(57)【要約】【課題】  この発明の課題は、配管内を超音波を用いて洗浄する際に、配管の長さや口径に出来るだけ制約されることなく効率よく行うことである。【解決手段】  本設設備系統１４の配管内を洗浄する際には、本設設備系統１４の配管に行き循環配管３０と戻り循環配管３３とを接続して、両循環配管３０，３３と本設設備系統１４の配管とで閉ループの流路を形成する。その流路内のポンプ１３で洗浄水を閉ループの流路で循環させ、その洗浄水中に浮遊させた球体の超音波洗浄器を繰り返し本設設備系統１４内へ循環させて通過させ、その超音波洗浄器から本設設備系統１４の配管内面へ超音波振動を伝播させて、配管内面に付着した付着物を剥離させて除去する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄対象の配管中に液体と超音波振動発生装置とを入れ、前記配管中に前記超音波振動発生装置を移動させながら前記超音波振動発生装置から発せられた超音波を前記液体を通じて前記配管に伝播させる超音波洗浄方法において、
前記液体を前記配管に沿って流動させ、前記液体の流動力で前記超音波振動発生装置を前記配管に沿って流すことを特徴とする超音波洗浄方法。
【請求項２】
請求項１において、前記液体中に前記超音波振動発生装置を浮遊させて流すことを特徴とする超音波洗浄方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、複数個の前記超音発生装置を同時に流すことを特徴とする超音波洗浄方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項において、前記超音波の波長を前記配管の内径の４倍以上としてあることを特徴とする超音波洗浄方法。
【請求項５】
請求項１から請求項３までのいずれか一項において、前記超音波振動発生装置の外殻が球状であり、前記外殻を通じて全方位に前記液体に前記超音波を伝播させることを特徴とする超音波洗浄方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか一項において、前記洗浄対象の配管と前記配管外との間で前記流体をポンプで循環させ、前記循環する流体の流れの前記ポンプよりも上流側であって前記配管外の流路において前記流体から前記超音波振動発生装置を濾し分けて、濾し分けた後の前記流体の一部を前記ポンプへ、濾し分けた後の前記流体の他部および濾し分けられた前記超音波振動発生装置とを前記循環する流体の流れの前記ポンプよりも下流の前記流体に合流させることを特徴とする超音波洗浄方法。
【請求項７】
電池と、
前記電池を電源として駆動される超音波振動発生手段と、
前記超音波振動発生手段及び前記電池とを、前記超音波振動発生手段で発生した超音波振動が伝播するようにして収納した球体の外殻と、
を備えた超音波振動発生装置。
【請求項８】
洗浄対象の配管を流路の一部分に配置した循環流路と、
駆動エネルギー源として電池を内蔵した超音波振動発生装置と、
前記循環流路内に前記超音波振動発生装置を入れる開閉自在な投入口と、
前記循環流路の他部分に設けられて前記循環流路内で流体を駆動するポンプと、
前記ポンプよりも上流側と下流側とを接続するバイパス流路と、
前記流体から超音波振動発生装置を前記バイパス流路側に濾し分けるストレーナと、
を備えた超音波洗浄装置。
【請求項９】
請求項８において、前記循環流路内の前記超音波振動発生装置を取り出す手段を備えていることを特徴とする超音波洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種プラントの配管内を超音波振動を用いて洗浄する超音波洗浄技術に係わる。
【背景技術】
【０００２】
発電プラントの設備設置工事では、溶接等のスパッタなど設置作業等によって発生する異物や不純物，設置製品に塗布した防錆剤および、建設工事の周囲環境から流入する粉塵などが発電プラントの設置配管内に混入してしまう。それらの混入物等を洗浄除去することを、配管内の清浄度確保，本設品の損傷防止，残留物の放射化防止，化学薬品による腐食防止，腐食生成物による燃料保全などを目的として行うことが知られている。
【０００３】
洗浄作業は濁度の低下と防錆剤の除去をするため、洗浄水で配管内の残留物を押し流す押出し洗浄をはじめに行う。次に、異物をろ過・捕獲をするために、ストレーナ等の異物捕獲装置で配管内に混入して残留している異物を捕獲する循環洗浄を行う。この洗浄は配管全体で異物が除去された事が確認できるまで繰返し行っている。
【０００４】
洗浄水流速の選定においては異物の自重による沈降速度，異物を押し流す流速、および異物が移動する際の異物形状による抵抗との関係から、一般的に１ｍ／sec〜２ｍ／sec程度の流速が必要とされている。
【０００５】
しかしながら、発電プラント設備内には径の大きな配管も多数あり、配管総延長距離も非常に長くなるため、前述の流量を確保するためには、配管径の変化や機器形状による抵抗等で流速が変化するため、非常に大きな容量をもつポンプを必要とされている。配管内の残留物は配管内表面に固着している場合も多く見受けられるため、固着している残留物をいかに小さいポンプ容量で効率良く剥離させる事が従来からの課題であった。
【０００６】
効果的に配管内に付着した異物を剥離させる手段としては、既存の技術としては、超音波洗浄の採用が掲げられる。超音波洗浄とは、水中で超音波振動を発生させることにより、水が振動して配管内表面に複雑な水流を与えることにより、配管内面に付着している異物を配管内面から剥離させて再固着・再沈殿させることなく洗浄を行う方法である。
【０００７】
発電プラント設備設置工事における洗浄作業に超音波洗浄を適用するに際し、従来の超音波洗浄装置では、超音波洗浄装置を固定し洗浄対象物体を動かしながら洗浄を行うため、発電プラント設備内に既に最終据付け完了状態で、動かすことの出来ない洗浄対象物体に対しては適用出来ない点が問題であった。
【０００８】
この問題を解消できる従来技術の超音波洗浄方法としては、（１）高圧ホースから供給される高圧水を円筒型本体後方に噴射する推進ノズルから噴射される高圧水の反力によりノズル本体が前進するとともに、ノズル本体に取付られた超音波振動子から照射される超音波により、配管内面の付着物を除去する技術がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
また、その制限を解消できそうな従来技術として、（２）自走する推進力を得るためのスクリュー及びスクリュー駆動モータとバッテリを備えた自走するカプセルを、２重管
（外管）の液体の液面に浮かせ、カプセルの先端部の水管より吸入した液体をカプセル上部の水管から２重管（内管）に噴射させるとともに、カプセルの底部に設置した超音波発信機から発せられる超音波を２重管（外管）内の液体だけでなく、カプセル上部より噴射させた液体にも伝達させて配管を洗浄する技術がある（例えば、特許文献２参照）。
【００１０】
また、（３）多数の比較的比重の小さい発砲ポリエチレン等発砲プラスチックからなる球状の清掃材Ａと、金属体を埋め込んだ多数の比較的比重の大きい発砲ポリエチレン等発砲プラスチックからなる球状の清掃材Ｂを配管内に流体により圧送させることによって、各清掃材の比重の差により、清掃材Ａは主として配管内の上部側を、清掃材Ｂは主として配管内の下部側を流れそれぞれ配管内に付着している異物を効果的に剥離することができるだけでなく、独立気泡構造を有し柔軟性，弾力性，耐磨耗性，耐水性に富んでいる発砲プラスチックを使用することで配管内に摩擦効果を与え、さらに清掃材Ｂ中に埋め込まれた金属体の重量による衝突効果により、配管内に付着している異物を効果的に除去する技術がある（例えば、特許文献３参照）。
【００１１】
【特許文献１】特開平２−１５２５８６号公報
【特許文献２】特開平６−２６９７５５号公報
【特許文献３】特開昭５５−３９２４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
既述の（１）の従来技術によれば、高圧ホースの長さにより超音波洗浄の適用配管長さ範囲が制限されてしまう点が問題である。
【００１３】
また、既述の（２）の従来技術によれば、超音波振動を当てる方向が限定されてしまい配管内表面に洗浄ムラが発生してしまう点と、自走するためにエネルギーを多量に必要としてバッテリやモータが大型化してカプセルが大型化し、小口径の配管には適用しにくい制限が発生する。
【００１４】
また、既述の（３）の従来技術によれば、物理的な衝撃を配管や配管の途中に接続されている機器に与えてしまうと配管や機器を損傷させてしまう恐れがある点が問題である。
【００１５】
本発明の目的は、洗浄する配管の制限が少ない超音波洗浄方法及び装置並びにその洗浄に用いる超音波振動発生装置を提供することでる。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の課題を解決するための洗浄方法の基本要件は、洗浄対象の配管中に液体と超音波振動発生装置とを入れ、前記配管中に前記超音波振動発生装置を移動させながら前記超音波振動発生装置から発せられた超音波を前記液体を通じて前記配管に伝播させる超音波洗浄方法において、前記液体を前記配管に沿って流動させ、前記液体の流動力で前記超音波振動発生装置を前記配管に沿って流すことを特徴とする超音波洗浄方法である。
【００１７】
また、同じく超音波振動発生装置の基本構成は、電池と、前記電池を電源として駆動される超音波振動発生手段と、前記超音波振動発生手段及び前記電池とを、前記超音波振動発生手段で発生した超音波振動が伝播するようにして収納した球体の外殻を備えた超音波振動発生装置である。
【００１８】
また、同じく洗浄装置の基本構成は、洗浄対象の配管を流路の一部分に配置した循環流路と、駆動エネルギー源として電池を内蔵した超音波振動発生装置と、前記循環流路内に前記超音波振動発生装置を入れる開閉自在な投入口と、前記循環流路の他部分に設けられて前記循環流路内で流体を駆動するポンプと、前記ポンプよりも上流側と下流側とを接続するバイパス流路と、前記流体から超音波振動発生装置を前記バイパス流路側に濾し分けるストレーナとを備えた超音波洗浄装置である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、自走手段を持たない超音波振動発生装置を配管内の流体の流れに乗せて同伴させますので、超音波洗浄する配管の制限が少なく効率良く配管内の洗浄が出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図２のように、洗浄対象である配管である本設設備系統１４には、行き循環配管３０の一端が水タンク１１に弁３１を介して接続され、他端が本設設備系統１４へ弁３２を介して接続されている。同じく戻り循環配管３３の一端が行き循環配管３０の途中に弁３４を介して接続され、他端が本設設備系統１４へ弁５３を介して接続されている。
【００２１】
その行きと戻りの各循環配管３０，３３が接続されている位置の間の本設設備系統１４の配管が洗浄区間とされ、洗浄作業時には、それ以外の区間への各循環配管３０，３３の連通状態は成されていない。したがって、各循環配管３０，３３と本設設備系統１４とで循環流路が構成されている。
【００２２】
行き循環配管３０の途中には、加温装置１２と超音波洗浄器用ストレーナ２５とポンプストレーナ１６とポンプ１３とが、水タンク１１側を行き循環配管３０内の流れの上流側とし、本設設備系統１４側を行き循環配管３０内の流れの下流とした場合に、順次上流側から下流側に直列的に装備されている。
【００２３】
戻り循環配管３３は水タンク１１と加温装置１２との間の行き循環配管３０部位に接続されている。この行き循環配管３０には、加温装置１２と超音波洗浄器用ストレーナ２５との間で、洗浄薬品タンク１８内の洗浄薬品を行き循環配管３０へ注入する薬注ポンプ
１９が配管で接続されている。薬注ポンプ１９の吸い込み側には加温装置１２と水タンク１１との間の行き循環配管３０部位に弁３５を介して接続した配管が接続されている。
【００２４】
また、加温装置１２に対して並行にバイパス配管３６が加温装置１２の両端側の行き循環配管３０部分に接続され、そのバイパス配管３６の途中には弁３７を有する。
【００２５】
超音波洗浄器用ストレーナ２５は、図７のように、Ｔ字管３８内に装備され、そのＴ字管３８の水平ストレート流路の両端はフランジで行き循環配管３０のフランジに接続されることで行き循環配管３０とＴ字管３８とが接続されている。超音波洗浄器用ストレーナ２５はＴ字管３８と行き循環配管３０の両フランジで超音波洗浄器用ストレーナ２５のフランジ部分が挟まれてボルト締結されることで着脱自在に行き循環配管３０やＴ字管３８と一体にされる。
【００２６】
そのＴ字管３８の下端はバイパス配管３９の一端と接続され、そのバイパス配管３９の他端はポンプ１３よりも下流で行きの循環配管３０に接続されている。そのバイパス配管３９の途中にはバイパス配管３９内の流れを止めたり許容したりする弁４０を有する。
【００２７】
超音波洗浄器用ストレーナ２５は、図８のように、行きの循環配管３０やＴ字管３８との両フランジで挟まれて締結されるフランジ４１と、そのフランジ４１に固定されて下流側へ行くに従って間隔が狭まるように複数の棒４２とで構成される。その棒４２の間隔は後述の超音波洗浄器４３がポンプストレーナ１６側へ抜けないように狭めてある。ただし、Ｔ字管３８の下端への流路に面した棒４４，４５の間隔だけが超音波洗浄器４３を通過させる広さを有するように棒４２，４４，４５の間隔の設定が成されている。
【００２８】
その超音波洗浄器用ストレーナ２５は棒４２，４４，４５がＴ字管の下端への流路の上方に配置されることで、超音波洗浄器４３がＴ字管３８の下端への流路方向へのみ通過でき、ポンプストレーナ１６側へ進入できないように濾し分けられるようになっている。
【００２９】
行き循環配管３０のポンプ１３よりも下流側部位には、弁５１が装備される。その弁
５１よりもさらに下流側の行き循環配管３０の部位には配管長さ方向へ等間隔にて五箇所に計５つの投入フランジ２０，２１，２２，２３，２４が超音波洗浄器４３の行き循環配管３０内への投入口として装備されている。投入フランジ２０，２１，２２，２３，２４には、超音波洗浄器４３を行き循環配管３０へ入れる口を密封する蓋が開閉自在に装着されている。
【００３０】
戻り循環配管３３の途中には、戻り循環配管３３内の流れを止めたり許容したりする弁５４が装備され、その弁５４と並列にバイパス配管４６が接続されている。そのバイパス配管４６の途中にはメインストレーナ１５が、バイパス配管４６内の流れから超音波洗浄器４３を濾し取って捕獲できるように設置されている。さらに、メインストレーナ１５の両端側に位置するバイパス配管４６部位には、バイパス配管４６内の流れを止めたり許容したりする弁５５，５６が装備されている。
【００３１】
弁５１とポンプ１３との間の行き循環配管３０部位にはバイパス配管４７の一端が接続され、そのバイパス配管４７の他端は弁５３と弁５４との間の戻り循環配管３３の部位に接続されている。そのバイパス配管４７の途中には、そのバイパス配管内の流れを止めたり許容したりする弁５２が装備されている。
【００３２】
戻り循環配管３３の弁５４と弁３４との間の部位には、弁４８を介して排水管４９の一端が接続され、その配水管４９の他端は、二股に分かれて左右に区画された排水槽１７へ、それぞれ弁５７，５８を介して各区画ごとに連通されている。その排水槽１７は、排水が混ざり合わないように仕切板５０で左右に区画されている。排水槽１７には各区画ごとに、排水槽１７内の水中ポンプ５９，６０と、その水中ポンプ５９，６０の吐出口に逆止弁を介して接続された配管６１とが備わり、その配管６１の途中には弁６２，６３が装備されている。
【００３３】
図１は本発明の実施例に用いられる超音波振動発生装置である超音波洗浄器４３の断面を表している。以下に、その超音波洗浄器４３について説明する。即ち、１は、超音波洗浄器４３の駆動エネルギー源となる蓄電池２と、蓄電池２から受ける直流電流を交流電流に変換するインバータ３を内蔵し、蓄電池２を取替える為の電池取替蓋４を備えた電気ボックスを表す。
【００３４】
５は、周波数，振幅，波形，モードなどを設定して、その設定に基づいた電気信号を発する超音波発生器６と、その設定内容で発生した電気信号を増幅させる超音波増幅器７を内蔵する超音波ボックスを表す。
【００３５】
８は超音波発生器６と超音波増幅器７により与えられた超音波周波数の電気信号を物理的な超音波振動に変換する超音波振動子を表す。９は超音波振動子８による物理振動により他の設備が振動しないように超音波振動を防ぐ防振材を表す。１０は超音波振動子８で発生させた物理的な超音波振動を外部流体へ伝達する為の、超音波振動子８と密着した剛体による外殻を表す。その外殻１０は、外殻１０に電池取替蓋４をネジなどで装着した状態では、球体となる。
【００３６】
このような超音波洗浄器４３においては、蓄電池２から供給する直流電流は、電気ケーブルを伝い、インバータ３へ流れる。インバータ３では、その直流電流が交流電流に変換され、電気ケーブルを伝い、超音波発生器６，超音波増幅器７，超音波振動子８のそれぞれに供給され、各装置の駆動エネルギー源となる。
【００３７】
超音波発生器４３で発生した超音波周波数の電気信号は、信号ケーブルを伝い、超音波増幅器７へ伝えられる。超音波増幅器７でその電気信号は増幅され、信号ケーブルを伝い、超音波振動子８へと伝達される。超音波振動子８では、その超音波周波数の電気信号が超音波周波数の物理振動に変換され、発生した物理振動は超音波振動子８と接触している外殻１０に伝わり、外殻１０自体が振動することによりすべての方位へ向けて外殻１０の外部へ物理的な超音波振動を伝達する。このように、外殻１０の形状を球体とすることで、超音波洗浄器４３の位置や向きに係わらず洗浄対象の配管内の全方向に超音波振動を与える事ができる。
【００３８】
超音波洗浄器４３の自重の設定は、洗浄する配管内の流体と同定度の比重となるようにすることで、超音波洗浄器４３が洗浄する配管内を流れる流体中に浮遊できるように設定する。このような設定によれば、超音波洗浄器４３が液体中に浮遊するので、配管内表面を転がり物理的な衝撃や摩擦痕を配管内面に与えることでの本設設備系統１４の製品損傷を避けるようにしてある。このように、洗浄対象の配管内の液体内に浮遊して超音波振動を均等に配管内表面に伝達するようにする。
【００３９】
超音波の波長の設定は、超音波発生源から発する波と反射波が重ね合わさることにより、より高い超音波洗浄の効果が得られる定在波が、図１の超音波洗浄器４３が配管内のどの位置にあったとしても、配管内表面に均等に当たるようにしなければならない。その為には、以下の波長が定在波の条件となり、この条件を満たす波長の超音波を使用するように設定する。なお、定在波とは、超音波発生源から進行する波と、反射して戻る波が干渉しあってあたかも波の進行が止まり、振幅が同じ場所で繰返される現象を言う。
【００４０】
波の速度をｖ（ｍ／sec），振動数をｆ（Ｈｚ），波長をλ（ｍ）とするとその関係は次式で表される。
【００４１】
ｖ＝ｆλ      ……式１
さらに、音波の水中音速をｃ（ｍ）とすると、式１より次式が成り立つ。
【００４２】
ｃ＝ｆλ    ⇔    λ＝ｃ／ｆ      ……式２
この波長の超音波が配管内表面に均等に定在波が当たるには、配管半径をＲ（ｍ）とすると、
λ／２＞２Ｒ    ⇔    λ＞４Ｒ      ……式３
となり、式３が定在波の条件となる。
【００４３】
図２は本設設備系統１４の配管を洗浄する作業における洗浄設備の準備状態を表している。この準備状態においては、弁４８を除く全ての弁を開いてポンプ１３を駆動する。このようにすると、水タンク１１内の清浄な洗浄水が行き循環配管３０と本設設備系統１４と戻り循環配管３３の中に充満させられる。また、必要に応じて、薬注ポンプで洗浄薬品タンク内の洗浄薬を行き循環配管内に注入して洗浄水に混合させる。水だけを洗浄水として、軽く洗浄する場合には、洗浄薬の注入は行わない。この際、洗浄水が洗浄能力を発揮しやすい温度となるように加温装置１２で洗浄水を加温する。洗浄水の加温期間は、図２の状態の時期だけでも良いし、後述する図３，図４の状態においても加温し続けるようにしても良い。
【００４４】
次に、図３のように、各弁６５，３５，４８，５５，５６，５１，５３を閉じた状態にしてバイパス配管４７を通じて洗浄水を行き循環配管３０と戻り循環配管３３の間で循環させる。この状態では、各弁５１，５３の間の各循環配管３０，３３部分や本設設備系統１４内の洗浄水には、ポンプ１３の駆動力が伝わらなくなっているので、各弁５１，５３の間の各循環配管３０，３３部分や本設設備系統１４内の洗浄水は流動させずに停滞している。
【００４５】
次に、図３の状態で、全ての投入フランジ２０，２１，２２，２３，２４の蓋を開いて、超音波洗浄器４３を、一つの投入フランジごとに一個ずつ投入して行き循環配管内の洗浄水中に浮遊させて置く。このようにすると、洗浄水の流れが停滞している場所で超音波洗浄器４３を投入して浮遊させるから、５個の超音波洗浄器４３が等間隔に整然と配管長さ方向へ並ぶ。
【００４６】
次に、図３の状態から図４の状態に各弁を操作する。図３から図４の状態に移行するには、先に全ての投入フランジ２０，２１，２２，２３，２４の蓋を塞いで洗浄水の漏れを防ぐ、その後に、図３の状態の各弁の内、弁５２を閉じ、弁５１，５３を開く。このようにすると、隣接する各超音波洗浄器４３同士間で定在波の重なりが無い間隔を保ってポンプ１３の駆動力で各超音波洗浄器４３が整然と洗浄水中を浮遊しながら行き循環配管３０から本設備系統１４を経由して戻り循環配管３３へと洗浄水の流れに同伴されて繰返し循環する。
【００４７】
この循環途中で、超音波洗浄器４３がＴ字管３８に到達すると、図７，図８のように、洗浄水は超音波洗浄器用ストレーナ２５を通過して一部の流量はポンプストレーナ１６を通過してポンプ１３に吸い込まれて、再度ポンプ１３で加圧されて下流側へ吐出してゆく。洗浄水の残りの流量は、超音波洗浄器用ストレーナ２５を通過してＴ字管３８の下端からバイパス配管３９内に入り、再度ポンプ１３の下流側でポンプ１３で加圧された流量分と合流する。
【００４８】
その超音波洗浄器用ストレーナ２５を洗浄水が通過する際に、洗浄水に同伴されてきた超音波洗浄器４３が超音波洗浄器用ストレーナ２５によって濾し取られて、Ｔ字管３８の下端側へ流されてゆく。このように超音波洗浄器用ストレーナ２５で濾し取られた超音波洗浄器４３は、バイパス配管３９を通過して、ポンプ１３の下流側で行き循環配管３０内に合流して本設設備系統１４内へ循環してゆく。これによってポンプ１３を駆動し続けて超音波洗浄器４３を洗浄水の流動で循環させることを、ポンプ１３と超音波洗浄器４３との接触破損事故を起こさせることなく達成している。
【００４９】
このようにして超音波洗浄器４３が何度も本設設備系統１４の配管内を通過することで、超音波洗浄器４３から配管内面へ伝播した超音波振動が配管内面の付着物を剥離して洗浄水の流れに乗せて再付着が起こらないようにする。洗浄水の流れに乗った付着物はポンプストレーナ１６で一部捕獲されて本設設備系統１４への再流入が抑制される。
【００５０】
図４の状態が予め決めた時間経過したら、図４の状態から図５の状態に移行する。その移行は、図４の状態の各弁の内、弁５４を閉じて各弁５５，５６を開くことによって達成できる。このような図５の状態においては、各循環配管３０，３３内を循環している洗浄水の全量がメインストレーナ１５を通過して循環することになるので、メインストレーナ１５に洗浄水に同伴されてきた超音波洗浄器４３と剥離された付着物とが濾し取られて捕獲される。
【００５１】
このようにしてメインストレーナ１５に捕獲された超音波洗浄器４３は、ポンプ１３を止めて各弁５５，５６を閉じた後に、メインストレーナ１５の蓋を開いてメインストレーナ１５の外へ回収される。その後に、超音波洗浄器４３の電池取替蓋４を外殻１０から取り外して、消耗した蓄電池２を電気ボックス１内から取り去って、満充電した蓄電池２に置き換えて再利用する。
【００５２】
図４の状態から図５の状態へ移行して超音波洗浄器４３を回収する代わりに、図４の状態から図６の状態へ移行することによって超音波洗浄器４３を回収し、剥離した付着物を書く循環配管３０，３３や本設設備系統１４内から排出するようにしても良い。このようなことは、以下のようにして成し遂げる。
【００５３】
即ち、図４の状態で予め決めた時間経過したら、図４の各弁の状態から、ポンプ１３を止め、弁３４を閉じて弁４８を開くことで図６の状態の各弁の開閉状態とする。このようにすると、剥離した付着物と超音波洗浄器４３と洗浄水とが自然に排水配管４９内を通って排水槽１７へ排出される。その排水作用が弱い場合には、投入フランジ２０，２１，
２２，２３，２４のいずれかの蓋を開いて空気が循環配管内に流入するようにしてその排水作用を促す。
【００５４】
洗浄水等を排水として排水槽に受け入れる際には、弁５８を閉じて弁５７を開くことにより、排水槽１７の左側の区画に受け入れる。排水配管４９から洗浄水を排水槽１７の左側の区画に受け入れると、その区画内に洗浄水と共に超音波洗浄器４３や剥離した付着物が入る。その区画から超音波洗浄器４３を網ですくい取るなどして、超音波洗浄器４３を回収する。その区画内の洗浄水は付着物と共に水中ポンプ５９で配管６１を通じて廃水処理設備に送水する。
【００５５】
排水槽１７の左の区画の洗浄水を排水処理設備に送水する間は、弁５７を閉じて弁６３を開く。このようにすると、洗浄水や付着物や超音波洗浄器４３は排水配管４９を通じて排水槽１７の右側の区画に受け入れられて、排水槽１７への洗浄水の排水は継続される。
【００５６】
排水槽１７の右側の区画が満水になった時点で、超音波洗浄器４３を回収して洗浄水と付着物とを水中ポンプ６０で排水処理設備へ送水する。このようなことを排水槽１７の左右の区画で交互に行って間断なく排水して剥離した付着物を本設設備系統１４内から洗い流す。
【００５７】
このようにして、本実施例では、ポンプストレーナ１６の上流側に超音波洗浄器用ストレーナ２５を取り付けることによってバイパス配管３９を超音波洗浄器４３が流れて循環することで、本設設備系統１４に対して繰返し超音波洗浄ができる。
【００５８】
５箇所の循環配管３０に沿って間隔を置いて配置されている投入フランジ２０，２１，２２，２３，２４から超音波洗浄器４３を投入して定在波が重なり合うことなく複数の超音波洗浄器４３を同時に投入し、超音波振動を洗浄対象の配管内表面に連続的に与えながら効率よく洗浄を行う。
【００５９】
また、洗浄作業後、メインストレーナ１５に洗浄水全量を通水させ洗浄水中の剥離した付着物などの異物のろ過・捕獲させ異物とともに超音波洗浄器４３を取り出せる。あるいは、排水槽１７に洗浄水全量を落水させて洗浄水中の剥離した付着物などの異物のろ過・捕獲させ異物とともに超音波洗浄器４３を排水槽１７に受け入れさせ、捕集網を用いて超音波洗浄器４３を排水槽１７内から捕獲して取り出せる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
この発明は、各種プラントの配管内の洗浄を超音波を利用して行う超音波洗浄設備に利用可能性がある。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の一実施例による超音波洗浄器の断面図である。
【図２】本発明の一実施例による洗浄設備の配管系統図にして、洗浄準備段階を示す。
【図３】本発明の一実施例による洗浄設備の配管系統図にして、超音波洗浄器の投入段階を示す。
【図４】本発明の一実施例による洗浄設備の配管系統図にして、超音波洗浄器による洗浄段階を示す。
【図５】本発明の一実施例による洗浄設備の配管系統図にして、超音波洗浄器をメインストレーナで回収している段階を示す。
【図６】本発明の一実施例による洗浄設備の配管系統図にして、超音波洗浄器を排水槽に回収している段階を示す。
【図７】本発明の一実施例による洗浄設備の配管系統の一部分を拡大して示した図である。
【図８】本発明の実施例で採用されている超音波洗浄器用ストレーナを表した図にして、（ａ）図は配管内の超音波洗浄器用ストレーナの斜視図であり、（ｂ）図は超音波洗浄器用ストレーナ単体の斜視図であり、（ｃ）図は超音波洗浄器用ストレーナをフランジ側から見た図である。
【符号の説明】
【００６２】
１…電気ボックス、２…蓄電池、３…インバータ、４…電池取替蓋、５…超音波ボックス、６…超音波発生器、７…超音波増幅器、８…超音波振動子、９…防振材、１０…外殻、１１…水タンク、１３…ポンプ、１４…本設設備系統、１５…メインストレーナ、１６…ポンプストレーナ、１７…排水槽、２０，２１，２２，２３，２４…投入フランジ、
２５…超音波洗浄器用ストレーナ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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