(57)【要約】【課題】製造に要する時間を短縮すると共に、光源と撮像ユニットとの位置あわせを容易に行うことができる。【解決手段】撮像ユニットの製造装置は、円盤状の本体２５１に均等角度で設けられた複数の貫通孔２５２を有し、設定された回転角で間欠的に回転可能なインデックス部２５と、インデックス部の供給位置２９の貫通孔２５２に筐体を供給するローダ２３と、供給位置から回転した塗布位置３０ａ，３０ｂにおいて封止剤１８を塗布するディスペンサノズル２６と、ディスペンサノズル２６により塗布位置と塗布位置から回転した照射位置３１ａ，３１ｂにそれぞれ配置され、インデックス部２５の本体２５１下側から貫通孔２５２を通して紫外線を照射する複数の光源ユニット２５３，２５４と、照射位置３１ａ，３１ｂより回転した取り出し位置２９において、筐体１を取り出すアンローダ２４とを備える。【選択図】図１
2007103438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体に液剤を塗布し硬化させる撮像ユニットの製造装置において、
円盤状の本体を有し、同心状に配置された複数の貫通孔にそれぞれ前記筐体を係止して配置可能に構成されかつ、設定された回転角ごとに間欠的に回転可能に構成されたインデックス部と、
前記インデックス部の特定された供給位置に存在する貫通孔に前記筐体を供給するローダと、
前記供給位置から回転した塗布位置において前記筐体を封止する封止剤を塗布するディスペンサノズルと、
前記ディスペンサノズルにより前記封止剤が塗布される塗布位置と前記塗布位置から回転した照射位置にそれぞれ配置され、前記インデックス部の本体下側から前記貫通孔を通して前記筐体に紫外線を照射する複数の光源ユニットと、
前記照射位置より前記インデックス部が回転した取り出し位置において、前記筐体を取り出すアンローダとを備えることを特徴とする、撮像ユニットの製造装置。
【請求項２】
前記インデックス部の回転角は、隣り合う前記貫通孔が配置された角度と等しいことを特徴とする、請求項１に記載の撮像ユニットの製造装置。
【請求項３】
前記光源ユニットは、前記塗布位置と、前記塗布位置から前記インデックス部が連続して回転した３つの照射位置とに、４つ設けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の撮像ユニットの製造装置。
【請求項４】
前記貫通孔は、前記インデックス部の本体から放射状に複数の同心状の列として配置されていることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１つに記載の撮像ユニットの製造装置。
【請求項５】
前記光源ユニットは、上方が開放された穴部の底面に発光部を有し、前記穴部の側壁は鏡面に構成されていることを特徴とする、請求項１から４のいずれか１つに記載の撮像ユニットの製造装置。
【請求項６】
筐体に液剤を塗布し硬化させる撮像ユニットの製造方法において、
前記筐体を係止可能な複数の貫通孔が同心状に均等角度で設けられた円盤状の本体を有するインデックス部の特定された供給位置に存在する貫通孔に前記筐体を供給し、
前記インデックス部を間欠的に設定された回転角で回転させて、前記供給位置から回転した塗布位置に前記筐体を移動させ、
前記塗布位置において、前記インデックス部の本体下側から前記貫通孔を通して前記筐体に紫外線を照射しながら前記筐体を封止する封止剤を塗布し、
前記インデックス部を間欠的に設定された回転角で回転させて、前記塗布位置から回転した照射位置に前記筐体を移動させ、
前記照射位置において前記インデックス部の本体下側から前記貫通孔を通して前記筐体に紫外線を照射し、
前記インデックス部を間欠的に設定された回転角で回転させて、前記照射位置から回転した取り出し位置に前記筐体を移動させ、
前記取り出し位置において、前記筐体を取り出すことを特徴とする、撮像ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像素子及び光学フィルタを筐体に接合して形成される撮像ユニットの製造装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、携帯電話に設けられているカメラには図８に示す固体撮像ユニット１０が用いられている。該固体撮像ユニット１０は、筐体１と、ＣＣＤを用いた撮像素子２と、光学フィルタ３とを有する。筐体１は、例えば樹脂又はセラミックからなり、筐体中央部分に貫通穴１ａが形成され、該貫通穴１ａを形成した、筐体の一面１ｂには導体部４が形成されている。又、撮像素子２は、基板部２ａに撮像部２ｂを電気的及び機械的に接合してなり、基板部２ａの電極にはバンプ２ｃが形成されている。光学フィルタ３は、撮像素子２へ赤外線が入射するのを防止するためのもので、例えばガラス等にて形成されている。
【０００３】
このような部材を有する固体撮像ユニット１０に対して光学フィルタ３側に撮影用レンズが配置されることで、固体撮像ユニット１０は、該撮影用レンズ、光学フィルタ３、及び貫通穴１ａを通過した撮影像を、撮像素子２にて撮像し、その電気信号を、導体部４を介して外部へ送出する。
【０００４】
このような固体撮像ユニット１０は、図９に示す製造方法にて製造される。すなわち、図８における（ａ）に示すように、筐体１の貫通穴１ａに撮像素子２の撮像部２ｂを対応させた状態にて、筐体１の導体部４に撮像素子２のバンプ２ｃを接合することで、撮像素子２は、筐体１に電気的にかつ機械的に取り付けられる。このとき、（ａ）の工程においては、撮像素子２を筐体１に完全に取り付けるために、図１０に示すように、封止剤を塗布した後、紫外線などを照射して当該封止剤を固化させる工程が行われている。
【０００５】
図１０において、筐体１は一方の面に撮像素子２の外形より大きい凹部７を有するとともに、中央部には撮像素子２の外形より小さく撮像部２ｂより大きい四角形の窓１ａを有する。撮像素子２は撮像部２ｂを貫通孔1ａに向けて筐体１の凹部７に入り込むようにして取り付けられる。凹部７には、撮像素子２の複数のバンプ２ｃのそれぞれに対応する位置に、銅箔等により作った回路パターンが設けられている。撮像素子２を筐体１に取り付けるときは、回路パターンの端部のパッド部（電気接続をする部分）に導電性接着剤を塗布し、撮像素子２の各バンプ２ｃがそれぞれ対応する回路パターン４のパッド部に接するように位置決めして取り付ける。これにより撮像素子２は筐体１に仮付けされる。
【０００６】
次に、撮像素子２の外周と筐体１の凹部７との隙間７Ａに封止剤１８をディスペンサノズル９を用いて注入する。ディスペンサノズル９は、図示を省略したＸ−Ｙ移動装置によって撮像素子２の外周部に沿って移動するようになされている。封止剤１８は、紫外線の照射により硬化する紫外線硬化性の樹脂である。紫外線熱硬化性樹脂の例としては、例えばナミックス株式会社製のＵＶ熱硬化型アンダーフィル剤、製品番号ＸＶ６８４１−１０７のものがある。この樹脂の２５℃での粘度は３．５Ｐａ・ｓである。
【０００７】
このＵＶ熱硬化性樹脂に波長が約３６５ｎｍ、照度が１００ｍＷ／ｃｍ２の紫外線を照射すると１０数秒で表面が硬化する。図１０の（ｂ）において、筐体１の下方には波長が約２５０から４３０ｎｍの範囲の紫外線を放射する光源（以下、ＵＶ光源１０という）が設けられている。このようなＵＶ光源８の具体例としては高圧水銀ランプがある。ＵＶ光源８からの紫外線は、例えば光ファイバなどにより貫通孔１ａの下方に照射され、貫通孔1ａを通って撮像素子２の主面２ａに照射される。ディスペンサノズル９により封止剤１８を隙間７ａに注入したとき、余剰の封止剤が撮像素子２の各バンプ２ｃの隙間を通って撮像部２ｂの周囲に１８ａで示すように流れ出す。流れ出た封止剤１８ａはＵＶ光源からの紫外線を受けて表面が急速に硬化し流動性を失う。従って封止剤１８ａが撮像部２ｂにまで流入するのを防止することができる。
【０００８】
次に、図８における（ｂ）に示すように、撮像素子２を取り付けた筐体１を反転させた後、図８における（ｃ）に示すように、筐体１の一面１ｂに対向する他面１ｃに形成されている凹部１ｄに、接着剤５を設ける。そして、貫通穴１ａに対応させて、凹部１ｄに光学フィルタ３を、接着剤５を介して接着する。これにて、固体撮像ユニット１０が完成する（例えば特許文献１）。
【０００９】
ところで、このような固体撮像ユニットを製造する装置としては、例えば、特許文献２に開示されているような装置を用いることができる。特許文献２に記載の装置は、アモルファスシリコンを製造する装置であるが、上記固体撮像ユニット１０の製造にも適用できる。すなわち、固体撮像素子をホルダーに配置し、当該撮像素子２に水銀灯から紫外線を照射し、当該封止剤を固定化する。
【００１０】
このとき、特許文献３に開示されているように、固体撮像ユニット１０をトレイ１１に配置し、ディスペンサノズル９からの封止剤１８の塗布と紫外線照射を順次行うように処理されている。そして、上述のように塗布中に紫外線照射を行うことができるように、特許文献３においては、トレイ全体を一度に照射できるような大型の光源を用いている。
【００１１】
しかし、トレイ全体を照射するような光源を用いた場合は、紫外線照射のための過剰な出力が必要となり、また、トレイを大きく構成するのにも限界がある。そこで、図１１に示すように、移動可能な光源ユニット８ａを用い、トレイ１１の下方でディスペンサノズル９の移動に応じて当該光源ユニット８ａを移動させながら、封止剤の塗布、硬化を行う装置が用いられている。
【特許文献１】特開２００２−１８４９６３号公報
【特許文献２】特開昭６１−５３７１８号公報
【特許文献３】特開２００２−２０４４００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、このような装置においては、１つあたりの固体撮像ユニットを製造するために要する時間が長くなるという問題がある。すなわち、１つあたりの固体撮像素子の塗布に必要な時間はおよそ５秒程度であるのに対し、紫外線照射はおよそ３０秒程度である。すなわち、図１１に示す同時に３つの固体撮像ユニット１０を照射可能な光源ユニット８ａを用いた場合、固体撮像素子の封止剤１８の塗布は１５秒しか要さないにもかかわらず、紫外線照射は３０秒必要とする。従って、ディスペンサノズル９を用いた封止剤の塗布は紫外線照射により封止剤の固化が完了するまで行うことができないという問題があった。
【００１３】
また、光源ユニット８ａを移動させると、トレイに配置された固体撮像ユニット１０と光源ユニットの精密な位置あわせが困難であり、歩留まりが悪くなるという問題があった。
【００１４】
したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、製造に要する時間を短縮すると共に、光源と撮像ユニットとの位置あわせを容易に行うことができる撮像ユニットの製造装置及び方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成の撮像ユニットの製造装置を提供する。
【００１６】
本発明の第１態様によれば、筐体に液剤を塗布し硬化させる撮像ユニットの製造装置において、
円盤状の本体を有し、同心状に配置された複数の貫通孔にそれぞれ前記筐体を係止して配置可能に構成されかつ、設定された回転角ごとに間欠的に回転可能に構成されたインデックス部と、
前記インデックス部の特定された供給位置に存在する貫通孔に前記筐体を供給するローダと、
前記供給位置から回転した塗布位置において前記筐体を封止する封止剤を塗布するディスペンサノズルと、
前記ディスペンサノズルにより前記封止剤が塗布される塗布位置と前記塗布位置から回転した照射位置にそれぞれ配置され、前記インデックス部の本体下側から前記貫通孔を通して前記筐体に紫外線を照射する複数の光源ユニットと、
前記照射位置より前記インデックス部が回転した取り出し位置において、前記筐体を取り出すアンローダとを備える撮像ユニットの製造装置を提供する。
【００１７】
本発明の第２態様によれば、前記インデックス部の回転角は、隣り合う前記貫通孔が配置された角度と等しい第１態様の撮像ユニットの製造装置を提供する。
【００１８】
本発明の第３態様によれば、前記光源ユニットは、前記塗布位置と、前記塗布位置から前記インデックス部が連続して回転した３つの照射位置とに、４つ設けられている第１又は第２態様の撮像ユニットの製造装置を提供する。
【００１９】
本発明の第４態様によれば、前記貫通孔は、前記インデックス部の本体から放射状に複数の同心状の列として配置されている第１から第３態様のいずれか１つの撮像ユニットの製造装置を提供する。
【００２０】
本発明の第５態様によれば、前記光源ユニットは、上方が開放された穴部の底面に発光部を有し、前記穴部の側壁は鏡面に構成されている第１から第４態様のいずれか１つの撮像ユニットの製造装置を提供する。
【００２１】
本発明の第６態様によれば、筐体に液剤を塗布し硬化させる撮像ユニットの製造方法において、
前記筐体を係止可能な複数の貫通孔が同心状に均等角度で設けられた円盤状の本体を有するインデックス部の特定された供給位置に存在する貫通孔に前記筐体を供給し、
前記インデックス部を間欠的に設定された回転角で回転させて、前記供給位置から回転した塗布位置に前記筐体を移動させ、
前記塗布位置において、前記インデックス部の本体下側から前記貫通孔を通して前記筐体に紫外線を照射しながら前記筐体を封止する封止剤を塗布し、
前記インデックス部を間欠的に設定された回転角で回転させて、前記塗布位置から回転した照射位置に前記筐体を移動させ、
前記照射位置において前記インデックス部の本体下側から前記貫通孔を通して前記筐体に紫外線を照射し、
前記インデックス部を間欠的に設定された回転角で回転させて、前記照射位置から回転した取り出し位置に前記筐体を移動させ、
前記取り出し位置において、前記筐体を取り出すことを特徴とする、撮像ユニットの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、所定角度ごとに間欠的に回転するインデックス部に円周状に撮像ユニットを配置しているので、インデックス部を間欠的に駆動させて高い停止精度を容易に確保することができる。また、光源ユニットを固定した状態としているため、光源ユニットと筐体との位置あわせの精度が高くなり、撮像ユニットの製造の歩留まりを向上させることができる。
【００２３】
また、封止剤を塗布する塗布位置、紫外線を照射する照射位置がそれぞれ別の位置に設けられ、また、照射位置を複数とすることが容易であることから複数の光源ユニットを確保することができ、封止剤の塗布と紫外線照射とを同時にかつ連続的に行うことができる。従って、それぞれの工程が停止している時間が短縮でき、その結果、撮像ユニットの製造時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の一実施形態に係る撮像ユニットの製造装置について、図面を参照しながら説明する。
【００２５】
図１は、本発明の実施形態にかかる撮像ユニットの製造装置の構成を示す斜視図である。図１に示す撮像ユニットの製造装置１００は、撮像ユニットの筐体と撮像素子であるＣＣＤ素子を固定し、両者の間に存在する隙間を封止剤を用いてするための装置であり、この装置の上流側及び下流側に他の装置が連結されて撮像ユニットの製造システムの一部を構成する装置である。本装置１００は、基台となる本体部２０と当該本体部２０の上に設けられ、本体部の上に配置される各部材を被覆するカバー部２１とを備える箱形状の装置である。カバー部２１の内側には、撮像ユニットを本装置に供給するための部材、撮像素子に封止剤を塗布するために関連する動作を行う部材、撮像ユニットを取り出すための部材など、種々の装置が格納されている。また、これらの各部材は制御部８０によって駆動制御されている。
【００２６】
撮像ユニットを本装置に供給するための部材としては、供給シャトル部２２が設けられている。供給シャトル部２２は、当該装置よりも上流側に位置する装置より、当該撮像ユニットが配置されたパレット１０１から撮像ユニットを取り出して供給するための装置である。具体的には、上流側の装置から搬出された撮像ユニットを当該パレット１０１よりシャトル上の治具に載せて本装置に供給し、後述するようにローダ部２３によって当該治具に載置されている撮像ユニットを取り出して、封止剤を塗布する工程に移送させる。
【００２７】
撮像ユニットに封止剤を塗布するために関連する動作を行う部材は、本実施形態にかかる装置の大部分を構成する。具体的には、ローダ部２３、アンローダ部２４、インデックス部２５、塗布ノズル部２６、ノズル移動装置２７などが設けられている。
【００２８】
ローダ部２３は、供給シャトル部２２によって供給された撮像ユニットが配置されているパレットから撮像ユニットを取り出してインデックス部２５に供給するための部材である。ローダ部は、Ｘ軸方向に延在して設けられるガイドレール２３１と、当該ガイドレール２３１に沿って移動可能な供給チャック部２３２を備える。供給チャック部２３２は、吸引及び吸引解除を切り替えることにより撮像ユニットを脱着可能に保持する。
【００２９】
ローダ部２３は、供給シャトル部２２によって供給されたトレイから撮像素子を取り出すためにガイドレール２３１に沿って供給チャック部２３２をトレイの近傍に移動させ、当該供給チャック部２３２によりトレイから撮像ユニットを取り出す。その後、ガイドレール２３１に沿ってインデックス部２５の近傍に移動し、後述するインデックス部２５の供給位置に存在する撮像素子保持用貫通孔に撮像素子を配置する。
【００３０】
アンローダ部２４は、インデックス部２５上で筐体と撮像素子との間に封止剤が塗布された撮像ユニットをインデックス部２５から取り出し、本装置の外部に搬出するための部材である。アンローダ部２４は、ガイドレール２４１と、当該ガイドレール２４１に沿って移動可能な搬出チャック部２４２を備える。取り出しチャック部２４２は、吸引及び吸引解除を切り替えることにより封止剤が塗布された撮像ユニットを脱着可能に保持する。
【００３１】
アンローダ部２４は、インデックス部２５から封止剤が塗布された撮像素子を取り出すために、ガイドレール２４１に沿って取り出しチャック部２４２をインデックス部の取り出し位置の近傍に移動させ、撮像ユニットを取り出す。その後、ガイドレール２４１に沿って図示しない搬出装置の近傍に移動し、排出装置に載置されているトレイに封止剤が塗布された撮像ユニットを配置する。
【００３２】
インデックス部２５は、所定の角度で間欠的に回転可能に構成された円盤状の本体２５１を有する部材である。インデックス部２５は、Ｘ軸方向に２つ並べられて配置されており、それぞれのインデックス部２５は、独立して駆動制御されている。それぞれのインデックス部２５の本体２５１は、図２に示すように、その周縁に撮像ユニットを保持するための保持用貫通孔２５２を２列に同心円状に複数有する。保持用貫通孔２５２は、それぞれの同心円列に１６個均等角度で設けられている。また、本体２５１は、矢印９２に示す方向に回転する。本体２５１の回転に伴い、保持用貫通孔２５２に保持された撮像ユニットは、塗布ノズル部２６が設けられている塗布位置において封止剤が塗布されると共に、後述する光源ユニットから紫外線を照射されて、封止剤を硬化させることができる。インデックス部２５の詳細な構成及び動作については、後述する。
【００３３】
また、カバー部２１の内部のインデックス部２５の近傍には、それぞれの光源ユニットに対応するＵＶ光源２８がそれぞれ設けられており、各光源ユニットに光ファイバを介して紫外線を供給する。
【００３４】
塗布ノズル部２６は、ノズル移動装置２７に配置され、封止剤を撮像素子と筐体の間に塗布するための部材である。塗布ノズル部２６は、１つのインデックス部２５に対して、対向位置にそれぞれ２つ配置され、合計で４つ設けられている。それぞれの塗布ノズル２６は、上記保持用貫通孔２５２の内側列と外側列に配置された撮像ユニットに封止剤を塗布するディスペンサノズルを備えている。塗布ノズル部２６は、貯留している封止剤をノズルの先端から吐出するために、例えば、シリンジなどの手段により動作制御されており、後述する制御部によってその動作は制御されている。
【００３５】
また、ノズル移動装置２７は、それぞれの塗布ノズル部２６に対応して設けられており、塗布ノズル部２６をＸＹＺのそれぞれの方向に駆動させる。具体的には、本体部に配置されたＸ軸駆動部２７Ｘ、Ｘ軸駆動部２７Ｘに配置されたＹ軸駆動部２７Ｙ、Ｙ軸駆動部２７Ｙに配置されたＺ軸駆動部２７Ｚがそれぞれ設けられており、それぞれの駆動部が相対的に独立して駆動することにより、塗布ノズル部２６を三次元的に移動させる。
【００３６】
撮像ユニットを取り出すための部材としては、図２に示すように排出シャトル部２２ａが設けられている。排出シャトル部２２ａは、当該装置よりも下流側に位置する装置より、当該撮像ユニットを配置するためのパレットに封止剤が塗布された撮像ユニットを排出するための装置である。具体的には、アンローダの取り出しチャック部２４２によりインデックス部２５から取り出された封止剤が塗布された撮像ユニットをアンローダ部２４の搬出側の領域に配置されているパレットに配置する。
【００３７】
次にインデックス部の具体的な構成及び動作について説明する。図３は、インデックス部の概略構成を示す図である。上記のように、インデックス部２５の本体２５１は、矢印９２の方向に間欠的に回転可能であり、同心状に２列に配置された保持用貫通孔２５２に撮像ユニットを保持することができるように構成されている。本体２５１の近傍には、上記のように塗布ノズル部２６や、光源ユニット２５３，２５４が配置されており、これらの部材の位置関係によって、本体２５１の回転位置に応じてそれぞれの工程が行われる。具体的には、本体２５１が回転することによって、撮像ユニットは、ローダ２３によって内側及び外側の保持用貫通孔２５２に撮像ユニットが同時に供給されると共にアンローダ部２４によって当該保持用貫通孔２５２から封止剤が塗布された撮像ユニットを取り出す供給取り出し位置２９、光源ユニット２５３によって紫外線が照射されながら塗布ノズル部２６によって封止剤が塗布される塗布位置３０ａ，３０ｂ、光源ユニット２５４によって塗布された封止剤を硬化させる照射位置３１ａ，３１ｂを順次移動する。なお、塗布位置３０ａ，３０ｂと照射位置３１ａ，３１ｂは、内側及び外側の保持用貫通孔２５２に対応して本体２５１の対向位置にそれぞれ設けられており、また、それぞれの照射位置３１ａ，３１ｂは、本体２５１の連続して３つの間欠的な回転位置に対応して３箇所が対応する。
【００３８】
図４は、図２のIV-IV線で切断した場合のインデックス部２５の具体的な構成を示す図である。上述のようにインデックス部２５は２つ設けられているが、双方とも図４に示した構成を有する。インデックス部２５は、本体部２０の上面に設けられた台部２５５を備える。台部２５５の上面はフランジ状に構成されており、図６Ａに示すように、当該上面に光源ユニット２５３，２５４及び本体２５１を回転させるためのステップモータ部２５７が設けられている。ステップモータ部２５７は制御部８０によって、駆動パルスを受けることにより予め定められた回転角度（本実施形態においては、２２．５゜）で間欠的に本体２５１を１６段階に回転させる。回転角度は、本体に設けられている隣り合う保持用貫通孔２５２がなす角度と一致している。
【００３９】
また、フランジ上には、光源ユニット２５３，２５４を固定するための固定部２５８が設けられており、光源ユニット２５３，２５４をそれぞれ固定する。隣り合う光源ユニット２５３，２５４がなす角度（本実施形態においては、２２．５゜）は、ステップモータ部２５７によって本体２５１が回転する角度と一致している。したがって、ステップモータ部２５７の予め定められた角度での回転により、本体２５１上に配置されている撮像ユニットは、隣り合う光源ユニット２５３，２５４上に移動し、位置あわせが高精度に行われる。
【００４０】
また、光源ユニット２５３，２５４は、図６Ａに示すように、光源からの光りを上向き、すなわちＺ軸方向に射出する射光部３２をそれぞれ備える。射光部３２は、上述のようにＵＶ電源２８により発光され光ファイバ３３により伝送された紫外線を射出する。
【００４１】
射光部３２は図６Ｂに示すように、光源ユニット２５３，２５４の本体部より突出して設けられている。また、本体２５１は、図５Ａ，図５Ｂに示すように、保持用貫通孔２５２の裏側部分に円形溝３４が形成されており、光源ユニット２５３，２５４の射光部３２が嵌り込むようになっている。この構成によって、より本体２５１の保持用貫通孔２５２に近接した状態で紫外線を撮像ユニットに射出することができる。なお、図５Ｂにおいては、陥入状態を理解しやすく表すために、光源ユニットの射光部３２が円形溝３４に同時に嵌入した状態として記載されている。実際には、上述したように、光源ユニットは、内側と外側の保持用貫通孔２５２にそれぞれ対応して２箇所に設けられているため、同時に陥入することはない。
【００４２】
図６Ｂに光源ユニットの射光部の部分拡大図を示す。射光部３２は、光ファイバ３３を介して紫外線を射出するための筒状本体部３６を備える。また筒状本体部３６には、紫外線を集めて光り強度を高めるためのレンズ３８及び紫外線を拡散させて撮像ユニット１０の封止剤が塗布された箇所へ紫外線を到達させるためのレンズ３９が設けられている。また、筒状本体部３６の内側面は部分的にミラー処理されており、紫外線を反射させて撮像ユニットへの入射角を調整し、撮像ユニットの筐体の奥に紫外線を到達させやすくなっている。
【００４３】
本体２５１の保持用貫通孔２５２は、本体２５１に積層して配置される高さ調整部材３５に連結されている。当該高さ調整部材３５は撮像ユニット１０を直接保持する。高さ調整部材３５の高さを調整することにより撮像ユニット１０の本体２５１からの高さを調整することができる。なお、高さ調整部３５の高さは、塗布ノズル部２６に設けられた検査部によって高さ測定され、ノズル移動装置２７の塗布ノズル部２６の駆動制御に用いられる。
【００４４】
次に、本実施形態の撮像ユニットの製造装置１００の動作について説明する。図７は、撮像ユニットの製造装置の製造装置の制御動作チャートである。このチャートは、１つの撮像ユニットについての各工程の手順を説明したものであり、実際には、それぞれの位置に存在する撮像ユニットについて同時に複数の工程が行われる。
【００４５】
まず、供給取り出し位置２９に目的とする撮像ユニットが配置される保持用貫通孔にくると、取り出しチャック部２４２が下降すると同時に、取り出しチャック部２４２が当該保持用貫通孔に配置されている封止剤が塗布された撮像ユニットをチャックして保持する。また、同じタイミングで供給チャック部２３２が下降し、供給チャック部２３２が撮像ユニットをチャックして供給シャトル部２２のトレイに配置されている撮像ユニットを保持する（t1）。その後、ｔ１〜ｔ２のタイミングで供給チャック部２３２と取り出しチャック部２４２がそれぞれ移動し、それぞれ保持している撮像ユニットを目的位置に配置する。その後、ｔ２のタイミングで、同様の動作を繰り返し行うが、この場合、アンローダ部２４による本体２５１からの取り出しとローダ部２３による本体２５１への供給のタイミングを異ならせている。これは、次に続くインデックス回転を考慮したものであり、本体２５１を回転させるためには、ローダ部２３による保持貫通孔２５２への撮像ユニットの供給が完全に終了しなければ動作を開始できないのに対し、アンローダ部２４による封止剤塗布済みの撮像ユニットの取り出しは、取り出しチャック部２４２による保持が終了すれば、取り出しチャック部２４２の動作中にインデックス回転を行っても問題がないためである。このように、取り出しチャック部２４２による動作とインデックス回転（ｔ４）とを並行して行うことにより処理時間を短縮することができる。
【００４６】
次にインデックスが連続的に回転して塗布位置に撮像ユニット１０が到達する（ｔ６）までの間に、取り出しチャック部２４２と供給チャック部２３２は、次の撮像ユニットのための保持動作を行う（ｔ５）。
【００４７】
塗布位置に撮像ユニット１０が到達すると、塗布ノズル部２６が駆動して封止剤の塗布が行われる（ｔ６〜ｔ８）。封止剤の塗布はおよそ５秒程度必要とし、この間に同時に塗布位置３０ａに設けられている紫外線ユニット２５３から紫外線が射出される。なお、光源ユニット２５３は紫外線の射出時間をＵＶ光源２８に搭載されたタイマーにより制御されており、制御部８０による紫外線照射停止の制御はなされていない。
【００４８】
つぎにｔ９のタイミングで本体２５１がインデックス回転を行い、目的とする撮像ユニットを照射位置３１ａに搬送する。なお、照射位置に設けられている光源ユニット２５４は、常時紫外線を照射しており、特にこれ以降、制御部８０による動作制御は行われない。すなわち、制御部８０は、撮像ユニット１０を供給し、封止剤を塗布した後は、インデックス部２５の本体２５１が一回転して供給取り出し位置にもどってくるまで、一切の制御を行うことなく、当該目的とする撮像ユニットを製造することができる。また、この間に、後続の撮像ユニットの供給、封止剤塗布、紫外線硬化の各工程が連続的に行われ、同時に複数の撮像ユニットの製造が行われる。
【００４９】
以上説明したように、本発明の撮像素子の製造装置によれば、予め定められた回転角度で回転する円盤状のインデックス部に同心円状に撮像ユニットを配置し、インデックス部の回転により、各工程を切り替える用にしているため、撮像ユニットの位置合わせを高精度に行うことができ、また、同時に複数の撮像ユニットを製造することができる。
【００５０】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。例えば、インデックスの数、塗布ノズル部の数、装置光源ユニットの設置数などは適宜設計により増減させることも可能であり、また、本体２５１の回転角度を例えば、保持用貫通孔２５２の半分に設定して、２つのインデックス回転ごとに処理を進めるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、固体撮像素子を筐体に接合して形成される固体撮像ユニットの製造装置、及び方法に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施形態にかかる撮像ユニットの製造装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図１の撮像ユニットの製造装置の平面概略図である。
【図３】図１の撮像ユニットの製造装置のインデックス部の概略構成を示す図である。
【図４】図２のIV-IV線で切断した場合のインデックス部の具体的な構成を示す図である。
【図５Ａ】インデックス部の部分拡大図である。
【図５Ｂ】光源ユニットとインデックス部の高さ方向の位置関係を説明するための図である。
【図６Ａ】図１の撮像ユニットの製造装置のインデックス部の台部のフランジの構成を示す平面図である。
【図６Ｂ】図１の撮像ユニットの製造装置の光源ユニットの射光部の部分拡大図である。
【図７】図１の撮像ユニットの製造装置の製造装置の制御動作チャートである。
【図８】撮像ユニットの断面図である。
【図９】撮像ユニットの従来の製造方法における動作を説明するための図である。
【図１０】（ａ）は封止剤が塗布される状態にある撮像ユニットの斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）のIb-Ib線における断面図である。
【図１１】従来の撮像ユニットの製造装置の動作説明図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  筐体
２  撮像素子
９  ディスペンサノズル
１０  撮像ユニット
１１  トレイ
１８  封止剤
２０  本体部
２１  カバー部
２３  ローダ部
２４  アンローダ部
２５  インデックス部
２６  塗布ノズル部
２７  ノズル移動装置
２９  供給取り出し位置
３０ａ，３０ｂ  塗布位置
３１ａ，３１ｂ  照射位置
３２  射光部
３４  円形溝
３６  筒状本体部
３８，３９  レンズ
８０  制御部
２５１  本体
２５２  保持用貫通孔
２５３，２５４  光源ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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