(57)【要約】【課題】  光蓄積媒体における反射層または半反射層として、廉価で良好な耐腐食性を有する合金からなる層を提供する。【解決手段】  光ディスクの高反射性または半反射性の被覆層のために銀系合金の薄膜が提供される。銀への合金添加元素としては、亜鉛、アルミニウム、亜鉛とアルミニウム、マンガン、ゲルマニウム、および銅とマンガンがある。典型的な合金は銀と亜鉛を含み、銀と亜鉛の量の間の関係はＡｇxＺｎyによって定義され、ここで０.８５＜ｘ＜０.９９９９および０.０００１＜ｙ＜０.１５である。これらの合金は、周囲環境において中程度ないし高度の反射率と適度な耐腐食性を有する。【選択図】  図１
2007059052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の要素を含む光蓄積媒体：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の層；および
前記第一の層に隣接する第一の被覆、
ここで、前記第一の被覆は第一の合金を含み、前記第一の合金は銀と亜鉛を含み、銀と亜鉛の量の間の関係はＡｇxＺｎyによって定義され、ここで０.８５＜ｘ＜０.９９９９および０.０００１＜ｙ＜０.１５である。
【請求項２】
請求項１の光蓄積媒体であって、０.００１≦ｙ≦０.１０である。
【請求項３】
請求項１の光蓄積媒体であって、前記第一の被覆は前記第一の合金と直接接触している。
【請求項４】
請求項１の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層；および
前記第二の層に隣接する第二の被覆。
【請求項５】
請求項１の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層であって、この第二の層は誘電体材料を含む；
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第三の層であって、この第三の層は光学的に再記録可能な材料を含む；および
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第四の層であって、この第四の層は誘電体材料を含む；
【請求項６】
請求項５の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は位相可変材料である。
【請求項７】
請求項６の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｃｒ-Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｓ-Ｔｅ-Ｇｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ｏ、Ｔｅ-Ｓｅ、Ｓｎ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ａｕ、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｓｂ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ、Ｉｎ-Ｓｂ、Ｉｎ-Ｓｂ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ-Ｃｏ、およびＳｉ-Ｔｅ-Ｓｎからなる群から選択された位相可変材料を含む。
【請求項８】
請求項５の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は磁気光学材料である。
【請求項９】
請求項８の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｔｂ-Ｆｅ-ＣｏおよびＧｄ-Ｔｂ-Ｆｅからなる群から選択された磁気光学材料を含む。
【請求項１０】
請求項１の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約２０.０ａ/ｏ％で存在するカドミウムを含む。
【請求項１１】
請求項１の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約１０.０ａ/ｏ％で存在するリチウムを含む。
【請求項１２】
請求項１の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約７.５ａ/ｏ％で存在するマンガンを含む。
【請求項１３】
請求項１の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、金、ロジウム、銅、ルテニウム、オスミウム、イリジウム、白金、パラジウム、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項１４】
請求項１の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、チタン、ニッケル、インジウム、クロム、ゲルマニウム、スズ、アンチモン、ガリウム、シリコン、ホウ素、ジルコニウム、モリブデン、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項１５】
下記の要素を含む光蓄積媒体：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の層；および
前記第一の層に隣接する第一の被覆、
ここで、前記第一の被覆は第一の合金を含み、前記第一の合金は銀とアルミニウムを含み、銀とアルミニウムの量の間の関係はＡｇxＡｌzによって定義され、ここで０.９５＜ｘ＜０.９９９９および０.０００１＜ｚ＜０.０５である。
【請求項１６】
請求項１５の光蓄積媒体であって、０.００１≦ｚ≦０.０３である。
【請求項１７】
請求項１５の光蓄積媒体であって、前記第一の被覆は前記第一の合金と直接接触している。
【請求項１８】
請求項１５の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層；および
前記第二の層に隣接する第二の被覆。
【請求項１９】
請求項１５の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層であって、この第二の層は誘電体材料を含む；
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第三の層であって、この第三の層は光学的に再記録可能な材料を含む；および
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第四の層であって、この第四の層は誘電体材料を含む；
【請求項２０】
請求項１９の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は位相可変材料である。
【請求項２１】
請求項２０の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｃｒ-Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｓ-Ｔｅ-Ｇｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ｏ、Ｔｅ-Ｓｅ、Ｓｎ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ａｕ、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｓｂ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ、Ｉｎ-Ｓｂ、Ｉｎ-Ｓｂ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ-Ｃｏ、およびＳｉ-Ｔｅ-Ｓｎからなる群から選択された位相可変材料を含む。
【請求項２２】
請求項１９の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は磁気光学材料である。
【請求項２３】
請求項２２の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｔｂ-Ｆｅ-ＣｏおよびＧｄ-Ｔｂ-Ｆｅからなる群から選択された磁気光学材料を含む。
【請求項２４】
請求項１５の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約７.５ａ/ｏ％で存在するマンガンを含む。
【請求項２５】
請求項１５の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約２０.０ａ/ｏ％で存在するカドミウムを含む。
【請求項２６】
請求項１５の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、リチウム、亜鉛、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.１ａ/ｏ％〜約１５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項２７】
請求項１５の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、金、ロジウム、銅、ルテニウム、オスミウム、イリジウム、白金、パラジウム、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項２８】
請求項１５の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、チタン、ニッケル、インジウム、クロム、ゲルマニウム、スズ、アンチモン、ガリウム、シリコン、ホウ素、ジルコニウム、モリブデン、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項２９】
下記の要素を含む光蓄積媒体：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の層；および
前記第一の層に隣接する第一の被覆、
ここで、前記第一の被覆は第一の合金を含み、前記第一の合金は銀、亜鉛、およびアルミニウムを含み、銀、亜鉛、およびアルミニウムの量の間の関係はＡｇxＺｎyＡｌzによって定義され、ここで０.８０＜ｘ＜０.９９８、０.００１＜ｙ＜０.１５、および０.００１＜ｚ＜０.０５である。
【請求項３０】
請求項２９の光蓄積媒体であって、０.００１≦ｙ≦０.０５および０.００１≦ｚ≦０.０３である。
【請求項３１】
請求項２９の光蓄積媒体であって、前記第一の被覆は前記第一の合金と直接接触している。
【請求項３２】
請求項２９の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層；および
前記第二の層に隣接する第二の被覆。
【請求項３３】
請求項２９の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層であって、この第二の層は誘電体材料を含む；
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第三の層であって、この第三の層は光学的に再記録可能な材料を含む；および
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第四の層であって、この第四の層は誘電体材料を含む；
【請求項３４】
請求項３３の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は位相可変材料である。
【請求項３５】
請求項３４の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｃｒ-Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｓ-Ｔｅ-Ｇｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ｏ、Ｔｅ-Ｓｅ、Ｓｎ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ａｕ、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｓｂ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ、Ｉｎ-Ｓｂ、Ｉｎ-Ｓｂ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ-Ｃｏ、およびＳｉ-Ｔｅ-Ｓｎからなる群から選択された位相可変材料を含む。
【請求項３６】
請求項３３の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は磁気光学材料である。
【請求項３７】
請求項３６の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｔｂ-Ｆｅ-ＣｏおよびＧｄ-Ｔｂ-Ｆｅからなる群から選択された磁気光学材料を含む。
【請求項３８】
請求項２９の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約７.５ａ/ｏ％で存在するマンガンを含む。
【請求項３９】
請求項３８の光蓄積媒体であって、前記マンガンは、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項４０】
請求項２９の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在するニッケルを含む。
【請求項４１】
請求項４０の光蓄積媒体であって、前記ニッケルは、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約３.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項４２】
請求項２９の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、ルテニウム、銅、ロジウム、オスミウム、イリジウム、金、パラジウム、白金、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項４３】
下記の要素を含む光蓄積媒体：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の層；および
前記第一の層に隣接する第一の被覆、
ここで、前記第一の被覆は第一の合金を含み、前記第一の合金は銀とマンガンを含み、銀とマンガンの量の間の関係はＡｇxＭｎtによって定義され、ここで０.９２５＜ｘ＜０.９９９９および０.０００１＜ｔ＜０.０７５である。
【請求項４４】
請求項４３の光蓄積媒体であって、０.００１≦ｔ≦０.０５である。
【請求項４５】
請求項４３の光蓄積媒体であって、前記第一の被覆は前記第一の合金と直接接触している。
【請求項４６】
請求項４３の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層；および
前記第二の層に隣接する第二の被覆。
【請求項４７】
請求項４３の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層であって、この第二の層は誘電体材料を含む；
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第三の層であって、この第三の層は光学的に再記録可能な材料を含む；および
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第四の層であって、この第四の層は誘電体材料を含む；
【請求項４８】
請求項４７の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は位相可変材料である。
【請求項４９】
請求項４８の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｃｒ-Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｓ-Ｔｅ-Ｇｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ｏ、Ｔｅ-Ｓｅ、Ｓｎ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ａｕ、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｓｂ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ、Ｉｎ-Ｓｂ、Ｉｎ-Ｓｂ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ-Ｃｏ、およびＳｉ-Ｔｅ-Ｓｎからなる群から選択された位相可変材料を含む。
【請求項５０】
請求項４７の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は磁気光学材料である。
【請求項５１】
請求項５０の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｔｂ-Ｆｅ-ＣｏおよびＧｄ-Ｔｂ-Ｆｅからなる群から選択された磁気光学材料を含む。
【請求項５２】
請求項４３の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約２０.０ａ/ｏ％で存在するカドミウムを含む。
【請求項５３】
請求項４３の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約１０.０ａ/ｏ％で存在するリチウムを含む。
【請求項５４】
請求項４３の光蓄積媒体であって、前記第一の合金は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在するマンガンを含む。
【請求項５５】
請求項４３の光蓄積媒体であって、前記第一の合金はさらに、ルテニウム、銅、ロジウム、オスミウム、イリジウム、金、パラジウム、白金、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項５６】
請求項４３の光蓄積媒体であって、前記第一の合金はさらに、チタン、インジウム、クロム、ゲルマニウム、スズ、アンチモン、ガリウム、シリコン、ジルコニウム、ホウ素、モリブデン、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項５７】
下記の要素を含む光蓄積媒体：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の層；および
前記第一の層に隣接する第一の被覆、
ここで、前記第一の被覆は第一の合金を含み、前記第一の合金は銀とゲルマニウムを含み、銀とゲルマニウムの量の間の関係はＡｇxＧｅqによって定義され、ここで０.９７＜ｘ＜０.９９９９および０.０００１＜ｑ＜０.０３である。
【請求項５８】
請求項５７の光蓄積媒体であって、０.００１≦ｑ≦０.０１５である。
【請求項５９】
請求項５７の光蓄積媒体であって、前記第一の被覆は前記第一の合金と直接接触している。
【請求項６０】
請求項５７の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層；および
前記第二の層に隣接する第二の被覆。
【請求項６１】
請求項５７の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層であって、この第二の層は誘電体材料を含む；
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第三の層であって、この第三の層は光学的に再記録可能な材料を含む；および
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第四の層であって、この第四の層は誘電体材料を含む；
【請求項６２】
請求項６１の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は位相可変材料である。
【請求項６３】
請求項６２の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｃｒ-Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｓ-Ｔｅ-Ｇｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ｏ、Ｔｅ-Ｓｅ、Ｓｎ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ａｕ、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｓｂ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ、Ｉｎ-Ｓｂ、Ｉｎ-Ｓｂ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ-Ｃｏ、およびＳｉ-Ｔｅ-Ｓｎからなる群から選択された位相可変材料を含む。
【請求項６４】
請求項６１の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は磁気光学材料である。
【請求項６５】
請求項６４の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｔｂ-Ｆｅ-ＣｏおよびＧｄ-Ｔｂ-Ｆｅからなる群から選択された磁気光学材料を含む。
【請求項６６】
請求項５７の光蓄積媒体であって、前記第一の合金はさらに、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約７.５ａ/ｏ％で存在するマンガンを含む。
【請求項６７】
請求項５７の光蓄積媒体であって、前記第一の合金はさらに、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在するアルミニウムを含む。
【請求項６８】
請求項５７の光蓄積媒体であって、前記第一の合金はさらに、ルテニウム、銅、ロジウム、オスミウム、イリジウム、金、パラジウム、白金、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項６９】
請求項５７の光蓄積媒体であって、前記第一の合金はさらに、亜鉛、カドミウム、リチウム、ニッケル、チタン、ジルコニウム、インジウム、クロム、スズ、アンチモン、ガリウム、シリコン、ホウ素、モリブデン、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【請求項７０】
下記の要素を含む光蓄積媒体：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の層；および
前記第一の層に隣接する第一の被覆、
ここで、前記第一の被覆は第一の合金を含み、前記第一の合金は銀、銅、およびマンガンを含み、銀、銅、およびマンガンの量の間の関係はＡｇxＣｕpＭｎtによって定義され、ここで０.８２５＜ｘ＜０.９９９８、０.０００１＜ｐ＜０.１０、および０.０００１＜ｔ＜０.０７５である。
【請求項７１】
請求項７０の光蓄積媒体であって、０.００１≦ｐ≦０.０５および０.００１≦ｔ≦０.０３である。
【請求項７２】
請求項７０の光蓄積媒体であって、前記第一の被覆は前記第一の合金と直接接触している。
【請求項７３】
請求項７０の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層；および
前記第二の層に隣接する第二の被覆。
【請求項７４】
請求項７０の光蓄積媒体であって、さらに下記の要素を含む：
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第二の層であって、この第二の層は誘電体材料を含む；
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第三の層であって、この第三の層は光学的に再記録可能な材料を含む；および
少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第四の層であって、この第四の層は誘電体材料を含む；
【請求項７５】
請求項７４の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は位相可変材料である。
【請求項７６】
請求項７５の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｃｒ-Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ａｓ-Ｔｅ-Ｇｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ｏ、Ｔｅ-Ｓｅ、Ｓｎ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ａｕ、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｓｂ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ、Ｉｎ-Ｓｂ、Ｉｎ-Ｓｂ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ-Ｃｏ、およびＳｉ-Ｔｅ-Ｓｎからなる群から選択された位相可変材料を含む。
【請求項７７】
請求項７４の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料は磁気光学材料である。
【請求項７８】
請求項７７の光蓄積媒体であって、前記光学的に再記録可能な材料はさらに、Ｔｂ-Ｆｅ-ＣｏおよびＧｄ-Ｔｂ-Ｆｅからなる群から選択された磁気光学材料を含む。
【請求項７９】
請求項７０の光蓄積媒体であって、前記第一の合金はさらに、アルミニウム、チタン、ジルコニウム、ニッケル、インジウム、クロム、ゲルマニウム、スズ、アンチモン、ガリウム、シリコン、ホウ素、モリブデン、およびこれらの混合からなる群から選択された金属を含み、この金属は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％で存在する。
【発明の詳細な説明】
【発明の開示】
【０００１】
発明の属する技術分野
本発明は、光蓄積媒体において用いられる反射層または半反射層であって銀系合金からなる層に関する。
【０００２】
発明の背景
従来の予め記録された光ディスク（例えばコンパクトオーディオディスク）の構成においては、一般に四つの層が存在する。第一の層は通常、光学グレードのポリカーボネート樹脂からなる。この層は、この樹脂をディスクに射出成形または圧縮成形することによって開始する周知の方法によって製造される。ディスクの表面には極めて小さな精密に配置されるピットとランドが成形または刻印される。これらのピットとランドは予め決められたサイズを有し、後述するように、結局はディスク上に情報を蓄積するための媒体となる。
【０００３】
刻印の後、光反射層が情報ピットとランドの上に形成される。反射層は通常アルミニウムまたはアルミニウム合金からなり、典型的には約４０〜約１００ナノメートル（nm）の厚さを有する。反射層は通常、スパッター法や熱蒸発のような多くの周知の蒸着法のうちの一つによって堆積される。Kirk-Othmer, Encyclopedia of Chemical Technology, 3rd ed. Vol.10, pp.247-283 は、これらの方法やグロー放電、イオンプレーティング、および化学蒸着のようなその他の堆積技術についての詳細な説明を提示している。その記載を参考として本明細書に取り込む。
【０００４】
次に、溶液型樹脂またはＵＶ（紫外線）硬化タイプの樹脂が反射層の上に付与され、次いで通常はラベルが付与される。この第三の層は反射層を取り扱いと周囲環境から保護する。そしてディスク上に蓄積された特定の情報をラベルによって見分けることができ、これはしばしば絵図を含む。
【０００５】
ポリカーボネート樹脂と反射層の間に存在する情報ピットは、通常は連続的な螺旋の形態をとる。螺旋は典型的には内周で始まり、外周で終わる。任意の二つの螺旋の間の距離は「トラックピッチ」と呼ばれ、通常はコンパクトオーディオディスクについて約１.６ミクロンである。トラックの方向での一つのピットまたはランドの長さは約０.９〜約３.３ミクロンである。これらの細目の全てはコンパクトオーディオディスクについて一般に知られていて、この分野の標準としてオランダのフィリップスＮＶと日本のソニーによって最初に提案された一連の仕様の中にある。
【０００６】
ディスクは、情報ピットの上に焦点を合わせるのに十分な小さな分解能を有するレーザービームを光学グレードのポリカーボネート基板を通して反射層の上に当てることによって読み出される。ピットはレーザー光の波長の約１/４の深さを有し、レーザー光は一般に約７８０〜８２０ナノメートルの範囲の波長を有する。次いで、レーザーが螺旋のトラックに沿って進み、その通路においてピットとランドの交互の連続の上に焦点が合うとき、レーザー光の弱め合い（暗い）干渉または強め合い（明るい）干渉が生じる。
【０００７】
暗から明へのまたは明から暗への光の強度のオンとオフの変化によって、１と０のデジタルデータの流れの基本が形成される。ある一定の時間間隔において光の強度の変化がないとき、デジタル信号は「０」であり、暗から明へのまたは明から暗への光の強度の変化があるとき、デジタル信号は「１」である。その結果生じる１と０の連続的な流れが、次に、電子的に解読され、そして音楽やコンピュータープログラミングデータのようなユーザーにとって意味のある形式で表示される。
【０００８】
従って、強度の変化の存在を読み出すために、レーザー光をディスクから検出器上へ反射する高度に反射性のコーティングがディスク上に存在することが重要である。一般に、反射層は通常、アルミニウム、銅、銀、または金からなり、これらの全てが６５０nm〜８２０nmの波長について８０％以上の高い光反射率を有する。アルミニウムとアルミニウム合金が通常用いられる。というのは、これらはコストが比較的低く、適度な耐腐食性を有し、またポリカーボネートのディスク上に容易に付加することができるからである。
【０００９】
しばしばそして通常、装飾的な理由から、金系のまたは銅系の合金が、使用者に「金色の」ディスクを提供するために用いられる。金は当然に華美な色を提供し、また高度に反射性の層に要求される機能の全てを満足するけれども、それはアルミニウムよりもずっと高価である。従って、亜鉛またはスズを含有する銅系合金が、金色の層を形成するためにしばしば用いられる。しかし、あいにくとこの変更は満足できるものではない。というのは、一般に銅合金の耐腐食性はアルミニウムよりも劣っていると考えられ、そのため、アルミニウムの反射層を有するディスクよりも寿命期間が短いディスクが得られる。
【００１０】
読者の便宜のため、光学的に読み出し可能な蓄積システムの製造と操作についてのさらなる詳細は、米国特許４,９９８,２３９号（Strandjord他）および４,７０９,３６３号（Dirks他）において見いだすことができ、それらの開示をここに参考文献として取り込む。
【００１１】
普及してきているコンパクトディスクの群における別のタイプのディスクは、記録可能なコンパクトディスクすなわち「ＣＤ−Ｒ」である。このディスクは前述のＣＤに類似しているが、しかし幾つかの変更がある。記録可能なコンパクトディスクには始めにピットの連続的な螺旋の代わりに連続的な螺旋溝があり、そしてポリカーボネート基板と反射層の間に有機染料の層を有している。このディスクは、レーザーが螺旋のトラックに沿って移動するとき、レーザービームの焦点を溝内に周期的に合わせることによって記録が行なわれる。レーザーは染料を高温に加熱し、次いで溝内にピットが形成され、これと同時に染料が周期的に変形し分解することによって１と０の入力データの流れが形成される。
【００１２】
読者の便宜のため、これらの記録可能なディスクの操作と構成についてのさらなる詳細は、米国特許５,３２５,３５１号（Uchiyama他）、５,３９１,４６２号、５,４１５,９１４号、５,４１９,９３９号（Arioka他）、および５,６２０,７６７号（Harigaya他）において見いだすことができ、それらの開示を本明細書に参考文献として取り込む。
【００１３】
ＣＤ−Ｒディスクの重要な要素は有機染料であり、これは溶剤と、シアニン、フタロシアニン、またはアゾ系からの１種または２種以上の有機化合物から作られる。このディスクは通常、染料をディスク上にスピンコーティングし、そして染料が十分に乾燥した後に染料の上に反射層をスパッターすることによって製造される。しかし、この染料は反射層を腐食する可能性のあるハロゲンイオンまたはその他の化学物質を含有していることがあるので、アルミニウムのような多くの通常用いられる反射層材料はＣＤ−Ｒディスクに合理的な寿命期間を付与するには適当でないだろう。従って、記録可能なＣＤを製造するのにしばしば金を用いなければならない。しかし、金はＣＤ−Ｒディスクの機能上の要求を全て満たすけれども、それは非常に費用のかかる解決法である。
【００１４】
最近、他のタイプの記録可能な光ディスクが開発された。これらの光ディスクは、記録媒体として位相変化材料または磁気光学材料を用いる。光レーザーが用いられて、記録媒体上に焦点を合わせたビームを変調することによって記録層の位相または磁気状態（微細組織）を変化させ、このとき媒体が回転されて記録層の微細組織の変化が生じる。再生を行なう間、記録媒体を通して反射された光ビームからの光の強度の変化が検出器によって検出される。光の強度のこれらの変調は、記録工程の間に生じた記録媒体の微細組織の変化によるものである。ある種の位相変化材料および／または磁気光学材料を、第一の状態から第二の状態へ容易にそして繰り返し変換し、そして再び元に戻すことができ、実質的に劣化させることなくこれを行なうことができる。これらの材料は、コンパクトディスク書き換え可能ディスク、すなわちＣＤ−ＲＷとして一般に知られているもののための記録媒体として用いることができる。
【００１５】
情報を記録しそして読むために、位相変化ディスクは、第一の暗い位相から第二の明るい位相への、そして再び元へ戻る変化をする記録層の能力を利用する。これらの材料への記録を行なうと、記録レーザービームを変調するときに導入されるデジタル入力データに従って一連の交互の暗いスポットと明るいスポットが生じる。記録媒体上のこれらの明るいスポットと暗いスポットは、デジタルデータに関する０と１に相当する。記録された情報を再生するために、ディスクのトラックに沿って焦点を合わせた低いレーザー出力を使用して、デジタル化されたデータが読み取られる。レーザー出力は、それが記録媒体の状態をさらに変化させないほどに十分に低いが、しかしそれは、記録媒体の反射率の変化が検出器によって容易に識別されるほどに十分に高い。記録媒体は、記録媒体上に中間出力のレーザーを当てることによって、再記録のために消去を受けることができる。これによって記録媒体層はその最初の状態すなわち消去された状態に戻る。光学的に記録可能な媒体の記録機構についてのさらに詳細な説明は、ソニー、ＴＤＫ、およびＮＥＣ（全て東京、日本）にそれぞれ譲渡された米国特許５,７４１,６０３号、５,４９８,５０７号、および５,７１９,００６号において見いだすことができ、それらの開示の全体をここに参考文献として取り込む。
【００１６】
普及してきている光ディスクの群におけるさらに別のタイプのディスクは、デジタルビデオディスクまたは「ＤＶＤ」と呼ばれる予め記録された光ディスクである。このディスクは二つの半分の部分を有している。各々の半分の部分は射出成形または圧縮成形されたポリカーボネート樹脂からなり、これにはピット情報が付与され、次いで反射層でスパッターコーティングされる。この工程は上述した通りである。次いで、これら二つの部分はＵＶ硬化樹脂またはホットメルト接着剤を用いて接合または接着されて、ディスク全体が完成する。次いで、このディスクは、コンパクトディスクすなわちＣＤとは異なり、両側で再生することができ、情報は通常一つの側からだけ得られる。ＤＶＤのサイズはＣＤとほぼ同じであるが、情報密度はそれよりもかなり高い。トラックピッチは約０.７ミクロンであり、ピットとランドの長さはおよそ０.３〜１.４ミクロンである。
【００１７】
ＤＶＤの群のディスクの一つの変形はＤＶＤ二層（デュアル層）ディスクである。このディスクも二つの情報層を有しているが、しかし、両方の層は一つの側から再生される。この構造において、反射率の高い層は上述したものと通常同じである。しかし、第二の層は半反射性であり、６５０nmの波長においておよそ１８〜３０％の反射率を有する。光を反射するのに加えて、この第二の層はまた、かなりの量の光を透過しなければならず、それによってレーザービームは下にある高反射層に達することができ、次いで半反射層を通して信号検出器へ反射して戻る。
【００１８】
光ディスクの蓄積容量を増大させる継続した試みにおいては多層ディスクを構成することができ、これは「SPIE Conference Proceeding Vol.2890, 2−9ページ, 1996年11月」という刊行物に示されていて、そこでは三層または四層の光ディスクが開示されている。全てのデータ層は６５０nmの波長においてレーザー光を使用してディスクの一方の側から再生される。両側に三層ある読み取り専用ディスクは合計で六層を有し、約２６ギガバイトの情報の蓄積容量を有し得る。
【００１９】
さらに最近になって、４００nmの波長を有する青い光を放出するレーザーダイオードが市販されるようになった。この新しいレーザーは、かなり密度の高いデジタルビデオディスクデータの蓄積を可能にするだろう。６５０nmの赤色レーザーを用いる現行のＤＶＤは一方の側につき４.７ＧＢ蓄積することができるが、新しい青色レーザーは一方の側につき１２ＧＢ蓄積することができ、これは標準の解像度のビデオと音を約６時間蓄積するのに十分な蓄積スペースである。多層ディスクを用いれば、長編映画を高品位デジタルビデオフォーマットで蓄積するのに十分な容量がある。
【００２０】
現在、ＣＤ−ＲＷ技術をＤＶＤの分野に適合させて、書き換え可能なＤＶＤ（ＤＶＤ−ＲＷ）を製造することが関心の対象となっている。ＤＶＤフォーマットに必要な高い情報密度のために、ＤＶＤ−ＲＷの製造において幾つかの困難が生じている。例えば、ＤＶＤ−ＲＷフォーマットに必要な読み取り、書き込み、および消去に適応するために、反射層の反射率を標準のＤＶＤ反射層の反射率よりも増大させなければならない。また、情報を書き込みそして消去するのに必要な高いレーザー出力と情報移動プロセスの間に生じる微細組織の変化の両者によって発生する熱を適切に放散するために、反射層の熱伝導率も増大しなければならない。反射層の可能性のある選択は現在のところ、純金、純銀、およびアルミニウム合金である。金は、ＤＶＤ−ＲＷディスクにおいて動作するのに十分な反射率、熱伝導率、および耐腐食性を有しているように思える。また、金は均一な厚さのコーティングにスパッターするのが比較的容易である。しかしここでもまた、金は他の金属よりもかなり高価であり、ＤＶＤ−ＲＷフォーマットの製造をひどく高価にする。純銀は金よりも高い反射率と熱伝導率を有するが、しかしその耐腐食性は金よりも低い。アルミニウム合金の反射率と熱伝導率は金および銀の両者よりもかなり低く、従ってＤＶＤ−ＲＷまたはＤＶＤ＋ＲＷにおける反射層として必ずしも良い選択ではない。
【００２１】
読者の便宜のため、ＤＶＤディスクの製造と構成についてのさらなる詳細は、米国特許５,６４０,３８２号（Florczak他）において見いだすことができ、その開示をここに参考文献として取り込む。
【００２２】
従って、求められているものは、光蓄積媒体における反射層または半反射層として用いられるときに金のような利点を有していて、しかし金ほどには高価でない幾つかの新しい合金である。これらの新しい合金はまた、純銀よりも良好な耐腐食性を有する。本発明はこの要求を扱う。
【００２３】
発明の要約
一つの態様において、本発明は、少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の基板と、この特徴パターンに隣接する第一の反射層とを有する光蓄積媒体である。反射層は銀と亜鉛の合金からなり、銀の量と亜鉛の量の間の関係はＡｇxＺｎyによって定義され、ここで０.８５＜ｘ＜０.９９９９および０.０００１＜ｙ＜０.１５である。
【００２４】
別の態様において、本発明は、少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の基板と、この特徴パターンに隣接する第一の反射層とを有する光蓄積媒体である。反射層は銀とアルミニウムの合金からなり、銀の量とアルミニウムの量の間の関係はＡｇxＡｌzによって定義され、ここで０.９５＜ｘ＜０.９９９９および０.０００１＜ｚ＜０.０５である。
【００２５】
別の態様において、本発明は、少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の基板と、この特徴パターンに隣接する第一の反射層とを有する光蓄積媒体である。反射層は銀、亜鉛、およびアルミニウムの合金からなり、銀の量と亜鉛の量とアルミニウムの量の間の関係はＡｇxＺｎyＡｌzによって定義され、ここで０.８０＜ｘ＜０.９９８、０.００１＜ｙ＜０.１５、および０.００１＜ｚ＜０.０５である。
【００２６】
別の態様において、本発明は、少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の基板と、この特徴パターンに隣接する第一の反射層とを有する光蓄積媒体である。反射層は銀とマンガンの合金からなり、銀の量とマンガンの量の間の関係はＡｇxＭｎtによって定義され、ここで０.９２５＜ｘ＜０.９９９９および０.０００１＜ｔ＜０.０７５である。
【００２７】
別の態様において、本発明は、少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の基板と、この特徴パターンに隣接する第一の反射層とを有する光蓄積媒体である。反射層は銀とゲルマニウムの合金からなり、銀の量とゲルマニウムの量の間の関係はＡｇxＧｅqによって定義され、ここで０.９７＜ｘ＜０.９９９９および０.０００１＜ｑ＜０.０３である。
【００２８】
別の態様において、本発明は、少なくとも一つの主表面において特徴のあるパターンを有する第一の基板と、この特徴パターンに隣接する第一の反射層とを有する光蓄積媒体である。反射層は銀と銅とマンガンの合金からなり、銀の量と銅の量とマンガンの量の間の関係はＡｇxＣｕpＭｎtによって定義され、ここで０.８２５＜ｘ＜０.９９９８および０.０００１＜ｐ＜０.１０および０.０００１＜ｔ＜０.０７５である。
【００２９】
本発明の目的は、高い反射率と金と類似するスパッター特性を有し、そして耐腐食性で高価でない薄膜反射層のための新規な合金を提供することである。本発明の層が十分に薄く製造されているとき、それはＤＶＤ二層（デュアル層）に適用するためのレーザー光に対して半反射性であり、また透過性である。
【００３０】
本発明の別の目的は、記録可能なコンパクトディスクにおける金の反射層に対して廉価な代替材料であり、また高い反射率と耐腐食性のようなディスクに要求されるその他の機能をも満足するものを提供することである。
【００３１】
本発明のさらなる目的は、ＤＶＤ−ＲＷまたはＤＶＤ＋ＲＷディスクおよびその他の現行のおよび将来の世代の光ディスクであって、廉価で高性能な製品のための反射率、耐腐食性、および適用の容易さのような要件が全て重要となるディスクにおける反射層に要求される機能を満足するのに十分な化学的特性、熱的特性、および光学的特性を有する銀系合金を提供することである。
【００３２】
好ましい実施態様の説明
本発明を公表しまたその原理を他者に伝えるために、以下の説明と実施例において特定の用語が用いられている。その特許権の範囲がここで用いられている用語だけに限定されることは意図されていない。その範囲には、その説明に対するあらゆる代替と修正であって、当分野における平均的な技術者が通常思いつくものも含まれる。
【００３３】
本明細書において用いられている用語である「原子％」または「ａ/ｏ％」は、特定の合金中に存在するものとして同定される原子の総数に対する特定の元素または特定の元素の群の原子の比率を意味する。例えば、１５原子％の元素「Ａ」と８５原子％の元素「Ｂ」からなる合金は、その特定の合金についての式であるＡ0.15Ｂ0.85 によって表示することもできる。
【００３４】
ここで用いられている用語である「存在する銀の量の」は、合金中に含まれている特定の添加物の量を記述するのに用いられる。この形で用いられる場合、この用語は、添加物の存在を比率で説明するために、この添加物を考慮しないときに存在する銀の量は存在する添加物の量だけ減じる、ということを意味する。例えば、存在する添加物の量を考慮しないときにＡｇと元素「Ｘ」の間の関係がＡｇ0.85Ｘ0.15（それぞれ８５ａ/ｏ％および１５ａ/ｏ％）である場合、そして添加物「Ｂ」が「存在する銀の量の」５原子％の量で存在する場合、Ａｇ、Ｘ、およびＢの間の関係は銀の原子％から５原子％を減じることによって求められ、あるいはＡｇ、Ｘ、およびＢの間の関係はＡｇ0.80Ｘ0.15Ｂ0.05（それぞれ８０ａ/ｏ％の銀、１５ａ/ｏ％の「Ｘ」、および５ａ/ｏ％の「Ｂ」）である。
【００３５】
本明細書において用いられている用語である「隣接する」は、空間の関係を意味し、そして「近い」または「遠くない」という意味である。従って、本明細書において「隣接する」という用語を用いる場合、そのように認識される要素が互いに接触していることを要せず、そしてそれらが他の構造によって分離していても良い。例えば、図５を参照すれば、層（424）は層（422）と「隣接する」し、または「近い」が、それと全く同じ意味において、層（414）は層（422）と「隣接する」し、または「近い」。
【００３６】
本発明は、光データ蓄積媒体として用いられる多層の金属／基板の構成からなる。本発明の一実施態様は図１に光データ蓄積システム（10）として示されている。光蓄積媒体（12）は、透明な基板（14）と、第一のデータピットパターン（19）の上にある高反射性の薄膜層またはコーティング（20）を有する。図１に示すように、光レーザー（30）が媒体（12）に向けて光ビームを放出する。薄膜層（20）によって反射される光ビームからの光は検出器（32）によって検出され、検出器は薄膜層上の特定の箇所におけるピットまたはランドの有無に基づく光の強度の変化を検知する。このディスクは、後述する合金のうちの一つが情報ピットとランドの上に堆積されていて、これが高反射性の薄膜（20）として用いられる、という点で独特である。一つの別の態様（図示せず）においては、ディスクは、二つの光蓄積媒体（12）を背中合わせに接合する、すなわち各々の透明な基板（14）が外側に面しているようにすることによって、変更することができる。
【００３７】
本発明の別の実施態様は図２に光データ蓄積システム（110）として示されている。光蓄積媒体（112）は、透明な基板（114）と、第一のパターン（119）の上に設けられた染料の層（122）の上にある高反射性の薄膜層（120）を有する。図２に示すように、光レーザー（130）が媒体（112）に向けて光ビームを放出する。前述したように、染料層の部分をレーザーで変形することによってディスク上にデータが設けられる。次いで、ディスクは光ビームからの光によって操作され、この光は薄膜層（120）によって反射され、そして検出器（132）によって検出される。検出器は染料層における変形の有無に基づく光の強度の変化を検知する。このディスクは、後述する合金のうちの一つが染料層（122）の上に堆積されていて、これが高反射性の薄膜またはコーティング（120）として用いられる、という点で独特である。一つの別の態様（図示せず）においては、ディスクは、二つの光蓄積媒体（112）を背中合わせに接合する、すなわち各々の透明な基板（114）が外側に面しているようにすることによって、変更することができる。
【００３８】
本発明の別の実施態様は図３に光データ蓄積システム（210）として示されている。光蓄積媒体（212）は、透明な基板（214）、第一のデータピットパターン（215）の上にある部分的に反射性の薄膜層またはコーティング（216）、透明な間隔層（218）、および第二のデータピットパターン（219）の上にある高反射性の薄膜層またはコーティング（220）を有する。図３に示すように、光レーザー（230）が媒体（212）に向けて光ビームを放出する。薄膜層（216）または（220）のいずれかによって反射される光ビームからの光は検出器（232）によって検出され、検出器は薄膜層上の特定の箇所におけるピットの有無に基づく光の強度の変化を検知する。このディスクは、後述する合金のうちの一つが情報ピットとランドの上に堆積されていて、これが高反射性の薄膜（220）または半反射性の層（216）として用いられる、という点で独特である。別の態様（図示せず）においては、ディスクは、二つの光蓄積媒体（212）を背中合わせに接合する、すなわち各々の透明な基板（214）が外側に面しているようにすることによって、変更することができる。接合方法は例えば、紫外線硬化性接着剤、ホットメルト接着剤、またはその他のタイプの接着剤による。
【００３９】
本発明の別の実施態様は図４に光データ蓄積システム（310）として示されている。光蓄積媒体（312）は、透明な基板（314）、第一のデータピットパターン（315）の上にある部分的に反射性の薄膜層またはコーティング（316）または「ゼロ（zero）」層、透明な間隔層（318）、第二のデータピットパターン（319）の上にある別の部分的に反射性の薄膜層またはコーティング（320）または「ワン（one）」層、第二の透明な間隔層（322）、および第三のピットパターン（323）の上にある高反射性の薄膜層またはコーティング（324）または「ツー（two）」層を有する。図４に示すように、光レーザー（330）が媒体（312）に向けて光ビームを放出する。薄膜層（316）（320）または（324）によって反射される光ビームからの光は検出器（332）によって検出され、検出器は薄膜層上の特定の箇所におけるピットの有無に基づく光の強度の変化を検知する。このディスクは、後述する合金のうちのいずれかまたは全てを情報ピットとランドの上に堆積することができ、これが高反射性の薄膜またはコーティング（324）または半反射性の層またはコーティング（316）および（320）として用いられる、という点で独特である。層Ｌ２の上の情報を再生するために、レーザーダイオード（330）からの光ビームは透明なポリカーボネート基板の中を進み、第一の半反射性の層Ｌ０および第二の半反射性の層Ｌ１を通過し、次いで層Ｌ２から検出器（332）へ反射して戻る。別の態様（図示せず）においては、ディスクは、二つの光蓄積媒体（312）を背中合わせに接合する、すなわち各々の透明な基板（314）が外側に面しているようにすることによって、変更することができる。接合方法は例えば、紫外線硬化性接着剤、ホットメルト接着剤、またはその他のタイプの接着剤による。
【００４０】
本発明のさらに別の実施態様は図５に光データ蓄積システム（410）として示されている。光蓄積媒体（412）は、透明な基板または透明な層（414）、第一のデータピットパターン（415）の上にある誘電体層（416）、第一の状態から第二の状態へそして再び前の状態へのレーザー誘起移行を繰り返し受けることが可能な領域または部分を含む微細組織を有する材料（例えば位相変化材料または磁気光学材料）からなる記録層（418）（すなわち光学的に再記録可能なまたは書き換え可能な層）、別の誘電体材料（420）、高反射性の薄膜層（422）、および透明な基板または層（424）を有する。本明細書で用いられる意味として、誘電体材料とは、電気絶縁物の材料、またはその中で出力の最少の消失を伴って電界が維持され得る材料である。光蓄積媒体（410）の異なる層（414）（416）（418）（420）および（422）は互いに隣接するように配置されるのが好ましい。
【００４１】
記録層（418）のために一般的に用いられる位相変化材料としては、ゲルマニウム-アンチモン-テルル（Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ）、銀-インジウム-アンチモン-テルル（Ａｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅ）、クロム-ゲルマニウム-アンチモン-テルル（Ｃｒ-Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ）、およびこれらと類似のものがある。誘電体層（416）または（420）のために一般的に用いられる材料としては、硫化亜鉛-酸化シリコン化合物（ＺｎＳ・ＳｉＯ2）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、およびこれらと類似のものがある。記録層（418）のために一般的に用いられる磁気光学材料としては、テルビウム-鉄-コバルト（Ｔｂ-Ｆｅ-Ｃｏ）またはガドリニウム-テルビウム-鉄（Ｇｄ-Ｔｂ-Ｆｅ）がある。図５に示すように、光レーザー（430）が媒体（412）に向けて光ビームを放出する。位相変化記録可能な光学媒体のための記録モードにおいて、光ビームからの光は入力デジタルデータに従って変調されるかまたは点滅して、適当な対物レンズを用いて記録層（418）に焦点が合わされ、このとき媒体は適当な速度で回転されて、それによって記録層において微細組織の変化または位相の変化が生じる。再生モードにおいて、媒体（412）を通って薄膜層（422）によって反射される光ビームからの光は検出器（432）によって検出され、検出器は記録層における特定の箇所の結晶状態または非晶質状態に基づく光の強度の変化を検知する。このディスクは、後述する合金のうちの一つが媒体の上に堆積され、これが高反射性の薄膜（422）として用いられる、という点で独特である。別の態様（図示せず）においては、ディスクは、二つの光蓄積媒体（412）を背中合わせに接合する、すなわち各々の透明な基板またはコーティング（414）が外側に面しているようにすることによって、変更することができる。接合方法は例えば、紫外線硬化性接着剤、ホットメルト接着剤、またはその他のタイプの接着剤による。
【００４２】
図５に示すように、透明な基板（414）が連続した螺旋の溝とランドを有する射出成形したポリカーボネートからなる約１.２mmの厚さのものである場合、（424）は７８０〜８２０ナノメートルの再生用レーザー（430）を使用するときの保護層として作用する厚さ３〜１５ミクロンの紫外線硬化性アクリル樹脂であり、書き換え可能な層（418）は代表的な組成がＡｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅの位相変化材料であり、これはコンパクトディスク書き換え可能ディスク、すなわちＣＤ−ＲＷとして一般に知られているものの構造である。情報を記録しそして読み取るために、位相変化ディスクは、低い反射率を有する非晶質相（暗い）から高い反射率を有する結晶質相（明るい）へ変化する記録層の能力を利用する。記録する前は、位相変化層は結晶質状態にある。記録を行なっている間、記録層上に当てられた高出力のレーザービームは位相変化材料を高温に加熱し、そしてレーザーの照射を止めると、加熱された箇所（スポット）は急速に冷却して非晶質状態が生成する。このようにして、レーザービームの照射（オン）と停止（オフ）を切り換える入力データに従って、非晶質状態からなる一連のダークスポットが生成する。これらのオンとオフがデジタルデータの流れの「０」と「１」に相当する。
【００４３】
読み取りを行なうときは、低いレーザー出力が用いられて、ディスクのトラックに沿ってダークスポット（暗いスポット）またはブライトスポット（明るいスポット）に焦点合わせがされて読み取られ、それによって、記録された情報が再生される。消去を行なうためには、中間のレーザー出力が用いられて、ディスクを回転させながら溝またはトラックに焦点合わせがされて、それによって、焦点合わせされた箇所（スポット）は中間温度に達する。レーザースポットが別の位置に移動された後、スポットは室温まで冷却して高反射率の結晶質組織が生成する。これによって、記録層はその最初の状態すなわち消去された状態に戻る。非晶質状態から結晶質状態へのスポットのこの変化は極めて可逆性であり、従って、多くの記録サイクルと消去サイクルを容易に実施することができ、異なるデータを繰り返し記録しそして読み取ることができる。
【００４４】
透明な基板（414）が連続した螺旋の溝とランドを有する射出成形したポリカーボネートからなる約０.５〜０.６mmの厚さのものであり、（416）と（420）が典型的にはＺｎＳ・ＳｉＯ2からなる誘電体層であり、（418）がＡｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-ＴｅまたはＧｅ-Ｓｂ-Ｔｅのような位相変化材料からなり、（422）が本発明の銀系合金からなり、（424）が図５に示すような同じ構造のものと接合する紫外線硬化性樹脂であり、そして６３０〜６５０ナノメートルの波長の読み取り・書き込みレーザー（430）を用いるとき、これは書き換え可能なデジタル多能ディスクすなわち一般にＤＶＤ＋ＲＷと呼ばれているものである。幾つかの好ましい位相可変材料としては以下の一連のものがある：Ａｓ-Ｔｅ-Ｇｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ｏ、Ｔｅ-Ｓｅ、Ｓｎ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｔｅ-Ｇｅ-Ｓｎ-Ａｕ、Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、Ｓｂ-Ｔｅ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ、Ｉｎ-Ｓｂ、Ｉｎ-Ｓｂ-Ｓｅ、Ｉｎ-Ｓｅ-Ｔｌ-Ｃｏ、Ｃｒ-Ｇｅ-Ｓｂ-Ｔｅ、およびＳｉ-Ｔｅ-Ｓｎ。ここで、Ａｓはヒ素、Ｔｅはテルル、Ｇｅはゲルマニウム、Ｓｎはスズ、Ｏは酸素、Ｓｅはセレン、Ａｕは金、Ｓｂはアンチモン、Ｉｎはインジウム、Ｔｌはタリウム、Ｃｏはコバルト、そしてＣｒはクロムである。このディスク構成において、高反射性層（422）は、６５０ナノメートルの波長において高反射性であるだけでなく、ＺｎＳ・ＳｉＯ2に対して耐腐食性が高いものでなければならない。慣用のアルミニウム合金は十分に高い反射率を有していないし、十分に高い熱伝導率も有していない。純銀またはその他の慣用の銀合金は、高い耐腐食性と高い反射率と高い熱伝導率のいずれをも有していない。従って、本発明の別の目的は、この用途の要求を満足させ得る一連の銀合金を提供することである。
【００４５】
本発明の別の態様は、図６において書き換え可能なタイプの光情報蓄積システム（510）として示されている。透明な被覆層（514）は約０.１mmの厚さを有する。誘電体層（516）と（520）はＺｎＳ・ＳｉＯ2からなるのが好ましく、書き換え可能な層または位相変化層（518）のための保護層として作用する。書き換え可能な層（518）はＡｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅまたはその類似のものから形成されるのが好ましい。高反射性層（522）は本明細書で開示されているような銀合金から形成されるのが好ましい。透明な基板（524）は約１.１mmの厚さを有するのが好ましく、連続した螺旋トラックの溝とランドを有し、通常はポリカーボネートからなる。レーザー（530）は関連する光学素子と約４００nmの波長を有するのが好ましく、レーザービームが記録層（518）の上に焦点合わせされる。反射するレーザービームは検出器（532）によって受け取られ、検出器は記録された情報を読み出すための関連するデータ処理能力を有するのが好ましい。このシステム（510）は、高品位テレビ信号を記録するために設計された「デジタルビデオ記録システム」またはＤＶＲとしばしば呼ばれる。この光情報蓄積システム（510）の作動原理はＣＤ−ＲＷディスクのものとほぼ同じであるが、ただし記録密度はそれよりもかなり高く、また直径５インチのディスクの蓄積容量は約２０ギガバイトである。また、このディスクスタックの性能は、高い耐腐食性と非常に高い熱伝導率を有していて４００nmの波長において高反射性の層（522）に依存する。アルミニウム、金、または銅のような慣用の反射層は全て、この要求を満たすのが困難である。従って、本発明の別の目的は、これらの要求を満足させ得る銀合金の反射層を提供することである。
【００４６】
ここで用いられている「反射率」という用語は、透明な基板（14）（114）（214）（314）（414）または（514）に入射して、層（20）（120）（216）（220）（316）（320）（324）（422）または（522）の領域上の箇所に焦点が合うときに、原則として光読み出し装置における光検出器によって検出される光の出力の割合を意味する。この読み出し装置は、レーザー、適切に設計された光路、および光検出器、あるいはこれらと同等の機能を有するものを含むとみなされる。
【００４７】
本発明は、特定の銀系合金は、金系合金につきものの費用あるいはシリコン系材料のプロセスの複雑さを伴わずに、光蓄積媒体における反射性の層または半反射性の層として用いるのに十分な反射率と耐腐食性を提供する、という発明者の発見に基づく。一実施態様において、銀は比較的少量の亜鉛と合金にされる。この態様において、亜鉛と銀の量の間の関係は、約０.０１ａ/ｏ％（原子％）〜約１５ａ/ｏ％の亜鉛、および約８５ａ/ｏ％〜約９９.９９ａ/ｏ％の銀の範囲である。しかし好ましくは各々の金属について、この合金は約０.１ａ/ｏ％〜約１０.０ａ/ｏ％の亜鉛、および約９０.０ａ/ｏ％〜約９９.９ａ/ｏ％の銀を含有する。
【００４８】
別の実施態様において、銀は比較的少量のアルミニウムと合金にされる。この態様において、アルミニウムと銀の量の間の関係は、約０.０１ａ/ｏ％（原子％）〜約５ａ/ｏ％のアルミニウム、および約９５ａ/ｏ％〜約９９.９９ａ/ｏ％の銀の範囲である。しかし好ましくは各々の金属について、この合金は約０.１ａ/ｏ％〜約３.０ａ/ｏ％のアルミニウム、および約９７ａ/ｏ％〜約９９.９ａ/ｏ％の銀を含有する。
【００４９】
本発明の別の実施態様において、上記の銀をベースとする二元合金系はさらにカドミウム（Ｃｄ）、リチウム（Ｌｉ）、またはマンガン（Ｍｎ）と合金化される。これらの金属の１種または２種以上が合金中の銀の一部と置換した場合、得られる薄膜の耐腐食性は向上するようであるが、しかし反射率は低下するようである。二元合金中の銀のある量と有利に置換するカドミウム、リチウム、またはマンガンの量は、カドミウムについては存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約２０ａ/ｏ％の範囲であり、リチウムについては存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約１０ａ/ｏ％または約１５ａ/ｏ％までの範囲であり、マンガンについては存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約７.５ａ/ｏ％の範囲である。
【００５０】
本発明のさらに別の実施態様において、上記の銀をベースとする亜鉛およびアルミニウムの二元合金系はさらに貴金属、例えば、金（Ａｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、銅（Ｃｕ）、ルテニウム（Ｒｕ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、およびこれらの混合と合金化され、上記の二元合金へのこれら貴金属の添加量の好ましい範囲は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。これら貴金属に加えて、上記の合金はさらに、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、インジウム（Ｉｎ）、クロム（Ｃｒ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、スズ（Ｓｎ）、アンチモン（Ｓｂ）、ガリウム（Ｇａ）、シリコン（Ｓｉ）、ホウ素（Ｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、モリブデン（Ｍｏ）のような金属、およびこれらの混合と合金化され得る。上記の銀合金系において存在する銀の量に関して、これらの金属の好ましい添加量の範囲は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。
【００５１】
さらに別の実施態様において、銀は比較的少量の亜鉛およびアルミニウムの両者と合金化される。この実施態様において、亜鉛、アルミニウム、および銀の量の間の関係は、約０.１ａ/ｏ％〜約１５ａ/ｏ％の亜鉛、約０.１ａ/ｏ％〜約５ａ/ｏ％のアルミニウム、および約８０ａ/ｏ％〜約９９.８ａ/ｏ％の銀の範囲である。しかし好ましくは各々の金属に関して、この合金は、約０.１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％の亜鉛、約０.１ａ/ｏ％〜約３.０ａ/ｏ％のアルミニウム、および約９２.０ａ/ｏ％〜約９９.８ａ/ｏ％の銀を含む。
【００５２】
本発明のさらに別の実施態様において、上記の銀をベースとする亜鉛-アルミニウム三元合金系はさらに第四の金属と合金化される。第四の金属としてはマンガンまたはニッケルがある。これらの金属の１種または混合が合金中の銀の一部と置換した場合、得られる薄膜の耐腐食性は向上するようであるが、しかし反射率は低下するようである。上記の三元合金中の銀のある量と有利に置換するマンガンまたはニッケルの量は、マンガンについては存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約７.５ａ/ｏ％の範囲であり、好ましくは存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％の範囲である。ニッケルの量は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％の範囲であり、好ましくは存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約３.０ａ/ｏ％の範囲である。
【００５３】
本発明のさらに別の実施態様において、上記の銀をベースとする亜鉛-アルミニウム三元合金系はさらに貴金属、例えば、金、ロジウム、銅、ルテニウム、オスミウム、イリジウム、白金、パラジウム、およびこれらの混合と合金化され、上記の三元合金へのこれら貴金属の添加量の好ましい範囲は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。これら貴金属に加えて、上記の合金はまた、チタン、ニッケル、インジウム、クロム、ゲルマニウム、スズ、アンチモン、ガリウム、シリコン、ホウ素、ジルコニウム、モリブデンのような金属、およびこれらの混合と合金化され得る。上記の銀合金系において存在する銀の量に関して、これらの金属の好ましい添加量の範囲は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。
【００５４】
別の実施態様において、銀は比較的少量のマンガンと合金化される。この実施態様において、マンガンと銀の量の間の関係は、約０.０１ａ/ｏ％〜約７.５ａ/ｏ％のマンガンおよび約９２.５ａ/ｏ％〜約９９.９９ａ/ｏ％の銀の範囲である。しかし好ましくは各々の金属に関して、この合金は、約０.１ａ/ｏ％〜約５ａ/ｏ％のマンガンおよび約９５ａ/ｏ％〜約９９.９ａ/ｏ％の銀を含む。
【００５５】
本発明のさらに別の実施態様において、上記の銀をベースとする二元マンガン合金系はさらに第三の金属と合金化される。第三の金属としてはカドミウム、ニッケル、リチウム、およびこれらの混合がある。これらの金属の１種または混合が合金中の銀の一部と置換した場合、得られる薄膜の耐腐食性は向上するようであるが、しかし反射率は低下するようである。上記の二元合金系中に存在する銀の量に関して、カドミウムの量は存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約２０ａ/ｏ％の範囲であり、ニッケルの量は存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％の範囲であり、リチウムの量は存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約１０.０ａ/ｏ％の範囲である。
【００５６】
本発明のさらに別の実施態様において、上記の銀をベースとするマンガン合金系はさらに貴金属、例えば、金、ロジウム、銅、ルテニウム、オスミウム、イリジウム、白金、パラジウム、およびこれらの混合と合金化され、上記の二元合金へのこれら貴金属の添加量の好ましい範囲は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。これら貴金属に加えて、上記の合金はまた、チタン、インジウム、クロム、ゲルマニウム、スズ、アンチモン、ガリウム、シリコン、ホウ素、ジルコニウム、モリブデンのような金属、およびこれらの混合と合金化され得る。上記の銀合金系において存在する銀の量に関して、後者の金属の好ましい添加量の範囲は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。
【００５７】
さらに別の実施態様において、銀は比較的少量のゲルマニウムと合金化される。この実施態様において、ゲルマニウムと銀の量の間の関係は、約０.０１ａ/ｏ％〜約３.０ａ/ｏ％のゲルマニウムおよび約９７.０ａ/ｏ％〜約９９.９９ａ/ｏ％の銀の範囲である。しかし好ましくは各々の金属に関して、この合金は、約０.１ａ/ｏ％〜約１.５ａ/ｏ％のゲルマニウムおよび約９８.５ａ/ｏ％〜約９９.９ａ/ｏ％の銀を含む。
【００５８】
本発明のさらに別の実施態様において、上記の銀をベースとするゲルマニウム合金系はさらに第三の金属と合金化される。第三の金属としてはマンガンまたはアルミニウムがある。これらの金属の１種または混合が合金中の銀の一部と置換した場合、得られる薄膜の耐腐食性は向上するようであるが、しかし反射率は低下するようである。上記の二元合金系中に存在する銀の量に関して、マンガンの量は存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約７.５ａ/ｏ％の範囲であり、アルミニウムの量は存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％の範囲である。
【００５９】
本発明のさらに別の実施態様において、上記の銀をベースとするゲルマニウム合金系はさらに貴金属、例えば、金、ロジウム、銅、ルテニウム、オスミウム、イリジウム、白金、パラジウム、およびこれらの混合と合金化され、上記の二元合金へのこれら貴金属の添加量の好ましい範囲は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。これら貴金属に加えて、上記の合金はまた、亜鉛、カドミウム、リチウム、ニッケル、チタン、ジルコニウム、インジウム、クロム、スズ、アンチモン、ガリウム、シリコン、ホウ素、モリブデンのような金属、およびこれらの混合と合金化され得る。上記の銀合金系において存在する銀の量に関して、これらの金属の好ましい添加量の範囲は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。
【００６０】
さらに別の実施態様において、銀は比較的少量の銅およびマンガンの両者と合金化される。この実施態様において、銅、マンガン、および銀の量の間の関係は、約０.０１ａ/ｏ％〜約１０ａ/ｏ％の銅、約０.０１ａ/ｏ％〜約７.５ａ/ｏ％のマンガン、および約８２.５ａ/ｏ％〜約９９.９８ａ/ｏ％の銀の範囲である。しかし好ましくは各々の金属に関して、この合金は、約０.１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％の銅、約０.１ａ/ｏ％〜約３.０ａ/ｏ％のマンガン、および約９２.０ａ/ｏ％〜約９９.８ａ/ｏ％の銀を含む。
【００６１】
本発明のさらに別の実施態様において、上記の銀をベースとする銅-マンガン合金系はさらに第四の金属と合金化される。第四の金属としてはアルミニウム、チタン、ジルコニウム、ニッケル、インジウム、クロム、ゲルマニウム、スズ、アンチモン、ガリウム、シリコン、ホウ素、モリブデン、およびこれらの混合がある。上記の銀合金系中に存在する銀の量に関して、第四の金属の好ましい添加量の範囲は、存在する銀の量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。
【００６２】
ＤＶＤ−９二層ディスクの半反射層のための８〜１２ナノメートルの厚さの薄膜としてのこれらの銀合金の光学特性を下の表１に示す。松下電器に譲渡された米国特許５,４６４,６１９号とソニーに譲渡された米国特許５,７２６,９７０号に記載されているように、図３と表１に示されている二層光学ディスク構造において、図３における層「０」すなわち（216）の反射率Ｒ0、図３におけるディスクの外側から測定した層「１」すなわち（220）の反射率Ｒ1'、および層「０」の透過率Ｔ0の間の関係は、Ｒ0＝Ｒ1Ｔ02 であり、ここでＲ1は層「１」自体の反射率である。バランスのとれた信号と反射率に対して層「０」の厚さが最適化されて、そして層「１」が５０〜６０ナノメートルにおいて慣用のアルミニウム合金であるとき、種々の銀合金のバランスのとれた反射率を表１に示す。ここでＲは、６５０ナノメートルの波長について６０ナノメートル以上の厚さにおいて達成され得る薄膜の反射率であり、この薄膜が層「１」として用いられた場合、またはＤＶＤ−９の高反射層あるいはその他の光情報蓄積媒体の高反射用途として用いられる場合の値である。表における全ての組成は原子％による。
【００６３】
【表１】
2007059052.tif 000003
表１：種々の銀合金の層０および典型的なアルミニウム合金の層１についてのＤＶＤ−９二層ディスクの層０と層１の反射率のバランス
【００６４】
本発明のさらに別の実施態様において、スパッターターゲットと光情報蓄積媒体の上の薄膜は、合金元素として比較的少量のアルミニウムを添加した銀合金である。この態様において、銀とアルミニウムの量の間の関係は、約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％のアルミニウム、および約９５.０ａ/ｏ％〜約９９.９９ａ/ｏ％の銀の範囲である。しかし、約０.１ａ/ｏ％〜約３.０ａ/ｏ％のアルミニウム、および約９７.０ａ/ｏ％〜約９９.９ａ/ｏ％の銀の範囲が好ましい。この銀とアルミニウムの二元合金はさらに、亜鉛、カドミウム、リチウム、マンガン、ニッケル、チタン、およびジルコニウム、またはこれらの金属の混合と合金化され得る。上記の銀とアルミニウムの二元合金中に存在する銀の量に関して、上記の金属の好ましい添加量の範囲は、銀の含有量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。
【００６５】
読者の便宜のために、下記のものが銀合金の幾つかの組み合わせであり、ここで合金元素は周期律表の記号によって特定されていて、これらは銀と合金にされるのが好ましい：Ａｇ＋Ｚｎ、またはＡｇ＋Ｃｄ、またはＡｇ＋Ｌｉ、またはＡｇ＋Ａｌ、またはＡｇ＋Ｎｉ、またはＡｇ＋Ｍｎ、またはＡｇ＋Ｔｉ、またはＡｇ＋Ｚｒ、またはＡｇ＋Ｐｄ＋Ｚｎ、またはＡｇ＋Ｐｔ＋Ｚｎ、またはＡｇ＋Ｐｄ＋Ｍｎ、またはＡｇ＋Ｐｔ＋Ｍｎ、またはＡｇ＋Ｚｎ＋Ｌｉ、またはＡｇ＋Ｐｔ＋Ｌｉ、またはＡｇ＋Ｌｉ＋Ｍｎ、またはＡｇ＋Ｌｉ＋Ａｌ、またはＡｇ＋Ｔｉ＋Ｚｎ、またはＡｇ＋Ｚｒ＋Ｎｉ、またはＡｇ＋Ａｌ＋Ｔｉ、またはＡｇ＋Ｐｄ＋Ｔｉ、またはＡｇ＋Ｐｔ＋Ｔｉ、またはＡｇ＋Ｎｉ＋Ａｌ、またはＡｇ＋Ｍｎ＋Ｔｉ、またはＡｇ＋Ｚｎ＋Ｚｒ、またはＡｇ＋Ｌｉ＋Ｚｒ、またはＡｇ＋Ｍｎ＋Ｚｎ、またはＡｇ＋Ｍｎ＋Ｃｕ、またはＡｇ＋Ｐｄ＋Ｐｔ＋Ｚｎ、またはＡｇ＋Ｐｄ＋Ｚｎ＋Ｍｎ、またはＡｇ＋Ｚｎ＋Ｍｎ＋Ｌｉ、またはＡｇ＋Ｃｄ＋Ｍｎ＋Ｌｉ、またはＡｇ＋Ｐｔ＋Ｚｎ＋Ｌｉ、またはＡｇ＋Ａｌ＋Ｎｉ＋Ｚｎ、またはＡｇ＋Ａｌ＋Ｎｉ＋Ｔｉ、またはＡｇ＋Ｚｒ＋Ｔｉ＋Ｃｄ、またはＡｇ＋Ｚｒ＋Ｎｉ＋Ｌｉ、またはＡｇ＋Ｚｒ＋Ｎｉ＋Ａｌ、またはＡｇ＋Ｐｔ＋Ａｌ＋Ｎｉ、またはＡｇ＋Ｐｄ＋Ｚｎ＋Ａｌ、またはＡｇ＋Ｚｒ＋Ｚｎ＋Ｔｉ、またはＡｇ＋Ｔｉ＋Ｎｉ＋Ａｌ。
【００６６】
本発明の別の実施態様において、銀はさらに、インジウム、クロム、ニッケル、ゲルマニウム、スズ、アンチモン、ゲルマニウム、シリコン、ホウ素、ジルコニウム、およびモリブデン、またはこれらの元素の混合と合金化され得る。これらの合金系の中に存在する銀の量に関して、上記の元素の添加量の範囲は、銀の含有量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。しかしより好ましくは、銀に添加される合金元素の量の範囲は、約０.１ａ/ｏ％〜約３.０ａ/ｏ％である。このことはさらに、図３に示す光情報蓄積媒体について表２に示される。表２における光学特性の記号は全て、表１におけるものと同じ意味を有する。
【００６７】
【表２】
2007059052.tif 000004
表２：種々の銀合金の層０および典型的なアルミニウム合金の層１についてのＤＶＤ−９二層ディスクの層０と層１の反射率のバランス
【００６８】
表１または表２に挙げた組成物は、ＤＶＤ−９、ＤＶＤ−１４、またはＤＶＤ−１８のような予め記録された二層光ディスク構造における、または図４に示すような三層光ディスク構造における、またはＤＶＤ−Ｒのような記録可能な光ディスクにおける、またはＤＶＤ−ＲＡＭあるいはＤＶＤ−ＲＷあるいは図５に示すもののような書き換え可能な光ディスクにおける高反射層すなわち層１として用いることもできる。
【００６９】
読者の便宜のために、下記のものが銀合金の幾つかの組み合わせであり、ここで合金元素は周期律表の記号によって特定されていて、これらは銀と合金にされるのが好ましい：Ａｇ＋Ｉｎ、またはＡｇ＋Ｃｒ、またはＡｇ＋Ｇｅ、またはＡｇ＋Ｓｎ、またはＡｇ＋Ｓｂ、またはＡｇ＋Ｇａ、またはＡｇ＋Ｓｉ、またはＡｇ＋Ｂ、またはＡｇ＋Ｍｏ、またはＡｇ＋Ｉｎ＋Ｃｒ、またはＡｇ＋Ｃｒ＋Ｇｅ、またはＡｇ＋Ｃｒ＋Ｓｎ、またはＡｇ＋Ｃｒ＋Ｓｂ、またはＡｇ＋Ｃｒ＋Ｓｉ、またはＡｇ＋Ｓｉ＋Ｉｎ、またはＡｇ＋Ｓｉ＋Ｓｂ、またはＡｇ＋Ｓｉ＋Ｂ、またはＡｇ＋Ｓｉ＋Ｍｏ、またはＡｇ＋Ｍｏ＋Ｉｎ、またはＡｇ＋Ｍｏ＋Ｓｎ、またはＡｇ＋Ｍｏ＋Ｂ、またはＡｇ＋Ｍｏ＋Ｓｂ、またはＡｇ＋Ｇｅ＋Ｂ、またはＡｇ＋Ｉｎ＋Ｃｒ＋Ｇｅ、またはＡｇ＋Ｃｒ＋Ｓｎ＋Ｓｂ、またはＡｇ＋Ｇａ＋Ｓｉ＋Ｍｏ、またはＡｇ＋Ｃｒ＋Ｓｉ＋Ｍｏ、またはＡｇ＋Ｂ＋Ｍｏ＋Ｃｒ、またはＡｇ＋Ｉｎ＋Ｓｂ＋Ｂ、またはＡｇ＋Ｃｒ＋Ｓｉ＋Ｂ、またはＡｇ＋Ｇａ＋Ｇｅ＋Ｃｒ、またはＡｇ＋Ｓｉ＋Ｇｅ＋Ｍｏ、またはＡｇ＋Ｓｂ＋Ｓｉ＋Ｂ、またはＡｇ＋Ｃｒ＋Ｓｉ＋Ｉｎ、またはＡｇ＋Ｓｉ＋Ｃｒ＋Ｓｎ。
【００７０】
本発明の三元の銀合金の幾つかのものの光学特性をさらに表３に示す。ここではＤＶＤ−９二層ディスク構造における約８〜１２nmの厚さの層０の薄膜の反射率と透過率が示されている。各々の記号の意味は表１におけるものと同じである。
【００７１】
【表３】
2007059052.tif 000005
表３：種々の三元銀合金の層０および典型的なアルミニウム合金の層１についてのＤＶＤ−９二層ディスクの層０と層１の反射率のバランス
【００７２】
本発明のさらに別の実施態様において、スパッターターゲットと光情報蓄積媒体の上の薄膜は、合金元素として比較的少量の銅を添加し、それとともにアルミニウム、ニッケル、マンガン、チタン、ジルコニウム、インジウム、クロム、ゲルマニウム、スズ、アンチモン、ガリウム、シリコン、ホウ素、モリブデン、およびこれらの混合からなる群から選択されるその他の合金元素を含む銀合金である。この態様において、銀と銅の量の間の関係は、約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％の銅、および約９５.０ａ/ｏ％〜約９９.９９ａ/ｏ％の銀の範囲である。しかし、約０.１ａ/ｏ％〜約３.０ａ/ｏ％の銅、および約９７.０ａ/ｏ％〜約９９.９ａ/ｏ％の銀の範囲が好ましい。この合金系中に存在する銀の量に関して、上記の元素の添加量の範囲は、銀の含有量の約０.０１ａ/ｏ％〜約５.０ａ/ｏ％である。しかしより好ましくは、銀に添加される合金元素の量の範囲は、約０.１ａ/ｏ％〜約３.０ａ/ｏ％である。表１、２、３に示されたデータからわかるように、銀への個々の合金の添加量が５.０ａ/ｏ％よりも多いとき、ＤＶＤ−９二層ディスク構造における層０と層１の間のバランスのとれた反射率はＤＶＤの仕様である１８％よりも低くなるようであり、従って使用できる組成ではない。
【００７３】
薄膜材料のための組成を以上に示したが、スパッターターゲットの製造方法とターゲット材料を薄膜として蒸着させる方法の両者が薄膜の最終の特性を決定づけるのに重要な役割を演じることを理解することが重要である。その目的のため、スパッターターゲットの好ましい製造方法を以下に説明する。一般に、他の望ましくない不純物の導入を最少にするために、合金の真空溶解と鋳造または保護雰囲気下での溶解と鋳造を行なうことが好ましい。
【００７４】
次いで、鋳造ままのインゴットは、偏析と鋳造後の不均一な微細組織を破壊するために冷間加工工程に供される。一つの好ましい方法は、５０％以上の加工率での冷間鍛造または冷間一軸圧縮と、それに続く、変形した材料を＜１,１,０＞方位の好ましい集合組織を有する微細な等軸結晶粒組織に再結晶させるための焼鈍である。この集合組織はスパッター装置の中での一方向スパッターを促進し、それによってスパッターターゲットからより多くの原子がディスク基板の上に蒸着して、ターゲット材料がより有効に使用される。
【００７５】
あるいは、５０％以上の加工率での冷間多方向圧延プロセスを用いることができ、これに続いて、焼鈍を行なうことによってターゲット内でのランダムな方位の微細組織の形成を促進し、最後に所定のスパッター装置のための最終の形状とサイズに切削加工する。このランダムな結晶方位を有するターゲットは、スパッターを行なう間のターゲットからの原子のよりランダムな放出をもたらし、そしてディスク基板におけるより均一な厚さ分布をもたらす。
【００７６】
ディスクの光学上の要件とその他のシステム上の要件の違いに応じて、ターゲットの製造プロセスにおいて冷間鍛造と冷間多方向圧延プロセスのいずれかを用いることができ、それによって所定の用途のための薄膜の光学上の要件およびその他の性能の要件を最適化することができる。
【００７７】
本発明の合金は公知の方法、例えばスパッター法、加熱蒸発、あるいは物理蒸着、あるいは電解めっき法または無電解めっき法によって堆積させることができる。適用される方法に応じて合金薄膜の反射率を変えることができる。不純物を導入させるかあるいは薄膜層の表面形態を変化させるいかなる方法も、おそらく、層の反射率を低下させるであろう。しかし一次の近似として、光ディスク上の薄膜層の反射率は主として、スパッターターゲットの出発材料、蒸発源材料、または電解めっきおよび無電解めっきの化学種の純度と組成によって決定される。
【００７８】
本発明の反射層は、短い波長の読取りレーザー、例えば波長が６５０ナノメートルよりも短い読取りレーザーを用いる将来の世代の光ディスクのために用いることができる、ということを理解すべきである。
【００７９】
また、反射膜の厚さが約５〜２０ナノメートルに減少した場合、ＤＶＤの二層の適用に用いるために十分な光透過率を有する半反射膜層を本発明の合金から形成することができる、ということを理解すべきである。
【００８０】
実施例
実施例１
約１.２原子％のクロムと約１.０原子％の亜鉛を含有する銀の合金組成物は、約６０〜１００ナノメートルの膜厚を有するとき、８００ナノメートルの波長において約９４〜９５％の反射率を有し、また６５０ナノメートルの波長において約９３〜９４％の反射率を有し、そして４００ナノメートルの波長において約８６〜８８％の反射率を有する。
【００８１】
実施例２
１.５ａ/ｏ％のマンガンと０.８ａ/ｏ％の銅を含有する銀系合金は、６５０ナノメートルの波長において約９４〜９５％の反射率を有する。薄膜の厚さを８〜１２ナノメートルの範囲にした場合、反射率は１８〜３０％の範囲に低下し、これはＤＶＤ−９の半反射層として適用可能な範囲である。低い濃度の脱酸剤（例えばリチウム）を添加すれば、薄膜の出発材料の製造プロセスをさらに簡単にすることができる。銀は固体状態で幾分かの酸素を溶解する傾向があり、酸素は合金の反射率を低下させる傾向があるが、添加されるリチウムは酸素と反応して、反射率への酸素の影響の度合いを低下させるだろう。リチウムの望ましい範囲は約０.０１〜５.０原子％であり、好ましい範囲は約０.１〜１.０ａ/ｏ％である。
【００８２】
実施例３
約０.５ａ/ｏ％のニッケルと約０.５ａ/ｏ％の亜鉛を含有する銀系合金は、６０〜７０ナノメートルの膜厚を有するとき、約６５０ナノメートルの波長において約９５％の反射率を有し、これは光情報蓄積媒体におけるあらゆる高反射率の用途に適している。
【００８３】
実施例４
約１.０ａ/ｏ％のマンガン、０.３ａ/ｏ％のチタン、および残部の銀の組成を有する別の銀系合金のスパッターターゲットを用いて、下記の手順でＤＶＤ−９二層ディスクの半反射層を製造する：適当なスタンパーから射出成形されて情報ピットが形成された、厚さ約０.６mmで直径１２cmの透明なポリカーボネートのハーフディスクの上面に、マグネトロンスパッター機における上記の組成のスパッターターゲットを用いて、銀系合金からなる半反射薄膜すなわち「ゼロ」層が約１０〜１１ナノメートルの厚さで堆積すなわち被覆される。別の適当なスタンパーから射出成形されて情報ピットが形成された、厚さ約０.６mmの別の透明なポリカーボネートのハーフディスクの上面に、別のスパッター機における適当なアルミニウムのスパッターターゲットを用いて、アルミニウム系合金からなる高反射薄膜すなわち「ワン」層が約５５ナノメートルの厚さで堆積される。次いで、これら二つのハーフディスクは適当な液体の有機樹脂で別個にスピンコーティングされ、「ゼロ」層と「ワン」層が互いに対面するようにして接合され、そして樹脂が紫外線によって硬化される。「ゼロ」層と「ワン」層の間の距離はディスク内部で約５５＋/−５ミクロンに保たれる。二つの情報層の反射率がディスクの同じ側から測定され、６５０ナノメートルの波長のレーザー光に対して同様の約２１％であることが観察される。ジッターとＰＩエラーのような電子信号が測定され、公表されているＤＶＤ仕様の範囲内であることが観察される。次いで、このディスクについて、８０℃で８５％の相対湿度において４日間の加速老化試験が行なわれる。次いで、反射率と電子信号が再度測定され、老化試験の前の同じ測定と比較して顕著な変化は観察されなかった。
【００８４】
実施例５
原子％で約０.２％のリチウム、１.０％のマンガン、０.３％のゲルマニウム、および残部の銀の組成を有する銀合金のスパッターターゲットを用いて、ＤＶＤ-９の二層ディスクの半反射層を製造する。このディスクを製造するのに用いた手順は実施例４におけるものと同様である。完成したディスクにおける二つの情報層の反射率がディスクの同じ側から測定され、６５０ナノメートルの波長のレーザー光に対して同様の約２２.５％であることが観察される。ジッターとＰＩエラーのような電子信号も測定され、公表されているＤＶＤ仕様の範囲内であることが観察される。次いで、これらのディスクについて、７０℃で５０％の相対湿度において９６時間の加速老化試験が行なわれる。次いで、反射率と電子信号が再度測定され、老化試験の前の同じ測定と比較して顕著な変化は観察されない。
【００８５】
ディスク上に約３０〜約２００ナノメートルの範囲の厚さで堆積されたこの実施例における銀合金の薄膜は、例えば、ＤＶＤ−９における「ワン」層、あるいは図４に示すような三層光ディスクにおける「ツー」層のような高反射層として、あるいは６５０ナノメートルの波長を用いる図５に示された概略構造を有するＤＶＤ−ＲＷやＤＶＤ−ＲＡＭのような書き換え可能な光ディスクや約４００ナノメートルの波長で再生される他の将来の光情報蓄積媒体における他の高反射層として用いることができる、ということが理解される。
【００８６】
実施例６
原子％で約１.３％のマンガン、０.７％のアルミニウム、および残部の銀の組成を有する銀系合金のスパッターターゲットを用いて、下記の手順で、図２に示す別のタイプの記録可能なディスクであるＤＶＤ−Ｒディスクの反射層を製造する：適当なスタンパーから射出成形されてＤＶＤ−Ｒのために適当な溝が予め形成された、厚さ約０.６mmで直径１２cmの透明なポリカーボネートのハーフディスクの上面に、シアニン系の記録用染料がスピンコーティングされ、乾燥され、次いでマグネトロンスパッター機における上記の組成のスパッターターゲットを用いて、記録用染料の上に銀系合金からなる反射層が約６０ナノメートルの厚さで堆積すなわち被覆される。次いで、このハーフディスクはもう一つの厚さ約０.６mmのハーフディスクに紫外線硬化性樹脂を用いて接合される。ＤＶＤ−Ｒレコーダーにおいてディスク上に情報が記録され、そして電気信号の質が測定される。次いで、このディスクについて、８０℃で８５％の相対湿度において９６時間の加速老化試験が行なわれる。次いで、反射率と電子信号が再度測定され、老化試験の前の同じ測定と比較して顕著な変化は観察されない。
【００８７】
実施例７
実施例６に示した組成を有するスパッターターゲットの製造方法を以下に説明する。銀、マンガン、およびアルミニウムからなる適当な装填物が、適当な真空誘導炉のるつぼの中に投入される。真空炉は約１ミリトルの真空圧まで真空引きされ、次いで誘導加熱を用いて装填物を加熱する。装填物が加熱されて脱ガスを終了させる一方で、炉をアルゴンガスで約０.２〜０.４大気圧になるまで裏込めすることができる。装填物の融点よりも約１０％高い温度において融液の鋳造を行なうことができる。融液を保持する黒鉛るつぼには、るつぼの底に黒鉛ストッパーを設けることができる。各々のスパッターターゲットの個々の鋳型の中への溶融金属の注ぎ込みは、黒鉛ストッパーを開閉し、この操作と同時に各々の鋳型を溶融るつぼの直下の位置に移動させ、それによって適当な量の融液を各々のターゲットの鋳型の中に重力によって鋳込むことによって行なうことができる。次いで、鋳造物を低温に冷却するために追加のアルゴン流を真空炉の中に導入することができる。次いで、５０％以上の厚さ低減率で冷間または熱間の多方向圧延工程を行なって、全ての不均一な鋳造微細組織を破壊することができる。次いで、仕上げ焼鈍を、保護雰囲気中で５５０〜６００℃で１５〜３０分間行なう。ターゲット片を切削して適切な形状とサイズにし、洗剤中で洗浄し、そして適当に乾燥した後、光ディスクを被覆するために、得られたターゲットをマグネトロンスパッター装置に設置する。実施例９で述べた４００ナノメートルの再生用レーザー波長を用いる超高密度光ディスクの半反射層を作製するためのおおよそのスパッターパラメータは、１キロワットのスパッター出力、１秒間のスパッター時間、１〜３ミリトルのアルゴン分圧、１０ナノメートル/秒の堆積速度、約４〜６cmのターゲットとディスク間の距離、である。半反射層とほぼ同じスパッターパラメータを用いて高反射層を作製することができるが、ただし、同じスパッターターゲットとスパッター装置を使用して高反射層を堆積させるためにはスパッター出力を４〜５キロワットに増大させる必要がある。従って、この方法で、片面につき約１２〜１５ギガバイトのユーザー蓄積容量を有する超高密度読み取り専用光ディスクを製造することができる。図３に示す構造の二層ディスクは約２４〜３０ギガバイトの情報を蓄積することができ、これは高品位デジタルテレビフォーマットにおける標準規格の動画のために十分な容量である。
【００８８】
実施例８
原子％で１.２％Ｐｄ、１.４％Ｚｎ、および残部の銀の組成を有する銀合金のスパッターターゲットを用いて、図３に示す二層光情報蓄積媒体を製造した。適当なポリカーボネート基板の上にこの銀合金からなる厚さ約１０ナノメートルの薄膜をマグネトロンスパッター機によって堆積させた。４００ナノメートルの再生用レーザー波長を用いる二層超高密度読み取り専用光ディスクの反射層と半反射層の両者のために同じ銀合金の薄膜を用いる可能性を検討する。透明な基板（214）、半反射層（216）、間隔層（218）、および高反射層の屈折率ｎはそれぞれ、１.６０５、０.０３５、１.５２、０.０３５である。半反射層と高反射層についての消光係数ｋは２.０である。４００nmの波長を用いるディスクにおいて、厚さが２４nmであるとき、半反射層は０.２４２の反射率Ｒ0と０.６００の透過率Ｔ0を有することが計算によって示される。厚さが５５nmであるとき、高反射層は０.６８５の反射率Ｒ1を有するだろう。ディスクの外側から半反射層を通して測定された高反射層の反射率は Ｒ0＝Ｒ1Ｔ02 すなわち０.２４７であろう。言い換えれば、ディスクの外側にある検出器に対して、半反射層と高反射層の両者からの反射率はほぼ同じであろう。これは、二層光情報蓄積媒体の重要な要件の一つ、すなわちこれら二つの情報層からの反射率はほぼ等しく、これら二つの層の光学特性の間の関係は Ｒ0＝Ｒ1Ｔ02 でなければならない、という要件を満たす。
【００８９】
実施例９
実施例８におけるものと同じ銀合金は、４００nmの再生用レーザー波長を用いる図４に示す三層光情報蓄積媒体における高反射層および二つの半反射層としても用いることができる。計算によれば、図４における第一の半反射層（316）の厚さが１６nm、第二の半反射層（320）の厚さが２４nm、そして高反射層（324）の厚さが５０nmであるとき、検出器（332）で測定されるこれら三つの層からの反射率はそれぞれ、０.１３２、０.１３７、０.１３１であろう。従って、三つの層の全てからのほぼ同じ反射率が得られる。従って、同じ銀合金を用いる三つの情報層からの反射率のバランスが達成され、ある製造条件において４００nmの再生用レーザー波長を用いる超高密度三層光情報蓄積媒体の三つの層の全てを製造するために、一つのスパッター機と一つの銀合金スパッターターゲットを用いることができる。この三層媒体の高反射層のためにアルミニウム合金を用いることもできることは明らかである。
【００９０】
実施例１０
原子％で２.６％Ａｕ、１.１％Ｐｄ、０.３％Ｐｔ、０.４％Ｃｕ、および残部の銀の組成を有する銀合金のスパッターターゲットを用いて、図５に示す書き換え可能な位相変化ディスク構造における高反射層を製造した。適当なスタンパーから射出成形されて連続した螺旋トラックの溝とランドを有する厚さが０.６mmのポリカーボネート基板の上に、適当な厚さを有するＺｎＯ・ＳｉＯ2、Ａｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅ、およびＺｎＯ・ＳｉＯ2からなる連続した層が被覆される。次いで、マグネトロンスパッター装置において上記の組成のスパッターターゲットを用いて、ＺｎＯ・ＳｉＯ2膜の上に厚さが約１５０nmの銀合金膜を堆積させる。次いで、このハーフディスクを、上記と同じ構造を有する別の０.６mmの厚さのハーフディスクに適当な接着剤を使用して接合して、完全なディスクを形成する。適当なＤＶＤ＋ＲＷドライブにおいて記録と消去のサイクルを繰り返し行なう。このディスクはこの記録媒体に課される性能の要件を満たす。このディスクについてさらに、８０℃で８５％の相対湿度において１０日間の加速環境試験が行なわれる。次いで、ディスクの性能が再度確認され、環境試験の前のディスクの性能と比較して顕著な変化は観察されない。
【００９１】
実施例１１
原子％で１.０％Ｃｕ、９９.０％Ａｇの組成を有する銀合金のスパッターターゲットを用いて、図６に示す書き換え可能な位相変化ディスク構造における高反射層を製造した。ただし、誘電体層（520）と高反射層（522）の間にはＳｉＣの境界層（図示せず）が存在する。実施例１０と比較して、この実施例におけるディスクにおける層は逆の順序で堆積される。透明な基板（524）はポリカーボネートからなり、適当なスタンパーから射出成形され、次いで、マグネトロンスパッター装置において上記のスパッターターゲットを用いて透明な基板の上に銀合金の反射層が堆積された。次いで、誘電体層（520）（好ましくはＺｎＯ・ＳｉＯ2）、記録層（518）（好ましくはＡｇ-Ｉｎ-Ｓｂ-Ｔｅ）、もう一つの誘電体層（516）（好ましくはＺｎＯ・ＳｉＯ2）、および境界層（好ましくはＳｉＣ）が順に真空被覆された。最後に、ディスクは、紫外線硬化性樹脂からなる１０〜１５ミクロンの厚さの被覆層（514）によって被覆された。ディスクの性能は、４００nmの波長のレーザービーム記録と再生システムを有するＤＶＲタイプのプレーヤーを用いて確認された。繰り返しの記録と消去のサイクルが十分に行なわれた。次いで、このディスクについてさらに、約８０℃で８５％の相対湿度において４日間の加速環境試験が行なわれた。ディスクの性能が再度確認された。ディスクの性能の顕著な劣化は観察されなかった。
【００９２】
本発明を例示しそして詳細に記述したが、これは例示のものであって特許の権利を限定するものではない、と考えられる。好ましい実施態様だけが提示されたのであって、本発明の精神に含まれる全ての変更と修正が、それらを特許請求の範囲またはその法的均等物が記述している場合は、含まれているのである、ということを読者は理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の一実施態様による光蓄積システムを示す。
【図２】本発明の別の実施態様による光蓄積システムを示し、有機染料が記録層として用いられている。
【図３】本発明の別の実施態様による光蓄積システムを示し、二つの層の情報ピットを有し、両者の層の再生が一つの側から行なわれる。
【図４】本発明の別の実施態様による光蓄積システムを示し、三つの層の情報ピットを有し、三つの全ての層の再生が一つの側から行なわれる。
【図５】本発明の別の実施態様による光蓄積システムを示し、システムは書き換え可能な情報層を有する。
【図６】本発明の別の実施態様による光蓄積システムを示し、システムは書き換え可能な情報層を有する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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