(57)【要約】【課題】  ワークを液滴吐出ヘッドに対して高精度に位置合わせする。【解決手段】  帯状のワーク８１に対して液滴を吐出する吐出ヘッドと、ワーク８１に形成されたマークを撮像して吐出ヘッドとワーク８１との相対位置関係を計測する撮像装置３２とを有する。撮像装置３２に対してワーク８１の表面に沿う方向に相対移動自在で、且つワーク８１に形成された第２マークを撮像する第２撮像装置３３を備える。【選択図】      図２
2007061734.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のワークに対して液滴を吐出する吐出ヘッドと、前記ワークに形成されたマークを撮像して前記吐出ヘッドと前記ワークとの相対位置関係を計測する撮像装置とを有する描画装置であって、
前記撮像装置に対して前記ワークの表面に沿う方向に相対移動自在で、且つ前記ワークに形成された第２マークを撮像する第２撮像装置を備えることを特徴とする描画装置。
【請求項２】
請求項１記載の描画装置において、
前記撮像装置及び第２撮像装置を、前記ワークの長さ方向と交差する方向に一体的に駆動する駆動装置を有することを特徴とする描画装置。
【請求項３】
請求項２記載の描画装置において、
前記駆動装置は、前記撮像装置及び第２撮像装置と前記吐出ヘッドとを前記交差する方向に互いに独立して移動させることを特徴とする描画装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の描画装置において、
前記ワークに応じた前記マーク及び前記第２マークの位置情報に基づいて、前記第２撮像装置の移動を制御する制御装置を有することを特徴とする描画装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の描画装置において、
前記ワークの吸着面を形成する多孔質板を有することを特徴とする描画装置。
【請求項６】
帯状のワークに形成されたマークを撮像装置により撮像して前記ワークと吐出ヘッドとの相対位置関係を計測する工程と、前記相対位置関係に基づいて前記吐出ヘッドから前記ワークに液滴を吐出する工程とを有する描画方法であって、
前記撮像装置に対して前記ワークの表面に沿う方向に相対移動自在な第２撮像装置を配設し、
前記ワークに形成された第２マークを計測する位置に、前記撮像装置に対して前記第２撮像装置を相対移動させる工程を有することを特徴とする描画方法。
【請求項７】
請求項６記載の描画方法において、
前記ワークに応じた前記マーク及び前記第２マークの位置情報に基づいて、前記第２撮像装置を相対移動させることを特徴とする描画方法。
【請求項８】
請求項６または７記載の描画方法において、
前記撮像装置及び前記第２撮像装置を、前記ワークの長さ方向と交差する方向に一体的に駆動する工程と、
前記吐出ヘッドを前記交差する方向に前記撮像装置及び前記第２撮像装置とは独立して移動させる工程とを有することを特徴とする描画方法。
【請求項９】
請求項８記載の描画方法において、
前記撮像装置及び前記第２撮像装置と前記吐出ヘッドとを、前記ワークと対向する対向位置と前記対向位置から離間した退避した退避位置との間でそれぞれ独立して移動させることを特徴とする描画方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、描画装置及び描画方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶表示装置に用いられるＣＯＦ（Chip On Film）には、各種配線が形成されるが、近年では金属配線形成技術として、液体吐出方式の利用が拡大する傾向にある。液体吐出方式による塗布技術は、一般に、基板と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、液体吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから金属材料を含む液状体を液滴として吐出し、その液滴を基板上に繰り返し付着させて塗布膜を描画形成するものであり、液状体の消費に無駄が少なく、任意のパターンをフォトリソグラフィーなどの手段を用いず直接塗布することが出来るといった利点を有している。
【０００３】
この種の配線形成においては、前工程で配線が形成されたフィルム上に液滴吐出方式で金属材料を含む液滴を吐出して金属配線を形成する場合がある。この際、予め形成された配線と位置を合わせるために、フィルム上に形成されたアライメントマークをアライメントカメラで計測し、この計測結果に基づいてフィルムと液滴吐出ヘッドとの相対位置関係が調整される。
【０００４】
特許文献１には、アライメントカメラの構成の一例が開示されている。
【特許文献１】特開平５−３２３２４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
【０００６】
通常、アライメントマークの計測は２箇所以上で行われるため、１台のアライメントカメラによりアライメントを行う際には、アライメントカメラとフィルムとを相対移動させることになる。
【０００７】
この場合、アライメントカメラとフィルムとを相対移動させる際の移動誤差がアライメント精度に悪影響を及ぼすことになってしまい、結果として配線パターン等の描画精度の低下を招くという問題を生じる。
【０００８】
また、１軸で移動するアライメントカメラを用いる場合、この移動方向に沿って配置されたアライメントマークしか認識できないため、例えばフィルム上に移動方向と交差する方向に複数のデバイスを設定し、それぞれにアライメントマークが形成されたデバイス毎に配線を形成する場合には、アライメントを実施することが困難である。
【０００９】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、ワークを液滴吐出ヘッドに対して高精度に位置合わせできる描画装置及び描画方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
【００１１】
本発明の描画装置は、帯状のワークに対して液滴を吐出する吐出ヘッドと、前記ワークに形成されたマークを撮像して前記吐出ヘッドと前記ワークとの相対位置関係を計測する撮像装置とを有する描画装置であって、前記撮像装置に対して前記ワークの表面に沿う方向に相対移動自在で、且つ前記ワークに形成された第２マークを撮像する第２撮像装置を備えることを特徴とするものである。
【００１２】
従って、本発明の描画装置では、予めマークを撮像する位置に撮像装置を位置決めし、第２マークを撮像する位置に第２撮像装置を位置決めしておくことで、ワークが位置決めされた後の撮像時には撮像装置及び第２撮像装置を相対移動させる必要がなくなる。そのため、撮像装置、第２撮像装置を相対移動させる際の移動誤差が生じす、ワークと吐出ヘッドとの相対位置関係を高精度に計測することが可能になり、描画精度を向上させることが可能になる。
【００１３】
また、本発明では、第２撮像装置がワークの表面に沿う方向に移動自在であるため、ワークの長さ方向と交差する方向に離間して形成されたマークも第２撮像装置を移動させることで容易に撮像することが可能になり、この交差する方向に複数のデバイスが設定される、いわゆる２条品等にも容易に対応することができる。
【００１４】
また、本発明では、前記撮像装置及び第２撮像装置を、前記ワークの長さ方向と交差する方向に一体的に駆動する駆動装置を有する構成も好適に採用できる。
【００１５】
前記駆動装置は、前記撮像装置及び第２撮像装置と前記吐出ヘッドとを前記交差する方向に互いに独立して移動させる構成では、前記撮像装置及び第２撮像装置によりワークの位置を計測した後に、前記撮像装置及び第２撮像装置をワークと対向する位置から退避させ、吐出ヘッドをワークと対向する位置に移動させることにより、ワークに対して迅速に液滴を吐出してパターンを形成することが可能になる。
【００１６】
また、本発明では、前記ワークに応じた前記マーク及び前記第２マークの位置情報に基づいて、前記第２撮像装置の移動を制御する制御装置を有する構成も好適に採用できる。
【００１７】
これにより、本発明では、ワークの種類が変わった場合でも、変更後のワークに応じた第２マークの位置に円滑に第２撮像装置を移動させることが可能になる。
【００１８】
また、本発明では、前記ワークの吸着面を形成する多孔質板を有する構成も好適に採用できる。
【００１９】
これにより、本発明では、ワークの種類が変わって幅が変動する場合でも、確実に吸着面で吸着することが可能になり、液滴を吐出する面を平滑に維持することができ、描画精度の向上に寄与できる。
【００２０】
一方、本発明の描画方法は、帯状のワークに形成されたマークを撮像装置により撮像して前記ワークと吐出ヘッドとの相対位置関係を計測する工程と、前記相対位置関係に基づいて前記吐出ヘッドから前記ワークに液滴を吐出する工程とを有する描画方法であって、前記撮像装置に対して前記ワークの表面に沿う方向に相対移動自在な第２撮像装置を配設し、前記ワークに形成された第２マークを計測する位置に、前記撮像装置に対して前記第２撮像装置を相対移動させる工程を有することを特徴とするものである。
【００２１】
従って、本発明では、予めマークを撮像する位置に撮像装置を位置決めし、第２マークを撮像する位置に第２撮像装置を位置決めしておくことで、ワークが位置決めされた後の撮像時には撮像装置及び第２撮像装置を相対移動させる必要がなくなる。そのため、撮像装置、第２撮像装置を相対移動させる際の移動誤差が生じす、ワークと吐出ヘッドとの相対位置関係を高精度に計測することが可能になり、描画精度を向上させることが可能になる。
【００２２】
また、本発明では、前記ワークに応じた前記マーク及び前記第２マークの位置情報に基づいて、前記第２撮像装置を相対移動させる手順も好適に採用できる。
【００２３】
これにより、本発明では、ワークの種類が変わった場合でも、変更後のワークに応じた第２マークの位置に円滑に第２撮像装置を移動させることが可能になる。
【００２４】
また、本発明では、前記撮像装置及び前記第２撮像装置を、前記ワークの長さ方向と交差する方向に一体的に駆動する工程と、前記吐出ヘッドを前記交差する方向に前記撮像装置及び前記第２撮像装置とは独立して移動させる工程とを有する手順も好適である。
【００２５】
この場合、前記撮像装置及び前記第２撮像装置と前記吐出ヘッドとを、前記ワークと対向する対向位置と前記対向位置から離間した退避した退避位置との間でそれぞれ独立して移動させる手順が好適である。
【００２６】
従って、本発明では、前記撮像装置及び第２撮像装置によりワークの位置を計測した後に、前記撮像装置及び第２撮像装置をワークと対向する位置から退避させ、吐出ヘッドをワークと対向する位置に移動させることにより、ワークに対して迅速に液滴を吐出してパターンを形成することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の描画装置及び描画方法の実施の形態を、図１ないし図７を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００２８】
図１は描画装置１の平面図である。
【００２９】
描画装置１は、Ｙ方向に沿って送られる帯状のテープ（ワーク）８０に対して配線等のパターンを描画形成するものであって、テープ８０を吸着保持する吸着装置５０、吸着装置の上方にＸ方向に延びて設けられる一対のフレーム２０、フレーム２０に架設され、それぞれ図示しないリニアモータ等の駆動装置によりＸ方向に独立して駆動される描画ユニット２２、アライメントユニット２４およびＵＶ照射ユニット２６、テープ８０を繰り出す繰出しローラ８４およびテープ８０を巻き取る巻取りローラ８５を主体に構成されている。
【００３０】
テープ８０は、繰出しローラ８４と巻取りローラ８５との間に掛け渡され、両者間において吸着装置５０の上面に載置されるようになっている。
【００３１】
図２は、吸着装置５０及びアライメントユニット２４の外観斜視図である。
【００３２】
吸着装置５０は、定盤６０の表面に多孔質板５１を配置（埋設）して構成され、その多孔質板５１の表面に上述したテープ８０を吸着しうるようになっている。なお８０テープの吸着位置は、多孔質板５１の幅方向中央部であり、テープの中心線が多孔質板５１の中心線と一致する位置に設定されている。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができるようになっている。
【００３３】
この多孔質板５１は、樹脂材料を焼結成形した樹脂焼結材で構成されている。焼結成形は、原料粉末を金型内に充填して加熱し、原料粉末の表層同士を融着（焼結）させることにより、粉末間の空間を残したまま成形する手法である。その原料粉末として、ポリエチレン（ＰＥ）やポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド（ＰＡ）、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、フッ素樹脂（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ）等の熱可塑性樹脂材料を採用することが可能である。このように多孔質板５１を樹脂材料で構成することにより、多孔質板５１の表面に吸着されるテープの損傷を防止することができる。
【００３４】
多孔質板５１には、図示しない負圧吸引装置が接続されており、多孔質板５１の表面全体に亘ってほぼ均一に負圧が供給される。従って、幅の異なる複数種のテープに対しても、一様に吸着保持可能な構成となっている。
【００３５】
また、吸着装置５０は、その下方に配置された中間プレート１８に固定されている。この中間プレート１８は、モータ１６によりθｚ方向（ｚ軸周りの回転方向）に回動しうるようになっている。そのモータ１６はスライダ１４に固定されている。このスライダ１４は、ベースプレート１２の表面をＹ方向に移動しうるようになっている。これにより吸着装置５０は、ベースプレート１２に対してθｚ方向およびＹ方向に移動しうるようになっている。
【００３６】
アライメントユニット２４は、上述したフレーム２０に沿って移動する移動フレーム３１、移動フレーム３１に搭載されたカメラ（撮像装置）３２、カメラ（第２撮像装置）３３及びテープ押さえ装置３４から構成されている。カメラ３２、３３は、ＣＣＤカメラ等で構成されるものであり、テープ８０に形成されたマーク（後述）を計測し、制御部９９に出力する。制御部９９は、カメラ３２、３３の計測結果に基づいて、モータ１６、スライダ１４、繰出しローラ８４及び巻取りローラ８５の駆動を制御する。
【００３７】
また、カメラ３２は、移動フレーム３１に一体的に固定されているが、カメラ３３は、移動フレーム３１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたスライダ３５に搭載されることにより、制御部９９の制御下でカメラ３２に対してＹ軸方向に移動する。
【００３８】
図３は、主としてテープ押さえ装置３４に関する図２における右側面図である。
【００３９】
テープ押さえ装置３４は、Ｙ軸方向に延在する一対の押さえ部３６と、Ｙ軸方向に延び、支持柱３７を介して押さえ部３６の一方（−Ｙ側）を上方から支持する支持フレーム３８、支持柱３９を介して押さえ部３６の他方（＋Ｙ側）を上方から支持するとともに、支持フレーム３８をＹ軸方向に伸縮自在に支持する支持フレーム４０とを有している。
【００４０】
支持フレーム３８は、制御部９９の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により支持フレーム４０に対してＹ軸方向に移動する構成となっている。
【００４１】
支持フレーム４０は、制御部９９の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により、移動フレーム３１にＺ方向に延びて設けられたガイドフレーム４１に沿ってＺ軸方向に移動する構成となっている。
【００４２】
図１に戻り、描画ユニット２２には、液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）９０が搭載されている。図４は、液滴吐出ヘッドの側面断面図である。吐出ヘッド９０は、ヘッド本体９０Ａと、ヘッド本体９０Ａの一方面に装着されたノズルプレート９２と、ヘッド本体９０Ａの他方面に装着されたピエゾ素子９８とを主として構成されている。
【００４３】
インク吐出面を構成するノズルプレート９２には、液滴を吐出するための複数のノズル９１が整列配置されている。またヘッド本体９０Ａには、各ノズル９１と連通する複数の圧力室９３が形成されている。各圧力室９３はリザーバ９５に接続され、リザーバ９５はインク導入口９６に接続されている。そしてインク９は、インク導入口９６からリザーバ９５を通って各圧力室９３に供給されるようになっている。一方、ヘッド本体９０Ａの上端面には、可撓性を有する振動板９４が装着されている。その振動板９４を挟んで各圧力室９３の反対側には、それぞれピエゾ素子９８が設けられている。ピエゾ素子９８は、ＰＺＴ等の圧電材料を電極で挟持したものである。その電極は、制御部９９に接続されている。
【００４４】
そして制御部９９からピエゾ素子９８に駆動電圧を印加すると、ピエゾ素子９８が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子９８が収縮変形すると、圧力室９３内の圧力が低下して、リザーバ９５から圧力室９３にインク９が流入する。またピエゾ素子９８が膨張変形すると、圧力室９３内の圧力が増加して、ノズル９１からインク９の液滴が吐出される。なお、ピエゾ素子９８に印加する駆動電圧を制御することにより、液滴の吐出条件を制御しうるようになっている。
【００４５】
なお液滴吐出方式として、ピエゾ素子の変形により圧力室内の圧力を変化させる上記ピエゾ方式の他に、インクを加熱して気泡（バブル）を発生させることにより圧力室内の圧力を変化させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、インクを加熱しないので材料の組成に悪影響を与えないなどの点で優れている。
【００４６】
ＵＶ照射ユニット２６には、ＵＶランプ等のＵＶ照射装置２７が搭載されている。  
【００４７】
本実施形態の描画装置１は、以上のように構成されている。
【００４８】
次に、上記の描画装置１により液滴が吐出されてパターンが形成されるテープ８０について説明する。
【００４９】
図５は、様々なテープ（ＴＡＢテープ；ワーク）８１〜８３の部分平面図である。テープ８１の幅方向両端部には、テープを巻き取るためのスプロケット孔８６が連続形成され、テープ８１の幅方向中央部には、半導体装置を形成するための作業領域８８が連続形成されている。この作業領域８８は、例えばデバイス毎に設定されるものである。
【００５０】
そして、上記の描画装置１は、この作業領域８８に金属配線パターンを描画形成するものであり、本実施形態の吸着装置は、金属配線パターンを描画すべきテープを吸着保持するものである。
【００５１】
上述した作業領域８８の大きさに対応して、また幅方向における作業領域８８の配列数に応じて、幅寸法の異なる複数種類のテープ８１，８２，８３が存在する。
【００５２】
各テープ８１〜８３における各作業領域８８には、テープ８１〜８３を位置決めする際に観察されるアライメントマーク（マーク）ＡＭが、例えばそれぞれ３個ずつ形成されている。なお、アライメントマークＡＭの形状は、計測方法等によって各種存在するが、ここでは円形のマークとし、矩形の作業領域８８の３つのコーナー部に配置されるものとして図示している。
【００５３】
次に、上述した描画装置１の使用方法について説明する。
【００５４】
ここでは、上述したテープ８１を用いるものとして説明する。
【００５５】
また、本実施形態では、４つの作業領域８８からなる作業領域８８’に対して、一括して描画処理を行うものとし、作業領域８８’における一端側（＋Ｙ側）に位置するアライメントマークＡＭ１と、他端側（−Ｙ側）に位置し、アライメントマークＡＭ１と同列（同じＸ位置）に位置するアライメントマーク（第２マーク）ＡＭ２とを計測することにより、テープ８１を位置決めするものとする。
【００５６】
まず、図２に示す繰出しローラ８４と巻取りローラ８５との間にテープ８０（ここではテープ８１）を掛け渡し、両者間に配置された吸着装置５０（多孔質板５１）の表面にテープ８１を載置する。
【００５７】
次に、描画ユニット２２またはＵＶ照射ユニット２６が吸着装置５０と対向する位置にある場合は、当該ユニットを吸着装置５０との対向位置から予め退避させておく。
【００５８】
続いて、アライメントユニット２４をフレーム２０に沿って移動させ、図３（ａ）に示すように、吸着装置５０と対向する位置に位置決めする。
【００５９】
このとき、カメラ３２の計測範囲にアライメントマークＡＭ１が位置するように、移動フレーム３１のＸ方向の位置を調整する。また、アライメントマークＡＭ１、ＡＭ２の相対位置関係は既知であるため、この相対位置関係に応じた距離、スライダ３５を介してカメラ３３をＹ軸方向に移動させる。
【００６０】
次に、支持フレーム４０をガイドフレーム４１に沿って下降させることにより、図３（ｂ）に示すように、押さえ部３６をテープ８１に当接させる。このとき、押さえ部３６は、予め支持フレーム３８を支持フレーム４０に対してＸ軸方向に移動させることにより、テープ８１の幅方向の側縁に当接するように調整されている。
【００６１】
この後、負圧吸引装置を作動させて、テープ８１を多孔質板５１の表面に吸着保持させる。テープ８１の両側は、押さえ部３６によって押さえられているため、テープに反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなく多孔質板５１の表面に平滑に吸着保持される。
【００６２】
テープ８１が吸着装置５０に吸着保持されると、カメラ３２によりアライメントマークＡＭ１を撮影・計測し、カメラ３３によりアライメントマークＡＭ２を撮影・計測する。これらの撮影結果から、制御部９９はテープ８１の作業領域の現在位置を算出し、さらに所定位置からのオフセット量を算出する。その算出結果に基づいて、スライダ１４およびモータ１６を駆動して吸着装置５０をＹ方向およびθｚ方向に移動させ、吸着装置５０の表面に吸着されたテープ８１を（液滴吐出ヘッド９０に対して）位置合わせする。なおテープ８１のＸ方向の位置合わせは、描画ユニット２２の移動量を調整することによって行われる。
【００６３】
テープ８１の位置合わせが完了すると、フレーム２０に沿ってアライメントユニット２４を移動させて、吸着装置５０（すなわちテープ８１）との対向位置から退避させるとともに、描画ユニット２２をＸ方向に移動させて吸着装置５０との対向位置に配置する。そして、液滴吐出ヘッド９０からインクを吐出することにより、テープ８１の作業領域８８に所定パターンの金属配線等が、例えば既に形成されている配線パターンと接続させるように描画される。
【００６４】
テープ８１に対する液滴吐出処理が完了すると、フレーム２０に沿って描画ユニット２２を移動させて、吸着装置５０（すなわちテープ８１）との対向位置から退避させるとともに、ＵＶ照射ユニット２６をＸ方向に移動させて吸着装置５０との対向位置に配置する。そして、ＵＶ照射装置２７からＵＶを照射することにより、テープ８１に吐出されたインクを乾燥させる。
【００６５】
なお、上述した液滴吐出工程およびＵＶ照射工程を繰り返し行うことにより、同種または異種の被膜を積層形成することが可能である。異種の被膜を積層形成する場合には、１つの描画ユニットに異なるインクを吐出する複数の液滴吐出ヘッドを搭載してもよいし、異なるインクを吐出する液滴吐出ヘッドを備えた複数の描画ユニットを設けてもよい。
【００６６】
以上により、作業領域に対する描画処理が終了したら、テープ８１を送って未処理の作業領域を吸着装置５０の表面に載置し、上述した描画処理を繰り返す。
【００６７】
また、テープ８１の全ての作業領域に対する描画処理が終了したら、図２に示す繰出しローラ８４および巻取りローラ８５とともにテープ８１を交換する。なおテープサイズ（幅寸法）を変更する場合でも、テープの幅方向の中心線を吸着装置５０の中心線と一致させる。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができる。
【００６８】
以上説明したように、本実施形態の描画装置１では、アライメントマークＡＭ１、ＡＭ２を撮像して位置を計測する間にカメラ３２、３３を移動させないため、位置計測結果に移動誤差が含まれないため、テープ８１の位置・姿勢を高精度に計測することが可能になる。そのため、本実施形態では、テープ８１と液滴吐出ヘッド９０とを高精度に位置合わせすることが可能になり、テープ８１に形成されるパターンの描画精度を向上させることができる。
【００６９】
また、本実施の形態では、カメラ３２、３３がＸ方向については一体的に移動するため、Ｘ方向に関する相対位置関係を一定に保持することが可能なり、計測精度向上に寄与できる。また、カメラ３３がカメラ３２に対してＹ軸方向に相対移動することにより、マーク位置が異なる種々のテープに容易に対応することができ、汎用性を向上させることができる。
【００７０】
さらに、本実施の形態では、テープ８１を多孔質板５１により吸着するので、幅の異なる種々のテープにも容易に対応することができ、テープの種類変更に伴う作業を効率化することができる。
【００７１】
加えて、本実施形態では、テープ押さえ装置３４によりテープ８１の側縁を押さえる構成としているので、テープ８１に反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなく多孔質板５１の表面に平滑に吸着保持することが可能になり、アライメントマークを精度よく計測でき、所定位置にパターンを高精度に形成することができる。
（液晶表示装置）
続いて、上記描画装置１により配線パターンが形成されたテープを有する液晶表示装置について説明する。
【００７２】
図６は、電気光学装置である液晶表示装置の分解斜視図である。
【００７３】
この図に示す液晶表示装置（電気光学装置）１０１は、大別するとカラーの液晶パネル（電気光学パネル）１０２と、液晶パネル１０２に接続される回路基板１０３とを備えている。また、必要に応じて、バックライト等の照明装置、その他の付帯機器が液晶パネル１０２に付設されている。
【００７４】
液晶パネル１０２は、シール材１０４によって接着された一対の基板１０５ａ及び基板１０５ｂを有し、これらの基板１０５ｂと基板１０５ｂとの間に形成される間隙、いわゆるセルギャップには液晶が封入されている。これらの基板１０５ａ及び基板１０５ｂは、一般には透光性材料、例えばガラス、合成樹脂等によって形成されている。基板１０５ａ及び基板１０５ｂの外側表面には偏光板１０６ａ及び偏光板１０６ｂが貼り付けられている。なお、図６においては、偏光板１０６ｂの図示を省略している。
【００７５】
また、基板１０５ａの内側表面には電極１０７ａが形成され、基板１０５ｂの内側表面には電極１０７ｂが形成されている。これらの電極１０７ａ、１０７ｂはストライプ状または文字、数字、その他の適宜のパターン状に形成されている。また、これらの電極１０７ａ、１０７ｂは、例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ：インジウムスズ酸化物）等の透光性材料によって形成されている。
【００７６】
基板１０５ａは、基板１０５ｂに対して張り出した張り出し部を有し、この張り出し部に複数の端子１０８が形成されている。これらの端子１０８は、基板１０５ａ上に電極１０７ａを形成するときに電極１０７ａと同時に形成される。従って、これらの端子１０８は、例えばＩＴＯによって形成されている。これらの端子１０８には、電極１０７ａから一体に延びるもの、及び導電材（不図示）を介して電極１０７ｂに接続されるものが含まれる。
【００７７】
なお、実際の電極１０７ａ，１０７ｂ及び端子１０８は、極めて狭い間隔をもって多数本が基板１０５ａ及び基板１０５ｂ上にそれぞれ形成されているが、図６においては、液晶パネル１０２の構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、それらの内の数本のみを図示することにして他の部分を省略してある。また、端子１０８と電極１０７ａとの接続状態及び端子１０８と電極１０７ｂとの接続状態も図６においては図示を省略している。
【００７８】
また、回路基板１０３には、配線基板（配線）１０９上の所定位置に液晶駆動用ＩＣとしての半導体素子（半導体装置）１００が実装されている。配線基板１０９は、例えばポリイミド等の可撓性を有するベース基板（基板）１１１の上に形成されたＣｕ等の金属膜をパターニングして配線パターン１１２を形成することによって製造されている。
【００７９】
なお、実際の配線パターン１１２は、極めて狭い間隔をもって多数本がベース基板１１１上に形成されているが、図６においては、構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、構造を簡略化して図示してある。また、図示は省略しているが、半導体素子１００が実装される部位以外の部位の所定位置には抵抗、コンデンサ、その他のチップ部品が実装されていてもよい。
【００８０】
本実施形態では、この回路基板１０３が、上述した描画装置１によりパターンが形成されたテープをデバイス毎に切断することにより製造される。
【００８１】
本実施形態に係る液晶表示装置は、上述した描画装置１を用いて回路基板３が製造されているため、高精度に配線パターンが形成された高品質の液晶表示装置を得ることができる。
（電子機器）
図７（ａ）〜（ｃ）は、前述した液晶表示装置を有する電子機器の実施の形態例を示す図である。
【００８２】
図７（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図７（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体（電子機器）を示し、符号１００１は表示部を示している。
【００８３】
図７（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図７（ｂ）において、符号１１００は時計本体（電子機器）を示し、符号１１０１は表示部を示している。
【００８４】
図７（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図７（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置（電子機器）、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は表示部を示している。
【００８５】
図７（ａ）〜（ｃ）に示すそれぞれの電子機器は、本発明の描画装置及び描画方法を用いて製造された液晶表示装置を備えているので、配線パターンの描画精度が向上した高品質の電子機器となる。
【００８６】
また、上記実施形態では、電子機器として、携帯電話機、腕時計、情報処理装置を例に挙げて説明したが、これらに限らず、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。
【００８７】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００８８】
例えば、上記実施形態では、テープ押さえ装置３４によってテープ８１を押さえた後に、負圧吸引装置を作動させて多孔質板５１の表面に吸着保持する手順としたが、逆の手順であってもよい。
【００８９】
また、上記実施形態では、カメラ３３がカメラ３２に対してＹ軸方向の１軸で相対移動可能な構成としたが、これに限定されるものではなく、Ｙ軸方向及びＸ軸方向の２軸で相対移動可能な構成であってもよい。
【００９０】
また、本発明では、予め、テープの種類と、テープに種類に応じたアライメントマークの位置とを制御部９９に対応付けして記憶させておき、テープを交換する際には、制御部９９がテープの種類に応じて自動的にカメラ３３を移動させる構成としてもよい。
【００９１】
この構成を採ることにより、アライメントマークがＸ軸方向及びＹ軸方向の双方で離間する対角線上に配置された場合でも、容易に対応することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明に係る描画装置の平面図である。
【図２】吸着装置及びアライメントユニットの外観斜視図である。
【図３】テープ押さえ装置の構成及び動作を示す図である。
【図４】液滴吐出ヘッドの側面断面図である。
【図５】様々なＴＡＢテープの部分平面図である。
【図６】液晶表示装置の分解斜視図である。
【図７】電子機器の例を示す図である。
【符号の説明】
【００９３】
ＡＭ、ＡＭ１…アライメントマーク（マーク）、  ＡＭ２…アライメントマーク（第２マーク）、  ＣＯＮＴ…制御装置、  １…描画装置、  ３２…カメラ（撮像装置）、  ３３…カメラ（第２撮像装置）、  ５０…吸着装置、  ５１…多孔質板、  ８０〜８３…テープ（ワーク）、  ９０…液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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