(57)【要約】【課題】  デバイスの小型化を妨げることなく、周波数可変感度を良好にすることができる圧電振動片と圧電デバイスを提供すること。【解決手段】  圧電材料により形成された励振部と、該励振部に形成した駆動用の電極である励振電極３８−１，３８−２とを備える圧電振動片３２であって、前記励振電極の表面に設けた絶縁膜１１−１，１１−２と、該絶縁膜の上に設けた容量付加のための電極１２−１，１２−２とを備える。【選択図】  図４
2007060159.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料により形成された励振部と、
該励振部に形成した駆動用の電極である励振電極と
を備える圧電振動片であって、
前記励振電極もしくはこれと一体の電極の表面に設けた絶縁膜と、
該絶縁膜の上に設けた容量付加のための電極と
を備える
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記容量付加のための電極が、前記絶縁膜の表面に形成した櫛歯状の電極であって、該櫛歯状の電極が櫛歯状部分を一体に接続する共通部と、該共通部から並列的に延びる複数もしくは多数の電極指とを備えることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記共通部から延びる各電極指が互いに平行に、かつ同じ長さで延出されていることを特徴とする請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記圧電材料により、基部と前記励振部とが設けられており、前記基部から一方向に延びる互いに平行な振動腕により前記励振部が形成されることで、全体として音叉型とされていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項５】
圧電材料により形成された所定長さの前記基部と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、前記基部の前記一端側より前記所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる少なくとも一対の支持用アームとを備え、該支持用アームには、前記励振電極と接続された引出し電極が設けられているとともに、該引出し電極に前記容量付加のための電極が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記支持用アームの主面において、該支持用アームの長さ方向に沿って前記引出し電極および該引出し電極の上に設けた絶縁膜を介して前記共通部が延びているとともに、該共通部の延びる方向に対して直交する方向に前記櫛歯状の電極指が形成されていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項７】
前記圧電材料を矩形もしくは正方形にカットすることにより形成した圧電板の主面が前記励振部とされていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項８】
パッケージもしくはケースに圧電振動片を収容した圧電デバイスにおいて、
前記圧電振動片が、
圧電材料により形成された励振部と、
該励振部に形成した駆動用の電極である励振電極と
を備える圧電振動片であって、
前記励振電極もしくはこれと一体の電極の表面に設けた絶縁膜と、
該絶縁膜の上に設けた容量付加のための電極と
を備える
ことを特徴とする圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片と、パッケージやケース内に圧電振動片を収容した圧電デバイスの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器や圧電ジャイロセンサー等において、圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
図１１は、圧電デバイスである圧電発振器の等価回路を示している。すなわち、圧電振動片と集積回路（ＩＣ）を組み合わせて、図示のような機能をもつ圧電発振器を作っている。
すなわち、図１１において、発振回路１は、増幅回路２と帰還回路３を含んでいる。
増幅回路２は、増幅器４と帰還抵抗５を含んで構成されている。帰還回路３は、ドレイン抵抗６と、コンデンサ７，８と、圧電振動片９とを含んで構成されている。
【０００３】
このような圧電発振器においては、小型化が急速に進展しており、図１２は、圧電発振器の大きさとその周波数可変感度を表したものである。
すなわち、図示するように、Ａは最も小型のもので、例えば、２．０ｍｍ×１．２ｍｍのパッケージに圧電振動片等を収容するものである。Ｂは同じく３．２ｍｍ×１．５ｍｍのパッケージに圧電振動片等を収容するものである。Ｃは同じく４．９ｍｍ×１．８ｍｍのパッケージに圧電振動片等を収容するものである。
【０００４】
図示されているように、圧電発振器が小さくなる程、周波数可変感度が大きくなり、このことは、圧電振動片を購入したユーザなどにあっては、これと組み合わせるＩＣ等の性能により、図１１のコンデンサ７，８に相当する成分が変化すると周波数が大きくシフトし、取り扱いに不便であることを意味する。
【０００５】
そこで、圧電デバイスのパッケージに、電気容量を変更する手段を付したものが知られている（特許文献１参照）。
この表面実装型水晶フィルタのセラミックパッケージ１には、その図１に示されているように、中央付近に入力電極２１と、出力電極２２が形成されている。該入力電極２１から引出し電極２１ａが、出力電極２２から引出し電極２２ａが延出され、これらを距離ｔを挟んで近接させ橋絡容量Ｃを設けている。そして、レーザトリミングなどで距離ｔを調節することで容量を変更調整できるようにされている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２３２２６２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような容量調整手段は、パッケージに設けられており、図示されているような電極配置をしたパッケージを伴わない限り、容量調整をすることができない。
また、圧電振動片自体に容量を持たせるための構成を案出することは不可能ではないものの、上述したように、デバイスの小型化が進展するなかで、このような小型化をはかり、しかも、圧電振動片に容量を付加する構成は知られていない。
【０００８】
本発明は、以上の課題を解決するためになされたもので、デバイスの小型化を妨げることなく、周波数可変感度を良好にすることができる圧電振動片と圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的は、第１の発明にあっては、圧電材料により形成された励振部と、該励振部に形成した駆動用の電極である励振電極とを備える圧電振動片であって、前記励振電極もしくはこれと一体の電極の表面に設けた絶縁膜と、該絶縁膜の上に設けた容量付加のための電極とを備える圧電振動片により、達成される。
第１の発明の構成によれば、前記励振電極の上に前記絶縁膜を設けて、その上に容量付加用の電極を設けている。つまり、励振電極を形成したスペースを利用して、容量付加用の電極を設けているので、該容量付加用の電極を設けるに当たり、余分のスペースを設けることがないようにしている。このため、圧電振動片は従来の大きさを保ちながら、容量付加用電極を具備することができるものである。
かくして、素子の小型化を妨げることなく、周波数可変感度を良好にすることができる圧電振動片を提供することができる。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記容量付加のための電極が、前記絶縁膜の表面に形成した櫛歯状の電極であって、該櫛歯状の電極が櫛歯状部分を一体に接続する共通部と、該共通部から並列的に延びる複数もしくは多数の電極指とを備えることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、容量付加のための電極が、共通部から並列的に複数もしくは多数の電極指が伸びる櫛歯状電極で形成されているので、前記共通部の一部を断線することにより、該断線箇所よりも先の櫛歯状電極指を分離することにより、容易に容量調整することができる。
【００１１】
第３の発明は、第２の発明の構成において、前記共通部から延びる各電極指が互いに平行に、かつ同じ長さで延出されていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、前記櫛歯状電極の各電極指が互いに平行でかつ同じ長さであれば、各電極指は同じ容量を持つので、前記共通部の一部を断線することにより、該断線箇所よりも先の櫛歯状電極指を分離すると、容量の値を精密かつ容易に調整することができる。
【００１２】
第４の発明は、第１ないし３のいずれかの発明の構成において、前記圧電材料により、基部と前記励振部とが設けられており、前記基部から一方向に延びる互いに平行な振動腕により前記励振部が形成されることで、全体として音叉型とされていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、所謂音叉型圧電振動片に対して、容量付加のための電極を該圧電振動片のサイズを大きくすることなく、設けることができる。
【００１３】
第５の発明は、第４の発明の構成において、圧電材料により形成された所定長さの前記基部と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕と、前記基部の前記一端側より前記所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる少なくとも一対の支持用アームとを備え、該支持用アームには、前記励振電極と接続された引出し電極が設けられているとともに、該引出し電極に前記容量付加のための電極が形成されていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、基部の一端から振動腕が延びていて、所定長さの前記基部の他端から、支持用アームが延びている。
このため、支持用アームがパッケージなどの基体側に接着などにより接合された場合においては、周囲温度の変化や、落下衝撃などを原因として、その接合箇所に生じた応力変化が、支持用アームの接合箇所から、前記基部の他端までの距離を隔てて、さらには基部の所定長さの距離を隔てて振動腕に影響を与えることはほとんどなく、このため、特に温度特性等が良好となる。
しかも、これとは逆に屈曲振動する振動腕からの振動漏れは、基部を隔てた支持用アームに達するまでに基部の所定長さを隔てていることから、ほとんど及ぶことがない。すなわち、基部長さが極端に短いと、屈曲振動の漏れた成分が支持用アーム全体に拡がり、制御が困難となる事態が考えられるが、この発明において、そのようなおそれがない。
しかも、このような機能を発揮する圧電振動片の前記励振電極の形成箇所に、前記絶縁膜を介して容量付加用電極を設けることができ、周波数可変感度を良好にすることができる。
【００１４】
第６の発明は、第２ないし５のいずれかの発明の構成において、前記支持用アームの主面において、該支持用アームの長さ方向に沿って前記引出し電極および該引出し電極の上に設けた絶縁膜を介して前記共通部が延びているとともに、該共通部の延びる方向に対して直交する方向に前記櫛歯状の電極指が形成されていることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、長く延びる前記支持用アームの主面のスペースの形態を好適に利用して前記容量付加用電極を設けることができる。
【００１５】
第７の発明は、第１ないし３のいずれかの発明の構成において、前記圧電材料を矩形もしくは正方形にカットすることにより形成した圧電板の主面が前記励振部とされていることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、所謂厚みすべりを利用した圧電振動片に対して、容量付加のための電極を該圧電振動片のサイズを大きくすることなく、設けることができる。
【００１６】
また、上記目的は、第８の発明にあっては、パッケージもしくはケースに圧電振動片を収容した圧電デバイスにおいて、前記圧電振動片が、圧電材料により形成された励振部と、該励振部に形成した駆動用の電極である励振電極とを備える圧電振動片であって、前記励振電極もしくはこれと一体の電極の表面に設けた絶縁膜と、該絶縁膜の上に設けた容量付加のための電極とを備える圧電デバイスにより、達成される。
第８の発明の構成によれば、第１の発明の場合と同様の原理により、デバイスの小型化を妨げることなく、周波数可変感度を良好にすることができる圧電デバイスを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は、本発明の圧電デバイスの実施形態を示しており、図１（ａ）はその概略平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線切断端面図、図１（ｃ）は圧電デバイスの概略底面図である。
図１において、圧電デバイス３０は、圧電振動子を構成した例を示しており、この圧電デバイス３０は、基体であるパッケージ５７内に圧電振動片３２を収容している。
パッケージ５７は、図１（ａ）、図２（ｂ）に示すように、例えば、矩形の箱状に形成されている。具体的には、パッケージ５７は、第１の基板５４と、第２の基板５５と、第３の基板５６とを積層して形成されており、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して図示の形状とした後で、焼結して形成されている。
【００１８】
図１（ｂ）に示すように、パッケージ５７の底部には、製造工程において、脱ガスするための貫通孔２７を有している。貫通孔２７は、第１の基板５４に形成された第１の孔２５と、第２の基板５５に形成され、上記第１の孔２５よりも小さな外径を有し、第１の孔２５と連通した第２の孔２６で形成されている。
そして、貫通孔２７には、封止材２８が充填されることにより、パッケージ５７内が気密状態となるように孔封止されている。
【００１９】
パッケージ５７は、図１（ｂ）に示すように、第３の基板５６の内側の材料を除去することで、内部空間Ｓのスペースを形成している。この内部空間Ｓが圧電振動片３２を収容するための収容空間である。そして、第２の基板５５に形成した各電極部３１，３１の上に、導電性接着剤４３，４３を用いて、圧電振動片３２の支持用アーム６１，６２の後述する引出し電極形成箇所を載置して接合している。
【００２０】
パッケージ５７内部の各電極部３１，３１は、パッケージ５７裏面の実装電極４１−１，４１−２にそれぞれ接続されている。また、図１（ｂ）に示すパッケージ５７内部のアース電極部４２は、パッケージ５７裏面の実装端子４５と接続されている。このパッケージ内部と裏面との接続は、導電パターンをパッケージ５７の四隅の１／４円として図１（ａ）に表れたキャスタレーション部を引き回すことにより、行われるが、パッケージ５７内部を引き回して導電スルーホールなどを設けることにより、接続してもよい。
【００２１】
図１（ａ）に示すように、圧電振動片３２の基部５１の基端部における幅方向両端部にはアース電極４６，４６が形成されている。アース電極４６，４６は圧電振動片３２の周縁部を回り込んで、裏面にも同一の形状で形成されており、該裏面のアース電極が図１（ｂ）に示すように、導電性接着剤４３を介して、パッケージ５７のアース電極部４２に接続されている。
なお、上記圧電振動片３２の導電性接着剤４３による固定支持の後においては、圧電振動片３２を構成する材料と、パッケージ５７を構成する材料の線膨張係数の相違などに起因して、基部５１には、残留応力が存在している。
【００２２】
パッケージ５７は、圧電振動片３２を収容した後において、真空中で透明なガラス製の蓋体４０が封止材５８を用いて接合されることにより、真空中で気密に封止されている。これにより、蓋体４０を封止した後で、図１（ｂ）に示すように、外部からレーザ光ＬＢを照射して圧電振動片３２の電極などをトリミングして、周波数調整できるようになっている。
尚、蓋体４０は、透明な材料でなく、例えば、コバールなどの金属板体をシーム封止、またはＡｕ・Ｓｎ封止などのロウ材で接合する構造としてもよい。
圧電振動片３２は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。
この実施形態では、圧電振動片３２は、後述するように、例えば水晶の単結晶から切り出されることになる。
【００２３】
この圧電振動片３２は、図１（ａ）に示すように、基部５１と、この基部５１の一端（図において右端）から、右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５を備えている。
また、圧電振動片３２は、その基部５１の振動腕を形成した一端より、図１（ａ）において、所定距離ＢＬ２（基部長さ）隔てた他端（図において左端）において、基部５１の幅方向に延長され、かつ振動腕３４，３５の両外側の位置で、各振動腕３４，３５の延びる方向（図１（ａ）において右方向）に、これら振動腕３４，３５と平行に延びている支持用アーム６１，６２を備えている。
このような圧電振動片３２の音叉状の外形と、各振動腕に設ける長溝は、それぞれ例えば水晶ウエハなどの材料をフッ酸溶液などでウエットエッチングしたり、ドライエッチングすることにより精密に形成することができる。
【００２４】
各振動腕３４，３５の主面の表裏には、好ましくは、それぞれ長さ方向に延びる長溝（図示せず）をそれぞれ形成し、この長溝内に後述する駆動用の電極である励振電極が設けられている。
また、励振電極は、後述するように、上記支持用アーム６１，６２の表裏面まで引き回されており、該支持用アーム６１，６２においては引出し電極となっている。この電極構造については後で詳しく説明するが、図１（ａ）で説明したように、支持用アーム６１，６２が導電性接着剤４３により接合されることにより、該引出し電極を介してパッケージ５７の実装端子４１−１，４１−２と電気的に接続されるとともに、パッケージ５７に対して、機械的に接合されている。
【００２５】
かくして、圧電デバイス３０を実装基板などに実装した場合に、外部からの駆動電圧が、実装端子４１―１，４１−２から、電極部３１，３１を介して圧電振動片３２の各支持用アーム６１，６２の引出し電極に伝えられ、各振動腕３４，３５の励振電極に伝えられるようになっている。
そして、各振動腕３４，３５の図示しない長溝内の励振電極に駆動電圧が印加されることによって、駆動時に、各振動腕の長溝が形成された領域の内部の電界効率を高めることができるようになっている。すなわち、長溝内の励振電極に駆動電圧が印加されることで、各振動腕３４，３５の各先端を互いに接近・離間するように屈曲振動する。したがって、この励振電極が形成されている範囲が、積極的に励振される領域としての励振部である。
【００２６】
しかも、本実施形態では、支持用アーム６１，６２を設けて、パッケージ５７側の接合をするようにしたので、周囲温度の変化や、落下衝撃などを原因として、その接合箇所に生じた応力変化が、支持用アーム６１，６２の接合箇所から、基部５１の他端までの距離を隔てて、さらには基部５１の所定長さの距離である距離ＢＬ２を隔てて振動腕３４，３５に影響を与えることはほとんどなく、このため、特に温度特性等が良好となる。
しかも、これとは逆に屈曲振動する振動腕３４，３５からの振動漏れは、基部５１を隔てた支持用アーム６１，６２に達するまでに基部の所定長さＢＬ２を隔てていることから、ほとんど及ぶことがない。
【００２７】
さらに、パッケージ５７には、振動腕３４，３５の先端部が位置する領域に対応して、第２の基板５５の内側の材料を除去して、凹部５９を設けているので、外部から衝撃があって、該振動腕３４，３５が図１（ｂ）の上下に振れた場合においても、その先端部がパッケージ５７内側に当接して損傷することを極力防止するようにされている。
【００２８】
以上の構成に加えて、本実施形態では、圧電振動片３２が以下のように構成されている。
図２ないし図５は、上記圧電デバイス３０に搭載した圧電振動片３２について、その電極の形成を順次に示すことにより、電極構造の一例を説明する。
図２において、振動腕３４，３５には、好ましくはそれぞれの表裏面（主面）において、長さ方向に延びる長溝を形成し、該長溝内に、励振電極３８−１と、励振電極３８−２が形成される。しかも各励振電極３８−１，３８−２はそれぞれ支持用アーム６１，６２に引き回され、各支持用アーム６１，６２の表裏面に、上記各励振電極３８−１，３８−２と電気的に一体の引出し電極３９−１，３９−２が形成されている。なお、各支持用アーム６１，６２の表裏面は互いに同じ構造であり、電極も同形とされ、表裏は電気的に接続されている。
【００２９】
これらの電極は、例えば、水晶をエッチングして圧電振動片の外形を形成した後で、例えば、ニッケル（Ｎｉ）またはクロム（Ｃｒ）を下地層としてその上に蒸着またはスパッタリングにより、例えば金（Ａｕ）による電極層を成膜し、その後フォトリソグラフィにより、図示の形状の電極を形成することができる。
【００３０】
図３において、図２で示した引出し電極３９−１，３９−２の形成された領域に重ねるようにして、絶縁膜１１−１，１１−２をそれぞれ形成する。この絶縁膜は例えばスパッタリングなどによりＳｉＯ２膜などで設けることができる。
すなわち、絶縁膜１１−１，１１−２は、引出し電極３９−１，３９−２（図２）に重ねるようにして、帯状に設けられるが、該絶縁膜１１−１，１１−２は各支持用アーム６１，６２の表裏両面ではなく、一面側にだけ形成する。
【００３１】
図４は次の工程を示している。
この工程では、容量付加電極１２−１，１２−２を形成する。
すなわち、その一部として、基部５１の幅方向の両端部、すなわち、図示の場合、角の隅の箇所にアース電極１３−１，１３−２を形成する。このアース電極は所定の接続面積を備えるように、例えば矩形もしくは正方形などに形成される。
【００３２】
また、これらアース電極１３−１，１３−２と一体に、各絶縁膜１１−１，１１−２の長さ方向に沿って、それぞれ共通部１４−１，１４−２となる細長い電極を１本形成する。さらに、各共通部１４−１，１４−２を基端として、各共通部の延びる方向と直交する方向に、かつ互いに平行に複数もしくは多数の短い電極指１５−１，１５−２を形成している。
図５は、図４の圧電振動片３２の裏面を表しており、図示するようにアース電極１３−１，１３−２はともに裏面に回り込んでいる。この部分に、図１（ｂ）で説明したパッケージ５７側のアース電極部４２が接続されるようになっている。
すなわち、図１（ｃ）のアース端子としての実装端子４５が図５のアース電極１３−１，１３−２に接続されており、各アース電極１３−１，１３−２は図４の各共通部１４−１，１４−２と接続されているので、該共通部１４−１，１４−２は各電極指１５−１，１５−２のバスバーの役割を果たす。
【００３３】
本実施形態は以上のように構成されており、圧電振動片３２の励振電極と一体の引出し電極３９−１，３９−２の上に絶縁膜１１−１，１１−２を設けて、その上に容量付加用の電極１２−１，１２−２を設けている。つまり、支持用アーム６１，６２の引出し電極を形成したスペースを利用して、容量付加用の電極１２−１，１２−２を設けているので、該容量付加用の電極を設けるに当たり、余分のスペースを設けることがないようにしている。このため、圧電振動片３２は従来どおりの大きさを保ちながら、容量付加用電極１２−１，１２−２を具備することができるものである。
かくして、素子の小型化を妨げることなく、周波数可変感度を良好にすることができる圧電振動片３２と、これを搭載した圧電デバイス３０を提供することができる。
【００３４】
図６は、本実施形態の圧電デバイス３０の周波数可変感度を示すグラフである。
従来の周波数可変感度を表すＡ−１と、本実施形態の圧電デバイス３０の周波数可変感度を表すＡ−２を比較すると理解されるように、小型の圧電デバイスであっても、周波数可変感度はきわめて穏やかになり、これを所定のＩＣ等と組み合わせて、圧電発振器などを形成する場合において、制御しやすい特性を得られることが理解できる。
【００３５】
図７ないし図１０は本発明の第２の実施形態を示し、矩形の振動片を用いた圧電振動片の構成例を示すものである。
なお、これらの図において、第１の実施形態と共通箇所には同一の符号を付して、重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
【００３６】
図７において、圧電振動片３２−１は、圧電材料を矩形もしくは正方形にカットしたタイプのもので、図示の場合ＡＴカット振動片を示している。
図７は圧電振動片３２−１の裏面を示しており、広い主面に形成された駆動電極として励振電極３８−１と、該励振電極３８−１と接続され、四隅のひとつの端部に引き回された引出し電極３９−１を備えている。励振電極３８−１が形成されている範囲が励振部であり、該励振電極３８−１により印加される駆動電圧により、対応領域の圧電材料の表面において、厚み滑り振動が生じるようにされている。
引出し電極３９−１の同じ辺の端部には、引出し電極３９−２が形成されており、該引出し電極３９−２は周縁部を回り込むようにして、後述する表面側の励振電極と一体に接続されている。
【００３７】
引出し電極３９−１と３９−２の間には、アース電極１３−３が形成されており、図７に示す裏面の引出し電極３９−１と３９−２の各部分と、アース電極１３−３部分が、それぞれ例えばパッケージ側に形成したアース電極部に対し導電性接着剤などにより接合される。
すなわち、圧電振動片３２−１は、第１の実施形態とほぼ同様にセラミックパッケージ（図示せず）に収容されて圧電振動子を形成することができるものである。
【００３８】
図８は、図７とは反対面、すなわち表面側を示す図であるが、本実施形態の圧電振動片としては、電極部分が未完成の状態である。
すなわち、表面側においては、引出し電極３９−２の領域が同じ材料により、長さ方向に長く、所定幅を有するように帯状に延長されて、延長部３９−３を形成している。
図９は、この引出し電極３９−２と延長部３９−３の上に、絶縁膜１１−３を形成した状態を示している。
【００３９】
図１０は、容量付加電極１２−３を形成して、圧電振動片３２−１を完成した状態を示している。図７はこの状態の裏側を示すものである。
図１０において、左辺の中央位置からアース電極１３−３を延長して、絶縁膜１１−３の上まで引き回している。このアース電極１３−３は裏面に一体に回り込んで形成されている。
絶縁膜１１−３上のアース電極の端部から、該絶縁膜１１−３が延びる方向に沿って、細長い一本の共通部１４−３を設けている。さらに、共通部１４−３の延びる方向と直交する方向に、かつ互いに平行に複数もしくは多数の短い電極指１５−３を形成することにより、容量付加電極１２−３を形成している。
【００４０】
本実施形態は以上のように構成されており、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮するとともに、さらに、本実施形態では、圧電振動片３２−１を、パッケージに封止した後においても、当該パッケージの蓋体などのいずれかの箇所に光透過部を形成することによって、レーザ光を外部から照射してトリミングし、容量付加電極１２−３の一部の電極指１５−３を共通部１４−３から分離して、周波数調整を行うことが可能である。
【００４１】
本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明は、箱状のパッケージに圧電振動片を収容したものに限らず、シリンダー状の容器に圧電振動片を収容したもの、圧電振動片をジャイロセンサーとして機能するようにしたもの、さらには、圧電振動子、圧電発振器等の名称にかかわらず、圧電振動片を利用したあらゆる圧電デバイスに適用することができる。さらに、圧電振動片３２では、一対の振動腕を形成しているが、これに限らず、振動腕は３本でも、４本以上でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の圧電デバイスの第１の実施形態を示す概略図。
【図２】図１の圧電デバイスに用いる圧電振動片の電極形成工程の図。
【図３】図１の圧電デバイスに用いる圧電振動片の電極形成工程の図。
【図４】図１の圧電デバイスに用いる圧電振動片の電極形成工程の図。
【図５】図１の圧電デバイスに用いる圧電振動片の電極形成工程の図。
【図６】図１の圧電デバイスの周波数可変感度を示すグラフ。
【図７】本発明の圧電振動片の第２の実施形態の概略裏面図。
【図８】図７の圧電振動片の電極形成工程の図。
【図９】図７の圧電振動片の電極形成工程の図。
【図１０】図７の圧電振動片の電極形成工程の図。
【図１１】圧電発振器の等価回路を示す図。
【図１２】従来の圧電デバイスの周波数可変感度を示すグラフ。
【符号の説明】
【００４３】
３０，３０−１・・・圧電デバイス、３２・・・圧電振動片、３４，３５・・・振動腕、６１，６２・・・支持用アーム、１２−１，１２−２，１２−３・・・容量付加電極、２７・・・貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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