(57)【要約】【課題】２つのリップ３ａ，３ｂ間に設けられたスリットから塗布液を押し出すと共に、このスリットと被塗布基板とを相対的に移動させて、前記塗布液を被塗布基板に塗布する装置の前記リップ先端に付着した堆積物の堆積状況を検査する方法を提供すること。【解決手段】前記リップ３ａ，３ｂ先端の端面又は側面の堆積物の堆積状態を、光電センサまたは変位計７により、リップの幅方向全体に渡り連続的に測定することで検査する。この検査結果に応じて、リップ３ａ，３ｂ先端を洗浄する。【選択図】図２
2007061738.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を被塗布基板に塗布する塗布装置の固化堆積物を検査する方法であって、
この塗布装置が、２つのリップ間に設けられたスリットから塗布液を押し出すと共に、このスリットと被塗布基板とを相対的に移動させて、前記塗布液を被塗布基板に塗布する装置であり、
前記２つのリップの先端又はその周辺に付着した前記堆積物を光電センサによって測定する塗布装置の固化堆積物検査方法。
【請求項２】
塗布液を被塗布基板に塗布する塗布装置の固化堆積物を検査する方法であって、
この塗布装置が、２つのリップ間に設けられたスリットから塗布液を押し出すと共に、このスリットと被塗布基板とを相対的に移動させて、前記塗布液を被塗布基板に塗布する装置であり、
前記２つのリップの先端又はその周辺に付着した前記堆積物を変位計によって測定する塗布装置の固化堆積物検査方法。
【請求項３】
２つのリップ先端の端面に付着した固化堆積物を測定する請求項１又は２記載の固化堆積物検査方法。
【請求項４】
２つのリップ先端の側面に付着した固化堆積物を測定する請求項１又は２記載の固化堆積物検査方法。
【請求項５】
塗布液を被塗布基板に塗布する塗布装置の固化堆積物を洗浄除去する方法であって、
この塗布装置が、２つのリップ間に設けられたスリットから塗布液を押し出すと共に、このスリットと被塗布基板とを相対的に移動させて、前記塗布液を被塗布基板に塗布する装置であり、
前記２つのリップの先端又はその周辺に付着した前記堆積物を測定し、この測定結果に応じて前記堆積物を洗浄除去する塗布装置の固化堆積物洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置の固化堆積物検査方法及びこの検査結果に応じて洗浄する洗浄方法に関するものである。この塗布装置は、２つのリップ間に設けられたスリットから塗布液を押し出すと共に、このスリットと被塗布基板とを相対的に移動させて、前記塗布液を被塗布基板に塗布するもので、例えば、ダイコーター等である。この塗布装置は、例えば、液晶ディスプレイの配向膜の塗布や、あるいは、透明着色レジストを使用して液晶ディスプレイ用カラーフィルタを製造する際にその塗布に利用されている。また、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイの画素用セルパターンの作製にも利用されている。
【背景技術】
【０００２】
近年、枚葉状の基板に塗布膜を形成する方法として、例えば平面度の高い精密な定盤上に基板を吸着させて保持し、その基板を保持したままの状態で定盤を移動させ、ダイコーターのスリット状ノズルから塗布液を基板上に塗布する方法、または逆に基板を固定してダイコーターを移動させながら、塗布液を基板上に塗布する方法が一般的に知られている。
【０００３】
このようなダイコーターのスリット状ノズルは基板の幅とほぼ同じ幅があり、ダイコーターと基板とが相対的に、かつ、逆方向に均一のスピードで移動することにより、基板全面で均一に塗布膜を形成することができる。
【０００４】
しかし、このような塗布膜の形成を行う際に、スリットを構成する２つのリップの先端の端面及び側面に塗布液が付着し、固化して、堆積物となって堆積する。このような堆積物は、それがはがれ落ちることで異物として塗布物が不良となる場合があり、塗布液を基板上に塗布する際に塗布方向にムラが発生するなど、均一に塗布膜を形成されないために不良となる場合がある。
【０００５】
上記のような不良の解決策として、リップの先端をノズル洗浄装置によって洗浄する方法があり、例えば特許文献１、特許文献２に記載されている。
【特許文献１】特開２００２−３５５５９６号公報
【特許文献２】特開２００４−３２２０９１号公報  これらの洗浄装置による洗浄のタイミングは、ダイコーターの稼動状況から堆積物の堆積状態を予想して設定される（特許文献３参照）。
【特許文献３】特開平１０−２２２０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、本来、リップ先端の堆積物の堆積スピードや堆積状況は、塗布液の種類、塗布量、塗布時間、ノズル洗浄装置の能力、基板の性質等によって異なるのである。従来の方法にあっては、予めその異物堆積状態を予想して洗浄するため、適切なタイミングで洗浄することは困難であった。
【０００７】
例えば、堆積物が少なく、塗布物の不良発生の可能性がほとんどない状態であるにも関わらず、設定したタイミングにより洗浄し、洗浄に掛かる費用が発生するという問題があ
る。また、堆積物が多量に付着し、洗浄が必要な状態であるにも関わらず、設定したタイミングまで洗浄されず、この堆積物による不良が発生しているという問題がある。
【０００８】
本発明は、洗浄装置の適切な作動タイミングを判断するため、スリットを構成するリップ先端に付着した堆積物の堆積状況を検査する方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、請求項１に記載の発明は、塗布液を被塗布基板に塗布する塗布装置の固化堆積物を検査する方法であって、
この塗布装置が、２つのリップ間に設けられたスリットから塗布液を押し出すと共に、このスリットと被塗布基板とを相対的に移動させて、前記塗布液を被塗布基板に塗布する装置であり、
前記２つのリップの先端又はその周辺に付着した前記堆積物を光電センサによって測定する塗布装置の固化堆積物検査方法である。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、塗布液を被塗布基板に塗布する塗布装置の固化堆積物を検査する方法であって、
この塗布装置が、２つのリップ間に設けられたスリットから塗布液を押し出すと共に、このスリットと被塗布基板とを相対的に移動させて、前記塗布液を被塗布基板に塗布する装置であり、
前記２つのリップの先端又はその周辺に付着した前記堆積物を変位計によって測定する塗布装置の固化堆積物検査方法である。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明は、２つのリップ先端の端面に付着した固化堆積物を測定する請求項１又は２記載の固化堆積物検査方法である。
【００１２】
また、請求項４に記載の発明は、２つのリップ先端の側面に付着した固化堆積物を測定する請求項１又は２記載の固化堆積物検査方法である。
【００１３】
次に、請求項５に記載の発明は、塗布液を被塗布基板に塗布する塗布装置の固化堆積物を洗浄除去する方法であって、
この塗布装置が、２つのリップ間に設けられたスリットから塗布液を押し出すと共に、このスリットと被塗布基板とを相対的に移動させて、前記塗布液を被塗布基板に塗布する装置であり、
前記２つのリップの先端又はその周辺に付着した前記堆積物を測定し、この測定結果に応じて前記堆積物を洗浄除去する塗布装置の固化堆積物洗浄方法である。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１〜請求項４に記載の発明によれば、ダイコーターのスリット状ノズルを構成するリップ先端に付着した堆積物の堆積状態を把握できる。そして、こうして把握した堆積状態に基づいて、適切なタイミングでノズル洗浄の実施が可能となる。
【００１５】
また、請求項１〜請求項４に記載の発明によれば、上記ノズル洗浄の結果の良し悪しの判断が可能となり、不完全な洗浄による塗布不良が発生する前に、再度ノズル洗浄を実施することが可能となる。
【００１６】
次に、請求項５に記載の発明によれば、堆積物の測定結果に応じて異物を洗浄除去するため、適切なタイミングでノズル洗浄の実施が可能となり、ノズル洗浄の費用を削減しつつ、堆積物に起因する塗布物の不良を確実に削減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１８】
本発明は、ダイコーターのスリット状ノズルを構成するリップ先端に付着した堆積物の堆積状態を検査する方法に関するものである。そのダイコーターは、例えば図１の斜視概略説明図に示すように、塗布される被塗布基板４の走行方向（Ｂ方向）、または塗布するダイコーター１の走行方向（Ａ方向）に対して上流側のリップ３ａと、下流側のリップ３ｂと、ダイコーター１に塗布液を供給する供給系（図示せず）とを備えて構成されており、上流側リップ３ａと下流側リップ３ｂとはその間に塗布液を押し出すスリット状ノズル２を形成している。このスリット状ノズル２から塗布液を押し出して塗布する際に、上流側リップ３ａと下流側リップ３ｂの先端の端面及び外側側面に塗布液が付着し、堆積物となって堆積する。
【００１９】
この堆積物の堆積状況は、センサ７によって検査することができる。
【００２０】
その測定部位としては、図２（ａ）に示すように、上流側リップ３ａ及び下流側リップ３ｂの先端の側面でよい。また、図２（ｂ）に示すように、上流側リップ３ａ及び下流側リップ３ｂの先端の端面であってもよい。スリット２から押し出された塗布液は、一般に、リップ３ａ，３ｂの先端の側面や端面に付着して固化堆積し易く、また、被塗布基板上に落下して塗布不良の原因となるのもこれらの部位に堆積した堆積物であるから、これらの部位について検査することでその堆積状況を正確に検査することが可能である。なお、リップ３ａ，３ｂの先端から測定部位までの距離は、塗液の種類、塗布量、塗布時間、洗浄装置の能力、基板の性質等に応じて設定することが望ましい。
【００２１】
そして、図３の斜視概略説明図に示すように、リップ３ａ，３ｂの幅方向（Ｗ方向）に、その端から端まで、センサ７を移動させながら連続的に測定し、リップ３ａ，３ｂの幅全体に渡って検査する。なお、図４の斜視概略説明図で示すように、センサホルダー９でセンサ７を保持し、このセンサホルダー９をガイドレール８に摺動自在に取り付け、このガイドレール８に沿って移動させながら測定することによって、リップ３ａ，３ｂの幅全体に渡って検査することが可能である。なお、図４中、５は後述する洗浄装置である。
【００２２】
センサ７としては、光電センサが利用できる。光電センサは、この光電センサから前記測定部位に拡散光Ｒを照射し、前記測定部位で反射された反射光の強度を測定する。堆積物がない状態では、リップ３ａ，３ｂの端から端まで一定の反射光強度を示すから、この反射光強度を基準値とする。そして、堆積物の堆積量に応じてその反射光強度が変化するから、その測定データを基準値と比較することによって、堆積物の堆積状況を検査することができる。
【００２３】
また、センサ７として、変位計を使用することもできる。堆積物がない状態では、リップ３ａ，３ｂの端から端まで全面に渡って平坦であるが、堆積物が堆積するに従ってその表面に凹凸が生じる。変位計は、測定部位にスポット状のレーザー光Ｒを照射し、その反射光を測定することによって測定部位表面の凹凸を検出することができる。そして、検出された測定部位の凹凸の大きさによって、堆積物の堆積状況を検査することができる。
【００２４】
そして、この検査によって基準値以上の堆積物が発見された場合には、その堆積部位を洗浄する。
【００２５】
洗浄装置としては、例えば、図５の側断面概略説明図に示すように、ノズル洗浄装置５が利用できる。この装置は、上流側リップ３ａと下流側リップ３ｂの先端の外側を挟み込むように配置されている。洗浄するための洗浄薬液Ｓと不活性ガスとしての窒素ガスＮ２
の供給を受けて、リップ３ａ，３ｂの先端に噴射して洗浄し、洗浄した洗浄ミストを強制排気発生器６により排出する。前述のように、この洗浄装置５は、ガイドレール８に摺動自在に取り付けることにより、このガイドレール８に沿って前記堆積部位まで移動させて、前記堆積部位を選択的に洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る塗布装置の例を示す斜視概略説明図である。
【図２】（ａ）〜（ｂ）は、本発明に係る検査方法の説明図である。
【図３】本発明に係る検査方法の斜視概略説明図である。
【図４】本発明に係るセンサの取り付け形態を説明するための斜視概略説明図である。
【図５】本発明に係るノズル洗浄装置の使用形態を示す側断面概略説明図である。
【符号の説明】
【００２７】
１…ダイコーター
２…スリット状ノズル
３ａ…上流側リップ
３ｂ…下流側リップ
４…被塗布基板
５…ノズル洗浄装置
６…強制排気発生器
７…センサ
８…ガイドレール
９…センサホルダー
Ａ…ダイコーターの走行方向
Ｂ…基板の走行方向
Ｎ２…窒素ガス
Ｓ…洗浄薬液
Ｒ…光
Ｗ…センサの移動方向
【図１】
2007061738.tif 000003
【図２】
2007061738.tif 000004
【図３】
2007061738.tif 000005
【図４】
2007061738.tif 000006
【図５】
2007061738.tif 000007