(57)【要約】【課題】  ディスク面の内周端側の検査領域と外周端側の検査領域とで浮上が最も低い部分の位置が異なるスライダを用いて検査することにより、全検査領域での過不足のない突起検査を可能とする。【解決手段】  ディスク面の検査領域の内周端から少なくともスライダ幅分の領域は、スライダの内周端付近の浮上が最も低いヘッド１ａを用いて検査し、検査領域の外周端から少なくともスライダ幅分の領域は、スライダの外周端付近の浮上が最も低いヘッド１ｂを用いて検査する。【選択図】        図１
2007026590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
突起検査用ヘッドのスライダを磁気記録媒体のディスク面上に浮上させて当該スライダとディスク面上の突起との接触を検知することでディスク面上に規定高さ以上の突起がないかどうかを検査する磁気記録媒体の突起検査方法において、
前記ディスク面の検査領域の内周端から少なくともスライダ幅分の領域は、スライダの内周端付近の浮上が最も低いヘッドを用いて検査し、検査領域の外周端から少なくともスライダ幅分の領域は、スライダの外周端付近の浮上が最も低いヘッドを用いて検査することを特徴とする磁気記録媒体の突起検査方法。
【請求項２】
前記ヘッドは、ディスク面の回転方向に向いたレールをスライダの少なくとも外周側と内周側に備え、当該レールの幅を互いに異ならせることで、スライダ内周端付近あるいは外周端付近の浮上を最も低くされてなることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の突起検査方法。
【請求項３】
前記ヘッドは、ディスク面の回転方向に向いたレールをスライダの少なくとも外周側と内周側に備え、当該レールの長さを互いに異ならせることで、スライダ内周端付近あるいは外周端付近の浮上を最も低くされてなることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の突起検査方法。
【請求項４】
前記ヘッドは、ディスク面の回転方向に向いたレールをスライダの少なくとも外周側と内周側に備え、当該スライダのサスペンションとの接続位置を外周側レールと内周側レールの中央からずらすことで、スライダ内周端付近あるいは外周端付近の浮上を最も低くされてなることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の突起検査方法。
【請求項５】
前記スライダの内周端付近の浮上が最も低いヘッドと前記スライダの外周端付近の浮上が最も低いヘッドとを個別に設けて用いることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の磁気記録媒体の突起検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体の突起検査方法に関し、特にハードディスク装置に搭載する磁気記録媒体としての磁気ディスクの突起検査（グライドハイトテスト）方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置は磁気記録媒体上を磁気ヘッドがわずかなスペーシングを保って浮上しながらデータの記録再生を行っている。このスペーシングをヘッド浮上量と呼んでいる。記録密度の増大に伴いヘッド浮上量は低下し、近年のハードディスク装置においては、ヘッド浮上量は１０ｎｍ前後になっている。
磁気記録媒体に浮上量以上の高さの突起が存在するとヘッドとディスクが衝突し、その衝突が激しい場合にはヘッドの破壊をおこしたり、媒体に傷を付けたりする。
そのため、媒体の製造工程の最終段階で、実際にヘッドを浮上させて突起がないかどうかを検査する。
この検査をグライドハイトテストと呼んでいる。
その検査は磁気的な記録・再生動作を行う必要がないことと、突起に当ったかどうかを検出する必要があることから、突起検査専用のヘッドが使用されている。
【０００３】
図４に、典型的な突起検査用ヘッド（「グライドヘッド」、「浮上量検査ヘッド」などともいう。）を示す。図４では上側が媒体に近づく側である。突起検査用ヘッド１はスライダ２がサスペンション３を介して保持される構造になっているが、図４のタイプのスライダ２は内周側と外周側にレール２１ａ，２１ｂを持った構造をしており、２レールスライダと呼ばれている。また、ヘッド１には突起に当ったときのスライダ２の振動を検出するために圧電素子５などが付けられており、ヘッド１のスライダ２がディスク面上を相対移動する線速度が速いほどスライダ２の浮上量は高くなる。
図５に、サスペンション３を介して保持機構４に保持されるスライダ２を有してなる突起検査用ヘッド１のスライダ２が回転する磁気ディスク１のディスク面上に浮上している様子を示す。但し、図５は概念を説明するために誇張された図であり、実際にはスライダ２のスケールに対してヘッド・ディスク間は非常に小さく、スライダ２の角度も図よりも水平に近いものとなっている。また、図５では図４とスライダ２の上下が逆になっている。
【０００４】
図５に示すように、スライダ２の中で浮上高さが最も低いのはレールの部分の流出端２２であり、この部分が検査したい浮上量になるように、磁気ディスク１０の回転数などを制御してグライドハイトテストを行う。
グライドハイトテストでは、ヘッド浮上ばらつきなどのマージンを見て、ハードディスク装置で実際に使用されるヘッドの浮上量よりも低い浮上量で検査している。
このような２レールスライダでは内周側レール２１ａと外周側レール２１ｂ（図４）は原理上はほぼ等しい浮上量となるが、スライダ２をサスペンション３に取り付ける位置の製造上のずれや、スライダ２への潤滑剤や汚れの付着などにより、内外周のレールのバランスは容易に変わり、個々のヘッドの製造ばらつきにより外周と内周のどちらが低いかが異なるのみならず、同一のヘッドであっても何枚もの媒体にグライドハイトテストを行っている間に変化することもある。
【０００５】
グライドハイトテストを行う検査機における半径位置は、スライダの中央に合わせるか、あるいは内周・外周のどちらかのレールに合わせている。
前述のように、内周側と外周側のレールはほぼ等しい浮上量であるが、実際にはどちらかのレールが低くなっていることが多い。圧電素子５により突起を検出した場合に、それが内周側レール２１ａへの衝突なのか、あるいは外周側レール２１ｂへの衝突なのかは判別することができない。
したがって、突起が検出された半径位置は、スライダの中央に半径位置を合わせた場合は、図６（ａ）（ｂ）に示すように、スライダ幅の＋１／２または−１／２が常に位置誤差となり、またどちらかのレールに半径位置を合わせた場合には、図７（ａ）（ｂ）に示すように、位置誤差はほぼ０かまたはスライダ幅分の誤差のどちらかとなる。
【０００６】
なお、図６，図７はスライダ流出端側から見た図であり、横方向がディスクの半径方向となっている。また、ここで言うスライダ幅とは、２レールの最内周側から最外周側の長さを指しており、図４でのレールの外側の部分や圧電素子５、サスペンション３などは含まない。
このため、検査領域の最内周側あるいは最外周側の少なくとも一方には、スライダの最も低い部分が通過しない領域が残ることになり、この領域に関しては正確な突起検査が行えない。図８にこの例を示す。
これを改善するため、特許文献１では片側のスライダが必ず低くなる構造のグライドヘッドが記載されている。通常はディスク外周端側をできるだけ多く使用することが要求されるので、外周側レールが低く浮上するヘッドを使用して検査する。
【０００７】
これにより外周側レールに半径位置を合わせ、外周側レールが全検査領域を通るようにすることで、全検査領域に対し正確な突起検査を行うことができる。
【特許文献１】特開２００２−１９０１０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このように片側のレール、例えば外周側レールが必ず低い浮上となるように設計された突起検査用ヘッドを使用した場合でも、内周側レールはそれより少し高い浮上量で浮上している。
そのため、本来突起があったり浮上が不安定であっても許される最内周の使用外領域に対しても、緩やかな条件ではあるが検査されることとなり、ある程度以上の高さの突起があったり、浮上不安定要因があったりすると、本来良品として許されるものが不良品として判定されてしまうという問題点がある。この例を図９に示す。
近年、記録密度の向上と、各種携帯用電子装置の普及から、外径１インチあるいは０．８５インチといった非常に小径の磁気記録媒体も使用されている。このような小径媒体においては、ディスク径に対するスライダ幅が相対的に大きくなるため、前述の本来検査しなくても良いはずの領域が検査されるという過剰に検査されてしまう領域の比率が、相対的に大きくなる。
【０００９】
例えば、通称５０％スライダあるいはナノスライダと呼ばれるスライダサイズにおいては、スライダ幅は、０．８５インチサイズの記録媒体の全半径領域（内周端から外周端まで）の約２０％にも相当する。これより小さい通称３０％スライダあるいはピコスライダと呼ばれるスライダサイズにおいても、スライダ幅は０．８５インチ記録媒体の全半径領域の約１３％に相当する。
さらに、小径ディスクでは、ディスクのクランプ機構に突起検査用ヘッドの一部（サスペンションなど）が衝突してしまうことから、スライダが十分内周に移動することができず、検査しなければならない領域を外側レールで検査しきれないという問題がある。
本発明は、上述の点に鑑み、突起検査用ヘッドのスライダを磁気記録媒体のディスク面上に浮上させてスライダとディスク面上の突起との接触を検知することでディスク面上に規定高さ以上の突起がないかどうかを検査する磁気記録媒体の突起検査方法において、ディスク面の内周端側の検査領域と外周端側の検査領域とで浮上が最も低い部分の位置が異なるスライダを用いて検査することにより、全検査領域での過不足のない突起検査を可能とする磁気記録媒体の突起検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上述の課題を解決するため、ディスク面の検査領域の内周端から少なくともスライダ幅分の領域は、スライダの内周端付近の浮上が最も低いヘッドを用いて検査し、検査領域の外周端から少なくともスライダ幅分の領域は、スライダの外周端付近の浮上が最も低いヘッドを用いて検査することを特徴とする。
ここで、ヘッドは、ディスク面の回転方向に向いたレールをスライダの少なくとも外周側と内周側に備え、それらのレールの幅や長さを互いに異ならせること、あるいはスライダのサスペンションとの接続位置を外周側レールと内周側レールの中央からずらすことで、スライダ内周端付近あるいは外周端付近の浮上を最も低くされてなるものとすることができ、スライダの内周端付近の浮上が最も低いヘッドとスライダの外周端付近の浮上が最も低いヘッドとを個別に設けて用いることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ディスク面の検査領域の内周端から少なくともスライダ幅分の領域は、スライダの内周端付近の浮上が最も低いヘッドを用いて検査し、検査領域の外周端から少なくともスライダ幅分の領域は、スライダの外周端付近の浮上が最も低いヘッドを用いて検査するので、従来のように検査領域の端部において検査が緩くなる領域や過剰に検査する領域が存在するという問題点を解決し、検査が必要な全検査領域に対して過不足なく規定どおりの正確な検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図１は、本発明に係る磁気記録媒体の突起検査方法の実施形態の説明図である。図１に示すように、この実施形態においては、内周側レールの浮上を低くした突起検査用ヘッド１ａと、外周側レールの浮上を低くした突起検査用ヘッド１ｂの、ディスク片面につき少なくとも２本のヘッドを用いて突起の検査を行う。なお、各ヘッド１ａ，１ｂの構成は、各レールの浮上高さの点を除き図４，５のものと同様である。
まず、ヘッド１ａをディスク上方から回転中のディスク面に徐々に近づけて行く。この動作をヘッドのローディングと呼ぶ。規定距離まで近づけると、サスペンションばねによる圧力と、ディスク上の空気流によりスライダが受ける浮上力とのつりあいにより、スライダがディスクとごくわずかなスペーシングを保って浮上する。
【００１３】
そして、ヘッド１ａを検査開始半径である突起検査領域の最内周位置に移動させる。ローディングを行う半径位置と検査開始半径位置は一致していても、離れていても良い。それと同時にディスクの回転数も、検査開始半径位置において設定した線速度になるような回転数に調整する。
その後、ヘッド位置を少しずつ外周側に動かしながら、ヘッド１ａの圧電素子の信号をモニタする。信号振幅が大きくなった個所はヘッド１ａのスライダが振動した場所であり、スライダとディスクの衝突と考えられる。あらかじめ定めた振幅値以上になった場所を検査機が記憶しておく。
この際のヘッド１ａの動かし方は、同心円上に一回転終わる毎にステップ動作で動かしても良く、またスパイラル状に連続して動かしても良いが、各地点をスライダのレールが必ず通るようにするため、一回転あたりの移動距離はレール幅以下である必要がある。
【００１４】
また、線速度を一定に保つために、ディスクを外周側に動かすのに合わせて、ディスク回転数をすこしずつ遅くしていく必要がある。
このようにして、ヘッド１ａの内周側レールが検査ヘッド切替半径となる位置まで検査を継続する。
検査ヘッド切替半径まで検査した後、ヘッド１ａをディスク上から徐々に遠ざける。この動作をヘッドのアンローディングと呼ぶ。アンローディングの際のディスク回転数は、検査時の線速度となる回転数でも良いし、より安定してアンローディングを行うためにやや速めの回転数に調整しても良い。また、アンローディングする半径位置も検査ヘッド切替半径でも良いし、別の半径位置に移動してからアンローディングを行っても良い。
検査ヘッド切替半径は、突起検査領域の中の半径位置であり、かつ突起検査領域の最内周位置および最外周位置からスライダ幅分以上離れていればどこでも良い。通常は、突起検査領域の半径範囲の中央付近にすれば良い。
【００１５】
ヘッド１ａでの検査が終わりアンローディングした後、ヘッド１ｂをローディングし、検査ヘッド切替半径に移動する。ヘッド１ａの半径位置は内側レールで見ていたが、ヘッド１ｂの半径位置は外側レールで見ている。
ヘッド１ａの場合と同様に、ヘッド１ｂを少しずつ外周側にずらしながら圧電素子の出力により突起がないかどうか検査していく。この際、ディスク回転数は線速度が一定になるよう調整する。
ヘッド１ｂの位置が突起検査領域の最外周位置になったら、ヘッド１ｂをアンローディングし、ディスク回転を止めて検査を終了する。
ヘッド１ａまたはヘッド１ｂのいずれかの検査において、規定値以上の振幅の信号が検出された場合には、このディスクを不良と判定する。規定値以上の振幅が見られなかった場合に、このディスクは良品となる。
【００１６】
なお、以上の説明はディスク片面の場合で説明した。通常磁気ディスクは両面を使用する場合が多い。その場合当然両面のどちらかが不良であれば、そのディスクは不良となる。また、両面を検査する場合、片面ずつ検査しても良いが、通常は検査時間を短縮するために、ディスクの上下面に同時にヘッドをローディングし、両面同時に検査を行っている。
また、以上の説明では、ヘッド１ａを用いて内周側から外周側へ検査し、その後ヘッド１ｂを用いて内周側から外周側へと検査を行ったが、検査順およびヘッドの移動方向に関しては特に制約事項は無い。すなわち、ヘッド１ａを用いる内周側の検査とヘッド１ｂを用いる外周側の検査のどちらを先に行っても良く、またそれぞれ内周から外周へと移動しても良いし、外周から内周へと移動しても良い。
【００１７】
ヘッド１ａは内周側レールが低く、ヘッド１ｂは外周側レールが低くなるようにしているが、このように２レールスライダのヘッドにおいて片側のレールが低くなるようにする方法の例について、以下に述べる。
図２は、スライダ２の内周側レール２１ａの幅を外周側レール２１ｂの幅よりも広くしたものであり、図３は、スライダ２の内周側レール２１ａの長さを外周側レール２１ｂの長さより短くしたものである。これらの図は、図４と同様、上面がディスクに近づく面であるが、図４と異なりスライダのレール部のみを記載している。一般的には、幅が広い方のレールが、あるいは長さが長い方のレールが受ける力が大きくなるため、浮上が高くなる。
また、スライダは従来と同一のものであっても、スライダとサスペンションの接続位置を変えることで、内周側レールと外周側レールの浮上高さに差を付けることができる。通常は内周側レールと外周側レールの中央位置でサスペンションと接続しているが、これを例えば内周側レールに近づけることにより、外周側レールの浮上が高くなり、内周側レールの浮上が低くなる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る磁気記録媒体の突起検査方法の実施形態の説明図である。
【図２】本発明に係る磁気記録媒体の突起検査方法に用いる突起検査用ヘッドのスライダの実施形態を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る磁気記録媒体の突起検査方法に用いる突起検査用ヘッドのスライダの別の実施形態を示す斜視図である。
【図４】従来の典型的な突起検査用ヘッドの構成を示す斜視図である。
【図５】突起検査用ヘッドの浮上状態を説明するための概念図である。
【図６】検査機が認識するヘッドの半径位置をスライダの中央に合わせた場合の従来技術の問題点の説明図である。
【図７】検査機が認識するヘッドの半径位置を一方のレールに合わせた場合の従来技術の問題点の説明図である。
【図８】突起検査が正確に行えない領域が残る従来技術の問題点の説明図である。
【図９】突起検査が過剰となる領域が生じる従来技術の問題点の説明図である。
【符号の説明】
【００１９】
１，１ａ，１ｂ    突起検査用ヘッド
２      スライダ
２１ａ  内周側レール
２１ｂ  外周側レール
３      サスペンション
５      圧電素子
１０    磁気ディスク（磁気記録媒体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007026590.tif 000009
【図８】
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【図９】
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