(57)【要約】【課題】  インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材との密着力を高め、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供すること、および簡便な方法で信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる製造方法を提供すること。【解決手段】  特定構造のポリエーテルアミド樹脂に、イオン結合により感光基を導入した感光性樹脂組成物を、インクジェットヘッドの密着層として使用することを特徴とするインクジェットヘッド及びその製造方法。【選択図】        図９
2007038525.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するための圧力発生素子を内包するインク流路と、前記圧力発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドであって、前記インク流路形成部材が、少なくとも下記一般式１で示されるエーテルアミド成分と、カルボキシル基にイオン結合したアクリルアミド成分を含有するポリエーテルアミド樹脂組成物の硬化物層を介して前記基板に接合されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
2007038525.tif 000015
【請求項２】
カルボキシル基にイオン結合したアクリルアミド成分が、下記一般式２または／および下記一般式３で示される構造を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
2007038525.tif 000016
【請求項３】
ポリエーテルアミド樹脂組成物が、光照射により架橋し、パターニング可能であることを特徴とする請求項１または２に記載にインクジェットヘッド。
【請求項４】
インク流路形成部材が、樹脂により形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
インク流路形成部材が、エポキシ樹脂のカチオン重合化合物により形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
インクを吐出するための吐出口が、圧力発生素子の対向する側に設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
吐出圧力発生素子が、電気熱変換体であることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するための圧力発生素子を内包するインク流路と、前記圧力発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、
（１）圧力発生素子が形成された基板上に、少なくとも下記一般式１で示されるエーテルアミド成分と、カルボキシル基にイオン結合したアクリルアミド成分を含有するポリエーテルアミド樹脂組成物のパターンを形成する工程と、
（２）該ポリエーテルアミド樹脂組成物パターンの形成された基板上に、溶解可能な樹脂にてインク液路パターンを形成する工程と、
（３）該インク液路パターン上に、インク液路壁を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
（４）基板上に形成された圧力発生素子上に位置する該被覆樹脂層に、インク吐出口を形成する工程と、
（５）インク流路パターンを溶解除去する工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2007038525.tif 000017
【請求項９】
カルボキシル基にイオン結合したアクリルアミド成分が、下記一般式２または／および下記一般式３で示される構造を有することを特徴とする請求項８に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
2007038525.tif 000018
【請求項１０】
ポリエーテルアミド樹脂組成物が、光重合開始剤を含有することを特徴とする請求項８または９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録方式に用いる記録液滴を発生するためのインクジェットヘッドおよびその製造方法に関し、特に、インクを吐出するための圧力発生素子が形成された基板と、該基板と接合して液路を形成するための液路形成部材との密着力の向上に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、インクジェットヘッドの製造方法及びインク吐出圧力発生素子が形成された基板と接合して液路を形成する液路形成部材についてはさまざまな提案がなされており、例えば、特許文献１、特許文献２には、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に感光性樹脂にて液路パターンを形成しガラス等の天板を接合、切断することでインクジェットヘッドを作成する方法が開示されている。
【０００３】
また、非特許文献１では、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に感光性樹脂にて液路パターンを形成し、Ｎｉ電鋳により作成したオリフィスプレートを貼り合わせることでインクジェットヘッドを作成する方法が開示されている。
【０００４】
また、特許文献３には、インク吐出圧力発生素子が形成された基板のインク吐出圧力発生素子上に溶解可能な樹脂にて液路パターンを形成し、該パターンをエポキシ樹脂等で被覆、硬化し、基板切断後に溶解可能な樹脂層を溶出しインクジェットヘッドを作成する方法が開示されている。
【０００５】
さらに、特許文献４には、前記特許文献３に記載のインクジェットヘッドの製造に最適な被覆樹脂組成物として芳香族エポキシ化合物のカチオン重合硬化物が有用であることが開示されている。
【０００６】
上述したいずれの方法においても、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材の接合強度は、基本的に液路形成部材となる樹脂材料（感光性樹脂層、被覆樹脂層）の密着力に依存している。
【特許文献１】特開昭５７−２０８２５５号公報
【特許文献２】特開昭５７−２０８２５６号公報
【特許文献３】特開昭６１−１５４９４７号公報
【特許文献４】特開平３−１８４８６８号公報
【非特許文献１】Ｈｅｗｌｌｅｔｔ  Ｐａｃｋａｒｄ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ３６，５、１９８５年
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
インク吐出圧力発生素子として発熱抵抗体を用い、インクの膜沸騰によるバブル形成を行いインクを吐出させるいわゆるバブルジェット(登録商標)ヘッドの場合、インクによる電蝕やバブル消泡の際のキャビテーションによるダメージを低減するために、発熱抵抗体上にはＳｉＮやＳｉＯ２といった無機絶縁層とＴａ等の耐キャビテーション層とを設けることが一般的である。しかしながら、Ｔａ膜は前述の液路形成部材となる樹脂材料との密着力が極めて低いために、液路形成部材のＴａ膜からの剥離が生じるという問題が発生する場合がある。
【０００８】
この問題を回避するために、液路形成部材の密着力を向上させる目的で、液路形成部材が設けられる部分のＴａ膜を除去することも考えられるが、この場合、基板上の電気熱変換体は前述の無機絶縁層のみを介して液路形成部材を構成する樹脂材料が積層されることになる。無機絶縁層は通常膜質がポーラスであるため、樹脂中に含まれるイオンが無機絶縁層を透過し、このイオンによって電気熱変換体が腐食してしまう可能性がある。
【０００９】
また、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材の密着力向上のために、基板にシランカップリング処理を施したり、ポリイミド（例えば、東レ製フォトニース）等からなる下びき層（密着力向上及びパッシベーション層）を用いる例が知られている。
【００１０】
ここで、インクジェットヘッドは、通常その使用環境下においてインクと常時接触しているが、インクの影響で吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材が剥離するようなことは避けなければならない。しかしながら、近年のインクジェット記録方式に対しては、用紙選択性、耐水性等の要求が高まっており、これらの要望に対応するためにインクをアルカリ性側にすることが検討されている。こうしたアルカリ性のインクに対しては、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材の密着力を長期にわたり維持することが困難な場合があった。
【００１１】
そこで特開平１１−３４８２９０号公報では、ポリエーテルアミド樹脂からなる密着層を介して、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材を接合する手法を提案している。これにより、アルカリ性のインクに対しても、長期にわたり優れた密着力を維持することができ、さらに、接着面にＴａ等の金属面が露出している場合でも、長期にわたり優れた密着力を維持することができる信頼性の高いインクジェットヘッドを提供するができる。
【００１２】
しかしながら、ここで用いられるポリエーテルアミド樹脂は、それ自体感光性を有していない。このため、ポリエーテルアミド樹脂をパターニングする場合には、フォトレジストをパターニングしてマスク材を形成し、エッチングによりパターニングを行う必要がある。また、ポリエーテルアミド樹脂はウエットエッチングが困難であるため、ドライエッチングを行う必要があり、工程が長くなるとともに、大規模な設備が必要となる。
【００１３】
本発明は、上記諸点に鑑みてなされたものであり、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材との密着力を高め、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供するものである。さらには、簡便な方法で信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明は下記の構成を備えることにより上記課題を解決できるものである。
【００１５】
すなわち本発明の第一は、インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するための圧力発生素子を内包するインク流路と、前記圧力発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドであって、前記インク流路形成部材が、少なくとも下記一般式１で示されるエーテルアミド成分と、カルボキシル基にイオン結合したアクリルアミド成分を含有するポリエーテルアミド樹脂組成物の硬化物層を介して前記基板に接合されていることを特徴とするインクジェットヘッドである。
2007038525.tif 000003
【００１６】
さらに本発明の第一は、カルボキシル基にイオン結合したアクリルアミド成分が、下記一般式２または／および下記一般式３で示される構造を有することを特徴とする上記に記載のインクジェットヘッド、
2007038525.tif 000004
ポリエーテルアミド樹脂組成物が、光照射により架橋し、パターニング可能であることを特徴とする上記に記載のインクジェットヘッド、インク流路形成部材が、樹脂により形成されていることを特徴とする請求項上記に記載のインクジェットヘッド、インク流路形成部材が、エポキシ樹脂のカチオン重合化合物により形成されていることを特徴とする上記に記載のインクジェットヘッド、インクを吐出するための吐出口が、圧力発生素子の対向する側に設けられていることを特徴とする上記に記載のインクジェットヘッド、吐出圧力発生素子が、電気熱変換体であることを特徴とする上記に記載のインクジェットヘッドを好ましい形態として含むものである。
【００１７】
また本発明の第二は、インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するための圧力発生素子を内包するインク流路と、前記圧力発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、
（１）圧力発生素子が形成された基板上に、少なくとも下記一般式１で示されるエーテルアミド成分と、カルボキシル基にイオン結合したアクリルアミド成分を含有するポリエーテルアミド樹脂組成物のパターンを形成する工程と、
（２）該ポリエーテルアミド樹脂組成物パターンの形成された基板上に、溶解可能な樹脂にてインク液路パターンを形成する工程と、
（３）該インク液路パターン上に、インク液路壁を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
（４）基板上に形成された圧力発生素子上に位置する該被覆樹脂層に、インク吐出口を形成する工程と、
（５）インク流路パターンを溶解除去する工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
2007038525.tif 000005
【００１８】
さらに本発明の第二は、カルボキシル基にイオン結合したアクリルアミド成分が、下記一般式２または／および下記一般式３で示される構造を有することを特徴とする上記に記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
2007038525.tif 000006
【００１９】
ポリエーテルアミド樹脂組成物が、光重合開始剤を含有することを特徴とする上記に記載のインクジェットヘッドの製造方法を好ましい形態として含むものである。
【００２０】
以上の構成によれば、アルカリ性のインクに対しても、長期にわたり優れた密着力を維持することができ、また、接着面にＴａ等の金属面が露出している場合でも、長期にわたり優れた密着力を維持することができる信頼性の高いインクジェットヘッドを安価に提供することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と液路形成部材との密着力を高め、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することができる。さらには、簡便な方法で信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に図面を参照して、本発明を更に詳細に説明する。
【００２３】
図１〜図９は、本発明によるインクジェットヘッドの構成およびその製造方法の断面図を模式的に示したものである。
【００２４】
まず本発明においては、例えば図１に示されるような、ガラス、セラミックス、プラスチックあるいは金属等からなる基板１が用いられる。このような基板１は、液流路構成部材の一部として機能し、また、後述のインク流路およびインク吐出口を形成する材料層の支持体として機能し得るものであれば、その形状、材質等に特に限定されることなく使用することができる。
【００２５】
上記基板１上には、電気熱変換素子あるいは圧電素子等のインク吐出圧力発生素子２が所望の個数配置される（図２）。このようなインク吐出圧力発生素子２によって、記録液滴を吐出させるための吐出エネルギーがインク液に与えられ、記録が行われる。例えば、上記インク吐出圧力発生素子２として電気熱変換素子が用いられる時には、この素子が近傍の記録液を加熱することにより、記録液に状態変化を生起させ吐出エネルギーを発生する。また、例えば、圧電素子が用いられる時は、この素子の機械的振動によって、吐出エネルギーが発生される。
【００２６】
なお、これらの吐出圧力発生素子２には、素子を動作させるための制御信号入力用電極（不図示）が接続されている。また、一般にはこれら吐出圧力発生素子２の耐用性の向上を目的として、保護層等（不図示）の各種機能層が設けられるが、もちろん本発明においてもこのような機能層を設けることは一向に差し支えない。
【００２７】
次いで、図３に示すように、樹脂層（密着層）３を形成する。ここで用いられる樹脂層３は、後述するノズル構成部材５と基板１との密着性を向上する目的で使用するものであり、基板１を構成するガラス、Ｓｉ、ＳｉＮ、ＳｉＯ２、Ｔａ等の無機材料と、ノズル構成部材の有機材料の双方に対して優れた密着力を有することが必要である。また、インクに接触する可能性のある部材であることから、特に、アルカリ条件下における優れた密着性が要求される。
【００２８】
さらに、図３に示すように、インク吐出圧力発生素子２および後述するインク供給口８上には形成されないようパターニングする必要があることから、感光性を有することが好ましい。本発明者等は鋭意検討の結果、これらの特性を満足する材料として、少なくとも一般式１で示されるエーテルアミド成分と、カルボキシル基にイオン結合したアクリルアミド成分を含有するポリエーテルアミド樹脂と、光重合開始剤から成る感光性ポリエーテルアミド樹脂組成物が好適に用いられることを見いだした。
【００２９】
2007038525.tif 000007
【００３０】
本発明に用いられる感光性ポリエーテルアミド樹脂組成物は、例えば下記一般式４で示される芳香族エーテルのジアミン化合物と、一般式５で示されるトリメリット酸およびその誘導体または／および一般式６で示される芳香族ジカルボン酸およびその誘導体の重合物に、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド等のアクリルアミド、および光重合開始剤を添加することにより得ることができる。
【００３１】
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【００３２】
上述した芳香族エーテルのジアミン化合物の例としては、例えば２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［３−メチル−４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［３−エチル−４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［３，５−ジメチル−４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン等が挙げられる。また、トリメリット酸誘導体の例としては、例えばトリメリット酸無水物、トリメリット酸無水物モノクロライド、１，４−ジカルボキシ−３−カルボフェノキシベンゼン等が挙げられる。また、芳香族ジカルボン酸誘導体の例としては、例えばテレフタル酸およびイソフタル酸等のフタル酸、およびそのハロゲン化物が挙げられる。
【００３３】
次いで、図４に示すように、上記インク吐出圧力発生素子２を含む基板１上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターン４を形成する。最も一般的な手段としては感光性材料にて形成する手段が挙げられる。該流路パターン４は、後工程において溶解除去する必要があるため、ポジ型レジストを使用することが好ましく、特にポリメチルイソプロピルケトン、ポリビニルケトン等のビニルケトン系光崩壊型高分子化合物を好適に用いることができる。
【００３４】
このように、流路パターン４を形成した基板１上に、図５に示すように、ノズル構成部材５を通常のスピンコート法、ロールコート法、スリットコート法等の方法で形成する。ここで、ノズル構成部材５を形成するにおいては、流路パターン４を変形せしめない等の特性が必要となる。すなわち、ノズル構成部材５を溶剤に溶解し、これをスピンコート、ロールコート等で流路パターン４上に形成する場合、溶解可能な流路パターン４を溶解しないように溶剤を選択する必要がある。
【００３５】
また、ノズル構成部材５としては、後述するインク吐出口７（図７参照）をフォトリソグラフィーで容易にかつ精度よく形成できることから、感光性のものが好ましい。このような感光性被覆樹脂には、構造材料としての高い機械的強度、下地との密着性、耐インク性と、同時にインク吐出口の微細なパターンをパターニングするための解像性が要求される。これらの特性を満足する材料としては、カチオン重合型のエポキシ樹脂組成物を好適に用いることができる。
【００３６】
本発明に用いられるエポキシ樹脂としては、例えばビスフェノールＡとエピクロヒドリンとの反応物のうち分子量がおよそ９００以上のもの、含ブロモスフェノールＡとエピクロヒドリンとの反応物、フェノールノボラックあるいはｏ−クレゾールノボラックとエピクロヒドリンとの反応物、特開昭６０−１６１９７３号公報、特開昭６３−２２１１２１号公報、特開昭６４−９２１６号公報、特開平２−１４０２１９号公報に記載のオキシシクロヘキサン骨格を有する多官能エポキシ樹脂等があげられるが、これら化合物に限定されるものではない。
【００３７】
また、上述のエポキシ化合物においては、好ましくはエポキシ当量が２０００以下、さらに好ましくはエポキシ当量が１０００以下の化合物が好適に用いられる。これは、エポキシ当量が２０００を越えると、硬化反応の際に架橋密度が低下し、密着性、耐インク性に問題が生じる場合があるからである。
【００３８】
上記エポキシ樹脂を硬化させるための光カチオン重合開始剤としては、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルホニウム塩［Ｊ．ＰＯＬＹＭＥＲ  ＳＣＩ：Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ  Ｎｏ．５６  ３８３−３９５（１９７６）参照］や旭電化工業株式会社より上市されているＳＰ−１５０、ＳＰ−１７０等が挙げられる。
【００３９】
また、上述の光カチオン重合開始剤は、還元剤を併用し加熱することによって、カチオン重合を促進（単独の光カチオン重合に比較して架橋密度が向上する）させることができる。ただし、光カチオン重合開始剤と還元剤を併用する場合、常温では反応せず一定温度以上（好ましくは６０℃以上）で反応するいわゆるレドックス型の開始剤系になるように、還元剤を選択する必要がある。このような還元剤としては、銅化合物、特に反応性とエポキシ樹脂への溶解性を考慮して銅トリフラート（トリフルオロメタンスルフォン酸銅（ＩＩ））が最適である。
【００４０】
さらに上記組成物に対して必要に応じて添加剤など適宜添加することが可能である。例えば、エポキシ樹脂の弾性率を下げる目的で可撓性付与剤を添加したり、あるいは下地との更なる密着力を得るためにシランカップリング剤を添加することなどが挙げられる。
【００４１】
次いで、ノズル構成部材５上に、感光性を有する撥インク剤層６を形成する（図６）。撥インク剤層６は、スピンコート法、ロールコート法、スリットコート法等の塗布方法により形成可能であるが、未硬化のノズル形成部材５上に形成されるため、両者が必要以上に相溶しないことが必要である。また、上述したように、ノズル構成部材５としてカチオン重合性組成物が用いられる場合には、感光性を有する撥インク剤層６にもカチオン重合可能な官能基を含有させておくことが好ましい。ノズル構成部材５には、光重合開始剤を必須成分として含むが、撥インク剤層６には必ずしも光重合開始剤を含む必要はなく、ノズル材料硬化に発生する重合開始剤で反応、硬化させても良い。
【００４２】
次いで、マスク（不図示）を介してパターン露光を行い、現像処理を施してインク吐出口７を形成する（図７）。パターン露光されたノズル構成部材５および撥インク剤層６を、適当な溶剤を用いて現像することにより、図７に示すように、インク吐出口７を形成することができる。この際、現像と同時に流路パターン４を溶解除去することも可能であるが、一般的に、基板１上には複数のヘッドが配置され、切断工程を経てインクジェットヘッドとして使用されるため、切断時のごみ対策として、図７に示すように流路パターン４を残し（流路パターン４が残存するため、切断時に発生するゴミが流路内に入り込むことを防止できる）、切断工程後に流路パターン４を溶解除去することが好ましい。
【００４３】
次いで、インク供給口８を形成する（図８）。インク供給口８の形成方法としては、エキシマレーザーを用いる方法、ドリルあるいはサンドブラストによる方法、エッチングによる方法等を適宜使用することができる。
【００４４】
次いで、切断分離工程を経た後（不図示）、流路パターン４を溶解除去し、必要に応じて加熱処理を施すことにより、ノズル構成部材５および撥インク剤層６を完全に硬化させる。さらに、インク供給のための部材（不図示）の接合、インク吐出圧力発生素子を駆動するための電気的接合（不図示）を行って、インクジェットヘッドを完成させる（図９）。
【００４５】
以下に、本発明の実施例を示す。
【実施例１】
【００４６】
・インクジェットヘッドの作成
本実施例では、前述の図１〜図９に示す手順に従って、インクジェットヘッドを作製し評価を行った。
【００４７】
まず、インク吐出圧力発生素子２としての電気熱変換素子（材質ＨｆＢ２からなるヒーター）と、インク流路およびノズル形勢部位にＳｉＮ＋Ｔａの積層膜（不図示）を有するシリコン基板１を準備した（図２）。次いで、下記に示す組成から成る感光性ポリエーテルアミド樹脂組成物を用いて、樹脂層（密着層）３を形成した（図３）。
【００４８】
下記の繰り返し単位を有するポリエーテルアミド樹脂          ３０重量部
2007038525.tif 000009
Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド                            １０重量部
Ｎ−メチル−２−ピロリドン                              １００重量部
ミヒラーケトン                                          ０．５重量部
【００４９】
なお、パターニングは、以下に示すプロセス条件により行った。
【００５０】
2007038525.tif 000010
【００５１】
次いで、被処理基板上に、ポリメチルイソプロペニルケトン（東京応化工業製ＯＤＵＲ−１０１０）を用いて流路パターン４を形成した（図４）。なお、パターニングは、以下に示すプロセス条件により行った。
【００５２】
2007038525.tif 000011
【００５３】
次いで、被処理基板上に以下の組成からなる感光性樹脂組成物を用いてスピンコートを行い（平板上膜厚２０μｍ）、１００℃で２分間（ホットプレート）のベークを行い、ノズル構成部材５を形成した（図５）。
【００５４】
ＥＨＰＥ（ダイセル化学工業製）                          １００重量部
１、４ＨＦＡＢ（セントラル硝子製）                        ２０重量部
ＳＰ−１７０（旭電化工業製）                                ２重量部
Ａ−１８７（日本ユニカー製）                                ５重量部
メチルイソブチルケトン                                  １００重量部
ジグライム                                              １００重量部
【００５５】
引き続き、被処理基板上に以下の組成からなる感光性樹脂組成物を用いて、スピンコートにより１μｍの膜厚となるように塗布し、８０℃で３分間（ホットプレート）のベークを行い、撥インク剤層６を形成した（図６）。
【００５６】
ＥＨＰＥ―３１５８（ダイセル化学工業製）                  ３５重量部
２、２―ビス（４―グリシジルオキシフェニル）
ヘキサフロロプロパン            ２５重量部
１、４―ビス（２―ヒドロキシヘキサフロロイソプロピル）
ベンゼン  ２５重量部
３―（２―パーフルオロヘキシル）
エトキシー１、２―エポキシプロパン        １６重量部
Ａ−１８７（日本ユニカー製）                                ４重量部
ＳＰ―１７０（旭電化工業製）                                ２重量部
ジエチレングリコールモノエチルエーテル                  １００重量部
【００５７】
次いで、以下に示す条件によりノズル構成部材５および撥インク剤層６のパターニングを行い、インク吐出口７を形成した（図７）。なお、本実施例ではφ１５μｍの吐出口パターンを形成した。
【００５８】
2007038525.tif 000012
【００５９】
次に、被処理基板の裏面にポジ型レジスト（東京応化工業製ＯＦＰＲ−８００）を用いてエッチングマスクを形成し、例えば特開平５−１２４１９９号公報に開示されている既知の手法により、シリコン基板の異方性エッチングを行って、インク供給口８を形成した（図８）。なお、この際エッチング液から撥インク剤層６を保護する目的で、保護膜（東京応化工業製ＯＢＣ）を撥インク剤層６上に塗布した。
【００６０】
次いで、被処理基板を上述のパターニング条件（２）で用いたＰＬＡ−６２０にて３０００ｍＪ／ｃｍ２の全面露光を行い、流路パターン４を可溶化した。引き続きメチルイソブチルケトン中に超音波を付与しつつ浸漬し、流路パターン４を溶解除去した後、２５０℃で１時間の加熱処理を行って、ノズル構成部材５および撥インク剤層６を完全に硬化させることによりインクジェットヘッドを作成した（図９）。
【００６１】
・密着性の評価
得られたインクジェットヘッドを、以下に示す組成からなるアルカリインク（ｐＨ＝１０．５）中に浸漬し、プレッシャークッカー（ＰＣＴ）試験（飽和条件−１００時間）を行い、ノズル構成部材の密着状況を観察したところ、変化は観察されなかった。
【００６２】
黒色染料                                                    ３重量部
エチレングリコール                                          ５重量部
尿素                                                        ３重量部
イソプロピルアルコール                                      ２重量部
イオン交換水                                              ８７重量部
【実施例２】
【００６３】
ポリエーテルアミド樹脂として下記の繰り返し単位を有する樹脂を使用し、露光量を３０００ｍＪ／ｃｍ２とした以外は、実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、ＰＣＴ試験を行った。その結果、変化は観察されなかった。
【００６４】
2007038525.tif 000013
【実施例３】
【００６５】
ポリエーテルアミド樹脂として下記の繰り返し単位を有する樹脂を使用し、露光量を７００ｍＪ／ｃｍ２とした以外は、実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、ＰＣＴ試験を行った。その結果、変化は観察されなかった。
【００６６】
2007038525.tif 000014
【００６７】
（比較例１）
樹脂層（密着層）３を形成しない以外は、実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、ＰＣＴ試験を行った。その結果、ノズル構成部材５と基板１間に剥離が確認された。これは基板１上に形成されたＳｉＮ＋Ｔａ層と、ノズル構成材料５との密着性が十分でないために生じたものと考えられる。
【００６８】
（比較例２）
樹脂層（密着層）３として、感光性ポリイミド（東レ製フォトニースＵＲ３１００）を用いた以外は実施例１と同様にしてインクジェットヘッドを作成し、ＰＣＴ試験を行った。なお、感光性ポリイミドのパターニングは、専用現像液を用いてメーカー指定の条件にて行い、キュア条件は、１３０℃で３０分＋３００℃で１時間とした。その結果、樹脂層３が完全に消失しており、ノズル構成部材５の剥離が観察された。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】基板の断面図である。
【図２】インク吐出圧力発生素子を形成した基板の断面図である。
【図３】樹脂層（密着層）を形成した基板の断面図である。
【図４】流路パターンを形成した基板の断面図である。
【図５】ノズル構成部材を形成した基板の断面図である。
【図６】撥インク剤層を形成した基板の断面図である。
【図７】インク吐出口を形成した基板の断面図である。
【図８】インク供給口を形成した基板の断面図である
【図９】完成したインクジェットヘッドの断面図である
【符号の説明】
【００７０】
１  基板
２  インク吐出圧力発生素子
３  樹脂層（密着層）
４  流路パターン
５  ノズル構成部材
６  撥インク剤層
７  インク吐出口
８  インク供給口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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