(57)【要約】【課題】小型化を実現することができるポンプ装置、これを搭載したポンプ装置、これを搭載した冷却装置及びポンプ方法を提供すること。【解決手段】下流側のソレノイドコイル１２がＯＮとなり、上流側のソレノイドコイル２２がＯＦＦとなると、可動体２はマグネット６の磁極の配置により、原点位置から下流側へ移動する。可動体２が下流側へ移動しようとするとき、可動体２の周囲にある流体はその慣性によってそのままの位置に留まろうとする。この場合、可動体２の下流側にある流体は、筒部材４の流路４ａ内に流入し、弁体７がその流入した流体に押圧されることで弁体７は軸８を中心に回動し、可動体２内の流路４ａ、５ａ及び６ａを閉じる。この流路が閉じられると、さらなる可動体２の下流側への移動によって、弁体７により流体が押圧される。これにより、流体が図中右側へ移動する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を流通させる管と、
前記流体の流通方向に貫通する前記流体の流路を有し、前記管内に配置された可動体と、
前記可動体を前記流通方向に往復移動させる駆動機構と、
前記可動体に接続され、前記可動体が前記駆動機構により駆動されるときに、前記流体の慣性により前記流路を開閉する弁体と
を具備することを特徴とするポンプ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のポンプ装置であって、
前記可動体は、マグネットを有し、
前記駆動機構は、前記管の外側に配置された、磁界を発生させる磁界発生器を有することを特徴とするポンプ装置。
【請求項３】
請求項２に記載のポンプ装置であって、
前記駆動機構は、
前記管の外側に配置され、前記マグネットを静止位置に保持するバイアスマグネットを有することを特徴とするポンプ装置。
【請求項４】
請求項３に記載のポンプ装置であって、
前記バイアスマグネットは、前記管に非接触で保持するように磁界を発生することを特徴とするポンプ装置。
【請求項５】
請求項２に記載のポンプ装置であって、
前記マグネットは、前記流通方向に複数対の磁極を有し、
前記磁界発生器は、前記複数対の磁極に応じて、複数配置されていることを特徴とするポンプ装置。
【請求項６】
請求項５に記載のポンプ装置であって、
前記マグネットは、２対の磁極を有し、
前記磁界発生器は、２つ設けられ、
当該ポンプ装置は、前記２つの磁界発生器に交互に磁界を発生させる手段をさらに具備することを特徴とするポンプ装置。
【請求項７】
請求項１に記載のポンプ装置であって、
前記可動体は、
前記流路の端部を構成する、前記流通方向にほぼ垂直な開口面と、
前記開口面にほぼ平行に設けられ、前記弁体が回動するように接続される軸と
を有することを特徴とするポンプ装置。
【請求項８】
請求項７に記載のポンプ装置であって、
前記弁体は、板状でなることを特徴とするポンプ装置。
【請求項９】
請求項２に記載のポンプ装置であって、
前記マグネットは、
前記流通方向にほぼ垂直な面内で第１の幅でなる、前記流路を構成する第１の流路を有し、
前記可動体は、
前記面内で前記第１の幅より大きい第２の幅でなる、前記流路を構成する第２の流路を有し、前記マグネットの端部に設けられた筒部材を有することを特徴とするポンプ装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のポンプ装置であって、
前記弁体は、該弁体が閉じるとき、前記第２の流路内で回動して閉じるような位置に配置されることを特徴とするポンプ装置。
【請求項１１】
発熱体の熱を受ける受熱部と、
前記受熱部で受けた熱を放出する放熱部と、
流体を流通させ、前記受熱部及び前記放熱部に接続された管と、
前記流体の流通方向に貫通する前記流体の流路を有し、前記管内に配置された可動体と、
前記可動体を前記流通方向に往復移動させる駆動機構と、
前記可動体に接続され、前記可動体が前記駆動機構により駆動されるときに、前記流体の慣性により前記流路を開閉する弁体と
を具備することを特徴とする冷却装置。
【請求項１２】
流体が流通する管内で、該流体の流通方向に貫通する前記流体の流路を有する可動体を、前記流通方向に往復移動させるステップと、
前記可動体が移動するときに、前記可動体に接続された弁体で、前記流体の慣性により前記流路を開閉させるステップと
を具備することを特徴とするポンプ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を圧送するポンプ装置、これを搭載した冷却装置及びポンプ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、流体等に圧力を加えるポンプ手段として、回転羽根を搭載した一般的なモータが用いられることが多い。
【０００３】
また、磁界を発生するコイルと、その磁界で往復移動するマグネットピストンとを備え、そのピストンの往復移動によって水を圧送する給水ポンプがある（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１に記載された給水ポンプは、冷蔵庫の自動製氷装置が備える給水タンクに水を供給するために用いられる。
【特許文献１】特開２００２−３０３４７０号公報（段落[００１２]、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年では、これらのようなポンプを小型化したいという産業界の要望がある。特に、特許文献１に記載の給水ポンプのような構造では、吸入弁（２１）や吐出弁（２２）が移動するための弁室や、それらの弁によって開閉されるオリフィス等を設ける必要があるので、小型化するには限界がある。
【０００５】
一方、最近では、上記した回転羽根を用いるモータでも小型に改良されたものがある。しかし、回転羽根の回転軸の軸受部分の劣化の問題がある。また、モータの駆動部分であるメカ部分と流体が通る流路とのシール性を高めなければならない。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、小型化を実現することができるポンプ装置、これを搭載したポンプ装置、これを搭載した冷却装置及びポンプ方法を提供することにある。
【０００７】
本発明の別の目的は、流体が流通する部分とそうでない部分との間のシール性を向上させることができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係るポンプ装置は、流体を流通させる管と、前記流体の流通方向に貫通する前記流体の流路を有し、前記管内に配置された可動体と、前記可動体を前記流通方向に往復移動させる駆動機構と、前記可動体に接続され、前記可動体が前記駆動機構により駆動されるときに、前記流体の慣性により前記流路を開閉する弁体とを具備することを特徴とするポンプ装置。
【０００９】
本発明では、可動体が駆動されるときに、可動体の周囲にある流体、または流路内にある流体がそのままの運動状態、つまり可動体に対してほぼ静止の状態を維持しようとしてその位置に留まろうとする。つまり、流体に働く慣性を利用して、可動体に装着された弁体が動くことで、弁体が流路を開閉する。本発明では、可動体に流路が形成され、可動体に弁体が接続されているので、上記した弁室やオリフィス等が設けられず、非常に小型のポンプ装置を実現することができる。
【００１０】
「流通方向に貫通する」とは、管内で流体が第１の側から反対側の第２の側へ流れる場合、可動体における前記第１の側と前記第２の側とが貫通していればよく、流路の途中の経路は問わない。つまり流路が直線状であったり、折れ曲がっていたり、曲線状に形成されていてもよい。しかし、流路は管の長手方向に沿う直線状である場合が、ポンプ効率が最も良い。
【００１１】
本発明において、前記可動体は、マグネットを有し、前記駆動機構は、前記管の外側に配置された、磁界を発生させる磁界発生器を有する。磁界発生器が管の外側に配置されているので、管内と、メカ的な磁界発生器とを完全に分離することができ、シール性が向上する。
【００１２】
本発明では、可動体は、その一部がマグネットで構成されている形態が考えられるが、本発明には、可動体の全体がマグネットで構成される形態も含まれる。
【００１３】
本発明において、前記駆動機構は、前記管の外側に配置され、前記マグネットを静止位置に保持するバイアスマグネットを有する。これにより、ポンプ装置の非動作時でも、可動体を管内で保持することができる。
【００１４】
例えば可動体を保持する機械的なストッパを管内に設けることにより、非動作時に可動体を保持することができる。しかし、その場合、可動体とストッパが接触することによる磨耗、騒音、パーティクル等の発生等が懸念される。かかる観点から、本発明のようなバイアスマグネットが設けられれば、可動体が他の部材に対して非接触で保持され、非常に有利である。
【００１５】
本発明において、前記バイアスマグネットは、前記管に非接触で保持するように磁界を発生する。これにより、磨耗する部分がなくなり、装置の信頼性が向上する。
【００１６】
本発明において、前記マグネットは、前記流通方向に複数対の磁極を有し、前記磁界発生器は、前記複数対の磁極に応じて、複数配置されている。これにより、可動体が、流通方向に対して垂直な面内での方向にぶれることを抑制することができる。その結果、可動体の運動の安定性が向上する。また、駆動機構による駆動エネルギーを、可動体の往復運動のエネルギーに効率良く変換することができる。
【００１７】
本発明において、前記マグネットは、２対の磁極を有し、前記磁界発生器は、２つ設けられ、当該ポンプ装置は、前記２つの磁界発生器に交互に磁界を発生させる手段をさらに具備する。本発明によれば、上述したように可動体のぶれを抑制して安定して移動させることができるとともに、その往路及び復路の動きを確実に切り替えて可動体を移動させることができる。
【００１８】
あるいは、ポンプ装置は、上記の複数の磁界発生器に対して、前記可動体にほぼ同じ向きに力が働くような磁界を同期して発生する手段をさらに具備していてもよい。これによれば、可動体に働く力が増え、ポンプ力を増やすことができる。
【００１９】
本発明において、前記可動体は、前記流路の端部を構成する、前記流通方向にほぼ垂直な開口面と、前記開口面にほぼ平行に設けられ、前記弁体が回動するように接続される軸とを有する。本発明では、弁体が軸を中心として回動するように動く、簡単な構造でポンプ装置を実現でき、可動体や弁体等の部品の寸法精度を高精度に維持する必要がなくなる。回転羽根を用いるモータの場合、小型化しようとすると、特に軸受部分の寸法精度が非常に高くなってしまう。
【００２０】
本発明において、前記弁体は、板状でなる。これにより弁体が軽くなり、流体の慣性による動きのレスポンスを高めることができる。
【００２１】
本発明において、前記マグネットは、前記流通方向にほぼ垂直な面内で第１の幅でなる、前記流路を構成する第１の流路を有し、前記可動体は、前記面内で前記第１の幅より大きい第２の幅でなる、前記流路を構成する第２の流路を有し、前記マグネットの端部に設けられた筒部材を有する。例えば、可動体において弁体が設けられていない側に筒部材が配置される場合、可動体の外部にある流体が、第２の流路を介して第１の流路内に流体が流入しやすくなる。つまり、可動体の流体に対する抵抗を小さくすることができ、可動体を動きやすくすることができる。
【００２２】
一方、例えば可動体において弁体が設けられる側に筒部材が配置される場合、該弁体が閉じるとき、前記第２の流路内で回動して閉じるような位置に配置されることが望ましい。第１及び第２の幅が上記のように設定された上では、可動体の外部にある流体が第２の流路内に流入しやすくなり、そのことによって流体が確実に弁体を押圧し、確実に弁体を閉じることができるからである。
【００２３】
筒部材は、マグネットの一端部に設けられていてもよいし、または、両端部に設けられていてもよい。
【００２４】
本発明に係る冷却装置は、発熱体の熱を受ける受熱部と、前記受熱部で受けた熱を放出する放熱部と、流体を流通させ、前記受熱部及び前記放熱部に接続された管と、前記流体の流通方向に貫通する前記流体の流路を有し、前記管内に配置された可動体と、前記可動体を前記流通方向に往復移動させる駆動機構と、前記可動体に接続され、前記可動体が前記駆動機構により駆動されるときに、前記流体の慣性により前記流路を開閉する弁体とを具備する。
【００２５】
本発明に係るポンプ方法は、流体が流通する管内で、該流体の流通方向に貫通する前記流体の流路を有する可動体を、前記流通方向に往復移動させるステップと、前記可動体が移動するときに、前記可動体に接続された弁体で、前記流体の慣性により前記流路を開閉させるステップとを具備する。
【発明の効果】
【００２６】
以上のように、本発明によれば、小型化を実現することができる。また、流体が流通する部分とそうでない部分との間のシール性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００２８】
図１は、本発明の一実施の形態に係るポンプ装置を示す断面図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【００２９】
ポンプ装置１０は、流体を流通させる管１と、管１内を移動する可動体２と、この可動体２を駆動する駆動機構３とを備えている。管１及び可動体２は円筒形状をなしている。管１は、例えば非磁性材料が用いられ、例えばステンレス、またはアルミニウム等が用いられる。しかし、これら以外の金属、または樹脂であってもよい。管１の内径は、例えば５〜８ｍｍであるが、この範囲に限られない。
【００３０】
図３は、可動体２を示す分解斜視図である。可動体２は、例えば円筒状のマグネット６と、このマグネット６の両端に取り付けられた筒部材４及び５とで構成される。可動体２は、流体の流通方向（図１、図２及び図３中、Ｙ軸方向）に貫通する流体の流路２ａが形成されている。すなわち、マグネット６、筒部材４及び５の内部には、それぞれ流通方向に貫通孔６ａ、４ａ及び５ａが形成され、それらの貫通孔６ａが流体の流路２ａを構成する。
【００３１】
なお、後述するように、図１中Ｙ軸方向において流体は右方向に流れるので、これ以降の説明では、便宜のため、図１中において右側を「下流側」といい、左側を「上流側」という。
【００３２】
マグネット６の下流側の端部にはフランジ６ｂが形成されている。フランジ６ｂには、流通方向にほぼ垂直な面（Ｘ−Ｚ平面）に沿って延びるように設けられた軸８を介して弁体７が接続されている。すなわち、弁体７は、フランジ６ｂに形成される開口面６ｃを開閉するように回動自在に設けられている。下流側の筒部材４は、そのフランジ６ｂに装着されている。上流側の筒部材５及び下流側の筒部材４は、マグネット６に対して、カシメ、圧着、溶着、接着剤、超音波接合、あるいはレーザ接合等により接合することができる。あるいはその他の接合方法であってもよい。
【００３３】
図１に示すように、マグネット６の内径、すなわち流路の幅はｄ１である。筒部材４または５の内径、すなわち流路の幅はｄ２であり、ｄ１<ｄ２となるように設計されている。ｄ１は例えば１〜３ｍｍ、ｄ２は２〜４ｍｍであり、マグネット６の外形ｄ３は例えば４〜６ｍｍであるが、これらの範囲に限られない。
【００３４】
マグネット６は、例えば流体の流通方向に着磁されている。例えば、複数対の磁極が形成されるように着磁され、図１、３に示す例ではマグネット６は２対の磁極を有する。マグネット６は、樹脂が混合されたボンド磁石が用いられるが、これには限られず金属単体でもよい。ボンド磁石にNiメッキ等により耐性が施される。後述するバイアスマグネット１４及び２４も、マグネット６と同様の材料が用いられてもよいし、別の材料が用いられてもよい。
【００３５】
筒部材４及び５は、例えば非磁性材料の金属や樹脂でなり、金属の場合、例えばステンレスでなる。ステンレスとしては、ＳＵＳ３０４材が挙げられるがこれに限られない。
【００３６】
弁体７は、例えば板状または膜状に形成され、非磁性材料でなる。例えば弁体７の材料として、パイロライテックカーボンという黒鉛系のエンプラ材0.2tを用いることができるが、これに限られない。
【００３７】
駆動機構３は、マグネット６の磁極対の数に対応するように、２つの磁界発生器１１及び２１を有している。下流側の磁界発生器１１は、管１の外周に取り付けられたソレノイドコイル１２と、ソレノイドコイル１２の通電によって発生する磁束を集中させる２つのヨーク１３ａ及び１３ｂとを有している。２つのヨーク１３ａ及び１３ｂは、それぞれリング状に形成され、ソレノイドコイル１２を挟むように配置されている。上流側の磁界発生器２１も、上流側と同様の構成を備えている。
【００３８】
両ソレノイドコイル１２及び２２には、これらのソレノイドコイル１２及び２２に電気信号を送る図示しない駆動回路が電気的に接続されている。その駆動回路は、例えばフリップフロップ回路で構成され、両ソレノイドコイル１２及び２２に交互に電圧が印加されるようになっている。しかしながら、駆動回路はフリップフロップ回路に限られるわけではない。
【００３９】
下流側の磁界発生器１１のソレノイドコイル１２の内周側であって、管１の外周面に１ａはリング状のバイアスマグネット１４が装着されている。上流側の磁界発生器２１にも同様に、リング状のバイアスマグネット２４が装着されている。下流側及び上流側のバイアスマグネット１４及び２４は、それぞれ径方向に着磁され、互いに着磁方向が逆向きとなっている。これは、可動体２のマグネット６の磁極の位置に対応するように設計されてものである。このような着磁方法によって、また、マグネット６及びバイアスマグネット１４等の磁気バランスが適切に設計されることにより、可動体２が管１内で非接触で、つまり浮遊するように、図１に示すような原点位置に位置決めされている。この原点位置は、駆動機構３が駆動しないとき、すなわち非動作時における可動体２の静止位置となる。このように、非接触であることにより、可動体２や管１内の内壁で磨耗する部分がなくなり、ポンプ装置１０の信頼性が向上する。
【００４０】
例えば可動体２を保持する機械的なストッパを管１内に設けることにより、非動作時に可動体２を保持することができると考えられるが、その場合、可動体２とストッパが接触することによる磨耗、騒音、パーティクル等の発生等が懸念される。かかる観点から、本実施の形態のようなバイアスマグネット１４及び２４が設けられれば、可動体２が他の部材に対して非接触で保持され、非常に有利である。
【００４１】
このように、磁界発生器１１及び２１が管１の外側に配置されることにより、管１内と、メカ的な磁界発生器１１及び２１とを完全に分離することができ、従来のような回転羽根のモータとは異なり、シール性が向上する。
【００４２】
また、可動体２の移動方向で、マグネット６が複数対の磁極で着磁され、これに対応するように磁界発生器１１及び２１が複数設けられることにより、可動体２が例えば径方向でぶれることを抑制することができる。その結果、可動体２の運動の安定性が向上する。また、磁界発生器１１及び２１による駆動エネルギーを、可動体２の往復運動のエネルギーに効率良く変換することができる。
【００４３】
以上のように構成されたポンプ装置の動作を以下に説明する。図４は、その動作を示す図である。
【００４４】
例えば、下流側のソレノイドコイル１２に直流電流が印加される。具体的には、下流側のヨーク１３ａがＮ極、上流側のヨーク１３ｂがＳ極となる方向に磁界が発生するように直流電流が印加される。このとき、上流側の磁界発生器２１のソレノイドコイル２２には通電されない。つまり、ソレノイドコイル１２がＯＮとなり、ソレノイドコイル２２がＯＦＦとなると、可動体２はマグネット６の磁極の配置により、図１の原点位置から、図４（Ａ）に示すように下流側へ移動する。可動体２が下流側へ移動しようとするとき、可動体２の周囲にある流体はその慣性によってそのままの位置に留まろうとする。この場合、可動体２の下流側にある流体は、筒部材４の流路４ａ内に流入し、弁体７がその流入した流体に押圧されることで弁体７は回動し、流路２ａ（図３参照）を閉じる。流路２ａが閉じられると、さらなる可動体２の下流側への移動によって、弁体７により流体が押圧される。これにより、流体が図中右側へ移動する。この可動体２が移動する量は、例えば１〜３ｍｍ程度であるが、これに限られない。
【００４５】
ここで、上記したように、ｄ１<ｄ２（図１参照）となるように設計され、かつ、弁体７は、筒部材４の流路４ａ内で回動して閉じるような位置に配置される構造である。これにより、可動体２の下流側の外部にある流体が当該流路４ａ内に流入しやすくなり、確実に弁体７を閉じることができる。
【００４６】
また、そのように弁体７が筒部材４の流路４ａ内で回動して閉じるような位置に配置されることにより、筒部材４の内壁が、弁体７が開く方向へ移動しすぎることを規制するストッパの機能を果たす。これにより、可動体２が図４（Ａ）中、右方向へ動いても弁体が開きすぎて閉じなくなってしまう等の不具合を解決することができる。
【００４７】
一方、図４（Ａ）に示す状態から、ソレノイドコイル２２に直流電流が印加、つまりＯＮとされ、ソレノイドコイル１２がＯＦＦとされる。この場合、ソレノイドコイル２２には、下流側のヨーク２３ａがＮ極、上流側のヨーク２３ｂがＳ極となる方向に磁界が発生するように直流電流が印加される。そうすると、可動体２はマグネット６の磁極により、図４（Ａ）に示す状態から、図４（Ｂ）に示すように、上流側へ移動する。可動体２が上流側へ移動しようとき、可動体２の周囲にある流体はその慣性によってそのままの位置に留まろうとする。したがって、その流体の慣性により、弁体７は流路２ａを開くように回動する。ここで、上記したように、ｄ１<ｄ２（図１参照）となるように設計されているので、可動体２の上流側にある流体が、筒部材５の流路５ａを介してマグネット６の流路６ａ内に流体が流入しやすくなる。つまり、可動体２の流体に対する抵抗を小さくすることができ、可動体２を動きやすくすることができる。これにより、図４（Ａ）に示す状態から図４（Ｂ）に示す状態にかけて、流体の位置はほぼそのままで、可動体２のみが上流側へ移動する。
【００４８】
以上のような動作を繰り返すように、両ソレノイドコイル１２及び２２に交互に電流が印加されることにより、可動体２が管１内で往復動作し、流体が圧送される。例えばＯＮ／ＯＦＦ切り替えの駆動周波数により、流体の流量が制御される。
【００４９】
本実施の形態では、可動体２内に流路２ａが形成され、流体に働く慣性を利用して、可動体２に装着された弁体７が動くことで、弁体７がその流路２ａを開閉するので、非常に小型化されたポンプ装置１０を実現することができる。
【００５０】
本実施の形態では、可動体２に接続された弁体７が開閉する簡単な構造でポンプ装置１０を実現することができ、可動体２や弁体７等の部品の寸法精度を高精度に維持する必要がなくなる。回転羽根を用いるモータの場合、小型化しようとすると、特に回転軸の軸受部分の寸法精度が非常に高くなってしまう。
【００５１】
本実施の形態では、磁界発生器１１及び２１が２つ設けられて上記のように交互に電流印加されることにより、上述したように可動体２のぶれを抑制できるとともに、その往路及び往路及び復路の動きを確実に切り替えて、レスポンス良く可動体２を移動させることができる。
【００５２】
なお、マグネット６の長さ、着磁の仕方、または磁界発生器１１等の配置によっては、両ソレノイドコイル１２及び２２が同じ向きに同期して磁界を発生するように駆動されてもよい。その場合、直流電流より交流電流の方が好ましい。これにより、可動体２に働く力を増やすことができ、ポンプ力を増やすことができる。
【００５３】
本実施の形態では、弁体７は板状あるいは膜状でなるので、弁体７が軽くなり、流体の慣性による動きのレスポンスを高めることができる。
【００５４】
本実施の形態では、マグネット６が樹脂でなるので、金属でなる場合に比べ、可動体２が軽くなり駆動時のレスポンスが向上する。マグネット６の材質は、ポンプ装置１０の大きさ、駆動信号のパワー、流体の種類（例えば密度や粘度の違い）等によって適宜変更可能である。
【００５５】
図５は、上記ポンプ装置１０が搭載された冷却装置を示す平面図である。冷却装置５０は、例えばコンピュータ等に搭載される水冷装置である。流体としては、例えば水が用いられる。冷却装置５０は、発熱体として例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）３１と熱的に接続された受熱部３２と、熱を放出する放熱部３３と、これら受熱部３２及び放熱部３３に接続され、水が流通するパイプ３４及び３５と、パイプ３４及び３５にそれぞれ設けられたポンプ装置１０及び１１０とを備えている。この例では、ポンプ装置は２つ設けられ、ポンプ装置１０が受熱部３２から見て下流側に設けられ、ポンプ装置１１０が受熱部３２から見て上流側に設けられている。このように複数のポンプ装置１０及び１１０が、パイプ３４及び３５を含む全ての経路（流路）上で、互いに極力離れた位置にそれぞれ配置されることにより、流体に脈流が発生してしまうことを抑制することができる。つまり、流体のレスポンスを高めることができる。ポンプ装置は、２つに限られず、パイプの長さ等に応じて適宜その数を増減することができる。
【００５６】
受熱部３２は、熱伝導性の高い部材、例えばアルミや銅等の金属、あるいはカーボンを含む部材等で構成されるが、これらに限られない。放熱部３３も同様に高熱伝導性の部材であり、放熱フィン等のヒートシンクが設けられる。パイプ３４及び３５は、ステンレス、アルミ等の金属でなるが、樹脂等であってもよい。
【００５７】
ポンプ装置１０の駆動機構３には、駆動回路３６、３７が接続され、駆動回路３６、３７によりポンプ動作が制御される。駆動回路３６、３７は、それぞれ上述したようなフリップフロップ等の回路で構成されればよいが、もちろんこれには限られない。
【００５８】
図６は、冷却装置５０のうち、ポンプ装置１０及び１１０が配置される部分を拡大した断面図である。ポンプ装置１０は流体を右に移動させるように配置されれば、当然ながらポンプ装置１１０は、流体を左に移動させるように配置される。駆動方法としては、例えばポンプ装置１０の下流側のソレノイドコイル１２がＯＮとされるタイミングと同期して、ポンプ装置１１０の下流側のソレノイドコイル１１２がＯＮ、上流側のソレノイドコイル２２及び１２２がそれぞれＯＦＦとされる。また、ポンプ装置１０の上流側のソレノイドコイル２２がＯＮとされるタイミングと同期して、ポンプ装置１１０の上流側のソレノイドコイル１２２がＯＮ、下流側のソレノイドコイル１２及び１１２がそれぞれＯＦＦとされる。
【００５９】
このような冷却装置５０によれば、上記したようにポンプ装置１０または１１０が非常に小型化されるので、冷却装置５０及びこれを搭載した図示しない電子機器を小型化することができる。
【００６０】
本発明は以上説明した実施の形態には限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
【００６１】
上記冷却装置５０では、流体は水が用いられたが、他の冷却用の流体であってもよい。また、ポンプ装置１０は冷却装置ばかりでなく、他のさまざまな機器に応用することができる。流体としては、水だけに限らず、例えば油圧ポンプ装置では油、ガス圧ポンプ装置ではガスが用いられる。
【００６２】
図５において、発熱体としてＣＰＵを例に挙げたが、発熱体としては、例えば他のＩＣ、コイル、抵抗等の電子部品、ヒートシンク等でもよく、あるいはこれら以外の発熱するものなら何でもよい。
【００６３】
上記実施の形態では、バイアスマグネット１４等は、ヨーク１３ａ及び１３ｂに挟まれるように設けられていた。しかし、可動体２が静止できるような磁気バランスが発生しさえすれば、バイアスマグネット１４または２４は、Ｙ軸方向でどこに設けられていてもよい。また、上記実施の形態では、両バイアスマグネット１４及び２４の着磁方向は互いに逆であったが、可動体２のマグネット６のＹ軸方向の長さ、磁極対の数、あるいは磁界の強さ等によっては、同じ方向でもよい。
【００６４】
上記実施の形態では、筒部材４及び５がマグネット６の両端に設けられる形態を説明したが、マグネット６のいずれか一端に設けられる形態も考えられる。筒部材４または５の流路４ａまたは５ａを構成する内壁に、マグネット６に向かうにしたがい徐々に筒部材４または５ａの流路の幅が徐々に狭くなるテーパが形成されていてもよい。これにより可動体２の流体に対する抵抗を小さくすることができる。
【００６５】
上記実施の形態では、筒部材４及び５がマグネット６に装着されている形態を説明したが、筒部材４及び５は必ずしも設けられていなくてもよい。その場合、上述したような弁体７が開きすぎるのを規制するストッパとして、軸８にそのようなストッパ機能があればよい。
【００６６】
例えば、冷却装置５０は、水質（例えば温度、流体量、または水圧等）センサを用いて、そのうちの少なくとも１つの水質を制御する制御部をさらに備えていてもよい。これにより、冷却装置５０の安定化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の一実施の形態に係るポンプ装置を示す断面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】可動体を示す分解斜視図である。
【図４】ポンプ装置の動作を示す図である。
【図５】本実施の形態に係るポンプ装置が搭載された冷却装置を示す平面図である。
【図６】冷却装置のうち、ポンプ装置が配置される部分を拡大した断面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１…管
２…可動体
２ａ…流路
３…駆動機構
４、５…筒部材
６…マグネット
４ａ、５ａ、６ａ…貫通孔（流路）
６ｂ…フランジ
６ｃ…開口面
７…弁体
８…軸
１０、１１０…ポンプ装置
１１、２１…磁界発生器
３１…ＣＰＵ
３２…受熱部
３３…放熱部
３４…パイプ
３６．３７…駆動回路
５０…冷却装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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