(57)【要約】【課題】ハンチング現象の発生を抑制しつつ良好な除振効果が得られる除振装置の提供。【解決手段】本発明の除振装置１は、振動絶縁すべき除振の対象物を載せる架台１２と、架台１２を支持する空気ばね２ａ〜２ｄを有する架台支持機構２０と、架台支持機構２０の空気ばねを通じて支持された架台１２の高さ方向の変位を検出する変位センサ５ａ〜５ｄと、空気ばね２ａ〜２ｄの給排気を行う給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄと、架台１２の高さが非制御高さ範囲Ｆから外れたことを変位センサ５ａ〜５ｄが検出した場合、架台１２の高さを非制御高さ範囲Ｆ内に戻すように給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄの開閉を制御するコントローラ２５とを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動絶縁すべき除振の対象物を載せる架台と、
前記架台を支持する空気ばねを備えた架台支持機構と、
前記架台支持機構の前記空気ばねを通じて支持された前記架台の高さ方向の変位を検出する変位センサと、
前記空気ばねの給排気を行う弁と、
前記架台の高さが所定の高さ範囲から外れたことを前記変位センサが検出した場合、前記架台の高さを前記所定の高さ範囲内に戻すように前記弁の開閉を制御する制御部と、
を具備することを特徴とする除振装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記架台の高さが所定の高さ範囲内にあることを前記変位センサが検出している場合、前記弁の開閉制御を停止状態とすることを特徴とする請求項１記載の除振装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記架台の高さが所定の高さ範囲から外れたことを前記変位センサが検出した場合、所定時間の経過を待って前記弁の開閉制御を始動させることを特徴とする請求項１又は２記載の除振装置。
【請求項４】
前記所定の高さ範囲を変更する高さ範囲設定部をさらに具備することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の除振装置。
【請求項５】
前記空気ばねは、前記架台における複数の被支持部をそれぞれ支持するように複数個配置されているとともに、前記弁は、複数の空気ばね毎にそれぞれ対応付けて複数個設けられ、かつ前記変位センサは、前記複数の被支持部毎の近傍の高さ方向の変位を各々検出するように前記複数の空気ばね毎にそれぞれ対応付けて複数個配置され、
さらに、前記制御部は、前記複数の変位センサ毎の検出結果に基づいて、個々の前記弁の制御を個別に行うことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の除振装置。
【請求項６】
一つの前記空気ばねに対する給気及び排気をそれぞれ個別に行えるように、前記弁は、個々の前記空気ばねに対応付けて給気専用の弁と排気専用の弁とがそれぞれ一組ずつ配置されているか、若しくは給気機能及び排気機能の両機能を備える単一の弁が個々の前記空気ばねにそれぞれ対応付けて配置されていることを特徴とする請求項５記載の除振装置。
【請求項７】
前記弁は、ソレノイドバルブであることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の除振装置。
【請求項８】
前記変位センサは、渦電流式変位センサであることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の除振装置。
【請求項９】
前記空気ばね、前記変位センサ及び前記弁を通じての前記架台の制振は、パッシブ制御により行われることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の除振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外来振動に対して、精密機器などの除振対象物を絶縁するために用いる除振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体の製造・検査装置、電子顕微鏡などを始めとする精密機器は、その機能及び仕様の高機能化や超精密化が図られているため、設置基礎又は床側からの振動を機器側に対して遮断する必要がある。
【０００３】
したがって、このようなスペックの高い精密機器の設置に際しては、ばね定数の低い防振ゴム、コイルばね、空気ばねなどで精密機器を搭載した定盤（架台）を支持しつつ、これらを受動に制御して除振を行う例えばパッシブ型の除振装置が利用されている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−２９６２８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、アクティブ型の除振装置などで採用されるフィードフォワード制御機能などを一般に持たない上記したパッシブ型の除振装置では、振動の減衰性能の向上が絶えず要請されており、この減衰性能を含む除振特性全般の改善が求められている。
【０００５】
詳述すると、例えば上記のパッシブ型の除振装置においては、外来振動に対しての定盤の位置制御機能を高め過ぎることなどで起こり得る、いわゆるハンチング現象の発生を抑制することなどが要望されている。
【０００６】
そこで本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、ハンチング現象などの発生を抑制しつつ良好な除振効果を得ることができる除振装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る除振装置は、振動絶縁すべき除振の対象物を載せる架台と、前記架台を支持する空気ばねを備えた架台支持機構と、前記架台支持機構の前記空気ばねを通じて支持された前記架台の高さ方向の変位を検出する変位センサと、前記空気ばねの給排気を行う弁と、前記架台の高さが所定の高さ範囲から外れたことを前記変位センサが検出した場合、前記架台の高さを前記所定の高さ範囲内に戻すように前記弁の開閉を制御する制御部と、を具備することを特徴とする。
【０００８】
本発明では、架台の高さが所定の高さ範囲から外れてはじめて架台の高さ方向の位置制御を開始すること、すなわち、架台の高さ方向の変位量が比較的少ない場合の対応を図った架台の非制御範囲を積極的に設けることで、外来振動による架台の変位と高さ制御による架台の変位とが無作為に作用して逆に除振の妨げになることなどを回避することができる。したがって、本発明によれば、架台の位置制御の応答性を高め過ぎたことなどで起こり得るハンチング現象の発生が抑制され、これにより、良好な除振効果を得ることができる。
【０００９】
つまり、本発明では、前記制御部は、前記架台の高さが所定の高さ範囲内にあることを前記変位センサが検出している場合、前記弁の開閉制御を停止状態とする。
【００１０】
また、本発明に係る除振装置は、前記制御部が、前記架台の高さが所定の高さ範囲から外れたことを前記変位センサが検出した場合、所定時間の経過を待って前記弁の開閉制御を始動させることを特徴とする。
この発明では、外来振動による架台の変位のタイミングに対し高さ制御による架台の変位のタイミングを積極的に遅らせることで、上記したハンチング現象の発生を抑制できる。
【００１１】
また、本発明に係る除振装置は、前記所定の高さ範囲を変更する高さ範囲設定部をさらに具備することを特徴とする。
この発明によれば、架台の高さ制御の応答性を調整することが可能となり、ハンチング現象の発生を好適に抑制することができる。つまり例えば、除振すべき振動周波数の傾向性などに対応させて架台の高さ範囲の範囲幅調整を行うことが可能となる。
【００１２】
さらに、本発明に係る除振装置では、前記空気ばねは、前記架台における複数の被支持部をそれぞれ支持するように複数個配置されているとともに、前記弁は、複数の空気ばね毎にそれぞれ対応付けて複数個設けられ、かつ前記変位センサは、前記複数の被支持部毎の近傍の高さ方向の変位を各々検出するように前記複数の空気ばね毎にそれぞれ対応付けて複数個配置され、さらに、前記制御部は、前記複数の変位センサ毎の検出結果に基づいて、個々の前記弁の制御を個別に行うことを特徴とする。
この発明によれば、架台全体の傾きを補正しつつ振動を減衰させることができる。
【００１３】
さらに、本発明に係る除振装置は、一つの前記空気ばねに対する給気及び排気をそれぞれ個別に行えるように、前記弁は、個々の前記空気ばねに対応付けて給気専用の弁と排気専用の弁とがそれぞれ一組ずつ配置されているか、若しくは給気機能及び排気機能の両機能を備える単一の弁が個々の前記空気ばねにそれぞれ対応付けて配置されていることを特徴とする。
すなわち、この発明によれば、架台の所定部位の高さを上昇させる制御と下降させる制御とを個別に行うことができるので、架台の高さの制御を高精度に行うことができ、これにより、良好な除振効果を得ることができる。
【００１４】
また、本発明に係る除振装置は、前記弁が、ソレノイドバルブであることを特徴とする。
この発明によれば、空気ばねへの給気及び排気を迅速に行えるので、振動の減衰期間の短縮化を図ることができる。
【００１５】
さらに、本発明に係る除振装置は、前記変位センサが、渦電流式変位センサであることを特徴とする。
この発明によれば、接触式の変位センサなどと異なり、変位センサ側から振動が伝達されてしまうことなどを回避しつつ架台の変位を検出できるので、除振制御を好適に行うことができる。
【００１６】
このように本発明の除振装置では、前記空気ばね、前記変位センサ及び前記弁を通じての前記架台の制振は、パッシブ制御により行われる。
【発明の効果】
【００１７】
したがって、本発明によれば、ハンチング現象などの発生を抑制しつつ良好な除振効果を得ることが可能な除振装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づき説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る除振装置を示す平面図、図２は、この除振装置の正面図である。また、図３は、この除振装置の配管系統図、図４は、この除振装置の構成を機能的に示すブロック図である。ここで、図１では、除振装置が備える架台の支持構造を視覚的に把握し易くするために架台の外形を想像線（二点鎖線）で表している。
【００１９】
図１〜図４に示すように、除振台などとも称する本実施形態の除振装置１は、いわゆるパッシブタイプ（受動型）の空気ばね式除振装置である。除振装置１は、設置基礎又は床上に設置される脚部１７を有するフレーム（フレームユニット）３と、フレーム３側と振動絶縁すべき除振の対象物を載せる定盤としての金属製の架台１２と、架台１２をフレーム３上に支持する架台支持機構２０と、架台１２の高さ方向の変位（位置）を検出する四つの変位センサ５ａ〜５ｄと、空気ばね２ａ〜２ｄの給気及び排気を各々行うソレノイドバルブとしての給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄと、これらの電磁弁や変位センサを制御する制御部としてのコントローラ２５とを主に備える。
【００２０】
フレーム３は、図１及び図２に示すように、矩形状の架台１２の各コーナ部近傍に対し設置基礎又は床面に対し起立した姿勢で配置される四つの垂直フレーム１８と、垂直フレーム１８の上部間及び下部間に水平に架け渡される水平フレーム１４、１５と、水平フレーム１５の中央部間に架け渡される水平フレーム１６とを備える。設置基礎又は床面に敷かれる敷板１１と垂直フレーム１８の下方に位置する脚部１７との間には、床面などに対するレベル合わせのためのレベリングボルト９が設けられている。また、垂直フレーム１８の下部間に架け渡される水平フレーム１４の底部には、除振装置１本体を移動させるためのキャスタ８が取り付けられている。
【００２１】
架台支持機構２０は、図１〜図３に示すように、空気ばね２ａ〜２ｄ及び防振ゴム４を主に備える。空気ばね２ａ〜２ｄは、架台１２における各コーナ部近傍の四箇所の被支持部１２ａをそれぞれ支持するように四つの垂直フレーム１８の上端部にそれぞれ配置されており、架台１２におけるこれら四つの被支持部１２ａを底部側から支持する。また、防振ゴム４は、各空気ばね２ａ〜２ｄと各垂直フレーム１８の上端部との間に四つずつ介在されている。なお、これらの防振ゴム４を削除したかたちで架台支持機構２０を構成してもよい。
【００２２】
また、除振装置１には、図３及び図４に示すように、フィルタレギュレータ１９を通じてコンプレッサ２１が接続されている。ここで、上記した給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄは、複数の空気ばね２ａ〜２ｄ毎にそれぞれ対応付けて複数個設けられている。すなわち、フィルタレギュレータ１９を通じて供給される圧縮空気は、給気用電磁弁６ａ〜６ｄを介して空気ばね２ａ〜２ｄにそれぞれ給気され、一方、空気ばね２ａ〜２ｄ内の空気は、それぞれ排気用電磁弁７ａ〜７ｄを介して排気される。 コイルに流れる電流量を調整して弁を開閉するこれらの給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄでは、空気ばね２ａ〜２ｄへの給気及び排気を迅速に行えるので、振動の減衰期間の短縮化を図ることができる。なお、給気専用及び排気専用の上記の給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄに代えて、給気機能及び排気機能の両機能を備える電磁弁を適用してもよい。
【００２３】
変位センサ５ａ〜５ｄは、図１〜図４に示すように、架台１２の底部の複数の被支持部１２ａを支持する空気ばね２ａ〜２ｄの近接位置（四つの空気ばねの近傍の位置）に、取付プレート２９を介してフレーム１４上にそれぞれ取り付けられている。すなわち、変位センサ５ａ〜５ｄは、複数の被支持部１２ａ毎の近傍の高さ方向の変位を各々検出するように複数の空気ばね２ａ〜２ｄ毎にそれぞれ対応付けて複数個配置されている。変位センサ５ａ〜５ｄは、いわゆる電磁誘導を利用した渦電流式変位センサであって、金属製の架台１２上を流れる渦電流に起因するセンサコイルのインピーダンスの変化により、架台１２の高さ方向（鉛直方向）の変位（Ｚ１−Ｚ２方向の位置）を検出する。さらに詳細には、変位センサ５ａ〜５ｄは、架台１２本体の傾きがなくなるように、空気ばね２ａ〜２ｄの近傍の架台１２底部の四つのコーナ部分の高さ位置を検出する。非接触式のこれら変位センサ５ａ〜５ｄでは、接触式の変位センサなどと異なり、センサ側から振動が伝達されてしまうことなどを回避しつつ架台１２の変位を検出できるので、除振制御を好適に行うことができる。
【００２４】
このように架台１２の各コーナ部に配置される空気ばね２ａ〜２ｄ、変位センサ５ａ〜５ｄ、並びに給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄは、互いに対応付けられて配置されている。架台１２側をパッシブ制御する上記したコントローラ２５は、複数の変位センサ５ａ〜５ｄ毎の検出結果に基づいて、個々の給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄの制御を個別に行う。また、四つの空気ばね２ａ〜２ｄにそれぞれ接続された給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄは、コントローラ２５の制御下で架台１２の四箇所の被支持部１２ａの高さを上昇させる制御と下降させる制御とを個別に行うことができるので、架台１２の高さ及び傾きの制御を高精度に行うことができ、これにより、良好な除振効果を得ることができる。
【００２５】
次に、本実施形態に係る除振装置１の除振制御機能について図１〜図４に加え図５及び図６に基づき詳述する。ここで、図５は、この除振装置１が備える架台１２の位置制御を模式的に示す図、図６は、この除振装置１のコントローラ２５が行う除振制御の処理を示すフローチャートである。
【００２６】
すなわち、除振装置１は、上記した構成に加え、図４に示すように、コントローラ２５に接続された表示部２６、入力操作部２７及び記憶部２８を備える。記憶部２８には、図５に示すように、基準高さ位置Ｒと、セットアップ高さ範囲Ｊと、非制御高さ範囲Ｆとが記憶されている。ここで、基準高さ位置Ｒとは、変位センサ５ａ〜５ｄの設置位置からＺ１方向に高さＳだけ上昇した位置、つまり空気ばね２ａ〜２ｄに支持される架台１２底部の四箇所の被支持部１２ａを定位させるべき（位置決めすべき）理想的な高さ位置である。また、セットアップ高さ範囲Ｊとは、基準高さ位置Ｒから第１の高さ量ＰだけＺ１方向に上昇した位置と、基準高さ位置Ｒから当該第１の高さ量ＰだけＺ２方向に下降した位置と、の間の高さ範囲である。非制御高さ範囲Ｆとは、第１の高さ量Ｐよりも多い第２の高さ量Ｑだけ基準高さ位置ＲからＺ１方向に上昇した位置と、基準高さ位置Ｒから当該第２の高さ量ＱだけＺ２方向に下降した位置と、の間の高さ範囲である。
【００２７】
ここで、コントローラ２５は、除振装置１本体の電源投入直後のセットアップ時（実際の除振制御前の状態）において、記憶部２８の記憶内容を参照しつつ、変位センサ５ａ〜５ｄにより検出された架台１２の高さ位置が、図５に示すセットアップ高さ範囲Ｊ内に収まっていない場合に、架台１２の高さ位置をセットアップ高さ範囲Ｊ内に収めるように、空気ばね５ａ〜５ｄの給気及び排気を行う給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄを開閉制御する。
【００２８】
また、コントローラ２５は、セットアップ後に実行される実際の除振制御状態（除振モード）において、記憶部２８の記憶内容を参照しつつ、架台１２底部の四箇所の被支持部１２ａの近傍のいずれかの高さが、図５に示す非制御高さ範囲Ｆから外れていることが変位センサ５ａ〜５ｄのいずれかにより検出された場合、これを非制御高さ範囲Ｆ内に戻すように、複数の変位センサ５ａ〜５ｄ毎の検出結果に基づいて、個々の給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄの制御を個別に行う。一方、コントローラ２５は、セットアップ後に実行される除振モードにおいて、架台１２底部の四箇所の被支持部１２ａの近傍のいずれかの高さが、図５に示す非制御高さ範囲Ｆ内にあることが変位センサ５ａ〜５ｄのいずれかにより検出されている場合、空気ばね５ａ〜５ｄの給気及び排気が行われないように給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄの開閉制御を個別に停止状態とする。ここで、図５において、変位センサ５ａ〜５ｄにより検出された高さが非制御高さ範囲Ｆ内からＺ１方向に上昇する方向に外れた高さ範囲は、排気用電磁弁７ａ〜７ｄにより制御が行われるべき排気制御範囲Ｈであり、一方、変位センサ５ａ〜５ｄにより検出された高さが非制御高さ範囲Ｆ内からＺ２方向に下降する方向に外れた高さ範囲は、給気用電磁弁６ａ〜６ｄにより制御が行われるべき給気制御範囲Ｋとなる。
【００２９】
つまり例えば、図３〜図５において、変位センサ５ａにより検出された高さが非制御高さ範囲Ｆ内からＺ１方向に上昇する方向に外れ、また、変位センサ５ｄにより検出された高さが非制御高さ範囲Ｆ内からＺ２方向に下降する方向に外れ、さらに、変位センサ５ｂ、５ｃにより検出された高さが非制御高さ範囲Ｆ内に収まっていることをコントローラ２５が取得した場合、当該コントローラ２５は、排気用電磁弁７ａを制御して空気ばね２ａの排気を行うとともに給気用電磁弁６ｄを制御して空気ばね２ｄの給気を行い、一方、空気ばね２ｂ、２ｃに対応付けられた給気用電磁弁６ｂ、６ｃ及び排気用電磁弁７ｂ、７ｃを停止状態とする制御を行う。さらにこの場合、コントローラ２５は、給気用電磁弁６ａ及び排気用電磁弁７ｄを停止状態とする制御を行う。
【００３０】
さらに、記憶部２８には、待機時間が記憶されている。この待機時間とは、実際の除振制御が行われる上記した除振モードにおいて、変位センサ５ａ〜５ｄにより検出された高さが、図５に示す非制御高さ範囲Ｆから外れていることをコントローラ２５が取得したタイミングから、コントローラ２５が、給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄの制御を実際に始動させるべきタイミングを、積極的に遅らせるように設定した時間間隔である。この待機時間を設けたことにより、外来振動による架台１２の変位のタイミングに対し各電磁弁を通じての高さ制御による架台１２の変位のタイミングを積極的に遅らせることができ、架台１２の高さ制御におけるハンチング現象の発生を抑制できる。
【００３１】
また、図４において、入力操作部２７には、除振装置１に駆動電源を供給するための電源スイッチ、任意の数値を入力するための数字キー、入力情報の確定キーなどが設けられている。ここで、高さ範囲設定部として機能する入力操作部２７に設けられた数字キーや確定キーによる入力操作によって、図５に示す非制御高さ範囲Ｆの設定やその変更が可能となる。これにより、架台の高さ制御の応答性を調整することが可能となり、上記したハンチング現象の発生を好適に抑制することができる。つまり例えば、除振すべき振動周波数の傾向性などに対応させて架台１２の高さ範囲の範囲幅調整を行うことが可能となる。なお、このような入力操作部２７を通じて、上記した待機時間を設定できるようにしてもよい。また、このようにして入力操作部２７を通じて設定される非制御高さ範囲Ｆなどの設定内容は、その設定の度毎に、上記した表示部２６に可視的に表示されるとともに、記憶部２８に記憶される。
【００３２】
次に、このように構成された除振装置１のコントローラ２５が行う除振制御の処理を図６に示すフローチャートを用いて説明する。
すなわち、コントローラ２５は、入力操作部２７を通じて除振装置１の電源がＯＮに設定され、セットアップ動作が実行されると、まず、変位センサ５ａ〜５ｄにより検出された架台１２の高さ位置が、図５に示すセットアップ高さ範囲Ｊ内に収まっているか否かを判断する（Ｓ２）。架台１２の高さが、セットアップ高さ範囲Ｊ内に収まっていない場合には（Ｓ２のＮＯ）、給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄの開閉を制御して、空気ばね５ａ〜５ｄの給気及び排気を行う（Ｓ３）。一方、架台１２の高さがセットアップ高さ範囲Ｊ内に収まっていることが検出された場合には（Ｓ２のＹＥＳ）、コントローラ２５は、実際の除振制御状態である除振モードに移行するとともに（Ｓ４）、さらに、架台１２底部の四箇所の被支持部１２ａの近傍のそれぞれの高さが、図５に示す非制御高さ範囲Ｆ内に収まっているか否かを検出する（Ｓ５）。
【００３３】
コントローラ２５は、被支持部１２ａの近傍の高さが、非制御高さ範囲Ｆ内にあることが変位センサ５ａ〜５ｄにより検出されている場合（Ｓ５のＹＥＳ）、空気ばね５ａ〜５ｄの給気及び排気が行われないように給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄの開閉制御を個別に停止状態とする（Ｓ６）。非制御高さ範囲Ｆから外れていることが変位センサ５ａ〜５ｄのいずれかにより検出された場合（Ｓ５のＮＯ）、コントローラ２５は、待機時間の経過を待って（Ｓ７）、非制御高さ範囲Ｆから外れている検出箇所が非制御高さ範囲Ｆ内に収まるように、複数の変位センサ５ａ〜５ｄ毎の検出結果に基づいて、個々の給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄの制御を個別に行う（Ｓ８）。
【００３４】
既述したように、本実施形態に係る除振装置１では、架台１２の高さが非制御高さ範囲Ｆから外れてはじめて架台１２の高さ方向の位置制御を開始すること、すなわち、架台１２の高さ方向の変位量が比較的少ない場合の対応を図った架台の非制御範囲を積極的に設けることで、外来振動による架台１２の変位と高さ制御による架台１２の変位とが無作為に作用して逆に除振の妨げになることなどを回避することができる。したがって、本実施形態に係る除振装置１によれば、架台１２の位置制御の応答性を高め過ぎたことなどで起こり得るハンチング現象の発生が抑制され、これにより良好な除振効果を得ることができる。
【００３５】
また、本実施形態の除振装置１によれば、架台１２の変位の検出方向を、架台１２が上昇するＺ１方向と架台１２が下降するＺ２方向との両方向とし、この検出した架台１２の高さを給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄでそれぞれ制御するので、架台１２本体の傾斜を補正するレベルの復帰を迅速に行え、これにより、例えば、除振対象物が架台１２上を移動する移動体などであっても、この移動体に起因して生じる振動を効果的に除去することができる。
【００３６】
以上、本発明を各実施の形態により具体的に説明したが、本発明は前記の実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上述した実施形態の除振装置１では、設置基礎又は床上に設置される脚部１７を有するフレーム３を介して架台支持機構２０が架台１２を支持するものであったが、これに代えて、図７に示すように、上記のフレームを削除した構成の除振装置５１によっても本発明を実現することができる。また、本実施形態では、図３に示したように、空気ばね及び変位センサを四つずつ設けたが、これに代えて、架台１２の重心位置などを考慮した上で、空気ばね及び変位センサを三つずつに削減してもよいし、また、空気ばねが四つで且つ変位センサを三つとしてもよいし、さらには、空気ばねが三つで且つ変位センサを四つとしてもよい。また、変位センサにより架台１２の高さの変化速度などを常時検出し、この検出結果に対応させて非制御高さ範囲Ｆや待機時間を動的に可変するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施形態に係る除振装置の平面図。
【図２】図１に示す除振装置の正面図。
【図３】図１に示す除振装置の配管系統図。
【図４】本発明の実施形態に係る除振装置を機能的に示すブロック図。
【図５】図１に示す除振装置が備える架台の位置制御を模式的に示す図。
【図６】図１の除振装置のコントローラが行う除振制御の処理を示すフローチャート。
【図７】図１に示す除振装置と構造と異なる他の除振装置の正面図。
【符号の説明】
【００３８】
１，５１…除振装置、２ａ〜２ｄ…空気ばね、４…防振ゴム、５ａ〜５ｄ…変位センサ、６ａ〜６ｄ…給気用電磁弁、７ａ〜７ｄ…排気用電磁弁、１２…架台、１２ａ…被支持部、１９…フィルタレギュレータ、２０…架台支持機構、２１…コンプレッサ、２５…コントローラ、２７…入力操作部、２８…記憶部、Ｆ…非制御高さ範囲。
【図１】
2007146899.tif 000003
【図２】
2007146899.tif 000004
【図３】
2007146899.tif 000005
【図４】
2007146899.tif 000006
【図５】
2007146899.tif 000007
【図６】
2007146899.tif 000008
【図７】
2007146899.tif 000009