(57)【要約】【課題】樹脂層を少なくとも有する板材に対し、樹脂層の潰れや剥離等を防止して開口部を精度良く形成することが可能なプレス加工方法を提供する。【解決手段】リザーバ開口部５５ｃ〜５５ｄのうち、リザーバ開口部５５ｃを、両隣のリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄに対して局部的に接近した接近部６５を含む接近領域６６と、この接近領域６６以外の残部領域６７の２つの領域に区画し、接着フィルム基材５９の接近領域６６に対応する部分を、リザーバ開口部５５ｂ，５５ｄに対応する部分と同一ステージで同時に打ち抜くことで、接近領域６６及びリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄを形成し、接着フィルム基材５９における残部領域６７に対応する部分を接近領域６６及びリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄとは異なるステージで打ち抜くことで、接近領域６６と残部領域６７とを一連に繋げてリザーバ開口部５５ｃを形成する。【選択図】図８
2007301611.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂層を少なくとも有する板材に対して、パンチ及びダイスを有する順送プレス用金型で複数の開口部を形成するプレス加工方法において、
前記複数の開口部の内の第１開口部を、隣り合う第２開口部に対して局部的に接近した接近部を含む接近領域と、当該接近領域以外の残部領域とに区画し、
前記板材における接近領域に対応する部分を第２開口部に対応する部分と同一ステージで同時に打ち抜いて接近領域及び第２開口部を形成し、
前記板材における残部領域に対応する部分を接近領域及び第２開口部とは異なるステージで打ち抜くことで、接近領域と残部領域とを一連に繋げて第１開口部を形成することを特徴とするプレス加工方法。
【請求項２】
前記板材における前記第１開口部の接近領域及び第２開口部を同時に打ち抜くステージを、第１開口部の残部領域を打ち抜くステージの前に設定したことを特徴とする請求項１に記載のプレス加工方法。
【請求項３】
樹脂層を少なくとも有する板材に対して、パンチ及びダイスを有する順送プレス用金型で複数の開口部を形成するプレス加工方法において、
前記複数の開口部の内の第１開口部を、隣り合う第２開口部に対して局部的に接近した接近部を含む接近領域と、当該接近領域以外の残部領域とに区画し、
前記接近領域及び前記第２開口部に対応する第１パンチ刃と、前記残部領域に対応する第２パンチ刃とを、両パンチ刃の打ち抜き方向の高さを互いに異ならせて同一のパンチに形成し、
前記板材における接近領域に対応する部分を第２開口部に対応する部分と同時に前記第１パンチ刃によって打ち抜いて接近領域及び第２開口部を形成し、
前記板材における残部領域に対応する部分を接近領域及び第２開口部とは異なるタイミングで前記第２パンチ刃によって打ち抜くことにより、接近領域と残部領域とを一連に繋げて第１開口部を形成することを特徴とするプレス加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液体噴射ヘッドの構成部材を接着するための接着フィルム等の樹脂層を少なくとも有する板材に対して、順送プレス用金型で複数の開口部を形成するプレス加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を代表とする液体噴射ヘッドには、リザーバから圧力室を経てノズル開口に至る一連の液体流路をノズル開口に対応して複数備え、圧力発生手段の駆動によって圧力室内の液体に生じた圧力変動を利用してノズル開口から液滴を吐出させるように構成されたものがある。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドは複数の構成部品（プレート部材）を積層して構成されている。例えば、特許文献１に開示されている記録ヘッドは、圧力発生手段としてのアクチュエータユニットと、液体流路を形成する流路ユニットとから成り、アクチュエータユニットと流路ユニットとを重ね合わせた状態で一体化して構成されている。アクチュエータユニットは、複数の圧力室を形成した圧力室プレート、第１ノズル連通口や供給側連通口を形成した連通口基板、及び、圧電振動子を実装した振動板とを積層し、焼成等により一体化することで構成されている。
【０００４】
上記流路ユニットは、インク供給口を形成した供給口プレート、複数のリザーバを形成したリザーバプレート、及び、複数のノズル開口を列設してノズル列が形成されたノズルプレートから成るプレート部材を積層して一体化することで構成されている。そして、供給口プレートとリザーバプレートとの間に第１接着フィルム（以下、適宜、ＳＲフィルムと称する。）を介在し、リザーバプレートとノズルプレートとの間に第２接着フィルム（以下、適宜、ＮＲフィルムと称する。）を介在した状態で、これらの接着フィルムによって各プレート部材を一体的に接合している。さらに、アクチュエータユニットと流路ユニットについても、アクチュエータユニットと流路ユニットとの間に介在させた第３接着フィルム（以下、適宜、ＳＡフィルムと称する。）によって一体的に接合している。
【０００５】
図１４は、上記接着フィルムの構成の一例を示す平面図である。例示した接着フィルム７７は、例えば、ポリオレフィン系接着剤から成る粘着性のフィルムであり、同図に示すように、ノズル連通口に対応する部分や、リザーバに対応する部分等に貫通開口部が開設されている。この接着フィルム７７は、上記プレート部材に貼着される前の状態では、図１５に示すように、接着剤層７８とセパレータ７９とから成る２層構造の積層板材となっている。このセパレータ７９は、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムから構成されている。以下、接着剤層７８からセパレータ７９を剥離する前の板材を接着フィルム基材という。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−３２８２６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記構成の接着フィルム基材に対し、貫通開口部は、プレス加工による打ち抜きによって形成される。ところが、記録ヘッドの小型化や高密度化に対応すべく、各貫通開口部は密集した状態で形成されている。特に、図１４における領域Ａでは、隣り合う開口部同士が局部的に近接しており、これらの開口部を隔てている隔壁の幅が非常に細くなっている。一方、同図における領域Ｂでは、領域Ａよりも開口部同士が比較的離れているが、この部分の隔壁は、開口部の長尺方向に沿って細長く延びている。
【０００８】
そして、従来では、これらの貫通開口部をプレス加工によって形成する場合、隣り合う貫通開口部をそれぞれ異なるステージで個別に開ける方法と、隣り合う貫通開口部同士を同一ステージで同時に開ける方法の２通りの方法が用いられていた。
【０００９】
前者の方法において、図１６（ａ）に示すように、隣り合う貫通開口部のうち一方の貫通開口部８２を形成した後、他方の貫通開口部８３を形成する際、領域Ａでは、パンチ８０を押し込むことによりセパレータ７９の縁部がこのパンチ８０によって下方に引っ張られる。これにより、接着剤層７８が、セパレータ７９とダイス８１との間で押し潰され、先に形成した一方の貫通開口部８２側に流動する。その結果、図１６（ｂ）に示すように、この部分における接着剤層７８が隣の一方の貫通開口部８２側に偏ってしまい、この部分の接着性が十分に確保できない虞がある。
【００１０】
また、後者の場合、領域Ａにおける接着剤層７８の潰れを前者の場合よりも抑制できるものの、領域Ｂにおける細長い隔壁に対応するダイス８１の剛性が弱いため、ダイス８１の破損を生じ易いという問題があった。また、ダイス８１の剛性が弱いことから、パンチ８０を押し込んだときにダイス８１が左右にぶれる（振れる）ことがあり、これにより接着剤層７８がダイス８１のぶれに伴って左右に引っ張られ、その結果、セパレータ５８と接着剤層５７の剥離が生じる虞があった。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、樹脂層を少なくとも有する板材に対し、樹脂層の潰れや剥離等を防止して開口部を精度良く形成することが可能なプレス加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、樹脂層を少なくとも有する板材に対して、パンチ及びダイスを有する順送プレス用金型で複数の開口部を形成するプレス加工方法において、
前記複数の開口部の内の第１開口部を、隣り合う第２開口部に対して局部的に接近した接近部を含む接近領域と、当該接近領域以外の残部領域とに区画し、
前記板材における接近領域に対応する部分を第２開口部に対応する部分と同一ステージで同時に打ち抜いて接近領域及び第２開口部を形成し、
前記板材における残部領域に対応する部分を接近領域及び第２開口部とは異なるステージで打ち抜くことで、接近領域と残部領域とを一連に繋げて第１開口部を形成することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、複数の開口部の内の第１開口部を、隣り合う第２開口部に対して局部的に接近した接近部を含む接近領域と、当該接近領域以外の残部領域とに区画し、板材における接近領域に対応する部分を第２開口部に対応する部分と同一ステージで同時に打ち抜いて接近領域及び第２開口部を形成し、板材における残部領域に対応する部分を接近領域及び第２開口部とは異なるステージで打ち抜くことで、接近領域と残部領域とを一連に繋げて第１開口部を形成するので、第１開口部の接近部と第２開口部を隔てる隔壁の両側にパンチが同時に均等な力で押し込まれるので、打ち抜く際に樹脂層が一方に偏ることを抑制することができ、その結果、隔壁に対応する樹脂層の潰れを防止することができる。また、第１開口部の残部領域を、第２開口部とは異なるステージで形成するので、それぞれのステージに対応するダイスの剛性を確保することができ、これにより、ダイスの破損を抑制することができる。さらに、ダイスの剛性が確保することができることから、打ち抜きの際にダイスがぶれることを防止することができ、これにより、板材が樹脂層と他の部材を積層して成る複合材である場合において、樹脂層と他の部材の剥離を抑制することが可能となる。
【００１４】
上記構成において、前記板材における前記第１開口部の接近領域及び第２開口部を同時に打ち抜くステージを、第１開口部の残部領域を打ち抜くステージの前に設定することが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、残部領域よりも接近領域が先に打ち抜かれるので、接近領域を形成する際に残部領域に対応する部分の板材が残っている分、接近領域の周囲の剛性を確保することができる。これにより、接近領域を残部領域よりも後に打ち抜く場合と比べて、接近領域の開口形状が広がる等の変形を抑制することができ、その結果、接近領域を精度良く形成することができる。
【００１６】
また、本発明は、樹脂層を少なくとも有する板材に対して、パンチ及びダイスを有する順送プレス用金型で複数の開口部を形成するプレス加工方法において、
前記複数の開口部の内の第１開口部を、隣り合う第２開口部に対して局部的に接近した接近部を含む接近領域と、当該接近領域以外の残部領域とに区画し、
前記接近領域及び前記第２開口部に対応する第１パンチ刃と、前記残部領域に対応する第２パンチ刃とを、両パンチ刃の打ち抜き方向の高さを互いに異ならせて同一のパンチに形成し、
前記板材における接近領域に対応する部分を第２開口部に対応する部分と同時に前記第１パンチ刃によって打ち抜いて接近領域及び第２開口部を形成し、
前記板材における残部領域に対応する部分を接近領域及び第２開口部とは異なるタイミングで前記第２パンチ刃によって打ち抜くことにより、接近領域と残部領域とを一連に繋げて第１開口部を形成することを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、板材における接近領域に対応する部分を、第２開口部に対応する部分と同時に第１パンチ刃によって打ち抜いて接近領域及び第２開口部を形成し、残部領域に対応する部分を接近領域及び第２開口部とは異なるタイミングで第２パンチ刃によって打ち抜くことにより接近領域と残部領域とを一連に繋げて第１開口部を形成するので、これらの開口部を同一ステージで形成することができ、その分、ダイスの小型化に寄与することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明における板材として、インクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッドの一種。以下、単に記録ヘッドという）の構成部材を接合するための接着フィルム（接着フィルム基材）を例に挙げて行う。
【００１９】
図１は、記録ヘッドが取り付けられるヘッドユニットをノズルプレート側から見た斜視図、図２は記録ヘッドをアクチュエータユニット側から見た斜視図、図３は記録ヘッドの平面図、図４は図３のＡ−Ａ断面図、図５は図３のＢ−Ｂ断面図、図６は図３のＣ−Ｃ断面図である。
【００２０】
図１に示すように、例示したヘッドユニット１はフレーム２を備えており、フレーム２におけるベース板部３の上面にはインクカートリッジ４が取り付け可能なカートリッジホルダ部５が形成されている。一方、カートリッジホルダ部５とは反対側となるベース板部３の下面には、記録ヘッド６が下側から取り付けられている。この記録ヘッド６とカートリッジホルダ部５に保持されたインクカートリッジ４とはインク供給路７によって連通される。従って、記録ヘッド６には、対応するインク供給路７を通じて所定のインク（液体の一種）が供給される。そして、記録ヘッド６に供給されたインクは、記録ヘッド６の外側表面に複数形成されたノズル開口９から吐出される。このノズル開口９はドット形成密度に対応したピッチで列状に穿設されており、このノズル列が２列横並びに形成されている。これらのノズル列の内、一方のノズル列は同じインクを吐出可能な単一ノズル列１０であり、他方のノズル列はノズル開口９をノズル列方向に複数のブロック（ノズル群の一種）に分割した分割ノズル列１１である。本実施形態では、分割ノズル列１１を３つのブロックから構成しており、ブロック同士の間については１ピッチ分空けてノズル開口９を形成している。
【００２１】
図２に示すように、記録ヘッド６は、アクチュエータユニット１４と流路ユニット１５とから構成されており、アクチュエータユニット１４と流路ユニット１５とを重ね合わせた状態で一体化してある。アクチュエータユニット１４は、複数の圧力室１６を形成した圧力室プレート１７、第１ノズル連通口１８や供給側連通口１９を形成した連通口基板２０、及び、圧電振動子２１を実装した振動板２２とを積層し、焼成等により一体化することで構成されている。流路ユニット１５は、インク供給口２５を形成した供給口プレート２６、複数のリザーバ２７を形成したリザーバプレート２８、及び、ノズル列１０，１１が形成されたノズルプレート２９からなるプレート部材を積層して一体化することで構成されている。詳しくは、供給口プレート２６とリザーバプレート２８との間に第１接着フィルム３０（以下、ＳＲフィルム３０と称する。）を配設し、リザーバプレート２８とノズルプレート２９との間に第２接着フィルム３１（以下、ＮＲフィルム３１と称する。）を配設して、これらの接着フィルム３０，３１によって各プレート部材２６，２８，２９を一体的に接合している。さらに、アクチュエータユニット１４と流路ユニット１５についても、アクチュエータユニット１４と流路ユニット１５との間に介在させた第３接着フィルム３２（以下、ＳＡフィルム３２と称する。）によって一体的に接合する。なお、接着フィルム３０，３１の詳細については後述する。
【００２２】
圧力室プレート１７は、圧力室を形成するのに適した厚さのセラミックス材の薄板、例えば厚さが１００μｍ程度の板状のアルミナやジルコニア等によって構成され、複数の圧力室１６，３３がプレートの厚さ方向に貫通した状態で形成されている。これらの圧力室１６，３３は、ノズルプレート２９のノズル開口９のピッチと同じ一定のピッチで列状に開設され、列設方向と直交する左右方向に細長い長孔である。そして、これらの圧力室列を構成する圧力室１６，３３の内、圧力室列の端部に位置する圧力室はインク滴の吐出に関与しないダミー圧力室３３として構成されている。さらに、分割ノズル列１１側の圧力室列を構成する圧力室１６，３３については、ブロック同士の間に位置する圧力室もダミー圧力室３３として構成される。なお、これらの圧力室１６及びダミー圧力室３３は一定のピッチで形成されているので、圧力室１６，３３における圧力室列設方向の一側の区画壁部の厚さと、他側の区画壁部の厚さとは同じである。
【００２３】
連通口基板２０は、圧力室プレート１７と同様のセラミックス材であって、第１ノズル連通口１８と供給側連通口１９とを形成した薄板によって構成されている。第１ノズル連通口１８は、圧力室１６の左右内側端部（即ち、ノズル開口９側の端部）に連通し、板厚方向を貫通する円形の孔であり、圧力室１６，３３と同じピッチで複数形成される。また、供給側連通口１９は、第１ノズル連通口１９とは反対側の圧力室１６の左右外側端部に連通し、板厚方向を貫通する円形の孔であり、圧力室１６，３３と同じピッチで複数形成される。
【００２４】
振動板２２は、厚さが６μｍ程度の弾性を有するセラミックス材の薄板であり、本実施形態ではアルミナやジルコニア等の薄板によって構成されている。圧力室１６とは反対側となる振動板２２の外側表面には、各圧力室１６に対応した状態で複数の圧電振動子２１が配設される。例示した圧電振動子２１は撓み振動モードの振動子であり、図示しない信号供給ケーブルから供給される駆動信号によって撓み、圧力室１６の容積を変化させる。
【００２５】
供給口プレート２６は、ステンレス材等の金属材料によって構成された薄い板状部材であり、板厚方向を貫通するインク供給口２５を上記の供給側連通口１９に対応させて複数形成し、また、板厚方向を貫通する第２ノズル連通口３４を上記の第１ノズル連通口１８に対応させて複数形成している。この第２ノズル連通口３４は、第１ノズル連通口１８と同じ直径の円形の孔である。また、インク供給口２５は、インク流路内のインクに対して流体抵抗を付与する部分であり、その直径は、供給側連通口１９の直径よりも十分に絞られている。また、供給口プレート２６には大気連通口３５を開設してある。この大気連通口３５は、ダミー圧力室３３を大気開放するための大気開放路の出口である。供給口プレート２６における連通口列設方向の他側端部には、インク導入口３６を開設してある。
【００２６】
リザーバプレート２８は、ステンレス材等の金属材料によって構成された薄い板状部材である。図７に示すように、このリザーバプレート２８には、単一ノズル列１０に対応する第１リザーバ２７ａと、分割ノズル列１１に対応する第２リザーバ２７ｂ、第３リザーバ２７ｃ、及び、第４リザーバ２７ｄとが形成されている。これらのリザーバ２７は、共通液室として機能する部分であり、板厚方向を貫通する開口部によって構成されている。そして、各リザーバ２７の端部は、対応するインク導入口３６の位置まで延設され、インク導入口３６と連通している。即ち、インク導入口３６を通じてリザーバ２７内にインクが導入されるようになっている。
【００２７】
また、リザーバプレート２８には、板厚方向を貫通する第３ノズル連通口４７を上記の第２ノズル連通口３４に対応させて複数形成している。さらに、分割ノズル列１１に対応する列には第１開放連通口４９も形成してある。この第１開放連通口４９は、ブロック間のダミー圧力室３３に対応して設けられ、このダミー圧力室３３を大気開放するために設けられる。この他に、リザーバプレート２８には、第２開放連通口５０と第３開放連通口５１とを形成してある。第２開放連通口５０は、ダミー圧力室３３を大気開放するために設けられる。第３開放連通口５１は、大気連通口３５と連通する部分であり、分割ノズル列１１側にのみ形成される。
【００２８】
ノズルプレート２９は、ステンレス材等の金属材料によって構成された薄い板状部材である。このノズルプレート２９には、２列のノズル列が横並びに形成されており、一方の列が単一ノズル列１０として構成され、他方の列が分割ノズル列１１として構成されている。本実施形態では、単一ノズル列１０は一定のピッチで開設された４８個のノズル開口９によって構成されている。分割ノズル列１１は、単一ノズル列１０側のノズル開口９と同じピッチで開設された１５個のノズル開口９で１つのブロック（ノズル群）を構成し、このブロックをノズル列方向に３つ並べている。さらに、各ブロックを、ブロック同士の間に１ノズル開口分（１ピッチ分）離隔させて配置している。即ち、ダミー圧力室３３に対応する位置にはノズル開口９を形成せずに塞いだ状態にしている。
【００２９】
そして、アクチュエータユニット１４と供給口プレート２６との間にＳＡフィルム３２を、供給口プレート２６とリザーバプレート２８との間にＳＲフィルム３０を、リザーバプレート２８とノズルプレート２９との間にＮＲフィルム３１を、それぞれ介在させた状態で、上記した各プレート部材を積層して一体化した記録ヘッド６１では、図３及び図６に示すように、リザーバ２７と圧力室１６の外側端部とが、供給口プレート２６のインク供給口２５、及び、連通口基板２０の供給側連通口１９を通じて連通する。また、圧力室１６の内側端部とノズル開口９とが、連通口基板２０の第１ノズル連通口１８、供給口プレート２６の第２ノズル連通口３４、リザーバプレート２８の第３ノズル連通口４７、及び、ＮＲフィルム３１の円形開口部５５を通じて連通する。これにより、リザーバ２７から圧力室１６を通ってノズル開口９に至る一連のインク流路がノズル開口９毎に形成される。
【００３０】
次に、上記のＳＲフィルム３０及びＮＲフィルム３１について説明する。
図８は、ＳＲフィルム３０及びＮＲフィルム３１の構成を説明する図である。両者は、ほぼ同一の形状及び構造であるため、便宜上、ＳＲフィルム３０を代表として説明し、ＮＲフィルム３１の説明は省略する。同図に示すように、ＳＲフィルム３０は、ノズル連通口の列同士の間の部分や、リザーバ２７ａ〜２７ｄに対応する部分等に複数の貫通開口部を形成した粘着性のフィルムである。
【００３１】
このＳＲフィルム３０における第２ノズル連通口３４や第３ノズル連通口４７に対応する位置には、これらのノズル連通口３４，４７の直径よりも少し大きい直径の円形開口部５２を、ノズル連通口３４，４７と同じピッチで開設している。そして、この円形開口部５２の列の両端部には、開口部列設方向に少し長い長孔開口部５３を形成している。また、この円形開口部５２の列の左右外側には、この列に沿って細長い開放開口部５４を形成している。この開放開口部５４は、単一ノズル列１０側に２つ、分割ノズル列１１側に３つ、それぞれ縦方向に並べて形成してある。また、リザーバ２７ａ〜２７ｄに対応する部分には、それぞれ、リザーバ開口部５５ａ〜５５ｄを開設している。これらのリザーバ開口部５５ａ〜５５ｄは、それぞれ対応するリザーバ２７ａ〜２７ｄの開口形状を一回り大きくした形状に作製されている。
【００３２】
上記ＳＲフィルム３０は、図９に示すように、本発明における樹脂層としての接着剤層５７（即ち、ＳＲフィルム３０となる部分）とセパレータ５８とを積層して成る２層構造の板材（以下、接着フィルム基材５９という）から作製される。本実施形態における接着フィルム基材５９は、合計７３μｍの厚さの板材であり、接着剤層５７の厚さは２３μｍ、セパレータ５８の厚さは５０μｍとなっている。セパレータ５８は、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムから構成されており、プレート部材の接合時には接着剤層５７から剥離されるようになっている。そして、本実施形態においては、開口窓形成工程において、図１０に示すように、接着フィルム基材５９に対し、上型に設けられたパンチ６１と下型に取り付けられたダイス６２（打ち抜き用雌型）を備える順送プレス用金型６３を用いたプレス加工によって上記各開口部５２〜５５等を形成する。
【００３３】
図１１は、順送プレス用金型６３におけるダイス６２の平面図である。同図に示すように、ダイス６２には、接着フィルム基材５９の搬送方向の上流側から下流側に向けて打ち抜き加工順に、第１ステージＳ１〜第６ステージＳ６までの合計６ステージが設けられている。接着フィルム基材５９は、接着剤層５７をダイス６２側に、セパレータ５８をパンチ６１側に、それぞれ向けた姿勢で、ダイス６２から上方へ僅かに浮き上がった状態で間欠的に第１ステージＳ１から順次送られる。そして、各ステージにおける打ち抜き加工時には、接着フィルム基材５９がダイス６２に向けて下降し、ダイス６２の各ステージに設けられた位置決めピン６４に、接着フィルム基材５９に設けられた位置決め穴（図示せず）が係合する。これにより、ダイス６２に対する接着フィルム基材５９の相対位置が規定された状態（位置決め状態）で接着フィルム基材５９がダイス６２上に載置される。この位置決め状態において上型のパンチ６１を、接着フィルム基材５９に向けて下降してセパレータ５８側から押し込むことで、打ち抜き加工が行われる。
【００３４】
第１ステージＳ１では、円形開口部５２のうち、例えば、長孔開口部５３を含む奇数番号の円形開口部５２を形成し、続く第２ステージＳ２では、残りの偶数番号の円形開口部５２と、位置決めピンが挿通される貫通穴を形成する。第３ステージＳ３では、開放開口部５４を形成する。この開放開口部５４は、部材同士を圧着する時の記録ヘッド６内の空気を記録ヘッド６外へ開放するための開口部である。第４ステージＳ４では、リザーバ開口部５５ａ〜５５ｄを形成している。ただし、この第４ステージＳ４では、リザーバ開口５５ｃに関してはリザーバ開口５５ｃとなる領域を全て同時に貫通して形成するのではなく、一部のみを形成している（この点についての詳細は後述する）。第５ステージＳ５では、第４ステージＳ４で貫通しなかったリザーバ開口５５ｃの残りの部分と、コンプライアンス部となる開口部を形成する。そして、最後の第６ステージＳ６では、ＳＲフィルム３０（ＮＲフィルム３１）の外形に沿った外枠開口部を形成する。以上の開口窓形成工程を経た後、接着フィルム基材５９から個々のＳＲフィルム３０（ＮＲフィルム３１）に分割される。
【００３５】
ところで、図８に例示した接着フィルム（ＳＲフィルム３０及びＮＲフィルム３１）では、各開口部が密集した状態で形成されている。特に、図８における領域Ａでは、図１２に拡大して示すように、リザーバ開口部５５ｃが隣り合うリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄと局部的に接近しており、これらの開口部同士を隔てている隔壁６０ａの幅が非常に細くなっている。一方、図８における領域Ｂでは、領域Ａよりも開口部同士が多少離れているが、この部分の隔壁６０ｂは、開口部の長尺方向に沿って細長く延びている。
【００３６】
このようなリザーバ開口部５５ｃ〜５５ｄを形成する場合において、リザーバ開口部５５ｃと、これに隣り合うリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄを異なるステージで打ち抜き加工を行うと、隔壁６０ａに対応する接着剤層５７が潰れてしまう虞があった。即ち、例えば、あるステージでリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄを先に形成し、その後、これとは別のステージでリザーバ開口部５５ｃに対応する部分を打ち抜く際、パンチ６１を押し込むことによりセパレータ５８の縁部がこのパンチ６１によって下方に引っ張られる。これにより、接着剤層５７が、セパレータ５８とダイス６２との間で押し潰され、先に形成した隣のリザーバ開口部側に流動する。その結果、この部分における接着剤層５７が隣のリザーバ開口部側に偏ってしまう。
【００３７】
また、上記の不具合を避けるために、リザーバ開口部５５ｃに対応する部分と、これと隣り合うリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄに対応する部分とを同一ステージで同時に打ち抜くと、領域Ｂにおける細長い隔壁６０ｂに対応するダイス６２の剛性が弱いため、この部分のダイス６２の破損や生じ易いという問題がある。また、パンチ６１を押し込んだときにダイス６２が左右にぶれることがあり、これにより接着剤層５７がダイス６２のぶれに伴って左右に引っ張られ、その結果、セパレータ５８と接着剤層５７の剥離が生じる虞があった。
【００３８】
そこで、本実施形態では、図８に示すように、リザーバ開口部５５ｃ〜５５ｄのうち、リザーバ開口部５５ｃ（本発明における第１開口部に相当）を、両隣のリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄ（本発明における第２開口部に相当）に対して局部的に接近した接近部６５を含む接近領域６６（図８における濃いハッチングの領域）と、この接近領域６６以外の残部領域６７（図８における薄いハッチングの領域）の２つの領域に区画し、接着フィルム基材５９の接近領域６６に対応する部分を、リザーバ開口部５５ｂ，５５ｄに対応する部分と同一ステージで同時に打ち抜くことで、接近領域６６及びリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄを形成し、接着フィルム基材５９における残部領域６７に対応する部分を接近領域６６及びリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄとは異なるステージで打ち抜くことで、接近領域６６と残部領域６７とを一連に繋げてリザーバ開口部５５ｃを形成している。
【００３９】
即ち、本実施形態では、第４ステージＳ４において、リザーバ開口５５ｃの接近領域６６に対応する部分と、リザーバ開口部５５ｂ，５５ｄに対応する部分とを同時に打ち抜き、その後、第５ステージＳ５において、残部領域６７に対応する部分を打ち抜いている。このようにすると、リザーバ開口５５ｃの接近部６５と、リザーバ開口部５５ｂ，５５ｄとを隔てる隔壁６０ａの両側にパンチ６１が同時に均等な力で押し込まれるので、打ち抜く際に接着剤層５７が一方に偏ることを抑制することができ、その結果、隔壁６０ａに対応する接着剤層５７の潰れを防止することができる。また、リザーバ開口５５ｃの残部領域６７と、リザーバ開口部５５ｂ，５５ｄとを異なるステージで打ち抜くので、それぞれのステージに対応するダイス６２の剛性を確保することができ、これにより、ダイス６２の損傷や変形を防止することができる。また、ダイス６２の剛性を確保できることから、打ち抜きの際にダイス６２がぶれることを防止することができ、これにより、リザーバ開口５５ｃの残部領域６７とリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄを隔てる隔壁６０ｂにおけるセパレータ５８と接着剤層５７の剥離を防止することが可能となる。
【００４０】
また、本実施形態において例示したように、接近領域６６及びリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄを形成するステージ（第４ステージＳ４）を、残部領域６７を形成するステージ（第５ステージＳ５）よりも前に設定することにより、残部領域６７よりも接近領域６６が先に打ち抜かれるので、残部領域６７に対応する部分の接着フィルム基材５９が残っている分だけ、接近領域６６の周囲の剛性を確保することができる。これにより、接近領域６６を打ち抜く際に、接近領域６６の開口形状の広がり等の変形を抑制することができ、その結果、接近領域６６を残部領域６７をよりも後で打ち抜く場合と比較して、面積が小さい接近領域をより精度良く形成することができる。
【００４１】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。
図１３は、第２実施形態における、順送プレス用金型６３′の構成を説明する模式図である。例示した順送プレス金型６３′のパンチ７０は、リザーバ開口５５ｃの接近領域６６及びリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄを形成するための第１パンチ刃７０ａと、リザーバ開口５５ｃの残部領域６７を形成するための第２パンチ刃７０ｂとを、両パンチ刃７０ａ，７０ｂの打ち抜き方向の高さを互いに異ならせて同一のパンチに形成してある。また、ダイス７１の残部領域６７に対応する部分に、ダイス７１本体から独立して設けられた可動ダイス刃７２を配置している。この可動ダイス刃７２は、スプリング等の付勢部材７４によって上方に付勢された状態でダイス７１本体に支持されており、パンチ７０の打ち抜き方向に可動に構成されている。
【００４２】
本実施形態では、この順送プレス金型６３′を用いて、接近領域６６と残部領域６７とを同一ステージにおける異なるタイミングで形成している。即ち、このステージでは、パンチ７０を、ダイス７１上の接着フィルム基材５９に向けて下降させると、まず、第１パンチ刃７０ａが、接近領域６６及びリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄに対応する部分に押し込まれる。ここで、可動ダイス刃７２を支持している付勢部材７４の付勢力を、第１パンチ刃７０ａが接着フィルム基材５９を打ち抜く際の反力よりも十分に大きく設定しているため、パンチ７０をそのまま下降させると、接近領域６６及びリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄに対応する部分を打ち抜くことができる。続いて、パンチ７０をさらに下降させると、第２パンチ刃７０ｂが、残部領域６７に対応する部分に当接する。即ち、第２パンチ刃７０ｂと可動ダイス刃７２との間に残部領域６７に対応する部分が挟まれた状態となる。この状態で、付勢部材７４による付勢力に抗しながら第２パンチ刃７０ｂを下降させると、第２パンチ刃７０ｂの押圧によって可動ダイス刃７２が下降し、第２パンチ刃７０ｂとダイス７１本体との剪断によって残部領域６７が打ち抜かれる。
【００４３】
このように、接着フィルム基材５９における接近領域６６に対応する部分を、リザーバ開口部５５ｂ，５５ｄに対応する部分と同時に第１パンチ刃７０ａによって打ち抜いて接近領域６６及びリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄを形成し、残部領域６７に対応する部分を接近領域６６及びリザーバ開口部５５ｂ，５５ｄとは異なるタイミングで第２パンチ刃７０ｂによって打ち抜くことにより、接近領域６６と残部領域６７とを一連に繋げてリザーバ開口部５５ｃを形成するので、これらの開口部を同一ステージで形成することができ、その分、ダイス７１の小型化に寄与することが可能となる。
【００４４】
なお、以上では、本発明における板材として、上記接着フィルム基材５９を例示したが、これには限らず、樹脂層を少なくとも有する板材であれば、他の板材にも本発明を適用することができる。例えば、所謂縦振動子型の圧電振動子を備える記録ヘッドにおいて、流路基板の一方の面上に形成してインク流路の一部を区画する振動板は、ステンレス鋼等の金属製の支持板に樹脂製の弾性フィルムをラミネートして構成された複合板材であり、この封止板に開口部を形成する場合にも本発明は好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】ヘッドユニットをノズルプレート側から見た斜視図である。
【図２】記録ヘッドをアクチュエータユニット側から見た斜視図である。
【図３】記録ヘッドの平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】図３のＣ−Ｃ断面図である。
【図７】リザーバプレートの平面図である。
【図８】ＳＲフィルムの平面図である。
【図９】接着フィルム基材の断面図である。
【図１０】順送プレス用金型の構成を説明する模式図である。
【図１１】順送プレス用金型におけるダイスの平面図である。
【図１２】図８における領域Ａの拡大図である。
【図１３】第２実施形態における順送プレス用金型の構成を説明する模式図である。
【図１４】接着フィルムの構成を説明する平面図である。
【図１５】接着フィルムの構成を説明する断面図である。
【図１６】隣り合う貫通開口部のうち一方の貫通開口部を形成した後、他方の貫通開口部を形成する加工を説明する模式図であり、（ａ）は加工中の状態、（ｂ）は加工後の状態を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
６…記録ヘッド，１４…アクチュエータユニット，３０…ＳＲフィルム，３１…ＮＲフィルム，５５ａ〜５５ｄ…リザーバ開口部，５７…接着剤層，５８…セパレータ，５９…接着フィルム基材，６０…隔壁，６１…パンチ，６２…ダイス，６３…プレス金型，６５…接近部，６６…接近領域，６７…残部領域，７０…パンチ，７１…ダイス，７２…可動ダイス刃，７４…付勢部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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