(57)【要約】  【課題】  困難な合成や困難な成形を行うことなく、簡便な操作により、幅広い種類の有機溶剤に対して優れた耐性を示す樹脂製マイクロ流体デバイスを容易に形成し得る重合性組成物、及び、それらを用いて作製した有機溶剤耐性に優れた樹脂製マイクロ流体デバイスを提供すること。  【解決手段】  マイクロ流体デバイス用重合性組成物の重合成分として、イソシアヌレート環を有する重合性化合物を使用することで、耐溶剤性に優れたマイクロ流体デバイスを簡便に作製可能である。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
イソシアヌレート環を有する重合性化合物を含有することを特徴とするマイクロ流体デバイス用重合性組成物。
【請求項２】
前記イソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が全重合性化合物の２０質量％以上である請求項１に記載のマイクロ流体デバイス用重合性組成物。
【請求項３】
イソシアヌレート環を有する重合性化合物が、１分子中にｋ個（但し、ｋ＝１、２または３）のイソシアヌレート環を有し、且つ、１分子中に２〜（２ｋ＋１）個の重合性官能基を有する請求項１又は２に記載のマイクロ流体デバイス用重合性組成物。
【請求項４】
前記イソシアヌレート環を有する重合性化合物が、式（１）で表される化合物である請求項１又は２に記載のマイクロ流体デバイス用重合性組成物。
【化１】
2007098347.tif 000008
（式（１）中、ｎ１及びｎ２は１〜１２の整数、ｍは０〜２の整数、Ｒ１は、式（２）、式（３）又は式（４）で表されるいずれかの基である。またＲ２は任意の化学結合単位である。
【化２】
2007098347.tif 000009
（式（２）中、ｎ３は１〜１２の整数である。）
【化３】
2007098347.tif 000010
（式（３）中、ｎ４は１〜１２の整数である。）
【化４】
2007098347.tif 000011
（式（４）中、ｎ５は１〜１２の整数である。）
【請求項５】
前記式（１）中のＲ２が、式（５）又は式（６）で表される請求項４に記載のマイクロ流体デバイス用重合性組成物。
【化５】
2007098347.tif 000012
（式（５）中、Ｒ３は炭素数１〜１２のアルキレン単位、キシリレン単位、又はアリーレン単位、ｎ６、ｎ７は１〜１２の整数である。）
【化６】
2007098347.tif 000013
（式（６）中、Ｒ４は炭素数１〜１２のアルキレン単位、キシリレン単位、又はアリーレン単位、ｎ８、ｎ９は１〜１２の整数である。）
【請求項６】
前記式（１）で表されるイソシアヌレート環を有する重合性化合物が、ｎ１＝１、ｎ２＝１かつ、ｍ＝０で表される化合物である請求項４又は５に記載のマイクロ流体デバイス用重合性組成物。
【請求項７】
２５℃における粘度が０．００１〜１００Ｐａ・ｓの範囲にある請求項１〜６のいずれかに記載のマイクロ流体デバイス用重合性組成物。
【請求項８】
前記イソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が、全重合性化合物の含有量の３５〜９０質量％である請求項１〜７のいずれかに記載のマイクロ流体デバイス用重合性組成物。
【請求項９】
前記式（１）中のＲ１が前記式（２）で表される基であるイソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が、全イソシアヌレート環を有する重合性化合物の１０〜１００質量％の範囲にある請求項４〜８のいずれかに記載のマイクロ流体デバイス用重合性組成物。
【請求項１０】
前記重合性組成物が、重合遅延剤及び／又は重合禁止剤を含有する請求項１〜９のいずれかに記載のマイクロ流体デバイス用重合性組成物。
【請求項１１】
毛細管状の流路を有するマイクロ流体デバイスであって、該毛細管状の流路部分の少なくとも一部が請求項１〜１０のいずれかに記載のマイクロ流体デバイス用重合性組成物の重合物からなる部材により形成されてなることを特徴とするマイクロ流体デバイス。
【請求項１２】
前記マイクロ流体デバイスの流路部分が、少なくとも流路底部となる底部材（Ａ）、流路壁部となる部材を貫通する欠損部を有する壁部材（Ｂ）、及び流路蓋部となる蓋部材（Ｃ）とが積層され固着された構造を有する請求項１１に記載のマイクロ流体デバイス。
【請求項１３】
前記底部材（Ａ）、壁部材（Ｂ）及び蓋部材（Ｃ）がシート形状である請求項１２に記載のマイクロ流体デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ流体デバイス用重合性組成物に関し、特に有機溶剤耐性に優れたマイクロ流体デバイスの製造に用いることができるマイクロ流体デバイス用重合性組成物、及び、それを用いたマイクロ流体デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロ流体デバイスは、近年、マイクロリアクタとして有機物・無機物の合成反応や微粒子の生成する反応に応用され、微小スケールで操作が可能であるだけでなく、反応速度の著しい向上や生成微粒子サイズの精密制御が可能であることが確認されている。これらのマイクロリアクタとしての使用を目的としたマイクロ流体デバイスのほとんどは、シリコン、ガラス、石英等を素材とする高価なものであり、また、それらの作製には煩雑な操作が必要であった。
【０００３】
近年、安価で、且つ、簡便に作製可能なマイクロ流体デバイスとして、樹脂を素材とするデバイスが用いられている。しかしながら、一般的に樹脂は有機溶剤に対する耐性が低く、樹脂製マイクロ流体デバイスを有機溶媒を取り扱うマイクロリアクタとして使用する場合には、流路壁の膨潤・溶解により、流路の閉塞や反応溶液に流路形成素材が溶け込む等の問題があった。
【０００４】
２枚のガラス基板にチオレン系接着剤を挟み込み、光硬化させることにより、樹脂製の流路壁材を有する有機溶剤耐性に優れたマイクロ流体デバイスを作製した例がある（非特許文献１参照）。しかしながら、この方法では市販の低粘度チオレン系接着剤を用いているため成形性が乏しく、流路を形成する底材および蓋材に該チオレン系接着剤を適用することができなかった。一方、全フッ素置換ポリエーテル鎖を有する架橋性（メタ）アクリレート重合性化合物を合成し、その光重合により、有機溶剤耐性を有する樹脂製マイクロ流体デバイスを作製した例がある（特許文献１参照）。しかしながら、この方法で用いる重合性化合物は合成が容易ではなく、また、作製したマイクロ流体デバイスが耐性を示す有機溶剤の種類は比較的限られ、特に、脂肪族および芳香族炭化水素溶剤に対する耐性に関する報告はない。さらに、得られた重合物は表面が強い疎水性であるため、流路壁への溶質の吸着も多くなりがちである。
【０００５】
【非特許文献１】「ジャーナル・オブ・マイクロメカニクス・アンド・マイクロエンジニアリング（Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｍｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃｓ  ａｎｄ  Ｍｉｃｒｏｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ）」，２００４年，第１４巻，ｐ．１５３
【特許文献１】ＷＯ−０５−３０８２２公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、困難な合成や困難な成形を行うことなく、簡便な操作により、幅広い種類の有機溶剤に対して優れた耐性を示す樹脂製マイクロ流体デバイスを容易に形成し得る重合性組成物、及び、それらを用いて作製した有機溶剤耐性に優れた樹脂製マイクロ流体デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者等は、鋭意検討した結果、マイクロ流体デバイス用重合性組成物の重合成分として、イソシアヌレート環を有する重合性化合物を使用することで、耐溶剤性に優れたマイクロ流体デバイスを簡便に作製可能であることを見出した。
【０００８】
すなわち本発明は、イソシアヌレート環を有する重合性化合物を全重合性化合物を含有するマイクロ流体デバイス用重合性組成物を提供するものである。
【０００９】
また、本発明は、毛細管状の流路を有するマイクロ流体デバイスであって、該毛細管状の流路部分の少なくとも一部が上記マイクロ流体デバイス用重合性組成物の重合物からなる部材により形成されてなるマイクロ流体デバイスを提供するものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のイソシアヌレート系マイクロ流体デバイス用重合性組成物は、一般に流通している重合性化合物のみを成分として用いるため、低コストで調製することができる。また、本発明のマイクロ流体デバイスは、イソシアヌレート環を有する重合性化合物を用いてエネルギー線重合法により作製できるため、簡便に作製することが可能である。特に複雑な構造を多層構造により実現する場合にも、溶剤による膨潤や積層部のはがれ等が生じにくいマイクロ流体デバイスを得ることができる。
【００１１】
また、イソシアヌレート環を有する重合性化合物の重合物は優れた有機溶剤耐性を示すため、本発明のマイクロ流体デバイスは幅広い種類の有機溶剤、特に、脂肪族および芳香族炭化水素溶剤に対する高い耐性が実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
［マイクロ流体デバイス用組成物］
本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物は、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（以下、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）と称する。）を含有する。即ち、該マイクロ流体デバイス用重合性組成物は、重合性化合物として該イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）のみを含有するか、または、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）と共重合体を形成しうる他の重合性化合物（ｂ）（以下、単に「重合性化合物（ｂ）」と称する。）を含有し、かつイソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）を含有する。
【００１３】
イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）は、１分子中に１個以上、好ましくは１〜３個、更に好ましくは１〜２個、最も好ましくは１個のイソシアヌレート環を有し、且つ、重合性官能基を１以上有する化合物である。イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）は分子中に１個以上のイソシアヌレート環を有することで本発明の効果が発揮される。上限は任意であるが、３個以下とすることにより、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）は液体状となるか又は溶剤に対して十分な溶解性を示して賦形が容易であり、かつ、その重合物は高い耐溶剤性を示すため好ましい。
【００１４】
イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）は、付加重合、開環重合、重縮合など、任意の重合様式で重合物となるものであって、好ましくは架橋重合体となるものである。重合様式が付加重合又は開環重合の場合には、ラジカル重合性、アニオン重合性、カチオン重合性等の任意のものであってよい。これらは、重合開始剤の非存在下で重合するものに限らず、重合開始剤の存在下でのみ重合するものであってもよい。これらの中で付加重合が、重合速度が速い上、高い耐溶剤性を得やすいため好ましい。よって、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）は、重合性官能基として付加重合性の炭素−炭素二重結合を有するものであることが好ましく、中でも、反応性の高い（メタ）アクリロイル基を有する化合物［以下、「（メタ）アクリロイル」は、「メタクリロイル又はアクリロイル」を意味する。（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルなどについても同様である。］やビニルエーテル類、また光重合開始剤の不存在下でも紫外線によって重合するマレイミド系化合物が好ましい。
【００１５】
イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）としては、架橋重合性であること、即ち、１分子中に２個以上の重合性官能基を有する物が好ましく、１分子中にイソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）がｋ個（但し、ｋは正の整数）のイソシアヌレート骨格を有する場合、２〜（２ｋ＋１）個の重合性官能基を有する物が好ましい。
【００１６】
イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）として好ましく使用できる重合性化合物としては、式（１）で表されるものである。
【００１７】
【化１】
2007098347.tif 000002
【００１８】
（式（１）中、ｎ１及びｎ２は１〜１２の整数、ｍは０〜２の整数、Ｒ１は、式（２）、式（３）又は式（４）で表されるいずれかの基である。またＲ２は任意の化学結合単位である。）
【００１９】
【化２】
2007098347.tif 000003
【００２０】
（式（２）中、ｎ３は１〜１２の整数である。）
【００２１】
【化３】
2007098347.tif 000004
【００２２】
（式（３）中、ｎ４は１〜１２の整数である。）
【００２３】
【化４】
2007098347.tif 000005
【００２４】
（式（４）中、ｎ５は１〜１２の整数である。）
式（１）において、Ｒ２は、好ましくは式（５）又は式（６）に示された基である。
【００２５】
【化５】
2007098347.tif 000006
【００２６】
（式（５）中、Ｒ３は炭素数１〜１２のアルキレン単位、キシリレン単位、又はアリーレン単位、ｎ６、ｎ７は１〜１２の整数である。）
【００２７】
【化６】
2007098347.tif 000007
【００２８】
（式（６）中、Ｒ４は炭素数１〜１２のアルキレン単位、キシリレン単位、又はアリーレン単位、ｎ８、ｎ９は１〜１２の整数である。）
イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）は、更に好ましくは、式（１）において、ｎ＝１、かつ、ｍ＝０なる化合物である。例えば、ビス（アクリロキシエチル）ヒドロキシエチルイソシアヌレートの如き２官能重合性化合物；トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、ε−カプロラクトン変性トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレートの如き３官能重合性化合物などが挙げられる。
イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）として、これらの化合物は、単独で用いることも、２種類以上を混合して用いることもできる。
【００２９】
イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）と共重合体を形成しうる重合性化合物（ｂ）は、１分子中に重合性の炭素−炭素二重結合を１個以上有する化合物である。重合物の架橋度を高め、有機溶剤耐性を高めるためには、１分子中に重合性の炭素−炭素二重結合を２個以上有する化合物が好ましい。一方、１分子中に重合性の炭素−炭素二重結合を１個有する化合物は、マイクロ流体デバイス用重合性組成物の粘度調節のために好適に用いることができる。重合性化合物（ｂ）としては、反応性の高い（メタ）アクリル系化合物やビニルエーテル類、また光重合開始剤の不存在下でも重合するマレイミド系化合物が好ましい。
【００３０】
重合性化合物（ｂ）として使用できる（メタ）アクリル系重合性化合物としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、アルキル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、アルコキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシジアルキル（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、アルキルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、グリセロールアクリレートメタクリレート、ブタンジオールモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−アクリロイルオキシエチル−２−ヒドロキシプロピルアクリレート、エチレノキサイド変性フタル酸アクリレート、ｗ−カルゴキシアプロラクトンモノアクリレート、２−アクリロイルオキシプロピルハイドロジェンフタレート、２−アクリロイルオキシエチルコハク酸、アクリル酸ダイマー、２−アクリロイスオキシプロピリヘキサヒドロハイドロジェンフタレート、フッ素置換アルキル（メタ）アクリレート、塩素置換アルキル（メタ）アクリレート、スルホン酸ソーダエトキシ（メタ）アクリレート、スルホン酸−２−メチルプロパン−２−アクリルアミド、燐酸エステル基を有する（メタ）アクリレート、スルホン酸エステル基を有する（メタ）アクリレート、シラノ基を有する（メタ）アクリレート、（（ジ）アルキル）アミノ基を有する（メタ）アクリレート、４級（（ジ）アルキル）アンモニウム基を有する（メタ）アクリレート、（Ｎ−アルキル）アクリルアミド、（Ｎ、Ｎ−ジアルキル）アクリルアミド、アクリロイルモリホリンの如き単官能重合性化合物；ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、２，２’−ビス（４−（メタ）アクリロイルオキシポリエチレンオキシフェニル）プロパン、２，２’−ビス（４−（メタ）アクリロイルオキシポリプロピレンオキシフェニル）プロパン、ヒドロキシジピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジアクリレート、Ｎ−メチレンビスアクリルアミドの如き２官能重合性化合物；トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、の如き３官能重合性化合物；ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレートの如き４官能重合性化合物；ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートの如き６官能重合性化合物、などが挙げられる。
【００３１】
また、重合性化合物（ｂ）として、重合性官能基が残存した重合性化合物の重合物を用いることもでき、例えば、重量平均分子量が５００〜５００００のものが挙げられる。そのような重合性化合物の重合物しては、例えば、エポキシ樹脂の（メタ）アクリレート、ポリエーテル樹脂の（メタ）アクリレート、ポリブタジエン樹脂の（メタ）アクリレート、分子末端に（メタ）アクリロイル基を有するポリウレタン樹脂などが挙げられる。
【００３２】
重合性化合物（ｂ）として使用できるマレイミド系重合性化合物としては、例えば、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−ドデシルマレイミドの如きＮ−アルキルマレイミド；Ｎ−シクロヘキシルマレイミドの如きＮ−脂環族マレイミド；Ｎ−ベンジルマレイミド；Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−（アルキルフェニル）マレイミド、Ｎ−ジアルコキシフェニルマレイミド、Ｎ−（２−クロロフェニル）マレイミド、２，３−ジクロロ−Ｎ−（２，６−ジエチルフェニル）マレイミド、２，３−ジクロロ−Ｎ−（２−エチル−６−メチルフェニル）マレイミドの如きＮ−（置換又は非置換フェニル）マレイミド、Ｎ−ベンジル−２，３−ジクロロマレイミド、Ｎ−（４’−フルオロフェニル）−２，３−ジクロロマレイミドの如きハロゲンを有するマレイミド；Ｎ−（４−カルボキシ−３−ヒドロキシフェニル）マレイミドの如きカルボキシ基を有するマレイミド；Ｎ−メトキシフェニルマレイミドの如きアルコキシ基を有するマレイミド；Ｎ−［３−（ジエチルアミノ）プロピル］マレイミドの如きアミノ基を有するマレイミド；Ｎ−（１−ピレニル）マレイミドの如き多環芳香族マレイミド；Ｎ−（ジメチルアミノ−４−メチル−３−クマリニル）マレイミド、Ｎ−（４−アニリノ−１−ナフチル）マレイミドの如き複素環を有するマレイミドの如き単官能重合性化合物；４，４’−メチレンビス（Ｎ−フェニルマレイミド）、２，３−ビス（２，４，５−トリメチル−３−チエニル）マレイミド、１，２−ビスマレイミドエタン、１，６−ビスマレイミドヘキサン、トリエチレングリコールビスマレイミド、Ｎ，Ｎ’−ｍ−フェニレンジマレイミド、ｍ−トリレンジマレイミド、Ｎ，Ｎ’−１，４−フェニレンジマレイミド、Ｎ，Ｎ’−ジフェニルメタンジマレイミド、Ｎ，Ｎ’−ジフェニルエーテルジマレイミド、Ｎ，Ｎ’−ジフェニルスルホンジマレイミド、１，４−ビス（マレイミドエチル）−１，４−ジアゾニアビシクロ−［２，２，２］オクタンジクロリド、４，４’−イソプロピリデンジフェニル−ジシアナート・Ｎ，Ｎ’−（メチレンジ−ｐ−フェニレン）ジマレイミドの如き２官能重合性化合物；Ｎ−（９−アクリジニル）マレイミドの如きマレイミド基とマレイミド基以外の重合性官能基とを有するマレイミド、などが挙げられる。
【００３３】
重合性を有するマレイミド系の重合物としては、例えば、ポリテトラメチレングリコールマレイミドカプリエート、ポリテトラメチレングリコールマレイミドアセテートの如きポリテトラメチレングリコールマレイミドアルキレートなどが挙げられる。
マレイミド系の重合性化合物は、ビニルエーテル類や（メタ）アクリル系重合性化合物等の重合性炭素−炭素二重結合を有する化合物と共重合させることもできる。その他の重合性化合物（ｂ）としては、例えばビニルエーテル類、エポキシ化合物などを例示できる。
【００３４】
以上例示した重合性化合物（ｂ）は、単独で用いることも、２種類以上を混合して用いることもできる。特に、高分子量の重合性化合物は、低分子量の重合性化合物と併用することが好ましい。
【００３５】
イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）と重合性化合物（ｂ）との好ましい配合割合は、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）や重合性化合物（ｂ）の種類や組み合わせによって異なるが、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）は全重合性モノマーの２０質量％以上含有することが好ましく、３５〜９０質量％の範囲で含有することが、有機溶剤耐性の高いマイクロ流体デバイスを作製する上で好ましい。なかでも、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）を全重合性化合物の５０〜９０質量％の範囲で含有するものは、塗布した組成物の形状安定性に優れ、３５〜８０質量％の範囲で含有するものは、微細構造の加工に適している。
【００３６】
また、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）について、３官能性のイソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が、全イソシアヌレート環を有する重合性化合物の１０〜１００質量％の範囲にあることが、有機溶剤耐性の高いマイクロ流体デバイスを作製する上で好ましい。なかでも、塗布した組成物の形状安定性や均一な厚さの成形物を成形する場合には、３官能性のイソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が、全イソシアヌレート環を有する重合性化合物の２０〜１００質量％の範囲にあるものが好ましく、４０〜８０質量％の範囲にあることがさらに好ましい。また、微細な溝や孔を有する成形物を得る場合には、３官能性のイソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が、全イソシアヌレート環を有する重合性化合物の１０〜７０質量％の範囲にあるものが好ましく、２０〜５０質量％の範囲にあることがさらに好ましい。
【００３７】
また、３官能性のイソシアヌレート環を有する重合性化合物としては、トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレートを使用することが望ましい。
【００３８】
本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物は、重合遅延剤及び／又は重合禁止剤、好ましくは重合遅延剤を含有することも好ましい。重合遅延剤とは重合速度を低下させるものをいい、重合禁止剤とは重合開始までの導入時間を増加させるものをいう。一般に、重合遅延剤は、重合開始までの導入時間を実質的に増加させず、重合禁止剤は、重合開始後は重合速度を実質的に減少させないものをいうが、重合の導入時間を増加させ、かつ重合速度を低下させるもの、即ち、重合遅延剤であり且つ重合禁止剤であるものもある。また、熱重合においては重合遅延剤とされているが、重合速度の速いエネルギー線重合においては実質的に重合禁止剤として働くものもある。本発明に於いては、これらのいずれも使用することが出来る。
【００３９】
重合遅延剤や重合禁止剤をエネルギー線重合性樹脂組成物に添加することにより、該樹脂組成物をフォトリソグラフィーに用いた場合の解像度を向上させることができる。即ち、細かいパターンにおいても、底面に直角な壁面を形成しやすく、また深い溝を形成しやすい。更に、重合遅延剤や重合禁止剤の添加は、再現性を向上させる効果も有する。
【００４０】
重合遅延剤としては、例えばイソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）及び重合性化合物（ｂ）が（メタ）アクリロイル基含有化合物の場合には、スチレン、α−メチルスチレン、α−フェニルスチレン、ｐ−オクチルスチレン、ｐ−（４−ペンチルシクロヘキシル）スチレン、ｐ−フェニルスチレン、 ｐ−（ｐ−エトキシフェニル）フェニルスチレン、２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン、４，４’−ジビニルビフェニル、２−ビニルナフタレン等の、使用するイソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）及び重合性化合物（ｂ）より重合速度の低いビニル系重合性化合物を挙げることができる。
【００４１】
重合禁止剤としては、例えばイソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）及び重合性化合物（ｂ）が重合性の炭素−炭素二重結合含有化合物の場合には、ハイドロキノン、メトキシハイドロキノン等のハイドロキノン誘導体；ブチルヒドロキシトルエン、ｔｅｒｔ−ブチルフェノール、ジオクチルフェノールなどのヒンダントフェノール類等が挙げられる。
【００４２】
重合遅延剤や重合禁止剤はその種類によって効果の程度に相当の違いがあるため、本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物中のこれらの含有量を一概に濃度で規定することは困難である。本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物中の重合遅延剤や重合禁止剤の添加量は、エネルギー線照射によって該重合性組成物の重合体を形成する場合、該重合性組成物に流動性を喪失させる（即ち、ゲル化させる）に要するエネルギー線の線量が、重合遅延剤や重合禁止剤の非添加系の１．５倍〜５０倍、好ましくは２倍〜５０倍、更に好ましくは３倍〜５０倍、最も好ましくは５倍〜４０倍となる量である。上記範囲内であると、マイクロ流体デバイス用重合性組成物の硬化が好適に進行する。マイクロ流体デバイス用重合性組成物が流動性を喪失する点（ゲル化点）の測定法は、例えば、簡単には指などによる押圧により確かめることもできるし、より厳密には、硬化中の動的粘弾性測定を行い、損失弾性率と保存弾性率の交点をゲル化点とする方法を採用することができる。
【００４３】
上記の如き重合遅延性や重合禁止性を示すような重合遅延剤や重合禁止剤の含有量は、例えば上記のビニル系重合性化合物による重合遅延剤の場合には、好ましくは５００〜１００００００質量ｐｐｍ、更に好ましくは１０００〜５００００質量ｐｐｍであり、ハイドロキノン系重合禁止剤の場合には、好ましくは５００〜５００００質量ｐｐｍ、更に好ましくは１０００〜１００００質量ｐｐｍ、ヒンダントフェノール系重合禁止剤の場合には、好ましくは１０〜１０００質量ｐｐｍ、更に好ましくは２０〜５００質量ｐｐｍである。このように、重合遅延剤は、重合禁止剤に比べて多量に使用する必要があるが、逆にそのために正確な配合が容易で、重合速度の再現性の良い重合性組成物を得ることがせきるため好ましい。
【００４４】
本発明に用いるイソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）や重合性化合物（ｂ）の市販品には、自然重合防止を目的として、すでに重合禁止剤が配合されている場合がある。例えば、メタ（アクリル）系重合性化合物に対する自然重合防止を目的とする重合禁止剤の一般的な添加量は、ハイドロキノン系重合禁止剤の場合で１０００〜３０００質量ｐｐｍ程度、ヒンダントフェノール系重合禁止剤の場合には１０〜１００質量ｐｐｍ程度であるが、実際にこれらに含有されている重合禁止剤の量は、重合禁止剤の種類、重合性化合物の種類、調製されてからの貯蔵条件や経過時間などによってかなり異なる。なお、通常、市販重合性化合物に自然重合防止を目的として重合遅延剤が添加されることはない。
【００４５】
これら重合遅延剤や重合禁止剤の濃度は、必要に応じて、例えば、ガスクロマトグラフィー、液体クロマトグラフィー、マススペクトロスコピー、赤外吸収、可視・紫外吸収、核磁気共鳴（ＮＭＲ）等で測定することが出来る。
【００４６】
しかしながら、エネルギー線のパターニング照射により微細な構造を有する重合物を形成する場合には、自然重合防止を目的とする重合禁止剤の量では不十分である。本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物は、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）や重合性化合物（ｂ）が自然重合防止を目的とした重合禁止剤を含有する場合には、これらに更に重合遅延剤及び／又は重合禁止剤を添加したものである。即ち、本発明で添加する重合遅延剤及び／又は重合禁止剤の上記した好ましい添加量は、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）や重合性化合物（ｂ）が自然重合防止用の重合禁止剤を含有する場合には、それに追加して添加する量を意味する。
【００４７】
本発明に於いてマイクロ流体デバイス用重合性組成物に添加される重合禁止剤がイソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）や重合性化合物（ｂ）が自然重合防止を目的として含有する重合禁止剤と同じものである場合には、本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物に含有される重合禁止剤の内、原材料に由来する量と、本発明の目的のために添加された量との見分けが付かない場合がある。即ち、本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物の原材料として使用したイソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）や重合性化合物（ｂ）の製品名が判明している場合には判別可能であるが、原材料の製品名が不明の場合には判別不可能である。
【００４８】
そのような場合には、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）や重合性化合物（ｂ）に自然重合防止を目的として添加された重合禁止剤の量は、重合開始剤無添加で、１５℃にて６ヶ月間の保管によって、これらの自発的重合が実質的に生じない最少添加量の１．５倍（安全係数を含む）であるとして良い。この場合の本発明に於ける重合禁止剤の添加量は、自然重合防止を目的として添加される量の、好ましくは２倍〜３００倍、更に好ましくは３倍〜１００倍、最も好ましくは４倍〜３０倍である。
【００４９】
本発明ではマイクロ流体デバイス用重合性組成物に含有される重合遅延剤及び／又は重合禁止剤の添加量は、エネルギー線照射によって該マイクロ流体デバイス用重合性組成物に流動性を喪失させるに要するエネルギー線の線量が、重合遅延剤及び／又は重合禁止剤非添加系の１．５〜５０倍となる量であることが好ましい。ここで、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）や重合性化合物（ｂ）が自然重合防止を目的とした量の重合禁止剤を含有する場合には、それら重合禁止剤を含有したマイクロ流体デバイス用重合性組成物に流動性を喪失させるに要するエネルギー線の線量を１．０とし、その線量が１．５〜５０倍となる量の重合遅延剤及び／又は重合禁止剤をマイクロ流体デバイス用重合性組成物に添加することが好ましい。
【００５０】
これらの量は、重合遅延剤や重合禁止剤の種類、及び既に重合禁止剤がイソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）や重合性化合物（ｂ）に含まれているか否か等により異なり、一概に規定できないが、一般には、重合遅延剤の場合は、好ましくは５００〜１００００００質量ｐｐｍ、更に好ましくは１０００〜５００００質量ｐｐｍであり、重合禁止剤の場合は、好ましくは１０〜５００００質量ｐｐｍ、更に好ましくは２０〜１００００質量ｐｐｍである。
【００５１】
重合遅延剤や重合禁止剤を上記の濃度で含有することにより、細かいパターンを良好に形成しやすくなる。エネルギー線として光線を使用する場合には、光重合開始剤と、重合遅延剤及び／又は重合禁止剤を併用することが好ましい。本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物が光重合開始剤を含有する場合、或いは使用時に光重合開始剤を添加する場合には、光重合開始剤の含有量や添加量が多いほど、重合遅延剤や重合禁止剤の添加量を増すことが好ましい。もちろん、本発明の重合性組成物は、光重合開始剤を含有しない状態で流通させ、使用直前に光重合開始剤を添加することが好ましい。
【００５２】
重合開始剤について、共存する重合遅延剤や重合禁止剤はその種類によって効果に相当の違いがあるため、本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物中の含有量を一概に濃度で規定することは困難である。エネルギー線照射、特に、光照射による重合系の場合、
光重合開始剤の添加量は、重合遅延剤や重合禁止剤を添加しないときのゲル化点までの光照射量が、好ましくは０．０５〜２ｍＪ／cｍ2、更に好ましくは０．１〜１ｍＪ／cｍ2となる量である。本発明に於ける重合遅延剤及び／又は重合禁止剤の添加量は、ゲル化に要するエネルギー線の線量が、重合遅延剤や重合禁止剤の非添加系の１．５倍〜５０倍、好ましくは２倍〜５０倍、更に好ましくは３倍〜５０倍、最も好ましくは５倍〜４０倍となる量である。従って、光重合開始剤含有時の、重合遅延剤や重合禁止剤の添加量はゲル化に要する光照射量が、好ましくは０．１５〜５０ｍＪ／cｍ2、更に好ましくは０．５〜４０ｍＪ／cｍ2、最も好ましくは１〜１０ｍＪ／cｍ2である。
【００５３】
マイクロ流体デバイス用重合性組成物に必要に応じて含有させることの出来る光重合開始剤は、本発明で使用する光源に対して活性であり、マイクロ流体デバイス用重合性組成物を重合させることが可能なものであれば、特に制限はなく、公知慣用の、例えば、ラジカル重合開始剤、アニオン重合開始剤、カチオン重合開始剤であって良い。勿論、光重合開始剤は、光重合開始助剤と組み合わせて添加しても良い。
【００５４】
そのような光重合開始剤としては、例えば、ｐ−tert−ブチルトリクロロアセトフェノン、２，２’−ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オンの如きアセトフェノン類；ベンゾフェノン、４、４’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントンの如きケトン類；
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルの如きベンゾインエーテル類；ベンジルジメチルケタール、ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンの如きベンジルケタール類；Ｎ−アジドスルフォニルフェニルマレイミドの如きアジドなどが挙げられる。
【００５５】
また、光重合開始剤として、マレイミド系化合物の如き重合性光重合開始剤を用いることもできる。重合性光重合開始剤としては、例えば、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）と共重合体を形成しうる重合性化合物（ｂ）として例示した単官能及び多官能マレイミド系重合性化合物が挙げられる。
【００５６】
マイクロ流体デバイス用重合性組成物に添加する光重合開始剤の使用量は、非重合性光重合開始剤の場合、０．１〜２０質量％の範囲が好ましく、０．５〜１５質量％の範囲がさらに好ましく、１〜１０質量％の範囲が最も好ましい。本発明に於ける光重合開始剤の添加量は、通常の（即ち、重合遅延剤や、自然重合禁止目的以上の量の重合禁止剤が添加されていない）光硬化性組成物の２倍以上とすることが好ましい。但し、光重合開始剤が重合性光重合開始剤の場合にはこの限りではない。
【００５７】
本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物には、必要に応じて、その他の成分を混合することもできる。その他の成分としては、例えば、溶剤、改質剤、増粘剤、着色剤などが挙げられる。
【００５８】
本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物に必要に応じて含有させることができる溶剤としては、マイクロ流体デバイス用重合性組成物と均一に混合する任意の揮発性の溶剤が挙げられる。イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）と重合性化合物（ｂ）の相溶性が低い場合、溶剤の添加は、均一なマイクロ流体デバイス用重合性組成物を調製するために好適である。また、溶剤の添加は、マイクロ流体デバイス用重合性組成物の粘度調節や、非常に薄い塗膜を形成する場合に好適に行うことができる。溶剤は、マイクロ流体デバイス用重合性組成物の塗工等賦形後に、揮発除去することが好ましい。
【００５９】
これらの混合可能な溶剤としては、例えば、ヘキサン、デカンなどの脂肪族炭化水素系溶剤、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶剤、四塩化炭素、クロロホルム、ジクロロメタン、１，１，２−トリクロロエタン、クロロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素系溶剤、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテルなどのエーテル系溶剤、メタノール、エタノール、２−プロパノール、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール系溶剤、アセトン、２−ブタノンなどのケトン系溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系溶剤、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドンなどのアミド系溶剤、ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶剤、及びこれらを含む混合溶剤が挙げられる。
【００６０】
本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物に必要に応じて含有させることができる改質剤としては、例えば親水化剤が有り、親水化剤としては、ポリアクリルアミド、ポリビニルピロリドンなどの親水性重合体；ノニオン性、アニオン性、カチオン性などの界面活性剤などを挙げることができる。
【００６１】
本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物に必要に応じて添加することができる増粘剤としては、例えば、ポリビニルピロリドン、ポリヒドロキメチルスチレンの如き線状重合体；クレイの如き粉末が挙げられる。また、マイクロ流体デバイス用重合性組成物に必要に応じて含有させることができる改質剤としては、例えば親水性向上剤として作用するシリカゲル、酸化チタンの如き無機粉末；セルロースの如き有機粉末が挙げられる。
【００６２】
本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物に必要に応じて含有させることができる着色剤としては、着色剤としての色素や顔料、アントラセンなどの蛍光色素や蛍光顔料、２−ベンゾトリアゾイル−４−メトキシフェノールなどの紫外線吸収剤などが挙げられる。
【００６３】
本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物は、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）、重合性化合物（ｂ）、重合遅延剤及び／又は重合禁止剤は均一に相溶している必要がある。但し、必要に応じて添加される添加物は、例えば補強用のフィラーのように、分散していても良い。本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物の粘度は任意であるが、２５℃において０．００１〜１００Ｐａ・ｓの範囲が好ましく、さらには０．００５〜５０Ｐａ・ｓの範囲がより好ましい。粘度は、例えば山一電機株式会社製ＶＭ−１００Ａディジタル粘度計で測定することができる。粘度をこの範囲とすることにより、作業性や解像度を向上させることができ、溶剤の使用や、溶剤の揮発工程が不要となる。本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物は固体であってもよく、この場合には溶剤を添加して、粘度を上記の値に調節することが好ましい。重合速度の向上や重合を完全に行なうことを目的として、或いは、重合体中への気泡の発生の防止を目的として、本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物の溶存酸素を除去することも好ましい。
【００６４】
本発明の重合性組成物は、該組成物のエネルギー線照射により重合した重合物を５０℃の有機溶剤に２時間浸漬したときの最大伸び率が、好ましくは２％以下、さらに好ましくは１％以下、最も好ましくは０．５％以下となるものである。下限は測定誤差内でゼロであり得る。このようにすることにより、本発明の重合性組成物を用いて作製したマイクロ流体デバイスに対して該有機溶剤を用いた際にも、部材間の剥離や流路壁の変形などが無く、好適に使用することが可能となる。上記有機溶剤としては、ヘキサン、デカンなどの脂肪族炭化水素系溶剤、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶剤、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドンなどのアミド系溶剤、ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶剤、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテルなどのエーテル系溶剤、ジクロロメタン、クロロホルム、四塩化炭素、１，１，２−トリクロロエタン、クロロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素系溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系溶剤、アセトン、２−ブタノンなどのケトン系溶剤、メタノール、エタノール、２−プロパノール、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール系溶剤を例示できる。
【００６５】
本発明の重合性組成物のエネルギー線照射による重合物は、これらの中で、好ましくは、少なくともヘキサンに対して上記の試験で上記の伸び率の耐性を有し、さらに好ましくは、それに加えてトルエンに対して上記の試験で上記の伸び率の耐性を有し、さらに好ましくは、それに加えてＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドに対して上記の試験で上記の伸び率の耐性を有し、さらに好ましくは、それに加えてクロロホルムに対して上記の試験で上記の伸び率の耐性を有し、さらに好ましくは、それに加えて１，４−ジオキサンに対して上記の試験で上記の伸び率の耐性を有し、最も好ましくは、上記の有機溶剤全てに対して上記の試験で上記の伸び率の耐性を有すものである。これらの有機溶剤に対する耐性は、イソシアヌレート環を有する重合性化合物（ａ）として、上記化合物の中から好適に選択使用し、重合性組成物を上記のような組成とすることにより得ることができる。
［マイクロ流体デバイス］
マイクロ流体デバイスはその内部に微細な毛細管状の流路を有し、該流路内にて、反応、化学工学的処理、検出などを行うものである。本発明のマイクロ流体デバイスは、毛細管状の流路部分の少なくとも一部が前記のマイクロ流体デバイス用重合性組成物の重合物からなる部材により形成されることを特徴とする。本発明のマイクロ流体デバイスの流路部分は、毛細管状の流路であれば任意であり、例えば、任意の形状の部材中に形成された、任意の断面形状の流路であり得る。このような流路の形成方法は任意であり、例えば、マイクロ光造形法、フォトリソグラフによる溝の形成と蓋の固着、光キャスト成型による溝の形成と蓋の固着、等を例示できる。
【００６６】
本発明のマイクロ流体デバイスの構成は特に制限されないが、デバイス中への微細流路の形成や各種機構の形成などの観点から、多層構造を有するものが好ましい。なかでも、マイクロ流体デバイスの流路部分が、流路底部となる底部材（Ａ）、流路壁部となる部材を貫通する欠損部を有する壁部材（Ｂ）、及び流路蓋部となる蓋部材（Ｃ）とが積層された構造により形成されていることが好ましい。
【００６７】
本発明の好ましい形態のマイクロ流体デバイスで用いられる底部材（Ａ）は、部材を貫通する欠損部を有する壁部材（Ｂ）の欠損部が形成された面に接着し、底部材（Ａ）、壁部材（Ｂ）の欠損部、及び蓋部材（Ｃ）を以て毛細管状の流路を形成可能なものであれば、その形状、構造、表面状態などは任意である。例えば、シート状（フィルム、リボンを含む）、板状、塗膜状、棒状、チューブ状、その他複雑な形状の成型物などであり得るが、成形し易く、エネルギー線を照射し易いといった面から、接着すべき面が平面状の形状であること、特にシート状又は板状であることが好ましい。底部材（Ａ）は支持体上に形成されたものであってもよい。この場合の支持体の素材は任意であり、例えば、樹脂、ガラス、セラミック、金属、半導体などであって良い。支持体の形状も任意であり、例えば、板状物、シート状物、塗膜、棒状物、紙、布、不織布、多孔質体、射出成型品等であって良い。複数のマイクロ流体デバイスを１つの底部材（Ａ）上に形成することも可能であるし、製造後、これらを切断して複数のマイクロ流体デバイスとすることも可能である。
【００６８】
本発明の好ましい形態のマイクロ流体デバイスで用いられる壁部材（Ｂ）は、部材を貫通する欠損部を有し、壁部材（Ｂ）、底部材（Ａ）、及び蓋部材（Ｃ）を以て毛細管状の流路を形成するものである。
【００６９】
本発明の好ましい形態のマイクロ流体デバイスで用いられる蓋部材（Ｃ）は、部材を貫通する欠損部を有する壁部材（Ｂ）の欠損部が形成された面に接着し、蓋部材（Ｃ）、底部材（Ａ）、及び壁部材（Ｂ）の欠損部を以て毛細管状の流路を形成可能なものであれば、その形状、構造、表面状態などは任意であり、例えば、形状、構造、表面状態などについては底部材（Ａ）の場合と同様である。
【００７０】
本発明のマイクロ流体デバイスが、これら部材の積層構造である場合には、底部材（Ａ）、壁部材（Ｂ）あるいは蓋部材（Ｃ）のいずれかが上記マイクロ流体デバイス用重合性組成物から形成されていればよいが、少なくとも蓋部材（Ｃ）が上記マイクロ流体デバイス用組成物から形成されていることが好ましく、全ての部材が上記マイクロ流体デバイス用重合性組成物から形成されていることが更に好ましい。
【００７１】
上記マイクロ流体デバイス用重合性組成物を底部材（Ａ）及び蓋部材（Ｃ）に適用する場合には、該組成物中における前記式（１）中のＲ１が前記式（２）で表される基であるイソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が、全イソシアヌレート環を有する重合性化合物の２０〜１００質量％の範囲にあるマイクロ流体デバイス用重合性組成物であることが好ましく、該組成物中における前記イソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が、全重合性化合物の含有量の５０〜９０質量％の範囲にあり、且つ、前記式（１）中のＲ１が前記式（２）で表される基であるイソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が全イソシアヌレート環を有する重合性化合物中の４０〜８０質量％の範囲にあるマイクロ流体デバイス用重合性組成物であると更に好ましい。
また、底部材（Ａ）及び蓋部材（Ｃ）としては、本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物以外の素材の部材を使用してもよい。他の素材としては、例えば、樹脂、ガラス、石英の如き結晶、セラミック、シリコンの如き半導体、金属などが使用できる。これら他の部材を使用する場合には、易成形性、高生産性、低価格などの点からは樹脂を好ましく使用でき、スチレン系重合物、（メタ）アクリル系重合物、ポリカーボネート系重合物、ポリスルホン系重合物、ポリエステル系重合物等を好ましく使用できる。また、本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物と、これらの樹脂を混合して使用してもよい。
上記マイクロ流体デバイス用重合性組成物を壁部材（Ｂ）に適用する場合には、該組成物中におけるおける前記式（１）中のＲ１が前記式（２）で表される基であるイソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が、全イソシアヌレート環を有する重合性化合物の１０〜７０質量％の範囲にあるマイクロ流体デバイス用重合性組成物であることが好ましく、該組成物中における前記イソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が、全重合性化合物の含有量の５０〜８０質量％の範囲にあり、且つ、前記式（１）中のＲ１が前記式（２）で表される基であるイソシアヌレート環を有する重合性化合物の含有量が全イソシアヌレート環を有する重合性化合物中の２０〜５０質量％の範囲にあるマイクロ流体デバイス用重合性組成物であると更に好ましい。
また、壁部材（Ｂ）としては、本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物以外の樹脂を使用してもよい。他の樹脂を使用する場合には、易成形性、高生産性、低価格などの点から、スチレン系重合物、（メタ）アクリル系重合物、ポリカーボネート系重合物、ポリスルホン系重合物、ポリエステル系重合物等を好ましく使用できる。また、本発明のマイクロ流体デバイス用重合性組成物と、これらの樹脂を混合して使用してもよい。
【００７２】
次に、本発明の好ましい形態のマイクロ流体デバイスの製造方法について例示する。まず、底部材（Ａ）に、エネルギー線重合性化合物を含有する組成物を厚さ５〜１０００μｍとなるように塗布し、該塗膜の幅５〜３０００μｍの溝と成るべき部分以外の部分にエネルギー線を照射して、エネルギー線重合性化合物を含有する組成物が流動性を喪失し、かつ未反応の重合性基が残存する程度まで半硬化させる。次いで、未照射部分の未重合の組成物を除去することによって底部材（Ａ）の表面に深さ５〜１０００μｍ、幅５〜３０００μｍの溝を形成し、その上に蓋部材（Ｃ）を接触させ、その状態で底部材（Ａ）及び／又は蓋部材（Ｃ）の外部からエネルギー線を照射して、エネルギー線重合性化合物を含有する組成物を完全に硬化させ壁部材（Ｂ）を形成させる方法である。
【００７３】
重合性組成物は、光重合開始剤を含まない状態で保存し、上記賦形する前に、光重合開始剤を混合することが好ましい。また、重合性組成物は、上記賦形前に、５０〜７０℃程度に加熱して、保存中に発生した微細な結晶を融解させたり、保存中に形成されたゲルを融解させて、均一な溶液とすることが好ましい。
【００７４】
底部材（Ａ）にエネルギー線重合性化合物を含有する組成物を塗布する方法としては、底部材（Ａ）の上に塗布できる任意の塗布方法を用いることができ、例えば、スピンコート法、ローラーコート法、流延法、ディッピング法、スプレー法、バーコーターを用いる方法、Ｘ−Ｙアプリケータによる方法、スクリーン印刷法、凸版印刷法、グラビア印刷法、などが挙げられる。塗布部位は任意であるが、後に形成される壁部材（Ｂ）の壁面を含む部位であることが必要である。部分的に塗布する場合には、Ｘ−Ｙアプリケーターを用いる方法や各種印刷法などにより実施することができる。
【００７５】
底部材（Ａ）へのエネルギー線重合性化合物を含有する組成物の塗布厚みは、５μｍ以上であり、１０μｍ以上が好ましく、３０μｍ以上であることがさらに好ましい。これより薄いと密着が困難となり、部在間への漏洩が生じがちとなる。塗布厚みはまた、１０００μｍ以下であり、３００μｍ以下が好ましく、１００μｍ以下であることがさらに好ましい。これより厚いと本発明の効果が減じる。塗布厚みは塗布部全体に渡って均一である必要はないが、蓋部材（Ｃ）が密着可能な形状であることが必要である。例えば、蓋部材（Ｃ）が柔軟なシート状物である場合には、厚みはゆるやかな傾斜がついていてもよいし、蓋部材（Ｃ）が凹凸を有する表面を有するものであれば、それに応じた凹凸を有していてもよい。しかし、板状の蓋部材（Ｃ）を用いる場合には、厚みは均一であることが好ましい。
【００７６】
エネルギー線重合性化合物を含有する組成物の塗膜について、壁部材（Ｂ）の溝となるべき部分以外の部分にエネルギー線を照射し、照射部位の塗膜を、ゲル化点以上で、且つ未反応の重合性反応基が残存する程度に半硬化させる。ゲル化点とは、塗膜中で架橋重合が進行し、塗膜全体にわたって、網目中に未反応のエネルギー線重合性化合物を吸蔵した網目状の重合物が形成される反応時点を言い、重合反応がゲル化点を過ぎると塗膜は流動性を喪失する底部材（Ａ）に塗布されたエネルギー線重合性化合物を含有する組成物の塗膜の流動性が無くなった状態で蓋部材（Ｃ）と積層する。これにより、エネルギー線重合性化合物を含有する組成物の塗膜と蓋部材（Ｃ）を密着させることができる。
【００７７】
半硬化に用いるエネルギー線は、エネルギー線重合性化合物を含有する組成物を重合させることが可能なものである。このようなエネルギー線としては、紫外線、可視光線、赤外線の如き光線；エックス線、ガンマ線の如き電離放射線；電子線、イオンビーム、ベータ線、重粒子線の如き粒子線が挙げられるが、取り扱い性や重合速度の面から紫外線及び可視光が好ましく、紫外線が特に好ましい。重合速度を速め、半硬化を完全に行なう目的で、エネルギー線の照射を低酸素濃度雰囲気で行なうことが好ましい。低酸素濃度雰囲気としては、窒素気流中、二酸化炭素気流中、アルゴン気流中、真空又は減圧雰囲気が好ましい。
【００７８】
壁部材（Ｂ）の溝となる部分を除いてエネルギー線を照射する方法は、フォトリソグラフィーの手法を用いることができる。例えば、溝となる部分を覆って、エネルギー線重合性化合物を含有する組成物の塗膜にエネルギー線を照射する方法、あるいはレーザー光線などのエネルギー線ビームを走査して必要部位のみ照射する方法を採ることができる。エネルギー線照射は、エネルギー線重合性化合物を含有する組成物の塗膜に直角な方向から照射することが好ましいが、必ずしもこれに限定されない。照射は、塗膜面から行うことが好ましいが、底部材（Ａ）を通して行ってもよい。
【００７９】
エネルギー線重合性化合物を含有する組成物の半硬化塗膜中に形成する溝の幅は５μｍ以上であり、１０μｍ以上が好ましく、３０μｍ以上であることがさらに好ましい。これより狭い幅の溝を有するマイクロ流体デバイスは製造が困難となる。溝の幅は３０００μｍ以下であり、３００μｍ以下が好ましく、１００μｍ以下であることがさらに好ましい。これより溝の幅が広いと、本発明の効果が減じる。溝の深さは、エネルギー線重合性化合物を含有する組成物の塗布厚みとほぼ等しくなる。溝の幅／深さ比は任意であるが、０．２〜５の範囲が好ましく、０．５〜２．０の範囲がさらに好ましい。上面から見た溝の形状は直線である必要はなく、任意の形状であってよい。また、溝の断面形状も、方形、台形、半円形など任意である。底部材（Ａ）上において、溝に接続して他の構造、例えば、液溜め、反応槽、流速計測部、弁、バルブ、ゲルが充填された溝、分離膜、などが形成されていても良い。エネルギー線を照射しない部分の幅と形成される溝の幅とは必ずしも一致しない。エネルギー線照射量、エネルギー線重合開始剤濃度、エネルギー線重合性化合物の濃度などにより、溝の幅は照射されない幅より広くも狭くもなりうる。しかし、エネルギー線を照射しない部分の幅と形成される溝の幅との関係は、使用する系での簡単な実験により知ることができる。
【００８０】
次いで、未照射部分の未重合のエネルギー線重合性化合物を除去する。除去方法は任意であり、例えば、圧縮空気などによる吹き飛ばし、ろ紙などによる吸収、非溶剤の液体流による洗い流し、溶剤洗浄、揮発、などの方法が利用できる。これらの中で、非溶剤の液体流による洗い流し、及び溶剤洗浄が好ましい。
【００８１】
未照射部分の未重合のエネルギー線重合性化合物を除去した後、エネルギー線重合性化合物を含有する組成物の半硬化させた塗膜の面に、蓋部材（Ｃ）を接触させ、その状態で底部材（Ａ）及び／又は蓋部材（Ｃ）の外部からエネルギー線を照射することにより、エネルギー線重合性化合物を含有する組成物を完全に硬化させる。ここで言う完全硬化とは、十分な硬度となる程度の硬化を言い、必ずしも、重合性の基が完全に消失する必要はない。
【００８２】
得られたマイクロ流体デバイスは、壁部材（Ｂ）からなる重合物の欠損部と底部材（Ａ）、蓋部材（Ｃ）間でもって、キャピラリー状の空間が形成されている。該空間は該デバイス外に連絡していてもよいし、連絡していなくてもよい。後者の場合、別途ドリルなどで孔を穿つことにより、該デバイス外と連絡させることができる。
【００８３】
なお、本発明のマイクロ流体デバイスの製造方法は、上記の例示に限定されるものではない。
【００８４】
得られたマイクロ流体デバイスは、部材同士が強固に接着している場合には、そのまま使用に供することができるし、接着力が弱い場合には、ねじ止め、クランプその他の方法にて固定して使用することも可能である。
【００８５】
本発明のマイクロ流体デバイスは、用いる重合性組成物の種類や配合によって、種々の有機溶剤に対する耐性を持たすことができる。ここで言う有機溶剤耐性とは、有機溶剤を流路中に保持又流す使用方法において、流路の閉塞や有機溶剤の漏洩がなく、部材間の剥離も生じず、使用可能であることをいうが、好ましくは、有機溶剤を流路中に保持又は流動させた状態で、５０℃において２時間保持したとき、流路の閉塞や有機溶剤の漏洩がなく、部材間の剥離も生じないことをいい、より好ましくは、上記の条件で、流路断面形状の変形や流路壁の変形が実質的に無く、圧力損失の変化も１０％以下であることをいう。
【００８６】
上記有機溶剤としては、ヘキサン、デカンなどの脂肪族炭化水素系溶剤、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶剤、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドンなどのアミド系溶剤、ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド系溶剤、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテルなどのエーテル系溶剤、ジクロロメタン、クロロホルム、四塩化炭素、１，１，２−トリクロロエタン、クロロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素系溶剤、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系溶剤、アセトン、２−ブタノンなどのケトン系溶剤、メタノール、エタノール、２−プロパノール、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール系溶剤を例示できる。
【００８７】
本発明のマイクロ流体デバイスは、これらの中で、好ましくは、少なくともヘキサンに対して上記の有機溶剤耐性を有し、さらに好ましくは、それに加えてトルエンに対して上記の有機溶剤耐性を有し、さらに好ましくは、それに加えてＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドに対して上記の有機溶剤耐性を有し、さらに好ましくは、それに加えてクロロホルムに対して上記の有機溶剤耐性を有し、さらに好ましくは、それに加えて１，４−ジオキサンに対して上記の試験で上記の有機溶剤耐性を有し、最も好ましくは、上記の有機溶剤全てに対して上記の有機溶剤耐性を有すものである。
【実施例】
【００８８】
以下、実施例を用いて本発明を更に詳しく説明するが、本発明は、以下の実施例の範囲に限定されるものではない。
【００８９】
なお、以下の実施例において、「部」及び「％」は、特に断りがない限り、各々「部」及び「質量％」を表わす。
【００９０】
（実施例１）
〔薄膜の作製〕
東亞合成株式会社製トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート「アロニックスＭ−３１５」１８部、東亞合成株式会社製ビス（アクリロキシエチル）ヒドロキシエチルイソシアヌレート「アロニックスＭ−２１５」７２部、第一工業製薬株式会社製１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」１０部、及び、光重合開始剤としてチバガイギー社製１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュア１８４」２部を均一に混合して組成物（Ｘ１）を調製した。
表面がコロナ処理された厚さ３０μｍの二村化学株式会社性二軸延伸ポリプロピレン・シート（以下、ＯＰＰシートと称する）をガラス板に貼り付けた基材に、１５２μｍのバーコーターを用いて組成物（Ｘ１）を塗工し、該塗膜に３０００Ｗメタルハライドランプを光源とするアイグラフィックス株式会社製のＵＥ０３１−３５３ＣＨＣ型ＵＶ照射装置（以下、「ランプ１」と称する。）を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、窒素気流下で４０秒間照射して組成物（Ｘ３）を硬化させ、その後、ガラス板に貼り付けたＯＰＰシートから分離することにより、該組成物の硬化物からなる厚さ１００μｍの薄膜［Ｆ−１］を得た。
【００９１】
〔有機溶剤耐性試験〕
得られた薄膜［Ｆ−１］に対して、有機溶剤耐性試験を行った。幅２ｃｍ×長さ９ｃｍ×厚さ１００μｍに調整した［Ｆ−１］を順次、ヘキサン、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、クロロホルム、１，４−ジオキサンに５０℃で２時間ずつ、浸せきした。伸び率測定の結果、いずれの溶媒に対しても、長さ方向の伸び率は０．５％以下であった。
【００９２】
（実施例２）
〔薄膜の作製〕
東亞合成株式会社製トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート「アロニックスＭ−３１５」４０部、東亞合成株式会社製ビス（アクリロキシエチル）ヒドロキシエチルイソシアヌレート「アロニックスＭ−２１５」４０部、第一工業製薬株式会社製１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」２０部、及び、光重合開始剤としてチバガイギー社製１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュア１８４」２部を均一に混合して組成物（Ｘ２）を調製した。
【００９３】
組成物（Ｘ１）の代わりに組成物（Ｘ２）を用いる以外は実施例１と同様にして、組成物（Ｘ２）の硬化物からなる厚さ１００μｍの薄膜［Ｆ−２］を得た。
【００９４】
〔有機溶剤耐性試験〕
得られた薄膜［Ｆ−２］に対して、有機溶剤耐性試験を行った。幅２ｃｍ×長さ９ｃｍ×厚さ１００μｍに調整した［Ｆ−２］を順次、ヘキサン、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、クロロホルム、１，４−ジオキサンに５０℃で２時間ずつ、浸せきした。伸び率測定の結果、いずれの溶媒に対しても、長さ方向の伸び率は０．５％以下であった。
【００９５】
（実施例３）
〔薄膜の作製〕
東亞合成株式会社製トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート「アロニックスＭ−３１５」３０部、東亞合成株式会社製ビス（アクリロキシエチル）ヒドロキシエチルイソシアヌレート「アロニックスＭ−２１５」４０部、第一工業製薬株式会社製１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」３０部、光重合開始剤としてチバガイギー社製１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュア１８４」２部、及び重合遅延剤として関東化学株式会社製２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン０．５部を均一に混合して組成物（Ｘ３）を調製した。
【００９６】
組成物（Ｘ１）の代わりに組成物（Ｘ３）を用い、ランプ１による紫外線照射時間を２分間行う以外は実施例１と同様にして、組成物（Ｘ３）の硬化物からなる厚さ１００μｍの薄膜［Ｆ−３］を得た。
【００９７】
〔有機溶剤耐性試験〕
得られた薄膜［Ｆ−３］に対して、有機溶剤耐性試験を行った。幅２ｃｍ×長さ９ｃｍ×厚さ１００μｍに調整した［Ｆ−３］を順次、ヘキサン、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、クロロホルム、１，４−ジオキサンに５０℃で２時間ずつ、浸せきした。伸び率測定の結果、いずれの溶媒に対しても、長さ方向の伸び率は０．５％以下であった。
【００９８】
（実施例４）
〔底部材（Ａ）の作製〕
２cm×９cmのアクリル樹脂（日東樹脂工業株式会社製の「クラレックス S0」）製の厚さ１mmの平板上にスピンコーターを用いて組成物（Ｘ１）を塗工し、該塗膜にランプ１を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、窒素気流下で４０秒間照射して組成物（Ｘ１）を硬化させ、底部材（Ａ）［Ａ−１］を形成した。
【００９９】
〔壁部材（Ｂ）の作製〕
東亞合成株式会社製トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート「アロニックスＭ−３１５」４０部、東亞合成株式会社製ビス（アクリロキシエチル）ヒドロキシエチルイソシアヌレート「アロニックスＭ−２１５」４０部、第一工業製薬株式会社製１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」２０部、光重合開始剤としてチバガイギー社製１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュア１８４」２部、及び重合遅延剤として関東化学株式会社製２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン０．５部を均一に混合して組成物（Ｘ４）を調製した。
【０１００】
底部材（Ａ）［Ａ−１］にスピンコーターを用いて組成物（Ｘ４）を塗工し、次いで、図１に示した形状の溝（３）となる部分をフォトマスキングし、２５０Ｗ高圧水銀ランプを光源とするウシオ電機株式会社製のマルチライト２５０Ｗシリーズ露光装置用光源ユニット（以下、「ランプ２」と称する。）を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が５０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を１８５秒間照射した後、エタノールを用いて洗浄することにより未重合の組成物（Ｘ４）を除去し、図１に示された形状の、底部材（Ａ）［Ａ−１］（１）の表面に、幅２５μm×深さ２６μmの溝（３）が形成された組成物（Ｘ４）の半硬化塗膜が形成された壁部材（Ｂ）［Ｂ−１］を作製した。
【０１０１】
〔蓋部材（Ｃ）の作製〕
東亞合成株式会社製トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート「アロニックスＭ−３１５」１８部、東亞合成株式会社製ビス（アクリロキシエチル）ヒドロキシエチルイソシアヌレート「アロニックスＭ−２１５」７２部、第一工業製薬株式会社製１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」１０部、及び、光重合開始剤としてチバガイギー社製１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュア１８４」０．２部を均一に混合して組成物（Ｘ５）を調製した。
ＯＰＰシートを転写用支持体として使用し、これをガラス板に貼り付けた基材に、１５２μｍのバーコーターを用いて組成物（Ｘ５）を塗工し、該塗膜にランプ１を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、窒素気流下で５秒間照射して組成物（Ｘ５）を半硬化させ、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を形成した。
【０１０２】
〔接着〕
窒素ガス雰囲気中にて、壁部材（Ｂ）［Ｂ−１］の組成物（Ｘ４）塗布面と、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を積層して接触させ、ランプ１を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、窒素気流下で１０秒間照射して接着し、図１及び図２に示された形状の、底部材（Ａ）［Ａ−１］（１）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）によって挟持された壁部材（Ｂ）［Ｂ−１］（３）の欠損部として、デバイス外への開口部（６、６’）を有するキャピラリー状の空間（５）が形成されたマイクロ流体デバイス［Ｄ−１］を得た。
【０１０３】
〔流通及び有機溶剤耐性試験〕
得られたマイクロ流体デバイス［Ｄ−１］に対して、流通及び有機溶剤耐性試験を行った。図２に示したキャピラリー開口部（６）からメタノールを導入したところ、キャピラリー状の空間（５）の閉塞は認められなかったことより、マイクロ流体デバイス［Ｄ−１］の流通が確認された。
次いで、キャピラリー状の空間（５）に、毎分１０μｌの流速で、ヘキサン、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、クロロホルム、１，４−ジオキサンをそれぞれ独立に、２５℃または５０℃にて６時間連続流通させたが、キャピラリー状の空間（５）から底部材（Ａ）［Ａ−１］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−１］（２）の間隙、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−１］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）の間隙への有機溶剤の漏洩や、底部材（Ａ）［Ａ−１］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−１］（２）、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−１］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）の剥離は認められなかった。
【０１０４】
（実施例５）
〔底部材（Ａ）の作製〕
東亞合成株式会社製トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート「アロニックスＭ−３１５」５０部、東亞合成株式会社製ビス（アクリロキシエチル）ヒドロキシエチルイソシアヌレート「アロニックスＭ−２１５」５０部、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（以下、「ＤＭＡＣ」と称する。）１８０部、グリセリン４５部、及び、光重合開始剤としてチバガイギー社製１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュア１８４」２部を均一に混合して組成物（Ｘ６）を調製した。
【０１０５】
次いで、実施例４と同様にして、組成物（Ｘ１）を硬化させた、２cm×９cmのアクリル樹脂（日東樹脂工業株式会社製の「クラレックス S0」）製の厚さ１mmの平板上に、スピンコーターを用いて組成物（Ｘ６）を塗工し、該塗膜にランプ１を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、窒素気流下で６０秒間照射した後、ヘキサン、次いでエタノールを用いて洗浄、ＤＭＡＣ及びグリセリンを除去して、多孔質性表面を有する底部材（Ａ）［Ａ−２］を作製した。
【０１０６】
〔壁部材（Ｂ）の作製〕
底部材（Ａ）［Ａ−１］を用いる代わりに、底部材（Ａ）［Ａ−２］を用いた以外は実施例４と同様にして、壁部材（Ｂ）［Ｂ−２］を作製した。
【０１０７】
〔蓋部材（Ｃ）の作製〕
実施例４と同様にして、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を作製した。
【０１０８】
〔接着〕
窒素ガス雰囲気中にて、壁部材（Ｂ）［Ｂ−２］の組成物（Ｘ４）塗布面と、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を積層して接触させ、ランプ１を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、窒素気流下で１０秒間照射して接着し、図１及び図２に示された形状の、底部材（Ａ）［Ａ−２］（１）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）によって挟持された壁部材（Ｂ）［Ｂ−２］（３）の欠損部として、デバイス外への開口部（６、６’）を有するキャピラリー状の空間（５）が形成されたマイクロ流体デバイス［Ｄ−２］を得た。
【０１０９】
〔流通及び有機溶剤耐性試験〕
得られたマイクロ流体デバイス［Ｄ−２］に対して、流通及び有機溶剤耐性試験を行った。図２に示したキャピラリー開口部（６）からメタノールを導入したところ、キャピラリー状の空間（５）の閉塞は認められなかったことより、マイクロ流体デバイス［Ｄ−２］の流通が確認された。
次いで、キャピラリー状の空間（５）に、毎分１０μｌの流速で、ヘキサン、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、クロロホルム、１，４−ジオキサンをそれぞれ独立に、２５℃または５０℃にて６時間連続流通させたが、キャピラリー状の空間（５）から底部材（Ａ）［Ａ−２］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−２］（２）の間隙、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−２］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）の間隙への有機溶剤の漏洩や、底部材（Ａ）［Ａ−２］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−２］（２）、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−２］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）の剥離は認められなかった。
【０１１０】
（実施例６）
〔底部材（Ａ）の作製〕
大日本インキ化学工業株式会社製の平均分子量約２０００の３官能ウレタンアクリレートオリゴマー「ユニディックＶ−４２６３」８０部、第一工業製薬株式会社製１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」２０部、及び、光重合開始剤としてチバガイギー社製１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュア１８４」２部を均一に混合して組成物（Ｙ１）を調製した。
２cm×９cmのアクリル樹脂（日東樹脂工業株式会社製の「クラレックス S0」）製の厚さ１mmの平板上にスピンコーターを用いて製膜液（Ｙ１）を塗工し、該塗膜にランプ１を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、大気中で４０秒間照射して組成物（Ｙ１）を硬化させ、底部材（Ａ）［Ａ−３］を形成した。
【０１１１】
〔壁部材（Ｂ）の作製〕
底部材（Ａ）［Ａ−１］を用いる代わりに、底部材（Ａ）［Ａ−３］を用いた以外は実施例４と同様にして、壁部材（Ｂ）［Ｂ−３］を作製した。
【０１１２】
〔蓋部材（Ｃ）の作製〕
実施例４と同様にして、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を作製した。
【０１１３】
〔接着〕
窒素ガス雰囲気中にて、壁部材（Ｂ）［Ｂ−３］の組成物（Ｘ４）塗布面と、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を積層して接触させ、ランプ１を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、窒素気流下で１０秒間照射して接着し、図１及び図２に示された形状の、底部材（Ａ）［Ａ−３］（１）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）によって挟持された壁部材（Ｂ）［Ｂ−３］（３）の欠損部として、デバイス外への開口部（６、６’）を有するキャピラリー状の空間（５）が形成されたマイクロ流体デバイス［Ｄ−３］を得た。
【０１１４】
〔流通及び有機溶剤耐性試験〕
得られたマイクロ流体デバイス［Ｄ−３］に対して、流通及び有機溶剤耐性試験を行った。図２に示したキャピラリー開口部（６）からメタノールを導入したところ、キャピラリー状の空間（５）の閉塞は認められなかったことより、マイクロ流体デバイス［Ｄ−３］の流通が確認された。
次いで、キャピラリー状の空間（５）に、毎分１０μｌの流速で、ヘキサン、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、クロロホルム、１，４−ジオキサンをそれぞれ独立に、２５℃または５０℃にて６時間連続流通させたが、キャピラリー状の空間（５）から底部材（Ａ）［Ａ−３］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−３］（２）の間隙、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−３］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）の間隙への有機溶剤の漏洩や、底部材（Ａ）［Ａ−３］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−３］（２）、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−３］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）の剥離は認められなかった。
【０１１５】
（実施例７）
〔底部材（Ａ）の作製〕
実施例４と同様にして、底部材（Ａ）［Ａ−１］を形成した。
〔壁部材（Ｂ）の作製〕
大日本インキ化学工業株式会社製の平均分子量約２０００の３官能ウレタンアクリレートオリゴマー「ユニディックＶ−４２６３」６０部、第一工業製薬株式会社製１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」４０部、光重合開始剤としてチバガイギー社製１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュア１８４」２部、及び重合遅延剤として関東化学株式会社製２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテン０．５部を均一に混合して組成物（Ｙ２）を調製した。
【０１１６】
底部材（Ａ）［Ａ−１］にスピンコーターを用いて組成物（Ｙ２）を塗工し、次いで、図１に示した形状の溝（３）となる部分をフォトマスキングし、ランプ２を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が５０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を１８５秒間照射した後、エタノールを用いて洗浄することにより未重合の組成物（Ｙ２）を除去し、図１に示された形状の、底部材（Ａ）［Ａ−１］（１）の表面に、幅２５μm×深さ２６μmの溝（３）が形成された組成物（Ｙ２）の半硬化塗膜が形成された壁部材（Ｂ）［Ｂ−４］を作製した。
【０１１７】
〔蓋部材（Ｃ）の作製〕
実施例４と同様にして、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を作製した。
【０１１８】
〔接着〕
窒素ガス雰囲気中にて、壁部材（Ｂ）［Ｂ−４］の組成物（Ｙ２）塗布面と、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を積層して接触させ、ランプ１を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、窒素気流下で１０秒間照射して接着し、図１及び図２に示された形状の、底部材（Ａ）［Ａ−１］（１）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）によって挟持された壁部材（Ｂ）［Ｂ−４］（３）の欠損部として、デバイス外への開口部（６、６’）を有するキャピラリー状の空間（５）が形成されたマイクロ流体デバイス［Ｄ−４］を得た。
【０１１９】
〔流通及び有機溶剤耐性試験〕
得られたマイクロ流体デバイス［Ｄ−４］に対して、流通及び有機溶剤耐性試験を行った。図２に示したキャピラリー開口部（６）からメタノールを導入したところ、キャピラリー状の空間（５）の閉塞は認められなかったことより、マイクロ流体デバイス［Ｄ−４］の流通が確認された。
【０１２０】
次いで、キャピラリー状の空間（５）に、毎分１０μｌの流速で、ヘキサン、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、クロロホルム、１，４−ジオキサンをそれぞれ独立に、２５℃または５０℃にて６時間連続流通させたが、キャピラリー状の空間（５）から底部材（Ａ）［Ａ−１］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−４］（２）の間隙、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−４］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）の間隙への有機溶剤の漏洩や、底部材（Ａ）［Ａ−１］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−４］（２）、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−４］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）の剥離は認められなかった。
【０１２１】
（実施例８）
〔底部材（Ａ）の作製〕
実施例６と同様にして、底部材（Ａ）［Ａ−３］を形成した。
【０１２２】
〔壁部材（Ｂ）の作製〕
底部材（Ａ）［Ａ−１］を用いる代わりに、底部材（Ａ）［Ａ−３］を用いた以外は実施例７と同様にして、壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］を作製した。
【０１２３】
〔蓋部材（Ｃ）の作製〕
実施例４と同様にして、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を作製した。
【０１２４】
〔接着〕
窒素ガス雰囲気中にて、壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］の組成物（Ｙ２）塗布面と、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を積層して接触させ、ランプ１を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、窒素気流下で１０秒間照射して接着し、図１及び図２に示された形状の、底部材（Ａ）［Ａ−３］（１）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）によって挟持された壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］（３）の欠損部として、デバイス外への開口部（６、６’）を有するキャピラリー状の空間（５）が形成されたマイクロ流体デバイス［Ｄ−５］を得た。
【０１２５】
〔流通及び有機溶剤耐性試験〕
得られたマイクロ流体デバイス［Ｄ−５］に対して、流通及び有機溶剤耐性試験を行った。図２に示したキャピラリー開口部（６）からメタノールを導入したところ、キャピラリー状の空間（５）の閉塞は認められなかったことより、マイクロ流体デバイス［Ｄ−５］の流通が確認された。
次いで、キャピラリー状の空間（５）に、毎分１０μｌの流速で、ヘキサン、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、クロロホルム、１，４−ジオキサンをそれぞれ独立に、２５℃または５０℃にて６時間連続流通させたが、キャピラリー状の空間（５）から底部材（Ａ）［Ａ−３］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］（２）の間隙、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）の間隙への有機溶剤の漏洩や、底部材（Ａ）［Ａ−３］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］（２）、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］（４）の剥離は認められなかった。
【０１２６】
（比較例１）
〔薄膜の作製〕
組成物（Ｘ１）の代わりに組成物（Ｙ１）を用いる以外は実施例１と同様にして、組成物（Ｙ１）の硬化物からなる厚さ１００μｍの薄膜［ＨＦ−１］を得た。
【０１２７】
〔有機溶剤耐性試験〕
得られた薄膜［ＨＦ−１］に対して、有機溶剤耐性試験を行った。幅２ｃｍ×長さ９ｃｍ×厚さ１００μｍに調整した［ＨＦ−１］をヘキサンに５０℃で２時間浸せきした。長さ方向の伸び率は５％以上であった。
【０１２８】
（比較例２）
〔底部材（Ａ）の作製〕
実施例６と同様にして、底部材（Ａ）［Ａ−３］を形成した。
【０１２９】
〔壁部材（Ｂ）の作製〕
実施例８と同様にして、壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］を形成した。
【０１３０】
〔蓋部材（Ｃ）の作製〕
大日本インキ化学工業株式会社製の平均分子量約２０００の３官能ウレタンアクリレートオリゴマー「ユニディックＶ−４２６３」８０部、第一工業製薬株式会社製１，６−ヘキサンジオールジアクリレート「ニューフロンティアＨＤＤＡ」２０部、及び、光重合開始剤としてチバガイギー社製１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン「イルガキュア１８４」０．２部を均一に混合して組成物（Ｙ３）を調製した。
組成物（Ｘ５）を用いる代わりに、組成物（Ｙ３）を用いる以外は実施例４と同様にして、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−２］を形成した。
【０１３１】
〔接着〕
窒素ガス雰囲気中にて、壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］の組成物（Ｙ２）塗布面と、蓋部材（Ｃ）［Ｃ−１］を積層して接触させ、ランプ１を用い、３６５ｎｍにおける紫外線強度が４０ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を、室温、窒素気流下で１０秒間照射して接着し、図１及び図２に示された形状の、底部材（Ａ）［Ａ−３］（１）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−２］（４）によって挟持された壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］（３）の欠損部として、デバイス外への開口部（６、６’）を有するキャピラリー状の空間（５）が形成されたマイクロ流体デバイス［ＨＤ−１］を得た。
【０１３２】
〔流通及び有機溶剤耐性試験〕
得られたマイクロ流体デバイス［ＨＤ−１］に対して、流通及び有機溶剤耐性試験を行った。図２に示したキャピラリー開口部（６）からメタノールを導入したところ、キャピラリー状の空間（５）の閉塞は認められなかったことより、マイクロ流体デバイス［ＨＤ−１］の流通が確認された。
次いで、キャピラリー状の空間（５）に、毎分１０μｌの流速で、ＤＭＦ、クロロホルム、ジオキサン、トルエン、ヘキサンをそれぞれ独立に、２５℃または５０℃にて６時間連続流通させたが、いずれの場合も、キャピラリー状の空間（５）から底部材（Ａ）［Ａ−３］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］（２）の間隙、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−２］（４）の間隙への有機溶剤の漏洩や、底部材（Ａ）［Ａ−３］（１）と壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］（２）、または、壁部材（Ｂ）［Ｂ−５］（２）と蓋部材（Ｃ）［Ｃ−２］（４）の剥離が確認された。
【図面の簡単な説明】
【０１３３】
【図１】実施例で作製したマイクロ流体デバイスを、表面に直角な方向から見た平面図の部分断面図である。
【図２】実施例で作製したマイクロ流体デバイスの俯瞰図である。
【符号の説明】
【０１３４】
１    底部材（Ａ）
２    壁部材（Ｂ）
３    壁部材（Ｂ）の欠損部
４    蓋部材（Ｃ）
５    キャピラリー
６    キャピラリーの開口部
６’  キャピラリーの開口部
【図１】
2007098347.tif 000014
【図２】
2007098347.tif 000015