(57)【要約】【課題】フィルター通過後の風速分布の均一化と、モーターサポートのねじれを抑制して、ファンフィルターユニットの振動を軽減することを目的とする。【解決手段】箱型状のチャンバー５上部に吸込口１を有し、ターボファン２とモーター３からなるファンユニット４をチャンバー５内部に有し、このファンユニット４の吹出側にフィルター６を設けたファンフィルターユニットにおいて、ファンユニット４をチャンバー５に固定するモーターサポート７が、ファンユニット４の吹き出し側に取り付けられ、ファンユニット４の略全周を覆い、かつ開口部８があけられている構造体としたことにより、吹出風速分布の均一性を高め、ファンフィルターユニットの振動を軽減させることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルターを設けたファンフィルターユニットにおいて、前記ファンユニットをチャンバーに固定するモーターサポートを有し、そのモーターサポートは、ファンユニットの吹き出し側に取り付けられ、ファンユニットの略全周を覆う形状であることを特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
モーターサポートは、椀状の形状で開口部を有する請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
モーターサポートの開口部は、均一な形状または配列にてあけられた請求項２記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
モーターサポートの開口部は、大きさまたは数量を部分的に変化させた状態であけられた請求項２記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
モーターサポートの開口部は、周辺部の開口面積が少なく、中心部の開口面積が大きくなるようにあけられた請求項４記載のファンフィルターユニット。
【請求項６】
モーターサポートの開口部は、三角形もしくは四角形で、ひとつの辺がモーターサポートと一体の切り起こし形状にてあけられた請求項２記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体や液晶、およびプラズマディスプレイ製造工程において、清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットは、フィルターに送風するチャンバーを取り付けてそのチャンバーにファンとモーターを内蔵したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
以下、そのファンフィルターユニットについて図９を参照しながら説明する。
【０００４】
従来のファンフィルターユニットは、チャンバー１０１に空気を送り込むためのファン１０２とモーター１０３、ファン１０２とモーター１０３を覆うケーシング１０４が配置されており、空気を清浄化するフィルター１０５で構成されている。ファン１０２には、ターボファンを用いることが多い。
【０００５】
そして、ファン１０２とモーター１０３より送り込まれた空気が、フィルター１０５を通過して清浄空気となって吹き出されていた。
【０００６】
また従来、モーターとチャンバーを固定させる構造体として図８のようなモーターサポートを用いることが知られている。
【特許文献１】特開平９−３１０８９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような従来のファンフィルターユニットでは、ターボファンを用いているため、ファンの回転軸と直交方向に空気が吹き出す。そのため、チャンバーの周辺部の圧力が高く、中心部では圧力が低くなる。すなわち、ファンから吹き出した空気がフィルターに対して不均一に拡散し、フィルターから吹き出す空気の風速が速い部分と遅い部分の差が大きくなり、風速分布が均一にならないという課題があった。
【０００８】
また、ファンユニットをチャンバーへ固定する手段は、通常図８に示すモーターサポートと呼ばれる構造体にて取り付けるのが一般的であるが、この構造体だとモーターが駆動している時に、モーターサポートにねじれが発生しやすく、ファンフィルターユニットの振動が大きくなるという課題があった。
【０００９】
また、固定手段であるモーターサポートと、風速分布を均一にするための拡散手段である拡散板と呼ばれる構造体は別々の構造体であるため、それぞれの構造体に対し取付工数がかかっていた。
【００１０】
本発明は、このような課題を解決するもので、フィルター通過後の風速分布の均一化と、モーターサポートのねじれやひずみを抑制して、ファンフィルターユニットの振動を軽減することを目的とする。
【００１１】
また、本発明はモーターサポートと拡散板の機能をひとつの構造体にて行なうことで、取付工数の削減を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のファンフィルターユニットは上記の目的を達成するために、箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットをチャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルターを設けたファンフィルターユニットにおいて、ファンユニットをチャンバーに固定するモーターサポートが、ファンユニットの吹き出し側に取り付けられ、ファンユニットの略全周を覆う構造体としたものである。
【００１３】
この手段により、モーターサポートの補強をはかることができ、モーター駆動時に発生するモーターサポートのねじれに対する強度を上げることができ、ファンユニットの振動を軽減できるという効果が得られる。
【００１４】
また他の手段は、モーターサポートが椀状であり、開口部を備えた構成としたものである。
【００１５】
また他の手段は、モーターサポートの開口部が、均一な形状または配列にあけられたものである。
【００１６】
また他の手段は、モーターサポートの開口部が、大きさまたは数量を部分的に変化させた状態であけられたものである。
【００１７】
また他の手段は、モーターサポート周辺部の開口面積が少なく、中心に近い部分の開口面積が大きくなるようにあけられたものである。
【００１８】
これらの手段により、フィルターから吹き出す空気の風速分布の均一性を高めたファンフィルターユニットが得られる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば均一な風速の空気を送風できる効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【００２０】
また、本発明によればモーターサポートと拡散板の機能がひとつの構造体であることによる取付工数削減の効果が得られる。
【００２１】
また、本発明によればモーターサポートのねじれに対する強度を上げる効果が得られる。
【００２２】
また、本発明によればファンフィルターユニットの振動を軽減する効果が得られる。
【００２３】
また、本発明によれば駆動中のモーターを冷却させる効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の請求項１記載の発明は、箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルターを設けたファンフィルターユニットにおいて、前記ファンユニットをチャンバーに固定するモーターサポートを有し、そのモーターサポートは、ファンユニットの吹き出し側に取り付けられ、ファンユニットの略全周を覆う形状を備えたものであり、固定手段であるモーターサポートのねじれに対する強度が向上するという作用を有する。
【００２５】
本発明の請求項２記載の発明は、モーターサポートは、椀状の形状で開口部を備えたものであり、モーターサポートに開口穴をもうけることで、風速の整流化を図ることができるという作用を有する。
【００２６】
本発明の請求項３記載の発明は、モーターサポートの開口部は、均一な形状または配列にてあけられたものであり、モーターサポートの周辺部に円などの形の開口穴を均等に割付けることで、吸込まれた空気が、チャンバー内に均等に広がり、吹出風速分布の均一化が図れるという作用を有する。
【００２７】
本発明の請求項４記載の発明は、モーターサポートの開口部は、大きさまたは数量を部分的に変化させた状態であけられたものであり、モーターサポートの周辺部に円や四角など異なる形の開口穴を、疎密な状態で割付けることで、吸込まれた空気を、意図的に変化のさせた状態でフィルターから供給することができるという作用を有する。
【００２８】
本発明の請求項５記載の発明は、モーターサポートの開口部は、周辺部の開口面積が少なく、中心部の開口面積が大きくなるようにあけられたものであり、モーターサポートの中央に位置するモーター直下部は風速が遅いとされるため、モーター直下部に近い部分の開口面積を大きくすることで、中心部により多くの空気を送り込むことができるという作用を有する。
【００２９】
本発明の請求項６記載の発明は、モーターサポートの開口部は、三角形もしくは四角形で、ひとつの辺がモーターサポートと一体の切り起こし形状にてあけられたものであり、モーターサポートの周辺部に切り起こし形状で穴をあけて、切り起こしの角度によって、開口穴を通過する空気の吹出方向や吹出量を調整することができるという作用を有する。
【００３０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３１】
（実施の形態１）
図１に示すように、第１の実施形態のファンフィルターユニットは、ターボファン２とモーター３からなるファンユニット４を箱状のチャンバー５に内蔵して構成されている。吹出側となるチャンバー５の下方にはフィルター６を設ける。ファンユニット４は、モーターサポート７により固定する。モーターサポート７は図２に示すように、モーター３の略全周を覆う椀状の形状で、開口部８を有している。このモーターサポート７は、中心部にモーター３を設置し、周辺部をチャンバー５の天面裏に固定する。
【００３２】
上記の構成において、ファンユニット４を運転させることによって、吸込口１より空気が吸込まれる。そのファンユニット４から吹き出された空気はモーターサポート７の開口部８を通過することで整流されチャンバー５に吹き込み、フィルター６から清浄空気を送風することができる。
【００３３】
モーターサポート７の形状を椀状にすることで、ファンユニット４を運転させることによって発生するモーターサポート７のねじれに対する強度を上げることができ、ファンフィルターユニットの振動を低減させることができる。
【００３４】
モーターサポート７は、図３に示すように、開口部８をモーターサポート７の全面に均等に分布させることによって、モーターサポート７からチャンバー内に吹き出す空気の整流が可能となる。
【００３５】
また、図４のモーターサポート７は、開口部８の分布を変化させ、風量が必要な箇所の開口面積を大きくとることによって風速分布を変化させることができる。
【００３６】
また、図５のモーターサポート７は、中心部の開口面積を大きくとってある。ターボファン２は周辺部に吹き出すため、モーターサポート７の周辺部の開口面積を少なく、中心部の開口面積を大きくとることによってモーター直下部に強制的に空気を送り込み、フィルター６を通過して吹き出す風速分布の均一化をすることが可能となる。さらにこの場合には、中心方向へ空気が送られることから、モーターに風を吹きつけて冷却効果を高めることができる。
【００３７】
また、図６のモーターサポート７は、切り起こし９を設けて、かつ図７に示すように、切り起こし９の角度１０を任意で調節することで、空気の吹き出し方向を最適な方向へ変更することができるため、風速分布の均一化を図ることができる。
【００３８】
なお、図６モーターサポート７の切り起こし９の形状は、三角形、四角形としたが、五角形以上の多角形やかまぼこ状の形状でも、風速分布の均一化の効果に差異はない。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
ファンフィルターユニットから吹き出される風速分布を均一化することができ、少しの風速変化に対して影響を受けやすい超精密部品の製造や、微妙な風味が問題となる食品工場などの用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルターユニットの断面図
【図２】同モーターサポートを示す斜視図
【図３】同均一に開口部を設けたモーターサポートを示す斜視図
【図４】同開口面積に変化をつけたモーターサポートを示す斜視図
【図５】同中心部の開口面積を大きくしたモーターサポートを示す斜視図
【図６】同開口部に切り起こしを設けたモーターサポートを示す斜視図
【図７】同開口部に切り起こしを設けたモーターサポートを示す側面詳細図
【図８】従来のモーターサポートを示す斜視図
【図９】従来のファンフィルターユニットの構成を示す断面図
【符号の説明】
【００４１】
１    吸込口
２    ターボファン
３    モーター
４    ファンユニット
５    チャンバー
６    フィルター
７    モーターサポート
８    開口部
９    切り起こし
１０  角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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