(57)【要約】【課題】試料測定装置の試料台の平面度精度を測定開始前にきちっと調節しておくことが必要であるが、調整には膨大な時間と労力が必要となり、短時間で平面データの測定と調整のできる試料測定装置の実現が望まれている。【解決手段】複数の測定ポイントを有する試料台と、上記試料台に設けられた顕微鏡と、上記顕微鏡に装着され、上記測定ポイントの像を撮像するカメラと、上記カメラからの映像信号からコントラスト信号を得る画像処理部と、上記顕微鏡の光軸と上記試料台の上記複数の測定ポイントとを順次位置決めするＸＹ位置決め機構部と、上記顕微鏡を上下に移動するＺ軸移動機構部およびこれらを制御する制御部を有し、上記制御部は、上記画像処理部の出力に基づいて上記顕微鏡の合焦点位置を制御すると共に、上記複数の測定ポイントの上記顕微鏡の合焦点位置に対応するＺ軸位置を検出するように構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の測定ポイントを有する試料台と、上記試料台に設けられた顕微鏡と、上記顕微鏡に装着され、上記測定ポイントの像を撮像するカメラと、上記カメラからの映像信号からコントラスト信号を得る画像処理部と、上記顕微鏡の光軸と上記試料台の上記複数の測定ポイントとを順次位置決めするＸＹ位置決め機構部と、上記顕微鏡を上下に移動するＺ軸移動機構部および上記ＸＹ位置決め機構部と上記Ｚ軸移動機構部を制御する制御部を有し、上記制御部は、上記画像処理部の出力に基づいて上記顕微鏡の合焦点位置を制御すると共に、上記複数の測定ポイントの上記顕微鏡の合焦点位置に対応するＺ軸位置を検出することを特徴とする試料測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の試料測定装置において、上記制御部は、演算処理部を有し、上記演算処理部は、上記複数の測定ポイントの上記顕微鏡の合焦点位置に対応するＺ軸位置の平均値を算出すると共に、上記平均値と上記複数の測定ポイントの合焦点位置に対応するＺ軸位置との差分を検出することを特徴とする試料測定装置。
【請求項３】
複数の測定ポイントを有する試料台と、上記試料台に設けられた顕微鏡と、上記顕微鏡に装着され、上記測定ポイントの像を撮像するカメラと、上記カメラからの映像信号からコントラスト信号を得る画像処理部と、上記顕微鏡の光軸と上記試料台の上記複数の測定ポイントとを順次位置決めするＸＹ位置決め機構部と、上記顕微鏡を上下に移動するＺ軸移動機構部と、上記ＸＹ位置決め機構部と上記Ｚ軸移動機構部を制御する制御部および上記試料台の高さを調節する高さ調節手段を有し、上記制御部は、上記画像処理部の出力に基づいて上記顕微鏡の合焦点位置を制御すると共に、上記複数の測定ポイントの上記顕微鏡の合焦点位置に対応するＺ軸位置を検出し、上記複数の測定ポイントの上記顕微鏡の合焦点位置に対応するＺ軸位置の平均値を算出し、上記算出された平均値と上記複数の測定ポイントの合焦点位置に対応するＺ軸位置との差分に基づいて上記高さ調節手段を調節することを特徴とする試料測定装置の試料台調節方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法に関し、特に、光学系のオートフォーカス機能を用いた試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
検査対象物、例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）パネル、ＣＦ（Color Filter）パネルあるいはＰＤＰ（Plasma Display Panel）等のガラス基板上に形成される配線の線幅や、配線パターンあるいはそれらの上に塗布される蛍光体塗布膜の幅、また、それらの欠陥を検査するためには、高精度の基板測定装置が使用される。なお、これらの測定装置を試料測定装置と称することにする。具体的には、例えば、ＬＣＤ線幅測定装置について説明する。ＬＣＤ線幅測定装置は、ＬＣＤ線幅測定装置のＸＹステージ上に載置されたガラス基板内の各パターンの線幅測定を行う。
【０００３】
測定手順としては、ＬＣＤ線幅測定装置のＸＹステージ部の試料台へＬＣＤガラス基板を搬送する。次に、ガラス基板の各測定ポイントに光学系を移動させ、オートフォーカス（Auto Focus）後にガラス基板内基準パターンの線幅測定を行う。ここで、線幅測定を行う上で重要なファクターは、ＸＹステージ部の試料台の平面度精度である。この精度が悪いと、ガラス基板と試料台の間に間隙ができ、ガラス基板を試料台にエアー吸着した場合、ムラが発生し、測定パターン部が伸縮し、ＬＣＤ線幅測定装置の信頼性および精度劣化を引き起こす。このようなことは、ＬＣＤ線幅測定装置に限らず、各種の測定装置、所謂、試料測定装置についていえることである。従って、試料測定装置の試料台の平面度精度を測定開始前にきちっと調節しておくことが必要である。
【０００４】
試料測定装置の試料台の平面度精度を調節する従来の方法について、図５を用いて説明する。図５は、マイクロメータを用いた試料台の平面度調節方法を説明するための概略構成図を示す。図５において、５０１は、ＸＹステージ部の試料台であり、この上に、例えば、ＬＣＤパネルのガラス基板（図示せず。）が載置される。５０２、５０３は、ＸＹステージ部のＸ軸方向のガイド、５０４は、ＸＹステージ部のＹ方向ガイドである。５０５は、マイクロメータ、５０６は、マイクロメータの接触子である。このマイクロメータ５０５は、Ｙ軸方向には、Ｙ方向ガイド５０４に沿って移動し、Ｘ軸方向には、Ｘ軸方向のガイド５０２、５０３に沿って移動するように構成されている。なお、Ｘ、Ｙ方向への移動は、手動あるいは電動のいずれでもよい。また、マイクロメータの接触子５０６は、試料台５０１の高さ（Ｚ軸方向の平面度）を測定するものである。
【０００５】
さて、上記のような構成の試料測定装置の試料台の平面度精度を調節する方法について説明する。試料台５０１上には、複数の測定ポイントを示すマーカー５０７−１、５０７−２、・・・５０７−ｎが設けられている。なお、マーカーを代表する場合は、マーカー５０７と称する。試料台５０１の大きさは、例えば、ＬＣＤパネル（７００ｍｍ×７００ｍｍ）の大きさのガラス基板が載置される程度の大きさであり、この大きさで３２個の測定ポイント５０７が設けられている。この例では、ｎ＝３２である。そして、まず、マイクロメータ５０５の接触子５０６を試料台５０１の表面に当て、基準の高さを設定する。この基準の高さを設定するには、例えば、試料台５０１に厚みが既知のテストピースを載せ、この厚みに基準の高さを設定する。
【０００６】
次に、マイクロメータ５０５をＸ、Ｙ方向にそれぞれ動かし、マイクロメータ５０５の接触子５０６をマーカー５０７の１つ、例えば、５０７−１に位置合せし、マーカー５０７−１の高さ（平面データ）を検出する。なお、マーカー５０７−１の高さは、マイクロメータ５０５の目盛りを読むことで検出する。そして、上記のようにして設定した基準の高さと差がある場合には、試料台５０１の調節ねじを回転して基準の高さと一致するように調節する。なお、高さの調節方法については、後述する。このような操作および調整を試料台５０１の５０７−１、５０７−２、・・・５０７−３２全てについて行うことで、試料測定装置の試料台の平面度精度の調節が完了する。
【０００７】
しかしながら、このような従来の方法では、試料測定装置の試料台の平面データの測定のためには、約１時間程度が必要であり、更に、高さ調節や確認作業のために２〜３時間必要である。また、最近では、ＬＣＤパネル、ＣＦパネルあるいはＰＤＰ等のガラス基板は、量産効果を上げるために、益々、大型となり、例えば、１１００ｍｍ×１３００ｍｍのパネル、あるいは、更に大きい１５００ｍｍ×１８５０ｍｍというように大型化される傾向にある。そのため試料台の測定ポイントの数も従来の３２箇所から１３２箇所にも増加している。従って、それらの測定および調整には膨大な時間と労力が必要となり、短時間で平面データの測定と調整の出来る試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法の実現が望まれている。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−１８６６８１号公報
【特許文献２】特開２００３−２９５０３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
試料測定装置の試料台の平面度精度を測定開始前にきちっと調節しておくことが必要であるが、調整には膨大な時間と労力が必要となり、短時間で平面データの測定と調整の出来る試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法の実現が望まれている。
【００１０】
本発明の目的は、短時間に試料台の平面度精度を測定できる試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法を提供することである。
【００１１】
本発明の他の目的は、試料台上の多数の測定ポイントの平面データを容易に計測できる試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法を提供することである。
【００１２】
本発明の更に他の目的は、調整作業のコストを低減する試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の試料測定装置は、複数の測定ポイントを有する試料台と、上記試料台に設けられた顕微鏡と、上記顕微鏡に装着され、上記測定ポイントの像を撮像するカメラと、上記カメラからの映像信号からコントラスト信号を得る画像処理部と、上記顕微鏡の光軸と上記試料台の上記複数の測定ポイントとを順次位置決めするＸＹ位置決め機構部と、上記顕微鏡を上下に移動するＺ軸移動機構部および上記ＸＹ位置決め機構部と上記Ｚ軸移動機構部を制御する制御部を有し、上記制御部は、上記画像処理部の出力に基づいて上記顕微鏡の合焦点位置を制御すると共に、上記複数の測定ポイントの上記顕微鏡の合焦点位置に対応するＺ軸位置を検出するように構成される。
【００１４】
また、本発明の試料測定装置において、上記制御部は、演算処理部を有し、上記演算処理部は、上記複数の測定ポイントの上記顕微鏡の合焦点位置に対応するＺ軸位置の平均値を算出すると共に、上記平均値と上記複数の測定ポイントの合焦点位置に対応するＺ軸位置との差分を検出するように構成される。
【００１５】
また、本発明の試料測定装置の試料台調節方法は、複数の測定ポイントを有する試料台と、上記試料台に設けられた顕微鏡と、上記顕微鏡に装着され、上記測定ポイントの像を撮像するカメラと、上記カメラからの映像信号からコントラスト信号を得る画像処理部と、上記顕微鏡の光軸と上記試料台の上記複数の測定ポイントとを順次位置決めするＸＹ位置決め機構部と、上記顕微鏡を上下に移動するＺ軸移動機構部と、上記ＸＹ位置決め機構部と上記Ｚ軸移動機構部を制御する制御部および上記試料台の高さを調節する高さ調節手段を有し、上記制御部は、上記画像処理部の出力に基づいて上記顕微鏡の合焦点位置を制御すると共に、上記複数の測定ポイントの上記顕微鏡の合焦点位置に対応するＺ軸位置を検出し、上記複数の測定ポイントの上記顕微鏡の合焦点位置に対応するＺ軸位置の平均値を算出し、上記算出された平均値と上記複数の測定ポイントの合焦点位置に対応するＺ軸位置との差分に基づいて上記高さ調節手段を調節するように構成される。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明によれば、試料測定装置の試料台の多数の測定点での平面度精度を極めて短時間に測定でき、調整できるので、試料測定装置として稼働率を向上できる。また、人手による測定から光学系のオートフォーカス機能を用いることで測定誤差を少なくでき、信頼性が向上する。従って、短時間で平面データの測定と調整の出来る試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法が実現できる特徴がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明に係る実施の形態について、図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施例の概略構成のブロック図を示す。図１において、１０１は、ＸＹステージ部であり、例えば、線幅測定装置では、ＸＹステージ部１０１上に電極パターンが形成されたＬＣＤパネルのガラス基板が載置され、このガラス基板上に掲載された電極パターンの、例えば、線幅を測定するためのＸＹステージ部である。１０２は、光学顕微鏡、１０３は、光学顕微鏡１０２に結合され、焦点距離がそれぞれ異なる複数の対物レンズ１０４−１、１０４−２、１０４−３等が装着されたレボルバである。このレボルバ１０３は、検査対象物（図示せず。）の拡大倍率を変更する場合、適宜、回転させ、いずれかの対物レンズ１０４を選択するためのものである。１０５は、結像レンズ、１０６は、光学顕微鏡１０２によって拡大された検査対象物の拡大映像が結像する位置に備えられた撮像装置（光電変換センサ）を有するテレビカメラ（またはカメラ）であり、拡大映像を光電変換し、変換して得られた映像信号Ｓを出力する。なお、撮像装置は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）あるいはＭＯＳ（Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子で構成されている。
【００１８】
カメラ１０６からの映像信号Ｓは、画像処理部１０７に供給され、その出力は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）等の演算処理部を有する制御部１０８に供給される。１０９は、表示部、１１０は、操作部である。１１１は、ビームスプリッタであり、光源１１２から照射された照明光がビームスプリッタ９により反射され、更に、対物レンズ１０４を介して試料台１０１を照射する。また、試料台１０１から反射された反射光は、対物レンズ１０４、ビームスプリッタ１１１、結像レンズ１０５を介して、上述のように拡大映像としてカメラ１０６の撮像装置に結像される。
【００１９】
カメラ１０６から出力された映像信号Ｓは、画像処理部１０７の波形処理部１１８で適宜波形処理がなされ、コントラスト検出部１１９に供給される。また、カメラ１０６から出力された映像信号Ｓは、制御部１０８を介して表示部１０９に入力され、そこで試料台の撮像画像が表示される。１１３は、試料台１０１のＸＹステージ制御部、１１４は、Ｘ軸、Ｙ軸駆動用モータである。なお、ＸＹステージ制御部１１３、ＸＹ軸駆動用モータ１１４等でＸＹ位置決め機構部を構成する。また、１１５は、光学顕微鏡１０２のＺ軸方向の動きを制御するＺステージ制御部、１１６は、Ｚ軸駆動用モータである。なお、Ｚステージ制御部１１５、Ｚ軸駆動用モータ１１６等でＺ軸移動機構部を構成する。１２０は、記憶部である。
【００２０】
図２は、試料台１０１の平面図を示している。図２において、２０１−１、２０１−２、・・・２０１−１３２は、測定ポイントを表す。なお、測定ポイントを代表する場合は、測定ポイント２０１と称する。２０２は、試料台１０１に設けられた穴部であり、これら穴部２０２には、検査対象物のガラス基板を受け渡すための受け渡しピン２０３が上下に移動できるように構成されている。図３は、試料台１０１の拡大図を示す。
【００２１】
図３において、３０１、３０２は、所定の間隔Ｗ（例えば、１ｍｍ）で保持されたガラス板であり、ガラス板３０１、３０２で試料台１０１が構成されている。そして、測定ポイント２０１には、螺子３０３が設けられ、螺子３０３を回転させることによって間隔Ｗを調節できるように構成されている。なお、螺子３０３は、例えば、１回転すると約５００μｍだけ、間隔Ｗを拡大したり、縮小したりすることが出来るので、この回転を適宜調節し、ガラス板３０１の平坦度を調節する。また、受け渡しピン２０３は、穴部２０２を矢印の方向に上下する。そして、検査対象物のガラス基板が、例えば、図２の左側から挿入されるとき、受け渡しピン２０３が穴部２０２からガラス板３０１の上部に突出した状態で検査対象物のガラス基板を受け取る。そして、検査対象物のガラス基板が位置合わせされた状態で、受け渡しピン２０３が下方に移動し、ガラス板３０１の上部に吸着パッド（図示せず。）で吸着され、クランプされる。そして、検査対象物のガラス基板の測定が終了すると、吸着パッドによるクランプが解除され、受け渡しピン２０３が矢印のように上方に移動して、検査対象物のガラス基板を押し上げ、左の方に移動させることにより排出する。
【００２２】
さて、上記のように構成された試料測定装置の試料台１０１の平面度測定および平面度調節について図６を用いて説明する。まず、試料台１０１には、図２に示すように１３２個の測定ポイント２０１が設けられているが、この測定ポイント２０１の位置は、表１に示すような位置に設けられている。
【００２３】
【表１】
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表１において、各測定ポイントは、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸、Ｙ軸の座標位置が表示されている。なお、Ｘ−Ｙ座標の原点（０、０）は、図２に示すように設定されている。そして、これら各測定ポイントは、操作部１１０を操作してＰＣ１０８にＸ座標、Ｙ座標として前もって入力され、記憶部１２０に、例えば、表１に示すテーブルとして記憶しておく。なお、上記実施例では、各測定ポイント１、２、・・・１３２のＸ、Ｙ座標を操作部１１０から入力する場合について説明したが、試料台１０１を手動で動かし、各測定ポイント１、２、・・・１３２に光学顕微鏡１０２の光軸とを一致させ、その時のＸ、Ｙ座標をＸＹステージ制御部１１３が読取り、制御部１０８の記憶部１２０に記憶することで表１のテーブルを作成することも出来る。
【００２４】
この状態で、まず、操作者が操作部１１０を操作して試料測定装置の平坦度測定の動作の開始を命令すると、制御部１０８は、表１に示すテーブルから各測定ポイント１、２、・・・１３２を順次読出し、ＸＹステージ制御部１１３にＸ、Ｙ座標を与えると、ＸＹステージ制御部１１３は、Ｘ、Ｙモータ１１４を駆動し、試料台１０１の各測定ポイントと光学顕微鏡１０２の光軸とを一致させるように動作する。即ち、図６において、測定ポイント（Ｘ、Ｙ）座標の読み出し（ステップ６０１）を開始する。例えば、測定ポイント１に光学顕微鏡１０２の光軸を一致させる場合、制御部１０８は、記憶部１２０に記憶されている表１のテーブルから測定ポイント１のＸ、Ｙ座標（1125940、925255）を読出し、ＸＹステージ制御部１１３に、このＸ、Ｙ座標を与える。ＸＹステージ制御部１１３は、このＸ、Ｙ座標に基づきＸ、Ｙモータ１１４を駆動し、測定ポイント１へ顕微鏡１０２を移動（ステップ６０２）させ、試料台１０１の測定ポイント１と光学顕微鏡１０２の光軸とを一致させるように動作する。
【００２５】
次に、上述のように試料台１０１の測定ポイント１と光学顕微鏡１０２の光軸とが一致すると、カメラ１０６は、測定ポイント１を撮影する（ステップ６０３）。即ち、光源１１２から照射された照明光がビームスプリッタ１１１により反射され、更に、対物レンズ１０４を介して試料台１０１の測定ポイント１を照射する。そして、測定ポイント１から反射された反射光は、対物レンズ１０４、ビームスプリッタ１１１、結像レンズ１０５を介して拡大映像としてカメラ１０６の撮像装置に結像される。撮像装置に結像された測定ポイント１の映像は、映像信号Ｓとして画像処理部１０７に供給される。
【００２６】
画像処理部１０７では、波形処理部１１８で波形処理され、コントラスト検出部１１９に供給され、自動焦点制御が行われる。即ち、光学顕微鏡１０２は、Ｚ方向（高さ方向）駆動部を構成する駆動モータ（または圧電素子でもよい。）１１６とＺ方向（高さ方向）移動機構１１７とにより、光学顕微鏡１０２の高さを上下させて、試料台１０１の測定ポイント１と対物レンズ１０４との距離）を変更させながら、画像コントラスト検出を行う。更に詳述すると、例えば、図４に示すような、顕微鏡１０２の焦点距離Ｚ０から焦点距離Ｚｍの間で、試料台１０１の測定ポイント１に対する顕微鏡１０２の高さを可変しながら、所定の高さごとに対応する画像コントラスト信号Ｆ０からＦｍをコントラスト検出部１１９から出力させ、制御部１０８の記憶部１２０に蓄積する。このようにして蓄積された画像コントラスト信号Ｆは、焦点距離Ｚ０から焦点距離Ｚｍの間に対応する画像コントラスト信号である。この画像コントラスト信号Ｆの内から画像コントラスト信号の最大値Ｆｍａｘを制御部１０８の演算処理部で求める（ステップ６０４）。この画像コントラスト信号の最大値Ｆｍａｘが合焦点位置となる。従って、この合焦点位置のＺ軸の目盛り（座標）を記憶部１２０に記憶する（ステップ６０５）。
【００２７】
ステップ６０６では、測定ポイント全てについて合焦点位置のＺ軸の目盛りを検出したかどうかを判定する。判定の結果、“Ｎｏ．”の場合は、ステップ６０１に戻り、“Ｙｅｓ”の場合は、ステップ６０７に進む。“Ｎｏ．”の場合は、測定ポイントを移動し、上述と同様に、試料台１０１の測定ポイント２に光学顕微鏡１０２の光軸を一致させ、画像コントラスト信号の値の内から画像コントラスト信号Ｆの最大値Ｆｍａｘとなる合焦点位置のＺ軸の目盛りを記憶部１２０に記憶する。このようにして測定ポイント１３２の全てについて合焦点位置のＺ軸の目盛りを記憶部１２０に記憶する。このようにして作成されたＺ座標のテーブルを表２に示す。なお、Ｚ軸の基準高さは、前もって設定しておく。この基準の高さを設定するには、例えば、試料台１０１に厚みが既知のテストピースを載せ、これに合焦点となるＺ軸の座標を記憶する。
【００２８】
【表２】
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表２は、各測定ポイントと、各測定ポイントのＺ座標（μｍ）を示している。
【００２９】
次に、ステップ６０７で全測定ポイントのＺ座標の平均値を算出する。即ち、平均値は、制御部１０８の演算処理部で全測定ポイントのＺ軸目盛りの平均値を算出する（表２の平均値がこれを示している。）。そして、ステップ６０８で平均値と各測定ポイントとの差分を制御部１０８の演算処理部で算出し、表２の平均値との差分（μｍ）で示すように記憶部１２０に蓄積する。なお、上記のように構成した結果、１測定ポイント当たりの移動時間は、約１秒、合焦点合わせに約３〜４秒となり、約１０分程度で測定ポイント１３２の平面度の測定が可能である。このようにして各測定ポイントと平均値との差分（μｍ）が演算され、表示部１０９に表示することにより各測定ポイント毎の調節すべき高さが把握される。次に、ステップ６０９でこの差分に基づいて平面度を調節する。即ち、この差分値を０に近づけるように螺子３０３を回転させ、試料台１０１の平面度を調節する。但し、０に近づけるのは極めて難しく、実際の調整作業では、±１５μｍの範囲内になるように調整する。
【００３０】
なお、上記実施例では、螺子３０３を手動で回転させ調節する方法について説明したが、螺子３０３に代えて、自動で上下移動できるピンを用いて構成した場合には、上記のように合焦点位置の測定と連動してカラス板３０１の高さを調節するようにすれば、試料台の平面度測定と調節の時間は、格段に短縮される。結果としてＬＣＤパネル、ＣＦパネルあるいはＰＤＰ等のガラス基板上に、配線パターンや蛍光体塗布膜の形成あるいはそれらの欠陥検出の場合、平面度の調節の容易な試料測定装置が実現できるので、検査あるいは製造工程の効率化が図れる利点があり、特に、大画面のガラス基板等に優れた効果がある。
【００３１】
以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は、ここに記載された試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法の実施例に限定されるものではなく、上記以外の試料測定装置および試料測定装置の試料台調節方法に広く適応することが出来ることは、言うまでも無い。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施例の概略構成のブロック図を示す。
【図２】本発明の試料台の平面図を示す。
【図３】本発明の試料台の一部の断面図を示す。
【図４】本発明の合焦点を説明するための図である。
【図５】従来の試料台の平面度の測定法を説明するための図である。
【図６】本発明の動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００３３】
１０１、５０１：試料台、１０２：顕微鏡、１０３：レボルバ、１０４：対物レンズ、１０５：結像レンズ、１０６：カメラ、１０７：画像処理部、１０８：制御部、１０９：表示部、１１０：操作部、１１１：ビームスプリッタ、１１２：光源、１１３：ＸＹステージ制御部、１１４：ＸＹ軸駆動モータ、１１５：Ｚステージ制御部、１１６：Ｚ軸駆動モータ、１１７：Ｚ方向移動機構、１１８：波形処理部、１１９：コントラスト検出部、１２０：記憶部、２０１：測定ポイント、２０２：穴部、２０３：受け渡しピン、３０１、３０２：ガラス板、３０３：螺子、５０２、５０３：Ｘ軸方向のガイド、５０４：Ｙ方向のガイド、５０５：マイクロメータ、５０６：接触子、５０７：マーカ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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