(57)【要約】【課題】低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験することを可能とする信頼性試験用基板ユニットを提供する。【解決手段】３個の入力端子（Ｔａ、Ｔｂ、Ｔｃ）を有し、入力端子Ｔａからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿１と面発光レーザ１０３ｂ＿１と面発光レーザ１０３ｃ＿３とに供給し、入力端子Ｔｂからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿２と面発光レーザ１０３ｂ＿２と面発光レーザ１０３ｃ＿２とに供給し、入力端子Ｔｃからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿３と面発光レーザ１０３ｂ＿３と面発光レーザ１０３ｃ＿１とに供給する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれが複数の発光素子を有する複数のアレイ光源の信頼性を試験する際に用いられる信頼性試験用基板ユニットであって、
前記複数のアレイ光源に対応して複数設けられ、対応するアレイ光源がそれぞれに装着される複数の設置台と；
前記複数の設置台に対応して複数設けられ、対応する設置台に装着されているアレイ光源から出射される光をそれぞれ受光する複数の受光素子と；
前記複数の発光素子と同じ数の複数の入力端子を有し、各入力端子が、それぞれ各アレイ光源の１つの発光素子に対応している配線部と；を備える信頼性試験用基板ユニット。
【請求項２】
前記配線部は、一の入力端子から入力される駆動電流を前記複数の設置台に装着されている各アレイ光源における一の発光素子にそれぞれ供給し、入力端子毎に各アレイ光源における駆動される発光素子が異なることを特徴とする請求項１に記載の信頼性試験用基板ユニット。
【請求項３】
前記駆動電流は、電源から供給され、
前記複数の設置台の数は、前記電源が同時並列に通電可能な発光素子の最大個数と同じであることを特徴とする請求項２に記載の信頼性試験用基板ユニット。
【請求項４】
前記各アレイ光源における一の発光素子は、各アレイ光源における互いに同じ位置に配置されている一の発光素子であることを特徴とする請求項２又は３に記載の信頼性試験用基板ユニット。
【請求項５】
前記発光素子は、面発光レーザであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の信頼性試験用基板ユニット。
【請求項６】
それぞれが複数の発光素子を有する複数のアレイ光源の信頼性を試験する信頼性試験装置であって、
少なくとも一つの請求項１〜４のいずれか一項に記載の信頼性試験用基板ユニットと、
前記少なくとも一つの信頼性試験用基板ユニットに装着されている複数のアレイ光源の温度を制御する温度制御装置と；
前記少なくとも一つの信頼性試験用基板ユニットの複数の入力端子に対応し、それぞれ駆動電流を生成する複数の電源を有する電源ユニットと；
前記少なくとも一つの信頼性試験用基板ユニットの複数の受光素子の出力信号に基づいて、前記複数のアレイ光源における各発光素子の特性をそれぞれ求める処理装置と；を備える信頼性試験装置。
【請求項７】
前記発光素子は、面発光レーザであることを特徴とする請求項６に記載の信頼性試験装置。
【請求項８】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の信頼性試験用基板ユニットを用いた複数のアレイ光源の信頼性試験方法であって、
前記信頼性試験用基板ユニットの複数の入力端子のいずれか１つに駆動電流を供給する工程と；
前記信頼性試験用基板ユニットの複数の受光素子の出力信号に基づいて、前記駆動電流が供給された複数の発光素子の特性を求める工程と；を含み、
前記複数の入力端子の全てについて、前記供給する工程と前記特性を求める工程とを行うことを特徴とする信頼性試験方法。
【請求項９】
請求項４に記載の信頼性試験用基板ユニットを用いた複数のアレイ光源の信頼性試験方法であって、
前記各アレイ光源の特定位置にそれぞれ配置されている複数の発光素子が試験対象の発光素子であり、
前記信頼性試験用基板ユニットの複数の入力端子のうち、前記試験対象の複数の発光素子に接続されている入力端子に駆動電流を供給する工程と；
前記信頼性試験用基板ユニットの複数の受光素子の出力信号に基づいて、前記試験対象の複数の発光素子の特性を求める工程と；を含む信頼性試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信頼性試験用基板ユニット、信頼性試験装置及び信頼性試験方法に係り、さらに詳しくは、複数のアレイ光源の信頼性を試験する際に用いられる信頼性試験用基板ユニット、複数のアレイ光源の信頼性を試験する信頼性試験装置、前記信頼性試験用基板ユニットを用いた複数のアレイ光源の信頼性試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体レーザ等の発光素子の信頼性を評価する手段として、発光素子の温度を常温よりも加熱して負荷をかけた状態で一定時間通電し、光出力特性の変化を調べる方法が知られている。このような方法は、発光素子の寿命予測を行ったり、初期不良を起こす発光素子を事前に選別する（スクリーニング）手段として有効である。
【０００３】
ところで、近年、複数の発光素子を有するアレイ光源が用いられるようになり、アレイ光源を構成する個々の発光素子に対しても信頼性を評価する必要がある。そこで、アレイ光源を評価対象とする種々の方法及び装置が開示されている（例えば、特許文献１〜特許文献３参照）。
【０００４】
特許文献１には、マルチビームの個々の発光源をＡＣＣ（ａｕｔｏ  ｃｕｒｒｅｎｔ  ｃｏｎｔｒｏｌ）回路及びＡＰＣ（ａｕｔｏ  ｐｏｗｅｒ  ｃｏｎｔｒｏｌ）回路で駆動制御するスクリーニング装置及びスクリーニング方法が開示されている。ＡＣＣ回路は発光源の数だけ設けられ、切り換えスイッチによって素子を選択してエージングする。受光素子はマルチビームレーザごとに１個設けられている。スクリーニングはＡＰＣ回路に切り換えて、個々の発光源ごとに動作電流変化量を測定して行う。
【０００５】
特許文献２には、測定対象素子の周囲の素子に通電しながら、測定対象の素子の光出力を測定する光素子アレイの試験方法が開示されている。光素子としては面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）アレイを用いており、各アレイごとに石英棒を介して受光素子に光が導入されている。駆動電源はＶＣＳＥＬアレイの任意に選択された素子を駆動することが可能である。
【０００６】
特許文献３には、レーザダイオードアレイをエージングするバーンインボードにおいて、各レーザダイオードは電流均一用抵抗を介して複数の素子が並列に定電圧電源に接続されている半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法が開示されている。これにより、各レーザダイオードの内部抵抗がばらついていてもほぼ均一な電流が供給可能となる。また複数のチップをひとつの電源で検査できるため、コスト低減がはかれる。
【０００７】
【特許文献１】特開平４−１５１８４８号公報
【特許文献２】特開２００１−６６２２２号公報
【特許文献３】特許２００４−２７９２９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に開示されているスクリーニング装置及びスクリーニング方法では、各発光素子にそれぞれ個別の駆動用電源が必要であるという不都合があった。また、特許文献２に開示されている光素子アレイの試験方法では、素子アレイの各エレメントに個別に電流を供給するための大量の切り換えスイッチが必要であるという不都合があった。さらに、特許文献３に開示されている半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法では、光出力をモニタするようになっていないが、仮にエージング時に光出力をモニタしようとすると、どのレーザダイオードを点灯させるかを選択する切り換えスイッチを各レーザダイオードに全て設ける必要があるという不都合があった。
【０００９】
本発明は、かかる事情の下になされたもので、その第１の目的は、低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験することを可能とする信頼性試験用基板ユニットを提供することにある。
【００１０】
また、本発明の第２の目的は、低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験することができる信頼性試験装置及び信頼性試験方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、第１の観点からすると、それぞれが複数の発光素子を有する複数のアレイ光源の信頼性を試験する際に用いられる信頼性試験用基板ユニットであって、前記複数のアレイ光源に対応して複数設けられ、対応するアレイ光源がそれぞれに装着される複数の設置台と；前記複数の設置台に対応して複数設けられ、対応する設置台に装着されているアレイ光源から出射される光をそれぞれ受光する複数の受光素子と；前記複数の発光素子と同じ数の複数の入力端子を有し、各入力端子が、それぞれ各アレイ光源の１つの発光素子に対応している配線部と；を備える信頼性試験用基板ユニットである。
【００１２】
これによれば、複数のアレイ光源に対応して複数設けられ、対応するアレイ光源がそれぞれに装着される複数の設置台と、複数の設置台に対応して複数設けられ、対応する設置台に装着されているアレイ光源から出射される光をそれぞれ受光する複数の受光素子と、複数の発光素子と同じ数の複数の入力端子を有し、各入力端子が、それぞれ各アレイ光源の１つの発光素子に対応している配線部とを備えているため、低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験することが可能となる。
【００１３】
本発明は、第２の観点からすると、それぞれが複数の発光素子を有する複数のアレイ光源の信頼性を試験する信頼性試験装置であって、少なくとも一つの本発明の信頼性試験用基板ユニットと、前記少なくとも一つの信頼性試験用基板ユニットに装着されている複数のアレイ光源の温度を制御する温度制御装置と；前記少なくとも一つの信頼性試験用基板ユニットの複数の入力端子に対応し、それぞれ駆動電流を生成する複数の電源を有する電源ユニットと；前記少なくとも一つの信頼性試験用基板ユニットの複数の受光素子の出力信号に基づいて、前記複数のアレイ光源における各発光素子の特性をそれぞれ求める処理装置と；を備える信頼性試験装置である。
【００１４】
これによれば、少なくとも一つの本発明の信頼性試験用基板ユニットを備えているため、低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験することが可能となる。
【００１５】
本発明は、第３の観点からすると、本発明の信頼性試験用基板ユニットを用いた複数のアレイ光源の信頼性試験方法であって、前記信頼性試験用基板ユニットの複数の入力端子のいずれか１つに駆動電流を供給する工程と；前記信頼性試験用基板ユニットの複数の受光素子の出力信号に基づいて、前記駆動電流が供給された複数の発光素子の特性を求める工程と；を含み、前記複数の入力端子の全てについて、前記供給する工程と前記特性を求める工程とを行うことを特徴とする第１の信頼性試験方法である。
【００１６】
本発明は、第４の観点からすると、本発明の信頼性試験用基板ユニットを用いた複数のアレイ光源の信頼性試験方法であって、前記各アレイ光源の特定位置にそれぞれ配置されている複数の発光素子が試験対象の発光素子であり、前記信頼性試験用基板ユニットの複数の入力端子のうち、前記試験対象の複数の発光素子に接続されている入力端子に駆動電流を供給する工程と；前記信頼性試験用基板ユニットの複数の受光素子の出力信号に基づいて、前記試験対象の複数の発光素子の特性を求める工程と；を含む第２の信頼性試験方法である。
【００１７】
これら第１の信頼性試験方法及び第２の信頼性試験方法のいずれかの信頼性試験方法によれば、本発明の信頼性試験用基板ユニットを用いているため、低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
《第１の実施形態》
以下、本発明の第１の実施形態を図１〜図７に基づいて説明する。図１には、本発明の第１の実施形態に係る信頼性試験装置１００の概略構成が示されている。
【００１９】
図１の信頼性試験装置１００は、恒温槽３０１、温度制御ユニット３０２、信頼性試験用基板ユニット３０３、光出力特性計測器３０７、制御演算回路３０９、及び電源ユニット３０８を備えている。
【００２０】
信頼性試験用基板ユニット３０３は、一例として図２に示されるように、３個の設置台（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ）、３個の受光素子（１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ）、配線部２０２、及び抵抗部１０６を有している。
【００２１】
各設置台には、それぞれアレイ光源が装着される。ここでは、一例として図３に示されるように、３個の面発光レーザを有するアレイ光源が装着されるものとする。なお、ここでは、設置台１０２ａに装着されるアレイ光源は、面発光レーザ１０３ａ＿１、面発光レーザ１０３ａ＿２、及び面発光レーザ１０３ａ＿３で構成され、設置台１０２ｂに装着されるアレイ光源は、面発光レーザ１０３ｂ＿１、面発光レーザ１０３ｂ＿２、及び面発光レーザ１０３ｂ＿３で構成され、設置台１０２ｃに装着されるアレイ光源は、面発光レーザ１０３ｃ＿１、面発光レーザ１０３ｃ＿２、及び面発光レーザ１０３ｃ＿３で構成されているものとする。
【００２２】
前記受光素子１０４ａは、設置台１０２ａに装着されたアレイ光源からの光を受光する位置に配置されている。前記受光素子１０４ｂは、設置台１０２ｂに装着されたアレイ光源からの光を受光する位置に配置されている。前記受光素子１０４ｃは、設置台１０２ｃに装着されたアレイ光源からの光を受光する位置に配置されている。各受光素子は、それぞれ受光光量に応じた信号（光電変換信号）を生成する。各受光素子の出力信号は、それぞれ光出力特性計測器３０７に供給される。
【００２３】
前記配線部２０２は、３個の入力端子（Ｔａ、Ｔｂ、Ｔｃ）を有している。そして、配線部２０２は、入力端子Ｔａからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿１と、面発光レーザ１０３ｂ＿１と、面発光レーザ１０３ｃ＿３とに供給し、入力端子Ｔｂからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿２と、面発光レーザ１０３ｂ＿２と、面発光レーザ１０３ｃ＿２とに供給し、入力端子Ｔｃからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿３と、面発光レーザ１０３ｂ＿３と、面発光レーザ１０３ｃ＿１とに供給する。すなわち、配線部２０２は、１個のアレイ光源を構成する複数の面発光レーザと同じ数の複数の入力端子を有し、一の入力端子から入力される駆動電流は、複数の設置台に装着されている各アレイ光源における一の面発光レーザにそれぞれ供給され、入力端子毎に各アレイ光源における駆動される面発光レーザが異なるようになっている。
【００２４】
前記抵抗部１０６は、配線部２０２と複数の設置台との間に設けられ、個別に面発光レーザと直列に接続されている複数（ここでは９個）の抵抗を有している。
【００２５】
抵抗部１０６の各抵抗は面発光レーザの内部抵抗よりも十分大きい抵抗値を有しており、各面発光レーザの内部抵抗にばらつきがあった場合でも、並列に接続された複数の面発光レーザのそれぞれにほぼ均一に電流を供給することが可能となる。例えば、各抵抗の値を面発光レーザの内部抵抗の１０倍とすると、各面発光レーザの内部抵抗のばらつきが１０％あったとしても面発光レーザに供給する電流値を１％以下のばらつきに抑えることができる。
【００２６】
また、仮に複数の面発光レーザのうちのひとつが電流通電中にショート不良を発生した場合でも、面発光レーザの内部抵抗よりも十分大きい抵抗が面発光レーザと直列に接続されているため、他の面発光レーザは正常に通電を続けることができる。
【００２７】
前記電源ユニット３０８は、一例として図４に示されるように、入力端子Ｔａに駆動電流を供給する電源３０８ａ、入力端子Ｔｂに駆動電流を供給する電源３０８ｂ、及び入力端子Ｔｃに駆動電流を供給する電源３０８ｃを有している。各電源は、３個の面発光レーザに同時並列に通電可能な容量（電源容量）を有している。
【００２８】
図１に戻り、前記恒温槽３０１は、前記温度制御ユニット３０２にて温度制御され、信頼性試験用基板ユニット３０３を所定の温度に保持するのに用いられる。
【００２９】
前記光出力特性計測器３０７は、信頼性試験用基板ユニット３０３の各受光素子の出力信号に基づいて、評価対象の面発光レーザの光出力特性を計測する。
【００３０】
前記制御演算回路３０９は、通電する電源の選択や電流値の設定を行う。
【００３１】
例えば、面発光レーザの電流−光出力特性を計測する場合には、制御演算回路３０９は、計測対象の面発光レーザに通電される電流をステップ状に変化させる。そして、光出力特性計測器３０７は、ステップ毎に光出力を計測する。また、いわゆるＡＰＣ（Auto  Power  Control）条件で計測する場合には、制御演算回路３０９は、電源をＡＰＣ制御することも可能である。
【００３２】
次に、上記のように構成される信頼性試験装置１００を用いた複数のアレイ光源の信頼性試験について説明する。
（１）温度制御ユニット３０２を介して恒温槽３０１の温度を８０℃とする。
（２）入力端子Ｔａに駆動電流を供給する（図５参照）。
（３）面発光レーザ１０３ａ＿１、面発光レーザ１０３ｂ＿１、及び面発光レーザ１０３ｃ＿３の光出力特性を計測する。
（４）入力端子Ｔａへの駆動電流の供給を停止し、入力端子Ｔｂに駆動電流を供給する（図６参照）。
（５）面発光レーザ１０３ａ＿２、面発光レーザ１０３ｂ＿２、及び面発光レーザ１０３ｃ＿２の光出力特性を計測する。
（６）入力端子Ｔｂへの駆動電流の供給を停止し、入力端子Ｔｃに駆動電流を供給する（図７参照）。
（７）面発光レーザ１０３ａ＿３、面発光レーザ１０３ｂ＿３、及び面発光レーザ１０３ｃ＿１の光出力特性を計測する。
【００３３】
これにより、全ての面発光レーザの初期光出力特性を求めることができる。
【００３４】
（８）全ての面発光レーザに所定の電流値（例えば、５ｍＡ）で所定時間（例えば、１時間）通電し、エージングを行う。
（９）通電を停止する。
（１０）入力端子Ｔａに駆動電流を供給する。
（１１）面発光レーザ１０３ａ＿１、面発光レーザ１０３ｂ＿１、及び面発光レーザ１０３ｃ＿３の光出力特性を計測する。
（１２）入力端子Ｔａへの駆動電流の供給を停止し、入力端子Ｔｂに駆動電流を供給する。
（１３）面発光レーザ１０３ａ＿２、面発光レーザ１０３ｂ＿２、及び面発光レーザ１０３ｃ＿２の光出力特性を計測する。
（１４）入力端子Ｔｂへの駆動電流の供給を停止し、入力端子Ｔｃに駆動電流を供給する。
（１５）面発光レーザ１０３ａ＿３、面発光レーザ１０３ｂ＿３、及び面発光レーザ１０３ｃ＿１の光出力特性を計測する。
【００３５】
これにより、各面発光レーザの寿命の予測、及び初期不良品の選別を行うことができる。
【００３６】
そして、さらに、
（１６）温度制御ユニット３０２を介して恒温槽３０１の温度を１５０℃とする。
（１７）全ての面発光レーザに所定の電流値（例えば、５ｍＡ）で所定時間（例えば、３０分時間）通電する。
これにより、各面発光レーザの動作特性を安定化することができる。
【００３７】
以上説明したように、本第１の実施形態に係る信頼性試験用基板ユニット３０３によると、配線部２０２は、３個の入力端子を有し、入力端子Ｔａからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿１と、面発光レーザ１０３ｂ＿１と、面発光レーザ１０３ｃ＿３とに供給し、入力端子Ｔｂからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿２と、面発光レーザ１０３ｂ＿２と、面発光レーザ１０３ｃ＿２とに供給し、入力端子Ｔｃからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿３と、面発光レーザ１０３ｂ＿３と、面発光レーザ１０３ｃ＿１とに供給する。これにより、面発光レーザ毎に駆動用の電源を設ける必要はなく、また、大量の切り換えスイッチも不要となり、低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験することを可能とすることができる。
【００３８】
また、本第１の実施形態に係る信頼性試験用基板ユニット３０３によると、受光素子は、面発光レーザ毎ではなく、アレイ光源毎に設けられているため、低コスト化及び小型化を図ることが可能となる。
【００３９】
また、本第１の実施形態に係る信頼性試験装置１００によると、信頼性試験用基板ユニット３０３を備えているため、低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験することができる。
【００４０】
なお、上記第１の実施形態において、一例として図８に示されるように、前記配線部２０２は、入力端子Ｔａからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿１と、面発光レーザ１０３ｂ＿１と、面発光レーザ１０３ｃ＿１とに供給し、入力端子Ｔｂからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿２と、面発光レーザ１０３ｂ＿２と、面発光レーザ１０３ｃ＿２とに供給し、入力端子Ｔｃからの駆動電流を、面発光レーザ１０３ａ＿３と、面発光レーザ１０３ｂ＿３と、面発光レーザ１０３ｃ＿３とに供給しても良い。すなわち、一の入力端子から入力される駆動電流は、複数の設置台に装着されている各アレイ光源における互いに同じ位置に配置されている一の面発光レーザに供給されても良い。
【００４１】
この場合には、１回の通電で、各アレイ光源における特定位置の面発光レーザを同時に評価することが可能となる。例えば、図９に示されるように、入力端子Ｔａに駆動電流を供給すると、各アレイ光源における互いに同じ位置に配置されている面発光レーザ１０３ａ＿１、面発光レーザ１０３ｂ＿１、及び面発光レーザ１０３ｃ＿１の光出力特性を計測することができる。さらに、この場合には、面発光レーザのアレイ内における位置と信頼性との関係を調べる等、試験を行う際の条件選択範囲を広げることができる。
【００４２】
また、上記第１の実施形態において、一例として図１０に示されるように、前記信頼性試験装置１００に前記信頼性試験用基板ユニット３０３を複数設置しても良い。これにより、同時に試験できるアレイ光源の数を増やすことができ、信頼性試験を効率良く行うことが可能となる。
【００４３】
《第２の実施形態》
以下、本発明の第２の実施形態を図１１〜図１４に基づいて説明する。図１１には、本発明の第２の実施形態に係る信頼性試験装置４００の概略構成が示されている。
【００４４】
この信頼性試験装置４００は、前記信頼性試験用基板ユニット３０３に代えて、各面発光レーザ及び各受光素子を所定の温度にするためのペルチェ素子が付加された信頼性試験用基板ユニット４０１を用いる点に特徴を有する。そこで、以下においては、第１の実施形態との相違点を中心に説明するとともに、第１の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については同一の符号を用い、その説明を簡略化し若しくは省略するものとする。
【００４５】
図１１の信頼性試験装置４００は、信頼性試験用基板ユニット４０１、２個の温度制御ユニット（３０２ａ、３０２ｂ）、光出力特性計測器３０７、制御演算回路３０９、及び電源ユニット３０８を備えている。この場合には、前記恒温槽３０１は不要である。
【００４６】
信頼性試験用基板ユニット４０１は、一例として図１２に示されるように、３個の設置台（１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ）、３個の受光素子（１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ）、配線部２０２、抵抗部１０６、２個のペルチェ素子（４０３、４０４）を有している。
【００４７】
ペルチェ素子４０３は、図１２のＡ−Ａ断面図である図１３に示されるように、３個の設置台を加熱又は冷却する位置に配置されている。このペルチェ素子４０３は、温度制御ユニット３０２ａによって温度制御される。
【００４８】
ペルチェ素子４０４は、図１２のＢ−Ｂ断面図である図１４に示されるように、３個の受光素子を加熱又は冷却する位置に配置されている。このペルチェ素子４０４は、温度制御ユニット３０２ｂによって温度制御される。
【００４９】
信頼性試験装置４００を用いた複数のアレイ光源の信頼性試験は、各アレイ光源及び各受光素子の加熱又は冷却手段が異なる以外は上記第１の実施形態と同様にして行うことができる。
【００５０】
従って、本第２の実施形態に係る信頼性試験用基板ユニット４０１によると、前記信頼性試験用基板ユニット３０３と同様な効果を得ることができる。
【００５１】
また、本第２の実施形態に係る信頼性試験用基板ユニット４０１によると、各受光素子を加熱又は冷却するペルチェ素子４０４を備えているため、各受光素子の温度を一定とすることができ、各受光素子の出力信号を安定化させることができる。
【００５２】
また、本第２の実施形態に係る信頼性試験装置４００によると、信頼性試験用基板ユニット４０１を備えているため、低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験することができる。
【００５３】
なお、上記第２の実施形態において、一例として図１５に示されるように、前記信頼性試験装置４００に前記信頼性試験用基板ユニット４０１を複数設置しても良い。これにより、同時に試験できるアレイ光源の数を増やすことができ、信頼性試験を効率良く行うことが可能となる。また、各信頼性試験用基板ユニット４０１をそれぞれ個別に温度制御することができ、温度と寿命の関係を１回の試験で調べる等、信頼性試験の条件選択範囲を広げることが可能となる。
【００５４】
なお、上記各実施形態では、アレイ光源が３個の面発光レーザで構成される場合について説明したが、本発明がこれに限定されるものではない。また、アレイ光源が二次元配列された複数の面発光レーザで構成されても良い。例えば、３２個の面発光レーザが４×８の二次元配列されているアレイ光源であっても良い。
【００５５】
また、上記各実施形態では、設置台が３個の場合について説明したが、本発明がこれに限定されるものではない。要するに、設置台の数は、電源が同時並列に通電可能な面発光レーザの最大個数を超えなければ良い。例えば、エージング時の１個の面発光レーザに通電する電圧、電流の最大値が３．５Ｖ、１００ｍＡであり、電源１個の駆動能力の最大許容値が３．５Ｖ、１Ａの場合、１個の電源が同時並列に通電できる面発光レーザの最大数は１０個となる。この場合、設置台は、最大で１０個設けることが可能である。なお、設置台の数が、電源が同時並列に通電できる最大の面発光レーザ数と等しい場合に最も効率良く信頼性試験を行うことができるため、設置台の数は、電源が同時並列に通電できる最大の面発光レーザ数と等しいことが好ましい。
【００５６】
ところで、設置台の数を１個の電源が同時並列に通電できる最大の面発光レーザ数よりも多くする必要がある場合には、複数の設置台をグループ化し、１グループでは１個の電源が同時並列に通電できる最大の面発光レーザ数以下となるようにすることで対応可能である。
【００５７】
また、上記各実施形態では、前記アレイ光源が複数の面発光レーザから構成される場合について説明したが、これに限らず、前記アレイ光源が複数の端面発光レーザから構成されていても良い。また、前記アレイ光源が複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）であっても良い。
【００５８】
また、上記各実施形態において、前記各設置台と各受光素子との間の、面発光レーザからの光ビームの光路上に、面発光レーザからの光ビームを集光する結像光学系を更に配置しても良い。これにより、各受光素子の受光面を小さくすることができる。そして、その結果として、信頼性試験用基板ユニットの低コスト化及び小型化を更に促進することができる。
【００５９】
また、上記各実施形態において、光出力特性の計測としては、規定の電流値を通電してそのときの光出力を計測する方法や、受光素子の信号が一定となるようにＡＰＣ制御してそのときの動作電流値を計測する方法や、通電電流値を掃引して電流−光出力特性を計測する方法等を用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
以上説明したように、本発明の信頼性試験用基板ユニットによれば、低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験することを可能とするのに適している。また、本発明の信頼性試験装置及び信頼性試験方法によれば、低コストで複数のアレイ光源の信頼性を試験するのに適している。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る信頼性試験装置を説明するための図である。
【図２】図１における信頼性試験用基板ユニットを説明するための図である。
【図３】図２の信頼性試験用基板ユニットにアレイ光源が装着された状態を説明するための図である。
【図４】図１における電源ユニットを説明するための図である。
【図５】図１の信頼性試験装置を用いた信頼性試験を説明するための図（その１）である。
【図６】図１の信頼性試験装置を用いた信頼性試験を説明するための図（その２）である。
【図７】図１の信頼性試験装置を用いた信頼性試験を説明するための図（その３）である。
【図８】図１における信頼性試験用基板ユニットの変形例を説明するための図である。
【図９】図８の信頼性試験用基板ユニットを備えた信頼性試験装置を用いた信頼性試験を説明するための図である。
【図１０】図１の信頼性試験装置の変形例として、複数の信頼性試験用基板ユニットを備えた信頼性試験装置を説明するための図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態に係る信頼性試験装置を説明するための図である。
【図１２】図１１における信頼性試験用基板ユニットを説明するための図である。
【図１３】図１２のＡ−Ａ断面図である。
【図１４】図１２のＢ−Ｂ断面図である。
【図１５】図１１の信頼性試験装置の変形例として、複数の信頼性試験用基板ユニットを備えた信頼性試験装置を説明するための図である。
【符号の説明】
【００６２】
１００…信頼性試験装置、１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ…設置台、１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ…受光素子、２０２…配線部、３０２、３０２ａ、３０２ｂ…温度制御ユニット、３０３…信頼性試験用基板ユニット、３０７…光出力特性計測器、３０８…電源ユニット、３０９…制御演算回路、４００…信頼性試験装置、４０１…信頼性試験用基板ユニット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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