(57)【要約】【課題】作業性が向上されたダスト検出システムを提供する。【解決手段】ケース内に固定される収納板２上には、Ｘ軸に沿ってレーザ光源３が設けられている。また、上記収納板２上には、レーザ光源３から出射されるレーザ光をＹ軸方向へ反射するスキャナ４が設けられる。スキャナ４は、収納板２上に設けられたスキャンコントローラ５の指令に基づいて、レーザ光源３からのレーザ光をＸ軸およびＹ軸を含む平面内で走査させるように動作する。また、Ｙ軸に沿ってＣＣＤカメラ６が設けられている。ＣＣＤカメラ６は、収納板２上に設けられたカメラ支持台７により支持されている。ＣＣＤカメラ６にはレンズ８が装着されている。レンズ８はレーザ光源３からのレーザ光がダストに照射されることにより生じる散乱光を集光し、ＣＣＤカメラ６はレンズ８により集光された散乱光を撮像する。【選択図】図２
2007218587.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出対象空間内のダストを検出するダスト検出システムであって、
検出対象空間内のダストを可視化するダスト可視化装置と、
検出対象空間を介して前記ダスト可視化装置に対向するように設けられ、光を吸収する第１の光吸収部材とを備え、
前記ダスト可視化装置は、
レーザ光を出射する光源と、
前記光源により出射されたレーザ光を検出対象空間内で走査させる走査手段と、
前記走査手段により走査されたレーザ光がダストに照射されることにより生じる後方散乱光を受光するように検出対象空間を撮像する撮像手段とを含むことを特徴とするダスト検出システム。
【請求項２】
前記ダスト可視化装置は、前記撮像手段により得られる画像を表示する表示手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載のダスト検出システム。
【請求項３】
前記第１の光吸収部材は、２０％以下の反射率を有することを特徴する請求項１または２記載のダスト検出システム。
【請求項４】
検出対象空間内のダストを検出するダスト検出システムであって、
検出対象空間内のダストを可視化するダスト可視化装置と、
検出対象空間を介して前記ダスト可視化装置に対向するように配置され、光を反射する光反射部材とを備え、
前記ダスト可視化装置は、
レーザ光を出射する光源と、
前記光源により出射されたレーザ光を検出対象空間内で走査させる走査手段と、
前記走査手段により走査されたレーザ光がダストに照射されることにより生じる前方散乱光を前記光反射部材の反射光として受光するように検出対象空間を撮像する撮像手段とを含むことを特徴とするダスト検出システム。
【請求項５】
前記ダスト可視化装置は、前記撮像手段により得られる画像を表示する表示手段をさらに備えたことを特徴とする請求項４記載のダスト検出システム。
【請求項６】
前記光反射部材の周囲の領域に配置され、光を吸収する第２の光吸収部材をさらに備えたことを特徴とする請求項４または５記載のダスト検出システム。
【請求項７】
検出対象空間に関して前記ダスト可視化装置側の領域でかつ前記光反射部材を介して少なくとも前記撮像手段の視野内の位置に配置される第３の光吸収部材をさらに備えたことを特徴とする請求項６記載のダスト検出システム。
【請求項８】
前記ダスト可視化装置は、前記光源、前記走査手段および前記撮像手段を収納する収納部をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のダスト検出システム。
【請求項９】
前記撮像手段は、前記レーザ光を受光する受光面を有し、
前記受光面に取り付けられるとともに前記レーザ光を除く光を透過させないフィルタをさらに備えたことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のダスト検出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばクリーンルーム内に存在するダストを検出するダスト検出システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、集積回路（ＩＣ）および大規模集積回路（ＬＳＩ）等の電子部品は、ダスト（微粒子）が極めて少ないクリーンルーム内において製造されている。
【０００３】
一般的に、クリーンルームでは、当該クリーンルームの天井から清浄な空気を吹き出させ、床から同量の室内の空気を排出することにより、クリーンルーム内のダストの数が低く保たれている。
【０００４】
クリーンルーム内に存在するダストの大きさ、またはダストの数を検出するためにダスト可視化装置（ダストカウンタ）が用いられている。
【０００５】
このようなダスト可視化装置は、クリーンルーム内の空気中に光を出射する投光系（光源）と、当該光源から出射された光を前方で受光する受光系とが別体で構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
上記ダスト可視化装置においては、光源によりクリーンルーム内の空気中に例えばレーザ光が出射される。光源からのレーザ光は、空気中に存在するダストに照射される。これにより、散乱光が生じる。
【０００７】
レーザ光がダストに照射されることにより生じる上記散乱光のうち比較的光量の多い前方散乱光が、例えばＣＣＤ（Charge-Coupled Device：電荷結合素子）カメラ等の受光系により受光される。そして、上記ＣＣＤカメラにより空気中のダストが画像として認識される。この画像を解析することにより、空気中に存在するダストの大きさおよび数を得ることができる。
【特許文献１】特開昭６１−２４０６４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一般に、ダスト可視化装置はクリーンルーム内の複数の場所で使用されるので移動性および携帯性の向上が要求される。すなわち、使用者にとって持ち運びがしやすいダスト可視化装置が望まれる。また、光源と受光系との配置の調整の際には、厳密な位置決めが要求される。
【０００９】
しかしながら、従来のダスト可視化装置は光源と受光系とが別体で構成されているため、上記のような要求に応えることが困難である。
【００１０】
本発明の目的は、作業性が向上されたダスト検出システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
第１の発明に係るダスト検出システムは、検出対象空間内のダストを検出するダスト検出システムであって、検出対象空間内のダストを可視化するダスト可視化装置と、検出対象空間を介してダスト可視化装置に対向するように設けられ、光を吸収する第１の光吸収部材とを備え、ダスト可視化装置は、レーザ光を出射する光源と、光源により出射されたレーザ光を検出対象空間内で走査させる走査手段と、走査手段により走査されたレーザ光がダストに照射されることにより生じる後方散乱光を受光するように検出対象空間を撮像する撮像手段とを含むものである。
【００１２】
第１の発明に係るダスト検出システムにおいては、検出対象空間内のダストがダスト可視化装置により可視化される。
【００１３】
具体的には、光源により出射されたレーザ光が検出対象空間内で走査手段により走査される。そして、走査手段により走査されたレーザ光が検出対象空間内に存在するダストに照射されると、散乱光が生じる。このように生じた散乱光のうち後方散乱光が受光されるように上記検出対象空間が撮像手段により撮像される。走査されたレーザ光がダストに照射されることにより生じる散乱光のうち前方散乱光および外乱光は、検出対象空間を介してダスト可視化装置に対向するように設けられた第１の光吸収部材により吸収される。また、背景からの光が撮像手段に入射することが防止される。それにより、レーザ光に対する安全性を確保するとともに後方散乱光に基づいてダストが鮮明に撮像される。
【００１４】
このように、投光部としての光源および走査手段と受光部としての撮像手段とがダスト可視化装置として一体的に構成される。それにより、ダスト可視化装置の携帯性の向上およびコンパクト化を図ることが可能となる。これにより、作業性が向上される。
【００１５】
また、上記のように、光源、走査手段および撮像手段が一体的に構成されることにより、従来のように、投光系の前方に配置される受光系のためのスペースを設ける必要がない。
【００１６】
また、本発明のダスト可視化装置では、光源、走査手段および撮像手段の当該ダスト可視化装置内での位置が予め設定されるので、従来のように、投光系と受光系との位置合わせを行わなくてもよい。それにより、作業効率が向上される。
【００１７】
ダスト可視化装置は、撮像手段により得られる画像を表示する表示手段をさらに備えてもよい。
【００１８】
この場合、撮像手段により得られたダストの画像が表示手段により表示されるので、使用者は当該画像を確認することによりダストを容易に認識することができる。また、表示手段をダスト可視化装置と一体的に取り扱うことができるので、携帯性の向上およびコンパクト化をさらに図ることができる。
【００１９】
第１の光吸収部材は、２０％以下の反射率を有してもよい。この場合、走査されたレーザ光、前方散乱光および外乱光が良好に吸収される。それにより、レーザ光に対する安全性を確保するとともに表示手段に表示されるダストの画像が鮮明化される。
【００２０】
第２の発明に係るダスト検出システムは、検出対象空間内のダストを検出するダスト検出システムであって、検出対象空間内のダストを可視化するダスト可視化装置と、検出対象空間を介してダスト可視化装置に対向するように配置され、光を反射する光反射部材とを備え、ダスト可視化装置は、レーザ光を出射する光源と、光源により出射されたレーザ光を検出対象空間内で走査させる走査手段と、走査手段により走査されたレーザ光がダストに照射されることにより生じる前方散乱光を光反射部材の反射光として受光するように検出対象空間を撮像する撮像手段とを含むものである。
【００２１】
第２の発明に係るダスト検出システムにおいては、検出対象空間内のダストがダスト可視化装置により可視化される。
【００２２】
具体的には、光源により出射されたレーザ光が検出対象空間内で走査手段により走査される。そして、走査手段により走査されたレーザ光は検出対象空間内に存在するダストに照射されると、散乱光が生じる。
【００２３】
このように生じた散乱光のうち前方散乱光は光反射部材により反射される。そして、この反射光が受光されるように、上記検出対象空間が撮像手段により撮像される。それにより、光量の多い前方散乱光に基づいてダストが鮮明に撮像される。
【００２４】
このように、投光部としての光源および走査手段と受光部としての撮像手段とがダスト可視化装置として一体的に構成される。それにより、ダスト可視化装置の携帯性の向上およびコンパクト化を図ることが可能となる。これにより、作業性が向上される。
【００２５】
また、上記のように、光源、走査手段および撮像手段が一体的に構成されることにより、従来のように、投光系の前方に配置される受光系のためのスペースを設ける必要がない。
【００２６】
また、本発明のダスト可視化装置では、光源、走査手段および撮像手段の当該ダスト可視化装置内での位置が予め設定されるので、従来のように、投光系と受光系との位置合わせを行わなくてもよい。それにより、作業効率が向上される。
【００２７】
ダスト可視化装置は、撮像手段により得られる画像を表示する表示手段をさらに備えてもよい。
【００２８】
この場合、撮像手段により得られたダストの画像が表示手段により表示されるので、使用者は当該画像を確認することによりダストを容易に認識することができる。また、表示手段をダスト可視化装置と一体的に取り扱うことができるので、携帯性の向上およびコンパクト化をさらに図ることができる。
【００２９】
ダスト検出システムは、光反射部材の周囲の領域に配置され、光を吸収する第２の光吸収部材をさらに備えてもよい。
【００３０】
この場合、光源からのレーザ光が走査される領域が光反射部材には照射されない方向にある場合に、光源からのレーザ光のうちダストで散乱されないレーザ光は、光反射部材の周囲の領域に配置された第２の光吸収部材により吸収される。それにより、レーザ光に対する安全性を確保するとともに背景から反射された外乱光が撮像手段により受光されることを防止することができる。
【００３１】
また、撮像手段の視野領域は光反射部材を除く領域も含む場合もある。したがって、第２の光吸収部材を光反射部材の周囲の領域に配置することにより、外乱光および背景からの光を撮像手段が受光することが防止される。
【００３２】
ダスト検出システムは、検出対象空間に関してダスト可視化装置側の領域でかつ光反射部材を介して少なくとも撮像手段の視野内の位置に配置される第３の光吸収部材をさらに備えてもよい。
【００３３】
この場合、ダスト可視化装置側でかつ光反射部材を介して少なくとも撮像手段の視野内の位置に第３の光吸収部材が配置されることにより、ダスト可視化装置側に生じる外乱光が光反射部材を介して撮像手段の視野内に入射することが防止される。
【００３４】
ダスト可視化装置は、光源、走査手段および撮像手段を収納する収納部をさらに備えてもよい。
【００３５】
この場合、光源、走査手段および撮像手段が収納部内に一体的に収納される。それにより、ダスト可視化装置の携帯性が著しく向上され、コンパクト化が図られる。これにより、作業性がより向上される。
【００３６】
撮像手段は、レーザ光を受光する受光面を有し、ダスト可視化装置は、受光面に取り付けられるとともにレーザ光を除く光を透過させないフィルタをさらに備えてもよい。
【００３７】
この場合、撮像手段の受光面に取り付けられたフィルタによりレーザ光を除く光が透過されないので、外乱光が撮像手段に入射されることが抑制される。なお、光源から出射されるレーザ光として単一波長のレーザ光を用いることが好ましい。
【発明の効果】
【００３８】
本発明に係るダスト検出システムによれば、携帯性の向上およびコンパクト化を図ることが可能となる。これにより、作業性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、本実施の形態に係るダスト可視化装置を含むダスト検出システムについて図面を参照しながら説明する。
【００４０】
（１）ダスト可視化装置の外観
図１は、本実施の形態に係るダスト可視化装置の外観を示す斜視図である。なお、以下において、水平面内で直交する２方向をＸ軸およびＹ軸とし、Ｘ軸およびＹ軸に垂直な方向をＺ軸とする。
【００４１】
図１に示すように、本実施の形態に係るダスト可視化装置１００は、例えばアルミニウムからなる箱型のケース１を有する。なお、ケース１の底面はＸ軸およびＹ軸を含む平面上に位置する。
【００４２】
ケース１の一側面には、当該ケース１内に収納された後述のレーザ光源３（図２）からのレーザ光を外部に投光するための投光窓１ａが設けられている。
【００４３】
また、投光窓１ａが設けられた同じ側面において、上記レーザ光がクリーンルーム内に存在するダスト（微粒子）に照射されることにより生じる散乱光（図４で詳述）をケース１内で受光するための受光窓１ｂが設けられている。また、受光窓１ｂの外周面には外乱光を遮蔽するための筒状のフード１ｄが設けられている。
【００４４】
ダスト可視化装置１００のケース１上にはモニタ部２０が取り付けられる。ケース１の上面には、取っ手１ｃが設けられている。これにより、使用者はダスト可視化装置１００を容易に持ち運ぶことができるとともに、クリーンルーム内の所望の位置に当該ダスト可視化装置１００を設置することができる。
【００４５】
（２）ダスト可視化装置の内部構成
続いて、本実施の形態に係るダスト可視化装置１００の内部構成について図面を参照しながら説明する。
【００４６】
図２は、図１のダスト可視化装置１００の内部構成を示す斜視図である。図３は、ダスト可視化装置１００の内部を側面から見た透視図である。
【００４７】
図２に示すように、ケース１内に固定される収納板２上には、Ｘ軸に沿ってレーザ光源３が設けられている。
【００４８】
また、上記収納板２上には、レーザ光源３から出射されるレーザ光をＹ軸方向へ反射して走査するスキャナ４が設けられる。レーザ光源３から出射されるレーザ光は、直径０．８〜１．５ｍｍのスポット光である。このようなスポット光を用いることにより照度を向上することができる。
【００４９】
レーザ光源３としては、エネルギーの大きい半導体レーザ装置を用いることができる。この半導体レーザ装置の出力は例えば１００〜１８０ｍＷである。レーザ光源３から出射されるレーザ光の波長は例えば５３２ｎｍまたは６７０ｎｍである。このように、本実施の形態では、単一波長のレーザ光を用いる。
【００５０】
スキャナ４は、収納板２上に設けられたスキャンコントローラ５の指令に基づいて、レーザ光源３からのレーザ光をＸ軸およびＹ軸を含む後述の平面Ｌ２（図３）内で走査させるように動作する。
【００５１】
また、Ｙ軸に沿ってＣＣＤ（Charge-Coupled Device：電荷結合素子）カメラ６が設けられている。このＣＣＤカメラ６は、収納板２上に設けられたカメラ支持台７により支持されている。
【００５２】
ＣＣＤカメラ６としては、高感度の白黒カメラを用いることが好ましい。これは、カラーカメラの場合には白黒カメラに比べ後述のモニタ部２０（図５）における解像度が低下するためである。なお、白黒カメラの解像度は、カラーカメラの解像度の約３倍となる。
【００５３】
ＣＣＤカメラ６の撮像素子としては、例えば有効画素数７６８（水平方向）×４９４（垂直方向）の１／２インチＣＣＤを用いることができる。なお、ＣＣＤカメラ６の最低被写体照度は例えば０．１Ｌｕｘであり、開放絞り値Ｆは例えば１．４である。
【００５４】
ＣＣＤカメラ６にはレンズ８が装着されている。ＣＣＤカメラ６は、当該レンズ８により集光された散乱光を撮像する。
【００５５】
図３に示すように、本実施の形態では、レンズ８およびＣＣＤカメラ６は、レンズ８の光軸Ｌ１がレーザ光が走査される上記平面Ｌ２に鋭角で交差するように傾斜されてカメラ支持台７により支持される。上記光軸Ｌ１と上記平面Ｌ２とがなす傾斜角αは、例えば５．６°である。
【００５６】
図２に示すように、レンズ８には、上記レーザ光を除く光を透過させないための外乱光防止用フィルタ８ａが装着されている。上述したように、単一波長のレーザ光を用いるので、外乱光防止用フィルタ８ａによりレーザ光を除く光を透過させない構成を実現することができる。
【００５７】
レーザ光がダストに照射されることにより生じる上記散乱光は、このレンズ８により集光される。また、ＣＣＤカメラ６には、アナログ信号を出力する信号出力部９が設けられている。
【００５８】
さらに、収納板２上には、２値化回路（ノイズ除去回路）が搭載された２値化装置１０が設けられている。
【００５９】
このように、各構成部がそれぞれ搭載された収納板２は、図１のケース１内に固定される。
【００６０】
本実施の形態では、ＣＣＤカメラ６からの出力信号は、信号出力部９を介して図示しないケーブルにより上記の２値化装置１０に取り込まれる。２値化装置１０は、取り込んだ信号を２値化する。
【００６１】
２値化装置１０による２値化信号は、上記モニタ部２０により取り込まれる。２値化信号を取り込んだモニタ部２０は２値化画像を表示する。この２値化画像においては、予め定められたしきい値以上の輝度を有する領域が白色で表示され、それ以外の領域が黒色で表示される。なお、２値化画像においては、ダストは白色で表示される。
【００６２】
このように、２値化装置１０において予めしきい値を定めることにより、ダストに関与しないノイズ成分を除去することができる。
【００６３】
上記のように、本実施の形態に係るダスト可視化装置１００においては、投光部としてのレーザ光源３と受光部としてのレンズ８およびＣＣＤカメラ６とが同一のケース１内に収納されるとともに、モニタ部２０がケース１に取り付けられることにより、使用者は、ダストｄを可視化（検出）するために最低限必要な各構成部を一体的に持ち運ぶことができる。それにより、ダスト可視化装置１００の携帯性の向上およびコンパクト化を図ることが可能となる。
【００６４】
（３）ダスト可視化装置を用いたダスト検出システム
続いて、本実施の形態に係るダスト可視化装置１００を用いたダスト検出システムについて説明する。
【００６５】
ここで、本実施の形態では、レーザ光源３からのレーザ光がダストに照射されることにより生じる前方散乱光、または後方散乱光を受光する。以下、前方散乱光または後方散乱光を受光することによりダストを検出（可視化）するダスト検出システムについて簡単な図面を参照しながら説明する。
【００６６】
図４は、後方散乱光および前方散乱光を受光することによりダストを検出するダスト検出システム２００ａ，２００ｂの概略的構成を示す説明図である。なお、図４（ａ）は後方散乱光を受光するためのダスト検出システム２００ａの概略的構成を示し、図４（ｂ）は前方散乱光を受光するためのダスト検出システム２００ｂの概略的構成を示す。
【００６７】
図４（ａ）に示すように、レーザ光源３から出射されたレーザ光は、図２のスキャナ４を介して空気中に存在するダストｄに照射される。通常、レーザ光がダストｄに照射されると、ダストｄを中心として光が全方向に散乱される。
【００６８】
ここで、ダストｄを基準としてダスト可視化装置１００の反対側を前方と呼び、ダストｄを基準としてダスト可視化装置１００がある側を後方と呼ぶ。ダストｄにより前方に散乱される光（前方散乱光）ｆｌは、所定の位置に設けられた黒板１１に入射する。
【００６９】
上記の黒板１１は、低反射率（例えば、２０％以下の反射率）を有し、照射されたレーザ光、前方散乱光および外乱光を吸収する。
【００７０】
一方、後方に散乱される光（後方散乱光）ｒｌは、ダスト可視化装置１００のレンズ８により受光される。
【００７１】
一般に、従来のダスト可視化装置において受光系を投光系（光源）の前方に配置することによって前方散乱光ｆｌを受光していたことからもわかるように、ダストｄによる後方散乱光ｒｌの光量（光強度）は前方散乱光ｆｌに比べて少ない。
【００７２】
本例では、後方散乱光を受光するダスト検出システム２００ａにおいて黒板１１を用いることにより、走査されたレーザ光、前方散乱光ｆｌおよび外乱光等を吸収することが可能となる。また、背景からの光がレンズ８に入射することを防止することができる。それにより、モニタ部２０に表示されるダストｄの画像が鮮明化される。これにより、後方散乱光ｒｌを用いてダストｄを正確に検出することができる。
【００７３】
図４（ｂ）に示すように、レーザ光源３から出射されたレーザ光は、図２のスキャナ４を介して空気中に存在するダストｄに照射される。
【００７４】
そして、レーザ光がダストｄに照射されることにより生じる前方散乱光ｆｌは、所定の位置に設けられたミラー１２により反射されてダスト可視化装置１００のレンズ８により受光される。
【００７５】
このように、図４（ｂ）においては、レンズ８により前方散乱光ｆｌが受光されるが、レーザ光がダストｄに照射されることにより生じる図４（ａ）の後方散乱光ｒｌについては、前方散乱光ｆｌよりも光量が少ないため図示を省略している。
【００７６】
ここで、ミラー１２の背面側には、当該ミラー１２が有する面積よりも大きい面積を有する第１の視野除外黒板１３が設けられている。以下、第１の視野除外黒板１３の役割について説明する。
【００７７】
レーザ光源３により出射されるレーザ光が走査される領域である平面Ｌ２、すなわち、２次元的に示された図４（ｂ）では、レーザ光の光軸Ｌ２は、ミラー１２には照射されない方向にある。つまり、レーザ光源３からのレーザ光のうちダストｄで散乱されないレーザ光は、ミラー１２の背面側に設けられた第１の視野除外黒板１３により吸収される。それにより、レーザ光に対する安全性を確保するとともに背景から反射された外乱光がレンズ８により受光されることを防止することができる。
【００７８】
また、ダスト可視化装置１００のレンズ８の視野領域は、当該レンズ８の光軸Ｌ１を含むだけでなく、例えば視野軸Ｌ３も含む。したがって、前方散乱光ｆｌ以外の例えば外乱光等をレンズ８が受光しないように、上記視野軸Ｌ３の前方に第１の視野除外黒板１３を設ける。
【００７９】
さらに、図４（ｂ）においては、ダスト可視化装置１００の側でミラー１２を介してＣＣＤカメラ６の視野内に含まれる領域に第２の視野除外黒板１４が設けられる。これにより、ダスト可視化装置１００の側に生じる外乱光がミラー１２を介してＣＣＤカメラ６の視野内に入射することが防止される。なお、上記第１の視野除外黒板１３および第２の視野除外黒板１４の反射率は、図４（ａ）の黒板１１の反射率と同じである。
【００８０】
上記のように、前方散乱光ｆｌの光量は後方散乱光ｒｌの光量に比べて多い。したがって、前方散乱光ｆｌを受光する図４（ｂ）のダスト検出システム２００ｂを用いることが好ましい。これにより、モニタ部２０（図５）に表示されるダストｄの画像がさらに鮮明化されるので、ダストｄを高精度で検出することができる。
【００８１】
使用者は、モニタ部２０を確認することによりダストｄの数およびダストｄの大きさ等を認識することができる。
【００８２】
（４）本実施の形態における効果
上述したように、本実施の形態においては、投光部としてのレーザ光源３と受光部としてのレンズ８およびＣＣＤカメラ６とが同一のケース１内に収納される。それにより、ダスト可視化装置１００の携帯性の向上およびコンパクト化を図ることが可能となる。
【００８３】
また、上記のように、レーザ光源３、レンズ８およびＣＣＤカメラ６が一体的に構成されることにより、従来のように、投光系の前方に配置される受光系のためのスペースを設ける必要がない。
【００８４】
また、本実施の形態に係るダスト可視化装置１００においては、レーザ光源３、レンズ８およびＣＣＤカメラ６のケース１内での位置が予め設定されているので、従来のように、投光系と受光系との位置合わせを行わなくてもよい。それにより、作業効率が向上される。
【００８５】
また、本実施の形態においては、レーザ光が走査されるＸ軸およびＹ軸を含む平面Ｌ２にＣＣＤカメラ６およびレンズ８の光軸Ｌ１が鋭角で交差するように、ＣＣＤカメラ６およびレンズ８が傾斜状態でカメラ支持台７により支持されることによって、上記レーザ光をＹ軸およびＺ軸からなる平面内で走査させなくてもよい。これにより、部品点数の削減によるコンパクト化および低コスト化を実現することができる。
【００８６】
また、本実施の形態に係るダスト可視化装置１００においては、エネルギーの大きいレーザ光源３および高感度のＣＣＤカメラ６を用いることにより、前方散乱光ｆｌまたは後方散乱光ｒｌの光量が少ない場合でも微小なダストｄを確実に検出することができる。
【００８７】
本実施の形態に係るダスト検出システム２００ａ，２００ｂを用いることにより、例えば５μｍ以上のダストｄを確実に検出することができる。
【００８８】
（５）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【００８９】
本実施の形態においては、黒板１１が第１の光吸収部材に相当し、レーザ光源３が光源に相当し、スキャナ４が走査手段に相当し、ＣＣＤカメラ６およびレンズ８が撮像手段に相当し、モニタ部２０が表示手段に相当し、ミラー１２が光反射部材に相当し、第１の視野除外黒板１３が第２の光吸収部材に相当し、第２の視野除外黒板１４が第３の光吸収部材に相当し、ケース１が収納部に相当し、外乱光防止用フィルタ８ａがフィルタに相当する。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
本発明は、ダスト可視化装置の他、投光系（光源）と受光系とを有する各種検出装置に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本実施の形態に係るダスト可視化装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１のダスト可視化装置の内部構成を示す斜視図である。
【図３】ダスト可視化装置の内部を側面から見た透視図である。
【図４】後方散乱光および前方散乱光を受光することによりダストを検出する各ダスト検出システムの概略的構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００９２】
１  ケース（収納部）
１ａ  投光窓
１ｂ  受光窓
１ｃ  取っ手
１ｄ  フード
２  収納板
３  レーザ光源（光源）
４  スキャナ（走査手段）
５  スキャンコントローラ
６  ＣＣＤカメラ（撮像手段）
７  カメラ支持台
８  レンズ（撮像手段）
８ａ  外乱光防止用フィルタ（フィルタ）
９  信号出力部
１０  ２値化装置
１１  黒板（第１の光吸収部材）
１２  ミラー（光反射部材）
１３  第１の視野除外黒板（第２の光吸収部材）
１４  第２の視野除外黒板（第３の光吸収部材）
２０  モニタ部（表示手段）
１００  ダスト可視化装置
２００ａ，２００ｂ  ダスト検出システム
ｄ  ダスト
ｆｌ  前方散乱光
Ｌ１  光軸
Ｌ２  平面（光軸）
Ｌ３  視野軸
ｒｌ  後方散乱光
α  傾斜角
【図１】
2007218587.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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