(57)【要約】【課題】コストの低減および検査効率の向上を実現し得る回路基板保持具を提供する。【解決手段】回路基板Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を嵌め込み可能な嵌め込み孔５１が形成された嵌め込み板５０ａ，５０ｂ，５０ｃと、嵌め込み板５０ａ，５０ｂ，５０ｃを装着可能でかつ装着状態の嵌め込み板５０の嵌め込み孔５１に嵌め込まれた回路基板Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を保持する載置板４０ａ，４０ｂおよび本体部３０とを備え、載置板４０ａ，４０ｂには、検査用のプローブを挿通可能な複数の挿通孔が所定の配列ピッチで形成されている。【選択図】図２
2007178150.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板を保持可能に構成されて、前記回路基板に対する電気的な検査に用いられる回路基板保持具であって、
前記回路基板を嵌め込み可能な嵌め込み孔が形成された第１板状体と、当該第１板状体を装着可能な装着部が形成されると共に当該装着部に装着された当該第１板状体の前記嵌め込み孔に嵌め込まれた前記回路基板を保持する基体部とを備え、
前記装着部には、検査用のプローブを挿通可能な複数の挿通孔が所定の配列ピッチで形成されている回路基板保持具。
【請求項２】
前記基体部は、開口部が形成されると共に当該開口部の口縁部に段部が形成された本体部と、前記段部に嵌め込み可能に構成されると共に前記各挿通孔が形成された第２板状体とを備えて構成され、
前記装着部は、前記本体部の前記段部と当該段部に嵌め込まれた前記第２板状体とを備えて構成されている請求項１記載の回路基板保持具。
【請求項３】
前記基体部は、当該基体部を貫通する吸気孔と、前記装着部の周囲に形成されて前記吸気孔に連通する吸気溝とを備えている請求項１または２記載の回路基板保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板を保持可能に構成されて、回路基板にプローブを接触させて行う電気的な検査に用いられる回路基板保持具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の回路基板保持具を備えた装置として、特開２００１−１３１９０号公報において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、回路基板保持具としての基板載置台を備えて構成され、この基板載置台には、検査対象の回路基板を嵌入可能な基板嵌入用孔が形成されている。この場合、基板嵌入用孔が回路基板の外形と相補的形状に形成されているため、基板嵌入用孔に嵌入された回路基板は、その水平方向の移動が防止されて位置決めされる。また、この回路基板検査装置では、基板嵌入用孔の上部に形成された固定板嵌入用孔に基板固定板を嵌入することにより、回路基板が基板載置台と基板固定板とによって固定される。
【特許文献１】特開２００１−１３１９０号公報（第３−４頁、第１−５図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記の回路基板検査装置には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、この回路基板検査装置では、回路基板の外形と相補的形状の基板嵌入用孔に回路基板を嵌入することによって回路基板の移動を防止している。このため、外形の異なる複数種類の回路基板についての検査を可能とするためには、各回路基板の外形に合致する基板嵌入用孔を形成した複数の基板載置台が必要となる。したがって、この回路基板検査装置では、基板載置台が複数必要な分、低コスト化が困難となっている。また、検査対象の回路基板に応じて基板載置台を交換する際には、例えば、基板載置台の設置位置とプローブを移動させる移動機構の設置位置との位置合わせの作業や、基板載置台の高さ調整の作業等が発生する。このため、複数種類の回路基板を検査する際の検査効率を向上し得る回路基板保持具の実現が望まれている。
【０００４】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、コストの低減および検査効率の向上を実現し得る回路基板保持具を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく請求項１記載の回路基板保持具は、回路基板を保持可能に構成されて、前記回路基板に対する電気的な検査に用いられる回路基板保持具であって、前記回路基板を嵌め込み可能な嵌め込み孔が形成された第１板状体と、当該第１板状体を装着可能な装着部が形成されると共に当該装着部に装着された当該第１板状体の前記嵌め込み孔に嵌め込まれた前記回路基板を保持する基体部とを備え、前記装着部には、検査用のプローブを挿通可能な複数の挿通孔が所定の配列ピッチで形成されている。
【０００６】
また、請求項２記載の回路基板保持具は、請求項１記載の回路基板保持具において、前記基体部は、開口部が形成されると共に当該開口部の口縁部に段部が形成された本体部と、前記段部に嵌め込み可能に構成されると共に前記各挿通孔が形成された第２板状体とを備えて構成され、前記装着部は、前記本体部の前記段部と当該段部に嵌め込まれた前記第２板状体とを備えて構成されている。
【０００７】
また、請求項３記載の回路基板保持具は、請求項１または２記載の回路基板保持具において、前記基体部は、当該基体部を貫通する吸気孔と、前記装着部の周囲に形成されて前記吸気孔に連通する吸気溝とを備えている。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１記載の回路基板保持具によれば、回路基板を嵌め込み可能な嵌め込み孔が形成された第１板状体と、第１板状体を装着可能な装着部が形成されると共に装着部に装着された第１板状体の嵌め込み孔に嵌め込まれた回路基板を保持する基体部とを備え、検査用のプローブを挿通可能な複数の挿通孔を所定の配列ピッチで装着部に形成したことにより、嵌め込み孔の大きさや形状が異なる複数種類の第１板状体を作製しておくことで、第１板状体を交換するだけで大きさや形状の異なる複数種類の回路基板についての検査を行うことができる。したがって、回路基板の種類毎に回路基板保持具（基板載置台）自体の交換が必要となる従来の構成と比較して、コストを十分に低減することができる。また、第１板状体を交換するだけでよいため、上記（回路基板保持具自体を交換する）従来の構成とは異なり、例えば、回路基板保持具の設置位置と移動機構の設置位置との位置合わせの作業や、回路基板保持具の高さ調整の作業等を不要とすることができる。したがって、複数種類の回路基板を検査する際の検査効率を確実に向上させることができる。
【０００９】
また、請求項２記載の回路基板保持具によれば、開口部が形成されると共に開口部の口縁部に段部が形成された本体部と、段部に嵌め込み可能に構成されると共に各挿通孔が形成された第２板状体とを備えて基体部を構成し、本体部の段部と段部に嵌め込まれた第２板状体とを備えて装着部を構成したことにより、プローブを接触させる端子の配列ピッチが互いに異なる複数種類の回路基板についての検査を行うときであっても、各配列ピッチに対応する配列ピッチで挿通孔を形成した複数種類の第２板状体を作製しておくことで、第２板状体を交換するだけでこれらの複数種類の回路基板についての検査を行うことができる。
【００１０】
また、請求項３記載の回路基板保持具によれば、基体部を貫通する吸気孔と、装着部の周囲に形成されて吸気孔に連通する吸気溝とを備えて基体部を構成したことにより、回路基板が保持された回路基板保持具の上方の空間を例えば板状のシャッターによって閉塞して、回路基板保持具とシャッターとによって形成される空間内の空気を吸気溝および吸気孔を通して吸引することで、回路基板保持具の表面にシャッターを吸着させることができる。このため、シャッターによって回路基板を基体部に向けて押圧させることができる結果、回路基板を回路基板保持具によって確実に保持させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係る回路基板保持具の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１２】
最初に、回路基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１３】
図１に示す回路基板検査装置１は、本発明に係る回路基板保持具を備えた検査装置の一例であって、図２に示す回路基板Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３（以下、区別しないときには「回路基板Ｐ」ともいう）の両面に配設された端子にプローブ７２，８２（図１参照）を接触させた状態で、回路基板Ｐについての電気的な検査を実行可能に構成されている。ここで、回路基板Ｐ１，Ｐ２は、例えば、１ｍｍ程度のピッチでマトリクス状に配設された複数の端子を備えて構成されている。また、回路基板Ｐ１は、１辺が３０ｍｍ程度の略正方形に形成され、回路基板Ｐ２は、１辺が４０ｍｍ程度の略正方形に形成されている。また、回路基板Ｐ３は、例えば、１．２ｍｍ程度のピッチでマトリクス状に配設された複数の端子を備えて構成されると共に、１辺が６０ｍｍ程度の略正方形に形成されている。
【００１４】
また、回路基板検査装置１は、図１に示すように、テーブル２、回路基板保持具３、シャッター４，４、開閉機構５、吸気装置６、移動機構７，８および制御部９を備えて構成されている。テーブル２は、図２に示すように、全体として矩形の板状に構成されている。また、テーブル２には、平面視が長方形状の開口部２１が形成されると共に、開口部２１の口縁部を取り囲むようにして段部２２が形成されている。この場合、段部２２は、回路基板保持具３の本体部３０（同図参照）を嵌め込み可能にそのサイズが規定されると共に、装着された状態における本体部３０の表面とテーブル２の表面とが面一（ほぼ面一）となるように、つまり本体部３０の厚みとほぼ同じとなるように、平面部２２ａからテーブル２の表面までの高さが規定されている。また、テーブル２には、嵌め込まれた状態における本体部３０の吸気孔３４（同図参照）に対向する部位からテーブル２の側面まで連通する吸気路２３（図１も参照）が形成されている。
【００１５】
回路基板保持具３は、本発明に係る回路基板保持具の一例であって、図２に示すように、本体部３０、載置板４０ａ，４０ｂ（以下、区別しないときには「載置板４０」ともいう）、および嵌め込み板５０ａ，５０ｂ，５０ｃ（以下、区別しないときには「嵌め込み板５０」ともいう）を備えて、回路基板Ｐを保持可能に構成されている。本体部３０は、矩形の板状に構成されて、テーブル２の段部２２に嵌め込まれた状態でテーブル２にねじ止めされる。また、本体部３０には、平面視が長方形状の開口部３１が形成されると共に、開口部３１の口縁部を取り囲むようにして段部３２が形成されている。この場合、段部３２は、載置板４０および嵌め込み板５０の移動を規制した状態で両板４０，５０を嵌め込み（装着）可能なサイズに、つまり両板４０，５０とほぼ同じサイズに形成されている。また、段部３２の平面部３２ａから本体部３０の表面までの高さは、両板４０，５０がはめ込まれた状態において（図５参照）、嵌め込み板５０の表面と本体部３０の表面とが面一（ほぼ面一）となるように、つまり重ね合わせた状態の両板４０，５０の厚みの合計とほぼ同じとなるように規定されている。また、段部３２の平面部３２ａには、載置板４０および嵌め込み板５０を段部３２に嵌め込む際のガイドとして機能する２本の円柱状のガイドピン３３が形成されている。さらに、本体部３０の四隅には、本体部３０の表裏を貫通する４つの吸気孔３４がそれぞれ形成されている。また、本体部３０の表面における段部３２（開口部３１）の周囲には、吸気孔３４に連通する吸気溝３５が形成されている。
【００１６】
載置板４０は、本発明における第２板状体に相当し、図２に示すように、矩形の板状に形成されて、本体部３０の段部３２に嵌め込み可能に構成されている。また、載置板４０の中央部において等間隔に区画した９つのエリア４１には、図３に示すように、プローブ７２を挿通させる直径が０．６０ｍｍ程度の複数の挿通孔４２が形成されている。この場合、載置板４０ａの各エリア４１（以下、載置板４０ａのエリア４１を「エリア４１ａ」ともいう）は、１辺が５０ｍｍ程度の略正方形にそれぞれ規定されている。また、エリア４１ａに形成された各挿通孔４２は、回路基板Ｐ１，Ｐ２の各端子と同じ所定のピッチ（この例では、１ｍｍ程度）でマトリクス状に配列されている。一方、載置板４０ｂの各エリア４１（以下、載置板４０ｂのエリア４１を「エリア４１ｂ」ともいう）は、１辺が７０ｍｍ程度の略正方形にそれぞれ規定されている。また、エリア４１ｂに形成された各挿通孔４２は、回路基板Ｐ３の各端子と同じ所定のピッチ（この例では、１．２ｍｍ程度）でマトリクス状に配列されている。また、載置板４０には、本体部３０の段部３２に嵌め込む際に本体部３０のガイドピン３３を挿通させる２つのガイド孔４３が形成されている。この場合、本体部３０と載置板４０とによって本発明における基体部が構成される。また、本体部３０の段部３２と段部３２に嵌め込まれた載置板４０とによって本発明における装着部が構成される。
【００１７】
各嵌め込み板５０は、本発明における第１板状体に相当し、図２に示すように、回路基板Ｐの厚みとほぼ同じ厚みで、かつ載置板４０とほぼ同じサイズの矩形の板状に構成されて、本体部３０の段部３２に嵌め込み可能に構成されている。また、各嵌め込み板５０には、９つの嵌め込み孔５１が形成されている。この場合、嵌め込み板５０ａの嵌め込み孔５１（以下、嵌め込み板５０ａの嵌め込み孔５１を「嵌め込み孔５１ａ」ともいう）は、回路基板Ｐ１とほぼ同じサイズの略正方形に形成されて、回路基板Ｐ１を嵌め込み可能に構成されると共に、載置板４０ａの上に重ね合わせた状態において、載置板４０ａの各エリア４１ａにそれぞれ対向するようにその形成位置が規定されている。また、嵌め込み板５０ｂの嵌め込み孔５１（以下、嵌め込み板５０ｂの嵌め込み孔５１を「嵌め込み孔５１ｂ」ともいう）は、回路基板Ｐ２とほぼ同じサイズの略正方形に形成されて、回路基板Ｐ２を嵌め込み可能に構成されると共に、載置板４０ａの上に重ね合わせた状態において、載置板４０ａの各エリア４１ａにそれぞれ対向するようにその形成位置が規定されている。さらに、嵌め込み板５０ｃの嵌め込み孔５１（以下、嵌め込み板５０ｃの嵌め込み孔５１を「嵌め込み孔５１ｃ」ともいう）は、回路基板Ｐ３とほぼ同じサイズの略正方形に形成されて、回路基板Ｐ３を嵌め込み可能に構成されると共に、載置板４０ｂの上に重ね合わせた状態において、載置板４０ｂの各エリア４１ｂにそれぞれ対向するようにその形成位置が規定されている。また、各嵌め込み板５０には、本体部３０の段部３２に嵌め込む際に本体部３０のガイドピン３３を挿通させる２つのガイド孔５２が形成されている。
【００１８】
シャッター４は、図１に示すように、開閉機構５によって互いに接離する方向に沿って移動させられることにより、テーブル２の開口部２１（テーブル２に嵌め込まれた回路基板保持具３の上方の空間）を開閉する。また、シャッター４は、図７，８に示すように、３つの開口部４ａ、および３つの切欠部４ｂを備えて構成されている。この場合、開口部４ａは、検査対象の回路基板Ｐの外形よりもやや小さい矩形状にその形状が規定されている。また、切欠部４ｂは、両シャッター４が互いに当接した状態において、一方のシャッター４の切欠部４ｂと他方のシャッター４の切欠部４ｂとが相俟って開口部４ａと同じ形状でかつ同じ大きさの開口部を構成するようにその形状が規定されている。また、各開口部４ａおよび各切欠部４ｂは、両シャッター４が互いに当接した状態において、各開口部４ａ、および各切欠部４ｂによって構成される開口部がテーブル２に装着された回路基板保持具３における嵌め込み板５０の嵌め込み孔５１にそれぞれ対向するようにその形成位置が規定されている。
【００１９】
開閉機構５は、制御部９の制御に従ってシャッター４を開閉（移動）させる。吸気装置６は、制御部９の制御に従って作動することにより、回路基板保持具３とシャッター４とによって形成される空間内の空気を吸気溝３５、吸気孔３４、吸気路２３および吸気管６１（図１参照）を通して吸引する。移動機構７は、制御部９の制御に従い、図外のアームに取り付けられたプローブ保持具７１ａ（または７１ｂ、図１参照：以下、プローブ保持具７１ａ，７１ｂを区別しないときには「プローブ保持具７１」ともいう）をテーブル２の下方において移動させる。この場合、プローブ保持具７１ａには、載置板４０の挿通孔４２を挿通可能な（例えば、直径が０．５３ｍｍ程度の）針状に形成されたプローブ７２が、載置板４０ａのエリア４１ａに形成されている各挿通孔４２と同じピッチで同じ数だけマトリクス状に配列（植設）された状態で保持されている。また、プローブ保持具７１ｂには、上記のプローブ７２が、載置板４０ｂのエリア４１ｂに形成された各挿通孔４２と同じピッチで同じ数だけマトリクス状に配列された状態で保持（植設）されている。移動機構８は、制御部９の制御に従い、例えば、単一のプローブ８２が保持されたプローブ保持具８１をテーブル２の上方において移動させる。制御部９は、開閉機構５、吸気装置６、移動機構７，８を制御する。また、制御部９は、プローブ７２およびプローブ８２を介して出力または入力される検査用信号に基づいて回路基板Ｐについての所定の電気的な検査を実行する。
【００２０】
次に、回路基板検査装置１を用いた回路基板Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３についての電気的な検査（以下、単に「検査」ともいう）の検査方法について、図面を参照して説明する。
【００２１】
最初に、回路基板Ｐ１についての検査方法について説明する。なお、初期状態において、図１に示すように、両シャッター４，４が互いに離間して回路基板保持具３の上方の空間が開放されているものとする。また、移動機構７のアームには、プローブ保持具７１ａが取り付けられているものとする。この検査では、同図に示すように、まず、テーブル２の段部２２に回路基板保持具３の本体部３０を嵌め込む。この状態では、本体部３０の吸気孔３４とテーブル２の吸気路２３とが連通する。この場合、段部２２の平面部２２ａからテーブル２の表面までの高さが本体部３０の厚みとほぼ同じとなるように規定されているため、この状態では、テーブル２の表面と本体部３０の表面とがほぼ面一となっている。次いで、本体部３０をテーブル２にねじ止めする。続いて、図４に示すように、載置板４０ａのガイド孔４３に本体部３０のガイドピン３３を挿通させつつ、本体部３０の段部３２に載置板４０ａを嵌め込む。この場合、段部３２が、載置板４０ａとほぼ同じサイズに形成されているため、載置板４０ａの移動が確実に規制される。なお、同図、および後述する図５〜図８では、発明の理解を容易とするため、テーブル２の図示を省略している。
【００２２】
次いで、図５に示すように、嵌め込み板５０ａのガイド孔５２に本体部３０のガイドピン３３を挿通させつつ、本体部３０の段部３２に嵌め込んだ載置板４０ａの上に、つまり本体部３０の段部３２と載置板４０ａとによって構成された本発明における装着部に嵌め込み板５０ａを嵌め込む（装着する）。この場合、段部３２が、嵌め込み板５０ａとほぼ同じサイズに形成されているため、嵌め込み板５０ａの移動が確実に規制される。また、段部３２の平面部３２ａから本体部３０の表面までの高さが、重ね合わせた状態の両板４０ａ，５０ａの厚みの合計とほぼ同じとなるように規定されているため、この状態では、テーブル２および本体部３０の表面と嵌め込み板５０ａの表面とがほぼ面一となっている。
【００２３】
続いて、図６に示すように、端子が配設された面（下面）を下向きにした状態で９つの回路基板Ｐ１を嵌め込み板５０ａの各嵌め込み孔５１ａにそれぞれ嵌め込む。この際に、回路基板Ｐ１の下面が載置板４０ａによって支持されることにより、回路基板Ｐ１が載置板４０ａによって保持される。この場合、嵌め込み板５０ａが回路基板Ｐ１の厚みとほぼ同じ厚みに形成されているため、この状態では、テーブル２、本体部３０および嵌め込み板５０ａの表面と回路基板Ｐ１の表面とがほぼ面一となっている。また、この状態では、嵌め込み板５０ａの各嵌め込み孔５１ａと載置板４０ａの各エリア４１ａとがそれぞれ対向しているため、回路基板Ｐ１の下面の各端子と各エリア４１ａに形成された各挿通孔４２とがそれぞれ対向している。
【００２４】
次いで、回路基板検査装置１を作動させる。この際に、制御部９が、図７，８に示すように、開閉機構５を制御して両シャッター４，４を互いに当接する方向に沿って移動させることにより、回路基板保持具３の上方の空間を閉塞させる。この状態では、図８に示すように、シャッター４の各開口部４ａおよび各切欠部４ｂによって構成される開口部が、回路基板保持具３によって保持されている各回路基板Ｐ１にそれぞれ対向している。続いて、制御部９は、吸気装置６を作動させる。この際には、図９に示すように、回路基板保持具３とシャッター４とによって形成される空間内の空気が、吸気溝３５、吸気孔３４、吸気路２３および吸気管６１（図１参照）を通って吸気装置６によって吸引されるため、回路基板保持具３（嵌め込み板５０ａおよび本体部３０）の表面にシャッター４が吸着される。この結果、シャッター４によって回路基板Ｐ１が載置板４０ａに向けて押圧されて、回路基板Ｐ１が確実に保持される。
【００２５】
次いで、制御部９は、移動機構７を制御して、プローブ保持具７１ａをテーブル２の下方において移動させると共に、載置板４０ａの各エリア４１ａのうちの１つに対向する位置でプローブ保持具７１ａの移動を停止させる。続いて、制御部９は、移動機構７を制御してプローブ保持具７１ａを回路基板Ｐ１に近接する方向（この例では上方向）に移動させる。この場合、載置板４０ａの各エリア４１ａに形成された各挿通孔４２の配列ピッチ、およびプローブ７２の配列ピッチが回路基板Ｐ１における端子の配列ピッチと同じ配列ピッチに規定されているため、図１０に示すように、各プローブ７２が、各挿通孔４２を挿通して回路基板Ｐ１の各端子（図示せず）に接触させられる。次いで、制御部９は、移動機構８を制御して、プローブ保持具８１をテーブル２の上方において移動させると共に、回路基板Ｐ１の表面に配設されている端子に対向する位置でプローブ保持具８１の移動を停止させる。続いて、制御部９は、移動機構８を制御してプローブ保持具８１を回路基板Ｐ１に近接する方向（この例では下方向）に移動させることにより、同図に示すように、回路基板Ｐ１の表面の端子にプローブ８２を接触させる。次いで、制御部９は、プローブ７２およびプローブ８２を介して出力または入力された検査用信号に基づいて回路基板Ｐ１についての検査を実行する。続いて、制御部９は、上記した動作と同様に動作することにより、回路基板保持具３に保持されている他の回路基板Ｐ１についての検査を実行する。
【００２６】
次いで、回路基板保持具３に保持されている全ての回路基板Ｐ１についての検査を終了したときには、制御部９は、吸気装置６の作動を停止させた後に、開閉機構５を制御して両シャッター４，４を互いに離間する方向に沿って移動させることにより、回路基板保持具３の上方の空間を開放させる。これにより、回路基板Ｐ１についての検査が完了する。
【００２７】
次に、回路基板Ｐ２についての検査方法について説明する。ここで、この回路基板保持具３では、嵌め込み板５０を交換することで、複数種類の回路基板Ｐについての検査を行うことが可能となっている。この場合、回路基板Ｐ２についての検査では、回路基板Ｐ２が嵌め込み板５０ａの嵌め込み孔５１ａよりも大きいため、回路基板Ｐ２を嵌め込み可能な嵌め込み孔５１ｂが形成された嵌め込み板５０ｂを、嵌め込み板５０ａに代えて用いる。このため、まず、本体部３０の段部３２に嵌め込まれている嵌め込み板５０ａを取り外して、嵌め込み板５０ｂを段部３２に嵌め込む。続いて、端子が配設された面（下面）を下向きにした状態で９つの回路基板Ｐ２を嵌め込み板５０ｂの各嵌め込み孔５１ｂにそれぞれ嵌め込む。この状態では、嵌め込み板５０ｂの各嵌め込み孔５１ｂと載置板４０ａの各エリア４１ａとがそれぞれ対向しているため、回路基板Ｐ２の下面の各端子と各エリア４１ａに形成された各挿通孔４２とがそれぞれ対向している。
【００２８】
次いで、回路基板検査装置１を作動させる。この際に、制御部９が、上記した回路基板Ｐ１についての検査の際の動作と同様にして両シャッター４，４によって回路基板保持具３の上方の空間を閉塞させた後に、吸気装置６を作動させる。これにより、シャッター４によって回路基板Ｐ２が載置板４０ａに向けて押圧されて、回路基板Ｐ２が確実に保持される。続いて、制御部９は、移動機構７を制御して、載置板４０ａの各エリア４１ａのうちの１つに対向するテーブル２の下方の位置から上方向に向けてプローブ保持具７１ａを移動させる。この際に、上記した回路基板Ｐ１についての検査の際の動作と同様にして各プローブ７２が、各挿通孔４２を挿通して回路基板Ｐ２の各端子に接触させられる。
【００２９】
次いで、制御部９は、移動機構８を制御して、プローブ７２を接触させている回路基板Ｐ２の上方から下方向に向けてプローブ保持具８１を移動させることにより、その回路基板Ｐ２の表面の端子にプローブ８２を接触させる。続いて、制御部９は、プローブ７２およびプローブ８２を介して出力または入力される検査用信号に基づいて回路基板Ｐ２についての検査を実行する。次いで、制御部９は、上記と同様に動作することにより、回路基板保持具３に保持されている他の回路基板Ｐ２についての検査を実行する。続いて、回路基板保持具３に保持されている全ての回路基板Ｐ２についての検査を終了したときには、制御部９は、吸気装置６の作動を停止させた後に、両シャッター４，４を互いに離間する方向に沿って移動させて回路基板保持具３の上方の空間を開放させる。これにより、回路基板Ｐ２についての検査が完了する。
【００３０】
次に、回路基板Ｐ３についての検査方法について説明する。この場合、回路基板Ｐ３についての検査では、回路基板Ｐ３が嵌め込み板５０ｂの嵌め込み孔５１ｂよりも大きいため、回路基板Ｐ３を嵌め込み可能な嵌め込み孔５１ｃが形成された嵌め込み板５０ｃを、嵌め込み板５０ｂに代えて用いる。また、回路基板Ｐ３が載置板４０ａのエリア４１ａのサイズよりも大きく、かつ回路基板Ｐ３の各端子の配列ピッチがエリア４１ａに形成された各挿通孔４２の配列ピッチとは異なるため、回路基板Ｐ３よりも大きいサイズで、かつ配列ピッチが同ピッチのエリア４１ｂを有する載置板４０ｂを載置板４０ａに代えて用いる。このため、まず、本体部３０の段部３２に嵌め込まれている嵌め込み板５０ｂおよび載置板４０ａを取り外して、載置板４０ｂおよび嵌め込み板５０ｃを段部３２に嵌め込む。次いで、移動機構７のアームに取り付けられているプローブ保持具７１ａを取り外して、プローブ保持具７１ｂを取り付ける。続いて、端子が配設された面（下面）を下向きにした状態で９つの回路基板Ｐ３を嵌め込み板５０ｃの各嵌め込み孔５１ｃにそれぞれ嵌め込む。この状態では、嵌め込み板５０ｃの各嵌め込み孔５１ｃと載置板４０ｂの各エリア４１ｂとがそれぞれ対向しているため、回路基板Ｐ３の下面の各端子と各エリア４１ｂに形成された各挿通孔４２とがそれぞれ対向している。
【００３１】
次いで、回路基板検査装置１を作動させる。この際に、制御部９が、上記した回路基板Ｐ１，Ｐ２についての検査の際の動作と同様にして両シャッター４，４によって回路基板保持具３の上方の空間を閉塞させた後に、吸気装置６を作動させる。これにより、シャッター４によって回路基板Ｐ３が載置板４０ｂに向けて押圧されて、回路基板Ｐ３が確実に保持される。続いて、制御部９は、移動機構７を制御して、載置板４０ｂの各エリア４１ｂのうちの１つに対向するテーブル２の下方の位置から上方向に向けてプローブ保持具７１ｂを移動させる。この際に、上記した回路基板Ｐ１，Ｐ２についての検査の際の動作と同様にして各プローブ７２が、各挿通孔４２を挿通して回路基板Ｐ３の各端子に接触させられる。
【００３２】
次いで、制御部９は、移動機構８を制御して、プローブ７２を接触させている回路基板Ｐ３の上方から下方向に向けてプローブ保持具８１を移動させることにより、その回路基板Ｐ３の表面の端子にプローブ８２を接触させる。続いて、制御部９は、プローブ７２およびプローブ８２を介して出力または入力される検査用信号に基づいて回路基板Ｐ３についての検査を実行する。次いで、制御部９は、上記と同様に動作することにより、回路基板保持具３に保持されている他の回路基板Ｐ３についての検査を実行する。続いて、回路基板保持具３に保持されている全ての回路基板Ｐ３についての検査を終了したときには、制御部９は、吸気装置６の作動を停止させた後に、両シャッター４，４を互いに離間する方向に沿って移動させて回路基板保持具３の上方の空間を開放させる。これにより、回路基板Ｐ３についての検査が完了する。  
【００３３】
このように、この回路基板保持具３によれば、回路基板Ｐを嵌め込み可能な嵌め込み孔５１を形成した嵌め込み板５０と、嵌め込み板５０を装着可能でかつ装着状態の嵌め込み板５０の嵌め込み孔５１に嵌め込まれた回路基板Ｐを保持する載置板４０および本体部３０とを備えると共に、プローブ７２を挿通可能な複数の挿通孔４２を回路基板Ｐの端子の配列ピッチと同じ所定の配列ピッチで載置板４０に形成したことにより、嵌め込み孔５１の大きさや形状が異なる複数種類の嵌め込み板５０を作製しておくことで、嵌め込み板５０を交換するだけで大きさや形状の異なる複数種類の回路基板Ｐについての検査を行うことができる。したがって、回路基板Ｐの種類毎に回路基板保持具（基板載置台）自体の交換が必要となる従来の構成と比較して、コストを十分に低減することができる。また、嵌め込み板５０を交換するだけでよいため、上記（回路基板保持具自体を交換する）従来の構成とは異なり、例えば、回路基板保持具３の設置位置と移動機構７，８の設置位置との位置合わせの作業や、回路基板保持具３の高さ調整の作業等を不要とすることができる。したがって、複数種類の回路基板を検査する際の検査効率を確実に向上させることができる。
【００３４】
また、この回路基板保持具３によれば、開口部３１の口縁部に嵌め込み板５０を装着可能な段部３２が形成された本体部３０と、挿通孔４２が形成された載置板４０とを備えたことにより、端子の配列ピッチが互いに異なる複数種類の回路基板Ｐについての検査を行うときであっても、各配列ピッチに対応する配列ピッチで挿通孔４２を形成した複数種類の載置板４０を作製しておくことで、載置板４０を交換するだけでこれらの複数種類の回路基板Ｐについての検査を行うことができる。
【００３５】
また、この回路基板保持具３によれば、本体部３０を貫通する吸気孔３４と、段部３２の周囲に形成されて吸気孔３４に連通する吸気溝３５とを備えたことにより、回路基板Ｐが保持された回路基板保持具３の上方の空間をシャッター４によって閉塞して、回路基板保持具３とシャッター４とによって形成される空間内の空気を吸気溝３５および吸気孔３４を通して吸引することで、回路基板保持具３（嵌め込み板５０および本体部３０）の表面にシャッター４を吸着させることができる。このため、シャッター４によって回路基板Ｐを載置板４０に向けて押圧させることができる結果、回路基板Ｐを回路基板保持具３によって確実に保持させることができる。
【００３６】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、別体に形成した本体部３０と載置板４０とで本発明における基体部を構成した例について上記したが、本体部３０と載置板４０とを一体に形成した構成を採用することもできる。また、９つの嵌め込み孔５１を形成した嵌め込み板５０を例に挙げて説明したが、嵌め込み孔５１の数はこれに限定されず任意の数に規定することができる。この場合、載置板４０におけるエリア４１の数を嵌め込み孔５１の数と同じ数に規定することができる。また、例えば、複数のエリア４１が含まれるような広いエリアを規定してこのエリアに挿通孔４２を形成する構成を採用することもできるし、載置板４０の全面に亘って挿通孔４２を形成する構成、つまり、すべてのエリア４１が含まれるような広いエリアに挿通孔４２を形成する構成を採用することもできる。また、検査に際して、回路基板Ｐにおける端子の配列ピッチに応じて移動機構７のアームにプローブ保持具７１ａ，７１ｂを付け替える構成例について上記したが、プローブ保持具７１ａ，７１ｂの両者を予め取り付け可能に移動機構７を構成し、例えば、操作部の操作に応じて制御部９が移動機構７に対してプローブ保持具７１ａ，７１ｂの一方を移動させる構成を採用することもできる。また、複数のプローブ７２が配設（植設）されたプローブ保持具７１ａ，７１ｂを例に挙げて説明したが、単一のプローブ７２が配設されたプローブ保持具７１を用いることもできる。さらに、載置板４０における複数または全部のエリア４１に形成された挿通孔４２と同数のプローブ７２が配設されたプローブ保持具７１を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】回路基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】テーブル２、回路基板保持具３および回路基板Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３の斜視図である。
【図３】載置板４０におけるエリア４１の平面図である。
【図４】載置板４０ａを本体部３０に嵌め込んだ状態の斜視図である。
【図５】載置板４０ａおよび嵌め込み板５０ａを本体部３０に嵌め込んだ状態の斜視図である。
【図６】回路基板保持具３に回路基板Ｐ１を嵌め込んだ状態の斜視図である。
【図７】シャッター４，４で回路基板保持具３の上方の空間を閉塞した状態の斜視図である。
【図８】シャッター４，４で回路基板保持具３の上方の空間を閉塞した状態の平面図である。
【図９】図８におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図１０】回路基板Ｐ１にプローブ７２，８２を接触している状態の断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
３  回路基板保持具
３０  本体部
３１  開口部
３２  段部
３４  吸気孔
３５  吸気溝
４０，４０ａ，４０ｂ  載置板
４１ａ  挿通孔
５０，５０ａ〜５０ｃ  嵌め込み板
５１  嵌め込み孔
７２，８２  プローブ
Ｐ，Ｐ１〜Ｐ３  回路基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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