(57)【要約】【課題】オゾン等の薬品を利用することなく、散気設備を設置しないで費用の増大を抑え、かつ濾過水を用いることのないろ過装置及びろ過装置の膜洗浄方法を提供する。【解決手段】ろ過装置１０Ａは、供給水３０中の濁質分を濾過して生産水３１と濃縮水３２とに分離する膜１２を有する膜装置１３と、前記供給水３０を前記膜装置１３に送給する供給水ライン３３とを具備してなるろ過装置において、ガスを溶液に過飽和状態に溶解させるガス溶解部３４Ａを有し、前記膜１２の洗浄を行う際に、前記ガス溶解部３４Ａを用いて、前記供給水３０をガスで過飽和状態に溶解し、前記膜装置１３内で微細気泡を発生させ、前記膜１２の洗浄に用いてなる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給水中の濁質分を濾過して生産水と濃縮水とに分離する膜を有する膜装置と、
前記供給水を前記膜装置に送給する供給水ラインとを具備してなるろ過装置において、
ガスを溶液に過飽和状態に溶解させるガス溶解部を有し、
前記膜の洗浄を行う際に、前記ガス溶解部を用いて、前記供給水をガスで過飽和状態に溶解し、前記膜装置内で微細気泡を発生させ、前記膜の洗浄に用いてなることを特徴とするろ過装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記ガス溶解部が、
液体にガスを過飽和状態に溶解させるガス溶解装置と、
前記ガス溶解装置内を加圧する予備加圧ポンプとを具備することを特徴とするろ過装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記ガス溶解部が、
前記供給水ラインに空気を常圧で送給する空気供給部と、
前記空気供給部より前記供給水ラインに送給された前記空気を過飽和状態に溶解させるキャビテーション加圧ポンプとを具備することを特徴とするろ過装置。
【請求項４】
請求項１において、
前記ガス溶解部が、
前記供給水ラインに炭酸塩を常圧で送給する炭酸塩供給部と、
前記炭酸塩を含有する前記供給水に酸を加える酸供給部とを具備することを特徴とするろ過装置。
【請求項５】
供給水中の濁質分を濾過した後、
膜の洗浄を行う際に、
ガス溶解部により前記供給水にガスを過飽和状態に溶解し、
前記ガスを過飽和状態に溶解した前記供給水を膜装置に送給し、
前記膜装置内を減圧して微細気泡を発生させ、膜を洗浄することを特徴とするろ過装置の膜洗浄方法。
【請求項６】
請求項５において、
前記供給水ライン上の加圧比を計測しつつ、前記膜の洗浄を繰り返し行った後、化学洗浄を行うことを特徴とするろ過装置の膜洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水処理設備に用いられるろ過装置及びろ過装置の膜洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
海水淡水化設備においては、脱塩処理することにより原水（海水）を淡水化させて上水として使用するための海水淡水化装置としてろ過装置が用いられている。
【０００３】
このようなろ過装置は、原水である海水中の濁質分を除去するために、ＭＯ膜（逆浸透膜）、ＵＦ膜（限外濾過膜）又はＭＦ膜（精密濾過膜）等の膜が用いられている。
ところで、該膜は所定時間運転した後、前記膜の表面や細孔内に有機物等が付着して、ろ過水量の低下あるいは膜差圧が上昇する。このため、従来では、捕集された濁質分を除去するために、前記膜でろ過したろ過水を逆洗水として用い、膜の洗浄を行っていた(特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３４６９４号公報
【０００５】
図７は、従来の膜洗浄方法を備えたろ過装置１０の構成を示す図である。
図７に示すように、この膜洗浄方法を備えたろ過装置１０は、原水タンク１１と、前記原水タンク１１に貯留されている原水を固液分離するための膜１２を備えた膜装置１３（ろ過空間）と、前記膜１２によってろ過されたろ過水が貯留されるろ過水タンク１４とを有している。
【０００６】
このろ過装置１０では、ろ過工程は次のように実施される。すなわち、原水供給バルブ１５およびろ過バルブ１６を開いて、微細気泡バルブ１７、粗大気泡バルブ１８、逆洗バルブ１９、排気バルブ２０を閉じて原水ポンプ２１を稼働して、原水を前記原水タンク１１から前記膜装置１３に供給する。前記膜装置１３に供給された原水は、前記膜１２によって濁質分等が除去されて、ろ過水が前記ろ過水タンク１４に貯留されるようにしている。
【０００７】
そして、前記膜１２の洗浄を行うときには、膜洗浄の工程は次のように実施される。すなわち、前記逆流バルブ１９を開いて前記ろ過水タンク１４に貯蓄されているろ過水を前記膜装置１３に流し、前記微細気泡バルブ１７を開いて、オゾン発生設備２２から原水部（前記膜１２の原水側）にオゾンを含有する微細気泡を微細気泡散気管２３から発生させる。その後、前記微細気泡バルブ１７を閉じ、前記粗大気泡バルブ１８を開いて、前記膜装置１３内の前記膜１２の原水側に粗大気泡を前記粗大気泡散気管（板）２４から発生させる。この時、粗大気泡を発生させると同時に前記逆洗バルブ１９を開いて逆洗ポンプ２５を作動させ、過酸化水素注入設備２６から過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）を注入し、前記過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）を含んだろ過水で前記膜１２を逆流洗浄するようにしている。そして、逆洗浄した後、前記膜装置１３内の水は排水バルブ２７より全て排出される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、前記従来の膜洗浄方法を備えたろ過装置１０は、オゾン等の薬品を用いないと使用できないが、ＲＯ膜のような膜はオゾン等のような強い薬品を用いると破損等してしまう、という問題がある。
【０００９】
また、前記膜洗浄方法を備えたろ過装置１０は、微細気泡を発生されるための微細気泡散気管（板）２３を設置する必要があるため、費用が増大する、という問題がある。
【００１０】
更に、原水を濾過した濾過水は淡水の原料であるので、逆洗水を多用することは、透過水量を減らすことになり、経済性が低下する、という問題がある。
【００１１】
本発明は、前記問題に鑑み、オゾン等の薬品を利用することなく、散気設備を設置しないで費用の増大を抑え、かつ濾過水を用いることのないろ過装置及びろ過装置の膜洗浄方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した課題を解決するための本発明の第１の発明は、供給水中の濁質分を濾過して生産水と濃縮水とに分離する膜を有する膜装置と、前記供給水を前記膜装置に送給する供給水ラインとを具備してなるろ過装置において、ガスを溶液に過飽和状態に溶解させるガス溶解部を有し、前記膜の洗浄を行う際に、前記ガス溶解部を用いて、前記供給水をガスで過飽和状態に溶解し、前記膜装置内で微細気泡を発生させ、前記膜の洗浄に用いてなることを特徴とするろ過装置にある。
【００１３】
第２の発明は、第１の発明において、前記ガス溶解部が、液体にガスを過飽和状態に溶
解させるガス溶解装置と、前記ガス溶解装置内を加圧する予備加圧ポンプとを具備することを特徴とするろ過装置にある。
【００１４】
第３の発明は、第１の発明において、前記ガス溶解部が、前記供給水ラインに空気を常圧で送給する空気供給部と、前記空気供給部より前記供給水ラインに送給された前記空気を過飽和状態に溶解させるキャビテーション加圧ポンプとを具備することを特徴とするろ過装置にある。
【００１５】
第４の発明は、第１の発明において、前記ガス溶解部が、前記供給水ラインに炭酸塩を常圧で送給する炭酸塩供給部と、前記炭酸塩を含有する前記供給水に酸を加える酸供給部とを具備することを特徴とするろ過装置にある。
【００１６】
第５の発明は、供給水中の濁質分を濾過した後、膜の洗浄を行う際に、ガス溶解部により前記供給水にガスを過飽和状態に溶解し、前記ガスを過飽和状態に溶解した前記供給水を膜装置に送給し、前記膜装置内を減圧して微細気泡を発生させ、膜を洗浄することを特徴とするろ過装置の膜洗浄方法にある。
【００１７】
第６の発明は、第５の発明において、前記供給水ライン上の加圧比を計測しつつ、前記膜の洗浄を繰り返し行った後、化学洗浄を行うことを特徴とするろ過装置の膜洗浄方法にある。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ガスが過飽和に溶解している供給水を前記膜の洗浄水として用い、前記ろ過装置内の膜の近傍で微細気泡を発生させているので、従来のようにオゾン等の薬品を利用し、散気設備を設置して費用を増大させることなく、又濾過水の一部を逆洗水として用いることなく、膜の洗浄ができ、濾過水の全量を淡水化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。尚この実施例によりこの発明が限定されるものではない。又下記実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。
【実施例１】
【００２０】
本発明による実施例１に係るろ過装置について、図１を参照して説明する。
図１は、実施例１に係るろ過装置の構成を示す概念図である。
図１に示すように、本実施例に係るろ過装置１０Ａは、供給水３０中の濁質分を濾過して生産水３１と濃縮水３２とに分離する膜１２を有する膜装置１３と、前記供給水３０を前記膜装置１２に送給する供給水ライン３３とを具備してなるろ過装置において、ガスを溶液に過飽和状態に溶解させるガス溶解部３４Ａを有し、前記膜１２の洗浄を行う際に、前記ガス溶解部３４Ａを用いて、前記供給水３０をガスで過飽和状態に溶解し、前記膜装置１３内で微細気泡を発生させ、前記膜１２の洗浄に用いてなるものである。又ろ過装置１０Ａは、前記供給水３０を前記膜装置１３に送給するポンプ２１を具備する。
【００２１】
通常、本実施例に係るろ過装置１０Ａを用いて、ろ過をする際には、前記供給水３０は前記供給水ライン３３を介して前記膜１２によって、前記生産水３１と濃縮水３２とに分離する。
【００２２】
そして、前記膜装置１３で生成される生産水３１は生産水ライン３５を経由して外部の図示しない水使用設備等に送給される。又濃縮された濃縮水３２は濃縮水ライン３６を経由して外部の図示しないタンクに貯留される。又生産水ライン３５と濃縮水ライン３６はバイパスライン３９で連結されている。
【００２３】
一方、本実施例に係るろ過装置１０Ａを用いて、ろ過を続けると、膜１２表面に濁質等が付着してろ過流速が遅くなる。そこで、本実施例に係るろ過装置１０Ａを用いて、前記膜１２の洗浄を行う。
【００２４】
前記膜１２の洗浄を行う際には、前記ガス溶解部３４Ａを用いて、前記供給水３０をガスで過飽和状態に溶解し、前記膜装置１３内で微細気泡を発生させ、前記膜１２の洗浄を行うものである。
【００２５】
まず、気泡の基になるガスを溶液に過飽和状態に溶解させる必要がある。
本実施例に係るろ過装置１０Ａにおいては、前記ガス溶解部３４Ａは、液体にガスを過飽和状態に溶解させるガス溶解装置３７と、前記ガス溶解装置３７内を加圧する予備加圧ポンプ３８とを具備している。前記膜１２の洗浄を行う際には、予備加圧ポンプ３８により前記ガス溶解装置３７内を加圧することによりガスを溶液に吹き込んで混合溶解し、過飽和状態に溶解させる。そして、ガスを過飽和状態に溶解させている液体は、ガス溶解水ライン３８を介して前記供給水３０に送給する。このように、前記予備加圧ポンプ３８によって、ガスを液体に過飽和状態に溶解させているため、前記ポンプ２１でのキャビテーションを防止することができる。
【００２６】
また、ろ過装置１０Ａにおいては、前記ガス溶解部３４Ａは、前記供給水ライン３３上に配置しており、膜の洗浄を行う際には、前記ガス溶解部３４Ａからのガスを過飽和状態に溶解させた液体は前記供給水３０と共に前記ポンプ２１を兼用して前記膜装置１３に送給される。このため、ガスを過飽和状態に溶解させた液体を前記膜装置１３に送給するポンプを別途設ける必要がないため、ろ過装置の製造コストを削減することができる。
【００２７】
また、ろ過装置１０Ａにおいては、膜の洗浄を行う際には、前記ガス溶解部３４Ａからのガスを過飽和状態に溶解させた液体を前記供給水３０と共に前記膜装置１３に送給される。このため、ろ過装置１０Ａを用いれば、ろ過を行うと共に、膜の洗浄をも同時に並行して行うことができる。
【００２８】
また、前記ガス溶解部３４Ａは、図１のように前記供給水ライン３３上に配置しなくても、前記供給水ライン３３とは別にラインを設けて前記ガス溶解部３４Ａで製造されたガスを過飽和状態に溶解させた液体を直接前記膜装置１３に送給するようにしても良い。
【００２９】
また、加圧条件として、前記ガス溶解部３４Ａにおいて、前記ガス溶解装置３７は前記予備加圧ポンプ３８によって、例えば０.４〜０．５ＭＰａ程度で加圧している。尚本発明に係る加圧条件は、特にこれに限定されるものではない。
【００３０】
そして、ガスを過飽和状態に溶解させたガスを含有する前記供給水３０は、前記膜装置１３に送給される。また、このときバイパスライン３９上に設けられているバルブを開放する。その後、生産水ライン３５上に設けられているバルブ、又は濃縮水ライン３６上に設けられているバルブの何れか一方を開放する。それから前記膜装置１３内を減圧する。これにより、前記膜装置１３内の膜１２に均一に加圧され、膜の破損を防ぐようにしている。
【００３１】
また、前記膜装置１３には、前記膜装置１３内を減圧状態にするための減圧バルブ（図示せず）を有している。前記膜装置１３内を減圧する際、前記減圧バルブ（図示せず）を開放することにより、前記膜装置１３内を減圧状態にする。これにより、前記膜装置１３内では、前記供給水３０中に過飽和状態に溶解しているガスが膨張して微細気泡を発生し、前記膜１２に付着している濁質分等を剥離して、前記膜１２の洗浄を行うようにしている。
【００３２】
また、気泡の発生量と減圧の度合いについては、そのときの圧力の飽和溶解度により決定される。
【００３３】
また、減圧条件としては、加圧したときの圧力の１／５〜１／１０の範囲に減圧するのが好ましい。又、特に好ましくは、１／５〜１／６の範囲で減圧すると良い。
【００３４】
また、減圧したときに発生する気泡の気泡径は、およそ５０〜２００μｍの泡であって、気泡の発生量は、前記ガス溶解部３４Ａにおいて、過飽和状態にガスを溶解させた分だけ、発生することになる。
【００３５】
ここで、前記膜１２表面に付着している濁質分等を除去するメカニズムについて詳細に
説明する。
図２は、減圧処理したときの前記膜に付着している濁質分等を除去する状態を示す図である。図２は加圧状態から減圧状態にした時の様子をそれぞれ示している。
【００３６】
図２に示すように、加圧状態では、液体中にガスが過飽和の状態で溶解している。又気泡を含む液体は、気泡が濁質分等の表面に付着したり、濁質分等同士の間や濁質分と前記膜１２表面等との間に浸入する。
そして、前記膜装置１３内を減圧状態にすると、気泡が一気に連続的に発生して破裂する。これは、例えば、ダイナマイトを爆発したときの場合のように、気泡の膨張と破裂の効果によって前記膜１２表面に付着している濁質分等を剥離させる起爆力を発揮する。このように、発生した気泡の破裂エネルギーを利用して、前記膜１２表面の濁質分等を剥離するものである。そして、前記膜１２表面から剥離した濁質分は濃縮水３２と共に排出される。
【００３７】
また、前記膜装置１３内を減圧して気泡を含有する溶液を前記膜装置１３内に一定時間留まらせることにより、微細気泡の消滅により発生するキャビテーションにより、前記膜１２表面の洗浄効果をも得ることができる。
【００３８】
更に、前記膜装置１３内を減圧して発生した微細気泡を含有する溶液を循環させることにより、発生した微細気泡による物理的な洗浄効果をも得ることができる。
【００３９】
また、前記ろ過装置１０Ａにおいては、圧力比（加圧／減圧）が０．１ＭＰａ程度に達したら洗浄するようにするものである。
【００４０】
図３は、前記膜１２としてＵＦ膜（限外濾過膜）を用いた場合の圧力比（加圧／減圧）とろ過流束との関係を示す図である。
図３に示すように、圧力比（加圧／減圧）が０．４ＭＰａの時に、ろ過流束は初期状態に近い状態に戻った。尚圧力比（加圧／減圧）とろ過流束との関係をまとめた結果を下記表１に示す。
【００４１】
【表１】
2007216102.tif 000003
【００４２】
図３及び表１に示す結果より、ろ過流束を初期状態に近い状態に回復することができたのは、圧力比（加圧／減圧）、即ち減圧を大きくしたことによりＵＦ膜表面の濁質分等が除去することができたためであると考えられる。
【００４３】
また、前記ろ過装置１０Ａにおいて、供給水ライン３３上に圧力計４０を具備してなり、前記圧力計４０からの情報を制御装置（ＣＰＵ）４１に送るようにしている。前記膜１２に濁質分等が付着するようになれば、ろ過流束が遅くなるため、前記圧力計４０からの情報により減圧調整し、圧力比（加圧／減圧）が所定の圧力比（加圧／減圧）になったら、微細気泡を発生させて、膜の洗浄を行うようにすることができる。
【００４４】
図４は、圧力比（加圧／減圧）と時間との関係を示す図である。
図４に示すように、圧力比（加圧／減圧）は時間の経過により変動する。圧力比（加圧／減圧）が、所定の圧力比（加圧／減圧）、例えば図４に示すようなΔＰ1になったら、前記膜の洗浄を行なう。
【００４５】
しかし、前記膜１２の洗浄を行っても前記膜１２は初期状態ほどにはきれいに回復しないため、ろ過流束が遅くなる、そのため、初期状態と同じ分だけのろ過流速を保とうとすると圧力が大きくなる。その結果、圧力比（加圧／減圧）の回復は初期状態より少し高くなってしまう。例えば、図４に示すようなΔＰ2、ΔＰ3になったら、前記膜１２の洗浄を繰り返し行なうと、前記膜１２の洗浄後の圧力比（加圧／減圧）のベースラインが上がっていくことになる。そこで、圧力比（加圧／減圧）が、図４に示すようなΔＰ4になった時には、化学洗浄を行うようにする。これにより、膜の洗浄後の圧力比（加圧／減圧）は初期状態に近い位置まで回復することができる。
【００４６】
また、前記膜１２は、例えばＲＯ膜（逆浸透膜）、ＵＦ膜（限外濾過膜）又はＭＦ膜（精密濾過膜）等の分離膜を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。
【００４７】
本実施例によれば、従来のようにオゾン等の薬品を利用し、散気設備を設置することなく、膜表面で微細気泡を発生させて、微細気泡の効果により膜洗浄をすることができる。
【実施例２】
【００４８】
次に、本発明による実施例２に係るろ過装置について、図５を参照して説明する。
図５は、実施例２に係るろ過装置１０Ｂの構成を示す概念図である。
尚図１のろ過装置１０Ａの構成と同一の部材については、同一の符号を付してその説明は省略する。
図５に示すように、本実施例に係るろ過装置１０Ｂにおいて、ガス溶解部３４Ｂが、供給水ライン３３に空気を常圧で送給する空気供給部４２と、前記供給水ライン３３に送給された前記空気を過飽和状態に溶解させるキャビテーション加圧ポンプ４３とを具備してなる。
【００４９】
本実施例のろ過装置１０Ｂにおいて、前記膜１２の洗浄を行う際には、前記空気供給部４２より空気を常圧で前記供給水３０に送給し、前記キャビテーション加圧ポンプ４３により、前記供給水３０に送給された前記空気を過飽和状態に溶解させる。そして、前記空気を過飽和状態に溶解させた前記供給水３０は前記供給水ライン３３を介して、前記膜装置１３に送給する。このように、ろ過装置１０Ｂでは、実施例１の前記ろ過装置１０Ａのような前記予備加圧ポンプ３８を設け、予備加圧することなく、前記膜１２の洗浄を行うことができる。
【００５０】
尚前記供給水３０に供給するガスとして、本実施例では空気を用いているが、本発明はこれに限定されず、例えば不活性ガス等を用いるようにしても良い。
【００５１】
本実施例によれば、ガス溶解部にガスを溶解させるための前記予備加圧ポンプ３８を設け、予備加圧することなく、膜表面で微細気泡を発生させて、膜洗浄をすることができる。
【実施例３】
【００５２】
次に、本発明による実施例３に係るろ過装置について、図６を参照して説明する。
図６は、実施例３に係るろ過装置１０Ｃの構成を示す概念図である。
尚図１のろ過装置１０Ａの構成と同一の部材については、同一の符号を付してその説明は省略する。
図６に示すように、本実施例に係るろ過装置１０Ｃにおいて、前記ガス溶解部３４Ｃが、前記供給水ライン３３に炭酸塩を常圧で送給する炭酸塩供給部４４と、前記炭酸塩を含有する前記供給水３０に酸を加える酸供給部４５とを具備している。
【００５３】
本実施例のろ過装置１０Ｃにおいて、前記膜１２の洗浄を行う際には、前記炭酸塩供給部４４により炭酸塩を常圧で前記供給水３０に送給し、前記ポンプ２１により加圧した後、前記酸供給部４５により炭酸塩を含有する前記供給水３０に酸を加える。これにより、前記供給水３０中のｐＨを下げると共に、炭酸塩と酸との反応により生成される二酸化炭素（ＣＯ2）を前記供給水３０に過飽和状態で溶解させることができる。
【００５４】
この結果、前記予備加圧ポンプ３８や、前記キャビテーション加圧ポンプ４３のような液体にガスを過飽和状態に溶解させるためのガス加圧設備を設けることなく、ガスを前記供給水３０に過飽和状態で溶解させることができる。尚ｐＨを低下させるために前記酸供給部４５より供給する酸は、硝酸（ＨＮＯ3）や、塩酸（ＨＣｌ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）等を用いれば良く、特にこれらに限定されるものではない。
【００５５】
本実施例によれば、液体にガスを過飽和状態に溶解させるためのガス加圧設備を設けることなく、ガスを前記供給水３０に過飽和状態で溶解し、膜表面で微細気泡が発生させて、膜洗浄をすることができる。
【００５６】
また、本発明による実施例１乃至実施例３に係るろ過装置は、複数台設置しても良い。
【００５７】
また、上述の実施例は、汚染海水中の有機物を処理する膜について説明したが、被処理水が有機物を含んだ液体であれば、例えば、半導体メーカーでの超純粋、原子力発電所での用水、河川水、湖沼水、下水二次処理水、工場廃水食品加工用途などにも変更実施することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
以上のように、本発明に係るろ過装置は、従来のようなオゾン等の薬品を利用し、散気設備を設置して費用を増大させることなく、又濾過水の一部を逆洗水として用いることなく膜の洗浄ができ、濾過水を全量淡水化することができるので、ろ過装置の膜の洗浄に用いるのに適している。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】実施例１に係るろ過装置の構成を示す概念図である。
【図２】前記膜に付着している濁質分等を除去する状態を示す図である。
【図３】圧力比（加圧／減圧）とろ過流束との関係を示す図である。
【図４】圧力比（加圧／減圧）と時間との関係を示す図である。
【図５】実施例２に係るろ過装置の構成を示す概念図である。
【図６】実施例３に係るろ過装置の構成を示す概念図である。
【図７】従来の膜洗浄方法を備えたろ過装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ  ろ過装置
１２  膜
１３  膜装置
２１  ポンプ
３０  供給水
３１  生産水
３２  濃縮水
３３  供給水ライン
３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ  ガス溶解部
３５  生産水ライン
３６  濃縮水ライン
３７  ガス溶解装置
３８  予備加圧ポンプ
３９  バイパスライン
４０  圧力計
４１  制御装置（ＣＰＵ）
４２  空気供給部
４３  キャビテーション加圧ポンプ
４４  炭酸塩供給部
４５  酸供給部
【図１】
2007216102.tif 000004
【図２】
2007216102.tif 000005
【図３】
2007216102.tif 000006
【図４】
2007216102.tif 000007
【図５】
2007216102.tif 000008
【図６】
2007216102.tif 000009
【図７】
2007216102.tif 000010