(57)【要約】【課題】高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができるウエハ片剥離方法を提供する。【解決手段】ウエハ片剥離方法は、シート１１上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片をシート１１から剥離させる方法である。ウエハ片剥離方法は、ウエハを粘着保持したシート１１を、鋭角状に突出した突出部４２を有する折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３で線状に折り返す工程と、シート１１の折り返し線４５上に配置された剥離対象のウエハ片をシート１１から剥離させる工程と、を備えている。シート１１を線状に折り返すことによって、シート１１の折り返し線４５上に配置されたウエハ片に対する粘着保持力が弱められる。【選択図】図１
2007258251.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片を前記シートから剥離させる方法であって、
前記ウエハを粘着保持した前記シートを、頂部に向けて先細りする突出部を有した折り返し部材の前記突出部の前記頂部で折り返す工程と、
前記シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片を前記シートから剥離させる工程と、
を備えたことを特徴とするウエハ片剥離方法。
【請求項２】
前記ウエハ片をシートから剥離させる工程は、
前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、粘着力を有する粘着体と、を接触させて、前記粘着体を前記剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、
前記剥離対象のウエハ片に粘着した前記粘着体と、前記シートと、を離間させて前記剥離対象のウエハ片を前記シートから剥離させる工程と、を有することを特徴とする請求項１に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項３】
テープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の前記突出部の前記頂部で折り返す工程をさらに備え、
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、前記粘着体の折り返し部分と、を接触させることを特徴とする請求項２に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項４】
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させることを特徴とする請求項３に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項５】
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させることを特徴とする請求項３に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項６】
前記ウエハ片をシートから剥離させる工程は、
前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片を吸着ノズルによって吸着する工程と、
前記剥離対象のウエハ片を吸着した前記吸着ノズルと、前記シートと、を離間させて前記剥離対象のウエハ片を前記シートから剥離させる工程と、を有することを特徴とする請求項１に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項７】
シート上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片を前記シートから剥離させる装置であって、
頂部に向けて先細りする突出部を有し、前記ウエハを粘着保持した前記シートを前記突出部の前記頂部で折り返す折り返し部材を備えたことを特徴とするウエハ片剥離装置。
【請求項８】
頂部に向けて先細りする突出部を有し、テープ状の粘着体を前記突出部の前記頂部で折り返す粘着体折り返し部材をさらに備え、
前記折り返し部材と前記粘着体折り返し部材とが、各々の突出部が対向するようにして配置され、
前記折り返し部材と前記粘着体折り返し部材とが相対移動可能であり、接近して、前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、前記粘着体の折り返し部分と、を接触させるようになっていることを特徴とする請求項７に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項９】
前記折り返し部材と前記粘着体折り返し部材とが、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させるようになっていることを特徴とする請求項８に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項１０】
前記折り返し部材と前記粘着体折り返し部材とが、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させるようになっていることを特徴とする請求項８に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項１１】
紐状の粘着体を保持する粘着体保持機構をさらに備え、
前記折り返し部材と前記粘着体保持機構とが相対移動可能であり、接近して、前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、前記紐状の粘着体と、を接触させるようになっていることを特徴とする請求項７に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項１２】
前記折り返し部材の前記突出部に対向して配置される吸着ノズルをさらに備え、
前記折り返し部材と前記吸着ノズルとが相対移動可能であり、前記吸着ノズルが前記折り返し部材と接近して前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片を吸着するようになっていることを特徴とする請求項７に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項１３】
粘着力を有するシートと、前記シート上に粘着保持された円盤状の円盤状ウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割された円盤状ウエハと、を有する円盤状ウエハ付シートを準備する工程と、
前記円盤状ウエハのウエハ片のうち弧状輪郭を一部分に有しＩＣチップを構成しないウエハ片を前記シートから剥離させる工程と、
前記ウエハ片のうち不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を前記シートから剥離させる工程と、
を備え、前記シートと、前記シート上に粘着保持されるとともに、前記ＩＣチップを構成しないウエハ片および前記不良品ＩＣチップが取り除かれた選別済ウエハと、を有する選別済ウエハ付シートを製造する方法であって、
前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程は、
頂部に向けて先細りする突出部を有した折り返し部材の前記突出部の前記頂部で前記シートを折り返す工程と、
前記シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片を前記シートから剥離させる工程と、
を有することを特徴とする選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項１４】
前記ウエハ片をシートから剥離させる工程は、
前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、粘着体と、を接触させて、前記粘着体を前記剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、
前記剥離対象のウエハ片に粘着した前記粘着体と、前記シートと、を離間させて前記剥離対象のウエハ片を前記シートから剥離させる工程と、を有することを特徴とする請求項１３に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項１５】
テープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の前記突出部の前記頂部で折り返す工程をさらに備え、
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、前記粘着体の折り返し部分と、を接触させることを特徴とする請求項１４に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項１６】
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させることを特徴とする請求項１５に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項１７】
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させることを特徴とする請求項１５に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項１８】
前記ウエハ片をシートから剥離させる工程は、
前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片を吸着ノズルによって吸着する工程と、
前記剥離対象のウエハ片を吸着した前記吸着ノズルと、前記シートと、を離間させて前記剥離対象のウエハ片を前記シートから剥離させる工程と、を有することを特徴とする請求項１３に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項１９】
前記ＩＣチップを構成しないウエハ片を、前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片と同様の方法で前記シートから剥離させることを特徴とする請求項１３乃至１８のいずれか一項に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項２０】
前記ウエハ片のうちアライメント用チップとして機能するウエハ片を前記シートから剥離させる工程をさらに備え、
前記アライメント用チップとして機能するウエハ片を、前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片と同様の方法で前記シートから剥離させることを特徴とする請求項１３乃至１９のいずれか一項に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片を、シートから剥離させるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置に関する。
【０００２】
また、本発明は、シートと、シート上に粘着保持されＩＣチップを構成しないウエハ片および不良品ＩＣチップが取り除かれた選別済ウエハと、を有する選別済ウエハ付シートを製造する選別済ウエハ付シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
従来、回路を書き込まれた円盤状の円盤状ウエハは、シート上に粘着保持されてＩＣチップ１個分の大きさにダイシングされることにより、多数のウエハ片に分割される。このウエハ片の大部分は、シートから剥離された後にＩＣチップとして実装対象物に実装されていく。
【０００４】
また、個々のＩＣチップを１個ずつ供給する方法として、シート上に粘着保持された多数のＩＣチップを１個ずつシートから剥離させて供給する方法（例えば、特許文献１）と、多数のＩＣチップを有するダイシング済みの円盤状ウエハをまとめてシートから剥離させ、個々にばらされた多数のウエハ片をパーツフィーダ等に投入し、パーツフィーダ等によって各ウエハ片からなるＩＣチップを１個ずつ供給する方法と、が主に用いられている。
【特許文献１】特開平１１−３１７３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
個々のＩＣチップを１個ずつシートから剥離させる方法として、特許文献１にも開示されているように、シート越しに剥離対象であるウエハ片を突き上げて該ウエハ片に対するシートからの粘着保持力を弱めるとともに該ウエハ片をシートから引き剥がす方法が、広く普及している。この方法において、ウエハ片が真上に突き上げられなかった場合、該ウエハ片は隣接するウエハ片に接触し、これによって、ウエハ片を損傷させてしまうこともある。したがって、この方法においては、突き上げピン等によってウエハ片を精度良く突き上げることが要求され、このことがＩＣチップの生産性向上および製造コスト低減を阻害する一要因となってきた。
【０００６】
ところで、通常、シート上に支持された多数のウエハ片中には不良品ＩＣチップが混在しており、この不良品ＩＣチップの円盤状ウエハ中における位置はウエハの製造業者によって特定されている。したがって、とりわけパーツフィーダを用いてＩＣチップを１個ずつ供給する場合には、特定された不良品ＩＣチップの円盤状ウエハ中における位置に関する情報（例えば、ビットマップデータ）に基づき、不良品ＩＣチップを円盤状ウエハから予め剥離させて取り除いておくことが好ましい。そして、このような作業を事前に行う場合には、特許文献１に開示されているような個々のＩＣチップをシートから１個ずつ剥離させる方法が用いられ、これにともなって上述した不具合が生じていた。
【０００７】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、シート上に粘着保持されるとともにダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片をシートから剥離させるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置であって、ウエハ片を破損させてしまうことなく剥離対象であるウエハ片に対するシートからの粘着保持力を効率的に弱めることができ、これにより、高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置を提供することを目的とする。
【０００８】
また、通常、ウエハは円盤状からなり平面視において円形状を有するのに対し、ＩＣチップは平面視において矩形状等の方形状（四角形状）を有する。この場合、円盤状ウエハの周縁部には、円弧状の輪郭を一部分に有しＩＣチップを構成しないウエハ片からなる不要部分が必ず含まれるようになる。パーツフィーダを用いてＩＣチップを１個ずつ供給する場合には、予めこの不要部分が除去されていることが好ましい。
【０００９】
本発明はさらにこのような点を考慮してなされており、また、ＩＣチップを構成しないウエハ片の発生が円盤状ウエハの形状に起因するものでありＩＣチップを構成しないウエハ片が円盤状ウエハ内に片寄って存在することから、ばらされた個々のウエハ片を選別するよりも、シートに粘着保持された円盤状ウエハの状態で不要部分を選別する方がより効率的である、との知見に基づくものである。したがって、本発明のさらなる目的は、円盤状ウエハからＩＣチップを構成しないウエハ片と不良品ＩＣチップとを効率的に取り除くことができ、これにより、シートとシート上に粘着保持されＩＣチップを構成しないウエハ片および不良品ＩＣチップを取り除かれた選別済ウエハとを有する選別済ウエハ付シートを効率的に製造することができる選別済ウエハ付シートの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によるウエハ片剥離方法は、シート上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片をシートから剥離させる方法であって、ウエハを粘着保持したシートを、頂部に向けて先細りする突出部を有した折り返し部材の突出部の頂部で折り返す工程と、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片をシートから剥離させる工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
このような本発明によれば、シートを折り返し部材に対して一度位置決めするだけで、シート上に整列保持されたウエハ片のうちシートの折り返し部分上に一列に配置される多数のウエハ片に対するシートからの粘着保持力を弱めることができる。したがって、ウエハ片を破損させてしまうことなく剥離対象であるウエハ片に対するシートからの粘着保持力を効率的に弱めることができる。これにより、高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができ、これにともなってＩＣチップの生産性を向上させるとともにＩＣチップの製造コストを低減させることができる。
【００１２】
本発明によるウエハ片剥離方法において、ウエハ片をシートから剥離させる工程が、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着体と、を接触させて、粘着体を剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、剥離対象のウエハ片に粘着した粘着体と、シートと、を離間させて剥離対象のウエハ片をシートから剥離させる工程と、を有するようにしてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められたウエハ片を簡易な方法により効率的に回収していくことができる。
【００１３】
この場合、ウエハ片剥離方法において、ウエハ片剥離方法がテープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の突出部の頂部で折り返す工程をさらに備え、粘着体を粘着させる工程において、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着体の折り返し部分と、を接触させるようにしてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められたウエハ片を簡易な方法により効率的に順次回収していくことができる。
【００１４】
さらにこの場合、粘着体を折り返す工程において、粘着体を粘着させる工程において、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、さらに好ましくは、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、剥離対象のウエハ片と粘着体とを接触させるようにしてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められたウエハ片を簡易な方法により効率的に順次回収していくことができる。また、テープ状の粘着体を剥離対象であるウエハ片のみに接触させることができ、これにより、剥離対象であるウエハ片を正確に回収していくことができる。
【００１５】
また、本発明によるウエハ片剥離方法において、ウエハ片をシートから剥離させる工程が、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片を吸着ノズルによって吸着する工程と、剥離対象のウエハ片を吸着した吸着ノズルと、シートと、を離間させて剥離対象のウエハ片をシートから剥離させる工程と、を有するようにしてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められたウエハ片を簡易な方法により順次回収していくことができる。
【００１６】
本発明によるウエハ片剥離装置は、シート上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片をシートから剥離させる装置であって、頂部に向けて先細りする突出部を有し、ウエハを粘着保持したシートを突出部の頂部で折り返す折り返し部材を備えたことを特徴とする。
【００１７】
このような本発明によれば、シートを折り返し部材に対して一度位置決めするだけで、シート上に整列保持されたウエハ片のうちシートの折り返し部分上に一列に配置される多数のウエハ片に対するシートからの粘着保持力を弱めることができる。したがって、ウエハ片を破損させてしまうことなく剥離対象であるウエハ片に対するシートからの粘着保持力を効率的に弱めることができる。これにより、高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができ、これにともなってＩＣチップの生産性を向上させるとともにＩＣチップの製造コストを低減させることができる。
【００１８】
本発明によるウエハ片剥離装置において、ウエハ片剥離装置が頂部に向けて先細りする突出部を有し、テープ状の粘着体を突出部の頂部で折り返す粘着体折り返し部材をさらに備え、折り返し部材と粘着体折り返し部材とが、各々の突出部が対向するようにして配置され、折り返し部材と粘着体折り返し部材とが相対移動可能であり、接近して、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着体の折り返し部分と、を接触させるようになっていてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められたウエハ片を簡易な方法により効率的に順次回収していくことができる。
【００１９】
この場合、折り返し部材と粘着体折り返し部材とが、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、さらに好ましくは、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、剥離対象のウエハ片と粘着体とを接触させるようになっていてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められたウエハ片を簡易な方法により効率的に順次回収していくことができる。また、テープ状の粘着体を剥離対象であるウエハ片のみに接触させることができ、これにより、剥離対象であるウエハ片を正確に回収していくことができる。
【００２０】
また、本発明によるウエハ片剥離装置において、ウエハ片剥離装置が、紐状の粘着体を保持する粘着体保持機構をさらに備え、折り返し部材と粘着体保持機構とが相対移動可能であり、接近して、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、紐状の粘着体と、を接触させるようになっていてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められたウエハ片を簡易な方法により効率的に回収していくことができる。
【００２１】
さらに、本発明によるウエハ片剥離装置において、ウエハ片剥離装置が、折り返し部材の突出部に対向して配置された吸着ノズルをさらに備え、折り返し部材と吸着ノズルとが相対移動可能であり、吸着ノズルが折り返し部材と接近してシートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片を吸着するようになっていてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められたウエハ片を簡易な方法により順次回収していくことができる。とりわけ、良品ＩＣチップをシートから取り上げてそのままＩＣチップ実装対象物に実装する場合に適している。
【００２２】
本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法は、粘着力を有するシートと、シート上に粘着保持された円盤状の円盤状ウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割された円盤状ウエハと、を有する円盤状ウエハ付シートを準備する工程と、円盤状ウエハのウエハ片のうち弧状輪郭を一部分に有しＩＣチップを構成しないウエハ片をシートから剥離させる工程と、ウエハ片のうち不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片をシートから剥離させる工程と、を備え、シートと、シート上に粘着保持されるとともに、ＩＣチップを構成しないウエハ片および不良品ＩＣチップが取り除かれた選別済ウエハと、を有する選別済ウエハ付シートを製造する方法であって、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程が、頂部に向けて先細りする突出部を有した折り返し部材の突出部の頂部でシートを折り返す工程と、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片をシートから剥離させる工程と、を有することを特徴とする。
【００２３】
このような本発明によれば、シートを折り返し部材に対して一度位置決めするだけで、シート上に整列保持されたウエハ片のうちシートの折り返し部分上に一列に配置される多数のウエハ片に対するシートからの粘着保持力を弱めることができる。したがって、ウエハ片を破損させてしまうことなく剥離対象であるウエハ片に対するシートからの粘着保持力を効率的に弱めることができる。また、円盤状ウエハ中においてＩＣチップを構成しないウエハ片は外周近傍に片寄って存在していることから、これらのＩＣチップを構成しないウエハ片を容易かつ効率的に取り除くことができる。これらのことから、本発明によれば、シート上に粘着保持されるとともにＩＣチップを構成しないウエハ片および不良品ＩＣチップが取り除かれた選別済ウエハを備えた選別済ウエハ付シートを効率的に製造することができる。また、ＩＣチップを構成しないウエハ片および不良品ＩＣチップが予め取り除かれたこの選別済ウエハ付シートを用いてＩＣチップ実装対象物を製造すれば、結果として、信頼性の高い実装対象物を効率的に製造することができる。なお、本発明において、不良品ＩＣチップを剥離させる工程は、ＩＣチップを構成しないウエハ片を剥離させる工程の前または後に行ってもよく、また、ＩＣチップを構成しないウエハ片を剥離させる工程と並行して行ってもよい。
【００２４】
本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法において、ウエハ片をシートから剥離させる工程が、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着体と、を接触させて、粘着体を剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、剥離対象のウエハ片に粘着した粘着体と、シートと、を離間させて剥離対象のウエハ片をシートから剥離させる工程と、を有するようにしてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められた不良品ＩＣチップを簡易な方法により効率的に取り除いていくことができる。
【００２５】
この場合、選別済ウエハ付シートの製造方法が、テープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の突出部の頂部で折り返す工程をさらに備え、粘着体を粘着させる工程において、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着体の折り返し部分と、を接触させるようにしてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められた不良品ＩＣチップを簡易な方法により効率的に順次取り除いていくことができる。
【００２６】
さらにこの場合、粘着体を折り返す工程において、粘着体を粘着させる工程において、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、さらに好ましくは、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、剥離対象のウエハ片と粘着体とを接触させるようにしてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められた不良品ＩＣチップを簡易な方法により効率的に順次取り除いていくことができる。また、テープ状の粘着体を剥離対象である不良品ＩＣチップのみに接触させることができ、これにより、剥離対象である不良品ＩＣチップを正確に取り除くことができる。
【００２７】
また、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法において、ウエハ片をシートから剥離させる工程が、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片を吸着ノズルによって吸着する工程と、剥離対象のウエハ片を吸着した吸着ノズルと、シートと、を離間させて剥離対象のウエハ片をシートから剥離させる工程と、を有するようにしてもよい。このような本発明によれば、粘着保持力が弱められた不良品ＩＣチップを簡易な方法により順次取り除いていくことができる。
【００２８】
さらに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法において、ＩＣチップを構成しないウエハ片を、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片と同様の方法でシートから剥離させるようにしてもよい。このような本発明によれば、ＩＣチップを構成しないウエハ片を効率的に取り除くことができる。
【００２９】
さらに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法において、選別済ウエハ付シートの製造方法が、ウエハ片のうちアライメント用チップとして機能するウエハ片をシートから剥離させる工程をさらに備え、アライメント用チップとして機能するウエハ片を、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片と同様の方法でシートから剥離させるようにしてもよい。このような本発明によれば、アライメント用チップを効率的に取り除くことができる。なお、本発明において、アライメント用チップを剥離させる工程は、ＩＣチップを構成しないウエハ片を剥離させる工程の前または後に行ってもよく、また、ＩＣチップを構成しないウエハ片を剥離させる工程と並行して行ってもよい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置によれば、ウエハ片を破損させてしまうことなく剥離対象であるウエハ片に対するシートからの粘着保持力を効率的に弱めることができ、これにより、高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができる
また、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、円盤状ウエハからＩＣチップを構成しないウエハ片と不良品ＩＣチップとを効率的に取り除くことができる。また、この方法によって得られる選別済ウエハ付シートを用いてＩＣチップ実装対象物を製造すれば、結果として、信頼性の高い実装対象物を効率的に製造することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
第１の実施の形態
まず、図１乃至１１を参照し、本発明によるウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置、および選別済ウエハ付シートの製造方法の第１の実施の形態、並びにその変形例について説明する。
【００３２】
ここで、図１はウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法におけるウエハ片を剥離させる工程を示す斜視図であり、図２はウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の側面側から示す図であり、図３はウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の正面側から示す図であり、図４はウエハ片を剥離させる工程を説明する図である。また、図９は選別済ウエハ付シートを示す斜視図であり、図１０は円盤状ウエハ付シートを示す斜視図である。
【００３３】
なお、以下の記載により、選別済ウエハ付シートの製造方法の第１の実施の形態として、円盤状ウエハ付シート１０ａの円盤状ウエハ２０ａからウエハ片を取り除き選別済ウエハ付シート１０を製造する方法について説明するが、この中に含まれる、ウエハ片を支持シート１１上から剥離させる方法および装置４０がそれぞれウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態に該当する。
【００３４】
＜選別済ウエハ付シート、円盤状ウエハ付シート＞
まず、図９および図１０を用いて、選別済ウエハ付シート１０および円盤状ウエハ付シート１０ａについて説明する。
【００３５】
図１０に示すように、円盤状ウエハ付シート１０ａは、粘着性を有する支持シート１１と、支持シート１１上に粘着保持された円盤状の円盤状ウエハ２０ａであってダイシングされて多数のウエハ片に分割された円盤状ウエハ２０ａと、を有している。このようなダイシング済みの円盤状ウエハ２０ａは、例えば、半導体からなる円盤状の薄い基板（例えば、シリコンウエハ）へ多数の回路（図示せず）を形成し、この基板を支持シート１１上に粘着保持させて一方向およびこの一方向に直交する他方向に沿ってそれぞれ等間隔にダイシングして回路毎に分割することにより、得られる。
【００３６】
円盤状ウエハ２０ａのウエハ片には、回路を書き込まれ方形状（本実施の形態においては、矩形状）を有するウエハ片（以下において単に「ＩＣチップ」とも呼ぶ）１８と、円盤状ウエハ２０ａの形状に起因して弧状輪郭を一部分に有し、このため矩形状のＩＣチップを構成しないウエハ片（以下において「不要ウエハ片」とも呼ぶ）２１と、円盤状ウエハ２０ａ内における各ウエハ片の位置（「番地」とも呼ばれている）を特定するための基準となるアライメント用チップとして機能するウエハ片（以下において単に「アライメント用チップ」とも呼ぶ）２６と、が含まれる。なお、円盤状ウエハ２０ａの製造においては、上述した半導体からなる円盤状の薄い基板の内、ＩＣチップを構成しないウエハ片２１を構成すると予想される範囲に回路を書き込まないこともある。すなわち、不要ウエハ片２１には予め回路が書き込まれていないこともある。
【００３７】
このうちＩＣチップを構成するウエハ片１８は、良品ＩＣチップ１８ａと、不良品ＩＣチップ２４と、に分類される。なお、本願における「不良品ＩＣチップ」とは、何らかの異常を有しＩＣチップとして予定された機能を発揮することができないことが判明しているとともに、支持シート１１に粘着保持された状態でウエハ内のどの位置に存在するかも判明しているウエハ片を指し示す。このような不良品ＩＣチップ２４は、例えば、円盤状ウエハ２０ａの製造中における回路の書き損じ等の不具合を原因として生じ、通常、円盤状ウエハ２０ａ内の不規則な場所に位置している。そして、例えば、回路が焼き付けられた円盤状ウエハ２０ａを支持シート１１上でダイシングした後にウエハ製造者が行う検査によって、不良品ＩＣチップ２４の有無およびその位置が、ビットマップデータとして提供されることにより、あるいは円盤状ウエハ中の不良品ＩＣチップ２４に直接マーキングされることにより、特定される。上述したように、本実施の形態においては、円盤状ウエハ中２０ａにアライメント用チップ２６が含まれており、このアライメント用チップ２６を基準として不良品ＩＣチップ２４の位置が特定されているものとする。
【００３８】
一方、本願における「良品ＩＣチップ１８ａ」とは、不良品ＩＣチップ２４以外のＩＣチップ１８を指し示す。したがって、良品ＩＣチップ１８ａとは、後工程での検査により良品と判定されるか否かは問題としない。
【００３９】
通常、支持シート１１はその外周縁をリング状等の保持フレーム（図示せず）によって保持されており、保持リングには位置決め用のアラインメントマークが形成されていることもある。支持シート１１は、例えば、接着剤を塗布されたＰＥＴフィルム基材からなる透明なシートによって構成され、フィルム基材上に塗布された接着剤等によって円盤状ウエハ２０ａを粘着保持するための粘着力が支持シート１１に付与される。
【００４０】
後に詳しく説明するように、このような構成からなる円盤状ウエハ付シート１０ａの円盤状ウエハ２０ａから不要ウエハ片２１と不良品ＩＣチップ２４とを取り除くことにより、図９に示す選別済ウエハ付シート１０が得られる。また、図９に示されているように、本実施の形態においては、さらにアライメント用チップ２６も取り除かれている。
【００４１】
本実施の形態においては、不要ウエハ片２１を含む外周部分（図１０における斜線部分）２２を取り除くことによって、円盤状ウエハ２０ａから不要ウエハ片２１が取り除かれている。外周部分２２には、円盤状ウエハ２０ａ中の弧状輪郭を一部分に有するため矩形状のＩＣチップ１８を構成しない不要ウエハ片２１がすべて含まれている。
【００４２】
このように本実施の形態における選別済ウエハ付シート１０は、粘着力を有する支持シート１１と、支持シート１１に粘着保持されるとともに外周部分２２と不良品ＩＣチップ２４とアライメント用チップ２６とが取り除かれた選別済ウエハ２０と、を有しており、選別済ウエハ２０は良品ＩＣチップ１８ａのみから構成されている。
【００４３】
なお、選別済ウエハ付シート１０は、外周部分２２、不良品ＩＣチップ２４およびアライメント用チップ２６の有無を除けば、円盤状ウエハ付シート１０ａと略同一の構成からなっている。したがって、図９において、円盤状ウエハ付シート１０ａと同一部分には同一符号を付すとともに重複する詳細な説明は省略する。
【００４４】
＜ウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置、および選別済ウエハ付シートの製造方法＞
［選別済ウエハ付シートの製造方法全体構成］
以下に、主に図１乃至４を用いて、支持シート１１と、支持シート１１上に粘着保持されるとともに不要ウエハ片２１および不良品ＩＣチップ２４が取り除かれた選別済ウエハ２０と、を有する選別済ウエハ付シート１０を製造する方法について説明する。
【００４５】
上述したように、また、図１乃至４に示されているように、本実施の形態における選別済ウエハ付シート１０の製造方法は、粘着力を有する支持シート１１と、支持シート１１上に粘着保持された円盤状の円盤状ウエハ２０ａであってダイシングされて多数のウエハ片に分割された円盤状ウエハ２０ａと、を有する円盤状ウエハ付シート１０ａを準備する工程と、円盤状ウエハ２０ａのウエハ片のうち弧状輪郭を一部分に有しＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を含む外周部分２２を、支持シート１１から剥離させる工程と、ウエハ片のうち不良品ＩＣチップ２４と判定されたウエハ片を支持シート１１から剥離させる工程と、ウエハ片のうちアライメント用チップとして機能するウエハ片２６を支持シート１１から剥離させる工程と、を備えている。
【００４６】
本実施の形態において、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６は、同一の方法により支持シート１１から剥離させられる。そして、図１乃至４に示すように、ウエハ片剥離方法（これらのウエハ片を剥離する工程）は、鋭角状に突出し頂部４３に向けて先細りする突出部４２を有した折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３で支持シート１１を線状に折り返し、剥離対象であるウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を弱める工程と、支持シート１１の折り返し線４５上に配置された剥離対象のウエハ片を支持シート１１から剥離させる（引き剥がす）工程と、を有している。したがって、円盤状ウエハ付シート１０ａは折り返し部材４１上に準備配置され、折り返し部材４１上に準備された円盤状ウエハ付シート１０ａの円盤状ウエハ２０ａからウエハ片が順次剥離させられていく。
【００４７】
また、ウエハ片剥離方法は、支持シート１１より強い粘着力を有するテープ状の粘着体３０を、鋭角状に突出し頂部５３に向けて先細りする突出部５２を有する粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３で線状に折り返す工程をさらに有しており、後に詳述するように、折り返された粘着体３０によりウエハ片を支持シート１１から剥離させるようになっている。
【００４８】
このようなウエハ片剥離方法に対応して、図１乃至図３に示すように、本実施の形態におけるウエハ片剥離装置４０は、鋭角状に突出した突出部４２を有し、ウエハを粘着保持した支持シート１１を突出部４２の頂部４３で線状に折り返す折り返し部材４１と、鋭角状に突出した突出部５２を有し、支持シート１１より強い粘着力を有するテープ状の粘着体３０を突出部５２の頂部５３で線状に折り返す粘着体折り返し部材５１と、を備えている。折り返し部材４１と粘着体折り返し部材５１とは、各々の突出部４２，５２の頂部４３，５３が対向するようにして配置され、また、互いに向けて接近しまた互いから離間することができるように相対移動可能となっている。
【００４９】
［選別済ウエハ付シート製造方法のウエハ片を剥離させる工程（ウエハ片剥離方法）、およびウエハ片剥離装置］
以降、ウエハ片剥離方法の支持シート１１を線状に折り返す工程およびウエハ片を支持シート１１から剥離させる（引き剥がす）工程について、ウエハ片剥離装置４０とともに詳述する。
【００５０】
まず、支持シート１１を線状に折り返す工程について説明する。
【００５１】
図１乃至図３に示すように、準備された円盤状ウエハ付シート１０が、ウエハ片剥離装置４０に保持される。図１および図２に示すように、ウエハ片剥離装置４０は、折り返し部材４１の近傍に配置され、一側把持部材４４ａと他側把持部材４４ｂとを有する保持機構（送り込み機構）４４をさらに備えている。保持機構４４の一側把持部材４４ａおよび他側把持部材４４ｂは折り返し部材４１を挟んで配置され、各々が円盤状ウエハ付シート１０ａの支持シート１１を把持することができるようになっている。図２に示すように、円盤状ウエハ付シート１０ａは、支持シート１１が折り返し部材４１に対面するようにして保持機構４４によって保持され、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３において折り返される。
【００５２】
図１に示されているように、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３は、支持シート１１に粘着保持されたウエハを横断する幅を有しており、さらに本実施の形態においては支持シート１１よりも幅広となっており、これにより、支持シート１１を頂部４３において線状に折り返すことができるようになっている。なお、折り返し部材４１としては、例えば、ラベルやシール等の剥離に用いられるナイフエッジを用いることができる。
【００５３】
また、一側把持部材４４ａと他側把持部材４４ｂは折り返し部材４１に対して移動自在となっており、移動することによって円盤状ウエハ付シート１０ａ（支持シート１１）を折り返し部材４１上において摺動させることができる。図１に矢印で示すように、このような円盤状ウエハ付シート１０ａの折り返し部材４１に対する移動は、円盤状ウエハ２０ａに形成された一方向に沿ったダイシングラインと、折り返し部材４１の突出部の４２の頂部４３の長手方向（図３における紙面の左右方向）と、が平行となるようにして行われる。そして、支持シート１１上に整列配置されたウエハ片の一列が折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３上に達すると、支持シート１１の移動が一旦停止する。言い換えると、図１に示すように、支持シート１１上に整列配置されたウエハ片の一列が支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置されるようにして、支持シート１１の移動が一旦停止する。図２に示すように、このとき頂部４３上に配置された一列のウエハ片を粘着保持する支持シート１１は、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の輪郭に沿って線状に折り返され、移動方向の前方側および後方側の一部において支持シート１１がウエハ片から剥離する。これにより、折り返し部分４７（折り返し線４５）上に一列に配置された多数のウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力が一斉に弱められるようになる。
【００５４】
なお、上述したように、本実施の形態においては、折り返し部材４１の突出部４２が鋭角状に突出している。したがって、支持シート１１の折り返し部分４７上に粘着保持されたウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を大幅に弱めることができる。ただし、支持シート１１を折り返すことにより、支持シート１１からのウエハ片に対する粘着保持力を弱めることができる限りにおいて、折り返し部材４１の突出部４２が鈍角状に突出するようにしてもよい。
【００５５】
その後、次に説明するようにして頂部４３上に配置された一列のウエハ片中に存在する剥離対象のウエハ片がすべて支持シート１１から引き剥がされると、当該一列のウエハ片に隣接する次の一列のウエハ片が頂部４３上に達するまで支持シート１１が再度移動させられていく。
【００５６】
なお、このような円盤状ウエハ２０ａを粘着保持した支持シート１１の間欠的な移動は、円盤状ウエハ２０ａ中のアライメント用チップ２６を基準として正確に制御されるようになっている。
【００５７】
次に、ウエハ片を支持シート１１から剥離させる（引き剥がす）工程について説明する。
【００５８】
上述したように、折り返し部材４１に対向するようにして、粘着体３０を折り返すための粘着体折り返し部材５１が設けられている。図２に示されているように、粘着体折り返し部材５１は、突出部５２の頂部５３を含んでテープ状の粘着体３０より幅広となっており、これにより、粘着体３０を頂部５３において線状に折り返すことができるようになっている。粘着体折り返し部材５１としては、折り返し部材４１と同様に、例えば、ラベルやシール等の剥離に用いられるナイフエッジを用いることができる。粘着体３０は支持シート１１よりも強い粘着力を有していることが好ましく、粘着体３０としては、例えば一方の表面に粘着剤が塗布されることによって粘着力を付与された粘着テープ等を用いることができる。
【００５９】
図３に示すように、ウエハ片剥離装置４０は、粘着体折り返し部材５１の近傍に配置され、供給コア５４ａと巻取コア５４ｂとを有する粘着体保持機構（粘着体送り込み機構）５４をさらに備えている。粘着体３０は粘着体保持機構５４の供給コア５４ａおよび巻取コア５４ｂによって保持され、供給コア５４ａから繰り出された粘着体３０は粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３で線状に折り返され巻取コア５４ｂへと送り込まれるようになっている。
【００６０】
図１乃至図３に示すように、粘着体折り返し部材５１は、その突出部５２の頂部５３が折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３と向き合うようにして、折り返し部材４１の上方に設けられている。図３に示すように、粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３が面取りされ、支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向）に沿って、剥離対象であるウエハ片の一辺の長さよりも短い幅を有するとともに、折り返し部材４１に対面する略平坦な微小面が頂部５３に形成されていることが好ましい。また、同様に、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３に、粘着体折り返し部材５１に対面する略平坦な微小面を形成してもよい。
【００６１】
なお、このように頂部５３に微小面が形成されている場合、厳密に言えば、粘着体３０は粘着体折り返し部材５１の頂部５３によって面で折り返される（図３）。しかしながら、図１に示すように、頂部５３に形成される面が微小であることから、本願においては、面取りされた頂部５３で折り返されること、さらには、微小面を形成された頂部５３で折り返されることをも、「（折り返し線５５に沿って）線状に折り返される」と表現する。また同様に、折り返し部材４１の頂部４３によって支持シート１１が折り返される際に用いられる「（折り返し線に沿って）４５に沿って線状に折り返される」との表現は、同様の意味内容を包含することとする。
【００６２】
ところで、後に詳述する理由から、折り返し部材４１と粘着体折り返し部材５１との相対位置については、各々の突出部４２，５２の頂部４３，５３の長手方向が互いに対してなす角度θ（図１）、言い換えると、支持シート１１の折り返し部分４７の長手方向と粘着体３０の折り返し部分５７の長手方向とが互いに対してなす角度θ、さらに言い換えると、支持シート１１の折り返し線４５と粘着体３０の折り返し線５５とが互いに対してなす角度θは、平行でないことを前提としており、図１に示す本実施の形態のように角度θが略直交する場合が好ましい。
【００６３】
図１に示すように、本実施の形態において、粘着体折り返し部材５１は折り返し部材４１に向けて進退可能となっている。また、粘着体折り返し部材５１は、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向に沿った方向（図３における紙面の左右方向）、言い換えると、図１に示す支持シート１１の折り返し部分４７に沿った方向、さらに言い換えると、図１に示す支持シート１１の折り返し線４５に沿った方向に移動自在となっている。
【００６４】
次に、このような構成からなる粘着体折り返し部材５１を用いて、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された剥離対象のウエハ片を引き剥がす方法について、主に図３および図４を用いて説明する。なお、図４は、図３に対応する図であって、支持シート１１の折り返し線４５上に並んだ一列のウエハ片中に２つの不良品ＩＣチップ２４が含まれている例を示している。
【００６５】
ウエハ片の引き剥がしに先立って、まずテープ状の粘着体３０が、供給コア５４ａから粘着体折り返し部材５１に沿って繰り出される。繰り出された粘着体３０は粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３で線状に折り返される（上述した粘着体を折り返す工程）。これにより、テープ状の粘着体３０が、粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３に沿って、支持シート１１の折り返し線４５上に配置されたウエハ片に対向して配置される（図３）。
【００６６】
次に、図３に示すように、粘着体３０に覆われた粘着体折り返し部材５１の頂部５３が、支持シート１１の折り返し線４５上に配置された一列のウエハ片中に存在する剥離対象のウエハ片の直上に配置されるよう、粘着体折り返し部材５１が支持シート１１の折り返し線５５（折り返し部材４１の頂部４３）に沿って移動させられる。このとき、粘着体折り返し部材４５の移動は、アライメント用チップ２６を基準として正確に位置決めされるよう制御される。
【００６７】
なお、本実施の形態における剥離対象であるウエハ片とは、上述したように、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６のいずれかである。剥離対象となるこれらのウエハ片の位置は、上述したビットマップデータや予め設定された外周部分２２の範囲に関するデータ等を用いて、アライメント用チップ２６の位置を基準として割り出される。
【００６８】
その後、粘着体折り返し部材５１が折り返し部材４１に向けて降下する。図４（ａ）に示すように、粘着体折り返し部材５１は、その突出部５２の頂部５３を覆う粘着体３０の折り返し部分５７と剥離対象であるウエハ片（図示する例においては不良品ＩＣチップ２４）とが接触するまで折り返し部材４１に接近する。このような操作により、粘着体３０が剥離対象であるウエハ片に粘着する。なお、このときの粘着体３０によるウエハ片への粘着保持力は、例えば粘着体３０および支持シート１１の粘着力の強弱やこの状態における該ウエハ片の粘着体３０および支持シート１１に対する粘着面積の大小等によって、支持シート１１の折り返し部分によるウエハ片への粘着保持力よりも強くなっている。
【００６９】
ところで、上述したように、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３に、粘着体折り返し部材５１に対面する略平坦な微小面が形成されている場合、支持シート１１の折り返し部分４７上にある多数のウエハ片はすべてこの微小面と略平行に配置されるようになる。すなわち、剥離対象であるウエハ片が安定して支持シート１１の折り返し部分４７上に配置されるようになるので、該ウエハ片と粘着体とを正確に接触させることができる。
【００７０】
次に、剥離対象であるウエハ片に粘着した粘着体３０と、剥離対象であるウエハ片を粘着保持した支持シート１１と、を離間させるよう、粘着体折り返し部材５１が上昇し、折り返し部材４１から離間する。上述したように、支持シート１１が折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３において折り返されることにより、ウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力が弱められている。本実施の形態においては、とりわけ図３に示されているように、粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３が面取りされ、当該頂部５３に微小な平坦面が形成されている。これらのことから、支持シート１１の折り返し部分４７上に配置されたウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力よりも強い粘着保持力で、粘着体３０が該ウエハ片に粘着している。この結果、図４（ｂ）に示すように、粘着体３０および支持シート１１の両者に粘着された剥離対象であるウエハ片は、粘着体３０が支持シート１１から離間する際に、粘着体３０に粘着されたまま支持シート１１から引き剥がされる。
【００７１】
このとき、図１に示すように、本実施の形態においては、折り返し部材４１の頂部４３の長手方向と粘着体折り返し部材５１の頂部５３の長手方向とが略直交するようになっている。このため、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）と粘着体３０の折り返し部分５７（折り返し線５５）とが略直交するようにして、剥離対象のウエハ片と粘着体３０とが接触する。一方、粘着体折り返し部材５１の頂部５３に形成された微小面が、支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向）に沿って剥離対象であるウエハ片の一辺の長さよりも短い幅を有している。これらのことから、テープ状の粘着体３０を剥離対象であるウエハ片のみに接触させることができ、これにより、剥離対象であるウエハ片のみを正確に支持シート１１から引き剥がしていくことができる。
【００７２】
なお、剥離対象のウエハ片と粘着体３０とが接触する際に、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）と粘着体３０の折り返し部分５７（折り返し線５５）とによってなされる角度θが、略直交する場合だけに限られない。本発明者が種々条件を変更して実験したところ、角度θが直交していなくとも、歩留まりを大きく低下させてしまうことなくウエハ片を支持シート１１から剥離させることができるとの知見が得られた。
【００７３】
また、上述したように、本実施の形態においては、粘着体折り返し部材５１の突出部５２が鋭角状に突出している。したがって、粘着体３０をより正確に剥離対象であるウエハ片のみに接触させることができるようになっている。ただし、粘着体３０を剥離対象であるウエハ片に十分接触させることができる限りにおいて、粘着体折り返し部材５１の突出部５２が鈍角状に突出するようにしてもよい。
【００７４】
支持シート１１からウエハ片が引き剥がされると、図４（ｃ）に示すように、粘着体折り返し部材５１の頂部５３が、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された別の剥離対象であるウエハ片の上方に配置されるよう、粘着体折り返し部材５１が支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の頂部４３の長手方向）に沿って移動させられる。また、この粘着体折り返し部材５１の移動の前または後、あるいは、粘着体折り返し部材５１の移動と並行して、テープ状の粘着体３０が、少なくともウエハ片１個分だけ供給コア５４ａから繰り出されるとともに、巻取コア５４ｂに巻き取られる。このような動作により、図４（ｃ）に示すように、剥離対象であるウエハ片の直上に配置された粘着体折り返し部材５１の頂部５３が、ウエハ片を粘着していない粘着体３０によって覆われた状態となる。
【００７５】
その後、上述した方法と同様にして支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に一列に並んだ多数のウエハ中に混在する剥離対象であるウエハ片が、順次支持シート１１から引き剥がされて粘着体３０に回収されていく。そして、当該一列に並んだ多数のウエハ片中に混在する剥離対象のウエハ片がすべて引き剥がされると、ウエハ片１個分だけ支持シート１１が移動して当該一列のウエハ片に隣接する次の一列のウエハ片が折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置される。
【００７６】
以上のようにして、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が支持シート１１から順次剥離させられていく。そして、図９に示すような、支持シート１１と、支持シート１１上に粘着保持され良品ＩＣチップ１８ａのみから構成される選別済ウエハ２０と、を備えた選別済ウエハ付シート１０が得られる。
【００７７】
＜作用効果＞
以上のように第１の実施の形態によれば、ウエハ片剥離装置４０は鋭角状に突出した突出部４２を有する折り返し部材４１を備え、この折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３において多数のウエハ片を粘着保持する支持シート１１を線状に折り返し、ウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を弱めるようになっている。このため、支持シート１１を折り返し部材４１に対して一度位置決めするだけで、支持シート１１上に整列保持されたウエハ片のうち支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に一列に配置される多数のウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を一括して弱めることができる。したがって、ウエハ片を破損させてしまうことなく剥離対象であるウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を効率的に弱めることができる。また、支持シート１１に粘着保持された円盤状ウエハ２０ａの状態でＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を取り除くようになっている。このときＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１は円盤状ウエハ２０ａ中において外周近傍に片寄って存在しており、ＩＣチップを構成しないウエハ片２１を、この部分を含んだ外周部分２２として容易かつ効率的に取り除くことができる。これにより、ＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を効率的に剥離させることができる。これらのことから、本実施の形態によれば、支持シート１１上に粘着保持されるとともに、不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が取り除かれた選別済ウエハ２０を備えた選別済ウエハ付シート１０を効率的に製造することができる。また、不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が予め取り除かれたこの選別済ウエハ付シート１０を用いてＩＣチップ実装対象物を製造すれば、結果として、信頼性の高い実装対象物を効率的に製造することができる。
【００７８】
また、本実施の形態によれば、支持シート１１からの粘着保持力が弱められたウエハ片と、支持シート１１より強い粘着力を有する粘着体３０と、を接触させて、粘着体３０を剥離対象のウエハ片に粘着させ、その後、粘着体３０と支持シート１１とを離間させて剥離対象のウエハ片を支持シート１１から引き剥がす（剥離させる）ようになっている。このような本実施の形態によれば、粘着保持力が弱められた剥離対象であるウエハ片を簡易な方法により効率的に取り除いていくことができる。
【００７９】
さらに、本実施の形態によれば、粘着体折り返し部材５１に沿って送り込まれ粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３で折り返された粘着体３０が、剥離対象であるウエハ片に接触しこれに粘着するようになっている。このような本実施の形態によれば、粘着保持力が弱められた剥離対象であるウエハ片を簡易な方法により効率的に順次取り除いていくことができる。
【００８０】
さらに、本実施の形態によれば、テープ状の粘着体３０が粘着体折り返し部材５１によって線状に折り返され、支持シート１１の折り返し線４５と粘着体３０の折り返し線５５とが略直交するようにして、粘着体３０が剥離対象であるウエハ片に接触しこれに粘着するようになっている。このような本実施の形態によれば、粘着保持力が弱められたウエハ片を簡易な方法により効率的に順次取り除いていくことができる。また、テープ状の粘着体３０を剥離対象であるウエハ片のみに接触させることができ、これにより、剥離対象であるウエハ片を正確に取り除くことができる。
【００８１】
なお、以上の記載により、本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態が、本発明による選別済ウエハ付シート１０の製造方法の第１の実施の形態とともに説明されてきた。したがって、上述したウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態では、支持シート１１から不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が剥離させられている。しかしながら、当然に、上述したウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置４０により支持シート１１から良品ＩＣチップ１８ａを剥離させ、粘着体３０に良品ＩＣチップ１８ａを回収していくことも可能である。
【００８２】
＜変形例＞
上記の第１の実施の形態に関し、本発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能である。以下、変形例の一例について説明する。
【００８３】
［ウエハ片を剥離させる順番に関する変形例］
上述した実施の形態においては、円盤状ウエハ付シート１０ａの円盤状ウエハ２０ａ中の、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６を並行して支持シート１１から剥離させていく例を示したが、これに限られない。例えば、円盤状ウエハ付シート１０ａの支持シート１１から、不良品ＩＣチップ２４およびアライメント用チップ２６をまず剥離させ、その後に、外周部分２２に含まれるウエハ片を剥離させるようにしてもよい。また、円盤状ウエハ付シート１０ａの支持シート１１から、外周部分２２に含まれるウエハ片をまず剥離させ、その後に、不良品ＩＣチップ２４およびアライメント用チップ２６を剥離させるようにしてもよい。
【００８４】
なお、円盤状ウエハ付シート１０ａの円盤状ウエハ２０ａから、外周部分２２に含まれるウエハ片を最初に取り除くと、図１１に示す、支持シート１１と、支持シート１１に粘着保持された外周部分取り除き済ウエハ２０ｂと、を備えた外周部分取り除き済ウエハ付シート１０ｂが得られる。そして、この外周部分取り除き済ウエハ付シート１０ｂから不良品ＩＣチップ２４およびアライメント用チップ２６を剥離させることにより、選別済ウエハ付シート１０を得ることができる。
【００８５】
図１１に示された例において、外周部分取り除き済ウエハ２０ｂは整列配置された多数の矩形状のウエハ片からなっており、さらに詳しくは、ＩＣチップ１８およびアライメント用チップ２６からなっている。そして、外周部分取り除き済ウエハ２０ｂの周縁部分（図１１における斜線部分）１６はＩＣチップ１８のみから構成されている。
【００８６】
外周部分取り除き済ウエハ付シート１０ｂは、外周部分２２の有無を除き、図１０に示す円盤状ウエハ付シート１０ａと略同一の構成からなっている。したがって、図１１において、円盤状ウエハ付シート１０ａと同一部分には同一符号を付すとともに重複する詳細な説明は省略する。
【００８７】
［不要ウエハ片を取り除く（剥離させる）方法の変形例］
上述した実施の形態においては、外周部分２２を取り除く（剥離させる）ことによって、不要ウエハ片２１を円盤状ウエハ付シート１０ａから取り除く（剥離させる）ようにしている。ここでいう外周部分２２とは、ＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１のみから構成されなくてもよい。すなわち、円盤状ウエハ付シート１０ａから厳密に不要ウエハ片２１のみを取り除くのではなく、不要ウエハ片２１とともに、例えば良品ＩＣチップ１８ａを取り除くことをも想定している。
【００８８】
不要ウエハ片２１の発生原因からして、円盤状ウエハ２０ａ中の不要ウエハ片２１が占める範囲は、円盤状ウエハ２０ａの大きさおよび形状、並びにＩＣチップ１８の大きさおよび形状等、製造されるＩＣチップの製品種別に毎に異なる。そして、１つの円盤状ウエハ１０ａから２０万個以上のＩＣチップ１８が取り出されることがあるように、一般的に１つの円盤状ウエハから多数のウエハ片が形成される。これらのことを考慮すると、製造条件を煩雑にしてＩＣチップの製品種別毎にＩＣチップ１８と不要ウエハ片２１とを厳密に選別するよりも、不要ウエハ片２１を効率的に取り除くことの方が、製造原価の観点から好ましい場合が多い。すなわち、歩留まりよりも効率を優先することにより、結果として、製造原価が低減される場合が多い。このために、本実施の形態においては不要ウエハ片２１を取り除くために、不要ウエハ片２１を含む外周部分２２を取り除いているのである。
【００８９】
しかしながら、これに限られず、一部に弧状輪郭を有する不要ウエハ片２１を厳密に選別し、不要ウエハ片２１のみを円盤状ウエハ付シート１０から取り除き選別済ウエハ付シート１０を製造するようにしてもよい。
【００９０】
［ウエハ片を引き剥がす（剥離させる）方法およびウエハ片剥離装置の第１の変形例］
上述した実施の形態において、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向と、粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３の長手方向と、が略直交するように配置される例を示したが、これに限られない。
【００９１】
例えば、図５および図６に示すように、用いられる粘着体３１の幅が、支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向）に平行なウエハ片の一辺の長さより短い場合、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向と、粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３の長手方向と、が平行となるように配置してもよい。なお、図５および図６に示す変形例は、粘着体折り返し部材５１および粘着体保持機構５４の折り返し部材４１に対する配置角度が異なるだけであって、その他は図１乃至図４を用いて説明した第１の実施の形態と略同一である。図５および図６において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
【００９２】
本変形例においては、支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部分４７）と、テープ状の粘着体３１の折り返し線５５（折り返し部分５７）とが略平行に配置されるようにして、粘着体３１が剥離対象であるウエハ片に接触するようになる。しかしながら、粘着体３１の幅がウエハ片１つ分よりも短いため、剥離対象であるウエハ片に隣接する、例えば良品ウエハ片に、粘着体３１が接触してしまうことを防止することができる。これにより、剥離対象であるウエハ片を正確に剥離させていくことができる。また、この方法によれば、ウエハ片剥離装置４０の設置スペースを省スペース化することを期待することができる。
【００９３】
［ウエハ片を引き剥がす（剥離させる）方法およびウエハ片剥離装置の第２の変形例］
上述した実施の形態において、テープ状の粘着体３０を粘着体折り返し部材５１によって線状に折り返し、折り返された粘着体３０を剥離対象であるウエハ片に粘着させ、当該ウエハ片を支持シート１１から粘着体３０に転載することによって、ウエハ片を剥離させる例を示したが、これに限られない。
【００９４】
例えば、図７および図８に示すように、細長い紐状の粘着体３２を粘着体保持機構５６で保持し、紐状の粘着体３２を粘着体折り返し部材５１によって折り返すことなく、剥離対象であるウエハ片を剥離させるようにしてもよい。なお、図７および図８に示す変形例は、粘着体３２がテープ状ではなく紐状であること、粘着体折り返し部材５１が省略されるとともに粘着体保持機構５６の構成が異なるだけであって、その他は図１乃至図４を用いて説明した第１の実施の形態と略同一である。図７および図８において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して重複する詳細な説明は省略する。
【００９５】
本変形例においては、粘着体３２は、支持シート１１よりも強い粘着力を有し、断面略円形状を有する細長い紐状体からなっている。図８に示すように、粘着体３２の直径は、剥離対象であるウエハ片の一辺であって支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向）に沿った一辺の長さよりも小さくなっている。このような粘着体３２として、例えば外周に粘着剤を塗布されて粘着力を付与された紐を用いることができる。このような粘着体３０を保持する粘着体保持機構５６は供給コア５４ａおよび巻取コア５４ｂを有し、図１乃至図４を用いて上述した粘着体保持機構５４と略同一構成からなるが、供給コア５４ａから繰り出された粘着体３２が粘着体折り返し部材５１を経由することなく巻取コア５４ｂに直接巻き取られる点で異なっている。
【００９６】
このような構成からなるウエハ片剥離装置４０を用いた場合、剥離対象であるウエハ片を引き剥がす際、粘着体保持機構５６が折り返し部材４１に接近し、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された剥離対象のウエハ片に粘着体３２を接触させる。これにともなって粘着体３２が剥離対象であるウエハ片に粘着すると、次に粘着体保持機構５６は折り返し部材４１から離間し、剥離対象であるウエハ片が支持シート１１から引き剥がされることになる。また合わせて、次のウエハ片を剥離させることにそなえ、少なくともウエハ片１つ分だけ、供給コア５４ａから粘着体３２が繰り出され巻取コア５４ｂへ巻き取られる。
【００９７】
このような本変形例によれば、ウエハ片剥離装置４０の構成を簡易にすることができるとともに、小型化されたウエハ片を１つずつ正確に支持シート１１から剥離させることができる。
【００９８】
［ウエハ片を引き剥がす（剥離させる）方法およびウエハ片剥離装置の第３の変形例］
上述した実施の形態において、ウエハ片剥離装置４０の粘着体折り返し部材５１が折り返し部材４１に対し、接離方向（上下方向）および折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向に沿った方向に移動可能となっている例を示したが、これに限られない。粘着体折り返し部材５１を固定して配置し、折り返し部材４１を粘着体折り返し部材５１に対して移動可能とし、折り返し部材４１と粘着体折り返し部材５１とを相対移動させるようにしてもよい。また、折り返し部材４１および粘着体折り返し部材５１の両者を移動可能としてもよい。
【００９９】
［ウエハ片を引き剥がす（剥離させる）方法およびウエハ片剥離装置の第４の変形例］
上述した実施の形態において、粘着体折り返し部材５１および粘着体保持機構５４が、折り返し部材４１および保持機構４４の上方に配置された例を示したが、これに限られない。粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３と折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３とが対面している限りにおいて、粘着体折り返し部材５１および粘着体保持機構５４が、折り返し部材４１および保持機構４４の横方や下方に配置されるようにしてもよい。なお、粘着体折り返し部材５１が折り返し部材４１の下方に配置される場合には、重力によってウエハ片の剥離を促進させることを期待することができる。
【０１００】
［複数の変形例の組み合わせ］
以上のように、ウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置４０、および選別済シート付ウエハ１０の第１の実施の形態に関するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて用いることも可能である。
【０１０１】
第２の実施の形態
次に、図１２乃至１４を参照し、本発明によるウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置、および選別済ウエハ付シートの製造方法の第２の実施の形態について説明する。
【０１０２】
このうち図１２はウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の側面側から示す図であり、図１３はウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の正面側から示す図であり、図１４はウエハ片を剥離させる工程を説明する図である。
【０１０３】
第２の実施の形態における選別済ウエハ付シートの製造方法は、上述した第１の実施の形態と同様に、支持シート１１と円盤状ウエハ２０ａとを有する円盤状ウエハ付シート１０ａを準備する工程と、円盤状ウエハ２０ａのウエハ片のうち弧状輪郭を一部分に有しＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を含む外周部分２２を、支持シート１１から剥離させる工程と、ウエハ片のうち不良品ＩＣチップ２４と判定されたウエハ片を支持シート１１から剥離させる工程と、ウエハ片のうちアライメント用チップとして機能するウエハ片２６を支持シート１１から剥離させる工程と、を備えており、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６は、同一の方法により支持シート１１から剥離させられる。そして、ウエハ片を支持シート１１から剥離させる工程（ウエハ片剥離方法）は、第１の実施の形態と同様に、鋭角状に突出した突出部４２を有する折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３で支持シート１１を線状に折り返し、剥離対象であるウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を弱める工程と、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された剥離対象のウエハ片を支持シート１１から剥離させる（引き剥がす）工程と、を有している。
【０１０４】
図１２乃至図１４に示すように第２に実施の形態における選別済ウエハ付シートの製造方法およびウエハ片剥離方法は、支持シート１１の折り返し部分４７上に配置され支持シート１１からの粘着保持力を弱められた剥離対象のウエハ片を支持シート１１から剥離させる（引き剥がす）方法が異なるだけであって、他は図１乃至図４を用いて説明した第１の実施の形態と略同一となっている。また、図１２乃至図１４に示すように第２に実施の形態におけるウエハ片剥離装置４０は、この方法の相違にともなって、ウエハ片を支持シート１１から剥離させる（引き剥がす）手段が異なるだけであって、他は図１乃至図４を用いて説明した第１の実施の形態と略同一となっている。図１２乃至図１４において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して、重複する説明については省略する。
【０１０５】
図１２乃至図１４に示すように、本実施の形態において、ウエハ片剥離装置４０は、上述した折り返し部材４１と、吸着口６１を有し吸着口６１が折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３に対向するようにして配置された吸着ノズル６０と、吸着ノズル６０に連通する吸引機構６２と、を有している。吸着ノズル６０は、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３に接近し、また折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３から離間することができるよう移動可能となっている。また、吸着ノズル６０は折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向に沿った方向（図１３における紙面の左右方向）、言い換えると、支持シート１１の折り返し部分４７に沿った方向、さらに言い換えると、支持シート１１の折り返し線４５に沿った方向にも移動可能となっている。
【０１０６】
次に、このような吸着ノズル６０および吸引機構６２を用い、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線）４５上に配置され、支持シート１１からの粘着保持力を弱められた剥離対象のウエハ片を支持シート１１から引き剥がす方法について説明する。
【０１０７】
まず、図１３に示すように、吸着ノズル６０の吸着口６１が、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された一列のウエハ片中に存在する剥離対象のウエハ片に対面するよう、吸着ノズル６０が支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の頂部４３）に沿って移動させられる。このとき、吸着ノズル６０の移動は、アライメント用チップ２６を基準として正確に位置決めされるよう制御される。
【０１０８】
その後、吸着ノズル６０が折り返し部材４１に向けて降下する。図１４（ａ）に示すように、吸着ノズル６０は、その吸着口６１と剥離対象であるウエハ片（図示する例においては不良品ＩＣチップ２４）とが接触するまで折り返し部材４１に接近する。そして、吸着口６１と剥離対象であるウエハ片とが接触した後または前に吸引機構６２が動作し、吸着ノズル６０が剥離対象であるウエハ片に吸着する。なお、このときの吸着ノズル６０による吸着力は、支持シート１１の折り返し部分４７上に粘着保持されたウエハ片に対する粘着保持力よりも強くなっている。
【０１０９】
次に、剥離対象であるウエハ片に吸着した吸着ノズル６０と、剥離対象であるウエハ片を粘着保持した支持シート１１と、を離間させるよう、吸着ノズル６０が上昇して折り返し部材４１から離間する。そしてこのとき、図４（ｂ）に示すように、吸着ノズル６０に吸着されたウエハ片は、吸着ノズル６０が支持シート１１から離間する際に、吸着ノズル６０に吸着されたまま支持シート１１から引き剥がされる。引き剥がされたウエハ片は吸着ノズル６０によってそのまま図示しない廃棄箱等に回収される。その後、吸着ノズル６０は支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された他の剥離対象のウエハ片の直上に移動させられ、他の剥離対象であるウエハ片を同様にして支持シート１１から剥離させる。
【０１１０】
以上のようにして、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が支持シート１１から順次剥離させられていく。そして、図９に示すような、支持シート１１と、支持シート１１上に粘着保持され良品ＩＣチップ１８ａのみから構成される選別済ウエハ２０と、を備えた選別済ウエハ付シート１０が得られる。
【０１１１】
以上のような第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。すなわち、ウエハ片剥離装置４０が鋭角状に突出した突出部４２を有する折り返し部材４１を備え、この折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３において多数のウエハ片を粘着保持する支持シート１１を線状に折り返し、ウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を弱めるようになっているので、支持シート１１を折り返し部材４１に対して一度位置決めするだけで、支持シート１１上に整列保持されたウエハ片のうち支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に一列に配置される多数のウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を一括して弱めることができる。したがって、ウエハ片を破損させてしまうことなく剥離対象であるウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を効率的に弱めることができる。また、支持シート１１に粘着保持された円盤状ウエハ２０ａの状態でＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を取り除くようになっている。このときＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１は円盤状ウエハ２０ａ中において外周近傍に片寄って存在しており、ＩＣチップを構成しないウエハ片２１を、この部分を含んだ外周部分２２として容易かつ効率的に取り除くことができる。これにより、ＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を効率的に剥離させることができる。これらのことから、本実施の形態によれば、支持シート１１上に粘着保持されるとともに、不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が取り除かれた選別済ウエハ２０を備えた選別済ウエハ付シート１０を効率的に製造することができる。また、不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が予め取り除かれたこの選別済ウエハ付シート１０を用いてＩＣチップ実装対象物を製造すれば、結果として、信頼性の高い実装対象物を効率的に製造することができる。
【０１１２】
また、本実施の形態によれば、支持シート１１からの粘着保持力を弱められたウエハ片を吸着ノズル６０によって吸着し支持シート１１から引き剥がすようになっている。この方法は信頼性の高い既存の簡易な方法であり、剥離対象であるウエハ片を高い信頼性で一つずつ引き剥がすことができる。また、既存の設備を改良して用いることもできる。
【０１１３】
なお、以上の記載により、本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態が、本発明による選別済ウエハ付シート１０の製造方法の第２の実施の形態とともに説明されてきた。したがって、ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態では、支持シート１１から不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が剥離させられている。しかしながら、当然に、上述したウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置４０により支持シート１１から良品ＩＣチップ１８ａを剥離させることも可能である。とりわけ、本実施の形態のウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置４０は、支持シート１１から剥離させられた場合にウエハ片が吸着ノズル１１に吸着保持された状態となることから、支持シート１１から良品ＩＣチップ１８ａを剥離させ、そのままＩＣチップ実装対象物に実装することに適していると言える。
【０１１４】
また、第１の実施の形態の変形例として上述した［ウエハ片を剥離させる順番に関する変形例］および［不要ウエハ片を取り除く（剥離させる）方法の変形例］を第２の実施の形態に適用してもよい。また、上述した［ウエハ片を引き剥がす（剥離させる）方法およびウエハ片剥離装置の第３の変形例］と同様に、折り返し部材４１、あるいは折り返し部材４１および吸着ノズル６０の両者を移動可能としてもよい。さらに、上述した［ウエハ片を引き剥がす（剥離させる）方法およびウエハ片剥離装置の第４の変形例］と同様に、折り返し部材４１の横方に吸着ノズル６０を配置するようにしてもよいし、折り返し部材４１の下方に吸着ノズル６０を配置するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態、並びに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法の第１の実施の形態におけるウエハ片を剥離させる工程を示す斜視図。
【図２】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の側面側から示す図。
【図３】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の正面側から示す図。
【図４】ウエハ片を剥離させる工程を説明する図。
【図５】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の変形例、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の変形例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の側面側から示す図。
【図６】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の変形例、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の変形例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の正面側から示す図。
【図７】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の他の変形例、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の他の変形例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の側面側から示す図。
【図８】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の他の変形例、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の他の変形例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の正面側から示す図。
【図９】選別済ウエハ付シートを示す斜視図。
【図１０】円盤状ウエハ付シートを示す斜視図。
【図１１】外周部分取り除き済ウエハ付シートを示す斜視図。
【図１２】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の第２の実施の形態におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の側面側から示す図。
【図１３】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の第２の実施の形態におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の正面側から示す図。
【図１４】第２の実施の形態におけるウエハ片を剥離させる工程を説明する図。
【符号の説明】
【０１１６】
１０  選別済ウエハ付シート
１０ａ  円盤状ウエハ付シート
１１  支持シート（シート）
１８  ＩＣチップ
２０  選別済ウエハ
２０ａ  円盤状ウエハ
２１  ＩＣチップを構成しないウエハ片（不要ウエハ片）
２４  不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片（不良品ウエハ片）
２６  アライメント用チップとして機能するウエハ片（アライメント用チップ）
３０，３１，３２  粘着体
４０  ウエハ片剥離装置
４１  折り返し部材
４２  突出部
４３  頂部
４５  折り返し線
４７  折り返し部分
５１  粘着体折り返し部材
５２  突出部
５３  頂部
５４，５６  粘着体保持機構（粘着体送り込み機構）
５５  折り返し線
５７  折り返し部分
６０  吸着ノズル
【図１】
2007258251.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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