(57)【要約】【課題】  検査を受ける表示パネルと該表示パネルの画面を撮影する撮像機器との相対位置のずれの有無に拘わらず、正確かつ容易に欠陥画素のアドレスを特定する方法を提供する。【解決手段】  欠陥が存在する表示パネルの画面上に、前記欠陥を表示させかつアドレスが既知の複数の画素を選択的に表示させた状態で、前記表示パネルの表示画面を撮影する。撮影によって得られた撮影画像上の選択表示された前記画素の画像およびそのアドレスから、前記撮影画像上の欠陥画素に対応する欠陥画像のアドレスを算出する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査を受ける表示パネルの多数の画素からなる画面上に欠陥が存在するとき、該欠陥を表示させかつ画面上のそれぞれのアドレスが既知の複数の画素を選択的に表示させた状態で前記表示パネルの表示画面を撮影すること、撮影により得られた撮影画像上の選択的に表示された前記各画素の点画像およびそのアドレスから、該撮影画像上の欠陥画像に対応する前記欠陥画素のアドレスを算出することを特徴とする表示パネルの欠陥画素のアドレス特定方法。
【請求項２】
前記欠陥が白欠陥であるとき、前記選択画素は点灯動作により白表示され、前記欠陥が黒欠陥であるとき、前記選択画素は消灯動作により黒表示される請求項１に記載のアドレス特定方法。
【請求項３】
選択的に表示される前記画素は、前記欠陥画素の近傍に位置する複数の画素である、請求項１に記載のアドレス特定方法。
【請求項４】
前記欠陥画素の上方および下方にそれぞれ位置する２つの第１の画素と前記欠陥画素の左方および右方にそれぞれ位置する２つの第２の画素とが選択的に表示され、前記両第１の画素のＸアドレスから前記欠陥画素のＸ０アドレスが算出され、前記両第２の画素のＹアドレスから前記欠陥画素のＹ０アドレスが算出される、請求項１に記載のアドレス特定方法。
【請求項５】
検査を受ける表示パネルの少なくとも所定領域の全画素を黒表示または白表示させるべく前記表示パネルを動作させた状態で前記所定領域の表示画面を撮影することにより、第１の撮影画像を得ること、
前記第１の撮影画像上に画素欠陥が存在するか否かを判定すること、
前記第１の撮影画像上に白欠陥が存在すると判断されたとき、該白欠陥を表示させかつ前記所定領域に存在しそれぞれのアドレスが既知の複数の画素を選択的に白表示させた状態で前記所定領域の表示画面を撮影し、あるいは前記第１の撮影画像上に黒欠陥が存在すると判断されたとき、該黒欠陥を表示させかつ前記所定領域に存在しそれぞれのアドレスが既知の複数の画素を選択的に黒表示させた状態で前記所定領域の表示画面を撮影することにより、第２の撮影画像を得ること、
前記第２の撮影画像上に表示された前記各選択画素の点画像およびそのアドレスから、該撮影画像上の欠陥画像に対応する前記欠陥画素のアドレスを算出することを含む、表示パネルの自動画質検査方法。
【請求項６】
前記所定領域は前記表示パネルの全表示領域である、請求項５に記載の自動画質検査方法。
【請求項７】
選択的に表示される前記画素は、前記欠陥画素の近傍に位置する複数の画素である、請求項５に記載の自動画質検査方法。
【請求項８】
前記欠陥画素の上方および下方にそれぞれ位置する２つの第１の画素と前記欠陥画素の左方および右方にそれぞれ位置する２つの第２の画素とが選択的に表示され、前記両第１の画素のＸアドレスから前記欠陥画素のＸ０アドレスが算出され、前記両第２の画素のＹアドレスから前記欠陥画素のＹ０アドレスが算出される、請求項５に記載の自動画質検査方法。
【請求項９】
前記表示パネルは検査のためのワークテーブル上に配置され、前記第１および第２の撮影画像は前記表示パネル上で前記ワークテーブルに支持された撮像機器により撮影される請求項５に記載の自動画質検査方法。
【請求項１０】
ワークテーブル上に配置された表示パネルの少なくとも所定領域のすべての画素を黒表示または白表示させるべく該画素に電気信号を供給し、また少なくとも前記所定領域内のアドレスが既知の複数の画素を選択的に表示させるべく該画素に電気信号を供給する給電装置と、前記前記表示パネルの少なくとも前記所定領域のすべての画素を黒表示または白表示させる給電状態および前記既知の画素を選択的に表示させる給電状態のそれぞれで少なくとも前記所定領域の表示画面を第１および第２の撮影画像としてそれぞれ撮影する撮像機器と、前記第１の撮影画像から欠陥画素の有無を判定し、前記第２の撮影画像からアドレスが既知の画素の点画像および欠陥画素の欠陥画像を検出し、アドレスが既知の前記各画素のアドレス情報から、第２の撮影画像上の欠陥画像に対応する前記欠陥画素のアドレスを算出する画像処理装置とを含む、表示パネルのための自動画質検査装置。
【請求項１１】
前記表示パネルには、該表示パネルの前記各画素に対応する電極を有する駆動回路が設けられており、前記給電装置は、前記ワークテーブルに支持されたプローブユニットを備え、該プローブユニットは、前記前記各電極に当接可能のプローブを有し、該プローブを経て前記電極に対応する前記画素に電気信号を供給する、請求項１０に記載の自動画質検査装置。
【請求項１２】
前記画像処理装置は、前記欠陥画素の上方および下方にそれぞれ位置するアドレスが既知の２つの第１の画素のＸアドレスから前記欠陥画素のＸ０アドレスを算出し、前記欠陥画素の左方および右方にそれぞれ位置するアドレスが既知の２つの第２の画素のＹアドレスから前記欠陥画素のＹ０アドレスを算出する演算回路を有する、請求項１０に記載の自動画質検査装置。
【請求項１３】
前記撮像機器は前記表示パネルの少なくとも前記所定領域の画素に対応した画素を有するＣＣＤカメラである、請求項１０に記載の自動画質検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルのような表示パネルの欠陥画素のアドレスを特定する方法、表示パネルの画質を自動的に検査する自動画質検査方法および該方法を実施する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ユニットとしてあるいは製品として完成した液晶パネルは、一般的に、画質検査を受ける。この画質検査を自動的に行う自動画質検査装置では、液晶パネルの画面をＣＣＤカメラで撮影することによって得られた画像に、液晶パネルの黒表示すべき画素に光が抜けるいわゆる白欠陥のような画素欠陥が見つかると、例えばこの欠陥画素の補修のために、そのアドレスが求められる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この欠陥画素のアドレスを求めるために、液晶パネルの全画素がＣＣＤカメラの画素のいずれのアドレスに対応するかを表すサンプリングアドレスが作成される。したがって、液晶パネルとＣＣＤカメラとの相対関係が保持される限り、このサンプリングアドレスから、欠陥画素のアドレスを正確に特定することができる。
【０００４】
【特許文献１】特開平９−４３２９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、正確なサンプリングアドレスを求めるには、ＣＣＤカメラの光学系の収差等を考慮した補正が必要となり、この補正処理に手間取る。
また、検査を受ける液晶パネルは、その大型化に伴い、熱膨張および振動等の影響を受け易い。そのため、液晶パネルの配置のずれによって、該液晶パネルとＣＣＤカメラとの相対関係にずれが生じ易いことから、サンプリングアドレスと検査を受けている液晶パネルの画素のアドレスとの間にずれによる不一致が生じ易く、そのため、欠陥画素の正確なアドレスを求めることは容易ではない。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、検査を受ける表示パネルと該表示パネルの画面を撮影する撮像機器との相対位置のずれの有無に拘わらず、正確かつ容易に欠陥画素のアドレスを特定する方法、自動画質検査方法およびその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明が対象とする液晶パネルのような表示パネルには、各画素を駆動するための駆動回路が設けられており、該駆動回路には各画素に対応した電極が設けられている。該各電極は、それぞれの電極に対応する画素のアドレスに対応することから、ある電極を選択し、該電極を経てこれに対応する画素に制御信号のような電気信号を供給することにより、選択された電極に対応する画素を選択的に黒表示動作あるいは白表示動作させることができる。また、このときに動作する画素のアドレスは、選択した前記電極から電気的に容易に知ることができる。
【０００８】
本発明に係る表示パネルの欠陥画素のアドレス特定方法は、この点に着目してなされたものであり、欠陥が存在する表示パネルの画面上に、前記欠陥を表示させかつアドレスが既知の複数の画素を選択的に表示させた状態で、前記表示パネルの表示画面を撮影する。撮影によって得られた撮影画像上の選択表示された前記各画素の点画像およびそのアドレスから、前記撮影画像上の欠陥画像に対応する欠陥画素のアドレスを算出する。
【０００９】
本発明に係る前記アドレス特定方法では、欠陥画素に対応する欠陥画像を含む撮影画像上にアドレスが既知の複数の画素に対応する各点画像が表示されることから、この撮影画像上の欠陥画像に対応する欠陥画素のアドレスは、アドレスが既知の前記点画像に対応する各画素のアドレスから演算処理によって容易かつ正確に求めることができる。
【００１０】
このように、本発明に係る前記アドレス特定方法によれば、アドレスが未知の欠陥画素およびアドレスが既知の複数の画素に対応する各点画像が単一の撮影画像上に表示され、この撮影画像の各表示画像から前記欠陥画素のアドレスが算出されるので、撮影画像を得るための撮影機器と検査を受ける表示パネルとの高精度での位置合わせは不要となり、高度な位置合わせを行うことなく、高精度で、あるいは誤差なく、欠陥画素のアドレスを容易に、したがって迅速に特定することが可能となる。
【００１１】
検査対象となる欠陥が白欠陥であるとき、選択的に表示される画素は点灯動作により白表示され、また検査対象となる欠陥が黒欠陥であるとき、選択的に表示される画素は消灯動作により黒表示される。
【００１２】
前記欠陥画素の近傍に位置する複数の画素を選択的に表示させることができる。
【００１３】
より具体的には、例えば、欠陥画素の表示と共に、該欠陥画素の上方および下方にそれぞれ位置する２つの第１の画素と前記欠陥の左方および右方にそれぞれ位置する２つの第２の画素とを選択的に表示することにより、前記両第１の画素のＸアドレスから前記欠陥画素のＸ０アドレスを算出し、前記両第２の画素のＹアドレスから前記欠陥画素のＹ０アドレスを算出することができる。
【００１４】
本発明に係る前記した欠陥画素のアドレス特定方法を表示パネルの自動画質検査方法およびその装置に適用することができる。
【００１５】
すなわち、本発明に係る自動画質検査方法は、検査を受ける表示パネルの少なくとも所定領域の全画素を黒表示または白表示させるべく前記表示パネルを動作させた状態で前記所定領域の表示画面を撮影することにより、第１の撮影画像を得ること、前記第１の撮影画像上に画素欠陥が存在するか否かを判定すること、前記第１の撮影画像上に白欠陥が存在すると判断されたとき、該白欠陥を表示させかつ前記所定領域に存在しそれぞれのアドレスが既知の複数の画素を選択的に白表示させた状態で前記所定領域の表示画面を撮影し、あるいは前記第１の撮影画像上に黒欠陥が存在すると判断されたとき、該黒欠陥を表示させかつ前記所定領域に存在しそれぞれのアドレスが既知の複数の画素を選択的に黒表示させた状態で前記所定領域の表示画面を撮影することにより、第２の撮影画像を得ること、前記第２の撮影画像上に表示された前記選択画素の点画像およびそのアドレスから、該撮影画像上の欠陥画像に対応する前記欠陥画素のアドレスを算出することを含む。
【００１６】
前記表示パネルの画素を黒表示動作させた場合、正常に動作する画素からは光が抜けることはないが、欠陥画素からは光が漏れ出る。したがって、すべての画素を黒表示動作させた場合、第１の表示画面を撮影して得られる第１の撮影画像から、いわゆる白欠陥の有無を判定することができる。また、画素を白表示動作させた場合、正常に動作する画素は点灯表示されるが、欠陥画素からは典型的には光が抜けることはない。したがって、すべての画素を白表示動作させた場合、第１の表示画面を撮影して得られる第１の撮影画像から、いわゆる黒欠陥の有無を判定することができる。いずれにしても、第１の撮影画像から、該画像上に画素欠陥が存在するか否かを判定することができる。
【００１７】
白欠陥が存在すると判断されたとき、それぞれのアドレスが既知の複数の画素を選択的に白表示させた状態で前記表示パネルの表示が画像を撮影することにより、第２の撮影画像が得られる。この場合、第２の画像には、白欠陥に対応する欠陥画像と、アドレスが既知の前記画素の白表示画像（点灯表示画像）とが得られる。また、黒欠陥が存在すると判断されたとき、それぞれのアドレスが既知の複数の画素を選択的に黒表示させた状態で前記表示パネルの前記所定領域の表示画像を撮影することにより、第２の撮影画像が得られる。この場合、第２の撮影画像には、黒欠陥に対応する欠陥画像と、アドレスが既知の前記画素の黒表示画像（消灯表示画像）が得られる。
【００１８】
いずれにしても、この第２の撮影画像には、アドレスが既知の正常な画素の点画像と、アドレスが未知の欠陥画素の欠陥画像とが含まれることから、この第２の画像上でのこれらの表示画像の解析により、前記したように、欠陥画素のアドレスを特定することができる。したがって、欠陥の有無を自動判定すると共に、撮影機器と表示パネルとのずれの有無に拘わらず、前記欠陥画素のアドレスを正確に算出することができる。
【００１９】
前記表示パネルを検査のためのワークテーブル上に配置し、前記表示パネル上で前記ワークテーブルに支持された撮像機器により前記表示画面を撮影することにより、第１および第２の撮影画像を得ることができる。
【００２０】
また、本発明に係る表示パネルのための自動画質検査装置は、ワークテーブル上に配置された表示パネルの少なくとも所定領域のすべての画素を黒表示または白表示させるべく該画素に電気信号を供給し、また少なくとも前記所定領域内のアドレスが既知の複数の画素を選択的に表示させるべく該画素に電気信号を供給する給電装置と、前記前記表示パネルの少なくとも前記所定領域のすべての画素を黒表示または白表示させる給電状態および前記既知の画素を選択的に表示させる給電状態のそれぞれで少なくとも前記所定領域の表示画面を第１および第２の撮影画像としてそれぞれ撮影する撮像機器と、前記第１の撮影画像から欠陥画素の有無を判定し、前記第２の撮影画像からアドレスが既知の画素の画像および欠陥画素の画像を検出し、アドレスが既知の前記画素のアドレス情報から、第２の撮影画像上の欠陥画像に対応する前記欠陥画素のアドレスを算出する画像処理装置とを含む。
【００２１】
ワークテーブル上の前記表示パネルの画像を撮影する前記撮像器によって前記第１および第２の画像を得るために、前記給電装置は前記表示パネルに適正に電気信号を供給する。また前記画像処理装置は、第１の画像から欠陥の有無を判定すると共に、前記第２の画像上でアドレスが既知の画素の画像からアドレスが未知の欠陥画素のアドレスを算出する。
【００２２】
したがって、本発明に係る前記自動画質検査装置によれば、本発明に係る前記自動画質検査方法を容易に実施することができる。
【００２３】
前記表示パネルは、前記各画素に対応する電極を有する駆動回路が設けられており、前記給電装置には、前記ワークテーブルに支持されたプローブユニットを設けることができる。前記プローブユニットは、前記前記各電極に当接可能のプローブを有し、該プローブを経て前記電極に対応する前記画素に電気信号を供給することができる。したがって、プローブの選択によって該プローブに対応する画素を表示させることができるので、選択されるプローブの情報からこれに対応する画素のアドレスを知ることができる。
【００２４】
前記撮像機器を前記表示パネルの少なくとも前記所定領域の画素に対応した画素を有するＣＣＤカメラで構成することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、前記したように、検査を受ける表示パネルと該表示パネルの画面を撮影する撮像機器との相対位置のずれの有無に拘わらず、正確かつ容易に欠陥画素のアドレスを特定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明に係る自動画質検査装置１０は、図１に示されているように、液晶パネル１２のような表示パネルの画質検査に用いられる。液晶パネル１２は、図３に示すように、多数の画素１４（１４ａ、１４ｂ）から成る矩形の表示画面１２ａと、多数の電極が集合的に配置されて成る複数の端子部１２ｂとを備える。端子部１２ｂは、表示画面１２ａの外方で液晶パネル１２の隣り合う一組の各辺に沿って、相互に間隔を置いて配置されている。
【００２７】
これらの各端子部１２ｂのそれぞれの電極は、従来よく知られているように、液晶パネル１２の図示しない液晶駆動回路に接続されており、該駆動回路を経て、液晶パネル１２の対応するそれぞれの画素１４（１４ａ、１４ｂ）に電気的に接続されている。したがって、ある電極を選択して該電極に対応する画素１４を作動させた場合、この作動中の画素１４のアドレスは、前記電極の選択情報から電気的に容易に知ることができる。
【００２８】
前記検査装置１０は、図１に示されているように、ステージ１６上にこれから間隔をおいて配置される矩形のワークテーブル１８と、該ワークテーブル上に配置され、液晶パネル１２のためのパネル受けを構成する矩形枠体２０と、該枠体の上方で、液晶パネル１２の端子部１２ｂに対応して配置された複数のプローブユニット２２とを備える。
【００２９】
ワークテーブル１８は、矩形開口１８ａを規定し、ステージ１６上の矩形開口１８ａに対応する領域には、矩形枠体２０上に配置される液晶パネル１２のためのバックライト用光源２４が配置されている。バックライト用光源２４からの光は、矩形枠体２０に組み込まれた光拡散板２６の拡散作用によって、液晶パネル１２をその背面から均等に照射する。このバックライト光を受けた状態で液晶パネル１２は、後述する画質検査を受ける。
【００３０】
ステージ１６は、従来よく知られているように、ステージ面上のＸ軸、Ｙ軸およびこれらに垂直なＺ軸の各軸方向へ移動可能でありかつＺ軸の周りに角度θで回転可能なＸＹＺθステージである。
【００３１】
各プローブユニット２２は、図面の簡素化のために図示されていないフレーム部材を介して矩形枠体２０上に保持されている。各プローブユニット２２は、液晶パネル１２の端子部１２ｂのそれぞれの前記電極に当接可能なプローブ２２ａを有し、信号制御回路２８に接続されている。
【００３２】
信号制御回路２８は、該液晶パネルの全画素１４（１４ａ、１４ｂ）を点灯作動させあるいは消灯動作させるべく、プローブユニット２２の各プローブ２２ａから、該プローブに対応する液晶パネル１２の前記電極を経て、液晶パネル１２の全画素１４に電気信号を供給する。また、各プローブ２２ａは、画素１４（１４ａ、１４ｂ）のそれぞれに対応することから、各画素１４に対応するそれぞれのプローブ２２ａから、該プローブに対応する前記電極を経て、対応する画素１４（１４ａ）に電気信号を選択的に供給することができる。この選択供給により、対応する画素１４を選択的に点灯作動させあるいは消灯作動させることができる。したがって、信号制御回路２８は、液晶パネル１２のための給電回路を構成する。
【００３３】
前記表示パネルの画素１４を消灯動作すなわち黒表示動作させた場合、正常に動作する画素１４ａをバックライト用光源２４からのバックライト光が透過することはなく、これにより正常な画素１４ａからバックライト光が抜けることはない。しかしながら、欠陥画素１４ａからは、光が漏れ出る。したがって、信号制御回路２８から液晶パネル１２にそのすべての画素１４（１４ａ、１４ｂ）を黒表示動作させるための制御信号を送出した状態で得られる液晶パネル１２の黒表示画面（第１の表示画面）から、いわゆる白欠陥の有無を容易に判定することができる。
【００３４】
他方、画素１４を点灯作動すなわち白表示動作させた場合、正常に動作する画素は点灯表示されるが、欠陥画素からは典型的には光が抜けることはない。したがって、すべての画素１４（１４ａ、１４ｂ）を白表示動作させるべく信号制御回路２８から液晶パネル１２に制御信号を送出した状態で得られる液晶パネル１２の白表示画面（第１の表示画面）から、いわゆる黒欠陥の有無を容易に判定することができる。
【００３５】
いずれにしても、液晶パネル１２の前記した白表示画面または黒表示画面である第１の表示画面から、該画像上に画素欠陥が存在するか否かを判定することができる。
【００３６】
この画素欠陥の有無を自動判定するために、液晶パネル１２の表示画面を撮影する、例えばＣＣＤカメラのような撮像機器３０が矩形枠体２０上の液晶パネル１２の上方に配置されており、撮像機器３０には、該撮像機器で撮影された撮影画像を処理するための画像処理装置３２が接続されている。図２に示す例では、図２（ｂ）に示す液晶パネル１２の各画素１４は、撮像機器であるＣＣＤカメラ３０の９個の画素３２に対応する。
【００３７】
撮像機器３０は、図示しない制御装置の制御下で作動し、前記第１の表示画面を撮影する。撮像機器３０により得られた第１の撮影画像のデータは、画像処理装置３２に送られる。以下、説明の簡素化のために、黒表示画面の白欠陥の判定について説明する。
【００３８】
画像処理装置３２は、画像の各点の輝度と閾値との比較により欠陥の有無を判定する従来よく知られた判定部３２ａを有する。判定部３２ａは、黒表示画面である第１の表示画面から得られた第１の撮影画像のデータを処理して、白欠陥の有無を判定する。
【００３９】
第１の撮影画像のデータの処理によって、欠陥画素があると判定されると、その欠陥画素のアドレスを特定するために、信号制御回路２８の作動により、図３に示すように、アドレスが電気的に既知の例えば４つの画素１４ａ１〜１４ａ４が強制点灯される。この強制点灯は、オペレータの目視によって欠陥画素の近傍の画素を選択することができる。また、この選択された強制点灯される画素のアドレスは、プローブユニット２２のプローブ２２ａを選択するとき、その選択情報、すなわち液晶パネル１２の電極選択情報から、正確に把握することができる。
【００４０】
４つの画素１４ａ１〜１４ａ４の強制点灯により、液晶パネル１２の表示画面には、この強制点灯による画素の点画像と、白欠陥の画素１４ｂによる欠陥画像とが含まれる。この表示画面は、第２の撮影画像として、撮像機器３０により撮影され、これにより得られた第２の撮影画像のデータは、画像処理装置３２に送られる。
【００４１】
画像処理装置３２は、その演算処理回路３２ｂの作動により、アドレスが既知の４つの画素１４ａ１〜１４ａ４の表示による点画像およびそのアドレスから欠陥画像に対応する欠陥画素のアドレスを算出する。
【００４２】
例えば、図２に示されているように、液晶パネル１２の表示画面１２ａ上の欠陥画素１４ｂの左右に一組の第１の画素１４ａ１および１２ａ２が選択され、欠陥画素１４ｂの上下に一組の第２の画素１４ａ３および１２ａ４が選択された場合、各画素１４ａ１〜１４ａ４のアドレス（ｘ１ ,ｙ１）〜（ｘ４ ,ｙ４）から欠陥画素のアドレス（ｘ０ ,ｙ０）を求めるために、点（ｘ１ ,ｙ１）および点（ｘ２ ,ｙ２）から点（ｘ０ ,ｙ０）までのＸ軸方向のそれぞれの距離Ｌ１、Ｌ２が計測により求められると、次式（１）から欠陥画素のｘ座標であるｘ０が求められる。
【００４３】
ｘ０＝ｘ１＋（ｘ２−ｘ１）・Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）  …（１）
【００４４】
同様に、点（ｘ３ ,ｙ３）および点（ｘ４ ,ｙ４）から点（ｘ０ ,ｙ０）までのＹ軸方向のそれぞれの距離Ｈ１ 、Ｈ２が計測により求められると、次式（２）から欠陥画素のｙ座標であるｙ０が求められる。
【００４５】
ｙ０＝ｙ４＋（ｙ３−ｙ４）・Ｈ２／（Ｈ１＋Ｈ２）  …（２）
【００４６】
両点（ｘ１ ,ｙ１）および（ｘ２ ,ｙ２）を結ぶ仮想線および両点（ｘ３ ,ｙ３）および点（ｘ４ ,ｙ４）を結ぶ仮想線が、それぞれ欠陥画素（ｘ０ ,ｙ０）を通る必要はない。また、前記各仮想線がＸ軸およびＹ軸のそれぞれに傾斜するように、各点を選択することができる。
【００４７】
画像処理装置３２は、前記したように、演算処理回路３２ｂによる式（１）および式（２）の演算により、各画素１４ａ１〜１４ａ４のアドレスから相対的に欠陥画素のアドレス（ｘ０ ,ｙ０）を求める。
【００４８】
一点（ｘ１ ,ｙ１）が欠陥画素の例えば左下方の斜め位置にあり、他の一点（ｘ２ ,ｙ２）が欠陥画素の例えば右上方の斜め位置にあるとき、この両点（ｘ１ ,ｙ１）および（ｘ２ ,ｙ２）から、例えば、式（１）、（２）と同様な比例配分方式によって欠陥画素の座標すなわちアドレスを求めることができる。
【００４９】
したがって、本発明に係る前記検査装置１０によれば、第１の撮影画像から欠陥の有無を判定することができ、第２の撮影画像から欠陥画素のアドレス（ｘ０ ,ｙ０）を求めることができる。しかも、第２の撮影画像には、アドレスが既知の複数の画素の点画像および欠陥画素の欠陥画像が含まれ、この第２の撮影画像の処理によって、欠陥画素のアドレスを求めることができるので、従来のような撮像機器３０と液晶パネル１２との相対位置のずれの有無に拘わらず、正確なアドレスを迅速に求めることができる。
【００５０】
これにより、本発明によれば、前記検査装置１０のステージ１６およびその上のワークテーブル１８、さらには撮像機器３０の支持構造等を含む装置の機械的剛性の低減が可能となり、それによる前記検査装置１０の全体的なコストダウンが可能となる。
【００５１】
欠陥画素のアドレスを求める前記した手法に代えて、アドレスが既知の任意の複数の画素を強制表示させて得られる第２の撮影画像に、従来よく知られた他の種々の演算処理法を適用して、欠陥画素のアドレスを算出することができる。
【００５２】
また、表示画面１２ａの複数の所定の領域に区画して、それぞれの区画領域毎に欠陥画素の有無およびそのアドレスを順次求めることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明に係る自動画質検査装置の一部を破断して概略的に示す正面図である。
【図２】図１に示したＣＣＤカメラの画素と検査を受ける液晶パネルの画素との対応関係を示す説明図である。
【図３】アドレスが未知の欠陥画素と、選択的に表示されたアドレスが既知の画素とを示す液晶パネルの表示画面の平面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  検査装置
１２  液晶パネル
１４  画素１４（１４ａ、１４ｂ）
２２  プローブユニット
２２ａ  プローブ
２８  信号制御回路
３０  撮像機器
３２  画像処理装置
３２ａ  判定回路
３２ｂ  演算処理回路
【図１】
2007192983.tif 000003
【図２】
2007192983.tif 000004
【図３】
2007192983.tif 000005