(57)【要約】【課題】変位最終出力端側に応答特性に優れた拡大移動量を付与しつつ優れた剛性を伴って被処理部材側に接触させる変位最終出力端付きの変位拡大機構および処理装置の提供。【解決手段】力点として作用させる伸縮体１２と、該伸縮体１２からの押圧作用を受けて変位する支点部３８を介して位置固定される変位始端入力側のアーム体３３と、該アーム体３３を含む変位授与側のアーム体２３側から押圧されて変位する支点部５９を介して位置固定され、かつ、その変位量を拡大して出力する変位最終出力端６０を備える変位終端出力側のアーム体５３とを含む複数のアーム体２２とを備え、少なくとも変位受領側のアーム体２５は、変位授与側のアーム体２３側を押圧接触させた際に生ずる無用な滑りを抑制すべく、平行リンク機構を付与して変位拡大機構１１を構成し、該変位拡大機構１１を具備させることで処理装置を形成した。【選択図】図１
2007218279.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相手材に当接して力点として作用させる当接部をその自由端である変位端に備えて位置固定される伸縮体と、
該伸縮体の前記当接部からの押圧作用を受けた際に変位する支点部を介して位置固定される前記相手材としての変位始端入力側のアーム体と、拡大変位する該変位始端入力側のアーム体を含む変位授与側のアーム体の接触出力端側からの押圧接触を受けた際に変位する支点部を介して位置固定され、かつ、その変位量を拡大して出力する変位最終出力端を備える変位終端出力側のアーム体とを含んで前記接触出力端側を介して相互が接触配置される複数のアーム体とで構成され、
少なくとも変位受領側のアーム体は、変位授与側のアーム体の前記接触出力端側を押圧接触させた際に生ずる無用な滑りを抑制すべく、平行リンク機構を付与して形成したことを特徴とする変位最終出力端付きの変位拡大機構。
【請求項２】
変位始端入力側のアーム体にも前記平行リンク機構を付与して形成した請求項１に記載の変位最終出力端付きの変位拡大機構。
【請求項３】
変位授与側のアーム体は、自らの前記接触出力端側と前記支点部の中心位置とを略同一の線上に位置させた請求項１または２に記載の変位最終出力端付きの変位拡大機構。
【請求項４】
変位受領側のアーム体は、変位授与側のアーム体の前記接触出力端が接触する接触面の面高を自らの前記支点部の中心高さ位置と略同高とした請求項１ないし３のいずれかに記載の変位最終出力端付きの変位拡大機構。
【請求項５】
変位受領側のアーム体は、変位授与側のアーム体とその位置関係を逆向きにして配置した請求項１ないし４のいずれかに記載の変位最終出力端付きの変位拡大機構。
【請求項６】
変位受領側のアーム体は、変位授与側のアーム体の前記接触出力端との接触面の領域に摩擦係数の小さい滑り面を具備させた請求項１ないし５のいずれかに記載の変位最終出力端付きの変位拡大機構。
【請求項７】
変位授与側のアーム体と変位受領側のアーム体とを該変位受領側のアーム体を先行させて雁行状に並行配置するとともに、変位授与側のアーム体には、前記接触出力端に相当する部位に変位受領側のアーム体方向へとその長さ方向を突出させた掛止部を有するピン材を付設し、変位受領側のアーム体の前記平行リンク機構が画成する囲繞空間内に配置されたピン材の前記掛止部の当接掛止状況に応じて変位受領側のアーム体の従動を自在とした請求項１ないし３，５のいずれかに記載の変位最終出力端付きの変位拡大機構。
【請求項８】
変位授与側のアーム体は、変位受領側のアーム体よりもヤング率の高い部材を用いて形成した請求項１ないし７のいずれかに記載の変位最終出力端付きの変位拡大機構。
【請求項９】
装置本体には、請求項１ないし８のいずれかに記載の変位最終出力端付きの変位拡大機構を具備させことを特徴とする処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気計測用のプローブや研削工具を含む処理具の先端側を被処理部材の所定位置に正対させて接触させる際に有効な変位最終出力端付きの変位拡大機構および該変位拡大機構を具備させた処理装置に関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
変位拡大機構としては、たとえば下記特許文献１に開示されている変位拡大機構などが知られている。
【特許文献１】特開２００１−２２４４５号公報
【０００３】
図１２は、上記特許文献１に開示されている変位拡大機構の一例を示す説明図である。その（ａ）によれば、基端側がヒンジ３を介して固定台１に支持されたアーム５と、一端がアーム５先端側に接続され、かつ、他端が固定台１に接続されたバネ６と、該バネ６の弾力性に抗してアーム５の一部を押圧して、アーム５の先端側を所定の変位方向Ｙに沿って変位させることができる圧電体２とを備えている。この場合、アーム５は、圧電体２を伸縮動作させていない状態において、バネ６によって変位方向Ｙの手前側に向けて所定の角度θ１だけ傾けられた状態で維持されている。
【０００４】
また、アーム５は、直交座標Ｘ−ＹのＸ軸方向に平行な水平軸Ｈに沿って突出しており、その先端側には、変位拡大機構の出力変位端５ａが位置することになる。
【０００５】
しかも、圧電体２は、直交座標Ｘ−ＹのＹ軸方向（変位方向Ｙ）に沿って配置されており、その基端が固定台１に固定され、その先端はアーム５に取り付けられたピン４と連結されている。
【０００６】
このため、図１２に示す変位拡大機構によれば、圧電体２を図１２（ｂ）に示すようにＹ軸方向に伸ばすと、その伸張量に応じた押圧力がピン４を介してアーム５側に作用し、その結果、ヒンジ３を支点にしてアーム５の先端側を所定の変位方向Ｙに沿って変位させることができることになる。なお、圧電体２をＹ軸方向に縮めると、アーム５は、バネ６の弾性力により元の位置へと自動的に戻ることになる。
【０００７】
したがって、図１２に示す変位拡大機構による場合には、小型で、かつ、安定した状態のもとで、アーム５の先端側（荷重点）を高速に動作させることができることになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、図１２に示す変位拡大機構は、圧電体２の伸張量がアーム５の先端側（荷重点）の移動量に依存していることから、圧電体２の伸張量を小さくするとアーム５の先端側（荷重点）に必要とする移動量を付与することができない不都合があった。
【０００９】
本発明は、従来技術の上記課題に鑑み、荷重点である変位最終出力端側に対し応答特性に富む拡大された移動量を付与すると同時に、変位時における相互の接触部位の摩耗を少なくして優れた耐久性のもとで剛性を伴って被処理部材側に接触させることができる変位最終出力端付きの変位拡大機構および該変位拡大機構を具備させた処理装置を提供することに目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、そのうちの第１の発明（変位最終出力端付きの変位拡大機構）は、相手材に当接して力点として作用させる当接部をその自由端である変位端に備えて位置固定される伸縮体と、
該伸縮体の前記当接部からの押圧作用を受けた際に変位する支点部を介して位置固定される前記相手材としての変位始端入力側のアーム体と、拡大変位する該変位始端入力側のアーム体を含む変位授与側のアーム体の接触出力端側からの押圧接触を受けた際に変位する支点部を介して位置固定され、かつ、その変位量を拡大して出力する変位最終出力端を備える変位終端出力側のアーム体とを含んで前記接触出力端側を介して相互が接触配置される複数のアーム体とで構成され、少なくとも変位受領側のアーム体は、変位授与側のアーム体の前記接触出力端側を押圧接触させた際に生ずる無用な滑りを抑制すべく、平行リンク機構を付与して形成したことを最も主要な特徴とする。
【００１１】
この場合、変位始端入力側のアーム体にも前記平行リンク機構を付与して形成するのが望ましい。また、変位授与側のアーム体は、自らの前記接触出力端側と前記支点部とを略同一の線上に位置させておくのが好ましい。
【００１２】
さらに、変位受領側のアーム体は、変位授与側のアーム体の前記接触出力端が接触する接触面の面高を自らの前記支点部の中心高さ位置と略同高としておくこともできる。また、変位受領側のアーム体は、変位授与側のアーム体とその位置関係を逆向きにして配置しておくこともできる。
【００１３】
また、変位受領側のアーム体は、変位授与側のアーム体の前記接触出力端との接触面の領域に摩擦係数の小さい滑り面を具備させておくこともできる。
【００１４】
さらに、変位授与側のアーム体と変位受領側のアーム体とを該変位受領側のアーム体を先行させて雁行状に並行配置するとともに、変位授与側のアーム体には、前記接触出力端に相当する部位に変位受領側のアーム体方向へとその長さ方向を突出させた掛止部を有するピン材を付設し、変位受領側のアーム体の前記平行リンク機構が画成する囲繞空間内に配置されたピン材の前記掛止部の当接掛止状況に応じて変位受領側のアーム体の従動を自在とすることもできる。
【００１５】
さらに、変位授与側のアーム体は、変位受領側のアーム体よりも弾性係数の高い部材を用いて形成しておくのが望ましい。
【００１６】
一方、第２の発明（処理装置）は、請求項１ないし７のいずれかに記載の変位最終出力端付きの変位拡大機構を具備させことを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のうち、第１の発明（変位拡大機構）によれば、伸縮体の当接部からの押圧力を受けて変位受領側のアーム体の荷重点としての変位最終出力端側に対し、Ｚ軸方向を含む略直動方向への拡大された変位量を付与することができる。したがって、該変位最終出力端側に電気計測のプローブや研削工具を含む処理具を取り付ける場合には、該処理具に対し応答特性に富む拡大された移動量を付与すると同時に、変位時における相互の接触部位の摩耗を少なくして優れた耐久性のもとで剛性を伴って被処理部材側に安定的に接触させることができる。
【００１８】
また、第２の発明（処理装置）によれば、装置本体が備える移動体に対し、請求項１ないし８のいずれかに記載の変位拡大機構を具備させてあるので、その質量が小さいこともあってＸ−Ｙ軸方向を含む所定方向での平面位置決めを正確で安定したものとすることができる。また、駆動源として電磁モータを用いる必要がないので電磁ノイズをなくすことで計測処理の場合の高速化と安定化とを実現することができるほか、Ｚ軸方向を含む略直動方向を位置決めした後に変位拡大機構の変位最終出力端側に予圧をかけておくことができるので、処理時における直動方向での整定性を高めて応答特性を向上させることもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明は、電気計測用プローブなどの測定具や研削工具などの加工具を含む各種の処理具の先端側を被処理部材の所定位置に正対させて接触させる際に有効な変位最終出力端付きの変位拡大機構（第１の発明）と、該変位拡大機構を具備させた処理装置（第２の発明）とに適用して実施することができる。
【００２０】
このうち、第１の発明の基本構成につき、図１を参酌しながらその概要を説明する。同図によれば、第１の発明である変位最終出力端付きの変位拡大機構（以下、「変位拡大機構」と略称する。）１１は、例えば図１１に基板検査装置を例に示されている第２の発明である処理装置１０１を構成している装置本体１０２にＸ−Ｙ軸方向への移動を自在に移動体１０３が配設され、該移動体１０３が備える基台部１０４に搭載することで配置される。なお、図中の１０５は、被検査基板を例とする被処理部材を示す。
【００２１】
この場合、変位拡大機構１１は、相手材に当接して力点として作用させる伸縮体１２と、該伸縮体１２側からの押圧作用を受けた際に変位する相手材としての変位始端入力側のアーム体３３と、該変位始端入力側のアーム体３３を含む変位授与側のアーム体２３側からの押圧接触を受けた際にその変位量を拡大して出力する変位終端出力側のアーム体５３とを含んで相互が接触配置される複数のアーム体２２とで、その全体が少なくとも構成されている。
【００２２】
これを図１に示す第１の例に基づいてより具体的に説明すれば、その（ａ）に示されているように、例えば圧電素子などからなる伸縮体１２は、相手材に当接して力点として作用させる当接部１４を自由端である変位端１３に備えて図１１に示す基台部１０４側にその基端部１５を位置固定することで配置されている。
【００２３】
また、アーム体２２のうち、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３は、伸縮体１２の当接部１４からの押圧作用を受けた際に変位する支点部３８を介して図１１に示す基台部１０４側に位置固定して配置されている。
【００２４】
この場合、変位始端入力側のアーム体３３は、支点部３８を介して一体化された固定片部３４と作用片部３５とで構成されており、該作用片部３５は、支点部３８寄りにあって伸縮体１２の当接部１４からの押圧力を受ける部位を基端部３６ａとする水平部片３６と、該水平部片３６から前傾方向に延設され、かつ、その開放端３７ａに接触出力端４２を備える前傾部片３７とで形成されている。
【００２５】
一方、アーム体２２のうち、変位受領側のアーム体２５である変位終端出力側のアーム体５３は、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２からの押圧接触を受けた際に変位する支点部５９を介して図１１に示す基台部１０４側に位置固定して配置されている。
【００２６】
この場合、変位終端出力側のアーム体５３は、支点部５９を介して一体化された固定片部５４と作用片部５５とで構成されており、該作用片部５５は、平行リンクを形成する上側アーム片５６と下側アーム片５７と縦側アーム片５８とで形成されている。
【００２７】
また、変位終端出力側のアーム体５３は、平行リンクとしての動きを確保するために、固定片部５４と上側アーム片５６との間の支点部５９ａと、固定片部５４と下側アーム片５７との間の支点部５９ｂと、上側アーム片５６と縦側アーム片５８との間の支点部５９ｃと、下側アーム片５７と縦側アーム片５８との間の支点部５９ｄとからなる支点部５９を備えて形成されている。
【００２８】
しかも、この例においては、変位終端出力側のアーム体５３における変位最終出力端６０が位置する縦側アーム片５８の下端部５８ａに、該縦側アーム片部５８のＺ軸方向への動きに従動させるべく電気計測プローブなどを取り付けるための介在片６１が直結されている。
【００２９】
図３は、第１の発明についての第２の例を示す説明図である。この例によれば、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３は、その作用片部３５が図１に示す変位終端出力側のアーム体５３と同様に、平行リンクを形成する上側アーム片３９と下側アーム片４０と縦側アーム片４０とで形成されている。
【００３０】
また、変位始端入力側のアーム体３３は、平行リンクとしての動きを確保するために、固定片部３４と上側アーム片３９との間の支点部３８ａと、固定片部３４と下側アーム片４０との間の支点部３８ｂと、上側アーム片３９と縦側アーム片４１との間の支点部３８ｃと、下側アーム片４０と縦側アーム片４１との間の支点部３８ｄとからなる支点部３８を備えて形成されている。
【００３１】
この場合、伸縮体１２は、その当接部１４が支点部３８ａ寄りに位置する上側アーム片３９の基端部３９ａに当接してこれを押圧することになる。また、変位始端入力側のアーム体３３における接触出力端４２は、縦側アーム片４１の下端に位置することになる。
【００３２】
図４は、第１の発明についての第３の例を示す説明図である。同図によれば、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３は、自らの接触出力端４２と支点部３８とを略同一の線上に位置するようにして形成されている。なお、変位終端出力側のアーム体５３は、図１に示す例と同様にして形成されている。
【００３３】
図６は、第１の発明についての第４の例を示す説明図である。同図によれば、変位終端出力側のアーム体５３の上側アーム片５６における変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２が接触する接触面５６ａは、上側アーム片５６の支点部５９ａの中心高さ位置と略同高となる面高が付与されて形成されている。
【００３４】
図７は、第１の発明についての第５の例を示す説明図であり、変位受領側のアーム体２５である変位終端出力側のアーム体５３は、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３とその位置関係が逆向きとなって配置されている。
【００３５】
この場合、変位始端入力側のアーム体３３は、その作用片部３５における前傾片部３７を図１に示す例よりも前傾長が長くなるように形成されており、これにより変位終端出力側のアーム体５３の逆向きとなった作用片部５５（上側アーム片５６）をその下方に配置できる空間が確保されることになる。
【００３６】
図８は、第１の発明についての第６の例を示す説明図であり、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３と、変位受領側のアーム体２５である変位終端出力側のアーム体５３とを、上記した各種のパターンのもとで配置した際におけるより好ましい構造例を示すものである。同図によれば、変位終端出力側のアーム体５３は、変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２との接触面５６ａの領域に摩擦係数が小さく、かつ、耐摩耗性にも富む滑り面６２を備えて形成されている。この場合における滑り面６２は、変位終端出力側のアーム体５３の上側アーム片５６における変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２が接触する接触面５６ａの領域にカーボン樹脂フイルムを貼着したり、滑りのよいコーティング層を形成するなどして配設することができる。
【００３７】
図９は、第１の発明についての第７の例を示す説明図である。同図によれば、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３と変位受領側のアーム体２５である変位終端出力側のアーム体５３とは、該変位受領側のアーム体５３を先行させて雁行状に並行配置されている。
【００３８】
また、変位始端入力側のアーム体３３には、その接触出力端４２に相当する部位に変位終端出力側のアーム体５３方向へとその長さ方向を突出させた掛止部４３ａを有するピン材４３が付設されている。
【００３９】
この場合、変位終端出力側のアーム体５３は、平行リンク機構により画成された囲繞空間６３を備えており、該囲繞空間６３内に配置されたピン材４３の掛止部４３ａを変位始端入力側のアーム体３３側の変位に応じて上側アーム片５６もしくは下側アーム片５７に当接掛止させることで、変位終端出力側のアーム体５３の従動を自在に配置されている。
【００４０】
次に、第２の発明に係る処理装置につき、上記構成からなる第１の発明の作用・効果とともに以下に説明すれば、基板検査装置を例に示されている図１１の処理装置１０１は、Ｘ−Ｙ軸方向を含む適宜の所定方向への移動を自在に装置本体１０２に配設される移動体１０３側に対し、第１の発明に係る変位拡大機構１１を具備させることで、その全体が形成されている。
【００４１】
すなわち、変位拡大機構１１は、図１１に示す装置本体１０２の移動体１０３が備える基台部１０４に取り付けた上で、移動体１０３を被検査基板を含む被処理部材１０５の処理ポイントの位置へとＸ−Ｙ軸方向を含む適宜の所定方向に移動させることで、所定の処理ポイントの位置に向けて位置決めさせることができる。
【００４２】
この場合、変位拡大機構１１は、その全体を軽量・コンパクト化することでその質量も小さなものとなっていることもあって、Ｘ−Ｙ軸方向を含む適宜の所定方向での平面位置決めを行う際に、移動体１０３自体を正確で安定した状態のもとで高速に移動させることができる。また、変位拡大機構１１を搭載した基板検査装置を含んで適宜の処理を行う処理装置１０１は、電磁ノイズをなくすことで処理作業の高速化と安定化とを実現することができるほか、Ｚ軸方向を含む略直動方向を位置決めした後に変位拡大機構１１の変位出力端側に予圧をかけておくことができるので、Ｚ軸方向を含む略直動方向での整定性を高めて応答特性を向上させることもできる。
【００４３】
この場合における変位拡大機構１１の作用・効果をより詳しく説明すれば、変位拡大機構１１は、その全体をコンパクト化してコストの低減を図ることができるばかりでなく、その重量を軽量化してＸ−Ｙ軸方向を含む適宜の所定方向への移動を高速化することができる。
【００４４】
また、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３は、例えば圧電素子からなる伸縮体１２に電圧を印加することで、その先端側に位置している変位端１３を伸張させ、該変位端１３が備える当接部１４からの押圧力を受けて電気計測用のプローブなどを含む適宜の処理具が取り付けられる荷重点としての変位最終出力端６０側に対し、Ｚ軸方向を含む略直動方向での拡大された変位量を付与することができる。
【００４５】
これを図１に示す第１の例に基づいてさらに詳しく説明すれば、変位拡大機構１１を構成している圧電素子からなる伸縮体２２に電圧を印加することで、その先端側に位置している変位端１３が伸張し、該変位端１３が備える当接部１４が変位始端入力側のアーム体３３における水平部片３６の基端部３６ａを押し下げる。
【００４６】
変位始端入力側のアーム体３２は、水平部片３６の基端部３６ａが押し下げられることで、図１（ｂ）に示すように支点部３８を介して変形し、その変位出力端４２である前傾部片３７の開放端３７ａも下方へと変位する。
【００４７】
変位始端入力側のアーム体３２における変位出力端４２である前傾部片３７の開放端３７ａが下方に向けて変位した際には、これに押されて変位受領側のアーム体２５である変位終端出力側のアーム体５３も従動するようにして変位する。
【００４８】
この場合、変位終端出力側のアーム体５３は、平行リンク機構を付与することで形成されているので、その縦側アーム片５８の下端部５８ａ側に位置する変位最終出力端６０側にＺ軸方向を含む略直動方向へとその変位量を拡大して伝達することができる。
【００４９】
したがって、変位終端出力側のアーム体５３の変位最終出力端６０側に介在片６１を介して電気計測用のプローブや研削工具を含む適宜の処理具を取り付けておく場合には、図２のグラフ図に示すようような経過を辿って該処理具を安定的に被処理部材の処理ポイントに対し必要な剛性を伴って接触させることができることになる。
【００５０】
ずなわち、図２は、一段目である変位始端入力側のアーム体３３と、２段目である変位終端出力側のアーム体５３との間における相対変位の状況をプロットしたグラフ図である。該グラフ図によれば、変位終端出力側のアーム体５３における変位最終出力端６０は、伸縮体１２を駆動させない初期位置（変位０）から伸縮体１２を駆動させて変位させた後の位置に至るまでの間は安定することが判明する。
【００５１】
しかし、伸縮体１２を駆動させた後からこれを解除するまでの間、つまり、拡大変位中の変位最終出力端６０は、伸縮体１２側から受ける押圧力に対する一段目である変位始端入力側のアーム体３３側の反力と、該変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２から受ける押圧力に対する変位終端出力側のアーム体５３側の反力とにより、強い剛性のもとで安定した応答を示すことが判明する。したがって、変位最終出力端６０に電気計測用のプローブや研削工具などを含む各種の処理具を取り付けた場合には、該処理具を用いたプロービングを含む所定の処理動作を安定的に行わせることができる。第１の例から得られるこのような作用・効果は、第２ないし第７の各例からも同様にして得ることができる。
【００５２】
次に、図３に示す第２の例につき、その特有の作用・効果を説明すれば、図１に示す第１の例と同様に圧電素子からなる伸縮体１２に電圧を印加して変位端１３を伸張方向に変位させ、その当接部１４が変位始端入力側のアーム体３３側を押し下げる。
【００５３】
この場合、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３は、図１の変位終端出力側のアーム体５３と同様に平行リンク機構を付与することで形成されているので、その縦側アーム片４１の接触出力端４２側にＺ軸方向を含む略直動方向へとその変位量を拡大して伝達することができる。
【００５４】
このため、図３の変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２は、図１の変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２である開放端３７ａの動きに比較して滑り方向（Ｘ方向）での移動量を相当程度までに少なくして変位終端出力側のアーム体５３を押し下げることができるので、それだけ接触面５６ａの摩耗を減少させることができる。
【００５５】
次に、図４に示す第３の例につき、その特有の作用・効果を説明すれば、図１に示す第１の例と同様に圧電素子からなる伸縮体１２に電圧を印加して変位端１３を伸張方向に変位させ、その当接部１４が変位始端入力側のアーム体３３側を押し下げる。
【００５６】
この場合、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３は、自らの接触出力端４２の位置と支点部３８の中心位置とを略同一の線上に位置させて配設されている。
【００５７】
このため、変位始端入力側のアーム体３３が押し下げられた際には、図１の変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２である開放端３７ａの滑り方向（Ｘ方向）での移動量を少なくすることができる。このため、接触出力端４２である開放端３７ａは、図５に示すように滑り方向（Ｘ方向）と直交する軸方向（Ｙ方向）への変位量を増加させて変位終端出力側のアーム体５３を押し下げることができるので、変位最終出力端６０に対し変位量をそれだけ拡大させて付与することができることになる。
【００５８】
次に、図６に示す第４の例につき、その特有の作用・効果を説明すれば、図１に示す第１の例と同様に圧電素子からなる伸縮体１２に電圧を印加して変位端１３を伸張方向に変位させ、その当接部１４が変位始端入力側のアーム体３３側を押し下げる。
【００５９】
この場合、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３は、図４に示す第３の例と同様に自らの接触出力端４２の位置と支点部３８の中心位置とを略同一の線上に位置させて配設されている。
【００６０】
また、平行リンク機構からなる変位終端出力側のアーム体５３は、変位始端入力側のアーム体３２の接触出力端４２が接触する上側アーム片５６の接触面５６ａの面高が、自らの支点部５９（５９ａ）の中心高さ位置と略同高となるように位置させて配設されている。
【００６１】
このため、変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２は、滑り方向（Ｘ方向）での移動量を少なくして変位終端出力側のアーム体５３を押し下げることができる。
【００６２】
また、変位終端出力側のアーム体５３における上側アーム片５６の接触面５６ａの面高は、自らの支点部５９（５９ａ）の中心高さ位置と略同高に設定されているので、変形前後における変位終端出力側のアーム体５３側のＸ方向での変位量を最小に抑えて変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２との間の相対移動距離を、例えば第１の例と比較して大幅に減少させることで、接触面５６ａの摩耗をそれだけ少なくすることができる。
【００６３】
次に、図７に示す第５の例につき、その特有の作用・効果を説明すれば、図１に示す第１の例と同様に圧電素子からなる伸縮体１２に電圧を印加して変位端１３を伸張方向に変位させ、その当接部１４が変位始端入力側のアーム体３３側を押し下げる。
【００６４】
この場合、変位終端出力側のアーム体５３は、変位始端入力側のアーム体３３とは逆向きとなるように配置されている。このため、変位終端出力側のアーム体５３における上側アーム片５６側を押し下げた際には、その荷重点である作用片部３５における前傾片部３７の開放端３７ａ（接触出力端４２）の滑り方向（Ｘ方向）での移動は、変位終端出力側のアーム体５３側が図７（ｂ）に示すように略円弧を描いて変位する際の移動方向（Ｘ方向）と同一方向となるので、相互の相対距離は相殺される。すなわち、変位始端入力側のアーム体３３の開放端３７ａにより変位終端出力側のアーム体５３における上側アーム片５６が押圧された際には、変位始端入力側のアーム体３３変位時の開放端３７ａのＸ方向における移動方向（図示例では左方向）と、変位終端出力側のアーム体５３側の移動方向（図示例では左方向）とが同一になるので、相互の相対距離は相殺されることになる。
【００６５】
その結果、変位始端入力側のアーム体３３における前傾片部３７の開放端３７ａ（接触出力端４２）は、滑り方向（Ｘ方向）での移動量が少なくなり、これに伴って変位終端出力側のアーム体５３における上側アーム片５６の接触面５６ａの摩耗をそれだけ少なくすることができる。また、この場合、変位始端入力側のアーム体３３と変位終端出力側のアーム体５３とは、同じ方向へと変位するため、変位終端出力側のアーム体５３側の接触面５６ａに対する変位始端入力側のアーム体３３側の垂直抗力が減るので、それだけ摩擦圧を減じることができる。
【００６６】
次に、図８に示す第６の例につき、その特有の作用・効果を説明すれば、図１に示す第１の例と同様に圧電素子からなる伸縮体１２に電圧を印加して変位端１３を伸張方向に変位させ、その当接部１４が変位始端入力側のアーム体３３側を押し下げる。
【００６７】
この場合、変位受領側のアーム体２５である変位終端出力側のアーム体５３における上側アーム片５６は、変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２との接触面５６ａの領域に耐摩耗性に富む摩擦係数の小さい滑り面６２を備えているので、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３の接触出力端４２を円滑に滑動させてそのその削れ量を抑制することができる。また、仮に滑り面６２が削れた場合であっても、張り替えたり再度コーティングするなどして容易に復旧させることができる。
【００６８】
最後に、図９に示す第７の例につき、その特有の作用・効果を説明すれば、図１に示す第１の例と同様に圧電素子からなる伸縮体１２に電圧を印加して変位端１３を伸張方向に変位させ、その当接部１４が変位始端入力側のアーム体３３側を押し下げる。
【００６９】
この場合、変位始端入力側のアーム体３３は、その接触出力端４２に相当する部位に付設されたピン材４３を備えており、その掛止部４３ａが変位終端出力側のアーム体５３において平行リンク機構を画成している囲繞空間６３内に配置されている。
【００７０】
このため、ピン材４３は、変位始端入力側のアーム体３３の動きに応じて移動する結果、変位終端出力側のアーム体５３側にその掛止部４３ａを当接させることで、これを従動させることができる。
【００７１】
図１０は、図９に示す第７の例についての動きを示す説明図であり、そのうちの（ａ）は、伸縮体１２を駆動させない初期位置の状態を、（ｂ）は、伸縮体１２を駆動させた変位時における状態をそれぞれ示す。
【００７２】
この場合、変位始端入力側のアーム体３３と変位終端出力側のアーム体５３とは、（ａ）に示すように、該変位終端出力側のアーム体５３を押し上げる方向に変位させた状態となるように掛止部４３ａをその上側アーム片５６に当接支持させた状態として配置することで、その初期位置とする。つまり、初期位置における変位終端出力側のアーム体５３は、反力としての予圧を高めた状態のもとで配置することができるので、変位始端入力側のアーム体３３側に対する接触状態を強固なものとすることができる。
【００７３】
また、変位終端出力側のアーム体５３の変位最終出力端６０側に取り付けた電気計測用のプローブや研削具を含む処理具を用いて処理作業を行うべく、伸縮体１２を駆動させた際には、その変位に伴い掛止部４３ａも図示例では下方へと移動し始める。
【００７４】
この際、変位終端出力側のアーム体５３は、掛止部４３ａによる押し上げ方向での当接支持状態が解除される結果、自らの復元力により図示例では下方へと自動変位する。しかも、掛止部４３ａは、その下降に伴いやがて変位終端出力側のアーム体５３における下側アーム片５８と当接し、（ｂ）に示すように変位終端出力側のアーム体５３側を強制的に所定位置にまで押し下げて停止する。
【００７５】
このため、変位終端出力側のアーム体５３の変位最終出力端６０は、例えば図１に示す第１の例と比較して大きなストロークのもとで変位させることができる。因みに、支点部５９の変形量が同一である場合には、第１の例と比較して変位終端出力側のアーム体５３の変位最終出力端６０を最大で２倍のストロークで変位させることができる。
【００７６】
また、図９に示す第７の例による場合には、例えば図１に示す第１の例のストローク（変位量）と同一のストローク（変位量）を得ようとする際、その支点部５９の変形量を減らすことができるので、該支点部５９に発生する応力を小さくしてその耐久性を高めてやることができる。
【００７７】
以上は、本発明を図示例に基づいて説明したものであり、その具体的な内容はこれに限定されるものではない。たとえば、変位授与側のアーム体２３である変位始端入力側のアーム体３３は、変位受領側のアーム体２５である変位終端出力側のアーム体５３よりも弾性係数の高い適宜部材を用いて形成することもできる。
【００７８】
また、アーム体２２については、変位始端入力側のアーム体３３と変位終端出力側のアーム体５３との２段構成を例に変位授与側のアーム体２３と変位受領側のアーム体２５との関係を説明しているが、上段に対しては変位受領側であり、下段側に対しては変位授与側となるように、両者の中間に１以上を介在配置させることもできる。
【００７９】
本発明に用いられる伸縮体１２としては、圧電素子を好適に用いることができるものの、例えば磁歪素子や電動機を利用して伸縮制御できる構造を備えているものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】第１の発明についての第１例を示す概念図であり、そのうちの（ａ）は初期状態（待機状態）のもとでの位置関係を、（ｂ）は変位後である作動時における位置関係をそれぞれ示す。
【図２】図１に示す第１の例の変位拡大機構の初期状態（待機状態）時と変位後である作動時とにおける変位状態を示すグラフ図。
【図３】第１の発明についての第２の例を示す概念図。
【図４】第１の発明についての第３の例を示す概念図。
【図５】図４に示す第３の例の変位拡大機構における変位始端入力側のアーム体（変位授与側のアーム体）の接触出力端の動きを示す説明図。
【図６】第１の発明についての第４の例を示す概念図。
【図７】第１の発明についての第５の例を示す概念図であり、そのうちの（ａ）は初期状態（待機状態）のもとでの位置関係を示す説明図であり、（ｂ）は変位後である作動時における位置関係を拡大して示す説明図である。
【図８】第１の発明についての第６の例を示す概念図。
【図９】第１の発明についての第７の例を示す概念図。
【図１０】図９に示す第７の例の変位拡大機構における変位始端入力側のアーム体（変位授与側のアーム体）が備えるピン材と変位終端出力側のアーム体（変位受領側のアーム体）との関係を示す説明図であり、そのうちの（ａ）はピン材を介して変位終端出力側のアーム体（変位受領側のアーム体）を押し上げた状態を、（ｂ）はピン材を介して変位終端出力側のアーム体（変位受領側のアーム体）を押し下げた状態をそれぞれ示す。
【図１１】第１の発明を基板検査装置に適用した際の第２の発明の概略構成例を示す説明図。
【図１２】特許文献１に開示されている変位拡大機構の一例を示す説明図。
【符号の説明】
【００８１】
１１  変位拡大機構
１２  伸縮体
１３  変位端
１４  当接部
２２  アーム体
２３  変位授与側のアーム体
２５  変位受領側のアーム体
３３  変位始端入力側のアーム体
３４  固定片部
３５  作用片部
３６  水平部片
３６ａ  基端部
３７  前傾部片
３７ａ  開放端
３８（３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ）  支点部
３９  上側アーム片
３９ａ  基端部
４０  下側アーム片
４１  縦側アーム片
４２  接触出力端
４３  ピン材
４３ａ  掛止部
５３  変位終端出力側のアーム体
５４  固定片部
５５  作用片部
５６  上側アーム片
５６ａ  接触面
５７  下側アーム片
５８  縦側アーム片
５８ａ  下端部
５９（５９ａ，５９ｂ，５９ｃ，５９ｄ）  支点部
６０  変位最終出力端
６１  介在片
６２  滑り面
６３  囲繞空間
１０１  処理装置
１０２  装置本体
１０３  移動体
１０４  基台部
１０５  被処理部材（被検査基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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