(57)【要約】【課題】通常冷却水によって電源ユニットの冷却を行う構成において、冷却水による冷却が困難となった場合に、電源ユニットの温度上昇を抑制する。【解決手段】真空ポンプ１は、ポンプユニット２と、ポンプユニットの駆動制御を行う電源ユニット３とを一体あるいは隣接して備え、ポンプユニットおよび電源ユニットを水冷する冷却水配管３０と、電源ユニット内に大気圧よりも高圧のガスを導入するガス導入部とを備える。電源ユニットに流れる冷却水が断水あるいは低下することによって、電源ユニットを水冷で冷却することが困難となった場合に、ポンプパージ用の窒素ガスや装置ユーティリティ用の圧縮空気などのガスを、電源ユニット内に流し込み、電源ユニット内部から外部へのガスの流れを形成することによって、電源ユニット内部を冷却し、電源ユニットの温度上昇を抑制する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプユニットと、前記ポンプユニットの駆動制御を行う電源ユニットとを備える真空ポンプであって、
前記ポンプユニットと電源ユニットとを一体あるいは隣接し、
前記ポンプユニットおよび電源ユニットを水冷する冷却水配管と、
前記電源ユニット内にガスを導入するガス導入部とを備え、
前記ガス導入部は、前記冷却水配管の冷却水の流れの低下に基づいて、電源ユニット内に大気圧よりも高圧のガスを導入することを特徴とする、真空ポンプ。
【請求項２】
前記ガス導入部は、
前記冷却水配管内の冷却水の流量低下を検出する流量低下検出部と、
電源ユニット内へのガス導入を制御するガス導入制御部とを備え、
前記ガス導入制御部は前記流量低下検出部の検出信号に基づいて電源ユニット内にガスを導入することを特徴とする、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記流量低下検出部は、
前記冷却水配管内の冷却水の測定流量に基づいて冷却水の流量低下を検出することを特徴とする、請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記流量低下検出部は、
前記電源ユニット内の冷却水の測定温度に基づき、測定温度が所定温度以上となったときに冷却水の流量低下を検出することを特徴とする、請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記ガスは、ポンプユニット内をパージする窒素ガス、又は圧縮空気であることを特徴とする、請求項１から請求項４の何れか一つであることを特徴とする、真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプに関し、特に、真空ポンプが備える電源ユニットの冷却に関し、水冷水が停止した場合の保護に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空装置では、ターボ分子ポンプ等の吸引機構で真空容器内等を吸引することによって真空状態を形成している。一般に、ターボ分子ポンプはステータとロータとを有するポンプユニットを備え、モータの電源駆動によってロータを回転させ、真空容器内を吸引・排気している。
【０００３】
外部装置をターボ分子ポンプ等の真空ポンプによって真空排気する際において、このような外部装置には、通常、装置自身を冷却するために冷却水配管が設けられている。また、ポンプユニット自身についても、冷却用の冷却水配管が設けられる場合がある。
【０００４】
一方、電源ユニットは、交流電源から直流電源に変換するためのＡＣ−ＤＣコンバータや、ポンプユニットのモータに供給する電圧を制御するインバータ部や、モータを停止させるための抵抗などを備えている。これらの電源ユニットが内部に備える要素は、ポンプ稼働時に発熱する回路を含んでいるため、冷却する必要がある。
【０００５】
ポンプユニットと電源ユニットとを一体化した構成や、電源ユニットをポンプユニットの近傍に設置する構成では、ポンプユニットを外部装置の近くに設けるため、必然的に電源ユニットについても外部装置の近くに設けられることになる。外部装置には、前記したように冷却のための冷却水配管が設けられているため、電源ユニットについても防滴対策を施した上でこの冷却水配管を用いて冷却を行っている。
【０００６】
図８は、従来の電源ユニットの冷却を説明するための概略図である。外部装置４０はポンプユニット２によって真空排気される。この外部装置４０には冷却水配管が設けられ冷却水により冷却が行われる。また、冷却水配管３０は、電源ユニット３を中継してポンプユニット２にも接続され、外部装置４０と同様に冷却水による冷却が行われる。
【０００７】
図９は、電源ユニット内部の冷却水の流れを説明するための概略図である。電源ユニット３内には、入力した交流を直流に変換するＡＣ−ＤＣコンバータ部３ｂ、変換された直流の電圧をポンプユニット駆動用の所定電圧振幅に調整するインバータ部３ｃ、ポンプユニットのモータから回生した電流を熱に変換することによってロータの回転を低減させるブレーキ抵抗３ｄが設けられ、これらは制御部３ａによって制御される。これらのＡＣ−ＤＣコンバータ部３ｂ、インバータ部３ｃ、ブレーキ抵抗３ｄは発熱源となる。この発熱は、ラジエータ３ｅを通して、水冷ユニット３ｆによって冷却される。この水冷ユニット３ｆには、冷却水配管３０によって冷却水の導出入が行われる。
【０００８】
ここで、冷却水による結露を防止するために、水冷ユニット３ｆの周囲には断熱シール３ｉが設けられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
電源ユニットを水冷によって冷却する構成では、電源ユニットに冷却水配管を接続するため、冷却水配管からの水漏れによって電源ユニットに支障が発生するおそれがある。そのため、電源ユニットは水の侵入を防止するために施す必要があり、通常、気密構造としている。
【００１０】
一般に、冷却水配管によって冷却水を配水する場合には、冷却水配管の水漏れや、配管の途中に設けたフィルタの目詰まり等によって、冷却水の流量の減少、あるいは停止して断水に至る場合がある。
【００１１】
冷却水の流量が減少あるいは停止した場合には、電源ユニット内部の温度が上昇して発熱部が燃損するおそれがある。水冷による冷却が困難である場合の対策としては、一般に、ファンを駆動することによって、水冷に代えて空冷することが考えられる。しかしながら、上記したように、防滴のために気密構造が必要な電源ユニットでは、電源ユニットの外部との間で空気を流通させることができないため、電源ユニット内部でファンを駆動したとしても、発熱を電源ユニットの外に排出することができず、空冷によって冷却することは構造上から不可能である。
【００１２】
そのため、真空ポンプの電源ユニットにおいて、通常の駆動時の冷却を水冷によって行う場合、冷却水が停止した際に、電源ユニット内部で発生した熱を放熱させることができず、内部温度が上昇し、発熱部が燃損するおそれがあるという問題がる。
【００１３】
そこで、本発明は上記課題を解決して、真空ポンプにおいて、通常冷却水によって電源ユニットの冷却を行う構成において、冷却水による冷却が困難となった場合に、電源ユニットの温度上昇を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の真空ポンプは、電源ユニットに流れる冷却水が断水あるいは低下し、電源ユニットを水冷で冷却することが困難となった場合に、ポンプユニットをパージするための窒素ガス、あるいは、この真空ポンプによって真空排気を行う外部装置に供給するための装置ユーティリティ用の圧縮空気などのガスを、電源ユニット内に流し込み、電源ユニット内部から外部へのガスの流れを形成することによって、電源ユニット内部を冷却し、電源ユニットの温度上昇を抑制する。
【００１５】
本発明の真空ポンプは、ポンプユニットと、ポンプユニットの駆動制御を行う電源ユニットとを備え、このポンプユニットと電源ユニットとを一体あるいは隣接した構成であり、ポンプユニットおよび電源ユニットを水冷する冷却水配管を備えと共に、電源ユニット内に大気圧よりも高圧のガスを導入するガス導入部とを備える。
【００１６】
真空ポンプは、通常の動作状態では、冷却水配管に流れる冷却水によって、電源ユニットおよびポンプユニットを冷却するが、冷却水配管の冷却水の流れが低下して断水あるいは所定の流量を下回るような異常な動作状態の場合には、ガス導入部によって電源ユニット内にガスを導入する。これによって、冷却水による冷却が困難となる場合であっても、電源ユニット内を冷却することができる。
【００１７】
本発明のガス導入部は、冷却水配管内の冷却水の流量低下を検出する流量低下検出部と、電源ユニット内へのガス導入を制御するガス導入制御部とを備える構成とすることができる。ガス導入制御部は流量低下検出部の検出信号に基づいて電源ユニット内に大気圧よりも高圧のガスを導入する。
【００１８】
電源ユニット内に大気圧よりも高圧のガスを導入することで、気密構造の電源ユニット内にガスを導入することができる。また、ガス圧は、大気圧よりも高圧であるため、電源ユニット内にガスを流すためのファン等の構成を不要とすることができる。
【００１９】
本発明の流量低下検出部は、複数の態様によって、冷却水の流量低下を検出することができる。
【００２０】
本発明の流量低下検出部の第１の態様では、冷却水配管内の冷却水の流量を測定し、この測定流量に基づいて、断水、又は測定流量が所定量以下となったことを検出し、これによって冷却水の流量低下を検出する。
【００２１】
また、本発明の流量低下検出部の第２の態様では、電源ユニット内の冷却水の測定温度に基づいて、測定温度が所定温度以上となったときに冷却水の流量低下を検出する。
【００２２】
ガス導入制御部は流量低下検出部による冷却水の流量低下の検出信号に基づいて電源ユニット内にガスを導入する。
【００２３】
電源ユニット内を冷却するガスは、ポンプユニット内をパージする窒素ガス、又は装置ユーティリティ用の圧縮空気を用いることができる。冷却ガスとして、パージガスや装置ユーティリティ用の圧縮空気を利用することにより、冷却用の専用ガスやそのための配管を不要とすることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、真空ポンプにおいて、通常冷却水によって電源ユニットの冷却を行う構成において、冷却水による冷却が困難となった場合に、電源ユニットの温度上昇を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。
【００２６】
図１、図２は、本発明の真空ポンプにおいて、ガスによる電源ユニットの保護機構を説明するための概略図である。
【００２７】
図１において、真空ポンプ１は、外部装置を真空排気するポンプユニット２と、このポンプユニット２に内蔵されるモータを駆動制御するための電源ユニット３とを備え、このポンプユニット２と電源ユニット３とは一体あるいは隣接して設置されている。なお、図１では、真空ポンプ１が真空排気する外部装置は図示していない。
【００２８】
電源ユニット３およびポンプユニット２には冷却水配管３０が配設され、通常のモータ稼働時には、この冷却水配管３０内に冷却水を流すことによって、内部で発生した熱を冷却している。図１では、電源ユニット３を通してポンプユニット２に冷却水を流している。
【００２９】
また、ポンプユニット２には、ポンプ内をパージするためのパージガスとして窒素ガスを供給する配管が敷設され、また、図示しない外部装置には、装置ユーティリティ用の圧縮空気を供給する配管が敷設されている。
【００３０】
本発明の真空ポンプ１では、電源ユニット３内に、上記したパージ用の窒素ガスあるいは装置ユーティリティ用の圧縮空気等のガスを導入可能な構成とし、冷却水の流量が低下した際に、電源ユニット３内にガスを導入することによって冷却を行う。
【００３１】
電源ユニット３内へのガス導入は、ガス源と電源ユニット３との間に開閉バルブ１０を介してガス管２０を配設し、ガス源から上記したパージ用の窒素ガスや装置ユーティリティ用の圧縮空気等のガスを供給して行う。電源ユニット３は、通常時には冷却水配管（図１には示していない）を通して冷却水を流すことで冷却を行い、冷却水が断水あるいは必要流量を下回るような場合には、開閉バルブ１０を開いて窒素ガスや圧縮吸気等のガスを電源ユニット３内に導入し、ガスによる冷却を行う。
【００３２】
本発明の真空ポンプ１は、開閉バルブ１０の開制御する構成として、冷却水配管３０内を流れる冷却水の流量を測定するフローメータ１１、フローメータ１１の検出信号に基づいて流量低下を検出する流量低下検出部１５，および流量低下検出部１５の検出信号に基づいて開閉バルブ１０の開制御を行うガス導入制御部１６等を備える。
【００３３】
なお、フローメータ１１は冷却水配管内を流れる冷却水の流量をアナログ出力するフローメータを用いる他に、冷却水配管内を流れる冷却水が停止して断水したときに接点出力するフローメータを用いることができる。
【００３４】
フローメータ１１が冷却水の流量をアナログ出力する場合には、流量低下検出部１５はこのアナログ出力と予め定めた設定流量とを比較し、測定流量が設定流量以下の場合には、ガス導入制御部１６を制御して開閉バルブ１０を開き、電源ユニット３内にガスを導入する。なお、ここで、設定流量は、例えば、電源ユニット３内で発生する熱の放出が不十分で、電源ユニット３内の温度が所定時間経過後には設定温度を超えると想定される冷却水の流量とすることができる。この設定流量は、電源ユニット３の内部容積、電源ユニット３内の例えば、コンバータ部、インバータ部、ブレーキ抵抗等が発熱する熱量、許容温度等の条件によって定めることができる。
【００３５】
また、フローメータ１１が、冷却水の断水時に接点出力する場合には、流量低下検出部１５はこの接点出力を検出することによってガス導入制御部１６を制御して開閉バルブ１０を開き、電源ユニット３内にガスを導入する。
【００３６】
本発明の真空ポンプ１は、開閉バルブ１０の開制御を、上記した冷却水配管内を流れる冷却水の流量に基づいて行う構成の他に、電源ユニット内の冷却水の温度上昇によって行う構成とすることもできる。
【００３７】
図２は、電源ユニット内の冷却水の温度上昇を検出してガス導入を行う概略構成図である。図２に示す構成は、図１とほぼ同様の構成であって、流量低下検出部１５に代えて温度検出部１７と、電源ユニット３内の冷却水の温度を測定する温度センサ１８を備える。温度検出部１７は、温度センサ１８が測定した電源ユニット３内の冷却水温度に基づいて、電源ユニット３内の冷却水の温度上昇を検出する。電源ユニット３内へのガス導入は、例えば、温度が設定値を超える場合にガス導入制御部１６を制御して開閉バルブ１０を開くことによって行う。
【００３８】
なお、上記した構成では、電源ユニット３内の冷却水の温度を測定しているが、電源ユニット３内の温度を直接測定してもよい。また、温度が設定値を超えた場合にガス導入を行う態様の他、所定時間内で上昇する温度幅を求め、予め設定した温度幅を超えた場合にガス導入を行う態様としてもよい。
【００３９】
通常、ポンプ稼働時には、ポンプユニット２のロータ部は規定回転で駆動しており、ポンプユニット２を駆動している電源ユニット３内部での発熱は、冷却水を用い冷却している。冷却水の流れが何らかの原因で低下あるいは停止した場合には、フローメータ１１によって冷却水の流量の低下や停止を検知や、あるいは温度センサによる温度上昇の検知によって、ポンプユニットのロータ部の回転数を低下させる保護動作に入る。
【００４０】
一般に、回転数を低下させる過渡状態では、ポンプユニットのモータは発電機として働くため、電源ユニット３に電力を回生することになる。電源ユニット３は、回生された電力を内部に備えるブレーキ抵抗によって熱に変換する。このとき、電源ユニット３の内部では、冷却水の流量低下や断水によって冷却水による冷却効果が低減した状態となり、さらに、前記したようにブレーキ抵抗によって発熱しているため、電源ユニット３内の温度が上昇する。このような温度上昇が続くと、発熱部で焼損が発生するおそれが生じる。
【００４１】
本発明の構成によれば、パージガスや圧縮空気等の大気圧よりも高い圧力のガスを用いることによって、電源ユニット内の圧力が外部の圧力よりも高くなり、電源ユニット内部から外部へのガスの流れを、ファン等の機構を要することなく形成することができる。また、電源ユニット内に導入されたガスは、電源ユニット内部の発熱部品から生じる熱を奪って、ガスと共に外部に排出することで、冷却による保護動作が行われる。
【００４２】
なお、ガス導入による冷却効果は、冷却水による冷却効果よりも低下する。そこで、ポンプユニット２内のモータに供給するモータ電流を減少させ、ブレーキ抵抗で発生する発熱を抑制し、発熱部品が焼損しないようにしてもよい。
【００４３】
以下、本発明の真空ポンプの構成例について、図３〜図５を用いて説明する。
【００４４】
はじめに、本発明の真空ポンプの第１の構成例について図３を用いて説明する。第１の構成例は、ポンプパージ用の窒素ガスを用いて冷却する例である。
【００４５】
図３において、ポンプユニット２には、例えば、工場ユーティリティで使用される窒素ガス２１が、減圧弁５，調節弁付き流量計６，開閉バルブ７を通し、ガスパージ用ポート８を介して導入されている。通常、工場ユーティリティで使用される窒素ガス２１は、例えば０．４〜１．０ＭＰａの高圧であり、ポンプパージ用とするために、ガスパージ用ポート８において通常２０ｋＰａ程度となるように減圧されている。パージガスは、例えば、エッチングプロセスでポンプ内部を保護するためにポンプ停止時に流すなど、装置プロセスに応じて使用される。なお、符号４は補助ポンプを示している。
【００４６】
また、電源ユニット３に対しては、調節弁付き流量計９および開閉バルブ１０を通して窒素ガス２１が導入される。このとき、電源ユニット３内部の圧力が大気圧（例えば、０．１ＭＰａ）よりも高くなるように、ガス圧を調節弁付き流量計９で０．１ＭＰａ＋αに設定する。
【００４７】
通常のポンプ稼働時において、電源ユニット３に冷却水が正常に供給されている場合には、開閉バルブ７，１０は閉じた状態であり、ポンプユニット２および電源ユニット３の何れにも窒素ガスは供給されない。ガスパージする際には、開閉バルブ７を開くことによってポンプユニット２内に窒素ガス２１を流す。このとき、開閉バルブ１０は閉じたままである。
【００４８】
ポンプ稼働中に、冷却水配管の漏れなどの何らかの原因によって、電源ユニット３内を流れる冷却水の流量が低下した場合には、開閉バルブ１０を開いて、窒素ガス２１を電源ユニット３内に導入し、冷却水に代わってガスによって電源ユニット３内を冷却する。このとき、開閉バルブ７を開いて、ガスパージ用ポート８を介してポンプユニット２内にパージガスを流し込むことによって、ポンプユニット２のロータ部の回転を急激に低下させることによって、ロータ部の保護動作を行うこともできる。
【００４９】
次に、本発明の真空ポンプの第２の構成例について図４を用いて説明する。第２の構成例は、装置ユーティリティ用の圧縮空気を用いて冷却する例である。
【００５０】
図４において、外部装置４０には、例えば、工場ユーティリティで使用される圧縮空気２２が導入されている。また、ポンプユニット２には、前記した第１の構成例と同様に、窒素ガス２１が減圧弁５，調節弁付き流量計６，開閉バルブ７を通し、ガスパージ用ポート８を介して導入されている。
【００５１】
また、電源ユニット３に対しては、調節弁付き流量計９および開閉バルブ１０を通して圧縮空気２２が導入される。このとき、電源ユニット３内部の圧力が大気圧（例えば、０．１ＭＰａ）よりも高くなるように、ガス圧を調節弁付き流量計９で０．１ＭＰａ＋αに設定する。
【００５２】
通常のポンプ稼働時において、電源ユニット３に冷却水が正常に供給されている場合には、開閉バルブ７，１０は閉じた状態であり、ポンプユニット２には窒素ガスは供給されず、電源ユニット３には圧縮空気２２は供給されない。ガスパージする際には、開閉バルブ７を開くことによってポンプユニット２内に窒素ガス２１を流す。このとき、開閉バルブ１０は閉じたままである。
【００５３】
ポンプ稼働中に、冷却水配管の漏れなどの何らかの原因によって、電源ユニット３内を流れる冷却水の流量が低下した場合には、開閉バルブ１０を開いて、圧縮空気２２を電源ユニット３内に導入し、冷却水に代わって電源ユニット３内を冷却する。
【００５４】
このとき、開閉バルブ７を開いて、ガスパージ用ポート８を介してポンプユニット２内にパージガスを流し込むことによって、ポンプユニット２のロータ部の回転を急激に低下させることによって、ロータ部の保護動作を行うこともできる。
【００５５】
次に、本発明の真空ポンプの第３の構成例について図５を用いて説明する。第３の構成例は、第１のポンプパージ用の窒素ガスを用いて冷却する例において、使用後の窒素ガスを回収する例である。なお、この第３の構成例は、上記した第１の構成例とほぼ同様であるため、窒素ガスの回収に係わる構成について説明し、共通する部分の構成については説明を省略する。
【００５６】
図５において、電源ユニット３に導入された窒素ガス２１は、排気配管１２および逆止弁１３を通して、工場等の施設が備える排気ポート１４に排気される。この構成によれば、窒素ガスをそのまま大気中に排出した際の窒息の危険を防ぐことができる。
【００５７】
次に、図６，７を用いて、電源ユニット内部におけるガスの流れについて説明する。
【００５８】
図６において、電源ユニット３は、内部にＡＣ−ＤＣコンバータ部３ｂ、インバータ部３ｃ、ブレーキ抵抗３ｄ、およびこれらを制御する制御部３ａを備える。ＡＣ−ＤＣコンバータ部３ｂ、インバータ部３ｃ、およびブレーキ抵抗３ｄは発熱部となる。そこで、この発熱を冷却するために、水冷用の水冷ユニット３ｆが設けられる。外部から水冷ユニット３ｆに導入された冷却水は、電源ユニット３の内部に配設された冷却水配管３０を通して、電源ユニット３から、一体あるいは隣接して設けられたポンプユニット２に導入される。
【００５９】
また、電源ユニット３内には、冷却水による冷却が困難となったときのために、ＡＣ−ＤＣコンバータ部３ｂ、インバータ部３ｃ、およびブレーキ抵抗３ｄは発熱部に隣接してラジエータ３ｅを備える。このラジエータ３ｅには、窒素ガスあるいは圧縮空気等のガス２０が導入される。電源ユニット３内に導入されたガス２０は、大気圧よりも高い圧力であるため、ポンプユニット２と電源ユニット３との間に設けた防滴構造シール部３ｇの隙間から外部に排出される。この電源ユニット３内でのガスの流れにおいて、発熱部から熱を奪って外部に排出することで、電源ユニット３内を冷却する。
【００６０】
また、図７は、電源ユニット３の内部からのガスを排出する別の構成例である。上記した図６の構成では、電源ユニット３の内部に導入したガスを、防滴構造シール部３ｇの隙間から外部に排出する構成としているが、図７に示す構成では、エマージェンシーバルブ３ｈを通して排出する。
【００６１】
図７において、電源ユニット３はエマージェンシーバルブ３ｈを設けた密閉構造とする。電源ユニット３内に導入された大気圧よりも高圧のガスは、エマージェンシーバルブ３ｈを通して外部に排出される。この電源ユニット３内でのガスの流れにおいて、発熱部から熱を奪って外部に排出することで、電源ユニット３内を冷却する。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の真空ポンプにおいて、ガスによる電源ユニットの保護機構を説明するための概略図である。
【図２】電源ユニット内の冷却水の温度上昇を検出してガス導入を行う概略構成図である。
【図３】本発明の真空ポンプの第１の構成例を説明するための図である。
【図４】本発明の真空ポンプの第２の構成例を説明するための図である。
【図５】本発明の真空ポンプの第３の構成例を説明するための図である。
【図６】本発明の電源ユニットの内部からのガスを排出する構成例を説明するための図である。
【図７】本発明の電源ユニットの内部からのガスを排出する別の構成例を説明するための図である。
【図８】従来の電源ユニットの冷却を説明するための概略図である。
【図９】従来の電源ユニット内部の冷却水の流れを説明するための概略図である。
【符号の説明】
【００６３】
１…真空ポンプ、２…ポンプユニット、３…電源ユニット、３ａ…制御部、３ｂ…ＡＣ−ＤＣコンバータ部、３ｃ…インバータ部、３ｄ…ブレーキ抵抗、３ｅ…ラジエータ、３ｆ…水冷ユニット、３ｇ…シール部、３ｈ…エマージェンシーバルブ、３ｉ…断熱シール、４…補助ポンプ、５…減圧弁、６…流量計、７…開閉バルブ、８…ガスパージ用ポート、９…調節弁付き流量計、１０…開閉バルブ、１１…フローメータ、１２…排気配管、１３…逆止弁、１４…排気ポート、１５…流量低下検出部、１６…ガス導入制御部、１７…温度検出部、１８…温度センサ、２０…ガス、２１…パージガス、２２…圧縮空気、３０…冷却水配管、４０…外部装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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