(57)【要約】【課題】砥石の品質を低下させることがないとともに生産性を向上させることができる研削ホイールの製造方法を提供する。【解決手段】端面に環状溝が形成されたホール基台と、ホール基台の環状溝内に配設される砥石とからなる研削ホイールの製造方法であって、熱硬化性樹脂シート材を環状溝内に配設可能な樹脂シートに形成する樹脂シート加工工程と、樹脂シートを環状溝に配設するとともに砥石を環状溝に樹脂シートを挟んで挿入する砥石セット工程と、砥石を押圧しつつ樹脂シートを加熱して樹脂シートを硬化せしめる樹脂シート過熱工程とを含む。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
端面に環状溝が形成されたホール基台と、該ホール基台の該環状溝内に配設される砥石とからなる研削ホイールの製造方法であって、
熱硬化性樹脂シート材を該環状溝内に配設可能な樹脂シートに形成する樹脂シート加工工程と、
該樹脂シートを該環状溝に配設するとともに該砥石を該環状溝に該樹脂シートを挟んで挿入する砥石セット工程と、
該砥石を押圧しつつ該樹脂シートを加熱して該樹脂シートを硬化せしめる樹脂シート過熱工程と、を含む、
ことを特徴とする研削ホイールの製造方法。
【請求項２】
該熱硬化性樹脂シート材はポリエステル不織布にエポキシ系樹脂を含浸させたシート材からなり、該樹脂シート加熱工程は１１０〜１３０℃の加熱温度で１１０〜１３０分間実施する、請求項１記載の研削ホイールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を研削するための研削ホイールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
当業者には周知の如く、半導体デバイス製造工程においては、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが複数個形成されたウエーハは、個々のチップに分割される前にその裏面を研削装置によって研削して所定の厚さに形成されている。研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールを備えた研削手段とを具備している。この研削手段を構成する研削ホイールについて、図７を参照して説明する。図７に示す研削ホイール２０は、端面に環状溝３０１が形成されたホール基台３０と、該環状溝３０１内に配設される複数の砥石４０とからなっている。この複数の砥石４０をホイール基台３０の環状溝３０１内に配設し固定する従来用いられている方法について、図８を参照して説明する。先ず、図８の(a)に示すように砥石４における固定側の端面にエポキシ樹脂等の液状樹脂からなるボンド剤５０を塗布し、図８の(b)に示すようにホイール基台３０に形成された環状溝３０１内に砥石４のボンド剤５０が塗布された端面側を挿入して接着する。そして、研削砥石４０に所定の押圧力を作用せしめた状態で加熱してボンド剤５０を硬化せしめる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
而して、上記従来の方法においては、砥石４０の端面に塗布するボンド剤５０の量が少ないと接着された砥石４０が剥がれるため、ボンド剤５０は環状溝３０１を充分に充填する量が塗布される。このため、図８の(b)に示すようにボンド剤５が環状溝３０１から溢れ出す。このように環状溝３０１から溢れ出したボンド剤５０は、作業者が拭き取らなければならず、生産性が悪いという問題がある。また、環状溝３０１から溢れ出したボンド剤５が砥石４０の研削面に付着して内部に浸透すると砥石の品質を低下させるという問題がある。更に、ボンド剤５０の量は作業者に委ねられているので、作業者の熟練度、個性によって出来栄えが異なり品質が安定しないという問題がある。
【０００４】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、砥石の品質を低下させることがないとともに生産性を向上させることができる研削ホイールの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、端面に環状溝が形成されたホール基台と、該ホール基台の該環状溝内に配設される砥石とからなる研削ホイールの製造方法であって、
熱硬化性樹脂シート材を該環状溝内に配設可能な樹脂シートに形成する樹脂シート加工工程と、
該樹脂シートを該環状溝に配設するとともに該砥石を該環状溝に該樹脂シートを挟んで挿入する砥石セット工程と、
該砥石を押圧しつつ該樹脂シートを加熱して該樹脂シートを硬化せしめる樹脂シート過熱工程と、を含む、
ことを特徴とする研削ホイールの製造方法が提供される。
【０００６】
上記熱硬化性樹脂シート材はポリエステル不織布にエポキシ系樹脂を含浸させたシート材からなり、上記樹脂シート加熱工程は１１０〜１３０℃の加熱温度で１１０〜１３０分間実施する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明による研削ホイールの製造方法においては、熱硬化性樹脂シート材をホイール基台に形成された環状溝に配設可能な樹脂シートに形成し、この樹脂シートを環状溝に配設するとともに砥石を環状溝に樹脂シートを挟んで挿入した後、砥石を押圧しつつ樹脂シートを加熱して硬化せしめることにより、硬化した樹脂シートによって砥石をホイール基台に固定するので、ボンド剤が環状溝から溢れ出すことがない。従って、従来のように環状溝から溢れ出したボンド剤を拭き取る作業を実施する必要がなく、生産性が向上する。また、従来のように環状溝から溢れ出したボンド剤が砥石の研磨面に付着することがなく、ボンド剤が砥石の研磨面に付着することによる品質の低下を未然に防止できる。更に、従来のようにボンド剤の量が作業者に委ねられていないので、作業者の熟練度、個性によって出来栄えが異なることがないため、安定した品質の研削ホイールを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明による研削ホイールの製造方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
【０００９】
図１には、本発明に従って構成された研削ホイールの斜視図が示されている。
図1に示す研削ホイール２は、上記図８に示す研削ホイール２０と同様に端面に環状溝３１が形成されたホイール基台３と、該環状溝３１内に配設される複数の砥石４とからなっている。この複数の砥石４をホイール基台３の環状溝３１内に配設し固定する方法について、図２乃至図５を参照して説明する。
【００１０】
先ず、図2に示すように熱硬化性樹脂シート材５をホイール基台３形成された環状溝３１内に配設可能な樹脂シートに形成する樹脂シート加工工程を実施する。図2に示す実施形態においては、熱硬化性樹脂シート材５を２点鎖線で示すように環状溝３１に対応する形状に裁断し、環状の樹脂シート５１を形成する。なお、熱硬化性樹脂シート５は、例えばポリエステル不織布にエポキシ系樹脂を含浸させたシートからなっている。この熱硬化性樹脂シート５の厚さは、０．２〜1mｍが好ましい。このような熱硬化性樹脂シート材としては、例えば日東電工(株)が提供するＢ-ＥＦ・Ｐ-ＥＦシリーズの熱硬化性接着シートを用いることができる。
【００１１】
次に、図３の(a)および(b)に示すように環状の樹脂シート５１をホイール基台３に形成された環状溝３１に配設するとともに、図3の(c)に示すように砥石４を環状溝３１に樹脂シート５１を挟んで挿入する砥石セット工程を実施する。そして、図3の(c)に示すように複数の砥石４を環状溝３１内にそれぞれ所定の間隔を設けてセットする。
【００１２】
上述した砥石セット工程を実施したならば、図４の(a)に示すようにホイール基台３に形成された環状溝３１にセットされた複数の砥石４上に重石６を載置し、複数の砥石４を押圧する。そして、図４の(b)に示すようにホイール基台３に形成された環状溝３１にセットされた複数の砥石４上に重石６を載置した状態で加熱炉７に入れ、樹脂シート５１を加熱することにより樹脂シート５１を硬化せしめる（樹脂シート加熱工程）。この樹脂シート加熱工程においてホイール基台３に形成された環状溝３１にセットされた複数の砥石４上に載置する重石６の重量は、１０〜２０kgでよい。また、樹脂シート加熱工程は、１１０〜１３０℃の加熱温度で、１１０〜１３０分間実施する。このようにして樹脂シート加熱工程を実施することにより樹脂シート５１が硬化せしめられ、この硬化した樹脂シート５１によって砥石４はホイール基台３に固定される。
【００１３】
以上のように実施形態においては、熱硬化性樹脂シート材５をホイール基台３に形成された環状溝３１に対応した環状の樹脂シート５１に裁断し、この環状の樹脂シート５１を環状溝３１に配設するとともに複数の砥石４を環状溝３１に樹脂シート５１を挟んで挿入した後、複数の砥石４を押圧しつつ樹脂シート５１を加熱して硬化せしめることにより、硬化した樹脂シート５１によって砥石４をホール基台３に固定するので、ボンド剤が環状溝３１から溢れ出すことがない。従って、従来のように環状溝３１から溢れ出したボンド剤を拭き取る作業を実施する必要がなく、生産性が向上する。また、従来のように環状溝３１から溢れ出したボンド剤が砥石４の研磨面に付着することがなく、ボンド剤が砥石４の研磨面に付着することによる品質の低下を未然に防止できる。さらに、従来のようにボンド剤の量が作業者に委ねられていないので、作業者の熟練度、個性によって出来栄えが異なることがないため、安定した品質の研削ホイールを得ることができる。
【００１４】
次に、本発明による研削ホイールの製造方法の他の実施形態について、図５および図６を参照して説明する。
図５および６に示す実施形態においては、熱硬化性樹脂シート材を図５に示すように上記砥石4の端面に対応する樹脂シート５２に裁断する（樹脂シート加工工程）し、この樹脂シート５２を砥石4の端面に貼着する。次に、図６に示すようにホール基台３に形成された環状溝３１に挿入し所定位置にセットする（砥石セット工程）。そして、ホール基台３に形成された環状溝３１に全ての砥石１４をセットしたならば、上記樹脂シート加熱工程を実施する。
【００１５】
以上、本発明を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は実施例のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で種種の変形は可能である。例えば、上述した実施形態においては研削砥石として複数の砥石１４を用いた例を示したが、本発明は環状の砥石にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明による研削ホイールの製造方法によって製作された研削ホイールの斜視図。
【図２】本発明による研削ホイールの製造方法における樹脂シート加工工程の説明図。
【図３】本発明による研削ホイールの製造方法における砥石セット工程の説明図。
【図４】本発明による研削ホイールの製造方法における樹脂シート加熱工程の説明図。
【図５】本発明による研削ホイールの製造方法における樹脂シート加工工程の説明図。
【図６】本発明による研削ホイールの製造方法における砥石セット工程の説明図。
【図７】従来の研削ホイールの製造方法によって製作された研削ホイールの斜視図。
【図８】従来の研削ホイールの製造方法の説明図。
【符号の説明】
【００１７】
２：研削ホイール
３：ホイール基台
３１：環状溝
４：砥石
５：熱硬化性樹脂シート材
５１：樹脂シート
５２：樹脂シート
６：重石
７：加熱炉
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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