(57)【要約】【課題】ワークの表面に形成されている不要な突起、及び表面に付着している異物や汚れを除去でき、ワークの表面を削りすぎず、ワークの表面に形成されているスクラッチを低減できるクリーニングシート及びその製造方法を提供することである【解決手段】シート状の基材１１、及びこの基材１１の表面に形成した発泡体層１２から構成されるクリーニングシート１０。発泡体層１２の平均気泡直径が、１μｍ以上、５０μｍ以下の範囲、好適に１μｍ以上、３０μｍ以下の範囲にある。発泡体層１２の圧縮率が、３％以上、７％以下の範囲にある。発泡体層１２の圧縮回復率が、４０％以上、６０％以下の範囲にある。発泡体層１２のショアーＤ硬度が、２０度以上、３０度以下の範囲にある。発泡体層１２は、ポリウレタン樹脂からなる。【選択図】図１
2007098509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーニングシートであって、
シート状の基材、及び
前記基材の表面に形成した発泡体層、
から成り、
前記発泡体層の平均気泡直径が、１μｍ以上、５０μｍ以下の範囲にあり、
前記発泡体層の圧縮率が、３％以上、７％以下の範囲にあり、
前記発泡体層の圧縮回復率が、４０％以上、６０％以下の範囲にあり、
前記発泡体層のショアーＤ硬度が、２０度以上、３０度以下の範囲にある、
ところのクリーニングシート。
【請求項２】
請求項１のクリーニングシートであって、
前記発泡体層の平均気泡直径が、１μｍ以上、３０μｍ以下の範囲にある、
ところのクリーニングシート。
【請求項３】
請求項１のクリーニングシートであって、
前記発泡体層が、ポリウレタン樹脂からなる、
ところのクリーニングシート。
【請求項４】
クリーニングシートを製造するための方法であって、
樹脂溶液を機械的に攪拌して、平均気泡直径が０．５μｍ以上、５０μｍ以下の範囲にある気泡を分散させた、発泡倍率が２倍以上、５倍以下の範囲にある塗料を製造する工程、
前記塗料をシート状の基材の表面に塗布して、前記基材の表面に前記塗料からなる塗膜を形成する工程、及び
前記塗膜を乾燥させて、前記基材の表面に発泡体層を形成する工程であって、前記発泡体層の平均気泡直径が１μｍ以上、５０μｍ以下の範囲にあり、前記発泡体層の圧縮率が３％以上、７％以下の範囲にあり、前記発泡体層の圧縮回復率が４０％以上、６０％以下の範囲にあり、前記発泡体層のショアーＤ硬度が２０度以上、３０度以下の範囲にある、ところの工程、
から成る方法。
【請求項５】
請求項４の方法であって、
前記発泡体層の平均気泡直径が、１μｍ以上、３０μｍ以下の範囲にある、
ところの方法。
【請求項６】
請求項４の方法であって、
前記樹脂溶液が、自己乳化型の水性ウレタン樹脂を含む、
ところの方法。
【請求項７】
請求項６の方法であって、
前記樹脂溶液が、
前記樹脂溶液の発泡を促進させ、前記塗料中に気泡を安定して分散させるための剤、
をさらに含み、
前記剤が、高級脂肪酸、高級脂肪酸変性物及び高級脂肪酸のアルカリ塩から選択される、
ところの方法。
【請求項８】
請求項７の方法であって、
前記剤として、高級脂肪酸アンモニウムが使用される、
ところの方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ハードディスク、磁気ヘッド、半導体ウエハ、液晶パネル、光学レンズなどのワークの表面に形成されている不要な突起及びスクラッチ、ワークの表面に付着しているパーティクルなどの異物、及びワークの表面に付着している油分などの汚れを除去するためのクリーニングシート及びその製造方法に関し、特に、ワークの表面を加工した後に、この加工面に残る不要な突起、バリ、スクラッチ、異物及び汚れを除去して加工面をより高精度に仕上げるために、加工面をトリミング（trimming）し且つクリーニングするのに適したクリーニングシート及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータ、テレビジョン、カメラ、電話機などの機器には、より高い性能（例えば、音声、画像などの情報の記録容量の増大、画面（液晶パネル）やカメラレンズの高平滑性及び清浄性など）が常に要求されている。
【０００３】
このような機器では、設計段階で予定される性能を発揮させるため、機器を構成する各部品を設計どおりに製造することが不可欠である。
【０００４】
例えば、情報を記録する媒体として、磁気ハードディスクが広く使用されている。
【０００５】
一般に、磁気ハードディスクは、非磁性の基板の表面を鏡面に研磨した後、この基板表面にほぼ同心円状の条痕を形成するためのテクスチャ加工を施し、このテクスチャ加工面上に、スパッタリングなどの既知の成膜技術を利用して、磁性層、保護層などを順次積層することによって製造されるものである。そして、最後に、磁気ハードディスクの表面に付着しているパーティクルなどの異物及び表面に付着している油分などの汚れを除去するクリーニングが行われている。
【０００６】
このようなクリーニングは、磁気ハードディスクなどのワークの表面に水などの洗浄液を供給し、このワークの表面を発泡体シートからなるテープ又はパッドで擦ることによって行われている。そして、発泡体シートは、多孔質体であるため、ワークの表面に弾力的に作用し、ワークの表面からの異物を内部に取り込むことができることから、ワークの表面にスクラッチを形成せずにクリーニングできるものであるとして使用されている。
【０００７】
しかし、設計上の誤差の範囲内として無視されてきた極微小な突起（及びワークの表面に強固に付着している異物も含む）やスクラッチが、より高性能の機器を製造する上で無視できなくなってきた。（例えば、磁気ハードディスクでは、その表面に適度な深さの凹部と適度な高さの凸部を有するほぼ同心円状の極微細な線条を形成されていることが必要であり、表面の凹凸により高い精度が要求されるようになり、表面に形成されている極微小な突起やスクラッチを除去することが必要となってきた。）
【０００８】
このような不要な突起やスクラッチは、発泡体シートの硬度を単に低くしただけでは除去できないため、低い硬度（ショアーD硬度で５０度以下）の発泡体に砥粒を固定した発泡体シートの使用が提案された（例えば、特許文献１及び特許文献２を参照）。
【０００９】
しかし、このような固定砥粒によるクリーニングでは、硬い砥粒がワークの表面に作用するため、ワークの表面を削りすぎてワークの表面を粗くしたり、ワークの表面にスクラッチを形成するという問題が生じ、また、ワークの表面上に脱粒した砥粒がワークの表面に付着したり突き刺さり、これが不要な突起となるという問題も生じている。（例えば、磁気ハードディスクの表面のクリーニングでは、固定砥粒が、表面に形成されている線条を削りすぎて表面を粗くしたり、表面にスクラッチを形成し、また、脱粒した砥粒が表面に付着して不要な突起となることもある。）
【００１０】
一方、上記のような固定砥粒の問題を生じさせないため、高い硬度（ショアーD硬度で５０度を超える）の発泡体シートが検討されたが、このような発泡体シートでは、不要な突起や異物を低減できるが、スクラッチを低減できないという問題が生じる。
【特許文献１】特開２００１−９６９７号公報
【特許文献２】特開２００１−１３８２４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、したがって、ワークの表面に形成されている不要な突起及び表面に付着している異物や汚れを除去でき、ワークの表面を削りすぎず、ワークの表面に形成されているスクラッチを低減できるクリーニングシート及びその製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成する本発明のクリーニングシートは、シート状の基材、及びこの基材の表面に形成した発泡体層から構成される。
【００１３】
基材として、厚さが２５μｍ以上、１２５μｍ以下の範囲にあるプラスチックシートが使用される。
【００１４】
発泡体層の平均気泡直径は、１μｍ以上、５０μｍ以下の範囲、好適に１μｍ以上、３０μｍ以下の範囲にある。
【００１５】
発泡体層の圧縮率は、３％以上、７％以下の範囲にある。
【００１６】
発泡体層の圧縮回復率は、４０％以上、６０％以下の範囲にある。
【００１７】
発泡体層のショアーＤ硬度は、２０度以上、３０度以下の範囲にある。
【００１８】
発泡体層の厚さは、５０μｍ以上、８００μｍ以下の範囲にある。
【００１９】
上記本発明のクリーニングシートの製造は、まず、樹脂溶液を機械的に攪拌して、平均気泡直径が１μｍ以上、５０μｍ以下の範囲（好適に、１μｍ以上、３０μｍ以下の範囲）にある気泡を分散させた、発泡倍率が２倍以上、５倍以下の範囲にある塗料を製造する。
【００２０】
好適に、樹脂溶液は、自己乳化型の水性ウレタン樹脂を含む。ここで、水性ウレタン樹脂とは、ポリウレタンの骨格の主鎖中に、水に安定に分散させるために必要な親水成分を導入するか又は外部乳化剤で分散することにより得られるポリウレタンの水分散体（ＷＢＰＵＤ：Waterborne polyurethane dispersion）であり、前者、すなわちポリウレタンの骨格中に親水成分を直接導入したものを自己乳化型の水性ウレタン樹脂という（例えば、「水性ウレタン樹脂の技術動向」、玉木淑文著、大日本インキ化学工業（株）、“ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｄｉｃ．ｃｏ．ｊｐ／ｒｄ／ｔｅｃｈ／ｒｅｖ０３０１／ｉｎｄｅｘ．ｈｔｍｌ”を参照）。
【００２１】
樹脂溶液は、この樹脂溶液の発泡を促進させ、塗料中に気泡を安定して分散させるための剤をさらに含み得る。この剤は、高級脂肪酸、高級脂肪酸変性物及び高級脂肪酸のアルカリ塩から選択される。この剤として、好適に、高級脂肪酸アンモニウムが使用される。
【００２２】
次に、この塗料をシート状の基材の表面に塗布して、この基材の表面にこの塗料からなる塗膜を形成する。
【００２３】
次に、この塗膜を乾燥させて、基材の表面に発泡体層を形成する。この発泡体層の平均気泡直径は１μｍ以上、５０μｍ以下の範囲にあり、圧縮率は３％以上、７％以下の範囲にあり、圧縮回復率は４０％以上、６０％以下の範囲にあり、ショアーＤ硬度は２０度以上、３０度以下の範囲にある。
【００２４】
これにより、上記本発明のクリーニングシートが製造される。
【００２５】
本発明のクリーニングシートは、ワークの表面をクリーニングし易い形状に適宜にカットされ、クリーニングテープ、クリーニングパッドなどのクリーニング用具として使用される。
【発明の効果】
【００２６】
発泡体層の平均気泡直径が１μｍ以上、５０μｍ以下の範囲（好適に１μｍ以上、３０μｍ以下）の範囲にあるので（すなわち、気泡が細かいので）、ワークの表面の単位面積当りに作用する発泡体層の（気泡の部分を除いた）表面部分が大きい。
【００２７】
発泡体層の圧縮率が３％以上、７％以下の範囲にあるので、発泡体層の表面をワークの表面に押し付けると、発泡体層の表面がワークの表面の形状に沿うように発泡体層が圧縮する。
【００２８】
発泡体層の圧縮回復率が４０％以上、６０％以下の範囲にあるので、発泡体層の表面をワークの表面に押し付け、発泡体層とワークを相対的に移動させると、発泡体層の表面がワークの表面の形状に沿うように圧縮された状態で、発泡体層の表面がワークの表面上を移動する。すなわち、ワークの表面に対する発泡体層の表面の追従性が高い。
【００２９】
発泡体層のショアーＤ硬度が２０度以上、３０度以下の範囲にあるので（すなわち、硬度が低いので）、ワークの表面に不要のスクラッチを形成しない。
【００３０】
したがって、発泡体層が上記のような機械的特性（平均気泡直径、圧縮率、圧縮回復率及び硬度）を有するので、本発明は、ワークの表面にスクラッチを形成せず且つワークの表面を過度に削ることなく、ワークの表面に形成されている不要な突起、及び表面に付着している異物や汚れを除去できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
＜クリーニングシート＞  図１に示すように、本発明のクリーニングシート１０は、シート状の基材１１、及びこの基材１１の表面に形成した発泡体層１２（図２に、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による発泡体層１２の表面のコンピュータ画像を示す）から構成される。
【００３２】
基材１１の厚さは、２５μｍ以上、１２５μｍ以下の範囲にある。基材１１として、表面の平坦性がよく且つ厚さが一定のプラスチックシートが使用される。プラスチックシートとして、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの合成樹脂からなるシートが使用される。
【００３３】
＜平均気泡直径＞  発泡体層１２の平均気泡直径は、１μｍ以上、５０μｍ以下の範囲、好適に１μｍ以上、３０μｍ以下の範囲にある。
【００３４】
ワークの表面の仕上げ又はクリーニングは湿式に行われる（すなわち、発泡体層１２の表面とワークの表面の間に洗浄液などの液体が供給される）ので、発泡体層１２の平均気泡直径が１μｍ未満の範囲では、発泡体層１２の内部及び表面とワークの表面との間の洗浄液等の液体の潤滑性が低下し、ワークの表面から削り取られた異物を発泡体層１２の内部に効率よく取り込みにくくなる。一方、発泡体層１２の平均気泡直径が５０μｍを超えると、ワークの表面の単位面積当りに作用する発泡体層１２の（気泡の部分を除いた）表面部分が小さくなり、ワークの表面の仕上げ又はクリーニングに時間がかかるだけでなく、発泡体層１２の内部及び表面とワークの表面との間の洗浄液等の液体の潤滑性が高くなりすぎて、ワークの表面から削り取って発泡体層１２の内部に取り込んだ異物が再び発泡体層１２の外部に排出され、この異物によりワークの表面が過度に削られたり、ワークの表面にスクラッチが形成される。
【００３５】
＜圧縮率＞  圧縮率は、２３±３℃の温度下における測定において、１．４ｐｓｉの荷重時の発泡体層の厚さを０（ゼロ）として、１６ｐｓｉの荷重時の発泡体層１２の厚さの変化量を％で表したものである。
【００３６】
本発明では、発泡体層１２の圧縮率は、３％以上、７％以下の範囲にある。
【００３７】
発泡体層１２の表面はワークの表面に押し付けられて圧縮されるが、発泡体層１２の圧縮率が３％未満であると、発泡体層１２の表面がワークの表面の形状に沿うように発泡体層１２が圧縮しにくくなり、ワークの表面に対する発泡体層１２の（気泡の部分を除いた）表面部分の押付圧力が均一でなくなり、ワークの表面の仕上げ又はクリーニングに斑が生じる。一方、発泡体層１２の圧縮率が７％を超えると、発泡体層１２の表面はワークの表面に押し付けられたとき、発泡体層１２の厚さが薄くなり、洗浄液等の液体を取り込む体積が著しく減少するので、発泡体層１２の内部及び表面とワークの表面との間の洗浄液等の液体の潤滑性が低下し、ワークの表面から削り取られた異物を発泡体層１２の内部に効率よく取り込みにくくなる。
【００３８】
＜圧縮回復率＞  圧縮回復率は、２３±３℃の温度下における測定において、１６ｐｓｉの荷重時の発泡体層１２の変位量を測定する。次に、荷重を１．６ｐｓｉに減少させた後、３０秒間で回復した変位量を測定し、この回復した変位量を上記の１６ｐｓｉの荷重時の変位量で割ったもの（すなわち、圧縮した変位量に対する回復した変位量の割合（％））である。
【００３９】
本発明では、発泡体層１２の圧縮回復率は、４０％以上、６０％以下の範囲にある。
【００４０】
発泡体層１２の圧縮回復率が４０％未満であると、圧縮された発泡体層１２の厚さの回復力が低すぎて、発泡体層１２の（気泡の部分を除いた）表面部分のワークの表面に対する押付圧力が低くなり、ワークの表面に付着している異物の除去力が低下する。一方、発泡体層１２の圧縮回復率が６０％を超えると、圧縮された発泡体層１２の厚さの回復力が高すぎて、発泡体層１２の（気泡の部分を除いた）表面部分のワークの表面に対する押付圧力が高くなり、ワークの表面から削り取った異物がワークの表面に押し付けられたとき、この異物によりワークの表面にスクラッチが形成されるようになる。
【００４１】
＜硬度＞  発泡体層１２の硬度をショアーＤ硬度で示す。このショアーＤ硬度は、ＪＩＳ−Ｌ−１０９６に基づくショアＤ硬度計による測定値（２３±３℃の温度下における測定値）である。
【００４２】
本発明では、発泡体層１２のショアーＤ硬度は、２０度以上、３０度以下の範囲にある。
【００４３】
発泡体層１２のショアーＤ硬度が２０度未満であると、ワークの表面に付着している異物やワークの表面に形成されている不要な突起（異常突起）の除去力が低下する。一方、発泡体層１２のショアーＤ硬度が３０度を超えると、ワークの表面に形成されている不要な突起（異常突起）だけでなく、例えばワークの表面に形成されているテクスチャ条痕の凹凸の凸部分などのように必要な突起部分を削り取ってしまうという問題が生じる。またワークの表面にスクラッチを形成し易くなる。
【００４４】
＜発泡体層の厚さ＞  発泡体層１２の厚さは、５０μｍ以上、８００μｍ以下の範囲にある。
【００４５】
発泡体層１２の厚さが薄すぎると、発泡体層１２の内部及び表面とワークの表面との間の洗浄液等の液体の良好な潤滑性を長時間維持できず、発泡体層１２の内部への異物の効率的な取り込みを長時間維持できない。一方、発泡体層１２の厚さが厚すぎると、ワークの表面に付着した異物や汚れの除去に斑が生じる（これは、ワークの表面の仕上げ又はクリーニング中に発泡体層１２の表面に沿った方向に発泡体層１２が大きく変形し、発泡体層１２自体の幾何学的な構造が著しく変化することが原因であると考えられる）。
【００４６】
＜製造方法＞  上記本発明のクリーニングシート１０の製造は、まず、樹脂溶液を機械的に攪拌して、平均気泡直径が１μｍ以上、５０μｍ以下の範囲（好適に、１μｍ以上、３０μｍ以下の範囲）にある気泡を分散させた、発泡倍率が２倍以上、５倍以下の範囲にある塗料を製造する。
【００４７】
樹脂溶液は、ウレタン系又はアクリル系の樹脂を含むものである。好適に、樹脂溶液は、自己乳化型の水性ウレタン樹脂を含むものである。自己乳化型の水性ウレタン樹脂を使用することで、砥粒としての機能を有する水酸化アルミニウム粉末のような粒子を外部乳化剤として使用する必要がない（すなわち、ワークの表面を過度に削る原因の一つとなり得る硬い粒子を外部乳化剤として使用する必要がない）。
【００４８】
樹脂溶液は、この樹脂溶液の発泡を促進させ、塗料中に気泡を安定して分散させるための剤をさらに含み得る。この剤は、高級脂肪酸、高級脂肪酸変性物及び高級脂肪酸のアルカリ塩から選択される。この剤は、樹脂溶液の固形分１００重量部に対して、固形分３０重量部以下であることが好ましく、固形分２０重量部以下の範囲にあることがより好ましい。この剤が、樹脂溶液の固形分１００重量部に対して固形分３０重量部を超えても、樹脂溶液の発泡を促進させ、塗料中に気泡を安定して分散させる機能に著しい変化はない。
【００４９】
好適に、この剤として、高級脂肪酸アンモニウムが使用される。
【００５０】
樹脂溶液の機械的な攪拌は、容器内に樹脂溶液を投入し、これを攪拌翼を回転させて行うことができ、例えば、生クリーム等の連続ミキシングに使用される連続高圧発泡機（製品名：ＴＷ−７０、愛工舎製作所）を使用して行える。塗料中に分散される気泡の大きさと発泡倍率は、攪拌翼の回転速度、樹脂溶液と空気の量及び攪拌時間などを適宜に設定することにより調節できる。
【００５１】
次に、この塗料をシート状の基材１１の表面に塗布して、この基材１１の表面にこの塗料からなる塗膜を形成する。塗料の塗布は、ブレード方式、グラビアロール方式、ナイフ方式、押出し方式、リバースロール方式、キャスト方式などの既知の塗工技術を利用して行える。
【００５２】
次に、この塗膜を乾燥させて、基材１１の表面に、平均気泡直径が１μｍ以上、５０μｍ以下の範囲にあり、圧縮率が３％以上、７％以下の範囲にあり、圧縮回復率が４０％以上、６０％以下の範囲にあり、ショアーＤ硬度が、２０度以上、３０度以下の範囲にある発泡体層１２を形成する。
【００５３】
塗膜の乾燥は、９０℃〜１６０℃の雰囲気で行われる。塗膜を完全に硬化させるため、さらに、遠赤外線を使用してもよい。
【００５４】
これにより、上記本発明のクリーニングシート１０が製造される。
【００５５】
＜使用方法＞  本発明のクリーニングシート１０は、ワークの表面をクリーニングし易い形状に適宜にカットされ、クリーニングテープ、クリーニングパッドなどのクリーニング用具として使用される。
【００５６】
ワークの表面のクリーニングは、ワークの表面に、洗浄液を供給し、クリーニング用具を押し付けながら、ワークとクリーニング用具とを相対的に移動させることによって行われる。この洗浄液は、冷却液及び潤滑液としても機能するものであり、好適に、水（又は純水）が使用される。
【００５７】
本発明では、ワークの表面（被研磨面）を化学的機械的に仕上げ又はクリーニングするため、この洗浄液（水又は純水）に、ワークの表面と化学的に反応する反応液をさらに添加してもよい。なお、このような反応液を仕上げ又はクリーニングに使用した場合、この仕上げ又はクリーニングを行った後に、水（又は純水）を使用してワークをリンスする。そして、このリンスに、本発明のクリーニングシートを使用できる。
【００５８】
このような反応液は、ワークの表面を構成する材料に従って適宜に選定できる。例えば、ワークの表面を構成する材料が二酸化珪素である場合、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、フッ酸、フッ化物などが使用される。ワークの表面がタングステンである場合、硝酸鉄、ヨウ素酸カリウムなどが使用される。ワークの表面が銅である場合、グリシン、キナルジン酸、過酸化水素、ベンゾトリアゾールなどが使用される。
【００５９】
図３に、磁気ハードディスクなどのような円板状のワークＷの両面を同時にクリーニングするクリーニング装置２０（特開２００１−１６２５０４号公報を参照）の一例を示す。図示の例では、上記の本発明のクリーニングシート１０は、符号１０´で示すクリーニングテープにカットして使用される。
【００６０】
図示の両面クリーニング装置２０は、円板状のワークＷの両面をクリーニングするためのクリーニングヘッド２２、及びスピンドル２１に取り付けたワークＷの方向（矢印Ｘで示す方向）にクリーニングヘッド２２を往復運動させるための手段（図示せず）から構成される。クリーニングヘッド２２は、それぞれ向き合うように配置された一対のアーム２３、２３を有し、これらアーム２３、２３の先端には、それぞれ向き合うように弾性を有する裏当て（ゴムパッド）２４、２４が固定されている。
【００６１】
ワークＷの両面（符号Ａ、Ｂで示す面）のクリーニングは、スピンドル２１に取り付けたワークＷを回転させるとともに、それぞれの裏当て２４、２４上にクリーニングテープ１０´、１０´（破線で示す）を送り出し、加圧手段２５、２５を駆動して、裏当て２４、２４を介してクリーニングテープ１０´、１０´をワークＷの両面Ａ、Ｂに押し付けながら、ワークＷの径方向（矢印Ｘで示す方向）に往復移動させることにより行われる。クリーニング中、クリーニングテープ１０´、１０´は、連続的又は間欠的に送り出されていてもよいし、停止（すなわち、クリーニング中、クリーニングテープ１０´、１０´を送り出さない）していてもよい。
【００６２】
図説しないが、上記の本発明のクリーニングシート１０をカットし、クリーニングパッドとして使用してもよい。ワークの表面の仕上げ又はクリーニングは、まず、定盤の表面にこのクリーニングパッドを貼り付けた後に、この定盤を回転させながら、クリーニングパッドの表面に、洗浄液を供給し、このクリーニングパッドの表面にワークの表面を押し付けることによって行える。
【００６３】
＜実施例＞  本発明のクリーニングシートを製造した。
【００６４】
まず、自己乳化型のポリウレタン水分散体（水性ウレタン樹脂）を含んだ樹脂溶液を調製した。樹脂溶液の調製の際、この樹脂溶液の発泡を促進させ、塗料中に気泡を安定して分散させるため、この自己乳化型のポリウレタン水分散体に発泡調整剤と整泡剤を加えた。樹脂溶液の組成を下記の表１に示す。なお、自己乳化型のポリウレタン水分散体の固形分濃度は４０％であった。
【００６５】
【表１】
2007098509.tif 000003
【００６６】
次に、この樹脂溶液を、既知の連続発泡機を使用して機械的に攪拌（攪拌翼の回転数：２０００ｒｐｍ）して、平均気泡直径が３０μｍにある気泡を分散させた、発泡倍率が３倍の塗料を製造した。
【００６７】
次に、この塗料を厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートの表面に、既知の円筒ブレードコーターを使用して塗布し、このＰＥＴシートの表面にこの塗料からなる塗膜を形成し、この塗膜を１００℃の雰囲気で完全に乾燥させて、ＰＥＴシートの表面に厚さ４００μｍの発泡体層を形成し、本発明のクリーニングシート（実施例のクリーニングシート）を製造した。
【００６８】
この実施例のクリーニングシートの発泡体層の機械的特性（平均気泡直径、圧縮率、圧縮回復率、硬度）は、下記の表３に示すとおりであった。
【００６９】
＜比較例＞  比較例のクリーニングシートを製造した。
【００７０】
まず、ポリウレタン水分散体（水性ウレタン樹脂）を含んだ樹脂溶液を調製した。樹脂溶液の調製の際、この樹脂溶液の発泡を促進させ、塗料中に気泡を安定して分散させるため、このポリウレタン水分散体に、気泡剤、反発回復整泡剤、架橋剤、硬化剤及び増粘剤を加えた。樹脂溶液の組成を下記の表２に示す。
【００７１】
【表２】
2007098509.tif 000004
【００７２】
次に、この樹脂溶液を、上記実施例と同様に、既知の連続発泡機を使用して機械的に攪拌（攪拌翼の回転数：２０００ｒｐｍ）して発泡倍率が３倍の塗料を製造した。塗料に分散している気泡の平均気泡直径は１１０μｍであった。
【００７３】
次に、この塗料を厚さ５０μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）シートの表面に、既知の円筒ブレードコーターを使用して塗布し、このＰＥＴシートの表面にこの塗料からなる塗膜を形成し、この塗膜を１００℃の雰囲気で完全に乾燥させて、ＰＥＴシートの表面に厚さ４００μｍの発泡体層を形成し、比較例のクリーニングシートを製造した。
【００７４】
この比較例のクリーニングシートの発泡体層の機械的特性（平均気泡直径、圧縮率、圧縮回復率、硬度）は、下記の表３に示すとおりであった。
【００７５】
【表３】
2007098509.tif 000005
【００７６】
＜比較試験＞  上記実施例と比較例のクリーニングシートをそれぞれカットしてクリーニングシートに加工し、これらを使用して、磁気ハードディスクの両面をクリーニングし、クリーニング前後の表面状態について比較した。
【００７７】
比較試験に使用した磁気ハードディスクは、ガラス基板の表面を鏡面に加工した後、テクスチャ加工を施し、このテクスチャ加工面に、磁性層と保護層をスパッタリングにより順次積層したものであり、実施例用と比較例用にそれぞれ一枚ずつ準備した。実施例用と比較例用のそれぞれの磁気ハードディスクの両面のクリーニング前の状態は、下記の表５及び表６（磁気ハードディスクの一方の面をＡ面、他方の面をＢ面で示す）に示すとおりであった。
【００７８】
磁気ハードディスクの両面（Ａ面、Ｂ面）のクリーニングは、図３に示すような両面クリーニング装置を使用して行った。クリーニング条件は下記の表４に示すとおりであった。洗浄液として純水を使用した。
【００７９】
【表４】
2007098509.tif 000006
【００８０】
クリーニング前後における磁気ハードディスクの表面上の異物（パーティクル）及び異常突起の個数とスクラッチの個数は、光学表面解析装置（製品名：ＯＳＡ５１００、Ｃａｎｄｅｌａ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社）を使用し、１００００ｒｐｍで回転する磁気ハードディスクの表面にレーザーを径方向に照射して計測した。
【００８１】
平均表面粗さ（Ｒａ）及び最大突起高さ（Ｒｍａｘ）は、白色光顕微鏡（製品名：Ｎｅｗ  Ｖｉｅｗ５０２０、Ｚｙｇｏ社）を使用し、磁気ハードディスクの表面の任意の０．８７ｍｍ×０．８７ｍｍの範囲において計測した。
【００８２】
＜比較試験結果＞  比較試験結果を下記の表５及び表６に示す。
【００８３】
【表５】
2007098509.tif 000007
【００８４】
【表６】
2007098509.tif 000008
【００８５】
表５及び表６に示すように、本発明に従うと、比較例よりも異物及び異常突起を除去でき、表面の粗さをより低減でき、スクラッチを著しく低減できるという結果が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】図１は、本発明のクリーニングシートの断面図である。
【図２】図２は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による本発明のクリーニングシートの発泡体層の表面のコンピュータ画像を示す
【図３】図３は、本発明を実施する両面クリーニング装置の一例の部分側面図である。
【符号の説明】
【００８７】
１０・・・クリーニングシート
１０´・・・クリーニングテープ
１１・・・基材
１２・・・発泡体層
２０・・・両面クリーニング装置
２１・・・スピンドル
２２・・・クリーニングヘッド
２３・・・アーム
２４・・・裏当て
２５・・・加圧手段
Ｗ・・・ワーク
Ａ、Ｂ・・・ワークの面
Ｘ・・・往復移動方向
【図１】
2007098509.tif 000009
【図３】
2007098509.tif 000010
【図２】
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