(57)【要約】【課題】  簡単な構造でありながら、板材を撓ませることなく簡単に保持することができる板材の自立補助機構を提供することである。【解決手段】  板材Ｗが載置される載置部材６に当該板材Ｗの下端Ｗ２を載置して立て掛けられ、その板材Ｗが鉛直に起立した状態で、その一方の面Ｗａの上端部Ｗａ１を支持する支持部材７と、前記板材Ｗの他方の面Ｗｂの上端部Ｗｂ１に接触して前記支持部材７との間で前記板材Ｗを挟み込み、前記板材Ｗが前記支持部材７から離れないように保持する保持部材８とを備えている。【選択図】図１
2007084333.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板材が起立して載置される載置部材と、
前記板材の一方の面の上端部又は側端部に接触して、前記板材を鉛直に立て掛けうるように支持して、前記一方の面側から前記板材の自立を補助する支持部材と、
前記板材の他方の面の上端部又は側端部に接触して、前記板材が前記支持部材から離れないように保持して、前記他方の面側から前記板材の自立を補助する保持部材と、を備えている板材の自立補助機構。
【請求項２】
前記載置部材に設けられ、前記一方の面に接触する前記支持部材の接触面と同一の鉛直平面上に形成される基準面を備え、
当該基準面が、前記支持部材に鉛直に立て掛けられた前記板材の一方の面の下端部に接触するものである請求項１記載の板材の自立補助機構。
【請求項３】
前記載置部材に設けられ、前記板材の他方の面側に当該板材が前記載置部材から滑り落ちないようにする滑り止め部をさらに備えている請求項１又は２記載の板材の自立補助機構。
【請求項４】
前記支持部材及び前記保持部材が、前記板材の大きさに応じて上下に位置調節可能である請求項１、２又は３記載の板材の自立補助機構。
【請求項５】
前記板材の大きさが３９０ｍｍ×６１０ｍｍ以上である請求項１、２、３又は４記載の板材の自立補助機構。
【請求項６】
請求項１、２、３、４又は５記載の板材の自立補助機構を用いて固定した板材に光を照射することにより、前記板材の被検面内の欠陥を検査する欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハに回路パターンを焼き付けるために用いられるレティクル又はマスク、あるいは回路パターンが形成された製品ウエハ、さらには液晶用基板などの板材を保持する板材の自立補助機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハに回路パターンを焼き付けるために用いられるレティクル又はマスク、あるいは回路パターンが形成された製品ウエハ、さらには液晶用基板などの板材（サンプル）を検査する検査装置は、サンプルを水平に配置して測定することが一般的である。
【０００３】
ところが、サンプルを水平に配置しているため、サンプルが大きくなればなるほど検査装置が大型化してしまい、装置の設置面積が大きくなってしまうという問題がある。
【０００４】
そこで、検査装置を小型化する観点から、特許文献１に示すように、サンプルを傾斜させて測定するものがある。
【０００５】
しかし、傾斜させているとはいっても、サンプルの大きさによっては依然として検査装置が大型化してしまい、装置の設置面積が大きくなり、未だ問題解決に至っていない。
【０００６】
さらに、少なくともサンプルを洗浄した後に検査する場合には、サンプルの全面を保持することができないため、周辺部のみを保持するようにしている。これにより、サンプルを平面に配置する場合であっても、傾斜させて配置する場合であっても、サンプルが自重によって撓んでしまう。これは、例えば光を走査して一度に広い領域を測定する装置においては、焦点がずれてしまい測定感度や測定精度が低下してしまう等の問題となる。
【０００７】
このようなことから、検査装置を小型化するとともに、サンプルが自重によって撓むことを防ぐために、サンプルを垂直に配置する検査装置が考えられつつある。
【０００８】
しかしながら、この検査装置は、例えばサンプルの少なくとも両端部を保持具によりそれぞれ厚さ方向に挟み込むことにより保持してから垂直にしており、保持具のサンプルを保持する力が大きく成らざるを得ず、この力によりサンプルが捩れたり、曲がったりする等して、面精度が低下してしまう等の問題がある。したがって、サンプルの平面を確保しながら垂直に保持するため、つまり、サンプルの面精度を確保するためには、保持具の機構が複雑になってしまう、あるいはサンプル毎に保持具の精密な調整が必要となり非常に手間のかかる作業となってしまう等の問題がある。
【特許文献１】特開２００４−１７７２８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためには板材を自立させれば良いという発想からなされたものであり、可及的に板材を自立させた状態に近づけ、簡単な構造でありながら、板材を撓ませることなく簡単に自立を補助することができる板材の自立補助機構を提供することをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち本発明に係る板材の自立補助機構は、板材が起立して載置される載置部材と、前記板材の一方の面の上端部又は側端部に接触して、前記板材を鉛直に立て掛けうるように支持して、前記一方の面側から前記板材の自立を補助する支持部材と、前記板材の他方の面の上端部又は側端部に接触して、前記板材が前記支持部材から離れないように保持して、前記他方の面側から前記板材の自立を補助する保持部材と、を備えていることを特徴とする。
【００１１】
このようなものであれば、板材を自立させれば良いという発想に基づいて、可及的に板材を自立させた状態に近づけて保持するので、保持するのに要する力を小さくすることができ、簡単な構造でありながら、たとえ大型の板材であっても撓ませることなく簡単に自立を補助することができる。
【００１２】
板材を位置決めしつつ鉛直に起立させるためには、前記載置部材に設けられ、前記一方の面に接触する前記支持部材の接触面と同一の鉛直平面上に形成される基準面を備え、当該基準面が、前記支持部材に鉛直に立て掛けられた前記板材の一方の面の下端部に接触するものであることが望ましい。
【００１３】
振動などにより板材が載置部材から落ちないようにするためには、前記載置部材に設けられたものであり、前記板材の他方の面側に当該板材が前記載置部材から滑り落ちないようにする滑り止め部をさらに備えていることが望ましい。
【００１４】
種々の大きさの板材を好適に保持することができるようにするためには、前記支持部材及び前記保持部材が、前記板材の大きさに応じて上下に位置調節可能であることが望ましい。
【００１５】
具体的には、前記板材の大きさが３９０ｍｍ×６１０ｍｍ以上であるものを保持するものであることが好ましい。
【００１６】
このような板材の自立補助機構を用いて保持した板材に光を照射することにより、前記板材の表面の欠陥を検査する欠陥検査装置であれば、撓みによる面精度の低下を考慮する必要が無く、測定感度や測定精度を維持することができる。
【発明の効果】
【００１７】
このように本発明によれば、板材を自立させれば良いという発想に基づいて、可及的に板材を自立させた状態に近づけて保持するので、保持するのに要する力を小さくすることができ、簡単な構造でありながら、たとえ大型の板材であっても撓ませることなく簡単に自立を補助することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明の板材の自立補助機構ＨＭ（以下単に、自立補助機構ＨＭという。）を用いた欠陥検査装置１について図面を参照して説明する。
【００１９】
本実施形態に係る欠陥検査装置１は、欠陥の中でも異物Ｓの有無、大きさ及びその付着場所を検査する異物検査装置であり、図１に示すように、検査対象物Ｗを保持する自立補助機構ＨＭを備えた板材の自立補助装置２（以下、単に自立補助装置２という。）と、その自立補助装置２に保持された検査対象物Ｗの被検面Ｗ１に検査光Ｌを走査しながら照射する光照射部３と、検査光Ｌが照射された被検面Ｗ１からの反射散乱光ＬＳを検出する光検出部４と、光検出部４からの光強度信号を受信し、被検面Ｗ１内の異物Ｓを検出する情報処理装置５とからなる。なお、本実施形態においては、検査対象物Ｗとして、液晶パネル用の大型マスク（以下、液晶用基板Ｗという。）を用いている。液晶用基板Ｗの大きさは、幅が３９０ｍｍ以上で、高さが６１０ｍｍ以上である。
【００２０】
まず、光照射部３、光検出部４、情報処理装置５について説明する。
【００２１】
光照射部３は、自立補助機構ＨＭに保持された検査対象物たる液晶用基板Ｗに検査光Ｌを走査しながら照射するためのものであり、レーザ光Ｌを発する光源３１と、レーザ光Ｌをスキャニングする走査ミラ３２と、集光光学系３３とからなり、光源３１からのレーザ光Ｌを直線的に往復走査しながら照射するように構成するようにしている。本実施形態では、光源３１としてＨｅＮｅレーザなどのレーザ管を用いている。また、走査ミラ３２は後述する情報処理装置５によって制御されている。
【００２２】
光検出部４は、レーザ光Ｌが照射されて被検面Ｗ１から生じる反射散乱光ＬＳを検出するためのものであり、本実施形態では２つの光検出部４１、４２が、被検面Ｗ１の法線方向斜め上方に図示しない保持部材によって配置されており、それぞれ集光レンズ、反射散乱光ＬＳに対する入射光制限用スリットを有する固定スリット板（いずれも図示しない）及び光検出器４１１、４２１（例えば光電子増倍管）などからなる。
【００２３】
情報処理装置５は、光照射部３を制御するとともに、光検出部４からの光強度信号を受信して、被検面Ｗ１内の異物Ｓを検出するためのものである。その機器構成はＣＰＵ、内部メモリ、外部メモリ、入出力インタフェース、ＡＤ変換器等からなる汎用又は専用のコンピュータであり、前記内部メモリ又は外部メモリの所定領域に格納してあるプログラムに基づいてＣＰＵやその周辺機器等が作動することにより、光照射部３を制御するとともに、光検出部４からの光強度信号を受信して、被検面Ｗ１内の異物Ｓを検出する。
【００２４】
次に、自立補助装置２について詳述する。
【００２５】
自立補助装置２は、図２に主として示すように、枠体２１と、枠体２１の左右側支柱部２１１、２１２間に上下移動可能に設けられた横支柱２２と、これら枠体２１及び横支柱２２に設けられた自立補助機構ＨＭとを備えている。
【００２６】
枠体２１は、正面視において略矩形（略正方形状）であり、その開口部２１Ａの面積が液晶用基板Ｗの面積よりも大きく構成してある。そして、その下支柱部２１３には、液晶用基板Ｗの下端Ｗ２が載置される載置部材６が設けられている。
【００２７】
横支柱２２は、枠体２１の左右側柱部２１１、２１２間に下支柱部２１３と平行に、かつ左右側柱部２１１、２１２に直交して架設されており、図示しない位置調節機構により下支柱部２１３と平行な状態を維持しながら鉛直方向に上下移動可能に構成してある。そして、横支柱２２には、後述する自立補助機構ＨＭを構成する支持部材７及び保持部材８が設けられている。
【００２８】
自立補助機構ＨＭは、液晶用基板Ｗが起立して載置される載置部材６と、その液晶用基板Ｗの一方の面Ｗａの上端部Ｗａ１に接触して、液晶用基板Ｗを鉛直に立て掛けうるように支持して、その一方の面Ｗａ側から液晶用基板Ｗの自立を補助する支持部材７と、液晶用基板Ｗの他方の面Ｗｂの上端部Ｗｂ１に接触して、液晶用基板Ｗが支持部材７から離れないように保持して、その他方の面Ｗｂ側から液晶用基板Ｗの自立を補助する保持部材８と、を備えている
【００２９】
載置部材６は、液晶用基板Ｗが起立して載置されるものであり、図２及び図３に示すように、枠体２１の下支柱部２１３上に複数個等間隔に設けられている。そして、それぞれの載置部材６は、特に図４に示すように、載置基部６１と、載置基部６１に対してスライド移動可能に設けられた載置本体部６２と、載置本体部６２の上面６２ａに延出して設けられた突出部６３と、載置基部６１に設けられた滑り止め部６４とから構成される。
【００３０】
載置基部６１は、下支柱部２１３上に複数個等間隔に設けられ、断面Ｌ字状をなし、その鉛直に起立した壁部６１１には、後述する載置本体部６２を壁部６１１に対し垂直な方向にスライド移動させるためのスライド調節機構たる押し引きねじＮが設けられている。
【００３１】
載置本体部６２は、検査対象物たる液晶用基板Ｗの下端Ｗ２が載置されるものであり、載置基部６１の底部６１２上に設けられ、その上面６２ａは水平であり、その上面６２ａの端部に垂直に突出部６３が一体に形成されている。なお、ここで水平とは、液晶用基板Ｗが後述する支持部材７が無かったとしても自立できる程度の水平度のことである。そして、載置本体部６２は、押し引きねじＮによって載置基部６１と連結されており、その載置基部６１に対してスライド移動可能に構成されている。
【００３２】
突出部６３は、液晶用基板Ｗが載置本体部６２上で鉛直に起立している状態において、その液晶用基板Ｗの一方の面Ｗａの下端部Ｗａ２（図８）が接触する案内面６３ａを有している。この案内面６３ａは、水平断面において、液晶用基板Ｗ側に膨出した湾曲面である。これにより、押し引きねじＮで載置本体部６２の位置調節を行う際に、載置本体部６２が水平面内で傾きが生じたとしても、突出部６３の両端の角が液晶用基板Ｗに接することが無く、安定した調整及び保持が可能となる。また、案内面６３ａが液晶用基板Ｗと接触する基準面６３ａ１は、液晶用基板Ｗが鉛直に起立している状態において、液晶用基板Ｗと接触する後述する支持部材７の接触面７３ａ１と同一の鉛直平面上に形成されている。言い換えれば、支持部材７の接触面７３ａ１と案内面６３ａ（基準面６３ａ１）との両方に接触するように液晶用基板Ｗを立て掛けて載置すれば、液晶用基板Ｗは自立補助され鉛直に起立する状態となる。さらに、各載置部材６の基準面６３ａ１が同一の鉛直平面上になるようにスライド調節機構たる押し引きねじＮによって調節するようにしている。
【００３３】
滑り止め部６４は、液晶用基板Ｗがその他方の面Ｗｂ側に載置本体部６２から滑り落ちないようにするものであり、載置基部６１の壁部６１１の上端に形成されている。具体的には、滑り止め部６４は載置基部６１の上端面６４ａで形成され、その面６４ａは、液晶用基板Ｗに向かう面方向成分を有するテーパ面であり、その面６４ａの下端縁６４ａ１の高さは、載置本体部６２の上面６２ａの高さと同一である。
【００３４】
支持部材７は、載置部材６にその下端Ｗ２を載置された液晶用基板Ｗの一方の面Ｗａの上端部Ｗａ１に接触して、液晶用基板Ｗを鉛直に立て掛けうるように支持して、一方の面Ｗａ側に転倒しないように、その一方の面Ｗａ側から液晶用基板Ｗの自立を補助するものであり、図２に示すように、横支柱２２に複数個等間隔に且つ各載置部材６と対をなして、その鉛直上方に配置するようにしている。そして、それぞれの支持部材７は、図５に示すように、横支柱２２に固定されている支持基部７１と、その支持基部７１に対してスライド移動可能に設けられた支持本体部７２とを備えている。
【００３５】
支持基部７１は、載置基部６１の略鉛直上方に位置するように横支柱２２の下面２２ａに設けられ、断面Ｌ字状をなし、その鉛直に延出した壁部７１１には、後述する支持本体部７２をスライド移動させるためのスライド調節機構たる押し引きねじＮが設けられている。
【００３６】
支持本体部７２は、液晶用基板Ｗが鉛直に起立した状態で、その一方の面Ｗａの上端部Ｗａ１を支持して、一方の面Ｗａ側に転倒しないように自立補助するものであり、押し引きねじＮによって支持基部７１と連結されており、その支持基部７１に対してスライド移動可能に設けられ、下面７２ａの端部に垂直に支持部７３が一体に形成されている。なお、液晶用基板Ｗへの側面からの接触を少なくし液晶用基板Ｗの面精度を低下させないために、支持本体部７２の下面７２ａと、液晶用基板Ｗの上面Ｗｃ（図６）とが離間するように横支柱２２の高さを位置調節機構によって調節している。
【００３７】
支持部７３は、液晶用基板Ｗが載置本体部６２上で鉛直に起立している状態において、その液晶用基板Ｗの一方の面Ｗａの上端部Ｗａ１が接触する支持面７３ａを有している。この支持面７３ａは、前記案内面６３ａと同様に、水平断面において、液晶用基板Ｗ側に膨出した湾曲面である。これにより、押し引きねじＮで支持本体部７２の位置調節を行う際に、支持本体部７２が水平面内で傾きが生じたとしても、支持部７３の両端の角が液晶用基板Ｗに接することが無く、安定した調整及び保持が可能となる。そして、各載置部材６の基準面６３ａ１が形成する鉛直平面と、各支持部材７の支持面７３ａが液晶用基板Ｗと接触する接触面７３ａ１が形成する鉛直平面と、が同一の鉛直平面となるようにしている。
【００３８】
保持部材８は、液晶用基板Ｗの他方の面Ｗｂの上端部Ｗｂ１に接触して、支持部材７との間で液晶用基板Ｗを挟み込み、その液晶用基板Ｗが支持部材７の接触面７３ａ１から離れないように保持するものであり、図２及び図６に示すように、それぞれ支持部材７に対向して複数個等間隔に設けられている。そして、図７及び図８に示すように、液晶用基板Ｗの他方の面Ｗｂの上端部Ｗｂ１に接触して、前記支持部材７との間で液晶用基板Ｗを挟み込む接触部８１と、この接触部８１を横支柱２２に回動可能に接続する接続部８２と、接続部８２に連結され、接触部８１が支持部材７との間で液晶用基板Ｗを挟み込む狭持位置Ｐと、液晶用基板Ｗから離れて液晶用基板Ｗを解放する離間位置Ｑとの間で接触部８１を移動させるための操作部８３とを備えている。
【００３９】
接触部８１は、本実施形態では液晶用基板Ｗと接触する先端部８１１が側面視において半円形状をなし、後端部８１２の例えば側面において接続部８２が接続されている。
【００４０】
接続部８２は、その一方の端部において接触部８１と連結された接続棒８２１と、その接続棒８２１の他方の端部において横支柱２２と連結し、横支柱２２と平行な軸を中心に回動可能にするための回転軸８２２とを備えている。そして、その回転軸８２２を横支柱２２に設けた連結孔２２１に嵌合させることにより、接触部８１を横支柱２２に対して回動可能に接続している。
【００４１】
操作部８３は、接続部８２の回転軸８２２に連結された棒８３１と、棒８３１の回転軸８２３とは反対側に設けられたノブ８３２と、棒８３１に嵌合されて、所定の範囲内で棒８３１に沿って移動可能な錘８３３とから構成されている。接触部８１を離間位置Ｑに移動させるときには、操作部８３のノブ８３２を持ち上げ、接触部８１を狭持位置Ｐに移動させるときには、操作部８３のノブ８３２を下ろす。このとき、錘８３３の重さによって接触部８１が液晶用基板Ｗに接触して支持部材７との間で挟み込む。接触部８１が液晶用基板Ｗに接触する力の大きさは、錘８３３の位置によって決定される。つまり、錘８３３をノブ８３２側に移動させることにより接触部８１に接触する力は大きくなり、逆に回転軸８２３側に移動させることにより小さくすることができる。具体的には、液晶用基板Ｗの厚みと大きさ（鉛直に起立させたときの高さ）により接触部８１の接触する力を調整する。例えば、幅が８００（ｍｍ）、高さが７００（ｍｍ）、厚さが１０（ｍｍ）の石英ガラスの場合、その質量は約１２．４（ｋｇ）であり、垂直位置への最大の復元力は重心位置において１８０（ｇ）程度である。このとき、１００〜２００（ｇ）の接触する力が接触部８１から石英ガラスに加わるようにすると、石英ガラスの支持部材７への接触が安定し、面精度の良い被検面Ｗ１が得られる。
【００４２】
次に、このように構成した本実施形態の板材の自立補助装置２に液晶用基板Ｗを保持する方法を説明する。
【００４３】
図８に示すように、保持部材８を操作部８３を用いて解放位置Ｑに移動して、検査対象物である液晶用基板Ｗを手で（あるいは搬送ロボットなどにより自動で）板材の自立補助装置２に立て掛ける。
【００４４】
このとき、液晶用基板Ｗの下端Ｗ２を載置本体部の上面６２ａ上に載置して、液晶用基板Ｗの一方の面Ｗａの上端部Ｗａ１を支持部材７の支持部７３に立て掛ける。すなわち、液晶用基板Ｗの一方の面Ｗａの下端部Ｗａ２を載置部材６の案内面６３ａ（基準面６３ａ１）に接触させると同時に、一方の面Ｗａの上端部Ｗａ１を支持部材７の支持面７３ａに接触させるようにする。この状態において、液晶用基板Ｗは鉛直に起立した状態である。その後、保持部材８を操作部８３を用いて狭持位置Ｐに移動させることによって、液晶用基板Ｗを鉛直に起立した状態で保持することができる。
【００４５】
次に本実施形態の異物検査装置１の検査方法について図２を参照して説明する。
上記のように自立補助装置２に保持された検査対象物Ｗの被検面Ｗ１を縦方向（Ｙ方向）に所定の幅で数ブロック（図２では３ブロック）に分割し、その幅内を直線的に水平方向（Ｘ方向）に往復走査し、その往復走査を順次Ｙ方向に移動させる。この走査を各ブロックで行い基板面Ｗ１全体を走査し、反射散乱光ＬＳに基づいて欠陥検査を行う。
【００４６】
このように構成した本実施形態の異物検査装置１によれば、検査対象物Ｗを自立させれば良いという発想に基づいて、検査対象物Ｗを立て掛けて鉛直に起立させた状態において、支持部材７及び保持部材８によって検査対象物Ｗを挟み込んで保持する構成にしているので、保持するのに要する力を小さくすることができ、簡単な構造でありながら、たとえ大型の検査対象物Ｗであっても撓ませることなく簡単に保持することができる。したがって、検査対象物Ｗの被検面Ｗ１の面精度を低下させることがなく、面精度低下による測定精度の低下を防ぐことができる。
【００４７】
また、液晶用基板Ｗを鉛直に起立させているので、液晶用基板Ｗを保持するのに要する力を小さくすることができ、保持機構ＨＭの構成を簡単にすることができとともに、液晶用基板Ｗの歪みや捩れをなくすことができる。
【００４８】
さらに、載置部材６に案内面６３ａ（基準面６３ａ１）を設けているので、支持部材７の支持面７３ａと案内面６３ａとの両方に接触するように液晶用基板Ｗを立て掛けて載置すれば、液晶用基板Ｗは鉛直に起立する状態となり、容易に液晶用基板Ｗを鉛直に起立させることができる。
【００４９】
加えて、液晶用基板Ｗの被検面Ｗ１を数ブロックに分割して走査するようにしているため、例え液晶用基板Ｗの自重により撓みが発生したとしても、その撓みの影響を可及的に抑えた測定が可能となる。
【００５０】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００５１】
例えば、前記実施形態の保持部材８に回転防止機構ＰＭを設けるようにしても良い。つまり、図９に示すように、回転防止機構ＰＭは、回転軸８２３に設けた円盤９と、この円盤９に設けた円弧状の長孔９１と、接続部８２に設けられた嵌合孔８２４と、円盤９の長孔９１に挿入され前記嵌合孔８２４に嵌合するピン１０とから構成される。そして、検査対象物Ｗを挟み込んでいる状態において、ピン１０を長孔９１に挿入して嵌合孔８２４に嵌合させる。このとき、ピン１０は長孔９１の端部９１ａに接触することはなく、外部から大きな力が加わり、検査対象物Ｗが支持部材７が設けられていない方向に倒れてきた場合には、ピン１０が長孔９１の端部９１ａに接触して検査対象物Ｗが倒れないように止める。ここで、長孔９１の大きさは、最小厚さの検査対象物Ｗから最大厚さの検査対象物Ｗを保持したときに、保持部材８の通常の動作を妨げない程度の大きさである。
【００５２】
このようなものであれば、例えば地震時などにおいて、検査対象物Ｗが保持部材８の接触する力に抗して転倒することを防ぐことができる。
【００５３】
また、前記実施形態では、検査対象物である液晶用基板の上端部を支持部材及び保持部材により挟み込むように構成しているが、これに限られず、例えば、液晶用基板の側端部Ｗ３（図２参照）を挟み込むように構成しても良い。
【００５４】
あるいは、前記実施形態では、支持部材及び保持部材を横支柱に等間隔に複数個設けているが、例えば、液晶用基板の上端部の両側のみを挟み込むように支持部材及び保持部材を配設するようにしても良い。
【００５５】
さらに、前記実施形態の載置部材６の案内面６３ａは水平断面において湾曲した面であったが、図１０に示すように、案内面６３ａは平面であっても良い。このとき、案内面６３ａと基準面６３ａ１は同一の面となる。同じく、支持部材７の支持面７３ａも平面であっても良い。このとき、支持面７３ａと接触面７３ａ１は同一の面となる。
【００５６】
また、欠陥のうち異物を検出する装置であったが、異物のほかにも塗布のムラや、露光不良、傷などを検出する装置としても良い。
【００５７】
さらに加えて、前記実施形態では、検査対象物を液晶用基板にしているが、その他にも、半導体ウエハに回路パターンを焼き付けるために用いられるレティクル又はマスク、あるいは回路パターンが形成された製品ウエハなどであっても良い。
【００５８】
その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成図。
【図２】同実施形態における板材の自立補助装置の模式図。
【図３】同実施形態における板材の自立補助機構の載置部材の配置図。
【図４】同実施形態における板材の自立補助機構の載置部材を示す上方斜視図。
【図５】同実施形態における板材の自立補助機構の支持部材の下方斜視図。
【図６】同実施形態における板材の自立補助機構の保持部材の拡大斜視図。
【図７】同実施形態における板材の自立補助機構の保持部材を示す斜視図。
【図８】同実施形態の板材の自立補助装置に液晶用基板を載置する方法を示す図。
【図９】本発明のその他の変形実施形態における保持部材を示す斜視図。
【図１０】本発明のその他の変形実施形態における載置部材を示す斜視図。
【符号の説明】
【００６０】
Ｗ      ・・・板材（検査対象物、液晶用基板）
６      ・・・載置部材
Ｗ２    ・・・板材の下端
Ｗａ    ・・・一方の面
Ｗａ１  ・・・一方の面の上端部（又は側端部）
７      ・・・支持部材
Ｗｂ    ・・・他方の面
Ｗｂ１  ・・・他方の面の上端部（又は側端部）
７      ・・・保持部材
ＨＭ    ・・・板材の自立補助機構
７３ａ１・・・接触面
６３ａ１・・・基準面
Ｗａ２  ・・・一方の面の下端部
６４    ・・・滑り止め部
Ｌ      ・・・検査光（レーザ光）
Ｗ１    ・・・被検面
Ｓ      ・・・異物（欠陥）
１      ・・・欠陥検査装置（異物検査装置）
【図１】
2007084333.tif 000003
【図２】
2007084333.tif 000004
【図３】
2007084333.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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