(57)【要約】【課題】吸収帯の範囲がレーザ光の変調及び掃引可能な波長範囲より広い対象ガスの検出に適した光ファイバ式ガス濃度検出方法及び装置を提供する。【解決手段】レーザ光の変調と掃引をする光源部２のうち１個の掃引範囲は対象ガス吸収帯中心波長を含む範囲、２個の掃引範囲はそれより短波長側と長波長側に設定し、レーザ光を被測定雰囲気中に透過させて受光し、受光信号から１倍と２倍検波信号を計測し、両検波信号の比からなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求める。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光の波長及び強度を正弦波で変調しつつその変調中心波長を所定の掃引範囲内で直線的に掃引する３個以上の光源部を設けて、うち１個の光源部の掃引範囲は対象ガスの吸収帯の中心波長を含む範囲に設定し、２個の光源部の掃引範囲は対象ガスの吸収帯の中心波長より短波長側と長波長側に設定し、これらのレーザ光を被測定雰囲気中に透過させて受光し、その受光信号をそれぞれの掃引範囲ごとに位相敏感検波して１倍検波信号と２倍検波信号を計測し、これら１倍検波信号と２倍検波信号の比からなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求めることを特徴とする光ファイバ式ガス濃度検出方法。
【請求項２】
レーザ光の波長及び強度を正弦波で変調しつつその変調中心波長を所定の掃引範囲内で直線的に掃引する３個以上の光源部を設けて、うち１個の光源部の掃引範囲は対象ガスの吸収帯の中心波長を含む範囲に設定し、２個の光源部の掃引範囲は対象ガスの吸収帯の中心波長より短波長側と長波長側に設定し、これらのレーザ光を被測定雰囲気中に透過させて受光し、その受光信号をそれぞれの掃引範囲ごとに位相敏感検波して１倍検波信号を計測し、この１倍検波信号の傾きの大きさからなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求めることを特徴とする光ファイバ式ガス濃度検出方法。
【請求項３】
短波長側のガス信号波形と長波長側のガス信号波形とを結んだ直線を波高値の基準線とし、中心波長範囲のガス信号波形のうち上記基準線から最も高い値を波高値とすることを特徴とする請求項１又は２記載の光ファイバ式ガス濃度検出方法。
【請求項４】
レーザ光の波長及び強度を正弦波で変調しつつその変調中心波長を所定の掃引範囲内で直線的に掃引する光源部であって、掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長を含む範囲に設定した１個と掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長より短波長側と長波長側に設定した２個とを含む３個以上の光源部と、これらのレーザ光を被測定雰囲気中に透過させる光学系と、その透過光を受光し、その受光信号をそれぞれの掃引範囲ごとに位相敏感検波して１倍検波信号と２倍検波信号を計測し、これら１倍検波信号と２倍検波信号の比からなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求める信号処理部とを備えたことを特徴とする光ファイバ式ガス濃度検出装置。
【請求項５】
レーザ光の波長及び強度を正弦波で変調しつつその変調中心波長を所定の掃引範囲内で直線的に掃引する光源部であって、掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長を含む範囲に設定した１個と掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長より短波長側と長波長側に設定した２個とを含む３個以上の光源部と、これらのレーザ光を被測定雰囲気中に透過させる光学系と、その透過光を受光し、その受光信号をそれぞれの掃引範囲ごとに位相敏感検波して１倍検波信号を計測し、この１倍検波信号の傾きの大きさからなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求める信号処理部とを備えたことを特徴とする光ファイバ式ガス濃度検出装置。
【請求項６】
上記光学系は、各光源部からのレーザ光を合波する光合波器と、合波されたレーザ光を被測定雰囲気に導く光源部側光ファイバと、被測定雰囲気中を透過したレーザ光を信号処理部に導く受光側光ファイバとを備えたことを特徴とする請求項４又は５記載の光ファイバ式ガス濃度検出装置。
【請求項７】
各光源部に対して光源部を１つずつ順に選択するクロックを供給する選択クロック発生器を設けた請求項６記載の光ファイバ式ガス濃度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸収帯の範囲がレーザ光の変調及び掃引可能な波長範囲より広い対象ガスの検出に適した光ファイバ式ガス濃度検出方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガス分子は、特定波長（吸収帯という）のレーザ光を吸収する性質を持っており、この性質を利用してガスの有無を検出できる。このガス検出方法は、工業計測、公害監視などの分野で用いられる。このレーザ光を光ファイバで伝送することにより、ガスの遠隔検出ができる。
【０００３】
光ファイバ式ガス濃度検出方法及び装置が特許文献１に記載されている。この技術では、半導体レーザの駆動電流を所定の電流値を中心として高周波数の正弦波で変調することにより、波長及び強度が変調されたレーザ光を発振させる。このレーザ光を光ファイバに入射させガスセルに導き、ガスセル内の未知濃度のガスを透過させて、その透過光を光ファイバで受光器に導き、その受光信号を位相敏感検波して１倍検波信号と２倍検波信号を計測し、この１倍検波信号と２倍検波信号の比からなるガス信号を求め、このガス信号から対象ガスの濃度を求めている。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２５６７６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一方、半導体レーザの中心波長は安定させにくいという問題があるので、駆動電流を制御して中心波長を吸収帯の中心付近で掃引している。
【０００６】
しかしながら、半導体レーザを電流制御してレーザ光を変調及び掃引可能な波長範囲の大きさは、０．２ｎｍ〜１．４ｎｍ程度である。対象ガスの吸収帯の範囲が変調及び掃引可能な波長範囲より広い場合、濃度検出が難しくなる。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、吸収帯の範囲がレーザ光の変調及び掃引可能な波長範囲より広い対象ガスの検出に適した光ファイバ式ガス濃度検出方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明の方法は、レーザ光の波長及び強度を正弦波で変調しつつその変調中心波長を所定の掃引範囲内で直線的に掃引する３個以上の光源部を設けて、うち１個の光源部の掃引範囲は対象ガスの吸収帯の中心波長を含む範囲に設定し、２個の光源部の掃引範囲は対象ガスの吸収帯の中心波長より短波長側と長波長側に設定し、これらのレーザ光を被測定雰囲気中に透過させて受光し、その受光信号をそれぞれの掃引範囲ごとに位相敏感検波して１倍検波信号と２倍検波信号を計測し、これら１倍検波信号と２倍検波信号の比からなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求めるものである。
【０００９】
また、本発明の方法は、レーザ光の波長及び強度を正弦波で変調しつつその変調中心波長を所定の掃引範囲内で直線的に掃引する３個以上の光源部を設けて、うち１個の光源部の掃引範囲は対象ガスの吸収帯の中心波長を含む範囲に設定し、２個の光源部の掃引範囲は対象ガスの吸収帯の中心波長より短波長側と長波長側に設定し、これらのレーザ光を被測定雰囲気中に透過させて受光し、その受光信号をそれぞれの掃引範囲ごとに位相敏感検波して１倍検波信号を計測し、この１倍検波信号の傾きの大きさからなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求めるものである。
【００１０】
短波長側のガス信号波形と長波長側のガス信号波形とを結んだ直線を波高値の基準線とし、中心波長範囲のガス信号波形のうち上記基準線から最も高い値を波高値としてもよい。
【００１１】
本発明の装置は、レーザ光の波長及び強度を正弦波で変調しつつその変調中心波長を所定の掃引範囲内で直線的に掃引する光源部であって、掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長を含む範囲に設定した１個と掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長より短波長側と長波長側に設定した２個とを含む３個以上の光源部と、これらのレーザ光を被測定雰囲気中に透過させる光学系と、その透過光を受光し、その受光信号をそれぞれの掃引範囲ごとに位相敏感検波して１倍検波信号と２倍検波信号を計測し、これら１倍検波信号と２倍検波信号の比からなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求める信号処理部とを備えたものである。
【００１２】
また、本発明の装置は、レーザ光の波長及び強度を正弦波で変調しつつその変調中心波長を所定の掃引範囲内で直線的に掃引する光源部であって、掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長を含む範囲に設定した１個と掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長より短波長側と長波長側に設定した２個とを含む３個以上の光源部と、これらのレーザ光を被測定雰囲気中に透過させる光学系と、その透過光を受光し、その受光信号をそれぞれの掃引範囲ごとに位相敏感検波して１倍検波信号を計測し、この１倍検波信号の傾きの大きさからなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求める信号処理部とを備えたものである。
【００１３】
上記光学系は、各光源部からのレーザ光を合波する光合波器と、合波されたレーザ光を被測定雰囲気に導く光源部側光ファイバと、被測定雰囲気中を透過したレーザ光を信号処理部に導く受光側光ファイバとを備えてもよい。
【００１４】
各光源部に対して光源部を１つずつ順に選択するクロックを供給する選択クロック発生器を設けてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は次の如き優れた効果を発揮する。
【００１６】
（１）吸収帯の範囲がレーザ光の変調及び掃引可能な波長範囲より広い対象ガスを検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００１８】
図１に示されるように、本発明に係る光ファイバ式ガス濃度検出装置１は、レーザ光の波長及び強度を正弦波で変調しつつその変調中心波長を所定の掃引範囲内で直線的に掃引する光源部２ａ，２ｂ，２ｃであって、掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長を含む範囲に設定した１個（光源部２ｂ）と掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長より短波長側と長波長側に設定した２個（光源部２ａ，２ｃ）とを含む３個以上の光源部２ａ，２ｂ，２ｃと、これらのレーザ光を被測定雰囲気中に透過させる光学系３と、その透過光を受光し、その受光信号をそれぞれの掃引範囲ごとに位相敏感検波して１倍検波信号Ｋ（１ｆ）と２倍検波信号Ｋ（２ｆ）を計測し、これら１倍検波信号Ｋ（１ｆ）と２倍検波信号Ｋ（２ｆ）の比からなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求める信号処理部３１とを備えたものである。
【００１９】
この実施形態では、被測定雰囲気は、所定容積中に所定温度、所定圧力で未知濃度の対象ガスを充填し、所定透過光路長を有するガスセル４により提供される。ガスセル４に光源部２ａ，２ｂ，２ｃからの光を透過させて信号処理部に導くために、光学系３は、各光源部２ａ，２ｂ，２ｃからのレーザ光を合波する光合波器５と、分岐されたレーザ光をそれぞれのガスセル４に導く光源部側光ファイバ７と、ガスセル４を透過したレーザ光を信号処理部に導く受光側光ファイバ８とを備える。
【００２０】
この実施形態では、ガスセル４は複数箇所に設置される。よって、それぞれのガスセル４に光源部２ａ，２ｂ，２ｃからの光を透過させて信号処理部に集めるために、光学系３は、光合波器５の後段に合波されたレーザ光を複数に分岐する分岐器６を設け、その分岐されたレーザ光をそれぞれのガスセル４に導くよう複数の光源部側光ファイバ７と、それぞれのガスセル４を透過したレーザ光を信号処理部に導くよう複数の受光側光ファイバ８とを備える。
【００２１】
また、光源部側光ファイバ７のうち一つはガスセル４を介さず基準光路用として受光側光ファイバ８の一つに直接接続されている。各受光側光ファイバ８の出力の光路に、ｚ１，ｚ２，…ｚｎ−１，ｚｎの識別記号を付す。光路ｚ１は基準光路、光路ｚ２〜ｚｎはセンサ光路である。
【００２２】
図１に拡大して示されるように、光源部２ａ，２ｂ，２ｃに用いる光源部２は、三角波が繰り返し生じるように電圧を掃引する三角波掃引器２１と、その三角波の電圧に比例して電流が増減する直流のバイアス電流を発生させるバイアス電流源２２と、交流を遮断してバイアス電流を通過させるインダクタ２３と、所定の周波数ｆを有する変調用交流電流及び電圧を発生させる発信器２４と、発信器２４の電圧出力から２倍の周波数ｆを有する電圧を発生させる倍周器２５と、直流を遮断して変調用交流電流を通過させるコンデンサ２６と、インダクタ２３からのバイアス電流とコンデンサ２６からの変調用交流電流が重畳して印加されるレーザダイオードであるＤＦＢ−ＬＤ２７と、ＤＦＢ−ＬＤ２７を加熱・冷却するペルチェ素子２８と、そのペルチェ素子２８の温度を制御するペルチェ素子用電源２９とを備える。発信器２４からの出力Ａと倍周器２５からの出力は後述する信号処理部に提供される。
【００２３】
光源部２は、変調中心波長を掃引する掃引範囲をそれぞれ異ならせることにより、光ファイバ式ガス濃度検出装置１の光源部２ａ，２ｂ，２ｃとなる。各光源部２ａ，２ｂ，２ｃの変調周波数ｆは同じとする。光ファイバ式ガス濃度検出装置１には、各光源部２ａ，２ｂ，２ｃに対して光源部を１つずつ順に選択するクロックを供給する選択クロック発生器９が設けられている。選択クロック発生器９からのクロックは、信号処理部にも供給され、このクロックにより後述する計測の順番が与えられる。
【００２４】
信号処理部３１は、各受光側光ファイバ８に接続される複数の受光器３２と、その受光信号を光源部２からの出力Ａ，Ｂを利用して周波数ｆ，２ｆについて位相敏感検波することにより、１倍検波信号Ｋ（１ｆ）と２倍検波信号Ｋ（２ｆ）を得る複数の位相検波回路３３と、これら１倍検波信号Ｋ（１ｆ）と２倍検波信号Ｋ（２ｆ）を記憶する信号記憶部３４と、信号記憶部３４から読み出した信号を演算する演算部３５とを備える。この実施形態では、演算部３５は、１倍検波信号Ｋ（１ｆ）と２倍検波信号Ｋ（２ｆ）の比からなる掃引範囲ごとのガス信号波形を求め、これらガス信号波形を合成し、合成したガス信号波形から波高値を求め、この波高値から対象ガスの濃度を求める。この演算の詳細は、以下の動作説明において説明する。
【００２５】
図１の光ファイバ式ガス濃度検出装置１において、選択クロック発生器９が各光源部２ａ，２ｂ，２ｃに図４に示すようにクロックを送ると、各光源部２ａ，２ｂ，２ｃは、順次、クロックの立ち上がりから立ち下がりまでの時間に、以下のレーザ光送信動作を行う。
【００２６】
ここで、ある光源部では、選択クロック発生器９でクロックが立ち上がっている時間だけ三角波電流が流れ、そのときその他の光源部にはクロックが来ていない。このため他の光源部では、三角波電流が流れておらず、光源部としては駆動されていないので、上記ある光源部からのレーザ光送信に他の光源部からの影響はない。
【００２７】
レーザ光送信動作では、ペルチェ素子用電源２９によってペルチェ素子２８の温度を制御することにより、ＤＦＢ−ＬＤ２７の温度を一定に固定する。バイアス電流源２２は、三角波掃引器２１が出力する三角波の電圧に比例してバイアス電流を発生させる。これにより、バイアス電流は小さい値から大きい値へ一方向に掃引される。このとき、同時に、発信器２４が出力する交流電流、すなわち正弦波状の変調電流をバイアス電流に重畳させてＤＦＢ−ＬＤ２７に印加する。図４には印加電流を三角波＋正弦波として示す。各光源部２ａ，２ｂ，２ｃでは、変調幅ｄ、変調中心波長λで変調を行い、その変調中心波長λを掃引範囲内で直線的に掃引する。
【００２８】
光学系３では、各光源部２ａ，２ｂ，２ｃからのレーザ光を合波器５で合波し、分岐器６で各光源部側光ファイバ７へ分岐させる。レーザ光は、ガスセル４を介さず、あるいは各ガスセル４を透過し、基準光路ｚ１及びセンサ光路ｚ２〜ｚｎの受光側光ファイバ８に導かれて各受光器３２に入射する。各受光器３２は、受光信号を出力する。レーザ光は、ガスセル４を透過する際に、図２に示した対象ガスの吸収スペクトルに沿って吸収されるので、ガスセル４を透過したレーザ光の光強度変化を表す受光信号は、図示のように吸収スペクトルの曲線に基づいて変形を受けた波となる。
【００２９】
信号処理部３１では、クロックの立ち上がりから立ち下がりまでの時間ごとに、以下のガス濃度演算動作を行う。
【００３０】
ガス濃度演算動作では、各位相検波回路３３が基準光路ｚ１及びセンサ光路ｚ２〜ｚｎの受光信号からそれぞれ１倍検波信号Ｋ（１ｆ）と２倍検波信号Ｋ（２ｆ）を得る。得られた全ての信号は、一時的に信号記憶部３４に記憶される。演算部３５は、信号記憶部３４から読み出した信号を演算する。すなわち、基準光路ｚ１の受光信号について、１倍検波信号ｚ１Ｋ（１ｆ）に対する２倍検波信号ｚ１Ｋ（２ｆ）の比ｚ１Ｋ（２ｆ）／ｚ１Ｋ（１ｆ）を計算して図３に示される基準のガス信号を得ると共に、センサ光路ｚ２〜ｚｎの受光信号について、１倍検波信号ｚｉＫ（１ｆ）（ｉは２〜ｎ）に対する２倍検波信号ｚｉＫ（２ｆ）の比ｚｉＫ（２ｆ）／ｚｉＫ（１ｆ）を計算して対象ガスのガス信号を得る。次いで、基準のガス信号ｚ１Ｋ（２ｆ）／ｚ１Ｋ（１ｆ）に対する対象ガスのガス信号ｚｉＫ（２ｆ）／ｚｉＫ（１ｆ）の差分を計算して波高値判定用信号を得る。
【００３１】
ここで、本実施の形態では、光源部２ｂの掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長を含む範囲に設定し、光源部２ａの掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長より短波長側に設定し、光源部２ｃの掃引範囲を対象ガスの吸収帯の中心波長より長波長側に設定した。よって、対象ガスの吸収帯である広い範囲の中に、各光源部２ａ，２ｂ，２ｃの掃引範囲が離散的に配置される。この結果、図３に実線で示すように、離散的なガス信号が得られる。これらのガス信号を合成してひとつのガス信号とみなすことができる。さらに、図３に破線で示すように、測定で得られたガス信号間に推定のガス信号を内挿することができる。
【００３２】
図３の波高値判定用信号は、対象ガスのガス信号から基準のガス信号を差し引くことで、光源部２、合波器５、分岐器６、信号処理部３１が持つ波長依存性を除去したものであり、この波高値判定用信号が正確な意味での対象ガスのガス信号である。
【００３３】
演算部３５は、この波高値判定用信号の最小値から最大値までの高さである波高値を求める。具体的には、短波長側のガス信号波形と長波長側のガス信号波形とを結んだ直線を波高値の基準線とし、中心波長範囲のガス信号波形のうち上記基準線から最も高い値を波高値とする。
【００３４】
その後、演算部３５は、この波高値を、あらかじめ既知濃度の基準ガスを用いて求めていた波高値とガス濃度との関係式又は関係表に適用してガス濃度を求める。
【００３５】
以上説明したように、本発明では、レーザ光の変調と掃引をする光源部を３個用いて、レーザ光を被測定雰囲気中に透過させて受光し、受光信号から求めた掃引範囲ごとのガス信号波形を合成し、その合成したガス信号波形から波高値を求めるようにしたので、対象ガスの吸収帯の範囲が１個の光源部で可能な波長範囲より広い場合でも正しく波高値を求めることができる。なお、前記実施形態では、光源部２を３個用いたが、４個以上でも効果があることは言うまでもない。
【００３６】
次に、他の実施形態を説明する。
【００３７】
図１の装置構成は前記実施形態と同じ（ただし、倍周器２５と位相検波回路３３の２ｆは不要）とし、信号処理部３１の演算部３５では、１倍検波信号の傾き（横軸を波長とし縦軸を信号の大きさとしたときの傾き、すなわち波長対信号の比）からガス濃度を求める。
【００３８】
各光源部２ａ，２ｂ，２ｃにおけるレーザ光送信動作は、前記実施形態と同じであるので、信号処理部が行うガス濃度演算動作のみ説明する。
【００３９】
図４（ａ）に示すような受光信号が得られたとする。受光信号は、対象ガスによってその吸収帯の光が吸収されるので、掃引範囲内に値が小さいピークを有する。そのピークの波長が吸収帯の中心波長である。信号処理部は、各位相検波回路において、基準光路ｚ１及びセンサ光路ｚ２〜ｚｎの受光信号から１倍検波信号Ｋ（１ｆ）を検波して信号記憶部に記憶する。１倍検波信号Ｋ（１ｆ）は図４（ｂ）のようになる。
【００４０】
演算部３５は、１倍検波信号を読み出し、基準光路ｚ１の受光信号から求めた１倍検波信号ｚ１Ｋ（１ｆ）について傾きを求め、これを基準ガスのガス信号とする。なお、図４（ｂ）には傾きが示してある。演算部３５は、センサ光路ｚ２〜ｚｎの受光信号から求めた１倍検波信号ｚｉＫ（１ｆ）についても、同様に傾きを求め対象ガスのガス信号とする。
【００４１】
図４（ｃ）の２倍検波信号は本実施形態では計算しないが、前記実施形態の参考のため図示した。
【００４２】
図５に示すように、各１倍検波信号の傾きから求めた対象ガスのガス信号と基準ガスのガス信号は、それぞれ１つの掃引範囲に１つ得られる。
【００４３】
演算部３５は、対象ガスのガス信号と基準ガスのガス信号の差分を計算して波高値判定用信号を得る。これは、装置各部の波長依存性を除去するために行うので、波高値判定用信号は波長依存性が除去された正確なガス信号となる。
【００４４】
演算部３５は、この波高値判定用信号の最小値から最大値までの高さである波高値を求める。具体的には、短波長側のガス信号波形と長波長側のガス信号波形とを結んだ直線を波高値の基準線とし、中心波長範囲のガス信号波形のうち上記基準線から最も高い値を波高値とする。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態を示す光ファイバ式ガス濃度検出装置における全体構成、光源部詳細、信号処理部の構成図である。
【図２】本発明における光源部の動作概念図である。
【図３】本発明により得られるガス信号及び波高値判定用信号の波形図である。
【図４】（ａ）は受光信号、（ｂ）は１倍検波信号、（ｃ）は２倍検波信号の波形図である。
【図５】本発明により得られるガス信号及び波高値判定用信号の波形図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  光ファイバ式ガス濃度検出装置
２，２ａ，２ｂ，２ｃ  光源部
３  光学系
４  ガスセル
５  合波器
６  分岐器
３１  信号処理部
【図１】
2007218783.tif 000003
【図２】
2007218783.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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