(57)【要約】【課題】吸着ノズルのノズル穴の内部に付着物が頑固に付着している場合でも短時間に確実にかつきれいに洗浄することができる吸着ノズル洗浄方法及び装置を提供する。【解決手段】電子部品を吸着して基板に実装する吸着ノズル１を洗浄する吸着ノズル洗浄方法であって、高温ガス吹付手段４から吸着ノズル１のノズル穴２内に向けて高温ガス５を吹き付け、付着物３を容易に離脱する状態にし、その後エア吹付手段６からノズル穴２内に所定圧のエアを吹き付けて吹き飛ばすことで付着物３を短時間に確実にかつきれいに除去するようにした。【選択図】図１
2007098241.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を吸着して基板に実装する吸着ノズルを洗浄する吸着ノズル洗浄方法であって、吸着ノズルのノズル穴内に向けて高温ガスを吹き付ける高温ガス吹付工程と、高温ガス吹付工程の後にノズル穴内に所定圧のエアを吹き付けるエア吹付工程とを有することを特徴とする吸着ノズル洗浄方法。
【請求項２】
高温ガスの温度と吹き付け時間を、吸着ノズルの耐熱温度以下の温度でかつノズル穴の表面に付着した粘着物が固まるように決定することを特徴とする請求項１記載の吸着ノズル洗浄方法。
【請求項３】
高温ガスの温度は略６０〜４００℃であることを特徴とする請求項１又は２記載の吸着ノズル洗浄方法。
【請求項４】
高温ガスとして、ヒータ加熱された熱風を用いることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の吸着ノズル洗浄方法。
【請求項５】
高温ガスとして、大気圧プラズマ発生装置にて発生させたプラズマジェットを用いることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の吸着ノズル洗浄方法。
【請求項６】
電子部品を吸着して基板に実装する吸着ノズルを洗浄する吸着ノズル洗浄装置であって、高温ガスを発生して吸着ノズルのノズル穴内に向けて吹き付ける高温ガス吹付手段と、ノズル穴内に所定圧のエアを吹き付けるエア吹付手段と、高温ガス吹付手段とエア吹付手段を制御する吹付け制御手段を備えたことを特徴とする吸着ノズル洗浄装置。
【請求項７】
吹付け制御手段は、高温ガスの温度と吹き付け時間を、吸着ノズルの耐熱温度以下の温度でかつノズル穴の表面に付着した粘着物が固まるように制御することを特徴とする請求項６記載の吸着ノズル洗浄装置。
【請求項８】
高温ガス吹付手段は、ヒータにてエアを加熱するドライヤーから成ることを特徴とする請求項６又は７記載の吸着ノズル洗浄装置。
【請求項９】
高温ガス吹付手段は、大気圧プラズマ発生装置から成ることを特徴とする請求項６又は７記載の吸着ノズル洗浄装置。
【請求項１０】
電子部品を供給する部品供給部と、電子部品を吸着して基板に実装する吸着ノズルを有する実装ヘッド部と、基板を位置決めする基板位置決め部とを備えた電子部品実装装置において、高温ガスを発生して吸着ノズルのノズル穴内に向けて吹き付ける高温ガス吹付手段と、ノズル穴内に所定圧のエアを吹き付けるエア吹付手段と、高温ガス吹付手段とエア吹付手段を制御する吹付け制御手段を設け、かつ高温ガス吹付手段とエア吹付手段を実装ヘッド部の可動範囲内に位置決め可能に配置したことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項１１】
吹付け制御手段は、高温ガスの温度と吹き付け時間を、吸着ノズルの耐熱温度以下の温度でかつノズル穴の表面に付着した粘着物が固まるように制御することを特徴とする請求項１０記載の電子部品実装装置。
【請求項１２】
高温ガス吹付手段は、ヒータにてエアを加熱するドライヤーから成ることを特徴とする請求項１０又は１１記載の電子部品実装装置。
【請求項１３】
高温ガス吹付手段は、大気圧プラズマ発生装置から成ることを特徴とする請求項１０又は１１記載の電子部品実装装置。
【請求項１４】
高温ガス吹付手段とエア吹付手段を、基板と同様の外形の洗浄ユニットとして構成し、基板位置決め部に配置可能としたことを特徴とする請求項１０〜１３の何れかに記載の電子部品実装装置。
【請求項１５】
高温ガス吹付手段とエア吹付手段を、部品供給部に搭載される部品供給手段と同様の外形の洗浄ユニットとして構成し、部品供給部に配設したことを特徴とする請求項１０〜１３の何れかに記載の電子部品実装装置。
【請求項１６】
吹付け制御手段の機能を、部品供給部と実装ヘッド部と基板位置決め部を制御する実装制御部に内蔵させたことを特徴とする請求項１０〜１５の何れかに記載の電子部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を吸着して基板に実装する吸着ノズルを洗浄する吸着ノズル洗浄方法及び装置と、それを用いた電子部品実装装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
角形チップ、半導体パッケージ、ウエハから切り出されたベアチップなどの様々な電子部品を、プリント基板やリードフレームなどの基板に実装する電子部品実装装置においては、電子部品を真空吸着する吸着ノズルを有しているものがあり、部品供給部で供給された電子部品を吸着ノズルで吸着して基板の所定位置に実装するように構成されている。
【０００３】
具体的には、例えば、図９に示すように、複数の部品供給手段４３を搭載して任意の部品供給手段４３を所定位置に位置決めすることで、任意の種類の電子部品を部品供給位置に供給する部品供給部４２と、複数の吸着ノズル１が外周部に一定間隔おきに配設されるとともにその配設間隔でかつ前記部品供給位置で各吸着ノズル１が順次停止するように間欠回転する実装ヘッド部４４と、電子部品を吸着した吸着ノズル１が停止する所定の部品装着位置に基板４５の部品実装位置を位置決めする基板位置決め部４６と、基板位置決め部４６に対して基板４５を搬入・搬出する基板搬送手段４７とを備えた高速タイプの電子部品実装装置４１が知られている。
【０００４】
吸着ノズル１は、図１０（ａ）に示すように、実装ヘッド部４４に電子部品の吸着時及び基板への装着時に昇降動作するように組付けられている装着軸４９の下端部に着脱可能に取付けられており、そのノズル穴２の形状は、例えば、図１０（ｂ）に示すように、平面視が略Ｈ形状でかつそれらの４つの先端部を外方に屈曲させて突出させたような複雑な形状とすることで、確実にかつ安定して電子部品を吸着できるように形成されている。このように、ノズル穴２の形状が複雑な場合には、特に、図１０（ｃ）に示すように、ノズル穴２内にごみなどの付着物３が付着し易い傾向がある。
【０００５】
ところで、上記真空吸着方式の電子部品実装装置４１では、ある一定期間稼動すると、吸着ノズル１が、空気中のほこり、人間の汗や脂等の成分、電子部品に付着した半田材料、電子部品の端子のメッキ材料、基板に付着したごみ等を吸引し、図１１（ａ）に示すように、吸着ノズル１のノズル穴２内の表面に上記ごみ等が付着・堆積して頑固な付着物３となってしまい、このような付着物３による目詰まり状態で電子部品５０を吸着したとき、吸着力が低下しているため、図１１（ｂ）に示すように、電子部品５０を適正に吸着できずに電子部品５０を斜め傾斜した姿勢で吸着してしまったり、図１１（ｃ）に示すように、吸着ノズル１の移動時に加わる加速度で電子部品５０が大きく位置ずれしてしまうなど、電子部品５０の吸着ミスや実装ミスを起こす大きな原因になっていた。
【０００６】
なお、図９に示した電子部品実装装置４１は、吸着ノズル１が部品供給位置と部品装着位置を通る一定の円形経路を間欠回転するように構成した高速タイプのものであるが、図１２に示すように、吸着ノズル１を有する実装ヘッド５２をＸＹロボット５３にて水平なＸＹ２方向に移動及び位置決め可能に構成し、実装ヘッド５２の可動範囲の任意の位置に１又は複数の部品供給部５４を配設して任意の部品供給部５４から電子部品を取り出し、基板位置決め部５５にて所定位置に位置決めされた基板４５の所望の位置に電子部品を実装するようにした、ＸＹロボットタイプの電子部品実装装置５１も知られており、このような電子部品実装装置５１の吸着ノズル１においても、同様の問題があった。
【０００７】
そこで、吸着ノズル１の目詰まりを無くして上記問題を未然に防ぐ方法として、吸着ノズル１を定期的に洗浄する方法が採用されている。その吸着ノズル１の洗浄方法としては、吸着ノズル１を超音波洗浄装置内に一定時間浸漬して洗浄した後、エアを用いて洗浄液を除去する方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。また、吸着ノズル１をブラシを使って清掃する方法も知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開平１０−３０５２６３号公報
【特許文献２】特開２００３−１７９３３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１に記載の方法は、吸着ノズル１を超音波洗浄するものであるが、吸着ノズル１のノズル穴２内に粘着性のある付着物３などが頑固に付着している場合には、超音波洗浄では完全に除去することができないことがあるという問題があった。また、エタノール液などの廃液が発生し、その処理に手間とコストがかかるという問題もあった。さらに、１〜２週間毎に定期的にあるいは吸着率が落ちて来た時点で、実装装置の稼動を止めて吸着ノズル１を取り外し、予備の吸着ノズル１を取付け、取り外した吸着ノズル１を超音波洗浄装置の洗浄槽内に浸漬し、１５分位超音波洗浄し、洗浄後吸着ノズル１内の液をエアで吹き飛ばすとともに、外面のエタノール液をふき取り、その後、実装装置の稼動を止めて予備の吸着ノズル１を取り外し、洗浄の終わった吸着ノズル１を取り付けているため、吸着ノズル１の着脱工程に時間がかかり実装装置の稼働率が低下するという問題があった。
【０００９】
また、洗浄の間だけ使用する予備の吸着ノズル１を用い、洗浄後に再び取り替えるのではなく、任意の吸着ノズル１を洗浄する際に、先に洗浄の済んでいる吸着ノズル１を順次取付けて行く方法によって稼働率の低下を緩和する方法も知られているが、その場合には各実装装置に取付けられる吸着ノズル１が洗浄の度に異なってしまうため、吸着ノズル１の取付けの都度微調整が必要となるという問題があり、さらに各吸着ノズル１毎に吸着エラー発生率などの各種情報を継続的に管理することができず、それらの情報の活用が不可能となるという問題がある。
【００１０】
また、上記特許文献２に記載のブラシを使って清掃する方法では、付着物が頑固に付着している場合でも、丁寧に清掃することで除去することはできるが、電子部品の小型化に伴って吸着ノズル１のノズル穴２の大きさも小さくなる傾向にあり、ノズル穴２の中までブラシが入らず、ノズル穴２内部の付着物を取り除くことができないという問題があった。
【００１１】
特に、現在汎用されている極小型の角形チップとしては、１００５（縦１ｍｍ、横０．５ｍｍ）や０６０３（縦０．６ｍｍ、横０．３ｍｍ）のサイズのものが主流であるが、携帯電話等の携帯用端末では０４０２（縦０．４ｍｍ、横０．２ｍｍ）のチップが使われてきており、さらに小さいサイズのチップ部品が使われるような動向にあり、それに伴って吸着ノズル１のノズル穴２のサイズがますます小さくなり、短時間に詰まりが発生する恐れが高まり、メンテナンス間隔が短縮化せざるを得ないため、これらの問題が一層重要となってきている。
【００１２】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、吸着ノズルのノズル穴の内部に付着物が頑固に付着している場合でも短時間に確実にかつきれいに洗浄することができ、また電子部品実装装置に装着している状態でも洗浄することができて稼動率の低下を起こさずかつ各吸着ノズルの管理情報を有効に活用できる吸着ノズル洗浄方法及び装置とそれを用いた電子部品実装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の吸着ノズル洗浄方法は、電子部品を吸着して基板に実装する吸着ノズルを洗浄する吸着ノズル洗浄方法であって、吸着ノズルのノズル穴内に向けて高温ガスを吹き付ける高温ガス吹付工程と、高温ガス吹付工程の後にノズル穴内に所定圧のエアを吹き付けるエア吹付工程とを有するものである。
【００１４】
また、本発明の吸着ノズル洗浄装置は、電子部品を吸着して基板に実装する吸着ノズルを洗浄する吸着ノズル洗浄装置であって、高温ガスを発生して吸着ノズルのノズル穴内に向けて吹き付ける高温ガス吹付手段と、ノズル穴内に所定圧のエアを吹き付けるエア吹付手段と、高温ガス吹付手段とエア吹付手段を制御する吹付け制御手段を備えたものである。
【００１５】
以上の構成によれば、吸着ノズルのノズル穴内に高温ガスを吹き付けることで、ノズル穴内の表面に付着している付着物の表面が急激に高温に晒されるため、付着物はその表面側から急速に収縮しながら固まり、そのため付着物は固まりながらノズル穴表面に対して周囲から逐次剥離して行き、最終的に付着物全体が容易に離脱する状態となり、その後所定圧のエアを吹き付けることで確実に剥離して脱落し、エアとともにノズル穴から排出される。かくして、吸着ノズルのノズル穴の内部に付着物が頑固に付着している場合でも短時間で確実にかつきれいに洗浄することができる。
【００１６】
また、高温ガスの温度と吹き付け時間は、吸着ノズルの耐熱温度以下の温度でかつノズル穴の表面に付着した粘着物が固まるように決定するのが好適であり、具体的にはノズル穴の形状・大きさや付着物の特性に応じて異なるが、例えば高温ガスの温度を略６０〜４００℃、好適には１００〜２５０℃とすると、吸着ノズルを構成するシール材やフィルタ等の各部材に熱損傷を与える恐れがなく、かつ粘着物を確実に固まらせてノズル穴表面からエア吹き付けで容易に剥離できるので好適である。
【００１７】
また、高温ガスとして、ヒータ加熱された熱風を用いると、構成が簡単で簡便に実施することができ、また大気圧プラズマ発生装置にて発生させたプラズマジェットを用いると、プラズマの作用で付着物中の有機物や炭素組成物が昇華することで付着物がより確実に剥離し易い状態となり、一層短時間に確実に洗浄することができる。
【００１８】
また、本発明の電子部品実装装置は、電子部品を供給する部品供給部と、電子部品を吸着して基板に実装する吸着ノズルを有する実装ヘッド部と、基板を位置決めする基板位置決め部とを備えた電子部品実装装置において、高温ガスを発生して吸着ノズルのノズル穴内に向けて吹き付ける高温ガス吹付手段と、ノズル穴内に所定圧のエアを吹き付けるエア吹付手段と、高温ガス吹付手段とエア吹付手段を制御する吹付け制御手段を設け、かつ高温ガス吹付手段とエア吹付手段を実装ヘッド部の可動範囲内に位置決め可能に配置したものである。
【００１９】
この構成によると、上記のように高温ガスを吹き付けて付着物を容易に離脱する状態にした後所定圧のエアを吹き付けることで、吸着ノズルのノズル穴の内部に付着物が頑固に付着している場合でも、短時間で確実にかつきれいに洗浄することができ、さらに実装ヘッド部を移動させて吸着ノズルを高温ガス吹付手段及びエア吹付手段に対応位置させることで、電子部品実装装置に装着している状態で洗浄することができるため、例えば始業前や終業時などに、好ましくは自動的に洗浄するようにすることで、電子部品実装装置の稼動率の低下を起こさず、吸着ノズルの詰まり発生による吸着エラーや実装エラーの発生を防止することができ、また各吸着ノズルの稼動時間や吸着エラー情報などの吸着ノズルに関する管理情報が吸着ノズルの取り外しでリセットされることがないので、有効に活用することができる。
【００２０】
また、吹付け制御手段が、高温ガスの温度と吹き付け時間を、吸着ノズルの耐熱温度以下の温度でかつノズル穴の表面に付着した粘着物が固まるように制御すると、吸着ノズルを構成するシール材やフィルタ等の各部材に熱損傷を与える恐れがなく、かつ粘着物を確実に固まらせてノズル穴表面から容易に剥離するようできて好適である。
【００２１】
また、高温ガス吹付手段がヒータにてエアを加熱するドライヤーから成ると、構成が簡単で簡便に実施することができ、また大気圧プラズマ発生装置から成ると、プラズマの作用で付着物中の有機物や炭素組成物が昇華してしまうことで付着物が確実に剥離し易い状態となり、一層短時間に確実に洗浄することができる。
【００２２】
また、高温ガス吹付手段とエア吹付手段を、基板と同様の外形の洗浄ユニットとして構成し、基板位置決め部に配置可能とすると、この洗浄ユニットを基板位置決め部に配置することで、既存の電子部品実装装置をそのまま使用して吸着ノズルの洗浄を簡単に行うことができる。
【００２３】
また、高温ガス吹付手段とエア吹付手段を、部品供給部に搭載される部品供給手段と同様の外形の洗浄ユニットとして構成し、部品供給部に配設すると、既存の電子部品実装装置をそのまま使用して吸着ノズルの洗浄を簡単に行うことができる。
【００２４】
また、吹付け制御手段の機能を、部品供給部と実装ヘッド部と基板位置決め部を制御する実装制御部に内蔵させると、制御部が共用されるので、構成を一層簡単にできる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の吸着ノズル洗浄方法及び装置によれば、吸着ノズルのノズル穴内に高温ガスを吹き付けることで、ノズル穴内の表面に付着している付着物の表面が急激に高温に晒されるため、付着物はその表面側から急速に収縮しながら固まり、そのため付着物は固まりながらノズル穴表面に対して周囲から逐次剥離して行き、最終的に付着物全体が容易に離脱する状態となり、その後所定圧のエアを吹き付けることで確実に剥離して脱落し、エアとともにノズル穴から排出される。かくして、吸着ノズルのノズル穴の内部に付着物が頑固に付着している場合でも短時間で確実にかつきれいに洗浄することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
（第１の実施形態）
以下、本発明の吸着ノズル洗浄方法及び装置の第１の実施形態について、図１〜図３を参照しながら説明する。
【００２７】
図１において、１は、図９や図１２に示したような各種タイプの電子部品実装装置において、電子部品を吸着して保持するために実装ヘッド部に取付けられている吸着ノズルであり、温度変化に対する寸法安定性や耐久性や耐摩耗性を確保するため、通常セラミック、超硬材、多結晶ダイヤモンド（ＰＣＤ）、ステンレス鋼、黄銅などの材料で構成されている。吸着ノズル１には、通常その軸芯位置に、吸着すべき電子部品に対応して適当な断面形状のノズル穴２が形成されている。ノズル穴２は実装ヘッド部の吸引通路（図示せず）に連通される。
【００２８】
電子部品実装装置をある一定期間稼動すると、吸着ノズル１が空気中のほこり、人間の汗や脂等の成分、電子部品に付着した半田材料、電子部品の端子のメッキ材料、基板に付着したごみ等を吸引し、図１（ａ）に示すように、ノズル穴２内の表面に上記ごみ等が付着・堆積して頑固な付着物３となる。この付着物３を放置してさらに付着が進行すると、吸着力不足の原因となり、電子部品の吸着ミスや実装不良の原因になる。
【００２９】
そこで、吸着力不足の発生を未然に防止するため、所定時間置きに、図１（ｂ）に示すように、高温ガス吹付手段４にてノズル穴２内に向けて高温ガス５を吹き付け、その後、図１（ｃ）に示すように、エア吹付手段６にてノズル穴２内に所定圧のエア７を吹き付ける。高温ガス５の温度は、６０〜４００℃、より好適には１００〜２５０℃とし、吹付時間は、数秒〜数１０秒程度とするのが好適である。また、エア７の圧力は０．３〜０．５ＭＰａ、吹付時間は１〜数１０秒程度で十分である。また、エア７の吹付けは、一定時間継続して１回吹付けるだけでなく、複数回吹付けるようにしても良い。また、エア７の吹付方向は、逆方向でも良いことは言うまでもない。
【００３０】
この方法によれば、吸着ノズル１のノズル穴２内に高温ガス５を上記のように吹き付けることで、ノズル穴２内の表面に付着している付着物３の表面が急激に高温に晒されるため、図１（ｂ）に示すように、付着物３はその表面側から急速に収縮しながら固まり、そのため付着物３が固まりながらノズル穴２表面に対して周囲から逐次剥離して行き、最終的に付着物３全体が容易に離脱する状態となる。その後、図１（ｃ）に示すように、所定圧のエア７を吹き付けることで付着物３が剥離して脱落し、エアとともにノズル穴２から排出される。かくして、吸着ノズル１のノズル穴２の内部に付着物３が頑固に付着している場合でも短時間で確実にかつきれいに洗浄することができる。なお、高温ガス５の温度及び吹付時間を上記の範囲とすることで、吸着ノズル１を構成するシール材やフィルタ等の各部材に熱損傷を与える恐れがなくて好適である。
【００３１】
なお、洗浄すべき吸着ノズル１が複数ある場合には、最初の吸着ノズル１に高温ガス吹付け手段４にて高温ガス５を吹付けた後、その吸着ノズル１にエア吹付手段６にてエアを吹付けて付着物３を除去し、以下同様に後続する吸着ノズル１に対して順次高温ガス５を吹付けた後エアを吹付けて付着物３を除去するという動作を繰り返す方法が好適である。また、場合によっては、高温ガス吹付手段４にて適当数の吸着ノズル１に対して順次高温ガス５を吹付けた後、次にエア吹付手段６にて各吸着ノズル１にエアを吹付けて適当数毎に吸着ノズル１の付着物３を除去するようにしても良い。
【００３２】
上記高温ガス吹付手段４の具体構成例としては、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、ファン９とヒータ１０を有し、エアを加熱して熱風として吹き出すドライヤー８を挙げることができる。なお、図２（ａ）は熱風吹出口８ａがファン９と略同軸方向の例であり、図２（ｂ）は熱風吹出口８ａをファン９の軸方向に対して直角に屈曲させた例であるが、配設時のレイアウトによって好適な方を採用すればよい。
【００３３】
高温ガス吹付手段４の他の具体構成例としては、図３に示すような大気圧プラズマ発生装置１１を挙げることができる。図３において、大気圧プラズマ発生装置１１は、ガス通路１２ａを形成する誘電体から成るガス通路形成部材１２とその近傍又は周囲に配設されたアンテナ１３とを備え、流量調整弁１４ａを有するガス供給管１４からガス通路１２ａにガスを供給し、アンテナ１３に高周波電源１５にて整合器１６を介して高周波電力を供給することで、ガス通路１２ａの先端からプラズマジェット１７を噴出するように構成されており、そのプラズマジェット１７を高温ガス５として使用するものである。プラズマジェット１７は、例えば直径２ｍｍ、長さ１０ｍｍ程度のものが好適である。
【００３４】
ガス通路形成部材１２は、具体的にはセラミック製やガラス製の管が好適に用いられ、供給ガスは、アルゴンやヘリウムなどの不活性ガスや窒素ガス、或いはそれらと酸素ガスなどの反応性ガスの混合ガスが用いられ、高周波電源１５としては、１３．５６ＭＨｚなどのＲＦ周波数帯や１００ＭＨｚなどのＶＨＦ周波数帯のものが好適である。また、整合器１６は高周波をアンテナ１３に入力した時に発生する反射波を少なくすることで、プラズマを強くするために配設されている。
【００３５】
（第２の実施形態）
次に、本発明の吸着ノズル洗浄装置を、電子部品実装装置に配設した第２の実施形態について、図４、図５を参照して説明する。なお、電子部品実装装置自体の構成は、図９や図１２に示したものと同じであるので、その説明を援用する。
【００３６】
図４において、２１は部品供給部４２、５４に搭載される洗浄ユニットであり、部品供給手段４３と同様の外形に構成された模擬供給体２２に高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を内蔵させて構成されている。なお、図示例では、高温ガス吹付手段４として図２（ｂ）のドライヤー８を、エア吹付手段６としてエア源に接続されたエアチューブ１８を配設して構成している。また、高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を所定のタイミングで作動させる吹付け制御手段（図示せず）がこの洗浄ユニット２１を設置する電子部品実装装置４１、５１に配設される。また、この吹付け制御手段（図示せず）は、電子部品実装装置４１、５１を作動制御する制御部４８に内蔵させても良いことは言うまでもない。
【００３７】
以上のように洗浄ユニット２１及び吹付け制御手段（図示せず）を図９や図１２の部品供給部４２、５４に搭載しておくことで、任意のタイミングで実装ヘッド部４４や実装ヘッド５２の任意の吸着ノズル１を洗浄することができ、電子部品実装装置４１、５１の稼働率を向上することができる。また、各吸着ノズル１の稼動時間や吸着エラー情報などの吸着ノズル１に関する管理情報が吸着ノズル１の取り外しでリセットされることがないので、有効に活用することができる。また、電子部品実装装置４１、５１に改造を加えたりする必要もなく、既存のものをそのまま使用して吸着ノズル１の洗浄を簡単に行うことができる。
【００３８】
また、図４では部品供給手段４３と同様の外形に構成された洗浄ユニット２１を例示したが、図５に示すように、電子部品を実装する基板４５と同様の外形の模擬基板２４に高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を配設して洗浄ユニット２３とし、この洗浄ユニット２３を基板位置決め部４６、５５に配置可能としても良い。
【００３９】
この構成によると、吸着ノズル１の洗浄を行う際に、洗浄ユニット２３を基板位置決め部４６、５５に配置して吸着ノズル１による実装時の停止位置に高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を順次位置決めすることで、吸着ノズル１を洗浄することができ、電子部品実装装置４１、５１の稼働率を向上することができるとともに、吸着ノズル１の管理情報の活用を図れる。また、電子部品実装装置４１、５１は既存のものをそのまま使用して吸着ノズル１の洗浄を簡単に行うことができる。
【００４０】
以上の説明では、既存の電子部品実装装置４１、５１をそのまま使用する例について説明したが、改造又は新たに構成する場合には、例えば図９に示した電子部品実装装置４１では、吸着ノズル１の適当な停止位置（ステーション）に高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を配設した構成とし、また図１２に示した電子部品実装装置５１では、実装ヘッド５２の可動範囲の任意の位置に高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を配設した構成としても良い。
【００４１】
（第３の実施形態）
次に、本発明の吸着ノズル洗浄装置を専用機として構成した第３の実施形態について、図６〜図８を参照して説明する。
【００４２】
図６において、本実施形態の吸着ノズル洗浄装置３１は、複数の吸着ノズル１を着脱可能に保持するように構成されたノズル設置台３２と、高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を搭載したロボット３３とを備え、操作部３４からの指令により制御部３５にてロボット３３及び高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を作動制御して、 ノズル設置台３２上の所要の吸着ノズル１に対して上記ノズル洗浄を実施するように構成されている。
【００４３】
図６の例では、ロボツト３３に高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を搭載した例を示したが、ロボツト３３には高温ガス吹付手段４のみを搭載し、図７に示すように、エア吹付手段６として、ノズル設置台３２に調圧器３６ａと開閉弁３６ｂを有するエア供給通路３６を設け、保持している各吸着ノズル１に対してエアを供給するように構成しても良い。
【００４４】
また、ロボット３３に高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を搭載するのではなく、図８に示すように、高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６を所定位置に固定設置し、ロボット３３のハンド３７にてノズル設置台３２に保持されている洗浄すべき吸着ノズル１を把持して高温ガス吹付手段４とエア吹付手段６の上に順次対向位置させて上記洗浄方法を実施し、洗浄後に元の位置に戻すようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明の吸着ノズル洗浄方法及び装置によれば、吸着ノズルのノズル穴内に付着した付着物が高温ガスの吹き付けで固まりながら容易に離脱する状態となり、その後のエアの吹き付けで確実に剥離して脱落するので、頑固に付着している付着物でも短時間で確実にかつきれいに洗浄することができ、そのため各種電子部品実装装置の吸着ノズル洗浄、特に短時間で詰まりが発生し易い微小な電子部品を吸着する吸着ノズルの洗浄に効果的に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施形態における洗浄工程を示す断面図。
【図２】同実施形態の高温ガス吹付手段の一例であるドライヤーの２つの構成例を示す概略構成図。
【図３】同実施形態の高温ガス吹付手段の他例である大気圧プラズマ発生装置の概略構成図。
【図４】本発明の第２の実施形態における電子部品実装装置に適用する洗浄ユニットの一例の概略構成を示す斜視図。
【図５】同実施形態の電子部品実装装置に適用する洗浄ユニットの他例の概略構成を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面図。
【図６】本発明の第３の実施形態における吸着ノズル洗浄装置の概略構成を示す斜視図。
【図７】同実施形態の吸着ノズル洗浄装置の変形構成例の部分構成図。
【図８】同実施形態の吸着ノズル洗浄装置の別の構成例の概略構成を示す斜視図。
【図９】従来例の電子部品実装装置の概略構成を示す斜視図。
【図１０】電子部品実装装置に装着される吸着ノズルの例を示し、（ａ）は取付状態を示す斜視図、（ｂ）は吸着ノズルをノズル穴が見える下方から見た斜視図、（ｃ）は付着物の付着状態を示す平面図。
【図１１】付着物が付着した吸着ノズルによる吸着不良や実装不良が発生する状態を示す説明図。
【図１２】従来例の他の電子部品実装装置の概略構成を示す斜視図。
【符号の説明】
【００４７】
１  吸着ノズル
２  ノズル穴
３  付着物
４  高温ガス吹付手段
５  高温ガス
６  エア吹付手段
７  エア
８  ドライヤー
１１  大気圧プラズマ発生装置
２１  洗浄ユニット
２２  模擬供給体
２３  洗浄ユニット
２４  模擬基板
３１  吸着ノズル洗浄装置
３５  制御部（吹付け制御手段）
４１、５１  電子部品実装装置
４２、５４  部品供給部
４３  部品供給手段
４４  実装ヘッド部
４５  基板
４６、５５  基板位置決め部
４８  制御部
５０  電子部品
５２  実装ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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