(57)【要約】 【課題】  良好にエージング放電できるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】  １３．５６ＭＨｚの高周波の搬送波信号を振幅変調して１５ＫＨｚでパルス幅１μｓの駆動パルスをＰＤＰ１００の引出電極に印加して高周波エージング放電させるエージング工程を実施する。エージング放電させる駆動パルスとして、１ＭＨｚ以上の高周波の搬送波信号を振幅変調して生成しているので、放電回数が増大し、エージング工程での放電時間を大きく短縮でき、良好にエージング工程を実施できる。【選択図】 図３
2007042426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネルに所定の駆動信号の電圧を印加してエージング放電させるエージング工程を実施するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング工程は、前記所定の駆動信号として１ＭＨｚ以上の周波数を有する搬送波信号を振幅変調した信号の電圧を前記プラズマディスプレイパネルに印加する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング工程は、高周波の搬送波信号を高周波振幅変調した振幅変調高周波信号をパルス状に変成した前記駆動信号の電圧を前記プラズマディスプレイパネルに印加して高周波エージング放電させる
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング工程は、前記搬送波信号として１３．５６ＭＨｚの整数倍の周波数を用いる
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング工程は、前記搬送波信号として１ＭＨｚ以上１００ＭＨｚ以下の高周波を用いる
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング工程は、前記搬送波信号を周波数が１ＫＨｚ以上１０ＭＨｚ以下の信号波に応じた振幅で振幅変調させる
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング工程は、前記搬送波信号を振幅変調した信号を、パルス幅が０．０５μｓ以上５００μｓ以下のパルス状の前記駆動信号の電圧を前記プラズマディスプレイパネルに印加する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記エージング工程は、周波数が１ＭＨｚ以上１００ＭＨｚ以下の搬送波信号を振幅変調した信号の電圧を前記プラズマディスプレイパネルに印加する前処理エージング工程と、この前処理エージング工程の後に前記１ＭＨｚ以上の周波数を有する搬送波信号を振幅変調した信号の電圧を前記プラズマディスプレイパネルに印加する追加エージング工程と、を実施する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルに所定の駆動信号の電圧を印加してプラズマディスプレイパネルをエージング放電させるエージング工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel：ＰＤＰ）は、一対の平面基板同士が放電空間を介して互いに対向配置され、一方の平面基板の内面上に井桁状もしくはストライプ状の隔壁を設けている。このことにより、ＰＤＰは、放電空間が複数個の放電セルに区画される。そして、ＰＤＰは、複数個の放電セル内で外部からの電気信号により選択的に放電発光させることにより画像表示を行う装置である。このＰＤＰは、製造工程において、所定の駆動パルスを印加して各放電セルでエージング放電を生じさせ、活性化および放電の安定化を実施している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載のものは、前面ガラス基板と背面ガラス基板の互いに対向する側にそれぞれ構造物を形成し、互いに対向させた前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を封止し、加熱状態で放電空間内から排気するベーキング工程を経た後、高スパッタレートの洗浄ガスを放電空間内に導入し、この洗浄ガスが導入された放電空間内でエージング放電させてエージングし、前面ガラス基板と背面ガラス基板に形成した構造物に対するプラズマイオンによる活性化を促進させる。この後、放電ガスを放電空間内に導入し、排気管を封止した後、放電ガスが導入された放電空間内でエージング放電させてエージングしている。そして、エージング放電の際、急峻な立上がり部分および立下がり部分を有する波形の駆動パネルを用いている。このようにして、ベーキング工程後のエージングにより、ベーキング工程時間と、放電ガスが導入された状態での最終工程のエージングの工程時間を短縮している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２５９５２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した特許文献１に記載のような従来の方法でも、急峻な立上がり部分および立下がり部分を有するいわゆるインパルス状の高電圧パルスを繰り返し印加してエージング放電させているため、プラズマディスプレイパネルが発熱し、場合によってはプラズマディスプレイが損傷したりエージング装置が損傷するなどの不都合が生じるなどのおそれがある点が一例として挙げられる。
【０００６】
本発明は、このような実情などに鑑みて、良好なエージング放電が実施できるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを１つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、プラズマディスプレイパネルに所定の駆動信号の電圧を印加してエージング放電させるエージング工程を実施するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記エージング工程は、前記所定の駆動信号として１ＭＨｚ以上の周波数を有する搬送波信号を振幅変調した信号の電圧を前記プラズマディスプレイパネルに印加することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法における実施の一形態を図面に基づいて説明する。
【０００９】
〔プラズマディスプレイパネルの構成〕
まず、製造されるプラズマディスプレイパネルの概略構成について、図面に基づいて説明する。図１は、本実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す平面図（背面基板側から見た平面図）である。なお、図１は、説明の都合上、引出電極を粗な状態で示す。図２は、一般的なストライプ状の隔壁を備えたＰＤＰの内部構造を示す一部を切り欠いた分解斜視図である。
【００１０】
図１において、１００はプラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel：ＰＤＰ）で、このＰＤＰ１００は、放電空間１０１を介して前面基板１１０と背面基板１２０とが対向配置されている。そして、ＰＤＰ１００は、図２に示すように、前面基板１１０における背面基板１２０と対向する内面側には、透明電極１１１とバス電極１１２とからなる行電極が対をなして配置され、対をなす行電極対間にブラックストライプ１１３が配置され、行電極およびブラックストライプ１１３を覆うように誘電体層１１４が設けられ、さらに誘電体層１１４を覆うように保護層１１５が形成されている。対をなす行電極の一方の行電極を構成するバス電極１１２は、図１に示すように、前面基板１１０の右端部に引き出されて引出電極１２３を構成し、対をなす行電極の他方の行電極を構成するバス電極１１２は、前面基板１１０の左端部に引き出されて引出電極１２３を構成している。
【００１１】
また、背面基板１２０における前面基板１１０と対向する内面側には、この背面基板１２０の上に複数のアドレス電極１２１がそれぞれ略平行に設けられ、これらアドレス電極１２１を覆うように背面基板１２０の内面側にアドレス保護層１２２が設けられている。さらに、アドレス保護層１２２上にストライプ形状の隔壁１２４が設けられ、これら隔壁１２４により、複数個の図示しない放電セルが区画形成される。そして、これら複数個の放電セルの内部には、それぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色の蛍光体層（１２５Ｒ、１２５Ｇ、１２５Ｂ）が順に形成されている。放電空間１０１の内部、すなわちそれぞれの放電セルの内部は、ネオンガスなどの放電ガスが充填され、外気との間で密閉され、ＰＤＰ１００が構成される。
【００１２】
〔エージング装置の構成〕
次に、上記ＰＤＰ１００をエージング処理するエージング装置の構成について、図３に基づいて説明する。図３は、本実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルを製造する製造工程におけるエージング工程で用いられるエージング装置の概略構成の一部を示す概念図である。図４は、エージング放電させる駆動波形を示す波形図である。
【００１３】
図３において、２００は電力供給装置としてのエージング装置で、このエージング装置２００は、保護膜１１５の活性化や安定放電化などのために、ＰＤＰ１００の引出電極１２３に放電セルでエージング放電させる所定の電圧の駆動パルスを所定時間で印加し、ＰＤＰ１００をエージング処理する。このエージング処理として、エージング装置２００は、第１エージング工程と、第２エージング工程を実施する。このエージング装置２００は、図示しないＰＤＰ載置部と、駆動パルス供給装置２１０と、などを備えている。
【００１４】
ＰＤＰ載置部は、あらかじめ、前面基板１１０と背面基板１２０とが対向して周縁部が接合され放電ガスを放電空間１０１内に充填されて封着されて形成されたＰＤＰ１００を載置固定する。なお、このＰＤＰ載置部には、ＰＤＰ１００が所定の位置に載置固定されているか否かを検出する位置決めセンサなどが設けられている。
【００１５】
駆動パルス供給装置２１０は、所定の周波数で所定のパルス電圧の駆動パルスを出力する装置である。この駆動パルス供給装置２１０は、発振器２１１と、増幅器２１２と、振幅変調器２１３と、電力伝送ケーブル２１４と、整合装置２１５と、共通接続電極２１６と、などを備えている。
【００１６】
発振器２１１は、所定の周波数である高周波を出力する。この出力する高周波としては、例えば１ＭＨｚ以上１００ＭＨｚ以下、好ましくは１３．５６ＭＨｚの整数倍の高周波の搬送波信号である。ここで、搬送波信号として、１ＭＨｚより低い周波数では、整合装置が大型化するという問題が生じるおそれがある。一方、１００ＭＨｚを超えるとコストが増大するという問題が生じるおそれがある。また、１３．５６ＭＨｚは電波法上で利用可能な周波数で、特に整数倍とすることで無線設備に対して影響を与えないという利点があることから好ましい。発振器２１１には増幅器２１２が接続され、発振器２１１は所定の高周波の搬送波信号（図４（Ａ）参照）を増幅器２１２へ出力する。
【００１７】
増幅器２１２には、振幅変調器２１３および電力伝送ケーブル２１４が接続されている。そして、増幅器２１２は、発振器２１１から出力される高周波の搬送波信号を、振幅変調器２１３により所定の振幅に振幅変調して増幅させる。この振幅変調器２１３による振幅変調は、例えば１ＫＨｚ以上１０ＭＨｚ以下、好ましくは１０ＫＨｚ以上３０ＫＨｚ以下の信号波（図４（Ｂ）参照）により搬送波信号の振幅を変調させる高周波振幅変調で、この高周波振幅変調により搬送波信号が振幅変調高周波信号（図４（Ｃ）参照）に変調される。ここで、信号波が１ＫＨｚより低いと効果的にエージングができないという不都合が生じるおそれがある。一方、信号波が１０ＭＨｚを超えると回路構成が複雑になるという不都合が生じるおそれがある。このことにより、信号波を上述した周波数に設定することが好ましい。そして、増幅器２１２は所定の振幅に増幅した振幅変調高周波信号を電力伝送ケーブル２１４へ出力し、所定の電圧に変成させる。
【００１８】
整合装置２１５は、整合回路２１５Ａを有している。整合回路２１５Ａは、電力電送ケーブル２１４に直列に接続されたリアクトルＬと、リアクトルＬにおける電力電送ケーブル２１４との接続点に一端が接続され他端が接地される第１コンデンサＣ１と、リアクトルＬにおける共通接続電極２１６との接続点に一端が接続され他端が接地される第２コンデンサＣ２を備え、増幅器２１２から出力される振幅変調された高周波の搬送波信号を、図４（Ｃ）に示すような駆動信号としての例えばパルス幅が１μｓ以上８μｓ以下の駆動パルスに整合し、共通接続電極２１６へ出力する。ここで、パルス幅が０．０５μｓより短くなると、安定な変調ができなくなるという不都合が生じるおそれがある。一方、パルス幅が５００μｓより長くなると、安定な変調ができなくなるという不都合が生じるおそれがある。このため、駆動パルスとして、パルス幅が０．０５μｓ以上５００μｓ以下に設定される。
【００１９】
共通接続電極２１６は、ＰＤＰ載置に載置されたＰＤＰ１００における引出電極１２３が位置する両端部に近接して一対設けられ、引出電極１２３にそれぞれ接離可能に図示しない保持部にそれぞれ保持される。これら共通接続電極２１６は、例えばゴムなどの軟質部材にて、ＰＤＰ１００における背面基板１２０の長手方向の端部に引出電極１２３が複数設けられた領域、すなわち背面基板１２０の幅寸法と略同寸法の長さ寸法に形成された略細長棒状に形成されている。また、共通接続電極２１６は、外周面に例えば銅やＳＵＳなどの高い導電性を有した導電部材が被覆形成されている。そして、一方の共通接続電極２１６は導電部材が電気的に接続される状態に整合装置２１５に接続され、他方の共通接続電極２１６は導電部材が接地される。
【００２０】
そして、駆動パルス供給装置２１０は、一対の共通接続電極２１６がＰＤＰ１００における両端部に位置して設けられた引出電極１２３にそれぞれ接触させ、所定の高周波の搬送波信号を振幅変調した所定のパルス電圧の駆動パルス（図４（Ｃ）参照）を共通接続電極２１６へ出力し、ＰＤＰ１００の各放電セルをそれぞれ所定時間で高周波エージング放電させる。ここで、高周波エージング放電させる駆動パルスの出力としては例えば１００Ｗ以上２０ＫＷ以下で、時間長としては例えば１時間以上１０時間以下で実施される。ここで、出力値が１００Ｗより小さくなるとエージング効果が少ないという不都合が生じるおそれがある。一方、出力値が２０ＫＷより大きくなると高温になりパネルが破損するという不都合が生じるおそれがある。また、時間長が１時間より短くなると、保護膜１１５の活性化や放電安定化が十分に進行していない不十分な状態となるなどの不都合が生じる。一方、時間長が１０時間より長くなっても、保護膜１１５の活性化や放電安定化は既に十分に進行しており、さらなる進行が得られにくいにも係わらず比較的に大きな出力となる高周波エージング放電が継続されることによる処理効率の低下が生じるおそれがある。このため、例えば１ＫＷ以上８ＫＷ以下の出力で、２時間以上４時間以下で高周波エージング放電を実施する。
【００２１】
〔プラズマディスプレイパネルの製造方法の動作〕
（エージング処理動作）
次に、上述したＰＤＰ１００の製造方法の動作として、エージング処理動作について説明する。
【００２２】
あらかじめ前工程で、前面基板１１０と背面基板１２０とが対向して周縁部が内部に放電空間１０１を形成して封着され、放電ガスが放電空間１０１に充填され封止されて形成されたＰＤＰ１００は、エージング処理が実施される。具体的には、形成されたＰＤＰ１００は、エージング装置２００へ搬送し、エージング装置２００のＰＤＰ載置部に載置固定する。そして、エージング装置２００は、所定の位置に搬入され位置決め固定されたＰＤＰ１００の引出電極１２３に一対の共通接続電極２１６を接続させ、共通接続電極２１６を介してあらかじめ設定された時間長で所定のパルス電圧の駆動パルスを引出電極１２３へ供給し、各放電セルでエージング放電させる。
【００２３】
すなわち、発振器２１１で例えば１ＭＨｚ以上１００ＭＨｚ以下の高周波の搬送波信号を出力させる。そして、発振器２１１から出力された搬送波信号を、増幅器２１２で振幅変調器２１３による周波数が１ＫＨｚ以上１０ＭＨｚ以下の信号波に応じた振幅で振幅変調させて増幅させる。そして、この振幅変調された搬送波信号である振幅変調高周波信号を電力伝送ケーブル２１４を介して供給し整合装置２１５で整合させ、パルス幅が例えば１μｓ以上８μｓ以下の駆動パルスを、例えば１ＫＷ以上８ＫＷ以下の出力で共通接続電極２１６へ例えば２時間以上４時間以下で供給する。この駆動パルスの供給により、ＰＤＰ１００の各放電セルが高周波エージング放電する。
【００２４】
（実験）
次に、上述したＰＤＰ１００の製造方法の動作として、上記高周波エージング放電の実施によるＰＤＰ１００の特性評価について実施した実験について説明する。
【００２５】
ＰＤＰ１００の特性評価の実験として、所定のエージング処理条件でエージング放電を実施した８型（８インチ）のパネルを実験に用いた。この前処理として実施したエージング放電の処理条件は、２０ＫＨｚでパルス幅２５μｓの駆動パルスを１３０Ｗで１０時間供給する条件である。
【００２６】
そして、このＰＤＰ１００を上述したエージング装置２００に装着し、対をなす共通接続電極２１６を引出電極１２３に接続させ、各放電セルの放電前後におけるインピーダンス変化を低減させ表示面の全面で放電安定化させるべく、一対の共通接続電極２１６を、例えばＡＷＧ１８電線などの短絡直交配線で接続する。この状態で、各種エージング処理条件で駆動パルスを引出電極１２３に供給してエージング放電を実施し、ＰＤＰ１００の特性評価を測定して比較評価した。
【００２７】
エージング処理条件としては、前処理が実施されたＰＤＰ１００に、搬送波信号の周波数が１３．５６ＭＨｚ、１５ＫＨｚでパルス幅１μｓにパルス変調した駆動パルスを１３０Ｗで２時間供給して高周波エージング処理を実施した。なお、比較例として、ＰＤＰ１００に前処理で実施したエージング処理条件と同一条件を繰り返し、エージング放電を総時間長で２０時間とした。そして、特性評価としては、実施するエージング処理の条件の内容と、エージング処理中のＰＤＰ１００の点灯状態を、ＲＧＢ感度を持つカラーＣＣＤ（Charge-Coupled Device）を備えたエリアセンサカメラにて撮像して画像処理解析し、輝度、色度の状態を比較した。
【００２８】
その結果、エージング処理中、比較例では、輝度、色度、エージング処理の駆動パルスのパルス電圧がそれぞれ変化していくのが認められた。一方、高周波エージング処理をする本実施の形態では、２時間の高周波エージング処理前後で輝度、色度、高周波エージング処理の駆動パルスのパルス電圧に変化が認められた。そこで、本実施の形態および比較例の双方で、出力を２７０Ｗとしてそれぞれ１時間エージングを実施した。その結果、比較例のものでは、さらに輝度、色度に変化が認められた。一方、本実施の形態では、輝度および色度とともにパルス電圧にも変化が認められなかった。
【００２９】
すなわち、上述した本実施の形態の高周波エージング放電を実施させることにより、短時間でも十分に保護膜１１５の活性化および放電安定化が得られることが認められた。そして、比較例では２０時間以上エージング処理しても変化し続ける状態を、従来実施されている所定のエージング放電の処理条件後に高周波エージング放電を２時間実施することで保護膜１１５の活性化および放電安定化が得られることが認められた。
【００３０】
そして、前処理におけるエージング処理条件では２回放電しているが、本実施の形態の高周波エージング放電では上述したエージング処理条件で１０回程度放電していることが電圧波形図から認められた。すなわち、（１５〔ＫＨｚ〕×１０〔回〕）／（２０〔ＫＨｚ〕×２〔回〕）＝３．７５となり、高周波エージング放電することにより、従来実施しているエージング放電と同様の処理条件に対して、放電回数が３．７５倍以上となっていることがわかる。
【００３１】
〔プラズマディスプレイパネルの製造方法の作用効果〕
上述したように、上記実施の形態では、１ＭＨｚ以上の周波数を有する搬送波信号を振幅変調した駆動パルスのパルス電圧をＰＤＰ１００の引出電極１２３に印加してエージング放電させるエージング工程を実施している。このため、エージング放電させる駆動パルスとして、１ＭＨｚ以上の高周波の搬送波信号を振幅変調して生成しているので、エージング工程での放電時間を大きく短縮でき、良好なエージング工程が得られる。
【００３２】
そして、エージング工程では、高周波の搬送波信号を高周波振幅変調した振幅変調周波数信号をパルス状に変成して整合した駆動パルスを供給し、ＰＤＰ１００を高周波エージング放電させている。このため、放電回数が増大し、放電時間を容易で確実に大きく短縮できる。
【００３３】
さらに、高周波エージング放電させる搬送波信号として、設定する周波数を１ＭＨｚ以上１００ＭＨｚ以下としている。このため、放電回数を大きく増大でき、放電時間を容易で確実に短縮できる。特に、１３．５６ＭＨｚとすることで、容易に搬送波信号を出力でき、容易にエージング工程を実施できる。
【００３４】
また、周波数が１ＫＨｚ以上１０ＭＨｚ以下の信号波に応じた振幅で搬送波信号を振幅変調している。このため、放電電力を時間的に分散させることにより、大電力でのエージングとエージング時間短縮という効果を奏する。
【００３５】
さらに、パルス幅を０．０５μｓ以上５００μｓ以下に設定している。このため、パルス幅の調整が容易にできるため、放電電力の調整が可能になるという効果を奏する。
【００３６】
そして、高周波エージング放電として、例えば１ＫＷ以上８ＫＷ以下の出力で２時間以上４時間以下としている。このため、パネルの破損を防止でき、エージング時間を大幅に短縮できるという効果を奏する。
【００３７】
また、上述した実験のように、２０ＫＨｚでパルス幅２５μｓにパルス変調した駆動パルスを１３０Ｗで１０時間供給する前処理である前処理エージング工程を実施したＰＤＰ１００に、上述した高周波エージング放電を実施する追加エージング工程を実施することにより、ＰＤＰ１００がエージング放電により発熱することを抑制でき、過熱によるＰＤＰ１００の損傷などを防止でき、良好にエージング放電させることができる。
【００３８】
さらには、発熱が抑制されることから、エージング工程の際に、ＰＤＰ１００を冷却する構成が簡略化できる。このため、エージング装置２００の構成を簡略化できる。
【００３９】
〔実施の形態の変形〕
なお、本発明は、上述した実施の一形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
【００４０】
すなわち、実験において、前処理としてエージング放電を実施した後に高周波エージング放電を実施して説明したが、前処理を実施することなく高周波エージング放電のみを実施してもよい。なお、この場合には、放電時間として２ＫＷの条件で例えば３時間と設定される。
【００４１】
そして、高周波エージング放電として、搬送波信号の周波数を１ＭＨｚ以上１００ＭＨｚ以下、特に実験では１３．５６ＭＨｚとしたが、この条件に限らない。例えば、１３．５６ＭＨｚの整数倍の周波数に設定してもよい。すなわち、１３．５６ＭＨｚの整数倍とすることで、エージング放電電圧の低下と、エージング放電の安定化が図れるという効果を奏する。
【００４２】
また、搬送波信号を振幅変調する条件としては、１ＫＨｚ以上１０ＭＨｚ以下、特に実験では１５ＫＨｚとしたが、この条件に限らない。すなわち、低電力放電、放電安定化の条件を満足する周波数に設定すればよい。この低電力放電、放電安定化の条件を満たすことにより、放電の均一化およびエージングの安定化という効果を奏する。
【００４３】
さらに、実験で駆動パルスのパルス幅を１μｓとしたが、この条件に限らない。放電回数の増加が増大する例えば０．０５μｓ以上５００μｓ以下に設定すればよい。
【００４４】
また、高周波エージング放電として、例えば１ＫＷ以上８ＫＷ以下の出力で２時間以上４時間以下で供給したが、この条件に限られない。すなわち、パネルの破損防止とエージング時間の短縮の作用効果が得られる範囲内のいずれの条件に設定できる。
【００４５】
そして、エージング装置２００としては上述した構成に限らず、引出電極１２３に高周波エージング放電させる駆動パルスを供給可能ないずれの構成が適用できる。
【００４６】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などに適宜変更できる。
【００４７】
〔実施の形態の効果〕
上述したように、１ＭＨｚ以上の周波数を有する搬送波信号を振幅変調した駆動パルスのパルス電圧をＰＤＰ１００の引出電極１２３に印加してエージング放電させるエージング工程を実施している。このため、エージング放電させる駆動パルスとして、１ＭＨｚ以上の高周波の搬送波信号を振幅変調して生成しているので、エージング工程での放電時間を大きく短縮でき、良好にエージング工程を実施できる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明における実施の一形態に係るプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す平面図である。
【図２】前記実施の一形態における一般的なストライプ状の隔壁を備えたＰＤＰの内部構造を示す一部を切り欠いた分解斜視図である。
【図３】前記実施の一形態におけるプラズマディスプレイパネルを製造する製造工程におけるエージング処理で用いられるエージング装置の概略構成の一部を示す概念図である。
【図４】前記実施の一形態における高周波エージング放電させる駆動波形を示す波形図である。
【符号の説明】
【００４９】
１００……プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
２００……エージング装置
２１１……発振器
２１２……増幅器
２１３……振幅変調器
２１４……電力伝送ケーブル
２１５……整合装置
【図１】
2007042426.tif 000003
【図２】
2007042426.tif 000004
【図３】
2007042426.tif 000005
【図４】
2007042426.tif 000006