(57)【要約】【課題】障害発生原因の解析を効率よく行うのに適した障害解析補助装置および障害解析補助方法を提供する。【解決手段】ログファイル情報取得判定処理部５３は、検査制御アプリケーション４が出力するログファイルに所定のエラー情報が含まれているか否かを判定する。ログファイル・画面情報記録処理部５５は、ログファイルにエラー情報が含まれていると判定された場合に、ログファイル、および表示装置２が表示した画像の情報の両方を記録媒体に記録する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アプリケーションが出力するログ情報に所定の障害情報が含まれているか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段によって、前記ログ情報に前記障害情報が含まれていると判定された場合に、前記ログ情報、および表示手段が表示した画像の情報の両方を記録する記録手段と、
を備えたことを特徴とする障害解析補助装置。
【請求項２】
ユーザの指示を検出する検出手段をさらに備え、前記記録手段は、前記検出手段によって前記ユーザの指示が検出された場合も、前記ログ情報および前記画像の情報の両方を記録することを特徴とする請求項１に記載の障害解析補助装置。
【請求項３】
アプリケーションが出力するログ情報に所定の障害情報が含まれているか否かを判定するステップと、
前記ログ情報に前記障害情報が含まれていると判定された場合に、前記ログ情報、および表示手段が表示した画像の情報の両方を記録するステップと、
を備えたことを特徴とする障害解析補助方法。
【請求項４】
操作者の指示を検出するステップをさらに備え、前記操作者の指示が検出された場合も、前記ログ情報および前記画像の情報の両方を記録することを特徴とする請求項３に記載の障害解析補助方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アプリケーションに発生した障害の原因を解析する際の補助となる情報を提供する障害解析補助装置および障害解析補助方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
アプリケーションが出力するログ情報を記録しておき、アプリケーションに障害が発生した場合に、ログ情報に基づいて障害の原因を解析することが一般的に行われている。また、特許文献１には、障害原因の解析を補助するため、障害が発生した場合に、障害解析上有意義と考えられる障害発生前後の画面情報を収集する技術が記載されている。
【特許文献１】特開平１１−１６１５２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
半導体装置や液晶ディスプレイ等の製造工程において、半導体ウェハや液晶基板等の基板を検査する検査装置を制御するための検査制御アプリケーションでは、ユーザの不正な操作等によって障害が発生することがある。しかし、障害の発生に至った原因をログ情報のみあるいは画面情報のみから知ることは困難であるため、障害発生原因の解析を効率よく行うことができなかった。
【０００４】
本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであって、障害発生原因の解析を効率よく行うのに適した障害解析補助装置および障害解析補助方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、アプリケーションが出力するログ情報に所定の障害情報が含まれているか否かを判定する判定手段と、前記判定手段によって、前記ログ情報に前記障害情報が含まれていると判定された場合に、前記ログ情報、および表示手段が表示する画像の情報の両方を記録する記録手段とを備えたことを特徴とする障害解析補助装置である。
【０００６】
また、本発明は、アプリケーションが出力するログ情報に所定の障害情報が含まれているか否かを判定するステップと、前記ログ情報に前記障害情報が含まれていると判定された場合に、前記ログ情報、および表示手段が表示した画像の情報の両方を記録するステップとを備えたことを特徴とする障害解析補助方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ログ情報にエラー情報が含まれていると判定された場合に、必要なログ情報と画面情報が記録される。このログ情報と画面情報を用いることにより、障害発生原因の解析を効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態による検査システムの構成を示している。本検査システムは、検査装置１、表示装置２、および検査制御装置３を備えている。検査装置１は、例えば液晶基板を検査する装置である。表示装置２は、例えば液晶ディスプレイである。検査制御装置３は、検査装置１を制御する装置である。
【０００９】
検査制御装置３において、検査制御アプリケーション４は、検査装置１を制御するためのソフトウェアである。検査制御アプリケーション４は、図示せぬメモリにロードされて処理を実行し、処理状況を示すログ情報を記録したログファイルを出力する。出力されたログファイルは、ログファイル群３１としてＨＤＤ（Hard Disk Drive）等の記録媒体に記録される。障害解析補助システム５は、検査制御アプリケーション４に障害が発生した場合に、その障害の原因を解析する際の補助となる情報を生成するソフトウェアまたはハードウェアである。
【００１０】
障害解析補助システム５において、システム動作設定処理部５２は、ＨＤＤ等の記録媒体に記録されている設定ファイル５１から、障害解析補助システム５内の各処理部の動作に必要な設定情報を図示せぬメモリ上に読み込むことによって、各処理部の動作設定を行う。ログファイル情報取得判定処理部５３（判定手段）は、検査制御アプリケーション４が出力するログファイル群３１の中から少なくとも１つのログファイルを取得し、その内容に基づいて、障害発生の有無を判定する。より具体的には、ログファイル情報取得判定処理部５３は、取得したログファイルに記録されたログ情報に所定のエラー情報（障害情報）が含まれているか否かを判定する。
【００１１】
画面情報取得処理部５４は、表示装置２が表示した画面（画像）の情報である画面情報を取得し、そのファイル（画面情報ファイル）を画面情報ファイル群５６としてＨＤＤ等の記録媒体に記録する。ログファイル・画面情報記録処理部５５（記録手段）は、ログファイル情報取得判定処理部５３によって、ログ情報にエラー情報が含まれていると判定された場合に、障害と関連するログファイルと画面情報ファイルを、それぞれ抜粋ログファイル群５７、抜粋画面情報ファイル群５８としてＨＤＤ等の記録媒体に記録する。制御処理部５９（検出手段）は、障害解析補助システム５内の各処理部の動作を制御する。
【００１２】
次に、本実施形態におけるログファイル、設定ファイル、および画面情報の詳細を説明する。ログファイルには、検査制御アプリケーション４の処理内容を示す情報や、処理が発生した日時が記録される。図２は、検査制御アプリケーション４が出力するログファイルの内容例を示している。ログファイル群３１に含まれる個々のログファイル３１０には、ログが出力された日付３１０ａ、時刻３１０ｂ、ログファイルの出力元３１０ｃ、およびメッセージ本文３１０ｄが含まれる。
【００１３】
設定ファイル５１は、障害解析補助システム５が起動された際に、各処理部に設定されるパラメータ（設定情報）が記録されたファイルである。図３は設定ファイル５１の内容例を示している。監視間隔は、ログファイル情報取得判定処理部５３がログファイルを監視する間隔を示している。画像取得間隔は、画面情報取得処理部５４が画面情報を取得する間隔を示している。画像取得枚数は、画面情報ファイル群５６として取得し、一時的に保持可能な画面の最大枚数を示している。
【００１４】
ログファイル退避先は、抜粋ログファイル群５７が記録される場所を示している。画面情報ファイル退避先は、抜粋画面情報ファイル群５８が記録される場所を示している。監視対象ログファイルは、ログファイル情報取得判定処理部５３が監視するログファイルを示している。図３では、ログファイル情報取得判定処理部５３が複数のログファイルを監視することになっている。エラー情報は、障害発生の有無の判定に用いられる情報を示している。画像退避時間は、ログファイル情報取得判定処理部５３によって、ログ情報にエラー情報が含まれていると判定された場合に、その後のどれだけの時間分の画面情報を記録するのかを示している。
【００１５】
設定ファイル５１に記録されている情報は、図３の例では以下のように利用される。障害解析補助システム５が起動すると、ログファイル情報取得判定処理部５３は10秒毎にログファイルを監視し、監視時間内における障害発生の有無の判定を行う。また、画面情報取得処理部５４は500ミリ秒毎に画面情報ファイルを取得し、画面情報ファイル群５６として記録する。
【００１６】
「監視対象ログファイル１」に設定されている「C:\Log1.txt」に、エラー情報に設定されている「Err 1」が記録された場合、ログファイル情報取得判定処理部５３は、障害が発生したと判定する。障害が発生したと判定されると、ログファイル・画面情報記録処理部５５は、ログファイル群３１から抜粋した抜粋ログファイル群５７を「C:\Log」に記録すると共に、画面情報ファイル群５６から抜粋した抜粋画面情報ファイル群５８を「C:\Display」に記録する。
【００１７】
図４は、表示装置２が表示する画面の例を示している。この画面の表示に必要な情報が画面情報となる。検査情報４１０にはＩＤおよびＮｏが含まれている。ＩＤのうち、ＩＤ１は例えば基板ＩＤであり、ＩＤ２は例えばレシピＩＤであり、ＩＤ３は例えばカセットＩＤであり、ＩＤ４は例えば検査者等のユーザＩＤである。Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４はそれぞれ、基板上のセルの識別番号を示している。図４の例では、基板ＩＤが000001である基板上に４つのセルが配置されていることになる。検査画面４２０には検査結果が表示される。検査画面４２０のうち、検査結果画面４３０には、例えばミクロ検査であれば、顕微鏡で基板を撮像した際の、基板の一部を拡大した画像が表示され、マクロ検査であれば、基板を広範囲で撮像した画像が表示される。検査結果４４０には、例えばセル上のパターンの幅の測定結果が表示される。
【００１８】
次に、本実施形態による障害解析補助システム５の動作を説明する。検査時に検査装置１および検査制御装置３からなる検査システムが立ち上げられることにより、障害解析補助システム５が起動し、常駐する。障害解析補助システム５が起動すると、図５に示す処理が実行される。図５（ａ）は、画面情報取得処理部５４を中心とする処理を示しており、図５（ｂ）は、ログファイル情報取得判定処理部５３およびログファイル・画面情報記録処理部５５を中心とする処理を示している。図５（ａ）の処理と図５（ｂ）の処理は、ＯＳのマルチプロセス機能により、並行して実行される。
【００１９】
まず、図５（ａ）に示す処理を説明する。障害解析補助システム５が起動すると、システム動作設定処理部５２は制御処理部５９から指示を受け、画面情報取得処理部５４の動作に必要な設定情報を設定ファイル５１から図示せぬメモリ上に読み込む（ステップＳ１０１）。続いて、画面情報取得処理部５４は制御処理部５９から指示を受け、一定時間毎に画面情報を取得し、画面情報ファイル群５６として記録媒体内の所定の場所に記録する（ステップＳ１０２；画面情報取得処理）。検査制御アプリケーション４の終了動作等が行われるまで、ループ１００の動作が繰り返される。
【００２０】
次に、図５（ｂ）に示す処理を説明する。障害解析補助システム５が起動すると、システム動作設定処理部５２は制御処理部５９から指示を受け、ログファイル情報取得判定処理部５３およびログファイル・画面情報記録処理部５５の動作に必要な設定情報を設定ファイル５１から図示せぬメモリ上に読み込む（ステップＳ２０１）。続いて、ログファイル情報取得判定処理部５３は制御処理部５９から指示を受け、一定時間毎にログファイル群３１の監視を行う（ステップＳ２０２；ログファイル情報取得判定処理）。
【００２１】
続いて、制御処理部５９は、ログファイル内のエラー情報の有無（障害発生の有無）を判定する（ステップＳ２０３）。エラー情報があった場合には、ログファイル・画面情報記録処理部５５は制御処理部５９から指示を受け、必要なログファイルと画面情報ファイルを、それぞれ抜粋ログファイル群５７、抜粋画面情報ファイル群５８として記録媒体内の所定の場所に記録する（ステップＳ２０４；ログファイル・画面情報記録処理）。エラー情報がなかった場合には、再びステップＳ２０２の処理が行われる。検査制御アプリケーション４の終了動作等が行われるまで、ループ２００の動作が繰り返される。
【００２２】
図６は、図５（ａ）のステップＳ１０２における画面情報取得処理の詳細を示している。まず、画面情報取得処理部５４は、設定ファイル５１に格納されている画像取得間隔毎に画面情報を取得し、画面情報ファイル群５６として記録する（ステップＳ３０１）。続いて、画面情報取得処理部５４は、記録されている画面情報ファイルの数をチェックし、その数が、設定範囲内（設定ファイル５１に格納されている画像取得枚数の範囲内）であるか否かを判定する（ステップＳ３０２）。
【００２３】
画面情報ファイルの数が設定範囲内であった場合には、ステップＳ１０２における画面情報取得処理が終了する。また、画面情報ファイルの数が設定範囲内でなかった場合には、画面情報取得処理部５４は、最も古いファイルを設定範囲外のファイルとして削除し（ステップＳ３０３）、ステップＳ１０２における画面情報取得処理を終了する。
【００２４】
図７は、図５（ｂ）のステップＳ２０２におけるログファイル情報取得判定処理の詳細を示している。まず、ループ４００の処理が行われる。このループ４００は、監視対象となっているログファイルの数の分だけ繰り返される。ログファイル情報取得判定処理部５３は、監視対象となっているログファイルの行数を取得する（ステップＳ４０１）。続いて、ログファイル情報取得判定処理部５３は、判定が１回目であるか否かを判定する（ステップＳ４０２）。１つのログファイルについて、ステップＳ４０２の処理を初めて行う場合には、判定が１回目であると判定される。
【００２５】
判定が１回目であった場合には、再びステップＳ４０１の処理が行われる。また、判定が１回目でなかった場合には、ログファイル情報取得判定処理部５３は、前回取得したログファイルの行数と、今回取得したログファイルの行数とを比較する（ステップＳ４０３）。ログファイルの行数が一致していた場合には、再びステップＳ４０１の処理が行われる。また、ログファイルの行数が一致していなかった場合には、ログファイル情報取得判定処理部５３はログファイルから差分の行数分の情報を読み込む（ステップＳ４０４）。
【００２６】
さらに、ログファイル情報取得判定処理部５３は、設定ファイル５１に格納されているエラー情報と一致する情報が、ステップＳ４０４で読み込んだ情報に含まれているか否かを判定する（ステップＳ４０５）。エラー情報が含まれていなかった場合には、再びステップＳ４０１の処理が行われる。また、エラー情報が含まれていた場合には、ログファイル情報取得判定処理部５３は、ログファイル内にエラー情報が含まれていたこと（障害が発生したこと）を制御処理部５９に通知する（ステップＳ４０６）。続いて、再びステップＳ４０１の処理が行われる。
【００２７】
ループ４００の処理が終了すると、ログファイル情報取得判定処理部５３は、ステップＳ４０５での判定結果に基づいて、ログファイル内にエラー情報が含まれていたか否かを判定する（ステップＳ４０７）。エラー情報が含まれていなかった場合には、ステップＳ２０２におけるログファイル情報取得判定処理を終了する。また、エラー情報が含まれていた場合には、ログファイル情報取得判定処理部５３は、タイマを起動し、設定ファイル５１に格納されている監視間隔だけ待機した（ステップＳ４０８）後、ステップＳ２０２におけるログファイル情報取得判定処理を終了する。
【００２８】
図８は、図５（ｂ）のステップＳ２０４におけるログファイル・画面情報記録処理の詳細を示している。前述したように、この処理は、ログファイル内にエラー情報が含まれていた場合に実行される。まず、ログファイル・画面情報記録処理部５５は、障害発生までに記録されたログファイルの中から必要なログファイルをログファイル群３１から抜粋し、抜粋ログファイル群５７として記録する（ステップＳ５０１）。続いて、ログファイル・画面情報記録処理部５５はタイマを起動して、設定ファイル５１に格納されている画像退避時間分だけ待機する（ステップＳ５０２）。
【００２９】
続いて、ログファイル・画面情報記録処理部５５は、障害発生までに記録された画面情報ファイルの中から必要なファイルを画面情報ファイル群５６から抜粋すると共に、障害発生から画像退避時間が経過するまでに記録された画面情報ファイルを画面情報ファイル群５６から抜粋し、それらを抜粋画面情報ファイル群５８として記録する（ステップＳ５０３）。上記の処理を経て、ステップＳ２０４におけるログファイル・画面情報記録処理処理が終了する。
【００３０】
上述したように本実施形態では、ログ情報にエラー情報が含まれていると判定された場合に、必要なログ情報と画面情報が記録される。ログ情報から取得できない情報を画面情報から取得可能であり、画面情報から取得できない情報をログ情報から取得可能であるから、両者を組み合わせて障害発生原因の解析を行うことにより、解析を効率よく行うことができる。また、解析に必要な情報が自動で記録されるので、障害発生原因を解析する者の負担を軽減すると共に、障害発生から問題解決までの時間を短縮することができる。
【００３１】
また、画面情報ファイル群５６として保存される画面情報を一定量に制限することによって、記録媒体の記録領域を圧迫することなく上記の処理を継続することを実現することができる。したがって、半永久的に障害解析補助システム５を常駐させておくことができる。
【００３２】
また、障害発生時から一定時間が経過するまでの画面情報を取得することを実現することによって、障害発生前だけではなく、障害発生後の画面情報も取得することができる。
【００３３】
次に、本実施形態の変形例を説明する。図９は、図５（ｂ）の処理の一部を変形したものである。図８において、図５（ｂ）と同一の処理ステップには同一の符号を付与し、説明を省略する。なお、検査制御装置３には、必要なログファイルおよび画面情報ファイルの記録を手動で指示するためのボタンが設けられているものとする。このボタンは、物理的に押すボタンの他、表示画面上でカーソルを移動してクリックするＧＵＩ（グラフィカルユーザインタフェース）上のボタンであってもよい。ボタン操作の有無の検出は、制御処理部５９によって行われる。図８では、ログファイル内にエラー情報がなかった場合には、制御処理部５９は、ボタンが操作者によって押下されたか否かを判定する（ステップＳ２０５）。
【００３４】
ボタンが押下されていない場合には、再びステップＳ２０２の処理が行われる。また、ボタンが押下された場合には、ボタンが押下された時点までにログファイル群３１として記録されたログファイル中の必要なログファイルと、ボタンが押下された時点までに画面情報ファイル群５６として記録された画面情報ファイル中の必要な画面情報ファイルと、ボタンが押下された時点から一定時間が経過するまでに画面情報ファイル群５６として記録された画面情報ファイルとが、ステップＳ２０４において、記録媒体内の所定の場所に記録される。
【００３５】
本変形例によれば、操作者がログファイルと画面情報ファイルを障害解析補助システム５に任意のタイミングで記録させることができる。例えば何らかの原因により検査制御アプリケーション４が突然終了してしまった場合には、エラーメッセージ等のエラーを示す情報がログファイルに出力されないことがあり、図５（ｂ）の処理では、ログファイルと画面情報ファイルを記録すべき状況が発生したことを検出することができない。このようなときには、必要なログファイルと画面情報ファイルを記録することができない。
【００３６】
これに対して、図９の処理では、操作者が検査制御アプリケーション４の異常終了に気付いたときにボタンを押下すれば、必要なログファイルと画面情報ファイルを記録することができ、検査制御アプリケーション４の異常終了の原因を解析する際にそれらの情報を用いることが可能となる。
【００３７】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、エラー情報には、障害と断定できるログファイル中のキーワードの他に、特定のＩＤやＮｏを設定することも可能である。
【００３８】
この場合、設定したＩＤやＮｏがログファイルに書き込まれると、それをログファイル情報取得判定処理部５３が検知して、ログファイル・画面情報記録処理部５５が動作し、ログファイルおよび画面情報ファイルが記録される。これにより、検査制御アプリケーション４の内部では障害が検出されないが、例えば特定の基板やセルに検査上の問題が発生する場合に、画像情報として基板の輝度情報が含まれるので、特定の部位の輝度が異常に高いなどのため、検査制御アプリケーションとは別の欠陥抽出アプリケーションとの関連で異常となるなどの原因があれば、その原因を解析する際の補助となる情報を提供することができる。
【００３９】
また、本発明は、基板検査装置に限らず、ＧＵＩ機能を備え、検査用アプリケーションソフトを有する検査装置であれば、適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施形態による検査システムの構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態におけるログファイルの内容を示す参考図である。
【図３】本発明の一実施形態における設定ファイルの内容を示す参考図である。
【図４】本発明の一実施形態における表示画面を示す参考図である。
【図５】本発明の一実施形態による障害解析補助システムの動作の手順を示すフローチャート（メイン処理）である。
【図６】本発明の一実施形態による障害解析補助システムの動作の手順を示すフローチャート（画面情報取得処理）である。
【図７】本発明の一実施形態による障害解析補助システムの動作の手順を示すフローチャート（ログファイル情報取得判定処理）である。
【図８】本発明の一実施形態による障害解析補助システムの動作の手順を示すフローチャート（ログファイル・画面情報ファイル記録処理）である。
【図９】本発明の一実施形態による障害解析補助システムの動作の手順を示すフローチャート（メイン処理の変形例）である。
【符号の説明】
【００４１】
１・・・検査装置、２・・・表示装置（表示手段）、３・・・検査制御装置、４・・・検査制御アプリケーション、５・・・障害解析補助システム（障害解析補助装置）、５２・・・システム動作設定処理部、５３・・・ログファイル情報取得判定処理部（判定手段）、５４・・・画面情報取得処理部、５５・・・ログファイル・画面情報記録処理部（記録手段）、５９・・・制御処理部（検出手段）
【図１】
2007334474.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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