(57)【要約】【課題】大型のパワーモジュールを対象とし、複数台のワイヤボンディング装置を同時に稼動させるワイヤボンディングシステムにおいて、設置するクリーンルームの空間的・時間的利用効率を向上し、ワークの供給・排出ラインを簡単な搬送機構とする。【解決手段】ボンディング前のワーク２ａを搬送するワーク供給ライン３とボンディング後のワーク２ｂを搬送するワーク排出ライン４とを前後に有するワイヤボンディングシステム１におけるワイヤボンディング装置５であって、ワーク２をボンディングするボンディングヘッド６を回転、上下動および平面移動させるボンダ機構部７を備え、該ボンダ機構部７が支持体８によって、ワーク供給ライン３からワーク排出ライン４へワークを搬送する搬送路６の上方に配置されたことを特徴とするワイヤボンディング装置５を提供する。【選択図】図４
2007103872.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンディング前のワークを搬送するワーク供給ラインとボンディング後の前記ワークを搬送するワーク排出ラインとを前後に有するワイヤボンディングシステムにおけるワイヤボンディング装置であって、前記ワークをボンディングするボンディングヘッドを回転、上下動および平面移動させるボンダ機構部を備え、該ボンダ機構部が支持体によって、前記ワーク供給ラインから前記ワーク排出ラインへ前記ワークを搬送する搬送路の上方に配置されたことを特徴とするワイヤボンディング装置。
【請求項２】
前記支持体が、前記ワーク供給ラインから前記ワーク排出ラインへ前記ワークを搬送する搬送路の両側に脚部を有することを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンディング装置。
【請求項３】
前記ワーク供給ラインの一部をなす搬送手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤボンディング装置。
【請求項４】
前記ワーク排出ラインの一部をなす搬送手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載のワイヤボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤボンディング装置に関し、特に大型の半導体デバイスを対象とするときに有用な、ワイヤボンディング装置を並列に複数台配置したワイヤボンディングシステムを構成するワイヤボンディング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程のうち、１つのデバイスに対する作業時間に長時間を要するワイヤボンディング工程においては、複数台のワイヤボンディング装置を並置して複数のデバイスを同時にボンディングするワイヤボンディングシステムが広く用いられている。
【０００３】
一般に、これらワイヤボンディングシステムは、複数台のワイヤボンディング装置を直線状に配列し、ワイヤボンディング装置間をベルトコンベアなどの搬送手段で連結して製造ラインを構成するインライン・ワイヤボンディング・システムであって、これらは建設・維持コストのかかるクリーンルーム内において使用される。したがって、インライン・ワイヤボンディング・システム自体の面積を縮小し、かつシステムを効率良く稼動させるなど、限られた空間および時間を効率良く利用する必要がある。
【０００４】
インライン・ワイヤボンディング・システムを縮小し、クリーンルームの空間的利用効率を図る技術として、リードフレームをマガジン単位で搬送するワイヤボンディング装置において、ローダとアンローダを兼用して空マガジンおよびアンローダ機構を省略して装置を縮小化したワイヤボンディング装置（特許文献１参照）や、ワイヤボンディング装置間に搬送方向の反転可能なマガジン搬送機構を設け、マガジンの供給ラインと排出ラインとを兼用させて、自動搬送車のアクセスエリアを１箇所にすることによって空間の利用効率を図るインライン・ワイヤボンディング・システム（特許文献２参照）がある。
【０００５】
また、インライン・ワイヤボンディング・システムの稼動効率を高め、クリーンルームの時間的利用効率を図る技術として、直線状に配置されたワイヤボンディング装置間およびその前後に、ワークの取り込み、受け渡しを行う複数段の搬送口を有する搬送装置を配備し、生産効率の向上を図ったワイヤボンディング装置（特許文献３参照）や、ワイヤボンディング装置を並列に配置し、上下可動式の搬送ベルトと水平稼動式の搬送ベルトとを設け、ワーク供給用ベルトとワーク排出用ベルトとの２本の搬送ベルトを上下に配置して搬送および排出をそれぞれ別のベルトにより行うことにより稼動効率を高めた並列ワイヤボンディング装置（特許文献４参照）などがある。
【特許文献１】特開平４−２４５６５１号公報
【特許文献２】特開平６−１６３６２７号公報
【特許文献３】特開平７−４５６４０号公報
【特許文献４】特開平５−２５９２００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、例えば寸法が３００ｍｍ×３００ｍｍ程ある自動車などに用いられる大型のパワーモジュールなどを対象にする場合、ワーク１つ当たりの大きさ、重量が大きいため、複数台のワイヤボンディング装置を同時に稼動させるワイヤボンディングシステムにおいて、マガジンや複数段の搬送装置を用いるのは設備を大型化し、クリーンルームの空間的な利用効率が悪い。したがって、ワークをそれぞれ個別に取り扱い、如何に空間的・時間的な利用効率を向上させるかが課題となる。
【０００７】
ここで、前記大きさのワークを対象とし、従来技術に基づいて構成されるインライン・ワイヤボンディング・システムとして、複数のワイヤボンディング装置を直線状に配列して、ワークをボンディングするときに載置するワーク台同士を搬送手段により直列に連結したインライン・ワイヤボンディング・システムを検討してみると、連結されるワーク台同士の間に設置されるワーク搬送手段は、対象ワークの寸法以上、すなわち少なくとも３００ｍｍ＊３００ｍｍ以上の大きさが必要となる。そのため、如何にワイヤボンディング装置の幅を小さくしても、ワーク搬送手段の長さ分が余計に必要となって、インライン・ワイヤボンディング・システムの延長が長くなる。よって、クリーンルームの空間的利用効率が低い。また、１つの搬送路でワークの供給と排出を行うため、ワイヤボンディング装置の台数が多くなると、ワークを搬送しているときに装置を稼動できなくなる供給・排出時間が長くなったり、１台のワイヤボンディング装置が故障すると他のワイヤボンディング装置を稼動できなくなるなど、時間的利用効率も低い。
【０００８】
また、隣接するワイヤボンディング装置のワーク台同士を直列に連結するのではなく、ワイヤボンディング装置を近接させて並置し、ワークを供給する搬送手段およびワークを排出する搬送手段の２つの搬送ラインをワイヤボンディング装置の正面に並設するワイヤボンディングシステムを検討してみると、ワイヤボンディング装置のワーク台の正面側に対象となるワークの寸法の２倍以上、すなわち少なくとも６００ｍｍ幅の搬送ラインスペースが必要となる。そのため、監視員などからワーク台およびボンディングヘッドまでの距離が遠くなって、これらのメンテナンスなどが困難となる。
【０００９】
一方、供給ラインの搬送手段と排出ラインの搬送手段とを上下に配設すると、ワーク台の正面に必要な搬送ラインスペースを半減することはできるが、ワークをそれぞれのラインに移送する新たな上下機構が必要となって搬送手段が複雑な構造となる。また、ワーク台やボンディングヘッドまでの距離は近くなるが、下方に配設された搬送手段は、上方に配設された搬送手段により空間的な制約を受け、構造が複雑になって故障の発生頻度が高くなると共に、搬送手段のメンテナンスも困難になる。
【００１０】
そこで、大型のパワーモジュールを対象とし、複数台のワイヤボンディング装置を同時に稼動させるワイヤボンディングシステムにおいて、ワイヤボンディング装置のクリーンルームの空間的な利用効率を向上するためにワイヤボンディングシステムの面積を縮小し、クリーンルームの時間的な利用効率を高めるためにそれぞれのワイヤボンディング装置の稼動効率を高め、ワークの供給・排出ラインを簡単な搬送機構とすることによって、ワイヤボンディングシステムの故障の発生頻度を低減し、かつメンテナンスを容易に行い得るワイヤボンディングシステムを構成するワイヤボンディング装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、第１の手段として、本発明は、ボンディング前のワークを搬送するワーク供給ラインとボンディング後の前記ワークを搬送するワーク排出ラインとを前後に有するワイヤボンディングシステムにおけるワイヤボンディング装置であって、ワークをボンディングするボンディングヘッドを回転、上下動および平面移動させるボンダ機構部を備え、該ボンダ機構部が支持体によって、ワーク供給ラインからワーク排出ラインへワークを搬送する搬送路の上方に配置されたことを特徴とするワイヤボンディング装置を提供する。
【００１２】
これによると、幅をできるだけ小さくした複数のワイヤボンディング装置を密接させて並置することにより、ワイヤボンディングシステムの延長を短縮して、クリーンルームの空間的な利用効率を向上することができる。また、ワーク供給ラインとワーク排出ラインとをそれぞれ独立した搬送手段とすることにより、ワークの供給時または排出時にワイヤボンディング装置が稼動できなくなる不都合を回避し、例えワイヤボンディング装置が故障しても、故障していない他のワイヤボンディング装置を稼動させることもできて、クリーンルームの時間的な利用効率を向上することができる。さらに、ワーク供給ラインとワーク排出ラインとをワイヤボンディング装置の前後に配置することにより、ワーク台の正面に幅広の搬送ラインスペースを必要とせず、搬送手段を簡単な機構とすることにより故障の発生頻度を低減する。
【００１３】
また、第２の手段として、本発明は、前記第１の手段であるワイヤボンディング装置において、支持体が、ワーク供給ラインからワーク排出ラインへワークを搬送する搬送路の両側に脚部を有するワイヤボンディング装置を提供する。
【００１４】
大型のパワーモジュールを対象としたときに、ワイヤボンディング装置の一方の側面に搬送路を、他方の側面に支持体を配置すると、支持体の剛性を維持するためにワイヤボンディング装置幅が大きくなるが、これによると、ワイヤボンディング装置の幅いっぱいを使用した両側端に支持体の脚部を配置し、脚部の間にワーク搬送路として装置後方へ通ずる開口を設けた所謂門型構造とすることにより、ワイヤボンディング装置幅の縮小化を図りつつ支持体の全体幅を大きくして剛性を高め、加えてボンダ機構部に組み込まれた制振装置によりボンディングヘッドの移動に伴って発生する振動を抑制する。したがって、隣接する装置への振動伝達の影響が低減されてワイヤボンディング装置同士の近接設置を可能とすると共に、ボンディングの位置精度を向上することができる。さらに、ワーク搬送路をワイヤボンディング装置幅の中央に配置できるためボンダ機構部を門型支持体の中央に配置することよりワイヤボンディング装置幅の縮小化、ワイヤボンディング装置の重量バランスの最適化にも資する。
【００１５】
また、第３の手段として、本発明は、前記第１または第２の手段であるワイヤボンディング装置において、ワーク供給ラインの一部をなす搬送手段をさらに備えたワイヤボンディング装置を提供する。
【００１６】
これによると、ワーク供給ラインの一部を構成する搬送手段をワイヤボンディング装置に予め設置することにより、複数のワイヤボンディング装置を並置した後に当該部分の搬送手段を設ける必要がなくなりワイヤボンディングシステムの設置が容易となる。また、並置するワイヤボンディング装置の台数によって延長を変化させる必要があるワーク搬送手段の長短を変更自在とし、その取り扱いが容易となる。
【００１７】
また、第４の手段として、本発明は、前記第１〜第３のいずれかの手段であるワイヤボンディング装置において、ワーク排出ラインの一部をなす搬送手段をさらに備えたワイヤボンディング装置を提供する。
【００１８】
これによると、第３の手段と同様に、ワーク排出用の搬送手段を新たに設ける必要がなくなりワイヤボンディングシステムの設置が容易であり、並置するワイヤボンディング装置の台数によって延長を変化させる必要があるワーク搬送手段の長短を変更自在とし、取り扱いが容易である。
【発明の効果】
【００１９】
これらの手段を用いることにより、大型のパワーモジュールを対象としたワイヤボンディングシステムを構成するワイヤボンディング装置において、ワイヤボンディング装置幅の縮小化を図りつつ支持体の剛性を高め、複数のワイヤボンディング装置を近接設置することにより、ワイヤボンディングシステムの延長を短縮して、クリーンルームの空間的な利用効率を向上することができる。また、供給ラインおよび排出ラインの２本の搬送ラインを設けて簡単な機構とすることにより、ワイヤボンディング装置の稼動効率を高め、かつ搬送ラインの故障の発生頻度を低減して時間的利用効率を高めると共に、搬送ラインやボンディングヘッドなどのメンテナンスを容易にする。また、ワイヤボンディングシステムの設置やワイヤボンディング装置の台数の変更などを容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
図１は、本発明によるワイヤボンディング装置を用いて構成したワイヤボンディングシステムを示す正面図である。また、図２は、本発明によるワイヤボンディング装置を用いて構成したワイヤボンディングシステムを示す側面図であり、図３は、図２中のIII矢視を示す平面図である。図４は、本発明によるワイヤボンディング装置を用いて構成したワイヤボンディングシステムを一部破断して示す斜視図である。
【００２２】
ボンディング前のワーク２ａを搬送するワーク供給ライン３とボンディング後のワーク２ｂを搬送するワーク排出ライン４とを前後に有するワイヤボンディングシステム１におけるワイヤボンディング装置５は、ワーク２をボンディングするボンディングヘッド６を回転、上下動および平面移動させるボンダ機構部７を備えている。ボンダ機構部７は、支持体８によって、ワーク供給ライン３からワーク排出ライン４へワーク２を搬送する搬送路９の上方に配置されている。
【００２３】
支持体８は、ワーク供給ライン３からワーク排出ライン４へワーク２を搬送する搬送路９の両側に脚部８ａを有する、所謂門型構造をなしている。ワイヤボンディング装置５はそれぞれ、ワーク供給ライン３の一部をなす搬送手段であるワーク供給ベルト１０と、ワーク排出ライン４の一部をなす搬送手段であるワーク排出ベルト１１とを備えている。
【００２４】
図３において、ワイヤボンディング装置５の背面側に設置されたワーク供給ベルト１０の長さはワイヤボンディング装置５の幅寸法ａと略同じであって、３台のワイヤボンディング装置５を近接させて並置することにより、３つのワーク供給ベルト１０が連続するワーク供給ライン３を形成する。ワイヤボンディング装置５の正面側に配置されたワーク排出ベルト１１も同様にワイヤボンディング装置５の幅寸法ａと略同じであって、連続してワーク排出ライン４を形成する。また、ワイヤボンディング装置５を互いに近接させて並置することにより、ワイヤボンディングシステム１の延長の短縮が図られている。
【００２５】
例えばワイヤボンディング装置５ｂは、ワーク供給ライン３の後方のワイヤボンディング装置５ｃから、ワーク供給の要求をされると、ワーク供給ライン３の前方の装置、すなわちワイヤボンディング装置５ａ（ワイヤボンディング装置５ａにあってはワーク供給部５１（図６参照））にワーク供給を要求し、条件が整ったところで、ワーク供給ベルト１０を使って前方の装置からワーク２ａを受け取り、さらに後方のワイヤボンディング装置５ｃに引き渡す機能も有する。
【００２６】
また、ワイヤボンディング装置５ｂは、ワーク排出ラインの前方のワイヤボンディング装置５ａから、ワーク排出の準備要求をされると、ワーク排出ライン後方の装置、すなわちワイヤボンディング装置５ｃ（ワイヤボンディング装置５ｃにあってはワーク排出部５２（図６参照））に、ワーク排出の準備を要求し、条件が整ったところで、ワーク排出ベルト１１を使って前方のワイヤボンディング装置５ａからワーク２ｂを受け取り、後方の装置に引き渡す機能も有する。
【００２７】
以上、ワーク供給ラインあるいはワーク排出ラインの一部をなす搬送手段について、方法としての一例を示したが、このようにワイヤボンディング装置のワーク供給ベルト１０は、自らがボンディングするワークを搬送する機能と、他のボンディング装置がボンディングするワークを搬送する機能とを有し、ワーク排出ベルト１１も、自らがボンディングしたワークを搬送する機能と、他のボンディング装置がボンディングしたワークを搬送する機能とを有する。
【００２８】
ワーク供給ベルト１０から、ワーク２をボンディングする際にワークを載置するワーク台１３までのワーク搬出搬送路９ａには、ボンディング前のワーク２ａを搬送するワーク搬出ベルト１２が設置されている。ワーク供給ライン３を搬送されてきたボンディング前のワーク２ａは、図示しない移動手段によりワーク供給ベルト１０からワーク搬出ベルト１２へ移動され、ワーク搬出ベルト１２によってワーク台１３の手前に搬送される。その後、移動手段によりワーク台１３に載置されてワイヤボンディングされる。ボンディング後のワーク２ｂは、移動手段によりワーク台１３からワーク排出ベルト１１へ移動され、ワーク排出ライン４を搬送されていく。
【００２９】
図２において、ワーク供給ベルト１０、ワーク搬出ベルト１２、ワーク台１３、およびワーク排出ベルト１１の上面は略同一の高さに設定されており、ワーク２は水平方向への移動のみをもって供給から排出までの一連の工程を完了される。したがって、ワーク２を上下に移動する複雑な上下機構を必要とせず、簡単な機構のみから構成することができる。
【００３０】
ワイヤボンディング装置の幅寸法ａを小さくすることによりワイヤボンディングシステム１の延長を短縮することができるが、ワークの寸法が大きいパワーモジュールを対象にする場合、ボンディンヘッド６を水平方向に移動させる範囲も大きくなものが必要となるため、ボンダ機構部７自体の寸法が大きくなる。さらに、ボンダ機構部７の平面駆動手段にボイスコイルモータなどを用いると、ストロークの大きなモータが必要となってボンダ機構部７を大型化させる。ボンダ機構部７の縮小化はワイヤボンディングシステム１の縮小化に直結するので、その水平方向の寸法をできるだけ縮小化したボンダ機構部については後に詳述することとする。
【００３１】
ワイヤボンディング装置の幅寸法ａと同様に、ワイヤボンディング装置の奥行き寸法ｂを小さくすることは、ワイヤボンディングシステム１の空間的利用効率を向上させる。そのため、図２に示すように、ワーク排出ベルト１１はワーク台１３に隣接してワイヤボンディング装置５に抱囲されるように配置されており、ワーク供給ライン３を構成するワーク供給ベルト１０およびワーク排出ライン４を構成するワーク排出ベルト１１を含むワイヤボンディング装置５の奥行き寸法ｂの縮小化が図られている。
【００３２】
図５は、本発明によるワイヤボンディング装置を一部破断して示す斜視図である。ボンディングヘッド６の平面移動範囲が大きく、寸法をできるだけ縮小化したボンダ機構部７の平面移動手段であるＸＹ台２１の一実施例を示している。ワーク台１３の上方に支持体８により支持されるボンダ機構部７のＸＹ台２１は、移動テーブル３０と、Ｘ軸移動装置３１と、Ｙ軸移動装置４１と、Ｘ軸制振装置３２と、Ｙ軸制振装置とから構成されている。Ｘ軸移動装置３１の駆動による反力を打ち消すＸ軸制振装置３２と、Ｙ軸移動装置４１による反力を打ち消すＹ軸制振装置とを備えることにより、能動的に振動の発生を抑制してボンディンヘッドの移動速度の高速化、位置決め精度の向上を図ると共に、隣接する装置への振動伝達を防止することにより、ワイヤボンディング装置同士の近接設置を可能とする。加えて、装置の振動によるワーク搬送異常を防止して装置間のワーク搬送を滑らかに行うことができる。
【００３３】
Ｘ軸移動装置３１は、Ｘ軸ベース板３３と、Ｘ軸移動テーブル３４とからなり、Ｘ軸移動テーブル３４は、リニアモータコイル３５ａを両端に備え、Ｘ軸ベース板３３の開口部を挟んでＸ軸方向に延在する２つのリニアモータプレート３５ｂに沿ってＸ軸方向に移動可能に設置されている。
【００３４】
Ｘ軸移動装置３１の下に配設されるＹ軸移動装置４１もＸ軸移動装置３１と同様の構造を含んでおり、両端にリニアモータを備えたＹ軸移動テーブルが、Ｙ軸方向に移動可能に設置されている。
【００３５】
移動テーブル３０は、Ｙ軸移動テーブル上面に備えられたＸ軸方向に延在する移動テーブル用ガイドを滑合してＸ軸方向に移動可動に設置されており、Ｙ軸移動テーブルの移動と共にＹ軸方向に移動する。移動テーブル３０は、上面にＸ軸駆動用ガイドベアリングブロック３６を備え、Ｘ軸移動テーブル３４の下面に備えられたＹ軸方向に延在するＸ軸ガイドバー３７に嵌合して、Ｘ軸移動テーブル３４の移動と共にＸ軸方向へ移動する。
【００３６】
移動テーブル３０、Ｘ軸移動テーブル３４、Ｙ軸移動テーブルはそれぞれ開口部を有しており、図示していないが、移動テーブル３０に搭載され、これら開口部を貫入するように垂直方向に延在する機構部には、ボンディングヘッド６を回転、上下動させる手段が備えられている。ボンディンヘッド６は、Ｘ軸移動テーブル３４およびＹ軸移動テーブルの駆動により平面移動され、前記回転手段、上下動手段により回転、上下動されてワークにボンディングを行う。
【００３７】
Ｘ軸移動装置３１の両端に配設される２つのＸ軸制振装置３２は、それぞれＸ軸制振用錘と、Ｘ軸制振駆動モータとを有している。Ｘ軸制振用錘は、Ｘ軸方向に移動可能に設置されており、Ｘ軸制振駆動モータの駆動によりＸ軸移動テーブル３４と反対方向に移動して、Ｘ軸移動テーブル３４の移動による反力を打ち消して振動の発生を抑制する。
【００３８】
図示されていないが、Ｙ軸移動装置４１の一端には１つのＹ軸制振装置が配置されている。Ｙ軸制振装置は、Ｙ軸制振用錘と、Ｙ軸制振駆動モータとを有しており、Ｙ軸制振用錘は、Ｙ軸方向に移動可能に設置されている。Ｙ軸移動テーブルと反対方向に移動して、Ｙ軸移動テーブルの移動による振動の発生を抑制する。
【００３９】
図６は、本発明によるワイヤボンディング装置を用いて構成したワイヤボンディングシステムの一実施形態の概略を示す平面図である。ワイヤボンディングシステム１は、ボンディング前のワークを搬送する搬送手段からなるワーク供給ライン３と、ボンディング後のワークを搬送する搬送手段からなるワーク排出ライン４と、ワーク供給ライン３とワーク排出ライン４との間に配列された複数のワイヤボンディング装置５とから構成されている。ワイヤボンディング装置５は、ボンディングするワークを載置するワーク台１３と、ボンディング前のワークをワーク供給ライン３からワーク台１３へ搬送するワーク搬出搬送路９ａと、ボンディング後のワークをワーク台１３からワーク排出ライン４へ搬送するワーク搬入搬送路９ｂとを備えている。
【００４０】
ボンディング前のワークは、ワーク供給部５１から図面右方向に向かうワーク供給ライン３、および各ワイヤボンディング装置５のワーク搬出搬送路９ａを経て、ワーク台１３に載置されてワイヤボンディングされる。ボンディングを終えたワークは、ワーク台１３から各ワイヤボンディング装置５のワーク搬入搬送路９ｂ、および図面右方向に向かうワーク排出ライン４を経て、ワーク排出部５２に搬送される。直線状のワイヤボンディングシステム１の両端にワーク供給部５１とワーク排出部５２とが配置されている。
【００４１】
図７は、本発明によるワイヤボンディング装置を用いて構成したワイヤボンディングシステムの他の実施形態の概略を示す平面図である。構成要素は図６に示した実施形態と同じであるので、その説明は省略する。ワーク供給ライン３は、図６と同様に図面右方向に向かっているが、ワーク排出ライン４は、図６と異なり図面左方向に向かっている。ワーク排出部５２はワーク供給部５１と同じ側の端に配置されている。
【００４２】
ワーク供給部５１とワーク排出部５２とが近接していることにより、ボンディング前のワークをワーク供給部５１に搬送する搬送車のアクセスエリアおよびアクセスルートと、ボンディング後のワークをワーク排出部５２から搬送する搬送車のアクセスエリアおよびアクセルスルートとを重複させることができるため、並列ワイヤボンディング装置を稼動に必要なクリーンルーム内の占有面積をより小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明によるワイヤボンディング装置を用いて構成したワイヤボンディングシステムを示す正面図である。
【図２】本発明によるワイヤボンディング装置を用いて構成したワイヤボンディングシステムを示す側面図である。
【図３】図２中のIII矢視を示す平面図である。
【図４】本発明によるワイヤボンディング装置を用いて構成したワイヤボンディングシステムを一部破断して示す斜視図である。
【図５】本発明によるワイヤボンディング装置を一部破断して示す斜視図である。
【図６】本発明によるワイヤボンディング装置を用いて構成したワイヤボンディングシステムの一実施形態の概略を示す平面図である。
【図７】本発明によるワイヤボンディング装置を用いて構成したワイヤボンディングシステムの他の実施形態の概略を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１      ワイヤボンディングシステム
２      ワーク
２ａ    ボンディング前のワーク
２ｂ    ボンディング後のワーク
３      ワーク供給ライン
４      ワーク排出ライン
５      ワイヤボンディング装置
６      ボンディングヘッド
７      ボンダ機構部
８      支持体
８ａ    脚部
９      搬送路
９ａ    ワーク搬出搬送路
９ｂ    ワーク搬入搬送路
１０    ワーク供給ベルト
１１    ワーク排出ベルト
１２    ワーク搬出ベルト
１３    ワーク台
２１    ＸＹ台
３０    移動テーブル
３１    Ｘ軸移動装置
３２    Ｘ軸制振装置
３３    Ｘ軸ベース板
３４    Ｘ軸移動テーブル
３５ａ  リニアモータコイル
３５ｂ  リニアモータプレート
３６    Ｘ軸駆動用ガイドベアリングブロック
３７    Ｘ軸ガイドバー
４１    Ｙ軸移動装置
５１    ワーク供給部
５２    ワーク排出部
ａ      ワイヤボンディング装置の幅寸法
ｂ      ワイヤボンディング装置の奥行き寸法
【図１】
2007103872.tif 000003
【図２】
2007103872.tif 000004
【図３】
2007103872.tif 000005
【図４】
2007103872.tif 000006
【図５】
2007103872.tif 000007
【図６】
2007103872.tif 000008
【図７】
2007103872.tif 000009