(57)【要約】【課題】ＰＤＰのパネルの表示画面内において駆動による放電特性の場所依存性を抑え、表示画面内における表示特性の均一性を向上させる。【解決手段】複数の表示電極および誘電体層が順次形成されて誘電体層が保護膜で被覆された第１の基板と、第１の基板との間に放電空間が形成されるように対向配置され、かつ表示電極と直交する方向に形成されたアドレス電極を有して放電空間を区画する隔壁間に蛍光体層を形成した第２の基板とを備え、放電空間に封入された放電ガスの放電により蛍光体層を励起発光させ、サブフィールド法を用いて階調表示を行い、かつ画像表示のために走査・維持分離型の駆動方式で画像データを順次書き込むプラズマディスプレイパネルにおいて、第１の基板に形成された誘電体層を被覆する保護膜の膜質が、表示領域内で分布を有して形成されている構成とする。【選択図】図５
2007103054.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
維持電極および走査電極からなる複数の表示電極および誘電体層が順次形成されるとともに前記誘電体層が保護膜で被覆された第１の基板と、前記第１の基板との間に放電空間が形成されるように対向配置されかつ前記表示電極と直交する方向に形成されたアドレス電極を有するとともに前記放電空間を区画する隔壁間に蛍光体層を形成した第２の基板とを備え、前記放電空間に放電ガスを封入することにより構成され、かつ前記走査電極とアドレス電極に電圧を印加して画像データを順次書き込む書き込みステップと前記走査電極と維持電極との間に電圧を印加して維持放電を行う維持放電ステップとにより表示を行うプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記保護膜は、表示領域内において膜質に傾斜を持たせて形成したことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記保護膜は、書き込みステップにおける書き込み順に対応するように、表示領域内において膜質に傾斜を持たせて形成したことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記保護膜の膜質は、保護膜の（１１１）面の結晶性、保護膜の屈折率、保護膜の結晶粒径、保護膜の充填密度、保護膜の単位重量あたりの表面積、保護膜の体積抵抗率および保護膜の膜厚のうちの少なくとも１種類であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記保護膜は、酸化マグネシウムを主成分とする金属酸化物からなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記保護膜は、物理気相法、化学気相法、ゾルゲル法、印刷法、塗布法、含浸法のいずれかを用いた方法により形成されたものである請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型のテレビジョンや広告、情報等の公衆表示用の表示デバイスとして利用が拡大してきているプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰともいう）に関し、特に高い表示品質を実現できる保護膜を用いたプラズマディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な交流面放電型ＰＤＰは、走査電極および維持電極により対をなす表示電極が複数形成された前面板と、その表示電極に直交する方向に複数のアドレス電極（データ電極ともいう）が形成された背面板とからなり、前面板と背面板はその間に放電空間を形成するように対向して配置されており、放電空間にはネオンおよびキセノンなどからなる放電ガスが封入されている。表示電極とアドレス電極とが直交交差する部分には背面板上にアドレス電極に平行して形成された隔壁により放電セルが表示用の画素（ピクセル）を構成している。
【０００３】
このＰＤＰでは、走査・維持分離型と呼ばれる駆動方式を用いている。この駆動方式は、走査電極とアドレス電極との間に書き込みパルスを印加することにより、表示を行うべき放電セルにおいて書き込み放電を行い、続いて、走査電極と維持電極との間に交互に反転する周期的な維持パルスを印加することにより、書き込み放電を行った放電セルにおいて維持放電を行うものである。そして、この維持放電によって、放電セルの背面板上の隔壁間に形成された蛍光体層が発光することにより画像を表示することができる。
【０００４】
表示電極は誘電体層で覆われており、この誘電体層上には厚さ１μｍ程度の保護膜が形成されている。保護膜はイオン衝撃による耐スパッタリング性の高い物質を用いて形成されており、放電によるスパッタリングから誘電体層を保護している。また、このイオン衝撃により、保護膜それ自体から２次電子を放出し、駆動電圧を低下させる役割も持つ。一般的にこの保護膜は、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）が用いられており、真空成膜技術によって表示画面内において均一に形成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
そして、保護膜の体積抵抗率や屈折率といった保護膜自体に備わる個別の特性とＰＤＰのパネルの駆動方法とを関連づけて、ＰＤＰパネルの放電における電子放出の効率を向上させるための各種の提案がなされている（例えば、特許文献２、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平１１−５４０４５号公報
【特許文献２】特開２００３−３１７６３１号公報
【特許文献３】特開２００２−３３０５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したＰＤＰの駆動方法では、消去動作を行ってから、まず全てのセルにおいて同一タイミングでセットアップして各セル内の状態を均一にしてから、画像データを走査ラインに順次走査して書き込み放電を生じさせ、さらにその後、全てのセルにおいて同一タイミングで維持放電を開始する。そのため、セットアップから書き込み放電まで時間は走査の順が後に向かうのにしたがって長くなり、書き込み放電から維持放電までの時間は逆に短くなる。すなわち、書き込みパルス印加時および維持パルス印加時の放電特性が表示画面内で異なり、駆動電圧のマージンを狭めるという問題があった。
【０００７】
ところで、放電のしやすさは、セル内の励起粒子数に依存し、励起粒子数が多いほど放電が発生しやすい。セル内の励起粒子は、前面板に形成された誘電体層上の保護膜からの電子放出が支配的である。換言すると、放電特性は保護膜の電子放出特性と密接な関係がある。しかしながら、これまで交流面放電型のＰＤＰでは保護膜の電子放出特性まで考慮して、保護膜の構成やＰＤＰのパネルの駆動方法を設計しておらず、放電特性が完全といえるレベルには達していないまま利用されていた。
【０００８】
本発明は、上述したような課題を解決するためになされたものであり、ＰＤＰのパネルの表示画面内において駆動による放電特性の場所依存性を抑え、表示画面内における表示特性の均一性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明のＰＤＰは、維持電極および走査電極からなる複数の表示電極および誘電体層が順次形成されるとともに誘電体層が保護膜で被覆された第１の基板と、第１の基板との間に放電空間が形成されるように対向配置されかつ表示電極と直交する方向に形成されたアドレス電極を有するとともに放電空間を区画する隔壁間に蛍光体層を形成した第２の基板とを備え、放電空間に放電ガスを封入することにより構成され、かつ走査電極とアドレス電極に電圧を印加して画像データを順次書き込む書き込みステップと走査電極と維持電極との間に電圧を印加して維持放電を行う維持放電ステップとにより表示を行うプラズマディスプレイパネルにおいて、保護膜は、表示領域内において膜質に傾斜を持たせて形成したことを特徴とする。
【００１０】
また、保護膜は、書き込みステップにおける書き込み順に対応するように、表示領域内において膜質に傾斜を持たせて形成したことを特徴とする。
【００１１】
また、保護膜の膜質は、保護膜の（１１１）面の結晶性、保護膜の屈折率、保護膜の結晶粒径、保護膜の充填密度、保護膜の単位重量あたりの表面積、保護膜の体積抵抗率および保護膜の膜厚のうちの少なくとも１種類であることを特徴とし、書き込み順にしたがって、保護膜の（１１１）面の結晶性が強くなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の屈折率が高くなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の結晶粒径が大きくなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の充填密度が高くなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の単位重量あたりの表面積が大きくなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の体積抵抗率が大きくなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の膜厚が厚くなるように傾斜を持って形成する構成を用いればよい。
【００１２】
さらに、保護膜は酸化マグネシウムを主成分とする金属酸化物により構成したり、保護膜を物理気相法、化学気相法、ゾルゲル法、印刷法、塗布法、含浸法のいずれかを用いた方法により形成すればよい。
【００１３】
これらの構成により、ＰＤＰの前面板の保護膜は、書き込みの先頭行から最終行に向かって当該保護膜の膜質に傾斜を持たせて形成することができ、表示画面内の放電特性を均一化することが可能になって、ＰＤＰのパネルの面内の放電特性が均一で、表示品質に優れたＰＤＰを提供することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、交流面放電型のＰＤＰの誘電体層を覆う保護膜の膜質について、書き込みの先頭行から最終行に向かって保護膜の膜質に傾斜を持たせて形成しているので、表示画面全体における書き込み放電特性の均一化をはかることができ、このような保護膜を有するＰＤＰのパネルにより、表示画面内の放電特性が均一で、表示品質に優れたＰＤＰ表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
（実施の形態）
本発明の実施の形態におけるＰＤＰについて、図１、図２、図３、図４、図５を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態におけるＰＤＰの概略構造を示す分解斜視図、図２は本発明の実施の形態におけるＰＤＰを駆動するためのタイミングチャート、図３は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの保護膜形成用の真空蒸着装置の模式図、図４は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの保護膜の膜厚分布を示すグラフ、図５は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの放電遅れ時間分布を示すグラフである。
【００１７】
図１において、交流面放電型ＰＤＰは、各電極にパルス状の電圧を印加することで放電を放電空間３０内で生じさせ、放電に伴って背面板ＰＡ２側で、例えば赤、緑、青色蛍光体を励起発させた各色の可視光を、前面板ＰＡ１の主表面から透過させる構成を有している。
【００１８】
前面板ＰＡ１は、走査電極１２ａと維持電極１２ｂとからなる表示電極１２がストライプ状に複数対配設（図では便宜上１対を伸ばして記載してある）された前面ガラス基板１１上の一方の表面を覆うように低融点ガラスからなる誘電体層１３が形成されている。さらに、この誘電体層１３を覆うように保護膜１４が形成されている。この保護膜１４については、後述して詳しく説明する。
【００１９】
背面板ＰＡ２には、アドレス電極１７が背面ガラス基板１６上にあり、走査電極１２ａ、維持電極１２ｂからなる表示電極１２と直交するようにストライプ状に複数配されている。また電極保護層１８は、アドレス電極１７を覆うように形成され、アドレス電極１７を保護し、可視光を前面パネル側に反射する作用を担う。この電極保護層１８上にアドレス電極１７と同じ方向に向けて伸び、アドレス電極１７を挟むように隔壁１９が立設され、隔壁１９間に蛍光体層２０が配されている。また、表示のコントラストを向上させるために、ブラックマトリックスとなる遮光層１５を前面ガラス基板１１の走査電極１２ａと維持電極１２ｂの間に形成することがある。
【００２０】
前面板ＰＡ１と背面板ＰＡ２との間に形成される放電ガス空間には、放電ガスとして、所定の圧力および配合量とされたネオン（Ｎｅ）、キセノン（Ｘｅ）等の希ガスが封入される。そして、走査電極１２ａと維持電極１２ｂからなる表示電極１２、アドレス電極１７に所定の駆動電圧が印加されると、放電ガスのプラズマ放電に伴う蛍光体層２０等の発光により、前面板ＰＡ１より外部に可視光が放射され、各画素による表示が行われる。
【００２１】
次に、交流面放電型ＰＤＰの駆動について少し詳しく説明するが、本発明におけるＰＤＰの駆動は、既に背景技術で説明したように、サブフィールド法を用いて階調表示を行い、かつ画像表示のために走査・維持分離型の駆動方式を有し、画像データを順次書き込む方式である。
【００２２】
図２において、セットアップ期間４１と書き込みを行う書き込み期間（書き込みステップ）４２と表示放電を維持するための維持期間（維持放電ステップ）４３と消去動作を行うイレース期間４４から構成され、これらの放電周期を繰り返し実行することにより、ＰＤＰに所望の映像を表示させることができる。
【００２３】
セットアップ期間４１では表示電極１２を構成する走査電極１２ａ、維持電極１２ｂの内、走査電極１２ａにアドレス電極１７および維持電極１２ｂに比べて高い電圧を印加し、放電セル内の放電用の希ガスを放電させる。希ガスの放電によって発生した電荷はアドレス電極１７、走査電極１２ａおよび維持電極１２ｂ間の電位差を打ち消すようにセルの壁面に蓄積されるので、走査電極１２ａ付近の保護膜１４表面には負の電荷が壁電荷として蓄積され、またアドレス電極１７付近の蛍光体層２０表面および維持電極１２ｂ付近の保護膜１４表面には正の電荷が壁電荷として蓄積される。この壁電荷により走査電極１２ａとアドレス電極１７間、走査電極１２ａと維持電極１２ｂ間には所定の値の壁電位が生じる。
【００２４】
書き込み期間４２ではセルを点灯させる場合には走査電極１２ａにアドレス電極１７および維持電極１２ｂに比べ低い電圧を印加させることにより、つまり走査電極１２ａとアドレス電極１７には壁電位と同方向に電圧を印加させるとともに走査電極１２ａと維持電極１２ｂ間に壁電位と同方向に電圧を印加させることにより書き込み放電を生じさせる。これにより蛍光体層２０の表面、保護膜１４の表面には負の電荷が蓄積され走査電極１２ａ付近の保護膜１４の表面には正の電荷が壁電荷として蓄積され、維持電極１２ｂと走査電極１２ａ間には所定の値の壁電位が生じる。
【００２５】
維持期間４３では走査電極１２ａに維持電極１２ｂに比べ高い電圧を印加することにより、すなわち、維持電極１２ｂと走査電極１２ａ間に壁電位と同方向に電圧を印加することにより維持放電を生じさせる。これによりセル点灯を開始させることができる。そして、維持電極１２ｂと走査電極１２ａが交互に極性が入れ替わるようにパルスを印加することにより断続的にパルス発光させることができる。
【００２６】
イレース期間４４では、幅の狭い消去パルスを維持電極１２ｂに印加することによって不完全な放電が発生して壁電荷を消滅させ、維持放電を終了させる。
【００２７】
以上のシーケンスを繰り返すことで、各セルに所望の画像を表示させることができる。
【００２８】
上述したシーケンスについて、セットアップ期間４１および維持期間４３は全セルにおいて同一タイミングで行われるが、書き込み期間４２においては走査ラインの先頭行から順に走査を行って書き込み放電を生じさせる。そのため、セットアップから書き込み放電まで時間は走査順に長くなり、書き込み放電から維持放電までの時間は短くなる。このために、以下のような現象が生じることになる。
【００２９】
セットアップ期間４１から書き込み期間４２までの時間が長くなるにしたがって、セットアップ期間４１で形成された壁電荷が減少する。また、書き込み期間４２から維持期間４３までの時間に関しては、保護膜１４からの電子放出により壁電荷が消失される。すなわち、書き込み順が後の領域では、より多くの電子が必要になるので、それぞれの領域では保護膜１４の電子放出効率を上げるように形成すればよい。
【００３０】
ここで、背景技術で例示した特許文献１、特許文献２と対比して、本発明の実施の形態におけるＰＤＰの保護膜１４の膜質と電子放出効率との関係について述べる。セットアップ期間４１の書き込み時の放電特性について、走査電極１２ａとアドレス電極１７間に電圧を印加してから書き込み放電が生じるまでの放電遅れ時間に着目すると、放電遅れは誘電体層１３上の保護膜１４の電子放出性能に強く依存する。保護膜１４の電子放出特性は、保護膜１４の膜質および膜厚に依存するとされている。例えば、特許文献２によれば、保護膜１４の屈折率が高いほど放電遅れ時間が短くなるとする例を示し、また、特許文献３では、体積抵抗率が上昇するにしたがって放電遅れ時間が短くなるとする例を示している。しかしながら、上述した特許文献では、保護膜の特性について厚さ方向で変化することを示唆しているところはあるが、２次元的に特性を積極的に変化させるという概念は見い出せない。
【００３１】
一方、本発明の実施の形態におけるＰＤＰの保護膜１４は、当該保護膜を前面板ＰＡ１に形成された誘電体層１３上に形成するにあたり、書き込み順にしたがって保護膜の特性、膜厚などの膜質に傾斜を持たせることにより、表示のための駆動による影響を相殺することができるとするものである。それ故、保護膜の特性について、駆動のタイミングと関連づけてＰＤＰのパネルの表示領域の面内で保護膜の特性を２次元的に変化させているところに特徴がある。このような保護膜が設けられることにより、駆動のタイミングと関連させて表示画面内の書き込み特性を均一にでき、表示品質の優れたＰＤＰを実現できるところに本発明の意義がある。
【００３２】
本発明の実施の形態におけるＰＤＰのＭｇＯの保護膜１４は物理気相法により形成される。物理気相法とは、低圧力下で固体原料を加熱し、蒸発もしくは昇華させることにより、原料の薄膜を対象とする物体上に形成する方法である。物理気相法には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などがある。このうち、図３に示した真空蒸着装置５０を用いて、一般的なＭｇＯ保護膜形成方法の原理を説明する。
【００３３】
図３において、真空蒸着装置５０は真空ポンプ５１が接続された密閉容器５２内に、主にＭｇＯの蒸発部となるハ−ス５４およびと基板保持部となるトレイ５７からなる機器が設置されている。ＭｇＯ等の金属酸化物のペレットからなる保護膜原料５３は、水冷されたハース５４の蒸発源ポッド５３ａ中に供給され、酸素雰囲気下で電子銃５５ａ、５５ｂから放出された熱電子ビーム５６を照射することにより、加熱・蒸発させる。蒸発したＭｇＯは、基板ヒータ５８により所定温度まで加熱された基板である前面板ＰＡ１上に付着する。ここで、前面板ＰＡ１は基板支持のための開口部５７ａを有するトレイ５７に乗せられ、蒸発したＭｇＯが開口部５７ａを通過し、所望のＭｇＯの保護膜１４が形成される。
【００３４】
保護膜１４を形成するにあたり、成膜時の酸素ガスの供給が必要である。酸素ガスを真空蒸着装置５０の真空成膜室（真空チャンバ）となる密閉容器５２内に供給することにより、保護膜１４を目標の膜厚となるように制御する。電子ビーム照射により膜原料であるＭｇＯ等の金属酸化物を蒸発させると、膜原料から酸素原子が脱離しやすいので、酸素ガスの供給なしで形成した膜は酸素欠損状態になりやすい。そのため、成長表面には常に酸素ガスを供給する必要がある。このように、酸素ガスを供給しつつ成膜を行うことで、結果的に可視光に対する透明性を高めることができる。
【００３５】
また、保護膜１４の膜質および膜厚は、基板である前面板ＰＡ１の加熱温度、酸素ガス圧力、蒸着速度などの各種成膜パラメータによって任意に制御することができる。ＰＤＰにおいて保護膜１４として用いるためには、基板温度を２００℃以上、酸素ガス圧力を１０−２Ｐａ台にすることが好ましい。成膜パラメータを成膜対象となる前面板ＰＡ１について傾斜分布を持たせるように制御することにより、保護膜１４の膜質に傾斜を持たせて形成することが可能になる。
【００３６】
（実施例）
本発明の実施の形態におけるＰＤＰを構成する前面板ＰＡ１の誘電体層１３を覆う保護膜１４を図３に示す真空蒸着装置５０を用いて電子ビーム蒸着法により形成した例を説明する。電子ビーム蒸着を用いる成膜法は上述した物理気相法と呼ばれる方法に属し、密閉容器５２内で電子銃５５ａ、５５ｂから放出された電子ビーム５６の照射によってＭｇＯペレットからなる保護膜原料５３を加熱して蒸発させ、前面板ＰＡ１の誘電体層１３上に堆積させる。
【００３７】
成膜にあたっては、酸素ガスを真空蒸着装置５０の密閉容器５２内に４．０×１０−２Ｐａの圧力になるまで導入し、前面板ＰＡ１は基板ヒータ５８により２５０℃まで加熱している。そして、ここで使用した電子ビームを用いる真空蒸着装置５０は、２基の電子銃５５ａ、５５ｂを具備しており、電子銃５５ａ、５５ｂのエミッション電流を個別に制御することにより、前面板ＰＡ１の誘電体層１３上において、一方向に傾斜した膜厚分布を持つＭｇＯの保護膜１４を形成することが可能になっている。
【００３８】
具体的には、一方向走査型で駆動するＰＤＰの前面板ＰＡ１を用い、左側の電子銃５５ａのエミッション電流を１ｎｍ／ｓに、そして右側の電子銃５５ｂのエミッション電流を０．５ｎｍ／ｓに設定することで、ＭｇＯの保護膜１４の膜厚に分布を持たせている。このとき、書き込み順が左側から右側になるように前面板ＰＡ１を配置することが望ましい。
【００３９】
また、上述した実施例と同じ前面板ＰＡ１を用い、同じ真空蒸着装置５０において、電子銃５５ａ、５５ｂのエミッション電流を２基とも１ｎｍ／ｓに設定するほかは、上述した実施例と同じ条件で前面板ＰＡ１の誘電体層１３上において、膜厚分布が均一になるように保護膜１４を形成し、比較例用試料とした。
【００４０】
上述した実施例および比較例でＰＤＰの前面板ＰＡ１に試作、形成したＭｇＯの保護膜１４の特性の差を説明する。最初に、保護膜１４の膜厚分布について述べる。図４には前面板ＰＡ１の中心線上の膜厚分布を測定した結果が示されている。図４（ａ）は上述した実施例に基づいてＰＤＰの前面板ＰＡ１に形成した保護膜１４の膜厚分布であるが、図中矢印で書き込み順とした表示画面の上方から下方に行くにしたがって、膜厚が厚くなっている。一方、比較例におけるＰＤＰの前面板ＰＡ１に形成した保護膜１４の膜厚分布は、図４（ｂ）に示すように、上下の端部を除き表示画面内においてほぼ均一の厚さに形成されている。
【００４１】
次に、実施例および比較例でＰＤＰの前面板ＰＡ１に試作、形成したＭｇＯの保護膜１４の放電遅れ時間について述べる。上述した実施例および比較例に基づきＭｇＯの保護膜１４が形成、試作された前面板ＰＡ１を用いて、それぞれＰＤＰのパネルを作成し、個別に放電遅れ時間を測定して、図５に示す結果により比較した。図５（ａ）および（ｂ）はそれぞれ実施例および比較例に基づいて保護膜１４を形成した前面板ＰＡ１を用いたＰＤＰのパネルの表示画面の中心線上における放電遅れ時間の分布を示している。ここで、放電遅れ時間は書き込み（アドレス）期間４２に走査電極１２ａとアドレス電極１７間に電圧を印加してから放電が起こるまでの時間について、その放電発光の１００回分を平均化して求めた。図５によると、実施例に基づき形成試作した膜厚分布に傾斜を持たせた保護膜１４は、図中矢印で書き込み順として示した表示画面の上下方向における放電遅れ時間の分布の方が、膜厚分布を均一に形成した比較例で示した保護膜１４よりも均一であることが明らかになった。
【００４２】
以上説明した結果から、実施例で述べた方法に基づいて形成した保護膜は、表示画面の上方から下方に行くにしたがって膜厚が厚くなるように傾斜した分布を持たせて保護膜を形成しているが、放電遅れ時間の分布は均一であることが確認できた。すなわち、実施例で述べた方法に基づいて形成した保護膜にあっては、表示画面内において駆動による書き込み特性を相殺するような膜質（膜厚）分布を持たせることにより、表示画面内の書き込み特性を均一にでき、表示品質の優れたＰＤＰが実現できる。
【００４３】
なお、上述した実施例では、保護膜１４の膜厚に傾斜を持たせた場合について述べたが、保護膜成膜時の各成膜パラメータを調整することで、ほかの膜質を制御することもできる。その他の膜質の構成としては、書き込み順にしたがって、保護膜の（１１１）面の結晶性が強くなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の屈折率が高くなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の結晶粒径が大きくなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の充填密度が高くなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の単位重量あたりの表面積が大きくなるように傾斜を持って形成する構成、書き込み順にしたがって保護膜の体積抵抗率が大きくなるように傾斜を持って形成する構成を用いることができ、これらの構成によっても、放電遅れ時間等の表示画面内の書き込み特性を均一にすることができる。
【００４４】
また、上述した実施例では、一方向走査型で駆動するＰＤＰを例に用いて説明したが、両方向走査型ＰＤＰやインターレース表示型ＰＤＰにおいても、膜質を均一ではなく傾斜させるなど分布を持たせて保護膜１４を形成することにより、ＰＤＰの放電特性や表示特性を表示領域内で均一化する効果を容易に得ることができる。
【００４５】
また、上述した実施例では、保護膜の形成にあたって、物理気相法を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、化学気相法、ゾルゲル法、印刷法、塗布法、含浸法といったほかの方法により保護膜を形成することもできる。
【００４６】
以上説明したように、本発明の実施の形態におけるＰＤＰは、その誘電体層を覆う保護膜の膜質および膜厚について、書き込みの先頭行から最終行に向かって保護膜の膜質や膜厚に傾斜を持たせて形成しているので、表示画面全体における書き込み放電特性の均一化をはかることができ、このような保護膜を有するＰＤＰにより、表示画面内の放電特性が均一で、表示品質に優れたＰＤＰを実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、ＰＤＰの保護膜の膜質に分布を持たせることによりパネルの表示画面内において駆動による放電特性の場所依存性を抑え、表示画面内における表示特性の均一性を向上させているので、特に大型のＰＤＰ表示装置へ適用して効果が大きい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの概略構造を示す分解斜視図
【図２】本発明の実施の形態におけるＰＤＰを駆動するためのタイミングチャート
【図３】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの保護膜形成用の真空蒸着装置の模式図
【図４】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの保護膜の膜厚分布を示すグラフ
【図５】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの放電遅れ時間分布を示すグラフ
【符号の説明】
【００４９】
ＰＡ１    前面板
ＰＡ２    背面板
１１    前面ガラス基板
１２    表示電極
１２ａ    走査電極
１２ｂ    維持電極
１３    誘電体層
１４    保護膜
１５    遮光層
１６    背面ガラス基板
１７    アドレス電極
１８    電極保護層
１９    隔壁
２０    蛍光体層
３０    放電空間
４１    セットアップ期間
４２    書き込み（アドレス）期間
４３    維持（サステイン）期間
４４    イレース期間
５０    真空蒸着装置
５１    真空ポンプ
５２    密閉容器
５３    保護膜原料
５３ａ    蒸発源ポッド
５４    ハース
５５ａ，５５ｂ    電子銃
５６    電子ビーム
５７    トレイ
５７ａ    開口部
５８    基板ヒータ
【図１】
2007103054.tif 000003
【図２】
2007103054.tif 000004
【図３】
2007103054.tif 000005
【図４】
2007103054.tif 000006
【図５】
2007103054.tif 000007