(57)【要約】【課題】レチクルケースの帯電を防止し、レチクルおよびレチクルケースへの塵埃等の異物の静電的付着を防止し、かつレチクル情報を確実に把握すること。【解決手段】レチクルケースの上・下面に透明窓を設ける。これによりレチクルケース内のレチクル状態およびレチクル情報を把握できる。透明窓以外のレチクルケースは非帯電性材料で形成され、かつ連続している。これによりレチクルケースの帯電を防止できる。レチクルケースには呼吸弁およびケミカルアブソーバーが設置される。これによりレチクルケース内は、常に清浄な環境に保持される。呼吸弁はレチクルケース外表面から張り出さない構造である。このため、レチクルケース本体および蓋体の側面に形成されたV溝を用いて固定スライダでレチクルケース本体および蓋体を結合固定できる。また、呼吸弁の破損がなくなりレチクルケースの取り扱いも容易になる。【選択図】図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と、蓋体と、レチクルを支持するための支持体とからなる、レチクルを内部に収納するためのレチクルケースにおいて、前記本体底面の少なくとも一部が透明窓であることを特徴とするレチクルケース。
【請求項２】
上記透明窓は、上記レチクル上の本パターン周辺部に記されている情報を把握することが可能な位置に存在することを特徴とする、請求項１記載のレチクルケース。
【請求項３】
上記透明窓は、上記レチクル上の本パターン周辺部に配置される４箇所の周辺スペース部分のうち、少なくとも１箇所の周辺スペース部分を把握することが可能な大きさであることを特徴とする、請求項１または２記載のレチクルケース。
【請求項４】
上記透明窓は、上記レチクル全体を把握することが可能な大きさであることを特徴とする、請求項１記載のレチクルケース。
【請求項５】
上記蓋体上面の少なくとも一部が透明窓であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項６】
上記蓋体上面における透明窓は、上記レチクル上の本パターン周辺部に記されている情報を把握することが可能な位置に存在することを特徴とする、請求項５記載のレチクルケース。
【請求項７】
上記蓋体上面における透明窓は、上記レチクル上の本パターン周辺部に配置される４箇所の周辺スペース部分のうち、少なくとも１箇所の周辺スペース部分を把握することが可能な大きさであることを特徴とする、請求項５または６記載のレチクルケース。
【請求項８】
上記蓋体上面における透明窓は、上記レチクル全体を把握することが可能な大きさであることを特徴とする、請求項５記載のレチクルケース。
【請求項９】
上記本体底面および蓋体上面における透明窓は、上記本体底面および蓋体上面における透明窓を用いて透過光により、上記レチクル上の本パターン周辺部に記されている情報を把握することが可能な位置に存在することを特徴とする、請求項５または6記載のレチクルケース。
【請求項１０】
上記本体底面および蓋体上面における透明窓は、上記本体底面および蓋体上面における透明窓を用いて透過光により、上記レチクル上の本パターン周辺部に配置される４箇所の周辺スペース部分のうち、少なくとも１箇所の周辺スペース部分を把握することが可能な大きさであることを特徴とする、請求項５〜７のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項１１】
上記本体および蓋体における透明窓は、上記本体および蓋体における透明窓を用いて透過光により、上記レチクル全体を把握することが可能な大きさであることを特徴とする、請求項５または8記載のレチクルケース。
【請求項１２】
上記透明窓は、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、スチレン樹脂からなる高分子材料から選択される少なくとも１種類の高分子材料であることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項１３】
上記透明窓は、上記高分子材料の上に透明導電体膜を被覆したものであることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項１４】
上記透明窓以外の本体および蓋体は、各々連続して構成された非帯電性高分子材料から形成されていることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項１５】
上記非帯電性高分子材料は、カーボンファイバー、金属微粒子または導電性ナノチューブを含む非帯電性高分子材料であることを特徴とする、請求項１４記載のレチクルケース。
【請求項１６】
上記本体を上記蓋体で閉じた場合において、上記支持体は上記レチクルの４頂角近傍部分を線接触または点接触で上下から対向挟持して、上記レチクルを保持固定することを特徴とする、請求項１〜１５のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項１７】
上記支持体における上記レチクルを挟持する保持部は、弾性構造となっていることを特徴とする、請求項１６記載のレチクルケース。
【請求項１８】
上記弾性構造は、弾性高分子材料で形成されると同時に、裏面側に空隙を有し両端を支持されてなるバネ構造であることを特徴とする、請求項１７記載のレチクルケース。
【請求項１９】
上記本体および蓋体の結合部は、上記本体を上記蓋体で閉じた時に、内部を外界から気密に隔離してシールするためのガスケットを有していることを特徴とする、請求項１〜１８のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項２０】
上記本体および蓋体の結合部分において、上記本体を上記蓋体で閉じた時に、内部を気密に隔離可能なように上記結合部分をテーピングにより被うために、上記結合部分の上記本体および蓋体の両外側面に所定の幅を持った平面部を有していることを特徴とする、請求項１〜１９のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項２１】
上記レチクルを上記レチクルケースに収納した場合において、上記レチクルは、上記レチクルケース側面の中央部分に配置されるとともに、上記レチクルの底面は、上記本体と上記蓋体との結合部分よりも上に位置していることを特徴とする、請求項１〜２０のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項２２】
上記レチクルを上記レチクルケースに収納した場合において、上記レチクルを保持固定している位置の近傍に、少なくとも複数の貫通孔が存在し、各々の貫通孔にはダストフィルターを介して環境中の微粒子を除去するための呼吸弁が取り付けられていることを特徴とする、請求項１〜２１のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項２３】
上記呼吸弁は、上記蓋体の相対する面に一対設置されていることを特徴とする、請求項２２記載のレチクルケース。
【請求項２４】
上記呼吸弁は、上記蓋体の対角線の近傍位置に設置されていることを特徴とする、請求項２２または２３記載のレチクルケース。
【請求項２５】
上記呼吸弁には、さらに所定の化学物質を吸着するケミカルフィルターを有していることを特徴とする、請求項２２〜２４のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項２６】
上記呼吸弁は、上記蓋体の外側面よりも外側へ張り出していないことを特徴とする、請求項２２〜２５のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項２７】
上記蓋体の内面に、所定の化学物質を吸着する少なくとも１つのケミカルアブソーバーが設置されていることを特徴とする、請求項１〜２６のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項２８】
上記ケミカルアブソーバーは、上記呼吸弁が配置されている対角線とは異なる他の対角線の近傍位置に設置されていることを特徴とする、請求項２７記載のレチクルケース。
【請求項２９】
上記本体および蓋体の結合部分において、押さえ部が平行移動可能なスライド部品で固定されることを特徴とする、請求項１〜２８のいずれかの項記載のレチクルケース。
【請求項３０】
上記スライド部品は、上記本体および蓋体の所定の位置に形成されたＶ溝に嵌合して固定可能なバネ構造を有していることを特徴とする、請求項２９記載のレチクルケース。
【請求項３１】
上記スライド部品は、スライドさせることにより、結合した上記本体および蓋体から取り外しできるとともに、スライドさせることにより、上記本体および蓋体を結合させることができるように、上記本体および蓋体の所定の位置に上記Ｖ溝が形成されていることを特徴とする、請求項２９または３０記載のレチクルケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体の微細パターンを形成するためのレチクルを収納するレチクルケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体、特にＬＳＩにおいて使用されるトランジスタ、配線、拡散層、コンタクトホールなどのパターンは年々小さくかつ狭くなってきている。2006年における工業上の最小線幅は約100nm〜130nmであり、2020年には約50nmのパターンが要求されている。このようなパターンを形成するには、フォトリソ技術を用いる。すなわち、光（紫外光やX線も含む）または電子線をレチクルに照射し、半導体基板上のフォトレジストを露光することにより、微細パターンを形成する。レチクル上には、半導体基板上に形成される実際のパターン（実パターン）と同じ程度のサイズ（等倍投影露光の場合は、実パターンと同じサイズ、縮小投影露光の場合は、実パターンより縮小の分だけ拡大したザイズ）の微細化された回路パターンが形成されている。従って、レチクル上に微小なゴミや微粒子などの異物が付着すると、その異物もパターン形成される。その結果、半導体基板上にはパターン欠陥として存在し、半導体デバイスが本来の機能を有しないものとなる。半導体デバイスの場合には、通常何枚ものレチクルを使い長い工程を経た後に完成品ができる。パターン欠陥検査装置を用いて、工程ごとのパターン欠陥を検査する場合もあるが、この検査装置は非常に高価なものであるため、通常は余り使用されない。従って、１回のレチクルによるパターン欠陥が発生しても半導体デバイスが完成するまで、気が付かないことも多く、半導体デバイス完成後の電気特性試験において歩留まりが悪く、それを解析することにより、初めてレチクルに付着したゴミ等が原因だと分る。しかし、この段階で把握したとしても、それまでの間には多くの不良品が生産される可能性もあり、高額の損失を被る場合もある。従って、レチクルにゴミを付着させないことが重要であり、レチクルは通常レチクルケースに収納されて取り扱われる。
【０００３】
すなわち、レチクルを作製するメーカーでは、クリーン度を厳重に管理したクリーンルームにおいて、レチクル上にパターンを作製する。パターン欠陥検査装置を用いて、レチクル上の異物の存在を検査して、良品レチクルをレチクルケースに保管し、半導体デバイスメーカーに送付する。また、レチクル作製メーカーのプロセス中に、レチクルをレチクルケースに保管し、プロセスを行う場合もある。
【０００４】
レチクルケースに入れられたレチクルを受け入れた半導体デバイスメーカーでは、レチクルケースに入れた状態でレチクルをクリーンルームに入れ、通常ステッパー等の露光装置内で、レチクル収納ケースからレチクルを取り出し、レチクルを使って半導体基板にパターン形成する。露光が終了すれば、露光装置内でレチクルをレチクル収納ケースへ再び収納する。繰り返し使う場合は、露光装置内に置かれる場合もある。以上の露光装置内のレチクルの処理はすべて自動化されている。しかし、すぐ使用しない場合は、露光装置から取り出し、レチクル保管庫へ保管される。
【０００５】
以上のように、レチクルには、ごみ等の異物が付着しないように厳重に管理されていて、クリーンルーム内においても、レチクルはレチクル収納ケースに入れられて搬送などがなされる。レチクルがレチクル収納ケース内で動いたりすると、レチクルに傷がついたり、その傷から出た異物がレチクルに付着してしまう。従って、レチクルをしっかりと固定する支持をレチクルケース内に持つ必要がある。
【０００６】
レチクルは、ガラス基板の上にクロムなどの導電体膜のパターンが形成されている。従って、ガラス基板は帯電しやすく、周囲にゴミ等の異物があるとその異物を付着しやすい。そこで、レチクルケースにはゴミが付着しないような構造にする必要がある。そのために、レチクルケースは、帯電しないようにすることが望ましい。露光装置の中以外では、通常レチクルをレチクルケースから取り出さないので、どのようなレチクルが入っているかを把握することができるように、従来は透明なレチクルケースへ保管されていた。しかし、透過度の高い材料、たとえば、不純物のないポリカーボネートは、導電性が非常に悪く、帯電しやすいという問題点があった。これを防止するために、炭素入りのポリカーボネートを用いる場合があるが、帯電しにくい程度の炭素量を含んだものは、着色し肉眼ではレチクルケースの内部を把握できない。あるいは、アンモニウム塩等の化学物質である不純物を含みある程度透過性を確保しながら帯電性も幾分改良し、内部を把握できるようにした高分子材料（たとえば、光吸収色素を含むABC樹脂）から構成されたレチクルケースも存在するが、レチクルケースに含まれた不純物からわずかではあるがアウトガスが発生し、長い間にレチクル表面が曇ってくるという問題が発生する。
【０００７】
レチクル作製メーカーから、半導体デバイスメーカーへレチクルケースを搬送する間に、気圧などが変化する時には次のような問題がある。レチクルケースの気密性が不十分な場合において、航空機輸送時に上空で減圧された時にレチクルケース内部のガスがリークし、地上に戻った時に再び外気が入り込み、レチクル中に保管されたレチクルが外気中の異物や化学物質により汚染されてしまう。さらに、平地においても台風通過の前後においても、同様の問題が発生する。
【０００８】
また、レチクルケースがシール性が高く完全密閉である場合は、容器内外の気圧差によって容器内部が膨張するためにレチクルの保持ができなくなり、レチクルが損傷してしまうことがある。容器が大きく膨らみ容器自体が破壊してしまう場合もある。さらに、レチクル内のレチクルに力が加わり、レチクルがレチクル内で動いてしまう。レチクルがレチクルケース内でわずかでも動くと、レチクルと接触しているレチクルケースの支持部とレチクルとの接触部分からゴミ等の異物が発生し、レチクルの形成パターンに付着する可能性が出てくる。
【０００９】
レチクル作製メーカーでは、低湿度の環境（たとえば、湿度20〜60％）でレチクルをレチクルケースに保管するが、完全に水分を除去することは困難である。幾分かでも水分が残っている場合には、レチクル作製メーカーから、半導体デバイスメーカーへレチクルケースを搬送する間に、低温（特に航空搬送）でレチクルケース内の水蒸気が露結して、レチクル上に付着し、ウオーターマークなどのスミアがレチクルのパターン上に形成される可能性もある。
【００１０】
さらに、水分ばかりではなく、レチクルケース内環境中における種々の化学物質からレチクルが汚染する場合もある。
【００１１】
また、レチクルケースの外部と内部との気圧差を小さくするために、呼吸弁をレチクルルケースの蓋体の上面に取り付ける場合がある。しかし、レチクルケースに保管されたレチクルのパターン面がレチクルルケースの蓋体の上面を向いていない場合、すなわちレチクルケースの本体底面側を向いている場合には、呼吸弁を通した清浄な空気がレチクルのパターン面に当たらないという問題がある。あるいは、蓋体の横側面に呼吸弁を設けた場合には、横側面に突起物が存在するため、露光装置内での保管や取り扱いが困難、およびレチクル保管庫内での保管や取り扱いが困難などの問題点がある。
【００１２】
【特許文献１】特開2005-062462
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
背景技術において説明したように、従来は以下の問題点があった。
（１）レチクルケースの帯電性防止のために、アウトガスの少ない非帯電性材料を用いて作製したレチクルケースは、レチクルケース内を観察することができない。このためレチクルケース内のレチクルの保管状態やレチクルに記されたレチクル情報を把握できない。
（２）レチクルケースの内外部環境からの汚染を防止する必要がある。
（３）レチクルケース上面に取付けられた呼吸弁は、レチクルのパターン面を清浄にする機能を充分に果たせない場合がある。また、レチクルケース面より外側へ張り出しているため、破損しやすく、レチクルケースの保管や取り扱いが困難である。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものである。本発明のレチクルケースは、ケース本体と、その本体に結合し本体を上部から被う蓋体と、レチクルを支持するための支持体とからなり、上述した問題点を解決するために以下のような手段を講じている。
（１）上記本体底面の一部が透明窓を有していることを特徴としている。
（２）上記本体底面の一部が、レチクルの少なくとも1部分を観察可能な透明窓を有していることを特徴としている。
（３）上記透明窓以外の本体および蓋体は、各々連続して構成された非帯電性高分子材料から形成されていることを特徴とする。
（４）上記透明窓は、以下の(i)〜(iv)のいずれかの特徴、または組合わせた特徴を有していることを特徴としている。
(i)レチクル上に記された情報を把握することが可能な位置に存在することを特徴とする。
(ii)レチクル上の本パターン周辺部に記されている情報を把握することが可能な位置に存在することを特徴とする。
(iii)レチクル上の本パターン周辺部に配置される４箇所の周辺スペース部分のうち、少なくとも１箇所の周辺スペース部分を把握することが可能な大きさであることを特徴とする、
(iv)レチクルの一方の面全体を観察可能な大きさである、１つの透明窓であることを特徴とする。
（５）上記透明窓は、さらに、以下のいずれかの特徴、または組合わせた特徴を有していることを特徴としている。
(i)ポリカーボネート(PC:Polycarbonate)等からなる高分子材料であることを特徴とする。
(ii) 少なくとも一層の高分子材料と少なくとも１層の透明導電体膜を積層したものであることを特徴とする。
（６）上記非帯電性高分子は、カーボンファイバー(CF:Carbon-Fiber)、金属微粒子や導電性ナノチューブ等の導電体材料を含む高分子材料であることを特徴とする。
（７）上記本体および蓋体の結合部分において、上記本体を上記蓋体で閉じた時に、内部を気密に隔離可能なように上記結合部分をテーピングすることにより被うために、上記本体および蓋体の結合部分は面一になっているとともに、上記結合部分の上記本体および蓋体の両外側面に所定の幅を持った平面部を有していることを特徴とする。
（８）上記本体および蓋体の結合部は、上記本体を上記蓋体で閉じた時に、内部を外界から気密に隔離してシールするためのガスケットを有していることを特徴とする。
（９）レチクルをレチクルケースに収納した場合において、上記レチクルは、その厚み方向に関してレチクルケース内側面の中央部分に配置されることを特徴とする。
（１０）レチクルをレチクルケースに収納した場合において、上記レチクルの底面は、上記本体と上記蓋体との結合部分よりも上に位置していることを特徴とする。
（１１）上記レチクルをレチクルケースに収納した場合における上記レチクルを保持固定している位置の近傍に、少なくとも複数の貫通孔が存在し、各々の貫通孔にはダストフィルターを介して環境中の微粒子を除去するための呼吸弁が取り付けられていることを特徴とする。
（１２）上記呼吸弁は、以下の(i)と(ii)とのいずれかの特徴、または組合わせた特徴を有していることを特徴としている。
(i) 上記蓋体の相対する面に１対設置されていることを特徴とする。
(ii) 上記蓋体の対角線の近傍位置に設置されていることを特徴とする。
（１３）上記呼吸弁は、以下の(i)と(ii)とのいずれかの特徴、または組合わせた特徴を有していることを特徴としている。
(i)上記蓋体の外側面よりも外側へ張り出していないことを特徴とする。
(ii)ダストフィルターの他に、さらに所定の化学物質を吸着するケミカルフィルターを有していることを特徴とする。
（１４）上記本体または蓋体の内面に、所定の化学物質を吸着する少なくとも１つのケミカルアブソーバーが設置されていることを特徴とする、
（１５）上記ケミカルアブソーバーは、上記貫通孔が配置されている対角線とは異なる他の対角線の近傍位置に設置されていることを特徴とする。
（１６）上記本体および蓋体の結合部分において、押さえ部が平行移動可能なスライド部品（固定スライダ）で固定されることを特徴とする。
（１７）上記本体および蓋体の所定の位置にＶ溝が形成されているとともに、上記スライド部品は上記Ｖ溝に嵌合して固定可能なバネ構造を有していることを特徴とする。
（１８）上記スライド部品を、スライドさせることにより、結合した上記本体および蓋体から取り外しできるとともに、スライドさせることにより、上記本体および蓋体を結合することができるように、上記Ｖ溝が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
上記の手段により、以下のような効果がある。
（１）レチクルケースは、主として非帯電性の材料、すなわち導電性の良好な材料から構成されているので、レチクルケースが帯電することはない。このため、ゴミ、汚染物質などの異物を吸着しにくい。従って、レチクルケース内に保管・収納されるレチクルに容器から異物が付着することがなくなり、レチクルのパターン欠陥が非常に少なくなる。
（２）非帯電性材料の場合、（特にCF含有PCなど）光の透過率が小さく、収納されたレチクルの情報を外部から判別することが困難であるが、本発明の透明窓を設置することにより、収納されたレチクルの情報を外部から判別することが可能となる。また、収納されたレチクルの設置された状態を外部から確認することも可能となる。従って、収納されたレチクルの内容を間違えることもなく、的確な処理ができる。レチクルを一旦レチクルケースに収納した後は、ステッパー等の露光装置に収納し、ステッパー内でケースから取り出すまでの間に、レチクルの内容を確認するために、ケースから取り出す必要がなくなるので、外部環境からの異物や汚染物がレチクルに付着することもなくなり、極めて品質の高いレチクルの状態を保持できる。
（３）透明窓以外のレチクルケースの部分は、すべて連続していて（つまり、繋がっていて）、しかも非帯電性材料であるから、ケースの一部で電気が発生しても、ケース内に留まることはなく、ケースから外部へ電気が放出され、透明窓以外の部分が帯電していることはない。
（４）レチクルの情報、たとえばレチクルに描画されているパターンの種類やバージョンなどの情報は、通常レチクルの端辺の近傍に記載されているので、レチクルの内容を知るにはレチクルの端辺を観察するだけで良い。本発明では、レチクルの端辺の情報を読み取ることができるようにレチクルの端辺近傍に透明窓が設置されているので、レチクルの情報を確実に把握できる。
（５）本発明におけるレチクルケースは、非帯電性材料と透明性材料から構成されている。透明性材料はPCであり、非帯電性材料はCFを含むPCである。従って、化学性物質がレチクルケースから発生することはなく、レチクルケース内部は極めて清浄な雰囲気となるので、レチクルが汚染されることはなくなる。この結果レチクルを長期間高品質の状態でレチクルケース内にて保管可能となる。
（６）レチクルケースには、ダストフィルターおよびケミカルフィルターを装備した呼吸弁が設置されているので、レチクル外から大気等が呼吸弁を通してレチクル内に侵入しても、大気等に含まれる塵埃等の異物や水分や化学物質は、ダストフィルターおよびケミカルフィルターに吸着ろ過される。従って、外部から汚染物質がレチクルケース内部に入り込むことはない。
（７）呼吸弁はレチクルケースの外表面の外側には張り出さないので、呼吸弁が破損することもなく、極めて安全にレチクルケースを取り扱うことができる。呼吸弁をレチクルケースの側面に配置し、この部分に固定スライダを取り付けることも可能となる。さらに、レチクルケースの異なる場所において、複数箇所に呼吸弁を取付けることも可能となる。
（８）レチクルケースの内部には、水分や化学物質を吸着・ろ過するケミカルアブソーバーが装備されている。従って、レチクルケース内に侵入した水分や化学物質はケミカルアブソーバーによって吸着・ろ過されるので、レチクルケース内部は極めて清浄な雰囲気となり、レチクルが汚染されることはなくなる。この結果レチクルを長期間高品質の状態でレチクルケース内にて保管可能となる。
（９）固定スライダをレチクルケースの本体および蓋体に形成されたU溝に沿ってスライドさせて、レチクルケースの本体および蓋体の結合を容易に取付けおよび取り外しできる。また、U溝の途中の所定位置にはV溝、すなわち切り欠きが形成されていて、スライド部品がそのV溝に固定可能なバネ構造を有しているので、レチクルケースは固定スライダにて固定される。これにより、レチクルケースの本体および蓋体は確実に結合し固定される。以上から、レチクルケースの本体および蓋体の取り扱いが極めて簡単であり、自動化も容易である。
（１０）固定スライダが設置可能となったこと、レチクルケース本体および蓋体の結合部分をテーピングすることができることは、（７）において説明したように呼吸弁がレチクルケースの外表面に突き出さず、レチクル外表面、特にレチクルケースの本体および蓋体の結合部分が平坦となったことにもよる。
【００１６】
以上から、本発明のレチクルケースを用いることにより、レチクルを信頼性および品質の高い状態で維持できるので、歩留まりの高い半導体プロセスを構築できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明について実施形態をもとにして詳細に説明する。
【００１８】
本発明によるレチクルケースの基本構造は、本体、蓋体およびこれらに装着されているレチクルを支持するための支持体から構成される。
【００１９】
図１は、本発明の透明窓を有する第１の実施形態を示すレチクルケースである。図１に示すレチクルケース２は、レチクル１が支持体（下側リテーナー１７および上側リテーナー１８）に支持されて、本体３および蓋体４が結合している状態、すなわちレチクル１がレチクルケース２に収納された状態で示されている。図１(a)は、本体の下側から見た図（内部を透視して見た図）である。図１(b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。本実施形態においては、図１に示されるように、４つの分離した透明窓１３（図２における１３−１〜１３−４）を有している。これらの透明窓１３は、略四角形形状のレチクル１の４端辺５（図２における５−１〜５−４）近傍を外部から観察できる程度の大きさを有する透明窓である。通常、レチクルの内容等を表す情報は、レチクル表面に形成された回路等を有するパターンの外側に記されている。つまり、レチクルの内容等を表す情報は、レチクルの４端辺５近傍に記されている。上記レチクル情報とは、たとえば、形成されているパターンのデバイス名、層の種類、寸法、製作日などである。従って、図１に示すような４端辺５近傍を観察できる透明窓があれば、レチクルの情報を把握できる。また、露光装置において、通常レチクルのパターン形成面は下向きに配置されるので、露光装置に収納されるレチクルケース２においても、レチクル１のパターン形成面を下向きにすることが露光装置の機能上は望ましい。何故なら、露光装置内でレチクルを反転させる機能が不要となるからである。レチクル情報は大部分、パターン形成面に存在するから、透明窓１３のある面に対面してレチクル１のパターン面がくるように、レチクル１がレチクルケース２に配置される。すなわち、本実施例においては、レチクルケース２において透明窓１３を有する本体３を下側にし、蓋体４を上側にする。従って、本体３の下面、すなわち本体底面１１側に透明窓１３が配置されている。透明窓１３の外側（周囲）は非帯電性材料で形成されている。この部分を非帯電性部分１４と記す。すなわち、透明窓以外の底面領域および底面と直接つながる（本体）側面は、非帯電性材料で形成されている。４つの透明窓１３は各々独立していて、非帯電性材料に囲まれている。また、すべての非帯電性材料は、本体の中で連続している。すなわちつながっていて、等電位になっている。従って、本体の非帯電領域が外部に電気的に接地されていれば（たとえば、大地等に接地した導電体シートなどの上にレチクルケースが置かれていれば）本体の非帯電領域部（本体底面の非帯電性部分１１および非帯電性材料で形成されている本体側面を含む領域）で静電気が発生したとしても、本体３と導電体シートとの接地を通じて、静電気は大地へ流れ、本体３が帯電することはない。これにより、ゴミや異物等が静電的にレチクルケースへ付着することもなく、レチクルケース２の内部は、極めてクリーンな状態を保持することができる。
【００２０】
図２および図３は、図１のレチクルケース２をさらに詳細に説明するために、本体３と蓋体４とを別個にした図である。
【００２１】
図２は、図１におけるレチクルケース２のうちの本体３だけを示す図である。図２(a)は、本体を下方向から見た平面図である。図２(b)は、本体を横方向から見た図である。非帯電性材料は一般に透明性が低いが、図１と同様に内部を透視して描いている。また、レチクル１が配置される状態が分るように、レチクル１も本体３に配置している。レチクル１は下側リテーナー１７上の所定位置に置かれる。下側リテーナー１７は本体側面２３の上端２５より上に食み出ている。本体底面１１に取り付けられた下側リテーナー１７に配置されたレチクル下面は、本体側面２３の上端位置２５より上に位置している。これは、レチクルケース２が露光装置に配置され、レチクル１をロボットアームを使い自動で取り出すときに、ロボットアームの取り出しホークがレチクル１の下面に入り込むことができるようにするためである。但し、取り出しホークがレチクル１の上面からレチクル１を吸着するタイプのものであれば、下側リテーナー１７に配置されたレチクル下面が、必ずしも本体側面２３の上端位置２５より上に位置している必要はない。また、その場合には、本実施例のように、必ずしも下側リテーナー１７が本体側面２３の上端位置２５よりはみ出している必要もない。
【００２２】
本体底面１１は、透明窓１３（１３−１〜１３−４）と非帯電性部分１４とから構成される。透明窓１３は本体底面１１全体から見れば、その面積の占める割合は小さい。従って、透明窓１３の導電性が低いために透明窓１３が帯電したとしても、全体に占める割合は小さくゴミや異物を吸着する量も極めて少ない。また透明窓１３の周りは、非帯電部分１４によって取り囲まれているので、非帯電部分１４の近くにある透明窓１３の部分において静電気が発生したとしても、静電気はすぐに非帯電部分１４を通して放電される。
【００２３】
透明窓１３を通して、レチクルの上下のリテーナー（１７、１８）による保持の様子やレチクルの位置をも確認可能なので、問題があれば、手直しも可能となる。すなわち、充分に管理されたクリーンルーム内で、レチクル１をレチクルケース２から取り出し、レチクル１の欠陥を再確認したりして、再度レチクルケース２へ収納することも可能となる。
【００２４】
本体側面２３も非帯電性材料で構成されており、本体底面１１の非帯電性部分１４と連続してつながっている。従って、本体３の非帯電領域部の一部が外部と接地していれば、本体全体は透明窓部分を除き帯電することはない。
【００２５】
本体側面２３周囲には、シール溝２０があり、シール材１９が配置されている。このシール材１９の凸片２２と、本体３に結合する蓋体４のシール壁（図３における２１）とが当接し、本体３と蓋体４とをしっかりと結合（たとえば、固定スライダ６などにより押さえられる）することにより、レチクルケース２内部は気密を保持することができる。
【００２６】
下側リテーナー１７は弾性構造となっていて、レチクル１を置く時の衝撃を和らげている。また本体３と蓋体４とを結合した時もレチクル１に余分な力を与えることがなく、しっかりと固定できるようになっている。リテーナーの材料として、弾性高分子材料を使用できる。弾性高分子材料として、熱可塑性エラストマーやフッ素樹脂がある。熱可塑性エラストマーとして、ＰＥＥ（ポリエステルエラストマー）、ＰＢＴＥ（ポリブチレンテレフタレートエラストマー），ＰＢＮＥ（ポリブチレンナフタレートエラストマー）、ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）、ＰＵＥ（ポリウレタンエラストマー）等がある。フッ素樹脂として、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（パーフルオロアルコキシアルカン）が挙げられる。また、ＰＰ（ポリプロピレン）も用いることができる。尚、上記の材料単独でも良いし、複数を含む材料でも良い。
【００２７】
図１、図２においては、レチクル１の頂角をレチクルケース２の４側面の中心近傍に配置して示しているが、これに限られず、レチクル１の頂角を四側面の中心から離れた所に位置するように配置しても良いし、あるいは、レチクルケース２の内部に配置しても良い。レチクル端辺をレチクルケース端辺に平行に配置しても良い。露光装置にレチクルケース１をセットした時に、レチクル１を取り出しやすいようにレチクル１をレチクルケース２内に配置できるような構造とすることが、好適な配置方法となる。
【００２８】
図３は、本体３の上を被う（あるいは、本体３と結合する）蓋体４を示す図である。図３(a)は、蓋体４を下方から見た図である。図３(b)は、蓋体４を横方向から見た図である。非帯電性材料は一般に透明性が低いが、図１と同様に内部を透視して描いている。蓋体上面１５には上側リテーナー１８が取付けてあり、蓋体４が本体３と結合した時に、レチクル１を上から押さえて、レチクル１を固定する。上側リテーナー１８も下側リテーナー１７と同様に弾性構造となっていて、レチクル１を配置する時の衝撃を和らげている。また本体３と蓋体４とを結合した時もレチクルに余分な力を与えることがなく、しっかりと固定できるようになっている。すなわち、下側リテーナー１７は、その裏面側に空隙を有し、レチクル底面１１にて支持された板バネ構造となっている。また、上側リテーナー１７も、その裏面側に空隙を有し、蓋体上面１５にて支持された板バネ構造となっている。従って、下側リテーナー１７は、上側リテーナー１８と対になって、たわむことが可能な板バネ構造の中央部でレチクルの辺を受けることができる。さらに、リテーナーによるレチクルの押さえは、線接触または点接触でレチクルを押さえている。すなわち、レチクルの辺の角部をリテーナーで受けており、レチクルとリテーナーとの接触は最小面積になるように配置される。尚、上側リテーナー１８の材料も下側リテーナー１７の材料と同様の材料で構成される。以上から、リテーナーの押さえによりレチクルが損傷することはなく、またゴミ等の異物が発生することもない。
【００２９】
本実施形態においては、レチクル１頂角近傍の隣り合う２箇所を上下から押さえている。すなわち、下側（本体３側）は８個のリテーナー、上側（蓋体４側）も８個のリテーナーを配置している。しかし、これらに制限されることはなく、充分な押さえが可能であれば、もっと少ないリテーナーでも良いし、押さえをさらに充分に行う必要があれば、リテーナーの数を増やしても良い。リテーナーの位置は、レチクルの情報が記載されている場所とは異なる位置に配置することが望ましい。何故なら、透明窓を通して情報を把握する際に、リテーナーにより情報が隠される可能性もあるからである。
【００３０】
蓋体上面１５および蓋体側面１６は、非帯電性材料から構成されている。従って、蓋体上面１５および蓋体側面１６は連続していて、蓋体４全体は非帯電性材料から構成されているので、蓋体４全体は常に等電位になっている。蓋体４が大地に接地されていれば、蓋体４が帯電することはなく、静電気によりゴミや異物等が付着することはない。蓋体４が本体３と結合している場合は、本体３も非帯電性材料であるから、蓋体４も本体３も等電位となり、本体３が大地に接地されていれば、蓋体４が帯電することはなく、静電気によりゴミや異物等が蓋体４に付着することはない。
【００３１】
蓋体側面１６の周囲にはシール壁２１があり、本体３と結合した時に本体３のシール材凸片２２と密着し、レチクルケース２内部を気密に保持する。尚、本実施形態においては、本体３側にシール材１９およびシール溝２０を、蓋体４側にシール壁２１を配置しているが、これらが逆になっても同様の機能を果たすことは自明である。
【００３２】
尚、シール材１９も非帯電性材料であることが望ましく、レチクルケース２の本体３および蓋体４がシール材を通して電気的にも接続していることになる。
【００３３】
蓋体側面１６は、本体側面２３と合わさるようになっている。合体した後に、結合した側面のあわせ部分をなめらかにテーピングできるように、側面部分は本体３および蓋体４とも所定の幅を持った平坦部を有していて、結合した状態においてもあわせ部分に隙間が生じることがなくかつ平坦になるように作製されている。この結果、テーピングによりレチクルケース２内部を完全に気密に保持できるようになっている。
【００３４】
尚、シール材１９も非帯電性材料であることが望ましく、レチクルケース２の本体３および蓋体４がシール材を通して電気的にも接続していることになる。但し、通常は上述したように蓋体側面１６と本体側面２３とは結合するので、たとえ、シール材１９が非帯電性材料でなくとも、レチクルケース２の本体３および蓋体４は電気的にも接続している。
【００３５】
さらに、本体３の底面１１と側面２３との境界部分には、図１および図２に示すように、U溝２６が配置されている。また、蓋体４の上面１５と側面１６との境界部分にも図１および図３に示すように、U溝２７が配置されている。本体３と蓋体４とを結合した後で、両方のU溝に固定具をかませる。U溝の途中にはV溝、すなわち切り欠きが形成されていて、固定具により本体３と蓋体４とを完全に固定する。たとえば、図１に示すようなスライド部品（固定スライダ６）がある。この固定スライダ６の両端はU溝に嵌合するように鉤状構造となっている。この固定スライダ６は、本体３および蓋体４のU溝２６、２７に沿ってスライドさせることにより、取り付けまたは取り外しが可能である。また、本体３および蓋体４の結合部分に少し隙間２８が存在している。これにより、本体３および蓋体４の結合部分にテーピングできるようになっている。但し、テーピングがなくとも固定スライダ６だけで本体３と蓋体４とを確実に固定できる構造となっている。たとえば、固定スライダ６は、板バネ等が取り付けられたバネ構造を有していて、U溝の途中においてスライド方向に対して垂直な方向に形成された上記の固定用V溝に、当該バネ構造に形成された嵌合用V溝が嵌合して固定できるようになっている。
【００３６】
図４は、隣り合った透明窓が連続している場合の実施形態（第２の実施形態）を示す図である。図４(a)は、本体の下側から見た図（内部を透視して見た図）である。図４(b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。図１〜３において、頂角部分が配置される本体底面１１の部分にも透明窓が形成されることにより、透明窓１３−１および１３−２、あるいは透明窓１３−３および１３−４が結合している場合と考えることができる。レチクル１における頂角部分のセット状態を確認したい場合や、レチクル１の頂角部分にレチクル情報が存在する場合に、本実施形態を使うことができる。ただし、通常これら頂角近傍にレチクル情報が形成されることはないために、これらの頂角近傍に透明窓がないことは大きな問題になることは少ない。上記に加えて、このように透明窓の数が減少することによって、部品点数が少なくなり、成形時の工数を削減することも可能となる。本実施形態においても、透明窓４３（４３−１、４３−２）以外の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯電性部分４４において孤立した部分は存在しない。従って、非帯電性領域部に静電気が帯電することはなく、ゴミや異物等がレチクルケース２に付着することはない。
【００３７】
図５は、透明窓がすべて連続している場合の実施形態（第３の実施形態）である。図５(a)は、本体の下側から見た図（内部を透視して見た図）である。図５(b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。図１〜３における透明窓１３−１、１３−２、１３−３、および１３−４がすべて結合している場合と考えることができる。すなわち、レチクルの４頂角部分のうち、３頂角部分にも透明窓が存在する。図４における実施形態に比べて、さらにもう一つ頂角部分を観察できる。また、レチクル１に、より多くの情報を載せることができるとともに、より的確にレチクル１のレチクルケース内における設置状態を把握できる。さらにまた、部品点数を図４に示した場合よりもさらに削減することが可能となり、工数を減らすことができる。本実施形態においても、透明窓５３以外の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯電性部分５４において孤立した部分は存在しない。すなわち、透明窓５３の存在しない部分を通して、非帯電性部分全体がつながっていて、従って、非帯電性領域部に静電気が帯電することはなく、ゴミや異物等がレチクルケースに付着することはない。
【００３８】
図６は、さらに別の実施形態（第４の実施形態）を示す。図６に示すレチクルケース２において、本体底面１１は、レチクルの４端辺部分および４頂角部分およびレチクル表面も観察できるような１枚の透明窓６３を有している。本実施形態においても、透明窓６３以外の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯電性部分６４において孤立した部分は存在しない。このような透明窓６３の場合には、レチクル１全体を観察できるので、レチクル１全体のレチクルケース内における設置状態を観察可能である。レチクルケース２にレチクル１が収納された状態でも、レチクルパターンを観察できるので、レチクルケース２へレチクル１を収納した状態のままでも、レチクルパターン欠陥を検査できるという利点がある。すなわち、レチクル自体に全く影響を及ぼす必要がないから、検査や搬送などを通じて、レチクル１にゴミや異物が付着することもないし、外部環境から汚染されることもない。但し、透明窓６３の領域がかなり大きくなるので、静電気が透明窓６３に発生して帯電した場合は、他の場合に比べて電荷が抜けてなくなるまでの時間が長くなるという課題がある。しかしながら、たとえば、室温で湿度５０％の条件下で透明部分に１０kVの電位を故意に付与した場合でも、約１分で電位がゼロとなるため実質的に大きな問題とならない。それでも、ある程度クリーン度や帯電が発生しない場所など環境条件を考慮したプロセスで扱うことが望ましい。このように透明窓６３の面積が大きくなる場合において、ＩＴＯ（Indium-Tin-Oxide:インジウム・スズ酸化物）膜や酸化亜鉛系等の透明導電体膜を透明窓に付着したり、あるいは透明窓の表面に透明性を損なわない程度に軽くドーピングしたりすることにより、透明窓の非帯電性を増加させることができる。この結果、透明窓にも静電気を帯電させにくくすることも可能となる。
【００３９】
図１１はレチクルのパターン面を模式的に示した図で、レチクル情報の１例についてさらに詳細に説明するための図である。現在使用されているレチクルの形状は、一定の厚みを持った略正方形形状をしている。レチクルの材質はガラスであり、ガラス面の一方の面にパターンが形成される。図１１に示すように、素子形成用の本パターン１１１がレチクルの中心に大きく形成されている。略正方形形状である本パターンの４辺の周辺（周縁）にはスペースが４箇所（周辺スペース部分：１１２〜１１５）あり、この４箇所にレチクル情報が記される。４箇所すべてにレチクル情報が記されている場合もあれば、１箇所だけに記されている場合もある。さらに、レチクルの頂角近傍にもスペースが４箇所（頂角近傍スペース部分：１１６〜１１９）あるが、この部分には通常レチクル情報は記されない。しかし、必要な場合には頂角スペース部分にもレチクル情報が記される。６インチレチクルの場合の例として、本パターンの大きさが１２０mm（１辺）の場合には、周辺スペース部分のサイズは、１０〜１５ｍｍ（短辺側）となる。図１〜図５において示される透明窓のサイズは、周辺スペース部分の情報を把握できる程度の大きさである。図６において示される透明窓のサイズは、本パターン、４つの周辺スペース部分および４つの頂角スペース部分の情報を把握できる程度の大きさである。尚、ここで述べる「把握できる」とは、肉眼で観察できるというほかに、紫外光、可視光や赤外光などを使って機械で読み取ることができることも含まれる。
【００４０】
図７は透明窓と非帯電部との接合状態を示す図である。図７においては、レチクルケース本体における底面および側面部の一部だけを示している。透明窓１３は非帯電性部分１４に嵌合して密着している。透明窓１３は、透明度の大きな材料であり、たとえば、ポリカーボネート樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、スチレン樹脂等の高分子材料である。あるいはこれらの高分子材料をブレンドしたものでも良い。尚、本発明における「透明」とは、可視光領域において平均して５０％以上の光透過率を有し、ヘイズ値が３０％程度以下のものをいう。上記高分子材料はこの透明性の条件を充分に満足する。一般に上記材料は絶縁体材料でありその表面固有抵抗は１０１４Ω以上である。また非帯電性材料として、カーボンファイバー(CF：Carbon-Fiber)、金属微粒子や導電性ナノチューブ等の導電体材料を含む上記高分子材料等がある。カーボンファイバー、金属微粒子や導電性ナノチューブ等の導電体材料を含む上記高分子材料等は導電性を向上させ電荷の帯電を防止したものであるが、一般に透明性は低下し半透明もしくは不透明となり、内部は見えにくいか見えない状態になる。１０１１Ω以下の表面固有抵抗があれば帯電しにくいと言われているが、１００ｎｍ以下の異物の吸着を問題にするＬＳＩプロセスにおいては、さらに抵抗を下げる必要があり、カーボンファイバーや金属微粒子等の導電体材料を好適に含む必要がある。その場合においては、さらに透明性が低下する。従って、帯電性を防止しかつ内部を観察可能とするところに、本発明の意義がある。カーボンファイバーを含むポリカーボネートは、非帯電性材料としてより好適な材料である。導電性ナノチューブチューブとしては、カーボンナノチューブ、シリコンナノチューブやゲルマニウムナノチューブ等を用いることができる。特に、環径40〜80nmのカーボンナノチューブは導電率が高く、ポリカーボネートや環状オレフィンなどの母材に５％程度以下、典型的には２〜３％程度混合・分散することによって１０８Ω程度の表面固有抵抗を得ることが可能となる。
【００４１】
このような材料の接合は、たとえばインサート成形により達成可能である。また、図７に示した形状に成形した材料を熱圧着や超音波圧着を用いて接着する方法もある。以上のような方法を用いて、密着させたものは、その接合部において充分な気密性が確保されていて、接合も完璧に行われるので、信頼性の高いレチクルケースを製造できる。尚、透明窓としてガラスを用いることも可能である。但し、ガラスの場合透明性は極めて良好であるが、破壊しやすいので取り扱いに充分注意する必要がある。
【００４２】
また、図７においてはレチクルケースの底面に足３０を示している。この足３０は、大地へ接地された導電性シート等の上にレチクルケース２を置いた時に、レチクルケース２と導電性シートとの間を電気的に接続する部分であるから、導電性材料で形成されることが望ましい。たとえば、レチクルケース本体底面１１の非帯電性部分１４と同一の材料であっても良い。また、図に示すように、足３０は非帯電性部分１４に配置されることが望ましい。従って、足３０が、非帯電性材料であり、非帯電性部分１４に接続していることにより、レチクルケース２で発生した電荷は、非帯電性部分１４から足３０を通して、接地面を通して流れていくので、レチクルケース２が帯電することはない。図７に示す足３０は、レチクルケース２内に発生した電荷を外部へ放出する（電荷が正電荷の場合には、電子が外部から入り込む場合も含む）、上述したいわゆるアースの役目を果たすという目的以外にも、レチクルケース２の本体底面１１に傷をつけないという目的もある。すなわち、足３０がない場合には、直接レチクルケース２の本体底面１１が台などに接触して置かれるが、繰り返しの接触などにより、レチクルケース２の本体底面１１に傷がついたりする可能性もある。傷などがついたりすると、レチクルケース２の本体底面１１の強度が低下するだけでなく、傷などから発生するゴミや異物が、レチクルケース２に付着する可能性もある。また透明窓１３は導電性が小さいので静電的に付着する。さらに機械的に付着する場合もある。しかし、足３０をつけることによりこのようなレチクルケース２へゴミや異物等が付着する可能性をかなり小さくできる。尚、足３０は導電性の良い材料であることが望ましいが、必ずしもレチクルケース２における本体底面１１の非帯電性材料と同じ材料でなくても良い。レチクルケース２に足３０を設置する効果としては、上記の他に外部からの衝撃を緩和するという効果もある。すなわち、本体底面１１全体が直接台等に接している場合には、台からの振動等の衝撃を本体底面１１全体が受けるため大きな力がレチクルケース２に作用する。この結果内部に収納されたレチクルへも衝撃が加わる。足３０は、この影響をかなり小さくすることができる。
【００４３】
足３０は、本体底面１１と同時に形成することが可能である。しかし、足３０とレチクルケース本体底面１１との密着性がよければ、必ずしもレチクルケース本体底面１１と同時形成する必要もない。レチクルケース２を作製した後で、熱圧着する方法によって、足３０をレチクルケース本体底面１１に付着しても良い。
【００４４】
尚、透明窓１３はレチクルケース２の本体底面の１部のみに存在する。従って、透明窓が帯電してゴミ等の異物を吸着したとしても、レチクルケース２の本体３および蓋体４の合わせ部分の周囲は広く非帯電性材料で囲まれているので、レチクルケース２の内部へ透明窓に付着したゴミ等の異物が入り込むことはない。
【００４５】
図８は、図６に示すレチクルケースに取付けられた呼吸弁およびケミカルアブソーバーの働きを示す図である。図８(a)が平面図であり、図８(b)が側面図である。共にレチクルケース２内部を透視して描いている。
【００４６】
図８に示すように、蓋体側面１６に貫通孔（後述）が配置され、その貫通孔に呼吸弁９３が取り付けられている。貫通孔は蓋体側面１６のレチクル１が配置される位置近傍に存在する。その貫通孔に取付けられた呼吸弁９３は、蓋体側面１６（１６−１）の対向する蓋体側面１６（１６−２）にも形成されている。本実施形態においては、呼吸弁９３（９３−１および９３−２）は互いにレチクルケース２の対角線の両端近傍部分に配置されている。レチクル１はレチクルケース２に保持された後は、レチクルケース２内の雰囲気に影響される。従って、レチクルケース２内の雰囲気は極力レチクル１に影響を与えないものが望ましい。たとえば、レチクルケース２内を、窒素ガスで充填しておいたり、ヘリウムガスやアルゴンガスなどの希ガスで充填したりして、不活性ガスで満たすと良い。あるいは、不活性ガスほどの効果はないが、乾燥した空気でも良い。そこで、レチクルを収納し本体３を蓋体４と結合した後に、不活性ガス等を一方の呼吸弁９３（９３−１）より吹き込む。レチクルケース２内に当初入っていた気体（たとえば空気）は、もう一方の呼吸弁９３（９３−２）より押出され放出される。一定時間後には、レチクルケース２内は不活性ガス等で充満した状態になる。呼吸弁９３にはフィルター（後述）が入っているので、自動的に大気圧より幾分揚圧になる。従って、レチクルケース２の本体３および蓋体４が結合し、さらに結合部にテーピングされ、固定スライドにて固定されると、（但し、テーピングや固定スライドを用いなくても、結合状態は保持される）呼吸弁９３以外には外部と通じる所はなくなるので、レチクルケース２内は不活性ガスが充満した状態になり、気密性が保持される。従って、レチクル１が経時変化をすることはない。
【００４７】
呼吸弁９３は、互いに対向する蓋体４の側面（１６−１、１６−２）に設置されていて、しかもレチクル１が配置される位置付近に呼吸弁９３（９３−１、９３−２）も配置されている。また、レチクル１はレチクルケース２の側面の中央付近に配置されることが望ましい。また、これに対応して呼吸弁９３もレチクルケース２の側面の中央付近にくるように、蓋体４に設置されることが望ましい。一方の呼吸弁９３−１から不活性ガス等を導入すると、不活性ガス等は、図８の矢印で示すように、レチクルの上面および下面を流れて、レチクル１の反対の側の近傍にある他方の呼吸弁９３−２から、レチクルケース２内の気体を押出す。従って、レチクルの両面は速やかに不活性ガス等で覆われるとともに、レチクルケース２内の気体は効率的に不活性ガス等に置換される。また、このような対角線位置に呼吸弁９３を配置することにより、レチクルケース２内において不活性ガス等に置換されない部分は非常に少なくなる。尚、この効果をさらに高めるために、蓋体４の他の面、または各面に貫通孔および呼吸弁を設けても良い。
【００４８】
一方、航空機等で運搬した時には、高度の高い気圧の低い場所において、レチクルケース２内の不活性ガス等が抜けていく可能性もある。その状態におけるレチクル内の圧力は、周囲の環境より揚圧になっているとしても、およそ0.8気圧まで低圧になる。そのようなレチクルケース２を地上に持ってきた時には、地上はレチクルケース２内より気圧が高くなっているので、周囲の環境からレチクルケース２内に、周囲の（汚れた）空気が呼吸弁９３を通して侵入してくる。また、呼吸弁９３よりレチクルケース２内へ入る不活性ガス等が微量の化学物質や水分を含む場合もある。このような場合も考慮して、本発明においては、呼吸弁９３にダストフィルターの他に、ケミカルフィルターも合わせて取り付けることができる。これにより、呼吸弁９３を通じて出入する気体から、水分や化学物質を除去することが可能となる。
【００４９】
さらにまた、レチクルケース２の運搬や保管において、充分に管理することによってレチクルケース２内の状態が変化しないとしても、何かの問題が発生して、レチクルケース２を露光装置に入れる前に、クリーンルーム内でレチクル１をレチクルケース２から取り出さざるを得ない場合も考えられる。そのような場合にはクリーンルームの雰囲気だとしても、レチクル１へ影響を与えることも考えられる。さらに、露光装置内では、何度もレチクルがレチクルケースから出されるので、レチクルケース内の雰囲気は露光装置内の雰囲気と同じくなる。このように、クリーンルーム内や露光装置内の水分や微量の化学物質等がレチクルケース２内に入り込む可能性がある。
【００５０】
そこで、本発明においては、図８に示すようにレチクルケース２の内側にケミカルアブソーバー３１すなわち、化学物質吸着剤が設置される。これにより、上述したような水分や汚染物質がレチクルケース２内に入り込んでも、あるいはレチクルケース２内部から微量にアウトガスが出ても、レチクル１にとって問題となる化学物質等は速やかにケミカルアブソーバー３１によって吸収され、レチクル１へ及ぼす影響を極力減じることが可能となる。さらに、本実施形態においては、ケミカルアブソーバー３１を蓋体４の側面１箇所に設けているが、蓋体４の各面に設置しても良いし、本体３底面や蓋体４上面に設けても良い。1箇所に限らず複数の箇所に設置しても良い。より好適には、レチクルケース２内のレチクルに直接接触しない場所、あるいはレチクルを配置したり取り出したりする時に障害にならない場所などに配置することが望ましい。１対の呼吸弁９３（９３−１および９３−２）が互いに対向する蓋体側面１６（１６−１および１６−２）に設置されている場合には、ケミカルアブソーバー３１は呼吸弁が配置されていない蓋体側面１６に配置することが、スペース上でも効果の面においても好適である。また、蓋体４の対角線近傍位置付近に配置されるとさらに好適である。
【００５１】
尚、図１、図３〜図６においては、レチクルケース２内部の様子が分るように、呼吸弁９３およびケミカルアブソーバー３１を配置して示している。これらの働きは上述した内容と同様である。
【００５２】
図９は、貫通孔９８に取付けられた呼吸弁９３を詳細に示す図である。呼吸弁９３はレチクルケース２の蓋体側面９４から外側に張り出さないように形成される。
【００５３】
図１０は、図９をさらに詳細に説明するために、呼吸弁９３を貫通孔９８と分離した状態を示す図である。
【００５４】
図１０(a)が呼吸弁取付け部９２を示す図であり、図１０(b)が呼吸弁９３を示す図である。呼吸弁取付け部９２は、蓋体側面９４の外側にははみ出さず、蓋体側面９４の内側に形成される。すなわち、呼吸弁ガイド側面９５が蓋体側面９４に対して内側に筒状に窪んでいて、さらに呼吸弁ガイド底面９６につながり、呼吸弁ガイド底面９６の中心付近から呼吸弁ガイド嵌合筒部９７が外側に筒状に伸びている。呼吸弁ガイド嵌合筒部９７には貫通孔９８があり、蓋体４の内側と外側とがつながっている。呼吸弁９３は、呼吸弁嵌合筒部９９、フィルター本体部１００および呼吸弁開口筒部１０１から構成される。呼吸弁嵌合筒部９９は中空になっていて、また呼吸弁開口筒部１０１も中空になっている。フィルター本体部１００にはフィルター１０２が入っている。フィルター１０２がない時には、呼吸弁嵌合筒部９９と呼吸弁開口筒部１０１は中でつながっている。呼吸弁嵌合筒部９９は、呼吸弁取付け部９２における呼吸弁ガイド嵌合筒部９７に嵌合できるようになっている。呼吸弁取付け部９２に呼吸弁９３を取り付けた状態が図９に示す図である。呼吸弁取付け部９２に呼吸弁９３を取り付けても、図９に示すように、呼吸弁９３は蓋体側面９４より外側にはみ出ないように設計され、組立てられる。すなわち、呼吸弁９３の呼吸弁開口筒部１０１の先端部は、蓋体側面９４より外側にはみ出ない。フィルター１０２が入っていなければ、レチクルケースの内部は、貫通孔９８、フィルター本体部１００および呼吸弁開口筒部１０１を通じて、レチクルケースの外部と連通している。フィルター本体部１００にはフィルター１０２が入っている。フィルター１０２には、メンブレンフィルターとケミカルフィルターとが含まれる。通常、フィルター１０２は、ケミカルフィルターを真ん中に挟んで両側にメンブレンフィルターで構成されたサンドイッチ構造になっている。また、両方の機能を併せ持つフィルターでも良い。メンブレンフィルターは、たとえば多孔質フッ素樹脂で構成され、メンブレンフィルターを通過する気体中の塵埃等を主に吸着ろ過する。ケミカルフィルターは化学吸着剤で主に構成される。ケミカルフィルターは、ケミカルフィルターを通過する気体中の化学物質を主に吸着ろ過する。化学物質には、塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、硫化水素、酢酸、有機酸、亜硫酸ガス、アルカリ性ガス、有機溶剤、オゾン、二酸化窒素、ホルムアルデヒド、アンモニア等のガスも含む。化学吸着剤には、活性炭、多孔質セラミックス、多孔質焼結金属、顆粒状物、不織物等がある。
【００５５】
レチクル１がレチクルケース本体３に収納され、レチクルケース蓋体４が本体３に結合した時に、呼吸弁９３を通してのみ、レチクルケース２の内部と外部との気体の導通が行われる。レチクルケース２外部から、気体が呼吸弁９３を通してレチクルケース２内部へ入り込む場合には、呼吸弁開口筒部１０１の中空部分より入り、フィルター１００を通り、貫通孔９８から気体が入っていく。この時、気体中の塵埃等はメンブレンフィルターで除去される。また、気体中の化学物質はケミカルフィルターで除去される。従って、レチクルケース２の外部から入り込む気体が塵埃等や化学物質で汚染されていても、レチクルケース２内には塵埃等や化学物質のない常に清浄な気体が入り込むので、レチクル１が汚染されることはない。
【００５６】
レチクルケース２に不活性ガスを導入する時には、呼吸弁９３の開口筒部１０１にたとえば、気体ホースやチューブをつなぎ不活性ガス等を送り出す。
【００５７】
尚、フィルター１０２は、塵埃等や化学物質をある程度吸着すると吸着能力が低下するので、定期的に交換することが望ましい。また、呼吸弁９３もある程度汚れる可能性もあるので、呼吸弁９３も定期的に取り外して洗浄することが望ましい。
【００５８】
これまでに説明したように、本発明における呼吸弁９３はレチクルケース蓋体側面１６（図９および図１０においては、９４）の外側にはみ出ない構造となっている。従って、蓋体側面１６は平坦な面となっているので、たとえ、レチクルケース本体３および蓋体４の結合部分の近傍に呼吸弁が存在したとしても、レチクルケース本体３および蓋体４の結合を確実に固定するためのスライド方式の固定スライダ６を取り付けることが可能となる。さらに、レチクルケース本体３および蓋体４の結合部分全体に、平坦性を保ちながらなめらかにテーピングすることも可能となり、さらに結合を確実にし、気密性を保持できる。また、蓋体側面１６の外側にはみ出さないため、他のものに接触することがなくなり、呼吸弁９３が破損するなどの問題も発生しない。さらに、蓋体側面１６の複数箇所に取付けることも容易である。本発明の実施形態においては、対面する蓋体側面１６に１対取付けた呼吸弁を示してきたが、蓋体側面１６の複数箇所に取付けることも可能であり、上述したようにレチクルケース２の内部のガス置換も極めて容易となる。
【００５９】
尚、本実施形態においては、蓋体側面１６に取付けているが、本体側面２３にも取り付けることも可能である。さらに、蓋体上面１５や本体底面１１にも取り付けることもできる。この場合でも蓋体上面１５や本体底面１１の平坦性は維持されているから、レチクルケース２を積み重ねることも可能である。
【００６０】
尚、本発明は、ペリクルを装着したレチクルにも適用できることは、自明である。すなわち、これまで示したレチクルがペリクルを装着していると考えれば良い。ペリクルの目的は、レチクル上に直接付着する異物等をなくし、異物の転写を防止することである。ペリクルは、たとえばニトロセルロースに代表される透明薄膜からなり、アルミ合金などの材料からなるペリクル枠を介してレチクルのパターン部を保護するように覆ってレチクルに固定される。本発明を用いた場合、前述した多くの利点以外に、特に呼吸弁の作用がペリクルを保護するという利点もある。前述した飛行機などによるレチクル（ここではペリクル付き）を保管したレチクルケースの運搬や台風通過時などによる気圧の変化時に、呼吸弁がなければレチクルケースの内部と外部との気圧差によりペリクルが変形する可能性があり、パターン欠陥や、ひどい時にはペリクルの破損も発生する。しかし、本発明においては、呼吸弁によりレチクルケースの内部と外部との気圧差は自動的に解消されるので、レチクルケースの内部と外部との気圧差はなくなり、ペリクルの変形は生じない。
【００６１】
また、これまで、レチクルケースについて詳細に説明してきたが、本発明は、フォトマスクを収納するフォトマスクケースにも適用できることは言うまでもない。
【００６２】
次に、これまでの発明をさらに改良した関連発明について説明する。
【００６３】
これまで説明してきた本発明は、レチクルケースの本体底面に透明窓を有しているが、蓋体上面には透明窓を有していない。これらの発明は、上述した課題を解決できるが、以下の問題点を有している。
【００６４】
レチクル上の本パターンや本パターン周辺部に記載されている情報（レチクル情報）は、主にクロム等の金属系材料で形成されている。上述したように、パターン形成後は、クロム形成面は通常本体底面を向いている。蓋体上面には透明部分は存在しないので、上述した本発明である本体底面の透明窓を通して、レチクル上のクロム等で形成されたパターンまたはパターン以外の部分の反射光を利用して、レチクル情報を読取ることになる。形成されているパターンは主としてネガタイプのために、クロム等で形成されたパターン以外の部分の面積が相対的に広くなる場合が多い。その場合には、パターン以外の部分からの反射光がパターン部分（情報部分）からの反射光に対して著しく強くなり、読み取り誤差を生じやすくなる。
【００６５】
肉眼で観察する時ばかりでなく、拡大鏡や顕微鏡、或いは画像処理装置を用いたりする時にも、パターン部分およびそれ以外の部分における反射光の強度差によって、視認困難または誤認識する恐れもある。
【００６６】
このような問題点を改良するために、さらに本発明は、レチクルケース本体底面だけでなく、レチクルケース蓋体上面にも所定の位置に透明窓を配置する。蓋体上面の透明窓も本体底面に配置された透明窓と同様のこれまで説明した本発明を採用できるので、帯電等の問題は発生しない。
【００６７】
図１２は、本発明のレチクルケース１８１内に配置しているレチクル１８２に記されている情報を、透過光を用いて読取る場合の１実施例を示す。レチクルケース１８１にレチクル１８２が配置されている。理解しやすいように、リテーナー等の付帯部品は示していない。本体底面１８３には透明窓１８４が、また蓋体上面１８５にも透明窓１８６が付いている。蓋体上面１８５の上方にある光源１９１から出た光が、投影レンズ１９２を通り蓋体上面透明窓１８６を通ってレチクル１８２へ照射される。光源としては、LED（発光ダイオード）、水銀ランプ、ハロゲンランプ、メタハラランプ、キセノンランプ等各種の波長を有するものがある。さらに、紫外光、X線、あるいは赤外線なども光源として用いることができる。本実施例では、照明光学系とレチクル上の像を結像する結像光学系を用いて、レチクル表面のパターンを観察する例を示した。レチクルの情報を得る方法としては、レーザ光源からのコヒーレント光を用いてレチクル表面を走査し、レチクルからの透過光強度を計測する走査光学系などの光学系等、これ以外の種々の光学系を用いることができることは言うまでもない。レチクル１８２上にはクロムパターンにて、本パターンやレチクル情報が記されている。レチクル上のクロムパターンが存在する所については光が通らないが、クロムパターンのない所（レチクルのガラス部分）については光が通過（透過）する。レチクル１８２を通過した光は本体底面透明窓１８４を通って、さらに結像レンズ１９３を通って受光器１９４に入り、レチクル上のクロムパターンを受光器１９４の受光素子（図示せず）上に結像する。レチクル１８２を通過した光は、レチクル１８２上のパターン情報を獲得しており、この情報が受光器１９４にもたらされる。受光素子は、CCD（電荷結合素子）、PD（フォト・ダイオード）、リニアイメージセンサー、PSD（位置検出素子）などであり、レチクル情報を読取ることができる。蓋体上面透明窓１８６の位置は、本体底面透明窓の位置に対応する位置に配置されているため、レチクルケース蓋体上面透明窓１８６から入射した光が、レチクルを透過し、レチクルケース本体底面透過窓１８４から出ていくことができる。
【００６８】
尚、図１２における場合と逆に、本体底面側から光を入射させ蓋体上面から光を透過させることが可能であることは言うまでもない。
【００６９】
さらに、肉眼または拡大鏡によってもレチクルケース内部のレチクル上におけるレチクル情報を透過光により読取ることもできる。
【００７０】
透過光の場合は、クロムパターンによる反射光の影響を受けないため、レチクル上のレチクル情報を確実に読取ることができる。すなわち、レチクルケースにおける本体底面および蓋体上面のそれぞれ対応する位置に透明窓を設けるという本発明のレチクルケースを用いることにより、すべての透過光学系を用いてレチクルケース内に保持しているレチクル情報を収集することができる。
【００７１】
図１３は、本発明の透明窓を有する第５の実施形態を示すレチクルケースである。図１３に示すレチクルケース２０２は、レチクル２０１が支持体（下側リテーナー２１７および上側リテーナー２１８）に支持されて、（レチクルケース）本体および（レチクルケース）蓋体２０３が結合している状態、すなわちレチクル２０１がレチクルケース２０２に収納された状態で示されている。図１３(a)は、蓋体２０３の上側から見た図（内部を透視して見た図）である。図１３(b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。図１〜図３において示した実施形態１と同様の構造をしている。すなわち、本実施形態においては、図１３に示されるように、４つの分離した透明窓２１３（２１３−１〜２１３−４）を蓋体上面２１５に有している。これらの透明窓２１３は、略四角形形状のレチクル２０１の４端辺２０５（図１４に示す２０５−１〜２０５−４）近傍を外部から観察できる程度の大きさを有する透明窓である。通常、レチクルの内容等を表す情報は、レチクル表面に形成された回路等を有する本パターンの外側に記されている。つまり、レチクルの内容等を表す情報（レチクル情報）は、レチクルの４端辺２０５近傍に記されている。上記レチクル情報とは、たとえば、形成されているパターンのデバイス名、層の種類、寸法、製作日などである。従って、図１３に示すような４端辺２０５近傍を観察できる透明窓があれば、レチクルの情報を正確に把握できる。
【００７２】
透明窓２１３の外側（周囲）は非帯電性材料で形成されている。この部分を蓋体非帯電性部分２１４と記す。すなわち、透明窓以外の蓋体上面領域および上面と直接つながる（蓋体）側面２１６は、非帯電性材料で形成されている。４つの透明窓２１３は各々独立していて、非帯電性材料に囲まれている。また、すべての非帯電性材料は、蓋体の中で連続している。すなわちつながっていて、等電位になっている。従って、蓋体の非帯電領域が外部に電気的に接地されていれば（たとえば、大地等に接地した導電体シートなどの上にレチクルケースが置かれていれば）蓋体の非帯電性領域部分（蓋体上面の非帯電性部分２１４および非帯電性材料で形成されている蓋体側面２１６を含む領域）で静電気が発生したとしても、蓋体の非帯電性領域部分と結合（接合）している本体および導電体シートの接地を通じて、静電気は大地へ流れ、蓋体２０３が帯電することはない。これにより、ゴミや異物等が静電的にレチクルケースへ付着することもなく、レチクルケース２０２の内部は、極めてクリーンな状態を保持することができる。
【００７３】
図１４は、図１３におけるレチクルケース２０２のうちの蓋体２０３だけを示す図である。図１４(a)は、蓋体を上方向から見た平面図（内部を透視して見た図）である。図１４(b)は、蓋体を横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。非帯電性材料は一般に透明性が低いが、図１４においては、図１３と同様に内部を透視して描いている。また、レチクル２０１が配置される状態が分るように、レチクル２０１も蓋体２０３に配置している。レチクル２０１は、上側リテーナー２１８の所定位置に配置され、蓋体側面２１６の下端２２４の上側に位置している。
【００７４】
蓋体上面２１５は、蓋体透明窓２１３（２１３−１〜２１３−４）と非帯電性部分２１４とから構成される。蓋体透明窓２１３は蓋体底面２１５全体から見れば、その面積の占める割合は小さい。従って、蓋体透明窓２１３の導電性が低いために蓋体透明窓２１３が帯電したとしても、全体に占める割合は小さくゴミや異物を吸着する量も極めて少ない。また蓋体透明窓２１３の周りは、非帯電性部分２１４によって取り囲まれているので、非帯電性部分２１４の近くにある蓋体透明窓２１３の部分において静電気が発生したとしても、静電気はすぐに非帯電性部分２１４を通して放電される。
【００７５】
蓋体透明窓２１３を通して、レチクルの上下のリテーナー（たとえば、図１３における２１７、２１８）による保持の様子やレチクルの位置をも確認可能なので、問題があれば、手直しも可能となる。すなわち、充分に管理されたクリーンルーム内で、レチクル２０１をレチクルケース２０２から取り出し、レチクル２０１の欠陥を再確認したりして、再度レチクルケース２０２へ収納することも可能となる。
【００７６】
蓋体側面２１６も非帯電性材料で構成されており、蓋体上面２１５の非帯電性部分２１４と連続してつながっている。従って、本体の非帯電領域部の一部が外部と接地していれば、蓋体も含めたレチクルケース全体は透明窓部分を除き帯電することはない。
【００７７】
図１３においては、レチクル２０１の頂角をレチクルケース２０２の４側面の中心近傍に配置して示しているが、これに限られず、レチクル２０１の頂角を四側面の中心から離れた所に位置するように配置しても良いし、あるいは、レチクル端辺２０５をレチクルケース端辺に平行に配置しても良い。露光装置にレチクルケース２０１をセットした時に、レチクル２０１を取り出しやすいようにレチクル２０１をレチクルケース２０２内に配置するような構造とすることが、好適な配置方法となる。
【００７８】
図１３および図１４に示す第５の実施形態は、第１〜第４の実施形態と組み合わせることができる。レチクルケース本体にも図１〜７に示したように、（本体底面）透明窓が配置されている。いずれの組合せにおいても、本体底面透明窓２２３は、蓋体上面透明窓２１４と位置的に対応している。たとえば、図１〜３に示すものと同様の本体底面透明窓（第１の実施形態）である場合には、本体底面透明窓２２３および蓋体上面透明窓２１４は、互いに対応する位置に同程度の形状を有する透明窓となる。また、図４〜図６に示すものと同様の本体底面透明窓である場合（第２〜４の実施形態）には、本体底面透明窓２２３は、蓋体上面透明窓２１４に対応する位置にあり、かつ蓋体上面透明窓２１４より広い範囲をカバーしている。
【００７９】
従って、たとえば、図１２に示すようなレチクル情報収集系を用いることにより、レチクルケース内に保持しているレチクルの情報を透過光によって収集できる。もちろん、上述したレチクルケース本体の透明窓を通して、反射光を用いてレチクル情報を収集できることと同様に、レチクルケース蓋体の透明窓を通して、反射光を用いてレチクル情報を収集できることは言うまでもない。
【００８０】
図１５は、隣り合った透明窓が連続している場合の実施形態（第６の実施形態）を示す図である。図１５(a)は、蓋体の上側から見た図（内部を透視して見た図）である。図１５(b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。図１３および図１４において、頂角部分が配置される蓋体上面２１５の部分にも透明窓２１３が形成されることにより、透明窓２１３−１および２１３−２、あるいは透明窓２１３−３および２１３−４が結合している場合と考えることができる。レチクル２０１における頂角部分のセット状態を確認したい場合や、レチクル２０１の頂角部分にレチクル情報が存在する場合に、本実施形態を使うことができる。ただし、通常これら頂角近傍にレチクル情報が形成されることはないために、これらの頂角近傍に透明窓がないことは大きな問題になることは少ない。上記に加えて、このように透明窓の数が減少することによって、部品点数が少なくなり、成形時の工数を削減することも可能となる。本実施形態においても、透明窓２４３（２４３−１、２４３−２）以外の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯電性部分２４４において孤立した部分は存在しない。従って、非帯電性領域部に静電気が帯電することはなく、ゴミや異物等がレチクルケース２０２に付着することはない。
【００８１】
第６の実施形態においても、レチクルケース本体にも（本体底面）透明窓２４５が配置されていて、図１〜７における第１〜第４の実施形態と組み合わせることができる。第１の実施形態と組み合わせた時には、レチクル２０１の頂角部分におけるレチクル情報は透過光によって収集できないが、レチクル４端辺近傍のレチクル情報を収集可能である。第２〜４の実施形態と組み合わせた場合には、レチクルの一部における頂角近傍にある情報も収集可能となる。尚、上述したレチクルケース本体の透明窓を通して反射光を用いてレチクル情報を収集できることと同様に、レチクルケース蓋体の透明窓を通して反射光を用いてレチクル情報を収集できることは言うまでもない。
【００８２】
図１６は、透明窓がすべて連続している場合の実施形態（第７の実施形態）である。図１６(a)は、蓋体の上側から見た図（内部を透視して見た図）である。図１６(b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。図１３における透明窓２１３−１、２１３−２、２１３−３、および２１３−４がすべて結合している場合と考えることができる。すなわち、レチクルの４頂角部分のうち、３頂角部分にも透明窓が存在する。図１５における実施形態に比べて、さらにもう一つ頂角部分を観察できる。また、レチクル２０１に、より多くの情報を載せることができるとともに、より的確にレチクル２０１のレチクルケース内における設置状態を把握できる。さらにまた、部品点数を図１５に示した場合よりもさらに削減することが可能となり、工数を減らすことができる。本実施形態においても、透明窓２５３以外の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯電性部分２５４において孤立した部分は存在しない。すなわち、透明窓２５３の存在しない部分を通して、非帯電性部分全体がつながっていて、従って、非帯電性領域部に静電気が帯電することはなく、ゴミや異物等がレチクルケースに付着することはない。
【００８３】
第７の実施形態においても、レチクルケース本体にも（本体底面）透明窓２５６が配置されていて、図１〜７における第１〜第４の実施形態と組み合わせることができる。第１の実施形態と組み合わせた時には、レチクル２０１の頂角部分におけるレチクル情報は透過光によって収集できないが、レチクル４端辺近傍のレチクル情報を収集可能である。第２の実施形態と組み合わせた時には、レチクルの一部における頂角近傍にある情報も収集可能となる。さらに、第３および第４の実施形態と組み合わせた場合には、第７の実施形態における透明窓の形状に対応した透過光によるレチクル情報を収集できる。尚、上述したレチクルケース本体の透明窓を通して反射光を用いてレチクル情報を収集できることと同様に、レチクルケース蓋体の透明窓を通して反射光を用いてレチクル情報を収集できることは言うまでもない。
【００８４】
図１７は、さらに別の実施形態（第８の実施形態）を示す。図１７(a)は、蓋体の上側から見た図（内部を透視して見た図）である。図１７(b)は、横方向から見た図（内部を透視して見た図）である。図１７に示すレチクルケース２０２において、蓋体上面２６２は、レチクルの４端辺部分および４頂角部分およびレチクル表面も観察できるような１枚の透明窓２６３を有している。本実施形態においても、透明窓２６３以外の部分は、非帯電性材料であり、全体が連続していて、非帯電性部分２６４において孤立した部分は存在しない。このような透明窓２６３の場合には、レチクル２０１全体を観察できるので、レチクル２０１全体のレチクルケース内における設置状態を観察可能である。レチクルケース２０２にレチクル２０１が収納された状態でも、レチクルパターンを観察できるので、レチクルケース２０２へレチクル２０１を収納した状態のままでも、レチクルパターン欠陥を検査できるという利点がある。すなわち、レチクル自体に全く影響を及ぼす必要がないから、検査や搬送などを通じて、レチクル２０１にゴミや異物が付着することもないし、外部環境から汚染されることもない。但し、透明窓２６３の領域がかなり大きくなるので、静電気が透明窓２６３に発生して帯電した場合は、他の場合に比べて電荷が抜けてなくなるまでの時間が長くなるという課題がある。しかしながら、たとえば、室温で湿度５０％の条件下で透明部分に１０kVの電位を故意に付与した場合でも、約１分で電位がゼロとなるため実質的に大きな問題とならない。それでも、ある程度クリーン度や帯電が発生しない場所など環境条件を考慮したプロセスで扱うことが望ましい。
【００８５】
第８の実施形態においても、レチクルケース本体にも（本体底面）透明窓２６６が配置されていて、図１〜７における第１〜第４の実施形態と組み合わせることができる。第１〜第３の実施形態と組み合わせた時には、第１〜第３の実施形態における透明窓の形状に対応した透過光によるレチクル情報を収集できる。第４の実施形態と組み合わせた時には、第８（または第４）の実施形態における透明窓の形状に対応した透過光によるレチクル情報を収集できる。尚、上述したレチクルケース本体の透明窓を通して反射光を用いてレチクル情報を収集できることと同様に、レチクルケース蓋体の透明窓を通して反射光を用いてレチクル情報を収集できることは言うまでもない。
【００８６】
尚、このように透明窓２６３の面積が大きくなる場合においても、ＩＴＯ（Indium-Tin-Oxide:インジウム・スズ酸化物）膜、酸化亜鉛系等の透明導電体膜、またはカーボンナノチューブなどの導電性高分子膜を透明窓表面に形成したり、あるいは透明窓の表面に透明性を損なわない程度に軽くドーピングしたりすることにより、透明窓の非帯電性を増加させることもできる。この結果、透明窓にも静電気を帯電させにくくすることも可能となる。
【００８７】
蓋体上面においても、蓋体透明窓と蓋体非帯電部との接合状態は、図７で示す本体底面における場合と同様で、蓋体透明窓は蓋体非帯電性部分に嵌合して密着している。また、蓋体透明窓の材料も、本体底面で用いた透明窓の材料と同様である。すなわち、蓋体透明窓は、透明度の大きな材料であり、たとえば、ポリカーボネート樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、スチレン樹脂等の高分子材料である。あるいはこれらの高分子材料をブレンドしたものでも良い。尚、本発明における「透明」とは、可視光領域において平均して５０％以上の光透過率を有し、ヘイズ値が３０％程度以下のものをいう。上記高分子材料はこの透明性の条件を充分に満足する。一般に上記材料は絶縁体材料でありその表面固有抵抗は１０１４Ω以上である。また非帯電性材料として、カーボンファイバー(CF：Carbon-Fiber)、金属微粒子や導電性ナノチューブ等の導電体材料を含む上記高分子材料等がある。カーボンファイバー、金属微粒子や導電性ナノチューブ等の導電体材料を含む上記高分子材料等は導電性を向上させ電荷の帯電を防止したものであるが、一般に透明性は低下し半透明もしくは不透明となり、内部は見えにくいか見えない状態になる。１０１１Ω以下の表面固有抵抗があれば帯電しにくいと言われているが、１００ｎｍ以下の異物の吸着を問題にするＬＳＩプロセスにおいては、さらに抵抗を下げる必要があり、カーボンファイバーや金属微粒子等の導電体材料を好適に含む必要がある。その場合においては、さらに透明性が低下する。従って、帯電性を防止しかつ内部を観察可能とするところに、本発明の意義がある。カーボンファイバーを含むポリカーボネートは、非帯電性材料としてより好適な材料である。導電性ナノチューブとしては、カーボンナノチューブ、シリコンナノチューブやゲルマニウムナノチューブ等を用いることができる。特に、環径40〜80nmのカーボンナノチューブは導電率が高く、ポリカーボネートや環状オレフィンなどの母材に５％程度以下、典型的には２〜３％程度混合・分散することによって１０８Ω程度の表面固有抵抗を得ることが可能となる。
【００８８】
このような材料の接合は、たとえばインサート成形により達成可能である。また、熱圧着や超音波圧着を用いて接着する方法もある。以上のような方法を用いて、密着させたものは、その接合部において充分な気密性が確保されていて、接合も完璧に行われるので、信頼性の高いレチクルケースを製造できる。尚、透明窓としてガラスを用いることも可能である。
【００８９】
尚、本体底面に透明窓を設けることに関してこれまで説明してきたことであって、蓋体上面に透明窓を設ける場合について説明していない事項については、お互いに矛盾しない限り、蓋体上面に透明窓を設ける場合についても適用できることは言うまでもない。
【００９０】
また、透過光を用いた時には、本体底面における透明窓と蓋体上面における透明窓との両者を透過する光により、レチクル情報を収集可能であることも言うまでもない。従って、本体底面における透明窓と蓋体上面における透明窓との位置および形状は、必ずしも同一である必要はないが、最低限所望のレチクル情報を収集できる程度に共通している必要があることも言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明は、半導体プロセス等におけるレチクルまたはフォトマスク処理工程において、利用することができる。特に、レチクルまたはフォトマスクを用いる半導体産業において、利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】図１は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第１の実施形態を示す図である。
【図２】図２は、第１の実施形態であるレチクルケースの本体を示す図である。
【図３】図３は、第１の実施形態であるレチクルケースの蓋体を示す図である。
【図４】図４は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第２の実施形態を示す図である。
【図５】図５は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第３の実施形態を示す図である。
【図６】図６は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第４の実施形態を示す図である。
【図７】図７は、透明窓と非帯電部との接合状態を示す図である。
【図８】図８は、呼吸弁およびケミカルアブソーバーの働きを示す図である。
【図９】図９は、貫通孔に取付けられた呼吸弁を示す図である。
【図１０】図１０は、呼吸弁取付け部および呼吸弁を示す図である。
【図１１】図１１は、レチクルのパターン面を模式的に示した図である。
【図１２】図１２は、本発明のレチクルケース内に配置しているレチクルに記されている情報を、透過光を用いて読取る場合の１実施例を示す
【図１３】図１３は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第５の実施形態を示す図である。
【図１４】図１４は、第５の実施形態であるレチクルケースの蓋体を示す図である。
【図１５】図１５は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第６の実施形態を示す図である。
【図１６】図１６は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第７の実施形態を示す図である。
【図１７】図１７は、本発明による透明窓を有するレチクルケースの第８の実施形態を示す図である。
【符号の説明】
【００９３】
１・・・レチクル、２・・・レチクルケース、３・・・（レチクルケース）本体、
４・・・（レチクルケース）蓋体、５・・・レチクル端辺、６・・・固定スライダ、
１１・・・本体底面、１３・・・透明窓、１４・・・非帯電性部分、
１５・・・蓋体上面、１６・・・蓋体側面、１７・・・下側リテーナー、
１８・・・上側リテーナー、１９・・・シール材、２０・・・シール溝、
２１・・・シール壁、２２・・シール材凸片、２３・・本体側面、２４・・蓋体側面下端、
２５・・・本体側面上端、２６・・・（下側）U溝、２７・・・（上側）U溝、
２８・・隙間、３０・・・（レチクルケース本体の）足、３１・・・ケミカルアブソーバー、
４３・・・透明窓、４４・・・非帯電性部分、５１・・・本体底面、
５３・・・透明窓、５４・・・非帯電性部分、６３・・・透明窓、
６４・・・非帯電性部分、９２・・・呼吸弁取付け部、９３・・・呼吸弁、
９４・・・蓋体側面、９５・・・呼吸弁ガイド側面、９６・・・呼吸弁ガイド底面、
９７・・・呼吸弁ガイド嵌合筒部、９８・・・貫通孔、９９・・・呼吸弁嵌合筒部、
１００・・・フィルター本体部、１０１・・・呼吸弁開口筒部、１０２・・・フィルター
１１０・・・レチクル、１１１・・・本パターン、
１１１〜１１５・・・周辺スペース部分、１１６〜１１９・・・頂角スペース部分、
１８１・・・レチクルケース、１８２・・・レチクル、１８３・・・本体底面、
１８４・・・本体底面透明窓、１８５・・・蓋体上面、１８６・・・蓋体上面透明窓、
１９１・・・光源、１９２・・投影レンズ、１９３・・結像レンズ、１９４・・・受光器
２０１・・・レチクル、２０２・・・レチクルケース、２０３・・・レチクルケース蓋体、
２０５・・・レチクル端辺、２０６・・・固定スライダ、２１１・・・本体底面、
２１３・・・蓋体透明窓、２１４・・・蓋体非帯電性部分、２１５・・・蓋体上面、
２１６・・・蓋体側面、２１７・・・下側リテーナー、２１８・・・上側リテーナー、
２１９・・・シール材、２２０・・・シール溝、２２１・・シール壁、
２２３・・・本体底面透明窓、２２４・・・蓋体側面下端、
２２５・・・本体非帯電性部分、２２６・・・（下側）U溝、
２２７・・・（上側）U溝、２２８・・・隙間、２３１・・・ケミカルアブソーバー、
２３２・・・呼吸弁、２４３・・・蓋体透明窓、２４４・・・蓋体非帯電性部分、
２４５・・・本体底面透明窓、２４６・・本体底面非帯電性部分、２５１・・・蓋体上面、
２５３・・・蓋体透明窓、２５４・・・蓋体非帯電性部分、２５５・・・本体底面透明窓、
２５６・・・本体底面非帯電性部分、２５７・・・本体底面、２６２・・・蓋体上面、
２６３・・・蓋体透明窓、２６４・・・蓋体非帯電性部分、
２６５・・・本体底面非帯電性部分、２６６・・・本体底面透明窓、
【図１】
2007329439.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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