(57)【要約】      （修正有）【課題】インクの粘度がノズル側で高く共通液室側で低いような分布がある場合、発泡した泡は流路抵抗の高い方向、即ち粘度の高いノズル側へは小さく成長しインク吐出速度が低下する。このようなインクの粘度分布によるインク吐出速度の低下あるいは不吐出を解決するインクジェット記録ヘッドの提供。【解決手段】熱エネルギーによる気泡の発生を吐出手段とするインクジェット記録ヘッドにおいて、インク吐出ノズル５とインク供給孔４と、インク吐出ノズルとインク供給孔を繋ぐインク流路２に、大気と連通しインクを蒸発させる蒸発手段６を配置する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットプリンタにおいて、インク吐出ノズルとインク供給孔と、前記インク吐出ノズルと前記インク供給孔を繋ぐインク流路に少なくとも１つのインクを蒸発させる蒸発手段を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記蒸発手段が大気と連通する連通孔であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記蒸発手段が大気と連通する多孔質体であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
インクジェットプリンタ使用時の常温常湿環境にて、前記インク吐出ノズルからのインク蒸発によって生ずる前記液室内のインク粘度分布が１０％以内に留まる径を有する連通孔であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
インクジェットプリンタ使用時の常温常湿環境にて、前記インク吐出ノズルからのインク蒸発によって生ずる前記液室内のインク粘度分布が１０％以内に留まる大きさを有する多孔質体であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記インク吐出ノズルと前記インク供給孔を繋ぐインク流路に前記インク供給孔とは別に少なくとも１つのインクを供給させるインク供給手段を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記インク供給手段が孔であることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は熱エネルギーによる気泡の発生によって、所望の液体を吐出するインクジェット記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置に用いられる記録ヘッドは、近年の写真画質要求に答えるべく、より微細な構造になり、吐出インクも数ｎｇと非常に小さくなってきている。このような微小インクを吐出する場合、インク吐出ノズルの大きさはφ２０μｍ以下と非常に小さくなり、インク中の水分蒸発がノズル内のインク組成へ与える影響は非常に大きくなる。
【０００３】
特に、吐出を休止していたノズルのインク中の水分蒸発による増粘は、インクの吐出速度の低下、あるいは不吐出という問題を引き起こす。インクの吐出速度の低下は着弾位置をずらし、画質を低下させる。これを解決する為にこれまでは予備吐出と呼ばれる、記録が行われない場所での吐出を行い、ノズル内インクをリフレッシュしていた。然しながら、より微小なインク滴を吐出する事が望まれ、インク吐出ノズルは更に小さくなっていく。これに因ってインク中の水分蒸発による増粘の問題は更に大きくなり、予備吐出だけでは問題解決が難しくなってきた。
【０００４】
この問題に対し蒸発を抑制し粘度の増加を抑える方法が考えられている。例えば、ノズル孔をインクとは別の液体で覆い、インクの蒸発を抑制するもの（特許文献１）や、ヘッド近傍に加湿空気を供給し、インクの蒸発を抑制するもの（特許文献２）である。さらに特許文献３では、ノズル周りに親水性の窪みやダミーノズルを設け、インクの混色やミストの付着を防止し、不吐出を防ごうというものもある。また、特許文献４ではノズル周りにダミーノズルを配置し、ダミーノズルから不吐出回復用の溶媒を吐出用ノズルへ流す事で不吐出を回復しようというものもある。
【０００５】
また、特許文献５では、ダミーノズル（開口）を設ける事が、吐出部の吐出孔付近の雰囲気湿度を高め、吐出孔付近のインク粘度が高くなることを抑制する効果をもつとしている。
【特許文献１】特開２００１−９００１４号公報
【特許文献２】特開２０００−７９６９６号公報
【特許文献３】特開２００１−００１５２３号公報
【特許文献４】特開平０５−０５７８９４号公報
【特許文献５】特開２００３−３１１９６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
然しながら、上記解決策は実装の難しさや、コストの増加などの問題から、完全には実現されず、問題の解決へ至っていない。特に増粘に因る吐出不良は、単なる粘度の増加だけでなく、粘度に分布ができることも大きな原因である事がわかっている。これは、粘度の分布ができることで、吐出手段である泡の成長が変化してしまうためである。より具体的には、粘度がノズル孔で高く、共通液室側で低いような分布がある場合、発泡した泡は流路抵抗の高い方向、即ち粘度の高いノズル孔方向へは小さく成長し、流路抵抗の低い共通液室方向では大きく成長する。インクの吐出エネルギーはノズル方向への泡の成長に依存する為、この粘度分布に因ってインク吐出速度の低下、あるいは不吐出が起きるのである。
【０００７】
図１１は一般的な、熱エネルギーによる気泡の発生によって所望の液体を吐出するインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【０００８】
この場合は共通液室１１０よりインクがインク流路１０２を通りインク吐出ノズル１０５まで満たされる。
【０００９】
図１２は図１１のインクジェット記録ヘッドのヒーター１１１でインクが発泡した時の模式図である。
【００１０】
発泡した泡１０７はインク吐出ノズル１０５と共通液室１１０の２つの方向１０８、１０９へと成長する。この時、インク吐出ノズル方向１０８への泡の成長がインクの吐出エネルギーとなる。ここで吐出を休止すると、インクのインク吐出ノズル１０５からの蒸発によりインク吐出ノズル１０５およびインク流路１０２に粘度分布が生じる。インクの蒸発する吐出ノズル１０５に近いほどインク粘度は上がり、共通液室１１０に近いほどインク粘度は低くなる分布となる。この場合、粘度の高いインク吐出ノズル１０８の方向へは、発泡した泡の成長は小さくなり、その分粘度の低い共通液室方向１０９へ大きくなる。
【００１１】
その結果、発泡時の泡の形状は図１３の１１２に示す形となり、インクの吐出エネルギーが低下し、インクの吐出速度の低下、または不吐を引き起こす。インクの吐出速度の低下は着弾位置のずれを生じ画質に悪影響を及ぼす。
【００１２】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、インクの粘度分布による吐出不良を解決するインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記課題を解決する為に、この発明を以下のように構成した。     
【００１４】
請求項１に記載の発明は、インクジェットプリンタに於いて、インク吐出ノズルとインク供給孔と、前記インク吐出ノズルと前記インク供給孔を繋ぐインク流路に少なくとも１つのインクを蒸発させる手段（以下、蒸発手段）を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、前記蒸発手段が大気と連通する孔（以下、連通孔）であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドである。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、前記蒸発手段が大気と連通する多孔質体（以下、多孔質体）であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドである。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、インクジェットプリンタ使用時の常温常湿環境にて、前記インク吐出ノズルからのインク蒸発によって生ずる前記液室内のインク粘度分布が１０％以内に留まる径を有する連通孔であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドである。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、インクジェットプリンタ使用時の常温常湿環境にて、前記インク吐出ノズルからのインク蒸発によって生ずる前記液室内のインク粘度分布が１０％以内に留まる大きさを有する多孔質体であることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドである。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、前記インク吐出ノズルと前記インク供給孔を繋ぐインク流路に前記インク供給孔とは別に少なくとも１つのインクを供給させる手段（以下、インク供給手段）を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドである。
【００２０】
請求項７に記載の発明は、前記インク供給手段が孔であることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、ノズル内のインクの粘度分布が無くなり、吐出手段である泡の発泡が安定し、吐出が安定して行われるようになる。ノズル内にインク粘度分布が存在する場合は、単にインクの粘度が上昇しただけの場合と比べても、インクの吐出速度の低下が大きい。インクの吐出を休止し、インクが蒸発してもノズル内の粘度分布が無くなる事で、これまでよりも安定した吐出が可能となる。
【００２２】
流路に蒸発手段を設ける事で、インクの蒸発をインク吐出ノズルのみならず、蒸発手段からも行い、流路内のインク蒸発速度を均一にする事ができる。流路内のインク蒸発速度を均一にすることで、インクの粘度が上昇した場合でも、その粘度分布が無くなり吐出速度の低下、あるいは不吐を低減する事が可能である。また、インク吐出ノズルからのみの蒸発に比べ、オリフィスプレート上の湿度を上げる効果が大きく、全体的な蒸発速度の抑制の効果もある。さらに、発泡時のエネルギーのバッファーともなり、クロストークを低減させる効果もある。
【００２３】
流路中に複数のインク供給手段がある事により、インク供給孔近傍のインク蒸発速度を見かけ上遅くする事ができる。これを前述した蒸発手段と組み合わせる事で、流路内のインク蒸発速度の均一化を容易に行う事ができる。また、インクの充填、リフィルを高速に行う事が可能となる効果もある。さらに、発泡時のエネルギーのバッファーともなり、クロストークを低減させる効果もある。
【００２４】
以上の効果によって、吐出不良が改善され、今まで以上に画質を向上させる事が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下本発明を実施するための最良の形態を、実施例により詳しく説明する。
【実施例１】
【００２６】
図１に示す本発明におけるインクジェット記録ヘッドは、図１３に示した一般的なインクジェット記録ヘッドに蒸発手段６を付加したものである。
【００２７】
１はオリフィスプレート、２はインク流路、３は基板、４はインク供給孔、５はインク吐出ノズル、６は蒸発手段、７は気泡、１０はインクの共通液室、１１はヒーターである。
【００２８】
ヒーター１１に電圧を印加する事で、ヒーター１１が加熱し、インクが発泡する。発泡した気泡はインク吐出ノズル方向８及び共通液室方向９へ成長し、インク吐出ノズル方向８へ成長した気泡がインクをインク吐出ノズル５より押し出し、インクを吐出するのである。
【００２９】
この形状のノズルにおける蒸発について説明する。
【００３０】
蒸発はインク吐出ノズル５および蒸発手段６より発生する。これにより、従来の形状で蒸発速度の遅かったインク供給孔付近のインク蒸発速度を上げ、流路全体の蒸発速度を均一化している。
【００３１】
図２はインクの粘度、および粘度分布と吐出速度の関係を図示したものである。
【００３２】
初期粘度の異なる２つのインクについて粘度分布を変化させて吐出速度を計測したものである。ここで横軸の粘度分布とは気泡の吐出ノズル方向と共通液室方向における粘度の差である。インク全体の粘度が上がることによるインク吐出速度の低下は、インクの粘度分布が出来る事に比べれば小さい。従って本発明では、インクの全体的粘度が上がっても、粘度分布を生じさせない事でインクの吐出エネルギーの低下を抑えている。
【００３３】
本実施例の特有の効果について述べる。
【００３４】
本実施例では蒸発手段６を用意する事で、インクの蒸発による不良を抑制する事が可能となる。また、蒸発手段６は発泡時の圧力の吸収バッファーともなり、隣接ノズルへのクロストークも低減させる事が可能である。さらに、蒸発手段６からの蒸発でインク吐出ノズル近傍の湿度を上昇させる事ができ、それによるインクの蒸発自体を抑制する効果もある。
【実施例２】
【００３５】
図３は図１に示すインクジェット記録ヘッドの蒸発手段として、連通孔２０６を用いたものである。
【００３６】
連通孔２０６は形状がインク吐出ノズルと相似形である為、製造方法は、インク吐出ノズルとほぼ同様である。
【００３７】
本実施例の特有の効果について述べる。
【００３８】
本実施例では製造ラインに大きな変更を加える事無く、これまでのインクジェット記録ヘッドに簡単に蒸発手段を付加する事が可能である。
【実施例３】
【００３９】
図４は図１に示すインクジェット記録ヘッドの蒸発手段として、多孔質体３０６を用いたものである。
【００４０】
連通部の単位面積あたりの蒸発速度は、よく知られているように開口半径に反比例する。従って、開口面積を増やすよりも開口数を増やす方が蒸発速度を上げる効果は大きい。従って、微小な孔を多数有する多孔質体は蒸発手段として非常に有効である。
【００４１】
多孔質体３０６としては、コーニング社の開発した多孔質バイコールを用いる事ができる。多孔質バイコールはソーダホウケイ酸ガラス（例えばＮａ２Ｏ  ５％、Ｂ２Ｏ３  ２０％、ＳｉＯ２  ７５％）を５００〜６００℃で熱処理し、酸で処理する事で得られるＳｉＯ２だけの多孔質ガラスの事である。この多孔質体は孔の大きさ１０μｍから１０ｎｍまで、様々な種類のものを作る事ができる。これを微細加工し、蒸発手段としてインクジェット記録ヘッドに埋め込む。
【００４２】
本実施例の特有の効果について述べる。
【００４３】
本実施例では、高効率な蒸発手段を配置する事で、特に蒸発速度の高い微小インク吐出ノズルのインクジェット記録ヘッドでも十分な効果を得る事ができる。
【実施例４】
【００４４】
図５は本実施例４を説明する為のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【００４５】
４０１はオリフィスプレート、４０２はインク流路、４０３は基板、４０４はインク供給孔、４０５はインク吐出ノズル、４０６は連通孔、４１０はインクの共通液室、４１１はヒーターである。
【００４６】
複数の連通孔群４０６はインク供給孔４０４からインク吐出ノズル４０５までの距離の１／ａの位置に配置した。インク吐出ノズル４０５の径の大きさがｂの時、連通孔１つの径の大きさをｂ／ａにし、連通孔の数をｂ２／ａ２とした。これにより、連通孔群の蒸発速度はインク吐出ノズルからの蒸発速度のａ倍になるが、インク供給孔からのインクの供給量もａ倍になるので、この２箇所におけるインクの蒸発速度は略一致する。これにより流路上のインクの粘度分布を低く抑える事ができる。インクの粘度分布の測定は、流路を撮影した画像から求める事ができる。撮影した画像よりインクの色の濃さを求める事でインク濃度が分かり、インク濃度からインク粘度を推定する事ができる。
【００４７】
本実施例の特有の効果について述べる。
【００４８】
本実施例では、この方法でインク粘度分布を１０％以下に抑える事が出来る。これにより、蒸発によるインク吐出エネルギーの低下を従来品よりも改善する事が出来る。
【実施例５】
【００４９】
図６は本実施例５を説明する為のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【００５０】
インク供給孔５０４に連通孔５０６が近いほどインクの供給量が増える事から、インク供給孔５０４に近いほど連通孔５０６を小さく密度を高くしたものである。
【００５１】
本実施例の特有の効果について述べる。
【００５２】
本実施例では、流路全体の蒸発速度を均等にし、流路全体のインク粘度を常に一定にしておく事が可能となる。このインク粘度変化をインク吐出ノズル内と等しくなるようにする事で、全体のインク粘度分布をより小さくする事ができる。
【実施例６】
【００５３】
図７は本実施例６を説明する為のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【００５４】
このインクジェット記録ヘッドはオリフィスプレート６０１に多孔質体を用いている。特にインク供給孔６０４近傍の多孔質体は孔を小さく密度を高くし、インク吐出ノズル近傍の多孔質体は孔を大きく密度を低くしている。
【００５５】
本実施例の特有の効果について述べる。
【００５６】
蒸発手段が連通孔であると、インク吐出ノズルに近接する連通孔からも吐出してしまう恐れがある為、インク吐出ノズルと連通孔をある程度離しておかなければならないといった、設計上の制約ができる。多孔質体では吐出できるような大きさの直線状ノズルは無いので、その様な心配は無い。多孔質体の孔の大きさや密度を調整する事で、ノズルを含むインク流路上のどの位置でもインク粘度が常に一定になるようにする事ができ、インク粘度分布を１０％以下に抑える事ができる。これにより、蒸発によるインク吐出エネルギーの低下を従来品よりも改善する事が出来る。
【実施例７】
【００５７】
図８は本実施例７を説明する為のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【００５８】
本発明は実施例１及び２をより発展させたものである。実施例１及び２の状態では蒸発手段７０６はインク供給孔７０４ａによりインクが供給されているのでインク吐出ノズル７０５ほどインクは濃くならない。従って、インク吐出ノズル７０５の方が、蒸発手段７０６近傍よりもインク粘度が高くなり、粘度分布を生じる。インク供給孔７０４ｂをインク吐出ノズル７０５近傍に配置する事で、インク吐出ノズル７０５近傍の粘度を低減させる事ができる。
【００５９】
本実施例の特有の効果について述べる。
【００６０】
本実施例では、インク吐出ノズル７０５近傍の蒸発速度を見かけ上、下げる（実際の蒸発速度は変わらないが、インクの粘度上昇速度が抑えられる）事ができる。また、蒸発手段７０６は連通孔でも、多孔質体でもどちらでも良い。
【実施例８】
【００６１】
図９は図８に示すインクジェット記録ヘッドのインク供給手段として、孔８０４ｂを用いたものである。
【００６２】
基板上にインク供給孔を作成する手段としては、従来技術ではシリコンの基板に異方性エッチングにて作成する手段などがとられていた。本発明では複数のインク供給孔が必要な為、比較的大きな穴になってしまう異方性エッチングは記録ヘッドを大きくしてしまう事に繋がるので薦められない。本発明のインク供給孔としては流路幅程度の大きさの微小貫通孔が適切である。微小貫通孔の加工としてはレーザー加工や、ＩＣＰ−ＲＩＥといった手段がある。これにより、前述した粘度分布を、より低減する事が可能である。
【００６３】
本実施例の特有の効果について述べる。
【００６４】
本実施例では、記録ヘッドを大きくする事無く、インク供給手段を付加する事ができる。また、蒸発手段８０６は連通孔でも、多孔質体でもどちらでも良い。
【実施例９】
【００６５】
図１０は本実施例９を説明する為のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【００６６】
このヘッドは、気泡が発生するヒーター９１１を中心に、流路上に２つの大気との蒸発手段９０６を配置した。また、同じくヒーター９１１を中心に流路上に２つのインク供給孔９０４を配置した。これらを配置する位置で蒸発速度を微調整でき、具体的な設計を考えやすい構造である。また、ヒーターを中心にシンメトリーな配置としており、蒸発の効果を考えやすい。Ｌ１はヒーター９１１の中心から蒸発手段９０６の中心までの距離を、Ｌ２はヒーター９１１の中心からインク供給孔９０４までの距離を表している。ここで、蒸発手段９０６の大きさはインク吐出ノズル９０５と同じとする。つまり両者からの蒸発速度は等しい。
【００６７】
また、インク供給孔９０４の大きさは１つのインク吐出ノズル９０５、および蒸発手段９０６からの蒸発による粘度上昇をちょうど打ち消しあう大きさとする。つまり、図１０で示したｘ軸上にインク吐出ノズル９０５または蒸発手段９０６、とインク供給孔９０４が並ぶときは、流路の蒸発速度（粘度上昇速度）は見かけ上０となる。
【００６８】
蒸発手段９０６の位置だが、インク吐出ノズル９０５に近いほどヒーター９１１近傍の流路の蒸発速度は均一になる。また、この部分からは吐出してはならない為、ある程度ヒーター９１１から離した位置に配置しなければならない。今、流路の高さがｄ  μｍだとすると、気泡の大きさは条件にも因るが、実験から大体２×ｄ  μｍである事が分かっている。発泡がノズルに対してｙ軸方向に成長してしまうと、吐出エネルギーとなってしまう。従って、Ｌ１＞流路高さ＋蒸発手段の半径  とするのが好ましい。
【００６９】
インク供給孔９０４の位置に関しては、インクの蒸発速度が速くなりすぎてしまうところに配置するべきである。図１０ではａ、ｂのノズルからの蒸発速度は等しいが、ａ近傍の流路ではａからの蒸発とｂからの蒸発の２つの効果が現れるが、ｂ部分近傍の流路はａの半分の効果とｂの効果が現れるので、ａの流路部分はｂの部分よりも蒸発速度が速くなる。従って、ａ近傍にインク供給孔９０４を配置する。ａ部分はヒーター９１１が存在する為、Ｌ２＞ヒーターサイズ  となる。また、インク供給孔９０４によってｃの部分のインク蒸発速度を見かけ上、下げる事ができ、それによってａ部分のインク蒸発速度を抑えられるが、蒸発手段９０６がインク供給孔９０４に近い場合はｂ部部のインク蒸発速度も抑えてしまい、インクの蒸発速度分布を均一にする効果が得られない。従って、Ｌ２＜＜Ｌ１  である必要がある。また、ａ、ｂ近傍の流路の蒸発速度の差を考えて、Ｌ１＝Ｌ２×２  とする事を提案する。
【００７０】
以上より、最適なＬ１、Ｌ２を考えると、
Ｌ２×２≒Ｌ１  ＞  流路高さ＋蒸発手段（＝インク吐出ノズル）の半径
Ｌ１＞Ｌ２＞ヒーターサイズ
とする事がインクの蒸発速度を均一にする図１０の構造として望ましいと考えられる。
【００７１】
また、Ｌ１、Ｌ２を調整する代わりに、蒸発手段９０６の大きさや数を調整する方法や、インク供給孔９０４の大きさや数を調整する方法も考えられる。より無駄なく効率的な構造とするにはこれらを検討する必要がある。
【００７２】
本実施例の特有の効果について述べる。
【００７３】
本実施例では、インク粘度分布を無くす具体的な寸法の決め方が決定され、これによって簡易に高性能なインクジェット記録ヘッドを作成する事が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の実施例１を説明するインクジェット記録ヘッドの断面図
【図２】インクの粘度、および粘度分布と吐出速度の関係を示す図
【図３】本発明の実施例２を説明するインクジェット記録ヘッドの断面図
【図４】本発明の実施例３を説明するインクジェット記録ヘッドの断面図
【図５】本発明の実施例４を説明するインクジェット記録ヘッドの断面図
【図６】本発明の実施例５を説明するインクジェット記録ヘッドの断面図
【図７】本発明の実施例６を説明するインクジェット記録ヘッドの断面図
【図８】本発明の実施例７を説明するインクジェット記録ヘッドの断面図
【図９】本発明の実施例８を説明するインクジェット記録ヘッドの断面図
【図１０】本発明の実施例９を説明するインクジェット記録ヘッドの断面図
【図１１】一般的な、熱エネルギーによる気泡の発生によって所望の液体を吐出するインクジェット記録ヘッドの断面図
【図１２】図１１のインクジェット記録ヘッドのヒーター１１１でインクが発泡した時の模式図
【図１３】図１１のインクジェット記録ヘッドの粘度分布が生じた時の泡の形状を示す図
【符号の説明】
【００７５】
１        オリフィスプレート
２        インク流路
３        基板
４        インク供給孔
５        インク吐出ノズル
６        蒸発手段
７        気泡
８        気泡から見たインク吐出ノズル方向
９        気泡から見た共通液室方向
１０      共通液室
１１      ヒーター
１０２    従来のインクジェットプリンタ記録ヘッドに於けるインク流路
１０５    従来のインクジェットプリンタ記録ヘッドに於けるインク吐出ノズル
１０７    従来のインクジェットプリンタ記録ヘッドに於ける発泡した泡の形状
１０８    従来のインクジェットプリンタ記録ヘッドに於ける発泡した泡からのインク吐出ノズル方向
１０９    従来のインクジェットプリンタ記録ヘッドに於ける発泡した泡からの共通液室方向
１１０    従来のインクジェットプリンタ記録ヘッドに於ける共通液室
１１１    従来のインクジェットプリンタ記録ヘッドに於けるヒーター
１１２    従来のインクジェットプリンタ記録ヘッドに於ける粘度分布が出来た時の発泡した泡の形状
２０１    オリフィスプレート
２０２    インク流路
２０３    基板
２０４    インク供給孔
２０５    インク吐出ノズル
２０６    連通孔
２１０    共通液室
２１１    ヒーター
３０１    オリフィスプレート
３０２    インク流路
３０３    基板
３０４    インク供給孔
３０５    インク吐出ノズル
３０６    多孔質体
３１０    共通液室
３１１    ヒーター
４０１    オリフィスプレート
４０２    インク流路
４０３    基板
４０４    インク供給孔
４０５    インク吐出ノズル
４０６    連通孔
４１０    共通液室
４１１    ヒーター
５０４    インク供給孔
５０５    インク吐出ノズル
５０６    連通孔
５１０    共通液室
５１１    ヒーター
６０１    多孔質体のオリフィスプレート
６０２    インク流路
６０３    基板
６０４    インク供給孔
６０５    インク吐出ノズル
６１０    共通液室
６１１    ヒーター
７０１    オリフィスプレート
７０２    インク流路
７０３    基板
７０４ａ  インク供給孔
７０４ｂ  インク供給手段
７０５    インク吐出ノズル
７０６    蒸発手段
７１０    共通液室
７１１    ヒーター
８０１    オリフィスプレート
８０２    インク流路
８０３    基板
８０４ａ、８０４ｂ  インク供給孔
８０５    インク吐出ノズル
８０６    蒸発手段
８１０    共通液室
８１１    ヒーター
【図１】
2007038567.tif 000003
【図２】
2007038567.tif 000004
【図３】
2007038567.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007038567.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007038567.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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