(57)【要約】【課題】  流体研磨加工中にシリンダ切替が生じることを回避すると共に、シリンダ内におけるスラリーの分離、砥粒の沈殿を防止して、微小孔の加工精度を改善する。【解決手段】  スラリー（７）により微小孔を加工する流体研磨加工方法において、スラリー流量狙い加工工程においては、前もって決められたスラリー供給流量の狙い値まで増大するまで、シリンダ（２ａ）からスラリーを供給して狙い値に達した場合に、シリンダを停止して別のシリンダ（２ｂ）に切り替え、その後微小孔の作動流体流量を計測する。次に実施する調量加工工程においては、作動流体流量に基づいて必要加工時間を算出し、別のシリンダ（２ｂ）により必要加工時間の間研磨加工を実施し、別のシリンダを停止して切り替え、作動流体流量を計測する。作動流体流量が所定値になるまで調量加工工程を繰り返す。前記各工程において、スラリーの供給が中断されることがない。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨流体であるスラリー（７）を工作物（５）に供給して、前記工作物（５）に微小孔を研磨加工する流体研磨加工方法において、この流体研磨加工方法は、
供給装置（２ａ）からスラリー（７）を供給する研磨手順と、
前記供給装置（２ａ）を停止してスラリーの供給を停止する停止手順と、
を具備しており、
前記供給装置（２ａ）からのスラリー（７）の供給が前記停止手順まで停止されることがないように、予め使用量以上のスラリー（７）を前記供給装置（２ａ）に充填した後加工を開始することを特徴とする流体研磨加工方法。
【請求項２】
研磨流体であるスラリー（７）を工作物（５）に供給して、前記工作物（５）に微小孔を研磨加工する流体研磨加工方法において、この流体研磨加工方法は、
複数の供給装置（２ａ，２ｂ）の１つからスラリー（７）を供給する研磨手順と、
前記供給装置（２ａ；２ｂ）を停止してスラリー（７）の供給を停止する停止手順と、
前記停止手順の実施後に、前記供給装置（２ａ；２ｂ）を別の供給装置に切替えて、別の供給装置によってスラリー（７）を前記工作物（５）へ供給可能にする切替手順と、
を具備しており、
前記供給装置（２ａ，２ｂ）からのスラリー（７）の供給は、前記停止手順まで停止されることがないように、予め使用量以上のスラリー（７）を前記供給装置（２ａ，２ｂ）に充填した後加工を開始することを特徴とする流体研磨加工方法。
【請求項３】
前記供給装置（２ａ）はプランジャ式であってシリンダ（２ａ）を有しており、プランジャの往復動によりスラリータンク（１）からスラリー（７）を吸引可能であり、前記工作物（５）を着脱している間に、一旦前記シリンダ（２ａ）内に残っているスラリー（７）を全て前記スラリータンク（１）に戻した後、再度スラリー（７）を吸引してそのシリンダは実質的に完全にスラリー（７）で充填されることを特徴とする請求項１に記載の流体研磨加工方法。
【請求項４】
前記供給装置（２ａ，２ｂ）はプランジャ式であってシリンダ（２ａ，２ｂ）を有しており、プランジャの往復動によりスラリータンク（１）からスラリー（７）を吸引可能であり、スラリー（７）の供給に携わっていない休止状態の供給装置は、稼働中の供給装置がスラリーを前記工作物（５）に供給している間に、一旦前記シリンダ（２ａ，２ｂ）内に残っているスラリー（７）を全て前記スラリータンク（１）に戻した後、再度スラリー（７）を吸引してそのシリンダは実質的に完全にスラリー（７）で充填されることを特徴とする請求項２に記載の流体研磨加工方法。
【請求項５】
前記各シリンダ（２ａ，２ｂ）の容量は１００ｃｃ以上であることを特徴とする請求項３又は４に記載の流体研磨加工方法。
【請求項６】
前記研磨手順において、前記供給装置（２ａ；２ｂ）の供給圧力は一定に保持されることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の流体研磨加工方法。
【請求項７】
前記工作物（５）はディーゼルエンジン用燃料インジェクタの微小孔であることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の流体研磨加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体研磨加工方法及びそれを実施するための流体研磨加工装置に係り、より特別には、研磨材スラリーを使用した、微小孔の高精度加工方法及び加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
燃料噴射器ノズル先端、気化器噴出孔、流体流量調整用オリフィス、印字機噴射ノズル等、高精度の微小孔が設けられた装置は数多く存在する。このような微小孔を加工する方法として、レーザ、電子ビーム、放電加工等あるが、これらの方法によっても十分な精度が達成できない場合、流体研磨加工方法が採用される場合がある。流体研磨加工方法が使用される例として、例えば、ディーゼルコモンレール燃料インジェクタ用のオリフィスの微小孔の加工があげられる。近年ディーゼルはコモンレール化が進み、出力８０ｋＷ程度の小型乗用車から大型トラックまで搭載されているが、燃料インジェクタに流量誤差が生じると、燃料効率が低下して経済性に悪影響を与えるとともに、排ガス中の環境汚染物が増加し、環境上も好ましくない。
【０００３】
ディーゼルコモンレールインジェクタの流量誤差は、その構成部品であるオリフィスの静的オイル流量精度の影響が大きく、流体研磨による調量加工が行われている。流体研磨はシリンダからピストンの移動により吐出されたスラリー（砥粒と油を混ぜたもの）をオリフィスに流し、径の拡大と入り口Ｒの形成を行っている。しかし、狙いのオイル流量を大幅に超えてしまい不良になる場合や、狙いよりも大幅に少なく微調整を何度も繰り返えさなければならない場合がある。
【０００４】
従来技術において、ディーゼル燃料インジェクタ（噴射器）のノズルの微小穴の研磨加工方法について提案するものがある（例えば、特許文献１参照）。このような流体研磨加工方法において使用される流体研磨装置は、スラリータンクと、スラリーを供給するためのシリンダとを具備する。
【０００５】
従来の流体研磨加工方法において、シリンダを切り替える操作が加工中に生じる可能性がある。流体研磨装置のシリンダは、スラリーを使い切った後、シリンダのピストンを引きタンクからスラリーを吸い込む。ただし、吸い込みの時間ロスがあるために、設備はシリンダを２つ持ち、一方を使い切ったら即刻他方に切替え加工を行う。しかし、切替えを行った瞬間、加工圧力を一定に保つことができず圧力変動が起こる。圧力が瞬間的に上昇してしまうと、流量は、Ｑ＝Ａ・√Ｐ（Ａ：定数、Ｐ：圧力）の関係から見かけ上上昇してしまい、狙いのスラリー流量に達してしまうため、適正な加工が行われず、実際にはオイル流量が少なくなってしまう（図３及び４参照）。ところが、シリンダの切替えタイミングが、狙いのスラリー流量近傍（およそ１〜２ｃｃ／ｍｉｎ少ない）で起こると、オイル流量が逆に大きくなってしまう。これは、流体研磨の加工能力が圧力に比例するため、切替えの瞬間に圧力が高くなったことで加工が促進され、あと僅かで加工が終了するはずが、瞬間的に大きく加工されてしまい、その結果としてオイル流量が大きくなってしまう（図４参照）。これを解決する方法としては、シリンダ容量をはるかに大きくし、切替えの発生頻度を少なくすることが考えられるが、シリンダ容量を増やすと、シリンダ内でスラリーが分離、砥粒が沈殿していき、加工能力のバラツキが発生したり、沈殿した砥粒が凝固しシリンダを詰まらせる不具合が発生する。
【特許文献１】特表平１１−５１０４３７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上述した事情に鑑みなされたもので、流体研磨加工中にシリンダ（供給装置）切替が生じることを回避すると共に、シリンダ内におけるスラリーの分離、砥粒の沈殿を防止して、微小孔の加工精度を改善可能な流体研磨加工方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１の形態では、上述した目的を達成するために、研磨流体であるスラリー（７）を工作物（５）に供給して、前記工作物（５）に微小孔を研磨加工する流体研磨加工方法において、供給装置（２ａ）からのスラリー（７）の供給は、停止手順まで停止されることがないことを特徴とする。
この様に構成することにより、スラリーを工作物に供給する流体研磨加工工程において、スラリー供給装置を停止しない加工を実施できるので、加工中の一時的なスラリー流量の変動を防止でき、これにより工作物の微小孔の加工精度を改善することができる。
【０００８】
本発明の請求項２の形態では、複数の供給装置（２ａ，２ｂ）が具備されており、停止手順の実施後に、切替手順において前記供給装置（２ａ；２ｂ）を別の供給装置に切替え、別の供給装置によってスラリー（７）を前記工作物（５）へ供給する。前記供給装置（２ａ；２ｂ）を停止後切り替えるので、途中の段階で供給装置（２ａ；２ｂ）を作動させることがないため、スラリー（７）の供給はそれぞれ停止手順まで停止されることがないことを特徴とする。
【０００９】
この様に構成することにより、スラリーを工作物に供給する流体研磨加工において、スラリー供給装置を切り替える作業が加工途中で挿入されることを回避することができるので、加工中の一時的なスラリー流量の変動を防止でき、これにより工作物の微小孔の加工精度を改善することができる。
【００１０】
本発明の請求項３の形態では、上記請求項１の形態において、前記供給装置（２ａ）はプランジャ式であってシリンダ（２ａ）を有しており、ロボット等の工作物供給装置が治具に工作物を着脱している間に、シリンダ（２ａ）内の残留スラリーを全てスラリータンク（１）に戻した後、再度スラリー（７）を吸引してそのシリンダ（２ａ）は実質的に完全にスラリー（７）で充填されることを特徴とする。
本形態によれば、シリンダの充填を工作物の着脱と並行して実施して加工時間を短縮できると共に、シリンダ内のスラリーを全て、スラリータンクに戻すので、シリンダ内のスラリーの分離、砥粒の沈殿を防止できるので、このことも工作物の微小孔の加工精度改善に寄与する。
【００１１】
本発明の請求項４の形態では、上記請求項２の形態において、前記供給装置（２ａ，２ｂ）はプランジャ式であってシリンダ（２ａ，２ｂ）を有しており、休止状態の別の供給装置は、稼働中の供給装置がスラリー（７）を前記工作物（５）に供給している間に、シリンダ（２ａ；２ｂ）内の残留スラリーを全てスラリータンク（１）に戻した後、再度スラリー（７）を吸引してそのシリンダ（２ａ；２ｂ）は実質的に完全にスラリー（７）で充填されることを特徴とする。
本形態によれば、２基のシリンダを交互に使用するので、シリンダの充填を加工と並行して実施して加工時間を短縮できると共に、切替えられて次の加工工程において休止するシリンダ内のスラリーを全て、スラリータンクに戻すので、シリンダ内のスラリーの分離、砥粒の沈殿を防止できるので、このことも工作物の微小孔の加工精度の改善に寄与する。
【００１２】
本発明の請求項５の形態では、上記請求項３又は４の形態において、前記各シリンダ（２ａ，２ｂ）の容量は１００ｃｃ以上であることを特徴とする。
本形態によれば、十分な容量を有するシリンダを使用して、スラリーを工作物に供給する流体研磨加工の各工程において、シリンダの切替え作業が加工途中で挿入されることを回避することができるので、加工中の一時的なスラリー流量の変動を防止でき、これにより工作物の微小孔の加工精度を改善することができる。
【００１３】
本発明の請求項６の形態では、上記請求項１から５の形態のいずれか一項において、前記供給装置（２ａ；２ｂ）の供給圧力は一定に保持されることを特徴とする。
本形態によれば、微小孔の研磨加工はより無理なくスムーズに実施できる。
【００１４】
本発明の請求項７の形態では、上記請求項１から６の形態のいずれか一項において、前記工作物（５）はディーゼルエンジン用燃料インジェクタの微小孔であることを特徴とする。
本形態によれば、本発明の用途をより具体化する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態の流体研磨装置を詳細に説明する。
図１は、本発明に係る流体研磨装置の一実施の形態を図解的に示す説明図であり、図２は図１の流体研磨装置を使用した本発明の流体研磨加工方法の一実施の形態を説明するフローチャートである。
【００１６】
まず図１を参照すると、本発明の一実施の形態の流体研磨装置１０の概要構成が示されている。本実施の形態において、流体研磨装置１０はディーゼルエンジンの燃料噴射装置（イジェクタ）に含まれるオリフィス（工作物）５の微小孔の研磨加工を実施するために使用される。流体研磨装置１０は、研磨材を含む研磨流体（スラリー）７を収容するためのスラリータンク１を具備しており、スラリータンク１には攪拌機４が設けられており、攪拌機４により、スラリータンク１内の研磨流体（スラリー）７を攪拌することにより、スラリー７の分離、沈殿を防止している。流体研磨装置１０は更に、それぞれピストン６ａ、６ｂを具備する２基のシリンダ（供給装置）２ａ、２ｂと、２基の三方弁３ａ、３ｂとを具備する。シリンダ２ａ、２ｂはプランジャ式供給装置である。シリンダ２ａ、２ｂはスラリー吐出用であって、吸い込み時間ロスをなくすために２基具備されており、例えば、一方のシリンダ２ａがスラリーを吐出している間に、他方のシリンダ２ｂが吸い込みを行い、シリンダが切り替わるまで待機する。従って、シリンダが切り替えられると、遅延なく他方のシリンダ２ｂによりスラリーを吐出出来る。シリンダ２ａ、２ｂの容量は、少なくとも１００ｃｃ以上である（２００ｃｃ／ｍｉｎの流量を３０秒以上流せるだけの）容量が確保されていることが好ましい（この容量は８０ｋＷ以上のディーゼルエンジンのインジェクタオリフィスに対応する）。
【００１７】
この場合、シリンダ２ａがオリフィス５に吐出する場合には、三方弁３ａは配管１１と１２を連通させ、配管１３の出口を閉じるように設定される。またこの際、シリンダ２ｂがスラリー７をスラリータンク１から吸引できるように、三方弁３ｂは配管１４と１６を連通させ、配管１５の入口を閉じるように設定される。そして、上記のシリンダの切り替わりの際には、三方弁３ａは配管１１と１３を連通させ、配管１２の入口を閉じるように設定され、三方弁３ｂは配管１４と１５を連通させ、配管１６の出口を閉じるように設定される。従って、シリンダ２ｂがスラリー７をオリフィス５に吐出可能になり、シリンダ２ａがスラリー７をスラリータンク１から吸引可能になる。シリンダから吐出されたスラリー７は、配管１２又は１５から配管１７，１８を介して、加工されるオリフィス５に供給される。
【００１８】
流体研磨装置１０は、オイルシリンダ（作動流体供給装置）２０と、オイルタンク（流動流体タンク）２１と、三方弁２４と、ストップ弁２５とを具備する。後述のオイル流量計測手順において、この場合軽油であるオイル（作動流体）はオイルタンク２１より供給配管２２及びストップ弁２５を介してオイルシリンダ２０に吸引され、オイルシリンダ２０は配管２３、三方弁２４、配管１８を介してオイルをオリフィス（工作物）５に供給する。この際、三方弁２４は配管２４と１８を連通させ、配管１７を閉鎖するように設定される。スラリー７をオリフィス５に流す場合は、三方弁２４は配管１７と１８を連通させ、配管２４を閉鎖するように設定される。本実施の形態において、オイルの供給装置はプランジャ式のオイルシリンダ２０であるが、別の定量ポンプ等の流体供給装置であっても良い。
【００１９】
上記の研磨加工方法の一実施の形態を図２のフローチャートに従いより詳しく説明する。
本実施の形態においては、スラリー流量狙い加工工程（図２のステップ（手順）２（Ｓ２）からステップ６（Ｓ６）まで）と、調量加工工程（図２のステップ（手順）７（Ｓ７）からステップ１３（Ｓ１３）まで）とを実施する場合、ステップ（手順）１（Ｓ１）において加工工程がスタートすると、先ずスラリー流量狙い加工工程が実施される。
【００２０】
ステップ２（Ｓ２）において、三方弁３ａが配管１１と１２を連通させる状態でシリンダ２ａのピストン６ａが上昇して、スラリー７をオリフィス５に向かって吐出する。前もって決められた吐出流量に到達するように、シリンダ２ａのピストン６ａの上昇速度は、スラリー７が吐出圧力一定で供給されるように制御される。その一方で、三方弁３ｂが配管１４と１６を連通させる状態でシリンダ２ｂのピストン６ｂは下降して、スラリータンク１からスラリー７を吸引する。次にステップ３（Ｓ３）に進み、Ｓ３において、スラリー流量が狙い値に達したかどうかを判定する。狙い値に達しない（ＮＯ）場合は、そのままピストン６ａは上昇し続ける。一方、スラリーを吸引するピストン６ｂの下降速度は、一定であることが好ましく、シリンダ２ａのピストン６ａの上昇速度より十分速いので、一般的にピストン６ｂはその下端まで直ぐに達して、シリンダ２ｂ内はスラリー７により満たされる。
【００２１】
ピストン６ａの上昇速度は、加工穴が大きくなるにつれ序々に増大するので、結局スラリー流量は狙い値に到達する。この際ステップ３において狙い値到達（ＹＥＳ）のフラッグが出されるので、ステップ４（Ｓ４）に進む。Ｓ４においてシリンダ２ａは停止され。更にステップ５（Ｓ５）に進み、三方弁３ａ、３ｂを前述のごとく切り替えることにより、シリンダは２ａから２ｂに切り替えられる。Ｓ５からステップ６（Ｓ６）に進み、三方弁２４が切り替えられオイル（作動流体）流量計測が実施される。オイル流量の計測は、オイルシリンダ２０によりオリフィス５にオイルを所定の一定圧力で流し、この際のオイル流量を計測する。このＳ４後のＳ５、Ｓ６において、シリンダ２ｂのピストン６ｂは既に最下端にあり、シリンダ２ｂ内はスラリー７で満タンに満たされている。また、シリンダ２ａ内のスラリー７は、ピストン６ａを上端まで上昇させることにより、スラリータンク１に戻される。
【００２２】
Ｓ６の次に調量加工工程に進む。ステップ７（Ｓ７）において、計測されたオイル流量値に基づいて、その後の必要加工時間が算出される。次に、ステップ８（Ｓ８）に進む。Ｓ８では、シリンダ２ｂのピストン６ｂが好適には、スラリー吐出圧力一定となるよう上昇し、スラリー７をオリフィス（工作物）５に流して流体研磨加工を進行させる。算出された所定の必要加工時間に達したかどうかを、ステップ９（Ｓ９）において判定し、ＮＯであればそのままピストン６ｂを上昇して加工を続行し、ＹＥＳになった時点でステップ１０（Ｓ１０）に進む。Ｓ１０ではシリンダ２ｂを停止する。Ｓ７からＳ１０までの間において、算出必要加工時間に基づいてシリンダ２ａではピストン６ａを、ピストン６ｂの上昇速度より速い速度で下降させてスラリータンク１からスラリー７を吸引して、シリンダ２ａをスラリー７で満タンにする。
【００２３】
次に、ステップ１１（Ｓ１１）において、Ｓ５のシリンダ切替えと同様に三方弁３ａ、３ｂを切替えてシリンダを２ｂから２ａに切り替える。Ｓ１１後に、シリンダ２ｂ内の残留スラリー７を全てスラリータンク１に戻すこともＳ５と同様である。そしてステップ１２（Ｓ１２）において、前述のＳ６と同様の手順、方法によりオイル流量計測を実施する。ステップ１３（Ｓ１３）においてオイル流量の狙い値に達したかどうか判定する。判定がＮＯ（達していない）であればＳ７に戻り、再度必要加工時間を算出し、シリンダ２ａを使用してＳ８からＳ１３のステップを繰り返す。この繰り返しは、最終的にオイル流量が狙い値に達するまで実施される。Ｓ１３において、オイル流量が狙い値に達する（ＹＥＳ）と、ステップ１４（Ｓ１４）に進み、加工作業は終了する。
【００２４】
次に上記実施の形態の効果及び作用について説明する。
本発明の上記実施の形態の流体研磨加工方法及びそれを実施可能な流体研磨装置により以下の効果が期待できる。
・十分な容量を有するシリンダを使用して、スラリーを被加工物であるオリフィスに供給する流体研磨加工の各工程において、シリンダの切替え作業が途中で挿入されることを回避することができるので、加工中の一時的なスラリー流量の変動を防止でき、これによりオリフィスの微小孔の加工精度を改善することができる。
・また、切替えられて次の加工工程において休止するシリンダ内のスラリーを全て、スラリータンクに戻すので、シリンダ内のスラリーの分離、砥粒の沈殿を防止できるので、このこともオリフィスの微小孔の加工精度の改善に寄与する。
【００２５】
（その他の実施例）
上記において記載した実施の形態において、シリンダ内２ａ又は２ｂの残留スラリー７は、シリンダの停止（Ｓ４又はＳ１０）からオイル流量計測（Ｓ６又はＳ１２）の終了までの間にスラリータンク１に戻され、その後シリンダは新しいスラリー７をスラリータンク１から吸引して、スラリー７により満タンに充填され、次の流体研磨工程に備える。これに対して、別の実施例において、シリンダ内の残留スラリー７をスラリータンク１に戻し、再度新しいスラリー７によりシリンダを、スラリータンク１から吸引して満タンに充填する作業が、ワーク（工作物）５が研磨加工部から着脱されるワーク着脱手順において実施されても良い（図５参照）。このワーク着脱手順は、図２のフローチャートにおいては、Ｓ１４とＳ１との間において実施される。ワーク着脱作業は図５に示すようにロボット又は作業者自身又はピックアンドプレス等により行われても良い。
この実施例においても、上記の実施の形態と同様の効果が得られる。
【００２６】
また、上記において記載した、あるいは添付図面に示した実施の形態において、スラリーを工作物であるオリフィスに供給する供給装置は、プランジャ式ポンプであるシリンダであったが、供給装置はプランジャ式ポンプ以外の種々な既知のポンプ又は流体供給装置であっても良く、スラリー供給装置は２基具備されたが、１基又は３基以上具備されてもよい。また、三方弁は切り替え弁の組み合わせであっても良い。
このように、スラリー供給装置であるシリンダが例え１基であっても、シリンダ停止手順（上記実施の形態におけるＳ４又はＳ１０）からオイル流量計測手順（上記実施の形態におけるＳ６又はＳ１２）の間、あるいは上記のその他の実施例のごとくワーク着脱作業中にシリンダ内のスラリーの入れ替え再充填を行うことにより、加工中に加工を中断することなく、１工程の流体研磨加工を実施可能であり、本発明の効果は同様に実現可能である。また、この場合の流体研磨加工のフローチャートは、シリンダ切替え手順は削除されるものの、その他の手順は図２に示す上記の実施の形態のフローチャートと同様である。
【００２７】
また、本実施例では本発明がディーゼルコモンレールインジェクタ用のオリフィスの加工に適用された例を示したがこれに限定されず、それ以外のオリフィスの加工、あるいは前述したように燃料噴射器ノズル先端、気化器噴出孔、流体流量調整用オリフィス、印字機噴射ノズル等の微小孔の加工に適用されてもよい。
【００２８】
上記の実施の形態は本発明の一例であり、本発明は、該実施の形態により制限されるものではなく、請求項に記載される事項によってのみ規定されており、上記以外の実施の形態も実施可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は本発明に係る流体研磨装置の一実施の形態を図解的に示す説明図である。
【図２】図２は本発明の流体研磨加工方法の一実施の形態を説明するフローチャートである。
【図３】図３は、図５の従来例の流体研磨加工方法における加工中のスラリー圧力と流量の時間変化を示すグラフである。
【図４】図４は、従来例の流体研磨加工方法におけるシリンダ切替直前のスラリー流量とその際のオイル流量の関係を示すグラフであり、本発明の流体研磨加工方法と従来例との比較も示している。
【図５】図５はその他の実施例においてワーク着脱時にシリンダにスラリーを再充填する場合の説明図である。
【符号の説明】
【００３０】
１    スラリータンク
２ａ，２ｂ    シリンダ（供給装置）
３ａ，３ｂ    三方弁
４    攪拌器
５    オリフィス(工作物）
６ａ，６ｂ    ピストン
７    スラリー
１０    流体研磨装置
２０    オイルシリンダ
２１    オイルタンク
２４    三方弁
【図１】
2007061932.tif 000003
【図２】
2007061932.tif 000004
【図３】
2007061932.tif 000005
【図４】
2007061932.tif 000006
【図５】
2007061932.tif 000007