(57)【要約】【課題】ロボットの動作による気流の乱れにより巻き上げられた塵芥がガラス基板等のワークに付着するのを抑制する。【解決手段】天井に設けられて下方に向けて清浄な空気を送気する送気装置１１を有するクリーンルーム１と、クリーンルーム１内で使用され、上下方向及び水平方向に動作して所定の場所に載置されたワーク１５を把持して他の場所に搬送するハンド装置３５と、ハンド装置３５によるワーク１５の搬送時に当該ハンド装置３５の下方に位置するように設けられ、下方に向けて送気する気流調整装置３６と、を有するロボット２と、ハンド装置３５の位置と動作方向と動作速度のうち少なくとも一つに基づいて、気流調整装置３６が送気する空気の送気速度と気流調整装置３６が吸引する空気の吸気流量又は送気する空気の送気流量のうち少なくとも一方の制御を行う制御手段４と、を備える。【選択図】図１
2007205601.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内で上方から下方に向けて清浄な空気が送気される環境下において使用され、上下方向及び水平方向に動作して所定の場所に載置されたワークを把持して他の場所に搬送するハンド装置を有するロボットにおいて、
前記ハンド装置によるワークの搬送時に当該ハンド装置の下方に位置するように設けられ、下方に向けて送気する気流調整装置を備えたことを特徴とするロボット。
【請求項２】
前記気流調整装置は、
前記ハンド装置の上昇動作時に当該ハンド装置の下方に位置するように設けられ、前記ハンド装置の上昇動作時に下方に向けて送気することを特徴とする請求項１に記載のロボット。
【請求項３】
天井に設けられて下方に向けて清浄な空気を送気する送気装置を有するクリーンルームと、
前記クリーンルーム内で使用され、上下方向及び水平方向に動作して所定の場所に載置されたワークを把持して他の場所に搬送するハンド装置と、前記ハンド装置によるワークの搬送時に当該ハンド装置の下方に位置するように設けられ、下方に向けて送気する気流調整装置と、を有するロボットと、
前記ハンド装置の位置と動作方向と動作速度のうち少なくとも一つに基づいて、前記気流調整装置が送気する空気の送気速度と前記気流調整装置が吸引する空気の吸気流量又は送気する空気の送気流量のうち少なくとも一方の制御を行う制御手段と、
を備えることを特徴とする気流調整システム。
【請求項４】
前記制御手段は、
前記送気装置による空気の送気速度と前記ハンド装置の上昇動作速度との和に相当する送気速度で下方に送気するように前記気流調整装置の制御を行うことを特徴とする請求項３に記載の気流調整システム。
【請求項５】
前記制御手段は、
前記送気装置による空気の送気速度と前記ハンド装置の上昇動作速度との和に、前記ワークが前記送気装置からの送気による風圧を受ける面積を乗じた値に相当する送気流量で下方に送気するように前記気流調整装置の制御を行うことを特徴とする請求項３に記載の気流調整システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボット及び気流調整システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルの生産は、塵芥の付着による製品の品質不良を避けるため、クリーンルーム内で行われる。クリーンルームでは、天井部にフィルタを備えた空調機器が設置されており、上方から下方に向かい清浄な空気が層流となって流れるように保たれている。
これらのディスプレイパネルやその材料を生産工程内で搬送するために、ロボットを用いた搬送設備が多く用いられる。一般に、ロボットは、カセット内に収納されたガラス基板を取り出してプロセス装置に供給したり、プロセス工程で処理が完了したガラス基板をカセットに収納する用途や、高低差のあるコンベア間を搬送する用途などに用いられることが多い。
【０００３】
このような用途に用いられるロボットは、垂直多関節型や円筒座標型の構造を持つものが多く、先端にフォーク形のハンド装置を搭載し、多くの場合、ガラス基板を下からすくい上げて搬送する。また、ラインの生産効率を上げるため、ロボットの動作速度は、より速くすることが求められている。その一方で、大型テレビの普及などから、ガラス基板は大型化する傾向が強くなってきている。
ところが、ガラス基板が大型化し、さらにロボットの動作速度が高速化するに従い、ガラスを把持した状態でロボットが動作する場合、特に、下方から上方へ高速で動作する際に、クリーンルーム内の上方から下方へ向かう清浄な空気の流れを乱し、局所的かつ一時的に下方から上方への空気の流れを生成し、床面あるいは室内下層に存在する塵芥を巻き上げ、これが工程内のガラス基板に付着して、結果として、製品の不具合の要因となるリスクが高まるという問題があった。
【０００４】
このようなクリーンルーム内における気流の乱れを解決するものとして、例えば、ロボットに挿通孔を形成し、その挿通孔内に送風機を設けて気流を下方に導くことにより、半導体製造装置とロボットとの間の空間において上方から下方への気流を保つことができる発明が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平６−２９７３８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の発明は、走行台車を伴うロボットの場合に限り、製造装置とロボットとの間の空間において上方から下方への気流を保ち、清浄度を高める効果があるが、走行台車を伴わない床に固定されたロボットの場合は適用できない。また、特許文献１に記載の発明は、製造装置とロボットとの間の空間の気流を下方に導くだけであり、ロボットの動作による塵芥の巻き上げによる問題を解決することはできなかった。
【０００６】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、ロボットの動作による気流の乱れにより巻き上げられた塵芥がガラス基板等のワークに付着するのを抑制することができるロボット及び気流調整システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、クリーンルーム内で上方から下方に向けて清浄な空気が送気される環境下において使用され、上下方向及び水平方向に動作して所定の場所に載置されたワークを把持して他の場所に搬送するハンド装置を有するロボットにおいて、前記ハンド装置によるワークの搬送時に当該ハンド装置の下方に位置するように設けられ、下方に向けて送気する気流調整装置を備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のロボットにおいて、前記気流調整装置は、前記ハンド装置の上昇動作時に当該ハンド装置の下方に位置するように設けられ、前記ハンド装置の上昇動作時に下方に向けて送気することを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、気流調整システムにおいて、天井に設けられて下方に向けて清浄な空気を送気する送気装置を有するクリーンルームと、前記クリーンルーム内で使用され、上下方向及び水平方向に動作して所定の場所に載置されたワークを把持して他の場所に搬送するハンド装置と、前記ハンド装置によるワークの搬送時に当該ハンド装置の下方に位置するように設けられ、下方に向けて送気する気流調整装置と、を有するロボットと、前記ハンド装置の位置と動作方向と動作速度のうち少なくとも一つに基づいて、前記気流調整装置が送気する空気の送気速度と前記気流調整装置が吸引する空気の吸気流量又は送気する空気の送気流量のうち少なくとも一方の制御を行う制御手段と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の気流調整システムにおいて、前記制御手段は、前記送気装置による空気の送気速度と前記ハンド装置の上昇動作速度との和に相当する送気速度で下方に送気するように前記気流調整装置の制御を行うことを特徴とする。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の気流調整システムにおいて、前記制御手段は、前記送気装置による空気の送気速度と前記ハンド装置の上昇動作速度との和に、前記ワークが前記送気装置からの送気による風圧を受ける面積を乗じた値に相当する送気流量で下方に送気するように前記気流調整装置の制御を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、クリーンルーム内では上方から下方に向けて清浄な空気が送気されているが、ロボットのハンド装置によりワークを所定の場所から他の場所に搬送する際には、そのハンド装置の動作により、クリーンルーム内の上方から下方へ向かう清浄な空気の流れを乱し、床面あるいはクリーンルーム内下層に存在する塵芥を巻き上げてしまうことがある。このような場合であっても、気流調整装置がハンド装置によるワークの搬送時に当該ハンド装置の下方に位置するように設けられ、この気流調整装置が下方に向けて送気するので、床面や下層から巻き上げられてワークに向かう塵芥を強制的に下方に押し戻すことができる。
これにより、ロボットのハンド装置によるワークの搬送動作によるクリーンルームの気流の乱れにより巻き上げられた塵芥がワークに付着するのを抑制することができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明によれば、ハンド装置が上昇すると、ハンド装置の上方の空気は押されて移動するため、ハンド装置の上昇前の場所には周囲の空気が流れ込むことによって、ハンド装置の下方において下方から上方に上昇する気流が発生する。この気流の発生により、クリーンルーム内の上方から下方へ向かう清浄な空気の流れを乱し、床面あるいはクリーンルーム内下層に存在する塵芥を巻き上げてしまうことがある。このような場合であっても、気流調整装置がハンド装置の上昇動作時に当該ハンド装置の下方に位置するように設けられ、この気流調整装置が下方に向けて送気するので、床面や下層から巻き上げられてワークに向かう塵芥を強制的に下方に押し戻すことができる。
これにより、ロボットのハンド装置の上昇動作によるハンド装置下方に発生する上昇気流により巻き上げられた塵芥がワークに付着するのを抑制することができる。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、クリーンルーム内では上方から下方に向けて清浄な空気が送気されているが、ロボットのハンド装置によりワークを所定の場所から他の場所に搬送する際には、そのハンド装置の動作により、クリーンルーム内の上方から下方へ向かう清浄な空気の流れを乱し、床面あるいはクリーンルーム内下層に存在する塵芥を巻き上げてしまうことがある。このような場合において、クリーンルーム内におけるハンド装置の位置、ハンド装置の動作方向、ハンド装置の動作速度により塵芥の巻き上げ量、巻き上げられた塵芥の移動速度は変化する。
ここで、制御手段は、ハンド装置の位置と動作方向と動作速度のうち少なくとも一つに基づいて、気流調整装置が送気する空気の送気速度と気流調整装置が吸引する空気の吸気流量又は送気する空気の送気流量のうち少なくとも一方の制御を行うので、気流調整装置による送気により床面あるいはクリーンルーム内下層に存在する塵芥がさらに巻き上げられないような適度な気流で塵芥を下方に押し戻すことができる。
これにより、ハンド装置の動作により生じる気流の乱れによる弊害を効率よく抑制することができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明によれば、制御手段は、送気装置による空気の送気速度とハンド装置の上昇動作速度との和に相当する送気速度で下方に送気するように気流調整装置の制御を行う。すなわち、ハンド装置が上昇したときに当該ハンド装置が上昇する前の位置に流れ込む気流の流速は、おおむねハンド装置の上昇速度であると考えることができる。
このような場合に、制御手段は気流調整装置に送気装置による空気の送気速度とハンド装置の上昇速度の和に相当する速度で下方に送気させることにより、ハンド装置下方において、送気装置による送気速度に相当する流速にて、上方から下方へ流れる気流を生成することができる。
これにより、床面あるいはクリーンルーム内下層から巻き上げられた塵芥がワークに向かうのを防止するとともに、気流調整装置による送気により床面あるいはクリーンルーム内下層に存在する塵芥がさらに巻き上げられることもないので、ハンド装置の動作により生じる気流の乱れによる弊害を効率よく抑制することができる。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、制御手段は、送気装置による空気の送気速度とハンド装置の上昇動作速度との和に、ワークが送気装置からの送気による風圧を受ける面積を乗じた値に相当する送気流量で下方に送気するように気流調整装置の制御を行う。すなわち、ハンド装置が上昇したときに当該ハンド装置が上昇する前の位置に流れ込む気流の流速は、おおむね送気装置による流速にハンド装置の上昇速度が加わった速度であると考えることができる。さらに、この流速にワークが気流を受ける面の面積を乗じることで、ハンド装置の下方で上昇する気流の流量が算出される。
このような場合に、制御手段は気流調整装置に両速度の和にワークの受け面の面積を乗じて算出された流量に相当する流量で下方に送気させることにより、ハンド装置下方において、送気装置による送気速度に相当する流速にて、上方から下方へ流れる気流を生成することができる。
これにより、床面あるいはクリーンルーム内下層から巻き上げられた塵芥がワークに向かうのを防止するとともに、気流調整装置による送気により床面あるいはクリーンルーム内下層に存在する塵芥がさらに巻き上げられることもないので、ハンド装置の動作により生じる気流の乱れによる弊害を効率よく抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、ロボット及び気流調整システムの最良の形態について詳細に説明する。
＜ロボット及び気流調整システムの構成＞
図１は、気流調整システム１０の概要を示す図である。
気流調整システム１０は、大型の薄型テレビ等に用いられる液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルを生産する際に用いられる。ディスプレイパネルの生産は、塵芥の付着による製品の品質不良を避けるため、クリーンルーム１内で行われており、これらのディスプレイパネルやその材料を生産工程内で搬送するために、クリーンルーム１内にはロボット２が配置されている。このロボット２は、多段に積み上げられたカセット１４内に収納されたガラス基板１５を取り出してプロセス装置に供給したり、プロセス工程で処理が完了したガラス基板１５をカセット１４に収納する用途や、高低差のあるコンベア間を搬送する用途等に用いられる。
【００１８】
気流調整システム１０は、クリーンルーム１と、このクリーンルーム１内で使用されるロボット２と、このロボット２の動作制御を行う制御手段としての制御装置４と、を備えている。
（クリーンルーム）
クリーンルーム１は、パーテーション１ａにより外気との接触を遮断され、天井に設けられた一つ又は複数の送気装置１１から床面に向けて層流の清浄な空気が送気される環境となっている。送気装置１１は、汎用のファンフィルタユニットであり、外部から吸気した空気をフィルタに通して塵芥等を除去し、所定の基準を満たす清浄な空気をクリーンルーム１内で上方から下方に向けて送気するものである。
ここで、送気装置１１には、自身の送気速度を検出するセンサ（図示略）が設けられており、このセンサにより検出された速度信号に基づいて制御装置４は、送気装置１１による送気速度を算出する。
クリーンルーム１の床面には、当該クリーンルーム１内で発生した塵芥を引き込んでクリーンルーム１の外部に排出するための塵芥蓄積部１２が設けられており、この塵芥蓄積部１２の上方には塵芥蓄積部１２の蓋を構成するとともに、塵芥を塵芥蓄積部１２に導くグレーティング１３が設けられている。
【００１９】
クリーンルーム１の床面には、カセット１４が所定の位置に置かれ、カセット１４の棚状になった多数のガラス格納部には、それぞれディスプレイパネルの生産に用いるワークとしてのガラス基板１５が収納されている。
クリーンルーム１には、ロボット２を挟んでカセット１４と対向する位置にコンベア装置１６が設けられている。コンベア装置１６は、ロボット２によりカセット１４から取り出されたガラス基板１５をプロセス装置に搬送するものである。なお、コンベア装置１６は、プロセス工程で処理が完了したガラス基板１５をカセット１４に収納するためにロボット２に向けて搬送する役割を担ってもよい。
なお、カセット１４及びコンベア装置１６は、ロボット２の動作範囲内に配置されている。
【００２０】
（ロボット）
ロボット２は、クリーンルーム１の床に固定されている。
ロボット２は、床に固定されたベースフレーム２１を備えており、このベースフレーム２１には、上下アーム２２の一端が連結されている。上下アーム２２の一端はベースフレーム２１に対して回動自在に連結され、ベースフレーム２１に設けられた上下動モータ２３により上下アーム２２は、一端を支点に回動し、他端が弧状の軌跡を描くように動作する。
上下アーム２２の他端には、上下アーム２４の一端が連結されている。上下アーム２４の一端は上下アーム２２の他端に対して回動自在に連結され、上下アーム２２の他端に設けられた上下動モータ２５により上下アーム２４は、一端を支点に回動し、他端が弧状の軌跡を描くように動作する。
ここで、上下動モータ２３，２５には、自身の回転角度を検出するエンコーダ（図示略）が設けられており、このエンコーダにより検出された位置信号に基づいて制御装置４は、上下動モータ２３，２５による上下アームの２２，２４の上下動速度を算出する。
【００２１】
上下アーム２４の他端には、旋回ベース２６が上下アーム２４に対して旋回自在に設けられている。この旋回ベース２６は、リンク２７及びリンク２８の動作により、その姿勢を一定の状態に保つことができるようになっている。
旋回ベース２６には、旋回フレーム２９が旋回ベース２６に対して回動自在に設けられており、この旋回フレーム２９は、旋回ベース２６に設けられた旋回モータ３０により旋回ベース２６上で旋回するようになっている。
旋回フレーム２９には、当該旋回フレーム２９の上面に水平アーム３１の一端が旋回自在に設けられている。この水平アーム３１の他端には、当該水平アーム３１の上面に水平アーム３２の一端が旋回自在に設けられている。この水平アーム３２の他端には、当該水平アーム３２の上面に手首フレーム３３が旋回自在に設けられている。
水平アーム３１，３２及び手首フレーム３３は、当該手首フレーム３３の上面に設けられた水平移動モータ３４により連動するように構成されている。
【００２２】
手首フレーム３３には、所定の位置に配置されたカセット１４内に収納されたガラス基板１５を把持して他の場所に配置されたコンベア装置１６に搬送するハンド装置３５が設けられている。
ハンド装置３５は、略水平方向に延びる薄板部３５ａを有し、この薄板部３５ａの上面には、所定間隔毎に複数の吸着パッド３５ｂが設けられている。すなわち、ハンド装置３５がカセット１４に収納されたガラス基板１５の下面側からすくい上げるように移動して、吸着パッド３５ｂでガラス基板１５を真空圧で吸着することにより、ガラス基板１５を保持することができるようになっている。
【００２３】
（気流調整装置）
また、ロボット２には、気流調整装置３６が設けられている。気流調整装置３６は、ハンド装置３５によるガラス基板１５の搬送時に当該ハンド装置３５の下方に位置するように設けられ、上方又は下方に向けて送気することができるようになっている。具体的には、気流調整装置３６は、ハンド装置３５がガラス基板１５を把持し、さらに水平アーム３１，３２を縮めた状態でハンド装置３５の上昇動作時に当該ハンド装置３５の下方に位置するように、例えば、旋回ベース２６に設けられている。なぜなら、旋回ベース２６は、ハンド装置３５を支持する手首フレーム３３、水平アーム３１，３２、旋回フレーム２９等を下方で支持し、ハンド装置３５の上下方向の動作時に常にハンド装置３５の下方に位置するからである。
【００２４】
気流調整装置３６は、取り付けられた旋回ベース２６から上方又は下方に向けて送気することができるように、複数のファン３６ｆ（図２参照）及び当該ファン３６ｆを回転させるファンモータ３６ｍ（図２参照）を有する送気機構３７を備えている。
送気機構３７は、ファンモータ３６ｍを駆動させることにより、ファンモータ３６ｍの駆動力がファン３６ｆに伝達され、ファン３６ｆの回転により側方等から空気を吸引し、吸引された空気を下方に向けて排出する。なお、ファンモータ３６ｍの駆動制御にあたっては、ロボット２によるガラス基板１５の搬送動作の制御に同期させて制御装置４が行う。
【００２５】
（制御装置）
制御装置４は、ケーブル４０によりロボット２と接続されており、クリーンルーム１の外に設けられている。すなわち、作業者はクリーンルーム１に立ち入ることなくクリーンルーム１外から制御装置４の操作を行うことにより、ロボット２によるガラス基板１５の搬送を行うことができるようになっている。
図２は、制御装置４を有する気流調整システム１０の構成を示すブロック図である。
制御装置４は、ロボット２や気流調整装置３６の動作制御に関する処理プログラムに従って各処理を実行するＣＰＵ４１と、各処理を実行するための処理プログラムや処理データ等が記憶されるメモリ４２と、を備えている。
メモリ４２には、ロボット２や気流調整装置３６の動作制御を行うに当たって必要なプログラムが記憶されたプログラムエリア４３と、ロボット２や気流調整装置３６の動作制御を行うに当たって必要なデータが記憶されたデータエリア４４と、種々のワークメモリやカウンタなどが設けられ、各処理が行われる作業エリア４５と、が形成されている。
【００２６】
プログラムエリア４３には、ロボット２におけるハンド装置３５の位置と動作方向と動作速度のうち少なくとも一つに基づいて、気流調整装置３６が送気する空気の送気速度と気流調整装置３６が吸引する空気の吸気流量又は送気する空気の送気流量のうち少なくとも一方の制御を行う機能を実現する制御プログラム４３ｐが記憶されている。具体的には、制御プログラム４３ｐは、送気装置１１による空気の送気速度とハンド装置３５の上昇動作速度との和に相当する送気速度で下方に送気するように気流調整装置３６のファンモータ３６ｍの制御を行う。すなわち、ＣＰＵ４１が制御プログラム４３ｐを実行することにより、制御装置４は制御手段として機能する。
【００２７】
なお、送気装置１１による送気は、常に上方から下方に向けて送気されるが、ハンド装置３５は、上昇だけでなく下降もするため、気流調整装置３６から送気する方向もハンド装置３５の動作により変化する。従って、本実施形態でいうハンド装置３５の上昇動作速度については、ハンド装置３５が上昇する際の動作速度を正の上昇動作速度と定義し、ハンド装置３５が下降する際の動作速度を負の上昇動作速度と定義する。また、本実施形態でいう気流調整装置３６の送気方向については、下方に送気する場合を正の送気方向と定義し、上方に送気する場合を負の送気方向と定義する。気流調整装置３６による送気速度についても、下方への送気速度を正の送気速度と定義し、上方への送気速度を負の送気速度と定義する。
よって、ハンド装置３５が送気装置１１による送気速度よりも速い速度で下降する際には、ハンド装置３５の下降速度、すなわち、負の上昇動作速度の方が大きいため、算出される両速度の和は負の値となり、気流調整装置３６は、負の送気方向である上方に送気することとなる。
その他、制御装置４は、上下動モータ２３，２５、旋回モータ３０、水平移動モータ３４に接続され、いずれも制御装置４により駆動が制御される。また、制御装置４は、ハンド装置３５の吸着パッド３５ｂのガラス基板１５への吸着のＯＮ／ＯＦＦを制御する。
【００２８】
図３は、気流調整システム１０の機能を示すブロック図である。
気流調整システム１０は、クリーンルーム１内に上方から下方に向けて層流の送気を行う室内送気部６０を有し、この室内送気部６０の機能を送気装置１１が担う。
気流調整システム１０は、ロボット２に設けられたハンド装置３５を上下方向に移動させる上下移動部６１を有し、この上下移動部６１の機能を上下アーム２２，２４及び上下動モータ２３，２５が担う。
気流調整システム１０は、ロボット２に設けられたハンド装置３５を旋回させる旋回部６２を有し、この旋回部６２の機能を旋回フレーム２９及び旋回モータ３０が担う。
気流調整システム１０は、ロボット２に設けられたハンド装置３５を水平方向に移動させる水平移動部６３を有し、この水平移動部６３の機能を水平アーム３１，３２及び水平移動モータ３４が担う。
気流調整システム１０は、ガラス基板１５を搬送する際にガラス基板１５を保持する保持部６４を有し、この保持部６４の機能をハンド装置３５が担う。
気流調整システム１０は、気流調整装置３６を駆動させる駆動部６５を有し、この駆動部６５の機能をファンモータ３６ｍが担う。
気流調整システム１０は、駆動部６５から駆動力が付与されることにより、ハンド装置３５の下方で下方に向けて送気する送気部６６を有し、この送気部６６の機能をファン３６ｆが担う。
気流調整システム１０は、上記各部の動作制御を行い、特に、室内送気部６０による空気の送気速度と上下移動部６１による保持部６４の上昇動作速度との和に相当する送気速度で下方に送気するように気流調整装置３６の制御を行う制御部６７を有し、この制御部６７の機能を制御手段である制御装置４が担う。
【００２９】
＜気流調整方法＞
次に、気流調整システム１０による気流調整処理（方法）について説明する。
図４は、気流調整システム１０による気流調整処理の流れを示すフローチャートである。
ロボットの作業中、制御装置４は、ハンド装置３５を上昇させる、言い換えると、ロボット２の旋回ベース２６を上昇させるような上下動モータ２３，２５の駆動があったか否かを判断する（ステップＳ１）。ここで、制御装置４が、ハンド装置３５を上昇させるような上下動モータ２３，２５の駆動があったと判断した場合（ステップＳ１：ＹＥＳ）、制御装置４は、制御プログラム４３ｐを実行することにより、上下動モータ２３，２５から取得した駆動信号に基づいて、上下動モータ２３，２５によるハンド装置３５の上昇速度を算出する（ステップＳ２）。一方、制御装置４が、ハンド装置３５を上昇させるような上下動モータ２３，２５の駆動がなかったと判断した場合（ステップＳ１：ＮＯ）、制御装置４はステップＳ１の判断処理を再度行う。
【００３０】
ステップＳ２において、制御装置４がハンド装置３５の上昇速度を算出すると、制御装置４は、送気装置１１の送気口等に設けられた風速計等から送気装置１１による送気速度を取得する（ステップＳ３）。
そして、制御装置４は、制御プログラム４３ｐにより、算出されたハンド装置３５の上昇速度と送気装置１１の送気速度との和を算出する（ステップＳ４）。ここで算出された速度の和が気流調整装置３６から送気する空気の送気速度となる。
次いで、制御装置４は、制御プログラム４３ｐにより、ステップＳ４にて算出された送気速度で送気するようにファンモータ３６ｍの駆動を制御する（ステップＳ５）。すなわち、気流調整装置３６からの送気速度に合わせてファンモータ３６ｍの回転を変化させるとよい。
次いで、制御装置４は、ハンド装置３５の上昇が停止したか否かを判断する（ステップＳ６）。ここで、制御装置４が、ハンド装置３５の上昇が停止したと判断した場合（ステップＳ６：ＹＥＳ）、制御装置４は、制御プログラム４３ｐにより、ファンモータ３６ｍを停止させ（ステップＳ７）、これをもって処理を終了させる。一方、制御装置４が、ハンド装置３５の上昇が停止していないと判断した場合（ステップＳ６：ＮＯ）、制御装置４はステップＳ１の判断処理を行う。
【００３１】
＜作用効果＞
クリーンルーム１内では天井に設けられた送気装置１１により上方から下方に向けて清浄な空気が送気されているが、ロボット２のハンド装置３５によりガラス基板１５をカセット１４からコンベア装置１６に搬送する際には、図５に示すように、そのハンド装置３５の動作により、クリーンルーム１内の上方から下方へ向かう清浄な空気の流れを乱し、床面あるいはクリーンルーム１内の塵芥蓄積部１２に存在する塵芥を巻き上げてしまうことがある。このような場合において、ハンド装置３５が上昇する際の動作速度により塵芥の巻き上げ量、巻き上げられた塵芥の移動速度は変化する。
ここで、制御装置４は、ＣＰＵ４１がプログラムエリア４３に記憶された制御プログラム４３ｐを作業エリア４５に展開して実行することにより、ハンド装置３５の上昇時の動作速度に基づいて、気流調整装置３６が送気する空気の送気速度の制御を行う。
【００３２】
具体的に、制御装置４は、送気装置１１による空気の送気速度とハンド装置３５の上昇動作速度との和に相当する送気速度で下方に送気するように気流調整装置３６のファンモータ３６の駆動制御を行う。すなわち、ハンド装置３５が上昇したときに当該ハンド装置３５が上昇する前の位置に流れ込む気流の流速は、おおむねハンド装置３５の上昇速度であると考えることができる。
このような場合に、図６に示すように、制御装置４は、気流調整装置３６に送気装置１１による空気の送気速度とハンド装置３５の上昇速度の和に相当する速度で下方に送気させることにより、ハンド装置３５の下方において、送気装置１１による送気速度に相当する流速にて、上方から下方へ流れる気流を生成することができる。
従って、気流調整装置３６による送気により床面あるいは塵芥蓄積部１２の塵芥がさらに巻き上げられないような適度な気流で塵芥を下方に押し戻すことができる。
これにより、ハンド装置３５の上昇動作により生じる気流の乱れによる弊害を効率よく抑制することができる。
【００３３】
＜その他＞
なお、本発明は上記実施形態に限られるものではない。例えば、上記実施形態においては、制御装置４は、送気装置１１の送気速度とハンド装置３５の上昇速度の和となる送気速度で送気するように気流調整装置３６を制御したが、気流調整装置３６の制御方法は上記に限られるものではなく、送気装置１１による空気の送気速度とハンド装置３５の上昇動作速度との和に、搬送されるガラス基板１５が送気装置１１からの送気による風圧を受ける面積（すなわち上面の面積）を乗じた値に相当する送気流量で下方に送気するように気流調整装置３６の制御を行うように制御装置４を構成してもよい。
【００３４】
これにより、制御装置４は、ハンド装置３５が上昇したときに当該ハンド装置３５が上昇する前の位置に流れ込む気流の流速は、おおむね送気装置１１による流速にハンド装置３５の上昇速度が加わった速度であると考えることができる。さらに、この流速にガラス基板１５が気流を受ける面の面積を乗じることで、ハンド装置３５の下方で上昇する気流の流量が算出される。
このような場合に、制御装置４は、気流調整装置３６に両速度の和にガラス基板１５の受け面の面積を乗じて算出された流量に相当する流量で下方に送気させることにより、ハンド装置３５の下方において、送気装置１１による送気速度に相当する流速にて、上方から下方へ流れる気流を生成することができる。
これにより、床面あるいはクリーンルーム１内の塵芥蓄積部１２から巻き上げられた塵芥が上方のガラス基板１５に向かうのを防止するとともに、気流調整装置３６による送気により床面あるいはクリーンルーム１内の塵芥蓄積部１２に存在する塵芥がさらに巻き上げられることもないので、ハンド装置３５の動作により生じる気流の乱れによる弊害を効率よく抑制することができる。
【００３５】
また、全ての処理をプログラムによりソフト的に処理するものに限らず、その一部又は全ての処理をハードウェアで処理するようにしてもよい。
また、送気装置１１は、常に一定の送気速度で空気を送気するものを使用し、自身の送気速度を検出するセンサを設けず、制御装置４が送気装置１１の送気口等に設けられた風速計等から送気装置１１による送気速度を取得する工程（ステップＳ３）を省略し、所定の流量で送気されることとして、制御プログラム４３ｐにより、算出されたハンド装置３５の上昇速度と送気装置１１の送気速度との和を算出する（ステップＳ４）することも可能である。
また、ハンド装置３５が上昇せず停止している場合には、制御装置４は、気流調整装置３６に送気装置１１の送気速度と同じ流速で下方に送気させることにより、ハンド装置３５の下方において、送気装置１１による送気速度に相当する流速にて、上方から下方へ流れる気流を生成することも可能である。
また、ハンド装置３５が送気装置１１による空気の送気速度より遅い速度で下降している場合には、制御装置４は、ハンド装置３５の負の上昇動作速度と送気装置１１による空気の送気速度との差に相当する送気速度で下方に送気するように気流調整装置３６のファンモータ３６の駆動制御を行うことで。ハンド装置３５の下方において、送気装置１１による送気速度に相当する流速にて、上方から下方へ流れる気流を生成することができる。
また、ハンド装置３５が送気装置１１による空気の送気速度より速い速度で下降している場合には、制御装置４は、ハンド装置３５の負の上昇動作速度と送気装置１１による空気の送気速度との差に相当する送気速度で上方に送気するように気流調整装置３６のファンモータ３６の駆動制御を行うことで。ハンド装置３５の下方において、送気装置１１による送気速度に相当する流速にて、上方から下方へ流れる気流を生成することができる。
その他、発明の範囲内で自由に置換、変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】気流調整システムの概要を示す図。
【図２】制御装置を有する気流調整システムの構成を示すブロック図。
【図３】制御装置を有する気流調整システムの機能を示すブロック図。
【図４】気流調整システムによる気流調整処理の流れを示すフローチャート。
【図５】気流調整装置が無い場合のクリーンルーム内の空気の流れを示す図。
【図６】気流調整装置を設けた場合のクリーンルーム内の空気の流れを示す図。
【符号の説明】
【００３７】
１  クリーンルーム
２  ロボット
４  制御装置（制御手段）
１０  気流調整システム
１１  送気装置
１５  ガラス基板（ワーク）
３５  ハンド装置
３６  気流調整装置
【図１】
2007205601.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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