(57)【要約】【課題】スリット幅を連続的に変更することができ、且つコンパクトなソーラスリットを提供する。【解決手段】複数の平行に配設された隔壁板を有するソーラスリットにおいて、各隔壁板の間に介挿された弾性体と、前記ソーラスリットの両端の隔壁板を押圧する圧縮機構と、を備えたソーラスリットとする。圧縮機構を作動させることにより弾性部材が積層方向に一斉に圧縮され、又は一斉に伸長するため、各隔壁板が平行な状態を保持しつつ、隔壁板間隔、つまりスリット幅を任意に調節することが可能となる。弾性部材としては、各種のばねやゴムを使用することができる。このように、本発明のソーラスリットは非常に簡単な構成であるため、従来欠かすことができなかった分析装置における設置スペースが不要となり、分析装置の小型化を図ることが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の平行に配設された隔壁板を有するソーラスリットにおいて、
前記各隔壁板の間に介挿された弾性体と、
前記ソーラスリットの両端の隔壁板を押圧する圧縮機構と、
を備えたことを特徴とするソーラスリット。
【請求項２】
前記弾性体が、ばね又はゴム弾性体であることを特徴とする請求項１に記載のソーラスリット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透過型電子顕微鏡（TEM：Transmission Electron Microscope）、走査型電子顕微鏡（SEM：Scanning Electron Microscope）、電子線プローブマイクロアナライザ（EPMA：Electron Probe Micro-Analysis）、蛍光X線分析装置等に用いられるソーラスリットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、蛍光X線分析装置などでは、X線強度のピークプロファイルに対して分光素子（結晶や人工多層膜等）へのX線の入射や分光素子からの出射における平行性を制限し、X線強度及び波長分解能を調節するために、ソーラスリットが用いられている。図２に、蛍光X線分析装置におけるソーラスリットの使用例の模式図を示す。
【０００３】
図２に示されるように、ソーラスリットは複数の平板状の隔壁板が略等間隔に、相互に平行に積層されて成るものである。隔壁板同士の間隔が大きいとスリット幅が大きくなり、通過するX線の量が増加することによって感度は向上するが、分解能が低下する。逆に、隔壁板の間隔が小さいとスリット幅が小さくなり、分解能は向上するが感度が低下する。
【０００４】
このため、ソーラスリットは分析の目的に応じて使い分けられるのが普通である。すなわち、ピーク強度を優先させる場合にはスリット幅の大きなソーラスリットを選択して使用し、分解能を優先させる場合にはスリット幅の小さなソーラスリットを選択して使用するのである。従って、従来は、スリット幅が異なる複数種類のソーラスリットを予め準備しておき、必要に応じて取り替えていた。
【０００５】
しかし、分析の度に一々ソーラスリットを取り替えるのは手間がかかる。そこで、その手間を省略するために、分析装置に複数のソーラスリットを予め格納しておき、必要に応じてソーラスリットを機械的に切り換える方法が考案された。しかし、この方法には、複数のソーラスリットを格納保持しておくためのスペースが必要となるため、分析装置が大型化してしまうという問題があった。しかも、分析装置内に保持できるソーラスリットの数には当然限りがあるため、予め定められたスリット間隔のうちから選択するしかなく、任意のスリット間隔を設定することはできなかった。
【０００６】
そこで更に、このような問題を解決するため、スリット幅が定められたソーラスリットを交換して使用するのではなく、一つのソーラスリットにおいて、スリット幅を可変とする技術が開発されてきた。例えば、特許文献１には、ソーラスリットの周囲にフレームを設け、各隔壁板が互いに平行状態を保持したままフレームを大きく変形させることによって、スリット幅を連続的に変化させることができるソーラスリット装置が記載されている。
【０００７】
【特許文献１】特開2001-4563号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１において開示されているような、ソーラスリットの立体形状を歪めることによってスリット幅を調節する技術では、隔壁板間隔を均一とするのに多数の精密部品と高い組立精度が要求されるため製造コストが高くつくという問題があった。また、ソーラスリットの立体形状を大きく歪ませる必要があるため、分析装置内にスペースが必要とされるという問題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の問題を解決するために成された本発明に係るソーラスリットは、
複数の平行に配設された隔壁板を有するソーラスリットにおいて、
前記各隔壁板の間に介挿された弾性体と、
前記ソーラスリットの両端の隔壁板を押圧する圧縮機構と、
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るソーラスリットによれば、極めて簡単な構成であるにもかかわらず、隔壁板間隔を連続的に変化させることができ、任意のスリット幅を容易に得ることが可能となる。また、ソーラスリット自体の外形寸法がほとんど変わらないため、ソーラスリットを使用する分析装置において設置スペースが小さくて済む。即ち、分析装置の小型化が達成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明のソーラスリットの好適な実施形態について、断面図である図１を参照しつつ説明する。なお、図１に示したソーラスリットでは、X線が左右方向に通過するものとする。本発明のソーラスリット１は、複数枚の隔壁板２（2-1、2-2、…2-n）が、互いに所定の間隔を有しつつ積層されて成る。この隔壁板２は、従来より一般にソーラスリット用として用いられているものを使用すればよい。
【００１２】
各隔壁板2-1、2-2、…、2-nの間には、弾性部材３が介挿されている。図１からも明らかなように弾性部材３は隔壁板間のスペーサとしての役割を果たしており、全ての弾性部材３の高さが隔壁板の積層方向においてほぼ均一であることにより、各隔壁板の間隔が等しくなり、各隔壁板2-a、2-b、…、2-nが平行に積層される。隔壁板間における弾性部材３の配置箇所は特に規定されるものではなく、隔壁板間毎で異なっていても構わないが、ソーラスリット１をX線が通過するのを不所望に遮ってしまうことがないように、X線通過方向の開口面積が広くなるように配置するのが望ましい。また、弾性部材３は全て同じものを使用する必要はなく、種類の異なる弾性部材を組み合わせることもできる。
【００１３】
弾性部材３には、板ばねやコイルばねをはじめとする各種のばねやゴム弾性体といった、圧縮力が加わると収縮し、圧縮力が取り除かれると復元する弾性体を使用することができる。
【００１４】
ソーラスリット１の外部には、隔壁板がばらけてしまうことを防止するための枠５が設けられている。この枠５の構成は特に問わない。枠５の一部には圧縮機構４が設けられている。圧縮機構４は、複数枚の隔壁板のうち、最外層（両端）の隔壁板（2-1及び2-n）を押圧する。すなわち、両端の隔壁板の距離を、両隔壁板が平行状態を保ったまま変化させる。圧縮機構４が作動して、最外層の隔壁板間（隔壁板2-1及び隔壁板2-n）の距離が短くなると、積層されている各隔壁板間に設けられている弾性部材３のそれぞれが均等に収縮し、全ての隔壁板間隔が均等に狭くなる（図１の下段参照）。また、圧縮機構４が作動して、隔壁板2-1と隔壁板2-n間の距離が広くなると、全ての弾性部材３が均等に伸長し、全ての隔壁板間隔が均等に広くなる。このようにして、本発明のソーラスリットでは、スリット幅を任意に、且つ容易に設定することができる。
【００１５】
圧縮機構４はどのようなものでもよく、例えばオペレータが直接触れることなく、分析装置の外部から操作可能なように構成されたモータを好適に使用することができる。また、印加する電圧によって収縮・伸長を制御できるピエゾ素子を使用してもよい。さらにまた、圧縮機構４をネジとし、オペレータが手動で隔壁板間隔を調節可能な構成としてもよい。ただし、圧縮機構４は隔壁板間隔を狭くするとき、過剰な圧縮を行って弾性部材３の弾性限界を超えてしまうことがないように調整されている必要がある。
【００１６】
以上、本発明にかかるソーラスリットの実施形態を説明したが、上記は一例に過ぎないことは当然であって、本発明の精神内で適宜変更、改良を行ってももちろん構わない。また、本発明のソーラスリットを蛍光X線分析装置において使用する場合には、一次ソーラスリット、二次ソーラスリットの何れにも使用できることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るソーラスリットの一実施形態を模式的に示す断面図。
【図２】蛍光X線分析装置におけるソーラスリットの使用例を模式的に示す図。
【符号の説明】
【００１８】
１…ソーラスリット
２…隔壁板
３…弾性体
４…圧縮機構
５…枠
【図１】
2007292615.tif 000003
【図２】
2007292615.tif 000004