(57)【要約】【課題】  １つの電源で複数の陽極酸化の条件に対応できるようにする。【解決手段】  陽極酸化装置１０は、電解液４４を貯留した処理槽１８と、処理槽１８の内部に配置したウエハ４８と陰極４６との間に電圧を印加する電源ユニット１６と、制御ユニット１４とを備えている。制御ユニット１４は、処理槽１８の内部に配置した複数のウエハ４８に対応した陽極酸化条件を記憶するデータ記憶部２８を有する。さらに、陽極酸化装置１０は、複数のウエハ４８を切り替えて電源ユニット１６に接続する切替え部２０を有する。制御ユニット１４の陽極酸化制御部３４は、データ記憶部２８が記憶している陽極酸化条件を読み出し、切替え部２０と電源ユニット１６とを制御して複数のウエハ４８を順次陽極酸化する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解液を貯留した処理槽と、
前記処理槽の内部に配置したワークと陰極との間に電圧を印加する電源と、
前記処理槽の内部に配置した複数のワークに対応した陽極酸化条件を記憶する記憶部と、
前記複数のワークを切り替えて前記電源に接続する切替え部と、
前記記憶部が記憶している前記陽極酸化条件を読み出し、前記切替え部と前記電源とを制御して前記複数のワークを順次陽極酸化する制御部と、
を有していることを特徴とする陽極酸化装置。
【請求項２】
請求項１に記載の陽極酸化装置において、
前記制御部は、前記記憶部内を検索して陽極酸化電圧の低い順に前記ウエハを抽出し、前記切替え部を介して抽出した前記ウエハを前記電源に切替え接続し、前記ウエハを前記陽極酸化電圧の低い順から陽極酸化することを特徴とする陽極酸化装置。
【請求項３】
請求項１に記載の陽極酸化装置において、
前記制御部は、
Ａ：前記記憶部を検索して前記ウエハの最も低い陽極酸化電圧を抽出する処理と、
Ｂ：前記電源の出力電圧を最も低い陽極酸化電圧にしてすべての前記ウエハを陽極酸化する処理と、
Ｃ：この陽極酸化電圧による陽極酸化を終了したときに、この陽極酸化電圧に対応した前記ウエハを、前記切替え部を介して前記電源から切り離す処理と、
Ｄ：前記記憶部を検索して次に高い陽極酸化電圧を抽出する処理と、
Ｅ：前記電源の出力電圧を抽出した前記次に高い陽極酸化電圧に上昇させて残りの前記ウエハを陽極酸化する処理と、
Ｆ：前記Ｃないし前記Ｅの処理を繰り返す、
ことを特徴とする陽極酸化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルミニウム（アルミ）またはアルミ系合金などを陽極酸化する陽極酸化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
弾性表面波（Surface Acoustic Wave：ＳＡＷ）フィルタ、弾性表面波共振器などのＳＡＷデバイスを形成する弾性表面波素子片は、櫛型電極によりすだれ状に形成したＩＤＴ（Interdigital Transducer）を備えている。そして、弾性表面波素子片の共振周波数（以下、単に周波数ということがある）は、基本的にＩＤＴを構成している電極指の形成ピッチに依存しているが、圧電基板の性状、電極膜厚の厚さなどの影響を受ける。したがって、弾性表面波素子片は、ＩＤＴを形成したのちに、所定の共振周波数がえられるように周波数を調整しなければならないことがしばしばある。また、近年は、電子機器の高周波化に伴ってＩＤＴが微細化しており、塵埃などの異物の付着によってＩＤＴが短絡するおそれがある。このため、アルミまたはアルミ系合金によって形成したＩＤＴを陽極酸化して弾性表面波素子の周波数調整とＩＤＴの保護とを図ることが行なわれている（例えば、特許文献１、特許文献２）。
【特許文献１】特開１０−１０７５６９号公報
【特許文献２】特開１１−３３０８８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来、弾性表面波素子片の製造工程における陽極酸化は、水晶などの圧電体ウエハに複数のＩＤＴを形成し、ウエハの状態でＩＤＴの陽極酸化を行なっている。しかし、同じバッチのウエハであっても、ＩＤＴの電極膜厚のばらつきなどにより周波数がばらつき、周波数調整するための陽極酸化の条件（陽極酸化電圧）がウエハごとに異なってくる。このため、従来は、同じバッチのウエハであっても、ウエハを１枚ずつ陽極酸化して周波数調整を行なっていた。そして、複数枚のウエハを同時に陽極酸化する場合、ウエハの枚数に対応した電源と処理槽とを用意する必要があり、大きなコストと広いスペースを必要とする。また、ウエハの枚数に対応した電源を用意して個別に陽極酸化の条件を設定する必要があるため、陽極酸化処理の自動化が困難であった。
本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、１つの電源で複数の陽極酸化の条件に対応できるようにすることを目的としている。
また、本発明は、複数のウエハを自動的に陽極酸化できるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の目的を達成するために、本発明に係る陽極酸化装置は、電解液を貯留した処理槽と、前記処理槽の内部に配置したワークと陰極との間に電圧を印加する電源と、前記処理槽の内部に配置した複数のワークに対応した陽極酸化条件を記憶する記憶部と、前記複数のワークを切り替えて前記電源に接続する切替え部と、前記記憶部が記憶している前記陽極酸化条件を読み出し、前記切替え部と前記電源とを制御して前記複数のワークを順次陽極酸化する制御部と、を有していることを特徴としている。
【０００５】
このようになっている本発明は、切替え部によってワークを選択的に電源に接続するようにしているため、１つの電源と処理層とによって複数の陽極酸化の条件に対応することができ、設備費の軽減と省スペース化を図ることができる。また、制御部によって記憶部に記憶させた陽極酸化の条件を読み出して陽極酸化をするようになっているため、複数のワークを自動的に陽極酸化することができる。
【０００６】
前記制御部は、前記記憶部内を検索して陽極酸化電圧の低い順に前記ウエハを抽出し、前記切替え部を介して抽出した前記ウエハを前記電源に切替え接続し、前記ウエハを前記陽極酸化電圧の低い順から陽極酸化するように構成できる。処理槽に配置したワークを端から順に陽極酸化してもよいが、同一陽極酸化条件のワークを抽出してまとめて陽極酸化することにより、陽極酸化を効率的に行なうことができる。
【０００７】
また、前記制御部は、Ａ：前記記憶部を検索して前記ウエハの最も低い陽極酸化電圧を抽出する処理と、Ｂ：前記電源の出力電圧を最も低い陽極酸化電圧にしてすべての前記ウエハを陽極酸化する処理と、Ｃ：この陽極酸化電圧による陽極酸化を終了したときに、この陽極酸化電圧に対応した前記ウエハを、前記切替え部を介して前記電源から切り離す処理と、Ｄ：前記記憶部を検索して次に高い陽極酸化電圧を抽出する処理と、Ｅ：前記電源の出力電圧を抽出した前記次に高い陽極酸化電圧に上昇させて残りの前記ウエハを陽極酸化する処理と、Ｆ：前記Ｃないし前記Ｅの処理を繰り返す、ように構成できる。このようになっている本発明は、陽極酸化電圧の低いワークの陽極酸化を行なう際に、より陽極酸化電圧の高いワークを一緒に陽極酸化するため、すべてのワークを陽極酸化する時間を大幅に短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明に係る陽極酸化装置の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係る陽極酸化装置のブロック図である。なお、以下においては、水晶などの圧電体ウエハに多数形成された弾性表面波素子片のＩＤＴを陽極酸化して周波数調整を行なう場合を例にして説明する。
【０００９】
図１において、陽極酸化装置１０は、入力部１２、制御ユニット１４、電源ユニット１６、処理槽１８、切替え部２０、電圧検出部（電圧計）２２、電流検出部（電流計）２４を備えている。入力部１２は、キーボードやマウスなどによって構成してあり、後述するように、制御ユニット１４に陽極酸化するウエハの番号や、このウエハに形成した弾性表面波素子片の共振周波数、目標共振周波数などを入力できるようになっている。
【００１０】
制御ユニット１４は、酸化電圧演算部２６、データ記憶部２８、酸化電流値設定部３０、終点検出部３２、陽極酸化制御部３４、異常検出部３６、切替え回路部３８を有する。酸化電圧演算部２６は、入力部１２からワークであるウエハに形成した多数の弾性表面波素子片から選択した素子片の測定した共振周波数の平均値と目標共振周波数が入力部１２から入力するようになっている。
【００１１】
酸化電圧演算部２６は、陽極酸化条件である陽極酸化電圧を演算するために、図示しない内部メモリに陽極酸化電圧と陽極酸化膜の厚さとの関係、および所定の演算式が与えられている。すなわち、酸化電圧演算部２６には、図２に示したような陽極酸化電圧（Ｖ）と、陽極酸化により形成されるアルミ酸化膜（陽極酸化膜）の厚さ（ｎｍ）との関係、および陽極酸化膜の厚さと周波数変化量との関係が予め与えてある。酸化電圧演算部２６は、各ウエハに対する陽極酸化電圧を所定の演算式により求め、ウエハに対応させてデータ記憶部２８に書き込む。
【００１２】
また、酸化電流値設定部３０は、入力部１２から入力されたウエハ１枚あたりの陽極酸化電流値の処理枚数分の加算値が設定される。陽極酸化電流値は、ウエハの種類（ウエハの大きさ、ウエハに形成する弾性表面波の種類など）に応じて予め求めておき、陽極酸化するウエハの種類に応じて設定される。
【００１３】
終点検出部３２は、終点検出電流値設定部４０と終点判定部４２とから構成してある。終点検出電流値設定部４０は、ウエハの種類に対応したウエハ１枚あたりの終点検出電流値が設定される。すなわち、陽極酸化を行なうと、ワークであるウエハと陰極との間に印加される電圧と陽極酸化の電流とが時間の経過とともに図３のように変化する。そして、陽極酸化が進行して陽極酸化の電流（図３においては、電流密度（ｍＡ／ｃｍ２））がＩｄまで低下すると、陽極酸化がほとんど進まない。したがって、終点検出電流値設定部４０には、電流密度Ｉｄに相当する陽極酸化の終点検出の電流値Ｉｍが設定される。この終点検出電流値Ｉｍは、入力部１２から入力される。
【００１４】
終点判定部４２は、電流検出部２４が検出した電流値を所定時間ごと（例えば、１０ｍｓごと）に読み込み、電流検出部２４の検出電流値を終点検出電流値設定部４０に設定された電流値Ｉｍと比較し、検出電流の値が設定された電流値Ｉｍまで低下すると、陽極酸化が終点に達したと判断して終点検出信号を陽極酸化制御部３４に入力する。なお、陽極酸化制御部３４は、陽極酸化するウエハの枚数を終点判定部４２に入力する。終点判定部４２は、陽極酸化制御部３４から入力されたウエハの枚数を考慮して陽極酸化の終点を判断する。なお、酸化電流値設定部３０や終点検出電流値設定部４０に設定する電流値Ｉｍは、予めデータベース化して制御ユニット１４に与え、入力部１２からウエハの種類を入力することにより、自動的に設定するようにしてもよい。
【００１５】
処理槽１８は、内部にりん酸水溶液などの陽極酸化用の電解液４４が貯留してある。また、処理槽１８の内部には、複数の陰極４６が配置してある。この実施形態の場合、陰極４６は、陽極となるウエハ（ワーク）４８に対応して設けてある。これらの陰極４６は、電源ユニット１６の（−）出力端子に接続してある。電源ユニット１６は、出力電圧、出力電流を任意に設定することが可能となっていて、制御ユニット１４の陽極酸化制御部３４によって出力電圧、出力電流が制御される。そして、電源ユニット１６の（＋）出力端子には、切替え部２０を介してウエハ４８が接続される。切替え部２０は、実施形態の場合、リレーによって構成してあり、制御ユニット１４に設けた切替え回路部３８によってオン、オフ制御される。また、切替え回路部３８は、陽極酸化制御部３４により制御される。陽極酸化制御部３４は、後述するように、陽極酸化するウエハ４８を抽出し、切替え回路部３８に切替え制御信号を与えて抽出したウエハ４８を電源ユニット１６に接続する。
【００１６】
異常検出部３６は、所定時間ごとに電圧検出部２２と電流検出部２４との出力信号を読み込み、陽極酸化処理に異常が発生しているか否かを監視し、監視結果を陽極酸化制御部３４に入力する。例えば、異常検出部３６は、電源ユニット１６から電圧が出力されているのに電流が流れていないときは、ウエハ４８のパターンに断線が生じて陽極酸化が行なわれていないと判断し、陽極酸化制御部３４に異常検出信号を出力する。陽極酸化制御部３４は、異常検出部３６から異常検出信号が入力すると、図示しないブザーなどを作動して異常の発生を告知する。また、陽極酸化制御部３４は、すべてのウエハ４８の陽極酸化処理が終了したときなどにも、ブザーやランプによってその旨を告知する。
【００１７】
このようになっている陽極酸化装置１０を用いた弾性表面波素子片の製造方法の一例を図４に示す。まず、水晶などの圧電体ウエハ４８を洗浄して乾燥させ、図４のステップ５０に示したように、スパッタリングや真空蒸着によって、ウエハ４８の表面にアルミからなる電極膜を形成する。なお、電極膜はアルミ系合金であってもよい。
【００１８】
その後、ステップ５２に示したように、電極膜の上にフォトレジストを塗布して乾燥させ、フォトレジスト膜を形成する。次に、縮小投影露光装置などを用いてフォトマスクを介してフォトレジスト膜を露光し、さらに現像液を用いて現像し、弾性表面波素子片のＩＤＴに対応したパターンなどを有するようにフォトレジスト膜をパターニングする（ステップ５４）。その後、パターニングしたフォトレジスト膜をマスクとして電極膜をエッチングし（ステップ５６）、ウエハ４８に多数の弾性表面波素子のＩＤＴなどを形成したのち、フォトレジスト膜を剥離して除去する（ステップ５８）。
【００１９】
次に、ウエハ４８に形成した弾性表面波素子片の予め定めた複数の素子片の共振周波数を測定する（ステップ６０）。次に、ステップ６２に示す周波数調整するための陽極酸化電圧を求める。すなわち、弾性表面波素子片の測定周波数（複数の素子片の平均値）を目標周波数（設計周波数）と比較して両者の偏差を周波数調整量として求める。さらに、予め得たデータに基づいて、測定周波数を目標周波数に一致させるのに必要な陽極酸化膜の厚さ、この厚さの陽極酸化膜を形成するのに必要な陽極酸化電圧を求める。なお、このステップ６２における周波数調整用の陽極酸化電圧は、実施形態の場合、制御ユニット１４で自動的に求めるようになっている。
【００２０】
すなわち、ウエハ４８に形成した弾性表面波素子片の測定周波数（平均値）と目標周波数とを入力部１２に入力すると、これらの入力データが酸化電圧演算部２６に与えられる。酸化電圧演算部２６は、予め与えられている演算式に基づいて陽極酸化電圧を算出し、ウエハ４８に対応させてデータ記憶部２８に書き込む。このデータ記憶部２８には、入力部１２から入力されたウエハ４８を接続する切替え部２０を構成しているリレー（またはスイッチ）の番号も書き込まれる。
【００２１】
その後、ウエハ４８に形成したＩＤＴを、求めた陽極酸化電圧により陽極酸化し、弾性表面波素子片の共振周波数を目標周波数に一致させる（または目標周波数の許容範囲内にする）周波数調整をする（ステップ６４）。陽極酸化の終了したウエハ４８は、ダイシング工程に送られて切断され、ステップ６６に示したように、個々の弾性表面波素子片（チップ）に分割される。その後、分割された弾性表面波素子片は、検査工程において検査されたのち出荷される。
【００２２】
ステップ６４に示した陽極酸化工程は、実施形態の場合、図５のようにして行なわれる。まず、図５のステップ７０に示したように、入力部１２から陽極酸化の条件を入力する。実施形態のウエハ４８に形成した弾性表面波素子片の周波数調整を行なう場合、前記したように測定周波数と目標周波数とを制御ユニット１４に入力する。これにより、制御ユニット１４の酸化電圧演算部２６が陽極酸化条件である陽極酸化電圧を求め、入力された切替え部２０のリレー番号とともにてデータ記憶部２８に書き込む。さらに、ウエハ４８の種類に応じて酸化電流値設定部３０にウエハ１枚あたりの陽極酸化電流値の処理枚数分の加算値を最大酸化電流値として設定するとともに、終点検出部３２の終点検出電流値設定部４０にウエハ１枚あたりの終点検出電流値を設定する。なお、酸化電圧演算部２６による陽極酸化電圧の算出は、５Ｖ間隔または１０Ｖ間隔等、適宜の電圧ピッチで求めるようにしてもよい。
【００２３】
このようなデータの入力が終了したのち、陽極酸化処理の開始ボタンを押下すると、制御ユニット１４の陽極酸化制御部３４は、データ記憶部２８を検索し、最も低い陽極酸化電圧を抽出する（ステップ７２）。さらに、陽極酸化制御部３４は、抽出した陽極酸化電圧で処理するウエハ４８を抽出し、切替え回路部３８を介して切替え部２０を制御し、抽出したウエハ４８を電源ユニット１６に接続する（ステップ７４）。その後、陽極酸化制御部３４は、電源ユニット１６をオンし、ウエハ４８の陽極酸化を開始する（ステップ７６）。この際、陽極酸化制御部３４は、抽出したウエハ４８の枚数を終点検出部３２の終点判定部４２に入力するとともに、酸化電流値設定部３０に設定された最大電流値（ウエハ１枚あたりの電流値×処理槽内のウエハ枚数）を読み出し、最大電流値が得られるように電源ユニット１６を制御する。その後、終点検出部３２の終点判定部４２が終点検出信号を出力したか否かを監視する（ステップ７８）。終点判定部４２が終点検出信号を出力しない場合、終点検出信号を出力するまで陽極酸化を継続する。
なお、酸化電流値設定部３０に設定されたウエハ１枚あたりの最大電流値を設定し、この最大電流値と実際に陽極酸化するウエハ４８の枚数とから必要最大電流値が得られるように電源ユニット１６を制御するようにしてもよい。
【００２４】
終点判定部４２は、電流検出部２４の出力する電流検出信号を読み込み、終点検出電流値設定部４０に設定されている電流値Ｉｍを比較する。そして、終点判定部４２は、ウエハ４８の陽極酸化が進行して電流検出部２４の出力する陽極酸化の電流値が設定された終点検出電流値Ｉｍまで低下すると、終点検出信号を陽極酸化制御部３４に出力する。なお、終点判定部４２は、複数のウエハ４８が同時に陽極酸化されている場合、陽極酸化の電流値がＩｍ×ウエハ枚数の値まで低下すると、終点検出信号を出力する。
【００２５】
陽極酸化制御部３４は、終点検出部３２から終点検出信号が入力すると、現在の陽極酸化電圧による陽極酸化の処理を終了してステップ８０に進み、すべてのウエハ４８に対する陽極酸化処理が終了したか否かを判断する。すなわち、陽極酸化制御部３４は、データ記憶部２８を検索し、最も高い陽極酸化電圧による陽極酸化処理を終了したか否かを判断する。なお、実施形態の場合、陽極酸化制御部３４は、図３に示したように、終点判定部４２が時刻ｔに終点検出信号を出力したとすると、時刻ｔよりΔｔ時間だけ陽極酸化を継続し、時刻ｔ＋Δｔに陽極酸化を終了する。これは、外乱などにより電流検出部２４の検出信号が一時的にＩｍを下回った場合であっても、確実に所定厚さ陽極酸化膜を形成することができるようにするためである。
【００２６】
陽極酸化制御部３４は、ステップ８０においてすべてのウエハ４８に対する陽極酸化処理が終了していないと判断した場合、データ記憶部２８を検索して次に高い陽極酸化電圧を抽出する（ステップ８２）。その後、陽極酸化制御部３４は、ステップ７４からステップ８２を繰り返す。そして、陽極酸化制御部３４は、ステップ８０においてすべてのウエハ４８に対する陽極酸化処理を終了したと判断すると、電源ユニット１６をオフにしてランプやブザーなどのよって陽極酸化処理の終了を告知して処理を終了する。
【００２７】
このように、実施の形態においては、ウエハ４８を陽極酸化電圧ごとに抽出し、切替え部２０を介して電源ユニット１６に接続するようにしたことにより、陽極酸化の条件の異なるウエハ４８の数に対応させた電源や処理槽を設ける必要がない。したがって、設備費を低減することができるとともに、広いスペースを必要としない。また、実施形態の陽極酸化装置１０は、制御ユニット１４を設けて異なった陽極酸化条件を自動的に設定できるようにしたことにより、陽極酸化の条件の異なる複数のウエハ４８に対する陽極酸化を自動的に行なうことができる。
【００２８】
図６は、陽極酸化する方法の他の実施形態に係るを示すフローチャートである。まず、図６のステップ９０に示したように、陽極酸化の条件を制御ユニット１４に入力する。この陽極酸化の条件の入力は、前記したステップ７０において説明したと同様である。そして、陽極酸化制御部３４は、陽極酸化処理の開始ボタンが押下されると、データ記憶部２８を検索して最も低い陽極酸化電圧を抽出する（ステップ９２）。次に、陽極酸化制御部３４は、切替え部２０を介してすべてのウエハ４８を電源ユニット１６に接続し、最も低い陽極酸化電圧ですべてのウエハ４８を陽極酸化する（ステップ９４）。次に、陽極酸化制御部３４は、ステップ９６に示したように、終点検出部３２が陽極酸化の終点を検出したか否かを判断し、終点検出部３２が終点を検出するまで最も低い電圧による陽極酸化を継続する。
【００２９】
陽極酸化制御部３４は、ステップ９６において陽極酸化の終点が検出されたと判断すると、ステップ９８に進み、すべてのウエハ４８に対して、それぞれに応じた電圧による陽極酸化処理を終了したか否かを判断する（ステップ９８）。陽極酸化制御部３４は、すべてのウエハ４８について、それぞれに応じた電圧による陽極酸化処理が終了していない場合、陽極酸化すべき電圧がいま終了した陽極酸化の電圧であるウエハ４８を、切替え部２０を介して電源ユニット１６から切り離す（ステップ１００）。さらに、陽極酸化制御部３４は、データ記憶部２８を検索して次に低い陽極酸化電圧を抽出し（ステップ１０２）、抽出した陽極酸化電圧で電源ユニット１６に接続されている残りのウエハ４８の陽極酸化を開始する（ステップ１０４）。その後、陽極酸化制御部３４は、ステップ９６の処理に戻り、ステップ９６ないしステップ１０４の処理を繰り返す。そして、陽極酸化制御部３４は、ステップ９８においてすべてのウエハ４８に対する陽極酸化処理が終了したと判断すると、ステップ９８からステップ１０６に進み、電源ユニット１６をオフするとともに、陽極酸化の終了を告知して処理を終了する。
【００３０】
この実施形態に係る陽極酸化処理方法においては、陽極酸化電圧の低いウエハ４８の陽極酸化を行なう際に、より陽極酸化電圧の高いウエハ４８を一緒に陽極酸化するため、すべてのウエハ４８を陽極酸化する時間を大幅に短縮することができる。
【００３１】
図７は、陰極の他の配置例を示したものである。前記実施形態においては、陰極４６をウエハ４８に対応させて設けた場合について説明したが、陰極４６は、図７に示したようにウエハ４８に対応させて配置しなくともよい。すなわち、例えばウエハ４８の５枚ごとに１つの陰極４６を配置するようにしてもよい。また、例えば、処理槽１８の底部に大きな陰極４６を１つ配置し、他の陰極を省略するようにしてもよい。
【００３２】
なお、前記実施形態は、本発明の一態様であって、上記の実施形態に限定されるものではない。また、陽極酸化をする場合、処理槽１８の端に位置するウエハ４８から順番に陽極酸化をするようにしてもよい。そして、前記実施形態においては、弾性表面波素子片の周波数調整をする場合について説明したが、ＩＤＴに保護用の陽極酸化膜を形成する場合にも適用することができる。また、前記実施形態においては、弾性表面波素子片のＩＤＴを陽極酸化する場合について説明したが、陽極酸化の対象は弾性表面波素子に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態に係る陽極酸化装置のブロック図である。
【図２】陽極酸化電圧と陽極酸化膜厚との関係を示す図である。
【図３】陽極酸化における陽極酸化時間に対する電流と電圧との変化を示す図である。
【図４】実施形態に係る弾性表面波素子片の製造方法を説明するフローチャートである。
【図５】実施形態に係る陽極酸化の方法を説明するフローチャートである。
【図６】他の実施形態に係る陽極酸化の方法を説明するフローチャートである。
【図７】陰極の他の配置例を示した図である。
【符号の説明】
【００３４】
１０………陽極酸化装置、１４………制御ユニット、１６………電源ユニット、１８………処理槽、２０………切替え部、３２………終点検出部、３４………制御部（陽極酸化制御部）、４４………電解液、４６………陰極、４８………ワーク（ウエハ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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