(57)【要約】【課題】移動平面に垂直な方向の厚さを増やさないで被駆動体を二次元方向に並進運動させる圧電体振動子を提供する。【解決手段】圧電体振動子３０は、外壁部を有し、外壁部を、第１方向ｘに付勢する第１付勢部材（第３、第４摩擦部材２１、２２）を、振動に基づいて第１方向ｘと垂直な第２方向ｙに移動させ、外壁部を第２方向ｙに付勢する第２付勢部材（第１、第２摩擦部材１１、１２）を、振動に基づいて第１方向ｘに移動させる。【選択図】図２
2007060888.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外壁部を有し、前記外壁部を第１方向に付勢する第１付勢部材を、振動に基づいて前記第１方向と垂直な第２方向に移動させ、前記外壁部を前記第２方向に付勢する第２付勢部材を、前記振動に基づいて前記第１方向に移動させる圧電体振動子。
【請求項２】
前記圧電体振動子は、円柱形状であることを特徴とする請求項１に記載の圧電体振動子。
【請求項３】
第１、第２圧電素子と、シムを有し、前記第１、第２圧電素子は、前記第１、第２方向と垂直な第３方向で前記シムに固着されることを特徴とする請求項１に記載の圧電体振動子。
【請求項４】
前記第１、第２圧電素子上には、それぞれ電極が取り付けられ、前記電極には、前記振動を発生させる交流電圧が印加されることを特徴とする請求項３に記載の圧電体振動子。
【請求項５】
前記第１、第２圧電素子上には、それぞれ放射状に分割された４つの電極が取り付けられ、前記４つの電極に印加される交流電圧の波形は、前記第１付勢部材の前記第２方向の移動量と、前記第２付勢部材の前記第１方向の移動量に基づいて振幅及び位相の少なくとも一方が調整されることを特徴とする請求項４に記載の圧電体振動子。
【請求項６】
前記第１、第２圧電素子上の前記外壁部に近い外側の部分には、それぞれ放射状に分割された４つの電極が取り付けられ、中心部分にはそれぞれ１つの電極が取り付けられ、前記５つの電極に印加される交流電圧の波形は、前記第１付勢部材の前記第２方向の移動量と、前記第２付勢部材の前記第１方向の移動量に基づいて振幅及び位相の少なくとも一方が調整されることを特徴とする請求項４に記載の圧電体振動子。
【請求項７】
圧電体振動子を有する固定部と、
前記圧電体振動子の外壁部に接し、前記圧電体振動子の外壁部を第１方向で付勢し、前記圧電体振動子の振動に基づいて前記第１方向に垂直な第２方向に移動可能な鉛直方向移動部と、
前記圧電体振動子の外壁部に接し、前記圧電体振動子の外壁部を前記第２方向で付勢し、前記圧電体振動子の振動に基づいて前記第１方向に移動可能な水平方向移動部と、
前記鉛直方向移動部の前記第２方向の移動に連動して前記第２方向に移動し、前記鉛直方向移動部を前記第１方向に摺動自在に支持し、水平方向移動部の前記第１方向の移動に連動して前記第１方向に移動し、前記水平方向移動部を前記第２方向に摺動自在に支持する載荷台とを備え、
前記固定部は、前記鉛直方向移動部を前記第２方向に摺動自在に支持し、前記水平方向移動部を前記第１方向に摺動自在に支持することを特徴とする二次元移動装置。
【請求項８】
前記水平方向移動部は、前記圧電体振動子の外壁部を前記第２方向で付勢する第１、第２摩擦部材と、前記第１、第２摩擦部材が取り付けられる水平方向移動枠とを有し、
前記鉛直方向移動部は、前記圧電体振動子の外壁部を前記第１方向で付勢する第３、第４摩擦部材と、前記第３、第４摩擦部材が取り付けられる鉛直方向移動枠とを有することを特徴とする請求項７に記載の二次元移動装置。
【請求項９】
前記第１摩擦部材と前記水平方向移動枠とは、弾性部材を介して接触し、
前記第３摩擦部材と前記鉛直方向移動枠とは、弾性部材を介して接触することを特徴とする請求項８に記載の二次元移動装置。
【請求項１０】
前記第２摩擦部材と前記水平方向移動枠とは、弾性部材を介して接触し、
前記第４摩擦部材と前記鉛直方向移動枠とは、弾性部材を介して接触することを特徴とする請求項９に記載の二次元移動装置。
【請求項１１】
前記第１、第２摩擦部材は、前記弾性部材によって前記第２方向且つ前記圧電体振動子のある方向に付勢され、且つ前記第１方向に付勢され、
前記第３、第４摩擦部材は、前記弾性部材によって前記第１方向且つ前記圧電体振動子のある方向に付勢され、且つ前記第２方向に付勢されることを特徴とする請求項１０に記載の二次元移動装置。
【請求項１２】
前記第１摩擦部材の一部は、前記水平方向移動枠の案内孔に挿入され、前記第１摩擦部材は、前記水平方向移動枠に対して前記第２方向にのみ移動可能な状態で支持されるとともに前記第２方向に付勢され、
前記第３摩擦部材の一部は、前記鉛直方向移動枠の案内孔に挿入され、前記第３摩擦部材は、前記鉛直方向移動枠に対して前記第１方向にのみ移動可能な状態で支持されるとともに前記第１方向に付勢されることを特徴とする請求項８に記載の二次元移動装置。
【請求項１３】
前記水平方向移動枠は、前記第１摩擦部材が取り付けられる第１水平方向移動枠突起部と、前記第２摩擦部材が取り付けられる第２水平方向移動枠突起部とを有し、
前記鉛直方向移動枠は、前記第３摩擦部材が取り付けられる第１鉛直方向移動枠突起部と、前記第４摩擦部材が取り付けられる第２鉛直方向移動枠突起部とを有し、
前記第１、第２水平方向移動枠突起部は、前記水平方向移動枠から前記第１、第２方向と垂直な第３方向で且つ同じ方向に突出し、
前記第１、第２鉛直方向移動枠突起部は、前記鉛直方向移動枠から前記第３方向で且つ同じ方向に突出し、
前記第１水平方向移動枠突起部の前記水平方向移動枠から前記第３方向への突出方向と、前記第１鉛直方向移動枠突起部の前記鉛直方向移動枠から前記第３方向への突出方向とは逆方向であることを特徴とする請求項８に記載の二次元移動装置。
【請求項１４】
前記水平方向移動枠は、水平方向移動枠梁部と、水平方向移動枠支持部と、水平方向移動枠用引っ張り弾性部材とを有し、前記水平方向移動枠梁部は、前記水平方向移動枠用引っ張り弾性部材を介して、前記水平方向移動枠支持部に近づくように付勢され、
前記鉛直方向移動枠は、鉛直方向移動枠梁部と、鉛直方向移動枠支持部と、鉛直方向移動枠用引っ張り弾性部材とを有し、前記鉛直方向移動枠梁部は、前記鉛直方向移動枠用引っ張り弾性部材を介して、前記鉛直方向移動枠支持部に近づくように付勢されることを特徴とする請求項８に記載の二次元移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置に関し、特に被駆動体を二次元の任意の方向に移動させる駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電体振動子を使って、被駆動体を二次元の任意の方向に移動させる移動装置が提案されている。特許文献１は、移動平面に垂直な方向に圧電体振動子を与圧した二次元移動装置を開示する。
【特許文献１】特開２００４−２７４８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、特許文献１の装置は、移動平面に垂直な方向に圧電体振動子を与圧する部材が配置されるので、この方向に装置が大型化する。
【０００４】
したがって本発明の目的は、移動平面に垂直な方向の厚さを増やさないで被駆動体を二次元方向に並進運動（移動）させる圧電体振動子、及び二次元移動装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る圧電体振動子は、外壁部を有し、外壁部を第１方向に付勢する第１付勢部材を、振動に基づいて第１方向と垂直な第２方向に移動させ、外壁部を第２方向に付勢する第２付勢部材を、振動に基づいて第１方向に移動させる。
【０００６】
好ましくは、圧電体振動子は、円柱形状である。
【０００７】
また、好ましくは、圧電体振動子は、第１、第２圧電素子と、シムを有し、第１、第２圧電素子は、第１、第２方向と垂直な第３方向でシムに固着される。
【０００８】
さらに好ましくは、第１、第２圧電素子上には、それぞれ電極が取り付けられ、電極には、振動を発生させる交流電圧が印加される。
【０００９】
さらに好ましくは、第１、第２圧電素子上には、それぞれ放射状に分割された４つの電極が取り付けられ、４つの電極に印加される交流電圧の波形は、第１付勢部材の第２方向の移動量と、第２付勢部材の第１方向の移動量に基づいて振幅及び位相の少なくとも一方が調整される。
【００１０】
また、好ましくは、第１、第２圧電素子上の外壁部に近い外側の部分には、それぞれ放射状に分割された４つの電極が取り付けられ、中心部分にはそれぞれ１つの電極が取り付けられ、５つの電極に印加される交流電圧の波形は、第１付勢部材の第２方向の移動量と、第２付勢部材の第１方向の移動量に基づいて振幅及び位相の少なくとも一方が調整される。
【００１１】
また、本発明に係る二次元移動装置は、圧電体振動子を有する固定部と、圧電体振動子の外壁部に接し、圧電体振動子の外壁部を第１方向で付勢し、圧電体振動子の振動に基づいて第１方向に垂直な第２方向に移動可能な鉛直方向移動部と、圧電体振動子の外壁部に接し、圧電体振動子の外壁部を第２方向で付勢し、圧電体振動子の振動に基づいて第１方向に移動可能な水平方向移動部と、鉛直方向移動部の第２方向の移動に連動して第２方向に移動し、鉛直方向移動部を第１方向に摺動自在に支持し、水平方向移動部の第１方向の移動に連動して第１方向に移動し、水平方向移動部を前記第２方向に摺動自在に支持する載荷台とを備え、固定部は、鉛直方向移動部を第２方向に摺動自在に支持し、水平方向移動部を第１方向に摺動自在に支持する。
【００１２】
好ましくは、水平方向移動部は、圧電体振動子の外壁部を第２方向で付勢する第１、第２摩擦部材と、第１、第２摩擦部材が取り付けられる水平方向移動枠とを有し、鉛直方向移動部は、圧電体振動子の外壁部を第１方向で付勢する第３、第４摩擦部材と、第３、第４摩擦部材が取り付けられる鉛直方向移動枠とを有する。
【００１３】
さらに好ましくは、第１摩擦部材と水平方向移動枠とは、弾性部材を介して接触し、第３摩擦部材と鉛直方向移動枠とは、弾性部材を介して接触する。
【００１４】
さらに好ましくは、第２摩擦部材と水平方向移動枠とは、弾性部材を介して接触し、第４摩擦部材と鉛直方向移動枠とは、弾性部材を介して接触する。
【００１５】
さらに好ましくは、第１、第２摩擦部材は、弾性部材によって第２方向且つ圧電体振動子のある方向に付勢され、且つ第１方向に付勢され、第３、第４摩擦部材は、弾性部材によって第１方向且つ圧電体振動子のある方向に付勢され、且つ第２方向に付勢される。
【００１６】
また、好ましくは、第１摩擦部材の一部は、水平方向移動枠の案内孔に挿入され、第１摩擦部材は、水平方向移動枠に対して第２方向にのみ移動可能な状態で支持されるとともに第２方向に付勢され、第３摩擦部材の一部は、鉛直方向移動枠の案内孔に挿入され、第３摩擦部材は、鉛直方向移動枠に対して第１方向にのみ移動可能な状態で支持されるとともに第１方向に付勢される。
【００１７】
また、好ましくは、水平方向移動枠は、第１摩擦部材が取り付けられる第１水平方向移動枠突起部と、第２摩擦部材が取り付けられる第２水平方向移動枠突起部とを有し、鉛直方向移動枠は、第３摩擦部材が取り付けられる第１鉛直方向移動枠突起部と、第４摩擦部材が取り付けられる第２鉛直方向移動枠突起部とを有し、第１、第２水平方向移動枠突起部は、水平方向移動枠から第１、第２方向と垂直な第３方向で且つ同じ方向に突出し、第１、第２鉛直方向移動枠突起部は、鉛直方向移動枠から第３方向で且つ同じ方向に突出し、第１水平方向移動枠突起部の水平方向移動枠から第３方向への突出方向と、第１鉛直方向移動枠突起部の鉛直方向移動枠から第３方向への突出方向とは逆方向である。
【００１８】
また、好ましくは、水平方向移動枠は、水平方向移動枠梁部と、水平方向移動枠支持部と、水平方向移動枠用引っ張り弾性部材とを有し、水平方向移動枠梁部は、水平方向移動枠用引っ張り弾性部材を介して、水平方向移動枠支持部に近づくように付勢され、鉛直方向移動枠は、鉛直方向移動枠梁部と、鉛直方向移動枠支持部と、鉛直方向移動枠用引っ張り弾性部材とを有し、鉛直方向移動枠梁部は、鉛直方向移動枠用引っ張り弾性部材を介して、鉛直方向移動枠支持部に近づくように付勢される。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように本発明によれば、移動平面に垂直な方向の厚さを増やさないで被駆動体を二次元方向に並進運動させる圧電体振動子、及び二次元移動装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の第１実施形態について、図を用いて説明する。二次元移動装置１は、水平方向移動部１０、鉛直方向移動部２０、及び載荷台４０を有する可動部と、圧電体振動子３０、固定台５０、及び回路部７０とを有する固定部とを備える。なお、方向を説明するために、二次元移動装置１において水平方向移動部１０の移動方向を第１方向ｘ、第１方向ｘと直交する鉛直方向移動部２０の移動方向を第２方向ｙ、第１方向ｘ、第２方向ｙと直交する方向を第３方向ｚとして説明する。
【００２１】
水平方向移動部１０は、第１、第２摩擦部材１１、１２、第１係合部１５、第２係合部１６、第１、第２突出部１８ａ、１８ｂ、及び水平方向移動枠１９とを有する。水平方向移動部１０は、第１方向ｘに移動可能で、移動する際は載荷台４０も連動して第１方向ｘに移動する。
【００２２】
第１摩擦部材１１は、直方体形状で、第２方向ｙで且つ圧電体振動子３０と接する側と反対側に端部１１ａを有する（図１２参照）。端部１１ａを含む第１摩擦部材１１の一部は、水平方向移動枠１９の案内孔１８ｃに挿入される。第１摩擦部材１１は、水平方向移動枠１９に対して第２方向ｙにのみ移動可能な状態で支持されるとともに第２方向ｙに付勢され、第２方向ｙに垂直な平面の一方は、圧電体振動子３０と接触し、圧電体振動子３０の振動により水平方向移動枠１９と共に第１方向ｘに移動可能である。第２摩擦部材１２は、直方体形状で、第２方向ｙに垂直な平面の一方は、圧電体振動子３０と接触し、圧電体振動子３０の振動により水平方向移動枠１９と共に第１方向ｘに移動可能であり、他方は水平方向移動枠１９の内側に固定される。
【００２３】
第１係合部１５は、第２方向ｙに延びる長孔を２つ有し、それぞれ、載荷台４０の第１突起部４１の２つの突起物が第２方向ｙに摺動自在に係合される（図１参照）。これにより、鉛直方向移動部２０の第２方向ｙの移動に伴って載荷台４０が第２方向ｙに移動した際に、水平方向移動部１０は連動して第２方向ｙに移動しない。また、第１係合部１５と第１突起部４１の係合が２カ所で行われることによって、載荷台４０の第３方向ｚからみた回転を防止する効果を有する。
【００２４】
第２係合部１６は、固定台５０の第１係合部材５１と第１方向ｘに摺動自在に係合される。これにより、水平方向移動部１０の第３方向ｚからみた回転を防止する効果を有する。
【００２５】
第１摩擦部材１１を第２方向ｙ且つ水平方向移動枠１９の内側方向に付勢する部分の構成を説明する（図１１〜１３参照）。第１、第２突出部１８ａ、１８ｂの間に設けられた案内孔１８ｃの内壁によって、第１摩擦部材１１の側面の一部が第１方向ｘ、及び第３方向ｚに移動出来ないように拘束され、第２方向ｙには移動自在に案内される。案内孔１８ｃの奥には弾性部材である板状のバネ１８ｄが挿入され、第１摩擦部材１１の端部１１ａが、板状のバネ１８ｄによって、第２方向ｙで且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢される。第１摩擦部材１１は、板状のバネ１８ｄを介して水平方向移動枠１９の案内孔１８ｃと接触する。
【００２６】
なお、図面の簡素化のため、図１〜図１０においては、案内孔１８ｃ、板状のバネ１８ｄ、第１摩擦部材１１の端部１１ａを省略している。
【００２７】
第１摩擦部材１１が板状のバネ１８ｄと接触する部分（端部１１ａ）は、板状のバネ１８ｄに対して小さく設定される。板状のバネ１８ｄと接触する部分を小さくすることにより、圧電体振動子３０と第１摩擦部材１１とが接触する位置が変化したときの板状のバネ１８ｄによる付勢力が変化する影響を低減させる。
【００２８】
水平方向移動枠１９は、内側に第３方向ｚに垂直な矩形の孔を有する平板状の枠であり、かかる内側の矩形孔に第１、第２摩擦部材１１、１２が取り付けられ、圧電体振動子３０が配置される。水平方向移動枠１９は、第１摩擦部材１１の一部が挿入される案内孔１８ｃを有する。
【００２９】
鉛直方向移動部２０は、第３、第４摩擦部材２１、２２、第３係合部２５、第４係合部２６、及び鉛直方向移動枠２９とを有する。鉛直方向移動部２０は、第２方向ｙに移動可能で、移動する際は載荷台４０も連動して第２方向ｙに移動する。
【００３０】
第３摩擦部材２１は、直方体形状で、第１方向ｘで且つ圧電体振動子３０と接する側と反対側に端部を有する。端部を含む第３摩擦部材２１の一部は、鉛直方向移動枠２９の案内孔に挿入される。第３摩擦部材２１は、鉛直方向移動枠２９に対して第１方向ｘにのみ移動可能な状態で支持されるとともに第１方向ｘに付勢され、第１方向ｘに垂直な平面の一方は、圧電体振動子３０と接触し、圧電体振動子３０の振動により鉛直方向移動枠２９と共に第２方向ｙに移動可能である。第４摩擦部材２２は、直方体形状で、第１方向ｘに垂直な平面の一方は、圧電体振動子３０と接触し、圧電体振動子３０の振動により鉛直方向移動枠２９と共に第２方向ｙに移動可能であり、他方は鉛直方向移動枠２９の内側に固定される。
【００３１】
第３係合部２５は、第１方向ｘに延びる長孔を１つ有し、載荷台４０の第２突起部４２の１つの突起物が第１方向ｘに摺動自在に係合される。従って、水平方向移動部１０の第１方向ｘの移動に伴って載荷台４０が第１方向ｘに移動した際に、鉛直方向移動部２０は連動して第１方向ｘに移動しない。
【００３２】
第４係合部２６は、固定台５０の第２係合部材５２と第２方向ｙに摺動自在に係合される。これにより、鉛直方向移動部２０の第３方向ｚからみた回転を防止する効果を有する。
【００３３】
第３摩擦部材２１を第１方向ｘ且つ鉛直方向移動枠２９の内側方向に付勢する部分の構成は、第１摩擦部材１１が第２方向ｙ且つ水平方向移動枠１９の内側方向に付勢される部分の構成と同様である（不図示）。鉛直方向移動枠２９に設けられた案内孔の内壁によって、第３摩擦部材２１の側面の一部が第２方向ｙ、及び第３方向ｚに移動出来ないように拘束され、第１方向ｘには移動自在に案内される。案内孔の奥には弾性部材である板状のバネが挿入され、第３摩擦部材２１の端部が、板状のバネによって、第１方向ｘで且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢される。第３摩擦部材２１は、鉛直方向移動枠２９の案内孔に挿入された板状のバネを介して鉛直方向移動枠２９の案内孔と接触する。
【００３４】
第３摩擦部材２１が板状のバネと接触する部分（第３摩擦部材２１の端部）は、板状のバネに対して小さく設定される。板状のバネと接触する部分を小さくすることにより、圧電体振動子３０と第３摩擦部材２１とが接触する位置が変化したときの板状のバネによる付勢力が変化する影響を低減させる。
【００３５】
鉛直方向移動枠２９は、内側に第３方向ｚに垂直な矩形の孔を有する平板状の枠であり、かかる内側の矩形孔に第３、第４摩擦部材２１、２２が取り付けられ、圧電体振動子３０が配置される。鉛直方向移動枠２９は、第３摩擦部材２１の一部が挿入される案内孔を有する。
【００３６】
鉛直方向移動枠２９は、第１方向ｘからみて、エの字形状を有し、エの字を構成する溝部分には、水平方向移動枠１９の一部が配置される。水平方向移動部１０は、鉛直方向移動部２０に干渉することなく第１方向ｘに移動可能で、鉛直方向移動部２０は、水平方向移動部１０に干渉することなく第２方向ｙに移動可能である。
【００３７】
水平方向移動枠１９、及び鉛直方向移動枠２９は、組み立てを簡素化するために、それぞれ別体構造で構成されるのが望ましい。具体的には、水平方向移動枠１９は、水平方向移動枠梁部１９ａ、水平方向移動枠支持部１９ｂ、及び水平方向移動枠用引っ張りコイルバネ１９ｃから構成される（図１６参照）。鉛直方向移動枠２９は、鉛直方向移動枠梁部２９ａ、鉛直方向移動枠支持部２９ｂ、及び鉛直方向移動枠用引っ張りコイルバネ２９ｃから構成される。
【００３８】
水平方向移動枠梁部１９ａは、一方の端部（図１６上の右側）がピンで水平方向移動枠支持部１９ｂに軸着され、他方の端部（図１６上の左側）が水平方向移動枠用引っ張りコイルバネ１９ｃの一方の端部に取り付けられる。水平方向移動枠用引っ張りコイルバネ１９ｃの他方の端部は水平方向移動枠支持部１９ｂに取り付けられる。水平方向移動枠用引っ張りコイルバネ１９ｃの引っ張り張力により、水平方向移動枠梁部１９ａの他方の端部は水平方向移動枠支持部１９ｂに近づくように付勢される。この付勢に基づいて、第１、第２摩擦部材１１、１２は、圧電体振動子３０を第２方向ｙに与圧（付勢）する。
【００３９】
鉛直方向移動枠梁部２９ａは、一方の端部（図１６上の下側）がピンで鉛直方向移動枠支持部２９ｂに軸着され、他方の端部（図１６上の上側）が鉛直方向移動枠用引っ張りコイルバネ２９ｃの一方の端部に取り付けられる。鉛直方向移動枠用引っ張りコイルバネ２９ｃの他方の端部は鉛直方向移動枠支持部２９ｂに取り付けられる。鉛直方向移動枠用引っ張りコイルバネ２９ｃの引っ張り張力により、鉛直方向移動枠梁部２９ａの他方の端部は鉛直方向移動枠支持部２９ｂに近づくように付勢される。この付勢に基づいて、第３、第４摩擦部材２１、２２は、圧電体振動子３０を第１方向ｘに与圧（付勢）する。
【００４０】
なお、図１６の水平方向移動枠１９、及び鉛直方向移動枠２９が、別体構造であることを説明するための図で、鉛直方向移動枠２９が第１方向ｘからみてエの字形状を有さないなど、図２と異なる形態を示す。
【００４１】
図１６は、ピンと引っ張りコイルバネを使ったカンチレバー構造の水平方向移動枠１９、及び鉛直方向移動枠２９を説明したが、ピンに代えて引っ張りコイルバネを使って、梁部と支持部の両端を引っ張りコイルバネで付勢する形態であってもよい（不図示）。
【００４２】
圧電体振動子３０は、中空円柱形状の第１、第２圧電素子（圧電セラミックリング）３１、３２と、薄い金属の弾性板で構成されるシム３４から構成され、シム３４の両面には第１、第２圧電素子３１、３２が固着される。
【００４３】
第１、第２圧電素子３１、３２の第３方向ｚから見た表面には電極が設けられる（図５参照）。電極は第３方向ｚからみて放射状に４つに分割され、第１圧電素子３１の第１、第２、第３、第４電極３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、第２圧電素子３２の第５、第６、第７、第８電極３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄが取り付けられる。
【００４４】
電極は、第３方向ｚからみて反時計回りに、第１電極３１ａ、第２電極３１ｂ、第３電極３１ｃ、第４電極３１ｄの順に並べて配置される。
【００４５】
第１電極３１ａと第５電極３２ａとは、第３方向ｚで対向するように配置され、同じ波形の第１交流電圧ＶＥ1が回路部７０から印加される。第２電極３１ｂと第６電極３２ｂとは、第３方向ｚで対向するように配置され、同じ波形の第２交流電圧ＶＥ2が回路部７０から印加される。第３電極３１ｃと第７電極３２ｃとは、第３方向ｚで対向するように配置され、同じ波形の第３交流電圧ＶＥ3が回路部７０から印加される。第４電極３１ｄと第８電極３２ｄとは、第３方向ｚで対向するように配置され、同じ波形の第４交流電圧ＶＥ4が回路部７０から印加される。
【００４６】
シム３４は、第１、第２圧電素子３１、３２を両面に固着した中空円柱形状のシム本体部３４ａ、固定台５０に支持される第１、第２、第３、第４支持部３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄを有する。シム本体部３４ａは、円柱形状の外壁部で、第１摩擦部材１１の付勢力と、第１摩擦部材１１の付勢力に対する第２摩擦部材１２の反力によって第２方向ｙに付勢され、第３摩擦部材２１の付勢力と、第３摩擦部材２１の付勢力に対する第４摩擦部材２２の反力によって第１方向ｘに付勢される。第１、第２、第３、第４支持部３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄは、シム本体部３４ａから突出した部分で、それぞれが有する孔に固定部材５３が挿入されることによって固定台５０に取り付けられる。これにより、シム３４を含む圧電体振動子３０は固定台５０に固定されて移動しない。一方、圧電体振動子３０の振動により水平方向移動部１０、及び載荷台４０は第１方向ｘに移動可能で、鉛直方向移動部２０、及び載荷台４０は第２方向ｙに移動可能である。
【００４７】
それぞれの電極に電圧が印加されない状態においては、第１、第２圧電素子３１、３２は変形を起こさず静止している。圧電体振動子３０は、正の電圧が印加される部分が膨張し、負の電圧が印加される部分が収縮する。例えば、第１電極３１ａ、第５電極３２ａに正の電圧を印加すると、第１、第２圧電素子３１、３２の第１電極３１ａ、第５電極３２ａが取り付けられた部分が膨張し、第２電極３１ｂ、第６電極３２ｂに負の電圧を印加すると、第１、第２圧電素子３１、３２の第２電極３１ｂ、第６電極３２ｂが取り付けられた部分が収縮する。第１、第２圧電素子３１、３２の第３方向ｚに垂直な面上の（面内方向の）膨張あるいは収縮に伴って第１圧電素子３１、３２と固着されたシム３４の部分も第３方向ｚに垂直な面上に（面内方向に）、第３方向ｚから見た円形が変形するように、膨張あるいは収縮する。
【００４８】
各電極に交流電圧が印加されることにより、圧電体振動子３０（第１、第２圧電素子３１、３２、及びシム３４）は、膨張と伸縮を繰り返す。このように圧電体振動子３０の形状が変化すると、シム３４のシム本体部３４ａの外壁部分の任意の一点は楕円運動を行うことができる。この楕円運動により、シム本体部３４ａの外壁部分を第２方向ｙに付勢した状態で接触する第１、第２摩擦部材１１、１２は、固定台５０及び圧電体振動子３０に対して第１方向ｘに移動せしめられ、これに伴って水平方向移動部１０、及び載荷台４０が第１方向ｘに移動せしめられる。同様に、シム本体部３４ａの外壁部分を第１方向ｘに付勢した状態で接触する第３、第４摩擦部材２１、２２は、固定台５０及び圧電体振動子３０に対して第２方向ｙに移動せしめられ、これに伴って鉛直方向移動部２０、及び載荷台４０が第２方向ｙに移動せしめられる。
【００４９】
載荷台４０は、載荷台本体部４０ａ、第１突起部４１、第２突起部４２、磁石４６とを有する。載荷台４０は、水平方向移動部１０の移動によって第１方向ｘに移動可能で、鉛直方向移動部２０の移動によって第２方向ｙに移動可能であり、載荷台本体部４０ａに二次元方向に移動させたい部材を取り付けることにより、かかる部材を二次元方向に移動可能な状態にすることができる。二次元方向に移動させたい部材とは、例えば、撮像装置の像ブレ補正に使用される撮像素子または像ブレ補正レンズ等の光学要素である。
【００５０】
固定台５０は、固定台本体部５０ａ、水平方向移動部１０を第１方向ｘに摺動自在に支持する第１係合部材５１、鉛直方向移動部２０を第２方向ｙに摺動自在に支持する第２係合部材５２、及び圧電体振動子３０を固定する固定部材５３を有する。固定台本体部５０ａは磁性体である。
【００５１】
載荷台本体部４０ａと固定台本体部５０ａとの間にはボール４５が配置される。ボール４５は、載荷台本体部４０ａと固定台本体部５０ａとの第３方向ｚの距離を一定に保つ回転自在の球状物で、第１実施形態では４つ配置される。ボール４５は、載荷台本体部４０ａの第１方向ｘ、第２方向ｙへの移動に伴って、固定台５０に対し移動するため、載荷台本体部４０ａ及び固定台５０の対向面（ボール４５と接触する部分）は平面になっている。
【００５２】
載荷台本体部４０ａに固着された磁石４６の一端は固定台本体部５０ａと近接対向し、載荷台本体部４０ａを固定台本体部５０ａに吸引する。磁石４６の吸引力の中心は４つ配置されたボール４５に囲まれた四辺形の内側に存在する。
【００５３】
回路部７０は、可変周波数発振器７１、第１、第２、第３、第４、第５増幅器７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄ、７２ｅ、第１、第２移相器７３ａ、７３ｂ、第１、第２位相反転器７４ａ、７４ｂ、第１、第２、第３、第４加え合わせ点７５ａ、７５ｂ、７５ｃ、７５ｄ、及び第１、第２、第３、第４電力増幅器７６ａ、７６ｂ、７６ｃ、７６ｄとを有する。
【００５４】
可変周波数発振器７１は、初期振幅Ｖ0、周波数ｆの正弦波：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ）を出力する。可変周波数発振器７１は、第１増幅器７２ａ、第１移相器７３ａ、及び第２移相器７３ｂと接続される。周波数ｆは可変である。ｔは時間を示す。
【００５５】
第１増幅器７２ａは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ）を増幅し、第１振幅Ｖ1、周波数ｆの正弦波：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）を出力する。第１増幅器７２ａは、第１〜第４加え合わせ点７５ａ〜７５ｄと接続される。
【００５６】
第１移相器７３ａは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ）の位相を第１角度θ1だけ変え、初期振幅Ｖ0、周波数ｆの正弦波：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第１移相器７３ａは、第２増幅器７２ｂ、及び第１位相反転器７４ａと接続される。
【００５７】
第２移相器７３ｂは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ）の位相を第２角度θ2だけ変え、初期振幅Ｖ0、周波数ｆの正弦波：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第２移相器７３ｂは、第４増幅器７２ｄ、及び第２位相反転器７４ｂと接続される。
【００５８】
第２増幅器７２ｂは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を増幅し、第２振幅Ｖ2、周波数ｆの正弦波：Ｖ2ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第２増幅器７２ｂは、第１加え合わせ点７５ａと接続される。
【００５９】
第１位相反転器７４ａは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）の位相を反転させ、初期振幅Ｖ0、周波数ｆの正弦波：−Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第１位相反転器７４ａは、第３増幅器７２ｃと接続される。第３増幅器７２ｃは、入力信号：−Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を増幅し、第３振幅Ｖ3、周波数ｆの正弦波：―Ｖ3ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第３増幅器７２ｃは、第２加え合わせ点７５ｂと接続される。
【００６０】
第４増幅器７２ｄは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を増幅し、第４振幅Ｖ4、周波数ｆの正弦波：Ｖ4ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第４増幅器７２ｄは、第３加え合わせ点７５ｃと接続される。
【００６１】
第２位相反転器７４ｂは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）の位相を反転させ、初期振幅Ｖ0、周波数ｆの正弦波：―Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第２位相反転器７４ｂは、第５増幅器７２ｅと接続される。第５増幅器７２ｅは、入力信号：―Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を増幅し、第５振幅Ｖ5、周波数ｆの正弦波：−Ｖ5ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第５増幅器７２ｅは、第４加え合わせ点７５ｄと接続される。
【００６２】
第１加え合わせ点７５ａは、入力信号：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）と、入力信号：Ｖ2ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を足し合わせ、正弦波：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）＋Ｖ2ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第１加え合わせ点７５ａは、第１電力増幅器７６ａと接続される。第１電力増幅器７６ａは、入力信号：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）＋Ｖ2ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を増幅率Ａ1だけ増幅し、第１交流電圧ＶＥ1＝Ａ1｛Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）＋Ｖ2ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）｝を出力する。第１電力増幅器７６ａは、第１電極３１ａ、及び第５電極３２ａと接続される。第１電極３１ａ、及び第５電極３２ａは、第１交流電圧ＶＥ1が印加される。
【００６３】
第２加え合わせ点７５ｂは、入力信号：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）と、入力信号：−Ｖ3ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を足し合わせ、正弦波：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）―Ｖ3ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第２加え合わせ点７５ｂは、第２電力増幅器７６ｂと接続される。第２電力増幅器７６ｂは、入力信号：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）−Ｖ3ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を増幅率Ａ2だけ増幅し、第２交流電圧ＶＥ2＝Ａ2｛Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）−Ｖ3ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）｝を出力する。第２電力増幅器７６ｂは、第２電極３１ｂ、及び第６電極３２ｂと接続される。第２電極３１ｂ、及び第６電極３２ｂは、第２交流電圧ＶＥ2が印加される。
【００６４】
第３加え合わせ点７５ｃは、入力信号：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）と、入力信号：Ｖ4ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を足し合わせ、正弦波：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）＋Ｖ4ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第３足し合わせ点７５ｃは、第３電力増幅器７６ｃと接続される。第３電力増幅器７６ｃは、入力信号：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）＋Ｖ4ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を増幅率Ａ3だけ増幅し、第３交流電圧ＶＥ3＝Ａ3｛Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）＋Ｖ4ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）｝を出力する。第３電力増幅器７６ｃは、第３電極３１ｃ、及び第７電極３２ｃと接続される。第３電極３１ｃ、及び第７電極３２ｃは、第３交流電圧ＶＥ3が印加される。
【００６５】
第４加え合わせ点７５ｄは、入力信号：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）と、入力信号：―Ｖ5ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を足し合わせ、正弦波：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）―Ｖ5ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第４足し合わせ点７５ｄは、第４電力増幅器７６ｄと接続される。第４電力増幅器７６ｄは、入力信号：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）−Ｖ5ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を増幅率Ａ4だけ増幅し、第４交流電圧ＶＥ4＝Ａ4｛Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ）―Ｖ5ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）｝を出力する。第４電力増幅器７６ｄは、第４電極３１ｄ、及び第８電極３２ｄと接続される。第４電極３１ｄ、及び第８電極３２ｄは、第４交流電圧ＶＥ4が印加される。
【００６６】
水平方向移動部１０等の第１方向ｘの移動量、及び鉛直方向移動部２０等の第２方向ｙの移動量は、第１〜第４交流電圧ＶＥ1〜ＶＥ4の波形を変化させることによって調整される。第１〜第４交流電圧ＶＥ1〜ＶＥ4の波形は、回路部７０における、周波数ｆ、第１、第２角度θ1、θ2、増幅率Ａ1〜Ａ4などの値を変化させることにより変動する。
【００６７】
次に第２実施形態について説明する。第１実施形態では、第１、第２圧電素子３１、３２には、それぞれ４つの電極が取り付けられるのに対して、第２実施形態では、５つの電極が取り付けられる点が異なる。これに伴い、回路部の構成が異なる。以下、第１実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００６８】
第２実施形態における圧電体振動子３０の第１、第２圧電素子３１、３２の第３方向ｚから見た表面には電極が設けられる。電極は第３方向ｚからみて５つ（周壁に近い外側部分に放射状に分割された４つ、及び中心部に１つ）に分割され、第１圧電素子３１の第１、第２、第３、第４、第９電極３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ、第２圧電素子３２の第５、第６、第７、第８、第１０電極３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ、３２ｅが取り付けられる。
【００６９】
電極は、第３方向ｚからみて反時計回りに、第１電極３１ａ、第３電極３１ｃ、第２電極３１ｂ、第４電極３１ｄの順に並べて配置され、中心に第９電極３１ｅが配置される。
【００７０】
第１電極３１ａと第５電極３２ａとは、第３方向ｚで対向するように配置され、同じ波形の第１交流電圧ＶＥ1が回路部７０から印加される。第２電極３１ｂと第６電極３２ｂとは、第３方向ｚで対向するように配置され、同じ波形の第２交流電圧ＶＥ2が回路部７０から印加される。第３電極３１ｃと第７電極３２ｃとは、第３方向ｚで対向するように配置され、同じ波形の第３交流電圧ＶＥ3が回路部７０から印加される。第４電極３１ｄと第８電極３２ｄとは、第３方向ｚで対向するように配置され、同じ波形の第４交流電圧ＶＥ4が回路部７０から印加される。第９電極３１ｅと第１０電極３２ｅとは、第３方向ｚで対向するように配置され、同じ波形の第５交流電圧ＶＥ5が回路部７０から印加される。
【００７１】
各電極に交流電圧が印加されることにより、圧電体振動子３０（第１、第２圧電素子３１、３２、及びシム３４）の各部は、膨張と伸縮を繰り返す。第１圧電素子３１及び第２圧電素子３２の各電極３１ａ〜３１ｅ、及び３２ａ〜３２ｅの電圧が変化することにより、シム３４のシム本体部３４ａの外壁部分の任意の一点は楕円運動を行うことができる。この楕円運動により、シム本体部３４ａの外壁部分と第２方向ｙに付勢された状態で接触する第１、第２摩擦部材１１、１２は、固定台５０及び圧電体振動子３０に対して第１方向ｘに移動せしめられ、これに伴って水平方向移動部１０、及び載荷台４０が第１方向ｘに移動せしめられる。同様に、シム本体部３４ａの外壁部分と第１方向ｘに付勢された状態で接触する第３、第４摩擦部材２１、２２は、固定台５０及び圧電体振動子３０に対して第２方向ｙに移動せしめられ、これに伴って鉛直方向移動部２０、及び載荷台４０が第２方向ｙに移動せしめられる。
【００７２】
第２実施形態における回路部７０は、可変周波数発振器８１、第１、第２、第３、第４、第５増幅器８２ａ、８２ｂ、８２ｃ、８２ｄ、８２ｅ、第１、第２移相器８３ａ、８３ｂ、第１、第２位相反転器８４ａ、８４ｂ、及び第１、第２、第３、第４、第５電力増幅器８８ａ、８８ｂ、８８ｃ、８８ｄ、８８ｅとを有する。
【００７３】
可変周波数発振器８１は、初期振幅Ｖ0、周波数ｆの正弦波：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ）を出力する。可変周波数発振器８１は、第５増幅器８２ｅ、第１移相器８３ａ、及び第２移相器８３ｂと接続される。周波数ｆは可変である。ｔは時間を示す。
【００７４】
第５増幅器８２ｅは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ）を増幅し、第５振幅Ｖ5、周波数ｆの正弦波：Ｖ5ｓｉｎ（２πｆｔ）を出力する。第５増幅器８２ｅは、第５電力増幅器８８ｅと接続される。第５電力増幅器８８ｅは、入力信号：Ｖ5ｓｉｎ（２πｆｔ）を増幅率Ａ5だけ増幅し、第５交流電圧ＶＥ5＝Ａ5Ｖ5ｓｉｎ（２πｆｔ）を出力する。第５電力増幅器８８ｅは、第９電極３１ｅ、及び第１０電極３２ｅと接続される。第９電極３１ｅ、及び第１０電極３２ｅは、第５交流電圧ＶＥ5が印加される。
【００７５】
第１移相器８３ａは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ）の位相を第１角度θ1だけ変え、初期振幅Ｖ0、周波数ｆの正弦波：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第１移相器８３ａは、第１増幅器８２ａ、及び第１位相反転器８４ａと接続される。
【００７６】
第２移相器８３ｂは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ）の位相を第２角度θ2だけ変え、初期振幅Ｖ0、周波数ｆの正弦波：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第２移相器８３ｂは、第３増幅器８２ｃ、及び第２位相反転器８４ｂと接続される。
【００７７】
第１増幅器８２ａは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を増幅し、第１振幅Ｖ1、周波数ｆの正弦波：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第１増幅器８２ａは、第１電力増幅器８８ａと接続される。第１電力増幅器８８ａは、入力信号：Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を増幅率Ａ1だけ増幅し、第１交流電圧ＶＥ1＝Ａ1Ｖ1ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第１電力増幅器８８ａは、第１電極３１ａ、第５電極３２ａと接続される。第１電極３１ａ、第５電極３２ａは、第１交流電圧ＶＥ1が印加される。
【００７８】
第１位相反転器８４ａは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）の位相を反転させ、初期振幅Ｖ0、周波数ｆの正弦波：−Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第１位相反転器８４ａは、第２増幅器８２ｂと接続される。第２増幅器８２ｂは、入力信号：−Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を増幅し、第２振幅Ｖ2、周波数ｆの正弦波：―Ｖ2ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第２増幅器８２ｂは、第２電力増幅器８８ｂと接続される。第２電力増幅器８８ｂは、入力信号：−Ｖ2ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を増幅率Ａ2だけ増幅し、第２交流電圧ＶＥ2＝−Ａ2Ｖ2ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ1）を出力する。第２電力増幅器８８ｂは、第２電極３１ｂ、第６電極３２ｂと接続される。第２電極３１ｂ、第６電極３２ｂは、第２交流電圧ＶＥ2が印加される。
【００７９】
第３増幅器８２ｃは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を増幅し、第３振幅Ｖ3、周波数ｆの正弦波：Ｖ3ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第３増幅器８２ｃは、第３電力増幅器８８ｃと接続される。第３電力増幅器８８ｃは、入力信号：Ｖ3ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を増幅率Ａ3だけ増幅し、第３交流電圧ＶＥ3＝Ａ3Ｖ3ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第３電力増幅器８８ｃは、第３電極３１ｃ、第７電極３２ｃと接続される。第３電極３１ｃ、第７電極３２ｃは、第３交流電圧ＶＥ3が印加される。
【００８０】
第２位相反転器８４ｂは、入力信号：Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）の位相を反転させ、初期振幅Ｖ0、周波数ｆの正弦波：―Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第２位相反転器８４ｂは、第４増幅器８２ｄと接続される。第４増幅器８２ｄは、入力信号：―Ｖ0ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を増幅し、第４振幅Ｖ4、周波数ｆの正弦波：−Ｖ4ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第４増幅器８２ｄは、第４電力増幅器８８ｄと接続される。第４電力増幅器８８ｄは、入力信号：−Ｖ4ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を増幅率Ａ4だけ増幅し、第４交流電圧ＶＥ4＝−Ａ4Ｖ4ｓｉｎ（２πｆｔ＋θ2）を出力する。第４電力増幅器８８ｄは、第４電極３１ｄ、第８電極３２ｄと接続される。第４電極３１ｄ、第８電極３２ｄは、第４交流電圧ＶＥ4が印加される。
【００８１】
水平方向移動部１０等の第１方向ｘの移動量、及び鉛直方向移動部２０等の第２方向ｙの移動量は、第１〜第５交流電圧ＶＥ1〜ＶＥ5の波形を変化させることによって調整される。第１〜第５交流電圧ＶＥ1〜ＶＥ5の波形は、回路部７０における、周波数ｆ、第１、第２角度θ1、θ2、増幅率Ａ1〜Ａ5などの値を変化させることにより変動する。
【００８２】
その他の構成については、第１実施形態と同様である。
【００８３】
次に第３実施形態について説明する。第１実施形態では、弾性部材（板状のバネ１８ｄ）によって第１摩擦部材１１（の端部１１ａ）が第２方向ｙ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され（図１１〜１３参照）、弾性部材（板状のバネ）によって第３摩擦部材２１（の端部）が第１方向ｘ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢される（不図示）。第３実施形態では、弾性部材（圧縮コイル）によって第１摩擦部材１１が第２方向ｙ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第１方向ｘに付勢される。また弾性部材（圧縮コイル）によって第３摩擦部材２１が第１方向ｘ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第２方向ｙに付勢される。これに伴い、第１摩擦部材１１と水平方向移動枠１９との間の構成、及び第３摩擦部材２１と鉛直方向移動枠２９との間の構成が異なる。以下、第１実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００８４】
第１摩擦部材１１が第２方向ｙ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第１方向ｘに付勢される部分の構成を説明する（図１４参照）。水平方向移動枠１９に設けられた第１案内孔１８１ｃの内壁によって、第１摩擦部材１１の側面の一部が第３方向ｚに移動出来ないように拘束される。第１案内孔１８１ｃの奥には弾性部材である第１、第２、第３圧縮コイルバネ１８１ｅ、１８１ｆ、１８１ｇが挿入される。第１、第２圧縮コイルバネ１８１ｅ、１８１ｆは、第１摩擦部材１１を第１方向ｘで挟み且つ付勢する。第３圧縮コイルバネ１８１ｇは、第１摩擦部材１１を第２方向ｙに付勢する。第１摩擦部材１１は、第１〜第３圧縮コイルバネ１８１ｅ〜１８１ｇを介して水平方向移動枠１９の第１案内孔１８１ｃと接触する。
【００８５】
第１摩擦部材１１の曲げ方向一次共振点が圧電体振動子３０の駆動周波数に対して十分に高くなるように、第１摩擦部材１１の形状、剛性、質量が設定される。圧電体振動子３０の駆動周波数と、第１摩擦部材１１の高次の共振周波数とが共振することを防ぐためである。また、第１〜第３圧縮コイルバネ１８１ｅ〜１８１ｇのバネ定数は、小さくすると第１摩擦部材１１の微少振動を抑制する機能が高まる反面、第１摩擦部材１１による駆動力を減衰させる（駆動力のロスが大きくなる）ので、実験により最適なバネ定数を適宜設定する。
【００８６】
第１摩擦部材１１が圧電体振動子３０から半径方向の力（第２方向ｙの力）を受けると、第１摩擦部材１１は圧電体振動子３０から半径方向の力で加振されることとなり、第１摩擦部材１１は微少振幅の振動を生ずることとなるが、この微少の振動は第３圧縮コイルバネ１８１ｇに抑制されるため、水平方向移動枠１９には殆ど伝わらない。第１摩擦部材１１が圧電体振動子３０から駆動方向の力（第１方向ｘの力）を受けると、第１摩擦部材１１は圧電体振動子３０から駆動方向への力で加振されることとなり、第１摩擦部材１１は微少振幅の振動を生ずることとなるが、この微少の振動は第１、第２圧縮コイルバネ１８１ｅ、１８１ｆに抑制されるため、水平方向移動枠１９には殆ど伝わらない。第１摩擦部材１１と水平方向移動枠１９との間を、第１〜第３圧縮コイルバネ１８１ｅ〜１８１ｇを介して接触することにより、圧電体振動子３０から水平方向移動枠１９への振動影響を小さくすることが出来、駆動安定性を良好に維持することが可能になる。
【００８７】
第３摩擦部材２１が第１方向ｘ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第２方向ｙに付勢される部分の構成は、第１摩擦部材１１が第２方向ｙ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第１方向ｘに付勢される部分の構成と同様である（不図示）。鉛直方向移動枠２９に設けられた案内孔の内壁によって、第３摩擦部材２１の側面の一部が第３方向ｚに移動出来ないように拘束される。案内孔の奥には弾性部材である第４、第５、第６圧縮コイルバネ２８１ｅ、２８１ｆ、２８１ｇが挿入される。第４、第５圧縮コイルバネ２８１ｅ、２８１ｆは、第３摩擦部材２１を第２方向ｙで挟み且つ付勢する。第６圧縮コイルバネ２８１ｇは、第３摩擦部材２１を第１方向ｘに付勢する。第３摩擦部材２１は、第４〜第６圧縮コイルバネ２８１ｅ〜２８１ｇを介して鉛直方向移動枠２９の案内孔と接触する。
【００８８】
第３摩擦部材２１の曲げ方向一次共振点が圧電体振動子３０の駆動周波数に対して十分に高くなるように、第３摩擦部材２１の形状、剛性、質量が設定される。圧電体振動子３０の駆動周波数と、第３摩擦部材２１の高次の共振周波数とが共振することを防ぐためである。また、第４〜第６圧縮コイルバネ２８１ｅ〜２８１ｇのバネ定数は、小さくすると第３摩擦部材２１の微少振動を抑制する機能が高まる反面、第３摩擦部材２１による駆動力を減衰させる（駆動力のロスが大きくなる）ので、実験により最適なバネ定数を適宜設定する。
【００８９】
第３摩擦部材２１が圧電体振動子３０から半径方向の力（第１方向ｘの力）を受けると、第３摩擦部材２１は圧電体振動子３０から半径方向の力で加振されることとなり、第３摩擦部材２１は微少振幅の振動を生ずることとなるが、この微少の振動は第６圧縮コイルバネ２８１ｇに抑制されるため、鉛直方向移動枠２９には殆ど伝わらない。第３摩擦部材２１が圧電体振動子３０から駆動方向の力（第２方向ｙの力）を受けると、第３摩擦部材２１は圧電体振動子３０から駆動方向への力で加振されることとなり、第３摩擦部材２１は微少振幅の振動を生ずることとなるが、この微少の振動は第４、第５圧縮コイルバネ２８１ｅ、２８１ｆに抑制されるため、鉛直方向移動枠２９には殆ど伝わらない。第３摩擦部材２１と鉛直方向移動枠２９との間を、第４〜第６圧縮コイルバネ２８１ｅ〜２８１ｇを介して接触することにより、圧電体振動子３０から鉛直方向移動枠２９への振動影響を小さくすることが出来、駆動安定性を良好に維持することが可能になる。
【００９０】
その他の構成は第１実施形態と同様である。
【００９１】
次に第４実施形態について説明する。第３実施形態では、第１実施形態と同様に、第１摩擦部材１１と水平方向移動枠１９との間、及び第３摩擦部材２１と鉛直方向移動枠２９との間については弾性部材（圧縮コイルバネ）を介して接触するが、第２摩擦部材１２と水平方向移動枠１９との間、及び第４摩擦部材２２と鉛直方向移動枠２９との間は固定される。第４実施形態では、第２摩擦部材１２と水平方向移動枠１９との間、及び第４摩擦部材２２と鉛直方向移動枠２９との間についても弾性部材（圧縮コイルバネ）を介して接触する。以下、第３実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００９２】
第１摩擦部材１１が第２方向ｙ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第１方向ｘに付勢される部分の構成は第３実施形態と同様である（図１４、図１５参照）。
【００９３】
第２摩擦部材１２が第２方向ｙ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第１方向ｘに付勢される部分の構成は、第１摩擦部材１１が第２方向ｙ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第１方向ｘに付勢される部分の構成と同様である（図１５参照）。水平方向移動枠１９に設けられた第２案内孔１８２ｃの内壁によって、第２摩擦部材１２の側面の一部が第３方向ｚに移動出来ないように拘束される。第２案内孔１８２ｃの奥には弾性部材である第７、第８、第９圧縮コイルバネ１８２ｅ、１８２ｆ、１８２ｇが挿入される。第７、第８圧縮コイルバネ１８２ｅ、１８２ｆは、第２摩擦部材１２を第１方向ｘで挟み且つ付勢する。第９圧縮コイルバネ１８２ｇは、第２摩擦部材１２を第２方向ｙに付勢する。第２摩擦部材１２は、第７〜第９圧縮コイルバネ１８２ｅ〜１８２ｇを介して水平方向移動枠１９の第２案内孔１８２ｃと接触する。
【００９４】
第２摩擦部材１２の曲げ方向一次共振点が圧電体振動子３０の駆動周波数に対して十分に高くなるように、第２摩擦部材１２の形状、剛性、質量が設定される。圧電体振動子３０の駆動周波数と、第２摩擦部材１２の高次の共振周波数とが共振することを防ぐためである。また、第７〜第９圧縮コイルバネ１８２ｅ〜１８２ｇのバネ定数は、小さくすると第２摩擦部材１２の微少振動を抑制する機能が高まる反面、第２摩擦部材１２による駆動力を減衰させる（駆動力のロスが大きくなる）ので、実験により最適なバネ定数を適宜設定する。
【００９５】
第２摩擦部材１２が圧電体振動子３０から半径方向の力（第２方向ｙの力）を受けると、第２摩擦部材１２は圧電体振動子３０から半径方向の力で加振されることとなり、第２摩擦部材１２は微少振幅の振動を生ずることとなるが、この微少の振動は第９圧縮コイルバネ１８２ｇに抑制されるため、水平方向移動枠１９には殆ど伝わらない。第２摩擦部材１２が圧電体振動子３０から駆動方向の力（第１方向ｘの力）を受けると、第２摩擦部材１２は圧電体振動子３０から駆動方向への力で加振されることとなり、第２摩擦部材１２は微少振幅の振動を生ずることとなるが、この微少の振動は第７、第８圧縮コイルバネ１８２ｅ、１８２ｆに抑制されるため、水平方向移動枠１９には殆ど伝わらない。第２摩擦部材１２と水平方向移動枠１９との間を、第７〜第９圧縮コイルバネ１８２ｅ〜１８２ｇを介して接触することにより、圧電体振動子３０から水平方向移動枠１９への振動影響を小さくすることが出来、駆動安定性を良好に維持することが可能になる。
【００９６】
第２摩擦部材１２と水平方向移動枠１９とが固定されていた第３実施形態では、圧電体振動子３０からの振動が第２摩擦部材１２を介して水平方向移動枠１９に伝わる。圧電体振動子３０に比べて大きい第２摩擦部材１２と水平方向移動枠１９とが固定した部材は、部材の一次共振点が圧電体振動子３０の駆動周波数に比べて低くなる場合が考えられる。この場合、第２摩擦部材１２と水平方向移動枠１９とが固定した部材の高次の共振周波数が圧電体振動子３０の駆動周波数と共振するおそれがある。しかし第４実施形態では、第２摩擦部材１２と水平方向移動枠１９とは弾性部材（圧縮コイルバネ）を介して接触し固定された状態ではなく、圧電体振動子３０からの振動が弾性部材（圧縮コイルバネ）によって抑制されるため、このような問題は生じない。
【００９７】
第１摩擦部材１１が第２方向ｙ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第１方向ｘに付勢される部分の構成は第３実施形態と同様である（図１４、図１５参照）。
【００９８】
第３摩擦部材２１が第１方向ｘ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第２方向ｙに付勢される部分の構成は、第３実施形態と同様である（図１５参照）。鉛直方向移動枠２９に設けられた第３案内孔２８１ｃの内壁によって、第３摩擦部材２１の側面の一部が第３方向ｚに移動出来ないように拘束される。第３案内孔２８１ｃの奥には弾性部材である第４、第５、第６圧縮コイルバネ２８１ｅ、２８１ｆ、２８１ｇが挿入される。第４、第５圧縮コイルバネ２８１ｅ、２８１ｆは、第３摩擦部材２１を第２方向ｙで挟み且つ付勢する。第６圧縮コイルバネ２８１ｇは、第３摩擦部材２１を第１方向ｘに付勢する。第３摩擦部材２１は、第４〜第６圧縮コイルバネ２８１ｅ〜２８１ｇを介して鉛直方向移動枠２９の第３案内孔２８１ｃと接触する。
【００９９】
第３摩擦部材２１の曲げ方向一次共振点が圧電体振動子３０の駆動周波数に対して十分に高くなるように、第３摩擦部材２１の形状、剛性、質量が設定される。圧電体振動子３０の駆動周波数と、第３摩擦部材２１の高次の共振周波数とが共振することを防ぐためである。また、第４〜第６圧縮コイルバネ２８１ｅ〜２８１ｇのバネ定数は、小さくすると第３摩擦部材２１の微少振動を抑制する機能が高まる反面、第３摩擦部材２１による駆動力を減衰させる（駆動力のロスが大きくなる）ので、実験により最適なバネ定数を適宜設定する。
【０１００】
第３摩擦部材２１が圧電体振動子３０から半径方向の力（第１方向ｘの力）を受けると、第３摩擦部材２１は圧電体振動子３０から半径方向の力で加振されることとなり、第３摩擦部材２１は微少振幅の振動を生ずることとなるが、この微少の振動は第６圧縮コイルバネ２８１ｇに抑制されるため、鉛直方向移動枠２９には殆ど伝わらない。第３摩擦部材２１が圧電体振動子３０から駆動方向の力（第２方向ｙの力）を受けると、第３摩擦部材２１は圧電体振動子３０から駆動方向への力で加振されることとなり、第３摩擦部材２１は微少振幅の振動を生ずることとなるが、この微少の振動は第４、第５圧縮コイルバネ２８１ｅ、２８１ｆに抑制されるため、鉛直方向移動枠２９には殆ど伝わらない。第３摩擦部材２１と鉛直方向移動枠２９との間を、第４〜第６圧縮コイルバネ２８１ｅ〜２８１ｇを介して接触することにより、圧電体振動子３０から鉛直方向移動枠２９への振動影響を小さくすることが出来、駆動安定性を良好に維持することが可能になる。
【０１０１】
第４摩擦部材２２が第１方向ｘ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第２方向ｙに付勢される部分の構成は、第３摩擦部材２１が第１方向ｘ且つ圧電体振動子３０のある方向に付勢され、且つ第２方向ｙに付勢される部分の構成と同様である（図１５参照）。鉛直方向移動枠２９に設けられた第４案内孔２８２ｃの内壁によって、第４摩擦部材２２の側面の一部が第３方向ｚに移動出来ないように拘束される。第４案内孔２８２ｃの奥には弾性部材である第１０、第１１、第１２圧縮コイルバネ２８２ｅ、２８２ｆ、２８２ｇが挿入される。第１０、第１１圧縮コイルバネ２８２ｅ、２８２ｆは、第４摩擦部材２２を第２方向ｙで挟み且つ付勢する。第１２圧縮コイルバネ２８２ｇは、第４摩擦部材２２を第１方向ｘに付勢する。第４摩擦部材２２は、第１０〜第１２圧縮コイルバネ２８２ｅ〜２８２ｇを介して鉛直方向移動枠２９の第４案内孔２８２ｃと接触する。
【０１０２】
第４摩擦部材２２の曲げ方向一次共振点が圧電体振動子３０の駆動周波数に対して十分に高くなるように、第４摩擦部材２２の形状、剛性、質量が設定される。圧電体振動子３０の駆動周波数と、第４摩擦部材２２の高次の共振周波数とが共振することを防ぐためである。また、第１０〜第１２圧縮コイルバネ２８２ｅ〜２８２ｇのバネ定数は、小さくすると第４摩擦部材２２の微少振動を抑制する機能が高まる反面、第４摩擦部材２２による駆動力を減衰させる（駆動力のロスが大きくなる）ので、実験により最適なバネ定数を適宜設定する。
【０１０３】
第４摩擦部材２２が圧電体振動子３０から半径方向の力（第１方向ｘの力）を受けると、第４摩擦部材２２は圧電体振動子３０から半径方向の力で加振されることとなり、第４摩擦部材２２は微少振幅の振動を生ずることとなるが、この微少の振動は第１２圧縮コイルバネ２８２ｇに抑制されるため、鉛直方向移動枠２９には殆ど伝わらない。第４摩擦部材２２が圧電体振動子３０から駆動方向の力（第２方向ｙの力）を受けると、第４摩擦部材２２は圧電体振動子３０から駆動方向への力で加振されることとなり、第４摩擦部材２２は微少振幅の振動を生ずることとなるが、この微少の振動は第１０、第１１圧縮コイルバネ２８２ｅ、２８２ｆに抑制されるため、鉛直方向移動枠２９には殆ど伝わらない。第４摩擦部材２２と鉛直方向移動枠２９との間を、第１０〜第１２圧縮コイルバネ２８２ｅ〜２８２ｇを介して接触することにより、圧電体振動子３０から鉛直方向移動枠２９への振動影響を小さくすることが出来、駆動安定性を良好に維持することが可能になる。
【０１０４】
第４摩擦部材２２と鉛直方向移動枠２９とが固定されていた第３実施形態では、圧電体振動子３０からの振動が第４摩擦部材２２を介して鉛直方向移動枠２９に伝わる。圧電体振動子３０に比べて大きい第４摩擦部材２２と鉛直方向移動枠２９とが固定した部材は、部材の一次共振点が圧電体振動子３０の駆動周波数に比べて低くなる場合が考えられる。この場合、第４摩擦部材２２と鉛直方向移動枠２９とが固定した部材の高次の共振周波数が圧電体振動子３０の駆動周波数と共振するおそれがある。しかし第４実施形態では、第４摩擦部材２２と鉛直方向移動枠２９とは弾性部材（圧縮コイルバネ）を介して接触し固定された状態ではなく、圧電体振動子３０からの振動が弾性部材（圧縮コイルバネ）によって抑制されるため、このような問題は生じない。
【０１０５】
その他の構成は第３実施形態と同様である。
【０１０６】
次に第５実施形態について説明する。第５実施形態は、第４実施形態に比べて水平方向移動枠１９、及び鉛直方向移動枠２９の形状が異なる。以下、第４実施形態に比べて異なる点を中心に説明する。
【０１０７】
第５実施形態の水平方向移動枠１９０は、第１、第２水平方向移動枠突起部１９１、１９２、及び第１、第２蓋１９３、１９４を有する。第１水平方向移動枠突起部１９１は、水平方向移動枠１９０の板状の本体から第３方向ｚに突出した部材で、第１摩擦部材１１を付勢するために使用される第１案内孔１８１ｃを有し、第１〜第３圧縮コイルバネ１８１ｅ〜１８１ｇが挿入される。第１蓋１９３は、第１案内孔１８１ｃが第３方向ｚから見えないように閉じる蓋で、第１摩擦部材１１の付勢状態が第３方向ｚに外れないように拘束する。第２水平方向移動枠突起部１９２は、水平方向移動枠１９０の板状の本体から第３方向ｚに突出した部材で、第２摩擦部材１２を付勢するために使用される第２案内孔１８２ｃを有し、第７〜第９圧縮コイルバネ１８２ｅ〜１８２ｇが挿入される。第２蓋１９４は、第２案内孔１８２ｃが第３方向ｚから見えないように閉じる蓋で、第２摩擦部材１２の付勢状態が第３方向ｚに外れないように拘束する。
【０１０８】
第５実施形態の鉛直方向移動枠２９０は、第１、第２鉛直方向移動枠突起部２９１、２９２、及び第３、第４蓋２９３、２９４を有する。第１鉛直方向移動枠突起部２９１は、鉛直方向移動枠２９０の板状の本体から第３方向ｚに突出した部材で、第３摩擦部材２１を付勢するために使用される第３案内孔２８１ｃを有し、第４〜第６圧縮コイルバネ２８１ｅ〜２８１ｇが挿入される。第３蓋２９３は、第３案内孔２８１ｃが第３方向ｚから見えないように閉じる蓋で、第３摩擦部材２１の付勢状態が第３方向ｚに外れないように拘束する。第２鉛直方向移動枠突起部２９２は、鉛直方向移動枠２９０の板状の本体から第３方向ｚに突出した部材で、第４摩擦部材２２を付勢するために使用される第４案内孔２８２ｃを有し、第１０〜第１２圧縮コイルバネ２８２ｅ〜２８２ｇが挿入される。第４蓋２９４は、第４案内孔２８２ｃが第３方向ｚから見えないように閉じる蓋で、第４摩擦部材２２の付勢状態が第３方向ｚに外れないように拘束する。
【０１０９】
第１、第２水平方向移動枠突起部１９１、１９２の水平方向移動枠１９０の板状の本体から第３方向ｚへの突出方向は同じである。第１、第２鉛直方向移動枠突起部２９１、２９２の鉛直方向移動枠２９０の板状の本体から第３方向ｚへの突出方向は同じである。第１水平方向移動枠突起部１９１の水平方向移動枠１９０の板状の本体から第３方向ｚへの突出方向と、第１鉛直方向移動枠突起部２９１の鉛直方向移動枠２９０の板状の本体から第３方向ｚへの突出方向とは逆方向である。
【０１１０】
これにより、水平方向移動枠１９０、及び鉛直方向移動枠２９０の構造を、入れ子構造や、引っ張りコイルバネを使ったカンチレバー構造をとることなく簡素化することが可能になる。
【０１１１】
その他の構成は第４実施形態と同様である。
【０１１２】
第１〜第５実施形態における電極に交流電圧を印加するための駆動周波数は一種類（周波数ｆ）だけでよいので、回路構成を複雑にしない。
【０１１３】
また、２方向の移動制御が、１つの圧電体振動子で実現できる。従って、２つ以上の圧電体振動子を使って２方向の移動制御を行う場合に比べて、圧電体振動子の寸法を大きくできる。寸法を大きくできると、駆動周波数を１００ｋＨｚ程度に設定することができ、駆動周波数をそれよりも高い２００〜３００ｋＨｚ程度に設定した場合に生じるスイッチングロスを考慮せずに駆動回路（回路部７０）を設計できるメリットを有する。
【０１１４】
水平方向移動枠１９内の第１、第２摩擦部材１１、１２によって圧電体振動子３０の第１方向ｘの与圧（付勢）が行われ、鉛直方向移動枠２９内の第３、第４摩擦部材２１、２２によって圧電体振動子３０の第２方向ｙの与圧（付勢）が行われるので、水平方向移動枠１９、及び鉛直方向移動枠２９の外側から与圧を行う機構を用意する必要がないので、装置を小型化できる。また、装置全体の釣り合いをとりやすいメリットを有する。
【０１１５】
なお、本実施形態においては、装置の小型化、圧電体振動子の駆動効率の向上を優先的に考慮して、第１、第２圧電素子３１、３２、及びシム本体部３４ａの形状を中空円柱形状であるとしたが、ｍを４の倍数として正ｍ角形や円柱形状など他の形状であっても二次元に移動させることは可能である。
【０１１６】
第１〜第５実施形態における、二次元移動装置１は、圧電体振動子３０を第１方向ｘ、第２方向ｙで付勢するが、第３方向ｚでは付勢しない。従って、第３方向ｚに寸法を大きくさせる部材を必要としないので、移動平面に垂直な方向の厚さを増やさないで被駆動体を二次元方向に並進運動させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】第１、第２実施形態における載荷台を部分的に切り欠いた二次元移動装置の斜視図である。
【図２】水平方向移動部、鉛直方向移動部、及び圧電体振動子の構成を示す斜視図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線における断面の構成図である。
【図４】図１のＢ−Ｂ線における断面の構成図である。
【図５】第１実施形態における圧電体振動子の構成図である。
【図６】図５のＣ−Ｃ線における断面の構成図である。
【図７】第１実施形態における回路構成図である。
【図８】第２実施形態における圧電体振動子の構成図である。
【図９】図８のＤ−Ｄ線における断面の構成図である。
【図１０】第２実施形態における回路構成図である。
【図１１】第１実施形態における第１摩擦部材を付勢する部分について、図２のＥ−Ｅ線における断面の構成図である。
【図１２】図１１のＦ−Ｆ線における断面の構成図である。
【図１３】図１２のＧ−Ｇ線における断面の構成図である。
【図１４】第３実施形態における第１摩擦部材を付勢する部分について、図２のＥ−Ｅ線における断面の構成図である。
【図１５】第４実施形態における第１〜第４摩擦部材を付勢する部分と圧電体振動子との構成図である。
【図１６】水平方向移動枠、鉛直方向移動枠のカンチレバー構成を示す斜視図である。
【図１７】第５実施形態における水平方向移動枠、鉛直方向移動枠の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１１８】
１  二次元移動装置
１０  水平方向移動部
１１、１２  第１、第２摩擦部材
１１ａ  第１摩擦部材の端部
１５、１６  第１、第２係合部
１８ａ、１８ｂ  第１、第２突出部
１８ｃ  案内孔
１８１ｃ、１８２ｃ  第１、第２案内孔
１８１ｅ〜１８１ｇ  第１〜第３圧縮コイルバネ
１８２ｅ〜１８２ｇ  第７〜第９圧縮コイルバネ
１８ｄ  板状のバネ
１９  水平方向移動枠
１９ａ  水平方向移動枠梁部
１９ｂ  水平方向移動枠支持部
１９ｃ  水平方向移動枠用引っ張りコイルバネ
１９０  第５実施形態における水平方向移動枠
１９１、１９２  第１、第２水平方向移動枠突起部
１９３、１９４  第１、第２蓋
２０  鉛直方向移動部
２１、２２  第３、第４摩擦部材
２５、２６  第３、第４係合部
２８１ｃ、２８２ｃ  第３、第４案内孔
２８１ｅ〜２８１ｇ  第４〜第６圧縮コイルバネ
２８２ｅ〜２８２ｇ  第１０〜第１２圧縮コイルバネ
２９  鉛直方向移動枠
２９ａ  鉛直方向移動枠梁部
２９ｂ  鉛直方向移動枠支持部
２９ｃ  鉛直方向移動枠用引っ張りコイルバネ
２９０  第５実施形態における鉛直方向移動枠
２９１、２９２  第１、第２鉛直方向移動枠突起部
２９３、２９４  第３、第４蓋
３０  圧電体振動子
３１、３２  第１、第２圧電素子
３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ  第１、第２、第３、第４電極
３１ｅ  第９電極
３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ  第５、第６、第７、第８電極
３２ｅ  第１０電極
３４  シム
３４ａ  シム本体部
３５ａ、３５ｂ、３５ｃ、３５ｄ  第１、第２、第３、第４支持部
４０  載荷台
４０ａ  載荷台本体部
４１、４２  第１、第２突起部
４５  ボール
４６  磁石
５０  固定台
５０ａ  固定台本体部
５１、５２  第１、第２係合部材
５３  固定部材
７０  回路部
７１  可変周波数発信器
７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄ、７２ｅ  第１、第２、第３、第４、第５増幅器
７３ａ、７３ｂ  第１、第２移相器
７４ａ、７４ｂ  第１、第２位相反転器
７５ａ、７５ｂ、７５ｃ、７５ｄ  第１、第２、第３、第４加え合わせ点
７６ａ、７６ｂ、７６ｃ、７６ｄ  第１、第２、第３、第４電力増幅器
ＶＥ1、ＶＥ2、ＶＥ3、ＶＥ4  第１、第２、第３、第４交流電圧
ＶＥ5  第５交流電圧
【図１】
2007060888.tif 000003
【図２】
2007060888.tif 000004
【図３】
2007060888.tif 000005
【図４】
2007060888.tif 000006
【図５】
2007060888.tif 000007
【図６】
2007060888.tif 000008
【図７】
2007060888.tif 000009
【図８】
2007060888.tif 000010
【図９】
2007060888.tif 000011
【図１０】
2007060888.tif 000012
【図１１】
2007060888.tif 000013
【図１２】
2007060888.tif 000014
【図１３】
2007060888.tif 000015
【図１４】
2007060888.tif 000016
【図１５】
2007060888.tif 000017
【図１６】
2007060888.tif 000018
【図１７】
2007060888.tif 000019