(57)【要約】【課題】  地磁気に対して効率の良いシールドを行う磁気シールドルームを提供する。【解決手段】  Ｃｏ基非晶質合金積層部材を主体とする磁気シールド部材で囲み磁気シールド空間を画定する磁気シールドルームであって、前記磁気シールド部材の突合せ端部同士に跨るように軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板を配置し、各磁気シールド部材のＣｏ基非晶質合金積層部材の突合せ端部を樹脂フィルムを介して挟持するように、軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板とを貫通する非磁性ボルト部材により締め付けるものとした磁気シールドルーム。【選択図】図１
2007329150.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｃｏ基非晶質合金積層部材を主体とする磁気シールド部材で囲み磁気シールド空間を画定する磁気シールドルームであって、前記磁気シールド部材の突合せ端部同士に跨るように、少なくとも一対の軟磁性材ジョイント板を配置し、各磁気シールド部材のＣｏ基非晶質合金積層部材の突合せ端部を樹脂フィルムを介して挟持するように前記一対の軟磁性材ジョイント板を締め付けることを特徴とする磁気シールドルーム。
【請求項２】
前記Ｃｏ基非晶質合金積層部材が、Ｃｏ基非晶質合金リボン形状材を平織した編成磁気シールド材を重ね合わせたものであり、前記樹脂フィルムによりラップ処理してあることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルーム。
【請求項３】
前記Ｃｏ基非晶質合金積層部材が、Ｃｏ基非晶質合金リボン形状材の複数枚をリボン幅方向に突合せて平面状に敷き詰め、かつ、板厚方向にこれらを積み重ねてなるものであり、前記樹脂フィルムによりラップ処理してあることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルーム。
【請求項４】
請求項１において、前記Ｃｏ基非晶質合金の保磁力（Ｈc）が０．４Ａ／ｍ以下、飽和磁歪定数が１０のマイナス６乗以下、直流最大透磁率を１０，０００以上とする磁気シールドルーム。
【請求項５】
前記Ｃｏ基非晶質合金の合金成分が、組成式：（Ｃｏ1-x-y-zＦｅxＭｎyＮｉz）100-a-b-cＭaＳｉbＢc［ただし、Ｍは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｙ、希土類元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素］で表され、かつ、xが０〜０．１、yが０〜０．１、zが０〜０．２、aが０〜６、bが８〜１８、cが７〜１８、(ｂ＋ｃ)が１８〜３０である請求項1記載の磁気シールドルーム。
【請求項６】
前記一対の軟磁性材ジョイント板が軟磁性材ジョイント外板と前記軟磁性材ジョイント内板であり、各軟磁性材ジョイント板がＣｏ基非晶質合金積層部材と補強板との積層板である請求項1記載の磁気シールドルーム。
【請求項７】
前記補強板が、非磁性ステンレス板である請求項６記載の磁気シールドルーム。
【請求項８】
前記Ｃｏ基非晶質合金を最高温度が３００℃乃至４８０℃となる熱処理を施したものとする請求項１記載の磁気シールドルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、診断に使用する為に心臓や脳から発生する微弱磁場を計測する生体磁場計測装置や各種の理化学機器、或いは電子ビームを使用する半導体加工装置を設置する磁気シールドルームに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＳＱＵＩＤ等により人体から発生する微弱磁場を計測する生体磁場計測装置では、検出磁場強度は１０のマイナス１０乗テスラ（Ｔ）程度の弱いものであるために、３０マイクロテスラ（μＴ）程度の地磁気は大きな障害となる。このために、地磁気を最低限でも５０ｄＢ減衰させるような磁気シールドルームが必要とされている。これに必要とする磁気シールド材としては、Ｆｅ−Ｎｉ合金である高透磁率のパーマロイ板やケイ素鋼板、或いは、結晶粒の大きさが１００ｎｍ以下の超微細結晶組織を持つ軟磁性合金の薄膜とポリマーシートとを積み重ねて接着した磁性積層材が提案されている。
【０００３】
磁気シールドルームの基本構造の一例としては、アルミニウム等で構成する箱型の構造フレームに、壁材や床材として高透磁率のＦｅ−Ｎｉ合金(パーマロイ)板やケイ素鋼板を磁気シールド部材として使用し、これらの隙間を塞ぐように当て板をボルト等で固定して磁気シールド空間を画定しているもの（例えば、特許文献１参照）がある。また、パーマロイ板に代えて結晶粒の大きさが１００ｎｍ以下の超微細結晶組織を持つ軟磁性合金の薄膜とポリマーシートとを積み重ねて接着した磁気シールドシート材を磁気シールド部材として用いることも提案されている（例えば、特許文献２参照）。また、磁気シールドルームとは相違点が多い電波シールドルームのジョイント構造について、特許文献３に記載がある。
【特許文献１】特開平２００３−０５６０９５号公報（請求項１、図1〜図５）
【特許文献２】特開２０００−０７７８９０号公報（第３頁、図６）
【特許文献３】特開２００４−１００２４２号公報（請求項１、図1〜図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示される磁気シールドルームでは、磁気シールド部材として高透磁率のパーマロイ板を用い、磁気シールドすべき空間を一重または多重に囲む構造をとっている。この場合、パーマロイ板は約１ｍｍ程度の厚さが必要とされ、磁気シールドルームの組み立て構造に合わせて、切断、折り曲げなどの部品加工を行う。しかし、パーマロイ板は、部品加工の際に加わる外力のために機械的強度には影響がないものの、磁気特性が極端に劣化すると言う欠点がある。また、据付後、地震等による外力が磁気シールドルームに加わった場合にもパーマロイ板の磁気特性は大幅に低下する。また、パーマロイ板を用いた磁気シールドルームは、使用するパーマロイの板厚が約１ｍｍ以上必要であり、２ｍ×２ｍ×２ｍ程度の大きさの磁気シールドルームでも数百Ｋｇ以上の重量に達してしまう。更に、磁気シールド率を高めるためには、パーマロイ板の一重包囲ルーム構造では十分でなく多重包囲ルーム構造が必要であり、この場合には、磁気シールドルームは１トン以上もの重量にもなってしまい、磁気シールドルームの病院内での移動等に困難を生ずるという問題がある。一方、特許文献２に開示される磁気シールドルームでは、磁気シールド部材としてパーマロイ板に代えて結晶粒の大きさが１００ｎｍ以下の超微細結晶組織を持つ軟磁性合金の薄膜とポリマーシートとを積み重ねて接着した磁気シールドシート材が用いられる。この場合には、パーマロイ板と異なり多少の外力が加わっても磁気特性が劣化することは無いが、超微細結晶組織を持つ合金部分は機械的強度が弱く外力により容易に破断してしまう。地震等があった場合には、外見上は影響がないように見えても内部の超微細結晶組織を持つ合金部分には機械的破壊が生ずることがある。
【０００５】
従って、本発明の目的は、上記課題を解決し、外力に強く軽量であり、かつ、３０マイクロテスラ（μＴ）程度の地磁気を効果的にシールドするために用いることが出来る磁気シールドルームを提供することである。特に、磁気シールド空間を画定する磁気シールド部材のジョイト構造を改善した磁気シールドルームを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための技術的手段として、Ｃｏ基非晶質合金積層部材を主体とする磁気シールド部材で囲み磁気シールド空間を画定する磁気シールドルームであって、前記磁気シールド部材の突合せ端部同士に跨るように、少なくとも一対の軟磁性材ジョイント板を配置し、各磁気シールド部材のＣｏ基非晶質合金積層部材の突合せ端部を樹脂フィルムを介して挟持するように前記一対の軟磁性材ジョイント板を締め付けることを特徴とする磁気シールドルームを提案する。
【０００７】
好ましくは、前記Ｃｏ基非晶質合金積層部材が、Ｃｏ基非晶質合金リボン形状材を平織した編成磁気シールド材を重ね合わせたものであり、前記樹脂フィルムによりラップ処理してあるものを使用する。
【０００８】
前記Ｃｏ基非晶質合金積層部材を、Ｃｏ基非晶質合金リボン形状材の複数枚をリボン幅方向に突合せて平面状に敷き詰め、かつ、板厚方向にこれらを積み重ねてなるものであり、前記樹脂フィルムによりラップ処理してあるものとすることができる。
【０００９】
前記Ｃｏ基非晶質合金の保磁力（Ｈc）は０．４Ａ／ｍ以下、飽和磁歪定数が１０のマイナス６乗以下、直流最大透磁率を１０，０００以上とすることが好ましい。
【００１０】
好ましくは、前記Ｃｏ基非晶質合金の合金成分が、組成式：（Ｃｏ1-x-y-zＦｅxＭｎyＮｉz）100-a-b-cＭaＳｉbＢc［ただし、Ｍは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｙ、希土類元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素］で表され、かつ、xが０〜０．１、yが０〜０．１、zが０〜０．２、aが０〜６、bが８〜１８、cが７〜１８、(ｂ＋ｃ)が１８〜３０である。
【００１１】
前記一対の軟磁性材ジョイント板が軟磁性材ジョイント外板と前記軟磁性材ジョイント内板であり、各軟磁性材ジョイント板がＣｏ基非晶質合金積層部材と補強板との積層板であることが好ましい。この場合、前記補強板が、非磁性ステンレス板であることが好ましい。
【００１２】
前記Ｃｏ基非晶質合金を最高温度が３００℃乃至４８０℃となる熱処理を施したものとすることが好ましい。
【００１３】
前記磁気シールド部材としては、Ｃｏ基非晶質合金リボン形状材を平織した編成磁気シールド材を重ねて合わせラップ(ＷＲＡＰ)処理したものが好ましいが、具体的には、例えば、一方のリボン形状Ｃｏ基非晶質合金基材を経糸のように用い、他方のリボン形状Ｃｏ基非晶質合金基材を緯糸のように用いて実質的に隙間の無いように平織した編成磁気シールド材の複数枚を積層し、その積層方向に圧力を加えた状態で最高温度が３００℃乃至〜４８０℃になる熱処理をして磁性積層体とした後に、その両面に各々樹脂シートをかぶせ、相対向する二縁において前記磁気積層体の縁から延出せしめ、当該延出部のシート同士を接合することによりラップ処理をする。このラップ処理により平織した編成磁気シールド材の積層体は、樹脂シートで両面から挟持されることになる。ラップ処理に用いるシートとしては、ＰＥＴ(ポリエチレンテレフタレート)樹脂シートなどを使用することができる。樹脂のシート同士を接合するやり方としては、接着剤による接合でも良いし、加熱圧着するなど、色々の手段を採る事が出来る。
【００１４】
本発明の磁気シールドルームでは、Ｃｏ基非晶質合金積層部材を主体とする磁気シールド部材で囲み磁気シールド空間を画定するので、超微細結晶組織を持つ合金を使用する場合とは相違して、多少の外力が加わっても合金の機械的強度が大きく、破断するようなことは殆どない。地震等があった場合にも、磁気シールドの役割を担う非晶質合金部分に機械的破壊が生ずることは殆どない。
【００１５】
本発明に基づく磁気シールド部材のジョイント構造については、例えば、磁気シールド部材の突合せ端部同士に跨るように軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板を配置し、各々磁気シールド部材のＣｏ基非晶質合金積層部材の突合せ端部を樹脂フィルムを介して挟持するように、軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板とを貫通する非磁性ボルト部材により締め付ける。このようにすることにより、非磁性ボルト部材により締め付けを行っても、樹脂フィルムが緩衝材となりＣｏ基非晶質合金積層部材が破損することが防止される。この樹脂フィルムとしてはラップ処理で使用した樹脂フィルムをそのまま使用できる。また、軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板とを非磁性ボルト部材で貫通し締め付けるものであるので、各磁気シールド部材に配置されているＣｏ基非晶質合金積層部材については、ボルト穴を穿つ必要が無く、ボルト穴形成によりしばしば発生するＣｏ基非晶質合金積層部材破損の心配はなくなる。
【００１６】
軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板とについては、パーマロイ板を使用することも出来るが、磁気シールド特性、軽量化の点から、熱処理前に穿孔処理してあるＣｏ基非晶質合金積層部材と非磁性補強板との積層板とすることが好ましい。
【００１７】
非磁性補強板としては、非磁性ステンレス板或いはアルミニウム板を使用できるが、機械強度が強い非磁性ステンレス板を使用することが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の磁気シールドルームは、機械的強度に優れ、軽量であり、磁気シールド特性にも優れ、３０マイクロテスラ（μＴ）程度の地磁気を最低限５０ｄＢ減衰させることができる。地震等の外力が加わった場合でもＣｏ基非晶質合金積層部材の磁気特性の劣化は殆ど発生することが無い。磁気シールド部材の突合せ端部同士に跨るように軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板を配置し、各磁気シールド部材のＣｏ基非晶質合金積層部材の突合せ端部を樹脂フィルムを介して挟持するようにし、軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板とを貫通する非磁性ボルト部材によりネジ締め付けをするものであるので、樹脂フィルムが緩衝材となりＣｏ基非晶質合金積層部材の破損が防止される。また、各磁気シールド部材に配置されているＣｏ基非晶質合金積層部材については、ボルト穴を穿つ必要が無い。軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板の両方が磁束の導通をするので、磁性シールド部材の突合せ部での磁気抵抗が小さく磁気シールド効果が大きい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の特色のひとつは、３０マイクロテスラ（μＴ）程度の地磁気をシールドするための磁性材料としてＣｏ基非晶質合金を用いることである。磁気をシールドするための磁性材料としては、ケイ素鋼板、パーマロイ、Ｆｅ基非晶質合金、Ｃｏ基非晶質合金、結晶粒の大きさが１００ｎｍ以下の超微細結晶組織を持つ軟磁性Ｆｅ基合金、結晶粒の大きさが１００ｎｍ以下の超微細結晶組織を持つ軟磁性Ｃｏ基合金などがあるが、ケイ素鋼板やＦｅ基非晶質合金は、１ｋＨｚ以下の低周波の磁気或いは静磁気をシールドするには、透磁率が小さ過ぎるためにかなり肉厚の大きい板とする必要があり、このために重量が大きくなりすぎて実用的ではない。
【００２０】
結晶粒の大きさが１００ｎｍ以下の超微細結晶組織を持つ軟磁性合金の透磁率は、ケイ素鋼板やＦｅ基非晶質合金に比べるとかなり大きく、１ｋＨｚ以下の低周波の磁気或いは静磁気をシールドする磁気特性の面では好ましい材料であるが、非晶質合金薄帯を結晶化して作成するために、結晶化温度に近い温度での熱処理工程を経るため、超微細結晶組織を持つ合金は、機械的強度が比較的弱く外力によって容易に破断してしまう。地震等があった場合には、外見上は影響がないように見えても超微細結晶組織を持つ合金には材料の破断等が生ずる場合がある。
【００２１】
パーマロイは、加工の際に加わる外力のために磁気特性が極端に劣化し、また、地震等による外力が磁気シールドルームに加わった場合には、大幅に磁気特性が低下するという問題がある。磁気特性の劣化したパーマロイ板の特性を回復するには再度熱処理をするなどの手段を取る必要がある。また、パーマロイ板を用いた磁気シールドルームは、使用するパーマロイの板厚が約１ｍｍ以上必要であり２ｍ×２ｍ×２ｍ程度の大きさの磁気シールドルームでも場合によっては１トン以上の重量に達してしまうという問題がある。
【００２２】
心臓の健康状態をチェックするための心磁計を使用するような大容積の磁気シールドルームに使用する磁性積層体としては、大面積であり、かつ、必要な板厚を有するもの（例えば、３２０μｍ）が望まれるが、現在のところ、リボン形状のＣｏ基非晶質合金は、長尺（例えば３０，０００ｍ）ではあるが、リボン幅は最大で２００ｍｍ程度、板厚は最大で２０μｍ〜５０μｍ程度のものしか得られない。大面積であり、かつ、必要な板厚を有するＣｏ基非晶質合金積層部材とするためには、リボンを幅方向に多数並べ幅方向端部同士を接合し大面積の薄板とした上で、これら薄板を多層に重畳し樹脂等で層間を接着する等の工夫が必要になる。
【００２３】
別の手段としては、例えば、鋳造したまま、或いは熱処理したＣｏ基非晶質合金の長尺リボンのスプールを使用して実質的に隙間無く平織すれば、リボン厚の約２倍の厚みを有し、幅は望むまま広く、かつ、長尺（例えば３０，０００ｍ）の編成磁気シールド材を得る。通常の布織機と同様の原理による専用織機により、効率良く編成磁気シールド材を生産することが出来る。Ｃｏ基非晶質合金の弾性は熱処理前の方が大きいので、専用織機により、編成磁気シールド材とした後に、トレー上で積層して熱処理(通常は、３００℃〜４８０℃で、１〜２時間加熱する)をすることが良い。熱処理後は、得られた積層体を樹脂等のシートによりラップ（ＷＲＡＰ）して、シートの延出部を熱圧着などする。これら作業を連続して行うことにより長尺の磁気シールド部材を製造できる。磁気シールドルームの施工に際しては、長尺の磁気シールド部材を切断して用いることができる。熱処理を実施することにより、Ｃｏ基非晶質合金の直流最大透磁率を一段と高め、磁気シールド性能を一段と高めることができる。
【００２４】
磁気シールドの効率を高めるために、平織する際に、リボンを複数枚重ねたものを一方の経糸のように用い、同様にリボンの複数枚を重ねたものを他方の緯糸のように用いて実質的に隙間の無いように平織することにより、板厚がリボン板厚の約４倍以上の編成磁気シールド部材を得ることも出来る。このようにして作成した編成磁気シールド材を板厚方向へ積層することによりリボン板厚の１０倍〜６０倍もの板厚を有する磁性積層体を容易に得ることができる。熱処理後、この磁性積層体の両面に直接或いはＡｌ板などを介して間接に樹脂シートなどを各々配置し、例えば、幅方向の少なくとも相対向する二縁において前記積層体の縁から延出せしめ、当該延出部のシート同士を部分的或いは全面的に接合し磁気シールド部材とする。このような磁気シールド部材は、磁気シールドルームの壁材等に用いて十分な磁気シールド特性を持つ。磁気シールド部材同士をジョイントする場合には、磁気シールド部材の突合せ端部同士に跨るように軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板を配置し、各磁気シールド部材にラップしてあるＣｏ基非晶質合金積層部材の突合せ端部をラップ処理に使用した樹脂フィルムを介して挟持するように、軟磁性材ジョイント外板と軟磁性材ジョイント内板とを貫通する非磁性ボルト部材により締め付けることによりジョイントできる。
【００２５】
磁性積層体としては、Ｃｏ基非晶質合金リボン材が１５層以上の多層構造となるようにすることが磁気シールド特性を十分なものとする為には好ましい。パーマロイの磁気シールド板と比較して、Ｃｏ基非晶質合金リボン材を重ね合わせて形成した本発明の磁性積層体は、軽量でありながらパーマロイの磁気シールド板以上の磁気シールド効果を発揮することができる。磁気シールド空間を画定するために磁性積層体を組み込んだ磁気シールド部材を壁材として多重に配置し、磁気シールド効果を最大限に発揮させる場合にも同様の事情である。アルミニウム等の軽量金属材を骨組部材として組み合わせて構成することにより、磁気シールドルーム全体の軽量化も図ることができる。
【００２６】
磁気シールド空間を画定する磁性積層体を壁材として多重に配置する場合には、これら壁間の間隙には、例えば、発泡スチロールを充当して磁気シールドルームの機械的強度を高め、更に、磁気シールドルーム内部空間の空調効率を高めることができる。壁材内に配置したＣｏ基非晶質合金リボン材の合計積層数を、３０層以上とすることにより、容易に、３０マイクロテスラ（μＴ）程度の地磁気を最低限５０ｄＢ減衰させることができる。さらに高いシールドの効率（性能）が要求される脳磁計測装置等に必要な磁気シールドルームでは、さらに積層数を増やして３０層よりも多くすることや、３重以上の多重シールド配置とすることで、必要なシールドの効率（性能）を得ることが可能であり、このような方法は、本発明を利用することにより可能である。
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について図面に基づいて更に説明する。
図１は、本発明による磁気シールドルームの磁気シールド部材のジョイント部を示す一部断面斜視模式図であり、熱処理を施したＣｏ基非晶質合金積層部材１１を樹脂フィルム１２でラップ処理した磁気シールド部材１及び磁気シールド部材１０の突合せ端部の上面及び下面に軟磁性パーマロイ合金製ジョイント外板４１及び軟磁性パーマロイ合金製ジョイント内板４２を配置し、非磁性ステンレスボルト３１と非磁性ステンレスナット３２を螺旋することにより、磁気シールド部材１と磁気シールド部材１０とを外板４１と内板４２とで締め付けて挟持する。Ｃｏ基非晶質合金積層部材１１と非磁性ステンレスボルト３１或いは非磁性ステンレスナット３２との間にはラップ処理に使用した樹脂フィルム１２を介在させているので、熱処理により若干強度低下しているＣｏ基非晶質合金積層部材１１がナット３２やボルト３１などの螺子部品の締め付けにより発生する機械的応力により破壊されることを防止出来る。このようにジョイントした磁気シールド部材を壁、床、天井材として貼りめぐらして、磁気シールド空間を形成する。これら磁気シールド部材のジョイントに非磁性ステンレスボルトや非磁性ステンレスナットを使用することにより磁気シールド部材のジョイント部での磁気漏洩を防止し、一方ジョイント内板とジョイント外板にパーマロイ合金など軟磁性材料を使用することによりジョイント部での磁気抵抗を減少せしめ磁気シールド効果を高めることができる。
【００２８】
図２は、本発明による磁気シールドルームの磁気シールド部材が直角交差するジョイント部を示す断面模式図であり、熱処理を施したＣｏ基非晶質合金積層部材５２，６２を樹脂フィルム５５，６５でラップ処理した磁気シールド部材５及び磁気シールド部材６の突合せ端部の外面及び内面に軟磁性ジョイント外板９０及び軟磁性ジョイント内板８０を配置し、非磁性ステンレスボルト３０１と非磁性ステンレスナット３０２を螺旋することにより、磁気シールド部材５と磁気シールド部材６とを外板９０と内板８０とで締め付けて挟持する。軟磁性ジョイント外板９０及び軟磁性ジョイント内板８０としては、Ｃｏ基非晶質合金積層部材８２，９２をパーマロイ合金補強板８３，８４等でサンドイッチする構造とした軟磁性材を使用してある。非磁性ステンレスボルト３０１或いは非磁性ステンレスナット３０２との間にはラップ処理に使用した樹脂フィルム５５，６５を介在させているので、熱処理により若干強度低下しているＣｏ基非晶質合金積層部材５２，６２がナット３０２やボルト３０１などの螺子部品の締め付けにより発生する機械的応力により破壊されることを防止出来る。このようにジョイントした磁気シールド部材をルームの角部に使用して、壁、床、天井材として貼りめぐらす磁気シールド部材と共に、磁気シールド空間を形成する。これら磁気シールド部材のジョイントに非磁性ステンレスボルトや非磁性ステンレスナットを使用することにより磁気シールド部材のジョイント部での磁気漏洩を防止し、一方ジョイント内板とジョイント外板としては、Ｃｏ基非晶質合金積層部材をパーマロイ合金や非磁性ステンレスなど補強板でサンドイッチして形成する軟磁性材料を使用することによりジョイント部での磁気抵抗を減少せしめ磁気シールド効果を高めることができる。
【００２９】
磁気シールド部材をアルミニウム製の軽量金属骨組部材に固定し、磁気シールドルーム用磁気シールドパネル部材を多数作成しておいて、磁気シールドルームの組み立て工程をより簡便化できる。磁気シールド部材を壁厚方向に二重に配置し、その間に、例えば、発泡スチロール板を充当することにより、重量を殆ど増加することなく磁気シールドパネルの機械的強度を高めると共に断熱効果を高めることができ、更に磁気シールド効果を一段と高めることができる。磁気シールド部材を二重に配置する場合、その壁厚方向の間隙は、好ましくは１０ｍｍ〜２００ｍｍとすることにより、磁気シールドの効率を著しく高めることができる。
【００３０】
これら磁気シールド部材により磁気シールド空間を画定し、内周壁は化粧材で仕上げをすることが好ましい。本発明を利用した磁気シールドルームは、通常の家屋のようにアルミニウムの軽量金属材の骨組部材でルーム骨格を形成した後、この骨格に磁気シールド部材を張り合わせるような工法でも形成できる。
【００３１】
このようにして形成した磁気シールドルームの磁気シールド空間に心磁計や脳磁計を設置して心臓や脳から発生する磁場をＳＱＵＩＤを使用して測定し、心臓や脳に流れる電流の分布を画像として捉える等の手段により、生体の健康状態を把握することができる。磁気シールドルームの一側面には、人の出入り或いは医療機材搬入のために使用する扉（図示せず）を設ける。
【００３２】
軽金属の骨組部材としては、アルミニウム材が適切であるが、マグネシウム材など他の軽金属材を用いることもできる。骨組部材を中空構造化することにより強度は落とさずに軽量化を行えることは、通常の建築と同様である。軽金属の骨組部材は、磁気シールドルームの全体強度を高める。
【００３３】
骨組部材で磁気シールドルームの骨格を形成した後、本発明の磁気シールド部材を内壁、外壁を形成するように貼り合わせて磁気シールド空間を画定することもできる。また、骨組部材を使用してパネル部材の骨組とし、これらを予め作成しておいてパネルの両面に磁気シールド部材を貼り合わせて磁気シールドルームとすることもできる。磁気シールドルームの外面を保護し、清潔感を持たせるため化粧板を外面仕上げ材として配置することが好ましい。
【００３４】
リボン形状のＣｏ基非晶質合金基材は、Ｃｏ基合金の溶解物を急速に回転する冷却ロールの表面に射出することにより、一般には、厚さ８μｍ〜８０μｍ、通常は、１６μｍ〜４０μｍの非晶質合金として得られる。幅は、一般には５ｍｍ〜２００ｍｍのものを得る。Ｃｏ基非晶質合金薄板の１ｋＨｚに於ける透磁率は約８００００以上のものを得る。合金組成としては、好ましくは、組成式：（Ｃｏ1-x-y-zＦｅxＭｎyＮｉz）100-a-b-cＭaＳｉbＢc［ただし、Ｍは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｙ、希土類元素のうちから選ばれた少なくとも１種以上の元素］で表され、かつ、xが０〜０．１、aが０〜６、(b+c)が１８〜３０、yが０〜０．２、bが８〜１８、zが０〜０．１３、cが７〜１８を満足するものである。本発明で使用するＣｏ基非晶質合金薄板は、結晶粒界は無く、全くの非晶質の金属組織を有する。前記Ｃｏ基非晶質合金基材の保磁力（Ｈc）が０．００１Ｏe以下、磁歪が１０のマイナス６乗以下、直流最大透磁率を１０，０００以上とすることにより磁気シールド特性の優れた磁気シールド部材を得る。
【００３５】
本発明を利用した磁気シールドルームの壁には、貫通口又は通気口等を設け、外部からの空気を取り入れたり、電子機器用のケーブル類を通すことができる。貫通口としては、本発明の磁気シールド部材を丸めて形成した管を挿入することで形成することもできる。このようにすれば、磁気シールド率を劣化させずに、空気の取り入れができるし、ケーブル類を通すことができる。
【００３６】
従来技術で使用されてきたパーマロイの代わりに、Ｃｏ基非晶質合金を用いた磁気シールド部材は、積層構造にもよるが、一般には、厚さ８０μｍ〜３００μｍの高透磁率の磁性積層体となる。この磁気シールド部材は、パーマロイに比較して軽量であり、磁気シールド率も高く、また、外力が加わっても磁気特性や機械的強度の劣化は無い。磁気シールドルームの移動や地震等に遭遇しても、大丈夫である。折り曲げ、切り取り加工も容易であり、壁紙を扱うように取り扱うこともできる。
【００３７】
従来技術では、壁構造体の主要な部材としてパーマロイ板を用いて、磁気シールド空間を画定していたが、本発明では、磁気シールドルームの骨組部材としてアルミニウム等の軽金属材を使用し、磁気シールド空間の凡そを画定した後に、本発明の磁気シールド部材を使用すれば、磁気シールドルームを簡便に構築することができる。
Ｃｏ基非晶質合金リボンを多層したものになっているので、厚さ１ｍｍ程度のパーマロイと同等以上の磁気シールド率を実現ができる。重ねるＣｏ基非晶質合金リボンの枚数は１０以上が好ましいが、更に好ましくは、積層数が２０層〜５０層である多層構造としたものである。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
従来技術のパーマロイを磁気シールド板とする磁気シールドルームは、重量が大きく、組み立て、移動に困難があるが、本発明を利用した磁気シールドルームは軽量であり、病院内の設置場所の変更に対応できる。また、外力に対して、磁気特性面でも機械的強度の面でも強く、その製作工法も簡便なものとすることができる。内部に設置する機器と外部を結ぶ貫通孔の設置、或いは扉の設置も、切断しやすい材料であるので、施工が容易である。ボルト、着剤材等によるルームの組み立ても簡単であるので、産業上の利用性は高い。本発明の磁気シールドルームは軽量なので、床強度もさほど必要は無いので、その構造や材質の選択をする任意性が拡大する。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の磁気シールドルームの磁気シールド部材ジョイント部を示す一部断面斜視模式図。
【図２】本発明の磁気シールドルームの磁気シールド部材が直角交差するジョイント部を示す断面模式図。
【符号の説明】
【００４０】
１…磁気シールド部材、３…非磁性ステンレスボルト、１１…Ｃｏ基非晶質合金積層部材、１２…樹脂フィルム、４１…軟磁性材ジョイント板、８３…補強板
【図１】
2007329150.tif 000003
【図２】
2007329150.tif 000004