(57)【要約】【課題】露光処理において、フォトマスクとフィルムキャリアテープの位置決めを、時間を要することなく正確に実施することができ、製品不良の発生を低減する。【解決手段】電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置にない状態で、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して、このアライメントマークの位置情報を記憶し、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出し、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算処理し、位置ずれ演算情報に基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置する。【選択図】図３
2007329183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光照射装置から照射した光をフォトマスクを通過させることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理するように構成した露光処理装置における露光位置制御装置であって、
露光照射装置を介して、光を照射することによって、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して記憶するアライメントマーク検出装置と、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置に搬送された際に、スプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するスプロケットホール検出装置と、
前記アライメントマーク検出装置で検出し記憶したフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、スプロケットホール検出装置で検出したスプロケットホールの位置情報データに基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算する位置情報演算処理装置と、
前記位置情報演算処理装置による位置ずれ演算情報に基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置するテープ移動制御装置と、
前記テープ移動制御装置によって、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理するとともに、
この露光状態で、アライメントマーク検出装置によって、フォトマスクのアライメントマークの位置情報を検出するとともに、記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報と比較し、
前記フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれているかを判断して、露光処理を制御する露光処理制御装置を備えることを特徴とする露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項２】
前記アライメントマーク検出装置に記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報が、
１ショット（ピース）目の電子部品実装用フィルムキャリアテープの露光については、電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置にない状態で、露光照射装置を介して、光を照射することによって、アライメントマーク検出装置によって、検出して、記憶したアライメントマークの位置情報であることを特徴とする請求項１に記載の露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項３】
前記アライメントマーク検出装置に記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報が、
２ショット（ピース）目からは、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、露光処理した際に、検出し、記憶した前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報であることを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載の露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項４】
前記露光処理制御装置が、フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれている場合に、露光処理装置を停止するように構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項５】
前記露光処理制御装置が、露光状態で検出した、フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれている場合に、警告表示を行うように構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項６】
前記露光処理制御装置が、前記露光状態で検出した、フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データのずれが所定の閾値以内である場合に、
前記記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データを、露光状態で検出した今回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データで置換して、露光処理装置による露光処理を繰り返し行うように制御する露光処理制御装置を備えることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項７】
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置するステージを備え、前記テープ移動制御装置によって、ステージを移動して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置するように構成されているとともに、
前記ステージに、カメラ用開口部が形成されており、このカメラ用開口部を介して、フォトマスクのアライメントマーク、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールをカメラによって撮像して、
このカメラの撮像を介して、アライメントマーク検出装置によって、フォトマスクのアライメントマークの位置情報を検出するとともに、スプロケットホール検出装置によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するように構成したことを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項８】
前記スプロケットホール検出装置による、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報の検出が、前記ステージの下方に配置したスプロケットホール検出用の光照射装置よりの光によって行われるように構成したことを特徴とする請求項７に記載の露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項９】
露光照射装置から照射した光をフォトマスクを通過させることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理する露光処理における露光位置制御方法であって、
露光照射装置を介して、光を照射することによって、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して、このアライメントマークの位置情報を記憶し、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置に搬送された際に、スプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出し、
前記記憶されたフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、検出したスプロケットホールの位置情報データに基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算処理し、
前記位置ずれ演算情報に基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置し、
前記露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理するとともに、
この露光状態で、アライメントマーク検出装置によって、フォトマスクのアライメントマークの位置情報を検出するとともに、記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報と比較し、
前記フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれているかを判断して、露光処理を制御することを特徴とする露光処理における露光位置制御方法。
【請求項１０】
前記アライメントマーク検出装置に記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報が、
１ショット（ピース）目の電子部品実装用フィルムキャリアテープの露光については、電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置にない状態で、露光照射装置を介して、光を照射することによって、アライメントマーク検出装置によって、検出して、記憶したアライメントマークの位置情報であることを特徴とする請求項９に記載の露光処理装置における露光位置制御方法。
【請求項１１】
前記アライメントマーク検出装置に記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報が、
２ショット（ピース）目からは、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、露光処理した際に、検出し、記憶した前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報であることを特徴とする請求項９から１０のいずれかに記載の露光処理装置における露光位置制御方法。
【請求項１２】
前記フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれている場合に、露光処理装置を停止することを特徴とする請求項９から１１のいずれかに記載の露光処理装置における露光位置制御方法。
【請求項１３】
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが、複数条の電子部品実装部予定部と、それぞれの電子部品実装部予定部の両側端に形成したスプロケットホールとを備え、両端にフィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホールを有しない電子部品実装用フィルムキャリアテープであることを特徴とする請求項１２に記載の露光処理における露光位置制御方法。
【請求項１４】
前記露光状態で検出した、フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれている場合に、警告表示を行うことを特徴とする請求項９から１３のいずれかに記載の露光処理における露光位置制御方法。
【請求項１５】
前記露光状態で検出した、フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データのずれが所定の閾値以内である場合に、
前記記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データを、露光状態で検出した今回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データで置換して、露光処理装置による露光処理を繰り返し行うように制御することを特徴とする請求項９から１４のいずれかに記載の露光処理における露光位置制御方法。
【請求項１６】
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報の検出が、前記ステージの下方に配置したスプロケットホール検出用の光照射装置よりの光によって行われることを特徴とする請求項９から１５のいずれかに記載の露光処理における露光位置制御方法。
【請求項１７】
露光照射装置から照射した光をフォトマスクを通過させることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理するように構成した露光処理装置における露光位置制御装置であって、
露光照射装置を介して、光を照射することによって、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して記憶するアライメントマーク検出装置と、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置に搬送された際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープのフォトレジスト面と反対側から、スプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールで反射された反射光に基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するスプロケットホール検出装置と、
前記アライメントマーク検出装置で検出し記憶したフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、スプロケットホール検出装置で検出したスプロケットホールの位置情報データに基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算する位置情報演算処理装置と、
前記位置情報演算処理装置による位置ずれ演算情報に基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置するテープ移動制御装置と、
前記テープ移動制御装置によって、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理する露光処理制御装置を備えることを特徴とする露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項１８】
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置するステージを備え、前記テープ移動制御装置によって、ステージを移動して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置するように構成されているとともに、
前記ステージに、カメラ用開口部が形成されており、このカメラ用開口部を介して、フォトマスクのアライメントマーク、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールをカメラによって撮像して、
このカメラの撮像を介して、アライメントマーク検出装置によって、フォトマスクのアライメントマークの位置情報を検出するとともに、スプロケットホール検出装置によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するように構成したことを特徴とする請求項１７に記載の露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項１９】
前記スプロケットホール検出装置による、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報の検出が、前記ステージの下方に配置したスプロケットホール検出用の光照射装置よりの光によって行われるように構成したことを特徴とする請求項１８に記載の露光処理装置における露光位置制御装置。
【請求項２０】
露光照射装置から照射した光をフォトマスクを通過させることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理する露光処理における露光位置制御方法であって、
露光照射装置を介して、光を照射することによって、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して、このアライメントマークの位置情報を記憶し、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置に搬送された際に、電子部品実
装用フィルムキャリアテープのフォトレジスト面と反対側から、スプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールで反射された反射光に基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出し、
前記記憶されたフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、検出したスプロケットホールの位置情報データに基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算処理し、
前記位置ずれ演算情報に基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置し、
前記露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理することを特徴とする露光処理における露光位置制御方法。
【請求項２１】
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置するステージを備え、ステージを移動して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置し、
前記ステージに、カメラ用開口部が形成されており、このカメラ用開口部を介して、フォトマスクのアライメントマーク、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールをカメラによって撮像して、
このカメラの撮像を介して、フォトマスクのアライメントマークの位置情報を検出するとともに、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するように構成したことを特徴とする請求項２０に記載の露光処理装置における露光位置制御方法。
【請求項２２】
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報の検出が、前記ステージの下方に配置したスプロケットホール検出用の光照射装置よりの光によって行われることを特徴とする請求項２１に記載の露光処理装置における露光位置制御方法。
【請求項２３】
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが、複数条の電子部品実装部予定部と、それぞれの電子部品実装部予定部の両側端に形成したスプロケットホールとを備え、両端にフィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホールを有しない電子部品実装用フィルムキャリアテープであることを特徴とする請求項２０から２２のいずれかに記載の露光処理における露光位置制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、電子部品実装用フィルムキャリアテープ（ＴＡＢ（Tape Automated
Bonding）テープ、Ｔ−ＢＧＡ（Tape Ball Grid Array）テープ、ＣＳＰ(Chip Size Package)テープ、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）テープ、ＣＯＦ（Chip on Film）テープ、２メタル（両面配線）テープ、多層配線用テープなど）（以下、単に「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」という）やロール・ツー・ロールで製造されるＦＰＣなどの製造において、露光照射装置から照射した光をフォトマスクを通過させることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理する露光処理装置における露光位置制御装置および露光処理における露光位置制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）チップ、ＬＳＩ（大規模集積回路）チップなどの電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望され、これら電子部品の実装方法として、最近ではＴＡＢテープ、ＣＯＦテープ、ＢＧＡテープおよびＡＳＩＣテープ、２メタル（両面配線）テープなどの電子部品実装用フィルムキャリアテープやＦＰＣを用いた実装方式が採用されている。
【０００３】
特に、パーソナルコンピュータやテレビなどのように高精細化画面、薄型化が要望されているＦＰＤ（Flat Panel Display）産業においてその重要性が高まっている。
従来より、このような電子部品実装用フィルムキャリアテープでは、例えば、ＴＡＢテープを製造する方法としては、下記のような工程を経て製造されている。
【０００４】
すなわち、先ず、ポリイミドフィルムのような基材となる絶縁フィルムにプレス機で所望の開孔を行った後、この絶縁フィルムに接着剤を介して銅層を熱圧着により貼着する。そして、この銅層の上面にフォトレジストを全面に塗布して、このフォトレジストをフォトマスクを使用して所望のパターン形状に紫外線により露光し、この露光されたフォトレジスト部分を現像液によって溶解除去する。このフォトレジストで覆われていない銅層部分を、エッチング液である酸で化学的に溶解（エッチング処理）して除去するとともに、フォトレジストをアルカリ液にて溶解除去することによって絶縁フィルム上に残った銅層により所望の配線パターンを形成する。
【０００５】
そして、実装時のゴミやウィスカー、マイグレーションによる短絡を防止し、配線間の保護並びに絶縁のために、配線パターンのうち、ＩＣチップなどのデバイス（電子部品）に接続されるインナーリードおよび液晶表示素子などに接続されるアウターリード部分を除いて、例えば、絶縁樹脂であるソルダーレジストを、スクリーン印刷法によりスキージを用いて塗布パターンの形成されたスクリーンを介して塗布した後、乾燥、硬化させて保護被覆層を形成している。
【０００６】
その後、露出したリード部分の酸化、変色を防止するとともに、リード部分に接続されるデバイスのバンプなどの接続部分との接着強度を確保するために、リード部分を、例えば、スズメッキ、金メッキ、鉛フリーのスズ合金メッキなどを施すことにより製造されている。
【０００７】
ところで、電子部品実装用フィルムキャリアテープとして、最近では、ＣＯＦ（チップ
オンフィルム（Chip On Film））と呼ばれる樹脂フィルムと導電性金属層とからなる２層テープで、デバイスホールがなくＩＣが実装されるタイプの電子部品実装用フィルムキャリアテープが普及している。
【０００８】
このＣＯＦテープでは、従来のようなデバイスホールが不要であり、テープ搬送用のスプロケット孔だけを穿設すれば良いので、デバイスホールなどをプレスする金型は不要である。従って、製品の種類が異なっても、スプロケットホールを穿設する標準の金型で対処が可能である。
【０００９】
このようなＣＯＦテープにおいて、最近では、生産性などの向上のために、図示しないが、一つの同一の幅広のフィルムに、複数条（複数列）に電子部品実装部（配線パターン部）を形成した複数条の電子部品実装用フィルムキャリアテープからなるフィルムキャリアテープを製造している。
【００１０】
そして、フィルムキャリアテープをスリットすることによって、複数条の電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造することが行われている。
この場合、露光処理前の樹脂フィルムと導電性金属層を積層し、フォトレジストを塗設したフィルムキャリアテープ２００では、図１０に示したように、複数条（複数列）の電子部品実装部（配線パターン部）予定部２０２と、それぞれの電子部品実装部予定部２０２の両側端に形成したスプロケットホール２０４を備えている。
【００１１】
また、フィルムキャリアテープ２００の両側端部には、フィルムキャリアテープ製造中にのみ使用され、電子部品実装工程では一般的に使用されないフィルムキャリアテープ搬送用（以下、「フィルムキャリアテープ製造搬送用」と言う）のスプロケットホール２０６が形成されている。
【００１２】
そして、フィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホール２０６の間には、電子部品実装部予定部２０２と対応する位置に、位置決め孔２０８が形成されている。
このようなフィルムキャリアテープ２００は、例えば、５０〜２００ｍの長さを有しており、搬送時に僅かながら蛇行するものである。このため、露光処理を行う場合に、配線パターンが形成されたフォトマスクのアライメントマークと、フィルムキャリアテープのスプロケットホールとを正確に位置決めしないと、配線パターンの位置ずれが生じてしまうことになる。特に、電子部品実装の際には、フィルムキャリアテープのスプロケットホールを基準にして、電子部品が実装されるため、このような配線パターンのずれは、電気的接続不良にもつながるおそれがある。
【００１３】
このため、特許文献１（特開平１−２９８３６２号公報）では、配線パターンが形成されたフォトマスクのアライメントマークと、フィルムキャリアテープのスプロケットホールとを正確に位置決めすることによって、露光処理を行う露光処理装置が開示されている。
【００１４】
すなわち、図１１に示したように、特許文献１の露光処理装置３００では、先ず、アパーチャ枠３０２に、フィルムキャリアテープを搬送しない状態で、ミラー３０４、３０６を投影光路外に退避させるようになっている。
【００１５】
そして、投影しようとするフォトマスク３０８を、所定の位置に装着し、露光用光源３１０から、図１１の矢印Ａで示したように、紫外線を照射して、フォトマスク３０８をアパーチャ面に投影して、投影されたフォトマスク３０８のアライメントマーク３１２、３１４の像の重心の位置を、撮影装置３１６、３１８によって、検出して記憶させるようになっている。
【００１６】
次いで、ミラー３０４、３０６を、図１１の位置に復帰させ、フィルムキャリアテープ３２０を、アパーチャ面に搬送して、所定の位置で停止させ、フィルムキャリアテープ３２０のスプロケットホール３２２、３２４を、アパーチャ枠の切欠部３２６、３２８内に位置させる。
【００１７】
この状態で、図１１の矢印Ｂで示したように、光源３３０、３３２から、フィルムキャリアテープ３２０に感光しない波長の光を照射して、フィルムキャリアテープ３２０のスプロケットホール３２２、３２４の重心の位置を、撮影装置３１６、３１８によって、検出して記憶させるようになっている。
【００１８】
そして、先に記憶したフォトマスク３０８のアライメントマーク３１２、３１４の像の重心の位置とのずれ量を算出し、その算出結果に応じて、図示しないθテーブル、Ｘ−Ｙテーブルを所要量移動させて、フィルムキャリアテープ３２０のスプロケットホール３２２、３２４の重心の位置を、フォトマスク３０８のアライメントマーク３１２、３１４の重心の位置に一致させた後、露光用光源３１０により、フォトマスク３０８の配線パターンを、フィルムキャリアテープ３２０上に投影して露光するように構成されている。
【特許文献１】特開平１−２９８３６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、このような特許文献１の露光処理装置３００では、フォトマスク３０８のアライメントマーク３１２、３１４の像の重心の位置を測定するための露光用光源３１０からの紫外線と、フィルムキャリアテープ３２０のスプロケットホール３２２、３２４の重心の位置を測定するための光源３３０、３３２からのフィルムキャリアテープ３２０に感光しない波長の光（例えば、赤外線）の光とは、屈折率が異なるものである。
【００２０】
このため、実際には、フィルムキャリアテープ３２０のスプロケットホール３２２、３２４の重心の位置と、フォトマスク３０８のアライメントマーク３１２、３１４の重心の位置とが正確に一致しないまま、露光処理が行われることになる。
【００２１】
従って、配線パターンが狭ピッチの場合、位置ずれが生じてしまうことになり、特に、電子部品実装の際には、フィルムキャリアテープのスプロケットホールを基準にして、電子部品が実装されるため、このような配線パターンのずれは、電気的接続不良にもつながるおそれがある。
【００２２】
さらに、特許文献１の露光処理装置３００では、このようにミラー３０４、３０６を投影光路外に退避、復帰させるために移動しなければならないために、装置自体としても複雑な構成が必要となり、しかも、移動時間などが必要であるので、作動時間がかかることになってしまう。
【００２３】
本発明は、このような現状に鑑み、フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置とフォトマスクのアライメントマークの位置との位置合わせを、露光と同じ紫外線を用いて正確に位置合わせすることができ、装置構成が複雑でなく、従来のように撮像装置を移動することなく、しかも、単一の撮像装置によって、フォトマスクとフィルムキャリアテープの位置決めを、時間を要することなく正確に実施することができ、製品不良の発生を低減することが可能な露光処理装置における露光位置制御装置および露光処理における露光位置制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置は、
露光照射装置から照射した光をフォトマスクを通過させることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理するように構成した露光処理装置における露光位置制御装置であって、
露光照射装置を介して、光を照射することによって、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して記憶するアライメントマーク検出装置と、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置に搬送された際に、スプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するスプロケットホール検出装置と、
前記アライメントマーク検出装置で検出し記憶したフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、スプロケットホール検出装置で検出したスプロケットホールの位置情報データに基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算する位置情報演算処理装置と、
前記位置情報演算処理装置による位置ずれ演算情報に基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置するテープ移動制御装置と、
前記テープ移動制御装置によって、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理するとともに、
この露光状態で、アライメントマーク検出装置によって、フォトマスクのアライメントマークの位置情報を検出するとともに、記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報と比較し、
前記フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれているかを判断して、露光処理を制御する露光処理制御装置を備えることを特徴とする。
【００２５】
また、本発明の露光処理における露光位置制御方法は、
露光照射装置から照射した光をフォトマスクを通過させることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理する露光処理における露光位置制御方法であって、
露光照射装置を介して、光を照射することによって、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して、このアライメントマークの位置情報を記憶し、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置に搬送された際に、スプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出し、
前記記憶されたフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、検出したスプロケットホールの位置情報データに基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算処理し、
前記位置ずれ演算情報に基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置し、
前記露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理するとともに、
この露光状態で、アライメントマーク検出装置によって、フォトマスクのアライメントマークの位置情報を検出するとともに、記憶された前回のフォトマスクのアライメントマ
ークの位置情報と比較し、
前記フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれているかを判断して、露光処理を制御することを特徴とする。
【００２６】
また、本発明では、前記アライメントマーク検出装置に記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報が、
１ショット（ピース）目の電子部品実装用フィルムキャリアテープの露光については、電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置にない状態で、露光照射装置を介して、光を照射することによって、アライメントマーク検出装置によって、検出して、記憶したアライメントマークの位置情報であることを特徴とする。
【００２７】
また、本発明では、
前記アライメントマーク検出装置に記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報が、
２ショット（ピース）目からは、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、露光処理した際に、検出し、記憶した前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報であることを特徴とする。
【００２８】
また、本発明では、前記フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれている場合に、露光処理装置を停止することを特徴とする。
【００２９】
このように構成することによって、例えば、露光作業開始にあたり、１ショット（ピース）目の電子部品実装用フィルムキャリアテープの露光については、電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置にない状態で、露光照射装置を介して、光を照射することによって、アライメントマーク検出装置によって、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して、このアライメントマークの位置情報を記憶するようになっている。
【００３０】
従って、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出する際には、電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置にない状態であるので、フォトマスクのアライメントマークの位置情報を検出するために、紫外線を使用したとしても、電子部品実装用フィルムキャリアテープのフォトレジストが露光されることがない。
【００３１】
また、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出する際には、例えば、電子部品実装用フィルムキャリアテープのフォトレジスト面と反対側である電子部品実装用フィルムキャリアテープの裏面に別途配置したスプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するために、紫外線を使用したとしても、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターン面側のフォトレジストが露光されることがない。
【００３２】
このため、従来は、フィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホールを有するフィルムキャリアテープの両端の配線パターン面側の領域を利用して、紫外線を用いて位置決めする場合もあったが、本発明によれば、フィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホール部分が存在しない電子部品実装用フィルムキャリアテープを使用することができるので、製品として使用できない部分であるフィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホール部分が存在しないか、または、最小限にすることができるので、フィ
ルムキャリアテープの材料が無駄になることがなく、コストを低減することができる。
【００３３】
また、このように記憶されたフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、スプロケットホール検出装置によって検出したスプロケットホールの位置情報データに基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算処理して、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置するようになっている。
【００３４】
従って、ミラーなどを光路から出し入れする必要がないので、フォトマスクとフィルムキャリアテープの位置決めを、時間を要することなく正確に実施することができるので、タクトタイムが短縮できる。
【００３５】
また、フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置とフォトマスクのアライメントマークの位置との位置合わせを、露光と同じ紫外線を用いて正確に位置合わせすることができるので、配線パターンのずれなどを防止することができ、製品不良の発生を低減することが可能である。
【００３６】
さらに、記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと今回の実際に露光した状態で検出したアライメントマークの位置情報データが所定の閾値（許容範囲）を超えてずれている場合に、すなわち、所定の許容範囲を超える位置ずれが発生した場合に、露光装置を停止するので、連続不良が発生するのを確実に防止することができる。
【００３７】
また、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置は、
前記露光処理制御装置が、露光状態で検出した、フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれている場合に、警告表示を行うように構成されていることを特徴とする。
【００３８】
また、本発明の露光処理における露光位置制御方法は、
前記露光状態で検出した、フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれている場合に、警告表示を行うことを特徴とする。
【００３９】
このように構成することによって、実際に露光した状態で検出したフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データが所定の閾値を超えてずれている場合に、警告表示を行うので、所定の許容範囲を超える位置ずれが発生した場合に、万一、露光装置が停止されない場合に、作業者が非常停止ボタンなどを操作することによって、確実に露光装置を停止することができ、連続不良が発生するのを確実に防止することができる。
【００４０】
また、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置は、
前記露光処理制御装置が、前記露光状態で検出した、フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データのずれが所定の閾値以内である場合に、
前記記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データを、露光状態で検出した今回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データで置換して、露光処理装置による露光処理を繰り返し行うように制御する露光処理制御装置を備えることを特徴とする。
【００４１】
また、本発明の露光処理における露光位置制御方法は、
前記露光状態で検出した、フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データのずれが所定の閾値以内である場合に、
前記記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データを、露光状態で検出した今回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データで置換して、露光処理装置による露光処理を繰り返し行うように制御することを特徴とする。
【００４２】
このように構成することによって、実際に露光した状態で検出したフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データのずれが所定の閾値以内である場合、すなわち、所定の許容範囲を超える位置ずれが発生していない場合には、記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データを、露光状態で検出した今回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データで置換するようになっている。
【００４３】
これにより、フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報データを、実際に露光で用いた紫外線によって測定した正確な電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報データに置き換えることができ、その結果、フォトマスクのアライメントマークの位置との位置合わせを、露光と同じ紫外線を用いて正確に位置合わせすることができるので、配線パターンにずれなどを防止することができ、製品不良の発生を低減することが可能である。
【００４４】
また、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置は、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置するステージを備え、前記テープ移動制御装置によって、ステージを移動して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置するように構成されているとともに、
前記ステージに、カメラ用開口部が形成されており、このカメラ用開口部を介して、フォトマスクのアライメントマーク、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールをカメラによって撮像して、
このカメラの撮像を介して、アライメントマーク検出装置によって、フォトマスクのアライメントマークの位置情報を検出するとともに、スプロケットホール検出装置によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するように構成したことを特徴とする。
【００４５】
このように電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置するステージを移動して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープを正確に露光位置に移動することができ、製品不良の発生を低減することが可能である。
【００４６】
このようにステージに形成したカメラ用開口部を介して、フォトマスクのアライメントマーク、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールをカメラによって撮像するので、単一の撮像装置（カメラ）によって得られた位置情報を演算処理することができ、撮像装置自体の位置のずれなどの影響を受けることなく、正確な位置情報を得ることができる。
【００４７】
しかも、撮像装置を移動する必要がないので、撮像装置自体の位置のずれが生じないので、正確な位置情報が得られる。
さらに、このように撮像装置を移動する必要がないので、装置自体としても簡単な構成
であり、しかも、移動時間などが不要であるので、作動時間を短縮することができる。
【００４８】
また、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置は、
前記スプロケットホール検出装置による、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報の検出が、前記ステージの下方に配置したスプロケットホール検出用の光照射装置よりの光によって行われるように構成したことを特徴とする。
【００４９】
また、本発明の露光処理における露光位置制御方法は、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報の検出が、前記ステージの下方に配置したスプロケットホール検出用の光照射装置よりの光によって行われることを特徴とする。
【００５０】
このように構成することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報の検出が、ステージの下方に配置したスプロケットホール検出用の光照射装置によって行われるので、露光処理を行う際に、光源が邪魔にならず、光源を移動する機構も不要で、処理時間も短縮することができるとともに、装置自体の構成も簡単になる。
【００５１】
また、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出する際には、ステージの下方に配置した、すなわち、電子部品実装用フィルムキャリアテープの裏面に別途配置したスプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するために、紫外線を使用したとしても、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターン面側のフォトレジストが露光されることがない。
【００５２】
また、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置は、
露光照射装置から照射した光をフォトマスクを通過させることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理するように構成した露光処理装置における露光位置制御装置であって、
露光照射装置を介して、光を照射することによって、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して記憶するアライメントマーク検出装置と、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置に搬送された際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープのフォトレジスト面と反対側から、スプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールで反射された反射光に基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するスプロケットホール検出装置と、
前記アライメントマーク検出装置で検出し記憶したフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、スプロケットホール検出装置で検出したスプロケットホールの位置情報データに基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算する位置情報演算処理装置と、
前記位置情報演算処理装置による位置ずれ演算情報に基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置するテープ移動制御装置と、
前記テープ移動制御装置によって、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理する露光処理制御装置を備えることを特徴とする。
【００５３】
また、本発明の露光処理における露光位置制御方法は、
露光照射装置から照射した光をフォトマスクを通過させることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理する露光処理における露光位置制御方法であって、
露光照射装置を介して、光を照射することによって、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して、このアライメントマークの位置情報を記憶し、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置に搬送された際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープのフォトレジスト面と反対側から、スプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールで反射された反射光に基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出し、
前記記憶されたフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、検出したスプロケットホールの位置情報データに基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算処理し、
前記位置ずれ演算情報に基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置し、
前記露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置した状態で、露光照射装置から光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ表面上に形成したフォトレジストを、所定の配線パターン形状に露光処理することを特徴とする。
【００５４】
このように、電子部品実装用フィルムキャリアテープのフォトレジスト面と反対側から、スプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールで反射された反射光に基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するために、紫外線を使用したとしても、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターン面側のフォトレジストが露光されることがない。
【００５５】
このため、従来は、フィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホールを有するフィルムキャリアテープの両端の配線パターン面側の領域を利用して、紫外線を用いて位置決めする場合もあったが、本発明によれば、フィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホール部分が存在しない電子部品実装用フィルムキャリアテープを使用することができるので、製品として使用できない部分であるフィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホール部分が存在しないか、または、最小限にすることができるので、フィルムキャリアテープの材料が無駄になることがなく、コストを低減することができる。
【００５６】
さらに、露光処理面である、電子部品実装用フィルムキャリアテープのフォトレジスト面側に、光源であるスプロケットホール検出用の光照射装置が存在しないので、露光処理を行う際に、光源が邪魔にならず、光源を移動する機構も不要で、処理時間も短縮することができるとともに、装置自体の構成も簡単になる。
【発明の効果】
【００５７】
本発明によれば、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出する際には、例えば、電子部品実装用フィルムキャリアテープの裏面に別途配置したスプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するために、紫外線を使用したとしても、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターン面側のフォトレジストが露光されることがない。
【００５８】
このため、従来は、フィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホールを有するフィルムキャリアテープの両端の配線パターン面側の領域を利用して、紫外線を用いて位置決めする場合もあったが、本発明によれば、フィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホール部分が存在しない電子部品実装用フィルムキャリアテープを使用することができるので、製品として使用できない部分であるフィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホール部分が存在しないか、または、最小限にすることができるので、フィルムキャリアテープの材料が無駄になることがなく、コストを低減することができる。
【００５９】
また、フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置とフォトマスクのアライメントマークの位置との位置合わせを、露光と同じ紫外線を用いて正確に位置合わせすることができるので、配線パターンにずれなどを防止することができ、製品不良の発生を低減することが可能である。
【００６０】
また、ミラーなどを光路から出し入れする必要がないので、フォトマスクとフィルムキャリアテープの位置決めを、時間を要することなく正確に実施することができるので、タクトタイムが短縮できる。
【００６１】
さらに、フォトマスクのアライメントマークの位置情報データと電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報データが所定の閾値（許容範囲）を超えてずれている場合に、すなわち、所定の許容範囲を超える位置ずれが発生した場合に、露光装置を停止するので、連続不良が発生するのを確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６２】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１は、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置の実施例の概略図、図２は、図１で用いる電子部品実装用フィルムキャリアテープの実施例の上面図である。
【００６３】
図１において、１０は全体で、本発明の露光位置制御装置を適用した露光処理装置を示している。
図１に示したように、露光処理装置１０は、後述する電子部品実装用フィルムキャリアテープ１を載置するためのステージ１２を備えており、このステージ１２の上方には、投影レンズ１４が配置されている。
【００６４】
そして、この投影レンズ１４の上方には、フォトマスク用ステージ１６によって、配線パターン１８が形成されたフォトマスク２０が配置されている。なお、このフォトマスク２０には、位置決め用のアライメントマーク２２が形成されている。
【００６５】
そして、フォトマスク２０の上方には、露光照射装置２４が配置されている。
一方、ステージ１２には、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１の両端部のスプロケットホール３に対応する位置に、開口部（切欠部）２１が形成されており、その内部にミラー２６が配置されている。
【００６６】
また、この開口部２１の外側方には、撮像装置２８が備えられている。この撮像装置２８は、光路３０の途中に配設した照明用のハーフミラー３２と、ＣＣＤカメラ３４を備えている。また、撮像装置２８には、その下方側方に、スプロケットホール検出用の照明装置３６が備えられている。
【００６７】
なお、図１では、説明の便宜上、片側のみ、撮像装置２８を配置しているが、両側にこれらの構成部材を配置することが可能である。以下の説明については、片側について説明する。
【００６８】
また、この露光処理装置１０で用いられる電子部品実装用フィルムキャリアテープ１は、露光処理前の樹脂フィルムと導電性金属層を積層し、フォトレジストを塗設した電子部品実装用フィルムキャリアテープ１である。
【００６９】
そして、図２に示したように、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１は、複数条（複数列）の電子部品実装部（配線パターン部）予定部２と、それぞれの電子部品実装部予定部２の両側端に形成したスプロケットホール３とを備えている。
【００７０】
また、この電子部品実装用フィルムキャリアテープ１は、図１０に示したようなフィルムキャリアテープ２００とは相違して、両端にフィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホール２０６が形成されていないものである。
【００７１】
このように構成される露光処理装置１０では、以下のようにして、露光位置制御が行われるようになっている。
先ず、図３および図９−Ａおよび図９−Ｂのフローチャートに示したように、ステップＳ１において、フォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報を取り込む。
【００７２】
すなわち、ステップＳ１において、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１をステージ１２上に載置していない（搬送されていない）状態にする。
この状態で、ステップＳ２において、アライメントマーク検出用の露光照射装置２４から、紫外線を照射する。
【００７３】
これによって、図３の矢印Ａで示したように、照射された紫外線が、フォトマスク２０のアライメントマーク２２を通過して、投影レンズ１４に入り屈折される。
そして、投影レンズ１４を通過した紫外線は、ステージ１２の開口部２１に入射して、その内部に配置されたミラー２６によって９０°の角度で方向が変わるように反射されて、光路３０に入る。
【００７４】
この光路３０に入射した紫外線は、ハーフミラー３２を透過して、撮像装置２８に到達する。
そして、ステップＳ３において、この撮像装置２８では、図４（Ａ）に示したように、フォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報を取り込み、例えば、画像枠４０上において、フォトマスク２０のアライメントマーク位置Ｘ１としてプロットされることになる。
【００７５】
なお、このステップＳ３において、図４（Ｂ）に示したように、フォトマスク２０のアライメントマーク位置Ｘ１’のように、画像枠４０上において、フォトマスク２０のアライメントマーク位置が、画像枠中心Ｏからずれている場合には、フォトマスク２０のアライメントマーク位置Ｘ１’を、画像枠中心Ｏになるように位置情報データを補正して、フォトマスク２０のアライメントマーク位置Ｘ１にするようにすればよい。そして、この補正データを、以後のステップにおいて用いるようにすればよい。
【００７６】
そして、ステップＳ４において、このフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ１をコンピュータなどの制御装置の記憶装置に記憶しておく。
次に、ステップＳ５において、露光照射装置２４から、紫外線を照射を停止する。
【００７７】
そして、ステップＳ６において、図５に示したように、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１をステージ１２上に載置した（搬送した）状態にする。
この状態で、ステップＳ７において、撮像装置２８のスプロケットホール検出用の照明
装置３６から、紫外線を照射する。
【００７８】
この場合、図５に示したように、スプロケットホール検出用の照明装置３６から照射された紫外線は、図５の矢印Ｂで示したように、光路３０の途中の照明用のハーフミラー３２によって、９０°の角度で方向が変わるように反射されて、光路３０の中を進むようになっている。
【００７９】
そして、紫外線は、ステージ１２の開口部２１の内部に配置されたミラー２６によって９０°の角度で方向が上方向になるように反射されて、ステージ１２の開口部２１の上面に位置する電子部品実装用フィルムキャリアテープ１の端部のスプロケットホール３に照射される。
【００８０】
このようにスプロケットホール３に照射された紫外線は、スプロケットホール３に反射されて、ステージ１２の開口部２１から、ステージ１２の開口部２１の内部に配置されたミラー２６によって９０°の角度で方向が変えられて、光路３０内を、照明用のハーフミラー３２を透過して、撮像装置２８に到達する。
【００８１】
そして、ステップＳ８において、この撮像装置２８では、図６（Ａ）に示したように、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１の端部のスプロケットホール３の位置情報を取り込み、例えば、画像枠４２上において、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１のスプロケットホール位置Ｙ１としてプロットされることになる。
【００８２】
次に、ステップＳ９において、上記のようにコンピュータなどの制御装置の記憶装置に記憶されたフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ１と、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１のスプロケットホール位置情報Ｙ１との位置を演算処理する。
【００８３】
これによって、図６（Ｂ）に示したように、例えば、フォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置Ｘ２と電子部品実装用フィルムキャリアテープ１のスプロケットホール位置Ｙ２が、仮想画像枠４４上にプロットされる。
【００８４】
そして、ステップＳ１０において、図６（Ｂ）に示したように、仮想画像枠４４上において、フォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置Ｘ２と、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１のスプロケットホール位置Ｙ２とが、位置がすれている場合には、これらの位置情報に基づいて演算処理することにより、制御装置によって、図６（Ｂ）の矢印Ｃで示したように、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１のスプロケットホール位置Ｙ２が、フォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置Ｘ２と中心が重なるように、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１を載置しているステージ１２を移動させる（図６（ｃ）参照）。
【００８５】
これによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１の電子部品実装部予定部２の位置と、フォトマスク２０の配線パターン１８の位置が位置合わせされることになる。
そして、ステップ１１において、この状態で、図７に示したように、露光照射装置２４から紫外線を照射することによって、フォトマスク２０に形成された配線パターン１８が、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１の電子部品実装部予定部２上のフォトレジストに露光されるようになっている。
【００８６】
なお、ステップＳ１０において、仮想画像枠４４上において、フォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置Ｘ２と、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１のスプロケットホール位置Ｙ２とが、位置がすれていない場合には、ステップ１１に進み、露光照射
装置２４から紫外線を照射することによって、フォトマスク２０に形成された配線パターン１８が、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１の電子部品実装部予定部２上のフォトレジストに露光されるようになっている。
【００８７】
そして、ステップＳ１２において、露光照射装置２４から紫外線を照射した露光状態で、フォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３を取り込む。
すなわち、露光照射装置２４から紫外線を照射した露光状態で、照射された紫外線は、図７の矢印Ｄに示したように、フォトマスク２０のアライメントマーク２２を通過するとともに、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１の端部のスプロケットホール３を通過して、ステージ１２の開口部２１から、ステージ１２の開口部２１の内部に配置されたミラー２６によって９０°の角度で方向が変えられて、光路３０内を、照明用のハーフミラー３２を透過して、撮像装置２８に到達する。
【００８８】
次に、ステップＳ１３において、ステップＳ１２において取り込まれフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３と、ステップＳ４において取り込まれたフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ１とを、図８（Ａ）に示したように、例えば、画像枠４６上において比較する。
【００８９】
なお、２ピース目からは、ステップＳ１３において、今回ステップＳ１２において取り込まれフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３と、前回のステップＳ１２において取り込まれたフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３とを、図８（Ａ）に示したように、例えば、画像枠４６上において比較する。
【００９０】
そして、ステップＳ１４において、図８（Ａ）に示したように、ステップＳ１２において取り込まれたフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３と、ステップＳ４において取り込まれたフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ１とが、所定の閾値Ｅを超えてずれているかどうか比較される。
【００９１】
なお、２ピース目からは、今回ステップＳ１２において取り込まれフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３と、前回のステップＳ１２において取り込まれたフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３とが、所定の閾値Ｅを超えてずれているかどうか比較される。
【００９２】
そして、所定の閾値Ｅを超えている場合にはステップ１５に進み、露光処理制御装置によって、露光処理装置を停止する。
一方、図８（Ｂ）に示したように、ステップＳ１２において取り込まれフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３と、ステップＳ４において取り込まれたフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ１とが、所定の閾値Ｅ以下である場合には、ステップＳ４において取り込まれたフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ１を、ステップＳ１２において取り込まれフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３で置換して、すなわち、Ｘ３をＸ１に代入することによって、ステップ６に戻り、連続的に露光処理が繰り返されるようになっている。
【００９３】
なお、２ピース目からは、ステップＳ１２において取り込まれフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３と、前回のステップＳ１２において取り込まれたフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３とが、所定の閾値Ｅ以下である場合には、今回ステップＳ１２において取り込まれフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３と、前回のステップＳ１２において取り込まれたフォトマスク２０のアライメントマーク２２の位置情報Ｘ３で置換することによって、ステップ６に戻り、連続的に露光処理が繰り返されるようになっている。
【００９４】
このように構成することによって、露光作業開始にあたり、１ショット（ピース）目の電子部品実装用フィルムキャリアテープの露光については、電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置にない状態で、露光照射装置を介して、光を照射することによって、アライメントマーク検出装置によって、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出して、このアライメントマークの位置情報を記憶するようになっている。
【００９５】
従って、フォトマスクに形成したアライメントマークの位置情報を検出する際には、電子部品実装用フィルムキャリアテープが露光位置にない状態であるので、フォトマスクのアライメントマークの位置情報を検出するために、紫外線を使用したとしても、電子部品実装用フィルムキャリアテープのフォトレジストが露光されることがない。
【００９６】
また、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出する際には、例えば、電子部品実装用フィルムキャリアテープのフォトレジスト面と反対側である電子部品実装用フィルムキャリアテープの裏面に別途配置したスプロケットホール検出用の光照射装置を介して、光を照射するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置情報を検出するために、紫外線を使用したとしても、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターン面側のフォトレジストが露光されることがない。
【００９７】
このため、従来は、フィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホールを有するフィルムキャリアテープの両端の配線パターン面側の領域を利用して、紫外線を用いて位置決めする場合もあったが、本発明によれば、フィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホール部分が存在しない電子部品実装用フィルムキャリアテープを使用することができるので、製品として使用できない部分であるフィルムキャリアテープ製造搬送用のスプロケットホール部分が存在しないか、または、最小限にすることができるので、フィルムキャリアテープの材料が無駄になることがなく、コストを低減することができる。
【００９８】
また、このように記憶されたフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと、スプロケットホール検出装置によって検出したスプロケットホールの位置情報データに基づいて、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置ずれを演算処理して、フォトマスクのアライメントマークとスプロケットホールの位置が一致するように、電子部品実装用フィルムキャリアテープの位置を移動させて、露光処理位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを配置するようになっている。
【００９９】
従って、ミラーなどを光路から出し入れする必要がないので、フォトマスクとフィルムキャリアテープの位置決めを、時間を要することなく正確に実施することができるので、タクトタイムが短縮できる。
【０１００】
また、フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置とフォトマスクのアライメントマークの位置との位置合わせを、露光と同じ紫外線を用いて正確に位置合わせすることができるので、配線パターンのずれなどを防止することができ、製品不良の発生を低減することが可能である。
【０１０１】
さらに、記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと今回の実際に露光した状態で検出したアライメントマークの位置情報データが所定の閾値（許容範囲）を超えてずれている場合に、すなわち、所定の許容範囲を超える位置ずれが発生した場合に、露光装置を停止するので、連続不良が発生するのを確実に防止することができる。
【０１０２】
また、記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データと今回の実際に露光した状態で検出したアライメントマークの位置情報データのずれが所定の閾値以内である場合、すなわち、所定の許容範囲を超える位置ずれが発生していない場合には、記憶された前回のフォトマスクのアライメントマークの位置情報データを、今回の際に露光した状態で検出したアライメントマークの位置情報データで置換するようになっている。
【０１０３】
これにより、フィルムキャリアテープが置かれていない状態で取り込んだアライメントマークの位置情報データを、実際に露光で用いた紫外線によって測定した正確なフォトマスクのアライメントマークの位置情報データに置き換えることができ、その結果、電子部品実装用フィルムキャリアテープのスプロケットホールの位置との位置合わせを、露光と同じ紫外線を用いて正確に位置合わせすることができるので、配線パターンにずれなどを防止することができ、製品不良の発生を低減することが可能である。
【０１０４】
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、上記実施例では、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１は、複数条（複数列）の電子部品実装部（配線パターン部）予定部２と、それぞれの電子部品実装部予定部２の両側端に形成したスプロケットホール３とを備えたものを用いたが、単一条の電子部品実装部（配線パターン部）予定部２を有するものを用いることもできる。
【０１０５】
なお、撮像装置２８をステージ１２の下にセットするようにしても良い。
また、上記の実施例では、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１を水平方向に搬送する場合に用いたが、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１を垂直方向に搬送して、露光処理装置１０で露光する場合にも用いることも可能であるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】図１は、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置の実施例の概略図である。
【図２】図２は、図１で用いる電子部品実装用フィルムキャリアテープの実施例の上面図である。
【図３】図３は、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置の露光位置制御方法を説明する概略図である。
【図４】図４は、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置の露光位置制御方法を説明する概略図である。
【図５】図５は、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置の露光位置制御方法を説明する概略図である。
【図６】図６は、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置の露光位置制御方法を説明する概略図である。
【図７】図７は、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置の露光位置制御方法を説明する概略図である。
【図８】図８は、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置の露光位置制御方法を説明する概略図である。
【図９−Ａ】図９−Ａは、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置の露光位置制御方法を説明するフローチャート図である。
【図９−Ｂ】図９−Ｂは、本発明の露光処理装置における露光位置制御装置の露光位置制御方法を説明するフローチャート図である。
【図１０】図１０は、従来の露光処理装置で用いる電子部品実装用フィルムキャリアテープの上面図である。
【図１１】図１１は、従来の露光処理装置における露光位置制御装置の露光位置制御方法を説明する概略図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１    電子部品実装用フィルムキャリアテープ
２    電子部品実装部予定部
３    スプロケットホール
１０  露光処理装置
１２  ステージ
１４  投影レンズ
１６  フォトマスク用ステージ
１８  配線パターン
２０  フォトマスク
２１  開口部
２２  アライメントマーク
２４  露光照射装置
２５  光照射装置
２６  ミラー
２８  撮像装置
３０  光路
３２  ハーフミラー
３４  カメラ
３６  照明装置
４０  画像枠
４２  画像枠
４４  仮想画像枠
４６  画像枠
２００      フィルムキャリアテープ
２０２      電子部品実装部予定部
２０４      スプロケットホール
２０６      スプロケットホール
２０８      位置決め孔
３００      露光処理装置
３０２      アパーチャ枠
３０４、３０６    ミラー
３０８      フォトマスク
３１０      露光用光源
３１２、３１４    アライメントマーク
３１６、３１８    撮影装置
３２０      フィルムキャリアテープ
３２２、３２４    スプロケットホール
３２６、３２８    切欠部
３３０、３３２    光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007329183.tif 000009
【図８】
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【図９−Ａ】
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【図９−Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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