(57)【要約】【課題】本発明の目的は、湿式現像することなく、高濃度の最終画像が得られ、かつその画像は画像部、非画像部との境界が明瞭である、パターンの製造方法を提供するものである。【解決手段】光源と、前記光源からの光を屈折させるレンズと、前記光源からの光により分解可能な材料とを用いるパターンの製造方法であって、実質的に前記レンズと前記光により分解可能な材料との距離が一定であり、かつ、パターンは、光により分解しなかった前記材料により形成されたものであるパターンの製造方法。【選択図】図１
2007038281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、前記光源からの光を屈折させるレンズと、前記光源からの光により分解可能な材料とを用いるパターンの製造方法であって、
実質的に前記レンズと前記光により分解可能な材料との距離が一定であり、かつ、
パターンは、光により分解しなかった前記材料により形成されたものであるパターンの製造方法。
【請求項２】
光が、レーザー光である請求項１記載のパターンの製造方法。
【請求項３】
光により分解可能な材料が、カーボンもしくは酸化チタンを全体の０．１〜６０重量％含む請求項１または２記載のパターンの製造方法。
【請求項４】
光による分解が、光の熱エネルギーによる分解を含むものである請求項１〜３いずれか記載のパターンの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４いずれかの製造方法で製造されて成るパターン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンの製造方法に関し、当該パターンは湿式の現像処理することなく製造できる。
【背景技術】
【０００２】
従来、光に例えられるような入力エネルギーを用いてパターンを製造する方法としては、ハロゲン化銀結晶、フォトポリマー、ジアゾ化合物などを用いる方法がある。それぞれの材料に惹起される変化としては、還元、昇華、重合、分解などの応答があり、潜像形成などの記録系へ応用されている。
【０００３】
また、入力エネルギーが光（広義には輻射線）の場合に留意すべきことは、暗反応蓄積を防止した十分な感度の感光系設計に帰着する。更に露光・非露光の差を利用する場合で、調子再現を要求される場合は、露光強度に依存してエネルギー利用効率を変調させていかなければいけない。銀塩感光材料は特異的にこの変調機構を内蔵していると理解されている。非銀塩系にとってこの問題は極めて解決が困難である。
【０００４】
いずれであっても、このような応答系を設計する場合、応答の可逆性に応じて、材料または系設計上の中心的な課題としては、
不可逆系の場合、応答材料の安定性と高感度の両立、
可逆系の場合、システムとしての完全な可逆性の維持、である。
【０００５】
不可逆系は、一般的に可逆系を高感度化（少ないエネルギーで記録を可能にすること）すると、設計の対象となるエネルギー種以外のものにも応答性が上がるため、保存中に特性が変化し易くなる。保存中の安定性の確保が実用化の鍵となっている。特に感光系の場合は、保存中の暗反応の蓄積は深刻で、大気中の酸素や水分の果たす役割が大きいと言われているが、定量的な研究は少ない。不可逆系の実用化を妨げてきたこの問題を解決することは、今後の有機感光系にとって中心的課題である。
【０００６】
例えば、銀塩系では、
感光単位である一つのハロゲン化銀結晶にフォトンが短い間隙で複数（最低4個）吸収されると始めて安定な潜像が形成される。暗所における電子の励起はボルツマン因子と結晶の格子振動で支配され、単位時間あたりの励起確率は低いが、その効果がそのまま蓄積すれば、殆どの結晶は短時間に感光してしまう。しかしそれらは、間欠的であるため安定な潜像を形成するには至らない。
【０００７】
光剥膜法など、例えば気泡写真の原理に基づくものに、興味ある暗反応防止機構が含まれているものがある。具体的には、感光性ジアゾ化合物の光分解を界面の接着力の変調として利用するが、暗反応で生じる窒素ガスは微量で、気泡を形成するには至らず、膜を通じて拡散してしまう。この機構は銀塩と違って消費的であり、保存期間が経過すると共に感光成分の濃度が低下するから、感度低下を伴う筈である。
【０００８】
しかし、最低必要以上のジアゾ化合物を予め塗布しておけば、一定の使用期間を前提に、感度低下を伴わずに利用できると思われる。この例でも判るように、暗反応防止とは系の応答特性に低照度不規を導入することと殆ど同義である。ただし、高感度の化合物は、高額であり実用価値は低くなる傾向が認められる。加えて、ジアゾ化合物は光を吸収して窒素ガスを放出、フェニルラジカルを生成、アルカリの存在下でフェノール、ナフトール誘導体とを反応させポジ像を得ることができる一方、現像液が必要など工程が煩雑な欠点がある。
【０００９】
一方、可逆系では、例えば暗反応の蓄積がないため、既に動画記録分野でテレビカメラに応用されていたが、ほぼ同じ原理をハードコピー出力に応用したのがカールソン法電子写真であった。この技術は有機応答系がそれまでに達成した感度限界を楽々と数桁近く更新し、銀塩拡散転写法や熱エネルギーを利用した密着反射複写法を一挙に過去のものとした。これはトナー現像という輻射率の高い現像法も大いに寄与するところである。
カールソン法電子写真を想定すれば、可逆系の理想の姿は簡単に描ける。即ち1回の複写後に系全体が複写前に戻っていることであり、感光体の寿命が長ければ、複写操作で消費されるトナーのみ補給すればよいことになる。実際には、感光体表面の汚れや感光体内部電子状態の変化、現像系の特性変化、系への紙粉の混入などの不可逆的変化が導入され理想の実現は難しい。そのため、これらの影響を受けにくい材料を用い且つ適宜保守作業を挟むことで、トナーのみの補給という理想を実現している実情がある。しかし、こういったカールソン法による電子写真では、媒体の種類や大きさに制限がある。
【００１０】
このように、最終像であるパターンを得るためには種々の方法があるが、高濃度の着色画像を現像液処理なしで、得ることは実用的に不可能であった。
また、電子感光体の系では現像液は使わないものの、任意のプラスティック基材やフィルム上に直接画像形成を行うことは困難であるし、得られる画像濃度も低く実用的価値は低い。
【００１１】
かかる問題を一気に解決できる施策としては、レーザーマーキングによる直接描画を応用することで可能になる。最近では、飲料缶、飲料容器、化粧品容器、医薬品容器、或いは電子部品、電気部品、電気製品、自動車部品、シート、カードなどの表面に製造年月日、賞味期限、製造会社名、製品名、シリアル番号などを明記する方法として、非接触で且つマーキング速度が速く、幅広い素材の表面形状にとらわれることなくマーキング可能であり、自動化、工程管理が容易な、レーザーマーキングが普及している。また、レーザーマーキングは、素材自身に直接マーキングするため、溶剤を含む通常のインキを使わず済み、そのため環境的にもクリーンなマーキング方法として最近注目を受けている。
【００１２】
現在、使用されているレーザーマーキングは、樹脂や金属などに直接レーザーを照射することにより、照射部分が熱分解したり蒸発することによって表面に物理的変化を生じさせたり、発色または脱色させることでマーキングする仕組みである。しかし、幅広い用途で使用されている樹脂をマーキングする場合、樹脂自身はレーザーの種類により多少の差はあるもののレーザー感度が低いためマーキングは困難である。特に、それらの樹脂は、大出力でありながら微細加工ができるＹＡＧレーザー光の波長１０６４ｎｍに対してはほとんど感度を持たない。
【００１３】
このような問題に対して、レーザー感度を持ちながら熱で変色する無機素材を一緒に樹脂に添加し、樹脂成型物のレーザーマーキング性を向上させることが行われている。
【００１４】
最近では、カード、容器等、厚みのある樹脂成型体へのレーザーマーキングの他、フイルム、シートといった折れ曲がりが可能な薄層形状体にもレーザーマーキングが展開されつつある。この場合、塗工により感熱発色層を形成することが多いため、一般的に感熱発色層の厚みが薄く、印字、描画した場合、コントラストが不鮮明であったり、感熱発色層を塗工後、そのまま印字した場合、加熱時の熱、発生ガス等で印字表面の形状が歪になる問題があった。また、その場合、後加工による印字表面の保護がないと実用性のある耐水性、耐油性、耐摩擦性、耐久性は得られなかった。
【００１５】
紙基材の場合は、レーザーマーキングに使用されている波長では紙基材に対して吸収を持たないため直接マーキングは困難である。そのため実際にはレーザー感度を有する感熱発色層を紙基材上に形成させてマーキングを行う方法や、更にレーザー感度を向上させるためにアルミニウムの蒸着等で反射層を形成することも開示されている。
【００１６】
多くの場合、エネルギーの高いレーザーによる化合物の昇華、分解といった物理的性質をパターン形成に利用するには、パターン解像度に問題を生じることが多く、例えばパターンの切れ性、画像部と非画像部との境界の明瞭性（＝以下γ（ガンマ）と略する。）と得られる着色濃度は、関係せず、高エネルギーのためパターニングに優れた画像を出力する。溶剤現像を含む感光材料の殆どは、このγと濃度とのバランスが取れないといって過言ではない。
【００１７】
レーザーはその種類と出力エネルギーの調整により、例えば高濃度の無機材料を含む面に集光する、即ちレーザーの集光度を意図的に制御することにより、そのパターンに応じた部分を破壊、或いはガス化することが可能である、更にエネルギー密度を調整することにより、高濃度の画像であっても、γを立たせる、即ち高コントラストのパターンを作成することが可能である。
【００１８】
パターンを製造する場合、光の照射した部分と、光の照射されなかった部分との物理的あるいは化学的な変化を利用して、大きく分けて、ポジ型とネガ型がある。ポジ型は、例えば、光照射部位が分解し、現像処理による潜像を顕在化させる処理工程を含むという特徴があり、ネガ型は、反対に光照射部位が架橋し、現像処理による潜像を顕在化させる処理工程を含むという特徴がある。
【００１９】
多くの場合、溶剤に対する溶解性の差を利用する、いわゆる湿式現像を行うものであるが、湿式現像工程には、例えばネガ型の銀塩写真では、厚み方向の光強度分布と応答の閾値効果により、原稿ウエッジに対応した銀量が生成される（生成物質量∝Log[露光量]）のに対し、ポジ型のジアゾ化合物では、露光中表面から分解していくため、殆ど入射光量に比例した応答となる。（分解物質量∝露光量）
【００２０】
パターンは、画像、非画像部に対応した、光を屈折させるレンズをレーザー光が通ることで、集光された部位がガス化されるため、レンズと画像部位の相対位置が確定する。この機能をセルフアライメント機能といい、どういった大きさの試料でも位置精度は保証される。
【特許文献１】特開平５−２２９２５６号公報
【特許文献２】特開平５−２５４２５２号公報
【特許文献３】特開平５−３０１４５８号公報
【特許文献４】特開平８−２５８０９号公報
【特許文献５】特開平１０−１３８６４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
本発明の目的は、湿式現像することなく、高濃度の最終画像が得られ、かつその画像は画像部、非画像部との境界が明瞭である、パターンの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明は、光源と、前記光源からの光を屈折させるレンズと、前記光源からの光により分解可能な材料とを用いるパターンの製造方法であって、
実質的に前記レンズと前記光により分解可能な材料との距離が一定であり、かつ、
パターンは、光により分解しなかった前記材料により形成されたものであるパターンの製造方法に関する。
【００２３】
また、本発明は、光が、レーザー光である上記パターンの製造方法に関する。
【００２４】
また、本発明は、光により分解可能な材料が、カーボンもしくは酸化チタンを全体の０．１〜６０重量％含む上記パターンの製造方法に関する。
【００２５】
また、本発明は、光による分解が、光の熱エネルギーによる分解を含むものである上記パターンの製造方法に関する。
【００２６】
また、本発明は、上記製造方法で製造されて成るパターンに関する。
【発明の効果】
【００２７】
本発明により、湿式現像することなく、非常に簡便な操作で、高濃度の最終画像が得られ、かつその画像は画像部、非画像部との境界が明瞭である、パターンの製造方法を提供することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明で用いられる光源としては、紫外光、可視光、赤外光の少なくともいずれかを含む光源が挙げられ、水銀ランプ、キセノンランプ、レーザーなどが挙げられる。光源から出た光は、必要に応じて、平行光もしくは収束光として用いるのが好ましく、レーザー光であることが好ましい。レーザーとしては、アルゴンレーザー、ヘリウムネオンレーザー、ＹＡＧレーザー、炭酸ガスレーザー、ＹＡＧレーザー、ＹＶＯ４レーザー、エキシマレーザーなどが挙げられる。
【００２９】
本発明で用いられるレンズは、光源から出た光が、当該光により分解可能な材料の全面に当たらないように屈折させることを目的とする。さらに、光を集光するように屈折させて、光の、レンズに入ったときの単位面積あたりのエネルギーに比べ、光により分解可能な材料に照射されるときの単位面積あたりのエネルギーを大きくする効果も期待できる。
【００３０】
エネルギーを大きくすることは、いわゆる画像の露光部、非露光部の差を生じせしめる面積の大小や最終画像の形状そのものに直接影響を与えるため、集光度や拡散度を更に制御し所望の高コントラスト画像を得るには、エネルギー量そのものが大きい方が好適である。
【００３１】
レンズの形状は、特に限定されるものではない。球面レンズ、非球面レンズのいずれであってもよい。また、表面に細かな凹凸を形成したものであっても、コンタクトレンズ状であっても、シリンダー状であってもよい。また、レンズは１つであっても、２つ以上の集合体であってもよい。
【００３２】
レンズの材質は、特に限定されるものではないが、光源からの光のパワーで損傷しにくいものが好ましい。例えば、ガラス、プラスチックなどが挙げられる。
レンズは、均一物質でできていても、部分的に屈折率が徐々に異なるような材料であってもよい。また、実質的に前記レンズと前記光により分解可能な材料との距離が一定となるように設定され、再現性のよいパターンを得ることができる。
【００３３】
なお、本発明でいうレンズは、集光のオンオフなどのために、ビーム径を自在に変化させるためのものではない。本発明において、集光のオンオフのためのレンズを使用することができるが、それは、実質的に光分解可能な材料との距離が一定であるレンズとは別に用いるものである。
また、通常、実質的に光分解可能な材料との距離が一定であるレンズと、光分解可能な材料との間の距離は、光の拡散などの効果を考慮すれば、短ければ短いほど好ましく、接触しているか、２００μｍ以内であることが好ましい。
【００３４】
本発明で用いられる光により分解可能な材料としては、光の光エネルギーまたは熱エネルギーにより分解しうる化合物を含んでいればよく、熱エネルギーを吸収しやすい点において、光源の光を吸収する顔料または染料系のものが好ましく、フタロシアニン顔料、各種金属酸化物類、カーボン顔料、グラファイトなどが好ましく、より好ましくは、カーボンブラックもしくは酸化チタンである。これらは必要に応じて複数種用いてもよい。
【００３５】
本発明で用いられる光により分解可能な材料は、上記顔料または染料以外に、バインダーを用いることができる。当該バインダーは、パターン形成前後の光で分解しうる化合物を保持するほか、形成されたパターンを保持する効果を有する。
【００３６】
本発明で用いることのできるバインダーとしては、特に限定はないが、光により分解可能な顔料または染料が分解する際に、一緒に分解できるものであることが好ましい。例えば熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂などの樹脂を使用できる。これらの樹脂は単独で用いてもよく、２種類以上を混合して用いてもよい。
【００３７】
熱可塑性樹脂として具体的には、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ナイロン系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ＡＢＳ系樹脂、ポリ乳酸系樹脂等が挙げられる。水性では、セルロース、メチルセルロース、メトキシセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸、カゼイン、ゼラチン、スチレン／無水マレイン酸共重合体塩、イソブチレン／無水マレイン酸共重合体塩、ポリアクリル酸エステル、ポリウレタン樹脂、アクリル／スチレン樹脂等が挙げられる。溶剤型樹脂としてはスチレン／マレイン酸、アクリル／スチレン樹脂、ポリスチレン、ポリエステル、ポリカーボネイト、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリブチラール樹脂、ポリアクリル酸エステル、スチレン／ブタジエン共重合体、スチレン／ブタジエン／アクリル酸共重合体、ポリ酢酸ビニル等がある。特に、燃焼時のダイオキシン類の発生原因となるハロゲンを含まず、安価で広く市場で使用されているポリプロピレン系樹脂、透明性が高く、リサイクル性の高いポリエステル系樹脂が好ましい。
【００３８】
熱硬化性樹脂として具体的には、メラミン系樹脂、尿素系樹脂、フェノール系樹脂、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ジアリルフタレート系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、フラン系樹脂等が挙げられる。
【００３９】
光硬化性樹脂として具体的には、不飽和ポリエステル系樹脂、アクリレート系樹脂、ポリエン／ポリチオール系樹脂、スピラン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミノアルキッド系樹脂、ジアリルフタレート系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、フラン系樹脂等が挙げられる。これら樹脂と必要に応じて各種モノマー、プレポリマー、光重合開始剤が使用される。
【００４０】
本発明において、レンズと光分解可能な材料は、互いに接触してまたは非接触で光分解可能な材料にパターンを形成させることができる。そのため、本発明で用いられる光により分解可能な材料は、必要に応じて溶剤、分散剤、酸化防止剤、レべリング剤、防黴剤、光増感剤などを添加して、公知の塗布方法などで膜などに形成される。膜の場合は、０．５〜２．０μｍが好ましいが、これに限定されるものではない。また、膜は、予めパターン状に形成されてもよい。当該パターンは、光により分解可能な材料を含んでなる塊状物体の表面のパターンに形状することもできる。
【００４１】
また、本発明において、光分解可能な材料は、必要に応じて基材上に塗布することができる。この場合基材は、各種基材を用いることができる。基材としては、各種プラスチック基材、金属、ガラス、陶器、木材、紙、布、繊維、岩石など特に限定されるものではない。基材が、充分な光透過性がある場合は、基材を通して光が照射されることになってもよい。
また、本発明によるパターンの製造方法では、レンズと光分解可能な材料とが一体となって、レンズ自体にパターンを形成させることも可能である。この際、レンズと光分解可能な材料との間に接着層などが存在していてもよい。
【００４２】
光源とレンズとの間にマスクをおいて、光源からの光の一部を遮ってもよい。
また、レンズが複数ある場合、レンズでない部分を透過した光が、光により分解可能な材料に直接照射されることがあってもよいし、あるいは、レンズ機能のない物質を透過後、光により分解可能な材料に照射されてもよい。
光源から出た光は、途中で、集光されたり、平行光としたり、ミラーなどに反射されてもよい。また、レンズにスキャニング露光してもよい。
また、パターン形成後、パターンを定着させる後処理があってもよい。
【００４３】
図１に本発明のパターン製造方法の一形態を示す。
【実施例】
【００４４】
以下、本発明の実施例を具体的に説明する。なお、数字は特に断らない限り重量基準とする。
【００４５】
下記の構成からなる光分解可能な材料を作成した。
＜実施例１＞
着色樹脂組成物層
１）下記の組成からなる光分解可能な材料の溶液を調整した。
バインダーポリマー；メチルメタアクリレート樹脂 Ｔｇ１０５℃、重量平均分子量１２万（Ａ−２１：ウイルバーエリス（株）製）１１．６部
カーボンブラック；（ＭｏｇｕｌＥ：キャボット・スペシャルティ・ケミカルズ・インク（株）製）２０．２部、
塩基性高分子分散剤；（ソスルパーズ２４０００ＳＣ：ゼネカ（株）製）４部
希釈溶剤；メチルエチルケトン３２．１部、トルエン３２．１部
【００４６】
これらを高速ホモミキサー（ＴＫロボミックス：特殊機化工業（株）製）にて完全に溶解するまで攪拌混合後、脱泡機ハイブリッドミキサーＨＭ５００（（株）キーエンス製）にて脱泡後、次いで直径１ｍｍφのジルコニアビーズを体積で８０％充填した内筒セラミック仕様分散機（アイガーモーターミル：森村商事（株）製）で循環分散を行い、加圧型アブ
ソリュート型カートリッジ（３０インチ長さ）１ミクロンフィルター（日本ポール（株）製）にて濾過を行い、光分解可能な材料の溶液を得た。
【００４７】
２）光分解可能な材料層の形成
上記１）で作成した光分解可能な材料の溶液を、基材となるポリエチレンテレフタレートフィルム；コスモシャインＡ４３００（東洋紡績（株）製厚み２５μｍ）の片面に乾燥後の感光層が１．３μｍとなるよう、マイクログラビアコーター（康井精機（株）製）を用いキスタッチ方式にて塗工形成、乾燥し、光分解可能な材料の層が形成されたドライフィルムを得た。
【００４８】
３）レーザー照射工程
上記２）で得たドライフィルムの塗工されていない面に非球面のシリンドリカルレンズを接触固定させ、ＹＶＯ４レーザー装置  ＭＤ−Ｖ９６００（ＫＥＹＥＮＣＥ社製）を使用してスキャンスピード：５００ｍ／ｓ（固定）、ＱＳＷ周波数：５ｋＨｚ（固定）の条件でレーザーパワーを可変して記録を行い、レンズを通過し、ガス化して画像が消失した部分とレンズを集光せずに残った記録画像の反射濃度（Ｏ．Ｄ.値）との差をマクベス社製透過濃度計ＴＲ−９２７で測定した。
ガス化した部分の透過濃度は、０．０２、ガス化しなかった部位の透過濃度は４．１２あり、画像／非画像部の境界は明瞭な画像（γが立っている）となった（図２参照）。レーザー集光部は、飛散せずガス化したため、残渣が残らなかった。
また、ＡＦＭ（セイコー電子工業（株）社製）を用いて断面方向のパターンの形状を観察したものを図２に示す。図２は、横巾７０μｍである。図の左側の黒い部分が、レーザー照射により分解したものであり、その段差は１．３μｍである。黒でない部分は、形成されたパターン（レーザーが選択的に照射されなかった部分）と支持体である。
【００４９】
＜実施例２＞
実施例１における、光分解可能な材料層のカーボンブラック量を０．２部とした他は、実施例１と全く同様の条件にてサンプルを作成した。
ガス化した部分の透過濃度は、０．０２、ガス化しなかった部位の透過濃度は０．２あり、画像／非画像部の境界は明瞭な画像（γが立っている）となった。レーザー集光部は、飛散せずガス化したため、残渣が残らなかった。
【００５０】
＜実施例３＞
実施例１における、光分解可能な材料層の酸化チタン量を３３部、樹脂量を７．３部とした他は、実施例１と全く同様の条件にてサンプルを作成した。画像／非画像部の境界は明瞭な画像（γが立っている）が得られた。レーザー集光部は、飛散せずガス化したため、残渣が残らなかった。
【００５１】
＜比較例１＞
実施例１における、レンズの代わりに予めパターニングされた銀塩フィルムを使用した他は、実施例１と全く同様の条件にてサンプルを作成した。
レーザーを、銀塩フィルムを通して照射したが、意図した着色樹脂層ではなく、銀塩フィルムの黒化画像そのものをガス化してしまい、着色樹脂層そのものをパターニングすることができなかった。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
実施例においては、パターンは、シリンドリカルレンズの長さ方向に1本の溝状のパターンが形成されたが、必要に応じてシミュレーションなどを行い、レンズの表面形状やマスクを加工することにより、任意のパターンが形成できる。本製造方法を用いれば、表面の凹凸を特徴とするレンズ、ホログラムなどの他、微細な回路パターン、紫外線レジスト用などのフォトマスクなど様々な応用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施の一形態の概略を示す(左：照射直前、右：照射後）。
【図２】実施例１のパターンの断面図を示す。
【符号の説明】
【００５４】
１．レーザー光源
２．エネルギー変調回路
３．ミラー
４．(レンズ）エネルギー集光部
５．レーザー光路
６．透明支持体
７．光分解可能な材料層
８．レーザー未照射により残留した光分解可能な材料層
９．レーザー照射により分解された光分解可能な材料層
【図１】
2007038281.tif 000003
【図２】
2007038281.tif 000004