(57)【要約】【課題】  フッ酸と硫酸を混合して混酸を製造する過程で生成する難処理性のフッ素を、カルシウム塩などを用いた公知の処理方法により処理可能な形態に変換する。【解決手段】  フッ酸と硫酸を混合して製造される混酸に、混酸容積の１０％〜２５００％の水を加水する。次に、前記調整後の混酸に、カルシウム塩を加えて固液分離し、処理水を得る。以上のように、難処理性のフッ素の濃度を希釈することにより、カルシウム塩などを用いた公知の処理方法により処理可能な形態に変換することができる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともフッ酸及び硫酸から成る混酸中のフッ素を処理する方法であって、
前記混酸に、混酸容積の１０％〜２５００％の水を加水する第一工程と、
前記第一工程を経た混酸に、カルシウム塩を加えて固液分離する第二工程を含むことを特徴とするフッ素含有排水の処理方法。
【請求項２】
前記フッ素濃度が調整された混酸を静置したのち、前記静置した混酸に使用済の洗浄水を添加することを特徴とする請求項１に記載のフッ素含有排水の処理方法。
【請求項３】
少なくともフッ酸及び硫酸から成る混酸中のフッ素を処理する方法であって、
前記混酸を槽内に取込み、前記槽を開放状態に保持して前記混酸を静置する第一工程と、
前記第一工程を経た混酸に、カルシウム塩を加えて固液分離する第二工程を含むことを特徴とするフッ素含有排水の処理方法。
【請求項４】
少なくともフッ酸及び硫酸から成る混酸中のフッ素を処理する方法であって、
前記混酸に濃度調整用水を加えてフッ素濃度を５重量％未満に調整する第一工程と、
前記第一工程を経た混酸に、カルシウム塩を加えて固液分離する第二工程を含むことを特徴とするフッ素含有排水の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスのエッチング工程などで使用される、フッ化水素酸（フッ酸）及び硫酸の混合液（混酸）中のフッ素を処理する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フッ素は半導体製造業や化学工業などの分野で大量に使用されている物質である。しかし、フッ素は人体に対して有害な物質であり、フッ素を多量に摂取すると、斑状歯、骨硬化症、骨軟化症などの慢性フッ素中毒症が発現するため、水質汚濁防止法によって、排水基準が８ｍｇ／Ｌ（Ｌ：リットル、以下同じ。）と定められている。また、自治体によっては、国の基準に厳しい上乗せ基準が設けられている。
【０００３】
従来、フッ素含有排水を処理する方法として、フッ素含有排水に消石灰・塩化カルシウムなどのカルシウム塩を加え、フッ素を難溶性のフッ化カルシウムとして固液分離する方法（特許文献１）や、硫酸バンドやポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）などのアルミニウム塩を加え、中性付近に調整して生成する水酸化アルミニウムにフッ素を吸着させ、固液分離する方法（特許文献２）などが知られている。
【０００４】
カルシウム塩による処理は、主に高濃度の排水を処理するのに用いられるが、薬剤を多く添加しても１０〜２０ｍｇ／Ｌまでの処理が限界である。従って、その後段において、アルミニウム塩による処理を行って放流するか、またはカルシウム塩による処理水と、フッ素を含まない他系統の排水とを混合してから放流するのが一般的である。
【０００５】
ところで、上記カルシウム塩、及びアルミニウム塩を用いた方法によって処理できるフッ素は、原則としてフッ化物イオン（Ｆ−）の形態のフッ素である。例えばフッ素化合物の中で工業的に最も多く使用されているフッ酸（ＨＦ）は、水溶液中ではＨ＋とＦ−に解離するため、上記方法によって処理することができる。また、フッ素が金属類と結合して錯体を形成し、フッ化物イオンとして存在していない場合であっても、その結合力が弱い場合は処理することができる。そのような例として、フッ素とケイ素が結合した珪フッ化物イオン（ＳｉＦ６２−）の排水が挙げられる。
【０００６】
一方、フッ素と強固に結合し、上述の方法では処理できなくなる物質としてホウ素が挙げられる。ホウ素とフッ素が結合すると、ホウフッ化物（ＢＦ４−）を形成するが、その結合力は非常に強く、何らかの方法で分解しない限り上述の方法で処理することはできない。分解方法としては、アルミニウム塩を分解剤として添加し、ｐＨを分解に適する５以下に調整し、かつ加熱するなどの方法で行われるのが一般的である。
【特許文献１】特開平９−１７４０６３号公報
【特許文献２】特開２０００−１３１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
フッ酸はガラスを溶解させる性質を持つため、板ガラスやクリスタルガラスなどの表面処理、すなわちエッチング処理剤として広く利用されている。フッ酸単独で使用されることは少なく、表面の仕上がり状態などの理由により、フッ酸と硫酸との混合液（混酸）の状態で使用される。フッ酸と硫酸を混合すると、その混合液の温度が上昇し、また白煙を生じる。
【０００８】
エッチング後はガラス表面に付着した混酸を洗い流す目的で、大量の水を使用して洗浄される。従って、濃厚な混酸廃液がエッチング工程から排出され、また、希薄なフッ素を含む洗浄水が洗浄工程から排出される。
【０００９】
ところで、フッ酸と硫酸からなる混酸中のフッ素の処理は、フッ素と強力に結合する物質は存在しないであろうとの理由から、排水は直接、上述したカルシウム塩、又はアルミニウム塩を用いた処理が行われている。
【００１０】
本発明者らは、フッ素を排出する多くの業種の処理性を詳細に比較検討した結果、以下の事実を見出した。
（１）ガラス加工業に代表される、フッ酸と硫酸の混酸を使用している工場排水のフッ素処理性は、他の業種と比較して非常に悪い。
（２）処理性が悪い理由は、フッ酸と硫酸を混合して混酸を製造する工程で、何らかの化学反応が起こることにより、フッ素の一部がフッ化物イオン以外の形態に変化しているためであると考えられる。
（３）この難処理性のフッ素とは、フッ酸と硫酸が強力に結合して形態が変化したものなのか、それとも硫酸がフッ酸に対して何らかの作用を及ぼし、フッ素単体で形態が変化したもののいずれであるかは不明である。しかし、フッ素含有排水の処理の中で、最も処理困難な部類に位置づけられるホウフッ化物よりも安定である。
【００１１】
本発明の目的は、過去に存在が知られていなかった難処理性のフッ素、すなわちフッ酸と硫酸を混合して混酸を製造する過程で生成する難処理性のフッ素を、カルシウム塩やアルミニウム塩により処理できる形態に変換する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは、フッ酸と硫酸の混酸について鋭意検討を進めた結果、以下の３つの点を知見した。
（１）エッチング工程から直接排出される濃厚な混酸廃液に、混酸容積の１０％〜２５００％の濃度調整用水を加えると、難処理性フッ素は速やかに処理可能な形態に転換されること。
（２）エッチング工程から直接排出される濃厚な混酸を槽に取込み、その槽を開放状態にしたままで前記混酸を静置することにより、難処理性フッ素は緩やかに処理可能な形態に転換していくこと。しかし、一方で、前記槽を密閉状態で保持した場合は、フッ素が難処理性のまま変化しないこと。
（３）一方、エッチング工程から直接排出される濃厚な混酸に濃度調整用水を加えて、フッ素濃度を５重量％以下に調整すると、難処理性フッ素は密閉状態・開放状態に関わらず、長時間保管することにより、緩やかに処理可能な形態に転換していくこと。
【００１３】
上記（１）は、廃液としての濃厚な混酸に濃度調整用水を加えて最適な濃度範囲に調整するだけで、速やかに処理可能なフッ素（フッ化物イオン形態のフッ素）に変化することを意味している。また、濃度調整用水を多く入れすぎると、フッ素は難処理性のまま変化しないため、最適な濃度範囲が存在することを意味している。
【００１４】
上記（２），（３）は、廃液としての混酸を長時間静置することによって処理可能なフッ素の形態（フッ化物イオン形態）に転換させることができること、さらにフッ素濃度によって転換可能な方法が異なることを意味している。フッ素濃度が高い場合は、廃液としての混酸を解放状態で静置した場合にのみ、ゆっくり処理可能フッ素な形態（フッ化物イオン形態）に変化して行くこと、またフッ素濃度が５重量％以下の希薄な状態では、開放状態・密閉状態の如何に拘らず混酸を静置することにより、ゆっくり処理可能なフッ素の形態（フッ化物イオン形態）に変化して行くことを意味している。
【００１５】
以上の知見に基づいて本発明はなされたものであり、本発明に係るフッ素含有排水の処理方法は、少なくともフッ酸及び硫酸からなる混酸中のフッ素を処理する方法であって、前記混酸に、混酸容積の１０％〜２５００％の水を加水する第一工程と、前記第一工程を経た混酸に、カルシウム塩を加えて固液分離する第二工程を含むことを特徴とするものである。また、前記フッ素濃度が調整された混酸を静置したのち、前記静置した混酸に使用済の洗浄水を添加するようにしてもよい。
【００１６】
また、本発明に係るフッ素含有排水の処理方法は、少なくともフッ酸及び硫酸から成る混酸中のフッ素を処理する方法であって、前記混酸を槽内に取込み、前記槽を開放状態に保持して前記混酸を静置する第一工程と、前記第一工程を経た混酸に、カルシウム塩を加えて固液分離する第二工程を含む構成としてもよい。
【００１７】
また、本発明に係るフッ素含有排水の処理方法は、少なくともフッ酸及び硫酸から成る混酸中のフッ素を処理する方法であって、前記混酸に濃度調整用水を加えてフッ素濃度を５重量％未満に調整する第一工程と、前記第一工程を経た混酸に、カルシウム塩を加えて固液分離する第二工程を含む構成としてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のフッ素含有排水の処理方法によれば、従来存在が知られていなかった、フッ酸と硫酸を混合することにより生成する難処理性フッ素を、カルシウム塩やアルミニウム塩を使用した公知の処理方法で処理できる形態に転換させることができるという利点がある。
【００１９】
また、本発明のフッ素含有排水の処理方法によれば、従来処理できなかった難処理性フッ素の処理が可能になることにより、他系統の排水を用いて希釈した後、放流せざるを得なかった事業場においても、希釈水量を大幅に削減し、または希釈水を必要とすることなく、排水基準以下まで処理できる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を、図面を用いて更に詳細に説明する。
【００２１】
（実施形態１）図１は、本発明の実施形態１に係るフッ素含有排水の処理方法を実施するための装置構成図である。
【００２２】
図１に示すように、硫酸とフッ酸は、それぞれ専用のタンク１，２に貯留されており、それぞれのタンク１，２から適量の硫酸とフッ酸を混酸調製槽３に移送し、混酸調製槽３内で混合して混酸を生成する。工場４には、混酸調製槽３から混酸が供給されるとともに、洗浄用水が供給される。
【００２３】
工場４からの濃厚液である混酸はフッ素形態転換槽５に回収され、洗浄水は反応槽６に回収される。前記反応槽６には凝集槽７及び沈殿槽８が順に接続されている。
【００２４】
先ず、濃厚液の混酸が回収されたフッ素形態転換槽５内において、第一工程が実行される。前記第一工程において、ガラス加工工場４のエッチング工程などから直接排出される廃液としての濃厚な混酸に対して、混酸容積の１０％〜２５００％の水を加えることにより、フッ素濃度を調整する。前記濃厚な混酸に対する解離処理により、難処理性フッ素は、カルシウム塩及びアルミニウム塩を使用した公知の処理方法で処理可能な形態、少なくともフッ化物イオン形態のフッ素として解離する。前記希釈された混酸を後段の反応槽６に移し替える。
【００２５】
次に、反応槽６〜沈殿槽８を用いて第二工程が実行される。具体的に説明すると、先ず、希釈された混酸が注入された反応槽６内にカルシウム塩を投入する。このカルシウム塩の投入により、反応槽６では、カルシウムとフッ素が反応してフッ化カルシウムの粒子（フッ化物イオン形態）を生成する。
【００２６】
次いで、反応槽６内で生成された粒子を後段の凝集槽７に移し替え、凝集槽７内の前記粒子に凝集剤を添加する。前記凝集剤が添加された前記粒子は凝集して、粗大化したフロックを形成して沈降性を有する。
【００２７】
次いで、凝集槽７内で凝集した前記粒子を後段の沈殿槽８に移し替えて、沈殿槽８内において、粒子の粗大化したフロックを沈殿させるとともに、その清澄な上澄水が処理水として得る。
【００２８】
工場４から排出される廃液としての洗浄水はフッ素を少量含むので、これを反応槽６に回収し、フッ素形態転換槽５からの希釈混酸とともに処理することが望ましい。この場合、フッ素形態転換槽５で希釈された混酸を反応槽６内にて静置した後、工場４から排出される廃液としての洗浄水を反応槽６内の希釈混酸に添加することが望ましい。また、工場４から排出される洗浄水の一部は、フッ素形態転換槽５で行われる希釈処理を行う際の濃度調整用の水に利用することもできる。
【００２９】
（実施形態２）図２は、本発明の実施形態２に係るフッ素含有排水の処理方法を実施するための装置構成図である。図２の装置構成は図１と同じ構成になっている。
【００３０】
図２において、工場４から排出される濃厚液である混酸（廃液）はフッ素形態転換槽５に回収され、廃液としての洗浄水は反応槽６に回収される点は実施形態１と同様である。
【００３１】
実施形態２においては、ガラス加工工場４のエッチング工程などから直接排出される濃厚な混酸をフッ素形態転換槽５に回収し、フッ素形態転換槽５を密閉せずに開放状態にして、回収した濃厚な混酸をフッ素形態転換槽５内に時間を掛けて静置する（第一工程）。フッ素形態転換槽５内に時間を掛けて静置することにより、濃厚な混酸に含まれる難処理性フッ素は、カルシウム塩及びアルミニウム塩を使用した公知の処理方法で処理可能な形態（フッ化物イオン形態）に変化する。このように、フッ素形態転換槽５内に時間を掛けて静置された混酸は、設定時間を経過した後にフッ素形態転換槽５から反応槽６内に移し替えられる。フッ素形態転換槽５内に濃厚な混酸を保持する時間は、１時間以上であることが望ましい。
【００３２】
次に、反応槽６〜沈殿槽８を用いて第二工程が実行される。具体的に説明すると、先ず、希釈された混酸が注入された反応槽６内にカルシウム塩を投入する。このカルシウム塩の投入により、反応槽６では、カルシウムとフッ素が反応してフッ化カルシウムの粒子（フッ化物イオン形態）を生成する。
【００３３】
次いで、反応槽６内で生成された粒子を次段の凝集槽７に移し替え、凝集槽７内の前記粒子に凝集剤を添加する。前記凝集剤が添加された前記粒子は凝集して、粗大化したフロックを形成して沈降性を有する。
【００３４】
次いで、凝集槽７内で凝集した前記粒子を次段の沈殿槽８に移し替えて、沈殿槽８内において、粒子の粗大化したフロックを沈殿させるとともに、その清澄な上澄水が処理水として得る。
【００３５】
工場４から排出される洗浄水（廃液）はフッ素を少量含むので、反応槽６に回収し、フッ素形態転換槽５からの濃厚液の混酸とともに処理することが望ましい。
【００３６】
（実施形態３）図３は、本発明の実施形態３に係るフッ素含有排水の処理方法を実施するための装置構成図である。図３の装置構成は図１と同じ構成になっている。
【００３７】
図３において、工場４から排出される濃厚液である混酸（廃液）はフッ素形態転換槽５に回収され、廃液としての洗浄水は反応槽６に回収される。前記反応槽６には凝集槽７及び沈殿槽８が順に接続されている。
【００３８】
先ず、濃厚液の混酸が回収されたフッ素形態転換槽５内において、第一工程が実行される。前記第一工程において、ガラス加工工場４のエッチング工程などから直接排出される濃厚な混酸（廃液）に水を加えて、混酸の含有率を５重量％以下に調整する。前記濃厚な混酸の希釈処理により、難処理性フッ素は、カルシウム塩及びアルミニウム塩を使用した公知の処理方法で処理可能な形態（フッ化物イオン形態）に変化する。混酸の含有率を５重量％以下に調整した後であれば、フッ素形態転換槽５を密閉し、或いは解放した状態でも、難処理性フッ素は、カルシウム塩及びアルミニウム塩を使用した公知の処理方法で処理可能な形態（フッ化物イオン形態）に変化する。前記希釈された混酸を後段の反応槽６に移し替える。
【００３９】
次に、反応槽６〜沈殿槽８を用いて第二工程が実行される。具体的に説明すると、希釈された混酸が注入された反応槽６内にカルシウム塩を投入する。このカルシウム塩の投入により、反応槽６では、カルシウムとフッ素が反応してフッ化カルシウムの粒子（フッ化物イオン形態）を生成する。
【００４０】
次いで、反応槽６内で生成された粒子を後段の凝集槽７に移し替え、凝集槽７内の前記粒子に凝集剤を添加する。前記凝集剤が添加された前記粒子は凝集して、粗大化したフロックを形成して沈降性を有する。
【００４１】
次いで、凝集槽７内で凝集した前記粒子を後段の沈殿槽８に移し替えて、沈殿槽８内において、粒子の粗大化したフロックを沈殿させるとともに、その清澄な上澄水が処理水として得る。
【００４２】
工場４から排出される洗浄水（廃液）はフッ素を少量含むので、反応槽６に回収し、フッ素形態転換槽５からの希釈混酸とともに処理することが望ましい。また、工場４から排出される洗浄水の一部は、フッ素形態転換槽５で行われる希釈処理を行う際の濃度調整用の水に利用することもできる。
【００４３】
図１，図２及び図３に示す本発明の実施形態に用いられるカルシウム塩の種類に特に制限はなく、水酸化カルシウム（消石灰），塩化カルシウム，酸化カルシウム（生石灰），炭酸カルシウム，硫酸カルシウムなどをカルシウム塩として用いることができる。安全性や価格の観点からすると、カルシウム塩として消石灰や塩化カルシウムを用いることが最適である。
【００４４】
実施形態における反応槽６，凝集槽７及び沈殿槽８を用いて行われる処理に用いられる固液分離装置は、一般的な排水処理に用いられる装置を制限なく使用することができ、沈殿分離装置の他、フィルタープレスやベルトプレス等のろ過脱水装置、膜分離装置等を利用することができる。
【００４５】
フッ素形態転換槽５内にて処理されたフッ素成分を、公知の処理方法で処理する際に用いるアルミニウム塩の種類に特に制限はなく、硫酸アルミニウム（硫酸バンド），ポリ塩化アルミニウム（PAC），塩化アルミニウム，水酸化アルミニウム，アルミン酸ナトリウム（アルミン酸ソーダ）等をアルミニウム塩として用いることができる。
【００４６】
次に、本発明の実施例を示して更に詳細に説明する。実施例に用いた試薬類は、全て特級試薬を用い、混酸の濃度調整などに使用した水には、純水もしくは水道水を用いた。また、混酸，原水，処理水のフッ素濃度の測定は、ＪＩＳＫ０１０２  ３４．１に規定されている工場排水試験方法に基づいて実施した。
【００４７】
（実施例１）
先ず、フッ酸と硫酸の混合により難処理性のフッ素が生成することを確認する実験を行った。硫酸としては９８重量％を用い、フッ酸としては４６重量％の特級試薬を用いて、容積比１０：８で混合して混酸を調整した。混酸中のフッ素濃度は１４重量％、硫酸イオン濃度は６７重量％であった。
【００４８】
その後、ガラス加工工程での洗浄水による混酸の希釈を想定し、混酸の５０倍（容積比）の純水を混酸に加えて処理前の原水とした。原水のフッ素濃度は４０００ｍｇ／Ｌ、硫酸イオン濃度は１９５００ｍｇ／Ｌであった。
【００４９】
原水に消石灰をｐＨ１２以上になるまで加え、１時間撹拌したのち、高分子凝集剤を添加して凝集させ、清澄な上澄水（処理水）を得た。処理水のフッ素濃度は３１０ｍｇ／Ｌであった。
【００５０】
（比較例１）
実施例１の原水と同等のフッ素濃度、硫酸イオン濃度の溶液を、フッ化ナトリウム、硫酸ナトリウムの特級試薬を溶解させて調製した。このフッ素・硫酸イオン混合溶液に、実施例１と同様の方法で、同量の消石灰を加えて処理したところ、処理水のフッ素濃度は１２ｍｇ／Ｌであった。
【００５１】
実施例１と比較例１とでは、フッ素濃度・硫酸イオン濃度が同じ溶液を、同様の方法で処理しているにも関わらず、処理水のフッ素濃度は大きく異なっている。従って、フッ酸と硫酸を混合する工程で、フッ素の一部が処理し難い形態に変化していることになる。
【００５２】
（実施例２）
図１に示す装置構成図に基づいた処理実験を行った。混酸の調製には、９６％の硫酸と４６％フッ酸を用い、混合比率９：１で一定とした。混合後のフッ素濃度は３．１重量％である。
【００５３】
次に、図１における第一工程として、前記調整した混酸に水道水を添加した。水道水の量は混酸容量の１０％〜３０００％の範囲とした。その後、１時間静置した後、ガラスエッチング工程での洗浄水を想定して水道水を加えて希釈し、最終的な希釈倍率を５０倍で一定としたものを原水とした。その後、原水に消石灰をｐＨ１２以上になるまで加え、１時間撹拌したのち、高分子凝集剤を添加して凝集させ、清澄な上澄水（処理水）を得た。処理したフッ素濃度の結果は図４に示す通りであった。
【００５４】
図４に示す通り、第一工程を経ることなく、混酸に洗浄水を５０倍量加えてから処理した場合（図４のNo.１）は、９６ｍｇ／Ｌまでしか処理されなかった。これに対して、希釈処理工程において、混酸の同容量の水道水を加え、１時間静置する工程を経た後、洗浄水を加えてから処理した場合（図４のNo.４）は３．１ｍｇ／Ｌと大幅に改善することが分かる。また図４の結果（No.２〜No.９）は、解離工程における水道水の添加量には最適な範囲が存在することも示しており、混酸の３０倍容量以上を加えると、逆に悪化することから、最適な水の添加量は、混酸容積の１０％〜２５００％であり、好ましくは５０〜５００％であることが分かる。
【００５５】
（実施例３）
図２に示す装置構成図に基づいた処理実験を行った。混酸の調製には、９６％の硫酸と４６％フッ酸を用い、混合比率１０：８で一定とした。混合後のフッ素濃度は１４重量％であった。
【００５６】
次に、その混酸を容積１００ｍＬのポリビンに５０ｍＬずつ入れたものを２種類用意し、一方のポリビンを開放状態、もう一方のポリビンを密閉状態で、それぞれ混酸を静置した。図２に示した第一工程は、槽５を開放状態にして、混酸（廃液）を静置していることを示している。
【００５７】
その後、それぞれ一定時間経過後の混酸を採取した後、水道水（洗浄水）を混酸の５０倍容量加えて原水とした。原水に消石灰をｐＨ１２以上になるまで加え、１時間撹拌したのち、高分子凝集剤を添加して凝集させ、清澄な上澄水（処理水）を得た。処理水フッ素濃度は図５の通りとなり、ポリビンの開放状態で静置した混酸のみの処理性が向上していること、また処理性は数十時間以上をかけ、ゆっくり改善していることが分かる。その処理時間は２４時間以上であり、約１２０時間を超えると、あまり処理性に変化がないことが分った。
【００５８】
（実施例４）
図３に示す装置構成図に基づいた処理実験を行った。混酸の調製には、９６％の硫酸と４６％フッ酸を用い、混合比率１０：８で一定とした。混合後のフッ素濃度は１４重量％となる。この混酸に対し、水道水（洗浄水）を混酸の５０倍容量加えた後、容積１００ｍＬのポリビンに５０ｍＬずつ入れたものを２種類用意し、一方を開放状態で、もう一方を密閉状態で静置した。なお、水道水を加えた後の混酸のフッ素濃度は４３００ｍｇ／Ｌ（５重量％未満）であった。
【００５９】
その後、それぞれ一定時間経過後の混酸を採取したものを原水とした。その原水に消石灰をｐＨ１２以上になるまで加え、１時間撹拌したのち、高分子凝集剤を添加して凝集させ、清澄な上澄水（処理水）を得た。処理水フッ素濃度は図６の通りとなり、密閉保管、開放保管に関わらず、数日以上をかけて、ゆっくりと処理性が向上していることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
以上説明したように本発明のフッ素含有排水の処理方法によれば、従来存在が知られていなかった、フッ酸と硫酸を混合することにより生成する難処理性フッ素を、カルシウム塩やアルミニウム塩を使用した公知の処理方法で処理できる形態に転換させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】図１は、本発明の実施形態１に係るフッ素含有排水の処理方法を実施するための装置構成図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態２に係るフッ素含有排水の処理方法を実施するための装置構成図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態３に係るフッ素含有排水の処理方法を実施するための装置構成図である。
【図４】図４は、本発明の実施例２における処理実験の結果を示す表である。
【図５】図５は、本発明の実施例３において、混酸を処理するまでに、開放状態で静置した場合と、密閉状態で静置した場合の、静置時間と処理性との関係を示す特性図である。
【図６】図６は、本発明の実施例４において、混酸に水を加え、フッ素濃度５重量％に調整してから処理を開始するまでの静置時間と、処理性との関係を示す特性図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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