(57)【要約】【課題】半導体製造装置の稼動時間を簡易に集計するシステムを提供する。新しく製造される半導体製造装置には、課金システムを内蔵する必要があり、旧式の半導体製造装置には、課金システムを新たに追加する必要がある。それらを、解決するシステムを提供する。【解決手段】半導体製造装置自身にではなく、その生産管理システムにプログラムを挿入することによってそれらを解決した。装置ユーザの生産管理装置に書込部を内蔵させ、装置メーカの稼動時間取得装置に呼出部を内蔵させ、公衆通信回線を通じてこれらを結び、中継点として稼動時間集計装置を新たに設ける。【選択図】    図１
2007041661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置の稼動時間集計システムにおいて、
装置ユーザ（１）内に設置された半導体製造装置（１１）の生産管理装置（１３）に書込部（１３１）を内蔵し、
該書込部（１３１）により前記生産管理装置（１３）より前記半導体製造装置（１１）の稼動時間を抽出し、
前記稼動時間を公衆通信回線（３１）を通じて稼動時間集計装置（４）に一時的に記録し、
装置メーカ（２）内に設置された稼動時間取得装置（２１）に呼出部（２１１）を内蔵し、
該呼出部（２１１）により前記稼動時間集計装置（４）に蓄積された前記稼動時間を公衆通信回線（３２）を通じて呼び出すことによって、前記半導体製造装置（１１）の前記稼動時間を前記稼動時間取得装置（２１）に集計することを特徴とした、
半導体製造装置の稼動時間集計システム。
【請求項２】
請求項１において、
前記半導体製造装置（１１）は制御装置（１２）によって制御され、
該制御装置（１２）は前記生産管理装置（１３）によって管理され、
前記稼動時間は、前記生産管理装置（１３）に内蔵した前記書込部（１３１）により前記稼動時間集計装置（４）に前記公衆通信回線（３１）を通じて記録されることを特徴とした、
半導体製造装置の稼動時間集計システム。
【請求項３】
請求項１において、
前記稼動時間集計装置（４）は、
ウエブサーバ（４１）、アプリケーションサーバ（４２）とデータベース部（４３）で構成されることを特徴とする、
半導体製造装置の稼動時間集計システム。
【請求項４】
請求項３において、
前記アプリケーションサーバ（４２）は、前記稼動時間を前記データベース部（４３）に記録する書込みウエブサービス（４２１）と、前記稼動時間を前記データベース部（４３）から読み出す呼出しウェブサービス（４２２）とで構成されることを特徴とする、
半導体製造装置の稼動時間集計システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置の稼動時間集計システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造を行う半導体製造メーカ（以下、「装置ユーザ」という）は、半導体デバイスを製造するための製造装置を半導体製造装置メーカ（以下、「装置メーカ」という）から購入し、この装置を使用して半導体デバイスの製造を行う。この場合装置ユーザは購入すべき装置の仕様書を装置メーカに提示し、この仕様に適合した装置を製作依頼するのが一般的である。
【０００３】
また、汎用装置の場合には装置メーカが予め定めた仕様に基づく装置が用意されているため、装置ユーザはこの装置を単に購入するだけでよい。
装置メーカは装置１台あたりの価格で販売するが、この販売価格は装置本体の価格に加え、装置納入後の立ち上げ調整費および所定期間の保証費などが含まれている。装置が装置メーカから装置ユーザに納入され、所定の検収が終了した時点で装置の所有権が顧客である装置ユーザに移管される。
【０００４】
通常、半導体デバイスの製造は前処理工程と後処理工程とに大きく２分されており、前処理工程では大型の高価格な装置を使用することが多い。このような高価格な前処理用の装置であっても、装置ユーザはこの装置を装置メーカから購入するのが一般的である。
【０００５】
しかし、このような従来の装置購入とその稼動では顧客である装置ユーザのキャッシュフロー上の負担が大きかった。すなわち半導体製造装置の設備投資のための金額が高額であるため、資金繰りがしばしば困難になるという問題があった。またこのような製造装置はすべて固定費として処理されるため、固定費負担が増大するという問題もある。また一定期間の減価償却費はその装置の稼動による生産量に関係なく発生し、安定した利益を確保することが困難になるという問題もあった。
【０００６】
これらの種々の問題点を解決するために、装置メーカと装置ユーザの利害が一致する半導体製造装置の稼動課金方法として、
【特許文献１】特開２００２−１１７３３６号が提案されている。
【０００７】
この提案では、半導体製造装置の稼動課金方法は、顧客の仕様に適合した半導体製造装置を貸出し、前記顧客が稼動させた前記半導体製造装置の稼動量に応じて課金を行うものである。また本提案は、顧客が稼動させた半導体製造装置の保守費用を、前記半導体装置の稼動量に応じて課金するものである。
【０００８】
別の提案として、半導体製造装置の導入時のイニシャルコストを低減する方法として、
【特許文献２】特開２００２−７５８２０号がある。
【０００９】
この提案は、いわゆる数量制のように装置の使用状況に従って課金する方法である。これによって、導入時のイニシャルコストの低減と同時に導入後のユーザサポート品質の向上が図れる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明で解決しようとする課題は、装置ユーザが使用する半導体製造装置の稼働時間を装置メーカが簡単に集計することにある。
したがって、課金（量）は、その結果として簡単に把握できるものである。
装置ユーザが半導体製造装置を導入する際のイニシャルコストの低減を図る点では、前記提案である特開２００２−１１７３３６号並びに特開２００２−７５８２０号と同じである。
しかし、その解決方法において相違し、従って、効果も大である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明において、課題の解決するための手段は、以下の通りである。
半導体製造装置の稼動時間集計システムにおいて、
装置ユーザ内に設置された半導体製造装置の生産管理装置に書込部を内蔵し、
該書込部により前記生産管理装置より前記半導体製造装置の稼動時間を抽出し、
前記稼動時間を公衆通信回線を通じて稼動時間集計装置に一時的に記録し、
装置メーカ内に設置された稼動時間取得装置に呼出部を内蔵し、
該呼出部により前記稼動時間集計装置に蓄積された前記稼動時間を公衆通信回線を通じて呼び出すことによって、前記半導体製造装置の前記稼動時間を前記稼動時間取得装置に集計することを特徴とした、
半導体製造装置の稼動時間集計システム、
である。
【００１２】
つまり、本解決方法は、装置ユーザの生産管理装置に書込部を内蔵（実際には、簡単なプログラムを付加）し、装置メーカの稼動時間取得装置には呼出部を内蔵し、これらを公衆通信回線で接続し、その間に稼動時間集計装置（中継点）を設けて、半導体製造装置の稼働時間を集計する点、にある。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の半導体製造装置の稼動時間集計システムによると、次のような効果が期待できる。
その１
半導体製造装置内もしくその周辺に課金を行うシステムを組み込む必要がないため、その分の膨大な追加ソフトウエア開発を必要としない。結果として、装置メーカは装置ユーザに安価な半導体製造装置を提供することができる。
その２
課金を行うことを前提としていない、従来からある、いわゆる旧式の半導体製造装置の稼動時間を集計し、その結果として課金量を算定することが可能である。
その３
複数の装置ユーザ（複数の半導体製造装置を含む）と複数の装置メーカの稼動時間（課金量）取得ニーズに容易に対応することができるし、契約内容などの変更にも迅速に対応できる。
その４
装置メーカから装置ユーザへの半導体製造装置の提供として、売り切り、レンタル、リースがあるが、それぞれに対応できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明者は、従来技術とその問題点を詳細に検討した結果、以下の経緯により本発明を完成するに至った。
【実施例１】
【００１５】
＜半導体製造装置の稼動時間集計システム＞
図１は、半導体製造装置の稼動時間集計システムを示す機能図である。
装置ユーザ１内に設置された半導体製造装置１１（例、Nikon NSR-S308F：株式会社ニコン社製のステッパ）は、制御装置１２（例、CELLBrain300：横河電機株式会社製の制御ソフトを搭載）にて制御され、該制御装置１２は生産管理装置１３（例、CIMIVision-semi：横河電機株式意会社製の生産管理システム）で管理されている。
書込部１３１は、前記生産管理装置１３に簡易なプログラム（後述）を内蔵したものである。該書込部１３１は、書込みウエブサービス４２１(Web Service)を用いて、工程管理情報から前記稼動時間をデータベース部４３に記録するウエブサービスのクライアント(client)として働く。
【００１６】
稼動時間集計装置４は、ウエブサーバ４１（Web Server 例、Apache）、アプリケーションサーバ４２（Application Server 例、Tomcat+Struts+Axis）とデータベース部４３（例、MySQL）、とで構成される。書込みウエブサービス４２１(Web Service)により、前記稼動時間は、前記データベース部４３に書込まれる。呼出しウエブサービス４２２(Web Service)は、前記データベース部４３より、前記稼動時間を呼び出す。
装置メーカ２内に設置された稼動時間取得装置２１は、ERP（Enterprise Resource Planning）である。
【非特許文献１】岡本茂監修、「最新パソコン用語辞典」（２００５−‘０６年版）株式会社技術評論社出版、平成１６年１１月１日、第１６版、第１刷発行、Ｐ．１２８．前記「最新パソコン用語辞典」によると、ＥＲＰは“企業、もしくは顧客などをも含む企業間システム。これらを実現する、企業情報システムを提供するソフトウエアをＥＲＰパッケージという。特に知られたＥＲＰパッケージとしては、ドイツのＳＡＰ社の「Ｒ／３」や、米国オラクル社の「Oracle Applications」、日本のオービックビジネスコンサルタントの「奉行新ＥＲＰ」などが知られている。”と、定義している。以下、本件出願で使用する用語は、断りが無い限り、本書を参考としている。呼出部２１１は、前記稼動時間取得装置２１に簡易なプログラム（後述）を内蔵したものである。該呼出部２１１は、呼出しウエブサービス４２２(Web Service)のクライアント(Client)として働く。＜フローチャート＞
【００１７】
図２は、本発明のフローチャートである。
ステップ１：
半導体製造装置１１が稼動する。
ステップ２：
前記半導体製造装置１１の動いた稼動時間が、制御装置１２により生産管理装置１３に送信される。
ステップ３：
前記稼動時間が前記生産管理装置１３に記録される。
ステップ４：
前記稼動時間は、書込部１３１によって公衆通信回線３１を経由して稼動時間集計装置４に送信される。
ステップ５：
前記稼動時間集計装置４は、ウエブサーバ４１とアプリケーションサーバ４２により前記稼動時間をデータベース部４３に記録する。
ステップ６：
稼動時間取得装置２１は、呼出部２１１により、公衆通信回線３２を経由して前記稼動時間集計装置４より前記稼動時間を呼び出す。
ステップ７
前記半導体製造装置１１の前記稼動時間は、前記稼動時間取得装置２１に記録される。
＜書込部１３１＞
【００１８】
図３は、前記書込部１３１と書込みウエブサービス４２１（Web Service）との関係を示したものである。
該書込部１３１の具体的なプログラムは以下の通りとなる。
○setUserID(鄭1000  ;
装置ユーザ１のIDを稼動時間集計装置４の書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、ＩＤは「Ａ１０００」になる。
○setPassword(殿bcdef  ;
装置ユーザ１のIDに対応したパスワードを前記書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、パスワードは「ａｂｃｄｅｆ」になる。
○setPN(  000  ;
半導体製造装置１１の型式番号を前記書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、型式番号は「１０００」になる。
○result = setUsedTime(100);
前記半導体製造装置１１の稼動時間を前記書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、稼働時間は「１００」時間となる。また、書込みに成功・失敗した場合は、その旨を示す値（成功時：１、失敗時：０）が前記呼出しウエブサービス４２１から送信される。
＜書込みウエブサービス４２１＞
【００１９】
図３の書込みウエブサービス（Web Service）の具体的プログラムの働きは以下の通りとなる。
○public setUserID(id As String)
前記書込部１３１から装置ユーザ１のIDを稼動時間集計装置４に記録するための書込みウエブサービス４２１を提供するプログラム部である。
○public setPassword(pass As String)
前記書込部１３１から装置ユーザ１のIDに対応したパスワードを稼動時間集計装置４に記録するための書込みウエブサービス４２１を提供するプログラム部である。
○public setPN(pn As String)
前記書込部１３１から半導体製造装置１１の型式番号を稼動時間集計装置４に記録するための書込みウエブサービス４２１を提供するプログラム部である。
○public setUsedTime(ut As Integer) As Boolean
前記書込部１３１から前記半導体製造装置１１の稼動時間を稼動時間集計装置４に記録するための書込みウエブサービス４２１を提供するプログラム部である。書込みに成功・失敗した場合は、その旨を示す値（成功時：１、失敗時：０）が前記書込部１３１に送信される。
＜呼出し部２１１＞
【００２０】
図４は、前記呼出し部２１１と呼出しウエブサービス４２２（Web Service）との関係を示したものである。
該呼出し部２１１の具体的なプログラムは以下の通りとなる。
○setMakerID(溺9999  ;
装置メーカ２のIDを前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）に送信する。この場合だと、IDは「Ｍ９９９９」となる。
○setPassword(塗igklm  ;
前記装置メーカ２のIDに対応したパスワードを前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）に送信する。この場合だと、パスワードは「ｈｉｇｋｌｍ」となる。
○setUserID("A1000");
装置ユーザ１のIDを稼動時間集計装置４の前記呼出しウエブサービス４２２に送信する。この場合だと、ＩＤは「Ａ１０００」となる。
○setPN(  000  ;
半導体製造装置１１の型式番号を前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）に送信する。この場合だと、型式番号は「１０００」となる。
○usedtime = getUsedTime();
前記半導体製造装置１１の型式番号と装置ユーザ１のIDに対応した稼働時間を取得している。この場合だと、前記稼動時間「１００」が前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）から送信されてくる。ただし、呼び出しに失敗した場合は、「−１」が送信されてくる。
＜呼出しウエブサービス４２２＞
【００２１】
図４の呼出しウエブサービス（Web Service）の具体的プログラムの働きは以下の通りとなる。
○public setMakerID(id As String)
前記呼出し部２１１から装置メーカ２のIDを稼動時間集計装置４に記録するための呼出しウエブサービス４２２を提供するプログラム部である。
○public setPassword(pass As String)
前記装置メーカ２のIDに対応したパスワードを稼動時間集計装置４に記録するための呼出しウエブサービス４２２を提供するプログラム部である。
○public setUserID(id As String)
前記呼出し部２１１から装置ユーザ１のIDを稼動時間集計装置４に記録するための呼出しウエブサービス４２２を提供するプログラム部である。
○public setPN(pn As String)
前記呼出し部２１１から型式番号を稼動時間集計装置４に記録するための書込み呼出しウエブサービス４２２を提供するプログラム部である。
○public getUsedTime() As Integer
前記呼出し部２１１から前記半導体製造装置１１の型式番号と装置ユーザ１のIDに対応した前記稼働時間を稼動時間集計装置４に記録するための呼出しウエブサービス４２２を提供するプログラム部である。呼出しに失敗した場合は、「−１」が前記呼出し部２１１に送信される。
【実施例２】
【００２２】
実施例１では、半導体製造装置１１が１台の場合について説明を行ったが、本件発明は図５に示すように、半導体製造装置１１、１１２が複数稼動（異種の半導体製造装置の稼動を含む）する場合も対応が可能である。
制御装置１２２については、制御装置１２を兼用することも可能であるが、生産管理装置１３については、１台で対応できる。
その余の事項は、実施例１と同じ。
【実施例３】
【００２３】
実施例１では、装置ユーザ１が１つについて説明を行ったが、複数の装置ユーザが複数の半導体製造装置を稼動する場合も対応が可能である。図６参照。
別の装置ユーザ１−２は、半導体製造装置１１−２を、制御装置１２−２で制御し、生産管理装置１３−２で管理を行う。書込部１３１−２は、該生産管理装置１３−２に内蔵する。
該生産管理装置１３−２は、前記公衆通信回線３１を通じて前記稼動時間集計装置４につながっている。
その余の事項は、実施例１と同じ。
【実施例４】
【００２４】
実施例１では、装置メーカ２が１つについて説明を行ったが、複数の装置メーカが存在する場合にも対応できる。
別の装置メーカ２−２は、呼出部２２１−２を稼動時間取得装置２１−２に内蔵し、前記公衆通信回線３２を通じて前記稼動時間集計装置４につながっている。
その余の事項は、実施例１と同じ。
【実施例５】
【００２５】
実施例１では、半導体製造装置１１の稼動時間を取得する方法について、本件発明を行った。
半導体製造装置１１の稼動状況を把握する方法としては、その他、ウエーハ枚数を取得する手段もある。
あるいは、稼動時間とウエーハの枚数の両方のデータを取得することも可能である。
その余の事項は、実施例１と同じ。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の半導体製造装置の稼動時間集計システムを示す図である。
【図２】本発明のフローチャートである。
【図３】本発明の書込部と書込みウエブサービスとの関係を示したものである。
【図４】本発明の呼出部と呼出しウエブサービスとの関係を示したものである。
【図５】本発明の半導体製造装置が複数存在する場合を示したものである。
【図６】本発明の装置ユーザが複数存在する場合を示したものである。
【図７】本発明の装置メーカが複数存在する場合を示したものである。
【符号の説明】
【００２７】
１  装置ユーザ
１１  半導体製造装置
１２  制御装置
１３  生産管理装置
１３１  書込部
２  装置メーカ
２１  稼動時間取得装置
２１１  呼出部
３１、３２  公衆通信回線
４  稼動時間集計装置
４１  ウエブサーバ
４２  アプリケーションサーバ
４２１  書込みウエブサービス
４２２  呼出しウエブサービス
４３  データベース部
【図１】
2007041661.tif 000003
【図２】
2007041661.tif 000004
【図３】
2007041661.tif 000005
【図４】
2007041661.tif 000006
【図５】
2007041661.tif 000007
【図６】
2007041661.tif 000008
【図７】
2007041661.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月9日(2005.8.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図３は、前記書込部１３１と書込みウエブサービス４２１（Web Service）との関係を示したものである。
該書込部１３１の具体的なプログラムは以下の通りとなる。
○setUserID("A1000")
装置ユーザ１のIDを稼動時間集計装置４の書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、ＩＤは「Ａ１０００」になる。
○setPassword("abcdef")
装置ユーザ１のIDに対応したパスワードを前記書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、パスワードは「ａｂｃｄｅｆ」になる。
○setPN("1000")
半導体製造装置１１の型式番号を前記書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、型式番号は「１０００」になる。
○result = setUsedTime(100)
前記半導体製造装置１１の稼動時間を前記書込みウエブサービス４２１に送信する。この場合だと、稼働時間は「１００」時間となる。また、書込みに成功・失敗した場合は、その旨を示す値（成功時：１、失敗時：０）が前記呼出しウエブサービス４２１から送信される。
＜書込みウエブサービス４２１＞
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図４は、前記呼出し部２１１と呼出しウエブサービス４２２（Web Service）との関係を示したものである。
該呼出し部２１１の具体的なプログラムは以下の通りとなる。
○setMakerID("M9999")
装置メーカ２のIDを前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）に送信する。この場合だと、IDは「Ｍ９９９９」となる。
○setPassword("higklm")
前記装置メーカ２のIDに対応したパスワードを前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）に送信する。この場合だと、パスワードは「ｈｉｇｋｌｍ」となる。
○setUserID("A1000")
装置ユーザ１のIDを稼動時間集計装置４の前記呼出しウエブサービス４２２に送信する。この場合だと、ＩＤは「Ａ１０００」となる。
○setPN("1000")
半導体製造装置１１の型式番号を前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）に送信する。この場合だと、型式番号は「１０００」となる。
○usedtime = getUsedTime()
前記半導体製造装置１１の型式番号と装置ユーザ１のIDに対応した稼働時間を取得している。この場合だと、前記稼動時間「１００」が前記呼出しウエブサービス４２２（Web Service）から送信されてくる。ただし、呼び出しに失敗した場合は、「−１」が送信されてくる。
＜呼出しウエブサービス４２２＞