(57)【要約】【課題】通過帯域内において、入出力インピーダンスに対する挿入損失特性に表されるうねりを低減することができ、ＶＳＷＲを向上することができる弾性表面波フィルタを提供すること。【解決手段】弾性表面波フィルタ１は、圧電基板２上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って複数の共振子が結合している弾性表面波素子１０，２０が、複数段、縦続接続されて配設されている。弾性表面波素子１０は、ＩＤＴ電極１１，１４ａ，１４ｂと、挿入反射器電極１３ａ，１３ｂとを含み、弾性表面波素子２０は、ＩＤＴ電極２１，２４ａ，２４ｂと、挿入反射器電極２３ａ，２３ｂとを含んでいる。ＩＤＴ電極１４ａ，１４ｂとＩＤＴ電極２４ａ，２４ｂとは、配線パターン３２ａ，３２ｂで接続され、挿入反射器電極１３ａ，１３ｂと挿入反射器電極２３ａ，２３ｂとは、接地パターン３１ａ，３１ｂで接続されている。【選択図】図１
2007104481.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って複数の共振子が結合した共振子型弾性表面波素子が、複数段、縦続接続して配設された弾性表面波フィルタであって、
前記共振子型弾性表面波素子は、
共振子としてのＩＤＴ電極と、
複数の前記ＩＤＴ電極の間に配置された挿入反射器電極と、
前記ＩＤＴ電極に接続された入出力端子と、
前記共振子型弾性表面波素子の段間に配置され、前記各段のＩＤＴ電極同士を接続する接続配線と、
前記共振子型弾性表面波素子の段間に配置され、前記各段の挿入反射器電極同士を接続する接地配線とを含んでいる、弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
前記複数の共振子型弾性表面波素子のうち、少なくとも１つは、不平衡入出力端子を備える縦結合共振子型弾性表面波素子であり、
他の共振子型弾性表面波素子は、平衡入出力端子を備える縦結合共振子型弾性表面波素子である、請求項１に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
前記入出力端子は、前記共振子型弾性表面波素子の段間に配置されている、請求項１または請求項２に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項４】
前記接地配線は、
前記入出力端子と、前記接続配線との間に配置されている、請求項１から請求項３のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項５】
前記接地配線は、
その配線途中の一部が除去されるように不連続的に形成されている、請求項１から請求項４のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、縦結合共振子型弾性表面波素子を複数段に縦続接続した弾性表面波フィルタに関し、特に、携帯電話や自動車電話等の移動体無線器に内蔵されており、広帯域に好適に用いられる周波数選択フィルタとしての弾性表面波フィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、携帯電話や自動車電話等の移動体通信機器の高周波（Radio frequency：ＲＦ）段における周波数選択フィルタとして、弾性表面波フィルタが多く用いられている。この弾性表面波フィルタは、広通過帯域化・低損失化・通過帯域外での高減衰量化などの特性が求められており、これらの特性を向上するための発明がいくつか提案されている。
例えば、弾性表面波フィルタの通過帯域を広げるために、複数のＩＤＴ（Inter Digital Transducer）電極を弾性表面波の伝搬方向に沿って配置し、各ＩＤＴ電極の両側に反射器電極を配置した縦結合共振子型弾性表面波素子を備える弾性表面波フィルタが用いられる。さらに、この弾性表面波フィルタを高減衰量化するために、縦結合共振子型弾性表面波素子を複数段に縦続接続した弾性表面波フィルタが用いられる。このような弾性表面波フィルタは、縦結合共振子型弾性表面波素子を複数段に縦続接続するので、通過帯域内での挿入損失が大きくなるという欠点があるものの、通過帯域外での出力を大幅に減衰できるという利点がある。
【０００３】
ところで、縦結合共振子型弾性表面波素子を縦続接続した弾性表面波フィルタは、不平衡入力−不平衡出力型を有するものが一般的であった。この弾性表面波フィルタを用いた場合で、この弾性表面波フィルタの後段に接続された回路部材が平衡入力型にのみ対応しているとき、不平衡−平衡変換器を介して、これらの回路部材と弾性表面波フィルタとを接続しなければならなかった。このように、不平衡−平衡変換器を接続した不平衡入力−不平衡出力型の弾性表面波フィルタは、近年の移動体通信機器の小型化に対応することが難しく、チップサイズの大きさやコストの面で問題となっていた。
【０００４】
したがって、不平衡−平衡変換器を用いなくともよい、不平衡入力−平衡出力型の弾性表面波フィルタの実用化が求められている。
図５は、従来の弾性表面波フィルタ１００の電極配置を示す平面図である。この弾性表面波フィルタ１００は、不平衡型入力端子１１２が接続された縦結合共振子型弾性表面波素子１１０と、２つの平衡型出力端子１２２ａ，１２２ｂが接続された縦結合共振子型弾性表面波素子１２０とを縦続接続している。また、縦結合共振子型弾性表面波素子１１０と縦結合共振子型弾性表面波素子１２０との段間に、縦結合共振子型弾性表面波素子１１０のＩＤＴ電極１１１の接地端子としてのアース端子１１６ｃが配置され、縦結合共振子型弾性表面波素子１２０のＩＤＴ電極１２４ａ，１２４ｂの接地端子としてのアース端子１２６ａ，１２６ｂが配置されている。そして、縦結合共振子型弾性表面波素子１１０と縦結合共振子型弾性表面波素子１２０とは、配線パターン１３２を介して、電気的に接続されている。このような構成により、弾性表面波フィルタ１００は、不平衡−平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタを実現することができる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−３４５６６６号公報
【特許文献２】特開２００２−１３５０７８号公報
【特許文献３】特開２０００−９１８８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に示されているような弾性表面波フィルタ１００では、配線パターン１３２と大きな面積を有するアース端子１１６ｃ，１２６ａ，１２６ｂとに並列容量が生じるため、弾性表面波フィルタ１００の入出力インピーダンスに対して、この並列容量成分が大きくなってしまう。そして、この並列容量により、弾性表面波フィルタ１００の挿入損失特性に表されるうねり（リップル）が生じ、電圧定在波比（ＶＳＷＲ：Voltage Standing Wave Ratio）が悪化するという問題が生じていた。
【０００６】
本発明は、このような背景のもとになされたもので、通過帯域内において、入出力インピーダンスに対する挿入損失特性に表されるうねりを低減することができ、ＶＳＷＲを向上することができる弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するための弾性表面波フィルタは、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って複数の共振子が結合した共振子型弾性表面波素子が、複数段、縦続接続して配設された弾性表面波フィルタであって、前記共振子型弾性表面波素子は、共振子としてのＩＤＴ電極と、複数の前記ＩＤＴ電極の間に配置された挿入反射器電極と、前記ＩＤＴ電極に接続された入出力端子と、前記共振子型弾性表面波素子の段間に配置され、前記各段のＩＤＴ電極同士を接続する接続配線と、前記共振子型弾性表面波素子の段間に配置され、前記各段の挿入反射器電極同士を接続する接地配線とを含んでいる。
【０００８】
この構成によれば、各共振子型弾性表面波素子に含まれているＩＤＴ電極は、接続配線を介して、接続されている。また、各共振子型弾性表面波素子に含まれている挿入反射器電極は、接地配線を介して接続されている。このとき、例えば、共振子型弾性表面波素子を複数段に配設した弾性表面波フィルタの段間に入出力端子を配置したとき、この入出力端子と接続配線との間に並列容量が発生する。
【０００９】
そこで、入出力端子と接続配線との間に、前記接地配線を配置することで、弾性表面波フィルタの入出力インピーダンスに対して、この並列容量成分の影響を少なくすることができる。すなわち、通過帯域内における弾性表面波フィルタの挿入損失特性に表される凸凹またはうねり（リップル）の発生を抑制でき、ＶＳＷＲを１に近い良好な値に保つことができる。これにより、弾性表面波フィルタは、通過帯域内の弾性表面波の出力を良好に得ることができる。
【００１０】
また、前記複数の共振子型弾性表面波素子のうち、少なくとも１つは、不平衡入出力端子を備える縦結合共振子型弾性表面波素子であり、他の共振子型弾性表面波素子は、平衡入出力端子を備える縦結合共振子型弾性表面波素子であることが好ましい。これにより、例えば、この弾性表面波フィルタの後段に接続された回路部材が平衡入力型にのみ対応している場合でも、不平衡−平衡変換器を挿入する必要がない。このような不平衡−平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタは、これを搭載する移動体通信機器などの各種装置の小型化に対応することができる。
【００１１】
また、前記入出力端子は、前記共振子型弾性表面波素子の段間に配置されていることが好ましい。これにより、圧電基板上の共振子型弾性表面波素子の配置面積を全体として小さくすることができ、結果として、この弾性表面波フィルタの大きさを小さくすることができる。
さらに、前記接地配線は、前記入出力端子と、前記接続配線との間に配置されていることが好ましい。
【００１２】
なお、前記接地配線は、その配線途中の一部が除去されるように不連続的に形成されていてもよい。
本発明によれば、上述の構成のように、入出力端子や接地配線を配置することで、共振子型弾性表面波素子を電気的に接続するための入出力端子と接続配線との間に生じる並列容量を低減することができ、通過帯域内の弾性表面波の出力を良好に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の弾性表面波装置について、共振子型の弾性表面波フィルタを例にとり説明する。
なお、以下に説明する図面において、各電極の大きさ、電極間の距離、電極指の本数・間隔等については、説明のために模式的に図示したものである。
図１は、本発明の一実施形態にかかる弾性表面波フィルタの圧電基板の主面の電極配置を示す平面図である。なお、本明細書での「主面２ａ」とは、板状の圧電基板２の表面としてのＩＤＴ電極や反射器電極が形成された面のことをいう。
【００１４】
弾性表面波フィルタ１は、圧電基板２と、この圧電基板２の主面２ａ上に形成された、縦結合共振子型弾性表面波素子１０（以下、単に弾性表面波素子１０ともいう）と、縦結合共振子型弾性表面波素子２０（以下、単に弾性表面波素子２０ともいう）とを有している。また、弾性表面波素子１０は、不平衡入出力端子１２（以下、単に入出力端子１２ともいう）に接続されており、弾性表面波素子２０は、２つの平衡出入力端子２２ａ，２２ｂ（以下、総称するときは入出力端子２２という）に接続されている。
【００１５】
圧電基板２は、ＬｉＴａＯ3単結晶、ＬｉＮｂＯ3単結晶やＬｉＢ4Ｏ7単結晶等の大きな圧電性を有する材料で形成されている。これらの材料を選択することにより、圧電基板２は、電気機械結合係数を大きくすることができ、かつ、群遅延時間温度係数を小さくすることができる。
また、これらの圧電性を有する材料に、酸素欠陥を発生させたり、Ｆｅ等の固溶を行ったりして、圧電基板２に生じる焦電効果を著しく低減することができる。これにより、圧電基板２上に形成されるＩＤＴ電極や反射器電極に生じる焦電効果による放電を低減することができ、弾性表面波素子１０，２０の破壊を防止でき、結果として、弾性表面波フィルタ１の信頼性を良好に保つことができる。
【００１６】
圧電基板２の厚みは、好ましくは、０．１〜０．５ｍｍ程度である。このため、その厚みが０．１ｍｍ未満で薄く形成されたときのように、圧電基板２が脆くなることもなく、逆に、その厚みが０．５ｍｍを超えて厚く形成されたときのように、材料コストが大きくなることもなく、弾性表面波フィルタ１の高さが高くなることもない。
そして、前述のように、圧電基板２の主面２ａ上には、共振子としてのＩＤＴ電極１１，１４ａ，１４ｂを含む弾性表面波素子１０と、ＩＤＴ電極２１，２４ａ，２４ｂを含む弾性表面波素子２０とが形成されている。これらの弾性表面波素子１０，２０の詳細な電極構造については、後述する。
【００１７】
弾性表面波素子１０，２０上は、ＳｉＯ2，ＳｉＮx，Ｓｉ，Ａｌ2Ｏ3等の材料で形成された保護膜３で覆われており、導電性異物による通電防止や耐電力の向上を図ることができる。
また、弾性表面波フィルタ１の圧電基板２の主面２ａ上には、弾性表面波素子１０，２０を取り囲むように、四角枠状の環状電極（図示せず）が形成されている。
【００１８】
一方、この弾性表面波フィルタ１を実装するための実装用基板（図示せず）には、圧電基板２の入出力端子１２，２２に対向する位置に、所定の導体パッドが設けられている。また、この実装用基板には、圧電基板２の主面２ａ上の環状電極に対向する位置に、所定の環状導体（図示せず）が設けられている。
これらの弾性表面波素子１０，２０が形成された弾性表面波フィルタ１を、実装用基板に対してフェースダウン実装する。すなわち、半田等の金属接合材料を用いて、実装用基板上の所定の環状導体に、圧電基板２の主面２ａ上の環状電極を接合し、圧電基板２の主面２ａ、実装用基板の実装面及び環状電極で囲まれた空間で、弾性表面波素子１０，２０を閉じ込めるとともに、実装用基板側の所定の導体パッド（図示せず）に、入出力端子１２，２２を電気的に接続する。
【００１９】
このようにして、弾性表面波素子１０と弾性表面波素子２０とが縦続接続された弾性表面波フィルタ１を含む弾性表面波装置が作製される。これにより、例えば、この弾性表面波フィルタ１の後段に接続された回路部材が平衡入力型にのみ対応している場合でも、不平衡−平衡変換器を接続する必要がない。また、不平衡−平衡変換器を接続する必要がないため、この弾性表面波フィルタ１は、チップサイズの大きさを小さくすることができ、結果として、移動体通信機器などの各種装置の小型化に対応することができる。
【００２０】
なお、本発明の弾性表面波装置の実装構造は、前述した環状電極等で囲まれた封止構造の態様に限定されるものではない。
以下、本発明の弾性表面波フィルタ１の弾性表面波素子１０，２０の電極構造を、詳細に説明する。
前段に備わる弾性表面波素子１０は、複数の電極指を櫛歯状にかみ合わせた形状を有するＩＤＴ電極１１と，スリット状に形成された挿入反射器電極１３ａ，１３ｂ（以下、総称するときは挿入反射器１３という）と、ＩＤＴ電極１４ａ，１４ｂ（以下、総称するときはＩＤＴ電極１４という）と、反射器電極１５ａ，１５ｂ（以下、総称するときは反射器１５という）とを備えている。
【００２１】
ＩＤＴ電極１１を形成する２つの櫛歯状電極の片方には、前述のように、不平衡入出力端子としての入出力端子１２が接続されている。このため、弾性表面波素子１０から出力される弾性表面波は、位相が１８０°反転する。
ＩＤＴ電極１１を挟み込む両位置には、挿入反射器１３ａ，１３ｂが備えられている。この挿入反射器１３ａ，１３ｂはそれぞれ、接地配線としての接地パターン３１ａ，３１ｂ（以下、総称するときは接地パターン３１という）を介して、弾性表面波素子２０の挿入反射器２３ａ，２３ｂに接続されている。
【００２２】
各挿入反射器１３を挟み込む両位置には、ＩＤＴ電極１４ａ，１４ｂが備えられている。このＩＤＴ電極１４ａ，１４ｂを形成する２つの櫛歯状電極の片方はそれぞれ、接続配線としての配線パターン３２ａ，３２ｂ（以下、総称するときは配線パターン３２という）を介して、弾性表面波素子２０のＩＤＴ電極２４ａ，２４ｂに接続されている。
各ＩＤＴ電極１４を挟み込む両位置には、反射器１５ａ，１５ｂが備えられている。
【００２３】
また、弾性表面波素子１０において、ＩＤＴ電極１１，１４、挿入反射器１３及び反射器１５の片側の電極は、図１に示されるように、全て同一のアース端子１６に接続されている。
後段に備わる弾性表面波素子２０は、複数の電極指を櫛歯状にかみ合わせた形状を有するＩＤＴ電極２１と，スリット状に形成された挿入反射器電極２３ａ，２３ｂ（以下、総称するときは挿入反射器２３という）と、ＩＤＴ電極２４ａ，２４ｂ（以下、総称するときはＩＤＴ電極２４という）と、反射器電極２５ａ，２５ｂ（以下、総称するときは反射器２５という）とを備えている。
【００２４】
ＩＤＴ電極２１を形成する櫛歯状電極の両側の部分にはそれぞれ、図示のように、平衡入出力端子としての入出力端子２２ａ，２２ｂが接続されている。弾性表面波素子２０は、その電極構造は弾性表面波素子１０とは異なり、線対称な電極構造を有しており、位相の反転が起こらない構造となっている。
ＩＤＴ電極２１を挟み込む両位置には、挿入反射器２３ａ，２３ｂが備えられている。この挿入反射器２３ａ，２３ｂはそれぞれ、前述したように、接地パターン３１ａ，３１ｂを介して、弾性表面波素子１０の挿入反射器１３ａ，１３ｂに接続されている。
【００２５】
各挿入反射器２３を挟み込む両位置には、ＩＤＴ電極２４ａ，２４ｂが備えられている。このＩＤＴ電極２４ａ，２４ｂを形成する２つの櫛歯状電極の片方はそれぞれ、前述したように、配線パターン３２ａ，３２ｂを介して、弾性表面波素子１０のＩＤＴ電極１４ａ，１４ｂに接続されている。
各ＩＤＴ電極２４を挟み込む両位置には、反射器２５ａ，２５ｂが備えられている。
【００２６】
また、弾性表面波素子２０は、ＩＤＴ電極２１以外の、挿入反射器２３ａ、ＩＤＴ電極２４ａ及び反射器２５ａの片側の電極はアース端子２６ａに接続されており、挿入反射器２３ｂ、ＩＤＴ電極２４ｂ及び反射器２５ｂの片側の電極はアース端子２６ｂに接続されている。
なお、各接地パターン３１の幅は、図１に示すように、各配線パターン３２の幅よりも細く形成されていることが好ましい。
【００２７】
弾性表面波素子１０に含まれる２つのＩＤＴ電極１４と、弾性表面波素子２０に含まれる２つのＩＤＴ電極２４とは、前述のとおり、各配線パターン３２を介して電気的に接続しており、これにより、弾性表面波素子１０と弾性表面波素子２０とが、縦続接続されている。
弾性表面波素子１０，２０上の各電極は、蒸着法、スパッタ法やＣＶＤ法（Chemical Vapor Deposition：化学気相成長法）等などの薄膜形成法を用いて、ＡｌやＡｌ−Ｃｕ系もしくはＡｌ−Ｔｉ系のＡｌ合金等の金属材料で形成されている。これらの厚みは、０．１μｍ〜０．５μｍ程度とすることで、弾性表面波フィルタ１としての特性を得る上で好適に作用する。
【００２８】
また、弾性表面波素子１０，２０に含まれるＩＤＴ電極１１，１４，２１，２４を形成する櫛歯状の電極指は、その対数が５０〜２００であり、その幅が０．１〜１０μｍであり、その間隔が０．１〜１０μｍであり、その交差幅が１０〜３００μｍである。むろん、ＩＤＴ電極１１，１４，２１，２４の特性を決めるこれらの数値は、所定の弾性表面波の周波数等に基づいて決定される。
【００２９】
接地パターン３１は、前述のように、弾性表面波素子１０の各挿入反射器１３と弾性表面波素子２０の各挿入反射器２３とを接続している。この配置により、各弾性表面波素子１０，２０の段間において、これらの弾性表面波素子１０，２０を電気的に接続したときの各配線パターン３２と入出力端子１２との間に生じる電磁的な結合を分断して並列容量を大幅に低減させることができる。したがって、接地パターン３１をこのように配置することで、弾性表面波フィルタ１の入出力インピーダンスに対して、この並列容量成分の影響を少なくすることができ、通過帯域内における弾性表面波フィルタ１の挿入損失特性に表されるうねり（リップル）の発生を抑制でき、ＶＳＷＲを良好に保つことができる。これにより、弾性表面波フィルタ１は、通過帯域内の弾性表面波の出力を良好に得ることができる。
【００３０】
次に、本発明の弾性表面波フィルタの他の実施形態について説明する。
図２は、他の実施形態にかかる弾性表面波フィルタ１ａの圧電基板２における主面２ａの電極配置を示す平面図である。
その基本構成は、第１の実施の形態の弾性表面波フィルタ１とほぼ同じであるが、本実施形態では、弾性表面波素子１０，２０の各挿入反射器１３，２３を接続する接地パターン４１ａ，４１ｂ（以下、総称するときは接地パターン４１という）は、その配線途中の一部が除去された形状を有している。
【００３１】
このようにして、接地パターン４１の配線の途中が除去されていても、入出力端子１２と配線パターン３２との間に介在して、入出力端子１２と配線パターン３２との間に発生する電磁的な結合を分断して並列容量を低減させる接地パターン４１の効果は、図１の弾性表面波フィルタ１とほぼ変わらない。したがって、接地パターン３１の一部を除去した形状（接地パターン４１）であっても、弾性表面波フィルタ１ａの入出力インピーダンスに対して、通過帯域内における挿入損失特性に表されるうねりの発生を抑制でき、ＶＳＷＲを良好に保つことができる。よって、弾性表面波フィルタ１ａは、通過帯域内の弾性表面波の出力を良好に得ることができる。
【００３２】
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【実施例】
【００３３】
本発明の具体的な実施例について、以下に説明する。
弾性表面波フィルタ１の圧電基板２として、３８．９°ＹカットＸ伝搬のＬｉＴａＯ3単結晶を用いた。
圧電基板２の主面２ａ上に、弾性表面波素子１０，２０を形成するために、スパッタリング法を用いて、Ａｌ−Ｃｕ合金で電極膜を形成した。この電極膜の厚みは、約０．３〜０．４μｍであった。
【００３４】
この電極膜の上に、レジストを約１μｍの厚みで塗布し、基板上についた水分を蒸発させるためにベーキングを行った。その後、縮小投影露光装置を用いて、弾性表面波素子１０，２０のパターンを露光した。そして、現像液を用いて現像し、ベーキングを行い、ポジレジストパターンを形成した。
次に、ＲＩＥ（Reactive Ion Etching）装置を用いてドライエッチングを行い、圧電基板２の主面２ａ上に弾性表面波フィルタ１の電極パターンを形成した。この電極パターンを形成することで、弾性表面波素子１０，２０を形成した。
【００３５】
この電極パターン上にＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置を用いて、保護膜３をＳｉＯ2で形成した。このときの保護膜３の厚みは、０．０１〜０．０２μｍであった。
前記の基板から、ダイシングにより、弾性表面波フィルタ１の大きさに切り出した。この弾性表面波フィルタ１を、弾性表面波が伝搬する面を下にして、セラミックの外部筺体にフリップチップ実装方式により固定し、上からキャップを外部筺体に被せて封止した。そして、約９００ＭＨz帯に中心周波数を持つ弾性表面波フィルタ１を製造した。
【００３６】
図３は、作製した弾性表面波フィルタ１の出力周波数とその伝送損失およびＶＳＷＲとの関係を示したグラフである。
このグラフでは、通過帯域内（約８６０〜９００ＭＨｚ）では、約３ｄＢの伝送損失しかなかったが、通過帯域外（約８６０ＭＨｚ未満、約９００ＭＨｚ超）では、少なくとも２５ｄＢほどの伝送損失があった。また、通過帯域内（約８６０〜９００ＭＨｚ）での伝送損失は、ほぼ一定の値（約３ｄＢ）を保っており、グラフの形状はリップルが少なく、ほぼ平坦であった。ここでの「リップル」とは、通過帯域内の減衰量の極大値と極小値との差をいい、通過帯域内における、弾性表面波フィルタ１の入出力インピーダンスに対する挿入損失特性に表される凸凹またはうねり（うねりの幅）のことを表すものである。
【００３７】
このように、弾性表面波フィルタ１は、通過帯域内での伝送損失をほぼ平坦にすることができた。これは、弾性表面波素子１０，２０の挿入反射器１３，２３を接続した接地パターン３１により、弾性表面波素子１０，２０を電気的に接続するための配線パターン３２と不平衡入出力端子１２との間に生じる並列容量を軽減できたためと考えられる。
また、ＶＳＷＲは、この通過帯域内において、平均して約１．５の値を有している。一方、通過帯域外では、６を超えた値を有している。このように、通過帯域内におけるＶＳＷＲの値を、通過帯域外におけるＶＳＷＲの値に比べて１に近づけることにより、通過帯域内における伝送損失の低減を抑えることができ、かつ通過帯域外における弾性表面波の出力を抑制することができた。
【００３８】
図４は、不平衡入出力端子１２−接地パターン３１間距離ｄとリップル（ａ）との関係及び不平衡入出力端子１２−接地パターン３１間距離ｄとＶＳＷＲ（ｂ）との関係を示したグラフである。
なお、図示されている「比較例」とは、接地パターン３１ａ，３１ｂを形成しない以外は、本実施形態の弾性表面波フィルタ１とほぼ同様の構成を有するものである。
【００３９】
弾性表面波フィルタ１のリップルは、図４（ａ）に示されるように、不平衡入出力端子１２−接地パターン３１間の距離ｄ（３０μｍ、７０μｍ、１１０μｍ）のときは、約０．７４ｄＢであった。
このように、不平衡入出力端子１２と接地パターン３１との距離を短く形成したにもかかわらず、通過帯域内でのリップルを低減することができた。
【００４０】
弾性表面波フィルタ１のＶＳＷＲは、図４（ｂ）に示されるように、不平衡入出力端子１２−接地パターン３１間の距離ｄ（３０μｍ、７０μｍ、１１０μｍ）のときは、約１．７８であった。
このように、不平衡入出力端子１２と接地パターン３１との距離ｄを短く形成したにもかかわらず、通過帯域内でのＶＳＷＲを低減することができた。このことは、各弾性表面波素子１０，２０の段間において、弾性表面波素子を電気的に接続したときの各配線パターン３２と入出力端子１２との間に生じる電磁的な結合を分断して並列容量を大幅に低減できたと考えられる。したがって、接地パターン３１を配置することで、弾性表面波フィルタ１の入出力インピーダンスに対するこの並列容量成分の影響を少なくすることができ、通過帯域内における弾性表面波フィルタ１の挿入損失特性に表されるうねり（リップル）の発生を抑制でき、ＶＳＷＲを良好に保つことができた。
【００４１】
また、接地パターン３１の途中を除去させたもの（つまり、図２での接地パターン４１）でも、ほぼ同様の結果が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施形態にかかる弾性表面波フィルタの圧電基板の主面の電極配置を示す平面図である。
【図２】他の実施形態にかかる弾性表面波フィルタの圧電基板における主面の電極配置を示す平面図である。
【図３】作製した弾性表面波フィルタの出力周波数とその伝送損失およびＶＳＷＲとの関係を示したグラフである。
【図４】不平衡入出力端子−接地パターン間距離とリップル（ａ）との関係及び不平衡入出力端子−接地パターン間距離とＶＳＷＲ（ｂ）との関係を示したグラフである。
【図５】従来の弾性表面波フィルタの電極配置を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１，１ａ    弾性表面波フィルタ
２    圧電基板
２ａ    主面
３    保護膜
１０，２０    縦結合共振子型弾性表面波素子
１１，１４ａ，１４ｂ，２１，２４ａ，２４ｂ    ＩＤＴ電極
１２    不平衡入出力端子
２２ａ，２２ｂ    平衡出入力端子
１３ａ，１３ｂ，２３ａ，２３ｂ    挿入反射器
１５ａ，１５ｂ，２５ａ，２５ｂ    反射器
１６，２６ａ，２６ｂ    アース端子
３１ａ，３１ｂ，４１ａ，４１ｂ    接地パターン
３２ａ，３２ｂ    配線パターン
【図１】
2007104481.tif 000003
【図２】
2007104481.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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