(57)【要約】【課題】  加熱された空気の結露を低減して、高粘度の液状体をワーク表面に供給することができる液状体の吐出装置およびその吐出方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法を提供すること。【解決手段】  液晶吐出装置１は、液状体としての液晶が充填された液滴吐出ヘッド２０と、液滴吐出ヘッド２０を加熱する加熱手段としてのヒータプレート１１と、液滴吐出ヘッド２０に取り付けられ乾燥空気を送風する吹き出し部１２とを備えた。液晶を基板Ｗに吐出する吐出工程では、ヒータプレート１１により液滴吐出ヘッド２０を加熱して充填された高粘度の液晶を低粘度化して吐出する。また、ヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気の相対湿度が上昇しないように、吹き出し部１２から乾燥空気を基板Ｗに向かって送風する。これにより加熱された空気の結露を低減した。【選択図】      図１
2007061783.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
充填された液状体をノズルから吐出する少なくとも１つの吐出部と、
前記吐出部に充填された前記液状体を加熱する加熱手段と、
前記加熱手段により加熱された前記吐出部の周囲の空気の相対湿度を低下させる湿度低下手段と、を備えたことを特徴とする液状体の吐出装置。
【請求項２】
前記湿度低下手段は、前記吐出部の近傍に乾燥空気を送風する乾燥空気送風手段であることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出装置。
【請求項３】
一対の基板を有する電気光学装置の一方の基板に電気光学材料を吐出する電気光学装置の製造装置であって、
充填された前記電気光学材料をノズルから液滴として吐出する少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱する加熱手段と、
前記一方の基板を載置する載置台と、
前記液滴吐出ヘッドに対して前記載置台を対向させて主走査方向および副走査方向に相対的に移動させる移動手段と、
前記加熱手段により加熱された前記液滴吐出ヘッドの周囲の空気の相対湿度を低下させる湿度低下手段と、を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項４】
前記湿度低下手段は、前記液滴吐出ヘッドの近傍に乾燥空気を送風する乾燥空気送風手段であることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項５】
前記乾燥空気送風手段は、前記液滴吐出ヘッドと前記載置台との間に前記乾燥空気を送風することを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項６】
前記乾燥空気送風手段は、前記液滴吐出ヘッドの側から前記載置台に向けて前記乾燥空気を送風する吹き出し口を有する吹き出し部を備えていることを特徴とする請求項４または５に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項７】
前記液滴吐出ヘッドは、略等間隔で設けられた複数のノズルを有し、前記ノズルの列が前記主走査方向と略直交するように配置され、
前記吹き出し部は、前記載置台に対向するように前記液滴吐出ヘッドに対して取り付けられ、前記吹き出し口が前記液滴吐出ヘッドを挟んで前記ノズルの列と直交する方向の前後に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項８】
前記吹き出し部は、断熱性を有する材料で構成されていることを特徴とする請求項７に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項９】
前記吹き出し部には、前記ノズルの列に近づくほど密となるように前記ノズルの列に対して並列した複数の前記吹き出し口が設けられていることを特徴とする請求項７または８に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１０】
前記吹き出し部の周縁部には、排気口が配設され、前記排気口は、排気手段に繋がっていることを特徴とする請求項６ないし９のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の液状体の吐出装置を用いた液状体の吐出方法であって、
前記加熱手段により前記吐出部に充填された液状体を加熱してワークに吐出する吐出工程を備え、前記吐出工程では、前記湿度低下手段により加熱された前記吐出部の周囲の空気の相対湿度を低下させて前記液状体を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項１２】
請求項２に記載の液状体の吐出装置を用いた液状体の吐出方法であって、
前記加熱手段により前記吐出部に充填された液状体を加熱してワークに吐出する吐出工程を備え、前記吐出工程では、加熱された前記吐出部の近傍に乾燥空気を送風して前記液状体を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項１３】
請求項３に記載の電気光学装置の製造装置を用いた一対の基板を有する電気光学装置の製造方法であって、
前記一対の基板の一方の基板表面に前記加熱手段により前記液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱して前記ノズルから液滴として吐出する吐出工程を備え、前記吐出工程では、前記湿度低下手段により加熱された前記液滴吐出ヘッドの周囲の空気の相対湿度を低下させて前記電気光学材料を吐出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項４ないし１０のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置を用いた一対の基板を有する電気光学装置の製造方法であって、
前記一対の基板の一方の基板表面に前記加熱手段により前記液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱して前記ノズルから液滴として吐出する吐出工程を備え、前記吐出工程では、加熱された前記液滴吐出ヘッドの近傍に乾燥空気を送風して前記電気光学材料を吐出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
前記吐出工程では、前記液滴吐出ヘッドと前記基板との間に前記乾燥空気を送風して前記電気光学材料を吐出することを特徴とする請求項１４に記載の電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高粘度の液状体を吐出する吐出装置およびその吐出方法、電気光学材料を吐出する電気光学装置の製造装置およびこの製造装置を用いた電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高粘度の液状体を吐出する吐出装置として、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの記録ヘッド（吐出ヘッド）を用いて潤滑油や樹脂等の高粘度の機能性液体を吐出するインクジェット式記録装置が知られている（特許文献１）。このインクジェット式記録装置は、機能性液体が貯蔵されるタンク、タンクから記録ヘッドに機能性液体を供給する液供給路、および記録ヘッドをそれぞれ加熱する加熱手段を有している。その吐出方法は、高粘度の機能性液体を加熱手段により加熱することにより、低粘度の状態として記録ヘッドからワークに安定的に吐出しようとするものである。
【０００３】
また、電気光学装置としての液晶表示装置において、一対の基板を有する液晶パネルに高粘度液状体としての液晶を一方の基板に吐出する製造装置としては、吐出ヘッドに充填された液晶を該液晶の転移点以上の温度となるように加熱する第１のヒータを備えた液晶吐出装置が知られている（特許文献２）。
【０００４】
さらには、一対の基板を有する電気光学装置において、電気光学材料を加熱された一方の基板に供給した後に、他方の基板と封止材を用いて貼り合せる電気光学装置の製造装置および製造方法が知られている（特許文献３）。
【０００５】
この電気光学装置の製造装置および製造方法は、電気光学材料をあらかじめ所定温度に加熱された一方の基板に供給することで、環状に形成された封止材の内側に電気光学材料を容易に拡散させて、気泡が残留することを低減しようとするものである。また、一対の基板をほぼ同等な温度に加熱して貼り合せることにより、貼り合せの位置精度を高めようとするものである。さらに、加熱装置を有する液滴吐出ヘッドを備え、加熱されて低粘度となった電気光学材料を液滴吐出ヘッドから一方の基板に吐出して拡散させるものである。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１９７９０号公報
【特許文献２】特開２００５−３１４１９号公報
【特許文献３】特開２００５−１２８４１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、高粘度の電気光学材料を加熱するために液滴吐出ヘッドや基板などをヒータ等の加熱装置によって加熱すると、その周囲の空気も同時に加熱される。加熱された空気は、製造装置の非加熱部において冷却されて空気中の水分が凝結し、結露が発生する。例えば、結露した水滴が製造装置の電気配線系統に付着すれば、電気的な短絡を起こし装置の故障原因となる。また、結露した水滴が基板上に付着すれば、電気光学装置の表示特性や封止材の接着性に影響を及ぼして、表示不良や貼り合せ不良となる惧れがある。
【０００８】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、加熱された空気の結露を低減して、高粘度の液状体をワーク表面に供給することができる液状体の吐出装置およびその吐出方法、電気光学装置の製造装置および電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液状体の吐出装置は、充填された液状体をノズルから吐出する少なくとも１つの吐出部と、吐出部に充填された液状体を加熱する加熱手段と、加熱手段により加熱された吐出部の周囲の空気の相対湿度を低下させる湿度低下手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、液状体が高粘度であっても加熱手段により吐出部に充填された液状体を加熱して低粘度の状態として安定的に吐出することができる。また、加熱手段により吐出部の周囲の空気が加熱されて相対湿度が上昇しても、湿度低下手段を備えているので加熱された空気が吐出装置の非加熱部で冷却されて結露が発生しないように相対湿度を低下させることができる。すなわち、結露による吐出装置の故障を低減して、高粘度の液状体を吐出することが可能な液状体の吐出装置を提供することができる。
【００１１】
また、上記湿度低下手段は、吐出部の近傍に乾燥空気を送風する乾燥空気送風手段であることが好ましい。これによれば、乾燥空気送風手段により乾燥空気が吐出部の近傍に送風されるので、加熱手段により加熱された空気を冷却して除湿するような空調装置を付加せずとも、比較的容易に吐出部の近傍の相対湿度を低下させることができる。
【００１２】
本発明の電気光学装置の製造装置は、一対の基板を有する電気光学装置の一方の基板に電気光学材料を吐出する電気光学装置の製造装置であって、充填された電気光学材料をノズルから液滴として吐出する少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱する加熱手段と、一方の基板を載置する載置台と、液滴吐出ヘッドに対して載置台を対向させて主走査方向および副走査方向に相対的に移動させる移動手段と、加熱手段により加熱された液滴吐出ヘッドの周囲の空気の相対湿度を低下させる湿度低下手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、電気光学材料が高粘度であっても加熱手段により液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱して低粘度の状態として安定的に吐出することができる。また、加熱手段により液滴吐出ヘッドの周囲の空気が加熱されて相対湿度が上昇しても、湿度低下手段を備えているので加熱された空気が製造装置の非加熱部で冷却されて結露が発生しないように相対湿度を低下させることができる。すなわち、結露による製造装置の故障を低減して、高粘度の電気光学材料を吐出することが可能な電気光学装置の製造装置を提供することができる。
【００１４】
また、上記湿度低下手段は、液滴吐出ヘッドの近傍に乾燥空気を送風する乾燥空気送風手段であることが好ましい。これによれば、乾燥空気送風手段により乾燥空気が液滴吐出ヘッドの近傍に送風されるので、加熱手段により加熱された空気を冷却して除湿するような空調装置を付加せずとも、比較的容易に液滴吐出ヘッドの近傍の相対湿度を低下させることができる。
【００１５】
また、上記乾燥空気送風手段は、液滴吐出ヘッドと載置台との間に乾燥空気を送風することが好ましい。これによれば、液滴吐出ヘッドと載置台との間に乾燥空気が送風される。したがって、液滴吐出ヘッドと載置台に載置された基板との間に水分濃度が低い空気層を形成することができ、加熱手段によって加熱された電気光学材料が液滴吐出ヘッドから基板に吐出される。よって、液滴吐出ヘッドと載置台との相対移動の間に、加熱された空気が液滴吐出ヘッドの近傍で冷却され結露することが低減され、吐出中に結露による水滴が基板に落下し、吐出された電気光学材料に影響を与えて不良が発生することを低減することができる。
【００１６】
また、上記乾燥空気送風手段は、液滴吐出ヘッドの側から載置台に向けて乾燥空気を送風する吹き出し口を有する吹き出し部を備えていることが好ましい。これによれば、吹き出し部の吹き出し口から載置台に載置された基板に向けてすなわち液滴吐出ヘッドから電気光学材料が吐出される方向に乾燥空気が送風されるため、乾燥空気の送風の影響で吐出された電気光学材料の吐出方向が変化するいわゆる飛行曲がりの現象を低減することができる。すなわち、高粘度の電気光学材料をより安定的に吐出し、結露による故障が低減された電気光学装置の製造装置を提供することができる。
【００１７】
また、上記液滴吐出ヘッドは、略等間隔で設けられた複数のノズルを有し、ノズルの列が主走査方向と略直交するように配置され、吹き出し部は、載置台に対向するように液滴吐出ヘッドに対して取り付けられ、吹き出し口が液滴吐出ヘッドを挟んでノズルの列と直交する方向の前後に設けられていることが好ましい。電気光学材料を吐出する主走査時に、液滴吐出ヘッドと基板が載置された載置台との相対移動を高速で行うと、液滴吐出ヘッドと基板との間で主走査方向に空気の流れが発生する。これによれば、液滴吐出ヘッドに取り付けられた吹き出し部には、液滴吐出ヘッドを挟んでノズルの列と直交する方向の前後に吹き出し口が設けられているので、吹き出し口から乾燥空気を基板に向けて送風すれば、液滴吐出ヘッドと載置台との相対移動に追従して液滴吐出ヘッドと基板との間に乾燥空気を送り込むことができる。また、該相対移動による空気の流れの影響を低減して電気光学材料を所望の位置に吐出することができる。
【００１８】
また、上記吹き出し部は、断熱性を有する材料で構成されていることが好ましい。これによれば、液滴吐出ヘッドに取り付けられた吹き出し部は、断熱性を有する材料で構成されているため、加熱手段からの放熱あるいは加熱手段により加熱された液滴吐出ヘッドからの放熱が載置台側に伝播することを抑制することができる。すなわち、これらの放熱により液滴吐出ヘッドと載置台に載置される基板との間の空気が加熱されることを低減することができる。また、これらの放熱が載置台側に伝播して液滴吐出ヘッドの加熱が不十分となり、充填された電気光学材料の粘度が所望の粘度に到達せず不安定な吐出状態となることを低減することができる。
【００１９】
また、上記吹き出し部には、ノズルの列に近づくほど密となるようにノズルの列に対して並列した複数の吹き出し口が設けられていることが好ましい。これによれば、吹き出し部には、複数の吹き出し口がノズルの列に近づくほど密となるようにノズルの列に対して並列して設けられている。したがって、吹き出し口から送風される乾燥空気の流れは、液滴吐出ヘッドの側から基板に向かうと共に、吹き出し口が密に設けられた液滴吐出ヘッドの近傍から吹き出し口が疎に設けられた周辺部に拡がってゆく。ゆえに、液滴吐出ヘッドを中心とした基板との間の空間に乾燥空気を偏りなく行き渡らせることができる。
【００２０】
また、上記吹き出し部の周縁部には、排気口が配設され、排気口は、排気手段に繋がっているとしてもよい。これによれば、吹き出し部の周縁部に排気口が設けられているので、吹き出し口から送風された乾燥空気を含む周囲の空気を排気手段により排気することができる。すなわち、液滴吐出ヘッドと基板との間に水分濃度が低い空気層を形成すると共に、加熱手段により加熱された液滴吐出ヘッドの周囲の空気を排気して、より結露が発生し難い状態とすることができる。
【００２１】
本発明の液状体の吐出方法は、上記発明の液状体の吐出装置を用いた液状体の吐出方法であって、加熱手段により吐出部に充填された液状体を加熱してワークに吐出する吐出工程を備え、吐出工程では、湿度低下手段により加熱された吐出部の周囲の空気の相対湿度を低下させて液状体を吐出することを特徴とする。
【００２２】
この方法によれば、吐出工程では、液状体が高粘度であっても加熱手段により吐出部に充填された液状体を加熱して低粘度の状態として安定的に吐出することができる。また、加熱手段により吐出部の周囲の空気が加熱されて相対湿度が上昇しても、湿度低下手段により加熱された空気が吐出装置の非加熱部で冷却されて結露が発生しないように相対湿度を低下させることができる。すなわち、結露による吐出装置の故障を低減して、高粘度の液状体を安定的に吐出することが可能な液状体の吐出方法を提供することができる。また、結露による水滴がワークに落下して液状体の吐出に影響を与え不良が発生することを低減することができる液状体の吐出方法を提供することができる。
【００２３】
本発明の他の液状体の吐出方法は、上記発明の液状体の吐出装置を用いた液状体の吐出方法であって、加熱手段により吐出部に充填された液状体を加熱してワークに吐出する吐出工程を備え、吐出工程では、加熱された吐出部の近傍に乾燥空気を送風して液状体を吐出することを特徴とする。
【００２４】
この方法によれば、吐出工程では、加熱された吐出部の近傍に乾燥空気を送風して液状体を吐出するため、加熱手段により加熱された空気を冷却して除湿するような複雑な方法を用いずとも、比較的簡単な方法で吐出部の近傍の相対湿度を低下させることができる。すなわち、吐出工程で結露した水滴がワークに落下して不具合が発生することを比較的容易に低減して、高粘度の液状体の吐出が可能な液状体の吐出方法を提供することができる。
【００２５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記発明の電気光学装置の製造装置を用いた一対の基板を有する電気光学装置の製造方法であって、一対の基板の一方の基板表面に加熱手段により液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱してノズルから液滴として吐出する吐出工程を備え、吐出工程では、湿度低下手段により加熱された液滴吐出ヘッドの周囲の空気の相対湿度を低下させて電気光学材料を吐出することを特徴とする。
【００２６】
この方法によれば、吐出工程では、電気光学材料が高粘度であっても加熱手段により液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱して低粘度の状態として安定的に吐出することができる。また、加熱手段により液滴吐出ヘッドの周囲の空気が加熱されて相対湿度が上昇しても、湿度低下手段により加熱された空気が製造装置の非加熱部で冷却されて結露が発生しないように相対湿度を低下させることができる。すなわち、高粘度の電気光学材料を安定的に吐出することが可能であると共に、結露による水滴が基板に落下して電気光学材料の吐出に影響を与え吐出ムラなどの不良が発生することを低減して、歩留まりよく電気光学装置の製造が可能な電気光学装置の製造方法を提供することができる。
【００２７】
本発明の他の電気光学装置の製造方法は、上記発明の電気光学装置の製造装置を用いた一対の基板を有する電気光学装置の製造方法であって、一対の基板の一方の基板表面に加熱手段により液滴吐出ヘッドに充填された電気光学材料を加熱してノズルから液滴として吐出する吐出工程を備え、吐出工程では、加熱された液滴吐出ヘッドの近傍に乾燥空気を送風して電気光学材料を吐出することを特徴とする。
【００２８】
この方法によれば、吐出工程では、加熱された液滴吐出ヘッドの近傍に乾燥空気を送風して電気光学材料を吐出するため、加熱手段により加熱された空気を冷却して除湿するような複雑な方法を用いずとも、比較的簡単な方法で液滴吐出ヘッドの近傍の相対湿度を低下させることができる。すなわち、吐出工程で結露した水滴がワークに落下して不具合が発生することを比較的容易に低減して、高粘度の電気光学材料を安定的に吐出し歩留まりよく電気光学装置の製造が可能な電気光学装置の製造方法を提供することができる。
【００２９】
また、上記吐出工程では、液滴吐出ヘッドと基板との間に乾燥空気を送風して電気光学材料を吐出することが好ましい。これによれば、吐出工程では、液滴吐出ヘッドと基板との間に乾燥空気が送風され、液滴吐出ヘッドと基板との間に水分濃度が低い空気層が形成された状態で、加熱手段によって加熱された電気光学材料が液滴吐出ヘッドから基板に吐出される。よって、液滴吐出ヘッドと載置台との相対移動の間に、加熱された空気が液滴吐出ヘッドの近傍で冷却され結露することが低減され、吐出中に結露による水滴が基板に落下して電気光学材料の吐出ムラなどが発生することをより低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明の実施形態は、一対の基板を有する電気光学装置として液晶表示装置の製造工程において、一方の基板表面に電気光学材料としての液晶を吐出する製造装置（吐出装置）としての液晶吐出装置とその製造方法（吐出方法）を例として説明する。液晶は、高粘度の液状体であって、一対の基板が対向した隙間に無駄なく液晶を充填するために、本実施形態では、液状体を液滴として必要量だけ吐出可能な液滴吐出ヘッドを備えた液晶吐出装置を用いている。
【００３１】
（液晶吐出装置）
図１は、液晶吐出装置の構造を示す概略斜視図である。図１に示すように、本実施形態の液晶吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗが載置される載置台としてのステージ７と、載置された基板Ｗに必要量の液晶を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０（図２参照）とを備えている。また、液晶が貯留されたタンク１４から配管１３を通じて液滴吐出ヘッド２０に液晶を供給する電気光学材料供給手段を備えている。
【００３２】
液晶吐出装置１は、液滴吐出ヘッド２０が取り付けられたヘッドホルダ１０を副走査方向（Ｘ方向）に駆動するためのＸ方向ガイド軸３と、Ｘ方向ガイド軸３を回転させるＸ軸駆動モータ２とを備えている。また、ステージ７を主走査方向（Ｙ方向）に駆動するためのＹ方向ガイド軸４と、Ｙ方向ガイド軸４を回転させるＹ軸駆動モータ５とを備えている。そしてＸ方向ガイド軸３とＹ方向ガイド軸４とが上部に配設された基台９を備え、その基台９の下部には、制御部１５を備えている。Ｘ方向ガイド軸３およびＸ軸駆動モータ２、Ｙ方向ガイド軸４およびＹ軸駆動モータ５は、液滴吐出ヘッド２０に対してステージ７を対向させて主走査方向（Ｙ方向）および副走査方向（Ｘ方向）に相対的に移動させる移動手段である。
【００３３】
さらに、液晶吐出装置１は、液滴吐出ヘッド２０をクリーニング（回復処理）するためのクリーニング機構８を備えている。またクリーニング機構８にもＹ軸駆動モータ６が備えられている。
【００３４】
ヘッドホルダ１０には、液滴吐出ヘッド２０と、加熱手段としてのヒータプレート１１と、ヒータプレート１１により加熱された液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気の相対湿度を低下させる湿度低下手段として、吹き出し部１２より乾燥空気を送風する乾燥空気送風手段とが取り付けられている。液滴吐出ヘッド２０は、ヒータプレート１１によって加熱され、充填された液晶を低粘度化してノズル２１（図２参照）から吐出するものである。また、制御部１５から供給される吐出電圧に応じて吐出される液晶の量を可変できるようになっている。
【００３５】
Ｘ軸駆動モータ２は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部１５からＸ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｘ方向ガイド軸３を回転させ、Ｘ方向ガイド軸３に係合した液滴吐出ヘッド２０をＸ方向に移動させる。
【００３６】
同様にＹ軸駆動モータ５，６は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部１５からＹ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸４を回転させ、ステージ７およびクリーニング機構８をＹ軸方向に移動させる。
【００３７】
クリーニング機構８は、液滴吐出ヘッド２０を臨む位置に移動し、液滴吐出ヘッド２０のノズル面２８ａ（図２参照）に密着して不要な液晶を吸引するキャッピング、液晶等が付着したノズル面２８ａを拭き取るワイピング、液滴吐出ヘッド２０の全ノズル２１から液晶の吐出を行う予備吐出あるいは不要となった液晶を受けて排出させる回復処理を行う。クリーニング機構８の詳細は省略する。
【００３８】
液晶吐出装置１は、装置全体をクリーンブース１６で覆うと共に、クリーンブース１６の天井部分に設けられたヘッパユニット１７から清浄化した空気をクリーンブース１６内に送り込んでいる。これにより、液晶を基板Ｗの表面に吐出する際に、異物等が基板Ｗの表面に付着しないようにクリーン度を確保している。
【００３９】
図２は、液滴吐出ヘッドを示す概略斜視図である。図２に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、所謂２連のものであり、２連の接続針２４を有する液晶の導入部２３と、導入部２３に積層されたヘッド基板２５と、ヘッド基板２５上に配置され内部に液晶のヘッド内流路が形成されたヘッド本体２６とを備えている。接続針２４は、前述したタンク１４に配管１３を経由して接続され、液晶をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板２５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッド駆動部３４（図５参照）に接続される２連のコネクタ２９が設けられている。
【００４０】
ヘッド本体２６は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティを有する加圧部２７と、ノズル面２８ａに２つのノズル列２２，２２が相互に平行に形成されたノズルプレート２８とを有している。
【００４１】
２つのノズル列２２，２２は、それぞれ複数（１８０個）のノズル２１が略等間隔に並べられており、互いにずれた状態でノズルプレート２８に配設されている。この場合、ノズルピッチは、およそ１４０μｍである。よって、ノズル列２２に直交する方向から見ると３６０個のノズル２１がおよそ７０μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。
【００４２】
液滴吐出ヘッド２０は、ヘッド駆動部３４（図５参照）から電気信号としての駆動波形がピエゾ素子等に印加されると加圧部２７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液晶が加圧され、キャビティに連通するノズル２１から液晶を液滴として吐出することができる。
【００４３】
図３は、液晶吐出装置の要部構造を示す概略図である。図３に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、基板Ｗが載置されるステージ７が移動する主走査方向（Ｙ方向）に対して、ノズル２１の列（ノズル列２２）が直交するようにＬ字型のヘッドホルダ１０に取り付けられている。ヘッドホルダ１０は、Ｘ方向ガイド軸３と係合しており、Ｘ方向ガイド軸３が回転することにより液滴吐出ヘッド２０を副走査方向（Ｘ方向）に移動させる。
【００４４】
また、ヘッドホルダ１０には、断熱プレート１９を介してヒータプレート１１と乾燥空気を送風する吹き出し部１２が取り付けられている。ヒータプレート１１は、液滴吐出ヘッド２０のヘッド本体２６を加熱可能な位置に取り付けられている。ヒータプレート１１は、熱伝導部材からなり２つの棒状ヒータ１１ａが埋め込まれヘッド本体２６を両側から加熱可能となっている。尚、熱源としてのヒータは、棒状ヒータ１１ａに限らず面状ヒータでもよい。
【００４５】
吹き出し部１２は、ポリカーボネート、ガラスエポキシなどの耐熱性樹脂板あるいはセラミックス板などの断熱性を有する材料からなり、同様な材料からなる断熱プレート１９との間にヒータプレート１１を挟むように取り付けられている。これにより、ヒータプレート１１からの放熱やヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０からの放熱が周囲の空気に伝わることを抑制している。
【００４６】
吹き出し部１２には、２つの配管接続部１２ｂが設けられており、乾燥空気供給源３８（図５参照）から乾燥空気を送り込む配管（図示省略）が接続される。これによりステージ７側に開口した複数の吹き出し口１２ａから乾燥空気が送風される。また、吹き出し部１２の周縁部には、同じくステージ７側に２つの排気口１８ａと２つの配管接続部１８ｂとが設けられている。２つの配管接続部１８ｂには、排気手段４０（図５参照）に繋がる配管（図示省略）が接続される。これにより、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗとの間の空気を排気口１８ａから排気可能となっている。
【００４７】
図４は、吹き出し部の構造を示す概略斜視図である。詳しくは、ステージ７に対向する側の吹き出し部１２を示すものである。図４に示すように、吹き出し部１２は、筐体構造となっており、ほぼ中央部分にノズル列２２が主走査方向（Ｙ方向）と直交するように液滴吐出ヘッド２０に取り付けるための開口部１２ｃを有している。乾燥空気は、配管接続部１２ｂを経由して筐体内部に取り入れられ、複数の吹き出し口１２ａからステージ７に向けて送風される。複数の吹き出し口１２ａは、液滴吐出ヘッド２０を挟んでノズル列２２と直交する方向（Ｙ方向）の前後に３列ずつ並列して設けられている。また、ノズル列２２に近づくほど吹き出し口１２ａの数が多くなるように（密となるように）配列されている。尚、本実施形態の吹き出し口１２ａは、丸孔に限定されず、スリットやハニカム等でもよい。また、空気を通過させる多孔質板をステージ７と対向する面に用いてもよい。
【００４８】
吹き出し部１２の周縁部に設けられた排気部１８の排気口１８ａは、スリット状であり、複数の吹き出し口１２ａの列に対して並列している。排気口１８ａもスリット状に限定されず、丸孔やハニカム等でもよい。
【００４９】
図３に示すように、液滴吐出ヘッド２０とステージ７とを相対移動（主走査）させると、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗとの間にＹ方向の空気の流れが生じて、吐出された液晶１０５の液滴が所望の位置に着弾しない飛行曲がりを起こす可能性がある。本実施形態では、吹き出し口１２ａから送風された乾燥空気は、液滴吐出ヘッド２０の側からステージ７に向かって送風される。また、吹き出し口１２ａが疎に設けられた吹き出し部１２の周縁部に拡がると共に、排気口１８ａから周囲の空気と共に排出される。したがって、液滴吐出ヘッド２０とステージ７との相対移動に対応して液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗとの間に乾燥空気を送り込むことができる。よって、ヒータプレート１１により加熱された空気が対流を起こし液滴吐出ヘッド２０の周辺部で冷却されて結露し、結露した水滴が基板Ｗの表面に落下するような不具合や結露による装置故障を防ぐことが可能である。さらに相対移動に伴う液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗとの間の空気の流れを抑制して、液晶１０５の液滴を所望の位置に着弾させることが可能である。
【００５０】
図５は、液晶吐出装置の電気的および機械的な構成を示すブロック図である。図５に示すように、液晶吐出装置１の制御部１５は、液晶吐出装置１の全体を制御するメインコンピュータ（図示省略）から入力される液晶吐出のプログラム等を一時的に記憶する入力バッファメモリ３１と、ＲＡＭからなる記憶部３２と、これらに接続した処理部３０とを有している。また、走査駆動部３３、ヘッド駆動部３４、温度制御部３５、メンテナンス駆動部３６を有している。
【００５１】
処理部３０は、Ｘ軸駆動モータ２およびＹ軸駆動モータ５を駆動してステージ７を液滴吐出ヘッド２０に対して相対移動させる走査駆動部３３と、液滴吐出ヘッド２０に駆動電圧を与えて液晶１０５を液滴として吐出させるヘッド駆動部３４とに接続しこれらを制御する。また、棒状ヒータ１１ａに電力を供給する温度制御部３５に接続して、液滴吐出ヘッド２０を所望の温度に加熱する。また、クリーニング機構８を駆動するメンテナンス駆動部３６に接続して液滴吐出ヘッド２０の回復動作を行う。
【００５２】
また、乾燥空気供給源３８と吹き出し部１２とを繋ぐ配管の途中に設けられた電磁バルブからなるエアバルブ３７に接続し、エアバルブ３７の開閉を制御する。乾燥空気供給源３８としては、コンプレッサなどによって圧縮された空気を冷凍式あるいは高分子膜式などのエアドライヤを通過させて乾燥させるドライエア供給装置を用いることができる。
【００５３】
また、排気手段４０と排気口１８ａを繋ぐ配管の途中に設けられた電磁バルブからなる排気バルブ３９に接続し、排気バルブ３９の開閉を制御する。排気手段４０としては、小型のファンやポンプなどを用いることができる。
【００５４】
液晶吐出装置１は、上記の構成以外にもタンク１４から配管１３を経て液滴吐出ヘッド２０に液晶１０５を供給する電気光学材料供給手段の制御なども行うことができる構成を有している。また、高粘度の液晶１０５を液滴吐出ヘッド２０に安定的に供給するために、液晶１０５が貯留されるタンク１４にも加熱手段を設けて加熱し、加熱された液晶１０５の温度が低下しないように配管１３を断熱部材で覆うようにすることが望ましい。
【００５５】
液晶吐出装置１の吐出動作は、走査駆動部３３から所定の駆動パルス信号をＸ軸駆動モータ２およびＹ軸駆動モータ５とに送り、液滴吐出ヘッド２０を副走査方向（Ｘ方向）に、ステージ７を主走査方向（Ｙ方向）に相対移動させる。そして、この相対移動の間にヘッド駆動部３４から吐出電圧を供給し、液滴吐出ヘッド２０から基板Ｗの所定の領域に液晶１０５を液滴として吐出する。また、温度制御部３５により棒状ヒータ１１ａを作動させて液滴吐出ヘッド２０に充填された液晶１０５を加熱して、吐出可能な低粘度状態を維持する。そして、少なくとも液晶１０５の吐出動作中において、エアバルブ３７、排気バルブ３９を開いて、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗとの間に乾燥空気を送風すると共に、液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気を排気する。尚、クリーニング機構８による液滴吐出ヘッド２０の回復動作中は、エアバルブ３７、排気バルブ３９を閉じている。
【００５６】
尚、本実施形態の液晶吐出装置１は、１つの液滴吐出ヘッド２０を備えた構成であるが、これに限定されず、主走査方向に直交する方向（Ｘ方向）にノズル列２２が配列するように複数の液滴吐出ヘッド２０を備えたものでもよい。このようにすれば、Ｘ方向において広い範囲で液晶１０５を吐出可能となるので、液晶１０５を吐出する主走査の回数を減ずることが可能である。
【００５７】
次に本実施形態の液晶吐出装置１を用いて製造される液晶表示装置について図６、図７を基に説明する。図６は、液晶表示装置の構造を示す概略図である。同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線で切った断面図である。
【００５８】
図６（ａ）および（ｂ）に示すように、液晶表示装置１００は、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子１０３を有する素子基板１０１と、対向電極１０６を有する対向基板１０２と、シール材１０４によって接着された一対の基板１０１，１０２の隙間に充填された液晶１０５とを有する液晶表示パネル１１０を備えている。素子基板１０１は対向基板１０２より一回り大きく額縁状に張り出した状態となっている。シール材１０４としては、熱あるいは紫外線などの光により硬化するエポキシ系接着剤を用いることが望ましい。
【００５９】
素子基板１０１は、厚みおよそ１．２ｍｍの石英ガラス基板を用いており、その表面には画素を構成する画素電極（図示省略）と、３端子のうちの一つが画素電極に接続されたＴＦＴ素子１０３が形成されている。ＴＦＴ素子１０３の残りの２端子は、画素電極を囲んで互いに絶縁状態で格子状に配置されたデータ線（図示省略）と走査線（図示省略）とに接続されている。データ線は、Ｙ軸方向に引き出されて端子部１０１ａにおいてデータ線駆動回路部１０９に接続されている。走査線は、Ｘ軸方向に引き出され、左右の額縁領域に形成された２つの走査線駆動回路部１１３，１１３に個々に接続されている。各データ線駆動回路部１０９および走査線駆動回路部１１３の入力側配線は、端子部１０１ａに沿って配列した実装端子１１１にそれぞれ接続されている。端子部１０１ａとは反対側の額縁領域には、２つの走査線駆動回路部１１３，１１３を繋ぐ配線１１２が設けられている。
【００６０】
対向基板１０２は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明なガラス基板を用いており、共通電極としての対向電極１０６が設けられている。対向電極１０６は、対向基板１０２の四隅に設けられた上下導通部１１４を介して素子基板１０１側に設けられた配線と導通しており、当該配線も端子部１０１ａに設けられた実装端子１１１に接続されている。
【００６１】
液晶１０５に面する素子基板１０１の表面および対向基板１０２の表面には、それぞれポリイミド等からなる配向膜１０７，１０８が形成されている。
【００６２】
液晶表示装置１００は、外部駆動回路と電気的に繋がる中継基板が実装端子１１１に接続される。そして、外部駆動回路からの入力信号が各データ線駆動回路部１０９および走査線駆動回路部１１３に入力されることにより、ＴＦＴ素子１０３が画素電極ごとにスイッチングされ、画素電極と対向電極１０６との間に駆動電圧が印加されて表示が行われる。
【００６３】
尚、図６には図示省略したが、液晶表示装置１００の光の入射側と出射側には、それぞれ入出射する光を偏向する偏光板が設けられる。
【００６４】
図７は、液晶表示パネルが区画形成されたマザー基板を示す概略図である。同図（ａ）は概略平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線で切った概略断面図である。
【００６５】
図７（ａ）に示すように、１つの液晶表示パネル１１０に相当する素子基板１０１がマザー基板としてのウェハ状の基板Ｗ１に複数区画形成され、また同様に１つの液晶表示パネル１１０に相当する対向基板１０２がマザー基板としてのウェハ状の基板Ｗ２に複数区画形成されている。そして、図７（ｂ）に示すように、基板Ｗ１と基板Ｗ２とがシール材１０４によって所定の位置で接着されると共にシール材１０４で区画された領域内に液晶１０５が挟持されている。１つの液晶表示パネル１１０は、シール材１０４で区画された領域に沿った切断予定位置を切断して取り出される。切断方法としては、ダイシング法、レーザー照射法、超硬チップを用いたスジ入れスクライブ法、あるいはこれらの方法の組み合わせなどが挙げられる。この場合、基板Ｗ１，２の大きさは、直径１２インチ（３０４．８ｍｍ）であり、２００個分の液晶表示パネル１１０が区画形成されている。
【００６６】
（液晶表示装置の製造方法）
次に本実施形態の液晶吐出装置１を用いた電気光学装置としての液晶表示装置の製造方法（液状体としての液晶の吐出方法）について図８、図９を基に説明する。図８は、液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。図９（ａ）〜（ｄ）は、液晶表示装置の製造方法を示す概略図である。
【００６７】
図８に示すように、液晶表示装置１００の製造方法は、液晶吐出装置１のステージ７に基板Ｗ１を載置して位置決めする工程（ステップＳ１）を備えている。そして、位置決めされた基板Ｗ１のシール材１０４で区画された領域（基板表面）に加熱手段（ヒータプレート１１）により液滴吐出ヘッド２０に充填された液晶１０５を加熱してノズル２１から液滴として吐出する吐出工程（ステップＳ２）と、液晶１０５が吐出された基板Ｗ１と基板Ｗ２とを貼り合せる工程（ステップＳ３）とを備えている。また、吐出工程では、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間に乾燥空気を送風して液晶１０５を吐出する。すなわち、乾燥空気の送風により加熱された液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気の相対湿度を低下させて液晶１０５を吐出するものである。
【００６８】
図８のステップＳ１は、基板Ｗ１の位置決め工程である。基板Ｗ１には、複数の素子基板１０１が区画形成されている。また、これに対応してシール材１０４が印刷法あるいは定量吐出法などを用いて、個々の素子基板１０１の所定の位置に塗布されている。ステップＳ１では、液晶吐出装置１のステージ７にシール材１０４が塗布された基板Ｗ１を載置して、液滴吐出ヘッド２０に対して位置決めをする。この場合、基板Ｗ１は、図７に示したＢ−Ｂ線の方向が主走査方向（Ｙ方向）となるようにステージ７に載置され、基板Ｗ１に形成されたアライメントマークを例えばＣＣＤなどの撮像素子により画像認識させて正確に位置決めする。そして、ステップＳ２へ進む。
【００６９】
図８のステップＳ２は、液晶１０５の吐出工程である。ステップＳ２では、図９（ａ）に示すように、制御部１５は、Ｘ軸駆動モータ２およびＹ軸駆動モータ５を駆動して、液滴吐出ヘッド２０に対して基板Ｗ１のシール材１０４で区画された領域が対向するようにステージ７を移動させる。そして、液滴吐出ヘッド２０に充填された液晶１０５をヒータプレート１１により加熱して低粘度化しノズル２１から液滴として吐出する。この場合、高粘度の液晶１０５が吐出に適したおよそ１０ｃｐｓ（０．０１Ｐａ・ｓ）程度の粘度となるように、棒状ヒータ１１ａの設定温度を９０℃とし、充填された液晶１０５の温度をおよそ７０℃としている。これにより、液晶１０５の吐出量の精度を±０．５％以内とすることが可能となった。
【００７０】
液晶１０５が吐出される基板Ｗ１の表面は、配向膜１０８で覆われており、液晶１０５に対して撥液性を有している。したがって、吐出された液晶１０５は、着弾後に表面張力で盛り上がる。図６（ｂ）に示したように、素子基板１０１と対向基板１０２とは所定の間隔で対向配置され、その隙間に液晶１０５を挟持するので、素子基板１０１のシール材１０４で区画された領域内にどの程度の量の液晶１０５を吐出すればよいか、あらかじめ演算することが可能である。制御部１５には、この演算結果がデータとして入力されており、ヘッド駆動部３４は、この演算結果に基づいて液滴を吐出する所定の吐出電圧で所定回数の駆動波形を液滴吐出ヘッド２０に与えることにより、必要量の液晶１０５を吐出させる。これにより、図９（ｂ）に示すように、シール材１０４の際にわずかに隙間を残した状態でシール材１０４の高さよりも高い状態に盛り上がった液晶１０５を素子基板１０１に付与することができる。
【００７１】
図７（ａ）に示すように、基板Ｗ１には２００個分の液晶表示パネル１１０に相当する素子基板１０１が区画形成されている。よって、制御部１５は、Ｘ軸駆動モータ２とＹ軸駆動モータ５とを走査駆動部３３により駆動して、Ｙ方向に複数回（１８回）の主走査と区画された素子基板１０１の配列に対応して主走査する列を変える副走査（Ｘ方向への液滴吐出ヘッド２０の移動）とを行う。このようにして基板Ｗ１に複数区画形成された素子基板１０１のそれぞれに必要量の液晶１０５を吐出する。また、少なくともこの主走査および副走査の間、制御部１５は、エアバルブ３７と排気バルブ３９とを開いて、乾燥空気を液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間に送風すると共に排気口１８ａから液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気を排気する。これにより、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間に水分濃度が低い空気層が形成された状態となり、ヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気の相対湿度が低下して結露が生じ難くなる。また、加熱された空気を乾燥空気と共に排気して、より結露が生ずることを低減することが可能となる。
【００７２】
この場合の主走査におけるステージ７の移動速度は、およそ９０ｍｍ／秒であり、基板Ｗ１のすべての素子基板１０１に液晶１０５を吐出する所要時間は、およそ１分である。また、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間隔は、およそ５ｍｍに設定されている。したがって、液滴吐出ヘッド２０と直径およそ３００ｍｍの基板Ｗ１との主走査移動範囲の体積は、およそ０．４５Ｌ（リットル）となる。本実施形態における乾燥空気の送風量は、およそ１．５Ｌ／分程度であるため、所要時間１分で主走査移動範囲の体積の３倍の乾燥空気が液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間に送り込まれる。排気口１８ａから排気する排気量は、乾燥空気の送風量を考慮して給排気のバランスが取れるように設定すればよい。
【００７３】
尚、吐出工程では、液滴吐出ヘッド２０の３６０個のノズル２１に対応する加圧部２７を選択的に駆動して液晶１０５を吐出することができるので、シール材１０４で区画された領域のみに液晶１０５を付与することができる。すなわち、無駄な液晶１０５の吐出を防ぐことが可能である。そして、ステップＳ３へ進む。
【００７４】
図８のステップＳ３は、基板Ｗ１と基板Ｗ２とを貼り合せる工程である。ステップＳ３では、図９（ｃ）に示すように、必要量の液晶１０５が付与された基板Ｗ１に基板Ｗ２をシール材１０４を介して減圧下で貼り合せる。具体的には、まず、貼り合せた基板Ｗ２のシール材１０４の付近に圧力をかけて基板Ｗ１と基板Ｗ２とを接着する。そして、図９（ｄ）に示すように、所定の時間が経過してシール材１０４がある程度乾燥した後に、基板Ｗ２の全面に圧力をかけて、液晶１０５を基板Ｗ１（１０１）と基板Ｗ２（１０２）で挟まれると共にシール材１０４で区画された領域内に行き渡らせる。この場合、液晶１０５がシール材１０４と接触する際には、すでにシール材１０４の硬化が進んでいるので、液晶１０５との接触に伴うシール材１０４の接着性能低下や液晶１０５の劣化は少ない。
【００７５】
そして、熱や光をシール材１０４に付与して完全に硬化させることにより、基板Ｗ１（１０１）と基板Ｗ２（１０２）の間に液晶１０５が封止される。したがって、液晶１０５の無駄な消費を抑えて液晶表示装置１００を低コストで製造することができる。また、ヒータプレート１１によって加熱された空気が液晶吐出装置１の非加熱部で冷却されて結露することが低減されるので、結露による液晶吐出装置１の故障が少なく、長期に渡っての安定稼動を実現することが可能である。さらに結露した水滴が基板Ｗ１に落下して液晶１０５の充填の不具合を招くことが低減される。
【００７６】
尚、本実施形態の液晶表示装置１００の製造方法では、シール材１０４が塗布された基板Ｗ１に液晶１０５を吐出したが、基板Ｗ２にシール材１０４を塗布して液晶１０５を吐出した後に、減圧下で基板Ｗ１と貼り合せてもよい。
【００７７】
上記実施形態の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態の液晶吐出装置１は、液滴吐出ヘッド２０を加熱するヒータプレート１１を有しているので、液滴吐出ヘッド２０に充填された高粘度の液晶１０５をヒータプレート１１により加熱して低粘度の状態として安定的に吐出することができる。また、液滴吐出ヘッド２０とステージ７との間に乾燥空気を送風する吹き出し部１２を有している。したがって、ヒータプレート１１により液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気が加熱されて相対湿度が上昇しても、乾燥空気が液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間に送風されるので、ヒータプレート１１により加熱された空気を冷却して除湿するような空調装置を付加せずとも、比較的容易に液滴吐出ヘッド２０の近傍の相対湿度を低下させることができる。よって、加熱された空気が液晶吐出装置１の非加熱部で冷却されて結露することを低減することができる。すなわち、結露による液晶吐出装置１の故障を低減すると共に結露した水滴が基板Ｗ１に落下する不具合を低減して、高粘度の液晶１０５を吐出することが可能な液晶表示装置１００の製造装置としての液晶吐出装置１を提供することができる。
【００７８】
（２）上記実施形態の液晶吐出装置１において、吹き出し部１２は、ステージ７に対向するように液滴吐出ヘッド２０に対して取り付けられ、吹き出し口１２ａが液滴吐出ヘッド２０を挟んでノズル２１の列と直交する方向の前後に設けられている。したがって、吹き出し口１２ａから乾燥空気をステージ７に向けて送風することにより、液滴吐出ヘッド２０とステージ７との相対移動に追従して液滴吐出ヘッド２０とステージ７に載置される基板Ｗ１との間に乾燥空気を送り込むことができる。また、該相対移動による空気の流れの影響を低減して液晶１０５を所望の位置に吐出することができる。
【００７９】
（３）上記実施形態の液晶吐出装置１において、複数の吹き出し口１２ａは、液滴吐出ヘッド２０を挟んでノズル２１の列と直交する方向に３列ずつ並列して設けられ、且つノズル２１の列に近づくほど密となるように設けられている。また、吹き出し部１２の周縁部には、スリット状の排気口１８ａが設けられている。したがって、吹き出し口１２ａから送風された乾燥空気は、液滴吐出ヘッド２０の側からステージ７に向かって送風され、吹き出し口１２ａが疎に設けられた吹き出し部１２の周縁部に拡がる。そして、排気口１８ａから周囲の空気と共に排出される。よって、液滴吐出ヘッド２０とステージ７との相対移動（主走査）に対応して主走査範囲に偏りなく乾燥空気を送り込むことができる。また、液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気を排気口１８ａから排気することによって、ヒータプレート１１によって加熱された空気の液晶吐出装置１内での滞留を防止することができる。
【００８０】
（４）上記実施形態の液晶吐出装置１において、吹き出し部１２は、ポリカーボネート、ガラスエポキシなどの耐熱性樹脂板あるいはセラミックス板などの断熱性を有する材料からなり、ヒータプレート１１を介してヘッドホルダ１０に取り付けられている。これにより、ヒータプレート１１からの放熱やヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０からの放熱が周囲の空気に伝わることを抑制することができる。すなわち、これらの放熱によって周囲の空気が加熱され、結露に結びつくことを低減することができる。
【００８１】
（５）上記実施形態の液晶吐出装置１を用いた液晶表示装置１００の製造方法において、素子基板１０１が複数区画形成されシール材１０４が塗布された基板Ｗ１に液晶１０５を吐出する吐出工程では、高粘度の液晶１０５が充填された液滴吐出ヘッド２０をヒータプレート１１により加熱して液晶１０５を低粘度化して吐出する。よって、高い精度で必要量の液晶１０５を吐出することができる。また、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間に乾燥空気が送風され、液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間に水分濃度が低い空気層が形成された状態で、液晶１０５が液滴吐出ヘッド２０から吐出される。よって、液滴吐出ヘッド２０とステージ７との相対移動の間に、ヒータプレート１１によって加熱された空気が液滴吐出ヘッド２０の近傍で冷却され結露することが低減され、吐出中に結露による水滴が基板Ｗ１に落下して液晶１０５の吐出ムラなどが発生することを低減することができる。すなわち、歩留まりよく液晶表示装置１００の製造が可能な液晶表示装置１００の製造方法を提供することができる。
【００８２】
上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
（変形例１）上記実施形態の液晶吐出装置１において、加熱手段としてのヒータプレート１１によって加熱された液滴吐出ヘッド２０の周囲の空気の相対湿度を低下させる手段は、乾燥空気を送風する乾燥空気送風手段に限定されない。例えば、空気中の水分を吸湿する吸湿素材を液滴吐出ヘッド２０が固定されるヘッドホルダ１０の周囲や装置の非加熱部を覆うように配設してもよい。このようにすれば、装置の非加熱部で加熱された空気が結露しても、結露した水滴を吸湿材料に吸収させることが可能である。
【００８３】
（変形例２）上記実施形態の液晶吐出装置１において、乾燥空気を送風する吹き出し部１２の配置は、液滴吐出ヘッド２０とステージ７との間に限定されない。例えば、液滴吐出ヘッド２０の上方に位置しＸ方向ガイド軸３に係合して液滴吐出ヘッド２０と共に移動可能な状態に配設してもよい。このようにすれば、ヒータプレート１１によって加熱された空気は、上昇して対流を起こしやすいので、液滴吐出ヘッド２０の上方から乾燥空気を送風する気流を発生させれば、加熱された空気を該気流にそって液晶吐出装置１の下方に排出することができる。すなわち、乾燥空気送風手段は、加熱手段を備えた吐出部としての液滴吐出ヘッド２０の近傍に乾燥空気を送風可能な状態に配設されていればよい。
【００８４】
（変形例３）上記実施形態の液晶吐出装置１において、必要量の液晶１０５を基板Ｗ１に吐出する吐出部は、液滴吐出ヘッド２０に限定されない。例えば、液晶表示装置１００が大型で吐出する液晶１０５の必要量が比較的に多ければ、ディスペンサ等の定量吐出装置を用いても精度よく必要量の液晶１０５を吐出することが可能である。
【００８５】
（変形例４）上記実施形態の液晶吐出装置１において、液滴吐出ヘッド２０を固定するヘッドホルダ１０とヒータプレート１１との間に取り付けられた断熱プレート１９は、必ずしも必要としない。例えば、ヘッドホルダ１０を断熱性を有する材料で構成すれば、断熱プレート１９を削除することが可能である。すなわち、部品点数を減らして液晶吐出装置１を構成することができる。
【００８６】
（変形例５）上記実施形態の液晶吐出装置１において、吹き出し部１２から送風する気体は、乾燥空気に限定されない。例えば、窒素等の不活性ガスを用いてもよい。
【００８７】
（変形例６）上記実施形態の液晶吐出装置１において、吹き出し部１２に設けられた排気口１８ａは、必ずしも必要としない。例えば、クリーンブース１６に設けられたヘッパユニット１７から送風する清浄された空気の流れを整流板等を用いて確実にステージ７側にダウンフローとなるようにすれば、ヒータプレート１１によって加熱された空気と液滴吐出ヘッド２０と基板Ｗ１との間に送風された乾燥空気とをダウンフローに沿って液晶吐出装置１の下部方向に排気することが可能である。また、これによって加熱された空気の液晶吐出装置１内での滞留を防ぐことが可能である。
【００８８】
（変形例７）液滴吐出ヘッド２０から吐出する電気光学材料は、液晶１０５に限定されない。吐出部としての液滴吐出ヘッド２０と、液滴吐出ヘッド２０を加熱するヒータプレート１１と、湿度低下手段としての乾燥空気送風手段とを備えた吐出装置を用いれば、高粘度の液状体である有機ＥＬ発光材料をバンクによってマトリクス状に区画された電極を有する基板上に必要量吐出して有機ＥＬ発光層を形成することが可能である。すなわち、このようにして有機ＥＬ発光層が形成された有機ＥＬ表示装置を製造することができる吐出装置および吐出方法を提供することができる。
【００８９】
（変形例８）液滴吐出ヘッド２０から吐出する液状体は、電気光学材料に限定されない。例えば、配向膜形成材料と溶媒とを含む液状体を液滴吐出ヘッド２０から吐出すれば、液晶表示装置１００の一対の基板１０１，１０２のそれぞれに配向膜１０７，１０８を形成することも可能である。この他にも上記実施形態の吐出装置および吐出方法を適用可能な高粘度の液状体としては、屈折率分散型の光学レンズを形成するためのＵＶインクや潤滑油などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】液晶吐出装置の構造を示す概略斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドを示す概略斜視図。
【図３】液晶吐出装置の要部構造を示す概略図。
【図４】吹き出し部の構造を示す概略斜視図。
【図５】液晶吐出装置の電気的および機械的な構成を示すブロック図。
【図６】液晶表示装置の構造を示す概略図。
【図７】液晶表示パネルが区画形成されたマザー基板を示す概略図。
【図８】液晶表示装置の製造方法を示すフローチャート。
【図９】（ａ）〜（ｄ）は、液晶表示装置の製造方法を示す概略図。
【符号の説明】
【００９１】
１…吐出装置および電気光学装置の製造装置としての液晶吐出装置、２…移動手段としてのＸ軸駆動モータ、３…移動手段としてのＸ方向ガイド軸、４…移動手段としてのＹ方向ガイド軸、５…移動手段としてのＹ軸駆動モータ、７…載置台としてのステージ、１１…加熱手段としてのヒータプレート、１２…湿度低下手段および乾燥空気送風手段としての吹き出し部、１２ａ…吹き出し口、１８ａ…排気口、２０…吐出部としての液滴吐出ヘッド、２１…ノズル、１００…電気光学装置としての液晶表示装置、１０１…基板としての素子基板、１０２…基板としての対向基板、１０５…液状体および電気光学材料としての液晶、Ｗ，Ｗ１…ワークとしての基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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