(57)【要約】【課題】検査の精度を高めることができるとともに、正常品が不合格になるのを防止するために、検査装置に対するセットをやり直して再検査を行う手間をなくすことができるセンサーユニット検査装置を提供する。【解決手段】ヨーレートセンサー１６が装備されたセンサーユニット１２を回転可能に支持する治具１３は、治具回転用モータ１４により回転される。ＣＰＵ２２は、治具１３が回転される際にロータリポテンショメータ２１から出力される電圧信号と、ヨーレートセンサー１６から出力される電圧信号とを同期させて入力する。ＣＰＵ２２は、同期状態で得られた実測値と、ヨーレートセンサー１６の保証感度及び検出された回転速度とに基づいてセンサーユニット１２が合格か否かを判断する。【選択図】図１
2007178402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサーが装備されたセンサーユニットを回転可能に支持する治具と、
前記治具を回転させる回転手段と、
前記治具が所定角度回転されたことを検出する回転検出手段と、
前記センサーユニットが支持された状態で前記治具が回転される際に前記回転検出手段から出力される電圧信号と、前記センサーから出力される電圧信号とを同期させて入力するとともに、その同期状態で得られた実測値と、前記センサーの保証感度及び前記回転検出手段により検出された回転速度とに基づいて前記センサーユニットが合格か否かを判断する判断手段と
を備えているセンサーユニット検査装置。
【請求項２】
前記回転検出手段は、前記回転手段の回転を伝達する回転伝達手段と、その回転伝達手段の回転量を検出可能な回転検出器とを備えている請求項１に記載のセンサーユニット検査装置。
【請求項３】
前記回転伝達手段はギヤであり、前記回転検出器はロータリポテンショメータである請求項２に記載のセンサーユニット検査装置。
【請求項４】
前記回転検出手段は、前記治具と共に回転される被検出部が前記所定角度回転される際の前記被検出部の前記所定角度に対応する二位置を検出可能な位置検出器である請求項１に記載のセンサーユニット検査装置。
【請求項５】
前記位置検出器は非接触状態で前記二位置を検出する請求項４に記載のセンサーユニット検査装置。
【請求項６】
前記位置検出器は接触状態で前記二位置を検出する請求項４に記載のセンサーユニット検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサーユニット検査装置に係り、詳しくはヨーレートセンサーを備えたセンサーユニットの検査に好適なセンサーユニット検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車、フォークリフト、電車等二次元平面で移動する物体や、ロボット、飛行機等三次元で移動する物体の力、加速度、ヨーレート等をセンサーで検出し、検出信号に基づいて物体の動きあるいは物体に搭載した各種機器をそれぞれ目的に従って制御することが行われている。そして、前記制御を実現するためにはセンサーを制御機器に組み込む必要があり、また、センサーの特性を予め把握する必要がある。
【０００３】
加速度センサーの特性を検査する装置として、遠心力を利用して被試験体としての加速度センサーに所定の方向及び所定の加速度を加えることができる遠心力加速度試験装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
また、ヨーレートセンサーが取り付けられたセンサーユニットが正常品であるか否かを検査する検査方法として、センサーユニットを支持したワーク検査治具を回転させるとともに、回転時におけるヨーレートセンサーの出力電圧に基づいて、センサーユニット（ワーク）が正常か否かを判断する方法がある。
【０００５】
図５に示すように、前記検査方法を実施するための検査装置は、ヨーレートセンサー６１を備えたセンサーユニットとしてのワークＷを固定するワーク検査治具６２と、ワーク検査治具６２を回転させるワーク検査治具回転用モータ６３とを備えている。ワーク検査治具回転用モータ６３はワーク検査治具６２を一定速度で正転（右回転）及び逆転（左回転）可能に構成されている。ワーク検査治具６２は、回転中心が鉛直方向に延びる状態で回転軸６４に固定されている。ワークＷは、ヨーレートセンサー６１の出力信号が入力されるインターフェイス回路６５を備えている。また、制御装置６６は、ＣＰＵ６７、メモリ６８及びインターフェイス回路６９を備えている。ＣＰＵ６７はワーク検査治具回転用モータ６３を制御するとともに、ヨーレートセンサー６１の出力信号をインターフェイス回路６５，６９を介して入力する。そして、その信号に基づいてワークＷが正常品か否かを判断する。
【０００６】
検査方法は、ワーク検査治具６２を右回転方向に一定速度（角速度Ｆｒ）で回転させた状態において、ある時間Ｔｒａから時間Ｔｒｂまでの間、ヨーレートセンサー６１の出力電圧値をＣＰＵ６７に取り込むとともに、積分演算した実測演算電圧値をＥｒとして記憶する。なお、ある時間Ｔｒａから時間Ｔｒｂまでの間にワーク検査治具６２が回転する角度Ｒは予め決められている。ヨーレートセンサー６１の仕様で定まる感度の最大値σｒMax 及び最小値σｒMin がメモリ６８に記憶されており、角速度Ｆｒを電圧変換した値の最大値をＥｒMax(Ｖ) 、最小値をＥｒMin(Ｖ) とすると、ＥｒMax(Ｖ) 及びＥｒMin(Ｖ) は次式で表され、ＥｒMax(Ｖ) 及びＥｒMin(Ｖ) は基準値としてメモリ６８に記憶されている。
【０００７】
ＥｒMax(Ｖ) ＝Ｆｒ×σｒMax 
ＥｒMin(Ｖ) ＝Ｆｒ×σｒMin 
そして、ヨーレートセンサー６１の実測演算電圧値Ｅｒが次式を満たせば検査合格となる。
【０００８】
Ｆｒ×σｒMin ＜Ｅｒ＜Ｆｒ×σｒMax 
同様に、ワーク検査治具６２を左回転方向に一定の速度（角速度Ｆｆ）で回転させた状態で、ある時間Ｔｆａから時間Ｔｆｂまでの間、ヨーレートセンサー６１の出力電圧値をＣＰＵ６７に取り込むとともに、積分演算した実測演算電圧値をＥｆとして記憶する。なお、ある時間Ｔｆａから時間Ｔｆｂまでの間にワーク検査治具６２が回転する角度Ｒは予め決められている。ヨーレートセンサー６１の仕様で定まる感度の最大値σｆMax 及び最小値σｆMin がメモリ６８に記憶されており、角速度Ｆｆを電圧変換した値の最大値をＥｆMax(Ｖ) 、最小値をＥｆMin(Ｖ) とすると、ＥｆMax(Ｖ) 及びＥｆMin(Ｖ) は次式で表され、ＥｆMax(Ｖ) 及びＥｆMin(Ｖ) は基準値としてメモリ６８に記憶されている。
【０００９】
ＥｆMax(Ｖ) ＝Ｆｆ×σｒMax 
ＥｆMin(Ｖ) ＝Ｆｆ×σｒMin 
そして、ヨーレートセンサー６１の実測演算電圧値Ｅｆが次式を満たせば検査合格となる。
【００１０】
Ｆｆ×σｒMin ＜Ｅｆ＜Ｆｆ×σｒMax 
【特許文献１】特開平７−１１０３４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところが、ヨーレートセンサー６１は感度が非常に大きいため、ワーク検査治具６２にワークＷをセットした時における配線のテンション等のバラツキ、配線とコネクタとの接続状態の違い等により、ワーク検査治具回転用モータ６３に作用する負荷が変動し、検査装置において一定に設定されたワーク検査治具６２の角速度Ｆｒが変動する。その結果、ワークＷが正常品にも拘わらず、検査装置の基準値から外れて検査不合格になる確率が高くなる。よって、正常品が不合格品として処理されるのを防止する場合は、ワークＷのワーク検査治具６２に対するセット状態をやり直して、検査を再度行なっていた。そのため、検査に手間が掛かるという問題があった。
【００１２】
特許文献１にはそのような場合に対する対処方法に関してはなんら記載がない。
本発明は、前記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、検査の精度を高めることができるとともに、正常品が不合格になるのを防止するために、検査装置に対するセンサーユニットのセットをやり直して再検査を行う手間をなくすことができるセンサーユニット検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記の目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、センサーが装備されたセンサーユニットを回転可能に支持する治具と、前記治具を回転させる回転手段と、前記治具が所定角度回転されたことを検出する回転検出手段とを備えている。また、前記センサーユニットが支持された状態で前記治具が回転される際に前記回転検出手段から出力される電圧信号と、前記センサーから出力される電圧信号とを同期させて入力するとともに、その同期状態で得られた実測値と、前記センサーの保証感度及び前記回転検出手段により検出された回転速度とに基づいて前記センサーユニットが合格か否かを判断する判断手段を備えている。
【００１４】
この発明では、治具の回転速度、即ちセンサーユニットの回転速度に関する出力信号と、センサーからの出力信号とが同期した状態で判断手段に入力される。そして、治具にセンサーユニットをセットした時における配線のテンション等のバラツキにより、回転手段に対する負荷の変動に起因して角速度が変動しても、その変動が合否判断の基準値に反映される。その結果、検査の精度を高めることができるとともに、正常品が不合格になるのを防止するために、検査装置に対するセンサーユニットのセットをやり直して再検査を行う手間をなくすことができる。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記回転検出手段は、前記回転手段の回転を伝達する回転伝達手段と、その回転伝達手段の回転量を検出可能な回転検出器とを備えている。この発明では、回転手段の回転が回転伝達手段に伝達され、回転伝達手段の回転量を検出することにより治具の回転速度が検出される。従って、回転軸の回転速度を直接検出する場合に比較して回転検出手段の設置箇所の自由度が高くなる。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記回転伝達手段はギヤであり、前記回転検出器はロータリポテンショメータである。この発明では、容易に入手できる部品で回転伝達手段及び回転検出器を構成することができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記回転検出手段は、前記治具と共に回転される被検出部が前記所定角度回転される際の前記被検出部の前記所定角度に対応する二位置を検出可能な位置検出器である。この発明では、治具が一定速度で回転されている状態において、治具と一体回転する被検出部を、所定角度の一端に対応する第１の位置と、他端に対応する第２の位置とで検出する。そして、その間の時間と所定角度から治具の角速度、即ちセンサーユニットの角速度が検出される。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記位置検出器は非接触状態で前記二位置を検出する。この発明では、非接触状態で検出が行われるため、接触状態で検出を行う場合に比較して耐久性が向上する。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記位置検出器は接触状態で前記二位置を検出する。この発明では、位置検出器としてリミットスイッチ等の汎用で安価なものを使用することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、検査の精度を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（第１の実施形態）
以下、本発明をセンサーとしてヨーレートセンサーが装備されたセンサーユニットの検査を行うセンサーユニット検査装置に具体化した第１の実施形態を図１及び図２にしたがって説明する。
【００２２】
図１に示すように、検査装置１１は、ワークとしてのセンサーユニット１２を回転可能に支持する治具１３と、治具１３を回転させる回転手段としての治具回転用モータ１４とを備えている。治具回転用モータ１４は、鉛直方向に延びる状態の回転軸１５を一定速度で正転（右回転）及び逆転（左回転）可能に構成されている。治具回転用モータ１４はサーボモータで構成されている。治具回転用モータ１４は、例えば、回転軸１５を１〜３秒で１回転させる程度の回転速度で回転させるようになっている。治具１３は、回転中心が鉛直方向に延びる状態で回転軸１５に固定されている。
【００２３】
センサーユニット１２は、センサーとしてのヨーレートセンサー１６が装備されるとともに、ヨーレートセンサー１６の出力信号が入力されるインターフェイス回路１７を備えている。センサーユニット１２は、例えば車両に装備されて、ヨーレートセンサー１６の検出信号にもとづいて所定の制御を行うコントローラである。
【００２４】
検査装置１１は、治具１３が所定角度回転されたことを検出する回転検出手段１８及び制御装置１９を備えている。回転検出手段１８は、治具回転用モータ１４の回転を伝達する回転伝達手段２０と、回転伝達手段２０の回転量を検出可能な回転検出器としてのロータリポテンショメータ２１とを備えている。この実施形態では、回転伝達手段２０は回転軸１５に一体回転可能に固定されたギヤ２０ａと、ギヤ２０ａに噛合するとともにロータリポテンショメータ２１に回転を伝達するギヤ２０ｂとで構成されている。両ギヤ２０ａ，２０ｂは歯数比が１：１に形成されており、ギヤ２０ｂは回転軸１５が１回転するとロータリポテンショメータ２１の軸２１ａを１回転させるようになっている。
【００２５】
制御装置１９は、ＣＰＵ２２、メモリ２３及びインターフェイス回路２４を備えている。ＣＰＵ２２は、治具回転用モータ１４を図示しない駆動回路を介して制御する。ＣＰＵ２２は、センサーユニット１２が支持された状態で治具１３が回転される際にロータリポテンショメータ２１から出力される電圧信号と、ヨーレートセンサー１６から出力される電圧信号とを同期させて入力する。ＣＰＵ２２は、ヨーレートセンサー１６の出力をインターフェイス回路１７，２４及びＡ／Ｄ変換回路２５を介して入力するとともに、ロータリポテンショメータ２１の出力をインターフェイス回路２４及びＡ／Ｄ変換回路２６を介して入力する。ＣＰＵ２２は、同期状態で得られた実測値と、ヨーレートセンサー１６の保証感度及びロータリポテンショメータ２１により検出された回転速度即ち角速度とに基づいてセンサーユニット１２が合格か否かを判断する。
【００２６】
メモリ２３には、治具１３が治具回転用モータ１４によって右回転される際、ロータリポテンショメータ２１から出力される２つの電圧値Ｐｒａ，Ｐｒｂが記憶されている。電圧値Ｐｒａは、治具１３の回転速度が一定速度に達した後のある時点に、ロータリポテンショメータ２１から出力される電圧値である。電圧値Ｐｒｂは、電圧値Ｐｒａが出力された状態から治具１３が更に右方向に角度Ｒ回転された時点でロータリポテンショメータ２１から出力される電圧値である。
【００２７】
また、メモリ２３には、治具１３が治具回転用モータ１４によって左回転される際、ロータリポテンショメータ２１から出力される２つの電圧値Ｐｆａ，Ｐｆｂが記憶されている。電圧値Ｐｆｂは、治具１３の回転速度が一定速度に達した以後のある時点に、ロータリポテンショメータ２１から出力される電圧値である。電圧値Ｐｆａは、電圧値Ｐｆｂが出力された状態から治具１３が更に左方向に角度Ｒ回転された時点でロータリポテンショメータ２１から出力される電圧値である。
【００２８】
角度Ｒは１８０度より小さな値である。電圧値Ｐｒａ，Ｐｒｂ，Ｐｆｂ，Ｐｆａは予め試験により測定されて、メモリ２３に記憶されている。またメモリ２３には、ヨーレートセンサー１６の仕様で定まる右回転時の感度の最大値σｒMax 及び最小値σｒMin と、左回転時の感度の最大値σｆMax 及び最小値σｆMin が記憶されている。
【００２９】
次に、上記のように構成された検査装置１１の作用について説明する。
センサーユニット１２の検査を行う場合は、センサーユニット１２を治具１３と一体に回動されるように治具１３にセットする。センサーユニット１２が治具１３にセットされた状態で検査装置１１の起動スイッチが入れられると、制御装置１９により、治具回転用モータ１４が治具１３を一定速度で右回転（正転）させるように駆動制御される。治具回転用モータ１４が駆動されると、回転軸１５を介して治具１３が右回転される。また、回転軸１５の回転がギヤ２０ａ，２０ｂを介してロータリポテンショメータ２１の軸２１ａに伝達される。
【００３０】
ヨーレートセンサー１６及びロータリポテンショメータ２１からは、図２に示すように、電圧信号が出力される。なお、図２においては、ヨーレートセンサー１６の出力電圧がプラス側からマイナス側に変わるときに、出力電圧ゼロである時間経過するように図示しているが、これは分かり易くするためであり、実際は、ロータリポテンショメータ２１の出力電圧が低下し始めるときに出力電圧はマイナス側になる。
【００３１】
ＣＰＵ２２は治具回転用モータ１４の駆動開始後、治具１３が一定速度で回転される状態になる所定時間経過後で、ロータリポテンショメータ２１の出力が予め設定された電圧値Ｐｒａになった時のある時間をＴｒａ＝０としてメモリ２３に記憶する。また、ロータリポテンショメータ２１の出力が予め設定された電圧値Ｐｒｂになった時のある時間をＴｒｂとしてメモリ２３に記憶するとともに、時間Ｔｒａから時間Ｔｒｂまでの経過時間Ｔｒｐをメモリ２３に記憶する。
【００３２】
ＣＰＵ２２は、時間Ｔｒａからロータリポテンショメータ２１の出力が予め設定された電圧値Ｐｒｂになるまでの間、ヨーレートセンサー１６の出力電圧値を入力して積分演算するとともに演算結果を実測演算電圧値Ｅｒとしてメモリ２３に記憶する。そして、ＣＰＵ２２は、右回転時の角速度Ｆｒを角度Ｒと経過時間Ｔｒｐとから、Ｆｒ＝Ｒ／Ｔｒｐとして演算するとともに、右回転時の感度の最大値σｒMax 及び最小値σｒMin を用いて、センサーユニット１２の合否判断の範囲を次式のように設定する。
【００３３】
（Ｒ／Ｔｒｐ）×σｒMin ＜Ｅｒ＜（Ｒ／Ｔｒｐ）×σｒMax ・・・（１）
ＣＰＵ２２は実測演算電圧値Ｅｒが（１）式を満たしていれば、右回転は合格と判断し、満たしていなければ不合格と判断する。
【００３４】
制御装置１９は、治具１３を１８０度回転させた後、治具回転用モータ１４を逆回転（左回転）させる。そして、センサーユニット１２の左回転時について検査を行う。治具１３が左回転になった後、ＣＰＵ２２は、ロータリポテンショメータ２１の出力が予め設定された電圧値Ｐｆｂになった時のある時間をＴｆｂ＝０としてメモリ２３に記憶する。また、ロータリポテンショメータ２１の出力が予め設定された電圧値Ｐｆａになった時のある時間をＴｆａとしてメモリ２３に記憶するとともに、時間Ｔｆｂから時間Ｔｆａまでの経過時間Ｔｆｐをメモリ２３に記憶する。
【００３５】
ＣＰＵ２２は、時間Ｔｆｂからロータリポテンショメータ２１の出力が予め設定された電圧値Ｐｆａになるまでの間、ヨーレートセンサー１６の出力電圧値を入力して積分演算するとともに演算結果を実測演算電圧値Ｅｆとしてメモリ２３に記憶する。そして、ＣＰＵ２２は、左回転時の角速度Ｆｆを角度Ｒと経過時間Ｔｆｐとから、Ｆｆ＝Ｒ／Ｔｆｐとして演算するとともに、左回転時の感度の最大値σｆMax 及び最小値σｆMin を用いて、センサーユニット１２の合否判断の範囲を次式のように設定する。
【００３６】
（Ｒ／Ｔｆｐ）×σｆMin ＜Ｅｆ＜（Ｒ／Ｔｆｐ）×σｆMax ・・・（２）
ＣＰＵ２２は実測演算電圧値Ｅｆが（２）式を満たしていれば、左回転は合格と判断し、満たしていなければ不合格と判断する。そして、右回転及び左回転の両方で合格となったセンサーユニット１２が最終的に合格品となる。ＣＰＵ２２は、同期状態で得られた実測値と、ヨーレートセンサー１６の保証感度及びロータリポテンショメータ２１により検出された回転速度とに基づいてセンサーユニット１２が合格か否かを判断する判断手段を構成する。
【００３７】
この実施の形態では以下の効果を有する。
（１）検査装置１１は、センサー（ヨーレートセンサー１６）が装備されたセンサーユニット１２を回転可能に支持する治具１３と、治具１３を回転させる治具回転用モータ１４と、治具１３が所定角度回転されたことを検出する回転検出手段１８とを備えている。そして、センサーユニット１２が支持された状態で治具１３が回転される際に回転検出手段１８から出力される電圧信号と、ヨーレートセンサー１６から出力される電圧信号とを同期させて入力する。そして、その同期状態で得られた実測値と、ヨーレートセンサー１６の保証感度及び回転検出手段１８により検出された回転速度とに基づいてセンサーユニット１２が合格か否かを判断する。
【００３８】
従って、治具１３にセンサーユニット１２をセットした時における配線のテンション等のバラツキにより、治具回転用モータ１４に対する負荷の変動に起因して角速度が変動しても、その変動が合否判断の基準値に反映される。その結果、検査の精度を高めることができるとともに、正常品が不合格になるのを防止するために、検査装置１１に対するセンサーユニット１２のセットをやり直して再検査を行う手間をなくすことができる。
【００３９】
（２）治具１３が所定角度回転されたことを検出する回転検出手段１８は、治具回転用モータ１４の回転を伝達する回転伝達手段２０と、回転検出手段１８の回転量を検出可能な回転検出器とを備えている。従って、治具回転用モータ１４で駆動される回転軸１５の回転速度を直接検出する場合に比較して回転検出手段１８の設置箇所の自由度が高くなる。
【００４０】
（３）回転伝達手段２０はギヤ２０ａ，２０ｂであり、回転検出器はロータリポテンショメータ２１である。従って、容易に入手できる部品で回転伝達手段２０及び回転検出器を構成することができる。
【００４１】
（第２の実施形態）
次に、本発明を具体化した第２の実施形態を図３及び図４を参照しながら説明する。なお、第２の実施形態は、回転検出手段の構成が第１の実施形態と異なっており、その他の構成は基本的に同様であるため、同様の部分についてはその詳細な説明を省略する。
【００４２】
図３に示すように、回転軸１５には被検出部として細長い長方形状の被検出板２７が回転軸１５と直交する状態で一体回転可能に固定されている。被検出板２７は磁性体又は金属で形成されている。治具１３が所定角度回転される際の所定角度Ｒに対応する二位置に被検出板２７が配置されたことを検出可能な第１の位置検出器２８及び第２の位置検出器２９が被検出板２７の回転領域の上方に配置されている。
【００４３】
両位置検出器２８，２９には近接スイッチが使用され、両位置検出器２８，２９は被検出板２７が対向する位置を通過する際に被検出板２７を検出可能に構成されている。両位置検出器２８，２９は、被検出板２７の検出状態において出力がＨｉ、非検出状態において出力がＬｏｗになるように構成されている。即ち、両位置検出器２８，２９は、被検出板２７の幅（回転方向の長さ）と対応する間は出力がＨｉになる。
【００４４】
両位置検出器２８，２９は、被検出板２７が基準位置から右回転される際、先ず第１の位置検出器２８が被検出板２７を検出し、その後、被検出板２７が所定角度Ｒ回転した状態で第２の位置検出器２９が被検出板２７を検出するように配置されている。また、両位置検出器２８，２９は、被検出板２７が基準位置から１８０度右回転されるまでに、第１の位置検出器２８及び第２の位置検出器２９と対応する位置を通過するように配置されている。従って、被検出板２７が基準位置から１８０度右回転された後、逆回転（左回転）される際には、先ず第２の位置検出器２９が被検出板２７を検出し、その後、被検出板２７が所定角度Ｒ回転した状態で第１の位置検出器２８が被検出板２７を検出するようになっている。
【００４５】
ＣＰＵ２２は、センサーユニット１２が支持された状態で治具１３が回転される際に第１の位置検出器２８及び第２の位置検出器２９から出力される電圧信号と、ヨーレートセンサー１６から出力される電圧信号とを同期させて入力する。ＣＰＵ２２は、ヨーレートセンサー１６の出力をインターフェイス回路１７，２４及びＡ／Ｄ変換回路２５を介して入力するとともに、両位置検出器２８，２９の出力をインターフェイス回路２４を介して入力する。ＣＰＵ２２は、同期状態で得られた実測値と、ヨーレートセンサー１６の保証感度及び両位置検出器２８，２９により検出された回転速度即ち角速度とに基づいてセンサーユニット１２が合格か否かを判断する。
【００４６】
次に、ＣＰＵ２２によるセンサーユニット１２の合否判断手順について説明する。
図４は、ヨーレートセンサー１６からの出力信号と、第１の位置検出器２８及び第２の位置検出器２９からの出力信号の関係を示すグラフである。
【００４７】
ＣＰＵ２２は、治具回転用モータ１４が正転（右回転）の駆動開始後、第１の位置検出器２８からＨｉ信号が入力された瞬間（図４における信号の立ち上がり）の時間をＴｒａ＝０としてメモリ２３に記憶する。その後、第２の位置検出器２９からＨｉ信号が入力された瞬間（図４における信号の立ち上がり）の時間をＴｒｂとしてメモリ２３に記憶するとともに、時間Ｔｒａから時間Ｔｒｂまでの経過時間Ｔｒｐをメモリ２３に記憶する。
【００４８】
ＣＰＵ２２は、時間Ｔｒａから時間Ｔｒｂまでの間、ヨーレートセンサー１６の出力電圧値を入力して積分演算するとともに演算結果を実測演算電圧値Ｅｒとしてメモリ２３に記憶する。そして、ＣＰＵ２２は、右回転時の角速度Ｆｒを角度Ｒと経過時間Ｔｒｐとから、Ｆｒ＝Ｒ／Ｔｒｐとして演算するとともに、右回転時の感度の最大値σｒMax 及び最小値σｒMin を用いて、センサーユニット１２の合否判断の範囲を次式のように設定する。
【００４９】
（Ｒ／Ｔｒｐ）×σｒMin ＜Ｅｒ＜（Ｒ／Ｔｒｐ）×σｒMax ・・・（１）
ＣＰＵ２２は実測演算電圧値Ｅｒが（１）式を満たしていれば、右回転は合格と判断し、満たしていなければ不合格と判断する。
【００５０】
ＣＰＵ２２は、治具１３を１８０度回転させた後、治具回転用モータ１４を逆回転（左回転）させる。そして、センサーユニット１２の左回転時について検査を行う。治具１３が左回転になった後、ＣＰＵ２２は、第２の位置検出器２９からＨｉ信号が入力された瞬間（図４における信号の立ち上がり）の時間をＴｆｂ＝０としてメモリ２３に記憶する。その後、第１の位置検出器２８からＨｉ信号が入力された瞬間（図４における信号の立ち上がり）の時間をＴｆａとしてメモリ２３に記憶するとともに、時間Ｔｆｂから時間Ｔｆａまでの経過時間Ｔｆｐをメモリ２３に記憶する。
【００５１】
ＣＰＵ２２は、時間Ｔｆｂから時間Ｔｆａまでの間、ヨーレートセンサー１６の出力電圧値を入力して積分演算するとともに演算結果を実測演算電圧値Ｅｆとしてメモリ２３に記憶する。そして、ＣＰＵ２２は、左回転時の角速度Ｆｆを角度Ｒと経過時間Ｔｆｐとから、Ｆｆ＝Ｒ／Ｔｆｐとして演算するとともに、左回転時の感度の最大値σｆMax 及び最小値σｆMin を用いて、センサーユニット１２の合否判断の範囲を次式のように設定する。
【００５２】
（Ｒ／Ｔｆｐ）×σｆMin ＜Ｅｆ＜（Ｒ／Ｔｆｐ）×σｆMax ・・・（２）
ＣＰＵ２２は実測演算電圧値Ｅｆが（２）式を満たしていれば、左回転は合格と判断し、満たしていなければ不合格と判断する。そして、右回転及び左回転の両方で合格となったセンサーユニット１２が最終的に合格品となる。
【００５３】
この第２の実施形態においては、第１の実施形態の効果（１）と同様の効果を有する他に次の効果を有する。
（４）回転検出手段は、治具１３と共に回転される被検出部（被検出板２７）が所定角度Ｒ回転される際の被検出板２７の所定角度Ｒに対応する二位置を検出可能な第１の位置検出器２８及び第２の位置検出器２９で構成されている。従って、両位置検出器２８，２９の感度が多少変動しても所定角度Ｒを正確に検出することができる。
【００５４】
（５）両位置検出器２８，２９は非接触状態で前記二位置を検出するため、接触状態で検出を行う場合に比較して耐久性が向上する。
実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
【００５５】
○  回転伝達手段２０としてギヤ２０ａ，２０ｂに代えて滑りが防止されたローラを使用してもよい。
○  回転伝達手段２０を構成するギヤ２０ａ，２０ｂの歯数比あるいはローラの外径比を１：１以外の比となる構成にしてもよい。
【００５６】
○  回転伝達手段２０を用いずに、回転軸１５の回転や治具１３の回転を直接回転検出器で検出する構成や、治具回転用モータ１４の軸に回転検出器を取り付けた構成としてもよい。
【００５７】
○  回転検出器としてレゾルバやロータリエンコーダを使用してもよい。
○  第２の実施形態において、両位置検出器２８，２９として、近接スイッチに代えて反射式光センサーを使用してもよい。反射式光センサーを使用した場合は、両位置検出器２８，２９の投光部から出射されるとともに被検出板２７で反射されて受光部に入射した光を検出することにより被検出板２７が検出される。
【００５８】
○  被検出板２７の検出に光センサーを使用する場合、反射式光センサーに代えて透過式光センサーを使用してもよい。その場合は、被検出板２７の通過領域を挟んで透過式光センサーの投光部と受光部とを配設するとともに、投光部からの光が受光部で受光されない状態が被検出板２７の検出状態となる。
【００５９】
○  被検出部は細長い長方形状の被検出板２７に限らず、バー（棒材）や円板等であってもよい。円板の場合、位置検出器として近接スイッチを使用する場合には、円板は被磁性体製とし所定位置に磁性体製の被検出部を設けるか、金属あるいは磁性体製の円板の所定位置に孔、スリットあるいは切り欠きを設ける。また、位置検出器として反射式光センサーを使用する場合には、反射防止処理が施された円板の所定位置に反射体製の被検出部を設ける。また、位置検出器として透過式光センサーを使用する場合には、円板の所定位置に孔、スリットあるいは切り欠きを設ける。
【００６０】
○  治具１３と共に回転される被検出部が所定角度回転される際の被検出部の前記所定角度に対応する二位置を検出可能な位置検出器は、非接触状態で前記二位置を検出する構成に限らず、接触状態で前記二位置を検出する構成としてもよい。例えば、位置検出器としてリミットスイッチやマイクロスイッチを使用してもよい。リミットスイッチとして汎用で安価なものを使用することができる。
【００６１】
○  第１の位置検出器２８及び第２の位置検出器２９としてアナログ信号を出力する構成のものを使用するとともに、Ａ／Ｄ変換回路を介してＣＰＵ２２が入力する構成としてもよい。
【００６２】
○  検査の際に治具１３を右回転あるいは左回転させる際の回転量は１８０度に限らず、１８０度未満でも１８０度より大きくてもよい。
以下の技術的思想（発明）は前記実施形態から把握できる。
【００６３】
・  請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載の発明において、前記センサーはヨーレートセンサーである。
・  ヨーレートセンサーが装備されたセンサーユニットを治具に一体回転可能に支持した状態で前記治具を回転させ、治具が所定角度回転されたことを検出する回転検出手段からの出力信号と、前記ヨーレートセンサーからの出力信号とを同期させて入力するとともに、その同期状態で得られた実測値と、前記ヨーレートセンサーの保証感度及び前記回転検出手段により検出された回転速度とに基づいて前記センサーユニットが合格か否かを判断するセンサーユニット検査方法。  
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】第１の実施形態の模式構成図。
【図２】ロータリポテンショメータ及びヨーレートセンサーの出力変化を示すグラフ。
【図３】第２の実施形態の模式構成図。
【図４】位置検出器及びヨーレートセンサーの出力変化を示すグラフ。
【図５】従来技術の検査装置の模式構成図。
【符号の説明】
【００６５】
１２…センサーユニット、１３…治具、１４…回転手段としての治具回転用モータ、１６…センサーとしてのヨーレートセンサー、１８…回転検出手段、２０…回転伝達手段、２０ａ，２０ｂ…ギヤ、２１…回転検出器としてのロータリポテンショメータ、２２…判断手段を構成するＣＰＵ、２７…被検出部としての被検出板、２８…第１の位置検出器、２９…第２の位置検出器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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