(57)【要約】  【課題】突起電極に対し半導体素子の電極パッドを、高い精度で位置決めすることが可能な位置合わせマークを有する配線基板を提供する。  【解決手段】可撓性絶縁基材１と、可撓性絶縁性基材上に整列して設けられた複数本の導体配線２と、各導体配線の半導体素子４を搭載する領域に位置する端部に設けられた突起電極３とを備える。半導体素子に形成された電極パッドと前記突起電極とを接合させることにより、前記半導体素子を前記導体配線上に実装する。絶縁基材上に導体配線と同様に形成された補助導体配線１０と、補助導体配線上に突起電極と同様に形成された補助突起電極１１とを備え、半導体素子を補助突起電極を基準として位置決めすることにより、半導体素子に形成された電極パッドを、導体配線上の突起電極に対して位置合わせすることができる。【選択図】図１
2007103430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性絶縁基材と、
前記可撓性絶縁性基材上に整列して設けられた複数本の導体配線と、
前記各導体配線の半導体素子を搭載する領域に位置する端部に設けられた突起電極とを備え、
半導体素子に形成された電極パッドと前記突起電極とを接合させることにより、前記半導体素子を前記導体配線上に実装するように構成された配線基板において、
前記絶縁基材上に前記導体配線と同様に形成された補助導体配線と、前記補助導体配線上に前記突起電極と同様に形成された補助突起電極とを備え、
前記半導体素子を前記補助突起電極を基準として位置決めすることにより、前記半導体素子に形成された前記電極パッドを、前記導体配線上の前記突起電極に対して位置合わせすることができるように構成されたことを特徴とする配線基板。
【請求項２】
前記突起電極と前記補助突起電極の高さが同じである請求項１に記載の配線基板。
【請求項３】
前記突起電極の材料と前記突起電極の材料が同じである請求項１に記載の配線基板。
【請求項４】
前記突起電極と前記補助突起電極が同時に形成されたものである請求項１に記載の配線基板。
【請求項５】
前記導体配線および前記補助導体配線を含む前記絶縁基材上を被覆して形成されたソルダーレジスト層を備え、
前記ソルダーレジスト層は、前記補助導体配線における前記補助突起電極が形成された端部領域に位置合わせ開口を有し、前記補助突起電極が前記位置合わせ開口から露出している請求項１に記載の配線基板。
【請求項６】
前記補助突起電極は、前記突起電極が配置された領域から離間した外側領域に配置されている請求項５に記載の配線基板。
【請求項７】
前記補助導体配線が複数本並列に配置して設けられ、前記複数の補助導体配線の各々に前記補助突起電極が並列に整列して形成され、隣接する前記補助突起電極が互いに接合されている請求項５に記載の配線基板。
【請求項８】
前記補助導体配線が複数本並列に配置して設けられ、前記複数の補助導体配線の各々に前記補助突起電極が並列に整列して形成され、隣接する前記補助突起電極が互いに離間している請求項５に記載の配線基板。
【請求項９】
更に複数の補助突起電極が、前記並列に整列して形成された前記補助突起電極に対して前記複数の補助導体配線上において直列に整列して設けられた請求項７または８に記載の配線基板。
【請求項１０】
前記複数の補助導体配線は、前記補助突起電の両側の領域において１本の補助導体配線に結合され、その結合部分が前記位置合わせ開口内に位置している請求項７〜９のいずれか１項に記載の配線基板。
【請求項１１】
前記複数の補助導体配線のうち少なくとも一部の前記補助導体配線は、前記位置合わせ開口の周縁に対して斜めに交差する斜交部分を有する請求項１０に記載の配線基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばテープキャリア基板のような、柔軟な絶縁性の基材上に導体配線を設け、その導体配線上に接続用の突起電極を形成した構成を有する配線基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
テープキャリア基板を使用したパッケージモジュールの一種として、ＣＯＦ（Chip On Film）が知られている。ＣＯＦは、テープキャリア基板上に半導体素子を搭載し、樹脂で封止することにより搭載部を保護した構造を有する。ＣＯＦに用いられるテープキャリア基板は、絶縁性のフィルム基材と、その面上に形成された多数本の導体配線から構成される。フィルム基材としては一般的にポリイミドが、導体配線としては銅が使用される。必要に応じて導体配線上には、金属めっき被膜および絶縁樹脂であるソルダーレジストの層が形成される。テープキャリア基板上の導体配線と半導体素子の電極パッドは、突起電極を介して接続される。特許文献１には、この突起電極をあらかじめ導体配線上に形成したテープキャリア基板が開示されている。
【０００３】
上述のようなテープキャリア基板に半導体素子を実装するために、テープキャリア基板上に半導体素子を載置する際には、半導体素子上の電極パッドと突起電極とを互いに位置決めする必要がある。
【０００４】
図６に、そのような位置決めのための位置あわせマークを有するテープキャリア基板の例を示す。図６において、１は絶縁性のフィルム基材であり、多数本の導体配線２が整列して設けられている。導体配線２の端部には各々、突起電極３が設けられている。搭載されるべき半導体素子４が、一点鎖線で示されている。半導体素子４に形成された多数の電極パッド（不図示）は各々、突起電極３と対向し、接合されている。
【０００５】
フィルム基材１の上面には、例えばエポキシ樹脂からなるソルダーレジスト層５が形成され、導体配線２を保護する被覆膜となっている。但し、ソルダーレジスト層５には、半導体素子４が搭載される領域の周囲を周縁として素子搭載部開口５ａが設けられている。導体配線２における突起電極３が設けられた端部は、半導体素子４の電極パッドとの接続のために、素子搭載部開口５ａ内で露出するように配置されている。
【０００６】
フィルム基材１の両側縁部には、スプロケットホール６が形成され、半導体素子４を搭載する際の処理の工程において、フィルム基材１を駆動するために用いられる。半導体素子４を搭載する際には、半導体素子４の電極パッドと、導体配線２の突起電極３とを互いに位置あわせする必要がある。そのため、半導体素子４の半導体基板上面には位置合わせマーク７が設けられている。フィルム基材１にも、位置合わせマーク７に対応する位置合わせマーク８が形成されている。位置合わせマーク８は、導体配線２と同様の配線層をマークの形状に形成することにより設けられ、ソルダーレジスト層５から露出している。
【０００７】
半導体素子４をフィルム基材１上に搭載する際には、半導体素子４の位置合わせマーク７とフィルム基材１の位置合わせマーク８を基準にして、両方の位置合わせマークが互いに所定の位置関係になるように半導体素子４の位置決めを行う。それにより、半導体素子４の電極パッドと導体配線２の突起電極３とが互いに対向し、接合可能な状態が得られる。
【特許文献１】特開２００４−３２７９３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記従来の位置合わせの方法では、導体配線２の狭ピッチ化が進み、突起電極３のサイズが小さくなると、半導体素子４の電極パッドと導体配線２の突起電極３の相互の位置合わせを所定の精度で行うことが困難になってきた。その理由は、以下のとおりである。
【０００９】
フィルム基材１の位置合わせマーク８は、導体配線２と同様に形成されるので、突起電極３とは異なる工程において形成される。そのため、位置合わせマーク８と突起電極３の相互の位置関係には、ある程度の幅を持った誤差が生じることが避けられない。その結果、半導体素子４の位置合わせマーク７とフィルム基材１の位置合わせマーク８を基準にして半導体素子４の位置決めを行った場合に、突起電極３に対する半導体素子４の電極パッドの位置関係は、多少の誤差を含むことになり、接続の信頼性を十分に確保することが困難になる。
【００１０】
本発明は、突起電極に対し半導体素子の電極パッドを、高い精度で位置決めすることが可能な位置合わせマークを有する配線基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の配線基板は、可撓性絶縁基材と、前記可撓性絶縁性基材上に整列して設けられた複数本の導体配線と、前記各導体配線の半導体素子を搭載する領域に位置する端部に設けられた突起電極とを備え、半導体素子に形成された電極パッドと前記突起電極とを接合させることにより、前記半導体素子を前記導体配線上に実装するように構成される。
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の配線基板は、前記絶縁基材上に前記導体配線と同様に形成された補助導体配線と、前記補助導体配線上に前記突起電極と同様に形成された補助突起電極とを備え、前記半導体素子を前記補助突起電極を基準として位置決めすることにより、前記半導体素子に形成された前記電極パッドを、前記導体配線上の前記突起電極に対して位置合わせすることができるように構成される。
【発明の効果】
【００１３】
上記構成の配線基板によれば、突起電極との位置関係の精度の高い補助突起電極を基準として位置決めすることにより、突起電極に対して半導体素子の電極パッドを、高い精度で位置決めすることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の配線基板において、前記突起電極と前記補助突起電極の高さが同じであることが好ましい。また、前記突起電極の材料と前記突起電極の材料が同じであることが好ましい。また、前記突起電極と前記補助突起電極が同時に形成されたものであることが好ましい。
【００１５】
また、前記導体配線および前記補助導体配線を含む前記絶縁基材上を被覆して形成されたソルダーレジスト層を備え、前記ソルダーレジスト層は、前記補助導体配線における前記補助突起電極が形成された端部領域に位置合わせ開口を有し、前記補助突起電極が前記位置合わせ開口から露出していることが好ましい。
【００１６】
この構成において、好ましくは、前記補助突起電極は、前記突起電極が配置された領域から離間した外側領域に配置されている。
【００１７】
また、好ましくは、前記補助導体配線が複数本並列に配置して設けられ、前記複数の補助導体配線の各々に前記補助突起電極が並列に整列して形成され、隣接する前記補助突起電極が互いに接合されている。
【００１８】
あるいは、好ましくは、前記補助導体配線が複数本並列に配置して設けられ、前記複数の補助導体配線の各々に前記補助突起電極が並列に整列して形成され、隣接する前記補助突起電極が互いに離間している。
【００１９】
上記構成において、更に複数の補助突起電極が、前記並列に整列して形成された前記補助突起電極に対して前記複数の補助導体配線上において直列に整列して設けられた構成とすることができる。
【００２０】
あるいは、前記複数の補助導体配線は、前記補助突起電の両側の領域において１本の補助導体配線に結合され、その結合部分が前記位置合わせ開口内に位置している構成とすることができる。
【００２１】
あるいは、前記複数の補助導体配線のうち少なくとも一部の前記補助導体配線は、前記位置合わせ開口の周縁に対して斜めに交差する斜交部分を有する構成とすることができる。
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照してより詳細に説明する。
【００２３】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１における配線基板の平面図を、図１に示す。本実施の形態において、図５に示した従来例の配線基板の要素と同一の要素については、同一の参照符号を付して説明する。図１に示されるように、絶縁性のフィルム基材１の上に、多数本の導体配線２が整列して設けられている。導体配線２の端部には各々、突起電極３が設けられている。搭載されるべき半導体素子４が、一点鎖線で示されている。半導体素子４に形成された多数の電極パッド（不図示）は各々、突起電極３と対向し、接合されている。
【００２４】
フィルム基材１の上面には、例えばエポキシ樹脂からなるソルダーレジスト層５が形成され、導体配線２を保護する被覆膜となっている。但し、ソルダーレジスト層５には、半導体素子４が搭載される領域の周囲を周縁として素子搭載部開口５ａが設けられている。導体配線２における突起電極３が設けられた端部は、半導体素子４の電極パッドとの接続のために、素子搭載部開口５ａ内で露出するように配置されている。
【００２５】
フィルム基材１の両側縁部には、スプロケットホール６が形成され、半導体素子４を搭載する際の処理の工程においてフィルム基材１を駆動するために用いられる。半導体素子４を搭載する際には、半導体素子４の電極パッドと、導体配線２の突起電極３とを互いに位置あわせする必要がある。そのため、半導体素子４の半導体基板上面には位置合わせマーク７が設けられている。フィルム基材１にも、位置合わせマーク７に対応する位置合わせマーク９が形成されている。位置合わせマーク９は、フィルム基材１上に導体配線２と同様に形成された補助導体配線１０と、補助導体配線１０上に突起電極３と同様に形成された補助突起電極１１とからなる。ソルダーレジスト層５には、補助突起電極１１を露出させるように位置合わせマーク開口５ｂが設けられ、補助突起電極１１を含む周囲の領域を露出させている。
【００２６】
半導体素子４をフィルム基材１上に搭載する際には、半導体素子４の位置合わせマーク７と、フィルム基材１の補助突起電極１１の相互の位置関係を基準にして、半導体素子４の位置決めを行う。それにより、半導体素子４の電極パッドと導体配線２の突起電極３とが互いに対向し、接合可能な状態が得られる。補助突起電極１１は、突起電極３と同一の工程において形成することが可能である。従って、半導体素子４の位置合わせマーク７とフィルム基材１の補助突起電極１１が互いに所定の位置関係になるように半導体素子４の位置決めを行えば、半導体素子４の電極パッドは、突起電極３に対して直接位置合わせを行うのと同様の制度で位置合わせができ、接続の信頼性を十分に確保することが可能になる。
【００２７】
補助突起電極１１は、半導体素子４の位置合わせに用いるので、半導体素子４が搭載される領域外に配置される必要がある。しかし、必ずしも、図１のように素子搭載部開口５ａとは別に位置合わせマーク開口５ｂが形成される必要はない。補助突起電極１１を、突起電極３が配置された領域に近接して配置し、位置合わせマーク開口５ｂが素子搭載部開口５ａと一体になっていてもよい。
【００２８】
突起電極３と補助突起電極１１の高さは、同等になるように形成される。また、突起電極３と補助突起電極１１は同じ材料で形成されることが望ましい。突起電極３と補助突起電極１１は、同一の工程において同時に形成されることが望ましいが、両者の位置関係の精度が良好であれば、別工程により形成することも可能である。
【００２９】
フィルム基材１としては、例えばポリイミドを用い、導体配線２、補助導体配線１０、突起電極３および補助突起電極１１としては、例えば銅を用いることができる。突起電極３、およびソルダーレジスト層５が設けられていない領域における導体配線２には、Ａｕめっき、Ｓｎめっき等からなる金属めっき層が施される。
【００３０】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２における配線基板について、図２を参照して説明する。図２（ａ）は、本実施の形態における配線基板の要部を示す平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。図１に示した配線基板の要素と同一の要素については、同一の参照符号を付して説明の繰り返しを省略する。
【００３１】
図２（ａ）は、フィルム基材１上のソルダーレジスト層５に設けられた位置合わせマーク開口５ｂの領域を示す。本実施の形態においては、補助導体配線１０が複数本並列に配置して設けられている。位置合わせマーク１２は、複数の補助導体配線１０の各々に並列に整列して配置された補助突起電極１３により形成されている。
【００３２】
このように、複数の補助突起電極１３が設けられることにより、位置合わせマーク１２の全体の寸法が大きくなる。従って、位置合わせの際の画像認識のコントラストの変化が大きくなり、認識精度が向上して、位置合わせの精度が向上する。
【００３３】
図２（ｂ）に示すように、隣接する補助突起電極１３は互いに接合されている。但し、条件によっては、隣接する補助突起電極１３が互いに離間している構成としてもよい。
【００３４】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３における配線基板について、図３を参照して説明する。図３は、本実施の形態における配線基板の要部を示す平面図であり、フィルム基材１上のソルダーレジスト層５に設けられた位置合わせマーク開口５ｂの領域を示す。図２に示した配線基板の要素と同一の要素については、同一の参照符号を付して説明の繰り返しを省略する。
【００３５】
本実施の形態においては、図２に示した構成に対して、更に複数の補助突起電極１４が設けられたことが特徴である。補助突起電極１４は、並列に整列して形成された補助突起電極１３に対して複数の補助導体配線１０上において直列に整列して設けられている。
【００３６】
補助突起電極１４を直列に配列して追加することにより、位置合わせマークの全体の寸法が更に大きくなり、位置合わせの際の画像認識の精度が向上して、位置合わせの精度がより向上する。
【００３７】
（実施の形態４）
本発明の実施の形態４における配線基板について、図４を参照して説明する。図４は、本実施の形態における配線基板の要部を示す平面図であり、フィルム基材１上のソルダーレジスト層５に設けられた位置合わせマーク開口５ｂの領域を示す。図２に示した配線基板の要素と同一の要素については、同一の参照符号を付して説明の繰り返しを省略する。
【００３８】
本実施の形態においては、図２に示した構成に対して、複数の補助導体配線１０が、補助突起電１３の両側の領域において１本の補助導体配線１５に結合されていることが特徴である。複数の補助導体配線１０は位置合わせ開口５ａ内で結合され、従って、補助導体配線１５は、位置合わせ開口５ａの周縁と交差している。
【００３９】
このように、位置合わせ開口５ａ内に形成された位置合わせマークが、複数の補助突起電１３と、１本の補助導体配線１５の組み合わせにより構成される。複数の補助突起電１３と、１本の補助導体配線１５とでは、位置合わせの際の画像認識のコントラストの変化が大きくなるので、認識精度が向上して、位置合わせの精度が向上する。
【００４０】
（実施の形態５）
本発明の実施の形態４における配線基板について、図５を参照して説明する。図５（ａ）は、本実施の形態における配線基板の要部を示す平面図であり、フィルム基材１上のソルダーレジスト層５に設けられた位置合わせマーク開口５ｂの領域を示す。図５（ｂ）は、比較のために示した実施の形態２の構成であり、図２に示した配線基板と同じものである。
【００４１】
本実施の形態は、図４に示した実施の形態４の変形例である。すなわち、複数の補助導体配線１０は、補助突起電１３の両側の領域において１本の補助導体配線１５に結合されているが、複数の補助導体配線１０は一方の側においては、位置合わせ開口５ａ外で結合されている。従って、一部の補助導体配線１０は、位置合わせ開口５ａの周縁に対して斜めに交差する斜交部分１６を有する。
【００４２】
このように補助導体配線１０が斜交部分１６を有することにより、補助突起電１３の近傍における補助導体配線１０の直行部１７との間で、位置合わせの際の画像認識のコントラストの変化が大きくなるので、認識精度が向上して、位置合わせの精度が向上する。これに対して、図５（ｂ）に示す構成の場合は、補助導体配線１０は、位置合わせ開口５ａの周縁に対する交差部１８は直交して交差する形状になっており、補助導体配線１０の直行部１７との間の画像認識のコントラストの変化があまり大きくない。
【００４３】
補助導体配線１０は、一例として、ピッチ：３０〜１００μｍ、幅：１５〜５０μｍ、補助突起電１３は、幅：２０μｍ〜５０μｍ、高さ：１０〜３０μｍ、長さ：２０〜５０μｍとすればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の配線基板によれば、突起電極に対し半導体素子の電極パッドを、高い精度で位置決めすることが可能であり、半導体素子の実装に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態１における配線基板の一部を示す平面図
【図２】（ａ）は本発明の実施の形態２における配線基板の一部を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図
【図３】本発明の実施の形態３における配線基板の一部を示す平面図
【図４】本発明の実施の形態４における配線基板の一部を示す平面図
【図５】（ａ）は本発明の実施の形態５における配線基板の一部を示す平面図、（ｂ）は比較例の配線基板の一部を示す平面図
【図６】従来例の配線基板の一部を示す平面図
【符号の説明】
【００４６】
１    フィルム基材
２    導体配線
３    突起電極
４    半導体素子
５    ソルダーレジスト層
５ａ  素子搭載部開口
５ｂ  位置合わせマーク開口
６    スプロケットホール
７、８、９、１２    位置合わせマーク
１０、１５  補助導体配線
１１、１３、１４  補助突起電極
１６  斜交部分
１７  直行部
１８  交差部
【図１】
2007103430.tif 000003
【図２】
2007103430.tif 000004
【図３】
2007103430.tif 000005
【図４】
2007103430.tif 000006
【図５】
2007103430.tif 000007
【図６】
2007103430.tif 000008