(57)【要約】【課題】ノズル列の長尺化することができると共に、ヘッドの小型化を図ることができ、且つメンテナンス性を向上したマルチヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体が噴射されるノズル開口２１が一方向に並設されたノズル列２１Ａを有する液体噴射ヘッドを具備するヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃを複数備え、前記ヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃの前記一方向に交差する方向にヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃ本体から突出して設けられた固定部２１４を介して少なくとも２つのヘッドユニット２００Ａ及び２００Ｃが前記一方向に交差する方向に保持部材に固定され、前記保持部材に固定される互いが近傍に設けられるヘッドユニット２００Ａ及び２００Ｃの固定部２１４を前記一方向にずらす。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が噴射されるノズル開口が一方向に並設されたノズル列を有する液体噴射ヘッドを具備するヘッドユニットを複数備え、前記ヘッドユニットの前記一方向に交差する方向にヘッドユニット本体から突出して設けられた固定部を介して少なくとも２つのヘッドユニットが前記一方向に交差する方向に保持部材に固定され、前記保持部材に固定される互いが近傍に設けられるヘッドユニットの固定部が、前記一方向にずれていることを特徴とするマルチヘッドユニット。
【請求項２】
前記ヘッドユニットの前記固定部が互いが近傍に設けられるヘッドユニットの前記ヘッドユニット本体に当接していないことを特徴とする請求項１記載のマルチヘッドユニット。
【請求項３】
前記ヘッドユニットのノズル列と、これに互いが近傍に設けられるヘッドユニットのノズル列とが、前記一方向にずれており、且つ前記一方向に沿った領域に連続して存在していることを特徴とする請求項１又は２に記載のマルチヘッドユニット。
【請求項４】
１つのヘッドユニットの前記一方向側に互いが近傍に設けられるヘッドユニットが２つ存在することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のマルチヘッドユニット。
【請求項５】
前記固定部が、前記ヘッドユニットの前記一方向側両端部にあり、前記一方向側の一方の前記固定部が設けられた領域には、前記ノズル列が存在することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のマルチヘッドユニット。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかに記載のマルチヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドを具備するヘッドユニットが複数保持されたマルチヘッドユニット及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式プリンタやプロッタ等のインクジェット式記録装置は、インクカートリッジやインクタンク等のインク貯留部に貯留されたインクを、インク滴として吐出可能なインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニットと言う）を有する。
【０００３】
このようなヘッドユニットは、インクジェット式記録ヘッドと、インクジェット式記録ヘッドの液体供給口側に固定されたヘッドケースとを具備する。また、このようなヘッドユニットを所定位置に配置したものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、複数のヘッドユニットを配置してマルチヘッドユニットとする場合、互いが近傍に設けられるヘッドユニット間に隙間をなくすことで、ノズル列間を狭くしてヘッドを小型化することができると共に、マルチヘッドユニットが搭載されるキャリッジの移動量を少なくすることができ、高速印刷が可能になるものの、互いが近傍に設けられるヘッドユニット間に隙間がないと、ヘッドユニットのインクが供給される側に設けられたフィルター等の交換が煩雑になってしまうという問題がある。
【０００５】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するマルチヘッドユニットだけではなく、インク以外の液体を吐出する液体噴射ヘッドを具備するマルチヘッドユニットにおいても同様に存在する。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２０９９６４号公報（第８〜１１頁、第６〜７図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、ノズル列の長尺化することができると共に、ヘッドの小型化を図ることができ、且つメンテナンス性を向上したマルチヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液体が噴射されるノズル開口が一方向に並設されたノズル列を有する液体噴射ヘッドを具備するヘッドユニットを複数備え、前記ヘッドユニットの前記一方向に交差する方向にヘッドユニット本体から突出して設けられた固定部を介して少なくとも２つのヘッドユニットが前記一方向に交差する方向に保持部材に固定され、前記保持部材に固定される互いが近傍に設けられるヘッドユニットの固定部が、前記一方向にずれていることを特徴とするマルチヘッドユニットにある。
かかる第１の態様では、保持部材に固定部を介してヘッドユニットを固定することによって、各ヘッドユニットを保持部材から個別に取り外すことができ、各ヘッドユニットの部品の交換などのメンテナンス性を向上することができる。また、保持部材に固定部を介してヘッドユニットを固定する際に、固定部によってヘッドユニットを相対的に位置合わせすることができるため、位置合わせを容易に且つ高精度に行うことができる。さらに、ヘッドユニットの各固定部が互いに当接しないように配置されることで、小型化することができる。
【０００９】
本発明の第２の態様は、前記ヘッドユニットの前記固定部が互いが近傍に設けられるヘッドユニットの前記ヘッドユニット本体に当接していることを特徴とする第１の態様記載のマルチヘッドユニットにある。
かかる第２の態様では、各ヘッドユニットの相対的な位置合わせを高精度に行うことができる。
【００１０】
本発明の第３の態様は、前記ヘッドユニットのノズル列と、これに互いが近傍に設けられるヘッドユニットのノズル列とが、前記一方向にずれており、且つ前記一方向に沿った領域に連続して存在していることを特徴とする第１又は２の態様に記載のマルチヘッドユニットにある。
かかる第３の態様では、非印刷領域をなくしてノズル列を長尺化することができる。
【００１１】
本発明の第４の態様は、１つのヘッドユニットの前記一方向側に互いが近傍に設けられるヘッドユニットが２つ存在することを特徴とする第１〜３の何れかの態様に記載のマルチヘッドユニットにある。
かかる第４の態様では、ノズル列をさらに長尺化することができる。
【００１２】
本発明の第５の態様は、前記固定部が、前記ヘッドユニットの前記一方向側両端部にあり、前記一方向側の一方の前記固定部が設けられた領域には、前記ノズル列が存在することを特徴とする第１〜４の何れかの態様に記載のマルチヘッドユニットにある。
かかる第５の態様では、互いが近傍に設けられるヘッドユニットの固定部同士が当接するのを確実に防止することができる。
【００１３】
本発明の第６の態様は、第１〜５の何れかの態様に記載のマルチヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第６の態様では、印刷速度を向上することができる液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図である。図示するように、インクジェット式記録ヘッドユニット２００（以下、ヘッドユニット２００と言う）を構成する保持部材であるカートリッジケース２１０は、インク供給手段であるインクカートリッジ（図示なし）がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部２１１を有する。例えば、本実施形態では、インクカートリッジは、ブラック及び３色のカラーインクが充填された別体で構成され、カートリッジケース２１０には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。また、カートリッジケース２１０には、一端が各カートリッジ装着部２１１に開口し、他端が後述するヘッドケース側に開口する複数のインク連通路（図示なし）が設けられている。さらに、カートリッジ装着部２１１のインク連通路の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針２１３が、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路２１２に形成されたフィルタ（図示なし）を介して固定されている。
【００１５】
また、カートリッジケース２１０には、詳しくは後述するインクジェット式記録ヘッド２２０のノズル開口２１の並設方向である一方向（副走査方向）と交差する方向（主走査方向）に突出した固定部２１４が設けられている。本実施形態では、固定部２１４をカートリッジケース２１０の側面の一方向側の両端部にそれぞれ設けることで、合計４つ設けられている。
【００１６】
この固定部２１４は、詳しくは後述するヘッドユニット２００を保持する保持部材であるキャリッジに固定されるものである。具体的には、固定部２１４には、厚さ方向に貫通した貫通孔２１５が設けられており、ねじ部材などを固定部２１４の貫通孔２１５に挿通させてキャリッジに螺合させることで、ヘッドユニット２００はキャリッジに固定される。
【００１７】
また、このようなカートリッジケース２１０の底面側には、ヘッドケース２３０が固定されている。このヘッドケース２３０のカートリッジケース２１０とは反対側の端面には、圧電素子３００の駆動によってノズル開口２１からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド２２０が固定されている。本実施形態では、インクカートリッジの各色のインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド２２０がインク色毎に対応して複数設けられ、ヘッドケース２３０も各インクジェット式記録ヘッド２２０に対応してそれぞれ独立して複数設けられている。
【００１８】
ここで、カートリッジケース２１０に搭載される本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２２０及びヘッドケース２３０について説明する。図２は、実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッド及びヘッドケースの要部の分解斜視図であり、図３は、実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッド及びヘッドケースの要部断面図である。図２及び図３に示すように、インクジェット式記録ヘッド２２０を構成する流路形成基板１０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板１０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側には、後述する保護基板３０に設けられるリザーバ部３１と連通し、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成する連通部１３が形成されている。また、連通部１３は、インク供給路１４を介して各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。
【００１９】
また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。すなわち、本実施形態では、１つのインクジェット式記録ヘッドにノズル開口２１の並設されたノズル列２１Ａが２列設けられている。なお、ノズルプレート２０は、厚さが例えば、０．０１〜１ｍｍで、線膨張係数が３００℃以下で、例えば２．５〜４．５［１０−６／℃］であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。
【００２０】
一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、弾性膜５０上に、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜と、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子３００が形成されている。このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有する保護基板３０が接合されている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００２１】
また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。このような保護基板３０としては、ガラス、セラミック、金属、プラスチック等を挙げることができるが、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００２２】
さらに、保護基板３０上には、各圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ１１０が設けられている。この駆動ＩＣ１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動ＩＣ１１０の各端子には、図１に示すような、フレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。
【００２３】
また、このような保護基板３０上には、コンプライアンス基板４０が接合されている。コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域には、リザーバ１００にインクを供給するためのインク導入口４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部４３となっており、リザーバ１００は、可撓部４３により封止されている。この可撓部４３により、リザーバ１００内にコンプライアンスを与えている。
【００２４】
このように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２２０は、ノズルプレート２０、流路形成基板１０、保護基板３０及びコンプライアンス基板４０の４つの基板で構成されている。そして、このようなインクジェット式記録ヘッド２２０のコンプライアンス基板４０上には、インク導入口４４に連通すると共にカートリッジケース２１０のインク連通路２１２に連通して、カートリッジケース２１０からのインクをインク導入口４４に供給するインク供給連通路２３１が設けられたヘッドケース２３０が設けられている。このヘッドケース２３０には、可撓部４３に対向する領域に凹部２３２が形成され、可撓部４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース２３０には、保護基板３０上に設けられた駆動ＩＣ１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動ＩＣ保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動ＩＣ保持部２３３を挿通して駆動ＩＣ１１０と接続されている。
【００２５】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２２０は、インクカートリッジからのインクをインク供給連通路２３１を介してインク導入口４４から取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ１１０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００２６】
そして、カートリッジケース２１０には、図１に示すように、インクジェット式記録ヘッド２２０がノズル開口２１の並設方向とは交差する一方向に複数、本実施形態では４つ並設されて固定されている。すなわち、一つのヘッドユニット２００には、４つのインクジェット式記録ヘッド２２０が保持され、ノズル列２１Ａが８列設けられている。
【００２７】
また、カートリッジケース２１０にヘッドケース２３０を介して保持された４つのインクジェット式記録ヘッド２２０は、図１に示すように、箱形状を有するカバーヘッド２４０によって覆われている。
【００２８】
カバーヘッド２４０は、ノズル開口２１を露出する露出開口部２４１と、露出開口部２４１を画成する接合部２４２とを具備する。接合部２４２は、本実施形態では、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０に亘ってインク滴吐出面の外周に沿って設けられた枠部２４３と、互いが近傍に設けられるインクジェット式記録ヘッド２２０の間に延設されて露出開口部２４１を分割する梁部２４４とで構成されている。
【００２９】
また、カバーヘッド２４０には、インクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面の側面側に、インク滴吐出面の外周縁部に亘って屈曲するように延設された側壁部２４５が設けられている。
【００３０】
このようなカバーヘッド２４０としては、例えば、ステンレス鋼などの金属材料が挙げられ、金属板をプレス加工により形成してもよく、成形により形成するようにしてもよい。なお、カバーヘッド２４０の接合部２４２を、インクジェット式記録ヘッド２２０のインク滴吐出面に接着剤を介して接着するようにしてもよく、接着せずに当接させるだけでもよい。
【００３１】
そして、複数のインクジェット式記録ヘッド２２０及びヘッドケース２３０と、カバーヘッド２４０と、カートリッジケース２１０とで構成されたヘッドユニット２００は、固定部を介して後述する保持部材であるキャリッジに複数保持され、マルチヘッドユニットを構成している。
【００３２】
ここで、マルチヘッドユニットを構成する複数のヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃの配置について図４を参照して説明する。なお、図４は、実施形態１に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。
【００３３】
図４に示すように、マルチヘッドユニット１を構成するヘッドユニット２００Ａ及びヘッドユニット２００Ｂは、ノズル開口２１の並設方向である一方向（副走査方向）に若干の隙間を有した状態で設けられている。また、ヘッドユニット２００Ａ、２００Ｂの一方向とは交差する方向（主走査方向）に、ヘッドユニット２００Ｃが設けられている。このヘッドユニット２００Ａ及び２００Ｂとヘッドユニット２００Ｃとは、互いに固定部２１４同士が当接しないように、ヘッドユニット２００Ｃをヘッドユニット２００Ａに対して一方向にずらした位置に配置されている。すなわち、一方のヘッドユニット２００Ａ及び２００Ｂの固定部２１４は、ヘッドユニット２００Ｃの側面にも当接せず、ヘッドユニット２００Ｃの固定部２１４は、ヘッドユニット２００Ａ及び２００Ｂの側面にも当接しないようになっている。このように、ヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃに固定部２１４を設けることによって、各ヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃを保持部材であるキャリッジから個別に取り外すことができ、各ヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃのインク供給側に設けられたフィルター等の交換を容易に行うことができ、メンテナンス性を向上することができる。また、ヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃを固定部２１４を介してキャリッジに固定する際に、固定部２１４によってヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃを相対的に位置合わせすることができるため、位置合わせを容易に行うことができる。
【００３４】
さらに、ヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃの各固定部２１４が互いに当接しないように配置されることで、主走査方向を小型化することができ、キャリッジの移動量を減少させて印刷速度を向上することができる。
【００３５】
なお、本実施形態では、ヘッドユニット２００Ａとヘッドユニット２００Ｂとのノズル列２１Ａの間に、ヘッドユニット２００Ｃのノズル列２１Ａが配置され、一方向に沿って各ノズル列２１Ａが連続するようにした。すなわち、このようにヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃを配置することで、固定部２１４がヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃの一方向側両端部に設けられているため、ヘッドユニット２００Ａ及び２００Ｂが互いが近傍に設けられる側の一方の固定部２１４が設けられた領域には、ヘッドユニット２００Ｃのノズル列２１Ａが存在する。逆にヘッドユニット２００Ｃの各固定部２１４が設けられた領域には、ヘッドユニット２００Ａのノズル列２１Ａ及びヘッドユニット２００Ｂのノズル列２１Ａが存在する。
【００３６】
このように、各ヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃの一方向に沿ってノズル列２１Ａを連続させることで、ノズル列２１Ａを長尺化することができ、印刷速度を向上することができる。
【００３７】
このようなマルチヘッドユニットは、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は、実施形態１に係るインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図５に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有するマルチヘッドユニット１は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、このマルチヘッドユニット１を搭載した保持部材であるキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このマルチヘッドユニット１の各インクジェット式記録ヘッドは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００３８】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、マルチヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される（主走査方向）。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている（副走査方向）。
【００３９】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、各ヘッドユニット２００の両側面の一方向側の端部に固定部２１４を合計４つ設けるようにしたが、固定部２１４の数は、特にこれに限定されず、例えば、図６に示すように、一方の側面の両端部に固定部２１４を２つ設け、他方の側面の一端部に固定部２１４を１つだけ設けて、１つのヘッドユニット２００に固定部２１４を合計３つ設けるようにしてもよい。なお、図６は、他の実施形態に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。
【００４０】
また、上述した実施形態１では、各ヘッドユニット２００にノズル開口２１の並設方向である一方向と交差する方向の両側に、一方側の両端部に固定部２１４を設けるようにしたが、固定部２１４は、ヘッドユニット２００の固定部２１４に当接せず、且つ互いが近傍に設けられるヘッドユニット２００の側面に当接しなければ、その位置は特に限定されるものではない。
【００４１】
さらに、上述した実施形態１では、ヘッドユニット２００のカートリッジケース２１０に固定部２１４を設けるようにしたが、固定部２１４は、ヘッドユニット２００を構成する他の部材に設けるようにしてもよい。例えば、カートリッジケース２１０とヘッドケース２３０との間に基板プレートが設けられている場合には、この基板プレートに固定部２１４を設けるようにしてもよい。
【００４２】
また、上述した実施形態１では、マルチヘッドユニット１として、ヘッドユニット２００Ａ〜２００Ｃを３つ設けるようにしたが、ヘッドユニット２００の数は特に限定されるものではない。また、各ヘッドユニット２００にインクジェット式記録ヘッド２２０を４つ搭載するようにしたが、各ヘッドユニット２００に搭載するインクジェット式記録ヘッド２２０の数は特にこれに限定されない。さらに、上述した実施形態１では、マルチヘッドユニット１を構成する複数のヘッドユニット２００を同じ大きさのものとしたが、特にこれに限定されるものではない。このような例を図７に示す。なお、図７は、他の実施形態に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。図７に示すように、マルチヘッドユニット１は、長尺のヘッドユニット２００Ｄがノズル開口２１の並設方向である一方向に２つ並設され、一方向と交差する方向にヘッドユニット２００Ｄよりも短尺のヘッドユニット２００Ｅが並設されている。
【００４３】
また、上述した実施形態１では、撓み振動型のインクジェット式記録ヘッド２２０を例示したが、これに限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のインクジェット式記録ヘッドや発熱素子等の発熱で発生するバブルによってインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド等、種々の構造のインクジェット式記録ヘッドを有するヘッドユニットに応用することができることは言うまでもない。
【００４４】
なお、液体噴射ヘッドとしてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを有するマルチヘッドユニット及びインクジェット式記録装置を一例として説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを有するマルチヘッドユニット全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係るヘッドユニットの要部の分解斜視図である。
【図３】実施形態１に係るヘッドユニットの要部断面図である。
【図４】実施形態１に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。
【図５】実施形態１に係るインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【図６】他の実施形態に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。
【図７】他の実施形態に係るヘッドユニットの配置を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  マルチヘッドユニット、  ３  キャリッジ、  １０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １００  リザーバ、  ２００、２００Ａ〜２００Ｅ  ヘッドユニット、  ２１０  カートリッジケース、  ２１４  固定部、  ２１５  貫通孔、  ２２０  インクジェット式記録ヘッド、  ２３０  ヘッドケース、  ２３４  貫通孔、  ２３５  位置決め孔、  ２４０  カバーヘッド、  ２４１  露出開口部、  ２４２  接合部、  ２４５  側壁部、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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