(57)【要約】【課題】  ＲＯ膜モジュールにて，海水から淡水を得るとか，或いは，地下水又は埋立地浸出水等のように不純物を含む廃水から清水を得る場合，前記ＲＯ膜モジュールの前段にＮＦ膜モジュールを設けることを前提として，前記ＲＯ膜モジュールによる水処理，つまり膜分離を停止することなく，前記ＮＦ膜モジュールの膜洗浄ができるようにする。【解決手段】  処理すべき海水又は廃水を非透過水と透過水とに膜分離する複数個のＮＦ膜モジュール３，４，５と，前記各ＮＦ膜モジュールにおける透過水を非透過水と透過水とに膜分離するＲＯ膜モジュール６とを備え，前記各ＮＦ膜モジュールの各々に，そのナノフィルトレーション膜に対する膜洗浄を行うようにした膜洗浄手段を設け，更に，前記各ＮＦ膜モジュールの各々に，当該各ＮＦ膜モジュールのうち任意の少なくとも一つのＮＦ膜モジュールについてその膜分離を停止して膜洗浄を行うように選択的に切り換える手段を設ける。【選択図】                          図１
2007000788.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理すべき海水又は廃水をナノフィルトレーション膜にて非透過水と透過水とに膜分離するＮＦ膜モジュールの複数個と，前記各ＮＦ膜モジュールにおける透過水を逆浸透膜にて非透過水と透過水とに膜分離するＲＯ膜モジュールとを備え，前記各ＮＦ膜モジュールの各々に，そのナノフィルトレーション膜に対する膜洗浄を行うようにした膜洗浄手段を設け，更に，前記各ＮＦ膜モジュールの各々に，当該各ＮＦ膜モジュールのうち任意の一部のＮＦ膜モジュールによる膜分離を継続した状態で，残りのＮＦ膜モジュールについてその膜分離を停止して膜洗浄を行うように選択的に切り換える手段を備えていることを特徴とする逆浸透膜を使用した水処理装置。
【請求項２】
前記請求項１の記載において，前記各ＮＦ膜モジュールにおける非透過室に，当該非透過室内における非透過水を強制循環する手段を備えていることを特徴とする逆浸透膜を使用した水処理装置。
【請求項３】
前記請求項１又は２の記載において，前記各ＮＦ膜モジュールのうち膜分離を継続している任意の一部のＮＦ膜モジュールを，少なくとも前段のＮＦ膜モジュールと，次段のＮＦ膜モジュールとの複数個にして，処理すべき海水又は廃水を前記前段のＮＦ膜モジュールに供給して，この前段のＮＦ膜モジュールにおける非透過水を前記次段のＮＦ膜モジュールに供給する一方，これら前段及び次段のＮＦ膜モジュールにおける透過水を，前記ＲＯ膜モジュールに供給するように構成したことを特徴とする逆浸透膜を使用した水処理装置。
【請求項４】
前記請求項１〜３のいずれかの記載において，前記各ＮＦ膜モジュールにおける膜洗浄手段が，前記ＲＯ膜モジュールにおける透過水を使用した逆洗浄であることを特徴とする逆浸透膜を使用した水処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，逆浸透膜を使用して，例えば，海水から淡水を得るとか，或いは，地下水又は埋立地浸出水等のように不純物を含む廃水から清水を得るようにした水処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
逆浸透膜を使用して，海水から淡水を得るとか，或いは，地下水又は埋立地浸出水等のように不純物を含む廃水から清水を得ることは，従来から良く知られている。
【０００３】
しかし，海水又は廃水を，前記逆浸透膜を使用したＲＯ膜モジュールに直接に供給することは，前記逆浸透膜（ＲＯ膜）に目詰まりが発生し，この逆浸透膜における目詰まりを解消するための膜洗浄を頻繁に行うようにしなければならない煩わしさがあるばかりか，逆浸透膜（ＲＯ膜）の耐久性が低下するという問題がある。
【０００４】
そこで，先行技術としての特許文献１及び２は，前記した問題を解消するために，前記逆浸透膜を使用したＲＯ膜モジュールの前段に，ナノフィルトレーション膜を使用したＮＦ膜モジュールを設け，前記海水又は廃水を，先ず，前記ＮＦ膜モジュールに供給して，非透過水と透過水とに膜分離し，このＮＦ膜モジュールにおける透過水を，前記ＲＯ膜モジュールに供給して，逆浸透膜を透過することによって，淡水又は清水を得ることを提案している。
【０００５】
この場合，特許文献２は，前記ＮＦ膜モジュールを，前段のＮＦ膜モジュールと，次段のＮＦ膜モジュールとの複数個にして，前記海水又は廃水を，先ず，前段のＮＦ膜モジュールに供給して，非透過水と透過水とに膜分離し，この前段のＮＦ膜モジュールにおける透過水を，次段のＮＦ膜モジュールに供給して，非透過水と透過水とに膜分離し，この各ＮＦ膜モジュールにおける透過水を，前記ＲＯ膜モジュールに供給するように構成することによって，エネルギー消費量の低減，各膜の耐久性の向上，装置の小型化等を図るようにしている。
【特許文献１】特開２００２−２８２８５５号公報
【特許文献２】特開２００３−２００１６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
これら先行技術のように，海水又は廃水を，最初に，ＮＦ膜モジュールに供給した場合，このＮＦ膜モジュールにおけるナノフィルトレーション膜に目詰まりが発生することになるから，このＮＦ膜モジュールは，その目詰まりを解消するための膜洗浄を定期的に行うようにしなければならない。
【０００７】
しかし，前記した各先行技術における構成では，ＲＯ膜モジュールによる水処理，つまり，膜分離を停止した状態にして，前記ＮＦ膜モジュールの膜洗浄を行うようにしなければならず，換言すると，前記ＮＦ膜モジュールの膜洗浄を行うたびごとに，ＲＯ膜モジュールによる水処理，つまり，膜分離を停止しなければならないから，前記ＮＦ膜モジュールの膜洗浄を含めた全体としての稼動率が低いのであった。
【０００８】
本発明は，前記先行技術のように，前記ＲＯ膜モジュールの前段にＮＦ膜モジュールを設けることを前提として，前記ＲＯ膜モジュールによる水処理，つまり膜分離を停止することなく，前記ＮＦ膜モジュールの膜洗浄ができるようにした水処理装置を提供することを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この技術的課題を達成するため本発明における請求項１は，
「処理すべき海水又は廃水をナノフィルトレーション膜にて非透過水と透過水とに膜分離するＮＦ膜モジュールの複数個と，前記各ＮＦ膜モジュールにおける透過水を逆浸透膜にて非透過水と透過水とに膜分離するＲＯ膜モジュールとを備え，前記各ＮＦ膜モジュールの各々に，そのナノフィルトレーション膜に対する膜洗浄を行うようにした膜洗浄手段を設け，更に，前記各ＮＦ膜モジュールの各々に，当該各ＮＦ膜モジュールのうち任意の一部のＮＦ膜モジュールによる膜分離を継続した状態で，残りのＮＦ膜モジュールについてその膜分離を停止して膜洗浄を行うように選択的に切り換える手段を備えている。」
ことを特徴としている。
【００１０】
本発明における請求項２は，
「前記請求項１の記載において，前記各ＮＦ膜モジュールにおける非透過室に，当該非透過室内における非透過水を強制循環する手段を備えている。」
ことを特徴としている。
【００１１】
本発明における請求項３は，
「前記請求項１又は２の記載において，前記各ＮＦ膜モジュールのうち膜分離を継続している任意の一部のＮＦ膜モジュールを，少なくとも前段のＮＦ膜モジュールと，次段のＮＦ膜モジュールとの複数個にして，処理すべき海水又は廃水を前記前段のＮＦ膜モジュールに供給して，この前段のＮＦ膜モジュールにおける非透過水を前記次段のＮＦ膜モジュールに供給する一方，これら前段及び次段のＮＦ膜モジュールにおける透過水を，前記ＲＯ膜モジュールに供給するように構成した。」
ことを特徴としている。
【００１２】
本発明における請求項４は，
「前記請求項１〜３のいずれかの記載において，前記各ＮＦ膜モジュールにおける膜洗浄手段が，前記ＲＯ膜モジュールにおける透過水を使用した逆洗浄である。」
ことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明における請求項１は，前記したように，ＲＯ膜モジュールの前処理としてのＮＦ膜モジュールを複数個にして，この複数個の各ＮＦ膜モジュールのうち任意の一部のＮＦ膜モジュールによる膜分離を継続した状態で，残りのＮＦ膜モジュールについてその膜分離を停止して膜洗浄を行うように選択的に切り換えるものであることにより，前記複数個の各ＮＦ膜モジュールのうち任意の一部のＮＦ膜モジュールにおいて，前記ＲＯ膜モジュールの前処理としての膜分離を行いながら，前記一部以外のＮＦ膜モジュールに対する膜洗浄を行うことができる。
【００１４】
これにより，ＮＦ膜モジュールに対する膜洗浄を行うたびごとに，ＲＯ膜モジュールによる水処理，つまり，膜分離を停止することを必要としないから，前記ＮＦ膜モジュールにおける膜洗浄を含めた全体としての稼動率を大幅に向上できる。
【００１５】
この場合において，請求項２に記載したように，前記各ＮＦ膜モジュールにおける非透過室内における非透過水を強制循環することにより，前記各ＮＦ膜モジュールにおいて，そのナノフィルトレーション膜における非透過側の表面の流速を早くすることができるから，前記ナノフィルトレーション膜における分離効率を向上できるとともに，このナノフィルトレーション膜における目詰まりの発生を抑制できて，前記各ＮＦ膜モジュールにおける膜洗浄の頻度を低減することができる。
【００１６】
また，請求項３に記載した構成にすることにより，前記ＲＯ膜モジュールに対して，複数のＮＦ膜モジュールにおける透過水を供給できるから，ＲＯ膜モジュールを高い回収率で運転することができる一方，不純物又は有害物等を含む非透過水の量を，ＮＦ膜モジュールにおける複数段にわたる膜分離によって，大幅に少なくすることができる。
【００１７】
更にまた，請求項４に記載した構成によると，前記各ＮＦ膜モジュールにおけるナノフィルトレーション膜に対する逆洗浄を，前記ＲＯ膜モジュールを透過した純度の高い透過水によって行うことができることにより，前記各ＮＦ膜モジュールのナノフィルトレーション膜における目詰まりを解消するための逆洗浄を高い効率で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下，本発明の実施の形態を，図１の図面について説明する。
【００１９】
この図において，符号１は，被処理廃水タンクを示し，この被処理廃水タンク１内には，処理する目的であるところのカルシウム及び硫酸等の有害な不純物を含む被処理廃水が，廃水供給管路２より供給されている。
【００２０】
また，符号３は，ナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）を使用した第１段ＮＦ膜モジュールを，符号４は，同じくナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）を使用した第２段ＮＦ膜モジュールを，符号５は，同じくナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）を使用した第３段ＮＦ膜モジュールを，そして，符号６は，逆浸透膜（ＲＯ膜）を使用したＲＯ膜モジュールを各々示す。
【００２１】
前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５の各々における非透過室側には，循環ポンプ３ａ，４ａ，５ａと，その吸い込み側に逆止弁３ｂ，４ｂ，５ｂとを備えた循環管路３ｃ，４ｃ，５ｃが設けられ，当該非透過室内における非透過水を強制循環するように構成している。
【００２２】
この場合，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における循環管路３ｃ，４ｃ，５ｃのうち前記逆止弁３ｂ，４ｂ，５ｂの下流側の部位には，入口管路７，８，９が，上流側の部位には，出口管路１０，１１，１２が各々接続され，前記各入口管路７，８，９には，供給バルブ１３，１４，１５が，前記各出口管路１０，１１，１２には，排出バルブ１６，１７，１８が各々設けられている。
【００２３】
また，前記ＲＯ膜モジュール６における非透過室側には，循環ポンプ６ａを備えた循環管路６ｂが設けられ，当該非透過室内における非透過水を強制循環するように構成している。
【００２４】
前記被処理廃水タンク１内における被処理廃水を，ポンプ１９を備えた廃水移送管路２０にて，前記第１段ＮＦ膜モジュール３における循環管路３ｃに供給バルブ１３を介して供給し，この第１段ＮＦ膜モジュール３における非透過水を，排出バルブ１６より排出して，前記第２段ＮＦ膜モジュール４における循環管路４ｃに供給バルブ１４を介して供給し，第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過水を，排出バルブ１７より排出して，前記第３段ＮＦ膜モジュール５における循環管路５ｃに供給バルブ１５を介して供給し，この第３段ＮＦ膜モジュール５における非透過水を，排出バルブ１８より管路２１を介して排出するようにしている。
【００２５】
この場合，前記第１段ＮＦ膜モジュール３における供給バルブ１３と排出バルブ１６との間，前記第２段ＮＦ膜モジュール４における供給バルブ１４と排出バルブ１７との間，及び前記第３段ＮＦ膜モジュール５における供給バルブ１５と排出バルブ１８との間の各々には，切換バルブ２２，２３，２４を備え，これらを各切換バルブ２２，２３，２４を閉じているときには，管路２０からの処理すべき廃水は，先ず，第１段ＮＦ膜モジュール３に供給され，この第１段ＮＦ膜モジュール３における非透過水が，第２段ＮＦ膜モジュール４に供給され，この第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過水が，第３段ＮＦ膜モジュール５に供給され，この第３段ＮＦ膜モジュール５における非透過水が，管路１５を介して排出するような状態になっているが，以下に述べるように，前記三段のＮＦ膜モジュール３，４，５のうち少なくとも任意の二つのＮＦ膜モジュールを使用して二段の膜分離を行う一方，残り一つのＮＦ膜モジュールにおける膜分離を停止する状態に選択的に切り換え可能に構成している。
【００２６】
すなわち，前記第１段ＮＦ膜モジュール３における供給バルブ１３及び排出バルブ１６を閉じると同時に，この第１段ＮＦ膜モジュール３における後述する透過水排出バルブ２５も閉じて第１段ＮＦ膜モジュール３における膜分離を停止する一方，第１段ＮＦ膜モジュール３における切換バルブ２２を開き，第２段ＮＦ膜モジュール４及び第３段ＮＦ膜モジュール５における切換バルブ２３，２４を閉じ，更に，第２段ＮＦ膜モジュール４における供給バルブ１４及び排出バルブ１７を開くと同時に，第３段ＮＦ膜モジュール５における供給バルブ１５及び排出バルブ１８を開くことにより，被処理廃水は，第１段ＮＦ膜モジュール３に供給されることなく，先ず，第２段ＮＦ膜モジュール４に供給され，この第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過水が第３段ＮＦ膜モジュール５に供給され，この第３段ＮＦ膜モジュール５における非透過水が，前記管路２１を介して排出されるというように，前記第２段ＮＦ膜モジュール４と前記第３段ＮＦ膜モジュール５とで二段の膜分離を行う。
【００２７】
また，前記第２段ＮＦ膜モジュール４における供給バルブ１４及び排出バルブ１７を閉じると同時に，この第２段ＮＦ膜モジュール４における後述する透過水排出バルブ２６も閉じて第２段ＮＦ膜モジュール４における膜分離を停止する一方，第２段ＮＦ膜モジュール４における切換バルブ２３を開き，第１段ＮＦ膜モジュール３及び第３段ＮＦ膜モジュール５における切換バルブ２２，２４を閉じ，更に，第１段ＮＦ膜モジュール３における供給バルブ１３及び排出バルブ１６を開くと同時に，第３段ＮＦ膜モジュール５における供給バルブ１５及び排出バルブ１８を開くことにより，被処理廃水は，先ず，第１段ＮＦ膜モジュール３に供給され，この第１段ＮＦ膜モジュール３における非透過水が，第２段ＮＦ膜モジュール４に供給されることなく，第３段ＮＦ膜モジュール５に供給され，この第３段ＮＦ膜モジュール５における非透過水が，前記管路２１を介して排出されるというように，前記第１段ＮＦ膜モジュール３と前記第３段ＮＦ膜モジュール５とで二段の膜分離を行う。
【００２８】
更にまた，前記第３段ＮＦ膜モジュール５における供給バルブ１５及び排出バルブ１８を閉じると同時に，この第３段ＮＦ膜モジュール５における後述する透過水排出バルブ２７も閉じて第３段ＮＦ膜モジュール５における膜分離を停止する一方，第３段ＮＦ膜モジュール５における切換バルブ２４を開き，第１段ＮＦ膜モジュール３及び第２段ＮＦ膜モジュール４における切換バルブ２２，２３を閉じ，更に，第１段ＮＦ膜モジュール３における供給バルブ１３及び排出バルブ１６を開くと同時に，第２段ＮＦ膜モジュール４における供給バルブ１４及び排出バルブ１７を開くことにより，被処理廃水は，先ず，第１段ＮＦ膜モジュール３に供給され，この第１段ＮＦ膜モジュール３における非透過水が第２段ＮＦ膜モジュール４に供給され，この第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過水が，第３段ＮＦ膜モジュール５に供給されることなく，前記管路２１を介して排出されるというように，前記第１段ＮＦ膜モジュール３と前記第２段ＮＦ膜モジュール４とで二段の膜分離を行う。
【００２９】
一方，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５の各々における透過水を，透過水排出バルブ２５，２６，２７より取り出し，管路２８を介して前記ＲＯ膜モジュール６における循環管路６ｂに供給し，前記ＲＯ膜モジュール６における非透過水を，前記管路２１を介して排出排出する一方，前記ＲＯ膜モジュール６における透過水を，管路２９を介して溜め槽３０に溜める。
【００３０】
この構成において，被処理廃水タンク１内に廃水供給管路２より供給された被処理廃水は，第１段ＮＦ膜モジュール３に供給され，この第１段ＮＦ膜モジュール３において，非透過水と透過水とに膜分離される。
【００３１】
前記第１段ＮＦ膜モジュール３における非透過水は，第２ＮＦ膜モジュール４に供給され，この第２段ＮＦ膜モジュール４において，非透過水と透過水とに膜分離される。
【００３２】
前記第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過水は，第３ＮＦ膜モジュール５に供給され，この第３段ＮＦ膜モジュール５において，非透過水と透過水とに膜分離される。
【００３３】
これら各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における透過水は，前記ＲＯ膜モジュール６に供給され，不純物を含む不透過水と，カルシウム及び硫酸等の有害な不純物を殆ど含まない純度の高い透過水とに膜分離され，純度の高い透過水は，溜め槽３０に溜められて，適当な水使用箇所に供給される。
【００３４】
一方，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における非透過水及び前記ＲＯ膜モジュール６における非透過水は，管路２１より排出され，例えば，特開昭５１−１０２３５７号公報等に記載されているように，蒸発濃縮装置５７に供給して，ここで高い濃度に蒸発濃縮し，次いで，この濃縮水を，乾燥固形化装置５８に供給して，ここで乾燥して固形化するように処理される。
【００３５】
この場合において，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５の非透過室側においては，非透過水が強制循環していることにより，そのナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）の表面における流速が早くなり，前記ナノフィルトレーション膜における分離効率を向上できるとともに，このナノフィルトレーション膜における目詰まりの発生を抑制できる。
【００３６】
また，前記ＲＯ膜モジュール６の非透過室側においても，非透過水が強制循環していることにより，その逆浸透膜の表面における流速が早くなり，前記逆浸透膜における分離効率を向上できるとともに，この逆浸透膜における目詰まりの発生を抑制できる。
【００３７】
そして，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５に対する被処理廃水の供給を，循環管路３ｃ，４ｃ，５ｃのうち逆止弁３ｂ，４ｂ，５ｂの下流側に対して入口管路７，８，９より行う一方，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５からの非透過水の排出を，循環管路３ｃ，４ｃ，５ｃのうち逆止弁３ｂ，４ｂ，５ｂの上流側に対して出口管路１０，１１，１２より行うことにより，濃度に低い被処理廃水が，前記膜分離によって濃度が高くなった非透過水に混じることを，前記逆止弁３ｂ，４ｂ，５ｂにて確実に阻止することができて，非透過水を，高い濃度に維持できるから，この非透過水を，前記したように，蒸発濃縮装置５７にて蒸発濃縮にて処理するとか，或いは，この蒸発濃縮に次いで固形化する場合に，これらにおける負荷を低減することができる。
【００３８】
そして，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５におけるＮＦ膜は，以下に述べるような方法にて膜洗浄するように構成している。
【００３９】
すなわち，前記溜め槽３０内における純度の高い透過水を，逆洗浄用ポンプ３１にて汲み出し，管路３２を介して，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における透過側に設けた逆洗浄用バルブ３３，３４，３５に輸送する。
【００４０】
そして，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５のうち，例えば，第１段ＮＦ膜モジュール３において目詰まりが発生すると，前記した要領により，第２段ＮＦ膜モジュール４及び第３段ＮＦ膜モジュール５における膜分離を継続した状態で，当該第１段ＮＦ膜モジュール３における膜分離を停止し，この第１段ＮＦ膜モジュール３に対する逆洗浄用バルブ３３のみを開くことにより，その透過室に，前記ＲＯ膜モジュール６における純度の高い透過水が供給されるから，当該第１段ＮＦ膜モジュール３におけるナノフィルトレーション膜を逆洗浄することができ，この逆洗浄により，ナノフィルトレーション膜を逆向きに非透過室側に透過した洗浄水は，洗浄水タンク３６に，バルブ３７付き排水管路３８より排出される。
【００４１】
次に，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５のうち，例えば，第２段ＮＦ膜モジュール４において目詰まりが発生すると，前記した要領により，第１段ＮＦ膜モジュール３及び第３段ＮＦ膜モジュール５における膜分離を継続した状態で，当該第２段ＮＦ膜モジュール４における膜分離を停止し，この第２段ＮＦ膜モジュール４に対する逆洗浄用バルブ３４のみを開くことにより，その透過室に，前記ＲＯ膜モジュール６における純度の高い透過水が供給されるから，当該第２段ＮＦ膜モジュール４におけるナノフィルトレーション膜を逆洗浄することができ，この逆洗浄により，ナノフィルトレーション膜を逆向きに非透過室側に透過した洗浄水は，洗浄水タンク３６に，バルブ３８付き排水管路４０より排出される。
【００４２】
次に，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５のうち，例えば，第３段ＮＦ膜モジュール５において目詰まりが発生すると，前記した要領により，第１段ＮＦ膜モジュール３及び第２段ＮＦ膜モジュール４における膜分離を継続した状態で，当該第３段ＮＦ膜モジュール５における膜分離を停止し，この第３段ＮＦ膜モジュール５に対する逆洗浄用バルブ３５のみを開くことにより，その透過室に，前記ＲＯ膜モジュール６における純度の高い透過水が供給されるから，当該第３段ＮＦ膜モジュール５におけるナノフィルトレーション膜を逆洗浄することができ，この逆洗浄により，ナノフィルトレーション膜を逆向きに非透過室側に透過した洗浄水は，洗浄水タンク３６に，バルブ４１付き排水管路４２より排出される。
【００４３】
この純度の高い透過水による逆洗浄は，例えば，１〜２時間の間隔ごとに１分間程度行う。
【００４４】
また，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における非透過側の洗浄は，以下に述べるようにして洗浄される。
【００４５】
すなわち，洗浄水タンク３６内に溜めた洗浄水に，汚れに応じて最適の洗浄薬品を加え，これをポンプ４３にて汲み出し，フィルタ４４にて濾過する。
【００４６】
この濾過した洗浄水を，前記第１段ＮＦ膜モジュール３が膜分離を停止しているときには，その非透過側に，バルブ４５付き管路４６を介して供給し，この洗浄水を，前記バルブ３７付き排水管路３８を介して前記洗浄水タンク３６内に戻すという循環を行うことにより，非透過側の洗浄を行い，この洗浄の際にナノフィルトレーション膜を透過した洗浄水は，バルブ４７付き管路４８を介して前記洗浄水タンク３６内に戻される。
【００４７】
次に，前記第２段ＮＦ膜モジュール４が膜分離を停止しているときには，前記フィルタ４４にて濾過した洗浄水を，当該第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過側に，バルブ４９付き管路５０を介して供給し，この洗浄水を，前記バルブ３９付き排水管路４０を介して前記洗浄水タンク３６内に戻すという循環を行うことにより，非透過側の洗浄を行い，この洗浄の際にナノフィルトレーション膜を透過した洗浄水は，バルブ５１付き管路５２を介して前記洗浄水タンク３６内に戻される。
【００４８】
次に，前記第３段ＮＦ膜モジュール５が膜分離を停止しているときには，前記フィルタ４４にて濾過した洗浄水を，当該第３段ＮＦ膜モジュール５における非透過側に，バルブ５３付き管路５４を介して供給し，この洗浄水を，前記バルブ４１付き排水管路４２を介して前記洗浄水タンク３６内に戻すという循環を行うことにより，非透過側の洗浄を行い，この洗浄の際にナノフィルトレーション膜を透過した洗浄水は，バルブ５５付き管路５６を介して前記洗浄水タンク３６内に戻される。
【００４９】
なお，この各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における非透過側の洗浄は，希薄アルカリ水溶液の洗浄水を，２〜３日に一回の間隔で１時間程度の時間だけ循環することによって行うことに加えて，酸性の洗浄水を，１週間に一回の間隔で１時間程度の時間だけ循環することによって行う。更に、これらの操作を，予めプログラムされた制御に基づいて自動的に行うようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明における実施の形態を示すフローシートである。
【符号の説明】
【００５１】
１                            被処理廃水タンク
３，４，５                    ＮＦ膜モジュール
６                            ＲＯ膜モジュール
３ａ，４ａ，５ａ，６ａ        循環ポンプ
３ｂ，４ｂ，５ｂ              逆止弁
３ｃ，４ｃ，５ｃ              循環管路
６ｂ                          循環管路
１３，１４，１５              供給バルブ
１６，１７，１８              排出バルブ
２２，２３，２４              切換バルブ
２５，２６，２７              透過水排出バルブ
３１                          逆洗浄用ポンプ
３３，３４，３５              逆洗浄用バルブ
【図１】
2007000788.tif 000003