(57)【要約】      （修正有）【課題】シーラントディスペンサ内の少なくとも１つの支持フレームのアラインメントを調整する方法を開示する。【解決手段】この方法は、ガラス基板上に設けられた少なくとも２つの修正マークを識別し、アラインメントセンサを第１の方向に移動させるステップを含む。ここで、第１の方向は支持フレームの長辺側に平行な方向である。この方法はさらに、アラインメントセンサによって識別された少なくとも２つの修正マークを連結させる想定直線が第１の方向に平行であるかどうかを判断するステップと、想定直線が第１の方向に平行であるように、少なくとも１つの支持フレームのアラインメントを調整するステップとを含む。【選択図】図３
2007178964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シーラントディスペンサにおける少なくとも１つの支持フレームのアラインメントを調整する方法であって、
ガラス基板上に設けられた少なくとも２つの修正マークを識別し、支持フレームの長辺側に平行な方向である第１の方向にアラインメントセンサを移動させるステップと、
前記アラインメントセンサによって識別された少なくとも２つの修正マークを修正する想定直線が第１の方向と平行であるかどうかを判断するステップと、
前記想定直線が第１の方向に平行であるように、少なくとも１つの支持フレームのアラインメントを調整するステップと、を含むことを特徴とするシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項２】
少なくとも２つの修正マークが、前記アラインメントセンサによって認識されるように印刷又は識別子が付けられていることを特徴とする請求項１に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項３】
前記アラインメントセンサがヘッドユニットに連結されていることを特徴とする請求項１に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項４】
前記ヘッドユニットが少なくとも１つの支持フレーム上に設けられていることを特徴とする請求項３に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項５】
前記想定直線が支持フレームの長辺側に沿って、ヘッドユニットが移動する経路と比較されることを特徴とする請求項１に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項６】
支持フレームの長辺側に沿ってヘッドユニットが移動する経路が、第１の方向に平行であることを特徴とする請求項５に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項７】
第１の支持フレームの第１の端部をリニアモータガイドに沿って移動させ、第１の支持フレームの第２の端部を固定させることによって、該第１の支持フレームのアラインメントが第２の支持フレームに対して調整されることを特徴とする請求項１に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項８】
第１の支持フレーム及び第２の支持フレームが互いに平行になった後に、ガラス基板を第１の方向又は第２の方向に回転させ、それによってガラス基板の何れか一方側が支持フレームに平行又は垂直の何れかになるステップをさらに含む方法であって、該第２の方向は支持フレームの長辺側に垂直な方向であることを特徴とする請求項１に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項９】
少なくとも２つの支持フレームがある場合、請求項１の各ステップが少なくとも２つの支持フレームそれぞれに対してうまく行われたことを確認するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項１０】
シーラントディスペンサにおける少なくとも１つの支持フレームのアラインメントを調整する方法であって、
少なくとも２つの支持フレームの間の少なくとも２つの距離を測定するステップと、
もしあれば、測定した距離の差を算出するステップと、
測定した距離が異なる場合に、測定した距離を等しくする修正距離を利用することによって支持フレームのアラインメントを調整するステップであって、修正距離が測定した距離の差であるステップと、を含むことを特徴とするシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項１１】
少なくとも２つの距離は、少なくとも２つのフレームの一方の上に設けられた少なくとも２つのセンサによって測定されることを特徴とする請求項１０に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項１２】
少なくとも２つのセンサが、支持フレームの各端部の近く、又は端部に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項１３】
少なくとも２つのセンサが、各センサに垂直な光又はレーザを発射することによって、センサから別の支持フレームまでの距離を測定することを特徴とする請求項１１に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項１４】
支持フレームの第１の端部を修正距離に従った距離にリニアモータガイドに沿って移動させることによって、支持フレームが調整されることを特徴とする請求項１０に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項１５】
２つの支持フレームの間の平行状態を得るように、第１の端部がもう一方の支持フレームに向かって、又はそこから離れるように移動することを特徴とする請求項１４に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項１６】
２つの支持フレームを互いに平行にするように、第１の支持フレームの第１の端部、及び第２の支持フレームの第２の端部を別々に、該第２の支持フレームに対して移動させることによって、該第１の支持フレームが調整されることを特徴とする請求項１０に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項１７】
第１の支持フレーム及び第２の支持フレームが、該第１の支持フレームと該第２の支持フレームの間の平行状態が得られるように、リニアモータガイドに沿って移動することを特徴とする請求項１０に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項１８】
ガラス基板の何れか一方側が支持フレームに平行又は垂直になるように、第１の支持フレーム及び第２の支持フレームが互いに平行になった後に、ガラス基板を第１の方向又は第２の方向に回転させるステップをさらに含み、該第２の方向は支持フレームの長辺側に垂直な方向であることを特徴とする請求項１０に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項１９】
支持フレームを調整した後に、少なくとも２つの支持フレームが互いに平行であるかどうかを確認するステップと、
少なくとも２つの支持フレームの間の少なくとも２つの距離を測定するステップと、
測定した距離の差を算出するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法。
【請求項２０】
ディスペンス動作を行う装置であって、
装置の本体を表すフレームと、
前記フレームの上側表面に配置されたテーブルと、
上側表面に配置され、上にシーラントがディスペンスされるガラス基板を受けるように、前記テーブルに取り付けられたステージと、
前記テーブルの両側に配置されたリニアモータガイドと、
少なくとも２つの支持フレームが前記リニアモータガイドに沿って移動できるように、前記リニアモータガイドの間に配置され、前記リニアモータガイドに垂直に配置された少なくとも２つの支持フレームと、
修正マークを認識するように、第１の方向に移動するアラインメントセンサと、
前記アラインメントセンサを第１の方向に駆動する駆動ユニットと、を備える装置であって、
前記第１の方向は支持フレームの長辺側に平行な方向であることを特徴とするシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整装置。
【請求項２１】
装置が、シーラントディスペンサ又は液晶ディスペンサであることを特徴とする請求項２０に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整装置。
【請求項２２】
ディスペンス動作を行う装置であって、
装置の本体を表すフレームと、
前記フレームの上側表面に設けられたテーブルと、
上側表面に配置され、上にシーラントがディスペンスされる、ガラス基板を受けるように前記テーブルに取り付けられたステージと、
前記テーブルの両側に配置されたリニアモータガイドと、
少なくとも２つの支持フレームが前記リニアモータガイドに沿って移動することができるように、前記リニアモータガイドの間に配置され、前記リニアモータガイドに垂直に配置された少なくとも２つの支持フレームと、
少なくとも２つの支持フレームの間の少なくとも２つの距離を測定する距離測定ユニットと、を備えることを特徴とするシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整装置。
【請求項２３】
前記距離測定ユニットは、１つ又は複数のレーザ変位センサを備えることを特徴とする請求項２２に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整装置。
【請求項２４】
装置は、シーラントディスペンサ又は液晶ディスペンサであることを特徴とする請求項２２に記載のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面ディスプレイ装置を製造する際に特定のパターン又は形状でガラス基板上にシーラントをディスペンス（ｄｉｓｐｅｎｓｅ）するシーラントディスペンサに関する。より詳細には、本発明は、正確なディスペンス動作（ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ  ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）を行うことができるシーラントディスペンサにおける支持フレームのアラインメント調整方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの平面ディスプレイ装置の１つとして、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）はブラウン管（ＣＲＴ）と比べて優れた視覚品質を有する。さらに、ＬＣＤの平均電力消費はＬＣＤと同じ画面寸法のＣＲＴより少なく、ＬＣＤから発生する熱量はＣＲＴより少ない。これらの理由により、ＬＣＤはプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）又は電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ）と共に、携帯電話、コンピュータのモニタ、及びテレビ用の次世代ディスプレイ装置として注目を浴びている。
【０００３】
ＬＣＤは、複数の画素パターン又は薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を第１のガラス基板に形成し、カラーフィルタ層を第２のガラス基板上に第１のガラス基板の反対側で形成することによって製造される。液晶がガラス基板のいずれか一方に塗布され、その後第１及び第２のガラス基板が結合される。
ＬＣＤの製造過程では、シーラントディスペンサは特定のパターンでガラス基板上にシーラントをディスペンスする。一般に、ディスペンス動作を行う際、シーラントディスペンサは、ガラス基板が固定される間に前後（即ち、前後方向）又は横から横（即ち、横方向）に、シーラントをディスペンスするのに使用されるディスペンサヘッドの位置を再配置する。
【０００４】
図１は、シーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法が適用されるシーラントディスペンサを示す斜視図である。図２は、シーラントディスペンス過程に関する問題を説明するための従来のシーラントディスペンサの平面図である。これ以下、従来のシーラントディスペンサの構造及び従来のシーラントディスペンサの問題を、図１及び２を参照して説明する。
【０００５】
図１及び２を参照すると、大きな寸法の液晶パネルを製造するためのシーラントディスペンサは、ディスペンサの本体を表すフレーム１０と、フレーム１０の上表面に設けられたテーブル２０と、シーラント５２がディスペンスされるガラス基板５０を受けるようにテーブル２０に取り付けられたステージ２４と、フレーム１０の前後方向又はＳ軸に平行な方向にステージ２４を駆動する第１のリニアモータ２２とを備えている。
【０００６】
シーラントディスペンサはさらに、テーブル２０の両端部に設けられ、フレーム１０の前後に沿って延びるリニアモータガイド３５と、第１の支持フレーム３１及び第２の支持フレーム３２をリニアモータガイド３５に沿って移動させることができるように、リニアモータガイド３５の間に設けられると共に、フレーム１０の長辺側に垂直に配置された第１の支持フレーム３１及び第２の支持フレーム３２と、フレーム１０のリニアモータガイド３５に沿って支持フレーム３１、３２を駆動する少なくとも１つの第２のリニアモータ３３とを備えている。
【０００７】
最近、ガラス基板５０の寸法は次第に大きくなってきている。このような増大に対応するため、少なくとも２つの支持フレーム、即ち第１の支持フレーム３１及び第２の支持フレーム３２が、ディスペンス過程時間を短くするように設けられている。ここで、第２のリニアモータ３３が、第１の支持フレーム３１及び第２の支持フレーム３２の両端部にそれぞれ設けられている。
【０００８】
各第１の支持フレーム３１及び第２の支持フレーム３２の一方側には、複数のヘッドユニット４１が設けられている。これらのヘッドユニット４１は、特定のパターン又は形状でシーラント５２をディスペンスするように、第１の方向（Ｑ軸に平行な方向、支持フレーム３１、３２の長辺側に平行な方向、又はリニアモータガイド３５に垂直な方向）に移動させることができる。シーラント５２は、ステージ２４に固定されたガラス基板５０上でディスペンスされる。加えて、第１の方向にヘッドユニット４１を駆動するように、第３のリニアモータ４４が設けられている。
【０００９】
詳細には、各ヘッドユニット４１はヘッドマウント４２を備え、各ヘッドユニット４１は、第３のリニアモータ４４の駆動力がヘッドマウント４２に伝達される場合に、第１の方向（Ｑ軸に平行な方向）に移動する。さらに、シーラント５２を入れるように、注射器（図示せず）がヘッドマウント４２に取り付けられる。
加えて、テーブル２０は、テーブル２０がステージ２４に固定されるガラス基板５０を位置合わせ（ａｌｉｇｎｉｎｇ）するように第２の方向（即ち、Ｓ軸に平行な方向、リニアモータガイド３５に平行な方向、又は支持フレーム３１、３２に垂直な方向）に所定の角度移動させることができるように構成されている。
【００１０】
次に、上述の構成に対するシーラントディスペンサの動作を詳細に説明する。
第１に、ガラス基板５０はステージ２４の上部に吸引機能によって固定され、ステージ２４はテーブル２０に固定される。矩形の形状をしており、予め上に形成された回路パターン５３などのパターンを有するガラス基板５０は、フレーム１０と位置合わせされると共に、ステージ２４の上部に固定される。
【００１１】
次に、シーラントディスペンス動作が起こる。一般に、シーラントがガラス基板５０上にディスペンスされる方法は２つある。
第１のディスペンス方法は以下の通りである。第１の支持フレーム３１及び第２の支持フレーム３２は第１の方向（フレーム１０のリニアモータガイド３５に平行な方向）に移動し、各支持フレーム３１、３２に取り付けられたヘッドユニット４１は第２の方向（フレーム１０のリニアモータガイド３５に垂直な方向）に移動して、ガラス基板５０上にシーラントをディスペンスする。
【００１２】
第２のディスペンス方法は以下の通りである。テーブル２０は第１の方向に移動し、各支持フレーム３１、３２に取り付けられたヘッドユニットは第２の方向に移動して、ガラス基板５０にシーラントをディスペンスする。即ち、シーラントはガラス基板５０上にディスペンスされ、テーブル２０及びヘッドユニット４１は互いに対して移動する。第２の方法は主に、大きな寸法のガラス基板５０に利用される。より詳細には、大きな寸法のガラス基板５０がシーラントディスペンサ内に導かれると、２つの支持フレーム３１、３２は第２の方向（リニアモータガイド３５に沿って前後）に移動して、ガラス基板５０を導く又は取り除くのに必要な空間を確保する。その後、ガラス基板５０はステージ２４に固定される。
【００１３】
しかし、上記従来のシーラントディスペンス方法は以下の問題がある。
リニアモータガイド３５の間に設けられた第１の支持フレーム３１及び／又は第２の支持フレーム３２は、製造誤差の結果、Ｑ軸に平行でないかもしれないし、及び／又は互いに平行でないかもしれない。加えて、ステージに固定されている場合、ガラス基板は適切に位置合わせされない可能性もある。従って、第１の支持フレーム及び／又は第２の支持フレームは、Ｑ軸に及び／又は互いに平行でないかもしれない。
支持フレームのずれがディスペンス動作の前に修正されない場合、ずれた支持フレームに沿って移動するヘッドユニットは、所定のディスプレイパターンに従ってシーラントを正確にディスペンスすることができない。従って、欠陥製品の数及び製造コストが、ずれた支持フレームの結果、増加する可能性がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
従って、本発明は従来技術の限界及び欠点による１つ又は複数の問題を実質的に防ぐ、シーラントディスペンサの支持フレームの位置を修正する方法を対象としている。
本発明の目的は、ガラス基板上にシーラントをディスペンスするシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメントを調整する方法を提供することである。
本発明の別の目的は、少なくとも２つの支持フレームを備えるシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメントを調整する方法を提供することである。
本発明の別の目的は、ディスペンス動作を行う装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明で追加された利点、目的、及び特徴は、以下の説明に部分的に記載されており、以下のことを検討すれば当業者には部分的には自明のことである、或いは本発明の実施から習得することができる。本発明の目的及び他の利点は、明細書及び特許請求の範囲と、添付の図面で特に指摘した構造によって実現及び達成することができる。
本明細書で具体化され、大まかに説明したような、これらの目的及び他の利点を達成するため及び本発明の目的に従って、シーラントディスペンサにおける少なくとも１つの支持フレームのアラインメントを調整する方法は、第１の方向にアラインメントセンサを移動させながら、ガラス基板に設けられた少なくとも２つの修正マークを識別するステップを含む。ここで、第１の方向とは、支持フレームの長辺側に平行な方向である。この方法はさらに、アラインメントセンサによって識別される少なくとも２つの修正マークを修正する想定直線が第１の方向に平行であるかどうか裁定するステップと、想定直線が第１の方向に平行となるように少なくとも１つの支持フレームのアラインメントを調整するステップとを含む。
本発明の別の実施形態では、シーラントディスペンサ内の少なくとも１つの支持フレームのアラインメントを調整する方法が導入される。この方法は、少なくとも２つの支持フレームの間の少なくとも２つの距離を測定するステップと、もしあれば測定した距離の差を算出するステップとを含む。さらに、この方法は測定した距離が異なる場合に、測定した距離を等しくする修正距離を利用することによって支持フレームのアラインメントを調整するステップを含む。ここで、修正距離は測定した距離の差である。
【００１６】
また、本発明の別の実施形態では、ディスペンス動作を行う装置が提供される。この装置は、装置の本体を表すフレームと、フレームの上側表面に設けられたテーブルと、上にシーラントがディスペンスされるガラス基板を受けるようにテーブルに取り付けられたステージと、テーブルの両側に配置されたリニアモータガイドと、少なくとも２つの支持フレームがリニアモータガイドに沿って移動することができるように、リニアモータガイドの間に設けられ、リニアモータガイドに垂直に配置された少なくとも２つの支持フレームと、修正マークを識別するように第１の方向に移動するアラインメントセンサと、アラインメントセンサを第１の方向に駆動する駆動ユニットと、を備えている。ここで、第１の方向とは、支持フレームの長辺側に平行な方向である。
本発明の別の実施形態では、ディスペンス動作を行う別の装置が導入される。この装置は、装置の本体を表すフレームと、フレームの上側表面に設けられたテーブルと、上にシーラントがディスペンスされるガラス基板を受けるようにテーブルに取り付けられたステージと、テーブルの両側に配置されたリニアモータガイドと、少なくとも２つの支持フレームがリニアモータガイドに沿って移動することができるように、リニアモータガイドの間に設けられ、リニアモータガイドに垂直に配置された少なくとも２つの支持フレームと、少なくとも２つの支持フレームの間の少なくとも２つの距離を測定する距離測定ユニットとを備えている。
上述の一般的な説明及び以下の本発明の詳細な説明は両方とも例示的及び説明的なものであり、請求するような本発明のさらなる説明を行うことを意図したものであることを理解されたい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法及び装置によれば、正確なディスペンス動作を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明の好ましい実施形態に詳細に言及し、その例を添付の図面で示す。可能な限り、同一又は同様の部品のことに言及するのに、図面全体を通して同じ参照番号を使用する。
【００１９】
次に、本発明によるシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法を、添付の図面を参照して説明する。
図１に示すように、本発明によるシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法が適用されるシーラントディスペンサは、ディスペンサの本体を表すフレーム１０と、フレーム１０の上側表面に設けられたテーブル２０と、上にシーラントがディスペンスされるガラス基板５０を上側表面に配置することができるようにテーブル２０上に取り付けられたステージ２４と、第２の方向にステージ２４を駆動する第１のリニアモータ２２とをそれぞれ備えている。ここで、第２の方向とはＳ軸に平行な方向のことを言う。
【００２０】
シーラントディスペンサはさらに、第２の方向でテーブル２０の両端部に設けられたリニアモータガイド３５を備える。さらに、シーラントディスペンサは、第１の支持フレーム３１及び第２の支持フレーム３２がリニアモータガイド３５に沿って移動できるように、リニアモータガイド３５の間に設けられ、第１の方向に移動するように配置された第１の支持フレーム３１及び第２の支持フレーム３２と、リニアモータガイド３２に沿って（即ち、第２の方向に）支持フレーム３１、３２を駆動する少なくとも１つの第２のリニアモータ３３とを備えている。
シーラントディスペンサの第２のリニアモータは、第２の方向でそれぞれのリニアモータガイド３５の上側表面に配置された第２の磁石３３と、第２の磁石３３に対応してそれぞれの支持フレームの両側の下端部に配置された第２のムーバ（ｍｏｖｅｒ）３４とを備えている。
【００２１】
ここで、ガラス基板５０の寸法が大きいので、またディスペンス動作時間を短くするため、シーラントディスペンサは、２つの支持フレーム、即ち第１の支持フレーム３１及び第２の支持フレーム３２からなっている。しかし、支持フレームの数は限定されないが、必要に応じてより多くの支持フレームを有することができる。さらに、第２のリニアモータの第２のムーバ３４は、支持フレーム３１、３２の両端部に駆動力を加えるように、それぞれの支持フレーム３１、３２の両端部に取り付けられている。
【００２２】
複数のヘッドユニット４１は、ヘッドユニット４１が第１の方向（Ｑ軸に平行な方向）に移動できるように、各支持フレーム３１、３２の一方側に設けられており、それによってヘッドユニット４１は、ステージ２４に固定されたガラス基板上に所定のパターン（又は形状）に従ってディスペンス動作を行うことができる。加えて、シーラントディスペンサはさらに、第１の方向にヘッドユニット４１を駆動する第３のリニアモータを備えている。
【００２３】
特に、支持フレーム３１、３２に設けられた各ヘッドユニット４１は、第３のリニアモータの駆動力がヘッドマウント４２に加えられると第１の方向に移動するヘッドマウント４２と、シーラントを保持するようにヘッドマウント４２に結合された注射器（図示せず）と、注射器からシーラントをディスペンスするノズル（図示せず）とを備えている。
さらに、シーラントディスペンサの第３のリニアモータは、第１の方向で各支持フレーム３１、３２の一方側に設けられた第３の磁石４４と、第３の磁石４４に対応する各ヘッドマウント４２内に設けられた第３のムーバ４３とを備えている。
【００２４】
シーラントディスペンサはさらに、修正マーク５５を識別するための第１の方向に移動するアラインメントセンサ４５を備えている。修正マーク５５は予め（例えば、ガラス基板が形成されるときに）ガラス基板５０上に設ける（又は印刷する）ことができる、又はガラス基板５０を製造した後にマーキングすることができる。アラインメントセンサ４５は、第３の磁石４４及び第３のムーバ４３の動作により、第１の方向に移動するヘッドユニット４１に結合されていることが好ましい。修正マーク５５は、ガラス基板５０に対して支持フレーム３１、３２のアラインメントを測定する基準として働くように、ガラス基板５０上に形成された回路パターン５３の縁部に設けられている。修正マーク５５を修正するラインは、互いに平行又は垂直である。
【００２５】
第３のムーバ４３及び第３の磁石４４の組合せにより、ヘッドユニット４１が第１の方向に移動することが可能になるので、アラインメントセンサ４５も、ガラス基板５０上に設けられた修正マーク５５を順次識別するようにヘッドユニット４１と一緒に移動することができる。
【００２６】
次に、上述の構成の支持フレームのアラインメントを調整する方法を説明する。
図３は、本発明による好ましい実施形態によるシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント（又は位置）を調整する方法を示すフローチャートである。図４は、非平行である２つの支持フレームと、Ｑ軸に沿って移動して修正マークを識別するように第２の支持フレームに取り付けられたアラインメントセンサとを示す参考図である。
【００２７】
第１に、ガラス基板５０はステージ２４上に装填され、その後その上に適切に固定される。ガラス基板５０がステージ２４上に固定された後、支持フレーム３１、３２はガラス基板５０上の印刷された修正マーク５５に向かって移動する（Ｓ１）。その後、第２の支持フレーム３２は定位置に移動し、それによって支持フレームのアラインメントを調整することができる。
【００２８】
第２の支持フレーム３２がアラインメント調整位置に配置された後、第３のリニアモータは、修正マーク識別動作を行うように第２の支持フレーム３２に取り付けられたヘッドユニット４１を駆動する。より詳細には、修正マーク識別動作は、第１の方向即ち支持フレーム３２の長辺側に沿った方向に移動しながらガラス基板５０上に示された修正マーク５５を識別するように、ヘッドユニット４１に結合されたアラインメントセンサ４５を備えている（Ｓ２）。
【００２９】
次に、各修正マーク５５を連結する想定直線は、アラインメントセンサ４５によって識別される。この想定直線は、想定直線及び経路が互いに平行であるかどうかを判断するため、アラインメントセンサ４５が移動する経路と比較される（Ｓ３）。
これ以後、想定直線はＸ１−ライン１５０と呼ぶ。Ｘ１−ライン１５０はＳ軸に平行である。加えて、支持フレーム３１、３２に沿って移動するアラインメントセンサ４５の移動経路は、Ｘ２−ライン１６０と呼ぶ。Ｘ２−ライン１６０はＱ軸に平行である。
【００３０】
Ｘ２−ライン１６０及びＸ１−ライン１５０が図５に示すように互いに平行でない場合、２本のラインが平行になるように、Ｘ２−ライン１６０のＸ１−ライン１５０とのアラインメントを調整することによって、Ｘ２−ライン１６０及びＸ１−ライン１５０のアラインメントを修正するようにアラインメント調整が行われる（Ｓ４）。
【００３１】
アラインメント調整を行う際（Ｓ４）、制御ユニットはＸ１−ライン１５０に対するＸ２−１６０のオフセット量を算出する。ここで、オフセット量は角度で測定される。その後、制御ユニットはＸ２−ライン１６０に対するずれを修正するのに必要なオフセット量を算出し、それによってＸ２−ライン１６０がＸ１−ライン１５０と平行になるように調整することができる。位置合わせを行う際、制御ユニットは支持フレーム３２上に配置された第２のムーバ３４を調整するように修正するオフセットを使用し、それによってＸ２−ライン１６０をＸ１−ライン１５０と平行にすることができる。
【００３２】
複数からなる第２のムーバ３４は、支持フレーム３２の少なくとも２つの側部に設けられていることが好ましい。ここで、支持フレーム３２の一端部に設けられた第２のムーバ３４は固定されたままであり、支持フレーム３２の他端部に設けられた第２のムーバ３４は、Ｘ２−ライン１６０をＸ１−ライン１５０に平行にするため、第２の方向に（リニアモータガイド３５の移動経路に沿って）対応する第２のリニアモータガイド３５に沿って移動することが好ましい。
【００３３】
ステップ（Ｓ３）で、Ｘ２−ライン１６０がＸ１−ライン１５０と平行であると判断された場合、ステップ（Ｓ４）に進むことなく、ステップ（Ｓ３）で支持フレームアラインメント調整動作を終了させる可能性がある。アラインメント過程が完了すると、第２の支持フレーム３２はＸ１−ライン１５０と平行にされ、それによって第２の支持フレーム３２は回路パターン５３と位置合わせされる。
【００３４】
一方、上記アラインメント過程は、図１及び２に示すような単一の支持フレーム又は２つ以上の支持フレームを有するシーラントディスペンサに適用することができる。シーラントディスペンサが上記のように２つ以上の支持フレームを備えている場合、支持フレームを位置合わせする方法はさらに、アラインメント動作が行われた後に各支持フレームが適切に位置合わせされているかどうか判断する確認ステップ（Ｓ５）を含んでいることが好ましい。
【００３５】
確認ステップ（Ｓ５）では、ステップ（Ｓ４）の終了の後に、各支持フレーム３１、３２に対するアラインメント過程ステップ（Ｓ１〜Ｓ４）が行われたかどうかに関する判断が行われる。全てのアラインメント過程ステップが、支持フレーム３１、３２に対して行われた場合、支持フレームのアラインメントを調整する別の試みは終了する。完全な位置合わせ過程が支持フレームに十分行われなかった場合、アラインメント調整ステップ（Ｓ１〜Ｓ４）はその支持フレームに対して繰り返される。
【００３６】
シーラントディスペンサが２つ以上の支持フレームを備え、アラインメント調整が少なくとも２つの支持フレームに十分に行われなかった場合、少なくとも２つの支持フレームの何れか１つに対するアラインメントを最初に調整することができる。支持フレームの１つのアラインメントを調整した後、次の支持フレームのアラインメントが調整される。即ち、支持フレームは順に調整される。別の方法では、少なくとも２つの支持フレームのアラインメントを同時に調整することができる。
【００３７】
上記の実施形態では、支持フレームはガラス基板に設けられた修正マークに基づいて位置合わせされる。しかし、別の実施形態では、支持フレームのアラインメントを調整して、複数の支持フレームを互いに平行にするように、ガラス基板をオフセット角度（角度で測定した）だけ回転させることもできる。ここで、オフセット角度とは、ガラス基板を少なくとも２つの平行な支持フレームに平行にするようにどれだけずらすかを（角度で）いう。
【００３８】
別の実施形態を参照すると、シーラントディスペンサは、ディスペンサの本体を表すフレームと、所定の角度だけ回転させることができるフレームの上側表面に配置され、表面に平行なテーブルと、上にシーラントがディスペンスされるガラス基板を受けるようにテーブルに取り付けられ、上側表面に配置されたステージと、リニアモータガイドがＳ軸に沿って延びるようにテーブルの両側に設けられたリニアモータガイドと、少なくとも２つの支持フレームが第２の方向にリニアモータガイドに沿って移動できるように、リニアモータガイドの間に設けられ、リニアモータガイドに垂直に配置された少なくとも２つの支持フレームと、少なくとも２つの支持フレームの間の少なくとも２つの距離を測定する距離測定ユニットとを備えている。
【００３９】
加えて、シーラントディスペンサ内の少なくとも２つの支持フレームのアラインメントを調整する方法は、少なくとも２つの支持フレームの間の少なくとも２つの距離を測定するステップと、測定した距離の差を算出するステップと、測定した距離を等しくし、その結果少なくとも２つの測定した距離が互いに平行になるように算出した差を利用することによって支持フレームのアラインメントを調整するステップと、ガラス基板を少なくとも２つの支持フレームと位置合わせするようにガラス基板を回転させるステップとを含んでいる。
【００４０】
本発明の別の実施形態のより詳細な説明を、添付の図面を参照して説明する。この実施形態の構成要素は前の実施形態のものと同一であるので、詳細な説明は行わない。
図５は、ずれた支持フレームを備えるシーラントディスペンサの上に装填されたガラス基板を示す例である。図６は、支持フレームのアラインメントを調整した後の、図５の支持フレームを示す図であるが、ガラス基板及び支持フレームはずれている（又は平行ではない）。図７は、図６の支持フレームに対するガラス基板のアラインメントの調整を示す。図８は、シーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法を示すフローチャートである。
【００４１】
この実施形態では、シーラントディスペンサは、フレーム１０（図１参照）と、テーブル２０（図１参照）と、ステージ２４（図１参照）と、リニアモータガイド３５に沿って移動可能な少なくとも２つの支持フレーム３１、３２とを備えている。
より詳細には、テーブル２０は左側又は右側に回転するように構成されている。例えば、テーブルは、テーブルの上部に配置されたガラス基板を支持フレームに位置合わせするように左側に２度回転することができる。
【００４２】
シーラントディスペンサはさらに、２つの支持フレーム３１、３２の間の少なくとも１つの距離を測定する距離測定ユニットを備えている。距離測定ユニットは、支持フレーム３１、３２の間の少なくとも２つのリニア距離ｄ１、ｄ２を測定することが好ましい。例えば、少なくとも２つの測定した距離は、リニアモータガイド３５に近い支持フレームの端部に近接している、又はそこにあるべきである。
【００４３】
距離測定ユニットは、支持フレーム３１又は３２の一方に取り付けられた２つの変位センサ１４０を備えている。レーザ変位センサは、非接触タイプであることが好ましい。図６に示すように、レーザ変位センサ１４０は支持フレーム３１上に取り付けられている。レーザ変位センサ１４０は、正確な測定を行うように、支持フレーム３１又は３２の各端部の近くに取り付けられている。ここで、レーザ変位センサ１４０は、支持フレーム３１、３２の間のリニア距離ｄ１、ｄ２を測定する。
【００４４】
次に、上述の構造に対するシーラントディスペンサ内の支持フレームのアラインメントを調整する方法を、図５から８を参照して詳細に説明する。
以下の説明では、２つの支持フレーム３１、３２は互いに平行ではなく、ステージ２４内に案内されたガラス基板５０は支持フレーム３１、３２又はフレーム１０と最初は位置合わせされていないと仮定する。
【００４５】
第１に、ガラス基板５０はステージ２４に導かれ、その後測定ステップ（Ｓ′１）が行われる。測定ステップ（Ｓ′１）は、支持フレーム３１上に取り付けられたレーザ変位センサ１４０を使用して、反対側の支持フレーム３１、３２の間の距離ｄ１、ｄ２を測定するステップである。
【００４６】
次に、決定ステップ（Ｓ′２）が行われる。決定ステップ（Ｓ′２）は、測定ステップ（Ｓ′１）で測定された、支持フレーム３１と３２の間の距離ｄ１、ｄ２の差を算出するステップである。距離ｄ１が距離ｄ２と等しい（即ち、距離ｄ１とｄ２の間の差がない、つまり２つの支持フレーム３１、３２が互いに平行である）と判断された場合、基板アラインメントステップ（Ｓ′４）が行われる。しかし、決定ステップ（Ｓ′２）で、距離ｄ１が距離ｄ２に等しくない（即ち、距離ｄ１とｄ２の間に差がある、つまり２つの支持フレーム３１、３２が互いに平行でない）と判断された場合、支持フレームアラインメントステップ（Ｓ′３）が行われる。
【００４７】
支持フレームアラインメントステップ（Ｓ′３）では、支持フレーム３１、３２のアラインメントが調整され、それによって距離ｄ１、ｄ２が、図６に示すように、決定ステップ（Ｓ′２）で算出された距離ｄ１とｄ２の間の差に基づく同一の値を有する。次に、支持フレーム３１、３２は互いに平行になる。
【００４８】
支持フレーム３１、３２のアラインメントが完了した後、過程は距離ｄ１、ｄ２を測定する測定ステップ（Ｓ′１）に戻ることが好ましい。その後、距離ｄ１、ｄ２が同一の値を有するかどうかを算出及び決定する決定ステップ（Ｓ′２）が行われる。
【００４９】
支持フレーム３１、３２のアラインメントを調整する場合、支持フレーム３１、３２の一方（即ち、支持フレーム３２）は固定又は静止されたままであり、もう一方の支持フレーム（即ち、支持フレーム３１）は固定された支持フレーム（即ち、支持フレーム３２）に関して必要な調整を行うことが好ましい。
調整を行う場合、支持フレーム３１の一端部が対応するリニアモータガイド３５に沿って移動して支持フレーム３１の多端部は固定されるか、或いはリニアモータガイド３５に沿って移動しないことが好ましい。
【００５０】
上記の例をより詳細に説明する。支持フレーム３１、３２の一方（即ち、支持フレーム３２）が、アラインメント動作を行う際の基準として働くように固定されており、もう一方の支持フレーム３１が、例えば基準支持フレームに対して支持フレームを位置合わせするようにリニアモータガイド３５に沿ってその端部の１つを移動させることが好ましい。（Ｓ′１で測定した）ｄ１とｄ２の間の距離がより短い支持フレーム３１の端部が、支持フレーム３１と３２の間の平行状態を得るため、（Ｓ′２で測定した）距離の差に基づき、基準支持フレーム３２から離れる方向に移動させる。別の方法では、ｄ１とｄ２の間の距離がより長い支持フレーム３１の端部が、支持フレーム３１、３２を互いに平行にするように、距離の差に基づき、支持フレーム３２に向かう方向に移動させることができる。
【００５１】
別の方法では、支持フレーム３１、３２の端部がそれぞれ、第１の支持フレーム（即ち、支持フレーム３１）を第２の支持フレーム（即ち、支持フレーム３２）に平行にするように、反対方向に移動させることができる、又は支持フレーム３１、３２が両方とも、平行状態を得るように各支持フレームの間の距離を調整するようにそれに応じて移動させることができる。
【００５２】
基板アラインメントステップ（Ｓ′４）では、ガラス基板５０が特定の角度αで回転され、それによってガラス基板５０の回路パターン５３が支持フレーム３１、３２のＳ軸と平行になる。テーブル２０はまた、特定の角度で回転させることができることが好ましく、従って、テーブル２０はステージ２４上に固定されたガラス基板５０がそれに対応して回転するように回転すべきである。
【００５３】
ここで、２つの支持フレーム３１、３２は互いに平行であり、従って、ガラス基板５０を支持フレーム３１、３２に平行になるようにガラス基板５０が回転されると、２つの支持フレーム３１、３２とガラス基板５０の間のアラインメントが達成される。図７に示すように、支持フレーム３１、３２が互いに平行である場合、シーラント５２をガラス基板５０上に正確にディスペンスすることができる。
【００５４】
本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、様々な変更及び変形を本発明に加えることができることは当業者には自明のことであろう。従って、本発明は添付の特許請求の範囲及びその同等物の範囲内にある限り、本発明の変更形態及び変形形態を含むことを意図している。
本発明をさらに理解するために含まれ、本出願に組み込まれ、本出願の一部をなす添付の図面は、本発明の実施形態を示し、明細書と共に、本発明の原理を説明する役割を果たす。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】シーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法が適用されるシーラントディスペンサを示す斜視図である。
【図２】シーラントディスペンス過程中の問題を説明する従来のシーラントディスペンサの平面図である。
【図３】本発明の好ましい実施形態によるシーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント又は位置を調整する方法を示すフローチャートである。
【図４】修正マークを識別するようにＱ軸に沿って移動する第２の支持フレーム上に取り付けられた２つの非平行支持フレーム及びアラインメントセンサを示す参考図である。
【図５】ずれた支持フレームを有するシーラントディスペンサの上に装填されたガラス基板を示す例である。
【図６】ガラス基板に対して現在ずれている図５のアラインメント調整した支持フレームを示す図である。
【図７】図６のアラインメントが調整された平行な支持フレームに対するガラス基板のアラインメントの調整を示す図である。
【図８】シーラントディスペンサの支持フレームのアラインメント調整方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５６】
１０    フレーム
２０    テーブル
２２    第１のリニアモータ
２４    ステージ
３１    第１の支持フレーム
３２    第２の支持フレーム
３３    第２のリニアモータ
３４    第２のムーバ（ｍｏｖｅｒ）
３５    リニアモータガイド
４１    ヘッドユニット
４２    ヘッドマウント
４３    第３のムーバ
４４    第３のリニアモータ、第３の磁石
４５    アラインメントセンサ
５０    ガラス基板
５２    シーラント
５３    回路パターン
５５    修正マーク
１４０    変位センサ
１５０    Ｘ１−ライン
１６０    Ｘ２−ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【外国語明細書】
2007178964000001.pdf