(57)【要約】【課題】ＶＣＭ磁気回路の空隙の磁束密度を上げて、駆動対象の高速駆動が可能であり、かつＶＣＭ磁気回路の永久磁石のニュートラルゾーン位置を正確に規定できて駆動対象の高精度駆動が可能なＶＣＭ装置を提供する。【解決手段】対向する一対のヨーク板１と、ヨーク板１の対向面の少なくとも一方に固定された平板状永久磁石２と、ヨーク板１の対向面間に移動自在に配された駆動用コイル５とを備え、ヨーク板１の片面又は両面に、平板状永久磁石２のニュートラルゾーンに沿う方向と該ニュートラルゾーンを横切る方向の少なくとも一方に配される溝５０、あるいは孔の列の少なくとも一方を形成している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する一対のヨーク板と、前記ヨーク板の対向面の少なくとも一方に固定された平板状永久磁石と、前記ヨーク板の対向面間に移動自在に配された駆動用コイルとを備えたＶＣＭ装置であって、
前記ヨーク板の片面又は両面に、前記平板状永久磁石のニュートラルゾーンに沿う方向と該ニュートラルゾーンを横切る方向の少なくとも一方に配される溝か孔の列の少なくとも一方を形成したことを特徴とするＶＣＭ装置。
【請求項２】
前記永久磁石が略扇形状であって、前記溝が前記ニュートラルゾーンに沿う径方向の溝又は孔の列である請求項１記載のＶＣＭ装置。
【請求項３】
前記永久磁石が略扇形状であって、前記溝が前記ニュートラルゾーンを横切る円弧方向の溝又は孔の列である請求項１記載のＶＣＭ装置。
【請求項４】
ヨーク板に固定されたＶＣＭ用平板状永久磁石材を、複数極の着磁ヨークで挟んで着磁するＶＣＭ用永久磁石の着磁方法であって、
前記複数極の着磁ヨークが発生する着磁磁界により前記ヨーク板の渦電流の発生する領域とニュートラルゾーン近傍の少なくとも一方に配される溝か孔の列の少なくとも一方を前記ヨーク板の片面又は両面に形成したことを特徴とするＶＣＭ用永久磁石の着磁方法。
【請求項５】
前記永久磁石材が略扇形状であって、前記溝が前記ニュートラルゾーンに沿う径方向の溝又は孔の列である請求項４記載のＶＣＭ用永久磁石の着磁方法。
【請求項６】
前記永久磁石材が略扇形状であって、前記溝が前記ニュートラルゾーンを横切る円弧方向の溝又は孔の列である請求項４記載のＶＣＭ用永久磁石の着磁方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＨＤＤ（ハードディスク・ドライブ）装置において磁気ヘッドの駆動用等に使用されるＶＣＭ（ボイスコイル・モータ）装置及び着磁方法に係り、特にヨーク板の構造とヨーク板に永久磁石材を一体化した状態での着磁方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＶＣＭ装置はＰＣ（パーソナル・コンピュータ）周辺装置のＨＤＤ装置用として需要が伸びるばかりでなく、近年家電、携帯端末等へも利用が進んできている。
【０００３】
近年、ＨＤＤ装置に対して、高容量化、高速化が望まれ、ＶＣＭ磁気回路の空隙の磁束密度を上げる要求がある。磁束密度を上げるには、空隙を狭めるか永久磁石の厚さを厚くする、あるいは永久磁石の磁気特性を上げる方法がある。空隙には駆動用コイルを配置するため、寸法を狭くするには限界があり、一般には永久磁石の高性能化や厚さを増して対応している。この場合、永久磁石を固定するヨーク板は永久磁石の厚さに比例して必要とされる肉厚も大きくなる。
【０００４】
また、ＨＤＤ装置の高容量化を図るためには、ＶＣＭ装置の高精度の動作が必要になり、ＶＣＭ磁気回路における永久磁石の磁極間のニュートラルゾーンの位置をヨーク板の基準位置（基準穴）に対して正確に規定する必要があり、着磁された状態で永久磁石をヨーク板に固定することよりも予めヨーク板に永久磁石材を固定した状態で永久磁石の着磁処理を行うことの方がより正確な位置を決められる。また、ニュートラルゾーンの幅もより狭くなるように着磁することが必要となってきている。
【０００５】
図９（Ａ）はヨーク板に永久磁石を固定した状態でＶＣＭ用永久磁石の着磁処理を行う一般的な構成を示す。この図において、軟磁性体のヨーク板１に予め厚み方向に配向された平板状永久磁石材２Ａが固定されており、ヨーク板１及び永久磁石材２Ａが一方（上側）の着磁ヨーク１０と他方（下側）の着磁ヨーク２０とで挟まれている。つまり、着磁ヨーク１０は２極のポールピース１１，１２を、着磁ヨーク２０は２極のポールピース２１，２２をそれぞれ有し、前記２極のポールピース１１，１２とこれらに対向する２極のポールピース２１，２２とで挟まれている。ポールピース１１，１２，２１，２２には着磁コイル３１，３２，４１，４２がそれぞれポールピース１１，１２，２１，２２を周回するように設けられている。図示の場合、ポールピース１１がＮ極、これに対向するポールピース２１がＳ極を発生するとともに、ポールピース１２がＳ極、これに対向するポールピース２２がＮ極を発生するように各着磁コイル３１，３２，４１，４２に着磁電流を通電して所要の着磁磁界を発生し永久磁石材２Ａを厚み方向に着磁する。図９（Ｂ）のように、平板状永久磁石材２Ａを着磁処理した平板状永久磁石２は、ニュートラルゾーンＮＺを挟んで異なる磁極が、平坦面の主面３（ＶＣＭ磁気回路の空隙側）及び反対面に形成される。
【０００６】
図９のように、ヨーク板に永久磁石材を固定（接着）した状態で着磁する場合、ヨーク板に渦電流が起こり逆磁界が発生し、永久磁石の着磁率が低下する。また、ヨーク板は着磁ヨークで発生する磁束を分流させるため、これも永久磁石の着磁率を低下させる。さらに、ニュートラルゾーンの幅も広がる傾向にある。これは着磁ヨークが飽和する（２．１Ｔ）以上に着磁磁界を与える必要があるためであり、着磁ヨークに適当な凹部を設けておいても着磁ヨークが飽和するため、効果が殆ど見られない状態である。
【０００７】
この種の永久磁石の着磁処理に関する公知技術として、下記特許文献１，２，３が知られている。
【０００８】
【特許文献１】特開平４−２３４１４号公報
【特許文献２】特開２００５−２０４３８９号公報
【特許文献３】特開２０００−１８２８２８号公報
【０００９】
特許文献１には、永久磁石の２極着磁器において、各ポールピース（着磁ヨーク）の被着磁磁石との対向面に、適当な凹部を設けることにより、トルクレベルを下げるように着磁電圧を下げて着磁しても、磁石表面の極内Ｂｇ（空隙中磁束密度）分布が平坦化された分布となり、トルクリニアリティが劣化しないことが開示されている。
【００１０】
特許文献２にも、永久磁石の着磁器において、各着磁ティース（着磁ヨーク）の被着磁磁石との対向面に、適当な凹部を設けることが開示されている。これら特許文献１，２は着磁ヨークの被着磁磁石との対向面に適当な凹部を設けることにより磁石に直接着磁するものであって、ＶＣＭヨークを介して磁石を着磁するものではなかった。
【００１１】
特許文献３には、ＶＣＭヨークを介して磁石を着磁するものが開示されているが、永久磁石の着磁後にアップヨークを磁化処理することに着目し、２枚の永久磁石が、磁化の方向が１８０度異なるように互いに端面で接して１枚の板状に形成されてなる平板状永久磁石を配設した磁気回路において、平板状永久磁石材を磁性体ヨーク材に接着して一体化し、所定の磁化方向に着磁した後、該磁性体ヨーク材に、該平板状永久磁石の磁束が該磁性体ヨークを流れる方向に外部磁界を加えて磁化処理する手段により、アップヨークの厚さを増すことなく、漏れ磁場を減らすことが開示されている。
【００１２】
上記特許文献１〜３は、いずれもヨーク板に永久磁石を固定した状態で着磁するときに発生する渦電流発生等の問題を解決する手段を開示するものではない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記の点に鑑み、ＶＣＭ磁気回路の空隙の磁束密度を上げて、駆動対象の高速駆動が可能であり、かつＶＣＭ磁気回路の永久磁石のニュートラルゾーン位置を正確に規定できて駆動対象の高精度駆動が可能なＶＣＭ装置を提供することを目的とする。
【００１４】
また、本発明は、ヨーク板に永久磁石材を一体化した状態で着磁処理を行う場合であっても、ヨーク板の存在による不都合を解消し、永久磁石の着磁率の向上及びニュートラルゾーンの幅を狭くすることが可能なＶＣＭ用永久磁石の着磁方法を提供することを目的とする。
【００１５】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明に係るＶＣＭ装置は、対向する一対のヨーク板と、前記ヨーク板の対向面の少なくとも一方に固定された平板状永久磁石と、前記ヨーク板の対向面間に移動自在に配された駆動用コイルとを備え、
前記ヨーク板の片面又は両面に、前記平板状永久磁石のニュートラルゾーンに沿う方向と該ニュートラルゾーンを横切る方向の少なくとも一方に配される溝か孔の列の少なくとも一方を形成したことを特徴としている。
【００１７】
前記ＶＣＭ装置において、前記永久磁石が略扇形状であって、前記溝が前記ニュートラルゾーンに沿う径方向の溝又は孔の列であるとよい。
【００１８】
前記ＶＣＭ装置において、前記永久磁石が略扇形状であって、前記溝が前記ニュートラルゾーンを横切る円弧方向の溝又は孔の列であるとよい。
【００１９】
本発明に係るＶＣＭ用永久磁石の着磁方法は、ヨーク板に固定されたＶＣＭ用永久磁石材を、複数極の着磁ヨークで挟んで着磁する場合に、
前記複数極の着磁ヨークが発生する着磁磁界により前記ヨーク板の渦電流の発生する領域とニュートラルゾーン近傍の少なくとも一方に配される溝か孔の列の少なくとも一方を前記ヨーク板の片面又は両面に形成したことを特徴としている。
【００２０】
前記ＶＣＭ用永久磁石の着磁方法において、前記永久磁石材が略扇形状であって、前記溝が前記ニュートラルゾーンに沿う径方向の溝又は孔の列であるとよい。
【００２１】
前記ＶＣＭ用永久磁石の着磁方法において、前記永久磁石材が略扇形状であって、前記溝が前記ニュートラルゾーンを横切る円弧方向の溝又は孔の列であってもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るＶＣＭ装置によれば、ヨーク板に固定された平板状永久磁石のニュートラルゾーンに沿う方向と該ニュートラルゾーンを横切る方向の少なくとも一方に配される溝か孔の列の少なくとも一方が、前記ヨーク板の片面又は両面に形成されているため、前記永久磁石の着磁処理を、前記ヨーク板に前記永久磁石となる永久磁石材が一体化された状態で行っても、前記ヨーク板に着磁磁束が分流する現象の抑制や、前記ヨーク板に発生する渦電流の抑制、これに伴う逆磁界の減少等が可能となるため、永久磁石の着磁率を向上させることができる。これにより、ＶＣＭ磁気回路の空隙の磁束密度を上げて、駆動対象の高速駆動を図ることができる。また、前記永久磁石のニュートラルゾーンの幅を狭くでき、前記ヨーク板に永久磁石材を固定して着磁できるため、前記ヨーク板の基準位置に対するニュートラルゾーン位置を正確に規定できて駆動対象の高精度駆動にも寄与できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を実施するための最良の形態として、ＶＣＭ装置及び着磁方法の実施の形態を図面に従って説明する。
【００２４】
図１乃至図４で本発明に係るＶＣＭ装置及び着磁方法の実施の形態１を説明する。図１及び図２はＶＣＭ装置を示すものであり、対向する一対の軟磁性体ヨーク板１と、ヨーク板１の対向面にそれぞれ固定（接着）された平板状永久磁石２と、ヨーク板の対向面間に移動自在に配された駆動用コイル５とを備えている。この駆動用コイル５は一対の平板状永久磁石２の対向面間に移動自在に位置し、駆動用コイル５と各平板状永久磁石２の対向面間には所要のギャップがある。一対のヨーク板１は軟磁性体サイドプレート７で連結一体化されている。駆動用コイル５は回転支点Ｃを中心として回転自在なキャリアアーム６に取り付けられ、キャリアアーム６の先端側には、例えばハードディスクに対して情報の記録再生を行う磁気ヘッド（図示せず）設けられている。
【００２５】
前記一対のヨーク板１の片面（永久磁石配置面の反対面）には、永久磁石２のニュートラルゾーンＮＺに沿う方向に配された凹溝５０が形成されている。この凹溝５０はヨーク板１に永久磁石２となる永久磁石材を一体化した状態で着磁処理を行う場合であっても、ヨーク板１の存在による不都合を解消し、永久磁石の着磁率の向上及びニュートラルゾーンの幅を狭くすることを可能にするものであり、凹溝５０を設けた意義を以下の図３及び図４の着磁方法で説明する。
【００２６】
図３及び図４で説明する着磁方法において、着磁ヨーク１０，２０を備える着磁手段側の構成は、図９の場合と同様であるが、着磁されて図１のＶＣＭ用平板状永久磁石２となる永久磁石材２Ａ（予め厚み方向に配向されている）が固着されたヨーク板１の構成が図９とは異なっている。すなわち、ヨーク板１には永久磁石材２Ａの固着側とは反対面に断面方形の凹溝５０が形成され、この凹溝５０の方向は、着磁処理で得られる永久磁石２のニュートラルゾーンＮＺに沿う方向となっている。なお、凹溝５０の幅は、ポールピース１１（又は２１）と１２（又は２２）との間隙幅とほぼ一致している例である。間隙幅より広くすることも可能であるが、ニュートラルゾーンＮＺが広がることもあるので、好ましくはポールピースの間隙よりも狭いほうが良い。さらに好ましくはポールピースの間隙よりも狭く、且つ、より深いほうがよい。
【００２７】
図示の場合、着磁ヨーク１０のポールピース１１がＮ極、これに対向する着磁ヨーク２０のポールピース２１がＳ極を発生するとともに、着磁ヨーク１０のポールピース１２がＳ極、これに対向する着磁ヨーク２０のポールピース２２がＮ極を発生するように各着磁コイル３１，３２，４１，４２に着磁電流を通電して永久磁石材２Ａを厚み方向に着磁する。着磁時にポールピース１１，１２はヨーク板１に当接し、ポールピース２１，２２は永久磁石材２Ａに当接してヨーク板１と永久磁石材２Ａとを挟持している。平板状永久磁石材２Ａを着磁処理した平板状永久磁石２は、ニュートラルゾーンＮＺを挟んで異なる磁極が、平面の主面（駆動コイルに対面する面）３及び反対面（ヨーク板に接する面）４に形成される。
【００２８】
この実施の形態１によれば、ヨーク板１に固定される平板状永久磁石２のニュートラルゾーンに沿う方向の凹溝５０が、ヨーク板１の片面に形成されているため、永久磁石２の着磁処理をヨーク板１に永久磁石２となる永久磁石材２Ａを一体化した状態で行っても、ヨーク板１に着磁磁束が分流する現象（ポールピース１１−ヨーク板１−ポールピース１２の経路で磁束が通る現象）の抑制や、ヨーク板１に発生する渦電流の抑制、これに伴う逆磁界の減少等が可能である。これにより、永久磁石の着磁率を向上させることができる。この結果、ＶＣＭ装置を構成したとき、ＶＣＭ磁気回路の空隙の磁束密度を上げて、駆動対象の高速駆動を図ることができる。また、永久磁石２のニュートラルゾーンＮＺの幅を狭くでき、ヨーク板１の基準位置（図示しないが、通常ヨーク板に基準穴として設ける）に対するニュートラルゾーン位置を正確に規定できて駆動対象の高精度駆動にも寄与できる。
【００２９】
図５（Ａ）は本発明の実施の形態２であって、図４の永久磁石材２Ａの着磁処理で得られる永久磁石２のニュートラルゾーンＮＺに沿う方向の凹溝５０の代わり、ニュートラルゾーンＮＺに沿う方向に配された凹孔５１（非貫通の止まり孔）の列をヨーク板１に設けた構成を示す。なお、凹孔５１の径は、ポールピース１１（又は２１）と１２（又は２２）との間隙幅よりも小さい例である。その他の構成は実施の形態１と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。
【００３０】
この実施の形態２においても、ニュートラルゾーンＮＺに沿う方向に配された孔５１の列によって、ヨーク板１に着磁磁束が分流する現象の抑制や、ヨーク板１に発生する渦電流の抑制、これに伴う逆磁界の減少等が可能であり、実施の形態１と実質的に同様の作用効果を得ることができる。
【００３１】
図５（Ｂ）は本発明の実施の形態３であって、図４のニュートラルゾーンＮＺに沿う方向の凹溝５０の代わり、ニュートラルゾーンＮＺにほぼ直交する方向（ニュートラルゾーンを横切る方向）の凹溝５２をヨーク板１に設けた構成を示す。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００３２】
この実施の形態３においては、ニュートラルゾーンＮＺを横切る方向の凹溝５２が着磁処理時にヨーク板１の渦電流が多く発生する領域を分断するように横切るため、ヨーク板１に発生する渦電流の抑制を効果的に行うことができ、これに伴う逆磁界の減少等が可能であり、実施の形態１と実質的に同様の作用効果を得ることができる。
【００３３】
図５（Ｃ）は本発明の実施の形態４であって、図４のニュートラルゾーンＮＺに沿う方向の凹溝５０に加えて、ニュートラルゾーンＮＺを横切る方向の凹溝５３をヨーク板１に付加した構成を示す。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００３４】
この実施の形態４においては、凹溝５０がニュートラルゾーンＮＺに沿うとともに、ニュートラルゾーンＮＺを横切る方向の凹溝５３がヨーク板１の渦電流が多く発生する領域を部分的に横切るため、ヨーク板１に着磁磁束が分流する現象の抑制や、ヨーク板１に発生する渦電流の抑制を効果的に行うことができ、これに伴う逆磁界の減少等が可能であり、実施の形態１と同等若しくはそれ以上の効果を得ることができる。
【００３５】
図６（Ａ）は本発明の実施の形態５であって、実施の形態１のヨーク板１が長方形で、平板状永久磁石２の外形も長方形であるのに対し、外形が略扇形状のヨーク板６１及び永久磁石材６２Ａ（着磁処理後、永久磁石６２となる）を用いている。そして、略扇形状永久磁石６２のニュートラルゾーンＮＺに沿う方向の凹溝７０をヨーク板６１に設けている。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００３６】
この実施の形態５においても、ニュートラルゾーンＮＺに沿う方向に略扇形状ヨーク板６１に形成された凹溝７０によって、ヨーク板６１に着磁磁束が分流する現象の抑制や、ヨーク板６１に発生する渦電流の抑制、これに伴う逆磁界の減少等が可能であり、実施の形態１と実質的に同様の作用効果を得ることができる。
【００３７】
図６（Ｂ）は本発明の実施の形態６であって、図６（Ａ）のニュートラルゾーンＮＺに沿う方向の凹溝７０の代わり、ニュートラルゾーンＮＺに沿う方向に配された孔７１の列を略扇形状ヨーク板６１に設けた構成を示す。その他の構成は実施の形態５と同様である。
【００３８】
この実施の形態６においても、ニュートラルゾーンＮＺに沿う方向に配された孔７１の列によって、略扇形状ヨーク板６１に着磁磁束が分流する現象の抑制や、ヨーク板６１に発生する渦電流の抑制、これに伴う逆磁界の減少等が可能であり、実施の形態５と実質的に同様の作用効果を得ることができる。
【００３９】
図６（Ｃ）は本発明の実施の形態７であって、図６（Ａ）のニュートラルゾーンＮＺに沿う方向の凹溝７０の代わり、ニュートラルゾーンＮＺを横切る円弧方向（ニュートラルゾーンを横切る方向）の凹溝７２を略扇形状ヨーク板６１に設けた構成を示す。その他の構成は実施の形態５と同様である。
【００４０】
この実施の形態７においては、ニュートラルゾーンＮＺを横切る方向の凹溝７２が略扇形状ヨーク板６１の渦電流が多く発生する領域を分断するように横切るため、ヨーク板６１に発生する渦電流の抑制を効果的に行うことができ、これに伴う逆磁界の減少等が可能であり、実施の形態５と実質的に同様の作用効果を得ることができる。
【００４１】
なお、本発明の実施の形態１，３，４，５，７における断面方形の凹溝の代わりに、図７（Ａ）に断面が示されるＵ溝８０、同図（Ｂ）に断面が示されるＶ溝８１、さらには同図（Ｃ）のように複数本（２本）の小溝８２をヨーク板１に形成する構成としてもよい。また、所定方向に連続した凹溝の代わりに、図７（Ｄ）のように所定方向に配列された孔８３（例えば貫通孔）の列をヨーク板１の所定方向に形成する構成としてもよい。
【００４２】
また、本発明の各実施の形態では、ヨーク板の着磁ヨークに対面する側に溝を設けたが、永久磁石材を固定する側に溝を設けてもよい。あるいは、ヨーク板の両面（両側）に溝を設ける構成でもよい。両面に溝を設ける場合、片面はニュートラルゾーンに沿う溝とし、他面はニュートラルゾーンを横断する溝としてもよい。
【００４３】
さらに、本発明の実施の形態１のＶＣＭ装置では、対向する一対のヨーク板と、前記一対のヨーク板の対向面のそれぞれに固定された永久磁石とを有する磁気回路構成を図１で示したが、一対のヨーク板の対向面の少なくとも一方に永久磁石が固定された磁気回路構成であればよい。
【００４４】
以下、本発明を実施例で詳述する。
【実施例１】
【００４５】
鉄板製のヨーク板の外形を縦３３ｍｍ、横７０ｍｍの略方形とし、厚みを３．０ｍｍに設定した。このヨーク板にニュートラルゾーンに沿う凹溝（断面方形）を幅１．０ｍｍ、深さ２．５ｍｍで形成した。凹溝によって、ヨーク板に流れる着磁磁束を減じ、また極間に発生する渦電流を減少させることができた。
【００４６】
図８（Ａ）のように、着磁ヨーク１０，２０を備える着磁手段（図３と同構成）において、上記凹溝付きのヨーク板１の片面に、永久磁石材と同じ厚みの非磁性スペーサ８０を用い、ヨーク板１と着磁ヨーク２０との間にギャップを形成し、着磁ヨーク１０にヨーク板の凹溝形成面側を当接し、着磁ヨークのポールピース１１と２１（又は１２と２２）を通る中心線上でヨーク板１の磁石接着面側にプローブを置いて空隙中磁束密度Ｂｇを測定した。
【００４７】
測定結果は、図８（Ｂ）の表の実施例１の欄、及び同図（Ｃ）のグラフの実施例１の線で示される。なお、図８（Ｂ）の表の左欄は、コンデンサ着磁器の充電電圧及び放電電流（カッコ内）を示す。
【実施例２】
【００４８】
実施例１と同じ材質、外形及び厚みのヨーク板にニュートラルゾーンを横切る方向に凹溝（断面方形）を幅１．０ｍｍ、深さ２．５ｍｍで形成した。凹溝によって渦電流発生領域を狭くすることができ、渦電流を低減できた。また、着磁した永久磁石には、前記凹溝に沿って磁極の弱まっている部分が見られたが特性上問題は発生しない程度の変動であった。
【００４９】
実施例１と同様に、図８（Ａ）の構成で空隙中磁束密度Ｂｇを測定した。測定結果は、図８（Ｂ）の表の実施例２の欄、及び同図（Ｃ）のグラフの実施例２の線で示される。
【００５０】
従来例としては、実施例１と同じ材質、外形及び厚みのヨーク板で溝の無いものを用い、図８（Ａ）の構成で空隙中磁束密度Ｂｇを測定した。測定結果は、図８（Ｂ）の表の従来例の欄、及び同図（Ｃ）のグラフの従来例の線で示される。
【００５１】
実施例１のニュートラルゾーンに沿う凹溝、及び実施例２のニュートラルゾーンを横切る凹溝を形成した場合には、いずれも溝の無い従来例と比較して５％程度以上、充電電圧（及び放電電流）が低い場合では、１０％程度のＢｇ値の向上が見られた。
【００５２】
以上本発明の実施の形態及び実施例について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施の形態１であって、ＶＣＭ装置を示す正面図である。
【図２】同じくＶＣＭ装置を示す平面図である。
【図３】本発明の実施の形態１であって、ＶＣＭ装置に用いる永久磁石の着磁方法を示す正断面図である。
【図４】同じくヨーク板の上方よりみた平面図である。
【図５】本発明の別の実施の形態であって、（Ａ）は実施の形態２、（Ｂ）は実施の形態３、（Ｃ）は実施の形態４におけるヨーク板等の構成を示す平面図である。
【図６】本発明のさらに別の実施の形態であって、（Ａ）は実施の形態５、（Ｂ）は実施の形態６、（Ｃ）は実施の形態７におけるヨーク板等の構成を示す平面図である。
【図７】各実施の形態における凹溝の代わりになる溝又は孔であって、（Ａ）はＵ溝、（Ｂ）はＶ溝、（Ｃ）は複数本の小溝、（Ｄ）は孔をそれぞれ示す断面図である。
【図８】本発明の実施例１，２及び従来例の場合の空隙中磁束密度Ｂｇの測定方法及び測定結果であり、（Ａ）は測定方法の正断面図、（Ｂ）は測定結果の表、（Ｃ）は測定結果のグラフである。
【図９】従来のＶＣＭ装置用永久磁石の着磁方法であって、（Ａ）は着磁方法を示す正断面図、（Ｂ）は着磁された永久磁石を駆動用コイル対向面側から見た底面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１，６１  ヨーク板
２，６２  永久磁石
２Ａ，６２Ａ  永久磁石材
５  駆動用コイル
６  キャリアアーム
７  サイドプレート
１０，２０  着磁ヨーク
１１，１２，２１，２２  ポールピース
３１，３２，４１，４２  着磁コイル
５０，５２，５３，７０，７２  凹溝
５１，７１，８３  孔
８０  Ｕ溝
８１  Ｖ溝
８２  小溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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