(57)【要約】【課題】基板の研磨工程に使用される研磨ホイールに二重研磨面を形成することにより、研磨特性及び研磨ホイールの寿命を向上させると共に研磨時間を短縮できる液晶表示装置用研磨ホイール及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】液晶表示装置の製造方法は、液晶表示装置用基板を提供する段階と、前記基板にアレイ工程又はカラーフィルタ工程を行う段階と、前記アレイ工程が終了した基板と前記カラーフィルタ工程が終了した基板とを貼り合わせる段階と、前記貼り合わせられた基板を複数の単位液晶表示パネルに切断する段階と、前記単位液晶表示パネルを研磨台にローディングする段階と、１次研磨のための第１研磨面及び２次研磨のための第２研磨面の二重研磨面を備えた研磨ホイールを用いて前記単位液晶表示パネルの所定領域を研磨する段階と、前記研磨された単位液晶表示パネルをアンローディングする段階とを含む。【選択図】図４
2007001000.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状の本体と、
前記本体上面の縁部に形成される第２研磨面と、
前記第２研磨面の内側に形成される第１研磨面と
を含むことを特徴とする研磨ホイール。
【請求項２】
前記第２研磨面は、前記第１研磨面から所定距離離れて位置することを特徴とする請求項１に記載の研磨ホイール。
【請求項３】
前記第１研磨面及び前記第２研磨面は、同じ粗さを有する研磨石で構成されることを特徴とする請求項１に記載の研磨ホイール。
【請求項４】
前記第１研磨面及び前記第２研磨面は、異なる粗さを有する研磨石で構成されることを特徴とする請求項１に記載の研磨ホイール。
【請求項５】
前記第１研磨面及び前記第２研磨面は、ダイヤモンド材質で構成されることを特徴とする請求項１に記載の研磨ホイール。
【請求項６】
前記第１研磨面及び前記第２研磨面は、複数の部分に分割されるように構成されることを特徴とする請求項１に記載の研磨ホイール。
【請求項７】
前記第２研磨面の外側上部の角領域は、研磨時に単位液晶表示パネルのガラス基板を保護するために、前記第２研磨面の長手方向に対して所定の傾斜角を有することを特徴とする請求項１に記載の研磨ホイール。
【請求項８】
前記所定の傾斜角は、２０〜４０°であることを特徴とする請求項７に記載の研磨ホイール。
【請求項９】
単位液晶表示パネルを研磨台にローディングする段階と、
１次研磨のための第１研磨面及び２次研磨のための第２研磨面の二重研磨面を備えた研磨ホイールを用いて前記単位液晶表示パネルの所定領域を研磨する段階と、
前記研磨された単位液晶表示パネルをアンローディングする段階と
を含むことを特徴とする液晶表示パネルの研磨方法。
【請求項１０】
液晶表示装置用基板を提供する段階と、
前記基板にアレイ工程又はカラーフィルタ工程を行う段階と、
前記アレイ工程が終了した基板と前記カラーフィルタ工程が終了した基板とを貼り合わせる段階と、
前記貼り合わせられた基板を複数の単位液晶表示パネルに切断する段階と、
前記単位液晶表示パネルを研磨台にローディングする段階と、
１次研磨のための第１研磨面及び２次研磨のための第２研磨面の二重研磨面を備えた研磨ホイールを用いて前記単位液晶表示パネルの所定領域を研磨する段階と、
前記研磨された単位液晶表示パネルをアンローディングする段階と
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記ローディングされた単位液晶表示パネルを前記研磨台に整列させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記研磨ホイールを用いて前記単位液晶表示パネルの切断面と角部を研磨することを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記単位液晶表示パネルの所定領域を研磨する段階は、
前記研磨ホイールの第１研磨面を用いて前記単位液晶表示パネルの所定領域を１次研磨する段階と、
前記研磨ホイールの第２研磨面を用いて前記単位液晶表示パネルの所定領域を２次研磨する段階と
を含むことを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記１次研磨及び前記２次研磨は、実質的に同時に行われることを特徴とする請求項１３に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記１次研磨が終了した後、前記１次研磨が行われた単位液晶表示パネルの所定領域を２次研磨することを特徴とする請求項１３に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記第１研磨面及び前記第２研磨面は、同じ粗さを有する研磨石で構成されることを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記第１研磨面及び前記第２研磨面は、異なる粗さを有する研磨石で構成されることを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１８】
前記研磨ホイールを一方向に移動させて前記単位液晶表示パネルを研磨することを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置用研磨ホイールに関し、特に、大面積の母基板上に製作された複数の液晶表示パネルを個別の単位液晶表示パネルに切断した後、単位液晶表示パネルの研磨を行う液晶表示装置用研磨ホイール及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報ディスプレイに関する関心が高まり、携帯が可能な情報媒体の利用への要求が高まるにつれて、既存の表示装置であるブラウン管（Cathode Ray Tube；ＣＲＴ）を代替する軽量、薄型のフラットパネルディスプレイ（Flat Panel Display；ＦＰＤ）に関する研究及び商業化が重点的に行われている。特に、このようなフラットパネルディスプレイのうち、液晶表示装置（Liquid Crystal Display；ＬＣＤ）は、液晶の光学的異方性を利用して映像を表現する装置であって、解像度、カラー表示、及び画質などに優れており、ノートブックパソコンやデスクトップパソコンのモニタなどに活発に適用されている。
【０００３】
以下、このような液晶表示装置について説明する。
一般の液晶表示装置は、駆動回路ユニットを含む液晶表示パネルと、前記液晶表示パネルの下部に設置されて前記液晶表示パネルに光を放出するバックライトユニットと、前記バックライトユニット及び前記液晶表示パネルを支持するモールドフレーム及びケースとを含む。
【０００４】
前記液晶表示パネルは、カラーフィルタ基板と、アレイ基板と、前記カラーフィルタ基板と前記アレイ基板の間に形成された液晶層とから構成される。
【０００５】
前記カラーフィルタ基板は、カラーを実現する赤（Red；Ｒ）、緑（Green；Ｇ）、青（Blue；Ｂ）のサブカラーフィルタで構成されるカラーフィルタと、前記各サブカラーフィルタを区分し、液晶層を透過する光を遮断するブラックマトリクスと、前記液晶層に電圧を印加する透明な共通電極とから構成されている。
【０００６】
前記アレイ基板は、前記アレイ基板上に縦横に配列されて複数の画素領域を定義する複数のゲートライン及び複数のデータラインと、前記ゲートラインと前記データラインとの交差領域に形成されたスイッチング素子である薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor；ＴＦＴ）と、前記画素領域上に形成された画素電極とから構成されている。
【０００７】
このように構成されたアレイ基板とカラーフィルタ基板とは、画像表示領域の外郭に形成されたシーラントにより対向して貼り合わせられて液晶表示パネルを構成し、これら２つの基板の貼り合わせは、前記アレイ基板又は前記カラーフィルタ基板に形成された貼り合わせキーを用いて行われる。
【０００８】
一般に、液晶表示装置は、収率の向上を図るために、大面積の母基板に複数の薄膜トランジスタアレイ基板を形成し、別途の母基板に複数のカラーフィルタ基板を形成した後、これら２つの母基板を貼り合わせることにより、複数の液晶表示パネルを同時に形成するが、この場合、前記複数の液晶表示パネルを個別の単位液晶表示パネルに切断する工程が必要である。
【０００９】
通常、前記単位液晶表示パネルの切断は、ガラスに比べて硬度の高いホイールを利用して母基板の表面に切断予定溝を形成し、その切断予定溝に沿ってクラックを伝播させる工程により行われる。
【００１０】
以下、このような液晶表示装置について図７を参照してより詳しく説明する。
図７は複数の薄膜トランジスタアレイ基板が形成された第１母基板と複数のカラーフィルタ基板が形成された第２母基板とが貼り合わせられてなる液晶表示パネルの断面構造を概略的に示す図である。
【００１１】
図７に示すように、各単位液晶表示パネルは、薄膜トランジスタアレイ基板１の一側がカラーフィルタ基板２に比べて突出するように形成される。これは、カラーフィルタ基板２と重ならない薄膜トランジスタアレイ基板１の縁部にゲートパッド部（図示せず）及びデータパッド部（図示せず）が形成されるためである。
【００１２】
従って、第２母基板３０上に形成された各カラーフィルタ基板２は、第１母基板２０上に形成された薄膜トランジスタアレイ基板１が突出した面積に該当する第１ダミー領域３１だけ離隔して形成される。
【００１３】
また、各単位液晶表示パネルは、第１及び第２母基板２０、３０を最大限利用できるように適切に配置され、モデルによって異なるが、一般に、前記各単位液晶表示パネルは図示の第２ダミー領域３２だけ離隔するように形成される。
【００１４】
複数の薄膜トランジスタアレイ基板１が形成された第１母基板２０と、複数のカラーフィルタ基板２が形成された第２母基板３０とが貼り合わせられた後には、複数の液晶表示パネルを個別の単位液晶表示パネルに切断するが、このとき、第２母基板３０の各カラーフィルタ基板２が離隔した領域に形成された第１ダミー領域３１、及び各単位液晶表示パネルを離隔させる第２ダミー領域３２が同時に除去される。
【００１５】
また、前記複数の液晶表示パネルを個別の単位液晶表示パネルに切断した後、単位液晶表示パネルの鋭い角部を研磨することによって、薄膜トランジスタアレイ基板１上に導電膜を形成するときに発生し得る静電気を遮断するために薄膜トランジスタアレイ基板１の縁部に形成された短絡配線が除去され、外部の衝撃により単位液晶表示パネルの角部から破片が剥離することを防止し、工程中の単位液晶表示パネルの鋭い角部による作業者の負傷を防止することができる。
【００１６】
すなわち、図８に示すように、衝撃により切断されたアレイ基板１及びカラーフィルタ基板２の側面に、外側に突出した突出端４０が形成されるが、これは切断予定溝が交差する地点で共通に発生する。
【００１７】
突出端４０は研磨ホイールにより除去するが、図９は一般の研磨ホイールの構造を概略的に示す平面図である。図９に示すように、研磨ホイール７０は、円板状研磨具７１の上面の縁部に研磨面７４が形成された構造からなっている。研磨ホイール７０の中央部には孔７７が形成されているが、これは研磨具７１をモータに装着するためのものである。
【００１８】
一般に、液晶表示パネルの研磨工程には１つの研磨面７４が備えられた研磨ホイール７０を使用するが、このように１つの研磨面７４が備えられた研磨ホイール７０を使用して研磨を行う場合、同一部分の研磨面７４を継続して使用するため、研磨ホイール７０の寿命が短くなるという欠点があった。また、高速研磨時、研磨面７４に接触する突出端（図８の符号４０）の面積が小さいため、１つの研磨面７４では研磨されない部分が存在するという問題があった。
【００１９】
また、研磨ホイール７０を長時間使用する場合は、同一部分の継続的な使用により研磨面７４の特定部分が磨耗して、研磨状態が不良になるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
本発明は、このような従来技術の問題を解決するためになされたもので、研磨工程時、研磨品質を向上させると共に研磨ホイールの交替周期を延長させることができる研磨ホイール及びこれを利用した液晶表示パネルの研磨方法及び液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【００２１】
本発明の他の目的は、高速研磨時、研磨が不均一になる研磨不良を減少させることができる研磨ホイール及びこれを利用した液晶表示パネルの研磨方法及び液晶表示装置の製造方法を提供することにある。
【００２２】
本発明のさらに他の目的は、研磨時間を短縮して生産性を向上させることができる研磨ホイール及びこれを利用した液晶表示パネルの研磨方法及び液晶表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
このような目的を達成するために、本発明による研磨ホイールは、円筒状の本体と、前記本体上面の縁部に形成される第２研磨面と、前記第２研磨面の内側に形成される第１研磨面とを含むことを特徴とする。
【００２４】
また、本発明による液晶表示パネルの研磨方法は、単位液晶表示パネルを研磨台にローディングする段階と、１次研磨のための第１研磨面及び２次研磨のための第２研磨面の二重研磨面を備えた研磨ホイールを用いて前記単位液晶表示パネルの所定領域を研磨する段階と、前記研磨された単位液晶表示パネルをアンローディングする段階とを含むことを特徴とする。
【００２５】
さらに、本発明による液晶表示装置の製造方法は、液晶表示装置用基板を提供する段階と、前記基板にアレイ工程又はカラーフィルタ工程を行う段階と、前記アレイ工程が終了した基板と前記カラーフィルタ工程が終了した基板とを貼り合わせる段階と、前記貼り合わせられた基板を複数の単位液晶表示パネルに切断する段階と、前記単位液晶表示パネルを研磨台にローディングする段階と、１次研磨のための第１研磨面及び２次研磨のための第２研磨面の二重研磨面を備えた研磨ホイールを用いて前記単位液晶表示パネルの所定領域を研磨する段階と、前記研磨された単位液晶表示パネルをアンローディングする段階とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
本発明による研磨ホイール及びこれを利用した研磨方法は、二重研磨面を利用して１次及び２次研磨を行うことにより、研磨品質を向上させることができるという効果がある。
【００２７】
また、研磨時に研磨面に集中していた接触部分を分散することにより、研磨ホイールの寿命を向上させると共に、研磨面の交換周期を延長させて、コスト及び工程ロスを減し、生産性を向上させることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明による液晶表示装置用研磨ホイール及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法の好ましい実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
【００２９】
図１は本発明の研磨ホイールにより切断された個別の単位液晶表示パネルの構造を概略的に示す平面図である。図１に示すように、単位液晶表示パネル１１０は、複数の液晶セルがマトリクス状に配列される画像表示領域である画素部１１３と、画素部１１３のゲート配線ＧＬ１〜ＧＬｍにゲート信号を供給するゲートドライバ集積回路（図示せず）に接続させるためのゲートパッド部１１４と、画素部１１３のデータ配線ＤＬ１〜ＤＬｎに画像情報を供給するデータドライバ集積回路（図示せず）に接続させるためのデータパッド部１１５とから構成される。
【００３０】
ここで、ゲートパッド部１１４及びデータパッド部１１５は、カラーフィルタ基板１０２に比べて一短辺及び一長辺が突出した薄膜トランジスタアレイ基板１０１の縁部領域に形成される。
【００３１】
また、図には詳細に示していないが、薄膜トランジスタアレイ基板１０１のデータ配線ＤＬ１〜ＤＬｎとゲート配線ＧＬ１〜ＧＬｍとが直交する領域には、各液晶セルをスイッチングするための薄膜トランジスタが備えられ、前記薄膜トランジスタに接続されて各液晶セルに電界を印加するための画素電極が備えられる。
【００３２】
また、カラーフィルタ基板１０２には、ブラックマトリクスによりセル領域毎に分離されて形成された複数のカラーフィルタ、及び薄膜トランジスタアレイ基板１０１に形成された画素電極の相対電極である共通電極が備えられる。
【００３３】
このように構成された薄膜トランジスタアレイ基板１０１とカラーフィルタ基板１０２とは、セルギャップにより対向して所定間隔離隔し、画素部１１３の外郭に形成されたシールパターン（図示せず）により貼り合わせられ、薄膜トランジスタアレイ基板１０１とカラーフィルタ基板１０２との離隔した空間には、液晶層（図示せず）が形成される。
【００３４】
以下、前述のように切断された個別の単位液晶表示パネルを研磨するための本発明による研磨ホイールの構造を図２Ａ〜図４を参照して説明する。
図２Ａ及び図２Ｂは本発明の第１の実施の形態による研磨ホイールを概略的に示す断面図及び平面図である。  図２Ａ及び図２Ｂに示すように、第１の実施の形態による研磨ホイール１７０の円筒状本体１７１には、主軸１７２、及び主軸１７２から延びて主軸１７２と同一方向に回転する回転軸１７３が形成されている。
【００３５】
円筒状本体１７１上面の縁部には、液晶表示パネルを研磨するための第１研磨面１７４Ａ及び第２研磨面１７４Ｂの二重研磨面１７４が形成されている。第１研磨面１７４Ａ及び第２研磨面１７４Ｂは、砥石又は研磨石ともいい、実質的にリング状に形成される。特に、研磨面１７４は、実質的にガラス基板を研磨する機能を有するため、ガラスよりは硬い材質が使用されるが、天然材料としてはダイヤモンド、石英、珪藻土などが使用され、人工材料としては炭化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化鉄、酸化クロムなどが使用される。
【００３６】
このように、第１の実施の形態による研磨ホイール１７０に備えられた研磨面１７４は、研磨ホイール１７０上面の内側及び外側にそれぞれ形成された第１研磨面１７４Ａ及び第２研磨面１７４Ｂから構成される。ここで、内側の第１研磨面１７４Ａは、荒削り加工のために粗さの大きい研磨石で構成し、外側の第２研磨面１７４Ｂは、精密削りのために粗さの小さい研磨石で構成することができる。また、内側の第１研磨面１７４Ａと外側の第２研磨面１７４Ｂとの粗さの差は、約５０〜１００メッシュ（ここで、メッシュとは単位面積当たりの突起数を意味する）になるように構成することができる。しかしながら、本発明は、これに限定されるものでなく、第１研磨面１７４Ａと第２研磨面１７４Ｂとの粗さを同一に構成することもできる。
【００３７】
また、主軸１７２は、回転力を提供する動力軸（図示せず）に連結されて、回転軸１７３を回転運動させる。また、回転軸１７３は、主軸１７２からの回転運動力（トルク）を第１、第２研磨面１７４Ａ、１７４Ｂに伝達する機能を有する。
【００３８】
また、図２Ｂに示すように、第１研磨面１７４Ａ及び第２研磨面１７４Ｂは、効果的な研磨のために、複数の溝１７６により複数の部分に分割される。しかし、本発明は、これに限定されることなく、図３に示す単一構造の研磨ホイールにも適用することができる。
【００３９】
図３は本発明の第２の実施の形態による研磨ホイールを概略的に示す平面図であり、二重研磨面２７４が分割されていない構造の研磨ホイール２７０を示している。ここで、第２の実施の形態による研磨ホイール２７０は、第１の実施の形態による研磨ホイールと同じ構造、すなわち、円筒状本体２７１上面の縁部に第１研磨面２７４Ａ及び第２研磨面２７４Ｂからなる二重研磨面２７４の構造を有する。
【００４０】
図４は図２ＡのＡ部分の拡大図であり、第１の実施の形態による研磨ホイール１７０の二重研磨面１７４を拡大して示す断面図である。  図４に示すように、第１の実施の形態による研磨ホイール１７０は、１次研磨のための第１研磨面１７４Ａと、２次研磨のための第２研磨面１７４Ｂとを備えており、第１研磨面１７４Ａと第２研磨面１７４Ｂとは所定間隔をおいて位置している。
【００４１】
ここで、第２研磨面１７４Ｂは、研磨時に液晶表示パネルのガラス基板を保護するために、外側上部の角領域に所定の傾斜角αを有し、第２研磨面１７４Ｂの傾斜角αは、第２研磨面１７４Ｂの長手方向（Ｘ軸方向）に対して２０〜４０°であり、好ましくは３０°である。
【００４２】
前述のように、第１研磨面１７４Ａと第２研磨面１７４Ｂとは同じ粗さの研磨石で構成することができ、１次研磨後に２次研磨を順次行う場合は、効果的な研磨のために、第１研磨面１７４Ａと第２研磨面１７４Ｂとを異なる粗さの研磨石で構成することもできる。
【００４３】
前記異なる粗さの二重研磨面１７４を使用して研磨する場合を例に挙げると、研磨ホイール１７０と基板の突出端（図示せず）とが接触することによって、前記突出端は、先に内側の第１研磨面１７４Ａにより荒削りされ、次に外側の第２研磨面１７４Ｂにより精削される。本実施の形態では、内側の第１研磨面１７４Ａを利用して１次研磨を行った後、外側の第２研磨面１７４Ｂを利用して２次研磨を行う場合を説明しているが、本発明は、これに限定されるものでなく、１次研磨及び２次研磨に使用される研磨面１７４Ａ、１７４Ｂの順序を逆にして研磨を行うこともできる。また、本発明は、第１研磨面１７４Ａ及び第２研磨面１７４Ｂを同時に使用して研磨を行う場合にも適用することができる。
【００４４】
このように２つの第１、第２研磨面１７４Ａ、１７４Ｂを利用して二重研磨を行うと、研磨特性を向上させると共に研磨時間を短縮することができ、また、突出端を研磨ホイール１７０の内側と外側の第１、第２研磨面１７４Ａ、１７４Ｂに同時に接触させて研磨を行う場合は、研磨時に相互間の接触面積が増加して１つの研磨面に集中していた接触部分が分散されることによって、研磨ホイール１７４の寿命を延長させることができる。
【００４５】
以下、研磨ホイール１７０を利用した研磨方法について図５及び図６を参照して説明する。  図５は本発明による研磨工程を概略的に示す図であり、図６は本発明による研磨ホイールを利用した研磨方法を概略的に示す断面図であり、研磨台にローディングされた単位液晶表示パネルの角部を研磨する研磨工程を例に挙げて示している。
【００４６】
これら図を参照すると、まず、切断された個別の単位液晶表示パネル１１０が切断面と角部の研磨のためにローディング部１４０に移送される。
【００４７】
ここで、単位液晶表示パネル１１０の製作工程は、下部のアレイ基板１０１に駆動素子を形成する駆動素子アレイ工程と、上部のカラーフィルタ基板１０２にカラーフィルタを形成するカラーフィルタ工程と、セル工程とに大別されるが、以下、このような液晶表示パネル１１０の製作工程について説明する。
【００４８】
まず、下部のアレイ基板１０１には、アレイ工程により、互いに交差して複数の画素領域を定義する複数のゲートライン及び複数のデータラインを形成し、前記画素領域のそれぞれに前記ゲートライン及び前記データラインに接続される駆動素子である薄膜トランジスタを形成する。また、前記アレイ工程により、前記薄膜トランジスタに接続され、前記薄膜トランジスタにより信号が供給されることによって液晶層を駆動させる画素電極を形成する。
【００４９】
また、上部のカラーフィルタ基板１０２には、カラーフィルタ工程により、カラーを実現する赤、緑、青のサブカラーフィルタで構成されるカラーフィルタ層、ブラックマトリクス、及び共通電極を形成する。
【００５０】
次に、アレイ基板１０１及びカラーフィルタ基板１０２の表面にそれぞれ配向膜を形成した後、アレイ基板１０１とカラーフィルタ基板１０２の間に形成される液晶層の液晶分子に配向規制力又は表面固定力（すなわち、プレチルト角と配向方向）を提供するために、前記配向膜をラビングする。
【００５１】
次に、アレイ基板１０１にセルギャップを一定に維持するためのスペーサを散布し、カラーフィルタ基板１０２の外郭にシーラントを塗布した後、アレイ基板１０１及びカラーフィルタ基板１０２に圧力を加えて貼り合わせる。
【００５２】
アレイ基板１０１及びカラーフィルタ基板１０２は大面積のガラス基板に形成されている。すなわち、大面積のガラス基板に複数のパネル領域が形成され、前記各パネル領域にアレイ基板１０１又はカラーフィルタ基板１０２が形成されるため、個別の液晶表示パネル１００を製作するためには、前記ガラス基板を切断、加工しなければならない。
【００５３】
すなわち、貼り合わせが終了したアレイ基板１０１及びカラーフィルタ基板１０２のそれぞれの表面又は一方の表面に切断ラインを形成し、前記切断ラインに沿って切断することにより、単位液晶表示パネル１１０を製作する。
【００５４】
このような切断工程を終了すると、ガラス基板の切断面と角部が滑らかでないため、前記切断面と角部を滑らかに研磨しなければならない。このために、ローディング部１４０にローディングされた単位液晶表示パネル１１０は、研磨台１５１に送られて研磨台１５１に整列された後、高速回転する二重研磨面１７４、１７４′により切断面と角部が研磨される。
【００５５】
研磨台１５１は、単位液晶表示パネル１１０の縁部を斜めに研磨し、単位液晶表示パネル１１０を効果的に支持できるように、単位液晶表示パネル１１０に比べて僅かに小さく設計される。従って、単位液晶表示パネル１１０の縁部が研磨台１５１から僅かに突出する。
【００５６】
図６中、符号１７０、１７０′は、アレイ基板１０１及びカラーフィルタ基板１０２それぞれの上下の角部を研磨するための１対の第１、第２研磨ホイールを示す。第１、第２研磨ホイール１７０、１７０′は、一方向に移動して、それぞれアレイ基板１０１又はカラーフィルタ基板１０２の上下の角部を研磨する。
【００５７】
ここで、本実施の形態の第１、第２研磨ホイール１７０、１７０′は、前述のように、二重研磨面１７４、１７４′を備えるが、二重研磨面１７４、１７４′は、それぞれ１次研磨のための第１研磨面１７４Ａ、１７４Ａ′と、２次研磨のための第２研磨面１７４Ｂ、１７４Ｂ′とからなっている。
【００５８】
このように研磨石を二重にした二重研磨面１７４、１７４′を利用して研磨を行う場合は、１次、２次の２回の研磨により、研磨品質を向上させることができ、１つの研磨石に集中していた接触部分が分散されることによって、研磨面１７４、１７４′の寿命を向上させることができる。また、このように、研磨面１７４、１７４′の寿命が向上することによって、研磨面１７４、１７４′の交換周期を延長させることができ、コスト及び工程ロスを減らすことができる。
【００５９】
第１研磨面１７４Ａ、１７４Ａ′を利用した１次研磨と、第２研磨面１７４Ｂ、１７４Ｂ′を利用した２次研磨とは、同時に行うことができ、第１研磨面１７４Ａ、１７４Ａ′を利用して１次研磨を行った後、第２研磨面１７４Ｂ、１７４Ｂ′を利用して２次研磨を順次行うこともできる。逆に、第２研磨面１７４Ｂ、１７４Ｂ′を利用して１次研磨を行った後、第１研磨面１７４Ａ、１７４Ａ′を利用して２次研磨を順次行うこともできる。
【００６０】
前記１次研磨と前記２次研磨の間に、単位液晶表示パネル１１０がローディングされた研磨台１５１又は第１、第２研磨ホイール１７０、１７０′を移動させることもでき、研磨台１５１又は第１、第２研磨ホイール１７０、１７０′を移動させながら研磨を行うこともできる。
【００６１】
前記本実施の形態では、単位液晶表示パネル１１０の薄膜トランジスタアレイ基板１０１及びカラーフィルタ基板１０２を研磨するために１対の第１、第２研磨ホイール１７０、１７０′を使用した場合を例に挙げて説明しているが、本発明はこれに限定されるものでなく、１つ又は３つ以上の研磨ホイールを使用することもできる。
その後、前記研磨された単位液晶表示パネル１１０は、研磨部１５０からアンローディング部１６０に送られて、次の工程のために移送される。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の研磨ホイールにより切断された個別の単位液晶表示パネルの構造を概略的に示す平面図である。
【図２Ａ】本発明の第１の実施の形態による研磨ホイールを概略的に示す断面図である。
【図２Ｂ】本発明の第１の実施の形態による研磨ホイールを概略的に示す平面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態による研磨ホイールを概略的に示す平面図である。
【図４】図２ＡのＡ部分の拡大図である。
【図５】本発明による研磨工程を概略的に示す図である。
【図６】本発明による研磨ホイールを利用した研磨方法を概略的に示す断面図である。
【図７】複数の薄膜トランジスタアレイ基板が形成された第１母基板と複数のカラーフィルタ基板が形成された第２母基板とが貼り合わせられてなる液晶表示パネルの断面構造を概略的に示す図である。
【図８】切断された基板の突出端を拡大して示す図である。
【図９】一般の研磨ホイールの構造を概略的に示す平面図である。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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