(57)【要約】【課題】  スライダ長が４．０６ｍｍ以下、設定浮上量が１〜５μｍ、ディスク最内周から最外周までの浮上量差が１μｍ以下を同時に満たすスライダを提供すること。【解決手段】  記録ディスクの回転に伴う空気軸受面となるパッドに取り付けられて記録ディスクに光源からの光を照射する光ヘッドとを備え、パッドは、記録ディスクの回転停止時に記録ディスクの記録面と接触するコンタクト面と、コンタクト面の空気流入側の記録面に対して後方に形成される２段の段差面とを有する構成とする。このとき、コンタクト面から１段目の段差面までの深さδｓは、１μｍ≦δｓ≦２．７μｍの範囲とし、パッドの長手方向となる空気流入方向の長さＬｘは、２．０５ｍｍ≦Ｌｘ≦３．２ｍｍの範囲とする。【選択図】    図２
2007042190.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録ディスクの回転に伴う空気流の圧力を受ける空気軸受面となるパッドと、該パッドに取り付けられて前記記録ディスクに光源からの光を照射する光ヘッドとを備え、
前記パッドは、前記記録ディスクの回転停止時に前記記録ディスクの記録面と接触するコンタクト面と、該コンタクト面の空気流入側の前記記録面に対して後方に順次形成されるステップ面及びリセス面とを有し、
前記コンタクト面から前記ステップ面までの深さをδｓとしたとき、
１μｍ≦δｓ≦２．７μｍの条件を満たす範囲にあり、
前記パッドの長手方向となる空気流入方向の長さをＬｘとしたとき、
２．０５ｍｍ≦Ｌｘ≦３．２ｍｍの条件を満たす範囲にあることを特徴とするスライダ。
【請求項２】
記録ディスクの回転に伴う空気流の圧力を受ける空気軸受面となるパッドと、該パッドに取り付けられて前記記録ディスクに光源からの光を照射する光ヘッドとを備え、
前記パッドは、前記記録ディスクの回転停止時に前記記録ディスクの記録面と接触するコンタクト面と、該コンタクト面の空気流入側の前記記録面に対して後方に順次形成されるステップ面及びリセス面と、前記コンタクト面の空気流入側に設定間隔をあけて空気流入方向に沿って形成される一対のサイドレールとを有し、
前記コンタクト面から前記ステップ面までの深さをδｓとしたとき、
１．６μｍ≦δｓ≦４．４μｍの条件を満たす範囲にあり、
前記パッドの長手方向となる空気流入方向の長さをＬｘとしたとき、
２．０５ｍｍ≦Ｌｘ≦３．２ｍｍの条件を満たす範囲にあることを特徴とするスライダ。
【請求項３】
前記サイドレールに挟持され、前記コンタクト面の空気流入側の側面に沿って前記ステップ面上に段差面が形成されることを特徴とする請求項２に記載のスライダ。
【請求項４】
記録ディスクの回転に伴う空気流の圧力を受ける空気軸受面となるパッドを有する第１のスライダ部と第２のスライダ部とから構成されるスライダにおいて、前記第１のスライダ部は、請求項１乃至３のいずれかに記載のスライダとし、前記第２のスライダ部は、前記スライダの前記光ヘッドを搭載し、前記第１のスライダ部の前記コンタクト面に埋め込まれていることを特徴とするスライダ。
【請求項５】
前記第２のスライダ部は、前記コンタクト面の空気流入側の側面の一部を形成することを特徴とする請求項４に記載のスライダ。
【請求項６】
前記第２のスライダ部は、前記光ヘッドに代えて記録再生素子を搭載することを特徴とする請求項４又は５に記載のスライダ。
【請求項７】
前記第２のスライダ部は、前記光ヘッドとともに記録再生素子を搭載することを特徴とする請求項４又は５に記載のスライダ。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載のスライダを可橈性を有するジンバル部によって支持し、前記スライダは、前記記録ディスクを両面側から挟んで対向させて配置することを特徴とする記録再生装置。
【請求項９】
前記記録ディスクの両面側に配置される一対の前記スライダは、前記記録ディスクの上流側と下流側又は周方向のうち、少なくとも一方に複数配置されることを特徴とする請求項８に記載の記録再生装置。
【請求項１０】
前記記録ディスクの両面側に配置される一対の前記スライダは、前記パッドの大きさが互いに異なることを特徴とする請求項８又は９に記載の記録再生装置。
【請求項１１】
請求項４乃至７のいずれかに記載のスライダを前記記録ディスクの両面側から挟んで対向させて配置し、前記第１のスライダ部を可橈性を有するジンバル部によって支持するとともに、該ジンバル部に複数方向のスリットが形成されるスリット部位を形成し、該スリット部位に前記第２のスライダ部を固定して支持することを特徴とする記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録ディスク面上を浮上して走行するスライダ及びそれを備えた記録再生装置に関し、特に、高記録密度化、高信頼性化に優れたスライダと、そのスライダを搭載した光ディスク装置又は磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学的情報記録媒体として光ディスクを用いた情報記録再生装置が知られている。この情報記録再生装置は、対物レンズを搭載した光ヘッドを用いて光ディスクに対して情報信号の記録、読み取りを行うものである。
【０００３】
光ディスクの高密度記録化の手段として、対物レンズを備えたスライダを用いる光ディスク装置が知られている。このスライダは、光ディスクの高速回転により生じる空気流の圧力上昇によってディスク表面から浮上力を生じさせ、スライダをディスク面側に弾力的に押し付ける押付力と均衡したところで、浮上位置が定まり、ディスク面からわずかに浮上した状態が保たれる。
【０００４】
しかし、従来、対物レンズを搭載するスライダの設定浮上量は、対物レンズの焦点をディスク表面に合わせるために、例えば、３±２μｍ（１〜５μｍ）程度の高浮上量が要求される。この浮上量は従来の磁気ディスク装置に使用する磁気スライダの浮上量３０ｎｍ以下と比べて約１００倍大きな値となる。
【０００５】
このようなスライダの高浮上量を実現する方法として、例えば、従来の磁気スライダに対してスライダサイズを大きくし、浮上面を大きくする方法が考えられる。しかし、光ディスク装置のディスク面においても、磁気ディスク装置のディスク面と同等あるいはそれ以上に、スライダ長よりも大きな波長のランナウトやスライダ長程度の微小うねりが存在する。スライダ長が大きくなると、これらのうねりに対してスライダの追従性が低下するため、スライダがディスク面と接触して記録されたデータが破壊され、光ディスクの信頼性を低下させるおそれがある。
【０００６】
そのため、従来の磁気スライダの１００倍の浮上量を従来の磁気スライダと同程度のスライダサイズで実現させるには、最小のスライダサイズで最大の浮上力を効率良く発生させる必要がある。これまで製品化されている従来の磁気スライダの長さは、４.０６ｍｍ、３.０５ｍｍ、２.０５ｍｍ（ナノサイズ）、１.２５ｍｍ（ピコサイズ）があり、少なくとも４．０６ｍｍよりは小さくする必要がある。
【０００７】
また、このような浮上式のスライダには、ディスク最内周から最外周までの浮上量差が１μｍ以下の浮上性能が要求される。つまり、周速変化に対して浮上量が変化しない浮上特性が要求される。これは、他の対物レンズでスライダに搭載した対物レンズを制御するためであり、ディスク最内周から最外周までの浮上量差が１μｍ以上になると記録再生が困難となる。
【０００８】
例えば、対物レンズを搭載したスライダの空気流入部にテーパ面を形成し、光ディスクの回転により発生した空気流をヘッドとディスク面との間に案内し、その空気流により発生する圧力をヘッドの空気軸受面に作用させることで、スライダを所定量浮上させる技術が開示されている（特許文献１参照）。
【０００９】
また、磁気ディスクと対向する空気軸受面を、ディスク停止時にディスク面と接触する浮上面とその浮上面の空気流入側のディスク面に対して後方に形成される段差面とから構成し、浮上面に対する段差面の深さを例えば７００ｎｍ未満とする浮上式の磁気スライダが開示されている（特許文献２参照）。この構成によれば、周速変化に対して浮上量が変化しない浮上特性を満足する。しかし、設定された浮上量は１００ｎｍ以下のため、光ディスクドライブ装置に使用する浮上式のスライダとしては浮上量が小さすぎて使用できない。
【００１０】
一方、超薄型光ディスク媒体を実用化するため、高速回転時に発生する面振れを空気の力を利用して小さくさせるスタビライザが開発されている。例えば、直径２０ｍｍの棒の先端が半径５０ｍｍの球面を有する棒状のスタビライザが報告されている。このスタビライザを、厚さ０．１ｍｍの超薄型光ディスク媒体に押し付けることで、スタビライザの先端に発生する空気の力が作用するディスク面の狭小領域のみ面振れを抑制できる。さらに、スタビライザにより面振れが減少したディスク領域の反対側に対物レンズを有する従来の固定式光ピックアップを配置することで、超薄型光ディスク媒体面の記録再生を可能にしている（非特許文献１参照）。
【００１１】
また、スライダの両サイドに形成される２つの軸受面と、スライダの真下の軸受面をスタビライザとして機能させ、この３つの軸受面に発生する正圧力によりスライダ極近傍のフレキシブルディスクを支持することで、スライダ極近傍のフレキシブルディスクの面振れを小さくする技術が報告されている。これによれば、浮上隙間は０．８μｍ〜６μｍであることから、スライダ極近傍のフレキシブルディスクの面振れは、少なくとも１０μｍ以下と考えられる（非特許文献２参照）。
【００１２】
さらに、磁気ディスク装置の高記録密度化、磁気スライダの低浮上量化を実現するために、例えば、空気軸受面となりうる浮上面を有する磁気ヘッドを搭載した第１のスライダと、第１のスライダよりも大きい浮上面を有する２レールの第２のスライダとを備え、第１のスライダが、浮上面に垂直な方向に平行移動が可能となるように支持部材を介して第２のスライダに取り付けられた磁気スライダが開示されている（特許文献３参照）。これによれば、第２のスライダにより浮上量変動を微小化して安定浮上を確保するとともに、第１のスライダを低浮上させて記録再生を実現できる。
【００１３】
【特許文献１】特開平５−２６６５２９号公報
【特許文献２】特開平６−３２５５３０号公報
【特許文献３】特開平４−１４６８７号公報
【非特許文献１】Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ  ｏｎ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｍｅｍｏｒｙ  ２００３、”テクニカルダイジェスト”、「Ｈｉｇｈ  ｄｅｎｓｉｔｙ  Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ  ｏｎ  Ａｉｒ  Ｓｔａｂｉｌｉｚｅｒ  Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｄｉｓｋ」、ｐ９６
【非特許文献２】昭和６２年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集、ｐ６０９−６１２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、従来の浮上式のスライダは、周速変化に対し、浮上量の変化が小さい点で浮上特性を満足するが、設定浮上量は１００ｎｍ以下のため、光ディスク装置に搭載される浮上式のスライダとしては使用することができない。
【００１５】
また、従来のスタビライザは、磁気スライダの支持体のような可撓性部材で支持されていないため、超薄型光ディスク媒体面の面振れに対してスタビライザが並進（上下）、ピッチ（前後）、ロ−ル（シ−ク）方向に追従して動くことができない。このため、スタビライザを超薄型光ディスク媒体面に接近させると、両者間に発生する空気力が大きくなり、超薄型光ディスク媒体面の面振れを小さくするスタビライザの効果は大きくなるが、スタビライザが追従して動くことができないため、ディスク媒体面と接触し易くなるという問題がある。また、従来のスタビライザは、ディスク媒体面の少なくともどちらか一方に設ける構成のため、両面に設ける場合に比べて光ディスク装置の記録容量が半分になることがある。
【００１６】
例えば、特許文献３のスタビライザの場合、第１のスライダを支持する支持部材は、超薄型光ディスク媒体面の面振れに対して並進方向には追従して動くことができるが、ピッチ、ロ−ル方向に追従して動くことができない。また、第１のスライダの設定浮上量が１００ｎｍ前後のため、光ディスクドライブ装置に搭載される浮上式のスライダには使用できない。
【００１７】
本発明は、スライダ長が４．０６ｍｍ以下、設定浮上量が１〜５μｍ、ディスク最内周から最外周までの浮上量差が１μｍ以下を同時に満たすスライダを提供することを第１の課題とする。
【００１８】
また、本発明は、記録ディスクの面振れを抑制し、かつ、並進、ピッチ、ロ−ル方向の運動に対する復元力を有するスライダを搭載した記録再生装置を提供することを第２の課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記第１の課題を解決するため、本発明は、記録ディスクの回転に伴う空気流の圧力を受ける空気軸受面となるパッドと、このパッドに取り付けられて記録ディスクに光源からの光を照射する光ヘッドとを備え、パッドは、記録ディスクの回転停止時に記録ディスクの記録面と接触するコンタクト面と、このコンタクト面の空気流入側の記録面に対して後方に順次形成されるステップ面及びリセス面とを有し、コンタクト面からステップ面までの深さをδｓとしたとき、１μｍ≦δｓ≦２．７μｍの条件を満たす範囲にあり、パッドの長手方向となる空気流入方向の長さをＬｘとしたとき、２．０５ｍｍ≦Ｌｘ≦３．２ｍｍの条件を満たす範囲にあることを特徴とする。
【００２０】
すなわち、本発明者らは、スライダ長となるパッドの長手方向の長さや記録ディスクの周速によらず、コンタクト面からステップ面までの深さδｓと浮上量との間には比例関係が成立することを知見した。この結果により、パッドの長手方向となる空気流入方向の長さを許容範囲の４．０６ｍｍ以下の所定範囲に設定し、深さδｓを所定範囲に設定することにより、浮上量を１〜５μｍの範囲に収めることができる。また、少なくともこの条件を満たす範囲であれば、ディスク最内周から最外周までの浮上量差を１μｍ以下に収めることができる。
【００２１】
同様に、上記のパッドが、コンタクト面の空気流入側に設定間隔をあけて空気流入方向に沿って形成される一対のサイドレールを有するときは、深さδｓ、パッドの長手方向の長さＬｘは、それぞれ、１．６μｍ≦δｓ≦４．４μｍ、２．０５ｍｍ≦Ｌｘ≦３．２ｍｍの条件を満たすことを特徴とする。この構成において、サイドレールに挟持され、コンタクト面の空気流入側の側面に沿ってステップ面上に段差面が形成されるようにしてもよい。
【００２２】
また、本発明のスライダは、記録ディスクの回転に伴う空気流の圧力を受ける空気軸受面となるパッドを有する第１のスライダ部と第２のスライダ部とから構成されるスライダにおいて、第１のスライダ部は、上記いずれかのスライダとし、第２のスライダ部は、スライダの光ヘッドを搭載して第１のスライダ部のコンタクト面に埋め込まれるように形成してもよい。この場合において、例えば、第２のスライダ部は、光ヘッドに代えて記録再生素子を搭載してもよいし、光ヘッドとともに記録再生素子を搭載してもよい。
【００２３】
また、第２のスライダ部は、コンタクト面の空気流入側の側面の一部を形成していることが好ましい。これによれば、第２のスライダ部の空気流入側にコンタクト面が形成されないため、その分、パッドの空気流入方向の長さを短くすることができ、スライダサイズを小さくできる。これにより、記録ディスクのディスク面にうねりが生じてもスライダが追従し易くなり、装置の信頼性を一層向上させることができる。
【００２４】
また、上記第２の課題を解決するため、本発明は、上記いずれかの構成を備えた浮上式のスライダを、可橈性を有するジンバル部によって支持し、スライダは記録ディスクを両面側から挟んで対向させて配置することを特徴とする記録再生装置を提供する。
【００２５】
これによれば、例えば、超薄型の記録ディスクには、両面側からスライダによる流入空気の正圧力が作用するため、スライダに挟まれた領域の面振れを抑制するスタビライザとしての効果を得ることができる。さらに、各スライダは、ディスク面のうねりに追従して走行することに加えて、可橈性を有するジンバル部によって支持されるため、並進、ピッチ、ロール方向の復元力が作用し、記録ディスクとの接触を回避することができる。
【００２６】
この場合において、記録ディスクを挟んで対向する一対のスライダを記録ディスクの上流側と下流側又は周方向のうち、少なくとも一方に複数配置することが好ましい。このように、記録ディスクのディスク面に対向させて複数のスライダを配置することで、ディスク面の所定領域において面振れの振幅を小さくすることができ、スライダの振動振幅を一層抑制できる。
【００２７】
また、記録ディスクを挟んで対向する一対のスライダは、パッドの大きさが互いに異なることが好ましい。これによれば、記録ディスクは、例えば、パッドが大きい方のスライダに向かって凸状に変形し、この状態が維持されるため、パッドの大きさが同じ場合と比べて、記録ディスクの凹凸状の面振れによる振幅が小さくなり、スライダの振動振幅を一層抑制できる。
【００２８】
また、本発明は、第１のスライダ部と第２のスライダ部とからなる構成の浮上式のスライダを備え、スライダを記録ディスクの両面側から挟んで対向させて配置し、第１のスライダ部を可橈性を有するジンバル部によって支持するとともに、ジンバル部に複数方向のスリットが形成されるスリット部位を形成し、そのスリット部位に第２のスライダ部を固定して支持することを特徴とする。すなわち、スリット部は、第２のスライダ部を並進、ピッチ、ロール方向の３自由度の運動に対して復元力が作用するように支持するため、第２のスライダ部は、記録ディスクの面振れに対応して一層柔軟に動作することができ、スライダと記録ディスクとの接触を回避することができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、スライダ長が４．０６ｍｍ以下、設定浮上量が１〜５μｍ、ディスク最内周から最外周までの浮上量差が１μｍ以下を同時に満たすスライダを提供することができる。
【００３０】
また、本発明によれば、記録ディスクの面振れを抑制し、かつ、並進、ピッチ、ロ−ル方向の運動に対する復元力を有するスライダを搭載した記録再生装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明を適用してなる浮上式ヘッドスライダ（以下、スライダと略す。）の実施の形態１について図を参照して説明する。図１は本発明の実施形態１のスライダ及び支持体の立体斜視図を示す。図２は本発明の実施形態１のスライダの拡大図であり、（ａ）は立体斜視図、（ｂ）は側面図である。スライダ１は、空気軸受面になりうるパッド１１を備えて構成される。スライダ１の背面には対物レンズ１ａが設けられている。スライダ１は、パッド１１に圧力Ｑが空気力学的に発生する正圧力利用型のスライダである。
【００３２】
図３は図２の一部を拡大して示す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の稜線部に面取りを施した一態様を表している。本実施形態１のスライダ１は、記録媒体のディスク停止時にディスク媒体面と接触するパッド面１１２（以下、コンタクト面という。）と、このコンタクト面１１２の空気流入方向に段差部１１３を介して設けた１段目の段差面１１４（以下、ステップ面という。）と、このステップ面１１４と段差部１１５を介して設けた２段目の段差面１１６（以下、リセス面という。）を含んで構成される。δｓはコンタクト面１１２に対するステップ面１１４の深さ（以下、適宜ステップ深さという。）を示す。δｒはコンタクト面１１２に対するリセス面１１６の深さ（以下、適宜リセス深さという。）を示す。リセス面１１６は、図２（ｂ）に示すように対物レンズ１ａを搭載するために用いられる。リセス深さδｒは、リセス面１１６に負圧力が発生しないように、十分大きな値（例えば、１０μｍ以上）に設定される。パッド１１のステップ面１１４、リセス面１１６の構造は、周知のリソグラフィ技術を用いて製造することができる。
【００３３】
図４は本実施形態１のスライダを支持する支持体の平面図を示す。支持体２は、荷重用ビ−ム部２１、可撓性部材からなるジンバル部２２、ジンバル部の穴２２１、荷重用突起部（以下、ディンプルという。）２３から構成される。ジンバル部２２に、対物レンズ１ａの外形寸法よりも僅かに大きな外径寸法の穴２２１が形成されている。
【００３４】
図５は本実施形態１のスライダの浮上走行時の側面図を示し、（ａ）はピッチ方向、（ｂ）はロール方向を表している。荷重用ビーム部２１に取り付けられたディンプル２３は、荷重用ビ−ム部２１から押し付けられた荷重Ｆをスライダ１に作用させる荷重作用点となっている。つまり、ここを支点としてスライダ１を並進（上下）、ピッチ（前後）、ロ−ル（シ−ク）方向の３自由度の運動に対して復元力が作用するように設けられている。荷重作用点であるディンプル２３の位置（Ｘｐ，Ｙｐ）は、ピッチ方向に対してはＸｐ＝ｘｐ/Ｌｘ、ロ−ル方向に対してはＹｐ＝ｙｐ/Ｌｙの無次元化した値として表す。ただし、ｘｐはスライダの空気流入端との距離、ｙｐはスライダ側面の端との距離、Ｌｘはスライダの長手方向の長さ、Ｌｙはスライダの短手方向の長さである。
【００３５】
スライダ１は、ディンプル２３の位置で押付荷重Ｆと空気力学的に発生する正圧力Ｑとが、Ｆ＝Ｑの関係式で釣り合い、ピッチ方向、ロ−ル方向の浮上姿勢を表わすピッチ姿勢角度θｐ、ロ−ル姿勢角度θｒ、流出端浮上量ｈ２、流入端浮上量ｈ１、対物レンズ１ａの焦点位置浮上量ｈｆを一定に保ちながら動的に安定浮上する。
【００３６】
図６に本実施形態１のスライダの浮上面形状ＡＢＳ１１〜ＡＢＳ１４を示す。ＡＢＳ１１はスライダ長Ｌｘが３.２ｍｍ、スライダ幅Ｌｙが２.６ｍｍ、ＡＢＳ１２はＬｘが３.０５ｍｍ、Ｌｙが２.４ｍｍ、ＡＢＳ１３はＬｘが２.８ｍｍ、Ｌｙが２.２４ｍｍ、ＡＢＳ１４はＬｘが２.０５ｍｍ、Ｌｙが１.６ｍｍ、押付荷重Ｆはいずれも１４.７ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ/Ｌｘ、ｙｐ/Ｌｙはいずれも０.５である。また、浮上面形状ＡＢＳ１１〜ＡＢＳ１４には、リセス面１１６を設けておらず、以下の浮上面形状にもリセス面１１６を設けていない。リセス面１１６を設けてもリセス深さを大きくとるため、これによる浮上力は発生せず、リセス面１１６を設けない場合の浮上性能と同等になるためである。
【００３７】
図７〜図１０に、浮上面形状ＡＢＳ１１〜ＡＢＳ１４のそれぞれについて、回転数２１３２ｒｐｍ、最内周、中周、最外周の条件における周速の場合について、ステップ深さδｓに対する最小浮上量ｈｍｉｎを計算した結果を示す。図より、各周速に対して、最小浮上量ｈｍｉｎが最大値となるステップ深さδｓｍａｘがあることが分かった。これは、ステップ浮上面に流入する圧縮性空気が飽和するためであり、このステップ深さδｓに設定することによって、最も効率良く高浮上することができる。また、スライダサイズが小さくなると、最小浮上量ｈｍｉｎが最大値となるステップ深さδｓｍａｘも小さくなることが分かった。さらに、ディスク最内周から最外周までの浮上量差はほぼ１μｍ以下を満足することが分かった。
【００３８】
次に、本発明を適用してなるスライダの実施の形態２について説明する。図１１は本実施形態２のスライダ１を示し、（ａ）は立体斜視図、（ｂ）は側面図である。本実施形態２のスライダ１のパッド１１は、実施形態１のパッドに対し、コンタクト面１１２の空気流入側に一定の間隔をおいて、空気流入方向に沿って形成される一対のサイドレール１１７を備えている点が相違する。サイドレール１１７の長さはＬｒ、サイドレール１１７の基端部、つまり空気流出側とステップ面１１４の空気流入側の端面との距離はＬｓとなる。スライダ１の背面には対物レンズ１ａが設けられている。
【００３９】
図１２に本実施形態２のスライダの浮上面形状（ＡＢＳ２１、ＡＢＳ２４）を示す。ＡＢＳ２１はスライダ長Ｌｘが３.２ｍｍ、スライダ幅Ｌｙが２.６ｍｍ、ＡＢＳ２４はＬｘが２.０５ｍｍ、Ｌｙが１.６ｍｍ、押付荷重Ｆは共に１４.７ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ/Ｌｘ、ｙｐ/Ｌｙは共に０.５である。
【００４０】
図１３、１４は、浮上面形状ＡＢＳ２４、ＡＢＳ２１を用いて、それぞれについて、回転数２１３２ｒｐｍ、最内周、中周、外周条件の各周速について、ステップ深さδｓに対する最小浮上量ｈｍｉｎを計算した結果を示す。図より、各周速に対して、最小浮上量ｈｍｉｎが最大値となるステップ深さδｓｍａｘがあることが分かった。さらに、実施形態１と比べて本実施形態２の方が、最小浮上量ｈｍｉｎが最大値となるステップ深さδｓｍａｘも、最小浮上量ｈｍｉｎの最大値も大きいことから、本実施形態２の方が、実施形態１に比べて高浮上できることが分かった。すなわち、本実施形態２は、サイドレール１１７を備えており、ステップ浮上面に流入する空気の容量が大きくなることから、最小浮上量ｈｍｉｎが最大値となるステップ深さｄｓｍａｘ、及び最小浮上量ｈｍｉｎの最大値のいずれも大きくできるものと考える。また図より、ディスク最内周から最外周までの浮上量差がほぼ１μｍ以下を満足することが分かった。
【００４１】
図１５に、図７〜１０及び図１３，１４で求めた計算結果を整理し直し、各周速に対して、最小浮上量ｈｍｉｎが最大値となるステップ深さδｓｍａｘと最小浮上量ｈｍｉｎの最大値（ｈｍｉｎ）ｍａｘとの関係を求めた結果を示す。図に示すように、実施形態１、実施形態２ともに、スライダサイズ及び周速に関係なく、δｓｍａｘと（ｈｍｉｎ）ｍａｘとの比例関係がほぼ一致することが分かった。これは、スライダサイズの増加による最小浮上量が最大になるステップ深さδｓｍａｘの増加率と、周速の増加による最小浮上量が最大になるステップ深さδｓｍａｘの増加率とは同じであることを意味している。さらに、その比例関係が原点を通ることも推測できるため、物理現象としての妥当性も確認した。したがって、空気流入側に設けたステップ深さδｓｍａｘを実施形態１の場合は１μｍから２.７μｍ、実施形態２の場合は１.６μｍから４.４μｍに設定することにより、スライダ長が４.０６ｍｍ以下、設定浮上量が１〜５μｍ、ディスク最内周から最外周までの浮上量差が１μｍ以下を同時に満足することができる。
【００４２】
ここで、実施形態２のスライダ１は、実施形態１のスライダ１にサイドレール１１７を加えた構成となるが、図１５に示すように、実施形態１の条件、つまり、ステップ深さδｓｍａｘを１μｍから２.７μｍの範囲としても、浮上量１〜５μｍ、ディスク最内周から最外周までの浮上量差１μｍ以下を同時に満足することができる。しかし、実施形態２のスライダ１は、実施形態１とくらべて、ステップ深さδｓｍａｘに対する浮上量が低下することから、ステップ深さδｓｍａｘの下限は１．６μｍ以上とすることが好ましい。これに対し、実施形態２のステップ深さδｓｍａｘの上限は４．４μｍまで許容される。
【００４３】
次に、図１６に、実施形態１のスライダ１の浮上面形状ＡＢＳ１０を示す。大きさは、スライダ長Ｌｘが３.２ｍｍ、スライダ幅Ｌｙが２.６ｍｍ、押付荷重Ｆは１４.７ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ/Ｌｘ、ｙｐ/Ｌｙは共に０.５である。
【００４４】
図１７に、浮上面形状ＡＢＳ１０を用いて、回転数２１３２ｒｐｍ、最内周条件における周速の場合について、ステップ面の長さＬＳに対する最小浮上量ｈｍｉｎを計算した結果を示す。図に示すように、最小浮上量ｈｍｉｎがステップ長さＬＳ＝１．２ｍｍのときに最大となり、最小浮上量ｈｍｉｎが最大値となるステップ長さＬＳがあることが分かった。このステップ長さＬＳを設定することにより、最も効率良く高浮上することができる。
【００４５】
また、図１８に、浮上面形状ＡＢＳ１１を用いて、回転数２１３２ｒｐｍ、最内周条件の周速に対して、押付荷重Ｆに対する最小浮上量ｈｍｉｎを計算した結果を示す。図に示すように、押付荷重Ｆを５〜３０ｍＮの範囲で変化させると、最小浮上量ｈｍｉｎは２〜５μｍの範囲で変化することが分かった。したがって、浮上量を調整する方法として、押付荷重を変化させることが有効となる。
【００４６】
次に、本発明を適用してなるスライダの実施の形態３について説明する。図１９は本実施形態３のスライダを示し、（ａ）は立体斜視図、（ｂ）は側面図である。本実施形態３のスライダ１の空気軸受面になりうるパッド１１は、コンタクト面１１２とサイドレール１１７を備える点で実施形態２と共通するが、サイドレール１１７に挟持され、かつ、コンタクト面１１２の空気流入側の側面１１３に沿ってステップ面１１４上に段差部１１３１と段差部１１３２を介して設けられた段差面１１８が形成されている点で、実施形態２と相違する。δｓ１はコンタクト面１１２に対する段差面１１８の深さ、Ｌｓ１は段差面１１８の空気流入方向の長さをそれぞれ示している。スライダ１の背面には対物レンズ１ａが設けられている。
【００４７】
図２０に本実施形態３のスライダの浮上面形状（ＡＢＳ３１、ＡＢＳ３４）を示す。ＡＢＳ３１はスライダ長Ｌｘが３.２ｍｍ、スライダ幅Ｌｙが２.６ｍｍ、ＡＢＳ３４はＬｘが２.０５ｍｍ、Ｌｙが１.６ｍｍ、押付荷重Ｆは、共に１４.７ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ/Ｌｘ、ｙｐ/Ｌｙは共に０.５である。
【００４８】
図２１，２２は、浮上面形状ＡＢＳ３１、ＡＢＳ３４について、回転数２１３２ｒｐｍ、最内周、中周、外周条件における周速の場合について、（ａ）に段差面の深さ率δＳ１/δＳと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示し、（ｂ）にピッチ姿勢角度θｐと段差面の深さ率δＳ１/δＳ１との関係について計算した結果を示す。なお、図２１はＡＢＳ３１、図２２はＡＢＳ２２を表している。図に示す通り、各周速に対して、最小浮上量ｈｍｉｎが最大値となる深さ率δＳ１/δＳがあることが分かった。また、最小浮上量ｈｍｉｎが最大値となる時、ピッチ姿勢角度θｐがほぼゼロであることが分かった。したがって、ピッチ姿勢角度θｐを調整する方法として、δＳ１/δＳを変化させることが有効となる。さらに、ピッチ姿勢角度θｐをゼロに設定することによって、最も効率良く高浮上することができる。
【００４９】
図２３に本発明が適用されるスライダを備えた光ディスクドライブ装置あるいは磁気ディスク装置の一実施形態の平面図を示す。光ディスクドライブ装置あるいは磁気ディスク装置４は、記録ディスク３とこれを回転させる駆動部４１、本発明が適用される浮上式のスライダ１及びその支持体２、位置決めする支持ア−ム４２とこれの駆動部４３、スライダ１に搭載された光ヘッドの記録再生信号を処理する回路４４を含んで構成されている。
【００５０】
次に、本発明が適用されるスライダの実施の形態４について説明する。図２４はスライダが記録ディスク３上で浮上走行する様子を示し、（ａ）はピッチ方向、（ｂ）はロール方向の側面図である。図に示すように、上部のスライダ１と下部のスライダ１が記録ディスク３を挟んで対向して安定浮上走行している。上下のスライダ１に作用する力は、押付荷重Ｆと空気力学的に発生する正圧力Ｑである。記録媒体３に作用する力は、上下部のスライダ１から発生する正圧力Ｑである。なお、本実施形態４で使用されるスライダ１は、上記実施形態１〜３のいずれのスライダを用いてもよい。
【００５１】
図２５は、図２４の記録ディスク３を超薄型ディスク３１に置き換えて走行する様子を示す側面図であり、（ａ）はピッチ方向、（ｂ）はロール方向を表している。図に示すように、超薄型ディスク３１を挟んで、上部のスライダ１と下部のスライダ１とが超薄型ディスク３１の両面上で対向して安定浮上走行している。上下部のスライダ１に作用する力は、押付荷重Ｆと空気力学的に発生する正圧力Ｑである。超薄光ディスク媒体３１に作用する力は、上下部のスライダ１から発生する正圧力Ｑである。上下部のスライダ１から発生する正圧力Ｑで超薄型ディスク３１を支持することで、スライダ近傍の超薄型ディスク３１の面振れを小さくすることができる。したがって、本実施形態４のスライダ１には、超薄型ディスク３１の面振れを小さくするスタビライザの機能を有するという効果がある。
【００５２】
次に、本実施形態４におけるスライダ１の超薄型ディスク３１の凸凹状の面振れに対する振動発生のメカニズムについて、図２６，２７を用いて説明する。
【００５３】
図２６は、変形量Ｃｒで超薄型ディスク３１が変形した場合に、上下のスライダが両側のディスク媒体面上で流出端浮上量ｈ２を一定に保ちながら安定浮上走行している状態のピッチ方向における側面図であり、（ａ）は超薄型ディスク３１が凸状、（ｂ）は凹状に変形する場合を表している。図２７は、浮上面形状ＡＢＳ１３を用いて、回転数２１３２ｒｐｍ、最内周、中周、外周条件における周速の場合について、超薄型ディスク３１の変形量Ｃｒに対する流出端浮上量ｈ２の変動を計算した結果を示している。
【００５４】
図２６（ａ）に示すように、超薄型ディスク３１が凸状に変形した場合、変形量Ｃｒ＝０．５μｍに対して、上部のスライダ１の流出端浮上量ｈ２は約０．１５μｍ大きくなり、下部の本発明のスライダ１の流出端浮上量ｈ２は約０．２５μｍ小さくなる。これに対し、図２６（ｂ）に示すように、超薄型ディスク３１が凹状に変形した場合、変形量Ｃｒ＝０．５μｍに対して、上部のスライダ１の浮上量ｈ２は約０．２５μｍ小さくなり、下部のスライダ１の流出端浮上量ｈ２は約０．１５μｍ大きくなる。すなわち、超薄型ディスク３１が凸凹状に面振れした場合、上部のスライダ１と下部のスライダ１とが同じ位相で振動し、超薄型ディスク３１の凸凹状の面振れの振幅が大きくなると、上下部のスライダ１の振動振幅も大きくなることが分かる。
【００５５】
図２８は、一対のスライダ１を互いに大きさが異なるものとし、超薄型ディスク３１の両面上で安定浮上走行している状態を示す側面図であり、（ａ）はピッチ方向、（ｂ）はロール方向を表している。このように上下部のスライダサイズを異ならせ、例えば、上部のスライダ１を下部のスライダ１よりも大きく設定することにより、上下部のスライダサイズが同じ場合と比べて、超薄型ディスク３１が凸状に変形し易くなり、反対に凹状に変形し難くなる。したがって、超薄型ディスク３１を常に凸状に変形させておくことにより、凸凹状の面振れの振幅が抑制され、スライダ１の振動振幅を小さくできる。
【００５６】
図２９は、スライダ１と固定式光ピックアップ５を超薄型ディスク３１を挟んで対向させて配置し、安定走行している状態のピッチ方向における側面図を示す。
【００５７】
固定式光ピックアップ５は、例えば、小野京右、他４名，「記憶と記録」，オーム社，１０９頁、に記載されているように、対物レンズ５１、可動コイル５２、平行板バネ５３、永久磁石５４、鉄心５５から構成され、可動コイル５２に電流を流すことによりローレンツ力が作用して可動コイル５２を含む対物レンズ５１が並進運動するように構成される。上部のスライダ１が超薄型ディスク３１の片面上で安定浮上走行し、その下部に固定式光ピックアップ５が設けられている。すなわち、上部のスライダ１から発生する正圧力Ｑと超薄型ディスク３１の引力Ｔの分力とが釣り合う構成により、高速回転中に発生する超薄型ディスク３１の面振れを小さくできる。さらに、スライダ１は、並進、ピッチ、ロ−ル方向に追従して動くことが可能な可撓性部材で支持されているため、ディスク面に接近することができ、ディスク面の面ぶれを小さくするスタビライザの効果を大きくできる。したがって、従来の固定式光ピックアップ５を用いてディスク面３１の記録再生が可能となる。
【００５８】
図３０は、スライダ１を超薄型ディスク３１を挟んで複数配置し、安定浮上走行している状態のロール方向における側面図を示す。（ａ）には、上部にスライダ１が２つ、それらの間の下部にスライダ１が１つ配置されている態様を示す。これら上下部に配置されるスライダ１から発生する正圧力Ｑの３つが超薄型ディスク３１を支持する構成により、超薄型ディスク３１が凸状に変形（図の中央）し易く、凹状に変形し難くなっている。このように、超薄型ディスク３１を常に凸状に変形させておくことにより、凸凹状の面振れの振幅が小さくなり、スライダ１の振動振幅を小さくできる。一方、（ｂ）は、超薄型ディスク３１を挟んで対向する一対のスライダ１が２組、それらの間の下部にスライダ１が１つ配置されている。一対のスライダ１から発生する正圧力Ｑを用いて、超薄型ディスク３１を２箇所で支持し、さらにその間を下部のスライダ１から発生する正圧力Ｑで支持する構成により、超薄型ディスク３１が凸状に変形（図の中央）し易く、凹状に変形し難くなっている。このように、超薄型ディスク３１を常に凸状に変形させておくことにより、凸凹状の面振れの振幅が小さくなり、スライダ１の振動振幅も小さくできる。
【００５９】
図３１は、図３０の他の態様として、超薄型ディスク３１を挟んで対向する一対のスライダ１が２組、それらの間の下部に従来の固定式光ピックアップ５が配置され、スライダ１が超薄型ディスク３１の両面上で安定浮上走行している状態を示している。一対のスライダ１から発生する正圧力Ｑを用いて、超薄型ディスク３１を２箇所で支持する構成により、高速回転中に発生する超薄型ディスク３１の面振れを小さくできる。したがって、従来の固定式光ピックアップ５を用いて超薄型ディスク媒体面３１の記録再生が可能となる。
【００６０】
次に、本発明を適用してなるスライダ１の実施の形態５について説明する。図３２に本実施形態のスライダ１の立体斜視図を示す。本実施形態５のスライダ１は、ディスク停止時にディスク面と接触するコンタクト面１１２、このコンタクト面１１２の空気流入側に段差部１１３を介して設けた１段目のステップ面１１４、コンタクト面１１２の空気流出側に段差部１１３を介して設けた２段目のステップ面１１４１、段差部１１５を介して設けた３段目のリセス面１１６の３段ステップ面を有するスライダを基本構成とし、そのスライダを縦横の平面方向に２つずつ連結させて形成される４連構成になっている。ここで、パッド面１１２に対するステップ面１１４１のステップ深さδＳ２は、ステップ面１１４１に負圧力が発生するように設定されている。
【００６１】
本実施形態５のスライダ１を超薄型ディスク３１上に浮上させた場合の凸凹状の面振れに対する振動振幅低減効果について図３３を用いて説明する。図３３は、本実施形態５のスライダ１を上部に配置し、そのスライダ１の略中央部、つまりリセス面１１６に相当する位置と対向する位置に、例えば、実施形態１のスライダ１を配置し、これら上下のスライダ１を超薄型ディスク３１の両面上で安定浮上走行させる状態の側面図を示し、（ａ）はピッチ方向、（ｂ）はロール方向を表している。
【００６２】
この構成によれば、上部のスライダ１の４隅から正圧力Ｑ、中央部及び流出端部に負圧力Ｑ２が発生し、下部のスライダ１から正圧力Ｑが発生する。上部の正圧力Ｑ、負圧力Ｑ２、正圧力Ｑ、負圧力Ｑ２、下部の正圧力Ｑで超薄型ディスク３１を支持する構成により、超薄型ディスク３１の中央部が凸状に変形し易く、凹状に変形し難くなる。したがって、超薄型光ディスク３１を常に凸状に変形させることにより、凸凹状の面振れの振幅が小さくなり、スライダ１の振動振幅も小さくできる。
【００６３】
図３４は、図３３の他の態様として、超薄型ディスク３１の下部に従来の固定式光ピックアップ５を設けた構成を示している。上部に配置される本実施形態５のスライダ１の４隅から正圧力Ｑ、中央部及び流出端部から負圧力Ｑ２が発生している。上部の正圧力Ｑ、負圧力Ｑ２、正圧力Ｑ、負圧力Ｑ２により超薄型ディスク３１を支持する構成により、高速回転中に発生する超薄型ディスク３１の面振れを小さくできる。したがって、従来の固定式光ピックアップ５を用いて超薄型ディスク媒体面３１に記録再生が可能となる。
【００６４】
次に、本発明を適用してなるスライダ１の実施の形態６について説明する。図３５（ａ），（ｂ）に本実施形態６のスライダ１の立体斜視図を示す。本実施形態６のスライダ１は、例えば、実施形態１のスライダ１からなる第１のスライダ１０１と、記録再生素子部を搭載した磁気ヘッド、又は対物レンズ、或いはこれらのいずれも搭載した第２のスライダ１０２とから構成される。第２のスライダ１０２の外形寸法よりも僅かに大きな外径寸法の４角穴が、第１のスライダ１０１の流出端近傍、つまりコンタクト面１１２を垂直に貫いて形成され、この四角穴に第２のスライダ１が埋設されている。図の（ａ），（ｂ）の違いは、第１のスライダ１０１と第２のスライダ１０２とが分離しているか、していないかの違いである。
【００６５】
図３５（ｃ）に、第１のスライダ１０１のサイズがスライダ長Lｘ３.２ｍｍ、スライダ幅Ｌｙ２.６ｍｍの浮上面形状ＡＢＳ１１、第２のスライダ１０２のサイズがLｘ０.８５ｍｍ、Ｌｙ０.７ｍｍの従来のフェムトスライダサイズの場合を示す。図に示すように、浮上面形状ＡＢＳ１１にフェムトスライダサイズの第２のスライダ１０２が搭載可能である。
【００６６】
図３６に本実施の形態６のスライダ及びその支持体の立体斜視図を示す。図３７は図３６のスライダ及びその支持体の一部を拡大した立体斜視図を示す。ディンプル２３は、荷重用ビ−ム部２１から押し付けられた荷重Ｆを第１のスライダ１０１に作用させる荷重作用点となり、ここを支点として第１のスライダ１０１を並進、ピッチ、ロ−ル方向の３自由度の運動に対して復元力が作用するように設けられている。また、可撓性部材からなるジンバル部２２にはスリット部２２２が形成され、その中央に第２のスライダ１０２が接着固定されている。
【００６７】
スリット部２２２は、複数方向のスリットからなり、荷重用ビ−ム部２１から押し付けられた荷重Ｆを第２のスライダ１０２に押し付ける荷重作用点として作用する。また、スリット部２２２は、第２のスライダ１０２を並進、ピッチ、ロ−ル方向の３自由度の運動に対して復元力が作用するように設けられている。例えば、第２のスライダ１０２を光ヘッドスライダとするために、その背面に対物レンズを搭載する場合は、スリット部２２２に、対物レンズの外形寸法よりも僅かに大きな外径寸法の穴を設ける。特に、第２のスライダ１０２が対物レンズを搭載する場合は、近接場光記録用又は熱アシスト磁気記録用の浮上式ヘッドスライダとして有効である。
【００６８】
図３８は、超薄型ディスク３１の上下部に本実施形態のスライダ１を配置し、
これら上下のスライダ１が超薄型ディスク３１の両面上で安定浮上走行する状態の側面図を示している。上下部のスライダ１において、第１のスライダ１０１が超薄型ディスク３１の面振れを小さくできるため、第２のスライダ１０２を低浮上で記録再生することが可能となる。
【００６９】
また、第１のスライダ１０１と第２のスライダ１０２とを分割させ、それぞれジンバル部２２、スリット部２２２に固定させた構成とすることにより、第１のスライダ１０１と第２のスライダ１０２との浮上量差を１〜５μｍと大きくすることが可能となる。したがって、第２のスライダ１０２に対物レンズを搭載せずに、例えば、記録再生素子部からなる磁気ヘッドを搭載し、第１のスライダ１０１の流出端浮上量ｈ２を１〜５μｍ程度の高浮上量とし、かつ第２のスライダ１０２の流出端浮上量ｈ２を５０ｎｍ以下に設定することができるため、実施形態６のスライダ１を磁気ディスク装置として用いることが可能となる。
【００７０】
すなわち、本実施形態のスライダ１が安定浮上走行している時は、両者の浮上量差の約１〜５μｍ程度だけ、第２のスライダ１０２が第１のスライダ１０１と比べて厚さ方向に突出している。この第２のスライダ１０２の突出部の空気流入端面に正圧力が発生するため、第１のスライダ１０１は高浮上量が可能となる。なお、第２のスライダ１０２に、記録再生素子部からなる磁気ヘッド及び対物レンズを搭載した場合、例えば、熱アシスト磁気記録用の浮上式のスライダとして用いることができ、対物レンズのみ搭載した場合は、光ディスク用又は近接場光記録用の浮上式のスライダとして用いることができる。
【００７１】
次に、本発明を適用してなるスライダ１の実施の形態７について説明する。図３９に本実施形態７のスライダの立体斜視図を示す。本実施形態７のスライダ１は、実施形態６と同様に、第１のスライダ１０１と、記録再生素子部を搭載した磁気ヘッドあるいは対物レンズを搭載した第２のスライダ１０２とから構成し、第２のスライダ１０２の外形寸法よりも僅かに大きな外径寸法の４角穴が、第１のスライダ１０１の流出端近傍に設けられている。
【００７２】
本実施形態では、第２のスライダ１０２の空気流入端面は、第１のスライダ１０１の空気流入方向に設けたコンタクト面１１２と１段目のステップ面１１４との段差部１１３の一部になっている。この構造により、第２のスライダ１０２のサイズを実施形態５の第２のスライダ１０２のサイズに比べて小さくできるため、ディスク面のうねりに対してスライダ１が追従し易くなり、装置の高信頼性化を実現できる。図において（ａ），（ｂ）の違いは、第１のスライダ１０１と第２のスライダ１０２とが分離しているか、していないかの違いである。図３９（ｃ）に、第１のスライダ１０１のサイズがスライダ長Lｘ２.０５ｍｍ、スライダ幅Ｌｙ１.６ｍｍの浮上面、第２のスライダ１０２のサイズがLｘ０.８５ｍｍ、Ｌｙ０.７ｍｍの従来のフェムトスライダサイズの場合を示す。図に示すように、浮上面形状ＡＢＳ１１に比べて小さい浮上面にフェムトスライダサイズの第２のスライダ１０２を搭載することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の実施の形態１のスライダ及び支持体の立体斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１のスライダの拡大図であり、（ａ）は立体斜視図、（ｂ）は側面図である。
【図３】図２の一部を拡大して示す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の稜線部を面取りした態様を示す。
【図４】本発明の実施の形態１の支持体の平面図である。
【図５】本発明の実施の形態１のスライダの浮上走行時の側面図であり、（ａ）はピッチ方向、（ｂ）はロール方向を表している。
【図６】本発明の実施の形態１のスライダの浮上面形状を示す平面図である。
【図７】本発明の実施の形態１のスライダにおいて、ステップ深さδｓと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示す線図である。
【図８】本発明の実施の形態１のスライダにおいて、ステップ深さδｓと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示す線図である。
【図９】本発明の実施の形態１のスライダにおいて、ステップ深さδｓと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示す線図である。
【図１０】本発明の実施の形態１のスライダにおいて、ステップ深さδｓと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示す線図である。
【図１１】本発明の実施の形態２のスライダを示す図であり、（ａ）は立体斜視図、（ｂ）は側面図である。
【図１２】本発明の実施の形態２のスライダの浮上面形状を示す平面図である。
【図１３】本発明の実施の形態２のスライダにおいて、ステップ深さδｓと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示す線図である。
【図１４】本発明の実施の形態２のスライダにおいて、ステップ深さδｓと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示す線図である。
【図１５】最小浮上量ｈｍｉｎが最大値となるステップ深さδｓｍａｘと最小浮上量ｈｍｉｎの最大値（ｈｍｉｎ）ｍａｘとの関係を示す線図である。
【図１６】本発明の実施の形態２のスライダの浮上面形状を示す平面図である。
【図１７】本発明の実施の形態２のスライダにおいて、ステップ面の長さＬＳと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示す線図である。
【図１８】本発明の実施の形態２のスライダにおいて、押付荷重Ｆと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示す線図である。
【図１９】本発明の実施の形態３のスライダを示す図であり、（ａ）は立体斜視図、（ｂ）は側面図である。
【図２０】本発明の実施の形態３のスライダの浮上面形状を示す平面図である。
【図２１】本発明の実施の形態３のスライダにおいて、（ａ）は段差面の深さ率δＳ１/δＳと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示す線図、（ｂ）はピッチ姿勢角度θｐと段差面の深さ率δＳ１/δＳとの関係を示す線図である。
【図２２】本発明の実施の形態３のスライダにおいて、（ａ）は段差面の深さ率δＳ１/δＳと最小浮上量ｈｍｉｎとの関係を示す線図、（ｂ）はピッチ姿勢角度θｐと段差面の深さ率δＳ１/δＳとの関係を示す線図である。
【図２３】本発明の実施の形態３において、スライダを備えた光ディスクドライブ装置あるいは磁気ディスク装置の平面図である。
【図２４】本発明の実施の形態４において、スライダが記録ディスク上で浮上走行する様子を示す側面図であり、（ａ）はピッチ方向、（ｂ）はロール方向を表す。
【図２５】本発明の実施の形態４において、図２４の記録ディスクを超薄型ディスクに置き換えて走行する様子を示す側面図であり、（ａ）はピッチ方向、（ｂ）はロール
【図２６】図２５において超薄型ディスクが変形量Ｃｒで変形した状態のピッチ方向の側面図であり、（ａ）は凸状、（ｂ）は凹状に変形する状態を表している。
【図２７】周速毎に超薄型ディスクの変形量Ｃｒに対する流出端浮上量ｈ２の変動を計算した結果を示す線図である。
【図２８】本発明の実施の形態４において、スライダが超薄型ディスクの両面上で浮上走行している状態を示す側面図であり、（ａ）はピッチ方向、（ｂ）はロール方向を表す。
【図２９】本発明の実施の形態４において、スライダと固定式光ピックアップを超薄型ディスクの上下に配置し、スライダが浮上走行している状態を示すピッチ方向の側面図である。
【図３０】本発明の実施の形態４において、スライダを超薄型ディスクの上下に複数配置し、浮上走行している状態を示すロール方向の側面図である。
【図３１】本発明の実施の形態４において、超薄型ディスクの上下にスライダと固定式光ピックアップを配置し、スライダが浮上走行している状態を示すロール方向の側面図である。
【図３２】本発明の実施の形態５のスライダの立体斜視図である。
【図３３】本発明の実施の形態５のスライダの超薄型ディスクの凹凸上の面振れに対する振動振幅低減効果のメカニズムを説明する側面図であり、（ａ）はピッチ方向、（ｂ）はロール方向を表している。
【図３４】図３３の他の態様として、超薄型ディスクの下部に固定式光ピックアップを設けた状態を示す側面図である。
【図３５】本発明の実施の形態６のスライダを示し、（ａ），（ｂ）は立体斜視図、（ｃ）は平面図である。
【図３６】本発明の実施の形態６のスライダ及びその支持体の立体斜視図である。
【図３７】図３６のスライダ及びその支持体の一部を拡大した立体斜視図である。
【図３８】本発明の実施の形態７において、超薄型ディスクの上下部にスライダを配置し、上下のスライダが超薄型ディスクの両面上で浮上走行している状態を示す側面図である。
【図３９】本発明の実施の形態７のスライダを示し、（ａ），（ｂ）は立体斜視図、（ｃ）は平面図である。
【符号の説明】
【００７４】
１  スライダ
１１  パッド
５１  対物レンズ
５２  可動コイル
５３  平行板バネ
５４  永久磁石
５５  鉄心
１０１  第１のスライダ
１０２  第２のスライダ
１１２  コンタクト面
１１３，１１５  段差部
１１４  ステップ面
１１６  リセス面
１１７  サイドレール
δｓ  ステップ深さ
δｒ  リセス深さ
ｈｍｉｎ  最小浮上量
ＬＳ  空気流入側の端面との距離
【図１】
2007042190.tif 000003
【図２】
2007042190.tif 000004
【図３】
2007042190.tif 000005
【図４】
2007042190.tif 000006
【図５】
2007042190.tif 000007
【図６】
2007042190.tif 000008
【図７】
2007042190.tif 000009
【図８】
2007042190.tif 000010
【図９】
2007042190.tif 000011
【図１０】
2007042190.tif 000012
【図１１】
2007042190.tif 000013
【図１２】
2007042190.tif 000014
【図１３】
2007042190.tif 000015
【図１４】
2007042190.tif 000016
【図１５】
2007042190.tif 000017
【図１６】
2007042190.tif 000018
【図１７】
2007042190.tif 000019
【図１８】
2007042190.tif 000020
【図１９】
2007042190.tif 000021
【図２０】
2007042190.tif 000022
【図２１】
2007042190.tif 000023
【図２２】
2007042190.tif 000024
【図２３】
2007042190.tif 000025
【図２４】
2007042190.tif 000026
【図２５】
2007042190.tif 000027
【図２６】
2007042190.tif 000028
【図２７】
2007042190.tif 000029
【図２８】
2007042190.tif 000030
【図２９】
2007042190.tif 000031
【図３０】
2007042190.tif 000032
【図３１】
2007042190.tif 000033
【図３２】
2007042190.tif 000034
【図３３】
2007042190.tif 000035
【図３４】
2007042190.tif 000036
【図３５】
2007042190.tif 000037
【図３６】
2007042190.tif 000038
【図３７】
2007042190.tif 000039
【図３８】
2007042190.tif 000040
【図３９】
2007042190.tif 000041