(57)【要約】【課題】  フレネルレンズにおいて、入射光を均一に調整する。【解決手段】  各輪帯領域ＲＺ内に形成された各台形状回折格子１２は、各輪帯ピッチＲｐｎに合わせて底辺長さを設定した底辺１２ａと、外周側に向けて傾斜した傾斜面（１２ｂ）を有し且つ入射光Ｌに対して特定次数の回折光を回折して所定の集光位置に集光させる第１回折格子部１２ｂと、底辺１２ａに平行な上辺１２ｃ及び内周側に向けて傾斜した傾斜面１２ｄを有し且つ第１回折格子部１２ｂと異なる回折次数に入射光Ｌを回折して特定次数以外の回折光を発生させると共に入射光Ｌに対して光透過率を調整する第２回折格子部１２ｅとを備えてなり、底辺１２ａを高さ基準にして各台形状回折格子１２の高さＨｎを、各輪帯領域ＲＺがそれぞれ要求する光透過率になるように各輪帯領域ＲＺごとに可変させたことを特徴とするフレネルレンズ１０を提供する。【選択図】図１
2007011216.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光透過性を有する光学基板上に複数の輪帯領域が中心から外周側に向かって各輪帯ピッチを除々に狭めて設定され、且つ、各輪帯領域内に各台形状回折格子が形成されたフレネルレンズであって、
前記各台形状回折格子は、前記光学基板上で入射光が入射する側に前記各輪帯ピッチに合わせて底辺長さを設定した底辺と、前記底辺を透過した前記入射光が出射する側に外周側に向けて傾斜した傾斜面を有し且つ前記入射光に対して特定次数の回折光を回折して所定の集光位置に集光させる第１回折格子部と、前記底辺を透過した前記入射光が出射する側にこの底辺に平行な上辺及び内周側に向けて傾斜した傾斜面を有し且つ前記第１回折格子部と異なる回折次数に前記入射光を回折して特定次数以外の回折光を発生させると共に前記入射光に対して光透過率を調整する第２回折格子部とを備えてなり、
前記底辺を高さ基準として前記各台形状回折格子の高さを、前記各輪帯領域がそれぞれ要求する光透過率になるように前記各輪帯領域ごとに可変させたことを特徴とするフレネルレンズ。
【請求項２】
前記光学基板上でレンズ最外周部の前記輪帯領域内に形成される前記台形状回折格子は、前記上辺の長さをゼロに設定して三角形状回折格子に成したことを特徴とする請求項１記載のフレネルレンズ。
【請求項３】
前記光学基板上でレンズ中心部の前記輪帯領域内に形成される前記台形状回折格子は、内周側に向けて傾斜した前記第２回折格子部の前記傾斜面の角度を前記底辺に対して直角に設定したことを特徴とする請求項１記載のフレネルレンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光透過性を有する円盤状の光学基板上に、複数の輪帯領域が中心から外周側に向かって各輪帯ピッチを除々に狭めて設定され、且つ、各輪帯領域内に各台形状回折格子が形成されたフレネルレンズであって、各台形状回折格子の底辺側から入射した入射光が上辺側に出射する際に、各台形状回折格子の高さを各輪帯領域ごとに可変させることで、各輪帯領域ごとに入射光に対する光透過率を調整して、内周部及び外周部での光量分布を均一化できるように構成したフレネルレンズに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近、回折光学素子の一種であるフレネルレンズは、非球面レンズと組み合わせることにより、光学的な収差を小さな値に設定できる等の理由から、光ディスク装置の光ピックアップや、光通信装置の光学系に多用されている。
【０００３】
この種のフレネルレンズの一例として直角三角形状の回折格子を有するフレネルレンズを、ガラス材を用いて金型により加熱圧縮成形するか、又は、透明樹脂材を用いて金型により射出成形して作製する場合に、フレネルレンズ用の金型をダイヤモンド工具により切削加工して作製する技術的思想が開示されている（非特許文献１）。
【非特許文献１】光技術コンタクト  Ｖｏｌ．２６、Ｎｏ３（１９８８）、Ｐ２０８〜２１２
【０００４】
図１４（ａ），（ｂ）は従来例として直角三角形状の回折格子を有するフレネルレンズを示した平面図，縦断面図、
図１５は図１４に示した従来のフレネルレンズを金型により成形する際に、フレネルレンズ用の金型をダイヤモンド工具により切削加工して作製する状態を模式的に示した縦断面図、
図１６は従来のフレネルレンズに、中央部の光束は光強度が強く、且つ、外周部の光束は光強度が弱いレーザー光を入射させた状態を模式的に示した図である。
【０００５】
図１４（ａ），（ｂ）に示したように、従来のフレネルレンズ１００は、光透過性を有するガラス材や透明樹脂材などを用いた円盤状の光学基板（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｂａｓｅ  Ｐｌａｔｅ）ＯＢＰ上に、複数の輪帯領域（Ｒｉｎｇ  Ｚｏｎｅ）ＲＺが中心０を中心にしてリング状の同心円を描き、且つ、中心０から外周側に向かって各輪帯領域ＲＺが各輪帯ピッチを除々に狭めて設定されていると共に、各輪帯領域ＲＺ内には直角三角形状の回折格子１０１がそれぞれ形成されている。この際、上記した回折格子１０１は、光学基板ＯＢＰ上で入射光となるレーザー光Ｌが入射する側に仮想に設定した底辺１０１ａと、この底辺１０１ａと対向して入射光回折面となる傾斜面１０１ｂと、位相折り返しポイント面となる垂直面１０１ｃとに囲まれて直角三角形状に形成されている。
【０００６】
そして、各輪帯領域ＲＺ内に形成された各回折格子１０１の回折効果を利用してレンズ機能を持たせている。
【０００７】
ところで、上記した従来のフレネルレンズ１００を例えば光ディスク装置（図示せず）のピックアップの回折光学素子として用いるような場合には、素子としての小型化と、フレネルレンズ１００に入射させるレーザー光のビームパワーを有効利用するために高い回折効率との双方が要求されている。
【０００８】
これらの要求を実現するために、従来のフレネルレンズ１００は、前述したように、ガラス材を用いて金型により加熱圧縮成形するか、又は、透明樹脂材を用いて金型により射出成形して作製されているが、この際、図１５に示したように、フレネルレンズ用の金型１５０が、ダイヤモンド工具１５１により金属製金型母材上で仮想に設定した底辺１５０ａと、この底辺１５０ａに対向した傾斜面１５０ｂと、垂直面１５０ｃとに囲まれて直角三角形状に切削加工して作製されている。
【０００９】
具体的には、図１５に示したように、フレネルレンズ用の金属製金型母材を回転させながらダイヤモンド工具１５１の先端に取り付けたダイヤモンドバイト１５１ａを移動させて直角三角形状の回折格子パターンを刻んでおり、回折格子１０１｛図１４（ｂ）｝の位相分布を直線近似する方法によって、加工時間を短縮できること、切削加工面が良好な表面粗さに保てること等のメリットが得られる。
【００１０】
ここで、フレネルレンズ用の金型１５０において、一つの輪帯領域分の位相形状は略直角三角形であり、フレネルレンズ１００の入射光回折面となる傾斜面１０１ｂ｛図１４（ｂ）｝と対応した傾斜面１５０ｂは輪帯ピッチにおける切削最高高さから最小高さまでを結んで略直線状になっていると共に、フレネルレンズ１００の位相折り返しポイント面となる垂直面１０１ｃ｛図１４（ｂ）｝と対応した垂直面１５０ｃは金型水平方向に対して略垂直に立ち上がる形状になっている。
【００１１】
そして、ダイヤモンド工具１５１の先端に取り付けたダイヤモンドバイト１５１ａが切削加工面と平行となる際、切削加工面が鏡面状になるので、ダイヤモンドバイト１５１ａを傾斜させて傾斜面１５０ｂを所定の傾斜角を持って切削加工する一方、ダイヤモンドバイト１５１ａを略垂直に起立させて垂直面１５０ｃを略垂直に切削加工することで、フレネルレンズ用の金型１５０が作製されている。
【００１２】
この後、作製したフレネルレンズ用の金型１５０を用いて、上記した従来のフレネルレンズ１００をガラス材又は透明樹脂材により成形している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、光ピックアップ等の光源に使用されている半導体レーザー（図示せず）は光強度分布を持っており、図１６に示した如く、従来のフレネルレンズ１００に、半導体レーザーから出射したレーザー光Ｌを不図示のコリメータレンズで平行光に変換して入射させた時に、一般的に、適宜な位置で断面した時の断面積が略円形であるレーザー光Ｌの光束の中央部は光強度が強く（光量が大きく）、且つ、外周部の光束は光強度が弱い（光量が小さい）傾向がある。このように不均一な光強度分布（光量分布）を持ったレーザー光Ｌの光束を従来のフレネルレンズ１００に入射させて集光した場合、レンズ外周部の光強度が、中央部と比較して弱くなるために、レンズの口径が小さくなった状態と等価な現象となる。このため、レンズの開口数（ＮＡ）が低下し、集光スポットが本来のレンズ設計と比較して、大きくなるといった現象が起き、光学特性の劣化が発生し、問題となっている。
【００１４】
そこで、本発明では、レーザー光を集光するフレネルレンズに、集光機能の他に、レーザー光源の光強度分布（光量分布）を調整する機能を備え、フレネルレンズへの入射光を均一に調整することで、フレネルレンズの中央部と外周部での光量分布を均一とし、前述のＮＡ低下を抑制し、集光スポットの劣化を防止することができる構造形態のフレネルレンズが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、請求項１記載の発明は、光透過性を有する光学基板上に複数の輪帯領域が中心から外周側に向かって各輪帯ピッチを除々に狭めて設定され、且つ、各輪帯領域内に各台形状回折格子が形成されたフレネルレンズであって、
前記各台形状回折格子は、前記光学基板上で入射光が入射する側に前記各輪帯ピッチに合わせて底辺長さを設定した底辺と、前記底辺を透過した前記入射光が出射する側に外周側に向けて傾斜した傾斜面を有し且つ前記入射光に対して特定次数の回折光を回折して所定の集光位置に集光させる第１回折格子部と、前記底辺を透過した前記入射光が出射する側にこの底辺に平行な上辺及び内周側に向けて傾斜した傾斜面を有し且つ前記第１回折格子部と異なる回折次数に前記入射光を回折して特定次数以外の回折光を発生させると共に前記入射光に対して光透過率を調整する第２回折格子部とを備えてなり、
前記底辺を高さ基準として前記各台形状回折格子の高さを、前記各輪帯領域がそれぞれ要求する光透過率になるように前記各輪帯領域ごとに可変させたことを特徴とするフレネルレンズである。
【００１６】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のフレネルレンズにおいて、
前記光学基板上でレンズ最外周部の前記輪帯領域内に形成される前記台形状回折格子は、前記上辺の長さをゼロに設定して三角形状回折格子に成したことを特徴とするフレネルレンズである。
【００１７】
更に、請求項３記載の発明は、請求項１記載のフレネルレンズにおいて、
前記光学基板上でレンズ中心部の前記輪帯領域内に形成される前記台形状回折格子は、内周側に向けて傾斜した前記第２回折格子部の前記傾斜面の角度を前記底辺に対して直角に設定したことを特徴とするフレネルレンズである。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１記載のフレネルレンズによると、とくに、光学基板上で中心から外周側に向かって各輪帯ピッチを除々に狭めて設定した各輪帯領域内に形成された各台形状回折格子は、各輪帯ピッチに合わせて底辺長さを設定した底辺と、外周側に向けて傾斜した傾斜面を有する第１回折格子部と、底辺と平行な上辺及び内周側に向けて傾斜した傾斜面を有する第２回折格子部とを備え、底辺を高さ基準として各台形状回折格子の高さを、各輪帯領域がそれぞれ要求する光透過率になるように各輪帯領域ごとに可変させているので、本発明に係るフレネルレンズを例えば光ピックアップに適用した時に、フレネルレンズに入射する入射光に光量分布があっても、入射光に対して光量分布を均一に補正して、この入射光を所定の集光位置に集光さることができるので、これにより劣化のない集光スポットを得ることができる。更に、本発明に係るフレネルレンズは、入射光の光強度分布を均一化するのみでなく、組み合わせられる光学系の特性に合わせて、任意な光透過率を設定し、任意な光透過光量分布を得ることができる。
【００１９】
また、請求項２記載のフレネルレンズによると、とくに、光学基板上でレンズ最外周部の輪帯領域内に形成される台形状回折格子は、上辺の長さをゼロに設定して三角形状回折格子に成したため、レンズ最外周部で要求される光透過率を高い値に設定できる。
【００２０】
更に、請求項３記載のフレネルレンズによると、とくに、光学基板上でレンズ中心部の輪帯領域内に形成される台形状回折格子は、内周側に向けて傾斜した第２回折格子部の傾斜面の角度を底辺に対して直角に設定したため、このフレネルレンズ用の金型を作製する際に、レンズ中心部では第２回折格子部の傾斜面を切削加工することなく、第１回折格子部の傾斜面と第２回折格子部の上辺とを切削加工すれば良いので、レンズ中心部での台形状回折格子を容易に作製できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に本発明に係るフレネルレンズの一実施例について図１〜図１３を参照して詳細に説明する。
【００２２】
本発明に係るフレネルレンズは、例えば、不図示の光ディスク装置の光ピックアップに取り付けられた非球面を有する対物レンズと組み合わせて適用されている。そして、光ピックアップ内でレーザー光源から出射した不均一な光強度分布（光量分布）を有する光束をフレネルレンズに入射させた時に、フレネルレンズで均一な光強度分布（光量分布）を有する光束に補正して、対物レンズ側に出射できるように構成されている。
【実施例】
【００２３】
図１（ａ），（ｂ）は本発明に係るフレネルレンズを示した上面図，縦断面図、
図２は本発明に係るフレネルレンズを使用した時に、光学系の光路を説明するための図、
図３は本発明に係るフレネルレンズを使用した時に、光学系の光強度分布及び光透過率を図２中の位置Ｘ１〜Ｘ３に対応して示した図である。
【００２４】
図１（ａ），（ｂ）に示した如く、本発明に係るフレネルレンズ１０は、光透過性を有するガラス基板を用いた円盤状の光学基板（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｂａｓｅ  Ｐｌａｔｅ）ＯＢＰ上に、複数の輪帯領域（Ｒｉｎｇ  Ｚｏｎｅ）ＲＺが中心０を中心にしてリング状の同心円を描き、中心０から外周側に向かって各輪帯ピッチを除々に狭めて設定されている。
【００２５】
また、フレネルレンズ１０の各輪帯領域ＲＺ内には、各台形状回折格子１２が各輪帯ピッチに合わせて中心０から外周側に向かって形成されている。
【００２６】
尚、図１（ａ），（ｂ）中において、フレネルレンズ１０のレンズ最外周部の輪帯領域内では、台形状回折格子１２に代えて三角形状回折格子１１が形成されているが、これについては後で述べる。
【００２７】
そして、フレネルレンズ１０の各輪帯領域ＲＺ内に形成された各台形状回折格子１２は、光学基板ＯＢＰ上で入射光となるレーザー光Ｌが入射する側に仮想に設定した底辺１２ａがその底辺長さを各輪帯ピッチに合わせて設定され、且つ、底辺１２ａを透過したレーザー光Ｌが出射する側に第１回折格子部１２ｂが外周側に向けて傾斜した傾斜面（１２ｂ）を有して形成されていると共に、底辺１２ａを透過したレーザー光Ｌが出射する側に第２回折格子部１２ｅが底辺１２ａに平行な上辺１２ｃ及び内周側に向けて傾斜した傾斜面１２ｄを有して形成されている。
【００２８】
この際、各台形状回折格子１２中の第１回折格子部１２ｂは、輪帯領域ＲＺ内に入射した入射光に対して特定次数の回折光として例えば１次回折光を回折して所定の集光位置（焦点位置）に集光させるレンズ集光作用を備えている。即ち、各台形状回折格子１２中の底辺１２ａと第１回折格子部１２ｂとが成す角が各輪帯ピッチに応じて内周側から外周側に向かうにつれて大きくなり、これに伴って各第１回折格子部１２ｂに平行に入射したレーザー光Ｌは各第１回折格子部１２ｂに応じて入射角が変化するのでこれに応じて屈折角も異なることにより所定の集光位置（焦点位置）に集光させることができる。
【００２９】
一方、各台形状回折格子１２中の第２回折格子部１２ｅ（＝１２ｃ＋１２ｄ）は、第１回折格子部１２ｂと異なる回折次数に入射光を回折して特定次数以外（１次回折光以外）の回折光を発生させ、且つ、入射光に対して光透過率を調整する作用を備えている。
【００３０】
従って、各台形状回折格子１２中の第１回折格子部１２ｂは１次回折光回折面となり、一方、第２回折格子部１２ｅ（＝１２ｃ＋１２ｄ）は１次回折光以外の回折光への回折面及び位相折り返しポイント面となる。
【００３１】
更に、フレネルレンズ１０の各輪帯領域ＲＺ内に形成された各台形状回折格子１２は、底辺１２ａを高さ基準としてこの底辺１２ａから第２回折格子部１２ｅの上辺１２ｃの高さＨｎ（Ｈ０，Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３，……，Ｈｎ、 但し、ｎ：０以上の正の整数）を、各輪帯領域ＲＺがそれぞれ要求する光透過率になるように各輪帯領域ＲＺごとに可変させており、内周側から外周側に向かうにつれて高さＨｎが徐々に高くなっているが、これについては後で詳述する。
【００３２】
ここで、フレネルレンズ１０において、複数の輪帯領域ＲＺを、光学基板ＯＢＰの中心０から外周側に向かって順にＲＺ０，ＲＺ１，ＲＺ２，ＲＺ３，……，ＲＺｎ（但し、ｎ：０以上の正の整数）と設定した場合に、まず、光学基板ＯＢＰの中心０を中心としてｎ番目の輪帯領域ＲＺｎに対応するレンズ半径（輪帯半径）Ｒｎを下記の数１より求めることができる。
【数１】
2007011216.tif 000003
【００３３】
この数１中で、Ｒｎはｎ番目のレンズ半径であり、λは入射光の波長であり、入射光として波長λが０．４μｍのレーザー光を用いている。また、ｆ１は各台形状回折格子１２中の第１回折格子部１２ｂによる１次回折光の焦点距離であり、この実施例ではｆ１＝２０ｍｍに設定されている。また、ｄは回折次数であり、この実施例では第１回折格子部１２ｂによる１次回折光を対象にしているのでｄ＝１である。
【００３４】
従って、光学基板ＯＢＰの中心０を中心としてＲＺ０，ＲＺ１，ＲＺ２，ＲＺ３，……，ＲＺｎに対応してレンズ半径Ｒ０，Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，……，Ｒｎが求められる。
【００３５】
次に、光学基板ＯＢＰの中心０を含む輪帯領域ＲＺ０の輪帯ピッチＲｐ０は、下記の数２より求めることができる。
【数２】
2007011216.tif 000004
【００３６】
次に、上記したｎ＝０の場合を除外して、ｎ番目の輪帯ピッチＲｐｎは、下記の数３より求めることができる。
【数３】
2007011216.tif 000005
【００３７】
従って、数２及び数３から、レンズ中心部の輪帯領域ＲＺ０のみが輪帯ピッチＲｐ０を半径にして円形に設定されるものの、輪帯領域ＲＺ１，ＲＺ２，ＲＺ３，……，ＲＺｎは、輪帯ピッチＲｐ１，Ｒｐ２，Ｒｐ３，……，Ｒｐｎの各ピッチ幅でリング状に設定されている。
【００３８】
そして、フレネルレンズ１０のレンズ半径の最大値に対応するｎの最大値を例えば１４０に設定した場合に、ｎを０〜１４０の範囲で順次可変しながらλ＝０．４μｍ，ｆ１＝２０ｍｍ，ｄ＝１を数１に代入してレンズ半径Ｒｎを計算し、この後、数２及び数３により、例えば、輪帯領域ＲＺｎと対応したレンズ半径Ｒｎが光学基板ＯＢＰの中心０を含んだ０μｍ近傍（ＲＺ０），５００μｍ（ＲＺ１５），１０００μｍ（ＲＺ６２），レンズ最外周部に位置する１５００μｍ（ＲＺ１４０）における輪帯ピッチＲｐｎをそれぞれ求めると、１２６．５μｍ（Ｒｐ０），１６．１μｍ（Ｒｐ１５），８．０μｍ（Ｒｐ６２），５．４μｍ（Ｒｐ１４０）が得られ、以下、ここで得られたレンズ半径Ｒｎ及び輪帯ピッチＲｐｎの各値を使用して説明する。
【００３９】
尚、実施例のフレネルレンズ１０を設計する場合には、全ての輪帯領域ＲＺｎ（ｎ＝０〜１４０）に対応したレンズ半径Ｒｎ及び輪帯ピッチＲｐｎを求めれば良い。
【００４０】
次に、上記構成による本発明に係るフレネルレンズ１０を使用するにあたって、図２に示したように、位置Ｘ１を入射光となるレーザー光Ｌと対応した位置とし、また、位置Ｘ２をフレネルレンズ１０と対応した位置とし、また、位置Ｘ３を出射光と対応した位置とし、更に、位置Ｘ４を出射光の集光位置とした場合に、レーザー光源（図示せず）から出射したレーザー光Ｌをコリメータレンズ（図示せず）で平行光に変換して、適宜な位置で断面した時の断面形状が略円形であるレーザー光Ｌの平行光をフレネルレンズ１０の一方の面から入射させ、他方の面上で複数の輪帯領域ＲＺ内にそれぞれ形成した各台形状回折格子１２中の第１，第２回折格子部１２ｂ，１２ｅ（＝１２ｃ＋１２ｄ）により回折させてから出射させた時に、とくに、第１回折格子部１２ｂで回折された１次回折光が光軸Ｋ上で焦点距離ｆ１に対応した所定の集光位置に集光され、且つ、第２回折格子部１２ｅ（＝１２ｃ＋１２ｄ）で回折された１次回折光以外の回折光が第１回折格子部１２ｂとは異なる回折位置に回折されるようになっている。
【００４１】
ここで、図３中で点線を用いて示した如く、断面形状が略円形であるレーザー光Ｌの平行光をフレネルレンズ１０に入射した時に、図２に示した位置Ｘ１における入射光束の光強度分布は光軸Ｋを中心にして対称であると仮定した場合、半導体レーザーの特性により、中央部の光強度を１００％とすると、レンズ半径が５００μｍ，１０００μｍ，１５００μｍでは光強度がそれぞれ、９７．５％，９０．０％，７７．５％に低下しており、中央部が凸状に突出した凸型の光強度分布特性となっている。
【００４２】
このように中央部が凸型の光強度分布を持った入射光束を、先に図１６を用いて説明したように従来のフレネルレンズ１００で集光すると、レンズ外周部の光量が中央部と比較して小さくなるために、レンズの口径が小さくなった状態と等価な現象となり、レンズの開口数（ＮＡ）が低下し、集光スポットが本来のレンズ設計と比較して、大きくなるといった現象が起き、光学特性の劣化が発生する。
【００４３】
この問題を解決する為に、図２中の位置Ｘ２におけるフレネルレンズ１０上での光束の光透過率分布において、図３中で実線を用いて示したように、レンズ半径が０μｍ，５００μｍ，１０００μｍ，１５００μｍで必要な光透過率が、それぞれ７７．５％，  ７９．５％，  ８６．１％，  １００％になるように設定し、即ち、位置Ｘ１における凸型の光強度分布特性に対して反転させて、位置Ｘ２で中央部が凹状にへこんだ凹型の光透過率分布特性になるように逆補正している。
【００４４】
この設定により、入射光がフレネルレンズ１０を透過して出射した時に、図２に示した位置Ｘ３における出射光の光強度分布は、図３中で一点鎖線を用いて示したように、入射光量とフレネルレンズ透過率との積となり、その結果フラットなものとなる。
【００４５】
これにより、フレネルレンズ１０の外周部の光量が、中央部と略等しくなるので、レンズの口径は変化しない状態と等価になり、レンズの開口数（ＮＡ）は変化せず、集光スポットが本来のレンズ設計と比較して、大きくなるといった現象が発生しなくなる。
【００４６】
但し、出射光の光強度分布がフラットになった際、全体の光量は低下するが、高輝度レーザー等の、より光量の大きいレーザー光源を使用すれば、光量の低下は防止できる。
【００４７】
次に、本発明に係るフレネルレンズ１０において、各輪帯領域ＲＺ（ＲＺ０，ＲＺ１，ＲＺ２，ＲＺ３，……，ＲＺｎ）内で各台形状回折格子１２を各輪帯ピッチＲｐｎ（Ｒｐ０，Ｒｐ１，Ｒｐ２，Ｒｐ３，……，Ｒｐｎ）に合わせて中心０から外周側に向かって形成した時に、後述するように各台形状回折格子１２中の第２回折格子部１２ｅの傾斜面１２ｄへの切削角度をダイヤモンド工具の最大切削角度（例えば７５°）に設定した上で、底辺１２ａを高さ基準として各台形状回折格子１２の高さＨｎを、各輪帯領域ＲＺがそれぞれ要求する光透過率になるように各輪帯領域ＲＺごとに可変させて、フレネルレンズ１０上で図３中で実線を用いて示したような位置Ｘ２における凹型の光透過率分布が得られるように補正する構造及び方法について、図４〜図１３を用いて説明する。
【００４８】
図４は本発明に係るフレネルレンズにおいて、一つの輪帯領域内に形成した台形状回折格子の高さを説明するために拡大して示した図であり、（ａ）は参考例となる三角形状回折格子が直角三角形である場合の高さを示し、（ｂ）は参考例となる三角形状回折格子中の第２回折格子部に対してダイヤモンド工具の最大切削各角度を例えば７５°に設定した場合の高さを示し、（ｃ）は台形状回折格子の高さを示した図、
図５は本発明に係るフレネルレンズにおいて、一つの輪帯領域内に形成した台形状回折格子の高さと１次回折光回折効率との関係を示した図、
図６は本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径１５００μｍにおける輪帯ピッチ５．４μｍ内での三角形状回折格子の高さを示した図、
図７は本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径１５００μｍにおける輪帯ピッチ５．４μｍ内での三角形状回折格子の回折光強度を示した図、
図８は本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径１０００μｍにおける輪帯ピッチ８．０μｍ内での台形状回折格子の高さを示した図、
図９は本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径１０００μｍにおける輪帯ピッチ８．０μｍ内での台形状回折格子の回折光強度を示した図、
図１０は本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径５００μｍにおける輪帯ピッチ１６．１μｍ内での台形状回折格子の高さを示した図、
図１１は本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径５００μｍにおける輪帯ピッチ１６．１μｍ内での台形状回折格子の回折光強度を示した図、
図１２は本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径０μｍ近傍における輪帯ピッチ１２６．５μｍ内での台形状回折格子の高さを示した図、
図１３は本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径０μｍ近傍における輪帯ピッチ１２６．５μｍ内での台形状回折格子の回折光強度を示した図である。
【００４９】
図４（ａ）〜（ｃ）中において、横軸に一つの輪帯ピッチＲｐｎを示し、縦軸に位相差λを示した場合、本発明に係るフレネルレンズ１０では、前述したように、一つの輪帯領域ＲＺｎ内に輪帯ピッチＲｐｎに合わせて台形状回折格子１２が形成されているが、図４（ａ）では上記した台形状回折格子１２に対して参考例となる三角形状回折格子（１１）が直角三角形である場合を示し、図４（ｂ）ではフレネルレンズ用の金型の製作性を考慮した参考例となる三角形状回折格子１１を示し、図４（ｃ）では図４（ｂ）に示した三角形状回折格子１１を略台形状に変形した台形状回折格子１２を示している。
【００５０】
まず、図４（ａ）に示したように、一つの輪帯ピッチＲｐｎ内に形成された三角形状回折格子（１１）が直角三角形である場合に、底辺１１ａから直角三角形の頂点までの高さＨは、一般的に下記の数４より求めることができる。
【数４】
2007011216.tif 000006
【００５１】
この数４中で、Ｈは直角三角形状の回折格子（１１）の高さ、λは光源の波長、ｄは回折次数で１以上の整数、ｋはフレネルレンズ１０の屈折率である。
【００５２】
上記した直角三角形状の回折格子（１１）中の第１回折格子部１１ｂは、１次回折構造の回折格子を使用しているので、λを０．４０μｍ、ｄを１、ｋを１．４６とすると、直角三角形状の回折格子（１１）の高さＨは０．８６９μｍとなり、この直角三角形状の回折格子（１１）の高さＨは入射光の１波長λ分の位相差を有することになり、且つ、直角三角形状の回折格子（１１）の１次回折光回折効率は１００％となる。
【００５３】
ところで、前述したように、フレネルレンズ１０をガラス材を用いて金型で成形する場合に、フレネルレンズ用の金型を作製するにあたって、ダイヤモンド工具の先端形状からの加工限界、あるいは成形時の型抜きを考慮し、直角三角形の９０°部分の角度を、図４（ｂ）に示したように９０°よりも小さい角度で例えば７５°にダイヤモンド工具の最大切削角度を設定する場合がある。
【００５４】
この場合に、三角形状回折格子１１中で底辺１１ａと第２回折格子部１１ｃとが成す角が例えば７５°となり、この時に最大回折効率が得られる三角形状回折格子１１の高さＨ’（＝Ｈｎ）は、底辺１１ａから第１，第２回折格子部１１ｂ，１１ｃが交わる頂点までの高さ、言い換えると、底辺１１ａを高さ基準とした時の三角形状回折格子１１の高さになり、この時の高さＨ’（＝Ｈｎ）は図４（ａ）で示した直角三角形の高さＨよりも当然低くなっている。この際、三角形状回折格子１１中の第２回折格子部１１ｃに対するダイヤモンド工具の切削角度が小さくなると、三角形状回折格子１１の高さＨ’（＝Ｈｎ）は低くなる。
【００５５】
また、図４（ｂ）に示した三角形状回折格子１１において、底辺１１ａと対向して外周側に向かって傾斜させた傾斜面を有する第１回折格子部１１ｂは、入射光に対して１次回折光のみを回折して、この１次回折光を光軸Ｋ（図１，図２）上で所定の集光位置に集光する機能を備えているものであり、一方、底辺１１ａと対向して内周側に向かって傾斜させた傾斜面を有する第２回折格子部１１ｃは、入射光に対して１次回折光以外の回折光を回折して第１回折格子１１とは異なる回折位置に回折する機能を備えているものである。
【００５６】
また、各輪帯領域ＲＺｎごとに輪帯ピッチＲｐｎの値を正規化して１．００と設定した場合に、図４（ａ）に示した直角三角形の回折格子（１１）では一つの輪帯ピッチＲｐｎ内に第１回折格子部１１ｂのみが占有している一方、図４（ｂ）に示した三角形状回折格子１１では一つの輪帯ピッチＲｐｎ内に第１回折格子部１１ｂと第２回折格子部１１ｃとが（１．００−α）：αの占有比率でそれぞれ占有しており、この時に、αは０から０．１以内の所定値に設定される。
【００５７】
そして、各輪帯領域ＲＺ内の１次回折光回折効率は、図４（ｂ）に示した三角形状回折格子１１の位相分布をフーリエ変換することによって算出されることが一般に行われていおり、第２回折格子部１１ｃへの最大切削角度を例えば７５°に設定した場合には、１次回折光回折効率が９１．９％となる。
【００５８】
次に、図４（ｂ）に示した三角形状回折格子１１を、図４（ｃ）に示したような略台形状の台形状回折格子１２に変形することが可能であり、本発明では三角形状回折格子１１を台形状回折格子１２に変形する技術的思想を採用して、各輪帯領域ＲＺ内に輪帯ピッチに合わせて形成した各台形状回折格子１２の高さＨｎを、各輪帯領域ＲＺがそれぞれ要求する光透過率になるように各輪帯領域ＲＺごとに可変させている。
【００５９】
即ち、図４（ｃ）に示した如く、一つの輪帯ピッチＲｐｎ内に形成した台形状回折格子１２は、１次回折光を回折する第１回折格子部１２ｂが外周側に向けて底辺１２ａに対してθ１傾斜した傾斜面（１２ｂ）を有し、且つ、１次回折光以外を回折する第２回折格子部１２ｅが底辺１２ａに平行な上辺１２ｃ及び内周側に向けて底辺１２ａに対してθ２傾斜した傾斜面１２ｄを有していると共に、底辺１２ａから上辺１２ｃまでの高さがＨｎに設定されている。
【００６０】
この際、台形状回折格子１２は、底辺１２ａと上辺１２ｃとが平行であり、高さＨｎが低いほど上辺１２ｃの長さが長くなり、各輪帯領域ＲＺごとに第２回折格子部１２ｅの高さＨｎ、即ち、台形状回折格子１２の高さＨｎを変化させることにより１次回折光回折効率を変化させることができる。
【００６１】
そして、各輪帯領域ＲＺ内の１次回折光回折効率も、図４（ｃ）に示した台形状回折格子１２の位相分布をフーリエ変換することによって算出されることが一般に行われており、この台形状回折格子１２の高さＨｎと１次回折光回折効率との関係を図５に示している。
【００６２】
この図５は台形状回折格子１２の第２回折格子部１２ｅの傾斜面１２ｄに対するダイヤモンド工具の最大切削角度を例えば７５．０°にした上で、横軸に台形状回折格子１２の高さＨｎの相対値を示し、縦軸に１次回折光回折効率（%）を示している。この際、図５中では、台形状回折格子１２の高さＨｎの相対値の最大値１．００が０．８３３μｍの高さに対応しているので、相対値を０．６５から１．００まで変化させる場合には台形状回折格子１２の高さＨｎを０．５４１μｍから０．８３３μｍまで変化させることになる。
【００６３】
この際、台形状回折格子１２の高さＨｎの相対値が１．００（０．８３３μｍ）の時には、先に図４（ｂ）を用いて説明した三角形状回折格子１１と１次回折光回折効率（%）が等しいので等価となり、言い換えると、台形状回折格子１２の上辺１２ｃの長さがゼロになった場合である。
【００６４】
一方、台形状回折格子１２の高さＨｎの相対値が１．００よりも小さい時には、上辺１２ｃの長さがゼロより大きくなるので、図４（ｃ）に示した台形状回折格子１２の形状になる。
【００６５】
この図５より、台形状回折格子１２の第２回折格子部１２ｅの傾斜面１２ｄに対するダイヤモンド工具の切削角度を例えば７５．０°に設定し、且つ、台形状回折格子１２の高さＨｎの相対値を０．６５，  ０．８０，  ０．９０，  １．００と変化させた時に、１次回折光回折効率は、それぞれ６１．６％，  ８４．３％，  ９０．８％，  ９１．９％となり、台形状回折格子１２の高さＨｎを変化させた場合に連続的に１次回折光回折効率を制御できることがわかる。
【００６６】
そして、図５のように、台形状回折格子１２の高さＨｎと１次回折光回折効率の関係をテーブルとして持つことにより、逆に、１次回折光回折効率、すなわちフレネルレンズ１０の必要な光透過率に対応して台形状回折格子１２の高さＨｎを求めることができる。
【００６７】
ここで、本発明に係るフレネルレンズ１０に対してレンズ半径が０μｍ，５００μｍ，１０００μｍ，１５００μｍで必要な光透過率は、前述したように、それぞれ７７．５％，  ７９．５％，  ８６．１％，  １００％であるが、フレネルレンズ用の金型製作の容易性、型抜きの容易性を考慮した場合に、上記したレンズ半径１５００μｍにおける輪帯ピッチ５．４μｍの場合でダイヤモンド工具の最大切削角度を例えば７５°に設定した時に得られた１次回折光回折効率９１．９％を基準の補正値に設定して、レンズ半径が０μｍ，５００μｍ，１０００μｍでもレンズ半径１５００μｍの場合を基準にして補正し、即ち、レンズ半径が０μｍ，５００μｍ，１０００μｍ，１５００μｍで必要な光透過率７７．５％，  ７９．５％，  ８６．１％，  １００％に対して補正値０．９１９をかけて補正し、それぞれ、７１．２％，  ７３．０％，７９．１％，  ９１．９％を必要な補正光透過率としても、フレネルレンズ１０（図１）に対して目的である光透過量の光量分布への均一化を図ることができる。
【００６８】
以下、上記のように補正した場合に、一つの輪帯領域ＲＺｎのレンズ半径Ｒｎと対応した輪帯ピッチＲｐｎ内で台形状回折格子１２の高さＨｎを求める具体例について順を追って説明する。
【００６９】
まず、図６に示した如く、フレネルレンズ１０（図１）の光学基板ＯＢＰ上において、前述したように、レンズ最外周部に位置する輪帯領域ＲＺ１４０と対応したレンズ半径１５００μｍにおける輪帯ピッチＲｐ１４０は５．４μｍであり、この輪帯ピッチＲｐ１４０内では、フレネルレンズ１０に対して要求される光透過率はこれと等価である１次回折光回折効率が１００％となるものの、フレネルレンズ用の金型を作製する時に金型作製を容易にするために輪帯ピッチＲｐ１４０内でダイヤモンド工具の最大切削角度を例えば７５°に設定すると、前述したように補正した後の１次回折光回折効率は９１．９％となる。
【００７０】
上記から、レンズ半径１５００μｍにおける輪帯ピッチＲｐ１４０内でダイヤモンド工具の最大切削角度を例えば７５°に設定した場合に、必要な補正光透過率は前述したように９１．９％であるので、図５に示した特性曲線中の１次回折光回折効率９１．９％の値から台形状回折格子の高さＨｎが相対値で１．００であると読み取れ、且つ、この相対値１．００に対して台形状回折格子の高さＨｎは０．８３３μｍであるものの、この場合に先の図４（ｂ）を用いて説明したように１次回折光回折効率が９１．９％になる場合に三角形状回折格子１１の形状となるために、台形状回折格子１２の上辺１２ｃの長さがゼロとみなせば良い。
【００７１】
従って、レンズ半径１５００μｍにおける輪帯ピッチＲｐ１４０内で９１．９％の１次回折光回折効率が得られる三角形状回折格子１１の形状は、底辺１１ａの長さが５．４μｍであり、底辺１１ａと第１回折格子部１１ｂとの成す角が９．１°であり、底辺１１ａと第２回折格子部１１ｃとの成す角はダイヤモンド工具の最大切削角度７５°であり、底辺１１ａから第１，第２回折格子部１１ｂ，１１ｃが交差する頂点までの高さは０．８３３μｍとなる。
【００７２】
この時、５．４μｍの輪帯ピッチＲｐ１４０に対して第１回折格子部１１ｂの占有比率が０．９５９、第２回折格子部１１ｃの占有比率が０．０４１と算出され、即ち、前記したαの値が０．０４１となる。
【００７３】
この際、レンズ半径１５００μｍにおける輪帯ピッチ５．４μｍ内での回折次数における回折光強度を図７に示す。図７中で横軸は−９次から＋９次までの次数を示し、縦軸は最大値を２５５として規格化された回折光強度を示す。この図７から明らかなように、回折光の９１．９％がレンズ集光を担う＋１次の次数に集中している。
【００７４】
次に、図８に示した如く、フレネルレンズ１０（図１）の光学基板ＯＢＰ上において、前述したように、輪帯領域ＲＺ６２と対応したレンズ半径１０００μｍにおける輪帯ピッチＲｐ６２は８．０μｍであり、且つ、輪帯領域ＲＺ６２内で要求される台形状回折格子１２の必要な補正光透過率は前述したように７９．１％である。この場合、図５に示した特性曲線中の１次回折光回折効率７９．１％の値から台形状回折格子１２の高さＨｎが相対値で略０．７６であると読み取れるので、この相対値略０．７６に対応して台形状回折格子１２の高さＨｎは０．６３３μｍである。
【００７５】
従って、レンズ半径１０００μｍにおける輪帯ピッチＲｐ６２内で７９．１％の１次回折光回折効率が得られる台形状回折格子１２の形状は、底辺１２ａの長さが８．０μｍであり、底辺１２ａと第１回折格子部１２ｂとの成す角が６．２°であり、底辺１２ａと第２回折格子部１２ｅの傾斜面１２ｄとの成す角はダイヤモンド工具の最大切削角度７５°であり、底辺１２ａから上辺１２ｃまでの高さは０．６３３μｍとなる。
【００７６】
この際、レンズ半径１０００μｍにおける輪帯ピッチ８．０μｍ内での回折次数における回折光強度を図９に示す。この図９で明らかなように、メインの＋１次の回折光の他に、０次、＋２次、＋３次、及び、−１次、−２次、−３次の高次光が僅かに存在し、これらが、集光位置とは異なる方向に入射光を回折し、輪帯ピッチ８．０μｍ内での光透過率を下げている。
【００７７】
次に、図１０に示した如く、フレネルレンズ１０（図１）の光学基板ＯＢＰ上において、前述したように、輪帯領域ＲＺ１５と対応したレンズ半径５００μｍにおける輪帯ピッチＲｐ１５は１６．１μｍであり、且つ、輪帯領域ＲＺ１５内で要求される台形状回折格子１２の必要な補正光透過率は前述したように７３．０％である。この場合、図５に示した特性曲線中の１次回折光回折効率７３．０％の値から台形状回折格子１２の高さＨｎが相対値で略０．７１であると読み取れるので、この相対値略０．７１に対応して台形状回折格子１２の高さＨｎは０．５９２μｍである。
【００７８】
従って、レンズ半径５００μｍにおける輪帯ピッチＲｐ１５内で７３．０％の１次回折光回折効率が得られる台形状回折格子１２の形状は、底辺１２ａの長さが１６．１μｍであり、底辺１２ａと第１回折格子部１２ｂとの成す角が３．１°であり、底辺１２ａと第２回折格子部１２ｅの傾斜面１２ｄとの成す角はダイヤモンド工具の最大切削角度７５°であり、底辺１２ａから上辺１２ｃまでの高さは０．５９２μｍとなる。
【００７９】
この際、レンズ半径５００μｍにおける輪帯ピッチ１６．１μｍ内での回折次数における回折光強度を図１１に示す。この図１１で明らかなように、メインの＋１次の回折光の他に、０次、＋２次、＋３次、及び、−１次、−２次、−３次の高次光が図９の場合よりも多く存在し、これらが、集光位置とは異なる方向に入射光を回折し、輪帯ピッチ１６．１μｍ内での光透過率を下げている。
【００８０】
次に、図１２に示した如く、フレネルレンズ１０（図１）の光学基板ＯＢＰ上において、前述したように、輪帯領域ＲＺ０と対応したレンズ半径０μｍ近傍における輪帯ピッチＲｐ０は１２６．５μｍであり、且つ、輪帯領域ＲＺ０内で要求される台形状回折格子１２の必要な補正光透過率は前述したように７１．２％である。この場合、図５に示した特性曲線中の１次回折光回折効率７１．２％の値から台形状回折格子１２の高さＨｎが相対値で略０．７０１であると読み取れるので、この相対値略０．７０１に対応して台形状回折格子１２の高さＨｎは０．５８４μｍである。
【００８１】
従って、レンズ半径０μｍ近傍における輪帯ピッチＲｐ０内で７１．２％の１次回折光回折効率が得られる台形状回折格子１２の形状は、底辺１２ａの長さが１２６．５μｍであり、底辺１２ａと第１回折格子部１２ｂとの成す角が０．４°であり、底辺１２ａと第２回折格子部１２ｅの傾斜面１２ｄとの成す角をダイヤモンド工具の最大切削角度７５°に設定しても良いが、このレンズ中心部では第２回折格子部１２の傾斜面１２ｄによる位相折り返しポイント面を削除しても光透過率の性能に影響を与えないために、レンズ中心部を中心にして左右の上辺１２ｃを平坦に接続することで第２回折格子部１２の傾斜面１２ｄの角度を底辺１２ａに対して仮想的に直角（９０°）に設定していると共に、底辺１２ａから上辺１２ｃまでの高さは０．５８４μｍとなる。
【００８２】
上記により、フレネルレンズ用の金型を作製する時に、レンズ中心部では第２回折格子部１２ｅの傾斜面１２ｄによる位相折り返しポイント面が削除されているために、第２回折格子部１２ｅの傾斜面１２ｄに対するダイヤモンド工具の切削角度は存在せず、これに伴って第２回折格子部１２ｅの傾斜面１２ｄを切削加工することなく、第１回折格子部１２ｂの傾斜面（１２ｂ）と第２回折格子部１２ｅの上辺１２ｃとを切削加工すれば良いので、レンズ中心部での台形状回折格子１２を容易に作製できる。
【００８３】
この際、レンズ半径０μｍ近傍における輪帯ピッチ１２６．５μｍ内での回折次数における回折光強度を図１３に示す。この図１３で明らかなように、メインの＋１次の回折光の他に、０次、＋２次、＋３次、及び、−１、−２次、−３次の高次光が図１１の場合よりも僅かに多く存在し、これらが、集光位置とは異なる方向に入射光を回折し、輪帯ピッチ１２６．５μｍ内での光透過率を下げている。
【００８４】
以上のように、全ての輪帯領域ＲＺｎ（但し、ｎ＝０〜１４０）に対応してレンズ半径Ｒｎ及び輪帯ピッチＲｐｎを求めて、各輪帯領域ＲＺｎ内で各輪帯ピッチＲｐｎに対応して形成した各台形状回折格１２の必要な光透過率（補正光透過率）を求め、各台形状回折格１２の高さＨｎを各輪帯ピッチＲｐｎごとに求めれば良い。
【００８５】
上述したように、本発明に係るフレネルレンズ１０では、各輪帯領域ＲＺｎと対応した各輪帯ピッチＲｐｎ内に各台形状回折格子１２を各輪帯ピッチＲｐｎに合わせて形成した際、各台形状回折格子１２中の第２回折格子部１２ｅの傾斜面１２ｄへの切削角度をダイヤモンド工具の最大切削角度（例えば７５°）に設定した上で、底辺１２ａを高さ基準として各台形状回折格子１２の高さＨｎを、各輪帯領域ＲＺｎがそれぞれ要求する光透過率になるように各輪帯領域ＲＺｎごとに可変させているので、本発明に係るフレネルレンズ１０を例えば光ピックアップに適用した時に、フレネルレンズ１０に入射する入射光に光量分布があっても、入射光に対して光量分布を均一に補正して、この入射光を所定の集光位置に集光さることができるので、これにより劣化のない集光スポットを得ることができる。
【００８６】
尚、上記した実施例では、台形状回折格子１２中の第１回折格子部１２ｂに、１次回折構造を使用しているが、この回折次数に限定されるものでなく、２次、３次等、より高次な回折構造でも同様な機能を備えることができる。
【００８７】
また、本発明に係るフレネルレンズ１０の用途は、実施例で挙げた、入射光の光強度分布を均一化するのみでなく、組み合わせられる光学系の特性に合わせて、任意な光透過率を設定し、任意な光透過光量分布を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】（ａ），（ｂ）は本発明に係るフレネルレンズを示した上面図，縦断面図である。
【図２】本発明に係るフレネルレンズを使用した時に、光学系の光路を説明するための図である。
【図３】本発明に係るフレネルレンズを使用した時に、光学系の光強度分布及び光透過率を図２中の位置Ｘ１〜Ｘ３に対応して示した図である。
【図４】本発明に係るフレネルレンズにおいて、一つの輪帯領域内に形成した台形状回折格子の高さを説明するために拡大して示した図であり、（ａ）は参考例となる三角形状回折格子が直角三角形である場合の高さを示し、（ｂ）は参考例となる三角形状回折格子中の第２回折格子部に対してダイヤモンド工具の最大切削各角度を例えば７５°に設定した場合の高さを示し、（ｃ）は台形状回折格子の高さを示した図である。
【図５】本発明に係るフレネルレンズにおいて、一つの輪帯領域内に形成した台形状回折格子の高さと１次回折光回折効率との関係を示した図である。
【図６】本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径１５００μｍにおける輪帯ピッチ５．４μｍ内での三角形状回折格子の高さを示した図である。
【図７】本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径１５００μｍにおける輪帯ピッチ５．４μｍ内での三角形状回折格子の回折光強度を示した図である。
【図８】本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径１０００μｍにおける輪帯ピッチ８．０μｍ内での台形状回折格子の高さを示した図である。
【図９】本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径１０００μｍにおける輪帯ピッチ８．０μｍ内での台形状回折格子の回折光強度を示した図である。
【図１０】本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径５００μｍにおける輪帯ピッチ１６．１μｍ内での台形状回折格子の高さを示した図である。
【図１１】本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径５００μｍにおける輪帯ピッチ１６．１μｍ内での台形状回折格子の回折光強度を示した図である。
【図１２】本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径０μｍ近傍における輪帯ピッチ１２６．５μｍ内での台形状回折格子の高さを示した図である。
【図１３】本発明に係るフレネルレンズにおいて、レンズ半径０μｍ近傍における輪帯ピッチ１２６．５μｍ内での台形状回折格子の回折光強度を示した図である。
【図１４】（ａ），（ｂ）は従来例として直角三角形状の回折格子を有するフレネルレンズを示した平面図，縦断面図である。
【図１５】図１４に示した従来のフレネルレンズを金型により成形する際に、フレネルレンズ用の金型をダイヤモンド工具により切削加工して作製する状態を模式的に示した縦断面図である。
【図１６】従来のフレネルレンズに、中央部の光束は光強度が強く、且つ、外周部の光束は光強度が弱いレーザー光を入射させた状態を模式的に示した図である。
【符号の説明】
【００８９】
１０…本発明に係るフレネルレンズ、
１１…三角形状回折格子、
１１ａ…底辺、１１ｂ…第１回折格子部、１１ｃ…第２回折格子部、
１２…台形状回折格子、１２ａ…底辺、
１２ｂ…第１回折格子部（第１回折格子部の傾斜面）、
１２ｃ…第２回折格子部の上辺、１２ｄ…第２回折格子部の傾斜面、
１２ｅ…第２回折格子部、
ＯＢＰ…光学基板、０…光学基板の中心、
Ｋ…光軸、Ｌ…入射光（レーザー光）、
ＲＺ（ＲＺ０，ＲＺ１，ＲＺ２，ＲＺ３，……，ＲＺｎ）…輪帯領域、
Ｒｎ（Ｒ０，Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，……，Ｒｎ）…レンズ半径、
Ｒｐｎ（Ｒｐ０，Ｒｐ１，Ｒｐ２，Ｒｐ３，……，Ｒｐｎ）…輪帯ピッチ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2007011216.tif 000021
【図１６】
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