(57)【要約】【課題】生産性が良く、安価な配線基板、及びその製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の配線基板において、セラミック基板１とビア導体２との間の空洞部を埋める触媒膜４と金属膜５は、除去されず、従って、従来の研磨工程が不要となって、生産性が良く、安価なものが得られるばかりか、貫通孔１ａの近傍に位置するセラミック基板１の表面には、ビア導体２である銀の析出部２ａが形成されているため、この析出部２ａ上に設けられた触媒膜４は、付着性が向上して、触媒膜４の剥がれの無いものが得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を有するセラミック基板と、前記貫通孔内に設けられたビア導体と、このビア導体に接続された状態で、前記セラミック基板の表面に形成された金属薄膜パターンとを備え、前記ビア導体は、銀、又は銀を主成分とする材料で形成されると共に、前記貫通孔の近傍に位置する前記セラミック基板の表面には、前記ビア導体である銀の析出部が形成され、前記ビア導体の露出面と前記析出部を含む前記貫通孔の近傍に位置する前記セラミック基板の表面には、金属材を含む触媒膜が設けられると共に、前記触媒膜上には、金属膜が設けられ、前記金属膜上を含む前記セラミック基板の表面には、前記金属薄膜パターンが形成されたことを特徴とする配線基板。
【請求項２】
前記触媒膜は、パラジウムで形成されたことを特徴とする請求項１記載の配線基板。
【請求項３】
前記金属膜がニッケル・リンで形成されたことを特徴とする請求項２記載の配線基板。
【請求項４】
前記セラミック基板は、低温焼成セラミック基板で形成されると共に、前記金属薄膜パターンは、銅、又は銅を主成分とする材料で形成されたことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の配線基板。
【請求項５】
セラミック材からなるグリーンシートに貫通孔を設ける工程と、前記貫通孔内に銀、又は銀を主成分とする導体ペーストを設ける工程と、前記グリーンシートと前記導体ペーストを焼成して、前記グリーンシートによってセラミック基板が、また前記導体ペーストによってビア導体が形成されると共に、前記導体ペースト中の銀を前記セラミック基板に拡散させ、前記貫通孔の近傍に位置する前記セラミック基板の表面に銀を析出させて析出部を設ける工程と、前記ビア導体の露出面と前記析出部を含む前記貫通孔の近傍に位置する前記セラミック基板の表面に、金属材を含む触媒膜を設ける工程と、前記触媒膜上に金属膜を設ける工程を備えたことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項６】
前記金属膜上には、銅、又は銅を主成分とする材料からなる金属薄膜パターンが形成されたことを特徴とする請求項５記載の配線基板の製造方法。
【請求項７】
前記触媒膜は、パラジウムで形成されたことを特徴とする請求項５，又は６記載の配線基板の製造方法。
【請求項８】
前記金属膜がニッケル・リンで形成されたことを特徴とする請求項７記載の配線基板の製造方法。
【請求項９】
前記グリーンシートは、低温焼成セラミック基板用の材料で形成されると共に、前記グリーンシートと前記導体ペーストは、８００℃〜９００℃の温度で焼成されたことを特徴とする請求項５から８の何れか１項に記載の配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、種々の電気機器や電子回路ユニット等に使用して好適な配線基板、及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の配線基板、及びその製造方法に係る図面を説明すると、図７は従来の配線基板の要部断面図、図８は従来の配線基板の製造方法に係る第１工程を示す説明図、図９は従来の配線基板の製造方法に係る第２工程を示す説明図、図１０は従来の配線基板の製造方法に係る第３工程を示す説明図、図１１は従来の配線基板の製造方法に係る第４工程を示す説明図である。
【０００３】
次に、従来の配線基板の構成を図７〜図１１に基づいて説明すると、セラミック基板５１には、貫通孔５１ａが設けられ、この貫通孔５１ａ内には、ビア導体５２が設けられている。
【０００４】
また、セラミック基板５１とビア導体５２が焼成された際、セラミック基板５１の表面、ビア導体５２の表面、及び貫通孔５１ａとビア導体５２の間には、空洞部５３が生じるため、先ず、ベーマイト膜５４を設けた上に、ポリイミド膜５５を設けて、空洞部５３を埋めた状態にしている。
【０００５】
そして、空洞部５５以外のベーマイト膜５４とポリイミド膜５５を除去するための研磨工程を行って、セラミック基板５１の表面とビア導体５２の露出面が研磨されて平滑状態になった面には、金属薄膜パターン５６が形成されて、従来の配線基板が構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
次に、従来の配線基板の製造方法を図７〜図１１に基づいて説明すると、先ず、第１工程として図８に示すように、セラミック基板５１とビア導体５２を焼成すると、セラミック基板５１の表面、ビア導体５２の表面、及び貫通孔５１ａとビア導体５２の間には、空洞部５３が生じる。
【０００７】
次に、第２工程として図９に示すように、ベーマイト膜５４がセラミック基板５１の表面とビア導体５２の露出面に設けられた後、ポリイミド膜５５がベーマイト膜５４上に設けられて、空洞部５３がベーマイト膜５４とポリイミド膜５５によって埋められた状態となる。
【０００８】
次に、第３工程として図１０に示すように、先ず、ポリイミド膜５５が研磨工程によって除去された後、第４工程として図１１に示すように、ベーマイト膜５４が研磨工程によって除去され、空洞部５３がベーマイト膜５４とポリイミド膜５５によって埋められた状態で、セラミック基板５１の表面とビア導体５２の露出面を平滑にする。
【０００９】
次に、図７に示すように、平滑となったセラミック基板５１の表面とビア導体５２の露出面には、金属薄膜パターン５６が形成されると、従来の配線基板の製造が完了する（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−８４５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、従来の配線基板、及びその製造方法にあっては、空洞部５３以外のベーマイト膜５４とポリイミド膜５５を除去し、且つ、セラミック基板５１の表面とビア導体５２の露出面を平滑にする研磨工程が必要となって、生産性が悪く、コスト高になるという問題がある。
【００１１】
本発明は、このような従来技術の実情に鑑みてなされたもので、その目的は、生産性が良く、安価な配線基板、及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、貫通孔を有するセラミック基板と、貫通孔内に設けられたビア導体と、このビア導体に接続された状態で、セラミック基板の表面に形成された金属薄膜パターンとを備え、ビア導体は、銀、又は銀を主成分とする材料で形成されると共に、貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面には、ビア導体である銀の析出部が形成され、ビア導体の露出面と析出部を含む貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面には、金属材を含む触媒膜が設けられると共に、触媒膜上には、金属膜が設けられ、金属膜上を含むセラミック基板の表面には、金属薄膜パターンが形成されたことを特徴としている。
【００１３】
このように構成した本発明は、セラミック基板とビア導体との間の空洞部を埋める触媒膜と金属膜は、除去されず、従って、従来の研磨工程が不要となって、生産性が良く、安価なものが得られる。
【００１４】
また、貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面には、ビア導体である銀の析出部が形成されているため、この析出部上に設けられた触媒膜は、付着性が向上して、触媒膜の剥がれの無いものが得られると共に、触媒膜と金属膜は、ビア導体の露出面を覆った状態で、セラミック基板上までなだらかな形状に延びているため、ビア導体の損傷が無くなる上に、金属薄膜パターンは、剥がれの無い状態で確実に形成できる。
【００１５】
また、本発明は、上記発明において、触媒膜は、パラジウムで形成されたことを特徴としている。
【００１６】
このように構成した本発明は、パラジウムの触媒膜の存在によって、ビア導体への付着性、及び触媒膜への金属膜の付着性の良好なものが得られる。
【００１７】
また、本発明は、上記発明において、金属膜がニッケル・リンで形成されたことを特徴としている。
【００１８】
このように構成した本発明は、ニッケル・リンの金属膜の存在によって、ビア導体や金属薄膜パターンのマイグレーションを抑えることができる。
【００１９】
また、本発明は、上記発明において、セラミック基板は、低温焼成セラミック基板で形成されると共に、金属薄膜パターンは、銅、又は銅を主成分とする材料で形成されたことを特徴としている。
【００２０】
このように構成した本発明は、低温焼成セラミック基板であるため、比較的低い温度で、銀の析出部が容易に形成できると共に、銅材によって、導電性の良い金属薄膜パターンが形成できる。
【００２１】
上記の目的を達成するために、セラミック材からなるグリーンシートに貫通孔を設ける工程と、貫通孔内に銀、又は銀を主成分とする導体ペーストを設ける工程と、グリーンシートと導体ペーストを焼成して、グリーンシートによってセラミック基板が、また導体ペーストによってビア導体が形成されると共に、導体ペースト中の銀をセラミック基板に拡散させ、貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面に銀を析出させて析出部を設ける工程と、ビア導体の露出面と析出部を含む貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面に、金属材を含む触媒膜を設ける工程と、触媒膜上に金属膜を設ける工程を備えたことを特徴としている。
【００２２】
このように構成した本発明は、セラミック基板とビア導体との間の空洞部を埋める触媒膜と金属膜は、除去されず、従って、従来の研磨工程が不要となって、生産性が良く、安価なものが得られるばかりか、貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面には、ビア導体である銀の析出部が形成されているため、この析出部上に設けられた触媒膜は、付着性が向上して、触媒膜の剥がれの無いものが得られる。
【００２３】
また、本発明は、上記発明において、金属膜上には、銅、又は銅を主成分とする材料からなる金属薄膜パターンが形成されたことを特徴としている。
【００２４】
このように構成した本発明は、銅材によって、導電性の良い金属薄膜パターンが形成できる。
【００２５】
また、本発明は、上記発明において、触媒膜は、パラジウムで形成されたことを特徴としている。
【００２６】
このように構成した本発明は、パラジウムの触媒膜の存在によって、ビア導体への付着性、及び触媒膜への金属膜の付着性の良好なものが得られる。
【００２７】
また、本発明は、上記発明において、金属膜がニッケル・リンで形成されたことを特徴としている。
【００２８】
このように構成した本発明は、ニッケル・リンの金属膜の存在によって、ビア導体や金属薄膜パターンのマイグレーションを抑えることができる。
【００２９】
また、本発明は、上記発明において、グリーンシートは、低温焼成セラミック基板用の材料で形成されると共に、グリーンシートと導体ペーストは、８００℃〜９００℃の温度で焼成されたことを特徴としている。
【００３０】
このように構成した本発明は、低温焼成セラミック基板が使用され、焼成温度を８００℃〜９００℃にすると、銀の析出部の良好なものが得られる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明は、セラミック基板とビア導体との間の空洞部を埋める触媒膜と金属膜は、除去されず、従って、従来の研磨工程が不要となって、生産性が良く、安価なものが得られるばかりか、貫通孔の近傍に位置するセラミック基板の表面には、ビア導体である銀の析出部が形成されているため、この析出部上に設けられた触媒膜は、付着性が向上して、触媒膜の剥がれの無いものが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
発明の実施の形態について図面を参照して説明すると、図１は本発明の配線基板の要部断面図、図２は本発明の配線基板の製造方法に係る第１工程を示す説明図、図３は本発明の配線基板の製造方法に係る第２工程を示す説明図、図４は本発明の配線基板の製造方法に係る第３工程を示す説明図、図５は本発明の配線基板の製造方法に係る第４工程を示す説明図、図６は本発明の配線基板の製造方法に係る第５工程を示す説明図である。
【００３３】
次に、本発明の配線基板に係る構成を図１〜図６に基づいて説明すると、低温焼成セラミック基板（ＬＴＣＣ）等からなるセラミック基板１には、貫通孔１ａが設けられ、この貫通孔１ａ内には、銀、又は銀を主成分とする材料からなるビア導体２が設けられると共に、貫通孔１ａの近傍に位置するセラミック基板１の表面には、ビア導体２である銀の析出部２ａが形成されている。
【００３４】
即ち、セラミック基板１とビア導体２が焼成された際、銀の析出部２ａが形成されると共に、貫通孔１ａとビア導体２との間には、空洞部３が生じた状態となり、先ず、パラジウム、又はパラジウムを主成分とする金属材からなる触媒膜４が空洞部３を埋めるように、ビア導体２の露出面を含む貫通孔１ａの近傍に位置するセラミック基板１の析出部２ａに設けられる。
【００３５】
ニッケル・リンの金属材からなる金属膜５は、触媒膜４上に設けられると共に、銅、又は銅を主成分とする金属材からなる金属薄膜パターン６は、金属膜５上を含むセラミック基板１の表面に設けられる。
【００３６】
また、金属薄膜パターン６を形成したセラミック基板１の反対面には、厚膜によって形成された導電パターン７がビア導体２に接続された状態で形成されて、本発明の配線基板が構成されている。
【００３７】
なお、上記実施例では、厚膜からなる導電パターン７を使用したもので説明したが、この厚膜導電パターン７に代えて、金属薄膜パターンを使用しても良い。
【００３８】
次に、本発明の配線基板の製造方法を図２〜図６に基づいて説明すると、先ず、第１工程として図２に示すように、低温焼成セラミック基板を形成するためのグリーンシート８に貫通孔１ａを設ける工程を行った後、貫通孔１ａ内にビア導体２を形成するための、銀、又は銀を主成分とする金属材からなる導体ペースト９を設ける工程を行う。
【００３９】
次に、第２工程として図３に示すように、グリーンシート８と導体ペースト９を８００℃〜９００℃の温度で焼成し、グリーンシート８によって低温焼成のセラミック基板１が、また導体ペースト９によってビア導体２が形成されると共に、導体ペースト９中の銀をセラミック基板１に拡散させ、貫通孔１ａの近傍に位置するセラミック基板１の表面に銀を析出させて析出部２ａを設ける工程が行われると、貫通孔１ａとビア導体２との間には、空洞部３が生じる。
【００４０】
次に、第３工程として図４に示すように、パラジウム、又はパラジウムを主成分とする触媒用の水溶液にセラミック基板１を漬して、ビア導体２の露出面と析出部２ａを含む貫通孔１ａの近傍に位置するセラミック基板１の表面、及び、空洞部３を埋めるように触媒膜４を設ける工程を行う。
【００４１】
次に、第４工程として図５に示すように、触媒膜４上に、無電解メッキによってニッケル・リンからなる金属膜５を設ける工程を行うと、触媒膜４と金属膜５は、ビア導体２の露出面を覆った状態で、セラミック基板１上までなだらかな形状に延びた状態になる。
【００４２】
次に、第５工程として図６に示すように、スパッタ蒸着法等によって銅、又は銅を主成分とする金属薄膜パターン６が金属膜５上を含むセラミック基板１の表面に形成されて、金属薄膜パターン６が金属膜５と触媒膜４を介してビア導体２に導通すると、本発明の配線基板の製造が完了する。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の配線基板の要部断面図である。
【図２】本発明の配線基板の製造方法に係る第１工程を示す説明図である。
【図３】本発明の配線基板の製造方法に係る第２工程を示す説明図である。
【図４】本発明の配線基板の製造方法に係る第３工程を示す説明図である。
【図５】本発明の配線基板の製造方法に係る第４工程を示す説明図である。
【図６】本発明の配線基板の製造方法に係る第５工程を示す説明図である。
【図７】従来の配線基板の要部断面図である。
【図８】従来の配線基板の製造方法に係る第１工程を示す説明図である。
【図９】従来の配線基板の製造方法に係る第２工程を示す説明図である。
【図１０】従来の配線基板の製造方法に係る第３工程を示す説明図である。
【図１１】従来の配線基板の製造方法に係る第４工程を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  セラミック基板
１ａ  貫通孔
２  ビア導体
２ａ  銀の析出部
３  空洞部
４  触媒膜
５  金属膜
６  金属薄膜パターン
７  導電パターン
８  グリーンシート
９  導体ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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