(57)【要約】【課題】方向性凝固および／または単結晶材料の結晶学的方位を正確かつ非破壊的に決定するための改善されたシステムおよび方法が提供される。【解決手段】さまざまな材料４０上の超音波表面スキミング縦波１８の速度を決定するためのシステムおよび方法がここで説明される。実施態様では、材料４０上の第一の位置Ａにおいて表面スキミング縦波１８を生成し、材料４０上の第二の位置Ｂにおいてこの波１８の少なくとも一部１９を検出し、第一の位置Ａと第二の位置Ｂの間のこの波１８の伝播時間を決定し、次いでこの波１８の速度を決定する。次いでこの速度に基づいて材料４０の一つまたは複数の結晶学的方位を決定できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料上の第一の位置において超音波表面スキミング縦波を生成し、
材料上の第二の位置において超音波表面スキミング縦波の少なくとも一部を検出し、
第一の位置と第二の位置の間の超音波表面スキミング縦波の速度を決定する、
ことを含むことを特徴とする、材料上の超音波表面スキミング縦波の速度を決定する方法。
【請求項２】
前記方法は、以下のものすなわち、接触法、浸漬法、およびバブラー法のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
一旦速度が決定されると、前記方法は、以下のものすなわち、
速度に基づいて材料の少なくとも一つの結晶学的方位を決定すること、および
速度に基づいて複数の材料を互いに分類すること、
の一方または両方をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項４】
材料上の第一の位置において超音波を生成し、
材料上の第二の位置において超音波の少なくとも一部を検出し、
検出された超音波から材料の少なくとも一つの結晶学的方位を決定する、
ことを含むことを特徴とする、材料の少なくとも一つの結晶学的方位を決定する方法。
【請求項５】
前記の決定するステップは、
超音波の伝播時間を測定し、
第一の位置および第二の位置間の距離と、超音波の伝播時間とに基づいて材料の縦速度を決定し、
材料の縦速度を用いて材料の少なくとも一つの結晶学的方位を決定する、
ことを含むことを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記超音波は、材料の一次結晶学的方位に依存するが、材料の二次結晶学的方位には依存しない縦速度を有する表面スキミング縦波を含むことを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項７】
前記材料は、方向性凝固材料、単結晶材料、および多結晶材料のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項８】
前記材料は、ガスタービンエンジン部品を含むことを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項９】
前記ガスタービンエンジン部品は、タービンブレード、燃焼器ライナ、およびブレード外側空気シールのうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記方法は、（ａ）部品が翼上にある間、（ｂ）部品が製造環境にある間、（ｃ）部品がエンジン分解検査工場にある間、（ｄ）部品が材料回収工場にある間、および（ｅ）部品が再加工工場にある間、のうちの少なくとも一つを通して用いられることを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項１１】
前記少なくとも一つの結晶学的方位は、接触法、浸漬法、およびバブラー法のうちの少なくとも一つを介して決定されることを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項１２】
超音波放出器と、
超音波検出器と、
材料上の超音波表面スキミング縦波の速度を決定する手段と、
を含むことを特徴とする、材料上の超音波表面スキミング縦波の速度を測定するためのシステム。
【請求項１３】
超音波表面スキミング縦波の速度を用いて材料の少なくとも一つの結晶学的方位を決定する手段をさらに含むことを特徴とする請求項１２記載のシステム。
【請求項１４】
前記超音波放出器は、材料の表面に対して所定の角度で超音波を放出できることを特徴とする請求項１２記載のシステム。
【請求項１５】
前記超音波検出器は、所定の位置において超音波表面スキミング縦波の少なくとも一部を検出できることを特徴とする請求項１２記載のシステム。
【請求項１６】
前記装置は、接触構成、浸漬構成、およびバブラー構成のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１２記載のシステム。
【請求項１７】
請求項１２記載のシステムを用意し、
このシステムを用いて材料上の超音波表面スキミング縦波の速度を決定する、
ことを含むことを特徴とする、材料上の超音波表面スキミング縦波の速度を決定する方法。
【請求項１８】
請求項１２記載のシステムを用意し、
このシステムを用いて材料の少なくとも一つの結晶方位を決定する、
ことを含むことを特徴とする、材料の少なくとも一つの結晶方位を決定する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、非破壊的測定技術に関し、より詳細には、さまざまな材料上の超音波表面スキミング（ｓｋｉｍｍｉｎｇ）縦波の速度を決定すること、および／または、さまざまな材料上の超音波表面スキミング縦波の速度に基づいてさまざまな材料の結晶学的方位を決定することに関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、いくつかのガスタービンエンジン部品中の割れは、その内部の方向性凝固結晶粒が、期待されるよりかなり大幅に［００１］軸から外れる一次結晶粒方位（ｐｒｉｍａｒｙ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｇｒａｉｎ  ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ）を有することに起因していた。従って、方向性凝固および単結晶材料中の一次結晶粒方位が所定の結晶軸の特定の範囲内に確実に収まるように、この一次結晶粒方位を非破壊的に決定できることが必要となってきた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
単結晶材料の結晶学的方位を決定する従来の非破壊的方法の一つは、ラウエ法として一般に知られており、Ｘ線を材料に照射することを含んでおり、Ｘ線は、そこからおよび／またはそこを透過して反射し、Ｘ線回折パターンとして捕らえられ、次いでこのＸ線回折パターンを解析して材料の結晶学的方位を決定することができる。ラウエ法は、単結晶材料の一次および二次結晶粒方位両方を決定することができるとはいえ、時間が掛かるものであり、また、翼上または製造環境その他おけるさまざまなガスタービンエンジン部品の結晶学的方位を決定するのに容易には用いることができない。さらに、ラウエ法は、柱状結晶粒（ｃｏｌｕｍｎａｒ−ｇｒａｉｎｅｄ）材料（すなわち、方向性凝固材料）中の各個々の結晶粒の結晶学的方位を決定するように柱状結晶粒材料を積み重ね（ｓｔａｃｋｉｎｇ）軸に関して再配置するにはあまりに費用が掛かりまたあまりに煩雑になるであろうから、柱状結晶粒材料には実際上使用できない。
【０００４】
従って、方向性凝固および／または単結晶材料の結晶学的方位を正確かつ非破壊的に決定するための改善されたシステムおよび方法を有するのは望ましいであろう。それは、このような材料の結晶学的方位をその材料上の超音波表面スキミング縦波の測定された速度に基づいて決定できるとすれば、望ましいであろう。それはまた、このようなシステムおよび方法をさまざまな環境（すなわち、翼上、製造環境、エンジン分解検査工場その他）において容易に使用できるとすれば、望ましいであろう。それはなおさらに、これらの速度決定システムおよび方法を、さまざまな材料その他を分類するためなどといった他の目的のために使用できるとすれば、望ましいであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
材料の結晶学的方位を決定するための上に特定した既存のシステムおよび方法の短所は、材料上の超音波表面スキミング縦波の速度を非破壊的に測定するためのシステムおよび方法に関する本発明の実施態様により克服される。測定された速度は次いで、材料の結晶学的方位を決定するため、さまざまな材料を分類するため、その他のためなどといったさまざまな目的のために使用できる。
【０００６】
本発明の実施態様は、材料上の超音波表面スキミング縦波の速度を決定する方法を含む。これらの方法は、材料上の第一の位置において超音波表面スキミング縦波を生成し、材料上の第二の位置において超音波表面スキミング縦波の少なくとも一部を検出し、第一の位置と第二の位置の間の超音波表面スキミング縦波の速度を決定する、ことを含むことができる。一旦速度が決定されると、方法は、速度に基づいて材料の少なくとも一つの結晶学的方位を決定すること、速度に基づいて複数の材料を互いに分類すること、その他をさらに含むことができる。
【０００７】
本発明の実施態様はまた、材料の一つまたは複数の結晶学的方位を決定する方法を含む。これらの方法は、材料上の第一の位置において超音波を生成し、材料上の第二の位置において超音波の少なくとも一部を検出し、検出された超音波から材料の少なくとも一つの結晶学的方位を決定する、ことを含むことができる。決定するステップは、超音波の伝播時間を測定し、第一の位置および第二の位置間の距離と、超音波の伝播時間とに基づいて材料の縦速度（ｌｏｎｇｉｔｕｄｉｎａｌ  ｖｅｌｏｃｉｔｙ）を決定し、材料の縦速度を用いて材料の少なくとも一つの結晶学的方位を決定する、ことを含むことができる。これらの超音波は、材料の一次結晶学的方位に依存するが、材料の二次結晶学的方位には依存しない縦速度を有する表面スキミング縦波を含むことができる。
【０００８】
本発明の実施態様は、材料上の超音波表面スキミング縦波の速度を測定するためのシステムを含む。これらのシステムは、超音波放出器（ｅｍｉｔｔｅｒ）と、超音波検出器と、材料上の超音波表面スキミング縦波の速度を決定する手段と、を含むことができる。システムは、超音波表面スキミング縦波の速度を用いて材料の少なくとも一つの結晶学的方位を決定する手段をさらに含むことができる。超音波放出器は、材料の表面に対して所定の角度で超音波を放出できる必要がある。超音波検出器は、所定の位置において超音波表面スキミング縦波の少なくとも一部を検出できる必要がある。
【０００９】
本発明の実施態様は、方向性凝固材料、単結晶材料および／または多結晶材料に対して用いることができる。これらの材料は、限定される訳ではないが、タービンブレード、燃焼器ライナ、ブレード外側空気シールその他などといったさまざまなガスタービンエンジン部品を含むことができる。
【００１０】
本発明の実施態様は、限定される訳ではないが、（ａ）部品が翼上にある間、（ｂ）部品が製造環境にある間、（ｃ）部品がエンジン分解検査工場にある間、（ｄ）部品が材料回収工場にある間、および／または（ｅ）部品が再加工工場にある間などといったさまざまな環境において用いることができる。
【００１１】
本発明のシステムおよび方法は、接触（ｃｏｎｔａｃｔ）構成、浸漬（ｉｍｍｅｒｓｉｏｎ）構成、および／またはバブラー（ｂｕｂｂｌｅｒ）構成を用いることができる。
【００１２】
本発明のさらなる詳細は、以下の説明の間に当業者には明らかとなるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施態様は、図面全体を通して同様の参照符号が同様の部品を示しているさまざまな図面を参照してここで以下に説明する。
【００１４】
本発明の理解を促進する目的で、図１〜図３に例示される本発明のいくつかの実施態様と、本発明を説明するのに使用する特定の言葉とについてここで言及する。ここで使用する用語は、説明の目的のためであり、限定のためではない。ここに開示する特定の構造上および機能上の詳細は、限定として解釈すべきではなく、単に、本発明をさまざまに用いることを当業者に教示する基礎として解釈すべきである。叙述する構造および方法における任意の変更および変形、および、ここに例示する本発明の原理の当業者には通常生じるようなさらなる適用は、説明しかつ請求する本発明の趣旨および範囲に含まれると考えられる。
【００１５】
本発明は、さまざまな材料上の超音波表面スキミング縦波の速度を測定するためのシステムおよび方法に関する。これらのシステムおよび方法の実施態様は、さまざまな材料上の超音波表面スキミング縦波の測定された速度に基づいてさまざまな材料の少なくとも一つの結晶粒方位（すなわち、一次および／または二次、その他）を非破壊的に決定するのに使用できる。このような実施態様は、材料の単一の結晶粒がそれに対して放出器および検出器を適切に配置するのに十分大きいと仮定すれば、材料の任意の単一の結晶粒に対して（すなわち、方向性凝固材料中の柱状結晶粒に対して、単結晶材料中の単一の結晶粒に対して、および／または、多結晶材料中の単一の結晶粒に対して）用いることができる。本発明の実施態様はまた、例えば、さまざまな材料を分類するなどといった他の目的のために、材料の一つの表面だけが評価に利用できるような任意の目的のために、および／または、縦速度測定が有用その他となり得るような任意の目的のために、有用となり得る。本発明のシステムは、製造環境において、翼上、エンジン分解検査工場において、材料回収または再加工工場その他においてなどといったさまざまな環境におけるほとんど任意の場所で使用するのに十分小さくかつ小型なものとすることができる。
【００１６】
本発明の実施態様は、図１に示すようにピッチ−キャッチ（ｐｉｔｃｈ−ｃａｔｃｈ）超音波構成を有する接触法を用いる。予め決められた角度３０で接触変換器５０内に配置された放出器１０が、材料４０中に超音波ねじれ波（ｓｈｅａｒ  ｗａｖｅ）１６と超音波疎密波（ｃｏｍｐｒｅｓｓｉｏｎａｌ  ｗａｖｅ）１７とを生成する。材料４０の表面４２に沿って伝播する波を含む角度で疎密波１７が屈折すると、表面スキミング縦波１８が生成する。一般にこれは、入射波１４が、接触変換器５０、６０のくさび形材料と分析される材料４０とに対するスネルの法則により定義される第一の臨界角近くである必要があることを意味する。表面スキミング縦波１８は、材料４０の表面４２から漏れ超音波エネルギー１９を放出する漏洩波である。この漏れ超音波エネルギー１９は、検出器２０が材料４０の表面４２と直接接触していると、検出器に伝達される。接触変換器６０内に配置された検出器２０によって、漏れ超音波１９が検出され、それから点ＡおよびＢ間の表面スキミング縦波１８の伝播時間を決定できる。表面スキミング縦波１８および関連する漏れ超音波１９は、ねじれ波１６および任意のその反射成分より速く伝わるので、検出器２０に最初に到達する。表面スキミング縦波１８の伝播時間は、材料４０の縦速度を示しており、この縦速度は、材料の一次結晶粒方位に依存して変化する。
【００１７】
放出器１０は、適切な超音波を放出できる任意の超音波放出器を含むことができる。検出器２０は、所望の超音波を検出できる任意の超音波検出器を含むことができる。実施態様では、超音波は、約５〜１５ＭＨｚの周波数を有することができるが、しかしながら、他の多くの適切な周波数も可能であり、本発明は、任意の特定の周波数域に限定されない。
【００１８】
作動中、放出器１０を、限定される訳ではないが、材料４０の表面４２に対する法線から約２２〜２８°などといった任意の適切な角度３０で超音波を放出するように調節でき、それによって、材料４０の平均速度の縦臨界角近くの角度で疎密波１７が生成される。
【００１９】
点ＡおよびＢの正確な位置は、既知の速度（ｖｅｌｏｃｉｔｙ）（それぞれＶ1およびＶ2）を有する二つの基準試料を用いて、互いに一定の距離に保持された変換器５０および６０を較正することで、容易に決定できる。まず、表面スキミング縦波１８の伝播時間（ｔｉｍｅ  ｏｆ  ｆｌｉｇｈｔ）（それぞれＴＯＦ1およびＴＯＦ2）を、二つの基準試料のそれぞれの上で測定できる。次いで、二つの未知数（点ＡおよびＢ間の表面距離（ｓｕｒｆａｃｅ  ｄｉｓｔａｎｃｅ）ＳＤ、および接触変換器５０、６０内の時間（ｔｉｍｅ  ｗｉｔｈｉｎ）ＴＷ）を超音波について決定できる。表面距離ＳＤは、以下の式：
ＳＤ＝（ＴＯＦ1−ＴＯＦ2）＊（Ｖ2＊Ｖ1）／（Ｖ2−Ｖ1）
によって決定できる。接触変換器５０および６０内で超音波が費やす時間に帰属できる伝播時間ＴＷは、以下の式：
ＴＷ＝ＴＯＦ1−ＳＤ／Ｖ1
によって決定できる。一旦ＳＤおよびＴＷの値が既知になると、次いで、未知の材料上の超音波表面スキミング波の伝播時間（ＴＯＦ未知）を測定して、このＴＯＦ未知を以下の式：
Ｖ未知＝ＳＤ／（ＴＯＦ未知−ＴＷ）
に用いることで、未知の材料の速度（Ｖ未知）を決定できる。その後、縦波速度の変化は、一次結晶粒方位に依存するので、材料４０の一次結晶粒方位を決定できる。
【００２０】
材料４０の一次結晶粒方位は、さまざまな仕方で決定できる。いくつかの実施態様では、材料４０の一次結晶粒方位は、材料４０の測定／計算された縦速度と、既知の結晶粒方位および既知の縦速度を有する試料とを比較することで決定できる。別の実施態様では、材料４０の一次結晶粒方位は、単結晶弾性定数に基づく理論計算から決定できる。
【００２１】
材料４０の二次結晶粒方位もまた決定できる。これは、接触変換器の対５０、６０を二次方位に平行な方向に配置し、一次方位を決定するのに実行したのと同じ計算を実行することで、実施できる。一次方位と同じように、最初に速度を伝播時間測定から導き出し、次いで、関連する方位を、測定または計算された値から決定できる。
【００２２】
本発明の実施態様はまた、図２に示すようにピッチ−キャッチ超音波構成を有する浸漬法を用いることができる。浸漬法は、流体浴２００中で、限定される訳ではないが、水、油その他などといった任意の適切な流体媒質１００中で実行できる。浸漬法においては、接触変換器５０、６０が存在せず、その代わりに、放出器１０と検出器２０の間に一定の流体経路が維持される以外は、浸漬法は、上述した接触法に類似している。一定の流体経路はまた、放出器１０と材料４０の表面４２の間に、また、検出器２０と材料４０の表面４２の間に維持される。浸漬の実施態様では、漏れ超音波エネルギー１９は、検出器２０に伝達されることになり、また、流体媒質１００中へも放出されることができる。浸漬法では、接触法と同様に、放出器１０と検出器２０の間の距離は、一定であり、放出器１０と検出器２０は、一定の位置に保持され、それによって、点ＡおよびＢ間の距離は、一定である。それ以外は、浸漬法における計算および測定は、接触法について上述したものに類似している。
【００２３】
本発明の実施態様はまた、図３に示すようにピッチ−キャッチ超音波構成を有するバブラー法を用いることができる。バブラー法は、上述した接触法に類似しているが、バブラー法においては、任意の適切な流体（すなわち、水、油その他）を、放出器１０から材料４０へ、また、材料４０から検出器２０へと超音波を運ぶのに使用できる。管または他の適切なバブラー変換器１１、２１を、放出器１０と材料４０の間に、また、検出器２０と材料４０の間に流体経路を維持するように流体を保持するのに、使用できる。バブラーの実施態様では、漏れ超音波エネルギー１９は、バブラー変換器２１内の流体を通して検出器２０に伝達されることになる。それ以外は、バブラー法における計算および測定は、接触法について上述したものに類似している。
【００２４】
本発明は、航空および／または地上をベースとするガスタービンエンジン部品に使用されるものなどといった多くの方向性凝固または単結晶材料の結晶学的方位を決定するのに使用できる。本発明と共に使用できる例示的な部品のいくつかは、限定される訳ではないが、高圧タービンブレード、低圧タービンブレード、燃焼器ライナ、ブレード外側空気シールその他などを含む。
【００２５】
本発明はさまざまな目的に使用できる。さまざまな材料の結晶粒方位を決定するのに表面スキミング縦波１８の速度を用いるのに加えて、表面スキミング縦波１８の速度はまた、例えば、さまざまな材料を互いに分類すること、厚み測定に次には使用できるであろう縦速度を決定すること、その他などといった他の目的に使用できる。異なる材料は異なる速度を有するであろうから、さまざまな材料を互いに分類できる。
【００２６】
さまざまな接触、浸漬、およびバブラー法を、本発明の実行可能性および正確さを実証するのに用いた。超音波表面スキミング縦波を、さまざまなニッケル合金、チタン合金、アルミニウム合金、および銅合金を含む、さまざまな多結晶、方向性凝固、および単結晶材料について、観察および測定した。
【００２７】
実施態様では、接触法は、内部に埋め込まれた５〜１５ＭＨｚ変換器を有するパースペクス（Ｐｅｒｓｐｅｘ）（登録商標）材料で作成されたくさびを用いた。試験した入射角３０は、材料４０の表面４２に対する法線から約２５〜３０°で変化した。いくつかの試料は、単結晶材料で構成され、それによって、一次結晶粒方位に対する速度依存性を試験できた。さまざまな材料のバルクの縦速度をまた、特定の方位において測定し、それによって、これらと、表面スキミング縦波の速度との比較を行うことができた。
【００２８】
実施態様では、浸漬法は、１０ＭＨｚ変換器と水を用いた。いくつかの測定を、既知の速度を有するさまざまな材料に対して行った。いくつかの実施態様は、パルス／エコーモードで単一の変換器を用いて、縁部からの反射信号について伝播時間の測定値を得た。他の実施態様は、ピッチ／キャッチ構成で二つの浸漬変換器を、これらの間に既知の間隔を有する固定具内で用いて、超音波表面スキミング縦波について伝播時間の測定値を得た。
【００２９】
実施態様では、バブラー法は、一定の位置に小型のバブラー変換器１１、１２を保持する固定具を用いて、超音波表面スキミング縦波について伝播時間の測定値を得た。
【００３０】
未知の結晶粒方位を有する試料の超音波表面スキミング縦波の速度と、ラウエＸ線法で前もって決定された結晶粒方位を有する既知の結晶粒方位を有する試料の速度とを比較した。このような速度は、未知の試料の表面上のさまざまな位置および方位（すなわち、３６０°全体）で未知の試料に対して測定して、それから結晶粒方位を決定した。本発明の方法によって得られた結晶粒方位は、ラウエ法により得られたものと約±１°以内で一致するのが見出された。
【００３１】
超音波（すなわち、縦波およびねじれ波）は、多結晶材料中の表面下の反射物を検査するのに用いられてきており、また、超音波（すなわち、レイリー表面波）は、さまざまな多結晶材料中の表面異常を測定／検査するのに用いられてきたとはいえ、超音波（すなわち、表面スキミング縦波）は、さまざまな材料の速度を決定して、方向性凝固または単結晶材料の結晶粒方位を決定すること、および／または、さまざまな材料その他を分類することのためには用いられていなかった。超音波縦波およびねじれ波を、多結晶材料中の表面下の反射物を検査するのに用いると、反射超音波の振幅および伝播時間を、材料の体積内の特徴を検出および評価するのに使用できる。超音波レイリー表面波を、さまざまな多結晶材料中の表面異常を測定／検査するのに用いると、レイリー表面波の異常を、材料上の表面欠陥を評価するのに使用できる。超音波表面スキミング縦波を用いると、超音波表面スキミング縦波が材料の表面に沿って伝わる速度を、とりわけ、材料の結晶粒方位を決定するのに使用できる。これらは、三つの非常に異なる技術であって、それぞれ、異なる種類の材料に対する非常に異なる重要項目を測定するものである。
【００３２】
上述したように本発明は、さまざまな材料上の表面スキミング縦波の速度を非破壊的に決定するためのシステムおよび方法を提供する。有利なことには、本発明のシステムおよび方法は、さまざまな環境（すなわち、翼上、製造環境、エンジン分解検査工場、材料回収工場、再加工工場その他）において、容易かつ経済的に使用できる。さらに、本発明のシステムおよび方法は、さまざまな目的（すなわち、さまざまな材料の結晶粒方位を決定すること、さまざまな材料を分類すること、縦速度測定が有用となり得るような任意の目的、その他）のために使用できる。ラウエ法を使用できないような環境において本発明のシステムおよび方法を用いることができるのに加えて、本発明は、多くの場合にラウエ法の代わりに、またラウエ法よりかなり容易に、用いることもできるであろう。多くの他の利点は、当業者には明らかになるであろう。
【００３３】
本発明のさまざまな実施態様を、本発明が適合するさまざまな要求を履行して説明した。これらの実施態様は、本発明のさまざまな実施態様の原理の単なる例示である。本発明のさまざまな変更物および適応物は、本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく当業者に明らかとなるであろう。従って、添付の請求項およびその均等物の範囲に含まれるような適切な変更物および変形物全てを本発明が包含することが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】ピッチ−キャッチ超音波構成を有する接触法を用いた本発明の実施態様を示す概略図である。
【図２】ピッチ−キャッチ超音波構成を有する浸漬法を用いた本発明の実施態様を示す概略図である。
【図３】ピッチ−キャッチ超音波構成を有するバブラー法を用いた本発明の実施態様を示す概略図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０…放出器
１８…表面スキミング縦波
２０…検出器
４０…材料
４２…表面
５０、６０…接触変換器
１００…流体媒質
１１、２１…バブラー変換器
【図１】
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【図２】
2007292524.tif 000004
【図３】
2007292524.tif 000005
【外国語明細書】
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