(57)【要約】【課題】  大型品でありながら、軽量化で且つ高剛性を有するセラミックス構造体を提供することを目的としている。【解決手段】  本発明では、少なくとも片面に複数の連続する溝部が形成された凹凸面を有するセラミックスからなる平板と、前記凹凸面に対向する平坦面を有するセラミックスからなる平板を互いに一体に接合したことを特徴とするセラミックス構造体であり、また、前記溝部が断面半円状とし、前記凹凸面に形成された溝部と隣接する溝部とが平坦部を介して連続していることを特徴とするセラミックス構造体とした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも片面に複数の連続する溝部が形成された凹凸面を有するセラミックスからなる平板と、前記凹凸面に対向する平坦面を有するセラミックスからなる平板を互いに一体に接合したことを特徴とするセラミックス構造体。
【請求項２】
前記溝部が断面半円状であることを特徴とする請求項１記載のセラミックス構造体。
【請求項３】
前記凹凸面に形成された溝部と隣接する溝部とが平坦部を介して連続していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のセラミックス構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、定盤などに利用されるセラミックスの構造体に係り、特に軽量でありながら強度に優れたセラミックス構造体に関する発明である。 
【背景技術】
【０００２】
半導体、液晶の製造・検査装置において、耐熱、高剛性、高強度などの優れた性質を有することからセラミックスが構造部材として、広く利用されている。
【０００３】
近年、液晶の大型化などに伴い、製造装置に利用されるセラミックス構造部材もそれぞれが大型化してきている。また、半導体装置では、LSIの高集積化により微細化が進み、回路線幅が年々微細化されてきている。こうした線幅の微細化に伴い、露光装置や検査装置では、ウエハを載置するステージが、高速で移動しながら、高精度の位置決めが要求されようになっている。
【０００４】
液晶での構造部材の大型化は装置の組み付け負荷の増大、装置全体の重量アップにつながり、装置の搬送・移動に大きな負荷を要するようになった。また、高精度の位置決めには、構成部材の軽量化は重要な課題である。
【０００５】
そのような課題に対して、棒材と板材を組み合わせ、それらを相互に接合する提案がなされている。（例えば、特許文献１）
【特許文献１】実開平２−９００７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記した提案は、大型品を効果的に軽量化できる点ですぐれているものの、高剛性を得る為には、平板を支持する棒材の数を多くして、平板の支持部分を多くしなければならず、また、接合時の棒材の位置決め不良、接合不良を引き起こし、強度が低下する問題が生じる。接合面全てに研削加工、寸法合せ、ある程度の精度仕上が必要となりコストアップとなる。
そこで、本発明は、大型品でありながら、軽量化で且つ高剛性を有するセラミックス構造体を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために請求項１記載の発明は、少なくとも片面に複数の連続する溝部が形成された凹凸面を有するセラミックスからなる平板と、前記凹凸面に対向する平坦面を有するセラミックスからなる平板を互いに一体に接合したことを特徴とするセラミックス構造体とすることを特徴としている。
【０００８】
このように構成された本発明によれば、複数の溝を形成することセラミックス材料の肉抜きの効果により軽量化が図れ、また、溝部が形成されている凹凸面にもう1枚の平板の平坦面を積層するだけで上下の平板を支持している部分を十分に取ることができ、高剛性を確保できる。
【０００９】
また、請求項２記載の発明は、前記溝部が断面半円状であることを特徴とすることで、平板成形を鋳込成形等の湿式成形を利用した場合の溝部の乾燥収縮による歪を緩和できるので、乾燥によるクラック発生を極力防止できる。
【００１０】
また、請求項３記載の発明は、前記凹凸面に形成された溝部と隣接する溝部とが平坦部を介して連続していることを特徴とすることで、平坦面との支持面積を多く確保でき、平板相互の接合強度を向上できると共にステージ面となる平板の平面度精度良く確保できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、大型品でありながら、軽量化で且つ高剛性を有するセラミックス構造体を提供できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。
図１は、本発明のセラミックス構造体を示す外観図である。
【００１３】
参照符号１は、セラミックス構造体であり、２つのセラミックスからなる平板を接合して構成されている。図１において、下側の平板２は、片面に溝部２ａが形成された凹凸面を有している。溝部２ａは、断面半円状で、平板２の長手方向に複数、それぞれが略平行して連続して形成されている。また、それぞれの溝部２ａは、平坦部２ｂを介しており、平板２の両端は、平坦部で終了している。このように平坦部を形成すること、更に、平板の両端を平坦部で終了させることは、十分な接合強度を確保できるので、望ましい形態である。また、上側の平板３は、両面とも平坦面を有する平板である。
【００１４】
図２は、上記した片面に凹凸面を有する平板２を複数積層し、厚みのあるセラミックス構造体１０を形成した場合の外観図である。
【００１５】
溝部２ａが形成されている凹凸面は、平板２の反対面の平坦面を対向面として互いに接合され、且つ、それぞれの溝部２ａの方向を交差するように形成している。このように溝部２ａの位置関係を交差させることで、セラミック構造体１０の厚み方向の溝部が形成する空間を極力少なくして、部分的に強度が低下するのを防止している。
なお、溝部が形成する空間は、むくの平板の１０〜７０％程度、溝部の大きさは平板の高さの１／４〜３／４、幅は高さの２倍以内、平坦部は、平板高さの２／３以下程度が、十分な剛性を確保できる点で、望ましい。
【００１６】
次に、本発明のセラミックス構造体の製造方法について、説明する。
本発明に利用されるセラミックス材料は、アルミナ、ジルコニア、窒化珪素、炭化珪素、ムライトなど適宜使用可能である。
【００１７】
これらのセラミックス材料をプレス成形により乾式成形や鋳込成形などによる湿式成形により、凹凸面を有する平板、平坦面を有する平板を成形したのち、それらを適宜組み合わせて積層し、積層体を焼成することで、セラミックス構造体を形成する。
鋳込み成形などの湿式成形によって、成形された成形体を積層する際には、鋳込み成形に利用したスラリーを接合面に予め塗布することにより、焼成後、接合面が効果的に接合さるので、望ましい方法である。このように焼成前に接合を行なう為、接合面の機械加工が不要になる。また、湿式成形により両面平坦面を有する平板を後加工で削ることで、溝部を形成し、凹凸面を有する平板を形成することができる。
【００１８】
なお、平板の形状は矩形に限らず、曲面を有するものなど装置に応じて適宜形状とすることが可能である。
また、凹凸面は、平板の両面に設けても良い。両面に設けることで、更に軽量化することができるので、望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態を示す外観図である。
【図２】本発明の他の実施形態を示す外観図である。
【符号の説明】
【００２０】
１…セラミックス構造体
２…凹凸面を有する平板
２ａ…溝部
２ｂ…平坦部
３…平板面を有する平板
１０…セラミックス構造体
【図１】
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【図２】
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