(57)【要約】【課題】  ソフトウェアのエラーやデータ入力のエラーなどによりウエハテーブルが設定範囲外に移動する場合、そのウエハテーブルとイジェクタが衝突することを防止できるイジェクタ衝突防止装置を提供する。【解決手段】    本発明は、チップが配列されたウエハユニットが載置されるウエハテーブルと、前記ウエハテーブルを駆動するテーブル駆動アセンブリと、前記ウエハテーブルの内部に位置し、前記ウエハユニットのチップのピックアップ時に前記ウエハユニットのチップを支持するイジェクタと、前記ウエハテーブルの内部に位置し、前記イジェクタとの接触時に前記テーブル駆動アセンブリを停止させる安全ユニットと、から構成されることを特徴とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップが配列されたウエハユニットが載置されるウエハテーブルと、
前記ウエハテーブルを駆動するテーブル駆動アセンブリと、
前記ウエハテーブルの内部に位置し、前記ウエハユニットのチップのピックアップ時に前記ウエハユニットのチップを支持するイジェクタと、
前記ウエハテーブルの内部に位置し、前記イジェクタとの接触時に前記テーブル駆動アセンブリを停止させる安全ユニットと
から構成されることを特徴とするイジェクタ衝突防止装置。
【請求項２】
前記安全ユニットは、前記ウエハテーブルに所定間隔を置いて装着され、それぞれマイコンに電気的に接続される第１端子及び第２端子と、前記イジェクタが位置するウエハテーブルの内部空間に突設され、前記イジェクタとの接触時に前記第１端子及び第２端子を接続する弾性材質のスイッチング部材とから構成されることを特徴とする請求項１に記載のイジェクタ衝突防止装置。
【請求項３】
前記安全ユニットは、第１端子及び第２端子とスイッチング部材がウエハテーブルの内部空間の内周壁に沿って所定間隔を置いて複数配列されたことを特徴とする請求項２に記載のイジェクタ衝突防止装置。
【請求項４】
前記スイッチング部材は、屈曲した形態に形成された板バネであり、前記板バネの一側が前記第１端子に固定結合され、他側が第２端子の接地部分と所定間隔を置いて位置し、前記板バネを押すと、前記板バネの他側が第２端子と接地することを特徴とする請求項２に記載のイジェクタ衝突防止装置。
【請求項５】
前記安全ユニットは、前記ウエハテーブルの内部に位置してウエハユニットの内部を膨脹させるウエハ膨脹リングの内周壁から突出して位置することを特徴とする請求項１に記載のイジェクタ衝突防止装置。
【請求項６】
前記安全ユニットは、前記イジェクタドームの外周面と所定間隔を置いて該イジェクタドームに挿入されるセンサ胴部と、前記センサ胴部を付勢する付勢部材と、前記センサ胴部の内周壁に所定間隔を置いて装着され、それぞれマイコンに電気的に接続される複数の第１端子及び第２端子と、前記センサ胴部に複数備えられ、該センサ胴部に外力が作用してイジェクタに接触すると前記第１端子及び第２端子を接続する弾性材質のスイッチング部材とから構成されることを特徴とする請求項１に記載のイジェクタ衝突防止装置。
【請求項７】
前記スイッチング部材は、屈曲した形態に形成された板バネであり、前記板バネの一側が前記第１端子に固定結合され、他側が第２端子の接地部分と所定間隔を置いて位置し、前記板バネを押すと、前記板バネの他側が第２端子と接地することを特徴とする請求項６に記載のイジェクタ衝突防止装置。
【請求項８】
前記スイッチング部材、第１端子、及び第２端子は、それぞれ４つであることを特徴とする請求項７に記載のイジェクタ衝突防止装置。
【請求項９】
ウエハテーブルの内部に位置するウエハ膨脹リングの内部にイジェクタが位置し、前記ウエハ膨脹リングの内周壁に弾性力を有する複数の接触センサが配列され、前記ウエハテーブルの移動時にイジェクタが感知センサに接触すると、ウエハテーブルの駆動が停止することを特徴とするイジェクタ衝突防止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イジェクタ衝突防止装置に係り、特に、ソフトウェアのエラーやデータ入力のエラーなどによりウエハテーブルが設定範囲外に移動する場合、そのウエハテーブルとイジェクタが衝突することを防止できるイジェクタ衝突防止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＣＤモニタの場合、ＬＣＤパネルに複数の駆動回路が備えられ、前記駆動回路は、駆動チップと該駆動チップに連結される複数のワイヤ端子とにより実現される。
前記駆動回路は、図７に示すように、絶縁フィルム１に複数の単位メタルパターン２が形成されたテープＴのそれぞれの単位メタルパターン２に駆動チップ３を接着する一連の工程により製造され、テープＴのメタルパターン２に駆動チップ３を接着する工程は、ボンディング装置により行われる。メタルパターン２は、複数のワイヤ端子を構成する。
【０００３】
駆動チップ３は、ウエハユニットによりボンディング装置に供給される。ウエハユニット（チップ供給ユニットともいう）は、図８に示すように、円状のフィルム４の一面に複数の駆動チップ（以下、チップともいう）３が取り付けられたチップ付着フィルムＣＦと、チップ付着フィルムＣＦを支持する支持リング５とから構成される。支持リング５は、所定厚さを有する板の内部に所定内径を有する貫通孔が形成され、チップ付着フィルムＣＦは、支持リング５に貼り付けられる。ここで、チップ付着フィルムＣＦは、支持リング５の貫通孔に位置する。
このようなウエハユニットＷは、ボンディング装置のウエハ供給ユニットに供給される。
【０００４】
図９は、本発明の出願人が研究開発中のボンディング装備の一例を概略的に示す図である。
図示の通り、ボンディング装置は、絶縁フィルムに複数の単位メタルパターンが形成されたテープＴが巻かれたリール１０からテープＴが引き出されて、テープフィーダ２０がテープＴを連続的に移送し、そのテープＴは、テープガイド３０に沿ってボンディングヘッド４０側に移動する。これと同時に、駆動チップ３が配列されたウエハユニットＷがウエハ供給ユニット５０により供給され、ウエハ供給ユニット５０の側部に位置するチップ伝達ユニット６０がウエハユニットＷに配列された駆動チップ３をピックアップしてボンディングヘッド４０側に移動させる。
【０００５】
ボンディングヘッド４０がチップ伝達ユニット６０により供給された駆動チップ３を吸着して、テープＴに配列された単位メタルパターン２に接着させる。ここで、メタルパターン２と駆動チップ３は、加熱及び加圧により互いに接着し、テープＴの下部に下部ツール（又は、ボンディングステージ）が位置して駆動チップ３及びボンディングヘッド４０を支持する。
このような過程が繰り返されてウエハユニットＷに配列された駆動チップ３をテープＴに配列された単位メタルパターン２にそれぞれ接着する。駆動チップ３が接着されたテープＴは、リール１１で巻取られる。
【０００６】
前記ボンディング装備においてウエハユニットＷを供給するウエハ供給ユニット５０は、図１０、図１１、図１２に示すように、ボンディング装備のベースフレーム８０に装着されるＸ軸ＬＭガイド５１と、Ｘ軸ＬＭガイド５１に沿って移動可能に結合される第１ベースプレート５２と、第１前記ベースプレート５２を直線往復運動させる第１駆動ユニットＭ１と、Ｘ軸ＬＭガイド５１に対して垂直方向に位置するように第１ベースプレート５２に結合されるＹ軸ＬＭガイド５３と、Ｙ軸ＬＭガイド５３を直線往復運動させる第２駆動ユニットＭ２と、Ｙ軸ＬＭガイド５３に沿って移動可能に結合される第２ベースプレート５４と、第２ベースプレート５４に結合されるテーブルガイド５５と、テーブルガイド５５の内部に回転可能に結合され、駆動チップが配列されたウエハユニットＷが載置されるウエハテーブル５６と、第２ベースプレート５４に装着されてウエハテーブル５６を回転させる回転駆動ユニットＭ３と、ウエハテーブル５６の内部に上下移動可能に結合されてウエハテーブル５６に載置されたウエハユニットＷの内部を押して膨脹させるウエハ膨脹リング５７と、ウエハ膨脹リング５７を上下に移動させるリング駆動ユニットＭ４と、ウエハ膨脹リング５７の内部に位置するようにベースフレーム８０に固定結合されてチップ伝達ユニット６０がウエハユニットＷの駆動チップをピックアップできるように支持するイジェクタＥとから構成される。イジェクタＥは、所定長さを有し、垂直方向に位置するドーム５８とドーム５８を上下に移動させる駆動ユニット５９とを含む。
【０００７】
以下、上記ウエハ供給ユニットの動作について説明する。
まず、ボンディング装備を構成するウエハ移送ユニット（図示せず）によりウエハユニットＷがウエハテーブル５６に載置される。また、ウエハユニットＷが載置されたウエハテーブル５６は、第１駆動ユニットＭ１及び第２駆動ユニットＭ２の駆動によりＸ軸ＬＭガイド５１及びＹ軸ＬＭガイド５３に沿って動いて設定位置に移動し、さらに、回転駆動ユニットＭ３の駆動によりウエハテーブル５６が回転してウエハユニットＷを設定位置に回転させる。
【０００８】
これと同時に、ウエハ膨脹リング５７がリング駆動ユニットＭ４の駆動により上に移動すると、図１３に示すように、ウエハテーブル５６に載置されたウエハユニットＷの内部を押してウエハユニットＷのチップ付着フィルムを膨脹させることにより、ウエハユニットＷに配列された駆動チップ間の間隔を広くする。
また、チップ伝達ユニット６０がウエハユニットＷのチップ付着フィルムに配列された駆動チップをピックアップし、ここで、ウエハテーブル５６の内部に位置するイジェクタドーム５８がウエハユニットＷの下面を吸着するとともに駆動チップがウエハユニットＷのチップ付着フィルムから分離されるように支持する。
さらに、チップ伝達ユニット６０は、駆動チップをピックアップしてボンディングヘッド４０側に伝達し、チップ伝達ユニット６０が次の駆動チップをピックアップできるようにウエハユニットＷを移動させる。イジェクタドーム５８の位置は固定される。
【特許文献１】特開平０５−１４５２７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、前述したようなウエハ供給ユニットは、ソフトウェアのエラーやデータ入力のエラーなどが発生した場合、図１４に示すように、ウエハテーブル５６のウエハ膨脹リング５７とイジェクタドーム５８が衝突するため、ウエハテーブル５６及びイジェクタドーム５８を含む部品が破損する問題がある。
本発明は、このような問題を解決するために提案されたものであり、本発明の目的は、ソフトウェアのエラーやデータ入力のエラーなどによりウエハテーブルが設定範囲外に移動する場合、そのウエハテーブルとイジェクタが衝突することを防止できるイジェクタ衝突防止装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、チップが配列されたウエハユニットが載置されるウエハテーブルと、前記ウエハテーブルを駆動するテーブル駆動アセンブリと、前記ウエハテーブルの内部に位置し、前記ウエハユニットのチップのピックアップ時に前記ウエハユニットのチップを支持するイジェクタと、前記ウエハテーブルの内部に位置し、前記イジェクタとの接触時に前記テーブル駆動アセンブリを停止させる安全ユニットと、から構成されることを特徴とする。
【００１１】
前記安全ユニットは、前記ウエハテーブルに所定間隔を置いて装着され、それぞれマイコンに電気的に接続される第１端子及び第２端子と、前記イジェクタが位置するウエハテーブルの内部空間に突設され、前記イジェクタとの接触時に前記第１端子及び第２端子を接続する弾性材質のスイッチング部材とから構成され、第１端子及び第２端子とスイッチング部材がウエハテーブルの内部空間の内周壁に沿って所定間隔を置いて複数配列されたことを特徴とする。
【００１２】
前記スイッチング部材は、屈曲した形態に形成された板バネであり、前記板バネの一側が前記第１端子に固定結合され、他側が第２端子の接地部分と所定間隔を置いて位置し、前記板バネを押すと、前記板バネの他側が第２端子と接地することを特徴とする。
【００１３】
前記安全ユニットは、前記ウエハテーブルの内部に位置してウエハユニットの内部を膨脹させるウエハ膨脹リングの内周壁から突出して位置し、前記イジェクタドームの外周面と所定間隔を置いて該イジェクタドームに挿入されるセンサ胴部と、前記センサ胴部を付勢する付勢部材と、前記センサ胴部の内周壁に所定間隔を置いて装着され、それぞれマイコンに電気的に接続される複数の第１端子及び第２端子と、前記センサ胴部に複数備えられ、該センサ胴部に外力が作用してイジェクタに接触すると前記第１端子及び第２端子を接続する弾性材質のスイッチング部材とから構成されることを特徴とする。
【００１４】
前記スイッチング部材、第１端子、及び第２端子は、それぞれ４つであることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、ウエハテーブルの内部に位置するウエハ膨脹リングの内部にイジェクタが位置し、前記ウエハ膨脹リングの内周壁に弾性力を有する複数の接触センサが配列され、前記ウエハテーブルの移動時にイジェクタが感知センサに接触すると、ウエハテーブルの駆動が停止することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のイジェクタ衝突防止装置は、ソフトウェアのエラーやデータ入力エラーなどによりウエハテーブルが設定範囲外に移動する場合、ウエハテーブルとイジェクタが衝突することを防止するため、ウエハテーブルとイジェクタを含む部品の破損を防止するとともに、装備の信頼性が向上する効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明のイジェクタ衝突防止装置の実施形態を図面を参照して説明する。
【実施例】
【００１８】
図１は、本発明のイジェクタ衝突防止装置の一実施形態を備えたボンディング装備のウエハ供給ユニットを示す平面図である。
イジェクタ衝突防止装置は、駆動チップが配列されたウエハユニットＷが載置されるウエハテーブル２００と、該ウエハテーブル２００を駆動するテーブル駆動アセンブリと、ウエハテーブル２００の内部に位置してウエハユニットＷのチップのピックアップ時にウエハユニットＷのチップを支持するイジェクタ３００と、テーブルの内部に位置してイジェクタ３００との接触時にテーブル駆動アセンブリを停止させる安全ユニット４００とから構成される。
【００１９】
テーブル駆動アセンブリは、ウエハテーブル２００をＸ軸方向とＹ軸方向に移動させるとともに、ウエハテーブル２００を回転させる。これに関する具体的な構成の一例として、テーブル駆動アセンブリは、ボンディング装備のベースフレーム８０に装着されるＸ軸ＬＭガイド５１０と、該Ｘ軸ＬＭガイド５１０に沿って移動可能に結合される第１ベースプレート５２０と、第１前記ベースプレート５２０を直線往復運動させる第１駆動ユニットＭ５と、Ｘ軸ＬＭガイド５１０に対して垂直方向に位置するように第１ベースプレート５２０に結合されるＹ軸ＬＭガイド５３０と、Ｙ軸ＬＭガイド５３０を直線往復運動させる第２駆動ユニットＭ６と、Ｙ軸ＬＭガイド５３０に沿って移動可能に結合される第２ベースプレート５４０と、第２ベースプレート５４０に装着されてウエハテーブル２００を回転させる回転駆動ユニットＭ７とから構成される。
【００２０】
第２ベースプレート５４０にテーブルガイド５５０が結合され、テーブルガイド５５０にウエハテーブル２００が回転可能に装着される。
ウエハテーブル２００の内部に所定長さを有する円筒状のウエハ膨脹リング６００が上下移動可能に装着される。ウエハテーブル２００の内部に円筒状の内部空間が備えられ、ウエハテーブル２００の内部空間にウエハ膨脹リング６００が位置する。また、第２ベースプレート５４０にウエハ膨脹リング６００を上下に移動させるリング駆動ユニットＭ８が備えられる。
ウエハテーブル２００の内部空間、すなわち、ウエハテーブル２００のウエハ膨脹リング６００の内部にイジェクタ３００が位置するように該イジェクタ３００がベースフレーム８０に固定結合される。
【００２１】
イジェクタ３００は、所定形状を有し、ベースフレーム８０に固定結合される胴部３１０と、胴部３１０に垂直方向に移動可能に装着されるドーム３２０と、ドーム３２０を上下に駆動する駆動ユニット３３０とから構成される。ドーム３２０は、所定長さを有して形成され、垂直方向に位置する。
安全ユニット４００は、図２に示すように、所定間隔を置いてウエハテーブル２００に装着され、それぞれマイコン（図示せず）に電気的に接続される第１端子４１０及び第２端子４２０と、イジェクタ３００が位置するウエハテーブル２００の内部空間に突設され、イジェクタ３００が接触すると第１端子４１０及び第２端子４２０を接続する弾性材質のスイッチング部材４３０とから構成される。マイコンは、第１端子４１０と第２端子４２０がスイッチング部材４３０により接触すると、その接触を感知して駆動ユニットの駆動が停止するように制御する。
【００２２】
安全ユニット４００のより好ましい実施形態では、第１端子４１０及び第２端子４２０とスイッチング部材４３０がウエハテーブル２００の内部空間の内周壁に沿って所定間隔を置いて複数配列される。
スイッチング部材４３０は、所定長さを有して屈曲した形態に形成された板バネであることが好ましく、その板バネの屈曲部分がウエハテーブル２００の内部に位置する。
さらに、スイッチング部材４３０は、一側が第１端子４１０に固定結合され、他側が第２端子４２０の接地部分４２１と所定間隔を置いて位置する。イジェクタ３００のドーム３２０が板バネを押すと、その板バネの他側が第２端子４２０と接地する。
【００２３】
また、スイッチング部材４３０は、図３に示すように、ウエハテーブル２００の内部空間に装着されるウエハ膨脹リング６００の内周壁から突出するように結合されることが好ましい。すなわち、ウエハ膨脹リング６００に円周方向に所定間隔を置いて所定サイズの貫通孔６１０が複数形成され、その複数の貫通孔６１０の位置に対応するウエハテーブル２００の内部空間の内壁に装着部がそれぞれ備えられる。ウエハテーブル２００の装着部に第１端子４１０と第２端子４２０が装着され、スイッチング部材４３０の屈曲部分がウエハ膨脹リング６００の内周壁内へ突出するようにスイッチング部材４３０の一側が第１端子４１０に結合され、他側が第２端子４２０に位置する。
【００２４】
これにより、スイッチング部材４３０は、屈曲部分がウエハ膨脹リング６００の内部に位置するように該ウエハ膨脹リング６００の内周壁から突出するように配列される。ウエハ膨脹リング６００の貫通孔６１０は、その内部にスイッチング部材４３０が位置している状態でウエハ膨脹リング６００が上下移動できるサイズに形成される。
スイッチング部材４３０である板バネの他側が第２端子４２０と接地すると、板バネが第１端子４１０と第２端子４２０を接続して板バネにイジェクタ３００のドーム３２０が接触したという信号がマイコンに伝達される。その信号によってマイコンはテーブル駆動アセンブリの駆動を停止させる。
【００２５】
安全ユニットの他の実施形態として、図４に示すように、イジェクタドーム３２０の外周面と所定間隔離隔するようにそのイジェクタドーム３２０が挿入されるセンサ胴部７１０と、センサ胴部７１０を付勢する付勢部材７２０と、センサ胴部７１０の内周壁に所定間隔を置いて装着され、それぞれマイコンに電気的に接続される複数の第１端子７３０及び第２端子７４０と、センサ胴部７１０に複数備えられ、センサ胴部７１０に外力が作用してイジェクタドーム３２０に接触すると第１端子７３０及び第２端子７４０を接続する弾性材質のスイッチング部材７５０とから構成される。
【００２６】
センサ胴部７１０は、所定厚さ及び長さを有する円筒状に形成され、ウエハ膨脹リング６００の内部に位置する。
付勢部材７２０は、所定長さを有する弾性体であり、センサ胴部７１０とイジェクタ胴部３１０を連結してセンサ胴部７１０を支持する。
一対の第１端子７３０及び第２端子７４０は、センサ胴部７１０の内部に所定間隔を置いて配置され、その一対の第１端子７３０及び第２端子７４０と他の一対の第１端子７３０及び第２端子７４０は、所定間隔を置いて配置される。センサ胴部７１０に備えられる複数の第１端子７３０及び第２端子７４０は、その第１端子７３０及び第２端子７４０を一対として４対配置されることが好ましい。
【００２７】
スイッチング部材７５０は、屈曲した形態に形成された板バネであり、その板バネがセンサ胴部７１０の内周壁から突出するように、その板バネの一側が第１端子７３０に固定結合され、他側が第２端子７４０の接地部分と所定間隔を置いて位置する。スイッチング部材７５０は、一対の第１端子７３０及び第２端子７４０に１つずつ配置され、４つ配置されることが好ましく、イジェクタドーム３２０と接触せずに一定の間隔を置いて配置される。ここで、スイッチング部材７５０である板バネを押すと、板バネの他側が第２端子７４０と接地する。
【００２８】
スイッチング部材７５０である板バネの他側が第２端子７４０と接地すると、板バネが第１端子７３０と第２端子７４０を接続し、板バネにイジェクタ３００のドーム３２０が接触したという信号がマイコンに伝達される。その信号によって、マイコンはテーブル駆動アセンブリの駆動を停止させる。
一方、本発明のイジェクタ衝突防止装置の他の実施形態として、ウエハテーブルの内部に位置するウエハ膨脹リングの内部にイジェクタが位置し、ウエハ膨脹リングの内周壁に弾性力を有する複数の感知センサが配列され、ウエハテーブルが移動してイジェクタが感知センサに接触するとウエハテーブルの駆動を停止させる構成であれば、全て適用できる。
【００２９】
以下、本発明のイジェクタ衝突防止装置の作用効果を説明する。
まず、ボンディング装備を構成するウエハ移送ユニット（図示せず）によりウエハユニットＷがウエハテーブル２００に載置される。また、テーブル駆動アセンブリの駆動によりウエハユニットＷが載置されたウエハテーブル２００がＸ軸方向とＹ軸方向に移動すると同時に回転してウエハユニットＷが設定位置に移動する。
これと同時に、リング駆動ユニットＭ８の駆動によりウエハ膨脹リング６００が上に移動してウエハテーブル２００に載置されたウエハユニットＷの内部を押して該ウエハユニットＷのチップ付着フィルムを膨脹させることにより、ウエハユニットＷのチップ付着フィルムに配列されたチップ間の間隔が広くなる。
【００３０】
また、チップ伝達ユニット６０（図９を参照）がウエハユニットＷに配列されたチップをピックアップし、ここで、ウエハテーブル２００の内部に位置するイジェクタ３００のドーム３２０は、チップが位置するウエハユニットＷの下面を吸着してチップがウエハユニットＷから分離されるように支持する。
チップ伝達ユニット６０は、チップをピックアップしてボンディングヘッド４０（図９を参照）側に伝達し、そのチップ伝達ユニット６０が次のチップをピックアップできるようにウエハユニットＷを移動させる。
このような過程で、ボンディング装備を制御するソフトウェアのエラーやデータの入力エラーなどにより、ウエハテーブル２００が設定範囲外の領域に移動する場合、ウエハテーブル２００の内部に備えられた安全ユニット４００によりウエハテーブル２００とイジェクタ３００のドーム３２０が衝突することが防止される。
【００３１】
その過程を詳細に説明すると、ウエハテーブル２００が、図５に示すように、イジェクタ３００のドーム３２０に隣接すると、ウエハテーブル２００のウエハ膨脹リング６００の内部に備えられたスイッチング部材４３０が先にイジェクタ３００のドーム３２０に接触して押される。スイッチング部材４３０がイジェクタ３００のドーム３２０により押されると、スイッチング部材４３０の一側が第２端子４２０の接地部分４２１に接地してマイコンに信号を伝達する。その信号によって、マイコンがテーブル駆動アセンブリの駆動を停止させてウエハテーブル２００を停止させ、これにより、ウエハテーブル２００とイジェクタドーム３２０の衝突が防止される。
【００３２】
マイコンに伝達された信号により現在ウエハテーブル２００の移動方向を他の方向に転換することにより、ウエハテーブル２００とイジェクタ３００が衝突することを防止できる。安全ユニットのスイッチング部材４３０が弾性部材の板バネであるため、イジェクタ３００のドーム３２０がスイッチ部材４３０に接触してもイジェクタ３００が破損しない。
一方、安全ユニットの他の実施形態の作用効果は、図６に示すように、ウエハ膨脹リング６００がイジェクタ３００のドーム３２０に隣接してウエハ膨脹リング６００がセンサ胴部７１０に接触すると、センサ胴部７１０が付勢部材７２０に支持された状態で押されてセンサ胴部７１０の内周壁から突出したスイッチング部材７５０がイジェクタドーム３２０に接触して押される。
【００３３】
スイッチング部材７５０がイジェクタ３００のドーム３２０により押されると、スイッチング部材７５０の一側が第２端子７４０の接地部分７４１に接地してマイコンに信号が伝達される。その信号によって、マイコンがテーブル駆動アセンブリの駆動を停止させてウエハテーブル２００が停止され、これにより、ウエハテーブル２００とイジェクタ３００のドーム３２０の衝突が防止される。一対の第１端子７３０及び第２端子７４０が４つ配置され、また、スイッチング部材７５０が４つである場合、その接触するスイッチング部材７５０によってウエハテーブル２００の移動方向を感知できる。
本発明のイジェクタ衝突防止装置は、ボンディング装備に適用されたものを基準に説明してきたが、ボンディング装備だけでなく、ウエハユニットのチップをピックアップする全ての装備に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明のイジェクタ衝突防止装置の一実施形態を備えたボンディング装備のウエハ供給ユニットを示す平面図である。
【図２】本発明のイジェクタ衝突防止装置を示す平面図である。
【図３】本発明のイジェクタ衝突防止装置の一部を示す斜視図である。
【図４】本発明のイジェクタ衝突防止装置を構成する安全ユニットの他の実施形態を示す平面図である。
【図５】本発明のイジェクタ衝突防止装置の動作状態を示す平面図である。
【図６】本発明のイジェクタ衝突防止装置の動作状態を示す平面図である。
【図７】駆動チップが備えられたテープを示す平面図である。
【図８】駆動チップが配列されたウエハユニットを示す平面図である。
【図９】本発明の出願人が研究開発中のボンディング装備を概略的に示す正面図である。
【図１０】図９のボンディング装備を構成するウエハ供給ユニットを示す斜視図である。
【図１１】図９のボンディング装備を構成するウエハ供給ユニットを示す平面図である。
【図１２】図９のボンディング装備を構成するウエハ供給ユニットを示す正面図である。
【図１３】前記ウエハ供給ユニットの動作状態を示す図である。
【図１４】前記ウエハ供給ユニットを構成するウエハテーブルとイジェクタの衝突状態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３５】
２００：ウエハテーブル
３００：イジェクタ
４００：安全ユニット
４１０：第１端子
４２０：第２端子
４３０、７５０：スイッチング部材
６００：ウエハ膨脹リング
７１０：センサ胴部
７２０：付勢部材
７３０：第１端子
７４０：第２端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007281418.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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