(57)【要約】【課題】  特別にプリアライメントステージを設けることなく、スライダ単体のピックアップから検査ステージでの検査開始までの過程でスライダ単体の識別情報を読取ることができる磁気ヘッドスライダ検査装置を提供することにある。【解決手段】  この発明は、ピックアップにより吸着保持されたヘッドスライダ単体を検査ステージの検査位置へと搬送する過程で、スライダ単体を吸着した状態でスライダ単体の側面を第１の当接面に突当てて位置決めし、この状態にあるときあるいはこの後において検査位置に置かれたときあるいは前記ヘッドスライダ単体の前記磁気ヘッドの接続端子と前記探触子とが接触状態にあるときにカメラで識別情報を読取るようにしているので、ヘッドスライダ単体のローダ側から検査ステージでの検査開始までの過程で識別情報を読取ることが可能となり、スライダ単体のハンドリング時間を短縮することができる。【選択図】      図１
2007026552.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドとこれの接続端子が形成された側面とを有するヘッドスライダ単体における前記磁気ヘッドの特性検査をする磁気ヘッドスライダ検査装置において、
前記ヘッドスライダ単体を吸着保持するピックアップと、
前記磁気ヘッドの接続端子と接触する探触子と、
前記ヘッドスライダ単体の識別情報を有する側面に対して直交する方向の側面が当接されて前記ヘッドスライダのＸ方向およびＹ方向のいずれか一方の吸着位置の位置決めをするための第１の当接面と、
前記識別情報の映像を採取して前記識別情報を読取るカメラとを備え、
前記ピックアップにより吸着保持された前記ヘッドスライダ単体を前記検査ステージの検査位置へと搬送する過程で前記直交する方向の側面が前記第１の当接面に当接された状態にあるときあるいはこの後において検査位置に置かれたときあるいは前記ヘッドスライダ単体の前記磁気ヘッドの接続端子と前記探触子とが接触状態にあるときに前記識別情報を採取する磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項２】
さらに、前記カメラの画像を受ける測定装置を有し、この測定装置は、前記識別情報の画像から前記いずれか一方の吸着位置の位置決めずれ量を算出し、前記検査位置における前記ヘッドスライダ単体の位置を前記位置決めずれ量分だけ補正して前記ヘッドスライダ単体を前記検査位置に載置する制御をする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項３】
さらに、前記直交する方向の側面に対して直交する前記ヘッドスライダ単体の他の側面が当接されて前記ヘッドスライダのＸ方向およびＹ方向のいずれか他方の前記吸着位置の位置決めをするための第２の当接面を有し、前記ヘッドスライダ単体は、前記第１の当接面に当接された後に前記第２の当接面に当接されて前記検査位置に置かれる請求項２記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項４】
さらに、前記直交する方向の側面に対して直交する前記ヘッドスライダ単体の他の側面が当接されて前記ヘッドスライダのＸ方向およびＹ方向のいずれか他方の前記吸着位置の位置決めをするための第２の当接面を有し、前記ヘッドスライダ単体は、前記第１の当接面に当接された後に前記第２の当接面に当接されて前記検査位置に前記ヘッドスライダ単体が置かれて前記カメラにより前記識別情報が採取される請求項２記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項５】
前記ピックアップは、円錐状のものであって、その先端部の径は、前記ヘッドスライダ単体の矩形の外周形状よりも小さい形状をしていて、前記第２の当接面は、段差となっている垂直壁面が割当てられ、前記段差の水平面が前記ヘッドスライダ単体に対するＺ方向の位置決め面になっている請求項３又は４記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項６】
前記ヘッドスライダ単体を１つ１つ収納する配列された多数の収納穴を有するパレットをさらに有し、前記収納穴は、前記ヘッドスライダ単体よりも一回り大きい矩形をした穴であって、前記収納穴に収納された前記ヘッドスライダ単体が前記ピックアップに吸着された状態で前記収納穴の側面に当接されることで前記ヘッドスライダ単体に対する吸着位置にオフセットを持たせる請求項５記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項７】
前記第１の当接面は、垂直に所定間隔で設けられた２本の円筒ピンで形成され、前記所定間隔が当接される前記ヘッドスライダ単体の側面の横方向の幅より小さく、前記第２の当接面は前記検査位置に設けられ前記ヘッドスライダ単体がこれに当接された状態で前記前記検査位置に前記ヘッドスライダ単体が配置される請求項６記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気ヘッドスライダ検査装置に関し、詳しくは、ＭＲヘッド（磁気抵抗効果型磁気ヘッド）を有する複合ヘッドの磁気ヘッドを検査する、特に、ＭＲヘッドをスライダ単体（チップ）において電気的特性を測定する磁気ヘッドスライダ検査装置において、特別にプリアライメントステージを設けることなく、スライダ単体のピックアップから検査ステージでの検査開始までの過程でスライダ単体の識別情報を読取ることができるような磁気ヘッドスライダ検査装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置の磁気ヘッドとしては、近年、書込側インダクティブヘッドに対して、その読出側にＭＲヘッド、ＧＭＲヘッド，ＴＭＲヘッドなど（以下ＭＲヘッドで代表する。）を組み込んだ複合磁気ヘッド（以下複合ヘッド）が用いられている。その記録密度は、数十ギガ／インチと向上の一途を辿っている。しかも、デジタル家電製品へのＨＤＤの搭載がその増加を加速している。そのため、ＨＤＤに搭載不可欠な磁気ヘッドアッセンブリの需要も急速に伸びてきている。
磁気ヘッドアッセンブリは、通常、ＭＲヘッドを有する複合ヘッドを形成した磁気ヘッドとしてスライダ単体とこれを支持するサスペンションスプリング等とからなり、磁気ヘッドスライダをサスペンションスプリングを介してボイスコイルモータ等のヘッドアクチュエータに固定する。
【０００３】
その複合ヘッドは、薄膜プロセスで形成され、ヘッドスライダに固定される。ＭＲヘッドは、記録側のインダクティブヘッドとは異なり、抵抗不良や、シールド間との絶縁不良、電気的特性不良などの不良が発生し易いので、このヘッドスライダ単体の状態でＭＲヘッド等を含めた磁気ヘッドの電気的な特性検査が行われている。
ヘッドアッセンブリ組立て前のヘッドスライダ（以下単にスライダ単体）での不良品の検査としては、ＭＲヘッドに対して交流記録磁界を加えたり、外部からＤＣ磁界を印加した上でＭＲヘッドの再生特性を測定する検査装置が公知となっている（特許文献１）。
【特許文献１】特開２０００−２６００１２号公報
【０００４】
磁気ヘッドを検査する検査装置では、スライダ単体（磁気ヘッド）対応に検査データを管理しなければならないため、検査対象となるスライダ単体（磁気ヘッド）について個別の識別番号が必要になる。
従来、スライダの幅方向の側面に刻まれた製造番号は、エッジング等により形成され、比較的大きなポイントの文字（数字，記号）が用いられているので、オートフォーカス処理を行うことなく、焦点深度が大きな光学系を介してカメラで読取り、画像処理で読取画像から製造番号を得て、製造番号をデータ化している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
スライダ単体の大きさは、せいぜい１ｍｍ角か、それ以下のものであり、スライダ単体の側面には複合ヘッドの４つまたは６つの接続端子が設けられている。そのため、スライダ単体の検査に当たっては、４つまたは６つの接続端子にプローブが確実に接触しないと検査ができない。
スライダ単体は、マトリックス状に配置された矩形のポケットを持つ格子型トレー（パレット）に納められ、そこからロボットハンドリング機構により１個、１個スライダ単体が取り出されて検査が行われる。しかし、ポケットに収納されたスライダ単体は、傾きがあり、かつ、それぞれに位置ずれしているので、スライダ単体をパレットからピックアップしてもそのままでは検査ができない。
【０００６】
スライダ単体の検査では、前記したように、検査対象となるスライダ単体（磁気ヘッド）について個別の識別番号が必要である。そこで、スライダ単体の搬送途中のどこかにおいてカメラでそれを撮像して読取ることが必要になる。スライダの幅方向の側面に刻まれた製造番号等の識別情報を高い精度で読取るためには、カメラ撮像位置でのスライダ単体の幅方向の位置決めが必要になる。そのためにもプリアライメントステージが必要とされる。
このようなことから、ヘッドスライダ単体は、ローダ側からプリアライメントステージへ、カメラ撮像位置へ、そして検査ステージへと移送されることになって、スライダ単体をハンドリングするトータル時間が長くならざるを得ない。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、特別にプリアライメントステージを設けることなく、スライダ単体のピックアップから検査ステージでの検査開始までの過程でスライダ単体の識別情報を読取ることができる磁気ヘッドスライダ検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的を達成するためのこの発明の磁気ヘッドスライダ検査装置の特徴は、ヘッドスライダ単体を吸着保持するピックアップと、磁気ヘッドの接続端子と接触する探触子と、ヘッドスライダ単体の識別情報を有する側面に対して直交する方向の側面が当接されて前記ヘッドスライダのＸ方向およびＹ方向のいずれか一方の吸着位置の位置決めをするための第１の当接面と、識別情報の映像を採取して識別情報を読取るカメラとを備えていて、
ピックアップにより吸着保持されたヘッドスライダ単体を検査ステージの検査位置へと搬送する過程で直交する方向の側面が当接面に当接された状態にあるときあるいはこの後において検査位置に置かれたときあるいは前記ヘッドスライダ単体の前記磁気ヘッドの接続端子と前記探触子とが接触状態にあるときに前記識別情報を採取するものである。
【発明の効果】
【０００８】
このように、この発明にあっては、ピックアップにより吸着保持されたヘッドスライダ単体を検査ステージの検査位置へと搬送する過程で、スライダ単体を吸着した状態でスライダ単体の側面を第１の当接面に突当てて位置決めし、この状態にあるときあるいはこの後において検査位置に置かれたときあるいは前記ヘッドスライダ単体の前記磁気ヘッドの接続端子と前記探触子とが接触状態にあるときにカメラで識別情報を読取るようにしているので、ヘッドスライダ単体のローダ側から検査ステージでの検査開始までの過程で識別情報を読取ることが可能となり、スライダ単体のハンドリング時間を短縮することができる。
その結果、特別にプリアライメントステージを設ける必要はないので、磁気ヘッドスライダ検査装置の検査効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、この発明を適用した磁気ヘッドスライダ検査装置の全体的な構成図、図２は、測定装置によるスライダ単体に対する吸着位置位置決めハンドリング処理のフローチャート、図３は、パレットに収納されたスライダ単体と吸着ピックアップとの関係の説明図、図４は、吸着ピックアップとスライダ単体の吸着状態と検査プローブとの関係の説明図、図５は、側面突当て位置決め部の説明図、図６は、背面突当て位置決め部の説明図、そして、図７は、スライダ単体における製造番号の刻印が接続端子側にある場合の刻印撮像についての実施例の説明図である。
１０は、磁気ヘッドスライダ検査装置であって、１はその検査ステージ、２はハンドリングロボット、３は検査プローブ、４は外部磁界発生装置、５は多数縦横に配列された収納穴５ａにスライダ単体をそれぞれ格納するパレット（図３，図４参照）、６はパレット移動ステージ、７は測定部、８は測定装置、９はスライダ単体（図３，図４参照）、そして１７は、スライダ単体９の製造番号（識別情報の一例として）を撮像する撮像光学系である。
検査ステージ１は、ＸＹ移動ステージであって、Ｘステージ１１上に設けられたＹステージ１２、Ｙステージ１２の上部に設けられた側面突当て位置決め部１３（図５，図６参照）、そしてＹステージ１２の測定部７側に設けられた背面突当て位置決め部１４（図５，図６参照）とからなる。
【００１０】
側面突当て位置決め部１３と背面突当て位置決め部１４とは、それぞれの当接側面１３ａ，１４ａとがＸ軸とＹ軸にそれぞれ平行となる、直交した位置関係の側面をそれぞれに有している（図５，図６参照）。
図１，図５，図６に示すように、側面突当て位置決め部１３は、平板ブロック１３１の角に突起形成されていて、平板ブロック１３１がブラケット１３２を介して磁気ヘッドスライダ検査装置１０のベース１５に固定されている。
なお、Ｘステージ１１とＹステージ１２との直線移動機構は一般的なものであるので、特に図示してはいない。
【００１１】
図１に示すように、外部磁界発生装置４は、電磁マグネットであって、測定部７の位置に間隙４ｂを有する矩形の鉄心板４ａとこれに巻かれたコイル４ｃとで構成され、ブラケット（図では見えていない）を介して磁気ヘッドスライダ検査装置１０のベース１５に固定されている。外部磁界発生装置４は、コイル４ｃが測定装置８から電力供給を受けて駆動される。
測定装置８は、内部にマイクロプロセッサとメモリ、制御プログラム等を内蔵する制御コンピュータで構成されている。
図１に示す検査プローブ３は、装置のフレーム１６に固定され、測定装置８に接続されていて、その探触子３ａ（図では鉄心４ａに隠れて見えていない。図４参照）が測定部７に突出している。検査プローブ３から得られる測定信号は、Ａ／Ｄ変換されて測定装置８に入力される。
【００１２】
ハンドリングロボット２は、ＹＺ移動ステージとなっていて、Ｙステージ２１がＺステージ２２の側面を支持することで、Ｚステージ２２が上下移動する。Ｙステージ２１は、アーム２１ａを介してＹ方向移動機構（図示せず）に接続されている。Ｚステージ２２には、下面に垂下して取付けられた吸着ピックアップ（先端が円錐状をした吸着コレット，図４参照）２３が設けられている。
吸着ピックアップ２３は、スライダ単体９をパレット５から吸着保持して、ＹＺ移動することで、Ｙ軸に平行な線Ｐ（図５参照）上においてＹ方向で前後移動して検査ステージ１へとスライダ単体９を移動させ、逆に検査済みのスライダ単体９を検査ステージ１からパレット５の元の位置へと収納する。
【００１３】
図４に示すように、吸着ピックアップ２３の先端部の径は、スライダ単体９の矩形の外周形状よりも小さい形状をしている。
図５に示すように、側面突当て位置決め部１３の当接側面１３ａは、平板ブロック１３１の角の垂直側面の壁面１３５に所定間隔で固定され垂直（Ｚ軸に平行）に設けられた２本の円筒ピン１３３，１３４で構成される。これらピンの間隔は、スライダ単体９のＸ側面９ａの横幅よりも狭くなっている。この間隔によりスライダ単体９の角が円筒ピン１３３，１３４に当たらないようになっている。スライダ単体９のＸ側面９ａ（図４参照）が接触する円筒ピン１３３，１３４で形成される当接側面１３ａは、ＸＺ軸面に平行なＹ方向の基準面である。
一方、背面突当て位置決め部１４の当接側面１４ａは、図５および図６に示すように、段差１４ｂにおける垂直方向の壁面となっている。この当接側面１４ａは、それぞれＹＺ軸面に平行に形成され、Ｘ方向の基準面になっている。また、段差１４ｂの水平面１４ｃは、ＸＹ軸面に平行に形成され、これが検査ステージ１のスライダ単体９に対するＺ方向の基準面となっている。そのスライダ単体９の位置決め決め位置には、吸着孔１４ｄが設けられている。
１８は、製造番号刻印領域であって、この領域に製造番号が英数あるいは記号でエッジング又はレーザ等により１０文字乃至１２文字刻印されている。例えば、製造番号としては「１２３４５６７８９０」の１０桁の数値が一列に記述されている。
なお、Ｙステージ２１とＺステージ２２との直線移動機構も一般的なものであるので、ここでは特に図示していない。
【００１４】
図１に戻り、撮像光学系１７は、ベース１５上に固定されていて、対物レンズ管１７１と、照明プリズム管１７２、光源１７３、結像管１７４、そしてＣＣＤカメラ１７５とで構成されている。
対物レンズ管１７１には１０倍〜２０倍程度の倍率の対物レンズと絞り機構とが内蔵され、照明プリズム管１７２には光源１７３からの照明光を対物レンズ方向へ反射してスライダ単体９からの反射光（映像）を結像管１７４へと透過させるプリズム（あるいはハーフミラー）が設けられ、そのプリズムは、対物レンズ管１７１の中に照明プリズム管１７２の位置に対応して装着されている。
結像管１７４は、対物レンズ管１７１の後部で結合してＣＣＤカメラ１７５を対物レンズ管１７１に装着する。ＣＣＤカメラ１７５は、結像管１７４の後部に結合し、固定されている。
ここで、対物レンズ管１７１に内蔵された対物レンズは、図５に示す側面突当て位置決め部１３の当接側面１３ａにスライダ単体９が突当てられたときにＹ側面９ｂの映像がＣＣＤカメラ１７５の焦点範囲（フォーカス範囲）に入るものであり、また、線ＰとＣＣＤカメラ１７５との距離もそのような距離に選択され、かつ、その視野がＸ側面９ａの範囲をカバーし、Ｙ側面９ｂの全体あるいは当接側面１３ａから製造番号刻印領域１８の全体が入るものである。
【００１５】
図１に戻り、パレット移動ステージ６は、パレット５を搭載するＸ方向移動ステージであって、パレット５をＸ方向へと移動させてハンドリングロボット２の吸着ピックアップ２３のＹ方向の前進位置の下まで検査対象となるスライダ単体９（その収納穴５ａの位置）を移動させる。パレット５の位置は、このパレット移動ステージ６を介して測定装置８により制御される。
図３に示すように、スライダ単体９は、パレット５の収納穴５ａにおいて吸着ピックアップ２３により吸着され、吸着位置オフセット処理として、パレット５において、まず、収納穴５ａのＸＹ方向の直交２側面にスライダ単体９のＸＹ方向の直交２側面が個々に突当てられて、後のＸ側面９ａ，Ｙ側面９ｂ（図４参照）の突当面とは逆方向に吸着位置にオフセットが加えられる。
なお、収納穴５ａは、スライダ単体９よりも一回り大きい矩形をした穴となっている。
【００１６】
その後、Ｚステージ２２が駆動されて、スライダ単体９が吸着ピックアップ２３によりピックアップされ、Ｙステージ２１の駆動によりスライダ単体９が吸着ピックアップ２３とともにＹ方向に移動してスライダ単体９のＸ方向に沿う側面（Ｘ側面）９ａ（図４参照）が側面突当て位置決め部１３の当接側面１３ａに突当てられてＹ方向の吸着位置が調整されてＹステージ１２の段差１４ｂに載置される。載置される位置は吸着孔１４ｄに対応している。続いてＸステージ１１が前進してスライダ単体９のＹ方向に沿う側面（Ｙ側面）９ｂ（図４参照）が背面突当て位置決め部１４の当接側面１４ａに突当てられてＸ方向の位置が調整される。その後、スライダ単体９が吸着孔１４ｄにより吸着固定されてＸステージ１１の移動により検査プローブ３側にスライダ単体９の４つの接続端子のある面が押し出されてスライダ単体９の端子側面９ｃ（図４参照）に設けられた４つの接続端子が検査プローブ３の探触子３ａに接触して検査が開始される。
【００１７】
側面突当て位置決め部１３の突当てにおいては、図４に示すように、スライダ単体９のＸ側面９ａと吸着ピックアップ２３の吸着中心（スライダ単体９の中心Ｏに対応）との位置は距離Ｙsに設定される。そして、この側面突当て状態において、撮像光学系１７のカメラ１７５で製造番号刻印領域１８を含めたＹ側面９ｂ全体の画像あるいは当接側面１３ａの突き当て部分を含む画像を得ることでスライダ単体９のＹ側面９ｂに刻印された製造番号（識別情報）を読取る。さらに背面突当て位置決め部１４の当接側面１４ａに突当てにおいては、スライダ単体９のＹ側面９ｂと吸着ピックアップ２３の吸着中心（スライダ単体９の中心Ｏに対応）との位置は距離Ｘsに設定される。この状態（座標Ｘs，Ｙs）がスライダ単体９の正規の吸着位置であって、スライダ単体９は短時間で高精度にこの状態に搬送過程で位置決めされて、検査位置として検査ステージ１のＹステージ１２の吸着孔１４ｄの位置に固定される。このことで高さ方向（Ｚ方向）の位置決めも完了し、端子面９ｃの４個の端子が検査プローブ３に正しく接触する。
なお、撮像光学系１７のカメラ１７５により読取られたＹ側面９ｂの製造番号（識別情報）は、測定装置８において、その読取りデータと基準値のデータとのＹ方向での画素位置が比較さてずれ量がこれらの差の画素数として算出される。このずれ画素数から実際のずれ量が演算されて正規の検査位置に対して吸着ピックアップ２３のＹ方向の位置が必要に応じて修正されてずれ補正した位置にスライダ単体９が検査位置に載置される。
このように、製造番号（識別情報）が記載された側面に対して直交する方向のＸ側面９ａを位置決めすれば、製造番号（識別情報）の刻印位置が同時にこれを基準に高精度に位置決めされることになる。
【００１８】
図２は、測定装置８によるスライダ単体に対する吸着位置位置決めハンドリング処理のフローチャートである。
以下、図２のフローチャートに従って、その吸着位置位置決め処理動作について説明する。
測定装置８は、まず、パレット移動ステージ６を駆動してパレット５を移動し、検査対象となるスライダ単体９を収納した収納穴５ａの位置をＸ座標のピックアップ位置Ｏxに設定する（ステップ１０１）。
なお、Ｘ座標のピックアップ位置Ｏx（図３，図５の座標（Ｏx，Ｙi）参照,ただしＹiは任意値）は側面突当て位置決め部１３の当接側面１３ａの位置を通るＹ軸に平行な線ＰのＸ座標に対応している。ステップ１０１の処理とほぼ同時に、測定装置８は、Ｙステージ１２を駆動してハンドリングロボット２をＹ方向に線Ｐに沿って前進駆動して収納穴５ａの上部に吸着ピックアップ２３を位置決めする（ステップ１０２）。
【００１９】
次にＺステージ２２を移動させてＺ方向において吸着ピックアップ２３を所定量降下させて収納穴５ａのスライダ単体９を収納穴５ａにおいて吸着する（図３参照）（ステップ１０３）。吸着後に吸着位置オフセット処理をする（ステップ１０４）。この吸着位置オフセット処理は、図３に矢印で示すように、パレット５をＸ方向において後退方向に微小移動させ、少しタイミングをずらせてから吸着ピックアップ２３をＹ方向において前進方向に微小移動させる。なお、この場合のＸ方向，Ｙ方向の移動タイミングは逆であってもよい。
これにより収納穴５ａのＸＹの直交２側面にスライダ単体９のＸＹの直交２側面が当てられてスライダ単体９に対する吸着ピックアップ２３の吸着位置の調整が図られる。
すなわち、吸着ピックアップ２３をＹ方向において前進方向に微小移動させると、スライダ単体９の前側の側面が当たる。この当接により吸着ピックアップ２３の吸着位置は、スライダ単体９において前にずれる。一方、このようにＸ方向には後に、Ｙ方向には前に移動すると、吸着ピックアップ２３の吸着中心（スライダ単体９の中心Ｏに対応，図４参照）の正規の位置座標（Ｘs，Ｙs）（図４参照）は、（Ｘs＋α，Ｙs＋β）となる。ただし、α，βは任意のオフセット量である。
【００２０】
次に、吸着ピックアップ２３をＺ方向において所定量上昇させて、側面突当て位置決め部１３の当接側面１３ａを通る線Ｐ上にスライダ単体９を位置決めし（ステップ１０５，図４参照）、ハンドリングロボット２のＹステージ２１を駆動してスライダ単体９のＸ側面９ａの突当て処理をする（ステップ１０６）。これは、Ｙステージ２１を後退移動させて側面突当て位置決め部１３の当接側面１３ａにスライダ単体９のＸ側面９ａ（図４参照）を突当ててスライダ単体９に対する吸着ピックアップ２３の吸着位置を正規の位置ＹsになるようにＹ方向の位置補正をする。すなわち、吸着ピックアップ２３は、Ｘ側面９ａと当接側面１３ａとの距離がＹsとなる距離で停止する。
このとき、スライダ単体９のＸ側面９ａは、図５に示すように、円筒ピン１３３，１３４の側面に押し当てられて、スライダ単体９のＸ側面９ａがＸ軸になるように平行にされ、Ｘ側面９ａと吸着ピックアップ２３の吸着中心Ｏとの距離がＹsに設定される。
【００２１】
次に、測定装置８が撮像光学系１７のカメラ１７５を駆動してシャッタを切り、スライダ単体９の識別情報（製造番号等）を読取る読取処理をする（ステップ１０７）。これは、スライダ単体９のＸ側面９ａが突当て当接側面１３ａに当接している状態にあるときに、スライダ単体９の幅方向におけるスライダ単体９の識別情報の位置は、当接側面１３ａを基準として吸着位置Ｙsに対応して位置決めされ、カメラ１７５の視野の範囲に確実に入るからである。
その後、測定装置８は、Ｙステージ２１を前進駆動して吸着ピックアップ２３をＹ方向に線Ｐ上を前進移動させて検査ステージ１のＹステージ１２の吸着孔１４ｄの上部の測定位置Ｏｙにスライダ単体９（吸着中心Ｏ）の位置決めする（ステップ１０８）。
そして、Ｚステージ２２を駆動してＺ方向においてそのまま吸着ピックアップ２３を降下させてスライダ単体９を段差１４ｂに載置してＹ方向の検査位置に位置決めする（ステップ１０９）。なお、このとき、測定装置８においてずれ量が画素数で算出され、このずれ画素数が基準値を超えていて補正する必要があるときには、吸着ピックアップ２３のＹ方向の位置が修正されて正規の検査位置に対してずれ補正した位置にスライダ単体９が載置される。
【００２２】
次に、スライダ単体９のＹ側面９ｂの突当て処理をする（ステップ１１０）。これは、検査ステージ１のＸステージ１１を前進移動させて検査プローブ３に対峙する面に対して反対側となるスライダ単体９のＹ側面９ｂ（図４参照）を当接側面１４ａに突当ててスライダ単体９に対する吸着ピックアップ２３の吸着位置を正規の位置になるようにＸ方向の位置補正する。すなわち、Ｘステージ１１は、Ｙ側面９ｂと当接側面１４ａとの距離がＸsとなる距離で停止する。
これにより、スライダ単体９のＹ側面９ｂと吸着ピックアップ２３の吸着中心Ｏとの距離はＸsに設定される。
そして、吸着孔１４ｄを負圧にしてスライダ単体９を検査位置に位置決め固定する（ステップ１１１）。次に、検査ステージ１のＸステージ１１がＸ軸方向に所定量ΔＸ分移動して、スライダ単体９の端子を検査プローブ３に接触させて（ステップ１１２）、外部磁界発生装置４を駆動して（ステップ１１３）、検査を開始する（ステップ１１４）。そして、検査終了か否かの判定に入り（ステップ１１５）、検査が終了した時点で、Ｘステージ１１をＸ軸方向に所定量ΔＸ分戻して、吸着ピックアップ２３で検査終了後のスライダ単体９をピックアップする（ステップ１１６）。次に、測定結果が良品であるときには、パレット５の元の収納穴５ａに戻す処理をし、不良品であるときには別の不良品収納パレット（図示せず）に収納する処理をする（ステップ１１７）。そして、検査処理全体が終了か、否かを判定して（ステップ１１８）、検査処理全体が終了していないときには、ステップ１０１へと戻り、同様な処理を続ける。
【００２３】
図７は、スライダ単体における製造番号の刻印が接続端子側にある場合の刻印撮像についての実施例の説明図である。
図７（ａ）は、スライダ単体９の接続端子側の端子側面９ｃ（図４参照）の部分説明図であって、９１，９２，９３，９４は、端子側面９ｃに設けられた接続端子であって、製造番号刻印領域１８は、これら接続端子９１，９２，９３，９４側に対して端子側面９ｃの左上角に設けられている。３１，３２，３３，３４は、接続端子９１，９２，９３，９４に接触している検査プローブの探触子３ａの先端部分である。
この場合には、撮像光学系１７（図１と同様な構造で配置が異なるだけなので図では省略）は、図７（ｂ）に示すように、検査プローブ３に設けられた背面撮像孔３ｂの後側に配置されている。そこで、この背面撮像孔３ｂを介して製造番号刻印領域１８の文字が読取られる。なお、探触子３ａの先端部３１，３２については、図示するように、それぞれ下側から接続端子９１，９２に接触するようにして、製造番号刻印領域１８が陰にならないようにするとよい。また、端子側面９ｃの全体像を撮像しなくても、当接側面１３ａの突き当て部分を含む製造番号刻印領域１８の画像を得ることができる。
この場合の吸着位置位置決め処理動作としては、図２の処理におけるステップ１０７は削除されてステップ１０６からステップ１０８へと処理が移行し、ステップ１１２とステップ１１３との間にステップ１０７の処理が挿入される。このときには、スライダ単体９が検査位置に位置決め固定された後において、各接続端子９１，９２，９３，９４と各探触子の先端部３１，３２，３３，３４とが接触された状態で製造番号刻印領域１８の撮像が行われる。
製造番号刻印領域１８は、接続端子の左端上部に幅２００μｍ程度で、高さが２５μｍ程度のものである。
【００２４】
このように、スライダ単体９が検査位置に位置決め固定された状態あっても、ステップ１０９のＹ方向の検査位置に位置決めにおいて、製造番号刻印領域１８の位置（識別情報の位置）は、当接側面１３ａを基準として位置決めされているので、当接側面１３ａの当接状態での撮像と同様に製造番号（識別情報）の刻印位置がこれを基準に高精度に位置決めされた状態にある。
なお、この図７の実施例では、ヘッドスライダ単体の接続端子と検査プローブの探触子とが接触した位置において製造番号刻印領域１８の撮像が行われているが、製造番号刻印領域１８の撮像は、端子接触以前の検査位置にヘッドスライダ単体がある状態において行われてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
以上説明してきたが、実施例では、パレットからスライダ単体をピックアップするときにパレットと吸着ピックアップとを移動させてスライダ単体に対する吸着位置のオフセット設定をしているが、パレットを前後あるいは左右に所定方向に傾斜させて収納穴にあるスライダ単体を一定方向にあらかじめ揃えておけば、吸着ピックアップの吸着位置は、オフセットを生じて、スライダ単体の吸着する座標は（Ｘs＋α，Ｙs＋β）にできる。したがって、必ずしもピックアップ時に吸着位置のオフセット調整をする必要はない。
また、実施例では、側面突当て位置決め部１３を固定側にして、これに対して吸着ピックアップ２３側を移動して吸着位置の位置決めをしている。また、吸着ピックアップ２３側を固定にして背面突当て位置決め部１４としてＸステージ１１を移動して吸着位置の位置決めをしている。しかし、これら吸着位置の位置決めは、それぞれ固定側と移動側とが入れ替わってもよい。
さらに、実施例では、ＭＲヘッド複合ヘッドのスライダについての検査の実施例を挙げているが、同様な大きさのスライダであれば、この発明は、ＭＲヘッド複合ヘッドに限定されないことはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、この発明を適用した磁気ヘッドスライダ検査装置の全体的な構成図である。
【図２】図２は、測定装置によるスライダ単体に対する吸着位置位置決めハンドリング処理のフローチャートである。
【図３】図３は、パレットに収納されたスライダ単体と吸着ピックアップとの関係の説明図である。
【図４】図４は、吸着ピックアップとスライダ単体の吸着状態と検査プローブとの関係の説明図である。
【図５】図５は、側面突当て位置決めステージの説明図である。
【図６】図６は、背面突当て位置決めステージの説明図である。
【図７】図７は、スライダ単体における製造番号の刻印が接続端子側にある場合の刻印撮像についての実施例の説明図であって、図７（ａ）は、その刻印の説明図、図７（ｂ）は、検査プローブに設けられた背面撮像孔についての説明図である。
【符号の説明】
【００２７】
１…検査ステージ、２…ハンドリングロボット、
３…検査プローブ、４…外部磁界発生装置、
５…パレット、６…パレット移動ステージ、
７…測定部、８…測定装置、９…スライダ単体、
１０…磁気ヘッドスライダ検査装置、
１１…Ｘステージ、１２，２１…Ｙステージ、
１３…側面突当て位置決め部、１４…背面突当て位置決め部、
１５…ベース、１６…装置のフレーム、
１７…撮像光学系、１８…製造番号刻印領域、
２２…Ｚステージ、２３…吸着ピックアップ（吸着コレット）、
１３１…平板ブロック、１３３，１３４…円筒ピン，１３５…壁面。
【図１】
2007026552.tif 000003
【図２】
2007026552.tif 000004
【図３】
2007026552.tif 000005
【図４】
2007026552.tif 000006
【図５】
2007026552.tif 000007
【図６】
2007026552.tif 000008
【図７】
2007026552.tif 000009