(57)【要約】  【課題】電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング槽において、アルミニウム箔と電極板の接触防止バーに起因する、エッチング液の循環不足、ガスの滞留、温度分布のバラツキによる静電容量低下を抑える。  【解決手段】一対の電極板の間に、アルミニウム箔を通過させて通電しエッチングを行う電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置において、  アルミニウム箔と電極板との接触を防止する一対の棒を複数備え、該棒に空気を排出する空気排出口を設けたことを特徴とし、空気排出口の向きが電極側に向いており、空気排出口の大きさが下方ほど大きく、空気排出口の数が下方ほど多いことを特徴とする。  【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極板の間にアルミニウム箔を通過させて通電しエッチングを行う電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置において、
アルミニウム箔と電極板との接触を防止する一対の棒を複数備え、該棒に空気を排出する空気排出口を設けたことを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置。
【請求項２】
請求項１記載の空気排出口の向きが、電極側に向いていることを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置。
【請求項３】
請求項１記載の空気排出口の大きさが下方ほど大きいことを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置。
【請求項４】
請求項１記載の空気排出口の数が下方ほど多いことを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電解コンデンサ用アルミニウム電極箔のエッチング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電解コンデンサ用エッチング箔は、一般に陽極用、陰極用ともエッチング工程にてアルミニウム箔の表面を粗面化し、表面積を拡大して用いられる。
エッチング液としては、アルミニウムを溶解させるため、塩酸溶液にリン酸、硝酸、硫酸、シュウ酸を混合したものが用いられる。
【０００３】
電解コンデンサのエッチング箔の製造方法は、上記の塩酸を含む溶液中で、アルミニウム箔の表裏一対の電極間に、交流電流を印加する方法（以下、間接給電方式という）やアルミニウムと電極間に直流または交流を印加する方法が広く知られている。
その一般的なエッチング装置の構造は、図３に示すように、一対の電極４を平行に複数配置し、アルミニウム箔１を電極間に通過させて、電極間に交流電源２より交流電流を印加する方法（間接給電）で電解が行われ、アルミニウム箔の粗面化処理（エッチング）が行われている（例えば、特許文献１、非特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２６０９６９号公報
【非特許文献１】永田伊佐也著、「電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ」、日本蓄電器工業株式会社、平成９年２月２４日、第２版第１刷、第２５０−２５２頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
現在の工業化されている間接給電方式では、アルミニウム箔を一対の電極板の間に通過させて通電するとき、アルミニウム箔と電極板とが接触しないようにするための手段の一つとして、図３のようにアルミニウム箔１を挟み込むようにして設置された一対の棒（接触防止バー）６を複数設置している。
【０００５】
しかしながら、この接触防止バー６の存在により、エッチング液および電解エッチング時に発生する水素ガスがエッチング液面へと抜けきれずに、接触防止バーと箔との間に滞留し、また、エッチング液組成、温度分布のバラツキなどが起こり、エッチングに有効なピット発生が妨げられ、静電容量の低下を招いていた。
【０００６】
よって、接触防止バーによる静電容量低下を抑えることができるエッチング装置が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記課題を解決するもので、一対の電極板の間にアルミニウム箔を通過させて通電しエッチングを行う電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置において、
アルミニウム箔と電極板との接触を防止する一対の棒を複数備え、該棒に空気を排出する空気排出口を設けたことを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置である。
【０００８】
また、空気排出口の向きが電極側に向いていることを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置である。
【０００９】
さらに、空気排出口の大きさが下方ほど大きいことを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置である。
【００１０】
そして、空気排出口の数が下方ほど多いことを特徴とする電解コンデンサ用アルミニウム箔のエッチング装置である。
【発明の効果】
【００１１】
上記のエッチング装置を使用することにより、エッチング槽の外部のエアーポンプにより、エアーチューブを介して接触防止バー付近に空気を送り込み、この空気を接触防止バーの空気排出口から排気させてバブリングすることで、接触防止バー下部、アルミニウム箔側から電極に向かうエッチング液の流れが作られ、接触防止バー下部とアルミニウム箔との間に滞留する水素ガスを取り除くことで、エッチング箔の静電容量低下を抑えることができる。
さらに、接触防止バー付近からの空気によるバブリングにより、エッチング槽内にあるエッチング液が、より均一に循環されるようになるため、エッチング液組成、温度分布のバラツキがなくなり、ピット発生が促進され、静電容量低下の抑制効果はさらに促進される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本発明の実施例について説明する。
【００１３】
［実施例１］
図１は本発明の実施例によるエッチング装置の断面図、図２（ａ）は図１のバブリングの要部を示す部分斜視図、図２（ｂ）は接触防止バー８を電極側から見た部分斜視図である。
図２（ａ）に示すとおり、一対の電極板４の間を通るアルミニウム箔１と電極板４との間の接触を防止する接触防止バー６には空気排出口８が設けられ、該空気排出口８より気泡が発生し循環するバブリング機能をもたせるようにしている。
ここで、空気排出口８の形状は、図２（ｂ）のように円形であり、電極側に向けて配置される。接触防止バーは、直径１５ｍｍ、長さ５３０ｍｍのものを使用し、これに直径３ｍｍの空気排出口がバー１本当たり６０個、電極側に向かってジグザグに設けられている。上記の接触防止バーを図１に示すように、一対の電極間で３対、計６本設置し、アルミニウム箔１を挟持させている。
上記装置により、エッチング電気量を２０Ｃ／ｃｍ２としてエッチングを行い、静電容量を測定した。
【００１４】
［実施例２］
実施例１と同様のエッチング装置により、エッチング電気量を４０Ｃ／ｃｍ２とした他は実施例と同様にしてエッチングを行い、静電容量を測定した。
【００１５】
（従来例１）
図３は、従来例によるエッチング装置の断面図、図４（ａ）はその要部を示す部分斜視図、図４（ｂ）は接触防止バー８を電極側から見た部分斜視図である。
図４（ａ）に示すとおり、一対の電極板４の間を通るアルミニウム箔１と電極板４との間の接触を防止する接触防止バー６には穴部がなく、バブリング機能も有しない。
上記装置により、エッチング電気量を２０Ｃ／ｃｍ２としてエッチングを行い、静電容量を測定した。
【００１６】
（従来例２）
従来例１と同様のエッチング装置により、エッチング電気量を４０Ｃ／ｃｍ２としてエッチングを行い、静電容量を測定した。
【００１７】
実施例１と従来例１、実施例２と従来例２の静電容量を比較し、比率で表した結果を表１に示す。
【００１８】
【表１】
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【００１９】
表１より明らかなように、図１、２のバブリング機能を有するエッチング装置を使用した実施例１は、図３、４のバブリング機能なしのエッチング装置を使用した従来例１と比較して、静電容量が１％向上している。
【００２０】
さらに、エッチング電気量を２倍に増加させた実施例２では静電容量が３％向上しており、本発明のエッチング装置による効果は、電気量が増加した場合に、より顕著になることが分かる。
【００２１】
ここで、上記の空気排出口の向きは電極側に向けておき、アルミニウム箔側には向けない方がよい。アルミニウム箔側に向けると、箔があおられて電極間の中央から外れるので好ましくない。
【００２２】
そして、上記の空気排出口の大きさを下方ほど大きくしておくか、または、空気排出口の数を下方ほど多くしておくことにより、空気圧が一定になり、バブリングの均一化を図ることができる。
【００２３】
また、上記実施例では、空気排出口を円形としたが、これ以外に、三角形、四角形、その他の多角形、楕円形、円弧状等、適宜、用いることができ、その形状は問わない。
【００２４】
また、図１では、合計１２対の接触防止バーを示したが、バーの数をより増やしたもの、バーを水平方向に対し斜めに配置したものに対しても、効果があり、バーの穴部の数、大きさは、エッチング槽の大きさによって、適宜変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施例によるエッチング装置の断面図である。
【図２】図２（ａ）は図１のバブリングの要部を示す部分斜視図であり、図２（ｂ）は空気排出口を設けた接触防止バーを電極側から見た部分斜視図、である。
【図３】従来例によるエッチング装置の断面図である。
【図４】図４（ａ）は図３の要部を示す部分斜視図であり、図４（ｂ）は空気排出口のない接触防止バーを電極側から見た部分斜視図である。
【符号の説明】
【００２６】
１  アルミニウム箔
２  交流電源
３  エッチング槽
４  電極
５  ローラ
６  接触防止バー
７  空気排出口
８  エアーチューブ
９  エアーポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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