(57)【要約】【課題】  本発明は、パネルに液晶材料を注入する工程を含む液晶表示装置製造方法および当該工程の実施可能な液晶注入装置において、液晶表示装置の表示性能を向上させることができ、かつ、実用性のある液晶表示装置の製造方法等を提供する。【解決手段】  本発明に係わる液晶表示装置の製造方法は、真空引き可能な所定のチャンバーを有する液晶注入装置内で、パネルに液晶材料を注入する工程を含んでいる。さらに、所定のチャンバー内を真空引きした後に真空引きを止め、所定の時間内における、所定のチャンバー内の圧力変化量を測定する。そして、当該測定により、所定の時間内において、所定のチャンバー内に放出される第一の放出ガス量を導出する。さらに、第一の放出ガス量と、規定値となる第二の放出ガス量とを、比較する工程を、備えている。【選択図】  図２
2007011182.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空引き可能な所定のチャンバーを有する液晶注入装置内で、パネルに液晶材料を注入する工程を含む、液晶表示装置の製造方法において、
（Ａ）前記所定のチャンバー内を真空引きする工程と、
（Ｂ）前記工程（Ａ）の後に前記真空引きを止め、所定の時間内における、前記所定のチャンバー内の圧力変化量を測定することにより、前記所定の時間内において前記所定のチャンバー内に放出される第一の放出ガス量を導出する工程と、
（Ｃ）前記第一の放出ガス量と、規定値となる第二の放出ガス量とを、比較する工程とを、備えている、
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記所定のチャンバーは、
前記液晶材料が注入される前の前記パネルの配置が可能であり、前記パネルの排気処理が可能な、パネル排気チャンバーである、
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記所定のチャンバーは、
前記液晶材料の配置が可能であり、前記液晶材料の脱泡処理が可能な、液晶材料脱泡チャンバーである、
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記所定のチャンバーは、
前記パネルを構成する基板の配置が可能であり、前記基板から放出されるガスの排気処理が可能な、基板排気チャンバーである、
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
（Ｄ）前記工程（Ｃ）において、前記第一の放出ガス量が、前記第二の放出ガス量より大きい場合には、前記所定のチャンバーの真空引きを再度行う工程を、さらに備えている、
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項６】
（Ｅ）前記工程（Ｃ）において、前記第一の放出ガス量が、前記第二の放出ガス量以下の場合には、前記パネルに前記液晶材料を注入する工程を、さらに備えている、
ことを特徴とする請求項２に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項７】
（Ｆ）前記工程（Ｃ）において、前記第一の放出ガス量が、前記第二の放出ガス量以下の場合には、前記液晶脱泡チャンバー内に前記液晶材料を配置する工程を、さらに備えている、
ことを特徴とする請求項３に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項８】
（Ｇ）前記工程（Ｃ）において、前記第一の放出ガス量が、前記第二の放出ガス量以下の場合には、前記基板に前記液晶材料を滴下注入する工程を、さらに備えている、
ことを特徴とする請求項４に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項９】
真空引き可能な所定のチャンバーを有しており、パネルに液晶材料を注入することができる液晶注入装置において、
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の各工程を実施することができる、液晶注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、パネルに液晶材料を注入する工程を含む液晶表示装置の製造方法および、当該工程の実施が可能な液晶注入装置に係る発明である。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄型軽量化を利点として持つ液晶表示装置が、モニタ、ＴＶ、携帯電話端末など幅広い用途に使用されている。液晶表示装置の表示モードは、旋光モードと複屈折モードとに、分類される。当該各表示モードの液晶表示装置が有する液晶パネルの製造方法の概略は、以下の通りである。
【０００３】
たとえば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）がマトリクス状に形成されている基板、およびカラー表示を行うための色材が形成されている基板とを作成する。そして、前記両基板上に、配向膜を各々形成する。そして、当該配向膜同士が向かい合うように、前記両基板同士をシール材を介して貼り合わされる（当該貼り合わせた状態において、基板間には、空間が存在している）。つまり、液晶材料が注入される前の空パネルを作成する。
【０００４】
ここで、当該空パネルを、単にパネルと称する。また、液晶材料が充填されているパネルを、液晶パネルと称する。上記パネル作成後、パネル内に液晶材料を注入することにより、液晶パネルが完成する。
【０００５】
当該液晶材料の注入方法として、たとえば真空注入方式が従来より採用されている（たとえば、特許文献１）。
【０００６】
当該真空注入方式では、チャンバー内に、上記パネルと液晶材料とを配置し、当該チャンバー内を真空引きする。そして、真空引き後、パネルが有する注入口に、液晶材料を押し当てる。その後、チャンバー内の圧力を大気圧に戻す。
【０００７】
これにより、パネル内の空間内の圧力と、当該パネル外における圧力との間の圧力差に起因して、液晶材料がパネル内へと充填される。なお、液晶材料充填後、液晶パネルに配設されている上記注入口を封止する。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−６９９２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、パネルを構成する各基板上には、色材等の有機膜が形成されている。また、当該有機膜中には、通常、水分などの気泡成分が多く含まれている。もし、パネルの真空引きが十分に行われなかった場合には、有機膜中に多くの気泡成分が残存したままとなる。
【００１０】
このように、有機膜中に多くの気泡成分が残存している状態で、パネル内への液晶材料の注入処理を行うと、気泡成分が当該パネル内で気化し（つまり、パネル内に気泡が生成され）、パネル内に液晶材料と気泡とが混在する。液晶材料中に気泡が存在すると、表示不良の原因となる。
【００１１】
また、仮に、液晶材料注入の際に、パネル内での気化が発生せず、当該パネル内に液晶材料のみが存在することになったとしても、有機膜中には、依然として多くの水分等の気泡成分が残存している。したがって、液晶パネル完成後に、徐々に有機膜から液晶材料中へ、水分が拡散し始める。液晶材料中の水分濃度が高くなり、衝撃などのエネルギーが液晶パネルに加わると、当該水分は、液晶材料中で気化する。上述した通り、液晶材料中に気泡が存在すると、表示不良の原因となる。
【００１２】
以上のことから、液晶材料の注入処理を行う前に、有機膜中から気泡成分を極力除去する必要がある。
【００１３】
ここで、液晶パネルを構成する各部材、製造プロセス等が異なると、有機膜中の気泡成分量も大きく変化する。したがって、すべてのパネルに共通する真空条件（時間、真空度等）を設定することができない。仮に、すべてのパネルに共通する真空条件として、最も厳しい真空条件に設定したとすれば、真空引きの時間が大幅に長くせざるを得ない。したがって、パネルによっては不必要な真空引きが行われることもあり、生産性が悪くなる（実用性に乏しい）。
【００１４】
ところで、液晶表示装置の用途等に応じて、多種多様な液晶材料が使用されている。そして、当該多種多能な液晶材料は、通常、複数の有機化合物の混合物により構成されている。
【００１５】
したがって、当該混合物の混合比が変化すると、当然液晶材料の物性値は変化する。このように、液晶材料の物性値が変化すると、表示性能も変化することから、有機化合物の混合比の調整は、大変重要である。特に、液晶材料の比抵抗値は重要なファクタである。なぜなら、たとえば、液晶材料の比抵抗値が低いと、電圧保持時に液晶材料を介して電流がリークし、液晶パネルにおける表示の劣化が生じるからである。
【００１６】
しかし、当該液晶材料の多様化に伴い、以下に示す問題が生じている。
【００１７】
つまり、上記で説明したように、液晶材料をパネル内に注入する際、当該液晶材料は、真空状態にさらされる。このように、液晶材料が真空状態に置かれると、その一部が気化し、チャンバー内に付着する。
【００１８】
当該液晶材料が付着しているチャンバーを用いて、他の種類の液晶材料を導入し、当該他の種類の液晶材料の注入処理を行った場合には、当該他の種類の液晶材料と、想定していない液晶材料（チャンバーに付着していた液晶材料）とが混ざった状態で、パネル内に液晶材料が注入されてしまう。
【００１９】
したがって、完成した液晶パネル内の液晶材料の比抵抗値等の物性値は、想定していたものと異なる。つまり、完成した液晶パネルの表示性能が、想定していたものと異なってしまう。
【００２０】
また、何らかの原因でチャンバー内が有機物等で汚染されたとする。当該汚染されたチャンバー内で液晶材料の注入処理を行った場合にも、汚染物質が液晶材料内に取り込まれる。したがって、当該場合においても、完成した液晶パネル内の液晶材料の比抵抗値等の物性値は、想定していたものと異なる。つまり、完成した液晶パネルの表示性能が、想定していたものと異なってしまう。
【００２１】
まとめると、液晶表示装置の表示性能を考慮すると、パネルの真空引きを十分に行う必要があり、また、パネルの真空引きを一律に、長時間行ったのでは、生産性が落ち、実用性があるとは言えない。さらに、液晶表示装置の表示性能を考慮すると、液晶材料に想定しない他の物質が混在することを防止する必要がある。
【００２２】
そこで、本発明は、パネルに液晶材料を注入する工程を含む液晶表示装置製造方法および当該工程の実施可能な液晶注入装置において、液晶表示装置の表示性能を向上させることができ、かつ、実用性のある液晶表示装置の製造方法および液晶注入装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記の目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法は、真空引き可能な所定のチャンバーを有する液晶注入装置内で、パネルに液晶材料を注入する工程を含む、液晶表示装置の製造方法において、（Ａ）前記所定のチャンバー内を真空引きする工程と、（Ｂ）前記工程（Ａ）の後に前記真空引きを止め、所定の時間内における、前記所定のチャンバー内の圧力変化量を測定することにより、前記所定の時間内において前記所定のチャンバー内に放出される第一の放出ガス量を導出する工程と、（Ｃ）前記第一の放出ガス量と、規定値となる第二の放出ガス量とを、比較する工程とを、備えている。
【００２４】
また、請求項９に記載の液晶注入装置は、真空引き可能な所定のチャンバーを有しており、パネルに液晶材料を注入することができる液晶注入装置において、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の各工程を実施することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法は、真空引き可能な所定のチャンバーを有する液晶注入装置内で、パネルに液晶材料を注入する工程を含む、液晶表示装置の製造方法において、（Ａ）前記所定のチャンバー内を真空引きする工程と、（Ｂ）前記工程（Ａ）の後に前記真空引きを止め、所定の時間内における、前記所定のチャンバー内の圧力変化量を測定することにより、前記所定の時間内において前記所定のチャンバー内に放出される第一の放出ガス量を導出する工程と、（Ｃ）前記第一の放出ガス量と、規定値となる第二の放出ガス量とを、比較する工程とを、備えているので、不要に長い時間真空引きすることを防止できる（つまり、実用的である）。また、上記比較の結果に応じて、再度の真空引きをするか否かの判断を行うことができる。したがって、不十分な真空引きを防止することができ、結果として製造される液晶パネルの表示性能が向上させることができる。
【００２６】
また、請求項９に記載の液晶注入装置は、真空引き可能な所定のチャンバーを有しており、パネルに液晶材料を注入することができる液晶注入装置において、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の各工程を実施することができるので、当該液晶注入装置を用いて、パネルに液晶を注入することにより、表示性能の良い液晶パネルを効率良く得ることできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明に係わる液晶表示装置の製造方法は、真空引き可能な所定のチャンバーを有する液晶注入装置内で、パネルに液晶材料を注入する工程を含んでいる。そして、所定のチャンバー内を一度、真空引きした後、当該真空引きを止め、所定のチャンバー内で発生する放出ガス量のチェック工程を含んでいる。ここで、当該放出ガス量のチェックは、以下のようにして行われる。
【００２８】
まず、上記真空引きを止めてから所定の時間内における、所定のチャンバー内の圧力変化量を測定する。そして、当該測定された圧力変化量に基づいて、第一の放出ガス量を求める。そして、当該第一の放出ガス量と規定値となる第二の放出ガス量とを、比較する。なお、当該比較結果に応じて、その後の処理が決定される。
【００２９】
また、本発明に係わる液晶注入装置では、上記一連の処理が可能なように構成されている。
【００３０】
以下、この発明をその実施の形態を示す図面に基づいて具体的に説明する。
【００３１】
＜実施の形態１＞
図１は、本実施の形態に係わる液晶注入装置の構成を示す、概念図である。
【００３２】
図１に示すように、本実施の形態に係わる液晶注入装置１００は、複数のチャンバー１，２，３、複数の真空ポンプ４，５，６、複数の圧力計７，８，９、および複数のバルブ１０〜１５を備えている。ここで、本実施の形態では、チャンバー１〜３の数、真空ポンプ４〜６の数、および圧力計７〜９の数は、各々３つである。また、バルブ１０〜１５の数は、６つである。
【００３３】
チャンバー１〜３は、パネル排気チャンバー１、液晶材料注入チャンバー２、および液晶材料脱泡チャンバー３とで構成されている。
【００３４】
ここで、パネル排気チャンバー１は、液晶材料が注入される前のパネルの配置が可能であり、当該パネルの排気処理が可能な排気チャンバーである。また、液晶材料脱泡チャンバー３は、液晶材料の配置が可能であり、当該液晶材料の脱泡処理が可能なチャンバーである。また、液晶材料注入チャンバー２は、パネル排気チャンバー１で真空引き処理が施されたパネルに対して、液晶材料脱泡チャンバー３で脱泡処理が施された液晶材料の注入を行うチャンバーである。
【００３５】
なお、所定の真空度を保ちながら、パネルや液晶材料等を各チャンバー１〜３間を相互に移動させることができるように、液晶注入装置１００は構成されている。
【００３６】
各チャンバー１〜３には各々、真空ポンプ４〜６が設置されている。
【００３７】
具体的には、パネル排気チャンバー１には、第一の真空ポンプ４が設置されている。また、液晶材料注入チャンバー２には、第二の真空ポンプ５が設置されている。また、液晶材料脱泡チャンバー３には、第三の真空ポンプ６が設置されている。当該各真空ポンプ４〜６により、各チャンバー１〜３内は、各々所望の真空度（圧力）にまで真空引きされる。
【００３８】
各チャンバー１〜３には各々、圧力計７，８，９が設置されている。
【００３９】
具体的には、パネル排気チャンバー１には、第一の圧力計７が設置されている。また、液晶材料注入チャンバー２には、第二の圧力計８が設置されている。また、液晶材料脱泡チャンバー３には、第三の圧力計９が設置されている。当該各圧力計７〜９により、各チャンバー１〜３内の真空度（圧力）を測定、観測することができる。
【００４０】
各チャンバー１〜３と各真空ポンプ４〜６との間、および、各チャンバー１〜３と各圧力計７〜９との間には各々、各バルブ１０〜１５が接続されている。
【００４１】
具体的には、パネル排気チャンバー１と第一の真空ポンプ４との間には、第一のバルブ１０が設置されている。また、パネル排気チャンバー１と第一の圧力計７との間には、第二のバルブ１１が設置されている。また、液晶材料注入チャンバー２と第二の真空ポンプ５との間には、第三のバルブ１２が設置されている。また、液晶材料注入チャンバー２と第二の圧力計８との間には、第四のバルブ１３が設置されている。また、液晶材料脱泡チャンバー３と第三の真空ポンプ６との間には、第五のバルブ１４が設置されている。また、液晶材料脱泡チャンバー３と第三の圧力計９との間には、第六のバルブ１５が設置されている。
【００４２】
当該各バルブ１０〜１５により、各チャンバー１〜３と各真空ポンプ４〜６との間、および、各チャンバー１〜３と各真空計７〜９との間の、経路の開閉を自由に行うことができる。
【００４３】
本実施の形態に係わる液晶表示装置の製造方法（より具体的には、パネルへの液晶材料注入）は、上記構成を有する液晶注入装置１００を用いて実施される。
【００４４】
次に、本実施の形態に係わる液晶表示装置の製造方法を、図１の構成図および、図２〜４に示す工程フロー図に基づいて説明する。図２は、パネル排気チャンバー１で実施される、工程フロー図である。図３は、液晶材料脱泡チャンバー３で実施される、工程フロー図である。図４は、液晶材料注入チャンバー２で実施される、工程フロー図である。
【００４５】
ここで、本実施の形態に係わる液晶表示装置の製造方法は、特に、パネルへの液晶注入工程の前工程に特徴を有している。以下、当該特徴部分の前工程および液晶注入工程をクローズアップして説明する。
【００４６】
まずはじめに、パネル排気チャンバー１で実施される工程について、図２を用いて説明する。
【００４７】
まず、パネル排気チャンバー１内に、液晶材料が注入される前のパネルを設置する（ステップＳ１）。ここで、図５は、パネル排気チャンバー１内に設置される、液晶材料注入前のパネルの概略構成を示す、断面図である。
【００４８】
図５に示すように、当該パネルは、２枚の基板２１，２２、配向膜２３，２４、シール材２５、およびスペーサ２６で構成されている。ここで、基板２１，２２は、絶縁性、透明性を有する基板である。
【００４９】
基板２１には、ＴＦＴ等が形成されており、基板２２には、カラー表示を行うための色材等が形成されている。また、基板２１上および基板２２上には、各々配向膜２３，２４が形成されている。配向膜２３，２４同士が向かい合うように、両基板２１，２２同士は、シール材２５を介して接着されている。ここで、両基板２１，２２間の間隔を保持するために、スペーサ２６が当該両基板２１，２２間に存在する。
【００５０】
なお、上述の通り、図５に示すパネル内には、液晶材料は、未だ注入されていない。また、図面の簡略化のために、液晶材料が注入される注入口の図示を、省略している。
【００５１】
さて次に、バルブ１０，１１を開く（ステップＳ２）。
【００５２】
第一のバルブ１０を開くことにより、パネル排気チャンバー１と第一の真空ポンプ４との間における、ガスの導通を確保することができる。また、第二のバルブ１１を開き、第一の圧力計７を観測することにより、パネル排気チャンバー１内の圧力を測定することができる。
【００５３】
次に、第一の真空パンプ４を用いて、パネル排気チャンバー１内の真空引きを開始する（ステップＳ３）。ここで、当該真空引きは、第一の圧力計７の圧力値をモニタしながら、所定の時間行う。
【００５４】
パネル排気チャンバー１内の真空引きを開始してから、所定の時間経過後に、第一のバルブ１０を閉じる（ステップＳ４）。これにより、パネル排気チャンバー１内の真空引きを中断することができる。
【００５５】
次に、パネル排気チャンバー１内における、放出ガス量（第一の放出ガス量と把握できる）を測定（導出）する（ステップＳ５）。当該第一の放出ガス量の測定の具体的方法は、下記の通りである。
【００５６】
前述の通り、パネル排気チャンバー１内の真空引きは、中断されている。当該状態において、パネル排気チャンバー１内の圧力を所定時間観測する。当該所定時間の圧力観測により、圧力観測開始時（所定時間の開始時）のパネル排気チャンバー１内の圧力（第一の圧力値Ｐ１：単位Ｐａ）、および、圧力観測終了時（所定時間の経過時）のパネル排気チャンバー１内の圧力（第二の圧力値Ｐ２：単位Ｐａ）を、各々測定する。そして、当該第一の圧力値Ｐ１と第二の圧力値Ｐ２とにより、上記所定の時間内における、パネル排気チャンバー１内の圧力変化量（＝Ｐ２−Ｐ１）を測定する。
【００５７】
次に、当該圧力変化量（＝Ｐ２−Ｐ１）に基づいて、上記所定の時間内における、パネル排気チャンバー１内に放出された放出ガス量Ｘ（第一の放出ガス量と把握できる）を導出する。当該第一の放出ガス量Ｘの導出は、たとえば、下式（１）を用いて行うことができる。
【００５８】
Ｘ＝（Ｐ２−Ｐ１）×Ｌ÷ｔ      （１）
ここで、Ｌは、パネル排気チャンバー１の容積（ｍ3）である。また、ｔは、上記所定時間（ｓｅｃ）である。また、上記で導出される放出ガス量は、パネル排気チャンバー１自体（壁面）からの放出ガス量と、パネル内からの放出ガス量とが含まれている。しかし、以下の方法により、パネル内の放出ガス量（当該ガス量も、第一の放出ガス量と把握できる）のみを導出することができる。
【００５９】
上記ステップＳ１〜Ｓ５の工程を開始する前において、パネルを設置しない状態で、パネル排気チャンバー１内の真空引きを行う。ここで、当該真空引きは、上記と同じ条件で行う。そして、真空引き後、上記所定時間ｔにおける、パネル排気チャンバー１内に放出されるガス量（空ガス量と称する）を（１）式を用いて、導出する。つまり、実際の製造を始める前に、予め空ガス量を導出しておく。
【００６０】
次に、当該空ガス量を求めた後、上記ステップＳ１〜Ｓ５の工程を実施し、放出ガス量（パネル排気チャンバー１自体からの放出ガス量＋パネル内からの放出ガス量）を導出する。
【００６１】
ここで、ステップＳ５において導出された放出ガス量から、上記空ガス量を差し引くことにより、上記所定時間ｔにおける、パネル内からの放出ガス量のみを見積もることができる。以下の説明では、放出ガス量とは、パネル内のみからの放出ガス量を意味するものとする。
【００６２】
次に、ステップＳ５で導出された放出ガス量（第一の放出ガス量と把握できる）と、予め設定されている、規定値である放出ガス量（第二の放出ガス量と把握できる）とを比較する（ステップＳ６）。
【００６３】
上記比較の結果、第一の放出ガス量が、第二のガス量より大きい場合（つまり、第一の放出ガス量が、予め設定されている規定値より大きい場合であり、ステップＳ６で「Ａ」）には、第一のバルブ１０を再度開く（ステップＳ２）。これにより、パネル排気チャンバー１の真空引きを再度行うことができる。このように、再度の真空引きを行うのは、パネル内の真空引きが十分に行われていなかったからである。
【００６４】
これに対して、上記比較の結果、第一の放出ガス量が、第二のガス量以下である場合（つまり、第一の放出ガス量が、予め設定されている規定値以下である場合であり、ステップＳ６で「Ｂ」）には、パネルを液晶材料注入チャンバー２へと移動させる（ステップＳ７）。これは、表示に影響を与えないほど十分に、パネルの真空引きが行われているからである。
【００６５】
さて、パネルの真空引きが不十分であると判断され（ステップＳ６で「Ａ」）、ステップＳ２において再度第一のバルブ１０を開いた後は、ステップＳ３からステップＳ６までの工程を再度実施する。
【００６６】
次に、液晶材料脱泡チャンバー３で実施される工程について、図３の工程フロー図を用いて説明する。
【００６７】
まず、液晶材料脱泡チャンバー３内に、液晶材料を設置する（ステップＳ１１）。ここで、液晶表示装置の用途等に応じて、多種多様な液晶材料が使用される。当該多種多能な液晶材料として、たとえば、複数の有機化合物の混合物を用いることができる。
【００６８】
次に、バルブ１４，１５を開く（ステップＳ１２）。
【００６９】
第五のバルブ１４を開くことにより、液晶材料脱泡チャンバー３と第三の真空ポンプ６との間における、ガスの導通を確保することができる。また、第六のバルブ１５を開き、第三の圧力計９を観測することにより、液晶材料脱泡チャンバー３内の圧力を測定することができる。
【００７０】
次に、第三の真空ポンプ６を用いて、液晶材料脱泡チャンバー３内の真空引きを開始する（ステップＳ１３）。ここで、当該真空引きは、第三の圧力計９の圧力値をモニタしながら行う。また、当該液晶材料脱泡チャンバー３内の真空引きは、所定の圧力値に達してから、さらに所定の時間行う。
【００７１】
次に、液晶材料脱泡チャンバー３内の真空引きが行われ（ステップＳ１３）、脱泡処理が施された液晶材料を、液晶材料注入チャンバー２へ移動させる（ステップＳ１４）。
【００７２】
次に、液晶材料注入チャンバー２で実施される工程について、図４の工程フロー図を用いて説明する。
【００７３】
まず、パネルおよび液晶材料が設置されていない状態で、バルブ１２，１３を開く（ステップＳ２１）。
【００７４】
第三のバルブ１２を開くことにより、液晶材料注入チャンバー２と第二の真空ポンプ５との間における、ガスの導通を確保することができる。また、第四のバルブ１３を開き、第二の圧力計８を観測することにより、液晶材料注入チャンバー２内の圧力を測定することができる。
【００７５】
次に、第二の真空ポンプ５を用いて、液晶材料注入チャンバー２内の真空引きを開始する（ステップＳ２２）。ここで、当該真空引きは、第二の圧力計８の圧力値をモニタしながら行う。
【００７６】
ところで、パネル排気チャンバー１からパネルを移動させる直前の当該パネル排気チャンバー１内の圧力値と、液晶材料脱泡チャンバー３から液晶材料を移動させる直前の当該液晶材料脱泡チャンバー３内の圧力値とは、ほぼ同一である。したがって、ステップＳ２２で行われる真空引きにより、液晶材料注入チャンバー２内の圧力値も、他の二つのチャンバー１，３内の上記圧力値と、ほぼ同一に設定する。
【００７７】
次に、パネル排気チャンバー１と液晶材料注入チャンバー２との間に存するバルブ（図示せず）を開ける。そして、パネル排気チャンバー１から液晶材料注入チャンバー２へ、排気処理後のパネルを移動させる（ステップＳ２３）。
【００７８】
次に、液晶材料脱泡チャンバー３と液晶材料注入チャンバー２との間に存するバルブ（図示せず）を開ける。そして、液晶材料脱泡チャンバー３から液晶材料注入チャンバー２へ、脱泡処理後の液晶材料を移動させる（ステップＳ２４）。
【００７９】
ここで、ステップＳ２３とステップＳ２４の工程は、もちろん逆であっても良い。また、液晶材料注入チャンバー２に、パネルと液晶材料とが設置された状態を図６に示す。図６に示すように、真空状態（所定の低圧値状態）の液晶材料注入チャンバー２内には、排気処理後のパネル３１と液晶材料３２とが設置されている。ここで、液晶材料装置３２は、移動可能なテーブル３３上に載置されている。また、パネル３１には、注入口３１ａが形成されている。
【００８０】
液晶材料注入チャンバー２内にパネル３１と液晶材料３２とを設置した後に（ステップＳ２３，２４）、パネル３１の注入口３１ａに液晶材料３２を接触させる（ステップＳ２５）。ここで、当該注入口３１ａへの液晶材料３２の接触は、テーブル３３を移動させることにより行う。図７は、注入口３１ａに液晶材料３２が接触している状態を示す図である。
【００８１】
次に、注入口３１ａに液晶材料３２を接触させた状態で、液晶材料注入チャンバー２内の気圧を大気圧に戻す。これにより、図８に示すように、パネル３１内に液晶材料を注入させることができる（液晶注入工程、ステップＳ２６）。なお、当該液晶材料の注入は、液晶材料注入チャンバー２内の気圧を大気圧に戻してから、所定の時間経過後に完了する。
【００８２】
以上のように、本実施の形態に係わる液晶表示装置の製造方法では、パネルに液晶材料を注入する前に、パネルから放出される放出ガス量（第一の放出ガス量と把握できる）をチェックするステップ（図２のステップＳ６）を有している。
【００８３】
したがって、パネル構成する各材料等が変更し、パネルの真空引きの条件が変化したとしても（たとえば、真空引きの時間が短くて良くなった場合でも）、不必要な時間、真空引きすることを防止することができる。つまり、実用性を有した、パネルの排気処理が可能となる。
【００８４】
また、本実施の形態では、ステップＳ６において、予め設定されている規定値である、第二の放出ガス量を用いて、パネルからの第一の放出ガス量を監視している。そして、パネルからの第一の放出ガス量が、第二の放出ガス量より大きい場合には、パネル排気チャンバー１の真空引きを再度行っている。
【００８５】
したがって、パネルの構成条件に応じて、パネルのガス排出処理を十分に行うことができる。
【００８６】
また、上記第一の放出ガス量が、上記第二の放出ガス量以下の場合には、パネルを液晶材料注入チャンバー２へ移動させ、パネルに液晶材料を注入している。
【００８７】
したがって、たとえば、パネルを構成する各基板上に形成された有機膜内に含まれる、水分などの気泡成分を、液晶材料注入前に、所定値以下に管理することができる。よって、その後に、当該パネルに液晶材料を注入したとしても、表示不良が発生することを防止することができる。
【００８８】
＜実施の形態２＞
実施の形態１では、パネル内からの気泡成分の排出処理の際に、本発明を適用する場合に言及した。
【００８９】
本実施の形態２は、液晶材料の脱泡処理の前に、本発明を適用する場合のものである。以下、図１に示した構成図および、図９，１０等に示す工程フロー図を用いて、本実施の形態に係わる液晶表示装置の製造方法を具体的に説明する。なお、本実施の形態に係わる液晶表示装置の製造方法は、図１で示した液晶注入装置１００を用いて実施される。
【００９０】
ここで、図９は、パネル排気チャンバー１で実施される、工程フロー図である。図１０は、液晶材料脱泡チャンバー３で実施される、工程フロー図である。なお、本実施の形態において、液晶材料注入チャンバー２で実施される工程は、実施の形態１の図４で示した工程と同じである。
【００９１】
まずはじめに、パネル排気チャンバー１で実施される工程について、図９を用いて説明する。
【００９２】
まず、パネル排気チャンバー１内に、液晶材料が注入される前のパネル（図５参照）を設置する（ステップＳ３１）。
【００９３】
次に、バルブ１０，１１を開く（ステップＳ３２）。
【００９４】
第一のバルブ１０を開くことにより、パネル排気チャンバー１と第一の真空ポンプ４との間における、ガスの導通を確保することができる。また、第二のバルブ１１を開き、第一の圧力計７を観測することにより、パネル排気チャンバー１内の圧力を測定することができる。
【００９５】
次に、第一の真空パンプ４を用いて、パネル排気チャンバー１内の真空引きを開始する（ステップＳ３３）。ここで、当該真空引きは、第一の圧力計７の圧力値をモニタしながら、所定の時間行う。
【００９６】
次に、パネル排気チャンバー１内の真空引きが行われ（ステップＳ３３）、排気処理が施されたパネルを、液晶材料注入チャンバー２へ移動させる（ステップＳ３４）。
【００９７】
次に、液晶材料脱泡チャンバー３で実施される工程について、図１０を用いて説明する。
【００９８】
まず、液晶材料脱泡チャンバー３に液晶材料を導入せずに、バルブ１４，１５を開く（ステップＳ４１）。
【００９９】
第五のバルブ１４を開くことにより、液晶材料脱泡チャンバー３と第三の真空ポンプ６との間における、ガスの導通を確保することができる。また、第六のバルブ１５を開き、第三の圧力計９を観測することにより、液晶材料脱泡チャンバー３内の圧力を測定することができる。
【０１００】
次に、第三の真空ポンプ６を用いて、液晶材料脱泡チャンバー３内の真空引きを開始する（ステップＳ４２）。ここで、当該真空引きは、第三の圧力計９の圧力値をモニタしながら、所定の時間行う。
【０１０１】
液晶材料脱泡チャンバー３内の真空引きを開始してから、所定の時間経過後に、第五のバルブ１４を閉じる（ステップＳ４３）。これにより、液晶材料脱泡チャンバー３内の真空引きを中断することができる。
【０１０２】
次に、液晶材料が未だ配置されていない液晶材料脱泡チャンバー３内で発生する、放出ガス量（第一の放出ガス量と把握できる）を測定（導出）する（ステップＳ４４）。当該第一の放出ガス量の測定の具体的方法は、下記の通りである。
【０１０３】
前述の通り、液晶材料脱泡チャンバー３内の真空引きは、中断されている。当該状態において、液晶材料脱泡チャンバー３内の圧力を所定時間観測する。当該所定時間の圧力観測により、圧力観測開始時（所定時間の開始時）の液晶材料脱泡チャンバー３内の圧力（第一の圧力値Ｐ１）、および、圧力観測終了時（所定時間の経過時）の液晶材料脱泡チャンバー３内の圧力（第二の圧力値Ｐ２）を、各々測定する。そして、当該第一の圧力値Ｐ１と第二の圧力値Ｐ２とにより、上記所定の時間内における、液晶材料脱泡チャンバー３内の圧力変化量（＝Ｐ２−Ｐ１）を測定する。
【０１０４】
次に、当該圧力変化量（＝Ｐ２−Ｐ１）に基づいて、上記所定の時間内において、液晶材料脱泡チャンバー３内で放出された放出ガス量Ｘ（第一の放出ガス量と把握できる）を導出する。当該第一の放出ガス量Ｘの導出は、上式（１）を用いて行うことができる。なお、本実施の形態では、Ｌは、液晶材料脱泡チャンバー３の容積である。
【０１０５】
以上により、上記所定時間内における、液晶材料が未だ配置されていない液晶材料脱泡チャンバー３内自体からの放出ガス量（第一の放出ガス量と把握できる）を導出することができる。
【０１０６】
次に、ステップＳ４４で導出された放出ガス量（第一の放出ガス量と把握できる）と、予め設定されている、規定値である放出ガス量（第二の放出ガス量と把握できる）とを比較する（ステップＳ４５）。
【０１０７】
上記比較の結果、第一の放出ガス量が、第二のガス量より大きい場合（つまり、第一の放出ガス量が、予め設定されている規定値より大きい場合であり、ステップＳ４５で「Ｘ」）には、第五のバルブ１４を再度開く（ステップＳ４１）。これにより、液晶材料脱泡チャンバー３の真空引きを再度行うことができる。このように、再度の真空引きを行うのは、液晶材料脱泡チャンバー３内（特に、液晶材料脱泡チャンバー３の壁面から放出されるガス等）の真空引きが十分で無かったからである。
【０１０８】
これに対して、上記比較の結果、第一の放出ガス量が、第二のガス量以下である場合（つまり、第一の放出ガス量が、予め設定されている規定値以下である場合であり、ステップＳ４５で「Ｙ」）には、液晶材料を液晶材料脱泡チャンバー３内へに配置させる（ステップＳ４６）。
【０１０９】
このように、液晶材料脱泡チャンバー３内の真空引きが十分に行われている。したがって、液晶材料脱泡チャンバー３の壁面からガスや有機物等の放出を極力抑制することができる。よって、液晶材料脱泡チャンバー３内に所望の液晶材料を配置させ、当該液晶材料に対して脱泡処理（ステップＳ４７）を施したとしても、当該所望の混合比の液晶材料に余分な物質が混合すること抑制することができる。
【０１１０】
また、液晶材料を液晶材料脱泡チャンバー３内に配置させる際（ステップＳ４６）に、真空度が下がることもある。しかし、当該場合にたとえ真空度の低下があったとしても、所望の液晶材料の物性にはほとんど影響ない（つまり、物性の変化はない）。また、当該真空度の低下は、主に無機物によるものが多い。当該無機物が多少液晶材料と混合したとしても、液晶材料の物性を変化させることはほとんどない。
【０１１１】
さて、液晶材料脱泡チャンバー３内の真空引きが不十分と判断され（ステップＳ４５で「Ｘ」）、ステップＳ４１において再度第五のバルブ１４を開いた後は、ステップＳ４２からステップＳ４５までの工程を再度実施する。
【０１１２】
上記工程フローを実施し、液晶材料脱泡チャンバー３内に液晶材料を配置した（ステップＳ４６）後は、液晶材料脱泡チャンバー３内において、更なる真空引きを所定の真空度（所定の圧力値）で、所定の時間行う。これにより、液晶材料の脱泡処理を行う（ステップＳ４７）。その後、脱泡処理が完了した液晶材料を、液晶材料注入チャンバー２へと移動させる（ステップＳ４８）。
【０１１３】
なお、排気処理が完了したパネルと脱泡処理が完了した液晶材料とが、液晶材料注入脱泡チャンバー２内に配置された後は、実施の形態１で説明した図４に示す工程が実施される。したがって、液晶材料注入脱泡チャンバー２で施される詳細な工程の流れについては、ここでの説明は省略する。
【０１１４】
以上のように、本実施の形態では、液晶材料を配置する前の液晶材料脱泡チャンバー３内を、所定の時間真空引きした後に、当該真空引きを止め、当該液晶材料脱泡チャンバー３内の壁面から放出されるガス等の放出ガス量をチェックしている。
【０１１５】
したがって、液晶材料注入前に行われる、当該液晶材料脱泡チャンバー３内の真空引き処理を、不必要な時間することを防止することができる。つまり、多種多様な液晶材料の脱泡処理が可能な液晶材料脱泡チャンバー３内での、実用性を有する排気処理が可能となる。
【０１１６】
また、本実施の形態では、ステップＳ４５において、予め設定されている規定値である、第二の放出ガス量を用いて、液晶材料脱泡チャンバー３の内壁からの放出ガス量を監視している。そして、液晶材料脱泡チャンバー３の内壁からの放出ガス量（第一の放出ガス量と把握できる）が、第二の放出ガス量より大きい場合には、液晶材料脱泡チャンバー３の内壁の真空引きを再度行っている。
【０１１７】
したがって、液晶材料脱泡チャンバー３の内壁に付着している有機物等の異物の量に応じて、液晶材料脱泡チャンバー３の内壁のガス排出処理を十分に行うことができる。
【０１１８】
また、上記第一の放出ガス量が、上記第二の放出ガス量以下の場合には、液晶材料を液晶材料脱泡チャンバー３内に配置させ、その後、当該液晶材料に対して脱泡処理を施している。
【０１１９】
したがって、たとえば、液晶材料脱泡チャンバー３の内壁から放出されるガス量を、液晶材料配置前に、所定値以下に管理することができる。よって、その後に、当該液晶材料脱泡チャンバー３内に液晶材料を配置したとしても、当該液晶材料に余分な物質混ざることを抑制することができる。
【０１２０】
これにより、液晶材料脱泡チャンバー３内に配置した直後の液晶材料の混合比と、液晶材料脱泡チャンバー３内で脱泡処理が施された後の液晶材料の混合比とは、ほとんど変化しない。よって、液晶材料脱泡チャンバー３内に配置した直後の液晶材料の物性値と、液晶材料脱泡チャンバー３内で脱泡処理が施された後の液晶材料の物性値とは、ほぼ同一である。このように、液晶材料の脱泡処理前後において、液晶材料の物性が変化しないので、表示性能の変化も抑制することができる。
【０１２１】
つまり、液晶材料脱泡チャンバー３内での脱泡処理が施されたとしても、目的とする表示特性を得ることができる。
【０１２２】
＜実施の形態３＞
本実施の形態は、実施の形態１の特徴部と実施の形態２の特徴部とが、組み合わされた方法に関するものである。以下、本実施の形態に係わる液晶表示装置の製造方法について、説明する。なお、本実施の形態に係わる液晶表示装置の製造方法は、図１で示した液晶注入装置１００を用いて実施される。
【０１２３】
まずはじめに、パネル排気チャンバー１において、図２に示した一連の工程が実施される。パネル排気チャンバー１内での一連の工程を施された、液晶材料注入前のパネルは、当該パネル排気チャンバー１から液晶材料注入チャンバー２への移動される。
【０１２４】
また、液晶材料脱泡チャンバー３において、図１０に示した一連の工程が実施される。液晶材料脱泡チャンバー３内での一連の工程を施された、脱泡処理済みの液晶材料は、当該液晶材料脱泡チャンバー３から液晶材料注入チャンバー２への移動される。
【０１２５】
また、排気処理済みのパネルおよび脱泡処理済みの液晶材料が配置された、液晶材料注入脱泡チャンバー２では、図４に示した一連の工程が実施される。
【０１２６】
以上の工程により、液晶材料が注入されたパネルを作製することができる。
【０１２７】
上記したように、本実施の形態に係わる液晶表示装置の製造方法では、図２に示した一連の工程と、図１０に示した一連の工程とが、施されている。つまり、パネルの第一の放出ガス量のチェック、および液晶材料脱泡チャンバー３内の第一の放出ガス量のチェックが、各々行われる。したがって、本実施の形態を実施することにより、実施の形態１，２で説明した効果を奏することができる。
【０１２８】
なお、上記各実施の形態では真空注入方式により、液晶パネルを作製する場合について言及した。しかし、滴下注入方式により液晶パネルを作製する場合において、パネルを構成する各基板の排気処理の際にも、本発明を適用することができる。
【０１２９】
たとえば、液晶材料注入装置は、基板排気チャンバーを備えている。ここで、基板排気チャンバーおよびこれに接続される真空ポンプ等の構成は、パネル排気チャンバー１およびこれに接続される真空ポンプ４等とほぼ同一の構成である。両者において異なる点は、基板排気チャンバーには、パネルを構成する基板が配置され、当該基板から放出されるガスの排気処理が可能なチャンバーであるという点である。
【０１３０】
当該基板排気チャンバーに、パネルを構成する基板を配置する。そして、実施の形態１の図２と同様（ただし、パネル排気チャンバー１を基板排気チャンバーと読み替える必要はある）の一連の工程を実施する。そして、当該一連の工程実施後、他のチャンバー内に基板を移動させる。
【０１３１】
なお、図２を用いた上記説明からも分かるように、基板からの放出ガス量（第一の放出ガス量と把握できる）が、規定値である第二の放出ガス量以下である場合に、当該基板は、他のチャンバーへと移動される。また、第一の放出ガス量が、第二の放出ガス量より大きい場合には、基板排気チャンバー内の再度の真空引きを行う。
【０１３２】
その後、移動後の２枚の基板のうち、いずれか一方の基板上に、液晶材料を滴下する。その後、当該一方の基板と他方の基板とを、図５で示した構成の如く、貼り合わせる。これにより、液晶パネルが作製される。なお、当該貼り合わせ工程は、真空引きされた他のチャンバー内で行われる。
【０１３３】
以上により、滴下注入方式を採用した場合にも、本発明を適用することができ、実施の形態１で説明した効果と同様な効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】本発明に係わる液晶注入装置の構成を示す概略図である。
【図２】実施の形態１に係わるパネル排気チャンバーにおける、一連の工程を示す工程フロー図である。
【図３】実施の形態１に係わる液晶材料脱泡チャンバーにおける、一連の工程を示す工程フロー図である。
【図４】実施の形態１に係わる液晶材料注入チャンバーにおける、一連の工程を示す工程フロー図である。
【図５】液晶材料が注入される前のパネルの構成を示す、概略断面図である。
【図６】パネルと液晶材料とが配置された、液晶材料注入チャンバー内の様子を示す断面図である。
【図７】パネルの注入口に液晶材料を接触させた様子を示す断面図である。
【図８】パネル内に液晶材料が注入される様子を示す断面図である。
【図９】実施の形態２に係わるパネル排気チャンバーにおける、一連の工程を示す工程フロー図である。
【図１０】実施の形態２に係わる液晶材料脱泡チャンバーにおける、一連の工程を示す工程フロー図である。
【符号の説明】
【０１３５】
１  パネル排気チャンバー、２  液晶材料注入チャンバー、３  液晶材料脱泡チャンバー、４  第一の真空ポンプ、５  第二の真空ポンプ、６  第三の真空ポンプ、７  第一の圧力計、８  第二の圧力計、９  第三の圧力計、１０  第一のバルブ、１１  第二のバルブ、１２  第三のバルブ、１３  第四のバルブ、１４  第五のバルブ、１５  第六のバルブ、３１  パネル、３１ａ  注入口、３２  液晶材料、３３  テーブル。
【図１】
2007011182.tif 000003
【図２】
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【図３】
2007011182.tif 000005
【図４】
2007011182.tif 000006
【図５】
2007011182.tif 000007
【図６】
2007011182.tif 000008
【図７】
2007011182.tif 000009
【図８】
2007011182.tif 000010
【図９】
2007011182.tif 000011
【図１０】
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