(57)【要約】【課題】  同一円周上に複数の電極を有する固定子と、固定子上に回転可能に配置され、一面に抵抗体層を有する回転子とを備えた静電モータにおいて、ファインピッチ化を図る。【解決手段】  固定子１の基板２の上面（回転子側の面）には複数の電極４が基板２の中心を中心として放射状に設けられている。電極４は３相配線されている。この場合、基板２の上面のみで３相配線しようとすると、配線が交差してしまう。そこで、フレキシブル配線基板３１のリング状配線基板部３２に設けられた接続パッド３５、３６、３７（配線）を、基板２の電極４に突起電極７、８、９を介して接続すると、その電気的接続関係をフレキシブル配線基板３１の配線で調整することができ、ひいては基板２にスルーホール導通部を有する多層配線構造とする場合と比較して、ファインピッチ化を図ることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一側面側に、少なくとも３つ以上の電極群を構成する各電極が順番に且つ繰り返し同一円周上に配列された固定子と、前記固定子の前記一側面に回転可能に設けられ、前記各電極に対向する抵抗体層を有する回転子と、を備えた静電モータであって、
前記固定子の一側面に対向する面に前記各電極群のうち少なくとも１つ電極群の各電極に対向する複数の接続パッドおよび前記各接続パッドを接続する接続用配線を有し、前記回転子に対応する領域が切り欠かれたフレキシブル配線基板を、前記固定子に対向して配置し、前記フレキシブル配線基板の前記各接続パッドを、対応する前記固定子の前記各電極群のうち少なくとも１つ電極群の前記各電極に導通手段を介して電気的に接続したことを特徴とする静電モータ。
【請求項２】
請求項１に記載の発明において、前記少なくとも３つ以上の電極群は３つであり、前記各電極群のうち１つの電極群が前記導通手段を介して前記フレキシブル配線基板により接続されていることを特徴とする静電モータ。
【請求項３】
請求項１に記載の発明において、前記少なくとも３つ以上の電極群は３つであり、前記各電極群のうち２つの電極群が前記導通手段を介して前記フレキシブル配線基板により接続されていることを特徴とする静電モータ。
【請求項４】
請求項１に記載の発明において、前記電極群のうち前記導通手段を介して前記フレキシブル配線基板に接続された電極群を除いた残りの電極群の前記各電極が前記固定子上の給電用配線により接続されていることを特徴とする静電モータ。
【請求項５】
請求項４に記載の発明において、前記フレキシブル配線基板は前記固定子の外側に突出する外部接続用配線基板部を有することを特徴とする静電モータ。
【請求項６】
請求項１に記載の発明において、前記複数の電極は前記固定子の中心を中心として放射状に配置されていることを特徴とする静電モータ。
【請求項７】
請求項１に記載の発明において、前記導通手段は、前記固定子上に設けられた突起電極と第１の接着層を介して行われていることを特徴とする静電モータ。
【請求項８】
請求項１に記載の発明において、前記導通手段は、導電性粒子が混入された異方性導電接着剤であることを特徴とする静電モータ。
【請求項９】
請求項１に記載の発明において、前記フレキシブル配線基板の前記固定子と接着されている面と反対側の面に、カバー基板が第２の接着層を介して接着されていることを特徴とする静電モータ。
【請求項１０】
請求項９に記載の発明において、前記回転子の中心部に軸が取り付けられ、前記軸は前記カバー基板と前記固定子とのうちの少なくとも一方の中心部を回転可能に挿通されてその外側に突出されていることを特徴とする静電モータ。
【請求項１１】
一側面側に、少なくとも３つ以上の電極群を構成する各電極が順番に且つ繰り返し同一円周上に配列された固定子と、前記固定子の前記一側面に回転可能に設けられ、前記各電極に対向する抵抗体層を有する回転子と、を備えた静電モータの製造方法であって、
前記固定子の一側面に対向する面に前記各電極群のうち少なくとも１つ電極群の各電極に対向する複数の接続パッドおよび前記各接続パッドを接続する接続用配線を有し、前記回転子に対応する領域が切り欠かれたフレキシブル配線基板を準備する工程と、前記固定子に対向して配置し、前記フレキシブル配線基板の前記各接続パッドを、対応する前記固定子の前記各電極群のうち少なくとも１つ電極群の前記各電極に導通手段を介して電気的に接続させる接続工程と、を有することを特徴とする静電モータの製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の発明において、前記導通手段は、前記接着層の配置領域において前記固定子上に設けられた突起電極を含むことを特徴とする静電モータの製造方法。
【請求項１３】
請求項１１または１２に記載の発明において、前記接続工程は熱圧着により行われることを特徴とする静電モータの製造方法。
【請求項１４】
請求項１１または１２に記載の発明において、前記接続工程は紫外線硬化により行われることを特徴とする静電モータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は静電モータおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の静電モータには、ガラス等の非導電性材料からなる固定子基板上に複数の電極が、固定子基板の中心部に設けられた軸を中心にして放射状に設けられ、軸にガラス等の誘電材料からなる円板状の回転子が回転可能に取り付けられたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記のような構造の静電モータにおいて、回転子として、円形状のベースフィルムの一面に抵抗体層を設けたものが考えられている。この場合、固定子の電極を３相配線とし、固定子の電極と回転子の抵抗体層との間に発生するクーロン引力およびクーロン反発力により、回転子を回転させることになる。
【０００４】
ところで、固定子の電極を３相配線とする場合、同一平面では給電用配線が交差してしまう。そこで、例えば、第１工程において、第１相〜第３相の電極を形成し、且つ、電極の一方側に第１相の給電用配線を第１相の電極に接続させて形成するとともに、電極の他方側に第２相の給電用配線を第２相の電極に接続させて形成し、第２工程において、第２相の給電用配線を絶縁膜で覆い、第３工程において、絶縁膜の外側に第３相の給電用配線を第３相の電極に接続させて形成する方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−１３６９８１号公報（第４図）
【特許文献２】特開２００１−２５１８７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような静電モータの場合には、固定子基板上に複数の電極を固定子基板の中心を中心にして放射状に設けるため、例えば、電極の配置領域の内側に第１相の給電用配線をリング状に配置し、電極配置領域の外側に第２相および第３相の給電用配線をリング状に配置すると、第１相および第２相の給電用配線を固定子基板上において第３相の給電用配線の外側に引き回すことができない。そこで、固定子基板を多層配線構造とすることが考えられるが、スルーホール導通部を形成するため、ファインピッチ化に限界があるという問題がある。
【０００７】
このような構造の静電モータにおいて、（同じ駆動力を得られるならば、駆動電圧を下げることが、電力的に有利であるが、）駆動電圧を下げるためには、（逆に、同じ駆動電圧ならば、駆動力を上げるためには、）固定子の電極間隔を狭めるファインピッチ化が、有効であることが知られている。また、固定子電極のファインピッチ化は、位置決め分解能が上がるため、なめらかな回転や精密な位置決め移動を実現できるという観点からも望ましい。
【０００８】
そこで、この発明は、ファインピッチ化を図ることができる静電モータおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、この発明の静電モータは、一側面側に、少なくとも３つ以上の電極群を構成する各電極が順番に且つ繰り返し同一円周上に配列された固定子と、前記固定子の前記一側面に回転可能に設けられ、前記各電極に対向する抵抗体層を有する回転子と、を備えた静電モータであって、前記固定子の一側面に対向する面に前記各電極群のうち少なくとも１つ電極群の各電極に対向する複数の接続パッドおよび前記各接続パッドを接続する接続用配線を有し、前記回転子に対応する領域が切り欠かれたフレキシブル配線基板を、前記固定子に対向して配置し、前記フレキシブル配線基板の前記各接続パッドを、対応する前記固定子の前記各電極群のうち少なくとも１つ電極群の前記各電極に導通手段を介して電気的に接続したことを特徴とするものである。
また、この発明の静電モータの製造方法は、一側面側に、少なくとも３つ以上の電極群を構成する各電極が順番に且つ繰り返し同一円周上に配列された固定子と、前記固定子の前記一側面に回転可能に設けられ、前記各電極に対向する抵抗体層を有する回転子と、を備えた静電モータの製造方法であって、前記固定子の一側面に対向する面に前記各電極群のうち少なくとも１つ電極群の各電極に対向する複数の接続パッドおよび前記各接続パッドを接続する接続用配線を有し、前記回転子に対応する領域が切り欠かれたフレキシブル配線基板を準備する工程と、前記固定子に対向して配置し、前記フレキシブル配線基板の前記各接続パッドを、対応する前記固定子の前記各電極群のうち少なくとも１つ電極群の前記各電極に導通手段を介して電気的に接続させる接続工程と、を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、回転子に対応する領域が切り欠かれたフレキシブル配線基板に設けられた配線を固定子の電極に電気的に接続させているので、固定子の同一平面に電極および必要な給電用配線を設けても、その電気的接続関係をフレキシブル配線基板の配線で調整することができ、ひいては固定子にスルーホール導通部を形成する必要がなく、ファインピッチ化を図ることができる静電モータおよびその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（第１実施形態）
図１はこの発明の第１実施形態としての静電モータの要部の断面図を示す。この静電モータは、固定子１、回転子１１、軸２１、フレキシブル配線基板３１、カバー基板４１等を備えている。そして、固定子１とカバー基板４１との間に挟まれ、フレキシブル配線基板３１と後述する接着層５１、５２で囲まれる空間の回転子室６１内に回転子１１が回転可能に配置されている。（ここで、カバー基板４１は固定子、回転子を保護するためのものであり、配線等は設けられていない。）
【００１２】
次に、図２は固定子１の平面図を示す。固定子１は、ガラス、セラミック、硬質樹脂等からなる円形状の基板２を備えている。基板２の上面（回転子側の面）中心部には円形状の軸支凹部３が設けられている。基板２の上面外周部（同一円周上）にはＩＴＯ、アルミニウム、銅等からなる複数の電極４が基板２の中心を中心として放射状に設けられている。
【００１３】
この場合、電極４の形状は、内側から外側に向かうに従って漸次幅広となるくさび形状である。電極４の径方向の長さは同じである。ここで、図２では、電極４およびその間の隙間の角度を５°として図示しているが、それよりも小さく、例えば３°としてもよい。
【００１４】
基板２の上面において、電極４の配置領域の外側には給電用配線５がリング状に設けられ、電極４の配置領域の内側には給電用配線６がリング状に設けられている。ここで、電極４は３相配線されている。すなわち、第１相、第２相の電極４は第１相給電用配線５、第２相給電用配線６に接続され、第３相の電極４は基板２上においてはどことも電気的に接続されていない。そして、第１相、第２相の電極４の各所定の１つの上面外端部および第３相の電極４の全ての上面外端部には金、銅等からなる突起電極７、８、９が設けられている。
【００１５】
次に、図３は回転子１１の平面図を示す。回転子１１は、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート等からなる円形状のベースフィルム１２を備えている。ベースフィルム１２の中心部には円形状の軸取付孔１３が設けられている。ベースフィルム１２の上面外周部には、例えば、カーボンを含むウレタン樹脂の塗布により、リング状の抵抗体層１４が設けられている。
【００１６】
ここで、ベースフィルム１２の直径は、図２に示す固定子１の電極４配置領域の外径よりもある程度小さくなっている（図１参照）。抵抗体層１４の内径は、図２に示す固定子１の電極４配置領域の内径と同じとなっている（図１参照）。軸取付孔１３の直径は、図１に示す軸２１の直径よりもやや小さくなっている。
【００１７】
そして、図１に示すように、回転子１１の軸取付孔１３には軸２１が圧入挿通されて取り付けられている。この場合、軸２１の外周面において回転子１１の軸取付孔１３に取り付けられる部分には断面円弧形状のリング状の溝２２が設けられている。軸２１の下端部は、固定子１の軸支凹部３内に回転可能に軸支されている。これにより、回転子１１は軸２１と共に固定子１上に回転可能に配置されている。
【００１８】
次に、図４はフレキシブル配線基板３１の平面図を示す。フレキシブル配線基板３１は、リング状配線基板部３２の所定の箇所に外部接続用配線基板部３３が外側に突出されて設けられた構造となっている。リング状配線基板部３２の下面には第３相接続用配線３４がほぼＣ字状に設けられている。この場合、第３相接続用配線３４は、外部接続用配線基板部３３の近傍において切断されている。
【００１９】
リング状配線基板部３２の下面において、第３相接続用配線３４の両端部間には接続パッド３５、３６が設けられ、第３相接続用配線３４の両端部および所定の複数箇所には接続パッド３７が等間隔に設けられている。接続パッド３５、３６および第３相接続用配線３４の一端部に設けられた接続パッド３７は、外部接続用配線基板部３３およびその近傍のリング状配線基板部３２の下面に設けられた３本の第１相〜第３相の外部接続用配線３８、３９、４０に接続されている。
【００２０】
ここで、図１に示すように、リング状配線基板部３２の外径は固定子１の直径と同じとなっており、内径は回転子１１の直径よりもある程度大きくなっている。図４に示す接続パッド３５、３６、３７は、図２に示す固定子１の突起電極７、８、９に対応する位置に配置されている。
【００２１】
そして、図１に示すように、フレキシブル配線基板３１のリング状配線基板部３２の下面は、固定子１の上面外周部にリング状の接着層５１を介して接着されている。この状態では、特に、固定子１の突起電極７、８、９は、接着層５１に食い込んで、フレキシブル配線基板３１の接続パッド３５、３６、３７に接続されている。
【００２２】
これにより、図２および図４を参照して説明すると、第１相の外部接続用配線３８は、接続パッド３５、突起電極７および給電用配線５を介して第１相の電極４の全てに接続されている。第２相の外部接続用配線３９は、接続パッド３６、突起電極８および給電用配線６を介して第２相の電極４の全てに接続されている。第３相の外部接続用配線４０は、第３相接続用配線３４、接続パッド３７および突起電極９を介して第３相の電極４の全てに接続されている。
【００２３】
フレキシブル配線基板３１のリング状配線基板部３２の上面には円形状のカバー基板４１の下面外周部がリング状の接着層５２を介して接着されている。カバー基板４１は例えば、固定子１の基板２と同一の材料によって形成されている。そして、軸２１は、カバー基板４１の中心部に設けられた円形状の軸挿通孔４２を回転可能に挿通されてカバー基板４１の上側に突出されている。
【００２４】
以上のように、この静電モータでは、フレキシブル配線基板３１のリング状配線基板部３２の下面に設けられた接続パッド３５、３６、３７（配線）を、突起電極７、８、９等を介して固定子１の電極４に電気的に接続させているので、固定子１の基板２の同一平面に電極４および必要な給電用配線５、６を設けても、その電気的接続関係をフレキシブル配線基板３１の第３相接続用配線３４および接続パッド３５、３６、３７（配線）で調整することができ、ひいては固定子１の基板２にスルーホール導通部を形成する必要がなく、ファインピッチ化を図ることができる。また、フレキシブル配線基板３１のリング状配線基板部３２は、接着層５１、５２とともに、回転子室６１の壁の一部として機能する。
【００２５】
次に、この静電モータの製造方法の一例について説明する。まず、固定子１の上面外周部の突起電極７、８、９上に、接着層５１を形成するための熱硬化性樹脂からなる第１のリング状シートを配置する。次に、第１のリング状シートの上面にフレキシブル配線基板３１のリング状配線基板部３２を位置合わせして配置する。
【００２６】
次に、ボンディングヘッドを用いて熱圧着すると、第１のリング状シートが溶融することにより、固定子１の突起電極７、８、９がこの溶融した第１のリング状シートに相対的に食い込み、且つ、フレキシブル配線基板３１の接続パッド３５、３６、３７が固定子１の突起電極７、８、９に押し付けられ、電気的に接続される。その後、第１のリング状シートが硬化することにより、フレキシブル配線基板３１のリング状配線基板部３２の下面が固定子１の上面外周部に接着層５１を介して接着される。
【００２７】
次に、回転子１１の軸２１の下端部を固定子１の軸支凹部３内に配置する。次に、フレキシブル配線基板３１のリング状配線基板部３２の上面に、接着層５２を形成するための熱硬化性樹脂からなる第２のリング状シートを配置する。次に、第２のリング状シートの上面にカバー基板４１をその軸挿通孔４２に軸２１を相対的に挿通させながら配置する。
【００２８】
次に、軸２１と干渉しない形状のボンディングヘッドを用いて熱圧着すると、第２のリング状シートが硬化することにより、カバー基板４１の下面外周部がフレキシブル配線基板３１のリング状配線基板部３２の上面に接着層５２を介して接着される。かくして、図１に示す静電モータが得られる。
【００２９】
ここで、軸２１と干渉しない形状のボンディングヘッドとしては、例えば、軸２１に対応する部分に挿通孔が形成されているものであってもよく、また第２のリング状シートに対応する形状のリング状のものであってもよい。なお、第１、第２のリング状シートの材料として、紫外線硬化性樹脂を用いるようにしてもよい。また、第１、第２のリング状シートを用いる代わりに、固定子１の上面外周部にシリンジを用いて液状の熱硬化性樹脂や紫外線硬化樹脂を塗布するようにしてもよい。紫外線硬化樹脂を用いる場合、紫外線を当てることにより樹脂を硬化させる。
また、突起電極の代わりに、導電性粒子を含む異方性導電接着剤を用いるようにしてもよい。
【００３０】
ここで、この静電モータの一部の寸法の一例について説明する。固定子１の突起電極７、８、９の高さ（接着層５１の厚さ）を１０μｍとし、フレキシブル配線基板３１の厚さを２５μｍとし、接着層５２の厚さを１０μｍとすると、固定子１の基板２とカバー基板４１との間隔は４５μｍとなる。ここで、固定子１の電極４およびフレキシブル配線基板３１の接続パッド３５、３６、３７の厚さは例えば、０．１５μｍと極めて薄く、無視することができる。
【００３１】
そして、回転子１１のベースフィルム１２の厚さを１５μｍとし、ベースフィルム１２と固定子１の基板２との間隔を１０μｍとすると、ベースフィルム１２とカバー基板４１との間隔は２０μｍとなる。厚さ２５μｍのフレキシブル配線基板３１のリング状配線基板部３２は、接着層５１、５２とともに、回転子室６１の壁の一部として機能する。
【００３２】
なお、回転子１１のベースフィルム１２の厚さが１５μｍと比較的薄いと、ベースフィルム１２が柔らかくて撓み、ひいては回転子１１が撓んで特にその外周部が固定子１の上面に接触し、その間の摩擦抵抗が大きくなってしまう。そこで、回転子１１のベースフィルム１２と固定子１との間に直径１０μｍのガラス等からなる摩擦抵抗低減用の球状粒子を介在させるようにしてもよい。
【００３３】
次に、この静電モータの駆動方法の一例について説明する。ここで、固定子１上の３相配線された電極４への印加電圧が例えば正電圧、負電圧、０Ｖである場合には、以下の説明において、固定子１の電極４に電圧（＋、−、０）を印加するという。また、その電圧印加状態は、図５（Ａ）の下図のように示すこととする。ここで、図５（Ａ）の下図に示す固定子１においては、実線で区切られた各枡目は各電極４に対応するものである（以下同じ）。なお、図５では固定子側６極分、回転子側３極分のみを示す。
【００３４】
さて、充電工程において、図５（Ａ）の下図に示すように、固定子１の電極４（左側から３つずつの電極、以下同じ）に電圧（＋、−、０）を印加すると、回転子１１の抵抗体層１４の電極４と対向する領域に当該電極４の電荷と逆極性の電荷が充電（誘導）される（初期充電）。ここで、図５（Ａ）の上図に示す回転子１１の抵抗体層１４においては、点線で区切られた各枡目は各電極４に対応する領域である（以下同じ）。
【００３５】
次に、移動工程において、図５（Ｂ）の下図に示すように、固定子１の電極４に印加する電圧を（−、＋、−）に切り替えると、電極の電荷は瞬時に入れ替わるが、回転子側の電荷配置が新たな平衡状態に変化するには、ある程度の時間を要するので、切り替え直後は回転子側の電荷は保持されており、図５（Ｂ）の上図のような電荷配置となっている。このとき、回転子１１の抵抗体層１４の電荷領域の電荷とその真下の固定子１の電極４の電荷とが同符号となる領域が現れ、その間にクーロン反発力が発生し、このクーロン反発力により、矢印で示すように、回転子１１を浮き上がらせようとする力が働く。
【００３６】
そして、図５（Ｂ）においては、固定子１と回転子１１との横方向のクーロン引力およびクーロン反発力の釣り合いが崩れることにより、右方向の回転駆動力が発生し、図５（Ｃ）に示すように、回転子１１が固定子１上を右方向に１ピッチ（１電極分）移動し、停止する。
【００３７】
次に、移動中に回転子の電荷は一部失われるので、クーロン力（回転駆動力）が減少する。そこで、この力を維持して連続して駆動するために、図５（Ｃ）の状態で次の充電工程において、図５（Ｄ）の下図に示すように、固定子１の電極４に図５（Ａ）の下図から右方向に１ピッチ（１電極分）ずらした電圧（０、＋、−）を印加する。すると、図５（Ｄ）の上図に示すように、回転子１１の抵抗体層１４の電極４と対向する領域に当該電極４の電荷と逆極性の電荷が再充電される。（上記失われる電荷は全体の一部なので、再充電の時間は初期充電の時間よりも短くてよい。）以下、上記と同様の工程が繰り返され、回転子１１が軸２１と共に１ピッチずつ回転される。
【００３８】
（第２実施形態）
第１実施形態では、第１相給電用配線５を電極４の配置領域の外側に設け、第２相給電用配線６を電極４の配置領域の内側に設ける例を示したが、第１相や第２相の給電も第３相接続用配線と同様に、リング状のフレキシブル配線基板の接続用配線を介して給電するようにしてもよい。その場合、リング状のフレキシブル配線基板の接続用配線は相毎に半径を変えて設けるようにすればよい。
【００３９】
第２相の給電もリング状のフレキシブル配線基板の配線を介して行うようにした場合の例を図６、図７に示す。（第１実施形態の図２に対応する図が図６に、第１実施形態の図４に対応する図が図７である。）ここで、図６に示すように、固定子１ａには、第２相に対応する電極４には突起電極８ａを設け、図７に示すように、フレキシブル配線基板３１ａには、第２相接続用配線３４ａを設け、その両端部および所定の複数箇所には接続パッド３６ａが等間隔に設けられている（接続パッド３６ａの位置は突起電極８ａに対応する位置にある）。そして、第２相の外部接続用配線３９は、接続パッド３６ａ、第２相接続用配線７１、突起電極８ａを介して、第２相の電極４の全てに接続されている。
【００４０】
（その他の実施形態）
例えば、図１に示す場合において、軸２１を固定子１の下面側にも回転可能に突出させるようにしてもよく、また軸２１を固定子１の下面側のみに回転可能に突出させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】この発明の第１実施形態としての静電モータの要部の断面図。
【図２】図１に示す固定子の平面図。
【図３】図１に示す回転子の平面図。
【図４】図１に示すフレキシブル配線基板の平面図。
【図５】図１に示す静電モータの駆動方法の一例を説明するために示す図。
【図６】この発明の第２実施形態としての静電モータの図２に対応する図。
【図７】この発明の第２実施形態としての静電モータの図４に対応する図。
【符号の説明】
【００４２】
１、１ａ  固定子
２  基板
３  軸支凹部
４  電極
５  （第１相）給電用配線
６  （第２相）給電用配線
７、８、８ａ、９  突起電極
１１  回転子
１２  ベースフィルム
１３  軸取付孔
１４  抵抗体層
２１  軸
２２  溝
３１、３１ａ  フレキシブル配線基板
３２  リング状配線基板部
３３  外部接続用線基板部
３４  第３相接続用配線
３４ａ  第２相接続用配線
３５、３６、３６ａ、３７  接続パッド（配線）
３８、３９、４０  外部接続用配線
４１  カバー基板
４２  軸挿通孔
５１、５２  接着層
６１  回転子室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2007097356.tif 000006
【図５】
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【図６】
2007097356.tif 000008
【図７】
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