(57)【要約】      （修正有）【課題】液晶用ガラスの研削研磨加工を全自動で実施可能な両面研削研磨方法を提供する。【解決手段】送出側カセット手段１と、加工前仮置き台２と、研削研磨加工手段３と、洗浄手段４と、反転手段５と、加工後仮置き台６と、保護用テープ貼着手段７と、保護用テープ剥離手段８と、収納側カセット手段９と、第１の移送手段１０と、第２の移送手段１１と、第３の移送手段１２とを用いて、対向基板に研削又は研磨加工する工程と、反転させて基板を上方にする工程と、保護用テープ貼着手段７に移送させる工程と、保護用テープを貼着する工程と、基板に研削又は研磨加工する工程と、反転させて対向基板を上方にする工程と、保護用テープを剥離する工程とを含む。【選択図】図１
2007140373.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスの両面を研削研磨加工する方法であって、前記液晶用ガラスの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段と、加工前仮置き台と、チャック機構を等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす研削研磨加工用テーブルと該チャック機構の上方に研削又は研磨装置とを備えた研削研磨加工手段と、洗浄手段と、反転手段と、加工後仮置き台と、保護用テープ貼着手段と、保護用テープ剥離手段と、収納側カセット手段と、第１の移送手段と、第２の移送手段と、第３の移送手段とを用いて、前記送出側カセット手段から液晶用ガラスを単品毎に第１の移送手段で加工前仮置き台に仮置きする工程と、前記加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第２の移送手段で研削研磨加工用テーブルのチャック機構に移送する工程と、前記チャック機構に移送させた液晶用ガラスの対向基板に研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、前記研削研磨加工手段で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第２の移送手段で洗浄手段に移送する工程と、前記洗浄手段で加工後の液晶用ガラスを洗浄する工程と、洗浄後の液晶用ガラスを反転手段で反転させて基板を上方にする工程と、前記反転手段で基板を上方に反転させた液晶用ガラスを第３の移送手段で加工後仮置き台に移送する工程と、前記加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ貼着手段に移送させる工程と、前記保護用テープ貼着手段で液晶用ガラスの基板の周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着する工程と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスを第１の移送手段で加工前仮置き台に仮置きする工程と、前記加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第２の移送手段で研削研磨加工用テーブルのチャック機構に移送する工程と、前記チャック機構に移送させた液晶用ガラスの基板に研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、前記研削研磨加工手段で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第２の移送手段で洗浄手段に移送する工程と、前記洗浄手段で加工後の液晶用ガラスを洗浄する工程と、洗浄後の液晶用ガラスを反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程と、前記反転手段で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスを第３の移送手段で加工後仮置き台に移送する工程と、前記加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ剥離手段に移送させる工程と、前記保護用テープ剥離手段で液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離する工程と、保護用テープを剥離した液晶用ガラスを第１の移送手段で収納側カセット手段に収納させる工程と、を含むことを特徴とする液晶用ガラスの両面研削研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、矩形状の板体の基板と対向基板とを積層し、該基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を膨出させた液晶ディスプレーに用いる液晶用ガラスの両面に研削研磨加工を施すための両面研削研磨方法に関するものであって、更に詳細には、液晶用ガラスを研削研磨加工する一軸の研削研磨加工用テーブル手段と研削又は研磨装置との研削研磨加工手段と、液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部のプリント印刷を保護する保護用テープを貼着する保護用テープ貼着手段と、該保護用テープを剥離させる保護用テープ剥離手段と、夫々間を予め設定された移送をさせる第１の移送手段と第２の移送手段と第３の移送手段とを備えて全自動で液晶用ガラスの両面研削研磨方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の周縁の若干巾の回路部用段部にプリント印刷を施し積層された液晶用ガラスの両面を全自動で研削研磨加工をする装置は無く、又、片面毎に研削研磨加工をする装置においても、液晶用ガラスの基板の周縁の若干巾を膨出させて対向基板を積層しており、該若干巾にプリント印刷した回路部用段部を傷付けて断線させたり、基板を研削研磨する時に周縁の肉厚が薄く研削研磨だれが発生するために保護用テープを貼着しているが、一旦外に出して貼着させており手間暇係る作業となっており、苦慮している実情である。
【０００３】
例えば、先に開示されている、送出側移送手段で移送させた半導体ウエハを取着するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置へ第１の研磨手段を配設し、第１の研磨手段の上方に位置するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置の下方へ第２の研磨手段を配設し、第２の研磨手段の上方に位置するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置の近傍に洗浄用移送手段を配設し研磨加工後の半導体ウエハを取外すもの（特許文献１参照）や、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード移載機１で搬入し、この板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード台車２で研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａに移送し、この着脱位置Ｌ３ａの板硝子Ｇを上定盤３の吸着面３２ｃに保持させ、上定盤３を研磨処理ラインＬ３に沿う下定盤上に移動して板硝子Ｇの表面を研磨してから上定盤３を着脱位置Ｌ３ａに移動し、この着脱位置Ｌ３ａの研磨後の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード台車５で搬出ラインＬ２側に移送してから、板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード移載機６によって搬出ラインＬ２に搬出するもの（特許文献２参照）や、本発明は、搬送コンベヤー２０の所定位置に板ガラス１を載置して移送し、搬送コンベヤー２０の上方に設けられた回転する研磨具により搬送コンベヤー上の板ガラスを押圧研磨する連続研磨装置で、板ガラス１と略同寸法の板状体５ｂと、研磨パッド２の板ガラス１との接触面全体に当接する領域に埋設された所定の粗面を有するドレッサー５ａとを具備するドレッシングプレート５を準備して、ドレッシングプレート５を搬送コンベヤー２０に載置して移送し、回転する研磨パッド２に接触させることにより研磨パッド２をドレッシングするもの（特許文献３参照）等が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−２１７２１４号公報
【特許文献２】特開２００４−１５４８９３号公報
【特許文献３】特開２００５−１２５４２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
然し乍ら、先に開示された特許文献１のものは、本件出願人が出願人と共に共同開発したもので、全自動２プラテン研磨装置であるが、被加工物は半導体ウエハであり、半導体ウエハには片面の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を有しておらず、従って、保護用テープの保護用テープ貼着手段や保護用テープ剥離手段は備えていないもので、その移送動作は大差するものである。
【０００５】
更に、特許文献２に記載のものでは、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード移載機１で搬入し、この板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード台車２で研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａに移送し、この着脱位置Ｌ３ａの板硝子Ｇを上定盤３の吸着面３２ｃに保持させ、上定盤３を研磨処理ラインＬ３に沿う下定盤上に移動して板硝子Ｇの表面を研磨してから上定盤３を着脱位置Ｌ３ａに移動し、この着脱位置Ｌ３ａの研磨後の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード台車５で搬出ラインＬ２側に移送してから、板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード移載機６によって搬出ラインＬ２に搬出するものであり、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇを研磨処理ラインＬ３に移送し、研磨処理ラインＬ３で研磨後に搬出ラインＬ２に移送させるだけのものである。
【０００６】
更には、特許文献３では、搬送コンベヤー２０の所定位置に板ガラス１を載置して移送し、搬送コンベヤー２０の上方に設けられた回転する研磨具により搬送コンベヤー上の板ガラスを押圧研磨する連続研磨装置であるが、板ガラス１を載置して移送させるのは搬送コンベヤー２０であり、片面の研磨は可能なものであるが、両面の研磨には適応しにくいものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法は、前述の課題に鑑み、鋭意研鑽の結果、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁に回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスの両面を研削研磨する方法であって、液晶用ガラスを収納させた送出側カセット手段と、加工前仮置き台と、チャック機構を等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす研削研磨加工用テーブルと研削又は研磨装置とを備えた研削研磨加工手段と、洗浄手段と、反転手段と、加工後仮置き台と、保護用テープ貼着手段と、保護用テープ剥離手段と、収納側カセット手段と、第１の移送手段と、第２の移送手段と、第３の移送手段とを用いて、送出側カセット手段から液晶用ガラスを第１の移送手段で加工前仮置き台に仮置きする工程と、加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第２の移送手段で研削研磨加工用テーブルのチャック機構に移送する工程と、チャック機構に移送させた液晶用ガラスの対向基板に研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、研削研磨加工手段で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第２の移送手段で洗浄手段に移送する工程と、洗浄手段で加工後の液晶用ガラスを洗浄する工程と、洗浄後の液晶用ガラスを反転手段で反転させて基板を上方にする工程と、反転手段で反転させた液晶用ガラスを第３の移送手段で加工後仮置き台に移送する工程と、加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ貼着手段に移送させる工程と、保護用テープ貼着手段で液晶用ガラスの回路部用段部に保護用テープを貼着する工程と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスを第１の移送手段で加工前仮置き台に仮置きする工程と、加工前仮置き台に仮置きされた液晶用ガラスを第２の移送手段で研削研磨加工用テーブルのチャック機構に移送する工程と、チャック機構に移送させた液晶用ガラスの基板に研削研磨加工手段で研削又は研磨加工する工程と、研削研磨加工手段で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスを第２の移送手段で洗浄手段に移送する工程と、洗浄手段で加工後の液晶用ガラスを洗浄する工程と、洗浄後の液晶用ガラスを反転手段で反転させて対向基板を上方にする工程と、反転手段で反転させた液晶用ガラスを第３の移送手段で加工後仮置き台に移送する工程と、加工後仮置き台に載置させた液晶用ガラスを第１の移送手段で保護用テープ剥離手段に移送させる工程と、保護用テープ剥離手段で液晶用ガラスの周縁の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離する工程と、保護用テープを剥離した液晶用ガラスを第１の移送手段で収納側カセット手段に収納させる工程と、を含むものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法は、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した加工前の液晶用ガラスが収納された送出側カセット手段と、加工前仮置き台と、研削研磨加工手段と、洗浄手段と、反転手段と、保護用テープ貼着手段と、加工後仮置き台と保護用テープ剥離手段と、収納側カセット手段とを備え、夫々の間を予め設定された移送をさせる第１の移送手段と、第２の移送手段と、第３の移送手段とを備えたことにより、基板と対向基板とにより積層され、該基板の周縁にプリント印刷された回路部用段部を膨出且つ露出させて形成した液晶用ガラスの両面を全自動で研削研磨加工を可能とするものであり、保護用テープ貼着手段で貼着した保護用テープにより、印刷回路を保護すると共に、積層された基板と対向基板との段差による周縁の研削研磨だれを防ぐもので、極めて画期的で実用性の高い発明である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法の実施例の図面を用いて詳細に説明すると、図１は本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法に用いる装置の実施例の全体の概要説明図である。
【００１０】
本発明は、矩形状の板体の基板と対向基板とを積層し、該基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を膨出させた液晶ディスプレーに用いる液晶用ガラスＡの両面に研削研磨加工を施すための両面研削研磨方法に関するものであって、更に詳細には、液晶用ガラスＡを研削研磨加工する一軸の研削研磨加工用テーブル３ａと研削又は研磨装置との研削研磨加工手段３と、液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部のプリント印刷を保護する保護用テープを貼着する保護用テープ貼着手段７と、該保護用テープを剥離させる保護用テープ剥離手段８と、夫々間を予め設定された移送をさせる第１の移送手段１０と第２の移送手段１１と第３の移送手段１２とを備えて全自動で液晶用ガラスの両面研削研磨方法に関するものであり、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスＡの両面を研削研磨する方法であって、前記液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段１と、加工前仮置き台２と、チャック機構３ｂを等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす研削研磨加工用テーブル３ａと該チャック機構３ｂの上方に研削又は研磨装置とを備えた研削研磨加工手段３と、洗浄手段４と、反転手段５と、加工後仮置き台６と、保護用テープ貼着手段７と、保護用テープ剥離手段８と、収納側カセット手段９と、第１の移送手段１０と、第２の移送手段１１と、第３の移送手段１２とを用いて、前記送出側カセット手段１から液晶用ガラスＡを単品毎に第１の移送手段１０で加工前仮置き台２に仮置きする工程と、前記加工前仮置き台２に仮置きされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１１で研削研磨加工用テーブル３ａのチャック機構３ｂに移送する工程と、前記チャック機構３ｂに移送させた液晶用ガラスＡの対向基板に研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工する工程と、前記研削研磨加工手段３で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１１で洗浄手段４に移送する工程と、前記洗浄手段４で加工後の液晶用ガラスＡを洗浄する工程と、洗浄後の液晶用ガラスＡを反転手段５で反転させて基板を上方にする工程と、前記反転手段５で基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡを第３の移送手段１２で加工後仮置き台６に移送する工程と、前記加工後仮置き台６に載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１０で保護用テープ貼着手段７に移送させる工程と、前記保護用テープ貼着手段７で液晶用ガラスＡの基板の周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着する工程と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスＡを第１の移送手段１０で加工前仮置き台２に仮置きする工程と、前記加工前仮置き台２に仮置きされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１１で研削研磨加工用テーブル３ａのチャック機構３ｂに移送する工程と、前記チャック機構３ｂに移送させた液晶用ガラＡスの基板に研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工する工程と、前記研削研磨加工手段３で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１１で洗浄手段４に移送する工程と、前記洗浄手段４で加工後の液晶用ガラスＡを洗浄する工程と、洗浄後の液晶用ガラスＡを反転手段５で反転させて対向基板を上方にする工程と、前記反転手段５で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡを第３の移送手段１２で加工後仮置き台６に移送する工程と、前記加工後仮置き台６に載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１０で保護用テープ剥離手段８に移送させる工程と、前記保護用テープ剥離手段８で液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離する工程と、保護用テープを剥離した液晶用ガラスＡを第１の移送手段１０で収納側カセット手段９に収納させる工程と、を含むことを特徴とするものである。
【実施例】
【００１１】
即ち、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法の液晶用ガラスＡは、液晶用のディスプレーとしてＴＦＴや液晶等を介装させるために基板と対向基板とを積層させたものであり、両面に高品質の平坦精度、平面精度を求められるもので、矩形状の液晶用ガラスＡの基板の少なくとも隣り合う２辺の周縁の若干巾（５ｍｍ程度）にプリント印刷された回路部用段部を露出させて形成しているもので、二組の液晶用ガラスＡを一体に形成し基板の３辺の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を設け加工後に半分に切断するものでも、四組を一体に形成し基板の全周の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を設け加工後に十字に切断するものでも構わないものであり、図示する実施例では四組の液晶用ガラスＡを一体にして研削研磨加工を施すものである。
【００１２】
そして、送出側カセット手段１は水平方向を複数の桟体で仕切られており、未加工の液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして、つまり、回路部用段部を設けた面を上方にして、複数の桟体の間に単品毎に収納させているものであり、下方に昇降自在なエレベーター台を設けており、図示する実施例では２セットを配設して夫々液晶用ガラスＡが送出され空に成ると、空に成った送出側カセット手段１を収納されている送出側カセット手段１と取り替えるものである。
【００１３】
次に、加工前仮置き台２は前記送出側カセット手段１と後述する研削研磨加工手段３との間に設けられ、加工前の液晶用ガラスＡを単品毎に仮置きするものである。
【００１４】
次いで、研削研磨加工手段３は研削研磨加工用テーブル３ａと研削又は研磨装置とから成り、研削研磨加工用テーブル３ａには液晶用ガラスＡを吸着又は水張り等の手段でチャックするチャック機構３ｂを等間隔に図示する実施例では４つ配設しているもので、間欠的に回動停止を繰り返えすと共に、チャック機構３ｂの上方には図示しない研削又は研磨装置を配設しており、スピンドル軸の下端にカップホイール砥石や研磨パットや研磨クロス等を設けているものである。
【００１５】
更には、洗浄手段４は水や純水によって液晶用ガラスＡを洗浄するもので、反転手段５は吸盤又は挟持具等をアームの先端に取り付けてバキューム吸着又は挟持させ液晶用ガラスＡの裏表を反転させるもので、加工後仮置き台６は研削研磨加工後の液晶用ガラスＡを一時的に載置させるものである。
【００１６】
そして、保護用テープ貼着手段７は液晶用ガラスＡに保護用テープを貼着するものであり、保護用テープ剥離手段８は液晶用ガラスＡに貼着された保護用テープを剥離させるものであり、保護用テープ貼着手段７、及び、保護用テープ剥離手段８の構造は各種考慮されるものであり、保護用テープを貼着又は剥離できるものなら構わないものである。
【００１７】
更に、収納側カセット手段９は前記送出側カセット手段１と同様な構造であり、水平方向を複数の桟体で仕切られており、加工後の液晶用ガラスＡを複数の桟体の間に単品毎に収納させているもので、下方に昇降自在なエレベーター台を設けており、図示する実施例では２セットを配設し、液晶用ガラスＡが順次収納され満杯になると空の収納側カセット手段９と取り替えるものである。
【００１８】
そして、第１の移送手段１０は左右方向にはレールを配設して自在にスライドさせ、上下方向には伸縮自在な縦軸を配設すると共に、前後方向には進退自在なアームを配設しているもので、アームの先端には液晶用ガラスＡを把持する把持具を設けて、予め設定された移送をするものである。
【００１９】
次に、第２の移送手段１１は伸縮自在な縦軸を旋回自在に配設し、該縦軸に伸縮自在のアームを設け、該アームの先端に把持具等を備えて液晶用ガラスＡを把持させて、予め設定された移送するものである。
【００２０】
次いで、第３の移送手段１２は反転手段５と加工後仮置き台６との間配設しているもので、実施例では反転手段５をレールによりスライドさせて液晶用ガラスＡを予め設定された移送をさせるものである。
【００２１】
本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法は、先ず、加工前仮置き台２に仮置きする工程を実施するもので、送出側カセット手段１から対向基板を上方にした液晶用ガラスＡを単品毎に第１の移送手段１０で加工前仮置き台２に移送して仮置きするもので、送出側カセット手段１の下方に昇降自在に設けたエレベーター台と共動させて第１の移送手段１０で移送するものである。
【００２２】
そして、チャック機構３ｂに移送する工程では、加工前仮置き台２に仮置きされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１１で研削研磨加工用テーブル３ａのチャック機構３ｂに移送するもので、研削研磨加工用テーブル３ａやチャック機構３ｂはその回転を停止させているものである。
【００２３】
次に、液晶用ガラスＡの対向基板に研削又は研磨加工する工程では、チャック機構３ｂに移送させた液晶用ガラスＡの対向基板に研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工を施すもので、実施例では研削研磨加工用テーブル３ａは等間隔に４つのチャック機構３ｂを備えており、間欠的に１／４回転の回動と停止を繰り返えすものであり、最初のポジションのチャック機構３ｂに第２の移送手段１１で移送され乗載された液晶用ガラスＡはバキューム吸着等でチャックされ、研削研磨加工用テーブル３ａを１／４回動させて停止すると、上方からスピンドル軸の下端に研削砥石を備えた研削装置（図示しない）が降下して研削加工を施すもので、更に、研削研磨加工用テーブル３ａを１／４回動させて停止し、上方からスピンドル軸の下端に研磨パットを備えた研磨装置（図示しない）が降下して粗研磨加工を施し、更に、研削研磨加工用テーブル３ａを１／４回動させて停止し、上方からスピンドル軸の下端に研磨クロスを備えた研磨装置（図示しない）が降下して仕上研磨加工を施すものである。
【００２４】
次いで、第２の移送手段１１で洗浄手段４に移送する工程は、研削研磨加工手段３で対向基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１１で把持させて洗浄手段４に移送するものである。
【００２５】
更に、液晶用ガラスＡを洗浄する工程では、研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工を施こされた液晶用ガラスＡを水や純水を噴射させる洗浄手段４で洗浄及び乾燥をするものである。
【００２６】
更には、反転させて基板を上方にする工程では、洗浄後の対向基板が上方に成っている状態の液晶用ガラスＡを反転手段５で把持させて基板が上方に成るように反転させるものである。
【００２７】
そして、加工後仮置き台６に移送する工程では、反転手段５で基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡを第３の移送手段１２で加工後仮置き台６に移送するものであり、第３の移送手段１２はレールを敷設してスライドさせて移送するものである。
【００２８】
次に、保護用テープ貼着手段７に移送させる工程では、加工後仮置き台６に載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１０で保護用テープ貼着手段７に移送させるものである。
【００２９】
更に、保護用テープを貼着する工程では、液晶用ガラスＡの基板の周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着させるもので、前記回路部用段部の厚みと略同じ厚みの保護用テープを貼着するものであり、保護用テープ貼着手段７の構造は各種考慮されるもので、回路部用段部に保護用テープを貼着できるものなら構わないものである。
【００３０】
更には、加工前仮置き台２に仮置きする工程では、保護用テープ貼着手段７で保護用テープを貼着した液晶用ガラスＡを第１の移送手段１０で再度加工前仮置き台２に仮置きするもので、この時、液晶用ガラスＡの基板を上方にしており、前述は液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして研削研磨加工をしたものである。
【００３１】
そして、チャック機構３ｂに移送する工程では、加工前仮置き台２に仮置きされた液晶用ガラスＡを第２の移送手段１１で研削研磨加工用テーブル３ａのチャック機構３ｂに移送するものである。
【００３２】
次に、液晶用ガラスＡの基板に研削又は研磨加工する工程では、チャック機構３ｂに移送させた液晶用ガラスＡの基板に研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工を施すもので、前述と同様に、実施例では研削研磨加工用テーブル３ａに等間隔に４つのチャック機構３ｂを備えており、間欠的に１／４回転の回動と停止を繰り返えすものであり、最初のポジションでチャック機構３ｂに乗載された液晶用ガラスＡはバキューム吸着等でチャックされ、研削研磨加工用テーブル３ａの１／４回動させて停止することにより、上方からスピンドル軸の下端に研削砥石を備えた研削装置（図示しない）が降下して研削加工を施すもので、更に、研削研磨加工用テーブル３ａを１／４回動させて停止し、上方からスピンドル軸の下端に研磨パットを備えた研磨装置（図示しない）が降下して粗研磨加工を施し、更に、研削研磨加工用テーブル３ａを１／４回動させて停止し、上方からスピンドル軸の下端に研磨クロスを備えた研磨装置（図示しない）が降下して仕上研磨加工を施すものである。
【００３３】
次いで、洗浄手段４に移送する工程は、研削研磨加工手段３で基板に研削又は研磨加工をされた液晶用ガラスＡを研磨加工用テーブル３ａのチャック機構３ｂから、第２の移送手段１１で把持させて洗浄手段４に移送するものである。
【００３４】
更に、液晶用ガラスＡを洗浄する工程では、研削研磨加工手段３で研削又は研磨加工を施こされた液晶用ガラスＡを洗浄手段４で水流を噴霧させる等の手段により洗浄及び乾燥をするものである。
【００３５】
更には、反転させて対向基板を上方にする工程では、洗浄後の基板が上方に成った液晶用ガラスＡを反転手段５で把持させて対向基板が上方に成るように反転させるものである。
【００３６】
そして、加工後仮置き台６に移送する工程では、反転手段５で対向基板を上方に反転させた液晶用ガラスＡを第３の移送手段１２で加工後仮置き台６に移送するものである。
【００３７】
次に、保護用テープ剥離手段７に移送させる工程では、加工後仮置き台６に載置させた液晶用ガラスＡを第１の移送手段１０で保護用テープ剥離手段７に移送させるものである。
【００３８】
更に、保護用テープを剥離する工程では、保護用テープ剥離手段７で液晶用ガラスＡの基板の周縁の若干巾の回路部用段部に貼着されている保護用テープを剥離させるものである。
【００３９】
更に、収納側カセット手段９に収納させる工程では、保護用テープ剥離手段７で保護用テープを剥離した液晶用ガラスＡを第１の移送手段１０で収納側カセット手段９に収納させるものであるが、剥離後の保護用テープを洗浄する保護用テープ洗浄手段及び乾燥手段を介装しても構わないものである。
【００４０】
更には、送出側カセット手段１と収納側カセット手段９とは夫々２セットが用意されていて、収納されていた液晶用ガラスＡが空になったり、満杯に収納されたら随時取り替えるものであり、前述の工程を自動的に制御されエンドレスで行うことで液晶用ガラスＡの両面に全自動で研削研磨加工を施せるものである。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、液晶用のディスプレーとしてＴＦＴや液晶等を介装させるために基板の上に対向基板を積層させた液晶用ガラスの研削研磨加工を全自動で実施可能な両面研削研磨方法を提供するものである。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】図１は本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨方法の実施例の全体の概要説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
Ａ      液晶用ガラス
１      送出側カセット手段
２      加工前仮置き台
３      研削研磨加工手段
３ａ    研削研磨加工用テーブル
３ｂ    チャック機構
４      洗浄手段
５      反転手段
６      加工後仮置き台
７      保護用テープ貼着手段
８      保護用テープ剥離手段
９      収納側カセット手段
１０    第１の移送手段
１１    第２の移送手段
１２    第３の移送手段
【図１】
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