(57)【要約】【課題】  従来の超音波洗浄装置の棒状ホーンでは、傾斜面に発生する超音波が不均一であるので、微細パターンの被洗浄物にダメージが発生するという問題がある。【解決手段】  棒状ホーン７の一端に膨大部７ａが構成され、この膨大部７ａに、短冊状の複数個の圧電体振動子８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが装着され、この膨大部７ａと棒状ホーン７の接続部７ｂから僅かに直線部７ｃが形成され、この棒状ホーン７の焦点位置より遠い位置で、この棒状ホーン７の一端が斜めに切断されて、傾斜面７ｂが形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に取付端部を形成し、他端に超音波を放射する面として形成された傾斜面とからなる超音波伝播体からなる棒状ホーンにと、前記取付端部に装着された複数個の圧電体振動子と、前記棒状ホーンの前記傾斜面を被洗浄体に対向して微小間隔を保って装着し、前記傾斜面の側部から洗浄液を流入して、前記被洗浄体を洗浄することを特徴とする超音波洗浄用振動子。
【請求項２】
前記棒状ホーンは石英によって構成されることを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄用振動子。
【請求項３】
前記複数個の圧電体振動子は短冊状の板であることを特徴とする請求項第１項記載の超音波洗浄用振動子。
【請求項４】
前記複数個の圧電体振動子は同心円状のものであることを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄用振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数個の圧電体振動子を使用して、棒状ホーンの傾斜面に超音波が中心に集中しないように構成した超音波洗浄用振動子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、図６及び図７に示すように、棒状ホーン１の一端が斜めに切断されて、傾斜面１ａが形成され、棒状ホーン１の他端に膨大部１ｂが構成されて、この膨大部１ｂに圧電体振動子２が装着され、この圧電体振動子２を覆うように振動子ケース３が棒状ホーン１の膨大部１ｂにパッキン４を介してネジ６で固定され、振動子ケース３の端部をケーブル５が貫通し、ケーブル５のコード５ａが圧電体振動子２に接続された超音波洗浄装置が提案されている。
【０００３】
このように構成した従来の超音波洗浄装置では、棒状ホーン１の傾斜面１ａを基板等の被洗浄体９と微小間隙を開けて対向して装着し、棒状ホーン１の傾斜面１ａと被洗浄体９の微小間隙の間に洗浄液流入口１０から洗浄液１１を流入して、図示しない発振器から発振出力を圧電体振動子２に印加すると、圧電体振動子２から照射された超音波は棒状ホーン１の傾斜面１ａに伝達され、この傾斜面１ａから被洗浄体９との間に流入された洗浄液１１を介して被洗浄体９の表面に付着している汚物や汚れを洗浄することができる。
【０００４】
この従来の超音波洗浄装置の棒状ホーン１では、図８に示すように、圧電体振動子２から照射され、棒状ホーン１の伝達体中を伝播する超音波Ａの収束位置より長い位置に棒状伝達体の中心軸と超音波放射面の中心との交点になるようにし、傾斜面１ａの角度を１００度〜１７０度となるように構成することによって、傾斜面１ａに均一に、かつソフトな強度の超音波を発生することができるが、傾斜面１ａに発生する超音波の均一性が不十分であり、中心部分の強度が大きいため、この超音波の強度では、４５ｎｍ及び６５ｎｍの微細パターンの被洗浄物ではダメージが発生するという問題があった。
【特許文献１】特願２００５−１５３３６９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
解決しようとする問題点は、従来の超音波洗浄装置の棒状ホーンでは、傾斜面に発生する超音波が不均一であるので、微細パターンの被洗浄物にダメージが発生するという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明では、取付端部は一端に複数個の圧電体振動子が装着され、傾斜面が他端に超音波を放射する面として形成された超音波伝播体からなる棒状ホーンによって形成され、棒状ホーンの傾斜面を被洗浄体に対向して微小間隔を保って装着し、傾斜面の側部から洗浄液を流入して、被洗浄体を洗浄するものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の超音波洗浄装置では、棒状ホーンの取付端部に複数個の圧電体振動子を装着し、棒状ホーンの焦点位置より遠い位置に傾斜面を作り、複数個の圧電体振動子から照射された超音波が傾斜面で分散し、傾斜面の中央部に発生する超音波をより低減でき、傾斜面での超音波の均一性を向上することにより、被洗浄体に対してダメージを与えないという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明では、棒状ホーンの取付端部に複数個の圧電体振動子を装着し、取付端部上で位置が異なった複数個の超音波振動子より棒状ホーン中を分散して照射することにより、棒状ホーンの他端の傾斜面に照射される超音波の強度分布を均一にして、被洗浄体に対してダメージを与えないようにすることができる。
【実施例】
【０００９】
図１は本発明の実施例の超音波洗浄用振動子の側面図で、棒状ホーン７の一端に膨大部７ａが構成され、この膨大部７ａに、図２に示した短冊状の複数個の圧電体振動子８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄが装着され、この膨大部７ａと棒状ホーン７の接続部７ｂから僅かに直線部７ｃが形成され、この棒状ホーン７の焦点位置より遠い位置で、この棒状ホーン７の一端が斜めに切断されて、傾斜面７ｂが形成されている。
【００１０】
このように構成された本実施例の超音波洗浄用振動子では、複数個の圧電体振動子８ａ〜８ｂの中で、超音波振動子８ａから照射される超音波は、図３に示すように、超音波振動子８ａから傾斜面７ｂに直線状に照射される超音波Ｂ１と、超音波振動子８ａから棒状ホーン７の側面で反射されて傾斜面７ｂに照射される超音波Ｂ２と、圧電体振動子８ａから膨大部７ａの内部に照射される超音波Ｂ３とに別れ、傾斜面の一か所に集中することなく分散され、又、圧電体振動子８ｂから照射される超音波は、図４に示すように、圧電体振動子８ｂから傾斜面７ｂに直線状に照射される超音波Ｃ１と、圧電体振動子８ｂから棒状ホーン７の側面で反射されて傾斜面７ｂに照射される超音波Ｃ２と、圧電体振動子８ａから膨大部７ａの端部に照射される超音波Ｃ３とに別れ、傾斜面７ｂの中央部に発生する超音波をより低減でき、傾斜面７ｂでの超音波の均一性を向上することにより、被洗浄体に対してダメージを与えないという利点がある。
【００１１】
このように構成された本実施例の超音波洗浄装置では、棒状ホーン７の傾斜面７ｂを基板等の被洗浄体に微小間隙を開けて対向して装着し、棒状ホーン７の傾斜面７ｂと被洗浄体の微小間隙の間に洗浄液を流入して、図示しない発振器から発振出力を複数個の圧電体振動子８にそれぞれ印加すると、圧電体振動子８から照射された超音波は棒状ホーン７の傾斜面７ｂに伝達され、この傾斜面７ｂから被洗浄体との間に流入された洗浄液を介して被洗浄体の表面に付着している汚物や汚れを洗浄することができる。
【産業上の利用可能性】
【００１２】
なお、上記実施例において、棒状ホーン７の膨大部７ａに複数個の圧電体振動子８ａ〜８ｄを短冊状に構成したが、図５に示すように、同心円状に複数個の圧電体振動子９ａ、９ｂ、９ｃを構成しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施例の超音波洗浄用振動子の側面図である。
【図２】本発明の超音波洗浄用振動子に装着する超音波振動子の平面図である。
【図３】図１の棒状ホーンの１つの超音波振動子から照射される超音波の動作を説明するための図である。
【図４】図１の棒状ホーンの他の１つの超音波振動子から照射される超音波の動作を説明するための図である。
【図５】本発明の超音波洗浄用振動子に装着する他の超音波振動子の平面図である。
【図６】従来の超音波基板装置の側面図である。
【図７】図６の超音波洗浄装置の側面図である。
【図８】従来の超音波基板装置の超音波振動子から照射される超音波の動作を説明するための図である。
【符号の説明】
【００１４】
７                      棒状ホーン
７ａ                    膨大部
７ｂ                    傾斜面
８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ  超音波振動子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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