(57)【要約】【課題】多変量データを自動処理するに際し、その処理経過を人間の目で見て理解しやすく、その処理内容の正誤判定を短時間で容易に行うことができるようにする。【解決手段】測定手段を用いて、製品の製造工程の動作条件のデータおよび製品の特性を表す項目のデータを時系列に取得し、設定された処理条件に基づいて、制御手段により、取得されたデータに対して所定の加工処理を施し、この処理過程を記録し、加工処理後、記録した処理過程のデータをグラフ表示にて再生表示する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定手段を用いて時系列に収集された、製品の製造工程の動作条件のデータおよび前記製品の特性を表す項目のデータを取得するデータ収集部と、
取得した前記データをグラフ表示する画面表示部と、
入力手段を用いて設定された処理条件に基づいて、前記データ収集部によって取得されてグラフ表示された前記データに対して、制御手段により、所定の加工処理を施すデータ処理部と、
前記加工処理の、処理前、処理中及び処理後のデータを含む処理過程を記録するデータ保管部と、を備え、
前記加工処理は、前記データのグラフ表示から、前記処理条件に基づいて指定された表示領域に含まれる異常データを検出して削除し、この異常データの削除後のデータを用いて統計処理を行う処理であり、
前記画像表示部は、前記データ保管部に記録された前記処理過程のデータを、前記加工処理の処理過程の再現のために、前記加工処理後にグラフ表示により再生表示することを特徴とするデータ処理装置。
【請求項２】
前記データは、スプレッドシートに登録されたデータであり、
前記データのグラフ表示から前記異常データが検出されるとき、前記スプレッドシートの登録されたデータから前記異常データに対応するデータが削除される請求項１に記載のデータ処理装置。
【請求項３】
測定手段を用いて時系列に収集された、製品の製造工程の動作条件のデータおよび前記製品の特性を表す項目のデータを取得する工程と、
取得した前記データをグラフ表示する工程と、
入力手段を用いて設定された処理条件に基づいて、取得されてグラフ表示された前記データに対して、制御手段により所定の加工処理を施す工程と、
前記加工処理の、処理前、処理中及び処理後のデータを含む処理過程を記憶手段に記録する工程と、
記憶手段に記録された前記処理過程のデータを、前記加工処理の処理過程の再現のために、前記加工処理後にグラフ表示により再生表示する工程と、を含み、
前記加工処理は、前記データのグラフ表示から、前記処理条件に基づいて指定された領域に含まれる異常データを検出して削除し、この異常データの削除後のデータを用いて統計処理を行う処理であることことを特徴とするデータ処理方法。
【請求項４】
前記データは、スプレッドシートに登録されたデータであり、
前記データのグラフ表示から前記異常データが検出されるとき、前記スプレッドシートの登録されたデータから前記異常データに対応するデータが削除される請求項３に記載のデータ処理方法。
【請求項５】
請求項３に記載の各工程を、コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項６】
前記統計処理は、基本統計量の算出、相関分析、多変量解析の内のいずれかの処理を含む請求項５に記載のプログラム。
【請求項７】
前記処理条件は、あらかじめ前記処理条件が設定されたファイルから読み込んだものである請求項５又は６に記載のプログラム。
【請求項８】
前記処理対象となる所定の領域は複数の領域である請求項５〜７のいずれかに記載のプログラム。
【請求項９】
前記処理前、処理中及び処理後のデータを、数値データ形式、表形式、グラフ形式、画像形式、ビデオ形式のファイルを含む、前記処理条件で指定される所定フォーマットのファイルとしてコンピュータに保存させる請求項５〜８のいずれかに記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品の特性を表す項目（特性項目）等のデータを加工処理して解析するに際し、そのデータの処理過程を記録するデータ処理装置および処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
製品は、製造中あるいは製造後の製品の特性を表す多数の項目、例えば製品製造時の温度や、製品の重量、サイズ等の特性項目に基づいて評価される。この特性のバラツキの大部分は、多数の作業工程を経て製造される製品であってもいくつかの重要な作業工程に起因している場合が多い。従って、そのバラツキを発生させる工程を見つけ出し、その中からバラツキへの寄与率の高い加工要因をピックアップすることが重要である。
【０００３】
このような場合、各作業工程での製品の状態を時系列の数値データで取得し、その多変量のデータを解析することが行われている。しかし、数値データを基に種々の加工処理を行っても、膨大なデータの中から重要な因果関係を導き出すには多大なマンアワーを必要とするので、この膨大なデータを自動で処理できるのが好ましい。従って、従来より、このような膨大なデータを自動処理して、その因果関係を導き出すデータ処理装置が使用されている。
【０００４】
しかし、多数の要因が複雑に絡み合う場合は、データの機械的な自動処理では誤った結論を得ることが多い。例えば、ニューラルネットワーク等で対応しようとしても、要因間の関係が的確に把握できていなければ信頼性の面で使用を見送らざるを得ない場合もある。すなわち、製造工程に新しい制御を導入する場合など、その基になる要因解析は、たとえ機械が全て自動で行ったとしても最終的には人間が追跡確認する必要がある。
【０００５】
ところが、従来のデータ処理装置では、製品の特性を表す項目のデータに対して自動で所定の加工処理を行い、その処理結果のみを記録するため、言い換えると、その処理過程、すなわち処理前、処理中、処理後の数値データや、それを視覚的にグラフ化したデータ等を記録保存することはされていなかったので、人間が自動処理の結果を正誤判断するのに長時間を必要とし、その結果、正誤判断を誤る危険性もあるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、前記従来技術に基づく問題点を解消し、多変量データを自動処理するに際し、その処理経過を人間の目で見て理解しやすく、その処理内容の正誤判定を短時間で容易に行うことができるデータ処理装置および処理方法及びこの処理方法をコンピュータに実行させるプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、測定手段を用いて時系列に収集された、製品の製造工程の動作条件のデータおよび前記製品の特性を表す項目のデータを取得するデータ収集部と、取得した前記データをグラフ表示する画面表示部と、入力手段を用いて設定された処理条件に基づいて、前記データ収集部によって取得されてグラフ表示された前記データに対して、制御手段により、所定の加工処理を施すデータ処理部と、前記加工処理の、処理前、処理中及び処理後のデータを含む処理過程を記録するデータ保管部と、を備え、
前記加工処理は、前記データのグラフ表示から、前記処理条件に基づいて指定された表示領域に含まれる異常データを検出して削除し、この異常データの削除後のデータを用いて統計処理を行う処理であり、前記画像表示部は、前記データ保管部に記録された前記処理過程のデータを、前記加工処理の処理過程の再現のために、前記加工処理後にグラフ表示により再生表示することを特徴とするデータ処理装置を提供する。
【０００８】
その際、前記データは、スプレッドシートに登録されたデータであり、前記データのグラフ表示から前記異常データが検出されるとき、前記スプレッドシートの登録されたデータから前記異常データに対応するデータが削除されることが好ましい。
【０００９】
さらに、本発明は、測定手段を用いて時系列に収集された、製品の製造工程の動作条件のデータおよび前記製品の特性を表す項目のデータを取得する工程と、取得した前記データをグラフ表示する工程と、入力手段を用いて設定された処理条件に基づいて、取得されてグラフ表示された前記データに対して、制御手段により所定の加工処理を施す工程と、
前記加工処理の、処理前、処理中及び処理後のデータを含む処理過程を記憶手段に記録する工程と、記憶手段に記録された前記処理過程のデータを、前記加工処理の処理過程の再現のために、前記加工処理後にグラフ表示により再生表示する工程と、を含み、前記加工処理は、前記データのグラフ表示から、前記処理条件に基づいて指定された領域に含まれる異常データを検出して削除し、この異常データの削除後のデータを用いて統計処理を行う処理であることことを特徴とするデータ処理方法を提供する。
【００１０】
その際、前記データは、スプレッドシートに登録されたデータであり、前記データのグラフ表示から前記異常データが検出されるとき、前記スプレッドシートの登録されたデータから前記異常データに対応するデータが削除されることが好ましい。
【００１１】
さらに、本発明は、前記データ処理方法における各工程を、コンピュータに実行させることを特徴とするプログラムを提供する。
【００１２】
その際、前記統計処理は、基本統計量の算出、相関分析、多変量解析の内のいずれかの処理を含むことが好ましい。
前記処理条件は、あらかじめ前記処理条件が設定されたファイルから読み込んだものであることが好ましい。
前記処理対象となる所定の領域は、例えば複数の領域であってもよい。
前記処理前、処理中及び処理後のデータを、数値データ形式、表形式、グラフ形式、画像形式、ビデオ形式のファイルを含む、前記処理条件で指定される所定フォーマットのファイルとしてコンピュータに保存させることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、測定手段を用いて、製品の製造工程の動作条件のデータおよび製品の特性を表す項目のデータを時系列に取得し、入力手段を用いて設定された処理条件に基づいて、制御手段により、取得されたデータに対して所定の加工処理を施し、この処理過程を記憶手段に記録するようにしたものである。これにより、本発明によれば、製造工程の動作解析等のように、多変量のデータを解析するに際し、自動処理するので、人手が不要で高速処理が可能であるのはもちろん、処理後に人間によって、その処理過程をグラフや画像ファイルで視覚的に確認しながら簡単に検証することができるので、解析の正確さや解析効率を大幅に向上させることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、添付の図面に示す好適実施例に基づいて、本発明のデータ処理装置、データ処理方法及びこの方法をコンピュータに実行させるプログラムを詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明のデータ処理装置の一実施例の構成概念図である。
本発明のデータ処理装置１０は、本発明のデータ処理方法に従って、製品の製造工程の動作条件および製品の特性を表す項目等のデータを収集し、収集したデータに対して所定の加工処理を施し、その処理過程を記録するもので、同図に示すように、データ収集部１２と、データ処理部１４と、データ保管部１６とを備えている。
【００１６】
図示例のデータ処理装置１０において、まず、データ収集部１２は、例えば各種のセンサや測定装置等の測定手段１８を用いて、製品の製造工程の動作条件のデータおよび製品の特性を表す項目（以下、特性項目という）のデータを時系列に取得する部位である。なお、データを時系列に取得する期間は何ら制限はなく、例えば１ロット単位、１日単位、１週間単位、１ヶ月単位、１年単位というように、必要な期間のデータを取得すればよい。
【００１７】
ここで、製品の製造工程の動作条件とは、例えば製品を搬送するベルトコンベアの移動速度、各種モータの回転速度等のように、製品の製造工程における製造装置の各部位の動作条件（動作状況）である。また、製品の特性項目とは、例えば製品の温度、重量、長さ等のように、製品の特性を表す項目である。なお、製品の製造工程の動作条件、製品の特性項目共に、例示した項目以外の各種の項目を含んでいてもよいことは言うまでもない。
【００１８】
続いて、データ処理部１４は、本データ処理装置１０の使用者により、例えばキーボードやマウス等の入力手段２０を用いて設定された処理条件に基づいて、データ収集部１２によって取得されたデータに対して、例えばＣＰＵ（中央演算装置）等の制御手段２２により所定の加工処理を施す部位である。このデータ処理部１４による処理過程は、例えばＣＲＴ（ブラウン管表示装置）やＬＣＤ（液晶ディスプレイ）等の表示手段２４上に表示される。
【００１９】
ここで、加工処理は、例えば異常データ（異常値、外れ値等）等を削除したり、各種の統計処理を行うことを含む。また、統計処理は、基本統計量（平均、σ（標準偏差）、Ｒ（相関係数）、ｍｉｎ（最小）、ｍａｘ（最大）、ヒストグラム等）の算出、相関分析、多変量解析等の各種の処理を含む。なお、加工処理や統計処理として、例示した項目以外の各種の項目を含んでいてもよいことは言うまでもない。
【００２０】
また、前述の処理条件は、例えば製造工程の区分の設定（例えば、サイズ毎、１ロット単位、１ロット中の前半／後半あるいは作業ステップ毎等）、ロットの開始を示す信号の設定、異常データの算出方法の設定（例えば、３σを超える範囲のデータを異常データと見なす等）、加工処理の設定（例えば、削除、統計処理の内容等）等を含む。同様に、処理条件として、例示した項目以外の各種の項目を含んでいてもよいことは言うまでもない。
【００２１】
最後に、データ保管部１６は、データ処理部１４による処理過程を、例えばハードディスク等の記憶手段２６に記録する部位である。言い換えると、データ保管部１６では、データ処理部１４による処理過程、すなわち処理前、処理中、処理後（処理結果）のデータが、例えば数値データ形式、表形式、グラフ形式、画像形式、ビデオ形式等のファイルのように、処理条件で指定される任意の所定フォーマットのファイルとして保存される。
【００２２】
ここで、データ処理部１４による処理過程は、前述のように、データ処理部１４による加工処理、例えば異常データの削除や、各種の統計処理を行う際の処理過程を含む。なお、処理過程として、例示した項目以外の各種の項目を含んでいてもよいことは言うまでもない。また、保存されるファイルは、例えば日別、サイズ別、作業ステップ別に、かつ解析順序別に区分して記録され、処理後の任意の時に利用（参照）可能である。
【００２３】
以下、本発明のデータ処理装置１０の動作と共に、本発明のデータ処理方法について説明する。
【００２４】
本発明のデータ処理装置１０では、本発明のデータ処理方法に従い、まず、データ収集部１２において、測定手段１８により、製品の製造工程の動作条件および製品の特性項目のデータが時系列に収集される。また、本データ処理装置１０の使用者により、入力手段２０を用いて、データ収集部１２によって取得されたデータに対する処理条件が設定される。なお、処理条件は、データ処理部１４による加工処理が行われる前であれば、どの時点で設定してもよい。
【００２５】
続いて、データ処理部１４において、制御手段２２により、前述の処理条件に基づき、データ収集部１２によって取得されたデータに対して、例えば異常データの削除、各種の統計処理等の所定の加工処理が施され、その処理過程が表示手段２４上に表示される。また、データ保管部１６により、データ処理部１４による処理過程、すなわち、処理前、処理中、処理後のデータが、例えば表、グラフ、画像、ビデオ等の所定形式のファイルとして記憶手段２６に記録される。
【００２６】
なお、データ収集部１２によるデータの収集が完全に終了した後に、データ処理部１４によるデータ処理を開始してもよいし、あるいはデータを収集しながら逐次データ処理を行うようにしてもよい。また、データ処理部１４によるデータ処理が完全に終了した後に、データ保管部１６による処理過程の記録を開始してもよいし、あるいはデータを処理しながら逐次その処理過程を記録するようにしてもよい。
【００２７】
前述のデータ処理装置１０の動作は、インタラクティブに、あるいはバッチ処理により自動的に行うことも可能である。ここでは、測定手段１８を用いて直接データを時系列に収集し、入力手段２０を用いて直接処理条件を設定しているが、測定手段１８を用いてあらかじめ収集したデータが記録されたファイルからデータを読み込んだり、入力手段２０を用いてあらかじめ処理条件が設定されたファイルから処理条件を読み込むようにしてもよい。
【００２８】
以下、コンピュータ上で動作するソフトウェアプログラムによってデータ処理部１４を実現した場合を例に挙げて、図２〜６の表示画面を参照しながら、より具体的に説明する。なお、以下の例では、加工処理として、スプレッドシートに登録されたデータに対して、本データ処理装置１０の使用者によって設定された領域に含まれるデータから異常データを削除した後、統計処理の一例として相関分析を行うものとする。
【００２９】
データ処理部１４を実現するソフトウェアは、本データ処理装置１０の使用者によって設定された処理条件に従って、スプレッドシートに登録されている所定領域のデータを自動的に加工処理し、このスプレッドシートに登録されているデータに対応する表やグラフ等を表示するもので、前述の入力手段２０、制御手段２２、表示手段２４、記憶手段２６等を備えるコンピュータ上で動作するものである。
【００３０】
ここで、スプレッドシートは表計算ソフトとも呼ばれ、表形式で数字、文字、計算式等のデータを登録してデータベース化する機能の他、登録されたデータに対して各種の加工処理を施す機能、登録されたデータに基づき各種のグラフを作成して表示する機能等を備えている。このスプレッドシートを利用すれば、登録されたデータをグラフとして表示し、データを視覚的に確認することができるので、例えばデータの解析等の分野で一般的に利用されている。
【００３１】
本発明のデータ処理部１４を実現するソフトウェア（以下、単にソフトウェアとか本発明に係るソフトウェアという）において、本実施例では、まず、このソフトウェアの使用者によって設定され、スプレッドシートに登録されている複数の特性項目の中から選択された任意の特性項目を含むグラフが、この選択された特性項目のデータに基づいて（リンクして）、コンピュータの表示手段２４の画面上に自動的に表示される。
【００３２】
ここで、特性項目やグラフは、本データ処理装置１０の使用者によって自由に設定可能である。例えば、特性項目は、任意の特性項目を１つ以上、同時に複数選択可能とし、グラフも、任意の種類のグラフを１つ以上、同時に複数表示可能とするのが好ましい。また、特性項目やグラフの表示サイズも任意に設定可能とし、同時に２つ以上のグラフを表示する場合、その表示順序も指定可能とするのが好ましい。
【００３３】
なお、特性項目の選択は必須事項ではなく、例えば特性項目を選択しない場合には、スプレッドシートに登録されている全ての特性項目が選択されるように設定することもできる。また、表示するグラフの個数やその表示サイズ、さらにこれら以外の他の設定項目についても、本データ処理装置１０の使用者による設定が省略された場合には、その省略時のデフォルト値が使用されるように設定されているのが好ましい。
【００３４】
図２は、本発明に係る表示画面の一実施例の概略図であって、スプレッドシートに登録されているデータに基づいて、ＴＲＥＡＤＬ，ＣＵＴＬという２つの特性項目を含む第１のグラフが画面上部に、また、ＡＴＭＴ，ＡＴＭＣＯＯＬＴ，ＴＲＥＡＤＴ，ＣＯＯＬＴ，ＣＴＥＭＰ，ＳＴＶという６つの特性項目を含む第２のグラフが画面下部に表示されている。すなわち、スプレッドシートには、少なくとも図２のグラフに示す８つの特性項目のデータが登録されている。
【００３５】
ここで、図２に示すグラフに表示されているＴＲＥＡＤＬ，ＣＵＴＬ，ＡＴＭＴ，…の各特性項目は、例えば温度、重量、長さ等のように、製造時の各工程での製品の状態を時系列に自動で収集したデータである。図２に示す第１および第２のグラフの横軸は、スプレッドシートのデータＮＯ．（番号）を表す。また、第１および第２のグラフの縦軸は、スプレッドシートに登録されているＴＲＥＡＤＬ，ＣＵＴＬ，ＡＴＭＴ，…のデータの値を表す。
【００３６】
なお、スプレッドシートに登録される特性項目の個数や、各々の特性項目に含まれるデータの個数も何ら制限はない。したがって、スプレッドシートには、本データ処理装置１０の使用者によって設定（選択）されていない上記以外の他の複数の特性項目が含まれていてもよい。
【００３７】
また、スプレッドシートに登録されるデータは、実数あるいは基準化された数値のいずれであってもよく、随時、スプレッドシート上でもグラフ上でも、どちらのデータにも自由に選択できるようにするのが好ましい。基準化された数値としては、例えば３σ／平均値、（測定値−平均値）／σ（σは標準偏差）等を例示することができるが、これ以外の標準化の規則にしたがったデータを自由に設定可能とするのが好ましい。
【００３８】
指定された特性項目を含むグラフが表示手段２４の画面上に表示された後、図３に示すように、ソフトウェアの使用者によって設定された処理対象となる任意の領域が、表示手段２４上に表示されたグラフ上に描画される。また、制御手段２２により、指定された特性項目のデータの内の、設定された領域に含まれるデータに対して、同じくこのソフトウェアの使用者によって設定された所定の加工処理が施される。
【００３９】
前述の領域は、同時に複数の領域を指定可能とするのが好ましい。また、加工処理は、スプレッドシートに登録されているオリジナルデータに対して直接施すのではなく、オリジナルデータ（処理前のデータ）を保持しておき、処理後のデータとの対比が容易となるように、オリジナルデータに登録されているデータの内容を複製した作業用のスプレッドシートを作成し、この作業用スプレッドシートに対して処理が施される。
【００４０】
前述の加工処理として、まず、異常データを削除するに際し、図３に示すように、それぞれの特性項目について、ソフトウェアの使用者によって設定された領域、すなわち、削除すべき異常データの周辺の領域（第１領域）がグラフ上に描画される。また、作業用スプレッドシートに登録されているデータの内の、指定領域に含まれる異常データが検出（算出）され、この異常データは作業用スプレッドシートから削除される。
【００４１】
より具体的に、異常データの検出は、ソフトウェアの使用者によって設定された処理条件、例えば３σを超えた範囲等の処理条件に基づいて、対応する異常データの近傍の領域が画面のグラフ上に描画されると共に、作業用データシートに登録されているデータの内の、前述の領域内に含まれるデータの中から前述の処理条件に該当するデータが算出され、作業用スプレッドシートから異常データが削除される。
【００４２】
削除処理の終了後、演算結果に基づいて作業用スプレッドシートに登録されているデータが更新される。図４に示すように、このデータの更新に応じて表示手段２４上に処理後のグラフが再表示される。なお、この処理後のグラフは、図２および図３に示す処理前および処理中のグラフと共に、別ファイルとして所定フォーマットで記憶手段２６へ記録（保存）されるので、処理終了後に、これらのグラフを参照することが可能である。
【００４３】
処理条件に従って、ここまでの動作は１ロット単位（第２領域）で行われ、１ロット分のデータに対して前述の削除処理が終了した時点で、図５に示すように、統計処理として、特性項目別に平均値、σ（標準偏差）、ｎ数（母数）が算出され、表形式で画面上に表示される。また、ロット毎に前述の動作が行われ、図６に示すように、全ロットについて特性項目別の平均値が算出される。これらの表も、別ファイルとして所定フォーマットで記憶手段２６へ記録される。
【００４４】
続いて、相関分析を行うに際し、作業用スプレッドシートに登録されているデータは所定フォーマットのデータシートに変換され、一時ファイルとして記憶手段２６に保存される。
【００４５】
なお、データシートを既存の汎用フォーマットで保存することにより、市販の統計処理用ソフトウェアを利用して、相関分析等の統計処理を行うことも可能である。これにより、データの汎用性を向上させることができる。
【００４６】
続いて、前述の一時ファイルとして保存されたデータシートに含まれるデータを用いて、すなわち、データシートに登録されている全データを１つの領域として相関分析が行われる。その分析結果の詳細な説明は省略するが、例えば図７に、その一例を示すように、表形式で画面上に表示される。同じく、この分析結果は、所定フォーマットで別のファイルとして記憶手段２６に記録される。
【００４７】
なお、上記実施例では、処理前、処理中、処理後のデータを、スプレッドシートに登録された数値データの形式はもちろん、表形式、グラフ形式で記録保存しているが、これに限定されず、例えば画像形式や、処理過程で画面上に表示される表やグラフ、画像等をデジタルのビデオ形式で記録保存することも可能である。また、記録保存するデータやその形式は、使用者が設定可能としてもよく、例えば処理内容の一部だけ記録してもよいし、全部逐一記録してもよい。
【００４８】
以上のように、本データ処理装置１０の使用者は、処理の終了後に、処理過程の内容、すなわち処理前、処理中、処理後のデータについて、例えば表形式、グラフ形式、画像形式の他、処理中に画面上に表示される画像をビデオ形式で記録したものを再生表示させることもできる。したがって、データ処理装置１０の使用者は、これらの処理過程の内容を見ながら、その処理過程の確認を正確に、かつ視覚的に効率良く行うことができる。
【００４９】
なお、上記実施例では、加工処理として、異常データを削除した後に相関分析を行っているが、本発明はこれに限定されず、削除や各種の統計処理を何度繰り返して実行してもよい。また、データ処理部１４として、ソフトウェアプログラムで実現した場合を例示したが、これも限定されず、従来公知のどのような手段を用いてデータ処理部１４を実現してもよい。また、データ収集部１２やデータ保管部１６の実現手段についても同様である。
【００５０】
また、上記実施例では、データ処理部１４による処理過程を表示手段２４上に表示しているが、これも限定されず、例えばデータ処理部１４によるデータの加工処理中の画面を表示手段２４上に表示しないようにしてもよい。また、上記実施例では、相関分析を行う領域（第２領域）を全ロットのデータとしているが、これも限定されず、本データ処理装置１０の使用者が、入力手段を用いて相関分析を行う領域を処理条件として設定してもよい。
【００５１】
本発明のデータ処理装置、データ処理方法及びこの方法をコンピュータに実行させるプログラムは、基本的に以上のようなものである。以上、本発明のデータ処理装置および処理方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明のデータ処理装置の一実施例の構成概念図である。
【図２】本発明に係る表示画面の一実施例の概略図である。
【図３】本発明に係る表示画面の一実施例の概略図である。
【図４】本発明に係る表示画面の一実施例の概略図である。
【図５】本発明に係る表示画面の一実施例の概略図である。
【図６】本発明に係る表示画面の一実施例の概略図である。
【図７】本発明に係る表示画面の一実施例の概略図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０  データ処理装置
１２  データ収集部
１４  データ処理部
１６  データ保管部
１８  測定手段
２０  入力手段
２２  制御手段
２４  表示手段
２６  記憶手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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