(57)【要約】【課題】簡単な構成でホットスイッチ動作が可能となるスイッチを提供すること。【解決手段】本発明は、一端が基板に固定された第１部材（３０）と、第１接点部（１２）が設けられ、一端が第１部材に固定された複数の梁部（１４）と、第１接点部と第２接点部（２１）とが接続および非接続し、並列に接続された複数の接点スイッチ部（１０ａ〜１０ｅ）と、複数の接点スイッチ部が接続される共通接続点と複数の接点スイッチ部とのそれぞれの間に設けられた抵抗（Ｒ１〜Ｒ４）と、を有し、複数の接点スイッチ部の少なくとも１つ（１０ａ）が接続したとき、非接続の接点スイッチ部のうち少なくとも１つに対応した抵抗の抵抗値は、前記接続した接点スイッチ部に対応する抵抗の抵抗値より小さいことを特徴とするスイッチである。【選択図】  図７
2007103312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が基板に固定された第１部材と、
第１接点部が設けられ、一端が前記第１部材に固定された複数の第１梁部と、
前記第１接点部と第２接点部とが接続および非接続し、並列に接続された複数の接点スイッチ部と、
前記複数の接点スイッチ部が接続される共通接続点と前記複数の接点スイッチ部とのそれぞれの間に設けられた抵抗と、を具備し、
前記複数の接点スイッチ部の少なくとも１つが接続したとき、非接続の接点スイッチ部のうち少なくとも１つに対応した前記抵抗の抵抗値は、前記接続した接点スイッチ部に対応する前記抵抗の抵抗値より小さいことを特徴とするスイッチ。
【請求項２】
前記複数の接点スイッチ部の少なくとも１つが接続したとき、前記第１部材の前記複数の第１接点部が設けられた面と前記複数の第２接点部が設けられた面とは傾いていることを特徴とする請求項１記載のスイッチ。
【請求項３】
前記第１部材は前記基板の表面に対し概垂直方向に駆動し、前記複数の第１接点部と前記複数の第２接点部とは前記基板の表面に対し概垂直方向に駆動し接続および非接続することを特徴とする請求項１または２記載のスイッチ。
【請求項４】
前記複数の接点スイッチ部は、前記第１部材の前記固定部と前記接点スイッチ部との方向に配置されることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項記載のスイッチ。
【請求項５】
前記複数の接点スイッチ部は、前記第１部材の前記固定部と前記接点スイッチ部との方向とは異なる方向に複数配置されることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項記載のスイッチ。
【請求項６】
前記基板に固定された第２部材と、
前記複数の第２接点部のそれぞれが設けられ、一端が前記第２部材に固定された複数の第２梁部と、を具備することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項記載のスイッチ。
【請求項７】
第１接点部が設けられ、一端が前記第１部材に固定された複数の第１梁部と、
前記第１接点部と第２接点部とが接続および非接続し、並列に接続された複数の接点スイッチ部と、
前記複数の接点スイッチ部が接続される共通接続点と前記複数の接点スイッチ部とのそれぞれの間に設けられた抵抗と、を具備し、
前記複数の第１接点部および前記複数の第２接点部の少なくとも一方はそれぞれ高さが異なっており、
前記複数の接点スイッチ部の少なくとも１つが接続したとき、非接続の接点スイッチ部のうち少なくとも１つに対応した前記抵抗の抵抗値は、前記接続した接点スイッチ部に対応する前記抵抗の抵抗値より小さいことを特徴とするスイッチ。
【請求項８】
第１接点部が設けられ、一端が前記第１部材に固定された複数の第１梁部と、
前記第１接点部と第２接点部とが接続および非接続し、並列に接続された複数の接点スイッチ部と、
前記複数の接点スイッチ部が接続される共通接続点と前記複数の接点スイッチ部とのそれぞれの間に設けられた抵抗と、を具備し、
前記複数の第１接点部と前記複数の第２接点部とは、前記接点スイッチ部の配列方向に接続および非接続し、
前記複数の接点スイッチ部の少なくとも１つが接続したとき、非接続の接点スイッチ部のうち少なくとも１つに対応した前記抵抗の抵抗値は、前記接続した接点スイッチ部に対応する前記抵抗の抵抗値より小さいことを特徴とするスイッチ。
【請求項９】
複数の第２接点部の配列方向に、第１接点部および前記複数の第２接点部の少なくとも一方がスライドすることにより接続および非接続し、並列に接続された複数の接点スイッチ部と、
前記複数の接点スイッチ部が接続される共通接続点と前記複数の接点スイッチとの間に設けられた抵抗と、を具備し、
前記複数の接点スイッチの少なくとも１つが接続したとき、非接続の接点スイッチのうち少なくとも１つに対応した前記抵抗の抵抗値は、前記接続した接点スイッチに対応する前記抵抗の抵抗値より小さいことを特徴とするスイッチ。
【請求項１０】
前記第１接点部および前記複数の第２接点部の少なくとも一方が固定された部材は基板に固定された固定点を中心に回転することにより、第１接点部および前記複数の第２接点部の少なくとも一方がスライドすることを特徴とする請求項９記載のスイッチ。
【請求項１１】
前記抵抗は、対応する接点スイッチ部の接続する順に抵抗が小さくなることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項記載のスイッチ。
【請求項１２】
前記複数の接点スイッチ部の少なくとも１つが非接続となったとき、接続の接点スイッチ部のうち少なくとも１つに対応した前記抵抗の抵抗値は、前記非接続となった接点スイッチ部に対応する前記抵抗の抵抗値より大きいことを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項記載のスイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスイッチに関し、特に機械的に駆動し電気的に接続するスイッチに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、移動体通信システムの発展に伴って携帯電話、携帯情報端末等が急速に普及している。例えば、携帯電話端末においては、８００ＭＨｚ〜１．０ＧＨｚ帯および１．５ＧＨｚ〜２．０ＧＨｚ帯といった高周波帯が使用されている。これら移動通信システム用の機器には、高周波用スイッチが用いられている。高周波用スイッチとしては、小型化および省電力化が求められ、従来はＧａＡｓ（砒化ガリウム）等を用いた半導体スイッチ等が用いられている。しかし、半導体スイッチは電力損失が大きくアイソレーションが低い。そこで、小型化が可能で、低電力損失、高アイソレーションが可能な微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）技術を用いた高周波用ＭＥＭＳスイッチ（ＲＦ  ＭＥＭＳ  ＳＷ）の開発が進められている。
【０００３】
特許文献１および２には可動する部材に設けられた接点と、もう一方の固定された部材に設けられた接点とが、電気的に接続、非接続することによりスイッチングするＲＦ  ＭＥＭＳ  ＳＷスイッチが開示されている。このようなＲＦ  ＭＥＭＳ  ＳＷにおいては、通電中にスイッチを開閉する（ホットスイッチ動作）と電力が接点で消費され、接点が発熱し破損してしまう。このため、ホットスイッチ動作することができる電力は数１０ｍＷ程度である。そこで、通電電力をオフしスイッチを開閉する（コールドスイッチ動作）ことが行われている。しかし、コールドスイッチ動作のためには、通電電力の開閉を、ＲＦ  ＭＥＭＳ  ＳＷ  と同期して行わなくてはならず制御が複雑となる。
【０００４】
そこで、ホットスイッチ動作を可能とするため、例えば特許文献１においては、並列に接続された複数の接点に直列に抵抗を設ける構成が開示されている。また、非特許文献１においては、図１で示した構成が開示されている。図１を参照に電源Ｅと負荷抵抗ＲＬに並列に接点スイッチ部ＳＷ１ないしＳＷ５が接続し、接点スイッチ部ＳＷ２ないしＳＷ５にはそれぞれ抵抗Ｒ１ないしＲ４が直列に接続している。接点スイッチ部ＳＷ１には抵抗は接続していない。このような構成により、スイッチをオン状態とする場合は、接点スイッチ部ＳＷ２ないしＳＷ５を接続し、その後接点スイッチ部ＳＷ１を接続する。一方、スイッチをオフ状態にする場合は、接点スイッチ部ＳＷ１を非接続とし、その後、接点スイッチ部ＳＷ２ないしＳＷ５を非接続とする。このような動作により、スイッチに直流電力通電中にスイッチを開閉した場合の耐電力性が向上することが知られている（非特許文献１）
【特許文献１】特開２００４−２００００８号公報
【特許文献２】特開２００５−２４３５７６号公報
【非特許文献１】米澤遊、若月昇、佐藤良夫、中谷忠および澤孝一郎、「アーキングのないパワーＭＥＭＳリレーの製造プロセス（Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ  ｐｒｏｃｅｓｓ  ｏｆ  ｎｏｎ  ａｒｃｉｎｇ  ｐｏｗｅｒ  ＭＥＭＳ  ｒｅｌａｙ）」、信学技報（Ｔｅｃｎｉｃａｌ  Ｒｅｐｏｒｔ  Ｏｆ  ＩＥＩＣＥ）、日本、財団法人  電子情報通信学会、２００４年１０月２１日
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
小型化が求められるＲＦ  ＭＥＭＳ  ＳＷにおいて、特許文献１および非特許文献１のような方法を用いホットスイッチ動作を行うためには、簡単な方法で複数の接点スイッチ部の時間制御を行うことが求められる。しかしながら、特許文献１および非特許文献１には、簡単な方法で複数の接点スイッチ部の時間制御を行う具体的な構成が明らかとはなっていない。
【０００６】
本発明は、簡単な構成でホットスイッチ動作が可能となるスイッチを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、一端が基板に固定された第１部材と、第１接点部が設けられ、一端が前記第１部材に固定された複数の第１梁部と、前記第１接点部と第２接点部とが接続および非接続し、並列に接続された複数の接点スイッチ部と、前記複数の接点スイッチ部が接続される共通接続点と前記複数の接点スイッチ部とのそれぞれの間に設けられた抵抗と、を具備し、前記複数の接点スイッチ部の少なくとも１つが接続したとき、非接続の接点スイッチ部のうち少なくとも１つに対応した前記抵抗の抵抗値は、前記接続した接点スイッチ部に対応する前記抵抗の抵抗値より小さいことを特徴とするスイッチである。本発明によれば、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を抑制することができる。また、第１梁部がバネの役割をし、複数の接点スイッチ部をスムーズに接続することができる。よって、簡単な構成により、ホットスイッチ動作が可能となる。
【０００８】
本発明は、前記複数の接点スイッチ部の少なくとも１つが接続したとき、前記第１部材の前記複数の第１接点部が設けられた面と前記複数の第２接点部が設けられた面とは傾いていることを特徴とするスイッチとすることができる。本発明によれば、複数の接点スイッチ部を順次接続することができ、オン動作期間の接点スイッチ部の溶断を一層抑制することができる。
【０００９】
本発明は、前記第１部材は前記基板の表面に対し概垂直方向に駆動し、前記複数の第１接点部と前記複数の第２接点部とは前記基板の表面に対し概垂直方向に駆動し接続および非接続することを特徴とするスイッチとすることができる。また、本発明は、前記複数の接点スイッチ部は、前記第１部材の前記固定部と前記接点スイッチ部との方向に配置されることを特徴とするスイッチとすることができる。本発明によれば、第１部材を駆動することにより、接点スイッチ部が接続したとき、第１部材の複数の第１接点部が設けられた面と第２接点部が設けられた面とを傾向けることができる。
【００１０】
本発明は、前記複数の接点スイッチ部は、前記第１部材の前記固定部と前記接点スイッチ部との方向とは異なる方向に複数配置されることを特徴とするスイッチとすることができる。本発明によれば、第１部材は小さい距離の駆動ですむ。よって、第１部材の機械的強度を考慮すると第１部材の長さを短くすることができる。これにより、スイッチの小型化が可能となる。
【００１１】
本発明は、前記基板に固定された第２部材と、前記複数の第２接点部のそれぞれが設けられ、一端が前記第２部材に固定された複数の第２梁部を具備することを特徴とするスイッチとすることができる。本発明によれば、第１梁部および第２梁部の変位を小さくできる。よって、第１梁部および第２梁部の長さを小さくでき、スイッチの小型化を図ることができる。
【００１２】
本発明は、第１接点部が設けられ、一端が前記第１部材に固定された複数の第１梁部と、前記第１接点部と第２接点部とが接続および非接続し、並列に接続された複数の接点スイッチ部と、前記複数の接点スイッチ部が接続される共通接続点と前記複数の接点スイッチ部とのそれぞれの間に設けられた抵抗と、を具備し、前記複数の第１接点部および前記複数の第２接点部の少なくとも一方はそれぞれ高さが異なっており、前記複数の接点スイッチ部の少なくとも１つが接続したとき、非接続の接点スイッチ部のうち少なくとも１つに対応した前記抵抗の抵抗値は、前記接続した接点スイッチ部に対応する前記抵抗の抵抗値より小さいことを特徴とするスイッチである。本発明によれば、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を抑制することができる。また、第１梁部がバネの役割をし、複数の接点スイッチ部をスムーズに接続することができる。よって、簡単な構成により、ホットスイッチ動作が可能となる。
【００１３】
本発明は、第１接点部が設けられ、一端が前記第１部材に固定された複数の第１梁部と、前記第１接点部と第２接点部とが接続および非接続し、並列に接続された複数の接点スイッチ部と、前記複数の接点スイッチ部が接続される共通接続点と前記複数の接点スイッチ部とのそれぞれの間に設けられた抵抗と、を具備し、前記複数の第１接点部と前記複数の第２接点部とは、前記接点スイッチ部の配列方向に接続および非接続し、前記複数の接点スイッチ部の少なくとも１つが接続したとき、非接続の接点スイッチ部のうち少なくとも１つに対応した前記抵抗の抵抗値は、前記接続した接点スイッチ部に対応する前記抵抗の抵抗値より小さいことを特徴とするスイッチである。本発明によれば、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を抑制することができる。また、第１梁部がバネの役割をし、複数の接点スイッチ部をスムーズに接続することができる。よって、簡単な構成により、ホットスイッチ動作が可能となる。
【００１４】
複数の第２接点部の配列方向に、第１接点部および前記複数の第２接点部の少なくとも一方がスライドすることにより接続および非接続し、並列に接続された複数の接点スイッチ部と、前記複数の接点スイッチ部が接続される共通接続点と前記複数の接点スイッチとの間に設けられた抵抗と、を具備し、前記複数の接点スイッチの少なくとも１つが接続したとき、非接続の接点スイッチのうち少なくとも１つに対応した前記抵抗の抵抗値は、前記接続した接点スイッチに対応する前記抵抗の抵抗値より小さいことを特徴とするスイッチである。本発明によれば、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を抑制することができる。よって、簡単な構成により、ホットスイッチ動作が可能となる。
【００１５】
本発明は、前記第１接点部および前記複数の第２接点部の少なくとも一方が固定された部材は基板に固定された固定点を中心に回転することにより、第１接点部および前記複数の第２接点部の少なくとも一方がスライドすることを特徴とするスイッチとすることができる。本発明によれば、一層簡単にホットスイッチ動作が可能なスイッチを構成することができる。
【００１６】
本発明は、前記抵抗は、対応する接点スイッチ部の接続する順に抵抗が小さくなることを特徴とするスイッチとすることができる。本発明によれば、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を一層抑制することができる。
【００１７】
本発明は、前記複数の接点スイッチ部の少なくとも１つが非接続となったとき、接続の接点スイッチ部のうち少なくとも１つに対応した前記抵抗の抵抗値は、前記非接続となった接点スイッチ部に対応する前記抵抗の抵抗値より大きいことを特徴とするスイッチとすることができる。本発明によれば、オフ動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を一層抑制することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、簡単な構成でホットスイッチ動作が可能となるスイッチを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照に本発明に係る実施例について説明する。
【実施例１】
【００２０】
実施例１に係るスイッチは一端が基板に固定された第１部材を有する例である。図２ないし図５を用い実施例１に係るスイッチの構成について説明する。図２は実施例１に係るスイッチの上視図（抵抗金属膜１６、低抵抗金属膜１８は図示せず。静電駆動上部電極部５４、第２部材２０は点線で図示）である。図３はＡ−Ａ断面の斜視図である（抵抗金属膜１６、低抵抗金属膜１８、下部電極金属膜５６および引き出し金属膜５８は図示せず）。図４（ａ）ないし図４（ｄ）は、それぞれ図２のＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−ＣおよびＤ−Ｄ断面図である。図５は図２の第１接点部１２付近の拡大図である。
【００２１】
図４（ａ）ないし図４（ｄ）のように、実施例１は、シリコン基板６０、酸化シリコン層６２、シリコン層６４のＳＯＩ（シリコン・オン・インシュレータ）構造を有している。さらにその上に金属層６６および金属層６８が積層した構造を有している。シリコン基板６０の厚さは例えば６００μｍ、酸化シリコン層６２、シリコン層６４、金属層６６および６８の膜厚は例えばそれぞれ、４μｍ、１５μｍ、２０μｍおよび２０μｍである。シリコン基板６０、酸化シリコン層６２、シリコン層６４の加工は例えば特許文献１、２、非特許文献１に記載された方法で加工することができる。その後、犠牲層を形成し金属層６６および６８は例えば金をメッキすることにより形成する。そして、犠牲層を除去することにより以下の構造を作製することができる。
【００２２】
図２より、シリコン基板６０上に固定部４０、４２、４４が設けられている。これら固定部は図４（ａ）ないし図４（ｄ）よりシリコン基板上の酸化シリコン層６２およびシリコン層６４により形成されている。図２、図３および図４（ｄ）より、固定部４０からは固定部４０以外では支持されていないシリコン層６４からなる第１部材３０が延びている。第１部材３０の中央付近にはシリコン層６４からなる静電駆動下部電極部５２が設けられている。静電駆動下部電極部５２上には下部電極金属膜５６が例えばＡｕメッキにより形成されている。下部電極金属膜５６は第１部材３０および固定部４０上に後述の引き出し金属膜５８を挟み連続して形成される。これにより外部と電気的に接続することができる。静電駆動下部電極部５２の上方には、金属層６８からなる静電駆動上部電極部５４が設けられている。図２、図３および図４（ｂ）より、静電駆動上部電極部５４は第１部材３０の幅方向の両側で固定部４４によりシリコン基板６０に固定されている。
【００２３】
図２、図３、図４（ａ）および図５より、第１部材３０の端部付近には複数の梁部１４が設けられ、それぞれの梁部１４の先端には円錐状の第１接点部１２が設けられている。第１接点部１２はシリコン層６４または金属層６６よりなる。第１接点部１２をシリコン層で形成する場合は、非特許文献１で開示された方法で作製する。金属で形成する場合は、金をメッキすることにより作製する。図５より、梁部１４上には第１接点部１２と接続する抵抗金属膜１６が例えば蒸着法により形成されている。一部の梁部１４の上には低抵抗金属膜１８が後述の引き出し金属膜５８と同様に形成される。抵抗金属膜１６は第１部材３０上に形成された引き出し金属膜５８に接続する。引き出し金属膜５８は第１部材３０および固定部４０上に形成される。これにより、第１接点部１２を電気的に外部に接続することができる。図２、図３、図４（ａ）、図４（ｃ）および図５より、第１接点部１２の上方向には金属層６８からなる第２部材２０が設けられている。第２部材２０の第１接点部１２が接続する箇所が第２接点部２１である。第１接点部１２と第２接点部２１とは接続および非接続する接点スイッチ部１０を構成する。図２、図３および図４（ａ）により第２部材２０は固定部４２によりシリコン基板６０に固定されている。
【００２４】
図６は実施例１に係るスイッチの動作を説明するたもの摸式図である。実施例１に係るスイッチは、一端がシリコン基板６０に固定された第１部材３０と、第１接点部１２が設けられ、一端が第１部材３０に固定された複数の梁部１４（第１梁部）とを有している。第２部材２０には複数の第２接点部２１が設けられている。接点スイッチ部１０ａないし１０ｅは、第１接点部１２と第２接点部２１とが接続および非接続し、並列に接続されている。複数の接点スイッチ部１０ａないし１０ｅが接続される共通接続点Ｐと、共通接続点Ｐと複数の接点スイッチ部１０ａないし１０ｅとのそれぞれの間に抵抗金属膜１６で形成される抵抗Ｒ１ないしＲ４が設けられている。ひとつの接点スイッチ部１０eと共通接続点Ｐとの間は低抵抗金属膜１８で接続されており、他に比べ小さい抵抗値となる。共通接続点Ｐは、電源Ｅ、負荷抵抗ＲＬが直列に接続される。また、各第１接点部１２の高さは概同じである。
【００２５】
図７（ａ）は図６の第１部材３０が上方に駆動した場合の模式図である。図６と同じ部材は同じ符号を付し説明を省略する。下部電極金属膜５６と静電駆動上部電極部５４との間に、極性の異なる電圧を印加することにより、第１部材３０に上方向に力Ｆが加わる。そうすると、第１部材３０は固定部４０を中心に回転し、第１部材３０は傾く、そして、まず接点スイッチ部１０ａにおいて第１接点部１２が第２接点部２１に接続する。このとき、その他の接点スイッチ部１０ｂないし１０ｅは接続していない。そして、非接続の接点スイッチ部１０ｅに対応した抵抗の抵抗値（すなわち低抵抗金属膜１８の抵抗値）は、接続した接点スイッチ部１０ａに対応する抵抗Ｒ１の抵抗値より小さい。また、接点スイッチ部１０ｂないし１０ｅにおける第１接点部１２と第２接点部２１との間の間隔は、それぞれ異なり、接点スイッチ部１０ｂから１０ｅの順にその間隔は大きくなる。よって、第１部材３０がさらに傾くと、接点スイッチ部１０ｂから１０ｅが順次接続する。
【００２６】
図７（ｂ）は全ての接点スイッチ部１０ａ〜１０ｅが接続した模式図である。図６と同じ部材は同じ符号を付し説明を省略する。先に接続した接点スイッチ部１０ａないし１０ｄの第１接点部１２は梁部１４がバネの役割をするため、全ての第１接点部１２が第２接点部２１に接続することができる。これによりスイッチはオン状態となる。
【００２７】
反対に、スイッチがオフ状態となる場合は、下部電極金属膜５６と静電駆動上部電極部５４との間の電圧を遮断する。そうすると、第１部材３０に加わる力はなくなる。よって、接点スイッチ部１０ｅないし１０ａの第１接点部１２が順に第２接点部２１から離れ、全ての第１接点部１２が第２接点部２１から離れるとスイッチはオフ状態となる。
【００２８】
次に、実施例１に係るスイッチの効果を計算した結果を説明する。まず、比較例について説明する。図８は、比較例に係るスイッチの等価回路である。図８を参照に、比較例では内部抵抗Ｒ０が５０Ωの２．１ＧＨｚの高周波電源に、比較例のスイッチを想定したスイッチ時間化抵抗Ｒ（ｔ）を介し５０Ωの負荷抵抗ＲＬに接続している。このとき、スイッチ時間変化抵抗Ｒ（ｔ）両端の電圧Ｖｓｗ、スイッチ時間変化抵抗Ｒ（ｔ）を流れる電流Ｉｓｗとする。スイッチがオン状態になることはＲ（ｔ）が低抵抗になることに相当し、スイッチがオン状態になることはＲ（ｔ）が高抵抗となることに相当する。
【００２９】
図９は比較例に係るスイッチの時間に対するスイッチ両端電圧Ｖｓｗ、スイッチ電流Ｉｓｗ、スイッチ消費電力の計算結果を示した図である。スイッチがオンするまでは、Ｖｓｗはピークで±２０Ｖ印加され、Ｉｓｗは流れていない。スイッチオンと同時にＶｓｗは０Ｖとなり、ピークで±２００ｍＡのＩｓｗが流れる。スイッチがオフすると、再びＶｓｗはピークで±２０Ｖ印加され、Ｉｓｗは流れない。スイッチがオン、オフする際、スイッチ消費電力は０．８Ｗのピークを有する。このため、比較例においては、接点スイッチ部が溶断してしまう。
【００３０】
次に、図１０は実施例１に係るスイッチの等価回路である。図１０では、図８と同じ部材は同じ記号を付し説明を省略する。スイッチ時間化抵抗Ｒ（ｔ）の代わりに、複数の接点スイッチ部１０eないし１０ａに相当するスイッチ時間変化抵抗Ｒ（ｔ）１ないしＲ（ｔ）５が並列の接続される。Ｒ（ｔ）２ないしＲ（ｔ）５にはそれぞれ抵抗Ｒ１ないしＲ５が直列に接続される。Ｒ１ないしＲ４はそれぞれ、５０Ω、１００Ω、２００Ωおよび４００Ωである。異なる抵抗は、図５の抵抗金属膜１６の厚さや幅を変えることにより形成している。図７（ａ）および図７（ｂ）において、オフ状態から接点スイッチ部１０ａないし１０ｅが順に接続しオン状態になることは、Ｒ（ｔ）５ないしＲ（ｔ）１が順に低抵抗となることに相当し、この期間がオン動作期間である。オン状態から接点スイッチ部１０ｅないし１０ａが順に非接続となりオフ状態になることは、Ｒ（ｔ）１ないしＲ（ｔ）５が順に高抵抗となることに相当し、この期間がオフ動作期間である。
【００３１】
図１１ないし図１３は実施例１に係るスイッチのオン動作期間、オフ動作期間の計算結果を示す図である。図１１はスイッチ両端電圧Ｖｓｗおよびスイッチ電流Ｉｓｗを時間に対し示した図である。オン動作期間では、Ｖｓｗは±２０Ｖから０Ｖに徐々に減少し、Ｉｓｗは徐々に増加する。オフ動作期間では、Ｖｓｗは０Ｖから±２０Ｖに徐々に増加し、Ｉｓｗは徐々に減少する。
【００３２】
図１２はＲ（ｔ）１ないしＲ（ｔ）５を流れる電流を時間に対し示した図である。オン動作期間には、まずＲ（ｔ）５に電流が流れ、Ｒ（ｔ）４からＲ（ｔ）１に順次電流が流れる。オフ動作期間にはオン動作期間と対象の振舞いを示す。
【００３３】
図１３はＲ（ｔ）１ないしＲ（ｔ）５の消費電力を時間に対し示した図である。図１２と同様に、オン動作期間には、まずＲ（ｔ）５で消費電力が消費され、Ｒ（ｔ）４からＲ（ｔ）１に順次電力が消費される。オフ動作期間にはオン動作期間と対象の振舞いを示す。図１２より、Ｒ１（ｔ）に電流が流れている場合は、Ｒ（ｔ）５ないしＲ（ｔ）２にはほとんど電流が流れていない。また、図１３より、この場合は消費電力が発生していない。これは、Ｒ（ｔ）１には直列に抵抗が接続していないためである。このように、スイッチがオン状態のときは、消費電力が発生しない。また、図９の比較例の消費電力のピークは０．８Ｗであったのに対し、図１３ではピークは０．１Ｗ以下である。これにより、オン動作期間およびオフ動作期間に第１接点部１２および第２接点部２１が溶断することがない。なお、Ｒ（ｔ）５ないしＲ（ｔ）２において消費電力が発生しているが、これは抵抗Ｒ１ないしＲ４で発生したものであり、比較例のような接点スイッチ部の溶断に至るものではない。
【００３４】
実施例１に係るスイッチは、図７（ｂ）のように、第１部材３０の一端が固定されているため、複数の接点スイッチ部１０ａないし１０ｅの少なくとも１つの接点スイッチ部１０ａが接続したとき、非接続の接点スイッチ部１０ｂないし１０ｅが存在する。そして、非接続の接点スイッチ部１０ｂないし１０ｅのうち少なくとも１つの接点スイッチ部１０eに対応した抵抗は低抵抗金属膜１８であり、その抵抗値は、接点スイッチ部１０ａに対応する抵抗Ｒ４の抵抗値より小さい。このため、図１３のように、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を抑制することができる。つまりホットスイッチ動作が可能となる。また、第１接点部１２が、一端が前記第１部材３０に固定された梁部１４（第１梁部）に設けられているため、図７（ｂ）のように、梁部１４がバネの役割をし、複数の接点スイッチ部１０をスムーズに接続することができる。このような簡単な構成により、ホットスイッチ動作が可能となる。
【００３５】
さらに、図７（ｂ）のように、接点スイッチ部１０ａが接続したとき、第１部材３０の複数の第１接点部１２ａないし１２ｅが設けられた面と第２接点部２１が設けられた面とは傾いている。このため、複数の第１接点部１２の高さが概同じであっても、第１接点部１２を順次、第２接点部２１に接続することができる。よって、接点スイッチ部１０ａないし１０ｅを順次接続することができ、オン動作期間の接点スイッチ部１０の溶断を一層抑制することができる。
【００３６】
さらに、図７（ｂ）のように、第１部材３０はシリコン基板６０の表面に対し概垂直方向に駆動し、複数の第１接点部１２と複数の第２接点部２１とはシリコン基板６０の表面に対し概垂直方向に駆動し接続および非接続する。さらに、図２のように、複数の接点スイッチ部１０は、第１部材３０の固定部４０と接点スイッチ部１０との方向に配置されている。これにより、図７（ｂ）のように、第１部材３０を駆動することにより、接点スイッチ部１０ａが接続したとき、第１部材３０の複数の第１接点部１２ａないし１２ｅが設けられた面と第２接点部２１が設けられた面とが傾くこととなる。なお、概垂直方向とは、第１部材３０が固定部４０を中心に回転する際の傾き程度を許容した範囲で垂直との意味である。
【００３７】
さらに、図１０のように、抵抗Ｒ１ないしＲ４は、対応する接点スイッチ部の接続する順に抵抗が小さくなっている。これにより、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を一層抑制することができる。
【００３８】
さらに、複数の接点スイッチ部１０ａないし１０ｅの少なくとも１つの接点スイッチ部１０ｅが非接続となったとき、接続している接点スイッチ部１０ａないし１０ｄのうち少なくとも１つに対応した抵抗Ｒ４ないしＲ１の抵抗値は、非接続となった接点スイッチ部１０ｅに対応する抵抗（低抵抗金属膜１８）の抵抗値より大きい。このため、図１３のように、オフ動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を抑制することができる。
【実施例２】
【００３９】
実施例２は第２接点部２１が梁部２４に設けられた例である。図１４（ａ）は実施例２に係るスイッチの第１接点部１２および第２接点部２１付近の上視図、図１４（ｂ）は接点スイッチ部１０付近の断面図である。図５と同じ部材は同じ符号を付し説明を省略する。複数の第２接点部２１のそれぞれが設けられ、一端が第２部材２０に固定された金属からなる複数の梁部２４（第２梁部）が設けられている。第２部材２０は固定部４２によりシリコン基板６０に固定されている。第１接点部１２と第２接点部２１とは接点スイッチ部１０を構成している。
【００４０】
図１５は実施例２に係るスイッチの動作を説明する図である。図６と同じ部材は同じ符号を付し説明を省略する。図６の実施例１と比較し、第２接点部２１を有する梁部２４が設けられている。
【００４１】
図１６は全ての接点スイッチ部１０ａないし１０ｅが接続した図である。図１５と同じ部材は同じ符号を付し説明を省略する。先に接続した接点スイッチ部１０ａないし１０ｄでは梁部１４および梁部２４がバネの役割をする。図７（ｂ）の実施例１においては、バネの役割をするのは第１接点部１２を有する梁部１４であったが、実施例２においては、第２接点部２１を有する梁部２４もバネの役割をする。よって、機械的強度を考慮すると、実施例１に比べ梁部１４および２４の変位を小さくできる。よって、梁部１４および２４の長さを小さくでき、スイッチの小型化を図ることができる。
【実施例３】
【００４２】
実施例３は、複数の接点スイッチ部１０が、第１部材３０の固定部４０と接点スイッチ部１０との方向とは異なる方向に配置される例である。図１７は実施例３の第１接点部１２付近の上視図である。図５と同じ部材は同じ符号を付し説明を省略する。梁部１４ａはＬ字型をしており、一端が第１部材３０に固定されている。梁部１４ａの他端には第１接点部１２が設けられている。ここで、第１接点部１２は外側から順に固定部４０に近くなっている。第１接点部１２には梁部１４ａ上に形成された抵抗金属膜１６が接続し、さらに低抵抗金属層１８を介し引き出し金属膜５８に接続する。第１接点部１２の上方向には、固定部４２によりシリコン基板６０に固定され金属層６８からなる第２部材２０が設けられている。
【００４３】
図１８は、実施例３の原理を説明するための図である。図１８（ａ）は実施例１の第２部材２０と第１接点部１２（すなわち接点スイッチ部１０）の位置関係を示した図である。図１８（ｂ）は実施例１の第１接点部１２の１つが第２部材２０に接した時の模式図である。同様に、図１８（ｃ）は実施例３の第２部材２０と第１接点部１２（すなわち接点スイッチ部１０）の位置関係を示した図である。図１８（ｄ）は実施例３の第１接点部１２の１つが第２部材２０に接した時の模式図である。図１８（ａ）ないし図１８（ｄ）のように、実施例１では接点スイッチ部１０が、第１部材３０の固定部４０と第１接点部１２（すなわち接点スイッチ部１０）との方向（以下、固定部−接点スイッチ方向）に複数配置されている。これに対し、実施例３では、接点スイッチ部１０が、固定部−接点スイッチ方向と異なる方向に複数配置されている。接点スイッチ部１０の間隔はある距離以上離すことが好ましい。接点スイッチ部を流れる電流による発熱の発散のためと、第１接点部１２を作製する際の制約によるものである。そこで、接点スイッチ部１０間の間隔をＬ１とすると、図１８（ａ）より実施例１では固定部−接点スイッチ方向の接点スイッチ部１０間の間隔はＬ１である。一方、実施例３では、固定部−接点スイッチ方向の接点スイッチ部１０間の間隔Ｌ２はＬ１より短くできる。
【００４４】
図１８（ｂ）および図１８（ｄ）より、実施例１および実施例３において、接点スイッチ部１０の１つが接続したとき、最も離れた第１接点部１２と第２接点部２１との距離を、それぞれＤ１、Ｄ２とする。実施例３のように、接点スイッチ部１０を、第１部材３０の固定部４０と接点スイッチ部１０との方向とは異なる方向に配置すれば、固定部−接点スイッチ方向の接点スイッチ部１０間の間隔は、実施例１のＬ１に対し実施例３ではＬ２と短くできる。このため、実施例３のＤ２は実施例１のＤ１に比べ小さくできる。この距離Ｄ２が小さいと、第１部材３０は小さい距離の駆動ですむ。よって、第１部材３０の機械的強度を考慮すると第１部材３０の長さを短くすることができる。これにより、スイッチの小型化が可能となる。
【実施例４】
【００４５】
実施例４は、第１接点部１２の高さが異なる例である。図１９（ａ）は実施例４の上視図（第２部材２０は図示していない）であり図１９（ｂ）は図１９（ａ）のＧ−Ｇ断面図であり、図１９（ｃ）は図１９（ａ）のＨ−Ｈ断面図である。図１９（ａ）および図１９（ｂ）を参照に、シリコン基板６０上に固定部４８を介し第１部材３２が固定されている。第１部材３０に一端を固定された梁部１４が設けられ、梁部１４の先端に第１接点部１２がそれぞれ設けられている。第１接点部１２の上方向には第１接点部１２と接続する第２接点部２１を有する第２部材２０が設けられている。第１接点部１２と第２接点部２１とは接点スイッチ部１０を構成する。第２部材２０はシリコン基板６０とスプリング３６により接続し、ピエゾ駆動装置３４により下方向に力Ｆが加えられる。
【００４６】
図２０は実施例４の動作を説明するための模式図である。図６と同じ部材は同じ符号を付し説明を省略する。図６を参照に、各梁部１４に設けられた第１接点部１２の高さｈ１ないしｈ５はそれぞれ異なる。このため、スイッチのオン動作期間には接点スイッチ部１０ａないし１０ｅがこの順に順次接続し、スイッチのオフ動作期間には接点スイッチ部１０ｅないし１０ａがこの順に順次、非接続となる。接点スイッチ部１０ａないし１０ｅは並列に接続されており、接点スイッチ部１０ａないし１０ｅが接続される共通接続点Ｐと接点スイッチ部１０ａないし１０ｅとのそれぞれの間には抵抗Ｒ１ないしＲ４が設けられている。なお、接点スイッチ部１０ｅは低抵抗金属膜で共通接続点Ｐと接続され、接点スイッチ部１０ｅと共通接続点Ｐとの間の抵抗は低抵抗となる。
【実施例５】
【００４７】
実施例５は第２接点部２１の高さが異なる例である。図２１は実施例５の動作を説明するための模式図である。図２０と同じ部材は同じ符号を付し説明を省略する。第２部材２０に設けられた第２接点部２２は高さがｈ１´ないしｈ５´と異なる。このため、スイッチのオン動作期間には接点スイッチ部１０ａないし１０ｅがこの順に順次接続し、スイッチのオフ動作期間には接点スイッチ部１０ｅないし１０ａがこの順に順次、非接続となる。接点スイッチ部１０ａないし１０ｅは並列に接続されており、接点スイッチ部１０ａないし１０ｅが接続される共通接続点Ｐと接点スイッチ部１０ａないし１０ｅとのそれぞれの間には抵抗Ｒ１ないしＲ４が設けられている。なお、接点スイッチ部１０ｅは低抵抗金属膜で共通接続点Ｐと接続され、接点スイッチ部１０ｅと共通接続点Ｐとの間の抵抗は低抵抗となる。
【００４８】
実施例４および５に係るスイッチは、図２０および図２１のように、複数の第１接点部１２または複数の第２接点部２１のそれぞれ高さが異なっているため、複数の接点スイッチ部１０ａないし１０ｅの少なくとも１つの接点スイッチ部１０ａが接続したとき、非接続の接点スイッチ部１０ｂないし１０ｅが存在する。そして、非接続の接点スイッチ部１０ｂないし１０ｅのうち少なくとも１つの接点スイッチ部１０eに対応する抵抗は低抵抗であり、その抵抗値は、接点スイッチ部１０ａに対応する抵抗Ｒ４の抵抗値より小さい。このため、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を抑制することができる。また、第１接点部１２が、一端が第１部材３０に固定された梁部１４（第１梁部）に設けられているため、梁部１４がバネの役割をし、複数の接点スイッチ部１０をスムーズに接続することができる。このような簡単な構成により、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、ホットスイッチ動作が可能となる。なお、第１接点部１２および複数の第２接点部２１の少なくても一方のそれぞれ高さが異なっていればその効果を奏することができる。
【実施例６】
【００４９】
実施例６は、複数の第１接点部１２と複数の第２接点部２１とは、接点スイッチ部１０の配列方向に接続および非接続する例である。図２２は実施例６に係るスイッチの上視図である。固定部に両端を固定された部材９４の間に第１部材９２が設けられ、第１部材９２に一端を固定された複数の梁部９０が設けられている。複数の梁部９０はそれぞれ第１接点部９１を有している。第１接点部９１にはそれぞれ第２接点部８４が接続、非接続する。第１接点部９１と第２接点部８４とは接点スイッチ部８０を構成する。第２接点部８４は梁部８２に固定されている。第１接点部９１の反対側の梁部９０には第２接点部８４と同様に梁部９０に接続する接点部を有する部材８６が設けられている。第１接点部９１と第２接点部８４との距離Ｇ１ないしＧ５は、Ｇ１からＧ５に順に長くなっている。よって、第１部材９２が図の矢印方向に変位すると、Ｇ１の距離を有する接点スイッチ部８０ａないし８０ｅが順に接続する。また、接点スイッチ部８０ｅないし８０ａが順に非接続となる。接点スイッチ部８０ａないし８０ｅは並列に接続されており、接点スイッチ部８０ａないし８０ｅが接続される共通接続点Ｐと接点スイッチ部８０ａないし８０ｅとのそれぞれの間には抵抗Ｒ１ないしＲ４が設けられている。なお、接点スイッチ部８０ｅは低抵抗金属膜で共通接続点Ｐと接続され、接点スイッチ部８０ｅと共通接続点Ｐとの間の抵抗は低抵抗となる。
【００５０】
実施例６によれば、複数の第１接点部９１と複数の第２接点部８４との距離はそれぞれ異なり、第１接点部９１と第２接点部８４とは、接点スイッチ部８０ａないし８０ｅの配列方向に接続および非接続する。このため、複数の接点スイッチ部８０ａないし８０ｅの少なくとも１つの接点スイッチ部８０ａが接続したとき、非接続の接点スイッチ部８０ｂないし８０ｅが存在する。そして、非接続の接点スイッチ部８０ｂないし８０ｅのうち少なくとも１つの接点スイッチ部８０eに対応する抵抗は低抵抗であり、その抵抗値は、接点スイッチ部８０ａに対応する抵抗Ｒ４の抵抗値より小さい。このため、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部の溶断を抑制することができる。また、第１接点部９１が、一端が前記第１部材９２に固定された梁部９０（第１梁部）に設けられているため、梁部１４がバネの役割をし、複数の接点スイッチ部９１をスムーズに接続することができる。このような簡単な構成により、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、ホットスイッチ動作が可能となる。
【実施例７】
【００５１】
実施例７は、複数の第２接点部７０の配列方向に、第１部材７３がスライドすることにより、複数の第２接点部７０が第１接点部７２に順次接続する例である。図２３は実施例７に係るの上視図であり、図２４は動作を説明するための模式図である。シリコン基板７５またはシリコン基板７５に固定された第２部材上に複数の第２接点部７０が設けられている。第１接点部７２は第１部材７３に固定される。第１接点部７２および第２接点部７０は接点スイッチ部７１を構成する。第１部材７３はシリコン基板６０に固定された固定点７４を中心に回転する。これにより、第１接点部７２は第２接点部７０の配列方向にスライドする。よって、複数の第２接点部７０は順次第１接点部７２と接続し、接点スイッチ部７１ａないし７１ｅの順に順次接続することとなる。また、第１接点部７２が反対方向にスライドすることにより、接点スイッチ部７１ｅないし７１ａはこの順で非接続することとなる。接点スイッチ部７１ａないし７１ｅは並列に接続されており、接点スイッチ部７１ａないし７１ｅが接続される共通接続点Ｐと接点スイッチ部７１ａないし７１ｅとのそれぞれの間には抵抗Ｒ１ないしＲ４が設けられている。なお、接点スイッチ部７１ｅは低抵抗金属膜で共通接続点Ｐと接続され、接点スイッチ部７１ｅと共通接続点Ｐとの間の抵抗は低抵抗となる。
【００５２】
実施例７によれば、接点スイッチ部７１は、複数の第２接点部７０の配列方向に、第１接点部７２がスライドすることにより接続および非接続する。このため、接点スイッチ部７１ａないし７１ｅの少なくとも１つの接点スイッチ部７１ａが接続したとき、非接続の接点スイッチ部７１ｂないし７１ｅが存在する。そして、非接続の接点スイッチ部７０ｂないし７１ｅのうち少なくとも１つの接点スイッチ部７０ｅに対応する抵抗は低抵抗であり、その抵抗値は、接点スイッチ部７１ａに対応する抵抗Ｒ４の抵抗値より小さい。このため、オン動作期間の接点スイッチ部の消費電力のピークを抑制し、接点スイッチ部７１の溶断を抑制することができる。このような簡単な構成により、オン動作期間の接点スイッチ部７１の消費電力のピークを抑制し、ホットスイッチ動作が可能となる。
【００５３】
また、第１接点部７２が固定された第１部材７３はシリコン基板７５に固定された固定点７４を中心に回転することにより、第１接点部７２がスライドする。このような構成により、一層簡単にホットスイッチ動作が可能なスイッチを構成することができる。なお、実施例７は第２接点部７０の配列方向に第１部材７３がスライドしたが、第１部材７３および第２接点部７０が固定された部材（例えば基板シリコン７５）の少なくとも一方がスライドすれば、同様の効果を奏することができる。
【００５４】
実施例１ないし実施例７においては、接点スイッチ部１０が５つの場合について説明したが、この数に限られるものではない。２つ以上あれば、その効果を奏するが、３つ以上が好ましい。
【００５５】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】図１は従来例に係るスイッチの回路構成を示した図である。
【図２】図２は実施例１に係るスイッチの上視図（抵抗金属膜、低抵抗金属膜は図示せず）である。
【図３】図３は実施例１に係るスイッチの図２のＡ−Ａ断面の斜視図（抵抗金属膜、低抵抗金属膜、下部電極金属膜および引き出し金属膜は図示せず）である。
【図４】図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）および図４（ｄ）はそれぞれ図２のＡ−Ａ、Ｂ−Ｂ、Ｃ−ＣおよびＤ−Ｄ断面図である。
【図５】図５は図２の第１接点部周辺の拡大図である。
【図６】図６は実施例１に係るスイッチの動作を説明するための模式図（その１）である。
【図７】図７（ａ）および図７（ｂ）は実施例１に係るスイッチの動作を説明するための模式図（その２）である。
【図８】図８は比較例に係るスイッチの回路図である。
【図９】図９は比較例に係るスイッチのスイッチ両端電圧、スイッチ電流およびスイッチ消費電力の時間変化の計算結果を示した図である
【図１０】図１０は実施例１に係るスイッチの回路図である。
【図１１】図１１は実施例１に係るスイッチのスイッチ両端電圧、スイッチ電流の時間変化の計算結果を示した図である
【図１２】図１２は実施例１に係るスイッチの各接点スイッチ部を流れる電流の時間変化の計算結果を示した図である
【図１３】図１３は実施例１に係るスイッチの各接点スイッチ部の消費電力の計算結果を示した図である
【図１４】図１４（ａ）は実施例２に係るスイッチの第１接点部付近の上視図であり、図１４（ｂ）は第１接点部に沿ったの断面図である。
【図１５】図１５は実施例２に係るスイッチの動作を説明するための模式図（その１）である。
【図１６】図１６は実施例２に係るスイッチの動作を説明するための模式図（その２）である。
【図１７】図１７は実施例３に係るスイッチの第１接点部付近の上視図である。
【図１８】図１８（ａ）ないし図１８（ｄ）は実施例３に係るスイッチの原理を説明するための模式図である
【図１９】図１９（ａ）は実施例４に係るスイッチの上視図（第２部材は図示せず）であり、図１９（ｂ）は図１９（ａ）のＧ−Ｇ断面図であり、図１９（ｃ）は図１９（ａ）のＨ−Ｈ断面図である。
【図２０】図２０は実施例４に係るスイッチの動作を説明するための模式図である。
【図２１】図２１は実施例５に係るスイッチの動作を説明するための模式図である。
【図２２】図２２は実施例６に係るスイッチの上視図である。
【図２３】図２３は実施例７に係るスイッチの上視図である。
【図２４】図２４は実施例７に係るスイッチの動作を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０            接点スイッチ部
１２            第１接点部
１４            梁部（第１梁部）
１６            抵抗金属膜
１８            低抵抗金属膜
２０            第２部材
２１            第２接点部
２４            梁部（第２梁部）
３０            第１部材
３２            第１部材
３４            ピエゾ駆動部
３６            スプリング
４０、４２、４４  固定部
４８            固定部
５２            静電駆動下部電極部
５４            静電駆動上部電極部
５６            下部電極金属膜
５８            引き出し金属膜
６０            シリコン基板
６２            酸化シリコン層
６４            シリコン層
６６            金属層
６８            金属層
７０            第２接点部
７１            接点スイッチ部
７２            第１接点部
７３            第１部材
７４            固定点
７５            シリコン基板
８０            接点スイッチ部
８２            梁部（第２梁部）
８４            第２接点部
８６            部材
９０            梁部（第１梁部）
９１            第１接点部
９２            第１部材
９４            部材
Ｐ              共通接続点
【図１】
2007103312.tif 000003
【図２】
2007103312.tif 000004
【図３】
2007103312.tif 000005
【図４】
2007103312.tif 000006
【図５】
2007103312.tif 000007
【図６】
2007103312.tif 000008
【図７】
2007103312.tif 000009
【図８】
2007103312.tif 000010
【図９】
2007103312.tif 000011
【図１０】
2007103312.tif 000012
【図１１】
2007103312.tif 000013
【図１２】
2007103312.tif 000014
【図１３】
2007103312.tif 000015
【図１４】
2007103312.tif 000016
【図１５】
2007103312.tif 000017
【図１６】
2007103312.tif 000018
【図１７】
2007103312.tif 000019
【図１８】
2007103312.tif 000020
【図１９】
2007103312.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
2007103312.tif 000024
【図２３】
2007103312.tif 000025
【図２４】
2007103312.tif 000026