(57)【要約】【課題】  各ポート間の挿入損失及び温度変化による影響を同じにしつつ、スイッチマトリクス全体としての挿入損失及び温度変化による影響を小さくすること。【解決手段】  端子面にスイッチ端子が設けられた複数のスイッチ素子を用いて入力側から出力側を同軸ケーブルにより接続して構成されるスイッチマトリクスであって、前記複数の素子のうちの２つのスイッチ素子は端子面が対向するように位置し、前記２つのスイッチ素子以外のスイッチ素子は前記２つのスイッチ素子の対向する端子面の間の空間の近傍に位置する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
端子面にスイッチ端子が設けられた複数のスイッチ素子を用いて入力側から出力側を同軸ケーブルにより接続して構成されるスイッチマトリクスであって、
前記複数の素子のうちの２つのスイッチ素子は端子面が対向するように位置し、
前記２つのスイッチ素子以外のスイッチ素子は前記２つのスイッチ素子の対向する端子面の間の空間の近傍に位置することを特徴とするスイッチマトリクス。
【請求項２】
前記２つのスイッチ素子の前記端子面は仮想的な円に接するように位置し、
前記２つのスイッチ素子以外のスイッチ素子のうち少なくとも一部のスイッチ素子は前記仮想的な円に接するように位置することを特徴するする請求項１記載のスイッチマトリクス。
【請求項３】
前記２つのスイッチ素子の対向する端子面の中心を結ぶ線分の中点を中心とし、前記線分と垂直な面上の仮想的な円に前記２つのスイッチ素子以外のスイッチ素子の少なくとも一部のスイッチ素子が接するように位置することを特徴とする請求項１記載のスイッチマトリクス。
【請求項４】
前記２つのスイッチ素子は３接点以上を選択可能な多接点スイッチ素子であり、前記２つのスイッチ素子以外のスイッチ素子は２接点を選択可能な２接点スイッチ素子であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のスイッチマトリクス。
【請求項５】
前記多接点スイッチ素子は入力側に設けられ、２接点スイッチ素子は出力側に設けられることを特徴とする請求項４記載のスイッチマトリクス。
【請求項６】
前記２接点スイッチ素子は２箇所にまとめて配置され、入力側の２つの前記多接点スイッチ素子と２箇所の前記２接点スイッチ素子は交互に隣り合うことを特徴とする請求項５記載のスイッチマトリクス。
【請求項７】
前記スイッチマトリクスは、２入力、５出力であることを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載のスイッチマトリクス。
【請求項８】
２つの前記他接点スイッチ素子の前段に２つの２接点スイッチ素子をさらに有し、前記スイッチマトリクスは３入力以上であることを特徴とする請求項４記載のスイッチマトリクス。
【請求項９】
端子面にスイッチ端子が設けられた複数のスイッチ素子を用いて入力側から出力側を同軸ケーブルにより接続して構成されるスイッチマトリクスであって、
前記複数のスイッチ素子のうちの少なくとも３つのスイッチ素子は、仮想的な円に前記複数のスイッチ素子の端子面が接するように位置することを特徴とするスイッチマトリクス。
【請求項１０】
端子面にスイッチ端子が設けられた複数のスイッチ素子を用いて入力側から出力側を同軸ケーブルにより接続して構成されるスイッチマトリクスであって、
前記複数のスイッチ素子のうちの少なくとも３つのスイッチ素子は、その端子面が、仮想的な多面体のそれぞれ異なる面上に位置するように設けられることを特徴とするスイッチマトリクス。
【請求項１１】
前記スイッチ素子は高周波用の同軸スイッチであることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載のスイッチマトリクス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数入力・複数出力の高周波信号のスイッチングを行うスイッチマトリクスに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の高周波でのパラメトリック特性を測定するために各種の測定装置が用いられている。そして、各種の測定装置を半導体ウェハのＴＥＧ(Test Elementary Group)上の所望の端子を切り替えて電気的に接続するためにスイッチマトリクスが用いられている。
【０００３】
対向する２つの平面にそれぞれ５つのＳＰＭＴ(Single Pole Multi Throw)を設けて、スイッチマトリクスを構成しているものがある（非特許文献１参照）。このような構成によるスイッチマトリクスでは、端子間を結ぶ同軸ケーブルの長さを各ポートで最短にすると、各ポートの長さにばらつきを生じ、各ポート間を同じ長さで配線すると、最も長いケーブルに合わせることになるため、全体の線路長が長くなる。同軸ケーブルが長くなればなるほど信号の損失が大きくなるので、各ポートで挿入損失を最小にすると、各ポート間の挿入損失にばらつきが生じ、各ポート間で挿入損失を同じにすると全体としての挿入損失が増大することになる。挿入損失が大きくなると測定信号が減衰し、ノイズの影響を受けやすくなる。更に同軸ケーブルの長さが長くなるほど温度変化による影響を受けやすくなる。
【非特許文献１】NEW GENERATION OF SWITCH MATRICES BROADBAND DC-18 GHz SOLUTIONS、Dow-Key Microwave corporation (http://www.dowkey.com/products/DC-18Solutions.html)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したように、従来のスイッチマトリクスでは、各ポート間の挿入損失及び温度変化による影響を同じにしつつ、スイッチマトリクス全体の挿入損失及び温度変化による影響を小さくすることが困難であった。
【０００５】
本発明は、以上の課題を解決すべく、なされたものであり、各ポート間の挿入損失及び温度変化による影響を同じにしつつ、スイッチマトリクス全体としての挿入損失及び温度変化による影響を小さくすることができるスイッチマトリクスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するため、本発明のスイッチマトリクスは、端子面にスイッチ端子が設けられた複数のスイッチ素子を用いて入力側から出力側を同軸ケーブルにより接続して構成されるスイッチマトリクスであって、前記複数の素子のうちの２つのスイッチ素子は端子面が対向するように位置し、前記２つのスイッチ素子以外のスイッチ素子は前記２つのスイッチ素子の対向する端子面の間の空間の近傍に位置することを特徴としている。このような構成により、同軸ケーブルのそれぞれの長さを略同じにすることができるとともに同軸ケーブルの全体の長さを短くすることができる。
【０００７】
また、本発明のスイッチマトリクスは、前記２つのスイッチ素子の前記端子面は仮想的な円に接するように位置し、前記２つのスイッチ素子以外のスイッチ素子のうち少なくとも一部のスイッチ素子は前記仮想的な円に接するように位置することを特徴する。
【０００８】
また、本発明のスイッチマトリクスは、前記２つのスイッチ素子の対向する端子面の中心を結ぶ線分の中点を中心とし、前記線分と垂直な面上の仮想的な円に前記２つのスイッチ素子以外のスイッチ素子の少なくとも一部のスイッチ素子が接するように位置することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明のスイッチマトリクスは、前記２つのスイッチ素子は３接点以上を選択可能な多接点スイッチ素子であり、前記２つのスイッチ素子以外のスイッチ素子は２接点を選択可能な２接点スイッチ素子であることを特徴とする。多接点スイッチ素子は、ＳＰＭＴスイッチに対応し、例えば、６接点のうちから選択可能なＳＰ６Ｔなどが用いられる。２接点スイッチ素子は、２接点のうちから１つを選択できるＳＰＤＴ(Single Pole Double Throw)スイッチが用いられる。
【００１０】
本発明のスイッチマトリクスでは、前記多接点スイッチ素子は入力側に設けられ、２接点スイッチ素子は出力側に設けられることを特徴とするスイッチマトリクス。
【００１１】
本発明のスイッチマトリクスでは、前記２接点スイッチ素子は２箇所にまとめて配置され、入力側の２つの前記多接点スイッチ素子と２箇所の前記２接点スイッチ素子は交互に隣り合うことを特徴とする。
【００１２】
本発明のスイッチマトリクスは、２入力、５出力であることを特徴とする。
【００１３】
本発明のスイッチマトリクスは、２つの前記他接点スイッチ素子の前段に２つの２接点スイッチ素子をさらに有し、前記スイッチマトリクスは３入力以上であることを特徴とする。
【００１４】
端子面にスイッチ端子が設けられた複数のスイッチ素子を用いて入力側から出力側を同軸ケーブルにより接続して構成されるスイッチマトリクスであって、前記複数のスイッチ素子のうちの少なくとも３つのスイッチ素子は、仮想的な円に前記複数のスイッチ素子の端子面が接するように位置することを特徴とする。
【００１５】
本発明のスイッチマトリクスは、端子面にスイッチ端子が設けられた複数のスイッチ素子を用いて入力側から出力側を同軸ケーブルにより接続して構成されるスイッチマトリクスであって、前記複数のスイッチ素子のうちの少なくとも３つのスイッチ素子は、その端子面が、仮想的な多面体のそれぞれ異なる面上に位置するように設けられることを特徴とする。多面体は、立方体、直方体、三角錐、その他、種々のものとすることができる。更にスイッチ素子には、高周波用の同軸スイッチが用いることができる。
【発明の効果】
【００１６】
上述したように、本発明によれば、スイッチ素子で切り替えられる各ポート毎に接続される同軸ケーブルの長さを略同じにすることができるとともに全体の長さを短くすることが可能である。
【００１７】
このため、各ポート間において、スイッチマトリクスの挿入損失、温度変化による影響を略同じレベルとすることができ、さらに全体の挿入損失、温度変化による影響を少なくすることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態であるスイッチマトリクスを図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態のスイッチマトリクスの構成を示す図である。同図において、１００はテストヘッドを示している。なお、テストヘッドには、ＳＭＵ(Source Monitor Unit)などが搭載されており、また、スイッチマトリクスによる経路選択をコントロールするコントロールユニットが設けられているが、図１においてはそれらは図示を省略している。１０は、半導体ウェハ上のＴＥＧに設けられたパッドを示している。なお、実際には、テストヘッドからの信号線はプローバによってパッドとコンタクトするようになっている。２０は、本発明で使用される半導体デバイスの測定装置の例としてネットワークアナライザーを示している。しかしながら、本発明はこれに限らず、パルスジェネレータ、オシロスコープ、インピーダンスメータ、その他の測定装置と接続することができる。
【００２０】
テストヘッド１００はスイッチマトリクス１１０、１２０を有している。なお、本願においては、スイッチマトリクス１１０、１２０の、ネットワークアナライザー２０等の測定装置に接続される側を入力側とし、半導体ウェハ上のパッド１０に接続される側を出力側とする。
【００２１】
スイッチマトリクス１１０は、入力側に２つのＳＰＤＴ(Single Pole Double Throw)スイッチ１１１、１１２が設けられている。なお、ＳＰＤＴスイッチは、２つの入力のうち選択した１つと出力とを接続するスイッチである。すなわち、２接点のうちどの接点を選択するか制御できる。２つのＳＰＤＴスイッチの出力はそれぞれ２つのＳＰ６Ｔ(Single Pole 6 Throw)スイッチ１１３、１１４の入力に同軸ケーブルにより接続される。ＳＰ６Ｔスイッチは、１つの入力を６つの出力のうち選択した出力と接続するスイッチである。すなわち、６接点のうちどの接点を選択するか制御できる。
【００２２】
なお、ＳＰ６Ｔスイッチの出力側の端子は６つのうち５つしか使用していない。このため、１つの入力を５つの出力のうち選択した１つの出力と接続するＳＰ５Ｔ(Single Pole 5 Throw)スイッチを用いることもできる。さらに、ＳＰ６Ｔスイッチ１１３の５つの出力はそれぞれ出力側に設けられた５つのＳＰＤＴスイッチ１１５、１１６、１１７、１１８、１１９の一方の入力と同軸ケーブルにより接続される。同様に、ＳＰ６Ｔスイッチ１１４の５つの出力はそれぞれＳＰＤＴスイッチ１１５、１１６、１１７、１１８、１１９の他方の入力と同軸ケーブルにより接続される。なお、テストヘッド１００の入力側の端子と入力側のＳＰＤＴスイッチ１１１、１１２の入力とは同軸ケーブルにより接続される。さらに、出力側のＳＰＤＴスイッチ１１５、１１６、１１７、１１８、１１９の出力とテストヘッド１００の出力側端子とは同軸ケーブルにより接続される。なお、これらの同軸ケーブルは、絶縁体に温度変化の影響が少ないテフロン（登録商標）が用いられているが、セミリジッドケーブルなど他の同軸ケーブルを用いることもできる。
【００２３】
なお、スイッチマトリクス１２０の構成は、スイッチマトリクス１１０の構成と同様であるので重複する説明は省略する。
【００２４】
また、ＳＰ６Ｔスイッチ１１３、１１４、ＳＰＤＴスイッチ１１５、１１６、１１７、１１８、１１９及びこれらを同軸ケーブルにより接続した部分のみで２入力５出力のスイッチマトリクスが構成できる。
【００２５】
図２は、ＳＰＤＴスイッチ１１１の外観を示す斜視図である。同図に示すようにＳＰＤＴスイッチ１１１は直方体の形状の筐体の一面に同軸端子１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃが直線状に並んで設けられている。この端子面と対向する面には、この端子の接続を制御するための制御信号端子１１１ｄが設けられている。そして、この制御信号端子１１１ｄからの信号により端子１１１ａが端子１１１ｂ又は端子１１１ｃと電気的に接続するように制御される。なお、この実施形態では、横方向に並んでいる同軸端子１１１ａと同軸端子１１１ｂ及び同軸端子１１１ａと同軸端子１１１ｃの中心間の距離は１１ｍｍである。端子１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃは同軸コネクタになっている。さらにこのＳＰＤＴスイッチは高周波用の同軸スイッチである。
【００２６】
図３は、ＳＰ６Ｔスイッチ１１３の外観を示す斜視図である。同図に示すようにＳＰ６Ｔスイッチ１１３は、円筒状の筐体の一端面に同軸端子１１３ａと、この同軸端子１１３ａを中心にして正六角形の頂点の位置に同軸端子１１３ｂ、１１３ｃ、１１３ｄ、１１３ｅ、１１３ｆ、１１３ｇが設けられている。また、この端子面と対向する面には、この端子の接続を制御するための制御信号端子１１３ｈが設けられている。そして、この制御信号端子１１３ｈからの信号により端子１１３ａが同軸端子１１３ｂ、１１３ｃ、１１３ｄ、１１３ｅ、１１３ｆ、１１３ｇのうちの１つと電気的に接続するように制御される。なお、この実施形態では、同軸端子１１３ｇの中心と同軸端子１１３ｄの中心との間の距離は２６．９７ｍｍである。同軸端子１１３ａから１１１ｇは同軸コネクタになっており、ＳＰ６Ｔスイッチ１１３は高周波用の同軸スイッチである。
【００２７】
図４は、スイッチマトリクス１１０の内部構成を示す斜視図である。同図に示すように、ＳＰ６Ｔスイッチ１１５、１１６は対向して設けられ、７つのＳＰＤＴは２つのラック２２０ａ、２２０ｂに、それぞれ、４つと３つに分けて格納されている。そしてこれらのラック２２０ａ、２２０ｂに端子面が対向するようになっている。さらに、ＳＰ６Ｔスイッチ１１５、１１６の同軸端子とＳＰＤＴの同軸端子の間が同軸ケーブル１５０によって接続されている。
【００２８】
図５は、同軸ケーブルを除いた状態のスイッチマトリクス１１０の構成を示す底面図である。同図に示すように、ＳＰ６Ｔスイッチ１１３、１１４は端子面が対向して設けられており、ラック２２０ａに格納されたＳＰＤＴスイッチの端子面と、ラック２２０ｂに格納されたＳＰＤＴスイッチの端子面とは対向して設けられている。なお、この実施形態においては、ＳＰ６Ｔスイッチ１１３、１１４の端子面間の距離は１３８ｍｍとであり、ラック２２０ａに格納されたＳＰＤＴスイッチの端子面と、ラック２２０ｂに格納されたＳＰＤＴスイッチの端子面との間の距離は１４２ｍｍである。なお、ＳＰ６Ｔスイッチ１１３、１１４は取付部材２１０ａ、２１０ｂによりテストヘッド１００の筐体１００ａに取付けられている。すなわち、ＳＰ６Ｔスイッチ１１３、１１４の端子面の間の空間の近傍にラック２２０ａ、２２０ｂが取付けられている。
【００２９】
図６は、ＳＰ６Ｔスイッチ１１３の取付部材２１０ａを示す斜視図である。同図に示すように取付部材２１０ａは、円形の穴が設けられており、この穴の部分にＳＰ６Ｔスイッチ１１３の６つの同軸端子が位置するようになっている。
【００３０】
図７は、ラック２２０ａの外観を示す斜視図である。同図に示すように、この図の下から順に４つのＳＰＤＴスイッチ１１２、１１７、１１８、１１９が格納されている。
【００３１】
図８は、ラック２２０ｂの外観を示す斜視図である。同図に示すように、このラックには、下から２番目の格納部にはＳＰＤＴスイッチは格納されておらず、下から１、３、４番目の格納位置にそれぞれ、ＳＰＤＴスイッチ１１１、１１５、１１６が格納されている。
【００３２】
図９は、図５のＡ−Ａ断面図である。同図に示すようにラック２２０ａの端子面とラック２２０ｂの端子面とは対向している。また、この実施形態の場合には、取付部材２１０ａに取付けられたＳＰ６Ｔスイッチ１１３の中央の同軸端子の中心と筐体１１０ａの部品取り付け面との間の距離は７０７．５ｍｍである。
【００３３】
図１０は、図５のＢ−Ｂ断面図である。同図に示すように、取付部材２１０ａ、２１０ｂによってＳＰ６Ｔスイッチ１１３、１１４は端子面が対向するように筐体１００ａに取付けられている。また、この実施形態の場合には、ラック２２０ａ、２２０ｂに取付けられる互いに重ねあわされるＳＰＤＴスイッチの上下方向の同軸端子の中心の間の距離は１８．７．ｍｍであり、筐体１００ａと筐体１００ａに一番近いＳＰＤＴスイッチ１１１の同軸端子の中心との距離は３３．３５ｍｍとなっている。
【００３４】
図２から図１０に示す条件により図４に示すように各同軸端子を図１の構成にしたがって同軸ケーブルを接続した。ケーブル長の違いにより全体の挿入損失、各ポートごとの損失の違い、温度変化にもっとも影響を与えるのはＳＰ６Ｔスイッチ１１３、１１４と出力側のＳＰＤＴスイッチ１１５から１１９への同軸ケーブルの配線長であり、以上の実施形態では、この長さは、１２０ｍｍ±１０ｍｍを得ることができた。
【００３５】
図１１は、他の実施形態のスイッチマトリクスの構成を模式的に示す図である。同図において、３１０、３２０は、それぞれ、ＳＰ６Ｔスイッチを示しており、ＤＴ１、ＤＴ２、ＤＴ３、ＤＴ４、ＤＴ５、ＤＴ６、ＤＴ７はＳＰＤＴスイッチを示している。同図に示すように、ＳＰ６Ｔスイッチ３１０と３２０とは仮想的な円３０に端子面が接し、互いに対向して設けられている。また、スイッチＤＴ１、ＤＴ２、ＤＴ３は互いに隣同士で一塊で円３０に端子面が接するように位置する。さらに、スイッチＤＴ４、ＤＴ５、ＤＴ６、ＤＴ７は互いに隣同士で一塊で円３０に端子面が接するように位置する。
【００３６】
円周上の点は中心からの距離が等しいので、このような構成により端子間を同軸ケーブルにより接続することで、端子間の同軸ケーブル長を略同じ長さとすることができる。なお、同軸ケーブルを短くするためには、仮想的な円３０の直径を小さくするような位置関係とすることが必要である。
【００３７】
図１２は、更に他の実施形態のスイッチマトリクスの構成を模式的に示す図である。同図において、３１１、３２１は、それぞれ、ＳＰ６Ｔスイッチを示しており、ＤＴ１１、ＤＴ１２、ＤＴ１３、ＤＴ１４、ＤＴ１５、ＤＴ１６、ＤＴ１７はＳＰＤＴスイッチを示している。同図に示すように、ＳＰ６Ｔスイッチ３１１、３２１は端子面が仮想的な円４０に接するように位置し、スイッチＤＴ１１、ＤＴ１２、ＤＴ１３、ＤＴ１４、ＤＴ１５、ＤＴ１６、ＤＴ１７は一塊となって円４０の円周にその端子面が接している。このような構成によっても端子間を同軸ケーブルにより接続することで、端子間の同軸ケーブル長を略同じ長さとすることができる。なお、同軸ケーブルを短くするためには、仮想的な円４０の直径を小さくするような位置関係とすることが必要である。
【００３８】
図１３は、更に他の実施形態のスイッチマトリクスの構成を模式的に示す図である。同図において、３１２、３２２は端子面が対向して位置しているＳＰ６Ｔスイッチを示しており、矢印ＤＴ２１、ＤＴ２２、ＤＴ２３、ＤＴ２４、ＤＴ２５、ＤＴ２６、ＤＴ２７はＳＰＤＴスイッチの端子面の向きと位置を示している。すなわち、矢印の方向は端子面の法線方向を示しており、矢印の先端は端子面と仮想的な円５０との接点の位置を示している。同図に示すようにＳＰ６Ｔスイッチ３１２、３２２は端子面が対向している。そして、ＤＴ２１、ＤＴ２２、ＤＴ２３で示すように、この２つのＳＰ６Ｔの端子面の中心を結ぶ線分の中点を通りこの線分に垂直な平面上の仮想的な円５０に端子面が接するようにＳＰＤＴスイッチが隣り合って一塊になっている。また、ＤＴ２４、ＤＴ２５、ＤＴ２６、ＤＴ２７で示すように円５０に端子面が接するようにＳＰＤＴスイッチが隣り合って一塊になっている。このような構成により、端子間を同軸ケーブルにより接続することで、端子間の同軸ケーブル長を略同じ長さとすることができる。なお、同軸ケーブルを短くするためには、仮想的な円５０の直径を小さくするとともにＳＰ６Ｔスイッチの間隔を短くする位置関係とすることが必要である。
【００３９】
図１４は、更に他の実施形態のスイッチマトリクスの構成を模式的に示す図である。同図に示すように、この実施形態のスイッチマトリクスでは、多面体の１つである仮想的な立方体６０の対向する２つの面上にＳＰ６Ｔスイッチ３１３、３２３の端子面３１３ａ、３２３ａが位置するように構成し、かつ、他の面上にＳＰＤＴスイッチＤＴ３０の端子面ＤＴ３０ａが位置するように構成する。
【００４０】
図１５は、更に他の実施形態のスイッチマトリクスの構成を模式的に示す図である。同図に示すように、この実施形態のスイッチマトリクスでは、多面体の１つである仮想的な三角錐７０の２つの面上にＳＰ６Ｔスイッチ３１４、３２４の端子面３１４ａ、３２４ａが位置するような構成とし、かつ、他の面上にＳＰＤＴスイッチＤＴ４０の端子面ＤＴ４０ａが位置するように構成する。
【００４１】
また、図１４、図１５においては、立方体、三角錐を例に挙げたが、他の多面体のでもよい。
【００４２】
なお、図１１から図１５に示す実施形態においては、それぞれのスイッチの位置関係のみを示しており、実際には、それぞれのスイッチをその位置関係で固定する固定部材及び端子間を接続する同軸ケーブル等が設けられる。
【００４３】
以上、説明したように、上述した本発明の実施形態のスイッチマトリクスによれば、ＳＰ６Ｔスイッチと出力側ＳＰＤＴスイッチとの間の同軸ケーブルの長さを一定としつつ全体の長さを短くすることが可能である。このため、各ポート間の挿入損失及び温度変化による影響を略同一とし、全体の挿入損失及び温度変化による影響を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施形態のスイッチマトリクスの構成を示す図である。
【図２】ＳＰＤＴスイッチの外観を示す斜視図である。
【図３】ＳＰ６Ｔスイッチの外観を示す斜視図である。
【図４】スイッチマトリクスの内部構成を示す斜視図である。
【図５】同軸ケーブルを除いた状態のスイッチマトリクスの構成を示す底面図である。
【図６】ＳＰ６Ｔスイッチの取付部材を示す斜視図である。
【図７】４つのＳＰＤＴスイッチを収容するラックの外観を示す斜視図である。
【図８】３つのＳＰＤＴスイッチを収容するラックの外観を示す斜視図である。
【図９】図５のＡ−Ａ断面図である。
【図１０】図５のＢ−Ｂ断面図である。
【図１１】他の実施形態のスイッチマトリクスの構成を模式的に示す図である。
【図１２】更に他の実施形態のスイッチマトリクスの構成を模式的に示す図である。
【図１３】更に他の実施形態のスイッチマトリクスの構成を模式的に示す図である
【図１４】更に他の実施形態のスイッチマトリクスの構成を模式的に示す図である。
【図１５】更に他の実施形態のスイッチマトリクスの構成を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
３０、４０、５０  円
６０  立方体
７０  三角錐
１００  テストヘッド
１００ａ  テストヘッドの筐体
１１０、１２０  スイッチマトリクス
１１１、１１２、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、ＤＴ１、ＤＴ２、ＤＴ３、ＤＴ４、ＤＴ５、ＤＴ６、ＤＴ７、ＤＴ１１、ＤＴ１２、ＤＴ１３、ＤＴ１４、ＤＴ１５、ＤＴ１６、ＤＴ１７、ＤＴ３０、ＤＴ４０  ＳＰＤＴスイッチ
１１３、１１４  ＳＰ６Ｔスイッチ
１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１３ａ、１１３ｂ、１１３ｃ、１１３ｄ、１１３ｅ、１１３ｆ、１１３ｇ  同軸端子
１５０  同軸ケーブル
２１０ａ、２１０ｂ  取付部材
２２０ａ、２２０ｂ  ラック
３１０、３１１、３１２、３１３、３１４  スイッチ
３１３ａ、３１４ａ、ＤＴ３０ａ、ＤＴ４０ａ  端子面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007251587.tif 000009
【図８】
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【図９】
2007251587.tif 000011
【図１０】
2007251587.tif 000012
【図１１】
2007251587.tif 000013
【図１２】
2007251587.tif 000014
【図１３】
2007251587.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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