(57)【要約】【課題】  インク吐出面に生じたインク溜りに起因する吐出方向のヨレや不吐現象の発生を減少させることが可能なインクジェット記録ヘッド等を提供する。【解決手段】  インクジェット記録ヘッドは、複数のインク吐出口１と、インク吐出口１にそれぞれ連通するインク流路６と、各インク流路６内に配置されたインク吐出エネルギー発生素子７とを有し、インク吐出口１が開口しているインク吐出面に、複数のインク吐出口１が配列されてなる複数の吐出口列が並んで配置されている。インク吐出面の複数の吐出口列同士の間には吐出口列の長さ方向に延びる溝２が形成され、溝２の壁面とインク吐出面とが鋭角を成している。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出させる複数のインク吐出口と、該インク吐出口にそれぞれ連通するインク流路と、該各インク流路内に配置され、前記インク吐出口からインクを吐出させるエネルギーを前記インク流路内のインクに付与するインク吐出エネルギー発生素子と、を有し、
前記インク吐出口が開口しているインク吐出面に、前記複数のインク吐出口が配列されてなる複数の吐出口列が並んで配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記インク吐出面の前記複数の吐出口列同士の間には前記吐出口列の長さ方向に延びる溝が形成され、該溝の壁面と前記インク吐出面とが鋭角を成していることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記溝の壁面および底面を除く前記インク吐出面に撥水処理が施されている、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記溝の壁面および底面を含む前記インク吐出面に撥水処理が施されている、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
インクを吐出させるエネルギーを発生する複数のインク吐出エネルギー発生素子が設けられた基板上に、少なくともインク流路となる部分を占有する型材を形成する工程と、
前記基板および前記型材の上にノズル形成部材を形成する工程と、
前記ノズル形成部材に、複数のインク吐出口が配列されてなる複数の吐出口列が並んで配置されるように、複数のインク吐出口を形成する工程と、
前記型材を除去する工程と、
を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記吐出口列の長さ方向に延びる溝を、該溝の壁面と、前記インク吐出口が開口しているインク吐出面とが鋭角を成すように、前記インク吐出面の前記複数の吐出口列同士の間に形成する工程をさらに有していることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記溝の壁面および底面を除く前記インク吐出面に撥水処理を施す工程をさらに有する、請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記溝の壁面および底面を含む前記インク吐出面に撥水処理を施す工程をさらに有する、請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記ノズル形成部材は感光性樹脂材料からなり、
前記ノズル形成部材に複数のインク吐出口を形成する工程は、前記複数のインク吐出口を成すマスク像を投影して該ノズル形成部材を露光することを含み、
前記溝を前記インク吐出面の前記複数の吐出口列同士の間に形成する工程は、前記溝を成すマスク像が、前記複数のインク吐出口を形成するマスク像が焦点を結ぶ前記ノズル形成部材の厚み方向における位置とは異なる位置で焦点を結ぶように、前記溝を成すマスク像を投影して該ノズル形成部材を露光することを含む、請求項４から６のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記型材は溶解可能な樹脂材料からなり、前記型材を除去する工程は前記型材を溶剤を用いて溶出させることからなる、請求項４から７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを噴射し飛翔液滴を形成して記録を行うインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関するものである。本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対し記録を行うプリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用可能である。
【０００２】
なお、本明細書において『記録』とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を付与することも意味する。
【背景技術】
【０００３】
インクジェット記録方式（液体噴射記録方式）に適用されるインクジェット記録ヘッドは、一般に微細な記録液吐出口、流路および該流路の一部に設けられる記録液吐出エネルギー発生素子を複数備えている。高密度、高精度に記録液吐出口や流路を形成する方法として、特許文献１や特許文献２に開示されている方法が知られている。
【０００４】
このように作製されたインクジェット記録ヘッドを使用することにより記録画像の高画質化が実現された現在でも、インク滴の吐出が不安定化になる幾つかの問題がある。その一つとして挙げられるのが、インク吐出口付近の濡れである。
【０００５】
濡れの発生原因の一つとして、ミストと呼ばれる超微小インク滴の存在が挙げられる。ミストは、インク滴吐出の際に主となるインク滴に付随して発生するもので、インク吐出口の形成されているインク吐出面に付着し、インク溜りを形成すると考えられる。従来から、インクジェット記録装置においては、インク吐出面に付着したインク滴をゴム等の弾性素材により形成されたワイパーによって拭き取っている。通常、インク吐出面には撥水処理が施されており、このようなワイパー操作によりインク吐出口周辺のインク滴を取り除くことができる。
【０００６】
しかし、上記のようなワイパー操作を繰り返すことにより、インク吐出面に施された撥水部材の撥水特性の劣化や、撥水部材の削れ、剥れ等が生じてしまう。この状態でワイパー操作を繰り返すと、インク吐出面に付着したミストは互いに結合しあい、徐々に大きくなってインク溜りへと成長する。このインク溜りがさらに成長してインク吐出口内のインクにつながってインク吐出口を塞いでしまうと、インク吐出口から吐出されるインク滴の吐出方向にヨレが生じたり、インク吐出口からインク滴が吐出されない不吐現象が発生してしまう。
【０００７】
このような現象を回避する手段として、特許文献３には、同一のインク吐出口列の隣り合ったインク流路外壁部に溝を形成することが提案されている。この構成によれば、吐出口の周囲に付着したミストは、ワイパー操作によって、インク流路外壁の表面に掘り込むように形成した溝内に逃げ、吐出口周囲に付着したまま残ることが無くなる。そのため、インク吐出面にインク溜りが発生しにくくなり、吐出方向のヨレや不吐現象の発生を防ぐことが可能になる。
【特許文献１】特開平５−３３００６６号公報
【特許文献２】特開平６−２８６１４９号公報
【特許文献３】特開２００２−２１９８０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、インク吐出面にインク溜りが発生することを更に抑えるには、インク吐出面に付着しているミストを効率よく溝に逃がすために、より広い領域の溝をインク吐出口列にできるだけ近い位置に設けることが好ましい。加えて、一度溝に逃がしたインクがワイパー操作中にインク吐出面に再付着するのを防ぐことができる構造を持たせることが好ましい。
【０００９】
そこで本発明は、インク吐出面に生じたインク溜りに起因する吐出方向のヨレや不吐現象の発生を減少させることが可能なインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出させる複数のインク吐出口と、該インク吐出口にそれぞれ連通するインク流路と、該各インク流路内に配置され、前記インク吐出口からインクを吐出させるエネルギーを前記インク流路内のインクに付与するインク吐出エネルギー発生素子と、を有し、前記インク吐出口が開口しているインク吐出面に、前記複数のインク吐出口が配列されてなる複数の吐出口列が並んで配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク吐出面の前記複数の吐出口列同士の間には前記吐出口列の長さ方向に延びる溝が形成され、該溝の壁面と前記インク吐出面とが鋭角を成していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
上記本発明によれば、インク吐出口列同士の間に設けられた溝が、溝の壁面とインク吐出面とが鋭角を成す鼠返し形状を有していることから、一度溝に逃がしたインクがワイパー操作中にインク吐出面に再付着することが防がれる。その結果、インク吐出面に生じたインク溜りに起因する吐出方向のヨレや不吐現象の発生を減少させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１３】
（第１の実施形態）
本実施形態においては、インク供給口を介して配置されたインク吐出口列間に溝が設けられた構造を有するインクジェット記録ヘッドを作製した。本実施形態では、インク吐出面と溝の側面とが成す角度が、インク吐出面とインク吐出口とが成す角度とは異なっている。
【００１４】
図１は、本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する図である。
【００１５】
まず、図１（ａ）に示すように、インク吐出エネルギー発生素子７が設けられたＳｉ基板４上に型材９の材料（ＯＤＵＲ、東京応化工業（株）製）を厚さ１４μｍで塗布した。さらに、その露光・現像を行うことにより、型材９をパターニングした。この型材９は、ノズル部が完成した状態で発泡室および流路となる空間を形成するものである。
【００１６】
次に、図１（ｂ）に示すように、基板４上にノズル形成部材３ａをスピンコートにより厚さ１４μｍで塗布した。ノズル形成部材３ａの材料には、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤を溶剤に溶解して作製したものを用いた。その後、１００℃で加熱してノズル形成部材３ａを硬化させた。
【００１７】
続いて、図１（ｃ）に示すように、型材９およびノズル形成部材３ａが厚さ１４μｍでパターニングされている基板４上に、ノズル形成部材３ｂをスピンコートにより厚さ１１μｍで塗布した。ノズル形成部材３ｂの材料には、上記のものと同様に、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤を溶剤に溶解して作製したものを用いた。
【００１８】
続いて、図１（ｄ）に示すように、ノズル形成部材３ｂ上にドライフィルムのラミネートにより撥水部材８を厚さ０．５μｍで形成した。撥水部材８の材料には、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤を溶剤に溶解して作製したものを用いた。
【００１９】
続いて、図１（ｅ）に示すように、ミラー・プロジェクション・マスクアライナー（ＭＰＡ−６００・Ｓｕｐｅｒ、キヤノン（株）製）を使用して、ノズル形成部材３ａ，３ｂおよび撥水部材８の露光を行った。この工程では、インク供給口を介して配置されたインク吐出口列間に設けられる溝となる部分をパターニングしている。
【００２０】
ノズル形成部材３ａ，３ｂおよび撥水部材８の露光は、マスク１０ａを介して０．２Ｊ／ｃｍ2のＵＶ光１２を照射して行った。このとき、ノズル形成部材３ａ，３ｂおよび撥水部材８のＵＶ光１２が照射された領域は架橋反応が開始され硬化した状態となり、Ｃｒパターン１３ａによりＵＶ光１２が遮断され照射されなかった領域は架橋反応せず有機溶剤で除去が可能な状態のままである。なお、ミラー・プロジェクション・マスクアライナーは、マスク１０ａに形成されているＣｒパターン１３ａの像が、基板４の表面から高さ１４μｍの位置、すなわち型材９の表面でピントが合うように（焦点を結ぶように）設定してある。
【００２１】
さらに、図１（ｆ）に示すように、別のマスク１０ｂを使用して、再度ノズル形成部材３ａ，３ｂおよび撥水部材８に０．２Ｊ／ｃｍ2のＵＶ光１２を照射してそれらの露光を行った。この工程では、インク吐出口となる部分をパターニングしている。なお、この工程でも前述と同様のミラー・プロジェクション・マスクアライナーを使用している。ミラー・プロジェクション・マスクアライナーは、マスク１０ｂに形成されているＣｒパターン１３ｂの像が、基板４の表面から高さ２５μｍの位置、すなわちノズル形成部材３ｂの表面で焦点を結ぶように設定してある。前工程からの焦点位置の変更は、ミラー・プロジェクション・マスクアライナーを構成している台形ミラーを移動させて行った。
【００２２】
さらに、図１（ｇ）に示すように、ノズル形成部材３ａ，３ｂおよび撥水部材８のＵＶ光１２が照射されなかった領域を現像液で除去した後に１００℃で加熱して、インク吐出口１および溝２を形成した。本実施形態では、インク吐出口１の壁面とインク吐出面とが成す角度は約９０°であるのに対し、溝２の壁面とインク吐出面とが成す角度は約８０°である。この角度差は、ノズル形成部材３ａ，３ｂの厚み方向におけるマスク像が焦点を結ぶ位置を変えて、ノズル形成部材３ａ，３ｂおよび撥水部材８を露光することによって設けた。
【００２３】
続いて、型材９、ノズル形成部材３ａ，３ｂおよび撥水部材８がパターニングされたＳｉ基板４を、約８０℃に加熱温調したＴＭＡＨ２２ｗｔ％水溶液に十数時間浸漬することによりＳｉをエッチングして、Ｓｉ基板４にインク供給口５を形成した（図２参照）。
【００２４】
最後に、溶剤を用いて型材９をインク吐出口１およびインク供給口５から溶出させることにより、インク流路および発泡室６（図２参照）を形成し、インクジェット記録ヘッドのノズル部を形成した。さらに、ノズル部が形成された基板４を、ダイシングソーにより分離切断、チップ化し、インク吐出エネルギー発生素子７を駆動させるための配線（不図示）の電気的接合を行った後、インク供給のためのチップタンク部材（不図示）を接続して、インクジェット記録ヘッドを完成させた。
【００２５】
このインクジェット記録ヘッドを用いて顔料インクで印字耐久試験を行ったときの印字品位およびインク吐出面の状態を確認した。このとき、ワイパー操作は定期的に実施した。印字初期段階（印字枚数１０００枚）では、印字品位は良好であり、ヨレ・不吐は発生しなかった。このときのインク吐出面の状態を図３（ａ）に示す。インク吐出面には、インク滴吐出の際に付随して発生したミストやミストが互いに結合してできたインク滴１１が付着していた。しかし、その発生数は少なく、またサイズも比較的小さかった。
【００２６】
さらに印字耐久試験を行い、印字枚数３万枚の時点でも、印字品位は良好であり、ヨレ・不吐は発生しなかった。このときのインク吐出面の状態を図３（ｂ）に示す。インク吐出面にはミストやインク滴１１が付着していたが、その発生数は依然として比較的少なかった。また、溝２にもインクの存在が確認された。これは、インク吐出面に付着したミストやインク滴１１がワイパー操作の際に流れ込んだものと考えられる。
【００２７】
さらに印字耐久試験を行い、印字枚数１０万枚の時点でもヨレ・不吐は発生しなかった。このときのインク吐出面の状態を図３（ｃ）に示す。インク吐出面に付着しているミストやインク滴１１の数、サイズともに徐々に増しつつあるが、それらがインク吐出口１を塞ぐレベルではなかった。また、印字枚数３万枚の時点と比べ、溝２に流れ込んでいるインクの量が増えていることも確認された。
【００２８】
さらに印字耐久試験を行い、印字枚数２０万枚の時点で、ヨレや不吐が発生した。このときインク吐出面には、インク吐出口１と接する、あるいはインク吐出口１を塞いでいるインク溜りが発生していた。インク溜りの発生状況から推察すると、一度溝２に流れ込んだインクが、印字枚数の増加に伴い、徐々にその量を増し、ワイパー操作中にインク吐出面に再付着したものと考えられる。
【００２９】
このように、インク吐出面に溝２を設けた構造は、インク吐出面に付着したミストやインク滴の逃げ場所として有効であり、印字枚数が多くなってもヨレ・不吐を発生させないための対策として効果的である。さらに多くの印字を行った場合でもヨレ・不吐を発生させないためには、一度溝２に流れ込んだインクのインク吐出面への再付着を防止する必要がある。これには、溝２の側面とインク吐出面とが成す角度をさらに小さくして、鼠返しのような構造にすることが効果的だと考えられる。
【００３０】
（第２の実施形態）
本実施形態では、溝の側面とインク吐出面とが成す角度を第１の実施形態よりも小さくした構造を有するインクジェット記録ヘッドを作製した。
【００３１】
図４は本発明の第２の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する図である。本実施形態のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、第１の実施形態と同じ工程を有しており、実質的に同じである。ただし、図４（ｅ）に示す工程において、溝の側面とインク吐出面とが成す角度が第１の実施形態よりも小さくなるように、ノズル形成部材３ｂをパターニングしている。本実施形態では、インク吐出口１の壁面とインク吐出面とが成す角度は約９０°であるのに対し、溝２の壁面とインク吐出面とが成す角度は約７０°である。
【００３２】
このインクジェット記録ヘッドを用いて顔料インクで印字耐久試験を行ったときの印字品位およびインク吐出面の状態を確認した。このときワイパー操作は定期的に実施した。印字初期段階（印字枚数１０００枚）では、印字品位は良好であり、ヨレ・不吐は発生しなかった。このときのインク吐出面の状態を図５（ａ）に示す。インク吐出面には、インク滴吐出の際に付随して発生したミストやミストが互いに結合してできたインク滴１１が付着していた。しかし、その発生数は少なく、またサイズも比較的小さかった。
【００３３】
さらに印字耐久試験を行い、印字枚数３万枚の時点でもヨレ・不吐は発生せず、図５（ｂ）に示すように、インク吐出面にミストやインク滴１１は付着していたが、その発生数は依然として比較的少なく、溝２にインクの存在が確認された。
【００３４】
さらに印字耐久試験を行い、印字枚数２０万枚の時点でもヨレ・不吐は発生しなかった。このときのインク吐出面の状態を図５（ｃ）に示す。インク吐出面に付着しているミストやインク滴１１の数、サイズともに徐々に増しつつあるが、それらがインク吐出口１を塞ぐレベルではなく、インク溜りの発生も確認されなかった。
【００３５】
このように、溝２の壁面とインク吐出面とが成す角度をより小さくして、鼠返しのような構造にすると、一度溝２に流れ込んだインクがインク吐出面へ再付着してインク溜りを発生させるのを防止することに有効であることが確認された。
【００３６】
（第３の実施形態）
本実施形態では、溝の側面および底部を含め、インク吐出面の全面に撥水処理を施した構造を有するインクジェット記録ヘッドを作製した。図６は本発明の第３の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する図である。
【００３７】
まず、図６（ａ）に示すように、インク吐出エネルギー発生素子７が設けられたＳｉ基板４上に型材９の材料（ＯＤＵＲ、東京応化工業（株）製）を厚さ１４μｍで塗布した。さらに、その露光・現像を行うことにより、型材９をパターニングした。この型材９は、ノズル部が完成した状態で発泡室および流路となる空間を形成するものである。
【００３８】
次に、図６（ｂ）に示すように、基板４上にノズル形成部材３ａをスピンコートにより厚さ１４μｍで塗布した。ノズル形成部材３ａの材料には、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤を溶剤に溶解して作製したものを用いた。その後、１００℃で加熱してノズル形成部材３ａを硬化させた。
【００３９】
続いて、図６（ｃ）に示すように、型材９およびノズル形成部材３ａが厚さ１４μｍでパターニングされている基板４上に、ノズル形成部材３ｂをスピンコートにより厚さ１１μｍで塗布した。ノズル形成部材３ｂの材料には、上記のものと同様に、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤を溶剤に溶解して作製したものを用いた。
【００４０】
続いて、図６（ｄ）に示すように、ミラー・プロジェクション・マスクアライナー（ＭＰＡ−６００・Ｓｕｐｅｒ、キヤノン（株）製）を使用して、ノズル形成部材３ａ，３ｂの露光を行った。この工程では、インク供給口を介して配置されたインク吐出口列間に設けられる溝となる部分をパターニングしている。
【００４１】
ノズル形成部材３ａ，３ｂの露光は、マスク１０ａを介して０．２Ｊ／ｃｍ2のＵＶ光１２を照射して行った。このとき、ノズル形成部材３ａ，３ｂのＵＶ光１２が照射された領域は架橋反応が開始され硬化した状態となり、Ｃｒパターン１３ａによりＵＶ光１２が遮断され照射されなかった領域は架橋反応せず有機溶剤で除去が可能な状態のままである。なお、ミラー・プロジェクション・マスクアライナーは、マスク１０ａに形成されているＣｒパターン１３ａの像が、基板４の表面、すなわち型材９の底面でピントが合うように（焦点を結ぶように）設定してある。
【００４２】
さらに、図６（ｅ）に示すように、別のマスク１０ｂを使用して、再度ノズル形成部材３ａ，３ｂに０．２Ｊ／ｃｍ2のＵＶ光１２を照射してそれらの露光を行った。この工程では、インク吐出口となる部分をパターニングしている。なお、この工程でも前述と同様のミラー・プロジェクション・マスクアライナーを使用している。ミラー・プロジェクション・マスクアライナーは、マスク１０ｂに形成されているＣｒパターン１３ｂの像が、基板４の表面から高さ２５μｍの位置、すなわちノズル形成部材３ｂの表面で焦点を結ぶように設定してある。前工程からの焦点位置の変更は、ミラー・プロジェクション・マスクアライナーを構成している台形ミラーを移動させて行った。
【００４３】
さらに、図６（ｆ）に示すように、ノズル形成部材３ａ，３ｂのＵＶ光１２が照射されなかった領域を現像液で除去した。
【００４４】
さらに、図６（ｇ）に示すように、インク吐出面にスピンコートにより撥水部材８を厚さ０．５μｍで形成した。撥水部材８の材料には、エポキシ樹脂と光カチオン重合開始剤を溶剤に溶解して作製したものを用いた。続いて、インク吐出口１に対応する位置のみＣｒパターン１３を設けたマスク１０ｃを使用して、撥水部材８に０．２Ｊ／ｃｍ2のＵＶ光を照射して露光を行った。なお、この工程でも前述と同様のミラー・プロジェクション・マスクアライナーを使用している。ミラー・プロジェクション・マスクアライナーは、マスク１０ｃに形成されているＣｒパターン１３ｃの像が、基板４の表面から高さ２５μｍの位置、すなわちノズル形成部材３ｂの表面（撥水部材８の底面）で焦点を結ぶように設定してある。前工程からの焦点位置の変更は、ミラー・プロジェクション・マスクアライナーを構成している台形ミラーを移動させて行った。
【００４５】
その後、図６（ｈ）に示すように、撥水部材８のＵＶ光が照射されなかった領域を現像液で除去してから１００℃で加熱することにより、インク吐出口１および溝２を形成した。本実施形態では、インク吐出口１の壁面とインク吐出面とが成す角度は約９０°であるのに対し、溝２の壁面とインク吐出面とが成す角度は約７０°である。
【００４６】
続いて、型材９、ノズル形成部材３ａ，３ｂおよび撥水部材８がパターニングされたＳｉ基板４を、約８０℃に加熱温調したＴＭＡＨ２２ｗｔ％水溶液に十数時間浸漬することによりＳｉをエッチングして、Ｓｉ基板４にインク供給口５を形成した（図２参照）。
【００４７】
最後に、溶剤を用いて型材９をインク吐出口１およびインク供給口５から溶出させることにより、インク流路および発泡室を形成し、インクジェット記録ヘッドのノズル部を形成した。さらに、ノズル部が形成された基板４を、ダイシングソーにより分離切断、チップ化し、インク吐出エネルギー発生素子７を駆動させるための配線（不図示）の電気的接合を行った。その後、インク供給のためのチップタンク部材（不図示）を接続して、インクジェット記録ヘッドを完成させた。
【００４８】
このインクジェット記録ヘッドを用いて顔料インクで印字耐久試験を行ったときの印字品位およびインク吐出面の状態を確認した。このときワイパー操作は定期的に実施した。印字初期段階（印字枚数１０００枚）では、印字品位は良好であり、ヨレ・不吐は発生しなかった。また、インク吐出面に付着したミストやインク滴も発生数は少なく、サイズも比較的小さかった。
【００４９】
さらに印字耐久試験を行い、印字枚数２０万枚の時点でもヨレ・不吐は発生しなかった。インク吐出面に付着しているミストやインク滴の数、サイズともに徐々に増しつつあるが、インク吐出口を塞ぐレベルではなく、インク溜りの発生も確認されなかった。また、溝２にインクが存在していることが確認されたが、一度溝２内に流れ込んだインクは溝２内に保持され続けており、溝２内のインクがインク吐出面に再付着するような現象は確認されなかった。
【００５０】
このように、溝２を鼠返しのような構造にするとともに、溝２の側面および底部を含め、インク吐出面の全面に撥水処理を施すと、一度溝２に流れ込んだインクを溝２内部に保持し続けることに有効であることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図２】図（ａ）は図１に示した製造方法によって作製されたインクジェット記録ヘッドの上面透視図、図（ｂ）はそのＡ−Ａ’線における断面図である。
【図３】図１に示した製造方法によって作製されたインクジェット記録ヘッドを用いて顔料インクで印字耐久試験を行ったときのインク吐出面の状態を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図５】図４に示した製造方法によって作製されたインクジェット記録ヘッドを用いて顔料インクで印字耐久試験を行ったときのインク吐出面の状態を示す図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する図である。
【符号の説明】
【００５２】
１    インク吐出口
２    溝
４    Ｓｉ基板
６    インク流路および発泡室
７    インク吐出エネルギー発生素子
【図１】
2007055007.tif 000003
【図２】
2007055007.tif 000004
【図３】
2007055007.tif 000005
【図４】
2007055007.tif 000006
【図５】
2007055007.tif 000007
【図６】
2007055007.tif 000008