(57)【要約】【課題】  ガラス母材の一端を加熱軟化して延伸し、画像表示装置のスペーサなどに用いられる延伸ガラス部材を製造する方法において、連続製造するべく新たなガラス母材の一端を上記ガラス母材の他端に溶着して接合する工程において、溶着部近辺のガラス母材の変形を防止して均一な延伸ガラス部材を製造する。【解決手段】  一端を延伸加工中のガラス母材１１の他端と新たに用意した接合ガラス母材１０の一端とを、該ガラス母材１０，１１の外形寸法と同じ内形寸法を有する型１２ａ，１２ｂによって断面形状を維持しながら加熱し、溶着する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス母材の一端を加熱軟化し、該軟化した一端を延伸する工程と、
上記ガラス母材の他端と別のガラス母材の一端とを加熱し、両端部を加熱溶着する工程とを有する延伸ガラス部材の製造方法であって、
上記ガラス母材の他端と別のガラス母材の一端との加熱溶着を、加熱溶着部分を含むガラス母材の延伸方向に沿った側面を押圧しながら行うことを特徴とする延伸ガラス部材の製造方法。
【請求項２】
前記ガラス母材の他端と別のガラス母材の一端との加熱溶着工程を、該ガラス母材の一端の延伸工程中に行う請求項１に記載の延伸ガラス部材の製造方法。
【請求項３】
前記ガラス母材の他端と別のガラス母材の一端との加熱溶着工程を、型部材内で両母材の端部同士を接合させて行う請求項１または２に記載の延伸ガラス部材の製造方法。
【請求項４】
複数の電子放出素子を備えたリアプレートと、該リアプレートに対向配置され、該電子放出素子から放出された電子の照射によって発光する発光部材を備えたフェースプレートと、上記リアプレートとフェースプレートの周縁部に介在して両プレートと共に気密容器を形成する枠材と、上記リアプレートとフェースプレートとの間に介在して両プレート間距離を保持するスペーサとを有する画像表示装置のスペーサの製造方法であって、
請求項１〜３のいずれかに記載の延伸ガラス部材の製造方法により製造された延伸ガラス部材を基材として用いることを特徴とするスペーサの製造方法。
【請求項５】
複数の電子放出素子を備えたリアプレートと、該リアプレートに対向配置され、該電子放出素子から放出された電子の照射によって発光する発光部材を備えたフェースプレートと、上記リアプレートとフェースプレートの周縁部に介在して両プレートと共に気密容器を形成する枠材と、上記リアプレートとフェースプレートとの間に介在して両プレート間距離を保持するスペーサとを有する画像表示装置の製造方法であって、
上記スペーサを、請求項１〜３のいずれかに記載の延伸ガラス部材の製造方法により製造された延伸ガラス部材を基材として用いて製造することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱延伸法による延伸ガラス部材の製造方法、それを用いた画像表示装置用スペーサの製造方法及び画像表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、加熱炉で加熱軟化させたガラス母材の端部を、加熱炉から連続的に引き出し、引き取り用のローラやベルト等で、延伸しつつ冷却することで、ガラス母材とほぼ相似形の断面形状の延伸ガラス部材が得られることが知られている。この方法は、例えば光ファイバー母材やパネル型画像表示装置用スペーサの製造に利用されている。
【０００３】
その中でも、光ファイバーの製造方法を例に挙げて説明する。加熱炉の上部に設けられた電気炉や火炎バーナー等の溶着手段により、当該加熱炉で延伸中の光ファイバ母材の上部に別の光ファイバ母材の下端を溶着しながら、当該母材を順次延伸させる。このようにすることで、複数の母材の延伸を連続的に行うことができる製造方法及び製造装置（例えば、特許文献１参照）が知られている。
【０００４】
【特許文献１】特開平０５−２７９０６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に示されるように、ガラス母材同士を溶着しようとした場合には、溶着部近辺のガラス母材の変形が発生し、均一な母材断面形状を得られないという問題が発生する。
【０００６】
そこで本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、ガラス母材同士を延伸中に溶着し、溶着部においても均一な母材断面形状を作成することで、均一かつ高精度な延伸ガラス部材を連続して得られるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
即ち、本発明の第１は、ガラス母材の一端を加熱軟化し、該軟化した一端を延伸する工程と、
上記ガラス母材の他端と別のガラス母材の一端とを加熱し、両端部を加熱溶着する工程とを有する延伸ガラス部材の製造方法であって、
上記ガラス母材の他端と別のガラス母材の一端との加熱溶着を、加熱溶着部分を含むガラス母材の延伸方向に沿った側面を押圧しながら行うことを特徴とする。
【０００８】
本発明の延伸ガラス部材の製造方法においては、
前記ガラス母材の他端と別のガラス母材の一端との加熱溶着工程を、該ガラス母材の一端の延伸工程中に行うこと、
前記ガラス母材の他端と別のガラス母材の一端との加熱溶着工程を、型部材内で両母材の端部同士を接合させて行うこと、
を好ましい態様として含む。
【０００９】
また、本発明の第２は、複数の電子放出素子を備えたリアプレートと、該リアプレートに対向配置され、該電子放出素子から放出された電子の照射によって発光する発光部材を備えたフェースプレートと、上記リアプレートとフェースプレートの周縁部に介在して両プレートと共に気密容器を形成する枠材と、上記リアプレートとフェースプレートとの間に介在して両プレート間距離を保持するスペーサとを有する画像表示装置のスペーサの製造方法であって、
上記本発明の延伸ガラス部材の製造方法により製造された延伸ガラス部材を基材として用いることを特徴とする。
【００１０】
さらに、本発明の第３は、複数の電子放出素子を備えたリアプレートと、該リアプレートに対向配置され、該電子放出素子から放出された電子の照射によって発光する発光部材を備えたフェースプレートと、上記リアプレートとフェースプレートの周縁部に介在して両プレートと共に気密容器を形成する枠材と、上記リアプレートとフェースプレートとの間に介在して両プレート間距離を保持するスペーサとを有する画像表示装置の製造方法であって、
上記スペーサを、上記本発明の延伸ガラス部材の製造方法により製造された延伸ガラス部材を基材として用いて製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ガラス母材に別のガラス母材を加熱溶着する際に、加熱溶着部分を含むガラス母材の延伸方向に沿った側面を押圧しながら行うため、母材の溶着部分の変形により、母材の断面形状が不均一になるのが防止され、ガラス母材の延伸方向に直交する断面形状が維持される。よって、常に断面形状が均一なガラス母材を延伸することができるため、均一で良好な延伸ガラス部材を連続して得ることができ、該延伸ガラス部材を用いてスペーサを製造することにより、高品質な画像表示装置を容易に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
加熱炉上部にガラス母材溶着手段を設け、複数の母材を連続的に製造することは、特に特許文献１と同様であると考えられ、加熱延伸法による延伸ガラス部材の製造方法においてごく一般的な手法であると考えられる。
【００１３】
しかしながら、本発明者は、上記手法によるガラス母材同士の溶着においては、ガラス母材同士を溶着可能な温度域で、ガラス母材が自重により塑性変形を起こすと共に、溶着の際の垂直方向の押圧により、ガラス母材の断面形状の精度が悪化するということに着目し、本発明を達成した。
【００１４】
本発明の延伸ガラス部材の製造方法は、画像表示装置のスペーサの製造のみではなく、例えば光ファイバーの母材の製造などにも用いることができる。とりわけ、画像表示装置用スペーサは高い寸法精度が要求されることから、±数μｍの精度の形状再現性を達成し得る本発明の方法は、この画像表示装置用スペーサの製造に好ましく適用される。
【００１５】
以下に、画像表示装置用スペーサの製造方法を例に、本発明について具体的に説明する。
【００１６】
先ず、図１は、本発明の延伸ガラス部材の製造方法を用いて製造されたスペーサが適用された画像表示装置の概略構成図である。
【００１７】
図１の装置において、リアプレート１には、複数の電子放出素子２が、複数の行方向配線３及び複数の列方向配線４によってマトリクス配線された電子源が形成されている。
【００１８】
フェースプレート５には、蛍光体６とアノード電極であるメタルバック７とが形成されている。
【００１９】
この画像表示装置は、リアプレート１に形成された電子源から、画像信号に応じて電子が放出され、フェースプレート５に形成され、１ｋＶ〜２０ｋＶの高電圧が印加されたメタルバック７により前記電子が加速されて、蛍光体６に照射されることで、前記画像信号に応じた画像が表示されるものとなっている。また、電子源を構成する電子放出素子２は、従来から良く知られている、電界放出型素子（ＦＥ）、ＭＩＭ型電子放出素子、表面伝導型電子放出素子などが適用される。
【００２０】
前記リアプレート１と前記フェースプレート５は、それらの間に配置された枠材８に封着材によって接着されており、リアプレート１、フェースプレート５及び枠材８によって気密容器が構成されている。
【００２１】
かかる気密容器内は１０-4〜１０-6Ｐａの真空度とされており、気密容器に加わる大気圧を当該気密容器の内部から支持するための構造体として、気密容器内にはスペーサ９が複数配置されている。
【００２２】
次に、上述した画像表示装置用スペーサの製造方法の実施形態について図２を用いて説明する。
【００２３】
図２は、本発明の延伸ガラス部材の製造方法の好ましい実施形態を示す説明図である。
【００２４】
画像表示装置用スペーサ９に用いられる延伸ガラス部材２１はガラス母材１０を延伸加工して得られる。ガラス母材１０としては、例えば住田光学社製の「ＳＫ１８」などが用いられる。ガラス母材１０は延伸方向に直交する断面形状が、延伸ガラス部材２１の断面形状と相似形となるように形成される。
【００２５】
先ず、所定の形状に加工されたガラス母材１１の一端を、母材送り装置１６ａ，１６ｂで保持する。次いで、母材送り装置１６ａ，１６ｂによって徐々に下降してガラス母材１１の一端をヒータ１８ａ，１８ｂを内包する加熱炉１７内に送り込み、ガラス母材１１の当該端部を連続的に引き出して延伸可能な温度まで加熱軟化させる。加熱温度は、ガラス母材１１の軟化点温度以上の温度で適宜選択される。
【００２６】
上記母材送り装置１６ａ，１６ｂによるガラス母材１１の加熱炉１７内への送り込み速度は、通常、１〜５ｍｍ／ｍｉｎ程度とされる。また、加熱炉１７内は、ガラス母材１１の種類にもよるが、加熱炉１７内に送り込まれたガラス母材１１の端部の粘度がｌｏｇη＝７．０〜７．９ポアズとなるような温度に設定され、その温度は、延伸の安定性などの点から、±０．１℃の精度で制御されることが好ましい。
【００２７】
加熱炉１７内で上記温度に加熱されたガラス母材１１の端部は、軟化して下垂し、延伸されて延伸ガラス部材２１となり、延伸されながら、加熱炉１７から、加熱炉１７に連続して設けられている、筒形の覆い２３内へと引き出される。
【００２８】
ここで、覆い２３は、遮熱性を有し、延伸ガラス部材２１の延伸方向におけるその長さを適宜設定することにより、覆い２３内に、延伸方向に沿って徐々に温度が下がる温度勾配（例えば、ガラス母材１１の軟化点温度Ｔ１から固化する温度Ｔ２またはそれ未満の温度までの温度勾配）を、ヒータ２２ａ，２２ｂを用いて形成することができる。延伸ガラス部材２１は、この覆い２３内を延伸されつつ移動し、延伸ガラス部材２１が固化する温度まで冷却され、そこで延伸を完了する。
【００２９】
上記覆い２３内で固化する温度まで冷却され、延伸を完了した延伸ガラス部材２１は、一対の引き取りローラー２４ａ，２４ｂに挟まれて引き取られる。
【００３０】
上記引き取りローラー２４ａ，２４ｂによる延伸ガラス部材２１の引き取り速度は、１０００〜５０００ｍｍ／ｍｉｎであることが好ましく、上記送り込み速度とこの引き取り速度との比（引き取り速度／送り込み速度）は、ガラス母材１１と延伸を完了した延伸ガラス部材２１の断面形状の相似性の確保などの点から、２００〜２０００であることが好ましい。
【００３１】
引き取りローラー２４ａ，２４ｂを通過した延伸ガラス部材２１は、不図示のカッターで切断され、スペーサ９の基材として用いられる。当該基材はそのままスペーサ９（図１参照）として用いられる場合もあるが、通常、さらなる処理を経てスペーサー９を形成する。
【００３２】
上記のような延伸工程中に、ガラス母材１１にガラス母材１０を溶着させる。
【００３３】
溶着する際には、型１２ａ，１２ｂをヒータ１３ａ，１３ｂによって、ガラス母材１０と１１の端部の粘度がｌｏｇη＝７．２〜８．５ポアズとなるような温度まで加熱する。またその温度は溶着安定性などの点から±１℃の精度で制御されることが好ましい。また、型１２ａ，１２ｂは、ガラス母材１０，１１の外形寸法と同じ内形寸法を有していることが特に好ましい。
【００３４】
上記加熱した型１２ａ，１２ｂによって、ガラス母材１０と１１との接合部分（溶着部分）の断面形状が広がらないように、ガラス母材１１の延伸方向に沿った当該溶着部分を含むガラス母材１０，１１の側面を押圧しながら加熱する。そして、接合母材送り装置１５ａ，１５ｂによってガラス母材１０をガラス母材１１に対して押圧し、接合ガラス母材１０の一端をガラス母材１１の他端に溶着する。
【００３５】
また、型１２ａ，１２ｂの材質は耐熱性があるカーボンもしくは超鋼、或いはセラミックであることが好ましく、その型１２ａ，１２ｂの材質の中でも、超硬もしくはセラミックスの場合、母材と型が接触する部分には貴金属或いはカーボンをコーティングしてあることが好ましい。
【００３６】
型１２ａ，１２ｂは溶着工程中、不図示の駆動装置により、延伸方向に母材送り装置１６ａ，１６ｂと同じ速度で移動する。溶着完了後は不図示の駆動装置により、延伸方向に直交する方向に移動し、ガラス母材１０，１１と離型する。その後カバー１４内の所定の位置まで上昇し、次の溶着に備える。以上の動作を繰り返すことにより、連続延伸を可能にする母材の供給を行う。
【００３７】
さらに、高温時の型１２ａ，１２ｂの酸化を防止するために、型１２ａ，１２ｂの周辺部をカバー１４で覆い、ガス流入口２０から、窒素ガス等の不活性ガスをカバー１４内に充填する。また必要に応じてガス排気口１９から窒素ガスを抜くことでカバー内圧を安全な状態に保つ。
【００３８】
以上の工程を通すことにより、スペーサ９の基材となる延伸ガラス部材２１が連続製造される。スペーサー９（図１参照）の製造に際しては、延伸ガラス部材２１にさらに寸法合わせのための切断処理を施したり、延伸ガラス部材２１の表面に抵抗膜を被覆する処理を施すこともできる。この抵抗膜は、図１に示される画像表示装置内において、電子源から放出される電子の照射による、スペーサ９の表面の帯電を防止する目的で形成される。
【００３９】
延伸ガラス部材２１の表面への上記抵抗膜の被覆は、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法などによって行うことができ、その膜厚は１０ｎｍ〜１．０μｍ、好ましくは５０ｎｍ〜５００ｎｍで、抵抗膜の表面抵抗は１０7〜１０14Ω／□であることが好ましい。
【００４０】
抵抗膜の材料としては、例えば金属酸化物を用いることができる。金属酸化物の中でも、クロム、ニッケル、銅の酸化物が好ましい材料である。その理由は、これらの酸化物は二次電子放出効率が比較的小さく、電子がスペーサに当たった場合においても帯電しにくいからである。また、金属酸化物以外であっても、炭素は二次電子放出効率が小さく好ましい材料である。特に、非晶質カーボンは高抵抗であり、スペーサの抵抗を所望の値に制御しやすい。その他の材料として、ゲルマニウムと遷移金属合金の窒化物や、アルミニウムと遷移金属合金の窒化物は、遷移金属の組成を調整することにより良伝導体から絶縁体まで広い範囲に抵抗値を制御できるので、実用的に使いやすい。
【００４１】
以上のようにして製造されたスペーサ９を、図１に示した、蛍光体６とメタルバック７とが形成されているフェースプレート５側または電子源が形成されているリアプレート１側に固定する。枠材８には、フリットガラスやＩｎなどの封着材を設ける。そして、形成される気密容器内が前述した真空度となるように、真空チャンバー内で、前記フェースプレート５、枠材８、リアプレート１を封着することで画像表示パネルが製造される。
【００４２】
上述したように、得られるスペーサ９は、形状再現性が良好である。そのため、フェースプレート５とリアプレート１間での高さ精度が、個々のスペーサ９においても、複数のスペーサ９間においても±数μｍと良好であり、画像表示面での歪み、封着時や封着後のスペーサ９の座屈や倒壊を防ぐことができる。また、上記画像表示パネルの形成後、画像表示のための駆動回路が装着されて、画像表示装置が製造される。
【実施例】
【００４３】
（実施例１）
本実施例では、画像表示装置用スペーサを、図２に示される方法を用いて製造した。
【００４４】
先ず、ガラス母材１０、１１としては、図３に示されるように、その矩形断面形状が、長手ａ×短手ｂ＝４９．２３ｍｍ×６．１５ｍｍ、長さｈ＝６００ｍｍで、軟化点温度７７０℃、ガラス転移点温度６４０℃のガラスを用いた。
【００４５】
図２に示す通り、上記ガラス母材１０、１１を、その長さｈ方向が延伸方向となるように、母材送り装置１６ａ，１６ｂ、接合母材送り装置１５ａ，１５ｂで保持した。ガラス母材１０、１１を５ｍｍ／ｍｉｎの速度にて降下させて、ガラス母材１１の一端を内部にヒータ１８ａ，１８ｂが配置された加熱炉１７内に送り込み、ガラス母材１０の一端及びガラス母材１１の他端をカバー１４内に送り込んだ。加熱炉１７内は、ガラス母材１１が粘度ｌｏｇη＝７．５ポアズとなる７８０℃（±０．１℃）の温度に制御し、型１２ａ，１２ｂはガラス母材１０及び１１が粘度ｌｏｇη＝７．５ポアズとなる７８０℃（±０．１℃）の温度に制御した。
【００４６】
加熱炉１７内に送り込まれたガラス母材１１の一端は、軟化して延伸されながら下垂し、この延伸した延伸ガラス部材２１を、加熱炉１７に連続して設けられている覆い２３内を通過させた。
【００４７】
覆い２３は、加熱炉１７の外壁と同様の、遮熱性に優れたステンレス（材料）で構成した。また、覆い２３の長さは、加熱炉１７下端から１２０ｍｍとした。
【００４８】
覆い２３を通過して、既に固化した延伸ガラス部材２１を引き取る一対の引き取りローラー２４ａ，２４ｂの引き取り速度は４７３３ｍｍ／ｍｉｎとし、（引き取り速度／送り込み速度）＝約９４７とした。
【００４９】
延伸ガラス部材２１の矩形断面形状が、長手ａ’×短手ｂ’＝１．６ｍｍ×０．２ｍｍとなるように延伸し、引き取りローラー２４ａ，２４ｂを通過した延伸ガラス部材２１を１０枚形成した。
【００５０】
上記１０枚の延伸ガラス部材について、その寸法精度を測定した結果、個々の延伸ガラス部材２１における長さｈ’方向の長手ａ’と短手ｂ’の寸法のズレは、長手ａ’で±２μｍ、短手ｂ’で±１μｍであった。
【００５１】
以上のようにして得られた延伸ガラス部材２１の表面に、Ｗ−Ｇｅターゲットを用いて、アルゴンと窒素の混合ガス雰囲気中、反応性スパッタ法により、タングステンとゲルマニウムの窒素化合物からなる２００ｎｍの厚みの抵抗膜を形成した。本実施例におけるタングステンとゲルマニウムの窒素化合物膜の成膜後の比抵抗は７．９×１０3Ωｍである。また、図１に示される行方向配線３とメタルバック７とに当接される面には、それぞれスパッタ法によりＰｔ電極を形成し、画像表示装置用スペーサ９とした。
【００５２】
上記スペーサ９を、図１に示されるリアプレート１の行方向配線３上に固定し、続いて、枠材８をリアプレート１上に固定した。
【００５３】
枠材８上に封着材であるインジウムを塗布した後、かかるリアプレート１と、蛍光体６及びメタルバック７が形成されているフェースプレート５とを、真空度が１０-6Ｐａの真空チャンバー内に搬送して、封着材を加熱し、枠材８にフェースプレート１を封着して画像表示パネルを製造した。この後、画像表示のための駆動回路を装着して、画像表示装置を製造した。
【００５４】
以上のように製造した本実施例の画像表示装置は、画像表示面での歪み、封着時や封着後のスペーサの座屈や倒壊がない高品質なものであった。
【００５５】
（実施例２）
本実施例では、実施例１と同様に、画像表示装置用スペーサを、図２に示される方法を用いて製造した。
【００５６】
先ず、ガラス母材１０、１１としては、図４に示されるように、その矩形断面形状が、長手ａ×短手ｂ＝４９．２３ｍｍ×６．１５ｍｍ、長さｈ＝６００ｍｍで、軟化点温度７７０℃、ガラス転移点温度６４０℃のガラスを用いた。さらに、このガラス母材１０、１１には、長手ａ側両表面に、長さｈ方向に伸びる溝が溝ピッチＰ＝約１ｍｍで複数本並列されており、長手ａ側両表面に凹凸が形成されている。
【００５７】
図２に示す通り、上記ガラス母材１０、１１を、その長さｈ方向が延伸方向となるように、母材送り装置１６ａ，１６ｂ、接合母材送り装置１５ａ，１５ｂで保持した。ガラス母材１０、１１を５ｍｍ／ｍｉｎの速度にて降下させて、ガラス母材１１の一端を内部にヒータ１８ａ，１８ｂが配置された加熱炉１７内に送り込み、ガラス母材１０の一端及び１１の他端をカバー１４内に送り込んだ。加熱炉１７内は、ガラス母材１１が粘度ｌｏｇη＝７．５ポアズとなる７８０℃（±０．１℃）の温度に制御し、型１２ａ，１２ｂはガラス母材１０及び１１が粘度ｌｏｇη＝７．５ポアズとなる７８０℃（±０．１℃）の温度に制御した。
【００５８】
加熱炉１７内に送り込まれたガラス母材１１の端部は、軟化して延伸されながら下垂し、この延伸した延伸ガラス部材２１を、加熱炉１７に連続して設けられている覆い２３内を通過させた。
【００５９】
覆い２３は、加熱炉１７の外壁と同様の、遮熱性に優れたステンレス（材料）で構成した。また、覆い２３の長さは、加熱炉１７下端から１２０ｍｍとした。
【００６０】
覆い２３を通過して、既に固化した延伸ガラス部材２１を引き取る一対の引き取りローラー２４ａ，２４ｂの引き取り速度は４７３３ｍｍ／ｍｉｎとし、（引き取り速度／送り込み速度）＝約９４７とした。
【００６１】
延伸ガラス部材２１の矩形断面形状が、長手ａ’×短手ｂ’＝１．６ｍｍ×０．２ｍｍとなるように延伸し、引き取りローラー２４ａ，２４ｂを通過した延伸ガラス部材２１を１０枚形成した。
【００６２】
上記１０枚の延伸ガラス部材について、その寸法精度を測定した結果、個々の延伸ガラス部材２１における長さｈ’方向の長手ａ’と短手ｂ’の寸法のズレは、長手ａ’で±２μｍ、短手ｂ’で±１μｍであった。また、個々の延伸ガラス部材２１における長さｈ’方向の溝ピッチＰ’のズレは±０．１μｍ、並列した各溝ピッチＰ’同士でのズレは±０．３μｍであった。また、１０枚の延伸ガラス部材２１間の長手ａ’寸法のズレは±４μｍ、同短手ｂ’寸法のズレは±２μｍ、同溝ピッチＰ’のズレは±０．５μｍであった。
【００６３】
以上のようにして得られた延伸ガラス部材２１の表面に、Ｗ−Ｇｅターゲットを用いて、アルゴンと窒素の混合ガス雰囲気中、反応性スパッタ法により、タングステンとゲルマニウムの窒素化合物からなる２００ｎｍの厚みの抵抗膜を形成した。本実施例におけるタングステンとゲルマニウムの窒素化合物膜の成膜後の比抵抗は７．９×１０3Ωｍである。また、図１に示される行方向配線３とメタルバック７とに当接される面には、それぞれスパッタ法によりＰｔ電極を形成し、画像表示装置用スペーサ９とした。
【００６４】
上記スペーサ９を、図１に示されるリアプレート１の行方向配線３上に固定し、続いて、枠材８をリアプレート１上に固定した。
【００６５】
枠材８上に封着材であるインジウムを塗布した後、かかるリアプレート１と、蛍光体６及びメタルバック７が形成されているフェースプレート５とを、真空度が１０-6Ｐａの真空チャンバー内に搬送して、封着材を加熱し、枠材８にフェースプレート１を封着して画像表示パネルを製造した。この後、画像表示のための駆動回路を装着して、画像表示装置を製造した。
【００６６】
以上のように製造した本実施例の画像表示装置は、実施例１と同様に、画像表示面での歪み、封着時や封着後のスペーサの座屈や倒壊がない高品質なものであった。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明によるスペーサが適用された画像表示装置の概略構成図である。
【図２】本発明の延伸ガラス部材の製造方法の一実施形態を示す説明図である。
【図３】本発明の実施例にかかるガラス母材及び延伸ガラス部材の形状を示す模式図である。
【図４】本発明の実施例にかかるガラス母材及び延伸ガラス部材の形状を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  リアプレート
２  電子放出素子
３  行方向配線
４  列方向配線
５  フェースプレート
６  蛍光体
７  メタルバック
８  枠材
９  スペーサ
１０  ガラス母材
１１  接合ガラス母材
１２ａ，１２ｂ  型
１３ａ，１３ｂ  ヒータ
１４  カバー
１５ａ，１５ｂ  接合母材送り装置
１６ａ，１６ｂ  母材送り装置
１７  加熱炉
１８ａ，１８ｂ  ヒータ
１９  ガス排気口
２０  ガス流入口
２１  延伸ガラス部材
２２ａ，２２ｂ  ヒータ
２３  覆い
２４ａ，２４ｂ  引き取りローラ
【図１】
2007039260.tif 000003
【図２】
2007039260.tif 000004
【図３】
2007039260.tif 000005
【図４】
2007039260.tif 000006