(57)【要約】 【課題】  インクジェットヘッドの端面および側面に付着するインクを除去することができ、混色されたインクがインク噴射対象物に付着することを防止することができるインクジェットヘッドのクリーニング装置を提供する。【解決手段】  互いに異なる色のインクを噴射するための複数のノズルを備えるインクジェットヘッドに対して、インクジェットヘッドの端面に弾発的に当接する端面ブレード片４と、インクジェットヘッドの側面に弾発的に当接する側面ブレード片５とを有するブレード体６を、インクジェットヘッドに対して相対的に変位可能に設ける。またブレード体６を、インクジェットヘッドごとに独立させ、互いに離間させて設ける。【選択図】      図１
2007301912.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる色のインクを噴射するための複数のノズルを備えるインクジェットヘッドのクリーニング装置であって、
インクジェットヘッドに対して相対的に変位可能に設けられるブレード体であり、インクジェットヘッドの端面に弾発的に当接する端面ブレード片と、インクジェットヘッドの側面に弾発的に当接する側面ブレード片とを有し、インクジェットヘッドごとに独立し、互いに離間して設けられるブレード体と、
ブレード体およびインクジェットヘッドを相対的に変位させる駆動手段とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項２】
ブレード体は、
端面ブレード片および側面ブレード片をインクジェットヘッドに当接させて、インクジェットヘッドに対して変位するときのインクジェットヘッドに対する移動方向に関して、側面ブレード片が、端面ブレード片よりも下流側に設けられることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置。
【請求項３】
インクジェットヘッドに対して相対的に変位可能に設けられるブレード体であり、インクジェットヘッドの端面に弾発的に当接する端面ブレード片と、インクジェットヘッドの側面に弾発的に当接する側面ブレード片とを有するブレード体を用い、
端面ブレード片をインクジェットヘッドの端面に当接させて、かつ側面ブレード片をインクジェットヘッドの側面に当接させて、ブレード体をインクジェットヘッドに対して変位させてインクジェットヘッドに付着するインクを掻取った後、
インクジェットヘッドによって端面ブレード片および側面ブレード片の一方を押圧操作して、端面ブレード片と側面ブレード片とを互いに接触させることを特徴とするインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【請求項４】
ブレード体は、
端面ブレード片および側面ブレード片をインクジェットヘッドに当接させて、インクジェットヘッドに対して変位するときのインクジェットヘッドに対するブレード体の移動方向に関して、側面ブレード片が、端面ブレード片よりも下流側に設けられることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【請求項５】
インクジェットヘッドの前記ブレード体の移動方向に関する下流側表面で、端面ブレード片を押圧操作して、端面ブレード片と側面ブレード片とを互いに接触させることを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【請求項６】
複数のノズルを備え、インク噴射対象物に対して複数の色のインクをノズルから噴射するインクジェットヘッドと、
請求項１または２に記載のインクジェットヘッドのクリーニング装置とを備えることを特徴とするインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドのクリーニング装置およびクリーニング方法ならびにインクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドは、微小な液滴を選択的に任意のドロップ数で噴射することのできるノズルを備える。インクジェットヘッドを用いて液滴を噴射するインクジェット装置は、たとえばプリンタなどの画像形成装置およびカラーフィルタの製造装置に使用されている。
【０００３】
このようなインクジェット装置では、ノズルからインクを噴射するときに、インクジェットヘッドのノズルが形成される面である端面にインクが付着することがある。端面に付着したインクを放置すると、付着したインクによって、ノズルから噴射されるインクの噴射方向が変化し、着弾精度が低下するという問題が生じる。またインクによるノズルの詰りを発生する。したがってインクジェット装置においては、インクジェットヘッドの端面に付着するインクを除去し、インクジェットヘッドの端面を清浄化するクリーニング手段が設けられる。
【０００４】
またインクジェットヘッドには、端面と隣合うインクジェットヘッドの側面にもインクが付着する。インクジェットヘッドの側面にインクが付着すると、付着したインクが垂れ落ちたり、インクジェットヘッドの移動によって付着したインクが飛散したりする。これによって、装置内部およびインク噴射対象物を汚染するという問題がある。
【０００５】
このような問題を解決するクリーニング手段として、インクジェットヘッドの端面と、端面に隣合うインクジェットヘッドの側面とを含むインクジェットヘッドの複数の面に付着したインクを除去するクリーニング手段が提案されている（たとえば、特許文献１および２参照）。
【０００６】
特許文献１には、インクジェットヘッドに対して相対的に変位可能に設けられるワイパー部材と、インクジェットヘッドの端面を拭取り可能に設けられるローラ形状のスポンジから成るクリーナ部材とを備えるクリーニング手段が記載されている。特許文献１に記載されるクリーニング手段では、ワイパー部材をインクジェットヘッドに対して変位させることによって、インクジェットヘッドの端面を拭取り可能に、かつインクジェットヘッドの側面を拭取り可能に構成される。ワイパー部材によってインクジェットヘッドの端面およびインクジェットヘッドの側面をクリーニングした後、クリーナ部材によってインクジェットヘッドの端面をさらに拭取り、端面に付着したインクを確実に除去する。
【０００７】
特許文献２には、インクジェットヘッドの端面に付着したインクをブレードによって掻取り除去することによって、インクジェットヘッドの掻取り方向下流側の面に付着するインクを除去することができるクリーニング手段が記載されている。特許文献２に記載されるクリーニング手段では、ブレードによるインクジェットヘッドの端面に付着したインクの掻取り後、インクが付着したインクジェットヘッドの掻取り方向下流側の面をブレードに対して当接させる。これによって、撥インク性がインクジェットヘッドよりも低いブレードに対してインクを付着させ、インクジェットヘッドの掻取り方向下流側の面に付着するインクを除去する。
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−８８３１２号公報
【特許文献２】特開２００３−２５５９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１および２に記載のクリーニング手段において、インクジェットヘッドの端面から除去されたインクは、ワイパー部材またはブレード（以下ワイパー部材もブレードに含めて「ブレード」という）に付着する。ブレードに付着したインクは、ブレードから落下して、廃インクを回収するドレン管路に導かれる。しかしながらブレードに付着したインクが少量であると、ブレードから容易には落下せず、ブレードに残留する。ブレードにインクが残留すると、その後のクリーニング動作においてインクジェットヘッドにインクを再付着させるなどの悪影響を及ぼす。
【００１０】
特許文献１に記載のクリーニング手段のように、スポンジなどの拭取り部材から成るクリーナ部材が用いられる場合、クリーナ部材に付着したインクは、クリーナ部材自体を交換すること以外に除去することができない。クリーナ部材にインクが付着した状態でクリーニングが実施されると、インクジェットヘッドの端面にインクが再付着する。したがって、インクジェットヘッドの端面にインクを再付着させないためには、クリーナ部材が汚染される度に、クリーナ部材を交換することが必要となる。
【００１１】
また画像形成装置およびカラーフィルタの製造装置などに用いられるインクジェット装置では、互いに異なる色のインクを噴射するための複数のノズルを備える。このような複数色のインクを噴射するインクジェット装置においては、異なる色のインク同士の混色を防ぐことが不可欠である。ここで、たとえば異なる色のインクを除去するブレードまたはクリーナ部材が一体的に形成されると、ブレードまたはクリーナ部材をつたってインクが移動し、インクの混色が発生することがある。このような混色されたインクが付着するブレードまたはクリーナ部材によって、インクジェットヘッドに付着するインクを除去すると、インクジェットヘッドの端面に他の色のインクが付着する場合がある。これによって、付着した他の色のインクがインク噴射対象物に付着したり、混色されたインクがインク噴射対象物に噴射されたりすることがある。
【００１２】
本発明の目的は、インクジェットヘッドの端面および側面に付着するインクを除去することができ、混色されたインクがインク噴射対象物に付着することを防止することができるインクジェットヘッドのクリーニング装置およびクリーニング方法ならびにインクジェット装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、互いに異なる色のインクを噴射するための複数のノズルを備えるインクジェットヘッドのクリーニング装置であって、
インクジェットヘッドに対して相対的に変位可能に設けられるブレード体であり、インクジェットヘッドの端面に弾発的に当接する端面ブレード片と、インクジェットヘッドの側面に弾発的に当接する側面ブレード片とを有し、インクジェットヘッドごとに独立し、互いに離間して設けられるブレード体と、
ブレード体およびインクジェットヘッドを相対的に変位させる駆動手段とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドのクリーニング装置である。
【００１４】
本発明に従えば、端面ブレード片をインクジェットヘッドの端面に弾発的に当接させた状態で、端面ブレード片をインクジェットヘッドと相対的に変位させることによって、インクジェットヘッドの端面に付着したインクを除去することができる。また側面ブレード片をインクジェットヘッドの側面に弾発的に当接させた状態で、側面ブレード片をインクジェットヘッドと相対的に変位させることによって、インクジェットヘッドの側面に付着したインクを除去することができる。さらに端面ブレード片と側面ブレード片とを有するブレード体がインクジェットヘッドごとに独立して設けられ、各ブレード体が互いに離間して設けられる。
【００１５】
また本発明は、ブレード体は、
端面ブレード片および側面ブレード片をインクジェットヘッドに当接させて、インクジェットヘッドに対して変位するときのインクジェットヘッドに対する移動方向に関して、側面ブレード片が、端面ブレード片よりも下流側に設けられることを特徴とする。
【００１６】
本発明に従えば、端面ブレード片および側面ブレード片がインクジェットヘッドに当接する状態で、インクジェットヘッドに対してブレード体が変位するときのブレード体の移動方向（以下「掻取り方向」という）に関して、側面ブレード片が、端面ブレード片よりも下流側に設けられる。これによって、端面ブレード片よりも先に側面ブレード片がインクジェットヘッドに当接し、インクジェットヘッドの端面と側面とにおける掻取り方向の一致する位置で、側面に付着したインクが除去された後、端面に付着したインクが除去される。インクジェットヘッドに付着したインクは、インクジェットヘッドの全長にわたって、この順序で除去される。
【００１７】
また本発明は、インクジェットヘッドに対して相対的に変位可能に設けられるブレード体であり、インクジェットヘッドの端面に弾発的に当接する端面ブレード片と、インクジェットヘッドの側面に弾発的に当接する側面ブレード片とを有するブレード体を用い、
端面ブレード片をインクジェットヘッドの端面に当接させて、かつ側面ブレード片をインクジェットヘッドの側面に当接させて、ブレード体をインクジェットヘッドに対して変位させてインクジェットヘッドに付着するインクを掻取った後、
インクジェットヘッドによって端面ブレード片および側面ブレード片の一方を押圧操作して、端面ブレード片と側面ブレード片とを互いに接触させることを特徴とするインクジェットヘッドのクリーニング方法である。
【００１８】
本発明に従えば、端面ブレード片と側面ブレード片とを互いに接触させることによって、端面ブレード片または側面ブレード片（以下端面ブレード片および側面ブレード片を総称して「ブレード片」という）が弾性変形し、ブレード片に付着したインクのブレード片に対する付着力を変化させることができる。これによって、ブレード片に付着するインクの落下を促し、インクをブレード片から除去させやすくすることができる。
【００１９】
また本発明は、ブレード体は、
端面ブレード片および側面ブレード片をインクジェットヘッドに当接させて、インクジェットヘッドに対して変位するときのインクジェットヘッドに対するブレード体の移動方向に関して、側面ブレード片が、端面ブレード片よりも下流側に設けられることを特徴とする。
【００２０】
本発明に従えば、側面ブレード片が、端面ブレード片よりも掻取り方向下流側に設けられるので、側面ブレード片が端面ブレード片よりも先にインクジェットヘッドに当接した状態で変位し、インクジェットヘッドの端面と側面とにおける掻取り方向の一致する位置で、側面に付着したインクが除去された後、端面に付着したインクが除去される。インクジェットヘッドに付着したインクは、インクジェットヘッドの全長にわたって、この順序で除去される。
【００２１】
また本発明は、インクジェットヘッドの前記ブレード体の移動方向に関する下流側表面で、端面ブレード片を押圧操作して、端面ブレード片と側面ブレード片とを互いに接触させることを特徴とする。
【００２２】
本発明に従えば、インクジェットヘッドの掻取り方向下流側表面で、端面ブレード片を押圧操作することによって、端面ブレード片に残留するインクの落下を促し、インクを除去させやすくすることができる。またインクジェットヘッドの掻取り方向下流側表面と端面ブレード片とを接触させることによって押圧操作されると、インクジェットヘッドの掻取り方向下流側表面に付着したインクを端面ブレード片に付着させることができ、インクジェットヘッドの掻取り方向下流側表面からインクを除去することができる。
【００２３】
また本発明は、複数のノズルを備え、インク噴射対象物に対して複数の色のインクをノズルから噴射するインクジェットヘッドと、
前記本発明のインクジェットヘッドのクリーニング装置とを備えることを特徴とするインクジェット装置である。
【００２４】
本発明に従えば、インクジェット装置は、前記作用を達成するインクジェットヘッドのクリーニング装置を備えることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、端面ブレード片をインクジェットヘッドの端面に弾発的に当接させた状態で、端面ブレード片をインクジェットヘッドに対して相対的に変位させることによって、インクジェットヘッドの端面に付着したインクを除去し、インクジェットヘッドの端面を清浄化することができる。これによって、インクジェットヘッドに付着したインクによって生じるノズルから噴射されるインクの噴射方向が変化し、着弾精度が低下するという問題、およびノズルの詰りの問題を解決することができる。
【００２６】
また側面ブレード片をインクジェットヘッドの側面に弾発的に当接させた状態で、側面ブレード片をインクジェットヘッドに対して相対的に変位させることによって、インクジェットヘッドの側面に付着したインクを除去し、インクジェットヘッドの側面を清浄化することができる。これによって、インクジェットヘッドの側面に付着したインクが垂れ落ちたり、インクジェットヘッドの移動によって付着したインクが飛散したりすることによって発生する装置内部およびインク噴射対象物の汚染を防止することができる。
【００２７】
さらに端面ブレード片と側面ブレード片とを有するブレード体がインクジェットヘッドごとに独立して設けられ、各ブレード体が互いに離間して設けられることによって、互いに異なる色のインクがブレード体をつたって移動することを防止できるので、ブレード体におけるインクの混色が発生することが防止される。これによって、ブレード体に付着している混色されたインクがインクジェットヘッドに付着することを防止でき、インク噴射対象物に異なる色のインクが付着することを防止することができる。
【００２８】
また本発明によれば、側面ブレード片が、端面ブレード片よりも掻取り方向下流側に設けられるので、端面ブレード片よりも先に側面ブレード片がインクジェットヘッドに当接した状態で変位し、インクジェットヘッドの端面と側面とにおける掻取り方向の一致する位置で、側面に付着したインクが除去された後、端面に付着したインクが除去される。インクジェットヘッドに付着したインクは、インクジェットヘッドの全長にわたって、この順序で除去される。これによって、インクジェットヘッドの側面に付着したインクを除去することによるインクジェットヘッドの端面へのインクの付着が発生しても、端面に付着したインクを端面ブレード片によって除去することができる。
【００２９】
また本発明によれば、端面ブレード片と側面ブレード片とを互いに接触させることによって、ブレード片に付着したインクのブレード片に対する付着力を変化させることができ、ブレード片に付着するインクの落下を促し、インクを除去させやすくすることができる。これによって、インクジェットヘッドのクリーニング後のブレード片を可及的に清浄な状態とすることができ、ブレード片をインクジェットヘッドに当接させるときに、ブレード片に付着したインクがインクジェットヘッドに再度付着し、インクジェットヘッドのクリーニングを妨げるおそれを低減することができる。
【００３０】
また本発明によれば、側面ブレード片が、端面ブレード片よりも掻取り方向下流側に設けられるので、インクジェットヘッドの端面と側面とにおける掻取り方向の一致する位置で、側面に付着したインクが除去された後、端面に付着したインクが除去される。インクジェットヘッドに付着したインクは、インクジェットヘッドの全長にわたって、この順序で除去される。これによって、インクジェットヘッドの側面に付着したインクを除去することによるインクジェットヘッドの端面へのインクの付着が発生しても、端面に付着したインクを端面ブレード片によって除去することができる。
【００３１】
また本発明によれば、インクジェットヘッドの掻取り方向下流側表面で、端面ブレード片を押圧操作することによって、端面ブレード片に付着するインクの落下を促し、端面ブレード片に付着したインクを端面ブレード片から除去させやすくすることができる。これによって、インクジェットヘッドの端面にインクが再付着することを防止することができる。
【００３２】
またインクジェットヘッドの掻取り方向下流側表面と端面ブレード片とを接触させることによって押圧操作されると、インクジェットヘッドの掻取り方向下流側表面に付着したインクを端面ブレード片に付着させることができ、インクジェットヘッドの掻取り方向下流側表面からインクを除去することができる。これによって、インクジェットヘッドの掻取り方向下流側表面に付着したインクが落下または飛散することによって生じる装置内部およびインク噴射対象物の汚染を防止することができる。
【００３３】
また本発明によれば、インクジェット装置は、前記効果を達成するインクジェットヘッドのクリーニング装置を備えることができる。このようなインクジェット装置では、インクジェットヘッドの端面が清浄化されるので、インクジェットヘッドに付着したインクによって生じるノズルから噴射されるインクの噴射方向が変化し、着弾精度が低下するという問題、およびノズルの詰りの問題を解決することができる。またインクジェットヘッドの側面が清浄化されるので、インクジェットヘッドの側面に付着したインクが垂れ落ちたり、インクジェットヘッドの移動によって付着したインクが飛散したりすることによって発生する装置内部およびインク噴射対象物の汚染を防止することができる。さらに端面ブレード片と側面ブレード片とを有するブレード体がインクジェットヘッドごとに独立して設けられ、各ブレード体が互いに離間して設けられるので、混色されたインクがインクジェットヘッドに付着することを防止でき、インク噴射対象物に異なる色のインクが付着することを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
図１は、本発明の実施の一形態であるインクジェットヘッドのクリーニング装置１を概略的に示す斜視図である。図２は、インクジェットヘッドのクリーニング装置１を備えるインクジェット装置２の斜視図である。
【００３５】
本実施の形態のインクジェット装置２は、カラー液晶ディスプレイなどに用いられるカラーフィルタを製造する装置に用いられる。インクジェット装置２は、複数のインクジェットヘッド３ｒ，３ｇ，３ｂおよび３ｋを有する。以下特定のインクジェットヘッドを示す場合を除いて、インクジェットヘッド３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｋを、「インクジェットヘッド３」という。
【００３６】
インクジェットヘッド３ｒは、赤（Ｒ）色のインクを基板１３の予め定められる位置に噴射する。インクジェットヘッド３ｇは、緑（Ｇ）色のインクを基板１３の予め定められる位置に噴射する。インクジェットヘッド３ｂは、青（Ｂ）色のインクを基板１３の予め定められる位置に噴射する。インクジェットヘッド３ｋは、光を遮断するブラックマトリックス形成用の黒（Ｋ）色のインクを基板１３の予め定められる位置に噴射する。インクジェット装置２は、このような複数の色のインクを噴射するインクジェットヘッド３によって、カラーフィルタを製造する。
【００３７】
図１および図２において、インクジェットヘッド３からインクが噴射される方向をＺ方向とする。またＺ方向に垂直な方向であって、インクジェットヘッドのクリーニング装置１（以下単に「クリーニング装置１」という）と、インクジェットヘッド３とが相対的に変位する方向をＹ方向とする。またＹ方向およびＺ方向に垂直な方向であって、複数のインクジェットヘッド３が配列される方向をＸ方向とする。本実施の形態では、インク噴射方向であるＺ方向が上下方向と一致するように、インクジェット装置２を設置する。
【００３８】
本実施の形態のクリーニング装置１は、互いに異なる色のインクを前記ノズルから噴射する複数のインクジェットヘッド３を清浄化する。クリーニング装置１は、各色のインクジェットヘッド３ごとにブレード体６を備える。ブレード体６は、各色のインクジェットヘッド３に対して相対的に変位可能に設けられる。またブレード体６は、端面ブレード片４と、側面ブレード片５とを有する。以下、端面ブレード片４および側面ブレード片５を総称して、「ブレード片４，５」という場合がある。また端面ブレード片４および側面ブレード片５のうち、非特定の一方を示すときにも、「ブレード片４，５」という場合がある。
【００３９】
端面ブレード片４は、インクジェットヘッド３の端面７に弾発的に当接した状態で、インクジェットヘッド３に対して相対的に変位することによって、インクジェットヘッド３の端面７に付着するインクを掻取って除去する。インクジェットヘッド３の端面７とは、インクジェットヘッド３のノズルが形成される面である。本実施の形態では、インクジェットヘッド３のＺ方向に垂直な面であって、インクジェットヘッド３の下側の面にノズルが形成されるので、端面７はインクジェットヘッド３の下側の面である。本実施の形態の端面ブレード片４は、シリコーンゴムなどの弾性材料からなる板状部材である。端面ブレード片４は、弾性変形によってインクジェットへッド３の端面７に弾発的に当接する。端面ブレード片４は、インクジェットヘッド３の端面７に対して、Ｘ方向の全幅にわたって当接する形状および大きさに形成される。
【００４０】
側面ブレード片５は、インクジェットヘッド３の側面８ａ，８ｂに弾発的に当接した状態でＹ方向に変位することによって、インクジェットヘッド３の側面８ａ，８ｂに付着するインクを除去する。インクジェットヘッド３の一方の側面８ａとは、インクジェットヘッド３の端面に垂直な面であり、本実施の形態では、一方の側面８ａは、インクジェットヘッド３とクリーニング装置１とが相対的に変位するＹ方向および後述のようにインクジェットヘッド３が変位するＺ方向に平行な面であって、Ｘ方向に垂直な一方の面である。インクジェットヘッド３の他方の側面８ｂとは、インクジェットヘッド３の一方の側面８ａに対向する面である。
【００４１】
側面ブレード片５は、インクジェットヘッド３の一方の側面８ａに付着するインクを除去する一方の側面ブレード片５ａと、インクジェットヘッド３の他方の側面８ｂに付着するインクを除去する他方の側面ブレード片５ｂとの２枚のブレード片からなる。特定の側面ブレード片を示す場合を除き、一方の側面ブレード片５ａおよび他方の側面ブレード片５ｂを、「側面ブレード片５」という。また以下特定の側面を示す場合を除き、インクジェットヘッド３の一方の側面８ａおよび他方の側面８ｂを、「側面８」という。側面ブレード片５は、シリコーンゴムなどの弾性材料からなる板状部材である。側面ブレード片５は、弾性変形によってインクジェットへッド３の側面８に弾発的に当接する。
【００４２】
端面ブレード片４は、ブレード保持台１０と端面ブレード片保持板９とに挟持され、ブレード保持台１０に固定される。側面ブレード片５は、ブレード保持台１０と側面ブレード片保持板１１とに挟持され、ブレード保持台１０に固定される。このようにして、ブレード体６がブレード保持台１０に固定される。
【００４３】
図３は、ブレード保持台１０に固定されるブレード体６を示す平面図である。図４は、図３に示す切断面線ＩＶ−ＩＶから見たブレード体６の断面図である。図５は、図３に示す切断面線Ｖ−Ｖから見たブレード体６の断面図である。図６は、Ｙ方向一方側から見たブレード体６の平面図である。
【００４４】
図３では、ブレード保持台１０のブレード体６が固定される部分のみについて示し、残部の記載を省略する。また図３では、ブレード片４，５の認識を容易にするために、ブレード片４，５には斜線のハッチングを付して示す。図３に示すｆ方向は、Ｙ方向に平行な方向であり、後述のインクジェットヘッド３のクリーニング動作において、ブレード体６をインクジェットヘッド３に弾発的に当接させた状態で移動させる方向である。ｆ方向を、掻取り方向ともいう。またｒ方向は、Ｙ方向に平行な方向であり、ｆ方向と反対の方向である。
【００４５】
端面ブレード片４は、Ｘ方向に延びる板状部材である端面ブレード片保持板９によって、端面ブレード片保持板９のＹ方向に垂直な面でブレード保持台１０に固定される。また側面ブレード片５は、Ｘ方向に延びる板状部材である側面ブレード片保持板１１によって、側面ブレード片保持板１１のＹ方向に垂直な面でブレード保持台１０に固定される。これによって、端面ブレード片４および側面ブレード片５が、ブレード保持台１０に対してＸ方向にそれぞれ並んで配置されて固定される。
【００４６】
ブレード体６は、端面ブレード片４および側面ブレード片５をインクジェットヘッド３に当接させて、インクジェットヘッド３に対して変位するときのインクジェットヘッド３に対する移動方向である掻取り方向（ｆ方向）に関して、側面ブレード片５が、端面ブレード片４よりも下流側に設けられる。
【００４７】
またブレード体６は、端面ブレード片４と、側面ブレード片５とが、Ｙ方向に関して距離Ｌだけ離間して固定される。端面ブレード片４と側面ブレード片５との離間距離Ｌは、端面ブレード片４のＺ方向の寸法、端面ブレード片４のＹ方向の寸法、および端面ブレード片４を構成する材料の弾性係数などにもよるけれども、後述のように端面ブレード片４を側面ブレード片５に向かう側に押圧したとき、端面ブレード片４と側面ブレード片５とが接触可能な距離に設定される。
【００４８】
端面ブレード片４は、Ｘ方向の寸法Ｌａ（以下「長さ寸法Ｌａ」という）が、インクジェットヘッド３の端面７形成部のＸ方向の寸法Ｗｈ（以下「長さ寸法Ｗｈ」という）よりも、Ｘ方向の両方向において長さＬｎずつ長くなるように、形成される。また隣合うインクジェットヘッド３同士のＸ方向における間隔をＤｈとするとき、端面ブレード片４の長さ寸法Ｌａは、（Ｗｈ＋Ｄｈ）よりも短く設定される。
【００４９】
端面ブレード片４の長さ寸法Ｌａは、（Ｗｈ＋２Ｌｎ）で表されるので、端面ブレード片４のＸ方向の両方向における余剰長さＬｎは、０より長くなるように、かつ隣合うインクジェットヘッド３同士のＸ方向における間隔Ｄｈの２分の１よりも短くなるように設定される。これによって、インクジェットヘッド３の端面７に付着するインクを除去する端面ブレード片４と、インクジェットヘッド３に隣合うインクジェットヘッド３の端面７に付着するインクを除去する端面ブレード片４とが、間隔Ｄａだけ離間して設けられる。
【００５０】
側面ブレード片５は、Ｚ方向に関して端面ブレード片４よりも長く形成される。側面ブレード片５が端面ブレード片４よりもＺ方向に関して長く形成されると、ブレード体６との距離が、インクジェットヘッド３の端面７とブレード体６との距離以上となるインクジェットヘッド３の側面８に付着したインクを除去することができる。
【００５１】
さらに側面ブレード片５は、インクを除去する対象の側面８側の端部が、長さＬｓだけインクジェットヘッド３の側面８よりもインクジェットヘッド３の中央寄りになるように配置される。前記長さＬｓは、側面ブレード片５のＹ方向の寸法および側面ブレード片５を構成する材料の弾性係数などによって決定される。
【００５２】
また側面ブレード片５のＸ方向の寸法Ｌｂ（以下「長さ寸法Ｌｂ」という）は、隣合うインクジェットヘッド３同士のＸ方向における間隔Ｄｈの２分の１と、前記長さＬｓとの和よりも小さくなるように設定される。これによって、インクジェットヘッド３の一方の側面８ａに付着するインクを除去する一方の側面ブレード片５ａと、インクジェットヘッド３に隣合うインクジェットヘッド３の他方の側面８ｂに付着するインクを除去する他方の側面ブレード片５ｂとの間に、間隔Ｄｂが形成される。
【００５３】
以上のように、隣合う端面ブレード片４同士の間に間隔Ｄａが形成され、また隣合う一方の側面ブレード片５と他方の側面ブレード片５との間に間隔Ｄｂが形成されることによって、インクジェットヘッド３ごとに独立し、間隔Ｄだけ互いに離間して設けられるブレード体６を実現することができる。ブレード体６同士の間隔Ｄは、隣合う端面ブレード片４同士の間に形成される間隔Ｄａと、隣合う一方の側面ブレード片５と他方の側面ブレード片５との間に形成される間隔Ｄｂとのうち、小さい方の間隔に等しい。
【００５４】
ブレード体６同士の間隔Ｄは、０．７ｍｍ以上であることが好ましい。ブレード体６同士の間隔Ｄが０．７ｍｍ以上であると、ブレード体６に付着したインクが、このブレード体６に隣合い、このブレード体６で除去するインクと異なる色のインクを除去するもう１つのブレード体６をつたって付着することを防止できる。これによって、ブレード体６において異なる色のインクが混ざり合うことを防止することができる。ブレード体６においてインクの混色が防止されると、ブレード体６に付着し、混色されたインクがインクジェットヘッド３に付着することを防止でき、インク噴射対象物である基板１３に対して、特定の色のインクが付着すべき部分に特定の色と異なる色のインクが付着することを防止できる。ブレード体６同士の間隔Ｄが０．７ｍｍ未満であると、ブレード体６同士の間隔が小さくなり過ぎ、ブレード体６同士をインクがつたって隣合うブレード体６に移動し、インクの混色を防止することができないおそれがある。
【００５５】
前述のように、端面ブレード片４は、Ｘ方向に関する長さ寸法Ｌａが、インクジェットヘッド３の端面７形成部のＸ方向に関する長さ寸法Ｗｈよりも、Ｘ方向の両方向において長さＬｎずつ長くなるように、形成される。また側面ブレード片５は、インクを除去する対象の側面８側の端部が、長さＬｓだけインクジェットヘッド３の側面８よりもインクジェットヘッド３の中央寄りになるように配置される。これによって、端面ブレード片４と側面ブレード片５とには、Ｙ方向から見たとき、図６に示すようにＸ方向における長さＬｋの重なり部分１４が形成される。
【００５６】
重なり部分１４のＸ方向における長さＬｋは、少なくとも１ｍｍ以上であることが好ましい。重なり部分１４のＸ方向における長さＬｋが１ｍｍ未満であると、後述のように端面ブレード片４と側面ブレード片５とを接触させるとき、端面ブレード片４と側面ブレード片５との接触部分の面積が小さく、ブレード片４，５に付着したインクのブレード片４，５に対する付着力を変化させることができないおそれがある。重なり部分１４のＸ方向における長さＬｋが１ｍｍ以上であると、ブレード片４，５に付着したインクのブレード片４，５に対する付着力を変化させることができる。これによってブレード片４，５に付着するインクの落下を促し、ブレード片４，５からインクを除去させやすくすることができる。
【００５７】
以上のような所定の間隔をもって配置されるとともに、以上のような寸法を有する端面ブレード体６および側面ブレード体６を備えるブレード体６が固定されるブレード保持台１０には、キャッピングボックス１５が設けられる。キャッピングボックス１５は、ブレード体６とＹ方向に関して隣合うように配置される。キャッピングボックス１５は、インクジェットヘッド３からインクを噴射するノズルからインクを噴射した後、ノズル内に残るインクの乾燥によるノズルの目詰まりを防止するために、不使用時においてインクジェットヘッド３を覆うように設けられるキャップ部１６を有する。キャップ部１６は、各色のインクを噴射する複数のインクジェットヘッド３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｋに対応して、複数が設けられる。
【００５８】
ブレード保持台１０のキャッピングボックス１５とブレード体６との間には、ブレード体６によって除去したインクをブレード保持台１０下方に形成される廃インク溜め１７に流込ませ、インクがキャップ部１６に付着することを防止するための溝１８が形成される。溝１８から廃インク溜め１７に流込んだインクは、ドレン管路１９から廃インクカセット２０に回収される。
【００５９】
キャッピングボックス１５とブレード体６とを備えるブレード保持台１０は、背板２１に対してＹ方向に変位可能に設けられる。ブレード保持台１０は、背板２１のＹ方向に延びて設けられるＹ軸ステージ２２と、Ｙ軸ステージ２２を跨いで設けられ、Ｙ軸ステージ２２に沿ってＹ方向に変位可能に構成されるＹ軸スライダ２３とによって、Ｙ方向に変位可能に構成される。Ｙ軸ステージ２２は、モータ、ボールねじ、およびリニアガイドなどによって構成される。
【００６０】
インクジェットヘッド３には、端面７に複数のノズルが形成される。複数のノズルは、インクジェットヘッド３の端面７のＹ方向に１列で配列されて設けられる。インクジェットヘッド３には、Ｙ方向に延びるノズル列を複数列備えてノズルが形成されてもよい。ノズルは、インクを備えるタンクなどのインク供給手段に接続され、インク供給手段に備えられるインクを、たとえばピエゾ式噴射手段によって噴射する。インクジェットヘッド３は、その表面に撥インク処理が施される。これによって、インクジェットヘッド３に付着したインクを、ブレード片４，５によって掻取って、インクジェットヘッド３から除去しやすくすることができる。
【００６１】
また互いに色の異なるインクを噴射するノズルを備える各インクジェットヘッド３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｋは、間隔ＤｈをもってＸ方向に並んで配置される。インクジェットヘッド３は、内部に各色のインクをノズルに供給するインク供給手段を備えるヘッドホルダ２４によって支持され、インクジェットヘッド３とインク供給手段とが色ごとに接続される。
【００６２】
ヘッドホルダ２４は、Ｚ軸スライダ２５に固定される取付板２６に固定される。Ｚ軸スライダ２５は、背板２１のＺ方向に延びて設けられるＺ軸ステージ２７に装着され、前述のＹ軸スライダ２３と同様の構成によって、Ｚ方向に変位可能に設けられる。これによって、ヘッドホルダ２４に支持されるインクジェットヘッド３がＺ方向に変位可能に構成される。
【００６３】
インクジェットヘッド３からのインクが噴射されるインク噴射対象物である基板１３は、図示しない基板ステージに載置される。基板ステージとしては、たとえば、水平２軸方向に移動可能な公知の２軸ステージを用いることができる。基板ステージには、位置決めピンが設けられる。基板ステージは、位置決めピンによって決定される位置に載置された基板１３を、真空吸着によって固定する。
【００６４】
インクジェット装置２には、上記インクジェットヘッド３からのインク噴射動作、Ｙ軸スライダ２３によるブレード保持台１０のＹ方向変位動作、Ｚ軸スライダ２５によるインクジェットヘッド３のＺ方向変位動作、および基板ステージのＸ−Ｙ平面内での変位動作を制御する制御手段が設けられる。制御手段は、たとえば、ＣＰＵ（Central Processing
Unit；中央演算処理装置）によって実現される。
【００６５】
本実施の形態では、インクジェット装置２は、インクジェットヘッド３を、Ｚ方向に変位駆動可能に設け、基板１３を載置する基板ステージをＸ−Ｙ方向に変位駆動可能に設けることによって、基板１３の予め定める位置に予め定める色のインクを噴射し、着色する。またキャッピングボックス１５とブレード体６とを備えるブレード保持台１０を、Ｙ方向に変位駆動可能に設けることによって、ブレード体６およびインクジェットヘッド３をＹ方向に相対的に変位させる駆動手段を構成することができる。またインクジェットヘッド３を、Ｚ方向に変位駆動可能に設けることによって、ブレード体６およびインクジェットヘッド３をＺ方向に相対的に変位させる駆動手段を構成することができる。
【００６６】
本実施の形態のインクジェット装置２は、次のようにして基板１３にインクを噴射する。不使用の状態において、インクジェットヘッド３は、キャッピングボックス１５のキャップ部１６に収容されている。まず、インクを噴射すべき基板１３を基板ステージに載置し固定する。次いで、インクジェットヘッド３をＺ方向に変位させてキャップ部１６とインクジェットヘッド３とをＺ方向について離隔させる。キャップ部１６とインクジェットヘッド３とがＺ方向について離隔されると、インクジェットヘッド３の端面７下方にブレード保持台１０が配置されないように、ブレード保持台１０をＹ方向に変位させる。
【００６７】
ブレード保持台１０をＹ方向に変位させると、基板ステージに載置された基板１３の予め定める位置に予め定める色のインクが噴射されるように、基板ステージをＸ−Ｙ平面内で変位させる。またインクジェットヘッド３をＺ方向に変位させ、基板１３とインクジェットヘッド３の端面７との距離が好適になるように、インクジェットヘッド３の位置を調整する。基板ステージおよびインクジェットヘッド３が変位されると、インクジェットヘッド３からインクを噴射する。インクジェットヘッド３からのインクの噴射中、基板ステージをＸ−Ｙ平面内で変位させる。これによって、基板１３の予め定める位置に予め定める色のインクを噴射する。
【００６８】
基板１３の予め定める位置に予め定める色のインクを噴射し、基板１３の着色を終了すると、インクジェットヘッド３およびブレード保持台１０を変位させ、インクジェットヘッド３をキャップ部１６に収容する。その後、基板１３を基板ステージから取外し、カラーフィルタの製造を終了する。
【００６９】
このようなインクジェット装置２では、たとえば、インクジェット装置２の起動時、またはノズルからインクが噴射されにくくなったときに、インクジェットヘッド３に付着するインクを除去し、インクジェットヘッド３を清浄化する。インクジェットヘッド３のノズルからインクが噴射されにくくなったか否かは、噴射確認センサによる検知結果を用いて判定することができる。噴射確認センサは、たとえば発光機と受光機とから構成される光電センサによって実現される。噴射確認センサは、基板１３に対してインクを噴射する前にノズルから噴射されたインクが、発光機から発光される光を遮蔽することによる受光機の受光光面積の減少量を検知結果として制御手段に出力する。制御手段では、噴射確認センサから出力された検知結果である受光光面積の減少量が閾値を超えるか否かを判定することによって、ノズルからインクが正常に噴射されているか否かを判定する。
【００７０】
図７は、本実施の形態のクリーニング装置１を用いるインクジェットヘッド３のクリーニング動作を示す断面図である。図７は、図３に示す切断面線ＶＩＩ−ＶＩＩから見たブレード体６およびインクジェットヘッド３の断面図である。図７において、側面８は、インクジェットヘッド３の紙面に関する奥側の面である。
【００７１】
まず、図７（ａ）に示すように、ｆ方向の下流側から、インクジェットヘッド３、側面ブレード片５および端面ブレード片４がこの順番で配置されるように、インクジェットヘッド３およびブレード保持台１０を変位させる。また端面ブレード片４が、Ｚ方向に関して高さＬｔだけインクジェットヘッド３の端面７に対して突出するように、インクジェットヘッド３をＺ方向に変位させる。
【００７２】
図７（ａ）に示すようにインクジェットヘッド３、側面ブレード片５および端面ブレード片４を配置すると、図７（ｂ）に示すように、ブレード片４，５がインクジェットヘッド３に接近するようにブレード保持台１０を変位させて、ブレード片４，５をインクジェットヘッド３側の掻取り方向であるｆ方向に移動させる。
【００７３】
ブレード片４，５をインクジェットヘッド３側の掻取り方向であるｆ方向に移動させると、側面ブレード片５とインクジェットヘッド３の側面８とが当接する。また端面ブレード片４とインクジェットヘッド３の端面７とが当接する。側面ブレード片５がインクジェットヘッド３の側面８に対して弾発的に当接した状態で側面ブレード片５がインクジェットヘッド３に対して相対的に変位することによって、インクジェットヘッド３の側面８に付着するインクを掻取ることができる。また端面ブレード片４がインクジェットヘッド３の端面７に対して弾発的に当接した状態で端面ブレード片４がインクジェットヘッド３に対して相対的に変位することによって、インクジェットヘッド３の端面７に付着するインク２８を掻取ることができる。
【００７４】
本実施の形態では、側面ブレード片５は、端面ブレード片４よりも掻取り方向下流側に設けられるので、側面ブレード片５が端面ブレード片４よりも先にインクジェットヘッド３に当接し、インクジェットヘッド３の端面７と側面８とにおける掻取り方向の一致する位置で、側面８に付着したインク２８が除去された後、端面７に付着したインク２８が除去される。インクジェットヘッド３に付着したインク２８は、インクジェットヘッド３のＹ方向全長にわたって、この順序で除去される。インクジェットヘッド３の側面８が端面７よりも後にクリーニングされると、側面８に付着していたインクを掻取るときに、掻取ったインクがインクジェットヘッド３の端面７に回込むことがある。本実施の形態のクリーニング装置１のように、インクジェットヘッド３の側面８を端面７よりも先にクリーニングすると、側面８から掻取ったインクがインクジェットヘッド３の端面７に回込んでも、端面７に付着したインク２８を端面ブレード片４によって除去することができる。これによって、側面８よりも清浄な状態であることが望まれる端面７を、清浄な状態にすることができる。
【００７５】
さらにブレード片４，５を掻取り方向であるｆ方向に変位させると、図７（ｃ）に示すように、インクジェットヘッド３の端面７および側面８からインク２８が除去される。インクジェットヘッド３から除去されたインク２８は、ブレード片４，５に付着する。ブレード片４，５に付着したインク２８は、インク２８の自重によって落下し、ドレン管路１９を介して廃インクカセット２０に回収される。
【００７６】
ここで、インクジェットヘッド３の端面７に付着していたインクの量が少量であると、インク２８の自重によってブレード片４，５に付着したインクが落下することなく、ブレード片４，５に残留する場合がある。
【００７７】
ブレード片４，５に残留するインク２８が存在すると、次のクリーニングにおいてブレード片４，５に残留するインク２８がインクジェットヘッド３に再付着し、インクジェットヘッド３が汚染される場合がある。したがって、このようなブレード片４，５に残留するインク２８についても、ブレード片４，５から可及的に除去されることが望まれる。
【００７８】
本実施の形態では、端面ブレード片４と側面ブレード片５とが接触可能な距離Ｌだけ離隔して端面ブレード片４と側面ブレード片５とが設けられる。これによって、ブレード片４，５に付着したインク２８を除去することができる。
【００７９】
たとえば図７（ｃ）に示すように、端面ブレード片４にインク２８が残留する場合、ブレード保持台１０を掻取り方向と反対の方向に変位させることによって、ブレード片４，５をｆ方向と反対方向のｒ方向に移動させる。このようにブレード片４，５をｒ方向に移動させることによって、端面ブレード片４をインクジェットヘッド３の下流側表面２９に接触させる。さらに端面ブレード片４とインクジェットヘッド３の下流側表面２９との接触によって端面ブレード片４を弾性変形させ、端面ブレード片４と側面ブレード片５とを、Ｘ方向における長さがＬｋである重なり部分１４において接触させる。
【００８０】
図８は、端面ブレード片４と側面ブレード片５とが接触するときのブレード片４，５およびインク２８の状態を示す平面図である。図８は、ブレード片４，５をＺ方向上方から見た図である。端面ブレード片４と側面ブレード片５との接触によって、図７（ｄ）に示すように、端面ブレード片４と側面ブレード片５との間に挟まれるインク２８に矢符３２で示す押圧力が作用する。これによって、インク２８の端面ブレード片４に対する付着力が小さくなるように付着力を変化させることができ、インク２８の端面ブレード片４からの落下を促すことができる。
【００８１】
これによって、端面ブレード片４を可及的に清浄な状態とすることができ、端面ブレード片４をインクジェットヘッド３の端面７に当接させるときに、端面ブレード片４に付着したインク２８がインクジェットヘッドに再度付着し、インクジェットヘッド３のクリーニングを妨げるおそれを低減することができる。
【００８２】
端面ブレード片４と側面ブレード片５との重なり領域Ｌｋ以外の領域の端面ブレード片４に付着したインク２８は、重なり領域Ｌｋのインク２８に引っ張られ、矢符３２で示すように重なり領域Ｌｋ側に移動し、重なり領域Ｌｋのインク２８の落下に続いて落下する。
【００８３】
側面ブレード片５に付着するインクは、端面ブレード片４に比べてごく少量であるので、端面ブレード片４に付着したインクがインクジェットヘッド３の側面８に付着しても大きな問題は生じない。
【００８４】
さらにインクジェットヘッド３の掻取り方向下流側表面２９と端面ブレード片４とを接触させる。これによって、インクジェットヘッド３の掻取り方向下流側表面２９にインクが付着しても、この付着したインクを端面ブレード片４に付着させることができる。インクジェットヘッド３には撥インク処理が施されるので、インクジェットヘッド３に付着しているインクがブレード片４，５に付着すると、インクジェットヘッド３の掻取り方向下流側表面２９に付着しているインクはブレード片４，５側に移動する。これによって、インクジェットヘッド３の掻取り方向下流側表面２９からもインクを容易に除去することができる。
【００８５】
以上のように、本実施の形態では、端面ブレード片４をインクジェットヘッド３の端面７に弾発的に当接させた状態で、端面ブレード片４をインクジェットヘッド３に対して相対的に変位させることによって、インクジェットヘッド３の端面７に付着したインクを除去し、インクジェットヘッド３の端面７を清浄化することができる。これによって、インクジェットヘッド３に付着したインクによって、ノズルから噴射されるインクの噴射方向が変化し、着弾精度が低下するという問題、およびインクジェットヘッド３に付着したインクによってノズルが目詰まりするという問題を解決することができる。
【００８６】
また側面ブレード片５をインクジェットヘッド３の側面８に弾発的に当接させた状態で、側面ブレード片５をインクジェットヘッド３に対して相対的に変位させることによって、インクジェットヘッド３の側面８に付着したインクを除去し、インクジェットヘッド３の側面８を清浄化することができる。これによって、インクジェットヘッド３の側面８に付着したインクが垂れ落ちたり、インクジェットヘッド３の移動によって付着したインクが飛散したりすることによって発生する装置内部および基板１３の汚染を防止することができる。
【００８７】
さらに端面ブレード片４と側面ブレード片５とを有するブレード体６がインクジェットヘッド３ごとに独立して設けられ、各ブレード体６が互いに離間して設けられることによって、互いに異なる色のインクがブレード体６をつたって移動することによって生じるインクの混色を防止することができる。これによって、ブレード体６に付着し、混色されたインクがインクジェットヘッド３に付着することを防止でき、基板１３に異なる色のインクが付着することを防止することができる。
【００８８】
以上のようなインクジェットヘッドのクリーニング装置１およびインクジェット装置２としては、上記の構成に限定されることなく、種々の変更が可能である。
【００８９】
たとえば、本実施の形態では、インクジェットヘッド３はＺ方向にのみ変位駆動可能に構成され、Ｘ方向およびＹ方向には変位駆動可能に構成されないけれども、インクジェットヘッド３が、Ｘ方向またはＹ方向に変位駆動可能に構成されてもよい。インクジェットヘッド３がＹ方向に変位駆動可能に構成される場合、キャッピングボックス１５とブレード体６とを備えるブレード保持台１０は、変位駆動可能に構成されなくてもよい。
【００９０】
また本実施の形態のインクジェット装置２は、カラーフィルタの製造装置として用いられるインクジェット装置であるけれども、これに限定されることなく、プリンタなどの画像形成装置として用いられるインクジェット装置であってもよい。インクジェット装置２をプリンタなどの画像形成装置として用いることによって、色濁りがなく、色彩再現性に優れる画像を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明の実施の一形態であるインクジェットヘッドのクリーニング装置１を概略的に示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドのクリーニング装置１を備えるインクジェット装置２の斜視図である。
【図３】ブレード保持台１０に固定されるブレード体６を示す平面図である。
【図４】図３に示す切断面線ＩＶ−ＩＶから見たブレード体６の断面図である。
【図５】図３に示す切断面線Ｖ−Ｖから見たブレード体６の断面図である。
【図６】Ｙ方向一方側から見たブレード体６の平面図である。
【図７】本実施の形態のクリーニング装置１を用いるインクジェットヘッド３のクリーニング動作を示す断面図である。
【図８】端面ブレード片４と側面ブレード片５とが接触するときのブレード片４，５およびインク２８の状態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００９２】
１  クリーニング装置
２  インクジェット装置
３，３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｋ  インクジェットヘッド
４  端面ブレード片
５，５ａ，５ｂ  側面ブレード片
６  ブレード体
７  端面
８，８ａ，８ｂ  側面
９  端面ブレード片保持板
１０  ブレード保持台
１１  側面ブレード片保持板
１３  基板
１４  重なり部分
１５  キャッピングボックス
１６  キャップ部
１７  廃インク溜め
１８  溝
１９  ドレン管路
２０  廃インクカセット
２１  背板
２２  Ｙ軸ステージ
２３  Ｙ軸スライダ
２４  ヘッドホルダ
２５  Ｚ軸スライダ
２６  取付板
２７  Ｚ軸ステージ
２８  インク
２９  下流側表面
【図１】
2007301912.tif 000003
【図２】
2007301912.tif 000004
【図３】
2007301912.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007301912.tif 000007
【図６】
2007301912.tif 000008
【図７】
2007301912.tif 000009
【図８】
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