(57)【要約】【課題】  本発明は、チャンバ及びダミーチャンバの電極と配線とを容易に且つ確実に接続すると共に、確実なインク供給を実現し歩留まりを向上してコストを低減することができるインクジェットヘッドチップとその製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】  各チャンバの深さが徐々に浅くなった底面の共通電極部にインク供給孔を設け、内面に電極を形成してチャンバ及びダミーチャンバと相対する一方面の電極からインクジェットヘッドの流路とベースプレートを介してＧＮＤに接続するため、圧電セラミックプレートのフレキシブルパターンケーブル接合部には個別電極配線パターンのみ形成することになり短絡することは無い。【選択図】  図３
2007229976.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にノズル開口に連通するチャンバとインクの充填されないダミーチャンバとを交互に並設すると共に、各チャンバ及びダミーチャンバの両側の側壁に電極を設け、当該チャンバ内の電極を共通電極とすると共に各ダミーチャンバ内の電極を個別電極として各チャンバの両側の側壁に駆動電界を印加するインクジェットヘッドチップにおいて、
前記基板の前記チャンバ底部には、インクを当該チャンバに導入するインク供給孔が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドチップ。
【請求項２】
前記インク供給孔の内面には電極用配線パターンが設けられており、前記基板の前記チャンバ及び前記ダミーチャンバの開口が設けられている面と相対する一方面に設けられた電極に繋がっていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドチップ。
【請求項３】
前記基板の前記チャンバ及び前記ダミーチャンバの開口が設けられている面と相対する一方面に設けられた電極は前記基板全面に亘って形成されていることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドチップ。
【請求項４】
前記基板が圧電セラミックプレートからなり、前記チャンバ及びダミーチャンバが前記圧電セラミックプレートに溝を形成することにより形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載のインクジェットヘッドチップ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項記載のインクジェットヘッドチップと、
前記電極に駆動電界を印加する駆動回路と、
前記インク供給孔を介して前記各チャンバにインクを供給する流路と、
前記インクジェットヘッドを挟んで前記流路と反対の面に設けられたベースプレートと、
からなるインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記各チャンバ内の共通電極は、前記電極用配線パターンと前記チャンバ及び前記ダミーチャンバの開口が設けられている面と相対する一方面の電極から前記ベースプレートを介して前記駆動回路に接続されていることを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
基板にノズル開口に連通するチャンバとインクの充填されないダミーチャンバとを交互に並設すると共に、各チャンバ及びダミーチャンバの両側の側壁に電極を設け、当該チャンバ内の電極を共通電極とすると共に各ダミーチャンバ内の電極を個別電極として各チャンバの両側の側壁に駆動電界を印加するインクジェットヘッドチップの製造方法において、
前記基板の一方面にレジスト層を形成する工程と、
前記基板の前記チャンバ底部に、インクを当該チャンバに導入するインク供給孔を形成する工程と、
隣り合う前記ダミーチャンバの間に挟まれたチャンバの後端を跨いで個別電極を相互に導通させる個別電極用配線パターンをパターニングにより形成する工程と、
前記基板に前記チャンバ及び前記ダミーチャンバを形成する工程と、
前記レジスト層を除去する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドチップの製造方法。
【請求項８】
前記インク供給孔の内面に電極用配線パターンを設ける工程と、前記基板の前記チャンバ及び前記ダミーチャンバが開口する面と相対する一方面に電極を形成する工程と、を有する特徴とする請求項８記載のインクジェットヘッドチップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク滴を吐出させ、被記録媒体に文字及び画像を記録する例えば、プリンタ、ファックスなどに適用されるインクッジェット記録装置に搭載されるインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、導電性インクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッドを用いて被記録媒体に文字や画像を記録するインクジェット式記録装置が知られている。かかるインクジェット式記録装置では、インクジェットヘッドのノズルが被記録媒体に対向するようにヘッドホルダに設けられ、このヘッドホルダはキャリッジに搭載され被記録媒体の搬送方向とは直交する方向に走査されるようになっている。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドの分解斜視図を図６に、インクジェットヘッドチップユニットの分解斜視図を図７に、インクジェットヘッドチップの斜視図及び断面図を図８に、インクジェットヘッドチップの断面図を図９に示す。
【０００４】
図６及び図７に示すように、インクジェットヘッドチップユニット１１２は、インクジェットヘッドチップ１１０と、このインクジェットヘッドチップ１１０の一方面側に設けられるベースプレート１１３と、インクジェットヘッドチップ１１０の他方面側に設けられるヘッドカバー１１４と、インクジェットヘッドチップユニット１１２を駆動するための駆動回路１１５が搭載された配線基板１１６とを有する。
【０００５】
図８に示すように、インクジェットヘッドチップ１１０を構成する圧電セラミックプレート１３５は、分極方向が厚さ方向に向かって一方向の圧電セラミックプレート１３５からなり、ノズル開口１３１に連通してインクを吐出する圧力室であるチャンバ１２０と、インクが充填されないダミーチャンバ１２１とが側壁１３３により区画されて交互に設けられている。
【０００６】
ダミーチャンバ１２１の長手方向一端部は、圧電セラミックプレート１３５の一端面から他端部の他端面まで延設されている。一方、チャンバ１２０の長手方向一端部は、圧電セラミックプレート１３５の一端面まで形成されているが、他端部は、他端面まで延びておらず、深さが徐々に浅くなっている。
【０００７】
ダミーチャンバ１２１は、斜め蒸着で形成される個別電極１３４ｂが該ダミーチャンバ底で短絡されない任意の深さで形成されており、長手方向一端部は圧電セラミックプレート１３５の一端面まで延設されており、他端部も他端面まで形成されている。すなわち、ダミーチャンバ１２１は、圧電セラミックプレート１３５の長手方向に亘って形成されている。
【０００８】
また、チャンバ１２０及びダミーチャンバ１２１を区画する側壁１３３には、チャンバ１２０及びダミーチャンバ１２１の内面に、開口側に長手方向に亘って駆動電界印加用の電極１３４が形成されている。
【０００９】
この電極１３４の内、チャンバ１２０の開口側の長手方向に亘って設けられた電極１３４は、チャンバ１２０内のインクが水性インク等の導電性インクの場合、チャンバ１２０内の対向する電極がチャンバ１２０内で導通してしまうと共に、電極材料の溶出及び腐食や、インクの電気分解による気泡の発生及び変質などを防止するために、各チャンバ１２０内で同電位となる共通電極１３４ａとなっている。
【００１０】
また、チャンバ１２０内に設けられた電極１３４は、チャンバ１２０の深さが徐々に浅くなった他端部側の底面に共通電極１３４ａとなる電極１３４を導通する導通部１２２が設けられている。
【００１１】
また、電極１３４の内、ダミーチャンバ１２１の開口側の長手方向に亘って設けられた電極１３４は、各チャンバ１２０毎に独立した駆動信号を与えることができる個別電極１３４ｂとなっており、個別電極１３４ｂは、ダミーチャンバ１２１の底面には設けられておらずダミーチャンバ１２１内で分離されている。さらに、圧電セラミックプレート１３５のチャンバ１２０及びダミーチャンバ１２１が開口する表面には、チャンバ１２０の底面に設けられた導通部１２２に連続するように形成された共通電極用配線パターン８０と、共通電極用配線パターン８０に導通しないように設けられてチャンバ１２０の両側のダミーチャンバ１２１内のチャンバ１２０側の個別電極１３４ｂ同士を導通する個別電極用配線パターン８１とが設けられている。
【００１２】
図９に示すように、この共通電極用配線パターン８０及び個別電極用配線パターン８１は、フレキシブルプリントケーブル８２と接続されている。フレキシブルプリントケーブル８２と共通電極用配線パターン８０とは、異方性導電接着剤１４１を介して電気的に接続され、フレキシブルプリントケーブル８２の個別電極用配線パターン８１に対向する領域には、絶縁体からなるカバーレイ４２が設けられており、このカバーレイ４２によって共通電極用配線パターン８０と個別電極用配線パターン８１とが導通しないようになっている。また、各チャンバ１２０の共通電極１３４ａから引き出された共通電極用配線パターン８０は、圧電セラミックプレート１３５上で相互に導通していないため、フレキシブルプリントケーブル８２に接続された駆動回路１１５でＧＮＤレベルで同電位とされ、個別電極１３４ｂには独立した駆動信号が与えられるようになっている。
【００１３】
このような圧電セラミックプレート１３５のチャンバ１２０の開口する面には、インク室プレート１３６が接合されている。インク室プレート１３６には、各チャンバ１２０の浅くなった端部のみと連通する凹部となる共通インク室１３９と、この共通インク室１３９の底部からチャンバ１２０とは反対側に貫通するインク供給口１４５とを有する。
【００１４】
また、インク室プレート１３６の共通インク室１３９と圧電セラミックプレート１３５との間には、各チャンバ１２０に対向する領域に貫通孔１３７の設けられた封止板１３８が挟持され、共通インク室１３９からのインクが貫通孔１３７を介してチャンバ１２０にのみ供給され、ダミーチャンバ１２１内には封止板１３８によってインクが供給されないようになっている。
【００１５】
このようにダミーチャンバ１２１内にインクが充填されないようにして、チャンバ１２０内で対向する個別電極１３４ｂ同士が導電性インクで短絡することなく、側壁１３３を駆動してチャンバ１２０を加圧しノズル開口１３１からインクを吐出するインクジェットヘッドチップが提案されている。
【特許文献１】特開２００２−３６１８６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、従来のインクジェットヘッドチップでは尾部平面の略２００μｍのスペースに個別電極パターンと共通電極パターンを形成しなくてはならず、隣接した電極パターン同士がパターニングの際、或いはフレキシブルプリントケーブル接合の際に短絡して正常な駆動ができないという問題がある。
【００１７】
さらに、図７に示す構造の仕切り板１３８によってチャンバ１２０内に選択的にインクを供給する従来のヘッドチップでは、仕切り板１３８を圧電セラミックプレート１３５に接合する際に連通孔１３７の位置合わせが非常に困難であり、圧電セラミックプレート１３５と仕切り板１３８とを接合する際に、接合に用いられる接着剤がはみ出してしまい、連通孔の開口を塞いでしまい、各チャンバ１２０へのインク供給不良が生じてしまうという問題がある。
【００１８】
本発明は、このような事情に鑑み、チャンバ及びダミーチャンバの電極と配線とを容易に且つ確実に接続すると共に、確実なインク供給を実現し歩留まりを向上してコストを低減することができるインクジェットヘッドチップを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的を解決する本発明の課題解決手段は、基板にノズル開口に連通するチャンバとインクの充填されないダミーチャンバとを交互に並設すると共に、各チャンバ及びダミーチャンバの両側の側壁に電極を設け、当該チャンバ内の電極を共通電極とすると共に各ダミーチャンバ内の電極を個別電極として各チャンバの両側の側壁に駆動電界を印加するインクジェットヘッドチップにおいて、前記基板の前記チャンバ底部には、インクを当該チャンバに導入するインク供給孔が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッドチップにある。これにより、各チャンバへのインク供給不良をなくすことができる。
【００２０】
また、本発明の課題解決手段は、前記インク供給孔の内面には電極用配線パターンが設けられており、前記基板の前記チャンバ及び前記ダミーチャンバの開口が設けられている面と相対する一方面に設けられた電極に繋がっていることを特徴とするインクジェットヘッドチップにある。これにより、個別電極および共通電極の配線を確実に行うことができる。
【００２１】
また、本発明の課題解決手段は、前記のインクジェットヘッドチップと、前記電極に駆動電界を印加する駆動回路と、前記インク供給孔を介して前記各チャンバにインクを供給する流路と、前記インクジェットヘッドを挟んで前記流路と反対の面に設けられたベースプレートと、からなるインクジェットヘッドにある。これにより、安定した駆動のインクジェットヘッドを提供することができる。
【００２２】
また、本発明の課題解決手段は、基板にノズル開口に連通するチャンバとインクの充填されないダミーチャンバとを交互に並設すると共に、各チャンバ及びダミーチャンバの両側の側壁に電極を設け、当該チャンバ内の電極を共通電極とすると共に各ダミーチャンバ内の電極を個別電極として各チャンバの両側の側壁に駆動電界を印加するインクジェットヘッドチップの製造方法において、前記基板の一方面にレジスト層を形成する工程と、前記基板の前記チャンバ底部に、インクを当該チャンバに導入するインク供給孔を形成する工程と、隣り合う前記ダミーチャンバの間に挟まれたチャンバの後端を跨いで個別電極を相互に導通させる個別電極用配線パターンをパターニングにより形成する工程と、前記基板に前記チャンバ及び前記ダミーチャンバを形成する工程と、前記レジスト層を除去する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドチップの製造方法にある。
【００２３】
また、本発明の課題解決手段は、前記インク供給孔の内面に電極用配線パターンを設ける工程と、前記基板の前記チャンバ及び前記ダミーチャンバが開口する面と相対する一方面に電極を形成する工程と、を有する特徴とするインクジェットヘッドチップの製造方法にある。これによって、簡単な製造方法によって、安定した駆動のインクジェットヘッドチップを提供することが可能となる。
【００２４】
かかる本発明では、各チャンバの深さが徐々に浅くなった底面の共通電極部にインク供給孔を設け、内面に電極を形成してチャンバ及びダミーチャンバと相対する一方面の電極からインクジェットヘッドの流路とベースプレートを介してＧＮＤに接続するため、圧電セラミックプレートのフレキシブルパターンケーブル接合部には個別電極配線パターンのみ形成することになり短絡することは無い。
【００２５】
さらに、チャンバとインク供給孔が一体で成形されているので位置合わせや接着の必要が無く、連通口を塞いでインク供給不良等が生じることも無い。
【発明の効果】
【００２６】
上述したように本発明は、共通電極用配線パターンと個別電極パターンの接合場所を分離したことにより確実に導通を図ることができると共に、個別電極用及び共通電極用配線パターンに配線を容易に且つ確実に接続することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。勿論、本発明はこれに限定されるものでないことは言うまでもない。
【実施例】
【００２８】
図１は、本実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図であり、図２は、実施形態１に係るインクジェットヘッドチップユニットの分解斜視図であり、図３は、実施形態１に係るヘッドチップの要部拡大断面斜視図である。また、図４は、インクジェットヘッドチップの平面図及びそのＡ−Ａ′断面図とＢ−Ｂ′断面図である。
【００２９】
図１に示すように、本実施形態のインクジェットヘッドチップユニット１１は、インクジェットヘッドチップ１０と、このインクジェットヘッドチップ１０の一方面側に設けられるベースプレート１２と、インクジェットヘッドチップ１０の他方面側に設けられる流路１３と、インクジェットヘッドチップ１０を駆動するための駆動回路１４が設けられた配線基板１５とを有し、インクジェットヘッドチップ１０と配線基板１５はフレキシブルパターンケーブル２７で接続されている。
【００３０】
まず、インクジェットヘッドチップ１０について詳しく説明する。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッドチップ１０を構成する圧電セラミックプレート１６の一方面には、ノズル開口１７に連通してインクを吐出する圧力室であるチャンバ１８と、インクが充填されないダミーチャンバ１９とが側壁２０により区画されて交互に設けられている。
【００３１】
チャンバ１８の長手方向一端部は、圧電セラミックプレート１６の一端面まで延設されており、他端部は他端面まで延びておらず、深さが徐々に浅くなっている。また、ダミーチャンバ１９は、長手方向一端部は圧電セラミックプレート１６の一端面から他端部の他端面まで延設されている。
【００３２】
この各チャンバ１８の、徐々に深さが浅くなった位置の圧電セラミックプレート１６を貫通するように、インク供給孔２２が形成されている。本実施形態では、例えば、貫通孔の直径を７０μｍとしている。
【００３３】
また、チャンバ１８及びダミーチャンバ１９を区画する側壁２０には、開口側に長手方向に亘って駆動電圧印加用の電極２１が形成されている。
【００３４】
この電極２１の内、チャンバ１８の開口側の長手方向に亘って設けられた電極２１は、チャンバ１８内のインクが水性インク等の導電性インクの場合、チャンバ１８内の対向する電極がチャンバ１８内で導通してしまうと共に、電極材料の溶出及び腐食や、インクの電気分解による気泡の発生及び変質などを防止するために、各チャンバ１８内で同電位となる共通電極２１ｂとなっている。
【００３５】
また、圧電セラミックプレート１６のチャンバ及び前記ダミーチャンバの開口が設けられた面と相対する一方面（裏面）には、チャンバ１８内に設けられた共通電極２１ｂをＧＮＤに接続するように、全面に渡って共通電極配線パターン３０が形成されている。
【００３６】
一方、電極２１の内、ダミーチャンバ１９の開口側の長手方向に亘って設けられた電極２１は、各チャンバ１８毎に独立した駆動信号を与えることができる個別電極２１ａとなっている。そして、圧電セラミックプレート１６のチャンバ１８及びダミーチャンバ１９が開口する表面には、チャンバ１８の後端にかからない位置でダミーチャンバ１９の個別電極２１ａ同士を導通する個別電極用配線パターン４１のみが設けられている。
【００３７】
一方、圧電セラミックプレート１６のチャンバ１８及びダミーチャンバ１９が設けられた一方面側とは反対の他方面側には、チャンバ１８の並設方向に亘って各チャンバ１８底部にインク供給孔２２が形成されている。
【００３８】
このインク供給孔２２はチャンバ１８にインクが供給するだけでなく内面に筒型電極２３を設けて有り、共通電極配線パターン３０とチャンバ１８の共通電極２１ｂとが接続されるようになっている。すなわち、このインク供給孔２２は、各チャンバ１８にのみに選択的にインクを供給する役割と共通電極２１ｂをＧＮＤに接続する機能を有している。
【００３９】
このような圧電セラミックプレート１６のチャンバ１８及びダミーチャンバ１９が開口する一方面には、チャンバ１８及びダミーチャンバ１９を封止する平板状の蓋部材２４が接着剤を介して接合されている。
【００４０】
また、圧電セラミックプレート１６と蓋部材２４との接合体のチャンバ１８及びダミーチャンバ１９が開口している端面にはノズルプレート２５が接合されており、ノズルプレート２５の各チャンバ１８に対向する位置にはノズル開口１７が形成されている。すなわち、このノズルプレート２５によってダミーチャンバ１９は封止されている。
【００４１】
本実施形態では、ノズルプレート２５は、圧電セラミックプレート１６と蓋部材２４との接合体のチャンバ１８及びダミーチャンバ１９が開口している端面の面積よりも大きくなっている。このノズルプレート２５は、ポリイミドフィルムなどに、例えば、エキシマレーザー装置を用いてノズル開口１７を形成したものである。また、図示しないが、ノズルプレート２５の被印刷物に対向する面には、インクの付着等を防止するために撥水性を有する撥水膜が設けられている。
【００４２】
なお、本実施形態では、圧電セラミックプレート１６と蓋部材２４との接合体のチャンバ１８及びダミーチャンバ１９が開口している端部の周囲には、ノズル支持プレート２６が配置されている。このノズル支持プレート２６は、ノズルプレート２５の接合体端面の外側と接合されて、ノズルプレート２５を安定して保持するためのものである。
【００４３】
ここで、インクジェットヘッドチップの製造方法について説明する。
【００４４】
図５は圧電セラミックプレートの配線パターン部分及びアクチュエーターの製造工程を示す要部斜視図である。
【００４５】
まず、図５(ａ)に示すように、チャンバが形成される位置の圧電セラミックプレート１６にＹＡＧレーザーでインク供給孔２２を明け、一方面にレジスト層９０を形成する。
【００４６】
次に、インク供給孔２２と個別電極用配線パターンとなる位置が露出するように露光マスクを用いて露光し、現像することにより、図５(ｂ)に示すように、インク供給口用開口部３９と個別電極配線パターン用開口部４０のみレジスト層９０を除去される。
【００４７】
その後、図５(ｃ)に示すように、圧電セラミックプレート１６のチャンバ及びダミーチャンバ形成面と相対する一方面の全面にスパッタリングで電極３０を形成する。この時、スパッタリングの特性で、同時にインク供給孔２２の内面にも筒型電極２３が形成される。
【００４８】
次に、図５(ｄ)に示すように、レジスト層９０側からレジスト層９０ごと円盤状のダイスカッターで切削加工し、チャンバ及びダミーチャンバとなる溝９３を形成する。
【００４９】
次に、圧電セラミックプレート１６のダイスカッターで切削加工した溝９３側から斜方蒸着することにより電極層を形成する。図５(ｅ)に示すように、電極層は、本実施形態では、この斜方蒸着により圧電セラミックプレート１６の一方面の全ての領域に電極層が形成されると共に、ダイスカッターで切削加工した溝９３の側壁にも長手方向に亘って電極層が形成される。また、溝９３の浅く形成された端部は底面まで電極層が形成されるが、溝９３が延設されたもう一方の端部は側壁のみ電極層が形成される。
【００５０】
その後、レジスト層９０を除去することでレジスト層９０面に蒸着された電極層のみ剥離され、図５(ｆ)に示すように、レジスト層９０を露光、現像して露出した開口部４０の圧電セラミックプレート１６の表面に残留した電極層は、個別電極配線パターン４１となる。また、溝９３が浅く形成された端部の底面に残留した電極層はインク供給孔の筒型電極２３と接続され、インク供給孔の筒型電極と接続された溝と相対する一方面の共通電極配線パターン３０に接続される。
【００５１】
このように、底面及び側壁の電極２１と、共通電極配線パターン３０及び個別電極配線パターン４１を形成することにより、共通電極２１ｂと共通電極配線パターン３０、個別電極２０ａと個別電極配線パターン４１とを容易に且つ確実に導通形成することができる。
【００５２】
その後、圧電セラミックプレート１６の個別電極配線パターン４１の形成された側の面に蓋部材２４を接合し、圧電セラミックプレート１６にノズルプレート２５を接合することでインクジェットヘッドチップ１０が完成する
このように、本実施形態のインクジェットヘッドチップ１０は、圧電セラミックプレート１６のチャンバ１８及びダミーチャンバ１９が開口する一方面側とは反対側に、チャンバ１８の並設方向に亘って各チャンバ１８の底部にインク供給孔を設け内面に筒型電極を共通電極として形成することによりに各チャンバ１８に選択的にインクを供給すること共に、共通電極配線パターンと個別電極配線パターンを隣接すること無く配置することができる。従って、導通不良を生じること無く、歩留まりを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明に係るインクジェットヘッドチップユニットの斜視図である。
【図３】本発明に係るインクジェットヘッドチップの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る圧電セラミックプレートの概略図であって、（ａ）が平面図であり、（ｂ）がＡ−Ａ′断面図であり、（ｃ）がＢ−Ｂ′断面図である。
【図５−１】本発明に係る圧電セラミックプレートの配線パターン部分及びアクチュエーターの製造工程を示す要部斜視図である。
【図５−２】本発明に係る圧電セラミックプレートの配線パターン部分及びアクチュエーターの製造工程を示す要部斜視図である。
【図６】従来技術に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図７】従来技術に係るインクジェットヘッドチップユニットの分解斜視図である。
【図８】従来技術に係るインクジェットヘッドチップの斜視図及び断面図である。
【図９】従来技術に係るインクジェットヘッドチップの断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０  インクジェットヘッドチップ
１１  インクジェットヘッドチップユニット
１２  ベースプレート
１５  配線基板
１６  圧電セラミックプレート（基板）
１８  チャンバ
１９  ダミーチャンバ
２０  側壁
２１ａ個別電極
２１ｂ共通電極
２２  インク供給孔
２３  筒型電極（電極用配線パターン）
２４  蓋部材
２５  ノズルプレート
２６  ノズル支持プレート
２７  フレキシブルパターンケーブル
３５  インクジェットヘッド
４１  個別電極配線パターン
３０  共通電極配線パターン
９０  レジスト層
【図１】
2007229976.tif 000003
【図２】
2007229976.tif 000004
【図３】
2007229976.tif 000005
【図４】
2007229976.tif 000006
【図５−１】
2007229976.tif 000007
【図５−２】
2007229976.tif 000008
【図６】
2007229976.tif 000009
【図７】
2007229976.tif 000010
【図８】
2007229976.tif 000011
【図９】
2007229976.tif 000012