(57)【要約】【課題】ボンディング不良を抑制し、短絡や断線のおそれがなく、高精度で信頼性の高い半導体装置を提供する。【解決手段】素子領域の形成された半導体基板表面に、外部取り出し用のパッド部と、前記パッド部を覆う層間絶縁膜と、この層間絶縁膜の開口を覆うように形成され、ボンディングパッドを形成する配線パターンと、前記配線パターン上を覆うパッシベーション膜と、前記パッシベーション膜に形成された開口内に露呈する前記配線パターンに接続するように圧着されたボンディングワイヤとを備えた半導体装置であって、前記パッシベーション膜により形成される開口端が、前記層間絶縁膜の開口よりも内側に位置し、前記層間絶縁膜の開口に起因するステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜が覆うように形成される。【選択図】図１
2007103852.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子領域の形成された半導体基板表面に、外部取り出し用のパッド部と、前記パッド部を覆う層間絶縁膜と、この層間絶縁膜の開口を覆うように形成され、ボンディングパッドを形成する配線パターンと、前記配線パターン上を覆うパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜に形成された開口内に露呈する前記配線パターンに接続するように圧着されたボンディングワイヤとを備えた半導体装置であって、
前記パッシベーション膜により形成される開口端が、前記層間絶縁膜の開口よりも内側に位置し、前記層間絶縁膜の開口に起因する前記配線パターンのステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜が覆うように形成された半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置であって、
前記ボンディングパッドを構成する配線パターンはアルミニウム膜またはアルミニウム合金である半導体装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の半導体装置であって、
前記パッド部は導電性シリコン層である半導体装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体装置であって、
前記ボンディングワイヤは金である半導体装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の半導体装置であって、
前記層間絶縁膜はＢＰＳＧ膜またはＰＳＧ膜である半導体装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の半導体装置であって、
前記配線パターンと前記パッシベーション膜との間に遮光膜を形成した半導体装置。
【請求項７】
請求項６に記載の半導体装置であって、
前記遮光膜は、チタンナイトライド（ＴｉＮ）、チタンタングステン（ＴｉＷ）などのチタン系化合物である半導体装置。
【請求項８】
請求項１に記載の半導体装置であって、
前記半導体装置はＣＣＤである半導体装置。
【請求項９】
素子領域の形成された半導体基板表面に、外部取り出し用のパッド部と、前記パッド部を覆う層間絶縁膜と、この層間絶縁膜の開口を覆うように形成され、ボンディングパッドを形成する配線パターンと、前記配線パターン上を覆うパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜に形成された開口内に露呈する前記配線パターンに接続するように圧着されたボンディングワイヤとを備えた半導体装置の製造方法であって、
前記パッシベーション膜にボンディング用の開口を形成する工程が、
前記パッシベーション膜により形成される開口端が、前記層間絶縁膜の開口よりも内側に位置するように、前記層間絶縁膜の開口に起因するステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜が覆うようにパターニングする工程を含む半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ボンディングパッドを構成する配線パターンの形成工程が、アルミニウム膜またはアルミニウム合金を成膜する工程を含む半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９または１０記載の半導体装置の製造方法であって、
前記パッド部の形成工程が、導電性シリコン層を成膜し、これをパターニングする工程を含む半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項９乃至１１のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ボンディングワイヤとして金を用いて前記配線パターン上にワイヤボンディングを行う工程を含む半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項９乃至１２のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記層間絶縁膜を形成する工程がＢＰＳＧ膜またはＰＳＧ膜を成膜後リフローを行う工程を含む半導体装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項９乃至１３のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ボンディングパッドを構成する配線パターンの形成工程後、前記パッシベーション膜の形成に先立ち、遮光膜を形成する工程を含む半導体装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記遮光膜を形成する工程は、スパッタリング法によりＴｉＮ、ＴｉＷなどのチタン系化合物を成膜する工程を含む半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置およびその製造方法にかかり、特にCCDなどに有効な外部取り出し端子のコンタクト構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
CCD（Charge  Coupled  Device）を含む固体撮像素子は、携帯電話やデジタルカメラなど種々の電子部品に適用されてきている。このため、その実装に際しては、種々の方法が用いられており、そのひとつにワイヤボンディング法を用いた方法がある。
ワイヤボンディング法を用いた固体撮像素子の実装方法では通常、ＣＣＤは、回路基板を兼ねたセラミックなどからなる箱状のパッケージ内に収納され、これらＣＣＤ側の端子とパッケージ側の端子がボンディングワイヤで接続される（例えば特許文献１）。
【０００３】
例えばこのような固体撮像素子では、水平転送部（Ｈ）部に相当する領域の電荷転送電極は、配線と第１の遮光膜をかねるアルミニウム膜と、第２の遮光膜とで遮光している（Ｖ部はタングステンで遮光している）。
このため、チップ端部の外部接続領域では、図５に示すようにアルミニウム膜をボンディングパッド５として、ワイヤボンディングを行うことにより、外部接続を達成している。そして、このワイヤボンディング領域を構成するアルミニウム膜５の上層はパッシベーション膜８で被覆されており、このパッシベーション膜に形成された開口Ｏを介してワイヤボンディング(ボンディングワイヤ９)がなされる構造となっている。このため、アルミニウム膜で構成された配線とシリコンパッド３との間に形成される層間絶縁膜（ＢＰＳＧ膜）６のエッジによって形成される段差部で、この段差部上を覆う領域（ステップカバレッジ領域）でアルミニウム膜の膜厚が薄い部分が形成され易い。このため、アルミニウム膜からなるボンディングパッドを露出させるためにパッシベーション膜を開口する際、このステップカバレッジ領域で薄くなっているアルミニウム膜が、エッチングされてしまい、また、段切れが生じてしまうことがあった。
そしてさらには、このアルミニウム膜の下層のシリコンパッドまでもエッチングされてしまうことがあり、これが、ボンディング不良を生じる原因となっていた。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２１６０８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、従来は、平坦なワイヤボンディングスペースを確保するためにＢＰＳＧなどの層間絶縁膜の開口とパッシベーション膜の開口は同一サイズにしていた。このため、パッシベーション膜のパターニングに際して、下地のアルミニウム膜、さらにはシリコンパッドまでがエッチング除去されてしまい、これがボンディング不良、ひいては信頼性低下の原因となっていた。
【０００６】
本発明は、前記実情に鑑みてなされたもので、ボンディング不良を抑制し、短絡や断線のおそれがなく、高精度で信頼性の高い半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで本発明では、素子領域の形成された半導体基板表面に、外部取り出し用のパッド部と、前記パッド部を覆う層間絶縁膜と、この層間絶縁膜の開口を覆うように形成され、ボンディングパッドを形成する配線パターンと、前記配線パターン上を覆うパッシベーション膜と、前記パッシベーション膜に形成された開口内に露呈する前記配線パターンに接続するように圧着されたボンディングワイヤとを備えた半導体装置であって、前記パッシベーション膜により形成される開口端が、前記層間絶縁膜の開口よりも内側に位置し、前記層間絶縁膜の開口に起因する前記配線パターンのステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜が覆うように形成される。
【０００８】
この構成により、パッシベーション膜の開口端が、前記層間絶縁膜の開口よりも内側に位置し、前記層間絶縁膜の開口に起因するステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜が覆うように形成されるため、パッシベーション膜の開口工程において、ステップカバレッジ部が被覆され、配線パターンがエッチングされて段切れが生じたり、さらには下地のシリコンが除去されることなく維持されるため、ボンディング接合性の低下もなく信頼性の高い外部取り出し構造を形成することができる。
【０００９】
また本発明では、上記半導体装置において、前記ボンディングパッドを構成する配線パターンはアルミニウム膜またはアルミニウム合金であるものを含む。
【００１０】
アルミニウムまたはアルミニウム合金は通常スパッタリング法で形成されるため特にステップカバレッジが十分でなく、エッチングにより段切れが生じ易いという問題があったが、この構成により、ステップカバレッジ部が露呈しないため、良好に維持される。
【００１１】
また本発明では、上記半導体装置において、前記パッド部は導電性シリコン層であるものを含む。
【００１２】
シリコンは、パッシベーション膜のエッチング工程で、エッチングされ易いが、この構成により、良好に維持される。
【００１３】
また本発明では、上記半導体装置において、前記ボンディングワイヤは金であるものを含む。
【００１４】
この構成により、ボンディング性が良好に維持され信頼性の高い外部取出し構造を形成することができる。
【００１５】
また本発明では、上記半導体装置において、前記層間絶縁膜はＢＰＳＧ（boro  phospho  silicate  glass）膜またはＰＳＧ（phospho  silicate  glass）膜であるものを含む。
【００１６】
この構成により、ボンディングパッドが良好に維持されるため、層間絶縁膜からボロンやリンなどの不純物が拡散し確実な接合性が維持可能となる。
【００１７】
また本発明では、上記半導体装置において、前記配線パターンと前記パッシベーション膜との間に遮光膜を形成したものを含む。
【００１８】
この構成により、遮光膜のパターニングもパッシベーション膜のパターニングと同じマスクで形成することができ、開口が最大限に小さく形成されるため、遮光性も向上する。
【００１９】
また本発明では、上記半導体装置において、前記遮光膜は、チタンナイトライド（ＴｉＮ）、チタンタングステン（ＴｉＷ）などのチタン系化合物であるものを含む。
【００２０】
この構成により、パッシベーション膜及び配線パターンとの密着性も良好で、信頼性の高い外部取出し構造を形成することが可能となる。
【００２１】
また本発明では、上記半導体装置において、前記半導体装置はＣＣＤであるものを含む。
【００２２】
この構成により、遮光効果も良好で、誤動作のない固体撮像装置を提供することが可能となる。
【００２３】
また本発明では、素子領域の形成された半導体基板表面に、外部取り出し用のパッド部と、前記パッド部を覆う層間絶縁膜と、この層間絶縁膜の開口を覆うように形成され、ボンディングパッドを形成する配線パターンと、前記配線パターン上を覆うパッシベーション膜と、前記パッシベーション膜に形成された開口内に露呈する前記配線パターンに接続するように圧着されたボンディングワイヤとを備えた半導体装置の製造方法であって、前記パッシベーション膜にボンディング用の開口を形成する工程が、前記パッシベーション膜により形成される開口端が、前記層間絶縁膜の開口よりも内側に位置するように、前記層間絶縁膜の開口に起因するステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜が覆うようにパターニングする工程を含む。
【００２４】
この構成により、マスクの変更のみで信頼性が高くかつ遮光性の高い外部取り出し構造を提供することができる。
【００２５】
また本発明では、上記半導体装置の製造方法において、前記ボンディングパッドを構成する配線パターンの形成工程が、アルミニウム膜またはアルミニウム合金を成膜する工程を含むものを含む。
【００２６】
また本発明では、上記半導体装置の製造方法において、前記パッド部の形成工程が、導電性シリコン層を成膜し、これをパターニングする工程を含むものを含む。
【００２７】
また本発明では、上記半導体装置の製造方法において、前記ボンディングワイヤとして金を用いて前記配線パターン上にワイヤボンディングを行う工程を含むものを含む。
【００２８】
また本発明では、上記半導体装置の製造方法において、前記層間絶縁膜を形成する工程がＢＰＳＧ膜またはＰＳＧ膜を成膜後リフローを行う工程を含むものを含む。
【００２９】
また本発明では、上記半導体装置の製造方法において、前記ボンディングパッドを構成する配線パターンの形成工程後、前記パッシベーション膜の形成に先立ち、遮光膜を形成する工程を含むものを含む。
【００３０】
また本発明では、上記半導体装置の製造方法において、前記遮光膜を形成する工程は、スパッタリング法によりＴｉＮ、ＴｉＷなどのチタン系化合物を成膜する工程を含むものを含む。
【発明の効果】
【００３１】
以上説明してきたように、本発明によれば、ボンディングパッド端部のアルミニウムあるいはアルミニウム合金などの配線パターンとその下地の多結晶シリコン層からなるパッド部の削れをなくすことができ、その結果、品質及び歩留まりの向上が実現可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつ詳細に説明する。
（実施の形態１）
まず本発明の半導体装置の外部取り出し構造を固体撮像素子に用いた例について説明する。この固体撮像素子は、図１に要部拡大断面図を示すように、光電変換部（フォトダイオード）及び電荷転送部の形成されたシリコン基板１表面に形成される配線構造の端面近傍に位置する外部取り出し部の構造に特徴を有するもので、プラズマＣＶＤ法で形成した窒化シリコン膜からなるパッシベーション膜８により形成される開口端Ｏ１が、前記層間絶縁膜６の開口Ｏ２よりも内側に位置し、前記層間絶縁膜の開口Ｏ２に起因してアルミニウム膜５に形成されたステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜８が覆うように形成されたことを特徴とする。
【００３３】
図２にこの固体撮像素子を構成するウェハの全体斜視図を示すように、ダイシングラインＤＬ近傍に位置する領域にボンディングパッド部ＢＰが形成されている。この固体撮像素子は、光電変換部（フォトダイオード）及び電荷転送部の形成されたシリコン基板１表面に形成される配線の端面の外部取り出し構造に特徴を有するもので、図１に示すように、アルミニウム配線層５下に形成される平坦化のためのリフロー膜としてのＢＰＳＧ膜６（層間絶縁膜）が、開口Ｏ２を有するように形成されている。配線のない辺（部分）はそのままでもよいが、本実施の形態ではフィールド酸化膜２の形成されたシリコン基板（各チップ）１の一辺にドープトアモルファスシリコン層からなるパッド部３が形成されており、この上層に形成される層間絶縁膜６がパターニングされ、開口Ｏ２を形成している。そしてこの上層を、第２の遮光膜としてのチタンナイトライド層７を介して窒化シリコン膜からなるパッシベーション膜８で被覆している。
【００３４】
この構成によれば、パッシベーション膜８により形成される開口端が、層間絶縁膜６の開口よりも内側に位置し、前記層間絶縁膜の開口に起因するステップカバレッジ部を前記パッシベーション膜が覆うように形成されるため、パッシベーション膜の開口工程において、ステップカバレッジ部が被覆され、配線パターンがエッチングされて段切れが生じたり、さらには下地のシリコンが除去されることなく維持されることになり、ボンディング接合性の低下もなく信頼性の高い外部取り出し構造を形成することができる。
【００３５】
また、ＢＰＳＧ膜で構成される層間絶縁膜６のエッジは確実にパッシベーション膜で被覆された構造となるため、ＢＰＳＧ膜中の不純物イオンが水分を取り込んで酸となり、アルミニウム配線層を劣化させるのをも防止することができる。また、この構成によれば、配線接続部の信頼性の向上だけでなく、段差を緩和する構成となるため、さらにこの上層にカラーフィルタなどの上部層を形成する際にも段差に起因する塗布むらをなくすることができる。
【００３６】
次に、この固体撮像装置の製造工程について説明する。まず、固体撮像素子の製造工程について説明する。固体撮像素子の光電変換部及び電荷転送電極については通例の方法で形成するが、ここでは配線層の形成特に、外部取り出し構造に特徴を有するため基板周縁部を中心に説明する。図中図３（ａ）乃至（ｅ）は配線のある部分の断面図である。
まず、ｎ型のシリコン基板１を用意し、フィールド酸化膜２を形成するとともに、電荷転送チャネル、チャネルストップ領域、電荷読み出し領域を形成する。
【００３７】
続いて、このフィールド酸化膜２上に、リンドープのドープトアモルファスシリコン膜３からなる電荷転送電極および周辺回路の配線および評価用のパッドを形成する(図３（ａ）)。なお、図示しないがこのとき基板中心部では電荷転送電極のパターニングがなされる。そしてこの電荷転送電極の上層には、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜などの絶縁膜が通例の方法によって形成される。
【００３８】
そして、この上層にＣＶＤ法によりＢＰＳＧ膜６を堆積する((図３（ｂ）)。そして必要に応じて８００から９００℃の高温熱処理により、リフローし平坦化を行う。こののち、基板周縁部ではフォトリソグラフィによりこのＢＰＳＧ膜６をパターニングする(図３（ｃ）)。このとき、パッドを形成するための開口Ｏ２を形成する。
【００３９】
そしてこの上層に、スパッタリングアルミニウム層からなる遮光性の配線層(第１の遮光膜)を形成すると共にこの上層に第２の遮光膜としてのチタンナイトライド７を形成しフォトリソグラフィにより配線パターン５を形成する(図３（ｄ）)。そして、プラズマＣＶＤ法によりパッシベーション膜としての窒化シリコン膜を形成し、フォトリソグラフィによりボンディング用の開口部Ｏ１を、基板周縁部では層間絶縁膜６のエッジすなわちアルミニウムの配線パターンのステップカバレッジ部の端縁を覆うように十分小さく形成する(図３（ｅ）)。
【００４０】
このようにしてボンディングパッドとなる領域のアルミニウム層を露呈せしめるように窒化シリコン膜からなるパッシベーション膜８をエッチングし、開口した後、水素を含む不活性ガス雰囲気中でシンター処理を行い、チタンナイトライド膜７をエッチング除去しボンディングパッドを清浄化する。そしてワイヤボンディングを行う。
【００４１】
このようにして固体撮像素子の作りこまれたシリコンウェハを用いて、ダイシングによりダイシングラインＤＬに沿って固体撮像素子ごとに分離して実装がなされる（図２参照）。
このようにして極めて容易に作業性よく固体撮像装置を形成することが可能となる。このように、本発明によれば、製造が容易でかつ信頼性の高い固体撮像装置を形成することが可能となる。
【００４２】
（実施の形態２）
次に本発明の実施の形態２について説明する。本実施の形態では図４に示すように、第2の遮光膜を形成することなく、アルミニウム層パターン上に直接パッシベーション膜を形成するようにしてもよい。
さらにまた、前記実施の形態では、固体撮像素子について説明したが、固体撮像素子に限定されることなく、ロジック回路などを構成するＬＳＩなど通常の半導体装置にも適用可能であることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
この構成によれば、小型化が可能であり、携帯電話などの電子機器における固体撮像素子の外部取り出し構造として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態１の固体撮像素子を示す要部説明図である。
【図２】本発明の実施の形態１の固体撮像素子を搭載したウェハを示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１の固体撮像素子の外部取り出し部の形成工程を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態２の固体撮像素子の要部断面図である。
【図５】従来例の固体撮像素子の要部説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  シリコン基板
２  フィールド酸化膜
３  パッド部（ドープトアモルファスシリコン層）
５  アルミニウム膜
６  層間絶縁膜
７  チタンナイトライド膜
８  パッシベーション膜
９  ボンディングワイヤ
【図１】
2007103852.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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