(57)【要約】【課題】本発明は、従来と比べて、低コストで且つ液体をワークの複数個所に同時に塗布しえる液体塗布装置用マルチノズル及び液体塗布装置を提供することを目的とする。【解決手段】ノズル本体１１と、このノズル本体１１に設けられた複数のノズル１３と、前記ノズル本体１１に設けられ，前記ノズル１３に夫々連通する液体用通路１４と、前記ノズル本体１１に前記各液体用通路１４と夫々連通して設けられ，前記各ノズル１３からの液体の流量を個別に調節するバルブ１５を具備することを特徴とする液体塗布装置用マルチノズル。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル本体と、このノズル本体に設けられた複数のノズルと、前記ノズル本体に設けられ，前記ノズルに夫々連通する液体用通路と、前記ノズル本体に前記各液体用通路と夫々連通して設けられ，前記各ノズルからの液体の流量を個別に調節するバルブを具備することを特徴とする液体塗布装置用マルチノズル。
【請求項２】
マニホールドと、このマニホールドと切り離し自在に取り付けられたノズル本体と、このノズル本体に設けられた複数のノズルと、前記ノズル本体及びマニホールドに設けられ，前記ノズルに夫々連通する配管と、前記マニホールドに前記各配管と夫々接続して設けられ，前記ノズルからの液体の流量を個別に調節するバルブを具備することを特徴とする液体塗布装置用マルチノズル。
【請求項３】
請求項１もしくは請求項２記載の液体塗布装置用マルチノズルと、このマルチノズルに液体供給配管を介して連結し、前記マルチノズルに供給する液体を収容する液体収容タンクと、前記マルチノズル及び液体収容タンクに夫々エアー供給用配管を介して連結して前記マルチノズル及び液体収容タンクにエアーを送る機能を有するコントローラを具備し、外部からの信号により前記マルチノズルよりワークに液体を塗布することを特徴とする液体塗布装置。
【請求項４】
請求項３記載の液体塗布装置はワークとしてのリードフレームに半田ペーストを塗布するために使用されることを特徴とする液体塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、あらゆる分野の液体塗布工程の製造工程に使用される液体塗布装置用マルチノズルに関する。本発明は、特に半導体装置製造の後工程におけるチップ組み立て及び配線の接合に用いる接合材（半田ペースト、銀ペースト、エポキシ材等）の塗布工程に使用される液体塗布装置用マルチノズル、及びこのマルチノズルを使用する液体塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体を多点に塗布する場合、一般に、図４に示すように１つのノズル１を用い、このノズル１を順次移動することによりワーク２上に塗布液３を塗布している。しかし、この方式の場合、１度に１回しか塗布液３を塗布できないため、生産性が低い。
【０００３】
また、従来、図５のようにマルチディスペンサーによる塗布方式が知られている。この方式は、複数のディスペンサー４とこれらのディスペンサー４を夫々制御する制御部５を備えた装置を用いて塗布液３をワーク２上に複数個所同時に塗布することを特徴とする。しかし、この方式によれば、複数のディスペンサー４及びこれに対応した制御部５を夫々必要とするため、設備金額が高額になるといった問題があった。
【０００４】
従来、微小部品に接着剤や被膜材を吐出塗布したり、あるいはガスや溶剤を吹き付けたりするマルチノズルとして、例えば特許文献１、特許文献２が知られている。
【特許文献１】特開平７−６０１６２号公報
【特許文献２】特開平７−９６２３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は従来の課題を解決するためになされたもので、従来と比べて、低コストで且つ液体をワークの複数個所に同時に塗布しえる液体塗布装置用マルチノズル及び液体塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る液体塗布装置用マルチノズルは、ノズル本体と、このノズル本体に設けられた複数のノズルと、前記ノズル本体に設けられ，前記ノズルに夫々連通する液体用通路と、前記ノズル本体に前記各液体用通路と夫々連通して設けられ，前記各ノズルからの液体の流量を個別に調節するバルブを具備することを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の液体塗布装置用マルチノズルは、マニホールドと、このマニホールドと切り離し自在に取り付けられたノズル本体と、このノズル本体に設けられた複数のノズルと、前記ノズル本体及びマニホールドに設けられ，前記ノズルに夫々連通する配管と、前記マニホールドに前記各配管と夫々接続して設けられ，前記ノズルからの液体の流量を個別に調節するバルブを具備することを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る液体塗布装置は、前記液体塗布装置用マルチノズルと、このマルチノズルに液体供給配管を介して連結し、前記マルチノズルに供給する液体を収容する液体収容タンクと、前記マルチノズル及び液体収容タンクに夫々エアー供給用配管を介して連結して前記マルチノズル及び液体収容タンクにエアーを送る機能を有するコントローラを具備し、外部からの信号により前記マルチノズルよりワークに液体を塗布することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、従来と比べて、低コストでしかも液体をワークの複数個所に同時に塗布しえる液体塗布装置用マルチノズル及び液体塗布装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明について更に詳しく説明する。  
本発明に係る液体塗布装置用マルチノズルは、次の２タイプに区分される。  
１）ノズル本体と、このノズル本体に設けられた複数のノズルと、前記ノズル本体に設けられ，前記ノズルに夫々連通する液体用通路と、前記ノズル本体に前記各液体用通路と夫々連通して設けられ，前記各ノズルからの液体の流量を個別に調節するバルブを具備することを特徴とする液体塗布装置用マルチノズル。
【００１１】
２）マニホールドと、このマニホールドと切り離し自在に取り付けられたノズル本体と、このノズル本体に設けられた複数のノズルと、前記ノズル本体及びマニホールドに設けられ，前記ノズルに夫々連通する配管と、前記マニホールドに前記各配管と夫々接続して設けられ，前記ノズルからの液体の流量を個別に調節するバルブを具備することを特徴とする液体塗布装置用マルチノズル。  
上記１）、２）いずれのタイプの場合も低コストで液体をワーク上に同時に塗布できる点は同じであるが、上記２）の場合はノズル本体がマニホールドと分離可能であるので、ノズルを交換する場合に有効である。
【００１２】
本発明において、上記１）又は２）のいずれかの液体塗布装置用マルチノズルと、このマルチノズルに液体供給配管を介して連結し、前記マルチノズルに供給する液体を収容する液体収容タンクと、前記マルチノズル及び液体収容タンクに夫々エアー供給用配管を介して連結して前記マルチノズル及び液体収容タンクにエアーを送る機能を有するコントローラを具備することにより、外部からの信号により前記マルチノズルよりワークに液体を塗布することが可能な液体塗布装置を構成することができる。この液体塗布装置は、特に半導体装置製造の後工程において、チップ組み立て及び配線の接合に用いる接合材（例えば、半田ペースト）をワークとしてのリードフレームの複数個所に同時に塗布する場合に有効である。こうした液体塗布装置を用いれば、塗布精度が要求される多点塗布を高速で行うことができるとともに、従来のようなディスペンサーを制御する設備が不要になるので設備金額を低額に抑えることができる。
【００１３】
次に、本発明の具体的な実施の形態について説明する。  
（第１の実施形態）  
本発明の第１の実施形態に係る液体塗布装置用マルチノズルについて図１（Ａ），（Ｂ）を参照して説明する。ここで、図１（Ａ）は前記マルチノズルの断面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の縦断面図を示す。
【００１４】
図中の符番１１は、上部に空洞部１２を有するノズル本体を示す。このノズル本体１１の下部には複数のノズル１３が設けられている。前記ノズル本体１１には、このノズル本体の空洞部１２と連通する液体用通路１４が設けられている。前記ノズル本体１１には、前記各液体用通路１４と夫々接続するバルブ１５が設けられている。このバルブ１５を回転（開閉）することにより、前記各ノズル１１から吐出される液体の流量を個別に調節することができる。
【００１５】
第１の実施形態によれば、ノズル本体１１に複数のノズル１３とともに、これらのノズル１３に夫々連通する配管１４が設けられ、更に前記ノズル本体１１にノズル１３から供給される液体の流量を個別に調節する機能を有するバルブ１５が設けられた構成になっているため、各ノズル１３からの液体の流量を調節することができる。従って、塗布精度が要求される多点塗布を高速で行うことができるとともに、従来のようなディスペンサーを制御する設備が不要になるので設備金額を低額に抑えることができる。
【００１６】
（第２の実施形態）  
本実施態様に係る液体塗布装置用マルチノズルについて、図２（Ａ），（Ｂ)を参照して説明する。ここで、図２（Ａ）は前記マルチノズルの断面図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の縦断面図を示す。但し、図１と同部材は同符番を付して説明を省略する。
【００１７】
図中の符番１６は、マニホールドを示す。ノズル本体１１は、前記マニホールド１６と切り離し自在に取り付けられている。ノズル１３に夫々連通する配管１７は、前記ノズル本体１１及びマニホールド１６に埋め込まれるように設けられている。
【００１８】
第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様な効果を有する他、ノズル本体１１がマニホールド１６と切り離すことができるように構成されているので、ノズル本体１１のみの交換を容易に行うことができる。
【００１９】
（第３の実施の形態）  
本実施形態に係るバルブ式液体塗布装置について図３を参照して説明する。  
図中の符番２１は、液体塗布装置用マルチノズルを示す。このマルチノズル２１の下部側には、液体供給配管２２を介して前記マルチノズル２１に供給する液体を収容する液体収容タンク２３が接続されている。前記マルチノズル２１の上部には、バルブ操作エアー配管２４を介してマルチノズル２１にエアーを供給するコントローラ２５が接続されている。また、前記液体収容タンク２３には、タンク液圧配管２６を介して前記コントローラ２５が接続されている。
【００２０】
こうした構成の液体塗布装置を用いて、ワークとしてのリードフレーム２７上に例えばペースト半田２８を塗布するには、液体収容タンク２３内に半田液を収容した状態で、外部からコントローラ２５に信号を送ることにより、コントローラ２５にエアーを供給し、コントローラ２５から液体収容タンク２３及びマルチノズル２１に夫々エアーを供給することにより行う。マルチノズル２１の各バルブの開閉度合を調節することにより、ノズル２９からリードフレーム２７に吐出される半田液の量を調節して、リードフレーム２７上にペースト半田２８を複数個同時に形成することができる。
【００２１】
第３の実施形態によれば、液体塗布装置用マルチノズル２１と、このマルチノズル２１に供給する液体を収容する液体収容タンク２３と、前記マルチノズル２１及び液体収容タンク２３に夫々接続するコントローラ２５を備え、外部からコントローラ２５に信号を送ることにより、前記マルチノズル２１からの半田液の量を調節してリードフレーム２７の所定の複数の箇所に同時に塗布することができる。従って、塗布精度が要求される多点塗布を高速で行うことができるとともに、従来のようなディスペンサーを制御する設備が不要になるので設備金額を低額に抑えることができる。
【００２２】
なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具現化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。更には、マルチノズルの用途もリードフレーム上に塗布するペースト半田の場合について限らず、他の液体を塗布する場合にも適用可能であり、液体塗布装置も上述したバルブ式に限らず、例えばシリンジ式でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る液体塗布装置用マルチノズルの説明図。
【図２】本発明の第２の実施形態に係る液体塗布装置用マルチノズルの説明図。
【図３】本発明の第３の実施形態に係る液体塗布装置の説明図。
【図４】１つのノズルで液体を多点に塗布する場合の従来の塗布方式の説明図。
【図５】マルチディスペンサーによる従来の塗布方式の説明図。
【符号の説明】
【００２４】
１１…ノズル本体、１２…空洞部、１３…ノズル、１４…液体用通路、１５…バルブ、１６…マニホールド、１７…配管、２１…液体塗布装置用マルチノズル、２２…液体供給配管、２３…液体収容タンク、２４…バルブ操作エアー配管、２５…コントローラ、２６…タンク液圧配管。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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