(57)【要約】【課題】ブラシレスモータに用いる永久磁石の磁力のバラツキや取り付け位置誤差による磁気特性の影響を排除し、高精度回転を可能とする。【解決手段】ブラシレスモータ１０１Ｍのロータ位置を検出する位置検出回路１０１と、ブラシレスモータ１０１Ｍの各モータコイルに通電する出力パターンを生成する相出力生成部１０２と、前記各モータコイル１０１ａに通電し、電流駆動するプリドライバ１０５及びドライバ１０６とを有するモータ駆動装置１００において、前記ブラシレスモータ１０１Ｍのロータ１０１ｄあるいはステータ１０１ｂに用いられる界磁磁石１０１ｃの磁力特性と相出力生成部１０２によって生成された出力パターンとを合成する相出力合成部１０３を備え、ドライバ１０６は相出力合成部１０３によって合成された駆動信号に基づいてブラシレスモータ１０１Ｍを回転駆動する。【選択図】図１
2007215360.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブラシレスモータのロータ位置を検出する位置検出手段と、
前記ブラシレスモータの各モータコイルに通電する出力パターンを生成する出力パターン生成手段と、
前記各モータコイルに通電し、電流駆動する駆動手段と、
を有するモータ駆動装置において、
前記ブラシレスモータのロータあるいはステータに用いられる界磁磁石の磁力特性と前記出力パターン生成部によって生成された前記出力パターンとを合成する合成手段を備え、前記駆動手段は前記合成手段によって合成された駆動信号に基づいて前記ブラシレスモータを回転駆動することを特徴とするモータ駆動装置。
【請求項２】
前記駆動手段は、前記モータの相パターンを出力するプリドライバと、
前記モータのコイルを電流駆動するドライバと、
を含むことを特徴とする請求項１記載のモータ駆動装置。
【請求項３】
前記磁力特性が、前記ブラシレスモータのロータあるいはステータに用いられる界磁磁石の磁力を検出する磁力検出手段、及び当該磁力検出手段によって検出された磁力の磁気特性を取得する磁力測定手段を有する前記モータ駆動装置本体とは別体に設けられ、データ取得時にのみ接続される磁力測定装置によって計測された磁気特性であることを特徴とする請求項１又は２記載のモータ駆動装置。
【請求項４】
前記磁力特性が、前記ブラシレスモータの回転軸に接続された検出用モータによって回転させた前記ブラシレスモータの各相のコイルに流れる電流の変化から磁力分布特性を取得する前記モータ駆動装置本体とは別体に設けられ、データ取得時にのみ接続される磁力測定装置であることを特徴とする請求項１又は２記載のモータ駆動装置。
【請求項５】
前記磁力測定装置によって得られた磁力特性を記憶する不揮発性の記憶手段を備えていることを特徴とする請求項３又は４記載のモータ駆動装置。
【請求項６】
前記ロータに基準位置を設定し、前記位置検出手段によって検出された基準位置から順番に電流駆動パターンを生成することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のモータ駆動装置。
【請求項７】
前記基準位置からのデータはロータ１周分であることを特徴とする請求項６記載のモータ駆動装置。
【請求項８】
前記電流パターンは前記ロータの複数回のデータの平均値を用いて生成することを特徴とする請求項６記載のモータ駆動装置。
【請求項９】
前記ブラシレスモータがダイレクト駆動モータであることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載のモータ駆動装置。
【請求項１０】
前記界磁磁石の前記コイルに対向する側の面が凸状に湾曲していることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載のモータ駆動装置。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１項に係るモータ駆動装置を備えていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１２】
ブラシレスモータのロータ位置を検出する位置検出手段と、前記ブラシレスモータの各モータコイルに通電する出力パターンを生成する出力パターン生成手段と、前記各モータコイルに通電し、電流駆動する駆動手段とを有するモータ駆動装置の駆動方法において、
前記モータ駆動装置外に設けられた前記ブラシレスモータのロータあるいはステータに用いられる界磁磁石の磁力特性を検出する磁力特性検出手段からの前記磁力特性と、前記出力パターン生成部によって生成された前記出力パターンとを合成し、この合成された駆動信号に基づいて前記ブラシレスモータを回転駆動することを特徴とするモータ駆動装置の駆動方法。
【請求項１３】
ブラシレスモータのロータ位置を検出する位置検出手段と、前記ブラシレスモータの各モータコイルに通電する出力パターンを生成する出力パターン生成手段と、前記各モータコイルに通電し、電流駆動する駆動手段とを有するモータ駆動装置の駆動方法において、
前記モータ駆動装置外に設けられた前記ブラシレスモータのロータあるいはステータに用いられる界磁磁石の磁力特性を検出する磁力特性検出手段からの前記磁力特性を記憶し、前記出力パターン生成部によって生成された前記出力パターンと前記記憶された磁力特性とを合成し、この合成された駆動信号に基づいて前記ブラシレスモータを回転駆動することを特徴とするモータ駆動装置の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はブラシレスモータのモータ駆動装置及びこのモータ駆動装置を備えた複写機、プリンタ、ファクシミリ及びデジタル複合機などの画像形成装置、並びに前記モータ駆動装置の駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、モータ駆動において高精度回転を実現するためには、高精度で高分解能であるエンコーダを駆動系に用いることで、精度のある回転速度のモータ駆動を行っていた。しかし、高精度で高分解能なエンコーダの使用は高価であり実用化には適さないという欠点がある。そこでその解決策とし、特許文献１記載のように高精度、高分解能のエンコーダを用い、工場内工程でモータ駆動系の低価格低分解能な搭載エンコーダ出力パルス間隔を測定し、その測定値をメモリに記憶し、その測定値を用いモータを一定角速度に回転させることによって、モータ駆動系に高精度、高分解能なエンコーダを使用しなくても、高精度、高品質なモータ駆動を可能としている。
【特許文献１】特開２００５−３３９２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、最近ではさらに高精度回転が可能なモータを求められている。これは、カラー画像形成装置においては、色を重ね合わせるときに、その位置が狙いの位置からずれてしまい、画像上で色むらなどの不具合が発生することがあるからである。このずれや色むらの発生原因としてブラシレスモータに用いる永久磁石の磁力のバラツキや磁石の取り付け位置の誤差の影響がある。
【０００４】
本発明は、このような背景に鑑みてなされたもので、その目的は、ブラシレスモータに用いる永久磁石の磁力のバラツキや取り付け位置誤差による磁気特性の影響を排除し、高精度回転を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するため、第１の手段は、ブラシレスモータのロータ位置を検出する位置検出手段と、前記ブラシレスモータの各モータコイルに通電する出力パターンを生成する出力パターン生成手段と、前記各モータコイルに通電し、電流駆動する駆動手段とを有するモータ駆動装置において、前記ブラシレスモータのロータあるいはステータに用いられる界磁磁石の磁力特性と前記出力パターン生成部によって生成された前記出力パターンとを合成する合成手段を備え、前記駆動手段は前記合成手段によって合成された駆動信号に基づいて前記ブラシレスモータを回転駆動することを特徴とする。
【０００６】
第２の手段は、第１の手段において、前記駆動手段が前記モータの相パターンを出力するプリドライバと、前記モータのコイルを電流駆動するドライバとを含むことを特徴とする。
【０００７】
第３の手段は、第１又は第２の手段において、前記磁力特性が、前記ブラシレスモータのロータあるいはステータに用いられる界磁磁石の磁力を検出する磁力検出手段、及び当該磁力検出手段によって検出された磁力の磁気特性を取得する磁力測定手段を有する前記モータ駆動装置本体とは別体に設けられ、データ取得時にのみ接続される磁力測定装置によって計測された磁気特性であることを特徴とする。
【０００８】
第４の手段は、第１又は第２の手段において、前記磁力特性が前記ブラシレスモータの回転軸に接続された検出用モータによって回転させた前記ブラシレスモータの各相のコイルに流れる電流の変化から磁力分布特性を取得する前記モータ駆動装置本体とは別体に設けられ、データ取得時にのみ接続される磁力測定装置であることを特徴とする。
【０００９】
第５の手段は、第３又は第４の手段において、前記磁力測定装置によって得られた磁力特性を記憶する不揮発性の記憶手段を備えていることを特徴とする。
【００１０】
第６の手段は、第１ないし第６のいずれかの手段において、前記ロータに基準位置を設定し、前記位置検出手段によって検出された基準位置から順番に電流駆動パターンを生成することを特徴とする。
【００１１】
第７の手段は、第６の手段において、前記基準位置からのデータはロータ１周分であることを特徴とする。
【００１２】
第８の手段は、第６の手段において、前記ロータの複数回のデータの平均値を用いて前記電流パターンを生成することを特徴とする。
【００１３】
第９の手段は、第１ないし第８のいずれかの手段において、前記ブラシレスモータがダイレクト駆動モータであることを特徴とする。
【００１４】
第１０の手段は、第１ないし第９のいずれかの手段において、前記界磁磁石の前記コイルに対向する側の面が凸状に湾曲していることを特徴とする。
【００１５】
第１１の手段は、第１ないし第１０のいずれかの手段に係るモータ駆動装置を画像形成装置が備えていることを特徴とする。
【００１６】
第１２の手段は、ブラシレスモータのロータ位置を検出する位置検出手段と、前記ブラシレスモータの各モータコイルに通電する出力パターンを生成する出力パターン生成手段と、前記各モータコイルに通電し、電流駆動する駆動手段とを有するモータ駆動装置の駆動方法において、前記モータ駆動装置外に設けられた前記ブラシレスモータのロータあるいはステータに用いられる界磁磁石の磁力特性を検出する磁力特性検出手段からの前記磁力特性と、前記出力パターン生成部によって生成された前記出力パターンとを合成し、この合成された駆動信号に基づいて前記ブラシレスモータを回転駆動することを特徴とする。
【００１７】
第１３の手段は、第１２の手段と同様の前提のモータ駆動装置の駆動方法において、前記モータ駆動装置外に設けられた前記ブラシレスモータのロータあるいはステータに用いられる界磁磁石の磁力特性を検出する磁力特性検出手段からの前記磁力特性を記憶し、前記出力パターン生成部によって生成された前記出力パターンと前記記憶された磁力特性とを合成し、この合成された駆動信号に基づいて前記ブラシレスモータを回転駆動することを特徴とする。
【００１８】
なお、後述の実施形態では、ブラシレスモータはＤＣモータ１０１Ｍに、ロータ符号１０１ｄに、モータコイルはコイル１０１ａに、ステータは符号１０１ｂに、界磁磁石は符号１０１ｃに、記憶手段は不揮発メモリ１０７に、基準位置はホームポジションセンサ１０１ｅによって検出される位置に、位置検出手段は位置検出回路１０１に、出力パターン生成手段は相出力生成部１０２に、駆動手段はプリドライバ１０５及びドライバ１０６に、合成手段は相出力合成部１０３に、磁力検出手段は磁力検出器１１１に、磁力測定手段は磁力測定器１１２に、磁力測定装置は磁力測定部１１０及び２０１に、検出用モータは符号２０２に、それぞれ対応する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、検出した磁気特性を用いてモータを駆動するので、ブラシレスモータに用いる永久磁石の磁力のバラツキや取り付け位置誤差による磁気特性の影響を排除し、高精度回転が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。
【００２１】
＜第１の実施形態＞
図１は本発明の実施形態に係る３相モータ（アウターロータ）を駆動するための制御構成を示すブロック図である。同図において、モータ制御部１００は、位置検出回路１０１、相出力生成部１０２、相出力合成部１０３、安定制御回路１０４、プリドライバ１０５、ドライバ１０６、及びメモリ部（不揮発メモリ）１０７から基本的に構成されている。
【００２２】
位置検出回路１０１はＤＣモータ１０１Ｍのステータに取り付けたホール素子１０８によりロータの位置磁石の位置を検出する回路である。相出力生成部１０２は位置検出回路１０１により、どの相に電流駆動するかを決める出力パターンを生成する回路である。相出力合成部１０３はメモリ１０７内のデータと相出力生成部１０２からの信号、トルク指令値を合成しＰＷＭを生成する回路である。安定制御回路部１０４は、エンコーダ１０９からの信号に基づいてモータを一定速で回転させるためにトルクをコントロールする制御部である。プリドライバ１０５はモータ１０１ＭをＰＷＭ駆動するためのＰＷＭ出力部である。ドライバ１０６はモータ１０１Ｍに大電流を流すための駆動ドライバである。
【００２３】
磁力測定部１１０は磁力検出器１１１、磁力測定器１１２及びコントローラ１１３から構成されている。磁力検出器１１１は界磁磁石永久磁石の磁力を検出する装置であり、磁力測定器１１２は磁力検出器１１１による磁力の分布を測定する装置である。コントローラ１１３は前記磁力測定値１１２による測定データを処理するもので、測定データの平均化処理を行い、メモリ１０７に書き込む機能を有する。また、エンコーダ１０９はモータ１０１Ｍの回転軸と同期して回転し、モータ１０１Ｍの回転をパルス状の信号として取り出し、モータ１０１Ｍの回転数、回転速度などを検出する。
【００２４】
図２は本実施形態に係る３相８極のアウターモータ１０１Ｍの断面図である。同図に示すようにアウターモータ１０１Ｍは、中心側に３相のコイル１０１ａを備えたステータ１０１ｂと、８個の界磁磁石１０１ｃを内面に備えたロータ１０１ｄとから基本的に構成され、ロータ１０１ｄの外周部にホームポジションセンサ１０１ｅが設けられている。このホームポジションセンサ１０１ｅはロータ１０１ｄの回転基準位置を検出するもので、この実施形態では、光センサによって構成され、ロータ１０１ｄの外周に突設されたフィラーの通過を検知することによりホームポジション（基準位置）を検出する
図１のように構成された本実施形態では磁力測定とその磁力データの取得は工場内工程で行い、モータ出荷時は磁力を測定する測定機から切り離される。すなわち、図１において磁力測定部１１０は工場内の磁力測定工程のみ使用され、一旦、データがメモリ１０７に格納されると、磁力測定部１１０は不要となる。磁力測定器１１２はモータ回転軸に特別な治具を用いて偏芯なく取り付けられる。そして、磁力検出器１１１をモータ１０１Ｍによって高精度に回転させ、モータ１０１Ｍのロータに取り付けられている永久磁石の磁力分布をホームポジションから所定のサンプリングで抽出し、ロータ数周分のデータを採取する。ホームポジションからサンプリング毎に平均化し、モータ制御部１００のメモリ１０７に順番に記憶する。データのサンプリング周期は、正弦波駆動するダイレクト駆動のモータのＰＷＭ周期と一致させる。必ず一致させる必要はないが、同じにすることで性能が上がる。以上が工場工程内で行なう作業であり、モータ１０１Ｍの固有磁力データを一括して取得することになる。
【００２５】
測定されたモータ１０１Ｍを回転駆動させる場合は、従来通りにモータ１０１Ｍを正弦波駆動させ、この駆動出力によりモータ１０１Ｍを回転させる。相出力合成部１０３でロータのホームポジションを検知したら、メモリ１０７に記憶されているデータをホームポジションから順番に読み出し、正弦波駆動するＰＷＭと合成し、モータ１０１Ｍを駆動する。このようにして磁力測定器１１２で測定した磁力データをＰＷＭに反映させることによりトルクリップルを低減した正弦波駆動を実現することができる。
【００２６】
図２に示すように界磁磁石１０１ｃはロータ１０１ｄに接着によって固定されるが、理想の取り付け位置に精度よく固定できるわけではない。そのため微小な位置の違いによる磁界の変化や界磁磁石個々の大きさの違いによる磁界の変化が生じることになる。そこで、モータ１０１Ｍを高精度で回転させるためには、前述のように磁界の変化を補正すれば良い。また、ロータ１０１ｂに磁化される前の状態の磁性体を接着し、着磁作業で永久磁石を作成する際、着磁が必ずしも均一になるとは限らない。その磁力のバラツキが生じても、前述の補正を行うことにより高精度なモータ回転を実現することができる。
【００２７】
なお、磁力線を均一にするために界磁磁石を湾曲形状にすると良い。すなわち、図３の断面図に示すように図２の界磁磁石１０１ｃの内面側を湾曲させる。すなわち、ダイレクトモータでは、僅かな磁力変化がモータ回転駆動に影響を与えてしまう。そのため界磁磁石１０１ｃの面を湾曲にし、トルクリップルの低減を図るが、前述のような補正を組み合わせると、さらに高精度なモータ回転を実現することができる。
【００２８】
図４は理想の正弦波駆動と補正した正弦波駆動の波形の一例を示す図である。
【００２９】
＜第２の実施形態＞  
図５は第２の実施形態に係る３相モータ（アウターロータ）を駆動するための制御構成を示すブロック図である。この実施形態では、第１の実施形態における磁力検出に代えて誘起電圧を利用して磁力検出を行っている。そこで、本実施形態におけるモータ制御部１００は第１の実施形態におけるモータ制御部１００に対して電流検出抵抗２００を設けた構成とした。電流検出抵抗２００ＤＣモータのコイル１０１ａの各相に直列接続されており、検出抵抗の両端の電圧からコイルに流れる電流を検出するためのものである。
【００３０】
磁力測定部２０１は検出用モータ２０２、モータ軸とのジョイントに使用するカップリング２０３及びコントローラ２０４から構成される。検出用モータ２０２はＤＣモータとカップリングで接続され、検出用モータ２０２を回転駆動させてＤＣモータ１０１Ｍを回転させる。このようにしてＤＣモータ１０１Ｍのロータ１０１ｄが回転すると、ＤＣモータ１０１Ｍの各相のコイル１０１ａに起電力が発生する。そこで、検出抵抗２００の両端を測定すると、各相に流れる電流の変化を検出することができる。コントローラ２０４では、コイル１０１ａの各相に流れる電流の変化から磁力の分布を測定し、その測定データの平均化処理を行い、メモリ１０７に書き込む。
【００３１】
その他の各部は第１の実施形態と同等に構成され、同等に機能する。
【００３２】
このように構成された第２の実施形態においても第１の実施形態と同様に磁力測定とその磁力データは工場内工程で行い、モータ出荷時は測定機から切り離す。検出用モータ２０２はＤＣモータ１０１Ｍの回転軸に特別な治具を用いて偏芯なく取り付ける。そして、検出用モータ２０２を高精度に回転させ、各相電流からモータ１０１Ｍのロータ１０１ｄに取り付けられている永久磁石（界磁磁石１０１ｃ）の磁力分布をホームポジションから所定のサンプリングで抽出し、ロータ数周分のデータを採取する。ホームポジションからサンプリング毎に平均化し、モータ制御部１００のメモリ１０７に順番に記憶する。
【００３３】
磁力測定部２０１を外した後のモータ１０１Ｍの制御は第１の実施形態と同様であり、本実施形態においても磁力データをＰＷＭに反映させることによって、トルクリップルを低減した正弦波駆動を実現することができる。
【００３４】
＜第３の実施形態＞
前記第１及び第２の実施形態におけるモータ駆動装置は例えば図に要部を示した画像形成装置に適用される。
【００３５】
今日、電子写真装置では、カラー複写機やカラープリンタなど、カラーのものが多くなってきている。その中でも、複数の感光体２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄのそれぞれに個別に現像装置を備え、各感光体２ａ〜２ｄ上にそれぞれ単色トナー画像を形成し、それらの単色トナー画像を順次転写してシートに合成カラー画像を記録するタンデム型が増えてきている。色を重ね合わせるときに、その位置が狙いの位置からずれてしまい、画像上で色むらなどの不具合が発生することがある。その色ズレの原因の一つとして、各ドラム２ａ〜２ｄの速度ムラよる要因があることが解っている。そこで、ドラムモータ６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄに前記実施形態に係るモータ１０１Ｍを採用すると色ずれを防止する一助となる。なお、図６において駆動ローラ８と従動ローラ９と加圧ローラ１３との間に転写ベルト４が張設され、１次転写部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄにおいて転写ベルト４上で各色トナーが転写され重畳されたカラー画像が搬入されてきたシートＡに搬送ベルト５を兼用する２次転写部３で転写し、図示しない後段の定着装置で定着してシート状に可視画像が形成されることになる。その他、カラー複写機及びカラープリンタの動作説明は公知なので、特に説明しない。
【００３６】
図６に示すようなタンデム型の画像形成装置では、感光体２ａ〜２ｄをそれぞれ駆動する各々のモータ６ａ〜６ｄの駆動制御を行うモータ駆動制御部７、転写ベルト４を駆動する駆動ローラ８を駆動するモータ１０の駆動制御を行うモータ駆動制御部１１、及び搬送ベルト５を駆動するモータ１４の駆動制御を行うモータ駆動制御部１５がそれぞれ設けられており、これらのモータ駆動制御部７，１１，１５のそれぞれについて図１あるいは図５に示したモータ制御部１００によって回転駆動制御を実行する。
【００３７】
従って、図６に示すようにタンデム型中間転写方式で実施する場合には、工場内工程で、各色の感光体ドラム２ａ〜２ｄを回転させて、各色の磁気特性のデータをそれぞれ備えてある不揮発性メモリ１０７に記憶させ、このデータを用いてＤＣモータ６ａ〜６ｄを制御すると、画像形成時に各々のドラムを精度良く回転させることが可能となりこれにより色ずれを低減させることができる。また、図６の転写ベルト４を回転させるモータ１０に上記モータ駆動装置を用いることにより画像の伸び縮みや色ズレの低減することができる。更には、図６の２次転写部の搬送ベルト駆動モータ１４に適用すると、転写時における画像の伸び縮みを低減することができる。
【００３８】
また、ドラム駆動、ベルト駆動、２次転写駆動の駆動源が少なくとも１つになったとしても、第１及び第２の実施形態に係るモータ駆動装置を適用することにより色ずれを低減することが可能となる。
【００３９】
更には、タンデム式ではなく、１つの感光体ドラム各色を重ねて画像形成する場合でも、上記で述べたモータ駆動装置を用いることにより色ずれを低減することができる。
【００４０】
以上のように本実施形態によれば、
１）界磁磁石の取り付け位置、着磁の際の磁力のバラツキがあっても、その界磁磁石の磁力を測定することによって精度良くモータを駆動することができる。  
２）モータの誘起電圧を利用し、磁力を測定するので、回路と測定器を簡単にすることができる。  
３）基準位置を設けているので、制御装置を簡単にすることができる。  
４）不揮発メモリに計測データを記憶し、記憶した計測データとモータと対応させるので、測定機と制御器を離した状態でモータを高精度で回転駆動することができる。  
５）測定データをロータ一周分としたので、メモリ容量を低減することができる。  
６）測定データを複数回採取し、平均化処理するので、測定誤差の低減を図ることができる。  
７）ダイレクトモータに用いるので、モータも回転ムラの影響を抑制することができる。８）湾曲した界磁磁石（永久磁石）を用いたダイレクト駆動モータの正弦波駆動に用いるので、より精度良く回転ムラを低減することができる。  
９）カラー画像形成装置のモータの駆動制御に適用することにより、色ずれやバンディングを低減することができる。  
等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態に係る３相モータ（アウターロータ）を駆動するための制御構成を示すブロック図である。
【図２】本実施形態に係る３相８極のアウターモータの断面図である。
【図３】界磁磁石を湾曲形状とした３相８極のアウターモータの断面図である。
【図４】理想の正弦波駆動と補正した正弦波駆動の波形の一例を比較して示す図である。
【図５】第２の実施形態に係る３相モータ（アウターロータ）を駆動するための制御構成を示すブロック図である。
【図６】第３の実施形態に係るタンデム型の画像形成装置の作像部の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１００  モータ制御部
１０１Ｍ  ブラシレスモータ（ＤＣモータ）
１０１  位置検出回路
１０１ａ  コイル
１０１ｂ  ステータ
１０１ｃ  界磁磁石
１０１ｅ  ホームポジションセンサ
１０２  相出力生成部
１０３  相出力合成部
１０４  安定制御回路
１０５  プリドライバ
１０６  ドライバ
１０７  不揮発メモリ
１０８  ホール素子
１０９  エンコーダ
１１０，２０１  磁力測定部
１１１  磁力検出器
１１２  磁力測定器
１１３，２０４  コントローラ
２０２  検出用モータ
２０３  カップリング
【図１】
2007215360.tif 000003
【図２】
2007215360.tif 000004
【図３】
2007215360.tif 000005
【図４】
2007215360.tif 000006
【図５】
2007215360.tif 000007
【図６】
2007215360.tif 000008