(57)【要約】【課題】液滴を良好に吐出することができ、且つ吸引動作時にはフィルタ室内の気泡を確実に排出することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ヘッド本体と、ヘッド本体に一端側が連通する第１の供給路２４を有する第１の部材２１と、第１の供給路２４に一端側が連通すると共に貯留手段１３に他端側が連通する第２の供給路４８を有する第２の部材２６と、第１の部材２１の第２の部材２６との間に設けられるフィルタ２７とを具備すると共に、フィルタ２７が第１の部材２１の第２の部材２６との接続領域に設けられるフィルタ室５１内に配設され、フィルタ室５１内に、複数の貫通孔５４を有しフィルタ２７との間に所定の空間を確保した状態で保持され且つ液体の流速の増加に応じてフィルタ２７に密着するように変形する封止部材２８を設ける。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルを有するヘッド本体と、該ヘッド本体に一端側が連通する第１の供給路を有する第１の部材と、前記第１の供給路に一端側が連通すると共に液体が貯留される貯留手段に他端側が連通する第２の供給路を有する第２の部材と、前記第１の部材の前記第２の部材との間に設けられるフィルタとを具備すると共に、前記フィルタが、前記第１の部材の前記第２の部材との接続領域に設けられて前記第１の供給路よりも内径の広い空間であるフィルタ室内に配設され、
該フィルタ室内には、複数の貫通孔を有し前記フィルタとの間に所定の空間を確保した状態で保持され且つ前記液体の流速の増加に応じて前記フィルタに密着するように変形する封止部材を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記封止部材は、前記フィルタに密着後、前記液体の流速の低下に伴って変形して元の状態に自己回復することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記封止部材が、前記第２の供給路側が凸となる球面状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記封止部材が、その周縁部近傍に蛇腹部を有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記封止部材の前記貫通孔の面積の合計が、前記フィルタの面積の１／３以下であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記封止部材がポリイミドからなることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかに記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、インクカートリッジからインクを供給してノズルからインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、インクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが充填されたインクカートリッジから、このインクカートリッジに挿入されるインク供給針及びインクカートリッジが保持される保持部材の流路を介してヘッド本体にインクが供給され、ヘッド本体に供給されたインクは圧電素子等を駆動させることによりノズルから吐出される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジのインク内に存在する気泡、あるいはインクカートリッジを着脱する際にインク内に混入した気泡がヘッド本体に供給されてしまうと、この気泡によるドット抜け等の吐出不良が発生するという問題がある。このような問題を解決するために、インクカートリッジに挿入されるインク供給針と、このインク供給針が固定される基台との間に、インク内の気泡等を除去するためのフィルタを装着するようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このようなフィルタを設けることにより、インク吐出時にはフィルタによって気泡がトラップされるため、ヘッド本体（記録ヘッド）に気泡が流れ込むのを防止することができる。また、フィルタにトラップされた気泡は、一般的に、ノズルからインクを吸引する、いわゆる吸引動作（クリーニング動作）によってノズルから排出される。すなわち、ノズルからインクを吸引して通常のインク吐出時のインクの流速よりも速い流速をインクに生じさせることで、気泡はインクと共にフィルタを通過してノズルから排出させている。
【０００５】
しかしながら、吸引動作時に気泡がフィルタを通過するためには、比較的大きな圧力を必要とする。このため、気泡がある程度の大きさ、具体的にはフィルタ全面を覆う程度の大きさとなっていないと、吸引動作を行っても気泡がフィルタを通過せずに残留してしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題は、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１０９０４号公報（第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑み、液滴を良好に吐出することができ、且つ吸引動作時にはフィルタ室内の気泡を確実に排出することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液滴を吐出する複数のノズルを有するヘッド本体と、該ヘッド本体に一端側が連通する第１の供給路を有する第１の部材と、前記第１の供給路に一端側が連通すると共に液体が貯留される貯留手段に他端側が連通する第２の供給路を有する第２の部材と、前記第１の部材の前記第２の部材との間に設けられるフィルタとを具備すると共に、前記フィルタが、前記第１の部材の前記第２の部材との接続領域に設けられて前記第１の供給路よりも内径の広い空間であるフィルタ室内に配設され、該フィルタ室内には、複数の貫通孔を有し前記フィルタとの間に所定の空間を確保した状態で保持され且つ前記液体の流速の増加に応じて前記フィルタに密着するように変形する封止部材を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、液滴を良好に吐出することができ、且つ吸引動作時にはフィルタ室内の気泡を確実に排出することができる。具体的に説明すると、液滴を吐出する際にはフィルタ室内の液体の流速が比較的遅いため封止部材は変形することがない。このため、フィルタ室内のインク及び気泡にかかる圧力は比較的小さく、液体のみがフィルタを通過してノズルからインク滴が良好に吐出される。また、吸引動作時等に液体の流速が増加すると封止部材が変形してフィルタの面積が実質的に小さくなる。このため、フィルタ室内のインク及び気泡にかかる圧力が増加し、液体と共に気泡がフィルタを通過してノズルから外部に排出される。
【００１０】
本発明の第２の態様は、前記封止部材は、前記フィルタに密着後、前記液体の流速の低下に伴って変形して元の状態に自己回復することを特徴とする第１の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、吸引動作時にのみ気泡がノズルから排出されるため、液滴が常に良好に吐出される。
【００１１】
本発明の第３の態様は、前記封止部材が、前記第２の供給路側が凸となる球面状に形成されていることを特徴とする第１又は２の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、液体の流速の増加によって封止部材がより確実に第１の供給路側に変形する。
【００１２】
本発明の第４の態様は、前記封止部材が、その周縁部近傍に蛇腹部を有することを特徴とする第１〜３の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第４の態様では、液体の流速の増加によって封止部材がより確実に第１の供給路側に変形する。
【００１３】
本発明の第５の態様は、前記封止部材の前記貫通孔の面積の合計が、前記フィルタの面積の１／３以下であることを特徴とする第１〜４の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第５の態様では、封止部材がフィルタに密着することで、第２のフィルタ室内の液体及び気泡がフィルタをより確実に通過する。
【００１４】
本発明の第６の態様は、前記封止部材がポリイミドからなることを特徴とする第１〜５の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第６の態様では、封止部材を所定の材料で形成することで、封止部材が液体の流速の増加に応じてより確実に変形する。
【００１５】
本発明の第７の態様は、第１〜６の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第７の態様では、信頼性、耐久性等の各種特性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の概略斜視図である。本実施形態の液体噴射装置であるインクジェット式記録装置１０は、図１に示すように、ノズルからインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドと呼ぶ）１１がキャリッジ１２に固定され、この記録ヘッド１１には、ブラック（Ｂ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色のインクが貯留された貯留手段であるインクカートリッジ１３がそれぞれ着脱可能に固定されている。
【００１７】
記録ヘッド１１が搭載されたキャリッジ１２は、装置本体１４に取り付けられたキャリッジ軸１５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モータ１６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１７を介してキャリッジ１２に伝達されることで、キャリッジ１２はキャリッジ軸１５に沿って移動される。一方、装置本体１４にはキャリッジ軸１５に沿ってプラテン１８が設けられており、図示しない給紙装置により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン１８上を搬送されるようになっている。
【００１８】
また、キャリッジ１２のホームポジションに対応する位置、すなわち、キャリッジ軸１５の一方の端部近傍には、記録ヘッド１１のインク滴が吐出される面（ノズル開口面）を封止するキャップ部材１９を有するキャッピング装置２０が設けられている。このキャップ部材１９によってノズル開口面を封止することにより、ノズルの開口近傍のインクの乾燥を防止している。また、このキャップ部材１９は、フラッシング動作時のインク受けとしても機能する。さらに、キャップ部材１９には、チューブポンプ等で構成される吸引装置（図示なし）が接続されている。そして、所定のタイミングで、この吸引装置によってキャップ部材１９内を吸引する吸引動作（クリーニング動作）を実行することで、ノズル詰まりや、ドット抜け等の吐出不良の発生を防止している。なお、この吸引動作では、印刷時（インク吐出時）よりもインクの流速を増加させることで、粘度の上昇したインクや、後述するフィルタ部分に溜まった気泡を各ノズルから強制的に排出させている。
【００１９】
ここで、本実施形態に係る記録ヘッドについて説明する。なお、図２は、本実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図３はその組立断面図である。また、図４はフィルタ室部分の拡大断面図である。
【００２０】
図２及び図３に示すように、記録ヘッド１１を構成するカートリッジケース２１は、上述したインクカートリッジ１３（図１）がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部２２を有する。カートリッジケース２１の底面側には、一端が各カートリッジ装着部２２に開口し、他端がノズルを有するヘッド本体２３側に開口する複数のインク供給路（第１の供給路）２４がそれぞれ形成された管状の流路形成部２５が突設されている。カートリッジケース２１の上面側、すなわち、各カートリッジ装着部２２のインク供給路２４の開口部分には、インクカートリッジ１３に挿入されてインクカートリッジ１３内のインクをインク供給路２４に流すための複数のインク供給針２６が、インク内の気泡や異物を除去するためのフィルタ２７及びこのフィルタ２７の上流側（インクカートリッジ１３側）に配置される封止部材２８を介して固定されている。
【００２１】
カートリッジケース２１の下面側には、さらに複数の圧電素子２９を有する圧電素子ユニット３０を保持すると共に、カートリッジケース２１とは反対側の端面にヘッド本体２３が固定されるヘッドケース３２を有し、これらカートリッジケース２１とヘッドケース３２との間には、シール部材３３及び回路基板３４が挟持されている。
【００２２】
シール部材３３は、流路形成部２５とヘッドケース３２に設けられる複数のインク導入路３５が開口する突出部３６との間に挟持されることにより、インク供給路２４とインク導入路３５との接続部分を密封してこの接続部分からのインクの漏れを防止している。回路基板３４は、圧電素子２９を駆動するための信号を供給するためのものであり、回路基板３４の一端部には、外部配線（図示なし）を接続するためのコネクタ３７が固定されている。また、回路基板３４には、圧電素子２９に接続されたＦＰＣ等の接続配線３８が挿通される挿通孔３９が設けられており、この挿通孔３９を介して回路基板３４と接続配線３８とが接続される。さらに、この挿通孔３９の両側には各インク導入路３５に対応して、各インク導入路３５が開口する突出部３６が係合する貫通孔４２が設けられている。
【００２３】
なお、カートリッジケース２１の一方の側面、すなわち、回路基板３４のコネクタ３７が配置される側の側面には、回路基板３４のコネクタ３７が露出される露出口４３を有し、この露出口４３を介して外部配線（図示なし）がコネクタ３７に接続されるようになっている。
【００２４】
また、回路基板３４及びシール部材３３を介してカートリッジケース２１の下面側に固定されたヘッドケース３２には、複数の圧電素子２９を有する圧電素子ユニット３０（３０Ａ，３０Ｂ）を収容して圧電素子２９を位置決め固定するための収容室４４が並設されている。例えば、本実施形態の記録ヘッド１１は、ブラックインクを吐出するための圧電素子ユニット３０Ａと、カラーインクを吐出するための圧電素子ユニット３０Ｂとを有するため、ヘッドケース３２には、これらの圧電素子ユニット３０Ａ，３０Ｂを収容する２つの収容室４４が並設されている。そして、このヘッドケース３２の下面側には、圧電素子２９の駆動によって、ノズル（図示なし）からインク滴を吐出するヘッド本体２３が固定されている。
【００２５】
なお、本実施形態に係る記録ヘッド１１は、カートリッジケース２１の下面側にシール部材３３、回路基板３４、ヘッドケース３２及びヘッド本体２３の順で積層され、その外側にヘッド本体２３のノズルを露出する窓部４５を有する枠体４６を填め込み、ネジ４７によってカートリッジケース２１に固定することで形成されている。
【００２６】
ここで、第１の部材であるカートリッジケース２１に固定されている第２の部材である各インク供給針２６は、図４（ａ）に示すように、カートリッジケース２１の各インク供給路２４に連通する貫通路（第２の供給路）４８をそれぞれ有し、このインク供給針２６の貫通路４８と、カートリッジケース２１のインク供給路２４とによってインクカートリッジ１３とヘッド本体２３とを繋ぐインク流路が構成されている。また、インク供給針２６の先端部には、例えば、直径が０．２ｍｍ程度である導入孔４９が複数形成されており、これら複数の導入孔４９を介してインクカートリッジ１３から貫通路４８（インク流路）内にインクが供給されるようになっている。なお、インク供給針２６は、カートリッジケース２１側の端部近傍にフランジ部５０を有し、このフランジ部５０のカートリッジケース２１との接合面に設けられる融着突起を溶融させることにより、すなわち超音波融着により、カートリッジケース２１に固着されている。
【００２７】
また、インク供給針２６とカートリッジケース２１との接合領域には、インク流路の他の領域よりも内径の広い空間であるフィルタ室５１が設けられている。具体的には、カートリッジケース２１のインク供給針２６との接合領域、すなわち、インク供給路２４の貫通路４８との接続領域に、他の領域よりも内径の広い空間である第１のフィルタ室５２が設けられている。一方、インク供給針２６にも、貫通路４８のインク供給路２４との接続領域に、他の領域よりも内径の広い空間である第２のフィルタ室５３が設けられている。そして、これらカートリッジケース２１の第１のフィルタ室５２とインク供給針２６の第２のフィルタ室５３とでフィルタ２７が収容されるフィルタ室５１が形成されている。このフィルタ室５１（第１及び第２のフィルタ室５２，５３）は、フィルタ２７の面積を大きくして、印刷時にインクが通過する際の抵抗（圧力）をできるだけ小さくするために、貫通路４８及びインク供給路２４よりも広い内径となるように形成されている。例えば、本実施形態では、フィルタ室５１を構成する第１及び第２のフィルタ室５２，５３は、それぞれフィルタ２７側ほど内径が広くなるように形成されている。
【００２８】
そして、フィルタ２７の上流側に位置する第２のフィルタ室５３には、上述したように封止部材２８が設けられている。この封止部材２８は、複数の貫通孔５４を有し、フィルタ２７との間に所定の空間を確保した状態で保持され且つフィルタ室５１内におけるインクの流速の増加に応じてフィルタ２７に密着するように変形可能に設けられている。また、この封止部材２８は、フィルタ２７に密着するように変形した後、フィルタ室５１内のインク流速の低下に伴って元の状態に自己回復するように設けられている。すなわち、封止部材２８は、比較的インクの流速が遅い印刷時には変形することなくフィルタとの間に所定の空間を確保した状態、例えば、所定の間隔Ｌを確保した状態（初期状態）が維持され、インク流速が増加する吸引動作時にフィルタ２７に密着するように変形可能に設けられている。
【００２９】
例えば、本実施形態に係る封止部材２８は、弾性変形が可能な材料、例えば、ポリイミド等の弾性材料からなり、その周縁部がフィルタ２７と共にカートリッジケース２１とインク供給針２６との間に挟持されている。また、本実施形態に係る封止部材２８は、第２のフィルタ室５３側（上流側）が凸となる略球面状に形成されている。これにより、封止部材２８は、インク流速が比較的遅い印刷時には、フィルタ２７との間に所定の空間が確保されている。なお、封止部材２８とフィルタ２７との間隔Ｌは、特に限定されないが比較的広いことが好ましい。例えば、本実施形態では、間隔Ｌが１ｍｍ程度となるようにしている。
【００３０】
このような封止部位を設けることで、印刷時にはインクにかかる圧力（流路抵抗）が実質的に増加することがなくインク滴を良好に吐出することができ、且つ吸引動作時には、流路抵抗（圧力）が大幅に増加して第２のフィルタ室５３内の気泡が確実にフィルタを通過する。
【００３１】
具体的には、まず印刷時にはフィルタ室５１（第２のフィルタ室５３）内のインクの流速は比較的遅いため、図４（ａ）に示すように、封止部材２８は、それ自体の剛性により初期状態が維持される。言い換えれば、封止部材２８は、印刷時のインクの流速では変形しない程度の剛性を有している必要がある。このように封止部材２８がフィルタ２７との間に所定空間を確保した状態で保持されていれば、封止部材２８による流路抵抗の増加は無視できる程度のものとなる。このため、圧電素子２９を駆動することで、ヘッド本体２３のノズルからインク滴が良好に吐出される。
【００３２】
これに対し、上述した吸引動作を行い第２のフィルタ室５３内に溜まった気泡を排出させる際には、印刷時と比較してフィルタ室５１内の流速が大幅に増加する。すなわち、フィルタ２７の上流側である第２のフィルタ室５３と下流側である第１のフィルタ室５２とで圧力差が生じる。このため、吸引動作時には、封止部材２８は、図４（ｂ）に示すように、流速の増加に伴って圧力を受けて弾性変形しフィルタ２７の表面に密着する。このように封止部材２８がフィルタ２７の表面に密着する際、フィルタ２７と封止部材２８との間に溜まっていた気泡は、封止部材２８によって押しつぶされることでフィルタ２７を確実に通過する。また、封止部材２８がフィルタ２７の表面に密着することでフィルタ２７の面積が実質的に小さくなるため、吸引動作時には、第２のフィルタ室５３内のインク及び気泡にかかる圧力が印刷時よりも大きくなる。これにより、第２のフィルタ室５３内、特に封止部材２８よりも上流側に溜まっている気泡がインクと共に確実にフィルタ２７を通過する。例えば、第２のフィルタ室５３内に溜まっている気泡の大きさが比較的小さい場合でも、吸引動作によって第２のフィルタ室５３内の気泡がフィルタ２７を確実に通過する。したがって、吸引動作を実施することで、第２のフィルタ室５３内に溜まっている気泡をヘッド本体２３のノズルから外部に確実に排出することができる。その後吸引動作が終了し、第２のフィルタ室５３と第１のフィルタ室５２の圧力差が小さくなると、封止部材２８は、それ自身の弾性力によって元の状態に自己回復する。
【００３３】
なお、この封止部材２８に形成されている各貫通孔５４の大きさは特に限定されず、本実施形態では、１〜２ｍｍ程度の大きさで形成している。ただし、封止部材２８に形成されている複数の貫通孔５４の開口面積の合計は、フィルタ２７の面積（インク流路内に露出している面積）の１／３以下であることが好ましい。これにより、吸引動作によって第２のフィルタ室５３内のインク及び気泡にかかる圧力を十分に高めることができ、気泡をより確実に外部に排出することができる。
【００３４】
（実施形態２）
図５は、実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの要部を示す断面図である。本実施形態は、封止部材の変形例であり、図５に示すように、封止部材２８Ａの周縁部近傍に、封止部材２８Ａの中心部から外周に向かう方向で蛇行させた蛇腹部５５を設けるようにした以外は、実施形態１と同様である。
【００３５】
このように封止部材２８Ａに蛇腹部５５を設けることで、フィルタ室５１内のインク流速の増加に伴う封止部材２８Ａの変形が容易になる。すなわち、吸引動作時に、封止部材２８Ａが蛇腹部５５で確実に変形してフィルタ２７の表面に密着するため、第２のフィルタ室５３内の気泡をさらに確実に外部に排出することができる。
【００３６】
（実施形態３）
図６は、実施形態３に係るインクジェット式記録ヘッドの要部を示す断面図である。本実施形態も、封止部材の変形例である。すなわち、本実施形態では、図６に示すように、本実施形態に係る封止部材２８Ｂの周縁部近傍に、フィルタ室５１内におけるインクの流速の増加に応じてフィルタ２７に密着するように変形可能な蛇腹部５５Ａを設けると共に、この蛇腹部５５Ａの内側の領域が略平坦な面で形成するようにした。
【００３７】
このような本実施形態の構成では、フィルタ室５１内のインクの流速の増加に伴って封止部材２８Ｂ全体ではなく蛇腹部５５Ａのみが変形し、これにより封止部材２８Ｂの中央部、すなわち蛇腹部５５Ａよりも内側の領域がフィルタ２７に密着することになる。そして、封止部材２８Ｂの中央部が平面となっていることで、封止部材２８Ａとフィルタ２７との密着性が向上するため、第２のフィルタ室５３内のインク及び気泡にかかる圧力を確実に高めることができる。なお、上述の実施形態では、封止部材２８Ｂ全体が、弾性変形可能な材料で形成されているが、本実施形態に係る封止部材２８Ｂの場合、蛇腹部５５Ａの内側の領域はインクの流速の増加に伴って変形する必要はない。したがって、蛇腹部５５Ａを弾性変形可能な材料で形成し、蛇腹部５５Ａの内側の領域は比較的剛性の高い材料で形成するようにしてもよい。
【００３８】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態に基づいて詳細に説明したが、勿論、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。なお、上述した実施形態においては、第１の供給路（インク供給路）を有する第１の部材としてカートリッジケースを例示し、また第２の供給路（貫通路）を有する第２の部材としてインク供給針を例示したが、これら第１の部材及び第２の部材が、これら例示した部材に限定されるものではないことは言うまでもない。
【００３９】
また、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッドを例示したが、液体噴射ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。本発明は、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】実施形態１に係る記録装置の概略を示す斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの組立断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドのフィルタ室部分の拡大断面図である。
【図５】実施形態２に係る記録ヘッドのフィルタ室部分の拡大断面図である。
【図６】実施形態３に係る記録ヘッドのフィルタ室部分の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  インクジェット式記録装置、  １１  記録ヘッド、  ２１  カートリッジケース、  ２４  インク供給路、  ２６  インク供給針、  ２７  フィルタ、  ２８  封止部材、  ４８  貫通路、  ４９  導入孔、  ５０  フランジ部、  ５１  フィルタ室、  ５２  第１のフィルタ室、  ５３  第２のフィルタ室、  ５４  貫通孔、  ５５  蛇腹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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