(57)【要約】【課題】被測定物の大きさや形状に対応して、放散ガス測定用チャンバーの大きさや形状を容易かつ簡素に変更可能とする。【解決手段】内部に形成された気密空間に被測定物が収容され、被測定物から放散される放散ガスを測定する放散ガス測定用組立式チャンバーであって、所定の形状及び大きさの前記気密空間が内部に形成されるように気密的に組み立てられた、一種又は複数種よりなる複数個のユニットブロック２Ａ〜２Ｃと、各ユニットブロック２Ａ〜２Ｃ同士を固定する固定手段とを備えている。被測定物から放散された放散ガスが接触可能な部位は、放散ガスに対する非吸着性及びガスを放散しない又は放散しにくい非放散性のうちの少なくとも一方の性質を有する非吸着・非放散材により構成されている。【選択図】図１
2007205990.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に形成された気密空間に被測定物が収容され、該被測定物から放散される放散ガスを測定する放散ガス測定用組立式チャンバーであって、
所定の形状及び大きさの前記気密空間が内部に形成されるように気密的に組み立てられた、一種又は複数種よりなる複数個のユニットブロックと、
各前記ユニットブロック同士を固定する固定手段とを備えていることを特徴とする放散ガス測定用組立式チャンバー。
【請求項２】
前記気密空間に収容された前記被測定物から放散された前記放散ガスが接触可能な部位は、該放散ガスに対する非吸着性及びガスを放散しない又は放散しにくい非放散性のうちの少なくとも一方の性質を有する非吸着・非放散材により構成されていることを特徴とする請求項１記載の放散ガス測定用組立式チャンバー。
【請求項３】
前記ユニットブロックは、中央開口を有し前記気密空間側に配置された内側フレームと、中央開口を有し外部側に配置された外側フレームと、両該中央開口を塞ぐように該内側フレーム及び該外側フレームの間に挟持されたガラス板と、該内側フレーム及び該外側フレームのうちの少なくとも一方と該ガラス板との間に介装された環状のシール部材とを備えていることを特徴とする請求項１又は２記載の放散ガス測定用組立式チャンバー。
【請求項４】
前記内側フレームは、表面コーティング層として、前記放散ガスに対する非吸着性及びガスを放散しない又は放散しにくい非放散性のうちの少なくとも一方の性質を有する非吸着・非放散材よりなる非吸着・非放散層を備えていることを特徴とする請求項３記載の放散ガス測定用組立式チャンバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は放散ガス測定用組立式チャンバーに関し、より詳しくは機器、建材、家具や車両の内装部品等から放散されるガスを測定するための放散ガス測定用チャンバーに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種部品や材料から放散される各種ガスが問題となっている。例えば、電子工業分野においては、半導体デバイス、表示デバイス、記憶デバイス等のデバイスを製造する際、デバイス製造用の機器やクリーンルーム内の建材から放散されるガスがデバイスの性能に影響を与える。また、建材分野においては、建材や家具から放散される有機物ガスが人体に有害なものもある。さらに自動車分野においても、車室内における揮発性有機化合物（Ｖｏｌａｔｉｌｅ  ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ、ＶＯＣ）を低減させたいという要望がある。
【０００３】
そこで、これらの問題を解決すべく、ガス放散現象の解明や実態を調査したり、あるいは対策を検討したりする上で、各種部材や材料から放散されるガスの成分や量等を測定する必要があり、そのための放散ガス測定用チャンバーが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
この放散ガス測定用チャンバーは、チャンバーの形状を保持する剛性枠体と、チャンバーの内部を外気から遮断する柔軟なシートとを備えている。このチャンバーを用いて被測定物から放散されるガスを測定する際は、清浄ガス供給器からチャンバー内に清浄ガスを供給し、シートで覆われた空間を剛性枠体の形状に沿わせて膨らませることにより、チャンバーの形状を保持する。そして、一定量の清浄ガスでチャンバー内を換気しつつ、被測定物からの放散ガスを含むチャンバー内のガスを捕集して成分分析等を行う。
【特許文献１】特開２００３−３０７４７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の放散ガス測定用チャンバーでは、チャンバー内に収容、配置することのできる被測定物の形状や大きさが、チャンバーの形状を保持する剛性枠体の形状や大きさにより制限を受ける。このため、例えば大型部品を測定する場合には、剛性枠体をスライド可能に支持するスライド式構造やあるいは入子式構造等の、剛性枠体の寸法を変更可能な変更機構が必要となり、構造が複雑になる。また、スライド式構造等では、特に三次元的に剛性枠体の形状や大きさを変更することが容易ではなく、構造がより複雑となる。
【０００６】
本発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、被測定物の大きさや形状に対応して、放散ガス測定用チャンバーの大きさや形状を容易かつ簡素に変更可能とすることを解決すべき技術課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する本発明の放散ガス測定用組立式チャンバーは、内部に形成された気密空間に被測定物が収容され、該被測定物から放散される放散ガスを測定する放散ガス測定用組立式チャンバーであって、所定の形状及び大きさの前記気密空間が内部に形成されるように気密的に組み立てられた、一種又は複数種よりなる複数個のユニットブロックと、各前記ユニットブロック同士を固定する固定手段とを備えていることを特徴とするものである。
【０００８】
この放散ガス測定用組立式チャンバーは、一種又は複数種よりなる複数個のユニットブロックを組み立ててなるものであるから、ユニットブロックの種類や数を適宜変更しつつ組み合わせることにより、チャンバーの形状や大きさを任意に変更可能である。このため、被測定物の大きさや形状に対応して、放散ガス測定用チャンバーの大きさや形状を二次元的にも三次元的にも容易かつ簡素に変更することができる。
【０００９】
ここに、被測定物から放散された放散ガスがチャンバーの内面に吸着したり、あるいはチャンバーの内面を構成する材料からガスが放散されると、気密空間内の前記放散ガス量が低下したり、あるいは気密空間内に前記放散ガス以外のガスが含有されたりするので、測定誤差につながる。
【００１０】
そこで、本発明の放散ガス測定用組立式チャンバーは、前記気密空間に収容された前記被測定物から放散された前記放散ガスが接触可能な部位が、該放散ガスに対する非吸着性及びガスを放散しない又は放散しにくい非放散性のうちの少なくとも一方の性質を有する非吸着・非放散材により構成されていることが好ましい。前記放散ガスが接触可能な部位が非吸着・非放散材により構成されていれば、被測定物からの放散ガスがチャンバーの内面等に吸着したり、チャンバーの内面等からガスが放散したりすることによる、測定誤差を低減させることができ、被測定物からの放散ガスの正確な測定が可能となる。
【００１１】
前記非吸着性とは、被測定物から放散される放散ガスを吸着しない又は吸着しにくい性質を意味する。この非吸着性は被測定物から放散される放散ガスの種類によっても異なるが、非吸着性を有する材料としては、例えば、ステンレス等の金属、石英を含むガラスやポリテトラフルオロエチレン（「テフロン」商標名）等のフッ素樹脂を挙げることができる。なお、これらのステンレス等の金属、石英を含むガラスやポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂は、後述するように、ガスを放散しない又は放散しにくい非放散性の性質も有する。
【００１２】
また、前記非吸着・非放散材としては、前記非吸着性及び前記非放散性の双方の性質を有するものを採用することがより好ましい。前記放散ガスが接触可能な部位が、前記非吸着性及び前記非放散性の双方の性質を有する非吸着・非放散材により構成されていれば、被測定物からの放散ガスがチャンバーの内面等に吸着することによる測定誤差及びチャンバーの内面等からガスが放散されることによる測定誤差の双方を低減させることができ、被測定物からの放散ガスのより正確な測定が可能となる。例えば、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）等の有機物ガスを放散する被測定物を測定する場合は、有機物ガスに対する非吸着性を有するとともにガスを放散しない非放散性の性質を有するステンレス等の金属、石英を含むガラスやポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂等を前記非吸着・非放散材として採用することがより好ましい。
【００１３】
前記ユニットブロックの形状、大きさ、構成要素や構造等は、一種又は複数種よりなる複数個のユニットブロックを組み合わせることで、所定の形状及び大きさの気密空間を内部に形成することができるものであれば、特に限定されない。また、組み立てられたチャンバーにおいて所定位置となる各ユニットブロックには、放散ガス測定用の種々の測定手段（送気、吸気、ガス採取、温度制御、湿度制御や撹拌等の手段）や被測定物の出し入れ用扉を設けることができる。また、これらは必要に応じて複数のユニットブロック分の大きさで配置することもできる。
【００１４】
好適なユニットブロックとしては、中央開口を有し前記気密空間側に配置された内側フレームと、中央開口を有し外部側に配置された外側フレームと、両該中央開口を塞ぐように該内側フレーム及び該外側フレームの間に挟持されたガラス板と、該内側フレーム及び該外側フレームのうちの少なくとも一方と該ガラス板との間に介装された環状のシール部材とを備えているものを挙げることができる。このように内側フレーム及び外側フレームのうちの少なくとも一方とガラス板との間にシール部材が介装されていれば、ユニットブロック自体における気密性を確保することができる。また、ガラス板は、有機物ガスに対する非吸着性及び非放散性の双方の性質を有するので、このガラス板に前記放散ガスとしての有機物ガスが吸着したり、ガラス板からガスが放散されたりすることがない。
【００１５】
前記外側フレーム及び前記内側フレームの材質は特に限定されず、例えば、アルミニウム、鉄やマグネシウム等若しくはそれらの合金等の金属、又はフッ素樹脂やポリプロピレン等の合成樹脂を採用することができる。
【００１６】
前記シール部材の材質としては、内側フレーム及び外側フレームのうちの少なくとも一方とガラス板との間におけるシール性（気密性）を確保することのできるものであれば特に限定されず、例えば、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂、フッ素ゴムやシリコン樹脂等を採用することができる。
【００１７】
ただし、前述したように、前記放散ガスの吸着やガスの放散による測定誤差を低減させる観点より、前記内側フレーム、前記外側フレーム及び前記シール部材のうちの少なくとも前記放散ガスが接触可能な部位は、前記非吸着性及び前記非放散性のうちの少なくとも一方（より好ましくは双方）の性質を有する前記非吸着・非放散材により構成されていることが好ましい。
【００１８】
また、前記内側フレームの好適な態様としては、表面コーティング層として、前記放散ガスに対する非吸着性及びガスを放散しない又は放散しにくい非放散性のうちの少なくとも一方（より好ましくは双方）の性質を有する非吸着・非放散材よりなる非吸着・非放散層を備えているものを挙げることができる。
【発明の効果】
【００１９】
したがって、本発明の放散ガス測定用組立式チャンバーによれば、被測定物の大きさや形状に応じてユニットブロックの種類や数を適宜変更しつつ組み合わせることにより、チャンバーの大きさや形状を二次元的にも三次元的にも容易かつ簡素に変更することができる。
【００２０】
よって、例えば１ｍ3 以上の体積を有するような被測定物であっても、容易に対応して放散ガスの測定が可能となる。また、チャンバー形状の自由度も高いため、あらゆる形状の被測定物に対しても容易に対応可能である。
【００２１】
さらに、本発明の放散ガス測定用祖組立式チャンバーにおいて、前記放散ガスが接触可能な部位に、該放散ガスに対する非吸着性及びガスを放散しない又は放散しにくい非放散性のうちの少なくとも一方の性質を有する非吸着・非放散材を採用した場合は、被測定物からの放散ガスがチャンバーの内面等に吸着することによる測定誤差や、チャンバーの内面等からガスが放散されることによる測定誤差を低減させることができ、被測定物からの放散ガスの正確な測定が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の具体的な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２３】
（実施形態１）
図１〜図７に示される本実施形態の放散ガス測定用組立式チャンバー１は、直方体形状をなし、内部に形成された気密空間１０に被測定物Ｗが収容され、被測定物Ｗから放散される放散ガスを測定するものであって、内部に気密空間１０が形成されるように気密的に組み立てられた、第１〜第３の３種よりなる２６個のユニットブロック２（２Ａ〜２Ｃ）と、各ユニットブロック２同士を固定する複数個の固定手段３（図６参照）とを備えている。
【００２４】
この実施形態に係る放散ガス測定用組立式チャンバー１におけるユニットブロック２は、８個の第１ユニットブロック２Ａと、１２個の第２ユニットブロック２Ｂと、６個の第３ユニットブロック２Ｃとから構成されている（図１及び図２参照）。
【００２５】
そして、これら第１ユニットブロック２Ａ、第２ユニットブロック２Ｂ及び第３ユニットブロック２Ｃは、チャンバー１に組み立てられた状態で、気密空間１０に配置された被測定物Ｗから放散される放散ガスが接触可能な部位が、後述するように、この放散ガスに対して非吸着性を有するとともに、ガスを放散しない放散性を有する非吸着・非放散材により構成されている。
【００２６】
第１ユニットブロック２Ａは、前記直方体を構成する面のうち隣り合う三つの面が交わる８個の頂点位置に配置され、第１〜第３の三つの面部を有している。
【００２７】
第２ユニットブロック２Ｂは、前記直方体を構成する面のうち隣り合う二つの面が交わる１２本の各辺の中央位置に配置され、第１〜第２の二つの面部を有している。
【００２８】
第３ユニットブロック２Ｃは、前記直方体を構成する６個の各面の中央位置に配置され、一つの面部を有している。
【００２９】
これら第１ユニットブロック２Ａの第１〜第３面部、第２ユニットブロック２Ｂの第１〜第２面部及び第３ユニットブロック２Ｃの面部は、いずれも同じ構成要素を有している。すなわち第１ユニットブロック２Ａ、第２ユニットブロック２Ｂ及び第３ユニットブロック２Ｃの各面部はいずれも、同じ構成要素からなるものであり、中央開口２１ａを有し気密空間１０側に配置された内側フレーム２１と、中央開口２２ａを有し外部側に配置された外側フレーム２２、両中央開口２１ａ及び２２ａを塞ぐように内側フレーム２１及び外側フレーム２２の間に挟持されたガラス板（非吸着・非放散材）２３と、内側フレーム２１とガラス板２３との間に介装された環状のシール部材２４とを備えている（図３及び図４参照）。
【００３０】
第１ユニットブロック２Ａ、第２ユニットブロック２Ｂ及び第３ユニットブロック２Ｃの各面部を構成する内側フレーム２１は、アルミニウム又はアルミニウム合金製の長方形状の枠状基材２１ｂと、この枠状基材２１ｂの表面にコーティングされた非吸着・非放散層としてのテフロンコーティング層２１ｃとを備えている（図４（ｂ）参照）。また、第１ユニットブロック２Ａ、第２ユニットブロック２Ｂ及び第３ユニットブロック２Ｃの各面部を構成する外側フレーム２２は、アルミニウム又はアルミニウム合金よりなる。第１ユニットブロック２Ａ、第２ユニットブロック２Ｂ及び第３ユニットブロック２Ｃの各面部を構成するガラス板２３は、石英ガラスよりなる。第１ユニットブロック２Ａ、第２ユニットブロック２Ｂ及び第３ユニットブロック２Ｃの各面部を構成するシール部材２４は、テフロンシール材よりなる。
【００３１】
また、第１ユニットブロック２Ａ、第２ユニットブロック２Ｂ及び第３ユニットブロック２Ｃは、隣り合うユニットブロック２の外側フレーム２２同士を固定するための固定手段３を有している。この固定手段３は、所謂パッチン錠よりなり、隣り合うユニットブロック２の一方の外側フレーム２２に取り付けられた弾発性フック部３１と、隣り合うユニットブロック２の他方の外側フレーム２２に取り付けられ、弾発性フック部３１と係合可能な留め具３２とから構成されている。
【００３２】
さらに、第１ユニットブロック２Ａ、第２ユニットブロック２Ｂ及び第３ユニットブロック２Ｃは、図５に示されるように、隣り合うユニットブロック２の端面２ａ、２ｂ同士の間をシールするためのシール手段４を有している。このシール手段４は、隣り合うユニットブロック２の一方の端面２ａに設けられた断面矩形状の矩形溝４０内に配設された第１テフロンシール材４１と、この矩形溝４０内に一端が配設されるとともに、隣り合うユニットブロック２の他方の端面２ｂに設けられた断面三角形状の三角溝４２内に他端が配設さたテフロンシート４３と、この三角溝４２内に配設された第２テフロンシール材４４と、矩形溝４０が設けられた前記端面２ａ（内側フレーム２１の端面）の該矩形溝４０よりも気密空間１０側の部位（図５に斜線で示す部位）に貼り付けられたテフロンのシールテープ４５とから構成されている。
【００３３】
加えて、第１ユニットブロック２Ａ、第２ユニットブロック２Ｂ及び第３ユニットブロック２Ｃは、隣り合うユニットブロック２同士の位置を決める位置決め手段５を有している。この位置決め手段５は、隣り合うユニットブロック２の一方の端面２ａに設けられた位置決めピン５１と、隣り合うユニットブロック２の他方の端面２ｂに設けられ位置決めピン５１と正規位置で嵌合する位置決め孔（図示せず）とから構成されている。
【００３４】
かかる構成を有する本実施形態の放散ガス測定用組立式チャンバー１は、以下のようにして製造した。
【００３５】
先ず、第１ユニットブロック２Ａを製造するに際し、前記枠状基材２１ｂの表面に前記テフロンコーティング層２１ｃを塗装・焼成等により形成してなり、所定位置に前記矩形溝４０、前記三角溝４２、前記位置決めピン５１及び前記位置決め孔が適宜設けられた３個の内側フレーム２１を準備した。そして、図３に示されるように、３個の内側フレーム２１が互いに直角となるようにそれぞれを配置した。このとき、当接し合う各内側フレーム２１同士の間には、図示しないテフロンシール材を介在させて、シール性を確保した。そして、図示しないネジ等の固定具で各内側フレーム２１同士を固定して、３個の内側フレーム２１を一体化し、３個の内側フレーム２１よりなる一体品を得た。一方、外側フレーム２２、ガラス板２３及びシール部材２４をそれぞれ３個ずつ準備した。そして、内側フレーム２１と外側フレーム２２との間にガラス板２３が挟持されるとともに、内側フレーム２１とガラス板２３との間にシール部材２４が挟持されるように、前記一体品に対し、３個ずつの外側フレーム２２、ガラス板２３及びシール部材２４をセットした状態で、これら内側フレーム２１、シール部材２４、ガラス板２３及び外側フレーム２２を図示しないネジ等の固定具で固定して、第１ユニットブロック２Ａを完成した。
【００３６】
第２ユニットブロック２Ｂを製造するに際し、前記枠状基材２１ｂの表面に前記テフロンコーティング層２１ｃを形成してなり、所定位置に前記矩形溝４０、前記三角溝４２、前記位置決めピン５１及び前記位置決め孔が適宜設けられた２個の内側フレーム２１を準備した。そして、２個の内側フレーム２１が互いに直角となるようにそれぞれを配置した。このとき、当接し合う両内側フレーム２１同士の間には、前記テフロンシール材を介在させて、シール性を確保した。そして、前記固定具で両内側フレーム２１同士を固定して、２個の内側フレーム２１よりなる一体品を得た。一方、外側フレーム２２、ガラス板２３及びシール部材２４をそれぞれ２個ずつ準備した。そして、内側フレーム２１と外側フレーム２２との間にガラス板２３が挟持されるとともに、内側フレーム２１とガラス板２３との間にシール部材２４が挟持されるように、前記一体品に対し、２個ずつの外側フレーム２２、ガラス板２３及びシール部材２４をセットした状態で、これら内側フレーム２１、シール部材２４、ガラス板２３及び外側フレーム２２を前記固定具で固定して、第２ユニットブロック２Ｂを完成した。
【００３７】
第３ユニットブロック２Ｃを製造するに際し、前記枠状基材２１ｂの表面に前記テフロンコーティング層２１ｃを形成してなり、所定位置に前記矩形溝４０、前記三角溝４２、前記位置決めピン５１及び前記位置決め孔が設けられた１個の内側フレーム２１を準備した。一方、外側フレーム２２、ガラス板２３及びシール部材２４をそれぞれ１個ずつ準備した。そして、内側フレーム２１と外側フレーム２２との間にガラス板２３が挟持されるとともに、内側フレーム２１とガラス板２３との間にシール部材２４が挟持されるように、前記一体品に対し、外側フレーム２２、ガラス板２３及びシール部材２４をセットした状態で、これら内側フレーム２１、シール部材２４、ガラス板２３及び外側フレーム２２を前記固定具で固定して、第３ユニットブロック２Ｃを完成した。
【００３８】
こうして、第１ユニットブロック２Ａ、第２ユニットブロック２Ｂ及び第３ユニットブロック２Ｃをそれぞれ所定個準備した後、各ユニットブロック２の所定位置に前記固定手段３、前記シール手段４及び前記位置決め手段５を適宜設けた。
【００３９】
そして、所定の形状及び大きさの前記気密空間１０が内部に形成されて、この気密空間１０内に被測定物Ｗを収容、配置することができるように、これら第１〜第３ユニットブロック２Ａ〜２Ｃを所定個組み合わせて組み立てた。このとき、前記位置決めピン５１と前記位置決め孔とを嵌合させることにより、隣り合うユニットブロック２同士の位置を容易に決めることができた。そして、前記矩形溝４０及び前記三角溝４２に配設された前記第１テフロンシール材４１、前記テフロンシート４３及び第２テフロンシール材４４により、隣り合うユニットブロック２の端面２ａ、２ｂ同士の間のシール性を確保しつつ、隣り合うユニットブロック２同士を固定手段３で固定して、所定の形状及び大きさをもつチャンバー１とした。
【００４０】
したがって、本実施形態の放散ガス測定用組立式チャンバー１は、第１〜第３ユニットブロック２Ａ〜２Ｃという３種類よりなる複数個のユニットブロック２を組み合わせてなるものであるから、例えば第３ユニットブロック２Ｃの数を変更することにより、チャンバー１の形状や大きさを任意に変更可能である。このため、被測定物Ｗの大きさや形状に対応して、放散ガス測定用チャンバー１の大きさや形状を二次元的にも三次元的にも容易かつ簡素に変更することができる。
【００４１】
また、本実施形態の放散ガス測定用組立式チャンバー１では、テフロンコーティング層２１ｃでコーティングされた内側フレーム２１とガラス板２３とにより、チャンバー１の内面が構成されている。すなわち、このチャンバー１は、気密空間１０に収容された被測定物Ｗから放散された放散ガスが接触可能な部位が、内側フレーム２１のテフロンコーティング層２１ｃとガラス板２３とで構成されている。そして、これらテフロンコーティング層２１ｃ及びガラス板２３は、揮発性有機化合物等の有機物ガスに対して非吸着性を有するとともに、ガスを放散しない非放散性を有するものである。このため、このチャンバー１によれば、放散ガスとして例えば揮発性有機化合物を放散する被測定物Ｗからの放散ガスを測定する際、被測定物Ｗから放散された放散ガスがチャンバー１の内面に吸着したり、あるいはチャンバー１の内面からガスが放散されたりすることによる測定誤差を低減させることができ、被測定物Ｗからの放散ガスの正確な測定が可能となる。
【００４２】
さらに、本実施形態の放散ガス測定用組立式チャンバー１では、各ユニットブロック２同士の間においては、前記シール手段４によりシール性を確保することができるとともに、各ユニットブロック２を構成する各面部においても内側フレーム２１とガラス板２３との間で前記シール部材２４によりシール性を確保することができる。したがって、このチャンバー１では、内部に形成される気密空間１０における気密性を確実に確保することが可能である。
【００４３】
本実施形態の放散ガス測定用組立式チャンバー１を用いて、実際に被測定物Ｗからの放散ガスを測定する際には、組み立てられたチャンバー１において所定位置となる各ユニットブロック２に、放散ガス測定用の種々の測定手段（送気手段、吸気手段、ガス採取手段、温度制御手段、湿度制御手段や撹拌手段等）を設ける。例えば、所定のユニットブロック２に送気手段、吸気手段及びガス採取手段を設けることにより、図７に示されるように、送気口６１、吸気口６２及びガス採取口６３を有するチャンバー１とすることができる。このチャンバー１では、送気口６１に清浄空気供給器（図示せず）を接続するとともに、吸気口６２に流量制御器６４及びポンプ６５を接続し、流量制御器６４及びポンプ６５によりチャンバー１内の空気を吸気口６２から排気しつつ、清浄空気供給器により送気口６１からチャンバー１内に清浄空気を導入して、所定時間換気した後に、チャンバー１内の放散ガス含有空気をガス採取口６３から捕集し、被測定物Ｗからの放散ガスの成分や放散ガス量を測定する。
【００４４】
（実施形態２）
図８に示される本実施形態は、前記実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバー１において、前記シール手段４の構成を変更したものである。
【００４５】
すなわち、この実施形態におけるシール手段４は、隣り合うユニットブロック２の一方の端面２ａに設けられた、前記テフロンシート４３の厚さと同等の幅を有する断面矩形状の第１細溝４６の底部に配設された前記第１テフロンシール材４１と、この第１細溝４６内に一端が配設されるとともに、隣り合うユニットブロック２の他方の端面２ｂに設けられた、前記テフロンシート４３の厚さと同等の幅を有する断面矩形状の第２細溝４７内に他端が配設さた前記テフロンシート４３と、この第２細溝４７の底部に配設された前記第２テフロンシール材４４と、第１細溝４６が設けられた前記端面２ａ（内側フレーム２１の端面）の該第１細溝４６よりも気密空間１０側の部位（図８に斜線で示す部位）に貼り付けられたテフロンの前記シールテープ４５とから構成されている。
【００４６】
その他の構成は、前記実施形態１と同様である。
【００４７】
したがって、この実施形態の放散ガス測定用組立式チャンバー１は、前記実施形態１と同様の作用効果を奏する。
【００４８】
（実施形態３）
図９に示される本実施形態は、前記実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバー１において、前記シール手段４の構成を変更したものである。
【００４９】
すなわち、この実施形態におけるシール手段４は、隣り合うユニットブロック２の一方の端面２ａに設けられ、傾斜面４８ａを有する傾斜段部４８と、隣り合うユニットブロック２の他方の端面２ｂに設けられ、傾斜段部４８の傾斜面４８ａと整合して密接する傾斜面４９ａを有する傾斜凹段部４９と、傾斜段部４８の傾斜面４８ａの気密空間１０側の部位（図９に斜線で示す部位）に貼り付けられたテフロンの前記シールテープ４６とから構成されている。なお、傾斜段部４８及び傾斜凹段部４９は、内側フレーム２１の端面を傾斜面とすることにより形成されている。
【００５０】
その他の構成は、前記実施形態１と同様である。
【００５１】
したがって、この実施形態の放散ガス測定用組立式チャンバー１は、前記実施形態１と同様の作用効果を奏する。
【００５２】
（実施形態４）
図１０に示される本実施形態は、前記実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバー１において、前記固定手段３の構成を変更したものである。
【００５３】
すなわち、この実施形態における固定手段３は、所謂マグネット錠よりなり、隣り合うユニットブロック２の一方の外側フレーム２２に取り付けられた第１磁石３３と、隣り合うユニットブロック２の他方の外側フレーム２２に取り付けられ、第１磁石３３と吸引し合う第２磁石３４とから構成されている。
【００５４】
その他の構成は、前記実施形態１と同様である。
【００５５】
したがって、この実施形態の放散ガス測定用組立式チャンバー１は、前記実施形態１と同様の作用効果を奏する。
【００５６】
（実施形態５）
図１１に示される本実施形態は、前記実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバー１において、前記第１ユニットブロック２Ａ及び前記第２ユニットブロック２Ｂの構成を変更したものである。
【００５７】
すなわち、この実施形態における第１ユニットブロック２Ａにおいては、図１１に示されるように、前記第１〜第３面部を構成する内側フレーム２１’が一体に形成されている。なお、この一体成形品よりなる内側フレーム２１’は、削り出しあるいは接着（溶着）などにより製造した。
【００５８】
同様に、この実施形態における第２ユニットブロック２Ｂにおいても、前記第１〜第２面部を構成する内側フレームが一体に形成されている。
【００５９】
したがって、この実施形態における第１ユニットブロック２Ａ及び第２ユニットブロック２Ｂは、内側フレーム２１’が一体成形品よりなるので、第１ユニットブロック２Ａ及び第２ユニットブロック２Ｂにおけるシール性をより確実に確保することができる。
【００６０】
その他の構成及び作用効果は、前記実施形態１と同様である。
【００６１】
なお、前述した実施形態１〜５においては、前記第１〜第３面部を有する第１ユニットブロック２Ａと、前記第１〜第２面部を有する第２ユニットブロック２Ｂと、前記面部を有する第３ユニットブロック２Ｃとを組み合わせてチャンバーを組み立てているが、これに限らず、各ユニットブロックを構成する各面部の大きさ、形状や数は適宜変更することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバーを概略的に示す斜視図である。
【図２】実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバーに係る、第１〜第３ユニットブロックを概略的に示す模式図であり、（ａ）は第１ユニットブロック、（ｂ）は第２ユニットブロック、（ｃ）は第３ユニットブロックである。
【図３】実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバーに係る、第１ユニットブロックを分解した一部を概略的に示す分解模式図である。
【図４】実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバーに係るユニットブロックを示し、（ａ）はユニットブロックを部分的に示す部分平面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図５】実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバーに係り、各ユニットブロック同士の接合部分を模式的に示す部分斜視図である。
【図６】実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバーに係り、各ユニットブロック同士を固定するための固定手段の部分を模式的に示す部分平面図である。
【図７】実施形態１の放散ガス測定用組立式チャンバーに係り、被測定物からの放散ガスを測定する際のガス測定用手段を模式的に示す模式図である。
【図８】実施形態２の放散ガス測定用組立式チャンバーに係り、各ユニットブロック同士の接合部分を模式的に示す部分斜視図である。
【図９】実施形態３の放散ガス測定用組立式チャンバーに係り、各ユニットブロック同士の接合部分を模式的に示す部分斜視図である。
【図１０】実施形態４の放散ガス測定用組立式チャンバーに係り、各ユニットブロック同士を固定するための固定手段の部分を模式的に示す部分平面図である。
【図１１】実施形態５の放散ガス測定用組立式チャンバーに係る、第１ユニットブロックを分解した一部を概略的に示す分解模式図である。
【符号の説明】
【００６３】
１…放散ガス測定用組立式チャンバー      ２…ユニットブロック
２Ａ…第１ユニットブロック              ２Ｂ…第２ユニットブロック
２Ｃ…第３ユニットブロック                ３…固定手段
４…シール手段                          ５…位置決め手段
２１…内側フレーム                    ２１ａ…中央開口
２１ｂ…枠状基体
２１ｃ…テフロンコーティング層（非吸着・非放散層）
２２…外側フレーム                    ２２ａ…中央開口
２３…ガラス板（非吸着・非放散材）      ２４…シール部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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