(57)【要約】      （修正有）【課題】液晶ガラスや薄型大型基板などの板状ワークを所望とする状態で保持し、受け取りや引き渡しを好適に実施する板状ワークの移載装置を提供する。【解決手段】移載装置において、フォークにおける各櫛歯部１４の上面には複数の多孔質ユニット３０が設けられている。多孔質ユニット３０は、ワークに対向するエア噴出面５１ａを有し微細孔を通じて気体を噴出させる多孔質体５１を備えている。また特に、多孔質ユニット３０は、櫛歯部１４に固定された支持体３１と、その支持体３１に揺動可能に支持された揺動本体４１とを備えており、揺動本体４１に多孔質体５１が組み付けられている。多孔質ユニット３０によりワークが浮上状態で保持される場合、当該多孔質ユニット３０はワークの傾きに応じて揺動する。【選択図】図４
2007022758.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の櫛歯部を有するフォーク部材を備え、該フォーク部材により板状ワークの受け取り又は引き渡しを行う板状ワークの移載装置において、
前記フォーク部材における各櫛歯部の上面に、前記板状ワークに対向する対向面を有し微細孔を通じて気体を噴出させる又は吸引作用を生じさせる多孔質体を備えた複数の多孔質ユニットを設け、該多孔質ユニットに、対向する板状ワークの傾きに応じて揺動する揺動機構を付加したことを特徴とする板状ワークの移載装置。
【請求項２】
前記揺動機構は、前記櫛歯部に固定された固定部材と、前記多孔質体を有してなり前記固定部材に揺動可能に支持された揺動部材とを備え、
前記固定部材及び前記揺動部材に、各々連通され、一端が前記多孔質体に繋がるようにして気体通路を形成したことを特徴とする請求項１に記載の板状ワークの移載装置。
【請求項３】
前記固定部材又は前記揺動部材のいずれか一方に球体部を設けるとともに、他方に前記球体部の外面に当接した状態で当該球体部を収容する収容部を設けたことを特徴とする請求項２に記載の板状ワークの移載装置。
【請求項４】
前記櫛歯部内に気体通路を形成し、該気体通路を介して前記多孔質ユニットに対する気体の流入又は流出を行わせることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の板状ワークの移載装置。
【請求項５】
前記フォーク部材に、前記揺動機構を備えた多孔質ユニットと、前記揺動機能を備えていない多孔質ユニットとを設けたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の板状ワークの移載装置。
【請求項６】
前記多孔質体を多孔質の合成樹脂材料にて作製したことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の板状ワークの移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ガラスや薄型大型基板といった板状ワークの受け取りや引き渡しを好適に実施するための板状ワークの移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ガラスや薄型大型基板などの製造工程では、これら液晶ガラスや薄型大型基板などの板状ワークが格納棚（ストッカ）に格納され、又は格納棚から適宜引き出される。また、搬送装置に対してワークの引き渡しが行われる。この場合、ワークの受け取りや引き渡しは移載装置を介して行われる。移載装置としては、櫛歯状のフォーク部材を用いた構成が知られており、ワークを搭載した状態でフォーク部材を昇降及び回転動作させることで、ワークが所望の位置に移載されるようになっている（例えば特許文献１参照）。また、本願発明者らは、フォーク部材によるワークの受け取りや引き渡しを好適に実施するべく、フォーク部材に複数の吸着部材やエア噴出部材などを設け、これらによりワークを吸着状態で接触支持する、或いは浮上状態で非接触支持することなどを検討している。
【０００３】
しかしながら、近年ではワークの大型化や薄型化が進む傾向にあり、こうした実状においてはワークの受け取りや引き渡しを行う上で種々の支障が生じるおそれがあった。すなわち、ワークの大型化に伴いフォーク部材を大型化することが必要になるが、その際、フォーク部材のワーク載置面における加工精度が出にくく、ワーク載置面の高低差が生じてしまう（例えばコンマ数ｍｍ〜数ｍｍ程度）。特にフォーク先端側ではこうした高低差が大きくなる。また、格納棚におけるワークの収容効率を改善するには、各格納階の間隔（ワーク間ピッチ）を狭くし、更にそれに合わせてフォーク部材を薄型化することが考えられるが、フォーク部材が薄型化されると、ワーク載置面の高低差のばらつきがより一層助長される。
【０００４】
こうしてワーク載置面の高低差が生じると、フォーク部材に複数の吸着部材やエア噴出部材を設けた場合にそれら各部材の高さが相違し、それが原因でワークに局部集中の荷重が作用したり、非接触状態でのワークの保持が困難になったりする等の問題が生じる。この問題を図９により具体的に説明する。図９において、（ａ）は複数の櫛歯部１０２を有するフォーク部材１０１の平面図であり、（ｂ），（ｃ）はそれぞれ（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。このうち（ｂ）はワークＷを吸着部材１０３により接触支持する状態を示し、（ｃ）はワークＷを複数のエア噴出部材１０４により非接触支持する状態を示す。吸着部材１０３、エア噴出部材１０４はいずれも多孔質パッドにより構成されている。なお図９では、説明の便宜上、フォーク部材１０１における各櫛歯部１０２の高低差を誇張して示している。
【０００５】
図９の（ｂ）に示すように、フォーク部材１０１において左右の各櫛歯部１０２に高低差があると、各吸着部材１０３の吸着面ではワークＷが水平状態となるのに対し、櫛歯部１０２間では高低差に応じた撓み変形が生じる。この場合、ワークＷには水平部分と傾斜部分とができ、吸着部材１０３の上隅部において集中的に荷重が作用する。そしてこれにより、ワークＷが局部的に変形したり損傷したりするおそれがあった。
【０００６】
また、図９の（ｃ）の場合には、エア噴出部材１０４の上面に対してワークＷが傾くため、エア噴出部材１０４から噴出されたエアの多くが片側に逃げてしまい、このエア漏れによりワークＷに十分な浮上力が作用しないという不都合が生じる。これにより、ワークＷがエア噴出部材１０４の上隅部に接触してしまい、非接触支持することの本来の目的が消失されるという問題が生じる。
【特許文献１】特開２００５−１４２４８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、液晶ガラスや薄型大型基板などの板状ワークを所望とする状態で保持し、当該板状ワークの受け取りや引き渡しを好適に実施することができる板状ワークの移載装置を提供することを主たる目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以下、上記課題を解決するのに有効な手段等につき、必要に応じて効果等を示しつつ説明する。なお以下では、理解を容易にするため、発明の実施の形態において対応する構成例を括弧書き等で適宜示すが、この括弧書き等で示した具体的構成に限定されるものではない。
【０００９】
手段１．複数の櫛歯部（櫛歯部１４）を有するフォーク部材（フォーク１３）を備え、該フォーク部材により板状ワーク（ワークＷ）の受け取り又は引き渡しを行う板状ワークの移載装置において、
前記フォーク部材における各櫛歯部の上面に、前記板状ワークに対向する対向面（エア噴出面５１ａ）を有し微細孔を通じて気体を噴出させる又は吸引作用を生じさせる多孔質体（多孔質体５１）を備えた複数の多孔質ユニット（多孔質ユニット３０）を設け、該多孔質ユニットに、対向する板状ワークの傾きに応じて揺動する揺動機構（支持体３１、揺動本体４１）を付加したことを特徴とする板状ワークの移載装置。
【００１０】
手段１の移載装置において、フォーク部材の各櫛歯部の上面に設けられた多孔質ユニットには、板状ワークに対向する対向面を有する多孔質体が設けられており、多孔質体の微細孔を通じて気体が噴出する又は吸引作用が生じることにより、板状ワークが浮上保持（非接触保持）又は吸着保持される。そして、その浮上保持又は吸着保持された状態で板状ワークの受け取り又は引き渡しが行われる。この場合、各櫛歯部には高低差が生じるため、段違いのワーク搭載面に板状ワークが搭載されることになり、板状ワークに局部的な変形や損傷などが生じるおそれがあった。この問題は、板状ワークを浮上保持する場合には、多孔質体に対して板状ワークが傾くことで片側が側方に逃げてしまい十分な浮上力が作用しないことに起因する。また、板状ワークを吸着保持する場合には、板状ワークに水平部分と傾斜部分とができ、荷重の集中が生じることに起因する。
【００１１】
この点本手段によれば、多孔質ユニットには、対向する板状ワークの傾きに応じて揺動する揺動機構が付加されているため、各多孔質体のワーク対向面は、各々対面する板状ワークの傾きに応じた角度に自動調整される。これにより、板状ワークの撓み状態に則して多孔質ユニットが揺動し、板状ワークからの負荷（重量）を面全体で受けることができるようになる。例えば、板状ワークを浮上保持する場合には、板状ワークと多孔質体のワーク対向面とが常に平行状態で保たれる。この場合、各櫛歯部の高低差が吸収され、板状ワークにおける局部的な変形や損傷などが解消される。その結果、液晶ガラスや薄型大型基板などの板状ワークを所望とする状態で保持し、当該板状ワークの受け取りや引き渡しを好適に実施することができる。
【００１２】
手段２．前記揺動機構は、前記櫛歯部に固定された固定部材（支持体３１）と、前記多孔質体を有してなり前記固定部材に揺動可能に支持された揺動部材（揺動本体４１）とを備え、
前記固定部材及び前記揺動部材に、各々連通され、一端が前記多孔質体に繋がるようにして気体通路（エア通路３５，５４、流通段部５３）を形成したことを特徴とする手段１に記載の板状ワークの移載装置。
【００１３】
手段２によれば、固定部材及び揺動部材に形成された各気体通路が連通され、その気体通路の一端が多孔質体に繋がっているため、多孔質体に対する気体の供給や引き込みを気体通路を介して適正に行うことができる。
【００１４】
手段３．前記固定部材又は前記揺動部材のいずれか一方に球体部（球体部３４）を設けるとともに、他方に前記球体部の外面に当接した状態で当該球体部を収容する収容部（上側凹部４４、下側凹部４８）を設けたことを特徴とする手段２に記載の板状ワークの移載装置。
【００１５】
手段３によれば、収容部内において球体部が任意の方向に回転することにより、固定部材に対する揺動部材の向き（角度）が任意に調整される。これにより、上記のとおり多孔質ユニットの揺動動作が実現できる。またこのとき、球体面を用いて揺動機構が構成されるため、滑らかな揺動動作が実現できる。
【００１６】
手段４．前記櫛歯部内に気体通路（エア通路１６）を形成し、該気体通路を介して前記多孔質ユニットに対する気体の流入又は流出を行わせることを特徴とする手段１乃至３のいずれかに記載の板状ワークの移載装置。
【００１７】
手段４によれば、櫛歯部内に形成された気体通路を介して多孔質ユニットに対する気体の流入又は流出が行われる。この場合、複数の多孔質ユニットに対して同時に気体の供給や引き込みを行うことができる。また、各多孔質ユニットで気体噴出状態と吸引状態とを切り替える場合において、その切り替えを容易に行うこともできる。
【００１８】
手段５．前記フォーク部材に、前記揺動機構を備えた多孔質ユニットと、前記揺動機能を備えていない多孔質ユニットとを設けたことを特徴とする手段１乃至４のいずれかに記載の板状ワークの移載装置。
【００１９】
手段５によれば、フォーク部材に設けられる全ての多孔質ユニットに揺動機構が付加されるのではなく、必要に応じて揺動機構が付加される。そのため、板状ワークの受け取りや引き渡しを行う上で所望とする効果を確保し、しかも揺動機構をあらたに付加することに伴うコスト上昇を最小限に抑えることができる。
【００２０】
この場合、フォーク部材において、板状ワークの撓み変形が生じやすい部位や、その撓み変形に追従して多孔質ユニットを揺動させないと不都合が生じる部位の多孔質ユニットには揺動機構を付加し、他の部位の多孔質ユニットには揺動機構を付加しないようにした構成が考えられる。より具体的には、例えば、板状ワークの外縁部付近における多孔質ユニットには揺動機構を付加し、他の部位の多孔質ユニットには揺動機構を付加しない構成や、フォーク部材の先端部における多孔質ユニットには揺動機構を付加し、他の部位の多孔質ユニットには揺動機構を付加しない構成が考えられる。
【００２１】
手段６．前記多孔質体を多孔質の合成樹脂材料にて作製したことを特徴とする手段１乃至５のいずれかに記載の板状ワークの移載装置。
【００２２】
手段６によれば、多孔質体が合成樹脂材料にて作製されているため、板状ワークとの接触状態における損傷等を抑制することができる。なお、多孔質体の表面には表面粗さが小さくなるように仕上げ加工が施されていると良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。本実施の形態は、液晶ガラスや薄型大型基板といった板状のワークを搬送装置や格納棚（ストッカ）との間で受け取り及び引き渡しするための移載システムを具体化するものであり、移載ロボットよりなる移載装置では、ハンドリングアームであるフォーク部材上においてワークが浮上状態で支持（非接触支持）されるとともに、このフォーク部材によりワークの受け取り及び引き渡しが行われるようになっている。
【００２４】
図１は、本実施の形態における移載システムを示す概略図である。図１に示すように、本移載システムは、移載装置１０と格納棚（ストッカ）２０とを備えており、これら移載装置１０と格納棚２０との間でワークＷの受け取り及び引き渡しが行われる。格納棚２０は、複数のワークＷを多段に格納可能なものであり、複数の格納階２１ごとにワークＷが格納できる構成となっている。
【００２５】
移載装置１０は、主要な構成として本体部１１と、本体部１１上に載置されたテーブル部１２と、ワークＷを浮上状態で保持するための櫛歯状のフォーク１３とを備えている。本体部１１は、テーブル部１２を上下方向に昇降させる昇降機能と同テーブル部１２を任意の方向に回転させる回転機能とを有しており、図示しない制御装置からの指令に従い本体部１１が動作することにより、テーブル部１２の高さ位置及び回転位置が望み通りに調整できるようになっている。
【００２６】
また、テーブル部１２は、フォーク１３を水平方向に直線動作させるための機能を有している。フォーク１３は、ＣＦＲＰ（Carbon Fiber Reinforced Plastic）など軽量かつ高剛性の材料により作製されており、その内部の気体通路を介してエア等の気体を上方に噴出させることによりワークＷを浮上状態で保持する機能を有している。ただしその詳細は後述する。
【００２７】
上記移載装置１０が格納棚２０の正面に位置する状態で、フォーク１３が格納棚２０の所定階に向けて移動することにより、格納棚２０の入口部からフォーク１３が格納棚２０内に進入する。そして、その状態でワークＷの受け取り又は引き渡しが行われる。
【００２８】
なお図示は省略するが、本移載システムが設置された床面には複数のレールが敷設されており、移載装置１０や格納棚２０はレールに沿って各々移動可能となっている。移載装置１０において、フォーク１３を所望の位置に移動させるための構成としては、平行四辺形リンク機構を有するロボットや、多関節構造を有する任意の多軸ロボット等を採用することも可能である。
【００２９】
次に、フォーク１３の構成を説明する。図２はフォーク１３の平面図であり、図３は図２のＡ−Ａ線断面図である。また、図４は、フォーク１３に設けられた多孔質ユニット３０を拡大して示す断面図である。
【００３０】
図２及び図３に示すように、フォーク１３は複数（本実施の形態では４本）の櫛歯部１４を有しており、その櫛歯部１４は基幹部１５により連結されている。櫛歯部１４及び基幹部１５は中空状をなしており、その中空部はエア通路１６となっている。また、各櫛歯部１４の上面には取付ネジ孔１７が形成されており、その取付ネジ孔１７にはそれぞれ多孔質ユニット３０がネジ締め固定されている。この多孔質ユニット３０にはエア通路１６を介してエアが供給される。
【００３１】
この場合、ワークＷを浮上保持した状態で撓み解析を行い、その解析結果に基づいてフォーク１３における各多孔質ユニット３０の設置の個数や位置を決定すると良い。これにより、ワークＷの保持状態の適正化が可能になるとともに、多孔質ユニット３０の設置個数を最小限にすることができる。なお、各多孔質ユニット３０によるエア浮上時の負荷量は１０００ｇ／１個程度であると良い。
【００３２】
本実施の形態では特に、多孔質ユニット３０に、対向するワークＷの傾きに応じて揺動する揺動機構（首振り機構とも言える）を付加する構成としており、その揺動機構について以下に詳しく説明する。
【００３３】
図４に示すように、多孔質ユニット３０は、フォーク１３の櫛歯部１４に固定される固定部材としての支持体３１と、その支持体３１によって揺動自在に支持される揺動部材としての揺動本体４１とを備えている。支持体３１は上下方向に延びる軸部３２を有し、その基端部には取付ネジ部３３が形成されている。また、軸部３２の先端側には球面形状をなす支持部としての球体部３４が形成されている。支持体３１には、球体部３４の上端と取付ネジ部３３の底面とに開口するエア通路３５が設けられている。軸部３２の中心軸線は取付ネジ部３３、球体部３４及びエア通路３５の中心を通る上下方向の中心線と一致し、それは多孔質ユニット３０全体の中心線とされている。そして、多孔質ユニット３０を構成する後述の各部及び各部材はこの中心線を基準として設けられている。
【００３４】
また、揺動本体４１は円柱形状の外形をなし、上部構成体４２と下部構成体４３とにより構成されている。両構成体４２，４３は同一の横断面積を有する。上部構成体４２にはその下面の中央部に、球体部３４の上部を収容可能な上側凹部４４が形成されている。上側凹部４４を形成する側壁は周全体にわたり被支持部としての上側テーパ面４５とされ、上側凹部４４は下向きのすり鉢状に形成されている。上側凹部４４の下側開口縁部は段差状に形成されて環状溝４６が設けられており、その環状溝４６にはシール手段としてのＯリング４７が収容されている。Ｏリング４７の内径部は、周方向全体にわたり球体部３４の球面３４ａに当接した状態となっている。このＯリング４７により、球体部３４、上部構成体４２及び下部構成体４３の三者間がシールされ、揺動本体４１の内部を流通するエアが外部に漏れることが防止されるようになっている。
【００３５】
下部構成体４３にはその上面の中央部に、球体部３４の下部を収容可能な下側凹部４８が形成されている。下側凹部４８を形成する側壁は周全体にわたり当接面としての下側テーパ面４９とされ、下側凹部４８は上向きのすり鉢状に形成されている。下側テーパ面４９は前記上側テーパ面４５と対称な形状となっている。また、下側凹部４８の底部は下部構成体４３の下面に貫通しており、下部構成体４３の下面中央部には前記支持体３１の軸部３２よりも拡径された貫通孔５０が形成されている。
【００３６】
上部構成体４２と下部構成体４３とは各々の対向面が接合されて図示しないボルト等の固定手段により固定されている。そして図４に示す状態において、上側凹部４４と下側凹部４８とにより形成された収容空間に支持体３１の球体部３４が収容され、貫通孔５０を介して軸部３２と取付ネジ部３３が下部構成体４３の下面から突出している。球体部３４の球面３４ａは上側テーパ面４５と下側テーパ面４８とに当接した状態となっており、上側凹部４４と下側凹部４８とにより形成された収容空間内において球体部３４が任意の方向に回転可能となっている。上記構成により、揺動本体４１は支持体３１に対して揺動自在でかつ安定状態で保持されるようになっている。
【００３７】
また、揺動本体４１は多孔質体５１を備え、その多孔質体５１の上面であるエア噴出面５１ａからエアが噴出されるように構成されている。その詳しい構成は以下の通りである。
【００３８】
揺動本体４１を構成する上部構成体４２には、平坦面である上面に円形凹部５２が形成されており、その円形凹部５２には上部構成体４２の上面から突出した状態で多孔質体５１が組み付けられている。多孔質体５１は、所定厚さ寸法を有する円盤状をなし、多孔質の合成樹脂材料にて作製されている。円形凹部５２の底面には流通段部５３が形成され、さらにその下方にはエア通路５４が形成されている。流通段部５３は揺動本体４１のエア通路５４及び支持体３１のエア通路３５に連通しており、これらエア通路３５，５４を介して流通段部５３にエアが供給されると、そのエアが多孔質体５１の微細孔を通過し、そのエア噴出面５１ａから噴出される。
【００３９】
上記構成の多孔質ユニット３０では、多孔質体５１のエア噴出面５１ａからエアが噴出されると、このエア噴出により浮上力が発生し、多孔質体５１のエア噴出面５１ａ（多孔質ユニット３０の上面）に載置されたワークＷが浮上する。このとき、図５に示すように、多孔質体５１のエア噴出面５１ａに対向するワークＷの傾きに応じて揺動本体４１が揺動し、支持体３１に対して傾斜する。つまり、多孔質体５１のエア噴出面５１ａでは、その全面においてほぼ均等な状態でエア噴出が行われ、その際ワークＷが傾いていればそれに追従して揺動本体４１が動揺し、多孔質体５１のエア噴出面５１ａとワークＷとが平行になった状態で保持される。したがって、多孔質体５１のエア噴出面５１ａ（多孔質ユニット３０の上面）に対してワークＷが傾き、それに起因してエア漏れが生じて十分な浮上力が生じないといった不都合が解消される。
【００４０】
なお、支持体３１の軸線に対して揺動本体４１の軸線が傾いても、支持体３１及び揺動本体４１に各々設けられたエア通路３５，５４が塞がる等の不都合は生じない。そのため、図５のような傾斜状態でも、非傾斜時と同等の浮上力がワークＷに作用し、適正なワーク浮上状態が保たれる。
【００４１】
図６は、フォーク１３の各櫛歯部１４に高低差が生じた場合における多孔質ユニット３０とワークＷの状態を示す概略図である。図６には、フォーク１３を櫛歯部１４の先端側から見た状態を模式的に示している。
【００４２】
図６において、左右の櫛歯部１４には図示のような高低差が生じており、それに伴いワークＷは図の右側が下になるように撓み変形している。この場合、ワークＷの傾きに追従して多孔質ユニット３０が揺動するため、多孔質体５１のエア噴出面５１ａはワークＷの傾きに応じた角度に自動調整される。これにより、多孔質体５１のエア噴出面５１ａ（多孔質ユニット３０の上面）とワークＷとが平行状態のまま保持され、ワークＷの撓み状態（傾き）にかかわらず、多孔質ユニット３０はワークＷからの負荷（重量）を面全体で受けることができる。故に、上記のとおりエア漏れが解消され、ワークＷが好適なる浮上状態で保持される。
【００４３】
図１の移載システムにおいて、格納棚２０に格納されたワークＷを受け取る際には、移載装置１０を次のように動作させる。すなわち、まずは移載装置１０を格納棚２０の正面に移動させ、所定の格納階２１に格納されたワークＷの下方にフォーク１３を差し込む。次に、各櫛歯部１４のエア通路１６を介して多孔質ユニット３０に加圧エア（０．１〜０．２ＭＰａ程度の正圧エア）を供給し、各多孔質体５１のエア噴出面５１ａ（多孔質ユニット３０の上面）からエアを噴出させる。そしてその状態で、フォーク１３を上動させてワークＷに近づける。このフォーク１３の接近に伴いワークＷが浮上する。また、多孔質ユニット３０にワークＷの重量が作用した時点で揺動機構が作動し、その際ワークＷが傾いていればその傾きに合わせて多孔質ユニット３０が揺動し、多孔質ユニット３０の上面とワークＷとが平行状態とされる。
【００４４】
その後、ワークＷを浮上状態で載せたまま、フォーク１３を水平方向に移動させる。これにより、ワークＷが浮上状態のまま、別の搬送装置などに対して移送される。この移送時において、ワークＷに揺れが生じることもあるが、その揺れも揺動機構により吸収される。故に、ワーク移送時における損傷も抑制できる。
【００４５】
以上詳述した本実施の形態によれば、多孔質ユニット３０に、ワークＷの傾きに応じて揺動する揺動機構を付加したため、フォーク１３の各櫛歯部１４に高低差が生じていてもその高低差を吸収することができ、ワークＷを確実に浮上状態で保持（非接触保持）することができる。これにより、ワークＷにおける局部的な変形や損傷などが解消される。その結果、液晶ガラスや薄型大型基板などのワークＷを所望とする状態で保持し、当該ワークＷの受け取りや引き渡しを好適に実施することができる。
【００４６】
揺動機構を、支持体３１に球体部３４を設けるとともに、その球体部３４を揺動本体４１に形成した収容空間にて回転可能に収容するように構成したため、上記のとおり多孔質ユニット３０の所望の揺動動作が実現できる。またこのとき、球体部３４の球体面３４ａに接触しながら揺動本体４１が動作するため、任意の方向において滑らかな揺動動作が実現できる。
【００４７】
なお、本発明は上記実施の形態の記載内容に限定されず、例えば次のように実施しても良い。
【００４８】
上記実施の形態では、揺動機構を、支持体３１に球体部３４を設けるとともに、その球体部３４を揺動本体４１に形成した収容空間にて回転可能に収容するように構成したが、この構成を変更しても良い。例えば、上記構成とは逆に、揺動本体に球体部を設けるとともに、支持体に収容空間を形成する。そして、支持体に形成した収容空間に揺動本体の球体部を回転可能に収容するように構成する。また、支持体（固定部材）又は揺動本体（揺動部材）に設けられる球体部は、半球状とすることも可能であり、要は球状面を有する構成であれば良い。
【００４９】
フォーク１３の上面に、ワークＷの位置ずれを防止するための突起部材を設けることも可能である。これにより、フォーク１３上でワークＷの位置ずれが生じたり、フォーク１３からワークＷが落下したりする等の不都合が抑制できる。
【００５０】
上記実施の形態では、移載装置１０において、フォーク１３の各櫛歯部１４に複数の多孔質ユニット３０を設け、この多孔質ユニット３０からエアを噴出させることによりワークＷを浮上状態（非接触状態）で保持しその状態で移送する構成としたが、これを変更する。例えば、多孔質ユニット３０により吸引作用を生じさせることによりワークＷを吸着状態で保持し、その状態で移送する構成としても良い。なお、多孔質ユニット３０の構成としては何ら変更はないが、多孔質体５１の上面がエア噴出面ではなく吸着面として機能するようになることのみ相違する。
【００５１】
図７は、多孔質ユニット３０により吸引作用を生じさせた場合におけるワークＷの保持状態を示す概略図である。図７には、フォーク１３を櫛歯部１４の先端側から見た状態を模式的に示している。
【００５２】
図７において、左右の櫛歯部１４には図示のような高低差が生じており、それに伴いワークＷは図の右側が下になるように撓み変形している。そして、各櫛歯部１４のエア通路１６を介してエア吸引を行うことにより、ワークＷが多孔質体５１の吸着面に吸着され、その際ワークＷの傾きに追従して多孔質ユニット３０が揺動する。この場合、多孔質ユニット３０の揺動により、ワークＷに局部的な変形や損傷などが生じることが抑制される。ワークＷの吸着歪みを少なくすることもできる。故に、ワークＷを浮上状態で移送する場合と同様に、液晶ガラスや薄型大型基板などのワークＷを所望とする状態で保持し、当該ワークＷの受け取りや引き渡しを好適に実施することができる。またこの場合、合成樹脂製の多孔質体５１を用いることにより、多孔質体５１との吸着部分におけるワークＷの損傷等を抑制することができる。なお、多孔質体５１の表面には表面粗さが小さくなるように仕上げ加工が施されていると良い。
【００５３】
また、フォーク１３を、多孔質ユニット３０のエア噴出によりワークＷを浮上保持できる機能と、同多孔質ユニット３０の吸引作用によりワークＷを吸着保持できる機能とを併せ持つものとして構成しても良い。この場合、フォーク１３のエア通路１６を介してエア供給を行う状態と、同エア通路１６を介してエア吸引を行う状態とを切り替え可能とする。こうして、浮上機能と吸着機能とを併せ持つことにより、以下のような使い方が可能となる。例えば、格納棚２０から搬送装置などへワークＷを移送する場合において、格納棚２０の格納階２１からワークＷを受け取る際には、多孔質ユニット３０に加圧エア（０．１〜０．２ＭＰａ程度の正圧エア）を供給してそれに伴うエア噴出によりワークＷを浮上させる。そしてその後、ワークＷを他の搬送装置等に移送する際には、多孔質ユニット３０に対するエア吸引（−７０〜−９０ｋＰａ程度の負圧による吸引）によりワークＷを多孔質ユニット３０に吸着させる。この場合、ワーク移送時に、フォーク１３上でワークＷががたついたり、フォーク１３からワークＷが落下したりする等の不都合が解消される。また、フォーク１３を傾けたりすることが可能となる。
【００５４】
上記実施の形態では、フォーク１３において各櫛歯部１４に設けた全ての多孔質ユニット３０に揺動機構を付加したが、これを変更し、揺動機構を備えた多孔質ユニットと、揺動機能を備えていない多孔質ユニットとからなる２種類の多孔質ユニットをフォーク部材に設けるようにしても良い。この場合、フォーク１３において、ワークＷの撓み変形が生じやすい部位や、その撓み変形に追従して多孔質ユニットを揺動させないと不都合が生じる部位の多孔質ユニットについては揺動機構を付加し、他の部位の多孔質ユニットには揺動機構を付加しないようにする。より具体的には、図８の（ａ）に示すように、ワークＷの外縁部付近における多孔質ユニット（図８において塗りつぶしで示すＵＡ）には揺動機構を付加し、他の部位の多孔質ユニットには揺動機構を付加しない構成が考えられる。又は、図８の（ｂ）に示すように、フォーク１３の先端部（これは、各櫛歯部１４の高低差の影響を最も受ける部位に相当する）における多孔質ユニット（図８において塗りつぶしで示すＵＢ）には揺動機構を付加し、他の部位の多孔質ユニットには揺動機構を付加しない構成が考えられる。
【００５５】
フォーク１３に設けられる全ての多孔質ユニットに揺動機構が付加されるのではなく、必要に応じて揺動機構が付加されるため、ワークＷの受け取りや引き渡しを行う上で所望とする効果を確保し、しかも揺動機構をあらたに付加することに伴うコスト上昇を最小限に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】ワーク移載システムの概略を示す図である。
【図２】フォークの平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】フォークに設けられた多孔質ユニットを拡大して示す断面図である。
【図５】多孔質ユニットの揺動状態を示す断面図である。
【図６】フォークの各櫛歯部に高低差が生じた場合におけるワークの浮上保持状態を示す概略図である。
【図７】フォークの各櫛歯部に高低差が生じた場合におけるワークの吸着保持状態を示す概略図である。
【図８】揺動機構を付加した多孔質ユニットと揺動機構を付加していない多孔質ユニットとの配置例を示す図である。
【図９】従来技術の問題点を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０…移載装置、１３…フォーク、１４…櫛歯部、１６…エア通路、３０…多孔質ユニット、３１…支持体、３４…球体部、３５…エア通路、４１…揺動本体、４４…上側凹部、４８…下側凹部、５１…多孔質体、５１ａ…エア噴出面、５３…流通段部、５４…エア通路、Ｗ…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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