(57)【要約】【課題】本発明は複数の金属板を積層して拡散接合により精度良く複数のインクジェットヘッドを効率良く作製することを課題とする。【解決手段】ノズル６１、圧力室６２、リストリクタ６３などの機能を有する流路板３１〜３３を複数積層して作製されたインク流路ユニット３０と、インク流路ユニット３０の一側面に接合してインクを吐出させる圧力を発生する圧力発生源２０と、インク流路ユニット３０を保持固定するハウジング４０と、を有するインクジェットヘッド１００において、インク流路ユニット３０は、厚みの等しい複数の流路板３１〜３３が積層された状態で拡散接合により接合され、ハウジング４０は、流路板３１〜３３と同じ厚みのハウジング板４１〜４３が拡散接合により積層された状態に接合される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル、圧力室、リストリクタなどの機能を有する流路板を複数積層して作製されたインク流路ユニットと、
該インク流路ユニットの一側面に接合してインクを吐出させる圧力を発生する圧力発生源と、
前記インク流路ユニットを保持固定するハウジングと、
を有するインクジェットヘッドにおいて、
前記インク流路ユニットは、厚みの等しい複数の流路板が積層された状態で拡散接合により接合され、
前記ハウジングは、前記流路板とほぼ同じ厚みのハウジング板が拡散接合により積層された状態に接合されたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記流路板および前記ハウジング板には、それぞれ位置決め穴が設けられ、前記ノズルを有する前記流路板の前記位置決め穴の穴径が最も狭いことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
接合後の前記ハウジングの端部には、ヘッド取り付け段部が機械加工により形成されることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記複数のハウジング板は、積層される位置によって段階的に形状が異なることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記流路板及び前記ハウジング板は、ステンレス板にインクが通過する通路をエッチングにより形成されたことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
ノズル、圧力室、リストリクタなどの機能をそれぞれ一つもしくは複数もつ流路板を複数積層して作製されたインク流路ユニットと、
インク流路ユニットの一側面に接合してインクを吐出する圧力を発生させる圧力発生源と、
前記インク流路ユニットを保持固定するハウジングと、
を有するインクジェットヘッドにおいて、
前記インク流路ユニットは、前記流路板が拡散接合により接合され、
前記インク流路ユニットにインクを供給するインク供給管を溶接により接合し、
前記ハウジングには、前記インク供給管を収納する貫通孔を設けることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記ハウジングは、金属の機械加工またはモールドにより作製されることを特徴とする請求項６記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記インク流路ユニットは、拡散接合により接合された後、溶接にて未接合領域を封止されることを特徴とする請求項１または６記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記流路板は、ステンレス板をプレス加工して形成し、プレス加工により発生したバリや歪みがなくなる程度にステンレス板の両面を研磨して作製することを特徴とする請求項１または５記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
複数の流路板を積層した状態で拡散接合により接合して複数のインク流路ユニットを作製する工程と、
複数のハウジング板を拡散接合で接合して複数のハウジングを作製する工程と、
前記複数のインク流路ユニットと前記複数のハウジングとを積層した状態で拡散接合により接合して複数のハウジングユニットを作製する工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
金属板よりなるノズルプレートと流路板とを積層した状態で拡散接合により接合してノズルユニットを形成する工程と、
前記ノズルユニットの状態でプレス加工またはレーザ加工により前記ノズルプレートにノズルを形成する工程と、
前記ノズルユニットとその他の前記流路板と前記ハウジング板を積層して接合する工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッドに係り、特に金属板を積層してインク流路ユニット及びインク流路ユニットを保持するハウジングを作製するよう構成したインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のインクジェットヘッドでは、殆どのものがヘッドに合わせてインクを吐出する為、ヘッドを構成する複数の部材や複数の各部材を接着する接着剤について劣化を心配する必要はなかった。しかしながら、近年、液晶ディスプレイや配線パターニングの形成方法として、インクジェットヘッドを用いて印刷する形成方法が採用されつつある。このような工業用途に用いられる場合、強酸性を有するインクを使用するため、流路板や接着剤を侵す可能性が増えてきた。そこで、このような強酸性を有するインクに対する耐薬品性を有するヘッドの開発が進められている。
【０００３】
その一つとして、例えば、インクの流路を形成する流路板を全て耐薬品性の強いステンレスにより形成し、各流路板を接着剤による接合から拡散接合に変更したヘッドがある。流路板は、エッチングで安価に作製することができ、材質を全てステンレスにすることにより熱膨張係数を一致させることができるので、高温での拡散接合も容易にできると考えられた。
【０００４】
拡散接合によるインクジェットヘッドの接合例として、例えば、エッチングにて圧力室等を形成したステンレス板に、振動板となるステンレス板を拡散接合にて積層したものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
この特許文献１では、接着剤を用いないことにより圧電素子による圧力が接着層に吸収されないで、圧電素子による圧力を効率良くインクに伝達することができる効果があると記載されている。また、振動板と圧力室の接合については記載されているが、それ以外については言及されていない。
【０００６】
また、別の特許文献２では、拡散接合について記載されているが、一部の部品のみ接合する限定的な使われ方しか記載されていない（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
さらに、別の特許文献３には、流路板を全て拡散接合にて接合するように記載されている。インク流路ユニットを支える押さえ板も拡散接合で積層される。尚、この特許文献１３に記載された流路板は、エッチングではなくプレスにより形成している。
【特許文献１】特開昭６３−２６５６４７号公報
【特許文献２】特開昭６３−１５７５５号公報
【特許文献３】特開平１１−１７９９００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記特許文献１では、インク流路ユニットの一部しか拡散接合する手順が記載されておらず、ハウジング等は接着剤で接合されているので、強酸性を有するインクにより接着層が劣化するという問題がある。
【０００９】
また、特許文献２、３では、積層された複数の金属板の厚みが明確でなく、また積層する手順も記載されてない為、細かいピッチでの積層は難しいと考えられる。
【００１０】
さらに、特許文献３には、プレス部品での積層が可能と記載されているが、プレスにより金属板を所定形状に加工したものをそのまま使用した場合、バリや変形により流路板間の密着性が悪くなり、接合の信頼性が悪化する。さらには、バリのみ研磨するとその部分だけ厚み変化する為、接合の信頼性が低下するという問題がある。
【００１１】
また、複数の金属板を拡散接合する場合の課題として、接合時間が長いという問題がある。一方、インクジェットヘッドにおいては、複数のヘッドを所定間隔で並設する構成とするため、複数のヘッドを一括して接合することが求められる。
【００１２】
しかしながら、インクジェットヘッドにおいては、複数のヘッドを一括して接合する際に、各部品間の厚みをプラスマイナス１μｍ以下にしなければならない為、加工精度をより精密に維持することになり、プレスなどの機械加工により流路板やハウジング板を作製するのには多くの手間と工程が必要になるので、コストがかかる。
【００１３】
そこで、本発明は上記事情に鑑み、上記課題を解決したインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。
【００１５】
本発明は、ノズル、圧力室、リストリクタなどの機能を有する流路板を複数積層して作製されたインク流路ユニットと、該インク流路ユニットの一側面に接合してインクを吐出させる圧力を発生する圧力発生源と、前記インク流路ユニットを保持固定するハウジングと、を有するインクジェットヘッドにおいて、前記インク流路ユニットは、厚みの等しい複数の流路板が積層された状態で拡散接合により接合され、前記ハウジングは、前記流路板とほぼ同じ厚みのハウジング板が拡散接合により積層された状態に接合されたことを特徴とする。
【００１６】
前記流路板および前記ハウジング板には、それぞれ位置決め穴が設けられ、前記ノズルを有する前記流路板の前記位置決め穴の穴径が最も狭いことを特徴とする。
【００１７】
接合後の前記ハウジングの端部には、ヘッド取り付け段部が機械加工により形成されることを特徴とする。
【００１８】
前記複数のハウジング板は、積層される位置によって段階的に形状が異なることを特徴とする。
【００１９】
前記流路板及び前記ハウジング板は、ステンレス板にインクが通過する通路をエッチングにより形成されたことを特徴とする。
【００２０】
ノズル、圧力室、リストリクタなどの機能をそれぞれ一つもしくは複数もつ流路板を複数積層して作製されたインク流路ユニットと、インク流路ユニットの一側面に接合してインクを吐出する圧力を発生させる圧力発生源と、前記インク流路ユニットを保持固定するハウジングと、を有するインクジェットヘッドにおいて、前記インク流路ユニットは、前記流路板を拡散接合により接合し、前記インク流路ユニットにインクを供給するインク供給管を溶接により接合し、前記ハウジングには、前記インク供給管を収納する貫通孔を設けることを特徴とする。
【００２１】
前記ハウジングは、金属の機械加工またはモールドにより作製されることを特徴とする。
【００２２】
前記インク流路ユニットは、拡散接合により接合された後、溶接にて未接合領域を封止されることを特徴とする。
【００２３】
前記流路板は、ステンレス板をプレス加工して形成し、プレス加工により発生したバリや歪みがなくなる程度にステンレス板の両面を研磨して作製することを特徴とする。
【００２４】
また、本発明は、複数の流路板を積層した状態で拡散接合により接合して複数のインク流路ユニットを作製する工程と、複数のハウジング板を拡散接合で接合して複数のハウジングを作製する工程と、前記複数のインク流路ユニットと前記複数のハウジングとを積層した状態で拡散接合により接合して複数のハウジングユニットを作製する工程と、を有することを特徴とする。
【００２５】
また、本発明は、金属板よりなるノズルプレートと流路板とを積層した状態で拡散接合により接合してノズルユニットを形成する工程と、前記ノズルユニットの状態でプレス加工またはレーザ加工により前記ノズルプレートにノズルを形成する工程と、前記ノズルユニットとその他の前記流路板と前記ハウジング板を積層して接合する工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、流路板とほぼ同じ厚みのハウジング板を積層してハウジングを作製することにより、複数のハウジングをほぼ同じ厚みで作製することができるので、複数のヘッドを一度の接合工程で作製することが可能となる。また、このようなハウジングを用いることにより、拡散接合のような超高温接合において一体成形したものに比べてインク流路ユニットとハウジングとの熱膨張係数の差を小さい値にすることができる。
【００２７】
また、流路板とハウジング板に設けた位置決め穴の穴径がノズルを有する流路板が最も小さいので、その後の組立工程で位置決め穴を利用する際、位置決めピンによる位置決めでの精度が向上し、拡散接合による位置ズレがおきても積層された複数の流路板が位置決めピンに干渉することを防止することができる。
【００２８】
また、拡散接合により複数の流路板及びハウジング板を積層した状態で接合する際、積層された各板の両面から加圧して接合することができる。
【００２９】
また、ヘッドをマウントに取り付ける為のヘッド取り付け段部を接合後に機械加工により設けるため、拡散接合の際、段部も加圧することができるので、ハウジングの接合強度を高められる。
【００３０】
また、ハウジング板は、積層する位置によって段階的に形状が異なるため、インク供給路や、圧力発生源を挿入する貫通部を叙々に狭くしたり広くしたりすることができる。そのため、気泡の排出性向上や、ダイアフラムプレートの開口面積を減らすことによるクロストークの向上が図れることができる。
【００３１】
また、流路板及びハウジング板を一枚のステンレス板から複数枚切り出した上でエッチング加工することにより、複数のインク流路ユニット及びハウジングを同じ厚みで作製することができるので、生産性が向上する。
【００３２】
また、インク流路ユニットを拡散接合にて接合し、インク流路ユニットにインクを供給するインク供給管を溶接により接合したため、拡散接合で接合する工程を減らして接着剤を使用しないヘッドを作製できるので生産性が向上する。また、供給管が設けられるのでインクチューブを用いた場合、容易にインクを供給できる。
【００３３】
また、ハウジングにはインクが直接触れないので、金属の機械加工またはモールドで作製することができ、コストを下げることができる。
【００３４】
また、インク流路ユニットは、拡散接合で接合した後、溶接にて未接合領域を封止するため、加圧できない領域も封止することが可能になり、圧力発生源へのインクのリークを防止できるので、形状の自由度が増すことができる。
【００３５】
また、流路板は、ステンレスをプレス加工して形成し、プレス加工により発生したバリや歪みがなくなる程度に板の両面を研磨して作製することにより、プレス加工で作製した部品を用いて拡散接合により接合しても、信頼性の高い接合にできる。
【００３６】
また、複数のヘッドの流路板を積層した状態で拡散接合により接合して複数のインク流路ユニットを作製し、複数のヘッドのハウジング板を積層した状態で拡散接合により接合して複数のハウジングを作製し、複数のインク流路ユニットとハウジングを拡散接合にて接合して複数のハウジングユニットを作製することにより、一工程当たりのヘッド作製数を増やすことが可能になり、生産効率を向上させることができる。
【００３７】
また、複数の金属プレートと、金属プレートと接する流路板を拡散接合により接合してノズルユニットを形成し、ノズルユニットの状態でプレス加工またはレーザ加工にてノズルを加工することにより、ノズルと流路の位置を正確に形成することができ、ズレによる吐出性能の低下を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【実施例１】
【００３９】
図１は本発明によるインクジェットヘッドの実施例１を示す断面図である。図２は図１に示すインクジェットヘッドの側断面図である。図３（Ａ）〜図３（Ｇ）はインクジェットヘッドの接合する前の構成部品を示す平面図である。図１乃至図３に示されるように、実施例１のインクジェットヘッド１００は、大略、２つの構成ユニットからなり、インクの流れを制御するハウジングユニット１０と、インク吐出エネルギを発生する駆動ユニット２０とを有する。ハウジングユニット１０と駆動ユニット２０とは、固着されてヘッドユニット６０を構成する。
【００４０】
上記ハウジングユニット１０は、インクの流れを制御するインク流路ユニット３０と、インク流路ユニット３０を保持するハウジング４０とからなる。
【００４１】
駆動ユニット２０は、セラミック基板２１と、セラミック基板２１の端面にノズルピッチに合わせて配置した圧電素子２２と、電気信号を印加するFPC２３とを有する。そして、駆動ユニット２０は、FPC２３から電気信号が印加されると、圧電素子２２が伸縮し圧力発生源として動作する。
【００４２】
インク流路ユニット３０は、金属板からなる複数の流路板を積層して拡散接合により一体化される。この実施例１の流路板は、インク吐出口となる複数のノズル６１（６１ａ〜６１ｅ）を有するノズルプレート３１、インクを溜める複数の圧力室６２（６２ａ〜６２ｅ）を有するチャンバープレート３２、流体抵抗である複数のリストリクタ６３（６３ａ〜６３ｅ）を有するリストリクタプレート３３、連通孔７０（７０ａ〜７０ｅ）を有するダイアフラムプレート３４の４枚の流路板からなる。
【００４３】
ダイアフラムプレート３４の圧電素子２２が当接する部分は、リストリクタ６３に対向しており、圧電素子２２の伸縮により上下に振動する振動部６４である。この振動部６４は、振動することによりリストリクタ６３の内部に供給されたインクを加圧してノズル６１よりインクを噴出させる。
【００４４】
各流路板及びプレートの材質は、全て金属板（例えば、耐薬品性に優れたステンレス）である。また、ダイアフラムプレート３４以外は厚みが同一である。チャンバープレート３２、リストリクタプレート３３、ダイアフラムプレート３４は、エッチングで流路を形成し、ノズルプレート３１のみプレス加工またはレーザ加工にて複数のノズル６１を形成する。
【００４５】
尚、上記リストリクタプレート３３とチャンバープレート３２は、一体で形成しても良い。この場合、流路板の枚数が減るので接合工程を減らして生産効率を高めることができる。
【００４６】
ダイアフラムプレート３４には、リストリクタ６３に連通する連通孔７０（７０ａ〜７０ｅ）がそれぞれ設けられている。各プレート３１〜３４には、位置決め穴７１〜７２が設けられている。ノズルプレート３１の位置決め穴７１は、その他のインク流路ユニット３０の位置決め穴７２よりも小さい。これは、この位置決め穴７１を用いてヘッドの取り付けを行う場合、接合時に他のプレート３２〜３４がズレてしまった場合、穴のずれにより穴径が実質的に小さくなるのを防ぐ為である。従って、積層された各プレート３１〜３４においては、最小の内径を有する位置決め穴７１が基準穴となる。
【００４７】
ハウジング４０は、ダイアフラムプレート３４を除く流路板と同じ厚みのハウジング板４１〜４３を積層して拡散接合により一体化する。本実施例では、異なる穴形状を有する第１〜第３のハウジング板４１〜４３を積層して形成する。第１〜第３のハウジング板４１〜４３でそれぞれに共通するものは、インク供給口６５と位置決め穴７３である。
【００４８】
尚、位置決め穴７３は各プレート３１〜３４の位置決め穴７１〜７２よりも大きいので、積層時の位置ズレによる干渉を防ぐことができる。本実施例では、ハウジング板４１〜４３を各２枚づつ積層した構成とする。そして、各プレート３１〜３４を積層することにより、ノズル６１（６１ａ〜６１ｅ）、圧力室６２（６２ａ〜６２ｅ）、リストリクタ６３（６３ａ〜６３ｅ）、連通孔７０（７０ａ〜７０ｅ）が夫々連通した状態に組み合わされる。
【００４９】
ハウジング４０の下側に配置された第１のハウジング板４１は、ダイアフラムプレート３４と接する位置にあり、駆動ユニット２０を挿入する長方形状の貫通孔６６と、円形のインク供給口６５と、横に細長く形成されたマニホールド６８とが設けられる。
【００５０】
第２、第３のハウジング板４２，４３は、上記マニホールド６８が無く、インク供給口６５と貫通孔６６とが形成される。
【００５１】
ハウジング板４１〜４３においても、各板の位置ズレによる駆動ユニット２０への干渉を防ぐ為、上方に位置するハウジング板４１〜４３ほど貫通孔６６の開口面積（縦横寸法）が大きくなるように形成されている。
【００５２】
次に、ハウジングユニット１０の製造方法の手順について説明する。本実施例において、各ハウジング板４１〜４３及び各プレート３１〜３４の接合は、すべて拡散接合で行われる。この拡散接合は、真空中で1000℃以上の温度に加熱して２つの金属を加圧することにより接合する方法であり、接着剤を使わずに金属同士を接合することができる。尚、各金属板は、接合面となる表面を予め洗浄しておく必要がある。また、各ハウジング板４１〜４３及び各プレート３２〜３４は、板厚が±１μm以内に入るように管理する必要がある。
【００５３】
本実施例では以下の手順１〜５でインク流路ユニット３の接合を行う。
（手順１）ノズルプレート３１とチャンバープレート３２とを積層して拡散接合により接合してユニットＡ１（図示せず）を作製する。
（手順２）上記ユニットＡ１の上面にリストリクタプレート３３を積層して拡散接合により接合してユニットＢ１（図示せず）を作製する。
（手順３）上記ユニットＢ１の上面にダイアフラムプレート３４を積層して拡散接合により接合してインク流路ユニット３０を作製する。
（手順４）ハウジング板４１とハウジング板４２とハウジング板４３を積層して拡散接合により接合してハウジング４０を作製する。
（手順５）インク流路ユニット３０とハウジング４０とを拡散接合により接合して図４に示すようなハウジングユニット１０を作製する。
【００５４】
以上の手順１〜５の拡散接合工程によりハウジングユニット１０が完成する。
【００５５】
上記手順１〜５では、インク流路ユニット３０とハウジング４０を別々に組立てたが、各板の接合順序は、上記方法に限らず、インク流路ユニット３０とハウジング４０との接合部分を先に接合し、その上面または下面に各板を順番に接合する方法で組立てても良い。例えば、まず、ダイアフラムプレート３４とハウジング板４１を積層して拡散接合する方法もある。この場合、ハウジング板４１は枠を設け、リストリクタプレート３３等と接合する際、しっかり加圧できるようにする。その後の手順は、流路の形態によって適宜変更する。
【００５６】
最後にハウジング４０の下面とダイアフラムプレート３４との未接合領域をレーザ溶接で封止する。図５はハウジングユニット１０の平面図であり、図５において、斜線部分がレーザ溶接する領域Laである。本実施例では、ハウジング板４１とダイアフラムプレート３４の貫通孔６６との接合部は、加圧されない為、接合の信頼性が低く、インクがリークする可能性があるので、レーザ溶接により接合する。
【００５７】
次に、複数のハウジングユニット１０を並列に配置した状態での製造方法について説明する。図６に拡散接合を行なう前の状態を示す斜視図である。図６に示されるように、エッチングにより複数のプレート３１〜３４及びハウジング板４１〜４３の夫々が一対にリブ５１ａ，５１ｂを平行に配置した支持部５１を介してベースプレート５０に支持された状態で接合を順次行う。各ベースプレート５０の位置決めは、ベースプレート５０の枠に設けられたベース位置決め穴５２を用いる。
【００５８】
これにより、図７（Ａ）に示されるように、一度の接合工程でベースプレート５０の枠内に配置された複数（図中、例えば、４個）のハウジングユニット１０が同時に組立てられる。尚、ベースプレート５０に支持される部品数量は、拡散接合装置の大きさによって任意の数に増やすことができる。
【００５９】
そして、複数のハウジングユニット１０が拡散接合されると、図７（Ｂ）に示されるように、ワイヤーカット等の切断装置によりリブ５１ａ，５１ｂを切断して、各ハウジングユニット１０をベースプレート５０から分離させる。これにより、複数のハウジングユニット１０が同時に得られる。
【００６０】
次に工程では、ハウジングユニット１０を形成した後、図８に示されるように、ハウジング４０の両端にヘッド取り付け段部４４を機械加工で設け、ヘッド取り付け穴４５をレーザ加工により形成する。
【００６１】
尚、ヘッド取り付け段部４４を最初の工程で除いて接合すると、プレート３１〜３４及びハウジング板４１〜４３の輪郭形状が統一されず、面積が異なってしまうので、位置合わせが難しくなると共に積層工程が増えてしまう。しかしながら、ヘッド取り付け穴４５が残るような形状であれば、手順をかえてヘッド取り付け段部４４を取り除いた状態で接合することもできる。
【００６２】
次の工程では、上記のように形成されたハウジングユニット１０に駆動ユニット２０を接着剤を用いて固着し、インクジェットヘッド１００を完成させる。
【００６３】
このようにして完成したインクジェットヘッド１００は、インクが流れる部分に接着剤が用いられないので、接着剤を侵すようなインクでも使用することができる。この場合、接着剤を用いて作製したヘッドと若干違う特性を示すので、吐出波形・電圧など別途決める必要がある。また、プレート３１〜３４及びハウジング板４１〜４３は、同じ材質を用いているので熱膨張係数の差が殆どなく、耐熱性に優れたインクジェットヘッドを作製することができる。
【実施例２】
【００６４】
図９（Ａ）〜図９（Ｅ）は実施例２のプレート３１〜３５を示す平面図である。尚、図９（Ａ）〜図９（Ｅ）において、上記実施例１と同一部分には、同一符号を付してその説明を省略する。図９（Ａ）〜図９（Ｅ）に示されるように、実施例２では、前述したプレート３１〜３４からなるインク流路ユニット３０にサポートプレート３５が積層される。
【００６５】
サポートプレート３５には、圧電素子２２が進入する枠部６７をフルエッチングして貫通させ、下面側にはマニホールド６８となる領域（図９（A）中、破線で示す）をハーフエッチングして凹部を形成されている。さらに、マニホールド６８の両端部には、インクが供給されるインク供給穴６９が設けられる。
【００６６】
実施例２において、積層された各板、プレートを接合する手順は、以下の通りである。
（手順１ａ）ノズルプレート３１とチャンバープレート３２とを拡散接合してユニットＡ２（図示せず）を作製する。
（手順２ａ）サポートプレート３５とダイアフラムプレート３４とを拡散接合してユニットＢ２（図示せず）を作製する。
（手順３ａ）図１０に示されるように、上記ユニットＡ２とリストリクタプレート３３と上記ユニットＢ２とを拡散接合してインク流路ユニット３０を作製する。このように、実施例２では、上記手順１ａ〜３ａにより拡散接合だけで実施例１のような未接合領域（図５参照）がない接合を行える。
【００６７】
次の工程では、図１１に示されるように、インク流路ユニット３０の上面に２本のインク供給管８６を溶接により接合する。インク供給管８６もインク流路ユニット３０と同じ材質（耐薬品性に優れたステンレス）を用いる。
【００６８】
次の工程では、ハウジング４０をインク流路ユニット３０上に接着剤で固着する。ハウジング４０は、機械加工またはモールドで形成する。ここでは、常温硬化接着剤を用いるので樹脂性のハウジング４０を用いる。
【００６９】
図１２に示されるように、ハウジング４０には、駆動ユニット２０を挿入する貫通孔６６、インク供給管８６を挿入するインク供給管挿入口７４が設けてある。
【００７０】
図１３に示されるように、インク供給管８６は、インク供給管挿入口７４に挿通させた状態で接合される。
【００７１】
このような実施例２の製造方法でハウジングユニット１０を作製することにより、ハウジング４０をインク流路ユニット３０上に接着剤で固着するが、インクの流れる領域では接着剤が用いられない。よって、時間がかかる拡散接合工程を減らすことができ、その分製造工程の生産効率を高められる。
【実施例３】
【００７２】
図１４は実施例３に適用される研磨工程を示す斜視図である。図１４に示されるように、ベースプレート５０に複数のプレート３１〜３４及びハウジング板４１〜４３及びベース位置決め穴５２がリブ５１ａ，５１ｂを介して支持された状態でプレス加工により形成する。
【００７３】
本実施例では、インク流路の形成に位置精度・穴精度がエッチングよりも高いプレス加工を用いている。プレス加工で圧力室６２などを形成すると、精度が良い反面、端部にバリが発生しやすく、接合不良となり易い。
【００７４】
そこで、本実施例においては、プレス加工後にプレート全面（図１４中、ハッチングで示す）を研磨処理することにより、バリをなくして厚みを均一にすることができる。この場合、研磨による板厚管理が難しく、接合領域が狭くなるので２〜４枚程度と少ない枚数で拡散接合を行うことが望ましい。
【実施例４】
【００７５】
図１５（A）（B）は実施例４におけるノズルプレート３１、チャパプレート３２を示す平面図である。図１６（A）（B）は実施例４におけるノズルプレート３１，チャパプレート３２を積層した状態を示す平面図、断面図である。図１７（A）（B）は実施例４におけるノズルプレート３１，３２を積層した状態を示す図である。
【００７６】
実施例４では、まず、手順1として、図１５（A）（B）に示されるように、チャパプレート３２に、圧力室６２（６２ａ〜６２ｅ）及び位置決め穴７２を形成する。
【００７７】
次の手順２では、図１６（A）（B）に示されるように、ノズル６１が形成される前の状態のノズルプレート３１とチャンバープレート３２を積層した状態で拡散接合して接合する。
【００７８】
次の手順３では、図１７（A）（B）に示されるように、ノズルプレート３１にプレス加工またはレーザ加工によりノズル６１を形成する。
【００７９】
尚、プレスでノズル６１を加工する場合、ノズルプレート３１の上面側である圧力室６２側からプレスする。このような方法を用いることにより、圧力室６２とノズル６１の相対位置関係を正確に位置合わせることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明による実施例１のインクジェットヘッドの断面図である。
【図２】図１に示すインクジェットヘッドの側面から見た断面図である。
【図３】インクジェットヘッドの接合する前のノズルプレート及びハウジング板を示す平面図である。
【図４】実施例１におけるハウジング４０の斜視図である。
【図５】実施例１におけるハウジングユニット１０の平面図である。
【図６】拡散接合を行なう前の状態を示す斜視図である。
【図７】リブ５１ａ，５１ｂを介してベースプレート５０に支持された状態の各プレートを積層して複数のハウジングユニット１０を作製する工程を示す斜視図である。
【図８】ヘッド取り付け段部４４を機械加工した状態を示す斜視図である。
【図９】実施例２におけるインクジェットヘッドの接合する前のノズルプレート及びサポートプレートを示す平面図である。
【図１０】実施例２におけるインク流路ユニット３０を作製する際の接合途中の状態を示す斜視図である。
【図１１】実施例２におけるインク流路ユニット３０にインク供給管８６を接合した状態を示す斜視図である。
【図１２】実施例２におけるインク流路ユニット３０上にハウジング４０を取り付ける状態を示す斜視図である。
【図１３】実施例２におけるインク流路ユニット３０上にハウジング４０を固着した状態を示す斜視図である。
【図１４】実施例３に適用される研磨工程を示す斜視図である。
【図１５】実施例４におけるノズルプレート３１，３２を示す平面図である。
【図１６】実施例４におけるノズルプレート３１，３２を積層した状態を示す図である。
【図１７】実施例４におけるノズル６１を加工した状態を示す図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０  ハウジングユニット
２０  駆動ユニット
２１  セラミック基板
２２  圧電素子
２３  ＦＰＣ
３０インク流路ユニット
３１  ノズルプレート
３２  チャンバープレート
３３  リストリクタプレート
３４  ダイアフラムプレート
３５  サポートプレート
４０  ハウジング
４１〜４３ハウジング板
４４  ヘッド取り付け段部
４５  ヘッド取り付け穴
５０ベースプレート
５１ａ，５１ｂ  リブ
５２  ベース位置決め穴
６１  ノズル
６２  圧力室
６３  リストリクタ
６５  インク供給口
６６  貫通孔
６７  枠部
６８  マニホールド
６９  インク供給穴
７０  連通孔
７１〜７３  位置決め穴
７４  インク供給管挿入口
８６  インク供給管
１００  インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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