(57)【要約】【課題】イニシャルコストやランニングコストが低くて、排ガス中の有機物等の排ガス成分を充分に除去できる排ガス処理方法および排ガス処理装置を提供する。【解決手段】この排ガス処理装置では、マイクロナノバブル発生機９がマイクロナノバブルを発生して下部処理部３で洗浄水にマイクロナノバブルを含有させる。マイクロナノバブルを含有している洗浄水中に、ブロワー１９に吸い込んだ排ガスを散気管２３から吐出する。収容籠１２内に炭１５が収容されていて、散気管２３が吐出する排ガスは炭１５に接触し、炭１５が持つ有機物吸着力、炭１５の表面に繁殖した微生物２８による微生物処理、マイクロナノバブルによる吸着機能によって、排ガス成分が処理される。【選択図】図１
2007209922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させる工程を備えることを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項２】
請求項１に記載の排ガス処理方法において、
上記排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する工程を備えることを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項３】
請求項１に記載の排ガス処理方法において、
上記液体中に微生物を繁殖させることを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項４】
請求項３に記載の排ガス処理方法において、
上記液体中に炭を浸漬して生物炭を形成し、マイクロナノバブルにより微生物を活性化して、排ガスを処理することを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項５】
マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の排ガス処理装置において、
マイクロナノバブルを含有する液体が貯留されていると共に排ガスを上記マイクロナノバブルを含有する液体中に吐出させる下部と、
上記下部から上記排ガスが導入されると共に上記下部からの排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する上部とを備えることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項７】
請求項６に記載の排ガス処理装置において、
上記下部の液体中に浸漬された生物炭を有することを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項８】
請求項６に記載の排ガス処理装置において、
排ガスを吸い込んで上記下部に送出する排ガス吸込部を備えることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項９】
請求項６に記載の排ガス処理装置において、
上記下部は、
排ガスを上記液体中に吐出する散気管と、
充填物としての炭と、
上記液体中にマイクロナノバブルを含有させるためのマイクロナノバブル発生機とを有することを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１０】
請求項６に記載の排ガス処理装置において、
上記下部のマイクロナノバブルを含有する液体を上記マイクロナノバブルを含有する洗浄水として上記上部に送水する送水部を有し、
上記上部を通過した上記洗浄水を上記下部に戻すことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１１】
請求項７に記載の排ガス処理装置において、
上記生物炭は、活性炭、木炭、合成炭のうちの少なくとも１つであることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１２】
請求項８に記載の排ガス処理装置において、
上記排ガス吸込部は、
排ガスを吸い込んで上記下部に送出するブロワーと、
上記下部の液体のＴＯＣ濃度を計測するＴＯＣ計と、
上記ＴＯＣ計が計測したＴＯＣ濃度に応じて、上記ブロワーの回転数を制御することで、上記下部に送出する排ガスの量を制御する制御部とを備えたことを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１３】
請求項５に記載の排ガス処理装置において、
上記排ガスが揮発性有機化合物を含有していることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１４】
請求項１２に記載の排ガス処理装置において、
上記ＴＯＣ計は、
上記液体のＶＯＣ濃度を計測するＶＯＣ計であり、
上記制御部は、
上記ＶＯＣ計が計測したＶＯＣ濃度に応じて、上記ブロワーの回転数を制御することを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１５】
請求項８に記載の排ガス処理装置において、
上記排ガス吸込部は、
上記下部内に配置された水中ブロワーを有し、この水中ブロワーで上記下部外から排ガスを吸い込んで上記下部に送出することを特徴とする排ガス処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、排ガス処理方法および排ガス処理装置に関し、一例として、半導体工場や液晶工場における揮発性有機化合物などの有機化合物を含有する排ガスに対する排ガス処理方法および排ガス処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体工場や液晶工場における排ガス処理方法および排ガス処理装置としては、例えば、(1) 活性炭による吸着法、(2) 排ガスを空気と混合して直接的に燃焼させる直接燃焼法、(3) 水、酸、アルカリ溶液などの液体に対象とするガスを吸収させる方法があった。
【０００３】
有機系排ガスを処理する場合は、処理効率の点で、(1) 活性炭やゼオライトによる吸着法、(2) 排ガスを空気と混合して直接的に燃焼させる直接燃焼法のどちらかを採用していた。
【０００４】
しかし、(1) 活性炭による吸着法では、ダストやミストを含む有機系排ガス処理における前処理として、それらの除去装置(バグフィルター、ミストセパレーターなど)が必要で、活性炭の再生費用を含めて、ランニングコストが高い欠点があった。また、(2) 排ガスを空気と混合して直接的に燃焼させる直接燃焼法も、燃料が必要で、ランニングコストが高い欠点があった。
【０００５】
したがって、上述の(1),(2)の排ガス処理方法は、省エネルギーを推進する時代では、課題の多い方法であった。
【０００６】
また、特許文献１(特開２００５−１５２７０１号公報)では、揮発性有機化合物排ガスの処理方法が記載されている。この技術は、被処理ガスを通流する流路と、この流路の上流側に配設された被処理ガスを通流する第１の触媒層と、この第１の触媒層の下流側に離間して設けられて上記第１の触媒層を通過したガスを通流する第２の触媒層と、始動時に上記第１の触媒層を少なくとも触媒活性温度以上に予備加熱するための加熱手段とを備える構成が開示されている。
【０００７】
しかし、この排ガス処理方法でも、排ガス中の揮発性有機化合物の濃度が高い場合、充分な除去率の確保ができないことと洗浄水中の揮発性有機化合物の処理が不十分となる課題があった。
【０００８】
したがって、排ガス中の揮発性有機化合物の合理的な処理方法を見出すことが求められている。
【特許文献１】特開２００５−１５２７０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで、この発明の課題は、イニシャルコストやランニングコストが低くて、排ガス中の有機物等の排ガス成分を充分に除去できる排ガス処理方法および排ガス処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、この発明の排ガス処理方法は、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させる工程を備えることを特徴としている。
【００１１】
この発明の排ガス処理方法によれば、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させることで、液体中の気体としてのマイクロナノバブルと気体としての排ガスとの接触効率が向上し、マイクロナノバブルによる吸着機能の作用下で、排ガスを効率的に処理できる。
【００１２】
また、一実施形態の排ガス処理方法では、上記排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する工程を備える。
【００１３】
この実施形態の排ガス処理方法によれば、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させる工程に加えて、上記排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する工程の２段階の工程で排ガスを処理するので、排ガス中の除去成分に対する除去率を向上できる。また、マイクロナノバブルを含んだ洗浄水は、マイクロナノバブルを含んでいない洗浄水に比べて、より洗浄効果があることが実験により判明した。
【００１４】
また、一実施形態の排ガス処理方法では、上記液体中に微生物を繁殖させる。
【００１５】
この実施形態の排ガス処理方法によれば、上記液体中に繁殖させた微生物による排ガス中の成分の分解,除去を図れる。
【００１６】
また、一実施形態の排ガス処理方法では、上記液体中に炭を浸漬して生物炭を形成し、マイクロナノバブルにより微生物を活性化して、排ガスを処理する。
【００１７】
この実施形態の排ガス処理方法によれば、液体中に炭を浸漬して生物炭を形成し、かつマイクロナノバブルにより微生物を活性化しているので、生物炭によって排ガス成分を吸着できる上に、生物炭が多くの排ガス成分を吸着しても、活性化した微生物による炭の自動再生が可能となり、メインテナンスフリーを図れる。なお、生物炭とは微生物が繁殖した炭を言う。
【００１８】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させる。
【００１９】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させることで、液体中の気体としてのマイクロナノバブルと気体としての排ガスとの接触効率が向上し、マイクロナノバブルによる吸着機能の作用下で、排ガスを効率的に処理できる。
【００２０】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、マイクロナノバブルを含有する液体が貯留されていると共に排ガスを上記マイクロナノバブルを含有する液体中に吐出させる下部と、
上記下部から上記排ガスが導入されると共に上記下部からの排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する上部とを備える。
【００２１】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、排ガスを、下部のマイクロナノバブルを含有する液体中に吐出させることによる第１の処理と、下部からの排ガスにマイクロナノバブルを含有する洗浄水を散水する第２の処理とで、排ガスに２段階の処理を行う。よって、従来の１段階の処理に比べて、排ガス中の除去成分に対する除去率を向上できる。
【００２２】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記下部の液体中に浸漬された生物炭を有する。
【００２３】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、下部の液体中に浸漬された生物炭では、吸着した成分を微生物で分解するといった微生物による炭の自動再生が可能となって、メインテナンスフリーを図れる。
【００２４】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、排ガスを吸い込んで上記下部に送出する排ガス吸込部を備える。
【００２５】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、排ガス吸込部でもって、排ガスを下部に強制的に送出することで、排ガスの処理効率向上を図れる。
【００２６】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記下部は、排ガスを上記液体中に吐出する散気管と、充填物としての炭と、
上記液体中にマイクロナノバブルを含有させるためのマイクロナノバブル発生機とを有する。
【００２７】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、散気管から下部の液体中に排ガスを吐出し、マイクロナノバブル発生機から発生するマイクロナノバブルによって炭に繁殖する微生物を活性化させる。これにより、排ガス成分を炭に吸着させると共に、炭に繁殖した活性化した微生物で排ガス成分を効率良く処理できる。
【００２８】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記下部のマイクロナノバブルを含有する液体を上記マイクロナノバブルを含有する洗浄水として上記上部に送水する送水部を有し、上記上部を通過した上記洗浄水を上記下部に戻す。
【００２９】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、送水部により、下部のマイクロナノバブルを含有する液体を強制的に上部に送水してマイクロナノバブルを含有する洗浄水とするので、マイクロバブル含有液体を下部と上部に循環させる再利用が可能となる。
【００３０】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記生物炭は、活性炭、木炭、合成炭のうちの少なくとも１つである。
【００３１】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、有機化合物の吸着作用があり調達が容易な活性炭、木炭、合成炭のうちから、下部の生物炭として最適な充填材を選択できる。
【００３２】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記排ガス吸込部は、排ガスを吸い込んで上記下部に送出するブロワーと、
上記下部の液体のＴＯＣ濃度を計測するＴＯＣ計と、
上記ＴＯＣ計が計測したＴＯＣ濃度に応じて、上記ブロワーの回転数を制御することで、上記下部に送出する排ガスの量を制御する制御部とを備えた。
【００３３】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、ＴＯＣ計で計測した下部の液体のＴＯＣ(Ｔotal Ｏrganic Ｃarbon：全有機体炭素)濃度に応じて、制御部がブロワーの回転数を制御するので、下部に送出する排ガス量を下部のＴＯＣ濃度に応じた最適量にして、省エネルギーで高効率な運転が可能になる。
【００３４】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記排ガスが揮発性有機化合物を含有している。
【００３５】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、従来の揮発性有機化合物の燃焼法と比較して、排ガス中の揮発性有機化合物を効率的に経済的に処理できる。
【００３６】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記ＴＯＣ計は、上記液体のＶＯＣ濃度を計測するＶＯＣ計であり、上記制御部は、上記ＶＯＣ計が計測したＶＯＣ濃度に応じて、上記ブロワーの回転数を制御する。
【００３７】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、排ガスが揮発性有機化合物(ＶＯＣ：Ｖolatile Ｏrganic Ｃompounds)を含有している場合に、下部の液体が含有するＶＯＣ濃度をＶＯＣ計で正確に測定できる。よって、制御部がブロワーの回転数をＶＯＣ濃度に応じて制御することで、下部に送出する排ガス量を下部のＶＯＣ濃度に応じた最適量にして、省エネルギーで高効率な運転が可能になる。
【００３８】
また、一実施形態の排ガス処理装置では、上記排ガス吸込部は、上記下部内に配置された水中ブロワーを有し、この水中ブロワーで上記下部外から排ガスを吸い込んで上記下部に送出する。
【００３９】
この実施形態の排ガス処理装置によれば、下部をなす水槽等の中に水中ブロワーを設置できるので、省スペース化を図れる。
【発明の効果】
【００４０】
この発明の排ガス処理方法によれば、マイクロナノバブルを含有する液体中に排ガスを吐出させることで、液体中の気体としてのマイクロナノバブルと気体としての排ガスとの接触効率が向上し、マイクロナノバブルによる吸着機能の作用下で、排ガスを効率的に処理できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００４２】
(第１の実施の形態)
図１は、この発明の第１実施形態である排ガス処理装置を模式的に示す図である。
【００４３】
符号１は、排気入口であり、排気ファン２０が設置されている。この排気入口１には、一例として、半導体工場や液晶工場からの有機化合物を含有する排ガスが導入される。この有機化合物としては、例えば、揮発性有機化合物としての、イソプロピールアルコール、アセトン、酢酸ブチルなどがある。
【００４４】
この排ガス処理装置は、上部の散水部２と、排気入口１,排気ファン２０を有する中間部２７と、下部の処理部３を備えている。この排ガス処理装置によって処理された排ガスは、排ガス処理装置４の最上部に設けられた排気出口１８から排出される。この排ガス処理装置では、下部の処理部３に貯留しているマイクロナノバブルを含有する水を散水ポンプ１１で上部の散水部２に移送して、散水ノズル１７から洗浄水として散水している。なお、下部の処理部３はマイクロナノバブルを含有する水を貯留する水槽をなし、中間部２７および上部の散水部２は下部の処理部３の上方に順に連なっている。そして、下部の処理部３と中間部２７と上部の散水部２とは一体の容器形状をなしている。なお、上記マイクロナノバブルを含有する水は、マイクロナノバブルを含有するアルカリ水や酸水であってもよい。
【００４５】
この排ガス処理装置の上部散水部２は、底付近に設置された多孔板１３、その多孔板１３上に設置されたプラスチック充填材１４を有する。この実施形態では、プラスチック充填材１４の一例としてテラレット(商品名)と呼ばれる充填材を採用した。そして、最上部のプラスチック充填材１４のさらに上部に所定の距離をおいて散水ノズル１７が設置されており、この散水ノズル１７からプラスチック充填材１４に洗浄水を散水している。この散水部２には、中間部２７が有する排気ファン２０で排気入口１から吸い込んだ排ガスの一部が導入される。
【００４６】
この排ガス処理装置の上部散水部２と下部処理部３とが構成する本体と上記中間部２７の排気入口１をなすダクトとの間にこのダクトよりも径が大きなブロワー吸込部５が形成され、このブロワー吸込部５内にブロワー吸い込み口６が設置されている。このブロワー吸込部５は上部散水部２と下部処理部３との間で横方向に突き出している。なお、このブロワー吸込部５は、ブロワー吸い込み口６を収納できるような寸法であればよい。もっとも、排気入口１に吸い込んだ排ガスの大部分をブロワー吸い込み口６から吸い込むことができるようにすることが好ましい。
【００４７】
上記ブロワー吸い込み口６は、ブロワー吸込部５から下方に延在するブロワー配管１６に接続され、ブロワー配管１６はブロワー１９に接続されている。ブロワー１９の駆動により、ブロワー吸込部５をなすダクト内のブロワー吸い込み口６から排ガスを吸い込み、下部処理部３の底付近に設置された散気管２３から排ガスを吐出している。この散気管２３は、マイクロナノバブルより、格段に大きいサイズのセンチバブル２２を排ガスとして吐出している。なお、好ましい一例では、ブロワー１９の吸い込み風量を排気ファン２０の吐出風量と略同じ風量とするが、ブロワー１９の吸い込み風量が排気ファンの吐出風量より少ない場合は、排気入口１から直接に上部散水部２に導入される排ガスの風量が増加することとなる。上記排気入口１,排気ファン２０,ブロワー吸込部５,ブロワー吸い込み口６,ブロワー配管１６,ブロワー１９および散気管２３が排ガス吸込部を構成している。
【００４８】
下部処理部３には、マイクロナノバブル発生機９が設置されている。このマイクロナノバブル発生機９は、下部処理部３の上下方向の中央よりも上方に配置されている。マイクロナノバブル発生機９は、配管によって循環ポンプ１０に接続されている。この循環ポンプ１０は、下部処理部３の上下方向の中央よりも下方の洗浄水をマイクロナノバブル発生機９に必要な圧力状態で供給している。また、マイクロナノバブル発生機９は、マイクロナノバブルを発生するために必要となる量の空気をバルブ８と空気吸い込み管７から確保している。この空気吸い込み管７は、下部処理部３と上部散水部２との間の中間部２７に設置されていて、排気入口１からブロワー吸い込み口６を通過した排ガスの一部を吸い込んでいる。
【００４９】
これにより、マイクロナノバブル発生機９は水流３１の方向にマイクロナノバブルを発生して、下部処理部３で液体である洗浄水にマイクロナノバブルを含有させることになる。そして、マイクロナノバブルを含有している洗浄水中に、ブロワー１９に吸い込んだ排ガスを散気管２３から吐出する。この散気管２３とマイクロナノバブル発生機９との間には収容籠１２が配置され、この収容籠１２内に炭１５が収容されている。したがって、散気管２３が吐出する排ガスは炭１５に接触し、炭１５が持つ有機物吸着力、および炭１５の表面に繁殖した微生物２８による微生物処理、さらには、マイクロナノバブルによる吸着機能によって、排ガス成分が処理されることとなる。
【００５０】
ここで、３種類のバブルについて説明する。
【００５１】
(ｉ) 通常のバブル(気泡)は水の中を上昇して、ついには表面でパンとはじけて消滅する。
【００５２】
(ii) マイクロバブルは、直径が５０ミクロン(μｍ)以下の微細気泡で、水中で縮小していき、ついには消滅(完全溶解)してしまう。
【００５３】
(iii) ナノバブルは、マイクロバブルよりさらに小さいバブル(直径が１ミクロン以下で代表的には１００〜２００ｎｍ)でいつまでも水の中に存在することが可能なバブルと言われている。そして、マイクロナノバブルとは、マイクロバブルとナノバブルとが混合したバブルと説明できる。
【００５４】
なお、炭１５は、下部処理部３の洗浄水中の有機化合物を吸着処理する。この炭としては、一例として、活性炭、木炭、合成炭などを選定可能であるが、排ガスの性状に合わせて上記炭の種類を選定すればよく、活性炭、木炭、合成炭以外の炭を選定してもよい。
【００５５】
また、炭１５には、時間の経過とともに、微生物２８が繁殖するが、下部処理部３のマイクロナノバブル発生機９より発生したマイクロナノバブルによって、その微生物は活性化してくる。この活性化した微生物で、炭１５が吸着した有機化合物を分解することによって、炭１５は自動再生された状態となる。また、この下部処理部３の洗浄水中には、マイクロナノバブルだけでなく、炭１５に繁殖した微生物２８が一部剥離することで、微生物が含有されている。このマイクロナノバブルと微生物を含有した洗浄水は、下部処理部３の底付近から散水ポンプ１１と散水配管Ｌ１を経由して、上部散水部２の散水ノズル１７から、プラスチック充填材１４に散水される。
【００５６】
この上部散水部２には、中間部２７が有する排気ファン２０で排気入口１から吸い込んだ排ガスの一部、および、下部処理部３の洗浄水の水面から上昇してきた排ガスが導入される。したがって、この上部散水部２では、マイクロナノバブルと微生物を含有した洗浄水をプラスチック充填材１４において排ガスに接触させて、排ガス中の成分を除去できる。そして、この上部散水部２と下部処理部３とによる２段階の処理がなされた排ガスは、排気出口１８から排出される。
【００５７】
また、この上部散水部２で散水された洗浄水は、上部散水部２から落下して下部処理部３に戻るので、洗浄水を循環利用でき、ランニングコストを低減できる。
【００５８】
なお、マイクロナノバブル発生機９は、市販されているものならば、メーカーを限定するものではないが、本実施形態では、具体的一例として、株式会社 ナノプラネット研究所と株式会社オーラテックのものを採用した。また、上記実施形態では、揮発性有機化合物の一例として、イソプロピールアルコール、アセトン、酢酸ブチルを挙げたが、他の揮発性有機化合物であっても本発明を適用できる。
【００５９】
(第２の実施の形態)
次に、図２に、この発明の第２実施形態である排ガス処理装置を示す。この第２実施形態の排ガス処理装置は、図１の第１実施形態の上部散水部２に替えて、上部散水部２Ｕを備えた点だけが、前述の第１実施形態と異なる。よって、この第２実施形態では、前述の第１実施形態と同じ部分については、同じ符号を付けて詳細な説明を省略し、前述の第１実施形態と異なる部分を説明する。
【００６０】
図２に示すように、この第２実施形態が備える上部散水部２Ｕは、下段５段のプラスチック充填材１４と上段３段のポリ塩化ビニリデン充填物２１を有する。
【００６１】
前述の第１実施形態では、上部散水部２の充填材がプラスチック充填材１４だけであったので、プラスチック充填材１４に多少の微生物が繁殖するものの、このプラスチック充填材１４に繁殖する程度の微生物では、排ガスが含有する揮発性有機化合物を微生物処理する能力はあまり期待できなかった。
【００６２】
これに対して、第２の実施形態は、プラスチック充填材１４の代替として散水部２の上部３段は、ポリ塩化ビニリデン充填物２１が充填されている。これにより、上部３段のポリ塩化ビニリデン充填物２１には、プラスチック充填材１４に比べて、微生物がより繁殖するので、排ガス中の揮発性有機化合物に対する有効な微生物処理が可能になる。
【００６３】
なお、この第２実施形態では、上部散水部２Ｕが有する充填材の全部ではなくて一部分をポリ塩化ビニリデン充填物２１としている。その理由は、充填材の全部をポリ塩化ビニリデン充填物２１とした場合、ポリ塩化ビニリデン充填物２１の全体に微生物が繁殖した場合に空気抵抗(圧力損失)が大となり、排ガスが上部散水部２Ｕを通過し難くなることがあるからである。
【００６４】
(第３の実施の形態)
次に、図３に、この発明の第３実施形態である排ガス処理装置を示す。この第３実施形態は、前述の第１実施形態の下部処理部３に替えて下部処理部３Ｗを備えた点だけが第１実施形態と異なる。よって、この第３実施形態では、第１実施形態と同じ部分については、同じ符号を付けて詳細説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を説明する。
【００６５】
図３に示すように、この第３実施形態では、下部処理部３Ｗがなす水槽内に、ブロワー配管１６Ｗと水中ブロワー２６を配置した。したがって、この第３実施形態によれば、下部処理部３の外部にブロワー１９を設置した第１実施形態に比べて、装置全体としてのスペース削減を図れる。なお、この第３実施形態では、図３に示すように、下部処理部３Ｗの水槽内の底部に水中ブロワー２６を配置したが、下部処理部３Ｗの水槽内であれば水中ブロワー２６の設置場所は限定しない。また、水中ブロワー２６の材質は、下部処理部３Ｗの水槽内の液性に耐え得るならば特に限定しない。また、排ガス中の成分によって、下部処理部３Ｗの水槽内の液性は変わるが、排ガス中の成分が揮発性有機化合物である場合は、下部処理部３Ｗの水槽内の液性が中性付近であるので、水中ブロワー２６の材質に関する問題は特にない。
【００６６】
この第３実施形態のように、水中ブロワー２６を採用した場合であっても、通常のブロワーと同様に、ブロワー吸い込み部５の排ガスをブロワー吸い込み口６から吸い込んで散気管２３から吐出できる。
【００６７】
(第４の実施の形態)
次に、図４に、この発明の第４実施形態である排ガス処理装置を示す。この第４実施形態は、前述の第２実施形態の下部処理部３に替えて前述の第３実施形態の下部処理部３Ｗを備えた点だけが第２実施形態と異なる。よって、この第４実施形態では、第２実施形態と異なる部分を説明する。
【００６８】
図４に示すように、この第４実施形態では、図３の第３実施形態と同様に、下部処理部３Ｗがなす水槽内に、ブロワー配管１６Ｗと水中ブロワー２６を配置したので、装置全体としてのスペース削減を図れる。
【００６９】
(第５の実施の形態)
次に、図５に、この発明の第５実施形態である排ガス処理装置を示す。この第５実施形態は、図１の第１実施形態の下部処理部３の水槽内にＴＯＣ計５４を設置すると共に下部処理部３の外部に制御部としてのＴＯＣ調節計５５を設置した点が先述の第１実施形態と異なる。よって、この第５実施形態では、先述の第１実施形態と同じ部分については同じ符号を付けて詳細説明を省略し、先述の第１実施形態と異なる部分を説明する。
【００７０】
上記ＴＯＣ計５４は下部処理部３内で炭１５を収容した収容籠１２の付近に配置されている。このＴＯＣ計５４は下部処理部３の外部に設置されたＴＯＣ調節計５５に接続されている。このＴＯＣ調節計５５は、ＴＯＣ計５４が計測したＴＯＣ濃度の高低に応じて、ブロワー１９の回転数を高低に制御する。
【００７１】
排気入口１からこの排ガス処理装置に導入される排ガス中の有機化合物濃度が低下したときは、下部処理部３内の洗浄水のＴＯＣ濃度も低下する。すると、下部処理部３内に設置されているＴＯＣ計５４は上記ＴＯＣ濃度を計測することで、上記ＴＯＣ濃度の低下を感知する。これにより、ＴＯＣ計５４は、感知したＴＯＣ濃度を表す出力信号をＴＯＣ調節計５５に出力する。すると、ＴＯＣ調節計５５は、上記出力信号に連動してインバータ(図示せず)を制御して、ブロワー１９の回転数を制御して吸い込み風量を減少させる。場合によっては、排ガス中の有機化合物濃度が相当に低い場合は、ＴＯＣ調節計５５からの信号によって、ブロワー１９を停止させてもよい。この場合、排気入口１から導入される排ガスを上部散水部２だけで処理することとなる。このように、上部散水部２による排ガス処理だけで処理能力が充分な場合もある。
【００７２】
この第５実施形態によれば、下部処理部３への排ガス導入量を調節することで、結果的には省エネルギーが可能となる上に、排ガス処理装置に導入される排ガス中の有機化合物濃度に対して排ガス処理能力を追従させることができる排ガス処理装置を実現できる。なお、この第５実施形態と前述の第２〜第４実施形態とを組み合わせても良い。
【００７３】
(実験例)
図１の第１実施形態の排ガス処理装置に相当する実験装置を製作した。この排ガス処理の実験装置における散水部２の容量を約１ｍ３とし、中間部２７の容量を０.５ｍ３とし、処理部３の容量を１ｍ３とした。また、この排ガス処理の実験装置の上部散水部２には、充填材としてプラスチック充填材１４(商品名テラレット)を設置した。また、下部処理部３に炭１５として活性炭を充填して１ケ月間、試運転を行った。１ヶ月間の試運転後、半導体工場からの、アセトンを含有する排ガスを排気入口１から導入した。この導入してから７日後に、排気入口１におけるアセトンの処理前濃度と排気出口１８における処理後の濃度を測定し、アセトンの除去率を測定したところ、除去率は９６％であった。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】この発明の排ガス処理装置の第１実施形態を模式的に示す図である。
【図２】この発明の排ガス処理装置の第２実施形態を模式的に示す図である。
【図３】この発明の排ガス処理装置の第３実施形態を模式的に示す図である。
【図４】この発明の排ガス処理装置の第４実施形態を模式的に示す図である。
【図５】この発明の排ガス処理装置の第５実施形態を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００７５】
１  排気入口
２、２Ｕ  散水部  
３、３Ｗ  処理部
５  ブロワー吸込部
６  ブロワー吸い込み口
７  空気吸い込み管
８  バルブ
９  マイクロナノバブル発生機
１０  循環ポンプ
１１  散水ポンプ
１２  収容籠
１３  多孔板
１４  プラスチック充填材
１５  炭
１６、１６Ｗ  ブロワー配管
１７  散水ノズル
１８  排気出口
１９  ブロワー
２０  排気ファン
２１  ポリ塩化ビニリデン充填物
２２  センチバブル
２３  散気管
５４  ＴＯＣ計
５５  ＴＯＣ調節計
２６  水中ブロワー
２７  中間部
２８  微生物
【図１】
2007209922.tif 000003
【図２】
2007209922.tif 000004
【図３】
2007209922.tif 000005
【図４】
2007209922.tif 000006
【図５】
2007209922.tif 000007