(57)【要約】【課題】  塗布ノズルの先端に付着した不要なペースト材を圧縮エアーで効率よく吹き落とす塗布ノズル清掃装置の提供。【解決手段】  ポット部材２０とカバー部材３０を組み合わせた清掃装置で、塗布ノズル１の逆円錐状先端部１ａが隙間Ｇ１を開けて挿脱自在に挿入される上下開口の逆円錐状凹部１１と、凹部１１の下端開口から真下に延在して凹部１１に挿入されたノズル先端部１ａの下端部分１ｂが隙間Ｇ２を開けて挿入される筒状清掃穴１２と、凹部１１と清掃穴１２の間に開口させた吹出口１４を有するエアー供給流路１３と、清掃穴１２から下方および側方に延在するエアー吸引流路１５を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
逆円錐状のノズル先端部の下端に開口した吐出穴からペースト材を吐出する塗布ノズルの前記ノズル先端部の下端部分外面に付着したペースト材を除去する清掃装置で、
前記ノズル先端部が隙間を開けて挿脱自在に挿入される上下開口の逆円錐状凹部と、
前記凹部の下端開口から真下に延在して当該凹部に挿入された前記ノズル先端部の下端部分が隙間を開けて挿入される筒状清掃穴と、
前記凹部と清掃穴の間に吹出口を有し、この吹出口から前記清掃穴とノズル下端部分の間に真下に向けて圧縮エアーを噴出してノズル下端部分のペースト材を吹き落とすエアー供給流路と、
前記清掃穴に連通して前記圧縮エアーと当該圧縮エアーで吹き落とされた前記ペースト材を吸引排除するエアー吸引流路と、
を具備したことを特徴とする塗布ノズル清掃装置。
【請求項２】
前記清掃穴を略中央部に有するポット部材と、前記凹部を略中央部に有して前記ポット部材に着脱自在に嵌着されるカバー部材を備え、前記ポット部材と当該ポット部材に嵌着した前記カバー部材の間に前記エアー供給流路を形成したことを特徴とする請求項１に記載の塗布ノズル清掃装置。
【請求項３】
前記清掃穴に、当該清掃穴に挿入された前記塗布ノズル下端の吐出穴に近接して、当該塗布ノズルの捨て打ち時に吐出穴から吐出するペースト材と接触する捨て打ち部材を配設したことを特徴とする請求項１または２に記載の塗布ノズル清掃装置。
【請求項４】
逆円錐状のノズル先端部の下端に開口した吐出穴からペースト材を吐出する塗布ノズルの前記ノズル先端部の下端部分外面に付着したペースト材を除去する塗布ノズル清掃方法で、
前記ノズル先端部が隙間を開けて挿脱自在に挿入される上下開口の逆円錐状凹部と、
前記凹部の下端開口から真下に延在して当該凹部に挿入された前記ノズル先端部の下端部分が隙間を開けて挿入される筒状清掃穴と、
前記凹部と清掃穴の間に吹出口を有し、この吹出口から前記清掃穴とノズル下端部分の間に真下に向けて圧縮エアーを噴出してノズル下端部分のペースト材を吹き落とすエアー供給流路と、
前記清掃穴に連通して前記圧縮エアーと当該圧縮エアーで吹き落とされた前記ペースト材を吸引排除するエアー吸引流路と、
前記清掃穴に配設され、清掃穴に挿入された前記塗布ノズル下端の吐出穴に近接して、塗布ノズルの捨て打ち時に吐出穴から吐出するペースト材と接触する捨て打ち部材とを具備した塗布ノズル清掃装置を使用し、
前記凹部と清掃穴に前記塗布ノズルの先端部を挿入するノズル挿入工程と、
前記凹部と清掃穴の間の吹出口から圧縮エアーを噴出してノズル下端部分のペースト材を吹き落として前記エアー吸引流路から吸引排除するペースト材除去工程と、
前記吹出口からのエアー噴出と前記エアー吸引流路からの吸引を停止し、前記凹部に挿入した塗布ノズルを前記捨て打ち部材に対して捨て打ちする捨て打ち工程と、
を含むことを特徴とする塗布ノズル清掃方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造設備のダイボンダーなどに使用される塗布ノズル清掃装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
リードフレームに半導体チップを導電性または非導電性のペースト材で接合するダイボンダーは、塗布ノズルでリードフレーム上の複数箇所にペースト材を定量ずつ順に塗布し、塗布された定量のペースト材上に半導体チップをマウントしている。塗布ノズルは、ペースト材を内圧（エアー圧）でノズル先端から定量ずつ吐出して、リードフレーム上に塗布する。塗布ノズルでペースト材をリードフレーム上に塗布する作業を何回か繰り返し行うと、塗布ノズルの先端部外面に付着する不要なペースト材が増大して、次のペースト材塗布に影響を及ぼす。また、塗布動作を行っているときにも、ノズル先端部外面に付着したペースト材をリードフレーム上に飛散して不良品を作ることがある。
【０００３】
そこで、定期的あるいはペースト材の付着量を観察して適当な時点で、塗布ノズルのノズル先端部に付着したペースト材を除去することが行われている。この除去は、綿棒やベンコットンなどの拭き取り部材を使って手作業で行う、あるいは、エアーブロー方式の塗布ノズル清掃装置を使用して自動で行うことが公知である（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
上記エアーブロー方式の塗布ノズル清掃装置は、リードフレーム搬送路の側方近くの定位置に設けた清掃ステーションに設置される。この清掃装置は、除去されたペースト材を溜める上部開口の容器と、容器の上部開口に移動させた下向きの塗布ノズルの先端部に圧縮エアーを噴出させるエアーノズルを備える。リードフレームの上方でペースト材塗布動作をしている塗布ノズルを自動で清掃ステーションに移動させ、清掃装置のエアーノズルから圧縮エアーを塗布ノズルに吹き付けて付着したペースト材を容器内に落下させる。清掃が済んだ塗布ノズルを清掃ステーションとリードフレーム搬送路の間に設けた捨て打ちステーションに移動させて何回か捨て打ちする。この捨て打ちでノズル先端部のペースト材の状態を安定させてから、塗布ノズルをリードフレーム搬送路の上方に戻してペースト材塗布動作を継続させる。
【特許文献１】特開２０００−３５４８１６号公報（図３、図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
塗布ノズルに付着したペースト材を綿棒などで拭き取る作業は、ダイボンダーを一時停止させて行う必要があり、ダイボンダーの稼働率を低下させる。また、リードフレームの上方で塗布ノズルを静止させてペースト材を綿棒などで拭き取る際に、拭き取られたペースト材がリードフレーム上に飛び散ることがあるため、１回の清掃に注意と時間を要し、作業能率が悪い。
【０００６】
また、上記エアーブロー方式の塗布ノズル清掃装置は、容器の上部開口である空間で塗布ノズル先端部のペースト材に上方から圧縮エアーを吹き付けて容器内に落下させる。この清掃装置の場合、ノズル先端部に吹き付けた圧縮エアー同士の衝突などで乱流が生じてペースト材が周辺に飛散し、また、乱流でペースト材の吹き落とし力が低下し、これをカバーするために強力な圧縮エアーが必要となる不具合がある。
【０００７】
本発明の目的とするところは、塗布ノズルに付着した不要なペースト材を圧縮エアーで効率よく吹き落とす塗布ノズル清掃装置、この清掃装置を使った作業効率のよい塗布ノズル清掃方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記目的を達成するため、逆円錐状のノズル先端部の下端に開口した吐出穴からペースト材を吐出する塗布ノズルのノズル先端部での下端部分外面に付着したペースト材を除去する清掃装置で、ノズル先端部が隙間を開けて挿脱自在に挿入される上下開口の逆円錐状凹部と、凹部の下端開口から真下に延在して当該凹部に挿入されたノズル先端部の下端部分が隙間を開けて挿入される筒状清掃穴と、凹部と清掃穴の間に吹出口を有し、この吹出口から清掃穴とノズル下端部分の間に真下に向けて圧縮エアーを噴出してノズル下端部分のペースト材を吹き落とすエアー供給流路と、清掃穴に連通して圧縮エアーと当該圧縮エアーで吹き落とされたペースト材を吸引排除するエアー吸引流路とを具備することを特徴とする。
【０００９】
ここで、塗布ノズルは、ペースト材をリードフレームなどに塗布する先端部が逆円錐状である。このノズル先端部に付着した不要なペースト材を圧縮エアーで除去する清掃装置は、ノズル先端部の形状に合わせた逆円錐状の凹部と、凹部の下端開口を下方に延長させた清掃穴を備え、凹部と清掃穴にノズル先端部を隙間を持たせて挿入し、凹部と清掃穴の間のエアー供給流路吹出口から圧縮エアーをノズル先端部に向けて噴出する。ノズル先端部の３６０度全周に亘り圧縮エアーを下方に向けて吹き付ける。ノズル先端部の全周に吹き付けられた圧縮エアーは、エアー同士の衝突なくしてノズル先端部の軸方向に流れ、ノズル先端部に付着した不要なペースト材を効率よく吹き落とす。吹き落とされたペースト材は、圧縮エアーと共にエアー吸引流路に積極的に吸引される。積極的なエアー吸引でペースト材の吹き落としが助長され、圧縮エアーによるペースト材の吹き落とし効率がさらによくなる。エアー吸引流路に吸引されて排除されるペースト材を、エアー吸引流路の途中に設置した不織布などのフィルターに吸着させることができ、このようにすれば排除されたペースト材の後処理が容易になる。
【００１０】
本発明装置においては、上記の清掃穴を略中央部に有するポット部材と、上記の凹部を略中央部に有してポット部材に着脱自在に嵌着されカバー部材を備え、ポット部材と当該ポット部材に嵌着したカバー部材の間に上記のエアー供給流路を形成した構造とすることができる。
【００１１】
このように清掃穴を有するポット部材に凹部を有するカバー部材を組み付けて、両部材間にエアー供給流路を形成することで、構造が複雑化しても製造組立が容易な清掃装置が実現できる。ポット部材とカバー部材を共に軸状構造にして、ポット部材にカバー部材を着脱自在に螺合するように構成すれば、清掃装置の組立と分解が容易になる。
【００１２】
また、本発明装置においては、清掃穴に、当該清掃穴に挿入された塗布ノズルの下端の吐出穴に近接して、塗布ノズルの捨て打ち時に吐出穴から吐出するペースト材と接触する捨て打ち部材を配設することができる。
【００１３】
ここでの捨て打ち部材は、清掃穴での圧縮エアーの流れを妨げない細い線材や小さな球体が適用できる。この捨て打ち部材は、清掃穴の下端開口やその近辺の所定の高さ位置に固定または高さ調整可能に配設して、塗布ノズルの捨て打ちに使用することができる。
【００１４】
捨て打ち部材を使用した本発明の塗布ノズル清掃方法は、凹部と清掃穴に塗布ノズル先端部を挿入するノズル挿入工程と、凹部と清掃穴の間の吹出口から圧縮エアーを噴出してノズル下端部分のペースト材を吹き落としてエアー吸引流路から吸引排除するペースト材除去工程と、吹出口からのエアー噴出とエアー吸引流路からの吸引を停止して、捨て打ち部材に対して塗布ノズルを捨て打ちする捨て打ち工程とを含むことを特徴とする。
【００１５】
上記塗布ノズル清掃方法のように、塗布ノズル清掃装置に捨て打ち部材を内蔵させて、塗布ノズルの先端部の不要なペースト材を圧縮エアーで除去して清掃を行い、清掃直後に捨て打ちすることで、塗布ノズルの清掃と捨て打ちが同じ場所で行うことができる。例えば、リードフレームにペースト材を塗布ノズルで塗布するダイボンダーにおいては、リードフレーム搬送路の側方に塗布ノズルの清掃ステーションと捨て打ちステーションを配備することが行われているが、本発明方法を採用すれば清掃ステーションを捨て打ちステーションに兼用させることができる。また、塗布ノズルの清掃と捨て打ちを同一場所で行うので、塗布ノズルを清掃ステーションから離隔した場所の捨て打ちステーションに移動させる必要がなくなり、この移動時間の省略でリードフレームに導電性ペースト材を塗布する作業の高速化が図れる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の塗布ノズル清掃装置によれば、塗布ノズルの先端部の形状に合わせた凹部と清掃穴にノズル先端部を適度な隙間を開けて挿入した状態で、凹部と清掃穴の間の吹出口からノズル先端部の下端部分に圧縮エアーを吹き付けて下端部分に付着したペースト材を吹き落とすので、圧縮エアーによるペースト材吹き落とし効率がよくなり、清掃作業に要する時間の短縮が図れる。また、ポット部材に清掃穴を形成し、別体のカバー部材に凹部を形成し、両部材の間にエアー供給流路を形成することで、構造複雑な清掃装置であっても製造組立が容易になる。
【００１７】
また、清掃穴内に捨て打ち部材を配設することで、塗布ノズルを同一場所で清掃し、直後に捨て打ちすることができるようになり、捨て打ちを含めた塗布ノズル清掃工程の高速化が図れる。通常、リードフレームにペースト材を塗布するなどのペースト材塗布設備においては、同設備の近くに清掃ステーションと捨て打ちステーションを配備しているが、この両ステーションが１ステーションに統一することができて、塗布設備の省スペース化が容易になり、しかも、塗布ノズルを清掃ステーションと捨て打ちステーションの間で移動させる時間が不要となり、塗布作業の高速化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図９を参照して説明する。
【００１９】
図１（Ａ）（Ｂ）は、塗布ノズル１を清掃するときの塗布ノズル清掃装置１０の直交二方向での断面図である。塗布ノズル１の使用例を、図２に示す。図２の塗布ノズル１は、リードフレーム５の上方で駆動してリードフレーム５上に銀ペーストなどの導電性ペースト材２を塗布する。リードフレーム５は、水平な搬送体６に保持されて搬送される。塗布ノズル１は、駆動アーム７に支持されて、上下方向と図２で左右方向などに移動する。搬送体６の側方に清掃ステーションＳ１と捨て打ちステーションＳ２が配置され、清掃ステーションＳ１に図１の塗布ノズル清掃装置１０が設置され、捨て打ちステーションＳ２に捨て打ちプレート８が設置される。
【００２０】
塗布ノズル１は、駆動アーム７の下面から下方に突出する逆円錐状の先端部１ａを備える。先端部１ａの下端部分１ｂは円筒状で、この下端部分１ｂの下端に吐出穴１ｃ（図８参照）が開口する。図２の鎖線で示すように塗布ノズル１にディスペンサ３が連接され、ディスペンサ３からのエアー圧制御（内圧制御）で先端部１ａ内部のペースト材２が定量ずつ吐出穴１ｃより吐出され、リードフレーム５に塗布される。塗布ノズル１でリードフレーム５にペースト材を塗布する動作を繰り返すと、下端部分１ｂの外周に不要なペースト材２が付着して残る。リードフレーム５へのペースト材塗布動作をカウンタ（図示せず）でカウントし、塗布ノズル１に付着したペースト材を除去するに適した予め設定された値をカウントすると、塗布ノズル１を図２の矢印で示すように塗布ノズル清掃装置１０の在る清掃ステーションＳ１に移動させる。清掃ステーションＳ１で塗布ノズル１を下降させて後述するように付着したペースト材の除去を行う。次に、塗布ノズル１を捨て打ちステーションＳ２へと移動させ、捨て打ちプレート８を使って捨て打ちを何回か連続して行ってから、リードフレーム５の上方の元の位置に戻し、ペースト材塗布動作を継続させて行う。
【００２１】
図１（Ａ）（Ｂ）に示す塗布ノズル清掃装置１０は、ノズル先端部１ａが隙間Ｇ１を開けて挿脱自在に挿入される上下開口の逆円錐状凹部１１と、凹部１１の下端開口から真下に延在して凹部１１に挿入されたノズル先端部１ａの下端部分１ｂが隙間Ｇ２を開けて挿入される筒状清掃穴１２と、凹部１１と清掃穴１２の間に開口させた吹出口１４を有するエアー供給流路１３と、清掃穴１２から下方および側方に延在するエアー吸引流路１５を備える。この塗布ノズル清掃装置１０は、図３に示すようなポット部材２０とカバー部材３０を組み合わせて構成される。
【００２２】
ポット部材２０は円柱状で、水平なベース２１上に設置される。ポット部材２０は、上面の略中央部に逆円錐状のテーパー面２２を有し、テーパー面２２の上端開口に円環状の鍔部２３を一体に有する。図５に示すように鍔部２３の等間隔の複数箇所に、鍔部２３を板厚方向に貫通するエアー穴２４が形成される。テーパー面２２の下端開口が清掃穴１２と連通する。清掃穴１２の下方に横穴形状のエアー吸引流路１５が形成される。エアー吸引流路１５は、ポット部材２０の下部外周に螺合した配管１６に連通する。配管１６は、図１（Ａ）の鎖線に示すようにフィルター１７を介してエアー吸引装置１８に連接される。ポット部材２０の上部外周にねじ部２５が形成されて、カバー部材３０を着脱自在に螺合する。また、ポット部材２０は、図１（Ｂ）に示すように一対の縦穴２６と横穴２７を有する。一対の縦穴２６は、ポット部材２０の上面からポット部材２０の下部まで貫通し、各縦穴２６の下端開口から横穴２７がポット部材２０の下部外周へと貫通する。一対の横穴２７が外部のエアーコンプレッサーなどのエアー供給装置２８に連接される。
【００２３】
カバー部材３０は円形のキャップ形状で、円環状の蓋部３２と蓋部３２の外周から下方に延在する外筒部３３を有する。蓋部３２の中央部に下方に延在する内筒部３１を一体に有する。内筒部３１の下部外周は逆円錐状であり、内筒部３１の内周で逆円錐状の凹部１１を形成する。鍔部３２の下面に図４の鎖線で示すような円環状のエアー溝３４が形成される。外筒部３３の内周に、ポット部材２０のねじ部２５に螺合されるねじ部３５が形成される。
【００２４】
ポット部材２０にカバー部材３０を螺合すると、ポット部材２０のテーパー面２２の凹所にカバー部材３０の内筒部３１が所定の隙間Ｇ１を開けて挿入され、テーパー面２２の全周と内筒部３１の外周の間にエアー供給流路１３が形成される。エアー供給流路１３は逆円錐状の筒状で、その下端開口で吹出口１４が形成される。吹出口１４は、円形の清掃穴１２の上端全周に形成された３６０度の空隙である。エアー供給流路１３の上端開口部分は、ポット部材２０の複数のエアー穴２４と、これに連通するカバー部材３０のエアー溝３４を備える。エアー溝３４がポット部材２０の一対の縦穴２６と連通する。エアー供給装置２８から圧縮エアーを横穴２７に送給すると、圧縮エアーは縦穴２６を上昇してエアー溝３４に入り、エアー溝３４から複数の各エアー穴２４を流下してエアー供給流路１３に入り、吹出口１４から清掃穴１２に向けて噴出される。このような複雑なエアー供給流路１３は、清掃装置１０をポット部材２０とカバー部材３０を組み付けることで形成されるので、エアー流路が複雑でも製造組立が容易である。
【００２５】
次に、上記した実施の形態による塗布ノズル清掃の作動を説明する。
【００２６】
［ノズル挿入工程］図２に示すようにリードフレームの上方でペースト材塗布動作をしている塗布ノズル１を定期的に清掃ステーションＳ１の真上に移動させ、定ストローク下降させて、図１に示すように凹部１１と清掃穴１２に塗布ノズル１のノズル先端部１ａを挿入する。ノズル先端部１ａが凹部１１との間に所定の隙間Ｇ１をもって挿入され、当該ノズル先端部１ａの下端である下端部分１ｂが清掃穴１２の略中央部へと挿入され、下端部分１ｂと清掃穴１２の間に所定の隙間Ｇ２が形成される。
【００２７】
［ペースト材除去工程］図１の状態でエアー供給装置２８を作動させて圧縮エアーをエアー供給流路１３に給送し、エアー吸引装置１８を作動させてエアー吸引流路１５を真空吸引する。エアー供給流路１３の先端の吹出口１４から吹き出された圧縮エアーはノズル先端部１ａの逆円錐状の外周に沿って流下し、下端部分１ｂを真下に流下する。この間に、圧縮エアーがノズル下端部分１ｂに付着したペースト材２に衝突して、真下に吹き落とす。３６０度の吹出口１４から噴出された圧縮エアーは、下端部分１ｂの全周のペースト材２に直接に衝突するので、弱い圧縮エアーであっても全周のペースト材２を効率よく吹き落とす。同時にエアー吸引流路１５が真空吸引されているので、清掃穴１２を流下する圧縮エアーと吹き落とされたペースト材２がエアー吸引流路１５に積極的に吸引され、フィルター１７に送給される。フィルター１７は不織布などであり、エアーが通過する間にペースト材を捕捉して吸着する。フィルター１７に所望量のペースト材が付着すると、取り外されて廃棄処理される。塗布ノズル１から除去されたペースト材２は、エアー吸引流路１５のみを流れてフィルター１７に捕捉されるので、ペースト材塗布作業空間に飛散せず、作業環境が清浄に保たれる。
【００２８】
なお、以上のペースト材除去工程の場合、次の二方法が可能である。一つは、エアー供給とエアー吸引を所定の短時間で行うと、エアー供給とエアー吸引の両動作を停止させてペースト材除去工程終了とし、凹部１１から塗布ノズル１を引き上げる。他の一つは、エアー供給とエアー吸引を所定の短時間行い、その終了間際で凹部１１から塗布ノズル１を引き上げて、引き上げ後にエアー供給とエアー吸引の両動作を停止させてペースト材除去工程終了とする。
【００２９】
［捨て打ち工程］ペースト材除去が終了した塗布ノズル１を、図２の清掃ステーションＳ１から捨て打ちステーションＳ２に横移動させて、捨て打ちプレート８に対して塗布ノズル１を何回か捨て打ちする。この捨て打ちで、図８（Ａ）（Ｂ）で後述するようにノズル先端部１ａのペースト材２の状態を安定させてから、塗布ノズル１をリードフレーム搬送路の上方に戻してペースト材塗布動作を継続させる。
【００３０】
次に、図６〜図８を参照して他の実施の形態の塗布ノズル清掃装置１０を説明する。同図の清掃装置１０は、ポット部材２０に捨て打ち部材４０を内蔵させている。捨て打ち部材４０は、清掃穴１２での圧縮エアーの流れを妨げない細いステンレス線などの線材である。捨て打ち部材４０の取付位置は、図８（Ａ）に示すように清掃穴１２に挿入された塗布ノズル１の下端の吐出穴１ｃに近接し、塗布ノズル１の捨て打ち時に吐出穴１ｃから吐出するペースト材２と接触する高さに設置される。
【００３１】
捨て打ち部材４０をポット部材２０に内蔵させた塗布ノズル清掃装置１０の場合、図７に示すように清掃ステーションＳ１と捨て打ちステーションＳ２を１ステーションＳ１＋Ｓ２にすることができる。この場合、１ステーションＳ１＋Ｓ２で、上述の［ノズル挿入工程］と［ペースト材除去工程］が行われ、ペースト除去工程が終了してエアー供給とエアー吸引が停止すると、塗布ノズル１を動かすことなく同じ１ステーションＳ１＋Ｓ２で次の［捨て打ち工程］を行う。
【００３２】
図８（Ａ）に、ペースト材除去が終了した直後の塗布ノズル下端部分１ｂを示す。下端部分１ｂ内部のペースト材２は、断面形状が不安定であり、形状を整えるために従来から捨て打ちが行われる。この捨て打ちを、図８（Ａ）の状態を保持したまま、下端部分１ｂのペースト材２を内圧制御で少し吐出させることで行う。１回の捨て打ちで、下端部分１ｂのペースト材２を吐出穴１ｃから少し吐出させると、図８（Ｂ）に示すように捨て打ち部材４０に接触し、一部のペースト材２’が捨て打ち部材４０に付着する。この付着したペースト材２’は、次の清掃時に圧縮エアーで除去される。捨て打ちを何回か行うことで、下端部分１ｂのペースト材２の形状が安定する。予め決められた何回かの短時間での捨て打ちが終了すると、塗布ノズル１を清掃装置１０から引き上げ、図７のリードフレーム５の上方へと戻し、ペースト材塗布動作を継続させて行う。
【００３３】
図７に示すように、清掃ステーションＳ１と捨て打ちステーションＳ２を１ステーションＳ１＋Ｓ２にすることで、塗布ノズル１の清掃や捨て打ちに要する横移動のストロークが短くでき、かつ、二つのステーション間での塗布ノズル移動時間がゼロとなり、清掃と捨て打ちを含めたペースト材塗布作業の高速化が図れる。
【００３４】
なお、本発明の塗布ノズル清掃装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、捨て打ち部材４０は線材以外に、図９に示すような球体も可能である。この球体の捨て打ち部材４０は、ポット部材２０を貫通する支持ピン４１の上端に固定すればよい。この場合、支持ピン４１を上下に昇降する昇降ピンにして、捨て打ち部材４０の高さ調整を行うことができる。つまり、捨て打ち時における捨て打ち部材４０と塗布ノズル１の吐出穴１ｃとの離反距離は、微調整できるようにすることが捨て打ちを良好に行う上で望ましい。そこで、捨て打ち時の塗布ノズル１の高さが調整可能なようにする、或いは、捨て打ち部材４０を高さ調整可能なように設置する。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】（Ａ）は本発明に係る塗布ノズル清掃装置の実施の形態を示す一方向からの断面図、（Ｂ）は（Ａ）の一方向と直交する一方向からの断面図である。
【図２】図１装置を使用したペースト材塗布設備の概要を示す側面図である。
【図３】図１装置の分解断面図である。
【図４】図３装置におけるカバー部材の平面図である。
【図５】図３装置のおけるポット部材の平面図である。
【図６】本発明の他の実施の形態を示す部分断面を含む側面図である。
【図７】図６装置を使用したペースト材塗布設備の概要を示す側面図である。
【図８】（Ａ）は図６装置の捨て打ち直前の部分拡大断面図、（Ｂ）は捨て打ち後の断面図である。
【図９】図６装置の他の実施の形態を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１      塗布ノズル
１ａ    ノズル先端部
１ｂ    下端部分
１ｃ    吐出穴
２    ペースト材
３    ディスペンサ
５    リードフレーム
６    搬送体
７    駆動アーム
１０    塗布ノズル清掃装置
１１    凹部
１２    清掃穴
１３    エアー供給流路
１４    吹出口
１５    エアー吸引流路
１７    フィルター
１８    エアー吸引装置
２０    ポット部材
２８    エアー供給装置
３０    カバー部材
４０    捨て打ち部材
Ｓ１    清掃ステーション
Ｓ１    清掃ステーション
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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