(57)【要約】      （修正有）【課題】感光性材料を付着させたスクリーンの全面にわたって十分な量の光をより均一に照射することができ、感光性材料の硬化領域と未硬化領域とからなるパターンを精密に再現性よく確実にかつ効率的に形成可能な露光装置および露光方法を提供する。【解決手段】感光性材料を付着させたスクリーン２に、光透過領域と非光透過領域とによるパターンが形成されたマスク３を介して、光源４からの光を照射することによって、前記の感光性材料を付着させたスクリーン２に感光性材料の硬化領域２ａと未硬化領域２ｂとからなるパターンを形成させる露光装置１であって、光源４として、棒状の光源が用いられ、かつこの棒状の光源が前記の感光性材料を付着させたスクリーン２に対して平行状態を維持したまま平行方向に回転可能に設置されていることを特徴とする露光装置、および露光方法。【選択図】図１
2007178622.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性材料を付着させたスクリーンに、光透過領域と非光透過領域とによるパターンが形成されたマスクを介して、光源からの光を照射することによって、前記の感光性材料を付着させたスクリーンに感光性材料の硬化領域と未硬化領域とからなるパターンを形成させる露光装置であって、
光源として、棒状の光源が用いられ、かつこの棒状の光源が前記の感光性材料を付着させたスクリーンに対して平行状態を維持したまま平行方向に回転可能に設置されていることを特徴とする、露光装置。
【請求項２】
前記の棒状の光源が、前記の感光性材料を付着させたスクリーンに対して平行状態を維持したまま平行方向に９０度以上回転可能に設置された、請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記の棒状の光源と、前記の光透過領域と非光透過領域とによるパターンが形成されたマスクとの間に、光透過性の光学材料が設置された、請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記の光透過性の光学材料がフレネルレンズおよび／またはコンデンサーレンズである、請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
感光性材料を付着させたスクリーンに、光透過領域と非光透過領域とによるパターンが形成されたマスクを介して、光源からの光を照射することによって、前記の感光性材料を付着させたスクリーンに感光性材料の硬化領域と未硬化領域とからなるパターンを形成させる際に、
光源として、棒状の光源を用い、かつこの棒状の光源を前記の感光性材料を付着させたスクリーンに対して平行状態を維持したまま平行方向に回転させることを特徴とする、露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置および露光方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、スクリーン印刷版を製版する際には、感光性材料を付着させたスクリーンに、パターン形成されたマスクを介して、光を照射することにより、前記の感光性材料を付着させたスクリーンに感光性材料の硬化領域と未硬化領域とからなるパターンを形成させることからなる露光工程が行われている。
【０００３】
この露光工程では、感光性材料を付着させたスクリーンに精度よくパターンを形成させるために、感光性材料を付着させたスクリーンの全面にわたって、高精度でかつ均一に光源からの光を照射することが特に重要である。光の照射が不均一で、光照射量が不十分な部分が存在する場合には、その部分における感光性材料の硬化が十分進行しないことがあって、それがパターン再現性の悪化や耐印刷劣化の原因となることがあった。感光性材料の硬化が十分でない部分が発生することによるこの問題は、光の照射時間を十分に長くすることによってある程度低減することができる。しかし、そのように光の照射時間を長くすることは、生産性を低下させるとともに、過剰露光部分の発生により同じくパターン再現性の悪化を招く場合があることから好ましくない。
【０００４】
パターンのひずみを改善する一つの方法として、特開平５−２１６１２７号公報には、原板フィルムの下方に実質的に静止した状態で光源を保持すると共に原板フィルムと光源との間にフレネルレンズを設けてなる反転プリンターの歪みの防止方法が開示されている。
【特許文献１】特開平５−２１６１２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記の反転プリンターの歪みの防止方法は、所定位置に静止状態で保持された点光源から原板フィルム全面に分散・拡散させられた光を平行にする方法であって、照度のバラツキを抑制するには不十分であった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による露光装置は、感光性材料を付着させたスクリーンに、光透過領域と非光透過領域とによるパターンが形成されたマスクを介して、光源からの光を照射することによって、前記の感光性材料を付着させたスクリーンに感光性材料の硬化領域と未硬化領域とからなるパターンを形成させる露光装置であって、光源として、棒状の光源が用いられ、かつこの棒状の光源が前記の感光性材料を付着させたスクリーンに対して平行状態を維持したまま平行方向に回転可能に設置されていること、を特徴とするものである。
【０００７】
このような本発明による露光装置は、好ましい態様として、前記の棒状の光源が、前記の感光性材料を付着させたスクリーンに対して平行状態を維持したまま平行方向に９０度以上回転可能に設置されたもの、を包含する。
【０００８】
このような本発明による露光装置は、好ましい態様として、前記の棒状の光源と、前記の光透過領域と非光透過領域とによるパターンが形成されたマスクとの間に、光透過性の光学材料が設置されたもの、を包含する。
【０００９】
このような本発明による露光装置は、さらに好ましい態様として、前記の光透過性の光学材料がフレネルレンズおよび／またはコンデンサーレンズであるもの、を包含する。
【００１０】
そして、本発明による露光方法は、感光性材料を付着させたスクリーンに、光透過領域と非光透過領域とによるパターンが形成されたマスクを介して、光源からの光を照射することによって、前記の感光性材料を付着させたスクリーンに感光性材料の硬化領域と未硬化領域とからなるパターンを形成させる際に、光源として、棒状の光源を用い、かつこの棒状の光源を前記の感光性材料を付着させたスクリーンに対して平行状態を維持したまま平行方向に回転させること、を特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明による露光装置または露光方法は、感光性材料を付着させたスクリーンに、光透過領域と非光透過領域とによるパターンが形成されたマスクを介して、光源からの光を照射することによって、前記の感光性材料を付着させたスクリーンに感光性材料の硬化領域と未硬化領域とからなるパターンを形成させる露光装置または露光方法であって、光源として、棒状の光源が用いられ、かつこの棒状の光源が前記の感光性材料を付着させたスクリーンに対して平行状態を維持したまま平行方向に回転可能に設置されていることから、感光性材料を付着させたスクリーンの全面にわたって十分な量の光をより均一に照射することができる。
【００１２】
そして、このことによって従来よりパターンの版内のバラツキが少ない刷版を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明による露光装置または露光方法は、この棒状の光源が前記の感光性材料を付着させたスクリーンに対して平行状態を維持したまま平行方向に回転可能に設置されていることを一つの主要な特徴とする。棒状の光源の回転角度は任意であるが、好ましくは９０度以上、特に好ましくは１８０度以上３６０度以下である。この棒状の光源は、同一回転方向に連続して回転させることができるし、所定角度回転させ（好ましくは、例えば１８０度回転させ）、途中で一旦回転を停止した後に、同一方向または反対方向に回連させることもできる。
【００１４】
本発明による露光装置または露光方法において、棒状の光源の数ならびにその配置方法は任意である。例えば、棒状の光源を１本設置することができるし、複数本の棒状の光源を設置することができる。
【００１５】
図１は、本発明による露光装置の概要を示す側断面図である。
【００１６】
図１に示される露光装置１は、感光性材料を付着させたスクリーン２に、光透過領域３ａと非光透過領域３ｂとによるパターンが形成されたマスク３を介して、光源からの光を照射することによって、前記の感光性材料を付着させたスクリーン２に感光性材料の硬化領域２ａと未硬化領域２ｂとからなるパターンを形成させる露光装置であって、光源として、棒状の光源４が用いられ、かつこの棒状の光源４が前記の感光性材料を付着させたスクリーン２に対して平行状態を維持したまま平行方向に回転可能に設置されているものである。
【００１７】
図１に示される露光装置１においては、棒状の光源４と光透過領域と非光透過領域とによるパターンが形成されたマスク３との間に、光透過性の光学材料７を、必要に応じて設置することができる。この光透過性の光学材料７の好ましい具体例としては、光透過性のガラス板あるいはフレネルレンズ、コンデンサーレンズ、熱線カットフィルターなどを挙げることができる。
【００１８】
図２〜図６は、図１に示される露光装置１を棒状の光源４の配置ならびに回転状況を、露光装置１の上方側から表したものであって、好ましい幾つかの代表例について示すものである。図２、図３、図４は、棒状の光源４を１本用いた場合について示すものであり、図５は、棒状の光源４を２本用いた場合について示すものであり、図６は、棒状の光源４を３本用いた場合について示すものである。棒状の光源４を複数本用いる場合は、棒状の光源４は、互いに平行に設置（図５、図６）することができるし、任意の角度をもって設置することができる（図７（Ａ）〜図７（Ｈ））。ここで、図１〜図８において、２は感光性材料を付着させたスクリーンを示し、３は光透過領域と非光透過領域とによるパターンが形成されたマスクを示す。×印は棒状の光源４を感光性材料を付着させたスクリーン２に対して平行状態を維持したまま平行方向に回転させるときの、回転中心を示す。回転中心×の周囲の矢印は、棒状の光源４の回転方向および回転角度を示す。例えば、図３には、棒状の光源４が回転角度１８０度の範囲内において右回転および左回転可能なことが示されている。なお、棒状の光源４を平行方向に回転させる際の回転中心×は、感光性材料を付着させたスクリーン２の中心と一致させることが好ましいが、一致していなくても良い。また、回転中心×は、図２および図３に示されるように、棒状の光源４の内部に存在していても、図４〜５に示されるように、棒状の光源４の外部に存在していてもよい。また、この回転中心×は、場合により、棒状の光源４の回転に同調して、あるいは棒状の光源４の回転とは全く独立して、移動することもできる。
【実施例】
【００１９】
図８に示されるように、縦１１００ｍｍ×横１１００ｍｍの正方形の感光性材料を付着させたスクリーン２を設置し、さらにその上に縦１０００ｍｍ×横１０００ｍｍの正方形のマスクフィルム３（約１５０μｍのラインかつスペースのパターン）を重ね合わせた。この時、感光材料は（株）ムラカミ製ＭＳ−Ｆｉｌｍの厚み１５μｍを使用し、スクリーンメッシュはポリエステルの３００メッシュを使用した。
【００２０】
光源とマスクフィルムとの間に、フレネルレンズとコンデンサーレンズが配置されている。
【００２１】
さらに、図２に示されるように、その棒状の光源４の中央部を回転中心にして平行状態を維持したまま平行方向に回転可能に設置されている。
【００２２】
この棒状の光源４を、発光させながら、４５秒間かけて１８０度回転させたときの、マスク３表面における中心部（Ａ点）と半径５００ｍｍの円周上の４点（Ｂ〜Ｅ点）における光量を、紫外線照度計光量計測定装置（オーク社製、ＵＶ−Ｍ０３のＵＶ４２センサーを使用）により測定した。尚、棒状の光源の回転開始時および回転終了時における棒状の光源４の向きは、Ｂ点とＤ点とを結ぶ直線と平行であり、棒状の光源４の回転中心×はＡ点の鉛直線上に存在する。その結果は、表１に示される通りである。
【００２３】
一方、比較のために、棒状の光源４を回転させることなく４５秒間照射した以外は上記と同様にして、上記のＡ〜Ｅ点の照度を測定した。結果は、表２に示される通りである。
【表１】
2007178622.tif 000003
【表２】
2007178622.tif 000004
【００２４】
そして、上記のように、棒状の光源を回転させた場合、および棒状の光源を回転させなかった場合のそれぞれから、露光後の、感光性材料を付着させたスクリーン２を取り出し、現像を行った。このスクリーン２の上記Ａ〜Ｅ点の対応箇所における感光性材料の線幅をマスク設計値と比較した。結果は、表３および表４に示される通りである。
【表３】
2007178622.tif 000005
【表４】
2007178622.tif 000006
【００２５】
上記のように、棒状の光源を用い、かつこの棒状の光源が前記の感光性材料を付着させたスクリーンに対して平行状態を維持したまま平行方向に回転させることによって、感光性材料を付着させたスクリーンの全面にわたって十分な量の光をより均一に照射することができる。
【００２６】
そして、感光性材料を付着させたスクリーンの全面にわたって、感光性材料の硬化領域と未硬化領域とからなるパターンを精密に再現性よくかつ確実に形成させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明による露光装置の概要を示す側断面図。
【図２】棒状の光源の配置を示す図。
【図３】棒状の光源の配置ならびに回転状況を示す図。
【図４】棒状の光源の配置を示す図。
【図５】棒状の光源の配置を示す図。
【図６】棒状の光源の配置を示す図。
【図７】棒状の光源の配置を示す図。
【図８】実施例において使用された露光装置の概要を示す図。
【符号の説明】
【００２８】
１  露光装置
２  感光性材料を付着させたスクリーン
２ａ  感光性材料（硬化領域）
２ｂ  感光性材料（未硬化領域）
２’  スクリーン
３  マスク
３ａ  マスク（光透過領域）
３ｂ  マスク（非光透過領域）
４  光源
４ａ  光源から発せられる光
５  駆動部
６  駆動装置
７  光学材料
×  回転軸
【図１】
2007178622.tif 000007
【図２】
2007178622.tif 000008
【図３】
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【図４】
2007178622.tif 000010
【図５】
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【図６】
2007178622.tif 000012
【図７】
2007178622.tif 000013
【図８】
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