(57)【要約】【課題】電子部品の種類に応じて、簡易な構造で転写に必要なフラックス量を可変的に供給することのでき、且つ、フラックス自体の品質の劣化を最小限に抑える。【解決手段】フラックスＦを載置可能で一方向に進行する移送ベルト１２と、移送ベルト１２の表面１２Ａに当接可能なブレード２０を有すると共に、フラックスＦを貯留可能なフラックスチャンバ１４と、所定の位置Ｐ１から、移送ベルト１２の進行方向をＸ１からＸ２に変更するベルトガイド機構１６と、ブレードと前記所定の位置との距離Ｌ１を変更する駆動機構１８と、を備える。前記距離Ｌ１の変更により、前記ブレード２０と移送ベルトの表面１２Ａとの間に間隙６０を可変的に形成する。【選択図】図１
2007103865.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の実装装置におけるフラックスの供給装置において、
フラックスを載置可能な所定の幅を有し、一方向に進行する移送ベルトと、
該移送ベルトの表面に被さるように配置され、移送ベルトの表面に当接可能なブレードを有すると共に、フラックスを貯留可能なフラックスチャンバと、
所定の位置から、前記移送ベルトの進行方向を、前記フラックスチャンバが存在する側と反対の側に変更するベルトガイド機構と、
前記ブレードと前記所定の位置との距離を変更する駆動機構と、を備え、
該駆動機構による前記距離の変更により、前記ブレードと該移送ベルトの表面との間に間隙を可変的に形成し、前記フラックスチャンバからフラックス転写部に対して、前記移送ベルトの表面上にフラックスを連続的に載置・供給可能とした
ことを特徴とする電子部品の実装装置におけるフラックスの供給装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記フラックスチャンバを、前記移送ベルトの進行方向を傾斜させた部分に配置すると共に、前記ベルトガイド機構を構成するアイドラローラによって該移送ベルトの進行方向を水平に変更し、この水平部分に前記フラックス転写部を配置した
ことを特徴とする電子部品の実装装置におけるフラックスの供給装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記ブレードと前記所定の位置との距離を変更する駆動機構が、前記所定の位置に対して、前記フラックスチャンバの前記移送ベルト上の配置位置を、前記ブレードごと移動させる構成とされている
ことを特徴とする電子部品の実装装置におけるフラックスの供給装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記移送ベルトの進行方向を変更するベルトガイド機構が、アイドラローラによって構成され、且つ、
前記ブレードと前記所定の位置との距離を変更する駆動機構が、該アイドラローラの回転支持位置を前記ブレードに対して移動させる構成とされた
ことを特徴とする電子部品の実装装置におけるフラックスの供給装置。
【請求項５】
電子部品の実装装置におけるフラックスの供給・回収装置において、
フラックスを載置可能な所定の幅を有し、エンドレスに進行する移送ベルトと、
該移送ベルトの表面に被さるように配置され、フラックスを貯留すると共に前記移送ベルト上に供給可能なフラックスチャンバと、を備え、
フラックスの転写後に移送ベルト上に残存するフラックスを、前記フラックスチャンバの上流側に形成した回収口から、フラックスチャンバ内に回収可能とした
ことを特徴とする電子部品の実装装置におけるフラックスの供給・回収装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記フラックスチャンバの配置位置が、前記移送ベルトの表面に沿ってより上流側へ移動可能とされ、この移動に伴って前記回収口が開口する構成とされた
ことを特徴とする電子部品の実装装置におけるフラックスの供給・回収装置。
【請求項７】
電子部品の実装装置におけるフラックスの供給・回収装置において、
フラックスを載置可能な所定の幅を有し、エンドレスに進行する移送ベルトと、
該移送ベルトの表面に被さるように配置され、移送ベルトの表面に当接可能なブレードを有すると共に、フラックスを貯留可能なフラックスチャンバと、
所定の位置から、前記移送ベルトの進行方向を、前記フラックスチャンバが存在する側と反対の側に変更するベルトガイド機構と、
前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルトの表面に沿って移動可能とする駆動機構と、を備え、
転写工程時に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の下流側へ移動させ、前記ブレードの前記所定の位置からの距離を調整することにより、ブレードと移送ベルトとの間にフラックスを供給可能な間隙を形成可能とし、
転写工程完了後に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の上流側へ移動させ、前記所定の位置からブレードを遠ざけることによって該ブレードを移送ベルトの表面に当接させると共に、移送ベルト上に残存するフラックスを前記フラックスチャンバの上流側に形成した回収口から完全回収可能とした
ことを特徴とする電子部品の実装装置におけるフラックスの供給・回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の実装装置においてフラックスの供給・回収を合理的に行う装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ、フリップチップ、抵抗チップ、チップコンデンサーなどの電子部品を基板の所定の位置に搭載するための実装装置が開示されている。この種の実装装置は、これらの電子部品を真空吸着するノズルを有する吸着ヘッドを備え、該吸着ヘッド（具体的にはヘッドを保持しているホルダ）のＸ−Ｙ方向（水平駆動）及びＺ軸方向（鉛直駆動）の移動と、該ヘッド自体のＺ軸周りの回転（θ駆動）を組み合わせながら、パーツフィーダに供えられた電子部品を基板に搭載する。
【０００３】
電子部品の実装方法として、半田接合を採用する場合、半田の接合性を向上させる目的で、ペースト状のフラックスを電子部品上のバンプに転写する方法が広く知られている。
【０００４】
電子部品のバンプの大きさは電子部品の種類によって変わる。そのため、バンプに付着させるフラックスの量（フラックスの必要転写量）は、当該バンプの大きさに応じて変更する必要がある。
【０００５】
特許文献１において、この目的を達成するために、図６に示されるようなフラックスの供給装置が開示されている。この供給装置１１０は、転写部１１３に、水平な膜厚基準面１１３ａに対してそれぞれ異なる高さで設けられた複数の平坦な塗膜面１１３ｂ〜１３ｅを形成している。ここで、スキージ１１４の摺接部１１４ｃを塗膜基準面１１３ａに接触させた状態で移動させると、塗膜面１１３ｂ〜１１３ｅ上に複数の膜厚が異なるフラックス膜を形成できる。
【０００６】
品種切り替えの際においては、この複数のフラックス膜のいずれかの部分にまで電子部品を搭載した吸着ヘッドを移動し、そこで降下することにより適正量のフラックスを転写する。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−１４２８１４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年の電子部品の実装は、ますます少量多品種の傾向が強くなっており、且つ１個１個の製品により高度な品質が求められるようになってきている。フラックスは、一般に腐食性を有するため、転写すべきバンプに対応して、必要最小限の転写が行われる必要がある。従って、電子部品の種類に応じて、よりきめ細かに転写する際のフラックスの供給量を変更・調整したいというニーズが高まっている。
【０００９】
しかしながら、上述した特許文献１に係るフラックスの供給装置にあっては、膜厚の変更範囲、あるいは１段当たりの膜厚変化量が限定されてしまうため、多種類の膜厚を得ようとした場合には、装置がその分、比例的に大きく且つ複雑になってしまうという問題があった。
【００１０】
また、装置の構造上、常にフラックスを広い平面に薄く塗布した状態に維持しておく必要があり、フラックス自体の品質が劣化しやすい、という問題もあった。
【００１１】
本発明は、このような従来の問題を解消するためになされたものであって、電子部品の種類に応じて、簡易な構造で転写に必要なフラックス量を可変的に供給あるいは回収することができ、且つ、フラックス自体の品質の劣化を最小限に抑えることのできるフラックスの供給・回収装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、電子部品の実装装置におけるフラックスの供給装置において、フラックスを載置可能な所定の幅を有し、一方向に進行する移送ベルトと、該移送ベルトの表面に被さるように配置され、移送ベルトの表面に当接可能なブレードを有すると共に、フラックスを貯留可能なフラックスチャンバと、所定の位置から、前記移送ベルトの進行方向を、前記フラックスチャンバが存在する側と反対の側に変更するベルトガイド機構と、前記ブレードと前記所定の位置との距離を変更する駆動機構と、を備え、該駆動機構による前記距離の変更により、前記ブレードと該移送ベルトの表面との間に間隙を可変的に形成し、前記フラックスチャンバからフラックス転写部に対して、前記移送ベルトの表面上にフラックスを連続的に載置・供給可能としたことにより、上記課題を解決したものである。
【００１３】
本発明においては、フラックスを載置した移送ベルトを特定の方向に進行させ、フラックス転写部に供給する。移送ベルトに載置されるフラックスの厚さは、フラックスチャンバに供えられたブレードと移送ベルトの表面との間に形成される間隙によって可変的に制御される。本発明では、この間隙の制御を、一般的な「ブレードの先端をフラックスの厚さ方向（ベルトの進行方向と直角の方向、またはその成分を含む方向）に移動する」という手法によってではなく、「所定の位置から移送ベルトの進行方向をフラックスチャンバが存在する方向と逆の方向に変え、この所定の位置とブレードとの相対的な距離を変える」という手法を採用している。これにより、結果として、ブレードと移送ベルトの表面との間隙が調整可能とされ、非常にデリケートな微調整を簡易な構造で実現することができる。
【００１４】
また、転写に必要なフラックスのみをフラックス転写部に供給し、基本的に、大部分のフラックスがフラックスチャンバ内において貯留されるため、経時的な劣化を最小限に抑えることができる。
【００１５】
本発明は、種々のバリエーションが考えられる。
【００１６】
例えば、前記フラックスチャンバを、前記移送ベルトの進行方向を傾斜させた部分に配置すると共に、前記所定の位置に配置され前記ベルトガイド機構を構成するアイドラローラによって該移送ベルトの進行方向を水平に変更し、この水平部分に前記フラックス転写部を配置する構成としてもよい。
【００１７】
前記ブレードと前記所定の位置との距離を変更する駆動機構が、前記所定の位置に対して、前記フラックスチャンバの前記移送ベルト上の配置位置を、前記ブレードごと移動させる構成とされていてもよい。
【００１８】
前記移送ベルトの進行方向を変更するベルトガイド機構が、アイドラローラによって構成され、且つ、前記ブレードと前記所定の位置との距離を変更する駆動機構が、該アイドラローラの回転支持位置を前記ブレードに対して移動させる構成とされていてもよい。
【００１９】
本発明は、また、電子部品の実装装置におけるフラックスの供給・回収装置において、フラックスを載置可能な所定の幅を有し、エンドレスに進行する移送ベルトと、該移送ベルトの表面に被さるように配置され、フラックスを貯留すると共に前記移送ベルト上に供給可能なフラックスチャンバと、を備え、フラックスの転写後に移送ベルト上に残存するフラックスを、前記フラックスチャンバの上流側に形成した回収口から、フラックスチャンバ内に回収可能としたことにより、同じく上記課題を解決したものである。
【００２０】
この場合、例えば、前記フラックスチャンバの配置位置が、前記移送ベルトの表面に沿ってより上流側へ移動可能とされ、この移動に伴って前記回収口が開口する構成とされているとよい。
【００２１】
本発明は、また、電子部品の実装装置におけるフラックスの供給・回収装置において、フラックスを載置可能な所定の幅を有し、エンドレスに進行する移送ベルトと、該移送ベルトの表面に被さるように配置され、移送ベルトの表面に当接可能なブレードを有すると共に、フラックスを貯留可能なフラックスチャンバと、所定の位置から、前記移送ベルトの進行方向を、前記フラックスチャンバが存在する側と反対の側に変更するベルトガイド機構と、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルトの表面に沿って移動可能とする駆動機構と、を備え、転写工程時に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の下流側へ移動させ、前記ブレードの前記所定の位置からの距離を調整することにより、ブレードと移送ベルトとの間にフラックスを供給可能な間隙を形成可能とし、転写工程完了後に、前記フラックスチャンバを前記ブレードごと前記移送ベルト上の上流側へ移動させ、前記所定の位置からブレードを遠ざけることによって該ブレードを移送ベルトの表面に当接させると共に、移送ベルト上に残存するフラックスを前記フラックスチャンバの上流側に形成した回収口から完全回収可能としたことにより、同じく上記課題を解決したものである。
【発明の効果】
【００２２】
電子部品の種類に応じて、簡易な構造で転写に必要なフラックス量を可変的に供給或いは回収することができ、且つ、フラックス自体の品質の劣化を最小限に抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下図面に基づいて本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。
【００２４】
図２は、本発明の実施形態に係るフラックスの供給・回収装置が適用されたフラックスの転写装置の一例を示す全体概略図、図３は、図２の矢視ＩＩＩ方向から見た斜め平面図であり、図１は、図２の矢視Ｉ付近の要部拡大図である。
【００２５】
このフラックスの転写装置１０は、移送ベルト１２と、フラックスチャンバ１４と、ベルトガイド機構１６と、駆動機構１８と、を備える。
【００２６】
前記移送ベルト１２は、フラックスＦを載置可能な所定の幅Ｗ１を有し（図３参照）、エンドレスに所定の方向Ｘに進行可能である。前記フラックスチャンバ１４は、移送ベルト１２の表面１２Ａに被さるように配置され、移送ベルト１２の表面１２Ａに当接可能なブレード２０を有する共に、フラックスＦを貯留可能である。前記ベルトガイド機構１６は、移送ベルト１２の進行方向をフラックスチャンバ１４が存在する側と反対の側に角度αだけ変更するもので、具体的にはアイドラローラ２２によって構成されている。移送ベルト１２の進行方向Ｘは、これにより、所定の位置Ｐ１以降、図のＸ１の方向からＸ２の方向（水平方向）へと変更される。前記駆動機構１８は、フラックスチャンバ１４をブレード２０ごと移送ベルト１２の表面１２Ａに沿って図のＸ１の方向に往復動させ、ブレード２０と前記所定の位置Ｐ１との距離Ｌ１を変更する。
【００２７】
以下、各部の構成についてより詳細に説明する。
【００２８】
フレーム３０には、モータＭ１に連結された駆動ローラ３２及び従動ローラ３４が設けられている。従動ローラ３４の回転により、アイドラローラ３６及び前述したアイドラローラ２２を介して移送ベルト１２がほぼ３角形状にエンドレスに回転する。移送ベルト１２はアイドラローラ３６の軸３６Ａに付いているテンショナねじ３８により一定の張力で張られている。移送ベルト１２の幅Ｗ１は、フラックスチャンバ１４の幅Ｗ２より大きく設定されている（図３参照）。
【００２９】
アイドラローラ３６、２２の間における移送ベルト１２の内側にはバックアッププレート４０が配置されている。このバックアッププレート４０は、アイドラローラ３６を基点として傾斜しており、その上面はアイドラローラ３６及び２２との接線上に位置決めされている。フラックスチャンバ１４は、この移送ベルト１２の進行方向ＸがＸ１の方向（角度）に傾斜された部分に配置されている。
【００３０】
また、アイドラローラ２２と従動ローラ３４との間の移送ベルト１２の内側にはバックアッププレート４２が水平に配置されている。このバックアッププレート４２は、その上面がアイドラローラ２２と従動ローラ３４との接線上に且つ水平に位置決めされている。フラックス転写部Ａは、このアイドラローラ２２によって移送ベルト１２の進行方向が水平のＸ２方向に変更された部分に配置されている。
【００３１】
フラックスチャンバ１４にはベルト進行方向をＸ１に対して前面壁４６、上面壁４８、右面壁５０、左面壁５２の４面を有し、下面側は移送ベルト１２に対して開口している。
このうち前面壁４６は、前記ブレード２０と一体化され、後面壁は後述する回収ゲート７２が兼用している。フラックスチャンバ１４の下面の開口部は、ベルト進行方向下流側（供給側）はＷ３、上流側（回収側）はＷ４であって、上流側の方が広く形成されている。チャンバヒンジ５４がチャンバフック部５５に引っ掛かることで、フラックスチャンバ１４がフレーム３０に対して位置決めされている。
【００３２】
チャンバヒンジ５４の両端にはスプリング５８がかけられている。スプリング５８は、チャンバヒンジ５４及びチャンバフック部５５を介してフラックスチャンバ１４をバックアッププレート４０上を通る移送ベルト１２側に押し付ける機能を有し、フラックスチャンバ１４はフラックスベルト１２の表面１２Ａに密着している。
【００３３】
フラックスチャンバ１４は、前記駆動機構１８の主たる構成要素であるチャンバ移動モータＭ２及びチャンバ移動ねじ５９により、バックアッププレート４０の上面に倣って（ブレード２０ごと）往復動する。フラックスチャンバ１４が下流側に移動してブレード２０の先端２０Ａが前記所定の位置Ｐ１を超えてアイドラローラ２２のＲ部にさしかかると、移送ベルト１２の表面１２Ａとの間に間隙６０が生ずる構成とされている。フラックスチャンバ１４の移動量、すなわちブレード２０の先端２０Ａと所定の位置Ｐ１との距離（先端２０Ａの所定の位置Ｐ１からのオーバーハング）Ｌ１に応じて、間隙６０の高さＳ（フラックス膜Ｆｆの厚さｔに相当）を任意に調整できる。
【００３４】
なお、移送ベルト１２が回転すると、フラックスチャンバ１４内のフラックスＦは移送ベルト１２に粘着しながら間隙６０を通過する。フラックス膜Ｆｆは、間隙６０とフラックス供給側の開口幅Ｗ３によって規制されため、移送ベルト１２上に間隙６０の高さＳに相当する厚さｔで、幅が供給側の開口幅Ｗ３のシート状に整形された状態でフラックスチャンバ１４から供給されることになる。
【００３５】
アイドラローラ２２の下流側には、間隙６０から出てくるフラックス膜Ｆｆの厚さｔを検出するための膜厚検出センサ６２が配置されている。膜厚検出センサ６２で計されたフラックス膜Ｆｆの厚さｔが転写対象のバンプに最適な膜厚と異なっている場合には、チャンバ移動モータＭ２をフィードバック制御し、オーバーハングＬ１を変更することによって間隙６０の高さＳを調整する構成とされている。
【００３６】
チャンバ移動フレーム６４は、ガイドレール６６によってガイドされ、チャンバ移動モータＭ２により待機位置からフラックス膜形成位置までバックアッププレート４０と平行に往復動する。フラックスチャンバ１４が該チャンバ移動フレーム６４と連動して上流側に移動すると、回収ゲートピン６８がゲートスプリング６９の付勢力に逆らって回収ゲート開閉カム７０により押し上げられるようになっている。この結果、回収ゲートピン６８と一体化されている回収ゲート７２がゲートヒンジ７３を中心として押し開かれ、フラックス回収口７４を介して戻ってきたフラックス（転写後に移送ベルト上に残存するフラックス）Ｆをフラックスチャンバ１４内に回収する構成とされている。
【００３７】
なお、図２の符号７８は吸着ヘッド、８０はノズル、８２は電子部品、８４はバンプをそれぞれ示している。
【００３８】
次にこのフラックスの転写装置１０の作用を説明する。
【００３９】
フラックスチャンバ１４は、図４（Ａ）で示す待機位置では、間隙６０は閉じており、また回収ゲート７４も閉じており、フラックスＦの乾燥を防ぐために密閉状態となっている。移送ベルト１２は、この時点では回転していない。フラックス転写を行うべき電子部品８２が選択されると、吸着ヘッド７８が、図示せぬ部品供給装置から該当する電子部品８２を吸着し、フラックス転写部Ａに搬送する。フラックス転写部Ａでは、チャンバ移動モータＭ２によりフラックスチャンバ１４が図４（Ｂ）で示すフラックス膜形成位置にまで移動し、ブレード２０の先端２０Ａがアイドラローラ２２の軸心に対応する所定の位置Ｐ１を通過すると、移送ベルト１２との間に間隙６０が生ずるようになる。所定の位置Ｐ１とブレード２０の先端２０との距離（オーバーハング）Ｌ１に応じて間隙６０の高さＳが変化する。ここで移送ベルト１２が回転を始める。
【００４０】
一方、電子部品８２のバンプ８４の大きさに応じたフラックス膜Ｆｆの形成厚さｔに関するデータが図示せぬ制御部から贈られ、必要とされる厚さｔ（幅Ｗ３）のフラックス膜Ｆｆが形成される。膜厚検出センサ６２がフラックスチャンバ１４から出てくるフラックス膜Ｆｆの厚さｔを測定し、チャンバ移動モータＭ２の制御部へフィードバックしてオーバーハングＬ１を調整し、間隙６０の高さＳをコントロールするため、精度の高いフラックス膜Ｆｆを形成することができる。
【００４１】
膜厚検出センサ６２によって形成されたフラックス膜Ｆｆの厚さｔが意図する値に安定したことが確認されると、移送ベルト１２を停止して吸着ヘッド７８を下降させ、電子部品８２のバンプ８４を移送ベルト１２に接触するまで下降する。フラックス転写部Ａにおける移送ベルト１２は、バックアッププレート４２によって水平にバックアップされているため、電子部品８２がノズル８０に対して若干斜めに吸着されているような場合であっても、このバックアッププレート４２側からの反力を受けて電子部品８２は正しく水平に矯正された状態でフラックスＦの転写を受けることができる。
【００４２】
転写が完了すると、吸着ヘッド７８は上昇し、バンプ８４は移送ベルト１２から離れる。図４（Ｂ）は、転写が完了してバンプ８４にフラックスＦが転写された状態を示している。移送ベルト１２が回転すると、新しいフラックス膜Ｆｆが次々と連続的に形成されるため、フラックス転写は連続して行うことができる。また、転写すべき電子部品が変わって形成すべきフラックス膜Ｆｆの厚さｔが異なっても、チャンバ移動モータＭ２の駆動によってオーバーハングＬ１を変更し、間隙６０の高さＳを変えることにより、容易に対応できる。
【００４３】
一連の転写工程が終了すると、フラックスチャンバ１４は、図４（Ｃ）に示すフラックス回収位置に移動し、間隙６０を閉じる。従って、新たなフラックス膜Ｆｆの形成がここで中止される。しかしながら、この位置では、回収ゲートピン６８が回収ゲート開閉カム７０によって押し上げられた状態とされているため、回収ゲート７２がゲートヒンジ７３を中心として開かれた状態を維持しているため、フラックス回収口７４から戻ってきたフラックスＦが回収される。
【００４４】
移送ベルト１２が一周分以上回転してフラックスＦの回収が完了すると、フラックスチャンバ１４は図４（Ａ）に示す待機状態に戻り、フラックス回収口７４がゲートスプリング６９の作用によって閉じられ、フラックスチャンバ１４が密閉される。このように、フラックスチャンバ１４内のフラックスＦは、基本的に必要なときにのみ移送ベルト１２上に載置されるが、１周するたびにフラックスチャンバ１４に回収され、転写工程が終了すると完全に密閉された状態に保管されることになる。そのため、品質劣化を最小限に抑えることができる。
【００４５】
なお、上記実施形態においては、移送ベルト１２が傾斜している部分にフラックスチャンバ１４の配置を配置し、アイドラローラ２２に移送ベルト１２のエンドレスの回転機構の一部を構成する機能と移送ベルト１２の進行方向を変更するためのベルトガイド機構を構成する機能とを兼用させるようにして、構成の簡略化を図っていたが、本発明に係るフラックスの供給・回収措置は、フラックスチャンバを必ずしも傾斜させた部分に配置する必要はない。例えば、図５に示されるように、フラックスチャンバ９０自体は水平を維持した状態で配置し、アイドラローラ９２によって水平より下側（フラックスチャンバ９０が存在する側と反対の側）に向けて進行方向を変更する（Ｘ３→Ｘ４）ようにしても、オーバーハングＬ２の調整により間隙９４の高さを調整することができ、同様な作用効果が得られる。
【００４６】
この実施形態の場合、フラックスチャンバ９０が水平に配置されているため、フラックスＦの粘度（或いはちょう度）によっては、該フラックスＦを、より確実にフラックスチャンバ９０内に収容することができる。なお、この構成を採用する場合、下降部分９６にはバックアッププレート９８を配置するとよい。
【００４７】
また、上記実施形態においては、ブレード２０の先端２０Ａと移送ベルト１２の進行方向の変更が開始される所定の位置Ｐ１との距離（オーバーハング）Ｌ１を変更するために、所定の位置Ｐ１に対してブレード２０を含むフラックスチャンバ１４が移動するようにしていた。しかしながら、この距離（オーバーハング）は、例えば、図５の矢印Ｘｐで示されるように、フラックスチャンバ９０を固定的に配置した状態で、アイドラローラ９２の軸心位置９２Ａを変更するようにしても調整可能である。なお、この場合、アイドラローラ９２の軸心９２Ａとバックアッププレート９８、更にはアイドラローラ９９等を一緒に移動させるようにするのが好ましい。アイドラローラ９２の軸心９２Ａの位置を変更すると、移送ベルト１２の張力が変化するが、この点に関しては、図示せぬスプリング等を有する公知の自動張力調整機構を適宜に組み合わせればよい。この構成は、可動部分が少ないため、より低コスト化が実現できる場合がある。なお、回収ゲート９５は、図示せぬ別途のモータ等で開閉する。
【００４８】
更に、上記実施形態においては、移送ベルト１２の進行方向の変更を、アイドラローラ２２を利用して行うようにしていたが、本発明においては、移送ベルトの進行方向をフラックスチャンバが存在する側と逆の側に変更する構成についても、この方法に限定されない。例えば、図５のアイドラローラ９２に代え、摩擦係数の小さな素材で所望の（変更させようとする）形状に形成したバックアッププレート（図示略）を、この位置に移送ベルト１２の背面側から当接させるようにしても進行方向を変更することができる。この方法は、特に間隙９４付近の移送ベルト１２の挙動を安定させることができるため、間隙９４の高さ調整を、より正確且つ少ないばらつきで行うことができる。
【００４９】
また、上記実施形態では、転写の際、移送ベルト１２を停止させるようにしていたが、これを停止させずに、吸着ヘッド７８を移送ベルト１２の進行と同期して移動させながら降下させるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
電子部品の実装装置において該電子部品のバンプにフラックスを転写する装置に適応できる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施形態に係るフラックスの供給・回収装置が適用されたフラックス転写装置の要部拡大断面図
【図２】上記転写装置の全体概略正面図及び矢視ＩＩＡ視図
【図３】上記転写装置の矢視ＩＩＩ視図
【図４】上記転写装置におけるフラックスの供給・回収作用を説明するための工程図
【図５】本発明の他の実施形態に係るフラックス供給・回収装置の構成例を示す要部概略正面図
【図６】従来のフラックス供給装置の構成を示す斜視図
【符号の説明】
【００５２】
１２…移送ベルト
１４…フラックスチャンバ
１６…ベルトガイド機構
１８…駆動機構
２０…ブレード
２２…アイドラローラ
３０…フレーム
３２…駆動ローラ
３４…従動ローラ
３６…アイドラローラ
３８…テンショナねじ
４０、４２…バックアッププレート
６０…間隙
７０…回収ゲート開閉カム
７２…回収ゲート
７４…フラックス回収口
８２…電子部品
８４…バンプ
Ｐ１…所定の位置
Ｌ１…距離（オーバーハング）
Ｆ…フラックス
Ｆｆ…フラックス膜
Ｓ…間隙の高さ
ｔ…フラックス膜の厚さ
Ｗ３…フラックス膜の幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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