(57)【要約】【課題】ファンフィルタユニットにおいて装着されているモータの発熱を除去し、清浄空気に対し温度影響を与えないファンフィルタユニットを提供することを目的とする。【解決手段】ファン２とモータ３からなるファンユニット４をチャンバー５に内蔵し、その下方にフィルタ６を設けたファンフィルタユニットにおいて、前記モータ３のケース７に空気供給用ポート８と前記チャンバー５の外部から空気を導く導管９を接続すると共に、相対する位置に空気排気用ポート１０を設け、このポートからチャンバー５の外部に空気を導く導管１１を備えることにより、この導管９を通して冷却用空気（給気）１２を送り、導管１１から排出することで、モータ３の冷却を行ない、清浄空気１４に対して温度影響を与えないファンフィルタユニットが得られる。【選択図】図１
2007292398.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、このファンユニットの下流側にフィルタを配設したファンフィルタユニットにおいて、
前記モータのケースに空気供給用ポートと、
この空気供給用ポートと相対する位置に空気排気用ポートを設け、
チャンバー外部から空気を導く導管を空気供給用ポートに接続すると共に、
空気排気用ポートに接続してチャンバー外部に空気を導く導管を設けてなるファンフィルタユニット。
【請求項２】
チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、このファンユニットの下流側にフィルタを配設したファンフィルタユニットにおいて、
前記モータのケースに設けた空気取り入れ用の複数の穴と、
この複数の穴に相対する位置に空気排気用ポートを設け、
空気排気用ポートからチャンバー外部に空気を導く導管を設けてなるファンフィルタユニット。
【請求項３】
チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、このファンユニットの下流側にフィルタを配設したファンフィルタユニットにおいて、
前記モータのケースに設けた空気供給用ポートと、
このポートに接続されチャンバー外部から空気を導く導管を設け、
モータのケースにはこの空気供給用ポートに相対する位置に空気排気用の複数の穴を設けてなるファンフィルタユニット。
【請求項４】
チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、このファンユニットの下流側にフィルタを配設したファンフィルタユニットにおいて、
前記モータは内部に空隙を設けた樹脂モールドとし、
このモールドの外側に空隙と連通した空気供給用ポートを設け、
この空気供給用ポートと相対する位置に空隙と連通した空気排気用ポートを設け、
空気供給用ポートに接続されチャンバー外部から空気を導く導管と、
空気排気用ポートからチャンバー外部に空気を導く導管を設けてなるファンフィルタユニット。
【請求項５】
モータのケースの外郭を断熱材で覆った請求項１または４記載のファンフィルタユニット。
【請求項６】
空気供給用ポートに接続した導管または空気排気用ポートに接続した導管の一端に流量調整弁を設けた請求項１〜５いずれか１項に記載のファンフィルタユニット。
【請求項７】
空気供給用ポートに接続した導管または空気排気用ポートに接続した導管の一端に定流量弁を設けた請求項１〜５いずれか１項に記載のファンフィルタユニット。
【請求項８】
空気供給用ポートに接続した導管または空気排気用ポートに接続した導管の一端にサーモバルブを設けた請求項１〜５いずれか１項に記載のファンフィルタユニット。
【請求項９】
請求項１〜８いずれかに記載のファンフィルタユニットを複数台設け、
それぞれのファンフィルタユニットの空気供給用ポートに接続した導管または空気排気用ポートに接続した導管同士をパイプで接続し、
導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置を設けて各ファンフィルタユニットのモータのケース内に空気を供給する、または各ファンフィルタユニットのモータのケース内の空気を吸引することを特徴とするファンフィルタユニットを用いたシステム。
【請求項１０】
請求項１、３、４、５いずれかに記載のファンフィルタユニットを複数台設け、
それぞれのファンフィルタユニットの空気供給用ポートに接続した導管同士をパイプで接続し、導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置と冷却装置を設けて、各ファンフィルタユニットのモータのケース内に冷却空気を供給することを特徴とするファンフィルタユニットを用いたシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、ＦＰＤ工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットおよびシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットを半導体やＦＰＤを製造工程で一時的に保管するストッカーと呼ばれる装置や製造装置等に使用する場合、図１１に示すようにファンフィルタユニット４１のモータの発熱による装置内の温度上昇を防止する手段として、ドライコイルユニット４４等の冷却装置を設けるシステム構成としている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１０１０２７号公報  （図１、２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のファンフィルタユニットを使用したシステムでは、ドライコイルユニットで冷却させるため、装置内に冷水の配管を引き込む必要があり、施工が複雑になると共に水漏れというリスクがあり、また、その構成上ファンフィルタユニットから吹出された直後の空気はモータの発熱の影響を受けて温度上昇を生じること、吹出し空気の部位によって温度差が生じ、温度分布が悪くなるという課題がある。また、最近のＦＰＤパネルの大型化の動きに伴い、ストッカーにおいては多い場合、百台以上のファンフィルタユニットが使用されることもあり、ドライコイルユニットも多数設置する必要が多くなってきており、信頼性を高め、リスクを低減させるために、ファンフィルタユニットの発熱を抑制する技術が求められている。
【０００４】
本発明は、このような従来のファンフィルタユニットの課題を解決するものであり、その吹出し空気に与えるモータの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えられるファンフィルタユニットが得られる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するためにチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルタユニットにあって、前記モータのケースに空気供給用ポートを設け、チャンバー外部から空気を導く導管を接続すると共に、相対する位置に空気排気用ポートを設け、このポートからチャンバー外部に空気を導く導管を設けることにより、この空気供給用のポートに接続された導管に空気（一般的にはドライエアー）を供給することで、モータを冷却すると共に、空気吸引用ポートに接続された導管より装置外部へ排気されることになり、ファンフィルタユニットから吹出す清浄空気へのモータの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
【０００６】
また、他の手段は、チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルタユニットにあって、前記モータのケースに空気取り入れ用の複数の穴を設けると共に、複数の穴に相対する位置に空気排気用のポートを設け、このポートからチャンバー外部に空気を導く導管を設け、空気排気用ポートに接続された導管より空気を誘引することで、前記モータのケースに設けられた空気取り入れ用の複数の穴から、モータ周辺の空気が誘引されることになり、この空気がモータを冷却した後、空気排気用ポートに接続された導管より装置外部に排気されることになり、ファンフィルタユニットから吹出す清浄空気へのモータの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑ようにしたものである。
【０００７】
また、他の手段は、チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、このファンユニットの下流側にフィルタを備え、前記モータのケースに空気供給用ポート設けると共に、この空気供給用ポートに接続されチャンバー外部から空気を導く導管を設け、モータのケースにはこの空気供給用ポートに相対する位置に空気排気用の複数の穴を設ける。空気供給ポートに接続された導管より、冷却されたドライエアーを供給することで、ドライエアーはモータの発熱を冷却し、モータのケースに設けれた空気排気用の複数の穴から、排出されることになり、ファンフィルタユニットから吹出す清浄空気へのモータの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
【０００８】
また、他の手段はチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、このファンユニットの下流側にフィルタを備え、前記モータは内部に空隙を設けた樹脂モールドとし、このモールドの外側に空隙と連通した空気供給用ポート設けると共に、この空気供給用ポートに接続されチャンバー外部から空気を導く導管を設け、相対する位置に空隙と連通した空気排気用ポートを設け、この空気排気用ポートからチャンバー外部に空気を導く導管を設ける。空気供給ポートに接続された導管より、冷却されたドライエアーを供給することで、ドライエアーは樹脂モールドの内部の空隙を流れ、モータの発熱を冷却し、モールドに設けれた空気排気用のポートから、導管を経てファンフィルタユニットの外部に排出されることになり、ファンフィルタユニットから吹出す清浄空気へのモータの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えるようにしたものである。
【０００９】
また、他の手段はモータの外郭を断熱材で覆ったものである。
【００１０】
また、他の手段は導管の一端に流量調整弁を設けたものである。
【００１１】
また、他の手段は導管の一端に定流量弁を設けたものである。
【００１２】
また、他の手段は導管の一端にサーモバルブを設けたものである。
【００１３】
このような手段を有することにより、クリーンルーム内におけるファンフィルタユニットのモータの発熱による空気温度の上昇を抑制することが出来、冷却用としてドライコイルユニット等の設置が不要となると共に、ファンフィルタユニットの吹出し空気に対するモータ発熱の影響が抑制出来、吹出し空気の温度分布が均一になり、半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止出来るファンフィルタユニットが得られる。
【００１４】
また、他の手段は、それぞれのファンフィルタユニットの空気供給用ポートに接続した導管または空気排気用ポートに接続した導管同士をパイプで接続し、導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置を設けて各ファンフィルタユニットのモータのケース内に空気を供給する、または各ファンフィルタユニットのモータのケース内の空気を排気することを特徴とするファンフィルタユニットを用いたシステムである。
【００１５】
また、他の手段は、空気供給用ポートを持ったファンフィルタユニットを複数台設け、それぞれのファンフィルタユニットの空気供給用ポートに接続した導管同士をパイプで接続し、導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置と冷却装置を設けて、各ファンフィルタユニットのモータのケース内に冷却空気を供給することを特徴とするファンフィルタユニットを用いたシステムである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、導管を通してモータのケース内に冷却用の空気が供給されることにで、モータの発熱を冷却し、空気排気用ポートから導管を経て外部に排出されることにより、ファンフィルタユニットの清浄空気がモータの発熱による温度上昇を生じることなく吹出されることになり、ファンフィルタユニットの清浄空気の冷却用ドライコイルユニットを設ける必要が無くなる。さらに、吹出し空気の温度上昇が抑えられることから、吹出し空気の温度分布も均一になる。また、モータから発生するケミカルガスについても導管を通して排出されることになり半導体やＦＰＤに対する熱やケミカルガスによる悪影響も防止出来る効果が得られる。
【００１７】
また、本発明によれば、空気供給用ポートに接続された導管を通してモータのケース内に冷却用の空気が供給されることで、モータの発熱を冷却する効果が得られる。
【００１８】
また、本発明によれば、モータのケースに断熱材を貼り付けることによって、モータのケースからの輻射熱の影響も抑制できる効果が得られる。
【００１９】
また、本発明によれば、ストッカーのように多くの数量のファンフィルタユニットが設置され、冷却用空気の供給経路の抵抗が大きく異なる場合やモータの出力の異なるファンフィルタユニットを混在設置する場合において、個々のファンフィルタユニットごとにモータを冷却する空気流量を適切に調整できる効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の請求項１記載の発明は、チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルタユニットにあって、前記モータのケースに空気供給用のポートを備え、チャンバー外部から空気を導く導管を接続すると共に、相対する位置に空気排気用のポートを備え、このポートからチャンバー外部に空気を導く導管を備えたものであり、この空気供給用のポートに接続された導管に冷却用空気（一般的にはドライエアー）を供給することにより、モータのケース内に冷却用空気が送られ、モータの発熱体であるステーターやローターを冷却することになり、モータを冷却して温度が上昇した冷却用空気は、空気吸引用のポートに接続された導管を通して装置外部へ排気されることになる。このことにより、モータのケースの表面温度は、低く抑えられ、ファンフィルタユニットから吹出す清浄空気へのモータの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止すると共に、モータから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やＦＰＤに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
【００２１】
本発明の請求項２記載の発明は、チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にフィルタを配設し、このフィルタから清浄空気を吹出すファンフィルタユニットにあって、前記モータのケースに空気取り入れ用の複数の穴を備えると共に、複数の穴に相対する位置に空気吸引用のポートを備え、このポートからチャンバー外部に空気を導く導管を備えたものであり、空気吸引用のポートに接続された導管より空気を排出することにより、前記モータのケースに設けられた空気取り入れ用の複数の穴から、モータ周辺の空気が誘引され、この空気はモータの発熱を冷却した後、空気誘引用ポートに接続された導管より装置外部に排気されることになる。このことにより、モータのケースの表面温度は、低く抑えられ、ファンフィルタユニットから吹出す清浄空気へのモータの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットの装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止すると共に、モータから発生するケミカルガスを冷却用空気と併せて排出することになり、半導体やＦＰＤに対するケミカルガスの影響を防止する作用を有する。
【００２２】
本発明の請求項３記載の発明は、チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、このファンユニットの下流側にフィルタを配設し、前記ファンユニットをチャンバーに固定するサポートを備え、前記モータのケースに空気供給用のポート設けると共に、このポートに接続されチャンバー外部から空気を導く導管を備え、モータのケースにはこのポートに相対する位置に空気排気用の複数の穴を備える。空気供給ポートに接続された導管より、予備冷却されたドライエアーを供給することで、ドライエアーはモータの発熱を冷却し、モータのケースに備えられた空気排気用の複数の穴から周囲空気と同等の温度に昇温されて、排出されることになり、ファンフィルタユニットから吹出す清浄空気へのモータの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止する作用を有する。
【００２３】
本発明の請求項４記載の発明は、チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、このファンユニットの下流側にフィルタを配設し、前記ファンユニットをチャンバーに固定するサポートを備え、前記モータは内部に空隙を設けた樹脂モールドとし、このモールドの外側に空隙と連通した空気供給用のポートを備えると共に、このポートに接続されチャンバー外部から空気を導く導管を備え、相対する位置に空隙と連通した空気排気用のポートを備え、このポートからチャンバー外部に空気を導く導管を備えることにより、空気供給ポートに接続された導管より、冷却されたドライエアーを供給することで、ドライエアーは樹脂モールドの内部の空隙を流れ、モータの発熱を冷却し、モールドに設けれた空気排気用のポートから、導管を経てファンフィルタユニットの外部に排出されることになり、ファンフィルタユニットから吹出す清浄空気へのモータの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要にするとともに、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止する作用を有する。
【００２４】
本発明の請求項５記載の発明は、モータの外郭を断熱材で覆うことにより、モータのケースからの輻射熱を抑制し、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を防止する作用を有する。
【００２５】
本発明の請求項６記載の発明は、ストッカーのように多くの数量のファンフィルタユニットが設置され、冷却用空気の供給経路の抵抗が大きく異なる場合やモータの出力の異なるファンフィルタユニットを混在設置する場合において、導管の一端に流量調整弁を備えることにより、個々のファンフィルタユニットごとにモータを冷却する空気流量を適切に調整できる作用を有する。
【００２６】
本発明の請求項７記載の発明は、導管の一端に定流量弁を備えることにより、あらかじめ決定された流量の冷却空気を安定して供給できる作用を有する。
【００２７】
本発明の請求項８記載の発明は、導管の一端にサーモバルブを備えることにより、排気される冷却空気の温度（またはモータケース温度等）を検知、そのレベルに応じて自動的に調整することになるため、設置後に各ファンフィルタユニットごとに空気流量を調整する必要が無く省施工になると共に、ファンフィルタユニットのモータをインバーターなどで速度調整されることで、モータの出力が変化するシステムにおいても適切に空気流量の調整ができる作用を有する。
【００２８】
本発明の請求項９記載の発明は、それぞれのファンフィルタユニットの空気供給用ポートに接続した導管または空気排気用ポートに接続した導管同士をパイプで接続し、導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置を設けて各ファンフィルタユニットのモータのケース内に空気を供給する、または各ファンフィルタユニットのモータのケース内の空気を排出することを特徴とするファンフィルタユニットを用いたシステムであり、複数台設置されるファンフィルタユニットのモータに対し空気供給を一括して行うことができる。
【００２９】
本発明の請求項１０記載の発明は、空気供給用ポートを持ったファンフィルタユニットを複数台設け、それぞれのファンフィルタユニットの空気供給用ポートに接続した導管同士をパイプで接続し、導管に接続しない前記集合配管の他端に送風装置と冷却装置を設けて、各ファンフィルタユニットのモータのケース内に冷却空気を供給することを特徴とするファンフィルタユニットを用いたシステムであり、複数台設置されるファンフィルタユニットのモータに対し冷やした空気を一括して供給することができる。
【００３０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３１】
（実施の形態１）
図１に示すようにファン２とモータ３からなるファンユニット４をチャンバー５に内蔵し、その下方にフィルタ６を設けたファンフィルタユニットにおいて、前記モータ３のケース７に空気供給用ポート８と前記チャンバー５の外部から空気を導く導管９を接続すると共に、相対する位置に空気排気用ポート１０を設け、この空気排気用ポート１０からチャンバー５の外部に空気を導く導管１１を設ける。
【００３２】
上記構成において、外部から導管９に供給された冷却用空気（給気）１２はモータ３のケース７内に導かれ、モータ３を冷却することになる。モータ３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３は空気排気用ポート１０から接続された導管１１を通って、チャンバー５の外部へ排気されることによって、ファンフィルタユニットから吹出される清浄空気１４に対するモータ３の発熱の影響を抑制することができる。また、モータ３の内部で発生するケミカルガスについても排気される冷却用空気（排気）１３と共に外部へ排出され、清浄空気１４に対してケミカルガスの混入を防止することができる。
【００３３】
（実施の形態２）
図２に示すようにファン２とモータ３からなるファンユニット４をチャンバー５に内蔵し、その下方にフィルタ６を設けたファンフィルタユニットにおいて、前記モータ３のケース７に複数の空気取り入れ用穴１５を設け、相対する位置に空気排気用ポート１０を設け、このポートからチャンバー外部に空気を導く導管１１を設ける。
【００３４】
上記構成において、導管１１から吸引することにより、モータ３の外側にあるケース７に複数の空気取り入れ用穴１５から周辺の空気を冷却用空気（給気）１６として取り入れ、モータ３を冷却することになる。モータ３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３は空気排気用ポート１０から接続された導管１１を通って、チャンバー５の外部へ排気されることによって、ファンフィルタユニットから吹出される清浄空気１４に対するモータ３の発熱の影響を抑制することができる。また、モータ３の内部で発生するケミカルガスについても排気される冷却用空気（排気）１３と共に外部へ排出され、清浄空気１４に対してケミカルガスの混入を防止することができる。
【００３５】
（実施の形態３）
図３に示すようにファン２とモータ３からなるファンユニット４をチャンバー５に内蔵し、その下方にフィルタ６を設けたファンフィルタユニットにおいて、前記モータ３のケース７に空気供給用ポート８と前記チャンバー５の外部から空気を導く導管９を接続すると共に、モータ３のケース７にはこの空気供給用ポート８に相対する位置に複数の空気排気用穴１７を設ける。
【００３６】
上記構成において、空気供給用ポート８に接続された導管９より、クリーンルームの空気温度より充分冷却された冷却用空気（給気）１２を供給することで、冷却用空気（給気）１２はモータ３のケース７に送り込まれ、モータ３を冷却し、前記モータ３のケース７に設けられた複数の空気排気用穴１７から周辺空気に近い温度の排気１８となり、排出されることになり、ファンフィルタユニットから吹出す清浄空気１４へのモータ３の発熱の影響を防止することができる。
【００３７】
（実施の形態４）
図４に示すように、ファン２とモータ３のファンユニット４をこのチャンバー５に内蔵し、このファンユニット４の下流側にフィルタ６を配設し、前記モータ３は内部に空隙１９を設けた樹脂モールドとし、このモールドの外側に空隙と連通した空気供給用ポート８設けると共に、この空気供給用ポート８に接続されチャンバー５の外部から空気を導く導管９を設け、相対する位置に空隙１９と連通した空気排気用ポート１０を設け、この空気排気用ポート１０からチャンバー５の外部に空気を導く導管１１を設ける。
【００３８】
上記構成において、空気供給ポート８に接続された導管９より、冷却用空気（給気）１２を供給することで、冷却用空気（給気）１２はモータ３の空隙１９に送り込まれ、モータ３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３は空気排気用ポート１０から接続された導管１１を通って、チャンバー５の外部へ排気されることによって、ファンフィルタユニットから吹出される清浄空気１４に対するモータ３の発熱の影響を抑制することができる。
【００３９】
（実施の形態５）
図５に示すように、ファン２とモータ３のファンユニット４をこのチャンバー５に内蔵し、このファンユニット４の下流側にフィルタ６を配設し、前記モータ３のケース７に空気供給用ポート８と前記チャンバー５の外部から空気を導く導管９を接続すると共に、相対する位置に空気排気用ポート１０を設け、この空気排気用ポート１０からチャンバー５の外部に空気を導く導管１１を設けると共に前記モータ３の外郭を断熱材２０で覆う。
【００４０】
上記構成において、外部から導管９に供給された冷却用空気（給気）１２はモータ３のケース７内に導かれ、モータ３を冷却することになる。モータ３を冷却することで温度上昇した冷却用空気（排気）１３は空気排気用ポート１０から接続された導管１１を通って、チャンバー５の外部へ排気されることと、前記モータ３の外郭を断熱材２０で覆うことにより、ファンフィルタユニットから吹出される清浄空気１４に対するモータ３の発熱の影響を冷却と断熱により抑制することができる。また、モータ３の内部で発生するケミカルガスについても排気される冷却用空気（排気）１３と共に外部へ排出され、清浄空気１４に対してケミカルガスの混入を防止することができる。
【００４１】
（実施の形態６）
図６に示すように、空気供給用ポート８に接続した導管９または空気排気用ポート１０に接続した導管１１の一端に流量調整弁２１を設ける。
【００４２】
上記構成において、ファンフィルタユニットに供給される冷却用空気（給気）１２の量の調整が容易に行なえる。
【００４３】
（実施の形態７）
図７に示すように、空気供給用ポート８に接続した導管９または空気排気用ポート１０に接続した導管１１の一端に定流量弁２２を設ける。
【００４４】
上記構成において、複数台のファンフィルタユニットが使用される場合において、ファンフィルタユニットの据付場所に関係なく、あらかじめ決定された一定量の冷却用空気（給気）１２が各ファンフィルタユニットに均等に容易に供給される。
【００４５】
（実施の形態８）
図８に示すように、空気排気用ポート１０に接続した導管１１の一端にサーモバルブ２３を設ける。サーモバルブ２３は温度を検知し、その温度を一定にするようバルブ開度を調整するものである。
【００４６】
上記構成において、複数台のファンフィルタユニットが使用される場合において、ファンフィルタユニットの据付場所に関係なく、検知する温度が設定温度になるように冷却空気（給気）１２の流量を調整するため、清浄空気１４を供給する空間の温度むらをなくすことが可能となると共に、据付場所に応じて個別に冷却空気（給気）１２の流量を調整する必要がなくなり、省施工となる。
【００４７】
（実施の形態９）
図９に示すように、モータ冷却用空気の空気供給用ポート３１と空気排出用ポート３２を有したファンフィルタユニット３３をストッカーに複数台設け、それぞれのファンフィルタユニット３３の空気供給用ポート３１に接続した冷却空気供給用配管３４、または空気排出用ポート３２に接続した冷却空気排出用配管３５を集合配管３６に接続し、集合配管３６の他端に送風装置３７を設けて各ファンフィルタユニット３３のモータ３のケース７内に空気を供給、あるいは、各ファンフィルタユニット３３のモータ３のケース７内の空気を排出する。
【００４８】
上記構成により、各ファンフィルタユニット３３のモータ３には、送風装置３７より一括して冷却用の空気が空気供給用ポート３１より供給されるため、ストッカーに供給する清浄空気１４は、モータ３の発熱による影響を抑制することができる。
【００４９】
（実施の形態１０）
図１０に示すように、モータ冷却用空気の空気供給用ポート３１と空気排出用ポート３２を有したファンフィルタユニット３３をストッカーに複数台設け、それぞれのファンフィルタユニット３３の空気供給用ポート３１に接続した冷却空気供給用配管３４を集合配管３６に接続し、集合配管３６の他端に送風装置３７と冷却装置３８を設けて各ファンフィルタユニット３３のモータ３のケース７内に予備冷却された冷却空気を供給すると共にファンフィルタユニット３３の空気排出用ポート３２に接続された冷却空気排出用配管３５を通してモータ３により加熱された冷却用空気が排出される。
【００５０】
上記構成により、各ファンフィルタユニット３３のモータ３には、冷却装置３８で冷却された空気が送風装置３７より一括して冷却用の空気が空気供給用ポート３１より供給されるため、一般の空気より少ない流量で冷却効果が得られ、送風装置３７の搬送動力が削減できると共に、ストッカーに供給する清浄空気１４は、モータ３の発熱による影響をなくすことができる。また、冷却空気排出用配管３５を冷却装置３８の上流側に戻し、循環させること（図示せず）により、更に搬送動力を削減することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
以上のように本発明によれば、チャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモータのファンユニットをこのチャンバーに内蔵し、このファンユニットの下流側にフィルタを配設したファンフィルタユニットにおいて、前記モータのケースに空気供給用ポートと、この空気供給用ポートと相対する位置に空気吸引用ポートを設け、チャンバー外部から空気を導く導管を空気供給用ポートに接続すると共に、空気排出用ポートに接続してチャンバー外部に空気を導く導管を設けたことにより、冷却用空気をモータ内部に供給することが可能となり、この冷却空気によってモータの発熱の影響を抑制し、ドライコイルユニットを装置内への設置を不要とすることで設備費の削減、ランニングコストの低減、水漏れのリスク回避が図れ、また、温度分布の均一性を高めることで半導体やＦＰＤに対する熱影響を抑えられることになり、半導体やＦＰＤ用のストッカーに使用されるファンフィルタユニットに適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施の形態１を示す縦断面図
【図２】本発明の実施の形態２を示す縦断面図
【図３】本発明の実施の形態３を示す縦断面図
【図４】本発明の実施の形態４を示す縦断面図
【図５】本発明の実施の形態５を示す縦断面図
【図６】本発明の実施の形態６を示す縦断面図
【図７】本発明の実施の形態７を示す縦断面図
【図８】本発明の実施の形態８を示す縦断面図
【図９】本発明の実施の形態９を示すストッカーの縦断面図
【図１０】本発明の実施の形態１０を示すストッカーの縦断面図
【図１１】従来のストッカーを示す縦断面図
【符号の説明】
【００５３】
１    吸込口
２    ファン
３    モータ
４    ファンユニット
５    チャンバー
６    フィルタ
７    ケース
８    空気供給用ポート
９    導管
１０  空気排気用ポート
１１  導管
１２、１６  冷却用空気（給気）
１３  冷却用空気（排気）
１４  清浄空気
１５  空気取り入れ用穴
１７  空気排気用穴
１８  排気
１９  空隙
２０  断熱材
２１  流量調整弁
２２  定流量弁
２３  サーモバルブ
３１  空気供給用ポート
３２  空気排出用ポート
３３、４１  ファンフィルタユニット
３４  冷却空気供給用配管
３５  冷却空気排出用配管
３６  集合配管
３７、４２  送風装置
３８  冷却装置
３９  半導体またはＦＰＤ用カセット
４３  ドライコイル
４４  ドライコイルユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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