(57)【要約】【課題】  固定子に設けた開口部内をスライダが移動するように成した直交ロボットの軸用スライダ装置の同開口部に設けたベルト状カバーがスライダの移動時に開口部から外れてしまうという欠点を取除き、ベルト状カバーが外れることなくスライダが安定して移動できる直交ロボットの軸用スライダ装置を提供することにある。【解決手段】  固定されたフレームの開口部内をスライダが移動するように成し、前記開口部をスライダの移動方向に全面に亘って覆うベルト状カバーを設けた直交ロボットの軸用スライダ装置において、前記フレームの開口部はベルト状カバーの幅寸法より少し幅広の溝状ガイドの底面に開かれていることを特徴とする直交ロボットの軸用スライダ装置とした。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定されたフレームの開口部の内部をステージが移動し、前記開口部を前記ステージの移動する方向に覆うベルト状カバーを設けた直交ロボットの軸用スライダ装置において、
前記フレームの前記開口部は、前記ベルト状カバーの幅寸法より幅広の溝状ガイドの底面に開かれていること、
を特徴とする直交ロボットの軸用スライダ装置。
【請求項２】
前記溝状ガイドに換えて、前記開口部の幅方向の両縁部に対峙させた複数個の突起を設けたこと、を特徴とする請求項１記載の直交ロボットの軸用スライダ装置。
【請求項３】
前記直交ロボットは、前記フレーム側に固着された永久磁石と、前記ステージ側に設けたコイルとを有するリニアモータを使用した直交ロボットであること、を特徴とする請求項１あるいは請求項２の内のいずれか１記載の直交ロボットの軸用スライダ装置。
【請求項４】
前記ベルト状カバーの材料は、非磁性体であること、を特徴とする請求項１ないし請求項３の内のいずれか１項に記載の直交ロボットの軸用スライダ装置。
【請求項５】
前記ベルト状カバーの非磁性体材料は、プラスチックであること、を特徴とする請求項４に記載の直交ロボットの軸用スライダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直交ロボットの軸用スライダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の直交ロボットの一例として、平面、即ちＸ軸、Ｙ軸の２軸により上面から作業するよう構成された検査用ロボットについて、図５により説明する。この検査用ロボット１は、第１軸目の軸用スライダ装置２と第２軸目の軸用スライダ装置３とが互に直交して設けてある。ここで、第１軸目の軸用スライダ装置２におけるフレーム４の開口部５内を、矢印Ｘ方向に移動する第２軸目の軸用スライダ装置３の取付けられたスライダ６の移動と、第２軸目の軸用スライダ装置３のフレーム７における開口部８内を矢印Ｙ方向に移動するセンサ１０とを取付けたスライダ１１の移動とにより、テーブル１２上にある検査物９（９ａ、９ｂ、９ｃ……）を検査するように構成されている。
【０００３】
第１軸目の軸用スライダ装置２について、さらに図６および図７により詳細に説明する。図６は、従来の直行ロボットの軸用スライド装置の概要を示す説明図であり、図７は、図６の断面Ｄ−Ｄの拡大図である。ここでは，図５における第１軸目の軸用スライダ装置２または第２軸目の軸用スライダ装置３は、同一構成のため第１軸目の軸用スライダ装置２についてのみ説明する。フレーム４に設けた開口部５内をスライダ６は、図６で左右方向に移動するようになっており、同開口部５は、防塵等の目的でベルト状カバー１３により、スライダ６に設けたガイドローラ１４を介して開口部５の全面に亘って覆われている。このベルト状カバー１３は、スライダ６の移動方向に伸びており、比較的長く、しかも薄い形状のため高精度の製作は困難で、真直性も必ずしも良いというものではなかった。このような、ベルト状カバーを使用したスライダの一例は、たとえば、特許文献１の特開平８−２９０３８４号公報に示されている。
【特許文献１】特開平８‐２９０３８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような第１軸目の軸用スライダ装置２においてスライダ６が移動すると、同スライダ６内に設けたベルト状カバー１３をガイドするローラ１４の当たり具合、ベルト状カバー１３自身の真直性の悪さ、あるいは取り付け精度のこともあり、ベルト状カバー１３は、開口部５から左右（図中上下方向）に振れてしまい、開口部５から外れて、防塵の役目を果たさないばかりでなく、時にはスライダ６の移動を妨げたりするという事があり、したがって、そのような事を取り除くということが、課題として存在した。
【０００５】
本発明の目的は、前述のように従来の直交ロボットの軸用スライダ装置のように、スライダの移動時に、使用されているベルト状カバーが開口部から外れてしまうというような事をなくし、ベルト状カバーが開口部から外れることなく、スライダが安定して移動できる直交ロボットの軸用スライダ装置を提供することにある。
【０００６】
前述の課題を解決するため、本願発明者は、スライダの移動中にベルト状カバーが開口部から外れないようベルト状カバーを案内するためのガイドを設けることが好ましいという結論に達し、本発明を成すに至った。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述の目的を達成するため、本発明においては、固定されたフレームの開口部の内部をスライダが移動し、この開口部をスライダの移動方向に覆うベルト状カバーを設けた直交ロボットの軸用スライダ装置において、フレームの開口部は、ベルト状カバーの幅寸法より幅広の溝状ガイドの底面に開かれていること、を特徴とする直交ロボットの軸用スライダ装置とした。
【０００８】
また、溝状ガイドに換えて、開口部の幅方向縁部に対峙させた複数個の突起を設けることにより、好適な直交ロボットの軸用スライダ装置とした。
【０００９】
また直交ロボットは、フレーム側に固着された永久磁石と、スライダ側に設けたコイルとから成るリニアモータを使用した直交ロボットの軸用スライダ装置とすれば、より好適である。
【００１０】
更に、ベルト状カバーの材料は非磁性体とすれば、磁石を使用したリニアモータ駆動の直交ロボットの軸用スライダ装置に、より一層好適である。
【００１１】
更にまた、ベルト状カバーの非磁性体材料は、プラスチックとすることにより、好適な直交ロボットの軸用スライダ装置となる。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、可動子の移動中にベルト状カバーが開口部から外れることがなく、従って可動子も安定して移動ができ、開口部の防塵も可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に本発明の一実施形態例として、リニアモータを使用した直交ロボットの軸用スライダ装置を例にとり、図１ないし図３により説明する。説明に際し、直交ロボットの軸用スライダ装置は、例えばＸ、Ｙ、Ｚ軸のように複数軸あるが、皆同一であるからその内の１軸を例にとり説明する。図１は、この発明が適用される直行ロボットの軸用スライダ装置の一例についての概要を示す説明図であり、直行ロボットの軸用スライド装置２０のフレーム２２には、スライダ２５が用いられ、図で左右に開口部２４において距離Ｌだけ移動するよう、構成されている。
【００１４】
図２は、図１における断面Ａ−Ａの拡大された図で、スライダ２５には、ガイドローラ３０とそれによりガイドされるベルト状カバー２８が設けられている。また、リニアモータの基本構成である永久磁石２６およびコイル２７によりスライダ２５は、駆動力を受ける。
【００１５】
図３は、図２における断面Ｂ−Ｂの拡大図であって、直交ロボットの軸用スライダ装置２０の横断面図を示しており、すでに述べたように、永久磁石２６およびコイル２７とで基本的に構成されるリニアモータ２１は、スライダ２５への駆動力を発生する。
【００１６】
これらの図１ないし図３を使用し、この実施例の作用を全体的に説明する。この直交ロボットの軸用スライダ装置２０では、スライダ２５は、フレーム２２に設けたガイド２３に案内され、フレーム２２に設けた開口部２４内を、リニアモータ２１により図中左右方向に予め定められた距離Ｌだけ移動する。リニアモータ２１は、図２および図３に示されるように、フレーム２２に複数個交互にＮ、Ｓ極となるように並べられ、固着された永久磁石２６（２６ａ、２６ｂ……）と、スライダ２５に取付けられたコイル２７（２７Ｕ、２７Ｖ、２７Ｗ）から成り、スライダ２５への駆動力を発生する。
【００１７】
フレーム２２に設けた開口部２４は、図３において、防塵等の目的で設けたベルト状カバー２８の幅寸法Ｗより少しばかり広幅（ΔＷ）に、従って幅寸法（Ｗ＋ΔＷ）の溝２９の底部に開口している。  また、ベルト状カバー２８は、図２に示すように、スライダ２５に設けたガイドローラ３０を介して開口部２４の全面に亘って覆われている。従って、スライダ２５の移動にもかかわらず、ある程度の左右の振れも溝２９により抑えるようにできる。
【００１８】
ベルト状カバー２８の材質は、本実施形態のようにリニアモータを使用する場合には、その磁力に影響されないよう非磁性体、特にポリエチレン等のプラスチックを使用するのが良い。
【００１９】
この実施形態例では、以上説明したように構成したので、前述の作用をなし、したがって、スライダ２５の移動にもかかわらず、ベルト状カバー２８は開口部から外れることが無く、安定したロボットの軸用スライダ装置となった。
【００２０】
前述の説明においては、ベルト状カバーのガイドを、溝としたが、この溝に換えて、図４には、他の実施形態の例を示す。この形態例においては、フレーム２２に設けた開口部２４の幅方向の両縁部に複数個の突起３１（３１ａ、３１ｂ、３１ｃ……）を設け、ベルト状カバー２８の幅寸法Ｗより少し広幅寸法（Ｗ＋ΔＷ）になるよう、両縁部の突起３１を対峙させることにより、ベルト状カバー２８のガイドとしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】この発明が適用される直交ロボットの軸用スライダ装置の概要を示す説明面図で、その平面図ある。
【図２】この発明が適用される直交ロボットの軸用スライダ装置の概要を示す説明面図で、図１の断面Ａ−Ａ図の拡大図である。
【図３】この発明が適用される直交ロボットの軸用スライダ装置の概要を示す説明面図で、図２の断面Ｂ−Ｂの拡大図である。
【図４】この発明が適用される他の実施形態を示す直交ロボットの軸用スライダ装置の概要説明面図である。
【図５】従来の平面、即ちＸ軸、Ｙ軸の２軸により上面から作業する、検査用ロボットの概要の説明図である。
【図６】従来の直交ロボットの軸用スライダ装置の概要を示す説明面図である。
【図７】従来の直交ロボットの軸用スライダ装置の概要を示す説明面図で、図６の断面Ｄ−Ｄの拡大図である。
【符号の説明】
【００２２】
２０  直交ロボットの軸用スライダ装置
２１  リニアモータ
２２  フレーム
２３  ガイド
２４  開口部
２５  スライダ
２６  永久磁石
２７  コイル
２８  ベルト状カバー
２９  溝
３０  ガイドローラ
３１  突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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