(57)【要約】【課題】ワークステージが大型化しても、移動機構に無理な負荷がかかることなく、スムーズに動作するＺ方向の移動機構を備えたステージ装置を提供すること。【解決手段】ボールねじ２ｂ，２ｃは、下端の台座５ａ〜５ｃの回りに揺動可能に取り付けられ、ボールねじ２ａはステージベース１０上に固定される。モータ６ａ〜６ｃによりボールねじ２ａ〜２ｃが回転すると、移動体４ａ〜４ｃはボールねじ２ａ〜２ｃに沿って移動し、球面軸受けを介して移動体４ａ〜４ｃに取り付けられたプレート１がＺ軸方向（高さ方向）に移動し位置決めされる。プレート上には、ワークを保持するワークステージが設けられる。また、回転方向規制部７がボールねじ２ｃに取り付けられ、ボールねじ２ａの傾き量を制限する。さらに、プレート１がＺ軸方向に位置決めされた後、プレート１が移動しないようにするためボールねじ位置規制部８が設けられる。【選択図】          図１
2007178586.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを保持するワークステージをＺ軸方向（高さ方向）に移動させるステージ移動機構を備えたステージ装置であって、
上記ステージ移動機構は、Ｚ軸方向に沿って設けられ、少なくとも２本がー点を軸として揺動可能な状態でステージベースに配設された３本のボールねじと、
上記３本の各ボールねじに対して傾き可能に取り付けられ、上記ワークステージをＺ軸方向に移動させるプレートと、
上記ボールねじの、ステージベースに対する移動を規制するボールねじ位置規制手段とを有する
ことを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
ワークを保持するワークステージをＺ軸方向（高さ方向）に移動させるステージ移動機構を備えたステージ装置であって、
上記ステージ移動機構は、Ｚ軸方向に沿って設けられ、少なくとも２本が一点を軸として揺動可能な状態でステージベースに配設された３本のボールねじと、
上記３本の各ボールねじに対して傾き可能に取り付けられ、上記ワークステージをＺ軸方向に移動させるプレートと、
上記プレートの裏面に、そのステージ面に対して平行に配設された平行板ばねと、
上記平行板ばねを介して上記プレートに取り付けられた駆動ステージと、
上記駆動ステージの、ステージベースに対する移動を規制する駆動ステージ位置規制手段とを有する
ことを特徴とするステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクパターンをワークに転写する露光装置やパターンを形成したマスクを介して光を照射する液晶パネルなどの貼り合わせ装置等に使用されるステージ装置に関し、さら詳細には、ワークを載置するステージを、ステージ面に対して垂直方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ方向移動機構を備えたステージ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１１に、露光光を、パターンが形成されたマスクを介して、感光剤が塗布されたワークに照射し、マスクのパターンをワークに転写する露光装置や、液晶パネルの貼り合せ工程において、遮光部が形成されたマスクを介して、接着剤が塗布された領域のみに紫外線を照射し、接着剤を硬化させて２枚のパネルを貼り合せる貼り合せ装置を示す。以下、上記のような露光や光による接着剤の硬化等の処理を光処理と呼ぶ。
光照射部３０は、光源（ランプ）３２と、ランプ３２からの光を反射するミラー３１を有し、光処理に必要な波長の光を出射する。
パターンが形成されたマスクＭはマスクステージ４０に保持され、光処理されるワークＷはワークステージ２０に保持される。
ワークステージ２０は、ワークＷを保持するワーク吸着プレート２１、ワーク吸着プレート２１をＸＹθ方向（ワーク吸着プレートの平面内の直交する２方向およびその平面に直交する軸の回りの回転・図中左右手前奥方向および光軸の回りの回転）に移動させるＸＹθ移動機構２２、マスクＭとワークＷの間隔を所望の値に設定するギャップ設定機構２３、ワーク吸着プレート２１をＺ軸方向（ワーク吸着プレートの面に対して直交する方向・図中上下方向）に移動させるＺ移動機構２４とから構成される。
ワーク吸着プレート２１は、表面にワークＷを吸着する真空吸着溝（図示せず）が形成されている。
【０００３】
マスクとワークを近接させて露光を行なうプロキシミティ露光や、液晶パネルの貼り合せの場合、マスクとワークの間隔（ギャップＧ）は、通常０〜１０μｍの範囲に設定され、ワーク吸着プレートのＺ移動機構に要求される位置精度は±１〜１０μｍである。
また、マスクとワークの位置合せのために、ＸＹθ（平面）方向に対して要求される位置精度は、約±１μｍである。
一方、ワーク吸着プレートへのワークの搬送や、光処理後のワークの搬出、また装置のメンテナンス等を考えると、ギャップＧは５０ｍｍ程度あけられることが必要である。
したがって、ワークステージのＺ移動機構は、５０ｍｍ程度の移動距離と、Ｚ方向に対しては±１〜１０μｍの移動精度と、ＸＹθ方向に対しては±１μｍ程度の位置決め精度が必要である。
上記ワークステージのＺ移動機構としては、例えば、特許文献１あるいは特許文献２に記載されるものが知られている。特許文献１、２に記載されるものは、斜面を有する楔状のステージが左右に移動することにより、ワーク吸着プレートを上下方向に移動させるようにしたものである。
【特許文献１】特開平７−３７７９４号公報
【特許文献２】特開平９−８６８８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１，２に記載されるＺ移動機構は、ワークステージを上下方向に精度よく移動させることができるが、部品点数が多く構造が複雑であり、組み立てなどに時間がかかり、製造コストが高くなる。また、上下方向の移動距離が比較的小さく、ワークステージのＺ軸方向の移動距離が大きい場合には、適用するのが難しい。
一方、ボールねじを用いてステージをＺ方向に移動させるＺ移動機構も知られている。図１２に、ボールねじを用いたＺ移動機構の構成例を示す。
ステージベース５０上にボールねじ２４ａを高さ（Ｚ軸方向）方向に沿って設け、ボールねじ２４ａの移動体（ナット）２４ｂにプレート２４ｃを取り付ける。そして、図示しないモータなどによりボールねじ２４ａを駆動し、プレート２４ｃを上下（Ｚ）方向に移動させる。
上記プレート２４ｃ上には、図１１に示したように、ＸＹθ移動機構、ギャップ設定機構を介してワーク吸着プレート等が設けられ、ワークステージが構成される。
図１２に示したものは、部品点数が少なく構造も単純であり、また、Ｚ軸方向の移動ストロークも充分に確保することができる。
【０００５】
しかし、大型化している液晶パネルやプリント基板等の貼り合わせ露光等に使用される装置では、ワークステージも大型化している。ワークステージが大型化すると、プレート２４ｃ上に載せられるワークステージを構成する部材の重量も増加する。図１２に示す構造ではプレート２４ｃを片持ちで支持しているので、プレート２４ｃ上の重量が増加すると、バランスが悪くなり、Ｚ方向の位置決め精度が低下する。
また、プレート２４ｃを含むワークステージの自重により、ボールねじ２４ａに対して図１２に示すようにモーメント力がかかる。ボールねじ２４ａにモーメント力がかかると、スムーズな動作ができなくなり故障の原因になる。
【０００６】
そこで、プレート２４ｃのバランスを良くし、Ｚ方向の位置決め精度を上げるため、片持ちではなく、例えば３本のボールねじを用いてプレート２４ｃを３箇所で支持するとともに、３本のボールねじを同期させて駆動し、プレート２４ｃを上下動させることも考えられる。
この場合、３本のボールねじは互いに平行になるように配置しなければならず、ボールねじが平行でないと、プレート２４ｃが移動する時、ボールねじにラジアル方向（ボールねじの送り方向に対して直交方向）に負荷がかかり故障の原因となる。また、平行度が著しくずれている場合は、プレート２４ｃが移動できなくなる。
しかし、３本のボールねじが互いに平行になるように組み立てることは非常に困難であり、装置が大型になればなるほど、一層困難となる。
【０００７】
以上のように、ボールねじを用いたＺ方向の移動機構は部品点数が少なく構造も比較的単純であるが、大型のワークが載置されるステージ装置に適用する場合には、位置決め精度の低下や、移動機構に無理な負荷がかかり故障しやすい等の種々の問題が生じる。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、構造が比較的単純で、数十ｍｍの移動距離を有するとともに、数μｍの位置精度が実現でき、また、載置するワークが大型化し、それに伴ってワークステージが大型化しても、移動機構に無理な負荷がかかることなく、スムーズに動作するＺ方向の移動機構を備えたステージ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明においては、上記課題を次のように解決する。
（１）ワークを保持するワークステージを、ステージ面に直交する方向であるＺ軸方向（高さ方向）に移動させるステージ移動機構を備えたステージ装置において、該ステージ移動機構に、Ｚ軸方向に沿って設けられ、少なくとも２本が一点を軸として揺動可能な状態でステージベースに配設された３本のボールねじと、上記３本の各ボールねじに対して傾き可能に取り付けられ、上記ワークステージをＺ軸方向に移動させるプレートと、ステージベースに対する上記ボールねじの移動を規制するボールねじ位置規制手段とを設ける。
（２）ワークを保持するワークステージを、ステージ面に直交する方向であるＺ軸方向（高さ方向）に移動させるステージ移動機構を備えたステージ装置において、該ステージ移動機構に、Ｚ軸方向に沿って設けられ、少なくとも２本が一点を軸として揺動可能な状態でステージベースに配設された３本のボールねじと、上記３本の各ボールねじに対して傾き可能に取り付けられ、上記ワークステージをＺ軸方向に移動させるプレートと、上記プレートの裏面に、そのステージ面に対して平行に配設された平行板ばねと、該平行板ばねを介して上記プレートに取り付けられた駆動ステージと、ステージベースに対する駆動ステージの移動を規制する駆動ステージ位置規制手段とを設ける。
【発明の効果】
【０００９】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）３本のボールねじの内の少なくとも２本が揺動可能であるので、プレートがＺ方向に移動する際に、ボールねじが傾むくことによりボールねじにラジアル方向の負荷がかかることがなく、また、プレートはボールねじに対して傾き可能に取り付けられているので、ボールねじが傾いても、ボールねじやプレートや、それらを連結する部材を撓ませるような力は働かない。
このため、ボールねじやプレート、あるいは、これらの間にある部材に、無理な負荷がかかることなく、ボールねじをスムーズに駆動することができる。また、無理な負荷が掛かることがないので、故障などの発生を抑制することができる。
また、ボールねじの移動を制限するボールねじ位置規制手段を設けることにより、ボールねじが揺動可能に取り付けられていても、マスクとワークの位置合わせや光処理中にＺ軸に直交する方向へのプレートの移動を規制することができる。
（２）プレートの裏面に、そのプレート面に対して平行に平行板ばねを取り付け、該平行板ばねを介して駆動ステージを取り付けるとともに、該駆動ステージの移動を制限する駆動ステージ位置規制手段を設けることにより、駆動ステージを介してプレートがマスクとワークの位置合わせや光処理中にＺ軸に直交する方向へ移動するのを規制することができる。
また、駆動ステージとプレートは、平行板ばねを介して取り付けられているので、駆動ステージの移動が規制されていても、ボールねじを駆動することで、プレートをＺ方向に多少移動させ、ＸＹθ方向に移動することなく微小な位置合わせを行なうことが可能となる。
（３）３本のボールねじが厳密に平行になるように組み立てる必要がないので、装置の組立・調整が容易である。
また、ボールねじを平行に保つために、ステージベースやボールねじを支持する部材等を高い剛性の部材で構成する必要がない。このため、装置の大きさ、重量等を低減化することができ、これに伴い装置のコストを抑えることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１、図２は本発明の第１の実施例のステージ移動機構の構成を示す図であり、図１は斜視図、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。
なお、図１、図２では、前記図１１に示したワーク吸着プレート、ＸＹθ移動機構、ギャップ設定機構等は省略されており、図１、図２に示すプレート１の上に、上記ワーク吸着プレートや各機構が設けられる。以下、プレート１およびプレート１上設けられるワーク吸着プレート、ＸＹθ移動機構等をまとめて、ここではワークステージと呼ぶ。
図１、図２において、５０ｍｍ程度のストロークを有する３本のボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが、その送りねじの送り方向がＺ軸方向（高さ方向）に沿うように、ワークステージが設けられる光処理装置の基台であるステージベース１０上に設けられる。なお、図２ではボールねじ２ｂ，２ｃのみが示されている。
３本のボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃは、両端が支持フレーム３ａ，３ｂ，３ｃにより回転可能に支持され、３本のボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃの下端側はモータ６ａ，６ｂ，６ｃの回転軸に連結されている。また、モータ６ａ，６ｂ，６ｃは上記支持フレーム３ａ，３ｂ，３ｃに取り付けられている。以下、上記ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃ、支持フレーム３ａ，３ｂ，３ｃ、モータ６ａ，６ｂ，６ｃから構成される機構をボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃと呼ぶ。
【００１１】
３本のボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃには移動体（ナット）４ａ，４ｂ，４ｃが螺合し、移動体４ａ，４ｂ，４ｃには、Ｚ軸方向に移動するプレート１が取り付けられている。
モータ６ａ，６ｂ，６ｃを駆動することによりボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが回転し、上記移動体４ａ，４ｂ，４ｃはボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃに沿って移動する。モータ６ａ，６ｂ，６ｃを同期させて駆動することにより、３個の移動体４ａ，４ｂ，４ｃが同じ距離だけ移動し、プレート１のＺ方向の位置決めをすることができる。
なお、移動体４ａ，４ｂ，４ｃに対してプレート１は傾き可能に取り付けられているが、その取り付け部分の構造については後述する。
【００１２】
ここで、３本のボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃは互いに平行になるように配置しなければならない。３本のボールねじが平行でない場合、プレート１が移動する時、ボールねじにラジアル方向（ボールねじの送り方向に対して直交方向）に負荷がかかり故障の原因となる。また、平行度が著しくずれている場合は、プレート１が移動できなくなる。しかし、３本のボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが互いに平行になるように組み立てることは非常に困難である。
そこで、本実施例では、３本のボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃのうちの２本のボールねじ機構９ｂ，９ｃを、例えば図１の拡大図Ｂに示すような、ボールねじ機構を揺動可能に支持する台座５ｂ，５ｃを介してステージベース１０に取り付ける。
台座５ｂ，５ｃは、上記拡大図Ｂ、図２に示すようにボール（球）５０１を２枚の板５０２で挟んだ構造をしており、この台座５ｂ，５ｃの上に載せられたボールねじ機構９ｂ，９ｃはステージベース１０に対し、台座５ｂ，５ｃのボール５０１の部分を頂点として傾き可能に支持される。
なお、ボールねじ機構９ａは、ステージベース１０上に固定され、ボールねじ機構９ｂ，９ｃのように揺動しない。
【００１３】
３本のボールねじが取り付けられたモータ６ａ，６ｂ，６ｃは、サーボモータであり、制御部１１に接続されている。また、３本のボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃを駆動する各モータ６ａ，６ｂ，６ｃには、制御部１１に設けられたパルスジェネレータから同期したパルスが分配され、モータ６ａ，６ｂ，６ｃは同期性を保って移動する。
制御部１１は、設定されたＺ方向の移動距離に相当するだけモータ６ａ，６ｂ，６ｃを回転させる。モータ６ａ，６ｂ，６ｃにはエンコーダ（図示せず）が取り付けられており、モータ６ａ，６ｂ，６ｃの回転数は上記エンコーダから制御部１１に入力され、フィードバック制御される。
【００１４】
本実施例では、３本のボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃの内、固定されているボールねじ機構は１本であり、その他のボールねじ機構は揺動可能に支持されている。このため、ボールねじ２ｂ，２ｃを傾ける方向の力が働くと、プレート１は固定されたボールねじ２ａを中心として回転してしまう。そこで、本実施例ではボールねじ２ｃを支持する支持フレーム３ｃに回転方向規制部７を設けてボールねじ機構９ｃの傾きを量を制限し、上記回転を規制する。
回転方向規制部７は、支持フレーム３ｃに取り付けられたねじ７ａと、該ねじ７ａが移動可能に係合する孔７ｂ（図２上面図参照）を有する回転規制部材７ｃから構成され、回転規制部材７ｃは図２に示すようにステージベース１０に立設している。
ボールねじ２ｂ，２ｃを傾ける方向の力が働き、ボールねじ機構９ｃが傾こうとすると、上記ねじ７ａが孔７ｂのエッジにぶつかり、ボールねじ機構９ｃの傾きは規制される。
【００１５】
上記回転方向規制部７によりボールねじ機構９ｃの傾きをある程度規制することができるが、ねじ７ａは孔７ｂ内である程度移動可能であり、これだけでは、プレート１が動かないように固定することはできない。
一方、プレート１上には、前述したようにＸＹθ移動機構、ワーク吸着プレート等が設けられ、プレート１がＺ軸方向に位置決めされた後、上記ＸＹθ移動機構により、ワーク吸着プレートのＸＹθ方向の位置決めを行う。したがって、プレート１をＺ軸方向に位置決めした後、プレート１が移動しないように位置を固定する必要がある。このため、ボールねじ位置規制部８が設けられている。
ボールねじ位置規制部８において、ボールねじ２ｂを支持する支持フレーム３ｂに固定ディスク８ａ（例えば板ばねから構成される）が取り付けられ、固定用ディスク８ａの両側には固定用ディスク８ａを挟み込むパッド８ｂが設けられている。
エアロック機構８ｃにエアが供給されると、パッド８ｂは固定用ディスク８ａを挟み込む。これにより、ボールねじ機構９ｂはステージベース１０に対して固定される。ボールねじ機構９ａは固定であるので、２本のボールねじ機構が固定されることとなり、プレート１はステージベース１０に対して移動しないように固定される。
【００１６】
前述したようにボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃに螺合する移動体４ａ，４ｂ，４ｃに対して、プレート１は傾き可能の取り付けられている。
図３に上記移動体４ａ，４ｂ，４ｃに対するプレート１の取り付け構造を示す。
図３に示すように、プレート１は、移動体４ａ，４ｂ，４ｃに対して、球面軸受４０１を介して取り付けられている。このため、プレート１にモーメント移動が生じても、球面軸受４０１の回転移動により、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃにはモーメント力が伝わらない。
なお、単に球面軸受を用いただけでは、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが回転したとき、移動体４ａ，４ｂ，４ｃもボールねじと一緒に回転してしまい、移動体４ａ，４ｂ，４ｃがＺ方向に移動しなくなる。
そのため、モーメントが生じる方向には自由であるが、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃの回転方向については球面軸受４０１の回動を規制する回転止めピン４０２が設けられている。
【００１７】
次に図１、図２により、本実施例の動作を説明する。
プレート１は、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃの下方（図２の点線で示す位置）にある。この位置は、マスク（不図示）から、例えば５０ｍｍ離れた位置である。
光処理を行なうワークが搬入され、プレート１上にＸＹθ移動機構等を介して設けられたワーク吸着プレート（図示せず）に載置される。ワークは真空吸着によりワーク吸着プレート上に保持固定される。
制御部１１によりモータ６ａ，６ｂ，６ｃが駆動され、３本のボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが回転して、プレート１が上昇し、これとともにワーク吸着プレートが上昇して、ワークがマスクに対して接近する。
この時２本のボールねじ２ｂ，２ｃは、台座５ｂ，５ｃにより、揺動可能に支持されているので、ボールねじ２ｂ，２ｃにラジアル方向の負荷かかろうとすると、ボールねじ２ｂ，２ｃが傾き、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃと移動体４ａ，４ｂ，４ｃとの間にラジアル方向の負荷が生じない。ボールねじ２ｂ，２ｃが傾くことにより、プレート１はＸＹ方向に移動するが、この段階では問題ない。
また、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃにかかるモーメント力については、上記した球面軸受４０１により取り除かれる。
【００１８】
プレート１が上昇し、ワーク吸着プレート上のワークとマスクの間隔が、光処理を行うギャップ間隔（例えば、所望のマスクとワークの間隔が５０μｍであればその付近）に接近すると、モータ６ａ，６ｂ，６ｃの駆動を停止し、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃの回転を停止させ、プレート１の上昇を停止する。
また、この位置でボールねじ位置規制部８を動作させる。すなわち、エアロック機構８ｃを駆動して、パッド８ｂにより固定ディスク８ａを挟む。これにより、ボールねじ２ｂ，２ｃのステージベース１０に対する位置が規制され、プレート１のＸＹθ方向の位置が固定される。
ついで、プレート１上に設けられたＸＹθ移動機構によりワーク吸着プレートを移動させ、マスクとワークの印されたアライメントマークに基づき、マスクとワークの位置合せを行なう。位置合わせが行われると、光照射部（図示せず）より、マスクを介してワークに光処理に必要な波長の光を照射する。
この時、ボールねじ位置規制部により、各ボールねじのステージベース１０に対する位置が固定されているので、マスクとワークの位置合わせや光処理を行なっている間に、プレート１上のワークがＸＹθ方向に移動することがない。
光処理が終わると、エアロック機構８ｃを解除し、固定ディスク８ａの固定を解除して、プレート１を下降させ、ワーク吸着プレート上の光処理済みのワークを搬出する。
【００１９】
以上のように、本実施例においては、３本のボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃの内の２本のボールねじ２ｂ，２ｃをステージベース１０に対して揺動可能に取り付けているので、プレート１をＺ方向に移動させる際に、ボールねじ２ｂ，２ｃが傾むくことによりボールねじにラジアル方向に負荷がかからない。
また、プレート１とボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃの移動体４ａ，４ｂ，４ｃは、球面軸受を介して取り付けられているので、ボールねじ２ｂ，２ｃが傾いてモーメント力が生じても、ボールねじやプレートや、それらを連結する部材に無理な力は加わらない。
このため、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃをスムーズに駆動することができ、故障などの発生を少なくすることができる。
また、回転方向規制部７により、ボールねじ２ｃの傾きを制限しているので、固定されているボールねじ２ａを軸としてプレート１が回動することを防止することができる。
さらに、ボールねじ位置規制部８を設けているので、プレート１をＺ軸方向に位置決め後、プレート１がＸＹθ方向に移動しないように規制することができる。
【００２０】
上述した実施例では、３本のボールねじ機構の内、１本を固定し他の２本をステージベースに対して揺動可能に取り付けたが、３本のボールねじ機構を全てステージベースに対して揺動可能に取り付けてもよい。
図４に３本のボールねじ機構を全てステージベースに対して揺動可能にした本実施例の第１の変形例を示す。
図４において、３本のボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃは、ボールねじ機構を揺動可能に支持する台座５ａ，５ｂ，５ｃを介してステージベース１０に取り付けられている。台座５ａ，５ｂ，５ｃは、前記図１の拡大図Ｂに示したような構造であり、台座５ａ，５ｂ，５ｃのボール５０１の部分を頂点として傾き可能である。
したがって、ボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃは３本とも、ステージベース１０に対して揺動可能である。
【００２１】
図１、図２に示した実施例では、１本のボールねじが固定であったため、回転方向規制部７、ボールねじ位置規制部８をそれぞれ一組設置すればよかったが、図４に示すように３本のボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃが揺動可能の場合には、回転方向規制部７、ボールねじ位置規制部８をそれぞれ２組設置する必要がある。
図４においては、ボールねじ２ｂの支持フレーム３ｂに第１の回転方向規制部７−１とボールねじ位置規制部８−１が設けられ、ボールねじ２ｃの支持フレーム３ｃに第２の回転方向規制部７−２とボールねじ位置規制部８−２が設けられている。
第１、第２の回転方向規制部７−１，７−２は、前記したように支持フレーム３ｂ，３ｃに取り付けられたねじ７ａと、該ねじ７ａが移動可能に係合する孔７ｂを有する回転規制部材７ｃから構成され、ボールねじ２ｂ，２ｃの傾き量を規制する。
また、第１、第２のボールねじ位置規制部８−１，８−２は、支持フレーム３ｂ，３ｂに取り付けられた固定ディスク８ａと、固定用ディスク８ａをエアロックするパッド８ｂと、エアロック機構８ｃから構成され、パッド８ｂで固定用ディスク８ａを挟み込むことにより、ボールねじ２ｂ，２ｃが固定され、プレート１はステージベース１０に対して移動しないように固定される。
【００２２】
その他の構成及び動作は前記図１、図２で説明したものと同じであり、前記実施例と同様、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃにラジアル方向の力がかかろうとしても、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが傾むくことによりこの力を吸収することができる。
また、前記した実施例と同様、プレート１とボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃの移動体４ａ，４ｂ，４ｃとは、球面軸受を介して取り付けられており、ボールねじ２ｂ，２ｃが傾いてモーメント力が生じても、ボールねじやプレートや、それらを連結する部材に無理な力は加わらない。
このため、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃをスムーズに駆動することができ、故障などの発生を少なくすることができる。
また、回転方向規制部７−１，７−２により、ボールねじ２ｂ，２ｃの傾きを制限しているので、３本のボールねじが揺動可能に取り付けられていても、プレート１の動きを制限することができる。
さらに、ボールねじ位置規制部８−１，８−２により２箇所でボールねじの動きを規制し、プレート１を固定するようにしているので、３本のボールねじが揺動可能に取り付けられていても、所望のＺ軸方向の位置においてプレート１がステージベース１０に対してＸＹθ方向に移動しないように規制することができる。
【００２３】
図５は、第１の実施例の第２の変形例を示す図であり、この変形例は、図４の例において、回転方向規制部７とボールねじ位置規制部８を一組の部材で兼ねるようにした場合の構成を示す。以下、上記回転方向規制部７とボールねじ位置規制部８を兼ねた一組の部材を回転方向／ボールねじ位置規制部１２という。
図５において、図４と同様、ボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃは３本とも、ステージベース１０に対して揺動可能である。
このため、図４と同様、回転方向規制部７、ボールねじ位置規制部８をそれぞれ２組設置する必要があるが、本実施例では、ボールねじ機構の傾きを制限するとともに、ボールねじ位置を固定するため、ボールねじ２ｂの支持フレーム３ｂに第１の回転方向／ボールねじ位置規制部１２−１を設け、ボールねじ２ｃの支持フレーム３ｃに第２の回転方向／ボールねじ位置規制部１２−２を設けている。
回転方向／ボールねじ位置規制部１２−１，１２−２は、支持フレーム３ｂ，３ｂに取り付けられた板ばねなどから構成される固定ディスク１２ａと、固定ディスク１２ａをエアロックするパッド１２ｂと、エアロック機構１２ｃから構成される。ここで、固定ディスク１２ａは、Ｚ軸方向に平行に配置され、パッド１２ｂはこの固定ディスク１２ａを両側から挟み込むように構成されたコの字形状である。
【００２４】
回転方向／ボールねじ位置規制部１２−１，１２−２を回転方向規制部７として機能させ、ボールねじの傾きを制限する場合には、エアロック機構１２ｃを動作させない。
この状態ではパッド１２ｂに対して固定ディスク１２ａは移動可能である。しかし、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃを傾ける方向の力が働き、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが傾こうとしても、回転方向／ボールねじ位置規制部１２−１，１２−２の固定ディスク１２ａは、コの字状のパッド１２ｂの両側のパッド面、あるいは底部にぶつかり、移動が制限される。このため、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃの傾きは規制される。
また、回転方向／ボールねじ位置規制部１２−１，１２−２をボールねじ位置規制部８として機能させる場合には、前記と同様エアロック機構１２ｃを動作させ、パッド１２ｂで固定用ディスク１２ａを挟み込む。これにより、ボールねじ２ｂ，２ｃの動きが規制され、プレート１はステージベース１０に対して移動しないように固定される。
その他の構成及び動作は前記図４で説明したものと同じであり、図４のものと同様の効果を得ることができる。
【００２５】
上記実施例では、台座５ａ，５ｂ，５ｃの全てあるいはその内の２つを、ボールを２枚の板で挟んだ傾き可能な台座として、ボールねじを揺動可能としたが、ジンバル機構を用いて、ボールねじを揺動可能に支持してもよい。
図６にボールねじ機構に取り付けられるジンバル機構１３の構成例を示す。なお同図はボールねじの軸方向に直交する平面でジンバル機構の取り付け部分を切った断面図である。
ジンバル機構１３は支持フレーム２が取り付けられるコの字状部材１３ａと、該コの字状部材１３ａを支持軸１３ｂを軸として回転可能に支持する矩形状部材１３ｃと、該矩形状部材１３ｃを支持軸１３ｄを軸として回転可能に支持する支持部材１３ｅから構成され、支持部材１３ｅは、ステージベース１０上に取り付けられる。
【００２６】
ジンバル機構１３は上記構成であり、ボールねじ２の支持フレーム３が、支持部材１３ｅに対して、互いに直交する支持軸１３ｂと１３ｄにより回転可能に支持されているので、ボールねじ２は、ジンバル機構１３への取り付け部分を軸として揺動可能である。
なお、以上の説明では、ボールねじ機構を揺動可能に支持する台座をステージベース１０上に設けて、その上にボールねじ機構を設ける場合について説明したが、ボールねじ機構を支持する位置を、例えばプレート１の下限位置（前記図２の点線で示す位置）にしてもよい。
例えばジンバル機構１３を用いて、ボールねじ機構を上記位置で支持する場合には、ステージベース１０に取付部材を立設させ、ジンバル機構１３の支持部材１３ｅをこの取付部材に取り付け、その高さが上記位置になるようにする。この場合、モータ６ａ，６ｂ，６ｃは、ジンバル機構１の下側に取り付けられ、台座５ａ５ｂ，５ｃは不要となる。
【００２７】
ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃがスムーズに駆動されるためには、ボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃの内の少なくとも２本をステージベース１０に対して揺動可能に取り付ける必要があるが、それに応じて、以上説明したように回転方向規制部７とボールねじ位置規制部８、あるいは、回転方向／ボールねじ位置規制部１２を何組か設ける必要がでてくる。
図７に、揺動可能としたボールねじ機構の本数と、回転方向規制部７とボールねじ位置規制部８等の設置数との関係を示す。なお、図７において、「フリー」はボールねじ機構が揺動可能に取り付けられている場合を意味し、「固定」はボールねじ機構が揺動できないように取り付けられている場合を意味する。
【００２８】
図７（ａ）はボールねじ機構の一本が固定で、他の２本がフリーの場合を示し、前記図１、図２の構成に相当する。  
この場合、プレートの回転を制限するため前記したように、回転方向規制部７は一組以上必要であり、また、プレートの位置を固定するために、ボールねじ位置規制部８も一組以上必要である。
図７（ｂ）は、３本のボールねじ機構がフリーの場合を示し、前記図４の構成に相当する。この場合、回転方向規制部７は２組以上必要となり、また、ボールねじ位置規制部８も２組以上必要となる。
図７（ｃ）はボールねじ機構の一本が固定で、他の２本がフリーの場合であって、前記回転方向／ボールねじ位置規制部１２を用いて回転方向およびボールねじ位置を規制する場合を示し、前記図５の構成に相当する。この場合は、少なくとも１箇所でボールねじを固定すれば、プレート１が動かないようにすることができるが、プレート１の回転を制限するためには、回転方向／ボールねじ位置規制部１２を同図に示すように、２箇所に設けることが必要である。
図７（ｄ）は、３本のボールねじ機構がフリーの場合において、前記回転方向／ボールねじ位置規制部１２を用いて回転方向およびボールねじ位置を規制する場合を示す。
この場合は、同図に示すように、回転方向／ボールねじ位置規制部１２を２組以上設置する必要がある。
なお、図７（ａ）〜（ｄ）においては、固定ディスク８ａ，１２ａをプレート１側に取り付け、パッド８ｂ，１２ｂをステージベース側に取り付けた場合について説明したが、パッド８ｂ，１２ｂをプレート１側に取り付け、固定ディスク８ａ，１２ａをステージベース側に取り付けることもできる。
【００２９】
次に、本発明の第２の実施例について説明する。
図８と図９に本発明の第２の実施例の構成を示す。図８は、前記図２に示したものと同様、２本のボールねじ機構に沿って切った断面図であり、ボールねじ機構９ｂ，９ｃのみが図面上に現れている。また、図９は図８の装置を上側から見た概念図であり、プレート１と駆動ステージ１４およびそれらの間に設けられた平行板ばね１５、ボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃ、回転方向／駆動ステージ位置規制部１６−１，１６−２，１６−３が概念的に示されている。
なお、図８、図９は、ボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃがステージベース１０に対して３本とも揺動可能に取り付けられている場合を示している。
【００３０】
図８において、前記した実施例と同様、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃ、支持フレーム３ａ，３ｂ，３ｃ、モータ６ａ，６ｂ，６ｃから構成される３本のボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃがワークステージが設けられる光処理装置の基台であるステージベース１０に設けられ、本実施例では、３本のボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃがステージベース１０上に揺動可能に取り付けられる。なお、図８にはボールねじ機構９ａ、ボールねじ２ａ、移動体４ａ、モータ６ａなどは図示されていない。
また、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃに螺合する移動体４ａ，４ｂ，４ｃには、プレート１が前記したように球面軸受けを介して傾き可能に取り付けられている。
モータ６ａ，６ｂ，６ｃを駆動することにより、前記したようにボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが回転し、上記移動体４ａ，４ｂ，４ｃはボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃに沿って移動し、プレート１のＺ方向の位置決めをすることができる。
プレート１を移動させる機構やその動作の詳細は、前記第１の実施例と同様なのでここでは説明を省略する。
【００３１】
本実施例においては、図８、図９に示すように、プレート１の裏面側に駆動ステージ１４が設けられ、プレート１に駆動ステージ１４が平行板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃを介して取り付けられている。すなわち、プレート１の裏面３ヶ所に平行板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃの一端が取り付けられ、この板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃの他端に駆動ステージ１４が取り付けられている。なお、図９に示すように、駆動ステージ１４はボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃと螺合していない。
上記平行板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃは、板ばねの平面がプレート１の平面と平行になるように設けられる。また、図９に示すようにプレート１（あるいは駆動ステージ１４）の中心から放射状に広がる線上に配置するのが望ましい。
上記のように平行板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃを配置することにより、プレート１と駆動ステージ１４とは、平行板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃのたわみ量分だけ、相対的に接近離間する方向にのみ移動可能となる。また、板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃは、プレート１の平面に平行なＸＹθ方向、および同平面に対するねじれの方向に対しては強い剛性を有することになる。
従って、プレート１は、駆動ステージ１４に対して、Ｚ方向以外の方向への移動が規制される。
【００３２】
前記実施例では、ボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃに、回転方向規制部７とボールねじ位置規制部８、あるいは、回転方向／ボールねじ位置規制部１２を設け、ボールねじの傾きを制限したり、Ｚ方向位置決め後のプレート１のＸＹθ方向の移動を規制していたが、本実施例では、駆動ステージ１４に前記回転方向／駆動ステージ位置規制部１６−１，１６−２，１６−３を設けて、駆動ステージ１４の移動を制限したり、Ｚ方向位置決め後の移動を規制する。
すなわち、上記のように駆動ステージ１４に対してプレート１のＺ方向以外の方向への移動が規制されるので、駆動ステージ１４の移動を制限したり規制することで、プレート１のＸＹθ方向の移動を制限することができる。また、このように駆動ステージ１４の移動を規制しても、プレート１は平行板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃの変形する範囲内で、Ｚ方向に移動することは可能である。
なお、駆動ステージ１４の移動を制限したり、規制する手段としては、前記回転方向規制部７とボールねじ位置規制部８を用いることもできるが、ここでは、回転方向／駆動ステージ位置規制部１６を用いる場合について説明する。
本実施例では３本のボールねじ機構９ａ，９ｂ９ｃが揺動可能なので、図９に示すように、３組の回転方向／駆動ステージ位置規制部１６−１，１６−２，１６−３を用いる必要がある。
【００３３】
回転方向／駆動ステージ位置規制部１６−１，１６−２，１６−３は、前記したように板ばねなどから構成される固定ディスク１６ａと、固定ディスク１６ａをエアロックするパッド１６ｂと、エアロック機構１６ｃから構成される。ここで、固定ディスク１６ａは、Ｚ軸方向に平行に配置され、パッド１６ｂはこの固定ディスク１６ａを両側から挟み込むように構成されたコの字形状である。
本実施例では、プレート１の移動にともなって駆動ステージ１４がＺ軸方向に移動するので、図８に示すように、駆動ステージ１４にエアロック機構１６ｃとパッド１６ｂが設けられ、また、ステージベース１０には、パッド１６ｂに対応した固定ディスク１６ａが、Ｚ方向に沿って取り付けられている。そして、前記したようにエアロック機構１６ｃを動作させない状態では、駆動プレート１４の移動が制限され、エアロック機構１６ｃを動作させた状態では、駆動ステージ１４の移動が規制され、これにより、プレート１はステージベース１０に対しＸＹθ方向に移動しないように固定される。
なお、エアロック機構１６ｃとパッド１６ｂをステージベース１０側に、固定ディスク１６ａを駆動ステージ１４側に設けることも可能であるが、駆動ステージ１４がＺ軸方向に移動するので、駆動ステージ１４に取り付ける固定ディスク１６ａは、その移動距離に応じたＺ軸方向の長さが必要である。
【００３４】
次に、図８と図９に基づいて、Ｚステージの動作を説明する。なお、第１の実施例と基本的に同じ部分については省略する。
プレート１は、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃの下方（図８の点線で示す位置）にある。この位置は、マスク（不図示）から、例えば５０ｍｍ離れた位置である。
光処理を行なうワークが搬入され、プレート１上にＸＹθ移動機構等を介して設けられたワーク吸着プレート（図示せず）に載置される。ワークは真空吸着によりワーク吸着プレート上に保持固定される。
モータ６ａ，６ｂ，６ｃが駆動され、３本のボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが回転して、プレート１が上昇し、これとともにワーク吸着プレートが上昇して、ワークがマスクに対して接近する。
この時３本のボールねじ２ｂ，２ｃは、台座５ｂ，５ｃにより、揺動可能に支持されているので、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃにラジアル方向の負荷かかろうとすると、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが傾き、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃと移動体４ａ，４ｂ，４ｃとの間にラジアル方向の負荷が生じない。
また、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃにかかるモーメント力については、上記した球面軸受４０１により取り除かれる。
【００３５】
ここで、上記プレート１の裏面側に平行板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃを介して取り付けられている駆動ステージ１４も、この板ばねにより吊り下げられてプレート１とともに上昇する。
このとき、エアロック機構１６ｃは動作しておらず、パッド１６ｂは固定ディスク１６ａを挟んでいないため、駆動ステージ１４は、基本的には移動を規制されていない。しかし、固定ディスク１６ａがＺ軸方向に沿って設けられているので、エアロック機構１６ｃのパッド１６ｂがガイドの働きをして、駆動ステージ１４の移動は制限され、駆動ステージ１４、プレート１は固定ディスク１６ａの伸びる方向に沿って移動する。
プレート１が上昇し、ワーク吸着プレート上のワークとマスクの間隔が、光処理を行うギャップ間隔（例えば、所望のマスクとワークの間隔が５０μｍであればその付近）に接近すると、モータ６ａ，６ｂ，６ｃの駆動を停止し、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃの回転を停止させ、プレート１の上昇を停止する。
また、この位置でエアロック機構１６ｃを駆動して、パッド１６ｂにより固定ディスク１２ａを挟む。これにより、駆動ステージ１４の位置がステージベース１０に対して固定される。
【００３６】
再度、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃを回転させ、プレート１を移動させて、ワーク吸着プレートをマスクとワークを位置合せするあらかじめ設定された距離（アライメントギャップ）まで微小移動させる。この時、駆動ステージ１４はステージベース１０に対して固定されているが、上記したように、プレート１は、平行板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃのたわみ量だけ、駆動ステージ１４に対してＺ方向に移動できる。
ただし、プレート１は、平行板ばねにより駆動ステージ１４に対してＺ軸方向以外の方向への移動が規制されており、駆動ステージ１４に対してＸＹθ方向へ移動しない。
なお、第１の実施例とは異なり、ボールねじ機構９ａ，９ｂ，９ｃは固定されておらず、揺動可能である。したがって、プレート１がＺ方向に移動する時、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃにラジアル方向の負荷かかろうとすると、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃが傾くので、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃと移動体４ａ，４ｂ，４ｃとの間にラジアル方向の負荷が生じない。
【００３７】
ついで、ボールねじ２ａ，２ｂ，２ｃを回転させ、プレート１を移動させて、マスクとワークの間隔（ギャップＧ）が、光処理を行なう距離（露光ギャップ）になるように移動する。
光照射部より、マスクを介してワークに対し、光処理に必要な波長の光を照射する。
ここで、このアライメントギャップの設定→マスクとワークの位置合せ→露光ギャップへの移動→光処理の間は、プレート１がＸＹθ方向に移動するとマスクとワークの位置関係が変化して光処理の精度（露光精度）が低下する。
そのため、上述したように、エアロック機構１６ｃを駆動して駆動ステージ１４をステージベース１０に対して固定する。さらに、プレート１は平行板ばね１５ａ，１５ｂ，１５ｃにより、駆動ステージに対してＺ方向以外の方向への移動が規制されるので、プレート１上のワークはＸＹθ方向に移動せず、ねじれも生じないので、上記したアライメントギャップの設定から光処理が終わるまでの間、プレート１をＺ軸方向に移動させることにより、高精度にマスクとワークの間隔を設定できるとともに、ＸＹθ方向についてはワークの移動がなく、高い位置決め精度が維持できる。
光処理が終わると、エアロック機構１６ｃの動作を解除し、パッド１６ｂによる固定ディスク１６ａの固定を解除し、プレート１を下降させ、ワーク吸着プレート上の光処理済みのワークが搬出される。
【００３８】
上記実施例では、３組の回転方向／駆動ステージ位置規制部を用い、２組の回転方向／駆動ステージ位置規制部を駆動ステージ１４の同一辺に取り付け、他の１組をこの辺に対向する辺に取り付ける場合について示したが、回転方向／駆動ステージ位置規制部は、揺動可能としたボールねじ機構の本数に応じて図１０に示すように設置することもできる。
なお、前記したように図１０において、「フリー」はボールねじ機構が揺動可能に取り付けられている場合を意味し、「固定」はボールねじ機構が揺動できないように取り付けられている場合を意味する。
図１０（ａ）は図８、図９と同様にボールねじ機構が３本ともフリーの場合を示す。
この場合は、図９の配置に換えて、同図に示すように、２組の回転方向／駆動ステージ位置規制部１６−１，１６−２を駆動ステージ１４の同一辺に取り付け、他の１組１６−３をこの辺に直交する辺に取り付けることができる。
【００３９】
固定ディスク１６ａは板ばね等で構成されており、その面に直交する方向から力が加わった場合には比較的容易に撓むが、その面に平行する方向から力が加わった場合には撓みにくい。
したがって、図９に示したように３枚の固定ディスク１６ａを、その面が平行になるように配置するより、図１０（ａ）に示すように、３枚の固定ディスク１６ａの内、２枚の固定ディスク１６ａを、その面が直交するように配置した方が、駆動ステージ１４を強固に固定することができる。
なお、３本のボールねじ機構がフリーの場合、駆動ステージ１４を固定するには、少なくとも２箇所で駆動ステージ１４を固定すればよいので、図１０（ａ）において、同一の辺の２組設けられた回転方向／駆動ステージ位置規制部１６−１，１６−２のいずれか一方を除去しても、駆動ステージ１４を固定することが可能である。
【００４０】
図１０（ｂ）はボールねじ機構の内の１本が固定で、２本がフリーの場合を示す。
この場合は、同図に示すように、駆動ステージ１４の一辺に回転方向／駆動ステージ位置規制部１６−２を取り付けるとともに、他の一辺に回転方向／駆動ステージ位置規制部１６−１を取り付ける。
ここで、回転方向／駆動ステージ位置規制部１６−１の固定ディスク１６ａを、固定されたボールねじ機構９ａとフリーのボールねじ機構９ｃを結ぶ直線に直交する方向に向くように配置することで、駆動ステージ１４を強固に固定することができる。
なお、ボールねじ機構の内の１本が固定で、２本がフリーの場合には、少なくとも１箇所で駆動ステージ１４を固定すればよいので、図１０（ｂ）において、回転方向／駆動ステージ位置規制部１６−２を除去することも可能であるが、駆動ステージ１４の回転を制限するためには、回転方向／駆動ステージ位置規制部を２箇所に設けることが必要となる。
なお、図１０（ａ），（ｂ）においては、パッド１６ｂをプレート１側に取り付け、固定ディスク１６ａをステージベース側に取り付けた場合について説明したが、固定ディスク１６ａをプレート１側に取り付け、パッド１６ｂをステージベース側に取り付けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１の実施例の構成を示す図（斜視図）である。
【図２】本発明の第１の実施例の構成を示す図（断面図）である。
【図３】球面軸受を用いた移動体へのプレートの取り付け構造を示す図である。
【図４】第１の実施例の第１の変形例を示す図である。
【図５】第１の実施例の第２の変形例を示す図である。
【図６】ジンバル機構の構成例を示す図である。
【図７】第１の実施例において、揺動可能としたボールねじ機構の本数と、回転方向規制部とボールねじ位置固定部の設置数との関係を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施例の構成を示す図（断面図）である。
【図９】本発明の第２の実施例の構成を示す図（上面図）である。
【図１０】第２の実施例における回転方向／駆動ステージ位置規制部の取り付けを説明する図である。
【図１１】露光装置あるいはパネルの貼り合わせ装置の構成例を示す図である。
【図１２】従来のＺ移動機構の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１                プレート
２ａ，２ｂ，２ｃ  ボールねじ
３ａ，３ｂ，３ｃ  支持フレーム
４ａ，４ｂ，４ｃ  移動体
５ａ，５ｂ，５ｃ  台座
６ａ，６ｂ，６ｃ  モータ
７                回転方向規制部
７ａ              ねじ
７ｂ              孔
７ｃ              回転規制部材
８                ボールねじ位置規制部
８ａ              固定ディスク
８ｂ              パッド
８ｃ              エアロック機構
９ａ，９ｂ，９ｃ  ボールねじ機構
１０              ステージベース
１１              制御部
１２              回転方向／ボールねじ位置規制部
１２ａ            固定ディスク
１２ｂ            パッド
１２ｃ            エアロック機構
１３              ジンバル機構
１４              駆動ステージ
１５ａ，１５ｂ，１５ｃ  平行板ばね  
１６              回転方向／駆動ステージ位置規制部
１６ａ            固定ディスク
１６ｂ            パッド
１６ｃ            エアロック機構
【図１】
2007178586.tif 000003
【図２】
2007178586.tif 000004
【図３】
2007178586.tif 000005
【図４】
2007178586.tif 000006
【図５】
2007178586.tif 000007
【図６】
2007178586.tif 000008
【図７】
2007178586.tif 000009
【図８】
2007178586.tif 000010
【図９】
2007178586.tif 000011
【図１０】
2007178586.tif 000012
【図１１】
2007178586.tif 000013
【図１２】
2007178586.tif 000014