(57)【要約】【課題】コストをかけることなく、複数のファイバレーザから高品質かつ高出力のビームを得る。【解決手段】ファイバレーザ１０は、レーザダイオード２０によって励起され、出射端部１１を介して、レーザ光を出射する。共振器３０は、各ファイバレーザ１０から出射されたレーザ光を挿通する複数のレーザ孔３１と、一部のレーザ光を外部に出射すると共にその他のレーザ光を反射する反射鏡３２と、を有している。共振器３０では、ファイバレーザ１０から出射されたレーザ光が反射され、戻り光として他のファイバレーザ１０に戻る。このとき定在波が形成され、反射鏡３２上にパターンが再現される。このため、複数のファイバレーザ１０から出射された各々のレーザ光は位相が同期して、共振器３０はコヒーレント発振する。【選択図】図１
2007258270.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射する複数のファイバレーザと、
前記複数のファイバレーザから出射されたレーザ光を反射して他のファイバレーザに戻すことによってレーザ光を干渉させて、一部のレーザ光を外部に出射する共振器と、
を備えたレーザ装置。
【請求項２】
前記共振器から出射された複数のレーザ光を結合する光結合手段を更に備えた
請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項３】
前記共振器において前記レーザ光が入射される位置から前記レーザ光が反射される位置までの距離をＬ、前記結合手段において前記レーザ光が入射される位置から結合されたレーザ光が出射される位置までの距離をＬｃ、レーザ光のレイリー長をδＬとすると、
Ｌｃ−（δＬ）／２≦Ｌ≦Ｌｃ＋（δＬ）／２
を満たす請求項２に記載のレーザ装置。
【請求項４】
外部出射端部を介して、レーザ光を出射する複数のファイバレーザと、
前記複数のファイバレーザの共振用出射端部から出射されたレーザ光を反射して他のファイバレーザの共振用出射端部に戻すことによってレーザ光を干渉させる共振器と、
を備えたレーザ装置。
【請求項５】
前記複数のファイバレーザにより出射された複数のレーザ光を結合する光結合手段を更に備えた
請求項４に記載のレーザ装置。
【請求項６】
前記共振器において前記レーザ光が入射される位置から前記レーザ光が反射される位置までの距離をＬ、前記結合手段において前記レーザ光が入射される位置から結合されたレーザ光が出射される位置までの距離をＬｃ、レーザ光のレイリー長をδＬとすると、
Ｌｃ−（δＬ）／２≦Ｌ≦Ｌｃ＋（δＬ）／２
を満たす請求項５に記載のレーザ装置。
【請求項７】
前記共振器は、光導波路である
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のレーザ装置。
【請求項８】
前記共振器は、前記レーザ光を反射する反射手段を備え、前記反射手段はダルボー効果による像が現れる位置に設定されている
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ装置に係り、特に、複数のファイバレーザを用いたレーザ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高品質かつ高出力のビームを出射する光源としてファイバレーザがある。ファイバレーザは、例えば、溶接、切断、穴あけ、表面処理などのレーザ加工に用いられている。レーザ加工において、高度な加工を行なうためには高出力のレーザ光を微小点に集光することが必要である。そこで、複数のファイバレーザを束ねた発振装置と、レーザ光を加工面に集光する集光学系とを備えたレーザ加工装置が開示されている（特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１のレーザ加工装置は、複数のファイバレーザ発振装置のうち２本以上のファイバレーザ発振装置が異なったパルス発振周波数でパルス発振し、パルス発振周波数が独立して調整可能になっている。
【０００４】
しかし、特許文献１において、コヒーレント（coherent）でないファイバレーザを束ねても、束ねただけビームの品質が悪化してしまい、ビーム集光系が太くなってしまう問題がある。そのため、ファイバレーザをコヒーレント動作させて、高品質かつ高出力のビールを出射する研究が始められている（非特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２０００−９８１９１号公報
【非特許文献１】ＯＰＴＩＣＳ  ＬＥＴＴＥＲ  ２００５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、非特許文献１に記載された技術を実現しようとすると、構成部品が複雑になり、コストがかかるおそれがある。
【０００６】
本発明は、上述した課題を解決するために提案されたものであり、コストをかけることなく、複数のファイバレーザから高品質かつ高出力のビームを得ることができるレーザ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るレーザ装置は、レーザ光を出射する複数のファイバレーザと、前記複数のファイバレーザから出射されたレーザ光を反射して他のファイバレーザに戻すことによってレーザ光を干渉させて、一部のレーザ光を外部に出射する共振器と、を備えている。
【０００８】
共振器は、複数のファイバレーザから出射されたレーザ光を反射して他のファイバレーザに戻す。これにより、各々のレーザ光はコヒーレント発振する。そして、一部のレーザ光は、外部に出射される。
【０００９】
したがって、上記レーザ装置は、複数のファイバレーザから出射されたレーザ光を反射して他のファイバレーザに戻すことによってレーザ光を干渉させて、一部のレーザ光を外部に出射する共振器を備えることにより、共振器から位相の同期した複数のレーザ光を出力することができる。
【００１０】
本発明に係るレーザ装置は、外部出射端部を介して、レーザ光を出射する複数のファイバレーザと、前記複数のファイバレーザの共振用出射端部から出射されたレーザ光を反射して他のファイバレーザの共振用出射端部に戻すことによってレーザ光を干渉させる共振器と、を備えている。
【００１１】
共振器は、複数のファイバレーザの共振用出射端部から出射されたレーザ光を反射して他のファイバレーザの共振用出射端部に戻す。これにより、各々のレーザ光は、コヒーレント発振してファイバレーザに戻り、ファイバレーザを介して外部に出射される。
【００１２】
したがって、上記レーザ装置は、前記複数のファイバレーザの共振用出射端部から出射されたレーザ光を反射して他のファイバレーザの共振用出射端部に戻すことによってレーザ光を干渉させる共振器を備えることにより、ファイバレーザから位相の同期した複数のレーザ光を出力することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るレーザ装置は、同期のとれた高品質のレーザ光を出射することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１５】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。レーザ装置は、レーザ光を出射する複数のファイバレーザ１０と、各々のファイバレーザ１０の励起用の光源である複数のレーザダイオード２０と、各ファイバレーザ１０から出射されたレーザ光を共振させて外部に出射する共振器３０と、を備えている。
【００１６】
ファイバレーザ１０は、レーザダイオード２０によって励起され、出射端部１１を介して、レーザ光を出射する。
【００１７】
共振器３０は、各ファイバレーザ１０から出射されたレーザ光を挿通する複数のレーザ孔３１と、一部のレーザ光を外部に出射すると共にその他のレーザ光を反射する反射鏡３２と、を有している。各レーザ孔３１の中心部には、各ファイバレーザ１０の出射端部１１が配置されている。各レーザ孔３１の間隔はそれぞれ距離ｄである。また、共振器３０のレーザ孔３１から反射鏡３２までの距離Ｚｔは、反射鏡３２上にレーザ光の干渉パターンが現れるように決定される。ここで、タルボー（又はタルボット）効果について説明する。
【００１８】
複数の光源を周期的に配置し、光源の向かい側に鏡を置くと、空間的に規則的な干渉パターンが生じ、複数の光源の光線が干渉する、という物理現象（タルボー効果）が生じる。
【００１９】
一般に、反射鏡３２上に干渉パターンが現れるような距離であるダルボー距離Ｚｔは、式（１）で表される。
【００２０】
【数１】
2007258270.tif 000003
【００２１】
しかし、本発明者らは、ファイバレーザや光導波路を使用した場合、式（１）は成り立たずに固有の現象が生じることを発見した。
【００２２】
図２は、８本の光導波路１００からレーザ光を出射する状態を示す図である。各光導波路１００は、屈折率１．５、幅５μｍである。各光導波路１００の中心間隔は各々１０μｍである。そして、各光導波路１００から波長１μｍのレーザ光が出射される。ここで、式（１）が正しいとすれば、Ｚｔ＝２００μｍになる。
【００２３】
図３は、図２のシミュレーション結果を示す図である。図３に示すように、Ｚｔ＝３１０μｍの近傍には、ファイバレーザの出射端部の像と同じ像が再生される。この現象は、次のように解釈できる。
【００２４】
光ファイバや光導波路は、空気と異なる屈折率を有する。したがって、隣り合うレーザ孔３１間の距離ｄは、次の式（２）のようになる。
【００２５】
【数２】
2007258270.tif 000004
【００２６】
ここで、レーザ孔３１間に、ｐ個の物質があるとした場合において、ｎmはｍ個目の物質の屈折率であり、ｄmはｍ個目の物質の距離である。したがって、式（１）は、レーザ孔３１間の物質の屈折率ｎmとその物質の距離ｄmによって次の式（３）のように修正される。
【００２７】
【数３】
2007258270.tif 000005
【００２８】
例えば、図２の詳細な条件として、光導波路の屈折率１．５、幅５μｍ、空気の屈折率１．０、幅５μｍ、レーザ光の波長１μｍを式（３）に代入すると、Ｚｔ＝３１２μｍとなる。これは、図３のシミュレーション結果と一致する。
【００２９】
図４は、シミュレーション結果（タルボー距離の計算値）と理論値（式（３））とを比較する図である。同図に示すように、式（３）は、シミュレーション結果にほぼ一致している。
【００３０】
本実施形態では、図１に示す共振器３０の距離Ｚｔは式（３）を満たしている。これにより、共振器３０では、ファイバレーザ１０から出射されたレーザ光が反射され、戻り光として他のファイバレーザ１０に戻る。このとき定在波が形成され、反射鏡３２上にパターンが再現される。このため、複数のファイバレーザ１０から出射された各々のレーザ光は位相が同期して、共振器３０はコヒーレント発振するようになる。
【００３１】
以上のように、第１の実施形態に係るレーザ装置は、式（３）を満たすように構成された共振器２０を備えることにより、複数のファイバレーザ１０から出射されたレーザ光をコヒーレント発振させて、位相の同期した高出力かつ高品質のレーザ光を出射することができる。
【００３２】
なお、第１の実施形態では、式（３）に限定されるものではなく、次の式（４）であってもよい。
【００３３】
【数４】
2007258270.tif 000006
【００３４】
式（４）が式（３）と異なる点は、反射鏡３２上の像が２倍になり、像の間隔も半分になることである。
【００３５】
［第２の実施形態］
つぎに、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００３６】
図５は、第２の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。レーザ装置は、レーザ光を外部へ出射する複数のファイバレーザ１０と、各々のファイバレーザ１０の励起用の光源である複数のレーザダイオード２０と、レーザ光を共振させる共振器３０Ａと、を備えている。
【００３７】
ファイバレーザ１０は、レーザ光を外部に出射する出射端部１１と、ファイバレーザ１０内部で共振させるためのレーザ光を共振器３０Ａに出射する共振用出射端部１２と、を有している。ファイバレーザ１０は、レーザダイオード２０によって励起され、レーザ光をファイバレーザ１０内部及び共振器３０Ａ内部で共振させた後、出射端部１１を介して出射する。
【００３８】
共振器３０は、各ファイバレーザ１０の共振用出射端部１２から出射されたレーザ光を挿通するレーザ孔３１と、レーザ光を全反射する反射鏡３３と、を有している。各レーザ孔３１の中心部には、各ファイバレーザ１０の共振用出射端部１２が配置されている。各レーザ孔３１の間隔はそれぞれ距離ｄである。また、共振器３０のレーザ孔３１から反射鏡３３までの距離Ｚｔは、反射鏡３３上にレーザ光の干渉パターンが現れるように、決定される。
【００３９】
本実施形態では、図５に示す共振器３０Ａの距離Ｚｔは上述した式（３）を満たしている。これにより、共振器３０Ａでは、ファイバレーザ１０の共振用出射端部１２から出射されたレーザ光が反射され、戻り光として他のファイバレーザ１０の共振用出射端部１２に戻る。このとき定在波が形成され、反射鏡３３上にパターンが再現される。このため、複数のファイバレーザ１０の各レーザ光は位相が同期して、共振器３０はコヒーレント発振するようになる。
【００４０】
以上のように、第２の実施形態に係るレーザ装置は、式（３）を満たすように構成された共振器３０Ａを備えることにより、レーザ光をコヒーレント発振させて、位相の同期した高出力かつ高品質のレーザ光を出射することができる。
【００４１】
［第３の実施形態］
つぎに、本発明の第３の実施形態について説明する。なお、上述の実施形態と同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００４２】
図６は、本発明の第３の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。本実施形態に係るレーザ装置は、図１に示すレーザ装置の共振器３０の空気部分を光導波路で形成したものである。すなわち、レーザ装置は、図１に示す共振器３０の代わりに、光導波路で形成された共振器３０Ｂを備えている。なお、本実施形態では、距離Ｚｔの代わりに距離Ｌを用いる。
【００４３】
共振器３０Ｂは、ファイバレーザ１０の各出射端部１１に対応するように設けられた複数の入射光導波路３５と、入射されたレーザ光を干渉させる多モード干渉光導波路３６と、レーザ光を出射する出射光導波路３７と、を有している。また本実施形態では、距離Ｌは、図６に示すように、多モード干渉光導波路３６のレーザ光出射方向の長さを示している。ここで、共振器３０Ｂが発振するための条件は式（５）で表される。
【００４４】
【数５】
2007258270.tif 000007
【００４５】
なお、Ｌπは規格化波長であり、次の式（６）で表される。
【００４６】
【数６】
2007258270.tif 000008
【００４７】
ここで、ｎrは実効屈折率であり、Ｗｅは光のしみだしを考慮した実効的な光導波路幅である。
【００４８】
本実施形態では、図５に示す共振器３０Ｂの距離Ｌは上述した式（５）及び式（６）を満たしている。これにより、共振器３０Ｂでは、ファイバレーザ１０の出射端部１１から出射されたレーザ光が反射され、戻り光として他のファイバレーザ１０の出射端部１１に戻る。このとき定在波が形成され、光導波路の両端にパターンが再現される。このため、複数のファイバレーザ１０から出射されたレーザ光は位相が同期して、共振器３０はコヒーレント発振するようになる。
【００４９】
以上のように、第３の実施形態に係るレーザ装置は、式（５）及び式（６）を満たすように構成された共振器３０Ｂを備えているので、レーザ光をコヒーレント発振させて、位相の同期した高出力かつ高品質のレーザ光を出射することができる。
【００５０】
［第４の実施形態］
つぎに、本発明の第４の実施形態について説明する。なお、上述の実施形態と同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５１】
図７は、本発明の第４の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。本実施形態に係るレーザ装置は、図４に示すレーザ装置の共振器３０Ａの空気部分を光導波路で形成したものである。すなわち、レーザ装置は、図４に示す共振器３０Ａの代わりに、光導波路で形成された共振器３０Ｃを備えている。なお、第３の実施形態と同様に、距離Ｚｔの代わりに距離Ｌを用いる。
【００５２】
共振器３０Ｃは、ファイバレーザ１０の各共振用出射端部１２に対応するように設けられた複数の光導波路３８と、入射されたレーザ光を干渉させる多モード干渉光導波路３９と、を有している。本実施形態では、距離Ｌは、図７に示すように、多モード干渉光導波路３９のレーザ光の伝搬方向の長さを示している。
【００５３】
本実施形態では、図５に示す共振器３０Ｃの距離Ｌは上述した式（５）及び式（６）を満たしている。これにより、共振器３０Ｃでは、ファイバレーザ１０の共振用出射端部１２から出射されたレーザ光が他のファイバレーザ１０の共振用出射端部１２に戻ってきたときに定在波が形成され、光導波路の両端にパターンが再現される。このため、複数のファイバレーザ１０は位相が同期してコヒーレント発振するようになる。
【００５４】
以上のように、第４の実施形態に係るレーザ装置は、式（５）及び式（６）を満たすように構成された共振器３０Ｃを備えているので、複数のファイバレーザ１０から出射された各々レーザ光をコヒーレント発振させて、位相の同期した高出力かつ高品質のレーザ光を出射することができる。
【００５５】
［第５の実施形態］
つぎに、本発明の第５の実施形態について説明する。なお、上述した実施形態と同様の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５６】
図８は、第５の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。レーザ装置は、レーザ光を出射する複数のファイバレーザ１０と、各々のファイバレーザ１０の励起用の光源である複数のレーザダイオード２０と、各ファイバレーザ１０から出射されたレーザ光を共振させて外部に出射する共振器３０Ｂと、共振器３０Ｂから出射された各レーザ光を結合して出射する結合器４０と、を備えている。すなわち、上記レーザ装置は、図６に示す構成に結合器４０を追加したものである。
【００５７】
結合器４０は、共振器３０Ｂから出射された位相同期された２つのレーザ光を１つに結合して出射する。ここで、結合器４０においてレーザ光が入射される一方の端部からレーザ光が出射される他方の端部までの距離Ｌｃは、２つの位相同期されたレーザ光を結合するために、次の条件を満たす必要がある。
【００５８】
多モード干渉光導波路３６の実効的な光導波路幅Ｗｅは、グースヘンセンシフト（光の染みだし）を考慮した幅であり、次の式（７）で近似的に求められる。
【００５９】
【数７】
2007258270.tif 000009
【００６０】
ＷMは太い光導波路幅（多モード干渉光導波路３６の光導波路幅）、λは発振波長、ｎcは光導波路外部の屈折率、ｎrは光導波路の実効的な屈折率である。規格化波長Ｌπは上述の式（６）の通りである。
【００６１】
干渉帰還が起こるためには、光導波路より入射されたレーザ光が対称的な位置に像を結ぶ必要がある。よって、光導波路長の条件は次の式（８）のように表される。
【００６２】
【数８】
2007258270.tif 000010
【００６３】
ｍは整数であるが、実際は、筐体が小さくなるようにｍ＝１が望ましい。また、Ｎは正数であるが、Ｎ＝１あるいはＮ＝２が望ましい。
【００６４】
本実施形態では、図７に示す結合器４０の距離Ｌｃは上述した式（８）を満たしている。これにより、結合器４０は、２つの位相同期されたレーザを結合することができる。
【００６５】
図９は、第５の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。レーザ装置は、レーザ光を外部へ出射する複数のファイバレーザ１０と、各々のファイバレーザ１０の励起用の光源である複数のレーザダイオード２０と、各ファイバレーザ１０内のレーザ光を共振させる共振器３０Ｃと、ファイバレーザ１０から出射された位相同期された２つのレーザ光を１つに結合して出射する結合器４０と、を備えている。すなわち、上記レーザ装置は、図７に示す構成に結合器４０追加したものである。
【００６６】
ここで、結合器４０においてレーザ光が入射される一方の端部からレーザ光が出射される他方の端部までの距離Ｌｃは、上述の式（８）を満たしている。これにより、結合器４０は、２つの位相同期されたレーザを結合することができる。
【００６７】
以上のように、第５の実施形態に係るレーザ装置は、位相の同期した複数のレーザ光を結合することにより、高品位かつ高出力のレーザ光を出射することができる。また、位相の同期したレーザ光は同じ光源から発生されたレーザ光と等価であるため、上記レーザ装置は回折限界まで集光することができる。
【００６８】
（許容範囲）
第５の実施形態に係るレーザ装置を作製すると、実際には誤差が生じる。ここで、レーザ光のレイリー長を考慮すると、多少の製造誤差が許容される。レーザ光のレイリー長δＬは、入射光導波路あるいは光ファイバの幅ｗ0を用いると、式（９）で表される。
【００６９】
【数９】
2007258270.tif 000011
【００７０】
よって、共振器３０Ｂ又は共振器３０Ｃの距離Ｌは、次の式（１１）の範囲であれば、光損失を少なくすることができる。
【００７１】
【数１０】
2007258270.tif 000012
【００７２】
このことから、入射する光導波路あるいは光ファイバの幅ｗ0を広くすることにより、製造誤差に対して許容値を大きくとることが分かる。また、中空の金属の光導波路などを適用してもよい。
【００７３】
（シミュレーション）
４本のファイバレーザ（波長０．９８μｍ）を束ねる多モード干渉帰還装置（図８に示すレーザ装置）を設計する。
【００７４】
共振器３０Ｂの多モード光導波路幅を４０μｍ、屈折率１．５とすると、共振器３０Ｂの実効的な光導波路幅はＷｅ＝４０．２７９μｍとなる。よって、規格化波長Ｌπ＝３３１１．０μｍとなる。
【００７５】
多モード干渉光導波路の長さについては、式（８）において、
ｍ＝１とするとＬｃ＝１２４１．６μｍ
ｍ＝２とするとＬｃ＝２４８３．３μｍ
となる。
【００７６】
図１０は、図８に示す共振器３０Ｂの模式図である。なお、入射光導波路幅６μｍ、入射光導波路間隔１０μｍ、多モード干渉光導波路幅４０μｍ、長さ２４８３．３μｍである。また、図６の共振器３０Ｂではレーザ光は右側から入射されるが、図１０の共振器３０Ｂではレーザ光は左側から入射される。ここでは、４つの光導波路にそれぞれ基本モードのレーザ光を入射させた。
【００７７】
図１１は、図１０に示す共振器３０Ｂに入射されたレーザ光をビーム伝搬法でシミュレーションした図である。白い部分は光の強度が高い部分である。同図に示すように、共振器３０Ｂに入射されたレーザ光は、干渉した後、出射側の４つの光導波路に分配されている。したがって、共振器３０Ｃは、４本のレーザ光をコヒーレント発振させて、各々位相の同期したレーザ光を出射している。
【００７８】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内で設計上の変更をされたものにも適用可能であるのは勿論である。例えば、ファイバレーザの本数、共振器に入射されるレーザ光の本数などは、図示したものに限定されるものではないのは勿論である。
【００７９】
また、本発明は、上述した光導波路の条件及びシミュレーション結果に限定されるものではない。例えば、レーザ光の進入やその他のアライメント条件に基づいて、ファイバレーザを前後方向に移動させたり、反射鏡を前後方向に移動させたり斜めに傾けたりしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。
【図２】８本の光導波路からレーザ光を出射する状態を示す図である。
【図３】図２のシミュレーション結果を示す図である。
【図４】シミュレーション結果と理論値とを比較する図である。
【図５】第２の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。
【図８】第５の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。
【図９】第５の実施形態に係るレーザ装置の構成を示す図である。
【図１０】図８に示す共振器の模式図である。
【図１１】図１０に示す共振器に入射されたレーザ光をビーム伝搬法でシミュレーションした図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０  ファイバレーザ
１１  出射端部
１２  共振用出射端部
２０  レーザダイオード
３０、３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ  共振器
４０  結合器
【図１】
2007258270.tif 000013
【図２】
2007258270.tif 000014
【図４】
2007258270.tif 000015
【図５】
2007258270.tif 000016
【図６】
2007258270.tif 000017
【図７】
2007258270.tif 000018
【図８】
2007258270.tif 000019
【図９】
2007258270.tif 000020
【図１０】
2007258270.tif 000021
【図３】
2007258270.tif 000022
【図１１】
2007258270.tif 000023