(57)【要約】【課題】  ２枚の誘電板１１，１１の間に第１電極１２を挟んだ板型の誘電体ユニット１０を有するオゾン発生装置において、誘電板１１，１１の反りにらる破損を防止する。【解決手段】  ２枚の第２電極板２０，２０の間に、スペーサー３０，３０によりギャップ量が確定された空間を形成する。第２電極板２０，２０との間に放電空隙７０，７０を形成するべく、前記空間に誘電体ユニット１０を配置する。第１電極板１２を埋設するために、２枚の誘電板１１，１１の各対向面の一方又は両方に第１電極１２が嵌合する凹部１３を設ける。【選択図】  図１
2007084403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の誘電板の間に第１電極を挟んだ板型の誘電体ユニットを有しており、２枚の第２電極板との間に一対の放電空隙を形成するべく、前記誘電体ユニットを２枚の第２電極板の間に配置した板型のオゾン発生装置用放電セルにおいて、２枚の誘電板の間の第１電極板を埋め込み型とするべく、２枚の誘電板の各対向面の一方又は両方に第１電極が嵌合する凹部を設けたことを特徴とするオゾン発生装置用放電セル。
【請求項２】
各放電空隙にギャップ管理用のスペーサーを有しており、該スペーサーは、２枚の誘電板の各背面の、スペーサーの配置箇所を除く部分を除去することにより形成された一体形成型である請求項１に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項３】
一対の第２電極板は、その間に配置された剛性体スペーサーによりギャップ量が確定された空間を形成しており、且つ２枚の第２電極板との間に一対の放電空隙が形成されるように前記空間に前記誘電体ユニットを収容する請求項１に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項４】
２枚の誘電板の間に第１電極を挟んだ板型の誘電体ユニットを有しており、２枚の第２電極板との間に一対の放電空隙を形成するべく、前記誘電体ユニットを２枚の第２電極板の間に配置した板型のオゾン発生装置用放電セルにおいて、第１電極の外側で２枚の誘電板同士を無溶剤接着剤により接着したことを特徴とするオゾン発生装置用放電セル。
【請求項５】
２枚の誘電板の間に反り防止用のスペースを介在させるために、第１電極の外側の一部分で２枚の誘電板同士を部分的に接着したことを特徴とする請求項４に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項６】
各放電空隙にギャップ管理用のスペーサーを有しており、該スペーサーは、２枚の誘電板の各背面の、スペーサーの配置箇所を除く部分を除去することにより形成された一体形成型である請求項４に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【請求項７】
一対の第２電極板は、その間に配置された剛性体スペーサーによりギャップ量が確定された空間を形成しており、且つ２枚の第２電極板との間に一対の放電空隙が形成されるように前記空間に前記誘電体ユニットを収容する請求項４に記載のオゾン発生装置用放電セル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はオゾン発生装置に使用される放電セルに関し、特に板状の誘電体を用いた板型の放電セルに関する。
【背景技術】
【０００２】
オゾン発生装置に使用される放電セルは板型と管型に大別され、板型はさらに円板型と角板型に細分される。板型放電セルは、誘電板に接して形成される放電空隙を狭くしやすいこと、その放電空隙寸法（ギャップ量）を均等化しやすいことなどから、高濃度オゾンの生成に多用されている。そして、このような板型放電セルの一つが特許文献１に記載されている。特許文献１に記載された放電セルの概略構造を図４を参照して説明する。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２８１３１８号公報
【０００４】
特許文献１に記載された放電セルでは、一対の誘電板１，１の間に高圧電極２を挟んで構成された平板状の誘電体ユニット３と、平板状の剛性体により構成された一対の接地電極４，４とが積層される。より具体的には、一対の接地電極４，４の間に剛性体スペーサー５，５が配置されることにより、ギャップ量が確定された空間が形成される。そして、一対の接地電極４，４との間に放電空隙６，６が形成されるように、前記空間内の中立位置に誘電体ユニット３が配置される。放電空隙６におけるギャップ量確保等のために、接地電極４と誘電体ユニット３との間には、複数のスペーサー７，７・・が配置される。
【０００５】
ここで接地電極４，４は冷却体（水冷ジャケット）を兼ねている。誘電板１，１は例えば厚みが０．７ｍｍのガラス板であり、例えば厚みが０．３ｍｍのステンレス鋼箔からなる高圧電極２を挟んで、高圧電極２の外側で接着剤８，８により接着される。ギャップ量確保のためのスペーサー７，７・・は例えば外径が０．３ｍｍのステンレス鋼ワイヤである。接地電極４，４の間に配置される剛性体スペーサー５，５は厚みが約２ｍｍのステンレス鋼プレートである。
【０００６】
放電セルの運転中は、高圧電極２と接地電極４，４との間に所定の高周波高電圧が印加される。この状態で放電空隙６，６に前後から原料ガスが導入されることにより、原料ガスがオゾン化される。放電空隙６，６で生成されたオゾンガスは、放電空隙６，６の前後方向中間部から両側へ取り出される。
【０００７】
このような放電セルでは、剛性体スペーサー５，５の部分で接地電極４，４が積層方向に締め付けられることにより、放電セルが組み立てられる。剛性体スペーサー５，５のために、接地電極４，４の間はギャップ量が確定した空間となり、この空間に配置される誘電体ユニット３及びスペーサー７，７・・には、基本的に締め付け力が付加されない。ただし、前記空間内で誘電体ユニット３がかたつかないように、剛性体スペーサー５，５の厚みは、誘電板１，１、高圧電極２、スペーサー７，７・・の合計寸法と同じに設定される。これにより、締め付けに伴う誘電板１，１の破損が防止されると共に、放電空隙６，６のギャップ量に関し、０．５ｍｍ以下というような微小なギャップ量を均一に且つ安定的に確保することが可能になる。
【０００８】
しかしながら、実際に製造した放電セルでは、締め付け力が付加されないはずの誘電板１，１に破損の生じることが経験された。また、多数のスペーサー７，７・・を配置しているにもかかわらず、放電空隙６，６のギャップ量分布が期待するほどには均一化されないことが明らかになった。その原因を調査したところ、高圧電極２の外側で誘電板１，１が接着されることによる誘電板１，１の反り、より詳しくは、スペーサー７，７・・の配置箇所での誘電板１，１の反りによる荷重集中が原因であることが判明した。
【０００９】
すなわち、誘電板１，１の間に高圧電極２を固定し、組立性をよくするため、更には高圧電極２の電気的な絶縁のために、高圧電極２の外側で誘電板１，１がエポキシ樹脂等からなる接着剤８，８により接着される。その結果、誘電板１，１は中央部が上下へ膨らむ方向に反る。ここで、スペーサー７，７・・は、誘電体ユニット３のがたつき防止のために放電空隙６にきつく挿入されている。また、誘電板１，１、高圧電極２、スペーサー７，７・・の合計寸法は、それぞれの公差が重なるためにばらつきが大きい。更に、ワイヤからなるスペーサー７，７・・は誘電板１に線接触する。これらのため、誘電板１はその反りによりしばしばスペーサー７，７・・から大きな集中荷重を受け、破損に至るのである。
【００１０】
この問題とは別に、上記放電セルでは、ギャップ量管理のために多数のスペーサー７，７・・が必要であり、スペーサー７，７・・に使用するワイヤのコストが増大する問題もある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、高圧電極を挟む誘電板の反りを防止できるオゾン発生装置用放電セルを提供することにある。本発明の別の目的は、ギャップ量管理のためのスペーサーのコストを低減できるオゾン発生装置用放電セルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のオゾン発生装置用放電セルは、２枚の誘電板の間に第１電極を挟んだ板型の誘電体ユニットを有しており、２枚の第２電極板との間に一対の放電空隙を形成するべく前記誘電体ユニットを２枚の第２電極板の間に配置した板型のオゾン発生装置用放電セルにおいて、２枚の誘電板の間の第１電極板を埋め込み型とするべく、２枚の誘電板の各対向面の一方又は両方に第１電極が嵌合する凹部を設けたものである。
【００１３】
本発明のオゾン発生装置用放電セルにおいては、２枚の誘電板の間に挟まれる第１電極が２枚の誘電板の対向面に埋め込まれるため、第１電極の外側で２枚の誘電板が密着する。このため、第１電極の外側で２枚の誘電板を接着しても、２枚の誘電板に反りが生じない。誘電板の接着は、間に挟まれる第１電極の機械的な固定だけでなく、第１電極の電気的な絶縁に有効である。
【００１４】
本発明の別のオゾン発生装置用放電セルは、２枚の誘電板の間に第１電極を挟んだ板型の誘電体ユニットを有しており、２枚の第２電極板との間に一対の放電空隙を形成するべく、前記誘電体ユニットを２枚の第２電極板の間に配置した板型のオゾン発生装置用放電セルにおいて、第１電極の外側で２枚の誘電板同士を無溶剤接着剤により接着したものである。
【００１５】
本発明の別のオゾン発生装置用放電セルにおいては、第１電極の外側で２枚の誘電板同士が無溶剤接着剤により接着される。溶剤を使用しない無溶剤接着剤としては、具体的には、アサヒ化学研究所製ＳＡ−２５０シリーズ等がある。溶剤を用いるエポキシ樹脂系の接着剤の場合は、硬化の過程で溶剤が蒸発し収縮するが、溶剤を用いない無溶剤接着剤の場合は溶剤の蒸発による収縮がないため、誘電板を埋め込み型とせずとも、２枚の誘電板の反りを可及的に抑制することができる。
【００１６】
無溶剤接着剤で２枚の誘電板同士を接着する場合、第１電極の外側の全体で接着を行う必要はない。部分的に接着を行うことができ、非接着部に反り防止用のスペーサーを介在させるのがよい。そうすることにより、接着剤の収縮による誘電板の反りをより効果的に抑制することができる。そのスペーサーは接着時にのみ使用し、接着後に取り外すこともも可能である。
【００１７】
いずれのオゾン発生装置用放電セルにおいても、誘電体ユニットの各背面側に形成される各放電空隙にはギャップ量管理のためののスペーサーが設けられる。このスペーサーは従来どおりのワイヤなどでもよいが、２枚の誘電板の各背面の、スペーサー以外の部分を除去することにより形成された一体形成型のものが好ましい。この一体型スペーサーによると、ワイヤなどの別部材を使用せずにスペーサーの設置が可能になり、スペーサーコストが低減される。また、別部材が不要になること及び第１電極が誘電板に埋め込まれていることにより、２枚の第２電極板の間に配置される部材の厚みは、２枚の誘電板の合計厚みとなり、その結果、公差要因が減り、ばらつきが小さくなるので、この点からも誘電板の割れ防止が図られる。
【００１８】
一対の第２電極板は、その間に配置された剛性体スペーサーによりギャップ量が確定された空間を形成し、且つ２枚の第２電極板との間に一対の放電空隙が形成されるように前記空間に前記誘電体ユニットを収容する構成が好ましい。この構成により、誘電体ユニットへの締め付け力の付加が回避されることは前述したとおりである。そして、この締め付け力の回避と前述した誘電板の反りの防止とにより、微小で均一分布のギャップ量を安定的に確保することが可能になる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のオゾン発生装置用放電セルは、１対の誘電板の間に挟まれる第１電極を埋め込み式としたことにより、第１電極が介在することによる１対の誘電板の反りを防止できる。これにより、第２電極との間の放電空隙に配置されるスペーサー部分での荷重集中を低減でき、誘電板の破損を防止できる。また、１対の誘電板の反り防止により、誘電板に接する放電空隙では微小で均一なギャップ量を安定的に確保できる。そのスペーサーを一対の誘電板の各背面に一体形成することにより、スペーサーの部材コストを節減できる。
【００２０】
本発明の別のオゾン発生装置用放電セルは、第１電極を挟む一対の誘電板を電極外側で接着する際に、その接着剤として無溶剤接着剤を使用することにより、第１電極が介在することによる１対の誘電板の反りを防止できる。これにより、第２電極との間の放電空隙に配置されるスペーサー部分での荷重集中を低減でき、誘電板の破損を防止できる。また、１対の誘電板の反り防止により、誘電板に接する放電空隙では微小で均一なギャップ量を安定的に確保できる。そのスペーサーを一対の誘電板の各背面に一体形成することにより、スペーサーの部材コストを節減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の一実施形態を示すオゾン発生装置用放電セルの分解斜視図、図２は同オゾン発生装置用放電セルの主要部の構成を示す模式断面図である。
【００２２】
本実施形態のオゾン発生装置用放電セルは、図１及び図２に示すように、複数枚の水平な板材を板厚方向（垂直方向）に積層して締め付けた積層体であり、より詳しくは、ほぼ正方形の板材からなる誘電体ユニット１０と、誘電体ユニット１０の各背面側に重ね合わされた長方形の板材からなる冷却体２０，２０と、誘電体ユニット１０と共に冷却体２０，２０の間に配置されたスペーサー３０，３０と、上段の冷却体２０の背面側にエンドプレート４０を介して重ねられたトッププレート５０と、下段の冷却体２０の背面側に重ね合わされたボトムプレート６０とを備えている。
【００２３】
換言すれば、このオゾン発生装置用放電セルは、誘電体ユニット１０、冷却体２０，２０及びエンドプレート４０を、トッププレート５０とボトムプレート６０の間に挟んで板厚方向に締め付け固定した積層体であり、誘電体ユニット１０の両側で冷却体２０，２０の間にスペーサー３０，３０を挟むことにより、冷却体２０，２０の間に誘電体ユニット１０の収容空間を確保している。エンドプレート４０、トッププレート５０及びボトムプレート６０は、冷却体２０，２０と同じ長方形の板材である。
【００２４】
誘電体ユニット１０は、ほぼ正方形のガラス板からなる１対の誘電板１１，１１と、誘電板１１，１１の間に挟まれたほぼ正方形の高圧電極１２とを備えている。誘電板１１，１１の厚さは例えば１．０ｍｍである。高圧電極１２は第１電極であって、誘電板１１，１１より一回り小さい、例えば厚さが０．３ｍｍのステンレス鋼薄板からなる。
【００２５】
誘電板１１，１１の各対向面には、高圧電極１２が嵌合するほぼ正方形の凹部１３，１３が設けられている。凹部１３，１３は、誘電板１１，１１の対向面の外縁部を除く部分にブラスト処理等により形成された均等厚の浅い窪みであり、その合計深さが高圧電極１２の厚さに一致するように設計されている。凹部１３，１３内に高圧電極１２が埋設収容されることにより、誘電板１１，１１は、高圧電極１２より外側の外縁部で自然に密着することになり、その密着部分でエポキシ樹脂等により接着されている。
【００２６】
一方、誘電板１１，１１の各背面には、正面側から背面側へ延びる複数のリブ１５，１５・・が横幅方向に所定の間隔で設けられている。また周囲外縁部にも同様の凸部が設けられている。リブ１５，１５・・は断面が四角形、ここでは台形状であり、凸部以外の部分をブラスト処理等で除去することにより形成されている。これらのリブ１５，１５・・により、誘電板１１，１１と背面側の冷却体２０，２０との間には、均等なギャップ量の放電空隙７０，７０が形成される。
【００２７】
換言すれば、誘電板１１，１１と背面側の冷却体２０，２０との間に形成される放電空隙７０，７０のギャップ量の保持・均一化のために、各誘電板１１の背面にリブ１５，１５・・がスペーサーとして一体形成されているのである。放電空隙７０での円滑なガス流通のために、リブ１５，１５・・は長手方向中間部で分断されており、その前後で横幅方向に偏位している。リブ１５，１５・・の高さは例えば０．３ｍｍである。
【００２８】
正方形状の誘電体ユニット１０は、横に長い長方形状の冷却体２０，２０の間から正面側及び背面側に突出している。高圧電極１２の一部は端子部１４として誘電板１１，１１の間から正面側へ引き出されており、端子部１４が通過する部分にも、凹部１３，１３に連続する溝部が設けられている。誘電体ユニット１０の厚みは、誘電板１１，１１の合計厚みであり、後述するスペーサー３０，３０の各厚みと実質同一である。
【００２９】
誘電体ユニット１０と共に冷却体２０，２０の間に配置されるスペーサー３０，３０は、誘電体ユニット１０と同じ厚みのステンレス鋼板からなり、誘電体１０の両側に位置して冷却体２０，２０間に配置されている。各スペーサー２０には、冷却水が通過する前後一組の円形をした冷媒孔３１，３１が設けられると共に、オゾンガスが流通する四角形のガス孔３２が、冷媒孔３１，３１の間に位置して設けられている。各スペーサー２０には又、締め付け用のボルトが貫通する複数のボルト孔が設けられている。
【００３０】
冷却体２０，２０は、２枚の横に長い長方形のステンレス鋼板を接合し、接合面間に形成された通水路に冷却水を流通させる平板型のジャケットであり、第２電極（接地電極）を兼ねている。各冷却体２０の両側部には、冷却水が通過する円形の冷媒孔２１，２１が、スペーサー３０の冷媒孔３１，３１に対応して設けられると共に、オゾンガスが流通する四角形のガス孔２２が、スペーサー３０のガス孔３２に対応して設けられている。
【００３１】
各冷却体２０には又、複数のボルト孔が設けられると共に、横に長いスリット状のガス路２３が両側のガス孔２２，２２の間に位置して設けられている。ガス路２３は、冷却体２０の前後方向の中間部に位置しており、両側のガス孔２２，２２とは、ステンレス鋼板の接合面間に形成されたガス路を介して連通している。
【００３２】
片側の二つの冷媒孔２１，２１は、接合面間に形成された通水路により相互に連通すると共に、反対側の二つの冷媒孔２１，２１とも、接合面間に形成された通水路により連通している。これらの通水路は、両側のガス孔２２，２２、その間のガス路及びボルト孔を避けて設けられている。
【００３３】
エンドプレート４０は、上段の冷却体２０のガス路２３を上側から閉じる蓋板で、冷却体２０，２０と同じ大きさの１枚のステンレス鋼板からなり、冷却体２０，２０の冷媒孔２１，２１に対応する位置に冷媒孔４１，４１、ガス孔２２に対応する位置にガス孔４２をそれぞれ有している。また、冷却体２０，２０と同じ位置にボルト孔を有している。
【００３４】
ボトムプレート６０は、下段の冷却体２０の冷媒孔２１，２１、ガス孔２２及びガス路２３を下側から閉じる蓋板であり、冷却体２０，２０と同じ大きさの１枚のステンレス鋼板からなる。端板を兼ねるボトムプレート６０は厚板とされている。ボトムプレート６０の４隅部表面には、シールリングを収容する円形の凹部６１が、冷却体２０の４隅部のガス孔２１に対応して設けられている。また、複数のボルト孔が冷却体２０と同じ位置に設けられている。
【００３５】
トッププレート５０は、エンドプレート４０の冷媒孔４１，４１及びガス孔４２を上から閉じる蓋板であり、ボトムプレート６０と同様に１枚のステンレス鋼厚板により構成されている。トッププレート５０の一隅部には、冷媒導入孔５１が貫通して設けられており、対角位置にある隅部には、冷媒排出孔５２が貫通して設けられている。また中心部には、ガス排出孔５３が貫通して設けられており、エンドプレート４０と同じ位置にはボルト孔が設けられている。
【００３６】
冷媒導入孔５１は、トッププレート５０の裏面に形成された溝部を介してエンドプレート４０の一方の側の冷媒孔４１，４１に連通しており、冷媒排出孔５２は、トッププレート５０の裏面に形成された溝部を介してエンドプレート４０の他方の側の冷媒孔４１，４１に連通している。また、ガス排出孔５３は、トッププレート５０の裏面に形成された溝部を介してエンドプレート４０の両側のガス孔４２，４２に連通している。
【００３７】
本実施形態のオゾン発生装置用放電セルは、次のようにして組み立てられる。
【００３８】
誘電体ユニット１０を構成する誘電板１１，１１の間に高圧電極１２を挟み、高圧電極１２の外側で誘電板１１，１１の外縁部同士を接着する。誘電板１１，１１の間の高圧電極１２は、誘電板１１，１１の対向面に形成された凹部１３，１３に嵌まり込む。これにより、誘電板１１，１１の外縁部同士が密着し、その密着部を接着するにもかかわらず、誘電板１１，１１に反りは生じない。こうして誘電体ユニット１０が完成する。
【００３９】
ボトムプレート６０、下段の冷却体２０、誘電体ユニット１０及びその両側のスペーサー３０，３０、上段の冷却体２０、エンドプレート４０、並びにトッププレート５０を下から順に重ね合せ、所定本数の貫通ボルトにより板厚方向に締め付ける。これにより放電セルが完成する。
【００４０】
完成した放電セルでは、誘電体ユニット１０の両面側の冷却体２０，２０との間に放電空隙７０，７０が形成される。両側部では、冷却体２０，２０、スペーサー３０、エンドプレート４０の各冷媒孔が合体してそれぞれ２つの縦向き冷媒流路が形成されると共に、各ガス孔が合体して一つの縦向きガス流路が形成される。
【００４１】
ボルト締めに伴う締め付け圧力は、ボトムプレート６０の両側部、下段の冷却体２０の両側部、両側のスペーサー３０，３０、上段の冷却体２０の両側部、エンドプレート４０の両側部、及びトッププレート５０の両側部に付加され、スペーサー３０，３０の間の誘電体ユニット１０には実質的に付加されない。
【００４２】
すなわち、両側のスペーサー３０，３０により、上下の冷却体２０，２０の間にギャップ量が確定した空間が形成され、ここに誘電体ユニット１０が配置される。しかも、誘電体ユニット１０は反りを生じておらず、厚みの公差も少ない。誘電体ユニット１０の厚みの公差が少ないのは、誘電体ユニット１０の厚みが、冷却体２０，２０の合計厚みにより決定され、高圧電極１２の厚みやワイヤスペーサーの外径の公差の影響を受けないためである。このため、誘電板１１のリブ１５，１５・・が対向する冷却体２０の表面に均等に面接触し、両面側の放電空隙７０，７０の各ギャップ量が同じに維持される。また、リブ１５，１５・・に付加される圧力は僅かで均等なため、誘電板１１，１１の割れが防止される。更には微小で均一なギャップ量が安定して得られる。
【００４３】
放電セルの運転では、当該セルがタンクに収容され、そのタンク内に原料ガスが供給される。第２電極である冷却体２０，２０は接地され、第１電極である高圧電極１２に所定の高周波高電圧が印加される。また、トッププレート５０の冷媒導入孔５１から冷却水が導入される。
【００４４】
タンク内の原料ガスは、誘電体ユニット１０の両面側に形成された放電空隙７０，７０に正面側及び背面側から流入し、放電空隙７０，７０を中央部に向かう過程でオゾン化される。こうして生成されたオゾンガスは、冷却体２０，２０のガス路２３，２３に導かれて両側へ方向転換し、両側の縦向きのガス流路を通ってトッププレート５０のガス排出孔５３から外部へ取り出される。
【００４５】
トッププレート５０の冷媒導入孔５１からセル内へ導入された冷却水は、セルの一方の側部に形成された二つの縦向き冷媒流路を通って上下の冷却体２０，２０に流入し、これらを通過した後、セルの他方の側部に形成された二つの縦向き冷媒流路を通ってトッププレート５０の冷媒排出孔５２から排出される。これにより、放電空隙７０，７０が上下から効率よく冷却される。
【００４６】
このように、本実施形態のオゾン発生装置用放電セルでは、誘電体ユニット１０の高圧電極１２が、誘電板１１，１１の接着により固定されている。また、誘電体ユニット１０自体も、冷却体２０，２０の間でがたつきなく固定されている。これらのため、放電空隙７０，７０のギャップ量が均等かつ均一になる。また、このようながたつきのない固定構造が採用されるにもかかわらず、高圧電極１２が誘電板１１，１１間に埋め込まれるため、誘電板１１，１１の変形が発生しない。また、スペーサーであるリブ１５，１５・・も均等圧力で面接触している。これらのため、誘電体ユニット１０の誘電板１１，１１に集中荷重が付加される危険がなく、誘電板１１，１１に割れが生じない。更に、誘電板１１，１１の変形によるギャップ量の不均一も生じない。
【００４７】
放電空隙７０，７０におけるギャップ量管理のためのスペーサーとして、誘電板１１，１１の各表面にリブ１５，１５・・を一体形成したので、そのスペーサーとしてステンレス鋼ワイヤを用いる場合と比べてスペーサーコストが下がる。誘電板１１，１１に対するワイヤの線接触がなくなり、この観点から誘電板１１，１１の割れが回避されることは前述したとおりである。
【００４８】
誘電体ユニット１０の高圧電極１２は、本実施形態では誘電板１１，１１の両方に均等に埋設したが、誘電板１１，１１の両方に不均等に埋設することもでき、誘電板１１，１１の片方に埋設することもできる。
【００４９】
図３は本発明の別の実施形態を示すオゾン発生装置用放電セルの主要部の構成を示す模式断面図である。
【００５０】
本実施形態のオゾン発生装置用放電セルは、前述のオゾン発生装置用放電セルと比べて誘電体ユニット１０の構造が相違する。ここにおける誘電体ユニット１０は、２枚の誘電板１１，１１の間に高圧電極１２を挟んだ構造をしており、その高圧電極１２は、誘電板１１，１１の間に埋め込まれていない。
【００５１】
すなわち、誘電板１１，１１の対向面は平坦であり、この間に一回り小さい高圧電極１２を挟み、高圧電極１２より外側の外縁部で誘電板１１，１１が無溶剤接着剤８０により接着されている。すなわち、反り防止用のスペーサーを介在させるために、誘電板１１，１１は前記外縁部で部分的に接着されており、より詳しくは、接着の際に非接着部に反り防止用のスペーサーを介在させ、誘電板１１，１１同士を外縁部で無溶剤接着剤８０により接着した後にスペーサーを誘電板１１，１１の間から引き抜くことにより、誘電板１１，１１は前記外縁部で部分的に接着されている。
【００５２】
無溶剤接着剤８０は、溶剤を含まない樹脂接着剤であるために凝固時に溶剤の揮発がなく収縮が生じない。加えて、無溶剤接着剤８０による接着の際に、高圧電極１２と同じ厚みのスペーサーを高圧電極１２より外側の誘電板１１，１１間に、接着部を避けて介在させている。これらのために、高圧電極１２を誘電板１１，１１に埋め込みしていないにもかかわらず、誘電板１１，１１の接着に伴う反りが防止される。
【００５３】
誘電体ユニット１０以外の部分の構造は、前述のオゾン発生装置用放電セルと同じであり、同一部分については同一番号を付与することにより、説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の一実施形態を示すオゾン発生装置用放電セルの分解斜視図である。
【図２】同オゾン発生装置用放電セルの主要部の構造を示す模式断面図である。
【図３】本発明の別の実施形態を示すオゾン発生装置用放電セルの主要部の構造を示す模式断面図である。
【図４】従来のオゾン発生装置用放電セルの主要部の構造を示す模式断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  誘電体ユニット
１１  誘電板
１２  高圧電極（第１電極）
１３  凹部
１４  端子部
１５  リブ
２０  冷却体（接地電極，第２電極）
３０  スペーサー
４０  エンドプレート
５０  トッププレート
６０  ボトムプレート
７０  放電空隙
８０  無溶剤接着剤
【図１】
2007084403.tif 000003
【図２】
2007084403.tif 000004
【図３】
2007084403.tif 000005
【図４】
2007084403.tif 000006