(57)【要約】      （修正有）【課題】本発明は、形成される各着色層の色相等にバラつきが少なく、色ムラの少ない高品質な表示が可能なカラーフィルタを、インクジェット法を用いて製造する方法を提供する。【解決手段】カラーフィルタ用基板形成工程と、前記基板の前記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、前記着色層形成用塗工液をプリベイクするプリベイク工程と、前記着色層形成用塗工液をポストベイクするポストベイク工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、前記着色層形成用塗工液塗布工程後、前記着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程、該検査データを利用して、前記着色層形成用塗工液における前記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程を行い、前記着色層形成用塗工液塗布工程の着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色層を形成するための着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を形成するカラーフィルタ用基板形成工程と、
前記カラーフィルタ用基板の前記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、
前記着色層形成用塗工液をプリベイクするプリベイク工程と、
前記着色層形成用塗工液をポストベイクするポストベイク工程と
を有するカラーフィルタの製造方法であって、
前記着色層形成用塗工液塗布工程後、前記着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程、および前記検査工程による検査データを利用して、前記着色層形成用塗工液における前記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程を行い、前記着色層形成用塗工液塗布工程の着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記検査工程および前記調整工程が、前記プリベイク工程と前記ポストベイク工程との間に行われることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の輝度を検査する工程を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の色度を検査する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の膜厚を検査する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の体積を検査する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
前記カラーフィルタ用基板形成工程が、前記着色層形成用領域が親液性であり、かつ前記着色層形成用領域以外の領域が撥液性であるカラーフィルタ用基板を形成する工程であることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。しかしながら、このカラー液晶ディスプレイが高価であることから、コストダウンの要求が高まっており、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタに対するコストダウンの要求が高い。
【０００３】
このようなカラーフィルタにおいては、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色パターンを備え、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われるものである。
【０００４】
従来より行われているカラーフィルタの一般的な製造方法としては、例えば染色法が挙げられる。この染色法は、まずガラス基板上に染色用の材料である水溶性の高分子材料を形成し、これをフォトリソグラフィー工程により所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、およびＢのカラーフィルタ層を形成する。
【０００５】
また、他の方法としては顔料分散法が挙げられる。この方法においては、まず基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをフォトリソグラフィー工程により所望の形状にパターニングすることにより単色のパターンを得る。さらにこの工程を３回繰り返すことにより、Ｒ、Ｇ、およびＢのカラーフィルタ層を形成する。
【０００６】
しかしながら、上記いずれの方法も、Ｒ、Ｇ、およびＢの３色を着色するために、同一の工程を３回繰り返す必要があり、コスト高になるという問題や、露光や現像等、多数の工程を繰り返すため歩留まりが低下するという問題がある。またさらに、現像の際に用いられる薬品等によって、他の部材が劣化してしまう場合がある等の問題もあった。
【０００７】
そこで、例えば基材上に、光触媒と、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により特性が変化する材料とを含有する光触媒含有層形成用塗工液を用いて光触媒含有層を形成し、この光触媒含有層をパターン状に露光することにより、特性が変化したパターンを形成し、着色層をインクジェット法により形成するカラーフィルタの製造方法が提案されている（特許文献１）。また例えば、基材上に着色層を形成する着色層形成用塗工液を留めるためのバンクを形成し、このバンクにフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射することによりバンクを撥液性として、インクジェット法等により着色層等の機能性部を形成する方法も提案されている（特許文献２）。
【０００８】
これらの方法によれば、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成することが可能であることから、複雑な工程を繰り返す必要がなく、製造効率がよいという利点を有している。また現像液等を用いる必要がないことから、部材の劣化等が生じるおそれもないものとすることができる。しかしながら、インクジェット法により、着色層を形成する着色層形成用塗工液を吐出して着色層を形成する場合、各インクジェットノズルから吐出される着色層形成用塗工液の吐出量にはバラつきがある。そのため、各着色層形成用領域に吐出される着色層形成用塗工液の量が均一なものとならず、各着色層の色相等にバラつきが生じ、形成されたカラーフィルタに色ムラが発生する等の問題があった。
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−０７４９２８号公報
【特許文献２】特開２０００−１８７１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで、形成される各着色層の色相等にバラつきが少なく、色ムラの少ない高品質な表示が可能なカラーフィルタを、インクジェット法を用いて製造する方法の提供が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を形成するカラーフィルタ用基板形成工程と、上記カラーフィルタ用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、上記着色層形成用塗工液をプリベイクするプリベイク工程と、上記着色層形成用塗工液をポストベイクするポストベイク工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、上記着色層形成用塗工液塗布工程後、上記着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程、および上記検査工程による検査データを利用して、上記着色層形成用塗工液における上記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程を行い、上記着色層形成用塗工液塗布工程の着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１２】
本発明によれば、上記カラーフィルタを製造する際、着色層形成用塗工液の吐出ムラ等を検査する検査工程を行い、その検査データを利用して着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することから、その調整結果が後に行われる着色層形成用塗工液における着色層形成用塗工液の吐出条件に反映され、各着色層形成用領域に塗布される着色層の量等をより一定にすることが可能となる。したがって、本発明により製造されたカラーフィルタにおいては、各着色層間での色ムラ等が少なく、高品質な色表示が可能となる。
【００１３】
上記発明においては、上記検査工程および上記調整工程が、上記プリベイク工程と上記ポストベイク工程との間に行われることが好ましい。これにより、検査工程において、着色層形成用塗工液が混色等のないものとすることができ、より正確に検査を行うことが可能となるからである。
【００１４】
上記発明においては、上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の輝度を検査する工程を有していてもよく、また上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の色度を検査する工程を有していてもよい。また上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の膜厚を検査する工程を有していてもよく、また上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の体積を検査する工程を有していてもよい。これらの測定を行うことにより、各インクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の量等を把握することが可能となり、調整工程において、効率よく着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となるからである。
【００１５】
またさらに、上記発明においては、上記カラーフィルタ用基板形成工程が、上記着色層形成用領域が親液性であり、かつ上記着色層形成用領域以外の領域が撥液性であるカラーフィルタ用基板を形成する工程であることが好ましい。この場合、上記カラーフィルタ用基板の撥液性および親液性を利用して、着色層形成用領域のみに高精細に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となり、高精細な着色層を有するカラーフィルタを製造することができるからである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、各着色層間での色ムラ等が少なく、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。以下詳しく説明する。
【００１８】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を形成するカラーフィルタ用基板形成工程と、上記カラーフィルタ用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、上記着色層形成用塗工液をプリベイクするプリベイク工程と、上記着色層形成用塗工液をポストベイクするポストベイク工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、上記着色層形成用塗工液塗布工程後、上記着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程、および上記検査工程による検査データを利用して、上記着色層形成用塗工液における上記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程を行い、上記着色層形成用塗工液塗布工程の着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することを特徴とするものである。
【００１９】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、例えば図１のフロー図に示すように、カラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、およびポストベイク工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記着色層形成用塗工液塗布工程後、着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程が行われる。この検査工程により、着色層形成用塗工液にムラが生じていること等が認められた場合には、不具合のあるインクジェットノズルの着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程が行われ、着色層形成用塗工液塗布工程における着色層形成用塗工液の吐出条件が決定される。なお、本発明においては、図１のフロー図に示すように、プリベイク工程とポストベイク工程との間に、上記検査工程および調整工程が行われるものであってもよく、また図２のフロー図に示すように、上記着色層形成用塗工液塗布工程とプリベイク工程との間に、上記検査工程および調整工程が行われるものであってもよい。なお、検査工程において、着色層形成用塗工液にムラ等が認められない場合には、調整工程を行うことなく、ポストベイク工程やプリベイク工程が行われてもよい。なお、本発明でいう上記着色層形成用塗工液のムラとは、着色層形成用塗工液の塗布量のムラだけでなく、例えば着色層形成用領域に塗布された際の色度や輝度、膜厚、体積のムラ等も含むものとする。
【００２０】
上述したように、通常、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成する場合、各インクジェットノズルによって、着色層形成用塗工液の吐出量等にバラつきがあることから、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量が一定とならず、形成される各着色層の色相等にバラつきが生じるという問題があった。
【００２１】
一方、本発明においては、上記検査工程により、着色層形成用塗工液の塗布状態にムラがないかを検査し、着色層形成用塗工液の吐出条件が最適でない場合には、不具合のあるインクジェットノズルの着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する。この調整結果が後に行われる着色層形成用塗工液塗布工程における着色層形成用塗工液の吐出条件に反映されることから、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量をより均一なものとすることができ、本発明によれば、形成された各着色層の色相等にバラつきが少なく、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができるのである。以下、本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程について説明する。
【００２２】
１．カラーフィルタ用基板形成工程
まず、本発明のカラーフィルタ用基板形成工程について説明する。本発明のカラーフィルタ用基板形成工程は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を形成する工程であり、例えば図３（ａ）に示すように、着色層形成用領域ａをパターン状に有するカラーフィルタ用基板１を形成する工程である。
【００２３】
本工程において形成されるカラーフィルタ用基板としては、目的とする形状に着色層を形成可能な着色層形成用領域を有するものであれば、その着色層形成用領域の性状や形状等は特に限定されるものではない。例えば本工程により形成されるカラーフィルタ用基板は、着色層形成用領域の周囲に、着色層形成用塗工液を留めるための土手がパターン状に形成されたものであってもよく、また上記着色層形成用領域が親液性領域とされ、かつ上記着色層形成用領域以外の領域が撥液性領域とされているもの等であってもよい。
【００２４】
本工程は特に、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、それ以外の領域が撥液性領域であるカラーフィルタ用基板を形成する工程であることが好ましい。このようなカラーフィルタ用基板とすることにより、着色層形成用塗工液塗布工程において着色層形成用塗工液が塗布された際、撥液性領域には着色層形成用塗工液が付着せず、親液性である着色層形成用領域のみに高精細に着色層形成用塗工液が付着するものとすることができる。したがって、後述する着色層形成用塗工液塗布工程により、高精細なパターン状に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となり、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができるからである。なお、本発明でいう撥液性領域とは、隣接する領域より、液体との接触角が１°以上高い領域をいうこととする。本発明においては特に、上記撥液性領域の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が、５０°以上、中でも７０°以上であることが好ましい。また撥液性領域の純水との接触角は９０°以上、中でも１００°以上であることが好ましい。一方、上記親液性領域の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角は、９°以下、特に表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下とされることが好ましい。また、純水との接触角は２０°以下、中でも１０°以下とされることが好ましい。これにより、上記親液性領域のみに、高精細に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となるからである。なお、上記液体との接触角は、上記表面張力を有する液体との接触角を接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）を用いて測定（マイクロシリンジから液滴を滴下して３０秒後）し、その結果から、もしくはその結果をグラフにして得られるものである。
【００２５】
本工程において、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、それ以外の領域が撥液性領域であるカラーフィルタ用基板を形成する方法としては、例えばエネルギー照射に伴う光触媒の作用により濡れ性が変化する濡れ性変化層を基板表面に形成し、この濡れ性変化層の濡れ性をパターン状（着色層形成用領域のパターン状）に変化させる方法等とすることができる。このような濡れ性変化層を利用して、親液性のパターンを形成する方法としては、例えば特開２００２−４０２３０公報や、特開２００３−１０５０２９公報等に記載された方法を用いることができる。
【００２６】
また、例えば上記着色層形成用領域のみに、親液性を有する材料を用いて層を形成する方法や、上記着色層形成用領域以外の領域のみに、撥液性を有する材料を用いて層を形成する方法等であってもよく、またこれらを組合わせた方法であってもよい。またさらに、着色層形成用領域以外の領域に、有機材料からなる層を形成し、この層に対してフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマ照射することにより、着色層形成用領域以外の領域を、撥液性とする方法等であってもよい。なおプラズマ照射を行うことにより、上記着色層形成用領域以外の領域を撥液性とする場合、上記着色層形成用領域の表面は、無機材料が露出、または無機材料によって覆われていることが好ましい。これにより、基板全面にプラズマ照射をした場合であっても、上記着色層形成用領域にはフッ素が導入されず、着色層形成用領域以外の領域のみにフッ素が導入されるものとすることができるからである。上記プラズマの照射方法は、例えば特開２０００−１８７１１１号公報に記載されている方法と同様とすることができる。
【００２７】
２．着色層形成用塗工液塗布工程
次に、本発明における着色層形成用塗工液塗布工程について説明する。本工程は、上記カラーフィルタ用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する工程であり、例えば図３（ｂ）および（ｃ）に示されるように、着色層形成用塗工液２を上記カラーフィルタ用基板１の着色層形成用領域ａ上にパターン状に塗布する工程である。
【００２８】
本発明のカラーフィルタの製造方法において、初めて着色層形成用塗工液塗布工程が行われる場合には、本工程は、通常の吐出条件、もしくは予め設定された吐出条件により着色層形成用塗工液を吐出する工程とされる。なお予め設定された吐出条件とは、カラーフィルタを製造する前に、本発明におけるカラーフィルタ用基板形成工程や、着色層形成用塗工液塗布工程、ポストベイク工程、検査工程、および調査工程等と同様の工程を行うことによって、適宜決定された着色層形成用塗工液の吐出条件をいう。
【００２９】
また本発明のカラーフィルタの製造方法において２回目以降に本工程が行われる場合には、後述する調整工程によって調整された吐出条件に基づいて着色層形成用塗工液の吐出が行われることとなる。これにより、より良好な吐出条件で着色層形成用塗工液を塗布することが可能となり、より色ムラ等の少ないカラーフィルタを製造することが可能となるからである。なお上述したように、検査工程において特に着色層形成用塗工液にムラ等が認められない場合には、調整工程が行われる必要がないことから、通常本工程は、先に決定されている吐出条件に基づいて着色層形成用塗工液の吐出が行われるものとされる。
【００３０】
ここで、本工程において着色層形成用塗工液を塗布するために用いられるインクジェット装置としては、一般的にカラーフィルタを製造する際に用いられるものと同様とすることができる。上記インクジェット装置として、１つのみインクジェットノズルを有するものが用いられてもよいが、本発明においては特に、複数のインクジェットノズルを有するものが用いられることが好ましい。これにより、効率よくカラーフィルタを製造することが可能となるからである。
【００３１】
また、本工程に用いられる着色層形成用塗工液としては、製造されるカラーフィルタの種類等により適宜選択され、一般的にカラーフィルタの製造に用いられるものと同様とすることができる。
【００３２】
また、本工程において、着色層形成用塗工液が塗布される領域としては、着色層形成用領域の性状や形状等に合わせて適宜選択される。例えば、上記着色層形成用領域が、土手によって区画されている場合等には、着色層形成用塗工液は、着色層形成用領域のみに塗布されることとなる。一方、上記着色層形成用領域が親液性領域とされ、かつそれ以外の領域が撥液性領域とされている場合等には、上記着色層形成用塗工液が撥液性領域に付着しないものとすることができることから、着色層形成用塗工液が基板全面に塗布されるものとしてもよい。
【００３３】
３．プリベイク工程
次に、本発明におけるプリベイク工程について説明する。本工程は、上述した着色層形成用塗工液塗布工程により塗布された着色層形成用塗工液をプリベイクする工程である。本工程により着色層形成用塗工液をプリベイクし、着色層形成用塗工液をある程度固化させることによって、後述する検査工程において着色層形成用塗工液どうしが混色してしまうことや、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の状態が変化してしまうこと等を防ぐことができ、より正確に検査を行うことが可能となる。
【００３４】
本工程においては、上記着色層形成用塗工液が流動性を有しない状態となるまで固化させることが可能であれば、そのプリベイクの条件等は特に限定されるものではなく、一般的なカラーフィルタの製造方法におけるプリベイクの条件と同様とすることができる。
【００３５】
４．検査工程
次に、本発明における検査工程について説明する。本工程は、上記着色層形成用領域上に塗布された上記着色層形成用塗工液のムラを検査する工程であり、上記着色層形成用塗工液のムラを検査することが可能な方法であれば、その方法は特に限定されるものではない。
【００３６】
本工程に用いられるムラの検査方法としては、例えば上記各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の輝度を測定する方法や、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の色度を測定する方法、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の膜厚を測定する方法、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の体積を測定する方法等が挙げられる。
【００３７】
上記輝度を測定する方法としては、蛍光灯等の光源を用いて、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の透過画像をＲＧＢ各色の色分解フィルタを使用したＣＣＤカメラ等で撮影し、全面または測定したい領域を画像として記録する。その後、この画像のＲＧＢ各色の濃淡の分布を解析し、輝度分布として算出する方法等とすることができる。なお、ＣＣＤカメラ取得画像は輝度データとして算出できればモノクロでもカラーでも良い。また、顕微鏡型分光光度計を用い、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の測定したい領域について、輝度を計測する方法も用いることができる。上記方法により、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の輝度ムラを測定することにより、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の量のムラを把握すること等が可能となる。具体的には、輝度が高い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が少なく、輝度が低い領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が多いといえる。したがって、後述する調整工程において、この輝度データに基づいて、不具合のあるインクジェットノズルの着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【００３８】
また、色度を測定する方法としては、顕微鏡形分光光度計を用い、上記各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の色度を計測する方法とすることができる。計測した色度より、赤色着色層形成用塗工液（Ｒ）に対してはＲｘを、緑色着色層形成用塗工液（Ｇ）に対してはＧｙを、青色着色層形成用塗工液（Ｂ）に対してはＢｙを抽出し、これらをそれぞれの色度データとすることが有効である。例えば、上記Ｒｘ、Ｇｙ、およびＢｙの値の分布を把握することにより、着色層形成用塗工液の量のブレ等を把握することが可能となり、後述する調整工程において、この色度データに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【００３９】
また、上記膜厚を測定する方法としては、上記着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液を例えばプリベイクし、触針型の膜厚計や非接触型の３次元形状測定器等により測定する方法とすることができる。触針型の膜厚計とは、例えば針先を着色層形成用塗工液に接触させたまま移動させ、針先の上下動の推移にて膜厚を計測する手法であり、非接触型の３次元形状測定器とは、例えば光学干渉の干渉縞を用いて相対的な膜厚を算出する手法である。ここで、上記着色層形成用塗工液が、完全には硬化していないが混色しない程度に硬化している状態である場合には、非接触型の３次元形状測定器を使用する方法であることが好ましい。なお、上記膜厚を測定する方法を用いる場合、例えば各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の最大膜厚の分布を測定する方法であってもよく、また着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の平均膜厚の分布を測定する方法であってもよい。平均膜厚は、上記測定器により、各着色層形成用領域内の膜厚を複数箇所について測定し、その測定値から算出することができる。
【００４０】
ここで、膜厚が厚い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が多く、膜厚が薄い領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が少ないといえる。したがって、後述する調整工程において、この膜厚のデータに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【００４１】
また、上記体積を測定する方法としては、非接触型の３次元形状測定器等により測定する方法とすることができる。例えば各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の体積を測定する場合、この着色層形成用領域を細分化した所定の面積ごとの膜厚を計測し、それぞれ測定された膜厚（高さ）に上記所定の面積を乗じた値の総和により算出することができる。体積が多い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が多く、体積が少ない領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が少ないといえる。したがって、後述する調整工程において、この体積のデータに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【００４２】
なお、本工程は、上記のいずれか一種類の測定方法のみを行うものであってもよいが、例えば二種類以上の測定方法を組合わせて行うものであってもよい。二種類以上の測定方法を組合わせた場合、後述する調整工程において、より正確に着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。また二種類以上の測定を組合わせて行う場合には、少なくとも１つの測定方法を各カラーフィルタ用基板について行い、それ以外の測定方法を、数枚のカラーフィルタ用基板のうちの一枚に対して行うものであってもよい。
【００４３】
ここで本発明においては、上述した各方法の中でも特に、輝度を測定する方法を少なくとも用いて本工程が行われることが好ましい。これにより、検査工程に要する時間が短く、より短時間で効率よく検査工程を行うことが可能となるからである。
【００４４】
５．調整工程
次に、本発明における調整工程について説明する。本工程は、上述した検査工程により得られた検査データを利用して、着色層形成用塗工液塗布工程における着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する工程である。本工程においては、上記検査工程により得られた検査データから、例えば塗布された着色層形成用塗工液の量が多すぎる領域、少すぎる領域等を割り出し、その領域の着色層形成用塗工液の塗布に用いられたインクジェットノズルを特定し、そのインクジェットノズルの吐出条件を調整する方法等とすることができる。なお、上記検査工程において、特に着色層形成用領域上に塗布された着色層形成用塗工液にムラ等が認められなかった場合には、上述したように本工程を行うことなく、上記プリベイク工程や後述するポストベイク工程が行われてもよい。
【００４５】
本工程における吐出条件の調整方法としては、例えば着色層形成用領域に吐出する着色層形成用塗工液の液滴数を増減して調整する方法や、インクジェットノズルにかける電圧量やパルス幅を調整すること等によって、インクジェットノズルから一回に吐出される着色層形成用塗工液の量を調整する方法、予め各インクジェットノズルから複数段階の液適量（例えば多い、通常、少ない等）吐出できるように設定しておき、これらを適宜組合わせることによって、着色層形成用塗工液の量を調整する方法、またこれらの方法を必要に応じて２つ以上組合わせる方法等が挙げられる。
【００４６】
上述したような方法により決定された着色層形成用塗工液の吐出条件は、上記着色層形成用塗工液塗布工程における各インクジェットノズルの設定に反映されることとなる。
【００４７】
６．ポストベイク工程
次に、本発明におけるポストベイク工程について説明する。本発明におけるポストベイク工程は、上述した着色層形成用塗工液を完全に固化させることが可能な工程であればよく、ポストベイクの条件等は特に限定されるものではない。このような条件としては、一般的なカラーフィルタの製造方法におけるポストベイクの条件と同様とすることができる。
【００４８】
７．その他の工程
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、上述した各工程以外にも、必要に応じて、例えば上記着色層上に配向膜を形成する配向膜形成工程等を有していてもよい。なお、このような工程については、一般的なカラーフィルタの製造方法における工程と同様とすることができる。
【００４９】
また、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００５０】
例えば本発明は、上記着色層形成用塗工液塗布工程において着色層形成用塗工液がインクジェット装置のインクジェットノズルから吐出された際の着色層形成用塗工液の飛翔状態をＣＣＤカメラで撮像することにより計測する方法が、上記検査工程として行われるものであってもよい。インクジェットヘッドのインク吐出周波数と同期をとってストロボを発光させ、これによって照らし出されたインクをＣＣＤカメラにより撮像することによりインクの飛翔状態を撮影することができる。そこで、撮影時間をずらして取得した２枚以上の上記画像より、ずらした時間と移動の距離から吐出速度を算出することができる。上記着色層形成用塗工液の吐出速度、およびインクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の体積は比例関係にあり、上記吐出速度を測定することによって、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の量を把握することが可能となる。したがって、このデータに基づいて、上述した調整工程により、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【００５１】
また、上記検査工程として、インクジェットノズルからの吐出重量を測定する方法が行われるものであってもよい。上記吐出重量を測定する方法としては、例えば各インクジェットノズルから一定時間に吐出される着色層形成用塗工液の総重量を計測し、この総重量を、一定時間に吐出された液滴数で除算することにより算出する方法とすることができる。なお、１つのインクジェットノズルから吐出される液滴の量は通常極めて少量であり、総重量を計測可能な重量まで吐出する際に長い時間を要することから、着色層形成用塗工液中の溶媒等の揮発の影響が懸念されるが、例えばすべてのインクジェットノズルから着色層形成用塗工液を吐出させた場合の着色層形成用塗工液の総重量から、計測したいインクジェットノズルのみから着色層形成用塗工液を吐出させなかった場合の着色層形成用塗工液の総重量を減算することにより、特定のインクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の量を短時間で正確に計測することができる。また、不揮発性が高くかつ着色層形成用塗工液より比重の重い液体に着色層形成用塗工液を打ち込むことにより、長時間、溶媒等の揮発を気にせずに、１つのインクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の重量を計測することもできる。各インクジェットノズルから吐出される着色層形成用塗工液の各液滴の量を把握することにより、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量を把握することが可能となる。したがって、このデータに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【実施例】
【００５２】
以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。
【００５３】
[実施例１]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製〕
カラーフィルタ用ガラス材として用いられている厚み０．７ｍｍ、横３７０ｍｍ、縦４７０ｍｍのＣｏｒｎｉｎｇ社製ＥＡＧＬＥ２０００を用意し、このガラス基材上にフォトリソグラフィー法にて樹脂製のブラックマトリクスを形成した。ブラックマトリクスは開口部が１００μｍ×３００μｍ、遮光部分の線幅が２０μｍとなるように形成し、横方向に１２０μｍピッチ、縦方向に３２０μｍピッチにて縦横ともそれぞれ１０００画素ずつ配置されるものとした。またこの際、遮光部分の膜厚は平均１．５μｍとした。
上記ブラックマトリクス付ガラス基材に対し、フッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ処理を加えることにより、ブラックマトリクスの表面を撥液性に、それ以外の領域（着色層形成用領域）を親液性とした。このとき表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角は、ブラックマトリクス上で６５°、着色層形成用領域で１０°であった。
次に、上記親疎液性を有する検量線作成用基板に対し、インクジェットヘッドを用いて着色層形成用塗工液を塗布した。着色層形成用塗工液は、カラーフィルタ用顔料と熱硬化型樹脂等からなるＲＧＢ各色の顔料分散型インクを用い、１つの開口部（着色層形成用領域）あたり１３０滴にて所望のカラーフィルタの色が表現できるように濃度を設計したものを用いた。またこのときのインクジェットヘッドへの印加電圧は７５Ｖ、パルス幅は６μｓであった。またさらに、インクジェットヘッドは１ヘッドにつき１００ノズルを有するものを用い、１色につき１ヘッド、すなわちＲＧＢ３色にて３ヘッドを用いた。塗布は、各着色層形成用領域（１画素）あたり１ノズルが配置されるように位置決めして行い、ノズルから吐出された着色層形成用塗工液の各液滴が、上記着色層形成用領域内に着弾するように行った。また着色層形成用塗工液は横方向にＲＧＢの順に繰り返し配置し、縦方向には同色が並ぶように配置した。
なおこの際、各色の着色層形成用塗工液は開口部全域に塗れ広がり、かつ異なる色同士が混色することは無かった。
上記着色層形成用塗工液を着弾させた検量線作成用基板を１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。プリベイク後の着色層形成用塗工液は、先端の直径が１２μｍの針で５ｍｇの圧力にて表面を触針しても傷が入らない程度に固化し、混色しない状態であった。なお、各着色層形成用領域に、それぞれ１００滴ずつ、１２０滴ずつ、１４０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布した３種類の検量線作成用基板を形成した。
【００５４】
〔検量線の作成〕
上記着色層を形成した３種類の検量線作成用基板の、着色層形成用塗工液が塗布された面とは反対面側より蛍光灯を照射し、この透過光を着色層形成用塗工液が塗布された面側からＣＣＤカメラにて撮像した。撮像に対し、ＣＣＤカメラにＲＧＢ各色の色分解フィルタを設置し、Ｒ補正用画像、Ｇ補正用画像、Ｂ補正用画像の３種類、計９枚の画像を取得した。またこのときの撮像の分解能は１００μｍ以下となるように設定した。撮像した画像に認められた濃淡を画像処理し、輝度の分布に変換した。その後、各画素の位置と輝度の分布を着弾液滴数の異なる画像より解析し、各画素すなわちインクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と輝度との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって撮像し、輝度分布を算出した。この輝度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、輝度データを測定したところ、輝度の分布が収束することが確認された。そこで、上記条件により下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。
【００５５】
（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。
【００５６】
（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。
【００５７】
（検査工程）
上記プリベイク工程後、上記着色層形成用塗工液が塗布された全てのカラーフィルタ用基板について、上述した検量線作成時と同様の手法により撮像し、輝度データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の輝度データが、生産開始時の輝度データと差が生じていないかを確認した。なお、２５０枚目、５７０枚目、７２０枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の輝度が、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
【００５８】
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。
（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。
【００５９】
（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。
【００６０】
[実施例２]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計ＬＣＦ−ｓｅｒｉｅｓにて測定し、測定値より輝度（Ｙ値）を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と輝度の関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって測定し、輝度分布を算出した。この輝度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、輝度データを測定したところ、輝度の分布が収束することが確認された。そこで、上記条件により下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。
【００６１】
（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。
【００６２】
（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。
【００６３】
（検査工程）
続いて、上記プリベイク工程後、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により測定し、輝度データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の輝度データが、生産開始時の輝度データと差が生じていないかを確認した。なお、４００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の輝度が、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。
【００６４】
（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。
【００６５】
（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した３枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。
【００６６】
[実施例３]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計ＬＣＦ−ｓｅｒｉｅｓにて測定し、測定値より色度Ｒｘ、Ｇｙ、Ｂｙを算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と色度の関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって測定し、色度分布を算出した。この色度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の色度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、色度データを測定したところ、色度の分布が収束することが確認された。そこで、上記条件を用い、下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。
【００６７】
（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。
【００６８】
（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。
【００６９】
（検査工程）
続いて、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により測定し、色度データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の色度データが、生産開始時の色度データと差が生じていないかを確認した。なお、２００枚目および８００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の色度Ｂｙが、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
【００７０】
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。
（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の色度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。
【００７１】
（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した６枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。
【００７２】
[実施例４]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、触針式膜厚計ＶＥＥＣＯ社製デックタックOSP-1110にて測定した。測定は着色層形成用領域中央部を横断するように触針させ、各着色層形成用領域の最大膜厚を記録した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と上記最大膜厚値との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって最大膜厚分布を算出した。この最大膜厚分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の最大膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、最大膜厚データを測定したところ、最大膜厚の分布が収束することが確認された。そこで、下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。
【００７３】
（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。
【００７４】
（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。
【００７５】
（検査工程）
続いて、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により最大膜厚データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の最大膜厚データが、生産開始時の最大膜厚データと差が生じていないかを確認した。なお、４００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の最大膜厚が、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。
【００７６】
（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の最大膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。
（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した４枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。
【００７７】
[実施例５]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、Ｍｉｃｒｏｍａｐ社三次元非接触表面形状計測装置ｍｉｃｒｏｍａｐ５５７を用い測定した。測定は各着色層形成用領域（１画素）毎、すなわち１００μｍ×３００μｍの範囲における表面形状を計測し、そのエリアにおける平均膜厚を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と平均膜厚値との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって撮像し、平均膜厚分布を算出した。この平均膜厚分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の平均膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、平均膜厚データを測定したところ、平均膜厚の分布が収束することが確認された。そこで、下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。
【００７８】
（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。
【００７９】
（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。
【００８０】
（検査工程）
続いて、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により平均膜厚データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の平均膜厚データが、生産開始時の平均膜厚データと差が生じていないかを確認した。なお、６００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の平均膜厚が、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。
【００８１】
（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の平均膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。
（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した８枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。
【００８２】
[実施例６]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、Ｍｉｃｒｏｍａｐ社三次元非接触表面形状計測装置ｍｉｃｒｏｍａｐ５５７を用い測定した。測定は各着色層形成用領域（１画素）毎、すなわち１００μｍ×３００μｍの範囲における表面形状を計測し、そのエリアにおける着色層形成用塗工液の体積を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と体積との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって体積分布を算出した。この体積分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の体積の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、体積データを測定したところ、体積の分布が収束することが確認された。そこで、上記条件を用い、下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。
【００８３】
（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。
【００８４】
（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。
【００８５】
（検査工程）
続いて、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により体積データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の体積データが、生産開始時の体積データと差が生じていないかを確認した。なお、６００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の体積が、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。
【００８６】
（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の平均膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。
（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した８枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。
【００８７】
[実施例７]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔パルス幅と吐出速度との関係の把握〕
以下の方法により、パルス幅４μｓ、６μｓ、８μｓにて電圧を印加したときの各ノズルからの吐出速度を測定し、インクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅と吐出速度との関連を示す検量線を作成した。吐出速度の測定は、以下の方法により測定した。インクジェットヘッドの吐出周波数２ｋＨｚと同じ周波数にてストロボを発光させ、そのストロボ発光を照射したインク液滴の画像をＣＣＤにて撮像し、ストロボ発光をずらすことにより、インクジェットヘッドから吐出されてから１０μｓ後の着色層形成用塗工液の液滴の画像も取得した。これら２種類の画像の吐出液滴の位置と時間より、各ノズルからの吐出液滴の速度を算出した。
〔検量線作成用基板の作製〕
各着色層形成用領域に、着色層形成用塗工液を塗布する際、インクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅をそれぞれ４μｓ、６μｓ、および８μｓとし、各着色層形成用領域にそれぞれ１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布した以外は、上述した実施例１と同様に、３種類の検量線作成用基板を作製した。
〔検量線の作成〕
上記３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計ＬＣＦ−ｓｅｒｉｅｓにて測定し、測定値より色度Ｒｘ、Ｇｙ、Ｂｙを算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルに印加する電圧のパルス幅と色度の関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、インクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅を６μｓに設定し、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって色度分布を算出した。この色度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の色度の差を無くすために必要な、各インクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出されたインクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅にて、１３０滴ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、色度データを測定したところ、色度の分布が収束することが確認された。そこで、上記条件を用い、下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。
【００８８】
（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。
【００８９】
（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。
【００９０】
（検査工程）
続いて、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により測定し、色度データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の色度データが、生産開始時の色度データと差が生じていないかを確認した。なお、２００枚目および８００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の色度Ｂｙが、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
【００９１】
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。
（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の色度の差を無くすために必要な各ノズルに印加する電圧のパルス幅を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。
【００９２】
（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した６枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程を説明するフロー図である。
【図２】本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程を説明するフロー図である。
【図３】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を説明する工程図である。
【符号の説明】
【００９４】
１…カラーフィルタ用基板
２…着色層形成用塗工液
ａ…着色層形成用領域
【図１】
2007178958.tif 000003
【図２】
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【図３】
2007178958.tif 000005