(57)【要約】【課題】  簡易な手段で、複数種類の印画ピッチに対応できる印画装置の提供。【解決手段】  複数のノズルからなるノズル列を有するインクジェットヘッドを印画部材に対して相対的に移動させながらインク滴を吐出して印画部材上に印画を行う印画装置であって、前記ノズル列を、１個以上のノズルおきにノズルを選択して１つのグループとして、複数のグループに分割し、いずれか１つのグループに属するノズルを印画ノズル列として使用するノズルピッチ調整手段と前記印画ノズル列の前記移動方向に対する角度を調整するための角度調整手段とを有することを特徴とする印画装置。【選択図】        図８
2007055067.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルからなるノズル列を有するインクジェットヘッドを印画部材に対して相対的に移動させながらインク滴を吐出して印画部材上に印画を行う印画装置であって、前記ノズル列を、ノズルＮ個（Ｎは２以上の整数）おきにノズルを選択して１つのグループとして、複数のグループに分割し、いずれか１つのグループに属するノズルを印画ノズル列として使用するノズルピッチ調整手段と、
前記印画ノズル列の前記移動の方向に対する角度を調整するための角度調整手段と
を有することを特徴とする印画装置。
【請求項２】
前記印画ノズル列のノズルに不具合が生じたときに、他のグループに属するノズルを印画ノズル列として使用することを特徴とする請求項１に記載の印画装置。
【請求項３】
前記ノズル列を構成する複数のノズルが、スタガー配列されていることを特徴とする請求項１または２に記載の印画装置。
【請求項４】
前記スタガー配列の角度が、前記印画ノズル列の前記移動の方向に対する角度と一致していることを特徴とする請求項３に記載の印画装置。
【請求項５】
前記インクジェットヘッドは、隣接したインク流路間の隔壁の少なくとも一部がせん断モードで変形する圧電材料で構成されたせん断モード型のインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の印画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印画装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット装置は、微小なインク滴を用いて画像を記録するためのインクジェットヘッドのノズルからインク滴を吐出させ、記録紙等の記録媒体上に着弾させ、画像記録を行う。
【０００３】
近年、このようなインクジェット装置は、各種の産業用途の印画装置への応用が検討されてきている。これらの印画装置への応用例としては、液晶ディスプレイのカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置がある。この場合、カラーフィルタ製造装置の色材がインクに相当する。印画装置のさらに他の例としては、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置がある。この場合、電極形成装置の電極材（電導ペースト）がインクに相当する。印画装置のさらに他の例としては、バイオチップを製造するバイオチップ製造装置がある。この場合、バイオチップ製造装置の生体有機物がインクに相当する。
【０００４】
特に、このような産業用途の印画装置においては、種々の印画ピッチに対して高い位置精度でインクを着弾させる必要がある。
【０００５】
例えば、カラー液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタは、ブルー（Ｂ）、グリーン（Ｇ）、レッド（Ｒ）の各色のフィルタにより各画素を形成し、それら３色の画素を適当に配列して作製される。一つの画素が形成するセルの大きさは、６０〜１００μｍ×１８０〜３００μｍ程度であり、各画素セル（フィルタエレメント）は表面反射を防ぐために基板上に設けられた高さ１〜２μｍの黒い隔壁（ブラックマトリックス。以下ＢＭと記す）により囲まれている。
【０００６】
従って、Ｒ，Ｇ，Ｂのインクを着弾させる画素のセルのピッチは種々のものがある。
【０００７】
カラーフィルタのＢＭや前述の電極形成の場合、その形状は格子状もしくはライン状が一般的であるが、その印画ピッチは、その仕様により各種のものがある。
【０００８】
従って、シングルノズルのインクジェットヘッドを用いて印画するか（特許文献１参照）、あるいは、インクジェットヘッド自体のノズルピッチを変更して設計した複数種類のヘッドを用意する必要があった。
【特許文献１】特開２００２−５５２２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に開示された技術では、印画速度が遅いという問題がある。
【００１０】
また、インクジェットヘッド自体のノズルピッチを変更して設計した複数種類のヘッドを用意する場合は、非常にコストがかかることになるという問題点があった。
【００１１】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、簡易な手段で、複数種類の印画ピッチに対応できる印画装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の目的は、以下のような構成により達成される。
（１）
複数のノズルからなるノズル列を有するインクジェットヘッドを印画部材に対して相対的に移動させながらインク滴を吐出して印画部材上に印画を行う印画装置であって、前記ノズル列を、ノズルＮ個（Ｎは２以上の整数）おきにノズルを選択して１つのグループとして、複数のグループに分割し、いずれか１つのグループに属するノズルを印画ノズル列として使用するノズルピッチ調整手段と、
前記印画ノズル列の前記移動の方向に対する角度を調整するための角度調整手段と
を有することを特徴とする印画装置。
（２）
前記印画ノズル列のノズルに不具合が生じたときに、他のグループに属するノズルを印画ノズル列として使用することを特徴とする（１）に記載の印画装置。
（３）
前記ノズル列を構成する複数のノズルが、スタガー配列されていることを特徴とする（１）または（２）に記載の印画装置。
（４）
前記スタガー配列の角度が、前記印画ノズル列の前記移動の方向に対する角度と一致していることを特徴とする（３）に記載の印画装置。
（５）
前記インクジェットヘッドは、隣接したインク流路間の隔壁の少なくとも一部がせん断モードで変形する圧電材料で構成されたせん断モード型のインクジェットヘッドであることを特徴とする（１）乃至（４）のいずれか１つに記載の印画装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、インクジェットヘッドのノズルピッチの方が印画ピッチより細かい場合に、何本かおきのノズルを選択して使用してノズルピッチを調整する手段と、印画ピッチとノズルのピッチの倍数が合わない場合は、選択されたノズル列の角度を移動方向に垂直ではなくある角度をつけて印画ピッチに合わせるように調整する角度調整手段を有することにより、簡易な手段で、種々の印画ピッチに対応して印画でき、例えば、１種類のノズルピッチのインクジェットヘッドを使用して、種々の印画ピッチに対応して印画が可能になる。即ち、必要な印画ピッチに対して、実効的なノズルピッチを最適化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に本発明に関する実施の形態の例を示すが、本発明の態様はこれらに限定されるものではない。
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１６】
図１は、本発明に係る印画装置の一実施形態を示す構成概要図である。
【００１７】
本発明における印画装置とは、インクジェットヘッドのノズルからインク滴を吐出させ、記録紙等の記録媒体上に着弾させて画像記録を行うインクジェット装置だけでなく、液晶ディスプレイのカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置、バイオチップを製造するバイオチップ製造装置などの産業用途を有するその他の印画装置も含む。印画部材にインク滴を着弾させる印画装置をすべて含む。
【００１８】
図１において、１００は印画装置本体、１は基板である。基板１としては、産業用途では、一般にガラス基板が用いられるが、その用途として必要とされる特性、例えば透明性、平滑性、機械的強度等の諸特性を満足するものであれば、必ずしもガラス基板に限定されない。
【００１９】
また、１１０は装置架台、１２０はインクジェットヘッド、１２１はヘッド駆動回路、１３０はインクジェットヘッド１２０が移動するＸ軸ガイドレール、１４０は基板１を載置する基板載置台、１５０は基板載置台１４０が移動するＹ軸ガイドレール、１９０はノズル欠（インクの不吐出）を検知するインク滴モニタ装置である。
【００２０】
インクジェットヘッド１２０は、図示しないインク供給機構から供給されるインクをノズルからインク滴として吐出させ、基板１表面に付着させて印画パターンを形成するものであり、装置架台１１０上方に横架されたＸ軸ガイドレール１３０に、インク滴を吐出するノズルを下方に向けて取付けられており、該Ｘ軸ガイドレール１３０に沿ってＸ方向モータ３０３（図９）、Ｘ方向モータ駆動回路３０２（図９）によりＸ方向に移動しながらインク滴を吐出するようになっている。
【００２１】
なお、インクとしては、例えばカラーフィルタの色材（ＢＭあるいはＲ、Ｇ、Ｂ等のカラーフィルタの色材）や、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極ペーストや、バイオチップ製造装置の生体有機物などである。
【００２２】
このインクジェットヘッド１２０は、１つのヘッドを有するものであるが、用途により複数色を構成する、例えばＢ、Ｇ、Ｒの３色に対応した３つのヘッドを有するものでもよい。また、印画工程の時間短縮を図るために、４つ以上のヘッドを有するものであってもよく、ヘッドの数は１つ以上であれば任意である。
【００２３】
インクジェットヘッド１２０の吐出手段は、フレキシケーブル（不図示）を介して、ヘッド駆動回路１２１に電気的に接続されている。またヘッド駆動回路１２１は制御部３００（図９）と接続される。ヘッド駆動回路１２１は、制御部３００から送信される制御信号に基づいてインクジェットヘッド１２０の吐出手段に電圧を印加する。吐出手段は、後述するように、せん断モード型の圧電素子で構成されている。
【００２４】
図２（ａ）は、インクジェットヘッド１２０を上方から見た場合に、下方のノズル面のノズルの配置を示している。Ｘ方向、Ｙ方向は図１に対応している。また、３はノズルであり、多数のノズルのうちの一部のノズル（１９個）のみが示されている。Ｐはノズルピッチであり、等間隔で多数のノズルが配置されている。
【００２５】
また、インクジェットヘッド１２０のノズル面のノズルの配置としては、同一平面上に一定間隔Ｐで複数個並んでいることが望ましいが、その並び方は、本実施形態では、図２（ａ）に示すようなスタガー状に配列させている。図２（ｂ）に示すような一直線状でもよく、本発明においては特に限定されない。また図２（ａ）や（ｂ）に示すヘッドを２つ用意し、各ヘッドのノズル列が、相互に１／２ピッチずらされて配置するように貼り合わせてもよい。
【００２６】
本発明の印画装置は、前記ノズル列を、ノズルＮ個（Ｎは２以上の整数）おきにノズルを選択して１つのグループとして、複数のグループに分割し、いずれか１つのグループに属するノズルを印画ノズル列として使用するノズルピッチ調整手段と、前記印画ノズル列の前記移動方向に対する角度を調整するための角度調整手段とを有することに特徴がある。
【００２７】
特に上述の産業用途においては、印画ピッチは比較的粗い場合（例えば０．５ｍｍ前後）が多く、ノズルのピッチの方が印画のピッチより細かくなる場合が多い。よって、何本かおきのノズルを使用して印画することになる。また、印画のピッチとノズルのピッチの倍数が合わない場合は、インクジェットヘッドを回転させ、その角度を移動方向に垂直ではなくある角度をつけて印画のピッチに合わせるようにセットする。これにより、１つのインクジェットヘッドで、印画ピッチの異なる複数種類の印画パターンの印画に対応可能となる。
【００２８】
図２（ａ）においては、Ｎ＝３としてノズル３個おきにノズルを選択して１つのグループとして、Ａグループ（ノズルのＡ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）、Ｂグループ（ノズルのＢ，Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３）、Ｃグループ（ノズルのＣ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３）の３つのグループに分割し、いずれか１つのグループに属するノズルを印画ノズル列として使用する。またヘッドは、後述の回転機構によりＸ方向に対して角度θだけ傾斜させることができる。即ち、
ノズルピッチＰに対して、実効的なＸ方向のノズルピッチＰ’はＰ’＝３Ｐ（ＣＯＳθ）
となり、θの調整により、Ｐ’とＸ方向の印画ピッチを合わせることができる。
【００２９】
また、Ｎは３に限らず、２以上の整数であればよく、Ｎとθの調整によりＰ’と印画ピッチを合わせる様にしてもよい。即ち、Ｐ’＝ＮＰ（ＣＯＳθ）に基づいて、Ｐ’を印画ピッチに合わせればよい。
【００３０】
本実施例において、制御部３００（図９）がノズルピッチ調整手段に相当し、印画ピッチから、Ｎを決定し、ヘッド駆動回路１２１を介して、所定のグループのノズル列の圧電素子を駆動させるように制御する。また、選択された印画ノズル列のノズルピッチをＮＰ、印画ピッチをＰ１（本実施形態においては、Ｘ方向の印画ピッチ）としたとき、Ｐ１／ＮＰ＝０．４〜１．０となるようにＮを設定することが好ましい。このようにすることでヘッド角度θの調整が容易になる。
【００３１】
また、図２の（ａ）のスタガー配列ヘッドにおいて、ユーザーがθを１つに固定して使用する場合は、角度θとノズルのスタガー配列の角度θ’をθ＝θ’とすることにより、後述するように、前記１つのグループを印画ノズル列として使用し、このグループに属するノズルに不吐出などの不具合が生じた時に、別のグループを印画ノズル列として選択し印画を継続する場合に、Ｘ方向の吐出タイミングを調整するだけで良く、Ｙ方向のタイミング調整が不要になる。
【００３２】
次に、この回転機構について説明する。インクジェットヘッド１２０は、これらのヘッドを水平面内で回動させるためのθ方向モータ３０７（図９）、θ方向モータ駆動回路３０６（図９）に接続されており、このモータ３０７の回転により、インクジェットヘッドの図２に示すような移動方向に対する傾き角度θが調整される。本実施例において、θ方向モータ３０７は角度調整手段に相当する。
【００３３】
なお、図１中、１９０はインク滴モニタ装置であり、インクジェットヘッド１２０が非記録時のホームポジション等の待機位置に設けられている。インクジェットヘッド１２０がこの待機位置にある時、このインク滴モニタ装置１９０に向けてインク滴を少量空吐出するようにする。
【００３４】
インク滴モニタ装置１９０は、例えば上部が開口された箱状体であり、内側面部に吐出検知手段が設置されている。上記空吐出の際、ノズルから空吐出されるインクを回収するとともに、ノズルからインク滴が吐出されているかどうかを検知する。
【００３５】
具体的には、吐出検知手段は、発光部及び受光部を備えて構成される。発光部及び受光部は、例えば内側面部に互いに対向して設けられる。発光部は例えばＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）やレーザーダイオードであり、受光部に向けて光を発光する。受光部は例えばフォトダイオードであり、発光部から発光された光を受光し、この受光状態を受光信号として出力する。
【００３６】
インク滴が吐出されている場合にはインク滴に光が散乱されて受光部に到達しないが、吐出されていないとき（不吐出のとき）には光が通過して受光部に到達することにより吐出を検出することができる。
【００３７】
インク滴モニタ装置は、これに限らず、吐出検知ができれば何でも良く、公知の装置を用いることができる。
【００３８】
更に、待機位置に、インクの目詰まりを回復させる機能を備え、一定間隔毎に目詰まりの回復動作を行うようにしてもよい。
【００３９】
基板載置台１４０は、装置架台１１０上において上記Ｘ軸ガイドレール１３０と直交する方向に沿って設けられたＹ軸ガイドレール１５０に取付けられ、該Ｙ軸ガイドレール１５０に沿ってＹ方向モータ３０５（図９）、Ｙ方向モータ駆動回路３０４（図９）によりＹ方向に移動するようになっている。従って、Ｘ軸ガイドレール１３０とＹ軸ガイドレール１５０は、インクジェットヘッド１２０と基板載置台１４とを互いに直交する方向に相対的に移動させる相対移動手段を構成している。
【００４０】
上記基板載置台１４０は、その上面がインクジェットヘッド１２０のノズル面と平行に配置されており、Ｙ方向の端部における基板受納排出位置（装置架台１１０上の図示右端位置）において、搬送されてきた基板１を自動的に受け取り、その上に載置する。この基板１を受け取る際の基板載置台１４０には、基板１に瑕疵の発生なく自動的に受納及び排出できるようにするため、基板受納排出手段が設けられる。
【００４１】
なお、本明細書において、基板の「受納」とは、基板載置台上に搬入された基板を該基板載置台上に密接した載置状態とすることをいい、基板の「排出」とは、基板載置台上に載置されている基板が搬出のために該基板載置台上から離れて密接した載置状態が解除されることをいう。
【００４２】
図１では、基板受納排出手段が、基板載置台１４０表面から突出可能な４ケのリフトピン１６０による基板押し上げ機構からなる場合を示している。各リフトピン１６０は、上昇動作することにより基板載置台１４０表面から突出して、その先端で基板１を押し上げて該基板１を基板載置台１４０上から自動的に排出し、下降動作することにより基板載置台１４０内に没入して、リフトピン１６０で押し上げられていた基板１が基板載置台１４０の上面に載置されて基板１を基板載置台１４０上に自動的に受納する。
【００４３】
各リフトピン１６０の上昇により基板載置台１４０表面と各リフトピン１６０によって押し上げられた基板１との間に後述する基板搬送ロボット２００のアーム２１０が侵入するに十分なスペースを形成し得るようにするため、少なくとも基板搬送ロボット２００のアーム２１０が侵入する側のリフトピン１６０は、アーム２１０が侵入し得るだけの間隔をあけて設けられている。
【００４４】
また、各リフトピン１６０は、上記基板搬送ロボット２００のアーム２１０が侵入し得るように、基板載置台１４０上から５ｍｍ以上、好ましくは１０ｍｍ以上の突出高さを有している。
【００４５】
リフトピン１６０の昇降動作は、図示しないが、各リフトピン１６０を固定している基盤の下面側に偏芯カムを当接させ、ステッピングモータの駆動により偏芯カムを回転させることにより、全てのリフトピン１６０を同時に昇降動作させるようにしたり、また、油圧又は空気圧を利用したリフト機構を用いて各リフトピン１６０を同時に昇降動作させるようにすることができる。
【００４６】
基板１が当接するリフトピン１６０の先端は、基板１との接触面積を小さくするために、曲面状に形成されることが好ましく、基板１に対する損傷を防止するために、軟質合成樹脂やゴム等の軟質部材により少なくとも被覆されることが更に好ましい。
【００４７】
リフトピン１６０の数は、基板１をその下面から支持して昇降させることができるように３ケ以上必要であるが、基板１を安定して支持することができるようにするため、４ケ以上あることが好ましい。
【００４８】
また、基板載置台１４０には、リフトピン１６０の下降動作によって基板載置台１４０上に載置された基板１に対してインクジェットヘッド１２０による印画作業を行っている間中、基板１を基板載置台１４０上でずれることなく載置しておくことができるようにするための基板密着手段を備えている。
【００４９】
この基板密着手段としては、基板１の下面側を吸引して基板載置台１４０上面に密着させる真空吸着手段や、基板載置台１４０上面に、例えば軟質塩化ビニル系樹脂等からなる自己粘着性プラスチックシートを貼設して、該シートの粘着性を利用して基板１を基板載置台１４０上面に密着させる手段、等を採用することができるが、なかでも、基板１を確実に基板載置台１４０上に密着させることができると共に基板１自体に密着のための機械的な外力を直接及ぼすことがなく、基板１の排出時には密着状態を速やかに解除して排出できるようにするため、真空吸着手段を採用することが好ましい。
【００５０】
本実施形態に用いられる真空吸着手段は、図１に示すように、基板載置台１４０表面に適宜数開穿された直径２ｍｍ程度の真空吸着用の孔１７０から、図示しない吸引ポンプを駆動させて空気を吸引することにより、基板１を基板載置台１４０上面に吸着させ密着させるようにしている。この真空吸着手段は、リフトピン１６０の昇降動作に連動させ、リフトピン１６０が下降して基板１が基板載置台１４０上に載置された時に吸引を開始して基板１を該基板載置台１４０上に密着させ、印画作業終了後、リフトピン１６０が上昇する直前に吸引を終了させて、基板１がリフトピン１６０の上昇動作により基板載置台１４０上から速やかに排出されるようにする。
【００５１】
図１において２００は基板搬送ロボットであり、印画装置本体１００への基板１の搬入及び搬出は、この基板搬送ロボット２００により自動的に行われることが好ましい。基板搬送ロボット２００は、印画装置本体１００の基板受納排出位置側に配置されており、上部に水平方向に回動可能及び垂直方向に昇降可能で、且つ前後に伸縮可能なアーム２１０を備えている。アーム２１０には真空吸着手段を備え、このアーム２１０に基板１の下面を吸着支持して搬送するようにすることが好ましい。本実施形態では円筒座標系のロボットを使用しているが、他の方式のロボットを用いてもよい。
【００５２】
この基板搬送ロボット２００による基板１の搬入及び搬出は、各種印画基板の製造ラインに印画装置本体１００を組み入れ、搬送ライン（図示せず）を搬送されてくる印画前の基板を、該基板搬送ロボット２００によって印画装置本体１００に搬入し、印画済みの基板を該印画装置本体１００から搬出して同一の搬送ライン又は別の搬送ラインに戻すようにしたり、印画前の基板を多段状に収容した収容棚（図示せず）から該基板搬送ロボット２００によって１枚ずつ取り出して印画装置本体１００に搬入し、印画後の基板を該印画装置本体１００から再度同じ収容棚又は別の収容棚に搬出するようにすることができるが、各種印画基板の一連の製造工程を自動化、高速化させる観点から、前者の態様が好ましい。
【００５３】
次に、かかる印画装置本体１００の全体の動作を、基板搬送ロボット２００により搬送ライン（図示せず）から基板１を搬入及び搬出させる場合について説明する。以下に説明する動作は、印画装置本体１００、基板搬送ロボット２００及び基板を搬送する搬送ラインを統括して制御する制御部３００（図９）によって制御される。
【００５４】
まず、初期の状態では、印画装置本体１００の基板載置台１４０がＹ方向端部の基板受納排出位置に位置し、基板搬送ロボット２００のアーム２１０に載せられて搬送されてきた基板１を受納すべく、基板載置台１４０に設けられたリフトピン１６０を、基板搬送ロボット２００のアーム２１０が侵入するのに十分な高さまで上昇させて待機する。
【００５５】
基板搬送ロボット２００のアーム２１０に載せられて基板載置台１４０上方まで搬入されてきた基板１が、該アーム２１０の下降により基板載置台１４０上のリフトピン１６０先端に接触し、更にアーム２１０が下降することにより、基板１がアーム２１０上から離れてリフトピン１６０によって支持されるようになると、アーム２１０が基板載置台１４と基板１との間から退出し、そのアーム２１０の退出動作完了に連動してリフトピン１６０を下降させる。これにより基板１は基板載置台１４０上に載置され、自動的に受納される。更にリフトピン１６０の下降完了に連動して孔１７０から吸引を開始することにより基板１は基板載置台１４０上に吸着されて密着する。
【００５６】
次いで、所定の１グループのノズル列が選択され、モーター２５０を駆動させることによって、インクジェットヘッド１２０の傾き角度θが調整され、インクジェットヘッド１２０の１グループの印画ノズル列による印画動作が開始される。
【００５７】
インクジェットヘッド１２０は、Ｘ軸ガイドレール１３０に沿ってＸ方向に移動し、続いて基板載置台１４０がＹ軸ガイドレール１５０に沿って移動し、基板１がＹ方向に移動するタイミングに合わせるようにノズルからインク滴が吐出制御され、基板１上に対してＹ方向に印画していく。Ｙ方向の最初の列の印画が終了すると、次いでインクジェットヘッド１２０はＸ方向に移動し、Ｙ方向の次の列の印画が開始され、更にＸ方向のインクジェットヘッド１２０の移動、Ｙ方向の基板載置台１４０の移動及びインク滴の吐出制御を所定数繰り返すことにより、基板１全面に亘る印画作業が終了する。
【００５８】
印画作業が終了すると、基板載置台１４０はＹ方向に移動して基板受納排出位置まで復帰し、その復帰動作完了に連動して真空吸着用の孔１７０からの基板１の吸着を解除する。次いで、基板１の吸着解除動作に連動してリフトピン１６０を上昇させ、基板１を基板載置台１４０上面から押し上げ、同時に、基板載置台１４０と基板１との間に基板搬送ロボット２００のアーム２１０の侵入スペースを形成して待機する。これにより基板１は基板載置台１４０上から自動的に排出される。基板搬送ロボット２００は、上記侵入スペースにアーム２１０を侵入させ、アーム２１０を上昇させて該アーム２１０上面に基板１を載置させ、印画装置本体１００から基板１を搬出する。
【００５９】
印画装置本体１００からの基板１の搬出終了後は、基板載置台１４０を基板受納排出位置において次の基板１を自動的に受納するべく、吸着を解除状態にし、リフトピン１６０を上昇させた状態で待機する。
【００６０】
この印画装置本体１００によれば、リフトピン１６０からなる基板受納排出手段によって、基板載置台１４０と基板１との間に基板搬送ロボット２００のアーム２１０が侵入するのに十分なスペースを形成することができ、そのリフトピン１６０の昇降動作により基板載置台１４０上への基板１の受納及び基板載置台１４０上からの基板１の排出を自動で行うことができるので、基板搬送ロボット２００による基板１の自動搬入及び搬出作業が円滑に行われ、工程の完全自動化により単位時間当たりの製造速度を向上させることができ、工程時間の短縮化を図ることができると共に、大型の基板１であっても、基板載置台１４上に搬入された基板１を該基板載置台１４０上に載置させて受納するため、基板１の反り等の変形を生ずることなく、基板１とインクジェットヘッド１２０のノズル面とが互いに平行を維持した状態で印画作業を実施でき、高品位な印画パターンを印画することができる。
【００６１】
次に図１、図２（ａ）に示したインクジェットヘッド１２０について詳細に説明する。
【００６２】
インクジェットヘッドは種々の方式が提案されているが、本実施形態では、その一つの隣接したインク流路間の隔壁の少なくとも一部がせん断モードで変形する圧電材料で構成されたせん断モード型のインクジェットヘッドを用いている。
【００６３】
せん断モード型の圧電素子では、矩形波の駆動パルスをより効果的に利用することができ、駆動電圧が下げられ、より効率的な駆動が可能となるため好ましい。また、圧力発生室であるインクチャネルが隔壁を隔てて連続しているヘッドの例を示したが、インクチャネルとダミーチャネルとを交互に配列して、インクチャネルが１つおきに配置されており、インクチャネルからインクを吐出するようにしたダミーチャネル型ヘッドにも本発明は適用できる。この場合、インクチャネルの隔壁がせん断変形しても、隣接した他のインクチャネルに影響することがなく、インクチャネルの駆動が容易である。
【００６４】
但し、本発明はこれらに限られるものではなく、例えば、圧電素子を単板型の圧電アクチュエータや縦振動タイプの積層型圧電素子等、別の形態の圧電素子を用いてもかまわない。また、静電力や磁力を利用した電気機械変換素子や、沸騰現象を利用して圧力を付与させるための電気熱変換素子等、他の圧力付与手段を用いてもかまわない。
【００６５】
図３は、せん断モードインクジェットヘッドのインク流路に沿った断面図である。図３で１０はインクチューブ、２はノズル形成部材、３はノズル、Ｓは側壁、６はカバープレート、７はインク供給口、８は基板である。
【００６６】
図４は、せん断モードインクジェットヘッドの駆動の様子を示すインク流路を横切る断面図である。図４のインク流路を横切る断面図に示すようにインク流路であるチャネルＡは側壁Ｓとカバープレート６及び基板８によって形成されている。
【００６７】
図５は、駆動パルスの波形を示すグラフであり、横軸が時間、縦軸が電圧である。
【００６８】
図３には１個のノズルを有する１個のチャネルの断面図が示されているが、実際のせん断モードインクジェットヘッド１２０では、図２（ａ）のように多数のノズルを有し、図４（ａ）に示すようにカバープレート６と基板８の間には複数の側壁Ｓ、即ち、Ｓ１、Ｓ２・・Ｓｎ＋１で隔てられたチャネルが多数形成されている。図ではチャネルＡ１、Ｂ１、Ｃ１の３チャネルのみが示されている（チャネルＡ１、Ｂ１、Ｃ１には、各々図２（ａ）のノズルＡ１、Ｂ１、Ｃ１が設けられている）。チャネルの一端はノズル形成部材２に形成されたノズル３につながり、他端は供給口７を経て、インクチューブ１によって図示されていないインクタンクに接続されている。そして、例えば側壁Ｓ１には密着形成された電極Ｑ１、Ｑ２、と側壁Ｓ２には密着形成された電極Ｑ３、Ｑ４が設けてある。同様に各側壁にはそれぞれ電極が密着形成されている。
【００６９】
ここでは、チャネルＡ１のノズルからインク滴を吐出する場合の駆動について説明する。まず、図４（ｂ）に示すように、電極Ｑ１をアースに接続し、電極Ｑ２に図５に示すような、正電圧＋Ｖのパルスと、負電圧−Ｖのパルスとからなる駆動パルスを印加し、同様に、電極Ｑ４をアースに接続し、電極Ｑ３に前記駆動パルスを印加することにより、以下述べる動作によってインク滴がノズル３から飛翔する。
【００７０】
なお、かかるせん断モードタイプのインクジェット記録ヘッドでは、側壁の変形は壁の両側に設けられる電極に掛かる電圧差で起こるので、インク吐出を行うチャネルの電極（Ｑ２，Ｑ３）に負電圧を掛ける代わりに、インク吐出を行うチャネルの電極を接地して、その両隣のチャネルの電極（Ｑ１，Ｑ４）に正電圧を掛けるようにしても同様に動作させることができる。この方法によれば、正電圧だけで駆動できるため、電源コストの点で好ましい態様である。
【００７１】
側壁Ｓは図４（ａ）の矢印で示すように分極方向が異なる２個の圧電材料からなる側壁ＳａとＳｂとから構成されていて、駆動パルスを印加することによって変形するアクチュエータとして動作する。電極Ｑ２及びＱ３に駆動パルスが印加されない時は図４（ａ）のように側壁Ｓ１、Ｓ２は変形しないが、前記駆動パルスが電極Ｑ２及びＱ３に印加されると、正電圧パルスが印加されている間は圧電材料の分極方向に直角な方向の電界が生じ、側壁Ｓ１ａ、Ｓ１ｂともに側壁の接合面にズリ変形を生じ、また、側壁Ｓ２ａ、Ｓ２ｂも同様に反対方向にズリ変形を生じて、図４（ｂ）に示すように側壁Ｓ１ａ、Ｓ１ｂ及び側壁Ｓ２ａ、Ｓ２ｂは互いに外側に向けて変形し、この例ではチャネルＡ１の容積を拡大する。次に、図４（ｃ）に示すように、負電圧パルスが印加されている間は前記側壁Ｓ１ａ、Ｓ１ｂ及びＳ２ａ、Ｓ２ｂは互いに逆方向に変形して、チャネルＡ１の体積は急激に縮小して、チャネルＡ１内の圧力が変化する。この動作によってチャネルＡ１を満たしているインクの一部がインク滴としてノズル３から飛翔する。各チャネルも駆動パルスの印加によって同様に動作し、インク滴を飛翔させる。
【００７２】
しかし例えば、前記のようにチャネルＡ１の側壁Ｓ１及びＳ２が変形の動作をすると、隣のチャネルＢ１が影響を受けるため、従来からよく知られているように、複数のチャネルを構成したヘッド１２０を駆動する場合には、ｎ個のチャネルをＬ個の単位に区分し、Ｌ個の周期で駆動する。
【００７３】
ここでは、全チャネル（ノズル）を３つおきに選んでＡ，Ｂ，Ｃの３グループに分けて吐出する、いわゆる３サイクル吐出法について説明する。
【００７４】
かかる３サイクル吐出動作について図６、図７を用いて更に説明する。
【００７５】
図６は、せん断モードインクジェットヘッドの３サイクル駆動の様子を示すインク流路を横切る断面図である。
【００７６】
図６に示す例では、図２（ａ）のインクジェットヘッド１２０の９個のチャネル（ノズル）であるＡ１、Ｂ１、Ｃ１、Ａ２、Ｂ２、Ｃ２、Ａ３、Ｂ３、Ｃ３を示している。図６のヘッドの各チャネルの駆動のタイムチャートを図７に示す。図７は縦軸にはチャネルＡ１〜Ｃ３を、また、横軸には時間をとってある。図７のＤはエンコーダーのパルス信号であり、図７では、２回分の３サイクル駆動のタイミングチャートが示されているが、以降同様に３サイクル駆動が繰り返される。
【００７７】
図６（ａ）及び図７に示すように、初め第１周期ｔ１の駆動パルスＰａをＡ１、Ａ２、Ａ３の３チャネルに同時に印加し駆動すると、これらＡ１、Ａ２、Ａ３の３チャネルの側壁が同時に変化し、各ノズルからインク滴が飛翔する。前記のようにインク滴を飛翔するチャネルは初め体積を増加した後、急激に体積を縮小する。図４には、各チャネルが縮小した時の状態を示してある。以下同様に、図６（ｂ）、図６（ｃ）に示すように、第２周期ｔ２の駆動パルスＰｂをＢ１、Ｂ２、Ｂ３の３チャネルに同時に印加して駆動した後、更に第３周期ｔ３の駆動パルスＰｃをＣ１、Ｃ２、Ｃ３の３チャネルに同時に印加して駆動すると、各側壁が逐次変形し、ｔ１、ｔ２、ｔ３の３周期で、各チャネルの駆動が一巡し、９チャネル全てが駆動されてインク滴を飛翔することになる。なお、図２（ａ）に示される他のＡグループのノズルは、Ａ１、Ａ２、Ａ３と同様に駆動され、Ｂグループのノズルは、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３と同様に駆動され、Ｃグループのノズルは、Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３と同様に駆動される。
【００７８】
実際には前記のように常に、全てのチャネルが駆動されるとは限らず、画像信号に従って、選択されたチャネルのみ駆動し、インク滴を飛翔させて画像を形成する。
【００７９】
なお、図６（ａ）にのみノズル３を示し、図６（ｂ）及び図６（ｃ）では、煩雑になるのを避けるために、実際には形成されているノズルを省略している。
【００８０】
また、図２（ａ）で説明したように、このような分割駆動に合わせてノズルをずらして配置させるスタガー配列が行われる。スタガー配列のズレ量については、特開２００１ー３０１１６３公報に記載されているように３サイクルの駆動周期とヘッドと基板の相対移動速度で決められる。
【００８１】
本発明においては、前述のように、ノズル列を、ノズルＮ個（Ｎは２以上の整数）おきにノズルを選択して１つのグループとして、複数のグループに分割し、いずれか１つのグループに属するノズルを印画ノズル列として使用する点及び前記印画ノズル列の前記移動方向に対する角度を調整する点に特徴がある。
【００８２】
この１サイクル駆動のタイムチャートを図８に示す。図８は縦軸にはチャネルＡ１〜Ｃ３を、また、横軸には時間をとってある。
【００８３】
まず、図８（ａ）に示すようにＡ１、Ａ２、Ａ３の３チャネルを含むＡグループのノズル列を印画ノズル列として使用する。
【００８４】
初め第１周期ｔ１の駆動パルスＰａをＡ１、Ａ２、Ａ３の３チャネルに同時に印加し駆動すると、これらＡ１、Ａ２、Ａ３の３チャネルの側壁が同時に変化し、各ノズルからインク滴が飛翔する。前記のようにインク滴を飛翔するチャネルは初め体積を増加した後、急激に体積を縮小する。第２周期ｔ２、第３周期ｔ３では、駆動は行われず、以下同様に繰り返される。
【００８５】
このようにして、Ａグループのチャネルのノズル列のみを使用して印画を継続する。
【００８６】
そして、Ａグループの印画ノズル列の少なくとも１つのノズルに不吐出等の不具合が生じたときに、他のグループに属するノズルを印画ノズル列として使用する。Ｂグループを使用する場合は、図８（ｂ）のように、Ｂ１、Ｂ２，Ｂ３のチャンネルの側壁に駆動パルスを印加し、印画ノズル列として使用する。
【００８７】
さらに、Ｂグループの印画ノズル列の少なくとも１つのノズルに不吐出等の不具合が生じたときに、Ｃグループに属するノズルを印画ノズル列として使用する。図８（ｃ）のように、Ｃ１、Ｃ２，Ｃ３のチャンネルの側壁に駆動パルスを印加し、印画ノズル列として使用する。
【００８８】
なお、図２（ａ）に示される他のＡグループのノズルは、Ａ１、Ａ２、Ａ３と同様に駆動され、Ｂグループのノズルは、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３と同様に駆動され、Ｃグループのノズルは、Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３と同様に駆動される。
【００８９】
実際には前記のように常に、全てのチャネルが駆動されるとは限らず、画像信号に従って、選択されたチャネルのみ駆動し、インク滴を飛翔させて画像を形成する。
【００９０】
このように１つのグループを印画ノズル列として使用し、このグループに属するノズルに不吐出が生じた時に、ヘッドを交換することなく、別のグループを印画ノズル列として選択し印画を継続できる。このことにより、ヘッド交換の回数を減らして稼働率の高い印画作業ができると共に、高い信頼性、高スループットが実現できる。
【００９１】
特に、本実施形態で用いたような隣接したインク流路間の隔壁の少なくとも一部がせん断モードで変形する圧電材料で構成されたせん断モード型のインクジェットヘッドの場合、１つのグループを印画ノズル列として使用することにより、ヘッドを高周波で駆動するができる。
【００９２】
図９には、そのような、図１の印画装置の制御系のブロック図が示してある。
【００９３】
制御部３００は、図９に示すように、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）３０８、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）３１１、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）３０９、ＮＶＲＡＭ３１２、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）３１０等から構成され、ＲＯＭ３１１中に書き込まれている制御プログラムや制御データに従いインターフェイス３０８に接続された各種機器を制御するようになっている。また、制御部３００は、不図示の印画ノズル列ｍ（何番目のグループのノズル列を印画ノズル列として選択して使用しているかを示す数。ここでは、ｍ＝１ではＡグループが、ｍ＝２ではＢフループが、ｍ＝３ではＣグループのノズル列が選択される）のカウント手段や印画枚数カウント手段を有している。また、印画ピッチから最適のヘッド角度、ノズルピッチ（ＮＰ、即ち、Ｎの値）を算出する演算部を有している。
【００９４】
インターフェイス３０８には、Ｘ方向モータ駆動回路３０２、Ｙ方向モータ駆動回路３０４，θ方向モータ駆動回路３０６、ヘッド駆動回路１２１、インク滴モニタ装置１９０、基板搬送ロボット２００、エラーや各部の状態などを表示する表示部を有し、Ｘ方向、Ｙ方向の印画ピッチなどを設定する操作入力手段３０１などが電気的に接続されている。
【００９５】
ＲＯＭ３１１には、各種データや印画装置の各部の動作に関する各種制御プログラムや制御データなどが格納されている。各種データには、ヘッド交換すべき印画ノズル列ｍのカウント値Ｍや、印画ノズル列ｍをカウントアップすべき所定の印画枚数の値などが記憶されている。
【００９６】
ＲＡＭ３０９は、画像形成装置に電力が供給されている間だけ入力されたデータを複数記憶可能であり、基板上への印画を行うための印画データ等の各種データを記憶する記憶領域とＣＰＵ３１０による作業領域などが備えられている。
【００９７】
ＮＶＲＡＭ３１２は、バックアップ電源により、画像形成装置の電源が切断されても、情報の記憶ができるように構成されており、前述の印画ノズル列ｍのカウント値や、印画枚数のカウント値などが記憶される。
【００９８】
ＣＰＵ３１０は、ＲＯＭ３１１に格納されている各種プログラムの中から指定されたプログラムを、ＲＡＭ３０９内の作業領域に展開し、各入力手段からの入力信号に応じて、プログラムに従った各種処理を実行する。
【００９９】
図１の印画装置の１サイクル駆動の動作の流れの一例について、図１０のフローチャートを用いて説明する。ここでは、所定の１つの印画ピッチに対して、印画を行う場合を例に挙げて説明する。
【０１００】
開始時には、印画装置の電源がＯＮされていて、ヘッドは、未使用の新しいヘッドがセットされているものとする。また制御部３００の印画枚数カウント手段のカウント値は０に設定されている。
【０１０１】
ステップＳ１００では、操作入力手段３０１からＸ方向、Ｙ方向の印画ピッチが入力される。
【０１０２】
ステップＳ１０１では、制御部３００は、Ｘ方向の印画ピッチから、ヘッド角度θとノズルピッチ（ＮＰ）の算出を行い、θ方向モータによりヘッド角度を調整する。ノズルピッチは、１サイクル駆動なので、基本的には３個おきのノズル、即ち、１グループに属するノズルを選択する。即ち、ノズルピッチはＮＰ＝３Ｐとなる。
【０１０３】
ステップＳ１０２では、基板搬送ロボット２００により基板がセットされる。
【０１０４】
ステップＳ１０３では、印画ノズル列カウント手段のカウント値ｍ＝１に設定される。
【０１０５】
印画ノズル列として、ｍ＝１に相当するＡグループのノズル列が設定される。
【０１０６】
ステップＳ１０４では、印画ノズル列として、印画ノズル列カウント手段のカウント値ｍに相当するグループのノズル列が選択される。
【０１０７】
ステップＳ１０５では、印画ノズル列ｍの値が、ヘッド交換に必要な値Ｍに達したかどうかを判断する。到達していれば（ステップＳ１０５でＹＥＳ）、ステップＳ１０６の処理が実行され、到達していなければ（ステップＳ１０５でＮＯ）、ステップＳ１０７の処理が実行される。なお、ここでは、Ａ，Ｂ，Ｃの３つのグループの印画ノズル列があり、ｍの最大値は３なので、Ｍ＝４に設定されている。
【０１０８】
ステップＳ１０６では、制御部３００は、操作入力手段３０１の表示部にヘッド交換が必要であることを表示してユーザーに指示し、ヘッド交換させる。また、交換後は、Ｓ１０３の処理が実行され、印画ノズル列ｍ＝１となる。
【０１０９】
ステップＳ１０７では、インク滴モニタ装置１９０により、印画ノズル列カウント手段のカウント値ｍに相当するｍ番目のグループのノズル列の吐出検知を行う。ｍ＝１ならＡグループの、ｍ＝２ならＢグループの、ｍ＝３ならＣグループのノズル列が選択され、吐出検知を行う。
【０１１０】
ステップＳ１０８では、制御手段３００は、インク滴モニタ装置１９０からの情報により、１つのノズルでもノズル欠（不吐出）が有れば（ステップＳ１０８でＹＥＳ）、ステップＳ１１４の処理が実行され、すべてのノズルのノズル欠がなければ（ステップＳ１０８でＮＯ）、ステップＳ１０９の処理が実行される。
【０１１１】
ステップＳ１０９では、ＲＡＭ３０９に入力されている印画データに従って、１枚分の印画が実行される。制御手段３００は、印画枚数カウント手段のカウント値を１だけカウントアップさせる。
【０１１２】
ステップＳ１１０では、制御手段３００は、印画を終了してもよいかどうかを判断する。終了であれば（ステップＳ１１０でＹＥＳ）、ステップＳ１１１の処理が実行され、終了でなく、印画継続であれば（ステップＳ１１０でＮＯ）、ステップＳ１１２の処理が実行される。
【０１１３】
ステップＳ１１１では、印画動作は終了となり待機状態あるいは電源切断された状態に入る。その時点での印画ノズル列ｍのカウント値や印画枚数カウント値は、ＮＶＲＡＭに記憶される。再度印画動作を開始するときは、この記憶データをアップロードして、この値に基づいて印画が開始される。
【０１１４】
ステップＳ１１２では、基板搬送ロボット２００により次基板がセットされる。
【０１１５】
ステップＳ１１３では、制御手段３００は、印画枚数カウント手段のカウント値が、印画ノズル列ｍのカウント値をカウントアップさせるべく所定の印画枚数に到達したかどうかを判断する。到達していれば（ステップＳ１１３でＹＥＳ）、印画枚数カウント手段のカウント値を０にリセットしてステップＳ１１４の処理が実行され、到達していなければ（ステップＳ１１３でＮＯ）、ステップＳ１０７の処理が実行される。
【０１１６】
ステップＳ１１４では、制御手段３００は、ｍ＝ｍ＋１として、印画ノズル列カウント手段のｍを１だけカウントアップさせた後、ステップＳ１０４の処理を実行させる。
【０１１７】
上記フローにおいては、ノズル列を、３個のノズルおきにノズルを選択して１つのグループとして、複数のグループに分割し、いずれか１つのグループに属するノズルを印画ノズル列として使用するノズルピッチ調整手段と前記印画ノズル列の前記移動方向に対する角度を調整するための角度調整手段により、印画ピッチに応じて、ノズルピッチを調整すべく１つのグループを選択し、さらに角度を調整すると共に、前記印画ノズル列のノズルにノズル欠などの不具合が生じたときに、あるいは、所定の印画枚数に達したときに、順次に他のグループに属するノズルを印画ノズル列として使用することしている。
【０１１８】
このことにより、１つのインクジェットヘッドで、ユーザーの仕様に応じた印画ピッチの異なる複数種類の印画パターンの印画に対応可能となるとともに、前記１つのグループを印画ノズル列として使用し、このグループに属するノズルに不吐出が生じた時に、ヘッドを交換することなく、別のグループを印画ノズル列として選択し印画を継続できる。このことにより、ヘッド交換の回数を減らして稼働率の高い印画作業ができると共に、高い信頼性、高スループットが実現できる。
【０１１９】
特に、本実施形態で用いたような隣接したインク流路間の隔壁の少なくとも一部がせん断モードで変形する圧電材料で構成されたせん断モード型のインクジェットヘッドの場合、１つのグループを印画ノズル列として使用することにより、ヘッドを高周波で駆動するができる。
【０１２０】
また、前述のように、前記スタガー配列の前記移動方向に対する角度θ’が、前記印画ノズル列の前記移動方向に対する角度θと一致していることが好ましい。このことにより、前記１つのグループを印画ノズル列として使用し、このグループに属するノズルに不吐出が生じた時に、別のグループを印画ノズル列として選択し印画を継続する場合に、Ｘ方向の吐出タイミングを調整するだけで良く、Ｙ方向のタイミング調整が不要になる。
【０１２１】
さらに、１サイクル駆動でない場合は、上記フローにおいて、印画ピッチに応じて、随時、ノズルを何個おきに選択するか（Ｎの値）及び印画ノズル列の移動方向に対する角度θを調整するようにしても良い。また、１サイクル駆動においても、ノズルピッチは、３の倍数で有れば、選択可能であり、印画ピッチが粗い場合は、１グループ内で、例えば６個おきのノズルや９個おきのノズルを選択することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】印画装置の１実施形態である印画装置の構成概要図である。
【図２】（ａ）はインクジェットヘッドの複数ノズルのスタガー配列を示す図である。（ｂ）はインクジェットヘッドの複数ノズルの直線配列を示す図である。
【図３】インクジェットヘッドのインク流路に沿った断面図である。
【図４】インクジェットヘッドの駆動の様子を示すインク流路を横切る断面図である。
【図５】駆動パルスの波形を示すグラフである。
【図６】３サイクル駆動のインク滴吐出の様子を示す図である。
【図７】３サイクル駆動のタイミングチャートである。
【図８】１サイクル駆動のタイミングチャートである。
【図９】図１の印画装置の制御ブロック図である。
【図１０】１サイクル駆動のフローチャートである。
【符号の説明】
【０１２３】
１  基板
３  ノズル
７  インク供給口
８  基板
１０  インクチューブ
１００  印画装置
１１０  装置架台
１２０  インクジェットヘッド
１３０  Ｘ軸ガイドレール
１４０  基板載置台
１５０  Ｙ軸ガイドレール
１６０  リフトピン（基板受納排出手段）
１６１  回転体（基板受納排出手段）
１７０  真空吸着用の孔
２００  基板搬送ロボット
２１０  アーム
Ａ、Ａ１〜Ａ３、Ｂ１〜Ｂ３、Ｃ１〜Ｃ３  インク流路またはノズル
Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４  電極
Ｓ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３  側壁
【図１】
2007055067.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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