(57)【要約】【課題】  磁気発生手段の配置ずれによる検出誤差の増大が発生せずに、安定して精度良く回転角度を検出することができる回転角度検出装置、およびその回転角度検出装置を備えた軸受を提供する。【解決手段】  回転側部材１に配置され、回転中心Ｏ回りの円周方向異方性を有する磁気発生手段４と、この磁気発生手段４に回転中心Ｏの軸方向に対向して非回転側部材２に配置され、上記回転中心Ｏに垂直な平面内で仮想の矩形の４辺における各辺に配置された４個の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄと、信号読み出し回路１６と、ＡＤ変換回路１７と、角度算出手段７とを備える。信号読み出し回路１６は、前記磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの出力を読み出す。前記ＡＤ変換回路１７は、信号読み出し回路１６で読み出した信号をデジタル信号に変換する。角度算出手段７は、ＡＤ変換回路１７の出力から前記磁気発生手段４の回転角度を算出する。前記４個の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄで形成される矩形の四隅部のそれぞれの外側に、さらに４個の磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’を配置する。【選択図】      図２
2007183199.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転側部材に配置され、回転中心回りの円周方向異方性を有する磁気発生手段と、この磁気発生手段に回転中心の軸方向に対向して非回転側部材に配置され、上記回転中心に垂直な平面内で仮想の矩形の４辺における各辺に配置された４個のライン状の磁気センサアレイと、これら４個の磁気センサアレイの出力を読み出す信号読み出し回路およびその読み出した信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換回路と、このＡＤ変換回路の出力から前記磁気発生手段の回転角度を算出する角度算出手段とを備えた回転角度検出装置において、前記４個の磁気センサアレイで形成される矩形の四隅部のそれぞれの外側に、さらに４個の磁気センサアレイを配置したことを特徴とする回転角度検出装置。
【請求項２】
請求項１において、前記四隅の外側に配置した各磁気センサアレイに対して、信号読み出し回路とその読み出し信号をデジタル信号に変換して前記角度算出手段に入力するＡＤ変換回路とを設けた回転角度検出装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の回転角度検出装置を備えた回転角度検出装置付き軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、各種の機器における回転検出、例えば小型モータの回転制御のための回転検出や、事務機器の位置検出のための回転検出に用いられる回転角度検出装置、およびその回転角度検出装置を備えた軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
小型の機器に組み込み可能で、かつ高精度の回転角度検出が可能な回転角度検出装置として、磁気アレイセンサを用いるものが提案されている（例えば特許文献１）。これは、磁気センサ素子（ＭＡＧＦＥＴ）を多数並べた磁気アレイセンサを、信号増幅回路、ＡＤ変換回路、およびデジタル信号処理回路とともにセンサチップに集積し、このセンサチップを、回転側部材に配置される磁石に対向配置したものである。この場合、磁石は回転中心回りの円周方向異方性を有するものとされ、前記センサチップ上では、図６のように仮想の矩形の４辺における各辺に沿ってライン状の４個の磁気センサアレイ３５Ａ〜３５Ｄが配置される。
このように構成された回転角度検出装置では、各磁気センサアレイ３５Ａ〜３５Ｄでセンサチップに垂直な磁界分布を検出し、これら磁気センサアレイ３５Ａ〜３５Ｄの出力を図示しない信号増幅回路およびＡＤ変換回路を経てデジタル信号処理回路３７に読み出し、デジタル信号処理回路３７により、各磁気センサアレイ３５Ａ〜３５Ｄ上での前記磁界分布のＮＳ境界線に相当するゼロクロス位置を検出して磁石の回転角度を算出する。この場合、各磁気センサアレイ３５Ａ〜３５Ｄは完全には連続しておらず、これら磁気アレイセンサで形成される矩形の四隅に不連続な部分がある。そこで、各磁気センサアレイ３５Ａ〜３５Ｄは、前記矩形の四隅でそれぞれ一端部が外方に突き出るように配置され、四隅のセンサ配置に隙間が生じる部分を、各磁気センサアレイ３５Ａ〜３５Ｄの突き出たライン部分で補完するようにされている。これにより、磁界分布のＮＳ境界線が前記矩形の四隅付近に存在する場合にも、ゼロクロス位置を検出して回転角度を算出することが可能である。
【特許文献１】特開２００３−３７１３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記構成の回転角度検出装置の場合、磁石の磁極境界線の位置から、幾何学的に磁石の回転角度を算出するものであるため、磁石とセンサチップとの間に軸ずれがあっても検出に影響を受けにくい構成となっている。しかし、上記したように磁気センサアレイ３５Ａ〜３５Ｄで形成される矩形の四隅には不連続部分が存在するため、検出対象である磁石の配置がセンサチップに対して極端に軸ずれした場合には、磁界分布のＮＳ境界線が例えば図６の状態になり、ＮＳ境界線を検出するためのゼロクロス位置が見つからない状態が発生する。すなわち、同図では、符号イで示す左側のゼロクロス位置は検出できているが、符号ロ，ハで示すように右側のゼロクロス位置は上辺の磁気センサアレイ３５Ａと右辺の磁気センサアレイ３５Ｂの境界部分にあり、双方の磁気センサアレイ３５Ａ，３５Ｂのセンサ信号からは検出できない状態になっている。このような状態では、ゼロクロス位置に近い周辺のセンサ信号を使って、符号ロもしくは符号ハで示す位置を推定する必要があり、その場合には検出誤差が大きくなってしまい、回転角度の検出が困難になる場合が生じる。
磁気センサアレイ３５Ａ〜３５Ｄの配置寸法を大きくすれば、このような検出誤差を抑えることができるが、それでは回路面積が増大してしまいコンパクトに構成できない。
【０００４】
この発明の目的は、磁気発生手段の配置ずれによる検出誤差の増大が発生せずに、安定して精度良く回転角度を検出することができる回転角度検出装置、およびその回転角度検出装置を備えた軸受を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明の回転角度検出装置は、回転側部材に配置され、回転中心回りの円周方向異方性を有する磁気発生手段と、この磁気発生手段に回転中心の軸方向に対向して非回転側部材に配置され、上記回転中心に垂直な平面内で仮想の矩形の４辺における各辺に配置された４個のライン状の磁気センサアレイと、これら４個の磁気センサアレイの出力を読み出す信号読み出し回路およびその読み出した信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換回路と、このＡＤ変換回路の出力から前記磁気発生手段の回転角度を算出する角度算出手段とを備えた回転角度検出装置において、前記４個の磁気センサアレイで形成される矩形の四隅部のそれぞれの外側に、さらに４個の磁気センサアレイを配置したことを特徴とする。
この構成によると、矩形を形成する４個の磁気センサアレイとは別に、前記矩形の四隅部のそれぞれ外側に磁気センサアレイを補完する４個の磁気センサアレイを配置している。そのため、磁気発生手段の配置が矩形を形成する磁気センサアレイに対して大きく軸ずれした場合でも、補完用の磁気センサアレイでゼロクロス位置を検出でき、配置ずれによる検出誤差を増大させることなく、安定して精度良く磁気発生手段の回転角度を検出することができる。
【０００６】
この発明において、前記四隅の外側に配置した各磁気センサアレイに対して、信号読み出し回路とその読み出し信号をデジタル信号に変換して前記角度算出手段に入力するＡＤ変換回路とを設けても良い。この構成の場合、矩形を形成する磁気センサアレイの出力と矩形四隅部の外側の補完用の磁気センサアレイの出力とを並行して同時に信号読み出しできるので、補完用の磁気センサアレイが増加したことによる信号読み出し時間の増加がなく、角度検出レートを保ったまま検出精度および検出安定性を高めることができる。
【０００７】
この発明の回転角度検出装置付き軸受は、この発明における上記いずれかの構成の回転角度検出装置を軸受に取付けたものである。その場合に、磁気発生手段は、回転側部材である回転側軌道輪に配置する、磁気アレイセンサは、非回転側部材である静止側軌道輪に配置する。
このように、軸受に回転角度検出装置を一体化することで、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化が図れる。その場合に、回転角度検出装置は、配置ずれによる検出誤差の増大が発生せずに、安定して精度良く回転角度を検出することができるため、軸受への回転角度検出装置の組み付け作業が容易になる。
【発明の効果】
【０００８】
この発明の回転角度検出装置は、回転側部材に配置され、回転中心回りの円周方向異方性を有する磁気発生手段と、この磁気発生手段に回転中心の軸方向に対向して非回転側部材に配置され、上記回転中心に垂直な平面内で仮想の矩形の４辺における各辺に配置された４個のライン状の磁気センサアレイと、これら４個の磁気センサアレイの出力を読み出す信号読み出し回路およびその読み出した信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換回路と、このＡＤ変換回路の出力から前記磁気発生手段の回転角度を算出する角度算出手段とを備えた回転角度検出装置において、前記４個の磁気センサアレイで形成される矩形の四隅部のそれぞれの外側に、さらに４個の磁気センサアレイを配置したため、配置ずれによる検出誤差の増大が発生せずに、安定して精度良く回転角度を検出することができる。
この発明の回転角度検出装置付き軸受は、この発明の回転角度検出装置を軸受に取付けたため、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化が図れ、軸受への回転角度検出装置の組み付け作業が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
この発明の一実施形態を図面と共に説明する。図１は、この実施形態の回転角度検出装置の原理構成を示す。回転側部材１および非回転側部材２は、相対的に回転する回転側および非回転側の部材のことである。この回転角度検出装置３は、回転側部材１に配置された磁気発生手段４と、非回転側部材２に配置された４個のライン状の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄと、これら磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの出力を読み出して信号処理する信号処理回路６Ａ〜６Ｄ（図２）と、これらの信号処理回路６Ａ〜６Ｄの出力から磁気発生手段４の回転角度を算出する角度算出手段７とを備える。
【００１０】
磁気発生手段４は、発生する磁気が回転側部材１の回転中心Ｏ回りの円周方向異方性を有するものであり、永久磁石の単体、あるいは永久磁石と磁性材の複合体からなる。ここでは、磁気発生手段４は、１つの永久磁石８を２つの磁性体ヨーク９，９で挟んで一体化したものとされて、概形が二叉のフォーク状とされ、一方の磁性体ヨーク９の一端がＮ磁極、他方の磁性体ヨーク９の一端がＳ磁極となる。磁気発生手段４をこのような構造とすることにより、シンプルでかつ堅牢に構成できる。この磁気発生手段４は、回転側部材１の回転中心Ｏが磁気発生手段４の中心と一致するように回転側部材１に取付けられ、回転側部材１の回転によって上記回転中心Ｏの回りをＮ磁極およびＳ磁極が旋回移動する。
【００１１】
磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄは磁気発生手段４の磁気を検出するセンサであって、回転側部材１の回転中心Ｏの軸方向に向けて磁気発生手段４と対向するように、非回転側部材２に配置される。図２に示すように、各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄは、それぞれ複数の磁気センサ素子５ａをライン状に並べて構成され、上記回転中心Ｏに垂直な平面内で仮想の矩形の４辺における各辺に沿って配置される。この場合、前記矩形の中心は、回転側部材１の回転中心Ｏに一致する。なお、磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄで形成される矩形の四隅部において、隣接する磁気センサアレイ間は不連続とされている。このように構成される各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄは、非回転側部材２に取付けられる一つの半導体チップ１０の前記磁気発生手段４と対向する面上に形成される。半導体チップ１０は、例えばシリコンチップである。
【００１２】
信号処理回路６Ａ〜６Ｄは、各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄに対して１つずつ設けられて、対応する各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの信号を分担して読み出し処理するものである。これらの信号処理回路６Ａ〜６Ｄは、それぞれ対応する各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの出力を読み出す信号読み出し回路１６と、その読み出した信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換回路１７とでなる。これらの信号処理回路６Ａ〜６Ｄは、磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄで形成される矩形の外周領域に、対応する各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄに沿ってそれぞれ配置される。各ＡＤ変換回路１７で変換されたデジタル信号は角度算出手段７に入力される。
【００１３】
４個の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄで形成される矩形の四隅部のそれぞれ外側には、さらに別の４個の磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’が配置されている。これらの磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’も磁気発生手段４の磁気を検出するセンサであり、それぞれ複数の磁気センサ素子５ａをライン状に並べて構成される。これら磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’は、矩形を形成する前記４個の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄにおける矩形四隅部での不連続部分を補完する補助用のものである。具体的には、磁気センサアレイ５Ａ，５Ｂが隣接する隅部では、補助用の磁気センサアレイ５Ａ’が磁気センサアレイ５Ｂと平行に配置される。また、磁気センサアレイ５Ｂ，５Ｃが隣接する隅部では、補助用の磁気センサアレイ５Ｂ’が磁気センサアレイ５Ｃと平行に配置される。また、磁気センサアレイ５Ｃ，５Ｄが隣接する隅部では、補助用の磁気センサアレイ５Ｃ’が磁気センサアレイ５Ｄと平行に配置される。さらに、磁気センサアレイ５Ｄ，５Ａが隣接する隅部では、補助用の磁気センサアレイ５Ｄ’が磁気センサアレイ５Ｄと平行に配置される。
【００１４】
補助用の各磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’に対しても、１つずつ信号処理回路６Ａ’〜６Ｄ’が設けられて、対応する各磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’の信号を分担して読み出し処理するようにされている。これらの信号処理回路６Ａ’〜６Ｄ’も、それぞれ対応する補助用の各磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’の出力を読み出す信号読み出し回路１６と、その読み出した信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換回路１７とでなる。これらの信号処理回路６Ａ’〜６Ｄ’は、磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄで形成される矩形の外周領域に、対応する各磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’の並び方向に向けてそれぞれ配置される。各信号処理回路６Ａ’〜６Ｄ’のＡＤ変換回路１７で変換されたデジタル信号も角度算出手段７に入力される。
【００１５】
角度算出手段７は集積回路からなり、半導体チップ１０上に、磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄ，５Ａ’〜５Ｄ’および信号処理回路６Ａ〜６Ｄ，６Ａ’〜６Ｄ’と共に集積されている。角度算出手段７は、４個の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの矩形配置の内部に配置される。これにより、磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄ，５Ａ’〜５Ｄ’、信号処理回路６Ａ〜６Ｄ，６Ａ’〜６Ｄ’、および角度算出手段７をコンパクトに配置することができる。
【００１６】
図３および図４は、角度算出手段７による角度算出処理の基本部分の説明図である。図３（Ａ）〜（Ｄ）は、回転側部材１が回転している時のある瞬間における磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの出力波形図を示し、それらの横軸は各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄにおける磁気センサ素子５ａの並び位置を、縦軸は検出磁界の強度をそれぞれ示す。
いま、図４に示す位置Ｘ１とＸ２に磁気発生手段４のＮ磁極とＳ磁極の境界であるゼロクロス位置があるとする。この状態で、各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの出力が、図３（Ａ）〜（Ｄ）に示す信号波形となる。したがって、ゼロクロス位置Ｘ１，Ｘ２は、磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの出力から直線近似することで算出できる。
角度計算は、次式（１）で行うことができる。
θ＝ｔａｎ-1（２Ｌ／ｂ）    ……（１）
ここで、θは、磁気発生手段４の回転角度を絶対角度で示した値である。２Ｌは、矩形に並べられる各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの１辺の長さである。ｂは、ゼロクロス位置Ｘ１，Ｘ２間の横方向長さである。
ゼロクロス位置Ｘ１，Ｘ２が磁気センサアレイ５Ｂ，５Ｄにある場合には、それらの出力から得られるゼロクロス位置データにより、上記と同様にして回転角度θが算出される。
このように、この回転角度検出装置３では、磁界分布のゼロクロスから回転角度を算出するので、検出精度を向上させることができる。また、磁界パターンから角度情報を取得するので、回転角度検出装置３の軸合わせが不要となり、取付けが容易となる。
【００１７】
この回転角度検出装置３において、磁気発生手段４の配置が半導体チップ１０に対して大きく軸ずれした場合、上記したように磁気アレイセンサ５Ａ〜５Ｄで形成される矩形の四隅には不連続部分が存在するため、磁気発生手段４による磁界分布のＮＳ境界線が例えば図２の状態になり、ＮＳ境界線を検出するためのゼロクロス位置が矩形を形成する磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄ上に見つからない状態が発生する。すなわち、同図では、矩形の左辺の符号ａで示す左側のゼロクロス位置は磁気センサアレイ５Ｄで検出できているが、右側のゼロクロス位置は上辺の磁気センサアレイ５Ａと右辺の磁気センサアレイ５Ｂの境界部分にあり、双方の磁気センサアレイ５Ａ，５Ｂのセンサ信号からは検出できない状態になる。
しかし、このような場合でも、この回転角度検出装置３では、符号ｂで示す右側のゼロクロス位置を右上の隅部に配置された補助用の磁気センサアレイ５Ａ’で検出できる。そこで、この場合に、角度算出手段７は、磁気センサアレイ５Ｄの出力を信号処理回路６Ｄで処理した信号から左側のゼロクロス位置を検出すると共に、前記補助用の磁気センサアレイ５Ａ’の出力を信号処理回路６Ａ’で処理した信号から右側のゼロクロス位置を検出し、これらのゼロクロス位置に基づいて、このときの磁気発生手段４の回転角度θを算出する。
【００１８】
このように、この回転角度検出装置３では、矩形を形成する４個の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄとは別に、前記矩形の四隅部のそれぞれ外側に磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄを補完する４個の磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’を配置しているので、磁気発生手段４の配置が磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄに対して大きく軸ずれした場合でも、補助用の磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’でゼロクロス位置を検出でき、配置ずれによる検出誤差を増大させることなく、安定して精度良く磁気発生手段４の回転角度を検出することができる。
また、矩形を形成する４個の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの不連続部分を、その矩形の四隅の外側に追加した補助用の４個の磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’で補完するようにしているので、矩形を形成する各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの一端部を従来例のように矩形の隅部から突出させなくて良い。その結果、矩形を形成する磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの配置寸法を増加させずに、角度検出誤差の発生を防ぐことができ、回路面積を小さくしてコンパクトに構成できる。
【００１９】
補助用の磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’の出力は、矩形を形成する磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄに対応付けた信号処理回路６Ａ〜６Ｄを共用して信号処理しても良いが、その場合、画素数の増加によって読み出し時間が増加することで、検出レートが低下してしまうことになる。この実施形態のように磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’の出力を別に設けた信号処理回路６Ａ’〜６Ｄ’で信号処理した場合には、磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの出力と補助用の磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’の出力とを並行して同時に信号処理できるので、補助用の磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’が増加したことによる信号処理時間の増加がなく、角度検出レートを保ったまま検出精度および検出安定性を高めることができる。すなわち、補助用の磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’に別の信号処理回路６Ａ’〜６Ｄ’（信号読み出し回路１６およびＡＤ変換回路１７）を備えることにより、読み出し時間を増加させることなく、追加となる補助用の磁気センサアレイ５Ａ’〜５Ｄ’を実装することができる。
【００２０】
図５は、この実施形態の回転角度検出装置３を転がり軸受に組み込んだ例を示す。この転がり軸受２０は、内輪２１と外輪２２の転走面間に、保持器２３に保持された転動体２４を介在させたものである。転動体２４はボールからなり、この転がり軸受２０は深溝玉軸受とされている。また、軸受空間の一端を覆うシール２５が、外輪２２に取付けられている。回転軸３０が嵌合する内輪２１は、転動体２４を介して外輪２２に支持されている。外輪２２は、軸受使用機器のハウジング（図示せず）に設置されている。
【００２１】
内輪２１には、磁気発生手段取付部材２６が取付けられ、この磁気発生手段取付部材２６に磁気発生手段４が取付けられている。磁気発生手段取付部材２６は、内輪２１の一端の内径孔を覆うように設けられ、外周縁に設けられた円筒部２６ａを、内輪２１の肩部外周面に嵌合させることにより、内輪２１に取付けられている。また、円筒部２６ａの近傍の側板部が内輪２１の幅面に係合して軸方向の位置決めがなされている。
外輪２２にはセンサ取付部材２７が取付けられ、このセンサ取付部材２７に、磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄ，５Ａ’〜５Ｄ’、信号処理回路６Ａ〜６Ｄ，６Ａ’〜６Ｄ’、および角度算出手段７の集積された半導体チップ１０が取付けられている。また、このセンサ取付部材２７に、角度算出手段７の出力を取り出すための出力ケーブル２９も取付けられている。センサ取付部材２７は、外周部の先端円筒部２７ａを外輪２２の内径面に嵌合させ、この先端円筒部２７ａの近傍に形成した鍔部２７ｂを外輪２２の幅面に係合させて軸方向の位置決めがなされている。
【００２２】
このように、軸受２０に回転角度検出装置３を一体化することで、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化が図れる。その場合に、回転角度検出装置３は、配置ずれによる検出誤差の増大が発生せずに、安定して精度良く回転角度を検出することができるため、軸受２０への回転角度検出装置３の組み付け作業が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】この発明の一実施形態にかかる回転角度検出装置の概念構成を示す斜視図である。
【図２】同回転角度検出装置における半導体チップ上での磁気センサアレイ、信号処理回路、および角度算出手段の配置例を示す平面図である。
【図３】磁気センサアレイの出力を示す波形図である。
【図４】角度算出手段による角度算出処理の基本部分の説明図である。
【図５】同回転角度検出装置を備えた転がり軸受の一例を示す断面図である。
【図６】従来例における磁気センサアレイの配置例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１…回転側部材
２…非回転側部材
３…回転角度検出装置
４…磁気発生手段
５Ａ〜５Ｄ，５Ａ’〜５Ｄ’…磁気センサアレイ
６Ａ〜６Ｄ，６Ａ’〜６Ｄ’…信号処理回路
７…角度算出手段
１６…信号読み出し回路
１７…ＡＤ変換回路
２０…転がり軸受
Ｏ…回転中心
【図１】
2007183199.tif 000003
【図２】
2007183199.tif 000004
【図３】
2007183199.tif 000005
【図４】
2007183199.tif 000006
【図５】
2007183199.tif 000007
【図６】
2007183199.tif 000008