(57)【要約】【課題】高電圧を基準として動作する被試験デバイスの試験を精度よく行う。【解決手段】所定の高電圧の基準電圧が与えられて動作する被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスが出力する出力信号が所定の論理値を示す場合に、出力信号が有するべき電圧レベルを規定する基準電圧を、被試験デバイスに印加する基準電圧印加部と、基準電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出部と、出力信号を期待値信号と比較する信号比較部と、電圧レベル検出部が検出した基準電圧の電圧レベルが、予め定められた期待電圧範囲であるか否かを判定する基準電圧比較部と、基準電圧の電圧レベルが、期待電圧範囲内であることを条件として、信号比較部における比較結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置を提供する。【選択図】図２
2007205792.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の高電圧の基準電圧が与えられて動作する被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスが出力する出力信号が所定の論理値を示す場合に、前記出力信号が有するべき電圧レベルを規定する前記基準電圧を、前記被試験デバイスに印加する基準電圧印加部と、
前記基準電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出部と、
前記出力信号を期待値信号と比較する信号比較部と、
前記電圧レベル検出部が検出した前記基準電圧の電圧レベルが、予め定められた期待電圧範囲であるか否かを判定する基準電圧比較部と、
前記基準電圧の電圧レベルが、前記期待電圧範囲内であることを条件として、前記信号比較部における比較結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備える試験装置。
【請求項２】
前記電圧レベル検出部は、前記基準電圧が入力される前記被試験デバイスの入力端子から、前記基準電圧の電圧レベルを検出する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記被試験デバイスは、
低電圧駆動部と、
前記低電圧駆動部より高い電圧で駆動する高電圧駆動部と
を備え、
前記試験装置は、第１の前記基準電圧を前記低電圧駆動部に印加する低電圧印加部を更に備え、
前記基準電圧印加部は、前記第１の基準電圧に対して予め定められた電圧レベル差を有し、前記第１の基準電圧より電圧レベルが高い第２の前記基準電圧を、前記高電圧駆動部に印加し、
前記電圧レベル検出部は、前記第２の基準電圧の電圧レベルを検出し、
前記基準電圧比較部は、前記第２の基準電圧の電圧レベルが、前記期待電圧範囲であるか否かを判定する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項４】
前記試験装置は、それぞれ入力される信号の論理値を判定する複数のロジックピンを更に備え、
それぞれの前記ロジックピンは、入力される信号の電圧レベルと、与えられる閾値とを比較し、比較結果を出力するコンパレータを有し、
前記高電圧駆動部は、前記第２の基準電圧を基準とした前記出力信号を出力し、
第１の前記ロジックピンは、前記高電圧駆動部が出力する前記出力信号が入力され、
第２の前記ロジックピンは、前記第２の基準電圧が入力され、
前記試験装置は、前記第２のロジックピンの前記コンパレータに与える前記閾値を順次変化させることにより、当該コンパレータを前記電圧レベル検出部として機能させる制御部を更に備える
請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記電圧レベル検出部に、前記高電圧駆動部が出力する前記出力信号を入力するか、又は前記基準電圧印加部が出力する前記第２の基準電圧を入力するかを切り替える切替部を更に備える
請求項３に記載の試験装置。
【請求項６】
前記試験装置は、
前記高電圧駆動部が出力する前記出力信号の電圧レベルを、予め定められた分圧率で分圧する信号分圧部と、
前記高電圧駆動部が出力する前記第２の基準電圧の電圧レベルを、前記分圧率で分圧する基準分圧部と、
前記信号分圧部が出力する前記出力信号の電圧レベルと、前記基準分圧部が出力する前記第２の基準電圧の電圧レベルとの差分を、前記分圧率に応じた増幅率で増幅して出力する差動アンプと
を更に備え、
前記切替部は、前記差動アンプが出力する信号を前記電圧レベル検出部に入力するか、又は前記基準分圧部が出力する前記第２の基準電圧を前記電圧レベル検出部に入力するかを切り替える
請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
前記切替部に、前記第２の基準電圧を前記電圧レベル検出部に入力させ、前記基準電圧比較部において前記第２の基準電圧が前記期待電圧範囲内であると判定された場合に、前記切替部に前記高電圧駆動部が出力する前記出力信号を通過させる切替制御部を更に備える
請求項５に記載の試験装置。
【請求項８】
与えられる試験プログラムに基づいて、前記被試験デバイスに入力する試験パターンを生成するパターン発生部と、
前記試験プログラムに基づいて、前記高電圧駆動部の前記出力信号を、前記期待値信号と比較しないタイミングを検出し、前記第２の基準電圧を、前記電圧レベル検出部に入力させる切替制御部と
を更に備える請求項５に記載の試験装置。
【請求項９】
所定の高電圧の基準電圧が与えられて動作する被試験デバイスを試験する試験方法であって、
前記被試験デバイスが出力する出力信号が所定の論理値を示す場合に、前記出力信号が有するべき電圧レベルを規定する前記基準電圧を、前記被試験デバイスに印加する基準電圧印加段階と、
前記基準電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出段階と、
前記出力信号を期待値信号と比較する信号比較段階と、
前記電圧レベル検出段階において検出した前記基準電圧の電圧レベルが、予め定められた期待電圧範囲であるか否かを判定する基準電圧比較段階と、
前記基準電圧の電圧レベルが、前記期待電圧範囲内であることを条件として、前記信号比較段階における比較結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定段階と
を備える試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置及び試験方法に関する。特に本発明は、所定の高電圧の基準電圧が与えられて動作する被試験デバイスを試験する試験装置及び試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高電圧の信号を出力するＨＶＩＣ（Ｈｉｇｈ  Ｖｏｌｔａｇｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）の需要が増加している。例えば、電気自動車のモータ制御用のデバイス等にＨＶＩＣが用いられている。
【０００３】
ＨＶＩＣは、例えば０〜２ｋＶ程度の電圧レベルを基準として、所定の振幅の信号を出力するデバイスである。ＨＶＩＣの試験時においては、試験装置が０〜２ｋＶ程度の高電圧の基準電圧をＨＶＩＣに供給する。また試験装置は、出力信号のデータパターンを検出し、当該データパターンに基づいて被試験デバイスの良否を判定する。
【０００４】
現在、関連する特許文献等は認識していないので、その記載を省略する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、試験装置がＨＶＩＣに印加する基準電圧が正常な電圧でない場合、ＨＶＩＣの出力信号のレベルを精度よく測定することができない。従来の試験装置は、高電圧の基準電圧を測定する手段を有しておらず、被試験デバイスを精度よく試験することができなかった。また、高電圧を測定する手段を新たに設ける場合、高耐圧のコンパレータ等を設ける必要があり、コストがかかってしまう。
【０００６】
このため本発明は上記の課題を解決する試験装置及び試験方法を提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１形態においては、所定の高電圧の基準電圧が与えられて動作する被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスが出力する出力信号が所定の論理値を示す場合に、出力信号が有するべき電圧レベルを規定する基準電圧を、被試験デバイスに印加する基準電圧印加部と、基準電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出部と、出力信号を期待値信号と比較する信号比較部と、電圧レベル検出部が検出した基準電圧の電圧レベルが、予め定められた期待電圧範囲であるか否かを判定する基準電圧比較部と、基準電圧の電圧レベルが、期待電圧範囲内であることを条件として、信号比較部における比較結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置を提供する。
【０００８】
電圧レベル検出部は、基準電圧が入力される被試験デバイスの入力端子から、基準電圧の電圧レベルを検出してよい。被試験デバイスは、低電圧駆動部と、低電圧駆動部より高い電圧で駆動する高電圧駆動部とを備え、試験装置は、第１の基準電圧を低電圧駆動部に印加する低電圧印加部を更に備え、基準電圧印加部は、第１の基準電圧に対して予め定められた電圧レベル差を有し、第１の基準電圧より電圧レベルが高い第２の基準電圧を、高電圧駆動部に印加し、電圧レベル検出部は、第２の基準電圧の電圧レベルを検出し、基準電圧比較部は、第２の基準電圧の電圧レベルが、期待電圧範囲であるか否かを判定してよい。
【０００９】
試験装置は、それぞれ入力される信号の論理値を判定する複数のロジックピンを更に備え、それぞれのロジックピンは、入力される信号の電圧レベルと、与えられる閾値とを比較し、比較結果を出力するコンパレータを有し、高電圧駆動部は、第２の基準電圧を基準とした出力信号を出力し、第１のロジックピンは、高電圧駆動部が出力する出力信号が入力され、第２のロジックピンは、第２の基準電圧が入力され、試験装置は、第２のロジックピンのコンパレータに与える閾値を順次変化させることにより、当該コンパレータを電圧レベル検出部として機能させる制御部を更に備えてよい。
【００１０】
試験装置は、電圧レベル検出部に、高電圧駆動部が出力する出力信号を入力するか、又は基準電圧印加部が出力する第２の基準電圧を入力するかを切り替える切替部を更に備えてよい。
【００１１】
試験装置は、高電圧駆動部が出力する出力信号の電圧レベルを、予め定められた分圧率で分圧する信号分圧部と、高電圧駆動部が出力する第２の基準電圧の電圧レベルを、分圧率で分圧する基準分圧部と、信号分圧部が出力する出力信号の電圧レベルと、基準分圧部が出力する第２の基準電圧の電圧レベルとの差分を、分圧率に応じた増幅率で増幅して出力する差動アンプとを更に備え、切替部は、差動アンプが出力する信号を電圧レベル検出部に入力するか、又は基準分圧部が出力する第２の基準電圧を電圧レベル検出部に入力するかを切り替えてよい。
【００１２】
試験装置は、切替部に、第２の基準電圧を電圧レベル検出部に入力させ、基準電圧比較部において第２の基準電圧が期待電圧範囲内であると判定された場合に、切替部に高電圧駆動部が出力する出力信号を通過させる切替制御部を更に備えてよい。
【００１３】
試験装置は、与えられる試験プログラムに基づいて、被試験デバイスに入力する試験パターンを生成するパターン発生部と、試験プログラムに基づいて、高電圧駆動部の出力信号を、期待値信号と比較しないタイミングを検出し、第２の基準電圧を、電圧レベル検出部に入力させる切替制御部とを更に備えてよい。
【００１４】
本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験方法であって、被試験デバイスが出力する出力信号が所定の論理値を示す場合に、出力信号が有するべき電圧レベルを規定する基準電圧を、被試験デバイスに印加する基準電圧印加段階と、基準電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出段階と、出力信号を期待値信号と比較する信号比較段階と、電圧レベル検出段階において検出した基準電圧の電圧レベルが、予め定められた期待電圧範囲であるか否かを判定する基準電圧比較段階と、基準電圧の電圧レベルが、期待電圧範囲内であることを条件として、信号比較部における比較結果に基づいて被試験デバイスの良否を判定する判定段階とを備える試験方法を提供する。
【００１５】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１７】
図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。試験装置１００は、所定の高電圧の基準電圧が与えられて動作する半導体回路等の被試験デバイス２００を試験する。
【００１８】
被試験デバイス２００は、例えば接地電位を基準とした波形の第１の出力信号と、例えば０〜２ｋＶ程度の高電圧を基準とした波形の第２の出力信号を出力するデバイスであり、電源監視部２０２、高圧ロジック部２０４、レベルシフト回路２０６、高電圧駆動部２０８、レベルシフト回路２１４、低圧ロジック部２１６、レベルシフト回路２１８、低電圧駆動部２２０、及び複数の入出力ピン（２２６〜２３８）を備える。
【００１９】
入出力ピン２３４及び２３０には、第１の基準電圧に基づく電圧が印加される。本例においては、第１の基準電圧は接地電位である。入出力ピン２３４には接地電位が印加され、入出力ピン２３０には、接地電位に対して所定の電位差を有する電圧が印加される。
【００２０】
低電圧駆動部２２０は、トランジスタ２２２及び２２４を有し、入出力ピン２３８を介して第１の出力信号を出力する。また、低電圧駆動部２２０は、入出力ピン２３４及び２３０に印加される電圧が与えられ、当該電圧の電圧レベル差に応じた振幅を有する第１の出力信号を出力する。例えば、低電圧駆動部２２０には、第１の出力信号がＨ論理を示す場合の電圧レベルとして、入出力ピン２３０に印加される電圧が与えられ、第１の出力信号がＬ論理を示す場合の電圧レベルとして、入出力ピン２３４に印加される電圧が与えられる。
【００２１】
入出力ピン２３２には、試験パターンが入力される。低圧ロジック部２１６は、当該試験パターンに基づいて、トランジスタ２２２及び２２４のゲート端子に入力するゲート電圧を制御する。これにより、低電圧駆動部２２０は、試験パターンに応じた第１の出力信号を出力する。また、レベルシフト回路２１８は、低圧ロジック部２１６が出力するゲート電圧を、トランジスタ２２２及び２２４の特性に応じた電圧レベルにシフトさせる。
【００２２】
入出力ピン２２６及び２２８には、第１の基準電圧に対して予め定められた電圧レベル差を有し、第１の基準電圧より電圧レベルが高い第２の基準電圧に基づく電圧が与えられる。本例においては、入出力ピン２２８に０〜２ｋＶ程度の第２の基準電圧が印加される。また、入出力ピン２２６には、第２の基準電圧に対し、予め定められた電圧レベル差を有する電圧が印加される。
【００２３】
高電圧駆動部２０８は、トランジスタ２１０及び２１２を有し、入出力ピン２３６を介して第２の出力信号を出力する。また、高電圧駆動部２０８は、入出力ピン２２６及び２２８に印加される電圧が与えられ、当該電圧の電圧レベル差に応じた振幅を有する第２の出力信号を出力する。
【００２４】
高圧ロジック部２０４は、被試験デバイス２００に入力される試験パターンに基づいて、トランジスタ２１０及び２１２のゲート端子に入力するゲート電圧を制御する。これにより、高電圧駆動部２０８は、試験パターンに応じた第２の出力信号を出力する。
【００２５】
当該試験パターンは、入出力ピン２３２、低圧ロジック部２１６、及びレベルシフト回路２１４を介して高圧ロジック部２０４に与えられてよい。この場合、レベルシフト回路２１４は、当該試験パターンの電圧レベルを、第１の基準電圧及び第２の基準電圧の電圧レベル差に応じてシフトする。また、当該試験パターンは、低圧ロジック部２１６とは異なる経路で高圧ロジック部２０４に与えられてもよい。レベルシフト回路２０６は、高圧ロジック部２０４が出力するゲート電圧を、トランジスタ２１０及び２１２の特性に応じた電圧レベルにシフトさせる。
【００２６】
試験装置１００は、汎用電源１０、基準電圧印加部１２、パターン発生部１８、ピンエレクトロニクス部２０、高圧処理部２２、高圧処理部２３、及び判定部２４を備える。汎用電源１０は、試験装置１００を動作させる電源電力を生成する。また本例において、汎用電源１０は、第１の基準電圧を基準とした電圧を生成し、入出力ピン２３０に印加する低電圧印加部として機能する。また、本例において入出力ピン２３４は接地電位に接続されているが、他の例においては、汎用電源１０は、入出力ピン２３４に対して所定の電圧の第１の基準電圧を印加してもよい。このような構成により、被試験デバイス２００の低電圧駆動部２２０に対して電源電圧を印加することができる。
【００２７】
基準電圧印加部１２は、第２の基準電圧に基づく電圧を生成し、入出力ピン２２６及び２２８に印加する。例えば基準電圧印加部１２は、０〜２ｋＶ程度の電圧を入出力ピン２２８に印加し、入出力ピン２２８に印加する電圧を基準とする１５Ｖ程度の電圧を入出力ピン２２６に印加する。
【００２８】
基準電圧印加部１２は、高圧電源１６及びフローティング電源１４を有する。高圧電源１６は、第２の基準電圧を生成し、入出力ピン２２８に印加する。また、フローティング電源１４は、高圧電源１６が出力する第２の基準電圧を基準とする電圧を生成し、入出力ピン２２６に印加する。このような構成により、被試験デバイス２００の高電圧駆動部２０８に対して、電圧レベルの高い電源電圧を印加することができる。
【００２９】
ピンエレクトロニクス部２０は、被試験デバイス２００の複数の入出力ピン（２２６〜２３８）に対応する複数のロジックピンを有する。それぞれのロジックピンは、対応する入出力ピン（２２６〜２３８）と電気的に接続される。試験装置１００と被試験デバイス２００との間の信号及び電力等の伝送はピンエレクトロニクス部２０の各ロジックピンを介して行われる。また、図１においてピンエレクトロニクス部２０は複数に分離して示したが、ピンエレクトロニクス部２０の各ロジックピンは、同一の基板に設けられてよい。
【００３０】
パターン発生部１８は、試験パターンを生成して被試験デバイス２００に入力する。パターン発生部１８は、予め与えられる試験プログラムに基づいて当該試験パターンを生成してよい。
【００３１】
高圧処理部２２及び高圧処理部２３は、被試験デバイス２００とピンエレクトロニクス部２０との間に設けられる。高圧処理部２２は、高電圧駆動部２０８が出力する出力信号を受け取り、ピンエレクトロニクス部２０の特性に応じて当該出力信号を処理する。例えば高圧処理部２２は、ピンエレクトロニクス部２０の対応するロジックピンの耐圧に応じた信号レベルに、当該出力信号の信号レベルをシフトする。これにより、試験装置１００は、高耐圧のピンエレクトロニクス部２０を有さずとも、高電圧の出力信号のデータを検出することができる。
【００３２】
また、高圧処理部２３は、パターン発生部１８が生成した試験パターンを受け取り、高圧ロジック部２０４の特性に応じて当該試験パターンを処理する。例えば高圧処理部２３は、レベルシフト回路２１４と同様に、試験パターンの電圧レベルを、第１の基準電圧及び第２の基準電圧の電圧レベル差に応じてシフトしてよい。
【００３３】
判定部２４は、被試験デバイス２００が出力する出力信号に基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。例えば判定部２４は、低電圧駆動部２２０、及び／又は高電圧駆動部２０８が出力する出力信号のデータパターンが、与えられる期待値信号のデータパターンと一致するか否かに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定してよい。この場合、パターン発生部１８が、試験プログラムに応じて当該期待値信号を生成してよい。
【００３４】
また判定部２４は、高圧電源１６が出力する第２の基準電圧が、予め定められた期待電圧範囲内であるか否かを判定する。判定部２４は、第２の基準電圧の電圧レベルが、期待電圧範囲内であることを条件として、出力信号に基づいて被試験デバイス２００の良否を判定する。このような構成により、試験装置１００は、高電圧で駆動する被試験デバイス２００の良否を精度よく判定することができる。
【００３５】
また判定部２４は、高圧電源１６と、入出力ピン２２８との間に設けられた伝送経路における第２の基準電圧の電圧レベルを検出する。このとき判定部２４は、第２の基準電圧が入力される被試験デバイス２００の入力端子（入出力ピン２２８）から、第２の基準電圧の電圧レベルを検出することが好ましい。
【００３６】
また、電源監視部２０２は、入出力ピン２２６及び２２８に印加される電圧を監視し、所定の電圧範囲内ではない場合に、高圧ロジック部２０４の動作を停止させてよい。また、電源監視部２０２は、入出力ピン２２６及び２２８に印加される電圧の差分が、所定の電圧範囲内であるか否かを監視してよい。
【００３７】
図２は、高圧処理部２２、ピンエレクトロニクス部２０、及び判定部２４の構成の一例を示す図である。高圧処理部２２は、信号分圧部３２、基準分圧部２６、差動アンプ３８、及び切替部４０を有する。信号分圧部３２は、高電圧駆動部２０８が出力する出力信号の電圧レベルを、予め定められた分圧率で分圧する。信号分圧部３２は、入出力ピン２３６と接地電位との間に直列に設けられた２つの抵抗３４及び３６を有し、抵抗３４及び３６の抵抗比に応じて分圧した出力信号を出力する。例えば信号分圧部３２は、出力信号の電圧レベルを１／２００程度に分圧して出力する。
【００３８】
基準分圧部２６は、基準電圧印加部１２が出力する第２の基準電圧の電圧レベルを、信号分圧部３２における分圧率と略同一の分圧率で分圧する。基準分圧部２６は、高圧電源１６と接地電位との間に直列に設けられた抵抗２８及び３０を有し、抵抗２８及び３０の抵抗比に応じて分圧した第２の基準電圧を出力する。
【００３９】
差動アンプ３８は、信号分圧部３２が出力する出力信号の電圧レベルと、基準分圧部２６が出力する第２の基準電圧の電圧レベルとの差分を、当該分圧率に応じた増幅率で増幅して出力する。例えば差動アンプ３８は、当該差分の振幅を２００倍程度に増幅して出力する。このような構成により、高電圧を基準とする出力信号から高電圧の成分を除去し、低電圧の信号成分を抽出することができる。このため、試験装置１００は、低耐圧の回路により、当該出力信号の信号成分を検出することができる。
【００４０】
切替部４０は、ピンエレクトロニクス部２０に、高電圧駆動部２０８が出力する出力信号を入力するか、又は基準電圧印加部１２が出力する第２の基準電圧を入力するかを切り替える。これにより、出力信号又は第２の基準電圧のうち、測定すべき信号を選択してピンエレクトロニクス部２０に入力することができる。
【００４１】
また本例における切替部４０は、差動アンプ３８が出力する信号、又は基準分圧部２６が出力する第２の基準電圧のいずれをピンエレクトロニクス部２０に入力するかを切り替える。すなわち、切替部４０は、高電圧の成分を除去した出力信号か、又は分圧された第２の基準電圧のいずれをピンエレクトロニクス部２０に入力するかを切り替える。これにより、ピンエレクトロニクス部２０は、高耐圧のロジックピンを有さずとも、入力された信号を測定することができる。
【００４２】
ピンエレクトロニクス部２０は、それぞれのロジックピン毎に、コンパレータ４２及びドライバ４４を有する。コンパレータ４２は、入力される信号の電圧レベルと、予め定められた閾値とを比較し、比較結果を出力する。例えばコンパレータ４２は、入力される信号の電圧レベルが当該閾値以上である場合に論理値１を出力し、入力される信号の電圧レベルが当該閾値より小さい場合に論理値０を出力する。また、ドライバ４４は、例えば試験パターンに基づいて、所定の電圧レベルの信号を成形し、被試験デバイス２００に入力する。
【００４３】
本例において、切替部４０は、差動アンプ３８が出力する信号、又は基準分圧部２６が出力する第２の基準電圧のいずれを、対応するコンパレータ４２に入力するか否かを切り替える。コンパレータ４２に差動アンプ３８が出力する信号が入力された場合、コンパレータ４２は、閾値に基づいて当該信号を２値の信号に変換して出力する。この場合、判定部２４は、コンパレータ４２が出力する信号と期待値信号とを比較し、被試験デバイス２００の良否を判定する。
【００４４】
また、第２の基準電圧がコンパレータ４２に入力された場合、コンパレータ４２は、第２の基準電圧の電圧レベルを検出する電圧レベル検出部として機能する。この場合、コンパレータ４２に与える閾値を順次変化させ、それぞれの閾値毎のコンパレータ４２における比較結果に基づいて、第２の基準電圧の電圧レベルを検出することができる。また、この場合、判定部２４は、コンパレータ４２が検出した第２の基準電圧の電圧レベルに基づいて、基準電圧印加部１２の良否を判定する。また、試験装置１００は、当該閾値を制御する制御部４６を更に備えてよい。制御部４６は、それぞれのコンパレータ４２に印加する閾値を独立に制御してよい。制御部４６は、ピンエレクトロニクス部２０に設けられてよく、またピンエレクトロニクス部２０の外部に設けられてもよい。
【００４５】
判定部２４は、期待値比較部５０及びフェイルメモリ５２を有する。期待値比較部５０は、コンパレータ４２が出力する信号に基づいて、被試験デバイス２００の良否、又は基準電圧印加部１２の良否を判定する。本例における判定部２４は、期待値比較部５０及びフェイルメモリ５２を有する。
【００４６】
期待値比較部５０は、コンパレータ４２が出力する信号と、期待値とを比較することにより、被試験デバイス２００又は基準電圧印加部１２の良否を判定する。例えば、コンパレータ４２に出力信号が入力されている場合、期待値比較部５０は、出力信号のデータと、期待値信号のデータとを比較し、被試験デバイス２００の良否を判定する信号比較部として機能する。
【００４７】
また、コンパレータ４２に第２の基準電圧が印加されている場合、期待値比較部５０は、第２の基準電圧の電圧レベルが、期待電圧範囲内であるか否かに基づいて、基準電圧印加部１２の良否を判定する基準電圧比較部として機能する。
【００４８】
試験装置１００は、まず期待値比較部５０が正常であるか否かを判定し、期待値比較部５０が正常であることを条件として、出力信号に基づいて被試験デバイス２００が正常であるか否かを判定してよい。
【００４９】
このような構成により、試験装置１００は、基準電圧印加部１２が故障した場合に、不良デバイスを良品と誤判定することを防ぎ、また、誤った試験条件に基づく測定を防ぐことができる。また、基準電圧の測定と、出力信号の測定とを同一のコンパレータ４２で行うことができるので、ピンリソースを効率よく用いることができる。また、高電圧を基準とする出力信号、及び高電圧の基準電圧を分圧して測定するので、高耐圧のコンパレータ４２を用意しなくてよい。このため、それぞれのコンパレータ４２を、高電圧の測定及び低電圧の測定に共用することができ、ピンリソースを効率よく用いることができる。
【００５０】
図３は、高電圧駆動部２０８が出力する出力信号、信号分圧部３２が出力する出力信号、及び差動アンプ３８が出力する出力信号の波形の一例を示す図である。前述したように、高電圧駆動部２０８は、０〜２ｋＶ程度の高電圧を基準電圧として、１５程度の振幅を有する出力信号を出力する。
【００５１】
信号分圧部３２は、前述したように、出力信号を所定の分圧比で分圧して出力する。これにより、出力信号の電圧レベルを小さくすることができる。
【００５２】
差動アンプ３８は、前述したように、分圧された出力信号及び第２の期待値信号の差分を、当該分圧率に応じた増幅率で増幅して出力する。図３に示すように、信号分圧部３２において、出力信号を分圧して出力した場合、出力信号の電圧レベルを小さくすることができるが、出力信号の振幅も分圧してしまう。これに対し、本例における試験装置１００は、差動アンプ３８により、分圧した基準電圧と出力信号の差分を増幅するので、出力信号の振幅成分を抽出することができる。
【００５３】
図４は、本発明の実施形態に係る試験方法の一例を示すフローチャートである。本例における試験方法は、図１に関連して説明した試験装置１００と同一又は同様の方法で、被試験デバイス２００を試験してよい。
【００５４】
まず、電圧レベル検出段階Ｓ３００で、被試験デバイス２００に与えられる基準電圧の電圧レベルを検出する。電圧レベル検出段階Ｓ３００では、基準電圧印加部１２が出力する第２の基準電圧の電圧レベルを検出する。また、電圧レベル検出段階Ｓ３００では、基準電圧印加部１２の、フローティング電源１４及び高圧電源１６が出力する電圧のそれぞれの電圧レベルを検出してもよい。
【００５５】
次に、基準電圧判定段階Ｓ３０２において、基準電圧の電圧レベルが期待電圧範囲内であるか否かを判定する。これにより、基準電圧印加部１２が正常に動作しているか否かを判定することができる。基準電圧判定段階Ｓ３０２では、高圧電源１６が正常であった場合に、フローティング電源１４が正常であるか否かを更に判断してもよい。Ｓ３０２において、基準電圧印加部１２が正常でないと判定された場合、処理を終了する。
【００５６】
また、基準電圧印加部１２が正常である場合、試験段階Ｓ３０４からＳ３０６において、被試験デバイス２００に試験パターンを入力し、被試験デバイス２００の出力信号に基づいて被試験デバイス２００の良否を判定する。このような処理により、基準電圧印加部１２の故障等による不良デバイスの流出を防ぐことができる。
【００５７】
図５は、高圧処理部２２の構成の他の例を示す図である。本例における高圧処理部２２は、図２に示した高圧処理部２２の構成に対して、切替部４０を有さない点を除き、略同一の構成を有する。この場合、基準分圧部２６が出力する分圧された基準電圧は、差動アンプ３８及びピンエレクトロニクス部２０のピンに分岐して入力される。
【００５８】
また、ピンエレクトロニクス部２０において、差動アンプ３８の出力が入力されるコンパレータ４２と、基準分圧部２６の出力が入力されるコンパレータ４２とは異なる。基準分圧部２６の出力が入力されるコンパレータ４２は、図２において説明したコンパレータ４２と同様に、電圧レベル検出部として機能する。
【００５９】
このような構成により、判定部２４は、出力信号に基づいて被試験デバイス２００の試験を行っている間に、基準電圧印加部１２が正常に動作しているか否かをリアルタイムに判定することができる。このため、被試験デバイス２００の試験を行う前に、基準電圧印加部１２の良否を判定することなく、効率よく試験を行うことができる。
【００６０】
図６は、高圧処理部２２の構成の他の例を示す図である。本例における高圧処理部２２は、図２に示した高圧処理部２２の構成に加え、切替制御部４８を更に備える。他の構成要素は、図２において同一の符号を付した構成要素と略同一の機能及び構成を有する。
【００６１】
切替制御部４８は、切替部４０を制御し、差動アンプ３８の出力、又は基準分圧部２６の出力のいずれをピンエレクトロニクス部２０に入力するかを制御する。例えば、図４において説明したように、被試験デバイス２００の出力信号に基づいて被試験デバイス２００の良否を判定する前に、基準電圧印加部１２の良否を判定する場合、切替制御部４８は、まず切替部４０に、第２の基準電圧をコンパレータ４２に入力させる。そして、第２の基準電圧が基準電圧範囲内である場合に、切替制御部４８は、切替部４０に、差動アンプ３８の出力をコンパレータ４２に入力させる。
【００６２】
また、切替制御部４８は、パターン発生部１８に与えられる試験プログラムに基づいて、切替部４０を制御してもよい。例えば切替制御部４８は、当該試験プログラムに基づいて、判定部２４が高電圧駆動部２０８の出力信号を期待値信号と比較しないタイミングを検出し、当該タイミングにおいて、第２の基準電圧をコンパレータ４２に入力させてもよい。切替制御部４８は、パターン発生部１８が試験プログラムに基づいて出力する期待値信号に応じて、切替部４０を制御してよい。例えば、切替制御部４８は、パターン発生部１８が期待値信号を出力しない場合に、第２の基準電圧をコンパレータ４２に入力させて良く、また期待値信号がヌル値を示す場合に、第２の基準電圧をコンパレータ４２に入力させてもよい。
【００６３】
このような制御により、一つのロジックピンを用いて、被試験デバイス２００及び基準電圧印加部１２の良否を判断でき、且つ基準電圧印加部１２の良否を、被試験デバイス２００の試験中に行うことができる。このため、ピンリソースを効率よく活用でき、且つ試験を効率よく行うことができる。
【００６４】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
以上から明らかなように、本発明によれば、高電圧を基準として動作する被試験デバイスの試験を精度よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成の一例を示す図である。
【図２】高圧処理部２２、ピンエレクトロニクス部２０、及び判定部２４の構成の一例を示す図である。
【図３】高電圧駆動部２０８が出力する出力信号、信号分圧部３２が出力する出力信号、及び差動アンプ３８が出力する出力信号の波形の一例を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係る試験方法の一例を示すフローチャートである。
【図５】高圧処理部２２の構成の他の例を示す図である。
【図６】高圧処理部２２の構成の他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００６７】
１０・・・汎用電源、１２・・・基準電圧印加部、１４・・・フローティング電源、１６・・・高圧電源、１８・・・パターン発生部、２０・・・ピンエレクトロニクス部、２２・・・高圧処理部、２４・・・判定部、２６・・・基準分圧部、２８、３０、３４、３６・・・抵抗、３２・・・信号分圧部、３８・・・差動アンプ、４０・・・切替部、４２・・・コンパレータ、４４・・・ドライバ、４６・・・制御部、４８・・・切替制御部、５０・・・期待値比較部、５２・・・フェイルメモリ、１００・・・試験装置、２００・・・被試験デバイス、２０２・・・電源監視部、２０４・・・高圧ロジック部、２０６・・・レベルシフト回路、２０８・・・高電圧駆動部、２１０、２１２、２２２、２２４・・・トランジスタ、２１４・・・レベルシフト回路、２１６・・・低圧ロジック部、２１８・・・レベルシフト回路、２２０・・・低電圧駆動部、２２６、２２８、２３０、２３２、２３４、２３６、２３８・・・入出力ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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