(57)【要約】【課題】転写型の製造コストの低減を図るとともに、位置合わせの精度を向上させる。【解決手段】隔壁を形成する基板Ｐに型取り転写法によって隔壁形成材料の硬化性ペーストを転写する転写型Ｆ１が、この転写型Ｆ１を加工して硬化性ペーストを保持する構造を形成するダイシング・ブレードＢによって形成されて、照射された光の反射光または透過光によって陰影を形成する傾斜した側面Ｍ１０ａによって周囲が囲まれた角錐台形のアライメント・マークＭ１０を備えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
構造物を形成する対象物に型取り転写法によって構造物形成材料を転写する転写型が、この転写型を加工して構造物形成材料の保持構造を形成する工具によって形成されて、照射された光の反射光または透過光によって陰影を形成する傾斜面を有するアライメント・マークを備えていることを特徴とする転写型。
【請求項２】
前記アライメント・マークが、錐台形または錐体形の突起または凹所である請求項１に記載の転写型。
【請求項３】
前記アライメント・マークの周囲の傾斜面が、工具の切削刃の傾斜したエッジによって形成される請求項１に記載の転写型。
【請求項４】
前記アライメント・マークが、一方向とこの一方向に直交する他方向への切削加工によって形成される請求項１に記載の転写型。
【請求項５】
前記工具がダイシング・ブレードまたはバイトである請求項１に記載の転写型。
【請求項６】
構造物を形成する対象物に型取り転写法によって構造物形成材料を転写する転写型に、この転写型を加工して構造物形成材料の保持構造を形成する工具により、傾斜面によって画定された形状を有するアライメント・マークを形成し、このアライメント・マークに光を照射して、アライメント・マークからの反射光または透過光によって形成されるアライメント・マークの傾斜面による陰影によって、転写型と構造物形成材料を転写する対象物との位置合わせを行うことを特徴とする転写型のアライメント方法。
【請求項７】
前記構造物を形成する対象物が透明な材料によって形成され、この対象物側からアライメント・マークに光を照射して、アライメント・マークからの反射光によってアライメント・マークの傾斜面による陰影を形成する請求項６に記載の転写型のアライメント方法。
【請求項８】
前記構造物を形成する対象物と転写型がそれぞれ透明な材料によって形成され、転写型側からアライメント・マークに光を照射して、アライメント・マークを透過する透過光によってアライメント・マークの傾斜面による陰影を形成する請求項５に記載の転写型のアライメント方法。
【請求項９】
前記アライメント・マークが、錐台形または錐体形の突起または凹所である請求項６に記載の転写型のアライメント方法。
【請求項１０】
前記アライメント・マークの周囲の傾斜面が、工具の切削刃の傾斜したエッジによって形成される請求項６に記載の転写型のアライメント方法。
【請求項１１】
前記工具がダイシング・ブレードまたはバイトである請求項６に記載の転写型のアライメント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、アライメント・マークが形成された転写型およびこの転写型のアライメント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、二枚のプレート等を重ね合わせる際の互いの位置合わせには、それぞれのプレートに形成されたアライメント・マークが用いられる。
【０００３】
図１は、このような重ね合わせの際の位置合わせにアライメント・マークが用いられるプレートの一例を示しており、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の基板に型取り転写法によって放電セルを区画するための隔壁を形成する際に、このＰＤＰの基板Ｐと転写型Ｆが、それぞれに形成されたアライメント・マークＡ１とＡ２によって位置合わせされる例が示されている。
【０００４】
すなわち、この型取り転写法によるＰＤＰの隔壁の形成は、転写型Ｆの表面に隔壁の形状および配置に対応した凹部Ｆａが形成され、この凹部Ｆａ内に隔壁形成材料である硬化性ペーストが充填された後、転写型Ｆを基板Ｐに位置合わせして重ね合わせて、凹部Ｆａ内の硬化性ペーストを基板Ｐに転写して硬化させることにより行われる。
【０００５】
このとき、隔壁が基板Ｐ上に予め形成されている電極Ｅに対して所定位置に正確に形成される必要があるため、基板Ｐと転写型Ｆは、その重ね合わせの際に互いに正確に位置合わせが行われる必要があり、この位置合わせは、基板Ｐの四隅部分に形成されたアライメント・マークＭ１と転写型Ｆの四隅部分に形成されたアライメント・マークＭ２とを用いて行われる。
【０００６】
図２は、このような基板Ｐと転写型Ｆが重ね合わされる際に用いられる従来のアライメント・マークの一例を示しており、重ね合わされる基板Ｐに形成されるアライメント・マークＭ１は、黒色の円形形状に成形され、転写型Ｆに形成されるアライメント・マークＭ２は、アライメント・マークＭ１の外径よりも大きい内径を有する黒色のリング形状に成形されている。
【０００７】
そして、アライメント・マークＭ２の中心にアライメント・マークＭ１が位置されるようにして、基板Ｐと転写型Ｆの重ね合わせの際の位置合わせが行われる。
【０００８】
なお、アライメント・マークには、図２のような形状のものの他、十字パターンやトンボ・パターンのもの等がある。
【０００９】
このような転写型Ｆのアライメント・マークＭ２の形成は、従来は、例えばフォトリソグラフィ法を用いたエッチングやレーザ加工法等を用いて、転写型Ｆへの凹部Ｆａの形成工程とは別の工程で行われている。
【００１０】
このため、アライメント・マークＭ２を形成するために、転写型Ｆの製造工程における工程数の増加や製造ラインの複雑化によって、製造コストを上昇させる要因になっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
この発明は、上記のような従来のアライメント・マークを形成する際の問題点を解決することをその技術的課題の一つとしている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
第１の発明による転写型は、上記目的を達成するために、構造物を形成する対象物に型取り転写法によって構造物形成材料を転写する転写型が、この転写型を加工して構造物形成材料の保持構造を形成する工具によって形成されて、照射された光の反射光または透過光によって陰影を形成する傾斜面を有するアライメント・マークを備えていることを特徴としている。
【００１３】
第２の発明による転写型のアライメント方法は、上記目的を達成するために、構造物を形成する対象物に型取り転写法によって構造物形成材料を転写する転写型に、この転写型を加工して構造物形成材料の保持構造を形成する工具により、傾斜面によって画定された形状を有するアライメント・マークを形成し、このアライメント・マークに光を照射して、アライメント・マークからの反射光または透過光によって形成されるアライメント・マークの傾斜面による陰影によって、転写型と構造物形成材料を転写する対象物との位置合わせを行うことを特徴としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
この発明は、構造物を形成する対象物に型取り転写法によって構造物形成材料を転写する転写型が、この転写型を加工して構造物形成材料の保持構造を形成する工具によって形成されて、傾斜面を有するアライメント・マークを備えており、この転写型のアライメント・マークに光が照射され、アライメント・マークからの反射光または透過光によってこのアライメント・マークの傾斜面による陰影が形成されて、この陰影により、転写型と構造物形成材料が転写される対象物との位置合わせが行われる転写型およびこの転写型のアライメント方法を、その最良の実施形態としている。
【００１５】
この実施形態による転写型によれば、転写型に重ね合わされて構造物形成材料が転写される対象物との位置合わせを行うための転写型のアライメント・マークが、この転写型に構造物形成材料を保持するための充填用凹部等の構造を形成する加工工具によって、傾斜面を有する形状に形成されるので、この転写型のアライメント・マークを構造物形成材料の保持構造の形成加工時に同時に行うことが出来るようになり、これによって、別工程でアライメント・マークを形成する従来の場合と比べて、工程数を削減して製造コストをダウンさせることが出来るとともに、別工程で形成する場合に比べてアライメント・マークの位置精度を向上させることが出来るようになる。
【００１６】
そして、上記実施形態による転写型のアライメント方法によれば、転写型のアライメント・マークに光を照射すると、アライメント・マークに形成された傾斜面によって、照射される光の反射光または透過光によってこのアライメント・マークの傾斜面による陰影が形成されるので、この陰影と構造物形成材料の転写対象物側に形成されたアライメント・マークとを照合することによって、容易に転写型と構造物形成材料の転写対象物との位置合わせが行われるようになる。
【００１７】
上記転写型およびこの転写型のアライメント方法の実施形態において、アライメント・マークとして、錐台形または錐体形の突起または凹所を形成するのが好ましく、この錐台形または錐体形の周囲を囲む傾斜面によって、光が照射された際に、陰影が形成される。
【００１８】
さらに、上記転写型およびこの転写型のアライメント方法の実施形態において、アライメント・マークの傾斜面が、ダイシング・ブレードやバイト等の工具の切削刃の傾斜したエッジによって形成されるようにするのが好ましく、これによって、転写型に構造物形成材料の保持構造を形成する加工工程において、アライメント・マークの傾斜面を同時に形成することが可能になる。
【００１９】
さらに、上記転写型およびこの転写型のアライメント方法の実施形態において、転写型が不透明な材料によって形成されている場合には、透明な材料によって形成された構造物の形成対象物側からアライメント・マークに光を照射して、このアライメント・マークからの反射光によってアライメント・マークの傾斜面による陰影を形成するようにするのが好ましく、また、構造物の形成対象物と転写型がそれぞれ透明な材料によって形成されている場合には、転写型側からアライメント・マークに光を照射して、アライメント・マークを透過する透過光によってアライメント・マークの傾斜面による陰影を形成するようにするのが好ましく、これによって、既存の画像処理装置を変更することなく、構造物の形成対象物と転写型の位置合わせを行うことが出来るようになる。
【実施例】
【００２０】
以下、この発明の実施形態を、図面に示す実施例に基づいてさらに詳細に説明する。
【００２１】
なお、この発明において、アライメント・マークを形成する工具および加工方法については、種々の工具および加工方法を使用することが出来るが、以下においては、型取り転写法に用いられる転写型の加工に通常用いられるダイシング・ブレードを用いる場合を例に挙げて、説明を行う。
【００２２】
図３は、この発明によるアライメント・マークの実施形態における一実施例を示す斜視図である。
【００２３】
この図３は、型取り転写法に用いられる転写型Ｆ１のアライメント・マークが形成される四隅部分のうちの一つを示しており、アライメント・マークＭ１０は、転写型Ｆ１の四隅部分の面上に、図示しないダイシング・ブレードによる切削加工によって、四角錐台形の突起形状に成形されている。
【００２４】
従って、このアライメント・マークＭ１０の四方の側面Ｍ１０ａは、それぞれ、転写型Ｆ１の面に対して所要の角度（例えば、４５°）傾斜している。
【００２５】
図４および５は、このアライメント・マークＭ１０の形成に使用されるダイシング・ブレードの一例を示しており、
この図４および５において、ダイシング・ブレードＢは、円盤の外周にダイヤモンド粒子などが混入された刃部Ｂａを有し、この刃部Ｂａの両側のエッジＢａ１が、円盤の径方向に対して傾斜するように成形されている。
【００２６】
この刃部Ｂａの両側のエッジＢａ１の傾斜角度は、後述するように、アライメント・マークＭ１０の側面Ｍ１０ａの傾斜角度と同じ角度になっている。
【００２７】
このダイシング・ブレードＢは、数万回転／分で高速回転されることによって、転写型Ｆ１を形成するＰＥＴ材やガラス材の切削加工を行い、転写型Ｆ１に、隔壁形成材料である硬化性ペーストの充填用凹部（図１参照）を形成するととともに、アライメント・マークＭ１０を形成する。
【００２８】
図６および７は、上記ダイシング・ブレードＢによる切削によって、アライメント・マークＭ１０が四角錐台形に成形される工程を示している。
【００２９】
すなわち、先ず図６に示されるように、ダイシング・ブレードＢによって、転写型Ｆ１に対して一方向（以下、ｙ方向）への切削が行われ、さらに、このｙ方向と直交する方向（以下、ｘ方向）にダイシング・ブレードＢのほぼ厚さ分ａだけ切削位置がずらされて、ｙ方向への切削が繰り返される。
【００３０】
このとき、アライメント・マークＭ１０の形成領域に対応する部分Ｅ１においては、このｙ方向への切削が行われないようにして、転写型Ｆ１の表面に所要の幅の突状部分Ｆ１Ａが残される。
【００３１】
この突状部分Ｆ１Ａは、そのｘ方向の両側面（図６において、左右の側面）Ｆ１Ａａが転写型Ｆ１に対して互いに内側向きに傾斜して、横断面が台形形状になっている。
【００３２】
そして、この突状部分Ｆ１Ａの左右両側面Ｆ１Ａａの傾斜は、ダイシング・ブレードＢの刃部ＢａのエッジＢａ１の傾斜（図５参照）によって、このエッジＢａ１の傾斜角度と同じ角度に形成される。
【００３３】
このｙ方向への切削が終わると、次に、図７に示されるように、ダイシング・ブレードＢによって、転写型Ｆ１に対してｘ方向への切削がｙ方向への切削と同様にして行われて、転写型Ｆ１の表面に残されている突状部分Ｆ１Ａの切削が行われる。
【００３４】
このとき、アライメント・マークＭ１０の形成領域に対応する部分Ｅ２においては、このｘ方向への切削が行われないようにして、転写型Ｆ１の表面に突状部分Ｆ１Ａのうちの所要の幅の突起部分Ｆ１Ｂが残される。
【００３５】
この突起部分Ｆ１Ｂは、そのｙ方向の両側面（図７において、上下の側面）Ｆ１Ｂａが転写型Ｆ１に対して互いに内側向きに傾斜して、縦断面が台形形状になっている。
【００３６】
そして、この突起部分Ｆ１Ｂの上下両側面Ｆ１Ｂａの傾斜は、前述したのと同様に、ダイシング・ブレードＢの刃部ＢａのエッジＢａ１の傾斜（図５参照）によって、このエッジＢａ１の傾斜角度と同じ角度に形成される。
【００３７】
以上のようにして、転写型Ｆ１に対するｘおよびｙ方向への切削により転写型Ｆ１の面上に残された突起部分Ｆ１Ｂによって、図３に示される四方の側面Ｍ１０ａが傾斜した四角錐台形状のアライメント・マークＭ１０が形成される。
【００３８】
なお、ダイシング・ブレードＢによるアライメント・マークＭ１０の形成は、転写型Ｆ１に、同じダイシング・ブレードＢによって、硬化性ペースト充填用凹部を形成した後に行われても良いし、硬化性ペースト充填用凹部の形成前に行われても良い。
【００３９】
また、硬化性ペースト充填用凹部の形成前後において、ダイシング・ブレードＢを刃部Ｂａの形状が異なるものに交換しても良い。
【００４０】
次に、上記のアライメント・マークＭ１０を用いたアライメント方法について説明を行う。
【００４１】
このアライメント方法は、先ず、図８に示されるように、アライメント・マークＭ１０が形成された転写型Ｆ１が、アライメント・マークＭ１０に対応する位置にアライメント・マークＭ１１が形成された基板Ｐ１に重ね合わされる。
【００４２】
この基板Ｐ１に形成されたアライメント・マークＭ１１は、従来と同様の例えばフォトリソグラフィ法を用いたエッチングやレーザ加工法等によって、頂面Ｍ１１ａの面積がアライメント・マークＭ１０の頂面Ｍ１０ｂの面積よりも小さい円筒形状に成形されている。
【００４３】
なお、この基板Ｐ１側のアライメント・マークＭ１１は、例えば、基板Ｐ１上に形成される電極配線等の利用も可能である。
【００４４】
この基板Ｐ１と転写型Ｆ１の重ね合わせの後、アライメント・マークＭ１０とＭ１１の形成部分に光が照射されるとともに、このアライメント・マークＭ１０とＭ１１がＣＣＤカメラによって撮像される。
【００４５】
図９は、この撮像によって得られる画像を示しており、アライメント・マークＭ１０の四方の側面Ｍ１０ａの画像は、この側面Ｍ１０ａの傾斜による後述するような光の反射角度または屈折角度の違いによって、四角な枠状の陰影Ｓとなる。
【００４６】
重ね合わされた基板Ｐ１と転写型Ｆ１の位置合わせは、このアライメント・マークＭ１１の陰影Ｓとアライメント・マークＭ１１の画像Ｇ１とによって、画像Ｇ１が陰影Ｓ１の中心位置に位置されるように、基板Ｐ１と転写型Ｆ１が相対的に平行移動されることによって行われる。
【００４７】
この基板Ｐ１と転写型Ｆ１の位置合わせの際の撮像には、透過光による方法と落斜光による方法とがある。
【００４８】
落斜光による方法は、転写型Ｆ１が不透明の材料によって形成されている場合に用いられ、図１０に示されるように、透明なガラス材料によって形成された基板Ｐ１の外側に光源Ｒが配置されて、この光源Ｒから転写型Ｆ１に向かって光が照射され、転写型Ｆ１のアライメント・マークＭ１０の形成部分からの反射光により、光源Ｒと同じ基板Ｐ１の外側に配置されたＣＣＤカメラＫによってアライメント・マークＭ１０とＭ１１の撮像を行うものである。
【００４９】
この落斜光による方法においては、光源Ｒから照射される光のアライメント・マークＭ１０の四方の側面Ｍ１０ａと頂面Ｍ１０ｂとにおける反射角の違いによって、図９に示されるような陰影Ｓ１が形成される。
【００５０】
また、透過光による方法は、転写型Ｆ１がガラス材やアクリル材などの透明材料によって形成されている場合に用いられ、図１１に示されるように、光源Ｒが転写型Ｆ１の外側に配置され、この光源Ｒから光が転写型Ｆ１に向かって照射され、転写型Ｆ１のアライメント・マークＭ１０の形成部分からの透過光により、光源Ｒと反対側の基板Ｐ１の外側に配置されたＣＣＤカメラＫによってアライメント・マークＭ１０とＭ１１の撮像を行うものである。
【００５１】
この透過光による方法においては、光源Ｒから照射される光のアライメント・マークＭ１０の四方の側面Ｍ１０ａと頂面Ｍ１０ｂとにおける屈折角度の違いによって、図９に示されるような陰影Ｓ１が形成される。
【００５２】
例えば、ガラス材料によって形成された転写型Ｆ１上に、（株）ディスコ製のフルオートマチック・ダイシングソーのブレード厚さ０．１ｍｍ，エッジ角度４５°のダイシング・ブレードによって、０．５ｍｍ四方で高さ２００μｍの四角錐台形のアライメント・マークＭ１０を形成し、上記透過光による方法において、（株）ソキア製の測光機ＰＣＭ−１３００を用いて透過光３０％の設定で撮像を行ったところ、アライメント・マークＭ１０の四方の側面Ｍ１０ａが光源処理によって黒く映り、画像処理により二値化を行うことによって、四角なリング状の陰影Ｓ１を認識することが出来た。
【００５３】
図１２は、転写型Ｆ１に形成されるアライメント・マークの形状の他の例を示している。
【００５４】
この図１２のアライメント・マークＭ２０は、図３の凸状のアライメント・マークＭ１０と反対に、転写型Ｆ１に四角錐台形の凹所として形成され、四方の内壁面Ｍ２０ａが転写型Ｆ１の表面に対してそれぞれ傾斜している。
【００５５】
このアライメント・マークＭ２０を落斜光による方法および透過光による方法によって撮像した場合にも、四方の内壁面Ｍ２０ａによって、図９に示されるような陰影Ｓ１が現れた画像を得ることが出来る。
【００５６】
なお、この図１２において、基板Ｐ１側のアライメント・マークＭ１１の構成は、前述した図８の場合と同様である。
【００５７】
図１３は、転写型Ｆ１に形成されるアライメント・マークの形状のさらに他の例を示している。
【００５８】
この図１３のアライメント・マークＭ３０は、四角錐の凸形状に成形されて、この四角錐の四つの面Ｍ３０ａが転写型Ｆ１の表面に対してそれぞれ傾斜している。
【００５９】
この場合、基板Ｐ１側のアライメント・マークＭ３１は、図８の場合と異なり、ドーナツ状に形成されている。
【００６０】
このアライメント・マークＭ３０を落斜光による方法および透過光による方法によって撮像した場合には、図１４に示されるように、アライメント・マークＭ３１のドーナツ形状の画像Ｇ２の内側にアライメント・マークＭ３０の方形の陰影Ｓ２が現れ、この陰影Ｓ２とアライメント・マークＭ３１の画像Ｇ２とによって基板Ｐ１と転写型Ｆ１の位置合わせが行われる。
【００６１】
図１５は、転写型Ｆ１に形成されるアライメント・マークの形状のさらに他の例を示している。
【００６２】
この図１５のアライメント・マークＭ４０は、図１３の場合と逆に、四角錐の凹形状に成形されて、この四角錐の凹部の四つの内壁面Ｍ４０ａが転写型Ｆ１の表面に対してそれぞれ傾斜している。
【００６３】
基板Ｐ１側のアライメント・マークＭ３１は、図１３の場合と同様のドーナツ状に形成されている。
【００６４】
このアライメント・マークＭ４０を落斜光による方法および透過光による方法によって撮像した場合にも、図１４に示されるのと同様に、アライメント・マークＭ４０の方形の陰影Ｓ２を得ることが出来る。
【００６５】
上記各例のアライメントマークは、転写型に転写用ペーストの充填用凹部等の構造物を形成する加工を行う工具（上記の場合は、ダイシング・ブレード）によって、この構造物の形成工程においてアライメント・マークを形成する加工も同時に行うことが出来るので、別工程でアライメント・マークを形成する従来の場合と比べて、工程数を削減することによって転写型の製造コストをダウンさせることが出来る。
【００６６】
さらに、他の構造物と同時加工によってアライメント・マークが形成されることによって、別工程で形成する場合に比べてアライメント・マークの位置精度を向上させることが出来る。
【００６７】
そして、上記アライメント方法によれば、アライメント・マークの傾斜面によって形成される陰影によってアライメントを行うので、アライメントを従来と同様の画像処理法によって行うことが出来る。
【００６８】
なお、上記各例において陰影を形成するアライメント・マークの四方の傾斜面の傾斜角度は、全て同じでなくても良い。
【００６９】
また、上記の各実施例においては、ダイシング・ブレードの刃部のエッジが直線状に成形されている例が示されているが、図１６に示されるように、刃部Ｂ１ａが円弧状に成形されたダイシング・ブレードＢ１を用いて、転写型Ｆ１の切削加工を行うようにしても良い。
【００７０】
この場合、図１７に示されるように、転写型Ｆ１上に形成されるアライメント・マークＭ５０の側面Ｍ５０ａはダイシング・ブレードＢ１の刃部Ｂ１ａの形状に対応した円弧状に形成されるが、前記各実施例の場合と同様に、側面Ｍ５０ａによって形成される陰影によって、基板Ｐ１とのアライメントを行うことが出来るようになる。
【００７１】
上記実施例の転写型およびこの転写型のアライメント方法は、構造物を形成する対象物に型取り転写法によって構造物形成材料を転写する転写型が、この転写型を加工して構造物形成材料の保持構造を形成する工具によって形成されて、傾斜面によって周囲が囲まれた形状を有するアライメント・マークを備えており、この転写型のアライメント・マークに光が照射され、アライメント・マークからの反射光または透過光によってこのアライメント・マークの傾斜面の陰影が形成されて、この陰影により、転写型と構造物形成材料を転写する対象物との位置合わせが行われる転写型およびそのアライメント方法の実施形態を、その上位概念の実施形態としている。
【００７２】
この上位概念を構成する転写型によれば、転写型に重ね合わされて構造物形成材料が転写される対象物との位置合わせを行うための転写型のアライメント・マークが、この転写型に構造物形成材料を保持するための充填用凹部等の構造を形成する加工工具によって、周囲が傾斜面によって囲まれた形状に形成されるので、この転写型のアライメント・マークを構造物形成材料の保持構造の形成加工時に同時に行うことが出来るようになり、これによって、別工程でアライメント・マークを形成する従来の場合と比べて、工程数を削減して製造コストをダウンさせることが出来るとともに、別工程で形成する場合に比べてアライメント・マークの位置精度を向上させることが出来るようになる。
【００７３】
そして、上記上位概念を構成する実施形態の転写型のアライメント方法によれば、転写型のアライメント・マークに光を照射すると、アライメント・マークの周囲に形成された傾斜面によって、照射される光の反射光または透過光によってこのアライメント・マークの傾斜面の陰影が形成されるので、この陰影と構造物形成材料の転写対象物側に形成されたアライメント・マークとを照合することによって、容易に転写型と構造物形成材料の転写対象物の位置合わせが行われるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】従来例を示す斜視図である。
【図２】アライメント・マークの従来例を示す説明図である。
【図３】この発明における転写型のアライメント・マークの形成部分を示す斜視図である。
【図４】この発明におけるアライメント・マークの形成方法を示す側面図である。
【図５】この発明におけるアライメント・マークの形成方法を示す正面図である。
【図６】この発明におけるアライメント・マークの形成方法の第１段階を示す斜視図である。
【図７】この発明におけるアライメント・マークの形成方法の第２段階を示す斜視図である。
【図８】この発明による転写型のアライメント方法を示す説明図である。
【図９】この発明による転写型のアライメント・マークによって形成される陰影を示す説明図である。
【図１０】この発明による転写型の落斜光方式によるアライメント方法を示す説明図である。
【図１１】この発明による転写型の透過光方式によるアライメント方法を示す説明図である。
【図１２】この発明による転写型のアライメント・マークの他の形状を示す側断面図である。
【図１３】この発明による転写型のアライメント・マークのさらに他の形状を示す側断面図である。
【図１４】図１３の転写型のアライメント・マークによって形成される陰影を示す説明図である。
【図１５】この発明による転写型のアライメント・マークのさらに他の形状を示す側断面図である。
【図１６】この発明に使用されるダイシング・ブレードの他の例を示す正面図である。
【図１７】図１６のダイシング・ブレードによって形成されたアライメント・マークを示す側断面図である。
【符号の説明】
【００７５】
Ｂ，Ｂ１          …ダイシング・ブレード（工具）
Ｂａ，Ｂ１ａ        …刃部
Ｂａ１      …エッジ
Ｆ１        …転写型
Ｇ１，Ｇ２  …画像
Ｋ          …ＣＣＤカメラ
Ｍ１０，Ｍ２０，Ｍ３０，Ｍ４０，Ｍ５０  …アライメント・マーク
Ｍ１０ａ，Ｍ５０ａ    …側面（傾斜面）
Ｍ２０ａ，Ｍ４０ａ              …内壁面（傾斜面）
Ｍ３０ａ    …面（傾斜面）
Ｐ１        …基板
Ｒ          …光源
Ｓ１，Ｓ２  …陰影
【図１】
2007210126.tif 000003
【図２】
2007210126.tif 000004
【図３】
2007210126.tif 000005
【図４】
2007210126.tif 000006
【図５】
2007210126.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007210126.tif 000009
【図８】
2007210126.tif 000010
【図９】
2007210126.tif 000011
【図１０】
2007210126.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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