(57)【要約】      （修正有）【課題】搬送時間及び在庫品を最少に抑えることができる平板表示装置製造用搬送システムを提供する。【解決手段】平板表示装置製造用搬送システムは、基板が積載された搬送容器１０を搬送する搬送装置と、搬送容器１０を製造工程の設備に移積する容器移積装置３００を備え、搬送装置は地面上に設けられた固定部材、及び固定部材に沿って移動する複数個の移動部材１４０を備える。これにより、平板表示装置製造用搬送システムは、リニアモータの駆動で推進される搬送装置及び容器移積装置３００を利用することで搬送時間を短縮することができ、基板を搬送容器１０内に積載して搬送することで安全搬送を実現することができる。【選択図】図４
2007022809.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が積載された搬送容器を搬送する搬送装置と、
前記搬送容器を製造工程の設備に移積する容器移積装置とを備え、
前記搬送装置は、地面上に設けられた固定部材及び前記固定部材に沿って移動する複数個の移動部材を備えることを特徴とする平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項２】
前記固定部材は、閉曲線形状の中心トラックと、前記中心トラックから閉曲線形状に分岐して前記製造工程の設備の入口に連結する分岐トラックとからなることを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項３】
前記中心トラック及び分岐トラックは、それぞれ棒状のレール部と、前記レール部の間に設けられた複数個のコイル部とを備えることを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項４】
前記レール部は、互いに所定の間隔で離隔して平行に配置された２つのレールからなることを特徴とする請求項３に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項５】
前記レール部は、前記レールの外縁から上方に延長された延長部を有することを特徴とする請求項３に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項６】
前記複数のコイル部は、前記レール部の長手方向に沿って所定の間隔で離隔して配置されていることを特徴とする請求項３に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項７】
前記移動部材は、搬送枠と、
前記搬送枠の下に設けられ、前記コイル部に対応する位置に形成される永久磁石と、
前記搬送枠の下に設けられ、前記レール部に対応する位置に設けられている車輪とを備えることを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項８】
前記搬送枠の下には、前記レール部の延長部と接触する補助車輪がさらに設けられていることを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項９】
前記固定部材のコイル部と前記移動部材の永久磁石はリニアモータを構成していることを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項１０】
前記搬送容器は、格子形状の基盤枠と、
前記基盤枠上に設けられている複数の第１支持枠と、
前記第１支持枠上に設けられて前記基板を支持する第１支持ピンと、
前記基板を覆う容器カバーとを備えることを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項１１】
前記搬送容器は、前記基盤枠の格子形状の間の空間を隠す基盤カバーをさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項１２】
前記容器カバーの側面は開閉可能であることを特徴とする請求項１０に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項１３】
前記第１支持ピン上には、第２支持枠及び第２支持ピン、または２以上の支持枠及び支持ピンがさらに設けられていることを特徴とする請求項１０に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項１４】
前記容器移積装置は、内部に空間を有するフレームと、
前記フレームの内部に設けられている垂直搬送装置とを備えることを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項１５】
前記フレーム上には、空気清浄フィルターを有するファンユニットがさらに設けられていることを特徴とする請求項１４に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項１６】
前記垂直搬送装置は、前記搬送容器を垂直方向に搬送することを特徴とする請求項１４に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項１７】
前記フレームは、側面に開口部を有することを特徴とする請求項１４に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項１８】
前記容器移積装置は、前記製造工程の設備の入口に設けられていることを特徴とする請求項１４に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項１９】
前記固定部材は、前記容器移積装置の下を横切って配置されることを特徴とする請求項１４に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項２０】
前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間には、基板移積ロボットが設けられていることを特徴とする請求項１４に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項２１】
前記基板移積ロボットは、支持部と、前記支持部上に設けられた水平及び垂直搬送部と、前記水平及び垂直搬送部上に設けられた搬送アームとを備えることを特徴とする請求項２０に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項２２】
前記基板移積ロボットの搬送アーム上に積載された前記基板は、前記フレームの開口部を通じて前記搬送容器から前記製造工程の設備に搬送されることを特徴とする請求項２１に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項２３】
前記搬送アームは、前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間を最短距離で移動することを特徴とする請求項２１に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項２４】
前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間には搬送コンベヤが設けられていることを特徴とする請求項２１に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項２５】
前記搬送容器の内部には、容器コンベヤが設けられていることを特徴とする請求項２３に記載の平板表示装置製造用搬送システム。
【請求項２６】
固定部材に沿って移動し、搬送容器を積載した第１移動部材を容器移積装置の下に停止する段階と、
前記容器移積装置内部の垂直搬送装置により前記搬送容器が垂直方向へ移送する段階と、
前記搬送容器の内部の基板を製造工程の設備に搬送する段階とを含み、
前記搬送容器の内部の基板を製造工程の設備に搬送する場合、前記第１移動部材は前記固定部材に沿って移動することを特徴とする平板表示装置の搬送方法。
【請求項２７】
前記搬送容器は、前記垂直搬送装置により垂直方向へ下降して第２移送部材上に積載される段階と、
前記搬送容器が積載された第２移送部材は、前記固定部材に沿って移動する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項２６に記載の平板表示装置の搬送方法。
【請求項２８】
前記搬送容器の内部の基板が製造工程の設備に搬送される段階は、前記搬送容器の側面部が開く段階と、
前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間に配置されている基板移積ロボットの搬送アームを、前記容器移積装置の開口部から前記搬送容器の内部に入れる段階と、
前記搬送アーム上に前記基板を積載する段階と、
前記搬送アームを前記製造工程の設備に移動して、前記基板を前記製造工程の設備に搬入する段階とを含むことを特徴とする請求項２６に記載の平板表示装置の搬送方法。
【請求項２９】
前記搬送容器の内部の基板を製造工程の設備に搬送する段階は、前記搬送容器の側面部が開く段階と、
前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間に設けられた搬送コンベヤと、前記搬送容器の内部に設けられた容器コンベヤとを同一面上に移動する段階と、
前記搬送コンベヤ及び容器コンベヤを同時に駆動して前記容器コンベヤ上に積載されている基板を前記製造工程の設備に搬入する段階とを含むことを特徴とする請求項２６に記載の平板表示装置の搬送方法。
【請求項３０】
固定部材に沿って移動し、搬送容器が積載されている第１移動部材を容器移積装置の下に停止する段階と、
前記搬送容器の内部の基板を基板移積ロボットにより製造工程の設備に搬送する段階とを含み、
前記基板移積ロボットは、前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間に配置されていることを特徴とする平板表示装置の搬送方法。
【請求項３１】
前記搬送容器の内部の基板を製造工程の設備に搬送する段階は、前記搬送容器が前記容器移積装置の下に停止した状態で前記搬送容器の側面部が開く段階と、
前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間に配置されている基板移積ロボットの搬送アームを前記容器移積装置の開口部から前記搬送容器の内部に入れる段階と、
前記搬送アーム上に前記基板を積載させる段階と、
前記搬送アームを前記製造工程の設備に移動させて、前記基板を前記製造工程の設備に搬入する段階とを含むことを特徴とする請求項３０に記載の平板表示装置の搬送方法。
【請求項３２】
前記搬送容器の内部の基板を製造工程の設備に搬送する段階は、前記搬送容器が前記容器移積装置の下に停止した状態で前記搬送容器の側面部を開く段階と、
前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間に設けられた搬送コンベヤ及び前記搬送容器の内部に設けられた容器コンベヤを同時に駆動して、前記容器コンベヤ上に積載されている基板を前記製造工程の設備に搬入する段階とを含むことを特徴とする請求項３０に記載の平板表示装置の搬送方法。
【請求項３３】
前記搬送コンベヤ及び前記容器コンベヤは、同一面上に位置することを特徴とする請求項２９または請求項３２に記載の平板表示装置の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板表示装置製造用搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
平板表示装置は、現在広く使用されている表示装置であって、液晶表示装置（ＬＣＤ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）表示装置など、様々な種類がある。
【０００３】
平板表示装置は、ガラス基板が搬送システムにより各製造工程の設備に搬送され、製造工程を経て完成される。このような平板表示装置の搬送システムは、カセット（ｃａｓｓｅｔｔｅ）、ストーカ（ｓｔｏｋｅｒ）、コンベヤ（ｃｏｎｖｅｙｏｒ）及びインデクサ（ｉｎｄｅｘｅｒ）からなる。
【０００４】
平板表示装置製造用搬送システムは、複数個の基板が積載されているカセットをストーカに収容し、ストーカに収容されているカセットをコンベヤを利用して各製造工程の設備の入口まで搬送し、製造工程の設備の入口に配置されたカセット内部の基板をインデクサを利用して製造工程の設備に搬入及び搬出する。
【０００５】
しかし、カセット、ストーカ、コンベヤ及びインデクサを利用する従来の搬送システムは、余分な在庫を確保する必要があり、在庫維持にコストがかかるという問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、前記のような従来の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、搬送時間及び在庫品を最少に抑えることができる平板表示装置製造用搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様による平板表示装置製造用搬送システムは、基板が積載された搬送容器を搬送する搬送装置と、前記搬送容器を製造工程の設備に移積する容器移積装置とを備え、前記搬送装置は、地面上に設けられた固定部材、及び前記固定部材に沿って移動する複数個の移動部材を備えることが望ましい。
【０００８】
また、前記固定部材は、閉曲線状の中心トラック、前記中心トラックから分岐して、前記製造工程の設備の入口に連結する分岐トラックからなることが望ましい。
【０００９】
また、前記中心トラック及び分岐トラックは、それぞれ棒状のレール部と、前記レール部の間に設けられた複数個のコイル部を備えることが望ましい。また、前記レール部は、互いに所定の間隔で離隔して平行に配置された２つのレールからなることが望ましい。また、前記レール部は、前記レールの外縁から上方に延長した延長部を有することが望ましい。
【００１０】
また、前記複数個のコイル部は、前記レール部の長手方向に沿って所定の間隔で離隔して配置されることが望ましい。
【００１１】
また、前記移動部材は、搬送枠と、前記搬送枠の下に設けられ、前記コイル部に対応する位置に形成されている永久磁石と、前記搬送枠の下に設けられ、前記レール部に対応する位置に形成されている車輪とを備えることが望ましい。  また、前記搬送枠の下には、前記レール部の延長部と接触する補助車輪がさらに設けられていることが望ましい。
【００１２】
また、前記固定部材のコイル部と前記移動部材の永久磁石は、リニアモータを構成することが好ましい。
【００１３】
また、前記搬送容器は、格子形状の基盤枠と、前記基盤枠上に設けられている複数個の第１支持枠と、前記第１支持枠上に設けられて前記基板を支持する第１支持ピンと、前記基板を覆う容器カバーとを備えることが望ましい。
【００１４】
また、前記基盤枠の格子形状の間の空間を隠す基盤カバーをさらに備えることが望ましい。また、前記容器カバーの側面は開閉可能であり、前記第１支持ピンの上には、第２支持枠及び第２支持ピンがさらに設けられていることが望ましい。
【００１５】
また、前記容器移積装置は、内部に空間を有するフレームと、前記フレームの内部に設けられている垂直搬送装置を備えることが望ましい。
【００１６】
また、前記フレーム上には、清浄ファンがさらに設けられており、前記垂直搬送装置は、前記搬送容器を垂直方向に搬送することが望ましい。
【００１７】
また、前記フレームは側面に開口部を有し、前記容器移積装置は前記製造工程の設備の入口に設けられ、前記固定部材は前記容器移積装置の下を横切って配置されることが望ましい。
【００１８】
また、前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間には、基板移積ロボットが設けられており、前記基板移積ロボットは、支持部と、前記支持部上に設けられた水平及び垂直搬送部と、前記水平及び垂直搬送部の上に設けられた搬送アームを備えることが望ましい。
【００１９】
また、前記基板移積ロボットの搬送アーム上に積載された前記基板は、前記搬送容器から前記フレームの開口部を通じて前記搬送容器から前記製造工程の設備に搬送されることが望ましい。
【００２０】
また、前記搬送アームは、前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間を最短距離で移動することが望ましい。
【００２１】
また、前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間には搬送コンベヤが設けられており、前記搬送容器の内部には容器コンベヤが設けられていることが望ましい。
【００２２】
また、本発明の一態様による平板表示装置の搬送方法は、固定部材に沿って移動して搬送容器を積載した第１移動部材を容器移積装置の下に位置する段階と、前記容器移積装置内部の垂直搬送装置により前記搬送容器を垂直方向へ移送する段階と、前記搬送容器の内部の基板を製造工程の設備に搬送する段階とを含み、前記搬送容器の内部の基板を製造工程の設備に搬送する場合に、前記第１移動部材は前記固定部材に沿って移動することが望ましい。
【００２３】
また、前記搬送容器を、前記垂直搬送装置により垂直方向へ下降して第２移送部材上に積載する段階と、前記搬送容器が積載された第２移送部材を前記固定部材に沿って移動する段階とをさらに含むことが望ましい。
【００２４】
また、前記搬送容器の内部の基板が製造工程の設備に搬送される段階は、前記搬送容器の側面部を開く段階と、前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間に配置されている基板移積ロボットの搬送アームを前記容器移積装置の開口部から前記搬送容器の内部に入れる段階と、前記搬送アーム上に前記基板を積載する段階と、前記搬送アームが前記製造工程の設備に移動して、前記基板を前記製造工程の設備に搬入する段階とを含むことが望ましい。
【００２５】
また、前記搬送容器の内部の基板が製造工程の設備に搬送される段階は、前記搬送容器の側面部を開く段階と、前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間に設けられた搬送コンベヤ及び前記搬送容器の内部に設けられた容器コンベヤが同一面上に配置する段階と、前記搬送コンベヤ及び容器コンベヤを同時に駆動して、前記容器コンベヤ上に積載されている基板を前記製造工程の設備に搬入する段階とを含むことが望ましい。
【００２６】
また、本発明の他の態様による平板表示装置の搬送方法は、固定部材に沿って移動し、搬送容器が積載されている第１移動部材を容器移積装置の下に停止する段階と、前記搬送容器の内部の基板を基板移積ロボットにより製造工程の設備に搬送する段階とを含み、前記基板移積ロボットは、前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間に配置されていることが望ましい。
【００２７】
また、前記搬送容器の内部の基板を製造工程の設備に搬送する段階は、前記搬送容器が前記容器移積装置の下に停止した状態で前記搬送容器の側面部を開く段階と、前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間に配置されている基板移積ロボットの搬送アームを前記容器移積装置の開口部から前記搬送容器の内部に入れる段階と、前記搬送アーム上に前記基板を積載する段階と、前記搬送アームを前記製造工程の設備に移動して、前記基板を前記製造工程の設備に搬入する段階とを含むことが望ましい。
【００２８】
また、前記搬送容器の内部の基板を製造工程の設備に搬送する段階は、前記搬送容器を前記容器移積装置の下に停止した状態で、前記搬送容器の側面部を開く段階と、前記容器移積装置と前記製造工程の設備との間に設けられた搬送コンベヤ及び前記搬送容器の内部に設けられた容器コンベヤを同時に駆動して、前記容器コンベヤ上に積載されている基板を前記製造工程の設備に搬入する段階とを含むことが望ましい。
【００２９】
また、前記搬送コンベヤ及び前記容器コンベヤは、同一面上に配置されることが望ましい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明による平板表示装置製造用搬送システムは、リニアモータの駆動で推進する搬送装置及び容器移積装置を利用することによって、搬送時間を減らすことができ、搬送容器内に積載して基板を搬送することによって安全な搬送を実現することができる。
【００３１】
また、ストーカ及びカセットを除去し、複数個の搬送容器を利用して基板を搬送することによって搬送単位が小さくなり、生産工程における在庫量を低減することができる。
【００３２】
また、リニアモータからなる搬送装置は、設置及び維持保守が簡単であるので、生産工程に合わせて柔軟に搬送システムを実現することができ、生産能力を拡張することも容易である。
【００３３】
また、特定の製造工程の設備のラインに異常が生じた場合、他の製造工程の設備のラインに影響を与えず生産を継続できるという工程の柔軟性を確保できる。
【００３４】
また、カセット、ストーカ、コンベヤ及びインデクサを使用しないので、製造工程の設備の初期投資費用を大幅に節減できる。
【００３５】
また、基板を搬送容器単位で管理し搬送することによって、工程内のガラス基板の在庫を画期的に減少させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
添付した図面を参照して、本発明の実施形態を、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳細に説明する。しかし、本発明は、多様な形態で実現することができ、ここで説明する実施形態に限定されるものではない。
【００３７】
以下、本発明の実施形態による平板表示装置の搬送システムについて図面を参照して詳細に説明する。
【００３８】
図１は、本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの概略図であり、図２Ａは、本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムにおける搬送装置の平面図であり、図２Ｂは、本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムにおける搬送装置の正面図であり、図２Ｃは、本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムにおける搬送装置の斜視図である。
【００３９】
図１〜図２Ｃに示すように、本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムは、基板５（図５参照）が積載された搬送容器１０を搬送する搬送装置４００と、搬送容器１０を製造工程の設備５００に移積する容器移積装置３００とを備える。製造工程の設備５００と容器移積装置３００との間には連結装置４００が形成されており、連結装置４００内には基板移積ロボット６０（図４参照）が設けられている。
【００４０】
搬送装置４００は、地面上に設けられた固定部材４１０と、固定部材４１０に沿って移動する複数個の移動部材１４０を備える。固定部材４１０は、閉曲線状の中心トラック１００と、中心トラック１００から分岐して製造工程の設備５００の入口に連結する分岐トラック２００とからなる。中心トラック１００及び分岐トラック２００は、それぞれ棒状のレール部１１５，１２５と、レール部１１５，１２５の間に設けられている複数個のコイル部１３０とからなる。レール部１１５，１２５は、互いに所定の間隔で離隔して平行に配置された２つのレール１１５，１２５からなり、２つのレール１１５，１２５の外縁から上方にそれぞれ延長された延長部１１１、１２１を有する。複数個のコイル部１３０は、レール部１１５，１２５の長手方向に沿って所定の間隔で離隔して配置されている。
【００４１】
移動部材１４０は、搬送枠１４１、搬送枠１４１の下に設けられ、コイル部１３０に対応する位置に形成される永久磁石１５０と、搬送枠１４１の下に設けられ、レール部１１５，１２５に対応する位置に形成される車輪１６１、１６２を備える。搬送枠１４１は額縁形状を有し、搬送枠１４１の内部には搬送枠１４１が曲がらないように支える支持枠１４５が設けられている。
【００４２】
搬送枠１４１下には、レール部１１５，１２５の延長部１１１、１２１と接触する補助車輪１７１、１７２が設けられており、補助車輪１７１、１７２は、レール部１１５，１２５の延長部１１１、１２１側に力を加えるようにして、移動部材１４０が固定部材４１０を離脱しないようにする。
【００４３】
移動部材１４０には電源を接続する必要はなく、動力伝達のための機械要素も不要である。このため、移動部材１４０は重量が軽く、迅速な移動が可能である。
【００４４】
移動部材１４０の永久磁石１５０及び固定部材４１０のコイル部１３０は、リニアモータ（ｌｉｎｅａｒ ｍｏｔｏｒ）を構成し、リニアモータの駆動によって移動部材１４０が移動する。このようなリニアモータを利用した搬送システムは約２００ｍ／分で移動させることができるほど高速であり、安全性に優れている。
【００４５】
中心トラック１００及び分岐トラック２００、つまり、固定部材４１０は、移動部材１４０が直線または曲線を走行中に離脱しないように、決められた経路に導くので、搬送システムは、安定しており、さらに、中心トラック１００から分岐トラック２００が分岐する地点で移動部材１４０は短時間に効果的かつ安定して走行経路を変更することができる。
【００４６】
そして、固定部材４１０は、シリアル通信またはフィールドバス（ｆｉｅｌｄ ｂｕｓ）などの通信に接続されているので、移動部材１４０の運行情報及び運行位置を確認することができる。連動装置をさらに設けることで、各移動部材１４０同士が衝突しないようにすることができる。また、事故モニタリング装置をさらに設けることにより、一つの移動部材１４０またはコイル部１３０に故障が発生した場合、他の移動部材１４０またはコイル部１３０の駆動を停止することができる。
【００４７】
従来のストーカを利用した搬送システムでは、ストーカが故障した場合に製造工程全体を停止していたが、本発明の一実施形態による搬送システムでは、一つの移動部材１４０が故障した場合、当該移動部材１４０のみを取り除き、迅速に他の移動部材１４０の走行を正常化することができる。
【００４８】
固定部材４１０は設置及び維持保守が簡単であり、また、固定部材４１０を防水処理することによって搬送システムの防水化が可能であるので、洗浄ラインなど薬液を使用する工程内の搬送にも簡単に設置することができる。
【００４９】
生産能力の増加時には、移動部材１４０の数を増加させることによって生産能力の増加に対応することができ、コンベヤに比べて移動部材１４０の走行経路を迅速かつ簡単に拡張することができる。
【００５０】
図３は、本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの搬送容器の斜視図である。
【００５１】
図３に示すように、搬送容器１０は、格子形状の基盤枠１１、基盤枠１１上に設けられている複数個の第１支持枠１３、第１支持枠１３上に設けられて基板５（図５参照）を支持する第１支持ピン１４、並びに基板５を覆う容器カバー１５からなる。
【００５２】
基盤枠１１は、大型基板５の重量によって基盤枠が曲がるのを防止するために格子形状を有し、このような格子形状の間に異物が侵入することを防止するために格子形状の間には基盤カバー１２が設けられている。
【００５３】
第１支持ピン１４は複数個設けられており、互いに所定の間隔で離隔して配置されている。このため、基板移積ロボット６０は、各第１支持ピン１４の間の空間に搬送アーム６３を挿入し、第１支持ピン１４上に積載されている基板５を取り出して搬出することができる。
【００５４】
所定の間隔で離間した第１支持ピン１４上に第２支持枠が配置され、第２支持枠上に第２支持ピンを設けることもできる。この場合、第２支持ピン上にも基板５を積載するので、搬送容器１０には２つの基板を積載できる。一方、このような第２支持ピン上には、複数個の他の支持枠及び支持ピンを設けることができる。
【００５５】
容器カバー１５の側面はヒンジ方式で開閉する。このため、容器カバー１５の側面を開けて基板移積ロボット６０が搬送容器１０内部から基板５を搬出したり、製造工程の設備５００から搬送容器１０内部に基板５を搬入することができる。
【００５６】
基盤枠１１は、アルミニウム（Ａｌ）または炭素繊維強化樹脂（ＣＦＲＰ）からなり、基盤カバー１２及び容器カバー１５はポリカーボネートからなり、第１支持枠１３及び第１支持ピン１４は炭素繊維強化樹脂からなることが望ましい。したがって、搬送容器１０は、軽量で剛性を高くすることができるので取扱が容易であり、容易に変形しない。搬送容器１０は、搬送容器１０内部に少なくとも一つ以上の基板５を積載し、移動部材１４０に載って製造工程の設備５００に移動して、平板表示装置の搬送システムで要求される清浄度を維持して基板５を搬送または収容することができる。この結果、基板５の搬送時に基板５にスクラッチ（ｓｃｒａｔｃｈ）が発生したり、破損することを防止することができる。
【００５７】
一方、容器カバー１５が上方に分離して、基板移積ロボット６０が搬送容器１０内部から製造工程の設備５００に基板５を移積することもできる。
【００５８】
図４は、本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの容器移積装置の斜視図である。
【００５９】
図４に示すように、容器移積装置３００は製造工程の設備５００の入口に設けられており、固定部材４１０は容器移積装置３００の下を横切って配置される。容器移積装置３００は、内部に空間を有する六面体形状のフレーム５１と、フレーム５１内部に設けられている垂直搬送装置５４とを備える。
【００６０】
フレーム５１は正面及び背面の下端部に開口部５２を有し、側面に開口部５３を有する。フレームの正面下端部の開口部５２を通じて、固定部材４１０は横切って配置される。
【００６１】
垂直搬送装置５４は、フレーム５１を横切る固定部材のレール部１１５，１２５の外側に設けられており、搬送容器１０を移動部材１４０から取り出して垂直方向に搬送することができる。
【００６２】
垂直方向に搬送された搬送容器１０内部から、基板５を製造工程の設備５００に直接移積するために、基板移積ロボット６０が利用される。
【００６３】
容器移積装置３００と製造工程の設備５００との間に設けられている基板移積ロボット６０は、支持部６１と、支持部６１上に設けられた水平及び垂直搬送部６２と、水平及び垂直搬送部６２上に設けられた搬送アーム６３とを備える。水平及び垂直移送部６２は、搬送アーム６３をＹまたはＺ方向に移動させ、搬送アーム６３は容器移積装置３００と製造工程の設備５００との間を最短距離で移動することによって搬送時間を短縮することができる。
【００６４】
このように、基板移積ロボット６０はＺ軸を中心として回転しない構造であって、搬送アーム６３がＸ−Ｙ平面を移動する構造である。このため、基板５の迅速な移積が可能である。
【００６５】
また、ストーカが備えられた搬送システムに適用される基板移積ロボット６０と異なり、本発明の一実施形態による基板移積ロボット６０は、基板５の搬入及び搬出のためにのみＺ方向にわずかに移動するだけで済むので、Ｚ方向への移動長さが短く、基板５の迅速な移積が可能である。
【００６６】
基板移積ロボット６０の搬送アーム６３は、搬送容器１０内部に挿入されて搬送アーム６３上に基板５を積載し、製造工程の設備５００に移動することで、製造工程の設備５００に基板５を搬入する。この時、搬送アーム６３はフレーム５１の側面の開口部５３から搬送アーム６３を挿入する。
【００６７】
容器移積装置３００のフレーム５１上には、ファンユニット５５が設けられている。ファンユニット５５には、空気清浄フィルターが設けられており、清浄空気が垂直下方に流れる。このため、搬送容器１０の移積が行われる容器移積装置３００には清浄空気を円滑に流すことができ、搬送容器１０の開閉時に汚染空気が搬送容器１０内部に吸入された場合であっても、微細埃が基板５に付着することを防止することができる。この結果、容器移積の工程中にも平板表示装置用製造システムに要求される清浄度を維持することができる。
【００６８】
以上のような構成を有する本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムを備えた平板表示装置の搬送方法について図面を参照して説明する。
【００６９】
図５〜図８は、本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの容器移積装置及び基板移積ロボットを利用して基板を製造工程の設備に移積する工程を順に示した図面である。
【００７０】
まず、図５に示すように、第１移動部材１４０ａは、搬送容器１０を積載し、固定部材４１０に沿って移動して、目的地である製造工程の設備５００の入口に設けられた容器移積装置３００の下で停止する。
【００７１】
次に、図６に示すように、容器移積装置３００内部の垂直搬送装置５４により搬送容器１０は一時的に垂直方向へ移送される。
【００７２】
次に、図７及び図８に示すように、搬送容器１０内部の基板５は、基板移積ロボット６０により搬送容器１０内部の基板５が製造工程の設備５００に搬送される。即ち、図７に示すように、搬送容器１０の側面部１５ａが開く。次に、基板移積ロボット６０の搬送アーム６３が、容器移積装置３００の側面開口部５３から搬送容器１０内部に入る。その後、基板５が、搬送アーム６３上に基板５が積載される。そして、図８に示すように、搬送アーム６３が製造工程の設備５００に移動して、基板５は製造工程の設備５００に搬入される。
【００７３】
搬送容器１０内部の基板５が製造工程の設備５００に搬送される場合、その上に何も積載されていない第１移動部材１４０ａは、固定部材４１０に沿って次の目的地に移動する。
【００７４】
次に、何も積載さていない第２移動部材１４０ｂが固定部材４１０に沿って移動して、容器移積装置３００の下に停止する。そして、空の搬送容器１０は、垂直搬送装置５４により垂直方向へ下降して、第２移送部材１４０ｂ上に積載される。
【００７５】
次に、空の搬送容器１０が積載された第２移送部材１４１ｂ、１５０ｂは、固定部材４１０に沿って次の目的地に移動する。基板５が積載された搬送容器１０を製造工程の設備５００から移動部材１４０に積載する場合には、前記手順と逆の手順を行なう。
【００７６】
このように、搬送容器１０の移積時に、移動部材１４０が停止せずに固定部材４１０に沿って継続して移動可能であるので、停滞区間が無くなり、搬送時間が減少する。
【００７７】
また、搬送容器１０及びリニアモータを利用して基板５を一つまたは二つ程度の単位に管理して搬送することにより、製造工程内における基板５の在庫の画期的な減少、及び製造工程同士が直結しているので搬送時間が短縮するという長所がある。
【００７８】
ここで、在庫品（ｗｏｒｋ ｉｎ ｐｒｏｃｅｓｓ）とは、工場で生産過程中にある物品を言い、一般に、工場では同一物品が継続して製造されるので、各工程毎に在庫品が存在する。したがって、各製造工程中における在庫品を各工程毎に金額で計算して、在庫資産として計上できる。また、本発明の一実施形態のようにストーカなしに継続して基板５の搬送が行われるようにすることで、搬送システムをスムーズに作動し、在庫品を減少させる。
【００７９】
本発明の他の実施形態による平板表示装置製造用搬送システムが図９に示されている。ここで、前記実施形態で説明した図面と同一符号は同一機能を持つ同一部材を示す。
【００８０】
図９に示すように、第１移動部材１４０ａは、搬送容器１０を積載し、固定部材４１０に沿って移動して、目的地である製造工程の設備５００の入口に設けられた容器移積装置３００の下に配置される。次に、基板移積ロボット６０により搬送容器１０内部の基板５が製造工程の設備５００に直接搬送される。即ち、搬送容器１０が容器移積装置３００の下に配置された状態で搬送容器１０の側面部１５ａが開く。次に、基板移積ロボット６０の搬送アーム６３が容器移積装置３００の側面開口部５３から搬送容器１０内部に入る。その後、基板５は、搬送アーム６３上に基板５が積載される。そして、搬送アーム６３が製造工程の設備５００に移動することで、基板５を製造工程の設備５００に搬入する。
【００８１】
このように、本発明の他の実施形態による平板表示装置製造用搬送システムは、本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムと異なり、搬送容器１０を垂直方向へ上昇させず、基板移積ロボット６０が搬送容器１０内部の基板５を製造工程の設備５００に搬送する。
【００８２】
本発明の他の実施形態による平板表示装置製造用搬送システムが図１０に示されている。ここで、前記実施形態で説明した図面と同一符号は同一機能を持つ同一部材を示す。
【００８３】
容器移積装置３００と製造工程の設備５００との間には、基板移積ロボット６０の代わりに搬送コンベヤ７１を設けても良い。この場合、搬送容器１０内部に容器コンベヤ７２が設けられる。
【００８４】
次に、前記のような構成を有する本発明の他の実施形態による平板表示装置製造用搬送システムを備えた平板表示装置の搬送方法を、図面を参照して説明する。
【００８５】
図１０に示すように、第１移動部材１４０ａは、搬送容器１０を積載し、固定部材４１０に沿って移動して、目的地である製造工程の設備５００の入口に設けられた容器移積装置３００の下に停止する。
【００８６】
そして、容器移積装置３００内部の垂直搬送装置５４により、搬送容器１０は一時的に垂直方向へ移送される。
【００８７】
次に、搬送コンベヤ７１により搬送容器１０内部の基板５が製造工程の設備５００に搬送される。即ち、搬送容器１０の側面部１５ａが開く。次に、容器移積装置３００と製造工程の設備５００との間に設けられた搬送コンベヤ７１と、搬送容器１０内部に設けられた容器コンベヤ７２が同一面上に配置される。搬送コンベヤ７１及び容器コンベヤ７２を同時に駆動して、容器コンベヤ７２上に積載されている基板５を製造工程の設備５００に搬入する。
【００８８】
搬送容器１０内部の基板５が製造工程の設備５００に搬送される場合、その上に何も積載されていない第１移動部材１４０ａは、固定部材４１０に沿って次の目的地に移動する。
【００８９】
次に、図１１に示すように、何も積載されていない第２移送部材１４１ｂ、１５０ｂが固定部材４１０、１３０に沿って移動して、容器移積装置３００の下に停止する。そして、空の搬送容器１０が、垂直搬送装置５４により垂直方向へ下降して、第２移送部材４１０、１４０ｂ上に積載される。
【００９０】
次に、空の搬送容器１０が積載された第２移送部材１４０ｂは、固定部材４１０に沿って次の目的地に移動する。
【００９１】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、これは例示的なものに過ぎず、該当技術分野における通常の知識を有する者であれば、本発明に基づいて様々な変形及び均等な他の実施形態が可能であることが理解できるであろう。よって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の多様な変形及び改良形態も本発明の権利範囲に属するものである。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの全体的な概略図である。
【図２Ａ】本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの搬送装置の平面図である。
【図２Ｂ】本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの搬送装置の正面図である。
【図２Ｃ】本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの搬送装置の斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの搬送容器の斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの容器移積装置の斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの容器移積装置及び搬送ロボットを利用して基板を製造工程の設備に移積する段階を順に示した図面である。
【図６】本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの容器移積装置及び搬送ロボットを利用して基板を製造工程の設備に移積する段階を順に示した図面である。
【図７】本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの容器移積装置及び搬送ロボットを利用して基板を製造工程の設備に移積する段階を順に示した図面である。
【図８】本発明の一実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの容器移積装置及び搬送ロボットを利用して基板を製造工程の設備に移積する段階を順に示した図面である。
【図９】本発明の他の実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの容器移積装置及び搬送ロボットを利用して基板を製造工程の設備に移積する状態を示した図面である。
【図１０】本発明の他の実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの容器移積装置及び搬送コンベヤを利用して基板を製造工程の設備に移積する段階を順に示した図面である。
【図１１】本発明の他の実施形態による平板表示装置製造用搬送システムの容器移積装置及び搬送コンベヤを利用して基板を製造工程の設備に移積する段階を順に示した図面である。
【符号の説明】
【００９３】
５    基板、
１０    搬送容器、
５０    容器移積装置、
６０    基板移積ロボット、
１１５，１２５    レール部、
１３０    コイル部
１４０    移動部材
３００    容器移積装置
４００    搬送装置、
４１０    固定部材、
５００    製造工程の設備。
【図１】
2007022809.tif 000003
【図２Ａ】
2007022809.tif 000004
【図２Ｂ】
2007022809.tif 000005
【図２Ｃ】
2007022809.tif 000006
【図３】
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【図４】
2007022809.tif 000008
【図５】
2007022809.tif 000009
【図６】
2007022809.tif 000010
【図７】
2007022809.tif 000011
【図８】
2007022809.tif 000012
【図９】
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【図１０】
2007022809.tif 000014
【図１１】
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