(57)【要約】【課題】入力された作業者の個人情報に対応する操作レベルに応じた項目を操作できる半導体製造装置において、処理レシピに関して不正な操作を防止することのできる技術を提供する。【解決手段】半導体製造装置は、作業者のレベルに応じて設定された操作レベルに関する項目の操作が行えるようになっている。そして、作業者が実行を要求した操作項目に基板の処理を行うための処理レシピの操作が含まれている場合に、この処理レシピ操作の許可を行う承認者の身体情報の入力を要求し、入力された身体情報が記憶部４に予め登録されている身体情報と一致したことを条件として処理レシピの操作を許可する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置を操作できる項目を、作業者のレベルに応じて段階的に分けて各段階を操作レベルとし、入力された作業者の個人情報に対応する操作レベルを登録データから選択してその操作レベルに応じた項目の操作が行えるように構成された半導体製造装置において、
操作について承認を行う承認者の身体情報を入力する身体情報入力手段と、
承認者の身体情報が登録された記憶部と、
操作レベルに応じた項目の中に基板の処理を行うための処理レシピの操作項目が含まれるときに、前記身体情報入力手段により入力された承認者の身体情報と前記記憶部に登録されている身体情報とが一致したことを条件として、処理レシピの操作について許可する手段と、を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】
半導体製造装置を操作できる項目を、作業者のレベルに応じて段階的に分けて各段階を操作レベルとし、入力された作業者の個人情報に対応する操作レベルを登録データから選択してその操作レベルに応じた項目の操作が行えるように構成された半導体製造装置において、
基板の処理を行うための処理レシピの操作項目を選択したときに、音声を出力する音声出力手段を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項３】
基板の処理を行うための処理レシピの操作項目を選択したときに、当該処理レシピの操作項目を実行すると音声を出力する旨のメッセージを操作画面に表示する手段を備えたことを特徴とする請求項２記載の半導体製造装置。
【請求項４】
操作について承認を行う承認者の氏名を入力する氏名入力手段と、
操作レベルに応じた項目の中に基板の処理を行うための処理レシピの操作項目が含まれるときに、前記氏名入力手段により氏名が入力されたことを条件としてレシピの操作項目について許可する手段と、を備え、
前記音声出力手段は、氏名入力手段により入力された承認者の氏名を含むメッセージを出力することを特徴とする請求項２または３記載の半導体製造装置。
【請求項５】
前記作業者の個人情報は身体情報であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の半導体製造装置。
【請求項６】
前記登録データは、半導体製造装置メーカが作業者をトレーニングして操作レベルを認定しかつ管理しているデータであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の半導体製造装置。
【請求項７】
半導体製造装置を操作できる項目を、作業者のレベルに応じて段階的に分けて各段階を操作レベルとし、入力された作業者の個人情報に対応する操作レベルを登録データから選択してその操作レベルに応じた項目の操作を行う半導体製造装置の操作方法において、
操作について承認を行う承認者の身体情報を身体情報入力手段に入力する段階と、
操作レベルに応じた項目の中に基板の処理を行うための処理レシピの操作項目が含まれるときに、入力された承認者の身体情報と予め登録されている身体情報とが一致したときだけ、操作項目のうちの処理レシピの操作について許可する段階と、を備えたことを特徴とする半導体製造装置の操作方法。
【請求項８】
半導体製造装置を操作できる項目を、作業者のレベルに応じて段階的に分けて各段階を操作レベルとし、入力された作業者の個人情報に対応する操作レベルを登録データから選択してその操作レベルに応じた項目の操作を行う半導体製造装置の操作方法において、
基板の処理を行うための処理レシピの操作項目を選択したときに、音声を出力する段階を備えたことを特徴とする半導体製造装置の操作方法。
【請求項９】
基板の処理を行うための処理レシピの操作項目を選択したときに、当該処理レシピの操作項目を実行すると音声を出力する旨のメッセージを操作画面に表示する段階を含むことを特徴とする請求項８記載の半導体製造装置の操作方法。
【請求項１０】
操作について承認を行う承認者の氏名を入力する段階と、
操作レベルに応じた項目の中に基板の処理を行うための処理レシピの操作項目が含まれるときに、前記氏名入力手段により氏名が入力されたことを条件としてレシピの操作項目について許可する段階と、を備え、
前記音声を出力する段階は、氏名入力手段により入力された承認者の氏名を含むメッセージを出力する段階を備えたことを特徴とする請求項８または９記載の半導体製造装置の操作方法。
【請求項１１】
半導体製造装置を操作できる項目を作業者のレベルに応じて段階的に分けて各段階を操作レベルとし、入力された作業者の個人情報に対応する操作レベルを登録データから選択してその操作レベルに応じた項目の操作が行えるように構成された半導体製造装置に用いられ、コンピュータ上で動作するプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記プログラムは請求項７ないし１０のいずれか一つに記載された操作方法を実行するためにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置を操作する場合に、入力された作業者の個人情報に対応する操作レベルに応じた項目を操作する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場では、半導体ウエハやフラットディスプレイ用基板に成膜する成膜装置、フォトリソグラフィーを行う塗布、現像装置と露光装置、及びエッチング装置等の半導体製造装置が配置されている。これらの半導体製造装置の操作は、運転の開始、停止等の基本操作、搬送機構等のメンテナンス操作、プロセスを行うシーケンスやパラメータを定めたレシピに関する操作、ロボットの停止位置等の調整を行う調整操作等の操作がある。
【０００３】
半導体製造装置には操作パネルが設けられており、作業者はこの操作パネルにより種々の操作を行うが、熟練していないオペレータが高度な操作を行うとトラブルを起こしてしまうことから、一般には、操作できる項目をオペレータのレベルに応じて段階的に分け、操作パネルに入力されたオペレータのパスワードに応じた項目の操作を行えるようにしている（特許文献１）。またパスワードにより操作権限を与えると、そのパスワードを知った他人も操作できるので、オペレータが指紋、虹彩紋あるいは声紋等の身体情報を入力して、その身体情報と操作レベルとを割り当てる手法も検討されている（特許文献２）。
【０００４】
ところで、ユーザの工場には、１社だけの半導体製造装置が使用されているとは限らず、複数社の半導体製造装置が使用されていることが多い。この場合、例えばユーザの工場にて調整作業を行っていた半導体製造装置のメーカであるＸ社のエンジニアが他の半導体製造装置のメーカであるＹ社に転職して前記工場内に入ると、Ｘ社の半導体製造装置について操作できてしまう。このためＸ社の半導体製造装置の処理レシピを解読することにより、Ｘ社で開発した処理レシピがＹ社に流出してしまうことになる。またユーザのオペレータがＸ社あるいはＹ社に転職すると、例えばＸ社のエンジニアとして前記工場内に入ったときにＹ社の処理レシピを見ることができてしまう。
【０００５】
処理レシピは、半導体デバイスやフラットパネルディスプレイ等の半導体装置の歩留まりを大きく左右するものであり、半導体製造装置のメーカはその開発に多大な時間と経費を費やしており、いわばトップシークレットともいえるものである。従って互いに競合関係にある半導体製造装置メーカ同士の間で処理レシピの情報が流れてしまうと、相手方に知られてしまったメーカはダメージが大きい。しかしながらパスワードや身体情報等の個人情報と操作レベルとを対応付けた管理手法では、このような情報の流出は個人のモラルに頼るしかなく、システムの改善が望まれている。
【特許文献１】特開平８−２２７８３５号公報（請求項１）
【特許文献２】特開２００４−２９５４９３号公報（請求項１、段落０００２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、入力された作業者の個人情報に対応する操作レベルに応じた項目を操作できる半導体製造装置において、処理レシピに関して不正な操作を防止することのできる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る半導体製造装置は、半導体製造装置を操作できる項目を、作業者のレベルに応じて段階的に分けて各段階を操作レベルとし、入力された作業者の個人情報に対応する操作レベルを登録データから選択してその操作レベルに応じた項目の操作が行えるように構成された半導体製造装置において、
操作について承認を行う承認者の身体情報を入力する身体情報入力手段と、
承認者の身体情報が登録された記憶部と、
操作レベルに応じた項目の中に基板の処理を行うための処理レシピの操作項目が含まれるときに、前記身体情報入力手段により入力された承認者の身体情報と前記記憶部に登録されている身体情報とが一致したことを条件として、処理レシピの操作について許可する手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
また、他の発明に係る半導体製造装置は、先の発明と同様に操作レベルに応じた項目の操作が行えるように構成された半導体製造装置において、
基板の処理を行うための処理レシピの操作項目を選択したときに、音声を出力する音声出力手段を備えたことを特徴とする。  
更にこの半導体製造装置は、基板の処理を行うための処理レシピの操作項目を選択したときに、当該処理レシピの操作項目を実行すると音声を出力する旨のメッセージを操作画面に表示する手段を備えていることが好ましい。
また、操作について承認を行う承認者の氏名を入力する氏名入力手段と、操作レベルに応じた項目の中に基板の処理を行うための処理レシピの操作項目が含まれるときに、前記氏名入力手段により氏名が入力されたことを条件としてレシピの操作項目について許可する手段と、を備え、前記音声出力手段は、氏名入力手段により入力された承認者の氏名を含むメッセージを出力するように構成するとよい。
【０００９】
また、前記作業者の個人情報は身体情報であることが好ましく、各々の発明の登録データは、半導体製造装置メーカが作業者をトレーニングして操作レベルを認定しかつ管理しているデータであるとよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、作業者の個人情報の入力により設定された操作項目（操作範囲）の中に基板の処理を行うための処理レシピの操作項目が含まれるときに、少なくともレシピの操作項目については承認者の身体情報と予め登録されている身体情報とが一致したことを条件として許可するようにしているため、例えばその半導体製造装置のユーザからの転職者等により処理レシピの内容が流出するおそれがない。  
また他の発明によれば、処理レシピの操作項目を選択したときに、音声を出力するようにしているので、正規の作業者以外の作業者が処理レシピの操作をためらうことにつながり、また周囲からも監視されるので、結果として処理レシピに関して不正な操作を防止することができる。この場合、操作について承認を行う承認者の氏名の入力を許可条件とし、更にその承認者の氏名を含むメッセージを音声出力するようにすれば、より一層効果的である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の半導体製造装置を、レジストの塗布、現像を行う塗布現像装置に適用した実施の形態について説明する。塗布現像装置について図１及び図２を参照しながら簡単に説明しておくと、Ｓ１は基板である半導体ウエハ（以下ウエハという）が複数枚密閉収納されたキャリアＣ１を搬入出するためのキャリアブロック、Ｓ２は、キャリアＣ１から取り出されたウエハに対してレジストの塗布を行い、また露光後のウエハに対して現像処理するプロセスブロック、Ｓ３はプロセスブロックＳ３と露光装置Ｓ４とを接続するためのインターフェイスブロックである。
【００１２】
キャリアＣ１はステージ１２１の上に載置され、ドア１２２が開かれる搬入口からキャリアＣ１内のウエハが受け渡しアームＣによりプロセスブロックＳ２内に受け渡される。プロセスブロック内には、液処理の前後に行われる冷却処理や加熱処理を行うユニットが多段に配列された棚ユニットＰ１、Ｐ２、Ｐ３が設けられる。液処理とは、反射防止膜塗布処理ユニット（ＢＡＲＣ）により行われる反射防止膜用の薬液の塗布処理、レジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）により行われるレジスト液の塗布処理、現像ユニット（ＤＥＶ）により行われる現像液による現像処理等をいう。１８、１９、１３１Ａ、１３１Ｂは進退、回転、昇降自在な搬送機構である搬送アームである。
【００１３】
また塗布、現像装置本体の例えば側面には、操作パネル２が設けられており、この操作パネル２により装置に係る操作を行うことができるようになっている。図３は、操作パネルの操作制御や塗布、現像装置の各部の動作制御等を行う制御部の一部である。この制御部は、装置の動作制御を実行するコンピュータとしてのＣＰＵ６と、ＣＰＵ６が実行するプログラムを格納するプログラム格納部５とを備えており、ＣＰＵ６には操作パネル２や各種の情報記憶部３、４が接続されている。
【００１４】
このうち作業者情報記憶部３には、作業者を識別するパスワード（個人情報）と、この個人情報が真正であることを確認するための各作業者の身体情報と、操作レベルとを対応させた登録データからなるデータベースが記憶されている。操作レベルとは、塗布、現像装置の運転操作やメンテナンス操作、レシピに関する操作等に応じて各作業者に認定されるレベルであって、例えばメーカが作業者をトレーニングすること等によって認定される。図４は、本実施の形態に係る塗布、現像装置に設定されている操作レベルの一例である。図４によれば、各作業者の操作レベルは、（１）オペレータ、（２）装置エンジニア、（３）プロセスエンジニア、（４）サービスエンジニアの４つに分けられており、夫々の操作レベルに応じて、４種類の操作項目（基本操作、メンテナンス操作、レシピ操作、調整作業）の実行可否の権限が段階的に設定されている。
【００１５】
各操作項目について説明すると、基本操作とは例えば運転の開始や停止等、塗布、現像装置の運転に必要な基本的な操作であり、メンテナンス操作とは搬送機構、シャッタあるいは液処理ユニットのノズルの動作確認等のメンテナンスに係る操作である。また、レシピ操作は、プロセスを行うシーケンスやパラメータを定めたレシピに関する操作であり、具体的にはレシピ内容の画面表示、プリントアウト若しくは記憶媒体へのロード、またはパラメータの設定、変更、あるいはレシピの編集等が相当する。調整操作は搬送機構等の動作確認作業よりも熟練性を必要とする搬送機構停止位置等の調整を行う操作である。
【００１６】
図４に示した表中の丸印は、各列に示した操作レベルの作業者が、丸印に対応する項目の操作を行うことが可能であることを示している。例えば、操作レベルが「オペレータ」と認定されている作業者は、運転の開始や停止等の基本操作のみを行うことが可能である。これに対して、「サービスエンジニア」と認定されている作業者は、４種類の操作項目を全て行うことができるようになっている。
【００１７】
塗布、現像装置に対して各種の操作を実行する各作業者の操作レベルは、図３の一点鎖線内に示すように、半導体装置メーカにて認定される。半導体装置メーカでは、作業者に対するトレーニングが実施され、各トレーニングの内容やその習得状況等に応じて各作業者に操作レベルが認定され、その内容がメーカ側の記憶媒体９０に格納される。更に記憶媒体９０には作業者毎に別途設定されたパスワード（個人情報）と、その作業者自身の身体情報（指紋情報）と、が認定された操作レベルに対応付けられて格納される。そして、これらの登録データがインターネットや記憶媒体を介して塗布、現像装置内の作業者情報記憶部３に複製される。
【００１８】
一方、承認者情報記憶部４には、レシピ操作の許可を行う承認者の身体情報（指紋情報）がその承認者を識別するパスワードと対応付けて格納されている。
【００１９】
また操作パネル２は、更に操作画面２１と身体情報入力部２２とを備えている。操作画面２１は、例えばタッチパネル式の液晶ディスプレイで構成され、作業者等に各種の操作画面を表示したり、これらの者からの指示を受け付けたりする役割を果たす。身体情報入力部２２は、例えばＣＣＤカメラ等で構成される画像読み取り式の指紋センサであって、作業者等の指紋情報を身体情報として取得する役割を果たす。
【００２０】
プログラム格納部５には、塗布、現像装置の動作制御を実行するためのプログラムのほか、操作項目を選択する際に実行される実施の形態に係るプログラムが格納されている。そして、このプログラムがＣＰＵ６に読み出されることにより、塗布、現像装置の動作や操作項目の選択に係る動作の制御が実行されるようになっている。なお、このコンピュータプログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスク、メモリーカード等の記憶手段に収納された状態でプログラム格納部５に格納されている。
【００２１】
次いで操作項目の選択に係る機能について説明すると、プログラム格納部５には、作業者から入力されたパスワード（個人情報）に対応付けられて登録されている操作レベルに関する操作項目を実行可能とするプログラムが格納されている。また、身体情報入力部２２より取得した作業者の身体情報（指紋情報）と、予め登録されている身体情報とを比較し、これらの情報が一致することを条件として上記の操作項目を実行可能とするプログラムも備えている。
【００２２】
更にプログラム格納部５は、レシピ操作の操作項目を実行可能とするにあたり、レシピ操作を許可する権限を有する承認者のパスワード（個人情報）や身体情報（指紋情報）の入力を要求するプログラムと、入力された身体情報が、承認者情報記憶部４に予め登録されている身体情報と一致することを条件としてレシピの操作を許可するプログラムとを格納している。
【００２３】
図５は、操作項目の選択に関連して操作画面２１に表示される各種の画面である。図５（ａ）は、操作レベルに応じた操作項目の選択を行うための初期画面２１ａである。初期画面２１ａには、作業者が各自の操作レベルを選択するための操作レベルスイッチ（ソフトスイッチ）と、選択された操作レベルに応じて実行可能な操作項目を選択するための操作項目スイッチ（ソフトスイッチ）と、本図では図示しない入力キーから入力されたパスワードを表示するためのパスワード表示欄と、から構成されている。
【００２４】
操作レベルスイッチは、図４で説明した４種類の操作レベルのいずれかを選択するための４つのスイッチから構成されており、作業者がタッチパネルを介して自己の操作レベルを選択できるようになっている。操作項目スイッチは、操作レベルが選択される前の初期画面の状態で例えばグレイアウトされており操作できないようになっている。この操作項目スイッチは、ＣＰＵ６より実行を許可された場合に限りグレイアウトが解除され、その操作レベルに対応する操作項目スイッチが選択可能となる。いずれかの操作項目スイッチが選択されると画面が切り替わって、その操作項目を実行するための画面が表示される。なお、２２は、作業者の指紋情報を読み取る身体情報入力部である。
【００２５】
図５（ｂ）は、初期画面２１ａにおいて、レシピ操作に関する操作項目スイッチが選択された場合に表示される承認画面２１ｂである。承認画面２１ｂは、レシピ操作に関す詳細な操作項目を選択するための個別操作スイッチと、レシピ操作の実行を許可するために承認者による身体情報の入力等を促すメッセージ表示と、レシピ操作の許可を実行するための操作許可スイッチと、から構成されている。個別操作スイッチは、承認者によって操作が許可されるまでは、選択できないようにグレイアウトされている。また、操作許可スイッチも同様に正当な権限を有さない者からの指示を受け付けないようになっており、特定の承認者より正しいパスワードや身体情報の入力を受け付けた場合に限りグレイアウトが解除されるようになっている。
【００２６】
図５（ｃ）は、操作許可スイッチからレシピ操作の許可を受け付けた場合に表示されるレシピ操作画面２１ｃである。当該画面では、個別操作スイッチのグレイアウトが解除されてレシピ操作に関する個別操作を選択することが可能となっている。そして、個別操作スイッチが選択されると選択された個別操作を行うための画面に画面表示が切り替わるようになっている。
【００２７】
次に、本実施の形態の作用を説明する。図６は、実施の形態に係る塗布、現像装置の動作の流れを説明するためのフローチャートである。塗布、現像装置は、初期画面２１ａを表示した状態で操作レベルスイッチの選択を受け付け（ステップＳ１１）、その作業者のパスワードや身体情報の入力を受け付ける（ステップＳ１２）。入力された身体情報が登録されているものと一致しなかった場合には（ステップＳ１３；Ｎ）、再度パスワード等の入力を受け付けるステップへ戻る（ステップＳ１２）。
【００２８】
入力された身体情報が登録されているものと一致すると（ステップＳ１３；Ｙ）、図４に示した表に基づいて選択された操作レベルに対応する操作項目スイッチを選択可能にし（ステップＳ１４）、その中からレシピ操作のスイッチが選択されたか否かを確認する（ステップＳ１５）。レシピ操作が選択されなかった場合には（ステップＳ１５；Ｎ）、そのまま選択された操作を受け付けて（ステップＳ１９）操作項目の選択に係る動作を終了する（エンド）。
【００２９】
一方、レシピ操作が選択された場合には（ステップＳ１５；Ｙ）、更に承認者よりパスワードや身体情報の入力を受け付ける（ステップＳ１６）。入力された身体情報が登録されているものと一致しなければ（ステップＳ１７；Ｎ）再度これらの情報の入力を受け付けるステップに戻る（ステップＳ１６）。
【００３０】
一方、身体情報が一致した場合には（ステップＳ１７；Ｙ）、作業者からレシピ操作を受け付けて（ステップＳ１８）操作項目の選択に係る動作を終了する（エンド）。
【００３１】
本実施の形態によれば、作業者の個人情報の入力により設定された操作項目（操作範囲）の中に基板の処理を行うための処理レシピの操作項目が含まれるときに、少なくともレシピの操作項目については承認者の身体情報と予め登録されている身体情報とが一致したことを条件として許可するようにしている。このため、既述のようにこの塗布、現像装置のメーカの技術者や、ユーザのオペレータが他の半導体装置のメーカに転職し、当該装置が設置された工場に入ることができたとしても処理レシピの内容が流出するおそれがない。
【００３２】
次に、第２の実施の形態について説明する。以下の説明においては、図１、図２にて説明したものと同様の塗布、現像装置に本実施の形態に係る半導体製造装置を適用した例について説明する。図７は、第２の実施の形態に係る塗布、現像装置の制御部の一部である。図７に示した制御部のうち、第１の実施の形態と同様の構成には図３に示したものと同じ符号を付してある。
【００３３】
制御部は、ＣＰＵ６とプログラム格納部５とを備えており、ＣＰＵ６には操作レベルが登録された操作レベル記憶部７と、音声出力を行う音声出力部８と、操作パネル２とが接続されている。操作レベル記憶部７には、図４にて説明した４種類の操作レベルが、各操作レベルに固有のパスワードに対応付けて登録されている。このパスワードは、作業者のレベルに応じて各作業者に通知されており、作業者が実行可能な操作レベルを示す個人情報となっている。
【００３４】
次いで操作項目の選択に係る機能に付いて説明すると、プログラム格納部５は、入力されたパスワードの操作レベルに対応する操作項目を実行可能とするプログラムを格納している。また、レシピ操作の操作項目を実行可能とするにあたり、その操作の実行を承認した承認者の氏名の入力を要求するプログラムと、入力された氏名を音声出力部８より出力するプログラムとを備えている。
【００３５】
図８（ａ）は、操作項目の選択を行うための初期画面２１ｄである。各操作レベルスイッチ及び、操作項目スイッチの機能は図５（ａ）で説明した初期画面２１ａと同様であるが、パスワード表示欄には各操作レベルに固有のパスワードが表示されるようになっている。
【００３６】
図８（ｂ）は、初期画面２１ｄにてレシピ操作に関する操作項目スイッチが選択された場合に表示される承認者名入力画面２１ｅである。承認者名入力画面２１ｅには、図５（ｂ）にて説明したレシピ操作に関する個別操作スイッチが操作できないようにグレイアウトされているほか、その操作についての承認者の氏名の入力を促すメッセージと、承認者名の入力欄とが表示されている。
【００３７】
図８（ｃ）は、承認者名入力画面２１ｅにて承認者名が入力された後に表示される警告画面２１ｆである。承認者名入力画面２１ｅでは個別操作スイッチのグレイアウトが解除されて表示されているほか、入力された承認者名が入力欄に表示されている。更に承認者名入力画面２１ｅには、このまま操作を行うと音声が流れる旨を警告するメッセージが表示されている。
【００３８】
図９は、承認者名入力画面２１ｅの画面において、例えば「レシピ表示」の個別操作スイッチを選択した場合におけるレシピ操作画面２１ｇである。操作画面２１ｇでは、承認者名入力画面２１ｅに表示されていたメッセージが消えると共に、選択された個別操作スイッチが反転表示されている。また、図９に併せて示した音声出力部８出力部からは、入力された承認者名を引用して例えば「ＸＹＺさんの許可によりレシピ操作を行います」との音声が塗布、現像装置の周囲にいる人にも聞こえるような音量で出力される。この音声出力は、レシピ操作開始時に１回だけ出力されるように構成してもよいし、レシピ操作の実行中、連続的あるいは間歇的に出力されるように構成してもよい。
【００３９】
次に第２の実施の形態の作用を説明する。図１０は、第２の実施の形態に係る塗布、現像装置の動作の流れを説明するためのフローチャートである。塗布、現像装置は、初期画面２１ｄを表示した状態でパスワードの入力を受け付けて（ステップＳ２１）、このパスワードに対応する操作レベルに関する操作項目スイッチを選択可能にする（ステップＳ２２）。次いで、選択可能となった操作項目スイッチからレシピ操作が選択されたか否かを確認し（ステップＳ２３）、レシピ操作が選択されなかった場合には（ステップＳ２３；Ｎ）、そのまま選択された操作を受け付けて（ステップＳ２７）操作項目の選択に係る動作を終了する（エンド）。
【００４０】
一方、レシピ操作が選択された場合には（ステップＳ１５；Ｙ）、更に承認者名の入力を受け付け（ステップＳ２４）、図８（ｃ）にて説明した警告メッセージを表示する（ステップＳ２５）。そして、レシピ操作を受け付けると共に、入力された承認者名を含む音声を出力して（ステップＳ２６）操作項目の選択に係る動作を終了する（エンド）。
【００４１】
上述のフローにおいて、ステップＳ２４にて入力された承認者名が、実在するか否か等を確認するステップを加えてもよいが、このステップがなくても本実施の形態に係る効果を奏することはできる。即ち、音声出力部８からは周囲の人にも聞こえるような音量で入力された承認者名を含む音声が出力されるので、入力された承認者名が真正のものでない場合にはそのような人物がいないことを容易に認識できる。また、承認者名が真正のものであっても、実際にはレシピ操作を実行する許可を受けていない場合には音声にて出力された本人が容易に気づいたり、周囲の人がその本人に確認したりすることができる。
【００４２】
第２の実施の形態によれば、処理レシピの操作項目を選択したときに、音声を出力するようにし、レシピ操作を実行する前に予め画面で警告しているので、正規の作業者以外の作業者が処理レシピの操作をためらうことにつながる。また周囲からも監視されるので、結果として処理レシピに関して不正な操作、例えばレシピ内容の画面表示やプリントアウト等を防止することができ、処理レシピの内容が他社に漏洩することを抑止できる。この場合、操作について承認を行う承認者の氏名の入力を許可条件とし、更にその承認者の氏名を含むメッセージを音声出力するようにすれば、より一層効果的である。
【００４３】
なお、第１の実施の形態の場合と同様に、第２の実施の形態においても、作業者がパスワードを入力して操作項目スイッチを選択する際に当該作業者の身体情報の入力を要求し、これが予め登録された身体情報一致することを条件に操作項目スイッチを選択可能とするように構成してもよい。
【００４４】
また、塗布、現像装置に入力される身体情報は、例示した指紋情報に限定されない。例えば、各作業者や承認者の筆跡や虹彩紋、声紋等に関する情報を身体情報として採用してもよい。また、処理レシピ以外の操作について承認者の身体情報の登録を条件とする手法、音声を出力する手法を適用した場合も本発明の範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明に係る半導体製造装置が適用される塗布、現像装置の一例を示す斜視図である。
【図２】上記塗布、現像装置の平面図である。
【図３】上記塗布、現像装置の制御部の一部を示す構成図である。
【図４】作業者の操作レベルと、操作項目との対応関係の一例を示す説明図である。
【図５】操作項目の選択に関して表示される操作画面である。
【図６】実施の形態に係る塗布、現像装置の動作を説明するためのフローチャートの一例である。
【図７】第２の実施の形態に係る塗布、現像装置の制御部の一部を示す構成図である。
【図８】第２の実施の形態で表示される操作画面である。
【図９】上記画面に続いて表示される操作画面である。
【図１０】第２の実施の形態に係る塗布、現像装置の動作を説明するためのフローチャートの一例である。
【符号の説明】
【００４６】
２          操作パネル
３          作業者情報記憶部
４          承認者情報記憶部
５          プログラム格納部
６          ＣＰＵ
７          操作レベル記憶部
８          音声出力部
２１        操作画面
２１ａ      初期画面
２１ｂ      承認画面
２１ｃ      レシピ操作画面
２１ｄ      初期画面
２１ｅ      承認者名入力画面
２１ｆ      警告画面
２１ｇ      レシピ操作画面
２２        身体情報入力部
９０        記憶媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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