(57)【要約】【課題】  Ｘ線測定光学系と被測定物との位置関係を調整する際に、ホイール付マウスを用いる簡単な操作によって、所望の移動動作で所望の方向に移動させることができるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】  Ｘ線検出器１２とＸ線源１１とを有するＸ線測定光学系１３と、Ｘ線検出器１２とＸ線源１１との間に被測定物Ｓを配置するステージ１４と、Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整する、少なくとも二つの移動動作を実行する駆動部１５と、少なくとも一つの押圧操作可能なクリックボタンと少なくとも一つの回転操作可能なホイールボタンとを有するホイール付マウス２３とを備駆動部１５に、ホイールボタンを回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を選択させ、さらに、一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向に移動させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段３２を備える。【選択図】図１
2007192776.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器と当該Ｘ線検出器に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源とを有するＸ線測定光学系と、
前記Ｘ線検出器と前記Ｘ線源との間に被測定物を配置するステージと、
前記Ｘ線測定光学系と前記被測定物との位置関係を調整する、少なくとも二つの移動動作を実行する駆動部と、
少なくとも一つの押圧操作可能なクリックボタンと少なくとも一つの回転操作可能なホイールボタンとを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置であって、
前記駆動部に、一のホイールボタンを回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を選択させ、さらに、一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向に移動させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
少なくとも二つの押圧操作可能なクリックボタンと少なくとも一つの回転操作可能なホイールボタンとを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置であって、
前記駆動部に、一のホイールボタンを回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を選択させ、さらに、一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向に移動させ、かつ、他の一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向とは逆方向に移動させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記移動動作は、ステージ面に平行なＸ方向へのＸ並進移動動作、ステージ面に平行でありかつ当該Ｘ方向に垂直なＹ方向へのＹ並進移動動作、ステージ面に平行でありかつ当該Ｘ方向及びＹ方向とは異なるＷ方向へのＷ並進移動動作、ステージ面に平行でありかつ当該Ｘ方向、Ｙ方向及びＷ方向とは異なるＶ方向へのＶ並進移動動作、当該Ｘ方向、Ｙ方向、Ｗ方向及びＶ方向に垂直なＺ方向へのＺ並進移動動作、当該Ｚ方向を回転軸とする回転移動動作、又は、ステージ面に対して透視用Ｘ線を照射する角度を傾斜させる傾斜移動動作であることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
モニタ画面と、
前記モニタ画面に前記選択された移動動作の種類の画像表示を行う移動動作表示制御手段とを備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記少なくとも二つの移動動作は、それぞれ順番を付され、
前記一のホイールボタンを所定の方向に回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を順番に移行させ、かつ、当該一のホイールボタンを所定の方向とは逆方向に回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を逆の順番に移行させることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記モニタ画面に、前記ホイール付マウスを操作することによって移動するポインタの画像表示を行うポインタ表示制御手段と、
前記ポインタが前記モニタ画面の所定の範囲にあるときには、前記駆動信号発生手段が駆動信号を発生することを可能とし、一方、前記ポインタが前記モニタ画面の所定の範囲にないときには、前記駆動信号発生手段は駆動信号を発生することを不可能とする駆動信号作成制御手段とを備えることを特徴とする請求項４又は５に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関し、特に工業製品等の透視検査又はＣＴ検査を行うためのＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検査装置は、アルミ鋳物の内部欠陥や半導体基板の部品接合状態等を非破壊検査するために使用される。一般的に、Ｘ線検査装置には、Ｘ線源と、当該Ｘ線源に対向するように、イメージインテンシファイア（以下、ＩＩと略す）とＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器とが配置されている。なお、最近では、ＩＩとＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器に代えて、フラットパネルＸ線検出器を使用したものも利用されている。
このようなＸ線検査装置は、Ｘ線源とＸ線検出器との間に被測定物を載置するステージを備える。そして、ステージの移動等で被測定物の位置を調整しながら、透視Ｘ線像を撮影している。また、Ｘ線検出器、又は、Ｘ線源及びＸ線検出器の傾動等で、ステージ面に対して透視用Ｘ線を照射する角度を傾斜させながら、斜め方向からの透視Ｘ線像を撮影しているものもある。このようにＸ線検査装置による非破壊検査では、様々な位置の被測定物の透視Ｘ線像を撮影している。
【０００３】
そして、ステージの移動、Ｘ線検出器、又は、Ｘ線源及びＸ線検出器の傾動等の複数の移動動作を行う駆動部の制御は、種々の駆動信号が与えられることによって実行される。このとき、駆動信号発生手段は、入力装置の種々の操作によって種々の駆動信号を発生することになる。
【０００４】
種々の駆動信号を発生させるための入力装置としては、例えば、ジョイスティックが挙げられる。図４は、ジョイスティック５０の一例の構成を示す斜視図である。直方体形状の本体５３の上面の中央に、棒状のスティック５１が平面視すると四方向に傾斜可能に設けられている。さらに、本体５３の上面には、４個のボタン５２ａ〜５２ｄが設けられている。このようなジョイスティック５０では、スティック５１を四方向のうちのいずれか一方向に傾斜することにより、所定の駆動信号を発生させ、ステージを四方向のうちのいずれか一方向に移動させることができる。さらに、ボタン５２ａを押圧操作することにより、所定の駆動信号を発生させ、ステージを所定の方向に回転移動させることができ、ボタン５２ｂを押圧操作することにより、所定の駆動信号を発生させ、ステージを所定の方向とは逆方向に回転移動させることができ、ボタン５２ｃを押圧操作することにより、所定の駆動信号を発生させ、ステージを上昇移動させることができ、かつ、ボタン５２ｄを押圧操作することにより、所定の駆動信号を発生させ、ステージを下降移動させることができる。
【０００５】
一方、最近のＸ線検査装置は、コンピュータを有するものが多い。このようなＸ線検査装置は、モニタ画面に透視Ｘ線画像の画像表示を行ったり、マウス等の入力装置により複数の移動動作を実行する駆動部を制御したり、ハードディスク等の記憶媒体に透視Ｘ線画像や駆動部の制御に関する様々なデータを保存したりしている。また、コンピュータへの入力装置に用いられるマウスとしては、種々のタイプが提案されている。例えば、図５に示すように、左右一対のクッリクボタン２３ａ、２３ｃに加えて、回転可能とされたホイールボタン２３ｂが設けられ、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃについてのクリック操作（極めて短時間の押圧操作）もしくは押圧操作のみならず、ホイールボタン２３ｂについての回転操作もしくは押圧操作によっても、コンピュータに対する入力動作が行われるホイール付マウス２３が実用に供されている。
【０００６】
このようなコンピュータを有するＸ線検査装置による複数の移動動作を実行する駆動部の制御としては、例えば、モニタ画面に画像表示されたツールバーと称される表示区分（以下、マウス用操作画面ともいう）を利用する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
図６は、コンピュータを有するＸ線検査装置により画像表示されたモニタ画面を示す図である。モニタ画面５４には、透視Ｘ線画像５５とマウス用操作画面５６とポインタ５８とが表示されている。さらに、マウス用操作画面５６には、複数のアイコン５７が表示されている。複数のアイコン５７は、種々の駆動信号を発生させるために夫々対応するものである。
そして、モニタ画面５４上をホイール付マウス２３の操作に応じて移動するポインタ５８を、複数のアイコンから選択される一のアイコンに合わせて、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃをクリック操作することにより、ステージを四方向に並進移動させたり、ステージを回転移動させたり、ステージを昇降移動させたりすることができる。
【特許文献１】特開２００３−１１４２０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年、Ｘ線検査装置では、ステージを四方向に並進移動させたり、ステージを回転移動させたり、ステージを昇降移動させたりする移動動作だけでなく、さらに独立したユニット等を搭載することにより、移動動作の種類数を増加させてきている。そのために、使用者が多様な移動動作を操作しなければならなくなってきている。
【０００８】
このような現状において、入力装置に用いられるジョイスティックのボタンの数を単に増やしても、Ｘ線検査装置の操作性がよくなるとは考えられない。しかも、最近のＸ線検査装置は、コンピュータを有するものが多いので、入力装置をマウスからジョイスティックに持ち替えて操作することは煩わしかった。
【０００９】
また、モニタ画面に画像表示されたマウス用操作画面を利用する方法がとられる場合では、マウス用操作画面に表示される複数のアイコンから選択すべき駆動信号を発生させることになる所望のアイコンを探して、マウスを操作することによりポインタを所望のアイコンに合わせて、クリックボタンをクリック操作することになる。つまり、移動動作の種類数を増加させると、アイコンの数を増やすことになる。そのために、使用者の混乱も招きかねないうえに、マウス用操作画面の画像面積も大きくなってしまう。
そこで、本発明は、Ｘ線測定光学系と被測定物との位置関係を調整する際に、ホイール付マウスを用いる簡単な操作によって、所望の移動動作で所望の方向に移動させることができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち、本発明のＸ線検査装置は、透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器と当該Ｘ線検出器に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源とを有するＸ線測定光学系と、前記Ｘ線検出器と前記Ｘ線源との間に被測定物を配置するステージと、前記Ｘ線測定光学系と前記被測定物との位置関係を調整する、少なくとも二つの移動動作を実行する駆動部と、少なくとも一つの押圧操作可能なクリックボタンと少なくとも一つの回転操作可能なホイールボタンとを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置であって、前記駆動部に、一のホイールボタンを回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を選択させ、さらに、一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向に移動させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えるようにしている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のＸ線検査装置によれば、選択対象となる移動動作の種類数にかかわらず、ホイール付マウスが有するホイールボタンを回転操作することによって、煩わしさを伴わず容易に、複数の移動動作のうちから所望の移動動作を選択することができる。さらに、ホイール付マウスが有するクリックボタンを押圧操作することによって、煩わしさを伴わず容易に、所望の移動動作で所定の方向に移動させることができる。また、入力装置をマウスからジョイスティックに持ち替えて操作することもなく、Ｘ線測定光学系と被測定物との位置関係を調整することができる。
【００１２】
（その他の課題を解決するための手段および効果）
また、本発明のＸ線検査装置においては、少なくとも二つの押圧操作可能なクリックボタンと少なくとも一つの回転操作可能なホイールボタンとを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置であって、前記駆動部に、一のホイールボタンを回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を選択させ、さらに、一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向に移動させ、かつ、他の一のクリックボタンを押圧操作することによって、選択された移動動作で所定の方向とは逆方向に移動させる駆動信号を発生する駆動信号発生手段を備えるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、一のクリックボタンもしくは他の一のクリックボタンを押圧操作することによって、所望の移動動作で所定の方向にも所定の方向とは逆方向にも移動させることができるので、選択対象となる移動動作の種類数を減らすことができる。よって、複数の移動動作のうちから所望の移動動作を素早く選択することができる。
【００１３】
また、本発明のＸ線検査装置においては、前記移動動作は、ステージ面に平行なＸ方向へのＸ並進移動動作、ステージ面に平行でありかつ当該Ｘ方向に垂直なＹ方向へのＹ並進移動動作、ステージ面に平行でありかつ当該Ｘ方向及びＹ方向とは異なるＷ方向へのＷ並進移動動作、ステージ面に平行でありかつ当該Ｘ方向、Ｙ方向及びＷ方向とは異なるＶ方向へのＶ並進移動動作、当該Ｘ方向、Ｙ方向、Ｗ方向及びＶ方向に垂直なＺ方向へのＺ並進移動動作、当該Ｚ方向を回転軸とする回転移動動作、又は、ステージ面に対して透視用Ｘ線を照射する角度を傾斜させる傾斜移動動作であるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｚ並進移動動作、回転移動動作、傾動移動動作のような移動動作だけでなく、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作のような移動動作を追加しているので、７種類の移動動作を実行させることで、Ｘ線測定光学系と被測定物との位置関係を調整することができる。
ここで、Ｗ方向はＸ方向と反時計回りに４５度ずれているとともに、Ｖ方向はＸ方向と反時計回りに１３５度ずれていることが好ましいが、Ｘ方向と任意の角度でずれていてもよい。例えば、Ｗ方向はＸ方向と反時計回りに３０度ずれているとともに、Ｖ方向はＸ方向と反時計回りに１５０度ずれているものが挙げられる。
【００１４】
また、本発明のＸ線検査装置においては、モニタ画面と、前記モニタ画面に前記選択された移動動作の種類の画像表示を行う移動動作表示制御手段とを備えるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、ホイールボタンを回転操作することによって、複数の移動動作のうちから所望の移動動作を選択する際に、モニタ画面に移動動作の種類が画像表示されるので、容易に移動動作の種類を認識することができる。
【００１５】
そして、本発明のＸ線検査装置においては、前記少なくとも二つの移動動作は、それぞれ順番を付され、前記一のホイールボタンを所定の方向に回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を順番に移行させ、かつ、当該一のホイールボタンを所定の方向とは逆方向に回転操作することによって、少なくとも二つの移動動作から一つの移動動作を逆の順番に移行させるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、複数の移動動作のうちから所望の移動動作を選択する際に、ホイールボタンを所定の方向もしくは所定の方向とは逆の方向に回転操作することによって、順番にも逆の順番にも移動動作の種類を移行させることを可能とするので、複数の移動動作のうちから所望の移動動作を素早く選択することができる。
【００１６】
さらに、本発明のＸ線検査装置においては、前記モニタ画面に、前記ホイール付マウスを操作することによって移動するポインタの画像表示を行うポインタ表示制御手段と、前記ポインタが前記モニタ画面の所定の範囲にあるときには、前記駆動信号発生手段が駆動信号を発生することを可能とし、一方、前記ポインタが前記モニタ画面の所定の範囲にないときには、前記駆動信号発生手段は駆動信号を発生することを不可能とする駆動信号作成制御手段とを備えるようにしてもよい。
このような本発明のＸ線検査装置によれば、駆動信号が発生することに制限を与えることができるので、不用意な操作による誤動作をなくすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。Ｘ線検査装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とを有するＸ線測定光学系１３と、被測定物を載置するステージ１４と、駆動部１５と、Ｘ線検査装置１全体の制御を行う制御系（コンピュータ）２０とにより構成される。
【００１９】
Ｘ線測定光学系１３は、Ｘ線検出器１２とＸ線発生装置１１とを有する。Ｘ線検出器１２は、ＩＩと当該ＩＩの裏面に一体的に取り付けられたＣＣＤカメラとを有する。一方、Ｘ線発生装置１１は、Ｘ線源であり、ＩＩの表面に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線管を有する。
よって、ＩＩが透視用Ｘ線を検出することにより蛍光像を形成することになる。さらに、この蛍光像をＣＣＤカメラで撮影することによって、透視用Ｘ線の映像信号がコンピュータ２０に出力される。
なお、Ｘ線検出器１２は、駆動部１５のうちのＸ線検出器移動機構による傾動移動動作で、ステージ１４面に透視用Ｘ線を照射する角度を傾斜させるように、移動可能に設けられている。また、Ｘ線発生装置１１は、移動したＩＩの表面に向けて透視用Ｘ線を照射することを可能とするように形成されている。
【００２０】
ステージ１４は、板状体である。そして、ステージ１４は、Ｘ線検出器１２とＸ線発生装置１１との間に被測定物Ｓを載置する。
なお、ステージ１４は、駆動部１５のうちのステージ移動機構によるＸ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作で、図２に示すように、ステージ１４面に平行な八方向（ＸＹＷＶ方向）に移動したり、ステージ１４面に垂直な方向（Ｚ方向）を軸として回転移動（α方向）したり、ステージ１４面に垂直な方向（Ｚ方向）に昇降移動したりするように、移動可能に設けられている。なお、Ｗ方向はＸ方向と反時計回りに４５度ずれており、Ｙ方向はＸ方向と反時計回りに９０度ずれており、Ｖ方向はＸ方向と反時計回りに１３５度ずれている。
【００２１】
駆動部１５は、Ｘ線検出器移動機構とステージ移動機構とを有する。これにより、傾動移動動作、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作の７種類の移動動作を実行することで、Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整する。ここで、傾動移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作は、例えば、それぞれモータを用いて実行される。また、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作及びＶ並進移動動作は、例えば、２個のモータを用いて実行される。つまり、２個のモータを用いることにより、ＸＹＷＶ方向にステージを移動させる。そして、それぞれのモータの回転量及び回転方向により、移動距離及び移動方向が決定される。
【００２２】
コンピュータ２０においては、Ｘ線画像表示制御手段３１、駆動信号発生手段３２、駆動信号作成制御手段３３、ポインタ表示制御手段３４、及び、移動動作表示制御手段３５の処理手段２１を備え、さらに、モニタ画面２４ａを有する表示装置２４、並びに、入力装置であるキーボード２２及びホイール付マウス２３が連結されている。
キーボード２２及びホイール付マウス２３は、それらの夫々についての種々の操作によって、コンピュータ２０に対する入力動作が行われるものである。
【００２３】
図３は、本発明に係るＸ線検査装置により画像表示されたモニタ画面２４ａを示す図である。モニタ画面２４ａには、透視Ｘ線画像２４ｂとポインタ２４ｃと移動動作の種類２４ｄとが表示されている。
【００２４】
ホイール付マウス２３は、図５を用いて説明したものと同様のものである。つまり、ホイール付マウス２３では、左クリックボタン２３ａ及び右クリックボタン２３ｃと、ホイールボタン２３ｂとが設けられている。左クリックボタン２３ａ及び右クリックボタン２３ｃの夫々に対しては、クリック操作と押圧操作とが行われる。ホイールボタン２３ｂは、破線により示される軸Ｃを有していて、軸Ｃを回転中心として矢印Ａの方向（Ａ方向）及び矢印Ｂの方向（Ｂ方向）のいずれにも回転可能とされる。よって、ホイールボタン２３ｄに対しては、Ａ方向及びＢ方向の回転操作と押圧操作とが行われる。
また、ホイール付マウス２３を机に対して移動させる操作をすることによって、モニタ画面２４ａに画像表示されたポインタ４ｃを移動することができる。
【００２５】
ポインタ表示制御手段３４は、モニタ画面２４ａにポインタ２４ｃの画像表示を行うとともに、ホイール付マウス２３から出力された入力信号に基づいて、モニタ画面２４ａに画像表示されたポインタ２４ｃを移動する制御を行うものである。
移動動作表示制御手段３５は、モニタ画面２４ａの一部に選択されている移動動作の種類２４ｄの画像表示を行うとともに、ホイール付マウス２３の種々の操作によって、移動動作の種類２４ｄを移行させる画像表示を行う制御を行うものである。
Ｘ線画像表示制御手段３１は、Ｘ線検出器１２から出力された映像信号に基づいて、モニタ画面２４ａの一部に透視Ｘ線画像２４ｂの画像表示を行う制御を行うものである。
【００２６】
駆動信号発生手段３２は、ホイール付マウス２３の種々の操作によって、７種類の移動動作から一の移動動作を選択するとともに、選択されている移動動作を実行させる駆動信号を駆動部１５に発生する制御を行うものである。
駆動信号作成制御手段３３は、ポインタ２４ｃがモニタ画面２４ａの透視Ｘ線画像２４ｂ上にあるときには、駆動信号発生手段３２が種々の駆動信号を発生することを可能とし、一方、ポインタ２４ｃがモニタ画面２４ａの透視Ｘ線画像２４ｂ上にないときには、駆動信号発生手段３２が種々の駆動信号を発生することを不可能とする制御を行うものである。
【００２７】
ここで、本発明に係るＸ線検査装置での、Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整する方法について説明する。本発明に係るＸ線検査装置では、上述したように、傾動移動動作、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作の７種類の移動動作を実行できる。
【００２８】
（１）移動動作の実行の開始もしくは終了方法
Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整する操作を開始するときには、ホイール付マウス２３を操作することにより、モニタ画面２４ａの透視Ｘ線画像２４ｂ上に、ポインタ２４ｃを移動させる。一方、Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整する操作を終了するときには、ホイール付マウス２３を操作することにより、モニタ画面２４ａの透視Ｘ線画像２４ｂ外に、ポインタ２４ｃを移動させる。
【００２９】
（２）移動動作の選択方法
ホイール付マウス２３のホイールボタン２３ｂをＡ方向もしくはＢ方向の回転操作することによって、７種類の移動動作から一の移動動作を選択する。このとき、ホイールボタン２３ｂをＡ方向に回転操作することで、傾動移動動作→Ｘ並進移動動作→Ｙ並進移動動作→Ｗ並進移動動作→Ｖ並進移動動作→Ｚ並進移動動作→回転移動動作→傾動移動動作→・・・という順番をもって、循環的に移行させるか、又は、ホイールボタン２３ｂをＢ方向に回転操作することで、傾動移動動作→回転移動動作→Ｚ並進移動動作→Ｖ並進移動動作→Ｗ並進移動動作→Ｙ並進移動動作→Ｘ並進移動動作→傾動移動動作→・・・という逆の順番をもって、循環的に移行させる。そして、ホイールボタン２３ｂのＡ方向もしくはＢ方向の回転操作を所望の移動動作の位置で停止する。
【００３０】
なお、モニタ画面２４ａの移動動作の種類２４ｄには、選択された移動動作の種類が画像表示される。このとき、移動動作の種類２４ｄには、ホイールボタン２３ｂをＡ方向に回転操作した際に、傾動移動動作→Ｘ並進移動動作→Ｙ並進移動動作→Ｗ並進移動動作→Ｖ並進移動動作→Ｚ並進移動動作→回転移動動作→傾動移動動作→・・・という順番をもって、循環的に移行させるか、又は、ホイールボタン２３ｂをＢ方向に回転操作した際に、傾動移動動作→回転移動動作→Ｚ並進移動動作→Ｖ並進移動動作→Ｗ並進移動動作→Ｙ並進移動動作→Ｘ並進移動動作→傾動移動動作→・・・という逆の順番をもって、循環的に移行させる画像表示が行われる。つまり、７種類の移動動作から一の移動動作を選択する際に、モニタ画面２４ａで移動動作の種類の移行を認識できるように、移動動作の種類が画像表示される。よって、所望の移動動作の画像表示に移行したときに、ホイールボタン２３ｂのＡ方向もしくはＢ方向の回転操作を停止することになる。
【００３１】
（３）移動動作の操作方法
傾動移動動作、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作のうちから一の移動動作を選択した場合において、順にそれぞれの移動動作の操作方法について説明する。
【００３２】
（３−１）傾動移動動作を選択した場合
ホイール付マウス２３の左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、傾動移動動作でＸ線検出器１２を移動させる。このとき、右クリックボタン２３ｃを押圧操作することで、Ｘ線発生装置１１を中心にしてＸ方向の正方向にＸ線検出器１２を移動させる。一方、左クリックボタン２３ａを押圧操作することで、Ｘ線発生装置１１を中心にしてＸ方向の負方向にＸ線検出器１２を移動させる。そして、Ｘ線検出器１２が所望の位置に来たときに、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃの押圧操作を止める。
【００３３】
（３−２）Ｘ並進移動動作を選択した場合
ホイール付マウス２３の左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、Ｘ並進移動動作でステージ１４を移動させる。このとき、右クリックボタン２３ｃを押圧操作することで、Ｘ方向の正方向にステージ１４を移動させる。一方、左クリックボタン２３ａを押圧操作することで、Ｘ方向の負方向にステージ１４を移動させる。そして、ステージ１４が所望の位置に来たときに、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃの押圧操作を止める。
【００３４】
（３−３）Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、又は、Ｖ並進移動動作を選択した場合
ホイール付マウス２３の左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作又はＶ並進移動動作でステージ１４を移動させる。このとき、Ｘ並進移動動作を選択した場合と同様に、右クリックボタン２３ｃを押圧操作することで、Ｙ方向、Ｗ方向又はＶ方向の正方向にステージ１４を移動させる。一方、左クリックボタン２３ａを押圧操作することで、Ｙ方向、Ｗ方向又はＶ方向の負方向にステージ１４を移動させる。そして、ステージ１４が所望の位置に来たときに、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃの押圧操作を止める。
【００３５】
（３−４）Ｚ並進移動動作を選択した場合
ホイール付マウス２３の左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、Ｚ並進移動動作でステージ１４を移動させる。このとき、右クリックボタン２３ｃを押圧操作することで、Ｚ方向の正方向にステージ１４を移動させる。一方、左クリックボタン２３ａを押圧操作することで、Ｚ方向の負方向にステージ１４を移動させる。そして、ステージ１４が所望の位置に来たときに、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃの押圧操作を止める。
【００３６】
（３−５）回転移動動作を選択した場合
ホイール付マウス２３の左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、回転移動動作でステージ１４を移動させる。このとき、右クリックボタン２３ｃを押圧操作することで、Ｚ方向を中心にして右回転（α方向）でステージ１４を回転させる。一方、左クリックボタン２３ａを押圧操作することで、Ｚ方向を中心にして左回転でステージ１４を回転させる。そして、ステージ１４が所望の角度に回転したときに、左クリックボタン２３ａもしくは右クリックボタン２３ｃの押圧操作を止める。
【００３７】
したがって、Ｘ線検査装置１によれば、ホイールボタン２３ｂを回転操作することによって、煩わしさを伴わず容易に、７週類の移動動作のうちから所望の移動動作を選択することができる。さらに、煩わしさを伴わず容易に、右クリックボタン２３ａを押圧操作することによって、所望の移動動作で正方向に移動させ、かつ、左クリックボタン２３ｃを押圧操作することによって、所望の移動動作で負方向に移動させることができる。また、ホイール付マウス２３からジョイスティックに持ち替えて操作することもなく、Ｘ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を調整することができる。
【００３８】
（別の実施形態）
上記実施形態では、二つの押圧操作可能なクリックボタンと一つの回転操作可能なホイールボタンを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置としたが、一つの押圧操作可能なクリックボタンと一つの回転操作可能なホイールボタンを有するホイール付マウスとを備えるＸ線検査装置としてもよい。
そして、上記実施形態では、移動動作として、傾動移動動作、Ｘ並進移動動作、Ｙ並進移動動作、Ｗ並進移動動作、Ｖ並進移動動作、Ｚ並進移動動作及び回転移動動作で、正負方向を設定したが、別の実施形態では、移動動作として、正方向の傾動移動動作、負方向の傾動移動動作、正方向のＸ並進移動動作、負方向のＸ並進移動動作、正方向のＹ並進移動動作、負方向のＹ並進移動動作、正方向のＶ並進移動動作、負方向のＶ並進移動動作、正方向のＷ並進移動動作、負方向のＷ並進移動動作、正方向のＺ並進移動動作、負方向のＺ並進移動動作、正方向の回転移動動作、負方向の回転移動動作で、一方向のみを設定することになる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、ホイール付マウスを用いて、Ｘ線測定光学系と被測定物との位置関係を調整するＸ線検査装置に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】ステージの移動方向について説明するための図である。
【図３】本発明に係るＸ線検査装置により表示されたモニタ画面を示す図である。
【図４】従来からの入力装置の一つであるジョイスティックの一例の構成を示す斜視図である。
【図５】入力装置の一つであるホイール付マウスの一例の構成を示す平面図である。
【図６】従来からのＸ線検査装置により表示されたモニタ画面を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  ：  Ｘ線検査装置
１１：  Ｘ線発生装置（Ｘ線源）
１２：  Ｘ線検出器
１３：  Ｘ線測定光学系
１４：  ステージ
１５：  駆動部
２０：  制御系
２３：  ホイール付マウス
２４：  表示装置
２４ａ：  モニタ画面
２４ｂ：  透視Ｘ線画像
３１：  Ｘ線画像表示制御手段
３２：  駆動信号発生手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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