(57)【要約】【課題】位置合わせマークの視認性低下要因となる配向膜の塵芥の発生を防止することができる液晶表示パネルの製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の液晶表示パネルの製造方法は、位置合わせマークが配置される２つの基板１、２に透明電極４および面内ギャップ均一化のための貼合補助部材６を形成する第１工程と、透明電極４および貼合補助部材６に絶縁膜５を形成する第２工程と、絶縁膜５に配向膜７を形成しラビングする第３工程とを含む。これによって、絶縁膜５が透明電極４および貼合補助部材６と配向膜７との密着性を高め、配向膜７の部分剥離を防止する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの基板の貼り合わせに用いられる位置合わせマークが配置される前記２つの基板上に透明電極をそれぞれ形成するとともに、前記透明電極の厚さ方向と同一方向に延出する貼合補助部材を前記透明電極の形成面上の周縁部に形成する第１工程と、
前記透明電極および前記貼合補助部材の表面上に絶縁膜を形成する第２工程と、
前記絶縁膜の表面上に配向膜を形成した後に前記配向膜の表面をラビングする第３工程と
を含むことを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記絶縁膜は、絶縁膜前駆体溶液を前記透明電極および前記貼合補助部材に塗布した後に焼成することにより形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記絶縁膜は、酸化ケイ素である
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルの製造方法に係り、特に、配向膜を有するアレイ基板およびカラーフィルタ基板を貼り合わせてなる液晶表示パネルを製造するのに好適に用いられる液晶表示パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶表示パネルは、アレイ基板およびカラーフィルタ基板の一方の表面上に形成された透明電極を対向させるように重ね合わせて得た２つの基板をパネル単位ごとに分断した後に分断された各パネル（２つの基板）の隙間に液晶を封入することにより製造されている。ここで、注入させた液晶分子の配向性を決めるため、対向する透明電極の表面上には所定の方向に配列された配向溝を有する配向膜が形成されている。
【０００３】
図３および図４は、従来の液晶表示パネルの製造方法をそれぞれ説明している。図３および図４に示すように、従来の液晶表示パネルの製造方法においては、アレイ基板１０１およびカラーフィルタ基板１０２の透明電極１０４の表面上に配向膜１０７を形成した後にその配向膜１０７の表面をラビングして配向溝を形成する配向膜形成処理工程の前工程として、アレイ基板１０１およびカラーフィルタ基板１０２を重ね合わせる際に基準となる位置合わせマーク１０３をアレイ基板１０１およびカラーフィルタ基板１０２の四隅のうちの対向する二隅に形成する工程と、アレイ基板１０１およびカラーフィルタ基板１０２の表面上に透明電極１０４をそれぞれ形成する工程と、透明電極１０４の形成面上の周縁部１０１ａ、１０２ａに貼合補助部材１０６を形成する工程とを備えていた。
【０００４】
ここで、貼合補助部材１０６とは、図４に示すように、シール材１０９を介してアレイ基板１０１およびカラーフィルタ基板１０２を重ね合わせる工程において、貼合装置１１０の上定盤１１１および下定盤１１２から印加される貼合圧力によりアレイ基板１０１およびカラーフィルタ基板１０２の周縁部１０１ａ、１０２ａがその内側に湾曲することがないように面内ギャップの均一化を図るため、アレイ基板１０１およびカラーフィルタ基板１０２の周縁部１０１ａ、１０２ａに内在するように延出して形成される部材（いわゆるダミー電極）である。この貼合補助部材１０６としては、透明電極１０４の形成と同一工程内において貼合補助部材１０６を形成することにより作業効率を向上させるため、透明電極１０４と同様、スパッタリング法により形成されたＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜が用いられていた（特許文献１を参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１６４７３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ＩＴＯ膜によって形成された貼合補助部材１０６はラビングする際に使用されるラビング布に対して攻撃性が強いことから、透明電極１０４の表面上に形成された配向膜１０７のラビングと同時にラビングされてしまう貼合補助部材１０６によってラビング布が偏摩耗を起こし、透明電極１０４の表面上に形成された配向膜１０７にラビングすじが発生する原因となってしまうという問題があった。
【０００７】
また、ラビング布の偏摩耗を解消するために貼合補助部材１０６の表面上に攻撃性が少ない配向膜１０７を形成したとしても、スパッタリング法により形成された貼合補助部材１０６と配向膜１０７との密着性が悪いことから、貼合補助部材１０６の表面上に形成された配向膜１０７はラビングによって部分剥離してしまう。すると、図５に示すように、部分剥離して生じた配向膜１０７の塵芥１０８がその周辺に形成された位置合わせマーク１０３の表面に付着してしまうことから、図４に示すように、貼合装置１１０に併設された位置合わせマーク検出カメラ１１３は配向膜１０７の塵芥１０８が付着した位置合わせマーク１０３を視認することができなかったり、誤認してしまったりするので、基板の貼り合わせ工程を適切に行なうことができないという問題があった。
【０００８】
そして、配向膜１０７の塵芥１０８が位置合わせマーク１０３の表面に付着した場合、基板ごとに位置合わせマーク１０３の清掃作業を行わなければならず、基板の貼り合せ工程の作業効率を低下させる要因となっていた。
【０００９】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、位置合わせマークの視認性低下要因となる配向膜の塵芥の発生を防止することができる液晶表示パネルの製造方法を提供することをその目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述した目的を達成するため、本発明の液晶表示パネルの製造方法は、その第１の態様として、２つの基板の貼り合わせに用いられる位置合わせマークが配置される２つの基板上に透明電極をそれぞれ形成するとともに、透明電極の厚さ方向と同一方向に延出する貼合補助部材を透明電極の形成面上の周縁部に形成する第１工程と、透明電極および貼合補助部材の表面上に絶縁膜を形成する第２工程と、絶縁膜の表面上に配向膜を形成した後に配向膜の表面をラビングする第３工程とを含んでいることを特徴としている。
【００１１】
本発明の第２の態様は、第１の態様の液晶表示パネルの製造方法において、絶縁膜が絶縁膜前駆体溶液を透明電極および貼合補助部材に塗布した後に焼成することにより形成されていることを特徴としている。
【００１２】
本発明の第３の態様は、第１または第２の態様の液晶表示パネルの製造方法において、絶縁膜が酸化ケイ素であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の第１の態様によって、透明電極および貼合補助部材の表面上に形成された絶縁膜が配向膜の下地となって透明電極および貼合補助部材と配向膜との密着性を高めるので、第３工程（配向膜形成処理工程）においてラビングする際に配向膜の部分剥離を防止することができる。その結果、配向膜の塵芥によって位置合わせマークが汚れることを防止し、位置合わせマークの視認性が向上することから、２つの基板の貼合作業効率を向上させることができるという効果を奏する。
【００１４】
本発明の第２の態様によって、印刷塗布焼成法により形成される絶縁膜の表面の凹凸はスパッタ法や蒸着法により形成される絶縁膜の表面の凹凸よりも粗くなりやすいので、配向膜との密着性を高めることができるという効果を奏する。
【００１５】
本発明の第３の態様によって、絶縁膜の電気絶縁性および誘電特性を高めることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図１を用いて、本発明の液晶表示パネルの製造方法の一実施形態を説明する。ここで、図１は、基板の貼合工程におけるアレイ基板およびカラーフィルタ基板を示している。
【００１７】
本実施形態の液晶表示パネルの製造方法は、第１工程としての透明電極形成工程と、第２工程としての絶縁膜形成工程と、第３工程としての配向膜形成処理工程と、基板の貼合工程とを有している。
【００１８】
透明電極形成工程（第１工程）においては、図１に示すように、２つの基板となる液晶表示パネル用アレイ基板１およびカラーフィルタ基板２の内側面（液晶対向面）上にそれぞれ複数の透明電極４を形成する。なお、図１において、透明電極４は模式的に一体化して示されているが、本来は複数の帯状（ストライプ状）の透明電極が形成されている。たとえば、アレイ基板１に形成されている透明電極は紙面に直交する方向に配列され、カラーフィルタ基板２に形成されている透明電極は図１の左右方向に配列されている。また、矩形状に形成されたアレイ基板１およびカラーフィルタ基板２の周縁部１ａ、２ａとなる各４辺には、透明電極４の高さと同等の高さを有して透明電極４の高さ方向と同一方向に延出する線状の貼合補助部材６を形成する（図３の貼合補助部材１０６を参照）。ここで、透明電極４としては、可視光の透過率および導電性を向上させるため、スパッタリング法により形成されたＩＴＯ膜であることが好ましく、また貼合補助部材６としては、製造工程数を少なくするため、透明電極４の形成と同一工程内において形成することができるスパッタリング法により形成されたＩＴＯ膜であることが好ましい。なお、貼合補助部材６は、アレイ基板１およびカラーフィルタ基板２の対向する２隅に配置される位置合わせマーク３（アライメントマークともいう）と厚さ方向において重ならない位置に形成されている（図３の位置合わせマーク１０３を参照）。また、位置合わせマーク３をＩＴＯ膜で形成することで、製造工程数をさらに少なくすることができる。
【００１９】
絶縁膜形成工程（第２工程）においては、図１に示すように、透明電極４および貼合補助部材６の表面上に絶縁膜５を形成する。この絶縁膜５は、Ｓｉ系アルコキシドもしくはＴｉ系アルコキシドなどの金属アルコキシドを出発材料として加水分解反応および重縮合反応させて流動性を保った状態（ゾル）の前駆体溶液を生成し、その前駆体溶液を透明電極４および貼合補助部材６の表面上に塗布した後、焼成して前駆体溶液の流動性を失った状態（ゲル）にすることにより形成されていることが絶縁膜５の表面粗さの観点から好ましい。特に、絶縁膜５としては、絶縁膜５の電気絶縁性および誘電特性を高めることができるので、ＳｉＯ２等の酸化ケイ素であることが好ましい。
【００２０】
配向膜形成処理工程（第３工程）においては、図１に示すように、透明電極４および貼合補助部材６の表面上に形成された絶縁膜５上にポリイミド樹脂層を形成して熱硬化させることにより、配向処理前の配向膜７を形成する。その後、配向処理装置のラビングロールを回転させて配向処理前の配向膜７の表面をラビングすることにより（図示せず）、特定の方向に配列した配向溝を形成する。
【００２１】
基板の貼合工程においては、図１に示すように、透明電極４、貼合補助部材６、絶縁膜５および配向膜７が形成されたアレイ基板１およびカラーフィルタ基板２の所定の場所にエポキシ樹脂系シール材９を塗布して仮焼成し、アレイ基板１もしくはカラーフィルタ基板２にセルギャップ調整用スペーサを散布した後、アレイ基板１およびカラーフィルタ基板２の透明電極４を対向させ、位置合わせマーク３を用いて貼合装置１０の位置合わせマーク検出カメラ１３による光学的整合を行いながら、上定盤１１および下定盤１２を用いてアレイ基板１およびカラーフィルタ基板２を貼り合わせ、シール材９を熱硬化させて固定する。基板の貼合工程の終了後、貼り合わせられたアレイ基板１およびカラーフィルタ基板２を液晶表示パネルのパネル単位ごとに分断することにより液晶表示パネルの製造工程が終了する。
【００２２】
次に、図１および図２を用いて、本実施形態の液晶表示パネルの製造方法の作用および効果を説明する。ここで、図２は、本実施形態の液晶表示パネルの製造方法によって得た位置合わせマークの汚れ状態を示している。
【００２３】
透明電極形成工程（第１工程）においては、図１に示すように、位置合わせマーク３が形成されたアレイ基板１およびカラーフィルタ基板２上に透明電極４が形成され、その透明電極４の形成面と同一平面上の周縁部１ａ、２ａに貼合補助部材６が形成されている。この貼合補助部材６の高さを調整することにより、アレイ基板１およびカラーフィルタ基板２における面内ギャップの均一化を図ることができるので、アレイ基板１およびカラーフィルタ基板２を貼り合わせる際にアレイ基板１およびカラーフィルタ基板２の周縁部１ａ、２ａが内側に湾曲することを防止することができる。
【００２４】
絶縁膜形成工程（第２工程）においては、透明電極４および貼合補助部材６の表面上に絶縁膜５が配向膜７の下地となって形成される。この絶縁膜５の表面粗さは、スパッタリング法により表面が滑らかに形成された透明電極４および貼合補助部材６の表面粗さよりも粗いので、透明電極４および貼合補助部材６と配向膜７との密着性を高めることができる。特に、印刷塗布焼成法（アルコキシド・ゾル−ゲル法）により形成された絶縁膜５においては、その表面に凹凸が形成されやすいので、透明電極４および貼合補助部材６と配向膜７との密着性をより一層高めることができる。
【００２５】
配向膜形成処理工程（第３工程）においては、密着性を高めて配向膜７を形成し、その表面上にラビングを行っている。そのため、配向膜７が部分剥離を起こすことがなく、図２に示すように、位置合わせマーク３が配向膜７の塵芥（図５の塵芥１０８を参照）により汚れることを防止することができる。もちろん、配向膜７の部分剥離がなくなることにより、その塵芥がラビングロールに付着することもなくなるので、配向膜７にラビングすじを発生させることもない。
【００２６】
そして、基板の貼合工程においては、図２に示すように、前工程によって位置合わせマーク３の視認性が向上したアレイ基板１およびカラーフィルタ基板２を所定の手順により図１に示すように貼り合わせているので、位置合わせマーク検出カメラ１３が視認不能となって手作業で位置合わせを行ったり、位置合わせマーク検出カメラ１３が誤認して貼り合わせ位置がずれたりすることなく、所定の位置にアレイ基板１およびカラーフィルタ基板２を貼り合わせることができる。また、位置合わせマーク３が汚れていないので、基板の貼り合わせ工程の際に位置合わせマーク３の清掃を行うことも一切なく、貼り合わせの作業効率を向上させることができる。
【００２７】
すなわち、本実施形態の液晶表示パネルの製造方法によって、位置合わせマーク３が配向膜７の塵芥により汚れることを防止し、位置合わせマーク３の視認性が向上するので、アレイ基板１およびカラーフィルタ基板２の貼合作業効率を向上させることができるという効果を奏する。
【００２８】
なお、本発明は、前述した実施形態などに限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【実施例】
【００２９】
以下、表１を用いて、本発明の液晶表示パネルの製造方法の一実施例を説明する。
【００３０】
ここで、本実施例の液晶表示パネルにおいては、透明電極および貼合補助部材として、スパッタリング法により形成されたＩＴＯ膜が用いられている。また、絶縁膜として、印刷塗布焼成法により形成されたＳｉＯ２が用いられている。そして、配向膜として、ポリイミド樹脂が用いられている。なお、本実施例の液晶表示パネルは、前述した本実施形態の液晶表示パネルの製造方法に基づいて製造されており、特に言及しない工程においては従来より行われている製造工程に基づいて製造されている。
【００３１】
表１は、絶縁膜の形成の有無により変化する位置合わせマークが汚れた液晶表示パネルの発生数および発生率を示している。
【００３２】
【表１】
2007178802.tif 000003
【００３３】
表１に示すように、透明電極および貼合補助部材と配向膜との間に絶縁膜が形成されていない液晶表示パネル（表１左列の「絶縁膜形成前」）においては、１８４４２６個を月産したなかで位置合わせマークが汚れた液晶表示パネルの発生数（表１の「マーク汚れ発生数」）は４１１個となっている。これは、０．２２３％の確率で位置合わせマークが汚れた液晶表示パネルが発生していることになる。
【００３４】
それに対して、透明電極および貼合補助部材と配向膜との間に絶縁膜が形成された液晶表示パネル（表１右列の「絶縁膜形成後」）においては、９０２４９個を月産したなかで位置合わせマークが汚れた液晶表示パネルの発生数はわずか１個である。これは、０．００１％の確率で位置合わせマークが汚れた液晶表示パネルが発生していることになるが、このレベルになると位置合わせマークが汚れた液晶表示パネルがほとんど発生しないと言っても過言ではない。
【００３５】
すなわち、本実施例の液晶表示パネルの製造方法によって、位置合わせマークが汚れた液晶表示パネルの発生がほとんどなくなり、位置合わせマークの清掃をすることがほぼなくなることから、アレイ基板およびカラーフィルタ基板の貼合作業効率を向上させることができるという作用を生じる。
【００３６】
なお、本発明は、前述した実施例などに限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の液晶表示パネルの製造方法の一実施形態におけるアレイ基板およびカラーフィルタ基板の貼り合わせ工程を示す断面図
【図２】本実施形態の液晶表示パネルの製造方法によって得た位置合わせマークの汚れ状態を示す正面図
【図３】従来の液晶表示パネルの製造方法によって形成された透明電極、貼合補助部材および位置合わせマークを有する基板を示す正面図
【図４】従来の液晶表示パネルの製造方法におけるアレイ基板およびカラーフィルタ基板の貼り合わせ工程を示す断面図（図３のＡ−Ａ断面図）
【図５】従来の液晶表示パネルの製造方法によって得た位置合わせマークの汚れ状態を示す正面図
【符号の説明】
【００３８】
１  アレイ基板
１ａ  アレイ基板の周縁部
２  カラーフィルタ基板
２ａ  カラーフィルタ基板の周縁部
３  位置合わせマーク
４  透明電極
５  絶縁膜
６  貼合補助部材
７  配向膜
９  シール材
１０  貼合装置
１１  上定盤
１２  下定盤
１３  位置合わせマーク検出カメラ
１０８  配向膜の塵芥
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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