(57)【要約】【課題】クロストークによる測定精度低下を抑えながら発光体アレイの光量測定時間を短くすることができる発光体測光装置を得ること。【解決手段】系列Ａと系列Ｂの発光体アレイ１０１，１０２は、発光体アレイを構成する複数の発光体を、計測対象が、１つの発光体毎にまたは複数の発光体毎に交互するように２分したものである。系列Ａと系列Ｂの光センサ群１０３，１０４では、計測対象発光体毎に光センサが配置される。系列Ａでの計測時には系列Ｂでの各発光体は滅灯状態に制御し、対応する各光センサも動作不能状態に制御する。系列Ａでの全発光体を点灯状態にして計測対象発光体毎に切り替えて光量計測を行ってもクロストークによる測定精度の低下を小さくすることができる。したがって、計測対象発光体を高速に切り替えて光量計測を行うことができ、光量計測の高速化が図れる。【選択図】図１
2007015328.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ライン状に配置される複数の発光体と１対１の関係で当該複数の発光体に沿って配置される複数の光センサと、
前記複数の発光体を１つの発光体毎に交互に点灯駆動する駆動手段と、
前記複数の光センサの出力信号の中から１つを選択する選択手段と、
前記選択手段に、前記駆動手段が点灯駆動している全発光体に対応する全光センサの出力信号を順に選択させて取り込み、発光光量を計測する制御手段と、
を備えていることを特徴とする発光体測光装置。
【請求項２】
ライン状に配置される複数の発光体を隣接する２以上の発光体毎に交互に点灯駆動する駆動手段と、
前記２以上の発光体と１対１の関係で前記複数の発光体に沿って配置される複数の光センサと、
前記複数の光センサの出力信号の中から１つを選択する選択手段と、
前記選択手段に、前記駆動手段が点灯駆動している全発光体に対応する全光センサの出力信号を順に選択させて取り込み、発光光量を計測する制御手段と、
を備えていることを特徴とする発光体測光装置。
【請求項３】
前記複数の光センサのうち、前記駆動手段が点灯駆動する全発光体に対応する全光センサのみを光量検出動作可能状態に設定する手段、を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の発光体測光装置。
【請求項４】
前記発光体は、有機ＥＬ素子であることを特徴とする請求項１または２に記載の発光体測光装置。
【請求項５】
前記光センサは、アモルファスシリコンで形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の発光体測光装置。
【請求項６】
前記光センサは、多結晶シリコンで形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の発光体測光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光素子（以降「発光体」ともいう）をライン状に配置した発光体アレイでの発光光量を計測する発光体測光装置に関し、特に、発光部に発光体アレイを装備する露光装置において使用される発光体測光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子写真装置は、帯電した感光体を画像情報に応じて露光して静電潜像を形成し、トナーにより現像し、感光体上に現像されたトナー像を記録紙に転写、加熱定着して画像を得る装置である。そして、感光体上に静電潜像を形成する露光装置には、発光体アレイの各発光体を選択的に点灯・滅灯制御して感光体上を照射する方式のものと、レーザダイオードの出射光ビームをポリゴンミラーと呼ばれる回転多面鏡を介して感光体上を照射する方式のものとが知られている。
【０００３】
ここで、発光部に発光体アレイを装備する露光装置では、発光体アレイを感光体のごく近傍に配置でき、また、レーザダイオードを用いる場合のポリゴンミラーのような可動部がないので信頼性が高く、レーザダイオードの出射光を感光体に導く光学系や、光の経路となる大きな光学的空間が不要であるので、装置を小型化することが可能である。
【０００４】
発光体アレイを構成する発光素子には、ＬＥＤ（発光ダイオード）や有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）などがあるが、発光体として有機ＥＬ素子を用いる場合には、ガラス等の基板上に、有機ＥＬ素子と薄膜トランジスタをスイッチング素子として構成される駆動回路とを一体化して形成できるため、発光体としてＬＥＤを用いる場合よりも構造、製造工程がシンプルであり、露光装置の更なる小型化、低コスト化を実現できる可能性がある。
【０００５】
そして、有機ＥＬ素子はＬＥＤよりも寿命が短いという問題に対処するために、例えば（特許文献１）では、有機ＥＬ素子の寿命による発光光量劣化特性に応じて発光素子毎に発光光量を一定に保つことができる電子写真用光ヘッドが提案されている。
【０００６】
すなわち、（特許文献１）にて開示される光ヘッドは、発光素子と受光素子を備える複数の画素が行配列され、さらに受光素子の光検出用の検出回路と、画素の行選択を行う駆動回路及び発光素子の発行データ書込み用の駆動回路とを備えている。画像の形成に当たっては、予め、受光素子の特性及びばらつきを測定し、その特性データまたは受光素子補正用データを不揮発性の記憶手段に記憶させておく。そして、画像形成動作時に、発光素子からの光を受光素子でモニターして記憶手段に記憶されている受光素子の特性を考慮した上で、発光素子の出力光強度が所定の値となるように制御手段が制御するように構成されている。
【特許文献１】特開２００２−１４４６３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、発光体アレイは、例えば解像度が６００ｄｐｉであっても５１２０個もの発光素子で構成されるので、それらを制御するためには、発光光量を測光する時間は短いことが必要である。
【０００８】
しかし、（特許文献１）に記載の技術では、複数の画素を同時に計測するのではなく、１画素毎に計測するので、クロストークの問題は回避できるが、全画素の発光体測光を行うには時間を要するという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、発光体個別の光量測定でのクロストークによる測定精度低下を抑えながら発光体アレイの光量測定時間を短くすることができる発光体測光装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記した目的を達成するため、本発明にかかる発光体測光装置は、ライン状に配置される複数の発光体と１対１の関係で当該複数の発光体に沿って配置される複数の光センサと、前記複数の発光体を１つの発光体毎に交互に点灯駆動する駆動手段と、前記複数の光センサの出力信号の中から１つを選択する選択手段と、前記選択手段に、前記駆動手段が点灯駆動している全発光体に対応する全光センサの出力信号を順に選択させて取り込み、発光光量を計測する制御手段とを備えていることを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、発光体アレイを構成する複数の発光体を１つ毎に計測対象が交互するように２分し、それぞれの計測対象発光体毎に光センサを配置し、一方の計測対象系での計測時には他方の計測対象系での各発光体は滅灯状態に制御するので、計測対象の全発光体を点灯状態にして計測対象発光体毎に切り替えて光量計測を行ってもクロストークによる測定精度の低下を小さくすることができる。したがって、計測対象発光体を高速に切り替えて光量計測を行うことができ、光量計測の高速化が図れる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、発光体個別の光量測定でのクロストークによる測定精度低下を抑えながら発光体アレイの光量測定時間を短くすることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に図面を参照して、本発明にかかる発光体測光装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
図１は本発明の一実施の形態による発光体測光装置の構成を示すブロック図である。図１において、系列Ａ発光体アレイ１０１と系列Ｂ発光体アレイ１０２は、全体として、複数の発光体（例えば有機ＥＬ素子）をライン状に配置した１つの発光体アレイを構成し、図示しない露光装置の発光部に設けられている。なお、系列Ａ発光体アレイ１０１と系列Ｂ発光体アレイ１０２は、点灯・滅灯の制御対象（計測対象）として区別したものである（図２、図３参照）。
【００１５】
図１に示す発光体測光装置は、露光装置が備える発光体アレイ（系列Ａ発光体アレイ１０１と系列Ｂ発光体アレイ１０２）に対し、系列Ａ発光体アレイ１０１での発光光量を検出する系列Ａ光センサ群１０３と、系列Ｂ発光体アレイ１０２での発光光量を検出する系列Ｂ光センサ群１０４と、これらに対する制御系として、主制御部１０５、メモリ１０６、発光体ドライバ１０７、スイッチドライバ１０８、ＡＤＣ（ＡＤコンバータ）１０９、および光センサ選択スイッチ１１０とを備えている。
【００１６】
主制御部１０５には、メモリ１０６、発光体ドライバ１０７、スイッチドライバ１０８およびＡＤＣ１０９がバス１５１を介して接続されている。主制御部１０５は、コンピュータのＣＰＵやＭＰＵを主要素として構成され、メモリ１０６に記憶されている光量測定プログラムを実行することによって、発光体ドライバ１０７、スイッチドライバ１０８およびＡＤＣ１０９を制御してこの実施の形態による高速光量測定を実現する。
【００１７】
メモリ１０６は、主制御部１０５が実行する光量測定プログラムを記憶する読み出し専用の記憶装置と、主制御部１０５が光量測定プログラムを実行する過程で情報の一時記憶等に利用する読み書き両用の記憶装置とで構成されている。
【００１８】
発光体ドライバ１０７は、主制御部１０５の指示を受けて、系列Ａ発光体アレイ１０１に対して系列Ａの発光体駆動制御信号１５２を出力し、系列Ｂ発光体アレイ１０２に対して系列Ｂ発光体駆動制御信号１５３を出力し、それぞれの発光体アレイにおける各発光体の選択的な点灯・点滅を制御する。この場合、主制御部１０５は、系列Ａ発光体アレイ１０１と系列Ｂ発光体アレイ１０２とを同時に指定することはしない。
【００１９】
スイッチドライバ１０８は、主制御部１０５の指示を受けて、系列Ａ光センサ群１０３および系列Ｂ光センサ群１０４に対してセンサ初期化駆動信号１５４を出力し、また光センサ選択スイッチ１１０に対して選択指示信号１５５を出力する。
【００２０】
系列Ａ光センサ群１０３と系列Ｂ光センサ群１０４は、光センサ毎に例えば図４に示すような光センサ回路を備えている。系列Ａ光センサ群１０３は、系列Ａ発光体アレイ１０１での発光光量を検出し、それを系列Ａの光センサ出力信号１５６として光センサ選択スイッチ１１０に与える。系列Ｂ光センサ群１０４は、系列Ｂ発光体アレイ１０２での発光光量を検出し、それを系列Ｂの光センサ出力信号１５７として光センサ選択スイッチ１１０に与える。
【００２１】
光センサ選択スイッチ１１０は、例えば図５に示すように構成されるが、系列Ａ光センサ群１０３からの系列Ａの光センサ出力信号１５６と系列Ｂ光センサ群１０４からの系列Ｂの光センサ出力信号１５７のうち、選択指示信号１５５が指示する光センサ群の光センサ出力信号を選択し、その選択された光センサ出力信号１５８をＡＤＣ１０９に与える。
【００２２】
ＡＤＣ１０９は、光センサ選択スイッチ１１０から入力する選択された光センサ出力信号１５８をディジタル変換して主制御部１０５に与える。
【００２３】
次に、図２と図３は、系列Ａと系列Ｂの発光体アレイにおける各発光体と系列Ａと系列Ｂの光センサ群における各光センサとの対応関係を説明する図である。系列Ａと系列Ｂの光センサ群１０３，１０４は、結局、系列Ａと系列Ｂの発光体アレイ１０１，１０２に沿ってライン状に配置されていることが解る。
【００２４】
図２は、１つの発光体に対して１つの光センサが配置される場合が示されている。すなわち、図２において、系列Ａ発光体アレイ１０１と系列Ｂ発光体アレイ１０２とからなる発光体アレイでは、系列Ａの発光体２０１、系列Ｂの発光体２０２、系列Ａの発光体２０３、系列Ｂの発光体２０４というように、系列Ａの発光体と系列Ｂの発光体とが、１個づつ交互に点灯・滅灯の制御対象（計測対象）として定義されている。
【００２５】
これに対して、系列Ａ光センサ群１０３および系列Ａ光センサ群１０３では、系列Ａの発光体２０１に対する系列Ａの光センサ２０５、系列Ｂの発光体２０２に対する系列Ｂの光センサ２０６、系列Ａの発光体２０３に対する系列Ａの光センサ２０７、系列Ｂの発光体２０４に対する系列Ｂの光センサ２０８というように、系列Ａと系列Ｂの各光センサは、系列Ａと系列Ｂの各発光体と１対１の関係で、１個づつ交互に配置されている。
【００２６】
また、図３は、複数（図３では２つ）の発光体に対し１つの光センサが配置される場合が示されている。すなわち、図３において、系列Ａ発光体アレイ１０１と系列Ｂ発光体アレイ１０２とからなる発光体アレイでは、系列Ａの発光体３０１，３０２、系列Ｂの発光体３０３，３０４、系列Ａの発光体３０５，３０６系列Ｂの発光体３０７，３０８というように、系列Ａの発光体と系列Ｂの発光体とが、２個づつ交互に点灯・滅灯の制御対象（計測対象）として定義されている。
【００２７】
これに対して、系列Ａ光センサ群１０３および系列Ａ光センサ群１０３では、系列Ａの発光体３０１，３０２に対する系列Ａの光センサ３０９、系列Ｂの発光体３０３，３０４に対する系列Ｂの光センサ３１０、系列Ａの発光体３０５，３０６に対する系列Ａの光センサ３１１、系列Ｂの発光体３０７，３０８に対する系列Ｂの光センサ３１２というように、系列Ａと系列Ｂの各光センサは、系列Ａと系列Ｂの各隣接する２発光体と１対１の関係で、１個づつ交互に配置されている。
【００２８】
次に、図４は、系列Ａと系列Ｂの光センサ群における各光センサを駆動する光センサ回路の構成例を示す回路図である。図４に示す光センサ回路は、光センサ４０１とセンサ初期化スイッチ４０２とを備えている。
【００２９】
センサ初期化スイッチ４０２は、制御端にスイッチドライバ１０８からセンサ初期化駆動信号１５４が印加され、一方の切替入出力端は接地に接続され、他方の切替入出力端は光センサ出力ライン４５１に接続されている。
【００３０】
光センサ４０１は、例えば、アモルファスシリコン、もしくは多結晶シリコンで形成されたフォトダイオードであり、そのアノード電極端子４０３にはカソード電極の電位よりも低い電圧（逆バイアス電圧）が印加され、カソード電極は光センサ出力ライン４５１に接続されている。図４に示す例では、カソード電極はセンサ初期化スイッチ４０２を介して接地電位になるので、アノード電極端子４０３には負の電圧が印加されている。
【００３１】
すなわち、センサ初期化スイッチ４０２では、制御端にセンサ初期化駆動信号１５４が印加されている期間内、双方の切替入出力端間を閉路し光センサ４０１のカソード電極が接続される光センサ出力ライン４５１を接地に接続する。これによって、アノード電極端子４０３に逆バイアス電圧が印加されている光センサ４０１は、カソード電極が接地電位となるので、光検出動作が行える状態（これを初期状態と呼んでいる）になり、計測対象の発光体が点灯すると、その発光期間内での発光光量に応じた電流（露光電流）を光センサ出力ライン４５１に出力する動作を行うことができる。
【００３２】
また、センサ初期化スイッチ４０２では、制御端にセンサ初期化駆動信号１５４が印加されていない期間では、双方の切替出力端間を開路してカソード電極を接地から切り離し、光センサ４０１を動作不能状態にする。
【００３３】
つまり、スイッチドライバ１０８が出力するセンサ初期化駆動信号１５４は、計測対象の発光体が発光している期間内、光センサ４０１に光量検出動作を行わせる信号である。スイッチドライバ１０８は、主制御部１０５の指示に従ってそのようなセンサ初期化駆動信号１５４を生成するようになっている。
【００３４】
次に、図５は、図１に示す光センサ選択スイッチ１１０の構成例を示す回路図である。図５に示す光センサ選択スイッチ５０１は、図２や図３に対応して、４入力１出力となっている。すなわち、図２と図３に示した光センサの符号を用いて対応関係を説明すると、光センサ選択スイッチ５０１は、４つの入力端子５５１〜５５４のうち、入力端子５５１には系列Ａの光センサ２０５，３０９の光センサ出力信号が入力され、入力端子５５２には系列Ａの光センサ２０７，３１１の光センサ出力信号が入力され、入力端子５５３には系列Ｂの光センサ２０６，３１０の光センサ出力信号が入力され、入力端子５５４には系列Ｂの光センサ２０８，３１２の光センサ出力信号が入力される。
【００３５】
そして、光センサ選択スイッチ５０１は、スイッチドライバ１０８から制御端に印加される選択指示信号１５５の指示に従って４つの光センサ出力信号のうちの１つを選択して出力端子５５５からＡＤＣ１０９への選択された光センサ出力信号１５８を送出する。
【００３６】
要するに、図１に示す光センサ選択スイッチ１１０は、系列Ａ光センサ群１０３と系列Ｂ光センサ群１０４の全光センサの出力信号が入力する入力端子を備えている。そして、スイッチドライバ１０８は主制御部１０５の指示に従って光センサ選択スイッチ１１０の入力端子を一つずつ選択させる選択指示信号１５５を生成するようになっている。
【００３７】
さて、図６を参照して、以上のように構成される発光体測光装置の動作について説明する。なお、図６は、光量測定動作を説明するフローチャートである。ここでは、図２を参照して、つまり、発光体アレイが系列Ａの１発光体と系列Ｂの１発光体とが交互に点灯・滅灯の制御対象として定義される構成であり、光センサ群が１発光体に対して１光センサが配置される構成である場合について説明する。
【００３８】
図６において、ステップ（以降「ＳＴ」と略記する）６０１では、主制御部１０５は、測光動作に入ると、スイッチドライバ１０８に対し、系列Ａ光センサ群１０３を選択する選択指示信号１５５を生成する指示を発行する。スイッチドライバ１０８は、主制御部１０５が指示する内容の選択指示信号１５５を光センサ選択スイッチ１１０に出力する。ここでは、系列Ａ光センサ群１０３において先頭光センサは、系列Ａの光センサ２０５であるとしているので、光センサ選択スイッチ１１０は、選択指示信号１５５の指示に従って、図５に示す入力端子５５１をＡＤＣ１０９への選択された光スイッチ出力信号１５８の送出ラインに接続する。図５に示す入力端子５５１には、系列Ａの光センサ２０５における光センサ出力ライン４５１が接続されている。これによって、系列Ａの光センサ２０５の出力を取り出す経路が設定される。
【００３９】
次のＳＴ６０２では、主制御部１０５は、スイッチドライバ１０８に対し、センサ初期化駆動信号１５４を生成する指示を発行する。スイッチドライバ１０８は、主制御部１０５が指示に従ってセンサ初期化駆動信号１５４を生成し、系列Ａ光センサ群１０３に出力する。これによって、系列Ａ光センサ群１０３における各光センサ回路では、センサ初期化スイッチ４０２が光センサ４０１のカソード電極を接地に接続するので、系列Ａ光センサ群１０３における全光センサは、それぞれ光量検出が行える初期状態に設定される。
【００４０】
次のＳＴ６０３では、主制御部１０５は、発光体ドライバ１０７に対し、系列Ａ発光体アレイ１０１を発光させる系列Ａの発光体駆動制御信号１５２を生成する指示を発行する。発光体ドライバ１０７は、主制御部１０５の指示に従って系列Ａの発光体駆動制御信号１５２を生成し、系列Ａ発光体アレイ１０１の各発光体を点灯制御する。図２に示す例では、系列Ａの発光体２０１，２０３が同時に点灯する。これによって、系列Ａの光センサ２０５，２０７は、同時に光量検出動作を開始するので、それぞれの光センサ出力ライン４５１には、検出光量に対応した電流が流れ出す。
【００４１】
次のＳＴ６０４では、光センサ選択スイッチ１１０では、系列Ａの光センサ２０５の出力信号を選択しているので、主制御部１０５は、ＡＤＣ１０９から入力する系列Ａの光センサ２０５の光量検出値を取り込み、対応する系列Ａの発光体２０１の発光光量を計測する。
【００４２】
そして、主制御部１０５は、スイッチドライバ１０８に対し、系列Ａ光センサ群１０３における次の光センサを選択する選択指示信号１５５を生成する指示を発行し（ＳＴ６０５）、系列Ａ光センサ群１０３における全光センサの選択が終了するまで（ＳＴ６０６：Ｎｏ）、ＳＴ６０４とＳＴ６０５の処理を繰り返す。
【００４３】
図２に示す例では、光センサ選択スイッチ１１０が次の系列Ａの光センサ２０７の出力信号を選択し、対応する系列Ａの発光体２０３の発光光量が計測される。以降、図２や図５では示してないが、光センサ選択スイッチ１１０が系列Ａの光センサ２０７の以降に存在する系列Ａの光センサ２０７の出力信号を順に選択し、対応する系列Ａの発光体２０２，２０４の発光光量が順に計測される。
【００４４】
この系列Ａの各発光体についての発光光量の計測過程では、各発光体は、点灯状態にあるが、隣接せず、滅灯している系列Ｂの発光体を挟んで離れた位置にあるので、クロストークの影響は抑制される。
【００４５】
主制御部１０５は、系列Ａ光センサ群１０３における全光センサの選択が終了すると（ＳＴ６０６：Ｙｅｓ）、発光体ドライバ１０７に対して系列Ａ発光体アレイ１０１の発光を停止させる系列Ａの発光体駆動制御信号１５２の生成を指示し、またスイッチドライバ１０８に対して系列Ａセンサ群１０３を動作不能状態にするセンサ初期化駆動信号１５４の生成と指示し、今度は、系列Ｂ発光体アレイ１０２についての光量計測処理に移行する。
【００４６】
すなわち、次のＳＴ６０７では、主制御部１０５は、スイッチドライバ１０８に対し、系列Ｂ光センサ群１０４を選択する選択指示信号１５５を生成する指示を発行する。スイッチドライバ１０８は、主制御部１０５が指示する内容の選択指示信号１５５をセンサ選択スイッチ１１０に出力する。ここでは、系列Ｂ光センサ群１０４において先頭光センサは、系列Ｂの光センサ２０６であるとしているので、センサ選択スイッチ１１０は、選択指示信号１５５の指示に従って、図５に示す入力端子５５３をＡＤＣ１０９への選択された光スイッチ出力信号１５８の送出ラインに接続する。図５に示す入力端子５５３には、系列Ｂの光センサ２０６における光センサ出力ライン４５１が接続されている。これによって、系列Ｂの光センサ２０６の出力を取り出す経路が設定される。
【００４７】
次のＳＴ６０８では、主制御部１０５は、スイッチドライバ１０８に対し、センサ初期化駆動信号１５４を生成する指示を発行する。スイッチドライバ１０８は、主制御部１０５が指示に従ってセンサ初期化駆動信号１５４を生成し、系列Ｂ光センサ群１０４に出力する。これによって、系列Ｂ光センサ群１０４における各光センサ回路では、センサ初期化スイッチ４０２が光センサ４０１のカソード電極を接地に接続するので、系列Ｂ光センサ群１０４における全光センサは、それぞれ光量検出が行える初期状態に設定される。
【００４８】
次のＳＴ６０９では、主制御部１０５は、発光体ドライバ１０７に対し、系列Ｂ発光体アレイ１０２を発光させる系列Ｂ発光体駆動制御信号１５３を生成する指示を発行する。発光体ドライバ１０７は、主制御部１０５の指示に従って系列Ｂ発光体駆動制御信号１５３を生成し、系列Ｂ発光体アレイ１０２の各発光体を点灯制御する。図２に示す例では、系列Ｂの発光体２０２，２０４が同時に点灯する。これによって、系列Ｂの光センサ２０６，２０８は、同時に光量検出動作を開始するので、それぞれの光センサ出力ライン４５１には、検出光量に対応した電流が流れ出す。
【００４９】
次のＳＴ６１０では、光センサ選択スイッチ１１０では、系列Ｂの光センサ２０６の出力信号を選択しているので、主制御部１０５は、ＡＤＣ１０９から入力する系列Ｂの光センサ２０６の光量検出値を取り込み、対応する系列Ｂの発光体２０２の発光光量を計測する。
【００５０】
そして、主制御部１０５は、スイッチドライバ１０８に対し、系列Ｂ光センサ群１０４における次の光センサを選択する選択指示信号１５５を生成する指示を発行し（ＳＴ６１１）、系列Ｂ光センサ群１０４における全光センサの選択が終了するまで（ＳＴ６１２：Ｎｏ）、ＳＴ６１０とＳＴ６１１の処理を繰り返す。
【００５１】
図２に示す例では、光センサ選択スイッチ１１０が次の系列Ｂの光センサ２０８の出力信号を選択し、対応する系列Ｂの発光体２０４の発光光量が計測される。以降、図２と図５では示してないが、光センサ選択スイッチ１１０が系列Ｂの光センサ２０８の以降に存在する系列Ｂの光センサの出力信号を順に選択し、対応する系列Ｂの発光体の発光光量が順に計測される。
【００５２】
この系列Ｂの各発光体についての発光光量の計測過程でも、各発光体は、点灯状態にあるが、隣接せず、滅灯している系列Ａの発光体を挟んで離れた位置にあるので、クロストークの影響は抑制される。
【００５３】
主制御部１０５は、系列Ｂ光センサ群１０４における全光センサの選択が終了すると（ＳＴ６１２：Ｙｅｓ）、発光体ドライバ１０７に対して系列Ｂ発光体アレイ１０２の発光を停止させる系列Ａの発光体駆動制御信号１５２の生成を指示し、またスイッチドライバ１０８に対して系列Ｂセンサ群１０４を動作不能状態にするセンサ初期化駆動信号１５４の生成と指示し、光量計測処理を終了する。
【００５４】
以上、発光体アレイの各発光体と光センサ群の各光センサとの対応関係が図２に示す関係である場合について説明したが、図３に示すように、複数の発光体に対して１つの光センサを配置する場合でも、同様の手順で光量計測が行われる。
【００５５】
このように、この実施の形態によれば、発光体アレイを構成する複数の発光体を、１つ毎に、または複数個毎に、計測対象が交互するように２分し、それぞれの計測対象発光体毎に光センサを配置し、一方の計測対象系での計測時には他方の計測対象系での各発光体は滅灯状態に制御するとともに、対応する各光センサも動作不能状態に制御するので、計測対象の全発光体を点灯状態にして計測対象発光体毎に切り替えて光量計測を行ってもクロストークによる測定精度の低下を小さくすることができる。したがって、計測対象発光体を高速に切り替えて光量計測を行うことができ、光量計測の高速化が図れる。特に、計測対象発光体が複数個の場合は、同時に複数個の発光体の光量計測が行えるので、一層光量計測の高速化が図れるようになる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
以上のように、本発明にかかる発光体測光装置は、発光部に有機ＥＬ素子で構成される発光体アレイを装備する露光装置において光量計測の高速化を図るのに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施の形態による発光体測光装置の構成を示すブロック図
【図２】図１に示す系列Ａと系列Ｂの発光体アレイにおける各発光体と系列Ａと系列Ｂの光センサ群における各光センサとの対応関係（その１）を説明する図
【図３】図１に示す系列Ａと系列Ｂの発光体アレイにおける各発光体と系列Ａと系列Ｂの光センサ群における各光センサとの対応関係（その２）を説明する図
【図４】図１に示す系列Ａと系列Ｂの光センサ群における各光センサを駆動する光センサ回路の構成例を示す回路図
【図５】図１に示す光センサ選択スイッチの構成例を示す回路図
【図６】光量測定動作を説明するフローチャート
【符号の説明】
【００５８】
１０１    系列Ａ発光体アレイ
１０２    系列Ｂ発光体アレイ
１０３    系列Ａ光センサ群
１０４    系列Ｂ光センサ群
１０５    主制御部
１０６    メモリ
１０７    発光体ドライバ
１０８    スイッチドライバ
１０９    ＡＤＣ（ＡＤコンバータ）
１１０    光センサ選択スイッチ
１５１    バス
１５２    系列Ａの発光体駆動制御信号
１５３    系列Ｂの発光体駆動制御信号
１５４    センサ初期化駆動信号
１５５    選択指示信号
１５６    系列Ａの光センサ出力信号
１５７    系列Ｂの光センサ出力信号
１５８    選択された光センサ出力信号
２０１，２０３    系列Ａの発光体
２０２，２０４    系列Ｂの発光体
２０５，２０７    系列Ａの光センサ
２０６，２０８    系列Ｂの光センサ
３０１，３０２、３０５，３０６    系列Ａの発光体
３０３，３０４、３０７，３０８    系列Ｂの発光体
３０９，３１１    系列Ａの光センサ
３１０，３１２    系列Ｂの光センサ
４０１    光センサ
４０２    センサ初期化スイッチ
４０３    アノード電極端子
４５１    光センサ出力ライン
５０１    光センサ選択スイッチ
５５１〜５５４    入力端子
５５５    出力端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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