(57)【要約】【課題】被測定物の端子に接触させるプローブヘッドの傾きが正確でなくとも、容易に被測定物の正確な特性の測定、評価を行うことが可能な高周波帯プローブヘッドを提供すること。【解決手段】高周波帯で用いられるデバイスである被測定物の表面に一列に設けられた信号線端子と接地端子に、対応して設けられた接触信号線端子と接触接地端子を当接して、前記被測定物の特性を測定、評価する高周波帯プローブヘッドであって、前記接触信号線端子及び前記接触接地端子の先端部は、少なくとも前記信号線端子及び前記接地端子の接触する部分において丸みを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波帯で用いられるデバイスである被測定物の表面に一列に設けられた信号線端子と接地端子に、対応して設けられた接触信号線端子と接触接地端子を当接して、前記被測定物の特性を測定、評価する高周波帯プローブヘッドであって、
前記接触信号線端子及び前記接触接地端子の先端部は、少なくとも前記信号線端子及び前記接地端子の接触する部分において丸みを有することを特徴とする高周波帯プローブヘッド。
【請求項２】
高周波帯で用いられるデバイスである被測定物の表面に一列に設けられた信号線端子と接地端子に、対応して設けられた接触信号線端子と接触接地端子を当接して、前記被測定物の特性を測定、評価する高周波帯プローブヘッドであって、
前記接触信号線端子及び前記接触接地端子はその並びの方向に垂直な方向における断面が、少なくとも前記信号線端子及び前記接地端子の接触する部分において円弧状を有することを特徴とする高周波帯プローブヘッド。
【請求項３】
プローブヘッド本体と、
このプローブヘッド本体の先端部に一列に設けられ、高周波帯で用いられるデバイスである被測定物の表面に一列に設けられた信号線端子と接地端子に、特性の測定、評価時に接触する、接触信号線端子と接触接地端子とを有し、
前記接触信号線端子及び接触接地端子はその並びの方向に垂直な方向における断面が、少なくとも前記信号線端子及び前記接地端子の接触する部分において円弧状を有することを特徴とする高周波帯プローブヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波など、高周波で動作する、ＭＭＩＣなどのデバイスの評価に用いられる高周波測定用プローブの構造の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、モノリシックマイクロ波集積回路（ＭＭＩＣ）などのマイクロ波デバイス（被測定物）の特性を測定し評価するために、その表面に設けられている信号線端子とその両側に設けられている接地端子の３つの端子に、対応する３つの端子を人手により、接触させるプローブヘッドが知られている。
【０００３】
被測定物の信号線端子及び接地端子に、上記プローブヘッドの接触端子を各々確実に接触させることは、被測定物の測定、評価を正確に行うためには重要なことである。通常、プローブヘッドの先端部は平面になっているが、その平面を上記被測定物の端子に当接するように傾けることは困難であって、しばしば接触が不十分となり、被測定物の測定、評価が適切でないことがあった。このような、問題点を解決するために接触端子の先端部にコイルバネを設けた高周波測定用端子も知られている（特許文献１）。
【０００４】
しかし、このような構造を有するプローブヘッドを用いる場合、測定者がその傾きを適切に行わなければならず、必ずしも正確な測定、評価が行われないという、問題点があった。
【特許文献１】特開平４−１９９８３７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記のような従来の高周波帯のプローブヘッドの問題点にかんがみてなされたもので、被測定物の端子に接触させるプローブヘッドの傾きが正確でなくとも、容易に被測定物の正確な特性の測定、評価を行うことが可能な高周波帯プローブヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１によれば、高周波帯で用いられるデバイスである被測定物の表面に一列に設けられた信号線端子と接地端子に、対応して設けられた接触信号線端子と接触接地端子を当接して、前記被測定物の特性を測定、評価する高周波帯プローブヘッドであって、前記接触信号線端子及び前記接触接地端子の先端部は、少なくとも前記信号線端子及び前記接地端子の接触する部分において丸みを有することを特徴とする高周波帯プローブヘッドを提供する。
【０００７】
本発明の請求項２によれば、高周波帯で用いられるデバイスである被測定物の表面に一列に設けられた信号線端子と接地端子に、対応して設けられた接触信号線端子と接触接地端子を当接して、前記被測定物の特性を測定、評価する高周波帯プローブヘッドであって、前記接触信号線端子及び前記接触接地端子はその並びの方向に垂直な方向における断面が、少なくとも前記信号線端子及び前記接地端子の接触する部分において円弧状を有することを特徴とする高周波帯プローブヘッドを提供する。
【０００８】
本発明の請求項３によれば、プローブヘッド本体と、このプローブヘッド本体の先端部に一列に設けられ、高周波帯で用いられるデバイスである被測定物の表面に一列に設けられた信号線端子と接地端子に、特性の測定、評価時に接触する、接触信号線端子と接触接地端子とを有し、前記接触信号線端子及び接触接地端子はその並びの方向に垂直な方向における断面が、少なくとも前記信号線端子及び前記接地端子の接触する部分において円弧状を有することを特徴とする高周波帯プローブヘッドを提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、容易に、被測定物の正確な特性の測定、評価を行うことが可能な高周波帯プローブヘッドが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。図１に本発明一実施形態の高周波帯プローブヘッドが非測定物に当てられるときの斜視図を示す。
【００１１】
１１は、高周波帯プローブヘッドであり、プローブヘッド本体１２の先端部の中央に、接触信号線端子１３が設けられその両側に接触接地端子１４ａ，１４ｂが設けられている。これらの端子は後述するように、一部を切り欠いた円柱状となっている。
【００１２】
図示していないが、これらの接触信号線端子１３，接触接地端子１４ａ，１４ｂは、プローブヘッド本体１２の裏面において、コプレーナ線路に接続されこのコプレーナ線路は同軸線路に接続されている。
【００１３】
１６は、被測定物、例えばＭＭＩＣなどのマイクロ波デバイスであり、その表面に一列に信号線端子１７が設けられその両側に接地端子１８ａ，１８ｂが設けられている。
【００１４】
測定に際して測定者は、プローブヘッド本体１２の先端部に設けられている、接触信号線端子１３及び接触接地端子１４ａ，１４ｂが、信号線端子１７及び接地端子１８ａ，１８ｂに接触するように、高周波帯プローブヘッド１１を被測定物１６に当てる。
【００１５】
図１に示す高周波帯プローブヘッド１１のＡ，Ｂの部分の断面図を図２に示す。すなわち、プローブヘッド本体１２の裏面の先端部に配設された接触接地端子１４ａは、プローブヘッド本体に当接する部分が平面となり、他は他の端子との並びの方向（ｘ軸方向）に中心軸を有する円柱形状に加工されている。
【００１６】
したがって、接触接地端子１４ａは、上記円柱の中心軸２０に垂直な線２１において、接地端子１８ａに接触することになる。測定者が、接地端子１８ａとの傾き角θを変えても、接触接地端子１４ａは接地端子１８ａに対して常に、良好な接触を維持することができる。
【００１７】
接触信号線端子１３、接触接地端子１４ａについても、接触接地端子１４ａと同径で同様な平面を有し、同様にプローブヘッド本体１２の先端部から同じ位置に固定、配設する。そうすれば、接触信号線端子１３、接触接地端子１４ａは、接触接地端子１４ａが接地端子１８ａに接触する場合と同じように、信号線端子１７，接地端子１８ｂに接触し、高周波帯プローブヘッド１１の傾き角θが少し変わっても、これらの接触端子は、被測定物の各端子に対して常に良好な接触を維持することが可能となる。
【００１８】
この実施形態では、プローブヘッド本体に当たる面を平面とした、一部切り欠いた円筒状の接触接地端子及び接触信号線端子を用いた。したがって、これらの接触端子を確実にプローブヘッド本体に固定することができる利点がある。
【００１９】
しかし、本発明において図３に符号３４に示すように、接触信号線端子、接触接地端子を円柱状、すなわちそれらの端子の並び方向に対して断面を円状としてもよいし、図４に符号４４に示すように、楕円柱状としてもよい。このように、一部切り欠いた場合も含めて、円柱状あるいは楕円柱状とすれば、ｘ軸方向では、接触接地端子と接地端子、接触信号線端子と信号線端子は各々、点ではなく、線状に接触していることになるので、良好な接触を維持することができる利点がある。
【００２０】
しかし本発明では、接触信号線端子、接触接地端子を球状、あるいは、プローブヘッド本体に当接する部分を平面とした一部を切り欠いた球状としてもよい。この場合にも、高周波帯プローブヘッドの傾き角θを変えても被測定物の各端子と各接触端子の接触を良好に維持することができる。
【００２１】
本発明において、接触端子の形状は、一般的には、接触端子の並びの方向に垂直な方向で断面の少なくとも被測定物の各端子に当接する部分の断面が円弧状となっていればよい。更に一般的には、本発明の高周波帯プローブヘッドの接触信号線端子及び接触接地端子の先端部は、少なくとも信号線端子及び接地端子の接触する部分において丸みを有していればよい。
【００２２】
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想の範囲内で種々変形して実施可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明一実施形態による高周波帯プローブヘッドと被測定物の接触状態をします斜視図。
【図２】本発明一実施形態による高周波帯プローブヘッドの先端部の構造を示す断面図。
【図３】本発明の他の実施形態による高周波帯プローブヘッドの先端部の構造を示す断面図。
【図４】本発明の更に他の実施形態による高周波帯プローブヘッドの先端部の構造を示す断面図。
【符号の説明】
【００２４】
１１・・・高周波帯プローブヘッド、
１２・・・プローブヘッド本体、
１３．・・・接触信号線端子、
１４ａ，１４ｂ・・・接触接地端子、
１６・・・被測定物、
１７・・・信号線端子、
１８ａ，１８ｂ・・・接地端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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