(57)【要約】【課題】レーザバーを配列するときにレーザバーの倒れを防止し、作業効率を大幅に向上できるレーザバー配列装置を提供する。【解決手段】揺動部４は、滑り台部２の設置面２１を、第１の傾斜位置Ｓ１と第２の傾斜位置Ｓ２とに切り替え可能である。そして、横倒状態のレーザバーまたはスペーサを、上記第１の傾斜位置Ｓ１にある上記設置面２１を滑らせてから、上記設置面２１を上記第２の傾斜位置Ｓ２に切り替えて、レーザバーまたはスペーサを起立させて、上記設置面２１に配列する。再び、レーザバーまたはスペーサを上記設置面２１に配列するために、上記設置面２１を上記第１の傾斜位置Ｓ１に切り替えても、既に配列されて起立しているレーザバーまたはスペーサは、横倒しない。【選択図】図４
2007103621.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台部と、
レーザバーおよびスペーサを交互に並べて設置する設置面を有すると共に上記基台部に揺動自在に取り付けられる滑り台部と、
上記滑り台部を上記基台部に対して揺動させる揺動部と、
上記滑り台部の上記設置面の水平面に対する傾斜角度が変化するように上記揺動部を制御する制御部と
を備え、
上記制御部は、上記滑り台部を、
上記設置面に対して横倒状態にある上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に滑らせるように、上記設置面を上側を向く第１の傾斜位置にする第１の状態と、
上記設置面に対して横倒状態にある上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に対して起立させるように、上記設置面を下側を向く第２の傾斜位置にする第２の状態と、
上記設置面に対して起立状態にある上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に対して横倒させないように、上記設置面を上側を向く第１の傾斜位置にする第３の状態と
に順に切り替えることを特徴とするレーザバー配列装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザバー配列装置において、
上記滑り台部の上記設置面は、上記レーザバーを滑らせて上記レーザバーを設置するレーザバー基準面と、上記スペーサを滑らせて上記スペーサを設置するスペーサ基準面とを有することを特徴とするレーザバー配列装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザバー配列装置において、
上記設置面が上記第１の傾斜位置にある状態で、上記スペーサ基準面は、上記レーザバー基準面よりも、高い位置にあることを特徴とするレーザバー配列装置。
【請求項４】
請求項３に記載のレーザバー配列装置において、
上記レーザバー基準面と上記スペーサ基準面の高さの差は、５μｍ〜１００μｍであることを特徴とするレーザバー配列装置。
【請求項５】
水平面に対する傾斜角度が変化する滑り台部の設置面に、レーザバーおよびスペーサを交互に並べて設置する方法であって、
上記設置面を上側を向く第１の傾斜位置にして、上記設置面に対して横倒状態にある上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に滑らせる工程と、
上記設置面を下側を向く第２の傾斜位置にして、上記設置面に対して横倒状態にある上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に対して起立させる工程と、
上記設置面を上側を向く第１の傾斜位置に戻して、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に対して起立状態を維持させたまま、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に設置する工程と
を備えることを特徴とするレーザバー配列方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数のレーザバーの各端面に薄膜を形成するために、この複数のレーザバーを配列するレーザバー配列装置およびレーザバー配列方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体レーザ素子は、一枚の基板から同時に多数形成され、切り出しにより個別に分離することで形成される。すなわち、基板上に薄膜を積層、加工してレーザ光を発振する活性層を形成し、この基板から、チップ（半導体レーザ素子）が一列に並んだ状態で一体を成すレーザバーを、劈開により切り出し、さらに、このレーザバーから個別にチップの切り出しが行われる。
【０００３】
ここで、上記活性層付近が汚染された状態で上記チップが形成されると、高出力動作を行う場合に、レーザ光の一部が、上記汚染された層に吸収されて発熱を生じ、この熱によって、共振器端面が、劣化する可能性がある。
【０００４】
この劣化を防ぐため、上記レーザバーの両側の劈開された端面（つまり、共振器端面）に誘電体膜を形成し、この共振器端面を保護している。また、この誘電体膜の形成により、共振器端面と大気との直接接触を防ぎ、自然酸化膜形成の抑制もすることができる。
【０００５】
この誘電体膜は、共振器端面の一方に高反射膜、他方に低反射膜を形成することで、レーザ光の出射方向や発振閾値及び出力の調整をすることができる。そして、誘電体膜の種類や膜厚によって、反射率を制御している。この反射率は、誘電体膜の膜厚によって大きく変化するため、高品質な半導体レーザ素子を製造するためには、安定した膜厚制御が重要となる。
【０００６】
半導体レーザ素子は、通常数ｍｍ四方以下の大きさであるため、取り扱いも困難で、かつ、各劈開面に安定した膜厚を形成するのも困難である。そのため、レーザバーに劈開された状態で、各劈開面に高反射膜と低反射膜とをそれぞれ成膜し、その後に、半導体レーザ素子を個別に劈開して行く手法が一般的に用いられている。
【０００７】
レーザバーの各劈開面の誘電体膜の成膜にあっては、複数のレーザバーの側面が、互いに平行となる状態で、かつ、この複数のレーザバーの各劈開面が、ほぼ同一平面上となるように、この複数のレーザバーが並べられた状態で行われる。
【０００８】
そして、従来、レーザバー配列装置としては、複数のレーザバーを並べる際に、予めこの装置にレーザバーをセットする隙間が設けられており、この隙間にレーザバーをセットしていた（例えば、特開２００５−５６９２６号公報：特許文献１参照）。
【０００９】
また、他のレーザバー配列装置としては、レーザバーとスペーサを交互の状態でこの装置にセットし、その際に、その厚さ方向両側から押圧して、全体を保持していた（例えば、特開２００２−３４４０７０号公報：特許文献２参照）。
【００１０】
また、別のレーザバー配列装置としては、レーザバーとスペーサを交互に重ね合わせた状態で固定を行うものであって、レーザバーとスペーサを順番に並べる際に、レーザバーとスペーサを吸着保持によって固定していた（例えば、特開２００１−３２０１１９号公報：特許文献３参照）。
【００１１】
上記各レーザバー配列装置により固定された複数のレーザバーは、いずれも、一方の劈開面が露出された状態となり、この露出された劈開面に対してプラズマＣＶＤ 、スパッタリング、蒸着、イオンプレーティングなどを用いて誘電体膜が形成され、さらに、反転させて他方の劈開面に誘電体膜を生成することで、レーザバーの出射側端面と反射側端面とに誘電体膜の成膜が行われていた。
【００１２】
しかしながら、上記特許文献１に記載のレーザバー配列装置では、レーザバーを配列する装置に隙間を設けてレーザバーをセットするため、レーザバーの厚みが厚くなった際に、この隙間にレーザバーが入らなくなって、新たに隙間の広い装置を作製しなければならなかった。一方、レーザバーの厚みが薄くなった際には、この隙間でレーザバーの倒れが発生し、倒れたレーザバーを取り除いて再度セットする必要があって、作業効率が非常に悪かった。また、レーザバーが倒れた状態でセットされて、そのまま成膜されることもあり、正常に成膜されずに、特性不良を起こしていた。
【００１３】
また、上記特許文献２に記載のレーザバー配列装置では、レーザバーとスペーサを交互に並べてセットする作業の際に、レーザバーやスペーサの厚みが１００ｕｍ程度と薄いため、レーザバーやスペーサが倒れて、倒れたレーザバーやスペーサを取り除いて再度セットする必要があって、作業効率が非常に悪かった。
【００１４】
また、上記特許文献３に記載のレーザバー配列装置では、レーザバーとスペーサを交互に並べる際に、載置面の空気吸引孔の負圧によりレーザバーが吸着されるため、倒れが抑制される効果があるが、レーザバーの厚さからすれば依然として起立状態を維持するには不十分であり、倒れを十分に防止することはできなかった。また、レーザバーの倒れが生じると、レーザバーのピックアップを行うために、一度負圧を切る必要が生じて、負圧を切った瞬間、今まで段積み整列していたレーザバーやスペーサまで倒れて初めから段積み整列をやり直す必要を生じる場合もあった。さらに、負圧による吸着面が、レーザ光の出射面の場合、この出射面を正しい位置に整列する前に吸着すると、この出射面を正しい位置に移動させるときに、この出射面を載置台で引きずって、この出射面を傷つけて製品の歩留りを悪くするという問題もあった。
【特許文献１】特開２００５−０５６９２６号公報
【特許文献２】特開２００２−３４４０７０号公報
【特許文献３】特開２００１−３２０１１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
そこで、この発明の課題は、レーザバーを配列するときにレーザバーの倒れを防止し、作業効率を大幅に向上できるレーザバー配列装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するため、この発明のレーザバー配列装置は、基台部と、レーザバーおよびスペーサを交互に並べて設置する設置面を有すると共に上記基台部に揺動自在に取り付けられる滑り台部と、上記滑り台部を上記基台部に対して揺動させる揺動部と、上記滑り台部の上記設置面の水平面に対する傾斜角度が変化するように上記揺動部を制御する制御部とを備え、
上記制御部は、上記滑り台部を、
上記設置面に対して横倒状態にある上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に滑らせるように、上記設置面を上側を向く第１の傾斜位置にする第１の状態と、
上記設置面に対して横倒状態にある上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に対して起立させるように、上記設置面を下側を向く第２の傾斜位置にする第２の状態と、
上記設置面に対して起立状態にある上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に対して横倒させないように、上記設置面を上側を向く第１の傾斜位置にする第３の状態と
に順に切り替えることを特徴としている。
【００１７】
この発明のレーザバー配列装置によれば、上記制御部は、上記滑り台部を、上記第１の状態と、上記第２の状態と、上記第３の状態とに順に切り替えるので、横倒状態の上記レーザバーまたは上記スペーサを、上記第１の傾斜位置にある上記設置面を滑らせてから、上記設置面を上記第２の傾斜位置に切り替えて、上記レーザバーまたは上記スペーサを起立させて、上記設置面に配列する。再び、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に配列するために、上記設置面を上記第１の傾斜位置に切り替えても、既に配列されて起立している上記レーザバーまたは上記スペーサは、横倒しない。
【００１８】
したがって、上記レーザバーおよび上記スペーサを、横倒した状態から起立させて上記設置面に配列し、かつ、この起立状態を維持できるので、上記レーザバーおよび上記スペーサを上記設置面に配列するときに、上記レーザバーおよび上記スペーサの倒れを防止し、作業効率を大幅に向上できる。
【００１９】
また、一実施形態のレーザバー配列装置では、上記滑り台部の上記設置面は、上記レーザバーを滑らせて上記レーザバーを設置するレーザバー基準面と、上記スペーサを滑らせて上記スペーサを設置するスペーサ基準面とを有する。
【００２０】
この実施形態のレーザバー配列装置によれば、上記滑り台部の上記設置面は、上記レーザバー基準面と上記スペーサ基準面とを有するので、上記設置面に上記レーザバーおよび上記スペーサを滑らせることで、自動的に、上記レーザバーと上記スペーサを分類できて、作業効率を一層向上できる。
【００２１】
また、一実施形態のレーザバー配列装置では、上記設置面が上記第１の傾斜位置にある状態で、上記スペーサ基準面は、上記レーザバー基準面よりも、高い位置にある。
【００２２】
この実施形態のレーザバー配列装置によれば、上記スペーサ基準面は、上記レーザバー基準面よりも、高い位置にあるので、上記レーザバーおよび上記スペーサを上記設置面に配列したとき、上記レーザバーの端面を上記スペーサの端面から上記設置面に対して垂直方向（幅方向）に突出させることができて、上記スペーサに邪魔されずに上記レーザバーの端面に誘電体膜等の薄膜を形成できる。
【００２３】
また、一実施形態のレーザバー配列装置では、上記レーザバー基準面と上記スペーサ基準面の高さの差は、５μｍ〜１００μｍである。
【００２４】
この実施形態のレーザバー配列装置によれば、上記レーザバー基準面と上記スペーサ基準面の高さの差は、５μｍ〜１００μｍであるので、上記レーザバーの端面に誘電体膜等の薄膜を良好に形成できる。すなわち、高さの差が５μｍより小さい場合、薄膜形成時に高温処理することで、上記スペーサが熱膨張を起こして、上記レーザバーの端面が、上記スペーサの端面に遮られて、薄膜を良好に形成できない。また、上記スペーサの製造精度によって、上記スペーサの幅にもバラツキが生じており、幅の広いスペーサでは、上記レーザバーの端面が、上記スペーサの端面に遮られて、薄膜を良好に形成できない。一方、高さの差が１００μｍより大きい場合、上記レーザバーの側面に誘電体膜等の薄膜が付着するおそれがある。
【００２５】
また、この発明のレーザバー配列方法は、水平面に対する傾斜角度が変化する滑り台部の設置面に、レーザバーおよびスペーサを交互に並べて設置する方法であって、
上記設置面を上側を向く第１の傾斜位置にして、上記設置面に対して横倒状態にある上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に滑らせる工程と、
上記設置面を下側を向く第２の傾斜位置にして、上記設置面に対して横倒状態にある上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に対して起立させる工程と、
上記設置面を上側を向く第１の傾斜位置に戻して、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に対して起立状態を維持させたまま、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記設置面に設置する工程と
を備えることを特徴としている。
【００２６】
この発明のレーザバー配列方法によれば、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記第１の傾斜位置の上記設置面に滑らせる工程と、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記第２の傾斜位置の上記設置面に対して起立させる工程と、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記第１の傾斜位置の上記設置面に対して起立状態を維持させたまま上記レーザバーまたは上記スペーサを上記第１の傾斜位置の上記設置面に設置する工程とを備えるので、これらの工程を繰り返して、上記レーザバーおよび上記スペーサを交互に並べて上記設置面に設置できる。
【００２７】
したがって、上記レーザバーおよび上記スペーサを、横倒した状態から起立させて上記設置面に配列し、かつ、この起立状態を維持できるので、上記レーザバーおよび上記スペーサを上記設置面に配列するときに、上記レーザバーおよび上記スペーサの倒れを防止し、作業効率を大幅に向上できる。
【発明の効果】
【００２８】
この発明のレーザバー配列装置によれば、上記制御部は、上記滑り台部を、上記第１の状態と、上記第２の状態と、上記第３の状態とに順に切り替えるので、上記レーザバーを配列するときに上記レーザバーの倒れを防止し、作業効率を大幅に向上できる。
【００２９】
また、この発明のレーザバー配列方法によれば、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記第１の傾斜位置の上記設置面に滑らせる工程と、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記第２の傾斜位置の上記設置面に対して起立させる工程と、上記レーザバーまたは上記スペーサを上記第１の傾斜位置の上記設置面に対して起立状態を維持させたまま上記レーザバーまたは上記スペーサを上記第１の傾斜位置の上記設置面に設置する工程とを備えるので、上記レーザバーを配列するときに上記レーザバーの倒れを防止し、作業効率を大幅に向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００３１】
図１は、この発明のレーザバー配列装置の一実施形態である斜視図を示している。このレーザバー配列装置は、基台部１と、この基台部１に揺動自在に取り付けられる滑り台部２と、この滑り台部２を上記基台部１に対して揺動させる揺動部４と、この揺動部４を制御する制御部６とを備えている。
【００３２】
このレーザバー配列装置は、複数のレーザバーの劈開された各端面（つまり、共振器端面）に誘電体膜を形成するために、この複数のレーザバーを配列するものである。つまり、このレーザバー配列装置は、上記滑り台部２の一面に、この一面に沿って、平板状のレーザバーおよびスペーサを交互に並べて配列するものである。ここで、平板とは、厚みに対して幅が大きいことをいう。
【００３３】
ここで、レーザバーおよびスペーサについて説明する。
【００３４】
図２に示すように、レーザバー５０は、まだ個別に切り分けられていない状態の複数の半導体レーザ素子（チップ）が一列に並んだ集合体である。このレーザバー５０上の活性層５１は、このレーザバー５０に含まれる各半導体レーザ素子に個別に対応して設けられており、各活性層５１を含む形で劈開することで、複数の半導体レーザ素子を得ることができる。
【００３５】
このレーザバー５０を個別に切り分ける前に、このレーザバー５０の幅方向の両側の端面５０ａに誘電体膜を形成する必要がある。そして、このレーザバー５０の端面５０ａの誘電体膜の成膜にあっては、複数のレーザバー５０の厚み方向の各側面５０ｂが、互いに平行となる状態で、かつ、この複数のレーザバー５０の各端面５０ａが、ほぼ同一平面上となるように、この複数のレーザバー５０を幅方向に並べた状態で行われる。上記レーザバー５０の一方の側面５０ｂに、上記活性層５１が設けられている。
【００３６】
スペーサ６０は、薄板であり、複数のスペーサ６０の厚み方向の各側面６０ｂが、互いに平行となる状態で、かつ、この複数のスペーサ６０の幅方向の各端面６０ａが、ほぼ同一平面上となるように、この複数のスペーサ６０が配列される。
【００３７】
この隣り合うスペーサ６０，６０の間に、上記レーザバー５０が配置される。つまり、上記複数のスペーサ６０によって、上記複数のレーザバー５０を挟み込んで、この複数のレーザバー５０を保持する。
【００３８】
図１と図３に示すように、上記滑り台部２は、板状の本体部２２と、この本体部２２の一面側に取り付けられた設置板２０とを有する。
【００３９】
上記設置板２０は、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を交互に並べて設置する設置面２１を有する。上記本体部２２は、上記設置面２１の水平面に対する傾斜角度が変化するように、上記設置面２１に対して平行な軸２２ａまわりに揺動自在に上記基台部１に取り付けられている。
【００４０】
上記本体部２２は、図４に示すように、上記揺動部４によって、上記設置面２１が上側を向くように水平面に対して傾斜する第１の傾斜位置Ｓ１と、上記設置面２１が下側を向くように水平面に対して傾斜する第２の傾斜位置Ｓ２とに切り替えられる。つまり、上記第１の傾斜位置Ｓ１の上記設置面２１の傾斜角度は、０〜９０度である一方、上記第２の傾斜位置Ｓ２の上記設置面２１の傾斜角度は、９０度以上である。
【００４１】
図１と図３に示すように、上記設置板２０の上記設置面２１は、上側を向いた状態で、凹状に形成されている。つまり、この設置面２１は、上記軸２２ａに垂直な方向に延びている中央のレーザバー基準面２１ａと、このレーザバー基準面２１ａの左右両側に平行に配置されるスペーサ基準面２１ｂとを有する。要するに、上記レーザバー基準面２１ａおよび上記スペーサ基準面２１ｂの延長方向とは、上下方向をいう。
【００４２】
上記レーザバー基準面２１ａは、この延長方向で下方向に上記レーザバー５０を滑らせて、上記レーザバー５０を設置する面である。上記スペーサ基準面２１ｂは、この延長方向で下方向に上記スペーサ６０を滑らせて、上記スペーサ６０を設置する面である。上記設置面２１が上側を向いた状態で、上記スペーサ基準面２１ｂは、上記レーザバー基準面２１ａよりも、高い位置にある。上記レーザバー基準面２１ａと上記スペーサ基準面２１ｂの高さの差は、５μｍ〜１００μｍである。
【００４３】
上記本体部２２の一面には、上記設置板２０を囲むように、保持枠３が離脱自在に取り付けられている。この保持枠３は、上記設置板２０の上記軸２２ａ側（下側）に位置するストッパ部３１と、上記設置板２０の左右両側に位置するガイド部３２，３２とを有する。
【００４４】
上記ストッパ部３１には、上記スペーサ６０が当たって、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０が上記設置板２０から滑り落ちることを防止する。
【００４５】
上記ガイド部３２は、上記スペーサ６０の端部をガイドする。このガイド部３２のガイド面は、上記スペーサ基準面２１ｂと同じ高さである。このガイド部３２には、（仮想線に示す）保持板５が、ネジ等にて離脱自在に取り付けられている。つまり、上記保持板５と上記ガイド部３２によって、上記スペーサ６０の端部を下方向に滑るようにガイドすると共に、上記スペーサ６０の端部を挟持する。
【００４６】
ここで、図２と図３に示すように、上記スペーサ６０の長さ寸法は、上記レーザバー５０の長さ寸法よりも、大きく、上記スペーサ６０の幅寸法は、上記レーザバー５０の幅寸法よりも、小さい。
【００４７】
もし、上記スペーサ６０の長さ寸法が、上記レーザバー５０の長さ寸法よりも、小さいと、上記保持板５と上記ガイド部３２によって、上記レーザバー５０を保持することになる。したがって、上記レーザバー５０は、上記保持板５および上記ガイド部３２に接触し、この接触した部分は、正常に成膜されず、特性不良となってしまい、生産性が悪化してしまう。
【００４８】
また、上記スペーサ６０の幅寸法は、上記レーザバー５０の幅寸法よりも、１０μｍ〜２００μｍ小さいのが好ましい。つまり、上記レーザバー基準面２１ａと上記スペーサ基準面２１ｂの高さの差は、５μｍ〜１００μｍであるので、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を上記設置面２１に設置した状態では、上記レーザバー５０の端面５０ａは、上記スペーサ６０の端面６０ａよりも、５μｍ〜１００μｍ突出する。
【００４９】
また、上記スペーサ６０の厚みは、３０μｍ〜１００μｍであるのが好ましく、多くの本数の上記レーザバー５０を、正常に成膜できる。すなわち、３０μｍよりも小さいと、成膜時に、隣接する上記レーザバー５０，５０が接触してしまい、正常に成膜されずに特性不良となる。一方、１００μｍをこえると、上記設置面２１に設置する上記レーザバー５０の本数が激減して、生産性を悪化させてしまう。
【００５０】
図３と図４に示すように、上記揺動部４は、例えば、モータ等の駆動機構である。上記揺動部４は、上記滑り台部２の上記設置面２１を、上記第１の傾斜位置Ｓ１と上記第２の傾斜位置Ｓ２とに切り替え可能である。
【００５１】
上記第１の傾斜位置Ｓ１とは、上記設置面２１に対して横倒状態にある上記レーザバー５０および上記スペーサ６０が上記設置面２１を滑ると共に、上記設置面２１に対して起立状態に設置された上記レーザバー５０および上記スペーサ６０が上記設置面２１に対して横倒しないような位置である。
【００５２】
上記第２の傾斜位置Ｓ２とは、上記設置面２１に対して横倒状態に設置された上記レーザバー５０および上記スペーサ６０が、上記設置面２１に対して起立するような位置である。
【００５３】
上記制御部６は、上記滑り台部２の上記設置面２１の水平面に対する傾斜角度が変化するように上記揺動部４を制御する。具体的に述べると、上記制御部６は、上記滑り台部２を、第１の状態と、第２の状態と、第３の状態とに順に切り替える。
【００５４】
上記第１の状態では、上記設置面２１に対して横倒状態にある上記レーザバー５０または上記スペーサ６０を上記設置面２１に滑らせるように、上記設置面２１を上記第１の傾斜位置Ｓ１にする。
【００５５】
上記第２の状態では、上記設置面２１に対して横倒状態にある上記レーザバー５０または上記スペーサ６０を上記設置面２１に対して起立させるように、上記設置面２１を上記第２の傾斜位置Ｓ２にする。
【００５６】
上記第３の状態では。上記設置面２１に対して起立状態にある上記レーザバー５０または上記スペーサ６０を上記設置面２１に対して横倒させないように、上記設置面２１を上記第１の傾斜位置Ｓ１にする。
【００５７】
次に、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を上記設置面２１に配列する方法を説明する。
【００５８】
まず、図５Ａに示すように、上記設置面２１を上記第１の傾斜位置Ｓ１にして（上記滑り台部２の上記第１の状態）、上記スペーサ基準面２１ｂに対して横倒状態（平置状態）にある上記スペーサ６０を、上記スペーサ基準面２１ｂに滑らせる。つまり、上記スペーサ６０は、仮想線に示すように、上記スペーサ基準面２１ｂの上側から滑り出して、実線に示すように、上記スペーサ基準面２１ｂの下側で、上記保持枠３の上記ストッパ部３１に当たって止まる。
【００５９】
その後、図５Ｂに示すように、上記設置面２１を上記第２の傾斜位置Ｓ２にして（上記滑り台部２の上記第２の状態）、仮想線に示すように、上記スペーサ基準面２１ｂに対して横倒状態にある上記スペーサ６０を、実線に示すように、上記スペーサ基準面２１ｂに対して起立させる。
【００６０】
そして、図５Ｃに示すように、上記設置面２１を上記第１の傾斜位置Ｓ１に戻して（上記滑り台部２の上記第３の状態）、上記スペーサ６０を上記スペーサ基準面２１ｂに対して起立状態を維持させたまま、上記スペーサ６０を上記スペーサ基準面２１ｂに設置する。
【００６１】
続いて、図６Ａに示すように、上記設置面２１を上記第１の傾斜位置Ｓ１に保持したままで（上記滑り台部２の上記第１の状態）、上記レーザバー基準面２１ａに対して横倒状態（平置状態）にある上記レーザバー５０を、上記レーザバー基準面２１ａに滑らせる。つまり、上記レーザバー５０は、仮想線に示すように、上記レーザバー基準面２１ａの上側から滑り出して、実線に示すように、上記レーザバー基準面２１ａの下側で、上記スペーサ６０に当たって止まる。
【００６２】
その後、図６Ｂに示すように、上記設置面２１を上記第２の傾斜位置Ｓ２にして（上記滑り台部２の上記第２の状態）、仮想線に示すように、上記レーザバー基準面２１ａに対して横倒状態にある上記レーザバー５０を、実線に示すように、上記レーザバー基準面２１ａに対して起立させる。
【００６３】
そして、図６Ｃに示すように、上記設置面２１を上記第１の傾斜位置Ｓ１に戻して（上記滑り台部２の上記第３の状態）、上記レーザバー５０を上記レーザバー基準面２１ａに対して起立状態を維持させたまま、上記レーザバー５０を上記レーザバー基準面２１ａに設置する。
【００６４】
これらの工程（上記滑り台部２の上記第１〜上記第３の状態）を繰り返して、図７に示すように、上記複数のレーザバー５０および上記複数のスペーサ６０を、交互に並べて、上記設置面２１に設置する。最後に、上記保持枠３に、押さえ部３３を取り付けて、上記複数のレーザバー５０および上記複数のスペーサ６０を、上記保持枠３に固定する。そして、図示しないが、上記保持枠３を、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０と共に、上記滑り台部２（上記設置板２０）から取り外して、上記レーザバー５０の端面に誘電体膜を形成して、共振器端面を形成する。
【００６５】
上記構成のレーザバー配列装置によれば、上記制御部６は、上記滑り台部２を、上記第１の状態と、上記第２の状態と、上記第３の状態とに順に切り替えるので、横倒状態の上記レーザバー５０または上記スペーサ６０を、上記第１の傾斜位置Ｓ１にある上記設置面２１を滑らせてから、上記設置面２１を上記第２の傾斜位置Ｓ２に切り替えて、上記レーザバー５０または上記スペーサ６０を起立させて、上記設置面２１に配列する。再び、上記レーザバー５０または上記スペーサ６０を上記設置面２１に配列するために、上記設置面２１を上記第１の傾斜位置Ｓ１に切り替えても、既に配列されて起立している上記レーザバー５０または上記スペーサ６０は、横倒しない。
【００６６】
したがって、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を、横倒した状態から起立させて上記設置面２１に配列し、かつ、この起立状態を維持できるので、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を上記設置面２１に配列するときに、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０の倒れを防止し、作業効率を大幅に向上できる。
【００６７】
また、上記滑り台部２の上記設置面２１は、上記レーザバー基準面２１ａと上記スペーサ基準面２１ｂとを有するので、上記設置面２１に上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を滑らせることで、自動的に、上記レーザバー５０と上記スペーサ６０を分類できて、作業効率を一層向上できる。
【００６８】
また、上記スペーサ基準面２１ｂは、上記レーザバー基準面２１ａよりも、高い位置にあるので、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を上記設置面２１に配列したとき、上記レーザバー５０の端面５０ａを上記スペーサ６０の端面６０ａから上記設置面２１に対して垂直方向（幅方向）に突出させることができて、上記スペーサ６０に邪魔されずに上記レーザバー５０の端面５０ａに誘電体膜等の薄膜を形成できる。
【００６９】
また、上記レーザバー基準面２１ａと上記スペーサ基準面２１ｂの高さの差は、５μｍ〜１００μｍであるので、上記レーザバー５０の端面５０ａに誘電体膜等の薄膜を良好に形成できる。すなわち、高さの差が５μｍより小さい場合、薄膜形成時に高温処理することで、上記スペーサ６０が熱膨張を起こして、上記レーザバー５０の端面５０ａが、上記スペーサ６０の端面６０ａに遮られて、薄膜を良好に形成できない。また、上記スペーサ６０の製造精度によって、上記スペーサ６０の幅にもバラツキが生じており、幅の広いスペーサ６０では、上記レーザバー５０の端面５０ａが、上記スペーサ６０の端面６０ａに遮られて、薄膜を良好に形成できない。一方、高さの差が１００μｍより大きい場合、上記レーザバー５０の側面５０ｂに誘電体膜等の薄膜が付着するおそれがある。
【００７０】
また、上記レーザバー配列方法によれば、上記レーザバー５０または上記スペーサ６０を上記第１の傾斜位置Ｓ１の上記設置面２１に滑らせる工程と、上記レーザバー５０または上記スペーサ６０を上記第２の傾斜位置Ｓ２の上記設置面２１に対して起立させる工程と、上記レーザバー５０または上記スペーサ６０を上記第１の傾斜位置Ｓ１の上記設置面２１に対して起立状態を維持させたまま上記レーザバー５０または上記スペーサ６０を上記第１の傾斜位置Ｓ１の上記設置面２１に設置する工程とを備えるので、これらの工程を繰り返して、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を交互に並べて上記設置面２１に設置できる。
【００７１】
したがって、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を、横倒した状態から起立させて上記設置面２１に配列し、かつ、この起立状態を維持できるので、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を上記設置面２１に配列するときに、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０の倒れを防止し、作業効率を大幅に向上できる。
【００７２】
要するに、本発明のレーザバー配列装置およびレーザバー配列方法では、上記レーザバー５０および上記スペーサ６０を、横倒した状態でセットしてから、起立させるため、セットするときに、横倒するという問題がない。これに対して、従来例では、起立させた状態でセットするため、横倒するという問題が発生する。
【００７３】
また、上記スペーサ６０をガイドして保持する上記保持板５を、上記保持枠３に対して着脱自在にしているので、上記保持板５が上記レーザバー５０と同時に成膜されても、上記保持板５を上記保持枠３から取り外して洗浄できて、上記保持板５への幾重の成膜を防止し、上記レーザバー５０の特性を良好にできる。これに対して、上記保持板５に繰り返し成膜されると、上記保持板５から膜はがれが発生して、上記レーザバー５０の膜もはがれ、上記レーザバー５０の特性不良となる。
【００７４】
なお、この発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、上記設置板２０は、上記滑り台部２に一体に形成されてもよい。また、上記保持枠３は、上記滑り台部２に一体に形成されてもよい。また、上記軸２２ａが上記載置面２１よりも上側にあってもよく、このとき、上記滑り台部２は、上記軸２２ａよりも下側で揺動する。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明のレーザバー配列装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】レーザバーおよびスペーサを示す斜視図である。
【図３】レーザバー配列装置の横断面図である。
【図４】レーザバー配列装置の側面図である。
【図５Ａ】レーザバー配列方法の第１の工程を示す作用説明図である。
【図５Ｂ】レーザバー配列方法の第２の工程を示す作用説明図である。
【図５Ｃ】レーザバー配列方法の第３の工程を示す作用説明図である。
【図６Ａ】レーザバー配列方法の第４の工程を示す作用説明図である。
【図６Ｂ】レーザバー配列方法の第５の工程を示す作用説明図である。
【図６Ｃ】レーザバー配列方法の第６の工程を示す作用説明図である。
【図７】レーザバーおよびスペーサの配列を完了した状態を示す正面図である。
【符号の説明】
【００７６】
１    基台部
２    滑り台部
３    保持枠
４    揺動部
６    制御部
２０    設置板
２１    設置面
２１ａ    レーザバー基準面
２１ｂ    スペーサ基準面
３１    ストッパ部
３２    ガイド部
３３    押さえ部
５０    レーザバー
５０ａ    端面
５０ｂ    側面
６０    スペーサ
６０ａ    端面
６０ｂ    側面
Ｈ    水平面
Ｓ１    第１の傾斜位置
Ｓ２    第２の傾斜位置
【図１】
2007103621.tif 000003
【図２】
2007103621.tif 000004
【図３】
2007103621.tif 000005
【図４】
2007103621.tif 000006
【図５Ａ】
2007103621.tif 000007
【図５Ｂ】
2007103621.tif 000008
【図５Ｃ】
2007103621.tif 000009
【図６Ａ】
2007103621.tif 000010
【図６Ｂ】
2007103621.tif 000011
【図６Ｃ】
2007103621.tif 000012
【図７】
2007103621.tif 000013