(57)【要約】【課題】測定結果の精度は維持しつつ、比較的安価に測定時間の短縮化を図ることが可能な粒子計数システム及びその使用方法を提供する。【解決手段】被検流体中の粒子を検出し計数する複数の粒子計数装置１１と、複数の粒子計数装置１１から得られる計数結果を処理する情報処理装置１７と、を有する粒子計数システムで、複数の粒子計数装置１１が多連かつ並列に情報処理装置１７に電気的に接続される。或いは、被検流体中の粒子を検出し計数する複数の粒子計数装置１１を有する粒子計数システムで、複数の粒子計数装置１１のうちのいずれか１の装置に、他の装置が多連かつ並列に電気的に接続される。【選択図】図１
2007218785.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検流体中の粒子を検出し計数する複数の粒子計数装置と、
前記複数の粒子計数装置から得られる計数結果を処理する情報処理装置と、を有し、
前記複数の粒子計数装置が多連かつ並列に前記情報処理装置に電気的に接続される粒子計数システム。
【請求項２】
被検流体中の粒子を検出し計数する複数の粒子計数装置を有し、前記複数の粒子計数装置のうちのいずれか１の装置に、他の装置が多連かつ並列に電気的に接続される粒子計数システム。
【請求項３】
前記情報処理装置は、各々の計数結果を処理する計数結果処理手段を備え、
前記複数の粒子計数装置が多連かつ並列に運転されたとき、前記計数結果処理手段に前記複数の粒子計数装置からの計数結果が集約されることを特徴とする請求項１記載の粒子計数システム。
【請求項４】
前記１の装置は、各々の計数結果を処理する計数結果処理手段を備え、
前記複数の粒子計数装置が多連かつ並列に運転されたとき、前記計数結果処理手段に前記複数の粒子計数装置からの計数結果が集約されることを特徴とする請求項２記載の粒子計数システム。
【請求項５】
前記計数結果処理手段は、集約された計数結果を集計することを特徴とする請求項３又は４記載の粒子計数システム。
【請求項６】
前記粒子計数装置の各々には、被検流体を吸い込む吸込手段が接続されており、
特定監視エリア内における被検流体中の粒子を検出し計数する場合、複数の前記吸込手段が当該特定監視エリア内に配置されることを特徴とする請求項１から５のいずれか記載の粒子計数システム。
【請求項７】
被検流体中の粒子を検出し計数する複数の粒子計数装置と、前記複数の粒子計数装置から得られる計数結果を処理する情報処理装置と、を有し、前記複数の粒子計数装置が多連かつ並列に前記情報処理装置に電気的に接続される粒子計数システムの使用方法であって、
前記複数の粒子計数装置を、多連かつ並列に運転することを特徴とする粒子計数システムの使用方法。
【請求項８】
被検流体中の粒子を検出し計数する複数の粒子計数装置を有し、前記複数の粒子計数装置のうちのいずれか１の装置に、他の装置が多連かつ並列に電気的に接続される粒子計数システムの使用方法であって、
前記複数の粒子計数装置を、多連かつ並列に運転することを特徴とする粒子計数システムの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検流体中の粒子を検出し計数する粒子計数システム及びその使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや液晶表示装置を作製するにあたって、クリーンルームやクリーンブースの環境は、製品の歩留りを決定付ける重要な要素になる。そのため、従来から、クリーンルームやクリーンブースのクリーン度を測定するために、粒子計数装置（パーティクルカウンター）が用いられている。
【０００３】
この種の粒子計数装置には、被検流体の粒子を検出し計数する測定部と、この測定部における測定結果を表示する測定結果表示部とが設けられ、これらが一体となって粒子計数装置を構成している（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
粒子計数装置を用いたクリーン度の測定について具体的に説明する。まず、１台の粒子計数装置において、測定部で単位体積（例えば、２８．３Ｌ＝１ｃｆ）になるだけの被検流体の吸引を行う。その後、吸引された被検流体から検出された粒子数を、測定結果として測定結果表示部に表示させる。このとき、測定結果はクラス数で表示されることが多い。「クラス数」とは、例えば米国連邦規格２０９Ｄ方式では、０．５μｍ以上の粒子を測定対象として立方フィート中の粒子数を意味しており、クラス１，１０，１００，１０００等といったように表示される。
【０００５】
ところで、このようにして行われるクリーン度の測定では、全測定時間帯での累計としての測定結果しか得られない場合があり、この場合、測定時間内でパーティクル量に変化が生じたとしても、その変化を把握することができない。そのため、測定時間の短縮化は、測定結果の精度を向上させる意味で重要な課題となる。また、作業の効率化及び合理化の観点からも、測定時間の短縮化は重要な課題となる。
【０００６】
測定時間の短縮化を図る方法として、例えば、単位体積の何分の一かを吸引した後、得られた計数値を単位体積あたりの値に換算（何倍して通常の単位体積に換算）して、その換算値を測定結果として表示する方法がある。これによれば、測定時間（主に被検流体の吸引時間）を上記何分の一かに短縮することができる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−７４６４０号公報（図１、段落番号［００１０］〜［００１２］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このような方法だと、計数値を単位体積あたりの値に換算する過程で、"得られた計数値は、どの測定時間において得られたものでも不変である"という仮定を含んでいることから、結果的に測定結果に大きな誤差が含まれる場合がある。この場合、測定結果の精度が悪化するという問題がある。一方、被検流体の吸引力を増強させることによって、測定時間の短縮化を図ることも考えられるが、被検流体の吸引力を増強させるためには、測定部の能力を向上させる必要があり、測定部のコスト上昇は免れない。
【０００９】
また、クリーンルーム内の複数箇所でクリーン度を監視しなければならない場合があるが、このような場合には、高価な粒子計数装置を複数台設置するのはコストが掛かるため、１台の粒子計数装置を各箇所に移動させて、断片的に測定を行っている。このため、コスト上昇を防ぎつつ、クリーンルーム内の複数箇所を同時に監視するのは困難であるという問題がある。
【００１０】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、その目的は、測定結果の精度は維持しつつ、比較的安価に測定時間の短縮化を図ることが可能な粒子計数システム及びその使用方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
以上のような課題を解決するために、本発明は、以下のものを提供する。
【００１２】
（１）  被検流体中の粒子を検出し計数する複数の粒子計数装置と、前記複数の粒子計数装置から得られる計数結果を処理する情報処理装置と、を有し、前記複数の粒子計数装置が多連かつ並列に前記情報処理装置に電気的に接続される粒子計数システム。
【００１３】
本発明によれば、複数の粒子計数装置と、それらから得られる計数結果を処理する情報処理装置と、を有し、それらが多連かつ並列に情報処理装置に電気的に接続されることとしたので、複数の粒子計数装置を多連かつ並列させ、それらから得られる計数結果を情報処理装置でまとめて処理することができる。
【００１４】
従って、例えば１０台の粒子計数装置を、多連かつ並列に情報処理装置に接続すれば、粒子計数システム全体としての被検流体の吸引力は、粒子計数装置が１台の場合と比べて１０倍になることから、測定時間を１０分の１に短縮することができる。また、本発明に係る粒子計数装置は、従来の粒子計数装置と異なり、主構成要素が測定部のみとなっている。従って、粒子計数システムに複数の粒子計数装置を用いたとしても、コスト上昇は最低限に抑えることができる。
【００１５】
特に、従来の粒子計数装置は、上述のように測定部と測定結果表示部とが一体になっていたことから、この粒子計数装置を複数台用いるということは、コスト的な面からみて非現実的であった。また、大きさの面からみても、従来の粒子計数装置は通常ＤＶＤプレイヤー程度の大きさがあるので、これを複数台用いるということは非現実的であった（複数台用いると持ち運びが不便である）。しかし、本発明に係る粒子計数システムによれば、上述したとおり、用いる粒子計数装置は主構成要素が測定部のみとなった安価な小型装置であるので、これを複数台用いることによって、コスト上昇を最低限に抑えつつ測定時間の短縮化を図ることができる。
【００１６】
また、粒子計数装置において得られた計数値を単位体積に換算する過程も特に不要なので（この過程を含めることを排除する趣旨ではない）、測定結果に大きな誤差が含まれず、ひいては測定結果の精度悪化を防ぐことができる。さらに、複数の粒子計数装置を用いることによって、その中の１台が故障しても、他の粒子計数装置によってパーティクルの測定を続行することができる。
【００１７】
（２）  被検流体中の粒子を検出し計数する複数の粒子計数装置を有し、前記複数の粒子計数装置のうちのいずれか１の装置に、他の装置が多連かつ並列に電気的に接続される粒子計数システム。
【００１８】
本発明によれば、複数の粒子計数装置を有し、それらのいずれか１の装置に、他の装置が多連かつ並列に電気的に接続されることとしたので、複数の粒子計数装置を多連かつ並列させ、それらから得られる計数結果を１の粒子計数装置でまとめて処理することができる。
【００１９】
従って、上述した粒子計数システムと同様に、コスト上昇を抑えつつ測定時間の短縮化を図ることができる。また、測定結果の精度悪化を防ぐこともできる。特に、本発明に係る粒子計数システムでは、複数の粒子計数装置から得られる計数結果を処理する情報処理装置が必要ないことから、システム全体のコンパクト化を実現することができる。
【００２０】
（３）  前記情報処理装置は、各々の計数結果を処理する計数結果処理手段を備え、前記複数の粒子計数装置が多連かつ並列に運転されたとき、前記計数結果処理手段に前記複数の粒子計数装置からの計数結果が集約されることを特徴とする（１）記載の粒子計数システム。
【００２１】
本発明によれば、上述した情報処理装置に、各々の計数結果を処理する計数結果処理手段を設け、複数の粒子計数装置が多連かつ並列に運転されたとき、計数結果処理手段に複数の粒子計数装置からの計数結果が集約されることとしたので、コスト上昇を抑えつつ測定時間の短縮化を図ることができ、また、測定結果の精度悪化を防ぐことができる。
【００２２】
（４）  前記１の装置は、各々の計数結果を処理する計数結果処理手段を備え、前記複数の粒子計数装置が多連かつ並列に運転されたとき、前記計数結果処理手段に前記複数の粒子計数装置からの計数結果が集約されることを特徴とする（２）記載の粒子計数システム。
【００２３】
本発明によれば、上述した１の装置に、各々の計数結果を処理する計数結果処理手段を設け、複数の粒子計数装置が多連かつ並列に運転されたとき、計数結果処理手段に複数の粒子計数装置からの計数結果が集約されることとしたので、コスト上昇を抑え、測定時間の短縮化を図り、測定結果の精度悪化を防ぐことができる。
【００２４】
（５）  前記計数結果処理手段は、集約された計数結果を集計することを特徴とする（３）又は（４）記載の粒子計数システム。
【００２５】
本発明によれば、上述した計数結果処理手段によって、集約された計数結果が集計されることとしたので、短時間で単位体積の被検流体を測定することができる。すなわち、例えば１０台の粒子計数装置を多連かつ並列にし、各粒子計数装置で得られる計数値を合算することによって、単位体積あたりの被検流体の測定時間を１０分の１に短縮することができる。
【００２６】
（６）  前記粒子計数装置の各々には、被検流体を吸い込む吸込手段が接続されており、特定監視エリア内における被検流体中の粒子を検出し計数する場合、複数の前記吸込手段が当該特定監視エリア内に配置されることを特徴とする（１）から（５）のいずれか記載の粒子計数システム。
【００２７】
本発明によれば、上述した粒子計数装置の各々には、被検流体を吸い込む吸込手段が接続され、特定監視エリア内における被検流体中の粒子を検出し計数する場合、複数の吸込手段が当該特定監視エリア内に配置されることとしたので、その特定監視エリア内にある被検流体を単位体積になるまで吸い込むのに要する時間を短縮化することができる。
【００２８】
（７）  被検流体中の粒子を検出し計数する複数の粒子計数装置と、前記複数の粒子計数装置から得られる計数結果を処理する情報処理装置と、を有し、前記複数の粒子計数装置が多連かつ並列に前記情報処理装置に電気的に接続される粒子計数システムの使用方法であって、前記複数の粒子計数装置を、多連かつ並列に運転することを特徴とする粒子計数システムの使用方法。
【００２９】
（８）  被検流体中の粒子を検出し計数する複数の粒子計数装置を有し、前記複数の粒子計数装置のうちのいずれか１の装置に、他の装置が多連かつ並列に電気的に接続される粒子計数システムの使用方法であって、前記複数の粒子計数装置を、多連かつ並列に運転することを特徴とする粒子計数システムの使用方法。
【００３０】
本発明によれば、複数の粒子計数装置と情報処理装置を有する粒子計数システムの使用方法、或いは複数の粒子計数装置を有する粒子計数システムの使用方法で、上述したように、複数の粒子計数装置が多連かつ並列に運転されることとしたので、コスト上昇を抑えつつ測定時間の短縮化を図ることができるとともに、測定結果の精度悪化を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００３１】
以上説明したように、本発明によれば、従来の粒子計数システムより短時間かつ安価に単位体積あたりの被検流体の吸引を行うことができ、ひいては測定時間の短縮化を図ることができる。また、測定結果の精度悪化を防ぐこともできる。さらには、複数台の粒子計数装置を用いるため、その中の１台が故障しても、他の粒子計数装置によってパーティクルの測定を続行することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００３３】
図１は、本発明の実施の形態に係る粒子計数システム１００の構成を示すブロック図である。
【００３４】
図１において、粒子計数システム１００は、複数の粒子計数装置１１と、情報処理装置１７と、電源装置１４と、吸引ポンプ１５と、警報器１６とを有している。なお、複数の粒子計数装置１１については、それらの構成は同一であるので、１の粒子計数装置１１についてだけ拡大して説明する。また、内部構成を省略した粒子計数装置１１には、図示していないがそれぞれ吸引ポンプ１５が接続されている。
【００３５】
粒子計数装置１１は、被検流体中の粒子を検出し計数する装置であって、粒子を検出する測定部１３と、装置全体の制御を行うと共に、測定部１３からの出力信号に基づき所定の処理を実行する制御部１２（粒子計数装置１１内の点線枠参照）とを有している。
【００３６】
このうち、制御部１２は、通信処理部１２１と、外部Ｉ／Ｆ部１２２と、計測モード切換部１２３と、パラメータ記憶部１２４と、カウンタ部１２５と、フィルタ処理部１２６と、粒子検出部１２７とから構成されている。また、測定部１３は、図示しないが、粒子を光学的に検出する光学系と、試料流体を流通する流路手段とを有しており、レーザダイオードなどの光源から出射されたレーザ光が、投光レンズを透過して帯状になって投光される。一方で、吸引ポンプ１５の作動によって試料流体が流通される。
【００３７】
制御部１２内の通信処理部１２１は、情報処理装置１７（例えばＰＣ）やＰＬＣ回線（電力線搬送通信回線）などに、観測データや検出データを送信する。また、観測データ・検出データが所定のレベル値を超えた場合に、監視者に警報を発する警報器１６に所定の信号を出力する場合もある。外部Ｉ／Ｆ部１２２は、デジタルＩ／Ｏと非同期シリアル通信を装備しており、ホストコンピュータへの接続，ＰＬＣ回線への接続，警報器１６への接続が可能となっている。計測モード切換部１２３は、切換スイッチ（図示せず）により、各種モード（例えば４種類）への切り替えを行っている。パラメータ記憶部１２４は、警報を発するためのスレッショルド値や、その他のパラメータを保存する。カウンタ部１２５は、測定部により検出された粒子を計数する。フィルタ処理部１２６は、検出された粒子の個数から粒子の密度を推定する。
【００３８】
このような構成において、レーザ光が、吸引ポンプ１５によって流通される試料流体中の粒子に当たると、散乱光が発生する。そして、この散乱光は、受光レンズを介して受光素子に入射される。その結果、受光素子から得られる電圧パルスの回数を解析することによって、粒子の数を測定し、警告灯等により作業者に注意を喚起したり、情報処理装置１７又はＰＬＣ回線に粒子の混入状況データを送信したりする。
【００３９】
一方で、複数の粒子計数装置１１から得られる計数結果を処理する情報処理装置１７は、通信処理部１７１を介して各粒子計数装置１１と通信可能に接続されており、通信処理部１７１と、モード判定部１７２と、パラメータ設定部１７３と、トレンドグラフ表示部１７４と、データ蓄積部１７５と、蓄積データ表示部１７６とを有している。
【００４０】
通信処理部１７１は、複数の粒子計数装置１１との通信を行う。モード判定部１７２は、粒子計数装置１１における切換スイッチによって切換られた複数のモードから、どのモードが設定されているかを判定する。パラメータ設定部１７３は、サンプリングタイム、スレッショルド値等のパラメータを設定する。トレンドグラフ表示部１７４は、粒子の計数を計測する計数モード、粒子の計数を監視する監視モード等の表示モードに応じたサンプリングデータの表示を行う。データ蓄積部１７５は、粒子計数装置１１から受信した観測／検出データ等をログファイルとして保存する。蓄積データ表示部１７６は、保存されたログファイルを表示する。
【００４１】
ここで、図１に示す粒子計数システム１００では、複数の粒子計数装置１１が多連かつ並列に情報処理装置１７に電気的に接続されている。すなわち、全部で５台の粒子計数装置１１の各々が、情報処理装置１７の通信処理部１７１に連なるようにして並列に接続されている。そして、通信処理部１７１は、５台の粒子計数装置から得られる計数結果を処理する計数結果処理手段の一例として機能し、この通信処理部１７１によって、５台の粒子計数装置から得られる計数結果が集約される。なお、通信処理部１７１にＣＰＵやメモリ等が含まれていてもよい。
【００４２】
従って、本実施形態に係る粒子計数システム１００の場合、全体としての被検流体の吸引力は、粒子計数装置１１が１台の場合と比べて５倍になることから、測定時間を５分の１に短縮することができる。また、図１に示すように、粒子計数装置１１は、測定部（測定部１３）と制御部１２から構成されており、従来のように測定結果表示部（例えばトレンドグラフ表示部１７４）と一体となっていないので、コスト上昇は最低限に抑えることができる。
【００４３】
次に、本実施形態に係る粒子計数システム１００のシステム動作について説明する。図２は、本発明の実施の形態に係る粒子計数システム１００のシステム動作を説明するためのフローチャートである。
【００４４】
図２において、まず、吸引が行われる（ステップＳ１）。より具体的には、粒子計数装置１１に接続され、被検流体を吸い込む吸引ポンプ１５を用いて、単位体積になるだけの被検流体の吸引を行う。例えば、ここでは吸引量を１．０Ｌ／ｍｉｎとして考える。
【００４５】
次に、光電変換が行われる（ステップＳ２）。より具体的には、吸引ポンプ１５によって吸引された被検流体は、粒子計数装置１１の測定部１３に送られた後、レーザ光が照射される。そして、そのレーザ光が被検流体中の粒子に当たると、散乱光が発生する。そして、この散乱光は、受光レンズを介して受光素子に入射される。これにより、測定部１３から所定の電圧パルスが制御部１２に送られることになる。
【００４６】
次に、集約が行われる（ステップＳ３）。より具体的には、制御部１２は、上述した電圧パルスの回数に基づいて、通信処理部１２１を介して観測データや検出データを送信する。このとき、複数の粒子計数装置１１は多連かつ並列に運転されていることから、各粒子計数装置１１から観測データや検出データが送信されることになる。その結果、情報処理装置１７の通信処理部１７１では、各粒子計数装置１１から送信されたデータが集約されることになる。ここでは各粒子計数装置１１の吸引量を１．０Ｌ／ｍｉｎと考えており、また、５台の粒子計数装置１１を考えていることから、合算吸引量は５．０Ｌ／ｍｉｎである。そして、クラス表示の基準体積１ｃｆ（＝２８．３Ｌ）の吸引に要する時間は、５．６６ｍｉｎ（＝３４０ｓｅｃ）である。
【００４７】
次に、集計が行われる（ステップＳ４）。より具体的には、通信処理部１７１内のＣＰＵによって、各粒子計数装置で得られる計数値（データ）が合算される。そして、最後に表示が行われる（ステップＳ５）。より具体的には、各粒子計数装置で得られる計数値（データ）が合算された値が、通信処理部１７１からトレンドグラフ表示部１７４に向けて送信される。これにより、各表示モードに応じたサンプリングデータの表示を行う。すなわち、ここでは３４０ｓｅｃ毎にクラス表示が行われることになる。
【００４８】
以上説明したように、従来の粒子計数システム１００では、粒子計数装置１１の吸引量が１．０Ｌ／ｍｉｎの場合、２８．３ｍｉｎの測定時間が必要であったが、本実施形態に係る粒子計数システム１００によれば、５．６６ｍｉｎの測定時間でクラス表示が可能になる。従って、測定時間の短縮化を図ることができる。また、粒子計数装置１１を複数台使用していることから、１台故障しても、測定時間が延びるだけで測定を維持することができる。
【００４９】
なお、粒子計数システム１００では５台の粒子計数装置１１を考えたが、その台数の如何は問わない。例えば２８台の粒子計数装置１１を用いれば、単位体積（２８．３Ｌ）の被検査流体を確保するのに１ｍｉｎの測定時間で足り、１４台の粒子計数装置１１を用いれば、単位体積（２８．３Ｌ）の被検査流体を確保するのに２ｍｉｎの測定時間で足り、７台の粒子計数装置１１を用いれば、単位体積（２８．３Ｌ）の被検査流体を確保するのに４ｍｉｎの測定時間で足りる。また、本実施形態に係る粒子計数システム１００では特に考えなかったが、例えば、一般的なパーティクルカウンタが搭載する推定機能を付加しても構わない。すなわち、例えば測定時間を優先するモードにおいて、「３０ｓｅｃ」を選択し、３０ｓｅｃ後の合算計測値に１１．３４（＝３４０÷３０）を乗じてクラス表示を行う（推定する）こととしてもよい。これにより、誤差は多少含まれるが、測定時間をより短縮化することができる。
【００５０】
また、図１に示す粒子計数装置１００では、粒子計数装置１１と情報処理装置１７とを別個独立の単体としているが、本発明はこれに限られず、例えばこれらを１個の筐体内に入れ、一つの製品としても構わない。この場合、複数の吸引ポンプ１５を有し、これらを並列に運転する粒子計数装置となる。もしくは粒子計数装置に定流量絞りを付加し、吸引量の定量化をはかることにより、吸引ポンプは容量の大きなものを共用する方法もとりうる。
【００５１】
図３は、本発明の実施の形態に係る粒子計数システム１００の構築例を説明するための図である。
【００５２】
図３に示す粒子計数システム１００では、粒子計数装置１１は全部で６台用いられており、各々の粒子計数装置１１には吸引ポンプ１５が接続されている。ここで、図３中の点線枠Ｘを特定監視エリアとする。そして、この特定監視エリアＸにおける被検流体中の粒子を検出し計数する場合において、複数の吸引ポンプ１５が特定監視エリアＸ内に配置されている。このようにして、特定監視エリアＸ内にある被検流体を単位体積になるまで吸い込むのに要する時間を短縮化することができる。
【００５３】
［変形例］
図４は、本発明の他の実施の形態に係る粒子計数システム１００Ａの構築例を説明するための図である。
【００５４】
図４において、粒子計数システム１００Ａでは、被検流体中の粒子を検出し計数する３台の粒子計数装置１１ａ〜１１ｃから構成されている。なお、電源装置１４，吸引ポンプ１５及び警報器１６は省略している。また、粒子計数装置１１ａは、粒子計数装置１１ｂ及び粒子計数装置１１ｃと多連かつ並列に接続されている。
【００５５】
ここで、粒子計数システム１００Ａでは、情報処理装置１７が存在しない点が特徴的である。すなわち、粒子計数システム１００Ａでは、粒子計数装置１１ａに各々の計数結果を処理する計数結果処理手段（例えば通信処理部１２１内のＣＰＵなど）が設けられており、粒子計数装置１１ａ〜１１ｃが多連かつ並列に運転されたとき、この計数結果処理手段に、粒子計数装置１１ａ〜１１ｃからの計数結果が集約されるようになっている。更には、この計数結果処理手段に集計機能をももたせている。従って、例えばＰＣなどの情報処理装置１７を有していなくても、粒子計数装置１１ａが情報処理装置１７と同じように振舞うことになり、測定時間の短縮化を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明に係る粒子計数システム及びその使用方法は、従来の粒子計数システムより短時間かつ安価に単位体積あたりの被検流体の吸引を行うことができ、ひいては測定時間の短縮化を図ることが可能なものとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施の形態に係る粒子計数システムの構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る粒子計数システムのシステム動作を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態に係る粒子計数システムの構築例を説明するための図である。
【図４】、本発明の他の実施の形態に係る粒子計数システムの構築例を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５８】
１１  粒子計数装置
１２  測定部
１３  制御部
１４  電源装置
１５  吸引ポンプ
１６  警報器
１７  情報処理装置
【図１】
2007218785.tif 000003
【図２】
2007218785.tif 000004
【図４】
2007218785.tif 000005
【図３】
2007218785.tif 000006