(57)【要約】【課題】簡単な構成及び工程で、積層体にテンション変動が発生することがなく、第２層体を前記積層体から良好に分離させることを可能にする。【解決手段】剥離装置４４は、感光性ウエブ２２を吸着して搬送するサクションドラム６２と、前記感光性ウエブ２２を挟んでこのサクションドラム６２の外周面と直線上に接するとともに、前記感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を部分的に剥離する剥離ローラ６４とを備える。サクションドラム６２と剥離ローラ６４とのロール間隔ｈは、感光性ウエブ２２の厚さｔと略同一寸法に設定され、これらの間に隙間が発生しないように構成される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１及び第２層体が積層された積層体から、前記第２層体を少なくとも部分的に剥離する積層体の剥離装置であって、
前記積層体を前記第１層体側から吸着して搬送するためのサクションローラと、
前記積層体を挟んで前記サクションローラの外周面と直線上に接するとともに、前記第２層体を少なくとも部分的に前記積層体から剥離させるための剥離ローラと、
を備えることを特徴とする積層体の剥離装置。
【請求項２】
請求項１記載の剥離装置において、前記剥離ローラは、導電性ゴムローラで構成されるとともに、
ゴム硬度が２０度〜９０度の範囲内に設定されることを特徴とする積層体の剥離装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の剥離装置において、前記剥離ローラは、前記サクションローラの外周面に保持された前記積層体に対して５０Ｎ／ｃｍ以下の線圧で押し付けられることを特徴とする積層体の剥離装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の剥離装置において、前記積層体は、少なくとも支持体上に前記第１層体である感光材料層と、前記第２層体である保護フイルムとが積層された長尺状感光性ウエブであることを特徴とする積層体の剥離装置。
【請求項５】
少なくとも第１及び第２層体が積層された積層体から、前記第２層体を少なくとも部分的に剥離する積層体の剥離方法であって、
サクションローラと剥離ローラとで前記積層体を挟持した状態で、前記サクションローラにより前記積層体を前記第１層体側から吸着して搬送するとともに、
前記剥離ローラの外周面に前記第２層体を巻き付けて該第２層体に所定のテンションを付与することにより、前記第２層体を前記積層体から少なくとも部分的に剥離させることを特徴とする積層体の剥離方法。
【請求項６】
請求項５記載の剥離方法において、前記剥離ローラは、導電性ゴムローラで構成されるとともに、
ゴム硬度が２０度〜９０度の範囲内に設定されることを特徴とする積層体の剥離方法。
【請求項７】
請求項５又は６記載の剥離方法において、前記剥離ローラは、前記サクションローラの外周面に保持された前記積層体に対して５０Ｎ／ｃｍ以下の線圧で押し付けられることを特徴とする積層体の剥離方法。
【請求項８】
請求項５乃至７のいずれか１項に記載の剥離方法において、前記積層体は、少なくとも支持体上に前記第１層体である感光材料層と、前記第２層体である保護フイルムとが積層された長尺状感光性ウエブであることを特徴とする積層体の剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも第１及び第２層体が積層された積層体から、前記第２層体を少なくとも部分的に剥離する積層体の剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（積層体）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図７に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在されている。このガイドロール２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。
【０００５】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。
【０００６】
ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。
【０００７】
カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。
【０００８】
サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、積層体フイルム１ａを重ねて圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。
【０００９】
この場合、特許文献１では、ハーフカッタ５が積層体フイルム１ａの切断を開始したタイミングで、ロータリエンンコーダ３から発生されるパルスの計数が開始される。そして、ロータリエンコーダ３の発生するパルスの計数値が、積層体フイルム１ａの切断線の特定点に至る数値になると、そのタイミングで基板搬送装置１０が駆動される。従って、基板１１は、積層体フイルム１ａと同期してラミネーションロール１２ａ、１２ｂ間に送り込まれる。これにより、積層体フイルム１ａと基板１１との貼り付け位置合わせがなされる、としている。
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−３４２８０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上記のカバーフイルム剥離装置６では、粘着テープ７ａが押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに圧着された後、巻き取りロール９によって巻き取られている。
【００１２】
その際、積層体フイルム１ａは、ローラ対である押圧ロール８ｂ上でカバーフイルムが感光性樹脂層から剥離されるため、この積層体フイルム１ａにテンション変動が惹起し易い。これにより、積層体フイルム１ａが蛇行したり、前記積層体フイルム１ａに皺等が発生したり、感光性樹脂層が剥離したりするという問題がある。
【００１３】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な構成及び工程で、積層体にテンション変動が発生することがなく、第２層体を前記積層体から良好に剥離させることが可能な積層体の剥離装置及び剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、少なくとも第１及び第２層体が積層された積層体から、前記第２層体を少なくとも部分的に剥離する積層体の剥離装置及び剥離方法である。剥離装置は、サクションローラと剥離ローラとを備えている。
【００１５】
そこで、サクションローラと剥離ローラとで積層体を挟持した状態で、前記サクションローラにより前記積層体を第１層体側から吸着して搬送するとともに、前記剥離ローラの外周面に第２層体を巻き付けて該第２層体に所定のテンションを付与することにより、前記第２層体を前記積層体から少なくとも部分的に剥離させている。
【００１６】
また、剥離ローラは、導電性ゴムローラで構成されるとともに、ゴム硬度が２０度〜９０度の範囲内に設定されることが好ましい。さらに、剥離ローラは、サクションローラの外周面に保持された積層体に対して５０Ｎ／ｃｍ以下の線圧で押し付けられることが好ましい。
【００１７】
さらにまた、積層体は、少なくとも支持体上に第１層体である感光材料層と、第２層体である保護フイルムとが積層された長尺状感光性ウエブであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、積層体が第１層体側からサクションローラに吸着保持されているため、第２層体が剥離される際に前記積層体にテンション変動が発生することを確実に阻止することができる。これにより、積層体に蛇行や不要な剥がれ等が惹起することがなく、簡単な構成及び工程で、第２層体を積層体から良好に剥離させることが可能になる。
【００１９】
しかも、サクションローラと剥離ローラとは、積層体を挟んで互いに直線上に接している。従って、第２層体を積層体から容易且つ確実に剥離することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の実施形態に係る積層体の剥離装置を組み込む積層体基板の製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ（感光性積層体フイルム）２２の感光性樹脂層２９（後述する）をガラス基板２４に熱転写する作業を行う。
【００２１】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２の断面図である。この感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持層）２６、クッション層（熱可塑性樹脂層）２７、中間層（酸素遮断膜）２８、感光性樹脂層（第１層体）２９及び保護フイルム（第２層体）３０を積層して構成される。なお、感光性ウエブ２２は、ベースフイルム２６、感光性樹脂層２９及び保護フイルム３０により構成されていてもよい。
【００２２】
ベースフイルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成され、クッション層２７は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層２８は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層２９は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム３０は、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等で形成される。
【００２３】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２２ａを収容し、この感光性ウエブロール２２ａから前記感光性ウエブ２２を送り出すウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記感光性ウエブ２２の保護フイルム３０に、幅方向に切断可能なハーフカット部位３４を形成するハーフカット機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。なお、ハーフカット機構３６は、矢印Ａ方向に所定の間隔だけ離間して２セット配設され、同時に２個所のハーフカット部位３４を形成してもよい。
【００２４】
ラベル接着機構４０の下流には、感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、前記感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる本実施形態に係る剥離装置４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する加熱機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。なお、貼り付け機構４６によりガラス基板２４に感光性ウエブ２２が貼り付けられた被処理物を、以下、単に基板２４ａという。
【００２５】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウエブ２２の境界位置であるハーフカット部位３４を直接検出する検出機構４７が配設されるとともに、前記貼り付け機構４６の下流には、各ガラス基板２４間の前記感光性ウエブ２２を切断する基板間ウエブ切断機構４８が配設される。この基板間ウエブ切断機構４８の上流には、運転開始時及び運転終了時に使用されるウエブ切断機構４８ａが設けられる。
【００２６】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２の先端とを接合させる接合台４９が配設される。この接合台４９の下流には、感光性ウエブロール２２ａの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器５１が配設される。
【００２７】
ハーフカット機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２２ａのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。ハーフカット機構３６は、感光性ウエブ２２の搬送方向（矢印Ａ方向）に直交する方向に進退自在なスライド台５２を備える。このスライド台５２には、回転丸刃（カッタ）５４が固着されるとともに、前記回転丸刃５４に対向する位置には、感光性ウエブ２２を挟んでカット受台５６が配設される。
【００２８】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２９乃至中間層２８まで切り込むように、回転丸刃５４の切り込み深さが設定される。ハーフカット部位３４は、回転丸刃５４に代替して、例えば、固定丸刃や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、後述する帯状押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。なお、押し切り刃は、垂直方向の押し切り構成の他、斜め方向の押し切り構成を含む。
【００２９】
ハーフカット部位３４は、ガラス基板２４の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３０】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００３１】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３２】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大５枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５８ａ〜５８ｅを備えるとともに、前記吸着パッド５８ａ〜５８ｅによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２を下方から保持するための受台５９が昇降自在に配置される。
【００３３】
リザーバ機構４２は、上流側の感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するが、さらにテンション変動を防ぐために、揺動自在な２連のローラ６０で構成されるダンサー６１を備えることが好ましい。なお、ローラ６０は、リザーブ量に応じて１連又は３連以上であってもよい。
【００３４】
図１及び図４に示すように、剥離装置４４は、リザーバ機構４２の下流に配置されるとともに、サクションドラム（サクションローラ）６２と、感光性ウエブ２２を挟んでこのサクションドラム６２の外周面と直線上に接する剥離ローラ６４とを備える。剥離ローラ６４を介して感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いて保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。サクションドラム６２と剥離ローラ６４とのロール間隔ｈは、感光性ウエブ２２の厚さｔと略同一寸法に設定され、これらの間に隙間が発生しないように構成される。
【００３５】
図５に示すように、サクションドラム６２は、固定筒体６８と可動筒体７０とを有し、前記固定筒体６８には、所定の角度範囲にわたって開口部７２が形成される。この固定筒体６８内は、図示しない負圧発生器に連通して吸引される。可動筒体７０は、外周面に多数の小孔７４が貫通形成され、固定筒体６８の開口部７２が配置される領域内で感光性ウエブ２２を吸着することができる。
【００３６】
図１に示すように、保護フイルム巻き取り軸６６は、保護フイルム３０に所定のテンションを付与するためにトルクモータ７５に連結される。なお、トルクモータ７５に代えて、例えば、サーボモータによるトルク制御を行ったり、保護フイルム巻き取り軸６６の巻き取り速度をサクションドラム６２の回転速度と同期して制御したり、パウダーブレーキを組み合わせたり、あるいは、スリップトルクシャフト等のトルク制御を行ったりしてもよい。
【００３７】
サクションドラム６２は、例えば、直径が１５０ｍｍに設定される一方、剥離ローラ６４は、直径が３０ｍｍ〜１５０ｍｍの範囲内に設定される。剥離ローラ６４は、導電性ゴムローラ、例えば、シリコーンローラで構成されるとともに、ゴム厚が５ｍｍで且つゴム硬度が２０度〜９０度の範囲内に設定される。この剥離ローラ６４は、図示しないシリンダや電動アクチュエータを介しサクションドラム６２の外周面に保持された感光性ウエブ２２に対して５０Ｎ／ｃｍ以下の線圧で押し付けられる。
【００３８】
剥離装置４４の下流側には、感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構７６が配設される。テンション制御機構７６は、シリンダ７８を備え、このシリンダ７８の駆動作用下に、テンションダンサー８０が揺動変位することにより、このテンションダンサー８０が摺接する感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構７６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００３９】
検出機構４７は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ８２を備えており、前記光電センサ８２は、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ８２は、バックアップローラ８３に対向して配置される。なお、光電センサ８２に代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。
【００４０】
検出機構４７により検出されるハーフカット部位３４の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。
【００４１】
また、ハーフカット部位３４を直接検出するのではなく、このハーフカット部位３４に対応してハーフカット機構３６の近傍で孔部や切り欠きを形成したり、レーザ加工やアクアジェット加工による孔開けや切り込みを設けたり、インクジェットやプリンタ等によるマーキングを設けたりしてマーク部を形成し、このマーク部を検出して境界位置信号としてもよい。
【００４２】
加熱機構４５は、ガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送するための搬送機構８４を備え、この搬送機構８４は、矢印Ｃ方向に配列される複数の樹脂製円板状搬送ローラ８６を有する。搬送機構８４の矢印Ｃ方向上流側には、ガラス基板２４を受け取る受け取り部８８が設けられる。受け取り部８８の下流側には、複数の加熱炉９０が配列される。
【００４３】
加熱機構４５では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送ローラ８６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。また、搬送機構８４では、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される構成を採用してもよい。
【００４４】
加熱機構４５の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー１００が設けられる。基板ストッカー１００には、投入及び取り出し口以外の３方の側面に、除塵用ファンユニット（又はダクトユニット）１０２が付設される。ファンユニット１０２は、基板ストッカー１００内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。基板ストッカー１００に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット１０４のハンド部１０４ａに設けられた吸着パッド１０６に吸着されて取り出され、受け取り部８８に搬入される。
【００４５】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるラミネート用ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂを備える。ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂには、バックアップローラ１１２ａ、１１２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ１１２ｂは、ローラクランプ部１１４を介してゴムローラ１１０ｂ側に押圧される。
【００４６】
ゴムローラ１１０ａの近傍には、感光性ウエブ２２が前記ゴムローラ１１０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ１１６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２を予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部１１７が配設される。この予備加熱部１１７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【００４７】
貼り付け機構４６と基板間ウエブ切断機構４８との間には、フイルム搬送ローラ１１８ａと基板搬送ローラ１１８ｂとが配設される。基板間ウエブ切断機構４８の下流側には、冷却機構１２０が配置されるとともに、この冷却機構１２０の下流側には、ベース剥離機構１２２が配置される。冷却機構１２０は、基板間ウエブ切断機構４８を介して基板２４ａ間の感光性ウエブ２２が切断された後、この基板２４ａに冷風を供給して冷却処理を施す。具体的には、冷風温度が１０℃で、風量が１．０〜２．０ｍ／ｍｉｎに設定される。なお、冷却機構１２０を使用することがなく、後述する感光性積層体ストッカー１３６で自然冷却してもよい。
【００４８】
冷却機構１２０の下流に配置されるベース剥離機構１２２は、基板２４ａを下方から吸着する複数の吸着パッド１２４を備え、この吸着パッド１２４に前記基板２４ａが吸着保持された状態で、ロボットハンド１２６を介してベースフイルム２６及び残存部分３０ｂを剥離する。吸着パッド１２４の上流、下流及び両側方には、基板２４ａのラミネート部分全体に４方向の側面から除電クリーンエアを噴射する除電ブロー（図示せず）が配設されている。なお、剥離は、除塵のためテーブルを垂直にして、あるいは傾斜させて、又は裏返にして行ってもよい。
【００４９】
ベース剥離機構１２２の下流には、複数の積層体基板１３０が収容される感光性積層体ストッカー１３６が設けられる。ベース剥離機構１２２で基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された積層体基板１３０は、ロボット１３２のハンド部１３２ａに設けられた吸着パッド１３４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３６に収容される。
【００５０】
感光性積層体ストッカー１３６には、投入及び取り出し口以外の３方の側面に、除塵用ファンユニット（又はダクトユニット）１０２が付設される。ファンユニット１０２は、感光性積層体ストッカー１３６内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。
【００５１】
製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、ハーフカット機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離装置４４、テンション制御機構７６及び検出機構４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記検出機構４７を前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２９がガラス基板２４の下側に貼り付けされてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。
【００５２】
製造装置２０は、ラミネート工程制御部１４０を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部１４２、基板加熱制御部１４４及びベース剥離制御部１４６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。
【００５３】
ラミネート工程制御部１４０は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
【００５４】
ラミネート制御部１４２は、工程全体のマスターとして各機能部の制御を行うものであり、検出機構４７により検出された感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、例えば、加熱機構４５を制御する制御機構を構成している。
【００５５】
ベース剥離制御部１４６は、貼り付け機構４６から供給される基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に積層体基板１３０を排出する動作の制御を行うとともに、前記基板２４ａ及び前記積層体基板１３０の情報をハンドリング制御する。
【００５６】
製造装置２０内は、仕切り壁１５０を介して第１クリーンルーム１５２ａと第２クリーンルーム１５２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１５２ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構７６までが収容されるとともに、第２クリーンルーム１５２ｂには、検出機構４７以降が収容される。第１クリーンルーム１５２ａと第２クリーンルーム１５２ｂとは、貫通部１５４を介して連通する。
【００５７】
このように構成される製造装置２０の動作について、本実施形態に係る剥離方法との関連で以下に説明する。
【００５８】
先ず、図１に示すように、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２２ａから感光性ウエブ２２が繰り出され、この感光性ウエブ２２は、ハーフカット機構３６に送られる。
【００５９】
ハーフカット機構３６では、スライド台５２が感光性ウエブ２２の幅方向（搬送方向に直交する方向）に移動する。このため、回転丸刃５４は、感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４に所望の深さまで切り込んだ状態で、移動しながら回転する。これにより、感光性ウエブ２２には、保護フイルム３０から所望の深さに切り込んだハーフカット部位３４が形成される（図２参照）。
【００６０】
ハーフカット処理された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後、一旦停止されて回転丸刃５４の走行作用下に次なるハーフカット部位３４が形成される。このため、感光性ウエブ２２には、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００６１】
さらに、感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受台５９上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５８ａ〜５８ｅにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００６２】
例えば、５本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離装置４４に連続的に搬送される。
【００６３】
剥離装置４４では、感光性ウエブ２２がサクションドラム６２と剥離ローラ６４とに挟持されて、前記感光性ウエブ２２のベースフイルム２６が前記サクションドラム６２に吸着保持されている。この状態で、サクションドラム６２が回転されるとともに、保護フイルム３０には、トルクモータ７５を介して所定のテンションが付与されている。
【００６４】
従って、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを残して感光性ウエブ２２から剥離され、剥離ローラ６４を介して保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。なお、剥離部位には、除電エアを吹き付けることが好ましい。
【００６５】
この場合、本実施形態では、感光性ウエブ２２は、サクションドラム６２の吸着作用下に強固に保持されており、この感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を剥離する時の衝撃が、下流の前記感光性ウエブ２２に作用することはない。これにより、貼り付け機構４６に剥離の衝撃が伝わることがなく、ガラス基板２４のラミネート部分にスジ状の不良個所等が発生することを良好に阻止することができる。
【００６６】
しかも、図４に示すように、サクションドラム６２と剥離ローラ６４とは、感光性ウエブ２２を挟んで互いに直線上に接している（ロール間隔ｈ＝厚さｔ）。このため、感光性ウエブ２２から保護フイルム３０のみを容易且つ確実に剥離することが可能になる。
【００６７】
すなわち、ロール間隔ｈを種々変更して感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を剥離する実験を行ったところ、図６に示す結果が得られた。ここで、剥がれ評価とは、感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を剥離する際に、感光性樹脂層２９又はクッション層２７の剥がれが発生したか否かの評価である。感光性樹脂層２９及びクッション層２７の剥がれがないときに「○」、前記感光性樹脂層２９又は前記クッション層２７の剥がれがわずかにあるときに「△」、さらに前記感光性樹脂層２９又は前記クッション層２７に顕著な剥がれがあるときに「×」でそれぞれ表している。
【００６８】
これにより、サクションドラム６２と剥離ローラ６４との間に、感光性ウエブ２２の厚さｔ以上の隙間があると、すなわち、ロール間隔ｈ＝厚さｔ＋ｎ（ｎ＝１以上）であると、感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を剥離する際に、感光性樹脂層２９又はクッション層２７の剥がれが発生してしまう。
【００６９】
これに対して、サクションドラム６２と剥離ローラ６４との間に感光性ウエブ２２が密着する本実施形態では、すなわち、ロール間隔ｈ＝厚さｔでは、感光性樹脂層２９及びクッション層２７の剥がれが全くなく、保護フイルム３０の剥離処理が高精度且つ良好に遂行されるという効果が得られる。
【００７０】
さらに、本実施形態では、剥離ローラ６４は、導電性ゴムローラで構成されている。このため、感光性ウエブ２２に接着ラベル３８が接着されて厚さが変動しても、剥離ローラ６４が容易に変形して前記厚さの変動を吸収することができる。従って、接着ラベル３８の形状が感光性樹脂層２９に転写されることがなく、しかもサクションドラム６２と剥離ローラ６４との間隔の調整が不要になり、メンテナンス性が良好に向上するという利点がある。
【００７１】
さらにまた、剥離ローラ６４のゴム硬度が２０度〜９０度の範囲内に設定されるとともに、サクションドラム６２の外周面に保持された感光性ウエブ２２に対して５０Ｎ／ｃｍ以下の線圧で押し付けられている。これにより、感光性樹脂層２９に押し跡やスジ等が発生することがなく、前記感光性樹脂層２９を良好に維持して保護フイルム３０の剥離処理が効率的に遂行可能になる。
【００７２】
上記のように、剥離装置４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２は、テンション制御機構７６によってテンション調整が行われ、さらに検出機構４７で光電センサ８２によりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００７３】
感光性ウエブ２２は、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ１１８ａの回転作用下に、貼り付け機構４６に定量搬送される。その際、接触防止ローラ１１６が上方に待機するとともに、ゴムローラ１１０ｂが下方に配置されている。
【００７４】
一方、加熱機構４５では、貼り付け機構４６におけるラミネート温度に対応して各加熱炉９０内の加熱温度が設定されている。そこで、ロボット１０４は、基板ストッカー１００に収容されているガラス基板２４を把持し、このガラス基板２４を受け取り部８８に搬入する。ガラス基板２４は、搬送機構８４を構成する搬送ローラ８６の回転作用下に、受け取り部８８から各加熱炉９０に、順次、タクト搬送される。
【００７５】
矢印Ｃ方向後段に配置されている加熱炉９０では、ガラス基板２４が所定の停止位置に正確に停止されるとともに、このガラス基板２４は、感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２９の貼り付け部分に対応してゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に一旦配置される。
【００７６】
この状態で、ローラクランプ部１１４を介してバックアップローラ１１２ｂ及びゴムローラ１１０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ１１０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、感光性樹脂層２９が加熱溶融により転写（ラミネート）される。
【００７７】
ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００７８】
ガラス基板２４に感光性ウエブ２２が貼り付けられた基板２４ａは、矢印Ｃ方向に定量搬送され、冷却機構１２０を通って冷却された後、ベース剥離機構１２２に移送される。このベース剥離機構１２２では、吸着パッド１２４に基板２４ａが吸着保持された状態で、ロボットハンド１２６を介してベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離され、積層体基板１３０が得られる。
【００７９】
その際、吸着パッド１２４の上流、下流及び両側方には、基板２４ａのラミネート部分全体に４方向の側面から除電クリーンエアが噴射されている。なお、積層体基板１３０は、ロボット１３２のハンド部１３２ａに保持されて感光性積層体ストッカー１３６に所定の数だけ収容される。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の実施形態に係る剥離装置を組み込む製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記剥離装置の概略構成図である。
【図５】前記剥離装置を構成するサクションドラムの概略構成を示す斜視説明図である。
【図６】ロール間隔と剥がれ評価との関係説明図である。
【図７】従来技術に係るフイルム切断装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００８１】
２０…製造装置                        ２２…感光性ウエブ
２２ａ…感光性ウエブロール            ２４…ガラス基板
２６…ベースフイルム                  ２７…クッション層
２９…感光性樹脂層                    ３０…保護フイルム
３２…ウエブ送り出し機構              ３４…ハーフカット部位
３６…ハーフカット機構                ４０…ラベル接着機構
４２…リザーバ機構                    ４４…剥離装置
４５…加熱機構                        ４６…貼り付け機構
４７…検出機構                        ４８…基板間ウエブ切断機構
５４…回転丸刃                        ６２…サクションドラム
６４…剥離ローラ                      ６６…保護フイルム巻き取り軸
７５…トルクモータ                    ７６…テンション制御機構
８４…搬送機構                        １１０ａ、１１０ｂ…ゴムローラ
１２０…冷却機構                      １２２…ベース剥離機構
１４０…ラミネート工程制御部          １４２…ラミネート制御部
１４４…基板加熱制御部                １４６…ベース剥離制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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