(57)【要約】【課題】  光学測定装置における光源の波長シフトや光軸の微妙なズレに対して、簡便な方法によって測定機器の異常を検知し、較正することが可能な、光学測定装置検査用チップの実現、およびこの検査用チップを用いた医療用光学測定装置の検査、較正、及び測定結果の補正の簡便な方法を実現することを目的としている。【解決手段】  この検査用チップは、透明基板１１と、該透明基板１１表面上に形成され、光を全反射させながら該透明基板表面と平行な方向に導波させる機能を有する光導波路層薄膜１２と、該光導波路層薄膜表面に形成した、導波する光の波長の少なくとも一部を吸収する光学特性を有する光吸収材料層１３を備えたものである。  この検査用チップを用いて、測定を行い、得られた光減衰率が基準減衰率と大幅に異なっている場合に装置の異常と判断する。【選択図】  図１
2007178325.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板と、該透明基板表面上に形成され、光を全反射させながら該透明基板表面と平行な方向に導波させる機能を有する光導波路層薄膜と、該光導波路層薄膜表面に形成した、導波する光の波長の少なくとも一部を吸収する光学特性を有する光吸収材料層を備えたことを特徴とする光学測定装置検査用チップ。
【請求項２】
前記光吸収材料層の厚みが、３００〜１０００ｎｍの範囲であることを特徴とする請求項１に記載の光学測定装置検査用チップ。
【請求項３】
前記光学測定装置検査用チップが、光入射経路及び光出射経路の少なくとも一方に回折格子を備えていることを特徴とする光学測定装置検査用チップ。
【請求項４】
筐体と、該筐体内に配置されている光源と、該筐体内に配置されている受光素子とを備えた検査装置本体と、
透明基板と、該透明基板表面上に形成され、光を全反射させながら該透明基板表面と平行な方向に導波させる機能を有する光導波路層薄膜と、該光導波路層薄膜表面に形成した、検査光の波長に対して既知の光吸収率を有する光吸収材料層を備えた光学測定装置検査用チップとを
該光源から照射される検査光が該光学測定装置検査用チップを照射し、該検査光が該光導波路層薄膜内を伝搬して出射した検査光が該受光素子に入射するように相互に固定し、
該受光素子によって測定した検査光の光量から該検査光の減衰率を算出し、該減衰率と、該光吸収材料層の既知の光吸収率から求められる基準減衰率とを比較して、これらの近似度が所定の閾値以上である場合に、装置の動作不良であると判断することを特徴とする光学測定装置の検査方法。
【請求項５】
前記筐体に、前記光学測定装置用検査チップを脱着可能に固定する手段を設けたことを特徴とする請求項５に記載の光学測定装置の検査方法。
【請求項６】
筐体と、該筐体内に配置されている光源と、該筐体内に配置されている受光素子とを備えた検査装置本体に、
透明基板と、該透明基板表面上に形成され、光を全反射させながら該透明基板表面と平行な方向に導波させる機能を有する光導波路層薄膜と、該光導波路層薄膜表面に形成した、検査光の波長に対して既知の光吸収率を有する光吸収材料層を備えた光学測定装置検査用チップを、該光源から照射される検査光が該光学測定装置検査用チップを照射し、該検査光が該光導波路層薄膜内を伝搬して出射した検査光が該受光素子に入射するように相互に固定して取り付け、
該受光素子によって測定した検査光の光量から該検査光の減衰率を算出し、該減衰率と、該光吸収材料層の既知の光吸収率から求められる基準減衰率とを比較し、これらの近似度が所定の閾値以上である場合には、該光源から該受光素子までの検査光の経路を調整することを特徴とする光学測定装置の製造方法。
【請求項７】
筐体と、該筐体内に配置されている光源と、該筐体内に配置されている受光素子とを備えた検査装置本体に、
透明基板と、該透明基板表面上に形成され、光を全反射させながら該透明基板表面と平行な方向に導波させる機能を有する光導波路層薄膜と、該光導波路層薄膜表面に形成した、検査光の波長に対して既知の光吸収率を有する光吸収材料層を備えた光学測定装置検査用チップを、該光源から照射される検査光が該光学測定装置検査用チップを照射し、該検査光が該光導波路層薄膜内を伝搬して出射した検査光が該受光素子に入射するように相互に固定して取り付け、
該受光素子によって測定した検査光の光量から該検査光の減衰率を算出し、該減衰率と、該光吸収材料層の光吸収率から求められる基準減衰率との差を、該検査装置本体の固有誤差として記憶装置に記録し、
該検査装置本体に、特定の物質との相互作用で光学特性が変化するセンサチップを載置し、該センサチップ表面に生体組織もしくは生体組織液を接触させて、該生体組織もしくは生体組織液に含有される該特定物質の濃度を測定し、該測定値を、該記憶装置に記録した固有誤差を用いて補正することを特徴とする光学測定装置の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路層型センサを用いた光学測定装置の動作を検証するための検査用チップ、及びこれを用いた光学測定装置の検査方法、光学測定装置の製造方法、及び光学測定装置の使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、医療用光学測定装置の開発・実用化が進んでおり、抗原抗体反応などを利用した免疫測定法として、特に、光導波路型センサを用いた光学測定装置が注目されている。このセンサは、光導波路層を有する板状のガラスチップ表面にセンシング機能を持った薄膜や生体反応性物質を貼付け、この部分に生体組織または組織液を接触させて、生体組織または生体組織液に含まれる物質の濃度を測定する技術である（例えば特許文献１参照）。この光学測定装置について、その概略断面図である図５を用いて説明する。この装置は、その内部を検査光が伝搬する光導波路層５１と、この光導波路層５１の表面に形成されているセンシング薄膜５２からなるセンサチップと、このセンサチップに検査光を照射する光源５５と、センサチップからの出射光を受光してその光量を測定するための受光素子５８と、検査光を光導波路層に効率よく入射及び出射するように光導波路に形成したマッチング用グレーティング５６，５７からなっている。そして、前記センシング薄膜５２の表面に生体組織もしくは生体組織液５３を載置し、これらに含まれる成分とセンシング薄膜との相互作用によって光特性が変化するので、この変化を測定することによって定量分析する装置である。
【０００３】
この検査装置は、ガラス基板表面に配置されているセンシング機能を有する薄膜に生体組織を接触させ、生体組織に含まれる特定の物質が反応して、センサチップ表面での光学的特性が変化する現象を利用している。この光学的特性の変化量は、生体組織に含まれる特定の物質の反応量に比例する。センサチップに光を照射し、光導波路層で光を全反射させながら光導波路層内を伝搬させる。その際に、光導波路層とセンシング薄膜との界面においてエバネッセント波が生じ、これがセンシング薄膜表面に存在する物質によって吸収され検査光が減衰するため、このセンサチップから出射した光の強度を測定し減衰量を算出することで、生体組織もしくは生体組織液に含まれる特定物質の濃度を検知することができる。
【０００４】
上記のような医療用光学測定装置では、測定性能が、測定機器の光学特性に左右される場合が少なくない。例えば、センサチップに照射する光の入射角の変化や波長シフトにより、出射光の光強度も影響を受けて、測定結果に誤差が生じることがある。
【０００５】
この問題は、この光学測定装置の製造過程および光学測定装置の実使用段階のいずれでも生じる可能性がある。
光学測定装置の製造過程においては、光学測定装置における個々の装置に固有の光学系の配置のわずかなずれ（機差）が光量の測定結果に影響を及ぼすことになり、特定の光学測定装置のこのような機差の特徴を把握することなく信頼性の高い測定結果を得ることはできない。
【０００６】
また、一般消費者が使用する医療用光学測定装置では、様々な局面での使用が考えられる。温度によって測定機器の光源波長が変化する場合もあれば、持ち運びに伴う振動で、測定器内部にある光学素子が位置ズレを起こす場合も考えられる。このような状況下では、正しい測定結果を得ることは期待できない。そのために、このような可搬型の医療用光学測定装置においては、一定の使用期間経過後に装置の較正を行う必要がある。この較正によって、機器のアライメントの変化や、光源の変化に伴う測定結果の真の値からの乖離を検定する必要がある。また、測定装置に異常があるか否かを検査する必要がある。
【０００７】
これらの較正作業においては、通常既知の濃度を有する標準溶液を用いて較正を行うことが一般的に考えられるが、この較正作業を行うには、異なる濃度の複数の標準溶液を準備し、各濃度の標準溶液を用いて測定を行いその結果に基づいて、結果の補正を行う必要があった。しかしながら、このような標準溶液を用いた較正作業は、１試料につき、およそ６０秒程度行う必要があり、煩雑であるばかりでなく、必ずしも正確な結果が得られるとは限らなかった。
また、据え置き型計測機器のような専門の操作員が操作する場合と異なり、民生用の装置においては、機器に習熟していないものが較正作業に当たることは、結果の信頼性を低下させる原因ともなり、好ましいものではなかった。
【０００８】
上記のような課題に対し、比較的容易な手法として、一般的にガラスセンサチップに照射する前の光強度を参照光データとして常時モニタすることがよく行われている。しかしながら、この手法は、測定機器光学系の致命的なダメージには首尾よく機能する反面、波長シフトや光軸の微妙なズレに関しては、参照光強度の変化が小さいため、異常を検知することは難しい。このように、従来の参照光強度を用いた検査方法では、測定機器の異常検知に関して万全ではないという欠点がある。
【特許文献１】特開２００４−１８４３８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記したように、センシング機能を具備した板状のガラスセンサチップと、板状のガラスセンサチップに光を照射して得られる光信号により、センシング結果を判定する医療用光学測定機器では、その測定結果が測定機器の光学特性に左右される場合が少なくない。正しいセンシング結果を得るために、センサチップに照射する前の光強度を参照光データとして常時モニタすることがよく行われているが、波長シフトや光軸の微妙なズレに関しては、参照光強度の変化が小さいため、異常を検知することは難しい。
【００１０】
本発明はこのような従来の問題点を解決するためになされたもので、光学測定装置における光源の波長シフトや光軸の微妙なズレに対して、簡便な方法によって測定機器の異常を検知し、較正することが可能な光学測定装置を検査するための検査チップの実現、およびこの検査チップを用いた医療用光学測定装置の検査、較正、及び測定結果の補正の簡便な方法を実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
第１の本発明は、透明基板と、該透明基板表面上に形成され、光を全反射させながら該透明基板表面と平行な方向に導波させる機能を有する光導波路層薄膜と、該光導波路層薄膜表面に形成した、導波する光の波長の少なくとも一部を吸収する光学特性を有する光吸収材料層を備えたことを特徴とする光学測定装置検査用チップである。
【００１２】
第２の本発明は、筐体と、該筐体内に配置されている光源と、該筐体内に配置されている受光素子とを備えた検査装置本体と、
透明基板と、該透明基板表面上に形成され、光を全反射させながら該透明基板表面と平行な方向に導波させる機能を有する光導波路層薄膜と、該光導波路層薄膜表面に形成した、検査光の波長に対して既知の光吸収率を有する光吸収材料層を備えた光学測定装置検査用チップとを
該光源から照射される検査光が該光学測定装置検査用チップを照射し、該検査光が該光導波路層薄膜内を伝搬して出射した検査光が該受光素子に入射するように相互に固定し、
該受光素子によって測定した検査光の光量から該検査光の減衰率を算出し、該減衰率と、該光吸収材料層の既知の光吸収率から求められる基準減衰率とを比較して、これらの近似度が所定の閾値以上である場合に、装置の動作不良であると判断することを特徴とする光学測定装置の検査方法である。
【００１３】
第３の本発明は、筐体と、該筐体内に配置されている光源と、該筐体内に配置されている受光素子とを備えた検査装置本体に、
透明基板と、該透明基板表面上に形成され、光を全反射させながら該透明基板表面と平行な方向に導波させる機能を有する光導波路層薄膜と、該光導波路層薄膜表面に形成した、検査光の波長に対して既知の光吸収率を有する光吸収材料層を備えた光学測定装置検査用チップを、該光源から照射される検査光が該光学測定装置検査用チップを照射し、該検査光が該光導波路層薄膜内を伝搬して出射した検査光が該受光素子に入射するように相互に固定して取り付け、
該受光素子によって測定した検査光の光量から該検査光の減衰率を算出し、該減衰率と、該光吸収材料層の既知の光吸収率から求められる基準減衰率とを比較し、これらの近似度が所定の閾値以上である場合には、該光源から該受光素子までの検査光の経路を調整する光学測定装置の製造方法である。
【００１４】
第４の本発明は、筐体と、該筐体内に配置されている光源と、該筐体内に配置されている受光素子とを備えた検査装置本体に、
透明基板と、該透明基板表面上に形成され、光を全反射させながら該透明基板表面と平行な方向に導波させる機能を有する光導波路層薄膜と、該光導波路層薄膜表面に形成した、検査光の波長に対して既知の光吸収率を有する光吸収材料層を備えた光学測定装置検査用チップを、該光源から照射される検査光が該光学測定装置検査用チップを照射し、該検査光が該光導波路層薄膜内を伝搬して出射した検査光が該受光素子に入射するように相互に固定して取り付け、
該受光素子によって測定した検査光の光量から該検査光の減衰率を算出し、該減衰率と、該光吸収材料層の光吸収率から求められる基準減衰率との差を、該検査装置本体の固有誤差として記憶装置に記録し、
該検査装置本体に、特定の物質との相互作用で光学特性が変化するセンサチップを載置し、該センサチップ表面に生体組織もしくは生体組織液を接触させて、該生体組織もしくは生体組織液に含有される該特定物質の濃度を測定し、該測定値を、該記憶装置に記録した固有誤差を用いて補正する光学測定装置の使用方法である。
【発明の効果】
【００１５】
上記本発明の光学測定装置検査用チップによれば、簡単な構成によって光学測定装置の検査に用いるための標準試料を製作することができる。また、この光学測定装置検査用チップを用いた光学測定装置の検査方法、製造方法及び使用方法によれば、簡便な操作で、光学測定装置の検査、製造及び生体組織もしくは生体組織液に含まれる物質の計測を精度よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
［第１の実施の形態：光学測定装置検査用チップ］
（光学測定装置検査用チップ）
本発明の光学測定装置検査用チップは、前記従来の光学測定装置におけるセンサチップに代えて光学測定装置に搭載し、光学測定装置の精度の検証、装置の較正および結果の補正を行うためのものである。
以下本実施の形態である光学測定装置検査用チップの概略断面図である図１を用いて、本実施の形態の光学測定装置検査用チップについて説明する。
図１において、１１が、ホウケイ酸ガラスのような透明基板であり、この基板１１上に光導波路層薄膜１２が配置されており、さらにこの光導波路層薄膜１２の表面に、光吸収材料層１３が配置されている。
【００１７】
この光導波路層薄膜１２は、ガラス、ＳｉＯ２、シリコン窒化膜などの透明セラミックスや、有機高分子樹脂のような透明な材料の薄膜であり、この薄膜に照射された光は、薄膜中に滲入し、薄膜界面で全反射しながら薄膜内を一方の端部から他端部に伝搬するようになっている。この検査用チップに用いる光導波路層は、本発明の光学測定装置に搭載して用いるセンサチップに用いている光導波路層材料と同等のものであることが好ましい。
【００１８】
前記光吸収材料層１３は、前記光導波路層薄膜を検査光が伝搬する際に生じるエバネッセント波がこの光吸収材料層によって吸収され検査光が減衰する現象を利用した光学測定装置の検査において、光減衰を生じさせる標準試料として機能するものであり、この光吸収材料層１３は、検査に用いている光の波長に吸収域を有する物質の層である。この光吸収材料層の材料としては、照射する検査光によって分解したり、経時的に劣化して吸光度が極端に変化したりする材料以外であれば使用が可能である。具体的には、染料あるいは顔料として公知の材料を用いることができる。これは有機物であっても無機物であっても差し支えない。具体的には、フタロシアニン、メチレンブルーなどが挙げられる。
また、この光吸収材料としては、それ自身が成膜性を有していてもよいし、高分子樹脂材料のような成膜材料中に配合して膜としてもよい。この光吸収材料層１３の表面には、保護膜を形成してもよいし、保護膜がなくとも差し支えない。ただし、保護膜を形成しない場合には、再使用することを考慮し、光吸収材料層１３としては、摩擦抵抗性のある材料で形成することが好ましい。
【００１９】
この光吸収材料層の厚さは、前記エバネッセント波が光導波路層からしみ出す距離は、その波長程度の距離であることから、検査光の波長程度以下、すなわち、３００〜７００ｎｍの範囲とすることが必要である。光吸収材料層の厚さがこれより薄いと、所定の吸収度を有する膜を得ることが困難である。一方、光吸収材料層の厚さが、これより厚いと、光吸収材料膜の均一性の確保が困難で、吸収能再現性のある膜を得ることが困難となる。
【００２０】
この検査用チップへの入射光領域及び出射光領域には、光カップリングのためのグレーティングを形成することが好ましい。
【００２１】
このグレーティングは、光源から照射される光を光導波路層に導入するための、光カップリング機能を実現する部材であり、光導波路層表面と透明基板との界面などに位置する光導波路層表面に形成することによって検査光を、損失を生ずることなく光導波路層に伝搬することができる。このグレーティング部材は、酸化チタン、酸化錫、酸化亜鉛、ニオブ酸リチウム、ガリウムヒ素、インジウム錫酸化物、ポリイミドなどの薄膜をストライプ状とすることによって形成することができる。
【００２２】
このグレーティングを配置する位置としては、図３の（ａ）ないし（ｄ）に示すように、透明基板の下面、透明基板の光導波路層対抗面、光導波路層の透明基板対向面、光導波路層の光吸収材料層対向面のいずれかに配置することも可能である。これらの図において、３１が入射側グレーティング、３２が出射側グレーティングである。
【００２３】
また、光カップリング機能を発揮する部材であれば、前記グレーティングに代えて、他の光学部材例えばプリズムなどを使用することもできる。
【００２４】
以上に説明したこの実施の形態の光学測定装置検査用チップは、光吸収性材料層以外の部分については、センサチップと同等の材料及び構成とすることが望ましい。
【００２５】
［第２の実施の形態：光学測定装置の検査方法］
以下、前述の実施の形態によって得られる光学測定装置検査用チップを用いた光学測定装置の検査方法について説明する。
（光学測定装置）
本実施の形態の光学測定装置の検査方法を適用するのに適した光学測定装置について、その概略断面図である図２を用いて説明する。
この光学測定装置は、血糖値などの生体組織や組織液中に含まれる微量物質の測定や、免疫測定に用いられるものであり、特に可搬型の場合に効果的に適用できる。その構造は、図２に示すように、主として、検査試料である生体組織もしくは生体組織液に接触してその成分を測定する光導波路型センサであるセンサチップ２０と、このセンサチップ２０を脱着可能に保持し、センサチップ２０に検査光を照射し、センサチップ２０から出力される検査光を受光して測定を行う本体３０とからなっている。
【００２６】
本体３０は、検査装置部品を収容する筐体３１と、筐体３１内に配置されているレーザダイオードのような検査光を放射する光源３３、この光源３３から照射される検査光をセンサチップ２０に導くための反射鏡のような光学系３５と、センサチップ２０から出射される検査光を導くための光学系３６と、検査光を受光して電気信号に変換するフォトダイオードのような受光素子３４とからなっている。
【００２７】
前記光源としては、各種発光素子を用いることができるが、特にレーザダイオードが、小型軽量で、低電圧駆動が可能で、光出力も大きいことから、好ましい。
【００２８】
本実施の形態の光学測定装置には、図示していないが、前記センサチップに検査光を照射する光源を制御したり、また前記センサチップから出力される検査光を受光して受光素子によって電気信号に変換された受光量を処理し試料の濃度に変換したり、各要素を制御して測定を行うための処理装置を備えている。
【００２９】
また、この光学測定装置の処理装置には、記憶装置が接続されており、この光学測定装置の使用手順を記憶しておき、検査実施に当たって記憶装置から読み出した手順に従って検査を行うことが好ましい。また、この記憶装置には、前述の光学測定装置検査用チップを用いて検証した特定の装置の光学的特性を記憶しておき、実測定して得られた結果の補正に用いることもできる。
【００３０】
この検査用チップの、本体との相対位置関係は極めて重要である。この位置がずれてしまうと、検査結果に大きな影響を及ぼす。そのために、検査用チップは、本体と取り外し自在に固定されていることが好ましい。具体的には、図４に示すような固定機構を設けて、本体と検査用チップの固定を行うようにすることができる。図４において、筐体２１に検査用チップ１０取り付け用の爪４１及び４２を設け、この爪４１、４２によって検査用チップ１０を位置ずれのないように脱着自在に固定する。これらの爪４１及び４２は、弾性変形可能な材料で形成し、検査用チップの装着は爪の変形によって行うようにしてもよいし、これらの爪４１、４２の一方は、検査用チップと離間する方向に移動可能とし、爪の一方を移動させることによって検査用チップの脱着を行うようにしてもよい。なお、図４に図示していないが、検査用チップが嵌合できる枠体を筐体表面に形成してもよい。
【００３１】
本実施の形態の光学測定装置を構成する要素部品は、図示しない電池から電力の供給を受けて駆動することが好ましい。
【００３２】
この光学測定装置としては、人の血糖値を検査する可搬型の血糖値センサが適している。
【００３３】
（検査方法）
以下、前記検査用チップを用いた光学測定装置の検査方法について説明する。
【００３４】
（検査用チップの製造）
ガラス等の透明基板の表面に、光導波路層薄膜を形成する。この薄膜形成方法としては、蒸着法や、ＣＶＤ法など、半導体装置製造の分野で用いられている薄膜形成手段を採用することができる。
次いで、既知の濃度を有する検査対象物質について、光学系のアライメント等において物理的変位や歪みのない光学測定装置を用いて、特定波長の検査光の吸収率を測定する。そして、この吸収率と同じ吸収率を有する光吸収剤層の材料を選択し、光導波路層薄膜上に成膜する。この成膜においても、前記蒸着法、ＣＶＤ法、あるいは塗着法などを用いることができる。さらに、必要に応じて、検査用チップの所用箇所にグレーティングを薄膜形成法及びエッチング法により形成する。
【００３５】
（光学測定装置の検査方法）
前記によって作成した光学測定装置用検査チップを、検査対象となる光学測定装置本体の筐体上に固定し、検査光を照射して、受光素子によって検査光の光量を測定し、減衰率を算出する。光学測定装置を用いた生体組織もしくは生体組織液の分析においては、通常測定は６０秒程度行うが、本検査用チップによる検査のための光照射は、検査光の光量が安定して出射できるアイドル時間を見込めば十分である。レーザダイオードを用いた場合には、この時間は、たかだか１０ミリ秒である。
【００３６】
この検査用チップを用いた場合の基準減衰率は、この光学測定装置検査用チップの光吸収材料の光吸収率が既知であることから、予測可能であり、実測値がこれと所定の閾値以上に乖離している場合には、光学測定装置の光学系のアレイメント異常、あるいは、光源の動作不良と考えられる。
【００３７】
本発明の光学測定装置で、特に可搬型の場合には、前述のように、光学系のアライメント異常が生じやすく、また、本発明のような工学測定装置に用いるセンサチップは、わずかな寸法変動によっても、光学特性に大きく影響を及ぼすことから、日常的な使用において、定期的に装置の動作・精度の検定を行う必要があるが、その際に標準試料としてこの検査用チップを用い、検査装置の検定を行うことができる。これによって、装置の良否判断や、メインテナンスの必要性判断を、特別な操作法の習熟や知識を要することなく簡便に行うことができる。
【００３８】
［第３の実施の形態：光学測定装置の製造方法］
上記第２の実施の形態においては、検査チップを用いた光学測定装置の良否検査を行う例を示したが、ほぼ同様の手順を、光学測定装置の製造に適用することができる。
光学測定装置の製造においては、前記図２に示すような光学測定装置を構成する部品を筐体に組み込むことによって行うが、前述の通り、この光学測定装置においては光学系のアライメントのズレが、測定結果に大きく影響を及ぼすことから、光学系のアライメントの調整を念入りに行う必要がある。この光学系組み付け・調整工程において、前記光学測定装置検査用チップを用いた減衰率の測定を行い、この減衰率と基準減衰率との乖離が所定の閾値以上である場合には、アライメント誤差が大きいものとして、光学系の再調整を行うことにより、精度の高い光学測定装置を製造することができる。
【００３９】
［第４の実施の形態：光学測定装置の使用方法］
この実施の形態は、本発明の光学測定装置の使用においては、測定試料を載置したセンサチップに検査光で滲入させ、検査光の減衰量から、測定試料中の目的物質の濃度を算出するが、この変換のためには、変換テーブル、検量線、あるいは変換式を用いて変換を行う。ところで、例え同一の設計図面から製造した光学測定装置であっても、光学系のわずからアライメントのズレによって大きく測定結果が異なることから、装置の機差を把握して前記変換テーブル、検量線、あるいは変換式を個々の装置に固有のものに修正する必要がある。
【００４０】
そのために、光学測定装置の製造時に、第２の実施の形態と同様の方法によって、光学測定装置検査用チップを用いて減衰率の測定を行い、その結果をこの光学測定装置に内蔵する記憶装置に記録し、この光学測定装置を用いた測定データの補正を行うことができる。これによって、光学測定装置の機差に基づく装置固有の誤差をキャンセルし、精度の高い測定データを簡便に求めることができる。
【００４１】
また、この方法においては、吸収率の異なる光吸収材料層を有する複数の検査用チップを用いて、複数の基準減衰率を求め、これらから変換テーブル、検量線、あるいは変換式を求めてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の光学測定装置検査用チップの概略断面図である。
【図２】光学測定装置検査用チップを載置した光学測定装置の概略断面図である。
【図３】本発明のグレーティングを形成した光学測定装置検査用チップの断面図である。
【図４】本発明を適用する光学測定装置の外観斜視図である。
【図５】従来の光学測定装置の概略図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０…光学測定装置検査用チップ
１１…透明基板
１２…光導波路層薄膜
１３…光吸収材料層
２０…検査装置本体
２１…筐体
２２…光源
２３…受光素子
２４、２５…光学系
２６…入射光
２７…出射光
３１…入射側グレーティング
３２…出射側グレーティング
４１…第１の固定爪
４２…第２の固定爪
５１…透明基板
５２…光導波路層膜
５３…センシング薄膜
５４…検査試料
５５…筐体
５６…光源
５７,５８…光学系
５９…受光素子
【図１】
2007178325.tif 000003
【図２】
2007178325.tif 000004
【図３】
2007178325.tif 000005
【図４】
2007178325.tif 000006
【図５】
2007178325.tif 000007