(57)【要約】    【課題】  誤って扉が閉め切られることを防止できる真空装置を提供する。    【解決手段】  扉３が取り付けられている真空装置本体２に、閉扉防止部材である邪魔板５をピン６により回転可能に軸着する。その際、ピン６を邪魔板５の一方の端部寄りに取り付け、邪魔板５がピン６を軸として回転できるようにする。また、真空装置本体２の外面におけるピン６の上方に、扉３が開扉しているときに邪魔板５の他方の端部の位置を位置決めする位置決め用ピン７を設けると共に、ピン６の下方に邪魔板５が回転した際に、その他方の端部が真空装置本体２と扉３との間に配置されるようにする位置決め用ピン８を設ける。【選択図】    図２
2007000704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空装置本体と、この真空装置本体に取り付けられた扉と、前記真空装置本体に設けられ、前記扉を開扉することによりその一部が前記真空装置本体と前記扉との間に配置される閉扉防止部材と、を有することを特徴とする真空装置。
【請求項２】
前記閉扉防止部材は邪魔板であり、前記邪魔板の一方の端部が前記真空装置本体に回転可能に軸着されており、前記扉を開扉すると前記邪魔板の他方の端部が前記真空装置本体と前記扉との間に配置されることを特徴とする請求項１に記載の真空装置。
【請求項３】
前記閉扉防止部材は、前記扉が閉扉しているときは前記扉に支持されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空装置。
【請求項４】
前記扉には凸部が形成されており、前記閉扉防止部材は、前記扉が閉扉しているときは前記扉の前記凸部に支持されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空装置。
【請求項５】
前記扉が開扉及び／又は閉扉しているときに前記閉扉防止部材を位置決めする位置決め部材を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の真空装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は従来の真空装置を示す斜視図である。図１に示すように、従来の真空装置１０１には、一般に、真空装置本体１０２に取り付けられた扉１０３を開扉した状態で保持するためのアーム１０４が設けられている。このアーム１０４は、扉１０３を十分に開けると、自動的に又は手動で軽く押すことによりロックされるものである。しかしながら、この従来の真空装置１０１は、アーム１０４が確実にロックされていないと、ある程度の位置までは扉１０３が閉まってしまう。このため、誤って真空装置１０１の排気操作を行った場合、その内部と外部との大気圧の差により、扉１０３が完全に閉まってしまうことがある。
【０００３】
そこで、従来、アーム１０４が確実にロックされていなかった場合でも、扉１０３が完全に閉まらないようにするため、角材１０５ａにより扉１０３の位置を固定したり、又は扉１０３が閉まったときに真空装置本体１０２と扉１０３とよって挟まれる位置に角材１０５ｂを配置したりする等の対策がとられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述の従来の技術には以下に示す問題点がある。図１に示す角材１０５ａ及び１０５ｂを使用する方法は、角材自身の固定状態が不安定であるため、作業者が気付かないうちに角材が移動し、扉１０３の閉扉を防止できない虞がある。
【０００５】
また、真空装置本体１０２又は扉１０３にセンサー等を設置し、扉１０３が完全に閉扉していないときは、真空装置１０１の内部の排気操作をできないようにして、排気の誤動作を防止する方法もあるが、この方法は操作プログラムを変更しなくてはならず、また、センサー等を設置する必要もあるため、コストが増加する。
【０００６】
本発明が解決しようとする課題には、上述した問題が一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の真空装置は、真空装置本体と、この真空装置本体に取り付けられた扉と、前記真空装置本体に設けられ、前記扉を開扉することによりその一部が前記真空装置本体と前記扉との間に配置される閉扉防止部材と、を有することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態に係る真空装置について説明する。本実施形態の真空装置は、開口部が設けられた真空装置本体に、その開口部を開閉するための扉が取り付けられている。また、真空装置本体には、扉を開扉状態にしているときに、誤って閉扉されないようにするための閉扉防止部材が設けられている。この閉扉防止部材は、扉を開扉することによりその一部が真空装置本体と扉との間に配置されるようになっている。
【０００９】
次に、上述の如く構成された真空装置の動作について説明する。本実施形態の真空装置においては、扉を開けると、真空装置本体に取り付けられた閉扉防止部材の一部が真空装置本体と扉との間に移動し、扉が完全に閉扉することを防止する。
【００１０】
本実施形態の真空装置においては、扉を開扉すると、閉扉防止部材の一部が真空装置本体と扉との間に配置されるため、扉のロックが外れ、更に誤って排気操作を行ってしまった場合でも、扉が完全に閉扉することがない。また、この閉扉防止部材は、従来使用されていた角材とは異なり、真空装置本体に設けられているため、作業者が気付かないうちに移動してしまうことがない。更に、本実施形態の真空装置における閉扉防止部材は、真空装置本体に容易に取り付けることができ、また操作プログラムを変更する必要もないため、製造コストの増加を抑えることができる。
【００１１】
この閉扉防止部材は、真空装置本体に、邪魔板等の板状部材の一方の端部をピン等の支持部材によって回転可能に軸着し、他方の端部が扉を開扉したときに真空装置本体と扉との間に配置されるようにしたものである。閉扉防止部材をこのような構造にすることにより、既存の真空装置への取り付けも可能となり、種々の真空装置に適用することができる。
【００１２】
また、本実施形態の真空装置における閉扉防止部材は、扉が閉扉しているときは、扉又は扉に設けられた凸部に支持されていてもよい。これにより、扉を開けたときに、重力によって閉扉防止部材が回転又は落下するため、外部から力を加えなくてもその一部が真空装置本体と扉との間に配置される。その結果、用力なしで閉扉防止部材の一部を所定の位置に配置することができる。なお、このような構成とした場合、扉を閉扉する際には、閉扉防止部材を動かして、前述の扉又は扉に設けられた凸部に支持された状態に戻せばよい。
【００１３】
更に、真空装置本体には、扉が開扉及び／又は閉扉しているときの閉扉防止部材の位置を位置決めする位置決め部材が設けられていてもよい。これにより、閉扉防止部材を所定の位置に確実に配置することができる。
【実施例】
【００１４】
次に、本発明の実施例について、添付の図面を参照して具体的に説明する。先ず、本発明の第１の実施例に係る真空装置について説明する。図２（ａ）及び（ｂ）は本実施例の真空装置を示す斜視図であり、図２（ａ）は扉が閉扉している状態を示す図であり、図２（ｂ）は扉が開扉している状態を示す図である。図２（ａ）に示すように、本実施例の真空装置１は、真空装置本体２に、その開口部を開閉するための扉３が取り付けられている。また、本実施例の真空装置１には、扉３を開扉した状態で保持するためのアーム４が取り付けられている。このアーム４は、扉３を十分に開けると、自動的に又は手動で軽く押すことによりロックされるものであり、一方の端部が真空装置本体２に固定され、他方の端部が扉３に固定されている。
【００１５】
更に、本実施例の真空装置１は、真空装置本体２の外面における開口部の横で、扉３が取り付けられている側と反対側の領域に、閉扉防止部材として邪魔板５が支持部材であるピン６によって回転可能に軸着されている。ピン６は邪魔板５の一方の端部寄りに取り付けられており、この邪魔板５はピン６を軸として回転可能となっている。更にまた、真空装置本体２の外面におけるピン６の上方には、扉３が開扉しているときに他方の端部の位置を位置決めする位置決め用ピン７が設けられている。更にまた、真空装置本体２の外面におけるピン６の下方には、邪魔板５が回転した際に、その他方の端部が真空装置本体２と扉３との間に配置されるように、邪魔板５を支持して、邪魔板５の他方の端部の位置を保持する位置決め用ピン８が設けられている。
【００１６】
次に、上述の如く構成された真空装置１の動作について説明する。図２（ａ）に示すように、本実施例の真空装置１においては、扉３が閉扉している状態ときは、邪魔板５は、扉３の側面により支持されると共に、真空装置本体２の外面に設けられた位置決め用ピン７によりその位置が位置決めされ、一方の端部よりも他方の端部の方が上方になるように保持されている。そして、図２（ｂ）に示すように、扉３を開扉すると、邪魔板５は、扉３による支持がなくなるため、重力によりピン６を軸にして真空装置本体２の開口部側に回転し、その他方の端部が一方の端部よりも下方に移動する。このとき、邪魔板５は、位置決め用ピン８により、他方の端部が真空装置本体２の開口部の前方、即ち、真空装置本体２と扉３との間に配置されるように位置決めされ、その位置が保持される。また、扉３を完全に閉扉する際は、作業者が邪魔板５を回転させて、図２（ａ）に示す状態、即ち、邪魔板５の他方の端部が扉３の側面により支持された状態に戻せばよい。
【００１７】
本実施例の真空装置１においては、アーム４のロックが外れ、更に誤って排気操作を行ってしまった場合でも、邪魔板５の他方の端部が真空装置本体２と扉３との間に配置されているため、扉３が完全に閉扉することを防止することができる。また、この真空装置１は、扉３を開けると、重力によって邪魔板５が回転し、外部から力を加えなくても他方の端部が下方に移動するため、用力なしで邪魔板５の他方の端部を真空装置本体２と扉３との間に配置することができる。更に、本実施例の真空装置１には、邪魔板５の他方の端部の位置を位置決めする位置決め用ピン８が設けられているため、この位置決め用ピン８により邪魔板５が所定の位置で止まるため、邪魔板５が回転し過ぎて、その端部が真空装置本体２の開口部の前方から外れることを防止できる。
【００１８】
更にまた、本実施例の真空装置１における邪魔板５は真空装置本体にピン留めされているため、従来使用されていた角材とは異なり、作業者が気付かないうちに移動してしまうことがない。更にまた、邪魔板５を使用した閉扉防止部材は、真空装置本体２に容易に取り付けることができるため、例えば既存の真空装置への取り付けも可能であり、種々の真空装置に適用することができる。更にまた、操作プログラムを変更する必要もないため、製造コストの増加を抑えることができる。
【００１９】
次に、本発明の第２の実施例に係る真空装置について説明する。図３は本実施例の真空装置を示す斜視図である。なお、図３においては、図２に示す第１の実施例の真空装置１の構成要素と同じものには同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。図３に示すように本実施例の真空装置１１は、扉１３が真空装置本体２の開口部に嵌合しているため、前述の第１の実施例の真空装置のように扉の側面で邪魔板を支持することはできない。そこで、本実施形態の真空装置１１においては、扉１３に例えばブロック９を取り付け、扉１３の前面の邪魔板５側の縁部に凸部を形成している。このブロック９の取り付け位置は、邪魔板５に接触し、この邪魔板５の他方の端部を支持できる位置とする。なお、本実施例の真空装置１１における上記以外の構成は、前述の第１の実施例の真空装置と同様である。
【００２０】
次に、上述の如く構成された真空装置１１の動作について説明する。図３に示すように、本実施例の真空装置１１においては、扉１３が閉扉している状態ときは、邪魔板５は、扉１３の前面縁部に取り付けられたブロック９の側面で支持されると共に、真空装置本体２の外面に設けられた位置決め用ピン７によりその位置が位置決めされ、一方の端部よりも他方の端部の方が上方に位置するように保持されている。そして、扉１３を開扉すると、ブロック９による支持がなくなるため、重力により、邪魔板５がピン６を軸にして真空装置本体２の開口部側に回転し、その他方の端部が一方の端部よりも下方に移動する。このとき、邪魔板５は、位置決め用ピン８により、他方の端部が真空装置本体２の開口部の前方、即ち、真空装置本体２と扉１３との間に配置されるように位置決めされ、その位置が保持される。また、扉１３を完全に閉扉する際は、作業者が邪魔板５を回転させて、図３に示す状態、即ち、邪魔板５の他方の端部がブロック９により支持された状態に戻す。
【００２１】
本実施例の真空装置１１においては、扉１３にブロック９を取り付け、扉１３の前面縁部に凸部を形成し、この凸部（ブロック９）により邪魔板５を支持しているため、扉１３が真空装置本体２の開口部に嵌合するタイプの真空装置においても、誤って扉１３が閉め切られることを防止することができる。なお、本実施例の真空装置１１における上記以外の効果は、前述の第１の実施例の真空装置と同様である。
【００２２】
次に、本発明の第３の実施例に係る真空装置について説明する。図４（ａ）及び（ｂ）は本実施例の真空装置を示す斜視図であり、図４（ａ）は扉が閉扉している状態を示す図であり、図４（ｂ）は扉が開扉している状態を示す図である。なお、図４においては、図２に示す第１の実施例の真空装置１の構成要素と同じものには同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。本実施例の真空装置２１は、閉扉防止部材である邪魔板１５が、真空装置本体２の開口部の横ではなく、上方に取り付けられている。具体的には、本実施例の真空装置２１においては、真空装置本体２の外面における開口部の上方の領域に、邪魔板１５が支持部材であるピン１６によって回転可能に軸着されている。ピン１６は邪魔板１５の一方の端部寄りに取り付けられており、この邪魔板１５はピン１６を軸として回転可能となっている。また、真空装置本体２の外面における開口部の上方の領域には、ピン１６の両側に、夫々邪魔板５の他方の端部の位置を位置決めする位置決め用ピン１６及び１７が設けられている。なお、本実施例の真空装置２１における上記以外の構成は、前述の第１の実施例の真空装置と同様である。
【００２３】
次に、上述の如く構成された真空装置２１の動作について説明する。図４（ａ）に示すように、本実施例の真空装置２１においては、扉３が閉扉している状態ときは、邪魔板１５は、扉３の上部側面で支持されると共に、真空装置本体２の外面に設けられた位置決め用ピン１７によりその位置が位置決めされている。そして、図４（ｂ）に示すように、扉３を開扉すると、扉３による支持がなくなるため、重力により、邪魔板１５はピン６を軸にして真空装置本体２の開口部側に回転し、その他方の端部が一方の端部よりも下方に移動する。このとき、邪魔板１５は、位置決め用ピン８により、他方の端部が真空装置本体２の開口部の前方、即ち、真空装置本体２と扉３との間に配置されるように位置決めされる。なお、扉３を完全に閉扉する際は、作業者が邪魔板１５を回転させて、図４（ａ）に示す状態、即ち、邪魔板１５の他方の端部が扉３の上部側面により支持された状態に戻す。
【００２４】
本実施例の真空装置２１のように、閉扉防止部材である邪魔板１５を、真空装置本体２の開口部の上方に設けた場合でも、前述の第１及び第２の実施例の真空装置と同様に、誤って扉３が閉め切られることを防止できる。なお、本実施例の真空装置２１における上記以外の効果は、前述の第１の実施例の真空装置と同様である。
【００２５】
次に、本発明の第４の実施例に係る真空装置について説明する。図５（ａ）及び（ｂ）は本実施例の真空装置を示す斜視図であり、図５（ａ）は扉が閉扉している状態を示す図であり、図５（ｂ）は扉が開扉している状態を示す図である。図５（ａ）に示すように、本実施例の真空装置３１は、真空装置本体２２の上面に開口部が設けられており、また真空装置本体２２の上面にはこの開口部を開閉するための扉２３が取り付けられている。また、本実施例の真空装置３１の上面には、扉２３を開扉した状態で保持するためのアーム２４が取り付けられている。このアーム２４は、扉２３を十分に開けると、自動的に又は手動で軽く押すことによりロックされるものであり、一方の端部が真空装置本体２２に固定され、他方の端部が扉２３に固定されている。
【００２６】
更に、本実施例の真空装置３１は、真空装置本体２２の上面における開口部の横で、扉２３が取り付けられている側と反対側の領域に、閉扉防止部材として邪魔板２５が設けられている。この邪魔板２５は、真空装置本体２２の上面に固定された閉扉防止部材取り付け用ブロック２９に、支持部材であるピン２６によって回転可能に軸着されている。このピン２６は邪魔板２５の一方の端部寄りに取り付けられており、邪魔板２５はピン２６を軸として回転可能となっている。更にまた、ブロック２９には、ピン６の上方に、扉２３を開扉したときに邪魔板２５が回転し過ぎて、真空装置本体２２の外側に配置されることを防止する位置決め用ピン２７が設けられている。
【００２７】
次に、上述の如く構成された真空装置３１の動作について説明する。図５（ａ）に示すように、本実施例の真空装置３１においては、扉２３が閉扉している状態ときは、邪魔板２５の他方の端部が扉２３の上面により支持されている。そして、図５（ｂ）に示すように、扉２３を開扉すると、邪魔板２５はピン２６を軸にして回転し、その他方の端部は、一端扉２３と共に上方に移動した後、重力によって落下し、真空装置本体２２の開口部の縁部により支持される。これにより、邪魔板２５の他方の端部が、真空装置本体２２と扉２３との間に配置される。なお、扉２３を完全に閉扉する際は、作業者が邪魔板２５を回転させ、その他方の端部を上方に移動させることにより、図５（ａ）に示す状態、即ち、邪魔板２５の他方の端部が扉２３の上面により支持された状態に戻す。
【００２８】
本実施例の真空装置３１のように、扉２３が真空装置本体２２の上面に取り付けられている場合でも、真空装置本体２２の上面に閉扉防止部材取り付け用ブロック２９を固定し、このブロック２９に閉扉防止部材である邪魔板２５を回転可能に取り付けることにより、前述の第１乃至第３の実施例の真空装置と同様に、誤って扉が閉め切られることを防止することができる。また、本実施例の真空装置３１においては、邪魔板２５の他方の端部が、真空装置本体２２の開口部の縁部に接触して止まり、この縁部に支持されてその位置が保持されるため、扉２３が開扉しているときに邪魔板の位置を位置決めする位置決め用ピンが不要となる。なお、本実施例の真空装置３１における上記以外の効果は、前述の第１の実施例の真空装置と同様である。
【００２９】
以上詳述したように、本発明の実施例の真空装置においては、真空装置本体に、扉を開扉することによりその一部が真空装置本体と扉との間に配置される閉扉防止部材を設けているため、誤って扉が閉め切られることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】従来の真空装置を示す斜視図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は本発明の第１の実施例の真空装置を示す斜視図であり、（ａ）は扉が閉扉している状態を示す図であり、（ｂ）は扉が開扉している状態を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施例の真空装置を示す斜視図である。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は本発明の第３の実施例の真空装置を示す斜視図であり、（ａ）は扉が閉扉している状態を示す図であり、（ｂ）は扉が開扉している状態を示す図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は本発明の第４の実施例の真空装置を示す斜視図であり、（ａ）は扉が閉扉している状態を示す図であり、（ｂ）は扉が開扉している状態を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１、１１、２１、３１、１０１；真空装置
２、２２、１０２；真空装置本体
３、１３、２３、１０３；扉
４、２４、１０４；アーム
５、１５、２５；邪魔板
６、１６、２６；ピン
７、８、１７、１８、２７；位置決め用ピン
９、２９；ブロック
１０５ａ、１０５ｂ；角材
【図１】
2007000704.tif 000003
【図２】
2007000704.tif 000004
【図３】
2007000704.tif 000005
【図４】
2007000704.tif 000006
【図５】
2007000704.tif 000007