(57)【要約】【課題】  プランジャが摺動方向に対して傾かないようにして、長寿命化を図れるソレノイドを提供する。【解決手段】  励磁コイル３５と、励磁コイル３５の内側に設けられる、内部にプランジャ挿入孔３９が形成された円筒状のガイドパイプ３７と、励磁コイル３５を囲んで配置された固定ヨーク３６と、ガイドパイプ３７のプランジャ挿入孔３９内で摺動可能に配置され、固定ヨーク３６との間で空隙を空けて配置され、固定ヨーク３６との間で磁気回路を形成するプランジャ３８とを具備するソレノイド３４において、ガイドパイプ３７のプランジャ挿入孔３９の中心軸線は、ガイドパイプ３７の外周に対する中心軸線から偏位して形成されている。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
励磁コイルと、
励磁コイルの内側に設けられる、内部にプランジャ挿入孔が形成された円筒状のガイドパイプと、
励磁コイルを囲んで配置された固定ヨークと、
ガイドパイプのプランジャ挿入孔内で摺動可能に配置され、前記固定ヨークとの間で空隙を空けて配置され、固定ヨークとの間で磁気回路を形成するプランジャとを具備するソレノイドにおいて、
前記ガイドパイプのプランジャ挿入孔の中心軸線は、ガイドパイプの外周に対する中心軸線から偏位して形成されていることを特徴とするソレノイド。
【請求項２】
励磁コイルと、
励磁コイルの内側に設けられる、内部にプランジャ挿入孔が形成された円筒状のガイドパイプと、
励磁コイルを囲んで配置された固定ヨークと、
ガイドパイプのプランジャ挿入孔内で摺動可能に配置され、前記固定ヨークとの間で所定の空隙を空けて配置され、固定ヨークとの間で磁気回路を形成するプランジャと、
プランジャが接続されたダイアフラムと、
ダイアフラムの往復駆動によってダイアフラム室の流体を吐出する吐出弁と、
ダイアフラムの往復駆動によってダイアフラム室へ流体を吸入する吸入弁とを具備する電磁式ポンプにおいて、
吐出弁における流体の流通方向の軸線と、吸入弁における流体の流通方向の軸線とを結ぶ直線の間に、プランジャの中心軸線が配置され、
吐出弁側または吸入弁側のうちのいずれか一方側における固定ヨークとプランジャとの間の磁気回路のパーミアンスが、他方側の固定ヨークとプランジャとの間の磁気回路のパーミアンスよりも大となるように設けられていることを特徴とする電磁式ポンプ。
【請求項３】
前記ガイドパイプのプランジャ挿入孔の中心軸線は、ガイドパイプの外周に対する中心軸線よりも吐出弁側または吸入弁側のうちのいずれか一方側に偏位して形成されていることを特徴とする請求項２記載の電磁式ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、励磁コイルに励磁電流を流すことによりプランジャを往復駆動させるソレノイド、およびソレノイドがプランジャを往復駆動させてダイアフラムを動作させる電磁式ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
容積型ポンプの一種であるダイアフラムポンプは、ダイアフラムを往復駆動させることによりダイアフラム室（ポンプ室）を容積変化させ、これに伴って流体の吸排を可能とする装置である。
そして、ダイアフラムを往復駆動させる駆動源としてソレノイドを用いた電磁式ポンプが一般的に知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
従来より知られている電磁式ポンプ１０について図４および図５に示す。
ダイアフラム１２は、ダイアフラム室１３に配置されており、中心部にプランジャ１４が固定されている。プランジャ１４は、励磁コイル（図４および図５では省略している）の内側に配置されたガイドパイプ１５に形成されたプランジャ挿入孔１６内で摺動可能に設けられている。  
【０００４】
電磁式ポンプ１０のダイアフラム室１３には、流体をポンプ外部からダイアフラム室１３内に吸入する吸入弁１７と、流体をダイアフラム室１３からポンプ外部へ吐出する吐出弁１８とが設けられている。
ここで示している吸入弁１７および吐出弁１８はチェックボールであり、それぞれダイアフラム室１３とポンプ外部を連通する吸入孔１９内および吐出孔２０内に配置され、それぞれ吸入孔１９および吐出孔２０を開閉するように動作する。
【０００５】
吸入側のチェックボール１７は、ばね２１により吸入孔１９とポンプ外部との間に形成された外側開口部２２を閉塞するように付勢されており、プランジャ１４が他方側に移動してダイアフラム室１３の容積が増加すると、ばね２１の付勢力に抗してダイアフラム室１３側に移動し、吸入孔１９を開く。
このとき、吐出側のチェックボール１８は、ばね２３により吐出孔２０とダイアフラム室１３との間に形成された内側開口部２４を閉塞するように付勢されており、そのまま吐出孔２０を閉塞している。
【０００６】
プランジャ１４が一方側に移動してダイアフラム室１３の容積が減少すると、吸入側のチェックボール１７は、ダイアフラム室１３内の流体に押圧されてポンプ外部側に移動して吸入孔１９を閉塞し、吐出側のチェックボール１８は、ダイアフラム室１３内の流体に押圧されてポンプ外部へ移動して吐出孔２０を開く。
【０００７】
【特許文献１】特開平５−８７００５号公報（図２等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来の電磁式ポンプでは、吸入時においてはダイアフラム室１３内が負圧となり、吸入弁１７が開く。このため、ポンプ外部から流体が吸入孔１９を通してダイアフラム室１３に流れ込み、ダイアフラム１２の吸入弁側１２ａに働く負圧は著しく軽減される。一方、吐出弁側１２ｂに働く負圧は、吐出弁１８が閉じているため軽減されない。この結果、ダイアフラム室１３に発生した負圧は、ダイアフラム１２の吐出弁側１２ｂを吐出弁１８から離さないように作用する。ダイアフラム１２の吸入弁側１２ａと吐出弁側１２ｂとの間で発生した負圧のアンバランスは、プランジャ１４に対して回転力として作用し、プランジャ１４の他端部が吐出弁側方向へ移動し（図４の矢印方向）、プランジャ１４がガイドパイプ１５内で摺動方向に対して傾いてしまう。
【０００９】
また、吐出時においては吐出孔２０からは流体が流出していくが、吸入側では吸入弁１７が閉じられるため、ダイアフラム１２の吸入弁側１２ａが正圧となり、ダイアフラム１２の吸入弁側１２ａの吸入弁方向への移動が妨げられるように作用する。このように、ダイアフラム１２は吸入弁側１２ａが常に吸入弁側へ近づけないような力を受けるために、プランジャ１４の傾きは是正されない。
ここで、図４の線Ａは本来のプランジャ１４の中心軸線であり、線Ｂが傾いたプランジャ１４の中心軸線を示している。
【００１０】
このように、電磁式ポンプの駆動により、プランジャ１４がガイドパイプ１５内で傾いたままであると、プランジャ１４とガイドパイプ１５の他端側であって吐出弁側の部位（図４の位置Ｃ）と、プランジャ１４とガイドパイプ１５の一端側であって吸入弁側の部位（図４の位置Ｄ）においてプランジャ１４とガイドパイプ１５とが常に接触して荷重が集中してしまうという課題があった。
このように、プランジャとガイドパイプとが常に接触して荷重が集中してしまう部位があると、この部位が磨耗してしまい、ポンプの寿命を短くしてしまうおそれがある。
【００１１】
そこで、本発明は上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、プランジャが摺動方向に対して傾かないようにして、長寿命化を図れるソレノイドおよび電磁式ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
すなわち、本発明にかかるソレノイドによれば、励磁コイルと、励磁コイルの内側に設けられる、内部にプランジャ挿入孔が形成された円筒状のガイドパイプと、励磁コイルを囲んで配置された固定ヨークと、ガイドパイプのプランジャ挿入孔内で摺動可能に配置され、前記固定ヨークとの間で空隙を空けて配置され、固定ヨークとの間で磁気回路を形成するプランジャとを具備するソレノイドにおいて、前記ガイドパイプのプランジャ挿入孔の中心軸線は、ガイドパイプの外周に対する中心軸線から偏位して形成されていることを特徴としている。
この構成を採用することによって、プランジャは偏位した側における固定ヨークとの空隙が、偏位した側と反対側における固定ヨークとの間の空隙よりも狭くなる。したがって、プランジャと固定ヨークとの間のパーミアンスは偏位した側の方が反対側よりも大きいので、プランジャが常に偏位した側へ向かう力を受ける。なお、パーミアンスは磁気抵抗の逆数であり、パーミアンスが大きいほど磁気回路の磁束が多くなり、磁気エネルギーが増加する。このため、プランジャは、プランジャ挿入孔が偏位している側で大きな磁気エネルギーを受け、偏位した側へ向かう力を受けるのである。
【００１３】
本発明にかかる電磁式ポンプによれば、励磁コイルと、励磁コイルの内側に設けられる、内部にプランジャ挿入孔が形成された円筒状のガイドパイプと、励磁コイルを囲んで配置された固定ヨークと、ガイドパイプのプランジャ挿入孔内で摺動可能に配置され、前記固定ヨークとの間で所定の空隙を空けて配置され、固定ヨークとの間で磁気回路を形成するプランジャと、プランジャが接続されたダイアフラムと、ダイアフラムの往復駆動によってダイアフラム室の流体を吐出する吐出弁と、ダイアフラムの往復駆動によってダイアフラム室へ流体を吸入する吸入弁とを具備する電磁式ポンプにおいて、吐出弁における流体の流通方向の軸線と、吸入弁における流体の流通方向の軸線とを結ぶ直線の間に、プランジャの中心軸線が配置され、吐出弁側または吸入弁側のうちのいずれか一方側における固定ヨークとプランジャとの間の磁気回路のパーミアンスが、他方側の固定ヨークとプランジャとの間の磁気回路のパーミアンスよりも大となるように設けられていることを特徴としている。
この構成を採用することによって、プランジャと固定ヨークとの間のパーミアンスが大きくなるように設定された一方側において、固定ヨークの対向面に接近させる吸引力がプランジャに働く。なお、パーミアンスは磁気抵抗の逆数であり、パーミアンスが大きいほど磁気回路の磁束が多くなり、磁気エネルギーが増加する。このように、プランジャが、磁気回路のパーミアンスが大きく設定された一方側へ向かう力を受けることにより、電磁式ポンプのプランジャの傾きを防止することができる。
【００１４】
また、前記ガイドパイプのプランジャ挿入孔の中心軸線は、ガイドパイプの外周に対する中心軸線よりも吐出弁側または吸入弁側のうちのいずれか一方側に偏位して形成されていることを特徴としてもよい。
このような構成によれば、プランジャと固定ヨークとの間の空隙が、吐出弁側または吸入弁側のうちのいずれか一方側の方が他方側よりも小さくなる。すなわち、パーミアンスは、磁路の断面積に比例し、磁路に形成された空隙（ギャップ）の大きさに反比例するので、空隙が小さい一方側の方がパーミアンスが大きくなり、磁気エネルギーが増加する。このため、プランジャが一方側へ向かう力を受けることにより、プランジャの傾きを防止することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明にかかるソレノイドによれば、プランジャの摺動方向に対する傾きを防止することができるので、プランジャとガイドパイプの接触部分の磨耗を防止することができ、長寿命化を図ることができる。
本発明にかかる電磁式ポンプによれば、プランジャが吐出弁側または吸入弁側へ向かう力を受けるようにすることができるので、ポンプの駆動を原因とするプランジャの軸線方向に対する傾きを防止することができ、プランジャとガイドパイプの接触部分の磨耗を防止し、ポンプの長寿命化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１に基づいて電磁式ポンプの全体構成について示す。
本実施形態の電磁式ポンプ３０は、容積型ポンプの一種でダイアフラム３２をダイアフラム室３３内で往復駆動させてダイアフラム室３３内の容積を変化させることによって、流体を吸排出する装置である。
【００１７】
ダイアフラム３２の駆動方式としては、ソレノイド３４を用いている。
以下、ソレノイド３４の構成について説明する。
ソレノイド３４は、励磁コイル３５と、固定ヨーク３６と、プランジャ３８を具備している。プランジャ３８はガイドパイプ３７に形成されたプランジャ挿入孔３９内に収納保持されている。ガイドパイプ３７は、非磁性体材料で構成されており、具体的には合成樹脂製である。
【００１８】
固定ヨーク３６は、磁性体材料から構成され、励磁コイル３５の周囲を覆って形成される。励磁コイル３５の両端部と固定ヨーク３６との間には絶縁部材４０が設けられている。
固定ヨーク３６は、励磁コイル３５の一方側に配置された上ヨーク３６ａと、他方側に配置され、上ヨーク３６ａと連結している下ヨーク３６ｂとから構成されている。
なお、本実施形態では、下ヨーク３６ｂの一部がコイルの側面を覆うように側壁部３６ｃとして一方側へ延出しており、一方側で側壁部３６ｃが上ヨーク３６ａと連結している。
【００１９】
プランジャ３８は、磁性体から構成された部材である。プランジャ３８は、ガイドパイプ３７内に収納される部位である小径部４２と、小径部４２の他方側の端部に設けられた大径部４４とを有している。
小径部４２の外径は、ガイドパイプ３７の内径よりもわずかに小さく形成されており、ガイドパイプ３７内でプランジャ３８が良好に摺動するように設けられる。
大径部４４の外径はガイドパイプ３７の内径よりも大径に形成されており、大径部４４はガイドパイプ３７内には収納されず、ガイドパイプ３７の外部に位置している。
【００２０】
プランジャ３８は、励磁コイル３５が生じる磁気エネルギーによって吸引される方向に動作する。なお、プランジャ３８の突出方向への移動はばね４７によって行なわれる。
【００２１】
上ヨーク３６ａの中心部には、プランジャ３８の小径部４２の一方側の端面４２ａと対向する第１の対向面５１が形成されている。上ヨーク３６ａには、第１の対向面５１を囲み、第１の対向面５１に対して他方方向に垂直に立ち上げられた延出部の内壁面に、第２の対向面５２が形成されている。第２の対向面５２は、プランジャ３８の小径部４２の一方側の端面４２ａ近傍の外周面４２ｂと対向している。
上ヨーク３６ａにおいては、第１の対向面５１と第２の対向面５２とがプランジャ３８との間で磁路を形成する。
【００２２】
下ヨーク３６ｂは、励磁コイル３５の側面を覆う側壁部３６ｃと励磁コイル３５の他方の端部を覆う対向面部３６ｄとから構成されている。対向面部３６ｄは、大径部４４の外周面４４ｂに対向する第３の対向面５３と、大径部４４の一方側の端面４４ａに対向する第４の対向面５４とを有している。
第３の対向面５３は、第４の対向面５４に対して他方方向に垂直に立ち上げられた延出部の内壁面に形成されている。
【００２３】
第２の対向面５２および第３の対向面５３は、プランジャ３８の小径部４２の外周面４２ｂおよび大径部４４の外周面４４ｂに対してそれぞれ接触しない程度のわずかな隙間を空けて配置される。
【００２４】
なお、下ヨーク３６ｂの対向面部３６ｄには、防振ゴム５５が取り付けられている。プランジャ３８が一方側へ移動していくと、大径部４４の一方側の端面４４ａが防振ゴム５５に当接するので、大径部４４が下ヨーク３６ｂに当接することに起因する振動を防止することができる。
【００２５】
ソレノイド３４のプランジャ３８の中心部には、ダイアフラム３２の中心部３２ａと連結する支持棒５６が設けられている。支持棒５６は、ソレノイド３４から一方側へ突出して設けられており、ダイアフラム３２の中心部３２ａに固定されている。
【００２６】
また、プランジャ３８は、ばね４７によって他方方向に付勢されている。ばね４７は、プランジャ３８の内部に形成されたばね収納部５８において、支持棒５６の周囲に配置され、ばね収納部５８の他方側の端面と上ヨーク３６ａの第１の対向面５１との間で圧縮されるようにして設けられている。
【００２７】
プランジャ３８は、励磁コイル３５に励磁電流を流すことによって形成される磁気回路によって一方方向へ動作する方向に力が働く。励磁コイル３５に流される励磁電流がオフとなった場合には、磁気回路による力は消滅し、プランジャ３８はばね４７の付勢力により他方方向へ動作する。
プランジャ３８は、このように励磁コイル３５へ流される励磁電流のオン−オフによって、往復運動する。
【００２８】
次に、ポンプ側の構成について説明する。
ソレノイド３４の一方側の端部には、ポンプカバー６０が取り付けられて構成されており、ポンプカバー６０内にダイアフラム３２が設けられている。ダイアフラム３２は、ソレノイド３４によって往復駆動され、ダイアフラム室３３内の容積を変化させ、流体を吸排出する。
【００２９】
ダイアフラム３２は、ソレノイド３４の一方側端部である上ヨーク３６ａとポンプカバー６０との間に固定され、ポンプカバー６０の内壁面との間でダイアフラム室３３を形成する。
【００３０】
ポンプカバー６０と上ヨーク３６ａの外周面には下ヨーク３６ｂの側壁部３６ｃが配置されている。側壁部３６ｃの先端には爪部６１が形成されており、爪部６１がポンプカバー６０の一方側の端面に沿って曲げられて、上ヨーク３６ａとポンプカバー６０とを挟持している。
【００３１】
ポンプカバー６０には、ダイアフラム３２の往復駆動によって動作する吸入弁と、吐出弁とが設けられている。吸入弁と吐出弁とは、ポンプカバー６０から一方側に突出した２つの筒状部６２，６３の内部に設けられる。
ポンプカバー６０の筒状部６２，６３のいずれか一方の内部は、ダイアフラム室３３とポンプ外部とを連通する吸入孔６４が形成されている。吸入孔６４内には、吸入孔６４のポンプ外部に接する部位となる外側開口部６６の内側に当接して吸入孔６４を閉塞するチェックボール６８が配置されている。チェックボール６８が吸入弁に該当する。
【００３２】
チェックボール６８にはばね６９の一端が当接しており、ばね６９の付勢力によって外側開口部６６を閉塞するように付勢されている。ばね６９の他端は、ばね６９の他端を保持する止め輪７０に当接している。止め輪７０は、リング状に形成されており、吸入孔６４のダイアフラム室３３に連通する部位となる内側開口部７１が形成されている。
【００３３】
ポンプカバー６０の筒状部６２，６３のいずれか他方の内部は、ダイアフラム室３３とポンプ外部とを連通する吐出孔７２が形成されている。吐出孔７２内には、吐出孔７２のダイアフラム室３３に接する部位となる内側開口部７３の外側に当接して吐出孔７２を閉塞するチェックボール７４が配置されている。チェックボール７４が吐出弁に該当する。
【００３４】
チェックボール７４にはばね７６の一端が当接しており、ばね７６の付勢力によって内側開口部７３を閉塞するように付勢されている。ばね７６の他端は、ばね７６の他端を保持する止め輪７８に当接している。止め輪７８は、リング状に形成されており、吐出孔７２のポンプ外部に連通する部位となる外側開口部７９が形成されている。
【００３５】
図２に、ガイドパイプ３７の断面および、プランジャ３８と吸入弁６８と吐出弁７４との位置関係を図１のＥ方向（一方側）から見た場合について示す。
プランジャ３８の中心軸線Ｖは、吸入弁６８に対する流体の移動方向の軸線Ｘと、吐出弁７４の流体の移動方向の軸線Ｙとを結ぶ直線上Ｇであって、軸線Ｘと軸線Ｙとの間に配置されている。
【００３６】
そして、ガイドパイプ３７は、プランジャ挿入孔３９の中心軸線Ｖ（プランジャ３８の中心軸線Ｖと一致する）が、ガイドパイプ３７の外周の中心軸線Ｗに対して、吐出弁７４側に偏るように形成されている。つまり、ガイドパイプ３７は吐出弁７４側の方が吸入弁６８側よりも肉薄となるように形成される。
【００３７】
図３に基づいて、断面方向から見た場合について上述した構成を更に説明する。
上ヨーク３６ａの第２の対向面５２の内径をｄ１とする。プランジャ３８の大径部４４の外径をｄ３とすると、ｄ１の中心線とｄ３の中心線は同一直線となる。
しかし、プランジャ挿入孔３９は吐出弁７４側に偏位しているので、プランジャ３８の小径部４２の外径をｄ２とすると、ｄ１およびｄ３の中心線よりもｄ２の中心線は吐出弁７４側にΔｄだけ平行にずれている。
【００３８】
このためプランジャ３８は、吐出弁７４側の方が吸入弁６８側よりも、上ヨーク３６ａの第２の対向面５２との間の空隙が狭く、且つ下ヨーク３６ｂの第３の対向面５３との間の空隙が狭くなるように配置される。
したがって、プランジャ３８には吐出弁７４側へ向かう力Ｆが働き、プランジャ３８の傾きを防止することができる。
【００３９】
なお、上述した実施形態では、プランジャ３８の他端側には大径部４４を設け、下ヨーク３６ｂには、大径部４４の外周面４４ｂとの間で磁路を形成するための第３の対向面５３を設けた構成について説明した。
しかし、本発明はこのような構成に限定されることはなく、プランジャ３８に大径部４４を設けておかなくともよく、また大径部４４を設けたとしても、下ヨーク３６ｂに大径部４４の外周面４４ｂに対向する第３の対向面が設けられていないものであってもよい。
【００４０】
なお、上述した実施形態の電磁式ポンプは、プランジャと固定ヨークとの間のパーミアンスにおいて、吐出弁側を吸入弁側よりも大きくするために、吐出弁側のプランジャと固定ヨークとの間の空隙を吸入弁側よりも狭くした構成を採用した。
しかし、電磁式ポンプのプランジャと固定ヨークとの間のパーミアンスにおいて、吐出弁側を吸入弁側よりも大きくする構成としてはこのようなものに限定されることはなく、プランジャまたは固定ヨークの対向面積を吐出弁側の方が吸入弁側よりも広くなるように構成してもよい。
【００４１】
さらに、本発明は、プランジャ挿入孔３９の偏位方向を吐出弁７４側に向けてする場合に限定するものではなく、プランジャ挿入孔３９を吸入弁６８側に偏位させてプランジャ３８を吸入弁６８側に吸引させる力を生じさせることによっても、プランジャ３８の傾きを防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
このような電磁式ポンプは、プランジャの磨耗を防止して長寿命化を図れるので、一度設けた場合には交換しにくい分野に採用すると好適である。たとえば、燃料電池の空気や燃料を供給するためのポンプ、医療器具、ノートパソコンの冷却用等様々な用途に良好に用いることができる。
【００４３】
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明にかかる電磁式ポンプの断面図である。
【図２】ガイドパイプの断面および、プランジャと吸入弁と吐出弁との位置関係を図１のＥ方向から見た場合を示す説明図である。
【図３】プランジャの偏位の様子を示す電磁式ポンプの断面図である。
【図４】従来の電磁式ポンプの吸入時の様子を示す断面図である。
【図５】従来の電磁式ポンプの吐出時の様子を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
３０  電磁式ポンプ
３２  ダイアフラム
３２ａ  中心部
３３  ダイアフラム室
３４  ソレノイド
３５  励磁コイル
３６  固定ヨーク
３６ａ  上ヨーク
３６ｂ  下ヨーク
３６ｃ  側壁部
３６ｄ  対向面部
３７  ガイドパイプ
３８  プランジャ
３９  プランジャ挿入孔
４０  絶縁部材
４２  小径部
４２ａ  一方側の端面
４２ｂ  外周面
４４  大径部
４４ａ  一方側の端面
４４ｂ  外周面
４７  ばね
５１  第１の対向面
５２  第２の対向面
５３  第３の対向面
５４  第４の対向面
５５  防振ゴム
５６  支持棒
５８  ばね収納部
６０  ポンプカバー
６１  爪部
６２，６３  筒状部
６４  吸入孔
６６，７９  外側開口部
６８  チェックボール（吸入弁）
６９，７６  ばね
７０，７８  止め輪
７１，７３  内側開口部
７２  吐出孔
７４  チェックボール（吐出弁）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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