(57)【要約】【課題】  ストッカ装置が複数階に渡り階間を貫くものであっても、火災発生時にストッカ装置内部と火災発生エリアとを遮断でき、階層間の延焼を阻止できるストッカ装置を提供する。【解決手段】  少なくとも２階以上の階層を有する建屋内部に設けられ、複数階を貫き外部と遮断された密閉構造の本体部２と、この本体部２内に多数設けられた保管棚３と、前記本体部２外側面に開口し、荷物を入出庫するための開口部２１、及び、この開口部２１の前後の本体部２内外に設けられた荷物載置台２２を有する少なくとも１つ以上のポート４、５と、前記ポート４、５に載置された荷物を保管棚３に搬入、または、保管棚３から荷物を前記ポート４、５まで搬出するため、前記本体部内２に走行自在に設置されたスタッカクレーン６と、前記ポート４、５の前記開口部２１を閉鎖自在である扉部材７とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２階以上の階層を有する建屋内部に設けられ、複数階を貫き外部と遮断された密閉構造の本体部と、この本体部内に多数設けられた保管棚と、前記本体部外側面に開口し、荷物を入出庫するための開口部、及び、この開口部の前後の本体部内外に設けられた荷物載置台を有する少なくとも１つ以上のポートと、前記ポートに載置された荷物を保管棚に搬入、または、保管棚から荷物を前記ポートまで搬出するため、前記本体部内に走行自在に設置されたスタッカクレーンとを備えてなるストッカ装置であって、前記ポートの前記開口部の全面を閉鎖自在である扉部材を設けてなるストッカ装置。
【請求項２】
前記荷物載置台が、前記本体部外に設置される外部コンベアユニットと、前記本体部内に設置される内部コンベアユニットとから構成され、両コンベアユットを構成するローラの回転制御により、一方のコンベアユニット上に載置された荷物を、他方のコンベアユニット上に移送するよう構成される請求項1に記載のストッカ装置。
【請求項３】
前記外部コンベアユニットと前記内部コンベアユニットの間に、前記扉部材を配設可能な隙間が形成され、この隙間に位置する前記扉部材により、前記開口部を閉鎖できる請求項２に記載のストッカ装置。
【請求項４】
前記の両コンベアユニットは、入庫専用のユニットと出庫専用のユニットとが二列に設けられたものである請求項２又は３に記載のストッカ装置。
【請求項５】
前記扉部材は、防火材を含む防火扉部材に形成されている請求項１〜４のいずれかに記載のストッカ装置。
【請求項６】
前記開口部を閉鎖自在な扉部材が、板部材と、前記板部材をガイドするよう前記開口部の周囲に設けられた溝と、前記板部材が閉鎖する方向に付勢する付勢部材と、前記扉部材が開いた状態で固定するこめの電磁吸着部材とを備えてなり、前記電磁吸着部材の吸着が解除されると、前記付勢部材により前記扉部材が閉鎖するようにした請求項１〜４のいずれかに記載のストッカ装置。
【請求項７】
前記開口部を閉鎖自在な扉部材が、板部材と、前記板部材をガイドするよう前記開口部の周囲に設けられた溝と、前記板部材に固定されたラック部材と、駆動モータに軸止されたピニオンとを備えてなり、前記ラック部材と前記ピニオンとの噛み合いにより前記板部材を閉鎖方向にスライド駆動させるようにした請求項１〜４のいずれかに記載のストッカ装置。
【請求項８】
前記開口部を閉鎖自在な扉部材が、巻き取り軸の回動により巻き取りと繰り出し可能なシャッタと、前記巻き取り軸を回転駆動させるモータと、前記シャッタをガイドするように前記開口部の周囲に設けられた溝とを備えてなり、前記シャッタを前記開口部に向けて繰り出せるようにした請求項１〜４のいずれかに記載のストッカ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム等に階層をまたいで設置されるストッカ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路、液晶表示装置などを生産する製造プロセスでは、ある製造プロセスから次の製造プロセスに工程を進める段階で、時間調整等のために製造途中の基板をキャリア等に収納し、このキャリアをクリーンルーム内の設置されたストッカ装置に一時的に保管するようになっている。
【０００３】
このストッカ装置は、本体部内に多数設けられた保管棚と、荷物を入出庫するための１つ以上のポートと、前記本体部内に走行自在に設置されたスタッカクレーンなどから構成される。
【０００４】
近年の製造プロセスでの基板の大型化などに伴い、このストッカ装置も大型化している。そのため、少なくとも２階以上の階層を有する建屋内部に設けられ、複数階を貫き外部と遮断された密閉構造の本体部と、この本体部内に多数設けられた保管棚とを有するストッカ装置が用いられるようになってきた。
【０００５】
一方、前記クリーンルームは、塵埃の浮遊しないクリーン環境が必要なため閉鎖空間となっているため、火災など工場の安全対策には特に注意が払われている。半導体工場等では火災が発生した場合、火災の拡大を防止するため、防火扉を設け防火扉で火災の延焼を遮断し火災被害を最小限にくい止めるための施策が採られている。
【０００６】
防火扉は工場のフロア単位、エリア単位に設けられるが、フロア間は通常天井で仕切られる。しかし、階層間を貫く階段、エレベータ等は天井で仕切ることが不可能であり、これらエリアは他のエリアとを隔絶させるための防火扉が別途設けられる。
【０００７】
一般的なストッカ装置の防火対策として設けられる防火扉には、例えば特開平９−２２６９０８号公報に開示されるものがある。
【０００８】
しかしながら、生産工場の生産エリア内に設けられ、階層間を貫くストッカ装置は、ストッカ装置内部へのキャリア（FOUP）搬入出ポート部がベルト式移載手段で構成される等構造上の制約から防火扉の設置が困難で、防火扉等によるストッカ装置の内外部の遮断は困難であった。従って、エレベータや階段とは異なり、階層間を貫くストッカは火災発生時、階層間にまたがる煙突として延焼促進作用を果たす恐れがあった。
【特許文献１】特開平９−２２６９０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
解決しようとする問題点は、ストッカ装置が複数階に渡り階間を貫くものであっても、火災発生時にストッカ装置内部と火災発生エリアとを遮断でき、階層間の延焼を阻止できるストッカ装置とする点である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明１は、少なくとも２階以上の階層を有する建屋内部に設けられ、複数階を貫き外部と遮断された密閉構造の本体部と、この本体部内に多数設けられた保管棚と、前記本体部外側面に開口し、荷物を入出庫するための開口部、及び、この開口部の前後の本体部内外に設けられた荷物載置台を有する少なくとも１つ以上のポートと、前記ポートに載置された荷物を保管棚に搬入、または、保管棚から荷物を前記ポートまで搬出するため、前記本体部内に走行自在に設置されたスタッカクレーンとを備えてなるストッカ装置であって、前記ポートの前記開口部の全面を閉鎖自在である扉部材を設けてなることを最も主要な特徴とする。
【００１１】
本発明２は、本発明１において、前記荷物載置台が、前記本体部外に設置される外部コンベアユニットと、前記本体部内に設置される内部コンベアユニットとから構成され、両コンベアユットを構成するローラの回転制御により、一方のコンベアユニット上に載置された荷物を、他方のコンベアユニット上に移送するよう構成されることを要旨とする。
【００１２】
本発明３は、本発明２において、前記外部コンベアユニットと前記内部コンベアユニットの間に、前記扉部材を配設可能な隙間が形成され、この隙間に位置する前記扉部材により、前記開口部を閉鎖できることを要旨とする。
【００１３】
本発明４は、本発明２又は３において、前記の両コンベアユニットは、入庫専用のユニットと出庫専用のユニットとが二列に設けられたものであることを要旨とする。
【００１４】
本発明５は、本発明１〜４のいずれかにおいて、前記扉部材は、防火材を含む防火扉部材に形成されていることを要旨とする。
【００１５】
本発明６は、本発明１〜４のいずれかにおいて、前記開口部を閉鎖自在な扉部材が、板部材と、前記板部材をガイドするよう前記開口部の周囲に設けられた溝と、前記板部材が閉鎖する方向に付勢する付勢部材と、前記扉部材が開いた状態で固定するこめの電磁吸着部材とを備えてなり、前記電磁吸着部材の吸着が解除されると、前記付勢部材により前記扉部材が閉鎖するようにしたことを要旨とする。
【００１６】
本発明７は、本発明１〜４のいずれかにおいて、前記開口部を閉鎖自在な扉部材が、板部材と、前記板部材をガイドするよう前記開口部の周囲に設けられた溝と、前記板部材に固定されたラック部材と、駆動モータに軸止されたピニオンとを備えてなり、前記ラック部材と前記ピニオンとの噛み合いにより前記板部材を閉鎖方向にスライド駆動させるようにしたことを要旨とする。
【００１７】
本発明８は、本発明１〜４のいずれかにおいて、前記開口部を閉鎖自在な扉部材が、巻き取り軸の回動により巻き取りと繰り出し可能なシャッタと、前記巻き取り軸を回転駆動させるモータと、前記シャッタをガイドするように前記開口部の周囲に設けられた溝とを備えてなり、前記シャッタを前記開口部に向けて繰り出せるようにしたことを要旨とする。
【発明の効果】
【００１８】
火災発生時に、ポートの開口部を扉部材が閉鎖することにより、ストッカ装置の本体部の密閉構造が保たれ、ストッカ装置が複数階に渡り階間を貫くものであって、階層間の延焼を阻止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係るストッカ装置の実施形態について説明する。
【００２０】
本実施例に係るストッカ装置１は、図１に示すように、本体部２と、多数の保管棚３と、１階用ポート５と、２階用ポート４と、スタッカクレーン６と、扉部材７とを備えて構成される。
【００２１】
クリーンルームを形成する建屋内部に設けられる本体部２は、建屋の一階から二階に渡って、一階天井を貫く箱体であって、外部と遮断される密閉構造となった箱体により形成されている。図示例では、一階基礎１１から一階床１２を貫き、更に二階床１３も貫き、建屋天井１４の際まで、本体部２が設けられている。
【００２２】
この本体部２の内部の両側に、多数の保管棚３が上下方向に列設されている。この保管棚３には、キャリア（荷物）１５が図示のように載置される。この本体部２の左右保管棚３間の中央空間に、スタッカクレーン６が走行自在に配設される。
【００２３】
スタッカクレーン６は、走行の為の車輪１６を備えるスタッカ支柱１７に昇降自在なスタッカロボット１８を設けた構成となっている。スタッカロボット１８は、キャリア１５を把持するチャックを先端に備えるハンド装置であって、所定の保管棚とポート４，５の内部コンベアユニット（荷物載置台）２４との間で、キャリア１５を移載できるように構成されている。
【００２４】
１階用ポート５と２階用ポート４は、前記本体部２の外側面に開口する開口部２１と、この開口部２１の前後の本体部２に渡って設けられた荷物載置台２２とを有する構成である。荷物載置台２２は、本体部２の外に設置される外部コンベアユニット２３と、本体部２の内に設置される内部コンベアユニット２４とからなる。この外部コンベアユニット２３と内部コンベアユニット２４との間であって、本体部２の開口部２１の外側には、コンベアユニットがない隙間２５が形成されている。
【００２５】
１階用ポート４と２階用ポート５の各々の外側コンベアユニット２３は、天井からの吊り部材２６により支持されている。この外側コンベアユニット２３の上方の天井には、レール２７に沿って走行自在な天井搬送車２８が設けられている。天井搬送車２８は、外側コンベアユニット２３からキャリア１５を運んだり、外側コンベアユニット２３へとキャリア１５を運んだりすることができる。このような２階用ポート４は、図示例では二階側に設けられ、１階用ポート５は、一階側に設けられるというように、各階でのポート４、５を経てのキャリア１５の入出庫が可能になっている。
【００２６】
そして、前記コンベアユニット２４の間の隙間２５を通過して、本体部２の開口部２１を閉鎖自在な扉部材７が設けられている。この扉部材７の構成を、図２を参照して詳しく説明する。
【００２７】
扉部材７は、板部材３１と、上下のスライド溝３２、３３と、板部材３１に連結される閉鎖方向の付勢部材３４と、板部材３１の開状態を保持する電磁吸着部材３５とからなる。
【００２８】
板部材３１は、耐火パネル、鉄板のような防火材で形成され、本体部２に設けられた開口部２１の全面を覆うことができる大きさを有している。上下のスライド溝３２、３３は、開口部２１の上下の本体部２に取り付けられたＬ字アングルであり、板部材３１の上下部分がスライドできるようになっている。このスライド溝３２、３３は、外部コンベアユニット２３と本体部２との間の隙間２５にも板部材３１が位置できるように配設されている。また、板部材３１の閉鎖時の先端が当接する側溝が例えばＬ字アングルを用いて形成されている。これにより、板部材３１はその閉鎖時には、開口部２１を気密状態にして覆うことができる。なお、板部材３１が開口部２１を完全な密閉状態にして覆えるように、閉鎖時に板部材３１を開口部２１に向けて押圧する押圧手段を設けたり、板部材３１と開口部２１との間にシール部材を配設したりすることもできる。
【００２９】
付勢部材３４は、一端が板部材３１に固定され、他端が巻き取り部材３８の巻き取り軸に固定された巻き取りベルト３７とにより形成されている。巻き取り部材３８は、例えば渦巻きバネを巻き取り軸に巻回し、巻き取り軸を巻き取り方向に回転付勢するものである。電磁吸着部材３５は、板部材３１に固定された磁気吸着用磁性部材３９と、ソレノイド支持部材４０を介して本体部２に固定されたソレノイド４１とからなる。
【００３０】
通常防火扉を構成する板部材３１は作業者等がマニュアル操作で図右側にスライド移動させる。このとき、ソレノイド支持板４０を介して本体部２に固定されたソレノイド４１が通電励磁され、板部材３１に固定された磁気吸着用磁性部材３９を磁気吸着する。即ち、板部材３１は図面右側に位置したまま開状態に保持される。
【００３１】
一方、ソレノイド４１の通電が断となると、板部材３１は渦巻きバネ等の巻き取り部材３８が巻き取りベルト３７を巻き取るため、巻き取りベルト３７により上下方向１対のスライド溝３２、３３をスライドして、図面左側まで移動し、板部材３１でポートの開口部２１を閉状態に保持する。このソレノイド４１に対する通電断は、火災検出システムに連動して行われる、すなわち火災検知信号により自動的にソレノイド４１に対する通電断が行われる。なお、荷物載置台２２のうえにてキャリア１５を搬送中の場合、キャリア１５が開口部２１を通過してから、板部材３１が開口部２１を閉鎖するように、ソレノイド４１に対する通電断のタイミングが制御される。
【００３２】
つぎに、この扉部材７に対して好ましい適用例である内外コンベアユニット２３、２４を、図２乃至図５により説明する。
【００３３】
コンベアユニット２３、２４は、四角枠のフレーム５１の左右側面に、駆動ローラ５２と従動ローラ５３とを取り付けて構成される。図３及び図４に示されるように、駆動ローラ５２は、フレーム５１に回転自在に突設された回転軸５４に、荷受けローラ５５を嵌入し、更に歯付きスプロケット５６を嵌入したものを、等間隔で多数（図示例では５個）配列して構成される。更に、駆動ローラ５２のスプロケット５６に対してタイミングベルト５７が、テンションスプロッケット５８と駆動モータ５９の出力軸に嵌入されたスプロット６０を介して、巻掛けられている。テンションスプロケット５８はタイミングベルト５７に張力を発生させ、フレーム５１に取付位置可動にボルト止めされる。
【００３４】
従動ローラ５３は、駆動ローラ５２から駆動の為のスプロケットやタイミングベルトを除いたものと同様の構成となっており、回転軸の回転に伴ってフリーに回転するようになっている。
【００３５】
駆動ローラ５２と従動ローラ５３の荷受けローラは、その周囲（外層）がウレタンゴム５５ａで形成されたものであり、その外側側面にはツバ５５ｂが設けられたものである。
【００３６】
駆動ローラ５２はフレーム５１にその回転軸５４が回転自在に軸止され、タイミングベルト５７と歯付きスプロケット５６の噛み合いと、駆動モータ５９の回転により回転駆動される。キャリア１５は図４に示すように駆動ローラ５２および従動ローラ５３の荷受けローラ５５の外層に設けられたウレタンゴム５５ａに支えられ、左右方向の位置ズレをツバ５５ｂにより規正されながら、駆動ローラ５２および従動ローラ５３の回転により搬送される。
【００３７】
図５は入庫部と出庫部に機能が専用化された２対のコンベアユニット２３Ａ、２３Ｂを中心軸の左右対称に並べて設けた形式のポートの上面図である。図２のように、ポートは１対のコンベアユニット２３であっても駆動ローラ５２を正転と逆転に切り換えることで、入庫と出庫動作を行えるが、入出庫頻度の高いポートでは駆動ローラ５２の回転方向切換時間がムダ時間となり、搬送効率が低下し処理しきれなくなる。従って、通常は図５の入庫と出庫に専用化された１対のコンベアユニット式ポートを２列に並べるものが採用される。
【００３８】
この場合、本体部２の側壁に設けられる開口部２１はその幅方向が大きなものとなるが、その分だけ長い板部材３１が開口部２１を閉鎖可能となるように設けられる。
【００３９】
図６及び図７は防火用扉部材の他の実施例である。防火用の扉部材７０は、防火材で形成された板部材７１と、この板部材７１に設けられたラック７２と、駆動モータ７３の回転軸に軸止されたピニオン７４とを備えてなる。ピニオン７４がラック７２と噛み合い、駆動モータ７３が正逆転することにより、本体部２に設けられた開口部２１の両側の壁に設けられた扉用側溝７５内を板部材７１が上下にスライド移動し、開閉動作を行う。なお、開口部２１の下部には図示されない扉用下溝が設けられ、扉部材の閉状態では両側の側溝（スライド溝）７５と下溝により気密性が確保される。また、駆動モータ７３による扉部材７０の閉鎖駆動は、火災検出システムと連動しており、火災検知とともに自動的に行われる。
【００４０】
図８は防火用の扉部材の更に他の実施例である。扉部材８０は、巻き取り自在な防火シャッタ８１と、その巻き上げ装置８２とからなる。巻き上げ装置８２は、巻き取り軸８３を駆動モータ８４によりタイミングベルト８５を介して回動させ、防火シャッタ８１を巻き上げ、又は、繰り出す。シャッタ８１は両側の壁に設けられた防火シャッタ用の図示されない側溝（スライド溝）内を上下にスライドし、開閉動作を行う。なお、ポート下部には防火シャッタ用の図示されない下溝が設けられ、防火シャッタ８１の閉状態では両側の側溝と下溝により防火シャッタ８１による気密性が確保される。また、防火シャッタ８１の繰り出し駆動は、火災検出システムと連動しており、火災検知とともに自動的に行われる。
【００４１】
次に、上記の構成におけるストッカ装置１の動作について説明する。図１において、通常の動作では、防火用の扉部材７は、開状態に保たれる。図２の扉部材７にあっては、板部材３１が作業員の手によって開状態とされ、板部材３１の電着部材３９がソレノイド４０に吸着され、板部材３１の開状態が保持される。
【００４２】
ストッカ装置１に対するキャリアの入出庫は、１階に対してはポート５により、２階に対してはポート４を介して行われる。２階での出庫の場合、スタッカクレーン６が、特定の保管棚３からキャリア１５を運び出し、更にポート４の内部コンベアユニット２４の上にキャリア１５を載せる。内外の一対のコンベアユニット２３，２４が、搬出方向に駆動され、キャリア１５は、外部コンベアユニット２３の上に移動する。このとき、両コンベアユニット２３，２４の間の隙間２５は少ないため、キャリア１５は内外コンベアユニット２３、２４の間を容易に移動できる。外部コンベアユニット２３の上のキャリア１５は天井搬送車２８により、次工程の処理装置まで搬送される。
【００４３】
２階での入庫の場合、天井搬送車２８によりキャリア１５が運ばれ、外部コンベアユニット２３の上に載置される。内外の一対のコンベアユニット２３，２４が、搬入方向に駆動され、キャリア１５は、内部コンベアユニット２４の上に移動する。このとき、両コンベアユニット２３，２４の間の隙間２５は少ないため、キャリア１５は内外コンベアユニット２３、２４の間を容易に移動できる。そして、スタッカクレーン６が、内部コンベアユニット２４の上のキャリア１５を特定の保管棚３まで運ぶ。
【００４４】
このように、開口部２１に対する扉部材７が開いた状態で、隙間２５を介してのキャリア１５の搬送が確実に行われる。
【００４５】
つぎに、火災検知システムが作動し、建屋の火災を検出すると、その検出信号により、その板部材３１が閉鎖方向に駆動される。図２の電磁吸着式の扉部材７の場合、ソレノイド４１の通電が断となり、板部材３１は、付勢部材３４により自動的に閉鎖状態まで引き込まれる。このとき、板部材３１と開口部２１との間は、スライド溝３２、３３や図示されない側溝により、気密状態が保たれる。
【００４６】
図６及び図７の上下スライド式の扉部材７０の場合、火災検知システムが作動し、建屋の火災を検出すると、その検出信号により、その板部材７１が下方に向けて駆動される。このとき、板部材７１と開口部２１との間は、両側の側溝７５と下溝により板部材７１による気密性が保たれる。
【００４７】
図８のシャッタ式の扉部材８０の場合、火災検知システムが作動し、建屋の火災を検出すると、その検出信号により、そのシャッタ８１が下方に向けて繰り出される。このとき、防火シャッタ８１の閉状態では三方の溝により防火シャッタ８１による気密性が保たれる。また、扉部材そのものが防火材で形成されるため、その防火性にも優れる。
【００４８】
前述したストッカ装置１では、２階以上の階層を有する建屋内部に、１階と２階に渡って密閉状態のストッカ本体が設けられ、１階又は／及び２階に必要な入出庫用のポートが設けられている為、各階での入出庫が可能で、大型のストッカを配設することができ、スペースを有効利用して、大量のキャリアを保管することができる。
【００４９】
このように複数階に渡ってストッカ本体が設けられる場合、入出庫のための開口部を経て他の階層まで連通するため、火災時には、開口部を扉部材で自動的に閉鎖する。これにより、ストッカ本体の密閉構造が維持され、開口部を経ての熱気の連通が阻止される。
【００５０】
このとき、ポートに設けられる荷物載置台が、外部コンベアユニットと内部コンベアユニットから構成され、両者の間の隙間に扉部材が侵入して開口部を閉鎖するため、扉部材による開口部の密閉構造が確実なものとなる。
【００５１】
一方、荷物載置台が、外部コンベアユニットと内部コンベアユニットとから構成され、搬入方向又は搬出方向に連動駆動される構造であるため、隙間を経てのキャリアの搬送はスムースに行われる。
【００５２】
また、図２の電磁吸着式の扉部材７の場合、図６及び図７の上下スライド式の扉部材７０の場合、図８のシャッタ式の扉部材８０の場合のいずれの場合も、板部材又はシャッタの両側と先端側が、溝に入るようになっており、開口部に対する気密状態が良好に保持できる。
【００５３】
次に、本実施形態における上記の効果を確認するため、比較例を検討した。図９において、ポートのコンベアユニット１０１は、内外一体のベルト式移載装置として構成されている。このとき、開口部に対する扉部材１０２は、ベルト式移載装置の上まで下降して、開口部を閉鎖するようにした。
【００５４】
扉部材１０２は、開口部を全部閉鎖するものではないため、ベルト式移載置装置を介してストッカ装置の内外が連通しており、火災時のストッカ装置本体の遮断としては不十分であることが判った。
【００５５】
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。
即ち、ストッカ装置は、１階から３階に渡って形成されるものでもよく、或いは、２階から３階に渡って形成されるものであってもよい。
【００５６】
また、ストッカ装置に設けられるポートは、各階に設けられるものに限らず、１階から２階に渡るストッカ装置であって、一階だけにポートが設けられるものであってもよい。一階からストッカ装置を介して２階まで熱気が送り込まれることを防止できる。
【００５７】
また、内外一対のコンベアユニットは、ローラを用いるものに限らず、コンベアベルトを用いる内外一対のコンベアユニットであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、クリーンルームに階層をまたいで設置されるストッカ装置に限らず、複数階に渡って形成される密閉構造のストッカ装置であれば、一般工場内のストッカ装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明のストッカ装置の側面断面図である。
【図２】本発明のストッカ装置におけるポートの構成を示す斜視図である。
【図３】ポートの荷物載置台の内側からの側面図である。
【図４】ポートの荷物載置台の正面図である。
【図５】ポートの荷物載置台の上面図である。
【図６】本発明のストッカ装置における他のポートの構成を示す斜視図である。
【図７】図６の扉装置の断面図である。
【図８】本発明のストッカ装置における更に他のポートの構成を示す斜視図である。
【図９】比較例のストッカ装置の側面断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１    ストッカ装置
２    本体部
３    保管棚
４    ２階用ポート
５    １階用ポート
６    スタッカクレーン
１５    キャリア
２１    開口部
２２    物品載置台
２３    外部コンベアユニット
２４    内部コンベアユニット
２５    隙間
３１    板部材
３４    付勢部材
３５    電磁吸着部材
７０    扉部材
７１    板部材
７２    ラック
７３    モータ
７４    ピニオン
７５    スライド溝
８０    扉部材
８１    シャッタ
８２    巻き上げ装置
８４    モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2007022677.tif 000006
【図５】
2007022677.tif 000007
【図６】
2007022677.tif 000008
【図７】
2007022677.tif 000009
【図８】
2007022677.tif 000010
【図９】
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