(57)【要約】【課題】  シート積層体の切断精度の向上を図ることが可能なシート積層体切断装置を提供すること。【解決手段】  グリーンシート積層体切断装置１は、載置板１４と、切断刃１０と、第２アクチュエータ４２と、第２荷重センサ４０と、制御部１６とを備える。載置板１４は、グリーンシート積層体２を載置する載置面Ｓを有する。切断刃１０は、グリーンシート積層体２を厚み方向に切断するものである。第２アクチュエータ４２は、切断刃１０をＸ軸方向に駆動させる。第２荷重センサ４０は、Ｘ軸方向から切断刃１０にかかる荷重を検出する。制御部１６は、第２荷重センサ４０により検出された荷重の変化量を算出すると共にこの変化量を相殺するように、第２アクチュエータ４２に指示して切断刃１０の駆動量を制御する。【選択図】  図２
2007000984.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリーンシート積層体を載置する載置面を有する基台と、
前記基台に載置された前記グリーンシート積層体を厚み方向に切断する切断刃と、
前記載置面に沿うと共に前記切断刃に対して交差する方向に前記切断刃を駆動させる第１の駆動手段と、
前記切断刃に対して交差する方向における、前記切断刃にかかる荷重又は前記切断刃の位置のうち少なくとも一方を検出する第１の検出手段と、
前記第１の検出手段により検出された前記切断刃にかかる荷重あるいは前記切断刃の位置の変化量を相殺するように、前記第１の駆動手段による前記切断刃の駆動量を制御する制御手段とを備えることを特徴とするグリーンシート積層体切断装置。
【請求項２】
前記第１の駆動手段が、前記切断刃を間に位置させるように一対設けられており、
前記制御手段が、前記各第１の駆動手段をそれぞれ制御することを特徴とする請求項１に記載されたグリーンシート積層体切断装置。
【請求項３】
前記載置面に対して交差する方向に前記切断刃を駆動させる第２の駆動手段と、
前記載置面に対して交差する方向における、前記切断刃にかかる荷重又は前記切断刃の位置のうち少なくとも一方を検出する第２の検出手段とを更に備え、
前記制御手段が、前記第２の検出手段により検出された前記切断刃にかかる荷重あるいは前記切断刃の位置の変化量に応じて前記切断刃による前記グリーンシート積層体の切断深さを制御することを特徴とする請求項１又は２に記載されたグリーンシート積層体切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、未焼成のグリーンシート積層体を切断してグリーンチップを製造するためのグリーンシート積層体切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、未焼成（グリーン状態）のグリーンシート積層体を切断してグリーンチップを製造するためのグリーンシート積層体切断装置として、切断刃と、切断刃のグリーンシート積層体への進入方向を規制するために、グリーンシート積層体の近傍において切断刃の両側に配置されたガイドとを備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−１０２２４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
グリーンシート積層体は、通常内部導体等が所定の間隔で形成された複数のグリーンシートが積層された後、加圧されて各グリーンシートが圧着されることにより形成される。このグリーンシート積層体を所定の大きさに切断することにより、例えばチップビーズ、チップコンデンサ、チップインダクタといった各種積層型電子部品の焼成前のものであるグリーンチップが製造されることとなる。そして、近年、各種積層型電子部品に対する小型化の要求が益々大きくなっており、これに応じてグリーンシート積層体の切断精度の向上が求められている。
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載された従来のグリーンシート積層体切断装置は、切断刃を単にガイドで挟むだけの構成であるため、以下の問題を有する。切断刃を押圧してグリーンシート積層体へと進入させた際にグリーンシート積層体から切断刃にかかる圧力のバランスが均一でないことから、切断刃がグリーンシート積層体内部で曲がってしまう。その結果、グリーンシート積層体が斜めに切断されてしまい、各グリーンチップの大きさにばらつきが生じてしまう。
【０００５】
本発明は、グリーンシート積層体の切断精度の向上を図ることが可能なグリーンシート積層体切断装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るグリーンシート積層体切断装置は、グリーンシート積層体を載置する載置面を有する基台と、基台に載置されたグリーンシート積層体を厚み方向に切断する切断刃と、載置面に沿うと共に切断刃に対して交差する方向に切断刃を駆動させる第１の駆動手段と、切断刃に対して交差する方向における、切断刃にかかる荷重又は切断刃の位置のうち少なくとも一方を検出する第１の検出手段と、第１の検出手段により検出された切断刃にかかる荷重あるいは切断刃の位置の変化量を相殺するように、第１の駆動手段による切断刃の駆動量を制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係るグリーンシート積層体切断装置では、制御手段が、切断刃に対して交差する方向において第１の検出手段が検出した切断刃にかかる荷重あるいは切断刃の位置の変化量を相殺するように第１の駆動手段を制御している。これにより、グリーンシート積層体から切断刃にかかる圧力のバランスが均一でない場合でも、切断刃に対して交差する方向における切断刃にかかる荷重変化あるいは切断刃の位置変化が抑えられることとなり、グリーンシート積層体内部で切断刃が曲がることを極力抑えられる。その結果、グリーンシート積層体の切断精度の向上を図ることができ、小型の積層型電子部品を製造する際にグリーンチップの大きさにばらつきが生じることが極めて少なくなる。
【０００８】
また、第１の駆動手段が、切断刃を間に位置させるように一対設けられており、制御手段が、各第１の駆動手段をそれぞれ制御することが好ましい。このようにすると、切断刃が２つの第１の駆動手段により駆動されることとなるから、グリーンシート積層体の切断精度をより向上させることができる。
【０００９】
また、載置面に対して交差する方向に切断刃を駆動させる第２の駆動手段と、載置面に対して交差する方向における、切断刃にかかる荷重又は切断刃の位置のうち少なくとも一方を検出する第２の検出手段とを更に備え、制御手段が、第２の検出手段により検出された切断刃にかかる荷重あるいは切断刃の位置の変化量に応じて切断刃によるグリーンシート積層体の切断深さを制御することが好ましい。このようにすると、制御手段によりグリーンシート積層体の切断深さについても制御されることとなるから、グリーンシート積層体の切断を自動的に行うことができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、グリーンシート積層体の切断精度の向上を図ることが可能なグリーンシート積層体切断装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１２】
（グリーンシート積層体切断装置の構成）
図１〜図３を参照して、本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置１の構成について説明する。図１は、本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置を示す斜視図である。図２は、本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置を一部破断して示す側面図である。図３は、本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置を示すブロック図である。
【００１３】
グリーンシート積層体切断装置１は、各種積層型電子部品の製造過程における中間体であるグリーンシート積層体２を所定のパターンで切断し、このグリーンシート積層体２から所定の大きさのグリーンチップを複数製造するための装置である。そのために、グリーンシート積層体切断装置１は、グリーンシート積層体２を厚み方向に切断する切断刃１０を有する本体部１２と、グリーンシート積層体２を載置するための載置面Ｓを有する載置板１４と、グリーンシート積層体切断装置１の全体の制御を司る制御部１６とを備えている。
【００１４】
ここで、グリーンシート積層体２は、フェライトあるいはガラス系セラミック等を原料としたスラリーから得られた複数のグリーンシートに所定の間隔で内部導体等を形成し、これらのグリーンシートを積層した後に、加圧により圧着されることで形成される。ただし、本発明においては、１枚のグリーンシートであってもグリーンシート積層体２に含まれるものとする。また、グリーンシート積層体２の底面、すなわちグリーンシート積層体２が載置板１４の載置面Ｓと対向する面には、図示しないシート状の支持体が設けられている。
【００１５】
グリーンシート積層体切断装置１の本体部１２は、主として、ベース部材１８と、ベース部材１８に沿って移動可能となっている可動部材２０と、切断刃１０を保持する切断刃保持部材２２とを有している。
【００１６】
ベース部材１８は、載置面Ｓに対して略垂直方向（図１に示されるＺ軸方向）に延びる板状部材であり、図示しない部材等に固定されている。ベース部材１８には、可動部材２０に対向する鉛直面１８ａにガイドレール２４及びリニアスケール２６のセンサ部２６ａが設けられている。リニアスケール２６は、センサ部２６ａによって後述するスケール部２６ｂの移動量を検出してその検出信号を制御部１６に出力し、Ｚ軸方向における切断刃１０の位置検出を行う。また、ベース部材１８の上部には、ロッド３０ａを有する第１アクチュエータ３０がプレート２８を介して設けられている。第１アクチュエータ３０は、制御部１６からの信号に応じてロッド３０ａを進退させるものであり、この第１アクチュエータ３０としては、例えば、エアシリンダや油圧シリンダの他、モータ及びボールねじ等によって構成される電磁アクチュエータを用いることができる。
【００１７】
可動部材２０は、上部水平板２０ａ、鉛直板２０ｂ及び下部水平板２０ｃからなっており、側面から見て略Ｃ形状となっている（図２参照）。上部水平板２０ａには、ロッド３０ａを介して第１アクチュエータ３０と接続された第１荷重センサ３２が設けられている。この第１荷重センサ３２は、可動部材２０及び切断刃保持部材２２を介して、Ｚ軸方向から切断刃１０にかかる荷重を検出し、その信号を制御部１６に出力する。鉛直板２０ｂには、ベース部材１８の鉛直面１８ａとの対向面２０ｄに、ガイドレール２４と嵌合する２つのスライダ３４が設けられている。これにより、可動部材１８は、第１アクチュエータ３０によるロッド３０ａの進退に応じて、ガイドレール２４上をベース部材１８に沿って直線移動すると共に、Ｚ軸方向に直線運動することとなる。また、鉛直板２０ｂには、その側面にリニアスケール２６のセンサ部２６ａと係合するスケール部２６ｂが設けられている。
【００１８】
切断刃保持部材２２は、水平方向に延びる板状部材であり、可動部材２０の下部水平板２０ｃに固定されている。切断刃保持部材２２には、切断刃１０を保持するためのホルダ３６と、一対のプッシャ３８と、一対の第２荷重センサ４０と、一対の第２アクチュエータ４２とが、載置板１４に対向する下面側に設けられている。
【００１９】
ホルダ３６は、切断刃１０の切れ刃部分である先端部１０ｂを載置板１４に向けて突出させるように、切断刃１０の基端部１０ａを保持している。各プッシャ３８は、側面から見てＬ字状に屈曲した屈曲部３８ａを有しており、切断刃１０を間に位置させるように一対設けられ、切断刃１０の両側に切断刃１０の先端部１０ｂを挟持する。各プッシャ３８は、切断刃保持部材２２側に設けられたガイドレール４４と嵌合するスライダ４６によってそれぞれ支持されている。各プッシャ３８の先端には、切断刃１０の先端部１０ｂの形状に応じて弾性変形する弾性体４８が設けられている。なお、弾性体４８の代わりに、金属、セラミック等の剛体を各プッシャ３８の先端に取り付けてもよい。
【００２０】
各第２荷重センサ４０は、切断刃保持部材２２の下面に固定された各ブラケット５２の側面にそれぞれ設けられており、ロッド４０ａを介して各プッシャ３８の屈曲部３８ａにそれぞれ接続されている。各第２荷重センサ４０は、各プッシャ３８及び各ロッド４０ａを介して、切断刃１０に対して直交する方向（図１に示されるＸ軸方向）から切断刃１０にかかる荷重を検出し、その信号を制御部１６に出力する。
【００２１】
各第２アクチュエータ４２は、各ブラケット５２の下部にそれぞれ固定され、ロッド４２ａを介して各プッシャ３８の屈曲部３８ａにそれぞれ接続されている。各第２アクチュエータ４２は、制御部１６からの信号に応じて各ロッド４２ａを進退させるものであり、この各第２アクチュエータ４２としては、例えば、エアシリンダや油圧シリンダの他、リニアモータ、ボイスコイル等の電磁アクチュエータを用いることができる。これにより、各プッシャ３８は、第２アクチュエータ４２によるロッド４２ａの進退に応じてＸ軸方向に直線移動し、切断刃１０をＸ軸方向に駆動させることとなる。
【００２２】
載置板１４は、グリーンシート積層体２を載置するための略水平な載置面Ｓを有するテーブルである。載置板１４は、載置板１４に接続された載置板駆動部５０（図３参照）によって駆動され、図１に示されるＸ軸及びＹ軸に沿って直線移動すると共に、Ｚ軸周りに回動可能となっている。ここで、Ｙ軸は、Ｘ軸及びＺ軸に対して直交する軸である。
【００２３】
制御部１６は、第１荷重センサ３２、各第２荷重センサ４０及びリニアスケール２６からの信号を入力し、第１アクチュエータ３０及び各第２アクチュエータ４２に対して信号を出力して駆動させると共に、載置板駆動部５０を直線移動あるいは回動させる。詳しくは、制御部１６は、第１荷重センサ３２あるいはリニアスケール２６から出力された信号に基づいて、Ｚ軸方向から切断刃１０にかかる荷重あるいはＺ軸方向における切断刃１０の位置の変化量を算出し、それらの変化量に応じて切断刃１０によるグリーンシート積層体２の切断深さを制御する。また、制御部１６は、各第２荷重センサ４０から出力された信号に基づいて、Ｘ軸方向から切断刃１０にかかる荷重の変化量を算出し、その変化量を相殺する大きさの荷重を切断刃１０に対して与えるように、各アクチュエータ４２に指示して各プッシャ３８による切断刃１０の駆動量を制御する。
【００２４】
（グリーンシート積層体切断装置の動作）
次に、上述したグリーンシート積層体切断装置１の動作について説明する。
【００２５】
まず、グリーンシート積層体切断装置１が動作を開始すると、制御部１６が第１アクチュエータ３０に指示して可動部材２０を作動させ、リニアスケール２６からの入力信号に基づいて、切断刃１０が載置板１４から上方に離れた位置（上昇位置）に達するまで上昇させる。また、制御部１６が各第２アクチュエータ４２に指示して各プッシャ３８を作動させ、切断刃１０が載置板１４に対して略垂直向きとなるように切断刃１０に荷重をかける。制御部１６では、このとき切断刃１０にかけられている荷重を初期値“０”として記憶する。そして、載置板１４の所定の位置にグリーンシート積層体２を載置し、制御部１６が載置板駆動部５０に指示して切断刃１０がグリーンシート積層体２の切断開始位置の上方に位置するように載置板１４を移動させた後に、グリーンシート積層体２の切断を開始する。
【００２６】
グリーンシート積層体切断装置１がグリーンシート積層体２の切断を開始すると、制御部１６は、第１アクチュエータ３０に指示して可動部材２０を下降させることにより、切断刃１０をグリーンシート積層体２に向かって下降させる。そして、制御部１６では、切断刃１０の下降により切断刃１０の先端部１０ｂがグリーンシート積層体２に接触し、第１荷重センサ３２から信号が入力されて荷重変化があったと判断されると、各第２荷重センサ４０からの信号の入力を受付けて、Ｘ軸方向から切断刃１０にかかる荷重の検出を開始する。
【００２７】
続いて、グリーンシート積層体切断装置１では、Ｘ軸方向における荷重検出を開始すると、制御部１６が、各第２荷重センサ４０から入力された信号に基づいて、グリーンシート積層体２からの圧力によってＸ軸方向から切断刃１０にかかる荷重の初期値“０”に対する変化量を算出する。そして、制御部１６では、その変化量を相殺して切断刃１０にかかる荷重が再び初期値“０”と等しくなるように、各第２アクチュエータ４２に指示して各プッシャ３８を作動させる。グリーンシート積層体切断装置１では、切断刃１０によりグリーンシート積層体２が切断されるまで、この一連の動作を行うこととなる。
【００２８】
続いて、制御部１６では、リニアスケール２６から入力された信号に基づいて、切断刃１０が予め設定された下降位置（例えば、グリーンシート積層体２の裏面に設けられた図示しない支持体に切断刃１０の先端部１０ｂが食い込む程度の位置）に到達したと判断した場合、グリーンシート積層体２を切断したとして、第１アクチュエータ３０に指示して可動部材２０の下降を停止させる。そして、制御部１６は、第１アクチュエータ３０に指示して可動部材２０を作動させ、再び切断刃１０を上昇位置まで上昇させる。さらに、制御部１６は、載置板駆動部５０に指示して、切断刃１０がグリーンシート積層体２の次の切断位置の上方に位置するように載置板１４をＸ軸方向に直線移動させる。
【００２９】
グリーンシート積層体切断装置１では、以上の動作を繰り返して、図４に示されるようにＸ軸方向において順次グリーンシート積層体２の切断を行った後、制御部１６が載置板駆動部５０に指示して、Ｚ軸を中心に載置板１４を略９０°回転させる。そして、グリーンシート積層体切断装置１では、再び載置板１４をＸ軸方向に直線移動させて順次グリーンシート積層体２の切断を行うことで、略直方体形状のグリーンチップが製造されることとなる。
【００３０】
（グリーンシート積層体切断装置の変形例）
次に、上述したグリーンシート積層体切断装置１でグリーンシート積層体２の切断を行う際の変形例について説明する。
【００３１】
まず、グリーンシート積層体切断装置１では、グリーンシート積層体２の切断を行う前に、予め制御部１６が、リニアスケール２６によって検出された切断刃１０によるグリーンシート積層体２の切断深さ位置と、その切断深さ位置において各第２荷重センサ４０によって検出されたＸ軸方向から切断刃１０にかかる荷重及びその方向とを対応付けたデータを、グリーンシート積層体２における切断位置毎に取得して、図示しない切断深さ−荷重テーブルとして記憶する。
【００３２】
そして、グリーンシート積層体切断装置１が動作を開始すると、制御部１６が第１アクチュエータ３０に指示して可動部材２０を作動させ、リニアスケール２６からの入力信号に基づいて、切断刃１０を上昇位置まで上昇させる。そして、載置板１４の所定の位置にグリーンシート積層体２を載置し、制御部１６が載置板駆動部５０に指示して切断刃１０がグリーンシート積層体２の切断開始位置の上方に位置するまで載置板１４を移動させた後に、グリーンシート積層体２の切断を開始する。
【００３３】
グリーンシート積層体切断装置１がグリーンシート積層体２の切断を開始すると、制御部１６は、第１アクチュエータ３０に指示して可動部材２０を下降させ、切断刃１０をグリーンシート積層体２に向かって下降させる。そして、制御部１６では、切断刃１０の下降により切断刃１０の先端部１０ｂがグリーンシート積層体２に接触し、第１荷重センサ３２から信号が入力されて荷重変化があったと判断されると、各第２アクチュエータ４２に指示して各プッシャ３８を作動させ、Ｘ軸方向における切断刃１０の駆動を開始する。
【００３４】
続いて、グリーンシート積層体切断装置１では、Ｘ軸方向における切断刃１０の制御を開始すると、制御部１６が、リニアスケール２６から入力された信号に基づいて切断刃１０によるグリーンシート積層体２の切断深さを検出する。制御部１６では、図示しない切断深さ−荷重テーブルを参照して、検出された切断深さに対応するＸ軸方向から切断刃１０にかかる荷重及びその方向のデータを取得する。そして、制御部１６では、各第２アクチュエータに指示して各プッシャ３８を作動させ、グリーンシート積層体２からの圧力によってＸ軸方向から切断刃１０にかかる荷重を相殺するために、取得したデータと同じ大きさの荷重をデータによる方向と反対方向から切断刃１０に対して作用させる。グリーンシート積層体切断装置１では、切断刃１０によりグリーンシート積層体２が切断されるまで、この一連の動作を行うこととなる。
【００３５】
続いて、制御部１６では、リニアスケール２６から入力された信号に基づいて、切断刃１０が予め設定された下降位置に到達したと判断した場合、グリーンシート積層体２を切断したとして、第１アクチュエータ３０に指示して可動部材２０の下降を停止させる。そして、制御部１６は、第１アクチュエータ３０に指示して可動部材２０を作動させ、再び切断刃１０を上昇位置まで上昇させる。さらに、制御部１６は、載置板駆動部５０に指示して、切断刃１０がグリーンシート積層体２の次の切断位置の上方に位置するように載置板１４をＸ軸方向に直線移動させる。
【００３６】
グリーンシート積層体切断装置１では、以上の動作を繰り返して、図４に示されるようにＸ軸方向において順次グリーンシート積層体２の切断を行った後、制御部１６が載置板駆動部５０に指示して、Ｚ軸を中心に載置板１４を略９０°回転させる。そして、グリーンシート積層体切断装置１では、再び載置板１４をＸ軸方向に直線移動させて順次グリーンシート積層体２の切断を行うことで、略直方体状のグリーンチップが製造されることとなる。
【００３７】
以上のように、本実施形態においては、制御部１６が各第２アクチュエータ４２に指示して各プッシャ３８を作動させ、各第２荷重センサ４２によって検出されたＸ軸方向から切断刃１０にかかる荷重の変化量を相殺している。これにより、グリーンシート積層体２から切断刃１０にかかる圧力のバランスが均一でない場合、Ｘ軸方向から切断刃にかかる荷重変化が抑えられることとなり、グリーンシート積層体２内部で切断刃１０が曲がることを極力抑えられる。その結果、グリーンシート積層体２の切断精度の向上を図ることができ、小型の積層型電子部品を製造する際にグリーンチップの大きさにばらつきが生じることが極めて少なくなる。
【００３８】
また、本実施形態では、各プッシャ３８が切断刃１０を間に位置させるように一対設けられており、制御部１６が各第２アクチュエータ４２に指示して各プッシャ３８を作動させることにより、切断刃１０を駆動させている。これにより、２つの第２アクチュエータ４２を用いて切断刃１０がより精度よく駆動されることとなるため、更なるグリーンシート積層体２の切断精度の向上を図ることができる。
【００３９】
また、本実施形態では、制御部１６が、第１アクチュエータ３０に指示して可動部材２０を作動させ、切断刃１０をＺ軸方向に直線運動させている。そして、制御部１６が、リニアスケール２６からの信号に応じて切断刃１０の位置検出を行い、切断刃１０によるグリーンシート積層体２の切断深さを制御している。これにより、グリーンシート積層体切断装置１を用いてグリーンシート積層体２の切断を自動的に行うことができることとなる。
【００４０】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態では切断刃１０がグリーンシート積層体２に接触した後に、Ｘ軸方向から切断刃１０にかかる荷重を検出し、あるいはＸ軸方向における切断刃１０の駆動を開始したが、切断刃１０がグリーンシート積層体２に接触する前に、所定の高さから荷重検出あるいは切断刃１０の制御を開始してもよい。
【００４１】
また、本実施形態では第１荷重センサ３２によってＺ軸方向から切断刃１０にかかる荷重を検出し、リニアスケール２６によってＺ軸方向における切断刃１０の位置を検出し、各第２荷重センサ４０によってＸ軸方向から切断刃１０にかかる荷重を検出しているが、Ｚ軸方向とＸ軸方向との各方向において、切断刃１０にかかる荷重のみ、もしくは切断刃１０の位置のみ、又はこれらを組み合わせて検出してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置を一部破断して示す側面図である。
【図３】本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置を示すブロック図である。
【図４】本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置によりグリーンシート積層体を切断する様子を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１…グリーンシート積層体切断装置、２…グリーンシート積層体、１０…切断刃、１４…載置板、１６…制御部、２６…リニアスケール、３０…第１アクチュエータ、３２…第１荷重センサ、３８…プッシャ、４０…第２荷重センサ、４２…第２アクチュエータ、Ｓ…載置面。
【図１】
2007000984.tif 000003
【図２】
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【図３】
2007000984.tif 000005
【図４】
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