(57)【要約】【課題】自生作用を持つ研削砥石を用いる場合には定期的な目立てを行うことなく、またその他の研削砥石を用いる場合には本来必要な最小限の目立てのみを行いつつ、ワークの加工精度を安定させることが可能な両頭平面研削装置を提供する。【解決手段】同一軸上に対向配置された一対の研削砥石と、各研削砥石を個別に回転駆動する砥石駆動手段と、ワークを保持するワーク保持手段と、ワークを回転駆動するワーク駆動手段と、砥石駆動手段及びワーク駆動手段の駆動制御を行う駆動制御手段とを備えた両頭平面研削装置において、各砥石駆動手段の負荷電流値の差を演算する電流値差演算手段と、電流値差演算手段で得られた電流値差と予め設定された閾値との大小関係を判定する電流値差判定手段とを備え、駆動制御手段は、電流値差判定手段により電流値差が閾値以上であると判定されることを条件に砥石駆動手段の駆動方向を反転させるように構成したものである。【選択図】図１
2007098554.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一軸上に対向配置された一対の研削砥石と、各研削砥石を個別に回転駆動する砥石駆動手段と、ワークをその少なくとも一部が前記一対の研削砥石間に挟まれるように保持するワーク保持手段と、前記ワークを前記研削砥石側の回転軸と平行な軸廻りに回転駆動するワーク駆動手段と、前記砥石駆動手段及び前記ワーク駆動手段の駆動制御を行う駆動制御手段とを備え、該駆動制御手段の制御により前記ワークを所定方向に回転させつつ前記各研削砥石を夫々所定方向に回転させることにより前記ワークの両面を同時に研削可能な両頭平面研削装置において、前記各砥石駆動手段の負荷電流値又は電力値の差を演算する演算手段と、該演算手段で得られた電流値差又は電力値差と予め設定された閾値との大小関係を判定する判定手段とを備え、前記駆動制御手段は、前記判定手段により前記電流値差又は電力値差が前記閾値以上であると判定されることを条件に前記砥石駆動手段若しくは前記ワーク駆動手段の駆動方向を反転させるように構成されていることを特徴とする両頭平面研削装置。
【請求項２】
前記駆動制御手段は、前記判定手段により前記電流値差又は電力値差が前記閾値以上であると判定されるか、又は前記研削砥石の同一方向への回転による連続研削数が所定数に達することを条件に前記砥石駆動手段若しくは前記ワーク駆動手段の駆動方向を反転させるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の両頭平面研削装置。
【請求項３】
前記駆動制御手段は、前記判定手段により前記電流値差又は電力値差が前記閾値以上であると判定されることを条件に、その時点で研削を行っている前記ワークの研削加工の終了後に前記砥石駆動手段若しくは前記ワーク駆動手段の駆動方向を反転させるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の両頭平面研削装置。
【請求項４】
同一軸上に対向配置された一対の研削砥石と、各研削砥石を個別に回転駆動する砥石駆動手段と、ワークをその少なくとも一部が前記一対の研削砥石間に挟まれるように保持するワーク保持手段と、前記ワークを前記研削砥石側の回転軸と平行な軸廻りに回転駆動するワーク駆動手段と、前記砥石駆動手段及び前記ワーク駆動手段の駆動制御を行う駆動制御手段とを備え、該駆動制御手段の制御により前記ワークを所定方向に回転させつつ前記各研削砥石を夫々所定方向に回転させることにより前記ワークの両面を同時に研削可能な両頭平面研削装置の制御方法において、前記各砥石駆動手段の負荷電流値又は電力値の差を演算する演算工程と、該演算工程で得られた電流値差又は電力値差と予め設定された閾値との大小関係を判定する判定工程と、前記判定工程で前記電流値差又は電力値差が前記閾値以上であると判定されることを条件に前記砥石駆動手段若しくは前記ワーク駆動手段の駆動方向を反転させる駆動方向反転工程とを備えたことを特徴とする両頭平面研削装置の制御方法。
【請求項５】
前記駆動方向反転工程は、前記判定工程で前記電流値差又は電力値差が前記閾値以上であると判定されるか、又は前記研削砥石の同一方向への回転による連続研削数が所定数に達することを条件に前記砥石駆動手段若しくは前記ワーク駆動手段の駆動方向を反転させるように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の両頭平面研削装置の制御方法。
【請求項６】
前記駆動方向反転工程は、前記判定工程で前記電流値差又は電力値差が前記閾値以上であると判定されることを条件に、その時点で研削を行っている前記ワークの研削加工の終了後に前記砥石駆動手段若しくは前記ワーク駆動手段の駆動方向を反転させるように構成されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の両頭平面研削装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウェーハ等の薄板状ワークの両面を同時に研削可能な両頭平面研削装置及びその制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
両頭平面研削装置（例えば特許文献１参照）を用いてシリコンウェーハの研削加工を行う場合、ウェーハの両面を同時に研削する一対の研削砥石による研削条件が全く同じであることが望ましい。しかしながら、実際の研削加工においては、ウェーハの面性状等により両研削砥石間で研削面の目詰まり・目潰れの状態に差が生じることは避けられない。
【０００３】
両研削砥石間で目詰まり・目潰れの状態に僅かでも差が生じると、目詰まり・目潰れが大きい側の研削砥石の研削能力が低下するため、ウェーハ両面の面性状、特に面粗さが不均一となる。この状態は、研削能力が低い側、即ち目詰まり・目潰れが大きい側の研削砥石に砥粒の大脱落が発生するまで継続する。そして、その砥粒の大脱落が発生すると、両研削砥石の研削能力が逆転し、ウェーハ両面の面性状がそれまでに研削されたウェーハと逆になる。
【特許文献１】特開２０００−２８０１５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以上のように、従来の両頭平面研削装置によるシリコンウェーハの研削加工においては、両研削砥石の研削能力の高低関係が周期的に逆転し、それによってウェーハの加工精度も周期的に変化することとなる。
【０００５】
従来は、このような問題を改善するため、本来目立てを必要としない自生作用を持つ研削砥石を用いる場合であっても、研削能力の不均衡を解消すべく定期的な目立てを行う必要があった。
【０００６】
本発明は、このような従来の問題点に鑑み、自生作用を持つ研削砥石を用いる場合には定期的な目立てを行うことなく、またその他の研削砥石を用いる場合には本来必要な最小限の目立てのみを行いつつ、ワークの加工精度を安定させることが可能な両頭平面研削装置及びその制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
図９及び図１０は、従来の両頭平面研削装置でシリコンウェーハを研削加工した場合の、研削砥石を駆動する各モータ（砥石駆動手段）の負荷電流値Ａ１，Ａ２とその差（電流値差）Ｘの履歴を示している。なお、図９と図１０は、全く異なる条件で研削を行った結果であり、加工枚数の範囲も異なっている。
【０００８】
これら図９、図１０より明らかなように、研削加工を進めていくうちに両研削砥石間で目詰まり・目潰れの状態に差が生じてくると、目詰まり・目潰れが大きい側の研削砥石の研削能力が低下する。すると、その研削能力が低下した研削砥石を駆動するモータ（砥石駆動手段）の負荷電流値（例えばＡ１）が低下し、他方のモータの負荷電流値（例えばＡ２）は逆に上昇するため、両モータの負荷電流値の差Ｘが大きくなる。そして、更にそのまま研削加工を継続すると、いずれ砥粒の大脱落が発生し、図１０に示すように両研削砥石の研削能力が逆転して、両モータの負荷電流値Ａ１，Ａ２の大小関係も逆転する。
【０００９】
このように、両研削砥石の研削能力の差は、両研削砥石を駆動するモータの負荷電流値の差となって表れる。また、上記負荷電流値に代えて電力値を用いた場合も同様の結果が得られる。
【００１０】
そこで、本発明は、同一軸上に対向配置された一対の研削砥石と、各研削砥石を個別に回転駆動する砥石駆動手段と、ワークをその少なくとも一部が前記一対の研削砥石間に挟まれるように保持するワーク保持手段と、前記ワークを前記研削砥石側の回転軸と平行な軸廻りに回転駆動するワーク駆動手段と、前記砥石駆動手段及び前記ワーク駆動手段の駆動制御を行う駆動制御手段とを備え、該駆動制御手段の制御により前記ワークを所定方向に回転させつつ前記各研削砥石を夫々所定方向に回転させることにより前記ワークの両面を同時に研削可能な両頭平面研削装置において、前記各砥石駆動手段の負荷電流値又は電力値の差を演算する演算手段と、該演算手段で得られた電流値差又は電力値差と予め設定された閾値との大小関係を判定する判定手段とを備え、前記駆動制御手段は、前記判定手段により前記電流値差又は電力値差が前記閾値以上であると判定されることを条件に前記砥石駆動手段若しくは前記ワーク駆動手段の駆動方向を反転させるように構成されている。
【００１１】
また、本発明は、同一軸上に対向配置された一対の研削砥石と、各研削砥石を個別に回転駆動する砥石駆動手段と、ワークをその少なくとも一部が前記一対の研削砥石間に挟まれるように保持するワーク保持手段と、前記ワークを前記研削砥石側の回転軸と平行な軸廻りに回転駆動するワーク駆動手段と、前記砥石駆動手段及び前記ワーク駆動手段の駆動制御を行う駆動制御手段とを備え、該駆動制御手段の制御により前記ワークを所定方向に回転させつつ前記各研削砥石を夫々所定方向に回転させることにより前記ワークの両面を同時に研削可能な両頭平面研削装置の制御方法において、前記各砥石駆動手段の負荷電流値又は電力値の差を演算する演算工程と、該演算工程で得られた電流値差又は電力値差と予め設定された閾値との大小関係を判定する判定工程と、前記判定工程で前記電流値差又は電力値差が前記閾値以上であると判定されることを条件に前記砥石駆動手段若しくは前記ワーク駆動手段の駆動方向を反転させる駆動方向反転工程とを備えている。
【発明の効果】
【００１２】
砥石駆動手段若しくはワーク駆動手段の駆動方向を反転させると、研削砥石における砥粒の作用面がそれまでとは変わり、目詰まりを起こしていない部分で研削が続行されるため、それまでに生じていた両研削砥石の研削能力の差が解消されることが期待される。
【００１３】
本発明によれば、両研削砥石の研削能力の差と相関関係のある電流値差又は電力値差が閾値以上となることを条件に砥石駆動手段若しくはワーク駆動手段の駆動方向を反転させるように構成されているため、電流値差又は電力値差、即ち両研削砥石の研削能力の差を低い値で安定させることができ、ワークの加工精度を安定させることが可能である。
【００１４】
またこれにより、研削能力の不均衡を解消するためだけに目立てを行う必要がなくなるため、本来目立てを必要としない自生作用を持つ研削砥石を用いた場合には、本来通り全く目立てを行うことなく研削加工を行うことが可能となり、また定期的な目立てが必要な自生作用を持たない研削砥石を用いる場合でも、本来必要な最小限の目立てのみを行えばよいために目立ての頻度を低く抑えることができ、作業効率が向上する利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳述する。図１〜図８は本発明を横型平面研削装置及びその制御方法として具現化した一実施形態を例示している。なお、以下の説明においては、前後左右の語を用いる際には、図２における下側を前、上側を後、左右を左右というものとする。
【００１６】
図２〜図７に示すように、両頭平面研削装置１は、シリコンウェーハ等の薄板円板状ワークＷを保持し且つ回転駆動するワークドライブ装置２と、このワークドライブ装置２により保持、回転されるワークＷの両面を、同一軸上に対向配置された一対の研削砥石３Ｌ，３Ｒにより研削する砥石装置４とを備えている。
【００１７】
ワークドライブ装置２は、ワークＷの両面を研削加工する際にそのワークＷを保持し且つ回転駆動するもので、ワークＷをその周縁部及び両面側から保持するワーク保持手段６と、このワーク保持手段６で保持されたワークＷを回転駆動するワーク駆動機構７と、ワーク保持手段６を移動可能に支持すると共にその周囲を覆う内部ケース８と、ワーク保持手段６を内部ケース８に対してスライド移動させるスライド駆動機構９と、内部ケース８を支持すると共にその外側を覆う外部ケース１０とを備えている。
【００１８】
外部ケース１０は、上側が開口した略矩形箱形に形成されており、その内側上部に、上下が開口した略矩形箱形の内部ケース８が固定されている。
【００１９】
ワーク保持手段６は、互いに対向するように配置され且つ内部ケース８により左右方向移動可能に支持される左右のワーク保持体１１Ｌ，１１Ｒにより構成されている。これらワーク保持体１１Ｌ，１１Ｒは、夫々、左右方向に対向配置された一対の支持プレート１２Ｌ，１２Ｒと、それら支持プレート１２Ｌ，１２Ｒの対向面側に設けられた一対のサポートパッド１３Ｌ，１３Ｒとを備えている。
【００２０】
サポートパッド１３Ｌ，１３Ｒは、水等の流体の圧力によりワークＷを両面側から非接触支持するためのもので、支持プレート１２Ｌ，１２Ｒの対向面側の略中央位置に互いに対向するように配置されている。サポートパッド１３Ｌ，１３Ｒは、図３等に示すように夫々略円板状に形成されており、例えばその下部側には、研削砥石３Ｌ，３Ｒが挿通される砥石用切り欠き部１４が、支持プレート１２Ｌ，１２Ｒの背面側まで貫通するように設けられている。
【００２１】
左右のワーク保持体１１Ｌ，１１Ｒの一方側、例えば左ワーク保持体１１Ｌ側の支持プレート１２Ｌには、右ワーク保持体１１Ｒとの対向面側であってサポートパッド１３Ｌの周辺部に、例えば４個の支持ローラ１５が、例えばサポートパッド１３Ｌの外周に沿って略等ピッチで配置されており、これら４個の支持ローラ１５により、ワークＷを保持するワーク保持キャリア１６が回転自在に支持されている。
【００２２】
ワーク保持キャリア１６は、図５〜図７等に示すように、厚肉のリング部１７と、このリング部１７から半径方向内側に所定寸法だけ突出する薄板状の保持プレート１８とで構成されている。保持プレート１８の内周側はワークＷを遊嵌可能なワーク嵌め入れ部１９となっており、その内周側の一部に半径方向内側に向けて形成された突起部２０が、ワークＷ側のノッチ部Ｗｎと噛み合うようになっている。なお、保持プレート１８の板厚はワークＷの板厚よりも小さく形成されている。
【００２３】
また、リング部１７の内周側には、例えばサポートパッド１３Ｌ側に配置されたワーク駆動ギア２１に噛み合う内歯２２が形成されており、ワーク駆動ギア２１を含むワーク駆動機構７の駆動によりワーク保持キャリア１６を介してワークＷが回転するようになっている。
【００２４】
ワーク保持体１１Ｌ，１１Ｒは、内部ケース８側に左右方向に設けられた複数本、例えば４本の案内ロッド２３により左右方向摺動自在に支持されており、スライド駆動機構９により、案内ロッド２３に沿ってスライド駆動されるようになっている。なお、スライド駆動機構９は、支持プレート１２Ｒに固定され且つその駆動軸が左ワーク保持体１１Ｌ側に固定された第１シリンダ２４と、内部ケース８の左側壁板８Ｌに固定され且つその駆動軸が左ワーク保持体１１Ｌに固定された第２シリンダ２５とを備えており、このスライド駆動機構９により、ワークＷの研削時には、ワーク保持体１１Ｌ，１１Ｒが、内部ケース８内の左右方向略中央位置においてサポートパッド１３Ｌ，１３Ｒが互いに近接する「研削時位置」（図４参照）に保持され、ワークＷの着脱時には、右ワーク保持体１１Ｒ側が左ワーク保持体１１Ｌから所定距離だけ離間した「ワーク着脱時位置」（図５参照）に保持される。
【００２５】
ワーク駆動機構７は、左ワーク保持体１１Ｌ側に配置されたワーク駆動ギア２１と、例えば内部ケース８に固定され且つワーク駆動ギア２１を回転駆動するワーク駆動モータ  （ワーク駆動手段）２６とを備えている。
【００２６】
砥石装置４は、左右方向の同一軸上に対向配置された例えばカップ型の一対の研削砥石３Ｌ，３Ｒと、これら研削砥石３Ｌ，３Ｒを個別に回転駆動する砥石駆動モータ（砥石駆動手段）３１Ｌ，３１Ｒとを備えており、研削砥石３Ｌ，３Ｒが、外部ケース１０に設けられた開口孔３２、内部ケース８に設けられた切り欠き部３３、ワーク保持体１１Ｌ，１１Ｒ側の砥石用切り欠き部１４を介して、ワーク保持キャリア１６で保持されたワークＷの両面側に対向するように配置されている。
【００２７】
なお、砥石装置４は、研削砥石３Ｌ，３Ｒを軸方向（左右方向）に移動可能に構成されており、ワークＷの着脱時には、研削砥石３Ｌ，３Ｒを所定の待機位置まで移動させるようになっている。
【００２８】
図１は、砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの制御を行う駆動制御手段４０の概略構成を示すブロック図である。
【００２９】
駆動制御手段４０は、ユーザが砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動に関する種々の設定情報を入力可能な操作盤４１、この操作盤４１から入力された設定情報に基づいて動作指令を出力するシーケンサ４２、このシーケンサ４２からの動作指令に基づいて砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒを夫々制御するモータ制御部４３Ｌ，４３Ｒ、砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの負荷電流値をＡ／Ｄ変換してシーケンサ４２に出力するＡ／Ｄ変換手段４４等を備えている。
【００３０】
また、シーケンサ４２には、Ａ／Ｄ変換手段４４を経て取得された各砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの負荷電流値Ａ１，Ａ２の差（以下、電流値差Ｘという）を演算する電流値差演算工程（演算工程）を行う電流値差演算手段（演算手段）４５、この電流値差演算手段４５による電流値差演算工程で得られた電流値差Ｘと予め設定された閾値Ｘｔとの大小関係を判定する電流値差判定工程（判定工程）を行う電流値差判定手段（判定手段）４６、研削砥石３Ｌ，３Ｒの同一方向への回転によるワークＷの連続研削数Ｎを計数する連続研削数計数工程を行う連続研削数計数手段４７、この連続研削数計数手段４７による連続研削数計数工程で計数された連続研削数Ｎと予め設定された所定数Ｎｔとの大小関係を判定する連続研削数判定工程を行う連続研削数判定手段４８、電流値差判定手段４６による電流値差判定工程で電流値差Ｘが閾値Ｘｔ以上であると判定されるか、又は連続研削数判定手段４８による連続研削数判定工程で連続研削数Ｎが所定数Ｎｔに達したと判定されることを条件に、例えばその時点で研削を行っているワークの研削処理の終了後に、モータ制御部４３Ｌ，４３Ｒに対して各砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向を反転させる旨の反転動作指令を出力する動作指令出力手段４９等を備えている。
【００３１】
モータ制御部４３Ｌ，４３Ｒは、シーケンサ４２側から反転動作指令を受けると、砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向を夫々反転させる（駆動方向反転工程）ようになっている。砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向が反転されると、研削砥石３Ｌ，３Ｒの回転方向も夫々反転する。なお、砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向が反転されると、連続研削数計数手段４７の連続研削数Ｎの値がリセットされる。
【００３２】
また、閾値Ｘｔ、所定数Ｎｔの値については、ユーザが操作盤４１から任意の値を設定可能となっている。
【００３３】
なお、電流値差判定手段４６により電流値差Ｘが閾値Ｘｔ以上であると判定されるか、又は連続研削数判定手段４８により連続研削数Ｎが所定数Ｎｔに達したと判定された時点で、動作指令出力手段４９からモータ制御部４３Ｌ，４３Ｒに対して反転動作指令を出力し、その反転動作指令を受けたモータ制御部４３Ｌ，４３Ｒは、次のワークの研削加工から砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向を夫々反転させるようにしてもよい。
【００３４】
以上のような構成を有する両頭平面研削装置１によりワークＷの研削加工を行う際には、まず研削砥石３Ｌ，３Ｒが「待機位置」に、ワーク保持体１１Ｌ，１１Ｒが「ワーク着脱時位置」に夫々保持された状態で、ワークＷが、図示しないローダにより、ノッチ部Ｗｎにワーク嵌め入れ部１９側の突起部２０を係合させるように、ワーク保持キャリア１６のワーク嵌め入れ部１９内に装着される（図５）。
【００３５】
ワークＷがワーク保持キャリア１６のワーク嵌め入れ部１９内に装着されると、スライド駆動機構９により、サポートパッド１３Ｌ，１３ＲがワークＷの両面側に近接する「ワーク着脱時位置」にくるまでワーク保持体１１Ｌ，１１Ｒが駆動される。そして、ワーク保持手段６が作動され、ワークＷは、サポートパッド１３Ｌ，１３Ｒ間で水等の流体の圧力により両面側から非接触支持された状態となる。
【００３６】
その後、ワーク駆動モータ２６の駆動によりワーク駆動ギア２１を介してワーク保持キャリア１６が回転を開始し、それによってワークＷも回転を開始する。また、左右の研削砥石３Ｌ，３Ｒも、モータ制御部４３Ｌ，４３Ｒの制御による砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動により、互いに反対方向に定速回転を開始すると共に、「待機位置」から徐々にワークＷの被研削面に接近し、やがて左右の研削砥石３Ｌ，３ＲによりワークＷが研削位置において両側から挟まれた状態となり、ワークＷの研削が行われる。
【００３７】
ワークＷの研削が終了すると、研削砥石３Ｌ，３Ｒが「研削位置」から「待機位置」まで移動され、またワーク保持体１１Ｒが「研削時位置」から「ワーク着脱時位置」まで移動された状態で、図示しないローダにより研削後のワークＷがワーク保持キャリア１６から取り出され、搬出されると共に、新たに未加工のワークＷがワーク保持キャリア１６に装着され、次の研削加工が開始される。
【００３８】
また、ワークＷの研削加工中は、砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの負荷電流値Ａ１，Ａ２がＡ／Ｄ変換手段４４を経てシーケンサ４２に逐次入力される。シーケンサ４２では、電流値差演算手段４５によりそれら負荷電流値Ａ１，Ａ２の差、即ち電流値差Ｘが演算され、電流値差判定手段４６により、電流値差Ｘと、操作盤４１から設定された閾値Ｘｔとの大小関係が判定される。そして、電流値差判定手段４６により電流値差Ｘが閾値Ｘｔ以上であると判定された場合には、例えばその時点で研削を行っているワークＷの研削処理の終了後に、動作指令出力手段４９からモータ制御部４３Ｌ，４３Ｒに対して、各砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向を反転させる旨の反転動作指令が出力される。
【００３９】
また、新たなワークＷの研削加工が開始される毎に、連続研削数計数手段４７により連続研削数Ｎに１ずつ加算され、連続研削数判定手段４８により、その時点での連続研削数Ｎと予め設定された所定数Ｎｔとの大小関係が判定される。そして、連続研削数判定手段４８により連続研削数Ｎが所定数Ｎｔに達したと判定された場合には、例えばその時点で研削を行っているワークの研削処理の終了後に、動作指令出力手段４９からモータ制御部４３Ｌ，４３Ｒに対して、各砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向を反転させる旨の反転動作指令が出力される。
【００４０】
モータ制御部４３Ｌ，４３Ｒは、シーケンサ４２側から反転動作指令を受けると、次のワークＷの研削から砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向を夫々反転させる。なお、砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向が反転されると、連続研削数計数手段４７の連続研削数Ｎの値がリセットされる。
【００４１】
砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向が夫々反転されると、研削砥石３Ｌ，３Ｒの回転方向が反転するため、研削砥石３Ｌ，３Ｒ共に砥粒の作用面がそれまでとは変わり、目詰まりを起こしていない部分で研削が続行される。これにより、それまでに生じていた両研削砥石３Ｌ，３Ｒの研削能力の差が解消されるため、ウェーハ両面の面性状、特に面粗さの不均一が解消され、ワークの加工精度を安定させることができる。
【００４２】
図８は、本実施形態に係る両頭平面研削装置１により、閾値Ｘｔ＝０．７Ａ、所定数Ｎｔ＝３に設定してシリコンウェーハを研削加工した場合の、研削加工枚数と砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの各負荷電流値Ａ１，Ａ２及びそれらの差（電流値差Ｘ）との関係を示したものである。
【００４３】
この例では、電流値差Ｘが閾値Ｘｔに達することはなかったため、研削砥石３Ｌ，３Ｒの回転方向の反転が、３枚研削する毎に規則的に行われる結果となった。しかしながら、例えば所定数Ｎｔをより大きな値に設定して、電流値差Ｘが頻繁に閾値Ｘｔに達するような条件で研削を行ったとしても、各砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの負荷電流値の振れ幅は大きくなるものの、略同様の結果が得られることは容易に予想される。
【００４４】
図８より明らかなように、本発明の両頭平面研削装置１によれば、両研削砥石３Ｌ，３Ｒの研削能力の差と相関関係のある電流値差Ｘを低い値で安定させることができ、ワークＷの加工精度を安定させることが可能である。またこれにより、研削砥石に対して研削能力の不均衡を解消するためだけの目立てを行う必要がなくなり、本来目立てを必要としない自生作用を持つ研削砥石を用いた場合には、本来通り全く目立てを行うことなく研削加工を行うことが可能となる。
【００４５】
また、定期的な目立てが必要な自生作用を持たない研削砥石を用いる場合でも、本来必要な最小限の目立てのみを行えばよいために目立ての頻度を低く抑えることができ、作業効率が向上する利点がある。
【００４６】
以上、本発明の実施形態について例示したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、砥石駆動モータ（砥石駆動手段）３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向、即ち研削砥石３Ｌ，３Ｒの回転方向を反転させる代わりに、ワーク駆動モータ（ワーク駆動手段）２６の駆動方向、即ちワークＷの回転方向を反転させるように構成してもよい。このような構成としても、実施形態の場合と同様、ワークＷと研削砥石３Ｌ，３Ｒとの相対的な摺動方向を変化させることができるため、砥粒の作用面がそれまでとは変わり、目詰まりを起こしていない部分で研削が続行されることとなり、それまでに生じていた両研削砥石３Ｌ，３Ｒの研削能力の差が解消され、ウェーハ両面の面性状、特に面粗さの不均一が解消され、ワークの加工精度を安定させることができる。
【００４７】
実施形態では、電流値差判定手段４６により電流値差Ｘが閾値Ｘｔ以上であると判定されるか、又は研削砥石３Ｌ，３Ｒの同一方向への回転による連続研削数Ｎが所定数Ｎｔに達することを条件に砥石駆動モータ（砥石駆動手段）３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向を反転させるように構成したが、後者の条件を省略し、電流値差判定手段４６により電流値差Ｘが閾値Ｘｔ以上であると判定された場合にのみ砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒ（又はワーク駆動モータ２６）の駆動方向を反転させるように構成してもよい。
【００４８】
実施形態では、砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの駆動方向を反転させる際の条件の一つを、「電流値差Ｘが閾値Ｘｔ以上であると判定されること」としたが、これを「電流値差Ｘが閾値Ｘｔを超えたと判定されること」等としても実質的な差がないことは言うまでもない。「連続研削数Ｎが所定数Ｎｔに達すること」の条件についても同様である。
【００４９】
実施形態で採用した各砥石駆動モータ３１Ｌ，３１Ｒの「負荷電流値」及びそれらの差である「電流値差」に代えて、夫々「電力値」、「電力値差」を採用してもよい。
【００５０】
両頭平面研削装置１におけるワークドライブ装置２等の構成については任意であり、例えばワークＷをその周縁部及び両面側から保持するワーク保持手段６については実施形態で示した以外の種々の構成を採用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施形態を示す駆動制御手段のブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態を示す両頭平面研削装置の平面図である。
【図３】本発明の一実施形態を示す両頭平面研削装置の左方向の側面断面図である。
【図４】本発明の一実施形態を示す両頭平面研削装置の正面断面図である。
【図５】本発明の一実施形態を示すワーク装着処理の説明図である。
【図６】本発明の一実施形態を示す両頭平面研削装置の部分拡大断面図である。
【図７】本発明の一実施形態を示すワークの保持構造及びワークと研削砥石との位置関係の説明図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る両頭平面研削装置により研削加工を行った場合の各砥石駆動モータの負荷電流値とその差（電流値差）の履歴の一例である。
【図９】従来の両頭平面研削装置により研削加工を行った場合の各砥石駆動モータの負荷電流値とその差（電流値差）の履歴の一例である。
【図１０】従来の両頭平面研削装置により研削加工を行った場合の各砥石駆動モータの負荷電流値とその差（電流値差）の履歴の一例である。
【符号の説明】
【００５２】
１              両頭平面研削装置
３Ｌ，３Ｒ      研削砥石
６              ワーク保持手段
２６            ワーク駆動モータ（ワーク駆動手段）
３１Ｌ，３１Ｒ  砥石駆動モータ（砥石駆動手段）
４０            駆動制御手段
４５            電流値差演算手段（演算手段）
４６            電流値差判定手段（判定手段）
Ｗ              ワーク
Ｘ              電流値差
Ｘｔ            閾値
Ｎ              連続研削数
Ｎｔ            所定数
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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