(57)【要約】【課題】  液滴の吐出特性を良好に維持しつつ、ヘッド本体を構成する各基板の剥離を防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】  複数のノズル開口が穿設されたノズルプレート２０と、圧力発生手段３００の駆動によって液滴を吐出するノズル開口に連通する複数の圧力発生室１２が並設された流路形成基板１０と、を少なくとも有するヘッド本体と、このヘッド本体と接着部２１０を介して接合されるヘッドケース２００とを具備し、接着部２１０が、圧力発生室１２の列に対応する領域の少なくとも長手方向中央部に設けられヘッド本体の変形を実質的に規制する変形規制部２１１と、この圧力発生室１２の列に対応する領域に設けられた変形規制部２１１よりも外側の領域に設けられ変形規制部２１１よりも剛性が低くヘッド本体の変形を弾性変形により許容する変形許容部２１２とを含むようにする。【選択図】      図２
2007050549.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発生手段の駆動によって液滴を吐出する前記ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、を少なくとも有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に接合されるヘッドケースとを具備し、
前記ヘッドケースが、接着剤からなる接着層を少なくとも含む接着部によって前記ヘッド本体に接合され、且つ前記接着部が、前記圧力発生室の列に対応する領域の少なくとも長手方向中央部に設けられ前記ヘッド本体の変形を実質的に規制する変形規制部と、この圧力発生室の列に対応する領域に設けられた変形規制部よりも外側の領域に設けられ前記変形規制部よりも剛性が低く前記ヘッド本体の変形を弾性変形により許容する変形許容部とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、前記変形許容部の前記接着層の厚さが、前記変形規制部の前記接着層の厚さよりも厚いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記変形規制部は、前記ヘッドケースの前記ヘッド本体との接合面に設けられた第１の突起部を含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項３において、前記変形許容部は、前記ヘッドケースの接合面に設けられた前記第１の突起部よりも高さの低い第２の突起部を含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかにおいて、前記変形規制部が、少なくとも前記圧力発生室の並設方向に延設されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかにおいて、前記変形規制部が、前記圧力発生室の列に対応する領域の周囲に亘って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかにおいて、前記変形許容部が、前記圧力発生室に対向する領域の外側のみに設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかにおいて、前記ヘッドケースが前記圧力発生室の列に対応する領域の外側に、前記ヘッド本体の前記圧力発生室を含む液体流路に連通する連通孔を有し、当該ヘッドケースの前記連通孔の周囲が前記変形規制部によって前記ヘッド本体と接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項１〜８の何れかに記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、圧力発生手段の駆動によってインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク滴をノズル開口から吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧力発生手段の駆動源として、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの２種類が実用化されている。
【０００３】
例えば、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したインクジェット式記録ヘッドとしては、圧力発生室が形成される流路形成基板の流路形成基板の一方面に、ノズル開口が穿設されたノズルプレートが接合され、流路形成基板の他方面側に、各圧力発生室に供給するインクが貯留されるリザーバを構成するリザーバ部が設けられたリザーバ形成基板等が接合されているものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、各部材の線膨張係数が異なるため、環境温度の変化によって層間剥離が生じるという問題がある。例えば、特許文献１の構造では、流路形成基板及びリザーバ形成基板はシリコン基板からなりその線膨張係数はおよそ２．０［×１０−６／℃]であり、ノズルプレートはステンレス鋼（ＳＵＳ）からなりその線膨張係数は１６［×１０−６／℃］であり、各両者の線膨張係数は大きく異なる。このため、例えば、流路形成基板とノズルプレートとの接着時の温度により低い温度にヘッドが置かれた場合、相対的にノズルプレートが縮んでヘッドに反りが生じ、各部材間等で、せん断応力による剥離が生じてしまうという問題がある。
【０００５】
さらに、例えば、上記特許文献１に記載されているように、流路形成基板、リザーバ形成基板等からなる記録ヘッド本体に、この記録ヘッド本体を固定するヘッドケースが固定されたものがある。そして、このヘッドケースも、記録ヘッド本体を構成するリザーバ形成基板等とは異なる材料、例えば、樹脂材料等で形成されている。このため、ヘッドケース側からも応力が発生し、この応力に起因して、記録ヘッド本体の各部材間等で剥離が生じてしまう虞がある。また、記録ヘッド本体を構成するノズルプレートに反りが生じると、インク滴の吐出方向が変わり、着弾位置が変化して画質を劣化させてしまうという問題がある。
【０００６】
これらの問題は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の剛性の高い材料からなるヘッドケースに記録ヘッド本体を固定することで防止することはできる。しかしながら、このように剛性の高いヘッドケースに記録ヘッド本体を固定して、記録ヘッド本体の反りを矯正すると、記録ヘッド本体に生じる応力が増加してしまい、この応力の増加により記録ヘッド本体を構成する各部材間等での剥離や、クラックが発生する等の問題が生じてしまう虞がある。
【０００７】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、勿論、インク以外の液滴を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−８０７０３号公報（第２図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、液滴の吐出特性を良好に維持しつつ、ヘッド本体を構成する各基板の剥離を防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、複数のノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発生手段の駆動によって液滴を吐出する前記ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、を少なくとも有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に接合されるヘッドケースとを具備し、前記ヘッドケースが、接着剤からなる接着層を少なくとも含む接着部によって前記ヘッド本体に接合され、且つ前記接着部が、前記圧力発生室の列に対応する領域の少なくとも長手方向中央部に設けられ前記ヘッド本体の変形を実質的に規制する変形規制部と、この圧力発生室の列に対応する領域に設けられた変形規制部よりも外側の領域に設けられ前記変形規制部よりも剛性が低く前記ヘッド本体の変形を弾性変形により許容する変形許容部とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、ノズル開口近傍に設けられる変形規制部により、環境温度の変化等によって生じるヘッド本体の反りが規制されるため、液滴の吐出方向が常に安定する。また、変形許容部によって上記ヘッド本体の反りが許容されるため、ヘッド本体の応力増加に伴う各部材間での剥離、クラックの発生等も防止される。
【００１１】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記変形許容部の前記接着層の厚さが、前記変形規制部の前記接着層の厚さよりも厚いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、変形許容部の剛性が、変形規制部の剛性よりも確実に低くなり、ヘッド本体の変形がこの変形許容部によってより確実に許容される。
【００１２】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記変形規制部は、前記ヘッドケースの前記ヘッド本体との接合面に設けられた第１の突起部を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、変形規制部を構成する接着層が良好に形成され、また変形規制部の剛性が高まるため、この変形規制部によってヘッドケースとヘッド本体とがより強固に固着される。
【００１３】
本発明の第４の態様は、第３の態様において、前記変形許容部は、前記ヘッドケースの接合面に設けられた前記第１の突起部よりも高さの低い第２の突起部を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第４の態様では、変形許容部を構成する接着層が良好に形成される。また、変形許容部の剛性が変形規制部の剛性よりも確実に低くなる。
【００１４】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様において、前記変形規制部が、少なくとも前記圧力発生室の並設方向に延設されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第５の態様では、ヘッド本体とヘッドケースとを良好に固着され、変形規制部によってヘッド本体の反りがより確実に規制される。
【００１５】
本発明の第６の態様は、第１〜５の何れかの態様において、前記変形規制部が、前記圧力発生室の列に対応する領域の周囲に亘って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第６の態様では、ヘッド本体とヘッドケースとがさらに良好に固着され、変形規制部によってヘッド本体の反りがより確実に規制される。
【００１６】
本発明の第７の態様は、第１〜６の何れかの態様において、前記変形許容部が、前記圧力発生室に対向する領域の外側のみに設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第７の態様では、ノズル開口に対応する部分でのヘッド本体の反りが変形規制部によって確実に規制され、液滴の吐出方向がより確実に安定する。
【００１７】
本発明の第８の態様は、第１〜７の何れかの態様において、前記ヘッドケースが前記圧力発生室の列に対応する領域の外側に、前記ヘッド本体の前記圧力発生室を含む液体流路に連通する連通孔を有し、当該ヘッドケースの前記連通孔の周囲が前記変形規制部によって前記ヘッド本体と接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第８の態様では、ヘッドケースとヘッド本体との接合部分からの液滴の漏れを確実に防止することができる。
【００１８】
本発明の第９の態様は、第１〜８の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第９の態様では、信頼性及び耐久性に優れた液体噴射装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、図１の断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設された列が２列設けられている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には各圧力発生室１２の列毎に連通部１３が形成され、連通部１３と圧力発生室１２とがインク供給路１４を介して連通されている。なお、連通部１３は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００２０】
また、流路形成基板１０の開口面側には、圧力発生室１２を形成する際のマスクとして用いられたマスク膜５１を介して、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．０１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜２０［×１０-6／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。
【００２１】
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、厚さが例えば、約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが積層形成されて、圧力発生手段の駆動源となる圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、下電極膜６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。
【００２２】
また、各圧電素子３００の上電極膜８０の一端部近傍にはリード電極９０が接続されている。このリード電極９０は、流路形成基板１０の中央部近傍まで延設され、後述する保護基板３０上に実装された駆動ＩＣ１２０と電気的に接続される。
【００２３】
さらに、本実施形態では、圧電素子３００を構成する各層及びリード電極９０が、駆動ＩＣ１２０との接続部を除いて、例えば、無機絶縁材料からなる絶縁膜１００によって覆われている。この絶縁膜１００の材料としては、無機絶縁材料であれば、特に限定されず、例えば、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）等が挙げられるが、特に、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）を用いるのが好ましい。このような無機絶縁材料からなる絶縁膜１００は、薄膜でも水分の透過性が極めて低いため、この絶縁膜１００によって、下電極膜６０、圧電体層７０、上電極膜８０及びリード電極９０の表面を覆うことにより、圧電体層７０の水分（湿気）に起因する破壊を防止することができる。
【００２４】
また、このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素子３００に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。なお、圧電素子保持部３１は、密封されていてもよいが、密封されていなくてもよい。また、圧電素子保持部３１は、本実施形態では、並設された圧電素子３００の列毎に設けられている。
【００２５】
また、保護基板３０の各圧電素子保持部３１の外側には、リザーバ１１０の少なくとも一部を構成するリザーバ部３２が設けられている。これらのリザーバ部３２は、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って設けられており、流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の列毎の共通のインク室となるリザーバ１１０をそれぞれ構成している。また、本実施形態では、保護基板３０の圧電素子保持部３１の間の領域には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が、各圧電素子３００の列に対応して設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０は、その端部近傍が貫通孔３３内で露出されている。なお、このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００２６】
また、この保護基板３０の表面、すなわち、流路形成基板１０との接合面とは反対側の面には、圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ（半導体集積回路）１２０が各圧電素子３００の列毎に実装されている。そして、各駆動ＩＣ１２０と各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０とは、保護基板３０の貫通孔３３内にワイヤボンディングによって延設される接続配線１３０によって電気的に接続されている。
【００２７】
さらに、保護基板３０上には、リザーバ部３２に対応する領域を含む周縁部を囲むように、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３２の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１１０に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１１０の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２８】
このように、本実施形態のヘッド本体１５０は、流路形成基板１０、ノズルプレート２０、保護基板３０及びコンプライアンス基板４０で構成されている。そして、このようなヘッド本体１５０のノズルプレート２０が形成されている側と反対側には、駆動ＩＣ１２０を囲む空間であるＩＣ保持部２０１を有するヘッドケース２００が、帯状に設けられた接着部２１０を介して接合されている。
【００２９】
そして、このＩＣ保持部２０１内には、例えば、シリコーン樹脂又はウレタン樹脂等の低応力性樹脂材料からなるポッティング剤２５０が充填され、保護基板３０上に設けられた駆動ＩＣ１２０及び接続配線１３０が、ＩＣ保持部２０１に充填されたポッティング剤２５０で完全に覆われている。また、ヘッドケース２００には、一端側が図示しないインクカートリッジに接続されると共に、他端側が、リザーバ１１０に接続されるインク連通孔２０２が形成されており、このインク連通孔２０２からリザーバ１１０にインクが供給されるようになっている。
【００３０】
なお、本実施形態に係るヘッドケース２００は、比較的剛性の高い材料で形成されていることが好ましい。具体的には、ニッケル、アルミニウム、ステンレス鋼等の金属材料が挙げられ、例えば、本実施形態では、ヘッドケース２００の材料として、ステンレス鋼（ＳＵＳ）を用いている。
【００３１】
ここで、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００とを接合する接着部２１０は、ヘッド本体１５０の変形を実質的に規制する変形規制部２１１と、変形規制部２１１よりも剛性が低くヘッド本体１５０の変形を弾性変形により許容する変形許容部２１２とを含む。そして、本発明では、変形規制部２１１が、圧力発生室１２の列に対応する領域の少なくとも長手方向中央部に設けられると共に、圧力発生室１２の列に対応する領域に設けられた変形規制部２１１よりも外側の領域に、変形許容部２１２が設けられている。例えば、本実施形態では、図３に示すように、ＩＣ保持部２０１の周囲の接着部２１０が変形規制部２１１であり、この変形規制部２１１よりも外側の接着部２１０は全て変形許容部２１２である。
【００３２】
このような構成では、ノズル開口２１の位置精度を保ちつつ、ヘッド本体１５０の外周部における温度変化等による反りを許容してヘッド本体１５０を構成する基板の剥離や、クラックの発生を防止することができる。
【００３３】
ここで、図２（ｂ）の拡大図に示すように、変形規制部２１１は、本実施形態では、ヘッドケース２００のヘッド本体１５０との接合面に所定高さで突設された第１の突起部２０３と、この第１の突起部２０３を含む領域に形成される第１の接着層２３０とで構成されている。一方、変形許容部２１２は、第１の突起部２０３よりも高さの低い第２の突起部２０４とこの第２の突起部２０４を含む領域に形成される第２の接着層２３１とで構成されて、変形規制部２１１よりも剛性が低くなっている。すなわち、第２の突起部２０４上に設けられる第２の接着層２３１の厚さが、第１の突起部２０３上に設けられる第１の接着層２３０よりも相対的に厚くなるため、変形許容部２１２は、変形規制部２１１よりも剛性が相対的に低くなっている。そして、ヘッドケース２００とヘッド本体１５０とは、変形規制部２１１によって強固に固着されるため、変形許容部２１２は、インクあるいはポッティング剤２５０等の流れ出しを防止するためのシール剤として機能する程度の剛性を有していればよい。
【００３４】
第１の接着層２３０及び第２の接着層２３１となる接着剤は、特に限定されないが、例えば、本実施形態では、シリコーン接着剤を用いている。また、変形規制部２１１を構成する第１の接着層２３０の厚さｄ１は、特に限定されないが、１〜２０μｍ程度であることが好ましい。変形許容部２１２を構成する第２の接着層２３１の厚さｄ２は、３０〜２００μｍ程度であることが好ましい。そして、第１の接着層２３０の厚さｄ１と、第２の接着層２３１の厚さｄ２との差は、１００μｍ程度であることが望ましい。このため、本実施形態では、第１の突起部２０３の高さを約１５０μｍとし、第２の突起部２０４の高さを約５０μｍとしている。これにより、変形許容部２１２の剛性は、変形規制部２１１よりも十分に低くなり、ヘッド本体１５０の変形が第２の接着層２３１の弾性変形により確実に許容される。
【００３５】
以上のように、本発明では、圧力発生室１２に対応する領域、すなわち、ノズル開口２１に近い領域では、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００とを変形規制部２１１によって接合し、ヘッド本体１５０の外周部、すなわち、ノズル開口２１から遠い部分では、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００と変形許容部２１２によって接合するようにした。これにより、ヘッド本体１５０の中央部の少なくともノズル開口２１に近い領域では、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００とは強固に固着されるため、環境温度の変化等によりヘッド本体１５０に生じる反り量が極めて小さく抑えられる。すなわち、ノズル開口２１の位置（向き）の変化を極めて小さく抑えられる。一方、ヘッド本体１５０の外周部では、ヘッド本体１５０の変形が変形許容部２１２によって許容されるため、応力の増加が抑えられる。すなわち、インクの吐出特性に影響の少ないヘッド本体１５０の外周部では、環境温度の変化等によるヘッド本体の反りが許容されて応力の増加が抑えられるため、ヘッド本体１５０を構成する各基板の剥離やクラックの発生が防止される。
【００３６】
したがって、本発明の構成では、インク吐出特性を常に良好に保持しつつ、ヘッド本体１５０を構成する各基板の剥離等を防止でき、信頼性の高いインクジェット式記録ヘッドを実現することができる。
【００３７】
なお、本実施形態では、ヘッド本体１５０の中央部、すなわち、ＩＣ保持部２０１の周囲に、変形規制部２１１を連続的に設けるようにしたが、変形規制部２１１を設ける位置はこれに限定されず、例えば、図４に示すように、ＩＣ保持部２０１の周囲のうち、ヘッド本体１５０の長辺方向（圧力発生室１２の並設方向）のみに、変形規制部２１１を設けるようにしてもよい。また、例えば、図５（ａ）に示すように、ヘッド本体１５０の長辺方向の中央部のみに、変形規制部２１１を設けるようにしてもよい。何れの構成としても、上述したように、インク吐出特性を常に良好に保持しつつヘッド本体１５０を構成する基板の剥離等を防止でき、信頼性の高い液体噴射ヘッドを実現することができる。
【００３８】
また、ヘッド本体１５０の外周部では、上述した理由から、変形許容部２１２を介してヘッド本体１５０とヘッドケース２００とを接合することが好ましいが、インク連通孔２０２の周囲については、例えば、図５（ｂ）に示すように、ＩＣ保持部２０１の周囲と同様、変形規制部２１１を設けるようにしてもよい。これにより、ヘッド本体１５０とヘッドケース２００との接合部分からインクが漏れ出すのを防止することができ、信頼性をさらに向上することができる。
【００３９】
なお、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジ等の外部インク供給手段から、ヘッドケース２００に設けられたインク連通孔２０２を介してインクを取り込む。そして、リザーバ１１０からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ１２０からの駆動信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に駆動電圧を印加し、弾性膜５０、下電極膜６０及び圧電体層７０とにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００４０】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、ヘッドケースに設けられた第１の突起部と第１の接着層とを変形規制部とし、第２の突起部と第２の接着層とで変形許容部としているが、これに限定されるものではない。例えば、変形許容部は、ディスペンサー等で塗布された第２の接着層のみであってもよい。なお、このように第２の接着層のみを変形許容部とする場合、第１の突起部の高さを変化させることにより、変形規制部及び変形許容部の剛性を適宜調整することが望ましい。  また、上述した実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図６に示すように、ヘッド本体を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００４１】
なお、上述の実施形態では、インク滴を吐出するための圧力発生手段として薄膜からなる圧電素子を例示したが、この圧力発生手段は、特に限定されず、例えば、発熱素子等であってもよい。
【００４２】
また、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。勿論、本発明は、インク以外の液体を噴射するものにも適用することができる。なお、その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す平面図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す平面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  １４  インク供給路、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ３１  圧電素子保持部、  ３２  リザーバ部、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  １１０  リザーバ、  １２０  駆動ＩＣ、  １５０  ヘッド本体、  ２００  ヘッドケース、  ２０３  第１の突起部、  ２０４  第２の突起部、  ２１０  接着部、  ２１１  変形規制部、  ２１２  変形許容部、  ２３０  第１の接着層、  ２３１  第２の接着層、  ３００  圧電素子
【図１】
2007050549.tif 000003
【図２】
2007050549.tif 000004
【図３】
2007050549.tif 000005
【図４】
2007050549.tif 000006
【図５】
2007050549.tif 000007
【図６】
2007050549.tif 000008