１８０には、導体パターン１８６は未だ形成されておらず、図２（ｂ）では、導体パターンや導体パターンが形成される領域は、仮想的なものとして破線で示した。この感光フィルム１８０は、少なくとも導体パターンを２つ以上形成することができる長尺な形状を有し、図２（ｂ）では、その一部を示した。
【０１０３】
図２（ｂ）に示すように、感光フィルム１８０には、感光フィルム１８０の基準位置を示すための感光体基準マーク１８８ａ（１）及び１８８ｂ（１），並びに１８８ａ（２）及び１８８ｂ（２）が形成されている。本実施の形態では、これらの感光体基準マーク１８８ａ（１）及び１８８ｂ（１），並びに１８８ａ（２）及び１８８ｂ（２）は、感光フィルム１８０に円形の貫通孔として形成されている。また、図２（ｂ）では、感光体基準マークとして代表的な４つを示したが、感光体基準マークは、感光フィルム１８０の長手方向に沿って、感光フィルム１８０の縁の近傍に、送りピッチＰ’に基づいて、複数個形成されている（図８、図１０、図１１及び図１３参照）。後述するように、感光フィルム１８０には、感光体基準マークが、送りピッチＰ’ごとに複数個形成されているのが理想的であるが、感光フィルム１８０に感光体基準マークとして貫通孔を形成するための装置の位置決め精度が低かったり、感光フィルム１８０が伸縮したりする場合がある。このため、必ずしも、感光体基準マークが、感光フィルム１８０に送りピッチＰ’ごと、すなわち、一定間隔ごとに複数個形成されているわけではない。感光体基準マークは、送りピッチＰ’を基準とした位置の近傍に形成されている。この近傍とは、感光体基準マークを形成するための装置の位置決めの精度誤差や、感光フィルム１８０の伸縮の度合い等によって定まる領域をいう。
【０１０４】
後述するように、感光体基準マーク１８８ａ（１）がレチクル基準マーク１６８ａに対応し、感光体基準マーク１８８ｂ（１）がレチクル基準マーク１６８ｂに対応し、感光体基準マーク１８８ａ（２）がレチクル基準マーク１６８ｃに対応し、感光体基準マーク１８８ｂ（２）がレチクル基準マーク１６８ｄに対応する。
【０１０５】
感光フィルム１８０に形成される導体パターン１８６の大きさは、レチクル１６０に形成されたパターン１６６の大きさと異なる場合がある。このため、感光体基準マーク１８８ａと１８８ｂとの間隔Ｐ’も、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａと１６８ｂとの間隔Ｐとが異なる場合がある。上述したように、この導体パターン１８６の大きさは、上述した投影レンズ１１４の倍率によって定めることができる。例えば、レチクル１６０に形成されたパターン１６６を等倍率で、感光フィルム１８０に投影して、感光フィルム１８０に導体パターンを形成する場合には、Ｐ＝Ｐ’となるようにすればよい。
【０１０６】
本実施の形態では、感光フィルム１８０は、少なくとも２つ以上の導体パターンを長手方向に沿って形成できるものが好ましい。感光フィルム１８０をこのようにし、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’ごとに搬送することによって、感光フィルム１８０に２つ以上の導体パターンを、感光フィルム１８０の長手方向に沿って、円滑にかつ順次形成することができる。また、感光フィルム１８０は、可撓性を有するものが望ましい。このように、感光フィルム１８０を送り出したり巻き取ったりすることができ、感光フィルム１８０の搬送を容易にすることができるとともに、感光フィルム１８０の取り扱いを簡便にすることができる。
【０１０７】
上述した例では、「感光体」として感光フィルム１８０である場合を示したが、通常の剛性を有する銅張積層基板などを用いてもよい。このような場合も、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８上で、銅張積層基板を移動させ、その移動方向に沿って２つ以上の導体パターンを銅張積層基板に形成することができる。
【０１０８】
＜感光フィルム搬送系１７０＞
感光フィルム搬送系１７０は、送りローラ１７２と引き取りローラ１７４とからなる。送りローラ１７２は、ワーク載置ステージ１３０から＋Ｘ方向に離隔した位置に配置され、引き取りローラ１７４は、ワーク載置ステージ１３０から−Ｘ方向に離隔した位置に配置されている。
【０１０９】
送りローラ１７２は、長尺な２つのローラ１７２ａと１７２ｂとからなる。これらの２つのローラ１７２ａと１７２ｂとは、弾性部材からなり、長手方向に沿って互いに押圧し合うように設けられている。２つのローラ１７２ａと１７２ｂとのうちの一方が回転したときには、それに応じて他方が回転することができる。２つのローラ１７２ａと１７２ｂとの間に、感光フィルム１８０を挟むことができ（図８、１０、１１及び１３参照）、２つのローラ１７２ａと１７２ｂを回転させることにより、感光フィルム１８０をワーク載置ステージ１３０に向かって送り出すことができる。
【０１１０】
引き取りローラ１７４は、長尺な２つのローラ１７４ａと１７４ｂとからなる。これらの２つのローラ１７４ａと１７４ｂとは、互いに押圧し合うように設けられている。２つのローラ１７４ａと１７４ｂとのうちの一方が回転したときには、それに応じて他方が回転することができる。２つのローラ１７４ａと１７４ｂとの間に、感光フィルム１８０を挟むことができ（図８、図１０、図１１及び図１３参照）、２つのローラ１７４ａと１７４ｂを回転させることにより、感光フィルム１８０をワーク載置ステージ１３０から引き取ることができる。
【０１１１】
送りローラ１７２の２つのローラ１７２ａと１７２ｂとが互いに押圧する面と、引き取りローラ１７４の２つのローラ１７４ａと１７４ｂとが互いに押圧する面と、テーブル１３８の水平面と、は略同じ面になるように設けられており、感光フィルム１８０を平面状に配置することができる（図８、１０、１１及び１３参照）。
【０１１２】
送りローラ１７２と引き取りローラ１７４とには、モータ（図示せず）が機械的に接続されている。モータには、制御手段（図示せず）が電気的に接続されている。制御手段から発せられた制御信号に応じてモータを回転させることができ、送りローラ１７２の２つのローラ１７２ａ及び１７２ｂと、引き取りローラ１７４の２つのローラ１７４ａ及び１７４ｂとを、所定の回転量や回転角度だけ回転させることによって、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’だけ−Ｘ方向に搬送することができる。
【０１１３】
＜＜処理手順＞＞
以下に述べる第１のステップ〜第４のステップの処理を行う前処理として、レチクル搭載ステージ１１６のレチクル載置テーブル１１８の所定の位置に、レチクル１６０が載置され、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８の所定の位置に、感光フィルム１８０が載置されているものとする。
【０１１４】
＜第１のステップ＞
この第１のステップの処理は、レチクル１６０に形成された４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄをワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影して、レチクル１６０の基準位置とワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８の基準位置とを一致させることによって、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄが投影された位置を記憶させるための処理である。この処理は、レチクル１６０に形成されたパターン１６６を感光フィルム１８０に的確に投影して、感光フィルム１８０の所望する位置へ導体パターンを感光フィルム１８０に形成するために必要な処理である。この第１のステップの処理は、図６に示すステップＳ１１の処理である。なお、この第１のステップの処理では、光源１１０以外の光源（図示せず）を用いて、感光フィルム１８０が感光しない白色光等の光を、レチクル１６０やワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に照射する。
【０１１５】
上述したように、レチクル１６０に形成されたパターン１６６を感光フィルム１８０に投影するときには、予めレチクルの基準位置と感光フィルム１８０の基準位置とを一致させる必要がある。しかしながら、レーザ干渉計等の位置検出装置を用いて位置を測定して位置合わせをする構成とした場合には、投影露光装置が高価なものにならざるを得なかった。また、レチクルの基準位置と感光フィルム１８０の基準位置とを検出するための光学系にハーフミラー等の光学素子を介在させる構成とした場合には、光学素子によって光路が変わる場合があり、基準位置を的確に測定することができないこともあった。
【０１１６】
このため、この第１のステップの処理では、このようなレチクルの基準位置と感光フィルム１８０の基準位置とを一致させるための前処理として、レチクルの基準位置とワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８の基準位置とを一致させ、そのときのテーブル１３８の基準位置を記憶させる処理を行う。後述するように、この第１のステップによる処理を一旦行っておけば、レチクルの基準位置と感光フィルム１８０の基準位置とを一致させる処理をする必要がなくなる。すなわち、感光フィルム１８０の基準マークのみを検出して、この第１のステップの処理で記憶させておいたレチクル１６０のレチクル基準マークが投影された位置（テーブル１３８の基準マークの位置）に、検出した感光フィルム１８０の基準マークを一致させる処理を行えばよく、上述した問題を回避できるほか、露光によって感光フィルム１８０へ導体パターンを形成する際の処理を簡略化することもできる。
【０１１７】
以下では、レチクル１６０の基準位置とワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８の基準位置とを一致させて、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄが投影された位置を記憶させるための処理の１つの例を示す。
【０１１８】
まず、大まかな手順を述べる。
（ａ）レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａがワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影されて生ずるレチクル基準マーク１６８ａの投影像の位置に、テーブル基準マーク１３６ａの位置を一致させる。このときのテーブル基準マーク１３６ａを顕微鏡１５０の撮像部１５２ａで撮像して撮影処理をすることで、撮像領域におけるテーブル基準マーク１３６ａの位置を得てその位置を示す情報を記憶する。
（ｂ）同様に、レチクル基準マーク１６８ｂの投影像の位置に、テーブル基準マーク１３６ｂの位置を一致させ、このときのテーブル基準マーク１３６ｂを顕微鏡１５０の撮像部１５２ｂで撮像し、テーブル基準マーク１３６ｂの位置を示す情報を記憶する。
（ｃ）また、レチクル基準マーク１６８ｃの投影像の位置に、テーブル基準マーク１３６ｃの位置を一致させ、このときのテーブル基準マーク１３６ｃを顕微鏡１５０の撮像部１５２ｃで撮像し、テーブル基準マーク１３６ｃの位置を示す情報を記憶する。
（ｄ）さらに、レチクル基準マーク１６８ｄの投影像の位置に、テーブル基準マーク１３６ｄの位置を一致させ、このときのテーブル基準マーク１３６ｄを顕微鏡１５０の撮像部１５２ｄで撮像し、テーブル基準マーク１３６ｄの位置を示す情報を記憶する。
【０１１９】
上述したレチクル基準マークとテーブル基準マークとの位置合わせの処理（ａ）〜（ｄ）は、本第１の実施の形態では、レチクル搭載ステージ１１６の上方に配置されたレチクル顕微鏡（図示せず）によって行う。以下、レチクル顕微鏡について簡単に説明する。
【０１２０】
レチクル顕微鏡は、顕微鏡１５０と同様に、ＣＣＤカメラ等の４つの撮像素子（図示せず）からなる。第１の撮像素子は、テーブル基準マーク１３６ａとレチクル基準マーク１６８ａとを撮像する。第２の撮像素子は、テーブル基準マーク１３６ｂとレチクル基準マーク１６８ｂとを撮像する。第３の撮像素子は、テーブル基準マーク１３６ｃとレチクル基準マーク１６８ｃとを撮像する。第４の撮像素子は、テーブル基準マーク１３６ｄとレチクル基準マーク１６８ｄとを撮像する。上述したように、レチクル顕微鏡は、レチクル搭載ステージ１１６の上方に配置されており、テーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄは、投影レンズ１１４とレチクル１６０とを介して、レチクル顕微鏡によって撮像される。これに対して、レチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄは、レチクル顕微鏡によって直接撮像される。
【０１２１】
このように、本第１の実施の形態では、レチクル顕微鏡によって、レチクル基準マーク１６８ａとテーブル基準マーク１３６ａとを撮像して、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ａの位置にテーブル基準マーク１３６ａの位置を一致させることで、テーブル１３８に投影されたレチクル基準マーク１６８ａの投影像の位置にテーブル基準マーク１３６ａの位置を一致させる処理と同等のことを行う。同様に、レチクル顕微鏡で撮像したレチクル基準マーク１６８ｂとテーブル基準マーク１３６ｂとの位置を合わせることで、レチクル基準マーク１６８ｂの投影像の位置にテーブル基準マーク１３６ｂの位置を一致させる。また、レチクル顕微鏡で撮像したレチクル基準マーク１６８ｃとテーブル基準マーク１３６ｃとの位置を合わせることで、レチクル基準マーク１６８ｃの投影像の位置にテーブル基準マーク１３６ｃの位置を一致させる。さらに、レチクル顕微鏡で撮像したレチクル基準マーク１６８ｄとテーブル基準マーク１３６ｄとの位置を合わせることで、レチクル基準マーク１６８ｄの投影像の位置にテーブル基準マーク１３６ｄの位置を一致させる。
【０１２２】
このレチクル顕微鏡は、顕微鏡１５０と同様に、顕微鏡ステージ（図示せず）に設けられており、この顕微鏡ステージには、±Ｙ方向に移動させるためのモータ（図示せず）が設けられている。このモータを制御装置（図示せず）によって駆動することによって、退避位置と測定位置とにレチクル顕微鏡を位置づけることができる。ここで、退避位置は、レチクル顕微鏡が、レチクルの交換作業等の種々の作業や、感光フィルム１８０への露光等の種々の操作の障害とならないようにするために、レチクル顕微鏡を退避させる位置である。また、測定位置は、レチクル１６０に形成された４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄと、テーブル１３８に形成された４つのテーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄと、を撮像するために、レチクル顕微鏡を位置づける位置である。この測定位置は、顕微鏡１５０の測定位置と同様に、一定の位置であればよい。すなわち、レチクル顕微鏡の第１〜第４の４つの撮像素子の各々を一定の測定位置に位置付けることができればよい。このため、レチクル顕微鏡の第１〜第４の４つの撮像素子の各々を測定位置に位置付けたときに、これらの４つの撮像素子の各々の具体的な座標を得る必要はない。
【０１２３】
第１の撮像素子は、第１の撮像素子を測定位置に位置付けたときに、レチクル基準マーク１６８ａとテーブル基準マーク１３６ａとを明確に撮像できる程度に撮像領域を十分に大きくし、かつ、これらのマークの位置をその撮像領域内で十分に特定できる程度に解像度を高くして撮像できればよい。第２の撮像素子は、レチクル基準マーク１６８ｂとテーブル基準マーク１３６ｂとについて、第３の撮像素子は、レチクル基準マーク１６８ｃとテーブル基準マーク１３６ｃとについて、第４の撮像素子は、レチクル基準マーク１６８ｄとテーブル基準マーク１３６ｄとについて、第１の撮像素子と同等の撮像ができればよい。
【０１２４】
具体的な処理を以下に説明する。なお、以下で説明する図４（ａ−１）〜（ａ−４）に示した四角は、４つの撮像素子で撮像した領域を示す。また、黒いプラス字状の像が、レチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄを示し、白抜きのプラス字状の像が、テーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄを示す。
【０１２５】
（ａ）  まず、レチクル顕微鏡を退避位置から測定位置に位置づけて、第１の撮像素子によって、レチクル基準マーク１６８ａとテーブル基準マーク１３６ａとを撮像する。このときの１つの例を図４（ａ−１）に示す。第１の撮像素子によって撮像したときには、この図４（ａ−１）に示すように、レチクル基準マーク１６８ａの位置とテーブル基準マーク１３６ａの位置とは一致していない場合が多い。このため、上述したワーク載置ステージ１３０の駆動用モータを駆動して、レチクル基準マーク１６８ａの位置とテーブル基準マーク１３６ａの位置とが一致するように、テーブル１３８を移動させる。
【０１２６】
レチクル基準マーク１６８ａの位置や、テーブル基準マーク１３６ａの位置は、上述した撮像データ処理部１９０の撮像処理部１９２と演算処理部１９４との処理によって位置を算出することができる。この算出された位置に基づいて、ワーク載置ステージ１３０の駆動用モータに制御信号を発して、テーブル１３８を移動させることができる。また、第１の撮像素子によって撮像されたレチクル基準マーク１６８ａとテーブル基準マーク１３６ａとの画像を、ディスプレイ装置等の表示装置に表示して、表示された画像を視認しつつ、テーブル１３８の位置合わせをしてもよい。いずれにしても、レチクル基準マーク１６８ａの位置とテーブル基準マーク１３６ａの位置とを一致させることができればよい。
【０１２７】
このときの１つの例を図４（ｂ−１）に示す。この状態は、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａがワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影されて生ずるレチクル基準マーク１６８ａの投影像の位置が、テーブル基準マーク１３６ａの位置と一致した状態に相当する。
【０１２８】
次いで、この状態を維持して、顕微鏡１５０の撮像部１５２ａによって、テーブル基準マーク１３６ａを撮像する。このときの１つの例を図５（ａ−１）に示す。テーブル基準マーク１３６ａを撮像した後、撮像データ処理部１９０の撮像処理部１９２と演算処理部１９４との処理をすることで、撮像部１５２ａによって撮像された撮像領域におけるテーブル基準マーク１３６ａの位置を得ることができる。この後、得られたテーブル基準マーク１３６ａの位置を示す情報を位置記憶手段１９６に記憶させる。
【０１２９】
上述した処理をすることで、得られたテーブル基準マーク１３６ａの位置を、テーブル１３８に投影されて生ずるレチクル基準マーク１６８ａの投影像の位置とすることができる。上述したように、撮像部１５２ａの測定位置は、常に一定の位置であるので、撮像部１５２ａによって撮像される撮像領域は常に一定である。このため、撮像部１５２ａによって撮像される撮像領域におけるテーブル基準マーク１３６ａの位置さえ特定できれば、レチクル基準マーク１６８ａの投影像の位置を特定することができる。例えば、この撮像領域におけるテーブル基準マーク１３６ａの位置は、画素（ピクセル）を単位とした座標によって示すことができる。
【０１３０】
（ｂ）  同様に、第２の撮像素子によって、レチクル基準マーク１６８ｂとテーブル基準マーク１３６ｂとを撮像し（図４（ａ−２））、レチクル基準マーク１６８ｂの位置とテーブル基準マーク１３６ｂの位置とを一致させ（図４（ｂ−２））、このときのテーブル基準マーク１３６ｂの位置を示す情報を位置記憶手段１９６に記憶させる。このように得られたテーブル基準マーク１３６ｂの位置を、テーブル１３８に投影されて生ずるレチクル基準マーク１６８ｂの投影像の位置とすることができる。
【０１３１】
（ｃ）  さらに、第３の撮像素子によって、レチクル基準マーク１６８ｃとテーブル基準マーク１３６ｃとを撮像し（図４（ａ−３））、レチクル基準マーク１６８ｃの位置とテーブル基準マーク１３６ｃの位置とを一致させ（図４（ｂ−３））、このときのテーブル基準マーク１３６ｃの位置を示す情報を位置記憶手段１９６に記憶させる。このように得られたテーブル基準マーク１３６ｃの位置を、テーブル１３８に投影されて生ずるレチクル基準マーク１６８ｃの投影像の位置とすることができる。
【０１３２】
（ｄ）  最後に、第４の撮像素子によって、レチクル基準マーク１６８ｄとテーブル基準マーク１３６ｄとを撮像し（図４（ａ−４））、レチクル基準マーク１６８ｄの位置とテーブル基準マーク１３６ｄの位置とを一致させ（図４（ｂ−４））、このときのテーブル基準マーク１３６ｄの位置を示す情報を位置記憶手段１９６に記憶させる。このように得られたテーブル基準マーク１３６ｄの位置を、テーブル１３８に投影されて生ずるレチクル基準マーク１６８ｄの投影像の位置とすることができる。
【０１３３】
なお、算出して得られたテーブル基準マーク１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄの位置は、テーブル基準マーク１３６ａと同様に、画素（ピクセル）を単位とした座標によって示すことができる。
【０１３４】
また、図４（ａ−１）〜（ａ−４）及び図４（ｂ−１）〜（ｂ−４）では、レチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄは、撮像領域の中心に位置せず、中心から離隔した位置にある。これは、上述したように、レチクル顕微鏡の第１〜第４の４つの撮像素子の各々を測定位置に位置付けたときに、これらの４つの撮像素子の各々の具体的な座標を得る必要はなく、第１〜第４の４つの撮像素子の各々を一定の測定位置に位置付けることができればよい。このような構成としてことから、４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄと、４つのテーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄとを一致させることができればよく、このように、レチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄを撮像領域の中心に必ずしも位置させる必要はない。
【０１３５】
この第１のステップの処理は、レチクルの基準位置と感光フィルム１８０の基準位置とを一致させるための前処理として、レチクルの基準位置とワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８の基準位置とを一致させることができればよく、上述した処理の手順や方法には限られない。
【０１３６】
上述したように、この第１のステップの処理は、レチクルの基準位置と感光フィルム１８０の基準位置とを一致させるための前処理として、レチクル１６０の基準位置とワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８の基準位置とを一致させて、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄが投影された位置を記憶させる処理である。この第１のステップの処理を一旦行っておけば、後述するように、レチクル１６０に形成されたパターンを感光フィルム１８０に投影するときには、感光フィルム１８０の基準位置のみを検出して、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄが投影された位置に検出した感光フィルム１８０の基準位置を一致させる処理を行えばよい。これにより、レチクル１６０に形成されたパターンを感光フィルム１８０の所望する位置にパターン像として投影することができる。以下では、これらの処理について、図６及び図７に示すフローチャートに沿って詳細に説明する。
【０１３７】
＜第２のステップ＞
この第２のステップでは、感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（１）の位置を第１のステップで記憶させたテーブル基準マーク１３６ａの位置に一致させ、かつ、感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ｂ（１）の位置を第１のステップで記憶させたテーブル基準マーク１３６ｂの位置に一致させる処理を行う。この処理を行うことで、レチクルの基準位置と感光フィルム１８０の基準位置とを一致させることができる。なお、この第２のステップの処理でも、光源１１０以外の光源（図示せず）を用いて、感光フィルム１８０が感光しない白色光等の光を、レチクル１６０や感光フィルム１８０に照射する。
【０１３８】
まず、感光フィルム１８０をワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８上に配置する。図８に示すように、送りローラ１７２のローラ１７２ａと１７２ｂとの間に感光フィルム１８０をテーブル１３８に向かって挟み、テーブル１３８上を通過させた後、引き取りローラ１７４のローラ１７４ａと１７４ｂとの間に挟む。
【０１３９】
上述したように、感光フィルム１８０には、感光体基準マークが、長手方向に沿って２つの縁の各々の近傍に送りピッチＰ’に基づいて複数個形成されている。図８に示した例では、感光体基準マーク１８８ａ（１）及び１８８ｂ（１）、感光体基準マーク１８８ａ（２）及び１８８ｂ（２）、感光体基準マーク１８８ａ（３）及び１８８ｂ（３）、感光体基準マーク１８８ａ（４）及び１８８ｂ（４）等、が形成されている。上述したように、感光フィルム１８０には、感光体基準マークが、送りピッチＰ’ごとに複数個形成されているのが理想的であるが、感光フィルム１８０に感光体基準マークを形成するための装置の位置決め精度が低かったり、感光フィルム１８０が伸縮したりする場合がある。このため、必ずしも、感光体基準マークが、感光フィルム１８０に送りピッチＰ’ごと、すなわち、一定間隔ごとに複数個形成されているわけではない。このため、感光体基準マークは、送りピッチＰ’を基準とした位置の近傍に形成されている。この近傍とは、感光体基準マークを形成するための装置の位置決めの精度誤差や、感光フィルム１８０の伸縮の度合い等によって定まる領域をいう。
【０１４０】
以下、図６のステップＳ１２及びＳ１３の処理を行う。
【０１４１】
顕微鏡ステージ１４０を駆動して、第１の撮像素子集合体１５４の撮像部１５２ａ及び１５２ｂと、第２の撮像素子集合体１５６の撮像部１５２ｃ及び１５２ｄとを測定位置に位置づけて、撮像部１５２ａによって、感光体基準マーク１８８ａ（１）を撮像し、撮像部１５２ｂによって、感光体基準マーク１８８ｂ（１）を撮像する。撮像部１５２ａによって撮像された感光体基準マーク１８８ａ（１）の画像の１つの例を図９（ａ−１）に示し、撮像部１５２ｂによって撮像された感光体基準マーク１８８ｂ（１）の画像の１つの例を図９（ａ−２）に示す。なお、図９（ａ−１）及び（ａ−２）は、２つの撮像部１５２ａ及び１５２ｂで撮像した画像をディスプレイ等の表示装置（図示せず）に表示したものを示す。感光体基準マーク１８８ａ（１）及び１８８ｂ（１）は、円形の貫通孔として形成されており、図９（ａ−１）及び（ａ−２）では、撮像部１５２ａ及び１５２ｂで撮像した感光体基準マーク１８８ａ（１）及び１８８ｂ（１）を白い円で示した。また、図９（ａ−１）及び（ａ−２）には、上述した第１のステップで記憶させた２つのテーブル基準マーク１３６ａ及び１３６ｂの画像も重ねて表示する。上述したように、これらの２つのテーブル基準マーク１３６ａ及び１３６ｂは、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａ及び１６８ｂがワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影されたときの投影像の位置を示す。
【０１４２】
感光フィルム１８０をワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８上に配置した当初は、感光体基準マーク１８８ａ（１）及びテーブル基準マーク１３６ａと、感光体基準マーク１８８ｂ（１）及びテーブル基準マーク１３６ｂと、は位置が一致していない。このため、位置制御手段１９８によって、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８を移動させたり、送りローラ１７２と引き取りローラ１７４とを回転させたりすることによって、感光体基準マーク１８８ａ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ａの位置とが一致するように、かつ、感光体基準マーク１８８ｂ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ｂの位置とが一致するように、感光フィルム１８０の位置を調節する。図９（ａ−１）及び（ａ−２）は、この調節をした後に撮像したものであり、感光体基準マーク１８８ａ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ａの位置とが一致し、感光体基準マーク１８８ｂ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ｂの位置とが一致している。このようにすることで、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａがワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影された位置に、感光体基準マーク１８８ａ（１）の位置を一致させるとともに、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ｂがワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影された位置に、感光体基準マーク１８８ｂ（１）の位置を一致させることができる。
【０１４３】
この感光フィルム１８０の位置の調節は、ディスプレイ等の表示装置（図示せず）に感光体基準マーク１８８ａ（１）とテーブル基準マーク１３６ａとを表示して、表示されたこれらの基準マークを視認しながら一致するように感光フィルム１８０の位置を調節し、同様に、表示装置に感光体基準マーク１８８ｂ（１）とテーブル基準マーク１３６ｂとを表示して、表示されたこれらの基準マークを視認しながら一致するように感光フィルム１８０の位置を調節したりすることができる。
【０１４４】
また、上述した演算処理部１９４によって、感光フィルム１８０の位置を調節してもよい。例えば、感光体基準マーク１８８ａ（１）の位置、テーブル基準マーク１３６ａの位置、感光体基準マーク１８８ｂ（１）の位置、及びテーブル基準マーク１３６ｂの位置の各々を、例えば、画像データの画素（ピクセル）を単位とした座標によって特定し、感光体基準マーク１８８ａ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ａの位置とのずれの量と、感光体基準マーク１８８ｂ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ｂの位置とのずれの量と、を算出する。次いで、このずれの量に応じたパルス信号の数を算出し、その数のパルス信号を、位置決め手段１９９に供給する。位置決め手段１９９に供給されたパルス信号は、ワーク載置ステージ１３０のＸ方向移動用ステージ、Ｙ方向移動用ステージ及びθ方向移動用ステージの駆動用モータ、並びに送りローラ１７２及び引き取りローラ１７４の駆動用モータに発せられ、このパルス信号に応じて、Ｘ方向移動用ステージ、Ｙ方向移動用ステージ及びθ方向移動用ステージを移動させたり、送りローラ１７２及び引き取りローラ１７４を回転させたりして、感光フィルム１８０の位置を調節することができる。このようにすることで、感光体基準マーク１８８ａ（１）とテーブル基準マーク１３６ａとを一致させ、かつ、感光体基準マーク１８８ｂ（１）とテーブル基準マーク１３６ｂとを一致させることができる。
【０１４５】
この感光フィルム１８０の位置の処理を行うことで、テーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（１）との第０相対位置関係ａや、テーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（１）との第０相対位置関係ｂが、「所定の関係」を満たすようにすることができる。なお、本実施の形態では、「所定の関係」は、感光体基準マーク１８８ａ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ａの位置とが一致し、感光体基準マーク１８８ｂ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ｂの位置とが一致する関係をいうが、テーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（１）との第０相対位置関係ａや、テーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（１）との第０相対位置関係ｂを特定できる関係であれば、位置が一致する場合には限られない。この処理によって、「前記位置検出手段によって検出された前記第１のレチクル基準マークの位置と前記第１の感光体基準マークの位置とが所定の位置関係を満た」すようにすることができる。
【０１４６】
次に、図６のステップＳ１４及びＳ１５の処理を実行する。
【０１４７】
上述したように、顕微鏡ステージ１４０を駆動することによって、第１の撮像素子集合体１５４の撮像部１５２ａ及び１５２ｂと、第２の撮像素子集合体１５６の撮像部１５２ｃ及び１５２ｄとは、測定位置に位置づけられている。ここでは、撮像部１５２ｃによって、感光体基準マーク１８８ａ（２）を撮像し、撮像部１５２ｄによって、感光体基準マーク１８８ｂ（２）を撮像する。撮像部１５２ｃによって撮像された感光体基準マーク１８８ａ（２）の画像の１つの例を図９（ｂ−１）に示し、撮像部１５２ｄによって撮像された感光体基準マーク１８８ｂ（２）の画像の１つの例を図９（ｂ−２）に示す。なお、図９（ｂ−１）及び（ｂ−２）は、２つの撮像部１５２ｃ及び１５２ｄで撮像した画像をディスプレイ等の表示装置（図示せず）に表示したものを示す。感光体基準マーク１８８ａ（２）及び１８８ｂ（２）は、感光体基準マーク１８８ａ（１）及び１８８ｂ（１）と同様に、円形の貫通孔として形成されており、図９（ｂ−１）及び（ｂ−２）では、撮像部１５２ｃ及び１５２ｄで撮像した感光体基準マーク１８８ａ（２）及び１８８ｂ（２）を白い円で示した。また、図９（ｂ−１）及び（ｂ−２）には、上述した第１のステップで記憶させた２つのテーブル基準マーク１３６ｃ及び１３６ｄの画像も重ねて表示する。上述したように、これらの２つのテーブル基準マーク１３６ｃ及び１３６ｄは、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ｃ及び１６８ｄがワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影されたときの投影像の位置を示す。
【０１４８】
上述した図６のステップＳ１２及びＳ１３の処理によって、感光体基準マーク１８８ａ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ａの位置とが一致し、感光体基準マーク１８８ｂ（１）の位置とテーブル基準マーク１３６ｂの位置とが一致するように、感光フィルム１８０の位置は調節されている。しかしながら、このように位置を調節しても、感光体基準マーク１８８ａ（２）の位置とテーブル基準マーク１３６ｃの位置とが一致しなかったり、感光体基準マーク１８８ｂ（２）の位置とテーブル基準マーク１３６ｄの位置も一致しなかったりする場合がある。上述したように、感光フィルム１８０に感光体基準マークとして貫通孔を形成するための装置の位置決め精度が低かったり、感光フィルム１８０が可撓性の材料からなるときには、感光フィルム１８０が伸縮したりする場合がある。このような場合には、図９（ｂ−１）及び（ｂ−２）に示すように、感光体基準マーク１８８ａ（２）の位置とテーブル基準マーク１３６ｃの位置とは一致せず、感光体基準マーク１８８ｂ（２）の位置とテーブル基準マーク１３６ｄの位置とは一致しない。
【０１４９】
このように、感光体基準マーク１８８ａ（２）の位置とテーブル基準マーク１３６ｃの位置とは一致せず、感光体基準マーク１８８ｂ（２）の位置とテーブル基準マーク１３６ｄの位置とは一致しない場合であっても、撮像部１５２ｃで感光体基準マーク１８８ａ（２）とテーブル基準マーク１３６ｃとを撮像し、撮像部１５２ｄで感光体基準マーク１８８ｂ（２）とテーブル基準マーク１３６ｄとを撮像する。このように撮像して得られた撮像データを上述した撮像データ処理部１９０で処理をする。具体的には、演算処理部１９４によって、感光体基準マーク１８８ａ（２）の位置とテーブル基準マーク１３６ｃの位置とから、第１相対位置関係ａを算出し、感光体基準マーク１８８ｂ（２）の位置とテーブル基準マーク１３６ｄの位置とから、第１相対位置関係ｂを算出し、これらの第１相対位置関係ａと第１相対位置関係ｂとを位置記憶手段１９６に記憶させる。
【０１５０】
なお、この上述した処理を行う場合も、感光体基準マーク１８８ａ（２）の位置、テーブル基準マーク１３６ｃの位置、感光体基準マーク１８８ｂ（２）の位置、及びテーブル基準マーク１３６ｄの位置は、撮像された画像上の位置であればよく、例えば、画素（ピクセル）を単位とした座標によって、これらの基準マークの位置を特定することができればよい。例えば、画像データとして記憶させておき、ディスプレイ等の表示装置に記憶させた画像データを表示させるようにできればよい。
【０１５１】
また、上述した第１相対位置関係ａと第１相対位置関係ｂとは、Ｘ−Ｙ平面内において、テーブル基準マークと感光体基準マークとの互いの位置関係を特定できる情報であればよい。したがって、例えば、Ｘ，Ｙ座標を用いて特定するものでも、曲座標（ｒ，θ）を用いて特定するものでもよい。
【０１５２】
＜第３のステップ＞
第３のステップの処理は、図６のステップＳ１６の処理である。
【０１５３】
図１０に示すように、顕微鏡ステージ１４０を駆動して、第１の撮像素子集合体１５４の撮像部１５２ａ及び１５２ｂと、第２の撮像素子集合体１５６の撮像部１５２ｃ及び１５２ｄとを退避位置に位置づける。この状態で、光源１１０から露光光を発して、レチクル１６０に形成されたパターン１６６を感光フィルム１８０に投影し、パターン像を感光フィルム１８０に形成する。このパターン像によって導体パターン１８２（１）が感光フィルム１８０に形成される。
【０１５４】
＜第４のステップ＞
図１１に示すように、送りローラ１７２と引き取りローラ１７４とを回転させて、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’だけ−Ｘ方向に搬送する（図６のステップＳ１７参照）。これにより、第３のステップで形成された導体パターン１８２（１）は、送りピッチＰ’分−Ｘ方向に移動する。なお、この第２のステップの処理でも、光源１１０以外の光源（図示せず）を用いて、感光フィルム１８０が感光しない白色光等の光を、レチクル１６０や感光フィルム１８０に照射する。
【０１５５】
再び、顕微鏡ステージ１４０を駆動して、第１の撮像素子集合体１５４の撮像部１５２ａ及び１５２ｂと、第２の撮像素子集合体１５６の撮像部１５２ｃ及び１５２ｄとを測定位置に位置づける。このようにすることで、撮像部１５２ａの下方には感光体基準マーク１８８ａ（２）が位置し、撮像部１５２ｂの下方には感光体基準マーク１８８ｂ（２）が位置し、撮像部１５２ｃの下方には感光体基準マーク１８８ａ（３）が位置し、撮像部１５２ｄの下方には感光体基準マーク１８８ｂ（３）が位置する。
【０１５６】
次いで、撮像部１５２ａによって、感光体基準マーク１８８ａ（２）を撮像し、撮像部１５２ｂによって、感光体基準マーク１８８ｂ（２）を撮像する。撮像部１５２ａによって撮像された感光体基準マーク１８８ａ（２）の画像の１つの例を図１２（ａ−１）に示し、撮像部１５２ｂによって撮像された感光体基準マーク１８８ｂ（２）の画像の１つの例を図１２（ａ−２）に示す。なお、図１２（ａ−１）及び（ａ−２）は、図９（ａ−１）及び（ａ−２）と同様に、２つの撮像部１５２ａ及び１５２ｂで撮像した画像をディスプレイ等の表示装置（図示せず）に表示したものを示す。感光体基準マーク１８８ａ（２）及び１８８ｂ（２）は、円形の貫通孔として形成されており、図１２（ａ−１）及び（ａ−２）では、撮像部１５２ａ及び１５２ｂで撮像した感光体基準マーク１８８ａ（２）及び１８８ｂ（２）を白い円で示した。また、図１２（ａ−１）及び（ａ−２）には、図９（ａ−１）及び（ａ−２）と同様に、上述した第１のステップで記憶させた２つのテーブル基準マーク１３６ａ及び１３６ｂの画像も重ねて表示する。上述したように、これらの２つのテーブル基準マーク１３６ａ及び１３６ｂは、レチクル１６０のレチクル基準マーク１６８ａ及び１６８ｂがワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影されたときの投影像の位置を示す。
【０１５７】
上述したように、撮像部１５２ａによって、感光体基準マーク１８８ａ（２）を撮像し、撮像部１５２ｂによって、感光体基準マーク１８８ｂ（２）を撮像する。このように撮像して得られた撮像データを上述した撮像データ処理部１９０で処理をする。具体的には、演算処理部１９４によって、感光体基準マーク１８８ａ（２）の位置とテーブル基準マーク１３６ａの位置とから、第２相対位置関係ａを算出し、感光体基準マーク１８８ｂ（２）の位置とテーブル基準マーク１３６ｂの位置とから、第２相対位置関係ｂを算出し、これらの第２相対位置関係ａと第２相対位置関係ｂとを位置記憶手段１９６に記憶させる（図７のステップＳ２１及びＳ２２参照）。
【０１５８】
次に、上述した図７のステップＳ１４の処理で得られた第１相対位置関係ａを、図７のステップＳ２１の処理で得られた第２相対位置関係ａと照合し、図７のステップＳ１５の処理で得られた第１相対位置関係ｂを、図７のステップＳ２２の処理で得られた第２相対位置関係ｂと照合する。
【０１５９】
感光フィルム１８０を送りピッチＰ’だけ−Ｘ方向に搬送したときには、原則として、第１相対位置関係ａと第２相対位置関係ａとは同じになり、第１相対位置関係ｂと第２相対位置関係ｂとは同じになる。すなわち、相対位置関係を照合した結果、図１２（ａ−１）に示すテーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第２相対位置関係ａは、図９（ｂ−１）で示したテーブル基準マーク１３６ｃと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第１相対位置関係ａと同じになり、図１２（ａ−２）に示すテーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第２相対位置関係ｂは、図９（ｂ−２）で示したテーブル基準マーク１３６ｄと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第１相対位置関係ｂと同じになる（図７のステップＳ２３の判断処理で「ＹＥＳ」と判別される場合）。
【０１６０】
しかし、送りローラ１７２と引き取りローラ１７４との送り誤差が生じたり、感光フィルム１８０に伸縮が生じたりした場合には、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’だけ−Ｘ方向に搬送しても、相対位置関係を照合した結果、テーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第２相対位置関係ａが、テーブル基準マーク１３６ｃと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第１相対位置関係ａと異なったり、テーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第２相対位置関係ｂが、テーブル基準マーク１３６ｄと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第１相対位置関係ｂと異なったりする場合も生ずる（図７のステップＳ２３の判断処理で「ＮＯ」と判別される場合）。
【０１６１】
このような場合には、演算処理部１９４によって、第１相対位置関係ａに対する第２相対位置関係ａのずれの量と、第１相対位置関係ｂに対する第２相対位置関係ｂのずれの量と、次いで、このずれの量に応じたパルス信号の数を算出し、その数のパルス信号を、位置決め手段１９９に供給する。位置決め手段１９９に供給されたパルス信号は、ワーク載置ステージ１３０のＸ方向移動用ステージ、Ｙ方向移動用ステージ及びθ方向移動用ステージの駆動用モータ、並びに送りローラ１７２及び引き取りローラ１７４の駆動用モータに発せられ、このパルス信号に応じて、Ｘ方向移動用ステージ、Ｙ方向移動用ステージ及びθ方向移動用ステージを移動させたり、送りローラ１７２及び引き取りローラ１７４を回転させたりして、感光フィルム１８０の位置を調節することができる（図７のステップＳ２４参照）。このようにすることで、第１相対位置関係ａと第２相対位置関係ａとが同じになり、第１相対位置関係ｂと第２相対位置関係ｂとが同じになるようにする（図７のステップＳ２３の判断処理で「ＹＥＳ」と判別されるようにする）。
【０１６２】
なお、上述した第２のステップで、感光体基準マーク１８８ａ（２）の位置、テーブル基準マーク１３６ｃの位置、感光体基準マーク１８８ｂ（２）の位置、及びテーブル基準マーク１３６ｄの位置を画像データとして記憶させた場合には、記憶させた画像データを表示装置に表示し、さらに、テーブル基準マーク１３６ａ及び感光体基準マーク１８８ａ（２）と、テーブル基準マーク１３６ｂ及び感光体基準マーク１８８ｂ（２）とを重ねて表示することで、第１相対位置関係ａ、第２相対位置関係ａ、第１相対位置関係ｂ及び第２相対位置関係ｂを視認しつつ感光フィルム１８０の位置を調節することができる。
【０１６３】
すなわち、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’だけ−Ｘ方向に搬送したときには、テーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第２相対位置関係ａが、第１相対位置関係ａを維持するように、かつ、テーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第２相対位置関係ｂが、第１相対位置関係ｂを維持するようにする。
【０１６４】
＜第５のステップ＞
この第５のステップの処理は、図７のステップＳ２５の処理である。
【０１６５】
次に、図１３に示すように、顕微鏡ステージ１４０を駆動して、第１の撮像素子集合体１５４の撮像部１５２ａ及び１５２ｂと、第２の撮像素子集合体１５６の撮像部１５２ｃ及び１５２ｄとを退避位置に位置づける。この状態で、光源１１０から露光光を発して、レチクル１６０に形成されたパターン１６６を感光フィルム１８０に投影し、パターン像を感光フィルム１８０に形成する。このパターン像によって導体パターン１８２（２）が感光フィルム１８０に形成される。
【０１６６】
この処理の後、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’だけ−Ｘ方向に搬送し（図７のステップＳ２６）、感光フィルム１８０の終端に至ったか否かを判断し（図７のステップＳ２７）、感光フィルム１８０の終端に至っていないと判別したときには、上述した図７のステップＳ２１の処理に戻す。図７のステップＳ２１の処理に戻して、改めて、ステップＳ２１〜Ｓ２３の処理を実行するときには、図１２（ｂ−１）に示すテーブル基準マーク１３６ｃと感光体基準マーク１８８ａ（３）との相対位置関係を新たな第１相対位置関係ａとし、図１２（ｂ−２）に示すテーブル基準マーク１３６ｄと感光体基準マーク１８８ｂ（３）との相対位置関係を新たな第１相対位置関係ｂとする。さらに、テーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（２）との相対位置関係を新たな第２相対位置関係ａとし、テーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との相対位置関係を新たな第２相対位置関係ｂとする。このように、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’だけ搬送する度に、第１相対位置関係ａ、第１相対位置関係ｂ、第２相対位置関係ａ、及び第２相対位置関係ｂを更新する。これらの相対位置関係が更新されるたびに、新たな第１相対位置関係ａと新たな第２相対位置関係ａとが同じになるように、かつ、新たな第１相対位置関係ｂと新たな第２相対位置関係ｂとが同じになるように、感光フィルム１８０の位置を調節して、感光フィルム１８０にパターン像を順次形成する。このような処理を繰り返し行うことで、感光フィルム１８０に少なくとも２つの導体パターンを順次形成することができる。
【０１６７】
一方、上述した図７のステップＳ２７の判断処理で、感光フィルム１８０の終端に至ったと判別したときには、処理を終了する。
【０１６８】
＜＜第１の実施の形態の概略＞＞
感光フィルム１８０には、複数の感光体基準マークが送りピッチＰ’ごとに形成されているのが好ましいが、上述したように、感光フィルム１８０に感光体基準マークとして貫通孔を形成するための装置の位置決め精度が低かったり、感光フィルム１８０が可撓性の材料からなるときには、感光フィルム１８０が伸縮したりする場合がある。このような場合には、感光フィルム１８０には、送りピッチＰ’とは異なる間隔で複数の感光体基準マークが形成される場合がある。
【０１６９】
投影露光装置１００を上述した構成とし、第１のステップから第５のステップの処理で導体パターンを感光フィルム１８０に形成することで、導体パターンを送りピッチＰ’ごとに感光フィルム１８０に形成することができる。
【０１７０】
例えば、図１４に示すように、感光フィルム１８０に送りピッチＰ’とは異なる間隔で複数の感光体基準マークが形成されているときに、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’分搬送して、感光フィルム１８０に導体パターンを形成する場合を考察する。なお、図１４では、テーブル１３８に投影されたレチクル基準マーク１６８ａ及び１６８ｂの投影像の位置を明確に示すために、レチクル基準マーク１６８ａ及び１６８ｂの投影像をプラス字状（＋）の記号で仮想的に表した。
【０１７１】
図１４（ａ）は、レチクル基準マークごとに位置合わせを行うようにした場合、すなわち、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’分搬送する度に、レチクル基準マークの位置と感光体基準マークの位置とが常に一致するようにした場合の１つの例を示す。
【０１７２】
図１４（ａ）に示すように、導体パターン１８２（１）を感光フィルム１８０に形成するときには、レチクル基準マーク１６８ａの位置に感光体基準マーク１８８ａ（１）の位置を一致させ、レチクル基準マーク１６８ｂの位置に感光体基準マーク１８８ｂ（１）の位置を一致させる。また、導体パターン１８２（２）を感光フィルム１８０に形成するときには、レチクル基準マーク１６８ａの位置に感光体基準マーク１８８ａ（２）の位置を一致させ、レチクル基準マーク１６８ｂの位置に感光体基準マーク１８８ｂ（２）の位置を一致させる。さらに、導体パターン１８２（３）を感光フィルム１８０に形成するときには、レチクル基準マーク１６８ａの位置に感光体基準マーク１８８ａ（３）の位置を一致させ、レチクル基準マーク１６８ｂの位置に感光体基準マーク１８８ｂ（３）の位置を一致させる。
【０１７３】
このように、感光フィルム１８０の位置合わせをして、導体パターン１８２（１）〜１８２（３）を形成した場合には、導体パターン１８２（１）と導体パターン１８２（２）との間の間隔Ｌ１は、送りピッチＰ’よりも長くなる。また、導体パターン１８２（２）と導体パターン１８２（３）との間の間隔Ｌ２は、送りピッチＰ’よりも短くなる。
【０１７４】
このように、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’分搬送する度に、レチクル基準マークの位置と感光体基準マークの位置とが常に一致するようにして、導体パターンを感光フィルム１８０に形成したときには、隣接する導体パターンの間隔は異なるものとなる。
【０１７５】
これに対して、この第１の実施の形態に示した投影露光装置１００と処理手順とによって、レチクル基準マークの位置と感光体基準マークの位置とが一致せず、両者がずれた位置関係にある場合でも、レチクル基準マークと感光体基準マークとの相対的な位置関係が維持されるように、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’分搬送して、導体パターンを感光フィルム１８０に形成した場合には、図１４（ｂ）に示すように、導体パターン１８２（１）と導体パターン１８２（２）との間の間隔Ｌ１’は、送りピッチＰ’と等しくなり、導体パターン１８２（２）と導体パターン１８２（３）との間の間隔Ｌ２’も、送りピッチＰ’と等しくなる。
【０１７６】
上述したように、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’分搬送したときに、テーブル基準マークと感光体基準マークとの相対的な位置関係が維持されていたときには、そのまま、導体パターンを感光フィルム１８０に形成すればよい。また、感光フィルム１８０を送りピッチＰ’分搬送したときに、テーブル基準マークと感光体基準マークとの相対的な位置関係が維持されていなかったときには、テーブル基準マークと感光体基準マークとの相対的な位置関係が維持されるように、感光フィルム１８０の位置を調節して、導体パターンを感光フィルム１８０に形成すればよい。
【０１７７】
このように、感光体基準マークの位置とテーブル基準マークの位置との相対位置関係を維持するようにして感光フィルム１８０を搬送することで、隣あう導体パターンの間隔を常に等しくすることができる。
【０１７８】
この第１の実施の形態では、感光フィルム１８０が、「感光体」に対応する。また、送りピッチＰ’が、「所定の距離」に対応する。導体パターン１８２（１）や、導体パターン１８２（２）や、導体パターン１８２（３）等が、「少なくとも２つのパターン像」に対応する。投影露光装置１００が、「投影露光装置」に対応する。パターン１６６が、「パターン」に対応する。レチクル基準マーク１６８ａ又は１６８ｂが、「第１のレチクル基準マーク」に対応する。レチクル基準マーク１６８ｃ又は１６８ｄが、「第２のレチクル基準マーク」に対応する。レチクル１６０が、「レチクル」に対応する。レチクル基準マーク１６８ａと１６８ｃとの間隔Ｐ、又はレチクル基準マーク１６８ｂと１６８ｄとの間隔Ｐが、「前記所定の距離に基づいた間隔」に対応する。
【０１７９】
感光体基準マーク１８８ａ（１）や、１８８ａ（２）や、１８８ａ（３）等が、「第１の感光体基準マーク」に対応する。感光体基準マーク１８８ｂ（１）や、１８８ｂ（２）や、１８８ｂ（３）等が、「第２の感光体基準マーク」に対応する。
【０１８０】
感光フィルム１８０の移動方向（±Ｘ方向）が、「前記感光体の移動方向」に対応する。ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８や、送りローラ１７２や、引き取りローラ１７４が、「搬送手段」に対応する。
【０１８１】
４つの撮像部１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ及び１５２ｄが、「位置検出手段」に対応する。特に、撮像部１５２ａ又は１５２ｂが、「第１の検出手段」に対応する。撮像部１５２ｃ又は１５２ｄが、「第２の検出手段」に対応する。また、位置記憶手段１９６が、「位置記憶手段」に対応する。
【０１８２】
テーブル基準マーク１３６ｃと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第１相対位置関係ａや、テーブル基準マーク１３６ｄと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第１相対位置関係ｂが、「第１の相対位置関係」に対応する。また、テーブル基準マーク１３６ａと感光体基準マーク１８８ａ（２）との第２相対位置関係ａや、テーブル基準マーク１３６ｂと感光体基準マーク１８８ｂ（２）との第２相対位置関係ｂが、「第２の相対位置関係」に対応する。
【０１８３】
照合手段１９７が、「照合手段」に対応する。ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８が、「載置手段」に対応する。送りローラ１７２が、「送出手段」に対応する。引き取りローラ１７４が、「引取手段」に対応する。
【０１８４】
＜＜＜第２の実施の形態＞＞＞
図１５及び図１４は、本発明の第２の実施の形態による投影露光装置２００を示す斜視図である。この第２の実施の形態による投影露光装置２００が、第１の実施の形態による投影露光装置１００と異なる構成は、顕微鏡１５８である。図１５及び図１６では、その他の第１の実施の形態による投影露光装置１００と共通する構成要素には、同一の符号を付した。
【０１８５】
第２の実施の形態における顕微鏡１５８は、２つの撮像部１５２ｅ及び１５２ｆを含む。これらの撮像部１５２ｅ及び１５２ｆは、例えば、ＣＣＤカメラ等の撮像素子からなる。なお、図１５及び図１６では、顕微鏡１５８として、２つの撮像部１５２ｅ及び１５２ｆのみを示した。顕微鏡１５８は、２つの撮像部１５２ｅ及び１５２ｆを支持する支持部材（図示せず）を有する。２つの撮像部１５２ｅ及び１５２ｆは、ワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８や、テーブル１３８に載置された感光フィルム１８０を撮像できるように、支持部材によって支持されている。
【０１８６】
２つの撮像部１５２ｅ及び１５２ｆの各々は、顕微鏡１５０の支持部材（図示せず）によって、一体となって±Ｘ方向に移動でき、かつ、別個に±Ｙ方向に移動できるように支持されている。
【０１８７】
撮像部１５２ｅの退避位置は、感光フィルムの露光等の障害とならないように＋Ｙ方向に移動した位置である。撮像部１５２ｆの退避位置は、感光フィルムの露光等の障害とならないように−Ｙ方向に移動した位置である。
【０１８８】
また、撮像部１５２ｅの測定位置は、第１の測定位置と第２の測定位置とからなる。撮像部１５２ｅの第１の測定位置は、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ａの投影像、又は感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（１）等を撮像できるように移動した位置である（図１５参照）。一方、撮像部１５２ｅの第２の測定位置は、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ｃの投影像、又は感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（２）等を撮像できるように移動した位置である（図１６参照）。
【０１８９】
撮像部１５２ｆも、撮像部１５２ｅと同様に、第１の測定位置と第２の測定位置とからなる。撮像部１５２ｆの第１の測定位置は、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ｂの投影像、又は感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（１）等を撮像できるように移動した位置である（図１５参照）。一方、撮像部１５２ｆの第２の測定位置は、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ｄの投影像、又は感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（２）等を撮像できるように移動した位置である（図１６参照）。
【０１９０】
なお、第１の実施の形態と同様に、撮像部１５２ｅは、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ａ及び１６８ｃの投影像を直接撮像することはなく、テーブル基準マーク１３６ａ及び１３６ｃを介して撮像することになる。同様に、撮像部１５２ｆは、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ｂ及び１６８ｄの像を直接撮像することはなく、テーブル基準マーク１３６ｂ及び１３６ｄを介して撮像することになる。
【０１９１】
また、顕微鏡１５８の測定位置は、一定の位置であればよい。すなわち、撮像部１５２ｅを退避位置から第１の測定位置や第２の測定位置に移動させたときに、撮像部１５２ｅを一定の第１の測定位置や一定の第２の測定位置に位置付けることができればよい。撮像部１５２ｅを第１の測定位置や第２の測定位置に位置付けたときに、撮像部１５２ｅの具体的な座標を得る必要はない。撮像部１５２ｅを第１の測定位置や第２の測定位置に位置付けたときには、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ａや１６８ｃの投影像や、感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ａ（１）や１８８ａ（２）等を明確に撮像できる程度に、撮像部１５２ｅの撮像領域を十分に大きくし、かつ、レチクル基準マーク１６８ａや１６８ｃの像の位置や感光体基準マーク１８８ａ（１）や１８８ａ（２）等の位置を、その撮像領域内で十分に特定できる程度に解像度を高くして撮像できればよい。
【０１９２】
同様に、撮像部１５２ｆを退避位置から第１の測定位置や第２の測定位置に移動させたときに、撮像部１５２ｆを一定の第１の測定位置や一定の第２の測定位置に位置付けることができればよい。撮像部１５２ｆを第１の測定位置や第２の測定位置に位置付けたときに、撮像部１５２ｆの具体的な座標を得る必要はない。撮像部１５２ｆを第１の測定位置や第２の測定位置に位置付けたときには、レチクル１６０に形成されたレチクル基準マーク１６８ｂや１６８ｄの投影像や、感光フィルム１８０に形成された感光体基準マーク１８８ｂ（１）や１８８ｂ（２）等を明確に撮像できる程度に、撮像部１５２ｆの撮像領域を十分に大きくし、かつ、レチクル基準マーク１６８ｂや１６８ｄの像の位置や感光体基準マーク１８８ｂ（１）や１８８ｂ（２）等の位置を、その撮像領域内で十分に特定できる程度に解像度を高くして撮像できればよい。
【０１９３】
第１の実施の形態で示した図３と同様に、撮像部１５２ｅ及び１５２ｆの各々は、撮影処理と演算処理とを行う撮像データ処理部１９０に電気的に接続されている。撮像データ処理部１９０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、ＲＯＭ（リードオンリーメモリ）及びＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等からなる。撮像データ処理部１９０は、撮像処理部１９２と演算処理部１９４とを含む。撮像データ処理部１９０の撮像処理部１９２と演算処理部１９４との処理は、第１の実施の形態におけるものと同様である。
【０１９４】
感光体基準マークやテーブル基準マークを撮像をする処理を除き、第１の実施の形態の第１のステップ〜第５のステップと同様の処理を実行することにより、感光体基準マークの位置とテーブル基準マークの位置と相対位置関係を維持するようにして感光フィルム１８０を搬送することで、隣あう導体パターンの間隔を常に等しくすることができる。
【０１９５】
なお、上述した第２の実施の形態では、顕微鏡１５８が２つの撮像部１５２ｅ及び１５２ｆからなるように構成したが、撮像部を±Ｘ方向及び±Ｙ方向に移動させることができれば、撮像部を１つのみにして構成をさらに簡素にすることができる。
【０１９６】
このように、第２の実施の形態では、顕微鏡１５８を２つの撮像部１５２ｅ及び１５２ｆのみとしたことにより、構成を簡素にすることができ、投影露光装置２００を安価にすることができる。
【０１９７】
＜＜＜第３の実施の形態＞＞＞
図１７は、本発明の第３の実施の形態による投影露光装置３００を示す斜視図である。この第３の実施の形態による投影露光装置３００が、第１の実施の形態による投影露光装置１００と異なる構成は、顕微鏡をレチクル顕微鏡１２０のみとした点である。図１７では、その他の第１の実施の形態による投影露光装置１００と共通する構成要素には、同一の符号を付した。なお、図１７では、光源１１０と反射ミラー１１２とを省略して示したが、第１の実施の形態又は第２の実施の形態と同様に、投影露光装置３００の上方に光源１１０と反射ミラー１１２とが設けられているものとする。
【０１９８】
上述したように、この第３の実施の形態による投影露光装置３００は、基準マークを撮像する顕微鏡をレチクル顕微鏡１２０のみとした。レチクル顕微鏡１２０は、４つの撮像部１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃ及び１２２ｄを含む。これらの撮像部１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃ及び１２２ｄは、例えば、ＣＣＤカメラ等の撮像素子からなる。なお、図１７では、レチクル顕微鏡１２０として、４つの撮像部１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃ及び１２２ｄのみを示した。
【０１９９】
撮像部１２２ａは、レチクル基準マーク１６８ａを撮像するだけでなく、感光体基準マーク１８８ａ（１）等も撮像する。すなわち、撮像部１２２ａは、感光体基準マーク１８８ａ（１）等を、投影レンズ１１４を介して撮像する。撮像部１２２ｂは、レチクル基準マーク１６８ｂを撮像するだけでなく、感光体基準マーク１８８ｂ（１）等も撮像する。すなわち、撮像部１２２ｂは、感光体基準マーク１８８ｂ（１）等を、投影レンズ１１４を介して撮像する。撮像部１２２ｃは、レチクル基準マーク１６８ｃを撮像するだけでなく、感光体基準マーク１８８ａ（２）等も撮像する。すなわち、撮像部１２２ｃは、感光体基準マーク１８８ａ（２）等を、投影レンズ１１４を介して撮像する。撮像部１２２ｄは、レチクル基準マーク１６８ｄを撮像するだけでなく、感光体基準マーク１８８ｂ（２）等も撮像する。すなわち、撮像部１２２ｄは、感光体基準マーク１８８ｂ（２）等を、投影レンズ１１４を介して撮像する。
このように、４つの撮像部１２２ａ〜１２２ｄは、感光体基準マーク１８８ａ（１）や１８８ｂ（１）等も撮像できるようにするために、これらの感光体基準マークを明確に撮像できる材料にしたり、感光体基準マークを照明する照明光を下方からのものにしたりする。
【０２００】
このように、レチクル顕微鏡１２０は、感光体基準マーク１８８ａ（１）や１８８ｂ（１）等も撮像できるため、レチクル基準マークの位置と、感光体基準マークの位置とを検出でき、テーブル基準マーク１３６ａ〜１３６ｄを省くことができ、第１の実施の形態の第１のステップの処理も省くことができる。
【０２０１】
第１の実施の形態で示した図３と同様に、４つの撮像部１２２ａ〜１２２ｄの各々は、撮影処理と演算処理とを行う撮像データ処理部１９０に電気的に接続されている。撮像データ処理部１９０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、ＲＯＭ（リードオンリーメモリ）及びＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）等からなる。撮像データ処理部１９０は、撮像処理部１９２と演算処理部１９４とを含む。撮像データ処理部１９０の撮像処理部１９２と演算処理部１９４との処理は、第１の実施の形態におけるものと同様である。
【０２０２】
感光体基準マークやテーブル基準マークを撮像をする処理を除き、第１の実施の形態の第２のステップ〜第５のステップと同様の処理を実行することにより、感光体基準マークの位置とテーブル基準マークの位置と相対位置関係を維持するようにして感光フィルム１８０を搬送することで、隣あう導体パターンの間隔を常に等しくすることができる。
【０２０３】
なお、上述した第３の実施の形態では、レチクル顕微鏡１２０の撮像部を４つのものにしたが、撮像部を±Ｘ方向及び±Ｙ方向に移動させることができるようにすることで、撮像部を２つにしたり、１つにしたりして構成を簡素にすることができる。
【０２０４】
このように、第３の実施の形態では、基準マークを撮像する顕微鏡をレチクル顕微鏡１２０のみとしたことによって、アライメント顕微鏡（顕微鏡１５０）を省くことができるとともに、テーブル１３８にテーブル基準マーク１３６ａ〜１３６を形成する必要もなくなるほか、第１の実施の形態の第１のステップの処理も省くことができ、投影露光装置３００を安価にすることができるだけでなく、取り扱いや処理を簡素にすることができる。
【０２０５】
＜＜＜第４の実施の形態＞＞＞
図１８は、本発明の第４の実施の形態による投影露光装置４００を示す斜視図である。この第４の実施の形態による投影露光装置４００が、第１の実施の形態による投影露光装置１００と異なる構成は、顕微鏡１２５をワーク載置ステージ１３０の下方に配置した点である。図１８では、その他の第１の実施の形態による投影露光装置１００と共通する構成要素には、同一の符号を付した。
【０２０６】
この第４の実施の形態による投影露光装置４００では、基準マークを撮像する顕微鏡を顕微鏡１２５のみとした。上述したように、顕微鏡１２５は、ワーク載置ステージ１３０の下方に配置されている。顕微鏡１２５は、４つの撮像部１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃ及び１２４ｄを含む。これらの撮像部１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃ及び１２４ｄは、例えば、ＣＣＤカメラ等の撮像素子からなる。なお、図１８では、顕微鏡１２５として、４つの撮像部１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃ及び１２４ｄのみを示した。また、図１８では、４つの撮像部１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃ及び１２４ｄを明確にするために、これらの撮像部をワーク載置ステージ１３０’から離隔した位置に示したが、ワーク載置ステージ１３０’の直下に配置されているものとする。
【０２０７】
ワーク載置ステージ１３０’の中央部とテーブル１３８’の中央部とには、貫通孔１３２が形成されている。このようにすることで、テーブル１３８’に配置された感光フィルム１８０を、４つの撮像部１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃ及び１２４ｄによって、ワーク載置ステージ１３０’の下側から撮像することができる。なお、貫通孔１３２を覆うためのガラス板等の平板状の透明な部材（図示せず）をテーブル１３８’の上面に載置しておくのが好ましい。このような部材で貫通孔１３２を覆うことで、テーブル１３８’上に感光フィルム１８０を撓ませることなく配置することができる。
【０２０８】
撮像部１２４ａは、感光体基準マーク１８８ａ（１）等を撮像するだけでなく、レチクル基準マーク１６８ａの投影像も撮像する。すなわち、撮像部１２４ａは、レチクル基準マーク１６８ａの投影像を、貫通孔１３２を介して撮像する。撮像部１２４ｂは、感光体基準マーク１８８ｂ（１）等を撮像するだけでなく、レチクル基準マーク１６８ｂの投影像も撮像する。すなわち、撮像部１２４ｂは、レチクル基準マーク１６８ｂの投影像を、貫通孔１３２を介して撮像する。撮像部１２４ｃは、感光体基準マーク１８８ａ（２）等を撮像するだけでなく、レチクル基準マーク１６８ｃの投影像も撮像する。すなわち、撮像部１２４ｃは、レチクル基準マーク１６８ｃの投影像を、貫通孔１３２を介して撮像する。撮像部１２４ｄは、感光体基準マーク１８８ｂ（２）等を撮像するだけでなく、レチクル基準マーク１６８ｄの投影像も撮像する。すなわち、撮像部１２４ｄは、レチクル基準マーク１６８ｄの投影像を、貫通孔１３２を介して撮像する。
【０２０９】
このように、４つの撮像部１２４ａ〜１２４ｄは、感光体基準マーク１８８ａ（１）や１８８ｂ（１）等だけでなく、レチクル基準マーク１６８ａ〜１６８ｄも撮像できるようにするために、これらの感光体基準マークを明確に撮像できる材料にしたり、感光体基準マークを照明する照明光を上方からのものにしたりするのが好ましい。
【０２１０】
このように、顕微鏡１２５は、レチクル基準マーク１６８ａ〜１６８ｄも撮像できるため、レチクル基準マークの位置と、感光体基準マークの位置とを顕微鏡１２５のみで検出することができ、テーブル１３８’にテーブル基準マーク１３６ａ〜１３６を形成する必要がなくなり、第１の実施の形態の第１のステップの処理も省くことができる
【０２１１】
上述した第１〜第４の実施の形態では、感光体基準マーク１８８ａ（１）や１８８ｂ（１）等が、感光フィルム１８０に形成された貫通孔である場合を示したが、感光体基準マーク１８８ａ（１）や１８８ｂ（１）等は、顕微鏡１５０によって撮像できるものであればよく、押圧装置等によって感光フィルム１８０を加圧することで形成できる凹部や窪みでもよい。感光体基準マーク１８８ａ（１）や１８８ｂ（１）等を凹部や窪みとした場合には、顕微鏡１５０による撮像を容易にするために、凹部や窪みの輪郭となる端部が明確に形成できるものが好ましい。このように形成することで、凹部や窪みの位置の特定を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０２１２】
【図１】本発明の第１の実施の形態による投影露光装置１００を示す斜視図である。
【図２】レチクル１６０の例を示す平面図（ａ）と、感光フィルム１８０の例を示す平面図（ｂ）とである。
【図３】第１の実施の形態による投影露光装置１００の位置検出と撮像データ処理との主な主要な機能の概略を示す機能ブロック図である。
【図４】レチクル顕微鏡を用いて、レチクル１６０に形成された４つのレチクル基準マーク１６８ａ，１６８ｂ，１６８ｃ及び１６８ｄをワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８に投影して、レチクル１６０の基準位置とワーク載置ステージ１３０のテーブル１３８の基準位置とを一致させる処理の例を示す図である。
【図５】顕微鏡１５０を用いて、テーブル基準マーク１３６ａ，１３６ｂ，１３６ｃ及び１３６ｄを撮像した例を示す図である。
【図６】第１の実施の形態による投影露光装置１００を用いて、導体パターンを感光フィルム１８０に形成する手順を示すフローチャートである。
【図７】図６に示した手順の続きを示すフローチャートである。
【図８】本発明の第１の実施の形態による投影露光装置１００を用いて感光フィルム１８０に導体パターンを形成する手順を示す斜視図である。
【図９】第１の実施の形態による投影露光装置１００の顕微鏡１５０によって撮像されたテーブル基準マーク１３６ａ、１３６ｂ、１３６ｃ、及び１３６ｄと、感光体基準マーク１８８ａ（１）及び１８８ｂ（１）、並びに１８８ａ（２）及び１８８ｂ（２）との例を示す図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態による投影露光装置１００を用いて感光フィルム１８０に導体パターンを形成する手順を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態による投影露光装置１００を用いて感光フィルム１８０に導体パターンを形成する手順を示す斜視図である。
【図１２】第１の実施の形態による投影露光装置１００の顕微鏡１５０によって撮像されたテーブル基準マーク１３６ａ、１３６ｂ、１３６ｃ、及び１３６ｄと、感光体基準マーク１８８ａ（２）及び１８８ｂ（２）、並びに１８８ａ（３）及び１８８ｂ（３）との例を示す図である。
【図１３】本発明の第１の実施の形態による投影露光装置１００を用いて感光フィルム１８０に導体パターンを形成する手順を示す斜視図である。
【図１４】本発明の第１の実施の形態による投影露光装置１００を用いて感光フィルム１８０に導体パターンを形成したときの１つの例を示す図である。
【図１５】本発明の第２の実施の形態による投影露光装置２００を示す斜視図である。
【図１６】本発明の第２の実施の形態による投影露光装置２００で、２つの撮像部１５２ｅ及び１５２ｆを第２の測定位置に位置づけたときの状態を示す斜視図である。
【図１７】本発明の第３の実施の形態による投影露光装置３００を示す斜視図である。
【図１８】本発明の第４の実施の形態による投影露光装置４００を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０２１３】
１００  投影露光装置
１３８  テーブル（搬送手段、載置手段）
１５２ａ、１５２ｂ  撮像部（位置検出手段、第１の検出手段）
１５２ｃ、１５２ｄ  撮像部（位置検出手段、第２の検出手段）
１６０  レチクル
１６６  パターン
１６８ａ、１６８ｂ  レチクル基準マーク（第１のレチクル基準マーク）
１６８ｃ、１６８ｄ  レチクル基準マーク（第２のレチクル基準マーク）
１７２  送りローラ（搬送手段、送出手段）
１７４  引き取りローラ（搬送手段、引取手段）
１８０  感光フィルム（感光体）
１８２（１）、１８２（２）、１８２（３）  導体パターン（パターン像）
１８８ａ（１）、１８８ａ（２）、１８８ａ（３）  感光体基準マーク（第１の感光体基準マーク）
１８８ｂ（１）、１８８ｂ（２）、１８８ｂ（３）  感光体基準マーク（第２の感光体基準マーク）
１９６  位置記憶手段
１９７  照合手段
１９８  位置制御手段
１９９  位置決め手段
Ｐ’  送りピッチ（所定の距離）
Ｐ  レチクル基準マーク１６８ａと１６８ｃとの間隔、レチクル基準マーク１６８ｂと１６８ｄとの間隔（前記所定の距離に基づいた間隔）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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