(57)【要約】【課題】より容易に衝撃の緩衝構造を形成すること。【解決手段】分子ポンプのフランジに、衝撃のエネルギーを消費させるための衝撃緩衝構造を設ける。嵌入孔をフランジに設け、この嵌入孔に、独立した小さな部品で構成された緩衝部材を嵌め込み固定する。緩衝部材の内部にフランジと真空容器とを固定するためのボルトを挿通するためのボルト孔が設けられている。緩衝部材には、空洞部を形成することによって薄肉部を設ける。分子ポンプに、ロータ部の破壊などによって、ロータ部の回転方向の衝撃が発生した場合、フランジが分子ポンプと共にロータ部の回転方向に滑る。すると、フランジと真空容器のフランジとを固定しているボルトが緩衝部材に当たり塑性変形する。このように、緩衝部材が塑性変形することにより、分子ポンプを回転させるエネルギーが費やされ、分子ポンプで発生した衝撃を緩衝することができる。【選択図】図７
2007278267.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形状のケーシングと、
前記ケーシング内に形成されたステータ部と、
前記ステータ部内に配設されたシャフトと、
前記シャフトを前記ステータ部に対して回転自在に軸支する軸受と、
前記シャフトに取り付けられ、前記シャフトと一体になって回転するロータと、
前記シャフトを駆動して回転させるモータと、
緩衝部材と、
前記ケーシングの端部に設けられ、前記ケーシングと被固定部材とを固定するためのボルトを貫入するボルト孔、及び、前記ボルト孔に隣接して設けられた、前記緩衝部材が嵌め込まれる嵌入孔を有するフランジ部と、
を具備したことを特徴とする分子ポンプ。
【請求項２】
円筒形状のケーシングと、
前記ケーシング内に形成されたステータ部と、
前記ステータ部内に配設されたシャフトと、
前記シャフトを前記ステータ部に対して回転自在に軸支する軸受と、
前記シャフトに取り付けられ、前記シャフトと一体になって回転するロータと、
前記シャフトを駆動して回転させるモータと、
緩衝部材と、
前記ケーシングの端部に設けられ、前記ケーシングと被固定部材とを固定するためのボルトを貫入するボルト貫入部と、前記緩衝部材が嵌め込まれる嵌入部とを有するフランジ部と、
を具備したことを特徴とする分子ポンプ。
【請求項３】
前記嵌入孔は、前記ボルトに対して前記ロータの回転方向の反対側に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の分子ポンプ。
【請求項４】
前記嵌入孔は、円周方向に長く延びる形状であることを特徴とする請求項１、請求項２または請求項３記載の分子ポンプ。
【請求項５】
前記緩衝部材は、前記フランジ部の厚み方向の長さより小さい厚みを有することを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載の分子ポンプ。
【請求項６】
前記緩衝部材は、前記フランジ部の厚み方向の長さより大きい厚みを有し、
前記フランジ部と被固定部材との間に、スペーサ部材が設けられていることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載の分子ポンプ。
【請求項７】
前記緩衝部材の脱落を防止する脱落防止構造を有することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一の請求項に記載の分子ポンプ。
【請求項８】
前記脱落防止構造は、前記ボルトが貫入された座金で構成されていることを特徴とする請求項７記載の分子ポンプ。
【請求項９】
前記脱落防止構造は、前記フランジ部に設けられた突出部で構成されていることを特徴とする請求項７記載の分子ポンプ。
【請求項１０】
前記脱落防止構造は、内側面の少なくとも一部が傾斜した前記嵌入孔で構成されていることを特徴とする請求項７記載の分子ポンプ。
【請求項１１】
前記緩衝部材は、薄肉部を有することを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか一の請求項に記載の分子ポンプ。
【請求項１２】
前記緩衝部材は、ゲル材により構成されていることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか一の請求項に記載の分子ポンプ。
【請求項１３】
前記フランジ部と被固定部材との間に設けられた仲介フランジを有し、
前記フランジ部は、前記仲介フランジを介して被固定部材に固定されていることを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか一の請求項に記載の分子ポンプ。
【請求項１４】
前記ボルト貫入部と、前記嵌入部とが、前記フランジ部に形成された同一の空所内に配置されていることを特徴とする請求項２記載の分子ポンプ。
【請求項１５】
前記フランジ部に形成された空所は、前記ボルト貫入部に対して前記ロータの回転方向の反対側に延びている形状であることを特徴とする請求項１４記載の分子ポンプ。
【請求項１６】
分子ポンプのケーシングの端部を被固定部材に接続するためのフランジであって、
緩衝部材と、
該フランジと前記被固定部材とを固定するためのボルトを貫入するボルト孔と、
前記ボルト孔に隣接して設けられた、前記緩衝部材が嵌め込まれる嵌入孔と、
を具備したことを特徴とするフランジ。
【請求項１７】
分子ポンプのケーシングの端部を被固定部材に接続するためのフランジであって、
緩衝部材と、
該フランジと前記被固定部材とを固定するためのボルトを貫入するボルト貫入部と、
前記緩衝部材が嵌め込まれる嵌入部と、
を具備したことを特徴とするフランジ。
【請求項１８】
前記ボルト貫入部と、前記嵌入部とが、前記フランジに形成された同一の空所内に配置されていることを特徴とする請求項１７記載のフランジ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分子ポンプ、及びフランジに関し、例えば、真空容器の排気に用いるターボ分子ポンプとそのフランジに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプやねじ溝式ポンプなどの分子ポンプ（真空ポンプ）は、例えば、半導体製造装置の排気や、電子顕微鏡などの高真空を要する真空容器に多用されている。
これら分子ポンプの吸気口には、フランジが設けられており、真空容器の排気口にボルトなどで固定できるようになっている。このフランジと真空容器の排気口の間にはＯリングやガスケットなどが挟んであり、分子ポンプと真空容器との間の気密性が保たれるようになっている。
【０００３】
分子ポンプの内部には、回転自在に軸支され、モータ部により高速回転が可能なロータ部と、分子ポンプのケーシングに固定されたステータ部が設けられている。
分子ポンプは、ロータ部が高速回転することにより、ロータ部とステータ部が排気作用を発揮する。そして、この排気作用により、分子ポンプの吸気口より気体が吸引され、排気口から排気される。
通常、分子ポンプは、分子流領域（真空度が高く分子同士が衝突する頻度が小さい領域）にて気体を排気する。分子流領域で排気能力を発揮するためには、ロータ部は、例えば毎分３万回転程度の高速回転を行う必要がある。
【０００４】
ところで、分子ポンプの運転中に何らかのトラブルが発生し、ロータ部がステータ部やその他の分子ポンプ内の固定した部材に衝突した場合、ロータ部の角運動量がステータ部や固定部材に伝達し、分子ポンプ全体をロータ部の回転方向に回転させる大きなトルクが瞬時に発生する。このトルクは、フランジを通じて真空容器にも大きな応力を及ぼす。
このようなトルクによる衝撃を緩和するための技術が下記の特許文献に提案されている。
【特許文献１】特開２００４−１６２６９６公報
【０００５】
特許文献１には、分子ポンプの吸気口端に配設されたフランジに、ロータの回転トルクによる衝撃を緩衝するための緩衝部を設ける技術が提案されている。
詳しくは、フランジにボルト孔に隣接して空洞部を設け、ボルト孔と空洞部との間に薄肉部を形成する。分子ポンプに、ロータ部の破壊などによって、ロータ部の回転方向の衝撃が発生した場合、分子ポンプのフランジと真空装置とを固定しているボルトがこの薄肉部に当たり塑性変形する。このように、薄肉部を塑性変形させることにより、分子ポンプで発生した衝撃を緩和することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した特許文献１に記載の分子ポンプでは、ロータの破壊時などに発生する回転トルクの衝撃を吸収する緩衝部が、フランジに直接加工を施すことによって形成されている。
フランジと分子ポンプのケーシングは、一体形成されているため、ケーシングのサイズが大型になるほど、緩衝部を加工する際の作業性が低下してしまう。
そこで本発明は、より容易に衝撃の緩衝構造を設けることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明では、円筒形状のケーシングと、前記ケーシング内に形成されたステータ部と、前記ステータ部内に配設されたシャフトと、前記シャフトを前記ステータ部に対して回転自在に軸支する軸受と、前記シャフトに取り付けられ、前記シャフトと一体になって回転するロータと、前記シャフトを駆動して回転させるモータと、緩衝部材と、前記ケーシングの端部に設けられ、前記ケーシングと被固定部材とを固定するためのボルトを貫入するボルト孔、及び、前記ボルト孔に隣接して設けられた、前記緩衝部材が嵌め込まれる嵌入孔を有するフランジ部と、を具備することにより前記目的を達成する。
請求項１記載の発明では、前記ボルト孔は、例えば、前記嵌入孔と連通して設けられていることが好ましい。
請求項１記載の発明では、前記嵌入孔は、フランジ部の厚み方向に貫通していることが好ましい。
請求項１記載の発明では、前記被固定部材は、例えば、当該分子ポンプにより排気処理が行われる真空容器であることが好ましい。
請求項２記載の発明では、円筒形状のケーシングと、前記ケーシング内に形成されたステータ部と、前記ステータ部内に配設されたシャフトと、前記シャフトを前記ステータ部に対して回転自在に軸支する軸受と、前記シャフトに取り付けられ、前記シャフトと一体になって回転するロータと、前記シャフトを駆動して回転させるモータと、緩衝部材と、前記ケーシングの端部に設けられ、前記ケーシングと被固定部材とを固定するためのボルトを貫入するボルト貫入部と、前記緩衝部材が嵌め込まれる嵌入部とを有するフランジ部と、を具備したことにより前記目的を達成する。
請求項２記載の発明では、前記嵌入部は、フランジ部の厚み方向に貫通していることが好ましい。
請求項２記載の発明では、前記被固定部材は、例えば、当該分子ポンプにより排気処理が行われる真空容器であることが好ましい。
請求項３記載の発明では、請求項１または請求項２記載の分子ポンプにおいて、前記嵌入孔は、前記ボルトに対して前記ロータの回転方向の反対側に設けられていることを特徴とする。
請求項４記載の発明では、請求項１、請求項２または請求項３記載の分子ポンプにおいて、前記嵌入孔は、円周方向に長く延びる形状であることを特徴とする。
請求項５記載の発明では、請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載の分子ポンプにおいて、前記緩衝部材は、前記フランジ部の厚み方向の長さより小さい厚みを有することを特徴とする。
請求項６記載の発明では、請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載の分子ポンプにおいて、前記緩衝部材は、前記フランジ部の厚み方向の長さより大きい厚みを有し、前記フランジ部と被固定部材との間に、スペーサ部材が設けられていることを特徴とする。
請求項７記載の発明では、請求項１から請求項６のいずれか一の請求項に記載の分子ポンプにおいて、前記緩衝部材の脱落を防止する脱落防止構造を有することを特徴とする。
請求項８記載の発明では、請求項７記載の分子ポンプにおいて、前記脱落防止構造は、前記ボルトが貫入された座金で構成されていることを特徴とする。
請求項８記載の発明では、前記座金は、例えば、前記嵌入孔における、前記フランジ部の半径方向の長さより大きい直径を有することが好ましい。
請求項９記載の発明では、請求項７記載の分子ポンプにおいて、前記脱落防止構造は、前記フランジ部に設けられた突出部で構成されていることを特徴とする。
請求項９記載の発明では、前記突出部は、例えば、前記嵌入孔の開口端において、前記嵌入孔の内側面から内側方向に延びるように形成されていることが好ましい。
請求項１０記載の発明では、請求項７記載の分子ポンプにおいて、前記脱落防止構造は、内側面の少なくとも一部が傾斜した前記嵌入孔で構成されていることを特徴とする。
請求項１０記載の発明では、前記脱落防止構造は、例えば、内側面がテーパ状に加工された前記嵌入孔で構成されていることが好ましい。
請求項１０記載の発明において、前記嵌入孔は、例えば、被固定部材との対向面側の開口端の面積が反対側の開口端の面積より大きく形成されていることが好ましい。
請求項１１記載の発明では、請求項１から請求項１０のいずれか一の請求項に記載の分子ポンプにおいて、前記緩衝部材は、薄肉部を有することを特徴とする。
請求項１１記載の発明では、前記薄肉部は、例えば、前記緩衝部材に複数の貫通孔を形成することにより形成されていることが好ましい。
請求項１２記載の発明では、請求項１から請求項１１のいずれか一の請求項に記載の分子ポンプにおいて、前記緩衝部材は、ゲル材により構成されていることを特徴とする。
請求項１３記載の発明では、請求項１から請求項１２のいずれか一の請求項に記載の分子ポンプにおいて、前記フランジ部と被固定部材との間に設けられた仲介フランジを有し、前記フランジ部は、前記仲介フランジを介して被固定部材に固定されていることを特徴とする。
請求項１３記載の発明では、前記被固定部材は、例えば、前記仲介フランジに直接ボルトによって固定され、前記仲介フランジは、前記フランジ部にボルトによって固定されていることが好ましい。
請求項１４記載の発明では、請求項２記載の分子ポンプにおいて、前記ボルト貫入部と、前記嵌入部とが、前記フランジ部に形成された同一の空所内に配置されていることを特徴とする。
請求項１５記載の発明では、請求項１４記載の分子ポンプにおいて、前記フランジ部に形成された空所は、前記ボルト貫入部に対して前記ロータの回転方向の反対側に延びている形状であることを特徴とする。
請求項１６記載の発明では、分子ポンプのケーシングの端部を被固定部材に接続するためのフランジであって、緩衝部材と、該フランジ部と被固定部材とを固定するためのボルトを貫入するボルト孔と、前記ボルト孔に隣接して設けられた、前記緩衝部材が嵌め込まれる嵌入孔と、を具備することにより前記目的を達成する。
請求項１７記載の発明では、分子ポンプのケーシングの端部を被固定部材に接続するためのフランジであって、緩衝部材と、該フランジと前記被固定部材とを固定するためのボルトを貫入するボルト貫入部と、前記緩衝部材が嵌め込まれる嵌入部と、を具備することにより前記目的を達成する。
請求項１８記載の発明では、請求項１７記載のフランジにおいて、前記ボルト貫入部と、前記嵌入部とが、前記フランジに形成された同一の空所内に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、緩衝部材をフランジ部の嵌入孔に設けることにより、より容易に衝撃の緩衝構造を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図１〜図１３を参照して詳細に説明する。
（１）実施形態の概要
本実施の形態では、分子ポンプ１のフランジ６１に、衝撃のエネルギーを消費させるための衝撃緩衝構造を設ける。
例えば、図３に示すように、嵌入孔４０をフランジ６１に設け、この嵌入孔４０に別部材で構成された緩衝部材５０を嵌め込み固定する。
緩衝部材５０の内部にフランジ６１と真空容器２０５とを固定するためのボルト６５を挿通するためのボルト孔１４が設けられている。
緩衝部材５０は、ボルト６５が衝突した際に塑性変形可能な部材で構成する。また、緩衝部材５０には、図６や図７に示すように空洞部を形成することによって、薄肉部を形成する。
【００１０】
分子ポンプに、ロータ部の破壊などによって、ロータ部の回転方向の衝撃が発生した場合、フランジ６１が分子ポンプと共にロータ部の回転方向に滑る。すると、フランジ６１と真空容器２０５のフランジとを固定しているボルト６５が緩衝部材５０に当たり塑性変形する。このように、緩衝部材５０が塑性変形することにより、分子ポンプを回転させるエネルギーが費やされ、分子ポンプで発生した衝撃を緩衝することができる。
また、本実施の形態に係る分子ポンプ１では、緩衝部材５０を独立した小さな部品（ピース）で構成されている。
そのため、緩衝部材５０の加工を容易に行うことができる。
【００１１】
（２）実施形態の詳細
図１は、本実施の形態の分子ポンプ１の真空容器２０５への取り付け形態の一例を示した図である。
分子ポンプ１は、高速回転するロータ部と、固定したステータ部との排気作用により、排気機能を発揮する真空ポンプであって、ターボ分子ポンプ、ねじ溝式ポンプ、あるいはこれら両方の構造を合わせ持ったポンプなどがある。
分子ポンプ１の吸気口にはフランジ６１が形成され、排気側には排気口１９が設けられている。
真空容器２０５は、半導体製造装置や電子顕微鏡の鏡塔などの真空装置を構成しており、排気口にはフランジ６２が形成されている。
なお、真空容器２０５は、分子ポンプ１に対する被固定部材として機能する。
【００１２】
フランジ６１、６２には、複数個のボルト孔が同心上の同じ位置に形成されている。そして、これらのボルト孔にボルト６５を挿通し、これらボルト６５にナット６６をねじ込んで締め付けることにより、分子ポンプ１は真空容器２０５の下部に取り付けられ固定されている。真空容器２０５内の気体は、分子ポンプ１の吸気口から吸引され、排気口１９から排出される。これにより、例えば、半導体製造のための反応ガスやその他のガスを真空容器２０５から排出することができる。
【００１３】
なお、図の例では、真空容器２０５の下部に分子ポンプ１を取り付け、分子ポンプが真空容器２０５からつり下げられた形になっているが、分子ポンプ１の取り付け位置はこれに限定するものではなく、分子ポンプ１を横にして真空容器２０５の横に取り付けたり、あるいは、分子ポンプ１の吸気口を下側にして真空容器２０５の上部に取り付けることもできる。
更に、真空容器２０５の排気口と分子ポンプ１の吸気口の間に排気ガスの流量を調節するための弁を設ける場合もある。
また、排気口１９は、一般にロータリーポンプなどの粗引き用ポンプに接続されている。
【００１４】
図２は、本実施の形態の分子ポンプ１の軸線方向の断面図を示した図である。
本実施の形態では、分子ポンプの一例としてターボ分子ポンプ部とねじ溝式ポンプ部を備えた、いわゆる複合翼タイプの分子ポンプを例にとり説明する。
分子ポンプ１の外装体を形成するケーシング１６は、円筒状の形状をしており、ケーシング１６の底部に設けられた円盤状のベース２７と共に分子ポンプ１の筐体を構成している。そして、ケーシング１６の内部には、分子ポンプ１に排気機能を発揮させる構造物が収納されている。
これら排気機能を発揮する構造物は、大きく分けて回転自在に軸支されたロータ部２４とケーシング１６に対して固定されたステータ部から構成されている。
また、ポンプの種類から見た場合、吸気口６側がターボ分子ポンプ部により構成され、排気口１９側がねじ溝式ポンプ部から構成されている。
【００１５】
ロータ部２４は、吸気口６側（ターボ分子ポンプ部）に設けられたロータ翼２１と、排気口１９側（ねじ溝式ポンプ部）に設けられた円筒部材２９、及びシャフト１１などから構成されている。ロータ翼２１は、シャフト１１の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してシャフト１１から放射状に伸びたブレードから構成されており、ターボ分子ポンプ部では、これらロータ翼２１が軸線方向に複数段形成されている。
円筒部材２９は、外周面が円筒形状をした部材であり、ねじ溝式ポンプ部のロータ部２４を構成している。
シャフト１１は、ロータ部２４の軸を構成する円柱部材であって、その上端部にはロータ翼２１と円筒部材２９からなる部材がボルト２５によりねじ止めされている。
【００１６】
シャフト１１の軸線方向中程には、外周面に永久磁石が固着してあり、モータ部１０のロータを構成している。この永久磁石がシャフト１１の外周に形成する磁極は、外周面の半周に渡ってＮ極となり、残り半周に渡ってＳ極となるようになっている。
更に、シャフト１１のモータ部１０に対して吸気口６側、及び排気口１９側には、シャフト１１をラジアル方向に軸支するための磁気軸受部８、１２のロータ部２４側の部分が形成されており、シャフト１１の下端には、シャフト１１を軸線方向（スラスト方向）に軸支する磁気軸受部２０のロータ部２４側の部分が形成されている。
【００１７】
また、磁気軸受部８、１２の近傍には、それぞれ変位センサ９、１３のロータ側の部分が形成されており、シャフト１１のラジアル方向の変位が検出できるようになっている。更に、シャフト１１の下端には変位センサ１７のロータ側の部分が形成されており、シャフト１１の軸線方向の変位が検出できるようになっている。
これら、磁気軸受部８、１２及び変位センサ９、１３のロータ側の部分は、ロータ部２４の回転軸線方向に鋼板を積層した積層鋼板により構成されている。これは、磁気軸受部８、１２、変位センサ９、１３のステータ側の部分を構成するコイルが発生する磁界によって、シャフト１１に渦電流が発生するのを防ぐためである。
以上に説明したロータ部２４はステンレスやアルミニウム合金などの金属を用いて構成されている。
【００１８】
ケーシング１６の内周側には、ステータ部が形成されている。このステータ部は、吸気口６側（ターボ分子ポンプ部）に設けられたステータ翼２２と、排気口１９側（ねじ溝式ポンプ部）に設けられたねじ溝スペーサ５などから構成されている。
ステータ翼２２は、シャフト１１の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜してケーシング１６の内周面からシャフト１１に向かって伸びたブレードから構成されており、ターボ分子ポンプ部では、これらステータ翼２２が軸線方向に、ロータ翼２１と互い違いに複数段形成されている。各段のステータ翼２２は、円筒形状をしたスペーサ２３により互いに隔てられている。
【００１９】
ねじ溝スペーサ５は、内周面にらせん溝７が形成された円柱部材である。ねじ溝スペーサ５の内周面は、所定のクリアランス（間隙）を隔てて円筒部材２９の外周面に対面するようになっている。ねじ溝スペーサ５に形成されたらせん溝７の方向は、らせん溝７内をロータ部２４の回転方向にガスが輸送された場合、排気口１９に向かう方向である。らせん溝７の深さは排気口１９に近づくにつれ浅くなるようになっており、らせん溝７を輸送されるガスは排気口１９に近づくにつれて圧縮されるようになっている。
これらステータ部はステンレスやアルミニウム合金などの金属を用いて構成されている。
【００２０】
ベース２７は、円盤形状を有した部材であって、ラジアル方向中央には、ロータの回転軸線と同心に円筒形状を有するステータコラム１８が、吸気口６方向に取り付けられている。
ステータコラム１８は、モータ部１０、磁気軸受部８、１２、及び変位センサ９、１３のステータ側の部分を支持している。
モータ部１０では、所定の極数のステータコイルがステータコイルの内周側に等間隔で配設され、シャフト１１に形成された磁極の周囲に回転磁界を発生できるようになっている。また、ステータコイルの外周には、ステンレスなどの金属で構成された円筒部材であるカラー４９が配設されており、モータ部１０を保護している。
【００２１】
磁気軸受部８、１２は、回転軸線の回りの９０度ごとに配設されたコイルから構成されている。そして、磁気軸受部８、１２は、これらコイルの発生する磁界でシャフト１１を吸引することにより、シャフト１１をラジアル方向に磁気浮上させる。
ステータコラム１８の底部には、磁気軸受部２０が形成されている。磁気軸受部２０は、シャフト１１から張り出した円板と、この円板の上下に配設されたコイルから構成されている。これらコイルが発生する磁界がこの円板を吸引することにより、シャフト１１が軸線方向に磁気浮上する。
【００２２】
ケーシング１６の吸気口６には、ケーシング１６の外周側に張り出したフランジ６１が形成されている。
フランジ６１には、後述する緩衝部材５０を嵌入するための嵌入孔４０が複数設けられている。この嵌入孔４０に嵌込まれる緩衝部材５０には、即ち、嵌入孔４０の領域内には、ボルト６５を挿通するためのボルト孔１４が形成されている。
また、フランジ６１には、真空容器２０５側のフランジ６２との気密性を保つためのＯリングを装着するための溝１５が形成されている。
緩衝部材５０は、分子ポンプ１でロータ部２４の回転方向の衝撃が生じた場合、これを緩衝するための機構（衝撃緩衝構造）として機能する。この機構については後ほど詳細に説明する。
【００２３】
以上のように構成された分子ポンプ１は、以下のように動作し、真空容器２０５からガスを排出する。
まず、磁気軸受部８、１２、２０がシャフト１１を磁気浮上させることにより、ロータ部２４を非接触で空間中に軸支する。
次に、モータ部１０が作動し、ロータを所定の方向に回転させる。回転速度は例えば毎分３万回転程度である。本実施の形態では、ロータ部２４の回転方向を図２の矢線Ａ方向に見て時計回り方向とする。なお、反時計回り方向に回転するように分子ポンプ１を構成することも可能である。
ロータ部２４が回転すると、ロータ翼２１とステータ翼２２の作用により、吸気口６からガスが吸引され、下段に行くほど圧縮される。
ターボ分子ポンプ部で圧縮されたガスは、更にねじ溝式ポンプ部で圧縮され、排気口１９から排出される。
【００２４】
図３（ａ）は、フランジ６１を図２の矢線Ａ方向に見たところを示した図である。図を簡略化するため、Ｏリング用の溝１５と分子ポンプ１の内部構造は図示していない。
また、図３（ｂ）は、図３（ａ）の波線円で示されるフランジ６１に設けられた衝撃緩衝構造の拡大図を示した図である。
図３（ｃ）は、図３（ｂ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
図に示したように、フランジ６１には同心上に所定間隔で嵌入孔４０が複数個形成されている。
嵌入孔４０の内部には、別部材で形成された緩衝部材５０が嵌め込み固定されている。
緩衝部材５０には、その端領域に、厚み方向に貫通したボルト孔１４が形成されている。
【００２５】
嵌入孔４０は、ボルト孔１４からロータ部２４の回転方向に延びる長穴形状に形成されている。
ボルト６５は、緩衝部材５０に設けられたボルト孔１４に挿入されるように構成されている。
また、緩衝部材５０は、自身が塑性変形することによりロータの回転トルクによる衝撃を緩衝するための部材であり、例えば、フランジ６１を形成する部材より低い強度を有する材質で構成されている。具体的には、例えば、シリコーンを主原料とするゲル状素材などのゲル材料で形成されている。
なお、ボルト孔１４は、緩衝部材５０で充填されている必要はない。
【００２６】
次に、このように、構成されたフランジ６１の緩衝機能について説明する。
分子ポンプ１で、ロータ部２４が高速回転しているときに、これが破断するなどしてステータ部などに衝突すると、分子ポンプ１の全体をロータ部２４の回転方向に回転させようとするトルクによる衝撃が発生する。
すると、この衝撃によりフランジ６１が真空容器２０５のフランジ６２に対してロータ部２４の回転方向に滑って回転しようとする。
【００２７】
一方、ボルト６５の位置はフランジ６２で固定されているため、フランジ６１がロータ部２４の回転方向に回転すると、ボルト６５はボルト孔１４内において、他端部方向に相対的に移動することになる。
ボルト孔１４は、ロータ部２４の回転方向に延びる長形状の緩衝部材５０に設けられているため、緩衝部材５０の内周の側壁がボルト６５に当たり、緩衝部材５０がロータ部２４の回転方向と逆の方向の接線方向からラジアル方向外側に向いた方向に押されて塑性変形する。
緩衝部材５０が塑性変形する過程で分子ポンプ１を回転させるエネルギーが消費され、これによって衝撃が緩和される。
【００２８】
以上に述べたように、本実施の形態では、フランジ６１に、分子ポンプ１を回転させるトルクによって塑性変形するように構成された緩衝機構（衝撃緩衝構造）を備えることによって、万が一ロータ部２４が破断したり、あるいは、半導体製造装置で反応ガスを排出する際にロータ部２４やステータ部などに積層した堆積物が分子ポンプ１内で衝突したりなどの不具合が発生した場合でも、安全性を高めることができる。
また、本実施の形態によれば、嵌入孔４０に別部材に構成された緩衝部材５０を嵌め込むことで容易に緩衝機構（衝撃緩衝構造）を構成することができる。
緩衝部材５０は、小さな形状であるため、例えば、型成型やプレス加工により容易に形成することができる。これにより、製造コストの削減を図ることができる。
なお、緩衝部材５０として嵌入孔４０に、例えば、ゴムやその他の弾性部材を充填してもよい。
【００２９】
図４（ａ）は、衝撃緩衝構造の他の例に係るフランジ６１ａを説明するための図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
フランジ６１ａは、ボルト孔１４ａをフランジ６１ａに設け、嵌入孔４０ａをボルト孔１４ａ外部に設けたものである。
詳しくは、フランジ６１ａには同心上に所定間隔でボルト孔１４ａが複数個形成されている。
そして、ボルト孔１４ａのロータ部２４の回転方向と逆方向に略半月形状の嵌入孔４０ａが形成され、この嵌入孔４０ａに別部材で構成された緩衝部材５０ａが嵌入されている。
【００３０】
ボルト孔１４ａと嵌入孔４０ａは互いに一部分が連接しており、両者により一連の貫通孔がフランジ６１ａに形成されている。
また、緩衝部材５０ａにおけるボルト６５との対向面は平面（フラット）に形成されている。
ロータ部２４が破壊するなどして分子ポンプ１にロータ部２４の回転方向の大きなトルクが生じて回転した場合、緩衝部材５０ａがボルト６５に当たって塑性変形する。これにより、分子ポンプ１の回転エネルギーが吸収され、分子ポンプ１に生じた衝撃が緩和される。
なお、この実施例では、ボルト孔１４ａと嵌入孔４０ａとの境界面に段差９９が設けられているが、この段差９９が生じない形状も可能である。
【００３１】
図５（ａ）は、衝撃緩衝構造の他の例に係るフランジ６１ｂを説明するための図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
フランジ６１ｂは、嵌入孔４０ｂをフランジ６１ｂに設け、嵌入孔４０ｂに嵌め込まれた緩衝部材５０ｂの中央にボルト孔１４ｂを設けたものである。
詳しくは、フランジ６１ｂには同心上に所定間隔で円周方向に長く延びる形状の嵌入孔４０ｂが複数個形成されている。
そして、別部材で構成された、嵌入孔４０ｂに嵌入される緩衝部材５０ｂの長手方向の中央部（中心部）にボルト孔１４ｂが形成されている。
【００３２】
分子ポンプ１の運転中に何らかのトラブルが発生し、例えば、ロータ部２４の破壊が生じた場合、ロータ部２４とステータ部の衝突モードによっては、ロータ部２４の回転方向の逆方向に大きな力が作用することがある。
しかし、このように構成されたフランジ６１ｂを用いた分子ポンプ１では、ロータ部２４の回転方向、または、回転方向と逆方向に大きな力（トルク）が作用した場合であっても、緩衝部材５０ｂがボルト６５に当たって塑性変形する。これにより、分子ポンプ１の回転エネルギーが吸収され、分子ポンプ１に生じた衝撃が緩和される。
なお、本実施の形態では、円周方向に長く延びる形状（円周に沿った形状）を有する嵌入孔４０ｂをフランジ６１ｂに形成するように構成されているが、嵌入孔４０ｂの形状はこれに限定されるものではなく、例えば、直線的に延びる長方形状であってもよい。
なお、ボルト孔１４ｂは、緩衝部材５０ｂで充填されている必要はない。
【００３３】
図６（ａ）は、衝撃緩衝構造の他の例に係るフランジ６１ｃを説明するための図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
フランジ６１ｃは、嵌入孔４０ｃに嵌め込まれた緩衝部材５０ｃに空洞部７１を設け、ボルト孔１４ｃと空洞部７１の間に薄肉部８１を形成したものである。
詳しくは、フランジ６１ｃには同心上に所定間隔で円周方向に長く延びる形状の嵌入孔４０ｃが設けられ、嵌入孔４０ｃの内部には、別部材で形成された緩衝部材５０ｃが嵌め込み固定されている。
そして、緩衝部材５０ｃには、その端領域に、厚み方向に貫通したボルト孔１４ｃが形成されている。
【００３４】
更に、緩衝部材５０ｃには、ボルト孔１４ｃのロータ部２４の回転方向と逆方向に所定の距離を隔てて長穴状の貫通孔からなる空洞部７１が形成されている。これにより、緩衝部材５０ｃには、ボルト孔１４ｃと空洞部７１の間に薄肉部８１が形成されている。
このように構成されたフランジ６１ｃを用いた分子ポンプ１に、ロータ部２４の回転方向の大きなトルクが発生して回転すると、ボルト孔１４ｃに挿通されたボルト６５により、薄肉部８１がロータ部２４の回転方向と逆方向に圧迫されて塑性変形する。これにより衝撃が吸収される。
なお、ボルト孔１４ｃは、緩衝部材５０ｃで充填されている必要はない。
【００３５】
図７（ａ）は、衝撃緩衝構造の他の例に係るフランジ６１ｄを説明するための図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
フランジ６１ｄは、嵌入孔４０ｄに嵌め込まれた緩衝部材５０ｄに空洞部７２及び空洞部７３を設け、ボルト孔１４ｄと空洞部７２の間に薄肉部８２を形成し、空洞部７２と空洞部７３との間に薄肉部８３を形成したものである。
詳しくは、フランジ６１ｄには同心上に所定間隔で円周方向に長く延びる形状の嵌入孔４０ｄが設けられ、嵌入孔４０ｄの内部には、別部材で形成された緩衝部材５０ｄが嵌め込み固定されている。
そして、緩衝部材５０ｄには、その端領域に、厚み方向に貫通したボルト孔１４ｄが形成されている。
【００３６】
更に、緩衝部材５０ｄには、ボルト孔１４ｄのロータ部２４の回転方向と逆方向に所定の距離を隔てて長穴状の貫通孔からなる空洞部７２と空洞部７３が形成されている。これにより、緩衝部材５０ｄには、ボルト孔１４ｄと空洞部７２の間に薄肉部８２が形成され、空洞部７２と空洞部７３の間に薄肉部８３が形成されている。
このように構成されたフランジ６１ｄを用いた分子ポンプ１に、ロータ部２４の回転方向の大きなトルクが発生して回転すると、ボルト孔１４ｄに挿通されたボルト６５により、薄肉部８２及び薄肉部８３がロータ部２４の回転方向と逆方向に圧迫されて塑性変形する。これにより衝撃が吸収される。
なお、ボルト孔１４ｄは、緩衝部材５０ｄで充填されている必要はない。
【００３７】
なお、上述した薄肉部を有する緩衝部材５０ｃ、５０ｄの材質は、空洞部が形成可能なものであればよく、例えば、アルミニウム、ステンレス鋼、銅などの金属部材を加工することにより形成することができる。
また、緩衝部材５０ｃ、５０ｄに形成される薄肉部８１〜８３の厚さは、空洞部の配設部位を変えることにより任意に設定することができる。
なお、本実施の形態に係る分子ポンプ１では、薄肉部８１〜８３の厚さは、緩衝部材５０ｃ、５０ｄの材質や厚さなどにもよるが、０．５ミリメートル程度から数ミリ程度に設定されている。
また、緩衝部材５０に設ける薄肉部（薄板部）の数は、形成する空洞部の数を変化させることによって、任意に設定することができ、２つ以上設けるようにしてもよい。
【００３８】
次に、上述した嵌入孔４０（４０ａ〜ｄ）に嵌入される緩衝部材５０（５０ａ〜ｄ）の脱落を防止するための脱落防止構造について説明する。
図８（ａ）は、本実施の形態の分子ポンプ１の衝撃緩衝構造における脱落防止構造を示した図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
なお、ここでは、図５に示すフランジ６１ｂに設けられた緩衝部材５０ｂの脱落を防止する脱落防止構造を例に説明するが、脱落防止構造は、緩衝部材５０ｂの脱落防止に限定されるものではなく、上述した緩衝部材５０（５０ａ〜ｄ）に適用することができる。
【００３９】
図に示したように、緩衝部材５０ｂの脱落防止構造を座金（ワッシャー）９１を用いて構成する。
座金９１は、その中心部にボルト６５が貫通する円環（リング）状の板部材からなり、その外径（外側の直径）は、嵌入孔４０ｂにおける、フランジ６１ｂの半径方向の長さより長く構成されている。
このように構成された座金９１は、ボルト６５が貫入された状態でフランジ６１ｂとナット６６（図１参照）の間に挟み込まれて、即ち、フランジ６１ｂとナット６６で挟持されている。
【００４０】
なお、座金９１は、嵌入孔４０ｂの内部における緩衝部材５０ｂを静止させるためのストッパーとして機能する。
このような脱落防止構造を設けることにより、緩衝部材５０ｂの脱落や、嵌入孔４０ｂの内部における緩衝部材５０ｂの軸方向の位置ずれを防止することができる。
これにより、ロータ部２４が破壊するなどして分子ポンプ１にロータ部２４の回転方向の大きなトルクが生じて回転した場合、適切（確実）に緩衝部材５０ｂを塑性変形させて、分子ポンプ１に生じた衝撃を緩和することができる。
なお、真空容器２０５と分子ポンプ１とを固定する際に、分子ポンプ１のフランジ６１側からボルト６５を押入することにより、予めボルト６５に座金９１を取り付け（組み付け）た状態での組み立て作業を行うことができる。
なお、ボルト孔１４ｂは、緩衝部材５０ｂで充填されている必要はない。
この実施例では、座金９１に市販の座金を用いることができるので、製品のコストを抑制することができる。
【００４１】
図９（ａ）は、脱落防止構造の他の例に係るフランジ６１ｅを説明するための図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
フランジ６１ｅでは、内側面がテーパ状に加工された嵌入孔４０ｂ’に緩衝部材５０ｂ’を嵌め込むことにより脱落防止構造を構成するものである。
詳しくは、嵌入孔４０ｂ’の内側面（内壁面）における相対する面が対称的に傾斜するテーパ状に加工されている。
嵌入孔４０ｂ’は、図１に示される真空容器２０５のフランジ６２側の開口部の面積が反対側の開口部の面積より大きく形成されている。即ち、嵌入孔４０ｂ’は、真空容器２０５のフランジ６２側の開口部から反対側（ナット６６側）の開口部に向かって面積が小さくなるように形成されている。
【００４２】
そして、この嵌入孔４０ｂ’に嵌るように、即ち、嵌入孔４０ｂ’の内側面（内壁面）と対応するように外側面（外壁面）がテーパ状に加工された緩衝部材５０ｂ’が嵌入孔４０ｂ’に嵌め込まれる。なお、緩衝部材５０ｂ’は、真空容器２０５のフランジ６２側の開口部から、即ち、図９（ｂ）の上方から嵌め込む（挿入する）。
このように、嵌入孔４０ｂ’の内側面（内壁面）にテーパ（勾配）加工を施すことにより、容易に緩衝部材５０ｂ’の脱落防止構造を構成することができる。
このような脱落防止構造を設けることにより、緩衝部材５０ｂ’の脱落や、嵌入孔４０ｂ’の内部における緩衝部材５０ｂ’の軸方向の位置ずれを防止することができる。
また、図１に示すように、分子ポンプ１を真空容器２０５の下側に設けるような場合には、嵌入孔４０ｂ’の真空容器２０５のフランジ６２側の開口部、即ち、緩衝部材５０ｂ’の挿入口がフランジ６１ｅの上方に位置する。
そのため、緩衝部材５０ｂ’を嵌入孔４０ｂ’に挿入した（嵌め込んだ）際に緩衝部材５０ｂ’の仮固定をすることができるため、組み立て時の作業性を向上させることができる。
なお、上述した実施形態では、内側面における相対する面が対称的に傾斜するテーパ状の嵌入孔４０ｂ’からなる脱落防止構造について説明したが、脱落防止構造は、嵌入孔４０ｂ’の内側面の少なくとも一部を傾斜させることにより設けることができる。
なお、ボルト孔１４ｂは、緩衝部材５０ｂ’で充填されている必要はない。
【００４３】
図１０（ａ）は、脱落防止構造の他の例に係るフランジ６１ｆを説明するための図である。図１０（ｂ）は、図１０（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
フランジ６１ｆでは、嵌入孔４０ｂの内側面（内壁面）から内側に突出する突出部９２を設けることによりに緩衝部材５０ｂ”の脱落防止構造を構成するものである。
詳しくは、嵌入孔４０ｂの内側面（内壁面）における、図１に示される真空容器２０５のフランジ６２と反対側、即ちナット６６側の端部から内側方向に突出するフランジ状の突出部９２が、嵌入孔４０ｂの長手方向の両端部（端近傍）に設けられている。
突出部９２は、上述した座金９１と同様に、嵌入孔４０ｂの内部における緩衝部材５０ｂ”を静止させるためのストッパーとして機能する。
【００４４】
なお、緩衝部材５０ｂ”は、緩衝部材５０ｂ’より突出部９２の厚みだけ薄く形成されている。
このような脱落防止構造を設けることにより、緩衝部材５０ｂ”の脱落や、嵌入孔４０ｂの内部における緩衝部材５０ｂ”の軸方向の位置ずれを防止することができる。
また、図１に示すように、分子ポンプ１を真空容器２０５の下側に設けるような場合には、嵌入孔４０ｂの突出部９２側の開口部がフランジ６１ｆの下方に位置する。
そのため、緩衝部材５０ｂ”を嵌入孔４０ｂに挿入した（嵌め込んだ）際に緩衝部材５０ｂ”の仮固定をすることができるため、組み立て時の作業性を向上させることができる。
上述した脱落防止構造を設ける代わりに、接着剤を塗布することによって、緩衝部材５０（５０ａ〜ｄ）の脱落を防止するようにしてもよい。
なお、ボルト孔１４ｂは、緩衝部材５０ｂ”で充填されている必要はない。
【００４５】
上述した実施形態では、緩衝部材５０（変形例の緩衝部材５０ａ〜ｄを含む）が、フランジ６１（変形例のフランジ６１ａ〜ｆを含む）の厚みと同等の厚みを有する場合について示している。
しかしながら、緩衝部材５０（５０ａ〜ｄ）の厚みは、これに限定されるものではない。
図１１は、フランジ６１より小さい厚みを有する緩衝部材５０を用いた衝撃緩衝構造を説明するための図である。
例えば、図１１に示すように、フランジ６１より小さい厚みを有する緩衝部材５０を用いて衝撃緩衝構造を構成するようにしてもよい。
フランジ６１より小さい厚みを有する緩衝部材５０を用いることにより、緩衝部材５０の影響を受けることなく、真空容器２０５と分子ポンプ１の固定を、フランジ６２とフランジ６１とを接合（密着）することにより適切に行うことができる。
即ち、高精度に形成されたフランジ６１とフランジ６２に基づいて、分子ポンプ１の位置が設定されるため、分子ポンプ１の位置決め精度を低下させることなく、精度良く（正確に）排気口１９や冷却水口への配管接続を施すことができる。
なお、ここで、フランジ６１より小さい厚みを有するとは、加工図面上の公差で小さく設定されているものを含むこととする。
【００４６】
図１２は、フランジ６１より大きい厚みを有する緩衝部材５０を用いた衝撃緩衝構造を説明するための図である。
例えば、図１２に示すように、フランジ６１より大きい厚みを有する緩衝部材５０を用いて衝撃緩衝構造を構成するようにしてもよい。
ただし、フランジ６１より大きい厚みを有する緩衝部材５０を用いる場合には、図１２に示すように、緩衝部材５０の形状のばらつき、即ち、フランジ６１からの突出した部分の高さのばらつきに起因する、フランジ６１とフランジ６２の接合精度の低下を解消するために、位置決め（位置出し）部材として機能するスペーサ９５を併用する。
【００４７】
スペーサ９５は、フランジ６１の外周端の近傍に設けられた円環状の部材である。また、スペーサ９５は、その厚みが全領域に渡って均一になるように高精度に形成された金属製の部材である。
スペーサ９５は、緩衝部材５０の形状のばらつきを考慮し、フランジ６１からの突出した部分の高さよりも、その厚みが大きくなるように形成されている。
このようなスペーサ９５を介してフランジ６１とフランジ６２を接合することにより、緩衝部材５０の形状のばらつきの影響を受けることなく、真空容器２０５と分子ポンプ１の固定時の位置決め（位置出し）を適切に行うことができる。これにより、精度良く（正確に）排気口１９や冷却水口への配管接続を施すことができる。
【００４８】
なお、本実施の形態では、リング状のスペーサ９５を用いているが、スペーサ９５の形状はこれに限定されるものではない。例えば、フランジ６１上に部分的に配設可能な複数の部材（ピース）で構成するようにしてもよい。
また、スペーサ９５は、予めフランジ６１と一体的に形成されていてもよい。
上述したように、本実施の形態によれば、緩衝部材５０の形状に応じて真空容器２０５（フランジ６２）と分子ポンプ１（フランジ６１）の取り付け方法を変えることにより、分子ポンプ１の位置決めを適切（正確）に行うことができる。
【００４９】
図１３は、本実施の形態の分子ポンプ１の真空容器２０５への他の取り付け形態を示した図である。
分子ポンプ１におけるフランジ６１と、真空容器２０５におけるフランジ６２との接合は、図に示されるように、フランジ６１と同一形状の仲介フランジ６３を介して行うようにしてもよい。
詳しくは、フランジ６２には、ボルト６７を挿通するボルト孔３１が設けられている。
仲介フランジ６３には、ボルト６７を締め付け固定するための、内側面（内壁面）にねじ山（ねじ溝）が設けられたボルト孔３２が設けられている。
ボルト孔３１及びボルト孔３２は、同心上の同じ位置に複数形成されている。
そして、これらのボルト孔３１にボルト６７を挿通し、ボルト孔３２にボルト６７をねじ込んで締め付けることにより、真空容器２０５のフランジ６２と仲介フランジ６３が固定されている。
【００５０】
また、分子ポンプ１のフランジ６１と仲介フランジ６３には、それぞれ緩衝部材５１を嵌め込むための同一形状の嵌入孔３３、３４が同心上の同じ位置に複数形成されている。嵌入孔３３及び嵌入孔３４には、連続して緩衝部材５１が嵌入されている。
緩衝部材５１には、上述した緩衝部材５０や緩衝部材５０ａ〜ｅと同様に、ボルト６８を挿通するボルト孔３５が設けられている。また、ボルト孔３５は、図４に示すフランジ６１ａと同様に緩衝部材５１の嵌入孔３３、３４の外部に設けるようにしてもよい。
分子ポンプ１のフランジ６１と仲介フランジ６３とを重ね合わせた状態で、嵌入孔３３及び嵌入孔３４に緩衝部材５１が嵌め込まれており、更に、緩衝部材５１のボルト孔３５にボルト６８を挿通し、ボルト６８にナット６９をねじ込んで締め付けることにより、分子ポンプ１のフランジ６１と仲介フランジ６３が固定されている。
【００５１】
嵌入孔３３、３４は、上述した変形例を含む実施形態で説明した嵌入孔４０（４０ａ〜ｄ）と同様の形状で構成されている。
緩衝部材５１もまた、上述した変形例を含む実施形態で説明した緩衝部材５０（５０ａ〜ｄ）と同様の形状で構成されている。
ただし、緩衝部材５１の厚みは、フランジ６１と仲介フランジ６３の厚みの和に相当するように形成されている。即ち、緩衝部材５１は、仲介フランジ６３とフランジ６１との境界部での継ぎ目はなく、嵌入孔３３、３４に渡って一体に形成されている。
【００５２】
このように、真空容器２０５のフランジ６２と分子ポンプ１のフランジ６１を仲介フランジ６３を介して接合（固定）することにより、分子ポンプ１の運転中に何らかのトラブルが発生し、例えば、ロータ部２４の破壊が生じた場合、緩衝部材５１がボルト６８に当たって塑性変形する。従って、分子ポンプ１の回転エネルギーが分子ポンプ１のフランジ６１と仲介フランジ６３で吸収することができるため、分子ポンプ１に生じた衝撃による真空容器２０５への影響（ダメージ）を低減させることができる。
この実施例において、仲介フランジ６３を用いることにより、フランジ６１と仲介フランジ６３の境界面にボルト６８が直接当たることがないので、ボルト６８に掛かる負担を軽減させることができる。
【００５３】
図１４（ａ）は、衝撃緩衝構造の他の例に係るフランジ１６１ａを説明するための図である。図１４（ｂ）は、図１４（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
フランジ１６１ａには、ボルトを貫入するボルト貫入部１１４ａと、緩衝部材が嵌め込まれる嵌入部１４０ａとが設けれれている。この図から明らかなように、このボルト貫入部１１４ａと嵌入部１４０ａとは、フランジ１６１ａに形成された同一の空所内に配置されている。
詳しくは、フランジ１６１ａには、所定間隔でロータ部２４の回転方向と逆方向に略半月形状の嵌入孔１４０ａが複数設けられ、この嵌入孔１４０ａに別部材で構成された緩衝部材１５０ａが嵌入されている。そして、各々の嵌入孔１４０ａ内部にボルト孔１１４ａが設けられている。この図に示すように、嵌入孔１４０ａは、ボルト孔１１４ａに対して前記ロータの回転方向の反対側に延びている形状となっている。
【００５４】
そして、ロータ部２４が破壊するなどして分子ポンプ１にロータ部２４の回転方向の大きなトルクが生じて回転した場合、緩衝部材１５０ａがボルト１６５に当たって塑性変形する。これにより、分子ポンプ１の回転エネルギーが吸収され、分子ポンプ１に生じた衝撃が緩和される。
なお、この実施例では、図４に示した例と異なり、ボルト孔１１４ａと嵌入孔１４０ａとの境界面に段差が設けられていない。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本実施の形態の分子ポンプの真空容器への取り付け形態の一例を示した図である。
【図２】本実施の形態の分子ポンプの軸線方向の断面図を示した図である。
【図３】（ａ）はフランジを図２の矢線Ａ方向に見たところを示した図であり、（ｂ）は（ａ）の波線円で示されるフランジに設けられた衝撃緩衝構造の拡大図を示した図であり、（ｃ）は（ｂ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
【図４】（ａ）は衝撃緩衝構造の他の例に係るフランジを説明するための図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
【図５】（ａ）は衝撃緩衝構造の他の例に係るフランジを説明するための図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
【図６】（ａ）は衝撃緩衝構造の他の例に係るフランジを説明するための図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
【図７】（ａ）は衝撃緩衝構造の他の例に係るフランジを説明するための図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
【図８】（ａ）は本実施の形態の分子ポンプの衝撃緩衝構造における脱落防止構造を示した図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
【図９】（ａ）は脱落防止構造の他の例に係るフランジを説明するための図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
【図１０】（ａ）は脱落防止構造の他の例に係るフランジを説明するための図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
【図１１】フランジより小さい厚みを有する緩衝部材を用いた衝撃緩衝構造を説明するための図である。
【図１２】フランジより大きい厚みを有する緩衝部材を用いた衝撃緩衝構造を説明するための図である。
【図１３】本実施の形態の分子ポンプの真空容器への他の取り付け形態を示した図である。
【図１４】（ａ）は衝撃緩衝構造の他の例に係るフランジを説明するための図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’部の断面を示した図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  分子ポンプ
５  ねじ溝スペーサ
６  吸気口
７  らせん溝
８  磁気軸受部
９  変位センサ
１０  モータ部
１１  シャフト
１２  磁気軸受部
１３  変位センサ
１４  ボルト孔
１５  溝
１６  ケーシング
１７  変位センサ
１８  ステータコラム
１９  排気口
２０  磁気軸受部
２１  ロータ翼
２２  ステータ翼
２３  スペーサ
２４  ロータ部
２５  ボルト
２７  ベース
２９  円筒部材
３１  ボルト孔
３２  ボルト孔
３３  嵌入孔
３４  嵌入孔
３５  ボルト孔
４０  嵌入孔
４９  カラー
５０  緩衝部材
５１  緩衝部材
６１  フランジ
６２  フランジ
６３  仲介フランジ
６５  ボルト
６６  ナット
６７  ボルト
６８  ボルト
６９  ナット
７１  空洞部
７２  空洞部
７３  空洞部
８１  薄肉部
８２  薄肉部
８３  薄肉部
９１  座金
９２  突出部
９５  スペーサ
９９  段差
１１４  ボルト貫入部
１４０  嵌入部
１５０  緩衝部材
１６１  フランジ
１６５  ボルト
２０５  真空容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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