(57)【要約】【課題】導通部材の周囲に発生する磁界に基づいて電流値を測定することができるコアの配置を必要としないコアレスの電流センサを提供する。【解決手段】被測定電流Ｉが反対方向に流れる隣接平行部が形成された導通部材１１と、隣接平行部１１を形成する導通部材の間に配置され、導通部材１１に被測定電流Ｉが流れることよって導通部材１１の周囲に発生する磁界を検知して、当該磁界に応じた電気信号を出力する磁電変換素子１２と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定電流が反対方向に流れる隣接平行部が形成された導通部材と、
前記隣接平行部を形成する前記導通部材の間に配置され、前記導通部材に前記被測定電流が流れることよって前記導通部材の周囲に発生する磁界を検知して、当該磁界に応じた電気信号を出力する磁電変換素子と、を備えることを特徴とする電流センサ。
【請求項２】
前記導通部材は、平板で構成されており、
前記隣接平行部は、前記平板を折曲して形成されることを特徴とする請求項１に記載の電流センサ。
【請求項３】
前記導通部材は、複数の導体断片で構成されており、
前記隣接平行部は、ほぼ平行となるように対向配置された第１及び第２の導体断片で形成され、
前記第１及び第２の導体断片は、前記第１及び第２の導体断片のそれぞれの一端に接続された第３の導体断片を介して接続されていることを特徴とする請求項１に記載の電流センサ。
【請求項４】
前記磁電変換素子は、前記導通部材よりも幅狭であり、前記導通部材の幅内に収まるように配置されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電流センサ。
【請求項５】
前記磁電変換素子は、前記隣接平行部を形成する前記導通部材のそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の電流センサ。
【請求項６】
前記導通部材を矩形の各辺を構成するように配置して、２組の前記隣接平行部を形成し、
前記磁電変換素子は、当該矩形内に配置されることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電流センサ。
【請求項７】
前記導通部材は、複数の前記隣接平行部を備え、
前記磁電変換素子は、前記複数の隣接平行部を形成する前記導通部材の間にそれぞれ配置されることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電流センサ。
【請求項８】
前記磁電変換素子の一面側に、磁性体からなる集磁板を配置したことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の電流センサ。
【請求項９】
前記集磁板は、前記磁電変換素子のセンサ部を避けて配置したことを特徴とする請求項８に記載の電流センサ。
【請求項１０】
外部からのノイズを遮蔽する、非磁性の金属からなるシールド材を備え、
前記シールド材は、前記磁電変換素子を覆うように前記隣接平行部を形成する前記導通部材の間に配置されることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の電流センサ。
【請求項１１】
前記シールド材は、接地されていることを特徴とする請求項１０に記載の電流センサ。
【請求項１２】
前記磁電変換素子は、縦型ホール素子であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の電流センサ。
【請求項１３】
前記磁電変換素子は、磁気抵抗素子であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の電流センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定電流が導通部材を流れることによって発生する磁界に基づいて、電流値の測定を行う電流センサに関するものであり、特に磁気比例式の電流センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被測定電流が導通部材を流れることで、その導通部材の周囲に発生する磁界を導通部材の近傍に配置された磁気センサが検知し、この磁気センサが検知した磁界の大きさに応じて出力する電気信号に基づいて被測定電流の電流値を測定する磁気比例式の電流センサにおいて、例えば、磁界を集束するためのコアを配置しない場合、磁気センサが検知して機能することができるだけの磁界が得られないことがある。
【０００３】
そこで、例えば、特開２００４−２５７９５３号公報（特許文献１）に開示された電流センサ１００は、図１２に示すように、一部にギャップ５３が形成され、ギャップ５３内に磁気センサ５２を配置したコア５１を、導通部材５４の周囲を取り囲むように配置している。コア５１をこのように配置することで、導通部材５４の周囲に発生する磁界はコア５１に集束し、ギャップ５３を通過する。これにより、磁気センサ５２は、ギャップ５３を通過する磁界を検知して、この磁界の大きさに応じた電気信号を出力することができる。そして、電流センサ１００は、この電気信号に基づいて被測定電流の電流値Ｉを測定することとなる。
【特許文献１】特開２００４−２５７９５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、コア５１を導通部材５４の周囲を取り囲むように配置することは、導通部材５４の周囲に発生する磁界を集束することに関しては有用であるものの、コア５１自体の配置によって電流センサ１００が大型化するという課題があった。また、コア５１を固定するための固定部材が必要となることがあり、電流センサ１００の部品点数が増大し、コストの増加や重量の増加という課題があった。
【０００５】
そこで、本発明は以上のような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、磁気センサが検知して機能するのに十分な大きさの磁界をコアを配置せずに得ることができる、コアレスの電流センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１に係る電流センサは、被測定電流が反対方向に流れる隣接平行部が形成された導通部材と、隣接平行部を形成する導通部材の間に配置され、導通部材に被測定電流が流れることよって導通部材の周囲に発生する磁界を検知して、当該磁界に応じた電気信号を出力する磁電変換素子と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
請求項１に記載された発明によれば、隣接平行部を形成する導通部材の周囲に発生する磁界に基づいて被測定電流の電流値を測定することができる。すなわち、コアの配置を必要としないコアレスの電流センサを実現することができる。
【０００８】
請求項２に係る電流センサは、導通部材は、平板で構成されており、隣接平行部は、平板を折曲して形成されることを特徴とする。請求項２に記載された発明によれば、平板形状の導通部材を折曲して隣接平行部を形成することによって、コアレスの電流センサを実現することができる。
【０００９】
請求項３に係る電流センサは、導通部材は、複数の導体断片で構成されており、隣接平行部は、ほぼ平行となるように対向配置された第１及び第２の導体断片で形成され、第１及び第２の導体断片は、第１及び第２の導体断片のそれぞれの一端に接続された第３の導体断片を介して接続されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載された発明によれば、第１及び第２の導体断片をほぼ平行となるように対向配置して隣接平行部を形成することによって、コアレスの電流センサを実現することができる。
【００１１】
請求項４に係る電流センサは、磁電変換素子は、導通部材よりも幅狭であり、導通部材の幅内に収まるように配置されることを特徴とする。これにより、磁電変換素子は静電気等のノイズの影響を受けにくくなる。したがって、ノイズの影響を受けにくいコアレスの電流センサを実現することができる。なお、精度向上ために、磁電変換素子は磁束が密であるところに配置することが望ましい。そこで、請求項５に係る電流センサのように、磁電変換素子を隣接平行部を形成する導通部材のそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置するとよい。
【００１２】
請求項６に係る電流センサは、導通部材を矩形の各辺を構成するように配置して、２組の隣接平行部を形成し、磁電変換素子は、当該矩形内に配置されることを特徴とする。請求項６に記載された発明によれば、導通部材が矩形の各辺を構成するように、導通部材を配置することで、２組の隣接平行部が導通部材に形成されている。そこで、磁電変換素子をこの矩形内に配置すれば、磁電変換素子が４方向からの磁界を検知することができるコアレスの電流センサを実現することができる。
【００１３】
請求項７に係る電流センサは、導通部材は、複数の隣接平行部を備え、磁電変換素子は、複数の隣接平行部を形成する導通部材の間にそれぞれ配置されることを特徴とする。請求項７に記載された発明によれば、隣接平行部が連続して形成され、各隣接平行部に配置された各磁電変換素子は、配置順に、交互に逆向きの磁界を検知する。ところで、この検知した各磁界が静電気等のノイズの影響を受けており、各磁界に応じて磁電変換素子が出力する各電気信号にノイズの影響が及んでいたとしても、この電気信号に対して平均化演算を施せば、電気信号に及んだノイズの影響を低減することができる。これにより、ノイズに影響を受けにくいコアレスの電流センサを実現することができる。
【００１４】
請求項８に係る電流センサは、磁電変換素子の一面側に、磁性体からなる集磁板を配置したことを特徴とする。これにより、磁電変換素子の磁界に対する感度が向上したのとほぼ同等の効果を得ることができる。したがって、コアの配置を必要としないコアレスの電流センサを実現することができる。なお、請求項９に係る電流センサのように、集磁板を磁電変換素子のセンサ部を避けて配置すると、磁電変換素子はより効果的に磁界を検知することができる。
【００１５】
請求項１０に係る電流センサは、外部からのノイズを遮蔽する、非磁性の金属からなるシールド材を備え、シールド材は、磁電変換素子を覆うように隣接平行部を形成する導通部材の間に配置されることを特徴とする。請求項１０に記載された発明によれば、磁電変換素子を覆うようにシールド材を配置することで、磁電変換素子が磁界を検知する際に、静電気等のノイズも一緒に検知することを防ぐことができる。なお、請求項１１に係る電流センサのように、このシールド材を接地することで、シールド効果をより向上させることができる。
【００１６】
請求項１２に係る電流センサは、磁電変換素子は、縦型ホール素子であることを特徴とする。縦型ホール素子はその厚さを比較的薄く形成することができる。したがって、請求項１２に記載された発明によれば、隣接平行部を形成する導通部材間の幅を狭くすることができる。導通部材間の幅を狭くすると、磁電変換素子と各導通部材とを近接させることができるため、磁電変換素子は、導通部材の周囲に発生する磁界をより強い状態で検知することができる。さらに、導通部材間の幅を狭くすると、コアレスの電流センサを小型化することができる。また、導通部材間の幅を狭くすると、外部からのノイズ（例えば、静電気）が侵入しにくくなるため、縦型ホール素子がノイズによる誤差を含んだ電気信号を出力することを防ぐことができる。なお、請求項１３に係る電流センサのように、磁電変換素子を磁気抵抗素子としても、コアレスの電流センサを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、各図において同一、もしくは、均等である部分には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００１８】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態における電流センサ１０について、図１（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。図１（ａ）は電流センサ１０の概略斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す電流センサ１０の概略斜視図に示したイ−イ線における概略断面図である。本実施形態における電流センサ１０は、図１（ａ）に示すように、導通部材１１と磁電変換素子１２とを備えて構成されている。
【００１９】
電流センサ１０は、被測定電流Ｉが導通部材１１を流れることで、導通部材１１の周囲に発生する磁界を磁電変換素子１２で検知し、この磁界に応じた電気信号を図示しない外部装置に出力して、被測定電流Ｉの電流値を測定するものである。なお、電流センサ１０は、磁電変換素子１２等を筐体内に収容配置したものであるが筐体の図示は省略する。
【００２０】
導通部材１１は、例えば、銅や銅合金等の導体からなる金属板をプレス加工し、得られた平板状の導通部材を、少なくとも１つの隣接平行部が形成されるように折曲する。以下、導通部材１１の各部位に１１ａ〜１１ｅの参照番号を付して説明する。なお、導通部材１１は、各導通部材１１ａ〜１１ｅのそれぞれを導体断片で構成してもよい。
【００２１】
導通部材１１の一端は図示しない電流供給源に接続されており、導通部材１１は被測定電流Ｉの電流経路を構成する。導通部材１１に被測定電流Ｉが流れると、後述するように、導通部材１１の周囲には被測定電流の大きさにほぼ比例した磁界が発生する。導通部材１１の周囲に発生した磁界は磁電変換素子１２によって検知され、磁電変換素子１２はこの磁界に応じた電気信号を図示しない外部装置に出力する。
【００２２】
図１（ｂ）に示すように、導通部材１１は断面がほぼ凸字の形状に折曲又は配置され、間隔Ｄを保ってほぼ平行となるように対向配置した隣接平行部が形成されている。隣接平行部は導通部材１１ａ、１１ｂで形成されており、導通部材１１ａ、１１ｂは、折曲部を形成する導通部材１１ｃを介して電気的に接続されている。隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂの間には、磁電変換素子１２が配置されている。磁電変換素子１２を配置するにあたり、導通部材１１ａ、１１ｂのそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されている。
【００２３】
磁電変換素子１２は、導通部材１１よりも幅狭であり、導通部材１１の幅枠からはみ出さないように配置されている。また、磁電変換素子１２は、図示しない基板に実装されたものであり、この図示しない基板を介して図示しない外部装置と電気的に接続されている。磁電変換素子１２は、例えば、巨大磁気抵抗素子（ＧＭＲ：Ｇｉａｎｔ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）、異方性磁気抵抗素子（ＡＭＲ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）、トンネル磁気抵抗素子（ＴＭＲ：Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）に代表される磁気抵抗素子、又は縦型ホール素子、若しくは横型ホール素子のいずれも使用することができる。なお、本実施形態の電流センサ１０においては、後述する理由により縦型ホール素子を用いることが好ましい。したがって、以下、磁電変換素子は縦型ホール素子として説明する。
【００２４】
図１（ｂ）中に直線矢印で示すように、導通部材１１に被測定電流Ｉが紙面の下（導通部材１１ｄ）から上（導通部材１１ｅ）に向かって流れると、導通部材１１ａにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の右から左に向かって流れる。また、導通部材１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の左から右に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは反対方向に流れることとなる。すると、導通部材１１ａ、１１ｂの周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂａ、Ｂｂが発生する。
【００２５】
この時、磁界Ｂａ、Ｂｂのそれぞれが縦型ホール素子１２を通過する。磁界Ｂａ、Ｂｂは導通部材１１ａ、１１ｂの間において、紙面の表面から裏面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１２は磁界Ｂａ、Ｂｂを合算した磁界Ｂに応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。そして、この電気信号に基づいて、被測定電流Ｉの電流値を測定することができる。
【００２６】
次に、本実施形態における電流センサ１０において、磁電変換素子として縦型ホール素子が好ましい理由について説明する。
【００２７】
まず、縦型ホール素子の動作特性について説明する。図１１は、縦型ホール素子１２ａの一例を示す図である。図１１（ａ）は、縦型ホール素子１２ａの概略上面図である。図１１（ｂ）は、上面図のル−ル線における概略断面図である。なお、図１１（ａ）、（ｂ）とも、縦型ホール素子１２ａの検知対象となる磁界Ｂは、紙面に向かって左から右に向かうものとする。
【００２８】
磁電変換素子１２としての縦型ホール素子１２ａは、半導体基板５１の表面に垂直にホールプレート部５２ｔが形成され、キャリアは半導体基板５１の表面に対して垂直方向に流れる。図１１（ａ）、（ｂ）に示す縦型ホール素子１２ａは、ｎ型の低濃度拡散層（ｎ−）５２がｐ型の高濃度層５４ｂによって分離され、半導体基板５１の表面にホールプレート部５２ｔが垂直に形成されている。
【００２９】
キャリアは、図１１（ｂ）中に破線矢印で示すように、ｎ型の高濃度埋め込み層５４ｕを介して、端子Ｔｉ０−Ｔｉ１間、及び端子Ｔｉ０−Ｔｉ２間を半導体基板５１の表面に対して垂直方向に流れる。なお、素子として動作するのは中央にあるホールプレート部５２ｔであり、ホールプレート部５２ｔに直交する磁界により発生する出力電圧（ホール電圧）ＶＨを、端子ＴＶ間で検出する。
【００３０】
縦型ホール素子１２ａは、このような動作特性を有することを踏まえ、図１（ｂ）に示すように、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂの間において、紙面の表面から裏面に向かう方向に発生する磁界Ｂに対して、ホールプレート部５２ｔが直交するように縦型ホール素子１２ａを配置すれば、縦型ホール素子１２ａは、磁界Ｂに応じた電気信号を効率的に出力することができる。
【００３１】
また、縦型ホール素子１２ａの厚さは、従来の横型ホール素子や磁気抵抗素子の厚さと比較して、薄く形成することができるので、縦型ホール素子１２ａを配置する導通部材１１ａ、１１ｂの間の間隔Ｄを小さくすることができる。導通部材１１ａ、１１ｂの間の間隔Ｄを小さくするとことで、縦型ホール素子１２ａは磁界をより強い状態で検知することが可能となり、結果として、縦型ホール素子１２ａの磁界検知能力（感度）が向上したのと同等の効果が得られる。
【００３２】
また、間隔Ｄを小さくすることで、ノイズ（例えば、静電気）が侵入しにくくなるため、縦型ホール素子１２ａがこのノイズによる誤差を含んだ電気信号を出力することを防ぐことができる。
【００３３】
以上説明したように、本実施形態における電流センサ１０によれば、磁界を集束するためのコアを配置しなくとも、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂの周囲に発生する磁界に基づいて被測定電流Ｉの電流値を測定することができるコアレスの電流センサを実現することができる。
【００３４】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態における電流センサ２０について、図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を用いて説明する。図２（ａ）は電流センサ２０の概略斜視図、図２（ｂ）は概略斜視図のロ−ロ線における概略断面図、図２（ｃ）は磁電変換素子を導通部材１１ｂの方向から見た上面図である。
【００３５】
本実施形態における電流センサ２０は、図２（ａ）に示すように、導通部材１１と磁電変換素子としての縦型ホール素子１２とを備えて構成されている。以下、導通部材１１の各部位に１１ａ〜１１ｅの参照番号を付して説明する。
【００３６】
図２（ｂ）に示すように、本実施形態における電流センサ２０は、縦型ホール素子１２を隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂの間に配置するにあたり、折曲部を構成する導通部材（導体断片）１１ｃの近傍に配置した例である。
【００３７】
図２（ｂ）中に直線矢印で示すように、導通部材１１に被測定電流Ｉが紙面の下（導通部材１１ｄ）から上（導通部材１１ｅ）に向かって流れると、導通部材１１ａにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の右から左に向かって流れる。また、導通部材１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の左から右に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは反対方向に流れることとなる。また、折曲部を形成する導通部材１１ｃにおいて、被測定電流Ｉは紙面の下から上に向かって流れることとなる。すると、導通部材１１ａ〜１１ｃの周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂａ〜Ｂｃが発生する。
【００３８】
この時、３方向からの磁界Ｂａ〜Ｂｃのそれぞれが縦型ホール素子１２を通過する。磁界Ｂａ〜Ｂｃは導通部材１１ａ、１１ｂの間において、紙面の表面から裏面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１２は磁界Ｂａ〜Ｂｃを合算した磁界Ｂに応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。そして、本実施形態における電流センサ２０は、この電気信号に基づいて、被測定電流Ｉの電流値を測定することができる。
【００３９】
したがって、本実施形態における電流センサ２０によれば、磁界を集束するためのコアを配置しなくとも、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂ及び折曲部を構成する導通部材（導体断片）１１ｃの周囲に発生する磁界に基づいて、被測定電流Ｉの電流値を測定することができるコアレスの電流センサを実現することができる。
【００４０】
なお、図２（ｃ）に示す縦型ホール素子１２のように、ｎ型の低濃度拡散層（ｎ−）５２やｐ型の高濃度層５４ｂからなるセンサ部１２ｓを素子端から５〜１０００μｍのところに設けると、縦型ホール素子１２はより効果的に磁界Ｂａ〜Ｂｃを検知することができる。
【００４１】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態における電流センサ３０について、図３（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。図３（ａ）は電流センサ３０の概略斜視図、図３（ｂ）は概略斜視図のハ−ハ線における概略断面図である。
【００４２】
本実施形態における電流センサ３０は、図３（ａ）に示すように、第１、第２の実施形態の電流センサ１０、２０における、導通部材１１の形状が変化した例である。以下、導通部材１１の各部位に１１ａ〜１１ｃ、１１ｄ１、１１ｄ２、１１ｅ１、１１ｅ２の参照番号を付して説明する。
【００４３】
図３（ｂ）に示すように、導通部材１１は、２組の隣接平行部が形成されるようにほぼ矩形状に配置されている。すなわち、導通部材１１ａ、１１ｂで形成される隣接平行部と導通部材１１ｃ、１１ｅ２で形成される隣接平行部とが形成されている。この２組の隣接平行部で囲まれた矩形内には、磁電変換素子としての縦型ホール素子１２が配置されている。
【００４４】
縦型ホール素子１２を配置するにあたり、縦型ホール素子１２、導通部材１１ａの間隔と縦型ホール素子１２、導通部材１１ｂとの間隔とはほぼ等しくなるように配置されている。さらに、縦型ホール素子１２、導通部材Ｂｃの間隔と縦型ホール素子１２、導通部材Ｂｅ２の間隔とはほぼ等しくなるように配置されている。
【００４５】
図３（ｂ）中に直線矢印で示すように、導通部材１１に被測定電流Ｉが紙面の下（導通部材１１ｄ１）から上（導通部材１１ｅ１）に向かって流れると、導通部材１１ａにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の上から下に向かって流れる。また、導通部材１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の下から上に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは反対方向に流れることとなる。
【００４６】
さらに、導通部材１１ｃにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の右から左に向かって流れる。また、導通部材１１ｅ２において、被測定電流Ｉは、紙面の左から右に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ｃ、１１ｅ２において、被測定電流Ｉは反対方向に流れることとなる。すると、導通部材１１ａ〜１１ｃ、１１ｅ２の周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂａ〜Ｂｃ、Ｂｅ２が発生する。この時、４方向からの磁界Ｂａ〜Ｂｃ、Ｂｅ２のそれぞれが縦型ホール素子１２通過する。
【００４７】
磁界Ｂａ〜Ｂｃ、Ｂｅ２は、導通部材１１ａ〜１１ｃ、１１ｅ２で囲まれた部分において、紙面の表面から裏面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１２は磁界Ｂａ〜Ｂｃ、Ｂｅ２を合算した磁界Ｂに応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。そして、本実施形態における電流センサ３０は、この電気信号に基づいて、被測定電流Ｉの電流値を測定することができる。
【００４８】
したがって、本実施形態における電流センサ３０によれば、磁界を集束するためのコアを配置しなくとも、導通部材の周囲に発生する磁界に基づいて被測定電流Ｉの電流値を測定することができるコアレスの電流センサを実現することができる。なお、本実施形態における電流センサ３０によれば、導通部材１１を図３（ａ）に示すような形状とすることにより、電流センサ３０の小型化を可能とする。
【００４９】
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態における電流センサ４０について、図４（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。図４（ａ）は電流センサ４０の概略斜視図、図４（ｂ）は概略斜視図のニ−ニ線における概略断面図である。
【００５０】
本実施形態における電流センサ４０は、図４（ａ）に示すように、導通部材１１と２つの磁電変換素子１２、１３とを備えて構成されている。以下、導通部材１１の各部位に１１ａ〜１１ｃ、１１ｄ１、１１ｄ２、１１ｅ１、１１ｅ２の参照番号を付して説明する。
図４（ｂ）に示すように、導通部材１１は複数の隣接平行部を備えている。すなわち、導通部材１１ａ、１１ｂで形成される隣接平行部と導通部材１１ｃ、１１ｅ２で形成される隣接平行部と導通部材１１ａ、１１ｄ１とで形成される隣接平行部とを備えている。
【００５１】
導通部材１１ａ〜１１ｃ、１１ｅ２で囲まれた部分には、磁電変換素子としての縦型ホール素子１２が配置されている。縦型ホール素子１２を配置するにあたり、縦型ホール素子１２、導通部材１１ａの間隔と縦型ホール素子１２、導通部材１１ｂとの間隔とはほぼ等しくなるように配置されている。さらに、縦型ホール素子１２、導通部材Ｂｃの間隔と縦型ホール素子１２、導通部材Ｂｅ２の間隔とはほぼ等しくなるように配置されている。また、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｄ１の間には磁電変換素子としての縦型ホール素子１３が配置されている。縦型ホール素子１３は、導通部材１１ａ、１１ｄ１のそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されている。
【００５２】
図４（ｂ）中に直線矢印で示すように、導通部材１１に被測定電流Ｉが導通部材１１ｄ１から導通部材１１ｅ１に向かって流れると、導通部材１１ａにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の上から下に向かって流れる。また、導通部材１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の下から上に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは反対方向に流れることとなる。
【００５３】
さらに、導通部材１１ｃにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の右から左に向かって流れる。また、導通部材１１ｅ２において、被測定電流Ｉは、紙面の左から右に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ｃ、１１ｅ２において、被測定電流Ｉは反対方向に流れることとなる。すると、導通部材１１ａ〜１１ｃ、１１ｅ２の周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂａ〜Ｂｃ、１１ｅ２が発生する。この時、４方向からの磁界Ｂ〜Ｂｃ、Ｂｅ２のそれぞれが縦型ホール素子１２を通過する。
【００５４】
磁界Ｂａ〜Ｂｃ、Ｂｅ２は、導通部材１１ａ〜１１ｃ、１１ｅ２で囲まれた部分において、それぞれが紙面の表面から裏面に向かう方向性を有するものであるから、縦型ホール素子１２は磁界Ｂａ〜Ｂｃ、Ｂｅ２を合算した磁界Ｂに応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。
【００５５】
続いて、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｄ１において、被測定電流Ｉは導通部材１１ａ、１１ｄ１を反対方向に流れる。また、折曲部を形成する導通部材１１ｄ２において、被測定電流Ｉは紙面に向かって右から左に流れる。すると、導通部材１１ａ、１１ｄ１、１１ｄ２の周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂａ、Ｂｄ１、Ｂｄ２が発生する。この時、３方向からの磁界Ｂａ、Ｂｄ１、Ｂｄ２のそれぞれが縦型ホール素子１３を通過する。
【００５６】
磁界Ｂａ、Ｂｄ１、Ｂｄ２は、導通部材１１ａ、１１ｄ１の間において、紙面の裏面から表面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１３は、３方向からの磁界Ｂａ、Ｂｄ１、Ｂｄ２を合算した、磁界Ｂ’に応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。
【００５７】
ところで、磁界Ｂは導通部材１１ａ〜１１ｃ、１１ｅ２で囲まれた部分において、紙面の表面から裏面に向かう方向性を有する磁界である。また、磁界Ｂ’は導通部材１１ａ、１１ｄ１の間において紙面の裏面から表面に向かう方向性を有する磁界である。すなわち、磁界Ｂと磁界Ｂ’とは逆向きの方向性を有するものである。
【００５８】
例えば、磁界Ｂ、Ｂ’が静電気等のノイズの影響を受けており、磁界Ｂ、Ｂ’に応じて縦型ホール素子１２、１３がそれぞれ出力する電気信号にノイズの影響が及んでいたとしても、この電気信号に対して平均化演算を施せば、電気信号に及んだノイズの影響を低減することができる。
【００５９】
したがって、本実施形態における電流センサ４０によれば、周辺機器が発する磁界や地磁気等の外部ノイズの影響を取り除くことが可能となり、ノイズの影響を受けにくいコアレスの電流センサを実現することができる。
【００６０】
（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態における電流センサ５０について、図５（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。図５（ａ）は電流センサ５０の概略斜視図、図５（ｂ）は概略斜視図のホ−ホ線における概略断面図である。
【００６１】
本実施形態における電流センサ５０は、図５（ａ）に示すように、導通部材１１と２つの磁電変換素子１２、１３とを備えて構成されている。以下、導通部材１１の各部位に１１ａ〜１１ｃ、１１ｄ１、１１ｄ２の参照番号を付して説明する。
【００６２】
図５（ｂ）に示すように、導通部材１１は隣接平行部が連続して形成されている。すなわち、導通部材１１ａ、１１ｂで形成される隣接平行部と導通部材１１ａ、１１ｄ１とで形成される隣接平行部とを備えている。導通部材１１ａ〜１１ｃ、１１ｅ２で囲まれた部分には、磁電変換素子としての縦型ホール素子１２が配置されている。縦型ホール素子１２は、導通部材１１ａ、１１ｂのそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されている。また、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｄ１の間には磁電変換素子としての縦型ホール素子１３が配置されている。縦型ホール素子１３は、導通部材１１ａ、１１ｄ１のそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されている。
【００６３】
図５（ｂ）中に直線矢印で示すように、導通部材１１に被測定電流Ｉが導通部材１１ｄ１から導通部材１１ｂに向かって流れると、導通部材１１ａにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の上から下に向かって流れる。また、導通部材１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の下から上に向かって流れる。
【００６４】
すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは反対方向に流れることとなる。また、折曲部を形成する導通部材１１ｃにおいて、被測定電流Ｉは紙面に向かって右から左に流れる。すると、導通部材１１ａ〜１１ｃの周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂａ〜Ｂｃが発生する。この時、３方向からの磁界Ｂａ〜Ｂｃのそれぞれが縦型ホール素子１２を通過する。
【００６５】
磁界Ｂａ〜Ｂｃは、導通部材１１ａ、１１ｂの間において、それぞれが紙面の表面から裏面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１２は磁界Ｂａ〜Ｂｃを合算した、紙面の表面から裏面に向かう方向性を有する磁界Ｂに応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。
【００６６】
続いて、導通部材１１ａにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の上から下に向かって流れる。また、導通部材１１ｄ１において、被測定電流Ｉは、紙面の下から上に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｄ１において、被測定電流Ｉは反対方向に流れることとなる。また、折曲部を形成する導通部材１１ｄ２において、被測定電流Ｉは紙面に向かって右から左に流れる。すると、導通部材１１ａ、１１ｄ１、１１ｄ２の周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂａ、Ｂｄ１、Ｂｄ２が発生する。この時、３方向からの磁界Ｂａ、Ｂｄ１、Ｂｄ２のそれぞれが縦型ホール素子１３を通過する。
【００６７】
磁界Ｂａ、Ｂｄ１、Ｂｄ２は、導通部材１１ａ、１１ｄ１の間において、紙面の裏面から表面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１３は、３方向からの磁界Ｂａ、Ｂｄ１、Ｂｄ２を合算した、紙面の裏面から表面に向かう方向性を有する磁界Ｂ’に応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。
【００６８】
ところで、上述した通り、磁界Ｂと磁界Ｂ’とは逆向きの方向性を有するものである。例えば、磁界Ｂ、Ｂ’が静電気等のノイズの影響を受けており、磁界Ｂ、Ｂ’に応じて縦型ホール素子１２、１３がそれぞれ出力する電気信号にノイズの影響が及んでいたとしても、この電気信号に対して図示しない外部装置で平均化演算を施せば、電気信号に及んだノイズの影響を低減することができる。
【００６９】
したがって、本実施形態における電流センサ５０によれば、周辺機器が発する磁界や地磁気等の外部ノイズの影響を低減することが可能となり、ノイズの影響を受けにくいコアレスの電流センサを実現することができる。
【００７０】
なお、本実施形態における電流センサ５０は、図５（ｂ）に示すように、導通部材１１の断面形状をほぼＳ字とすることで、その占有体積が減少するため、比較的狭いスペースに配置することができる。
【００７１】
（第６の実施形態）
本発明の第６の実施形態における電流センサ６０について、図６（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。図６（ａ）は電流センサ６０の概略斜視図、図６（ｂ）は概略斜視図のヘ−ヘ線における概略断面図である。
【００７２】
本実施形態における電流センサ６０は、図６（ａ）に示すように、導通部材１１と２つの磁電変換素子１２、１３とを備えて構成されている。以下、導通部材１１の各部位に１１ａ〜１１ｃ、１１ｄ１、１１ｄ２の参照番号を付して説明する。
【００７３】
図６（ｂ）に示すように、導通部材１１は、２組の隣接平行部が形成されるようにほぼ矩形状に配置されている。すなわち、導通部材１１ａ１、１１ｂ１で形成される隣接平行部と導通部材１１ａ２、１１ｂ２で形成される隣接平行部とを備えている。導通部材１１ａ１、１１ｂ１の間には磁電変換素子としての縦型ホール素子１２が配置されている。縦型ホール素子１２は、導通部材１１ａ１、１１ｂ１のそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されている。また、導通部材１１ａ２、１１ｂ２の間には磁電変換素子としての縦型ホール素子１３が配置されている。縦型ホール素子１３は、導通部材１１ａ２、１１ｂ２のそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されている。
【００７４】
図６（ｂ）中に直線矢印で示すように、導通部材１１に被測定電流Ｉが導通部材１１ｄ１から導通部材１１ｅ１に向かって流れると、導通部材１１ａ１において、被測定電流Ｉは、紙面の上から下に向かって流れる。また、導通部材１１ｂ１において、被測定電流Ｉは、紙面の下から上に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ１、１１ｂ１において、被測定電流Ｉは反対方向に流れる。また、折曲部を形成する導通部材１１ｃ１において、被測定電流Ｉは紙面に向かって右から左に流れる。すると、導通部材１１ａ１、１１ｂ１、１１ｃ１の周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂａ１、Ｂｂ１、Ｂｃ１が発生する。この時、３方向からの磁界Ｂａ１、Ｂｂ１、Ｂｃ１のそれぞれが、縦型ホール素子１２を通過する。
【００７５】
磁界Ｂａ１、Ｂｂ１、Ｂｃ１は、導通部材１１ａ１、１１ｂ１の間において、それぞれが紙面の表面から裏面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１２は磁界Ｂａ１、Ｂｂ１、Ｂｃ１を合算した、紙面の表面から裏面に向かう方向性を有する磁界Ｂに応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。
【００７６】
続いて、導通部材１１ａ２において、被測定電流Ｉは、紙面の上から下に向かって流れる。また、導通部材１１ｂ２において、被測定電流Ｉは、紙面の下から上に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ２、１１ｂ２において、被測定電流Ｉは反対方向に流れる。また、折曲部を形成する導通部材１１ｃ２において、被測定電流Ｉは紙面に向かって左から右に流れる。この時、３方向からの磁界Ｂａ２、Ｂｂ２、Ｂｃ２のそれぞれが、縦型ホール素子１３を通過する。
【００７７】
磁界Ｂａ２、Ｂｂ２、Ｂｃ２は、導通部材１１ａ２、１１ｂ２の間において、それぞれが紙面の表面から裏面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１２は磁界Ｂａ２、Ｂｂ２、Ｂｃ２を合算した、紙面の表面から裏面に向かう方向性を有する磁界Ｂ’に応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。
【００７８】
したがって、本実施形態における電流センサ６０によれば、磁界を集束するためのコアを配置しなくとも、隣接平行部を形成する導通部材の周囲に発生する磁界に基づいて被測定電流Ｉの電流値を測定することができるコアレスの電流センサを実現することができる。ところで、本実施形態における電流センサ６０によれば、同方向の磁界Ｂ、Ｂ’を検知する２つの縦型ホール素子１２、１３を配置しているので、万が一、一方の縦型ホール素子が故障したとしても、他方の縦型ホール素子がその機能を補うことができる。
【００７９】
（第７の実施形態）
本発明の第７実施形態における電流センサ７０について、図７（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。図７（ａ）は電流センサ７０の概略斜視図、図７（ｂ）はト方向から電流センサ７０を見た概略側面図、図７（ｃ）はチ方向から電流センサ７０を見た概略前面図である。
【００８０】
本実施形態における電流センサ７０は、図７（ａ）に示すように、導通部材１１と２つの磁電変換素子１２、１３とを備えて構成されている。以下、導通部材１１の各部位に１１ａ〜１１ｇの参照番号を付して説明する。
【００８１】
図７（ｂ）に示すように、導通部材１１は２組の隣接平行部が形成されている。すなわち、導通部材１１ａ、１１ｃで形成される隣接平行部と導通部材１１ｄ、１１ｆで形成される隣接平行部とを備えている。導通部材１１ａ、１１ｃの間には磁電変換素子としての縦型ホール素子１２が配置されている。縦型ホール素子１２は、導通部材１１ａ、１１ｃのそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されている。また、導通部材１１ｄ、１１ｆの間には磁電変換素子としての縦型ホール素子１３が配置されている。縦型ホール素子１３は、導通部材１１ｄ、１１ｆのそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されている。隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｃの間隔、及び隣接平行部を形成する導通部材１１ｄ、１１ｆの間隔はともに間隔Ｄである。
【００８２】
図７（ｂ）中に直線矢印で示すように、導通部材１１に被測定電流Ｉが導通部材１１ａから導通部材１１ｇを介して導通部材１１ｆに向かって流れると、導通部材１１ａにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の上から下に向かって流れる。また、導通部材１１ｃにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の下から上に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｃにおいて、被測定電流Ｉは反対方向に流れる。また、折曲部を形成する導通部材１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは紙面に向かって右から左に流れる。すると、導通部材１１ａ〜１１ｃの周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂａ〜Ｂｃが発生する。この時、３方向からの磁界Ｂａ〜Ｂｃのそれぞれが縦型ホール素子１２を通過する。
【００８３】
磁界Ｂａ〜Ｂｃは、導通部材１１ａ、１１ｃの間において、それぞれが紙面の裏面から表面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１２は磁界Ｂａ〜Ｂｃを合算した、紙面の裏面から表面に向かう方向性を有する磁界Ｂに応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。
【００８４】
続いて、導通部材１１ｄにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の上から下に向かって流れる。また、導通部材１１ｆにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の下から上に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ｄ、１１ｆにおいて、被測定電流Ｉは反対方向に流れることとなる。また、折曲部を形成する導通部材１１ｅにおいて、被測定電流Ｉは紙面に向かって左から右に流れる。すると、導通部材１１ｄ〜１１ｆの周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂｄ〜Ｂｆが発生し、これらの磁界Ｂｄ〜Ｂｆのそれぞれが縦型ホール素子１３を通過する。
【００８５】
磁界Ｂｄ〜Ｂｆは、導通部材１１ｄ、１１ｆの間において、紙面の裏面から表面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１３は、３方向からの磁界Ｂｄ〜Ｂｆを合算した、紙面の裏面から表面に向かう方向性を有する磁界Ｂ’に応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。
【００８６】
したがって、本実施形態における電流センサ７０によれば、磁界を集束するためのコアを配置しなくとも、隣接平行部を形成する導通部材の周囲に発生する磁界に基づいて被測定電流Ｉの電流値を測定することができるコアレスの電流センサを実現することができる。ところで、本実施形態における電流センサ７０によれば、同方向の磁界Ｂ、Ｂ’を検知する２つの縦型ホール素子１２、１３を配置しているので、万が一、一方の縦型ホール素子が故障したとしても、他方の縦型ホール素子がその機能を補うことができる。
【００８７】
（第８の実施形態）
本発明の第７実施形態における電流センサ８０について、図８（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。図８（ａ）は電流センサ８０の概略斜視図、図８（ｂ）はチ方向から電流センサ８０を見た概略側面図、図８（ｃ）はリ方向から電流センサ８０を見た概略前面図である。
【００８８】
本実施形態における電流センサ８０は、図８（ａ）に示すように、導通部材１１と２つの磁電変換素子１２、１３とを備えて構成されている。以下、導通部材１１の各部位に１１ａ〜１１ｇの参照番号を付して説明する。
【００８９】
図８（ｂ）に示すように、導通部材１１は２組の隣接平行部が連続して形成されている。すなわち、導通部材１１ａ、１１ｃで形成される隣接平行部と導通部材１１ｄ、１１ｆで形成される隣接平行部とを備えている。導通部材１１ａ、１１ｃの間には磁電変換素子としての縦型ホール素子１２が配置されている。縦型ホール素子１２は、導通部材１１ａ、１１ｃのそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されている。また、導通部材１１ｄ、１１ｆの間には磁電変換素子としての縦型ホール素子１３が配置されている。縦型ホール素子１３は、導通部材１１ｄ、１１ｆのそれぞれからほぼ等しい間隔をあけて配置されている。隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｃの間隔、及び隣接平行部を形成する導通部材１１ｄ、１１ｆの間隔はともに間隔Ｄである。
【００９０】
図８（ｂ）中に直線矢印で示すように、導通部材１１に被測定電流Ｉが導通部材１１ａから導通部材１１ｇを介して導通部材１１ｆに向かって流れると、導通部材１１ａにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の上から下に向かって流れる。また、導通部材１１ｃにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の下から上に向かって流れる。
【００９１】
すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｃにおいて、被測定電流Ｉは反対方向に流れる。また、折曲部を形成する導通部材１１ｂにおいて、被測定電流Ｉは紙面に向かって右から左に流れる。すると、導通部材１１ａ〜１１ｃの周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂａ〜Ｂｃが発生する。この時、３方向からの磁界Ｂａ〜Ｂｃのそれぞれが縦型ホール素子１２を通過する。
【００９２】
磁界Ｂａ〜Ｂｃは、導通部材１１ａ、１１ｃの間において、それぞれが紙面の裏面から表面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１２は磁界Ｂａ〜Ｂｃを合算した、紙面の裏面から表面に向かう方向性を有する磁界Ｂに応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。
【００９３】
続いて、導通部材１１ｄにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の上から下に向かって流れる。また、導通部材１１ｆにおいて、被測定電流Ｉは、紙面の下から上に向かって流れる。すなわち、隣接平行部を形成する導通部材１１ｄ、１１ｆにおいて、被測定電流Ｉは反対方向に流れることとなる。また、折曲部を形成する導通部材１１ｅにおいて、被測定電流Ｉは紙面に向かって右から左に流れる。すると、導通部材１１ｄ〜１１ｆの周囲には被測定電流Ｉに基づく磁界Ｂｄ〜Ｂｆが発生し、これらの磁界Ｂｄ〜Ｂｆのそれぞれが縦型ホール素子１３を通過する。
【００９４】
磁界Ｂｄ〜Ｂｆは、導通部材１１ｄ、１１ｆの間において、紙面の表面から裏面に向かう方向性を有するものであるから、結果として、縦型ホール素子１３は、３方向からの磁界Ｂｄ〜Ｂｆを合算した、紙面の表面から裏面に向かう方向性を有する磁界Ｂ’に応じた電気信号を図示しない外部装置に向けて出力する。
【００９５】
ところで、上述した通り、磁界Ｂと磁界Ｂ’とは逆向きの方向性を有するものである。例えば、磁界Ｂ、Ｂ’が静電気等のノイズの影響を受けており、磁界Ｂ、Ｂ’に応じて縦型ホール素子１２、１３がそれぞれ出力する電気信号にノイズの影響が及んでいたとしても、この電気信号に対して図示しない外部装置で平均化演算を施せば、電気信号に及んだノイズの影響を低減することができる。
【００９６】
したがって、本実施形態における電流センサ８０によれば、周辺機器が発する磁界や地磁気等の外部ノイズの影響を低減することが可能となり、ノイズの影響を受けにくいコアレスの電流センサを実現することができる。
【００９７】
（その他の実施形態）
本発明のその他の実施形態における電流センサ９０について、図９、図１０を用いて説明する。図９（ａ）は電流センサ９０の概略斜視図、図９（ｂ）は概略斜視図のヌ−ヌ線における概略断面図である。
【００９８】
本実施形態における電流センサ９０は、図９（ａ）に示すように、隣接平行部を形成する導通部材１１ａ、１１ｂの間に、例えば、銅やアルミニウムのような非磁性の金属で構成されるシールド材１４を、磁電変換素子としての縦型ホール素子１２を覆うように配置したものである。非磁性の金属をシールド材として用いることで、縦型ホール素子１２を通過する磁界を弱めることなく、静電気等の電気的ノイズから磁電変換素子１２を保護することができる。なお、シールド材１４を接地することで、シールド効果は向上する。
【００９９】
図１０（ａ）は縦型ホール素子１２の一面側にセンサ部１２ｓを避けて集磁板１５を配置した場合の上面図、図１０（ｂ）は縦型ホール素子１２の一面側にセンサ部１２ｓを避けて集磁板１５を配置した場合の断面図である。
【０１００】
縦型ホール素子１２の一面側にセンサ部１２ｓを避けて集磁板１５を配置することで、縦型ホール素子１２の感度を向上させることができる。したがって、本発明のコアレス電流センサにおいて、集磁板１５を配置した縦型ホール素子１２は好適である。
【０１０１】
以上、本発明を実施するための最良の形態について説明したが、本発明は上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、数々の変形実施が可能である。また、本発明のうち従属請求項に係る発明においては、従属先の請求項の構成要件の一部を省略する構成とすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の第１の実施形態における電流センサを示す図である。
【図２】本発明の第２の実施形態における電流センサを示す図である。
【図３】本発明の第３の実施形態における電流センサを示す図である。
【図４】本発明の第４の実施形態における電流センサを示す図である。
【図５】本発明の第５の実施形態における電流センサを示す図である。
【図６】本発明の第６の実施形態における電流センサを示す図である。
【図７】本発明の第７の実施形態における電流センサを示す図である。
【図８】本発明の第８の実施形態における電流センサを示す図である。
【図９】本発明のその他の実施形態における電流センサを示す図である。
【図１０】磁電変換素子の一面側に、集磁板を配置した図である。
【図１１】縦型ホール素子の動作を説明する図である。
【図１２】従来の電流センサを示す図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０，９０，１００・・・電流センサ、１１，５４・・・導通部材、１２，１３，５２・・・磁電変換素子、１２ｓ・・・センサ部、１４・・・シールド材、１５・・・集磁板、５１・・・コア、５３・・・ギャップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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