(57)【要約】【課題】  二つの端子をお互いに電気的に導通させることなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純な構造で廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の基板検査用接触子の提供。【解決手段】  被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、前記第一導電部は可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、前記第二導電部は前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、前記基板検査用接触子が使用時において、前記検査点に第一導電部及び前記第二導電部が接触していることを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、
前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、
前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、
前記基板検査用接触子が使用時において、前記検査点に第一導電部及び前記第二導電部が接触していることを特徴とする基板検査用接触子。
【請求項２】
前記第一導電部と前記第二導電部が、同軸となるように形成される請求項１に記載の基板検査用接触子。
【請求項３】
前記第一導電部は、前記検査点に貫入する貫入部を有し、
前記貫入部が前記検査点に貫入した際に前記第二導電部が該検査点に当接するように、前記第一導電部が前記検査点側へ該第二導電部よりも突出していることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査用接触子。
【請求項４】
前記第一導電部が突出する突出量が、前記第一導電部と前記第二導電部の距離を基に算出されていることを特徴とする請求項３に記載の基板検査用接触子。
【請求項５】
前記第一導電部は、導電性且つ可撓性を有する一対の棒状部材と、該棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する導電性の弾性部材からなることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の基板検査用接触子。
【請求項６】
前記第一導電部は、導電性且つ可撓性を有する一対の棒状部材と、該棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する非導電性の弾性部材からなり、
前記第二導電部の内側表面に、前記一対の棒状部材を電気的に接続する導電層が形成されてなることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の基板検査用接触子。
【請求項７】
一方の前記棒状部材には、前記検査点に貫入する貫入部が形成され、
前記貫入部が前記検査点に貫入した際に前記第二導電部が該検査点に当接するように、前記第一導電部が前記検査点側へ前記第二導電部から突出していることを特徴とする請求項５又は６に記載の基板検査用接触子。
【請求項８】
前記第二導電部が、長軸方向に摺動する弾性機構を有することを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載の基板検査接触子。
【請求項９】
前記第二導電部は、先細り形状に形成される請求項１乃至８いずれかに記載の基板検査用接触子。
【請求項１０】
前記貫入部が、尖鋭形状に形成されていることを特徴とする請求項３又は７に記載の基板検査用接触子。
【請求項１１】
被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、
前記第一導電部は、一対の導電性の棒状部材と、該棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する弾性部を有し、
前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに非可撓性の素材で形成され、長軸方向に摺動する第二弾性部を有し、
前記基板検査用接触子が使用時において、前記検査点に第一導電部及び前記第二導電部が接触していることを特徴とする基板検査用接触子。
【請求項１２】
前記棒状部材が、非可撓性部材で形成されることを特徴とする請求項１１記載の基板検査用接触子。
【請求項１３】
一方の前記棒状部材には前記検査点に貫入する貫入部が形成され、
前記貫入部が前記検査点に貫入した際に前記第二導電部が該検査点に当接するように、前記第一導電部が前記検査点側へ前記第二導電部から突出していることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の基板検査用接触子。
【請求項１４】
前記第二導電部は、先細り形状に形成される請求項１１乃至１３いずれかに記載の基板検査用接触子。
【請求項１５】
前記貫入部が、尖鋭形状に形成されていることを特徴とする請求項１１乃至１４いずれかに記載の基板検査用接触子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板の配線パターン上に設定された所定の検査点に圧接され、この被検査基板と基板検査装置との間で検査信号の伝達を可能とする基板検査用接触子に関する。
尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。
【０００２】
従来、回路基板上の配線パターンは、その回路基板に搭載されるIC等の半導体や抵抗器などの電気・電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点間の抵抗値を測定して、その良否が判定されていた。
【０００３】
このような判定検査では、配線パターンの断線及び短絡などの検査は、検査対象となる配線パターンの２箇所に設けられる検査点に、夫々一つずつ測定端子を当接させ、その測定端子間に所定レベルの測定用電流を流すことによって、その測定端子間の電圧値を測定し、この電圧値と予め定められた閾値を比較することにより良否の判定が行われていた。
【０００４】
しかしながら、このような方法では、配線パターンの２箇所の検査点それぞれに、一つずつ当接させた測定端子を測定用電流の供給と電圧の測定とに共用する場合（この測定方法を、２端子測定法という）には、測定端子と検査点との間の接触抵抗が測定電圧に影響を与え、抵抗値の測定精度が低下し、検査結果の信頼性が低下するという不都合があった。
【０００５】
そこで、各検査点に、それぞれ電流供給用端子と電圧測定用端子とを当接させ、各検査点にそれぞれ当接させた電流供給用端子間に測定用電流を供給すると共に、各検査点にそれぞれ当接させた電圧測定用端子間に生じた電圧を測定することにより、測定端子と検査点との間の接触抵抗の影響を抑制して高精度に抵抗値を測定する方法（いわゆる、４端子測定法あるいはケルビン法）が知られており、この方法を用いて配線パターンの検査を行う基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
しかしながら、この特許文献１に開示される基板検査装置では、４端子測定法を用いて配線パターンの検査を行う場合、電流供給用端子及び電圧測定用端子の２つの端子を検査点毎に、移動制御させながら当接させる必要がある。一方、近年、回路基板の微細化が進み、検査点となるランドが狭小化しているため、一つのランドに２つの端子を互いに電気的に導通させることなく確実に当接させることが極めて困難である問題が生じていた。
【０００７】
このような問題を解決するために、一つ目の端子が円柱状に形成され、二つ目の端子が該円柱状の外周面に沿って軸方向に摺動可能な螺旋状のバネに形成される接触子が創出されている（特許文献２参照）。このように二つの端子を形成することにより、この二つの端子を微細な検査点に容易に当接させることを可能としている。
【０００８】
しかしながら、この特許文献２に開示されるような接触子は、微細な螺旋状のバネやこのバネの両端に設けられる微細なプランジャを形成する必要があるため、複雑な構成を有していた。
このため、二つの端子をお互いに電気的に導通させることなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純で且つ廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の接触子の創出が要求されていた。
【０００９】
【特許文献１】特開平６−６６８３２号公報
【特許文献２】特開２００５−３２１２１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、二つの端子をお互いに電気的に導通させることなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純な構造で廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の基板検査用接触子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１記載の発明は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、前記基板検査用接触子が使用時において、前記検査点に第一導電部及び前記第二導電部が接触していることを特徴とする基板検査用接触子を提供する。
【００１２】
請求項２記載の発明は、前記第一導電部と前記第二導電部が、同軸となるように形成される請求項１に記載の基板検査用接触子を提供する。
【００１３】
請求項３記載の発明は、前記第一導電部は、前記検査点に貫入する貫入部を有し、前記貫入部が前記検査点に貫入した際に前記第二導電部が該検査点に当接するように、前記第一導電部が前記検査点側へ該第二導電部よりも突出していることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査用接触子を提供する。
【００１４】
請求項４記載の発明は、前記第一導電部が突出する突出量が、前記第一導電部と前記第二導電部の距離を基に算出されていることを特徴とする請求項３に記載の基板検査用接触子を提供する。
【００１５】
請求項５記載の発明は、前記第一導電部は、導電性且つ可撓性を有する一対の棒状部材と、該棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する導電性の弾性部材からなることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の基板検査用接触子を提供する。
【００１６】
請求項６記載の発明は、前記第一導電部は、導電性且つ可撓性を有する一対の棒状部材と、該棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する非導電性の弾性部材からなり、前記第二導電部の内側表面に、前記一対の棒状部材を電気的に接続する導電層が形成されてなることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の基板検査用接触子を提供する。
【００１７】
請求項７記載の発明は、一方の前記棒状部材には、前記検査点に貫入する貫入部が形成され、前記貫入部が前記検査点に貫入した際に前記第二導電部が該検査点に当接するように、前記第一導電部が前記検査点側へ前記第二導電部から突出していることを特徴とする請求項５又は６に記載の基板検査用接触子を提供する。
【００１８】
請求項８記載の発明は、前記第二導電部が、長軸方向に摺動する弾性機構を有することを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載の基板検査接触子を提供する。
【００１９】
請求項９記載の発明は、前記第二導電部は、先細り形状に形成される請求項１乃至８いずれかに記載の基板検査用接触子を提供する。
【００２０】
請求項１０記載の発明は、前記貫入部が、尖鋭形状に形成されていることを特徴とする請求項３又は７に記載の基板検査用接触子を提供する。
【００２１】
請求項１１記載の発明は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、前記第一導電部は、一対の導電性の棒状部材と、該棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する弾性部を有し、前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに非可撓性の素材で形成され、長軸方向に摺動する第二弾性部を有し、前記基板検査用接触子が使用時において、前記検査点に第一導電部及び前記第二導電部が接触していることを特徴とする基板検査用接触子を提供する。
【００２２】
請求項１２記載の発明は、前記棒状部材が、非可撓性部材で形成されることを特徴とする請求項１１記載の基板検査用接触子を提供する。
【００２３】
請求項１３記載の発明は、一方の前記棒状部材には前記検査点に貫入する貫入部が形成され、前記貫入部が前記検査点に貫入した際に前記第二導電部が該検査点に当接するように、前記第一導電部が前記検査点側へ前記第二導電部から突出していることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の基板検査用接触子を提供する。
【００２４】
請求項１４記載の発明は、前記第二導電部は、先細り形状に形成される請求項１１乃至１３いずれかに記載の基板検査用接触子を提供する。
【００２５】
請求項１５記載の発明は、前記貫入部が、尖鋭形状に形成されていることを特徴とする請求項１１乃至１４いずれかに記載の基板検査用接触子を提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を解決する。
【発明の効果】
【００２６】
請求項１記載の発明によれば、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、第一導電部が可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、第二導電部が前記第一導電部を内部に収容する可撓性を有する導電性の筒状部材により形成され、基板検査用接触子が使用時において、前記検査点に第一導電部及び前記第二導電部が接触しているので、基板検査用接触子の使用時に於いて、該基板検査用接触子が押圧により撓むことによって、検査点及び電極部に対して圧接状態となる四端子測定用の基板検査用接触子を提供することができる。また、第一及び第二導電部が単純な構成であるので、廉価に製造することができる。
【００２７】
請求項２記載の発明によれば、第一導電部と第二導電部が同軸に形成されるので、基板検査用接触子の幅を小さくすることができる。
【００２８】
請求項３記載の発明によれば、第一導電部が検査点に貫入する貫入部を有し、この貫入部は検査点に貫入した際に、第二導電部が該検査点に当接するように、第一導電部が検査点側へ第二導電部よりも突出しているので、第一導電部が検査点に貫入することによって、確実に且つ低抵抗状態で検査点に接触させることができるとともに、第二導電部も検査点に当接することになり、第一及び第二導電部ともに確実に検査点へ接触させることができる。
【００２９】
請求項４記載の発明によれば、第一導電部が突出する突出量が、第一導電部と第二導電部の距離を基に算出されているので、一つの検査点に対して確実に第一及び第二導電部を接触させることができる。
【００３０】
請求項５記載の発明によれば、第一導電部が導電性且つ可撓性を有する一対の棒状部材と、該棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する導電性の弾性部材からなるので、一方の棒状部材が受信した電気信号は、弾性部材を介して他の棒状部材へ伝達されることになり、また、検査点及び電極部に第一導電部が接触した場合に、弾性部材が長軸方向に収縮するとともに外側方向に対する付勢状態となり、両棒状部材が検査点及び/又は電極部へ圧接状態となる。このため、第一導電部が検査点及び電極部と確実に接触することになる。
【００３１】
請求項６記載の発明によれば、第一導電部が導電性且つ可撓性を有する一対の棒状部材と、棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する非導電性の弾性部材からなり、第二導電部の内側表面に導電層が形成されてなるので、一方の棒状部材が受信した電気信号は、第二導電層の導電層を介して、他方の棒状部材へ伝達されることになり、また、弾性部材が長軸方向に収縮するとともに外側方向に対する付勢状態となり、両棒状部材が検査点及び/又は電極部へ圧接状態となる。このため、第一導電部が検査点及び電極部と確実に接触することになる。
【００３２】
請求項７記載の発明によれば、一方の前記棒状部材には、検査点に貫入する貫入部が形成され、貫入部が検査点に貫入した際に第二導電部が検査点に当接するように、第一導電部が検査点側へ第二導電部から突出しているので、第一導電部が検査点に貫入することによって、確実に且つ低抵抗状態で検査点に接触させることができるとともに、第二導電部も検査点に当接することになり、第一及び第二導電部ともに確実に検査点へ接触させることができる。
【００３３】
請求項８記載の発明によれば、第二導電部が、長軸方向に摺動する弾性機構を有するので、第二導電部に圧力が付与された場合に、この弾性機構が収縮して、接触子の長軸方向に対する付勢が生じることになる。この付勢状態により第二導電部が確実に検査点に圧接する。
【００３４】
請求項９記載の発明によれば、第二導電部が先細り形状に形成されるので、第一導電部と第二導電部との接触面に於ける距離を小さくすることができるとともに、第一導電部が第二導電部より抜け出すことを防止することができる。
【００３５】
請求項１０記載の発明によれば、第一導電部の貫入部が、尖鋭形状に形成されているので、容易に検査点に貫入することができるとともに、検査点に対して低抵抗に接触することができる。
【００３６】
請求項９記載の発明によれば、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、第一導電部が一対の導電性の棒状部材と、棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する弾性部を有し、第二導電部が第一導電部を内部に収容するとともに非可撓性の素材で形成され、長軸方向に摺動する第二弾性部を有し、基板検査用接触子が使用時において、検査点に第一導電部及び第二導電部が接触しているので、第一導電部が検査点と確実に導通接触することができるとともに第二導電部が検査点に圧接されることになり、微細な検査点に対して容易に第一及び第二導電部ともに接触させることができる。
特に、この基板検査用接触子を使用する場合には、まず、第一導電部が有する弾性部材が収縮するとともに棒状部材に対して長軸方向に対する付勢が生じることになる。この付勢状態により第一導電部が検査点により確実に圧接された状態となる。また更にこのとき、基板検査用接触子が圧接されることにより、第二導電部の第二弾性部が収縮し、長軸方向に対する付勢が生じることになる。この付勢状態により第二導電部もこの第二弾性部により確実に検査点に圧接することになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
本発明にかかる基板検査用接触子は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点から測定される電気信号を基板検査装置へ伝える。この接触子は、被検査基板の検査点と基板検査装置の電極部へ夫々電気的に接続されることにより電気信号を伝えることになる。
本基板検査用接触子は、二つの端子である電圧測定用端子と電流印用端子を有しており、これら二つの端子を有する本基板検査用接触子を一つの検査点に接触させ、基板検査用接触子間の抵抗値を算出する。このように二つの端子を有する二つの接触子間の電気的特性（電流値や電圧値）を測定することにより、接触子による接触抵抗を除去して、より正確な配線パターン間の抵抗値を算出する四端子測定法を可能とする。
【００３８】
本発明に係る基板検査用接触子の基本原理は、検査部に貫入する貫入部を有する第一導電部と、この第一導電部と同軸となる第二導電部を接触子として形成し、検査時において、第一導電部が検査点に貫入した際に、第二導電部も検査点に接触されている状態を提供することである。
このため、第一導電部及び第二導電部が夫々検査点に接触することになり、二つの端子を確実に接触させようとするものである。
尚、第一実施形態及び第二実施形態で示される基板検査用接触子は、基板検査用接触子自体に可撓性を持たせることによって、使用時に於いて基板検査用接触子が撓むことにより接触する検査点及び電極部へ接触圧による圧接状態を生じさせるものである。
また、第三実施形態で示される基板検査用接触子は、基板検査用接触子自体は非可撓性であり、後述する第一及び第二導電部に基板検査用接触子の長軸方向に伸縮する伸縮機構（弾性部材や弾性機構）を設けることによって、使用時に於いてこの伸縮機構が収縮することにより接触する検査点及び電極部へ接触圧による圧接状態を生じさせるものである。
【００３９】
本発明に係る基板検査用接触子が有する第一導電部と第二導電部の基本構造は、第二導電部を筒状形状の部材として形成し、この第二導電部の内部に第一導電部を収容する構造を有している。
この第一導電部及び第二導電部は、第一導電部の外側表面に絶縁層を被覆したり、第二導電部の内側表面に絶縁層を被覆したり、又は、第一及び第二導電部両方に絶縁層を被覆したりすることによって、各導電部を流れる電気信号を確実に送受信している。
【００４０】
尚、本明細書中では、これらの二つの端子である電圧測定用端子と電流印加用端子を、第一導電部と第二導電部として説明しており、電圧測定用端子を第一導電部に、電流印加用端子を第二導電部と設定しても良いし、電圧測定用端子を第二導電部に、電流印加用端子を第一導電部と設定しても良い。
また、本発明での検査点とは、導通及び／又は短絡を検査するために必要な被検査基板上に予め設定されるものである。特に、本基板検査用接触子では、チップのランド上などに盛られる金属の突起部で、インナーリードボンディングを容易にするバンプに好適に用いることができる。
【００４１】
本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触子１（以下、第一接触子１と称する）について説明する。
図１は、本発明に係る第一接触子を示し、（ａ）は分解図、（ｂ）は組立図である。図２は、第一接触子の一端の断面図である。
第一接触子１は、第一導電部１１と第二導電部１２を有してなる。この第二導電部１２は、図２で示す如く、後述する第一導電部１１を内部に収容する筒状に形成されている。
この第二導電部１２は、検査点と電極部に接触する両端から押圧された場合に撓むことによって、検査点及び電極部へ圧接される（圧接状態となる）。この第二導電部１２は、可撓性の素材で形成されている。この第二導電部１２を形成するための素材としては、ニッケル（Ni）やステンレス鋼を用いることができるが、特に限定されるものではなく、上記の如き可撓性及び導電性を有する素材であれば特に限定されない。
尚、図示しないがこの外側導電層１２の外側表面に絶縁層を設けることが好ましい。
【００４２】
この第一導電部１１は、棒状に又は針状に形成される長尺状の一つの部材から形成されている。この第一導電部１１は、第二導電部１２と同軸に設けられるので、円柱状に形成されることが好ましい。
第一導電部１１は、導電性で且つ可撓性を有する部材である。第一導電部１１が導電性の部材から構成されることによって電気信号を受信し送信することができる。また、この第一導電部１１が可撓性を有することによって、後述する第二導電部１２が両端側からの押圧に伴い撓むことになるが、この撓みに応じて第一導電部１１も撓むことになる。
【００４３】
第一導電部１１は、検査点に接触する一方の端部において、検査点に貫入する貫入部１１１を有していることが好ましい。
この貫入部１１１は、尖鋭形状に形成されている。このように尖鋭形状に形成されることによって、第一導電部１１の貫入部１１１が検査点へ容易に貫入することができるとともに、検査点に対して接触抵抗を小さくすることができるからである。
この貫入部１１１の形状は、尖鋭形状に形成されることが好ましく、更に好ましくは、四角錐や三角錐等の角錐状に形成される。
この貫入部１１１は、図１に示される如く、第一導電部１１が尖鋭形状を有する場合において、第二導電部１２よりも所定量ｄ１分だけ第一導電部１１が突出するように配置されることにより形成される（図１（ｂ）参照）。
この貫入部１１１は、図２に示す如き第一導電部１１が所定量ｄ１だけ第二導電部１２よりも突出して配置されることによって形成される。この場合、基板検査用接触子１を両端から押圧して検査点に圧接させる場合、まず、この所定量ｄ１分だけ、第一導電部１１が検査点へ貫入し、その際第二導電部１２が検査点に当接する。そして、更に両端から圧接されることによって、基板検査用接触子１が撓み圧接されることになる。
【００４４】
第一導電部１１の外側表面には、絶縁層１３が被覆されている。この絶縁層１３は、第一導電部１１と第二導電部１２が電気的な接触を防止するために形成されている。
この絶縁層１３は、図２で示される如く、貫入部１１１を形成する傾斜面１１２に至るまで被覆することが好ましい。このように被覆することにより第一及び第二導電部の接触を確実に防止するからである。
この絶縁層１３には、例えば、テフロン（登録商標）やポリウレタンを用いることができる。
【００４５】
第二導電部１２は、上記の如く、第一導電部１１を内部に収容して、貫入部１１１を形成する所定量ｄ１分だけ、第一導電部１１が突出するように配置される。第二導電部１２の端部は、内部に収縮する如き先細りのテーパ形状に形成されている（図２参照）。
図２で示される如き第二導電部１２の先端は、所定の傾斜を有して内側方向へ延設される延設部１２３が形成されている。このように内側方向へ延設される延設部１２３を形成することによって、第一導電部１１が第二導電部１２の開口から外側へ抜け出ることを防止することができるとともに、第一及び第二導電部の検査点に接触する位置を近づけることができ、より小さな検査点であっても、第一及び第二導電部１１、１２を対象となる検査点に接触させることができる。
【００４６】
この延設部１２３が有する内側表面の傾斜面１２４は、第一導電部１１の貫入部１１１が有する尖鋭形状が有する傾斜面１１２及び／又は貫入部１１１の傾斜面１１２の部位を被覆する絶縁層１３の傾斜面１３１と略平行となるように形成されることが好ましい。
延設部１２３の傾斜面１２４と貫入部１１１の傾斜面１１２及び／又は絶縁部１３の傾斜面１３１が略平行となるように形成されることによって、第一導電部１１と第二導電部１２が接触する場合に、傾斜面同士で接触することになり、第一導電部１１の導電部と第二導電部１２の導電部が開口部近傍においても接触することを防止することができるからである。
【００４７】
本基板検査用接触子１の寸法は、例えば、第一導電部１１の外径ｗ１が40〜50μｍ、第二導電部１２の外径ｗ２が80〜100μｍ、第二導電部１２の内径ｗ３が60〜70μｍ、延設部１２３の開口径ｗ４が40〜60μｍ、第一導電部１１の絶縁層１３が被覆された外径ｗ５が50〜70μｍ、第一導電部１１と第二導電部１２のクリアランスｗ６が1〜10μｍに設定することができる。
尚、これらの数値は、約±5μｍの範囲のズレは許容範囲とすることができる。
【００４８】
貫入部１１１の突出量ｄ１は、2〜15μｍ、好ましくは7〜13μｍ、更に好ましくは約10μｍに設定されている。
この程度に突出量ｄ１を設定することによって、第一導電部１１と第二導電部１２が一緒に検査点に接触することになるため、第二導電部１２が検査点の中心表面に当接した場合（後述する図３（ｂ）参照）であっても、確実に第一導電部１１及び第二導電部１２が検査点Ｂに接触することになる。
【００４９】
図３（ａ）には、上記の如き一実施形態の寸法に於いて基板検査接触子１を用いた場合の一実施形態を示す断面図である。
この図３で示す被検査基板Ｋ上の検査点Ｂは、半径ｒ約35〜40μｍ（直径Ｄ約70〜80μｍ）の半球状（下側一部が潰れた球状）に形成されている。この検査点Ｂは、ハンダバンプ又はＣ４バンプであり、略球に近い形状を有している。
例えば、図３（ａ）では、検査点Ｂに対して第一導電部１１が略中央に接触して、貫入部１１１が検査点Ｂに貫入している。この場合、第二導電部１２の検査点Ｂに当接する部分は第一導電部１１の検査点Ｂに接触する（貫入する）部分よりも高い位置となるため、貫入部１１１が検査点Ｂに所定量（第二導電部１２が当接するまでの量）貫入することにより、第二導電部１２が検査点Ｂに当接することになる。
図３（ｂ）では一実施形態の寸法に於いて基板検査接触子を用いた場合の他の実施形態を示す断面図である。この図３（ｂ）で示す場合は、第二導電部１２が検査点Ｂの略中央に接触した場合であり、このような場合であっても第一導電部１１と第二導電部１２が検査点Ｂに同時に接触する必要がある。
ここで、図４を参照して、第一導電部１１と第二導電部１２と突出量ｄ１について検討した際、第二導電部１２が略中央Ａ点に当接する場合、第一導電部１１の先端部（貫入部１１１の先端部）は第一導電部１１と第二導電部１２の距離Δｄ分だけずれた位置Ｂ点に当接する必要があり、下記の（数１）式の関係を満たすことになる。
この突出量ｄ１は、第一導電部１１と第二導電部１２の距離Δｘを基に設定される。
【００５０】
【数１】
2007205808.tif 000003
【００５１】
図３（ｂ）で示される場合では、上記の如き突出量以上に突出量ｄ２が設定されるため、第一導電部１１及び第二導電部１２が共に検査点Ｂに接触することになる。
【００５２】
上記の説明では、検査点Ｂがノンコイニングの場合（表面を平坦に加工されていない場合）を説明したが、次に、検査点Ｂがコイニングされた場合の説明を行う。図５は、本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触子をコイニングされた検査点に用いる場合の断面図である。この場合、検査点Ｂ’は、その上側表面は略平坦に加工されているので、本基板検査用接触子１が有する如く、検査点Ｂ’に貫入する貫入部１１１が突出量ｄ１を有していれば、その突出量ｄ１分だけ貫入し、同時に第二導電部１２が検査点Ｂ’に当接することになる。
【００５３】
貫入部１１１の尖鋭形状は、図２で示される如く、断面形状において鋭角を形成するように角度θが設定されている。この尖鋭形状が有する角度θは、検査点Ｂに貫入部１１１が容易に貫入する且つ低抵抗接触を実現するために、４０〜６０度に形成されることが好ましい。この範囲の角度θで尖鋭形状に形成されることによって、上記の如き突出量ｄ１を形成することが容易となるためである。
【００５４】
この第一導電部１１は、棒状の一本の検査点よりも硬度の高い素材で形成され、その一端側を角度θの尖鋭形状とすることにより、容易に形成することができる。このように形成することによって、第一導電部１１が形成されるとともに貫入部１１１も同時に形成することができる。
この棒状の素材としては、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅（BeCu）やタングステン（W）を挙げることができる。
【００５５】
次に、この第一実施形態の基板検査用接触子１を実施した場合の説明を行う。図６は、本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触子を用いた場合の様子を示している。この図６では、検査装置（図示せず）と電気的に接続される電極部ＥＰに基板検査用接触子１に上端部が圧接されており、他端部である下端部が検査点Ｂに圧接されている様子を示している。
この基板検査用接触子１は、一端が所定の電極部ＥＰに、他端が所定の検査点Ｂに接触するように複数配置する。次に、これらの所定位置に基板検査用接触子１の各端部が接触するように押圧される。
このとき、まず、第一導電部１１の貫入部１１１が検査点Ｂに貫入される。この際、第一導電部１１の貫入部１１１の突出量ｄ１が検査点Ｂに貫入されるとともに、第二導電部１２が検査点Ｂに当接する。
次に、更に基板検査用接触子１は押圧されることになるので、図６で示す如く、検査点Ｂ及び電極部ＥＰに接触しつつ撓むことになる。このように基板検査用接触子１が撓むと、確実に検査点Ｂ及び電極部ＥＰに接触していることになる。
【００５６】
次に、本発明に係る第二実施形態の基板検査用接触子２（以下、第二接触子２と称する）について説明する。
図７は、本発明に係る第二接触子を示しており、（ａ）は分解図、（ｂ）は組立図を示している。
この第二接触子２は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々圧接される、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有してなる。第二接触子２もまた、第一接触子１と同様に、第一導電部を電圧測定用に用い、第二導電部を電流印加用に用いても良いし、第一導電部を電流印加用に用い、第二導電部を電圧測定用に用いても良い。
【００５７】
この第二接触子２は、一対の棒状部材２３と弾性部材２４からなる第一導電部２１と、この第一導電部２１を内部に収容する筒状の第二導電部２２からなる。
第一導電部２１は、図７で示される如く、一対の棒状部材２３とこの一対の棒状部材２３を連結する弾性部材２４を有してなる。
一対の棒状部材２３の一方（図７では紙面手前に示される棒状部材）には、一端部２３ａに貫入部２３１が形成されていることが好ましい。この貫入部２３１は、第一接触子１の貫入部１１１と同じ機能を有しており、この貫入部２３１が検査点Ｂに貫入した際に、第二導電部２２が検査点Ｂに当接することになる。
この貫入部２３１の突出量ｄ２１は、第一接触子１の貫入部１１１の突出量ｄ１以上となるように設定される。詳細は後述するが、第二接触子２を用いる場合、この接触子２が押圧されて検査点Ｂに第一導電部２１の貫入部２３１が貫入すると、弾性部材２４が収縮することになり、第二導電部２２が検査点Ｂに当接する。
棒状部材２３の他端部２３ｂは、後述する弾性部材２４が接続される。この弾性部材２４を介することによって、２つの棒状部材２３を連結して第一導電部２１を形成している。
この棒状部材２３は、導電性且つ可撓性の素材で形成されており、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅（BeCu）やタングステン（W）を挙げることができる。
【００５８】
第二導電部２２は、第一導電部２１を収容することのできる筒状の部材であり、詳細は後述するが、少なくとも電気信号を伝達するための導電層を有している。
この第二導電部２２の構成は、第一接触子１の第二導電部１２と略同一であり、後述する絶縁層を設ける点で相違する。
【００５９】
第二接触子２の第一導電部２１が有する突出量ｄ２１は、少なくとも、第一接触子１の突出量ｄ１と同じように、貫入部２３１が検査点Ｂに貫入した際に第二導電部２２が検査点Ｂに当接する量が突出されている。
この第二接触子２の第一導電部２１の突出量ｄ２１が、少なくとも上記の如き量（長さ）に設けられることによって、まず、後述する第一導電部２１の弾性部材２４が長軸方向に収縮する。このとき、第一導電部２１の貫入部２３１が検査点Ｂへ貫入するとともに圧接状態で検査点Ｂに貫入されることになる（図８（ｂ）参照）。
また、この場合、第一導電部２１が圧接状態であるとともに第二導電部２２が検査点Ｂに当接することになる。
尚、更に、第二接触子２を押圧することによって、第二接触子２の全体が撓み、検査点Ｂと電極部ＥＰと圧接することになる（図８（ｃ）参照）。
【００６０】
弾性部材２４は、上記の一対の棒状部材２３を連結する部材であり、棒状部材２３の長軸方向の摺動を可能とする弾性変形部材でもある。この弾性部材２４は、長軸方向に収縮することにより付勢状態となる部材を用いることができ、スプリング、ゴムや合成樹脂などを例示することができる。
【００６１】
この弾性部材２４は、導電性の部材を用いる場合と非導電性の部材を用いる場合がある。
図９は、第二実施形態の基板検査用接触子の断面図を示し、（ａ）は弾性部材が導電性である場合を示しており、（ｂ）は弾性部材が非導電性である場合を示している。
まず、弾性部材２４が、導電性部材で形成される場合を説明する（図９（ａ）参照）。
弾性部材２４が導電性である場合には、この弾性部材２４は導電性且つ長軸方向に伸縮自在な弾性を有していることになる。
このため、検査点Ｂに接触する棒状部材２３に於いて受信された電気信号は、弾性部材を介して他方の棒状部材２３へ伝達されることになる。
弾性部材２４が導電性部材である場合には、第二導電部２２は、外側部２２１に導電層を有し、内側部２２２に絶縁層が設けられる。このように形成されることによって、第一導電部２１の電気信号と第二導電部の電気信号を確実に別々に受信することができる。
上記絶縁層は、棒状部材２３の摺動を阻害しない限り、棒状部材２３と弾性部材２４を一体的に被覆するように設けることもできるし、弾性部材２４の幅を第二導電部２２の幅よりも十分短く形成した場合には、棒状部材２３の外側表面を被覆する絶縁層として設けることもできる。
尚、図９（ａ）で示される場合では、第二導電部２２の内側部２２２に絶縁層を設けており、第一接触子１と同様に、第一導電部２１の幅よりも第二導電部２２の開口部の幅が狭くなるように、第二導電部２２が、貫入部２５の尖鋭形状と平行な傾斜を有する先細りとなるテーパ形状とされている。
【００６２】
この場合の第二接触子２の寸法は、第二導電部２２の外側直径ｗ１１を80〜100μｍ、内側直径ｗ１２を60〜80μｍ、第一導電部２１の外径ｗ１３を50〜70μｍ、絶縁層２２２の厚みを5〜7.5μｍと設定し、これらの数値は約±5μｍの範囲のズレは許容範囲とすることができる。
また、この場合の突出量ｄ２１は、第一接触子１の突出量ｄ１（2〜15μｍ、好ましくは7〜13μｍ、更に好ましくは約10μｍ）よりも長く設定されている。
尚、外側部２２１の外側表面に更なる絶縁層を設けても良い。
【００６３】
次に、弾性部材２４が非導電性の部材である場合を説明する（図９（ｂ）参照）。
弾性部材２４が非導電部材である場合には、この弾性部材２４は非導電性且つ長軸方向に伸縮自在な弾性を有していることになる。
このため、検査点Ｂに接触する棒状部材２３に於いて受信される電気信号は、弾性部材２４を介して他方の棒状部材２３に伝達されない。
この場合、第二導電部２２の最内側部２２３に導電層を設ける。第二接触子２は、基板検査に用いられる際には、全体的に撓むことになり、必ず第一導電部２１の棒状部材２３とこの最内側部の導電層２２３に接触することになる。このため、検査点Ｂの棒状部材２３が受信した電気信号をこの最内側部の導電層２２３を介して、他方の棒状部材２３へと伝達することになる。
この導電層は、導電性の素材で形成され、例えば、下地としてニッケル（Ni）を用いた金（Au）めっきを用いることができる。
【００６４】
この最内側部の導電層２２３と第一導電部２１の棒状部材２３の隙間は、小さければ小さいほど好ましいが、第一導電部２１の棒状部材２３が弾性部材２４により摺動することを阻害しないことが重要である。このような隙間として、1〜10μｍを好適な場合として例示することができる。
尚、他の構成（形状や寸法）は、上記の如く第二導電部２２の構成と同一である。また、弾性部材２４が導電性の部材である場合でも、最内側に導電層２２３を設けても良い。
【００６５】
第二導電部２２は、長軸方向に摺動する弾性機構（図示せず）を設けることもできる。この弾性機構を有することによって、第二接触子２が押圧された場合に弾性機構が長軸方向外側へ付勢状態になり、第二導電部２２が検査点Ｂと電極部ＥＰに対して圧接状態となる。
【００６６】
第二接触子２を用いた場合の動作を説明する。
図８（ａ）で示される如く、所定の電極部ＥＰと所定の検査点Ｂを電気的に接続するための第二接触子２を用意する。
次に、第二接触子２の一方の棒状部材２３を検査点Ｂに接触させる。また、他方の棒状部材２３を電極部ＥＰへ接触させる。
次に、第二接触子２を押圧すると、棒状部材２３の貫入部２３１が検査点Ｂに当接し、弾性部材２４が長軸方向に収縮する。更に第二接触子２が押圧されると、貫入部２３１が検査点Ｂに貫入される（図８（ｂ）参照）。この場合、弾性部材２４が長軸方向外向きの付勢状態となるので、第一導電部２１の両棒状部材２３は、検査点Ｂ及び電極部ＥＰに対して圧接された状態となる。
貫入部２３１が検査点Ｂに貫入されると、第二導電部２２が検査点Ｂに当接する。
次いで、第二接触子２が押圧されると、第二接触子２が全体的に撓む。このとき、第二導電部２２が撓んだ状態となり、検査点Ｂ及び電極部ＥＰに対して付勢状態となる。このため、第二導電部２２は、検査点Ｂ及び電極部ＥＰに対して圧接された状態となる（図１０参照）。
したがって、第一導電部２１及び第二導電部２２ともに、夫々が検査点Ｂ及び電極部ＥＰに対して圧接された状態となり、確実に電気信号を受信することができる。
【００６７】
次いで、本発明に係る第三実施形態の基板検査用接触子３（以下、第三接触子３と称する）について説明する。
図１１は、本発明に係る第三接触子を示しており、（ａ）は分解図、（ｂ）は組立図を示している。
この第三接触子３は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々圧接される、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有してなる。第三接触子３もまた、第一接触子１と同様に、第一導電部を電圧測定用に用い、第二導電部を電流印加用に用いても良いし、第一導電部を電流印加用に用い、第二導電部を電圧測定用に用いても良い。
【００６８】
この第三接触子３は、一対の棒状部材３３と弾性部材３４からなる第一導電部３１と、この第一導電部３１を内部に収容する筒状の第二導電部３２からなる。
第一導電部３１は、図１１で示される如く、一対の棒状部材３３とこの一対の棒状部材３３を連結する弾性部材３４を有してなる。
一対の棒状部材３３の一方（図１１では紙面手前に示される棒状部材）には、一端部３３ａに貫入部３３１が形成されていることが好ましい。この貫入部３３１は、第一接触子１の貫入部１１１と同じ機能を有しており、この貫入部３３１が検査点Ｂに貫入した際に、第二導電部３２が検査点Ｂに当接することになる。
この貫入部３３１の突出量ｄ３１は、第一接触子１の貫入部１１１の突出量ｄ１以上となるように設定される。詳細は後述するが、第三接触子３を用いる場合、この接触子３が押圧されて検査点Ｂに第一導電部２１の貫入部３３１が貫入すると、弾性部材３４が収縮することになり、第二導電部３２が検査点Ｂに当接する。
棒状部材３３の他端部３３ｂは、後述する弾性部材３４が接続される。この弾性部材３４を介することによって、２つの棒状部材３３を連結して第一導電部３１を形成している。
この棒状部材３３は、導電性の素材で形成されており、例えば、ステンレス鋼、ベリリウム銅（BeCu）やタングステン（W）を挙げることができる。
尚、棒状部材３３は、非可撓性部材で形成されることが好ましい。
【００６９】
第二導電部３２は、第一導電部３１を収容することのできる筒状の部材であり、詳細は後述するが、電気信号を伝達するための導電層を有している。この第三接触子３の第二導電部３２は、図８（ａ）で説明された第二接触子２の第二導電部２２と同じように、外側に導電層が形成され、内側に絶縁層が形成されている。
この第二導電部３２は、少なくとも一つ以上の第二弾性部３２１を有している（図１１では、二つ示されている）。
この第二導電部３２は、第三接触子３が撓むことがないように、非可撓性部材で形成される。
【００７０】
この第二弾性部３２１は、第二導電部３２の長軸方向に伸縮する。この第二弾性部３２１は、第二導電部３２の一部を形成しており、導電性の素材で形成されている。このため、第二導電部３２が受信する電気信号をこの第二弾性部３２１を介して伝達することになる。
この第二弾性部３２１は、第二導電部３２が筒状に形成されていることから、所定の部位を切り取り、スプリングや摺動部となる切欠部を有するように形成することもできるが、上記の如き電気信号を伝達することができ且つ第二導電部３２の長軸方向に伸縮することができる機構であれば、特に限定されない。
尚、図１１（ａ）では、２つの第二弾性部３２１が、第二導電部３２の両端部に設けられている。この第二弾性部３２１が設けられる数や部位は特に限定されない。
この第三接触子３は、このように第二弾性部３２１が長軸方向に収縮した場合に、第二弾性部３２１が長軸方向外側に向かう付勢状態となり、第二導電部３２が電極部ＥＰと検査点Ｂに対して圧接状態となる。
また、この第三接触子３は、非可撓性素材で形成されるので、確実に第二弾性部３２１が伸縮することになる。
【００７１】
第三接触子３の第一導電部３１が有する突出量ｄ３１は、少なくとも第一接触子１の突出量ｄ１と同じように、貫入部３３１が検査点Ｂに貫入した際に第二導電部３２が検査点Ｂに当接する量が突出されている。
この第三接触子３の第一導電部３１の突出量ｄ３１が、少なくとも上記の如き量（長さ）に設けられることによって、まず、後述する第一導電部３１の弾性部材３４が長軸方向に収縮する。このとき、第一導電部３１の貫入部３３１が検査点Ｂへ貫入するとともに、圧接状態で検査点Ｂに貫入される。
また、この場合、第一導電部３１が圧接状態であるとともに第二導電部３２が検査点Ｂに当接することになる。
更に、第三接触子３を押圧することによって、第三接触子３の第二導電部３２の第二弾性部３２１が収縮する。この第二弾性部３２１が収縮することによって、第二弾性部３２１が付勢状態となり第二導電部３２も電極部ＥＰと検査点Ｂと圧接することになる。
【００７２】
弾性部材３４は、上記の一対の棒状部材３３を連結する部材であり、棒状部材３３の長軸方向の摺動を可能とする弾性変形部材である。この弾性部材３４は、長軸方向に収縮することにより付勢状態となる部材を用いることができ、スプリング、ゴムや合成樹脂などを例示することができる。この弾性部材３４は、導電性の部材を用いる。
尚、この第三接触子３は、第二接触子２の第一導電部２１の弾性部材２４が導電性の部材で形成される場合と略同じ構成を有している。
【００７３】
第三接触子３を用いた場合の動作を説明する。
図１２は、本発明に係る第三接触子３を用いた場合を示している。
まず、第三接触子３の一方の棒状部材３３を検査点Ｂに接触させる。また、他方の棒状部材３３を電極部ＥＰへ接触させる。このとき、まず棒状部材３３の貫入部３３１が検査点Ｂに当接すると、弾性部材３４が長軸方向に収縮して、更に第三接触子３が押圧されることによって貫入部３３１が検査点Ｂに貫入される。この場合、弾性部材３４が付勢状態となるので、第一導電部３１の両棒状部材３３は、検査点Ｂ及び電極部ＥＰに対して圧接された状態となる。
ここで、更に第三接触子３が押圧されると、貫入部３３１が検査点Ｂに貫入される。このとき、第二導電部３２は検査点Ｂに当接された状態となる。
更に、第三接触子３が押圧されると第二導電部３２の第二弾性部３２１と第一導電部３１の弾性部材３４が長軸方向に夫々収縮する。この場合、弾性部材３４及び第二弾性部３２１が長軸方向外向きの付勢状態となり、第一導電部３１及び第二導電部３２は、検査点Ｂ及び電極部ＥＰに対して圧接された状態となる（図１２参照）。
したがって、第一導電部３１及び第二導電部３２ともに、夫々が検査点Ｂ及び電極部ＥＰに対して圧接された状態となり、確実に電気信号を受信することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明に係る第一実施形態の基板検査接触子を示し、（ａ）は分解図、（ｂ）は組立図である。
【図２】本発明に係る第一実施形態の基板検査接触子の一端の断面図である。
【図３】（ａ）は、本発明に係る第一実施形態の基板検査接触子を用いた場合の一実施形態を示す断面図であり、（ｂ）は、本発明に係る第一実施形態の基板検査接触子を用いた場合の他の実施形態を示す断面図である。
【図４】検査点の一実施形態を示す側面図である。
【図５】本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触子をコイニングされた検査点に用いる場合の断面図である。
【図６】本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触子を用いた場合の様子を示している。
【図７】本発明に係る第二実施形態の基板検査用接触子を示しており、（ａ）は分解図、（ｂ）は組立図を示している。
【図８】本発明に係る第二実施形態の基板検査接触子を使用した場合を示しており、第二実施形態の基板検査用接触子の第一導電部の様子を示している。
【図９】第二実施形態の基板検査用接触子の断面図を示し、（ａ）は弾性部材が導電性である場合を示しており、（ｂ）は弾性部材が非導電性である場合を示している。
【図１０】本発明に係る第二実施形態の基板検査接触子を用いた場合を示している。
【図１１】本発明に係る第一実施形態の基板検査接触子を示し、（ａ）は分解図、（ｂ）は組立図である。
【図１２】本発明に係る第三実施形態の基板検査接触子を用いた場合を示している。
【符号の説明】
【００７５】
１・・・・・第一実施形態の基板検査用接触子
１１・・・・第一導電部
１２・・・・第二導電部
１１１・・・貫入部
２・・・・・第二実施形態の基板検査用接触子
２１・・・・第一導電部
２２・・・・第二導電部
２３・・・・棒状部材
２４・・・・弾性部材
３・・・・・第三実施形態の基板検査用接触子
３１・・・・第一導電部
３２・・・・第二導電部
３３・・・・棒状部材
３４・・・・弾性部材
３２１・・・第二弾性部
【図１】
2007205808.tif 000004
【図２】
2007205808.tif 000005
【図３】
2007205808.tif 000006
【図４】
2007205808.tif 000007
【図５】
2007205808.tif 000008
【図６】
2007205808.tif 000009
【図７】
2007205808.tif 000010
【図８】
2007205808.tif 000011
【図９】
2007205808.tif 000012
【図１０】
2007205808.tif 000013
【図１１】
2007205808.tif 000014
【図１２】
2007205808.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月25日(2006.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、
前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する棒状又は針状の形状を有し、
前記第二導電部は、可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、前記第一導電部を内部に収容するとともに、該筒状部材の内径は収容部全長に亘って該第一導電部との間に隙間が生じる大きさに形成され、
前記基板検査用接触子が使用時において、前記検査点に第一導電部及び前記第二導電部が接触していることを特徴とする基板検査用接触子。
【請求項２】
前記第一導電部と前記第二導電部が、同軸となるように形成される請求項１に記載の基板検査用接触子。
【請求項３】
前記第一導電部は、前記検査点に貫入する貫入部を有し、
前記貫入部が前記検査点に貫入した際に前記第二導電部が該検査点に当接するように、前記第一導電部が前記検査点側へ該第二導電部よりも突出していることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査用接触子。
【請求項４】
前記第一導電部が突出する突出量が、前記第一導電部と前記第二導電部の距離を基に算出されていることを特徴とする請求項３に記載の基板検査用接触子。
【請求項５】
前記第一導電部は、導電性且つ可撓性を有する一対の棒状部材と、該棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する導電性の弾性部材からなることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の基板検査用接触子。
【請求項６】
前記第一導電部は、導電性且つ可撓性を有する一対の棒状部材と、該棒状部材を連結するとともに長軸方向に伸縮する非導電性の弾性部材からなり、
前記第二導電部の内側表面に、前記一対の棒状部材を電気的に接続する導電層が形成されてなることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の基板検査用接触子。
【請求項７】
一方の前記棒状部材には、前記検査点に貫入する貫入部が形成され、
前記貫入部が前記検査点に貫入した際に前記第二導電部が該検査点に当接するように、前記第一導電部が前記検査点側へ前記第二導電部から突出していることを特徴とする請求項５又は６に記載の基板検査用接触子。
【請求項８】
前記第二導電部が、長軸方向に摺動する弾性機構を有することを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載の基板検査接触子。
【請求項９】
前記第二導電部は、先細り形状に形成される請求項１乃至８いずれかに記載の基板検査用接触子。
【請求項１０】
前記貫入部が、尖鋭形状に形成されていることを特徴とする請求項３又は７に記載の基板検査用接触子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項１記載の発明は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する棒状又は針状の形状を有し、前記第二導電部は、可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、前記第一導電部を内部に収容するとともに、該筒状部材の内径は収容部全長に亘って該第一導電部との間に隙間が生じる大きさに形成され、前記基板検査用接触子が使用時において、前記検査点に第一導電部及び前記第二導電部が接触していることを特徴とする基板検査用接触子を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月6日(2007.3.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、
前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する棒状又は針状の形状を有し、
前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、前記第一導電部と前記第二導電部の内周面との間には長さ方向の全長に亘って隙間が形成され、
前記基板検査用接触子が使用時において、前記検査点に第一導電部及び前記第二導電部が接触していることを特徴とする基板検査用接触子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項１記載の発明は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する棒状又は針状の形状を有し、前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、前記第一導電部と前記第二導電部の内周面との間には長さ方向の全長に亘って隙間が形成され、前記基板検査用接触子が使用時において、前記検査点に第一導電部及び前記第二導電部が接触していることを特徴とする基板検査用接触子を提供する。