(57)【要約】【課題】使用者が使い易く、安価で小型化された変位計などの検出装置を提供する。【解決手段】７セグメントＬＥＤ４２は、対象物の測定値等を表示する。バー表示部４３は、測定値が許容範囲のどの位置に入っているかという入り度合いを表示する発光ダイオード（ＬＥＤ）等からなる複数のバー（セグメント）４３ａ、上限値表示部４３ｂ、および下限値表示部４３ｃを含む。使用者により設定された許容範囲の上限値および下限値から、使用者が暗に望むある程度の分解能を予測することができる。そこで、本発明では、各バー４３ａの分解能を、（上限値−下限値）／個数により定義する。なお、上記個数とは、上限値表示部４３ｂと下限値表示部４３ｃとの間にあるバー４３ａの個数を示す。【選択図】図５
2007192791.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の物理的変位量を測定する変位計であって、
対象物の物理的変位量の測定値を得る測定手段と、
対象物の物理的変位量の良否の判定のための上限値および下限値を有する許容範囲を設定する設定手段と、
前記設定手段により設定された許容範囲を表示する表示手段と、
前記設定手段により設定された許容範囲の上限値および下限値から前記表示手段の表示分解能を算出する算出手段と、
前記算出手段により算出された表示分解能に基づいて、前記表示手段により表示される許容範囲に対して前記測定手段により得られた測定値の位置関係を表示させる制御手段とを備えたことを特徴とする変位計。
【請求項２】
前記表示手段は、複数の表示単位の配列と、前記複数の表示単位のうち許容範囲に対応する表示単位の範囲を表示する許容範囲表示部とを含み、
前記算出手段は、前記設定手段により設定された許容範囲の上限値および下限値との差および前記許容範囲表示部により表示された範囲内の表示単位の数から表示単位の表示分解能を算出することを特徴とする請求項１記載の変位計。
【請求項３】
前記複数の表示単位の配列は複数の発光素子の配列を含むことを特徴とする請求項２記載の変位計。
【請求項４】
前記制御手段は、前記算出手段により算出された表示分解能および前記設定手段により設定された許容範囲の上限値または下限値に基づいて、前記複数の表示単位において前記測定手段により得られた測定値に対応する位置を示すように前記表示手段を制御することを特徴とする請求項２または３記載の変位計。
【請求項５】
前記測定手段は、
対象物に接触することにより変位する接触子と、
前記接触子の変位量を電気信号に変換する変換手段と、
前記変換手段に得られる電気信号を対象物の物理的変位量の測定値として取得する取得手段とを含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の変位計。
【請求項６】
対象物からの物理量を測定する検出装置であって、
対象物からの物理量により測定値を得る測定手段と、
前記測定手段により得られた測定値を用いた良否判定のための上限値および下限値を有する許容範囲を設定する設定手段と、
前記設定手段により設定された許容範囲の上限値および下限値から表示分解能を算出する算出手段と、
前記算出手段により算出された表示分解能に基づいて、前記設定手段により設定された許容範囲に対して前記測定手段により得られた測定値の位置関係を表示させる表示指令を出力する制御手段と、
前記制御手段の表示指令に応じて、前記測定手段により得られた測定値の表示を行う表示手段と、
を備えたことを特徴とする検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物からの物理量を測定する検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物の物理量を測定する検出装置において、例えば接触式変位計は、対象物の表面に当接されるとともに軸方向に変位可能な接触子（可動部）およびトランスを有する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記トランスは、接触子に連動するコアを備える。このコアが接触子の変位に応じて変位することにより、接触子の変位量に対応してトランスから出力される信号のレベルが変化する。このような構成において、対象物の物理的変位量が電気量に変換されることにより、当該対象物の高さ等の物理的変位量が測定される。
【０００４】
接触式変位計は、一般的に、トランスを含むヘッド部と当該ヘッド部を制御する本体部とからなる（例えば、特許文献２参照）。この本体部にはＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）等の外部装置から外部信号が入力される。それにより、外部信号の入力タイミングで対象物の物理的変位量が測定される。
【０００５】
そして、測定値が予め定められた上限値と下限値とからなる許容範囲内にあるか、または許容範囲外にあるかが判定され、当該判定結果が外部装置等に出力される。
【０００６】
ここで、接触式変位計の本体部には、各種表示を行うための表示部が設けられている。この表示部は、測定値が許容範囲のどの位置に入っているかという入り度合いを発光ダイオード（ＬＥＤ）等からなる複数のバーにより表示するバー表示部を有する。使用者は、測定値が下限値または上限値付近の値であるのか、あるいは許容範囲内の測定値の位置に余裕があるのか等をバー表示部により容易に認識することができる。
【特許文献１】特開２０００−９４１２号公報
【特許文献２】特開２００２−１３１０３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の変位計に代表される検出装置においては、接触式変位計のフルスケールを上記複数のバーの全てを用いて点灯により表示していた。
【０００８】
このような場合、測定範囲のフルスケールを変更せずに、バー表示部による表示の分解能を高めたい場合、ＬＥＤ等をさらに設ける必要があった。また、分解能を維持したまま測定範囲のフルスケールを大きくする場合においても、ＬＥＤ等をさらに設ける必要があった。
【０００９】
これらにより、接触式変位計に代表される検出装置の小型化および低コスト化を実現することが困難であった。
【００１０】
本発明の目的は、使用者が使い易く、安価で小型化された検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る変位計は、対象物の物理的変位量を測定する変位計であって、対象物の物理的変位量の測定値を得る測定手段と、対象物の物理的変位量の良否の判定のための上限
値および下限値を有する許容範囲を設定する設定手段と、設定手段により設定された許容範囲を表示する表示手段と、設定手段により設定された許容範囲の上限値および下限値から表示手段の表示分解能を算出する算出手段と、算出手段により算出された表示分解能に基づいて、表示手段により表示される許容範囲に対して測定手段により得られた測定値の位置関係を表示させる制御手段とを備えたものである。
【００１２】
本発明に係る変位計においては、対象物の物理的変位量の測定値が測定手段により得られる。対象物の物理的変位量の良否の判定のための上限値および下限値を有する許容範囲が設定手段により設定される。設定手段により設定された許容範囲は表示手段により表示される。
【００１３】
また、設定手段により設定された許容範囲の上限値および下限値から表示手段の表示分解能が算出手段により算出される。そして、算出手段により算出された表示分解能に基づいて、上記許容範囲に対して上記測定値の位置関係が制御手段によって表示手段に表示される。
【００１４】
このように、本発明に係る変位計では、設定手段により設定された許容範囲の上限値および下限値から表示手段の表示分解能が設定されることにより、使用者が対象物の物理的変位量の良否判定のための許容範囲を任意に設定することができる。
【００１５】
また、変位計の測定範囲のフルスケールを変更せずに、表示手段の表示分解能を高めること、あるいは、表示分解能を維持したまま変位計の測定範囲のフルスケールを大きくすることが可能となる。それにより、ＬＥＤ等の発光素子を新たに設ける必要がない。
【００１６】
これらの結果、使用者にとって使い易く、安価で小型化された接触式変位計を得ることができる。
【００１７】
表示手段は、複数の表示単位の配列と、複数の表示単位のうち許容範囲に対応する表示単位の範囲を表示する許容範囲表示部とを含み、算出手段は、設定手段により設定された許容範囲の上限値および下限値との差および許容範囲表示部により表示された範囲内の表示単位の数から表示単位の表示分解能を算出してもよい。
【００１８】
この場合、許容範囲に対する測定値の位置関係が複数の表示単位により表示される。複数の表示単位のうち許容範囲に対応する表示単位の範囲が許容範囲表示部により表示される。
【００１９】
また、設定手段により設定された許容範囲の上限値および下限値との差、および許容範囲表示部により表示された範囲内の表示単位の数から表示単位の表示分解能が算出手段により算出される。
【００２０】
このような構成により、使用者は設定手段を用いて許容範囲の上限値および下限値を設定することによって、適切な表示分解能を自動的に得ることができる。
【００２１】
複数の表示単位の配列は複数の発光素子の配列を含んでもよい。この場合、許容範囲に対する測定値の位置関係が複数の発光素子により表示される。
【００２２】
制御手段は、算出手段により算出された表示分解能および設定手段により設定された許容範囲の上限値または下限値に基づいて、複数の表示単位において測定手段により得られた測定値に対応する位置を示すように表示手段を制御してもよい。
【００２３】
この場合、表示分解能と許容範囲の上限値または下限値とに基づいて、複数の表示単位において測定値に対応する位置が表示手段に示される。それにより、使用者は、許容範囲に対する測定値の位置を表示手段により容易に把握することができる。
【００２４】
測定手段は、対象物に接触することにより変位する接触子と、接触子の変位量を電気信号に変換する変換手段と、変換手段に得られる電気信号を対象物の物理的変位量の測定値として取得する取得手段とを含んでもよい。
【００２５】
この場合、接触子は対象物に接触することにより変位する。接触子の変位量は変換手段により電気信号に変換される。また、変換手段により得られる電気信号は、対象物の物理的変位量の測定値として取得手段により取得される。このような構成により、対象物の正確な物理的変位量を得ることができる。また本発明に係る検出装置は対象物からの物理量を測定する検出装置であって、対象物からの物理量により測定値を得る測定手段と、測定手段により得られた測定値を用いた良否判定のための上限値および下限値を有する許容範囲を設定する設定手段と、設定手段により設定された許容範囲の上限値および下限値から表示分解能を算出する算出手段と、算出手段により算出された表示分解能に基づいて、設定手段により設定された許容範囲に対して測定手段により得られた測定値の位置関係を表示させる表示指令を出力する制御手段と、制御手段の表示指令に応じて測定値の表示を行う表示手段とを備えたものである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、使用者にとって使い易く、安価で小型化された検出装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態に係る検出装置について図面を参照しながら説明する。なお、以下においては、第１の実施形態として接触式変位計について、はじめに説明し、発明の効果を述べた後、本発明のその他の実施形態について説明する。
【００２８】
（１）接触式変位計の全体構成
図１は、本実施の形態に係る接触式変位計の構成を示すブロック図である。
【００２９】
図１に示すように、本実施の形態に係る接触式変位計１００は、ヘッド部１００Ａおよび本体部１００Ｂを備える。なお、図１では図示していないが、本体部１００Ｂは、後述の表示部３２を有する。表示部３２の詳細については後述する。
【００３０】
ヘッド部１００Ａおよび本体部１００Ｂは互いにケーブル８０により接続されている。また、本体部１００Ｂはケーブル８１を介して図示しない外部装置に接続される。
【００３１】
図２は、図１のヘッド部１００Ａの構成を示すブロック図であり、図３は、図１の本体部１００Ｂの構成を示すブロック図である。
【００３２】
図２に示すように、ヘッド部１００Ａは、トランス１、伸縮可能で対象物に当接される接触子１ａ、トランス駆動回路２、信号検出回路３、アンプ回路４、ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable and Programmable Read Only Memory）５、表示灯制御回路６、表示
灯７、電源回路８、コンパレータ９、およびスイッチ１０を備える。
【００３３】
また、図３に示すように、本体部１００Ｂは、ＣＰＵ２０、ＰＷＭ（パルス幅変調）出力回路２１、第１のフィルタ回路２２、第２のフィルタ回路２３、Ａ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換器２４、通信インターフェース２５、電源回路２６、ドライブ回路２７、第１〜第３の入力回路２８ａ，２８ｂ，２８ｃ、過電流検知回路２９、第１〜第３の出力回路３０ａ，３０ｂ，３０ｃ、ＥＥＰＲＯＭ３１、表示部３２、表示パネル３３、入力部３４、および接続部５０を備える。
【００３４】
ヘッド部１００Ａと本体部１００Ｂとの間における信号の送受信は、ケーブル８０を介して行われる。この場合、ヘッド部１００Ａに接続されたケーブル８０は、本体部１００Ｂの接続部５０に接続される。
【００３５】
図３において、まず、ＣＰＵ２０は、トランス１を作動させるための矩形波パルス信号をＰＷＭ出力回路２１に与える。ＰＷＭ出力回路２１は、矩形波パルス信号を正弦波信号に変換する。第１のフィルタ回路２２は、正弦波信号のノイズを除去し、その正弦波信号を図２のトランス駆動回路２に与える。
【００３６】
トランス駆動回路２は、正弦波信号に応答して正弦波電流をトランス１に与える。トランス１の構成および動作の詳細については後述する。
【００３７】
続いて、トランス１は、２つの電圧信号（後述）を信号検出回路３に与える。信号検出回路３は、上記２つの電圧信号を互いに減算し、差分電圧をアンプ回路４に与える。
【００３８】
アンプ回路４は、インピーダンス変換を行うとともに、差分電圧を第２のフィルタ回路２３（図３）に与える。第２のフィルタ回路２３は、差分電圧を直流電圧に変換し、その直流電圧をＡ／Ｄ変換器２４に与える。
【００３９】
Ａ／Ｄ変換器２４は、直流電圧をデジタル値に変換し、変換結果を物理的変位量の測定値としてＣＰＵ２０に与える。ＣＰＵ２０は、与えられた測定値に基づいて表示部３２およびドライブ回路２７等を制御する。
【００４０】
本体部１００Ｂの通信インターフェース２５を介して、他の接触式変位計の本体部、パーソナルコンピュータ、またはＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）（それぞれ図示せず）等の外部装置との間で信号の送受信を行うことができる。例えば、本体部１００Ｂに関する情報をＰＬＣに取り込みたい場合に、上記通信インターフェース２５を介してＰＬＣと情報の送受信が行われる。
【００４１】
本体部１００Ｂの電源回路２６は、例えば２４Ｖの図示しない外部の直流電源に接続されており、ヘッド部１００Ａの電源回路８を介してヘッド部１００Ａの各構成部に電力を供給するとともに本体部１００Ｂの各構成部に電力を供給する。
【００４２】
ドライブ回路２７は、ヘッド部１００Ａの表示灯７を点灯または点滅させるために必要な電流をスイッチ１０を介して表示灯制御回路６に供給する。
【００４３】
ここで、ＣＰＵ２０は、本体部１００Ｂの電源回路２６を介してヘッド部１００Ａの電源回路８の電圧レベルを切り替えることができる。この電圧レベルは、起動時に行う通信モード時の例えば８．５Ｖと、通常動作モード時の例えば６．５Ｖとを含む。
【００４４】
通信モードとは、ＣＰＵ２０がヘッド部１００ＡのＥＥＰＲＯＭ５に記憶されている補正情報を受信するモードをいい、通常動作モードとは、ＣＰＵ２０がヘッド部１００Ａの表示灯制御回路６を制御することにより、表示灯７の点灯または点滅の動作が行われるモードをいう。なお、ＥＥＰＲＯＭ５に記憶されている上記補正情報については後述する。
【００４５】
ヘッド部１００Ａのコンパレータ９は、ＣＰＵ２０による電源回路８の電圧レベルの切り替えに基づいて、当該電圧レベルが８．５Ｖである場合には、スイッチ１０をＥＥＰＲＯＭ５側に接続する。一方、コンパレータ９は、上記電圧レベルが６．５Ｖである場合には、スイッチ１０を表示灯制御回路６側に接続する。このような構成により、接触式変位計１００において通信モードと通常動作モードとが切り替えられる。
【００４６】
第１〜第３の入力回路２８ａ，２８ｂ，２８ｃは、外部から入力される所定の信号をＣＰＵ２０に与える。所定の信号とは、例えば測定開始を指示するためのタイミング信号、基準位置を設定するためのプリセット信号等をいう。
【００４７】
第１〜第３の出力回路３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、ＣＰＵ２０がヘッド部１００Ａからの差分電圧に応じて得られた対象物の物理的変位量および予め設定された上限値および下限値からなる許容範囲に基づいて、外部に信号をそれぞれ出力することができる。
【００４８】
具体的には、例えば、第１の出力回路３０ａは、対象物の物理的変位量が許容範囲の上限値を超えている場合に、所定レベル（「Ｈ」レベルまたは「Ｌ」レベル）の判定信号を出力する。また、第２の出力回路３０ｂは、対象物の物理的変位量が許容範囲の下限値を下回っている場合に、所定レベル（「Ｈ」レベルまたは「Ｌ」レベル）の判定信号を出力する。さらに、第３の出力回路３０ｃは、対象物の物理的変位量が許容範囲内にある場合に、所定レベル（「Ｈ」レベルまたは「Ｌ」レベル）の判定信号を出力する。
【００４９】
過電流検知回路２９は、第１〜第３の出力回路３０ａ，３０ｂ，３０ｃに定格電流値以上の電流が流れたか否かをモニタする。第１〜第３の出力回路３０ａ，３０ｂ，３０ｃのいずれかに定格電流値以上の電流が流れた場合、過電流検知回路２９は当該出力回路を一時的にオフの状態にする。その後、ＣＰＵ２０は定期的に当該出力回路をオンの状態にし、過電流検知回路２９は当該出力回路のモニタを継続する。
【００５０】
本体部１００ＢのＥＥＰＲＯＭ３１は、補正情報を記憶する。この補正情報については後述する。
【００５１】
表示部３２は、ＣＰＵ２０の制御により、対象物の物理的変位量等を表示する。表示部３２は、表示パネル３３および入力部３４を含む。表示パネル３３および入力部３４の詳細については図面を参照しながら後述する。リセット回路３５は、使用者の操作に基づいてＣＰＵ２０にリセット信号を与えることにより、ＣＰＵ２０を初期状態にリセットする。
【００５２】
ここで、接触子１ａの使用頻度が高くなった場合等、ヘッド部１００Ａは故障することが比較的多い。このような場合、本体部１００Ｂはそのまま使用し、ヘッド部１００Ａは新しいものに交換する。
【００５３】
まず、本体部１００Ｂに新しいヘッド部１００Ａ（以下、単にヘッド部１００Ａと呼ぶ）を取り付ける。本体部１００ＢのＣＰＵ２０は、通信モードでヘッド部１００ＡのＥＥＰＲＯＭ５と通信を行う。
【００５４】
ＥＥＰＲＯＭ５は、ヘッド部１００Ａの補正情報（以下、ヘッド補正情報と呼ぶ）および後述する検査用のマスター本体部の補正情報（以下、マスター補正情報と呼ぶ）を記憶する。
【００５５】
ヘッド補正情報とは、対象物の物理的変位量と本体部１００ＢのＡ／Ｄ変換器２４からの出力値との関係（以下、変位−出力テーブルと呼ぶ）におけるばらつきを補正するための情報である。
【００５６】
また、マスター補正情報とは、上記ヘッド補正情報を得るために使用した検査用のマスター本体部の変位−出力テーブルにおけるばらつきを補正するための情報である。
【００５７】
ＣＰＵ２０は、ＥＥＰＲＯＭ５と通信を行うことにより、上記のマスター補正情報を取得する。次に、ＣＰＵ２０は、本体部１００ＢのＥＥＰＲＯＭ３１と通信を行う。
【００５８】
ＥＥＰＲＯＭ３１は、本体部１００Ｂの補正情報（以下、本体補正情報と呼ぶ）を記憶
する。
【００５９】
本体補正情報とは、本体部１００Ｂの第２のフィルタ回路２３により変換された直流電圧のレベルとＡ／Ｄ変換器２４からの出力値との関係におけるばらつきを補正するための情報である。
【００６０】
ＣＰＵ２０は、ＥＥＰＲＯＭ３１と通信を行うことにより、上記の本体補正情報を取得する。そして、ＣＰＵ２０は、取得した本体補正情報とマスター補正情報とに基づいて、基準となる検査用のマスター本体部を用いた状態と同じ状態、すなわち、Ａ／Ｄ変換器２４の出力値から対象物の正確な物理的変位量を認識できる状態をつくる。
【００６１】
その後、ＣＰＵ２０は、ＥＥＰＲＯＭ５と通信を行うことにより上記のヘッド補正情報を取得することによって、第２のフィルタ回路２３の直流電圧のレベルとＡ／Ｄ変換器２４の出力値との関係を正確に認識できる状態をつくる。これにより、ヘッド部１００Ａを交換した場合でも、本体部１００Ｂを基準となるマスター本体部と同じ状態にすることができ、対象物の適切な物理的変位量を得ることができる。
【００６２】
（２）トランスの構成
続いて、ヘッド部１００Ａのトランス１の詳細な構成について図面を参照しながら説明する。
【００６３】
図４は、トランス１の詳細な構成を示す模式図である。
【００６４】
図４に示すように、トランス１は、１次側コイル１ｂ、２次側コイル１ｃ、１次側抵抗１ｄ、２次側抵抗１ｅ、および磁性体からなるコアＣを含む。コアＣは、接触子１ａに連動して１次側コイル１ｂおよび２次側コイル１ｃ内に往復移動可能に設けられる。
【００６５】
１次側コイル１ｂの一端はトランス駆動回路２に接続され、その他端は信号検出回路３に接続される。２次側コイル１ｃの一端は接地され、その他端は信号検出回路３に接続される。１次側コイル１ｂと２次側コイル１ｃの捲き方向は互いに逆向きである。
【００６６】
１次側コイル１ｂと信号検出回路３との間のノードＮ１に１次側抵抗１ｄの一端が接続され、その他端は接地される。２次側コイル１ｃと信号検出回路３との間のノードＮ２に２次側抵抗１ｅの一端が接続され、その他端は接地される。
【００６７】
このような構成において、トランス駆動回路２から正弦波電流が１次側コイル１ｂに流れると、これに伴って２次側コイル１ｃに誘導電流が流れる。この場合、１次側抵抗１ｄに電圧降下が生じるとともに２次側抵抗１ｅにも電圧降下が生じる。１次側抵抗１ｄの一端のノードＮ１の電圧および２次側抵抗１ｅの一端のノードＮ２の電圧が信号検出回路３に与えられる。
【００６８】
このように、２次側コイル１ｃに誘導電流が流れる状態でコアＣを移動させると、１次側コイル１ｂと２次側コイル１ｃとの相互インダクタンスが変化する。それにより、コアＣの位置に依存してノードＮ２の電圧が変化する。
【００６９】
信号検出回路３は、ノードＮ１の電圧とノードＮ２の電圧との差分電圧を算出し、当該差分電圧をアンプ回路４に与える。このような構成により、接触子１ａの移動量を差分電圧に変換することによって、対象物の物理的変位量を検出することができる。
【００７０】
また、本実施の形態では、１次側コイル１ｂと２次側コイル１ｃの捲き方向が逆向きと
なっているので、１次側コイル１ｂおよび２次側コイルの抵抗成分が互いに打ち消される。このように、温度により変動する特性を有する抵抗成分を打ち消すことにより、接触式変位計１００の使用場所の温度変化の影響を受けることなく正確な上記差分電圧を得ることができる。その結果、対象物の正確な物理的変位量を得ることができる。
【００７１】
（３）表示部の構成
次に、本体部１００Ｂの表示部３２の構成について図面を参照しながら説明する。
【００７２】
図５は、本体部１００Ｂの表示部３２の構成を示す模式図である。
【００７３】
図５に示すように、本体部１００Ｂの表示部３２は表示パネル３３および入力部３４を備える。
【００７４】
表示パネル３３は、３つの出力表示灯４１、７セグメントＬＥＤ４２およびバー表示部４３を含む。また、入力部３４は、モードキー４４、セットキー４５および十字キー４６を含む。
【００７５】
使用者は、測定値等を表示する通常モードにおいてモードキー４４を例えば３秒以上押下することにより、通常モードから設定モードに移行させることができ、設定メニューを７セグメントＬＥＤ４２に表示させることができる。
【００７６】
また、使用者は、十字キー４６を左右に操作することにより設定メニューの設定項目を変更することができ、十字キー４６を上下に操作することにより設定項目の値を変更することができる。さらに、使用者は、セットキー４５を押下することにより当該設定項目の値を確定することができる。上記の設定項目には、許容範囲を定めるための上限値および下限値等がある。
【００７７】
７セグメントＬＥＤ４２は、対象物の測定値等を表示し、出力表示灯４１の一つは、測定値が上限値を上回っている場合に点灯（ＨＩ点灯）し、出力表示灯４１の他の一つは、測定値が許容範囲内に入っている場合に点灯（ＧＯ点灯）し、出力表示灯４１のさらに他の一つは、測定値が下限値を下回っている場合に点灯（ＬＯ点灯）する。
【００７８】
バー表示部４３は、測定値が許容範囲のどの位置に入っているかという入り度合いを表示する発光ダイオード（ＬＥＤ）等からなる複数のバー（セグメント）４３ａ（図５の例では１３個）、上限値表示部４３ｂおよび下限値表示部４３ｃを含む。
【００７９】
使用者は、測定値が下限値または上限値付近の値であるのか、あるいは許容範囲内の測定値の位置に余裕があるのか等をバー表示部４３により容易に認識することができる。
【００８０】
一般的に、使用者が対象物の物理的変位量の大まかな判定を行う場合、すなわち使用者により設定された上限値と下限値との差が大きい場合、バー表示部４３のバー４３ａに求められる分解能は高くはない。一方、使用者が対象物の物理的変位量の厳密な判定を行う場合、すなわち使用者により設定された上限値と下限値との差が小さい場合、バー表示部４３のバー４３ａに求められる分解能は高くなる。ここで、分解能は、１つのバー４３ａに割り当てられた測定値の範囲をいう。
【００８１】
このように、使用者により設定された上限値および下限値から、使用者が暗に望むある程度の分解能を予測することができる。
【００８２】
そこで、本実施の形態では、各バー４３ａの分解能を下記式のように定める。
【００８３】
分解能＝（上限値−下限値）／個数  ・・・（１）
なお、上式（１）において、個数とは上限値表示部４３ｂと下限値表示部４３ｃとの間にあるバー４３ａの個数である。図５の例では、上式（１）における個数は初期設定として７となっている。なお、上記個数は使用者による設定により変更してもよく、個数７を例えば個数５に設定してもよい。
【００８４】
例えば、使用者により設定された上限値および下限値がそれぞれ０．７ｍｍおよび０．０ｍｍである場合、上式（１）より各バー４３ａの分解能は０．１となる。また、使用者により設定された上限値および下限値がそれぞれ２．８ｍｍおよび０．０ｍｍである場合、上式（１）より各バー４３ａの分解能は０．４となる。
【００８５】
上記のように設定されたバー４３ａの分解能は本体部１００ＢのＥＥＰＲＯＭ３１に記憶される。
【００８６】
対象物の測定時には、ＣＰＵ２０は、上記の方法で設定された分解能に基づいてバー表示部４３の表示を制御する。この場合、ＣＰＵ２０は、次式により点灯すべきバー４３ａの個数（点灯数）を算出する。
【００８７】
点灯数＝（測定値−下限値）／分解能＋Ｋ  ・・・（２）
上式（２）において、Ｋは下限値表示部４３ｃより右側のバー４３ａの個数である。ＣＰＵ２０は、上式（２）により算出された点灯数のバー４３ａをバー表示部４３の左端から点灯させる。
【００８８】
（４）ＣＰＵによる分解能設定処理
次に、ＣＰＵ２０による分解能設定処理についてフローチャートを参照しながら説明する。
【００８９】
図６は、ＣＰＵ２０による分解能設定処理を示すフローチャートである。
【００９０】
図６に示すように、まず、ＣＰＵ２０は使用者により上限値および下限値が設定された否かを判別する（ステップＳ１）。使用者により上限値および下限値が設定された場合、ＣＰＵ２０は上式（１）から各バー４３ａの分解能を設定する（ステップＳ２）。使用者により上限値および下限値が設定されていない場合、ＣＰＵ２０は上限値および下限値が設定されるまで待機する。
【００９１】
また、図６に示す分解能設定処理の他の例としては、以下のようなものがある。本実施の形態に係る接触式変位計１００を工場等から出荷する際に、製造者により上限値および下限値の各初期値がそれぞれ設定される。この場合、使用者がその上限値および下限値の各初期値を変更しない限り、当該各初期値が設定値として用いられる。また、使用者により上記各初期値が変更された場合には、当該変更値が新たな上限値および下限値として設定される。
【００９２】
（５）本実施の形態における効果
本実施の形態の接触式変位計１００では、使用者により設定された許容範囲の上限値および下限値に基づいてバー表示部４３の各バー４３ａの分解能が自動的に設定される。それにより、使用者が対象物の物理的変位量の許容範囲を任意に設定することができる。
【００９３】
また、接触式変位計１００の測定範囲のフルスケールを変更せずに、バー４３ａの分解能を高めること、あるいは、分解能を維持したまま接触式変位計１００の測定範囲のフル
スケールを大きくすることが可能となる。それにより、ＬＥＤ等の発光素子を新たに設ける必要がない。
【００９４】
これらの結果、使用者にとって使い易く、安価で小型化された接触式変位計を得ることができる。
【００９５】
（６）他の実施形態
本発明の変位計は、レーザ光を用いた光学式変位計や光電センサ、流量センサ、圧力センサ、超音波センサ、放射温度センサ、近接センサ、歪みセンサにも適用することが可能である。以下に、それぞれの実施形態の詳細を述べる。
【００９６】
（７）ヘッドアンプ一体型光電センサにおける本発明の第２の実施形態
図７は、本発明の第２の実施形態に係る光電センサの１例であり、（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。図８は、そのブロック図である。図８に示すように本実施の形態に係る光電センサ２００は、いわゆるヘッドアンプ一体型となっているが、他の実施例としては、後述するヘッド・アンプ分離型にも適用可能である。なお、図７には示していないが、光電センサ２００は、第１の実施形態で述べた表示部３２と同様の表示部２３０を有している。この動作は、第１の実施形態で述べたとおりである。
【００９７】
光電センサ２００は、図示しないケーブル２５２により第１の実施形態で述べた外部装置等に接続される。
【００９８】
図８に示すように、光電センサ２００は、制御部２１０、投光処理部２１２、投光部２１４、受光部２１６、増幅部２１８、Ａ／Ｄ変換部２２０、表示部２３０、記憶部２６０、外部入出力部２７０、設定部２８０を備える。
【００９９】
図８において、まず、制御部２１０は、投光部２１４を作動させるために投光処理部２１２に対して、発光指令を与える。投光処理部２１２は、当該発光指令に基づき投光部２１４を発光させ、検査対象に投光する。なお本実施例における投光部は、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）を用いているが、ＬＤ（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ）等のほかの発光素子を用いても良い。
【０１００】
投光部２１４により検査対象に投光された光は、検査対象にて反射し受光部２１６にて受光される。受光部は、ＰＤ（Ｐｈｏｔｏ  Ｄｉｏｄｅ）等が使用され、その受光量に基づき受光部２１６が受光信号電圧を発生し、増幅部２１８にて信号増幅され、Ａ／Ｄ変換部２２０によりＡ／Ｄ変換されたのちに、制御部２１０に与えられる。制御部２１０は、与えられた測定値としての受光量に基づいて表示部２３０において、表示されるとともに、受光量又はそれによって判断された結果、例えばオン、オフ信号が外部入出力部２７０に出力される。
【０１０１】
表示部２３０は、第１の実施形態と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ４２およびバー表示部４３を有している。第１の実施形態においては、接触式変位計を対象としてバー表示部４３の表示対象を対象物までの変位量（距離）としていたが、本実施形態において、その表示対象は受光量となる。つまり７セグメントＬＥＤ４２は、受光量のデジタル値が表示され、バー表示部は受光量の増減にともなって表示内容が変動する。
【０１０２】
本発明を本実施例における光電センサに活用する場合、図７に示すように使用者は、検査対象からの受光量が、基準受光量となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部２６０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１０３】
さらに本発明を本実施例に適用すると、バー表示部４３の受光量に対する分解能を第１の実施形態で述べた（１）式より求め、バー４３ａの分解能を決定できる。
【０１０４】
例えば、使用者により設定された受光量の上限値および下限値がそれぞれ１８００および２５００であり、上限値表示部４３ｂと下限値表示部４３ｃとの間にあるバー４３ａの個数が７である場合、（１）式より各バー４３ａの分解能は１００になる。設定されたバー４３ａの分解能は記憶部２６０に記憶される。なお、本実施例で表示される受光量は、前述した受光信号に基づく無次元の相対値である。
【０１０５】
（１）式により得られた分解能を用いて、第１の実施形態で述べた（２）式を用いて表示すべきバー４３ａの個数が決定される。
【０１０６】
ここで受光量として２４００が得られた場合には、制御部２１０は、（２）式よりＫを３とすると、右側から９個のバー４３ａを点灯させる表示指令を出力し、その表示指令に応じて右側から９個のバー４３ａを点灯される。また受光量が下限値１８００よりも小さな値の１７００が得られた場合には、右側から２個のバー４３ａを点灯させる表示指令が出力され、受光量が上限値２５００よりも小さな値の２７００が得られた場合には、右側から１１個のバー４３ａを点灯させる表示指令が出力される。このように許容範囲以外の受光量についても、同様の分解能で表示することが好ましい。もちろん受光量が表示限界以下の１６００以下になれば、最右側のバー４３ａのみを点灯させ、受光量が２８００以上になれば、バー４３ａの全てを点灯させる。
【０１０７】
本実施の形態の光電センサ２００では、使用者により設定された許容範囲の上限値および下限値に基づいてバー表示部４３の各バー４３ａの受光量に対する分解能が自動的に設定される。それにより、使用者が対象物からの受光量の許容範囲を任意に設定することができる。
【０１０８】
また、光電センサ２００の測定範囲のフルスケールを変更せずに、バー４３ａの分解能を高めること、あるいは、分解能を維持したまま光電センサ２００の測定範囲のフル
スケールを大きくすることが可能となる。それにより、ＬＥＤ等の発光素子を新たに設ける必要がない。
【０１０９】
これらの結果、使用者にとって使い易く、安価で小型化された光電センサ２００を得ることができる。
【０１１０】
（８）ヘッドアンプ分離型光電センサにおける本発明の第３の実施形態
図９は、第３の実施形態に係るヘッドアンプ分離型光電センサ２０２の１例であり、（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。図１０はその構成を示すブロック図である。
【０１１１】
図９に示すように、本実施の形態に係るヘッドアンプ分離型光電センサ２０２は、ヘッド部２０２Ａおよび本体部２０２Ｂを備える。なお、図９では図示していないが、本体部２０２Ｂは、後述する表示部２３０Ｂを有する。
【０１１２】
図１０に示すように、第２の実施形態のヘッドアンプ一体型光電センサ２００との差異は、ヘッド部２０２Ａとアンプ部２０２Ｂとをケーブル２９１で接続し、通信部２９０Ａ、２９０Ｂを用いて、ヘッド部２０２Ａの制御部２１０Ａで得られた受光量を、アンプ部２０２Ｂの制御部２１０Ｂで取得し表示部２３０Ｂに表示する点である。またヘッド部２０２Ａに設けられ表示部２３０Ａでは、投光状態であるか、検出状態であるか等の簡単な表示灯が設けられるほか、受光量などをバー表示してもよい。上記以外の部分については、図８で示した一体型光電センサと同様であるため、同符号を示し説明を省略する。
【０１１３】
本発明を本実施例における光電センサに活用する場合、図９に示すように使用者は、検査対象からの受光量が、基準受光量となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部２６０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１１４】
アンプ部２０２Ｂに設けられた表示部２３０Ｂには、第１の実施形態と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ４２およびバー表示部４３を有している。本発明を本実施例に適用すると制御部２１０Ｂは、（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し、点灯させる。
【０１１５】
本実施の形態であるヘッドアンプ分離型光電センサ２０２おいても、第１の実施形態で述べたような本発明の効果が得られる。
【０１１６】
（９）距離設定型光電センサにおける本発明の第４の実施形態
図８や図１０に示した第３の実施形態の光電センサには、検査対象からの反射光の受光量に基づいて、検査対象の有無を判定するものであった。本発明は、このような受光量型光電センサのほかに、三角測距方式の光電センサにも応用できる。
【０１１７】
図１１は、本実施の形態に係る三角測距方式の距離設定型光電センサ２０４の一例であり、（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。図１２はその構成のブロック図である。
【０１１８】
上述した光電センサとの差異は、受光部２１６がＰＤではなく、ＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）やＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅｓ）等が受光スポットの位置が検出可能な受光素子が用いられる点である。上記以外の部分については、図１０で示したヘッドアンプ分離型光電センサ２０２と同様であるため、同符号を示し説明を省略する。
【０１１９】
受光部２１６のＰＳＤやＣＣＤの受光面上での受光スポットの位置は、距離設定型光電センサ２０４と検出対象との間の距離により変化する。検出対象が距離設定型光電センサ２０４に近づくと、受光スポットは受光部２１６の受光面の一端部ｅ１側に形成され、検出対象が距離設定型光電センサ２０４から離れると、受光スポットは受光部２１６の受光面の一端部ｅ２側に形成される。
【０１２０】
受光部２１６にＰＳＤを用いた場合には、受光面上での受光スポットの位置に応じた２つの受光信号Ｎ、Ｆを出力する。一方の受光信号Ｎは受光部２１６の一端部ｅ１から受光スポットまでの距離に略比例した信号を有し、他方の受光信号Ｆは受光面の他端部ｅ２から受光スポットまでの距離に略比例した信号を有する。従って、２つの受光信号Ｎ、Ｆを用いて距離設定型光電センサ２０４から検出対象までの距離を検出することができる。
【０１２１】
また受光部２１６にＣＣＤを用いた場合には、ＣＣＤ上の受光量のピーク位置を算出することにより、距離設定型光電センサ２０４から検出対象までの距離を検出することができる。
【０１２２】
使用者が図１１に示した基準距離Ｘ１付近の許容範囲内に検査対象が存在するかを設定するには、設定部２６０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。つまり受光量型光電センサが、その設定対象が受光量であったのに対し、本実施例の設定対象である測定値が距離であること以外は、設定内容は同様となる。
【０１２３】
アンプ部２０４Ｂに設けられた表示部２３０Ｂには、第３の実施形態と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ４２およびバー表示部４３を有している。本発明を本実施例に適用すると制御部２１０Ｂは、（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し点灯させる。
【０１２４】
つまり、本実施形態である距離設定型光電センサ２０４おいても、第１の実施形態で述べた本発明の効果が得られる。
【０１２５】
（１０）ヘッドアンプ一体型流量センサにおける本発明の第５の実施形態
図８や図１０、図１２に示した光電センサには、検査対象からの反射光の受光量に基づいて、検査対象の有無を判定するものであった。本発明は、このような受光量型光電センサのほかに、計測管中の流量を測定する流量センサにも応用できる。
【０１２６】
図１３は、本発明の第５の実施形態に係る流量センサの１例であり、（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示し、矢印は流れ方向を示す。図１４は、そのブロック図である。
【０１２７】
ヘッドアンプ一体型流量センサ３００は、図示しないケーブル３５２により第１の実施形態で述べた外部装置に接続される。
【０１２８】
図１４に示すように、ヘッドアンプ一体型流量センサ３００は、制御部３１０、駆動部３１２、励磁コイル３１４、検出部３１６、増幅部３１８、Ａ／Ｄ変換部３２０、表示部３３０、記憶部３６０、外部入出力部３７０、設定部３８０を備える。
【０１２９】
図１４において、まず、制御部３１０は、励磁コイル３１４を作動させるために駆動部３１２に対して、励磁指令を与える。駆動部３１２は、当該励磁指令に基づき励磁コイル３１４を作動させ、図１３に示した検査対象である計測管１３００に磁界を横断する方向に発生させる。この磁界の中を誘導体である被検出流体が通過することで、流速に比例した磁界に直交する起電力が発生する。検出部３１６は、その起電力を検出信号として出力し、増幅部３１８にて信号増幅され、Ａ／Ｄ変換部３２０によりＡ／Ｄ変換されたのちに、制御部３１０に与えられる。
【０１３０】
制御部３１０は、与えられた計測値および管径より流量を算出し、その流量を表示部３３０にて表示し、判断された結果例えばオン・オフ信号が外部入出力部３７０に出力される。
【０１３１】
表示部３３０は、前述した実施例と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ４２およびバー表示部４３を有している。前述した実施例においては、距離型光電センサを対象としてバー表示部４３の表示対象を対象物の受光量としていたが、本実施例において、その表示対象は流量となる。つまり７セグメントＬＥＤ４２は、流量のデジタル値が表示され、バー表示部は流量の増減にともない表示内容が変動する。
【０１３２】
本発明を本実施例における流量センサに活用する場合、図１３に示すように使用者は、計測管１３００の流量が、基準流量となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部３６０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１３３】
本発明を本実施例に適用すると、（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し、使用者が所望する分解能でバー４３ａ点灯させることが可能となる。
【０１３４】
つまり、本実施の形態であるヘッドアンプ一体型流量センサ３００においても、上述したような本発明の効果が得られる。
【０１３５】
（１１）ヘッドアンプ分離型流量センサにおける本発明の第６の実施形態
図１５は、第６の実施形態に係るヘッドアンプ分離型流量センサ３０２の１例であり、（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。矢印は流れ方向である。図１６はその構成を示すブロック図である。
【０１３６】
図１５に示すように、本実施の形態に係るヘッドアンプ分離型流量センサ３０２は、ヘッド部３０２Ａおよび本体部３０２Ｂを備える。なお、図１５では図示していないが、本体部３０２Ｂは、後述する表示部３３０Ｂを有する。
【０１３７】
図１６に示すように、第５の実施形態のヘッドアンプ一体型流量センサ３００との差異は、ヘッド部３０２Ａとアンプ部３０２Ｂとをケーブル３９１で接続し、通信部３９０Ａ、３９０Ｂを用いて、ヘッド部３０２Ａの制御部３１０Ａで得られた流量を、アンプ部３０２Ｂの制御部３１０Ｂで取得し表示部３３０Ｂに表示する点である。またヘッド部３０２Ａに設けられ表示部３３０Ａでは、計測状態であるか、検出状態であるか等の簡単な表示灯が設けられるほか、流量などをバー表示してもよい。上記以外の部分については、第４の実施形態で示した一体型流量センサと同様であるため、同符号を示し説明を省略する。
【０１３８】
本発明を本実施例における流量センサに活用する場合、図１５に示すように使用者は、計測管１３００の流量が、基準流量となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部３６０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１３９】
アンプ部３０２Ｂに設けられた表示部３３０Ｂには、第１の実施形態と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ４２およびバー表示部４３を有している。本発明を本実施例に適用すると制御部３１０Ｂは、（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し、点灯させる。
【０１４０】
本実施の形態であるヘッドアンプ分離型流量センサ３０２おいても、第１の実施形態で述べた本発明の効果が得られる。
【０１４１】
（１２）熱式流量センサにおける本発明の第７の実施形態
図１７は、第７の実施形態に係る熱式流量センサ３０４の１例であり、（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。矢印は流れ方向である。図１８はその構成を示すブロック図である。図１７に示すように、本実施の形態に係る熱式流量センサ３０４は、ヘッド部３０４Ａおよび本体部３０４Ｂを備える。なお、図９では図示していないが、本体部３０４Ｂは、後述する表示部３３０Ｂを有する。
【０１４２】
図１８に示すように、前述したヘッドアンプ分離型流量センサ３０２との差異は、ヘッド部３０２Ａに励磁コイル３１４ではなく、フローセンサ３１５を有し、検出部３１６が、フローセンサ３１５からの電圧差を検出する点のみであり、上記以外の部分については、図１６で示した分離型流量センサと同様であるため、同符号を示し説明を省略する。
【０１４３】
フローセンサ３１５は、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）と呼ばれる加工技術を用いた数ミリ角のシリコンチップ上に白金薄膜を形成したものであり、検出部３１６は、上流側および下流側に配置されたヒータ抵抗の電流の差（電圧の差）を検出するものである。検出されたヒータ抵抗の電圧差は、増幅部３１８にて信号増幅され、Ａ／Ｄ変換部３２０によりＡ／Ｄ変換されたのちに、制御部３１０Ａに与えられる。制御部３１０Ａは、与えられた測定値としての電圧差に基づいて、流量を算出し、通信部３９０を通じてアンプ部３０４Ｂの制御部３１０Ｂに送信される。制御部３１０Ｂは、与えられた流量を表示部３３０Ｂに表示し、その流量に基づいてオンオフ信号を外部入出力部３７０Ｂに出力する。もちろん測定流量はヘッド部３０４Ａの制御部３１０Ａではなく、アンプ部３０４Ｂの制御部３１０Ｂで算出してもよい。
【０１４４】
本発明を本実施例における流量センサに活用する場合、図１７に示すように使用者は、計測管１３００の流量が、基準流量となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部３８０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１４５】
アンプ部３０４Ｂに設けられた表示部３３０Ｂには、第１の実施形態と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ４２およびバー表示部４３を有している。本発明を本実施例に適用すると制御部３１０Ｂは、（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し、点灯させる。
【０１４６】
本実施の形態である熱式流量センサ３０４おいても、第１の実施形態で述べた本発明の効果が得られる。なお、流量センサの計測原理として電磁式や熱式のものをあげたが、本発明はそれ以外の計測原理における流量センサにおいても適用できることは言うまでもない。
【０１４７】
（１３）一体型圧力センサにおける本発明の第８の実施形態
本発明は、上記の光電センサや流量センサのほかに、圧力導管内の圧力（ゲージ圧）を測定する圧力センサにも応用できる。
【０１４８】
図１９は、本発明の第８の実施形態に係る一体型圧力センサの１例であり、（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。図２０は、そのブロック図である。
【０１４９】
一体型圧力センサ４００は、図示しないケーブル４５２により第１の実施形態で述べた外部装置に接続される。
【０１５０】
図２０に示すように、一体型圧力センサ４００は、制御部４１０、駆動部４１２、圧力センサ部４１５、検出部４１６、増幅部４１８、Ａ／Ｄ変換部４２０、表示部４３０、記憶部４６０、外部入出力部４７０、設定部４８０を備える。
【０１５１】
図２０において、まず、制御部４１０は、検出部４１６を作動させるために駆動部４１２に対して、駆動指令を与える。駆動部４１２は、当該指令に基づき圧力センサ部４１５内の検出部４１６を作動させ、検出部４１６は図１１９に示した検査対象である圧力導管１４００内の圧力に比例した起電力を発生する。その起電力を検出信号として出力し、増幅部４１８にて信号増幅され、Ａ／Ｄ変換部４２０によりＡ／Ｄ変換されたのちに、制御部４１０に与えられる。
【０１５２】
制御部４１０は、与えられた計測値より圧力を算出し、その圧力を表示部４３０に表示し、判断した結果に基づいてオンオフ信号を外部入出力部４７０に出力する。
【０１５３】
表示部４３０は、第１の実施形態と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ４２およびバー表示部４３を有している。第６の実施形態においては、流量センサを対象としてバー表示部４３の表示対象を対象物の流量としていたが、本実施形態において、その表示対象は圧力となる。つまり７セグメントＬＥＤ４２は、圧力のデジタル値が表示され、バー表示部は圧力の高低により表示内容が変動する。
【０１５４】
本発明を本実施例における圧力センサに活用する場合、図１９に示すように使用者は、検査対象の圧力が、基準圧力となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部４８０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１５５】
さらに本発明を本実施例に適用すると、上述した（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し、使用者が所望する分解能でバー４３ａ点灯させることが可能となる。
【０１５６】
つまり、本実施の形態である一体型圧力センサ４００においても、第１の実施形態で述べたような本発明の効果が得られる。
。
【０１５７】
（１４）ヘッドアンプ分離型圧力センサにおける本発明の第９の実施形態
図２１は、第９の形態に係るヘッドアンプ分離型圧力センサ４０２の１例であり、（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。図２２はその構成を示すブロック図である。
【０１５８】
図２１に示すように、本実施の形態に係るヘッドアンプ分離型圧力センサ４０２は、ヘッド部４０２Ａおよび本体部４０２Ｂを備える。なお、図２１では図示していないが、本体部４０２Ｂは、後述する表示部４３０Ｂを有する。
【０１５９】
図２２に示すように、第７の実施形態の一体型圧力センサ４００との差異は、ヘッド部４０２Ａとアンプ部４０２Ｂとをケーブル４９１で接続し、通信部４９０Ａ、４９０Ｂを用いて、ヘッド部４０２Ａの制御部４１０Ａで得られた圧力を、アンプ部４０２Ｂの制御部４１０Ｂで取得し表示部４３０Ｂに表示する点である。またヘッド部４０２Ａに設けられ表示部４３０Ａでは、計測状態であるか、検出状態であるか等の簡単な表示灯が設けられるほか、圧力などをバー表示してもよい。上記以外の部分については、図２０で示した一体型圧力センサと同様であるため、同符号を示し説明を省略する。
【０１６０】
本発明を本実施例における圧力センサに活用する場合、図２１に示すように使用者は、圧力導管１４００の圧力が、基準圧力となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部４６０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１６１】
アンプ部４０２Ｂに設けられた表示部４３０Ｂには、前述した実施例と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ４２およびバー表示部４３を有している。本発明を本実施例に適用すると制御部４１０Ｂは、（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し、点灯させる。
【０１６２】
本実施の形態であるヘッドアンプ分離型圧力センサ４０２おいても、第１の実施形態で述べたような本発明の効果が得られる。
【０１６３】
（１５）超音波センサにおける本発明の第１０の実施形態
本発明は、上記のセンサほかに、超音波により距離を測定する超音波センサにも応用できる。
【０１６４】
図２３に示すように、第１０の実施形態に係る超音波センサ５００は、ヘッド部５００Ａおよび本体部５００Ｂを備える。（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。図２４にそのブロック図を示す。なお、図２３では図示していないが、本体部５００Ｂは、後述する表示部５３０Ｂを有する。
【０１６５】
図２４に示すように、超音波センサ５００は、ヘッド部５００Ａに、制御部５１０Ａ、駆動部５１２、送信部５１４、受信部５１６、増幅部５１８、Ａ／Ｄ変換部５２０、表示部５３０Ａ、通信部５９０Ａを備え、本体部５００Ｂに、制御部５１０Ｂ、記憶部５６０、外部入出力部５７０、設定部５８０、通信部５９０Ｂを備える。
【０１６６】
図２４において、まず、制御部５１０Ａは、送信部５１４を作動させるために駆動部５１２に対して、駆動指令を与える。駆動部５１２は、当該指令に基づき送信部５１４を作動させ、超音波を検査対象に送信する。受信部５１６は受信した超音波に比例した起電力を発生する。その起電力を検出信号として出力し、増幅部５１８にて信号増幅され、Ａ／Ｄ変換部５２０によりＡ／Ｄ変換されたのちに、制御部５１０Ａに与えられる。
【０１６７】
制御部５１０Ａは、通信部５９０Ａ、５９０Ｂを介して制御部５１０Ｂに検出信号を送信し、制御部５１０Ｂは、与えられた検出信号と送信した超音波の送信タイミングより測定対象までの距離を算出する。制御部５１０Ｂは、表示部５３０に当該距離を表示すると共に、例えばオン、オフなどの信号を外部入出力部５７０に出力する。
【０１６８】
表示部５３０は、第１の実施形態と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ５２およびバー表示部４３を有している。前述した実施形態においては、圧力センサを対象としてバー表示部４３の表示対象を対象物の圧力としていたが、本実施例において、その表示対象は対象物までの距離となる。つまり７セグメントＬＥＤ４２は、距離のデジタル値が表示され、バー表示部は検査対象までの距離の遠近により表示内容が変動する。
【０１６９】
本発明を本実施例における超音波センサに活用する場合、図２３に示すように使用者は、検査対象までの距離が、基準距離となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部５８０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１７０】
本発明を本実施例に適用すると、上述した（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し、使用者が所望する分解能でバー４３ａ点灯させることが可能となる。
【０１７１】
つまり、本実施の形態である超音波センサ５００においても、上述したような本発明の効果が得られる。
。
【０１７２】
（１６）放射温度センサにおける本発明の第１１の実施形態
本発明は、上記のセンサほかに、測定対象物の放射温度を測定する放射温度センサにも応用できる。
【０１７３】
図２５に示すように、第１１の実施形態に係る放射温度センサ６００は、ヘッド部６００Ａおよび本体部６００Ｂを備える。（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。図２６にそのブロック図を示す。なお、図２６では図示していないが、本体部６００Ｂは、後述する表示部６３０Ｂを有する。
【０１７４】
図２６に示すように、放射温度センサ６００は、ヘッド部６００Ａに制御部６１０Ａ、駆動部６１２、温度センサ部６１５、検出部６１６、増幅部６１８、Ａ／Ｄ変換部６２０、表示部６３０Ａ、通信部６９０Ａを備え、本体部６００Ｂに制御部６１０Ｂ、表示部６３０Ｂ、記憶部６６０、外部入出力部６７０、設定部６８０、通信部６９０Ｂを備える。
【０１７５】
図２６において、まず、制御部６１０Ａは、検出部６１６を作動させるために駆動部６１２に対して、駆動指令を与える。駆動部６１２は、当該指令に基づき温度センサ部６１５内の検出部６１６を作動させ、検査対象からの放射温度を検出する。検出部６１６は、サーモパイルおよびサーミスタ等により形成され、サーモパイルは外部からの放射温度（赤外線）に比例した第１の電圧を発生し、サーミスタは放射温度センサの内部温度に比例した第２の電圧を発生する。第１および第２の電圧を第１および第２の検出信号として出力し、増幅部６１８にて信号増幅され、Ａ／Ｄ変換部６２０によりＡ／Ｄ変換されたのちに、制御部６１０Ａに与えられる。
【０１７６】
制御部６１０Ａは、通信部６９０Ａ、６９０Ｂを介して、第１および第２の検出信号を制御部６１０Ｂに与える。制御部６１０Ｂは、検査対象の温度を算出し、得られた温度を表示部６３０Ｂに表示すると共に、例えばオン、オフの信号が外部入出力部６６０から出力される。
【０１７７】
表示部６３０は、第１の実施例と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ６２およびバー表示部４３を有している。第９の実施形態においては、超音波センサを対象としてバー表示部４３の表示対象を対象物までの距離としていたが、本実施形態において、その表示対象は温度となる。つまり７セグメントＬＥＤ４２は、検査対象の温度のデジタル値が表示され、バー表示部は温度の高低により表示内容が変動する。
【０１７８】
本発明を本実施例における放射温度センサに活用する場合、図２５に示すように使用者は、検査対象の温度が、基準温度となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部６６０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１７９】
さらに本発明を本実施例に適用すると、（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し、使用者が所望する分解能でバー４３ａ点灯させることが可能となる。
【０１８０】
つまり、本実施の形態である放射型温度センサ６００においても、第１の実施例で述べたような本発明の効果が得られる。
。
【０１８１】
（１７）近接センサにおける本発明の第１２の実施形態
本発明は、上記のセンサほかに、磁気を用いて測定対象物の有無を測定する近接センサにも応用できる。
【０１８２】
図２７に示すように、第１１の実施形態に係る近接センサ７００は、ヘッド部７００Ａおよび本体部７００Ｂを備える。（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。図２８にそのブロック図を示す。なお、図２７では図示していないが、本体部７００Ｂは、後述する表示部７３０Ｂを有する。
【０１８３】
図２８に示すように、近接センサ７００は、ヘッド部７００Ａに、制御部７１０Ａ、駆動部７１２、送信部７１４、受信部７１６、増幅部７１８、Ａ／Ｄ変換部７２０、通信部７９０Ａを備え、本体部７００Ｂに、制御部７１０Ｂ、表示部７３０Ｂ、記憶部７６０、外部入出力部７７０、設定部７８０、通信部７９０Ｂを備える。
【０１８４】
図２８において、まず制御部７１０Ａは、送信部７１４を作動させるために駆動部７１２に対して、駆動指令を与える。駆動部７１２は、当該指令に基づき送信部７１４を作動させ、測定対象へ高周波の磁界を発生させる。測定対象が当該磁界に近づくことにより、測定対象に誘導電流（渦電流）が流れ、この電流により検出部７１６の検出コイルのインピーダンスが変化、発振が停止することを検出し、検出部は検出信号を出力する。この検出信号は、増幅部７１８にて信号増幅され、Ａ／Ｄ変換部７２０によりＡ／Ｄ変換されたのちに、制御部７１０Ａに与えられる。
【０１８５】
制御部７１０Ａは、通信部７９０Ａ、７９０Ｂを介して、検出信号を制御部７１０Ｂに与える。制御部７１０Ｂは、検出信号から磁気量を算出し、得られた磁気量を表示部７３０に表示すると共に、例えばオン、オフの信号が外部入出力部７７０から出力される。
【０１８６】
表示部７３０は、第１の実施例と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも７セグメントＬＥＤ６２およびバー表示部４３を有している。第１１の実施形態においては、放射温度センサを対象としてバー表示部４３の表示対象を対象物の温度としていたが、本実施形態において、その表示対象は磁気量となる。つまり７セグメントＬＥＤ４２は、磁気量が表示され、バー表示部は磁気量の増減により表示内容が変動する。
【０１８７】
本発明を本実施例における近接センサに活用する場合、図２７に示すように使用者は、磁気量が、基準磁気量となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部７６０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１８８】
本発明を本実施例に適用すると、（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し、使用者が所望する分解能でバー４３ａ点灯させることが可能となる。
【０１８９】
つまり、本実施の形態である近接センサ７００においても、第１の実施例で述べたような本発明の効果が得られる。
【０１９０】
（１８）歪みセンサにおける本発明の第１３の実施形態
本発明は、上記のセンサほかに、測定対象の歪みを測定する歪みセンサにも応用できる。
【０１９１】
図２９に示すように、第１２の実施形態に係る歪みセンサ８００は、ヘッド部８００Ａおよび本体部８００Ｂを備える。（ａ）図に設定の概略図、（ｂ）図にセンサの概略図を示す。図２８にそのブロック図を示す。なお、図３０では図示していないが、本体部８０２Ｂは、後述する表示部８３０Ｂを有する。
【０１９２】
図３０に示すように、歪みセンサ８００は、ヘッド部８００Ａに制御部８１０Ａ、駆動部８１２、歪みセンサ部８１５、検出部８１６、増幅部８１８、Ａ／Ｄ変換部８２０、表示部８３０Ａ、通信部８９０Ａを備え、アンプ部８００Ｂに制御部８１０Ａ、表示部８３０Ｂ、記憶部８６０、外部入出力部８７０、設定部８８０、通信部８９０Ｂを備える。
【０１９３】
図３０において、まず制御部８１０Ａは、歪みセンサ部８１５内の検出部８１６を作動させるために駆動部８１２に対して、駆動指令を与える。駆動部８１２は、当該指令に基づき検出部８１６を作動させ、図２９に示した測定対象１８００の歪みを検出部８１６が検出し、検出信号を出力する。この検出信号は、増幅部８１８にて信号増幅され、Ａ／Ｄ変換部８２０によりＡ／Ｄ変換されたのちに、制御部８１０Ａに与えられる。
【０１９４】
制御部８１０Ａは、通信部８９０Ａ、８９０Ｂを介して、制御部８１０Ｂに検出信号を与える。制御部８１０Ｂは、与えられた検出信号から検査対象の歪みを算出し、表示部８３０Ｂに表示すると共に、例えばオン、オフの信号が外部入出力部８７０から出力される。
【０１９５】
表示部８３０Ｂは、第１の実施例と同様に、図５に示した表示パネル３３を有しており、少なくとも８セグメントＬＥＤ６２およびバー表示部４３を有している。第１１の実施形態においては、近接センサを対象としてバー表示部４３の表示対象を対象物の磁気量としていたが、本実施形態において、その表示対象は歪みとなる。つまり８セグメントＬＥＤ４２は、測定対象の歪み量が表示され、バー表示部は歪み量の増減により表示内容が変動する。
【０１９６】
本発明を本実施例における歪みセンサに活用する場合、図２９に示すように使用者は、測定対象の歪み量が、基準歪み量となる値Ｘ１付近の許容範囲内となるように、設定部８６０により許容範囲の上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏを設定する。
【０１９７】
さらに本発明を本実施例に適用すると、（１）および（２）式を用いて、設定された上限値Ｈｉおよび下限値Ｌｏより分解能を算出する。その後、表示させるバー４３ａの数を決定し、使用者が所望する分解能でバー４３ａ点灯させることが可能となる。
【０１９８】
つまり、本実施の形態である歪みセンサ８００においても、第１の実施例で述べたような本発明の効果が得られる。
【０１９９】
（１９）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【０２００】
第１の実施形態においては、トランス１が変換手段に相当し、入力部３４が設定手段に相当し、ＣＰＵ２０が測定手段、算出手段、制御手段、および取得手段に相当し、バー４３ａが表示単位および発光素子に相当し、上限値表示部４３ｂおよび下限値表示部４３ｃが許容範囲表示部に相当し、バー表示部４３が表示手段に相当する。
【０２０１】
第２および第３、第４の実施形態においては、受光部２１６、増幅部２１８、Ａ／Ｄ変換部２２０、制御部２１０、２１０Ａ、２１０Ｂが測定手段に相当し、設定部２８０が設定手段に相当し、また制御部２１０、２１０Ａ、２１０Ｂが算出手段、制御手段に相当し、バー表示部４３が表示手段に相当する。
【０２０２】
第５および第６、第７の実施形態においては、検出部３１６、増幅部３１８、Ａ／Ｄ変換部３２０、制御部３１０、３１０Ａ、３１０Ｂが測定手段に相当し、設定部３８０が設定手段に相当し、また制御部３１０、３１０Ａ、３１０Ｂが算出手段、制御手段に相当し、バー表示部４３が表示手段に相当する。
【０２０３】
第８、第９の実施形態においては、検出部４１６、増幅部４１８、Ａ／Ｄ変換部４２０、制御部４１０Ａ、４１０Ｂが測定手段に相当し、設定部４８０が設定手段に相当し、また制御部４１０Ａ、４１０Ｂが算出手段、制御手段に相当し、バー表示部４３が表示手段に相当する。
【０２０４】
第１０の実施形態においては、受信部５１６、増幅部５１８、Ａ／Ｄ変換部５２０、制御部５１０Ａ、５１０Ｂが測定手段に相当し、設定部５８０が設定手段に相当し、また制御部５１０Ａ、５１０Ｂが算出手段、制御手段に相当し、バー表示部４３が表示手段に相当する。
【０２０５】
第１１の実施形態においては、検出部６１６、増幅部６１８、Ａ／Ｄ変換部６２０、制御部６１０Ａ、６１０Ｂが測定手段に相当し、設定部６８０が設定手段に相当し、また制御部６１０Ａ、６１０Ｂが算出手段、制御手段に相当し、バー表示部４３が表示手段に相当する。
【０２０６】
第１２の実施形態においては、受信部７１６、増幅部７１８、Ａ／Ｄ変換部７２０、制御部７１０Ａ、７１０Ｂが測定手段に相当し、設定部７８０が設定手段に相当し、また制御部７１０Ａ、７１０Ｂが算出手段、制御手段に相当し、バー表示部４３が表示手段に相当する。
【０２０７】
第１３の実施形態においては、検出部８１６、増幅部８１８、Ａ／Ｄ変換部８２０、制御部８１０Ａ、８１０Ｂが測定手段に相当し、設定部８８０が設定手段に相当し、また制御部８１０Ａ、８１０Ｂが算出手段、制御手段に相当し、バー表示部４３が表示手段に相当する。
【産業上の利用可能性】
【０２０８】
本発明に係る検出装置は、対象物の物理量を検出するために利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２０９】
【図１】第１の実施形態に係る接触式変位計の構成を示すブロック図である。
【図２】図１のヘッド部の構成を示すブロック図である。
【図３】図１の本体部の構成を示すブロック図である。
【図４】トランスの詳細な構成を示す模式図である。
【図５】本体部の表示部の構成を示す模式図である。
【図６】ＣＰＵによる分解能設定処理を示すフローチャートである。
【図７】第２の実施形態に係る一体型光電センサの構成を示す概略図である。
【図８】図７の構成を示すブロック図である。
【図７】第３の実施形態に係るヘッド・アンプ分離型光電センサの構成を示す概略図である。
【図８】図７の構成を示すブロック図である。
【図９】第４の実施形態に係る距離設定型光電センサの構成を示す概略図である。
【図１０】図９の構成を示すブロック図である。
【図１１】第５の実施形態に係るヘッドアンプ一体型流量センサの構成を示す概略図である。
【図１２】図１１の構成を示すブロック図である。
【図１３】第６の実施形態に係るヘッドアンプ分離型流量センサの構成を示す概略図である。
【図１４】図１３の構成を示すブロック図である。
【図１５】第７の実施形態に係る熱式流量センサの構成を示す概略図である。
【図１６】図１５の構成を示すブロック図である。
【図１７】第７の実施形態に係る熱式流量センサの構成を示す概略図である。
【図１８】図１７の構成を示すブロック図である。
【図１９】第８の実施形態に係る一体型圧力センサの構成を示す概略図である。
【図２０】図１９の構成を示すブロック図である。
【図２１】第９の実施形態に係るヘッドアンプ分離型圧力センサの構成を示す概略図である。
【図２２】図２１の構成を示すブロック図である。
【図２３】第１０の実施形態に係る超音波センサの構成を示す概略図である。
【図２４】図２３の構成を示すブロック図である。
【図２５】第１１の実施形態に係る放射温度センサの構成を示す概略図である。
【図２６】図２５の構成を示すブロック図である。
【図２７】第１２の実施形態に係る近接センサの構成を示す概略図である。
【図２８】図２７の構成を示すブロック図である。
【図２９】第１３の実施形態に係る歪みセンサの構成を示す概略図である。
【図３０】図２９の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【０２１０】
１  トランス
１ａ  接触子
２  トランス駆動回路
３  信号検出回路
４  アンプ回路
５  ＥＥＰＲＯＭ
６  表示灯制御回路
７  表示灯
８  電源回路
９  コンパレータ
２０  ＣＰＵ
２１  ＰＷＭ出力回路
２２  第１のフィルタ回路
２３  第２のフィルタ回路
２４  Ａ／Ｄ変換器
２５  通信インターフェース
２８ａ，２８ｂ，２８ｃ  第１〜第３の入力回路
２９  過電流検知回路
３０ａ，３０ｂ，３０ｃ  第１〜第３の出力回路
３１  ＥＥＰＲＯＭ
３２  表示部
３３  表示パネル
３４  入力部
４１  出力表示灯
４２  ７セグメントＬＥＤ
４３  バー表示部
４３ａ  バー
４３ｂ  上限値表示部
４３ｃ  下限値表示部
４４  モードキー
４５  セットキー
４６  十字キー
５０  接続部
８０  ケーブル
１００  接触式変位計
１００Ａ  ヘッド部
１００Ｂ  本体部
Ｃ  コア
２００  光電センサ
２０２  ヘッドアンプ分離型光電センサ
２０４  距離式光電センサ
２１０，２１０Ａ，２１０Ｂ  制御部
２１２  投光処理部
２１４  投光部
２１６  受光部
２１８  増幅部
２２０  Ａ／Ｄ変換部
２３０，２３０Ａ，２３０Ｂ  表示部
２６０  記憶部
２７０  外部入出力
２８０  設定部
２９０，２９０Ａ，２９０Ｂ  通信部
２９１  ケーブル
３００  流量センサ
３０２  ヘッドアンプ分離型流量センサ
３０４  熱式流量センサ
３１０，３１０Ａ，３１０Ｂ  制御部
３１２  駆動部
３１４  励磁コイル
３１５  フローセンサ部
３１６  検出部
３１８  増幅部
３２０  Ａ／Ｄ変換部
３３０，３３０Ａ，３３０Ｂ  表示部
３６０  記憶部
３７０  外部入出力
３８０  設定部
３９０，３９０Ａ，３９０Ｂ  通信部
３９１  ケーブル
４００  圧力センサ
４０２  ヘッドアンプ分離型圧力センサ
４１０，４１０Ａ，４１０Ｂ  制御部
４１２  駆動部
４１５  圧力センサ部
４１６  検出部
４１８  増幅部
４２０  Ａ／Ｄ変換部
４３０，４３０Ａ，４３０Ｂ  表示部
４６０  記憶部
４７０  外部入出力
４８０  設定部
４９０，４９０Ａ，４９０Ｂ  通信部
４９１  ケーブル
５００  超音波センサ
５１０，５１０Ａ，５１０Ｂ  制御部
５１２  駆動部
５１４  送信部
５１６  検出部
５１８  増幅部
５２０  Ａ／Ｄ変換部
５３０，５３０Ａ，５３０Ｂ  表示部
５６０  記憶部
５７０  外部入出力
５８０  設定部
５９０，５９０Ａ，５９０Ｂ  通信部
５９１  ケーブル
６００  放射温度センサ
６１０Ａ，６１０Ｂ  制御部
６１２  駆動部
６１５  温度センサ部
６１６  検出部
６１８  増幅部
６２０  Ａ／Ｄ変換部
６３０Ａ，６３０Ｂ  表示部
６６０  記憶部
６７０  外部入出力
６８０  設定部
６９０，６９０Ａ，６９０Ｂ  通信部
６９１  ケーブル
７００  超音波センサ
７１０，７１０Ａ，７１０Ｂ  制御部
７１２  駆動部
７１４  送信部
７１６  検出部
７１８  増幅部
７２０  Ａ／Ｄ変換部
７３０，７３０Ａ，７３０Ｂ  表示部
７６０  記憶部
７７０  外部入出力
７８０  設定部
７９０，７９０Ａ，７９０Ｂ  通信部
７９１  ケーブル
８００  超音波センサ
８１０，８１０Ａ，８１０Ｂ  制御部
８１２  駆動部
８１４  送信部
８１６  検出部
８１８  増幅部
８２０  Ａ／Ｄ変換部
８３０，８３０Ａ，８３０Ｂ  表示部
８６０  記憶部
８７０  外部入出力
８８０  設定部
８９０，８９０Ａ，８９０Ｂ  通信部
８９１  ケーブル
【図１】
2007192791.tif 000003
【図２】
2007192791.tif 000004
【図３】
2007192791.tif 000005
【図４】
2007192791.tif 000006
【図５】
2007192791.tif 000007
【図６】
2007192791.tif 000008
【図７】
2007192791.tif 000009
【図８】
2007192791.tif 000010
【図９】
2007192791.tif 000011
【図１０】
2007192791.tif 000012
【図１１】
2007192791.tif 000013
【図１２】
2007192791.tif 000014
【図１３】
2007192791.tif 000015
【図１４】
2007192791.tif 000016
【図１５】
2007192791.tif 000017
【図１６】
2007192791.tif 000018
【図１７】
2007192791.tif 000019
【図１８】
2007192791.tif 000020
【図１９】
2007192791.tif 000021
【図２０】
2007192791.tif 000022
【図２１】
2007192791.tif 000023
【図２２】
2007192791.tif 000024
【図２３】
2007192791.tif 000025
【図２４】
2007192791.tif 000026
【図２５】
2007192791.tif 000027
【図２６】
2007192791.tif 000028
【図２７】
2007192791.tif 000029
【図２８】
2007192791.tif 000030
【図２９】
2007192791.tif 000031
【図３０】
2007192791.tif 000032
【手続補正書】
【提出日】平成18年4月26日(2006.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０９】
【図１】第１の実施形態に係る接触式変位計の構成を示すブロック図である。
【図２】図１のヘッド部の構成を示すブロック図である。
【図３】図１の本体部の構成を示すブロック図である。
【図４】トランスの詳細な構成を示す模式図である。
【図５】本体部の表示部の構成を示す模式図である。
【図６】ＣＰＵによる分解能設定処理を示すフローチャートである。
【図７】第２の実施形態に係る一体型光電センサの構成を示す概略図である。
【図８】図７の構成を示すブロック図である。
【図９】第４の実施形態に係る距離設定型光電センサの構成を示す概略図である。
【図１０】図９の構成を示すブロック図である。
【図１１】第５の実施形態に係るヘッドアンプ一体型流量センサの構成を示す概略図である。
【図１２】図１１の構成を示すブロック図である。
【図１３】第６の実施形態に係るヘッドアンプ分離型流量センサの構成を示す概略図である。
【図１４】図１３の構成を示すブロック図である。
【図１５】第７の実施形態に係る熱式流量センサの構成を示す概略図である。
【図１６】図１５の構成を示すブロック図である。
【図１７】第７の実施形態に係る熱式流量センサの構成を示す概略図である。
【図１８】図１７の構成を示すブロック図である。
【図１９】第８の実施形態に係る一体型圧力センサの構成を示す概略図である。
【図２０】図１９の構成を示すブロック図である。
【図２１】第９の実施形態に係るヘッドアンプ分離型圧力センサの構成を示す概略図である。
【図２２】図２１の構成を示すブロック図である。
【図２３】第１０の実施形態に係る超音波センサの構成を示す概略図である。
【図２４】図２３の構成を示すブロック図である。
【図２５】第１１の実施形態に係る放射温度センサの構成を示す概略図である。
【図２６】図２５の構成を示すブロック図である。
【図２７】第１２の実施形態に係る近接センサの構成を示す概略図である。
【図２８】図２７の構成を示すブロック図である。
【図２９】第１３の実施形態に係る歪みセンサの構成を示す概略図である。
【図３０】図２９の構成を示すブロック図である。