(57)【要約】【課題】  高精細な画素を有し、薄くかつ分光特性に優れ、膜の密着性に優れたカラーフィルタ及びこのような優れたカラーフィルタを、簡易に作製しうるカラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】  熱硬化性化合物と着色剤を含有する着色剤含有熱硬化性組成物を含む画素と、着色剤を蒸着してなる画素と、を有するカラーフィルタである。該着色剤含有熱硬化性組成物の全固形分中の着色剤濃度は５０質量％以上、且つ、１００質量％未満であることが好ましい。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱硬化性化合物と着色剤を含有する着色剤含有熱硬化性組成物により形成された画素と、着色剤を蒸着してなる蒸着色素により形成された画素と、を有するカラーフィルタ。
【請求項２】
前記着色剤含有熱硬化性組成物の全固形分中の着色剤濃度が５０質量％以上であり、且つ、１００質量％未満であることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
熱硬化性化合物と着色剤を含む着色剤含有熱硬化性組成物からなる着色剤層上に、感光性樹脂層を積層してなる画像記録材料Ａを作製し、
該画像記録材料Ａの、少なくとも感光性樹脂層に画像様にエネルギーを付与してパターン画像を形成した後、
該パターン画像が形成された感光性樹脂層をエッチングレジストとして、該着色剤層をドライエッチング処理して画素を形成する、熱硬化樹脂含有画素形成工程と、
着色剤を蒸着してなる着色剤層上に、感光性樹脂層を積層してなる画像記録材料Ｂを作製し、
該画像記録材料Ｂの、少なくとも感光性樹脂層に画像様にエネルギーを付与してパターン画像を形成した後、
該パターン画像が形成された感光性樹脂層をエッチングレジストとして、該着色剤層をドライエッチング処理して画素を形成する、蒸着色素含有画素形成工程と、
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示素子（ＬＣＤ）や固体撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳなど）等に用いられる該熱硬化性組成物を用いたカラーフィルタ及びドライエッチング法を適用したカラーフィルタの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法および顔料分散法が知られている。
このうち、顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。また、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルタを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。
【０００３】
顔料分散法によりカラーフィルタを作製する場合、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布し乾燥させて塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光・現像することによって着色された画素が形成され、この操作を、各色相ごとに繰り返し行なうことでカラーフィルタを得るものである。
このような顔料分散法を適用したカラーフィルタの製造方法としては、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを併用したネガ型感光性組成物を用いるものが提案されている（例えば、特許文献１〜４参照）。これらは、ある程度精細な画素を形成しうるものの、画素を構成する樹脂の硬化性、或いは、高精細な画素の形成性においてなお改良の余地があった。
【０００４】
近年、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては、更なる高精細化が望まれており、画素の着色剤として染料を使用する技術が提案されている（例えば、特許文献５参照）。しかしながら、染料含有の硬化性組成物は、例えば、耐光性、耐熱性、溶解性、塗布均一性など様々な性能につき、一般的に顔料を用いたものに比べて劣るという問題があった。また、特に固体撮像素子用カラーフィルタ作製用途の場合には、画素として１．５μｍ以下の膜厚が要求されるため、薄膜においても十分な着色剤濃度を達成するために、硬化性組成物中に多量の色素を添加しなければならず、これにより基板との密着が不充分となったり、十分な硬化性が得られなかったり、露光部でも染料が抜けてしまうなどと、パターン形成性が著しく困難であるといった問題も生じていた。
【０００５】
また顔料、染料に関わらず、フォトリソ法を用いたカラーフィルタは、着色剤以外の成分すなわち、バインダー樹脂、光重合性化合物、開始剤を相当量入れる必要があり、膜厚を薄く出来ない欠点がある。近年のカラーフィルタに対して、シェーディング低減による画質向上のため、薄膜化の強い要求があるが、従来のフォトリソ法ではこれらの要求には答えることができずさらなる改良が望まれている。
上記フォトリソ法を利用するカラーフィルターの製造法に対して、より薄膜でかつ微細パターン形成に有効な方法としてドライエッチング法が古くから知られおり、例えば、色素の蒸着薄膜に対してパターン形成する方法（例えば、特許文献６参照。）などが従来は採用されており、薄膜形成に関してはフォトリソ系に比べより、分光特性が同じで膜厚が１／２以下の薄膜の形成も可能である。
しかしながら、蒸着による薄膜形成は、得られた着色剤層が、着色物のみでからなるものであるため極限の薄膜化が可能ではあるものの、着色剤自体を蒸着することに起因する蒸着装置の汚染は避けられず、カラーフィルタ作製には大きな負荷となっていた。また、蒸着される物質が顔料或いは染料のみであるため、下層の平坦化膜や上層との密着性が悪く、これらの現象が製品化するに際して歩留まりが上がらない原因の一つにもなっており、カラーフィルタにおけるすべての色相の画素形成にドライエッチング法を採用するのは困難であった。
【特許文献１】特開平２−１８１７０４号公報
【特許文献２】特開平２−１９９４０３号公報
【特許文献３】特開平５−２７３４１１号公報
【特許文献４】特開平７−１４０６５４号公報
【特許文献５】特開平６−７５３７５号公報
【特許文献６】特開昭５５−１４６４０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記問題点を考慮してなされた本発明の目的は、薄膜であっても十分な着色剤濃度を有する高精細な画素を実現しうる、薄くかつ分光特性に優れ、膜の密着性に優れたカラーフィルタを提供することにある。また、本発明の他の目的は、このような優れたカラーフィルタを、コストパフォーマンスの高いドライエッチングで作製するカラーフィルタの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は鋭意検討の結果、薄膜であっても十分な着色剤濃度を有する画素と、パターン形状の矩形性や下層、上層との密着性に優れている着色物硬化性組成物からなる画素とを有することで上記問題点を解決しうることを見出し、本発明を完成した。
前記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞  熱硬化性化合物と着色剤を含む着色剤含有熱硬化性組成物により形成された画素と、着色剤を蒸着してなる蒸着色素により形成された画素と、を有するカラーフィルタ。
＜２＞  前記着色剤含有熱硬化性組成物の全固形分中の着色剤濃度が５０質量％以上、且つ、１００質量％未満であることを特徴とする＜１＞記載のカラーフィルタ。
＜３＞  熱硬化性化合物と着色剤を含む着色剤含有熱硬化性組成物からなる着色剤層上に、感光性樹脂層を積層してなる画像記録材料Ａを作製し、該画像記録材料Ａの、少なくとも感光性樹脂層に画像様にエネルギーを付与してパターン画像を形成した後、該パターン画像が形成された感光性樹脂層をエッチングレジストとして、該着色剤層をドライエッチング処理して画素を形成する、熱硬化樹脂含有画素形成工程と、着色剤を蒸着してなる着色剤層上に、感光性樹脂層を積層してなる画像記録材料Ｂを作製し、該画像記録材料Ｂの、少なくとも感光性樹脂層に画像様にエネルギーを付与してパターン画像を形成した後、該パターン画像が形成された感光性樹脂層をエッチングレジストとして、該着色剤層をドライエッチング処理して画素を形成する、蒸着色素含有画素形成工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【０００８】
なお、以下に、本発明のより好ましい態様を挙げる。
＜４＞  着色剤含有熱硬化性組成物が、顔料を分散してなる熱硬化性樹脂である＜１＞又は＜２＞のカラーフィルタ。
＜５＞  前記着色剤含有熱硬化性組成物において全固形分中の着色剤濃度が６５質量％以上、且つ、９０質量％以下であることを特徴とする＜１＞、＜２＞又は＜４＞に記載のカラーフィルタ。
＜６＞  前記着色剤含有熱硬化性組成物に用いられる熱硬化性化合物が、熱硬化性官能基として、エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基を有する樹脂である＜１＞、＜２＞、＜４＞又は＜５＞に記載のカラーフィルタ。
＜７＞  前記熱硬化性化合物が、エポキシ基含有化合物及び／又は樹脂であることを特徴とする＜６＞に記載のカラーフィルタ。
＜８＞  前記エポキシ基含有樹脂が多官能エポキシ化合物を含有することを特徴とする＜７＞記載のカラーフィルタ。
＜９＞  前記熱硬化性化合物が、メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物、ウレア化合物、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物であることを特徴とする＜１＞、＜２＞、＜４＞又は＜５＞に記載のカラーフィルタ。
＜１０＞  熱硬化性化合物と着色剤を含む着色剤含有熱硬化性組成物からなる着色剤層の厚みが０．０１μｍ〜０．９μｍであることを特徴とする＜３＞記載のカラーフィルタの製造方法。
＜１１＞  前記感光性樹脂層が、ポジ型の感光性樹脂組成物を含む層である＜３＞記載のカラーフィルター製造方法。
＜１２＞  前記感光性樹脂層が、ｏ−ナフトキノンジアジド化合物を含む＜１１＞記載のカラーフィルタの製造方法。
＜１３＞  前記感光性樹脂層が、ネガ型の感光性樹脂組成物を含む層である＜３＞記載のカラーフィルタの製造方法。
＜１４＞  前記感光性樹脂層が、光重合開始剤とエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物を含む＜１３＞のカラーフィルタの製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、高精細の画素を有する、薄くかつ分光特性に優れ、膜の密着性に優れたカラーフィルタを提供することができる。
また、本発明の製造方法によれば、高精細な画素を有する、薄くかつ分光特性に優れ、膜の密着性に優れたカラーフィルタを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明のカラーフィルタは、（Ａ）熱硬化性化合物と着色剤を含有する着色剤含有熱硬化性組成物により形成された画素と、（Ｂ）着色剤を蒸着してなる蒸着色素により形成された画素の、２種の異なる種類の画素を有することで、本発明の前記好ましい効果を発現する。即ち、カラーフィルタを構成する複数の色相の画素のうち少なくとも一つが他の画素と異なる種類のものであればよい。
以下、蒸着法による画素形成方法及び着色剤含有熱硬化組成物を用いた画素形成方法について順次詳述する。これら２種の画素の形成順は任意であり、複数の色相のうち、第１の色相の画素がいずれの方法によって形成されてもよいが、効果の観点からは、第１の色相の画素は着色剤含有熱硬化性組成物により形成されることが好ましい。
【００１１】
＜蒸着による画素形成＞
従来、溶剤溶解性や樹脂等との相溶性が悪く塗布法による着色層が形成できなかった染料や、分散性が低い顔料なども蒸着法を用いることで画素形成に使用可能な着色層を形成することができ、これにより、ユーザーの要求に応じた幅広い分光特性の選択が可能となる。
蒸着によるカラーフィルタ形成は古くから知られている技術であり、特開昭５８−９１０８、同５８−１４４８０３等、真空蒸着法により薄膜を形成するものである。なお、蒸着に使用できる顔料や、染料には制限が無く、後述する熱硬化性樹枝組成物に用いられるのと同じ着色剤を使用することができる。
【００１２】
本発明における蒸着法とは、着色剤（色素）を真空蒸着、スパッタリングし、着色層を形成する方法である。このような技術は、例えば、特開昭５５−１４６４０６号公報に詳細に記載されており、ここに記載の方法を本発明にも適宜、適用することができる。
蒸着法により形成された着色層（以下、適宜、着色層（Ｂ）と称する）は高い耐熱性を有する。また、この方法によれば、色素そのものにより着色剤層が形成されるため、染色法のような媒染層は必要とせず、着色層（Ｂ）はきわめて薄膜化され、かつ非水工程により形成することができる。
なお、色素を蒸着させるにあたっては、色素の熱分解を抑制する目的で、使用する色素に応じた蒸発温度の制御が必要となるが、この詳細については、特開昭６３−２４９１０５号公報に記載されており、この記載事項は本発明の実施にあたり参照することができる。
【００１３】
また、色素のみを蒸着した着色層は色素濃度が十分であるものの、形成された膜強度や、基板との密着性が十分ではなく、クラックや剥離等による特性の低下が懸念されるが、このような欠点を改良する方法として、色素とともにＳｉＯ2等の無機化合物や樹脂材料を同時に蒸着する方法が、特開昭６０−１２６６０３号公報、同６０−１２６６０２号公報に提案されており、また、同様の考えとして、膜性向上の観点から、有機色素と無機物とを同時に蒸着、スパッタリングして塗膜を形成する方法（例えば、特開平５−３−７１１１号公報）や有機色素と透明混合物質を同時に高周波励起イオンプレーティングで気相蒸着する方法（例えば、特開平５−１８１００７号公報）なども提案されており、これらを本発明に適用することも可能である。
【００１４】
蒸着法により形成された着色層（Ｂ）の膜厚としては、以下に述べる着色剤を含有する熱硬化組成物と同様に、０．０１〜０．９μｍで作製されることが好ましく、分光特性の観点からは、０．０５〜０．８μｍの範囲であることがより好ましい。
蒸着条件は、真空度が１０-2〜１０-10ｔｏｒｒで行うことが好ましい。温度条件は、使用される着色剤に応じて適宜選択されるが、一般的には１８０℃〜６００℃の範囲で蒸着を行なうことが好ましく、１８５〜５５０℃の範囲であることがより好ましい。蒸着装置、スパッタリング装置などは公知のものを適宜使用することができる。また、前記膜厚の制御は、蒸着条件、蒸着時間などにより行うことができる。
なお、着色層（Ｂ）の密着性改良のため、下記に詳述する熱硬化性組成物を同時に或いは、色素蒸着の前或いは後に蒸着することも可能である。
【００１５】
上記のように蒸着法を用いて形成された着色層（Ｂ）は、所望の形状にパターニングされて画素が形成される。
得られた着色層のパターニング法としては、公知の方法、例えば、ドライエッチング法およびリバースエッチング法（またはリフトオフ法）などを適用することができる。
パターニング法は、着色剤層上にフォトレジストでマスクパターンを形成したのち、これをエッチングレジストマスクとして非レジスト部分の着色剤層をイオンないしプラズマ雰囲気中で蒸発させて除去し、希望の形状の着色剤層からなる着色パターン、即ち、画素を形成する方法である。
【００１６】
ドライエッチング法を適用する場合、耐エッチング性の良好なレジストの選択が重要であり、レジスト膜を厚くすると画素上への残存や、それに起因する色分解能の低下を招きやすい。このような観点からは、例えば、フッ素メタクリレート重合単位を主体とするポジ型レジストとＳｉＯ2等を加熱蒸着して形成された無機材料からなるパターンマスクを形成する方法やカルコゲンガラスを用いる方法が提案されており、特開昭５９−１４６００５号公報に詳細に記載されている。
【００１７】
＜着色剤含有熱硬化性組成物＞
次に、本発明のカラーフィルタの画素を形成する第２の手段である熱硬化性化合物と着色剤を含有する着色剤含有熱硬化性組成物を用いる方法について説明する。
本発明における着色剤含有熱硬化性組成物は、着色剤と、熱硬化性化合物と、を含むことを要し、全固形分中の前記着色剤濃度が５０質量％以上、且つ、１００質量％未満であることが好ましい。
【００１８】
＜着色剤＞
本発明に好適に使用できる着色剤は公知の顔料、染料から適宜選択することができる。これらの着色剤は、（Ａ）着色剤含有熱硬化性組成物を用いる着色層（Ａ）、蒸着法を用いる着色層（Ｂ）のいずれの着色層の形成にも用いることができる。
（顔料）
本発明における顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができる。また本発明における顔料としては、無機であれ有機であれ、なるべく細かいものを用いることが好ましい。ハンドリング適性をも考慮すると、前記顔料粒子の粒子径としては、平均粒子径で０．００１μｍ〜０．１μｍが好ましく、０．００５μｍ〜０．０５μｍがさらに好ましい。また、本発明における顔料は、粒子径が０．０１±０．００５μｍの範囲内にある顔料粒子が、顔料粒子の総質量に対して７５質量％以上含まれていることが特に好ましい。かかる粒子径分布を達成するためには後述する分散方法によって顔料を分散することが特に好ましい。
【００１９】
前記無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩などで示される金属化合物が挙げられ、具体的には、アルミニウム、鉄、コバルト、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属酸化物および前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
【００２０】
前記有機顔料としては、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １１，２４，３１，５３，８３，９３，９９，１０８，１０９，１１０，１３８，１３９，１４７，１５０，１５１，１５４，１５５，１６７，１８０，１８５，１９９；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ３６，３８，４３，７１；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ８１，１０５，１２２，１４９，１５０，１５５，１７１，１７５，１７６，１７７，２０９，２２０，２２４，２４２，２５４，２５５，２６４，２７０；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ１９，２３，３２，３９；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １，２，１５，１５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，３６，３７；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｒｏｗｎ２５，２８；
等を挙げることができる。
【００２１】
本発明において好ましく用いることができる有機顔料として、以下のものを挙げることができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２２】
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １１，２４，１０８，１０９，１１０，１３８，１３９，１５０，１５１，１５４，１６７，１８０，１８５；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ ３６，７１；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ１２２，１５０，１７１，１７５，１７７，２０９，２２４，２４２，２５４，２５５，２６４；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ１９，２３，３２；
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ１５：１，１５：３，１５：６，１６，２２，６０，６６；
【００２３】
前記有機顔料は、単独で用いてもよいし、色純度を上げるため種々組合せて用いることもできる。具体例を示すと、赤の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独、或いは、それらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料またはペリレン系赤色顔料との組み合わせなどを用いることができる。例えばアントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、ジケトピロロピロール系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４が挙げられ、色再現性の点でＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３またはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９との組み合わせが好ましい。赤色顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：５０が好ましく、１００：１０〜１００：３０がさらに好ましい。前記質量比がかかる範囲内にあると光透過率を抑えて色純度を向上させることができ、さらに主波長が短波長よりになってＮＴＳＣ目標色相からずれるのを防止することができる。赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
【００２４】
緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料単独、或いは、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料またはイソインドリン系黄色顔料との組み合わせを用いることができる。例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，３７とＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３，Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８，Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９，Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０，Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０またはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：１５０が好ましく、１００：３０〜１００：１２０がさらに好ましい。前記質量比がかかる範囲にあると、４００ｎｍ〜４５０ｎｍの光透過率を抑え、色純度を向上させることができ、更に、主波長が長波長よりになってＮＴＳＣ目標色相からずれるのを防止することができる。
【００２５】
青の顔料としては、フタロシアニン系顔料単独、または、これとジオキサジン系紫色顔料との組み合わせを用いることができる。該組み合わせとしては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、１００：０〜１００：３０が好ましく、より好ましくは１００：１０以下である。
【００２６】
更に前記の顔料をアクリル系樹脂、マレイン酸系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニルコポリマーおよびエチルセルロース樹脂等に微分散させた粉末状加工顔料を用いることによって、分散性および分散安定性の良好な顔料含有感光樹脂を得ることが出来る。
【００２７】
なお、着色剤含有熱硬化性組成物の調製にあたっては、顔料粒子を微粒子化し、且つ、その粒子サイズ分布をシャープにした顔料を用いる方法が好適である。具体的には、平均粒子径が０．０１μｍ程度であり、且つ７５質量％以上の粒子径が０．０１±０．００５μｍの範囲にある顔料粒子から構成される顔料を用いる方法が好ましい。顔料の粒子サイズ分布を上述の範囲に調整するためには、顔料の分散方法が特に重要となる。顔料の分散方法については後述する。
【００２８】
また、本発明においては、あらかじめアクリル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル樹脂、マレイン酸樹脂、エチルセルロース樹脂、ニトロセルロース樹脂等で処理した加工顔料も好適に用いることができる。本発明において、前記の種々の樹脂で処理された加工顔料の形態としては、樹脂と顔料が均一に分散している粉末、ペースト状、ペレット状、ペースト状が好ましい。
【００２９】
（染料）
前記染料としては、特に制限なく使用することができ、従来カラーフィルタ用として公知の染料などが挙げられる。例えば、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許第４，８０８，５０１号明細書、米国特許第５，６６７，９２０号明細書、米国特許第５，０５９，５００号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報等に記載の色素が挙げられる。化学構造の観点からは、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料が使用でき、特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系の染料である。
【００３０】
また、水またはアルカリ現像を行うレジスト系の場合には現像によりバインダーおよび／または染料を完全に除去するという観点から、酸性染料および／またはその誘導体を好適に使用できることがある。そのほか、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および／またはこれらの誘導体等も有用に使用することができる。
【００３１】
−酸性染料−
前記酸性染料について説明する。酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
【００３２】
以下、前記酸性染料の具体例を挙げる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。例えば、
Ａｃｉｄ  ａｌｉｚａｒｉｎ  ｖｉｏｌｅｔ  Ｎ；
Ａｃｉｄ  ｂｌａｃｋ  １，２，２４，４８；
Ａｃｉｄ  ｂｌｕｅ  １，７，９，１５，１８，２３，２５，２７，２９，４０，４２，４５，５１，６２，７０，７４，８０，８３，８６，８７，９０，９２，９６，１０３，１１２，１１３，１２０，１２９，１３８，１４７，１５０，１５８，１７１，１８２，１９２，２１０，２４２，２４３，２５６，２５９，２６７，２７８，２８０，２８５，２９０，２９６，３１５，３２４：１，３３５，３４０；
Ａｃｉｄ  ｃｈｒｏｍｅ  ｖｉｏｌｅｔ  Ｋ；
Ａｃｉｄ  Ｆｕｃｈｓｉｎ；
Ａｃｉｄ  ｇｒｅｅｎ  １，３，５，９，１６，２５，２７，５０，５８，６３，６５，８０，１０４，１０５，１０６，１０９；
Ａｃｉｄ  ｏｒａｎｇｅ  ６，７，８，１０，１２，２６，５０，５１，５２，５６，６２，６３，６４，７４，７５，９４，９５，１０７，１０８，１６９，１７３；
【００３３】
Ａｃｉｄ  ｒｅｄ  １，４，８，１４，１７，１８，２６，２７，２９，３１，３４，３５，３７，４２，４４，５０，５１，５２，５７，６６，７３，８０，８７，８８，９１，９２，９４，９７，１０３，１１１，１１４，１２９，１３３，１３４，１３８，１４３，１４５，１５０，１５１，１５８，１７６，１８２，１８３，１９８，２０６，２１１，２１５，２１６，２１７，２２７，２２８，２４９，２５２，２５７，２５８，２６０，２６１，２６６，２６８，２７０，２７４，２７７，２８０，２８１，１９５，３０８，３１２，３１５，３１６，３３９，３４１，３４５，３４６，３４９，３８２，３８３，３９４，４０１，４１２，４１７，４１８，４２２，４２６；
Ａｃｉｄ  ｖｉｏｌｅｔ  ６Ｂ，７，９，１７，１９；
Ａｃｉｄ  ｙｅｌｌｏｗ  １，３，７，９，１１，１７，２３，２５，２９，３４，３６，３８，４０，４２，５４，６５，７２，７３，７６，７９，９８，９９，１１１，１１２，１１３，１１４，１１６，１１９，１２３，１２８，１３４，１３５，１３８，１３９，１４０，１４４，１５０，１５５，１５７，１６０，１６１，１６３，１６８，１６９，１７２，１７７，１７８，１７９，１８４，１９０，１９３，１９６，１９７，１９９，２０２，２０３，２０４，２０５，２０７，２１２，２１４，２２０，２２１，２２８，２３０，２３２，２３５，２３８，２４０，２４２，２４３，２５１；
【００３４】
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２，３３，３４，３５，３８，３９，４３，４７，５０，５４，５８，６８，６９，７０，７１，８６，９３，９４，９５，９８，１０２，１０８，１０９，１２９，１３６，１３８，１４１；
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ３４，３９，４１，４６，５０，５２，５６，５７，６１，６４，６５，６８，７０，９６，９７，１０６，１０７；
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｒｅｄ  ７９，８２，８３，８４，９１，９２，９６，９７，９８，９９，１０５，１０６，１０７，１７２，１７３，１７６，１７７，１７９，１８１，１８２，１８４，２０４，２０７，２１１，２１３，２１８，２２０，２２１，２２２，２３２，２３３，２３４，２４１，２４３，２４６，２５０；
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ４７，５２，５４，５９，６０，６５，６６，７９，８０，８１，８２，８４，８９，９０，９３，９５，９６，１０３，１０４；
【００３５】
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｂｌｕｅ  ５７，７７，８０，８１，８４，８５，８６，９０，９３，９４，９５，９７，９８，９９，１００，１０１，１０６，１０７，１０８，１０９，１１３，１１４，１１５，１１７，１１９，１３７，１４９，１５０，１５３，１５５，１５６，１５８，１５９，１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６６，１６７，１７０，１７１，１７２，１７３，１８８，１８９，１９０，１９２，１９３，１９４，１９６，１９８，１９９，２００，２０７，２０９，２１０，２１２，２１３，２１４，２２２，２２８，２２９，２３７，２３８，２４２，２４３，２４４，２４５，２４７，２４８，２５０，２５１，２５２，２５６，２５７，２５９，２６０，２６８，２７４，２７５，２９３；
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｇｒｅｅｎ  ２５，２７，３１，３２，３４，３７，６３，６５，６６，６７，６８，６９，７２，７７，７９，８２；
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ５，８，１０，１６，２０，２６，３０，３１，３３，４２，４３，４５，５６，５０，６１，６２，６５；
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ３，４，５，８，１２，１３，１４，２０，２１，２３，２４，２８，２９，３２，３４，３５，３６，３７，４２，４３，４７，４８；
【００３６】
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，９，１１，１２，１４，１７，１８，１９，２２，２３，２４，２５，２６，３０，３２，３３，３６，３７，３８，３９，４１，４３，４５，４６，４８，５３，５６，６３，７１，７４，８５，８６，８８，９０，９４，９５；
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２，４，５，７，１４，２２，２４，３０，３１，３２，３７，４０，４１，４４，４５，４７，４８，５３，５８；
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｂｌｕｅ  ２，３，７，８，９，１２，１３，１５，１６，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２６，３０，３１，３２，３９，４０，４１，４３，４４，４８，４９，５３，６１，７４，７７，８３，８４；
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  １，３，４，５，１０，１５，１９，２６，２９，３３，３４，３５，４１，４３，５３；
Ｆｏｏｄ  Ｙｅｌｌｏｗ  ３；
およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
【００３７】
前記の酸性染料の中でも、
Ａｃｉｄ  ｂｌａｃｋ  ２４；
Ａｃｉｄ  ｂｌｕｅ  ２３，２５，２９，６２，８０，８６，８７，９２，１３８，１５８，１８２，２４３，３２４：１；
Ａｃｉｄ  ｏｒａｎｇｅ  ８，５１，５６，７４，６３，７４；
Ａｃｉｄ  ｒｅｄ  １，４，８，３４，３７，４２，５２，５７，８０，９７，１１４，１４３，１４５，１５１，１８３，２１７，２４９；
Ａｃｉｄ  ｖｉｏｌｅｔ  ７；
Ａｃｉｄ  ｙｅｌｌｏｗ  １７，２５，２９，３４，４２，７２，７６，９９，１１１，１１２，１１４，１１６，１３４，１５５，１６９，１７２，１８４，２２０，２２８，２３０，２３２，２４３；
Ａｃｉｄ  Ｇｒｅｅｎ  ２５；
などの染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
【００３８】
また、前記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  ４４，３８；Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ４５；Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ  Ｂ，  Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ  １１０、３−［（５−ｃｈｌｏｒｏ−２−ｐｈｅｎｏｘｙｐｈｅｎｙｌ）ｈｙｄｒａｚｏｎｏ］−３，４−ｄｉｈｙｄｒｏ−４−ｏｘｏ−５−［（ｐｈｅｎｙｌｓｕｌｆｏｎｙｌ）ａｍｉｎｏ］−２，７−Ｎａｐｈｔｈａｌｅｎｅｄｉｓｕｌｆｏｎｉｃ ａｃｉｄ等の酸性染料およびこれらの染料の誘導体も好適に使用することができる。
【００３９】
酸性染料の誘導体としては、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料の無機塩、酸性染料と含窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体等が使用でき、硬化性組成物溶液として溶解させることが出来るものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。
【００４０】
酸性染料と含窒素化合物との塩について説明する。酸性染料と含窒素化合物との塩を形成する方法は、酸性染料の溶解性改良（有機溶剤への溶解性付与）や、耐熱性および耐光性改良に効果的な場合がある。
【００４１】
酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、および酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物について説明する。
含窒素化合物は、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性および耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択する場合には、前記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも分子量３００以下のものが好ましく、分子量２８０以下のものがより好ましく、分子量２５０以下のものが特に好ましい。
酸性染料と含窒素化合物との塩における、含窒素化合物／酸性染料のモル比（以下、ｎという。）について説明する。ｎは、酸性染料分子と対イオンであるアミン化合物とのモル比率を決定する値であり、酸性染料−アミン化合物の塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中の酸の官能基数の０＜ｎ≦５の間の数値が実用上多く用いられ、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の全てを考慮して選択される。吸光度のみの観点で選択する場合には、前記ｎは０＜ｎ≦４．５の間の数値をとることが好ましく、０＜ｎ≦４の間の数値をとることがさらに好ましく、０＜ｎ≦３．５の間の数値をとることが特に好ましい。
【００４２】
前記に示した酸性染料はその構造上酸性基を導入したことにより、酸性染料となっていることから、その置換基を変更することにより、非酸性染料とすることが出来る。
酸性染料は、アルカリ現像の際に好適に作用する場合もあるが、一方で過現像となってしまうこともあり、非酸性染料を好適に使用する場合もある。
【００４３】
＜着色剤濃度＞
前記着色剤の濃度は、本発明における着色剤含有熱硬化性組成物の全固形分に対して、５０質量％以上且つ１００質量％未満であり、６５質量％以上９５質量％以下がより好ましく、６０質量％以上９０質量％以下が特に好ましい。前記着色剤の含有量が、５０質量％未満であると、所望の分光特性が得られない。また、前記の範囲であると、硬化性が良好である点で好ましい。
【００４４】
本発明における着色剤含有熱硬化性組成物で作製する画素は、フォトリソ法で作製する画素からなるカラーフィルタに対して同等程度の分光特性を有しながら、画素の薄膜化を実現させることができる。
通常、薄膜化実現のためには、フォトリソ法で作製した塗布膜に対して固形分濃度を上げる必要がある。これに対し、所望とする分光特性を得るためには着色剤の濃度を向上させる必要がある。
このため、フォトリソ法で所望の分光特性を得たまま薄膜化を行うと、着色剤以外の固形分を下げることとなり、その結果、硬化不良やこれに伴うアルカリ現像でのパターンの消失（現像、リンス工程での流れ）が起きる。このため、フォトリソ法による薄膜化に必要な着色剤濃度の増加には限界があり、着色剤濃度が６５質量％以上では、殆どパターン形成されなかった。
【００４５】
これに対し、本発明における着色剤含有熱硬化性組成物を用いてなる画素は、後述する通り、まず、熱で着色剤を含む塗布膜（着色層）を硬化させ、その後、ドライエッチングによりパターン形成するため、フォトリソ法では必須成分であるモノマー（光重合性化合物）や光重合開始剤を、着色剤を含む層に含有させる必要がない。このため、本発明における着色剤含有熱硬化性組成物は、着色剤と熱で硬化された樹脂とで最低限構成されるため、着色剤濃度を５０質量％以上に設定することができる。
【００４６】
なお、本発明におけるこの熱硬化性組成物には、熱硬化性化合物が含まれ、それによって硬化膜が形成されることから、着色剤濃度は１００質量％未満となる。
高着色剤濃度の硬化性組成物をスピンコータやスリット塗布で塗布し、熱硬化で薄膜を作製する方法では、組成物中に着色剤に加え熱硬化樹脂等を添加するために、前記蒸着法で形成された着色剤層に比較して、若干膜厚は厚くなるが、アルカリ現像工程を必要としないために、フォトリソ法ではなし得ない高着色剤濃度の硬化液の調製が可能である。
【００４７】
本発明における着色剤含有熱硬化性組成物においては、着色剤濃度が６５質量％以上であれば後述する好ましい目標膜厚にすることができるが、例えば、後述するエポキシ樹脂での熱硬化方式を採用する場合には、更に着色剤濃度は７０質量％以上に設定することができる。すなわち分光特性を殆ど変えずにフォトリソ法における限界膜厚よりも薄い膜の形成が可能である。
加えて、着色剤以外の成分に密着性を持たせることが可能であるため、蒸着法による着色剤層に比較して優れた密着性能を有する高着色剤層を実現できる。
【００４８】
＜熱硬化性化合物＞
本発明に使用可能な熱硬化性化合物としては、塗布膜が形成できること、加熱により、架橋構造を形成しやすいことを考慮し、熱硬化機能を有する樹脂を使用する事が多いが、膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、熱硬化性官能基を有する樹脂を用いることができる。また、上記熱硬化性樹脂の他にあるいは加えて、熱硬化性化合物を添加して熱硬化させる或いは更なる架橋構造を形成してより強固な硬化膜を形成することができる。以下、本発明で使用できる熱硬化性樹脂、熱硬化性化合物の例を挙げるが、これらに限定されるものではない。尚、本文では熱硬化性樹脂を含め、熱硬化性化合物と称する事がある。
前記熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基を有する樹脂が好ましい。
【００４９】
更に好ましい熱硬化性化合物としては、（ａ）エポキシ樹脂、（ｂ）メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物またはウレア化合物、（ｃ）メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、前記熱硬化性化合物としては、多官能エポキシ樹脂が特に好ましい。
【００５０】
〔（ａ）エポキシ樹脂〕
（ａ）エポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれであってもよく、例えば、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン等の２価のグリシジル基含有低分子化合物；同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡトリグリシジルエーテル等に代表される３価のグリシジル基含有低分子化合物；同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノールＡテトラグリシジルエーテル等に代表される４価のグリシジル基含有低分子化合物；同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物；ポリグリシジル（メタ）アクリレート、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、等が挙げられる。
【００５１】
また、市販されているものとしては、脂環式エポキシ化合物「ＣＥＬ−２０２１」、脂環式固形エポキシ樹脂「ＥＨＰＥ−３１５０」、エポキシ化ポリブタジエン「ＰＢ３６００」、可とう性脂環エポキシ化合物「ＣＥＬ−２０８１」、ラクトン変性エポキシ樹脂「ＰＣＬ−Ｇ」等が挙げられる（何れもダイセル化学工業（株））。また、他には「セロキサイド２０００」、「エポリードＧＴ−３０００」、「ＧＴ−４０００」（何れもダイセル化学工業（株））が挙げられる。これらの中では、この脂環式エポキシ樹脂が最も硬化性に優れており、さらには「ＥＨＰＥ−３１５０」が最も硬化性に優れている。これらの化合物は単独で使用してもよいし、２種以上組み合わせてもよく、以降に示す他種のものとの組み合わせも可能である。
【００５２】
〔（ｂ）メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物またはウレア化合物〕
前記（ｂ）に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が各化合物に置換している数としては、メラミン化合物の場合２〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は２〜４であるが、好ましくはメラミン化合物の場合５〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は３〜４である。
以下、前記（ｂ）のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物およびウレア化合物を総じて、（ｂ）における（メチロール基、アルコキシメチル基またはアシロキシメチル基含有）化合物という。
【００５３】
前記（ｂ）におけるメチロール基含有化合物は、（ｂ）におけるアルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。前記（ｂ）におけるアシロキシメチル基含有化合物は、（ｂ）におけるメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。
【００５４】
以下、前記置換基を有する（ｂ）における化合物の具体例を挙げる。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
【００５５】
前記グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
【００５６】
前記グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
【００５７】
前記ウレア化合物として、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物またはその混合物、テトラメトキシエチルウレア、などが挙げられる。
これら（ｂ）における化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
【００５８】
〔（ｃ）メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物〕
前記（ｃ）における化合物、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物は、前記（ｂ）における化合物の場合と同様、上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制すると共に、膜強度を更に高めるものである。以下、これら化合物を総じて、（ｃ）における（メチロール基、アルコキシメチル基またはアシロキシメチル基含有）化合物ということがある。
【００５９】
前記（ｃ）における化合物に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基またはアルコキシメチル基の数としては、一分子当り最低２個必要であり、熱硬化および保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の２位，４位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、ＯＨ基のオルト位およびパラ位が全て置換されている化合物が好ましい。前記フェノール化合物の３位または５位は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記ナフトール化合物においても、ＯＨ基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
【００６０】
前記（ｃ）におけるメチロール基含有化合物は、フェノール性ＯＨ基の２位または４位が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと反応させることにより得られる。
前記（ｃ）におけるアルコキシメチル基含有化合物は、（ｃ）におけるメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記（ｃ）におけるアシロキシメチル基含有化合物は、（ｃ）におけるメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
【００６１】
（ｃ）における骨格化合物としては、フェノール性ＯＨ基のオルト位またはパラ位が未置換の、フェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアントラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、２，３−キシレノ−ル、２，５−キシレノ−ル、３，４−キシレノール、３，５−キシレノール、ビスフェノールＡなどのビスフェノール類；４，４'−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、２，７−ジヒドロキシアントラセン、等が使用される。
【００６２】
前記（ｃ）の具体例としては、フェノール化合物として、例えば、トリメチロールフェノール、トリ（メトキシメチル）フェノール、トリメチロールフェノールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−３−クレゾール、トリ（メトキシメチル）−３−クレゾール、トリメチロール−３−クレゾールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、２，６−ジメチロール−４−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ、テトラメトキシメチルビスフェノールＡ、テトラメチロールビスフェノールＡの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−４，４'−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−４，４'−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメトキシメチル体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体の１〜５個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール、等が挙げられる。
【００６３】
また、ヒドロキシアントラセン化合物として、例えば、１，６−ジヒドロキシメチル−２，７−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられ、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、前記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。
【００６４】
これらの化合物の中で好ましいものとしては、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−ｐ−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）のヘキサメチロール体またはそれらのメチロール基がアルコキシメチル基およびメチロール基とアルコキシメチル基の両方で置換されたフェノール化合物が挙げられる。
これら（ｃ）における化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
【００６５】
前記熱硬化性化合物の本発明における着色剤含有熱硬化性組成物中における総含有量としては、素材により異なるが、該硬化性組成物の全固形分（質量）に対して、０．１〜５０質量％が好ましく、０．２〜４０質量％がより好ましく、１〜３５質量％が特に好ましい。
【００６６】
＜各種添加物＞
本発明における着色剤含有熱硬化性組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じ、各種添加物、例えば、バインダー、硬化剤、硬化触媒、溶剤、充填剤、前記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、分散剤、等を配合することができる。
【００６７】
（バインダー）
前記バインダーは、顔料分散液調製時に添加する場合が多く、アルカリ可溶性を必要とせず、有機溶剤に可溶であればよい。
前記バインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶であるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。
【００６８】
前記のほか、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ（２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート）、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。
また、親水性を有するモノマーを共重合してもよく、この例としては、アルコキシアルキル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、２級または３級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート、モルホリン（メタ）アクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のプロピル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のブチル（メタ）アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、等が挙げられる。
【００６９】
これら各種バインダーの中でも、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
【００７０】
前記アクリル系樹脂としては、ベンジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体、例えばベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸、ベンジルメタアクリレート／ベンジルメタアクリルアミドのような各共重合体、ＫＳレジスト−１０６（大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（ダイセル化学工業（株）製）等が好ましい。
これらのバインダー中に前記着色剤を高濃度に分散させることで、下層等との密着性を付与でき、これらはスピンコート、スリットコート時の塗布面状にも寄与している。
【００７１】
前記バインダーとしては、重量平均分子量（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）が１０００〜２×１０5の重合体が好ましく、２０００〜１×１０5の重合体がより好ましく、５０００〜５×１０4の重合体が特に好ましい。
【００７２】
前記バインダーの本発明における着色剤含有熱硬化性組成物における含有量としては、該組成物の全固形分（質量）に対して、０．１〜５０質量％未満が好ましく、０．２〜４０質量％がより好ましく、１〜３５質量％が特に好ましい。
【００７３】
（硬化剤）
本発明において、熱硬化性化合物として、エポキシ樹脂を使用する場合、硬化剤を添加することが好ましい。エポキシ樹脂の硬化剤は種類が非常に多く、性質、樹脂と硬化剤の混合物との可使時間、粘度、硬化温度、硬化時間、発熱などが使用する硬化剤の種類によって非常に異なるため、硬化剤の使用目的、使用条件、作業条件などによって適当な硬化剤を選ばねばならない。前記硬化剤に関しては垣内弘編  「エポキシ樹脂（昇晃堂）」第５章に詳しく解説されている。前記硬化剤の例を挙げると以下のようになる。
触媒的に作用するものとしては、第３アミン類、三フッ化ホウ素−アミンコンプレックス、エポキシ樹脂の官能基と化学量論的に反応するものとして、ポリアミン、酸無水物等；また、常温硬化のものとして、ジエチレントリアミン、ポリアミド樹脂、中温硬化のものの例としてジエチルアミノプロピルアミン、トリス（ジメチルアミノメチル）フェノール；高温硬化の例として、無水フタル酸、メタフェニレンジアミン等がある。また化学構造別に見るとアミン類では、脂肪族ポリアミンとしてはジエチレントリアミン；芳香族ポリアミンとしてはメタフェニレンジアミン；第二および第三アミンとしてはトリス（ジメチルアミノメチル）フェノール；酸無水物としては無水フタル酸、ポリアミド樹脂、ポリスルフィド樹脂、三フッ化ホウ素−モノエチルアミンコンプレックス；合成樹脂初期縮合物としてはフェノール樹脂、その他ジシアンジアミド等が挙げられる。
【００７４】
これら硬化剤は、加熱によりエポキシ基と反応し、重合することによって架橋密度が上がり硬化するものである。薄膜化のためには、バインダー、硬化剤とも極力少量の方が好ましく、特に硬化剤に関しては熱硬化性化合物に対して３５質量％以下、好ましくは３０質量％以下、さらに好ましくは２５質量％以下とすることが好ましい。
【００７５】
（硬化触媒）
本発明において高い着色剤濃度を実現するためには、前記硬化剤との反応による硬化の他、主としてエポキシ基同士の反応による硬化が有効である。このため、硬化剤は用いず、硬化触媒を使用することもできる。前記硬化触媒の添加量としてはエポキシ当量が１５０〜２００程度のエポキシ樹脂に対して、質量基準で１／１０〜１／１０００程度、好ましくは１／２０〜１／５００程度さらに好ましくは１／３０〜１／２５０程度のわずかな量で硬化させることが可能である。
【００７６】
前記硬化触媒の具体例としては市販されているものもあり、例えば、ジャパンエナジー（株）のイミダゾールシランシリーズ「ＩＳ−１０００」、「ＩＳ−１０００Ｄ」、「ＩＭ−１０００」、「ＳＰ−１０００」、「ＩＡ−１０００Ａ」、「ＩＡ−１００Ｐ」、「ＩＡ−１００Ｆ」、「ＩＡ−１００ＡＤ」、「ＩＡ−１００ＦＤ」、「ＩＭ−１００Ｆ」、「ＩＳ−３０００」、「ＩＳ−４０００」などの他、四国化成(株)製の「１Ｂ２ＰＺ」、「ＳＦＺ」等が有用である。
【００７７】
（溶剤）
本発明における着色剤含有熱硬化性組成物は各種溶剤に溶解された溶液として用いることができる。本発明における着色剤含有熱硬化性組成物に用いられるそれぞれの溶剤は、各成分の溶解性や着色剤含有熱硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されない
【００７８】
前記溶剤としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等；
【００７９】
３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル等の３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、等；２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル等の２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、等；ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、等；
【００８０】
エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、等；
【００８１】
ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、等；芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、等が好ましい。
【００８２】
（分散剤）
また、前記分散剤は顔料の分散性を向上させるために添加することができる。前記分散剤としては、公知のものを適宜選定して用いることができ、例えば、カチオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、高分子分散剤等が挙げられる。
【００８３】
さらに、特開平１０−２５４１３３号公報に記載される主鎖部に特定の酸アミド基含有モノマーおよび四級アンモニウム塩モノマー残基を有するグラフト共重合体は、顔料を微分散する優れた作用を有することから、前記分散剤として用いることができる。前記グラフト共重合体を用いることによって、エネルギーや時間の消費を低減しながら顔料を微細に分散させることができ、且つ、分散した顔料が、時間経過しても凝集したり沈降したりすることがなく長期にわたる分散安定性を維持することができる。
【００８４】
前記分散剤は、単独で用いてもよくまた２種以上組み合わせて用いてもよい。前記分散剤の本発明における着色剤含有熱硬化性組成物中の添加量は、通常顔料１００質量部に対して０．１〜５０質量部程度が好ましい。
【００８５】
（他の添加剤）
上述したその他各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物；ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防止剤；２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【００８６】
＜着色剤含有熱硬化性組成物の調製方法＞
本発明において好ましい本発明における着色剤含有熱硬化性組成物の調製方法について説明する。但し、本発明はこれに限定されるものではない。
【００８７】
上述の通り、本発明における着色剤含有熱硬化性組成物には、顔料粒子を微粒子化し、且つ、その粒子サイズ分布をシャープにした顔料を用いる方法が好適である。具体的には、平均粒子径が０．０１μｍ程度であり、且つ粒子径が０．０１±０．００５μｍの範囲にある顔料粒子を７５質量％以上含んで構成される顔料を用いる方法が好ましい。
顔料の粒子サイズ分布を上述の範囲に調整するためには、顔料の分散方法が特に重要となる。そのような分散方法としては、例えば、ニーダーや二本ロールなどのロールミルを用いて高粘度状態で分散する乾式分散（混練分散処理）と三本ロールやビーズミル等を用いて比較的低粘度状態で分散する湿式分散（微分散処理）とを組み合わせた分散方法が挙げられる。また、前記分散方法においては、２種以上の顔料を共分散したり、混練分散処理時には、溶剤を使用しないか若しくは使用量をできるだけ少なくしたり、各種分散剤を用いるのも好ましい。更に、ソルベントショックを和らげるために樹脂成分を前記混練分散処理時と微分散処理時とに分けて添加（２分割使用）したりすることが好ましく、また、混練分散処理から微分散処理に移行する際に顔料粒子が再凝集するのを防止するために溶解性に優れた樹脂成分を用いるのが好ましい。更に、微分散処理時に使用するビーズミルのビーズに高硬度のセラミックスを使用したり、粒径の小さいビーズを使用したりする手段も有効である。尚、前記樹脂成分としては、例えば、上述のアルカリ可溶性樹脂を用いることができる。
【００８８】
本発明においては、特に、２種以上の顔料を用い、更に２種以上の顔料を５００００ｍＰａ・ｓ以上の高粘度状態で分散した後に、更に１０００ｍＰａ・ｓ以下の低粘度状態で分散して得られた着色剤を用いることが好ましい。
一般に、これら顔料は合成後、種々の方法で乾燥を経て供給される。通常は水媒体から乾燥させて粉末体として供給されるが、水が乾燥するには大きな蒸発潜熱を必要とするため、乾燥して粉末とさせるには大きな熱エネルギーを与える。そのため、顔料は一次粒子が集合した凝集体（二次粒子）を形成しているのが普通である。
【００８９】
本発明における着色剤含有熱硬化性組成物の調製方法において着色剤が顔料の場合は、まず着色剤（顔料）に上述のバインダーを混練分散処理後の粘度が５０，０００ｍＰａ・ｓ以上（好ましくは５０，０００〜１００，０００ｍＰａ・ｓ）の比較的高粘度になるように混練分散処理を施すのが好ましい。ここで、混練分散処理は、高粘度分散であってもよいし、乾式分散であってもよい。
【００９０】
次いで、必要に応じて混練分散処理後の分散物に上述のバインダーを追加添加し、微分散処理後の粘度が１０００ｍＰａ・ｓ以下（好ましくは１００ｍＰａ・ｓ以下）の比較的低粘度になるように微分散処理を施すことが好ましい。尚、微分散処理は、低粘度分散であってもよいし、湿式分散であってもよい。
【００９１】
前記混練分散処理においては、溶剤の比率が被分散物に対して０〜２０質量％であることが好ましい。このように、溶剤をあまり使用せずに分散を行うと、顔料粒子の表面をビヒクルの樹脂成分を主体とした構成成分との濡れを促進させることができ、顔料粒子表面が形成する界面を、顔料粒子と空気との固体／気体界面から、顔料粒子とビヒクル溶液との固体／溶液界面に変換することができる。顔料粒子の表面が形成する界面を空気から溶液に変換し混合攪拌すると、顔料を一次粒子に近い微小な状態にまで分散することができる。
【００９２】
このように、顔料を高度に分散させるためには、顔料粒子表面が形成する界面を空気から溶液に変換することが有効である。かかる変換には強い剪断力や圧縮力が必要である。このため、前記混練分散処理においては、強い剪断力や圧縮力を発揮できる混練機を用い、被混練物として高粘度のものを用いるのが好ましい。
【００９３】
また、前記微分散処理時においては、ガラスやセラミックの微粒状の分散用メディアと共に混合攪拌することが好ましい。さらに、微分散処理時における溶剤の比率は、被分散物の２０〜９０質量％であることが好ましい。前記微分散処理時においては、顔料粒子を微小な状態にまで均一に安定させて分布させることが必要であることから、凝集している顔料粒子に衝撃力と剪断力とを付与できる分散機とを用い、被分散物として低粘度のものを用いるのが好ましい。
【００９４】
着色剤が染料の場合は、前記のような分散工程を必要とせず、しかるべき溶剤にバインダーとともに溶解させるだけでよい。
【００９５】
このようにして得られた顔料の分散物並びに染料の溶液にエポキシ樹脂のような熱硬化性化合物と硬化触媒や硬化剤とを添加、あるいは既にバインダーが熱硬化性化合物である場合には、硬化触媒や硬化剤を添加して熱硬化機能を付与し、必要に応じて溶剤を添加することで本発明の熱硬化性化合物を調製することができる。
【００９６】
《画像記録材料》
本発明のカラーフィルタは、（Ａ）熱硬化性化合物と着色剤を含有する着色剤含有熱硬化性組成物を含む画素と、（Ｂ）着色剤を蒸着してなる画素の、２種の異なる画素を含むことを特徴とする。
従って、本発明のカラーフィルタの製造方法に用いられる画像記録材料としては、前記着色剤の蒸着によって形成された着色層（Ｂ）の表面に感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂層を積層することにより得られた画像記録材料Ｂと、着色剤含有熱硬化性組成物を用いて形成された着色層（Ａ）を作製し、さらに、その表面に感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂層を積層することにより得られた画像記録材料Ａが挙げられ、本発明のカラーフィルタは、それぞれの画像記録材料を用いて以下の方法で形成した少なくとも２種の画素を有するものである。
本発明に用いられる画像記録材料Ａは、下記（１）〜（３）の工程において形成される。
【００９７】
＜着色層（Ａ）＞
本体用の着色層（Ａ）は、前記着色剤と熱硬化性化合物とを含み、好ましくは、全固形分中の前記着色剤濃度が５０質量％以上１００質量％未満である着色剤含有熱硬化性組成物を支持体に塗布し、乾燥して着色層を形成する工程で形成される着色層Ａと、前記蒸着法により形成される着色層Ｂとがある。着色層Ｂの形成についてはすでに説明したので、以下、着色層Ａについて説明する。
具体的には、例えば、溶剤を含んだ本発明における着色剤含有熱硬化性組成物を、直接または他の層を介して支持体上に回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して形成することができる。
前記着色層（Ａ）の具体的な厚さとしては、０．００５μｍ〜０．９μｍが好ましく、０．０１μｍ〜０．６５μｍが好ましく、０．０２μｍ〜０．６μｍで作製されることが更に好ましい。
【００９８】
本発明のカラーフィルタの製造方法において、前記着色層（Ａ）は、前記したように形成された後、加熱硬化される。具体的に前記着色層（Ａ）は、本発明における着色剤含有熱硬化性組成物を支持体に塗布して塗布膜を形成した後、加熱工程により、該塗布膜を熱硬化させて形成される。前記加熱工程は塗布後の乾燥と同時であってもよく、また塗布乾燥後に別途熱硬化の工程を設けてもよい。前記加熱工程は、オーブン、ホットプレートなど公知の加熱手段を用い、好ましくは１３０℃〜３００℃、更に好ましくは１５０℃〜２８０℃、特に好ましくは１７０℃〜２６０℃の条件下で、好ましくは１０秒〜３時間、更に好ましくは３０秒〜２時間、特に好ましくは６０秒〜６０分の範囲で行なうことができる。但し、製造を考慮すると硬化に要する時間は短時間であるほど好ましい。
【００９９】
＜感光性樹脂層＞
上述のように、前記２つの態様により着色層（Ａ）及び着色層（Ｂ）が形成・熱硬化された後、それぞれの着色層上に感光性樹脂層が形成され、画像記録材料が得られる。具体的には、本発明における着色剤含有熱硬化性組成物を用いた着色層（Ａ）を形成し加熱により熱硬化させた後、或いは、蒸着法により着色層（Ｂ）を形成した後、それぞれの着色層上にポジ或いはネガ型の感光性樹脂組成物を塗布し、これを乾燥させて感光性樹脂層が形成される。
【０１００】
感光性樹脂組成物からなる層は、エネルギー付与により着色層のエッチングレジストを形成するために設けられるものであり、ポジ型の感光性組成物であっても、ネガ型の感光性組成物であってもよい。
ポジ型の感光性樹脂組成物としては、紫外線（ｇ線、ｉ線）、エキシマー・レーザー等を含む遠紫外線、電子線、イオンビームおよびＸ線等の放射線に感応するポジ型フォトレジスト用に好適なポジ型レジスト組成物が使用できる。前記放射線のうち、前記感光性樹脂層を露光するものとしては、本発明の目的からは、ｇ線、ｉ線が好ましく、中でもｉ線露光が好ましい。
【０１０１】
具体的には、前記ポジ型の感光性樹脂組成物は、キノンジアジド化合物およびアルカリ可溶性樹脂を含有する組成物が好ましい。キノンジアジド化合物およびアルカリ可溶性樹脂を含有するポジ型の感光性樹脂組成物は、５００ｎｍ以下の波長の光照射によりキノンジアジド基が分解してカルボキシル基を生じ、結果としてアルカリ不溶状態からアルカリ可溶性になることを利用してポジ型フォトレジストとして用いられている。このポジ型フォトレジストは解像力が著しく優れているので、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路の作製に用いられている。前記キノンジアジド化合物としては、ナフトキノンジアジド化合物が挙げられる。
【０１０２】
近年、集積回路については集積度の向上に伴って配線の幅が微細化され、このためエッチングも従来のウェットエッチングに代えてドライエッチングが主流になっている。このドライエッチングではレジストの形状がそのまま被エッチング層の形状に反映されるので、レジストの形状が悪いとエッチング不要の部分までエッチングされてしまい、集積回路の不良や歩留り悪化の原因となる。このため、現像残さ（スカム）等の少ないプロファイルの良好なレジストが従来以上に要求されている。また、ドライエッチングでは支持体の温度が上昇し、レジストパターンが熱変形を起こして寸法精度が低下することがある。このため、レジストの耐熱性が従来以上に要求されている。このような観点で現在使用されているポジ型フォトレジストを観ると、プロファイル、スカム、解像度および耐熱性等の諸性能について満足するものが、数多く市販されており、例えば、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）社製のＦＨ−６０００シリーズ、例えば「ＦＨ−６４００Ｌ」、「ＦＨ−６８００Ｌ」など、同社製ＦＨｉ−３０００シリーズ、例えば「ＦＨｉ−３２００」、「ＦＨｉ−３９５０」等、同社製ＦＨｉ−６００シリーズ例えば「ＦＨｉ−６４４」、「ＦＨｉ−６４５」、同社製Ｆｉ−ＳＰシリーズ例えば、「Ｆｉ−ＳＰ２」等が挙げられる。但し、これに限らずパターン形成に好ましいマスク形状のものができるのであれば、市販の有無に関わらずポジ型の感光性樹脂組成物として使用可能である。
【０１０３】
前記ネガ型の感光性樹脂組成物としては、紫外線（ｇ線、ｉ線）、遠紫外線、Ｘ線、電子線、分子線、γ線、シンクロトロン放射線等の輻射線に感応するネガ型フォトレジスト組成物が挙げられる。更に詳しくは、解像力および感度に優れ、かつ現像残りによる微小欠陥が実質上発生しないネガ型フォトレジスト組成物が好ましい。本発明によるネガ型フォトレジストは、着色層上に、スピン塗布法またはローラー塗布法で例えば０．５μｍ〜３μｍの厚みに塗布される。その後、加熱、乾燥し、露光マスクを介して回路パターン等を紫外線照射などにより焼き付け、更に必要に応じ露光後加熱工程（ＰＥＢ）を経てから現像すればネガ画像が得られる。更にこの画像をマスクとしてエッチングする事により熱硬化性樹脂層にパターン状の加工を施すことができる。代表的な応用分野はＩＣなどの半導体製造工程、液晶、サーマルヘッドなどの回路基板の製造、更にその他のフォトフアプリケーション工程である。またこの画像と支持基板とのインクへの親和性の差を利用して平版印刷版に適用することもできる。半導体基板の加工の高集積度化に伴いフォトレジストの高解像力化が求められている。
【０１０４】
前記ネガ型の感光性樹脂層は、光重合開始剤とエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物を含むことが好ましい。このような感光性樹脂層の形成に用いられるネガ型の感光性樹脂組成物については次のような先行技術が知られている。例えば、特公昭５４−２３５７４号公報は有機ハロゲン化物からなる光酸発生剤と組合せて、ノボラック樹脂を光硬化させる技術を開示している。また、西独公開特許２０５７４７３号公報には、ジアゾ化合物からなる光酸発生剤とメチロール化メラミンなどからなる光硬化性組成物との結合剤としてノボラックなどのフェノール樹脂を適用できることが記載されている。更に特開昭６０−２６３１４３号公報は光酸発生剤とメラミン樹脂などの酸硬化性アミノブラスト樹脂、それに一般的なノボラック樹脂とからなる組成物を開示しており、水性現像可能で熱安定性の高いネガ画像が得られるとしている。また、特開昭６２−１６４０４５号公報はかかる組成物の光酸発生剤として、遠紫外域に光吸収を有する有機ハロゲン化物が有利に使えることを述べている。同様に、特開平２−５２３４８号公報は類似の系の光酸発生剤として、特定領域のｐＫａ値を持つ有機ハロゲン化物が有利であることを述べている。更に、特開平２−１５４２６６号公報は同様な光硬化性組成物の光酸発生剤としてオキスムスルフォン酸エステル類が有効であることを示している。また別な例としては、特開平２−１４６０４４号公報が、特定のトリクロロトリアジン基を有する光酸発生剤とアルコキシ化メラミンにｍ−クレゾールを３０％以上含有するノボラック樹脂を組み合わせた組成物が、高エネルギー線露光用に有用であることを述べている。更に、欧州特許３９７４６０Ａ号公報には、同様な組成物に於いて分岐度の高いノボラック樹脂を用いることが示されている。これらネガ型の感光性樹脂組成物は、市販されており、例えば、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）社製のＳＣシリーズ、例えば、「ＳＣ−６０」、「ＳＣ−４５０」等、同社製のＨＲシリーズ、例えば、「ＨＲ−１００」、「ＨＲ−２００」、同社製のＨＮＲシリーズ、例えば、「ＨＮＲ−８０」、「ＨＮＲ−１２０」などが挙げられる。但し、これらに限らずパターン形成に好ましいマスク形状のものができるのであれば、市販の有無に関わらず使用可能である。
【０１０５】
前記感光性樹脂層の具体的な厚さとしては、０．０１μｍ〜３μｍが好ましく、０．１μｍ〜２．５μｍが好ましく、０．１５μｍ〜２μｍで作製されることが更に好ましい。
【０１０６】
《カラーフィルタ及びその製造方法》
上述した画像記録材料はカラーフィルタとして有効に用いることができる。その製造方法を以下に詳述する。
本発明のカラーフィルタの製造方法における好ましい態様は、画像記録層にフォトリソ法によりエッチング用マスクを形成し、蒸着による着色層（Ｂ）または着色剤含有熱硬化性組成物かならる着色層（Ａ）にドライエッチング法によりパターン形成を行なうものである。
【０１０７】
まず上述の画像記録材料Ａ又はＢに、所定のマスクパターンを介してｇ線、ｈ線、ｉ線等、特に好ましくはｉ線露光を施し、アルカリ現像液で現像することによって、ポジ或いはネガ型の感光性樹脂組成物にパターンを形成する。ここで形成された感光性樹脂組成物のパターンをパターンマスク（エッチングレジスト）として用い、酸素やＣＦ4、ＣＯ2等のガスを用いてドライエッチングを行なう。この工程によりパターンマスクのパターン状に着色剤の蒸着層または着色剤含有熱硬化性組成物の層がエッチングされ、色パターンを形成することができる。
【０１０８】
エッチング終了後、マスクのレジストは専用の剥離液や溶剤により、除去される（全工程が終了してからでもよい）。二色目以降も同様の方法でパターンを作成する。最後の色のパターン形成に関しては蒸着もしくは塗布して熱硬化のみ行い、上層に残った余分な着色物組成物を除去し、平坦化を行う事で、全色のパターン作成を行なっても良い。
【０１０９】
カラーフィルタに用いられる基板としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
【０１１０】
前記現像液としては、着色物の熱硬化膜には影響を与えず、ポジレジストの露光部並びに、ネガレジストの未硬化部を溶解するものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組合せやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
【０１１１】
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５．４．０〕−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。尚、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。
【０１１２】
本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やＣＣＤ等の固体撮像素子に用いることができ、特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、ＣＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
【０１１３】
＜エッチング＞
本発明のカラーフィルタはエッチング法によりパターン形成を行なう。エッチング法の代表的な例としては、特開昭５９−１２６５０６、特開昭５９−４６６２８、同５８−９１０８、同５８−２８０９、同５７−１４８７０６、同６１−４１１０２などのように着色物を蒸着した後、マスクのレジストを塗布し、パターニングを行いエッチングする方法の他、特開昭６０−４２７０５、同６０−４２７０６、同６１−４２７０７、同６０−８８０３、同５９−１２７０３６、同５９−１２０３７、同５８−１７１００６などに代表されるリバースエッチングと呼ばれる最初にポジレジストでパターンを形成した後、全面露光によりマスクをアルカリ現像に可溶の状態にしておき、その後着色物の蒸着を行い、アルカリ現像を施す事でマスク及びマスク上の着色物を除去する事でパターン形成を行なうリバースエッチング法の他、下記公開、公告特許に記載されているような方法が知られている。
【０１１４】
特許第３２１８８３０号、特開平７−１９８９２７号、特許第３２５５１２６号、特開昭６１−７７００４、特開昭５９−７８３１２、同５８−１６９１０８、同５８−１５３９０３、同５８−１６８０１６、同６１−８０１２４、同６１−４１１０２、同６１−３２８０２、同６１−６１５０、特開２００１−２４９２１８等。
【０１１５】
本発明では、非常に高い顔料濃度を有する熱硬化薄膜〔着色層（Ａ）〕或いは着色剤蒸着による薄膜〔着色層（Ｂ）〕を形成するため、顔料の場合は色により分散が複雑で困難となる場合があり、顔料を減らして分光特性を犠牲にして、分散液を調製する場合もあったが、このような場合は、分散処方を検討するよりも、蒸着した方が簡単である。また、密着性に関しては上述した通り必要に応じて樹脂を同時に蒸着する事で改善可能である。これにより、分散性を考慮して、分光特性を犠牲にした顔料の組み合わせでカラーフィルタを作成せず、理想の分光の組み合わせでのカラーフィルタの作製が可能となった。また、染料の場合も同様の理由で、溶解性が悪い或いは樹脂等との相溶性が悪い染料を蒸着法に変えることで、ユーザーの要求に応じた分光特性を得る事が可能となる。
【０１１６】
なお本発明において、着色剤含有熱硬化性化合物により形成された画素（Ａ）と蒸着による画素（Ｂ）は任意の画素に用いることができる。本発明において好ましい態様は着色剤含有熱硬化性化合物により形成された画素を一色目および／または二色目とし、蒸着による画素は、好ましくは二色目以降、さらに好ましくは三色目以降や最後の色に適用する事が好ましい。これは着色剤含有熱硬化性化合物により形成された画素の方が膜強度および基板との密着性に優れているためである。
【実施例】
【０１１７】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
【０１１８】
〔実施例１〜７、比較例１〕
《カラーフィルタ用着色物組成物の調製》
＜顔料分散液の調製＞
緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）、赤色（Ｒ）の各色についてそれぞれ下記表１に示す各素材をそれぞれニーダーで均一に混練した後に、混練物を二本ロールで乾式分散処理（混練分散処理）した。
乾式分散処理を施された分散物に、溶剤成分としてプロピレングリコールモノメチルエチルアセテートを７８５質量部加えた。その後、ホモジナイザーにて２０００ｒｐｍで３０分間攪拌処理し、顔料が均一に分散した、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）、赤色（Ｒ）の各色の分散組成物を調製した。得られた分散組成物を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いたビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて微分散処理を施した。
【０１１９】
その後、２．５μｍフィルターにて濾過を行い、顔料が均一に分散された各色の顔料分散液（１）〜（３）を得た。尚、各顔料分散液について混練分散処理時および微分散処理時における混練物（分散物）の粘度、並びに、各顔料分散液における顔料の平均粒子径および粒子径０．０１±０．００５μｍの範囲にある顔料粒子の占める割合を表１に示す。尚、顔料の粒子径の測定は、日機装（株）製のＭＩＣＲＯＴＲＡＣ  ＵＰＡ  １５０を用い、各着色樹脂組成物をプロピレングリコールモノメチルエチルアセテートで希釈したものをサンプルとして測定した。
【０１２０】
【表１】
2007011137.tif 000002
【０１２１】
＜熱硬化性着色物組成物の調製＞
上記各色の顔料分散液に対して顔料分散液（１）に対しては、２０質量部、顔料分散液（２）に対しては、６質量部、顔料分散液（３）に対しては８質量部の多官能エポキシ樹脂ＥＨＰＥ−３１５０（ダイセル化学（株）製）を添加し、さらに、硬化触媒として四国化成の１Ｂ２ＰＺを各々添加するエポキシ樹脂の１／５０量を添加した。溶解確認後、本組成物中の固形分を１５％になるようにプロピレングリコールモノメチルエチルアセテートでピグメントショックが起こらないように注意しながら希釈した。上記の手順により、顔料分散液（１）を用いて顔料濃度が７２．０％である高顔料濃度の熱硬化性組成物を得た。同様に、顔料分散液（２）からは顔料濃度７１．０％の、顔料分散液（３）からは顔料濃度７５．１％の、それぞれ高濃度顔料を含有する熱硬化性組成物を得た。
【０１２２】
上記のようにして得られた着色剤含有熱硬化性組成物を富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製のＣＴ−２０００Ｌを塗布して硬化させたシリコンウェハー基板上にスピンコーターにて、各々膜厚が約０．５μｍの塗布膜とした後、ホットプレートにて１００℃で２分間の加熱処理を行ない、塗布膜の乾燥を行なった。次に、ホットプレートを使用して、２２０℃で７分間の加熱を行い、塗布膜の硬化を行なった。
【０１２３】
次に、熱硬化させた塗布サンプルの上層に富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製のＦＨｉ−３９５０を膜厚が１．５μｍになるようにスピンコーターで塗布した。１００℃で２分間の加熱処理を行い、サンプルの乾燥を行なった後、ｉ線ステッパーにて２００ｍｊのパターン露光を行い、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製ＦＨＤ−５で１分間の現像処理を行うことで、１．５μｍ×１．５μｍサイズのマスクを形成した。このサンプルに対し、ＣＦ4／Ｏ2／Ａｒ＝２／２／１の比率の混合ガスにて非マスク部のドライエッチングを行なってパターン形成を行なった。この後、レジストの剥離を富士フイルムエレクトロマテリアルズ社製のＭＳ−２３０を使用して行い、各色において矩形性の高い１．５μｍパターンサイズを作成した。
【０１２４】
＜蒸着膜サンプル作成＞
熱硬化組成物同様に但し、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色について顔料比率は変えずに顔料のみをＭｏポートにつめ、真空容器内に設置し、真空度１０-5〜１０-8ｔｏｒｒにおいてＭｏポートを４５０〜５５０℃に加熱して顔料の蒸着を行なって着色層を形成した。その後は、実施例１において着色膜形成後に実施したのと同様に、上層にフォトレジスト（感光性樹脂層）を塗布し、マスクを形成し、ドライエッチングによりパターン形成を行なった。
これら、熱硬化膜及び蒸着膜について、以下に示す方法にてＲＧＢ三色揃ったカラーフィルタを作成した。
【０１２５】
＜パターン形成＞
シリコンウェハー上に三色のパターンを形成する。先ず上述した方法にてＢｌｕｅのパターンを形成した。このサンプルについて、二色目のパターンを形成する。Ｇｒｅｅｎ組成物をＢｌｕｅのパターンを形成したシリコンウェハー基板上に塗布或いは蒸着した。その後、熱硬化膜の場合はホットプレートで１００℃２分間の加熱処理を行ない、次にホットプレートで２２０℃、７分間の加熱処理により、Ｇｒｅｅｎ塗布膜の硬化を行なった。硬化後（蒸着後）のサンプル上に、上記と同じフォトレジストＦＨｉ−３９５０を塗布し、ｉ線ステッパーにより、１．５μｍのパターン露光を行いＦＨＤ−５で１分間の現像処理を行なった。その後、上記と同様にドライエッチングを施し、Ｇｒｅｅｎのパターン形成を行なった。残ったマスクのレジストの剥離を上記同様の剥離液で除去し、二色目を完成させた。この基板に三色目のＲｅｄ組成物を塗布或いは蒸着した後、二色目同様熱硬化膜に関しては１００℃、２分の加熱処理後、２２０℃で７分間の熱硬化を行なった。このサンプルに対してＣＦ4／Ｏ2ガスにてエッチバック、仕上げにＣＭＰ処理を行い一色目、二色目のパターン上にある他色の膜を除去し、平坦化してＲＧＢ三色のカラーフィルタを作成した。尚、各エッチングの終点は発光分光分析法により検出した。
各カラーフィルタの組み合わせを表２に示す。
【０１２６】
（密着性の評価）
得られたカラーフィルタの画素について、下記（１）〜（５）の方法により密着性を評価した。
（１）１０ｃｍ×１０ｃｍのガラス基板に平坦化の目的で富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）社製  ＣＴ−２０００Ｌを膜厚２μｍになるようにスピンコーターで塗布し、オーブンにて２２０℃、１時間加熱し膜の硬化を行なう。
（２）次に、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色について、膜厚１μｍになるようにスピンコーターで塗布し、１００℃で２分間の加熱により塗布膜の乾燥を行なった後、２２０℃で１０分間の加熱により塗布膜の硬化を行なった。
（３）硬化後の前記塗布膜に５ｍｍ間隔で格子状に千枚通しで傷をつけ、その上にセロテープ（登録商標）を貼り付けた後、サンプルを５ｍｍ厚の鉄板で挟み、万力にセットして１Ｎ・ｍのトルクで４８時間締め付けた。
（４）前記（３）にて４８時間経過後、サンプルを取り外し、セロテープ（登録商標）を剥がした。
（５）格子状に傷をつけたパターンの剥れ具合を以下の基準により評価した。
○：パターンの剥離が全く見られなかった。
△：パターンの剥離がわずかに確認されるが実用上問題のないレベルであった。
×：パターンの剥離が確認され、実用上問題のあるレベルであった。
結果を下記表２に示す。
【０１２７】
【表２】
2007011137.tif 000003
【０１２８】
表２に明らかなように、実施例１〜６の本発明のカラーフィルタは、いずれも薄膜の着色層で分光特性に優れ、また、分光特性を維持したまま、密着性を向上することができた。また、実施例１〜３と実施例４〜６との対比において、一色目の画素形成に蒸着法を用いた場合に膜の剥離が生じすく、一色目に熱硬化膜を用い、２色目以降の画素形成に蒸着法を用いた実施例１〜３で本発明の効果が著しいことがわかった。
一方、蒸着法のみで全色相の画素を形成した比較例１のカラーフィルタは、マスクのアルカリ現像、レジスト剥離、ＣＭＰ工程などでパターンが剥がれるものが目立った。
【０１２９】
〔実施例７〜１２、比較例２〕
実施例１〜６、比較例１において、画素の形成順を、一色目をＧｒｅｅｎ、二色目をＲｅｄ、三色目をＢｌｕｅに代えてカラーフィルタを作製した他はそれぞれ実施例１〜６、比較例１と同様にして実施例７〜１２、比較例２のカラーフィルタを作製し、実施例１と同様の評価を行ったところ、実施例１〜６，比較例２と同様の結果を得た。このことから、一〜三色目のカラーフィルタの作製順を変えても、同様に本発明の効果を得られることがわかる。
【０１３０】
〔実施例１３〜１８、比較例３〕
実施例１〜６，比較例１で用いた顔料分散液（１）〜（３）に代えて、下記染料含有液（１）〜（３）を着色剤として用いた他は、同様にして、着色剤含有熱硬化性組成物を調整した。それぞれの熱硬化性組成物に用いた熱硬化性化合物、硬化触媒も併記した。即ち、以下の着色剤含有熱硬化性組成物では、着色剤として染料を使用している。
＜染料含有液（１）・・緑色（Ｇ）＞
Ｇｒｅｅｎ・・・ａｃｉｄ  Ｇｒｅｅｎ  ２５                  １１５質量部
ａｃｉｄ  Ｙｅｌｌｏｗ１７                    ４０質量部
樹脂（顔料分散液（１）に同じ）                ２５質量部
（用いた熱硬化性樹脂、硬化触媒）
エポキシ樹脂（ダイセル（株）製、ＥＨＰＥ−３１５０）
１９．６質量部
硬化触媒（四国化成（株）製、１Ｂ２ＰＺ）    ０．４質量部
【０１３１】
＜染料含有液（２）・・青色（Ｂ）＞
Ｂｌｕｅ・・・ａｃｉｄ  Ｂｌｕｅ  ２３                      １２５質量部
ａｃｉｄ  ｖｉｏｌｅｔ  ７                    ２５質量部
樹脂（顔料分散液（２）に同じ）                ２０質量部
（用いた熱硬化性樹脂、硬化触媒）
エポキシ樹脂（同上）                      １９．６質量部
硬化触媒（ジャパンエナジー製、ＩＭ−１０００）
０．４質量部
【０１３２】
＜染料含有液（３）・・赤色（Ｒ）＞
Ｒｅｄ・・・ａｃｉｄ  Ｒｅｄ  ８                              ８０質量部
ａｃｉｄ  Ｙｅｌｌｏｗ  ３４                      ２０質量部
樹脂（顔料分散液（３）に同じ）                    １０質量部
（用いた熱硬化性樹脂、硬化触媒）
エポキシ樹脂（ダイセル（株）製、エポリードＧＴ４０１）
５質量部
エポキシ樹脂（ダイセル（株）製、ＥＨＰＥ−３１５０）
９．６質量部
硬化触媒（ジャパンエナジー製、ＩＭ−１０００）  ０．３質量部
硬化触媒（四国化成（株）製、１Ｂ２ＰＺ）        ０．１質量部
【０１３３】
上記、染料を用いた着色剤含有熱硬化組成物を用いた他は、実施例１〜６、比較例１とそれぞれ同様にして実施例１３〜１８、比較例３のカラーフィルタを得て、同様の評価を行なったところ、実施例１〜６、比較例１と同様の結果を得た。このことから、着色剤として染料を用いた場合も、顔料を用いた場合と同様に本発明の優れた効果が得られることが確認された。
また、これらの着色剤含有熱硬化性組成物を用いて、実施例７〜１２と同様にカラーフィルタの作製、評価を行ったところ、同様の効果が得られ、これらにより、本発明の効果は、カラーフィルタの作製において、画像その色の順序を換えても変らないことがわかかった。