(57)【要約】【課題】液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力して、点灯検査を行う。【解決手段】液晶パネル２０に形成された複数の入力端子２２に、導電膜１２が形成されたフレキ検査プローブ１０ａを押し当てることにより、導電膜１２を介して検査信号を入力して点灯検査を行う液晶パネルの検査方法であって、フレキ検査プローブ１０ａは、表面にマトリクス状に配設された複数の凹部１１ａを有し、フレキ検査プローブ１０ａを液晶パネル２０の各入力端子２２に押し当てることにより、フレキ検査プローブ１０ａが各凹部１１ａを起点に屈曲して、液晶パネル２０の各入力端子２２とフレキ検査プローブ１０ａの導電膜１２とを導通させる基板押し当て工程と、フレキ検査プローブ１０ａの導電膜１２を介して液晶パネル２０の各入力端子２２に対し検査信号を入力する検査信号入力工程とを備える。【選択図】図１
2007193167.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルに形成された入力端子に、導電膜が形成された可撓性基板を押し当てることにより、該導電膜を介して検査信号を入力して点灯検査を行う液晶パネルの検査方法であって、
上記可撓性基板は、表面に複数の凹部を有し、
上記可撓性基板を上記液晶パネルの入力端子に押し当てることにより、上記可撓性基板が上記各凹部を起点に屈曲して、上記液晶パネルの入力端子と上記可撓性基板の導電膜とを導通させる基板押し当て工程と、
上記可撓性基板の導電膜を介して上記液晶パネルの入力端子に対し検査信号を入力する検査信号入力工程とを備えることを特徴とする液晶パネルの検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載された液晶パネルの検査方法において、
上記複数の凹部は、上記可撓性基板の表面にマトリクス状に配設されていることを特徴とする液晶パネルの検査方法。
【請求項３】
請求項２に記載された液晶パネルの検査方法において、
上記複数の凹部は、上記入力端子の幅に対し３個以上配置するように配設されていることを特徴とする液晶パネルの検査方法。
【請求項４】
請求項２に記載された液晶パネルの検査方法において、
上記入力端子は、上記液晶パネルに複数形成され、
上記複数の凹部は、上記複数の入力端子のうち最小の入力端子の幅に３個以上配置するように配設されていることを特徴とする液晶パネルの検査方法。
【請求項５】
請求項１に記載された液晶パネルの検査方法において、
上記各凹部は、上記可撓性基板の表面に半球状に設けられていることを特徴とする液晶パネルの検査方法。
【請求項６】
液晶パネルに形成された入力端子に、導電膜が形成された可撓性基板を押し当てることにより、該導電膜を介して検査信号を入力して点灯検査を行う液晶パネルの検査方法に用いられる可撓性基板であって、
上記液晶パネルの入力端子に押し当てられたときに、それぞれが屈曲の起点となる複数の凹部を表面に有していることを特徴とする可撓性基板。
【請求項７】
液晶パネルに形成された入力端子に検査信号を入力して点灯検査を行う液晶パネルの検査装置であって、
表面に複数の凹部を有し、検査信号を入力するための導電膜が形成された可撓性基板と、
上記可撓性基板が上記各凹部を起点に屈曲して、上記液晶パネルの入力端子と上記可撓性基板の導電膜とを導通させるように、上記可撓性基板を上記液晶パネルの入力端子に押し当てる基板押し当て部とを備えていることを特徴とする液晶パネルの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの検査方法、それに用いられる可撓性基板、及び液晶パネルの検査装置に関し、特に、液晶パネルの点灯検査技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルは、例えば、複数の画素電極がマトリクス状に配設されたアクティブマトリクス基板と、そのアクティブマトリクス基板に対向して配置され共通電極を有する対向基板と、アクティブマトリクス基板及び対向基板の間に設けられた液晶層とを備えている。この液晶パネルは、上記アクティブマトリクス基板及び対向基板をそれぞれ作製した後に、両基板を貼り合わせて空のパネルを作製し、そのパネルを構成する基板の間に液晶材料を注入・封止することにより製造される。そして、こうして製造された液晶パネルに周辺部品を実装する前に、その液晶パネルに対して点灯検査が行われる。
【０００３】
ところで、上記アクティブマトリクス基板には、表示用配線として、上記各画素電極の間に、互いに平行に延びるように複数のゲート線と、各ゲート線に直交する方向に互いに平行に延びるように複数のソース線とがそれぞれ設けられている。
【０００４】
そして、上記点灯検査では、上記各ゲート線及びソース線に対応して設けられた各入力端子に検査信号を直接入力する方式や、赤色表示用のソース線（Ｒ）・緑色表示用のソース線（Ｇ）・青色表示用のソース線（Ｂ）毎に、及び奇数本目のゲート線・偶数本目のゲート線毎にまとめて検査信号が入力できるショートバーを設けて、そのショートバーを介して検査信号を入力する方式などがよく知られている。
【０００５】
例えば、特許文献１には、複数の液晶パネルが一列に並んだ短冊基板において、各液晶パネルに同時に検査信号が入力されるショートバーを形成して、そのショートバーを介して点灯検査を行った後に、分断によりショートバーを切り離す液晶パネルの製造方法が開示されている。
【０００６】
また、特許文献２には、各ソース線を端部で露出させて、その露出部分をソース線（Ｒ）、ソース線（Ｇ）及びソース線（Ｂ）毎に直線状に配列させた複数の入力端子を有する液晶パネルにおいて、その入力端子に柔軟性のある導電ゴムからなる３本のショートバーを押し当てることにより、各ソース線に検査信号を入力する検査方法が記載されている。
【０００７】
以下に、上記導電ゴムからなるショートバーによって検査信号を入力する検査方法について、詳細に説明する。
【０００８】
図１４は、一般的なＣＯＧ（Chip On Glass）実装に対応した液晶パネル１２０を示す平面模式図である。この液晶パネル１２０は、複数の画素電極がマトリクス状に配設された表示領域Ｄと、ドライバ（駆動回路）としてＬＳＩチップを実装するためのＣＯＧパッド部Ｐとを備えている。
【０００９】
ＣＯＧパッド部Ｐには、図１５に示すように、複数の入力端子（１２２Ｒ、１２２Ｇ及び１２２Ｂ）が配列されている。ここで、入力端子１２２Ｒは、赤色表示用のソース線（Ｒ）の端部の露出部分であり、入力端子１２２Ｇは、緑色表示用のソース線（Ｇ）の端部の露出部分であり、入力端子１２２Ｂは、青色表示用のソース線（Ｂ）の端部の露出部分である。
【００１０】
そして、点灯検査する際には、各入力端子１２２Ｒ、１２２Ｇ及び１２２Ｂに対して、導電ゴムからなるショートバー１０１を押し当て、信号発生器１４０からの検査信号をショートバー１０１を介して各ソース線に入力することになる。
【００１１】
しかしながら、このショートバー１０１による検査信号の入力方法では、ショートバー１０１の幅Ｗ１が導電ゴムの加工上、１ｍｍ程度になってしまうので、各入力端子１２２Ｒと１２２Ｇとの間、及び１２２Ｇと１２２Ｂとの間の距離が１ｍｍ以上必要になる。そのため、ＣＯＧパッド部Ｐがソース線に延びる方向に大きくなる虞れがある。
【００１２】
そこで、上記導電ゴムからなるショートバー１０１の代わりとして、可撓性基板により形成された導電膜を用いたフレキ検査プローブが提案されている。図１６は、従来のフレキ検査プローブ１１０及び液晶パネル１２０を示す断面図である。ここで、フレキ検査プローブ１１０は、樹脂などの可撓性基板１１１と、可撓性基板１１１上に線状に形成され検査信号が入力される導電膜１１２とを備えている。また、液晶パネル１２０は、その表面にゲート線又はソース線に接続された入力端子１２２を備えている。
【００１３】
このフレキ検査プローブ１１０では、導電膜１１２をフォトリソグラフィー技術により形成されるので、図１７に示すように、導電膜１１２の幅Ｗ２を０．１ｍｍ程度にすることができる。そのため、各入力端子（１２２Ｒ・１２２Ｇ・１２２Ｂ）の長さ、各入力端子１２２Ｒと１２２Ｇとの間、及び１２２Ｇと１２２Ｂとの間の距離をそれぞれ短くすることができるので、ＣＯＧパッド部Ｐのサイズを小さく抑えることができる。
【００１４】
また、特許文献３〜５には、液晶パネルの端部に設けられた入力端子に、検査信号が入力される導電膜を備えた可撓性基板を押し当てる際に、基板背面から弾性体によって押圧して、入力端子と導電膜とを導通させることにより、液晶パネルの入力端子に検査信号を入力する検査方法が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−８４３５３号公報
【特許文献２】特開平７−５４８１号公報
【特許文献３】特開昭６２−５９８７１号公報
【特許文献４】特開平７−２７０８１７号公報
【特許文献５】特開２００３−１６６９０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、可撓性基板により形成された従来のフレキ検査プローブでは、フレキ検査プローブの導電膜と液晶パネルの入力端子との間のコンタクトが不良になって、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力されない虞れがある。
【００１６】
具体的には、図１８に示すように、液晶パネル１２０を構成するパネル本体部１２１とフレキ検査プローブ１１０を構成する導電膜１１２との間に異物１２５が挟まり込んだ場合に、フレキ検査プローブ１１０が液晶パネル１２０から浮き上がってしまうことにより、液晶パネル１２０の入力端子１２２とフレキ検査プローブ１１０の導電膜１１２との間における領域Ｘ１及び領域Ｘ２のコンタクトが不良になってしまう。
【００１７】
また、図１９に示すように、液晶パネル１２０ａの各入力端子１２２の周端を覆うように絶縁膜１２３が設けられている場合には、入力端子１２２の表面とフレキ検査プローブ１１０を構成する導電膜１１２との間に空間Ｙ１及び空間Ｙ２が形成されることにより、液晶パネル１２０の入力端子１２２とフレキ検査プローブ１１０の導電膜１１２との間のコンタクトが不良になってしまう。
【００１８】
さらに、近年、ＣＯＧ実装の液晶パネルでは、入力端子間のピッチが３０μｍ程度になっており、特許文献３〜５に記載された弾性体を用いた押圧の方法では、液晶パネルの入力端子とフレキ検査プローブの弾性体などとを高い精度でアライメントする必要があるので、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力されない虞れもある。
【００１９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力して、点灯検査を行うことにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記目的を達成するために、本発明は、表面に複数の凹部を有し導電膜が形成された可撓性基板を用いて液晶パネルの点灯検査を行うようにしたものである。
【００２１】
具体的に本発明に係る液晶パネルの検査方法は、液晶パネルに形成された入力端子に、導電膜が形成された可撓性基板を押し当てることにより、該導電膜を介して検査信号を入力して点灯検査を行う液晶パネルの検査方法であって、上記可撓性基板は、表面に複数の凹部を有し、上記可撓性基板を上記液晶パネルの入力端子に押し当てることにより、上記可撓性基板が上記各凹部を起点に屈曲して、上記液晶パネルの入力端子と上記可撓性基板の導電膜とを導通させる基板押し当て工程と、上記可撓性基板の導電膜を介して上記液晶パネルの入力端子に対し検査信号を入力する検査信号入力工程とを備えることを特徴とする。
【００２２】
上記の方法によれば、可撓性基板は、その表面に複数の凹部を有しているので、凹部を有さない場合よりも柔軟性が向上している。そのため、基板押し当て工程において可撓性基板を液晶パネルの入力端子に押し当てることによって、可撓性基板が各凹部を起点に屈曲して液晶パネルの入力端子と可撓性基板の導電膜とが確実に導通することになる。そして、検査信号入力工程において可撓性基板の導電膜を介して液晶パネルの入力端子に対し検査信号が確実に入力されることによって、例えば、液晶パネルに配設されたゲート線やソース線などの表示用配線に入力端子を介して検査信号が入力されて、液晶パネルの点灯検査が行われることになる。したがって、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力して、点灯検査を行うことが可能になる。
【００２３】
上記複数の凹部は、上記可撓性基板の表面にマトリクス状に配設されていてもよい。
【００２４】
上記の方法によれば、可撓性基板の表面に複数の凹部がマトリクス状に設けられているので、本発明の具体的な作用効果が奏される。
【００２５】
上記複数の凹部は、上記入力端子の幅に対し３個以上配置するように配設されていてもよい。
【００２６】
上記の方法によれば、複数の凹部がマトリクス状に、且つ、入力端子の幅に対し３個以上配置するように配設されているので、可撓性基板の各凹部が液晶パネルの入力端子のどこに位置しても、入力端子上に側面からみて少なくとも２個の凹部が位置することになる。そのため、入力端子の表面と導電膜とが平面的に接触するので、液晶パネルの入力端子と可撓性基板の導電膜とがより確実に導通することになる。
【００２７】
上記入力端子は、上記液晶パネルに複数形成され、上記複数の凹部は、上記複数の入力端子のうち最小の入力端子の幅に３個以上配置するように配設されていてもよい。
【００２８】
上記の方法によれば、複数の凹部がマトリクス状に、且つ、最小の入力端子の幅に対し３個以上配置するように配設されているので、入力端子の大きさが数種類あって、且つ、可撓性基板の各凹部が液晶パネルの入力端子のどこに位置しても、入力端子上に側面からみて少なくとも２個の凹部が位置することになる。そのため、入力端子の表面と導電膜とが平面的に接触するので、液晶パネルの入力端子と可撓性基板の導電膜とがより確実に導通することになる。
【００２９】
上記各凹部は、上記可撓性基板の表面に半球状に設けられていてもよい。
【００３０】
上記の方法によれば、各凹部が半球状に設けられているので、応力集中による可撓性基板の裂けが抑制される。
【００３１】
また、本発明に係る可撓性基板は、液晶パネルに形成された入力端子に、導電膜が形成された可撓性基板を押し当てることにより、該導電膜を介して検査信号を入力して点灯検査を行う液晶パネルの検査方法に用いられる可撓性基板であって、上記液晶パネルの入力端子に押し当てられたときに、それぞれが屈曲の起点となる複数の凹部を表面に有していることを特徴とする。
【００３２】
上記の構成によれば、表面に複数の凹部を有しているので、凹部を有さない場合よりも柔軟性が向上している。そのため、可撓性基板を液晶パネルの入力端子に押し当てることによって、可撓性基板が各凹部を起点に屈曲して液晶パネルの入力端子と可撓性基板の導電膜とが確実に導通することになる。そして、可撓性基板の導電膜を介して液晶パネルの入力端子に対し検査信号が確実に入力されるので、例えば、液晶パネルに配設されたゲート線やソース線などの表示用配線に入力端子を介して検査信号が入力されて、液晶パネルの点灯検査が行われることになる。したがって、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力して、点灯検査を行うことが可能になる。
【００３３】
また、本発明に係る液晶パネルの検査装置は、液晶パネルに形成された入力端子に検査信号を入力して点灯検査を行う液晶パネルの検査装置であって、表面に複数の凹部を有し、検査信号を入力するための導電膜が形成された可撓性基板と、上記可撓性基板が上記各凹部を起点に屈曲して、上記液晶パネルの入力端子と上記可撓性基板の導電膜とを導通させるように、上記可撓性基板を上記液晶パネルの入力端子に押し当てる基板押し当て部とを備えていることを特徴とする。
【００３４】
上記構成によれば、可撓性基板は、その表面に複数の凹部を有しているので、凹部を有さない場合よりも柔軟性が向上している。そのため、基板押し当て部によって、可撓性基板を液晶パネルの入力端子に押し当てることによって、可撓性基板が各凹部を起点に屈曲して液晶パネルの入力端子と可撓性基板の導電膜とが確実に導通することになる。そして、可撓性基板の導電膜を介して液晶パネルの入力端子に対し検査信号が確実に入力されるので、例えば、液晶パネルに配設されたゲート線やソース線などの表示用配線に入力端子を介して検査信号が入力されて、液晶パネルの点灯検査が行われることになる。したがって、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力して、点灯検査を行うことが可能になる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、表面に複数の凹部を有し導電膜が形成された可撓性基板を用いて液晶パネルの点灯検査を行うため、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力して、点灯検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００３７】
《発明の実施形態１》
図１〜図６は、本発明に係る液晶パネルの検査方法、及びそれに用いられる可撓性基板の実施形態１を示している。
【００３８】
図１は、本実施形態の液晶パネルの検査方法を示す斜視図であり、検査に用いられる可撓性基板としてのフレキ検査プローブ１０ａ、及び検査対象の液晶パネル２０を示している。なお、図２は、本実施形態のフレキ検査プローブ１０ａ及び液晶パネル２０の断面図である。
【００３９】
液晶パネル２０は、図２に示すように、パネル本体部２１と、パネル本体部２１の表面に設けられた複数の入力端子２２とを備えている。ここで、入力端子２２のピッチは、例えば、３５μｍ程度である。
【００４０】
フレキ検査プローブ１０ａは、図２に示すように、ポリイミドや液晶ポリマーなどにより形成された可撓性を有する樹脂基板１１と、樹脂基板１１の表面（図２中下面）に銅などの金属膜により形成された導電膜１２とを備えている。例えば、樹脂基板１１の厚さは、７μｍ程度であり、導線膜の厚さは、２μｍ程度である。
【００４１】
導電膜１２は、樹脂基板１１の長さ方向に互いに平行に延びるように複数本設けられている。
【００４２】
樹脂基板１１は、その表面（図２中上面）に複数の凹部１１ａがマトリクス状に設けられている。各凹部１１ａは、応力集中による裂けを抑制するために、半球状に形成されている。また、各凹部１１ａは、３５μｍ程度のピッチで形成された液晶パネル２０の各入力端子２２に対応して、例えば、半径及び深さが４．５μｍ程度、ピッチが１０μｍ程度に形成されている。なお、凹部１１ａは、レーザー加工やフォトリソグラフィー技術（エッチング）などを利用して形成される。
【００４３】
さらに、各凹部１１ａは、液晶パネル２０の最小の入力端子２２の幅Ｗに３個以上配置するように配設されている。ここで、図３及び図４は、フレキ検査プローブ１０ａのコンタクト状態を模式的に示す断面模式図である。図３及び図４において、太実線５は、樹脂基板１１の骨格線を示し、各点６は、樹脂基板１１の屈曲点を示すと共に各凹部１１ａの位置とほぼ一致している。そして、凹部１１ａは、上記のように、入力端子の幅Ｗに対し３個以上配置するように配設されているので、例えば、図３に示すように、入力端子２２の幅Ｗに屈曲点６がちょうど３個配置した場合には、当然、入力端子２２上に側面からみて３個の屈曲点６（凹部１１ａ）が位置することになり、また、図４に示すように、入力端子２２に対してフレキ検査プローブ１０ａの位置がずれたとしても、入力端子２２上に側面からみて（少なくとも）２個の屈曲点６（凹部１１ａ）が位置することになる。そのため、液晶パネル２０の各入力端子２２の表面とフレキ検査プローブ１０ａの各導電膜１２とを平面的に接触させることができるので、液晶パネル２０の各入力端子２２とフレキ検査プローブ１０ａの各導電膜１２とをより確実に導通させることができる。
【００４４】
次に、上記構成のフレキ検査プローブ１０ａを用いた液晶パネル２０の検査方法について説明する。なお、本実施形態の液晶パネル２０の検査方法は、基板押し当て工程と検査信号入力工程とを備えている。
【００４５】
＜基板押し当て工程＞
まず、図１及び図２に示すように、液晶パネル２０の各入力端子２２が配設された領域の上方に、フレキ検査プローブ１０ａをその導電膜１２が下側を向くように配置する。
【００４６】
続いて、フレキ検査プローブ１０ａを下降させて、フレキ検査プローブ１０ａを液晶パネル２０の入力端子２２に押し当てる。このとき、フレキ検査プローブ１０ａが各凹部１１ａを起点に屈曲するので、例えば、図５に示すように、液晶パネル２０のパネル本体部２１とフレキ検査プローブ１０ａの導電膜１２との間に異物２５が挟まり込んだ場合であっても、また、図６に示すように、液晶パネル２０の各入力端子２２の周端を覆うように絶縁膜２３が設けられている場合であっても、液晶パネル２０の各入力端子２２とフレキ検査プローブ１０ａの各導電膜１２とを確実に導通させることができる。
【００４７】
＜検査信号入力工程＞
さらに、フレキ検査プローブ１０ａの各導電膜１２を介して液晶パネル２０の各入力端子２２に対し所定の検査信号を入力して点灯検査を行う。
【００４８】
以上説明したように、本実施形態のフレキ検査プローブ１０ａ及びそれを用いた液晶パネル２０の検査方法によれば、フレキ検査プローブ１０ａがその表面にマトリクス状に配設された複数の凹部１１ａを有しているので、従来のフラットなフレキ検査プローブ１１０（図１６参照）よりも柔軟性が向上している。そのため、基板押し当て工程においてフレキ検査プローブ１０ａを液晶パネル２０の各入力端子２２に押し当てることによって、フレキ検査プローブ１０ａが各凹部１１ａを起点に屈曲して液晶パネル２０の各入力端子２２とフレキ検査プローブ１０ａの各導電膜１２とを確実に導通させることができる。そして、検査信号入力工程においてフレキ検査プローブ１０ａの各導電膜１２を介して液晶パネル２０の各入力端子２２に対し検査信号が確実に入力されることによって、例えば、液晶パネル２０に配設されたゲート線やソース線などの表示用配線に各入力端子２２を介して検査信号が入力されて、液晶パネル２０の点灯検査が行われることになる。したがって、液晶パネル２０の各入力端子２２に検査信号を確実に入力して、点灯検査を行うことができる。
【００４９】
また、本実施形態のフレキ検査プローブ１０ａ及びそれを用いた液晶パネル２０の検査方法によれば、液晶パネルの内部に予めショートバーがパターン形成された内部接続による点灯検査と同様の点灯検査ができるので、液晶パネルの表示領域の外側にある周辺部のサイズを小さくすることができる。
【００５０】
さらに、本実施形態のフレキ検査プローブ１０ａ及びそれを用いた液晶パネル２０の検査方法によれば、従来のフラットなフレキ検査プローブ１１０（図１６参照）よりもフレキ検査プローブ本体の柔軟性が向上しているので、液晶パネル２０の入力端子２２に押し当てる力を小さくできるので、フレキ検査プローブの長寿命化を実現することができる。
【００５１】
《発明の実施形態２》
図７は、本発明に係る可撓性基板の実施形態２を示している。なお、以下の各実施形態において、図１〜図６と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００５２】
上記実施形態１では、図２に示すように、各凹部１１ａが樹脂基板１１（フレキ検査プローブ１０ａ）の上面に配設されていたが、本発明はこれに限らず、図７に示すように、各凹部１１ｂが樹脂基板１１（フレキ検査プローブ１０ｂ）の下面に配設されていてもよい。具体的に、フレキ検査プローブ１０ｂでは、各凹部１１ｂに重なるように導電膜１２が設けられている。そして、その導電膜１２には、各凹部１１ｂに対応して複数の導電膜凹部１２ａが形成されている。
【００５３】
本実施形態のフレキ検査プローブ１０ｂによれば、複数の凹部１１ｂに対応して複数の導電膜凹部１２ａを表面に有しているので、従来のフラットなフレキ検査プローブ１１０（図１６参照）よりも柔軟性が向上している。そのため、フレキ検査プローブ１０ｂを液晶パネル２０の各入力端子２２に押し当てることによって、フレキ検査プローブ１０ｂが各導電膜凹部１２ａを起点に屈曲して液晶パネル２０の各入力端子２２とフレキ検査プローブ１０ｂの各導電膜１２とを確実に導通させることができる。
【００５４】
《発明の実施形態３》
図８〜図１１は、本発明に係る液晶パネルの検査方法、それに用いられる可撓性基板、及び液晶パネルの検査装置の実施形態３を示している。
【００５５】
図８は、本実施形態のフレキ検査プローブ１０の平面図である。なお、図８において、破線部は液晶パネル２０を示している。
【００５６】
液晶パネル２０は、互いに対向して配置されるアクティブマトリクス基板２０ａ及び対向基板２０ｂと、それら両基板２０ａ及び２０ｂの間に設けられた液晶層（不図示）とを備えている。なお、液晶層の周囲には、枠形状のシール部Ｓが設けられている。
【００５７】
アクティブマトリクス基板２０ａの表示領域Ｄには、それぞれが画素を構成する複数の画素電極（不図示）がマトリクス状に配設されている。そして、対向基板２０ｂの表示領域Ｄには、上記マトリクス状の画素電極の群に対向して配置される共通電極（不図示）が設けられている。また、アクティブマトリクス基板２０ａには、表示用配線として、上記各画素電極の間に、互いに平行に延びるように複数のゲート線と、各ゲート線に直交する方向に互いに平行に延びるように複数のソース線とがそれぞれ設けられている。さらに、アクティブマトリクス基板５ａは、対向基板５ｂと重ならない領域を有し、その重ならない領域には、図８に示すように、ドライバ（駆動回路）としてＬＳＩチップを実装するためのＣＯＧパッド部Ｐが配置されている。なお、上記ゲート線及びソース線は、ＣＯＧパッド部Ｐまで延設されている。
【００５８】
ＣＯＧパッド部Ｐには、図９及び図１０に示すように、複数の入力端子（２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ、２２ＧＯ及び２２ＧＥ）が配列されている。ここで、入力端子２２Ｒは、赤色表示用のソース線（Ｒ）の端部の露出部分であり、入力端子２２Ｇは、緑色表示用のソース線（Ｇ）の端部の露出部分であり、入力端子２２Ｂは、青色表示用のソース線（Ｂ）の端部の露出部分である。また、入力端子２２ＧＯは、例えば、液晶パネル２０の表示領域Ｄの上端から奇数番目のゲート線の端部の露出部分であり、入力端子２２ＧＥは、同じく偶数番目のゲート線の端部の露出部分である。さらに、各入力端子（２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ、２２ＧＯ及び２２ＧＥ）は、後述する線状の導電膜１２によって一度にコンタクトできるようにそれぞれ一列に並んで配置されている。なお、図８において一番左側のＣＯＧパッド部Ｐには、図１０に示すように、ゲート線の入力端子ＧＯ及びＧＥが配設され、残りの３つのＣＯＧパッド部Ｐには、図９に示すように、ソース線の入力端子２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂがそれぞれ配設されている。
【００５９】
フレキ検査プローブ１０は、図８に示すように、液晶パネル２０の図中下辺に沿うように矩形状に形成され、その表面には実施形態１のフレキ検査プローブ１０ａと同様に、複数の凹部１１ａがマトリクス状に配設されている。
【００６０】
また、フレキ検査プローブ１０には、液晶パネル２０のＣＯＧパッド部Ｐの各入力端子（２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ、２２ＧＯ及び２２ＧＥ）に対応して、図８における上辺において横方向に互いに平行に延びるように複数の導電膜１２が設けられ、その下辺において横方向に一列に配列するように複数の検査信号入力端子１４が設けられ、各導電膜１２と各検査信号入力端子１４とを接続するように引出配線１３が設けられている。なお、各検査信号入力端子１４には、図９及び図１０に示すように、検査信号発生回路４０が接続されている。
【００６１】
次に、本実施形態に係る液晶パネルの検査装置について説明する。図１１は、本実施形態の検査装置５０を示す上面図であり、図１２は、図１１の検査装置５０ｂを図中下側からみた側面図であり、図１３は、図中右側からみた側面図である。
【００６２】
検査装置５０は、ベースプレート３１と、ベースプレート３１上に設けられたパネルステージ３４、プローブステージ３５及び一対のエアシリンダー３２と、フレキ検査プローブ１０と、フレキ検査プローブ１０（可撓性基板）を液晶パネル２０の各入力端子２２に押し当てるプローブ押さえ部３２（基板押し当て部）を備えている。
【００６３】
パネルステージ３４は、その上面に位置決めピン（不図示）を有し、その位置決めピンに液晶パネル２０の端縁を当接させた状態で液晶パネル２０を上面に固定するようになっている。また、パネルステージ３４は、その上面に矩形状の開口部を有し、その開口部を介して、上面に固定された液晶パネル２０の表示領域Ｄに対し、パネルステージ３４の下方に位置するバックライト（不図示）からの光が供給されるように構成されている。
【００６４】
プローブステージ３５は、その上面にフレキ検査プローブ１０を固定するプローブホルダー３６が取り付けられ、液晶パネル２０の各入力端子２２とフレキ検査プローブ１０の各導電膜１２とを位置合わせするために、Ｘ方向、Ｙ方向に移動、及びθ方向に回動できると共に、ＣＣＤカメラ及びモニター（不図示）を介して、ステージの位置が確認できるように構成されている。
【００６５】
一対のエアシリンダー３２の各ロッド３２ａの上端には、フレキ検査プローブ１０を上方から押さえるプローブ押さえ部３３が取り付けられている。
【００６６】
なお、ベースプレート３１、パネルステージ３４及びプローブステージ３５は、例えば、黒アルマイト処理が施されたアルミニウム合金材により構成されている。
【００６７】
次に、上記構成の検査装置５０を用いた液晶パネル２０の点灯検査について、図１１〜図１３を用いて説明する。
【００６８】
まず、パネルステージ３４に被検査パネルである液晶パネル２０をセットする。
【００６９】
続いて、プローブステージ３５の位置をモニターで確認しながら、プローブステージ３４のプローブホルダー３６に固定されたフレキ検査プローブ１０とパネルステージ３４上の液晶パネル２０との位置合わせを行う。
【００７０】
さらに、エアシリンダー３２を作動させることにより、プローブ押さえ部３２を下降させて、フレキ検査プローブ１０をパネルステージ３４上の液晶パネル２０の各入力端子２２に押し当てる（基板押し当て工程）。これにより、フレキ検査プローブ１０が各凹部１１ａを起点に屈曲するので、液晶パネル２０の各入力端子２２とフレキ検査プローブ１０の各導電膜１２とを確実に導通させることができる。
【００７１】
次いで、検査信号発生回路４０を作動させることにより、フレキ検査プローブ１０の検査信号入力端子に検査信号を入力して、液晶パネル２０の表示領域Ｄの全ての画素を点灯状態にする（検査信号入力工程）。
【００７２】
最後に、バックライトを点灯させて液晶パネル２０の表面を観察することにより、輝点などを検出する。
【００７３】
以上のようにして、液晶パネル２０の点灯検査を行うことができる。
【００７４】
以上説明したように、本実施形態のフレキ検査プローブ１０、それを用いた液晶パネル２０の検査方法及び検査装置５０によれば、フレキ検査プローブ１０がその表面にマトリクス状に配設された複数の凹部１１ａを有しているので、従来のフラットなフレキ検査プローブ１１０（図１６参照）よりもフレキ検査プローブ１０の柔軟性が向上している。そのため、基板押し当て工程においてプローブ押さえ部３２を用いて、フレキ検査プローブ１０を液晶パネル２０の各入力端子２２に押し当てることによって、フレキ検査プローブ１０が各凹部１１ａを起点に屈曲して液晶パネル２０の各入力端子２２とフレキ検査プローブ１０の各導電膜１２とを確実に導通させることができる。そして、検査信号入力工程においてフレキ検査プローブ１０の各導電膜１２を介して液晶パネル２０の各入力端子２２に対し検査信号が確実に入力されることによって、液晶パネル２０に配設されたゲート線やソース線などの表示用配線に各入力端子２２を介して検査信号が入力されて、液晶パネル２０の点灯検査が行われることになる。したがって、液晶パネル２０の各入力端子２２に検査信号を確実に入力して、点灯検査を行うことができる。
【００７５】
なお、上記各実施形態では、液晶パネルの点灯検査について説明したが、本発明は、種々の回路基板の検査にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
以上説明したように、本発明は、押し当てる力が小さくても液晶パネルの入力端子との良好なコンタクトを得ることができるので、可撓性基板により構成された検査プローブについて有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】実施形態１に係る液晶パネルの検査方法を示す斜視図である。
【図２】実施形態１に係る液晶パネルの検査方法を示す断面図である。
【図３】フレキ検査プローブのコンタクト状態を示す第１の模式図である。
【図４】フレキ検査プローブのコンタクト状態を示す第２の模式図である。
【図５】フレキ検査プローブ１０ａと液晶パネル２０との間に異物２５が介在したときのコンタクト状態を示す断面図である。
【図６】入力端子２２の周端に絶縁膜２３があるときのフレキ検査プローブ１０ａと液晶パネル２０とのコンタクト状態を示す断面図である。
【図７】実施形態２に係る液晶パネルの検査方法を示す断面図である。
【図８】実施形態３に係るフレキ検査プローブ１０を示す平面面図である。
【図９】実施形態３に係る液晶パネル２０のＣＯＧパッド部Ｐを示す第１の模式図である。
【図１０】実施形態３に係る液晶パネル２０のＣＯＧパッド部Ｐを示す第２の模式図である。
【図１１】実施形態３に係る液晶パネル２０の検査装置５０を示す上面図である。
【図１２】実施形態３に係る液晶パネル２０の検査装置５０を示す第１の側面図である。
【図１３】実施形態３に係る液晶パネル２０の検査装置５０を示す第２の側面図である。
【図１４】ＣＯＧパッド部Ｐを有する一般的な液晶パネル１２０の平面模式図である。
【図１５】従来の導電ゴムからなるショートバー１０１による検査方法を示す模式図である。
【図１６】従来のフレキ検査プローブ１１０及び液晶パネル１２０を示す断面図である。
【図１７】従来のフレキ検査プローブ１１０による検査方法を示す模式図である。
【図１８】従来のフレキ検査プローブ１１０と液晶パネル１２０との間に異物１２５が介在したときのコンタクト状態を示す断面図である。
【図１９】入力端子１２２の周囲に絶縁膜１２３があるときの従来のフレキ検査プローブ１１０と液晶パネル１２０とのコンタクト状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１０，１０ａ，１０ｂ    フレキ検査プローブ（可撓性基板）
１１ａ，１１ｂ    凹部
１２      導電膜
１２ａ    導電膜凹部
２０      液晶パネル
２２      入力端子
５０  検査装置
【図１】
2007193167.tif 000003
【図２】
2007193167.tif 000004
【図３】
2007193167.tif 000005
【図４】
2007193167.tif 000006
【図５】
2007193167.tif 000007
【図６】
2007193167.tif 000008
【図７】
2007193167.tif 000009
【図８】
2007193167.tif 000010
【図９】
2007193167.tif 000011
【図１０】
2007193167.tif 000012
【図１１】
2007193167.tif 000013
【図１２】
2007193167.tif 000014
【図１３】
2007193167.tif 000015
【図１４】
2007193167.tif 000016
【図１５】
2007193167.tif 000017
【図１６】
2007193167.tif 000018
【図１７】
2007193167.tif 000019
【図１８】
2007193167.tif 000020
【図１９】
2007193167.tif 000021