(57)【要約】【課題】移送中の流体に影響を与えることなく流体内に混入した磁気を帯びた異物を検出する超伝導型流体用磁性異物検出装置を提供する。【解決手段】超伝導型流体用磁性異物検出装置１は、液体９１の内部にある磁性金属９２を磁気により検知するための超伝導量子干渉素子１０と、素子１０を超伝導状態となる温度まで冷却するための冷却装置と、素子１０を外部からの磁気ノイズから遮断するための磁気シールド３０と、磁性金属９２が混入する可能性のある液体９１を連続的に移送するための非磁性体パイプ４０ａと、磁性金属９２の混入が検知された液体９１の所定範囲を他の経路に排出するための三方弁４６と、パイプ４０ａで移送される液体９１を予め磁場内を通過させて混入している磁性金属９２を帯磁させるための帯磁装置５０と、各部の動作を制御するとともに素子１０の検出した磁性金属９２の磁気状態により三方弁４６を操作する制御部７０とを備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超伝導を用いた超高感度磁気センサを利用して、流体内部に混入した磁気を帯びた磁性異物を連続的に検出する超伝導磁性異物検出装置であって、
検出対象の前記磁気を帯びた磁性異物より所定の距離以内になるように配置された前記超高感度磁気センサである超伝導量子干渉素子と、
前記超伝導量子干渉素子を超伝導状態となる温度まで冷却するための冷却装置と、
前記超伝導量子干渉素子を外部からの磁気ノイズから遮断するための磁気シールドと、
前記超伝導量子干渉素子から所定の距離以内を検出対象の前記磁気を帯びた磁性異物が通過するように、該磁性異物が混入する可能性のある前記流体を連続的に移送するパイプと、
前記超伝導磁性異物検出装置の動作を制御して、前記超伝導量子干渉素子の検出した前記磁気を帯びた磁性異物の磁気状態から該磁性異物を検出する制御部と、を備えたことを特徴とする超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項２】
前記パイプで移送される前記流体を、磁界内を通過させて混入している磁性異物を帯磁させる帯磁装置を有する、請求項１に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項３】
前記磁気を帯びた磁性異物の混入が検知された前後の流体を、前記パイプから他の経路に移送する排除手段を有する、請求項１または請求項２に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項４】
前記超伝導量子干渉素子が複数組み合わせて設けられている、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記流体の流れの上流側の第1の超伝導量子干渉素子と下流側の第２の超伝導量子干渉素子との出力の差分を算出し、差分の値が所定のしきい値を超えた場合に異物検出情報を出力する、請求項４に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項６】
前記超伝導量子干渉素子の少なくとも１個が、前記排除手段の下流にも配置されている、請求項３に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項７】
前記超伝導量子干渉素子は、複数の超伝導薄膜により形成されたジョセフソン接合から構成されている、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項８】
前記超伝導量子干渉素子がマグネトメータである、請求項７に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項９】
前記超伝導量子干渉素子がグラジオメータである、請求項７に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項１０】
前記磁気シールドは、前記パイプが該磁気シールドの側面と接触しないで貫通可能な１層以上の層から構成される円筒型磁気シールドである、請求項１に記載の流体用超伝導磁性異物検査装置。
【請求項１１】
前記冷却装置は液体窒素を用いた冷却装置である、請求項１に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項１２】
前記冷却装置は冷凍機と真空ポンプとの組み合わせにより超低温の発生が可能なクライオクーラである、請求項１に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項１３】
前記パイプの前記超伝導量子干渉素子と前記帯磁装置との近傍に配置されている部分は非磁性材料から構成され、前記超伝導量子干渉素子とは独立して支持されている、請求項２に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項１４】
前記パイプの前記超伝導量子干渉素子の近傍に配置されている部分は断面が扁平形状のパイプである、請求項１３に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項１５】
前記排除手段は分割型の三方弁である、請求項３に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項１６】
前記流体は液体である、請求項１から請求項１５のいずれか１項に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項１７】
前記液体には、粘性を有しない液体、粘性を有する液体、軟体固形物を含む液体が含まれる、請求項１６に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【請求項１８】
前記磁性異物は磁性を有する金属である、請求項１から請求項１７のいずれか１項に記載の超伝導型流体用磁性異物検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体用の磁性異物検出装置に関し、特に超伝導を用いた超高感度磁気センサを利用して流体内に残留している磁性異物を検出する超伝導型流体用磁性異物検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体特に液体状の製品の製造過程において、原料に由来する金属細片や製造工程における製造設備の損磨耗による金属破片などが製品に混入することがあり、その製品の使用時に使用者に損害を与えるといった事例もあり、原料を含む供給元が世界的な範囲に広がるに伴って生産地での管理にも限界があることから、安全性の面からもこのような混入物の発見、除去は大きな問題となっていた。この混入物の問題に対応するため、混入した金属を対象として、Ｘ線を用いるＸ線金属検査装置（例えば特許文献１参照）、誘導コイル型磁気式検出装置（例えば特許文献２、３参照）、超伝導を応用した超伝導金属検出装置（例えば特許文献４）等が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−２１９４２０号公報
【特許文献２】特開平７−１９８８６０号公報
【特許文献３】特開平１０−１１１３６２号公報
【特許文献４】特開２００４−１５１０６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上述の特許文献１〜４で開示の金属検出装置は、固体である物品に混入した金属の検出を対象としており、移送中の液体内に混入した金属片の検出についての具体的な開示はない。仮にＸ線式の検出装置を液体内の異物の検出に用いたとすると、外部からパイプを透過して軟Ｘ線を投射するので、その際に製品である液体にＸ線が残留して、食品の安全性が問題となる。特に、パイプの内壁に近い部分では流速が低下して通過時間が長くなるし、パイプの壁に付着した状態では長時間の暴露となるのでその危険性が高まる。
【０００４】
本発明の目的は、移送中の流体に影響を与えることなく流体内に混入した磁気を帯びた異物を検出する超伝導型流体用磁性異物検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の超伝導型流体用磁性異物検出装置は、
超伝導を用いた超高感度磁気センサを利用して、流体内部に混入した磁気を帯びた磁性異物を連続的に検出する超伝導磁性異物検出装置であって、検出対象の磁気を帯びた磁性異物より所定の距離以内になるように配置された超高感度磁気センサである超伝導量子干渉素子と、超伝導量子干渉素子を超伝導状態となる温度まで冷却するための冷却装置と、超伝導量子干渉素子を外部からの磁気ノイズから遮断するための磁気シールドと、超伝導量子干渉素子から所定の距離以内を検出対象の磁気を帯びた磁性異物が通過するように、その磁性異物が混入する可能性のある流体を連続的に移送するパイプと、超伝導磁性異物検出装置の動作を制御して、超伝導量子干渉素子の検出した磁気を帯びた磁性異物の磁気状態からその磁性異物を検出する制御部と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
パイプで移送される流体を、磁界内を通過させて混入している磁性異物を帯磁させる帯磁装置を有してもよく、磁気を帯びた磁性異物の混入が検知された前後の流体を、パイプから他の経路に移送する排除手段を有してもよい。
【０００７】
超伝導量子干渉素子が複数組み合わせて設けられていてもよく、制御部は、流体の流れの上流側の第1の超伝導量子干渉素子と下流側の第２の超伝導量子干渉素子との出力の差分を算出し、差分の値が所定のしきい値を超えた場合に異物検出情報を出力してもよく、超伝導量子干渉素子の少なくとも１個が、排除手段の下流にも配置されていてもよい。
【０００８】
超伝導量子干渉素子は、複数の超伝導薄膜により形成されたジョセフソン接合から構成されていてもよく、超伝導量子干渉素子がマグネトメータであっても、グラジオメータであってもよい。
【０００９】
磁気シールドは、パイプがその磁気シールドの側面と接触しないで貫通可能な１層以上の層から構成される円筒型磁気シールドであってもよく、冷却装置は液体窒素を用いた冷却装置であっても、冷凍機と真空ポンプとの組み合わせにより超低温の発生が可能なクライオクーラであってもよい。
【００１０】
パイプの超伝導量子干渉素子と帯磁装置との近傍に配置されている部分は非磁性材料から構成され、超伝導量子干渉素子とは独立して支持されていてもよく、パイプの超伝導量子干渉素子の近傍に配置されている部分は断面が扁平形状のパイプであってもよく、排除手段は分割型の三方弁であってもよい。
【００１１】
流体は液体であり、液体には、粘性を有しない液体、粘性を有する液体、軟体固形物を含む液体が含まれていてもよく、磁性異物は磁性を有する金属であってもよい。
【００１２】
超伝導を用いた超高感度磁気センサである超伝導量子干渉素子を流体を移送する非磁性のパイプの近傍に組み込んだので、流体に混入した磁性異物を高感度で検知できる。さらに、周囲からの磁気ノイズから遮断するための磁気シールドを設け、パイプの超伝導量子干渉素子の近傍に配置される部分は非磁性材料で構成し、超伝導量子干渉素子とは独立して支持し、さらに必要に応じて帯磁装置内を通過させて金属をあらかじめ帯磁させることによって、検出の精度が高められた。また、流体の流れの上流側の第1の超伝導量子干渉素子と下流側の第２の超伝導量子干渉素子との出力の差分を算出し、差分の値が所定のしきい値を超えた場合に異物検出情報を出力することにより部分的な環境磁界による誤検知が防止される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、超伝導を用いた超高感度磁気センサを利用して、流体内部に混入した磁気を帯びた異物を連続的に検出するので、流体の移送流路に検出装置を設けるだけで容易に確実に異物を検出して除去することができるという効果がある。
【００１４】
また、必要に応じて帯磁装置内を通過させて磁性異物をあらかじめ帯磁させることによって、検出の精度が高められるという効果がある。さらに、流体の流れの上流側の第1の超伝導量子干渉素子と下流側の第２の超伝導量子干渉素子との出力の差分を算出し、差分の値が所定のしきい値を超えた場合に異物検出情報を出力することにより部分的な環境磁界による誤検知が防止されるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の超伝導型流体用磁性異物検出装置のブロック構成図であり、図２は図１の超伝導型流体用磁性異物検出装置の模式的部分断面側面図であり、図３は図１の超伝導型流体用磁性異物検出装置の模式的部分断面上面図である。
【００１６】
本発明の超伝導型流体用磁性異物検出装置は、超伝導を用いた超高感度磁気センサである超伝導量子干渉素子を利用して、連続して移送される流体内部に混入した磁気を帯びた異物を検出する超伝導型流体用磁性異物検出装置である。本実施の形態では説明を容易にするため流体を液体として説明するが気体であっても気体中に浮遊する磁気を帯びた異物を同様に検出することができる。また、磁性異物は理解を容易にするために最も多く検出の対象となる磁性金属を例として説明するが、磁化可能な物質であれば金属以外であっても同様に検出できる。金属であっても磁性を有しない例えばアルミニウムは検出できない。
【００１７】
本発明の実施の形態の超伝導型流体用磁性異物検出装置１は、超伝導量子干渉素子１０と、冷却装置２０と、磁気シールド３０と、パイプ４０と、三方弁４６と、帯磁装置５０と、制御部７０と、架構８０とを備えている。
【００１８】
超伝導量子干渉素子１０は、検出対象である移送されている液体９１の内部にある磁性金属９２に対して所定の距離以内になるように配置されている超高感度磁気センサである。冷却装置２０は超伝導量子干渉素子１０を超伝導状態となる温度まで冷却するためのものであり、ここでは、液体窒素容器２１に充填された液体窒素を利用した冷却装置を使用しているが、冷凍機と真空ポンプとの組み合わせにより超低温の発生が可能なクライオクーラを使用することもできる。超伝導量子干渉素子１０と冷却装置２０とは、液体９１を移送するパイプ９０とは相互に干渉しないように独立して架構８０上に支持される。
【００１９】
磁気シールド３０は超伝導量子干渉素子１０を外部からの磁気ノイズから遮断するためのものであり、ミュー合金（高透磁率材料）で構成され、環境に応じて複数層で形成される。この実施の形態では円筒形構造の２層となっているがこれに限定されるものではない。また、アモルファス合金などによって構成することもできる。また必要に応じて電波シールドも設けられる。
【００２０】
磁気シールド３０と非磁性体パイプ４０ａとが接触しないように設けられているシールド開口部３１を経由して、非磁性体パイプ４０ａが磁気シールド３０内を貫通する。その非磁性体パイプ４０ａの内部を液体９１が移送されて、磁気シールド３０内に配置された超伝導量子干渉素子１０の下を通過する。パイプ４０は磁性金属９２が混入する可能性のある液体９１を連続的に移送するためのものであり、超伝導量子干渉素子１０の所定の距離以内を検出対象の磁性金属９２が通過するように構成されている。超伝導量子干渉素子１０と帯磁装置５０との近傍に配置される部分は非磁性材料から構成された非磁性体パイプ４０ａとなっており、超伝導量子干渉素子１０とは独立して支持されている。非磁性体パイプ４０ａとしては、ガラスやプラスチックのパイプが対象となるが、アルミニウムは金属であっても非磁性体なので、アルミパイプも液体９１内の磁性金属９２の検出に適用できる。本実施の形態ではパイプ９０は円形として説明されているが、超伝導量子干渉素子１０の下を通過する部分を扁平形状に形成することによって、超伝導量子干渉素子１０と液体９１内の磁性金属９２との距離が短くなり検出感度を高めることができる。パイプ４０内を流れる液体９１の流速は、液体９１の性質、金属の想定される種類や大きさによって決定する必要があるが通常は３ｍ／ｓｅｃ以下となる。
【００２１】
超伝導量子干渉素子１０は非磁性体パイプ４０ａと接触しない状態で至近に配置され、超伝導量子干渉素子１０と非磁性体パイプ４０ａの反対側の内壁までの距離、即ちパイプ径は超伝導量子干渉素子１０の検知能力、液体９１の種類や流速、検知したい金属の種類や大きさにより異なり、実験によって決定することが望ましいが、実用的には７５φ程度が妥当である。
【００２２】
三方弁４６は分割型の三方弁であり、磁性金属９２の混入が検知された液体９１の所定の範囲を弁の切り替えによって非磁性体パイプ４０ａから他の経路のパイプ４０に切り替えて移送するための機構である。例えば磁性金属９２の混入が検知されると、制御部７０の制御により、磁性金属９２が三方弁４６に達しない時間として予め設定されている時間内に弁を切り替えて排出用のパイプ４０に液体を流し、金属が三方弁を超えるのに十分な時間として予め設定されている時間後に弁を元に切り替えて本来のパイプ４０に液体を流す。排除手段としては三方弁に限定されるものではなく、例えばバイパスを設けて磁性金属９２を検出したときに開放する方法でもよい。
【００２３】
帯磁装置５０は超伝導量子干渉素子１０の検出精度を上げるために、非磁性体パイプ４０ａで移送される液体９１を永久磁石などの磁場内を通過させて、混入している磁性金属９２を帯磁させるためのものであるが、超伝導量子干渉素子１０の検出精度が十分高い場合は設けなくてもよい。
【００２４】
図２、図３に示す実施の形態では２個の超伝導量子干渉素子１０を一組として、液体９１の流れの上流と下流で磁性金属９２を検知するようにしている。通常、超伝導量子干渉素子１０の設置される環境には多くの磁気発生源があり、一応磁気シールド３０で磁気の影響を緩和しているが、そのノイズの影響を除去しないとノイズを磁性金属９２と誤認することがあり、正確な磁性金属９２の検出は困難である。パイプ４０ａの上流側に第1の超伝導量子干渉素子１０が設けられ、下流側に第２の超伝導量子干渉素子１０が設けられたことにより、第１の超伝導量子干渉素子１０に磁性金属９２が近接した場合に、第１の超伝導量子干渉素子１０は周囲の磁気ノイズとともに検査対象物である液体９１の磁性金属９２の磁気を検出し、第２の超伝導量子干渉素子１０は周囲の磁気ノイズのみを検出する。２つの超伝導量子干渉素子１０は近接して設けられているので検知する周囲の磁気ノイズは略同一であると考えられる。従ってその差分を算出すれば磁気ノイズの影響を排除した検出結果が得られる。このように両超伝導量子干渉素子１０が検知したゲインの差分を制御部７０で算出することによって磁性金属９２の磁気が算出できる。１個の超伝導量子干渉素子１０であれば、環境ノイズを金属の磁気と誤認するおそれがあるが、高い検出精度が求められない場合は１個の超伝導量子干渉素子１０のみで検出してもよい。２つのセンサ素子が離れ過ぎているとそれぞれが検知する周囲の磁気ノイズの間に相違が生じ、近すぎると第２の超伝導量子干渉素子１０までが磁性金属９２の磁気の影響を受ける。２つの超伝導量子干渉素子１０の間隔は、具体的な実験により設定されることが望ましい。
【００２５】
同じパイプ９０ａに対して流れの方向に複数組の超伝導量子干渉素子１０を設ければさらに環境からくる誤検出を防ぎ、検出ミスを防ぐことができるので検出の精度を高めることができる。また図示されていないが、三方弁４６の下流にも超伝導量子干渉素子１０を設ければ、検出された磁性金属９２が三方弁４６で排出されたことが確認できる。検出された磁性金属９２が三方弁４６で排出されたことを確認する方法としては、検査の終了した液体を貯留して再度超伝導量子干渉素子１０の下を循環通過させる方法もある。
【００２６】
制御部７０は各部の動作を制御するとともに超伝導量子干渉素子１０の検出した磁気を帯びた磁性金属９２の磁気状態から磁性異物を検出する。図示されていないが、制御部７０において、単一あるいは複数の超伝導量子干渉素子１０および駆動回路から出力される信号に商用周波数およびその高調波成分をカットするノッチフィルタを備えることによりＳ／Ｎ比を改善できる。制御部７０には金属検出を表示する不図示の検出ランプが設けられていることが望ましい。検出ランプは検査員の見やすい場所に設けられたり、警報音を発生したりしてもよい。架構８０は上述の各装置や構成部材を所定の位置に保持するように構成されている。本実施の形態では架構８０上に制御部７０が設けられた箱体８１が設けられている。
【００２７】
図４は超伝導量子干渉素子のマグネトメータタイプの一例を示した説明図である。超伝導量子干渉素子１０は、２箇所のジョセフソン接合部１２を有する超伝導薄膜１１を備えており、超伝導薄膜１１は基板１４上に形成され、ジョセフソン接合部１２は基板１４に設けられたステップ１５の上部に形成されている。基板１４はガラスエポキシ材料等の非磁性材料を用いて封止され電極ピン等により外部との電気的接続が行われている。本実施の形態では金属の位置や方向による検出誤差を少なくするために複数の超伝導量子干渉素子１０が組み合わされて設けられているが、液体９１に混入が予想される磁性金属９２の種類や形状や大きさによっては単数であってもよい。ここではマグネトメータタイプで説明されているがグラジオメータ（差動型）も使用できる。
【００２８】
次に、超伝導量子干渉素子１０による液体９１内の磁性金属９２の検出の原理について図４、図５を参照して説明する。図５はジョセフソン接合に流れる電流と電圧との関係を臨界電流値に関して説明するグラフである。
【００２９】
図４に示されるように、ジョセフソン接合部１２はステップ１５で隔てられたそれぞれの超伝導薄膜１１を２個の接合部で接合していて、両側の超伝導薄膜１１と組み合わされてリングを形成しており、それぞれの接合部は例えば７〜１０ｎｍの隙間を隔てての接合となっており、この接合がジョセフソン接合と呼ばれる。このリングを貫く磁束が量子化される。極低温状態で電極１３ａと電極１３ｂとの間にバイアス電流を流したとき、図５に示すように、ジョセフソン接合に流れる電流が臨界電流値以下の場合は電気抵抗値がゼロとなり従って電圧はゼロとなる。臨界電流値を超えるとジョセフソン接合に抵抗が発生し電圧が発生する。超伝導量子干渉素子１０に磁場が加えられるとリングに遮断電流が流れることからジョセフソン接合の臨界電流値は磁束に影響されやすく、磁束の増加によって臨界電流値は低下する。臨界電流値以上のバイアス電流がジョセフソン接合に流れると電圧に量子化現象特有の電圧振動が現れるので磁束が検出される。液体９１内の磁性金属９２が超伝導量子干渉素子１０の下を通過すると磁性金属９２の有する磁束によって電圧が変動し、磁性金属９２が通過したことが検知される。
【００３０】
次に、本発明の実施の形態の超伝導型流体用磁性異物検出装置１の動作について説明する。超伝導量子干渉素子１０は、あらかじめ冷却装置２０によって超伝導状態となる約９０Ｋ（−１８３℃）以下に冷却される。超伝導量子干渉素子１０が金属検出可能状態まで冷却されたら、検査対象となる液体９１を非磁性体パイプ４０ａの内部に流して、帯磁装置５０内を通過させて帯磁させた後に超伝導量子干渉素子１０の下側を通過させる。
【００３１】
制御部７０は超伝導量子干渉素子１０の検出出力を監視する。超伝導量子干渉素子１０が１個しか設けられていない場合は、検出出力にしきい値を設けてしきい値を超えた場合に磁性金属９２を検知したものとし、上述のように２個の超伝導量子干渉素子１０を設けてその差分で検知する場合には差分にしきい値を設けてしきい値を超えた場合に磁性金属９２を検知したものとする。
【００３２】
しきい値を超える出力が検出された場合は、三方弁４６を切り替えて磁性金属９２が混入している可能性のある所定の範囲の液体９１を排出用のパイプ４０に流す。この場合、例えば磁性金属９２が三方弁４６に達しない時間として液体９１の流速を基に予め設定されている時間内に弁を切り替えて排出用のパイプ４０に液体９１を流し、磁性金属９２が三方弁４６を超えるのに十分な時間として予め設定されている時間に弁を元に切り替えて本来のパイプ４０に液体を流す。磁性金属９２が混入したおそれのある液体はそのまま排出してもよいし、貯留して磁性金属９２を確認してもよい。
【００３３】
この超伝導型流体用磁性異物検出装置１で実際に検出の対象となる液体としては、飲料等の液体、マヨネーズ等の粘度を有するもの、あるいはミンチ等の軟体固形物から構成されるかあるいは含まれる流動体などの食品が想定されるがそれに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の形態の超伝導型流体用磁性異物検出装置のブロック構成図である。
【図２】図１の超伝導型流体用磁性異物検出装置の模式的部分断面側面図である。
【図３】図１の超伝導型流体用磁性異物検出装置の模式的部分断面上面図である。
【図４】超伝導量子干渉素子のマグネトメータタイプの一例の説明図である。
【図５】ジョセフソン接合に流れる電流と電圧との関係を臨界電流値に関して説明するグラフである。
【符号の説明】
【００３５】
１    超伝導型流体用磁性異物検出装置
１０    超伝導量子干渉素子
１１    超伝導薄膜
１２    ジョセフソン接合部
１３ａ、１３ｂ    電極
１４    基板
１５    ステップ
２０    冷却装置
２１    液体窒素容器
２２    冷却部
３０    磁気シールド
３１    シールド開口部
４０    パイプ
４０ａ    非磁性体パイプ
４６    三方弁
５０    帯磁装置
７０    制御部
８０    架構
８１    箱体
９１    液体
９２    磁性金属
【図１】
2007205925.tif 000003
【図２】
2007205925.tif 000004
【図３】
2007205925.tif 000005
【図４】
2007205925.tif 000006
【図５】
2007205925.tif 000007