(57)【要約】【課題】  搬送材をローラコンベアポートの停止位置に精度良く停止できるローラコンベアポート及び搬送材の位置決め方法を提供する。【解決手段】  搬送方向Ｃに向けて延びる駆動ローラモジュール２１と、駆動ローラモジュール２１の制御装置２２と、搬送材５５の位置を検出する位置検出手段４１、４２とからなるローラコンベアポート２０であって、少なくとも一対の位置検出手段４１、４２が搬送方向Ｃに縦列に配置され、一方の位置検出手段４１が検出状態となり、他方の位置検出手段４２が非検出状態となったことを以って、搬送材５５が停止位置４０まで搬送されたと判断することを特徴とする。【選択図】  図１
2007039182.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送方向に向けて延びる駆動ローラモジュールと、該駆動ローラモジュールの制御装置と、搬送材の位置を検出する位置検出手段とからなるローラコンベアポートであって、
少なくとも一対の前記位置検出手段が前記搬送方向に縦列に配置され、一方の前記位置検出手段が検出状態となり、他方の前記位置検出手段が非検出状態となったことを以って、前記搬送材が停止位置まで搬送されたと判断することを特徴とするローラコンベアポート。
【請求項２】
前記位置検出手段が位置検出センサであるとともに、一方の前記位置検出センサと他方の前記位置検出センサとが、互いに異なる出力信号を発信することを特徴とする請求項１に記載のローラコンベアポート
【請求項３】
前記位置検出センサが、発光素子と受光素子とからなるフォトセンサであり、一方の前記フォトセンサと他方の前記フォトセンサとで前記発光素子と前記受光素子とが互いに異なる配置とされていることを特徴とする請求項２に記載のローラコンベアポート。
【請求項４】
前記位置検出センサが、超音波発信機と超音波受信機とから構成されていることを特徴とする請求項２に記載のローラコンベアポート。
【請求項５】
前記位置検出センサが磁気センサで構成され、前記搬送材に磁性部材が備えられていることを特徴とする請求項２に記載のローラコンベアポート。
【請求項６】
前記搬送方向に配置された一対の前記位置検出手段が、前記搬送材に設けられた検出部材と、該検出部材に形成された透過孔と、ひとつのフォトセンサとで構成されていることを特徴とする請求項１に記載のローラコンベアポート。
【請求項７】
搬送方向に延びるローラコンベアによって搬送される搬送材の停止位置を決定する搬送材の位置決め方法であって、
少なくとも一対の位置検出手段が前記搬送方向に縦列に配置され、一方の前記位置検出手段が検出状態となり、他方の前記位置検出手段が非検出状態となったことを以って、前記搬送材が前記停止位置まで搬送されたと判断することを特徴とする搬送材の位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送材を所定の停止位置に精度良く停止できるローラコンベアポート及び搬送材の位置決め方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体の製造工場においては、半導体基板が収容されたキャリアなどを搬送する搬送システムとして、ＯＨＳ（Ｏｖｅｒ  Ｈｅａｄ  Ｓｈｕｔｔｌｅ）、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）及びローラコンベアが広く使用されている（特許文献１参照）。
ここで、ローラコンベアにおいては、半導体装置やストッカーの手前にローラコンベアポートが設けられ、このローラコンベアポートに静置されたキャリアが、移載ロボットを使用して半導体装置やストッカーに移載されるのである。この移載ロボットによる移載作業を安定的に行うためには、ローラコンベアポート上におけるキャリアの停止位置精度が問題となる。
【０００３】
図９に、従来のローラコンベアポートの一例を示す。
ローラコンベアポート１は、駆動ローラモジュール２と、この駆動ローラモジュール２の制御装置３と、フォトセンサ４とを有している。
駆動ローラモジュール２は、複数の駆動ローラ５と、この駆動ローラ５の駆動手段６と、駆動ローラ５に対向するように配置された従動ローラ７と、駆動ローラ５及び従動ローラ７を支持するローラ支持フレーム８とを有する。
【０００４】
一対のローラ支持フレーム８が互いに対向するように平行に、かつ、搬送方向Ｃに向けて延びるように配置されている。
ローラ支持フレーム８には、複数のローラ軸９が回動自在に支持されており、このローラ軸９の外周面に荷受部１０が設けられ、この荷受部１０のローラ支持フレーム８側には、荷受部１０よりも一段大径の鍔部１１が形成されている。
【０００５】
駆動ローラ５が支持されるローラ支持フレーム８には、駆動ローラ５を駆動する駆動手段６として、モータ１２とこのモータ１２の駆動軸とローラ軸９とを連結するタイミングベルト１３とタイミングベルト１３の張力を維持するテンションローラ１４とが備えられている。
【０００６】
また、ローラコンベアポート１に備えられたフォトセンサ４は、発光素子４Ａと受光素子４Ｂとから構成されている。ローラ支持フレーム８にセンサホルダ１５が設けられ、駆動ローラ５が支持されるローラ支持フレーム８のセンサホルダ１５に発光素子４Ａが固定され、従動ローラ７が支持されるローラ支持フレーム８のセンサホルダ１５に受光素子４Ｂが固定されている。そして、この発光素子４Ａから照射されるビーム１６の位置がキャリア１８の停止位置１７とされている。
【０００７】
このように構成されたローラコンベアポート１では、駆動ローラ５及び従動ローラ７の荷受部１０上にキャリア１８が載置される。この状態で、モータ１２を駆動させることによりタイミングベルト１３が周回移動し、複数の駆動ローラ５が同期して回転して駆動ローラ５及び従動ローラ７の上に載置されたキャリア１８が搬送方向Ｃに向けて搬送されることになる。
【０００８】
キャリア１８がフォトセンサ４の部分まで搬送されて、発光素子４Ａから照射されているビーム１６をキャリア１８が遮断してフォトセンサ４から出力信号を得た時点でモータ１２を停止させて、キャリア１８を停止位置１７で停止させるものである。
【特許文献１】特表２００３−５２４５４４号公報
【特許文献２】特開２００１−３１２３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、ひとつのフォトセンサ４を備えた従来のローラコンベアポート１では、発光素子４Ａからのビーム径及びビームの指向性の問題から、停止位置１７に対して精度良く、例えば±１ｍｍの範囲内で停止させることは困難であった。
また、モータ１２を停止させた後も慣性力によってキャリア１８が動いてしまい、停止位置１７を越えてしまう場合があった。これを防止するために、キャリア１８を早期に検出できるようにフォトセンサ４の検出レベルを過度に低くした場合には、キャリア１８が停止位置１７よりも手前側で停止してしまうことがあった。
【００１０】
本発明は、上述の事情に鑑みてなされたものであって、搬送材をローラコンベアポートの停止位置に精度良く停止できるローラコンベアポート及び搬送材の位置決め方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、搬送方向に向けて延びる駆動ローラモジュールと、該駆動ローラモジュールの制御装置と、搬送材の位置を検出する位置検出手段とからなるローラコンベアポートであって、少なくとも一対の前記位置検出手段が前記搬送方向に縦列に配置され、一方の前記位置検出手段が検出状態となり、他方の前記位置検出手段が非検出状態となったことを以って、前記搬送材が停止位置まで搬送されたと判断することを特徴としている。
【００１２】
この構成のローラコンベアポートによれば、一対の位置検出手段が搬送方向に配置されており、２つの位置検出手段によって搬送材の停止位置を決定するので、ひとつの位置検出手段で決定する場合に比べて、搬送材を所定の停止位置に精度良く停止させることができる。よって、例えば移載ロボットなどによる搬送材の受け渡し作業を安定して行うことができる。
【００１３】
請求項２に係る発明は、前記位置検出手段が位置検出センサであるとともに、一方の前記位置検出センサと他方の前記位置検出センサとが、互いに異なる出力信号を発信することを特徴としている。
この構成のローラコンベアポートによれば、一対の位置検出センサが配置されているので、一対の位置検出センサ間に搬送材の先端部が位置するようにして搬送材を停止させることができる。ここで、他方の位置検出センサによって搬送材が停止位置を越えたことを検出できるので、一方の位置検出センサの検出レベルを高くして搬送材の検出タイミングを遅くすることができ、搬送材が停止位置の手前側で停止することを防止でき、搬送材を精度良く停止させることができる
また、位置検出センサ間の距離を小さくすることにより、搬送材の停止位置のばらつきを小さく抑えることができる。
【００１４】
また、一方の位置検出センサと他方の位置検出センサとが、検出状態及び非検出状態で互いに異なる出力信号を発信する構成とされているので、一方の位置検出センサと他方の位置検出センサがともにハイレベル（Ｈ）出力信号を発信したときに搬送材が停止位置に載置されたと判断して、搬送材を次の工程に移行させることできる。したがって、ノイズや回路トラブルによってローレベル（Ｌ）出力信号が発信されても次の工程に移行しないため、誤動作を避けることができ、ローラコンベアポートの動作を安定して行うことができる。
また、一対の位置検出センサが設けられているので、１つの位置検出センサが故障した場合に、これらの位置検出センサの出力信号のパターンを解析することにより位置検出センサの故障を早期に確認することができる。
【００１５】
請求項３に係る発明は、前記位置検出センサが、発光素子と受光素子とからなるフォトセンサであり、一方の前記フォトセンサと他方の前記フォトセンサとで前記発光素子と前記受光素子とが互いに異なる配置とされていることを特徴としている。
この構成のローラコンベアポートによれば、発光素子と受光素子とで構成されたフォトセンサによって搬送材の位置検出を行うことができる。また、一方のフォトセンサと他方のフォトセンサとで発光素子と受光素子との配置を逆にしているので、例えば一方のフォトセンサの発光素子から照射されたビームを他方のフォトセンサの受光素子が受けて誤作動するおそれがなく、この２つのフォトセンサ間の距離を小さくすることができる。よって、搬送材の停止位置精度をさらに向上させることができる。
【００１６】
請求項４に係る発明は、前記位置検出センサが、超音波発信機と超音波受信機とから構成されていることを特徴としている。
この構成のローラコンベアポートによれば、超音波発信機と超音波受信機とによって搬送材の位置検出を確実に行うことができ、搬送材を停止位置に精度良く停止させることができる。
【００１７】
請求項５に係る発明は、前記位置検出センサが磁気センサで構成され、前記搬送材に磁性部材が備えられていることを特徴としている。
この構成のローラコンベアポートによれば、搬送材に備えられた磁性部材を磁気センサによって検出できるので、搬送材の位置検出を確実に行うことができ、搬送材を停止位置に精度良く停止させることができる。
【００１８】
請求項６に係る発明は、前記搬送方向に配置された一対の前記位置検出手段が、前記搬送材に設けられた検出部材と、該検出部材に形成された透過孔と、ひとつのフォトセンサとで構成されていることを特徴としている。
この構成のローラコンベアポートによれば、検出部材又は搬送材によって発光素子からのビームが一度遮断された後に、透過孔によってビームが通過して受光素子に届くことになる。ここで、発光素子からのビームが遮断された出力信号を受けた時点でローラコンベアの停止準備をして、透過孔を検出した時点で停止させることにより、搬送材を停止位置に精度良く停止させることができる。
【００１９】
請求項７に係る発明は、搬送方向に延びるローラコンベアによって搬送される搬送材の停止位置を決定する搬送材の位置決め方法であって、少なくとも一対の位置検出手段が前記搬送方向に縦列に配置され、一方の前記位置検出手段が検出状態となり、他方の前記位置検出手段が非検出状態となったことを以って、前記搬送材が前記停止位置まで搬送されたと判断することを特徴としている。
この構成の位置決め方法によれば、２つの位置検出手段を使用することにより搬送材の停止位置を精度良く決定することができる。
【発明の効果】
【００２０】
上述のように、本発明によれば、搬送材をローラコンベアポートの停止位置に精度良く停止させることができるローラコンベアポート及び搬送材の位置決め方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の第１の実施形態について添付した図面を参照して説明する。図１から図３に本発明の第１の実施形態であるローラコンベアポートを示す。図４に本発明のローラコンベアポートが用いられる例えば半導体製造工場の搬送システム全体を示す。
図４に示す搬送システム５０は、工場内を大きく周回する工程間軌道５１と、この工程間軌道５１から分岐するように設けられた４つの工程内軌道５２とを有する。
【００２２】
工程間軌道５１は、上面視して長方形をなしており、４つの直線コンベア５３とこれら直線コンベア５３が交差する部分にコーナターンテーブル５４が備えられている。この直線コンベア５３の上には、半導体基板が収容されたキャリア５５が載置されており、このキャリア５５が直線コンベア５３上を移動し、コーナターンテーブル５４で９０°回転されることで、工程間軌道５１を周回できる構成とされている。本実施形態では、図４に示すようにキャリア５５は周回方向Ｘに向けて周回移動されている。
【００２３】
工程間軌道５１と工程内軌道５２との間には、工程間軌道５１と工程内軌道５２とを連結する一対の軌道間ポート５７が設けられており、工程間軌道５１及び工程内軌道５２のうち軌道間ポート５７と連接する部分にはそれぞれターンテーブル５６が備えられている。工程間軌道５１を周回するキャリア５５が工程間軌道５１に備えられたターンテーブル５６の上に載置されて９０°回転され、軌道間ポート５７を介して工程内軌道５２に備えられたターンテーブル５６に搬送される。このようにして、キャリア５５が工程間軌道５１から工程内軌道５２へと移送される。
【００２４】
工程内軌道５２は、図４に示すように上面視して長方形をなしており、４つの直線コンベア５３とこれら直線コンベア５３が交差する部分にコーナターンテーブル５４が備えられており、キャリア５５が工程内軌道５２を周回方向Ｙに向けて周回する構成とされている。また、工程内軌道５２には、直線コンベア５３から分岐するように複数（本実施形態では図４に示すように６つ）の半導体装置５８が備えられている。
【００２５】
工程内軌道５２と半導体装置５８との間には、搬入ターンテーブル５９、搬入コンベアポート６０及び搬出コンベアポート６１、搬出ターンテーブル６２が設けられている。工程内軌道５２を搬送されてきたキャリア５５が搬入ターンテーブル５９で９０°回転され、搬入コンベアポート６０へ移送される。ここで、図示しない移載ロボットによりキャリア５５が半導体装置５８の中に移載される。半導体装置５８で加工等された後に、キャリア５５が搬出コンベアポート６１に載置され、搬出ターンテーブル６２を介して工程内軌道５２へと戻る。そして、次の半導体装置５８へと搬送されていく。
【００２６】
工程内軌道５２内での加工が終了したキャリア５５は、工程内軌道５２に備えられたターンテーブル５６の上に載置されて９０°回転され、軌道間ポート５７を介して工程間軌道５１に備えられたターンテーブル５６に搬送される。これにより、キャリア５５が工程内軌道５２から工程間軌道５１へと移送され、次工程へと移送されていくのである。
【００２７】
ここで、半導体装置５８への搬入コンベアポート６０として、図１に示すローラコンベアポート２０が使用される。
ローラコンベアポート２０は、駆動ローラモジュール２１と、この駆動ローラモジュール２１の制御装置２２とを有しており、位置検出センサとして一対のフォトセンサ４１、４２が備えられている。
駆動ローラモジュール２１は、複数の駆動ローラ２３と、この駆動ローラ２３の駆動手段２４と、駆動ローラ２３に対向するように配置された従動ローラ２５と、駆動ローラ２３を支持する駆動ローラ支持フレーム２６と、従動ローラ２５を支持する従動ローラ支持フレーム２７とを有する。
【００２８】
図１及び図２に示すように、駆動ローラ支持フレーム２６と従動ローラ支持フレーム２７とが互いに対向するように平行に、かつ、搬送方向Ｃに向けて延びるように配置されている。
駆動ローラ支持フレーム２６には、複数のローラ軸２８が回動自在に支持されており、このローラ軸２８の外周面に荷受部２９が設けられ、この荷受部２９の駆動ローラ支持フレーム２６側には、荷受部２９よりも一段大径の鍔部３０が形成されている。また、荷受部２９の外周面には円筒状のウレタンゴム３１が嵌合されている。
【００２９】
また、駆動ローラ支持フレーム２６には、駆動ローラ２３を駆動する駆動手段２４が備えられている。駆動手段２４は、図３に示すように、モータ３２とこのモータ３２の駆動軸３３に固定されたスプロケット３４とローラ軸２８に備えられた歯付プーリ３５とテンションローラ３６とこれらスプロケット３４、歯付プーリ３５及びテンションローラ３６を連結するタイミングベルト３７とで構成されている。
【００３０】
タイミングベルト３７は無端ベルトとされており、内周面が歯付プーリ３５及びスプロケット３４の外周面に形成された歯部と係合可能な歯状面とされ、外周面は平滑面とされている。タイミングベルト３７の内周面が歯付プーリ３５及びスプロケット３４に係合されるとともに、外周面にテンションローラ３６が掛合されている。
【００３１】
また、従動ローラ支持フレーム２７には、駆動ローラ支持フレーム２６と同様にローラ軸２８、荷受部２９、鍔部３０及びウレタンゴム３１が備えられている。
【００３２】
このローラコンベアポート２０には、位置検出センサとして、一対のフォトセンサ４１、４２が備えられている。フォトセンサ４１、４２は発光素子４１Ａ、４２Ａと受光素子４１Ｂ、４２Ｂとから構成されており、発光素子４１Ａ、４２Ａから照射されるビーム４３を受光素子４１Ｂ、４２Ｂが受けることで発光素子４１Ａ、４２Ａと受光素子４１Ｂ、４２Ｂとの間に物体が存在するか否かを判断するものである。
また、フォトセンサ４１、４２では、物体の有無を検出する際のスレッシュホールド値を調整することにより、検出レベルを調整することができる。
【００３３】
第１フォトセンサ４１は、駆動ローラ支持フレーム２６に設けられたセンサホルダ３８に発光素子４１Ａが固定され、対向する従動ローラ支持フレーム２７に設けられたセンサホルダ３８に受光素子４１Ｂが固定されている。一方、第２フォトセンサ４２は、駆動ローラ支持フレーム２６に設けられたセンサホルダ３８に受光素子４２Ｂが固定され、対向する従動ローラ支持フレーム２７に設けられたセンサホルダ３８に発光素子４２Ａが固定されている。
つまり、第１フォトセンサ４１と第２フォトセンサ４２とで、発光素子４１Ａ、４２Ａと受光素子４１Ｂ、４２Ｂとが互いに異なるように配置されているのである。
【００３４】
本実施形態では、図１に示すようにキャリア５５の停止位置４０を挟み込むようにして一対のフォトセンサ４１、４２が配置されている。停止位置４０よりも搬送方向Ｃ後方側、つまり停止位置４０よりも手前側に第１フォトセンサ４１が配置され、停止位置４０よりも搬送方向Ｃ前方側、つまり停止位置４０よりも奥側に第２フォトセンサ４２が配置されているのである。
【００３５】
また、第１フォトセンサ４１では、受光素子４１Ｂがビーム４３を受けている場合にはローレベル（Ｌ）出力信号を発信し、物体を検出した場合にハイレベル（Ｈ）出力信号を発信するように構成されている。一方、第２フォトセンサ４２では、第１フォトセンサ４１とは逆に、受光素子４２Ｂがビーム４３を受けている場合にはハイレベル（Ｈ）出力信号を発信し、物体を検出した場合にローレベル（Ｌ）出力信号を発信するように構成されている。
【００３６】
このように構成されたローラコンベアポート２０では、駆動ローラ２３及び従動ローラ２５のウレタンゴム３１の上にキャリア５５が載置される。この状態で、モータ３２の駆動軸３３を駆動させることによりスプロケット３４が回転され、この回転に伴ってタイミングベルト３７が周回移動し、複数の駆動ローラ２３が同期して回転することになり、駆動ローラ２３及び従動ローラ２５の上に載置されたキャリア５５が搬送方向Ｃに向けて搬送される。ここで、駆動ローラ２３及び従動ローラ２５に形成された鍔部３０は、キャリア５５がローラコンベアポート２０から側方へ落下しないためのガイドの役割を果たしている。
【００３７】
第１フォトセンサ４１がキャリア５５を検出してハイレベル（Ｈ）出力信号を発信し、第２フォトセンサ４２がキャリア５５を検出せずにハイレベル（Ｈ）出力信号を発信したことで、キャリア５５が停止位置４０まで搬送されたと判断し、モータ３２を停止させてキャリア５５を停止させる。
停止位置４０で停止されたキャリア５５は、図示しない移載ロボットによって半導体装置５８へと移送される。
【００３８】
この構成のローラコンベアポート２０では、停止位置４０を挟みこむように第１フォトセンサ４１と第２フォトセンサ４２とが配置されているので、キャリア５５が停止位置４０を超えた場合に、第２フォトセンサ４２にて停止位置４０を越えたことを検出してキャリア５５を搬送方向Ｃと反対側に戻すことができる。したがって、第１フォトセンサ４１の検出レベルを高くしてキャリア５５の検出タイミングを遅くすることができ、停止位置４０の手前側にキャリア５５が停止することを防止できる。よって、キャリア５５を停止位置４０に精度良く停止させることができる。
【００３９】
また、本実施形態では、第１フォトセンサ４１と第２フォトセンサ４２とで、受光素子４１Ｂ、４２Ｂと発光素子４１Ａ、４２Ａの配置を逆にしているので、第１フォトセンサ４１の発光素子４１Ａから照射されたビーム４３を第２フォトセンサ４２の受光素子４２Ｂが受けることがなく誤動作を防止できる。したがって、第１フォトセンサ４１と第２フォトセンサ４２との間隔を小さくすることができ、キャリア５５の停止位置４０のばらつきを小さく抑えることができる。
【００４０】
さらに、停止位置４０にキャリア５５が載置されたことを、第１フォトセンサ４１及び第２フォトセンサ４２ともにハイレベル出力となったことで判断するので、ノイズや回路トラブルによる誤動作を避けることができ、移載ロボットによるローラコンベアポート２０から半導体装置５８への受け渡しを安定して行うことができる。
なお、第１フォトセンサ４１と第２フォトセンサ４２とで異なる種類のフォトセンサを使用しても良い。例えば、第１フォトセンサ４１に赤色半導体レーザを使用し、第２フォトセンサ４２に青色半導体レーザを使用した場合には、第１フォトセンサ４１と第２フォトセンサ４２との相互干渉を確実に回避できるので好ましい。また、第１フォトセンサ４１及び第２フォトセンサ４２の発光素子４１Ａ、４２Ａと受光素子４１Ｂ、４２Ｂとを同じ配置としても相互干渉を回避できる。
【００４１】
次に、このローラコンベアポート２０を使用した他のキャリア５５の停止方法について説明する。キャリア５５がローラコンベアポート２０上を搬送され、第１フォトセンサ４１がキャリア５５を検出した時点で停止準備を行う。停止準備とは、モータ３２の回転速度を落として搬送速度を低下させることである。そして、第２フォトセンサ４２がキャリア５５を検出した時点でモータ３２を停止してキャリア５５を停止させる。そして、モータ３２を逆回転してキャリア５５を搬送方向Ｃと反対側に移送させ、第２フォトセンサ４２がキャリア５５を検出しなくなった時点でキャリア５５が停止位置４０に載置されたと判断するものである。
【００４２】
この方法では、第１フォトセンサ４１と第２フォトセンサ４２との間に確実にキャリア５５を停止させることができる。とくに、第１フォトセンサ４１の検出レベルを高くすることができない場合でも、キャリア５５が第１フォトセンサ４１の手前側で停止してしまうことを防止できるので効果的である。  
【００４３】
この停止方法におけるフォトセンサ４１、４２の故障診断方法について説明する。この停止方法における正常時の出力信号のパターン（第１フォトセンサ４１の出力信号／第２フォトセンサの出力信号）は次のようになる。
第１フォトセンサ４１及び第２フォトセンサ４２がともにキャリア５５を検出していない場合には、（Ｌ／Ｈ）となりキャリア５５が搬送される。第１フォトセンサ４１がキャリア５５を検出すると、（Ｈ／Ｈ）となり停止準備を行う。第２フォトセンサ４２がキャリア５５を検出すると、（Ｈ／Ｌ）となりコンベアが停止される。そして再び（Ｈ／Ｈ）となるまでキャリア５５が逆送される。つまり、第１フォトセンサ４１及び第２フォトセンサ４２の出力信号の変化は、（Ｌ／Ｈ）→（Ｈ／Ｈ）→（Ｈ／Ｌ）→（Ｈ／Ｈ）となるのである。
【００４４】
ここで、第１フォトセンサ４１が故障して常時出力がＨであった場合には、キャリア５５を搬送する前から（Ｈ／Ｈ）となっているために第１フォトセンサ４１の故障を確認することができる。
第１フォトセンサ４１が故障して常時出力がＬであった場合には、キャリア５５が第１フォトセンサ４１のビーム４３を遮断しても（Ｌ／Ｈ）のままでありキャリア５５が搬送されていく。キャリア５５が第２フォトセンサ４２のビーム４３を遮断した時点で出力が（Ｌ／Ｌ）となる。この時点で第１フォトセンサ４１の故障を確認できる。
【００４５】
第２フォトセンサ４２が故障して常時出力がＬであった場合には、キャリア５５を搬送する前から（Ｌ／Ｌ）となっているために第２フォトセンサ４２の故障を確認できる。
第２フォトセンサ４２が故障して常時出力がＨであった場合には、キャリア５５が第１フォトセンサ４１のビーム４３を遮断した時点で（Ｈ／Ｈ）となり停止準備となる。このままキャリア５５が搬送されて第２フォトセンサ４２のビーム４３を遮断した時点でも（Ｈ／Ｈ）のままであり、さらにキャリア５５が搬送されてキャリア５５が第１フォトセンサ４１のビーム４３を遮断しなくなった時点で（Ｌ／Ｈ）となる。この時点で第２フォトセンサ４２の故障を確認できる。
【００４６】
このように第１フォトセンサ４１及び第２フォトセンサ４２の出力信号の変化を監視することで第１フォトセンサ４１及び第２フォトセンサ４２の故障を早期に確認することができる。したがって、このローラコンベアポート２０による搬送及びキャリア５５の停止を安定して行うことができる。
【００４７】
次に、本発明の第２の実施形態であるローラコンベアポートについて説明する。なお、第１の実施形態と同じ部材には同一の符号を付して説明を省略し、相違点のみを説明する。図５及び図６に第２の実施形態であるローラコンベアポートを示す。
このローラコンベアポート７０では、位置検出センサとしてフォトセンサの代わりに磁気センサ７１、７２が駆動ローラ２３と従動ローラ２５との間に配置されており、搬送方向Ｃ手前側に第１磁気センサ７１が位置し、搬送方向Ｃ奥側に第２磁気センサ７２が位置している。
【００４８】
搬送されるキャリア５５の底面には、磁性材料７３が備えられている。この磁性材料７３の搬送方向Ｃの長さは、磁気センサ７１、７２の搬送方向Ｃの長さよりも短くされている。
この構成のローラコンベアポート７０では、第１磁気センサ７１が磁性材料７３を検出した時点でモータ３２を停止してキャリア５５を停止位置で停止させることができる、キャリア５５が停止位置を越えた際には第２磁気センサ７２が磁性材料７３を検出するため、キャリア５５を停止位置に精度良く停止させることができる。
【００４９】
また、第１の実施形態であるローラコンベアポート２０と同様に、第１磁気センサ７１がキャリア５５を検出した時点で停止準備を行い、第２磁気センサ７２がキャリア５５を検出した時点でモータ３２を停止してキャリア５５を停止させることもできる。そして、モータ３２を逆回転してキャリア５５を搬送方向Ｃと反対側に移送させ、第２磁気センサ７２がキャリア５５を検出しなくなった時点でキャリア５５が停止位置に載置されたと判断する。これにより、キャリア５５を停止位置に精度良く停止させることができる。
【００５０】
次に、本発明の第３の実施形態であるローラコンベアポートについて説明する。なお、第１の実施形態と同じ部材には同一の符号を付して説明を省略し、相違点のみを説明する。図７に第３の実施形態であるローラコンベアポートを示す。
このローラコンベアポート８０には、フォトセンサ８１がひとつだけ備えられており、駆動ローラ支持フレーム２６に設けられたセンサホルダ３８に発光素子８１Ａが固定され、従動ローラ支持フレーム２７に設けられたセンサホルダ３８に受光素子８１Ｂが固定されている。
【００５１】
キャリア５５には、図７に示すように、検出部材として搬送方向Ｃ前方側に向けて突出する検出板８２が、キャリア５５の両側面に設けられており、この検出板８２には透過孔８３が形成されている。
この構成のローラコンベアポート８０では、フォトセンサ８１がキャリア５５の検出板８２を検出した時点で停止準備を行い、発光素子８１Ａからのビーム４３が透過孔８３を通過して受光素子８１Ｂに届いた時点でモータ３２を停止することによりキャリア５５を停止位置に精度良く停止させることができるものである。キャリア５５が停止位置を越えた場合には、ビーム４３がキャリア５５によって遮断されることにより判断されるので、モータ３２を逆回転させてキャリア５５を停止位置まで逆送させることができる。
【００５２】
ここで、透過孔８３の大きさを変更することにより、停止位置の精度を上げることができる。よって、図８に示すように、検出板８２に透過孔８３の幅を調整できる調整機構を設けてもよい。透過孔８３の一部を遮断できるように調整板８４を配置し、この調整板８４に調整方向に延びる長孔８５を形成して、この調整板８４をビス８６にて検出板８２に固定する。この調整板８４を長孔８５に沿って移動させることにより、透過孔８３の大きさを変更して、キャリア５５の停止位置精度を調整することができる。
【００５３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、その発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、半導体製造工場で半導体基板が収容されたキャリアを搬送する搬送システムに使用されるローラコンベアポートとして説明したが、これに限定されることはなく、他の搬送システムに使用するものであってもよい。
また、ローラコンベアの駆動手段についても、本実施形態に限定されることはなく、他の駆動手段を用いたものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１の実施形態であるローラコンベアポートを示す斜視図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】図１におけるローラコンベアポートに備えられた駆動ローラの駆動手段を示す図である。
【図４】図１のローラコンベアポートが使用される搬送システム全体図である。
【図５】本発明の第２の実施形態であるローラコンベアポートを示す正面図である。
【図６】図５の側面図である。
【図７】本発明の第３の実施形態であるローラコンベアポートを示す斜視図である。
【図８】図７における検出板の他の例を示す図である。
【図９】従来のローラコンベアポートを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５５】
２０、７０、８０  ローラコンベアポート
２１  駆動ローラモジュール
２２  制御装置
４０  停止位置
４１  第１フォトセンサ（一方の位置検出センサ）
４２  第２フォトセンサ（他方の位置検出センサ）
４１Ａ、４２Ａ  発光素子
４１Ｂ、４２Ｂ  受光素子
５５  キャリア（搬送材）
７１  第１磁気センサ
７２  第２磁気センサ
７３  磁性部材
８２  検出板（検出部材）
８３  透過孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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