(57)【要約】【課題】均一な温度を維持しながら液晶パネルの重力不良検査を迅速に行える液晶パネルの検査装置を提供する。【解決手段】カセット１０に収納された複数枚の液晶パネルを加熱するヒーティングチャンバー１００と、ヒーティングチャンバー１００に近接して設置され、ヒーティングチャンバー１００によって加熱された液晶パネルを受け取って不良を検査する検査部２００と、カセット１０と検査部２００との間を移動しながら、カセット１０内の液晶パネルを取り出して検査部２００に提供し、検査部２００から液晶パネルを取り出してカセット１０に提供するパネル搬送部３００とを備える。【選択図】図３
2007183541.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセットに収納された複数枚の液晶パネルを加熱するヒーティングチャンバーと、
前記ヒーティングチャンバーに近接して設置され、前記ヒーティングチャンバーによって加熱された液晶パネルを受け取って不良を検査する検査部と、
前記カセットと前記検査部との間を移動しながら、前記カセット内の液晶パネルを取り出して前記検査部に提供し、前記検査部から液晶パネルを取り出して前記カセットに提供するパネル搬送部と
を備えて構成されることを特徴とする液晶パネル検査装置。
【請求項２】
前記ヒーティングチャンバーは、
その前方側下部に前記検査部が設置されるように前記前方側下部に形成されるくぼみ部と、
前記液晶パネルを前記検査部に提供するために前記くぼみ部の上面に形成されるパネル出入口と
を備えることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項３】
前記パネル出入口には、その選択的な開閉のための開閉ドアがさらに備えられることを特徴とする請求項２に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項４】
前記検査部は、前記パネル出入口に対向する部分にパネル流入口を有することを特徴とする請求項２に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項５】
前記ヒーティングチャンバーの側面後方側には、前記カセットの搬入／搬出のためのカセット出入口が形成されることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項６】
前記カセット出入口には、その選択的な開閉のための開閉ドアがさらに備えられることを特徴とする請求項５に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項７】
前記ヒーティングチャンバー内の後方側底面に沿って前記カセット出入口から前記カセットが搬入／搬出されるように駆動する搬送部がさらに備えられることを特徴とする請求項５に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項８】
前記搬送部は、コンベアで構成されることを特徴とする請求項７に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項９】
前記カセットが選択的に傾斜するように前記搬送部の前方側を持ち上げるリフトをさらに備えることを特徴とする請求項７に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項１０】
前記搬送部は、前記カセットが傾いた状態に搬入／搬出されるように、傾斜するように設置されることを特徴とする請求項７に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項１１】
前記ヒーティングチャンバーには、ヒーティングチャンバー内部の工程進行状況を確認できる透視窓がさらに形成されることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項１２】
前記透視窓は、前記ヒーティングチャンバーの前面上側に形成されることを特徴とする請求項１１に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項１３】
前記パネル搬送部は、
液晶パネルを選択的に把持できるように構成され、上端が前記ヒーティングチャンバーの上側外部に露出されるように設置されたハンド部と、
前記ハンド部が前記カセットと前記検査部との間を移動するようにする前後移動部と、
一端が前記前後移動部に固定され、前記ハンド部を上下方向に昇降させる昇降移動部と、
を備えて構成されることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項１４】
前記ハンド部の下側先端には、前記液晶パネルの下部を把持する把持部がさらに形成されることを特徴とする請求項１３に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項１５】
前記前後移動部は、
前記ヒーティングチャンバー上面の前後方向に沿って設置される第１レールと、
一端が前記第１レールに支持されて前後方向に移動するように設置され、他端が前記昇降移動部に固定される第１動作部と
を備えて構成されることを特徴とする請求項１３に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項１６】
前記昇降移動部は、
前記ヒーティングチャンバー内の上下方向に沿って設置される第２レールと、
一端が前記第２レールに支持されて上下方向に移動するように設置され、他端が前記ハンド部に固定される第２動作部と
を備えて構成されることを特徴とする請求項１３に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項１７】
前記ヒーティングチャンバーの上面に、前記ハンド部の移動を可能にしながら、前記ヒーティングチャンバーの上面において開口される部位を密閉する密閉部をさらに備えられることを特徴とする請求項１３に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項１８】
前記密閉部は、蛇腹式カーテンの形状に形成され、
前記密閉部の両端は、前記ヒーティングチャンバーの上面前方側及び後方側にそれぞれ固定され、内側部位は、前記ハンド部の外周面を囲むように形成されることを特徴とする請求項１７に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項１９】
前記カセット、前記検査部及び前記パネル搬送部は、それぞれ、所定角度傾斜するように設置されることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネル検査装置。
【請求項２０】
前記カセット、前記検査部及び前記パネル搬送部の傾斜角度は、互いに同一であることを特徴とする請求項１９に記載の液晶パネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの検査装置に係り、特に、均一な温度を維持しながら液晶パネルの重力不良検査を迅速に行うことができる液晶パネル検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近来、携帯電話、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）、ノートブックコンピュータなどのような各種携帯用電子機器が発展するに伴い、これに適用可能な軽薄短小型の平板表示装置への要求も次第に増大しつつある。このような平板表示装置としては、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display Device）、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）、ＦＥＤ（Field Emission Display）、ＶＦＤ（Vacuum Fluorescent Display）などが活発に研究されており、現在、量産化技術、駆動手段の容易性、高画質実現などの理由から液晶表示素子が脚光を浴びている。
【０００３】
図１は、一般の液晶表示素子を示す断面図であり、図２は、従来の液晶表示素子の工程順序図である。
【０００４】
液晶表示素子は、屈折率異方性を用いて画面に情報を表示する装置である。
【０００５】
一般の液晶表示素子１は、図１に示すように、下部基板５と上部基板３、及び下部基板５と上部基板３との間に形成された液晶層７で構成されている。
【０００６】
下部基板５は、駆動素子アレイ基板である。図示していないが、下部基板５には複数の画素が形成されており、それぞれの画素には薄膜トランジスタのような駆動素子が形成されている。上部基板３は、カラーフィルタ基板であり、実際カラーを具現するためのカラーフィルタ層が形成されている。また、下部基板５及び上部基板３にはそれぞれ画素電極及び共通電極が形成されており、液晶層７の液晶分子を配向するための配向膜が塗布されている。
【０００７】
下部基板５及び上部基板３は、シーリング材９によって合着され、その間に液晶層７が形成されており、これら液晶分子を下部基板５に形成された駆動素子によって駆動し、液晶層を透過する光量を制御することによって情報が表示される。
【０００８】
このような液晶表示素子の製造工程は、大きく、下部基板５に駆動素子を形成する駆動素子アレイ工程と、上部基板３にカラーフィルタを形成するカラーフィルタ工程、及びセル工程とからなる。次に、この液晶表示素子の製造工程の詳細を、図２を参照して説明する。
【０００９】
まず、駆動素子アレイ工程によって下部基板５上に配列されて画素領域を定義する複数のゲートライン及びデータラインを形成し、各画素領域にゲートラインとデータラインに接続される駆動素子である薄膜トランジスタを形成する（Ｓ１０１）。また、駆動素子アレイ工程によって薄膜トランジスタに接続され、薄膜トランジスタから信号が印加されると液晶層を駆動する画素電極を形成する。
【００１０】
また、上部基板３にはカラーフィルタ工程によってカラーを具現するＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ層と共通電極を形成する（Ｓ１０４）。
【００１１】
続いて、上部基板３及び下部基板５にそれぞれ配向膜を塗布した後、上部基板３と下部基板５との間に形成される液晶層の液晶分子に配向規制力または表面固定力（すなわち、プリチルト角と配向方向）を提供すべく、配向膜をラビングする（Ｓ１０２、Ｓ１０５）。
【００１２】
その後、下部基板５にセルギャップを一定に保持するためのスペーサを散布し、上部基板３の外周縁にシーリング材９を塗布した後、下部基板５と上部基板３に圧力を加えて合着する（Ｓ１０３、Ｓ１０６、Ｓ１０７）。
【００１３】
一方、下部基板５と上部基板３は、大面積のガラス基板からなっている。言い換えれば、大面積のガラス基板に複数のパネル領域が形成され、これらパネル領域のそれぞれに、駆動素子であるＴＦＴ及びカラーフィルタ層が形成されるので、それぞれの液晶パネルを製作するためにはガラス基板を切断・加工しなければならない（Ｓ１０８）。その後、上記のように加工された個々の液晶パネルに液晶注入口から液晶を注入した後に液晶注入口を封止し液晶層を形成した後、各液晶パネルを検査することで液晶パネルの製作を完了する（Ｓ１０９、Ｓ１１０）。
【００１４】
液晶パネルの検査は、通常、外観検査、電気的点灯検査及び重力不良検査に分類される。
【００１５】
点灯検査では、完成した液晶パネルに信号を印加して各種電気素子が正常に作動するか否かを検査し、外観検査では、作業者が肉眼で液晶パネルを検査し、液晶パネルの不良有無を検査する。また、重力不良検査では、重力によって液晶が液晶パネルの下部に集まっているかを検査する。
【００１６】
重力不良は、作製された液晶パネルの内部に形成された液晶層が温度上昇によって体積が増加することから生じるもので、温度上昇によって液晶パネルのセルギャップがスペーサよりも大きくなると、液晶が重力によって下部に移動し、液晶パネルのセルギャップが不均一になり、液晶表示素子の品質低下を招く。
【００１７】
このような重力不良の検査は、通常、液晶パネルに光を透過させた後に液晶パネル下部の画像を作業者が直接肉眼で観察することによってなされる。すなわち、作業者が液晶パネル下部の画像を観察し、画像に異常が発生した場合、重力不良として判断する。
【００１８】
すなわち、重力不良の検査は、完成した液晶パネルを高温に維持した状態で行う。このため、液晶パネルは、ヒーティングチャンバーで予め加熱される。この液晶パネルの加熱は、検査の効率のためにカセット単位に行われるのが一般的である。すなわち、カセットに複数の液晶パネルを収納した後に、ヒーティングチャンバーで液晶パネルを高温に加熱する。加熱した液晶パネルは、別の搬送手段によって検査器に移され、検査が進行される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、従来の重力不良検査装置では、検査器がヒーティングチャンバーから一定距離だけ離れているため、該ヒーティングチャンバー内のカセットから取り出された液晶パネルが検査装置に搬送される途中で外気にさらされて温度が低下し、正確な検査が不可能になるという問題があった。
【００２０】
また、従来の重力不良検査装置では、ヒーティングチャンバー内のカセットから液晶パネルを搬出する際に、ヒーティングチャンバーの内部が外部にさらされ、外気がヒーティングチャンバー内に流れ込み、ヒーティングチャンバー内の温度が不均一になるという問題があった。
【００２１】
また、従来の重力不良検査装置では、ヒーティングチャンバーから検査器に液晶パネルを搬送する手段、すなわちロボットのような高価の搬送装置が必要なため、製造コストが上昇し、液晶パネルを搬送するのに時間がかかるという問題点があった。
【００２２】
本発明は上記の問題点を解決するためのもので、その目的は、ヒーティングチャンバー内の温度を均一に維持し、高温に加熱された液晶パネルの温度を低下させないままで重力不良を検査可能にすることによって、常に正確な重力不良検査を可能にし、かつ、ヒーティングチャンバーに所定角度傾いてマウントされるカセットを供給するコンベアを、前記カセットの傾斜角度と同一にし、ヒーティングチャンバーの製造コスト及びヒーティングチャンバーの空間を節約できる液晶パネル検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記目的を達成するために、本発明に係る液晶パネル検査装置は、カセットに収納された複数枚の液晶パネルを加熱するヒーティングチャンバーと、前記ヒーティングチャンバーに近接して設置され、前記ヒーティングチャンバーによって加熱された液晶パネルを受け取って不良を検査する検査部と、前記カセットと前記検査部との間を移動しながら、前記カセット内の液晶パネルを取り出して前記検査部に提供し、前記検査部から液晶パネルを取り出して前記カセットに提供するパネル搬送部とを備えて構成されることを特徴とする。
【００２４】
ここで、前記ヒーティングチャンバーに前記カセットを搬入する、あるいは、前記ヒーティングチャンバーから前記カセットを搬出するための搬送部をさらに備えることが好ましい。
【００２５】
前記搬送部は、前記カセットが傾いた状態で搬入／搬出されるように、傾斜するように設置されることが好ましい。
【００２６】
前記パネル搬送部は、液晶パネルを選択的に把持できるように構成され、上端が前記ヒーティングチャンバーの上側外部に露出されるように設置されたハンド部と、前記ハンド部が前記カセットと前記検査部との間を移動するようにする前後移動部と、一端が前記前後移動部に固定され、前記ハンド部を上下方向に昇降させる昇降移動部とを備えて構成されることを特徴とする。
【００２７】
ここで、前記前後移動部は、前記ヒーティングチャンバー上面の前後方向に沿って設置される第１レールと、一端が前記第１レールに支持されて前後方向に移動するように設置され、他端が前記昇降移動部に固定される第１動作部とを備えて構成されることを特徴とする。
【００２８】
前記昇降移動部は、前記ヒーティングチャンバー内の上下方向に沿って設置される第２レールと、一端が前記第２レールに支持されて上下方向に移動するように設置され、他端が前記ハンド部に固定される第２動作部とを備えて構成されることを特徴とする
【発明の効果】
【００２９】
本発明の液晶パネル検査装置によれば、カセット内の液晶パネルが検査部へ搬送される過程が密閉状態のヒーティングチャンバー内でなされるため、液晶パネルの温度変化が最小限に抑えられ、液晶パネルの不良検査を正確に行うことが可能になる。
【００３０】
また、本発明の液晶パネル検査装置は、ヒーティングチャンバー内の温度変化を最小限に抑えるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明に係る液晶パネル検査装置の好適な実施の形態を、添付の図面を参照して詳細に説明する。
【００３２】
図３は、本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置の内部構造を概略的に表す側面図であり、図４は、本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置のヒーティングチャンバー構造を説明するための要部斜視図である。
【００３３】
本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置は、図３に示すように、大きくは、ヒーティングチャンバー１００、検査部２００及びパネル搬送部３００を備えて構成される。
【００３４】
これら各構成を詳細に説明すると、次の通りである。
【００３５】
ヒーティングチャンバー１００は、図３及び図４に示すように、複数の液晶パネル（図示せず）が積層されたカセット１０が供給されると、それら液晶パネルを設定温度にまで速く加熱するように構成された装置であり、略ボックス型の内部を有し、内部後方側にカセット１０が収納される。
【００３６】
ヒーティングチャンバー１００の前方側下部には、内側にくぼんでいるくぼみ部１１０が形成され、このくぼみ部１１０の下部に検査部２００が配置される。
【００３７】
前記くぼみ部１１０の上面には、液晶パネルが出入するパネル出入口１１１が形成される。ここで、パネル出入口１１１は、液晶パネルが円滑に出入できるような大きさに形成される。
【００３８】
もちろん、パネル出入口１１１には、その選択的な開閉のための開閉ドア（図示せず）がさらに取り付けられることが好ましく、この密閉ドアは、必要な場合を除いては、ヒーティングチャンバー１００の内部を常に密閉状態に維持するためのものである。
【００３９】
また、ヒーティングチャンバー１００の側面後方側には、カセット１０の搬入／搬出のためのカセット出入口１１２がさらに形成され、ヒーティングチャンバー１００の後方側底面には、カセット出入口１１２を通ってカセット１０が搬入／搬出されるように駆動する搬送部１２０がさらに備えられる。もちろん、カセット出入口１１２にも、その選択的な開閉のための開閉ドア（図示せず）が取り付けられることが好ましい。ここで、開閉ドアは、搬送部１２０が設置された箇所を除いてカセット出入口１１２を閉じるように構成されることが好ましい。
【００４０】
搬送部１２０は、様々な構造にすることができ、本発明の実施の形態では、搬送部１２０をコンベアとした。
【００４１】
ヒーティングチャンバー１００の前方側上面には、ヒーティングチャンバー１００内部の工程進行状況を作業者が確認できるように、透視窓１３０を形成することが好ましい。
【００４２】
ヒーティングチャンバー１００には、カセット１０に収納されている液晶パネルを加熱するためのヒーター部１５０が備えられる。ここで、ヒーター部１５０は、ヒーティングチャンバー１００の内部空間上に設置されることが好ましいが、これに限定されるものでなく、ヒーティングチャンバー１００の壁面内部に設置されても良い。
【００４３】
もちろん、図示してはいないが、ヒーター部１５０は、ヒーティングチャンバー１００とは別に設置され、ダクトなどの流入手段を介して高温の熱気をヒーティングチャンバー１００内に流入させるように構成しても良い。
【００４４】
検査部２００は、ヒーティングチャンバー１００によって加熱された液晶パネルに対して重力不良を検査する装置で、ヒーティングチャンバー１００のくぼみ部１１０内に配置され、液晶パネル流入側２１０は、ヒーティングチャンバー１００のパネル出入口１１１と対向するように形成され、ヒーティングチャンバー１００から取り出される液晶パネルが直ちに検査部２００に取り込まれるようにする。
【００４５】
図５は、本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置におけるパネル搬送部の部分を示す斜視図であり、図６は、本発明による液晶パネル検査装置のパネル搬送部における液晶パネル把持動作を示す図である。
【００４６】
パネル搬送部３００は、ヒーティングチャンバー１００内のカセット１０から液晶パネルを取り出してパネル出入口１１１から検査部２００に提供するように構成される。
【００４７】
すなわち、図５に示すように、パネル搬送部３００は、ハンド部３１０、前後移動部３２０及び昇降移動部３３０を備えてなる。
【００４８】
ハンド部３１０は、胴体３１１及び複数のフィンガー３１２で構成され、胴体３１１の上端は、ヒーティングチャンバー１００の上側外部に露出されるように設置される。ここで、各フィンガー３１２の先端には、把持部３１３が形成され、液晶パネル１を選択的に把持する。なお、把持部３１３は、液晶パネル１表面のスクラッチを防止するようにテフロン（登録商標）樹脂や、それに準する樹脂材質などで形成することが好ましい。
【００４９】
特に、把持部３１３は、図６に示すように、前方側（あるいは、後方側）に向かって折り曲げられてから再び上方に向かって折り曲げられた多段折り曲げ構造を有し、液晶パネル１の下部を把持するようになる。もちろん、図示してはいないが、把持部３１３の内面（液晶パネルと当接する面）には、把持される液晶パネル１が動くのを防止するために段差がさらに形成されることが好ましい。
【００５０】
また、ハンド部３１０には、図５及び図６に示すように、前記液晶パネル１の上部を把持する昇降把持部３１４がさらに備えられることが好ましい。昇降把持部３１４は、ハンド部３１０に沿って選択的に昇降しながら液晶パネル１の上縁部を把持するように形成され、液晶パネル１が搬送中に動くのを防止する役割を担う。ここで、昇降把持部３１４は、図示してはいないが、ステップモーターやアクチュエータなどの駆動手段によって昇降できるように構成されることが好ましい。
【００５１】
前後移動部３２０は、ハンド部３１０の胴体３１１をヒーティングチャンバー１００の前後方向に沿って移動させるように構成されたもので、第１レール３２１及び第１動作部３２２を備えて構成される。
【００５２】
第１レール３２１は、ヒーティングチャンバー１００の上面に前後方向に沿って設置され、第１動作部３２２は、一端が第１レール３２１に支持され前後方向に移動可能に設置される一方、他端は後述する昇降移動部３３０の第２レール３３１に結合される。ここで、第１動作部３２２は、ステップモーター３２３によって移動するが、アクチュエータによって移動する構成にしても良い。
【００５３】
昇降移動部３３０は、ハンド部３１０の胴体３１１をヒーティングチャンバー１００の上下方向に沿って移動させるように構成されたもので、第２レール３３１と第２動作部３３２とから構成される。
【００５４】
第２レール３３１は、ヒーティングチャンバー１００内に上下方向に設置され、前後移動部３２０を構成する第１動作部３２２と結合される。したがって、第２レール３３１は、第１動作部３２２と共にヒーティングチャンバー１００の前後方向に沿って移動する。
【００５５】
また、第２動作部３３２は、一端が、第２レール３３１に支持され上下方向に移動可能に設置される一方、他端はハンド部３１０の胴体３１１上端に固定される。ここで、第２動作部３３２は、ステップモーター（図示せず）によって移動する構成としたが、ステップモーターの代わりにアクチュエータを使用しても良い。
【００５６】
一方、本発明の実施の形態による液晶パネルの検査装置を構成する検査部２００及びハンド部３１０は、ヒーティングチャンバー１００内に搬送されるカセット１０の前面が下部へ行くほどヒーティングチャンバー１００の前方側に向かうように、所定角度傾斜して設置されることが好ましい。これは、検査部２００において、液晶パネルが所定角度（θ）傾いた状態で検査が行われるためである。すなわち、検査時に要求される角度（θ）で検査部２００に液晶パネルを供給するためである。
【００５７】
この際、カセット１０は、それ自体が傾斜するように構成されても良いが、図３に示すように、別のリフト１４０が搬送部１２０の前方側（図面上の右側）を持ち上げ、カセット１０を選択的に傾かせる構成も可能である。また、図示してはいないが、別のリフト１４０がカセット１０の前方側を直接持ち上げ、カセット１０を選択的に傾かせるように構成しても良い。
【００５８】
この場合、リフトを別に製作しなければならないためにコストが増加し、また、リフトの設置空間分だけヒーティングチャンバー１００の空間が増加するために設備コストが増加する。
【００５９】
したがって、本発明では、搬送部１２０自体が傾斜するように構成し、カセット１０を所定の角度（θ）で傾くようにしている。このような搬送部１２０の傾斜は、単にヒーティングチャンバー１００内でのみなされるものではない。仮に、完成した液晶パネル１が収納されたカセット１０が、傾斜せずに地面と水平な状態でヒーティングチャンバー１００に供給されると、ヒーティングチャンバー１００に装着される前にカセット１０を一定角度θで傾斜させなければならず、この場合にも別のリフトが必要になる。したがって、最も好ましくは、カセット１０を搬送する初めから、カセット１０を所望の角度θで傾斜させた状態で搬送すると良い。
【００６０】
図７は、本発明の他の実施の形態による液晶パネル検査装置の搬送部（コンベア）の構造を示す図である。すなわち、図７は、液晶パネル（工程が終了して一時的に保存される）を収納しているカセット１０を、ヒーティングチャンバー１００に搬送するコンベア５００を示している。
【００６１】
図７に示すように、コンベア５００は、液晶パネル１が収納されているカセット１０を回転によって搬送させる複数のローラ５２０と、ローラ５２０上部のカセット１０が傾く側面に設置され、傾くカセット１０を支持する側面支持台５３０と、前記側面支持台５３０に回転可能に形成され、カセット１０の側面と接触するガイドローラ５３２とで構成される。
【００６２】
ローラ５２０が設置されたコンベア５００の下部一側には、支持台５１１が設置され、ローラ５２０を一定角度θで傾斜させ、このローラ５２０が傾斜することに伴ってローラ５２０上に置かれたカセット１０も傾斜するようになる。また、カセット１０が傾斜することに伴ってカセット１０内に形成されたパネル固定部に固定された液晶パネル１もまた一定角度θで傾斜する。
【００６３】
ガイドローラ５３２は、回転自在に設けられるが、モーターのような外部の駆動手段によって回転するものでなく、外部の力が印加されることによって回転する。したがって、このガイドローラ５３２の回転速度は、カセット１０の移動速度と同一になり、その結果、移動時に、傾斜したカセット１０が側面支持台５３０などとの摩擦によって衝撃を受けるのが防止される。
【００６４】
上記のように構成されたコンベア５００が前工程または物流格納装置からヒーティングチャンバー１００にまで延設され、これにより、液晶パネル１が収納されているカセット１０が、傾斜した状態でヒーティングチャンバー１００に搬送されマウントされる。
【００６５】
また、本発明の実施の形態による液晶パネルの検査装置には、図３に示すように、密閉部４００がさらに備えられる。
【００６６】
密閉部４００は、ハンド部３１０が移動できるような空間を確保しながら、ヒーティングチャンバー１００の上面において開口される部位を密閉するように構成される。すなわち、ヒーティングチャンバー１００の内部を密閉状態にすることによって、外気露出による温度変化を防止する機能を担う。
【００６７】
ここで、密閉部４００は、多段に折り畳み可能な蛇腹式カーテンの形状に形成される。なお、密閉部４００の両端は、ヒーティングチャンバー１００の上面前方側及び後方側にそれぞれ固定され、内側部位は、ハンド部３１０を構成する胴体３１１の外周面を囲むように形成される。
【００６８】
なお、ハンド部３１０の各フィンガー３１２がヒーティングチャンバー１００の外部に露出されるように構成される場合は、密閉部４００には各フィンガー３１２の出入が可能な別の出入口４１０がさらに形成されることが好ましい。
【００６９】
以下、前述した本発明の実施の形態による液晶パネルの検査装置を用いた液晶パネルの重力不良を検査する方法について説明する。
【００７０】
図８Ａ乃至図８Ｆは、本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置によって液晶パネルを検査する一連の過程を説明するための概略状態図である。
【００７１】
まず、図８Ａに示すように、複数の液晶パネル１が積層されているカセット１０が、搬送部１２０に沿ってヒーティングチャンバー１００内に搬入される。この際、ヒーティングチャンバー１００の開閉ドア（図示せず）は、カセット出入口１１２が開くように動作する。
【００７２】
続いて、ヒーティングチャンバー１００内にカセット１０がマウントされると、開閉ドアの動作によってカセット出入口１１２が閉じる。
【００７３】
その後、図８Ｂに示すように、リフト１４０が動作しながらカセット１０の前方側が後方側に比べて高くなる。このとき、カセット１０の傾斜角度は、パネル搬送部３００の傾斜角度、そして検査部２００の傾斜角度と同じ角度にする。
【００７４】
一方、図７に示すように、搬送部１２０の構成が一定の角度θで傾斜したコンベア５００の構造を有する場合においては、図８Ｂのような段階は省かれる。すなわち、複数の液晶パネル１が積層されているカセット１０が、図７に示すコンベア５００を介して所定の角度θで傾斜した状態でヒーティングチャンバー１００内部に搬入し、マウントされる。
【００７５】
その後、ヒーター部１５０が作動してヒーティングチャンバー１００が加熱され、ヒーティングチャンバー１００内部は、設定された温度（例えば、約５０〜７０°Ｃ）となる。
【００７６】
そして、図８Ｃに示すように、以上の一連の過程によって、ヒーティングチャンバー１００内のカセット１０に収納された各液晶パネル１が設定温度に達すると、パネル搬送部３００が駆動する。
【００７７】
すなわち、前後移動部３２０を構成する第１動作部３２２は、パネル搬送部３００のハンド部３１０が、図８Ｃに示すように、カセット１０の上部において取り出したい液晶パネル（以下、“対象パネル”という。）１の位置に来るように駆動し、昇降移動部３３０を構成する第２動作部３３２は、ハンド部３１０の各フィンガー３１２を下方移動させ、各フィンガー３１２がカセット１０内の対象パネル１を取り出せるような位置に来るように動作する。
【００７８】
続いて、第１動作部３２２は、各フィンガー３１２が対象パネル１の背面を支え、同時に対象パネル１の底部は、各フィンガー３１２の先端に形成された把持部３１３と対向して位置するように動作する。
【００７９】
この状態で、第２動作部３３２の駆動によってハンド部３１０の各フィンガー３１２が上方に移動すると、対象パネル１の底部は、把持部３１３に把持されるとともに、対象パネル１の背面は、各フィンガー３１２に支えられた状態でカセット１０から取り出される。
【００８０】
対象パネル１の取り出しが完了すると、図８Ｄに示すように、ハンド部３１０が移動によってカセット１０と干渉しない高さまで移動し、第１動作部３２２の駆動によって、ハンド部３１０は、ヒーティングチャンバー１００のパネル出入口１１１と対向する位置に移動する。
【００８１】
その後、図８Ｅ及び図８Ｆに示すように、第２動作部３３２の駆動によってハンド部３１０が下方に移動すると、各フィンガー３１２及びそれに載せられている対象パネル１は、パネル出入口１１１を通って検査部２００に提供される。
【００８２】
続いて、検査部２００が対象パネル１のみを固定すると、各フィンガー３１２は、第１動作部３２２及び第２動作部３３２の順次駆動によって、対象パネル１を残したままパネル出入口１１１を通って引き揚げられる。
【００８３】
この状態で、検査部２００において対象パネル１に対する重力不良検査が行われる。そして、重力不良検査が完了すると、上述した一連の過程とは逆順に、検査完了した対象パネル１が検査部２００から取り出された後に、再びカセット１０内に収納される。この一連の過程は、カセット１０内に収納された全ての液晶パネル１の検査が完了するまで連続して行われる。
【００８４】
以降、カセット１０内に収納された全ての液晶パネル１の検査が完了すると、カセット出入口１１２が開き、カセット１０が搬出されると同時に、他のカセット（不良検査を行うべき液晶パネルが収納されたカセット）が搬入され、前述した一連の過程が繰返し行われる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】一般の液晶表示素子を示す断面図である。
【図２】従来の液晶表示素子の工程順序図である。
【図３】本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置の内部構造を概略的に示す側面図である。
【図４】本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置の内部構造を説明するための要部斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置のうちパネル搬送部を示す斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置のパネル搬送部において把持部及び昇降把持部によって液晶パネルが把持される状態を説明するための要部側面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態による液晶パネル検査装置の搬送部（コンベア）を示す構造図である。
【図８Ａ】本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置によって液晶パネルを検査する一連の過程を説明するための概略状態図である。
【図８Ｂ】本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置によって液晶パネルを検査する一連の過程を説明するための概略状態図である。
【図８Ｃ】本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置によって液晶パネルを検査する一連の過程を説明するための概略状態図である。
【図８Ｄ】本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置によって液晶パネルを検査する一連の過程を説明するための概略状態図である。
【図８Ｅ】本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置によって液晶パネルを検査する一連の過程を説明するための概略状態図である。
【図８Ｆ】本発明の実施の形態による液晶パネル検査装置によって液晶パネルを検査する一連の過程を説明するための概略状態図である。
【符号の説明】
【００８６】
１００  ヒーティングチャンバー、１１０  くぼみ部、１１１  パネル出入口、１１２  カセット出入口、１２０  搬送部、１３０  透視窓、１４０  リフト、１５０  ヒーター部、２００  検査部、２１０  液晶パネル流入側、３００  パネル搬送部、３１０  ハンド部、３１１  胴体、３１２  フィンガー、３１３  把持部、３１４  昇降把持部、３２０  前後移動部、３２１  第１レール、３２２  第１動作部、３２３  ステップモーター、３３０  昇降移動部、３３１  第２レール、３３２  第２動作部、４００  密閉部、４１０  出入口、５００  コンベア、５１１  支持台、５２０  ローラ、５３０  側面支持台、５３２  ガイドローラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図８Ｆ】
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