(57)【要約】【課題】セラミックス製品等の耐熱材料製品を合成樹脂フィルム袋で包装しても、運搬中に耐熱材料製品と合成樹脂フィルム袋とが擦れて袋の表面が削られることがなく、パーティクルが耐熱材料製品表面に付着することがない耐熱材料製品の梱包方法を提供する。【解決手段】本梱包方法は、酸素透過度が２０，０００ｍｌ／ｍ２・２４ｈｒ・ＭＰａ以下であって、かつ厚さが０．０５〜０．１５μｍ、密度が０．９２〜０．９８ｇ／ｃｍ３である合成樹脂フィルムによって、耐熱材料製品を減圧封入する。【選択図】  図１
2007022630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素透過度が２０，０００ｍｌ／ｍ２・２４ｈｒ・ＭＰａ以下であって、かつ厚さが０．０５〜０．１５μｍ、密度が０．９２〜０．９８ｇ／ｃｍ３である合成樹脂フィルムによって、耐熱材料製品を減圧封入することを特徴とする梱包方法。
【請求項２】
前記耐熱材料製品は算術平均粗さＲａ２μｍ以上の表面を有するものであることを特徴とする請求項１に記載の梱包方法。
【請求項３】
前記合成樹脂フィルムは多層構造のポリエチレン製であり、これによって二重減圧封入することを特徴とする請求項１または２に記載の梱包方法。
【請求項４】
前記減圧封入された耐熱材料製品を梱包箱に収容するとともに、前記耐熱材料製品の当接部の外形形状に内面形状が類似し、前記梱包箱と前記耐熱材料製品間に介在する複数の第１の緩衝材によって前記耐熱材料製品を挟持しかつ、前記耐熱材料製品と前記第１の緩衝材間に第２の緩衝材を介在させることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の梱包方法。
【請求項５】
前記梱包箱を、スペーサあるいは緩衝材を介して外梱包箱に収容することを特徴とする請求項４に記載の梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は梱包方法に係り、特に多層構造を有する合成樹脂フィルム製袋を用いて耐熱材料製品を減圧包装する梱包方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハの熱処理に用いられるウェーハボートや炉芯管のような炭化珪素部材を用いたセラミックス製品は、国内外の半導体デバイスメーカーにおいて広く使用されている。このようなセラミックス製品は単層のポリエチレン袋で減圧二重包装後、梱包箱に入れて出荷されているが、セラミックス製品を箱詰めする際、セラミックス製品と梱包箱との間に緩衝材としてスポンジを詰めている。
【０００３】
しかし、このような包装ではセラミックス製品の表面には突起があるため、ポリエチレン袋と擦れると、ポリエチレン袋の表面が削られて、パーティクル（白色粉）がセラミックス製品表面に付着するという問題がある。ポリエチレン袋とセラミックス製品が擦れる現象は、上記のようにセラミックス製品を減圧二重包装して出荷しているが、ガスバリアー性に劣る袋を用いた場合、運搬中に袋内の減圧度が低下するため、ポリエチレン袋とセラミックス製品の密着性が低下し、この結果擦れる頻度が増すためである。
【０００４】
このようなパーティクルの付着問題は、長距離輸送される海外向けの製品で顕著であり、また、緩衝材がセラミックス製品を支持する接触箇所で多く発生している。
【０００５】
なお、長尺物の梱包装置に関して、特許文献１、２のような提案がなされている。
【特許文献１】特開平１１−７１０６１号公報
【特許文献２】特開２００２−３４７８４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、セラミックス製品等の耐熱材料製品を合成樹脂フィルム袋で包装しても、運搬中に耐熱材料製品と合成樹脂フィルム袋とが擦れて袋の表面が削られることがなく、パーティクルが耐熱材料製品表面に付着することがない耐熱材料製品の梱包方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した目的を達成するため、本発明に係る梱包方法は、酸素透過度が２０，０００ｍｌ／ｍ２・２４ｈｒ・ＭＰａ以下であって、かつ厚さが０．０５〜０．１５μｍ、密度が０．９２〜０．９８ｇ／ｃｍ３である合成樹脂フィルムによって、耐熱材料製品を減圧封入することを特徴とする。
【０００８】
好適には、前記耐熱材料製品は、算術平均粗さＲａ２μｍ以上の表面を有するものであることを特徴とする。
【０００９】
また、好適には、前記合成樹脂フィルムは、多層構造のポリエチレン製であり、これによって二重減圧封入することを特徴とする。
【００１０】
また、好適には、前記減圧封入された耐熱材料製品を梱包箱に収容するとともに、前記耐熱材料製品の当接部の外形形状に内面形状が類似し、前記梱包箱と前記耐熱材料製品間に介在する複数の第１の緩衝材によって前記耐熱材料製品を挟持しかつ、前記耐熱材料製品と前記第１の緩衝材間に第２の緩衝材を介在させることを特徴とする。
【００１１】
また、好適には、前記梱包箱を、スペーサあるいは緩衝材を介して外梱包箱に収容することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る梱包方法によれば、耐熱材料製品を合成樹脂フィルム袋で包装しても、運搬中に耐熱材料製品と合成樹脂フィルム袋とが擦れて袋の表面が削られることがなく、パーティクルが耐熱材料製品表面に付着することがない耐熱材料製品の梱包方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の第１実施形態に係る耐熱材料製品の梱包方法について添付図面を参照して説明する。
【００１４】
図１は本発明に係る第１実施形態の耐熱材料製品例えば縦型ウェーハボートの梱包方法の説明図である。
【００１５】
本第１実施形態に係る耐熱材料製品の梱包方法は、図１に示す本方法に用いられる梱包装置１を展開して説明すれば、耐熱材料製品である縦型ウェーハボートＢを用意し、一重包装目の合成樹脂フィルム製袋を用いて減圧一重包装し、しかる後、二重包装目の合成樹脂フィルム製袋を用いて、減圧一重包装されたウェーハボートＢを二重袋２による減圧二重包装する。
【００１６】
さらに、この減圧二重包装されたウェーハボートＢの底板Ｂ１及び天板Ｂ３を第２（内側）の緩衝材５でリング状に巻いた後、第１（外側）の緩衝材４を上下から第２の緩衝材５を介して底板Ｂ１及び天板Ｂ３を挟み、梱包箱３に収容する。底板Ｂ１及び天板Ｂ３は第１の緩衝材及び第２の緩衝材で二重に緩衝支持される。
【００１７】
さらに、ズレ防止用緩衝材７、軸方向緩衝材８を底板Ｂ１及び天板Ｂ３と梱包箱本体３ａ間に挿入し、二重包装されたウェーハボートＢを梱包箱本体３ａに固定し、梱包箱蓋３ｂを被せる。
【００１８】
さらに、ウェーハボートＢを収容した梱包箱３の８隅にスペーサ７を取り付けた後、外梱包箱６に収容し、外梱包箱蓋部６ｂを閉じ、シールして梱包は完了する。
【００１９】
本発明の梱包方法において、梱包される耐熱材料製品は、セラミックス製品の縦型ウェーハボートＢ等であり、この縦型ウェーハボートＢは、使用時炉底蓋に載置される円形の底板Ｂ１と、この底板Ｂ１から複数本延伸しウェーハが挿入載置される支持溝が多数設けられた支持柱Ｂ２と、この支持柱Ｂ２の端部が取り付けられる円形の天板Ｂ３を備え、長尺状になっている。その表面が算術平均粗さＲａ（ＪＩＳ  Ｂ−０６０１（１９９４））２μｍ以上を有するものを、本梱包の対象にするのが好ましい。この表面はＣＶＤ等のコーティングによって形成された場合、あるいはサンドブラスト等の機械加工処理が施された場合、いずれの場合も含むが、本発明は特に前者の結晶成長面の場合に、有効である。
【００２０】
また、合成樹脂フィルム製袋は、例えば、ポリエチレン製であるのが好ましく、ガスバリアー性及び柔軟性に優れた多層構造を有し、酸素透過度が２０，０００ｍｌ／ｍ２・２４ｈｒ・ＭＰａ以下であって、かつ厚さが０．０５〜０．１５μｍ、密度が０．９２〜０．９８ｇ／ｃｍ３である。酸素透過度が２０，０００ｍｌ／ｍ２・２４ｈｒ・ＭＰａを超えると、耐熱材料製品を合成樹脂フィルムによって減圧封入した状態が、運搬中に常圧に戻り易く、耐熱材料製品と合成樹脂フィルムとの間に隙間が生ずることで、これらが擦れて合成樹脂フィルムが削られ、パーティクルが付着し易くなる。ここで、減圧封入とは、３００ｈＰａ以下の内部圧力で封入した状態をいい、耐熱材料とは、アルミナ、炭化珪素、窒化アルミニウム、カーボン等のセラミックス材料もしくは、いずれかの複合体（コーティング品を含む）、あるいは石英等のシリカガラスである。
【００２１】
また、厚さが０．１５μｍ、密度が０．９８ｇ／ｃｍ３を超えると、合成樹脂フィルムの柔軟性が劣り、例え３００ｈＰａ以下の内部圧力で減圧しても、耐熱材料製品との擦れによって、パーティクルが生じる可能性が高く、好ましくない。厚さが０．０５μｍ、密度が０．９２ｇ／ｃｍ３より小さいと、運搬中における耐熱材料製品との擦れによって、破れ等の問題を生じ易く好ましくない。
【００２２】
第１の緩衝材４は長辺が梱包箱３の幅とほぼ同じ長さを有する長方形状をなし、かつ、耐熱材料製品の当接部分例えば底板Ｂ１及び円形天板Ｂ３の外形形状の当接部分Ｂａに内面形状が類似して円弧状溝を有し、例えばウレタンフォーム（スポンジ）製で緩衝性に優れ、例えば底板Ｂ１及び円形天板Ｂ３の周方向に配置される。
【００２３】
梱包箱３は、ダンボール製で長方形状をなし、梱包箱本体３ａと梱包箱蓋３ｂからなっている。
【００２４】
外梱包箱６は、梱包箱３と同様にダンボール製で長方形状をなしており、外梱包箱本体６ａとその各辺端部に設けられた外梱包箱蓋部６ｂからなり、外梱包箱６には８隅にスペーサ７を介在させるかあるいは６面にスポンジなどの緩衝材を介在させて、梱包箱３が収容される。
【００２５】
第２の緩衝材５は、第１の緩衝材４よりも柔らかい部材が好ましく、気泡をシート状にした気泡シート（エアーキャップ）が最適であり、第１の緩衝材４が接触する当接部分例えば底板Ｂ１及び円形天板Ｂ３にリング状に巻かれている。なお、第２の緩衝材５は、縦型ウェーハボートＢと複数の第１の緩衝材４の挟み込みによる締め付け力を適切な寸法設計によって分散させることができ、結果、耐熱材料製品と合成樹脂フィルムのすれをより抑制することができる。
【００２６】
上記のように本第１実施形態の梱包方法は、酸素透過度が２０，０００ｍｌ／ｍ２・２４ｈｒ・ＭＰａ以下であって、かつ厚さが０．０５〜０．１５μｍ、密度が０．９２〜０．９８ｇ／ｃｍ３である合成樹脂フィルムによって、耐熱材料製品を減圧封入するので、縦型ウェーハボートのような凹凸がある長尺物のセラミックス製品を梱包するのに適し、また、多層の合成樹脂フィルム袋２で減圧二重包装することにより、袋内の減圧度を保ち、さらに、例え多少減圧破壊があっても、ウェーハボートＢと合成樹脂フィルム袋２との擦れが低減される。ガスバリアー性に優れた多層合成樹脂フィルム製袋の構造とし、さらに、第１の緩衝材４が接触する底板Ｂ１及び円形天板Ｂ３に第１の緩衝材４よりも柔らかい第２の緩衝材５を巻くことにより、合成樹脂フィルム製袋２がウェーハボートＢに強く押さえつけられて擦れるのが防止され、合成樹脂フィルム製袋２の表面が削られて、そのパーティクルがウェーハボートＢ表面に付着するのが防がれる。
【００２７】
本第１実施形態の梱包方法によれば、縦型ウェーハボートを合成樹脂フィルム袋で包装しても、運搬中に縦型ウェーハボートと合成樹脂フィルム袋とが擦れて袋の表面が削ずられることがなく、パーティクルが縦型ウェーハボートに付着することがない梱包方法が実現される。
【００２８】
また、本発明に係る第２実施形態の縦型ウェーハボートの梱包方法について説明する。
【００２９】
第１実施形態は縦型ウェーハボートのように凹凸がある長尺物製品を梱包するのに適し、第１の緩衝材が接触する底板及び円形天板に内側緩衝材を巻くのに対して、本第２実施形態は炉芯管のように凹凸のない長尺物製品を梱包するのに適し、合成樹脂フィルム袋で減圧二重包装された長尺物製品全体を第２の緩衝材で包む方法である。
【００３０】
例えば、図２に示すように梱包装置１１を展開して説明すれば、第２実施形態の耐熱材料製品の梱包方法は、耐熱材料製品である炉芯管Ｔを用意し、減圧二重包装２する。さらに、この減圧二重包装された炉芯管Ｔ全体を第２の緩衝材１５としてのエアーキャップで包み、さらに、炉芯管Ｔの当接部分と内面形状が類似する円弧状溝を有する第１の緩衝材１４により３個所で緩衝支持し、梱包箱本体１３ａと梱包箱蓋部１３ｂからなる梱包箱１３に収容する。
【００３１】
これにより、凹凸のない長尺物の炉芯管であっても、袋内の減圧度を保ち、炉芯管と合成樹脂フィルム袋との擦れが低減され、合成樹脂フィルム製袋の表面が削られて、そのパーティクルがウェーハボート表面に付着することが防がれる。
【００３２】
他の構成は図１に示す梱包装置と異ならないので、同一符号を付して説明は省略する。
【実施例】
【００３３】
目的：図１に示す本発明に係る耐熱材料製品の梱包方法により梱包されたウェーハボートを用いて、振動試験を行いウェーハボートとポリエチレンフィルム袋との間に隙間の発生、擦れた跡の発生及びウェーハボート表面のパーティクル増加量を測定し（実施例）、単層のポリエチレン袋で減圧二重包装の従来例と比較する。
【００３４】
フィルム特性：
実施例；フィルムの酸素透過度＝１４，４００ｍｌ／ｍ２・２４ｈｒ・Ｍａ
厚さ＝０．０８ｍｍ
従来例；フィルムの酸素透過度＝３２，６７７ｍｌ／ｍ２・２４ｈｒ・Ｍａ
厚さ＝０．０８ｍｍ
【００３５】
方法：ウェーハボートが収容された梱包装置を１００Ｈｚで２０時間振動させる。  
結果：従来例はウェーハボートとポリエチレン袋との間に隙間が発生し、両者が擦れた跡が認められた。これに対して、実施例はウェーハボートとポリエチレン袋との間に隙間の発生が認められず、また、擦れた跡も認められなかった。
【００３６】
さらに、図３に示すように、ウェーハボート表面のパーティクル増加量を測定した結果、実施例はパーティクル増加数が１個／ｃｍ２であったのに対して、従来例はパーティクル増加数が３．２個／ｃｍ２であり、実施例は従来例に比べて１／３以下に改善されていることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る耐熱材料製品の梱包方法の説明図。
【図２】本発明の第２実施形態に係る耐熱材料製品の梱包方法の説明図。
【図３】本発明に係る耐熱材料製品の梱包方法を用いたパーティクル増加量測定試験の結果図。
【符号の説明】
【００３８】
１  耐熱材料製品の梱包装置
２  合成樹脂フィルム製袋
３  梱包箱
４  第１の緩衝材
５  第２の緩衝材
６  外梱包箱
７  ズレ防止用緩衝材
８  軸方向緩衝材
Ｂ  縦型ウェーハボート
Ｂａ  当接部分
【図１】
2007022630.tif 000003
【図２】
2007022630.tif 000004
【図３】
2007022630.tif 000005