(57)【要約】      （修正有）【課題】  熱源の速度制御のみにより長手方向における堆積量の変動が少ない光ファイバー母材を製造することができる光ファイバー母材の製造方法、製造装置および製造プログラムを提供する。【解決手段】  軸回転させたガラスパイプ２の一方端ａ側から他方端ｂ側に向けてガラス原料含有ガスを流動させつつガラス原料含有ガス流４の上流側から下流側に加熱位置が移動するようにガラスパイプを加熱して前記ガラスパイプの内面にガラスを堆積するステップを複数回行う光ファイバー母材の製造方法であって、  前記堆積するステップは、一方端ａからガス流の下流側に所定距離離れた位置までの所定領域Ａ１において加熱位置の移動速度を減速するサブステップと、領域Ａ１よりもガス流の下流側において加熱位置の移動速度を加速するサブステップとを含む。【選択図】  図１
2007022885.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸回転させたガラスパイプの一方端側から他方端側に向けてガラス原料含有ガスを流動させつつ当該ガラス原料含有ガス流の上流側から下流側に加熱位置が移動するように前記ガラスパイプを加熱して前記ガラスパイプの内面にガラスを堆積するステップを複数回行う光ファイバー母材の製造方法であって、
前記堆積するステップは、
前記一方端から前記ガス流の下流側に所定距離離れた位置までの領域において前記加熱位置の移動速度を減速するサブステップと、
前記領域よりも前記ガス流の下流側において前記加熱位置の移動速度を加速するサブステップと、
を含むことを特徴とする光ファイバー母材の製造方法。
【請求項２】
軸回転させたガラスパイプの一方端側から他方端側に向けてガラス原料含有ガスを流動させつつ当該ガラス原料含有ガス流の上流側から下流側に加熱位置が移動するように前記ガラスパイプを加熱して前記ガラスパイプの内面にガラスを堆積するステップを複数回行う光ファイバー母材の製造方法であって、
あらかじめ基準となる加熱位置からの距離に対応した単位時間あたりのガラス堆積量情報と前記ガラスパイプの内面に堆積されて形成されるべきガラス量の設定情報とから、前記ガラスパイプの内面に堆積されるガラス量が前記設定情報の値に近づくように前記加熱位置が移動する速度を決定しておき、
前記堆積するステップは、前記加熱位置を前記速度で移動させるサブステップを含む、
ことを特徴とする光ファイバー母材の製造方法。
【請求項３】
実質的にパイプを加熱して内付けを行う領域において、前記領域中の膜厚の不安定領域が３００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の光ファイバーの製造方法。
【請求項４】
前記堆積するステップは、
前記一方端において前記加熱位置を停止させた状態で前記ガラスパイプを前記ガラスパイプの温度が１７００℃以上になるまで加熱するサブステップをさらに含み、
前記加熱するサブステップの後、前記加熱位置は前記一方端から１００ｍｍ離れた位置までの領域を速度５０ｍｍ／ｍｉｎ以上で移動する、
ことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の光ファイバー母材の製造方法。
【請求項５】
肉厚が２ｍｍ以上の前記ガラスパイプの両端にダミーパイプを接続して合計長さが１５００ｍｍ以上となるように、前記ガラスパイプを前記ダミーパイプを介して旋盤に取り付け、
前記ガラスパイプ内断面積をＳ、前記ガラス原料含有ガスの単位時間あたりの体積流量をＶとしたときに、Ｖ／Ｓが１２０ｍｍ／ｓｅｃ以上となるようにガラス原料含有ガスの流量が調整されてなることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の製造方法。
【請求項６】
軸回転させたガラスパイプの一方端側から他方端側に向けてガラス原料含有ガスを流動させつつ当該ガラス原料含有ガス流の上流側から下流側に加熱位置が移動するように前記ガラスパイプを加熱して前記ガラスパイプの内面にガラスを堆積するステップを複数回行う光ファイバー母材の製造装置であって、
前記ガラスパイプを加熱する熱源と、
前記熱源を前記ガラスパイプに沿って移動させる熱源移動機構と、
前記熱源移動機構を制御する移動機構制御装置と、
を備え、
前記移動機構制御装置は、前記一方端から前記ガス流の下流側に所定距離離れた位置までの領域において前記熱源を減速し、前記領域よりも前記ガス流の下流において前記熱源を加速するように前記熱源移動機構を制御する、
ことを特徴とする光ファイバー母材の製造装置。
【請求項７】
請求項１または２の各ステップを実行するプログラムを備えてなることを特徴とする光ファイバー母材の製造プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱源の速度制御のみにより長手方向における堆積量の変動が少ない光ファイバー母材を製造することができる光ファイバー母材の製造方法、製造装置および製造プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
内付けＣＶＤ法（ＭＣＶＤ法：Ｍｏｄｅｆｉｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法）では、軸回転させたガラスパイプの一方端側から他方端側に向けてＳｉＣｌ4、ＧｅＣｌ4等のガラス原料及びＯ2等のガラス原料を含有するガスを流動させる。
【０００３】
これとともに、一方端側（前記ガラス原料含有ガスの供給側）から他方端側（前記ガラス原料含有ガスの排気側）に加熱位置が移動するように前記ガラスパイプを加熱することで、前記ガラスパイプの内面にガラス膜を堆積する工程を複数回行う（以下、ガラスパイプにおけるガス供給側を「上流側」、ガス排気側を「下流側」と言う）。
【０００４】
パイプ加熱用の熱源が移動するに従い、主原料ガスであるＳｉＣｌ4等が酸化して生成するスス（ＳｉＯ2等の微粒子）がガラスパイプ内面に付着し、このススが加熱により透明なガラス膜として堆積される。
【０００５】
ガラスパイプ内では、上流から下流に原料ガスが流れているため、生成されるスス（ガラス粒子）は常に下流側に裾を引いた状態で堆積する。加熱開始端部においては前記すそに相当する部分の堆積が行われないことから実質的に堆積されるガラスの量が少なくなるため、上流側で薄く下流側で厚いテーパー状を形成しやすい。これを防止するため、加熱開始時の熱源の移動速度（トラバース速度）を遅くして、加熱開始端付近におけるガラス膜の堆積時間を長くする対策が取られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、たとえばプラズマバーナを熱源とした内付けＣＶＤ法の場合、プラズマ温度が数千度に達するため、ガラスパイプを局所的にかつ長時間加熱すると、ガラスパイプが変形するという問題がある。すなわち、加熱開始時の位置においてガラスパイプの変形が顕著となる原因は、加熱開始位置における温度制御が不安定になり易く温度が上がり過ぎること、およびガラスパイプの粘性が下がる領域が不連続になり易いことにある。
【０００７】
一般に加熱開始位置における熱源の移動速度を速くすることで、過加熱を防止することができるが、その後の移動速度をたとえば単調増加させた場合には、ガラス膜の厚みがテーパー状に形成されるといった不都合を解消できない。
【０００８】
また、ガラス膜を堆積する部分の長さを大きくすることで母材を大型化することが出来るため、光ファイバーの製造コストを低減することができる。このためには出発材となるガラスパイプを長くする必要があるが、旋盤取付け用のダミーパイプおよびガラスパイプとの合計長が１５００ｍｍを超える場合には、上述したガラスパイプの変形が顕著となることが避けられない。このため、ガラスパイプの中にガラス膜を均等に堆積させ、光ファイバー母材として使用できる長さを長く得ることが求められる。
【０００９】
本発明の目的は、ガラスパイプの変形を抑制しつつ、熱源の速度制御のみにより加熱開始端における堆積量の変動が少ない光ファイバー母材を製造することができる光ファイバー母材の製造方法、製造装置および製造プログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の光ファイバー母材の製造方法の第一態様は、軸回転させたガラスパイプの一方端側から他方端側に向けてガラス原料含有ガスを流動させつつ当該ガラス原料含有ガス流の上流側から下流側に加熱位置が移動するように前記ガラスパイプを加熱して前記ガラスパイプの内面にガラスを堆積するステップを複数回行うものであって、
前記堆積するステップは、
前記一方端から前記ガス流の下流側に所定距離離れた位置までの領域において前記加熱位置の移動速度を減速するサブステップと、
前記領域よりも前記ガス流の下流側において前記加熱位置の移動速度を加速するサブステップと、
を含むことを特徴とする。
【００１１】
本発明の光ファイバー母材の製造方法の第二態様は、軸回転させたガラスパイプの一方端側から他方端側に向けてガラス原料含有ガスを流動させつつ当該ガラス原料含有ガス流の上流側から下流側に加熱位置が移動するように前記ガラスパイプを加熱して前記ガラスパイプの内面にガラスを堆積するステップを複数回行うものであって、
あらかじめ、基準となる加熱位置からの距離に対応した単位時間あたりのガラス堆積量情報と前記ガラスパイプの内面に堆積されて形成されるべきガラス量の設定情報とから、前記ガラスパイプの内面に堆積されるガラス量が前記設定情報の値に近づくように前記加熱位置が移動する速度を決定しておき、
前記堆積するステップは、前記加熱位置を前記速度で移動させるサブステップを含む、
ことを特徴とする。
【００１２】
本発明の第一態様および第二態様において、「加熱位置」は熱源の位置としてもよいし、ガラスパイプの最高温度位置としてもよい。
【００１３】
本発明の第一態様および第二態様では、実質的にパイプを加熱して内付けを行う領域において、前記領域中の膜厚の不安定領域を３００ｍｍ以下とすることができる。ここで不安定領域とは、実質的にパイプを加熱して内付けを行う領域において、膜厚が最大値の９５％以下となる領域をいう。
【００１４】
本発明の第一態様および第二態様では、前記堆積するステップは、
前記一方端において前記加熱位置を停止させた状態で前記ガラスパイプを前記ガラスパイプの温度が１７００℃以上になるまで加熱するサブステップをさらに含み、
前記加熱するサブステップの後、前記加熱位置は前記一方端から１００ｍｍ離れた位置までの領域を速度５０ｍｍ／ｍｉｎ以上で移動する、
ようにできる。
【００１５】
また、本発明の第一態様および第二態様では、
肉厚が２ｍｍ以上の前記ガラスパイプの両端にダミーパイプを接続して合計長さが１５００ｍｍ以上となるように、前記ガラスパイプを前記ダミーパイプを介して旋盤に取り付け、
前記ガラスパイプ内断面積をＳ、前記ガラス原料含有ガスの単位時間あたりの体積流量をＶとしたときに、Ｖ／Ｓが１２０ｍｍ／ｓｅｃ以上となるようにガラス原料含有ガスの流量を調整することができる。
【００１６】
本発明の光ファイバー母材の製造装置は、
軸回転させたガラスパイプの一方端側から他方端側に向けてガラス原料含有ガスを流動させつつ当該ガラス原料含有ガス流の上流側から下流側に加熱位置が移動するように前記ガラスパイプを加熱して前記ガラスパイプの内面にガラスを堆積するステップを複数回行うものであって、
前記ガラスパイプを加熱する熱源と、
前記熱源を前記ガラスパイプに沿って移動させる熱源移動機構と、
前記熱源移動機構を制御する移動機構制御装置と、
を備え、
前記移動機構制御装置は、前記一方端から前記ガス流の下流側に所定距離離れた位置までの領域において前記熱源を減速し、前記領域よりも前記ガス流の下流において前記熱源を加速するように前記熱源移動機構を制御する、
ことを特徴とする。
【００１７】
本発明の光ファイバー母材の製造プログラムは、本発明の光ファイバー母材の製造方法における各ステップおよび各サブステップを実行するプログラム（一般にはプログラムモジュール）を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
熱源の速度制御のみにより長手方向における堆積量の変動が少ない光ファイバー母材を製造することができる。
すなわち、本発明の光ファイバーの製造装置および製造方法では、熱源位置の移動速度の初期値を大きく設定し、次いで減速し、この後加速することで出発材となるガラスパイプの変形を防止することができるため、複数回の堆積が容易に行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の光ファイバー母材の製造装置の一実施形態を図１により説明する。
図１において、製造装置１は、内付けＣＶＤ法を用いたステップを複数回行うことで光ファイバー母材の製造を行うもので、このステップでは、軸回転させたガラスパイプの一方端側から他方端側に向けてガラス原料含有ガスを流動させつつ当該ガラス原料含有ガス流の上流側から下流側に加熱位置が移動するようにガラスパイプを加熱してガラスパイプの内面にガラス膜を堆積するステップを複数回行う。
【００２０】
図１において、製造装置１は、旋盤装置１１と、熱源１２と、熱源移動機構１３と、移動機構制御装置１４とを備えている。
旋盤装置１１は、回転支持部１１１，１１２と、ガラス原料を含有したガスＧＧ（ガス流を符号「４」で示す）を吸気する吸気口ＩＮおよびガスＧＧを排気する排気する排気口ＯＵＴを供えている。
【００２１】
図１ではガラスパイプ２の両端（一方端ａ，他方端ｂ）にはダミーパイプ３１，３２が取り付けられており、回転支持部１１１，１１２は、ガラスパイプ２とダミーパイプ３１，３２とが一体となったパイプを支持して回転させることができる。また、吸気口ＩＮから吸気されたガスＧＧは、ガラスパイプ２の内部を通過して排気口ＯＵＴから排気される。
【００２２】
熱源１２は、ガラスパイプ２を加熱することができる。熱源１２として、典型的にはプラズマバーナが使用されるが、ガスバーナ、高周波加熱装置、熱線加熱装置等の他の熱源を使用することもできる。
熱源移動機構１３は、熱源１１をガラスパイプ２に沿って移動させることができる。熱源移動機構１３は熱源１１をガイドに沿って移動させる周知の構造を備えている。
【００２３】
移動機構制御装置１４は、熱源移動機構１３を制御する。具体的には、図２の速度特性図に実線ａ１で示すように、ガラスパイプ２の一方端ａからガス流４の下流側に所定距離離れた位置までの領域Ａ１において熱源１２を減速し、領域Ａ１よりもガス流４の下流（領域Ａ２で示す）において熱源１２を加速するように熱源移動機構１３を制御する。実線ａ１で示す速度特性では、ガラス管に変形が生じない。また、図２において、ｘの増大に応じてややなだらかに加速した場合を破線ａ２で示してある。この場合には、ガラス管に変形が生じないが、図３に破線ｂ２で示すように、ａ点から６００ｍｍ程度の距離にならないと膜厚〔Ａ．Ｕ．（任意単位）〕が一定とならず、ガラスパイプに無駄が生じる。なお、図３に本発明における熱源の移動速度の制御を行った場合（図２の実線a１）に対応する膜厚〔Ａ．Ｕ．〕を実線ｂ１で示す。この場合の膜厚は、ａ点から２００ｍｍ程度の距離で一定厚となっている。
【００２４】
図２において、ｘの増大に応じて急激に温度上昇を行った場合を一点鎖線ａ３で示してある。この場合には、ガラス管に変形が生じる。
【００２５】
図４（Ａ）は、移動機構制御装置１４のハードウェアブロック図であり、ＣＰＵ１４１と、メモリ１４２と、入出力インタフェース（Ｉ／Ｏ）１４３とを備えている。メモリ１４２には、熱源１１を図２の速度特性で制御するためのプログラム（後述するサブステップＳＳＡ１，ＳＳＡ２，ＳＳＡ３を実行するプログラム）が格納されている。これらのプログラムは、具体的には、熱源移動機構１３を駆動するためのドライバ等であり、ＣＰＵ１４１は入出力インタフェース１４３を介して、熱源移動機構１３を制御することができる。
【００２６】
本発明の光ファイバー母材の製造方法の第一態様は、図１の製造装置１により実施することができる。図４（Ｂ）のブロック図に示すように、第一態様は、サブステップＳＳＡ１，ＳＳＡ２，ＳＳＡ３を有するステップＭＳからなる。
すなわち、ガラス膜を堆積するステップＭＳでは、軸回転させたガラスパイプ２の一方端ａ側から他方端ｂ側に向けてガラス原料含有ガスを流動させつつガラス原料含有ガス流４の上流側から下流側に加熱位置が移動するようにガラスパイプ２を加熱してガラスパイプ２の内面にガラス膜を堆積する。なお、本実施形態では、加熱位置は熱源１１の位置と等価としてあるが、加熱位置をガラス管の最高温度位置とする場合には、加熱位置は熱源１１のやや上流となることがある。
【００２７】
このステップＭＳは複数回行われるが、このステップＭＳの中でサブステップＳＳＡ１，ＳＳＡ２，ＳＳＡ３が実行される。
サブステップＳＳＡ１では、ガラスパイプ２の一方端ａから加熱位置を所定の初期速度で移動させる。
サブステップＳＳＡ２では、一方端ａからガス流４の下流側に所定距離離れた位置ｘ１までの領域Ａ１において加熱位置の移動速度を減速する。
【００２８】
サブステップＳＳＡ３では、領域Ａ１よりもガス流の下流側（領域Ａ２）において加熱位置の移動速度を加速する。
【００２９】
本発明の光ファイバー母材の製造方法の第一態様において、ステップＭＳは、一方端ｑにおいて加熱位置を停止させた状態でガラスパイプ２をガラスパイプの温度が１７００℃以上になるまで加熱するサブステップＳＵＢをさらに含むことができる。この場合、サブステップＳＵＢの後、加熱位置は一方端から１００ｍｍ離れた位置までの領域を速度５０ｍｍ／ｍｉｎ以上で移動するようにすることが好ましい。
【００３０】
第一実施形態においては、実質的に、ガラスパイプ２を加熱して内付けを行う領域において、領域中の膜厚の不安定領域を、３００ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００３１】
また、第一実施形態においては、ガラスパイプ２の肉厚が２ｍｍ以上のものを用い、その両端に、ダミーパイプを接続して合計長さが１５００ｍｍ以上となるようにしてこれを旋盤に取り付ける。そして、ガラスパイプ２の内断面積をＳ、前記ガラス原料含有ガスの体積流量をＶとしたときに、Ｖ／Ｓが１２０ｍｍ／ｓｅｃ以上となるようにガラス原料含有ガスの流量を調整することができる。
【００３２】
本発明の光ファイバー母材の製造方法の第二態様は、図１の製造装置１により実施することができる。この態様においても、ガラス膜を堆積する上述したステップＭＳが複数回行われる。このステップＭＳの前に、図５に示すように、ステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３が予め実行されており、ステップＳ１〜Ｓ３の結果に従ってステップＭＳが実行される。
【００３３】
ステップＳ１では、単位時間あたりのガラス堆積量情報を、基準となる加熱位置ｘ０からの距離に対応してガラス膜堆積量のプロファイル（堆積プロファイル）として記憶する。具体的には、ガラス堆積量情報は、たとえば図４のメモリ１４２の所定領域や図示しない磁気記録媒体等に、図示しない適宜の入力手段（キーボードや通信装置等）を用いて記憶される。ここで単位時間当たりのガラス膜堆量情報は、予め実測しておく。実測の方法は、ある位置に熱源を固定し数分間ススを生成させる。この時、熱源の下流側に堆積したススを焼結し、長手方向に膜厚を測定することで得られる。
【００３４】
ステップＳ２では、ガラスパイプ２の内面に堆積されて形成されるべきガラス量の設定情報を取得する。ステップＳ３では、ガラスパイプ２の内面に堆積されるガラス量が設定情報の値に近づくように、ガラス堆積量情報と設定情報から加熱位置が移動する速度を決定する。
【００３５】
具体的に、ステップＳ３の加熱位置の移動速度の決定方法を図６のフローチャートに基づき、図７（Ａ）の堆積シミュレート図および図７（Ｂ）の堆積プロファイル説明図を参照して説明する。
【００３６】
図７(B)の縦軸はガラス膜堆積量、横軸はガラスパイプ２の一方端ａからの距離ｘである。まず、所望の堆積プロファイル（図７（Ｂ）の破線P）を設定し、位置ｘを一方端近傍の位置x0にセットする（Ｓ１０１）。
【００３７】
次に、ｘ0の値が堆積したいパイプの長さ以下であるかをチェックする（Ｓ１０２）。ｘ0の値が堆積したいパイプの長さ以下であるときはｘ0を先頭にした単位時間あたりの堆積量（図７（Ａ）参照）の積算値を求める（Ｓ１０３）。
【００３８】
Ｓ１０４では、単位時間あたりの単位時間の堆積プロファイルの積算値が、堆積プロファイルが示すｘ0における堆積膜厚の設定値に達したか否かをチェックしており、ｘ0における堆積膜厚の設定値に達していない場合には処理をＳ１０３に戻す（Ｓ１０４の「ＮＯ」）。このＳ１０３からＳ１０４に戻すループにより、堆積プロファイルの積算が行われる。
【００３９】
Ｓ１０４においてｘ0における堆積膜厚の設定値に達したときは、位置ｘ0における単位時間の堆積プロファイルを所定のメモリに記憶し（Ｓ１０５）、この後、ｘ1＝ｘ0＋δｘとして位置をδｘだけ下流にずらし（Ｓ１０６：図７（Ｂ）参照）、処理をＳ１０２に戻す。Ｓ１０２において、位置ｘが堆積したいパイプの長さに達したときは処理をＳ１０７に渡す（Ｓ１０２の「ＹＥＳ」）。
【００４０】
Ｓ１０７では、各ｘの位置における堆積時間により、各位置における熱源の移動速度ｖ＝δｘ／ｓｅｃを算出する。この算出データは前述したように所定のメモリ１４２や図示しない磁気記録媒体１４３に記憶される（Ｓ１０８）。図７（Ｂ）に堆積量が積算された堆積プロファイルＰを示す（単位時間あたりの堆積プロファイルをｐで示す）。
【００４１】
ステップＳ３で求められる速度は、図８に示すように図２におけるａ１で示した特性と同様の速度特性を呈する。また、図８に示した速度特性でガラス膜を形成したときの堆積プロファイルＰと実際の膜厚とを図９に比較して示す。
【００４２】
ステップＭＳは、加熱位置を上記の速度特性で移動させる複数のサブステップを含む。このサブステップは、通常、第一態様におけるステップＳＳＡ１，ＳＳＡ２，ＳＳＡ３を呈する。
第二実施形態においても、実質的に、ガラスパイプ２を加熱して内付けを行う領域において、領域中の膜厚の不安定領域を、３００ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００４３】
また、第二実施形態においても、ガラスパイプ２の肉厚が２ｍｍ以上のものを用い、その両端に、ダミーパイプを接続して合計長さが１５００ｍｍ以上となるようにしてこれを旋盤に取り付ける。そして、ガラスパイプ２の内断面積をＳ、前記ガラス原料含有ガスの体積流量をＶとしたときに、Ｖ／Ｓが１２０ｍｍ／ｓｅｃ以上となるようにガラス原料含有ガスの流量を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の光ファイバー母材の製造装置の一実施形態を示す説明図である。
【図２】本発明の実施形態における熱源の移動速度を比較例とともに示す図である。
【図３】本発明の実施形態における膜厚を比較例とともに示す図である。
【図４】（Ａ）は移動機構制御装置のハードウェアブロック図である。（Ｂ）はガラス膜を堆積するステップを示す図である。
【図５】本発明の光ファイバー母材の製造方法の第二態様においてあらかじめ行われるステップを示すフローチャートである。
【図６】図５のあらかじめ行われるステップでの熱源の移動速度の決定方法を示すフローチャートである。
【図７】（Ａ）は単位時間あたりの膜厚を示すプロファイル図、（Ｂ）は堆積量が積算された様子を示す説明図である。
【図８】図７の堆積プロファイルの積算に基づいて求めた速度特性図である。
【図９】図８に示した速度特性でガラス膜を形成したときの堆積プロファイルと実際の膜厚とを比較して示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  製造装置
２  ガラスパイプ
４  ガラス原料含有ガス流
１１  旋盤装置
１２  熱源
１３  熱源移動機構
１４  移動機構制御装置
３１，３２  ダミーパイプ
１１１，１１２  回転支持部
１４１  ＣＰＵ
１４２  メモリ
１４３  入出力インタフェース（Ｉ／Ｏ）
ＧＧ  ガラス原料含有ガス
ＩＮ  吸気口
ＯＵＴ  排気口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図７】
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