(57)【要約】【課題】液晶表示セルのセルギャップにおけるギャップ量の変動による筋状濃淡縞の発生を抑制する。【解決手段】搬送テーブル２０で基板１をＸ方向に搬送する間に、インクジェット手段２３を作動させて、各インクジェットヘッド２６を構成する各ノズル３０からスペーサインクを噴射させることによって、基板１の表面に所定の間隔毎にスペーサインクの液滴が滴下されるが、粒径が基準径である４μｍの中間径スペーサビーズを用いる場合、粒径が４．２μｍの大径スペーサビーズと、粒径が３．８μｍの小径スペーサビーズを所定比率で混合して、主走査方向であるＸ方向において、各々のスペーサ４の高さが４μｍを基準として、変動幅が±０．２μｍとなるセルギャップＧが形成される。【選択図】図８
2007193180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶セルを構成する透明基板の表面に、セルギャップを形成するためのスペーサを分散させるように散布する方法であって、
前記透明基板の幅方向に所定のピッチ間隔を置いて複数のノズルを有するインクジェットヘッドを対向配設し、この透明基板とインクジェットヘッドとを前記ノズルの並び方向の交差方向に相対移動させる間に、粒径の異なる複数種類のスペーサビーズを溶剤に均一に分散させたスペーサインクの液滴をインクジェットノズルの各噴射口から前記透明基板の表面に散布する
ことを特徴とする液晶セルの透明基板へのスペーサ散布方法。
【請求項２】
液晶セルを構成する透明基板の表面にセルギャップを形成するためのスペーサを分散させるように散布するスペーサ散布装置であって、
粒径の異なる複数種類のスペーサビーズを溶剤に均一に分散させたスペーサインクを供給するインク供給手段と、
このインク供給手段から供給されるスペーサインクを前記透明基板の表面に散布するために、この透明基板の幅方向に所定のピッチ間隔を置いて複数のノズルを設けたインクジェットヘッドと、
前記透明基板と前記インクジェットヘッドとを少なくとも前記ノズルの並び方向の交差方向に相対移動させる駆動手段と
を備える構成としたことを特徴とするスペーサ散布装置。
【請求項３】
ブラックマトリックスの領域に、表面に粒径の異なる複数種類のスペーサビーズが凝集されたスペーサが散布された透明基板と、この透明基板に前記スペーサによりセルギャップを形成するようにして他方の透明基板が接合されて、このセルギャップに液晶を封入した液晶表示セル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、相互に重ね合わせられる２枚の透明基板間に、液晶封入空間となるセルギャップを形成するために、インクジェット方式により液晶表示セルの透明基板表面へのスペーサ散布方法及び散布装置、並びにこのようにしてスペーサが散布された透明基板を他方の透明基板に接合させて、両透明基板間に液晶が封入された液晶表示セルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置として、例えばカラーＴＦＴ液晶表示セルは、共にガラス等の透明基板からなるＴＦＴ基板とカラーフィルタ基板とを接合させたものから構成されるが、これらＴＦＴ基板とカラーフィルタ基板とは密着状態ではなく、所謂セルギャップと呼ばれる微小な隙間を介して接合されるものであり、このセルギャップに液晶が封入される。液晶が封入される微小隙間であるセルギャップは複数のスペーサビーズの凝集体からなるスペーサにより確保されることになる。スペーサは粒径が３〜５μｍの球状とした微小粒子からなるスペーサビーズの凝集体から構成され、ＴＦＴ基板またはカラーフィルタ基板のいずれか一方、例えばカラーフィルタ基板を被処理基板として、その表面に多数分散配置されることになる。
【０００３】
スペーサの構成要素としてのスペーサビーズは不透明な粒子である。従って、画素領域にスペーサビーズが位置していると、液晶表示装置として構成したときに、表示画像の画質の低下を来たすので、この画質低下を防止するために、スペーサはブラックマトリックス領域に限定的に配置される。このために、スペーサビーズを溶剤に均一に分散させた懸濁液からなるスペーサインクを用い、このスペーサインクをブラックマトリックス領域に着弾させる。このスペーサインクの供給方式としては、例えば特許文献１にあるように、インクジェットにより噴射させる方式が従来から知られている。インクジェット方式は、微小なノズルを設けたインクジェットヘッドからなるインクジェット手段を用いて、このインクジェットヘッドの微小ノズルから被処理基板に向けてスペーサインクの液滴を噴射させて、被処理基板上に付着させるものである。
【０００４】
インクジェットヘッドの各ノズルから噴射されたスペーサインクの液滴が被処理基板の所定の位置に着弾した後には、溶剤が揮発することになり、乾燥後には被処理基板上にはスペーサビーズが残存する。噴射口から噴射された１つの液滴には複数、具体的には５〜８個程度のスペーサビーズが含まれるが、溶剤等が揮発する間に、これらのスペーサビーズは相互に密着するように凝集することになり、このスペーサビーズの凝集体がスペーサであって、スペーサは被処理基板の全面にほぼ均一に散布される。
【０００５】
インクジェット手段のインクジェットヘッドは被処理基板におけるスペーサの散布面と対面させるが、被処理基板を水平に配置して、インクジェットヘッドはこの被処理基板から所定距離だけ離した上方位置に配置される。そして、被処理基板を搬送する間にインクジェットヘッドを構成する複数のノズルから被処理基板に向けて所定の幅分にわたってスペーサインクの液滴が間欠的に噴射されることになる。また、被処理基板の幅寸法が大きい場合には、インクジェット手段は被処理基板の搬送方向と直交する方向にシフトさせるように構成する。従って、被処理基板を往復動させながら、インクジェット手段をそれと直交する方向にシフトさせながらスペーサインクの液滴を噴射させることによって、この被処理基板の全面にスペーサインクの液滴が供給される。従って、被処理基板の搬送方向がスペーサインクの噴射時における主走査方向であり、この主走査方向と直交する方向が副走査方向である。
【特許文献１】特開２００３−２５１２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、スペーサインク中のスペーサビーズの濃度は厳格に管理されており、しかもスペーサインクに分散されているスペーサビーズの粒径はできるだけ均一となるように粒径の制御がなされる。一般に使用されるスペーサインクでは、分散しているスペーサビーズの粒径のばらつきは±０．０５μｍ以下に抑制されている。また、インクジェットヘッドはそのノズルからの噴射制御が容易であり、かつ噴射される液滴に指向性を持たせることができるので、スペーサインクの液滴をブラックマトリックス領域における所定の位置に正確に着弾させることができるようにする。これによって、被処理基板の全面に対して所定の位置にスペーサを均一に散布することができ、他方の透明基板を接合させると、その間に均一なセルギャップを形成することができる。
【０００７】
ここで、相互に接合される２枚の透明基板は薄板からなり、その接合時には押圧力を作用させるようにする。従って、透明基板は接合時に押圧力を作用させると撓むことになり、その結果両透明基板の相対向する表面はスペーサに密着するようになって、セルギャップが安定的に保持される。このように、２枚の透明基板を接合させた状態において、被処理基板が長方形であり、特にサイズの大きい液晶表示セルであるときに、インクジェット手段の主走査方向に向けて筋状の薄い濃淡縞が多数形成されることがある。この接合基板における筋状濃淡縞模様の発生はセルギャップにおけるギャップ量の微小変動により生じるものである。
【０００８】
セルギャップは基本的にはスペーサビーズの粒径に依存するものであり、従ってセルギャップは大きく変動することはないが、スペーサビーズの粒径の誤差範囲が±０．０５μｍ程度であるのに対してギャップ量の変動幅は、０．１μｍより大きく、０．３μｍ程度乃至それ以上となることもある。しかも、主走査方向において、複数のノズルを有するインクジェットヘッドの走行幅毎にある程度規則的に繰り返すような変動を示す。液晶表示装置として構成したときに、前述した程度のギャップ量の変動に起因する薄い筋状濃淡縞がその表示面に生じていても、液晶表示セルを構成したときに、それに表示される画像が格別低下する訳ではないが、外観上好ましいものではないだけでなく、より高品位の画像を表示するためには、ギャップ量の変動をできるだけ小さく抑制する方が望ましい。
【０００９】
前述したように、インクジェットヘッドと被処理基板とは相対移動させながらスペーサインクを散布することから、インクジェットヘッドと被処理基板とは非接触状態とすることになり、その間の相対移動中にもインクジェットヘッドが被処理基板と接触しないようにするために、インクジェットヘッドと被処理基板とはある程度の間隔を設けておく必要がある。また、スペーサインクはスペーサビーズの懸濁液であり、目詰まり防止の観点から、インクジェットヘッドの微小ノズルの口径は最低限で２０μｍ程度の大きさとする。従って、ノズルから噴射されたスペーサインクは、被処理基板に液滴として着弾するまでの間にある程度の広がりを持つことになる。液晶表示セルにおいては、基板に形成されているブラックマトリックス領域は、その幅寸法が概略１０〜３０μｍ程度の極めて細い帯状となっている。また、インクジェットヘッドは被処理基板に対して１ｍｍ程度の間隔を空ける必要があり、このインクジェットヘッドのノズルの口径を最低限の２０μｍとしたときに、被処理基板への着弾時における液滴の大きさは４０μｍ乃至それ以上となる。つまり、着弾時における液滴の大きさはブラックマトリックス領域の幅寸法より多少大きくなる。
【００１０】
インクジェットヘッドを構成する各ノズルから厳格に同一の条件で噴射されれば問題はないが、液滴の噴射方向が正規の方向からずれると、特にノズルの並び方向にランダムにずれていると、各々の液滴の着弾位置の相互間の間隔が均等ではなくなる。また、ＴＦＴ基板であれ、カラーフィルタ基板であれ、被処理基板の表面には微小凹凸が存在するので、着弾位置によっては一部のスペーサビーズが凹部に落ち込んで、各スペーサのセルギャップに貢献するスペーサビーズの数に変動が生じることになる。
【００１１】
以上のことが原因となって、セルギャップのギャップ量に変動が生じるのである。従って、液滴の着弾位置を正確に制御するか、または着弾時の液滴を小さくすれば、ギャップ量の変動を抑制することができる。しかしながら、インクジェットヘッドを被処理基板に対して極端に近接させると、移動中に接触する可能性が高くなり、またスペーサインクの目詰まり防止という観点から、ノズルの口径を小さくするのも限度がある。このために、実際上、前述したセルギャップのギャップ量に変動が発生するのを防止することができないことになる。
【００１２】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、液晶表示セルのセルギャップにおけるギャップ量の変動による筋状濃淡縞の発生を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前述した目的を達成するために、本発明の液晶セルを構成する透明基板の表面に、セルギャップを形成するためのスペーサを分散させるように散布する方法は、透明基板の幅方向に所定のピッチ間隔を置いて複数のノズルを有するインクジェットヘッドを対向配設し、この透明基板とインクジェットヘッドと前記ノズルの並び方向の交差方向に相対移動させる間に、粒径の異なる複数種類のスペーサビーズを溶剤に均一に分散させたスペーサインクの液滴をインクジェットノズルの各噴射口から前記透明基板の表面に散布することをその特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明における液晶セルを構成する透明基板の表面にセルギャップを形成するためのスペーサを分散させるスペーサ散布装置の構成は、粒径の異なる複数種類のスペーサビーズを溶剤に均一に分散させたスペーサインクを供給するインク供給手段と、このインク供給手段から供給されるスペーサインクを前記透明基板の表面に散布するために、この透明基板の幅方向に所定のピッチ間隔を置いて複数のノズルを設けたインクジェットヘッドと、前記透明基板と前記インクジェットヘッドとを少なくとも前記ノズルの並び方向の交差方向に相対移動させる駆動手段とを備える構成としたことをその特徴としている。
【００１５】
さらに、本発明における液晶表示セルは、ブラックマトリックスの領域に、表面に粒径の異なる複数種類のスペーサビーズが凝集されたスペーサが散布された透明基板と、この透明基板に前記スペーサによりセルギャップを形成するようにして他方の透明基板が接合されて、このセルギャップに液晶を封入したものである。
【００１６】
インクジェットヘッドを構成する複数のノズルによるスペーサインクの噴射条件を全て同一にするのは現実的に不可能である。スペーサインクに含まれるスペーサビーズの粒径を均一化すると、主走査方向においては、スペーサの高さがほぼ一定になる。一方、噴射条件が異なるノズルからスペーサインクが噴射されることから、副走査方向においては、スペーサの間隔及びセルギャップに貢献するスペーサビーズの数が異なる。つまり、スペーサビーズの粒径を一定にすると、主走査方向では均等で、副走査方向では変動するギャップが形成されてしまう。これが筋状濃淡縞の原因である。そこで、副走査方向におけるギャップの変動を防止できないのであれば、主走査方向のギャップも不均一にすれば、筋状の濃淡縞が生じなくなる。
【００１７】
そして、主走査方向におけるギャップの変動幅を副走査方向におけるギャップの変動幅、具体的にはギャップ量の変動幅が０．３μｍ乃至それ以上であるから、この変動幅と同じかそれ以下にすれば、液晶表示セルとして構成したときに、画像の画質に実質的な影響が生じることはない。本発明において、粒径の異なる複数種類のスペーサビーズという場合、粒径を連続的に変化させることもできるが、段階的に変化させることもできる。また、段階的に変化させる場合、２段階であっても良く、また３段階に変化させることもできる。ギャップ量は通常３〜５μｍとするが、例えば、ギャップ量を４μｍを基準とした場合、粒径が４．２μｍのスペーサビーズと３．８μｍのスペーサビーズとを混合させたり、また４．２μｍ、４．０μｍ及び３．８μｍという３種類のスペーサビーズを混合させたりすることもできる。そして、基準となる中間の粒径スペーサビーズの量と、大小の粒径のスペーサビーズの合計量とを同じくすることができ、また大中小の各スペーサビーズをほぼ均等に分散させるようにすることもできる。
【発明の効果】
【００１８】
インクジェット方式により透明基板の表面全体に均一にスペーサを散布することができ、液晶表示セルとして構成したときに、そのセルギャップにおけるギャップ量を制御された状態で変動させ、かつこのギャップ量の変動を主走査方向及び副走査方向において規則性を持たせるのではなく、ランダムな変動となし、もって液晶表示セルにおける筋状濃淡縞の発生を抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。まず、図１において、１は基板であり、この基板１はガラス等からなる透明基板であって、具体的には例えばＴＦＴ基板である。この基板１にはマトリックス状に薄膜トランジスタからなるスイッチング素子が形成されており、カラーフィルタが位置合わせされた状態で接合される。同図において、２はＲＧＢの各色の画素を構成する画素領域であり、各画素領域２間はブラックマトリックス領域３により区画形成されている。このブラックマトリックス領域３にスペーサ４が均一に散布されて、このスペーサ４によってＴＦＴ基板とカラーフィルタとを接合させたときに、両基板間にセルギャップと呼ばれる隙間が形成される。このように、スペーサ４により形成される両基板間の隙間に液晶を封入することによって、液晶表示セルが形成されることになる。
【００２０】
ここで、スペーサ４は、図２に示したように、複数のスペーサビーズ４ａの集合体であって、１箇所のスペーサ４には概略５〜８個程度のスペーサビーズ４ａが含まれる。このスペーサ４は、スペーサビーズ４ａを所定の溶剤に均一に分散させた懸濁液からなるスペーサインクの液滴を基板１に付着させて、溶剤を揮発させることによりスペーサビーズ４ａを凝集させたものである。つまり、同図に仮想線で示したように、スペーサインクの着弾時には所定の広がりをもった液滴となるが、溶剤が揮発する際にスペーサビーズ４ａが凝集されるようになり、このように液滴に含まれるスペーサビーズ４ａの凝集体がスペーサ４である。
【００２１】
図３に基板１にスペーサ４を散布するためのシステム構成を示す。図中において、１０はワーク搬入部、１１はワーク搬出部である。ワーク搬入部１０から処理対象となる基板１は搬入される。そして、このようにして搬入された基板１は、必要に応じて、表面改質等の処理を行う前処理ステージ１２を経て、インク滴下ステージ１３に搬送されるようになっている。このインク滴下ステージ１３において、基板１の表面にスペーサインクが散布される。
【００２２】
基板１の表面にスペーサインクが着弾した後には、基板１は第１の熱処理ステージ１４に移行して、スペーサインクからインク成分を揮発させ、次いで第２の熱処理ステージ１５において、基板１をベーキングすることによって、スペーサビーズを基板１の表面に定着させる。ここで、基板１を２段階で熱処理するのは、まず第１段階で、インクジェット手段２３から滴下したスペーサインクを迅速に乾燥させてインク成分を除去するためである。基板１を高い温度にまで急速に加熱させると、スペーサインク中の個々のスペーサビーズ４ａが凝集せずにばらばらの位置のまま乾燥してしまう。基板１を自然乾燥させることもできるが、第１の熱処理ステージ１４において、低温で加熱することによって効率的に乾燥させる。また、第２段階目では、基板１を高温で加熱することによりベーキングを行い、インクが乾燥したスペーサ４を基板１に固着させる。なお、スペーサインクを自然乾燥させる場合には、加熱は１段で行う。
【００２３】
基板１は、図４に示すように、搬送テーブル２０に載置されて、この搬送テーブル２０に真空吸着等の手段で固定的に保持されている。搬送テーブル２０はボールねじ送り手段２１によりＸ軸ガイド２２に沿って図中のＸ方向（主走査方向）に搬送される。この間に基板１の表面に対してスペーサインクが間欠的に滴下される。このために、インク滴下ステージ１３にはインクジェット手段２３が配設されており、このインクジェット手段２３は、搬送テーブル２０を跨ぐように門型をしたＹ軸ガイド２４に装着されており、このＹ軸ガイド２４にはインクジェット手段２３を設置した移動台２５が装着されており、この移動台２５は搬送テーブル２０の搬送方向と直交するＹ方向（副走査方向）に移動可能となっている。そして、インクジェット手段２３は、インクジェットヘッド２６とインク供給手段としてのインクボトル２７とを備え、これらインクジェットヘッド２６及びインクボトル２７は移動台２５によってＹ軸ガイド２４に沿ってＹ方向に移動することになる。従って、搬送テーブル２０及び移動台２５とそれらの駆動機構とによって、基板１及びインクジェットヘッド２６を駆動する駆動手段を構成する。なお、駆動は基板１側またはインクジェットヘッド２６側のいずれか一方に設けるようにしても良い。
【００２４】
インクジェット手段２３を構成するインクジェットヘッド２６は、図５に示したように、多数の微小なノズル３０を所定のピッチ間隔で配列したものから構成され、各ノズル３０から一定量のスペーサインクを間欠的に噴射できるようにしたものである。スペーサインクの噴射は各々のノズル３０につき、個別的に制御されて、それぞれスペーサインクを噴射させるようにしている。そして、図６に示したように、インクジェットヘッド２６には、ノズル３０に連通するチャンバピース３１を備え、このチャンバピース３１はインクボトル２７からのインク供給路に接続されている。
【００２５】
チャンバピース３１には圧電素子からなるアクチュエータ３２が装着されており、このアクチュエータ３２に電圧を印加すると、図６に一点鎖線で示したように、アクチュエータ３２が変形して、チャンバピース３１が拡張することになる。その結果、インクボトル２７側からスペーサインクがチャンバピース３１内に吸い込まれる。次いで、アクチュエータ３２への電圧の印加を遮断すると、元の状態に復元することになり、このときにチャンバピース３１の容積が減少し、この容積減少分のスペーサインクがノズル３０から噴射される。
【００２６】
インクジェット手段２３には、好ましくは複数のインクジェットヘッド２６が装着されており、これら各インクジェットヘッド２６は所定間隔毎に配設されている。従って、インクジェット手段２３をＸ方向の一方向に移動させると、各々のインクジェットヘッド２６の幅に応じた帯状の範囲において、スペーサインクが基板１の表面に間欠的に滴下される。インクジェット手段２３がＸ方向における始点位置から終点位置まで移動した後、インクジェットヘッド２６の幅分だけＹ方向にシフトさせて、Ｘ方向における反対方向に移動させることによって、順方向への移動時の空間部分を埋めるようにスペーサインクが滴下される。このように複数配列されているインクジェットヘッド２６をＹ方向に対して所定角度傾斜するようにして配置するのがより望ましい。このように構成すると、この傾斜角を変化させることによって、スペーサインクのピッチ間隔を変化させることができる。
【００２７】
以上のように構成することによって、搬送テーブル２０で基板１をＸ方向に搬送する間に、インクジェット手段２３を作動させて、各インクジェットヘッド２６を構成する各ノズル３０からスペーサインクを噴射させることによって、基板１の表面に所定の間隔毎にスペーサインクの液滴が滴下される。そして、基板１がＸ方向における移動端に至ると、インクジェット手段２３をＹ方向にシフトさせて、基板１をＸ方向に戻すように移動させ、この間にもスペーサインクの滴下を継続する。これによって、基板１の全面にスペーサインクが均一に滴下され、その後に基板１を加熱乾燥することによって、スペーサインクにおける溶剤が揮発し、この揮発時にスペーサビーズ４ａが凝集したスペーサ４が基板１上に残存する。
【００２８】
この状態で、この基板１のスペーサ４を形成した面には、図７に示したように、他方の基板５（基板１がＴＦＴ基板であれば、他方の基板はカラーフィルタ基板である）が接合される。これによって接合基板６が形成されるが、この接合基板６を構成する両基板１，５間にはスペーサ４により形成されるセルギャップＧが介在しており、このセルギャップＧには液晶が封入される。このセルギャップＧは、ほぼスペーサ４を構成するスペーサビーズ４ａの直径に相当する間隔となる。なお、図７において、７は液晶封入空間を区画形成するシール材である。
【００２９】
今、スペーサインクに分散させるスペーサビーズ４ａの粒径を４μｍとし、その誤差範囲を±０．０５μｍ以下として、前述した手法で基板１において、各ブラックマトリックス領域３にスペーサ４を散布した。そして、この基板１に他方の基板５を接合させて、セルギャップＧの幅はこのスペーサビーズ４ａにおける粒径の誤差範囲での変動以上の変動幅、具体的には０．２μｍ以上となり、部位によっては０．４μｍ前後の変動幅が生じることがある。ただし、この程度のギャップ量の変動があっても、液晶表示セルとして構成したときに、表示される画像の画質は格別低下することはない。
【００３０】
以上の点を勘案して、本発明においては、スペーサインクに分散させるスペーサビーズ４ａとして、異なる粒径のものを混在させる構成とする。例えば、セルギャップの目標ギャップ量を４μｍとしたときに、粒径が基準径である４μｍの中間径スペーサビーズを用いる場合、粒径が４．２μｍの大径スペーサビーズと、粒径が３．８μｍの小径スペーサビーズを混合する。そして、スペーサビーズの混合比については、中間径スペーサビーズの量と、大径及び小径のスペーサビーズとの合計量とを同じにするか、または中間径，大径及び小径の各スペーサビーズの量を等しくする。
【００３１】
以上のように、インクボトル２７に粒径が異なる複数種類のスペーサビーズを分散させたスペーサインクを充填しておき、このスペーサインクをインクジェットヘッド２６に設けたノズル３０から噴射する。そうすると基板１の上では、溶剤が揮発したときのスペーサ４を構成するスペーサビーズ４ａが、同一のノズル３０であるにも拘らず、場所によっては変動することになる。
【００３２】
即ち、図８において、サイズの異なるスペーサビーズ４ａとして、中間径のスペーサビーズを４ａＭ，大径のスペーサビーズを４ａＬ，小径のスペーサビーズを４ａＳとしたときに、基板１上に位置する各スペーサ４を構成するスペーサビーズは制御された範囲で不揃いになり、かつ規則性を持たない。このように、スペーサビーズの粒径を変化させることによって、主走査方向であるＸ方向において、各々のスペーサ４の高さが４μｍを基準として、変動幅が±０．２μｍとなる。そして、各ノズル３０のスペーサインクの噴射条件の違いによって、副走査方向であるＹ方向においても不規則的にギャップ量が変動し、ギャップ量は４μｍを基準として、その変動幅が概略±０．２μｍとなる。その結果、均一なスペーサビーズを用いた場合と比較して、同一条件のノズル３０から噴射される液滴によるスペーサが場所によっては異なるサイズとなって、Ｘ方向に向けて微小な凹凸が生じることになる。従って、接合基板６としたときに、Ｘ方向及びＹ方向において、微小な高低差が生じて筋状濃淡縞の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】スペーサが散布される基板の構成説明図である。
【図２】スペーサインクから溶剤を揮発させたときに得られるスペーサの拡大図である。
【図３】基板へのスペーサビーズの散布・固定を行う機構の全体構成を示す説明図である。
【図４】インク滴下ステージの構成を示す外観図である。
【図５】インクジェットヘッドの先端部を示す構成説明図である。
【図６】インクジェットヘッドを構成する微小ノズルからのスペーサインクを噴射する動作の説明図である。
【図７】２枚の透明基板を接合した状態を示す断面図である。
【図８】基板のＸ方向におけるスペーサの配置の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１，５  基板      ２  画素領域
３  ブラックマトリックス領域      ４  スペーサ
４ａ  スペーサビーズ      ４ａＭ  中間径スペーサビーズ
４ａＬ  大径スペーサビーズ      ４ａＳ  小径スペーサビーズ
６  接合基板      ２０  搬送テーブル
２３  インクジェット手段      ２６  インクジェットヘッド
３０  微小ノズル      ３１  チャンバピース
３２  アクチュエータ
【図１】
2007193180.tif 000003
【図２】
2007193180.tif 000004
【図３】
2007193180.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007193180.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007193180.tif 000009
【図８】
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