(57)【要約】【課題】オペレータがレシピの誤り箇所を容易に発見できるようにする。【解決手段】基板処理装置の動作を決定するためのフローレシピおよびユニットレシピをチェックする際に、支援装置の表示部に、基板処理装置が備える複数のユニットごとに、時間経過と稼働状況とを示す領域（ジョブライン１０１）を設けたジョブライン図１００を表示させる。各ユニットにおいて、基板に対する処理を実行する期間を当該ユニットのジョブライン１０１に横方向の太線（例えば太線１０３）で示し、各ユニットにおける前処理動作や後処理動作を当該ユニットのジョブライン１０１に横方向の線（例えば線１０７，１０９）で示す。また、ユニット間の基板の搬送を縦線（例えば線１０４）で示す。さらに、基板が搬送されないユニットについてもジョブライン１０１を設ける。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータ読み取り可能な支援プログラムであって、前記コンピュータによる前記支援プログラムの実行は、前記コンピュータに、
少なくとも１つの処理ユニットを含む複数のユニットによって所定の処理を実行する処理装置に関する装置情報、前記所定の処理を実行するために必要な少なくとも１つの処理ユニットの前記所定の処理における使用順序を指定するフローレシピ、および前記フローレシピにおいて指定された少なくとも１つの処理ユニットごとの動作を指定するユニットレシピを取得する情報取得工程と、
前記情報取得工程において取得された前記装置情報、前記フローレシピおよび前記ユニットレシピに基づいて、前記複数のユニットのうち前記所定の処理に使用されるユニットごとに、時間経過と稼働状況とを表現したジョブライン図を描画する描画工程と、
前記描画工程において描画された前記ジョブライン図を表示する表示工程と、
を実行させることを特徴とする支援プログラム。
【請求項２】
請求項１に記載の支援プログラムであって、
前記所定の処理は、基板に対して実行される処理であり、
前記処理装置は、基板処理装置であることを特徴とする支援プログラム。
【請求項３】
請求項２に記載の支援プログラムであって、
前記所定の処理に使用されるユニットは、基板の搬送を司るユニットおよび前記処理ユニットの状態を整えるためのユニットを含むことを特徴とする支援プログラム。
【請求項４】
請求項２または３に記載の支援プログラムであって、
前記描画工程は、前記装置情報に基づいて、基板を滞留させても、当該基板に対する影響が少ないユニットを前記複数のユニットから識別し、前記ユニットについての描画方法を他のユニットについての描画方法と区別して描画することを特徴とする支援プログラム。
【請求項５】
オペレータの作業を支援する支援装置であって、
少なくとも１つの処理ユニットを含む複数のユニットによって所定の処理を実行する処理装置に関する装置情報、前記所定の処理を実行するために必要な少なくとも１つの処理ユニットの前記所定の処理における使用順序を指定するフローレシピ、および前記フローレシピにおいて指定された少なくとも１つの処理ユニットごとの動作を指定するユニットレシピを取得する情報取得手段と、
前記情報取得手段により取得された前記装置情報、前記フローレシピおよび前記ユニットレシピに基づいて、前記複数のユニットのうち前記所定の処理に使用されるユニットごとに、時間経過と稼働状況とを表現したジョブライン図を描画する描画手段と、
前記描画手段により描画された前記ジョブライン図を表示する表示手段と、
を備えることを特徴とする支援装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置の動作を設定するためのフローレシピおよびユニットレシピをチェックする場合において、オペレータの作業負担を軽減する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のユニットを備えた基板処理装置において、基板の処理をフローレシピとユニットレシピとに基づいて規定する技術が知られている。フローレシピとは、あるロットの基板に洗浄、乾燥等の所定の処理を施す場合において、複数のユニットのうち、当該所定の処理に関与する処理ユニットを規定するとともに、それらの処理ユニットに基板を搬送する順序（すなわちそれらの処理ユニットの使用順序）を規定する。また、ユニットレシピとは、フローレシピに規定されている処理ユニットごとに作成されるレシピであって、個々の処理ユニットにおける動作を規定するレシピである。これらのフローレシピおよびユニットレシピは、オペレータによって作成され、基板処理装置において使用される。
【０００３】
従来より、オペレータによって作成されたレシピの誤りを検出することにより、オペレータの作業を支援する技術が提案されている。
【０００４】
図３は、フローレシピを描画する従来例である。また、図４は、ユニットレシピを描画する従来例である。オペレータは、レシピの誤りが検出された場合には、図３および図４に示すような表示内容を確認しつつ、レシピの誤り箇所を見つけて修正する作業を行う。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１０１０２８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、所定の処理を実行するためには、基板を搬送する搬送ユニットが影響を及ぼす場合がある。すなわち、搬送ユニットは、フローレシピに表示されないユニットであるため、フローレシピの内容を見ただけでは誤り箇所を発見するのが難しいという問題があった。
【０００７】
また、気体や液体を供給するユニットのように、基板が直接搬送されないユニット（別置ユニット）が、処理ユニットにおける処理に影響を及ぼす場合もある。この場合には、ユニットレシピを見ただけでは誤り箇所を発見するのが難しいという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、オペレータがレシピの誤り箇所を容易に発見できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、コンピュータ読み取り可能な支援プログラムであって、前記コンピュータによる前記支援プログラムの実行は、前記コンピュータに、少なくとも１つの処理ユニットを含む複数のユニットによって所定の処理を実行する処理装置に関する装置情報、前記所定の処理を実行するために必要な少なくとも１つの処理ユニットの前記所定の処理における使用順序を指定するフローレシピ、および前記フローレシピにおいて指定された少なくとも１つの処理ユニットごとの動作を指定するユニットレシピを取得する情報取得工程と、前記情報取得工程において取得された前記装置情報、前記フローレシピおよび前記ユニットレシピに基づいて、前記複数のユニットのうち前記所定の処理に使用されるユニットごとに、時間経過と稼働状況とを表現したジョブライン図を描画する描画工程と、前記描画工程において描画された前記ジョブライン図を表示する表示工程とを実行させることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る支援プログラムであって、前記所定の処理は、基板に対して実行される処理であり、前記処理装置は、基板処理装置であることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係る支援プログラムであって、前記所定の処理に使用されるユニットは、基板の搬送を司るユニットおよび前記処理ユニットの状態を整えるためのユニットを含むことを特徴とする。
【００１２】
また、請求項４の発明は、請求項２または３の発明に係る支援プログラムであって、前記描画工程は、前記装置情報に基づいて、基板を滞留させても、当該基板に対する影響が少ないユニットを前記複数のユニットから識別し、前記ユニットについての描画方法を他のユニットについての描画方法と区別して描画することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項５の発明は、オペレータの作業を支援する支援装置であって、少なくとも１つの処理ユニットを含む複数のユニットによって所定の処理を実行する処理装置に関する装置情報、前記所定の処理を実行するために必要な少なくとも１つの処理ユニットの前記所定の処理における使用順序を指定するフローレシピ、および前記フローレシピにおいて指定された少なくとも１つの処理ユニットごとの動作を指定するユニットレシピを取得する情報取得手段と、前記情報取得手段により取得された前記装置情報、前記フローレシピおよび前記ユニットレシピに基づいて、前記複数のユニットのうち前記所定の処理に使用されるユニットごとに、時間経過と稼働状況とを表現したジョブライン図を描画する描画手段と、前記描画手段により描画された前記ジョブライン図を表示する表示手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１ないし５に記載の発明は、前記複数のユニットのうち前記所定の処理に使用されるユニットごとに、時間経過と稼働状況とを表現したジョブライン図を表示することにより、テキスト形式（文字情報）ではなく、図形式で稼働状況が表示されるので、オペレータは稼働状況を容易に理解できる。また、処理ユニット以外のユニットについても稼働状況が表示されるので、オペレータはさらに容易に処理装置の稼働状態を理解することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００１６】
＜１．  第１の実施の形態＞
＜１−１．  装置構成＞
図１は、本発明に係る支援装置である基板処理装置１を示す図である。基板処理装置１は、ローダ１０、キャリア載置部（バッファ）１１、水平移載ロボット１２、姿勢変換機構１３、プッシャ１４、搬送ロボット１５、および基板処理部２を備える。
【００１７】
ローダ１０には、複数の基板９０を収納するキャリアカセット９１が載置され、基板処理装置１の外部との間で、キャリアカセット９１に収納された基板９０の搬入および搬出を行う。なお、このときこれら複数の基板９０はキャリアカセット９１内において、水平姿勢において保持されている。
【００１８】
ローダ１０に搬入されたキャリアカセット９１は、キャリア載置部１１に載置される。
【００１９】
水平移載ロボット１２は多関節型の搬送ロボットであり、基板支持ハンドで基板９０を保持しつつ所定範囲の３次元空間内で移動自在となっており、キャリア載置部１１に載置されたキャリアカセット９１と姿勢変換機構１３との間で基板９０を搬送する。
【００２０】
姿勢変換機構１３は、保持した複数の基板９０の姿勢を水平姿勢と垂直姿勢との間で変換する。
【００２１】
プッシャ１４は、その上下移動によって、姿勢変換機構１３と搬送ロボット１５との間で、垂直姿勢を有する複数の基板９０の受け渡しを行う。
【００２２】
搬送ロボット１５は、水平移動及び昇降移動が可能である。また、搬送ロボット１５は、垂直姿勢を有する複数の基板９０を挟持するための一対の挟持機構１５０を備えている。このような構成を有する搬送ロボット１５は、プッシャ１４との間で基板９０の授受を行う。またリフタ１６ないし１８のそれぞれとの間での基板９０の授受を行うこともできる。搬送ロボット１５は、洗浄処理前、洗浄処理中及び洗浄処理後の基板９０を一箇所から別の箇所に搬送したり移載したりする。
【００２３】
搬送ロボット水洗処理部１９は、搬送ロボット１５の一対の挟持機構１５０を洗浄するための洗浄槽を有する。
【００２４】
基板処理部２は、複数のユニットとして、薬液や洗浄液を収容する処理槽を備えた液処理部２０ないし２５と、基板９０を乾燥させる乾燥処理部２６とを備える。なお、基板処理部２が備える液処理部２０ないし２５および乾燥処理部２６は、それぞれ基板９０に対して何らかの処理を施すユニットであるので、以下の説明において、便宜上「処理ユニット」と総称する場合がある。
【００２５】
これら複数の処理ユニットはＸ軸方向に沿って直線的に配列されており、この直線的配列の側方には前述の搬送ロボット１５が設けられている。したがって、搬送ロボット１５は、基板９０を保持した状態で、直線的配列方向に移動することにより、基板９０の搬送を行う。
【００２６】
また、基板処理装置１は、リフタ１６ないし１８を備えている。リフタ１６ないし１８は、ほぼ同様の構造を備えており、上下動（Ｚ軸方向）および横行（Ｘ軸方向）が可能である。また、リフタ１６ないし１８は、搬送ロボット１５との間で基板９０の受け渡しを行う。
【００２７】
リフタ１６は、液処理部２０，２１の後方側に配置されている。リフタ１６は、上昇した状態で横行し、液処理部２０あるいは液処理部２１の上方に移動してから下降することによって、液処理部２０，２１の処理槽に搬送ロボット１５から受け取った基板９０を搬入する。
【００２８】
すなわち、液処理部２０と液処理部２１との間の基板９０の搬送は、リフタ１６によって行われる。同様に、リフタ１７は液処理部２２と液処理部２３との間の基板９０の搬送を行い、リフタ１８は液処理部２４と液処理部２５との間の基板９０の搬送を行う。
【００２９】
また、リフタ１６ないし１８が、基板９０を保持した状態で下降することにより、液処理部２１ないし２５の処理槽に貯留された処理液に基板９０が浸漬され、処理液による処理が行われる。
【００３０】
なお、基板９０の搬送や姿勢制御等を行う構成、例えば、水平移載ロボット１２、搬送ロボット１５やリフタ１６ないし１８等を、以下便宜上、「搬送ユニット」と総称する場合がある。
【００３１】
基板処理装置１は、気体供給機構３および液体供給機構４を備える。気体供給機構３および液体供給機構４は、主に処理ユニットに対して、それぞれ気体または液体を供給するユニット群で構成されている。
【００３２】
気体供給機構３は、例えば高温・高圧の水蒸気を供給する蒸気供給ユニット３０、オゾンを供給するオゾン供給ユニット３１および窒素ガス等の不活性ガスを供給する不活性ガス供給ユニット３２を備える。
【００３３】
液体供給機構４は、基板９０をエッチングする薬液を供給する薬液供給ユニット４０、硫酸水やリン酸水のような基板９０を洗浄するための液体を供給する洗浄液供給ユニット４１、および純水を供給する純水供給ユニット４２を備える。
【００３４】
このように、基板処理装置１が備える複数のユニットのうち、基板処理に必要な気体あるいは液体を供給するユニット等、直接基板９０が搬送されることのないユニットを、以下説明の便宜上、「別置ユニット」と総称する。なお、別置ユニットの数や種類は、ここに示したものに限られるものではない。
【００３５】
さらに、基板処理装置１は、各構成を制御するためのコントローラ５を備えている。図２は、コントローラ５の構成を示すバス配線図である。
【００３６】
コントローラ５は、演算処理を行うＣＰＵ５０、プログラム５１０やレシピ等のデータを記憶する記憶装置５１、オペレータが指示を入力するために操作する操作部５２、ジョブライン図等のデータを画面に表示する表示部５３、および読取装置５４を備えている。
【００３７】
なお、詳細は図示しないが、記憶装置５１は、主にプログラム５１０を記憶するＲＯＭ、ＣＰＵ５０のワーキングエリアとして使用されるＲＡＭ、およびハードディスク装置等から構成される。操作部５２は、ボタン類やキーボード、マウス等から構成される。また、表示部５３は、液晶パネルディスプレイである。また、読取装置５４は、可搬性のディスク９２に記憶されているデータを読み取る装置である。ディスク９２としては、例えば、フロッピー（登録商標）ディスク、コンパクトディスク、ＤＶＤ等が該当する。
【００３８】
このような構成により、コントローラ５は、一般的なコンピュータとしての機能を備えている。
【００３９】
コントローラ５は、予め設定されている装置情報や、実行しようとする処理に応じてオペレータによって作成されるフローレシピおよびユニットレシピに基づいて、複数のユニット（搬送ユニット、処理ユニットおよび別置ユニット）を制御する。これにより、基板処理装置１は、オペレータが所望する処理を基板９０に対して実行できる。
【００４０】
なお、詳細は図示しないが、装置情報とは、基板処理装置１の備える構成（それぞれのユニットを含む）の性能等に関する情報である。装置情報に含まれる情報としては、例えば、姿勢変換機構１３の変換速度や、搬送ロボット１５の搬送速度、あるいは別置ユニットの準備時間等であって、主に処理に応じて変更できないパラメータである。
【００４１】
また、フローレシピとは、基板処理装置１に搬入された基板９０が基板処理装置１から搬出されるまでの一連の処理に関与する少なくとも１つの処理ユニットを、基板処理装置１が備える複数のユニットから選択してその使用順序を規定するレシピである。
【００４２】
さらに、ユニットレシピとは、フローレシピに規定された少なくとも１つの処理ユニットごとの動作を規定するレシピである。
【００４３】
また、コントローラ５は、先述のように、一般的なコンピュータとしての機能を備えているので、主にＣＰＵ５０がプログラム５１０を実行することによって、後述するようにオペレータの作業を支援する支援装置として機能する。このように、本実施の形態における基板処理装置１は、基板処理装置１としてのハードウェアのみで支援装置を実現できるため、コストを抑制できる。
【００４４】
＜１−２．  フローレシピおよびユニットレシピの構造＞
図３は、フローレシピのデータ構造を例示する図である。図３に例示するフローレシピ７は、当該フローレシピ７を識別するための情報が格納される名称格納欄７０を備えたテーブル構造のデータである。
【００４５】
図３に示す例では、名称格納欄７０には「ＦＲｅｃｉｐｅ１」という文字列がフローレシピ７の名称として格納されている。なお、フローレシピ７を示すデータのファイル名を格納する部分を「名称格納欄７０」として使用してもよい。
【００４６】
さらに、フローレシピ７は、複数のレコード７１で構成される。１つのレコード７１は、図３において太枠で示す構造であり、それぞれが３つの項目から構成されている。フローレシピ７は、レコード７１が備える項目の名称を格納する項目名称格納欄７２を備える。本実施の形態では、レコード７１は、「レコード番号」、「処理／処理ユニット名」、「ユニットレシピ名」という３つの項目から構成される。なお、１つのレコード７１に設けられる項目は３つに限られるものではない。
【００４７】
「レコード番号」は、フローレシピ７によって実行される処理の各ステップ番号に対応している。したがって、レコード番号の若い順に、そのレコード７１に指定されている処理ユニットによる処理が実行される。図３に示す例では、フローレシピ７の「ｎ番目」から「ｎ＋３番目」までのレコード７１を示しており、この部分によって、基板処理装置１によって実行される処理の「ｎ番目」から「ｎ＋３番目」までのステップが指定される。
【００４８】
フローレシピ７では、太枠で示す「ｎ＋１番目」のレコード７１の「処理／処理ユニット名」項目には、「ＲＩＮＳＥ／Ｔ２１」と格納されている。本実施の形態では、「Ｔ２１」とは、「液処理部２１」を示す文字列として定義されているものとする（このような定義付けは装置情報において行うことができる）。すなわち、フローレシピ７は、ｎ＋１番目のステップを液処理部２１によってリンス処理を行うように指定している。
【００４９】
このようなデータ構造により、フローレシピは、基板処理装置１が備える複数の処理ユニットのうち、当該一連の処理に使用する処理ユニットを、使用する順序で指定したデータとなる。
【００５０】
図３に例示するフローレシピ７では、「ｎ＋１番目」のレコード７１の「ユニットレシピ名」項目には、「ＵＲｅｃｉｐｅ２」と格納されている。すなわち、図３に示すフローレシピ７は、ｎ＋１番目のステップにおける処理ユニット（液処理部２１）の動作は「ＵＲｅｃｉｐｅ２」に指定されていることを示している。
【００５１】
このようにフローレシピ７では、各レコード７１にユニットレシピ名（識別子）を格納する項目が設けられていることによって、フローレシピ７と複数のユニットレシピとの関連付けがされている。
【００５２】
ただし、画一的な処理しか実行しないユニットについては、そのユニットがフローレシピにおいて指定されただけで、その動作は一義的に決定される。そのため、そのようなユニットを使用するステップ（レコード７１）においては、ユニットレシピが関連付けられていなくてもよい。また、その場合、ユニットレシピに相当する情報は装置情報として準備され、当該ユニットに対して関連付けられていてもよい。
【００５３】
なお、フローレシピの各レコードにおいては、主に処理ユニットが指定されるが、もちろん他のユニット（例えば搬送ユニット）が指定されてもよい。
【００５４】
図４は、ユニットレシピのデータ構造を例示する図である。ユニットレシピ８は、図３に示す「ＵＲｅｃｉｐｅ２」という名称（文字列）で識別されるユニットレシピを示す例である。図４に例示するユニットレシピ８は、当該ユニットレシピ８を識別するための情報が格納される名称格納欄８０を備えたテーブル構造のデータである。
【００５５】
図４に示す例では、名称格納欄８０には「ＵＲｅｃｉｐｅ２」という文字列がユニットレシピ８の名称として格納されている。なお、ユニットレシピ８を示すデータのファイル名を格納する部分を「名称格納欄８０」として使用してもよい。
【００５６】
さらに、ユニットレシピ８は、複数のレコード８１で構成される。１つのレコード８１は、図４において太枠で示す構造であり、それぞれが複数の項目から構成されている。
【００５７】
また、ユニットレシピ８は、レコード８１が備える項目の名称を格納する項目名称格納欄８２を備える。図４では、レコード８１が備える「レコード番号」、「処理時間」、「ＤＩＷ」、「温度」、「Ｏ３」という項目を示している。なお、レコード８１に設けられる項目は、処理ユニットの状態および処理ユニットに対して気体や液体を供給する別置ユニット等に応じて設けられ、これらに関する設定条件を格納する。
【００５８】
本実施の形態では、ユニットレシピにおけるレコード番号は、当該ユニットレシピによって指定される処理ユニットの各ステップ番号に対応している。したがって、コントローラ５は、レコード番号の若い順に、そのレコードに指定されている処理を実行するように処理ユニットを制御する。
【００５９】
図４では、ユニットレシピ８の「ｍ番目」から「ｍ＋３番目」までのレコード８１を示しており、この部分によって、液処理部２１によって実行されるリンス処理の「ｍ番目」から「ｍ＋３番目」までのステップが指定される。なお、図４では図示を省略しているが、ユニットレシピ８には、液処理部２１によって実行されるリンス処理の１番目から最終番目までのステップ（レコード８１）が格納される。
【００６０】
本実施の形態では、レコード８１の「処理時間」項目には当該レコード８１に要する時間を格納する。図４に示すユニットレシピ８では、太枠で示す「ｍ番目」のレコード８１の「処理時間」項目には、「６００」と格納されている。このようにして、ユニットレシピ８は、液処理部２１によるリンス処理の「ｍ番目」の処理を「６００秒間」行うように指定している。
【００６１】
次に、本実施の形態では、レコード８１の「ＤＩＷ」項目は、別置ユニットである純水供給ユニット４２による純水の供給方法を格納する。図４に示すユニットレシピ８では、太枠で示す「ｍ番目」のレコード８１の「ＤＩＷ」項目には、「Ｕｐｆｌｏｗ」と格納されている。すなわち、ユニットレシピ８は、液処理部２１によるリンス処理の「ｍ番目」の処理では、純水供給ユニット４２に純水を「Ｕｐｆｌｏｗ」供給するように指定している。
【００６２】
次に、本実施の形態では、レコード８１の「温度」項目は、液処理部２１の温度を格納する。図４に示すユニットレシピ８では、太枠で示す「ｍ番目」のレコード８１の「温度」項目には、「２５」と格納されている。すなわち、ユニットレシピ８は、液処理部２１によるリンス処理の「ｍ番目」の処理は、２５℃で行うように指定している。
【００６３】
さらに、本実施の形態では、レコード８１の「Ｏ３」項目は、別置ユニットであるオゾン供給ユニット３１を使用するか否かを指定する。図４に示すユニットレシピ８では、太枠で示す「ｍ番目」のレコード８１の「Ｏ３」項目には、「要」と格納されている。すなわち、ユニットレシピ８は、液処理部２１によるリンス処理の「ｍ番目」の処理において、オゾン供給ユニット３１を使用するように指定している。
【００６４】
なお、ここでは、１つのユニットレシピ８のみ示したが、通常、１つのフローレシピには複数の処理ユニットが指定されるので、１つのフローレシピが作成されると、それに対応して、複数のユニットレシピが作成される。
【００６５】
以上のような構造のフローレシピおよびユニットレシピがオペレータによって作成され、基板処理装置１に入力されることにより、コントローラ５は、基板処理装置１が備える複数のユニットを適切に制御することが可能となる。
【００６６】
＜１−３．  従来の問題＞
フローレシピおよびユニットレシピは、基板９０に対する処理毎に、オペレータによって作成されるので、オペレータによるレシピ作成作業を軽減するためには、入力項目が少ない方がよい。すなわち、処理毎に設定する必要のないデータ（例えば、一義的に決まる設定条件等）については、フローレシピおよびユニットレシピにおいて指定しない方が好ましい。フローレシピおよびユニットレシピは、基板９０に対する処理を規定するために、最低限必要なデータで構成されることが好ましい。
【００６７】
一方、オペレータによって作成されたフローレシピおよびユニットレシピについて、それらの内容が妥当であるか否かをチェックする支援装置は、必要に応じて作成されたフローレシピおよびユニットレシピを表示する。少なくとも、フローレシピおよびユニットレシピについて誤りを検出した場合、最終的な確認と修正はオペレータが行わなければならないため、支援装置はオペレータに対してフローレシピおよびユニットレシピの内容を表示しなければならない。
【００６８】
このとき従来の支援装置は、確認対象のフローレシピおよびユニットレシピに基づいて、その内容を表示するので、表示される情報は主にオペレータによって入力された情報となる。しかし、オペレータによって入力される情報は先述のように限定された情報であるため、フローレシピおよびユニットレシピを効率よくチェックするには、これらの情報だけでは不足である。
【００６９】
例えば図３に示すように、フローレシピ７を表示した状態では、処理ユニット間の基板９０の搬送がどのようにされるのか表示されない。すなわち、そのときに使用される搬送ユニットに関する搬送動作や準備動作に関する情報が表示されない。また、別置ユニットについては、図４に示すように、使用の要否のみ表示されるので、オペレータは別置ユニットにおける準備動作、使用動作、終了動作について理解できない。
【００７０】
また、従来の装置は、フローレシピおよびユニットレシピのテーブル構造に対応した表を描画して、当該表の各項目欄に、文字情報としてフローレシピおよびユニットレシピの内容を表示していた（すなわち、図３および図４と同等の表示）。したがって、表示形式はテキスト形式（文字情報）であり、オペレータは基板９０に対する処理の全体的な流れを容易に把握できなかった。
【００７１】
このように、従来の表示形式および表示内容では、支援装置からレシピの誤りを指摘されたとしても、オペレータがその原因を見つけることは困難であり、確認・修正作業を行うオペレータは表示されないユニットの動作等について熟知している必要があった。
【００７２】
＜１−４．  動作説明＞
図５は、本実施の形態における基板処理装置１のレシピ検査処理を示す流れ図である。レシピ検査処理とは、オペレータが作成したフローレシピおよびユニットレシピについて、誤りや矛盾がないか検査する処理である。
【００７３】
レシピ検査処理が開始されると、コントローラ５は、基板処理装置１の装置情報を取得する（ステップＳ１）。なお、本実施の形態では、装置情報を記憶したディスク９２から読取装置５４が読み取り、読み取った装置情報を記憶装置５１に保存することによって装置情報を取得する。ただし、装置情報は、オペレータが操作部５２を操作して入力してもよい。あるいはネットワーク等からダウンロードしてもよい。
【００７４】
装置情報を取得すると、フローレシピおよびユニットレシピ取得処理を実行する（ステップＳ２）。
【００７５】
図６は、フローレシピおよびユニットレシピ取得処理を示す流れ図である。まず、コントローラ５は、読取装置５４を制御してディスク９２からフローレシピを取得する（ステップＳ１０）。
【００７６】
次に、フローレシピにおけるレコードを１つ読み込み、当該レコードの「処理／処理ユニット名」項目に格納されている情報と、装置情報とに基づいて、当該レコードに相当するステップの処理位置を取得する（ステップＳ１１）。
【００７７】
このとき読み込んだレコードが、図３の太枠で示すレコード７１であった場合を例に、ステップＳ１１の処理を具体的に説明する。コントローラ５は、このレコード７１に指定されている「ＲＩＮＳＥ／Ｔ２１」という内容から、この処理は、液処理部２１で行われることがわかる。そして、コントローラ５は、装置情報に設定されている液処理部２１の位置から、当該処理の処理位置を取得する。
【００７８】
次に、コントローラ５は、ステップＳ１１で読み込んだレコードの「ユニットレシピ名」項目に格納されている情報に基づいて、読取装置５４を制御してディスク９２から該当するユニットレシピを取得する（ステップＳ１２）。
【００７９】
ユニットレシピを取得すると、コントローラ５は、取得したユニットレシピの項目名称格納欄８２から、当該ユニットレシピに指定される処理および別置ユニットを取得する（ステップＳ１３）。
【００８０】
次に、コントローラ５は、ステップＳ１２で取得したユニットレシピのレコードを１つ読み込み、処理時間および処理内容（温度や、別置ユニットの要否等）を取得する（ステップＳ１４）。
【００８１】
さらに、ステップＳ１４で読み込んだレコードが、当該ユニットレシピの最終ステップ（レコード）であるか否かを判定し（ステップＳ１５）、最終ステップでない場合は、ステップＳ１４を繰り返す。これにより、ユニットレシピのレコードは、最初のレコードから最後のレコードまで、順次読み込まれる。
【００８２】
ステップＳ１２で取得したユニットレシピのレコードをすべて読み込むと（ステップＳ１５においてＹｅｓ）、コントローラ５は、当該ユニットレシピにおける処理ユニットについて、当該ユニットレシピに指定されている処理の計画を作成する。
【００８３】
さらに、コントローラ５は、ステップＳ１１において読み込んだレコードが、フローレシピの最終ステップ（レコード）であるか否かを判定し（ステップＳ１６）、最終ステップでない場合は、ステップＳ１１からの処理を繰り返す。これにより、フローレシピのすべてのレコードが読み込まれるとともに、すべてのユニットレシピが読み込まれる。
【００８４】
フローレシピのレコードをすべて読み込むと（ステップＳ１６においてＹｅｓ）、コントローラ５は、フローレシピおよびユニットレシピ取得処理を終了して、図５の処理に戻る。
【００８５】
フローレシピおよびユニットレシピ取得処理を終了すると、コントローラ５は搬送時間の計算と計画（ステップＳ３）、別置ユニットの準備ON/OFFの計算と計画（ステップＳ４）および搬送ユニットの洗浄動作の計算と計画（ステップＳ５）を順次実行する。
【００８６】
ステップＳ３は、フローレシピから取得した処理位置（ステップＳ１１）および装置情報に基づいて、当該処理位置に基板９０を搬送する搬送ユニットと、それに要する時間等を計算して、搬送ユニットに対する計画を作成する処理である。
【００８７】
なお、詳細は省略するが、ステップＳ３ないしＳ５の処理を簡単に説明する。
【００８８】
ステップＳ４は、ユニットレシピの各レコードから取得した処理時間および処理内容（ステップＳ１４）と装置情報とに基づいて、別置ユニットのＯＮ時間およびＯＦＦ時間を計算し、別値ユニットに対する計画を作成する処理である。
【００８９】
例えば、ユニットレシピのステップ（レコード８１）に、オゾン供給ユニット３１について使用することが指定されていた場合、当該ステップが開始されるまでに、オゾン供給ユニット３１の準備を完了している必要がある。したがって、コントローラ５は、装置情報から、オゾン供給ユニット３１の準備に要する時間を取得して、当該ステップが開始されるまでに、オゾン供給ユニット３１の準備が完了するように、オゾン供給ユニット３１の準備を開始する時間（ＯＮ時間）を計算する。
【００９０】
ステップＳ５は、搬送ユニットの洗浄等に要する時間を計算し、これに対する計画を作成する処理である。例えば、搬送ロボット１５の一対の挟持機構１５０が、処理液に濡れた状態の基板９０を保持した場合には、搬送ロボット水洗処理部１９がこれを洗浄する必要がある。なお、どのような場合（どの処理槽の基板９０を保持した場合）に洗浄が必要か、あるいは搬送ロボット１５が搬送ロボット水洗処理部１９に移動する時間や、洗浄に要する時間等は装置情報に予め格納されている。
【００９１】
次に、コントローラ５は、装置情報、フローレシピおよびユニットレシピに基づいて、ジョブライン図を描画し（ステップＳ６）、描画したジョブライン図を表示部５３に表示させる（ステップＳ７）。
【００９２】
図７は、ジョブライン図１００の表示例を示す図である。ジョブライン図１００では、基板処理装置１が備える複数のユニットのそれぞれごとに、横長の表示領域であるジョブライン１０１が設けられる。
【００９３】
各ジョブライン１０１の先頭領域（図７において右端領域）には、ユニット名（略称）を表示するためのユニット表示領域１０２が設けられている。これにより、オペレータは、個々のジョブライン１０１がどのユニットの稼働状況を示しているか、容易に理解できる。
【００９４】
なお、「ＬＤ／ＵＬＤ」は、搬送ロボット１５とキャリアカセット９１との間で基板９０を搬送するユニット群、すなわちローダ１０、キャリア載置部（バッファ）１１、水平移載ロボット１２、姿勢変換機構１３およびプッシャ１４を示す。また、「ＣＨＣＬ」は搬送ロボット水洗処理部１９を、「ＬＰＤ」は乾燥処理部２６を示す。また、「ＯＮＢ１ないし３」は液処理部２０，２２，２４を示し、「ＣＨＢ１ないし３」は液処理部２１，２３，２５を示す。さらに、「ＣＳＢ１ないし６」は、気体供給機構３および液体供給機構４が備えるユニット（別置ユニット）を示す。
【００９５】
例えば、図７において、最上段のジョブライン１０１のユニット表示領域１０２には、「ＬＤ／ＵＬＤ」と表示されていることから、このジョブライン１０１が基板９０の搬入・搬出に関するユニットの稼働状況を示していることがわかる。
【００９６】
ジョブライン図１００では、基板９０に対する処理は、各ジョブライン１０１における横方向の太線で示される。すなわち、当該太線が描画されている期間において、当該処理が実行されることを示す。一方、搬送ユニットによる基板９０の搬送動作は、主に２つのジョブライン１０１を結ぶ縦方向の線で示される。また、ジョブライン１０１のユニット表示領域１０２を除く領域は、横軸が時間軸に対応して設けられており、ジョブライン１０１の右側領域ほど、処理が開始されてからの時間が経過したときの状態を示すこととなる。
【００９７】
以下に図７に示す例を用いて具体的に説明する。
【００９８】
まず、太線１０３が「ＬＤ／ＵＬＤ」のジョブライン１０１に表示されている。これにより、基板処理装置１での処理の開始とともに、「ＬＤ／ＵＬＤ」において処理が実行されることがわかる。
【００９９】
線１０３の後端は、線１０４によって「ＣＨＢ１」のジョブライン１０１と結ばれている。したがって、「ＬＤ／ＵＬＤ」における処理が終了すると、基板９０が搬送ロボット１５によって液処理部２１に搬送され、リフタ１６によって液処理部２１の処理槽に浸漬されることがわかる。
【０１００】
また、線１０５によって、「ＣＨＢ１」のジョブライン１０１と「ＬＰＤ」のジョブライン１０１とが結ばれていることにより、液処理部２１に基板９０を搬送した搬送ロボット１５は、待機のために、乾燥処理部２６に移動することがわかる。
【０１０１】
「ＣＨＢ１」と液処理部２１での処理が終了した基板９０は、リフタ１６によって液処理部２０に搬送される。このリフタ１６の動作は線１０６によって示されている。
【０１０２】
なお、液処理部２０では、基板９０に対する処理を開始する前に、処理槽に液を供給するなどの準備動作が必要である。液処理部２０の準備動作は線１０７によって示されている。また、これらの準備動作に関与する別置ユニットの動作についても、「ＣＳＢ１，３，６」のそれぞれのジョブライン１０１に表示されている。逆に、他の別置ユニットである「ＣＳＢ２，４，５」のジョブライン１０１には、横方向の太線が表示されていないので、これらのユニットは何ら動作を行わないことも理解できる。
【０１０３】
次に、液処理部２０での処理が終了すると、基板９０を乾燥処理部２６に搬送するために、乾燥処理部２６で待機していた搬送ロボット１５は液処理部２０に移動する必要がある。この搬送ロボット１５の動作は線１０８によって示されている。
【０１０４】
また、液処理部２０のジョブライン１０１には、基板９０に対する処理を示す横方向の太線の後端に線１０９が描画されている。これは、基板９０に対する処理が終了した後に液処理部２０が実行する、排気・排液等のための後処理を示す。このように、ジョブライン図１００では、基板９０に対して行われる処理だけでなく、後処理の期間も表示できる。
【０１０５】
なお、必要に応じて搬送ロボット１５は、搬送ロボット水洗処理部１９によって洗浄されるが、この処理が実行されるときには、「ＣＨＣＬ」のジョブライン１０１に線１１０のように表示される。したがって、線１１０が描画されている期間においては、搬送ロボット１５による基板９０の搬送は不可能であることが容易に理解できる。
【０１０６】
基板処理装置１におけるすべての処理が終了すると、基板９０は「ＬＤ／ＵＬＤ」に搬送されて、基板処理装置１から搬出される。すなわち、ジョブライン図１００では、図７に示すように、処理の最後は必ず「ＬＤ／ＵＬＤ」に基板９０が搬送される。
【０１０７】
以上のように、基板処理装置１は、複数のユニットごとに、時間経過および稼働状況を示すジョブライン図を表示するので、オペレータは、従来のように、主に文字情報のみによって稼働状況が表示される場合に比べて、基板処理装置１の動作状況を容易に把握できる。
【０１０８】
また、液処理部２０ないし液処理部２５等の処理ユニットに限らず、搬送ユニットや別置ユニットについてもジョブライン１０１を表示する。したがって、基板処理装置１における処理の全体が容易に把握できる。
【０１０９】
また、各処理ユニット間の基板９０の搬送は、それぞれの処理ユニットのジョブライン１０１を結ぶ線（図７に示す、線１０４，１０６等）で表現される。また、基板９０を搬送しない場合の動作も表示される（図７に示す、線１０５，１０８）。さらに、搬送ユニットに対する処理（搬送ロボット水洗処理部１９による処理）も表示される（図７に示す線１１０）。したがって、オペレータは、従来の表示形式に比べて、搬送ユニット（搬送ロボット１５）の稼働状況をさらに容易に把握できる。
【０１１０】
なお、図７では詳細を図示していないが、本実施の形態における基板処理装置１では、基板９０を搬送する搬送ユニットごとに、線の色を変えて表示する。図７に示す例では、搬送ロボット１５で基板９０を搬送することを示す線１０４と、リフタ１６によって搬送することを示す線１０６とを異なる色で描画し表示する。これにより、オペレータは搬送ユニットの稼働状況をさらに容易に把握できる。
【０１１１】
また、従来の表示形式では、ユニットが動作するときにだけその内容が表示されるが、ジョブライン図１００では、ジョブライン１０１において、該当するユニットが動作していない状況も確実に表示される。したがって、稼働状況をさらに容易に把握できる。
【０１１２】
また、ジョブライン図１００では、各ユニットにおける時間経過が並列的に表示されるため、ユニット間の稼働状況の比較が容易にできる。
【０１１３】
また、コントローラ５は、装置情報に基づいて、基板９０が滞留したとしても、ダメージの少ないユニットを識別し、当該ユニットのジョブライン１０１については、他のユニットのジョブライン１０１と色違いで表示する（図７では、砂点ハッチングの有無によって区別することを示す）。これにより、オペレータは基板９０の滞留が生じても、あまり問題とならないユニットを容易に識別できる。したがって、フローレシピまたはユニットレシピにおいて、例えば処理時間の関係でバッティングが生じた場合等において、オペレータはどのユニットに基板を滞留させて時間調整すればよいかを容易に判断できる。
【０１１４】
図５に戻って、ジョブライン図１００を表示させると、コントローラ５は、誤りを検出したか否かを判定し（ステップＳ８）、主にステップＳ３ないしＳ５において、フローレシピおよびユニットレシピの矛盾や、誤り等を検出した場合には、警告メッセージを表示部５３に表示させる（ステップＳ９）。
【０１１５】
図８および図９は、コントローラ５が誤りを発見した場合のジョブライン図１００の表示例を示す図である。図８に示す例は、搬送ロボット水洗処理部１９による搬送ロボット１５の洗浄計画が立てられなかった場合である。また、図９は、基板処理部２における処理時間に矛盾が生じた場合である。
【０１１６】
図８に示す処理では、搬送ロボット１５が液処理部２３にアクセスしたため、搬送ロボット１５の一対の挟持機構１５０を搬送ロボット水洗処理部１９が洗浄しなければならず、これが「ＣＨＣＬ」のジョブライン１０１に線１１１として表示されている。しかし、一方で、液処理部２０における処理の終了時間が早く、搬送ロボット１５が液処理部２０と乾燥処理部２６との間の搬送を行うことを示す線１１２が、時間的に線１１１と重なってしまっている。
【０１１７】
このように、従来では表示されなかった搬送ロボット水洗処理部１９の処理や、搬送ロボット１５の搬送処理がジョブライン図１００では表示されるので、オペレータは容易に誤りを発見するできる。
【０１１８】
また、図９に示す処理では、液処理部２０で処理された基板９０は、一旦、液処理部２３に搬送されてから、再び液処理部２０で処理される。しかし、液処理部２０に戻ってくるまでの時間が早く、液処理部２０における後処理を示す線１１３と、液処理部２０における前処理を示す線１１４とが、時間的に干渉することがわかる。
【０１１９】
このように、ジョブライン図１００では、従来表示されなかった処理ユニットにおける前処理動作や後処理動作が表示されるので、オペレータは容易に誤りを発見できる。
【０１２０】
なお、図８の場合、コントローラ５は、ステップＳ９において、「プロセススタートは、ＣＨＣＬ計画が立てられないためスタート実行できませんでした。」というメッセージを表示部５３に表示させる。一方、図９の場合、コントローラ５は、「プロセススタートは、処理時間が処理不可能な設定であるため、実行できませんでした。」というメッセージを表示部５３に表示させる。
【０１２１】
＜２．  第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、基板処理装置１において、オペレータが基板処理装置１を支援装置として使用しつつ、作成したレシピをチェックする例について説明したが、基板処理装置１以外の装置を支援装置としてもよい。
【０１２２】
図１０は、このような原理に基づいて構成した第２の実施の形態における支援装置６を示す図である。また、図１１は、支援装置６のバス配線図である。なお、支援装置６の構成のうち、第１の実施の形態における基板処理装置１と同等の機能を有する構成には同符号を付し、適宜、説明を省略する。
【０１２３】
支援装置６は、筐体６０と、操作部５２としてのキーボード５５およびマウス５６と、表示部５３とを備えている。また、筐体６０の内部には、ＣＰＵ５０と、記憶装置５１と、読取装置５４とを備えている。
【０１２４】
支援装置６は、ディスク９２に記憶されたプログラム５１０、装置情報、フローレシピおよびユニットレシピを読取装置５４によって読み取り、記憶装置５１に転送して、利用することができる。すなわち、第２の実施の形態では読取装置５４が、主に本発明における情報取得手段に相当する。なお、情報取得手段を実現する形態としては、支援装置６をネットワークに接続し、これらのデータを、ネットワークを介して外部の装置から取得するようにしてもよい。
【０１２５】
このような構成の支援装置６は、記憶装置５１に記憶されたプログラム５１０をＣＰＵ５０が実行することにより、第１の実施の形態と同等の処理を実行できる。したがって、支援装置６は、基板処理装置１と同等の効果を得ることができる。
【０１２６】
また、本実施の形態に示すように、支援装置６と基板処理装置１とを別装置とすることによって、基板処理装置１における基板処理を停止させることなく、レシピのチェックを行うことができる。
【０１２７】
＜３．  変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【０１２８】
例えば、ジョブライン図を表示させるための動作は、図５および図６に示される工程に限定されるわけではなく、同様の効果が得られるならば、各工程の順序や処理は変更されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】本発明に係る支援装置である基板処理装置を示す図である。
【図２】コントローラの構成を示すバス配線図である。
【図３】フローレシピのデータ構造を例示する図である。
【図４】ユニットレシピのデータ構造を例示する図である。
【図５】本実施の形態における基板処理装置のレシピ検査処理を示す流れ図である。
【図６】フローレシピおよびユニットレシピ取得処理を示す流れ図である。
【図７】ジョブライン図の表示例を示す図である。
【図８】コントローラが誤りを発見した場合のジョブライン図の表示例を示す図である。
【図９】コントローラが誤りを発見した場合のジョブライン図の表示例を示す図である。
【図１０】第２の実施の形態における支援装置を示す図である。
【図１１】支援装置のバス配線図である。
【符号の説明】
【０１３０】
１  基板処理装置
１００  ジョブライン図
１５  搬送ロボット
１６，１７，１８  リフタ
１９  搬送ロボット水洗処理部
２  基板処理部
２０，２１，２２，２３，２４，２５  液処理部
２６  乾燥処理部
３  気体供給機構
３０  蒸気供給ユニット
３１  オゾン供給ユニット
３２  不活性ガス供給ユニット
４  液体供給機構
４０  薬液供給ユニット
４１  洗浄液供給ユニット
４２  純水供給ユニット
５  コントローラ
５０  ＣＰＵ
５１  記憶装置
５１０  プログラム
５２  操作部
５３  表示部
５４  読取装置
６  支援装置
７  フローレシピ
８  ユニットレシピ
９０  基板
【図１】
2007264783.tif 000003
【図２】
2007264783.tif 000004
【図３】
2007264783.tif 000005
【図４】
2007264783.tif 000006
【図５】
2007264783.tif 000007
【図６】
2007264783.tif 000008
【図７】
2007264783.tif 000009
【図８】
2007264783.tif 000010
【図９】
2007264783.tif 000011
【図１０】
2007264783.tif 000012
【図１１】
2007264783.tif 000013