(57)【要約】【課題】リードフレームとウェーハとの位置を近付けることができる遮熱部構造を提供する。【解決手段】搬送レール１４とウェーハ１２間に遮熱部１を設ける。遮熱部１は、搬送レール１４下部に延設された第１シート３１と、第１シート３１下部に設けられた第２シート３２と、第２シート３２下部に設けられた第３シート３３とを備え、各シート３１〜３３をシート状の金属で構成する。各シート３１〜３３間に通流空間５１，５２を形成し、両通流空間５１，５２にエアーを通流する。各シート３１〜３３の一端を固定手段で固定し、他端を引張手段によって斜め下方へ引張する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送レールとウェーハとの間に遮熱部が設けられた遮熱部構造において、
シート状に形成された金属製のシートを対向して張設し、両シート間にエアーが通流される通流空間を形成して前記遮熱部を構成したことを特徴とする遮熱部構造。
【請求項２】
前記シートを三層以上設け、各シート間に前記通流空間を形成したことを特徴とする請求項１記載の遮熱部構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送レールとウェーハとの間に遮熱部が設けられた遮熱部構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウェーハリングのチップをリードフレーム上に移送してボンディングする際には、ボンディング装置が使用されている。
【０００３】
このボンディング装置において、サイクルタイムを短縮する為には、ピックアップポイントとボンディングポイント間の距離を短縮することが有効であり、ウェーハリングの上側にリードフレームの搬送レールを設けることで、離間距離の短縮を実現している。
【０００４】
一方、共晶によりボンディングを行うボンディング装置では、図３に示すように、搬送レール８０１の下部にセラミックヒータ８０２が設けられている。このため、この搬送レール８０１とウェーハリング８０３との間には、遮熱部８０４が設けられている。
【０００５】
この遮熱部８０４は、離間して配置された対向する二枚の板金８１１，８１１が端部にて溶接接合されて形成されており、両板金８１１，８１１間に形成された空間８１２にエアーを流すことによって、前記搬送レール８０１の前記セラミックヒータ８０２から前記ウェーハリング８０３への熱の伝達を防止できるように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような遮熱部８０４にあっては、溶接で形成されているため、薄くすることができなかった。
【０００７】
また、熱の分布が不安定となりやすく反りを発生し易かった。
【０００８】
これらによって、前記搬送レール８０１上のリードフレームとウェーハリングに支持されたウェーハ８０３との位置をさらに近接させることができなかった。
【０００９】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、リードフレームとウェーハとの位置を近付けることができる遮熱部構造を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するために本発明の請求項１の遮熱部構造にあっては、搬送レールとウェーハとの間に遮熱部が設けられた遮熱部構造において、シート状に形成された金属製のシートを対向して張設し、両シート間にエアーが通流される通流空間を形成して前記遮熱部を構成した。
【００１１】
すなわち、搬送レールとウェーハとの間には、金属製のシートが対向して張設されており、両シート間に通流空間が形成されることで遮熱部が形成される。そして、前記通流空間にエアーが通流されることにより、前記搬送レールから前記ウェーハへの熱の伝達が遮断される。
【００１２】
また、この遮熱部は、シート状に形成された金属によって構成されており、板金で構成される場合と比較して、薄肉化が図られる。
【００１３】
さらに、シート状に形成された金属製の前記シートは、熱が均一に伝わり易く、加えられた熱が全面に均等に分散する。このため、高い冷却効果が得られるとともに、熱による形状変化が抑えられる。
【００１４】
そして、このシートは、張設されており、テンションが加えられている。このため、前記搬送レールから受けた熱による反りが防止される。
【００１５】
また、請求項２の遮熱部構造においては、前記シートを三層以上設け、各シート間に前記通流空間を形成した。
【００１６】
これにより、エアーが通流される前記通流空間が複数形成されるので、遮熱効果が高められる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように本発明の請求項１の遮熱部構造にあっては、遮熱部を構成するシートをシート状の金属で構成したため、板金で構成する場合と比較して、薄肉化を図ることができる。
【００１８】
また、シート状に形成された金属製の前記シートは、熱が均一に伝わり易く、加えられた熱を全面に均等に分散することができる。これにより、高い冷却効果を得ることができるとともに、熱による形状変化を抑制することができる。
【００１９】
加えて、このシートは、張設されており、テンションが付与されている。このため、搬送レールから受けた熱による反りを防止することができる。
【００２０】
このように、遮熱部が板金の溶接構造で形成された従来と比較して、薄肉化を図ることができるとともに、熱による反りの発生を防止することができる。これにより、当該遮熱部から前記搬送レールまでの離間距離、及び当該遮熱部から前記ウェーハまでの離間距離を短くすることができ、前記搬送レールと前記ウェーハとを、より近付けて配置することができる。
【００２１】
これに伴って、前記ウェーハから前記搬送レール上のリードフレームまでの移動距離を短くすることができ、ボンディングのサイクルタイムを短縮することができる。
【００２２】
また、請求項２の遮熱部構造においては、前記シートを三層以上設け、各シート間に前記通流空間を形成することで、エアーが通流される前記通流空間を複数形成することができる。
【００２３】
これにより、前記遮熱部による遮熱効果をさらに高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかる遮熱部構造を備えた遮熱部１を示す図であり、この遮熱部１は、ボンディング装置に採用されている。
【００２５】
このボンディング装置は、ウェーハリング１１のウェーハシートに支持されたウェーハ１２がダイシングされてなるチップをリードフレーム１３に設定されたボンディングポイントに移送して共晶によりボンディングする装置である。このボンディング装置では、前記リードフレーム１３が搬送される搬送レール１４の下部に図外にホルダが設けられており、該ホルダに前記ウェーハリング１１が取り付けられるように構成されている。
【００２６】
これにより、前記搬送レール１４の下部に前記ウェーハリング１１が配置されるように構成されており、前記ウェーハリング１１に支持されたウェーハ１２から前記搬送レール１４上のリードフレーム１３までの距離を短縮して、チップのピックアップポイントと前記ボンディングポイント間の距離を短くすることで、ボンディングに要するサイクルタイムを短縮できるように構成されている。
【００２７】
このボンディング装置では、図２に示すように、前記搬送レール１４の下部にセラミックヒータ２１が設けられており、搬送されるリードフレーム１３を加熱できるように構成されている。そして、前記搬送レール１４と前記ウェーハリング１１との間には、前記遮熱部１が設けられており、前記セラミックヒータ２１からの熱が直接前記ウェーハ１２に伝達されないように構成されている。
【００２８】
この遮熱部１は、図１に示したように、前記搬送レール１４下部において該搬送レール１４の長さ方向に延在する第１シート３１と、該第１シート３１の下部に対向して設けられ前記搬送レール１４の長さ方向に延在する第２シート３２と、該第２シート３２の下部に対向して設けられ前記搬送レール１４の長さ方向に延在する第３シート３３とを備えており、各シート３１〜３３は、金属が肉厚０．１ｍｍのシート状に形成されてなるシート状部材によって構成されている。
【００２９】
前記各シート３１〜３３は、その両端部が対を成すシャフト４１〜４６で支持されており、前記第１シート３１を支持するシャフト４１，４２は、前記第２シート３２を支持するシャフト４３，４４の外側に配置されている。また、前記第２シート３２を支持するシャフト４３，４４は、第３シート３３を支持するシャフト４５，４６の外側に配置されており、各シート３１〜３３の離間距離は、前記各シャフト４１〜４５の直径より短い１ｍｍとなるように設定されている。
【００３０】
これにより、前記第１シート３１と前記第２シート３２との間には、エアーが通流される高さ１ｍｍの第１通流空間５１が形成されている。また、前記第２シート３２と前記第３シート３３との間には、エアーが通流される高さ１ｍｍの第２通流空間５２が形成されている。そして、当該遮熱部１は、その厚みが２．３ｍｍとなるように構成されている。
【００３１】
なお、前記各シート３１〜３３を支持する前記シャフト４１〜４５の固定位置を変更することによって、前記各シート３１〜３３間に形成された前記各通流空間５１，５２の高さを可変することができる。
【００３２】
前記各シート３１〜３３は、図１に示したように、図中左側の端部が図外の固定手段によって斜め下方の部位で固定される一方、図中右側の端部が図外のスプリング等の引張手段によって斜め下方へ向けて引っ張られている。これにより、前記各シート３１〜３３は、前記各シャフト４１〜４５に押し付けられた状態でテンションが付与されており、前記搬送レール１４と前記ウェーハリング１１との間に張設されている。
【００３３】
そして、前記各シート３１〜３３の側部には、図２の（ｂ）にも示したように、例えば前記各シート３１〜３３に沿って延在するパイプ６１が設けられており、該パイプ６１の周面には、前記各通流空間５１，５２へ向けて開口する開口部６２が設けられている。このパイプ６１には、エアーが供給されるように構成されており、このエアーが前記開口部６２を介して、前記各通流空間５１，５２に供給されるように構成されている。
【００３４】
前記パイプ６１から供給されたエアーは、前記各通流空間５１，５２を通過して、当該通流空間５１，５２の逆側から排出されるように構成されており、前記各通流空間５１，５２にエアーを通流させるエアー通流手段が構成されている。
【００３５】
以上の構成にかかる本実施の形態において、前記搬送レール１４と前記ウェーハ１２との間には、金属製の第１〜第３シート３１〜３３が対向して張設されており、各シート３１〜３３間に前記各通流空間５１，５２が形成されることによって前記遮熱部１が形成される。そして、前記各通流空間５１，５２にエアーが通流されることにより、前記搬送レール１４から前記ウェーハ１２への直接の熱の伝達を遮断することができる。
【００３６】
また、この遮熱部１は、金属がシート状に形成されてなる第１〜第３シート３１〜３３で構成されており、板金で構成される場合と比較して、薄肉化を図ることができる。
【００３７】
また、シート状に形成された金属製の前記各シート３１〜３３は、熱が均一に伝わり易く、加えられた熱を全面に均等に分散することができる。これにより、高い冷却効果を得ることができるとともに、熱による形状変化を抑制することができる。
【００３８】
そして、これらのシート３１〜３３は、張設されており、テンションが加えられている。このため、前記搬送レール１４から受けた熱による反りを防止することができる。
【００３９】
このように、遮熱部１が板金の溶接構造で形成された従来と比較して、薄肉化を図ることができる。また、熱による反りの発生を防止することができるため、当該遮熱部１から前記搬送レール１４までの離間距離、及び当該遮熱部１から前記ウェーハ１２までの離間距離を狭めることができる。すなわち、本実施の形態では、前記遮熱部１と前記搬送レール１４との間隔を１ｍｍに、また前記遮熱部１と前記ウェーハ１２との間隔を１ｍｍにすることができた。
【００４０】
これにより、前記搬送レール１４と前記ウェーハ１２とを、より近付けて配置することができ、これに伴って前記ウェーハ１２から前記搬送レール１４上のリードフレーム１３までの移動距離を短くすることができる。よって、ボンディングのサイクルタイムを短縮することができ、生産性を向上することができる。
【００４１】
また、本実施の形態では、前記各シート３１〜３３で構成された前記遮熱部１を三層構造にすることによって、各シート３１〜３３間に、エアーが通流される第１及び第２通流空間５１，５２を二層形成することができる。
【００４２】
これにより、前記遮熱部１による遮熱効果をさらに高めることができる。
【００４３】
なお、三層のシート３１〜３３によって二層の通流空間５１，５２を形成した場合を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、二層のシートによって単層の通流空間を形成しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施の形態を示す側面図である。
【図２】（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面図であり、（ｂ）は、同図（ａ）の要部の拡大図である。
【図３】従来の遮熱部構造を示す図で、（ａ）は断面図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１    遮熱部
１２    ウェーハ
１３    リードフレーム
１４    搬送レール
３１    第１シート
３２    第２シート
３３    第３シート
５１    第１通流空間
５２    第２通流空間
【図１】
2007329210.tif 000003
【図２】
2007329210.tif 000004
【図３】
2007329210.tif 000005