(57)【要約】【課題】連続で環境負荷が少なく低コストで且つ容易に高品質な塗工のできる塗工装置及び方法を提供する。【解決手段】連続で生産するために、塗工毎プリディスペンス動作を行った。その際プライミングローラーの周囲に転写ローラーを配し、それによってプリディスペンス動作時にプライミングローラーに付着した不要な塗工物を容易に除去することが出来た。転写ローラーに転写した不要な塗工物は転写ローラーに設置したスキージで掻き取り、再利用することが出来た。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プライミングローラーを含む塗工装置において、
プライミングローラーと、このプライミングローラーと接触する転写ローラーと、この転写ローラーに付着した塗工物を除去する手段を備えたことを特徴とする塗工装置。
【請求項２】
前記転写ローラーに付着した塗工物を除去する手段がスキージであることを特徴とする請求項１に記載の塗工装置。
【請求項３】
前記転写ローラーに付着した塗工物を除去する手段が、粘着フィルムを具備するロールであることを特徴とする塗工装置。
【請求項４】
プライミングローラーを用いた塗工装置に付着した塗工物の洗浄方法に於いて、
（ａ）塗工装置に付着した塗工物をプライミングローラーに転写する工程と、
（ｂ）前記プライミングローラーに付着した塗工物をさらに転写ローラーに転写する工程と、
（ｃ）この転写ローラーに付着した塗工物を除去する工程と、を含むことを特徴とするとする塗工物洗浄方法。
【請求項５】
前記（ｃ）塗工物を除去する工程が、転写ローラーにスキージを当接し、塗工物を掻きとる工程であることを特徴とする請求項４に記載の塗工物洗浄方法。
【請求項６】
前記（ｃ）塗工物を除去する工程が、転写ローラーに粘着フィルムを具備するロールを接着させ、このロールに塗工物を転写する工程であることを特徴とする請求項４に記載の塗工物洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄手段を備えた塗工装置、及び塗工装置の洗浄方法に関する。塗工装置は、インク吐出部を備えるものである。塗工装置は、そのインク吐出部の種類により異なるが、例えば、インキ吐出印刷装置、ダイコータ、スピンコータ、各種印刷装置を挙げることができる。また、この塗工装置で製造するものとしてカラーフィルタが例示でき、スピンコータ又はダイコータで着色レジストの薄膜を形成し、フォトリソグラフィー法にパターン形成してカラーフィルタを製造できる。また、前記製造物としてエレクトロルミネセンス素子も例示でき、この有機発光層を、インキ吐出印刷装置等を用いて形成する。また、この外、回路基板、薄膜トランジスタ、マイクロレンズ、バイオチップ等を製造することができる。インキ吐出印刷（Ｉｎｋ−ｊｅｔ）により塗布を行なうインキ吐出印刷装置（Ｉｎｋ−ｊｅｔ  Ｐｒｉｎｔｅｒ）のインク吐出部を洗浄することが可能な塗工装置に好適である。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、インク吐出部としてダイコータを備えた塗工装置を用いて塗工する場合には、グラビアコート（ｇｒａｖｕｒｅ  ｃｏａｔ），ロールコート（ｒｏｌｌ  ｃｏａｒ），スライドコート（ｓｌｉｄｅ  ｃｏａｔ），カーテンコート（ｃｕｒｔａｉｎ  ｃｏａｔ），エクストルージョンコート（ｅｘｔｒｕｓｉｏｎ  ｃｏａｔ），スピンコート（ｓｐｉｎ  ｃｏａｔ）等の色々な方式が用途に応じて用いられている。中でも、品質の高い安定した塗工を高速で行なう際には、エクストルージョンコートあるいはカーテンコートまたはスライドコート等が採用され、インク吐出部としてスリットノズル（ｓｌｉｔ  ｎｏｚｚｌｅ）を有するダイヘッドが使用されている。
【０００３】
例えば、スピンコータにおいては、台に被塗工物を吸着させ前記被塗工物の中心部に塗工ノズルからレジスト等塗工物を滴下した後、前記台と前記被塗工物を回転させることで発生する遠心力により前記塗工物を拡散させ均一に塗工する事が出来る。しかしスピンコータでは前記塗工物の大部分が回転時に発生する遠心力で前記台の外周部へ飛散してしまい、被塗工物である製品表面には僅かしか残存することが出来ないといった無駄が発生し、その分生産コストが割高になってしまうといった問題点があった。
【０００４】
そこで前記のスピンコータに代わり、製品に必要な幅以上を持つ塗工ノズル吐出口を具備しそのノズルまたは被塗工物を一定の速度で移動させる事により、均一且つ無駄なく塗工が出来るダイコータを使用することが知られている。しかし、前記ダイコータでは塗工動作後に前記塗工ノズル吐出口先端部分の周辺部に前記塗工物がまわり込みし易く、これらが乾燥することによってパーティクル等が発生し結果製品の品質低下を招くことがあった。現在は前記トラブルの発生を防ぐために、有機溶剤等洗浄液で浸してある塗工ノズル用待機ポットに前述のような周辺部が塗工物のまわり込みで汚れた前記塗工ノズル吐出口先端部分を浸漬することで、その汚れを溶解、除去するといった装置が使用されている。
【０００５】
しかしただ単純に上記塗工ノズルを上記待機ポットに浸漬のみしているとその洗浄液が前記ノズル先端吐出口内へ侵入し、安定的な塗工の妨げになる。そのため、通常塗工動作前にノズル内の洗浄液等及び洗浄液で薄まってしまった塗工物等を吐き出すことをプリディスペンス部において行っている。その際、図４で示す通り前記プリディスペンス部には適当なギャップを持たせたプライミングローラーとそれを洗浄液で浸漬することが出来るプライミングローラー用ポットが具備されていることが普通である。前記ポットではプリディスペンス動作を行った際に前記プライミングローラーに付着したレジスト等塗工物をポット内の前記洗浄液で溶解し、除去をする働きがある。このような機構を備えた塗工装置の例を特許文献１、特許文献２に示す。
【０００６】
しかし、連続で塗工作業を行った場合には次から次へとプリディスペンス動作を行うため、その際レジスト等塗工物が前記プライミングローラーに供給され、それがその都度前記洗浄液中に溶解される事により前記ポット内の汚染度が上がり、その汚れが凝集等を起こしレジストカス等のパーティクルが前記ポット内に発生してしまう場合があった。その場合、前記パーティクルが前記プライミングローラーに逆転写し、最終的にはノズル先端へ付着し、塗工時にスジやムラ、異物混入等のトラブルが発生し結果、製品の品質低下を招いてしまうことがあった。そこで、上記の方法を用いる場合は大量の洗浄液を用いて常に前記ポット部内の洗浄液を清浄な状態で保つ必要があった。しかし、大量の洗浄液を使用した場合製品のコストも高くなり且つ洗浄液を使用することによる環境負荷も増大してしまい、問題となっていた。
【０００７】
また、前記の従来の方式では前記プライミングローラーの状態を整え、乾燥をさせるために前記プライミングロールを前記洗浄液で浸漬した後にスキージで直接掻く必要があった。しかしながら、前記スキージの取り扱いは非常に難しくその材質の選択や前記プライミングローラーへの当て方等如何でレジスト等の除去残りが前記プライミングローラー上に発生し、僅かであっても結果塗工の際にムラやスジ等の品質的なトラブルが発生してしまう場合があり、問題となっていた。
【特許文献１】特開２０００−１３５４６３号公報
【特許文献２】特開２００５−２７０８４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、連続で環境負荷が少なく低コストで且つ容易に高品質な塗工のできる塗工装置及び方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の構成を以下に示す。
（請求項１）
プライミングローラーを含む塗工装置において、
プライミングローラーと、このプライミングローラーと接触する転写ローラーと、この転写ローラーに付着した塗工物を除去する手段を備えたことを特徴とする塗工装置。
【００１０】
（請求項２）
前記転写ローラーに付着した塗工物を除去する手段がスキージであることを特徴とする請求項１に記載の塗工装置。
【００１１】
（請求項３）
前記転写ローラーに付着した塗工物を除去する手段が、粘着フィルムを具備するロールであることを特徴とする塗工装置。
【００１２】
（請求項４）
プライミングローラーを用いた塗工装置に付着した塗工物の洗浄方法に於いて、
（ａ）塗工装置に付着した塗工物をプライミングローラーに転写する工程と、
（ｂ）前記プライミングローラーに付着した塗工物をさらに転写ローラーに転写する工程と、
（ｃ）この転写ローラーに付着した塗工物を除去する工程と、を含むことを特徴とするとする塗工物洗浄方法。
【００１３】
（請求項５）
前記（ｃ）塗工物を除去する工程が、転写ローラーにスキージを当接し、塗工物を掻きとる工程であることを特徴とする請求項４に記載の塗工物洗浄方法。
【００１４】
（請求項６）
前記（ｃ）塗工物を除去する工程が、転写ローラーに粘着フィルムを具備するロールを接着させ、このロールに塗工物を転写する工程であることを特徴とする請求項４に記載の塗工物洗浄方法。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、プライミングローラーに付着した塗工物を、直接除去せず、転写ローラーに確実に塗工物を転写した後、この転写した塗工物を除去することを特徴とする。このため、スキージを直接プライミングローラーに当てないため、むらなく塗工物を除去することができた。
さらに本発明では、洗浄液を使用せず前記プライミングローラーに付着した不要な塗工物を除去することが出来るので環境負荷の少なく、低コストで且つ容易に高品質な塗工のできる塗工装置及び塗工物洗浄方法を提供することが出来た。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図１〜３は本発明の塗工装置の基本となる構成を示すものである。
図１に示すとおり、本発明ではプライミングローラー２に接するよう転写ローラー３が併設されている。前記転写ローラー３の設置箇所は前記プライミングローラー２の周囲であれば特に制限はなくその本数にも特に制限はないが、より確実に前記プライミングローラー２より不要な塗工物を除去するためには出来る限り多く設置した方が好ましい。
前記転写ローラー３の材質に特に制限はない。前記プライミングローラー２から塗工物を転写する事ができる材質であれば問題なく、具体的には例えばポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、ウレタン系樹脂、フェノール系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体、フッ素系樹脂等の合成樹脂、ゴム、アルミニウム、ステンレス等の金属系等又はそれらの複合体等、積層体等があり目的とする用途に応じて適宜選択すればよい。
前記転写ローラー３の大きさに特に制限は無いが、出来るだけ大きくした方が不要な塗工物が前記プライミングローラー２から前記転写ローラー３へ転写する際の剥離角度が鋭角になり剥離しやすくなるので、より好ましい。
前記転写ローラー３の前記プライミングローラー２へのニップ圧力に特に制限は無い。使用する塗工物の材料、使用条件及び前記ローラーの材質等の緒条件の組み合わせにより最適条件を選択すればよい。
不要な塗工物の除去に対しては前記転写ローラー３の回転速度は低い方が有効ではあるが、プリディスペンスされる塗工液の吐液量とのバランス等諸条件を考慮し最良の速度を選択すればよい。
【００１７】
前記転写ローラー３には、前記プライミングローラー２から転写された不要な塗工物を除去するためにスキージ４を単数または複数具備している。その際、出来る限り多く設置した方が、より確実に不要な塗工物を除去できるため好ましい。また、前記転写ローラー３が複数本ある場合、前記スキージ４は単数または複数の任意の又は全ての前記転写ローラー３に単数または複数本設置しても良い。
前記スキージ４の材質は求められる性能を得られれば特に制限はなく、具体的には例えばゴム、アルミニウム、ステンレス等の金属系等、エポキシ樹脂、ポリエチレン樹脂、フッ素系樹脂、フェノール樹脂等の合成樹脂材料又はそれらの複合体等、積層体等、それらを主体としてガラス繊維・粒子やカーボン繊維・粒子等を混入し成形した複合樹脂等がありそれらの中から目的とする用途に応じて適宜選択すればよい。
前記スキージ４の取り付け角度およびニップ圧力に特に制限は無い。使用する塗工物の材料、粘度等使用条件及び前記転写ローラー３の材質、前記スキージ４の材質等の緒条件の組み合わせにより最適条件を選択すればよい。
【００１８】
本発明では、更に、前記スキージ４で除去した不要な塗工物を集めて再利用する事ができるので、効率よく塗工材料を使用することが出来る。
【００１９】
また図２に示す通り、転写ローラー３の周囲に別の転写ローラーＡ３１、転写ローラーＢ３２、転写ローラーＣ３３等を単数または複数併設することにより不要な塗工物を前記転写ローラーより除去することがより確実に出来る為、可能な限り多く転写ローラーを設置した方がよい。その際も前述の通り前記スキージ４は単数または複数の任意の又は全ての転写ローラーに単数本または複数本設置しても良い。
【００２０】
また、前記転写ローラーの少なくとも１本以上の替わりに粘着フィルム５を具備するロール等を単数又は複数本設置し、前記粘着フィルム５によって不要な塗工物を前記プライミングロール２から除去するようにしても良い。図３では転写ローラー３一本のみ有る場合を示した。前記粘着フィルム５に付加されている粘着剤の材質には、特に制限は無い。
具体的には例えばポリエステル樹脂、アルキド系樹脂、シリコーン系樹脂、天然ゴム、合成ゴム、アクリル系樹脂、ゴム系、シリコーン系、エポキシ樹脂系、ビニル系樹脂、等又はそれらの複合体の中から目的とする用途に応じて適宜選択すればよい。更に、前記粘着フィルムにはゴミ付着等の防止のため、セパレーターが付与されていても良い。また、前記粘着フィルムの支持体の材質には特に制限はなく、従来使用されている任意の材質を使用することができる。具体的には例えば天然繊維又は合成繊維からなる織布又は不織布、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリアミド系樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン系樹脂、ウレタン系樹脂、フェノール系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体、フッ素系樹脂等の合成樹脂系基材、ゴム基材、アルミニウム、ステンレス等の金属系基材等又はそれらの複合体、積層体等の中から、目的とする用途に応じて適宜選択すればよい。
【実施例１】
【００２１】
以下本発明の実施例について説明する。
図１の装置にて、ステンレス製のプライミングローラーに接するようにゴム製の転写ロールを設置し更に前記転写ロールにゴム製のスキージで不要な塗工物を掻き取れるよう設置し、連続で生産を行う中、製品１枚塗工を行う都度、塗工ノズルからプライミングローラーへプリディスペンス動作を行い不要な塗工物をプライミングローラーに吐出したところ、前記転写ローラーに前記不要な塗工物が転写される事により、プライミングローラーから除去出来なかった塗工物で汚すことなく、容易に且つ安価で結果高品質な製品を連続で作成することができた。
また、前記スキージで掻き取った不要な塗工物を回収し溶剤で溶かす事で再利用することができた。
【実施例２】
【００２２】
図３の装置にて、ステンレス製で表面をクロムメッキしてあるプライミングローラーに接し、ニップする事が出来るように支持体がポリエステル系樹脂製、粘着剤がアクリル系樹脂製の粘着テープを巻いたローラーを設置し、実施例１と同様に製品１枚塗工を行う都度、塗工ノズルからプライミングローラーへプリディスペンス動作を行い不要な塗工物をプライミングローラーに吐出したところ、前記粘着フィルムに前記不要な塗工物が転写される事により、プライミングローラーを除去出来なかった塗工物で汚すことなく、容易に且つ安価で結果高品質な製品を連続で作成することができた。
また、前記スキージで掻き取った不要な塗工物を回収し溶剤で溶かす事で再利用することができた。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の塗工装置の一例の模式図
【図２】本発明の塗工装置の一例の模式図
【図３】本発明の塗工装置の一例の模式図
【図４】従来の塗工装置の模式図
【符号の説明】
【００２４】
１：塗工ノズル
２：プライミングローラー
３：転写ロ−ラー
３１：転写ローラーＡ
３２：転写ローラーＢ
３３：転写ローラーＣ
４：スキージ
５：粘着フィルム
６：洗浄液
７：プライミングローラー用ポット
８：塗工ノズル用待機ポット
９：プリディスペンス部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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