(57)【要約】【課題】  積層コンデンサの製造に係る設備コスト及び作業コストの低減を図ることができる積層コンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】  誘電体層３の幅に合致した深部２１ｂと内部電極層２の表面形状及び配列に合致した浅部２１ｃとを有する窪み２１ａが外周面に形成されたグラビア版２１を用い、該グラビア版２１の窪み２１ａに充填されたインクＬ２ａの表面がベースフィルム１の内部電極層２の表面と接する位置関係でベースフィルム１に対してグラビア印刷を行って、窪み２１ａの深部２１ｂに存するインクＬ２ａをベースフィルム１の複数の内部電極層２間の隙間Ｇに主に移行させ、且つ、窪み２１ａの浅部２１ｃに存するインクＬ２ａをベースフィルム１の複数の内部電極層２の表面に主に移行させる。【選択図】  図９
2007103570.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルムに複数の内部電極層を所定配列で形成する工程と、複数の内部電極層を覆うようにベースフィルムに誘電体層を形成する工程と、を備えた積層コンデンサの製造方法であって、
ベースフィルムに誘電体層を形成する工程では、
誘電体層の幅に合致した深部と内部電極層の表面形状及び配列に合致した浅部とを有する窪みが外周面に形成された誘電体層用グラビア版を用い、
該グラビア版の窪みに充填された誘電体層用インクの表面がベースフィルムの内部電極層の表面と接する位置関係でベースフィルムに対してグラビア印刷を行って、窪みの深部に存する誘電体層用インクをベースフィルムの複数の内部電極層間の隙間に主に移行させ、且つ、窪みの浅部に存する誘電体層用インクをベースフィルムの複数の内部電極層の表面に主に移行させる、
ことを特徴とする積層コンデンサの製造方法。
【請求項２】
誘電体層用グラビア版の窪みの浅部は、内部電極層と同じ表面形状を有し、且つ、高さが深部の深さよりも小さい複数の隆起部を内部電極層と同じ配列で深部の底面に設けることによって形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の積層コンデンサの製造方法。
【請求項３】
誘電体層用グラビア版の窪みの深部及び浅部には、誘電体層用インクの保持力を高め、且つ、インク保持力を深部＜浅部となるように制御するための突起群がそれぞれ設けられている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の積層コンデンサの製造方法。
【請求項４】
ベースフィルムに複数の内部電極層を形成する工程では、
内部電極層の表面形状及び配列に合致した複数の窪みが外周面に形成された内部電極層用グラビア版を用い、
該グラビア版の各窪みに充填された内部電極層用インクの表面がベースフィルムの表面と接する位置関係でベースフィルムに対してグラビア印刷を行って、各窪みに存する内部電極層用インクをベースフィルムの表面に移行させる、
ことを特徴とする請求項１〜３に記載の積層コンデンサの製造方法。
【請求項５】
内部電極層用グラビア版の各窪みには、内部電極層用インクの保持力を高め、且つ、インク保持力を周辺部＞中心部となるように制御するための突起群がそれぞれ設けられている、
ことを特徴とする請求項４に記載の積層コンデンサの製造方法。
【請求項６】
ベースフィルムに所定配列で形成された複数の内部電極層を覆うように誘電体層を形成するための誘電体層用グラビア版であって、
誘電体層の幅に合致した深部と内部電極層の表面形状及び配列に合致した浅部とを有する窪みが外周面に形成されていて、窪みの深部及び浅部には誘電体層用インクの保持力を高め、且つ、インク保持力を深部＜浅部となるように制御するための突起群がそれぞれ設けられている、
ことを特徴とする誘電体層用グラビア版。
【請求項７】
窪みの浅部は、内部電極層と同じ表面形状を有し、且つ、高さが深部の深さよりも小さい複数の隆起部を内部電極層と同じ配列で深部の底面に設けることによって形成されている、
ことを特徴とする請求項６に記載の誘電体層用グラビア版。
【請求項８】
ベースフィルムに複数の内部電極層を所定配列で形成するための内部電極層用グラビア版であって、
内部電極層の表面形状及び配列に合致した複数の窪みが外周面に形成されていて、各窪みには内部電極層用インクの保持力を高め、且つ、インク保持力を周辺部＞中心部となるように制御するための突起群がそれぞれ設けられている、
ことを特徴とする内部電極層用グラビア版。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層コンデンサの製造方法と、積層コンデンサを製造する際に用いられる誘電体層用グラビア版及び内部電極層用グラビア版に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層コンデンサの現在の主流は１００５サイズ（長さの基準寸法が１．０ｍｍで幅及び高さの基準寸法が０．５ｍｍ）であるが、電子機器を製造するメーカーサイドからは更なる小型化が求められており、容量に関しても１００５サイズと同等もしくはそれ以上の容量が求められている。
【０００３】
積層コンデンサは内部電極層及び誘電体層とが積層された構造を有するものであるから、前記の要求に応えるには厚さが１〜数μｍの内部電極層及び誘電体層を安定して形成する技術が必要となる。
【０００４】
１００５サイズの積層コンデンサの製法では、一般に、内部電極層の形成にスクリーン印刷法が利用され、内部電極層の形成にダイコータやドクターブレードを用いた塗工法が利用されているが、とりわけ、従前の塗工法では厚さが１〜数μｍの誘電体層を形成することが難しいことから、該塗工法に代えてグラビア印刷法を利用して誘電体層を形成する積層コンデンサの製法が提案されている。
【０００５】
ここで、図１（Ａ）〜図１（Ｃ）を参照し、グラビア印刷法を利用して誘電体層を形成する積層コンデンサの製法例を説明する。
【０００６】
まず、図１（Ａ）に示すように、ベースフィルム１０１の表面に複数の内部電極層１０２を所定配列で形成する。この内部電極層１０２はスクリーン印刷法で形成する他、グラビア印刷法によっても形成可能である。
【０００７】
次に、図１（Ｂ）に示すように、ベースフィルム１０１の複数の内部電極層１０２間の隙間を埋めるように誘電体層用インクを転写して隙間埋込層１０３を形成する。この隙間埋込層１０３の形成には複数の内部電極層１０２間の隙間の表面形状に合致した窪みが外周面に形成されたグラビア版が用いられ、該グラビア版の窪みには誘電体層用インクが事前に充填される。
【０００８】
次に、図１（Ｃ）に示すように、ベースフィルム１０１に形成された複数の内部電極層１０２及び隙間埋込層１０３を覆うように誘電体層用インクを転写して誘電体層１０４を形成する。この誘電体層１０４の形成には誘電体層１０４の幅に合致した窪みが外周面に形成されたグラビア版が用いられ、該グラビア版の窪みには誘電体層用インクが事前に充填される。
【０００９】
次に、図１（Ｃ）の印刷シートから単位形状の積層用シートを打ち抜いてこれを必要枚数積層して仮圧着の積層体を作成し、該積層体を本圧着した後にこれを部品サイズに分断する。次に、部品サイズの積層チップを焼成し、焼成チップに外部電極を形成する。外部電極は積層チップを焼成する際に同時形成する場合もある。
【特許文献１】特開平８−１３０１５４号公報
【特許文献２】特開平８−２５０３７０号公報
【特許文献３】特開平１１−８１５６号公報
【特許文献４】特開２００３−２０９０２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前記の隙間埋込層１０３は複数の内部電極層１０２間の隙間を埋めて誘電体層１０４の表面を極力平坦にするためのものであり、この隙間埋込層１０３を形成せずに誘電体層１０４を形成すると、誘電体層１０４の表面に内部電極層１０２間の隙間に対応した凹みが形成され、該凹みが積層不良を生じる原因となる。また、前記凹みが累積して積層体の表面に現れるために、積層コンデンサの形状が歪になってしまう。要するに、前記の隙間埋込層１０３は積層不良を防止し、且つ、積層コンデンサの形状を適正化するために必要な要素となっている。
【００１１】
しかし、前記の隙間埋込層１０３を形成するには誘電体層１０４用とは異なる専用のグラビア版が必要であり、しかも、隙間埋込層１０３の形成を誘電体層１０４を形成する前段階で実施する必要があるために、設備コスト及び作業コストが嵩んでしまう。
【００１２】
積層コンデンサは前記要求に反して市場価格の低下が進んでおり、積層コンデンサを製造するメーカーサイドが自らの利益を確保するには、前記の設備コスト及び作業コストの低減、ひいては積層コンデンサの製造コストの低減を図って利益率を高める工夫を行わなければならない。
【００１３】
一方、前記製法において内部電極層１０２をグラビア印刷法によって形成する場合には、内部電極層１０２の表面形状及び配列に合致した複数の窪みが外周面に形成されたグラビア版が必要となる。しかし、１個当たりの窪みが極めて微小でその深さも極めて浅いために該窪みに内部電極層用インクを適正に充填することが難しく、局部的な充填不良を原因として内部電極層１０２に形状不良を生じ易い。
【００１４】
本発明は前記事情に鑑みて創作されたもので、第１の目的は、単一の誘電体層用グラビア版を用いて複数の内部電極層間の隙間への隙間埋込層の形成と複数の内部電極層の表面への誘電体層の形成を同時に行えるようにすることで、積層コンデンサの製造に係る設備コスト及び作業コストの低減を図ることができる積層コンデンサの製造方法と、該製法に有用な誘電体層用グラビア版を提供することにある。第２の目的は、前記製法において内部電極層をグラビア印刷法によって形成する場合に有用な内部電極層用グラビア版を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記目的を達成するため、本発明の積層コンデンサの製造方法は、ベースフィルムに複数の内部電極層を所定配列で形成する工程と、複数の内部電極層を覆うようにベースフィルムに誘電体層を形成する工程と、を備えた積層コンデンサの製造方法であって、ベースフィルムに誘電体層を形成する工程では、誘電体層の幅に合致した深部と内部電極層の表面形状及び配列に合致した浅部とを有する窪みが外周面に形成された誘電体層用グラビア版を用い、該グラビア版の窪みに充填された誘電体層用インクの表面がベースフィルムの内部電極層の表面と接する位置関係でベースフィルムに対してグラビア印刷を行って、窪みの深部に存する誘電体層用インクをベースフィルムの複数の内部電極層間の隙間に主に移行させ、且つ、窪みの浅部に存する誘電体層用インクをベースフィルムの複数の内部電極層の表面に主に移行させる、ことをその特徴とする。
【００１６】
この積層コンデンサの製造方法によれば、単一のグラビア版を用いて複数の内部電極層間の隙間への隙間埋込層の形成と複数の内部電極層の表面への誘電体層の形成を同時に行うことができるので、従前のように隙間埋込層用と誘電体層用の２種類のグラビア版を用いる場合に比べて設備コスト及び作業コストを低減させることができ、これによって積層コンデンサの製造コストの低減を図って利益率を高めることができる。
【００１７】
また、本発明の誘電体層用グラビア版は、ベースフィルムに所定配列で形成された複数の内部電極層を覆うように誘電体層を形成するための誘電体層用グラビア版であって、誘電体層の幅に合致した深部と内部電極層の表面形状及び配列に合致した浅部とを有する窪みが外周面に形成されていて、窪みの深部及び浅部には誘電体層用インクの保持力を高め、且つ、インク保持力を深部＜浅部となるように制御するための突起群がそれぞれ設けられている、ことをその特徴とする。
【００１８】
この誘電体層用グラビア版によれば、窪みの深部及び浅部には誘電体層用インクの保持力を高め、且つ、インク保持力を深部＜浅部となるように制御するための突起群がそれぞれ設けられているので、窪みの深部及び浅部の深さが浅くても、余分なインクをドクターブレードによって掻き取る際に充填インクが局部的に抜け出ることを防止して、グラビア印刷による誘電体層の形成を的確に行うことができる。しかも、突起群の配置形態によって深部及び浅部のインク保持力を深部＜浅部とすることで、深部に存するインクを浅部に存するインクよりも抜け易くしてあるため、深部に存するインクを内部電極層間の狭く、且つ、浅い隙間に表面張力及び流動性によって引き込まれるようにして確実に移行させて、該隙間へのインク移行を的確に行うことができる。
【００１９】
さらに、本発明の内部電極層用グラビア版は、ベースフィルムに複数の内部電極層を所定配列で形成するための内部電極層用グラビア版であって、内部電極層の表面形状及び配列に合致した複数の窪みが外周面に形成されていて、各窪みには内部電極層用インクの保持力を高め、且つ、インク保持力を周辺部＞中心部となるように制御するための突起群がそれぞれ設けられている、ことをその特徴とする。
【００２０】
この内部電極層用グラビア版によれば、各窪みには内部電極用インクの保持力を高め、且つ、インク保持力を周辺部＞中心部となるように制御するための突起群がそれぞれ設けられているので、各窪みの深さが浅くても、余分なインクをドクターブレードによって掻き取る際に充填インクが局部的に抜け出ることを防止して、グラビア印刷による内部電極層の形成を的確に行うことができる。しかも、突起群の配置形態によって各窪みのインク保持力を周辺部＞中心部としてあるので、余分なインクをドクターブレードによって掻き取る際に抜け出やすい周辺部分の充填インクの抜け出しを確実に防止することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、単一の誘電体層用グラビア版を用いて複数の内部電極層間の隙間への隙間埋込層の形成と複数の内部電極層の表面への誘電体層の形成を同時に行えるようにすることで、積層コンデンサの製造に係る設備コスト及び作業コストの低減を図ることができる積層コンデンサの製造方法と、該製法に有用な誘電体層用グラビア版を提供できる。また、前記製法において内部電極層をグラビア印刷法によって形成する場合に有用な内部電極層用グラビア版を提供できる。
【００２２】
本発明の前記目的とそれ以外の目的と、構成特徴と、作用効果は、以下の説明と添付図面によって明らかとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図２〜図１６は本発明を適用した積層コンデンサの製造方法の一例を示す。
【００２４】
まず、図２〜図５を参照して、ベースフィルム１に複数の内部電極層２を形成する工程及びその装置について説明する。図中の１１は内部電極層用グラビア版、１２はグラビア版１１の軸、１３はドクターブレード、１４は圧胴、１５は圧胴１４の軸、１６はインク槽、Ｌ１は内部電極層用インクである。
【００２５】
グラビア版１１は円柱形を成し、下部をインクＬ１に浸漬した状態で横向きに配置されている。グラビア版１１の外周面には、内部電極層２の表面形状及び配列に合致した複数の窪み１１ａが形成されている。各窪み１１ａの表面形状は長方形で、複数の窪み１１ａは図３（Ａ）に示す配列を有している。因みに、各窪み１１ａの深さｄ１は１μｍである。
【００２６】
各窪み１１ａには、図４（Ａ）〜図４（Ｃ）に示すように、充填インクＬ１ａの保持力を高め、且つ、インク保持力を周辺部＞中心部となるように制御するための突起群がそれぞれ設けられている。図示例の突起群は、窪み１１ａの周辺部を除く部分に配された斜行板状突起１１ａ１の群と、窪み１１ａの周辺部を除く部分に配された柱状突起１１ａ２の群とから成る。各窪み１１ａにインクＬ１ａが充填された状態（図４（ｃ）参照）では充填インクＬ１ａと突起群との接触面積は周辺部のほうが大きくなるため、各窪み１１ａにおけるインク保持力は周辺部＞中心部となる。図面では各突起１１ａ１，１１ａ２の高さを窪み１１ａの深さｄ１の１／２程度としたものを示してあるが、所期の充填量を確保できるのであれば各突起１１ａ１，１１ａ２の高さはこれよりも小さくても良いし、窪み１１ａの深さｄ１と同じにしても良い。
【００２７】
内部電極層用インクＬ１はニッケル等の金属粉末と有機バインダとを少なくとも含み、グラビア印刷に適した粘度を有している。
【００２８】
前記のグラビア版１１を用いてベースフィルム１に複数の内部電極層２を形成するときには、図２に示すように、圧胴１４によってベースフィルム１をグラビア版１１の外周面に押し付けた状態で該グラビア版１１を図２中の矢印方向に回転させる。各窪み１１ａへのインクＬ１の充填はドクターブレード１３によって行われ、余分なインクＬ１はドクターブレード１３によって掻き取られる。
【００２９】
グラビア版１１の各窪み１１ａには充填インクＬ１ａの保持力を高めるための突起群（１１ａ１及び１１ａ２）が形成されているため、各窪み１１ａの深さが浅くても、余分なインクＬ１をドクターブレード１３によって掻き取る際に充填インクＬ１ａが局部的に抜け出ることはない。また、突起群（１１ａ１及び１１ａ２）の配置形態によって各窪み１１ａのインク保持力を周辺部＞中心部としてあるので、余分なインクＬ１をドクターブレード１３によって掻き取る際に抜け出やすい周辺部分の充填インクＬ１ａの抜け出しを確実に防止することができる。
【００３０】
ベースフィルム１に対するグラビア印刷は、グラビア版１１の各窪み１１ａに充填されたインクＬ１ａの表面がベースフィルム１の表面と接する位置関係で行われ、該グラビア印刷によって各窪み１１ａに存するインクＬ１ａがベースフィルム１の表面に移行する。これによって複数の内部電極層２がベースフィルム１に所定配列で形成される。形成後の複数の内部電極層２は適当な手法によって乾燥される。
【００３１】
尚、グラビア版１１の各窪み１１ａに設けられる突起群の形態はその役割を満足する範囲で適宜変更可能である。例えば、図５（Ａ）に示すように斜行板状突起１１ａ１の群の代わりに格子板状突起１１ａ１’を設けてもよい。また、図５（Ｂ）に示すように斜行板状突起１１ａ１の群の代わりに柱状突起１１ａ２”の群を設けてもよい。
【００３２】
次に、図６〜図１０を参照して、複数の内部電極層２を覆うようにベースフィルム１に誘電体層３を形成する工程及びその装置について説明する。図中の２１は誘電体層用グラビア版、２２はグラビア版２１の軸、２３はドクターブレード、２４は圧胴、２５は圧胴２４の軸、２６はインク槽、Ｌ２は誘電体層用インクである。
【００３３】
グラビア版２１は円柱形を成し、下部をインクＬ２に浸漬した状態で横向きに配置されている。グラビア版２１の外周面には、誘電体層３の幅に合致した深部２１ｂと内部電極層２の表面形状及び配列に合致した浅部２１ｃとを有する窪み２１ａが形成されている。窪み２１ａの浅部２１ｃは、内部電極層３と同じ表面形状を有し、且つ、高さが深部２１ｂの深さｄ２よりも小さい複数の隆起部２１ｄを内部電極層２と同じ配列で深部２１ｂの底面に設けることによって形成されている。つまり、深部２１ｂ内に存する各隆起部２１ｄの表面上のみが浅部２１ｃを構成し、各隆起部２１ｄが存しない領域が実質的な深部２１ｂとなっている。因みに、窪み２１ａの深部２１ｂの深さｄ２は２μｍで、浅部２１ｃの深さｄ３は１μｍである。
【００３４】
窪み２１ａの深部２１ｂ及び浅部２１ｃ（各隆起部２１ｄの表面）には、図８（Ａ）〜図８（Ｃ）に示すように、充填インクＬ２ａの保持力を高め、且つ、インク保持力を深部＜浅部となるように制御するための突起群がそれぞれ設けられている。図示例の突起群は、深部２１ｂの底面に設けられた斜行板状突起２１ｂ１の群と、各隆起部２１ｄの表面に設けられた斜行板状突起２１ｄ１の群とから成る。深部２１ｂの底面に設けられた斜行板状突起２１ｂ１の間隔は、各隆起部２１ｄの表面に設けられた斜行板状突起２１ｄ１の間隔よりも大きく、窪み２１ａの深部２１ｂ及び浅部２１ｃにインクＬ２ａが充填された状態では充填インクＬ２ａと突起群との接触面積は深部２１ｂのほうが小さくなるため、窪み２１１ａにおけるインク保持力は深部＜浅部となる。図面では各突起２１ｂ１の高さを深部２１ｂの深さｄ２と同じにし、且つ、各特区２１ｄ１の高さを浅部２１ｃの深さｄ３と同じにしたものを示してあるが、所期の充填量を確保できるのであれば各突起２１ｂ１，２１ｄ１の高さはこれよりも小さくても良い。
【００３５】
誘電体層用インクＬ２はチタン酸バリウム等の誘電体粉末と有機バインダとを少なくとも含み、グラビア印刷に適した粘度を有している。
【００３６】
前記のグラビア版２１を用いてベースフィルム１に誘電体層３を形成するときには、図６に示すように、圧胴１４によってベースフィルム１の内部電極層２をグラビア版２１の外周面に押し付けた状態で該グラビア版２１を図６中の矢印方向に回転させる。窪み２１ａへのインクＬ２の充填はドクターブレード２３によって行われ、余分なインクＬ２はドクターブレード２３によって掻き取られる。
【００３７】
グラビア版２１の窪み２１ａの深部２１ｂ及び浅部２１ｃには充填インクＬ２ａの保持力を高めるための突起群（２１ｂ１及び２１ｄ１）が形成されているため、窪み２１ａの深部２１ｂ及び浅部２１ｃの深さが浅くても、余分なインクＬ２をドクターブレード２３によって掻き取る際に充填インクＬ２ａが局部的に抜け出ることはない。
【００３８】
ベースフィルム１に対するグラビア印刷は、グラビア版２１の窪み２１ａに充填されたインクＬ２ａの表面がベースフィルム１の内部電極層２の表面と接する位置関係で行われ、該グラビア印刷によって窪み２１ａの深部２１ｂに存するインクＬ２ａが複数の内部電極層２間の隙間Ｇに主に移行し、且つ、窪み２１ａの浅部２１ｃに存するインクＬ２ａが複数の内部電極層２の表面に主に移行する。
【００３９】
詳しくは、突起群（２１ｂ１及び２１ｄ１）の配置形態によって深部２１ｂ及び浅部２１ｃのインク保持力を深部＜浅部とすることで、深部２１ｂに存するインクＬ２ａを浅部２１ｃに存するインクＬ２ａよりも抜け易くしてあるので、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すように、深部２１ｂに存するインクＬ２ａは内部電極層２間の狭く、且つ、浅い隙間Ｇに表面張力及び流動性によって引き込まれるようにして確実に移行する。移行直後は図９（Ｂ）に示すように内部電極層２間の隙間Ｇに未充填箇所が存在し、且つ、インク表面に凹凸が残存するが、図９（Ｃ）に示すようにインクＬ２の流動性も相俟って時間経過とともに未充填箇所が無くなり、且つ、インク表面は平坦になる。以上によって複数の内部電極層２を覆うようにベースフィルム１に誘電体層３が形成される。形成後の誘電体層３は適当な手法によって乾燥され、これによりベースフィルム１に複数の内部電極層２とこれを覆うように誘電体層３が形成された印刷シートＳ（図１１，図１４参照）が作成される。
【００４０】
尚、グラビア版２１の窪み２１ａに設けられる突起群の形態はその役割を満足する場合で適宜変更可能である。例えば、図１０（Ａ）に示すように各隆起部２１ｄ上の斜行板状突起２１ｄ１の群を非接触で囲むように突起２１ｄ１と同一高さの矩形枠状壁２１ｄ２を設けて、深部２１ｂに存するインクＬ２ａのみを複数の内部電極層２間の隙間Ｇに的確に移行させるようにしても良い。また、図１０（Ｂ）に示すように、深部２１ｂの底面に斜行板状突起２１ｂ１の群の代わりに格子板状突起２１ｂ１’の群を設けても良い。さらに、図１０（Ｃ）に示すように、深部２１ｂの底面に斜行板状突起２１ｂ１の群の代わりに柱状突起２１ｂ１”の群を設け、且つ、各隆起部２１ｄの表面に斜行板状突起２１ｄ１の群の代わりに柱状突起２１ｄ１”の群を設けても良い。
【００４１】
次に、図１１〜図１３を参照して、印刷シートＳから単位シート（Ｓ１，Ｓ２）を打ち抜いてこれを必要枚数積層して仮圧着の積層体ＬＳを作成する工程及びその装置の一例について説明する。図中の３１は吸着ヘッド、３２は切断刃、３３は打ち抜きテーブル、３４は積層テーブルである。
【００４２】
吸着ヘッド３１は多数の吸引孔（図示省略）を下面に有し仮圧着時に熱を付与するためのヒータ（図示省略）を内蔵して、上下方向と水平方向の移動を可能としている。吸着ヘッド３１の下部周囲には図示省略のアクチュエータによる上下移動を可能とした矩形枠状の切断刃３２が設けられている。
【００４３】
前記の吸着ヘッド３１を用いて仮圧着の積層体ＬＳを作成するときには、図１１に示すように、印刷シートＳを誘電体層３が上を向くように打ち抜きテーブル３３上に静止させた状態で、吸着ヘッド３１を降下させてその下面を誘電体層３に接触させて該誘電体層３を吸着し、そして、切断刃３２を降下させて誘電体層３を複数の内部電極層２を含む単位寸法で打ち抜く。ここでは打ち抜き位置を変えることで内部電極層２の位置が異なる２種類の単位シートＳ１，Ｓ２を得る。打ち抜き後は単位シートＳ１，Ｓ２を吸着した状態で吸着ヘッド３１を上昇させ、単位シートＳ１，Ｓ２をベースフィルム１から剥離して印刷シートＳから取り出す。
【００４４】
単位シートＳ１，Ｓ２を印刷シートＳから取り出した後は、図１２に示すように、吸着ヘッド３１を積層テーブル３４上に移動させ、吸着状態の単位シートＳ１，Ｓ２を下側シートに押し付けて仮圧着し、そして、吸着を解除して吸着ヘッド３１を上昇させる。
【００４５】
ここでは最下位の少なくとも１枚のダミーシート（誘電体層のみから成る単位寸法のシート）Ｓ３の上に所定枚数の単位シートＳ１，Ｓ２が交互に積層され、最上位に少なくとも１枚のダミーシートＳ３が積層されるように前記の仮圧着を行う。以上によって仮圧着の積層体ＬＳが積層される。
【００４６】
次に、図１４〜図１６を参照して、印刷シートＳから単位シート（Ｓ１，Ｓ２）を打ち抜いてこれを必要枚数積層して仮圧着の積層体ＬＳを作成する工程及びその装置の他の例について説明する。図中の４１は吸着ヘッド、４２は切断刃、４３は打ち抜きテーブル、４４は積層テーブルである。
【００４７】
吸着ヘッド４１は多数の吸引孔（図示省略）を下面に有し仮圧着時に熱を付与するためのヒータ（図示省略）を内蔵しており、上下方向と水平方向の移動を可能としている。吸着ヘッド４１の下部周囲には図示省略のアクチュエータにより上下移動を可能とした矩形枠状の切断刃４２が設けられている。
【００４８】
前記の吸着ヘッド４１を用いて仮圧着の積層体ＬＳを作成するときには、図１４に示すように、印刷シートＳをベースフィルム１が上を向くように打ち抜きテーブル４３上に静止させた状態で、吸着ヘッド４１を降下させてその下面をベースフィルム１に接触させて該ベースフィルム１を吸着し、そして、切断刃４２を降下させてベースフィルム１と誘電多層３を複数の内部電極層２を含む単位寸法で打ち抜く。ここでは打ち抜き位置を変えることで内部電極層２の位置が異なる２種類の単位シートＳ１，Ｓ２を得る。打ち抜き後はフィルム１’付きの単位シートＳ１，Ｓ２を吸着した状態で吸着ヘッド４１を上昇させ、フィルム１’付きの単位シートＳ１，Ｓ２を印刷シートＳから取り出す。
【００４９】
フィルム１’付きの単位シートＳ１，Ｓ２を印刷シートＳから取り出した後は、図１５に示すように、吸着ヘッド４１を積層テーブル４４上に移動させ、吸着状態のフィルム１’付きの単位シートＳ１，Ｓ２を下側シートに押し付けて仮圧着し、そして、吸着ヘッド４１を上昇させてフィルム１’を単位シートＳ１，Ｓ２から剥離する。剥離後のフィルム１’は吸着を解除することによって吸着ヘッド４１から取り除かれる。
【００５０】
ここでは最下位の少なくとも１枚のダミーシート（誘電体層のみから成る単位寸法のシート）Ｓ３の上に所定枚数の単位シートＳ１，Ｓ２が交互に積層され、最上位に少なくとも１枚のダミーシートＳ３が積層されるように前記の仮圧着を行う。以上によって仮圧着の積層体ＬＳが積層される。
【００５１】
仮圧着の積層体ＬＳを作成した後は該積層体ＬＳを積層テーブル３３，４４から取り出し、取り出した積層体ＬＳを好ましくは静水圧プレスによって本圧着する。そして、本圧着後の積層体をダイシング装置等を用いて部品サイズに分断して部品サイズの積層チップを得る。そして、部品サイズの積層チップを内部電極層及び誘電体層の材質に応じて設定された条件にて焼成し、焼成チップに外部電極用ペーストを塗布しこれを焼き付けて外部電極を形成する。内部電極層及び誘電体層の材質によっては外部電極を積層チップを焼成する際に同時形成することも可能である。
【００５２】
このように、前述の積層コンデンサの製造方法によれば、ベースフィルム１に誘電体層３を形成する工程において、誘電体層３の幅に合致した深部２１ｂと内部電極層２の表面形状及び配列に合致した浅部２１ｃとを有する窪み２１ａが外周面に形成されたグラビア版２１を用い、該グラビア版２１の窪み２１ａに充填されたインクＬ２ａの表面がベースフィルム１の内部電極層２の表面と接する位置関係でベースフィルム１に対してグラビア印刷を行って、窪み２１ａの深部２１ｂに存するインクＬ２ａをベースフィルム１の複数の内部電極層２間の隙間Ｇに主に移行させ、且つ、窪み２１ａの浅部２１ｃに存するインクＬ２ａをベースフィルム１の複数の内部電極層２の表面に主に移行させるようにしている。
【００５３】
つまり、単一のグラビア版２１を用いて複数の内部電極層２間の隙間Ｇへの隙間埋込層の形成と複数の内部電極層２の表面への誘電体層の形成を同時に行うことができるので、従前のように隙間埋込層用と誘電体層用の２種類のグラビア版を用いる場合に比べて設備コスト及び作業コストを低減させることができ、これによって積層コンデンサの製造コストの低減を図って利益率を高めることができる。
【００５４】
また、グラビア版２１の窪み２１ａの深部２１ｂ及び浅部２１ｃには充填インクＬ２ａの保持力を高めるための突起群（２１ｂ１及び２１ｄ１）が形成されているため、窪み２１ａの深部２１ｂ及び浅部２１ｃの深さが浅くても、余分なインクＬ２をドクターブレード２３によって掻き取る際に充填インクＬ２ａが局部的に抜け出ることを防止して、グラビア印刷による誘電体層３の形成を的確に行うことができる。
【００５５】
さらに、突起群（２１ｂ１及び２１ｄ１）の配置形態によって深部２１ｂ及び浅部２１ｃのインク保持力を深部＜浅部とすることで、深部２１ｂに存するインクＬ２ａを浅部２１ｃに存するインクＬ２ａよりも抜け易くしてあるため、深部２１ｂに存するインクＬ２ａを内部電極層２間の狭く、且つ、浅い隙間Ｇに表面張力及び流動性によって引き込まれるようにして確実に移行させて、該隙間Ｇへのインク移行を的確に行うことができる。
【００５６】
一方、前述の誘電体層用グラビア版２１によれば、誘電体層３の幅に合致した深部２１ｂと内部電極層２の表面形状及び配列に合致した浅部２１ｃとを有する窪み２１ａが外周面に形成されていて、窪み２１ａの深部２１ｂ及び浅部２１ｃにはインク保持力を高め、且つ、インク保持力を深部＜浅部となるように制御するための突起群（２１ｂ１及び２１ｄ１）がそれぞれ設けられているので、窪み２１ａの深部２１ｂ及び浅部２１ｃの深さが浅くても、余分なインクＬ２をドクターブレード２３によって掻き取る際に充填インクＬ２ａが局部的に抜け出ることを防止して、グラビア印刷による誘電体層３の形成を的確に行うことができる。しかも、突起群（２１ｂ１及び２１ｄ１）の配置形態によって深部２１ｂ及び浅部２１ｃのインク保持力を深部＜浅部とすることで、深部２１ｂに存するインクＬ２ａを浅部２１ｃに存するインクＬ２ａよりも抜け易くしてあるため、深部２１ｂに存するインクＬ２ａを内部電極層２間の狭く、且つ、浅い隙間Ｇに表面張力及び流動性によって引き込まれるようにして確実に移行させて、該隙間Ｇへのインク移行を的確に行うことができる。
【００５７】
他方、前述の内部電極層用グラビア版１１によれば、内部電極層２の表面形状及び配列に合致した複数の窪み１１ａが外周面に形成されていて、各窪み１１ａにはインクＬ１の保持力を高め、且つ、インク保持力を周辺部＞中心部となるように制御するための突起群（１１ａ１及び１１ａ２）がそれぞれ設けられているので、各窪み１１ａの深さが浅くても、余分なインクＬ１をドクターブレード１３によって掻き取る際に充填インクＬ１ａが局部的に抜け出ることを防止して、グラビア印刷による内部電極層２の形成を的確に行うことができる。しかも、突起群（１１ａ１及び１１ａ２）の配置形態によって各窪み１１ａのインク保持力を周辺部＞中心部としてあるので、余分なインクＬ１をドクターブレード１３によって掻き取る際に抜け出やすい周辺部分の充填インクＬ１ａの抜け出しを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】グラビア印刷を利用した従前の積層コンデンサの製造方法の説明図である。
【図２】ベースフィルムに複数の内部電極層を形成する装置の説明図である。
【図３】図２に示した内部電極層用グラビア版の外周面の部分図と、そのａ１−ａ１線断面図である。
【図４】図３（Ａ）に示した窪みの詳細図と、そのａ２−ａ２線断面図と、インク状態状態を示す図である。
【図５】内部電極層用グラビア版の窪みに設けられた突起群の変形例を示す図である。
【図６】複数の内部電極層を覆うようにベースフィルムに誘電体層を形成する装置の説明図である
【図７】図６に示した誘電体層用グラビア版の外周面の部分図と、そのｂ１−ｂ１線断面図である。
【図８】図７（Ａ）に示した窪みの詳細図と、そのｂ２−ｂ２線断面図と、インク充填状態を示す図である。
【図９】図６に示した誘電体層用グラビア版によって誘電体層が形成される様子を示す図である。
【図１０】誘電体層用グラビア版の窪みに設けられた突起群の変形例を示す図である。
【図１１】仮圧着の積層体を作成する工程及びその装置の一例を説明するための図である。
【図１２】仮圧着の積層体を作成する工程及びその装置の一例を説明するための図である。
【図１３】仮圧着の積層体を作成する工程及びその装置の一例を説明するための図である。
【図１４】仮圧着の積層体を作成する工程及びその装置の他の例を説明するための図である。
【図１５】仮圧着の積層体を作成する工程及びその装置の他の例を説明するための図である。
【図１６】仮圧着の積層体を作成する工程及びその装置の他の例を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５９】
１…ベースフィルム、２…内部電極層、３…誘電体層、１１…内部電極層用グラビア版、１１ａ…窪み、１１ａ１，１１ａ１’，１１ａ１”，１１ａ２…突起、Ｌ１…内部電極層用インク、２１…誘電体層用グラビア版、２１ａ…窪み、２１ｂ…深部、２１ｂ１，２１ｂ１’，２１ｂ１”…深部の突起、２１ｃ…浅部、２１ｄ…隆起部、２１ｄ１，２１ｄ１’，２１ｄ１”…浅部の突起、Ｌ２…誘電体層用インク。
【図１】
2007103570.tif 000003
【図２】
2007103570.tif 000004
【図３】
2007103570.tif 000005
【図４】
2007103570.tif 000006
【図５】
2007103570.tif 000007
【図６】
2007103570.tif 000008
【図７】
2007103570.tif 000009
【図８】
2007103570.tif 000010
【図９】
2007103570.tif 000011
【図１０】
2007103570.tif 000012
【図１１】
2007103570.tif 000013
【図１２】
2007103570.tif 000014
【図１３】
2007103570.tif 000015
【図１４】
2007103570.tif 000016
【図１５】
2007103570.tif 000017
【図１６】
2007103570.tif 000018