(57)【要約】【課題】ワークに付着したコンタミの効果的な除去を実現するとともに、ワークへのＥＳＤ破壊などのダメージを提言したワーク洗浄を可能とする。【解決手段】洗浄装置１には、ブラスト部７、振動ブラシ部８およびパルス噴射部９といった複数の洗浄機構を設ける。ブラスト部７および振動ブラシ部８によるワーク６の洗浄は、洗浄槽３内に貯留された洗浄液中で行い、ＥＳＤ破壊などを防止する。パルス噴射部９によるワーク６の洗浄時には、ワーク６を洗浄液から取り出して洗浄を行い、洗浄液中に残留するコンタミがワーク６に再付着することを防止する。【選択図】図４
2007229614.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄対象の洗浄を行う洗浄装置において、
液体が貯留される洗浄槽と、
砥粒を含んだ洗浄液を噴射する噴射部とを備え、
前記洗浄対象の洗浄時には、前記洗浄対象を前記洗浄槽に貯留された液体中に位置させるとともに、前記液体中で前記噴射部から前記洗浄対象に対して洗浄液を噴射するよう動作することを特徴とする、洗浄装置。
【請求項２】
液体が貯留される洗浄槽と、
前記洗浄対象をブラッシングするブラシ部とを備え、
前記洗浄対象の洗浄時には、前記洗浄対象を前記洗浄槽に貯留された液体中に位置させるとともに、前記液体中で前記ブラシ部による前記洗浄対象のブラッシングを行うよう動作することを特徴とする、洗浄装置。
【請求項３】
その内部に洗浄液が貯留される単一の洗浄槽と、
洗浄対象を前記洗浄槽内に移動させる把持機構と、
前記洗浄対象に対する機械的接触を要する第一の洗浄を行う第一の洗浄機構と、
前記洗浄対象に対して洗浄液を噴射する第二の洗浄を行う第二の洗浄機構と、を備え、
前記洗浄槽内で前記第一の洗浄機構による前記洗浄対象の洗浄を行った後に、前記洗浄槽の外で前記第二の洗浄機構による前記洗浄対象の洗浄を行うように動作することを特徴とする、洗浄装置。
【請求項４】
加工対象に対して加工・処理を施す前工程と、
前記加工対象を、洗浄液が貯留された洗浄槽内に移動させる工程と、
前記洗浄液中で、前記加工対象に対して砥粒が含まれた洗浄液を噴出する工程と、
前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、
前記洗浄された加工対象に対して加工・処理を施す後工程と、を備えたことを特徴とする、製品の製造方法。
【請求項５】
加工対象に対して加工・処理を施す前工程と、
前記加工対象を、洗浄液が貯留された洗浄槽内に移動させる工程と、
前記洗浄液中で、前記加工対象をブラシを用いてブラッシングする工程と、
前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、
前記洗浄された加工対象に対して加工・処理を施す後工程と、を備えたことを特徴とする、製品の製造方法。
【請求項６】
加工対象に対して加工・処理を施す前工程と、
前記加工対象を、洗浄液中で洗浄する工程と、
前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、
前記加工対象に対して、洗浄液を噴射する工程と、
前記加工対象に対して加工・処理を施す後工程と、を備えたことを特徴とする、製品の製造方法。
【請求項７】
洗浄対象を洗浄液中に位置させる工程と、
前記洗浄液中で、前記洗浄対象に砥粒を噴出する工程と、
前記砥粒噴出工程後に、前記洗浄液中で前記洗浄対象に対するブラッシングを行う工程と、
前記ブラッシングされた洗浄対象を洗浄液から取り出す工程と、
前記洗浄液から取り出された洗浄対象に対して洗浄液を噴射する工程と、を備えたことを特徴とする洗浄方法。
【請求項８】
加工対象の一連の加工・処理工程中で前記加工対象の洗浄を行う製品の製造方法において、
前記加工対象を洗浄液中に浸す工程と、
前記洗浄液中で、前記加工対象に対して機械的接触を要する洗浄方法により、前記加工対象の洗浄を行う工程と、
を備えたことを特徴とする、製品の製造方法。
【請求項９】
加工対象の一連の加工・処理工程中で前記加工対象の洗浄を行う製品の製造方法において、
前記加工対象を洗浄液中に浸す工程と、
前記洗浄液中で、第一の洗浄方法により前記加工対象を洗浄する工程と、
前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、
前記第一の洗浄方法とは異なる、第二の洗浄方法により前記加工対処を洗浄する工程と、を備えたことを特徴とする製品の製造方法。
【請求項１０】
洗浄対象の洗浄を行う洗浄装置において、
前記洗浄対象を移動させる機構と、
洗浄液の中で、前記洗浄対象に対して砥粒を含有する洗浄液を噴出する第一の洗浄機構と、
洗浄液の中で、前記洗浄対象をブラッシングする第二の洗浄機構と、
洗浄液の外で、前記洗浄対象に洗浄液を噴射する第三の洗浄機構とを備え、
前記洗浄対象の洗浄は、前記第一の洗浄機構による洗浄、前記第二の洗浄機構による洗浄、前記第三の洗浄機構による洗浄の順で行うに動作することを特徴とする、洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型デバイスの加工・製造工程における洗浄方法あるいは製造方法、および洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種の小型デバイスが用いられるようになってきている。小型デバイスの例としては、たとえばハードディスク装置などに用いられる磁気ヘッド、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）などが上げられる。これらのデバイスは微細な構造を有しているため、デバイスの製造時には微細加工が求められるとともに、加工・製造工程で生じる異物が製造されたデバイスに付着したままとなることを防ぐために、これら異物を除去するためのデバイスの洗浄が必要となる。
【０００３】
ここで、製造されるデバイスの一例として磁気ヘッドについて説明する。磁気ヘッド加工工程においては、一連の加工が行われた後に、多槽式超音波洗浄器やローラブラシ洗浄器を用いて、治具に配列された複数の磁気ヘッド表面に付着する異物（以下「コンタミ」（コンタミネーション）と称する）の除去が行われている。
【０００４】
なお、下記特許文献１あるいは特許文献２には、砥粒を含む高圧水でワークを洗浄する方法が開示されている。また、下記特許文献３あるいは特許文献４では、洗浄液に超音波を印加してワークに噴射する洗浄方法が開示されている。  
【特許文献１】特開平６−２４３７８４号公報
【特許文献２】特開２００４−９１７４号公報
【特許文献３】特開平１−１０５３７６号公報
【特許文献４】特開平４−１８９５４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、次第に進むデバイスの微小化などの事情も影響して、従来の洗浄方法ではデバイスに付着するコンタミを効果的に洗浄することが困難となる状況が出現している。たとえば、磁気ヘッド上にはその加工工程でワックスの汚れやレジストの残渣が付着するが、これらのサブミクロンのコンタミを従来の洗浄方法で完全に除去することは非常に難しい。
【０００６】
また、磁気ヘッドには複数の表面が形成される。ここで、磁気ヘッドを洗浄する際に全く同じ洗浄方法を用いたとしても、それぞれの表面での洗浄効果が大きく異なってしまうという問題が生じていた。たとえばローラブラシによる洗浄を行う場合、ローラブラシへの接触状態によって、磁気ヘッドの表面ごとに洗浄・コンタミ残留の度合いが異なる可能性が高くなる。デバイスの微細化とともに、この影響は大きくなってきている。
【０００７】
上記特許文献１あるいは特許文献２に記載された洗浄方法では、砥粒をワークに対して噴射している。ここで、これら特許文献に記載された洗浄方法では、砥粒がワークに対して高速に衝突するため、ワークに損傷を与える可能性が高い。
【０００８】
また、上記特許文献３あるいは特許文献４に記載された洗浄方法では、砥粒などをワークに吹き付けることはないため、ワークへの損傷は少ない。しかし、洗浄液が噴射される噴射面では洗浄効果が著しい一方で、そのほかの側面等の表面では洗浄効果が非常に低下するという問題が生じていた。
【０００９】
また、洗浄条件によっては、ワークに静電気放電（ＥＳＤ）破壊が生じる可能性もある。
【００１０】
本発明は上記課題に鑑み、コンタミの除去効率を向上させた洗浄方法・製造方法あるいは洗浄装置を提供することを目的とする。
【００１１】
また、本発明は、ワークへの損傷を低減しつつ、効果的な洗浄を実現する洗浄方法・製造方法あるいは洗浄装置を提供することを目的とする。
【００１２】
また、本発明は、ワーク上のコンタミなどを均一に除去可能とする洗浄方法・製造方法あるいは洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記課題を解決するために、液体が貯留される洗浄槽と、砥粒を含んだ洗浄液を噴射する噴射部とを備え、前記洗浄対象の洗浄時には、前記洗浄対象を前記洗浄槽に貯留された液体中に位置させるとともに、前記液体中で前記噴射部から前記洗浄対象に対して洗浄液を噴射するよう動作する洗浄装置としたことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、液体が貯留される洗浄槽と、前記洗浄対象をブラッシングするブラシ部とを備え、前記洗浄対象の洗浄時には前記洗浄対象を前記洗浄槽に貯留された液体中に位置させるとともに、前記液体中で前記ブラシ部による前記洗浄対象のブラッシングを行うよう動作する洗浄装置であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、その内部に洗浄液が貯留される単一の洗浄槽と、洗浄対象を前記洗浄槽内に移動させる把持機構と、前記洗浄対象に対する機械的接触を要する第一の洗浄を行う第一の洗浄機構と、前記洗浄対象に対して洗浄液を噴射する第二の洗浄を行う第二の洗浄機構とを備え、前記洗浄槽内で前記第一の洗浄機構による前記洗浄対象の洗浄を行った後に、前記洗浄槽の外で前記第二の洗浄機構による前記洗浄対象の洗浄を行うように動作する洗浄装置であることを特徴とする。
【００１６】
更に、本発明は、加工対象に対して加工・処理を施す前工程と、前記加工対象を洗浄液が貯留された洗浄槽内に移動させる工程と、前記洗浄液中で前記加工対象に対して砥粒が含まれた洗浄液を噴出する工程と、前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、前記洗浄された加工対象に対して加工・処理を施す後工程とを備えた製品の製造方法であることを特徴とする。なお、前工程あるいは後工程の種類は問わない。また、製品の製造工程によっては、前工程あるいは後工程が行われない可能性もあるため、適宜前工程のみ、あるいは後工程のみを洗浄の工程と組み合わせるようにしてもよい。
【００１７】
同様に、本発明は、加工対象に対して加工・処理を施す前工程と、前記加工対象を洗浄液が貯留された洗浄槽内に移動させる工程と、前記洗浄液中で前記加工対象をブラシを用いてブラッシングする工程と、前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、前記洗浄された加工対象に対して加工・処理を施す後工程とを備えた製品の製造方法であることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明は、工対象に対して加工・処理を施す前工程と、前記加工対象を洗浄液中で洗浄する工程と、前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、前記加工対象に対して洗浄液を噴射する工程と、前記加工対象に対して加工・処理を施す後工程とを備えた製品の製造方法であることを特徴とする。
【００１９】
一方、本発明は、洗浄対象を洗浄液中に位置させる工程と、前記洗浄液中で前記洗浄対象に砥粒を噴出する工程と、前記砥粒噴出工程後に前記洗浄液中で前記洗浄対象に対するブラッシングを行う工程と、前記ブラッシングされた洗浄対象を洗浄液から取り出す工程と、前記洗浄液から取り出された洗浄対象に対して洗浄液を噴射する工程とを備えた洗浄方法であることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明は、加工対象を洗浄液中に浸す工程と、前記洗浄液中で前記加工対象に対して機械的接触を要する洗浄方法により前記加工対象の洗浄を行う工程とを備えた製品の製造方法であることを特徴とする。
【００２１】
また、本発明は、加工対象を洗浄液中に浸す工程と、前記洗浄液中で第一の洗浄方法により前記加工対象を洗浄する工程と、前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、前記第一の洗浄方法とは異なる第二の洗浄方法により前記加工対処を洗浄する工程とを備えた製品の製造方法であることを特徴とする。
【００２２】
更に、本発明は、洗浄対象を移動させる機構と、洗浄液の中で前記洗浄対象に対して砥粒を含有する洗浄液を噴出する第一の洗浄機構と、洗浄液の中で前記洗浄対象をブラッシングする第二の洗浄機構と、洗浄液の外で前記洗浄対象に洗浄液を噴射する第三の洗浄機構とを備え、前記洗浄対象の洗浄は、前記第一の洗浄機構による洗浄、前記第二の洗浄機構による洗浄、前記第三の洗浄機構による洗浄の順で行うに動作する洗浄装置であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、洗浄対象の効果的な洗浄を実現することができるとともに、洗浄時に生じる可能性があった洗浄対象へのダメージを低減させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を用いて本発明の一実施形態による洗浄装置を説明する。本実施形態による洗浄装置を用いた洗浄工程は、製造・加工対象となるワークの製造工程の一環として行われるものとする。磁気ヘッドの製造工程であれば、たとえば磁気ヘッド自体の加工工程（切断、研磨などを含む）と、磁気ヘッドを磁気ディスク装置などに組み上げる工程（サスペンションへの磁気ヘッドの取り付け等）との間に、本実施形態による洗浄装置を用いた洗浄を行うことができる。当然ながら、本実施形態による洗浄装置は、製品の製造工程の一環で用いられなければならないものではないし、洗浄工程を挟む位置も上記の例に限定されるものでもない。更に、洗浄対象となる製品が磁気ヘッドに限定されることもない。
【００２５】
図１は、本実施形態による洗浄装置１の外観正面図である。本実施形態による洗浄装置１は、幅７００ｍｍ、奥行き５５０ｍｍ、高さ５００ｍｍとなっており、卓上に設置することが可能となっている。洗浄装置１の正面には扉２が設けられており、取っ手２１を把持することによって扉２を開閉することができる。なお、扉２を透明（あるいは半透明）とすることによって、洗浄装置１内でのワークの洗浄の様子を確認できる。
【００２６】
図１に図示された洗浄装置１の背面には、洗浄槽３との間で配管によって接続された一時タンク１１が設けられている。一時タンク１１は、洗浄槽３内の洗浄液を回収・循環させる場合に、一時的に洗浄液を貯留するためのタンクである。また、一時タンク１１は配管によって図２に図示された洗浄液タンク２１に接続されている。洗浄液タンク２１に貯留された洗浄液は、ポンプなどを備えた外部循環ユニット２２によって洗浄槽３に再び供給される。
【００２７】
図３は、扉２を開いた状態の洗浄装置１の斜視外観図である。また、図４は図３に図示された洗浄装置１の要部（図２図示四角ａで囲った部分）を拡大図示した図面である。
【００２８】
洗浄装置の図示右側は、ワークを洗浄するための機構が配置された洗浄エリア１ａとなっている。洗浄エリア１ａの内部には、洗浄槽３が設けられる。洗浄槽３の前面には取っ手４が設けられている。洗浄槽３の両端はスライドレールによって支持されており、取っ手４を把持・操作することによって、洗浄槽３を洗浄エリア１ａの外側に引き出すことが可能となっている。
【００２９】
ワークの洗浄時には、洗浄槽３内に洗浄液が貯留される。ここで用いられる洗浄液はたとえば純水であるが、適宜有機溶剤などの純水以外の溶媒を用いるようにしてもよい。
【００３０】
洗浄エリア１ａには、複数の洗浄機構が配置されている。本実施形態による洗浄装置１は、洗浄機構としてブラスト部７、振動ブラシ部８およびパルス噴流部９を備える。ブラスト部７は、その先端から砥粒を含んだ洗浄液を噴射することで、ワーク表面の洗浄を行う。振動ブラシ部８はワーク６をブラッシングすることで、ワーク６に付着したコンタミを除去する。パルス噴流部９は、超音波が印加された洗浄液をワーク６に噴射し、ワーク上のコンタミを除去する。
【００３１】
各洗浄機構の詳細については後述するが、本実施形態による洗浄装置１は、複数の洗浄機構を適宜使い分け、洗浄対象となるワークへのＥＳＤ破壊を含む損傷を防止したワーク洗浄を可能とするとともに、より効果的な洗浄を行えるようにしている。より具体的には、本実施形態による洗浄装置１はブラスト部７を用いたブラスト洗浄、振動ブラシ部８を用いたブラッシング、パルス噴流部９を用いたパルス噴流洗浄の順序で、ワーク６の洗浄を行う。なお、ワーク洗浄に用いる洗浄機構とその洗浄順序は、上記のものとは異なるようにしてもよい。
【００３２】
洗浄エリア１ａには、洗浄対象となるワーク６を固定するための固定部５が設けられている。固定部は、洗浄装置１の図示左側（カバー内、図１、図３、図４では図示されず）に設けられた機構によって、上下、前後、左右方向に揺動可能となっている。
【００３３】
図５は、本実施形態による洗浄装置１が洗浄するワーク６の例を示した図面である。ここでは、洗浄ワークとして磁気ヘッドが示されている。
【００３４】
図５に図示されているように、ウェハから切断され、その他の工程（研磨など）を経た複数の磁気ヘッド６３が、ツール６１の上端に接着されている。磁気ヘッド６３が接着されたツール６１は、磁気ヘッド６３の洗浄を行う場合にホルダ６２にセットされる。ホルダ６２には複数のツール６１をセットすることが可能となっている。ツール６１がセットされたホルダ６２は、図４に図示された固定部５にセットされ、この後に洗浄装置１を用いてツール６１上の磁気ヘッド６３が洗浄される。
【００３５】
図６は、本実施形態による洗浄装置１を上面から見た図面である。ワーク６がセットされる固定部５１は、その基部に設けられた揺動機構５２に取り付けられている。揺動機構５２は、レール５３及びレール５４に沿って、洗浄装置１の正面から見て前後方向(ｂ)及び左右方向（ｃ）に揺動される。また、揺動機構５２は洗浄装置１の正面から見て上下方向にも揺動可能となっている。これによって、ワーク６を洗浄エリア１ａ内で移動させて、洗浄槽３内でのワーク６の位置決めを行うことができる。
【００３６】
また、本実施形態による洗浄装置１では、旋回機構（図中ｄとして模式的に示す）によって、ワーク６を中心にしてブラスト部７及び振動ブラシ部８を０°〜９０°の範囲で図示矢印ａ方向に回動させることができる。詳細は後述するが、ブラスト部７および振動ブラシ部８の位置を可変とすることで、ブラスト部７からの洗浄液の噴射角度・方向と、振動ブラシ部８によるワークのブラッシング方向を適宜調整して、ワーク６を様々な方向から洗浄することが可能となる。なお、旋回機構による回動範囲は上記のものに限定されるものではなく、またブラスト部７および振動ブラシ部８を一緒に回動させることが必須なわけでもない。
【００３７】
図７は、本実施形態によるブラスト部７の要部を拡大図示した図面である。本実施形態によるブラスト部７の先端には、ほぼ円筒形様のノズル７１が設けられている。ノズル７１には、その長手方向に沿って複数のノズル開口部７２が形成されており、洗浄液がノズル開口部７２からワーク６に向けて噴射される（図示直線矢印）。ノズル開口部７２の径は、１．０ｍｍ以下である。
【００３８】
ノズル７１は、基部７３に対して図示矢印ａ方向に、図示されない回動機構の動作によって回動可能となっている。ノズル７１の回動範囲は本実施形態では０°〜９０°である。ワーク６の洗浄時に基部７３に対するノズル７１の角度を適宜変更することによって、ワーク６の洗浄面に対する洗浄液の噴射角度を０°〜９０°の範囲で調整することが可能となり、様々な方向からワーク６に対して洗浄液を噴射できる。
【００３９】
また、ノズル７１は水平面に沿って９０度の範囲で位置を変えることが可能となっている。図８は、ノズル７１の水平面方向への移動の様子を説明する図面である。図８（ａ）は、ワーク６の長手方向にノズル７１の長手方向を合わせた状態を示している。また、図８（ｂ）はノズル７１の長手方向を、ワーク６の長手方向に対して９０°回動させた状態を示している。
【００４０】
このように、ノズル７１の向きを変えることによって、様々な方向からワーク６に対して洗浄液を噴射させることが可能となり、より効果的なワーク洗浄を期待することができる。
【００４１】
本実施形態によるブラスト部７によるワーク６の洗浄は、下記の手順にて行われる。
【００４２】
ブラスト部７から噴射される洗浄液には砥粒が含まれる。砥粒が含まれた洗浄液をノズル開口部７２から高速でワーク６に対して噴射することによって、ワーク６上のコンタミを洗浄する。ここで、砥粒がワーク６に接触すると、ワーク６が機械的に損傷する可能性がある。ワーク６損傷の影響は、ワーク６が微細になることで非常に大きなものとなる。したがって、砥粒によるワーク６の損傷を防止するために、ワーク６の洗浄時にはワーク６を洗浄槽３内に貯留された洗浄液に浸すとともに、洗浄槽３に貯留された洗浄液中でノズル開口部７２から洗浄液をワーク６に向けて噴射する。ここで、ワーク６のブラスト洗浄は空気中では行われないため、ワーク６洗浄時の静電気発生を抑えることができ、ワーク洗浄時のＥＳＤ破壊も防止することができる。
【００４３】
ワーク６の洗浄時には、まず図８（ａ）の形態でノズル開口部７２から洗浄液ａをワーク６に噴射する。この際に、ワーク６とノズル開口部７２の間隔は１０ｍｍ程度となるように、ワーク６の位置を調整する。
【００４４】
洗浄液ａの噴射時には揺動機構５２を駆動して、ワーク６を図示矢印ｂ方向に揺動させる。具体的には、ワーク６を秒速数ｍｍで１往復させ、ブラスト部７を用いたブラスト洗浄を行う。また、図示矢印ｃ方向（ピッチ方向）にワーク６を移動させながら、ブラスト洗浄を行う。これによって、ワーク６に対してまんべんなく洗浄液ａを噴射させることができる。
【００４５】
なお、図８（ａ）の状態ではワーク６を洗浄する際に、ワーク６を洗浄しながらノズル７１の角度を適宜変更するようにしてもよい、ノズル７１の角度を特定の角度に固定するようにしてもよい。ノズル７１の角度およびノズル７１駆動の要否は、洗浄対象となるワークの種類や、どのような洗浄を意図するのかに応じて適宜選択すればよい。
【００４６】
続いて、図８（ｂ）のように、ノズル７を図８（ａ）に図示された状態から９０°回動させて、ワーク６に対して洗浄液ａを噴射する。図８（ｂ）の状態でも、ワーク６を矢印ｂおよび／または矢印ｃ方向に揺動させてワーク６の洗浄を行う。
【００４７】
ブラスト洗浄を行うことで、洗浄液に含まれた砥粒によりワーク６の表面に付着した比較的大きなコンタミを除去したり、コンタミの結合力を低下させることができる。また、洗浄液中でブラスト洗浄を行うことによって、ワーク６の各種の損傷を防止することが可能となる。
【００４８】
このように、ワーク６に対して２方向から洗浄液ａを噴射することで、ワークを構成する各面に洗浄液ａを噴射でき、より効果的なワーク洗浄が可能となる。
【００４９】
図９（ａ）乃至図９（ｄ）は、本実施形態による振動ブラシ部８の要部を拡大するとともに、ワーク６洗浄時の振動ブラシ部８の動作を説明する図面である。以下、図４と合わせて振動ブラシ部８の説明を行う。
【００５０】
本実施形態による振動ブラシ部８は音波振動するように制御されており、ワーク６の音波振動ブラシ洗浄が行われる。振動ブラシ部８の先端には、ブラシ径が細い軟毛ブラシ８１が取り付けられている。軟毛ブラシ８１は数百ヘルツ程度の周波数、１ｍｍ程度の振幅で振動可能となっており、この振動によってワーク６のブラッシングを行っている。
【００５１】
図９（ａ）は、第一の状態での振動ブラシ部８によるワーク６洗浄動作を示している。軟毛ブラシ８１は、前述した音波振動とは別に、図示矢印ａ方向に駆動され、これによってワーク６表面のブラッシングが行われる。したがって、ワーク６は軟毛ブラシ８１の音波振動と、図示矢印ｃ方向への移動との組み合わせによってブラッシングされる。
【００５２】
一方、ワーク６の洗浄時には、軟毛ブラシ８１の振動に合わせてワークを矢印ｂ方向に往復運動させる。ブラッシング時のワークの揺動速度はたとえば８０ｍｍ／秒であり、揺動回数は数回とする。また、ワーク６を図示矢印ｃ方向にピッチ送りさせ、軟毛ブラシ８１が当たるワーク６の面を適宜変えていく。
【００５３】
軟毛ブラシ８１は、その軸方向に対して＋３０°、０°、−３０°の範囲で３段階に角度を変えることができる。図９（ａ）は、軟毛ブラシ８１がワーク６に対して３０°倒れた状態を図示している。
【００５４】
図９（ｂ）は、図９（ａ）とは逆方向に軟毛ブラシ８１を倒した状態を図示している。また、図９（ｃ）は、軟毛ブラシ８１をワーク６面に対して垂直方向に位置づけた状態（＝０°）を図示している。このように、軟毛ブラシ８１のワーク６面に対する角度を切り替えることで、様々な方向からワーク６のブラッシングを行うことができ、面による洗浄効果のばらつきを抑えることができる。
【００５５】
また、前述の通り、振動ブラシ部８は０°〜９０°の範囲でワーク面に対する水平面上で回動可能となっている。図９（ｄ）は、図９（ｃ）の状態から軟毛ブラシ８１を９０°回動させた状態を図示している。軟毛ブラシ８１は、図９（ｄ）に図示された状態で軸方向に対して＋／−３０°の範囲で傾けることができる。
【００５６】
図９（ｄ）の状態では、軟毛ブラシ８１は図示矢印ｄの方向である。軟毛ブラシ８１の揺動方向の変化に応じて、ワーク６は矢印ｃ方向に揺動されるとともに、矢印ｂ方向にピッチ送りされる。
【００５７】
図９（ａ）乃至図９（ｃ）では、軟毛ブラシ８１の揺動方向は、ツール６２の長手方向に沿った方向となっている。複数のツール６２の隙間を効果的にブラッシングするために、図９（ａ）乃至図９（ｃ）の例では、軟毛ブラシ８１の角度を＋３０°、０°、−３０°の範囲で切り替えている。一方、図９（ｄ）の状態では、ツール６２間の隙間が延びる方向とは直交する方向に軟毛ブラシ８１が揺動している。この方向でのブラッシング字には、軟毛ブラシ８１の角度は０°のみとしている。
【００５８】
このように、軟毛ブラシ８１の音波振動と、軟毛ブラシ８１を用いたブラッシングとを組み合わせることによって、ワーク６の各表面に付着したコンタミをより効果的に除去することができる。また、ワーク６に付着したコンタミを完全には除去しきれないまでも、ブラッシング洗浄を行うことによってコンタミの結合力を低下させることができる。結合力を低下させられたコンタミは、後の洗浄工程にて容易に除去できるようになる。
【００５９】
更に、先に説明したブラスト洗浄では砥粒が用いられるが、砥粒がワーク６に付着・残留してしまう可能性が高い。そこで、ブラスト洗浄の後に音波ブラシ洗浄を行うことによって、ワーク６に残留した砥粒を振動ブラシ部８によって除去することが可能となる。
【００６０】
なお、ブラッシングによるワーク６の損傷を防止するために、本実施形態による洗浄装置１では、洗浄槽３内に貯留された洗浄液中でワーク６のブラッシングを行う。また、ブラッシングは空気中ではなく洗浄液中で行われるため、ワーク６のＥＳＤ破壊を防止することも期待できる。更にＥＳＤ破壊の可能性を低減させるためには、軟毛ブラシ８１に導電性樹脂を用いることが好ましい。
【００６１】
図１０は、パルス噴流部９を用いたパルス噴流洗浄の動作を説明する図面である。パルス噴流部９の先端に設けられたノズル開口部９１からは、超音波が印加された洗浄液ａが噴出される。パルス噴流洗浄時のノズル開口部９１とワーク６面との距離は、たとえば１０ｍｍ程度である。ノズル開口部９１からの洗浄液噴出時には、ワーク６を図示矢印ｂ方向に揺動させて、洗浄液がワーク６の全体にまんべんなく噴射されるようにする。パルス噴流洗浄時のワーク６の揺動速度は数ｍｍ／秒であり、揺動回数はたとえば１回である。また、合わせて矢印ｃ方向にワーク６のピッチ送りを行う。
【００６２】
ノズル開口部９１から噴出する洗浄液には、１ＭＨｚ程度の周波数の超音波が印加される。また、ノズル開口部９１からは、毎分１リットル以下程度の洗浄液が噴出される。洗浄液への超音波印加によって、洗浄液の分子レベルでの振動が発生し、ワーク６に付着したサブミクロンのコンタミの除去や、ブラスト洗浄あるいは音波振動ブラシ洗浄によって結合力が低下されたコンタミの除去を行うことが可能である。
【００６３】
なお、本実施形態による洗浄装置１では、洗浄槽３内の洗浄液を回収してフィルタにより異物などを取り除くようにしているが、洗浄槽３内に貯留された洗浄液中には、ブラスト洗浄あるいは音波振動ブラシ洗浄時にワーク６から除去されたコンタミが浮遊している可能性がある。この状態で、洗浄液中でパルス噴流洗浄を行うと、洗浄液に浮遊しているコンタミがワークに再び付着する可能性がある。ここで、ブラスト洗浄あるいは音波振動ブラシ洗浄の場合とは異なり、パルス噴流洗浄ではワークと他部材（砥粒、ブラシなど）との機械的な接触がないため、ワークの損傷の可能性は低く、また静電気発生によるＥＳＤ破壊の可能性も低いことが見こまれる。そこで、本実施形態によるパルス噴流洗浄時には、ワークを洗浄槽３から取り出して、洗浄槽３の外でワークへ洗浄液を噴出する。これによって、洗浄液に浮遊するコンタミがワークに再付着する可能性を低減することができる。
【００６４】
本実施形態ではこのように、パルス噴流洗浄はワーク６洗浄の仕上げ洗浄として位置づけることができる。
【００６５】
ここで、ワーク６に洗浄液が残留したままにしておくと不都合が生じる可能性があるため、パルス噴流洗浄を行った後、洗浄液をエアーブローなどを用いて吹き飛ばす機能を洗浄装置１に追加することが好ましい。
【００６６】
図１１は、本実施形態による洗浄装置１の洗浄液循環系統及び洗浄液に関連する機構を模式的に示した図面である。
【００６７】
先に述べたとおり、ワークの洗浄を行うことによって、洗浄槽３内に貯留された洗浄液にコンタミが付着するなど、洗浄液が汚濁する可能性がある。そこで、本実施形態の洗浄装置１では洗浄液を循環させるとともに、各種の汚濁要因を洗浄液循環の過程で除去するようにしている。
【００６８】
前述の通り、洗浄槽３には洗浄液（純水）が貯留される。洗浄装置１は純水を貯留する純水用タンク１０４に接続されており、純水用タンク１０４内には洗浄液中に浮遊するコンタミなどを除去するためのフィルタ１０５が設けられている。また、純水用タンク１０４の先に設けられた洗浄液循環部１０８（フィルタ１０７及び純水用ポンプ１０６を備える）を介して、洗浄液を洗浄装置１内で循環する。純水ポンプ１０６側のフィルタはろ過精度数ミクロンのフィルタが用いられ、装置側にはろ過精度サブミクロンのフィルタが設置されている。
【００６９】
純水ポンプ１０６の先には、配管１１０を介してブラストノズル／ブラスト部７およびパルス噴流ノズル９が取り付けられている。パルス噴流ノズル９は図示太中空矢印に示される方向に揺動可能である。それぞれのノズルからは洗浄液（純水）が噴射されるため、ブラストノズル７およびパルス噴流ノズル９には洗浄液を供給するための配管が接続されている。
【００７０】
ブラストノズル７に接続される配管には、ブラスト用タンク１０２から延びている配管１０２ａが接続されている。ブラスト用タンク１０２には、ブラスト部７から噴射される洗浄液に混合される砥粒が貯留されており、窒素調整用レギュレータ１０１−配管１０１ａを介して供給される窒素ガスにより、ブラスト部７に向けて砥粒が供給される。供給された砥粒は配管１１０ａ中で洗浄液に混合される。
【００７１】
一方、パルス噴流ノズル９は、洗浄液に印加される超音波を発生させる超音波発振器１０３に接続されている。
【００７２】
洗浄液は洗浄装置１内を循環しており、洗浄作業中に洗浄槽３からオーバフローした洗浄液は、洗浄装置１の背面に設けられた一時タンク１１を経て洗浄液タンク１０４に回収される。洗浄液タンク１０４の内部に回収された洗浄液は、外部循環ユニット／洗浄液循環部１０８によって再び洗浄装置１に供給される。
【００７３】
ブラスト洗浄に用いられた砥粒は、洗浄槽３および一時タンク１１内で洗浄液から分離され、洗浄液とは別に回収される。砥粒の回収には、たとえばフィルタなどを用いることができる。
【００７４】
また、図１１では、ブラシ部８の回動の様子（ａ）および揺動の様子（ｂ）が模式的に示されている。
【００７５】
上記の例では洗浄液として純水を用いているが、これ以外の溶媒などを洗浄液として用いる可能性もある。そのため、洗浄エリア１ａ内に設けられた部品や液体の配管には、ステンレス、導電性ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂（ＰＥＥＫ）、帯電防止フッ素樹脂などの耐腐食性に優れた導電性あるいは帯電防止材料を用いることができる。特に、導電性あるいは帯電防止材料を用いることによって、ワークのＥＳＤ破壊を防止する効果が得られる。
【００７６】
なお、洗浄液として用いる溶媒としては、ＩＰＡなどの有機溶剤を用いることができる。このような有機溶剤を洗浄液として用いる場合には、洗浄装置１の背面に設置されたダクト接続口より吸引排気をすることが望ましい。
【００７７】
図１２は、本実施形態による洗浄装置を用いたワークの製造及び洗浄手順を説明するフローチャートである。
【００７８】
本実施形態では、前工程（Ｓ１２０）にて加工・処理が行われたワークのセット後、ブラスト洗浄を行い（Ｓ１２１）、その後に音波振動ブラシ洗浄を行い（Ｓ１２２）、パルス噴流洗浄を行う（Ｓ１２３）。パルス洗浄に続いて、エアーブローによるワークからの洗浄液除去（Ｓ１２４）を行った後、ワークに対する後工程（Ｓ１２５）を施す。本実施形態による洗浄方法は、図１２ではＳ１２１乃至Ｓ１２３に主な特徴がある。
【００７９】
図１３は、本実施形態によるブラスト洗浄の手順を示したフローチャートである。
【００８０】
ブラスト洗浄を行う際には、まずワーク６を洗浄装置１内の固定部５にセットする（Ｓ１３０）。その後、揺動機構５２を駆動して、ワーク６を洗浄槽１内に貯留された洗浄液中に移動させる（Ｓ１３１）。続いて、ブラスト部７を洗浄液中に移動させ、ブラスト部７とワーク６との位置決めをした後に、ブラスト部７をオンにし、洗浄液の噴射を開始する（Ｓ１３２）。これに合わせて、揺動機構５２を動作させて、ワーク６を往復運動させる（Ｓ１３３）。
【００８１】
所定の洗浄動作が終了した後、ブラスト部７を回動させて、洗浄液の噴射方向を９０°回転させる（Ｓ１３４）。この後、ブラスト部７からの洗浄液噴射に合わせて、ワーク６を往復運動させる（Ｓ１３５）。所定の洗浄動作が完了した後、ブラスト部７からの洗浄液噴射を停止し（Ｓ１３６）、ブラスト洗浄処理を終了、音波ブラシ洗浄に移行する（Ｓ１３７）。
【００８２】
図１４は、本実施形態による音波ブラシ洗浄の手順を示したフローチャートである。
【００８３】
音波ブラシ洗浄は、ブラスト洗浄に引き続いて行われる。そのため、ワーク６はすでに洗浄液中に位置している。この状態で、振動ブラシ部８の振動を開始する（Ｓ１４０１）。続いて、振動ブラシ８の角度を＋３０°（図９（ａ））に設定する（Ｓ１４０２）。この後、振動ブラシ部８とワーク６の位置決めをして、ワーク６の往復運動を開始する（Ｓ１４０３）。この状態で所定回数のブラッシングを行う。
【００８４】
次に、振動ブラシ部８の角度を−３０°（図９（ｂ））に設定し（Ｓ１４０４）、ワーク６を往復運動させて（Ｓ１４０５）、ワーク６のブラッシングを行う。その後、振動ブラシ部８の角度を０°（図９（ｃ））に設定し（Ｓ１４０６）、ワーク６を往復運動させてワークのブラッシングを行う（Ｓ１４０７）。
【００８５】
この後に、振動ブラシ部８を回動させて、ブラッシング方向を９０°回転する（Ｓ１４０８）。この際には、振動ブラシ部８の角度は０°に設定されている。そして、ワーク６を往復運動させて、ワーク６のブラッシングを行う（Ｓ１４０９）。所定回数のブラッシングが完了すると、振動ブラシ部８の振動を停止させ（Ｓ１４１０）、パルス噴流洗浄に移行する（Ｓ１４１１）。
【００８６】
図１５は、本実施形態によるパルス噴流洗浄の手順を示す図面である。
【００８７】
パルス噴流洗浄を行う際には、ワーク６を洗浄液の外側に移動させる（Ｓ１５１）。続いて、パルス噴流部９とワーク６との位置決めを行って、パルス噴流部９からワーク６に向けて洗浄液を噴出する（Ｓ１５２）。その際に、ワーク６を往復運動させて、パルス噴流洗浄を行う（Ｓ１５３）。所定の洗浄動作が終了した後、パルス噴流部９からの洗浄液噴出を停止する（Ｓ１５４）。パルス噴流洗浄が終了したワーク６は、適宜回収される（Ｓ１５５）。
【００８８】
上記説明した洗浄装置では洗浄槽が単一であり、共通の洗浄槽を用いて洗浄工程ごとに使用する洗浄機構を切り替えていた。このような洗浄装置は、小ロットの製品洗浄など、短時間で大量の製品を洗浄する必要性が低い用途には適している。しかし、大量のワークを、短時間で効果的に洗浄することが求められる場合には、洗浄装置に複数の洗浄槽を設けるとともに、各洗浄機構をそれぞれの洗浄槽に対応させて設けることによって、複数の洗浄工程を並行して行うことができるようになる。また、洗浄槽間で洗浄対象となる製品を搬送する搬送機構を設けることによって、洗浄槽間の製品移動に人手を要する必要性が低くなり、効率的かつ短期間での洗浄作業を行うことができるであろう。
【００８９】
なお、複数の洗浄槽を洗浄装置に設ける場合、洗浄液中での洗浄を行わなくてもよいパルス噴流部については、洗浄液を貯留する目的で用いる洗浄槽は設けなくてもよいであろう。ただし、パルス噴流部から噴出される洗浄液の回収などのために、洗浄液を受けるための受け皿などは設けたほうが好ましい。
【００９０】
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、洗浄装置の適用範囲に応じて適宜態様に変更を加えることが可能であることは、当業者であれば容易に相当し得るであろう。
【００９１】
本発明は、特に以下の点を特徴としている。
（付記１）
洗浄対象の洗浄を行う洗浄装置において、
液体が貯留される洗浄槽と、
砥粒を含んだ洗浄液を噴射する噴射部とを備え、
前記洗浄対象の洗浄時には、前記洗浄対象を前記洗浄槽に貯留された液体中に位置させるとともに、前記液体中で前記噴射部から前記洗浄対象に対して洗浄液を噴射するよう動作することを特徴とする、洗浄装置。
（付記２）
前記洗浄装置は更に、
前記洗浄対象を前記噴射部に対して相対的に揺動させる揺動部を備え、
前記洗浄対象の洗浄時には、前記揺動部により、前記洗浄対象を前記噴射部に対して相対的に揺動させるように動作することを特徴とする、付記１に記載の洗浄装置。
（付記３）
前記洗浄装置において、
前記噴射部は前記洗浄対象に対する洗浄液噴射の角度を調整可能とする機構を備えることを特徴とする、付記１または２に記載の洗浄装置。
（付記４）
前記洗浄装置は更に、
前記噴射部を所定の面に沿って回動させる回動部を備えることを特徴とする、付記１乃至３のいずれかに記載の洗浄装置。  
（付記５）
液体が貯留される洗浄槽と、
前記洗浄対象をブラッシングするブラシ部とを備え、
前記洗浄対象の洗浄時には、前記洗浄対象を前記洗浄槽に貯留された液体中に位置させるとともに、前記液体中で前記ブラシ部による前記洗浄対象のブラッシングを行うよう動作することを特徴とする、洗浄装置。
（付記６）
前記洗浄装置は更に、
前記洗浄対象を前記ブラシ部に対して相対的に揺動させる揺動部を備え、
前記洗浄対象の洗浄時には、前記揺動部により、前記洗浄対象を前記噴射部に対して相対的に揺動させるように動作することを特徴とする、付記５に記載の洗浄装置。
（付記７）
前記洗浄装置において、
前記ブラシ部は、前記洗浄対象に接する角度を所定の範囲で調整可能とする機構を備えることを特徴とする、付記５または６に記載の洗浄装置。
（付記８）
前記洗浄装置において、
前記ブラシ部を所定の面に沿って回動させる回動部を備えることを特徴とする、付記５乃至７のいずれかに記載の洗浄装置。
（付記９）
その内部に洗浄液が貯留される単一の洗浄槽と、
洗浄対象を前記洗浄槽内に移動させる把持機構と、
前記洗浄対象に対する機械的接触を要する第一の洗浄を行う第一の洗浄機構と、
前記洗浄対象に対して洗浄液を噴射する第二の洗浄を行う第二の洗浄機構と、を備え、
前記洗浄槽内で前記第一の洗浄機構による前記洗浄対象の洗浄を行った後に、前記洗浄槽の外で前記第二の洗浄機構による前記洗浄対象の洗浄を行うように動作することを特徴とする、洗浄装置。
（付記１０）
前記洗浄装置において、
前記ブラシ部を揺動する機構を備えたことを特徴とする、付記９に記載の洗浄装置。
（付記１１）
前記洗浄装置において、
前記ブラシ部を音波振動させる機構を更に備えたことを特徴とする、付記９に記載の洗浄装置。
（付記１２）
前記洗浄装置において、
前記ブラシ部の前記洗浄対象に対する角度を切り替える機構を更に備えたことを特徴とする、付記１１に記載の洗浄装置。
（付記１３）
前記洗浄装置において、
前記ブラシ部を構成するブラシは導電性を有する部材により形成されることを特徴とする、付記１１に記載の洗浄装置。
（付記１４）
加工対象に対して加工・処理を施す前工程と、
前記加工対象を、洗浄液が貯留された洗浄槽内に移動させる工程と、
前記洗浄液中で、前記加工対象に対して砥粒が含まれた洗浄液を噴出する工程と、
前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、
前記洗浄された加工対象に対して加工・処理を施す後工程と、を備えたことを特徴とする、製品の製造方法。
（付記１５）
加工対象に対して加工・処理を施す前工程と、
前記加工対象を、洗浄液が貯留された洗浄槽内に移動させる工程と、
前記洗浄液中で、前記加工対象をブラシを用いてブラッシングする工程と、
前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、
前記洗浄された加工対象に対して加工・処理を施す後工程と、を備えたことを特徴とする、製品の製造方法。
（付記１６）
加工対象に対して加工・処理を施す前工程と、
前記加工対象を、洗浄液中で洗浄する工程と、
前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、
前記加工対象に対して、洗浄液を噴射する工程と、
前記加工対象に対して加工・処理を施す後工程と、を備えたことを特徴とする、製品の製造方法。
（付記１７）
洗浄対象を洗浄液中に位置させる工程と、
前記洗浄液中で、前記洗浄対象に砥粒を噴出する工程と、
前記砥粒噴出工程後に、前記洗浄液中で前記洗浄対象に対するブラッシングを行う工程と、
前記ブラッシングされた洗浄対象を洗浄液から取り出す工程と、
前記洗浄液から取り出された洗浄対象に対して洗浄液を噴射する工程と、を備えたことを特徴とする洗浄方法。
（付記１８）
前記洗浄方法において、
前記砥粒噴出工程では、砥粒を洗浄液に混合して、前記洗浄対象に噴射することを特徴とする、付記１７記載の洗浄方法。
（付記１９）
前記洗浄方法において、
前記ブラッシング工程では、ブラッシングを行うためのブラシを音波振動させることと特徴とする、付記１７に記載の洗浄方法。
（付記２０）
前記洗浄方法において、
前記ブラッシング工程では、ブラッシングを行うためのブラシを所定の方向に振動させることを特徴とする、付記１７に記載の洗浄方法。
（付記２１）  
前記洗浄方法において、
前記噴射工程では、前記洗浄液に超音波を印加する工程と、
前記超音波が印加された洗浄液を前記洗浄対象に噴射する工程とを有することを特徴とする、付記１７に記載の洗浄方法。
（付記２２）
加工対象の一連の加工・処理工程中で前記加工対象の洗浄を行う製品の製造方法において、
前記加工対象を洗浄液中に浸す工程と、
前記洗浄液中で、前記加工対象に対して機械的接触を要する洗浄方法により、前記加工対象の洗浄を行う工程と、
を備えたことを特徴とする、製品の製造方法。
（付記２３）
前記製品の製造方法において、
前記洗浄方法は、砥粒を含んだ洗浄液を用いた洗浄方法であることを特徴とする、付記２２に記載の製品の製造方法。
（付記２４）
前記製品の製造方法において、
前記洗浄方法は、ブラッシングであることを特徴とする、付記２２に記載の製品の製造方法。
（付記２５）
加工対象の一連の加工・処理工程中で前記加工対象の洗浄を行う製品の製造方法において、
前記加工対象を洗浄液中に浸す工程と、
前記洗浄液中で、第一の洗浄方法により前記加工対象を洗浄する工程と、
前記加工対象を前記洗浄液から取り出す工程と、
前記第一の洗浄方法とは異なる、第二の洗浄方法により前記加工対処を洗浄する工程と、を備えたことを特徴とする製品の製造方法。
（付記２６）
洗浄対象の洗浄を行う洗浄装置において、
前記洗浄対象を移動させる機構と、
洗浄液の中で、前記洗浄対象に対して砥粒を含有する洗浄液を噴出する第一の洗浄機構と、
洗浄液の中で、前記洗浄対象をブラッシングする第二の洗浄機構と、
洗浄液の外で、前記洗浄対象に洗浄液を噴射する第三の洗浄機構とを備え、
前記洗浄対象の洗浄は、前記第一の洗浄機構による洗浄、前記第二の洗浄機構による洗浄、前記第三の洗浄機構による洗浄の順で行うに動作することを特徴とする、洗浄装置。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
このように、本発明による洗浄装置、洗浄方法あるいは装置の製造方法によれば、洗浄対象となるワークに対するダメージを与えることなく、コンタミの除去を行うことが可能となる。
【００９３】
また、本発明によれば、ワークの各表面に付着しているコンタミをより効果的に除去することが可能となる。
【００９４】
さらに、本発明では、複数の洗浄機構・洗浄方法を組み合わせてワークの洗浄を行うことで、ワークに強固に付着しているコンタミの除去が可能となる。特に、はじめは洗浄液内でワークを洗浄することによって、ワークのＥＳＤ破壊などを防止することが可能となり、最終的に洗浄液から取り出してワークの洗浄を行うことで、ワークへのコンタミ再付着を防止することが可能となる。
【００９５】
なお、本発明は、ワークのワックス汚れやレジスト残滓の除去に利用することができるとともに、洗浄対象となるコンタミの種類を選ばず、様々な工程にて利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の一実施形態による洗浄装置の正面外観図である。
【図２】一実施形態による外部循環ユニットの正面外観図である。
【図３】一実施形態による洗浄装置の斜視外観図である。
【図４】一実施形態による洗浄装置の要部拡大図である。
【図５】一実施形態による洗浄装置で洗浄されるワークの一例を示す図面である。
【図６】一実施形態による洗浄装置の上面図である。
【図７】一実施形態によるブラスト部を示す図面である。
【図８】一実施形態によるブラスト部の回動の様子と洗浄動作とを示す図面である。
【図９】一実施形態による振動ブラシ部と、振動ブラシ部を用いた洗浄動作とを示す図面である。
【図１０】一実施形態によるパルス噴流部を示す図面である。
【図１１】一実施形態による洗浄装置の洗浄液循環機構の模式図である。
【図１２】一実施形態による洗浄装置を用いたワーク洗浄の手順を示すフローチャートである。
【図１３】一実施形態によるブラスト洗浄の手順を示したフローチャートである。
【図１４】一実施形態による音波ブラシ洗浄の洗浄手順を示したフローチャートである。
【図１５】一実施形態によるパルス噴流洗浄手順を示したフローチャートである。
【符号の説明】
【００９７】
１・・・洗浄装置
３・・・洗浄槽
６・・・ワーク
７・・・ブラスト部
８・・・振動ブラシ部
９・・・パルス噴流部
【図１】
2007229614.tif 000003
【図２】
2007229614.tif 000004
【図３】
2007229614.tif 000005
【図４】
2007229614.tif 000006
【図５】
2007229614.tif 000007
【図６】
2007229614.tif 000008
【図７】
2007229614.tif 000009
【図８】
2007229614.tif 000010
【図９】
2007229614.tif 000011
【図１０】
2007229614.tif 000012
【図１１】
2007229614.tif 000013
【図１２】
2007229614.tif 000014
【図１３】
2007229614.tif 000015
【図１４】
2007229614.tif 000016
【図１５】
2007229614.tif 000017