(57)【要約】【課題】非イオン性界面活性剤含有水中の相当部分の非イオン性界面活性剤を吸着により除去し、残余の非イオン性界面活性剤を酸化処理により除去することができる効率的かつ経済的な非イオン性界面活性剤含有水の処理方法及び処理装置を提供する。【解決手段】非イオン性界面活性剤含有水を、イオン交換体に空間速度（ＳＶ）２０ｈ-1以下で接触させることを特徴とする非イオン性界面活性剤含有水の処理方法、及び、イオン交換体が充填された吸着手段と、酸化手段と、活性炭吸着手段と、イオン交換手段とを順次備えてなることを特徴とする非イオン性界面活性剤含有水の処理装置。【選択図】図１
2007098240.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非イオン性界面活性剤含有水を、イオン交換体に空間速度（ＳＶ）２０ｈ-1以下で接触させることを特徴とする非イオン性界面活性剤含有水の処理方法。
【請求項２】
非イオン性界面活性剤含有水をイオン交換体に接触させたのち、該含有水を酸化処理し、さらに活性炭吸着処理及びイオン交換処理する請求項１記載の非イオン性界面活性剤含有水の処理方法。
【請求項３】
イオン交換体が充填された吸着手段と、酸化手段と、活性炭吸着手段と、イオン交換手段とを順次備えてなることを特徴とする非イオン性界面活性剤含有水の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非イオン性界面活性剤含有水の処理方法及び処理装置に関する。さらに詳しくは、本発明は、非イオン性界面活性剤含有水中の相当部分の非イオン性界面活性剤を吸着により除去し、残余の非イオン性界面活性剤を酸化処理により除去することができる効率的かつ経済的な非イオン性界面活性剤含有水の処理方法及び処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶などの製造工程においては、イオン状物質、有機物などの不純物を除去した超純水が使用されている。例えば、液晶の製造工程では、液晶の洗浄に多量の超純水が使用されている。しかしながら、水資源保護の立場から、排水中の有機物を除去して水を再利用する必要性が高まっており、大量に水を消費してきた半導体や液晶工場においても水の再利用を求める動きが高まりつつある。液晶の洗浄工程では非イオン性界面活性剤が多量に使用されており、液晶の製造に伴って排出される排水には非イオン性界面活性剤が混入している。そのために、排水を再生して半導体及び液晶の製造工程に再利用するには、排水中に含有されている非イオン性界面活性剤を除去する必要がある。
【０００３】
非イオン性界面活性剤含有水について、さまざまな処理方法が検討されている。例えば、非イオン界面活性剤含有廃液から少なくとも非イオン界面活性剤を分離除去する方法として、非イオン界面活性剤含有廃液に水に可溶性の無機塩類を添加して、水性層から遊離する非イオン界面活性剤を除去し、次いで必要に応じて該水性層を多孔性物質で処理する非イオン界面活性剤含有廃液の処理法が提案されている（特許文献１）。しかし、この方法では、廃液１Ｌあたり５０〜３００ｇの無機塩類を添加するので、感光性樹脂を用いて印刷版をつくる際のエッチング廃液のように多量の非イオン性界面活性剤を含有する廃液には適用し得ても、希薄な非イオン性界面活性剤含有水への適用は経済的ではない。また、非イオン性界面活性剤が除去された濃厚な無機塩類水溶液は、河川、湖沼などの淡水域への放流は困難である。
【０００４】
活性炭吸着による非イオン性界面活性剤の処理も試みられている。例えば、非イオン性界面活性剤含有排水を逆浸透膜分離装置を用いて処理する際に、逆浸透膜のフラックスの低下とバイオファウリングを防止して長期にわたり安定な処理を行う方法として、排水のｐＨを９.５以上に調整して逆浸透膜分離装置に通水したのち、酸を添加してｐＨ４〜８に調整し、塩素系殺菌剤を添加して活性炭装置に通水する方法が提案されている（特許文献２）。活性炭による吸着処理は、活性炭の吸着能力が通水量の増加とともに落ちてきて、定期的に活性炭の交換が必要となるという問題があり、このような補助的な手段としてでないと使用しがたい。
【０００５】
処理装置の建設コストが低く、維持管理が簡単で、ランニングコストが低い非イオン界面活性剤を含有する排水の処理方法として、活性炭吸着層を用いて排水中の非イオン界面活性剤を吸着除去する方法において、活性炭吸着槽内に微生物を存在させ、該槽内に空気を送る非イオン界面活性剤を含有する排水の処理方法が提案されている（特許文献３）。しかし、水質が変動しやすい排水中において、微生物を安定して育成させることは容易ではない。
【０００６】
近年、排水中の有機物を除去する手段の一つとして、オゾンを利用する方法が多く採用されている。オゾン単独での有機物処理のほかに、各種の促進酸化処理技術を用い、さまざまな方面から研究がなされている。促進酸化処理技術とは、ヒドロキシルラジカル（ＯＨ・）を利用した技術である。促進酸化処理技術の中で最も簡便で実用化されている方法には、オゾンと過酸化水素を併用する方法（オゾン／Ｈ2Ｏ2法）、アルカリ性領域でオゾンを利用する方法（オゾン／アルカリ法）がある。両者の違いは過酸化水素を添加するか否かであり、ｐＨをそれぞれの適正値に調整する点では同じである。その他にオゾンを溶解させたのち、紫外線照射して有機物を分解除去する方法もある。
【０００７】
水中の有機物とオゾンを反応させるためには、オゾンを水中に溶解させる必要がある。反応槽としては、従来より、散気管を用いてオゾン含有ガスを水中に吹き込み、気泡を分散させることからなる散気管型オゾン接触塔を使用する方法が取られてきた。また、気泡を発生させる他の方法として、回転翼によりガスを導入するエアレーター方式、ベンチュリーを利用したエジェクター方式、サイクロンのように液体を旋回させてその中央よりガスを導入した旋回式微細気泡発生装置などがある。しかし、オゾンを発生させるためのコストが高く、オゾンと非イオン性界面活性剤の反応効率は高くないので、オゾンを用いる促進酸化処理への負荷を軽減し得る非イオン性界面活性剤含有水の処理方法が求められていた。
【特許文献１】特開昭４９−６６５６８号公報
【特許文献２】特開２００５−８１２６９号公報
【特許文献３】特開平７−２３６８９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、非イオン性界面活性剤含有水中の相当部分の非イオン性界面活性剤を吸着により除去し、残余の非イオン性界面活性剤を酸化処理により除去することができる効率的かつ経済的な非イオン性界面活性剤含有水の処理方法及び処理装置を提供することを目的としてなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、非イオン性界面活性剤含有水を遅い空間速度（ＳＶ）でイオン交換体に接触させると、非イオン性界面活性剤の相当部分が吸着除去され、後段の酸化処理への負荷を軽減することができ、また、非イオン性界面活性剤を吸着したイオン交換体は再生が可能であることを見いだし、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
【００１０】
すなわち、本発明は、
（１）非イオン性界面活性剤含有水を、イオン交換体に空間速度（ＳＶ）２０ｈ-1以下で接触させることを特徴とする非イオン性界面活性剤含有水の処理方法、
（２）非イオン性界面活性剤含有水をイオン交換体に接触させたのち、該含有水を酸化処理し、さらに活性炭吸着処理及びイオン交換処理する(１)記載の非イオン性界面活性剤含有水の処理方法、及び、
（３）イオン交換体が充填された吸着手段と、酸化手段と、活性炭吸着手段と、イオン交換手段とを順次備えてなることを特徴とする非イオン性界面活性剤含有水の処理装置、
を提供するものである。
【００１１】
さらに、本発明の好ましい態様として、
（４）イオン交換体が、Ｎａ型若しくはＨ型強酸性カチオン交換樹脂又はＣｌ型強塩基性アニオン交換樹脂である(１)又は(２)記載の非イオン性界面活性剤含有水の処理方法、及び、
（５）酸化処理が、オゾン及び／又は過酸化水素水の添加である(２)記載の非イオン性界面活性剤含有水の処理方法、
を挙げることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の非イオン性界面活性剤含有水の処理方法及び処理装置によれば、本来はイオン交換体とは親和性がないと考えられる非イオン性界面活性剤が、イオン交換体に吸着され、水中に含まれる非イオン性界面活性剤の相当部分を除去することができる。その結果、後段のオゾンなどを用いる酸化処理への負荷を軽減し、オゾンの使用量を節減して、効率的かつ経済的に非イオン性界面活性剤含有水を処理することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の非イオン性界面活性剤含有水の処理方法においては、非イオン性界面活性剤含有水をイオン交換体に空間速度（ＳＶ）２０ｈ-1以下で接触させる。非イオン性界面活性剤は、本来はイオン交換体と親和性を有しないと考えられるが、イオン交換体と遅いＳＶで接触させることにより、水中の非イオン性界面活性剤の相当部分が除去される。非イオン性界面活性剤がイオン交換体により除去される機構は明らかでないが、ＳＶが小さいほど非イオン性界面活性剤の除去率が向上することから、イオン交換反応ではなく物理的吸着によると考えられる。
【００１４】
本発明方法において、非イオン性界面活性剤含有水をイオン交換体に接触させる際のＳＶは、１〜３０ｈ-1であることがより好ましく、５〜１５ｈ-1であることがさらに好ましい。ＳＶが０.１ｈ-1未満であると、一定量の水を処理するために極めて大きい装置が必要になるおそれがある。ＳＶが２０ｈ-1を超えると、非イオン性界面活性剤の除去率が低下するおそれがある。
【００１５】
本発明方法により処理し得る非イオン性界面活性剤としては、例えば、グリセリン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ショ糖脂肪酸エステルなどのエステル型界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルなどのエーテル型界面活性剤、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン多価アルコール脂肪酸エステルなどのエステル・エーテル型界面活性剤、脂肪酸アルカノールアミド、アルキルポリグルコシドなどのその他の非イオン性界面活性剤などを挙げることができる。
【００１６】
本発明方法に用いるイオン交換体のイオン性に特に制限はなく、陽イオン交換体、陰イオン交換体、両性イオン交換体のいずれをも用いることができる。陽イオン交換体も、陰イオン交換体も、非イオン性界面活性剤に対して同様に良好な除去性能を発揮する。本発明方法に用いるイオン交換体の種類に特に制限はなく、例えば、イオン交換樹脂、炭質イオン交換体などの有機イオン交換体、ゼオライト、含水酸化チタン、ヒドロキシアパタイト、モンモリロナイトなどの無機イオン交換体などを挙げることができる。これらの中で、イオン交換樹脂を好適に用いることができる。イオン交換樹脂としては、例えば、強酸性カチオン交換樹脂、弱酸性カチオン交換樹脂、強塩基性アニオン交換樹脂、弱塩基性アニオン交換樹脂、両性イオン交換樹脂、キレート樹脂などを挙げることができる。これらの中で、強酸性カチオン交換樹脂、強塩基性アニオン交換樹脂を好適に用いることができる。イオン交換樹脂は、Ｎａ型、Ｈ型、Ｃｌ型、ＯＨ型などのいずれのイオン型においても非イオン性界面活性剤に対する除去性能を有する。イオン交換樹脂としては、ゲル型樹脂、マクロポーラス型樹脂のいずれをも使用することができる。
【００１７】
本発明方法において、非イオン性界面活性剤を吸着したイオン交換体は再生することができる。非イオン性界面活性剤を吸着したカチオン交換樹脂は、塩酸を用いて再生することができ、この場合はＨ型となっている。Ｎａ型のカチオン交換樹脂は、塩酸によって再生したＨ型カチオン交換樹脂に塩化ナトリウム水溶液を通水することで得ることができる。非イオン性界面活性剤を吸着したアニオン交換樹脂は、水酸化ナトリウム水溶液を用いて再生することができ、この場合にはＯＨ型となっている。Ｃｌ型アニオン交換樹脂は、水酸化ナトリウム水溶液によって再生したＯＨ型アニオン交換樹脂に塩化ナトリウム水溶液を通水することで得ることができる。非イオン性界面活性剤を吸着することにより非イオン性界面活性剤に対する除去性能が低下したイオン交換体は、再生により除去性能を回復することができる。
【００１８】
本発明の非イオン性界面活性剤含有水の処理方法においては、非イオン性界面活性剤含有水をイオン交換体に接触させたのち、該含有水を酸化処理し、さらに活性炭吸着処理及びイオン交換処理することが好ましい。非イオン性界面活性剤含有水をイオン交換体に接触させて非イオン性界面活性剤の相当部分を除去したのち、酸化処理し、さらに活性炭吸着処理及びイオン交換処理することにより、残余の非イオン性界面活性剤を効率的に除去することができる。非イオン性界面活性剤含有水をイオン交換体に接触させることなく酸化処理すると、多量の酸化剤が必要であるが、非イオン性界面活性剤含有水をイオン交換体に接触させたのち酸化処理すると、少量の酸化剤を用いて効率的に酸化処理することができる。その機構は明らかではないが、非イオン性界面活性剤含有水をイオン交換体に接触させると、イオン交換体による非イオン性界面活性剤の減少分に相当する酸化剤の減少だけでなく、残余の非イオン性界面活性剤に対する酸化剤の添加量比を低下させても、酸化反応が効率的に進行する。
【００１９】
本発明方法において、酸化処理の方法に特に制限はなく、例えば、酸化剤の添加などの化学的方法、電解酸化などの電気化学的方法などを挙げることができる。酸化剤としては、例えば、酸素、オゾンなどの酸素類、過酸化水素、過酸化ナトリウム、過酸化ベンゾイルなどの過酸化物、過酢酸、過安息香酸、ペルオキソ二硫酸カリウムなどのペルオキソ酸又はその塩などを挙げることができる。これらの中で、オゾンと過酸化水素は酸化力が強く、処理水を再利用するときの支障となる副生物が発生しないので、特に好適に使用することができる。オゾンと過酸化水素は、併用することもできる。
【００２０】
本発明方法において、酸化剤としてオゾンを用いる場合、オゾンの添加量は、非イオン性界面活性剤含有水をイオン交換体に接触させたのち、水中に残存する有機体炭素（ＴＯＣ）の１〜１２重量倍であることが好ましく、１〜５重量倍であることがより好ましい。オゾンの添加量がＴＯＣの１重量倍未満であると、非イオン性界面活性剤が十分に除去されないおそれがある。オゾンの添加量はＴＯＣの１２重量倍以下で非イオン性界面活性剤は十分に除去され、通常はＴＯＣの１２重量倍を超えるオゾンを添加する必要はない。オゾンの添加方法に特に制限はないが、オゾン発生器で製造されたオゾン−酸素混合ガスを、イオン交換体に接触させた非イオン性界面活性剤含有水に気液接触装置を用いて添加し、オゾンを水中に溶解させることが好ましい。
【００２１】
本発明の非イオン性界面活性剤含有水の処理方法においては、酸化処理された被処理水を、さらに活性炭吸着処理することが好ましい。本発明方法に用いる活性炭の種類に特に制限はなく、ガス賦活炭、薬品賦活炭のいずれをも用いることができる。本発明方法に用いる活性炭の形状に特に制限はなく、粒状炭、粉末炭のいずれをも用いることができる。粒状炭は、活性炭塔に充填し、固定層又は流動層として被処理水と接触させることができる。粉末炭は、撹拌混合槽において被処理水と接触させることができる。被処理水を活性炭吸着処理することにより、水と二酸化炭素まで酸化分解されなかった非イオン性界面活性剤の分解中間体や未分解の非イオン性界面活性剤などを吸着除去するとともに、被処理水中に残存する酸化剤を分解して、後段のイオン交換処理に用いるイオン交換樹脂の劣化を防ぐことができる。
【００２２】
本発明の非イオン性界面活性剤含有水の処理方法においては、活性炭吸着処理された被処理水を、さらにイオン交換処理することが好ましい。酸化処理され、さらに活性炭吸着処理された被処理水にも、なお少量の有機性物質が残存する。酸化処理により非イオン性界面活性剤にはカルボキシル基などのイオン性基が生成する場合が多いので、イオン交換処理により残存する有機性物質を除去することができる。被処理水のイオン交換処理には、カチオン交換樹脂塔とアニオン交換樹脂塔、混床式イオン交換樹脂塔又はアニオン交換樹脂塔を用いることが好ましい。
【００２３】
本発明の非イオン性界面活性剤含有水の処理装置は、イオン交換体が充填された吸着手段と、酸化手段と、活性炭吸着手段と、イオン交換手段とを順次備えてなる。図１は、本発明装置の一態様の工程系統図である。タンク１に貯留された非イオン性界面活性剤含有水が、ポンプ２により吸着剤充填塔３に送られ、イオン交換体と接触処理される。吸着剤充填塔から流出する被処理水は、酸化分解塔４へ送られる。酸化分解塔では、塔底からオゾン−酸素混合ガスが送られ、被処理水が酸化処理される。酸化分解塔から流出する排ガスは、排ガス処理器５で残存するオゾンが分解され、大気中へ放出される。酸化分解塔から流出する被処理水は、活性炭塔６へ送られ、被処理水中の有機性物質が活性炭に吸着されるとともに、水中に溶存するオゾンが分解される。活性炭塔から流出する被処理水は、イオン交換樹脂塔７へ送られて、水中のイオン性を有する有機性物質が除去される。イオン交換樹脂塔から排出される非イオン性界面活性剤が除去された処理水は、さらに必要な処理を施して再利用することができる。
【実施例】
【００２４】
以下に、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定されるものではない。
なお、実施例及び比較例において、有機体炭素（ＴＯＣ）濃度は、ＪＩＳ Ｋ ０１０２ ２２.２「燃焼酸化−赤外線式ＴＯＣ自動計測法」にしたがって測定した。
実施例１
ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルとポリオキシエチレンアルキルエーテルとの等量混合物を超純水に溶解して、有機体炭素（ＴＯＣ）濃度２０.０ｍｇC／Ｌの非イオン性界面活性剤含有水を調製した。
カラムにＮａ型強酸性カチオン交換樹脂［ダウケミカル社、ＥＸ−ＣＧ］２０ｍＬを充填し、非イオン性界面活性剤含有水を４００ｍＬ／ｈ、２００ｍＬ／ｈ又は１００ｍＬ／ｈの速度で通水し、流出液のＴＯＣ濃度を測定した。流出液のＴＯＣ濃度は、それぞれ１９.６ｍｇC／Ｌ、１８.７ｍｇC／Ｌ及び１４.４ｍｇC／Ｌであり、ＴＯＣ除去率は、それぞれ２.０％、６.５％及び２８％であった。
カラムにＨ型強酸性カチオン交換樹脂［ダウケミカル社、ＥＸ−ＣＧ］２０ｍＬを充填し、非イオン性界面活性剤含有水を６００ｍＬ／ｈ又は２００ｍＬ／ｈの速度で通水し、流出液のＴＯＣ濃度を測定した。流出液のＴＯＣ濃度は、それぞれ２０.０ｍｇC／及び１７.４ｍｇC／Ｌであり、ＴＯＣ除去率は、それぞれ０％及び１３％であった。
カラムにＣｌ型強塩基性アニオン交換樹脂［ダウケミカル社、ＥＸ−ＡＧ］２０ｍＬを充填し、非イオン性界面活性剤含有水を４００ｍＬ／ｈ、２００ｍＬ／ｈ又は１００ｍＬ／ｈの速度で通水し、流出液のＴＯＣ濃度を測定した。流出液のＴＯＣ濃度は、それぞれ１７.０ｍｇC／Ｌ、１６.０ｍｇC／Ｌ及び１０.６ｍｇC／Ｌであり、ＴＯＣ除去率は、それぞれ１５％、２０％及び４７％であった。
実施例１の結果を、第１表に示す。
【００２５】
【表１】
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【００２６】
第１表に見られるように、ＴＯＣ除去率はＳＶの低下とともに上昇する。イオン交換の律速段階は、イオン交換体内部における対イオンの相互拡散又はイオン交換体表面を覆う境膜における対イオンの相互拡散なので、ＴＯＣ除去率のＳＶ依存性が大きいことは、イオン交換反応ではなく、物理的な吸着現象により非イオン性界面活性剤が除去されることを示唆している。
実施例２
ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルとポリオキシエチレンアルキルエーテルとの等量混合物を超純水に溶解して、有機体炭素（ＴＯＣ）濃度２０.０ｍｇC／Ｌの非イオン性界面活性剤含有水を調製した。
カラムにＨ型強酸性カチオン交換樹脂［ダウケミカル社、ＥＸ−ＣＧ］２０ｍＬを充填し、非イオン性界面活性剤含有水をＳＶ１０ｈ-1で通水し、ＴＯＣ除去率が１５％に低下したものに２モル／Ｌの塩酸２５０ｍＬをＳＶ３０ｈ-1で通液して樹脂を再生し、さらに純水１,０００ｍＬを通水してカラム内の塩酸を押し出した。
上記の非イオン性界面活性剤含有水をふたたびＳＶ１０ｈ-1で通水し、ＴＯＣ除去率を調べたところ、２５％に回復していた。
実施例３
ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテルとポリオキシエチレンアルキルエーテルとの等量混合物を超純水に溶解して、有機体炭素（ＴＯＣ）濃度２０.０ｍｇC／Ｌの非イオン性界面活性剤含有水を調製した。図１に示すタンク、吸着剤充填塔、酸化分解塔、活性炭塔及びイオン交換樹脂塔をこの順に連結した装置を用いて、イオン交換樹脂による吸着、オゾンによる酸化分解、活性炭吸着、イオン交換により処理した。
吸着剤充填塔には、Ｈ型強酸性イオン交換樹脂［ダウケミカル社、ＥＸ−ＣＧ］７.７ｍＬとＣｌ型強塩基性アニオン交換樹脂［ダウケミカル社、ＥＸ−ＡＧ］１２.３ｍＬの混合樹脂を充填した。酸化分解塔には、容積５０ｍＬであり、ラシヒリングを充填し、塔底よりオゾン１５重量％、酸素８５重量％のオゾン−酸素混合ガスを供給した。活性炭塔には、粒状活性炭［クラレケミカル(株)、ＷＧ−１６０］２０ｍＬを充填した。イオン交換樹脂塔には、ＯＨ型強塩基性アニオン交換樹脂［ダウケミカル社、ＥＸ−ＡＧ］２０ｍＬを充填した。
非イオン性界面活性剤含有水を、吸着塔に２００ｍＬ／ｈの速度で通水した。吸着塔から流出する被処理水のＴＯＣ濃度は、１４.０ｍｇC／Ｌであった。吸着塔から流出する被処理水を、酸化分解塔に２００ｍＬ／ｈの速度で通水し、オゾン１４.７ｍｇ／ｈを供給するために、塔底からオゾン−酸素混合ガスを供給した。酸化分解塔から流出する被処理水のＴＯＣ濃度は、１２.６ｍｇC／Ｌであった。酸化分解塔から流出する被処理水を、４００ｍＬ／ｈの速度で活性炭塔に通水した。活性炭塔から流出する被処理水のＴＯＣ濃度は、６.０ｍｇC／Ｌであった。活性炭塔から流出する被処理水を、通水速度４００ｍＬ／ｈの速度でイオン交換樹脂塔に通水した。イオン交換樹脂塔から流出する処理水のＴＯＣ濃度は２.０ｍｇC／Ｌであり、全処理工程のＴＯＣ除去率は９０％であった。
【００２７】
比較例１
非イオン性界面活性剤含有水を吸着塔へ通水せず、酸化分解塔への通水から処理を開始した以外は、実施例３と同様に操作した。
実施例３と同じ非イオン性界面活性剤含有水を、酸化分解塔に２００ｍＬ／ｈの速度で通水し、オゾン２４.０ｍｇ／ｈを供給するために、塔底からオゾン−酸素混合ガスを供給した。酸化分解塔から流出する被処理水のＴＯＣ濃度は、１８.０ｍｇC／Ｌであった。酸化分解塔から流出する被処理水を、４００ｍＬ／ｈの速度で活性炭塔に通水した。活性炭塔から流出する被処理水のＴＯＣ濃度は、９.０ｍｇC／Ｌであった。活性炭塔から流出する被処理水を、通水速度４００ｍＬ／ｈの速度でイオン交換樹脂塔に通水した。イオン交換樹脂塔から流出する処理水のＴＯＣ濃度は７.０ｍｇC／Ｌであり、全処理工程のＴＯＣ除去率は６５％であった。
比較例２
酸化分解塔の塔底に供給するオゾンの量を、４８.０ｍｇ／ｈ、８０.０ｍｇ／ｈ、１６０.０ｍｇ／ｈ又は４００.０ｍｇ／ｈとした以外は、比較例１と同様に操作した。イオン交換樹脂塔から流出する処理水のＴＯＣ濃度は、それぞれ７.０ｍｇC／Ｌ、５.０ｍｇC／Ｌ、４.０ｍｇC／Ｌ及び２.０ｍｇC／Ｌであり、全処理工程のＴＯＣ除去率は、それぞれ６５％、７５％、８０％及び９０％であった。
実施例３と比較例１の結果を第２表に、比較例１〜２の結果を第３表に示す。
【００２８】
【表２】
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【００２９】
【表３】
2007098240.tif 000005
【００３０】
第２表に見られるように、イオン交換樹脂を充填した吸着塔で非イオン性界面活性剤含有水のＴＯＣの３０％を除去した実施例３では、少ないオゾンの供給量で処理水のＴＯＣ除去率が９０％に達している。これに対して、吸着塔に通水しなかった比較例１では、実施例３の１.６倍量のオゾンを供給しているにもかかわらず、ＴＯＣ除去率は６５％にしかならない。第３表に見られるように、吸着塔に通水することなくＴＯＣ除去率９０％を得るためには、極めて大量のオゾンが必要である。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明の非イオン性界面活性剤含有水の処理方法及び処理装置によれば、本来はイオン交換体とは親和性がないと考えられる非イオン性界面活性剤が、イオン交換体に吸着され、水中に含まれる非イオン性界面活性剤の相当部分を除去することができる。その結果、後段のオゾンなどの酸化剤を用いる酸化処理への負荷を軽減し、酸化剤の使用量を節減して、効率的かつ経済的に非イオン性界面活性剤含有水を処理することができる。本発明方法は、半導体用シリコン基板、液晶用ガラス基板などの電子材料を製造する工程で多量に発生する非イオン性界面活性剤含有水の処理に適用し、処理水を回収して再利用し、用水の原単位を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明装置の一態様の工程系統図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  タンク
２  ポンプ
３  吸着剤充填塔
４  酸化分解塔
５  排ガス処理器
６  活性炭塔
７  イオン交換樹脂塔
【図１】
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