(57)【要約】【課題】ＳＥＣＳ手順に対応する通信アダプタにおいて、制御サーバーの障害およびその復旧に関連して必要となる時間と労力を低減する通信アダプタを提供する。【解決手段】通信アダプタ１において、制御サーバーとの通信が不可能な状態において半導体製造装置３０からの伝文を受信した場合、伝文蓄積処理部１１がその伝文を蓄積部１３に蓄積するとともに、半導体製造装置３０への受信確認応答を代行する。制御サーバーとの通信が回復して可能となると、伝文再送処理部１２が蓄積伝文を制御サーバーに送信するとともに、これに対応して受信する受信確認応答を廃棄する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの制御サーバーと、少なくとも１つの制御対象装置とに接続され、前記制御対象装置から受信した伝文を、前記制御サーバーに送信する、通信アダプタであって、
前記通信アダプタは、前記制御対象装置からの前記伝文の受信を、ＳＥＣＳ手順に従って行うものであり、
前記通信アダプタは、
情報を蓄積するための蓄積部と、
前記通信アダプタが、前記制御サーバーのいずれかと通信可能であるかどうかを判定するための、上位通信処理部と、
前記制御対象装置から受信した前記伝文を、前記蓄積部に蓄積するための、伝文蓄積処理部と、
前記蓄積部に蓄積された前記伝文を、前記制御サーバーのいずれかに送信するための、伝文再送処理部と
を備え、
前記上位通信処理部によって、前記制御サーバーのいずれとも通信不可能であると判定された場合には、前記伝文蓄積処理部は、前記制御対象装置から受信した前記伝文を、前記蓄積部に蓄積し、
前記上位通信処理部によって、前記制御サーバーのいずれかと通信可能であると判定された場合には、前記伝文再送処理部は、前記蓄積部に蓄積された前記伝文を前記通信可能な前記制御サーバーに送信する
通信アダプタ。
【請求項２】
前記通信アダプタは、さらに、前記制御サーバーから受信した受信確認応答を、前記制御対象装置に送信するものであり、
前記伝文蓄積処理部は、さらに、前記蓄積される前記伝文のそれぞれについて、その伝文の前記受信確認応答を作成するとともに、前記作成された前記受信確認応答を前記制御対象装置に送信し、
前記伝文再送処理部は、前記伝文蓄積処理部によって前記受信確認応答が作成された前記伝文について、前記制御サーバーから受信した前記受信確認応答を廃棄する
請求項１に記載の通信アダプタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通信アダプタに関し、とくに、制御サーバーと、制御対象装置との間の通信を扱う通信アダプタに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造ラインで使用される製造装置は、一般的に、製造装置を制御する制御サーバーと、通信アダプタを経由して接続される。制御サーバーと通信アダプタとの間はＬＡＮで接続され、ＴＣＰ／ＩＰを用いて通信が行われる。通信アダプタと半導体製造装置との間はＲＳ２３２Ｃで接続され、半導体製造装置の標準通信手順であるＳＥＣＳ（Semiconductor Equipment Communications Standard）手順に従って通信が行われる。通信アダプタは、ＴＣＰ／ＩＰとＳＥＣＳ手順との間のプロトコル変換を行うものである。
なお、ＳＥＣＳとは、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）によって定められた、半導体製造装置に関する通信の標準規格である。
【０００３】
一般的に、制御サーバーはＲＳ２３２Ｃに対応するポートを有しないか、または少数（たとえば１つ）しか有しない。このため、制御サーバーに半導体製造装置を直接接続する構成は一般的ではなく、多数（たとえば８つ）のＲＳ２３２Ｃポートを有する通信アダプタが通信の仲介に使用される。
【０００４】
ＳＥＣＳ手順では、制御サーバーがダウンしている場合に送信不可となった伝文（コマンド）を蓄積保持（スプール：ＳＰＯＯＬ）することが規定されていない。すなわち、サーバーダウン間に製造装置から送信された伝文は、数度（たとえば３回）の再送の試みがすべて失敗するとそのまま廃棄される。このような仕様は、通信アダプタの機能としては通信経路を確保すればよく、通信データの保証は、上位の制御サーバーか下位の半導体製造装置が行うものという前提による。
【０００５】
なお、同様の手順であって、伝文の蓄積保持機能が規定されたものには、ＧＥＭ手順等がある。
【０００６】
ＳＥＣＳ手順では、制御サーバーが受信した伝文に対して、制御サーバーが、通信アダプタを経由して半導体製造装置に受信確認応答（ＡＣＫと受信確認伝文）を返すことで通信が成立する。
【０００７】
また、一般的なクライアント・サーバーネットワークにおいて、サーバーがダウンした場合に、通信アダプタがコネクションを切り替えて待機系のサーバーに接続することによって、サーバーとの通信を保持する技術が知られている。このような技術の例は、特許文献１に記載される。
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−８５６４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来の技術であるＳＥＣＳ手順では、制御サーバーで障害が発生してから待機系の制御サーバーに切替が完了するまでの間に送信された伝文が廃棄されてしまい、その復旧のために、以下に説明するように多大な時間と労力が必要となるという問題があった。
半導体製造ラインの制御システムでは、一台の制御サーバーに数十台以上の通信アダプタが接続され、さらに各通信アダプタに数台から十数台の半導体製造装置が接続される。このため、一台のサーバー障害によって多数の半導体製造装置から送信される伝文が廃棄される。これによって、待機系の制御サーバーが立ち上がった後の制御サーバーと半導体製造装置との状態の合わせこみには、製造ライン内での現物確認等を行いながらの作業が必要となり、復旧に多大なる時間と労力を要する。
【００１０】
この発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、ＳＥＣＳ手順に対応する通信アダプタにおいて、制御サーバーの障害およびその復旧に関連して必要となる時間と労力を低減する通信アダプタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の問題点を解決するため、この発明に係る通信アダプタは、少なくとも１つの制御サーバーと、少なくとも１つの制御対象装置とに接続され、制御対象装置から受信した伝文を、制御サーバーに送信する、通信アダプタであって、通信アダプタは、制御対象装置からの伝文の受信を、ＳＥＣＳ手順に従って行うものであり、通信アダプタは、情報を蓄積するための蓄積部と、通信アダプタが、制御サーバーのいずれかと通信可能であるかどうかを判定するための、上位通信処理部と、制御対象装置から受信した伝文を、蓄積部に蓄積するための、伝文蓄積処理部と、蓄積部に蓄積された伝文を、制御サーバーのいずれかに送信するための、伝文再送処理部とを備え、上位通信処理部によって、制御サーバーのいずれとも通信不可能であると判定された場合には、伝文蓄積処理部は、制御対象装置から受信した伝文を、蓄積部に蓄積し、上位通信処理部によって、制御サーバーのいずれかと通信可能であると判定された場合には、伝文再送処理部は、蓄積部に蓄積された伝文を通信可能な制御サーバーに送信するものである。
【００１２】
通信アダプタは、さらに、制御サーバーから受信した受信確認応答を、制御対象装置に送信するものであり、伝文蓄積処理部は、さらに、蓄積される伝文のそれぞれについて、その伝文の受信確認応答を作成するとともに、作成された受信確認応答を制御対象装置に送信し、伝文再送処理部は、伝文蓄積処理部によって受信確認応答が作成された伝文について、制御サーバーから受信した受信確認応答を廃棄してもよい。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、通信アダプタは、従来では廃棄されていた伝文を、廃棄せずに蓄積し、その後制御サーバーに送信するので、制御サーバーの障害およびその復旧に関連して現場製造ライン等で必要となる時間と労力を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
実施の形態１．
図１は、本発明に係る通信アダプタ１を含む制御システム１００に関する構成を示す。この制御システム１００は、半導体製造ラインにおける制御対象装置である半導体製造装置３０を制御するものである。
制御システム１００は、半導体製造装置の制御を行うための制御サーバーである装置制御サーバー２０を含む。また、制御システム１００は、装置制御サーバー２０がハードウエアの故障等の障害により正常に動作しなくなった場合に、自動的に処理を引き継ぐための、同じく制御サーバーである待機系装置制御サーバー２１を含む。
なお、装置制御サーバー２０が正常動作できなくなったとき、待機系装置制御サーバー２１に切り替わるが、待機系装置制御サーバー２１は装置制御サーバー２０のＩＰアドレスを引き継いで稼動する（待機系装置制御サーバー２１が本来有するＩＰアドレスを装置制御サーバー２０のＩＰアドレスに置き換えて稼動する）。よって通信アダプタ１側から見ると、稼動しているのが装置制御サーバー２０であっても、待機系装置制御サーバー２１であっても処理を変更する必要がない。今後の説明で、装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１のことを総称し、制御サーバー４０と呼ぶことにする。
【００１５】
この装置制御サーバー２０、待機系装置制御サーバー２１、および通信アダプタ１は、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）である上位ネットワーク２５を介して接続され、ＴＣＰ／ＩＰに従って互いに通信可能である。
また、通信アダプタ１および半導体製造装置３０は、ＲＳ２３２Ｃケーブルである下位ネットワーク３５を介して接続され、半導体製造装置の標準通信手順であるＳＥＣＳ手順に従って互いに通信可能である。
【００１６】
なお、図１では、簡明のため、通信アダプタ１、装置制御サーバー２０、待機系装置制御サーバー２１、および半導体製造装置３０が一台ずつ示されているが、実際には、一組の装置制御サーバー２０および待機系装置制御サーバー２１に対して数十台以上の通信アダプタ１が接続され、また、通信アダプタ１は、複数、たとえば８個あるいは１６個のＲＳ２３２Ｃポートを有し、一台の通信アダプタ１に対して数台から十数台（ＲＳ２３２Ｃポートで対応できる台数分）の半導体製造装置３０が接続される。
【００１７】
制御サーバー４０と、半導体製造装置３０との間のデータ交換は、伝文と呼ばれる単位で行われる。
図２に伝文の例を示す。伝文はコマンドとも呼ばれ、その長さは２５６バイト以内である。１行目が装置制御サーバー２０の送受信時に付加される伝文送受信のタイムスタンプと、ＳＥＣＳ伝文のヘッダー部であり、２行目以降がリスト形式で表記した本文である。図２の上方部が半導体製造装置３０からの送信伝文の一例であり、図２の下方部が半導体製造装置３０への受信確認伝文の一例である。１行目のタイムスタンプ部分の途中に「ＲＤＶ１０１」という文字列が含まれるが、このうち「Ｒ」は、この伝文は制御サーバー４０が受信したもの、すなわち、半導体製造装置３０が送信したものであることを示し、「ＤＶ１０１」は、この伝文を送信した特定の半導体製造装置３０を識別するための識別情報である。また、同じく１行目ヘッダー部分に「Ｓ６Ｆ１１」という文字列が含まれるが、これはこの伝文の種類（またはストリームあるいはファンクション）を示すものである。
また図２の下方部に記した、制御サーバー４０から半導体製造装置３０へ返信する受信確認伝文のタイムスタンプ部分の、「ＳＤＶ１０１」という文字列は、半導体製造装置３０のＤＶ１０１装置へ制御サーバー４０が受信確認伝文を送信（「Ｓ」）したことを意味している。また、ヘッダー部分の「Ｓ６Ｆ１２」というストリーム、ファンクションのコマンドは、「Ｓ６Ｆ１１」コマンドの受信確認を示すコマンドである。  また、制御サーバー４０で伝文を送受信するときに付加されるタイムスタンプには、生産ライン名、装置制御サーバー名称、受信時間等の情報が含まれる。
【００１８】
半導体製造装置３０から送信された伝文が、制御サーバー４０によって受信されると、制御サーバー４０は、伝文を受信したということを示す受信確認応答（ＡＣＫと、受信確認伝文（図２の下方部に記載））を、その伝文の送信元である半導体製造装置３０に宛てて、通信アダプタ１に送信するように構成されている。なおＡＣＫは、伝文によるデータ交換と比較して、それより下位のレイヤで送信されるが、今後、受信確認応答とは、ＡＣＫと受信確認伝文とを含む応答を意味する。
【００１９】
通信アダプタ１は、制御サーバー４０と、半導体製造装置３０との間における、このような伝文およびＡＣＫの送受信の仲介処理を行う。この仲介処理には、ＴＣＰ／ＩＰとＳＥＣＳとの間のプロトコル変換処理が含まれる。
【００２０】
通信アダプタ１は、上位通信処理部１０と、伝文蓄積処理部１１と、伝文再送処理部１２と、蓄積部１３とを備える。
上位通信処理部１０は、制御サーバー４０（装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１）と通信を行う機能を有する。
【００２１】
蓄積部１３は、情報を格納するものであり、これによって伝文を蓄積することができる。
伝文蓄積処理部１１は、半導体製造装置３０から送信された伝文を蓄積部１３に蓄積する機能と、半導体製造装置３０に受信確認応答（ＡＣＫと、受信確認伝文）を送信する機能とを有する。なお、後述するように、伝文蓄積処理部１１は、通信アダプタ１が装置制御サーバー２０および待機系装置制御サーバー２１のいずれとも通信できない状態において主に作動するものである。
【００２２】
伝文再送処理部１２は、蓄積部１３に蓄積されていた伝文を制御サーバー４０に送信する機能と、蓄積されていた伝文に対する受信確認応答を廃棄する機能と、正常動作時に、制御サーバー４０から送信された受信確認応答を半導体製造装置３０に送信する（仲介する）機能とを有する。なお、後述するように、伝文再送処理部１２は、通信アダプタ１が装置制御サーバー２０および待機系装置制御サーバー２１のいずれとも通信できない状態から回復し、いずれかと通信可能となった状態において、主に作動するものである。
【００２３】
さらに、通信アダプタ１は、図示しない演算手段および記憶手段を備える。上位通信処理部１０、伝文蓄積処理部１１、および伝文再送処理部１２は、この演算手段が記憶手段に記憶されるプログラムを実行することによって該当する機能を実現するものであってもよい。また、蓄積部１３は記憶手段に含まれるものであってもよい。
【００２４】
以上のように構成される通信アダプタ１における処理の流れを、図３〜４に示すフローチャートを用いて説明する。
図３は、通信アダプタ１が半導体製造装置３０から伝文を受信した場合に実行される処理の流れを示すフローチャートである。
まず、通信アダプタ１の上位通信処理部１０が、半導体製造装置３０からの伝文を受信する（ステップＳ１）。
【００２５】
次に、上位通信処理部１０は、上位通信、すなわち装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１のいずれかとの通信が可能かどうかを判定する（ステップＳ２）。この判定は、たとえば、装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１との通信に関する通信エラーが発生しているかどうかに基づいて行われる。また、この判定は、装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１とのセッション切れが検知されているかどうかに基づいて行われてもよい。さらに、従来の通信アダプタにおいて採用される、周知の技術を用いて行われてもよい。
【００２６】
ステップＳ２において上位通信が不可能である場合、すなわち装置制御サーバー２０および待機系装置制御サーバー２１のいずれとも通信ができない場合には、上位通信処理部１０は、受信した伝文を伝文蓄積処理部１１に渡し、伝文蓄積処理部１１は、受信した伝文についての受信確認応答とを作成し、伝文の送信元である半導体製造装置３０に送信する（ステップＳ３）。受信確認応答に含まれる受信確認伝文の作成処理については、後述する。この場合、装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１からは受信確認応答が送信されていないにもかかわらず、伝文蓄積処理部１１が受信確認応答を代行返信することによって、半導体製造装置３０に受信確認応答が伝達されることになる。
【００２７】
その後、伝文蓄積処理部１１は、この伝文を蓄積部１３に蓄積する（ステップＳ４）。すなわち、この伝文を蓄積伝文とする。なお、蓄積部１３の記憶容量は、たとえば蓄積伝文の最大量に応じて設計されるものである。蓄積伝文の最大量は、制御サーバーの切り替え時間等を考慮して適宜決定される。
その後、上位通信処理部１０は、半導体製造装置３０からの次の伝文の受信を待つ、受信待ちの状態となる（ステップＳ５）。ここで次の伝文が受信されると、処理は上記のステップＳ１に戻る。
【００２８】
ステップＳ２において上位通信が可能である場合、上位通信処理部１０は、蓄積部１３を参照して、蓄積伝文が存在するかどうかを判定する（ステップＳ６）。
蓄積伝文が存在する場合、伝文再送処理部１２は、蓄積伝文のうち最も古いものを、制御サーバー４０に送信するとともに蓄積部１３から消去し（ステップＳ７）、制御サーバー４０から返信された受信確認応答を廃棄し（ステップＳ９）、その後処理は上記ステップＳ６に戻る。
【００２９】
ステップＳ６において蓄積伝文が存在しない場合、上位通信処理部１０は、上位通信を行い（ステップＳ８）、その後制御サーバー４０からの受信確認応答を半導体製造装置３０へ仲介する（ステップＳ１０）。すなわち、上記ステップＳ１において受信した伝文を、制御サーバー４０に送信し、その受信結果である受信確認応答を半導体製造装置３０へ返信する。その後、処理は上記ステップＳ５に進む。
図３のステップＳ３に示した、受信確認伝文作成処理について、説明する。図２の上方部が半導体製造装置３０からの送信伝文の一例であり、下方部が半導体製造装置３０への受信確認伝文の一例である。伝文蓄積処理部１１は、上位通信が不可能であるとき、上位通信処理部１０から受信した伝文を渡されるが、蓄積部１３に蓄積する前にその受信した伝文と対になる受信確認伝文を作成する。
図２に示した一例にて説明する。ヘッダー部の中で注目する個所は、コマンドのＳ６Ｆ１２であり、また受信確認伝文の本文は、正常受信を示す情報が設定される。受信確認伝文作成処理は、伝文蓄積処理部１１の処理として実行される。
(1)  送信伝文のヘッダーを図示しない記憶手段に一時的に記憶させる。
(2)  受信確認伝文のヘッダーを記憶する一時的な領域を記憶手段に確保する。
(3)  (1)からコマンド名とコマンド名記憶領域を取得し、ＳｎＦｍをＳｎＦｍ+１に置換して、(2)領域の(1)のコマンド名記憶領域と同一領域に、ＳｎＦｍ+１を記憶させる。図２の例では、Ｓ６Ｆ１１がＳ６Ｆ１２に置換される。
(4)  (2)領域に記憶された伝文を受信確認伝文のヘッダーとする。
(5)  正常受信を示す情報を受信確認伝文の本文とする。その後伝文蓄積処理部１１は、受信確認伝文を送信する。
以上の処理で、伝文蓄積処理部１１は送信される、受信確認伝文を作成する。
【００３０】
図４は、通信アダプタ１が制御サーバー４０から再接続の通知を受信した場合に実行される処理の流れを示すフローチャートである。
まず、受信待ちの状態、すなわち図３のステップＳ５の状態にある通信アダプタ１の上位通信処理部１０が、制御サーバー４０から再接続の通知を受信する（ステップＳ１１）。
この再接続の通知は、装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１が、通信アダプタ１と通信不可能な状態から通信可能な状態に移行した際に、所定の手順および形式に従って通信アダプタ１に送信するデータである。この再接続の通知は、従来の制御サーバーが周知技術に基づいて送信するデータと同様のものであってもよい。なお、ここで、上位通信処理部１０がこの通知を受信することによって、装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１と、通信アダプタ１との間の通信が回復し、可能となったことを認識する。この認識は、ステップＳ２において上位通信が可能であると判定された際と同様にしてなされる。
【００３１】
次に、上位通信処理部１０は、図３のステップＳ６と同様に、蓄積部１３を参照して、蓄積伝文が存在するかどうかを判定する（ステップＳ１２）。
蓄積伝文が存在する場合、伝文再送処理部１２は、図３のステップＳ７と同様に、蓄積伝文のうち最も古いものを、制御サーバー４０に送信するとともに蓄積部１３から消去し（ステップＳ１３）、蓄積伝文に対して返信された受信確認応答を廃棄する（ステップＳ１４）。その後処理は上記ステップＳ１２に戻る。
ステップＳ１２において蓄積伝文が存在しない場合、処理は図３のステップＳ５に進む。
ステップＳ９と、ステップＳ１４で、蓄積伝文に対する受信確認応答を廃棄しているが、これはステップＳ３の処理で、伝文蓄積処理部１１が受信確認応答（擬似的なＡＣＫと受信確認伝文）を既に半導体製造装置３０に返却しているため、再度の返信が不要となるからである。また、この廃棄は、通信処理を完結させることを目的としている。また通信アダプタ１からの伝文の送信は、ポート毎にシーケンシャル（順次）処理され、送信後は、制御サーバー４０から受信確認応答が返信されるまで処理待ち状態になり、次の蓄積伝文を送信しない。それにより、蓄積伝文に対する受信確認応答を判別でき、判別した受信確認応答を廃棄することになる。
【００３２】
なお、図３〜図４に示す処理の中で、ステップＳ６、Ｓ１２に示した蓄積伝文の送信処理は優先処理され、蓄積伝文が存在するときは、半導体製造装置３０からの新規の伝文は送信されないように、処理される。
【００３３】
以上のような処理の流れによる、通信アダプタ１の動作の具体例を以下に説明する。
図５は、通信アダプタ１の動作の具体例を説明する図である。
図５の（Ａ）は、通常時の状態を示す。通常時においては、装置制御サーバー２０が正常に稼動しており、通信アダプタ１において上位通信が可能であり、蓄積伝文は存在しない。
この状態では、ステップＳ１（図３）で半導体製造装置３０から上位通信処理部１０が受信した伝文は、ステップＳ８（図３）で装置制御サーバー２０に送信される。これに対応して装置制御サーバー２０から上位通信処理部１０が受信する受信確認応答は、ステップＳ１０（図３）で伝文再送処理部１２が半導体製造装置３０に送信する。なお、待機系装置制御サーバー２１は待機中であるため通信アダプタ１と伝文のやりとりは行わない。
なお、（Ａ）に示すこのような動作は従来の通信アダプタと同様である。
【００３４】
図５の（Ｂ）は、（Ａ）において、通信アダプタ１の上位通信が不可能となった状態を示す。ここでは、装置制御サーバー２０は障害のため停止し、待機系装置制御サーバー２１はまだ切り替え処理の途中であり、通信可能となっていないものとする。
この状態では、ステップＳ１（図３）で半導体製造装置３０から上位通信処理部１０が伝文を受信すると、装置制御サーバー２０からの受信確認応答を待たずにステップＳ３（図３）で伝文蓄積処理部１１が受信確認応答を代行する。受信した伝文はステップＳ４（図３）で蓄積される。
【００３５】
図５の（Ｃ）は、（Ｂ）において、通信アダプタ１の上位通信が回復した状態を示す。ここでは、待機系装置制御サーバー２１の切り替え処理が完了して通信可能となり、再接続の通知を出したものとする。
蓄積伝文が存在するので、伝文再送処理部１２は、蓄積伝文の送信を最優先する。すなわち、ステップＳ１３（図４）を繰り返し実行して蓄積伝文をすべて待機系装置制御サーバー２１に送信する。これに対応して待機系装置制御サーバー２１から上位通信処理部１０が受信する受信確認応答は、ステップＳ１４（図４）で伝文再送処理部１２が廃棄する。
こうして蓄積伝文がすべて送信された後で、通信アダプタ１は半導体製造装置３０からの伝文の受信待ちとなる。
なお、ここで廃棄される受信確認応答については、同一の伝文に対応する受信確認応答が図６（Ｂ）の状態において伝文蓄積処理部１１によって代行返信されているので、半導体製造装置３０の側で伝文およびＡＣＫに関連する不整合は発生しない。
【００３６】
上記の図５の（Ｃ）は、再接続の通知があった場合の例であるが、再接続の通知がないまま上位通信が回復し、ステップＳ２（図３）で回復が判明した場合には、蓄積伝文の送信はステップＳ７（図３）で行われることになる。
【００３７】
以上のように、本発明の実施の形態１に係る通信アダプタ１では、制御サーバーとの通信が不可能な状態において半導体製造装置３０からの伝文を受信した場合、伝文蓄積処理部１１がその伝文を蓄積部１３に蓄積し、制御サーバーとの通信が回復して可能となると、伝文再送処理部１２が蓄積伝文を制御サーバーに送信する。
したがって、通信アダプタ１は、従来では廃棄されていた伝文を、廃棄せずに制御サーバーに送信することができ、制御サーバーの障害およびその復旧に関連して現場製造ライン等で必要となる時間と労力を低減することができる。
【００３８】
また、従来のＧＥＭ手順のように、半導体製造装置に伝文の蓄積保持機能を持たせる方法では、復旧時の作業量の問題は生じないが、半導体製造装置をそのような手順に対応させるためにコストが増加する。
これに対し、実施の形態１に係る通信アダプタ１では、送信できない伝文の蓄積を通信アダプタ１において行うので、半導体製造装置３０が同様の機能を有する必要がない。これによって、ＧＥＭ手順に対応するために要求されるような、半導体製造装置３０のコストの上昇を回避することができる。
なお、一台の通信アダプタ１に対して多数の半導体製造装置３０が接続される（たとえば、通信アダプタ１は８つのＲＳ２３２Ｃポートを有する）ため、伝文を蓄積する機能は数の少ない通信アダプタ１に実装するほうが総合的に低コストとなる。さらに、一台あたりの価格も通信アダプタ１のほうが半導体製造装置３０よりも安価であるため、この機能は通信アダプタ１に実装するほうが総合的に低コストとなる。
【００３９】
また、サーバー側の機能として伝文の受信を保証するような技術、たとえば待機系のサーバーが通常時用のサーバーの障害を検知して能動的に引継ぎを行うような技術では、その実装に追加の作業およびコストが必要となる。これは、待機系を単純にコールドスタンドバイとはできず、常に２つのサーバーで同一のコマンドを受信させ、待機系のサーバーは、半導体製造装置に対する制御はしないようにする等、大掛かりな仕組みを構築することが必要となるからである。
これに対し、実施の形態１に係る通信アダプタ１では、送信されるまで時間の制限なく蓄積伝文を蓄積部１３に蓄積するので、制御サーバー側の切替を瞬間的に行う必要がない。すなわち、待機系装置制御サーバー２１はいわゆるコールドスタンバイの状態で待機していればよく、装置制御サーバー２０と待機系装置制御サーバー２１とを並列稼動させつつ整合性を維持するための仕組みが不要になる。このため作業量およびコストの低減が可能となる。
【００４０】
上述の実施の形態１において、制御サーバーは装置制御サーバー２０および待機系装置制御サーバー２１の２台であるが、これは単一の制御サーバーであってもよい。その場合、伝文の蓄積は、その単一の制御サーバーとの通信が不可能となってから再び可能となるまで行われればよい。また、制御サーバーは３台以上であってもよく、その場合は待機系装置制御サーバーが複数準備されてもよい。
【００４１】
実施の形態２．
本実施の形態において、実施の形態１と異なるのは、伝文蓄積処理部１１は、半導体製造装置３０から送信された伝文を蓄積部１３に蓄積するが、半導体製造装置３０に対して、受信確認応答（ＡＣＫと、受信確認伝文）を送信する機能は有していない。また伝文再送処理部１２は、蓄積部１３に蓄積されていた伝文を制御サーバー４０に送信するが、蓄積伝文に対する受信確認応答を廃棄せずに、半導体製造装置３０に仲介する点が異なる。
【００４２】
実施の形態１では、制御サーバー４０と半導体製造装置３０との間の通信処理を完結させることにより、データの不整合を生じさせない目的があった。本実施の形態では、伝文蓄積処理部１１は伝文を蓄積するとき、受信確認応答を作成、送信せず、また伝文再送処理部１２は不要な受信確認応答を削除せずに、仲介する。それにより、通信アダプタ１側の機能が複雑にならずに済む。また、不要な受信確認応答（すなわち、蓄積伝文に対して返信される、遅延した受信確認応答）については、半導体製造装置３０側で廃棄し、また伝文に対応する受信確認応答が返信されなかったとしても、処理を続行する（次の伝文を送信する）ことで、整合性を取る。
【００４３】
図６は、本実施の形態において、通信アダプタ１が半導体製造装置３０から伝文を受信した場合に実行される処理の流れを示すフローチャートである。
まず、通信アダプタ１の上位通信処理部１０が、半導体製造装置３０からの伝文を受信する（ステップＳ２１）。
【００４４】
次に、上位通信処理部１０は、上位通信、すなわち装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１のいずれかとの通信が可能かどうかを判定する（ステップＳ２２）。この判定は、たとえば、装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１との通信に関する通信エラーが発生しているかどうかに基づいて行われる。また、この判定は、装置制御サーバー２０または待機系装置制御サーバー２１とのセッション切れが検知されているかどうかに基づいて行われてもよい。さらに、従来の通信アダプタにおいて採用される、周知の技術を用いて行われてもよい。
【００４５】
ステップＳ２２において上位通信が不可能である場合、すなわち装置制御サーバー２０および待機系装置制御サーバー２１のいずれとも通信ができない場合には、上位通信処理部１０は、受信した伝文を伝文蓄積処理部１１に渡し、伝文蓄積処理部１１は、この伝文を蓄積部１３に蓄積する（ステップＳ２３）。すなわち、この伝文を蓄積伝文とする。
その後、上位通信処理部１０は、半導体製造装置３０からの次の伝文の受信を待つ、受信待ちの状態となる（ステップＳ２４）。ここで次の伝文が受信されると、処理は上記のステップＳ２１に戻る。
【００４６】
ステップＳ２２において上位通信が可能である場合、上位通信処理部１０は、蓄積部１３を参照して、蓄積伝文が存在するかどうかを判定する（ステップＳ２５）。
蓄積伝文が存在する場合、伝文再送処理部１２は、蓄積伝文のうち最も古いものを、制御サーバー４０に送信するとともに蓄積部１３から消去し（ステップＳ２６）、その後処理は上記ステップＳ２５に戻る。
ステップＳ２５において蓄積伝文が存在しない場合、上位通信処理部１０は、上位通信を行う（ステップＳ２７）。すなわち、上記ステップＳ２１において受信した伝文を、制御サーバー４０に送信する。その後、処理は上記ステップＳ２４に進む。
【００４７】
図７は、通信アダプタ１が制御サーバー４０から再接続の通知を受信した場合に実行される処理の流れを示すフローチャートである。
まず、受信待ちの状態、すなわち図６のステップＳ２４の状態にある通信アダプタ１の上位通信処理部１０が、制御サーバー４０から再接続の通知を受信する（ステップＳ３１）。
この再接続の通知の内容およびこれに対する通信アダプタ１の処理は、実施の形態１におけるものと同様であるので、説明を省略する。
【００４８】
次に、上位通信処理部１０は、図６のステップＳ２５と同様に、蓄積部１３を参照して、蓄積伝文が存在するかどうかを判定する（ステップＳ３２）。
蓄積伝文が存在する場合、伝文再送処理部１２は、図６のステップＳ２６と同様に、蓄積伝文のうち最も古いものを、制御サーバー４０に送信するとともに蓄積部１３から消去し（ステップＳ３３）、その後処理は上記ステップＳ３２に戻る。
【００４９】
ステップＳ３２において蓄積伝文が存在しない場合、処理は図６のステップＳ２４に進む。ステップＳ２６及びＳ３３の処理の後、制御サーバー４０から受信確認応答が送信されるが、本実施の形態では応答に関して何らかの判別をせずに、該当の半導体製造装置３０に対して、データの仲介を行なう。
このように本実施の形態では、半導体製造装置３０側の処理に委ね、具体的には半導体製造装置３０側で不要なＡＣＫと受信確認伝文を廃棄し、また伝文に対応するＡＣＫと受信確認伝文が返信されなかったとしても、処理を続行する（次の伝文を送信する）ことで、整合性が取るようにしている。これにより、通信アダプタ１側の機能が複雑にならないという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に係る通信アダプタを含む構成を示す図である。
【図２】図１の通信アダプタが扱う伝文の例を示す図である。
【図３】実施の形態１に係る通信アダプタが伝文を受信した場合に実行される処理の流れを示すフローチャートである。
【図４】実施の形態１に係る通信アダプタが再接続の通知を受信した場合に実行される処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】実施の形態１に係る通信アダプタの動作の具体例を説明する図である。
【図６】実施の形態２に係る通信アダプタが伝文を受信した場合に実行される処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】実施の形態２に係る通信アダプタが再接続の通知を受信した場合に実行される処理の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５１】
１  通信アダプタ、１０  上位通信処理部、１１  伝文蓄積処理部、１２  伝文再送処理部、１３  蓄積部、２０  装置制御サーバー（制御サーバー）、２１  待機系装置制御サーバー（制御サーバー）、３０  半導体製造装置（制御対象装置）、４０  制御サーバー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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