(57)【要約】 【課題】  インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数および各グループのチャネルの数などに応じて、最適な吐出速度および吐出量で液滴を吐出することができる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】  一定の基準周波数で１つのチャネルのみからインクを吐出して求めたチャネル毎の吐出量および吐出速度、ならびに駆動周波数、同サイクル駆動を行う駆動チャネル数、その駆動チャネル内のチャネル相対位置、およびサイクル駆動を行う単位チャネル数などの駆動条件によって決まる補正データに基づいて、描画装置１で行う駆動条件に対応した吐出量および吐出速度の補正を行う。補正した吐出量からインク受容部５１へ吐出すべき液滴数を算出し、算出した液滴数のインクを、補正した吐出速度から求めた吐出タイミングでインク受容部５１に吐出する。【選択図】      図１
2007229958.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出するインクジェットヘッドを用いて、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割し、各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置の制御方法であって、
各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる液滴の補正量によって補正し、補正された液適量に基づいて、基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域に付着させるために吐出すべき液滴数を算出し、算出した液滴数の液滴をその領域に吐出することを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【請求項２】
前記液滴数は、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数に加えて、前記連続して隣接するチャネルの相対位置によって定まる液滴の補正量によって補正し、補正された液適量に基づいて算出されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置の制御方法。
【請求項３】
予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段であって、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割された各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段と、
各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を表す液適量データと、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数とから定まる液滴の補正量を表す吐出量補正データとを記憶する記憶手段と、
基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域の位置を表す単位領域位置情報と、液滴吐出手段のノズルの位置を表すノズル位置情報とに基づいて、その領域に液滴を吐出すべきノズルに対応するチャネルを選択するチャネル選択手段と、
チャネル選択手段によって選択された各チャネルについて、液滴吐出手段によって液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での補正量を、記憶手段に記憶された吐出量補正データから求め、求めた補正量によって記憶手段に記憶された液適量データが示す液適量を補正し、補正された液適量に基づいて、前記領域に付着させるために吐出すべき液滴数を算出し、算出した液滴数の液滴を液滴吐出手段によってその領域に吐出させる制御手段とを含むことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
前記記憶手段に記憶された吐出量補正データは、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数に加えて、前記連続して隣接するチャネルの相対位置によって定まる液滴の補正量を表し、
前記制御手段は、前記液滴吐出手段によって液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での補正量を、記憶手段に記憶された吐出量補正データから求めることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出するインクジェットヘッドを用いて、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割し、各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置の制御方法であって、
各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される液滴の吐出速度を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる速度の補正値によって補正し、補正された吐出速度に基づいて、基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域に付着させるために吐出すべき吐出タイミングを算出し、算出した吐出タイミングで液滴をその領域に吐出することを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【請求項６】
予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段であって、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割された各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段と、
各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される液滴の吐出速度を表す吐出速度データと、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる速度の補正値を表す吐出速度補正データとを記憶する記憶手段と、
基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域の位置を表す単位領域位置情報と、液滴吐出手段のノズルの位置を表すノズル位置情報とに基づいて、その領域に液滴を吐出すべきノズルに対応するチャネルを選択するチャネル選択手段と、
チャネル選択手段によって選択された各チャネルについて、液滴吐出手段によって液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での速度の補正値を、記憶手段に記憶された吐出速度補正データから求め、求めた速度の補正値によって記憶手段に記憶された吐出速度データが示す吐出速度を補正し、補正された吐出速度に基づいて、前記領域に付着させるために吐出すべき吐出タイミングを算出し、算出した吐出タイミングで液滴吐出手段によって液滴をその領域に吐出させる制御手段とを含むことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
前記基板は、カラーフィルタの基板であり、
前記液滴吐出手段は、異なる色のインクの液滴を貯める複数のチャネルを含み、
前記制御手段は、異なる色のインク毎に各チャネルから吐出する液滴の総吐出量、吐出タイミング、または総吐出量および吐出タイミングを算出し、算出した総吐出量、吐出タイミング、または総吐出量および吐出タイミングに基づいて、前記液滴吐出手段に液滴を吐出させることを特徴とする請求項３，４，および６のいずれか１つに記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に液滴を付着させるために、液滴を吐出する液滴吐出装置およびその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常のプリンタあるいは産業用プリンタ、さらにはカラーフィルタなどのデバイス製造装置に搭載される液滴吐出装置たとえば描画装置には、印字時のみに必要なインクを吐出させるドロップ・オン・デマンド型のインクジェットヘッドが用いられる。このインクジェットヘッドは、印字効率の向上、低コスト化、および低ランニングコスト化に有利であるなどの点から注目されており、加熱によって生じるバブル（泡）を利用したサーマルジェット方式、あるいは圧電素子を用いたカイザー方式が主流となっている。
【０００３】
サーマルジェット方式の記録ヘッドを用いるものとして、インクなどの液体の一部を熱してバブルを生じさせることによって、吐出口から液滴を吐出させる液体噴射記録装置がある（たとえば特許文献１参照）。カイザー方式の記録ヘッドとして、ノズルに連通する圧力室を形成する基体に接合された振動版を、圧電素子によって振動させ、圧力室内のインク圧を変化させて、ノズルからインク滴を噴出させるインクジェットヘッドがある（たとえば特許文献２参照）。
【０００４】
しかしながら、カイザー方式は、小型化が難しく、高密度化には適さないという欠点を有している。サーマルジェット方式は、高密度化には適しているものの、ヒータを加熱することによってインク内にバブルを生じさせて、そのバブルのエネルギーを吐出に利用するので、インクの耐久性に対する要求が厳しく、樹脂成分などを含む産業用インクではヘッド特性の信頼性に欠け、ヒータの寿命を長くすることが困難であり、さらに、消費電力も大きくなるという欠点を有している。
【０００５】
このような欠点を解決するものとして、圧電材料の剪断変形を利用したシェアモードインクジェット方式のインクジェットヘッドが提案されている。このインクジェットヘッドは、厚さ方向に分極された圧電材料からなる圧電基板同士を、接合部を挟んで分極方向を互いに反対方向になるように対称に接合した積層基板を形成した後、この積層基板に、ノズルのならび方向に互いに間隔を有する多数の平行な流路を形成し、その流路の側壁の表面に電極を形成したものである（たとえば特許文献３参照）。このシェアモードインクジェット方式は、圧電材料からなるインクチャネル壁つまり側壁に形成された電極によって、圧電材料の分極方向と直交する方向に電界を加え、インクチャネル壁を剪断変形させて、その際に生じる圧力波変動を利用してインクジェットヘッドに形成されたノズルからインク滴を吐出させるものであり、ノズルの高密度化、低消費電力化、高駆動周波数化、特に高粘度インク吐出性能に優れており、樹脂成分あるいは顔料を含むインクを使用する産業用途に適している。
【０００６】
インク液晶ディスプレイ、および有機ＥＬ（Electro-Luminescence）などの表示装置は、液滴吐出手段である上述したインクジェットヘッドを用いて、基板上にインクを付着させて製造されている。たとえば液晶ディスプレイで用いられるカラーフィルタを製造する場合に、インクジェットヘッドを用いることによって、インクジェットヘッドを一方向に移動させながら、赤、青、および緑の３色のインク滴を並行して吐出し、基板に着弾させて付着させることができる。インクジェットヘッドを用いることによって、このように１回のスキャンで３色のインク滴を吐出して、カラーフィルタのパターンを形成することができ、既存のフォトリソ工程と比較して、その簡便さから低コストでカラーフィルタなどを製造することができる。
【０００７】
インクジェットヘッドを用いた製造装置は、ノズルから吐出される一つの液滴当たりの液量である吐出量と吐出される液滴数とによって、基板上の所定の領域に形成されるパターンの膜厚が決定される。したがって、チャネルばらつきなどによって、各ノズルから所定の領域に吐出される液滴の総液量である総吐出量が変わると、それがすじムラとなって品質に大きく作用する。このすじムラを無くすためには、吐出量の制御を高精度に行うことが求められる。
【０００８】
さらに、吐出された液滴は、カラーフィルタ基板の液滴付着単位領域内つまりパターン内に着弾すると、液滴が持つ運動エネルギーによって基板上で大きく濡れ拡がり、液滴付着単位領域（以下セルという）を仕切るブラックマトリックスの上、もしくは極近傍に液滴が着弾した場合は、パターンの外に付着液滴がはみ出して色の異なるセル内に液滴が侵入する。ブラックマトリックス上の液滴が濡れた箇所を介してセル間で混色を起こし、カラーフィルタの品質を大きく低下させる。このセル間の混色を無くすためには、確実にセル内の着弾許容範囲に液滴を着弾させるようインクジェットヘッドを制御することが求められる。
【０００９】
特にカラーフィルタのすじムラについては、１パスつまり１回のインクジェットヘッドのスキャンで製造する場合に発生しやすく、ノズル毎の吐出量誤差を補完するために、複数のノズルを使って複数回のタイミングに分けてセルにインク滴吐出を行う分散方式を採用するのが一般的である。
【００１０】
しかしながら、成膜プロセス装置上に高密度にノズルを配置し、カラーフィルタ基板などの１つのセルに複数のノズルを使用して、単位時間当たりのインク吐出量をできるだけ増大させ、１回のスキャンもしくはできるだけ少ないスキャン回数で成膜することが成膜プロセスの生産性の観点からは望ましい。
【００１１】
インクジェットヘッドを利用してカラーフィルタなどの高精度な成膜プロセスを行う場合は、分散方式の液滴吐出を行うことですじムラが生じにくくなる。しかし、乾燥しやすいインクでは、逆にカラーフィルタのセル内で膜厚ムラが生じ、液晶パネルとしたときに輝点あるいは色調ムラが発生するという問題がある。
【００１２】
このような問題を解決するために液滴の吐出量を制御する第１の従来の技術として、液滴であるインク滴を吐出する駆動タイミング毎にインク滴の吐出量を設定可能としたフィルタの製造方法がある。インク滴の吐出量をノズル毎に駆動波形、つまり駆動電圧を変化させることによって、各ノズルのばらつきに起因する吐出量の差を無くそうとするものである（たとえば、特許文献４参照）。
【００１３】
液滴の吐出量および吐出速度を制御する第２の従来の技術として、インクジェットヘッドの駆動方法がある。このインクジェットヘッドの駆動方法は、選択された複数のチャネルを使用するときに、非使用チャネルにもダミーパルスを同時に入力し、常に全チャネルにパルスが入力されている状態と同じ状態にしてチャネル間のクロストークの影響を均一化することによって、ヘッドのほとんどのチャネルでほぼ同一吐出量および同一吐出速度となるようにヘッド駆動を行うものである（たとえば特許文献５参照）。
【００１４】
【特許文献１】特公昭６１−５９９１４号公報
【特許文献２】特公昭６２−３２１１２号公報
【特許文献３】特開平４−２５９５６３号公報
【特許文献４】特開２００３−２１７１４号公報
【特許文献５】特開２０００−２５５０５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
第１の従来の技術では、駆動電圧および駆動パルス幅などを変化させて、所望の膜厚を実現する最適な駆動電圧、駆動パルス、および描画パターン、つまりセルのどこの場所にどれだけの量のインクをどれだけの液滴数でどのタイミングで吐出するかという描画パターンなどを求めるためには、ヘッド駆動条件の場合分けが莫大となり、多大の時間および労力が必要である。ヘッド駆動条件の場合分けとは、たとえば駆動電圧、駆動パルス幅、および駆動パルスパターンを変化させた駆動波形毎の液滴量ばらつきの計測、カラーフィルタインチサイズつまりセルサイズ、インク種類などの条件の場合わけである。成膜プロセスの生産性向上のために描画時間を短縮したい場合、あるいはセルパターンの仕様、たとえばサイズ、配置、および形状などの仕様の変更に対応する場合には、スキャン速度あるいはインク着弾可能領域などが変化して駆動周波数などを変えることとなる。駆動周波数を変える度に、再度最適な駆動電圧、駆動パルス幅、および描画パターンを抽出し直す必要があり、成膜工程の改善あるいは仕様変更などへの対応に多大の時間および労力が必要である。さらに、各チャネルについて個別に駆動電圧および駆動パルスを供給するためのインクジェットヘッド駆動用ＩＣ（Integrated Circuit）が複雑化してデバイス製造装置においては、消耗部品であるインクジェットヘッドの高コスト化、換言すればデバイス製造プロセスの高ランニングコスト化を起こすことになる。
【００１６】
第２の従来の技術については、非使用チャネルにダミーパルスを印加した場合、非使用チャネルのインク室およびインクの温度は、インクを吐出することによる排熱が行われないので、局所的に異常に上昇する。インクの温度上昇によるインク物性変化、あるいはノズル内のインクメニスカスでのインク溶媒成分の蒸発などに起因するインクの粘度および表面張力などの物性変化によって、ダミーパルスを印加した後にインクを吐出させようとしたとき、吐出速度および吐出体積が大きく変動してしまい、精密な吐出量制御および吐出速度制御つまり液滴着弾制御を行うことができないという問題がある。さらに、樹脂あるいは顔料などの固形成分を含む産業用インクでは、吐出する機会が少ないチャネルは、上記インク室の異常昇温によるインクの変質劣化によってノズル詰りを起こすことがある。
【００１７】
第１および第２のいずれの従来の技術においても、吐出速度および吐出量が駆動周波数に依存することから生じる液滴当たりの吐出量の差異から生じる膜厚の誤差および液滴着弾位置精度の劣化を、吐出量および吐出速度と駆動周波数との関係に基づいて補正する方法を示していない。さらにはインク吐出量およびインク吐出速度がシェアモードインクジェットヘッドを用いて、１つのセル内に一定期間に同サイクル内で駆動する複数チャネルからインク吐出を行った総吐出インクで成膜したときの膜厚を、駆動周波数および駆動チャネル数などとの関係に基づいて補正する方法を示していない。
【００１８】
第２の従来の技術においては、単チャネル駆動でも複数チャネル駆動でもクロストークの影響を常に同じくすることができ、特定の駆動条件においては吐出量および吐出速度のチャネル間ばらつきを低減することができるが、複数チャネル駆動時のクロストーク影響度の周波数依存性から生じる膜厚の誤差を、液滴当たりの吐出量と駆動周波数との関係に基づいて補正する方法を示していない。さらに、吐出速度についても複数チャネル駆動時のクロストーク影響度の周波数依存性から生じる速度変動は考慮されておらず、その補正する方法を示していない。
【００１９】
すなわち、いずれの従来の技術も、駆動周波数を変化させるとき、吐出速度および吐出量を適切に制御することができないことがあるという問題がある。
【００２０】
本発明の目的は、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数および各グループのチャネルの数などに応じて、液滴の吐出量または吐出速度を高精度に制御することができる液滴吐出装置およびその制御方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出するインクジェットヘッドを用いて、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割し、各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置の制御方法であって、
各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる液滴の補正量によって補正し、補正された液適量に基づいて、基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域に付着させるために吐出すべき液滴数を算出し、算出した液滴数の液滴をその領域に吐出することを特徴とする液滴吐出装置の制御方法である。
【００２２】
本発明に従えば、予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出するインクジェットヘッドを用いて、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割し、各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出するにあたって、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる液滴の補正量によって補正し、補正された液適量に基づいて、基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域に付着させるために吐出すべき液滴数を算出し、算出した液滴数の液滴をその領域に吐出する。
【００２３】
このように、各チャネルについて１チャネルのみを基準周波数の駆動信号で駆動させて液滴吐出させたときの１つの吐出液滴量を予め求めておき、予め定めるサイクル毎に、シェアモードインクジェットヘッドの複数のチャネルを同数のチャネルからなるグループに分けた各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する際に、予め求めておいた吐出液滴量を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる液滴の補正量によって補正し、補正された液適量に基づいて、基板の単位領域たとえばセルに付着させるために吐出すべき液滴数を算出し、算出した液滴数の液滴を単位領域に吐出するので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数および各グループのチャネル数に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができる。
【００２４】
また本発明は、前記液滴数は、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数に加えて、前記連続して隣接するチャネルの相対位置によって定まる液滴の補正量によって補正し、補正された液適量に基づいて算出されることを特徴とする。
【００２５】
本発明に従えば、単位領域に付着させるために吐出すべき液滴数が、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数に加えて、前記連続して隣接するチャネルの相対位置によって定まる液滴の補正量によって補正された液適量に基づいて算出されるので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができ、さらに駆動するチャネルの相対位置に起因するチャネル間のクロストークによる吐出量への影響を駆動周波数依存性も含めて補正を行うことができる。
【００２６】
また本発明は、予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段であって、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割された各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段と、
各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を表す液適量データと、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数とから定まる液滴の補正量を表す吐出量補正データとを記憶する記憶手段と、
基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域の位置を表す単位領域位置情報と、液滴吐出手段のノズルの位置を表すノズル位置情報とに基づいて、その領域に液滴を吐出すべきノズルに対応するチャネルを選択するチャネル選択手段と、
チャネル選択手段によって選択された各チャネルについて、液滴吐出手段によって液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での補正量を、記憶手段に記憶された吐出量補正データから求め、求めた補正量によって記憶手段に記憶された液適量データが示す液適量を補正し、補正された液適量に基づいて、前記領域に付着させるために吐出すべき液滴数を算出し、算出した液滴数の液滴を液滴吐出手段によってその領域に吐出させる制御手段とを含むことを特徴とする液滴吐出装置である。
【００２７】
本発明に従えば、まず、予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段によって、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割された各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴が吐出される。
【００２８】
次に、記憶手段によって、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を表す液適量データと、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数とから定まる液滴の補正量を表す吐出量補正データとが記憶され、チャネル選択手段によって、基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域の位置を表す単位領域位置情報と、液滴吐出手段のノズルの位置を表すノズル位置情報とに基づいて、その領域に液滴を吐出すべきノズルに対応するチャネルが選択される。
【００２９】
さらに、制御手段によって、チャネル選択手段によって選択された各チャネルについて、液滴吐出手段によって液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での補正量が、記憶手段に記憶された吐出量補正データから求められ、求められた補正量によって記憶手段に記憶された液適量データが示す液適量が補正され、補正された液適量に基づいて、前記領域に付着させるために吐出すべき液滴数が算出され、算出された液滴数の液滴が液滴吐出手段によってその領域に吐出される。
【００３０】
このように、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を表す液適量データと、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数とから定まる液滴の補正量を表す吐出量補正データとを予め記憶手段に記憶しておき、予め定めるサイクル毎に、シェアモードインクジェットヘッドの複数のチャネルを同数のチャネルからなるグループに分けた各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での補正量を、記憶手段に記憶された吐出量補正データから求め、求めた補正量によって記憶手段に予め記憶しておいた液適量データが示す液滴量を補正し、補正された液適量に基づいて、単位領域に付着させるために吐出すべき液滴数を算出し、算出した液滴数の液滴を液滴吐出手段によって単位領域に吐出するので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数および各グループのチャネル数に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができる。
【００３１】
また本発明は、前記記憶手段に記憶された吐出量補正データは、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数に加えて、前記連続して隣接するチャネルの相対位置によって定まる液滴の補正量を表し、
前記制御手段は、前記液滴吐出手段によって液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での補正量を、記憶手段に記憶された吐出量補正データから求めることを特徴とする。
【００３２】
本発明に従えば、記憶手段に記憶される吐出量補正データは、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数に加えて、前記連続して隣接するチャネルの相対位置によって定まる液滴の補正量を表し、制御手段によって、液滴吐出手段によって液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での補正量が、記憶手段に記憶された吐出量補正データから求められるので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができ、さらに駆動するチャネルの相対位置に起因するチャネル間のクロストークによる吐出量への影響を駆動周波数依存性も含めて補正を行うことができる。
【００３３】
また本発明は、予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出するインクジェットヘッドを用いて、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割し、各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置の制御方法であって、
各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される液滴の吐出速度を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる速度の補正値によって補正し、補正された吐出速度に基づいて、基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域に付着させるために吐出すべき吐出タイミングを算出し、算出した吐出タイミングで液滴をその領域に吐出することを特徴とする液滴吐出装置の制御方法である。
【００３４】
本発明に従えば、予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出するインクジェットヘッドを用いて、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割し、各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出するにあたって、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される液滴の吐出速度を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる速度の補正値によって補正し、補正された吐出速度に基づいて、基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域に付着させるために吐出すべき吐出タイミングを算出し、算出した吐出タイミングで液滴をその領域に吐出する。
【００３５】
このように、各チャネルについて１チャネルのみを基準周波数の駆動信号で駆動させて液滴吐出させたときの液滴の吐出速度を予め求めておき、予め定めるサイクル毎に、シェアモードインクジェットヘッドの複数のチャネルを同数のチャネルからなるグループに分けた各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する際に、予め求めておいた吐出速度を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる速度の補正値によって補正し、補正された吐出速度に基づいて、基板の単位領域たとえばセルに付着させるために吐出すべき吐出タイミングを算出し、算出した吐出タイミングで液滴を単位領域に吐出するので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出速度を高精度に制御することができる。
【００３６】
また本発明は、予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段であって、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割された各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段と、
各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される液滴の吐出速度を表す吐出速度データと、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる速度の補正値を表す吐出速度補正データとを記憶する記憶手段と、
基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域の位置を表す単位領域位置情報と、液滴吐出手段のノズルの位置を表すノズル位置情報とに基づいて、その領域に液滴を吐出すべきノズルに対応するチャネルを選択するチャネル選択手段と、
チャネル選択手段によって選択された各チャネルについて、液滴吐出手段によって液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での速度の補正値を、記憶手段に記憶された吐出速度補正データから求め、求めた速度の補正値によって記憶手段に記憶された吐出速度データが示す吐出速度を補正し、補正された吐出速度に基づいて、前記領域に付着させるために吐出すべき吐出タイミングを算出し、算出した吐出タイミングで液滴吐出手段によって液滴をその領域に吐出させる制御手段とを含むことを特徴とする液滴吐出装置である。
【００３７】
本発明に従えば、まず、予め定める駆動周波数の駆動信号に応答して変形する隔壁によって仕切られた複数のチャネルに貯留された液体を、各チャネルに個別に連通するノズルに導いて、各ノズルから液滴を吐出する液滴吐出手段によって、前記複数のチャネルをその配列方向に沿って同数のチャネルからなる複数のグループに分割された各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴が吐出される。
【００３８】
次に、記憶手段によって、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される液滴の吐出速度を表す吐出速度データと、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる速度の補正値を表す吐出速度補正データとが記憶され、チャネル選択手段によって、基板の液滴付着面の予め定める単位面積を有する領域の位置を表す単位領域位置情報と、液滴吐出手段のノズルの位置を表すノズル位置情報とに基づいて、単位領域に液滴を吐出すべきノズルに対応するチャネルが選択される。
【００３９】
さらに、制御手段によって、チャネル選択手段によって選択された各チャネルについて、液滴吐出手段によって液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での速度の補正値が、記憶手段に記憶された吐出速度補正データから求められ、求められた速度の補正値によって記憶手段に記憶された吐出速度データが示す吐出速度が補正され、補正された吐出速度に基づいて、前記領域に付着させるために吐出すべき吐出タイミングが算出され、算出された吐出タイミングで液滴吐出手段によって液滴がその領域に吐出される。
【００４０】
このように、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される液滴の吐出速度を表す吐出速度データと、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数とから定まる速度の補正値を表す吐出速度補正データとを予め記憶手段に記憶しておき、予め定めるサイクル毎に、シェアモードインクジェットヘッドの複数のチャネルを同数のチャネルからなるグループに分けた各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズルから液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での速度の補正値を、記憶手段に記憶された吐出速度補正データから求め、求めた速度の補正値によって記憶手段に予め記憶しておいた吐出速度データが示す吐出速度を補正し、補正された吐出速度に基づいて、単位領域に付着させるために吐出すべき吐出タイミングを算出し、算出した吐出タイミングで液滴吐出手段によって液滴を単位領域に吐出するので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出速度を高精度に制御することができる。
【００４１】
また本発明は、前記基板は、カラーフィルタの基板であり、
前記液滴吐出手段は、異なる色のインクの液滴を貯める複数のチャネルを含み、
前記制御手段は、異なる色のインク毎に各チャネルから吐出する液滴の総吐出量、吐出タイミング、または総吐出量および吐出タイミングを算出し、算出した総吐出量、吐出タイミング、または総吐出量および吐出タイミングに基づいて、前記液滴吐出手段に液滴を吐出させることを特徴とする。
【００４２】
本発明に従えば、基板はカラーフィルタの基板であり、液滴吐出手段は、異なる色のインクを貯める複数のチャネルを含み、制御手段によって、異なる色のインク毎に各チャネルから吐出する液滴の総吐出量、吐出タイミング、または総吐出量および吐出タイミングが算出され、算出された総吐出量、吐出タイミング、または総吐出量および吐出タイミングに基づいて、液滴吐出手段に液滴を吐出させるので、異なったインチサイズのカラーフィルタ基板を製造する場合でも、異なる色のインク毎に複数チャネルからの総インク吐出量を高精度に制御することができ、さらにセルつまり単位領域内のインク液滴着弾許容範囲に正確にインク液滴を着弾させることができる。
【発明の効果】
【００４３】
本発明によれば、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数および各グループのチャネル数に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができるので、カラーフィルタなどの成膜プロセスを安価に高精度な膜厚制御で行うことができ、すじムラ、輝点、および色調ムラの少ないカラーフィルタなどを製造することができる。
【００４４】
また本発明によれば、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができ、さらに駆動するチャネルの相対位置に起因するチャネル間のクロストークによる吐出量への影響を駆動周波数依存性も含めて補正を行うことができるので、チャネル間のクロストークを考慮しなければならないような場合にも、より正確に駆動するチャネルからの総吐出液滴量を制御することができる。
【００４５】
また本発明によれば、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数および各グループのチャネル数に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができるので、カラーフィルタなどの成膜プロセスを安価に高精度な膜厚制御で行うことができ、すじムラ、輝点、および色調ムラの少ないカラーフィルタなどを製造することができる。
【００４６】
また本発明によれば、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができ、さらに駆動するチャネルの相対位置に起因するチャネル間のクロストークによる吐出量への影響を駆動周波数依存性も含めて補正を行うことができるので、チャネル間のクロストークを考慮しなければならないような場合にも、より正確に駆動するチャネルからの総吐出液滴量を制御することができ、カラーフィルタなどの成膜プロセスを安価に高精度な膜厚制御で行うことができる。
【００４７】
また本発明によれば、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出速度を高精度に制御することができるので、インクジェットヘッドから基板上に吐出される液滴の着弾位置を高精度に制御することができる。
【００４８】
また本発明によれば、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出速度を高精度に制御することができるので、インクジェットヘッドから基板上に吐出される液滴の着弾位置を高精度に制御することができ、カラーフィルタなどの成膜プロセスを安価に生産歩留り良く行うことができる。
【００４９】
また本発明によれば、異なったインチサイズのカラーフィルタ基板を製造する場合でも、異なる色のインク毎に複数チャネルからの総インク吐出量を高精度に制御することができ、さらにセルつまり単位領域内のインク液滴着弾許容範囲に正確にインク液滴を着弾させることができるので、安価に高品質のカラーフィルタを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５０】
図１は、本発明の実施の一形態である描画装置１の概観図である。液滴吐出装置である描画装置１は、インクジェットヘッド１０、ステージ３０、およびカメラ４０を含んで構成される。インクジェットヘッド１０は、液滴を吐出する複数の図示しないノズルを有し、ステージ３０上に載置されるカラーフィルタの基板５０に対して相対移動する。ノズルは、ステージ３０に載置される基板５０に液滴を吐出する方向に設けられる。ステージ３０は、基板５０を載置するための台である。カメラ４０は、基板にあるセルもしくは図示しないアライメントマークなどの位置を検出するためのカメラである。以下、インクジェットヘッド１０が液滴を吐出しながらカラーフィルタの基板５０に対して相対移動することをスキャンという。
【００５１】
図２は、図１に示した描画装置１に搭載されるインクジェットヘッド１０の断面の模式図である。図２は、圧電材料の剪断変形を利用するインクジェトヘッド１０の構造を、インクジェットヘッド１０のインク室チャネルの長手方向と平行な断面で模式的に示す。
【００５２】
インクジェットヘッド１０は、ベース部材１３と、インク供給口１４および共通インク室１５が形成されたカバー部材１６と、ノズル１７が形成されたノズル板１８とを貼り合わせたものである。ベース部材１３には、図の上下方向に分極処理を施した圧電体に複数の溝が形成されている。すなわち圧電材料からなる隔壁たとえば図示しないインク室チャネル壁１１によって仕切られたインク室チャネル１２が形成されている。インク室チャネル壁１１（以下インク室隔壁１１もいう）には、圧電材料の分極方向と直交する方向に電界を印加するための駆動用チャネル内電極１９（以下電極１９という）が形成されている。
【００５３】
インク室チャネル（以下インク室あるいはチャネルという）１２内は、電極１９およびその他の構成部材とインクとの接触を避けるために、図示しない保護膜がインク室１２内の面に形成されている。インク室後端部２０つまりノズル１７と反対側にあるインク室１２の端部は、溝加工時に使用されるダイシングブレードの直径に対応したＲ形状に加工されており、さらに外部との通電のための電極引き出し部としての平坦部電極２１が形成されている。平坦部に形成された平坦部電極２１は、インクジェットヘッド１０の駆動用ＩＣ（Integrated Circuit）であるインクジェットヘッド２２のＩＣ電極２３とワイヤーボンディング技術によってＡｌ（aluminum）ワイヤ２４で電気的に接続されている。
【００５４】
図３は、図２に示したインクジェットヘッド１０のノズル板１８接着面側から見たインク室チャネル１２の断面図である。図３は、圧電材料の剪断変形を利用するインクジェットヘッド１０において、インクが吐出される際の圧電材料の動きを説明するための図である。図３（ａ）は電極１９に電圧を印加していない状態、図３（ｂ）はインク室１２ａの容積を広げる方向に電圧を印加した状態、図３（ｃ）はインク室１２ａの容積を狭める方向に電圧を印加した状態の断面図である。
【００５５】
図３（ａ）のように、インク室隔壁１１は、ベース部材１３の厚さ方向に、図中の矢印に示すような分極処理が施されており、インク室１２を形成するインク室隔壁１１の上半分と下半分とで分極方向が向かい合わせになるように２つの圧電材料が接合された構成になっている。各インク室隔壁１１の側壁には、電極１９が設けられている。インク室１２ａの電極１９とインク室１２ａの両隣のインク室の電極１９とに逆位相の電位を印加することによって、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示したように、インク室隔壁１１を「く」の字に剪断変形させて、インク室１２内の体積を変動させる。この体積変動による圧力波によってインク室１２内のインク圧力を制御することでインク吐出を行うものである。
【００５６】
すべてのインク室１２の体積を同時に小さくすることができないので、シェアモードインクジェットヘッドでは、すべてのチャネルから同時にインク吐出を行うことができない。したがって、少なくとも２つ以上のチャネルを一単位としたサイクル駆動を行うこととなり、たとえば図３（ａ）に示すように、３つチャネルをＡ相、Ｂ相、およびＣ相の３位相に分けて、順次駆動する。
【００５７】
図４は、図２に示したインクジェットヘッド１０におけるシェアモードでの駆動を説明するための図である。図４に示したチャネルは、３つのチャネルを一単位としてサイクル駆動を行うもので、Ａ相、Ｂ相、およびＣ相の３つのチャネルからなる４つの単位チャネルが示されている。各単位チャネルのＡ相は、同時吐出が可能であり、図４（ａ）に示したようにＡ相吐出後に図４（ｂ）に示したＢ相吐出、ついで図４（ｃ）に示したＣ相吐出、そして再度図４（ａ）に示したＡ相吐出に戻るという３相のサイクル駆動を行う。３相駆動のほかに、Ａ相およびＢ相の２相駆動、あるいはＡ相、Ｂ相、Ｃ相、およびＤ相の４相駆動なども可能である。３相駆動と同じくＡ相、Ｂ相、およびＣ相の３つに分けたときのＢ相のみを比較的高い駆動周波数で吐出させる単相駆動とすることもでき、この場合は全チャネルのうちの１／３のチャネルでしか吐出することができないが、３相駆動吐出時のＡ相、Ｂ相、およびＣ相の３つのチャネルから単位時間当たりに吐出することができるインク量とほぼ同等のインク量をＢ相からのみの吐出で行うことができる。単相駆動のＡ−Ａ間駆動周波数は３相駆動のＡ−Ａ間駆動周波数の約３倍の駆動周波数まで向上させてインク吐出ができるようになるからである。
【００５８】
吐出されるインクは、基板上にパターンを形成するための溶質を溶かした溶液であり、たとえばカラーフィルタを製造する場合は、赤、青、および緑などの顔料あるいは染料を溶かした溶液である。
【００５９】
図５は、図１に示したインク受容部５１を説明するための図である。カラーフィルタの基板５０には、インクを付着させるべき単位領域を形成するインク受容部５１たとえばカラーフィルタセルが形成されている。インクジェットヘッド１０のノズル１７は、インク受容部５１に液滴を吐出する。インク受容部５１は、親水性を有しているので、インク受容部５１に吐出されたインクは、インク受容部５１全体に広がる。インクジェットヘッド１０から後述する所望の液滴数のインクがインク受容部５１に吐出され、溶媒が蒸発すると、インク受容部５１に所望の膜厚の層であるパターンが形成される。インク受容部５１と、隣接するインク受容部５１とは、撥水性の部材による障壁５２たとえばブラックマトリックスによって隔てられている。後述するインクジェットヘッド１０の吐出タイミングを適正に調整することによって、インクが障壁を越えて隣接するインク受容部５１に漏れることを防ぐことができる。
【００６０】
インクジェットヘッド１０は、１回のスキャンが完了すると、スキャン方向に直行する方向に１回の描画幅分だけ移動した後、次の段のインク受容部５１に液滴を吐出するためにスキャンする。以後、基板５０上の所定の領域の全てのインク受容部５１への液滴の吐出が完了するまで、上述した動作を繰り返す。上述した実施の形態では、スキャンの際、インクジェットヘッド１０のみを移動させているが、インクジェットヘッド１０を固定しておいて、ステージ３０つまり基板５０を移動させてもよいし、双方を移動させてもよい。その際、スキャン方向の行き返りの一方向のみでインクを吐出してもよいし、スキャン方向の行き返りの双方向でインクを吐出してもよい。
【００６１】
さらに、多数のインクジェットヘッド１０を基板５０の幅全体に配置したラインヘッド構成としてもよい。同時に多数のインクジェットヘッド１０を駆動することによって、その多数のインクジェットヘッド１０を有するラインヘッド部を、基板５０が１回通過するだけで基板５０の全面に配置されたインク受容部５１のすべてにインク吐出を行うこともでき、生産性に優れた成膜装置となる。さらに、本発明による液滴吐出装置を用いた成膜装置は、不良カラーフィルタ基板のリペア装置としても使用可能であり、不良セル内のカラー膜をレーザートリミング技術などによって取り除いた後に、不良セルの位置情報をもとに不良セルのみに所望の総吐出量でインク吐出して修正することもできる。
【００６２】
図６は、図１に示した描画装置１の構成を示すブロック図である。描画装置１は、制御部６０、液滴吐出部６１、記憶部６２、および入出力部６３を含んで構成される。制御部６０は、液滴吐出部６１、記憶部６２、および入出力部６３を制御する部位であり、たとえば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と、プログラムを格納するメモリと、処理に必要な情報を一時的に格納するためのメモリとから構成されるマイクロコンピュータであり、メモリに格納されているプログラムを実行することによって、所定の処理たとえば液滴吐出のための処理を行う。
【００６３】
液滴吐出部６１は、たとえばインクジェットヘッド１０を含んで構成され、制御部６０からの指示によって、ノズル１７から液滴を吐出するために、各チャネルの電極１９に駆動信号、たとえば電圧パルスなどの駆動パルスを与えて駆動する。液滴吐出部６１の１つのチャネルのノズル１７から吐出される液滴は、単相駆動の場合、駆動信号の周波数である駆動周波数の１周期毎に１滴の液滴が吐出される。液滴吐出部６１は、基板をスキャンし、制御部６０から指示された吐出条件（以下駆動条件という）で、たとえば描画装置１にあるカメラ４０を利用して取得されたノズルの位置情報と基板のセルつまりインク受容部５１の位置情報とから、目的のセルに吐出することができる少なくとも１つ以上のチャネルを選択して、選択されたチャネルについて、制御部６０から指示された駆動周波数で、指示された吐出時間内に、かつ指示された液滴数の液滴を吐出して、基板５０のインク受容部５１に所望の膜厚のパターンを形成する。
【００６４】
記憶部６２は、吐出量データおよび吐出速度データを含むデータを記憶する記憶装置であり、半導体メモリなどで構成される読み取り書き込み可能なメモリでもよいし、磁気ディスク装置などであってもよく、その形態は問わない。吐出量データおよび吐出速度データは、液滴吐出部６１のノズル毎に、複数チャネルを同時駆動させたときのクロストークの影響および吐出チャネル自身の吐出後にチャネルに発生する圧力波の残留振動を無視することができる駆動周波数で測定した１液滴当たりの吐出量および吐出速度のデータである。すなわち１チャネルのみを残留振動の影響を無視することができる駆動周波数で液滴を吐出させたときの１液滴当たりの吐出量および吐出速度のデータである。記憶部６２は、さらに同サイクル駆動チャネル数、吐出チャネルグループ内のチャネルの相対位置、および駆動周波数などによって決まる吐出量補正データおよび吐出速度補正データを記憶する。同サイクル駆動チャネルは、予め定める一定期間に駆動される連続して隣接するチャネルである。たとえば図４に示したＡ相、Ｂ相、およびＣ相の３つのチャネルからなる単位チャネルとは無関係に、連続して隣接するチャネルであり、１つのインク受容部５１に液滴を吐出する吐出チャネルグループを形成する。以下、同サイクル駆動チャネルを、連続隣接チャネルあるいは駆動チャネルともいう。
【００６５】
Ａ−Ｂ−Ｃ３相駆動の場合、Ａ−Ｂ間駆動周波数が９ｋＨｚ以下であればクロストークの影響および残留振動の影響は無視することができる。複数チャネルを同サイクル駆動させたときの吐出量および吐出速度に与えるクロストーク影響度の周波数依存性に関するデータを予め取得する必要があるが、基準となる吐出量データおよび吐出速度データは、どんな駆動条件であっても、様々な駆動条件で吐出量および吐出速度がどう変動するかを算出予測することができるので、取得する駆動条件はいずれの駆動条件であっても差し支えはない。
【００６６】
図７は、図２に示したインクジェットヘッド１０の平均吐出量と駆動チャネル数および駆動周波数との関係を示す。横軸は、液滴を吐出するためにインクジェットヘッドを駆動する駆動信号の駆動周波数（ｋＨｚ：Ａ−Ｂ間周波数）であり、縦軸は、インクジェットヘッド１０のノズル１７から吐出される１液滴当たりの平均吐出量（ｐｌ：ピコリットル）であり、駆動チャネル数つまり同サイクル駆動チャネル数を１〜６に変化させたときの平均吐出量と駆動周波数との関係を示す吐出量変動データである。
【００６７】
図８は、図２に示したインクジェットヘッド１０の吐出速度と駆動チャネル数およびチャネル相対位置との関係を示す。横軸は、吐出チャネルグループ内のチャネル相対位置であり、縦軸は、駆動チャネル数が１のときの値を基準にした吐出速度比であり、駆動チャネル数を１〜６に変化させたときのチャネル相対位置と吐出速度比との関係を示す吐出速度変動データである。
【００６８】
吐出量変動データは、たとえば図７に示したように、一定期間にサイクル駆動を行う連続隣接チャネルつまり同サイクル駆動チャネルの数と、駆動周波数とによって変動する吐出チャネルグループから吐出される平均吐出量の変動を明らかにするものである。吐出速度変動データは、たとえば図８に示したように、一定期間にサイクル駆動を行う連続隣接チャネルの数すなわち吐出チャネルグループを構成するチャネル数と、その吐出チャネルグループ内のノズル位置つまりチャネルの相対位置と、駆動周波数とによって変動する吐出チャネルグループから吐出される各チャネルにおける吐出速度の変動を明らかにするものである。
【００６９】
図７に示した吐出量変動データおよび図８に示した吐出速度変動データを基に、それぞれ吐出量の補正量および吐出速度の補正値を算出し、算出した吐出量の補正量および吐出速度の補正値によって、描画装置１の記憶部６２に記憶させている基準となる各チャネルの吐出量データが示す吐出量および吐出速度データが示す吐出速度を補正して、様々な仕様の基板５０あるいは様々な描画装置１の稼動条件つまり駆動条件に対応した吐出量および吐出速度を導くものである。図８に示した吐出速度変動データは、Ａ−Ａ間周波数が３０ｋＨｚでのデータであり、図示しないが別途その周波数依存性データを取得して吐出速度データの補正を行うものである。
【００７０】
図６を参照して、入出力部６３は、使用者が描画装置１への指示を入力する操作ボタンなどを有する入力部、および描画装置１から使用者への情報を表示する液晶ディスプレイあるいは紙などに出力するプリンタなどの出力部を含んで構成される。入出力部６３は、入力部から入力された情報を制御部６０に転送し、制御部６０から使用者への情報を出力部に出力する。
【００７１】
制御部６０は、記憶部６２に記憶された吐出量データが示す吐出量および吐出速度データが示す吐出速度と、図７および図８に示したデータに基づいて求められる吐出量の補正量および吐出速度の補正値とから、液滴吐出部６１が少なくとも１つ以上のチャネルを用いて、一つのインク受容部５１に吐出する総液滴数つまり総ドット数を、吐出チャネルグループ毎に算出する。より正確に吐出チャネルグループから吐出される総吐出量を算出するためには、各チャネルの吐出量データは、吐出チャネルグループ内のチャネル相対位置によって決まるさらなる補正を行うことが望ましい。
【００７２】
図９は、図２に示したインクジェットヘッド１０の吐出量と駆動チャネル数およびチャネル相対位置との関係を示す。横軸は、吐出チャネルグループ内のチャネル相対位置であり、縦軸は、吐出体積つまり吐出量（ｐｌ：ピコリットル）であり、駆動チャネル数を１〜６に変化させたときのチャネル相対位置と吐出体積との関係を示している。
【００７３】
図９に示すように極僅かではあるが、吐出チャネル数つまり駆動チャネル数と吐出チャネルグループ内のチャネル相対位置によって、各相対位置にあるチャネルから吐出される吐出体積つまり液滴量が異なる。吐出チャネルグループのすべてのチャネルが同じ吐出量である場合は、結果として図７に示した吐出チャネルグループから吐出される総液適量になり、吐出チャネルグループ内のチャネル相対位置による液適量補正は不要である。しかし、チャネル相対位置によって吐出量のチャネル間ばらつきがある場合は、チャネル相対位置によって液滴量補正値を図９に示したデータに基づいて補正することによって、より高精度な膜厚制御が可能な描画装置１とすることができる。
【００７４】
図１０は、本発明の実施の他の形態である液滴吐出方法を示すフローチャートである。このフローチャートは、図１に示した描画装置１が処理するものであり、インクジェットヘッド１０の吐出量および吐出速度の補正を行って、インクを吐出する方法を示す。ステージ３０に載置された基板５０が、インクジェットヘッド１０の位置に移動してきたことをカメラ４０が検出すると、ステップ１へ移る。
【００７５】
ステップＳ１では、インクジェットヘッド１０の各チャネルについて、一定の基準周波数で１つのチャネルのみから、インクを吐出して求めたインク吐出量データおよびインク吐出速度データを得て、たとえば入出力部６３から得て、描画装置１の記憶部６２に格納つまり記憶する。ステップＳ２では、インク吐出量およびインク吐出速度について、駆動周波数、同サイクル駆動を行う駆動チャネル数つまり同サイクル駆動チャネル数（チャネル数が１の場合を含む）、同サイクル駆動を行う駆動チャネル内のチャネル相対位置、およびサイクル駆動を行う単位チャネル数つまり単位チャネル内のチャネルの数などの駆動条件（以下ヘッド駆動条件ともいう）によって決まる補正データを得て、たとえば入出力部６３から得て、描画装置１の記憶部６２に格納する。ステップＳ３では、インク受容部５１に吐出するチャネルを選択する。
【００７６】
ステップＳ４では、ステップＳ１およびステップＳ２で記憶部６２に格納したデータと、描画装置１で行うヘッド駆動条件に対応した吐出量および吐出速度の補正を行って、上記ヘッド駆動条件での吐出量をもとにインク受容部５１への総吐出量を所望量とするための吐出液滴数を算出して、各吐出チャネルからの吐出液滴数を求める。さらに上記ヘッド駆動条件での吐出速度をもとにインク受容部５１に着弾させることができるよう吐出開始時間および吐出終了時間を算出して、その時間内に吐出開始および吐出終了するように吐出タイミングを求める。ステップＳ５では、ステップＳ３で選択されたチャネルに対して、ステップＳ４で求めた吐出液滴数および吐出タイミングでインクを吐出して、インク受容部５１に所望のインク吐出総量を打ち込み、対象とするインク受容部５１への描画プロセスを終了する。
【００７７】
以下、シェアモードインクジェットヘッドの吐出特性たとえば吐出量および成膜プロセスについて説明する。
【００７８】
図１１は、図２に示したインクジェットヘッド１０の１つのチャネルのみ駆動させたときの液滴当たりの吐出量と駆動周波数との関係を示す。横軸は、液滴を吐出するためにインクジェットヘッドを駆動する駆動信号の駆動周波数（ｋＨｚ：単相Ａ−Ａ間駆動周波数）であり、縦軸は、インクジェットヘッドのノズルから吐出される液滴当たりの吐出量（ｐｌ：ピコリットル）である。たとえば駆動周波数が９ｋＨｚのときの吐出量は６ｐｌで、駆動周波数が４０ｋＨｚのときの吐出量は７．３８ｐｌである。吐出量６ｐｌを基準にすると、吐出量７．３８ｐｌは２３％増加した値である。駆動周波数が６０ｋＨｚのとき、吐出量は７．０８ｐｌであり、吐出量６ｐｌを基準にすると、吐出量７．０８ｐｌは１８％増加した値である。このように、吐出量は、駆動周波数に依存して変化する。これは、液滴が吐出する直前のメニスカスの位置が駆動周波数によって変化するためであると考えられる。
【００７９】
図１２は、図２に示したインクジェットヘッド１０の１つのチャネルによって基板５０のインク受容部５１に液滴を吐出する成膜プロセスの例を示す。カラーフィルタの基板５０のセルたとえばインク受容部５１に液滴を吐出する場合を示す。図１２では、インクジェットヘッド１０のノズル１７と、基板５０のインク受容部５１とをインクジェットヘッド１０側から透視して重ねて記載している。
【００８０】
インク受容部５１は、インクジェットヘッド１０のノズル１７から吐出される液滴を貯める領域であり、親水性を有しており、撥水性を有する障壁５２たとえばブラックマトリックスによって仕切られている。インクジェットヘッド１０は、図１２に示した矢印の方向にスキャンして移動し、インク受容部５１に液滴を吐出する。液滴がインク受容部５１に着弾すると、インク受容部５１は親水性を有しているので、着弾した液滴のインクはインク受容部５１全体に広がる。
【００８１】
インク受容部５１内に所望の膜厚を形成するために必要な液滴数つまりドット数は、インク受容部５１の面積と膜厚で決まる体積を、液滴当たりの吐出量で除算して、液滴の溶質濃度を勘案して求めればよい。インク受容部５１の幅をＭ、長さをＬとすると、インク受容部５１の面積は、幅Ｍと長さＬとを乗算することによって求められる。たとえば幅Ｍ＝２００μｍおよび長さＬ＝６００μｍとすると、インク受容部５１の面積は、２００μｍ×６００μｍとなる。所望の膜厚を２μｍ、駆動周波数９ｋＨｚにおける液滴当たりの吐出量を６ｐｌ、および溶質濃度を１０％とすると、インク受容部５１に吐出されるドット数は、４００となる。
【００８２】
しかし、製造するカラーフィルタのインチサイズが変わると、それに伴ってセルつまりインク受容部５１のサイズが変わるので、インク受容部５１に付着させるインク吐出総量も変える必要がある。駆動周波数すなわち単位時間内に吐出する液滴数を変えてインク吐出総量を調整する場合は、１液滴当たりの吐出量は駆動周波数に依存するので、特定の駆動周波数で求めたノズル毎の吐出量のみの情報では、所望の膜厚を実現することができない。たとえば、駆動周波数が９ｋＨｚでは、インク受容部５１に吐出されるドット数を４００としたときに所望膜厚が得られるが、カラーフィルタ製造スループットを向上させるために、インクジェットヘッド１０のスキャン速度を４倍以上に引き上げて、駆動周波数を４０ｋＨｚとし、１／４以下の時間でインク吐出を行う場合、吐出量が駆動周波数９ｋＨｚのときの吐出量より２３％多いので、同じ液滴数では、インク受容部５１に吐出される液滴の総吐出量が多くなり、所望の膜厚を実現することができない。
【００８３】
図１２に示すように１チャネル、たとえばノズル１７ａ（図中の網掛けを付したノズルのうちの１つのノズル）のチャネルのみを使用して、インク受容部５１にインク吐出を行って成膜する場合は、図１１に示した各チャネルの吐出量周波数依存性を考慮して、インク受容部５１に吐出させる液滴数を算出することで所望の膜厚で成膜することができる。上記カラーフィルタを所望膜厚で製造するためには、駆動周波数４０ｋＨｚでは、図１１から７．３８ｐｌの吐出量となるので、３２５．２ドットの吐出量が最適である。最適吐出液滴数の端数は四捨五入することで整数である３２５ドットの補正された吐出液滴数とし、インク受容部５１への総吐出量を高精度に制御することで、インク受容部５１のサイズすなわちカラーフィルタインチサイズにもよるが、膜厚で±０．０５〜０．２％以下の精度で成膜することができる。
【００８４】
図１２に示すような１チャネルのみでのインク受容部５１へのインク吐出では、通常単相駆動の場合、１チャネルについての単位時間当たりの吐出量が多く有利である。単相駆動は、一般的にはＡ相ならＡ相だけで駆動させるが、駆動するチャネルと他の駆動するチャネルとの間に２チャネル以上の非使用チャネルが存在すれば、Ａ相、Ｂ相、およびＣ相を混在させて、自由に単相駆動を行うこともできる。図１２では、Ａ相とＣ相とを混在させている。すなわちＡ相として、ノズル１７ａのチャネルを用い、Ｃ相として、ノズル１７ｃのチャネルを用いている。このとき、駆動チャネル間は、３チャネル以上の十分な間隔があるので、駆動チャネル間同士のクロストークは無視することができる。したがって、駆動チャネル自身の圧力波残留振動のみを考慮すればよい。すなわち、各チャネルは、１チャネルのみ駆動させたときの吐出量および吐出速度の駆動周波数依存性のみによって補正を行い、インク受容部５１に吐出する液滴数および吐出タイミングを各チャネルについて算出すればよく、各チャネルの吐出特性制御を容易に行うことができる。
【００８５】
隣接Ａ相チャネルの複数チャネルを用いて単相駆動を行う場合、たとえば、吐出Ａ１チャネルと吐出Ａ２チャネルと間に、非吐出Ｂ１チャネルおよび非吐出Ｃ１チャネルが存在する場合は、駆動チャネル間のクロストークを無視することができず、１チャネルのみの吐出量および吐出速度についての駆動周波数依存性を考慮するだけでは不十分である。すなわち、単相駆動における吐出量および吐出速度のクロストーク影響度を反映した駆動周波数依存性があり、別途吐出特性を反映した吐出量補正および吐出速度補正を行う補正データが必要である。吐出ｘｘチャネルとは、液滴を吐出するｘｘ相のチャネルのことであり、非吐出ｙｙチャネルとは、液滴を吐出しないｙｙ相のチャネルのことである。
【００８６】
このように、１チャネルのみでのインク受容部５１へのインク吐出では、吐出量の周波数依存性を考慮せずに、ノズル毎に測定した吐出量データに基づいて、各ノズルについて液滴数補正を行うことで各ノズルから吐出されるインク総量の均一性は確保することができる。しかし、カラーフィルタなどへの応用としては、インク吐出量の絶対値、換言すればインクを焼成した後の膜厚が重要であり、インク受容部５１への吐出インク量の絶対値を、吐出量の周波数依存性を考慮して高精度に制御しなければ、不良品を製造することになる。
【００８７】
図１３は、図２に示したインクジェットヘッド１０の複数のチャネルによって基板５０のインク受容部５１に液滴を吐出する成膜プロセスの例を示す。図１３（ａ）は、１つのインク受容部５１に対して、６つのチャネルを用いて、液滴を吐出する例であり、図１３（ｂ）は、１つのインク受容部５１に対して、３つのチャネルを用いて、液滴を吐出する例である。図１３（ａ）は、インクジェットヘッド１０のノズルの配列方向とインク受容部５１の長手方向とを一致させてスキャンする場合を示し、図１３（ｂ）は、インクジェットヘッド１０のノズルの配列方向を、インク受容部５１の長手方向に対して角度を持たせてスキャンする場合を示す。
【００８８】
図１３に示すように複数のチャネル、たとえば図中の網掛けを付したノズルに対応する複数のチャネルを用いて、インクジェットヘッド１０の走査方向のノズル密度を高くすること、またはカラーフィルタなどのインク受容部５１への描画方向を調整して、できるだけ多くのノズルを駆動するようにすることによって、すじムラ防止あるいはカラーフィルタの生産性向上を期待することができる。
【００８９】
しかしながら、各チャネルからの吐出量について駆動周波数依存を考慮しただけでは、複数のチャネルから吐出した総吐出液滴でカラーフィルタを製造しても所望の膜厚を得ることができない場合がある。図７は、３相サイクル駆動を行うインクジェットヘッドにおいて１チャネルのみ駆動させたときの１液滴当たりの吐出量と駆動周波数および駆動チャネル数との関係を示している。駆動周波数は、３相サイクル周波数つまりＡ−Ａ間周波数が３０ｋＨｚの場合、Ａ−Ｂ間、Ｂ−Ｃ間、Ｃ−Ａ間の周波数は９０ｋＨｚとなる。以後駆動周波数はＡ−Ｂ間周波数のこととする。
【００９０】
図７を参照しながら、１液滴当たりの吐出量と駆動周波数および駆動チャネル数との関係を説明する。たとえば、３チャネル駆動の場合、駆動周波数が３ｋＨｚでクロストークの影響が無い場合の吐出量は６．００ｐｌである。すなわち各チャネルの吐出量が６．００ｐｌであり、平均吐出量が６．００ｐｌとなる。駆動周波数が３０ｋＨｚのとき、吐出量は６．１８ｐｌであり、吐出量６ｐｌを基準にすると、吐出量６．１８ｐｌは３％増加した値となり、駆動周波数が６０ｋＨｚのとき、吐出量は６．１２ｐｌであり、吐出量６ｐｌを基準にすると、吐出量６．１２ｐｌは２％増加した値となり、さらに駆動周波数が９０ｋＨｚのとき、吐出量は７．８０ｐｌであり、吐出量６ｐｌを基準にすると、吐出量７．８０ｐｌは３０％増加した値となる。６チャネル駆動の場合は、駆動周波数が３０ｋＨｚのとき、吐出量は６．００ｐｌであり、吐出量６ｐｌを基準にすると、吐出量６．００ｐｌは増減無しの値となり、駆動周波数が６０ｋＨｚのとき、吐出量は６．０６ｐｌであり、吐出量６ｐｌを基準にすると、吐出量６．０６ｐｌは１％増加した値となり、さらに駆動周波数が９０ｋＨｚのとき、吐出量は７．９８ｐｌであり、吐出量６ｐｌを基準にすると、吐出量７．９８ｐｌは３３％増加した値となる。
【００９１】
上記３チャネルを同サイクル駆動させたときの各チャネルについて、各々１チャネルのみ吐出させたとき、Ａ−Ａ間周波数が９ｋＨｚつまりＡ−Ｂ間駆動周波数が３ｋＨｚでは、吐出量は６．００ｐｌであり、クロストークの影響は無い。しかし、単一チャネル駆動の周波数依存性は、図７に示したように、駆動周波数が３０ｋＨｚのとき、吐出量は６．０２ｐｌであり、吐出量６．００ｐｌを基準にすると、吐出量６．０２ｐｌは０．３％増加した値となり、駆動周波数が６０ｋＨｚのとき、吐出量は５．７６ｐｌであり、吐出量６ｐｌを基準にすると、吐出量５．７６ｐｌは４％減少した値となり、駆動周波数が９０ｋＨｚのとき、吐出量は６．９６ｐｌであり、吐出量６．００ｐｌを基準にすると、吐出量６．９６ｐｌは１６％増加した値となる。
【００９２】
このことは、単一チャネルからの吐出量の周波数依存性が、サイクル駆動を行う複数の駆動チャネル数によって変化していることを示している。図７においては、実線で示した単一チャネル駆動時の駆動周波数による吐出量変動と、実線以外の各複数チャネル駆動時の駆動周波数による吐出量変動とが異なっており、これは複数チャネルを同サイクル駆動させたときの吐出量への周波数依存性に加えて、クロストークが影響しているためである。さらに図７の破線同士を比較しても駆動チャネル数によって吐出量変動が異なり、これは駆動チャネル数によって吐出量へのクロストークの影響度が周波数依存性を持つことを意味する。よって、隣接する複数チャネルを一定期間内にサイクル駆動させて、その総吐出量を制御する場合は、単に個々のチャネルについての単一チャネルからの吐出量の周波数依存性を考慮するだけでは、全く異なった吐出量を基板に付着させることとなる。これは、液滴が吐出する直前のメニスカスの位置が、駆動周波数の影響と、駆動チャネル数によるクロストークの影響とが、お互いに作用し合うため、すなわち吐出液滴量変化に及ぼすクロストーク影響度に周波数依存性があるため、吐出量の変動量が異なるものと考えられる。
【００９３】
上述した例では、３相駆動を例に挙げたが、２相駆動あるいは４相駆動などを行う場合は、違った吐出量へのクロストーク影響度の周波数依存性を示す。２相駆動では、吐出量変動がより大きくなり、４相駆動以上では、吐出量変動が小さくなる。実際に行うサイクル駆動数毎に応じて、吐出量の駆動チャネル数と駆動周波数との関係を予め実験などで求めておけば、いかなるサイクル駆動でインクジェットヘッド１０を使用する場合でも、駆動周波数および駆動チャネル数の駆動条件が変化しても正確な吐出量を算出することができる。
【００９４】
図１３を参照して、複数チャネルを使用して一つのインク受容部５１にその総吐出量を正確に付着させる例について説明する。図１３（ａ）に示したようにＡ１相、Ｂ１相、Ｃ１相、Ａ２相、Ｂ２相、およびＣ２相の６チャネルを選択して、それらのノズル１７から吐出される総液滴量を制御する。Ａ１相からＣ２相までの各チャネルについて、周波数３ｋＨｚで予め求めた基準吐出量は、すべて６ｐｌである。セルサイズを幅３００μｍおよび長さ９００μｍ、所望の膜厚を２μｍ、ならびに溶質濃度を１０％とすると、インク受容部５１に吐出すべきドット数は９００となる。
【００９５】
周波数３ｋＨｚでセル描画を行う場合は、１チャネル当り１５０ドットとなり、Ａ相−Ｂ相−Ｃ相のサイクル駆動を１５０サイクル行うことになる。ここで、インクジェットヘッド１０のスキャン方向について、３００μｍのセル幅でセル間の混色を防止することができる安全なインク着弾幅は、２７０μｍである。その間をヘッドが２７ｍｍ／ｓのスキャン速度で通過する０．０１ｓの時間内に、Ａ−Ａ間の駆動周波数２５ｋＨｚすなわちＡ−Ｂ間周波数７５ｋＨｚでインク吐出を行う場合、図７に示したようにインクジェットヘッド１０の６チャネルの平均吐出量は、６．８０ｐｌである。すなわちセルに吐出すべきドット数は７９４．１２となり、１チャネル当り１３２．３５である。したがって、Ａ相−Ｂ相−Ｃ相のサイクル駆動を１３２サイクル行った後に、１３３サイクル目ではＡ１相とＡ２相とのＡ相駆動のみを行い、２滴吐出してそのセルの描画を終了する。２滴は、１チャネル当りの端数０．３５ドットの６チャネル分２．１ドットを四捨五入した値である。
【００９６】
このとき、インクジェットヘッド１０がインク受容部５１に対して吐出可能な時間０．０１ｓの約半分の時間で描画可能であり、インク受容部５１の中央付近に平均１３２．３５ドットをまとめて吐出することができる。インク受容部５１の膜厚ムラを防止するために、描画方向に数十滴を数回に分けて、同じ駆動条件で合計１３２．３５ドットをバランス良く描画してもよい。
【００９７】
さらに、ひとつのインク受容部５１に１チャネルもしくは複数チャネルからのインク吐出総量で高精度に成膜するとき、必要吐出量を２回のタイミング以上に分けて吐出することもできる。たとえば、インク受容部５１の中央付近に対しては高密度にインク吐出を行うために高周波駆動を行い、インク受容部５１を囲む障壁周辺に対しては低密度にインク吐出を行うために低周波駆動を行う場合、あるいはある一定駆動周波数で吐出するか吐出しないかを示す信号、たとえば吐出するときを「１」で表し、吐出しないときを「０」で表すデジタルデータ信号を、インクジェットヘッド１０（以下ヘッド１０という）に入力してヘッド１０を駆動させる場合などに適用することができる。ヘッド１０では駆動周波数が頻繁に変動するが、このような場合でも、吐出パターンつまり駆動条件に応じて吐出周波数つまり駆動周波数と吐出チャネル数つまり駆動チャネル数とに依存する吐出量補正データたとえば図７に示した吐出量変動データに基づいて吐出量を補正して、最適な総吐出量となるように各ノズルからの吐出数を算出することができるので、所望の膜厚で成膜工程を行うことができる。
【００９８】
上述した実施の形態では、複数チャネルを用いてひとつのインク受容部５１に液滴を吐出する例を示したが、各インク受容部５１に割り当てられるチャネル数は、一定数でなくても良い。インク受容部５１の配列ピッチが、ヘッド１０のチャネル配列ピッチで割り切れない場合でも、描場装置１のカメラ４０によってノズル位置および基板位置を認識し、各インク受容部５１において吐出可能なチャネルを選択して、吐出チャネル数による吐出量および吐出速度の補正を行うので、各インク受容部５１で吐出チャネル数が異なる場合であっても、高精度な成膜工程を行うことができる。
【００９９】
このように、描画装置１の稼動条件たとえば駆動周波数および駆動チャネル数などの稼動条件、あるいは対象とする基板５０のインチサイズなどの外的条件が変わっても、ヘッド１０の基本的な駆動パルス時間および駆動パルス電圧は一定のままで、高精度な吐出量制御および吐出着弾位置制御が行えるので、基板５０のインチサイズが変更される度にあるいはヘッド１０のチャネル毎に、駆動パルス時間、駆動パルス電圧、および駆動パルスパターンなどのヘッド１０の基本的な駆動条件を精密に制御する必要がない。したがって、簡単に描画装置１を稼動させることができ、描画装置仕様あるいは基板仕様などの変更があった場合でも、ヘッド１０の基本的な駆動条件は、各チャネルについては常に一定で使用することを前提として、容易に最適な成膜プロセスの抽出などの対応ができ、生産性向上を実現することができる。
【０１００】
さらに、各チャネルの基本的な駆動条件たとえばパルス波形つまり電圧印可時間および電圧値を一定にしてヘッド１０を使用するが、ヘッド１０の特性検査時のデータを基に個々のチャネルについて１チャネルのみ一定の基準周波数で駆動させたときの吐出特性たとえば吐出量が一定になるようにパルス波形のうち電圧値のみ調整する。各チャネルの駆動条件をチャネル毎に記憶しておき、その駆動条件を変化させずに、吐出量などの補正がなされた高精度な成膜プロセスを行うこともできる。この場合は、各チャネルの吐出量が一定であるので、複数チャネルでの吐出総量を制御する上で複数チャネルの相対位置での補正が必要でなく、簡単に吐出量補正を行うことができる。このとき、各チャネルについてのわずかな電圧値調整では、クロストークの影響の仕方には作用せず、クロストークに大きく効くのは電圧印加時間つまりパルス幅あるいは駆動周波数である。これは、クロストークの発現主要因がインク吐出のための圧力波のチャネル間相互干渉によって起こるものであるである。どのタイミングで波を起こすかを左右するパルス幅あるいは駆動周波数を変化させると、クロストークの影響の仕方が変わることとなる。パルス幅および駆動周波数のうち、駆動周波数はできれば変化させたくないパラメータであるが、その影響度を予め実験的に求めておいて考慮すれば、自由な駆動周波数でヘッド１０を使用することができるので、描画装置１としての稼動条件に大きな自由度を得ることができる。このときパルス幅は、一定条件で駆動することが望ましい。
【０１０１】
図１に示した描画装置１で行われる吐出量補正について説明する。描画装置１は、複数個の連続して隣接配置されるインク室１２を１単位としてサイクル駆動を行うシェアモードのインクジェットヘッド１０を用いている。各ノズル１７に対応する各チャネルについて、１チャネルのみを所定基準周波数で駆動させて液滴吐出させたときの１つの吐出液滴の液適量をＶｋ、予め実験的に求まる一定期間に同サイクル内で駆動する隣接チャネル数つまり駆動チャネル数をｍ、サイクル駆動を行う単位チャネル数をｎ、および隣接チャネル間の駆動周波数をｆとする。隣接チャネル数ｍ、単位チャネル数つまり単位チャネル内のチャネルの数ｎ、および駆動周波数ｆによって変動する体積補正係数をＦ（ｍ,ｎ,ｆ）とし、一定期間に同サイクル内で駆動するｍ個の隣接チャネルから吐出した液滴を、基板の同じ単位領域内に付着させるべき総液滴量をＶｓｕｍとすると、単位領域に付着させるためにｍ個のチャネルから吐出させる総液滴数Ｎ１は、式（１）によって求めることができる。
【０１０２】
【数１】
2007229958.tif 000003
【０１０３】
このように、選択された複数チャネル数ｍに起因するクロストークの影響度および駆動周波数ｆの影響度を考慮した吐出量から、基板５０の予め定める単位面積を有する領域（以下単位領域という）当たりに付着させるために吐出する総液滴数Ｎ１を算出するので、インクジェットヘッド１０の液滴の総吐出量を高精度に制御することができる。
【０１０４】
より正確に複数チャネルから１つのインク受容部５１に吐出するインク総量つまり総液滴量を制御するためには、選択された複数チャネルｍの相対位置Ｐｋを考慮した補正データを記憶しておく。この補正データを用いると、総液滴数Ｎ１は、式（２）によって求めることができる。
【０１０５】
【数２】
2007229958.tif 000004
【０１０６】
図１３（ｂ）に示したようにインクジェットヘッド１０がインク受容部５１の配列と角度を持ってスキャンされる場合は、図中のインク受容部５１のうちのＲのインク受容部の位置に位置付いている３つのチャネルが、駆動することができる状態にあるチャネルである。ヘッド１０のスキャンとともに駆動チャネルを順次入れ換えながら常に３つのチャネルを使用してインク吐出を行うこととなる。この場合でも、駆動チャネル数ｍと駆動周波数ｆとによる吐出量補正を行うことができ、インク受容部５１への高精度なインク吐出量制御を実現することができる。
【０１０７】
さらに高精度なインク吐出量制御が必要な場合は、図９に示したように、駆動する複数チャネルのチャネル相対位置によって、吐出量変動に影響するクロストークの周波数依存性が異なることを考慮する必要がある。複数の駆動チャネルの各チャネルの吐出量が均一であれば、図７に示した相関に含まれた形となるので補正する必要はないが、各チャネルの吐出量に大きなばらつきがある場合は、図９に示した最大０．６％程度の吐出量変動を無視することができなくなることがあり、図９に示した駆動チャネル数と駆動チャネルのチャネル相対位置から求まる吐出量補正量を用いて、吐出量変動の駆動周波数依存性に加えて吐出量補正を行うことによって、０．３％以下の高精度な吐出量制御を実現することができる。
【０１０８】
以下、シェアモードインクジェットヘッドの吐出特性たとえば吐出速度および成膜プロセスについて説明する。
【０１０９】
図１４は、図２に示したインクジェットヘッド１０の１つのチャネルのみ駆動させたときの吐出液滴の吐出速度と駆動周波数との関係を示す。吐出速度は、吐出量と同様に周波数依存性を有し、基準となる駆動条件で求めた吐出速度だけで描画装置１の吐出タイミングを制御する場合、駆動周波数を変化させると吐出液滴の速度が変動して、所望の着弾位置に液滴を付着させることができない。図８は、３相駆動を行うシェアモードインクジェットヘッドの複数のチャネルを駆動させたときの各チャネルの相対位置による吐出速度を示したものであるが、図１４は、各チャネルの吐出速度が、駆動チャネル数および駆動チャネル内のチャネル相対位置のほかに、駆動周波数に依存することを示している。したがって、駆動周波数によって様々に変わる描画装置１の駆動条件に対応した吐出速度を算出予測し、インクジェットヘッド１０の各チャネルの吐出タイミングを調整することができる。吐出速度の駆動チャネル数および駆動チャネル内のチャネル相対位置を変化させた場合の駆動周波数依存性は図示しないが、駆動周波数が大きくなるにつれて、速度が大きくなる傾向があり、複数チャネル内の速度変動においても大きくなる傾向にある。
【０１１０】
次に、図１に示した描画装置１で行われる吐出速度補正つまり吐出液滴着弾位置の制御について説明する。描画装置１は、複数個の連続して隣接配置されたインク室１２を１単位としてサイクル駆動を行うシェアモードのインクジェットヘッド１０を用いている。
【０１１１】
各チャネルについて１チャネルのみを所定基準周波数で駆動させて液滴吐出させたときの吐出速度をＳｋ、予め実験的に求まる一定期間に同サイクル内で駆動する隣接チャネル数をｍ、サイクル駆動を行う単位チャネル数をｎ、一定期間に同サイクル駆動させる隣接チャネル内の相対位置をＰａ、隣接チャネル間の駆動周波数をｆとする。隣接チャネル数ｍ、単位チャネル数ｎ、相対位置Ｐａ、および駆動周波数ｆによって変動する速度補正係数をＣ（ｍ,ｎ, Ｐａ,ｆ）とすると、実際に一定期間に同サイクル駆動する各チャネルから吐出される液滴の吐出速度Ｓｒは、Ｓｒ＝Ｓｋ×Ｃ（ｍ,ｎ, Ｐａ,ｆ）という関係式から求められる。一定期間に同サイクル駆動するｍ個のチャネルから吐出される液滴の吐出速度Ｓｒの内で最も低速度のチャネルの吐出速度をＳｒMINおよび最も高速度のチャネルの吐出速度をＳｒMAXとする。各チャネルの吐出速度Ｓｋの平均値は、
【０１１２】
【数３】
2007229958.tif 000005
【０１１３】
である。インクジェットヘッド１０のノズル板１８の表面と基板５０の表面との距離をＧ、インクジェットヘッド１０のノズル１７が相対移動して、基板５０の単位面積を有する領域内の液滴着弾許容範囲内に入る時間をＴＩＮ、インクジェットヘッド１０のノズル１７が相対移動して、基板５０の単位面積を有する領域内の液滴着弾許容範囲内から出る時間をＴ０UTとすると、基板５０の単位面積を有する領域内の液滴着弾許容範囲内に付着させるために吐出する一定期間の吐出開始時間ＴSTART、および吐出停止時間ＴSTOPは、それぞれ式（３）および式（４）によって求められる。
【０１１４】
【数４】
2007229958.tif 000006
【０１１５】
【数５】
2007229958.tif 000007
【０１１６】
式（３）によって求められる吐出開始時間ＴSTARTから吐出を開始し、式（４）によって求められる吐出停止時間ＴSTOPに吐出を停止するように吐出タイミングを調整する。
【０１１７】
上述した実施の形態である液滴吐出方法および液滴吐出装置は、カラーフィルタの製造に応用することができる。たとえば複数のインクジェットヘッドにそれぞれ異なる色のインクを配分して、インクジェットヘッド毎に、上述した液滴吐出方法を適用すれば、正確な吐出量で制御することができ、高速かつ安価にカラーフィルタを製造することができる。さらに有機ＥＬの発光材料を塗布する有機ＥＬの製造装置、ＰＤＰ（Plasma Display
Panel）の蛍光材料を塗布するＰＤＰの製造装置、あるいは基板に電気配線を形成する配線装置などに応用することができ、応用することができる範囲は上述した方法および装置に限定されるものではない。
【０１１８】
さらに、上述した実施の形態を適用する基板は、カラーフィルタ用、有機ＥＬ用、ＰＤＰ用、あるいは電気配線用の基板に限定されるものではなく、吐出量および吐出液滴着弾位置を高精度に制御する必要がある紙またはシールなどでもよく、液滴を付着させる素材は問わない。
【０１１９】
このように、液滴吐出装置では、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズルから吐出される１つの液滴の液適量を表す液適量データつまり吐出量データと、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数とから定まる液滴の補正量を表す吐出量補正データとを予め記憶手段たとえば記憶部６２に記憶しておき、予め定めるサイクル毎に、シェアモードインクジェットヘッドたとえばインクジェットヘッド１０の各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズル１７から液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での補正量を、記憶手段に記憶された吐出量補正データから求め、求めた補正量によって記憶手段に予め記憶しておいた液適量データが示す液滴量つまり吐出量を補正し、補正された液適量に基づいて、単位領域たとえばインク受容部５１に付着させるために吐出すべき液滴数を算出し、算出した液滴数の液滴を液滴吐出手段たとえばインクジェットヘッド１０によって単位領域に吐出するので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数および各グループのチャネル数に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができる。したがって、カラーフィルタなどの成膜プロセスを安価に高精度な膜厚制御で行うことができ、すじムラ、輝点、および色調ムラの少ないカラーフィルタなどを製造することができる。
【０１２０】
さらに、記憶手段たとえば記憶部６２に記憶される吐出量補正データは、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数に加えて、前記連続して隣接するチャネルの相対位置によって定まる液滴の補正量を表し、制御手段たとえば制御部６０によって、液滴吐出手段たとえばインクジェットヘッド１０によって液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での補正量が、記憶手段に記憶された吐出量補正データから求められるので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができ、さらに駆動するチャネルの相対位置に起因するチャネル間のクロストークによる吐出量への影響を駆動周波数依存性も含めて補正を行うことができる。したがって、チャネル間のクロストークを考慮しなければならないような場合にも、より正確に駆動するチャネルからの総吐出液滴量を制御することができ、カラーフィルタなどの成膜プロセスを安価に高精度な膜厚制御で行うことができる。
【０１２１】
さらにまた、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズル１７から吐出される液滴の吐出速度を表す吐出速度データと、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数とから定まる速度の補正値を表す吐出速度補正データとを予め記憶手段たとえば記憶部６２に記憶しておき、予め定めるサイクル毎に、シェアモードインクジェットヘッドたとえばインクジェットヘッド１０の各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズル１７から液滴を吐出する際の予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数での速度の補正値を、記憶手段に記憶された吐出速度補正データから求め、求めた速度の補正値によって記憶手段に予め記憶しておいた吐出速度データが示す吐出速度を補正し、補正された吐出速度に基づいて、単位領域たとえばインク受容部５１に付着させるために吐出すべき吐出タイミングを算出し、算出した吐出タイミングで液滴吐出手段によって液滴を単位領域に吐出するので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出速度を高精度に制御することができる。したがって、インクジェットヘッドから基板上に吐出される液滴の着弾位置を高精度に制御することができ、カラーフィルタなどの成膜プロセスを安価に生産歩留り良く行うことができる。
【０１２２】
さらに、基板はカラーフィルタの基板であり、液滴吐出手段たとえばインクジェットヘッド１０は、異なる色のインクを貯める複数のチャネルを含み、制御手段たとえば制御部６０によって、異なる色のインク毎に各チャネルから吐出する液滴の総吐出量、吐出タイミング、または総吐出量および吐出タイミングが算出され、算出された総吐出量、吐出タイミング、または総吐出量および吐出タイミングに基づいて、液滴吐出手段に液滴を吐出させるので、異なったインチサイズのカラーフィルタ基板を製造する場合でも、異なる色のインク毎に複数チャネルからの総インク吐出量を高精度に制御することができ、さらにセルつまり単位領域内のインク液滴着弾許容範囲に正確にインク液滴を着弾させることができる。したがって、安価に高品質のカラーフィルタを製造することができる。
【０１２３】
このように、液滴吐出方法では、各チャネルについて１チャネルのみを基準周波数の駆動信号で駆動させて液滴吐出させたときの１つの吐出液滴量を予め求めておき、予め定めるサイクル毎に、シェアモードインクジェットヘッドたとえばインクジェットヘッド１０の複数のチャネルを同数のチャネルからなるグループに分けた各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズル１７から液滴を吐出する際に、予め求めておいた吐出液滴量を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる液滴の補正量によって補正し、補正された液適量に基づいて、基板の単位領域たとえばセルつまりインク受容部５１に付着させるために吐出すべき液滴数を算出し、算出した液滴数の液滴を単位領域に吐出するので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数および各グループのチャネル数に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができる。したがって、カラーフィルタなどの成膜プロセスを安価に高精度な膜厚制御で行うことができ、すじムラ、輝点、および色調ムラの少ないカラーフィルタなどを製造することができる。
【０１２４】
さらに、単位領域たとえばインク受容部５１に付着させるために吐出すべき液滴数が、各チャネルを予め定める基準周波数の駆動信号で１つのチャネルだけ駆動したときに各チャネルに対応するノズル１７から吐出される１つの液滴の液適量を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数に加えて、前記連続して隣接するチャネルの相対位置によって定まる液滴の補正量によって補正された液適量に基づいて算出されるので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出量を高精度に制御することができ、さらに駆動するチャネルの相対位置に起因するチャネル間のクロストークによる吐出量への影響を駆動周波数依存性も含めて補正を行うことができる。したがって、チャネル間のクロストークを考慮しなければならないような場合にも、より正確に駆動するチャネルからの総吐出液滴量を制御することができる。
【０１２５】
さらにまた、各チャネルについて１チャネルのみを基準周波数の駆動信号で駆動させて液滴吐出させたときの液滴の吐出速度を予め求めておき、予め定めるサイクル毎に、シェアモードインクジェットヘッドたとえばインクジェットヘッド１０の複数のチャネルを同数のチャネルからなるグループに分けた各グループのチャネルの配列順に順次各チャネルに対応するノズル１７から液滴を吐出する際に、予め求めておいた吐出速度を、予め定める期間に駆動される連続して隣接するチャネルの数、各グループに属するチャネルの数、前記連続して隣接するチャネルの相対位置、および前記連続して隣接するチャネル間の駆動周波数によって定まる速度の補正値によって補正し、補正された吐出速度に基づいて、基板の単位領域たとえばセルつまりインク受容部５１に付着させるために吐出すべき吐出タイミングを算出し、算出した吐出タイミングで液滴を単位領域に吐出するので、インクなどの液滴の吐出を駆動する駆動周波数を変化させても、駆動するチャネル数、各グループのチャネル数、およびチャネルの相対位置に応じて、液滴の吐出速度を高精度に制御することができる。したがって、インクジェットヘッドから基板上に吐出される液滴の着弾位置を高精度に制御することができる。
【０１２６】
さらに、本発明によれば、駆動周波数、同時駆動チャネル数、および吐出チャネルグループの相対位置と、特定の駆動条件で行った各チャネルからの１液滴当たりの吐出量およびインク吐出速度との関係に基づいて、インクジェットヘッド１０の各チャネルから実際にインクを吐出する際のインク吐出量およびインク吐出速度を求める。したがって、ヘッド駆動条件としての基本的な駆動波形たとえば駆動パルス幅および駆動パルス電圧を一定としておいても、様々な成膜装置の稼動条件に対応して、高精度にインク吐出量およびインク吐出速度を算出することができ、複数のインクジェットヘッド１０を用いれば最適な１回のインクジェットヘッドのスキャン描画プロセスつまり１パス描画プロセスで、すじムラ、輝点、および色調ムラの少ないカラーフィルタなどを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】本発明の実施の一形態である描画装置１の概観図である。
【図２】図１に示した描画装置１に搭載されるインクジェットヘッド１０の断面の模式図である。
【図３】図２に示したインクジェットヘッド１０のノズル板１８接着面側から見たインク室チャネル１２の断面図である。
【図４】図２に示したインクジェットヘッド１０におけるシェアモードでの駆動を説明するための図である。
【図５】図１に示したインク受容部５１を説明するための図である。
【図６】図１に示した描画装置１の構成を示すブロック図である。
【図７】図２に示したインクジェットヘッド１０の平均吐出量と駆動チャネル数および駆動周波数との関係を示す。
【図８】図２に示したインクジェットヘッド１０の吐出速度と駆動チャネル数およびチャネル相対位置との関係を示す。
【図９】図２に示したインクジェットヘッド１０の吐出量と駆動チャネル数およびチャネル相対位置との関係を示す。
【図１０】本発明の実施の他の形態である液滴吐出方法を示すフローチャートである。
【図１１】図２に示したインクジェットヘッド１０の１つのチャネルのみ駆動させたときの液滴当たりの吐出量と駆動周波数との関係を示す。
【図１２】図２に示したインクジェットヘッド１０の１つのチャネルによって基板５０のインク受容部５１に液滴を吐出する成膜プロセスの例を示す。
【図１３】図２に示したインクジェットヘッド１０の複数のチャネルによって基板５０のインク受容部５１に液滴を吐出する成膜プロセスの例を示す。
【図１４】図２に示したインクジェットヘッド１０の１つのチャネルのみ駆動させたときの吐出液滴の吐出速度と駆動周波数との関係を示す。
【符号の説明】
【０１２８】
１  描画装置
１０  インクジェットヘッド
１１  インク室隔壁
１２  インク室チャネル
１３  ベース部材
１４  インク供給口
１５  共通インク室
１６  カバー部材
１７  ノズル
１８  ノズル板
１９  駆動用チャネル内電極
２０  インク室後端部
２１  平坦部電極
２２  インクジェットヘッド駆動用ＩＣ
２３  ＩＣ電極
２４  Ａｌワイヤ
３０  ステージ
４０  カメラ
５０  基板
５１  インク受容部
５２  障壁
６０  制御部
６１  液滴吐出部
６２  記憶部
６３  入出力部
【図１】
2007229958.tif 000008
【図２】
2007229958.tif 000009
【図３】
2007229958.tif 000010
【図４】
2007229958.tif 000011
【図５】
2007229958.tif 000012
【図６】
2007229958.tif 000013
【図７】
2007229958.tif 000014
【図８】
2007229958.tif 000015
【図９】
2007229958.tif 000016
【図１０】
2007229958.tif 000017
【図１１】
2007229958.tif 000018
【図１２】
2007229958.tif 000019
【図１３】
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【図１４】
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