(57)【要約】【課題】カラーフィルタ検査装置の色検査の精度を向上させる。【解決手段】カラーフィルタ検査装置１のデータ処理部１００は、三原色に着色されたカラーフィルタ３の各画素３３の色度を求める色度算出部１０３と、色度算出部１０３により各画素毎に測定された色度の座標値のいずれか一方の値に対応した輝度情報を持つ色度画像データをＲＧＢ毎に区分して各々生成する画像データ生成部１０４と、画像データ生成部１０４によりＲＧＢ毎に生成された色度画像データを出力する画像データ出力部１０５とを備える。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
三原色に着色されたカラーフィルタの各画素の色度を測定する色度測定部と、
前記色度測定部により各画素毎に測定された前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ画像データを各原色毎に区分して各々生成する画像データ生成部と、
前記画像データ生成部により各原色毎に生成された前記画像データを出力する画像データ出力部と、
を具備することを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
【請求項２】
前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報は、前記カラーフィルタの色ムラを評価するための所定の桁数で数値化された輝度データであることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの検査装置。
【請求項３】
前記カラーフィルタの各画素の透過光を分光した分光データを色度を算出するための入力データとして用い、かつ三原色Ｒ，Ｇ，Ｂのうち、Ｒはｘｙ色度図の色度座標ｘのピーク値を取得し、Ｇは色度座標ｙのピーク値を取得し、Ｂは色度座標ｙのボトム値を取得することにより、前記カラーフィルタ上の各画素における前記色度の座標値のいずれか一方の値が求められることを特徴とする請求項１又は２記載のカラーフィルタの検査装置。
【請求項４】
前記画像データ出力部から出力された前記画像データを入力する画像データ入力部と、
前記画像データ入力部より入力された画像データを解析して、カラーフィルタの色ムラに関する要素の良否を判定する色ムラ検査部と、
をさらに具備することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のカラーフィルタの検査装置。
【請求項５】
前記画像データ生成部により生成された前記画像データは、前記カラーフィルタの各画素の配列に対応した配列情報を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のカラーフィルタの検査装置。
【請求項６】
前記カラーフィルタ上に配列された各画素が前記のカラーフィルタの基板面に沿った方向に連続的に走査されつつ個々の画素の色度が測定されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のカラーフィルタの検査装置。
【請求項７】
三原色に着色されたカラーフィルタの各画素の色度を測定するステップと、
前記カラーフィルタの各画素毎に測定された前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ画像データを各原色毎に区分して各々生成するステップと、
前記各原色毎に生成された画像データを記憶装置に記憶させるステップと、
前記記憶装置に記憶させた前記画像データを外部に出力するステップと、
を有することを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項８】
前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報は、前記カラーフィルタの色ムラの評価を可能とする輝度データであることを特徴とする請求項７記載のカラーフィルタの検査方法。
【請求項９】
前記カラーフィルタの各画素の透過光を分光した分光データが色度を算出するための入力データとして用いられ、かつＲはｘｙ色度図の色度座標ｘのピーク値を取得し、Ｇは色度座標ｙのピーク値を取得し、Ｂは色度座標ｙのボトム値を取得することにより、前記カラーフィルタ上の各画素における前記色度の座標値のいずれか一方の値が求められることを特徴とする請求項７又は８記載のカラーフィルタの検査方法。
【請求項１０】
前記生成された画像データは、前記カラーフィルタの各画素の配列に対応した配列情報を有することを特徴とする請求項７ないし９のいずれか１項に記載のカラーフィルタの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの色検査を行うためのカラーフィルタの検査装置及びカラーフィルタの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどに使用されるカラーフィルタは、ガラスなどの透明な基板上にブラックマトリクス、ＲＧＢ層がコーティングされた構造を有する。ＲＧＢ層は、例えばスピンコート、ダイコート塗布法などによって各色を塗布した後、フォトリソグラフィによるパターニング工程を経て形成されたり、インクジェットにより塗布されて形成される。
【０００３】
ここで、上記の製法で製造されたカラーフィルタは、スピンコートやダイコートなどに起因する塗布ムラが生じ得る。このため、各塗布法によるインク塗布量を検査、制御し、この塗布量の均一化を図る必要がある。
【０００４】
そこで、上記の塗布ムラを検査する方法の一つとして顕微鏡と分光測光装置とを組み合わせた測定装置によりＲＧＢ各ラインの色を検査する顕微分光と称する方法が適用されている。また、バンドパスフィルタを介して透過させたカラーフィルタの透過光をＣＣＤカメラなどの撮像装置により受光しカラーフィルタの色ムラを検査する検査方法なども提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−２８８３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来の検査装置では、カラーフィルタの各画素を透過させた光の透過率などに基づいて、カラーフィルタの色ムラの評価を行うため、色ムラの検査精度としては、必ずしも十分であるとはいえず、検査精度のさらなる向上が求められている。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、カラーフィルタの色検査の精度を向上させることができるカラーフィルタの検査装置及びカラーフィルタの検査方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係るカラーフィルタの検査装置は、三原色に着色されたカラーフィルタの各画素の色度を測定する色度測定部と、前記色度測定部により各画素毎に測定された前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ画像データを各原色毎に区分して各々生成する画像データ生成部と、前記画像データ生成部により各原色毎に生成された前記画像データを出力する画像データ出力部と、を具備することを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、カラーフィルタ上の各画素の色を直接的に評価できる色度を測定し、この色度の座標値のいずれか一方の値に対応した例えば輝度情報などを持つ画像データを各原色毎に区分して各々生成するので、画素毎の色の検査精度を向上させることができる。
【０００９】
また、本発明に係るカラーフィルタの検査方法は、三原色に着色されたカラーフィルタの各画素の色度を測定するステップと、前記カラーフィルタの各画素毎に測定された前記色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ画像データを各原色毎に区分して各々生成するステップと、前記各原色毎に生成された画像データを記憶装置に記憶させるステップと、前記記憶装置に記憶させた前記画像データを外部に出力するステップと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
このように本発明によれば、カラーフィルタの色検査の精度を向上させることが可能なカラーフィルタの検査装置及びカラーフィルタの検査方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づき説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るカラーフィルタ検査装置の構成を概略的に示す図、図２は、このカラーフィルタ検査装置の光学系を詳細に示す図である。また、図３は、カラーフィルタ検査装置により測定される測定スポットを視覚的に示す図であり、さらに、図４は、このカラーフィルタ検査装置の光学系によるカラーフィルタに対しての走査の軌跡を模式的に示す図である。また、図５は、図３の測定スポットの移動軌跡を詳細に示す図である。
【００１２】
図１及び図２に示すように、この実施形態に係るこのカラーフィルタ検査装置１は、カラーフィルタの色検査を行うための装置であって、顕微分光測光装置２と計測制御装置５とから構成される。
顕微分光測光装置２は、カラーフィルタ（カラーフィルタ基板）３を支持するステージ１５と、カラーフィルタ３に光を照射する光源７と、光源７の光の出射部に配置されたＮＣＢフィルタ９と、光源７から出射された光がカラーフィルタ３を透過した透過光を取り込む測定部１７と、光源７及び測定部１７をＸ軸、Ｙ軸の２軸に駆動するガントリ型の駆動機構１２とを主に備える。
【００１３】
ステージ１５は、図１及び図２に示すように、コロコンベア１６を有しており、このコロコンベア１６を通じてカラーフィルタ３をＸ軸方向に搬送可能に支持する。カラーフィルタ３は、このようなステージ１５が備える搬送機構によって例えば製造ライン内を搬送される。
【００１４】
ガントリ型の駆動機構１２は、ガントリ本体部１１、光源駆動部１３及び測定装置駆動部１４によって構成される。ガントリ本体部１１は、ステージ１５に支持されたカラーフィルタ３に対して、相対的に光源７及び測定部１７をＸ軸方向に一体で移動させる。光源駆動部１３及び測定装置駆動部１４は、ステージ１５に支持されたカラーフィルタ３に対して、相対的に光源７及び測定部１７をＹ軸方向に移動させる。
【００１５】
光源７は、例えばハロゲン照明装置などによって構成されている。また、光源７としては、この他、メタルハライド照明装置、キセノン照明装置、水銀灯などを適用することもできる。ＮＣＢフィルタ９は、光源７から出射される光の短波長成分を多く透過させ、長波長成分が透過するのを抑えるために設けられている。これにより、光源７の出射光の短波長成分の相対的な不足を解消することが可能となる。
【００１６】
測定部１７は、図２に示すように、結像部１９、導光規制部材２３、自動焦点装置２１、エリアセンサ１８などを備える顕微鏡２０と、分光測光装置（分光器）２５とから構成される。エリアセンサ１８は、顕微鏡２０により捕捉される画像領域を検出する。自動焦点装置２１は、振動やカラーフィルタ３のたわみなどに起因するフォーカスずれに対して、ジャストフォーカス位置を維持するために設けられている。また、光源７の光の出射部に上記のＮＣＢフィルタ９が取り付けられていることで、Ｒで±６０μｍ、Ｇで±９０μｍ、Ｂで±６０μｍ程度まで、フォーカス制御範囲を広げることができ、これにより、フォーカスずれによる後述する色度の変動を抑制することができる。
【００１７】
導光規制部材２３は、スリットまたは矩形や円形の導光規制部２３ａを有し、この導光規制部２３ａは、カラーフィルタ３側からの透過光の光束スポット径を小さくするために設けられている。すなわち、この導光規制部２３ａのスリット幅は、図３に示すように、カラーフィルタ３の遮光部（ブラックマトリクス）３１に各々区画された画素（「絵素」とも称する）３３の開口幅（ＲＧＢが着色された領域の幅）ｔに対し、光源スポット２７内の測定スポット２９の大きさが小さくなるように定められている。
【００１８】
これにより、カラーフィルタ３側からの透過光を測定部１７側に取り込む場合において、遮光部（ブラックマトリクス）３１及び測定対象の画素に隣接する画素の影響を取り除くことができる。また、この構成により、一つの画素に対する着色面の断面形状が不均一であることなどを検出することが可能である。ここで、画素３３の開口幅より測定スポット２９のスポット径を小さくしているものの、後に述べるように、測定されたデータの平均化を図ることで、画素の着色部分のみを選択的に測定することが可能となる。なお、このような構成に代えて、各画素３３の開口幅に対し、光源スポット２７内の測定スポット２９の大きさが同一になるように、導光規制部２３ａのスリット幅を設定してもよい。この場合も前記同様、遮光部３１及び測定対象の画素に隣接する画素の影響を取り除くことが可能となる。
【００１９】
分光測光装置２５は、顕微鏡２０により捕捉されたカラーフィルタ３側からの透過光を スペクトルに分解した分光データを計測制御装置５側に出力する。
【００２０】
計測制御装置５は、分光測光装置２５側の駆動機構系の動作制御、分光測光装置２５側から入力された分光データを基にした各種のデータ処理、色ムラの検査処理などを、所定の制御プログラムを通じて実行可能な例えばＰＣ（Personal Computer）などのコンピュータ装置によって実現されている。
【００２１】
すなわち、計測制御装置５は、ステージ１５に支持されたカラーフィルタ３に対し、図４に示すように、そのカラーフィルタ３のＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が順次走査される方向（図４中のＹ方向）に測定部１７を移動させる。また、計測制御装置５は、一つの画素３３に対し、顕微鏡２０による測定スポット２９を複数設定する。ここで、計測制御装置５は、図５に示すように、一つの画素３３に対しての顕微鏡２０による測定スポット２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、２９ｄが互いに重なり合う（ラップする）間隔で測定スポットを定める。これにより、一つの画素３３が走査される方向において、未検査部分が生じることが回避される。なお、カラーフィルタ３に対して測定部１７を移動させる方向を、図６に示すように、同色に着色された画素を連続的に走査する方向（図６中のＸ方向）に測定部１７を移動させるようにしてもよい。
【００２２】
また、計測制御装置５は、カラーフィルタ上の各画素の色度を連続的に高速で測定できるように、実際の測定開始前に、カラーフィルタ３に対し、測定部１７及び光源７を等速で一方向に動かし、分光測光装置２５にて定時間間隔でサンプリング測定を行う。さらに、計測制御装置５は、分光測光装置の測定スポット２９の大きさ（図３、図４参照）、上記のサンプリング時間、測定部１７及び光源７（光源駆動部１３及び測定装置駆動部１４）の移動速度を設定する。
ここで、例えば、画素開口幅：２００μｍ、測定範囲（測定開始から終了までの距離）１００ｍｍ、測定スポット径１００μｍ、サンプリング時間２０ｍｓ、測定部１７及び光源７の移動速度が１ｍｍ／ｓであった場合、測定時間は、測定部１７及び光源７の移動速度と測定範囲より１００／１＝１００ｓとなり、測定点数は、測定時間とサンプリング時間より１００／０．０２＝５０００点となる。測定ピッチは、測定点数と測定範囲より１００／５０００＝２０μｍとなる。このことから、上記の条件では２０μｍ毎に測定を行っており、この条件であれば測定スポット２９が重なるように測定しているので測定抜けが生じるおそれがない。
【００２３】
また、計測制御装置５は、そのメインメモリ上で実行される上記の制御プログラム（ソフトウェア）により、データ処理部１００及び色ムラ検査部２００を実現する。
ここで、データ処理部１００の構成を図７〜図１１に基づき説明する。前記の図７は、データ処理部１００の構成を機能的に示すブロック図、図８〜図１０は、各画素毎の色度データの算出方法を説明するための図、図１１は、各原色（ＲＧＢ）毎に区分して各々生成される色度画像データの生成方法を概念的に示す図である。
【００２４】
すなわち、データ処理部１００は、図７に示すように、データ受付部１０１と、記憶部１０２と、色度算出部１０３と、画像データ生成部１０４と、画像データ出力部１０５と、から主に構成される。データ受付部１０１は、計測制御装置５側からの分光データを入力する。色度算出部１０３は、三原色に着色されたカラーフィルタ３の各画素３３の二つのパラメータ（ｘ，ｙからなる座標値）で定まる色度を算出する。画像データ生成部１０４は、色度算出部１０３により各画素３３毎に測定された色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ色度画像データを各原色毎に区分して各々生成する。画像データ出力部１０５は、画像データ生成部１０４により生成された色度画像データを色ムラ検査部２００や例えば計測制御装置５の表示装置（ＣＲＴ）に出力する。
【００２５】
詳細には、色度算出部１０３は、図８（ａ）、図８（ｂ）、図９（ａ）、図９（ｂ）、図１０（ａ）、図１０（ｂ）に示すように、赤色の成分であるＲは、ｘｙ色度図の色度座標ｘのピーク値を取得し、緑色の成分であるＧは、ｘｙ色度図の色度座標ｙのピーク値を取得し、青色の成分としてのＢは、ｘｙ色度図の色度座標ｙのボトム値を取得することにより、カラーフィルタ３上の各画素の色度データ（色度の座標値のいずれか一方の値）を求める。このようにして求められた色度データの値は、上記の図８〜図１０及び図１１に示すように、カラーフィルタ３上の各画素をそれぞれ特定する画素番号に対応付けられて記憶部１０２に記憶される。すなわち、この画素番号との対応付けにより、カラーフィルタ３の各画素の配列に対応した配列情報が色度データＲ１１、Ｒ１２、Ｇ１１、Ｇ１２、Ｂ１１、Ｂ１２……に付与される。
【００２６】
画像データ生成部１０４は、図１１に示すように、記憶部１０２に記憶された色度データの値を所定の桁数で数値化、つまり例えば４桁で整数値化するために、色度データの例えば小数点の５桁目以下を切り捨て（又は小数点の５桁目を四捨五入し）た後、その数値を１００００倍することで、有効数字４桁の整数データを作成する。すなわち、この整数データは、色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報となり、カラーフィルタ３の色ムラの評価を可能とする輝度データＲ２１、Ｒ２２、Ｇ２１、Ｇ２２、Ｂ２１、Ｂ２２……としての属性を付与される。
【００２７】
さらに、画像データ生成部１０４は、図１１に示すように、各画素毎に測定された色度の座標値のいずれか一方の値に対応した情報を持つ色度画像データを各原色毎（ＲＧＢ毎）に区分して各々生成する。各原色毎に生成されたＲ色度画像データＲ３１、Ｒ３２、Ｇ色度画像データＧ３１、Ｇ３２、Ｂ色度画像データＢ３１、Ｂ３２……は、色度データＲ１１、Ｒ１２、Ｇ１１、Ｇ１２、Ｂ１１、Ｂ１２……、及び上記した輝度データＲ２１、Ｒ２２、Ｇ２１、Ｇ２２、Ｂ２１、Ｂ２２……と、それぞれ上記画素番号を通じてそれぞれ対応付けられて記憶部１０２に記憶される。
【００２８】
すなわち、Ｒ色度画像データＲ３１、Ｒ３２…、Ｇ色度画像データＧ３１、Ｇ３２…、及びＢ色度画像データＢ３１、Ｂ３２……は、赤色、緑色、及び青色ごとに区分されるとともにカラーフィルタ３上の各画素の配列に対応した配列で並べられ、かつ各々が明暗の情報（輝度データ）を有する。したがって、例えば、画像データ出力部１０５を通じて色度画像データが計測制御装置５の表示装置（ＣＲＴ）などに出力された場合、カラーフィルタ３上の色ムラを目視などでも容易に把握することが可能となる。また、このような色度画像データは、各画素の配列に対応した配列情報を有するので、カラーフィルタ３の全面に対して色ムラが生じている部位などを把握でき、これにより、色ムラの発生部位の傾向性などを得ることなども可能となる。
【００２９】
次に、画像データ生成部１０４により生成された色度画像データが画像データ出力部１０５を通じて色ムラ検査部２００に出力される場合について説明を行う。
色ムラ検査部２００は、図１２に示すように、カラーフィルタ３の色ムラに関する要素の良否を自動判定する機能を有する。すなわち、同図１２に示すように、色ムラ検査部２００は、入力された対象画像に混入されているノイズを除去する平滑化処理を行う前処理部２１４と、前処理後の対象画像（被検査画像）に基づいて最小限の空間フィルタを用いて対象画像の色ムラを強調して強調画像を作成する色ムラ強調部（強調手段）２１６と、上側閾値と下側閾値を設定する閾値設定部２１８と、設定された上側閾値を用いて前記強調画像を２値化して色ムラ強分布画像を作成する色ムラ強分布抽出部２２０と、設定された下側閾値を用いて前記強調画像を２値化して色ムラ弱分布画像を作成する色ムラ弱分布抽出部２２２と、色ムラ強分布画像中の色ムラに対応する色ムラ弱分布の色ムラの領域のみをラベリングして候補領域が抽出された候補領域ラベリング画像を作成する色ムラ候補選定部２２４と、抽出された候補領域に関して形状データを算出する色ムラ候補形状データ解析部２２６と、算出された形状データから色ムラの良否を判定する形状データ判定部２２８と、該判定部２２８に判定条件を設定する形状データ判定条件設定部２３０とを備えている。
【００３０】
この色ムラ検査部２００によれば、ムラの形状に応じて多数の空間フィルタを用いる強調処理を行う必要がないので、短い処理時間で検査を行うことができる。また、適切な閾値の設定が容易であり、不感帯（検査できない領域）を小さくすることができるので、未検出を少なくすることができ、また、ムラの強さと形状を使って判定することができるので、誤検出を少なくすることができる。さらに、フィルタのサイズを小さくすることができるので、被検査画像における未検査領域を小さくすることができ、また、色ムラの形状も計測することができる。
【００３１】
次に、このように構成されたカラーフィルタ検査装置１によるカラーフィルタ３の色検査の方法を上記した図１〜図１２に加え、図１３に示すフローチャートに基づきその説明を行う。
まず、測定スポット２９のスポットの大きさ、サンプリング時間、測定部１７の移動速度が設定される（ステップ１［Ｓ１］）。次に、設定した移動速度で、カラーフィルタ３に対する測定部１９の相対移動が開始され（Ｓ２）、自動焦点装置２１による焦点合わせが行われる（Ｓ３）。この後、カラーフィルタ３に対して測定部１７を、例えば図４及び図５に示すように相対的に移動させつつ、設定した測定スポットの大きさ及びサンプリング時間で測定を行い分光データが得られる（Ｓ４）。
【００３２】
この分光データを基に図７〜図１０に示すように色度座標ｘ／ｙのピーク値／ボトム値が色度算出部１０３により取得され、図１１に示すように、各画素３３毎に色度データが算出される（Ｓ５）。この後、図１１に示すように、画像データ生成部１０４によって色度データの整数値化及び輝度データの算出が行われ（Ｓ６）、さらに、図１１に示すように、原色毎のＲ色度画像データ、Ｇ色度画像データ、及びＢ色度画像データが、それぞれ生成される（Ｓ７）。この後、これらの色度画像データが例えば色ムラ検査部２００に出力されて（Ｓ８）、カラーフィルタ３の色ムラに関する要素の良否が自動判定される。
【００３３】
既述したように、本実施形態のカラーフィルタ検査装置１によれば、カラーフィルタ上３の各画素３３の色を直接的に評価できる色度データを測定し、この色度データの値に対応した輝度データを持つ色度画像データを各原色毎に区分して各々生成するので、画素３３毎の色の検査精度を向上させることができる。
【００３４】
また、本実施形態のカラーフィルタ検査装置１では、カラーフィルタ３全体について、微小な測定スポット２９を連続的に１回走査して測定を行うだけで、カラーフィルタ３全体についてのＲＧＢ毎の色度画像データを生成することができ、これにより、カラーフィルタ３のＲＧＢ毎の色ムラ検査を行うことができる。したがって、カラーフィルタ検査装置１によれば、効率的かつ高精度に色ムラ検査を行うことができる。
【００３５】
以上、本発明を実施の形態により具体的に説明したが、本発明は前記実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。すなわち、顕微分光測光装置２の光検出素子部分については、得に詳細に説明を行わなかったが、この光検出素子部分には、フォトダイオードアレイ、裏面入射型ＣＣＤリニアイメージセンサ電子冷却型ＣＣＤエリアイメージセンサなどを使用することができる。これにより、顕微分光測光装置２自体の測定時間が速くなり、ＲＧＢ各画素の色度をより高速に測定することができる。また、上記した自動焦点装置２１の動作原理に、赤外光によるパターン投影法及び半導体個体レーザによるナイフエッジ法を使用してもよい。さらに、顕微鏡２０の鏡筒部分にダブルポートを設置し、その上部出口の一方に分光測光装置２５を、もう一方にＣＣＤカメラなどを取り付けるようにしてもよい。この場合、ユーザが測定箇所を確認しながら検査を行うことができ、検査精度の信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施形態に係るカラーフィルタ検査装置を概略的に示す側面図。
【図２】図１のカラーフィルタ検査装置の光学系の構成を示す図。
【図３】図１のカラーフィルタ検査装置の測定スポット及びその近傍を示す図。
【図４】図１のカラーフィルタ検査装置の光学系によるカラーフィルタに対しての走査の軌跡を模式的に示す図。
【図５】図３の測定スポットの移動軌跡を詳細に示す図。
【図６】図４と異なる態様のカラーフィルタに対しての走査の軌跡を模式的に示す図。
【図７】図１のカラーフィルタ検査装置のデータ処理部の構成を機能的に示すブロック図。
【図８】図８（ａ）、図８（ｂ）は、Ｒ画素の色度データの算出方法を説明するための図。
【図９】図９（ａ）、図９（ｂ）は、Ｇ画素の色度データの算出方法を説明するための図。
【図１０】図１０（ａ）、図１０（ｂ）は、Ｂ画素の色度データの算出方法を説明するための図。
【図１１】各原色毎に区分して各々生成される色度画像データの生成方法を概念的に示す図。
【図１２】図１のカラーフィルタ検査装置の色ムラ検査部の構成を機能的に示すブロック図。
【図１３】図１のカラーフィルタ検査装置によるカラーフィルタの色検査の方法を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００３７】
１…カラーフィルタ検査装置、２…顕微分光測光装置、３…カラーフィルタ、５…計測制御装置、７…光源、１７…測定部、２５…分光測光装置、３３…画素、１００…データ処理部、１０２…記憶部、１０３…色度算出部、１０４…画像データ生成部、１０５…画像データ出力部、２００…色ムラ検査部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007205820.tif 000009
【図８】
2007205820.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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