(57)【要約】【課題】レンズのスピンコート法による塗布液の塗布処理において、多様なレンズのレンズ面形状に対応し、好適な塗膜を形成することが可能なレンズのスピンコート装置を提供する。【解決手段】スピンコート装置１は、眼鏡レンズＬを載置して垂直軸回りに回転する回転保持台３と、回転保持台３の周囲を覆う側壁に回転する眼鏡レンズＬの凹面Ｌａ上から振り切られるハードコート液ＬＱを回収する開口部５６が設けられたスピンカップ５と、眼鏡レンズＬの凹面Ｌａにハードコート液ＬＱを吐出する吐出部８を備え、眼鏡レンズＬのレンズ面形状に対応して、スピンカップ５と回転保持台３とが、回転保持台３の垂直軸方向に相対移動して、眼鏡レンズＬの凹面Ｌａにハードコート液ＬＱの塗布処理を行う。【選択図】図１
2007229648.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンコート法にてレンズに塗布処理を施すスピンコート装置であって、
上面に前記レンズを載置して垂直軸回りに回転する回転保持台と、
前記回転保持台の周囲を覆うスピンカップと、
前記レンズに塗布液を吐出する吐出部と、を備え、
前記スピンカップの側壁に、回転する前記レンズから振り切られた前記塗布液を回収する開口部が設けられていることを特徴とするレンズのスピンコート装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレンズのスピンコート装置において、
回転する前記レンズから振り切られた前記塗布液の前記スピンカップ側壁への到達位置が前記開口部位置となるよう、前記スピンカップと前記回転保持台とを、前記レンズのレンズ面形状および前記レンズを回転させる際の回転数に基づき、前記回転保持台の垂直軸方向に相対移動することを特徴とするレンズのスピンコート装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のレンズのスピンコート装置において、
前記スピンコート装置は、
前記回転保持台の垂直軸方向に沿って、前記開口部を挟んだ前記スピンカップ側壁の上下面にそれぞれ前記塗布液を検出する一対の検出センサを、さらに備え、
前記一対の検出センサが前記回転するレンズから振り切られた塗布液の付着を検出したとき、前記スピンカップと前記回転保持台とを前記回転保持台の垂直軸方向に相対移動する位置補正が行われることを特徴とするレンズのスピンコート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種レンズのレンズ面に塗布液を塗布処理するスピンコート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、コーティングは、被塗布物を保護し、かつ被塗布物に外観性能を与える方法として、また、被塗布物に高機能をもたらして高付加価値を与える方法として、様々な産業分野に用いられている。
光学関連分野、例えば、レンズ製造業においては、レンズの表面に種々のコーティング加工を施し、性能、機能の向上を図ることが一般に行われている。また、近年、レンズとして、成形性、加工性に優れかつ軽量で、しかも割れ難いことから、プラスチックレンズが急速に普及し、各種機器に多用されている。特に、プラスチック眼鏡レンズの場合には、レンズの表面にプライマー加工、ハードコート加工、反射防止加工などの種々のコーティング加工が施されて用いられる。
【０００３】
なお、プライマー加工とは、プラスチック眼鏡レンズ基材とハードコート膜との密着性向上、耐衝撃性向上などの機能を付与する加工であり、一般的には、プライマー用組成物をプラスチック眼鏡レンズ表面に塗布した後、加熱硬化処理することにより行う。
また、ハードコート加工とは、プラスチック眼鏡レンズ表面の耐久性向上、反射防止膜との密着性向上などの機能を付与する加工であり、一般的には、ハードコーティング用組成物をプラスチック眼鏡レンズ表面に塗布した後、加熱硬化処理することにより行う。
さらに、反射防止加工とは、プラスチック眼鏡レンズの表面反射を防ぎ、光学系の透過率の低下や結像に寄与しない光の増加、像のコントラストの低下を防ぐ機能を付与する加工である。この反射防止加工は、プラスチック眼鏡レンズ基材に直接形成されたハードコート層上、あるいはプラスチック眼鏡レンズ基材にプライマー層を介して形成されたハードコート層上に、反射防止膜用組成物を塗布した後に、硬化処理することにより行う。
【０００４】
こうしたプライマー加工、ハードコート加工、反射防止加工などのコーティング加工には、スピンコート法が好ましく用いられる。スピンコート法は、スピンコート装置の回転テーブル上に保持され、回転するプラスチック眼鏡レンズの表面に、塗布液としてのコーティング用組成物を吐出し、コーティング膜を形成する。スピンコート法によるコーティング膜の形成は、プラスチック眼鏡レンズの表面全体にわたって均一な膜が得られる上に、加工スピードが速いこともあり、広く用いられている。
【０００５】
しかし、スピンコート装置を用いてレンズの表面にコーティング膜を形成する際、回転するレンズの表面に吐出された塗布液の余剰分が、回転遠心力によりレンズの外周方向に向かって放射状に飛散する。そして、飛散した塗布液がスピンカップの壁面に衝突してミスト化し、レンズの表面に付着したり、あるいはスピンカップの壁面に付着した塗布液が乾燥して粉塵化し、レンズの表面に付着することによる外観不良の発生を防ぐことが難しかった。
こうした課題に対応するために、上面に試料を載せて垂直軸回りに高速回転するスピンヘッド（回転テーブルと同じ）と、スピンヘッドの周囲を覆う薬液飛散防止カップ（スピンカップと同じ）を備え、スピンヘッド上に浮遊する薬液ミストを含む空気を排出する排気口が、スピンヘッド上方の薬液飛散防止カップの壁面に設けられたスピンコータが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−４３６６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、レンズのレンズ面に塗布液をスピンコートする場合には、特許文献１に示されるような半導体ウェハ、あるいは光ディスク等の平板状の被塗布物と異なり、曲面を有するレンズ面に対応した塗布液の処理が求められる。特に眼鏡レンズにおいては、レンズ面に凸面と凹面を有するメニスカスレンズが一般的であり、しかも処方によりレンズ面の曲率が多種多様である。
本発明は、こうした課題に鑑みて、レンズのスピンコート法による塗布液の塗布処理において、多様なレンズのレンズ面形状に対応し、好適な塗膜を形成することが可能なレンズのスピンコート装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記した目的を達成するために、本発明のレンズのスピンコート装置は、スピンコート法にてレンズに塗布処理を施すスピンコート装置であって、上面に前記レンズを載置して垂直軸回りに回転する回転保持台と、前記回転保持台の周囲を覆うスピンカップと、前記レンズに塗布液を吐出する吐出部と、を備え、前記スピンカップの側壁に、回転する前記レンズから振り切られた前記塗布液を回収する開口部が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、スピンコート法にてレンズのレンズ面に塗布処理を施す際に、回転保持台の周囲を覆うスピンカップの側壁に塗布液を回収する開口部が設けられていることにより、回転保持台に載置されて回転するレンズのレンズ面上に、吐出部から吐出されレンズ面上から振り切られた塗布液が、開口部から回収される。これにより、レンズ面上から振り切られた塗布液が、スピンカップの側壁に衝突して飛散することを防ぎ、飛散した塗布液による外観不良を抑制した好適な塗膜の形成を可能にするスピンコート装置が得られる。
【００１０】
本発明のレンズのスピンコート装置は、回転する前記レンズから振り切られた前記塗布液の前記スピンカップ側壁への到達位置が前記開口部位置となるよう、前記スピンカップと前記回転保持台とを、前記レンズのレンズ面形状および前記レンズを回転させる際の回転数に基づき、前記回転保持台の垂直軸方向に相対移動することを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、側壁に塗布液を回収する開口部が設けられた回転保持台の周囲を覆うスピンカップと、レンズ面に塗布処理を施すレンズが載置された回転保持台とが、回転保持台の垂直軸方向に相対移動することにより、曲率の異なる多様なレンズ面形状に対応し、回転するレンズ面上から振り切られた塗布液が、スピンカップの側壁に衝突して飛散することを防ぎ、飛散した塗布液による外観不良を抑制した好適な塗膜の形成を可能にするスピンコート装置が得られる。
【００１２】
本発明のレンズのスピンコート装置は、前記回転保持台の垂直軸方向に沿って、前記開口部を挟んだ前記スピンカップ側壁の上下面にそれぞれ前記塗布液を検出する一対の検出センサを、さらに備え、前記一対の検出センサが前記回転するレンズから振り切られた塗布液の付着を検出したとき、前記スピンカップと前記回転保持台とを前記回転保持台の垂直軸方向に相対移動する位置補正が行われることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、スピンカップの側壁に設けられた塗布液を回収する開口部を挟んだ回転保持台の垂直軸方向に、塗布液を検出する一対の検出センサを備え、一対の検出センサが検出値の変化を検出したときに、レンズ面に塗布処理を施すレンズが載置された回転保持台とスピンカップとが、回転保持台の垂直軸方向に相対移動する位置補正が行われる。これにより、回転するレンズ面上から振り切られる塗布液が、スピンコート装置に入力する塗布処理条件等の入力情報の誤入力や、塗布液の粘度上昇の発生等により、開口部の停止位置、あるいは回転保持台の停止位置がズレた場合であっても、所定の位置に位置補正されて、塗布液がスピンカップの側壁に衝突して飛散することを防ぎ、飛散した塗布液による外観不良を抑制した好適な塗膜の形成を可能にするスピンコート装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
先ず、本発明に係わるスピンコート装置の構成を、図面に基づいて説明する。
図１は、レンズの凹面に塗布液をスピンコートする態様を示す本発明のスピンコート装置の側面模式図であり、図２は、図１におけるスピンコート装置のＡ−Ａ線に沿った断面の矢視図である。
【００１５】
図１および図２において、スピンコート装置１は、スピンコート法にて、プラスチック眼鏡レンズＬに塗布処理を施す装置である。このスピンコート装置１は、基台２と、眼鏡レンズＬを保持する回転保持台３と、回転保持台３を回転する回転機構４と、回転保持台３を収容する円筒形のスピンカップ５と、スピンカップ５を保持固定する昇降台６と、昇降台６（スピンカップ５）を昇降する昇降ユニット７と、塗布液を吐出する吐出部８と、制御部９と、操作部１０を備えている。
【００１６】
基台２は、例えば円形状を成し、基台２の上方に配設された円筒形のスピンカップ５の外周を取り囲む位置に、三本の案内軸２１が軸止されている。この三本の案内軸２１は、円形状を３等分する中心角上の中心から略等距離の位置に配設されている。また、基台２の中心部に回転機構４が取付られ、回転機構４と三本の案内軸２１との間の基台２の上面に、昇降ユニット７が着設されている。
【００１７】
回転保持台３は、基台２に対して略水平に配設された円筒状の保持台であり、円筒状の略中心が回転機構４の回転軸４６の中心軸上に連結され、回転軸４６の回転とともに回転する。この回転保持台３上には、ハードコート液ＬＱがスピンコートされる眼鏡レンズＬが載置され、眼鏡レンズＬを保持する真空チャック機能を有する。また、回転保持台３は、スピンカップ５内に配設されている。なお、図１および図２において、回転保持台３上には、後述するスピンコートされる眼鏡レンズＬが、一方のレンズ面である凹面Ｌａを吐出部８側にして載置され、保持された態様を示す。
【００１８】
回転機構４は、スピンドルモータ４１と、このスピンドルモータ４１の駆動軸４２と、この駆動軸４２における外周面の略中央に一体的に設けられた略円筒状の第１のプーリー４３と、この第１のプーリー４３の外周面に掛け回されたタイミングベルト４４と、第１のプーリー４３と隣接して設けられ外周面にタイミングベルト４４が掛け回された略円筒状の第２のプーリー４５と、この第２のプーリー４５の内周面に一体的に設けられ一端側が回転保持台３の下部に連結された回転軸４６とを備えている。
【００１９】
回転軸４６は、第２のプーリー４５を基台２の下面側にして、基台２の鉛直方向の上方に延伸し、軸受け等を介して基台２に回転可能に取り付けられている。また、回転軸４６には、その中心軸に沿って図示しない真空吸引装置に接続する吸引管が配設されている。なお、スピンドルモータ４１の回転駆動は、制御部９の制御信号に基づいて行われる。
【００２０】
スピンカップ５は、カップ内に回転機構４の回転軸４６に連結された回転保持台３を収容し、スピンコートする際に発生する余剰分の塗布液を処理するための容器であり、円筒形の側板部５１と、底板部５２と、円筒形の側壁５３，５４と、上板部５５と、液体検出センサ５７，５８を含み構成され、底板部５２の底面が昇降台６の上面に固定されている。
また、円筒形の側板部５１の側面には、排気ファンに接続する排気管５１Ａが設けられている。底板部５２は、円筒形の側板部５１の下端面に接続固定され、円形形状の中心部に上下に貫通する孔を有し、この孔に回転軸４６が挿通されている。
【００２１】
円筒形の側壁５３，５４は、略同一内径の円筒形からなり、眼鏡レンズＬの回転保持台３への取り付けおよび取り外しが可能な内径を有し、円筒形の略中心を円筒形の側板部５１の略中心にして、側板部５１の内側に、回転保持台３の周囲を覆うように設けられている。
【００２２】
この円筒形の側壁５３は底板部５２と接続固定されている。一方、円筒形の側壁５４は上板部５５と接続固定され、側壁５３の円筒形の上端面と側壁５４の円筒形の下端面とが所定間隔離れた所定の幅αから成る開口部５６が形成されている。すなわち、この円筒形の側壁５３，５４は、スピンカップ５のインナーカップとして構成されている。
なお、開口部５６の所定の幅αについては、図３に基づいて後述する。
【００２３】
また、開口部５６を形成する側壁５３および側壁５４の回転保持台３（回転軸４６）側には、回転保持台３の垂直軸方向に開口部５６を挟む位置に一対の液体検出センサ５７，５８が着設されている。各液体検出センサ５７，５８の回転保持台３の垂直軸方向における大きさは、前記開口部５６の所定の幅α程度である。
液体検出センサ５７，５８は、例えば、静電容量型センサであり、センサ表面における検出値（静電容量値）の変化を検出し、その検出信号は制御部９に出力される。
【００２４】
円筒形の側板部５１、底板部５２、上板部５５および円筒形の側壁５３，５４から形成される回転体形状の領域βは、スピンコートする際に発生する余剰分の塗布液の排液容器、および余剰分の塗布液のミストを含む空気の排気ダクトとしての機能を有し、底板部５２には、収容容器に接続する排液管５２Ａが設けられている。
このように構成されたスピンカップ５は、昇降台６の上面に着設されている。
【００２５】
昇降台６は、中心部に上下に貫通する孔と、基台２に軸止された三本の案内軸２１に軸通する案内孔を有する。中心部に上下に貫通する孔に回転軸４６が挿通されている。
昇降ユニット７は油圧シリンダであり、制御部９の制御信号に基づいて油圧ポンプ７１が作動することにより、ロッド７２が伸縮して、昇降台６が回転機構４の回転軸４６の軸方向に沿う鉛直方向に昇降する。すなわち、昇降台６に着設されたスピンカップ５が、回転機構４の回転軸４６の軸方向に沿って昇降する。
【００２６】
吐出部８は、吐出バルブ８１、吐出ノズル８２を備え、回転保持台３に載置された眼鏡レンズＬの被塗布面（上面）へ向けて、回転保持台３の上方からハードコート液ＬＱを吐出する装置である。吐出バルブ８１は、制御部９の制御信号に基づいて作動し、配管を介して容器タンク（図示せず）内のハードコート液ＬＱを吐出ノズル８２から吐出する。この吐出ノズル８２からハードコート液ＬＱを吐出する際は、吐出ノズル８２の位置と回転する眼鏡レンズＬの中心（駆動軸４２の中心）とを略一致させることが好ましい。
【００２７】
制御部９は、回転機構４のスピンドルモータ４１、吐出バルブ８１、昇降ユニット７の油圧ポンプ７１の作動を制御する。
操作部１０は、塗布処理される眼鏡レンズＬの凹面Ｌａおよび凸面Ｌｂの曲率および外径等のレンズ形状情報、塗布処理に用いる塗布液の種類および塗布時間、回転機構４の回転数および回転時間等の塗布処理条件を入力する入力手段であり、これらの塗布処理条件は、塗布処理前に予め操作部１０から入力され、制御部９に格納される。
【００２８】
次に、以上のように構成されたスピンコート装置１を用いて、眼鏡レンズＬのレンズ面にハードコート液ＬＱを塗布処理するスピンコート方法について説明する。
【００２９】
図１において、回転保持台３に載置され、ハードコート液ＬＱが塗布処理される眼鏡レンズＬは、重合性組成物を硬化した透明樹脂からなり、レンズ面の一方の面が凹面Ｌａ、他方の面が凸面Ｌｂからなるメニスカスレンズである。
なお、本実施形態における眼鏡レンズＬは、眼鏡フレームに枠入れ加工（いわゆる玉型加工）される前のレンズであり、平面が７５ｍｍ程度の略円形形状を成している。また、この眼鏡レンズＬのレンズ面（凹面Ｌａおよび凸面Ｌｂ）には、前工程において予めプライマー膜が形成されている。
【００３０】
プライマー膜は、スピンコート法の他に、ディッピング法、スピンナー法、ロールコート法、スプレー法、インクジェット法あるいはフロー法により、ウレタン樹脂などで形成され、眼鏡レンズＬの基材とハードコート膜との密着性を高める必要がある場合や、耐衝撃性を向上させる必要がある場合に形成されるものである。
【００３１】
塗布液としてのハードコート液ＬＱは、有機ケイ素化合物を有機溶剤で希釈し、必要に応じて水または薄い塩酸、酢酸等を添加して加水分解を行い、さらに、無機酸化物微粒が有機溶媒中にコロイド状に分散したゾルを添加した後、必要に応じて硬化触媒、界面活性剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤などを添加し、十分に撹拌して調合された液であり、塗布後に硬化処理されることにより眼鏡レンズＬのレンズ面の耐久性が向上する。
【００３２】
眼鏡レンズＬのハードコート液ＬＱの塗布処理は、眼鏡レンズＬの凹面Ｌａと凸面Ｌｂに対して、別々に行われる。
先ず、操作部１０から塗布処理される眼鏡レンズＬの凹面Ｌａおよび凸面Ｌｂの曲率および外径等のレンズ形状情報、塗布処理に用いる塗布液の種類および塗布時間、回転機構４の回転数および回転時間等の塗布処理条件が入力される。
【００３３】
そして、予めプライマー膜が形成された眼鏡レンズＬが回転保持台３に取り付けられる。眼鏡レンズＬの取り付けは、凸面Ｌｂを回転保持台３側にして、略レンズ中心が回転保持台３の略中心位置にセットされる。そして、真空吸引装置を作動して、真空により眼鏡レンズＬが回転保持台３に吸着保持される。これにより、ハードコート液ＬＱの塗布処理が可能な状態になる。
【００３４】
そして、予め操作部１０から入力され制御部９に格納された、凹面Ｌａの曲率等の入力情報に基づいて、制御部９から昇降ユニット７に制御信号を出力される。昇降ユニット７に制御信号が入力されると、油圧ポンプ７１が作動してロッド７２が伸縮し、昇降台６および昇降台６に固着されたスピンカップ５が、回転機構４の回転軸４６の軸方向に沿って昇降し、所定の位置に停止する。スピンカップ５が停止する所定の位置は、図１中に矢印ａで示す線が、スピンカップ５の側壁５３と側壁５４との間に形成された開口部５６の幅αの中心位置とが、略一致する位置である。所定の位置の詳細な説明は、図３に基づいて後述する。
なお、昇降台６および昇降台６に着設されたスピンカップ５の昇降の際には、昇降台６に連動してハードコート液ＬＱを吐出する吐出部８が昇降するのが望ましい。
【００３５】
そして、眼鏡レンズＬが吸着保持された回転保持台３は、制御部９の制御信号に基づいてスピンドルモータ４１が回転駆動する。スピンドルモータ４１が回転駆動すると、駆動軸４２（第１のプーリー４３）、タイミングベルト４４、回転軸４６（第２のプーリー４５）を介して、回転保持台３が回転する。すなわち、回転保持台３に取り付けられた眼鏡レンズＬが回転する。回転保持台３の回転数は、低速回転としての略８００ｒｐｍである。
【００３６】
そして、吐出部８の吐出バルブ８１が制御部９の制御信号に基づいて作動し、吐出ノズル８２から眼鏡レンズＬの凹面Ｌａ上に、ハードコート液ＬＱが２ｃｃ程度吐出される。
そして、回転保持台３を低速回転（略８００ｒｐｍ）状態で所定時間保持した後に、制御部９の制御信号に基づいてスピンドルモータ４１の回転が制御され、回転保持台３の回転数が略８００ｒｐｍから高速回転としての略１８００ｒｐｍに移行し、高速回転を１５秒間程度保持した後に、スピンドルモータ４１の回転を停止する。
【００３７】
回転する眼鏡レンズＬの凹面Ｌａの略中心上に吐出されたハードコート液ＬＱは、回転する眼鏡レンズＬの遠心力で凹面に万遍なく広がる。そして、回転保持台３の回転数が高速回転に移行することにより、余剰のハードコート液ＬＱが、遠心力で眼鏡レンズＬの凹面Ｌａ上からスピンカップ５の側壁５３，５４の方向に向かって放射状に振り切られるとともに、凹面Ｌａ上に所定の膜厚の塗膜が略均一に形成される。
【００３８】
凹面Ｌａ上に塗布されるハードコート液ＬＱの膜厚は、ハードコート液ＬＱの吐出終了時点から経過する低速回転の保持時間により制御される。本実施形態の場合には、低速回転を略２秒間保持することにより、膜厚が略２μｍの塗膜が形成される。
一方、眼鏡レンズＬの凹面Ｌａ上からスピンカップ５の側壁５３，５４の方向に向かって放射状に振り切られた余剰のハードコート液ＬＱは、スピンカップ５の円筒形の側壁５３と側壁５４との間に形成された開口部５６から回収され、回転体形状の領域βに収容される。
【００３９】
ここで、図３を参照しながら、放射状に振り切られる余剰のハードコート液ＬＱについて説明する。併せて、スピンカップ５が昇降して停止する所定の位置、および開口部５６の幅αについても説明する。
図３は、本発明のスピンコート装置１の開口部５６周辺の部分説明図である。
【００４０】
図３において、回転する眼鏡レンズＬの凹面Ｌａ上からスピンカップ５の側壁５３，５４の方向に向かって放射状に振り切られる余剰のハードコート液ＬＱの方向は、眼鏡レンズＬの凹面Ｌａを形成する曲面（中心０）における眼鏡レンズＬの外形位置ｅを接点とする接線ｃと、眼鏡レンズＬの外形位置ｅにおける水平線ｄとの挟角θにおける略θ／２方向ａ（図１中に示す矢印ａと同じ）である。
この放射状に振り切られる余剰のハードコート液ＬＱの矢印ａ方向は、回転する眼鏡レンズＬの回転数が１８００ｒｐｍ程度における場合であって、回転数が高くなるに従って水平線ｄの方向に近づく。
【００４１】
スピンカップ５の側壁５３と側壁５４との間に形成された開口部５６の幅αは、少なくとも接線ｃと水平線ｄが、側壁５３，５４の領域β（図１参照）側の面に延伸する垂直線と交わる辺の幅γよりも大きく設定される。また、開口部５６の幅αは、用いる塗布液の粘度、塗布液が塗布される眼鏡レンズの最大外径や最小曲率等を考慮して適宜設定される。
【００４２】
昇降台６および昇降台６に固着されたスピンカップ５が停止する所定の位置は、開口部５６の幅αの回転保持台３（回転軸４６）の垂直軸方向における２分割中心線が、上記辺の幅γの垂直軸方向における略２分割中心点と一致する位置である。
【００４３】
そして、回転する眼鏡レンズＬの凹面Ｌａ上から放射状に振り切られて、スピンカップ５の開口部５６から回収され、回転体形状の領域βに収容されたハードコート液ＬＱは、一部が側板部５１に衝突して跳ね返りミスト化する。そして、一部は液状の状態で収容される。
ハードコート液ＬＱのミストは、側板部５１の側面に設けられ、排気ファンに接続する排気管５１Ａから、空気と共に収容容器（図示せず）内に収容される。また、液状のハードコート液ＬＱは、底板部５２に配設された排液管５２Ａに流入して、別の収容容器（図示せず）内に収容される。
【００４４】
こうした塗布処理の際に、回転する眼鏡レンズＬの凹面Ｌａ上から振り切られた余剰のハードコート液ＬＱが、スピンカップ５の開口部５６から回収されずに、側壁５３あるいは側壁５４に衝突した場合には、昇降台６および昇降台６に着設されたスピンカップ５を昇降する位置補正が行われる。すなわち、スピンカップ５と回転保持台３（眼鏡レンズＬ）とが相対移動する位置補正が行われる。
【００４５】
凹面Ｌａ上から振り切られた余剰のハードコート液ＬＱが、側壁５３あるいは側壁５４に衝突すると、開口部５６を挟む垂直方向に着設された液体検出センサ５７あるいは液体検出センサ５８のセンサ面に、ハードコート液ＬＱが飛散する。センサ面にハードコート液ＬＱが飛散すると、検出値（静電容量値）の変化が検出されて、その検出信号が制御部９に出力される。
【００４６】
検出信号が液体検出センサ５７から入力された場合には、制御部９の制御信号に基づいて昇降ユニット７の油圧ポンプ７１が作動し、ロッド７２が縮んで、昇降台６および昇降台６に着設されたスピンカップ５が、回転軸４６の軸方向に沿って所定の距離、下降して停止する。下降する所定の距離は、開口部５６の幅α程度である。これにより、凹面Ｌａ上から振り切られた余剰のハードコート液ＬＱが、スピンカップ５の開口部５６から回収され、回転体形状の領域βに収容される。
【００４７】
一方、検出信号が液体検出センサ５８から入力された場合には、制御部９の制御信号に基づいて昇降ユニット７の油圧ポンプ７１が作動し、ロッド７２が伸びて、昇降台６および昇降台６に着設されたスピンカップ５が、回転軸４６の軸方向に沿って所定の距離、上昇して停止する。上昇する所定の距離は、下降の場合と同様に、開口部５６の幅α程度である。
【００４８】
回転する眼鏡レンズＬの凹面Ｌａ上から振り切られた余剰のハードコート液ＬＱが、スピンカップ５の開口部５６から回収されずに、側壁５３あるいは側壁５４に衝突する場面は、レンズ面の曲率、回転保持台３の回転数あるいは塗布液の入力情報の誤入力、塗布液の粘度上昇等の場合に発生する。
【００４９】
このようにしてハードコート液ＬＱの塗膜が形成された眼鏡レンズＬは、回転保持台３から取り外された後に、略１００℃の温度環境で１０分間程度加熱され、塗膜の仮焼成（仮硬化処理）が行われる。
【００５０】
そして、仮焼成された眼鏡レンズＬは、スピンコート装置１の回転保持台３に載置され、もう一方のレンズ面である凸面Ｌｂに、ハードコート液ＬＱの塗布処理が行われる。
凸面Ｌｂへのハードコート液ＬＱの塗布処理について、図４を参照しながら説明する。なお、凸面Ｌｂの塗布処理、および仮焼成方法は、眼鏡レンズＬを回転保持台３に保持した後に、スピンカップ５を所定の位置に移動すること以外は、凹面Ｌａの場合と同様であり、詳細な説明は適宜省略する。
【００５１】
図４は、眼鏡レンズＬの一方のレンズ面である凸面Ｌｂに、ハードコート液ＬＱをスピンコートする態様を示す本発明のスピンコート装置の側面模式図である。
図４において、眼鏡レンズＬの凸面Ｌｂへのハードコート液ＬＱの塗布処理は、ハードコート液ＬＱの塗布および仮焼成処理が行われた凹面Ｌａを回転保持台３側にして、略レンズ中心が回転保持台３の略中心位置にセットされる。そして、真空吸引装置が作動して、真空により眼鏡レンズＬが回転保持台３に吸着保持される。
【００５２】
そして、制御部９の制御信号に基づいて昇降ユニット７の油圧ポンプ７１が作動することにより、ロッド７２が縮んで、昇降台６および昇降台６に固着されたスピンカップ５が、基台２に設けられた三本の案内軸２１に案内されて、回転軸４６の軸方向に沿って下降し、所定の位置に停止する。昇降台６および昇降台６に着設されたスピンカップ５が停止する所定の位置は、凹面Ｌａの場合と同様に、図４中に矢印ｂで示す線が、スピンカップ５の側壁５３と側壁５４との間に形成された開口部５６の幅α（図３参照）の中心位置とが、略一致する位置である。
【００５３】
そして、スピンドルモータ４１が回転駆動し、回転保持台３に取り付けられた眼鏡レンズＬが回転するとともに、吐出部８の吐出ノズル８２から眼鏡レンズＬの凸面Ｌｂ上に、ハードコート液ＬＱが吐出され、凹面Ｌａと同様のスピンコート方法により、ハードコート液ＬＱの塗布が行われる。そして、凸面Ｌｂにハードコート液ＬＱの塗布が行われた眼鏡レンズＬは、仮焼成が行われる。
【００５４】
なお、凸面Ｌｂへのハードコート液ＬＱのスピンコートの際、回転する眼鏡レンズＬの凸面Ｌｂ上に吐出された余剰のハードコート液ＬＱは、遠心力で凸面Ｌｂ上から放射状に、図４中に矢印ｂで示す方向に振り切られ、スピンカップ５の開口部５６から回収され、領域β内に収容される。矢印ｂで示される方向は、凹面Ｌａの場合と同様に、眼鏡レンズＬの凸面Ｌｂを形成する曲面における眼鏡レンズＬの外形位置を接点とする接線と、眼鏡レンズＬの外形位置における水平線との挟角の略１／２中心角方向である。
【００５５】
なお、眼鏡レンズＬの各レンズ面へのハードコート液ＬＱの塗布処理前に、回転保持台３に吸着保持された眼鏡レンズＬのレンズ面の純水洗浄を行うのが好ましい。
純水洗浄は、例えば、回転保持台３に吸着保持された眼鏡レンズＬを８００ｒｐｍ程度で回転し、図示しないノズルを眼鏡レンズＬの中心部から外周部に向かって移動させながら、レンズ面に純水を５ｃｃ／ｓｅｃ程度供給する。そして、眼鏡レンズＬを略１８００ｒｐｍで１５秒間程度の高速回転に移行して、レンズ面上の純水の振り切りおよび乾燥をして、レンズ面の洗浄を行うことができる。
【００５６】
この純水洗浄の際にも、スピンカップ５と回転保持台３とが所定の位置に相対移動して、回転する眼鏡レンズＬのレンズ面上から振り切られた純水が、スピンカップ５の開口部５６から回収され、回転体形状の領域βに収容される。したがって、本実施形態において、純水洗浄に用いられる純水も、塗布液としての機能を有する。
【００５７】
以上のように、凹面Ｌａおよび凸面Ｌｂのレンズ面に、ハードコート液ＬＱが塗布され、仮焼成が行われた眼鏡レンズＬは、１２５℃程度の温度環境で１．５時間程度加熱され、スピンコートされたハードコート液ＬＱの本焼成（本硬化処理）が行われる。これにより、眼鏡レンズＬのレンズ面にハードコート膜が形成される。
【００５８】
その後、ハードコート膜が形成された眼鏡レンズＬは、必要に応じて、ハードコート膜上に、表面反射を防ぐ機能を付与する反射防止膜を形成したり、さらに眼鏡レンズＬの最表面に、撥水撥油性能を付与する防汚膜などが形成された後に、眼鏡フレームに枠入れする玉型加工等が行われて、プラスチック眼鏡レンズが完成する。
なお、これらの反射防止膜および防汚膜は、スピンコート装置１を用いたスピンコート法にて各コーティング液を塗布処理した後に、加熱乾燥して形成することができる。スピンコート法の他に、ディッピング法、ロールコート法、スプレー法、インクジェット法あるいはフロー法を用いることもできる。
【００５９】
上述したレンズのスピンコート装置１によれば、以下に示す効果を奏することができる。
【００６０】
スピンコート法にて眼鏡レンズＬのレンズ面（凹面Ｌａおよび凸面Ｌｂ）に、ハードコート液ＬＱの塗布処理を施す際に、回転保持台３の周囲を覆うスピンカップ５の側壁５３と側壁５４との間に開口部５６が設けられていることにより、回転保持台３に載置されて回転するレンズ面上に、吐出部８から吐出されレンズ面上から放射状に振り切られた余剰のハードコート液ＬＱが、開口部５６から回収される。これにより、レンズ面上から振り切られたハードコート液ＬＱが、スピンカップ５の側壁５３あるいは側壁５４に衝突して飛散することを防ぎ、飛散したハードコート液ＬＱの付着による外観不良を抑制した好適なハードコート膜が形成された眼鏡レンズＬが得られる。
【００６１】
また、スピンカップ５と回転保持台３のうちの少なくともどちらか一方が、回転保持台３の垂直軸方向に相対移動することにより、曲率の異なる多様な眼鏡レンズＬのレンズ面形状に対応して、回転するレンズ面上から振り切られたハードコート液ＬＱが、スピンカップ５の側壁５３あるい側壁５４に衝突して飛散することを防ぎ、飛散したハードコート液ＬＱの付着による外観不良を抑制した好適なハードコート膜が形成された眼鏡レンズＬが得られる。
【００６２】
また、スピンカップ５の側壁５３と側壁５４との間に設けられた開口部５６を挟んだ回転保持台３の垂直軸方向に、ハードコート液ＬＱ等を検出する一対の液体検出センサ５７，５８を備え、一対の液体検出センサ５７，５８が検出値の変化を検出したときに、眼鏡レンズＬが載置された回転保持台３とスピンカップ５とが、回転保持台３の垂直軸方向に相対移動する位置補正が行われることにより、スピンコート装置１に入力する塗布処理条件等の入力情報の誤入力や、ハードコート液ＬＱの粘度上昇の発生等により、開口部５６の停止位置がズレた場合であっても、回転するレンズ面上から振り切られたハードコート液ＬＱが、スピンカップ５の側壁に衝突して飛散することを防ぎ、飛散したハードコート液ＬＱの付着による外観不良を抑制した好適な塗膜の形成を可能にするスピンコート装置１が得られる。
【００６３】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形も本発明に含まれるものである。
【００６４】
（変形例１）
スピンコート装置１は、スピンカップ５と眼鏡レンズＬ（回転保持台３）とが、眼鏡レンズＬのレンズ面（凹面Ｌａおよび凸面Ｌｂ）の形状に対応して、スピンカップ５が回転保持台３（回転軸４６）の垂直軸方向に昇降する相対移動を行う場合で説明したが、眼鏡レンズＬ（回転保持台３を含む回転機構４）が昇降する相対移動を行う場合であっても良い。この眼鏡レンズＬ（回転保持台３）が昇降するスピンコート装置１００について、図面に基づいて説明する。
図５は、本発明の変形例に係わるスピンコートする態様を示すスピンコート装置１００の側面模式図である。
【００６５】
図５において、スピンコート装置１００は、スピンカップ５に対して、回転機構４（回転保持台３および眼鏡レンズＬ）が昇降して、眼鏡レンズＬのレンズ面上に吐出された余剰のハードコート液ＬＱを、スピンカップ５の開口部５６から回収し、領域β内に収容するものである。したがって、図１〜図４に基づいて説明したスピンコート装置１が、スピンカップ５を昇降するのに対して、回転機構４を昇降する点で異なる。このため、図１〜図４に示したスピンコート装置１と同一の構成については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。また、眼鏡レンズＬのレンズ面にハードコート液ＬＱを塗布処理するスピンコート方法についても同様であり、これについても適宜省略する。
【００６６】
スピンコート装置１００は、基台９０と、眼鏡レンズＬを保持する回転保持台３と、回転保持台３を回転する回転機構４と、回転保持台３を収容する円筒形のスピンカップ５と、回転機構４が取り付けられた昇降台２０と、昇降台２０（回転機構４および回転保持台３）を昇降する昇降ユニット７と、塗布液を吐出する吐出部８と、制御部９と、操作部１０を備えている。
【００６７】
基台９０は、例えば円形状を成し、基台９０の上方に配設された円筒形のスピンカップ５の外周を取り囲む位置に、三本の案内軸９１が軸止されている。この三本の案内軸９１は、円形状を３等分する中心角上の中心から略等距離の位置に配設されている。また、基台９０の中心部に回転機構４が取付られ、回転機構４と三本の案内軸９１との間の基台９０の上面に、昇降ユニット７が着設されている。
【００６８】
回転機構４は、スピンドルモータ４１と、スピンドルモータ４１の駆動軸４２と、第１のプーリー４３と、タイミングベルト４４と、第２のプーリー４５と、回転保持台３の下部に連結された回転軸４６とを備えている。この回転機構４は、回転軸４６が軸受け等を介して昇降台２０に回転可能に取り付けられている。
スピンカップ５は、カップ内に回転機構４の回転軸４６に連結された回転保持台３を収容し、スピンコートする際に発生する余剰分の塗布液を処理するための容器であり、円筒形の側板部５１と、底板部５２と、円筒形の側壁５３，５４と、上板部５５と、液体検出センサ５７，５８を含み構成され、図示しない筐体に固定されている。
【００６９】
このように構成されたスピンコート装置１００を用いた眼鏡レンズＬのレンズ面上にハードコート液ＬＱを塗布する塗布処理は、眼鏡レンズＬが回転保持台３に吸着保持される。そして、制御部９の制御信号に基づいて昇降ユニット７の油圧ポンプ７１が作動することによりロッド７２が伸縮して、昇降台２０および昇降台２０に取り付けられた回転機構４が、基台９０に設けられた三本の案内軸９１に案内されて、回転軸４６の軸方向に沿って昇降し、所定の位置に停止する。
なお、昇降台２０および昇降台２０に着設された回転機構４の昇降の際には、昇降台２０に連動してハードコート液ＬＱを吐出する吐出部８が昇降するのが望ましい。
【００７０】
そして、スピンドルモータ４１が回転駆動し、回転保持台３に取り付けられた眼鏡レンズＬが回転するとともに、吐出部８の吐出ノズル８２から眼鏡レンズＬの凹面Ｌａ上に、ハードコート液ＬＱが吐出され、ハードコート液ＬＱの塗布が行われる。凹面Ｌａへのハードコート液ＬＱのスピンコートの際、回転する眼鏡レンズＬのレンズ面上に吐出された余剰のハードコート液ＬＱは、遠心力で凹面Ｌａ上からスピンカップ５の側壁５３，５４の方向に向かって放射状に、図５中に矢印ａで示す方向に振り切られ、スピンカップ５の開口部５６から回収され、領域β内に収容されると共に、凹面Ｌａに所定膜厚の塗膜が略均一に形成される。
【００７１】
凹面Ｌａにハードコート液ＬＱの塗膜が形成された眼鏡レンズＬは、回転保持台３から取り外された後に、仮焼成（仮硬化処理）が行われる。そして、もう一方のレンズ面である凸面Ｌｂに、ハードコート液ＬＱの塗布処理が行われる。
凸面Ｌｂへの塗布処理は、眼鏡レンズＬが回転保持台３に吸着保持された後に、制御部９の制御信号に基づいて昇降ユニット７の油圧ポンプ７１が作動することによりロッド７２が伸縮して、昇降台２０および昇降台２０に取り付けられた回転機構４が、回転軸４６の軸方向に沿って昇降し、所定の位置に停止する（図５中、二点鎖線で示す）。
【００７２】
そして、凹面Ｌａと同様に凸面Ｌｂに所定膜厚の塗膜が略均一に形成される。この凸面Ｌｂのハードコート液ＬＱのスピンコートの際、回転する眼鏡レンズＬのレンズ面上に吐出された余剰のハードコート液ＬＱは、遠心力で凸面Ｌｂ上から放射状に、図５中に二点鎖線の矢印ｂで示す方向に振り切られ、スピンカップ５の開口部５６から回収され、領域β内に収容される。
【００７３】
このようにスピンコート装置１００を用いた眼鏡レンズＬのレンズ面上にハードコート液ＬＱを塗布する塗布処理は、前述の実施形態におけるスピンコート装置１と同様な効果が得られる。また、回転保持台とスピンカップを相対移動する昇降方式を適宜選択することにより、スピンコート装置の設計自由度が向上する。
【００７４】
（変形例２）
回転する眼鏡レンズＬのレンズ面（凹面Ｌａおよび凸面Ｌｂ）上から振り切られた余剰のハードコート液ＬＱが、スピンカップ５の開口部５６から回収されずに、側壁５３あるいは側壁５４に衝突した場合に行われる昇降台６および昇降台６に着設されたスピンカップ５を昇降する位置補正は、ハードコート液ＬＱの塗布処理前の純水洗浄の際に行われるのが好ましい。
これにより、使用するハードコート液ＬＱの消費を抑えることができる。また、より好適な塗膜を形成することが可能となる。
【００７５】
（変形例３）
スピンコート装置１は、スピンカップ５の開口部５６を挟む位置に一対の液体検出センサ５７，５８を配設した場合で説明したが、液体検出センサ５７，５８を用いない構成であっても良い。この場合には、眼鏡レンズＬの各レンズ面へのハードコート液ＬＱの塗布処理前に、回転保持台３に吸着保持された眼鏡レンズＬのレンズ面に純水洗浄等を行う際に、レンズ面上に吐出された洗浄液（純水）が遠心力で振り切られる状態に基づいて、手動で眼鏡レンズＬとスピンカップ５の開口部５６を相対移動すれば良い。
【００７６】
（変形例４）
スピンコート装置１は、眼鏡レンズＬのレンズ面に塗布液としてハードコート液ＬＱを用いた場合で説明したが、レンズに表面処理を行うハードコート液ＬＱ以外の表面塗布液、例えばプライマー液、反射防止膜用組成液、撥水液、染色液等の場合であっても良い。これらの塗布液であっても、ハードコート液ＬＱと同様にスピンコートすることができる。
【００７７】
（変形例５）
スピンコート装置１は、眼鏡レンズＬ以外に、調光用レンズ、カメラレンズ、望遠鏡レンズ、プロジェクタレンズ、マイクロレンズ等の光学レンズに適用することができる。これらのレンズであっても眼鏡レンズＬと同様にスピンコートすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】レンズの凹面にスピンコートする態様を示す本発明のスピンコート装置の側面模式図。
【図２】図１におけるスピンコート装置のＡ−Ａ線に沿った断面の矢視図。
【図３】本発明のスピンコート装置の開口部周辺の部分説明図。
【図４】レンズの凸面にスピンコートする態様を示す本発明のスピンコート装置の側面模式図。
【図５】本発明の変形例に係わるスピンコートする態様を示すスピンコート装置の側面模式図。
【符号の説明】
【００７９】
１，１００…スピンコート装置、２，９０…基台、３…回転保持台、４…回転機構、５…スピンカップ、６，２０…昇降台、７…昇降ユニット、８…吐出部、９…制御部、４１…スピンドルモータ、４６…回転軸、５１…側板部、５１Ａ…排気管、５２…底板部、５２Ａ…排液管、５３、５４…側壁、５５…上板部、５６…開口部、５７，５８…検出センサとしての液体検出センサ、７１…油圧ポンプ、７２…ロッド、８１…吐出バルブ、８２…吐出ノズル、Ｌ…レンズとしての眼鏡レンズ、Ｌａ…レンズ面としての凹面、Ｌｂ…レンズ面としての凸面、ＬＱ…塗布液としてのハードコート液、α…開口部５６の幅、β…回転体形状の領域。
【図１】
2007229648.tif 000003
【図２】
2007229648.tif 000004
【図３】
2007229648.tif 000005
【図４】
2007229648.tif 000006
【図５】
2007229648.tif 000007