(57)【要約】【課題】  ガラス管に対して相対的に移動する加熱源により前記ガラス管を加熱する工程を含むガラス管の加工プロセスにおいて、厚み、径及び特性の均一なガラス管を得ることができるガラス管の加工方法を提供すること。【解決手段】  ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径およびガラス管表面温度を測定し、各測定点での測定径と設定径との差分、又は各測定点での測定径と前記ガラス管が軟化している部分の近似的形状での外径との差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度を重みとして掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径およびガラス管表面温度を測定し、各測定点での測定径と設定径との差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度で前記測定点のうちの最高温度のガラス粘度を割った値を掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整するガラス管の加工方法。
【請求項２】
ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径を測定し、前記ガラス管が軟化している部分の前記測定点のうちの最高温度の測定点のガラス管外径、前記相対的移動方向の最も後方にある測定点のガラス管外径およびガラス管の目標外径から、ガラスが十分固い位置にあり、かつ前記ガラス管の前記加熱源に対する相対移動方向の最も前方にある測定点のガラス管の外径が前記目標外径に収束するように前記ガラス管が軟化している部分の近似的形状を求め、各測定点ごとに前記近似的形状でのガラス外径と測定径との差分を求め、得られた前記差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度で前記最高温度の測定点のガラス粘度を割った値を掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整するガラス管の加工方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のガラス管の加工方法において、前記ガラス管を加熱しながら、ガラス原料ガスおよび酸化ガスを前記ガラス管内に流し、前記ガラス管内面にガラス層を形成するガラス管の加工方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載のガラス管の加工方法において、前記ガラス管を加熱しながらガラス管の両端が遠ざかるように前記ガラス管の片端または両端を移動させて該ガラス管を延伸するガラス管の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば肉付けＭＣＶＤ法による光ファイバ用母材（プリフォーム）用のガラス管の製造やガラスパイプの延伸等、ガラス管に対して相対的に移動する加熱源により前記ガラス管を加熱する工程を含むガラス管の加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス管の製造方法には、ガラス管に対して相対的に移動する加熱源により前記ガラス管を加熱する工程を含むものがある。
例えば、内付けＣＶＤ法（ＭＣＶＤ法：Ｍｏｄｉｆｉｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）による光ファイバ用ガラス母材などのガラス管の製造は、一般に図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、出発材であるガラス管１を回転させつつ該ガラス管１内にガス供給側（上流側）から排気側（下流側）に向けてガラスの主原料であるＳｉＣｌ4またはＧｅＣｌ4、ＰＯＣｌ3やＢＣｌ3等の添加物及びＯ2等からなるガラス原料含有ガス（原料ガス）２を流しながら、ガラス管１の外側に設けた加熱源（この例では加熱用のバーナ３）とガラス管１とを相対的に移動（トラバース）させて外側から加熱する方法で行われている。以下、説明の簡略化のため、バーナ３を移動させる形で記載する。
【０００３】
バーナ３の移動に従い主原料ガスであるＳｉＣｌ4が酸化されて生成するガラス微粒子（以下、ススと記載することもある）がバーナ３の下流側のガラス管１の内壁に堆積しガラス微粒子層４が形成され、さらにバーナ３が移動して堆積したガラス微粒子が加熱されると透明化してガラス層５が形成される。バーナ３はトラバースターン部６まで移動した後、上流側の初期の位置に戻される。このトラバースを所定の回数繰り返して所望の厚さの堆積ガラス層５を形成させる。
【０００４】
このようなＭＣＶＤ法でガラス管を製造する場合、加熱源の移動に伴いガラス管の長手方向に反応点が移動する。ガラス管内にはガス供給側から原料ガスを供給し、余剰のガスは排気側から排気するようにしているのでガラス管内には圧力勾配、圧力のばらつきが生じている。圧力に変動があるとガスの密度にも変動が生じるため、同じ温度条件でも反応及び堆積状態、ガラス層の性状なども変化し、得られるガラス部材の特性が長手方向で変動するという問題がある。このようにガラス管の製造に当たってはガラス管の外径を安定させることは非常に重要である。
【０００５】
ところで、ＭＣＶＤ法などの中空石英管等のガラス管に対して相対的に移動する加熱源によりガラス管を加熱する工程において、該ガラス管を制御する手段の１つとして、加熱中の前記ガラス管の加熱源の位置におけるガラス管内圧を測定し、この測定値が所定の値となるようにガラス管内圧を制御しながら加熱する方法が提案されている（特許文献１、特許文献２等参照）。
【０００６】
しかしながら、ある範囲をもって加熱されたガラス管では、ガラス管の内圧の調整が加熱された範囲に対して影響を与え、内圧の操作によりある一定の範囲にわたって外径に振動的な変動を起こして径変動が生じる。外径が振動的な変化をするメカニズムとして、図７に示すように、内圧の操作によりある一定の範囲にわたって加熱されたガラスの粘度に応じて外径に変動が生じるため、一点の測定値のみを設定径に合致させるように制御してゆく従来の方法だと測定箇所の前後でガラス管に外径変動が発生し、径変動を増長してしまう。
【０００７】
図６は１点のみを設定径に合致させるように制御していく、一点測定ＰＩＤ制御による従来の方法によりガラス管内圧を制御して加熱しながらガラス管を延伸した場合の、ガラス管外径の時間的な変動（ガラス管長手方向の外径変動）を例示したものであるが、このように１点もしくは２点での測定値のみを所定の径（設定径）に合致させるように制御していく従来の方法だと測定箇所の前後で径変動が発生し、これを増長させるところから均一な肉厚や径のガラス管を製造することが難かしかった。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−９９３４２号公報
【特許文献２】特開平１０−１０１３５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はこのような従来技術の問題点を解決し、ガラス管に対して相対的に移動する加熱源により前記ガラス管を加熱する工程を含むガラス部材の製造プロセスにおいて、均一な厚み、径、特性のガラス部材を得ることができるガラス管の加工方法を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者等は軟化したガラス管外径をその内圧により調整する際に、加熱された部分を含む範囲の複数の位置でのガラス管の実測径と予め設定された設定径との偏差量に、各測定位置に応じてその場所のガラス粘度を重みとして掛け合わせた偏差量の変動に基づいてガラス管の内圧を調整しながら加熱すれば上記課題が解決されることを見いだし、本発明に到った。
本発明は上記課題を解決する手段として次の（１）〜（４）の構成を採るものである。
【００１１】
（１）ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径およびガラス管表面温度を測定し、各測定点での測定径と設定径との差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度で前記測定点のうちの最高温度のガラス粘度を割った値を掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整するガラス管の加工方法。
【００１２】
（２）ガラス管に対して加熱源を前記ガラス管の軸方向に相対的に移動させ、前記加熱源により前記ガラス管の一部を加熱しながら加工するガラス管の加工方法であって、前記加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点でガラス管外径を測定し、前記ガラス管が軟化している部分の前記測定点のうちの最高温度の測定点のガラス管外径、前記相対的移動方向の最も後方にある測定点のガラス管外径およびガラス管の目標外径から、ガラスが十分固い位置にあり、かつ前記ガラス管の前記加熱源に対する相対移動方向の最も前方にある測定点のガラス管の外径が前記目標外径に収束するように前記ガラス管が軟化している部分の近似的形状を求め、各測定点ごとに前記近似的形状でのガラス外径と測定径との差分を求め、得られた前記差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度で前記最高温度の測定点のガラス粘度を割った値を掛け合わせ、得られた値を足し合わせ、その和がゼロとなるように前記ガラス管の内圧を調整するガラス管の加工方法。
【００１３】
（３）前記（１）または（２）に記載のガラス管の加工方法において、前記ガラス管を加熱しながら、ガラス原料ガスおよび酸化ガスを前記ガラス管内に流し、前記ガラス管内面にガラス層を形成するガラス管の加工方法。
（４）前記（１）または（２）に記載のガラス管の加工方法において、前記ガラス管を加熱しながらガラス管の両端が遠ざかるように前記ガラス管の両端をそれぞれ移動させて該ガラス管を延伸するガラス管の加工方法。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ガラス管に対して相対的に移動する加熱源により前記ガラス管を加熱する工程を含むガラスパイプの加工方法において、軟化しているガラス管の実測径と、設定径もしくは近似的形状のガラス管外径との偏差量に、各測定点の温度から求められるガラスの粘度で最高温度の測定点のガラス粘度を割った値を掛け合わせ、この値の変動量に対応させて加熱中のガラス管の内圧を調整することによって、ガラス管の加熱中の外径変動が抑制され、均一な外径及び肉厚のガラス管の製造が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明のガラス管の加工方法は、ガラス管に対して相対的に移動する加熱源によりガラス管を加熱する際に、加熱によりガラス管が軟化している部分の複数の点においてガラス管の外径を測定し、それぞれの点での測定径と予め設定される設定径との差分に、各測定点での温度により求めた粘度を重みとして掛け合わせたものを足し合わせ、これをゼロ（０）とするようにフィードバック制御（例えばＰＩＤ制御）により前記ガラス管の内圧を調整することで、軟化したガラス管の振動的なガラス管外径変動の発生を抑制する加工方法である。ここで、ガラス粘度を重みとして掛け合わせるということは、測定点のガラス粘度で最高温度の測定点のガラス粘度を割った値を掛けるということである。例えば、測定点のガラス粘度をηiとし最高温度の測定点のガラス粘度をηmaxとすると、ηmax／ηiを掛けることになる。ガラス粘度は、温度と粘度との関係式から求めることができる。一般的には、粘度ηはη＝A・ｅｘｐ（Ｅ／ＲＴ）で表すことができる。Ａ及びＲは係数、Ｅはガラスの活性化エネルギーであり、実験的に求めることができる。
【００１６】
更に、別の実施形態としては、加熱により前記ガラス管が軟化している部分を含む範囲の複数の測定点のガラス管外径を測定し、これらの部分の前記測定点のうちの最高温度の測定点のガラス管外径、前記相対的移動方向の最も後方にある測定点のガラス管外径およびガラス管の目標外径から、ガラスが十分固い位置にあり、かつ前記ガラス管の前記加熱源に対する相対移動方向の最も前方にある測定点のガラス管の外径が前記目標外径に収束するように前記ガラス管が軟化している部分の近似的形状を求め、各測定点ごとに前記近似的形状でのガラス外径と測定径との差分を求め、得られた前記差分に、その点の温度から求められるガラスの粘度で最高温度の測定点のガラス粘度を割った値を重みとして掛け合わせたものを足し合わせ、これをゼロ（０）とするようにフィードバック制御（例えばＰＩＤ）を行うことで目標とするガラス管の外径からオーバーシュートを抑制する加工方法である。
【００１７】
測定の間隔および調整の間隔は適宜設定できる。例えば、数十ミリ秒ないし数秒の間の一定の間隔でガラス管外径およびガラス管表面温度を測定する。ガラス管の測定径と設定径との差分またはガラス管の測定外径と近似形状の外径との差分に粘度を重みとして掛け合わせた値の和は測定ごとに計算することができるが、測定間隔が短い場合は、複数回の測定値の移動平均値に基づいて計算することもできる。内圧調整の間隔は、前記測定や前記計算とは独立に設定することができる。例えば測定は数十ミリ秒間隔で行うが内圧調整は数秒間隔で行うことができる。前記測定、前記計算、前記内圧調整の間隔を同じにすることもできる。
【００１８】
以下、本発明のガラス管の加工方法について、ＭＣＶＤ法によりガラス管を製造する場合を例にとって、本発明のガラス管の第１の加工方法について図面を参照して更に具体的に説明する。図１はＭＣＶＤ法によりガラス部材（ガラス管）を製造する場合の本発明の１実施形態を模式的に示す説明図である。図１の例においては、ガラス旋盤１２に両端を把持され、回転する出発材であるガラス管１内に原料ガス２を供給し、加熱源であるバーナ３を原料ガス２の上流側から下流側へ移動させる。なお、加熱源であるバーナ３としては特に制限はなく、電気ヒータや酸水素バーナ等が用いられるが、プラズマトーチを用いるのが特に有効である。本例ではガラス管１をその両端のガラス旋盤で固定しておき、バーナ３を図１の矢印方向（左から右）へ移動させる例を示したが、反対にバーナ３を固定しておいてガラス管１を左右に移動させるようにしてもよく、ガラス管１とバーナ３とを相対的に移動させればよい。バーナ３により加熱されている位置（反応点）では、原料ガス２中のガラス原料が反応してガラス微粒子が生成し、ガラス管１の内壁に堆積したガラス微粒子はさらに加熱されてガラス化してガラス層が形成される。このバーナ３の移動を所定の回数繰り返すことによって任意の厚さのガラス層が形成される。
【００１９】
この方法ではガラス管１の一方（上流側）の端部からガラス原料を含む酸化性ガスが供給され、他方（下流側）の端部から排気される。そのため通常は上流側端部の圧力が下流側端部の圧力よりも高くなり、両端部間には圧力勾配が生じており、バーナ３の位置によって反応条件が異なることになるので、ガラス管１の長手方向で外径が均一にならず、製品性能にばらつきを生じる原因となる。そこで本発明では、バーナ３により加熱されて軟化している部分を含む範囲の複数の点でのガラス管１の外径を実測し、実測されたそれぞれの測定径と予め設定される設定径との差分に、測定位置に応じてガラス管１の粘度を重みとして掛け合わせて得た値がゼロとなるようにガラス管１の内圧を制御する。
【００２０】
さらに具体的には、ガラス管１がバーナ３により加熱されて軟化した部分を含む範囲の複数のガラス管外径測定点をＸi（ｉ＝１〜ｎ）、ガラス管１の設定径（設定外径）をＤとし、（１）Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）の各点おけるガラス管１の外径ｄi（ｉ＝１〜ｎ）をそれぞれ実測する。この際のガラス管１の外径ｄiは、例えば光学式外径測定器、ＣＣＤカメラ等によりほぼ同時刻に実測することができる。（２）このとき同時に前記の外径ｄi（ｉ＝１〜ｎ）が実測されたガラス管１の各外径実測点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）における、該ガラス管１のそれぞれの温度を放射温度計等により測定して、その温度をもとにそれぞれの点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）おけるにおける粘度ηi（ｉ＝１〜ｎ）を算出する。（３）ガラス管１の前記各外径測定点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）において、その点での設定径Ｄiと前記（１）で実測されたガラス管１の外径の各測定径ｄi（ｉ＝１〜ｎ）との差分に、前記（２）で求めたそれぞれの点での粘度ηi（ｉ＝１〜ｎ）で各測定点のうちの最高温度の測定点のガラス粘度ηmaxを割った値ηmax／ηi（ｉ＝１〜ｎ）を重みとして掛け合わせた値を算出し、下記式〔１〕で表されるこれらの総和Ｓ1を演算する。なお、外径の均一なガラス管とするためには、ガラス管外径の測定点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）は１０点以上設ける（ｉが１０以上である）ことが望ましい。
【００２１】
Ｓ1＝（Ｄ1−ｄ1）・（ηmax／η1）＋（Ｄ2−ｄ2）・（ηmax／η2）＋…………
＋（Ｄn−ｄn）・（ηmax／ηn）………………〔１〕
前記（１）〜（３）の操作をほぼ同時に行いながら、その時に得られる前記Ｓ1値が加熱工程中、常にゼロ（０）となるようにガラス管１内の圧力をＰＩＤフィードバック制御しながらガラス管１の加熱を行う。
【００２２】
ガラス管１内の圧力を制御する方法は特に限定されるものではないが、前記の総和Ｓ1の値がゼロ（０）となるように、バルブ１４により流量を調整しながら配管１３から窒素等の加圧用ガス１５を導入することによってガラス管１内の圧力を制御することができる。この総和Ｓ1値がゼロ（０）より大きいとガラス管１の内圧を下げることによりガラス管１の外径は小さくなって、前記の総和はゼロに近づき、反対に前記の総和Ｓ1値がゼロ（０）より小さいとガラス管１の内圧を上げることによりガラス管１の外径が大きくなり前記の総和Ｓ1値がゼロ（０）に近づく。前記の総和Ｓ1値がゼロ（０）のときならガラス管１内の加圧用ガスの量を増減することなくそのままとする。
【００２３】
この例のガラス管の加工プロセスでは、ガラス微粒子がガラス管１の内周に堆積した直後に該ガラス微粒子が加熱源により加熱されて透明なガラスとなるが、ガラス部材製造プロセスとして、一旦ガラス微粒子堆積層が形成された後で該ガラス微粒子堆積層が透明化されてガラス層となる場合もあり、本発明におけるガラス管を加熱して加工する工程はこのガラス微粒子堆積層を形成する工程、及びガラス微粒子堆積層を透明化する工程を含むものである。
【００２４】
図４は前記のようにしてＭＣＶＤ法によりガラス部材（ガラス管）を形状差分フィードバック制御しながら製造したときのガラス管１の外径の時間的な変動（ガラス管１の軸方向での外径変動）を示すグラフである。図４からわかるようにこの方法によれば得られたガラス管の外径変動が大幅に抑制される。
【００２５】
次に本発明の別の実施形態であるガラス管の第２の加工方法について同じく図１をもとに説明する。この第２の加工方法は、（１）ガラス管１がバーナ３により加熱されて軟化した部分を含む範囲の複数の点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）の中で最も温度の高い点をＸmax、加熱源であるバーナ３に対する相対的移動方向の最も前方にある点（加熱源が左から右へ移動する場合であれば右端の点）をＸn、加熱源であるバーナ３に対する相対的移動方向の最も後方にある点（前記Ｘnとは反対側の点）をＸ1としたとき、ガラス管１上のこれらＸ1、ＸmaxおよびＸnの３点におけるガラス管１の外径をそれぞれほぼ同時刻に実測して、これら３点での実測径から、ガラス管１が軟化している部分（点Ｘ1−Ｘn間）のガラス管１のある時刻での近似的形状を求める。（２）次に、複数の点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）おけるガラス管１の外径ｄi（ｉ＝１〜ｎ）をそれぞれ実測する。（３）外径ｄi（ｉ＝１〜ｎ）が実測されたガラス管１の各外径測定点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）におけるそれぞれの温度を測定して、その各温度をもとに該各外径測定点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）におけるガラス管１の粘度ηi（ｉ＝１〜ｎ）を算出する。（４）前記（１）で求めたガラス管１の近似的形状での前記各外径測定点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）のガラス管１の外径Ｄi（ｉ＝１〜ｎ）と、前記（２）で求めた各外径測定点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）のガラス管１の実測外径ｄi（ｉ＝１〜ｎ）との差分に、前記（３）で求めたそれぞれの外径測定点での粘度ηi（ｉ＝１〜ｎ）で前記最も温度の高い点Ｘmaxでの粘度ηmaxを割った値（ηmax／ηi）を重みとして掛け合わせた値を算出し、下記式〔２〕で表される、これらの総和Ｓ2を演算する。
【００２６】
Ｓ2＝（Ｄ1−ｄ1）・（ηmax／η1）＋……＋（Ｄmax−ｄmax）・（ηmax／ηmax）
＋……＋（Ｄn−ｄn）・（ηmax／ηn）………………〔２〕
そしてこのＳ2値がゼロ（０）となるようにガラス管１内の圧力をＰＩＤフィードバック制御しながらガラス管１の加熱を行う。
なお、上記式〔２〕中、Ｄmax、ｄmax及びηmaxはそれぞれ、加熱されて軟化しているガラス管１上の最も温度の高い点Ｘmaxにおける近似的形状でのガラス管１の外径、実測外径及びガラス管１の粘度である。
【００２７】
前記（１）〜（３）の操作を繰り返し行いながら、前記Ｓ2値が加熱工程中、常にゼロ（０）となるようにガラス管１内の圧力をＰＩＤフィードバック制御しながらガラス管１の加熱を行う。なお、本実施例の場合も軟化したガラス管１のガラス管外径の測定点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）は１０点以上設ける（ｉが１０以上である）ことが望ましい。
【００２８】
図５は前記のようにしてＭＣＶＤ法によりガラス部材（ガラス管）を前記の設定値操作型形状差分フィードバック制御によって第２の加工方法でガラス管を製造したときの、ガラス管１の時間的な外径変動（ガラス管１の軸方向での外径変動）を例示するグラフである。図５からわかるように、この方法によれば前記第１の形態の加工方法による場合に比べて得られたガラス管の外径変動をさらに抑制することができる。
【００２９】
本発明の方法はガラス管を加熱炉内で加熱し、延伸する工程にも有効に適用できる。例えば図２において、ガラス管１０内には不活性ガス９が図の上から下へ流される。軸に平行に上下方向（矢印方向）に移動するガラス管１０の縮径部１１は、ヒータ８により加熱され軟化している。この軟化した部分の複数の点Ｘi（ｉ＝１〜ｎ）おけるガラス管１０の外径ｄi（ｉ＝１〜ｎ）及び、前記の各点における軟化したガラス管の温度から前記各点における粘度ηi（ｉ＝１〜ｎ）を求め、前記の〔１〕式に従ってＳ1値を演算して、この演算値（Ｓ1）がゼロ（０）となるように図におけるガラス管１０の上から流入させる不活性ガス９またはガラス管から排気する不活性ガス９の流量を調整することによって、ガラス管１０の入り口側の圧力Ｐ１及び出口側の圧力Ｐ２を調節しながらヒーター８により加熱して延伸する。これにより縮径部１１内の圧力が変化して、軟化したガラス１０が管の外側に膨れたり、内側に凹むのを抑制することができる。つまり、縮径部１１内の圧力を所定の圧力に制御することにより延伸によるガラス管１０の外径変動を抑えることができる。なお、ガラス管１０を加熱しながら延伸する場合、該ガラス管の両端が遠ざかるようにガラス管１０の両端をそれぞれ移動させて該ガラス管を延伸する。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明のガラス管の加工方法は、ある範囲をもって熱変形を起こすようなプロセスが含まれる、前記のＭＣＶＤ法によるプリフォームの製造やガラス管の延伸、プリフォームの延伸など、ガラス管の外径や肉厚の変動をできるだけ少なくして軸方向に対して均一な特性が要求されるガラス部材の製造に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の１実施形態を示す説明図。
【図２】本発明の他の実施形態である、ガラス管の延伸工程の１例を示す説明図。
【図３】ＭＣＶＤ法によるガラス管の製造工程におけるススとガラス層の形成状態を示す説明図（従来例）。
【図４】本発明の１実施形態により得られたガラス管の外径変動を例示するグラフ。
【図５】本発明別の実施態様により得られたガラス管の外径変動を例示するグラフ。
【図６】ＭＣＶＤ法による従来のガラス管の製造工程により得られたガラス管の外径変動を例示するグラフ（従来例）。
【図７】ガラスパイプを加熱したときのパイプの外径変動のしくみを表わす説明図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  ガラス管
２  原料ガス
３  バーナ
４  ガラス微粒子層
５  ガラス層
６  トラバースターン部
７  加熱炉
８  ヒータ
９  不活性ガス
１０  ガラス管
１１  縮径部
１２  ガラス旋盤
１３  配管
１４  バルブ
１５  不活性ガス
１６  上流側圧力測定点
１７  下流側圧力測定点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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