(57)【要約】【課題】基板の表面に貼り付けられた保護フィルムの剥離きっかけを精度良く作成して剥離ミスを無くし、また、剥がす時間を短縮させ、さらに剥離テープの使用量を最小限とすると共に剥した後の保護フィルム等の再生を容易にすること。【解決手段】液晶パネルＡの隣り合う２つの角部にある剥離ユニット４は、基板の対角線方向へ供給される剥離テープ３０を保護フィルムに押圧しながら移動する貼付ローラと、保護フィルムに貼り付いた剥離テープ３０を基板から引き剥がして保護フィルムを基板の角部から引き起こす機構と、基板の角部から引き起こされた保護フィルムを挟持するフィルムチャック機構と、フィルムチャック機構で挟持された部分より外側の保護フィルムを切断する切断機構とを有し、フィルムチャック機構が保護フィルムを挟持した状態で２つの剥離ユニット４が他方の角部側へ液晶パネルＡの側辺に沿う方向に移動することで液晶パネルＡの表面から保護フィルムを引き剥がす保護フィルムの剥離装置。【選択図】図２
2007310035.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に保護フィルムが貼り付けられた基板を吸着固定する吸着テーブルと、吸着テーブルの反対側において吸着テーブルに固定された基板の隣り合う２つの角部から他方の角部側へ基板の側辺に沿う方向に相対移動可能な２つの剥離ユニットとからなり、各剥離ユニットは、基板の角部付近において基板の対角線方向へ供給される剥離テープの粘着面を基板の保護フィルムに押圧しながら移動する貼付ローラと、保護フィルムに貼り付いた剥離テープを基板から引き剥がして保護フィルムを基板の角部から引き起こす機構と、基板の角部から引き起こされた保護フィルムを挟持するフィルムチャック機構と、フィルムチャック機構で挟持された部分より外側の保護フィルムを切断する切断機構とを有し、フィルムチャック機構が保護フィルムを挟持した状態で２つの剥離ユニットが同時に移動することで基板から保護フィルムを引き剥がすことを特徴とする基板に貼り付けられた保護フィルムの剥離装置。
【請求項２】
表面に保護フィルムが貼り付けられた基板の隣り合う２つの角部付近において基板の対角線方向へ供給される剥離テープの粘着面を保護フィルムに貼り付ける工程と、保護フィルムに貼り付いた剥離テープを基板から引き剥がすことで保護フィルムを基板の角部から引き起こす工程と、引き起こされた保護フィルムをフィルムチャック機構にて挟持する工程と、フィルムチャック機構で挟持された部分より外側の保護フィルムを切断する工程と、保護フィルムを挟持した状態の２つのフィルムチャック機構を同時に基板の他方側へ基板の側辺に沿う方向に移動させる工程により基板から保護フィルムを引き剥がすことを特徴とする基板に貼り付けられた保護フィルムの剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板等に貼り付けられたフィルム等を剥離する剥離装置及び剥離方法に関するもので、さらに詳しくは、特に液晶パネルに貼り付けられた偏光板からこれら偏光板表面を保護している保護フィルムを剥離するのに適する剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶パネルを製造するにあたり、１つの液晶パネルの両表面に対し粘着剤層を一方表面に設けた２枚の偏光板を貼り付け、さらにバックライト等を組み込んで液晶パネル完成品となる。
【０００３】
この偏光板において、液晶パネルに貼り付ける一方の粘着面側を覆っている離型フィルムと、他方面を保護する保護フィルムとが事前に貼り付けられており、離型フィルムを剥離しながら液晶パネルに偏光板を貼り付け、その後、液晶パネルにバックライトを組み込む直前に偏光板他方面側の保護フィルムが剥離される。
【０００４】
この離型フィルム及び保護フィルムの両者の剥離は、従来、剥離テープを偏光板の前記フィルム上に貼り付け、この剥離テープを巻き取ることにより、前記保護フィルムを剥離テープと一体に剥離させている。
【０００５】
また、上記保護フィルムの剥離において、その剥離性の向上のため、保護フィルム上の剥がし易い対角部分の一箇所に剥離テープ片を貼り付け、その剥離テープ片の偏光板より外側の部分の一端をロボットアーム等でチャックし、対角方向に剥離テープ片と保護フィルムを一体に剥離することが行なわれている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
また、別の手段として、保護フィルム上の一辺に対して垂直方向に剥離テープを貼り付けて、保護フィルムの一辺側の一部を引き起こし、その引き起こした部分の保護フィルム側部をチャック機構でチャックした後、保護フィルムをチャックで引っ張って保護フィルムと剥離テープを引き剥がし、続いてチャックした保護フィルムを偏光板の一辺に沿って平行に剥すことが行なわれている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平５−２７３４１３号公報
【特許文献２】特開平６−２７８９３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、最近では液晶パネルの大型化が図られ、３２インチを超える液晶パネルも多く製造されるようになってきており、上記剥離テープを偏光板に貼り付け、離型フィルム又は保護フィルムを剥がす方法では、少なくとも剥離テープを液晶パネルの一辺方向の全体に渡って貼り付けるため、剥離テープの使用量が非常に多くなるという問題がある。
【０００８】
さらに、偏光板の一辺方向に沿って平行に前記フィルムを剥す場合、剥離開始端部の偏光板と前記フィルムの接着代が偏光板角部から剥がす場合に比べて大きくなるため、剥がすきっかけを作成することが困難である。
【０００９】
そこで、特許文献１のように基板の角から対角方向へ剥離することで剥離性の向上が図られているが、この方法は剥がし易い対角方向に剥離のきっかけを作るものの、対角方向に剥離を行なうため最近の液晶パネルの大型化にともなって、剥がし距離が長くなり、時間が多くかかるという問題や間接的に剥離テープ片を引っ張るために剥離テープ片と保護フィルムが外れ、剥離ミスが起こる問題がある。
【００１０】
さらに、最近の環境問題にともなって保護フィルムをリサイクルして再生しようとした場合、保護フィルム上に剥離テープが残存するため、再生時に剥離テープや粘着剤などの不純物を取り除く必要があり、再生コストが高くなる問題がある。
【００１１】
また、特許文献２の方法は、剥離テープで剥離きっかけを作成した後、チャック機構で直接保護フィルムのみを剥離するものであるが、剥離きっかけは偏光板の一辺に対し垂直方向に行なうため、上述のように剥すきっかけを作成することが困難であり、剥離テープの粘着力を高めたり、剥離テープとチャック機構を増やしたりする必要が生じ、コストが高くなる問題がある。
【００１２】
さらに、剥離テープの粘着力を高めると、特許文献２の方法では液晶パネルの下面がローラ上に載っている状態で保持されていないため、剥離テープで剥離きっかけを作成する際に、液晶パネルが粘着テープによって引き上げられ、破損する恐れがある。従って剥離テープの粘着力を高めることができず、剥離ミスが発生し易い問題があった。
【００１３】
その他、剥離テープを用いる方法を使用する限り、剥離ミスを無くすためには剥離テープの粘着力を上げなければならないが、粘着力を上げれば上げるほど保護フィルムと剥離テープの引き剥がしが困難となり、保護フィルムの再生時の剥離テープや粘着剤等の不純物の残存の問題が生じていた。
【００１４】
そこで、本発明の課題は、基板の表面に貼り付けられた保護フィルムの剥離きっかけを精度良く作成して剥離ミスを無くし、また、剥がす時間を短縮させ、さらに剥離テープの使用量を最小限とすると共に剥した後の保護フィルム等の再生を容易にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記のような課題を解決するための請求項１の発明は、表面に保護フィルムが貼り付けられた基板を吸着固定する吸着テーブルと、吸着テーブルの反対側において吸着テーブルに固定された基板の隣り合う２つの角部から他方の角部側へ基板の側辺に沿う方向に相対移動可能な２つの剥離ユニットとからなり、各剥離ユニットは、基板の角部付近において基板の対角線方向へ供給される剥離テープの粘着面を基板の保護フィルムに押圧しながら移動する貼付ローラと、保護フィルムに貼り付いた剥離テープを基板から引き剥がして保護フィルムを基板の角部から引き起こす機構と、基板の角部から引き起こされた保護フィルムを挟持するフィルムチャック機構と、フィルムチャック機構で挟持された部分より外側の保護フィルムを切断する切断機構とを有し、フィルムチャック機構が保護フィルムを挟持した状態で２つの剥離ユニットが同時に移動することで基板から保護フィルムを引き剥がす構成からなる基板に貼り付けられた保護フィルムの剥離装置である。
【００１６】
また、上記のような課題を解決するための請求項２の発明は、表面に保護フィルムが貼り付けられた基板の隣り合う２つの角部付近において基板の対角線方向へ供給される剥離テープの粘着面を保護フィルムに貼り付ける工程と、保護フィルムに貼り付いた剥離テープを基板から引き剥がすことで保護フィルムを基板の角部から引き起こす工程と、引き起こされた保護フィルムをフィルムチャック機構にて挟持する工程と、フィルムチャック機構で挟持された部分より外側の保護フィルムを切断する工程と、保護フィルムを挟持した状態の２つのフィルムチャック機構を同時に基板の他方側へ基板の側辺に沿う方向に移動させる工程により基板から保護フィルムを引き剥がす構成からなる基板に貼り付けられた保護フィルムの剥離方法である。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、この発明の保護フィルムの剥離装置及び剥離方法によれば、基板の対角線方向へ供給される剥離テープを、基板の角部の保護フィルムに貼り付けてから剥離テープを引き剥がすので、基板の角部から対角線方向に保護フィルムの剥離きっかけを作ることになり、剥離テープの粘着力を必要以上に高めることなく剥離が容易になり、剥離ミスを防止することができる。
【００１８】
また、保護フィルムの剥離のきっかけは基板の対角線方向であるが、保護フィルム全体の剥離方向は基板の側辺と平行方向であるため、角部から斜めに剥離して行くものに比べて剥離距離が短くなり剥離時間が短時間で済むことになる。
【００１９】
さらに、２つの角部付近にあった保護フィルムをチャッキングして同時に基板の側辺と平行に移動させて剥がすため、保護フィルムの一箇所を挟持して引き剥がすものに比べて剥離の安定性に優れる。
【００２０】
また、剥離テープは基板の角部における保護フィルム剥離のきっかけに使用するのみであり、保護フィルム角部の切断片のみを接着して巻き取るため、剥離テープの使用量が少なくて済む。
【００２１】
さらに、剥離テープに接着した基板の角部にあった保護フィルムを切断するので、その後チャッキングして取り去る保護フィルム上に剥離テープ及び粘着剤が残らないため、保護フィルムに不純物が混ざらず再生が容易になる。
【００２２】
また、請求項１の剥離装置の発明によれば、吸着テーブルにて基板全体を吸着保持した状態でいるため、保護フィルムを剥す際に基板を破損するようなことが無く、また、剥離を完全にするために剥離テープの粘着力を高めても基板破損の問題が生じない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、この発明の実施の形態を図１乃至図１０に基づいて説明する。
【００２４】
図１は、この発明に係る保護フィルムの剥離装置を適用した液晶パネルの製造装置の一実施形態を示す平面図であり、偏光板貼付済液晶パネルから保護フィルムを剥離し、この液晶パネルにバックライトユニットを組み込む工程に用いる装置である。
【００２５】
図示のように、液晶パネル製造装置は、保護フィルム剥離ラインとバックライト組込ラインが設けられ、保護フィルム剥離ラインは、液晶パネル供給部ａ、液晶パネル位置決め部ｂ、保護フィルム剥離部ｃ、保護フィルム回収部ｄが直線上に並んでおり、このラインに平行して、バックライトユニット供給部ｅ、バックライト組込部ｆ、ベセル組込部ｇからなるバックライト組込ラインが直線状に設けられている。
【００２６】
上記前者の保護フィルム剥離ラインにおける液晶パネル供給部ａには、前工程にてその両面に偏光板が貼り付けられた液晶パネルＡが多数枚積層して収納された収納カセット１が設けられており、エレベータ機構により１枚ずつ液晶パネルＡを取り出し、取り出された液晶パネルＡは、上面にて液晶パネルＡを吸着する吸着テーブル２に吸着され、液晶パネル位置決め部ｂにおいて、一般的な位置決め作業、例えばガイドピンに押し当てることなどで位置決めが行なわれる。
【００２７】
位置決め後の液晶パネルＡは、吸着テーブル２に吸着されたまま吸着テーブル２の移動により保護フィルム剥離部ｃに運ばれ、ここで下面にて液晶パネルＡを吸着する吸着テーブル３に移し替えられた後、１対の剥離ユニット４、４により保護フィルムが剥離され、剥離された保護フィルムは保護フィルム回収部ｄに回収される。
【００２８】
偏光板表面の保護フィルムが剥離された後の液晶パネルＡは、吸着テーブル３に吸着されたまま保護フィルム剥離ラインと直角方向に移動し、バックライト組込ラインのバックライト組込部ｆまで運ばれ（保護フィルム剥離部ｃで剥離ミスがあった場合にはバックライト組込部ｆの直前で再作業を行なう）、バックライト供給部ｅから供給される蛍光管、拡散シート等を組み込んだバックライトユニット５の上に吸着テーブル３が臨み、バックライトユニット５に対して液晶パネルＡの保護フィルムが剥離された側が組み込まれる。
【００２９】
その後、液晶パネルＡとバックライトユニット５はベセル組込部ｇに送られベセルを組み込んだ後、次工程にて液晶パネルＡの表側の保護フィルムが剥がされ、検査等の工程を経て液晶パネルの完成品が得られるようになっている。
【００３０】
次に、保護フィルム剥離部ｃにおけるこの発明の保護フィルムの剥離装置の全体を図２と図３に基づいて説明する。
【００３１】
機台６上に平行する２本のレール７、７が設けられ、それぞれのレール７に摺動自在に嵌合された一対のスライダ８を繋ぐように支持枠９が設けられ、この支持枠９は図示しない適宜な手段にてレール７に沿って移動自在となっており、この支持枠９上に設けられたベース板１０上には前記レール７と直角方向に延びる一対のレール１１、１１が設けられている。
【００３２】
剥離ユニット４は、この支持枠９上に２台設けられており、それぞれの剥離ユニット４は、支持枠９上のレール１１、１１に摺動自在に嵌合された一対のスライダ１２、１２上に設けられたユニット台１３に載置されており、両剥離ユニット４はユニット台１３と共に図示しない適宜な手段にてレール１１、１１上を移動自在となっており、通常は接近離反動を行ない保護フィルムを剥離する基板の辺の大きさに合わせられるようになっている。
【００３３】
各ユニット台１３上には、レール１１に対して約４５°の斜め方向に延びるレール１４が対称方向に設けられ、このレール１４に摺動自在に嵌合されたスライダ１５上に設けられた支持板１６は後述の駆動手段によりユニット台１３上で図２中斜め矢印で示す方向に移動自在となっている。
【００３４】
ベース板１０のレール１１より右側の下面にはシリンダ１７が設けられ、ベース板１０上面の保護フィルム突上ユニット１８を昇降動させるようになっている。
【００３５】
また、支持枠９の右側には、一方のレール７に摺動自在に嵌合したスライダ１９に接続された除電ブロー２０が設けられており、この除電ブロー２０は、ギヤやプーリ等適宜な駆動手段にて支持枠９の移動とほぼ１／２の比率で移動することで、保護フィルムＣの剥離直後に生じた静電気を、イオン化したエアーを吹き付けることで静電気を打ち消すようになっている。
【００３６】
機台６の右側の液晶パネル位置決め部ｂ（図１参照）から吸着テーブル２が上面に偏光板の貼付済の液晶パネルＡを吸着した状態で、図３中矢印で示す方向に進入し、下面が吸着面となる吸着テーブル３に液晶パネルＡを受け渡すようになっている。
【００３７】
吸着テーブル３に吸着された液晶パネルＡの下面に貼着された偏光板の保護フィルムＣは２台の剥離ユニット４のレール７に沿った移動により液晶パネルＡの下面側の偏光板Ｂの表面より剥がされ、両剥離ユニット４が図中左の二点鎖線の位置まで来たとき、保護フィルム突上ユニット１８の上昇により、保護フィルムＣは機台６の左側上方にある保護フィルム排出ユニット２１を通じて保護フィルム回収部ｄ（図１参照）に回収される。
【００３８】
保護フィルム排出ユニット２１は、上部の支持枠２２から左側に突出した２つの支持枠２３、２３間に軸支された適宜の駆動源（図示しない）で回転駆動される複数のローラ２４とこのローラ２４に巻回された複数本のエンドレスベルト２５からなり、各エンドレスベルト２５は相対するエンドレスベルト２５間に保護フィルムＣを挟んで図中左側に送るようになっている。
【００３９】
この発明の剥離装置の全体は上記説明した通りであり、次に剥離ユニットの詳細を図４及び図５に基づいて説明する。
【００４０】
図４は図２のIV−IV線矢視図であり、ベース板１０から上の剥離ユニット４全体を示すものであり、ユニット台１３上のレール１４に嵌合するスライダ１５によりレール１４に沿って移動自在となる支持枠２６上に主面が垂直面となる支持板１６が延設されており、この支持板１６は、支持枠２６とユニット台１３との間に設けた水平方向に作用するシリンダ２７の作用により、図示二点鎖線で示す位置までレール１４に沿って移動可能となっている。
【００４１】
支持板１６には剥離テープ供給リール２８及び剥離テープ巻取リール２９が軸支され、剥離テープ供給リール２８から供給される剥離テープ３０は、ガイドローラ３１、貼付ローラ３２、ガイドローラ３３、及びガイドローラ３４に巻回され、支持板１６の裏側にある剥離テープ巻取モータ３５（図２参照）により駆動・制御される剥離テープ巻取リール２９により、所定の長さ分が巻き取られて行くようになっている。
【００４２】
ガイドローラ３１は、支持板１６に軸支され、シリンダ３６の作用によりこのガイドローラ３１に対して進退動する供給側テープチャック３７と共に剥離テープ３０を挟持して固定できるようになっている。
【００４３】
貼付ローラ３２とその下のガイドローラ３３は、支持板１６に垂直方向に延設されたレール３８（図５参照）に摺動自在に嵌合されたスライダ３９（図５参照）と一体に設けられており、シリンダ４０の作用により、レール３８に沿った昇降動を行ない、上昇すれば図４中二点鎖線で示すような、吸着テーブル３に吸着された液晶パネルＡに達し、貼付ローラ３２とガイドローラ３３にＳ字状に巻回されている剥離テープ３０は、その粘着面を液晶パネルＡの下面側の偏光板Ｂの表面に貼られた保護フィルムＣに押し付けるようになっている。
【００４４】
ガイドローラ３４は、支持板１６に固定されたシリンダ４１の先端部に接続されており、同じくこのシリンダ４１の先端部に設けたシリンダ４２の作用によりガイドローラ３４に対して進退動する回収側テープチャック４３と共に剥離テープＣを挟持して固定できるようになっており、これらガイドローラ３４及び回収側テープチャック４３は前記シリンダ４１の延伸作用により支持板１６に対して図中左右方向の二点鎖線で示す位置まで移動可能となっている。
【００４５】
図４中、貼付ローラ３２が昇降動する部分の右側で支持板１６の上部に固定された固定枠４４に受側フィルムチャック４５が設けられており、また、貼付ローラ３２が昇降動する部分の左側で支持板１６の上部にこの支持板１６に沿って設けた水平のレール４６に摺動自在に嵌合されたスライダ４７上に駆動側フィルムチャック４８が設けられ、駆動側フィルムチャック４８がレール４６上を受側フィルムチャック４５側へ進退動可能となっている。
【００４６】
また、駆動側フィルムチャック４８の下には、レール４６と同一方向に進退動するシリンダ４９が支持板１６に固定されており、シリンダ４９の先端に固定されたカッター固定枠５０にカッター刃５１が固定され、またカッター固定枠５０と駆動側フィルムチャック４８はバネ５２により接続されている。
【００４７】
図６は、上記フィルムチャックの動作を説明するもので、図６（ａ）は吸着テーブル３に吸着された、両面に偏光板Ｂが貼付済の液晶パネルＡの下面角部から保護フィルムＣの一部を剥がした状態であり、貼付ローラ３２及びガイドローラ３３は巻回された剥離テープ３０が保護フィルムＣを接着した状態で下方の原位置に戻っており、偏光板Ｂから保護フィルムＣが引き剥がされて固定枠４４に固定された受側フィルムチャック４５の直前に臨んでいる。
【００４８】
この状態で、シリンダ４９を延伸させれば、カッター固定枠５０が保護フィルムＣに向かって前進し、バネ５２によりカッター固定枠５０と接続された駆動側フィルムチャック４８もレール４６に沿って前進し、駆動側フィルムチャック４８が受側フィルムチャック４５と共に保護フィルムＣを挟持して停止する。
【００４９】
駆動側フィルムチャック４８が停止した後も、カッター固定枠５０はシリンダ４９の延伸に伴いバネ５２を伸ばしながら前進し、駆動側フィルムチャック４８と受側フィルムチャック４５によって挟持された保護フィルムＣをチャック部分の直下でカッター刃５１により切断する（図６（ｂ））。
【００５０】
次に、液晶パネルＡに貼り付けられた偏光板Ｂの表面の保護フィルムＣの剥離方法を、図７乃至図９の（ａ）〜（ｈ）及び図１０（ａ）〜（ｃ）に示す工程図を中心にして説明する。
【００５１】
まず、液晶パネル位置決め部ｂにて位置決めされた偏光板Ｂの貼付済液晶パネルＡが図３で示すように吸着テーブル２により保護フィルム剥離部ｃに運ばれ吸着テーブル３に移し替えられるが、この際、両剥離ユニット４は離反させておき、吸着テーブル２が進入できる隙間を作っておく。
【００５２】
図７（ａ）の二点鎖線で示すものは剥離作業初期の状態を示し、供給側テープチャック３７はガイドローラ３１から離れて剥離テープ供給リール２８からの剥離テープ３０の供給はフリーとなっており、回収側テープチャック４３はガイドローラ３４と共に剥離テープ３０を挟持し、貼付ローラ３２は吸着テーブル３に対して後退した下降位置に待機している。
【００５３】
次に、貼付ローラ３２を上昇動させてその外周部に巻かれた剥離テープ３０の粘着面を吸着テーブル３の下面に吸着された液晶パネルＡの角部Ｄ付近の下面側の保護フィルムＣの表面に押し付け、回収側テープチャック４３はガイドローラ３４と共に剥離テープ３０を挟持したままシリンダ４１（図４参照）の延伸作用により貼付ローラ３２側に前進し、貼付ローラ３２との間に後の保護フィルムＣの剥離時に必要となる剥離テープ３０のたるみを生じさせるようになる（図７（ａ）実線参照））。
【００５４】
貼付ローラ３２は上昇位置のまま、シリンダ２７（図４参照）の延伸作用により支持板１６が右側に移動し、貼付ローラ３２が液晶パネルＡに対して剥離テープ３０を押圧しながら液晶パネルＡの角部Ｄに向かって移動することになる（図７（ｂ）参照）。
【００５５】
液晶パネルＡの角部Ｄまで移動した貼付ローラ３２は、シリンダ２７の伸縮作用により左側の原位置まで戻るが、剥離テープ３０は、貼付ローラ３２が移動した部分が保護フィルムＣの表面に貼り付いた状態となっており、その後、供給側テープチャック３７により供給側の剥離テープ３０をチャックして固定する（図７（ｃ）参照）。
【００５６】
ここで貼付ローラ３２を下降させるが、先に貼付ローラ３２の移動により液晶パネルＡの角部Ｄの保護フィルムＣに貼り付けられた剥離テープ３０は、その粘着力により角部Ｄに貼り付けいたままとなっている（図１０（ａ）参照）。
【００５７】
次に、回収側テープチャック４３及びガイドローラ３４をシリンダ４１の作用により右側に後退動させることで（図４参照）、剥離テープ３０が下方向に引っ張られ、この剥離テープ３０に接着された保護テープＣが偏光板Ａの角部Ｄから引き剥がされるようになる（図８（ｄ）、図１０（ｂ）参照）。
【００５８】
この状態で、図６で示したようにシリンダ４９の延伸作用により偏光板Ｂの保護フィルムＣのうち下方に引き出された部分を駆動側フィルムチャック４８及び受側フィルムチャック４５で挟持して固定し、その後チャック部分の下側をカッター刃５１によりカットする（図８（ｅ）、図１０（ｃ）参照）。
【００５９】
さらに、供給側テープチャック３７及び回収側テープチャック４３のチャック作用を解き、剥離テープ巻取リール２９の巻き取り作用により保護フィルム切断片Ｃ′を剥離テープ３０と共に巻き取るが、巻き取り量は、保護フィルム切断片Ｃ′を巻き取るだけで良いので少量で良い（図８（ｆ）参照）。
【００６０】
所定の寸法の剥離テープ３０を巻き取った後、供給側テープチャック３７及び回収側テープチャック４３はチャック作用を行ない、剥離テープ３０を固定する（図９（ｇ）））。
【００６１】
その後、駆動側フィルムチャック４８及び受側フィルムチャック４５で液晶パネルＡ側の保護フィルムＣを挟持して固定したまま、図２及び図３で示すように各剥離ユニット４は、レール７に沿って図示左側に同時に移動し、保護フィルムＣを偏光板Ｂの表面から剥離してゆくことになる（図９（ｈ）参照）。
【００６２】
この際、除電ブロー２０が剥離ユニット４の移動とほぼ１／２の比率で移動することで偏光板Ｂの表面から剥離された直後の保護フィルムＣに追随し、引き剥がしに伴う静電気の発生をイオン化したエアーを吹き付けて打ち消してゆく。
【００６３】
剥離ユニット４が図２及び図３で二点鎖線で示す位置まで来たら、保護フィルムＣは偏光板Ｂから殆ど剥離されており、シリンダ１７の延伸作用により保護フィルム突上ユニット１８が保護フィルムＣを上に突き上げ、保護フィルム排出ユニット２１により保護フィルムＣは偏光板Ｂの表面から完全に剥がれて排出されることになる。
【００６４】
この発明の実施形態は以上のようなものであるが、この発明は上記実施形態のものに限定されること無く、この発明の目的の範囲内で適宜変更して実施することができる。
【００６５】
例えば、上記実施形態では基板の短辺側の両角部に剥離ユニットを臨ませ、剥離ユニットを基板の長辺に沿って移動させたが、基板の長辺側の両角部に剥離ユニットを臨ませて、剥離ユニットを基板の短辺に沿って移動させても良く、その場合、剥離ユニットの移動距離が短くなり剥離時間がより短くなるという利点がある。
【００６６】
また、保護フィルム全体の剥離は２つの剥離ユニットを移動させることにより行っていたが、液晶パネル等を保持する吸着テーブルと剥離ユニットが相対的に移動すれば良く、吸着テーブル側のみ、又は、吸着テーブルと剥離ユニットの両者を移動させて保護フィルムを剥離することもできる。
【００６７】
更に、この発明が適用できる基板については、実施形態の液晶パネルに限定されず、種々の基板における保護フィルム等の剥離に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明装置を適用した一実施形態を表す平面図
【図２】本発明装置を表す平面図
【図３】図２のIII−III方向矢視図
【図４】図２のIV−IV方向矢視図
【図５】図４のＶ−Ｖ方向矢視図
【図６】（ａ）（ｂ）はフィルムチャック及びフィルム切断の動作図
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）は保護フィルム剥離動作図
【図８】（ｄ）（ｅ）（ｆ）は保護フィルム剥離動作図
【図９】（ｇ）（ｈ）は保護フィルム剥離動作図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）は保護フィルム剥離動作の右側側面図
【符号の説明】
【００６９】
ａ    液晶パネル供給部
ｂ    液晶パネル位置決め部
ｃ    保護フィルム剥離部
ｄ    保護フィルム回収部
ｅ    バックライトユニット供給部
ｆ    バックライト組込部
ｇ    ベセル組込部
Ａ    液晶パネル
Ｂ    偏光板
Ｃ    保護フィルム
Ｃ′  保護フィルム切断片
Ｄ    角部
１    収納カセット
２    吸着テーブル
３    吸着テーブル
４    剥離ユニット
５    バックライトユニット
６    機台
７    レール
８    スライダ
９    支持枠
１０  ベース板
１１  レール
１２  スライダ
１３  ユニット台
１４  レール
１５  スライダ
１６  支持板
１７  シリンダ
１８  保護フィルム突上ユニット
１９  スライダ
２０  除電ブロー
２１  保護フィルム排出ユニット
２２  支持枠
２３  支持枠
２４  ローラ
２５  エンドレスベルト
２６  支持枠
２７  シリンダ
２８  剥離テープ供給リール
２９  剥離テープ巻取リール
３０  剥離テープ
３１  ガイドローラ
３２  貼付ローラ
３３  ガイドローラ
３４  ガイドローラ
３５  剥離テープ巻取モータ
３６  シリンダ
３７  供給側テープチャック
３８  レール
３９  スライダ
４０  シリンダ
４１  シリンダ
４２  シリンダ
４３  回収側テープチャック
４４  固定枠
４５  受側フィルムチャック
４６  レール
４７  スライダ
４８  駆動側フィルムチャック
４９  シリンダ
５０  カッター固定枠
５１  カッター刃
５２  バネ
【図１】
2007310035.tif 000003
【図２】
2007310035.tif 000004
【図３】
2007310035.tif 000005
【図４】
2007310035.tif 000006
【図５】
2007310035.tif 000007
【図６】
2007310035.tif 000008
【図７】
2007310035.tif 000009
【図８】
2007310035.tif 000010
【図９】
2007310035.tif 000011
【図１０】
2007310035.tif 000012