(57)【要約】【課題】  被駆動体を高分解能で位置決め駆動させるとともに、超音波駆動装置全体の振動や騒音を抑えることができる超音波駆動装置を提供する。【解決手段】  電力が供給されることにより振動を発生する振動子３と、振動子３に固定される保持部材１７と、保持部材１７に設けられた弾性部材２０と、弾性部材２０を介して振動子３を被駆動体７方向に向けて付勢する付勢部材１９と、保持部材１７を支持する支持部材５と、を有し、支持部材５に、保持部材１７が固定された振動子３を収容し、被駆動体７方向に移動可能に支持する配置孔１１が設けられていることを特徴とする。【選択図】  図１
2007097317.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力が供給されることにより振動を発生する振動子と、
該振動子に固定される保持部材と、
該保持部材に設けられた弾性部材と、
該弾性部材を介して前記振動子を被駆動体方向に向けて付勢する付勢部材と、
前記保持部材を支持する支持部材と、を有し、
該支持部材に、前記保持部材が固定された振動子を収容し、前記被駆動体方向に移動可能に支持する配置孔が設けられている超音波駆動装置。
【請求項２】
前記弾性部材が、前記付勢部材とは異なる弾性率を有する材料から形成されている請求項１記載の超音波駆動装置。
【請求項３】
電力が供給されることにより振動を発生する振動子と、
該振動子に固定された弾性を有する保持部材と、
該保持部材を介して前記振動子を被駆動体方向に向けて付勢する付勢部材と、
前記保持部材を支持する支持部材と、を有し、
該支持部材に、前記保持部材が固定された振動子を収容し、前記被駆動体方向に移動可能に支持する配置孔が形成されている超音波駆動装置。
【請求項４】
前記保持部材が、前記振動子と前記付勢部材との間に配置される押圧部と、前記振動子と前記配置孔との間に配置される位置決め部と、を有する請求項１から３のいずれかに記載の超音波駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして、圧電素子などの振動子の振動を利用した超音波モータ（超音波駆動装置）が注目されている。この超音波モータは、従来の電磁型モータと比較して、ギアなしで低速高推力が得られる点や、保持力が高い点や、ストロークが長く、高分解能である点や、静粛性に富む点や、磁気的ノイズを発生せず、また、磁気的ノイズの影響を受けない点等の利点を有している。
【０００３】
上述の超音波モータにおいては、推力や保持力を発揮させるために、振動子を被駆動体に押し付ける必要があると同時に、振動子の振動を外部に伝達させないことも必要であった。そのため、超音波モータにおける振動子を被駆動体に押し付けるさまざまな方法が提案されている（例えば、特許文献１。）。
【特許文献１】特開２００１−２９２５８４号公報  （第５−７頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の特許文献１においては、振動子と固定板との間にばね部材を配置するとともに、振動子とばね部材との間にゴムシートを配置する技術が開示されている。
このような構成にすることにより、振動子をレール（被駆動体）に押し付けるとともに、振動子により発生された振動のばね部材や固定板への伝達を防止することができた。
【０００５】
しかしながら、上述の構成によると、振動子はゴムシートを介してばね部材により支持されるため、振動子の位置決め精度が悪くなるという問題があった。振動子の位置決め精度が悪いと、超音波モータにおいて、被駆動体を高分解能で位置決め駆動させることが困難になるという問題があった。
【０００６】
また、上述の特許文献１においては、さらに、被駆動体に案内溝を形成するとともに、振動体と被駆動体との間に設けられた突起とを嵌め合わせて、振動子の位置決めを行う技術が開示されている。
このような構成にすることにより、振動子の位置を高い精度で決めることができた。
【０００７】
しかしながら、上述の構成によると、振動子の振動を被駆動体に伝達する面において、溝と突起とが嵌め合わされている。つまり、振動子の振動が最も大きな部分において溝と突起とが嵌め合わされているため、振動子の振動を被駆動体の駆動力に変換する過程において、駆動力の損失が発生しやすいという問題があった。さらに、駆動力の損失が発生すると、被駆動体の位置決め精度も悪化するという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、被駆動体を高分解能で位置決め駆動させるとともに、超音波駆動装置全体の振動や騒音を抑えることができる超音波駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明は、電力が供給されることにより振動を発生する振動子と、該振動子に固定される保持部材と、該保持部材に設けられた弾性部材と、該弾性部材を介して前記振動子を被駆動体方向に向けて付勢する付勢部材と、前記保持部材を支持する支持部材と、を有し、該支持部材に、前記保持部材が固定された振動子を収容し、前記被駆動体方向に移動可能に支持する配置孔が設けられている超音波駆動装置を提供する。
【００１０】
本発明によれば、付勢部材が、弾性部材を介して保持部材を被駆動体方向に向けて付勢するため、振動子が発生する振動は弾性部材により減衰され、付勢部材に伝達されにくくなる。そのため、振動子が発生する振動は付勢部材から超音波駆動装置全体に伝わりにくくなり、装置全体の振動や騒音を抑えることができる。
【００１１】
振動子に固定された保持部材と、支持部材に設けられた配置孔とにより支持されているため、被駆動体方向以外の方向への遊びが少ない状態で振動子を保持することができる。そのため、支持部材と振動子との間にゴムなどの弾性体からなる部材を介在させる場合と比較して、振動子を高い精度で位置決めすることができる。
また、振動子を被駆動体方向以外の方向への遊びが少ない状態で保持することができるため、振動子の振動を効率よく被駆動体に伝達することができる。
【００１２】
上記発明においては、前記弾性部材が、前記付勢部材とは異なる弾性率を有する材料から形成されていることが望ましい。
本発明によれば、弾性部材の弾性率と付勢部材の弾性率とが異なるため、弾性率が同じ場合と比較して、振動子の振動が付勢部材に伝達されにくくすることができる。
【００１３】
本発明は、電力が供給されることにより振動を発生する振動子と、該振動子に固定された弾性を有する保持部材と、該保持部材を介して前記振動子を被駆動体方向に向けて付勢する付勢部材と、前記保持部材を支持する支持部材と、を有し、該支持部材に、前記保持部材が固定された振動子を収容し、前記被駆動体方向に移動可能に支持する配置孔が形成されている超音波駆動装置を提供する。
【００１４】
本発明によれば、付勢部材が、弾性を有する保持部材を被駆動体方向に向けて付勢するため、振動子が発生する振動は保持部材により減衰され、付勢部材に伝達されにくくなる。そのため、振動子の振動は付勢部材から超音波駆動装置全体に伝わりにくくなり、装置全体の振動や騒音を抑えることができる。
なお、保持部材を形成する材料としては、樹脂などを例示することができる。
【００１５】
振動子に固定された保持部材と、支持部材に設けられた配置孔とにより支持されているため、被駆動体方向以外の方向への遊びが少ない状態で振動子を保持することができる。そのため、支持部材と振動子との間にゴムなどの弾性体からなる部材を介在させる場合と比較して、振動子を高い精度で位置決めすることができる。
また、振動子を被駆動体方向以外の方向への遊びが少ない状態で保持することができるため、振動子の振動を効率よく被駆動体に伝達することができる。
【００１６】
上記発明においては、前記保持部材が、前記振動子と前記付勢部材との間に配置される押圧部と、前記振動子と前記配置孔との間に配置される位置決め部と、を有することが望ましい。
本発明によれば、保持部材が振動子と付勢部材との間に配置された押圧部を有するため、付勢部材により保持部材に加えられた付勢力を振動子に伝達することができる。そのため、付勢部材と振動子との接触により、振動子の振動が阻害されることを防止できる。
保持部材が振動子と配置孔との間に配置された位置決め部を有するため、振動子と配置孔とを直接接触させることなく、振動子の位置を決めることができる。そのため、配置孔と振動子との接触により、振動子の振動が阻害されることを防止できる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の超音波駆動装置によれば、付勢部材が、弾性部材を介して保持部材を被駆動体方向に向けて付勢するため、振動子が発生する振動は弾性部材により減衰され、付勢部材に伝達されにくくなる。そのため、振動子が発生する振動は付勢部材から超音波駆動装置全体に伝わりにくくなり、装置全体の振動や騒音を抑えることができるという効果を奏する。
振動子に固定された保持部材と、支持部材に設けられた配置孔とにより支持されているため、被駆動体方向以外の方向への遊びが少ない状態で振動子を保持することができる。そのため、支持部材と振動子との間にゴムなどの弾性体からなる部材を介在させる場合と比較して、振動子を高い精度で位置決めすることができるため、被駆動体を高分解能で位置決め駆動させることができるという効果を奏する。
また、振動子を被駆動体方向以外の方向への遊びが少ない状態で保持することができるため、振動子の振動を効率よく被駆動体に伝達することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
〔第１の実施の形態〕
以下、本発明の第１の実施形態にかかる超音波駆動装置について図１から図５を参照して説明する。ここでは、超音波駆動装置をカメラにおけるレンズを駆動する超音波モータとして用いる例に適用して説明する。
図１は、本実施形態に係る超音波モータの全体構成を説明する断面図である。図２は、図１の超音波モータの構成を説明する部分平面図である。なお、図２中において、圧電素子の配置数を１個に省略して示しているが、実際には全ての配置孔に圧電素子が配置されている。
【００１９】
超音波モータ（超音波駆動装置）１は、図１および図２に示すように、電力が供給されることにより超音波振動を発生する３個の圧電素子（振動子）３と、圧電素子３が収められるケース（支持部材）５と、圧電素子３の超音波振動により駆動されるセラミックレール（被駆動体）７と、圧電素子３を押圧する押え蓋９と、から概略構成されている。
セラミックレール７には、その回転移動を中心軸Ｃに沿う方向（被駆動体方向）に変換する変換機構（図示せず）が接続され、変換機構によりカメラのレンズ（図示せず）の位置が中心軸Ｃに沿う方向に移動される。
【００２０】
ケース５は略円環状に形成されるとともに、圧電素子３が内部に配置される３つの配置孔１１が所定の位置精度で形成されている。配置孔１１は略角柱状に形成され、同一円周上に等間隔に複数（図２では３つ）形成されている。配置孔１１における半径方向に対して略垂直なガイド面１３には、後述するピン部が挿入される誘導溝１５が形成されている。誘導溝１５は、ケース５の中心軸Ｃと略平行となるように形成されている。
【００２１】
セラミックレール７は、図１に示すように、略円環状に形成され、ケース５と中心軸Ｃを共有するように配置されている。また、セラミックレール７の圧電素子３と対向する面には後述する圧電素子３の駆動接触部が接触するように配置されている。
押え蓋９は縁部を有する略円環状に形成され、ケース５と中心軸Ｃを共有するように配置されている。また、押え蓋９の圧電素子３と対向する面には後述する圧電素子３の板バネが接触するように配置されている。
【００２２】
図３は、図１の圧電素子に付属する構成要素を説明する図であり、図３（ａ）は超音波モータの半径方向から圧電素子を見た図であり、図３（ｂ）は円周方向から圧電素子見た図である。
圧電素子３は、図１から図３に示すように、ケース５の円周方向に長軸を有する略直方体状に形成されている。圧電素子３には、圧電素子３を保持する保持部（保持部材）１７と、圧電素子３をセラミックレール７に向けて付勢する板バネ（付勢部材）１９と、保持部１７と板バネ１９との間に設けられたゴムシート（弾性部材）２０と、セラミックレール７と接触する駆動接触部２１と、が備えられている。
【００２３】
保持部１７は、超音波モータ１の半径方向について圧電素子３を保持する側壁部（位置決め部）２３と、中心軸Ｃに沿う方向について保持する基部（押圧部）２５と、側壁部２３から上記半径方向に突出して形成された略円柱状の側壁ピン部２７と、から概略形成されている。
保持部１７は、圧電素子３の振動における節の位置となる略中央に配置され、側壁ピン部２７も同様に、節の位置となる略中央に配置されている。そのため、保持部１７により圧電素子３を保持しても、圧電素子３の振動発生を防止することがなく、振動発生効率の低下を防止できる。
また、側壁ピン部２７は略円柱状に形成されているため、圧電素子３は側壁ピン部２７回りに回転可能に支持され、セラミックレール７の変化に柔軟に追従することができる。
【００２４】
保持部１７と圧電素子３とは接着剤により固定されている。接着剤としては、エポシキ系樹脂やシリコン系樹脂などを例示することができる。シリコン系樹脂のように比較的柔らかい材質の接着剤の場合には、圧電素子３のインピーダンス性能が低下しにくくできる。
【００２５】
板バネ１９は、圧電素子３に向かって凸となる形状に形成され、略中央から基部２５に向けて略円柱状の凸部２９が突出して形成されている。板バネ１９の両端部は押え蓋９と接触し、凸部２９が圧電素子３と接触するように配置されている。そのため、板バネ１９は圧電素子３を所定の付勢力で押すことができる。また、凸部２９が圧電素子３と接触するため、圧電素子３の振動を阻害することなく、圧電素子３を付勢することができる。
【００２６】
図４は、図３に示す圧電素子に付属する構成要素の他の実施形態を説明する図である。
なお、圧電素子３を付勢する部材としては、上述した板バネ１９に限定されるものではなく、コイルバネ（付勢部材）１９ａ等でもよい。また、コイルバネ１９ａなどの付勢部材と、ゴムシート２０などの弾性部材とが接触する箇所は、上述した凸部２９のような形状に限定されるものではなく、球体２９ａ等のボールのような形状であってもよい。
【００２７】
ゴムシート２０は、保持部１７と板バネ１９との間、具体的には、保持部１７の基部２５に配置されている。ゴムシート２０は板状に形成されたゴムから形成され、板バネ１９とは異なる弾性率を備えている。ゴムシート２０が板バネ１９とは異なる弾性率を備えることにより、圧電素子３の振動が板バネ１９を介して押え蓋９などに伝わることを防止できる。
なお、上述のように保持部１７と板バネ１９との間にゴムから形成されたゴムシート２０を配置してもよいし、ゴム以外の弾性材料から形成された部材を配置してもよい。
【００２８】
駆動接触部２１は略直方体状に形成され、圧電素子３とセラミックレール７との間に配置されている。駆動接触部２１は、圧電素子３の振動における腹の位置に２つ配置されている。そのため、圧電素子３の振動を効率よくセラミックレール７に伝達することができる。
【００２９】
図５は、図１の圧電素子とケースとの組み合わせを説明する図である。
圧電素子３は、図５に示すように、ケース５の配置孔１１に中心軸Ｃ方向に沿って入れられる。配置孔１１に配置された状態では、圧電素子３における保持部１７の側壁部２３と、配置孔１１のガイド面１３とが対向し、当接される。
また、保持部１７の側壁ピン部２７は、配置孔１１の誘導溝１５に沿って中心軸Ｃ方向に移動するように組み合わされている。
【００３０】
次に、上記の構成からなる超音波モータ１における作用について説明する。
押え蓋９は、図１および図３に示すように、板バネ１９を中心軸Ｃに沿う方向であって圧電素子３方向に押圧し、板バネ１９により圧電素子３はセラミックレール７方向に付勢される。圧電素子３はゴムシート２０を介して板バネ１９によりセラミックレール７に所定の力で押圧され、電力が供給されることにより所定の振動を発生し、被駆動体７を駆動する。
ゴムシート２０は圧電素子３の振動を減衰させ、保持部１７から板バネ１９への振動伝達を阻止する。
【００３１】
圧電素子３の配置位置は、図１および図２に示すように、ケース５に所定の位置精度で形成された配置孔１１に配置されることにより所定の精度で位置決めされる。具体的には、保持部１７の側壁部２３と配置孔１１のガイド面１３とが接触することにより、ケース５の半径方向について所定の精度で位置決めされる。また、保持部１７の側壁ピン部２７と配置孔１１の誘導溝１５とが組み合わされることにより、ケース５の円周方向について所定の精度で位置決めされる。
【００３２】
上記の構成によれば、板バネ１９が、ゴムシート２０を介して保持部１７をセラミックレール７方向に向けて付勢するため、圧電素子３が発生する振動はゴムシート２０により減衰され、板バネ１９に伝達されにくくなる。そのため、圧電素子３が発生する振動は板バネ１９から超音波モータ１全体に伝わりにくくなり、超音波モータ１全体の振動や騒音を抑えることができる。
ゴムシート２０の弾性率と板バネ１９との弾性率は異なるため、保持部１７から板バネ１９への振動伝達をより効果的に阻止することができる。
【００３３】
圧電素子３に固定された保持部１７と、ケース５に設けられた配置孔１１とにより支持されているため、セラミックレール７方向以外の方向への遊びが少ない状態で圧電素子３を保持することができる。そのため、ケース５と圧電素子３との間にゴムなどの弾性体からなる部材を介在させる場合と比較して、圧電素子３を高い精度で位置決めすることができる。
また、圧電素子３をセラミックレール７方向以外の方向への遊びが少ない状態で保持することができるため、圧電素子３の配置の圧電素子３の振動を効率よくセラミックレール７に伝達することができる。
【００３４】
保持部１７が圧電素子３と板バネ１９との間に配置された基部２５を有するため、板バネ１９により保持部１７に加えられた付勢力を圧電素子３に伝達することができる。そのため、板バネ１９と圧電素子３との接触により、圧電素子３の振動が阻害されることを防止できる。
保持部１７が圧電素子３と配置孔１１との間に配置された側壁部２３を有するため、圧電素子３と配置孔１１とを直接接触させることなく、圧電素子３の位置を決めることができる。そのため、配置孔１１と圧電素子３との接触により、圧電素子３の振動が阻害されることを防止できる。
【００３５】
ケース５に形成された配置孔１１に、保持部１７および保持部１７と固定された圧電素子３を配置するため、複数の圧電素子３を同時に所定の精度で位置決めできる。つまり、複数の配置孔１１を所定の精度でケース５に形成することで、そこに配置される複数の圧電素子３を同時に所定の精度で位置決めできる。
所定の位置精度で圧電素子３を位置決めすることにより、圧電素子３とセラミックレール７との接触を安定させ、圧電素子３が発生する駆動力をセラミックレール７に十分に伝達できるため、超音波モータ１の駆動性能を向上できる。
【００３６】
圧電素子３を中心軸Ｃに沿う方向に付勢する板バネ１９と、圧電素子３の位置を略一定に保持するガイド面１３および側壁部２３、誘導溝１５および側壁ピン部２７と、が分かれているため、圧電素子３の位置決め精度の悪化を防止できる。つまり、板バネ１９とガイド面１３および側壁部２３、誘導溝１５および側壁ピン部２７とが分けられているため、ガイド面１３および側壁部２３、誘導溝１５および側壁ピン部２７に弾性を付与する必要がなくなり、圧電素子３の位置決め精度を向上させることができる。
また、板バネ１９と、ガイド面１３および側壁部２３、誘導溝１５および側壁ピン部２７と、を分けているため、圧電素子３のバランスを保ちやすく、セラミックレール７へ適正に接触させることができる。
【００３７】
側壁部２３が圧電素子３をケース５の半径方向に対して支持し、側壁部２３に対向するガイド面１３と当接するように配置されているため、圧電素子３をケース５の半径方向について所定の精度で位置決めできる。また、側壁部２３に備えられた側壁ピン部２７が誘導溝１５に組み合わされているため、圧電素子３とケース５の円周方向について所定の精度で位置決めできる。そのため、圧電素子３の中心軸Ｃに沿う方向に対して略垂直な平面上に投影される位置を所定の精度で位置決めできる。
また、側壁ピン部２７が誘導溝１５を中心軸Ｃに沿う方向に移動可能に組み合わされているため、圧電素子３は中心軸Ｃに沿う方向に移動可能に支持され、セラミックレール７方向に付勢される。
【００３８】
〔第２の実施の形態〕
次に、本発明の第２の実施形態について図６および図７を参照して説明する。
本実施形態の超音波モータの基本構成は、第１の実施形態と同様であるが、第１の実施形態とは、保持部の構成が異なっている。よって、本実施形態においては、図６および図７を用いて保持部周辺のみを説明し、その他構成要素などの説明を省略する。
図６は、本実施形態に係る超音波モータの全体構成を説明する断面図である。
【００３９】
超音波モータ１０１は、図６に示すように、電力が供給されることにより超音波振動を発生する３個の圧電素子３と、圧電素子３が収められるケース５と、圧電素子３の超音波振動により駆動されるセラミックレール７と、圧電素子３を押圧する押え蓋９と、から概略構成されている。
【００４０】
図７は、図６の圧電素子に付属する構成要素を説明する図であり、図７（ａ）は超音波モータの半径方向から圧電素子を見た図であり、図７（ｂ）は円周方向から圧電素子見た図である。
圧電素子３は、図６および図７に示すように、ケース５の円周方向に長軸を有する略直方体状に形成されている。圧電素子３には、圧電素子３を保持する保持部（保持部材）１１７と、圧電素子３をセラミックレール７に向けて付勢する板バネ１９と、セラミックレール７と接触する駆動接触部２１と、が備えられている。
【００４１】
保持部１１７は樹脂から形成されているとともに、超音波モータ１０１の半径方向について圧電素子３を保持する側壁部２３と、中心軸Ｃに沿う方向について保持する基部２５と、側壁部２３から上記半径方向に突出して形成された略板状の側壁凸部１２７と、から概略形成されている。
保持部１１７の側壁凸部１２７は、配置孔１１の誘導溝１５に沿って中心軸Ｃ方向に移動するように組み合わされている。
なお、保持部１１７を形成する樹脂としては公知の樹脂を用いることができ、より好ましくは、板バネ１９の弾性率と異なる弾性率を有する樹脂を用いることが望ましい。
【００４２】
保持部１１７は、圧電素子３の振動における節の位置となる略中央に配置され、側壁凸部１２７も同様に、節の位置となる略中央に配置されている。そのため、保持部１１７により圧電素子３を保持しても、圧電素子３の振動発生を防止することがなく、振動発生効率の低下を防止できる。
【００４３】
次に、上記の構成からなる超音波モータ１０１における作用について説明する。
押え蓋９は、図６に示すように、板バネ１９を中心軸Ｃに沿う方向であって圧電素子３方向に押圧し、板バネ１９により圧電素子３はセラミックレール７方向に付勢される。圧電素子３は板バネ１９によりセラミックレール７に所定の力で押圧され、電力が供給されることにより所定の振動を発生し、被駆動体７を駆動する。
保持部１１７は、樹脂から形成されているため、圧電素子３の振動を減衰させる。そのため、圧電素子３の振動が保持部１１７から板バネ１９へ振動伝達することを阻止する。
【００４４】
上記の構成によれば、板バネ１９が、弾性を有する保持部１１７をセラミックレール７方向に向けて付勢するため、圧電素子３が発生する振動は保持部１１７により減衰され、板バネ１９に伝達されにくくなる。そのため、圧電素子３の振動は板バネ１９から超音波モータ１０１全体に伝わりにくくなり、超音波モータ１０１全体の振動や騒音を抑えることができる。
【００４５】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記の実施の形態においては、この発明をカメラのレンズの駆動原に適応して説明したが、この発明はレンズの駆動源に限られることなく、その他各種の駆動源に適応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る超音波モータの全体構成を示す断面図である。
【図２】図１の超音波モータの構成を示す部分平面図である。
【図３】図１の圧電素子に付属する構成要素を示す図である。
【図４】図３に示す圧電素子に付属する構成要素の他の実施形態を説明する図である。
【図５】図１の圧電素子とケースとの組み合わせを説明する図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る超音波モータの全体構成を説明する断面図である。
【図７】図６の圧電素子に付属する構成要素を説明する図である。
【符号の説明】
【００４７】
１，１０１  超音波モータ（超音波駆動装置）
３  圧電素子（振動子）
５  ケース（支持部材）
７  セラミックレール（被駆動体）
１１  配置孔
１７，１１７  保持部（保持部材）            
１９  板バネ（付勢部材）
１９ａ  コイルバネ（付勢部材）
２０  ゴムシート（弾性部材）
２３  側壁部（位置決め部）
２５  基部（押圧部）
【図１】
2007097317.tif 000003
【図２】
2007097317.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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