(57)【要約】【課題】液晶表示パネルの厚さを効率的で容易に減少させることができる液晶表示装置の製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】液晶表示パネルが載置されるテーブルと、前記液晶表示パネルのいずれか一つの板面を第１表面粗度に研削する第１グラインディング部と、第１表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第１表面粗度より細かい第２表面粗度に研削する第２グラインディング部と、第２表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を研磨するポリシング部とを有する。【選択図】      図１
2007193342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示パネルが載置されるテーブルと、
前記液晶表示パネルのいずれか一つの板面を第１表面粗度に研削する第１グラインディング部と、
第１表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第１表面粗度より細かい第２表面粗度に研削する第２グラインディング部と、
第２表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を研磨するポリシング部とを有することを特徴とする液晶表示装置の製造装置。
【請求項２】
前記第１グラインディング部及び第２グラインディング部は、それぞれ、摩擦を通じて前記液晶表示パネルの板面を研削するグラインディングヘッドを含むことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項３】
前記グラインディングヘッドは、ダイヤモンドホイールを含むことを特徴とする請求項２に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項４】
前記第１グラインディング部及び第２グラインディング部は、それぞれ、前記グラインディングヘッドを前記液晶表示パネルの板面に対して平行して自転させる自転駆動部材と、前記グラインディングヘッドを前記液晶表示パネルの板面に対して平行して公転させる公転駆動部材とからなるグラインディング駆動部を含むことを特徴とする請求項３に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項５】
前記ポリシング部は、前記液晶表示パネルの板面との摩擦によって前記板面を研磨するポリシングヘッドと、
前記ポリシングヘッドを前記液晶表示パネルの板面に対して平行して自転させる自転駆動部材と、前記ポリシングヘッドを前記液晶表示パネルの板面に対して平行して公転させる公転駆動部材とからなるポリシング駆動部とを含むことを特徴とする請求項４に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項６】
前記ポリシング部は、第１ポリシング部と、
前記液晶表示パネルを介して前記第１ポリシング部と対面する第２ポリシング部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項７】
前記第１ポリシング部と前記第２ポリシング部との間に位置する前記液晶表示パネルの少なくとも対向する両辺部を固定する固定部をさらに有することを特徴とする請求項６に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項８】
前記テーブルに載置された前記液晶表示パネルを前記第１グラインディング部、第２グラインディング部及び前記ポリシング部にと順次に移動させるテーブル回転部をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項９】
前記テーブルは、前記液晶表示パネルを固定するための真空チャック及び静電気チャックのうちの少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする請求項８に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１０】
前記液晶表示パネルを反転回動させる反転回動部をさらに有することを特徴とする請求項９に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１１】
前記液晶表示パネルの周辺部に沿って保護膜を形成する保護膜形成部をさらに有することを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１２】
前記液晶表示パネルを前記テーブルに載置させたり前記テーブルから脱着させるパネル移送部をさらに有することを特徴とする請求項１１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１３】
液晶表示パネルをテーブルに載置させる段階と、
前記液晶表示パネルのいずれか一つの板面を第１表面粗度に研削する第１グラインディング段階と、
第１表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第１表面粗度より細かい第２表面粗度に研削する第２グラインディング段階と、
第２表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を研磨するポリシング段階とを有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記ポリシング段階後に、前記液晶表示パネルを反転回動させる段階と、
前記液晶表示パネルの他の一つの板面を第３表面粗度に研削する第３グラインディング段階と、
第３表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第３表面粗度より細かい第４表面粗度に研削する第４グラインディング段階と、
第４表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を研磨する追加のポリシング段階とをさらに有することを特徴とする請求項１３に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記第１グラインディング段階前に、
前記液晶表示パネルの周辺部に沿って保護膜を形成する段階をさらに有し、
前記追加のポリシング段階後に、前記保護膜を除去する段階をさらに有することを特徴とする請求項１４に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記追加のポリシング段階と前記保護膜除去段階との間に、前記液晶表示パネルを反転回動させる追加の反転回動段階をさらに有することを特徴とする請求項１５に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記保護膜除去段階後に、前記液晶表示パネルをクリーニング及び乾燥する段階をさらに有することを特徴とする請求項１６に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１８】
液晶表示パネルをテーブルに載置させる段階と、
前記液晶表示パネルのいずれか一つの板面を第１表面粗度に研削する第１グラインディング段階と、
第１表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第１表面粗度より細かい第２表面粗度に研削する第２グラインディング段階と、
前記液晶表示パネルを反転回動させる段階と、
前記液晶表示パネルの他の一つの板面を第３表面粗度に研削する第３グラインディング段階と、
第３表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第３表面粗度より細かい第４表面粗度に研削する第４グラインディング段階と、
研削された前記液晶表示パネルの両板面を研磨するポリシング段階とを有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１９】
前記第１グラインディング段階前に、前記液晶表示パネルの周辺部に沿って保護膜を形成する段階をさらに有し、
前記ポリシング段階後に、前記保護膜を除去する段階をさらに有することを特徴とする請求項１８に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項２０】
前記ポリシング段階と前記保護膜除去段階との間に、前記液晶表示パネルを反転回動させる追加の反転回動段階をさらに有することを特徴とする請求項１９に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項２１】
前記ポリシング段階での研磨は、前記液晶表示パネルの両板面に同時に行われることを特徴とする請求項２０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項２２】
前記保護膜除去段階後に、前記液晶表示パネルをクリーニング及び乾燥する段階をさらに有することを特徴とする請求項２１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示装置の製造装置及び製造方法に関し、より詳しくは、液晶表示パネルの両基板の厚さを減少させるための液晶表示装置の製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、薄膜トランジスタが形成されている第１基板と、第１基板に対向配置されている第２基板、そして、これらの間に液晶層が位置している液晶表示パネルを含んでいる。
【０００３】
最近、液晶表示装置を含む電子製品の場合、携帯性、空間節約、デザイン面を考慮してスリム化が要求され、そのために液晶表示装置の一構成部分の液晶表示パネルも薄形化が要求されている。液晶表示パネルの厚さの大部分は通常両基板が占めるので、液晶表示パネルの薄形化のためには両基板の厚さを薄くしなければならない。液晶表示パネルの製造工程で初めから両基板の厚さを薄くすれば、その後の製造工程で基板の曲がりや破損の問題が発生するなど取り扱いが難しいという問題がある。したがって、一定程度の厚さを有する両基板を用いて液晶表示パネルを完成させた後に両基板の厚さを減少させることによって液晶表示パネルの厚さを減少させる方法が使用される。
【０００４】
このような両基板の例として、ガラス基板の厚さを減少させる方法には、フッ酸などのエッチング液を利用したエッチング法と、マザー基板状態の液晶表示パネルのガラス基板の両板面に同時に圧力をかけ加工するラッピング（ｗｒａｐｐｉｎｇ）法とがある。
【０００５】
しかし、エッチング法の場合、ガラス基板の表面が粗くなって光透過性が落ち、信号線配線などが腐食され製造時間が多くかかるという問題点がある。一方、ラッピング法はマザー基板状態で行われるところ、設備規模が大きくなり液晶表示パネルの運搬及び取り扱いが不便で、製造時間が多くかかるという問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は上記従来の液晶表示装置の製造装置及び製造方法における問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、液晶表示パネルの厚さを効率的で容易に減少させることができる液晶表示装置の製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するためになされた本発明による液晶表示装置の製造装置は、液晶表示パネルが載置されるテーブルと、前記液晶表示パネルのいずれか一つの板面を第１表面粗度に研削する第１グラインディング部と、第１表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第１表面粗度より細かい第２表面粗度に研削する第２グラインディング部と、第２表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を研磨するポリシング部とを有することを特徴とする。
【０００８】
前記第１グラインディング部及び第２グラインディング部はそれぞれ、摩擦を通じて前記液晶表示パネルの板面を研削するグラインディングヘッドを含み、研削力を増加させるために前記グラインディングヘッドはダイヤモンドホイールを含むのが好ましい。
前記第１グラインディング部及び第２グラインディング部はそれぞれ、前記グラインディングヘッドを前記液晶表示パネルの板面に対して平行して自転させる自転駆動部材と、前記グラインディングヘッドを前記液晶表示パネルの板面に対して平行して公転させる公転駆動部材とからなるグラインディング駆動部を含むのが液晶表示パネルの板面を均一に研削するために好ましい。
前記ポリシング部は、前記液晶表示パネルの板面との摩擦を通じて前記板面を研磨するポリシングヘッドと、前記ポリシングヘッドを前記液晶表示パネルの板面に対して平行して自転させる自転駆動部材と、前記ポリシングヘッドを前記液晶表示パネルの板面に対して平行して公転させる公転駆動部材とからなるポリシング駆動部とを含むのが、液晶表示パネルの板面を均一に研磨するために好ましい。
前記ポリシング部は、第１ポリシング部と、前記液晶表示パネルを介して前記第１ポリシング部と対面する第２ポリシング部とを含むのが、液晶表示パネルの両板面を同時に研磨することによって液晶表示装置の製造効率を高めるために好ましい。
前記第１ポリシング部と前記第２ポリシング部との間に位置する前記液晶表示パネルの少なくとも対向する両辺部を固定する固定部をさらに有することが好ましい。
前記テーブルに載置された前記液晶表示パネルを前記第１グラインディング部、第２グラインディング部及び前記ポリシング部にと順次に移動させるテーブル回転部をさらに有するのが、移動距離を減少させて設備規模を縮め製造効率を高めるために好ましい。
前記テーブルは、研削及び研磨過程で液晶表示パネルの遊動を防止するために、前記液晶表示パネルを固定するための真空チャック及び静電気チャックのうちの少なくともいずれか一つを含むのが好ましい。
前記液晶表示パネルを反転回動させる反転回動部をさらに有するのが、液晶表示パネルの製造効率を増大させるために好ましい。
前記液晶表示パネルの周辺部に沿って保護膜を形成させる保護膜形成部をさらに有するのが、研削又は研磨過程で液晶表示パネルの外郭の非表示領域に形成されている信号線配線などに水分や異物質が吸収されたり、吸収された水分や異物質によって信号線配線などが腐食されることを防止するために好ましい。
前記液晶表示パネルを前記テーブルに載置させたり前記テーブルから脱着させるパネル移送部をさらに有するのが、製造効率の増大のために好ましい。
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明による液晶表示装置の製造方法は、液晶表示パネルをテーブルに載置させる段階と、前記液晶表示パネルのいずれか一つの板面を第１表面粗度に研削する第１グラインディング段階と、第１表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第１表面粗度より細かい第２表面粗度に研削する第２グラインディング段階と、第２表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を研磨するポリシング段階とを有することを特徴とする。
【００１０】
前記ポリシング段階後に、前記液晶表示パネルを反転回動させる段階と、前記液晶表示パネルの他の一つの板面を第３表面粗度に研削する第３グラインディング段階と、第３表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第３表面粗度より細かい第４表面粗度に研削する第４グラインディング段階と、第４表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を研磨する追加のポリシング段階とをさらに有するのが、液晶表示パネルの両板面全ての厚さを減少させるために好ましい。
前記第１グラインディング段階前に、前記液晶表示パネルの周辺部に沿って保護膜を形成する段階をさらに有し、前記追加のポリシング段階後に、前記保護膜を除去する段階をさらに有するのが、研削又は研磨過程で液晶表示パネルの外郭の非表示領域に形成されている信号線配線などに水分や異物質が吸収されたり、吸収された水分や異物質によって信号線配線などが腐食されることを防止するために好ましい。
前記追加のポリシング段階と前記保護膜除去段階との間に、前記液晶表示パネルを反転回動させる追加の反転回動段階をさらに有するのが、保護膜除去の便宜のために好ましい。
前記保護膜除去段階後に、液晶表示パネルに残っている水分や異物質を除去するために、前記液晶表示パネルをクリーニング及び乾燥する段階をさらに有するのが好ましい。
【００１１】
また、上記目的を達成するためになされた本発明による液晶表示装置の製造方法は、液晶表示パネルをテーブルに載置させる段階と、前記液晶表示パネルのいずれか一つの板面を第１表面粗度に研削する第１グラインディング段階と、第１表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第１表面粗度より細かい第２表面粗度に研削する第２グラインディング段階と、前記液晶表示パネルを反転回動させる段階と、前記液晶表示パネルの他の一つの板面を第３表面粗度に研削する第３グラインディング段階と、第３表面粗度に研削された前記液晶表示パネルの板面を第３表面粗度より細かい第４表面粗度に研削する第４グラインディング段階と、研削された前記液晶表示パネルの両板面を研磨するポリシング段階とを有することを特徴とする。
【００１２】
前記第１グラインディング段階前に、前記液晶表示パネルの周辺部に沿って保護膜を形成する段階をさらに有し、前記ポリシング段階後に、前記保護膜を除去する段階をさらに有するのが、研削又は研磨過程で液晶表示パネルの外郭の非表示領域に形成されている信号線配線などに水分や異物質が吸収されたり、吸収された水分や異物質によって信号線配線などが腐食されることを防止するために好ましい。
前記ポリシング段階と前記保護膜除去段階との間に、前記液晶表示パネルを反転回動させる追加の反転回動段階をさらに有するのが、保護膜除去の便宜のために好ましい。
前記ポリシング段階での研磨は、前記液晶表示パネルの両板面に同時に行われるのが、液晶表示装置の製造効率を高めるために好ましい。
前記保護膜除去段階後に、液晶表示パネルに残っている水分や異物質を除去するために、前記液晶表示パネルをクリーニング及び乾燥する段階をさらに有するのが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る液晶表示装置の製造装置及び製造方法によれば、エッチング装置によるエッチングによって液晶表示パネルの厚さを減少させる時に発生する問題点である、液晶表示パネルの板面の表面が粗くなって光透過性が落ち、信号線の配線などが腐食され製造時間が多くかかるという問題点を改善することができるという効果がある。
【００１４】
また、ラッピング装置によってラッピング法を使用する場合に比べて設備規模が小さいので液晶表示パネルの運搬及び取り扱いが簡便で、連続工程が可能なので製造時間が多くかかるという問題点を減少させることができるという効果がある。これによって液晶表示パネルの厚さを効率的で容易に減少させることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本発明に係る液晶表示装置の製造装置及び製造方法を実施するための最良の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
【００１６】
いろいろな実施形態において、同一の構成要素に対しては第１の実施形態で代表的に説明し、他の実施形態では省略されることがあるものとする。
【００１７】
本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置を図１乃至図３を参照して説明する。
図１は本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置の平面図であり、図２及び図３はそれぞれ、本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置の一つの要所である第１グラインディング部、及び他の要所であるポリシング部の斜視図である。
【００１８】
本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置１はパネル投入部１００、保護膜形成部１５０、第１パネル移送部２００、テーブル２５０、テーブル回転部３００、第１グラインディング部４００、第２グラインディング部４５０、ポリシング部５００、第２パネル移送部６００、反転回動部７００、及びパネル排出部９００を含む。
【００１９】
パネル投入部１００は、厚さの減少が要求される液晶表示パネル１０が外部から移送されてきた後、最初に載置される部分である。本実施形態で使用される液晶表示パネル１０の接合基板はガラス素材の基板であるが、これに限定されるのではなく、石英素材などの基板が使用されても良い。
パネル投入部１００の一側には運搬手段（図示せず）によってパネル投入部１００から移送されてきた液晶表示パネル１０の周辺部に沿って保護膜１６（図４の（ｂ）参照）を形成する保護膜形成部１５０が設けられている。
保護膜形成部１５０は保護膜形成部材１５１と整列部１５８とを含む。
【００２０】
整列部１５８は、シリコン組成物を含む保護膜１６を形成するために保護膜形成溶液１７（図４の（ａ）参照）を噴射し硬化させる保護膜形成部材１５１の対応位置に液晶表示パネル１０を整列して載置させる。
保護膜形成部材１５１は、液晶表示パネル１０の上部にて液晶表示パネル１０の周辺部に沿って移動しながら、シリコン組成物及び硬化剤が含まれている保護膜形成溶液１７を噴射し硬化させて、保護膜１６を形成させる。保護膜形成部材１５１は公知の構成で設けられ、詳細な説明は省略する。
【００２１】
ここで、保護膜１６は、液晶表示パネル１０の厚さを減少させるためのグラインディング及びポリシングなどの製造工程を経る過程で液晶表示パネル１０の周辺部部分に形成されている信号線配線（図示せず）などに水分や異物が浸透することを防止し、ポリシング工程が完了した後には除去される。
【００２２】
保護膜形成部材１５１の近隣に設けられている第１パネル移送部２００は、整列部１５８からテーブル２５０に保護膜形成が完了した液晶表示パネル１０を移送させる部分であって、吸着部２１０、連結バー２２０及び回転モータ２３０からなる。
吸着部２１０は、保護膜１６の形成が完了した液晶表示パネル１０を整列部１５８からテーブル２５０に移動させる間、吸着によって液晶表示パネル１０を固定する。
【００２３】
吸着部２１０と連結バー２２０によって連結されている回転モータ２３０は、吸着部２１０を回動させることによって吸着部２１０に吸着固定されている液晶表示パネル１０を整列部１５８からテーブル２５０に移動させる駆動力を提供する。
保護膜１６形成が完了した液晶表示パネル１０が載置されるテーブル２５０は回転板２５２と載置部２５４からなる。
回転板２５２は中央部分に連結されているテーブル回転部３００によって９０度ずつ時計方向に回動する。
【００２４】
回転板２５２の上部には載置部２５４が形成されている。載置部２５４は、保護膜１６の形成が完了した液晶表示パネル１０がテーブル２５０中の実際的に載置される部分である。載置部２５４の上部面には真空チャック２５６が形成されていて、載置部２５４に載置された液晶表示パネル１０を固定して研削及び研磨過程での液晶表示パネル１０の遊動を防止する。本実施形態では液晶表示パネル１０の遊動を防止するために真空チャック２５６を用いているが、これに限定されるのではなく、公知の静電気チャックを用いて液晶表示パネル１０の遊動を防止することもできる。
【００２５】
載置部２５４は、第１載置部２５４ａ、第２載置部２５４ｂ、第３載置部２５４ｃ及び第４載置部２５４ｄが設けられている。それぞれの載置部２５４ａ〜２５４ｄは９０度ずつ時計方向に回動することによって互いの位置を変えるようになる。これによって、それぞれの載置部２５４ａ〜２５４ｄに載置された液晶表示パネル１０は回動して第１グラインディング部４００、第２グラインディング部４５０及びポリシング部５００へと順次に移動しながら、研削及び研磨工程を行うようになる。
【００２６】
回転板２５２の中央部分に設けられているテーブル回転部３００は回転軸３１０と回転板連結部３２０からなる。
回転軸３１０はモータなどの駆動部（図示せず）の駆動による回転力を回転板連結部３２０を通じて回転板２５２に伝達する。回転軸３１０の駆動によって、回転板２５２は９０度ずつ時計方向に回動する。
第２載置部２５４ｂの一側から第２載置部２５４ｂの上部に延長されている第１グラインディング部４００はグラインディングヘッド４１０及びグラインディング駆動部４２０で構成されている。第１グラインディング部４００は第２載置部２５４ｂに載置されている液晶表示パネル１０の一板面を第１表面粗度に研削することによって液晶表示パネル１０の厚さを減少させる。
【００２７】
グラインディングヘッド４１０は下部面に第２載置部２５４に載置された液晶表示パネル１０のいずれか一つの板面との摩擦によって研削力を提供する第１ダイヤモンドホイール４１２（図２参照）を含んでいる。
一方、グラインディング駆動部４２０は自転駆動部材４２２と公転駆動部材４２４及びこれらを連結する連結部４２５からなる。
回転モータなどで構成される自転駆動部材４２２はグラインディングヘッド４１０の中央上部に設けられている。自転駆動部材４２２はクランインディンヘッド４１０が液晶表示パネル１０の板面に対して平行して自転しながら液晶表示パネル１０を摩擦によって研削されるように駆動力を提供する。
【００２８】
自転駆動部材４２２と連結部４２５によって連結されている公転駆動部材４２４は公転部４２４ａと公転誘導溝４２４ｂが設けられている。公転部４２４ａは駆動部（図示せず）によって公転誘導溝４２４ｂの周りに沿って液晶表示パネル１０の板面に対して平行して公転運動する。したがって、グラインディングヘッド４１０は自転駆動部材４２２によって自転と共に公転駆動部材４２４によって公転をしながら液晶表示パネル１０の板面全体を第１表面粗度で均一に摩擦によって研削することによって液晶表示パネル１０の厚さを減少させるようになる。
【００２９】
図面には示さなかったが、液晶表示装置の製造装置１は研削過程で摩擦によって第１グラインディング部４００のグラインディングヘッド４１０と液晶表示パネル１０の板面とで発生する熱による温度の上昇を防止するために第１グラインディング部４００と研削される液晶表示パネル１０の板面とに冷却液を供給する冷却液供給部材（図示せず）をさらに含むことができる。
【００３０】
第１グラインディング部４００の一側には第２グラインディング部４５０が設けられている。
第２グラインディング部４５０は、第１表面粗度に研削された後、テーブル回転部３００によって移送されてきて第３載置部２５４ｃに位置する液晶表示パネル１０の板面を第１表面粗度より細かい第２表面粗度に研削する。これによって、液晶表示パネル１０の厚さをさらに減少させ、後の工程のポリシング工程を容易に行うことができる。
第２グラインディング部４５０も第１グラインディング部４００と同様にグラインディングヘッド４６０及びグラインディング駆動部４７０を含んでいる。
【００３１】
グラインディングヘッド４６０は第１表面粗度に研削された液晶表示パネル１０の板面との摩擦によって液晶表示パネル１０の板面を第１表面粗度より細かい第２表面粗度に研削する第２ダイヤモンドホイール（図示せず）を含んでいる。研削に用いる第２ダイヤモンドホイール（図示せず）は第１ダイヤモンドホイール（図示せず）より低い研削力を提供することによって第２表面粗度は第１表面粗度より細かくなる。
グラインディング駆動部４７０も第１グラインディング部４００のグラインディング駆動部４２０と同様に自転駆動部材４７２と公転駆動部材４７４及びこれらを連結する連結部４７５からなる。したがって、自転駆動部材４７２と公転駆動部材４７４の駆動によってグラインディングヘッド４６０が自転と同時に公転しながら液晶表示パネル１０の板面全体を第２表面粗度で均一に研削する。
【００３２】
一方、図面には示さなかったが、液晶表示装置の製造装置１は第１グラインディング部４００と同様に、グラインディングヘッド４６０と研削される液晶表示パネル１０の板面に冷却液を供給する冷却液供給部材（図示せず）をさらに含むことができる。
【００３３】
第４載置部２５４ｄの一側から第４載置部２５４ｄの上部に延長されているポリシング部５００は第２表面粗度に研削されてテーブル回転部３００によって移送されてきた液晶表示パネル１０の板面を平坦化させ、光透過率を増大させるために研磨を行う。
ポリシング部５００はポリシングヘッド５１０とポリシング駆動部５２０で構成されている。
ポリシングヘッド５１０は摩擦によって第２表面粗度に研削された液晶表示パネル１０の板面を研磨することによって粗さをなくして、液晶表示パネル１０の板面を平坦化し光透過率を増大させる。研磨によっても液晶表示パネル１０の基板の厚さはもう少し減少するようになる。ポリシングヘッド５１０の材質は、金属又は酸化セシウム（ＣｅＯ）で構成することができる。
【００３４】
ポリシング駆動部５２０も第１グラインディング部４００及び第２グラインディング部４５０と同様に自転駆動部材５２２と公転駆動部材５２４及びこれらを連結する連結部５２５からなる。
自転駆動部材５２２はモータ固定部５２２ｃと、固定されているモータ部５２２ｂの回転力をポリシングヘッド５２０に伝達する回転軸５２２ａを含んでいる。
公転駆動部材５２４も第１及び第２グラインディング部４００、４５０の公転駆動部材４２４、４７４と同様に公転部５２４ａと公転誘導溝５２４ｂが設けられている。したがって、ポリシングヘッド５１０は自転駆動部材５２２によって自転すると共に公転駆動部材５２４によって公転をしながら液晶表示パネル１０の板面全体を均一な厚さに研磨し、研磨過程で液晶表示パネル１０は厚さがさらに減少される。
【００３５】
一方、図面には示さなかったが、液晶表示装置１は研磨過程で摩擦によって発生するポリシングヘッド５１０と液晶表示パネル１０の板面との熱による温度上昇を防止し、研磨の効率性を高めるために液晶表示パネル１０の板面にスラリーを供給するスラリー供給部材（図示せず）をさらに含むことができる。
【００３６】
第４載置部２５４ｄの一側には第１パネル移送部２００と同様に吸着部６１０、連結バー６２０及び回転軸６３０からなる第２パネル移送部６００が設けられている。
第２パネル移送部６００は第４載置部２５４ｄに載置されている液晶表示パネル１０を反転回動部７００に移送する。クランプ（ｃｌａｍｐ）７３０と回動軸７１０を含む反転回動部７００は、液晶表示パネル１０のいずれか一つの板面に対して研削及び研磨が完了した場合、他の一つの板面に対しても研削及び研磨を行なうために液晶表示パネル１０を反転回動させる。また、両面全ての研削及び研磨が完了した液晶表示パネル１０の保護膜１６除去の便宜のために大きさの小さい対向基板１４（図４参照）が上方に向くように液晶表示パネル１０を追加的に反転回動させる。
【００３７】
クランプ７３０は液晶表示パネル１０の対向する両側部をクランピングすることによって、液晶表示パネル１０が反転回動する間、液晶表示パネル１０を堅固に支持する。液晶表示パネル１０は駆動部（図示せず）によって回転する回動軸７１０を基準にクランピングされた状態で１８０度反転回動する。
保護膜１６の除去の便宜のために反転回動部７００が反転回動する場合には、反転回動が終わると再び反転回動された液晶表示パネル１０はパネル排出部９００に移動した後、保護膜１６が除去された後にクリーニングと乾燥を経て外部に排出される。
【００３８】
一方、他の板面に対して研削及び研磨を行うために液晶表示パネル１０が反転回動された場合には、反転回動された液晶表示パネル１０はガイドレール７５０に沿って第１載置部２５４ａの近隣に移動するようになる。移動してきた液晶表示パネル１０は第１パネル移送部２００によって第１載置部２５４に載置されることによって以後の工程を通じて他の板面にも研削及び研磨が行われるようになる。
反転回動部７００の近隣にはパネル排出部９００が設けられている。パネル排出部９００は、両面全ての研削及び研磨が完了し反転回動部７００によって反転回動された液晶表示パネル１０の保護膜１６を除去しクリーニング及び乾燥を行った後、外部に液晶表示パネル１０を排出する。保護膜１６の除去及びクリーニングとの乾燥は公知の方法及び装置によって行われる。
【００３９】
以上の構成を含む本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置１によれば、エッチング装置によるエッチングによって液晶表示パネルの厚さを減少させる時に発生する問題点である、液晶表示パネルの板面の表面が粗くなって光透過性が落ち、信号線の配線などが腐食され製造時間が多くかかるという問題点を改善することができる。また、ラッピング装置によってラッピング法を使用する場合に比べて設備規模が小さいので液晶表示パネル１０の運搬及び取り扱いが簡便で、連続工程が可能なので製造時間が多くかかるという問題点を減少させることができる。これによって液晶表示パネル１０の厚さを効率的で容易に減少させることができる。
【００４０】
以下、本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を図１〜図４、図５を参照して説明する。図４は本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するために順次に示す概略斜視図である。
本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法は次の通りである。
【００４１】
先ず、薄膜トランジスタ基板１２より大きさの小さい対向基板１４が上方に向くように液晶表示パネル１０をパネル投入部１００に載置させた後、パネル投入部１００から保護膜形成部１５０の整列部１５８に移送する。その後、図４の（ａ）のように、保護膜形成部材１５１を利用して液晶表示パネル１０の周辺部に沿って保護膜形成溶液１７を噴射し硬化させることによって保護膜１６を形成させる。
その後、第１パネル移送部２００が保護膜１６の形成された液晶表示パネル１０を整列部１５８からテーブル２５０の第１載置部２５４ａに載置させる。その次に、テーブル回転部３００の回転軸３１０の回動によってテーブル２５０の回転板２５２が９０度回動して初期に第２載置部２５４ｂがあった位置に第１載置部２５４ａが移動するようになる。
【００４２】
その後、図４の（ｂ）のように第１載置部２５４ａの上部に載置されており厚さがｄ１である液晶表示パネル１０の対向基板１４の板面を第１グラインディング部４００が第１表面粗度に研削する。第１表面粗度に研削が終わると、対向基板１４は厚さが図４（ｃ）のようにｄ１より薄いｄ２になる。その後、再びテーブル回転部３００の回転軸３１０の回動によってテーブル２５０の回転板２５２が９０度回動して初期に第３載置部２５４ｃがあった位置に第１載置部２５４ａが移動するようになる。
その後、図４の（ｃ）のように第１載置部２５４ａの上部に載置されており第１表面粗度を有し厚さがｄ２である液晶表示パネル１０の対向基板１４の板面を、第２グラインディング部４５０が第１表面粗度より細かい第２表面粗度に研削する。第２表面粗度に研削が終わると、対向基板１４は厚さが図４の（ｄ）のようにｄ２より薄いｄ３になる。
【００４３】
第１グラインディング部４００は研削時間又は／及び研削強度を調節できるので、第１表面粗度に研削が完了した液晶表示パネル１０の対向基板１４は多様な厚さを有することができる。また、第２グラインディング部４５０も研削時間又は／及び研削強度を調節できるので、第２表面粗度に研削が完了した液晶表示パネル１０の対向基板１４も多様な厚さを有することができる。これによって、研削中又は研削が完了した対向基板１４は要求特性に応じて多様な厚さを有することができる。
対向基板１４の板面を第１表面粗度とこれより細かい第２表面粗度に別に研削を行うと、研削後の研磨工程が容易になって、全体的に液晶表示装置の製造時間を減らすことができる。
【００４４】
その後、再びテーブル回転部３００の回転軸３１０の回動によってテーブル２５０の回転板２５２が９０度回動して初期に第４載置部２５４ｄがあった位置に第１載置部２５４ａが移動するようになる。
その後、図４の（ｄ）のように第２表面粗度を有し厚さがｄ３である対向基板１４の板面をポリシング部５００が研磨するようになる。研磨が完了すると、対向基板１４は厚さが図４の（ｉ）のようにｄ３より薄い最終の厚さのｄ４になる。
【００４５】
研磨が終わった液晶表示パネル１０は第２パネル移送部６００によって反転回動部７００に移動するようになる。その後、反転回動部７００によって液晶表示パネル１０は図４の（ｅ）のように反転回動して薄膜トランジスタ基板１２が上方に向くようになる。その後、反転回動部７００がガイドレール７５０に沿って移動して、液晶表示パネル１０は第１パネル移送部２００の一側に移動するようになる。
一方、テーブル回転部３００の回転軸３１０の回動によってテーブル２５０の回転板２５２が９０度回動して、初期の第４載置部２５４ｄに位置していた第１載置部２５４ａは再び元の初期の位置に移動してくるようになる。これによって、薄膜トランジスタ基板１２が上方に向いている液晶表示パネル１０は第１パネル移送部２００によって再び第１載置部２５４に載置される。
【００４６】
その後、テーブル回転部３００の回転軸３１０の回動によってテーブル２５０の回転板２５２が９０度回動する。その次に、図４の（ｆ）のように第１載置部２５４ａの上部に載置されており、厚さがｄ５である液晶表示パネル１０の薄膜トランジスタ基板１２を第１グラインディング部４００が第３表面粗度に研削する。第３表面粗度に研削が終わると、薄膜トランジスタ基板１２は厚さが図４の（ｇ）のようにｄ５より薄いｄ６になる。ここで、第３表面粗度は対向基板１４の板面に形成された第１表面粗度と同一である。その後、再びテーブル回転部３００の回転軸３１０の回動によってテーブル２５０の回転板２５２が９０度回動して、初期に第３載置部２５４ｃがあった位置に第１載置部２５４ａが移動するようになる。
【００４７】
その後、図４の（ｇ）のように第１載置部２５４ａの上部に載置され第３表面粗度を有し厚さがｄ６である液晶表示パネル１０の薄膜トランジスタ基板１２の板面を、第２グラインディング部４５０が第３表面粗度より細かい第４表面粗度に研削する。第４表面粗度に研削が終わると、薄膜トランジスタ基板１２は厚さが図４の（ｈ）のようにｄ６より薄いｄ７になる。ここで、第４表面粗度は対向基板１４の第２表面粗度と同一である。
【００４８】
第１グラインディング部４００は研削時間又は／及び研削強度を調節できるので、第１表面粗度に研削が完了した液晶表示パネル１０の薄膜トランジスタ基板１２は多様な厚さを有することができる。また、第２グラインディング部４５０も研削時間又は／及び研削強度を調節できるので、第２表面粗度に研削が完了した液晶表示パネル１０の薄膜トランジスタ基板１２も多様な厚さを有することができる。これによって、研削中又は研削が完了した薄膜トランジスタ基板１２は要求特性に応じて多様な厚さを有する。
【００４９】
その後、再びテーブル回転部３００の回転軸３１０の回動によってテーブル２５０の回転板２５２が９０度回動して、初期に第４載置部２５４ｄがあった位置に第１載置部２５４ａが移動するようになる。
その後、図４の（ｈ）のように第４表面粗度を有し厚さがｄ７である薄膜トランジスタ基板１２の板面をポリシング部５００が研磨する。研磨が完了すると、薄膜トランジスタ基板１２は厚さが図４の（ｉ）のようにｄ７より薄い最終厚さのｄ８になる。
【００５０】
その後、第２パネル移送部６００によって液晶表示パネル１０を反転回動部７００に移送させた後、保護膜除去の便宜のために対向基板１４が上方に向くように液晶表示パネル１０を反転回動させる。その次に、パネル排出部９００に反転回動された液晶表示パネル１０をパネル排出部９００に移送させた後、図４（ｊ）のように保護膜１６を除去した後、図４（ｋ）のように液晶表示パネル１０をクリーニング部材８５０を用いてクリーニングし、乾燥部材（図示せず）を用いて乾燥させると、液晶表示パネル１０の厚さの減少のための製造工程が完了する。
【００５１】
本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置１を利用した液晶表示装置の製造方法によれば、エッチング法によって液晶表示パネル１０の厚さを減少させる時に発生する問題点である、液晶表示パネル２０の両基板１２、１４の板面の表面が粗くなって光透過性が落ち、信号線の配線などが腐食されて製造時間が多くかかるという問題点を改善することができる。また、ラッピング法を使用する場合に比べて液晶表示パネル１０の運搬及び取り扱いが容易であり、連続工程が可能なので製造時間が多くかかる問題点を減少させることができる。これによって、液晶表示パネル１０の厚さを効率的で容易に減少させることができる。
【００５２】
一方、上記の実施形態では液晶表示パネル１０の両基板（１２、１４）ともを研削及び研磨によって厚さを減少させたが、必要に応じて両基板（１２、１４）のうちのいずれか一つの基板に対してのみ厚さを減少させても良い。この場合、液晶表示パネル１０は第１グラインディング部４００、第２グラインディング４５０及びポリシング部５００によっていずれか一つの板面に対してのみそれぞれ研削及び研磨された後、すぐ保護膜１６の除去、クリーニング及び乾燥の段階を経るようになる。
【００５３】
以下、本発明の第２の実施形態による液晶表示パネルの製造装置を図５及び図６を参照して本発明の第１の実施形態による液晶表示パネルの製造装置との差異点を中心に説明する。
図５は本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造装置の平面図であり、図６は本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造装置の要所のポリシング部の斜視図である。
【００５４】
本発明の第２の実施形態による液晶表示パネルの製造装置２は、本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置とは異なり、研磨のためのポリシング部５０１が両面の研磨が可能なように第１ポリシング部５０３と、研磨される液晶表示パネル１０を介して第１ポリシング部５０３と対面している第２ポリシング部５０４とからなる。ポリシング部５０１は後述する固定部８００に接近及び離隔が可能なように設けられている。
【００５５】
第１ポリシング部５０３及び第２ポリシング部５０４もそれぞれポリシングヘッド５１０、５３０が備えられており、自転駆動部材５２２、５４２及び公転駆動部材５２４が設けられている。
一方、第１ポリシング部５０３及び第２ポリシング部５０４による両面の研磨は液晶表示パネル１０がテーブル２５０の載置部２５４に載置された状態では困難である。したがって、第２パネル移送部６００の近隣に液晶表示パネル１０の対向する両辺部を固定する固定部８００が別途に設けられている。
【００５６】
固定部８００は、相互接近及び離隔が可能な一対の本体部８１０と液晶表示パネルの辺部を収容して固定する固定溝８２０とで設けられている。第４載置部２５４ｄから第２パネル移送部６００によって移送されてきた液晶表示パネル１０は対向する両辺部が固定溝８２０に挿入して固定される。
【００５７】
上記の構成を有する本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造装置によっても本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置と同一の効果を得ることができる。
以下、本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を図５〜図７を参照して説明する。図７は本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するために順次に示す概略斜視図である。
【００５８】
本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造装置２を利用した液晶表示装置の製造方法は、図７（ａ）〜図７（ｃ）のように液晶表示パネルの周辺部に沿って保護膜１６を形成させる段階、液晶表示パネル１０の対向基板１４の板面を第１グラインディング部４００によって第１表面粗度に研削する段階、及び第２グラインディング部４５０によって第２表面粗度に研削する段階までは本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法と同一である。
【００５９】
第１表面粗度に研削が完了した対向基板１４の厚さは図７の（ｂ）のｄ１から図７の（ｃ）のｄ２に減少するようになり、第２表面粗度に研削が完了した対向基板１４の厚さは図７の（ｄ）のようにｄ２より薄いｄ３に減少するようになる。
その次に、回転板２５２が再び９０度回転した後、対向基板１０の板面を研磨せずすぐに第２パネル移送部６００によって液晶表示パネル１０を反転回動部７００に移動させる。その後、図７の（ｅ）のように反転回動部７００が液晶表示パネル１０の薄膜トランジスタ基板１２が上方に向くように反転回動させる。その後、液晶表示パネル１０はガイドレール７５０によって第１パネル移送部２００の近隣に移動した後に再び第１載置部２５４ａに載置する。
【００６０】
その後、図７（ｆ）及び図７（ｇ）のように再び薄膜トランジスタ基板１２の板面をそれぞれ第１グラインディング部４００と第２グラインディング部４５０を用いて第３表面粗度及び第４表面粗度に研削する。第３表面粗度に研削が完了した薄膜トランジスタ基板１２の厚さは図７の（ｆ）のｄ５から図７の（ｇ）のｄ６に減少するようになり、第４表面粗度に研削が完了した薄膜トランジスタ基板１２の厚さは図７の（ｈ）のようにｄ６より薄いｄ７に減少するようになる。
ここで、第３表面粗度及び第４表面粗度は対向基板１４の第１表面粗度及び第２表面粗度と同一である。
【００６１】
その後、第４表面粗度に研削が完了した液晶表示パネル１０は回転板２５２が９０度回動した後、第２パネル移送部６００によって固定部８００に移動した後、固定部８００によって固定される。その次に、図７の（ｉ）のように固定部８００によって固定された液晶表示パネル１０を介して第１ポリシング部５０３と第２ポリシング部５０４が移動してきた後、液晶表示パネル１０の両板面を同時に研磨する。
両面の研磨が完了した液晶表示パネル１０は第２パネル移送部６００によって反転回動部７００に移送させて、図７（ｊ）のように保護膜の除去の便宜のために対向基板１４が上方に向くように液晶表示パネル１０を反転回動させる。その次に、パネル排出部９００に液晶表示パネル１０を移送させた後、図７（ｋ）のように保護膜１６を除去した後、図７（ｌ）のように液晶表示パネル１０をクリーニング部材８５０を用いてクリーニングし乾燥部材（図示せず）を用いて乾燥させると、液晶表示パネル１０の厚さの減少のための製造工程が完了する。
【００６２】
本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造装置２を利用した液晶表示装置の製造方法によっても液晶表示パネル１０の両基板（１２、１４）の厚さを効率的で容易に減少させることができる。
以上の実施形態は多様に変形可能である。上記の実施形態で第１グラインディング部４００、第２グラインディング部４５０、ポリシング部５００（５０１）、及び固定部８００はそれぞれ一つずつ設けられているが、複数個で構成されても良い。
【００６３】
尚、本発明は、上述の実施例に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置の平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置の一つの要所である第１グラインディング部の斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態による液晶表示装置の製造装置の他の要所であるポリシング部の斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するために順次に示す概略斜視図である。
【図５】本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造装置の平面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造装置の要所であるポリシング部の斜視図である。
【図７】本発明の第２の実施形態による液晶表示装置の製造装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するために順次に示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００６５】
１、２      液晶表示装置の製造装置
１０      液晶表示パネル
１００      パネル投入部
１５０      保護膜形成部
２００      第１パネル移送部
２５０      テーブル
２５２      回転板
２５４      載置部
２５６      真空チャック
３００      テーブル回転部
４００      第１グラインディング部
４１０、４６０    グラインディングヘッド
４１２      第１ダイヤモンドホイール
４２０、４７０    グラインディング駆動部
４２２、４７２    自転駆動部材
４２４、４７４    公転駆動部材
４２５、４７５    連結部
４５０      第２グラインディング部
５００、５０１      ポリシング部
５１０      ポリシングヘッド
５２０      ポリシング駆動部
５２２      自転駆動部材
５２４      公転駆動部材
５２５      連結部
６００      第２パネル移送部
７００      反転回動部
７１０      回動軸
７３０      クランプ
７５０      ガイドレール
８００      固定部
８５０      クリーニング部材
９００      パネル排出部
【図１】
2007193342.tif 000003
【図２】
2007193342.tif 000004
【図３】
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【図４】
2007193342.tif 000006
【図５】
2007193342.tif 000007
【図６】
2007193342.tif 000008
【図７】
2007193342.tif 000009