(57)【要約】      （修正有）【課題】吸着板の反りによる面精度の低下をなくして空気漏れによる吸着保持力の低下を防止すると共に、吸着板の製造コストと張り合わせコストが掛からず、吸着補助板の分だけ薄形化及び軽量化し、内部洗浄の容易化と接着剤による汚染の防止を図った真空ピンセットの吸着ユニットを提供すること。【解決手段】各吸引口８を開口させた吸着面で吸着対象物Ｗをハンドリングする真空ピンセットの吸着ユニット２であって、所望の平面形状で平板状に形成した吸着板本体５の吸着面とは反対の上面側には、上部側の嵌合用溝部７ａと下部側の連通用溝部７ｂで形成した溝穴７を各吸引口８に沿って延在する態様で設け、下部側の連通用溝部７ｂは各吸引口８にそれぞれ連通させると共に、真空圧源に接続する吸引流路１０に連通させ、上部側の嵌合用溝部７ａには弾性シール部材６を着脱可能に装着した。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸引導管を介して真空圧源側に接続する吸引流路を吸着板に設け、この吸引流路に連通する多数の吸引口を開口させた吸着面を吸着対象物に宛って真空状態にし、吸着対象物をハンドリング（吸着保持）する真空ピンセットの吸着ユニットであって、所望の平面形状で平板状に形成した吸着板本体の吸着面とは反対の上面側には、上部側の嵌合用溝部と下部側の連通用溝部で形成した溝穴を各吸引口に沿って延在する態様で設け、下部側の連通用溝部は各吸引口にそれぞれ連通させると共に、真空圧源に接続する吸引流路に連通させ、上部側の嵌合用溝部には弾性シール部材を着脱可能に装着したことを特徴とした真空ピンセットの吸着ユニット。
【請求項２】
前記吸引導管は1本又は複数本を並列状にして形成し、先端側を吸着板本体に装着して吸引流路に連通させると共に、基端側に接続コネクタを設けて手持ち式のピンセット本体と着脱可能に連結する請求項１に記載した真空ピンセットの吸着ユニット。
【請求項３】
前記吸着板本体は方形状や円環状又は円形状に形成し、溝穴及び各吸引口を一重又は二重以上の同心状で長円形状又は円形状に沿って配列すると共に、溝穴に対してＯリングなどによる弾性シール部材を着脱可能に装着した請求項１又は２に記載した真空ピンセットの吸着ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着板に設けた吸引流路を真空圧源に接続すると共に、吸引口を設けた吸着板の吸着面を吸着対象物に宛って真空状態にし、吸着対象物をハンドリング（吸着保持）する真空ピンセットの吸着ユニットに関するものであって、例えばシリコンウエハや化合物半導体ウエハなどのように、薄板状又はフィルム状をした吸着対象物などをハンドリングすることが可能である。
【背景技術】
【０００２】
この種の真空ピンセットは、例えば特許文献１〜４などに開示されている先行技術のように、手で把持操作を行うピンセット本体の先端に吸着板を備えた吸着ユニットを装着すると共に、ピンセット本体及び吸着ユニットには吸着板の吸着口に連通する吸引流路を設け、吸引流路はピンセット本体側に連結した吸引パイプなどを介して真空ポンプなどの真空圧源に接続し、ピンセット本体には吸引流路を大気に連通させる流路の切換え機構を設けた構成を備え、例えば特許文献５などのように収納容器内の大口径ウエハやスペーサシートなどの取出しにも使用されている。
【特許文献１】特願２００１−３５９０８号公報
【特許文献２】特願２００１−１４４１６３号公報
【特許文献３】特願２００２−３６８０７２号公報
【特許文献４】特開２００５−７４６０６号公報
【特許文献５】特開平０９−１２９７１９号公報
【０００３】
これらの先行技術を含む手持ち式の真空ピンセットや、作業ロボットのアームに直接装着する真空ピンセットの吸着ユニットでは、吸着板の吸着面側に多数の吸引口を開口させると共に、各吸引口を連通させた状態で真空吸引を行う吸引流路を吸着板に形成する必要があるが、吸着板に対してこれら各吸引口及び吸引流路の加工が容易であること、吸着性能を維持するために径時変化などで吸着板に反りなどを生じさせないこと、各吸引口及び吸引流路を容易に洗浄できること、狭い空間にも挿入できること、特に手持ち式の場合には長時間の使用でも手首などに負担を掛けないように軽量化することなどが望まれる。
【０００４】
ところが、例えば特許文献３及び特許文献４における吸着板構造の場合には、吸着板本体と吸着補助板を重合した状態で接着や超音波熔着などで張り合わせて一体に接合し、吸着板本体には吸着面側となる表面に多数の吸引口を開口させると共に、各吸引口を連通させた状態で吸着面側とは反対側の裏面に開孔する溝穴を設け、吸着板本体の裏面には溝穴の開口側を閉塞する態様で吸着補助板を重合させ、吸着板本体と吸着補助板との間に吸引流路を形成しているが、この吸着板構造の場合には上記した要望を十分に満足させるものではなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
すなわち、これらの吸着板構造の場合には、吸着板本体と吸着補助板との接合に接着又は超音波熔着のいずれを用いても、吸着板本体と吸着補助板との熱収縮率の相違や接合の不均一などで経時変化して吸着板に反りなどが生じ、吸着板本体の面精度の低下で吸着対象物との間で空気漏れしたり、吸着板本体と吸着補助板との間で空気漏れして吸着保持力を低下させる恐れがあること、吸着補助板の製造コストと吸着板との張り合わせコストが掛かること、吸着補助板の分だけ厚みが増して狭い空間への挿入が困難であること、重量が嵩んで長時間の使用では作業者の手に負担が掛かること、一体接合のために分離して内部を洗浄することができないこと、などの解決を必要とする課題があった。
【０００６】
また、吸着板本体と吸着補助板との接合に接着剤を用いる場合には、接着剤が漏出して吸着板本体の吸着面側を汚染させたり、各吸引口又は吸引流路を閉塞させる恐れがあること、特に吸着板本体と吸着補助板は耐薬品性及び耐熱性に優れ且つ耐有機溶剤に強い合成樹脂材が使用されており、これらの合成樹脂材は表面の親和性が良くないので、良好な接着を行うことができない恐れもあると共に、接着剤の種類によっては溶剤でウエハなどの吸着対象物が汚染される恐れがあったり、洗浄液に浸漬して洗浄することができないこともあるので、接着剤の選定が容易でないこと、などの解決を必要とする課題があった。
【０００７】
さらに、吸着板本体と吸着補助板との接合に超音波熔着を用いる場合には、耐熱性で溶融温度の高い材質であっても吸着対象物が小径で吸着板の表面積が小さいと、所望に選定した熔着個所に超音波のエネルギーを集中させて容易且つ均一に接合することが可能であるが、特許文献５のように大口径化したウエハなどを吸着対象物に適合させて吸着板の表面積を大きくすると、超音波のエネルギーが分散して容易且つ均一に接合することができなくなると共に、各吸引口又は吸引流路を変形させる恐れもあること、などの解決を必要とする課題があった。
【０００８】
そこで本発明では、これら従来技術の課題を解決し得る真空ピンセットの吸着ユニットを提供するものであって、特に特許文献３，４などの従来技術で使用していた吸着補助板をなくすことで、吸着補助板の接合手段として用いていた接着や超音波熔着などを不要とし、これによって上記した従来技術の課題を解決できるようにした。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による真空ピンセットの吸着ユニットは、吸引導管を介して真空圧源側に接続する吸引流路を吸着板に設け、この吸引流路に連通する多数の吸引口を開口させた吸着面を吸着対象物に宛って真空状態にし、吸着対象物をハンドリング（吸着保持）する真空ピンセットの吸着ユニットであって、所望の平面形状で平板状に形成した吸着板本体の吸着面とは反対の上面側には、上部側の嵌合用溝部と下部側の連通用溝部で形成した溝穴を各吸引口に沿って延在する態様で設け、下部側の連通用溝部は各吸引口にそれぞれ連通させると共に、真空圧源に接続する吸引流路に連通させ、上部側の嵌合用溝部には弾性シール部材を着脱可能に装着した。（請求項１）
【００１０】
請求項１による真空ピンセットの吸着ユニットにおいて、前記吸引導管は1本又は複数本を並列状にして形成し、先端側を吸着板本体に装着して吸引流路に連通させると共に、基端側に接続コネクタを設けて手持ち式のピンセット本体と着脱可能に連結する形態を採ることができる。（請求項２）
【００１１】
請求項１又は２による真空ピンセットの吸着ユニットにおいて、前記吸着板本体は方形状や円環状又は円形状に形成し、溝穴及び各吸引口を一重又は二重以上の同心状で長円形状又は円形状に沿って配列すると共に、溝穴に対してＯリングなどによる弾性シール部材を着脱可能に装着した形態を採ることができる。（請求項３）
【発明の効果】
【００１２】
請求項１の発明による真空ピンセットの吸着ユニットでは、吸着板本体に形成した溝穴に弾性シール部材を装着することによって、吸着板に吸引流路を形成するようにしたので、従来技術の吸着板構造で使用していた吸着補助板を省略すると共に、吸着補助板の接合手段である接着や超音波熔着が不要であるから、これらに起因した従来技術の課題を解決することができる。
【００１３】
すなわち、接合する際に発生していた吸着板本体と吸着補助板との熱収縮率の相違や接合の不均一などで経時変化して吸着板に反りなどが生じることはなく、吸着面に対する面精度の向上で空気漏れをなくして吸着保持力を高めることが可能であること、吸着補助板の製造コストと吸着板との張り合わせコストが削減できること、弾性シール部材を取り外して内部を容易且つ確実に洗浄できること、などの効果を奏することができる。
【００１４】
また、接着剤の漏出で吸着板本体の吸着面側を汚染さることがなく、漏出した接着剤や不適切な超音波熔着によって各吸引口又は吸引流路を閉塞させることもなく、接着剤を使用しないので溶剤でウエハなどの吸着対象物を汚染されることがないと共に、弾性シール部材を取り外しなたは装着したまま洗浄液に浸漬して洗浄することも可能であること、などの効果を奏することができる。
【００１５】
また、請求項１の発明による真空ピンセットの吸着ユニットは、作業用ロボットのアームに装着して使用することも可能であるが、請求項２の発明による真空ピンセットの吸着ユニットのように手持ち式のピンセット本体に装着して使用する場合には、吸着補助板を省略して軽量化することによって、長時間の使用でも作業者の手に負担を掛かない利点があると共に、吸着補助板を省略して薄形化すると狭い空間にも挿入が可能であるから、例えばウエハバスケットに収容された半導体ウエハなども容易且つ安全に吸着保持することができる。
【００１６】
さらに、請求項1又は２の発明による真空ピンセットの吸着ユニットは、吸着対象物に適合させて円形状や円環状（ドーナツ状）或いは方形状その他の所望な平面形状をした平板状の吸着板本体を使用すると共に、これら各種形状の吸着板本体に対して溝穴及び各吸引口は、直状にした複数列を平行状に配列させることも可能であるが、請求項３の発明による真空ピンセットの吸着ユニットのように、溝穴及び各吸引口を一重又は二重以上の同心状で長円形状又は円形状に沿って配列する形態を採ると、溝穴に対して既存の比較的安価で且つ入手が容易なＯリングなどを弾性シール部材として利用することができる。
【実施例】
【００１７】
本発明による真空ピンセットの吸着ユニットについて、本発明を適用した好適な実施形態による吸着ユニット１を図１乃至１０の添付図面に基づいて詳細に説明するが、吸着板２の構造によって第１乃至３の実施形態を採り、図１乃至４では第１の実施形態による吸着ユニット１Ａについて説明し、図５乃至７では第２の実施形態による吸着ユニット１Ｂについて説明し、図８乃至１０では第３の実施形態による吸着ユニット１Ｃについて説明する。
【００１８】
第１の実施形態による吸着ユニット１Ａは、図１aの上面すなわち吸着面とは反対側から見た斜視図及び、図１ｂの底面すなわち吸着面側から見た斜視図で示すように、吸着板２Ａと吸引導管３及び接続コネクタ４で構成されており、接続コネクタ４は従来技術の場合と同様に（図示を省略）、手で把持して弁操作で流路の開閉を行うピンセット本体の先端に連結して真空ピンセットを構成すると共に、ピンセット本体は吸引パイプなどを介して真空ポンプなどの真空圧源に接続した状態で使用される。
【００１９】
吸着板２Ａは、吸着板本体５と弾性シール部材６によって構成され、吸着板本体５は吸着対象物に適合させて円形状や円環状（ドーナツ状）或いは方形状その他の所望形状を採り得るが、この実施形態では横長の略方形状（略長方形状）に形成されており、吸着板本体５の材質は高度の耐熱性及び耐薬品性を備えた合成樹脂材の使用が望ましく、例えばポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリイミド（ＰＩ）などの使用が可能である。
【００２０】
また、吸着板本体５の吸着面には微少なパーティクル（塵）が付着したり、摩擦によって静電気が帯電して半導体ウエハなどの吸着対象物に悪影響を及ぼす恐れがあるので、これを防止するために導電性を付与して電気抵抗を軽減するように、上記合成樹脂材中に炭素系材料の微粒子その他による導電性物質を添加することが望ましく、この実施形態ではポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）中にカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）を添加して導電性を付与するようにしている。
【００２１】
吸着板本体５は、弾性シール部材６を取り外した状態で吸着面とは反対側から見た図２の要部上面図と、同じく図４の要部断面図と、吸着面側から見た図３の要部底面図で示すように、上面側から略長円形状に沿ってエンドレス状に溝穴７を穿設すると共に、底面側から溝穴７に連通する多数の吸引口８を略長円形状に沿って所定間隔毎に吸着面に穿設するが、溝穴７は弾性シール部材６を装着するために上部側に設けた嵌合用溝部７ａと、各吸引口８を連通させるために下部側に設けた連通用溝部７ｂで形成されている。
【００２２】
また、吸着板本体５には吸引導管３の先端側を連結するための挿入孔９を設けると共に、この挿入孔９と連通用溝部７ｂとの間を連通させる連通孔１０を設け、挿入孔９に吸引導管３を圧入してセットスクリュなどで固着しているが、この吸引導管３を連結する部分は吸着面との間に段差を形成するようにし、この段差面１１の両側にはピン挿入孔１２，１２を設けて係止ピン１３，１３を圧入状態で装着させ、各係止ピン１３に半導体ウエハなどの吸着対象物Ｗの外周縁部を当接して位置決めすることも可能である。
【００２３】
弾性シール部材６は、溝穴７の嵌合用溝部７ａに装着した際に容易に脱落することがなく、連通用溝部７ｂとの間を密封状態で閉塞することができると共に、所定の耐熱性及び耐薬品性を備えた弾性シール部材であれば各種の形態を採り得るものであって、例えば断面形状は嵌合用溝部７ａを適合させれば円形その他各種形状にすることも可能であり、この実施例では高度の耐熱性及び耐薬品性を備えているフッ素ゴム又はシリコーンゴム製によるＯリングを用いている。
【００２４】
なお、略長円形状に沿って吸着面に穿設した多数の各吸引口８の内側には、左右にそれぞれ円形の開口部１４，１４を設けると共に、吸着面側には各開口部１４の間に浅溝１５を形成するようにしているが、開口部１４は吸着板本体５に対して溝穴７などを加工する際の位置決めのための基準孔として用い、浅溝１５は半導体ウエハなどの吸着対象物Ｗと接触する吸着面を平滑化に加工処理する部分を少なくするための逃がし面である。
【００２５】
吸引導管３は、この実施形態では２本の吸引導管３，３を並列状に用いると共に、接続コネクタ４内で合流させて１流路の吸引流路１６にしており、これによって同じ吸引流量でも１本の場合より吸引導管３の口径を小さくし、吸着板本体５の厚みを薄く形成して軽量化することが可能であるが、必要に応じて３本以上の吸引導管３を並列状にして用いたり、吸引導管３を１本にする形態を採ることも可能である。
【００２６】
以上の構成による吸着ユニット１Ａは、真空ポンプなどの真空圧源に吸引パイプなどを介して接続したピンセット本体と接続コネクタ４で連結し、ピンセット本体に装着した開閉弁を操作して吸引状態にすると、吸着板２Ａの吸着面側に開口する各吸引口８には、吸引導管３と連通孔１０及び連通用溝部７ｂを介して負圧が発生するので、半導体ウエハなどの吸着対象物Ｗを吸着保持することができ、開閉弁を操作して吸引停止状態にすると各吸引口８の負圧が解消し、吸着保持した吸着対象物Ｗを離脱させることができる。
【００２７】
第１の実施形態による吸着ユニット１Ａの場合には、段差面１１の円弧部分を半導体ウエハなどの吸着対象物Ｗの外周面に適合させると共に、段差面１１に設けたピン挿入孔１２に係止ピン１３を装着させることによって、吸着対象物Ｗの外周側を吸着保持するのに好適であるが、係止ピン１３を取り外すと吸着対象物Ｗの内周側中央を吸着保持することが可能である。
【００２８】
次に、図５乃至７で示す第２の実施形態による吸着ユニット１Ｂは、第１の実施形態による吸着ユニット１Ａの場合より吸着板２Ａにおける吸引口８の数を増加させ、吸着板２Ｂを構成したものであり、その他の構成は共通であるから、共通する部分については同一の符号を付して重複する説明は省略し、相違する部分についてのみ詳細に説明するが、図５は第１の実施形態における図２と同様に要部上面図を示し、図６は同じく図３と同様に要部底面図を示し、図７は同じく図４と同様に要部断面図を示す。
【００２９】
吸着板２Ｂは、上面側から略長円形状に沿ってエンドレス状に穿設した溝穴７の外側に対し、同様の溝穴１７を二重に穿設したものであって、この溝穴１７は溝穴７の場合と同様に上部側に嵌合用溝部を設け、断面形状が円形で環状をした弾性シール部材１８を装着し、下部側に設けた連通用溝部を連通孔１０を介して吸引導管３に連通させると共に、底面側から溝穴１７に連通する多数の吸引口８を略長円形状に沿って所定間隔毎に吸着面に穿設しており、内外に配置した各溝穴７，１７は両者間を横断させた連通孔１０を介して相互に連通させている。
【００３０】
第２の実施形態による吸着ユニット１Ｂの場合には、第１の実施形態による吸着ユニット１Ａの場合と同様に、ピン挿入孔１２に対する係止ピン１３の着脱によって、吸着対象物Ｗの外周側及び内周側中央を吸着保持することが可能であるが、特に略長円形状に沿って吸着面に配列した各吸引口を二重にしたことによって、各吸引口による吸引力が吸着面に対して均等に分散されるので、より安定した吸着保持力を得ることが可能である。
【００３１】
次に、図８乃至１０で示す第３の実施形態による吸着ユニット１Ｃは、第１及び第２の実施形態による吸着ユニット１Ａ，１Ｂの場合とは吸着板本体の形状を変えると共に、吸着板本体に形成する溝穴及び吸引口の配列を変更し、吸着板２Ｃを構成したものであり、その他の構成は共通であるから、共通する部分については同一の符号を付して重複する説明は省略し、相違する部分についてのみ詳細に説明するが、図８は第１の実施形態における図２と同様に要部上面図を示し、図９は同じく図３と同様に要部底面図を示し、図１０は同じく図４と同様に要部断面図を示す。
【００３２】
吸着板２Ｃは、吸着板本体１９の平面形状を略正方形状にすると共に、上面側には直状に延在する５本の各溝穴２０を平行状に穿設したものであって、この溝穴２０は溝穴７の場合と同様に上部側に嵌合用溝部を設け、断面形状が円形で棒状をした弾性シール部材２１を装着し、下部側に設けた連通用溝部を連通孔１０を介して吸引導管３に連通させると共に、底面側から各溝穴２０に連通する多数の吸引口８を各列毎に所定間隔で吸着面に穿設しており、平行に配置した各溝穴２０は各列の間を横断させた連通孔１０を介して相互に連通させている。
【００３３】
第３の実施形態による吸着ユニット１Ｃの場合には、吸着板本体１９の吸着面全域に亘って各吸引口８がほぼ均等な分散状態で配列されているので、各種形状の吸着対象物に対して、任意な個所を選択して吸着保持するのに好適であると共に、吸着板のサイズを所望に変更したり、各吸引口の配列を所望に増減させることも容易である。
【００３４】
以上に説明した第１乃至３の実施形態でも明らかなように、本発明による真空ピンセットの吸着ユニットでは、特許文献３，４などの従来技術で行われていた吸着板本体に対し、接着又は超音波熔着などの接合手段で吸着補助板を一体化して吸引流路を形成することに替え、吸着補助板を省略して吸着板本体に形成した溝穴に対して弾性シール部材を装着することによって、吸着板に吸引流路を形成するようにした。
【００３５】
従って、接合する際に発生していた吸着板本体と吸着補助板との熱収縮率の相違や接合の不均一などで経時変化して吸着板に反りなどが生じることはなく、吸着面に対する面精度の向上で空気漏れをなくして吸着保持力を高めることが可能であること、吸着補助板の製造コストと吸着板との張り合わせコストが削減できること、、吸着補助板の分だけ薄形化してウエハバスケットなどの狭い空間にも挿入が容易であること、軽量化して長時間の使用でも作業者の手に負担を掛かないこと、弾性シール部材を取り外して内部を容易且つ確実に洗浄できること、など課題はことごとく解決される。
【００３６】
また、吸着補助板との接合手段に用いていた接着剤や超音波熔着が不要なので、接着剤の漏出で吸着板本体の吸着面側を汚染さることがなく、漏出した接着剤や不適切な超音波熔着によって各吸引口又は吸引流路を閉塞させることもなく、接着剤を使用しないので溶剤でウエハなどの吸着対象物を汚染されることがないと共に、洗浄液に浸漬して洗浄することも可能であること、など課題はことごとく解決される。
【００３７】
なお、本発明による真空ピンセットの吸着ユニットは、図示で説明した第１乃至３の実施形態に限定されるものではなく、手持ち式の真空ピンセット以外の作業ロボットのアームに吸着ユニットを直接装着する場合にも適用が可能であること、また本件発明者らが先に提案した前記特許文献４のように吸着板を円環状（ドーナツ状）又は円形状にし、この吸着板に対して多数の各吸引口を同心円状に一重又は二重以上の多重に配置する場合にも、Ｏリングなどによる弾性シール部材を用いて吸引流路を形成する本発明の技術思想を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１ａ】本発明を適用した第１の実施形態による吸着ユニット１Ａであって、上面すなわち吸着面とは反対側から見た斜視図を示す。
【図１ｂ】本発明を適用した第１の実施形態による吸着ユニット１Ａであって、底面すなわち吸着面側から見た斜視図を示す。
【図２】本発明を適用した第１の実施形態による吸着ユニット１Ａであって、弾性シール部材６を取り外した状態で吸着面とは反対側から見た要部上面図を示す。
【図３】本発明を適用した第１の実施形態による吸着ユニット１Ａであって、吸着面側から見た要部底面図を示す。
【図４】本発明を適用した第１の実施形態による吸着ユニット１Ａであって、吸着板２Ａを構成する吸着板本体５と弾性シール部材６の要部断面図を示す。
【図５】本発明を適用した第２の実施形態による吸着ユニット１Ｂであって、弾性シール部材６，１８を取り外した状態で吸着面とは反対側から見た要部上面図を示す。
【図６】本発明を適用した第２の実施形態による吸着ユニット１Ｂであって、吸着面側から見た要部底面図を示す。
【図７】本発明を適用した第１の実施形態による吸着ユニット１Ｂであって、吸着板２Ｂを構成する吸着板本体５と弾性シール部材６，１８の要部断面図を示す。
【図８】本発明を適用した第３の実施形態による吸着ユニット１Ｃであって、弾性シール部材２１を取り外した状態で吸着面とは反対側から見た要部上面図を示す。
【図９】本発明を適用した第３の実施形態による吸着ユニット１Ｃであって、吸着面側から見た要部底面図を示す。
【図１０】本発明を適用した第３の実施形態による吸着ユニット１Ｃであって、吸着板２Ｃを構成する吸着板本体１９と弾性シール部材２１の要部断面図を示す。
【符号の説明】
【００３９】
１  吸着ユニット
１Ａ  （第１の実施形態による）吸着ユニット
１Ｂ  （第２の実施形態による）吸着ユニット
１Ｃ  （第３の実施形態による）吸着ユニット
２  吸着板
２Ａ  （第１の実施形態による）吸着板
２Ｂ  （第２の実施形態による）吸着板
２Ｃ  （第３の実施形態による）吸着板
３  吸引導管
４  接続コネクタ
５，１９  吸着板本体
６  弾性シール部材（Ｏリング）
７，１７，２０  溝穴
７ａ  嵌合用溝部
７ｂ  連通用溝部
８  吸引口
９  挿入孔
１０  連通孔
１１  段差面
１２  ピン挿入孔
１３  係止ピン
１４  開口部
１５  浅溝
１６  吸引流路
１８  弾性シール部材
２１  弾性シール部材
Ｗ  吸着対象物（半導体ウエハ）
【図１ａ】
2007038346.tif 000003
【図１ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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