(57)【要約】    【課題】  各ピースを画像判定し、ＮＧピースにパンチ穴を形成するＴＡＢの検査装置において、傷や印刷不良等により連続するＮＧピースに効率良くパンチ穴を形成する。    【解決手段】  ＴＡＢを移送する移送手段と、ＴＡＢの各ピースを画像として取得する画像取得手段と、画像に基づいてピースの良否判定を行う判定手段と、ＮＧピースにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、判定手段が判定したＮＧピースが移送され、該ＮＧピースに続くピースがＮＧピースか否かを目視判定する目視ステーションを設け、ＮＧピースが連続する範囲の情報を入力するＮＧ範囲入力手段を備え、移送手段は、判定手段が判定したＮＧピースを目視ステーションに移送し、前記範囲の情報が入力された後に、入力された範囲のＮＧピースをパンチ位置に順次連続的に移送すると共に、パンチ手段は順次移送されてくるＮＧピースに対して連続的にパンチ穴を形成する。【選択図】    図１４
2007281123.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のピースを一定ピッチで設けてなる帯状のＴＡＢをリールから繰り出して所定の移送経路上を移送する移送手段と、該移送手段で移送されているＴＡＢの各ピースを画像として取得する画像取得手段と、該取得手段で取得した画像を処理し、予め登録された基準画像と対比することによってピースの良否判定を行う判定手段と、前記移送経路上に設けられてＮＧピースにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、
前記移送経路上に、前記判定手段により判定されたＮＧピースが移送され、該ＮＧピースに続くピースがＮＧピースか否かを作業者の目視により判定する目視ステーションが設けられていると共に、
該目視ステーションでの目視判定によりＮＧピースが連続すると判定されたときに、その連続する範囲の情報を入力するＮＧ範囲入力手段と、
前記移送手段を制御する移送制御手段とが備えられ、
該移送制御手段は、前記判定手段により判定されたＮＧピースを目視ステーションに移送し、前記ＮＧ範囲入力手段によりＮＧピースが連続する範囲の情報が入力された後に、入力された範囲のＮＧピースを前記パンチ手段の対応位置に順次連続的に移送するように前記移送手段を制御すると共に、
前記パンチ手段は、前記移送手段により順次移送されてくるＮＧピースに対して連続的にパンチ穴を形成することを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項２】
前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記移送制御手段は、前記判定手段により判定されたＮＧピースとその後続のピースを目視ステーションに移送するように移送手段を制御すると共に、
該目視ステーションに移送されてくるＮＧピースが連続するときに、そのＮＧピースの前端及び後端のピースを指示する指示手段が備えられ、
前記ＮＧ範囲入力手段は、該指示手段により前端及び後端が指示されたＮＧピースが連続する範囲を取り込むことを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【請求項３】
前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、
前記ＮＧ範囲入力手段は、ＮＧピースが連続するＴＡＢの長さ又はピース個数の情報を入力することを特徴とするＴＡＢの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢの欠陥等を検査するＴＡＢの検査装置に関し、物品検査の技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＩＣチップの小型・薄型のパッケージとして、帯状のフィルムに銅箔等を張り合わせ、フォトエッチング等で回路パターンを形成したＴＡＢが開発されている。ＴＡＢには、多数の回路パターンが一定のピッチで繰り返して形成されており、１チップに対応する回路パターンの領域（以下、パターンの単位を「ピース」という）の断線などの欠陥を検査する装置として、各種のものが提案されている。
【０００３】
例えば特許文献１に開示された検査装置は、ＴＡＢを移送する移送手段が備えられ、該移送手段による移送経路上に、ＴＡＢを照明する光源と、該光源により照明されたＴＡＢの画像を取得するＣＣＤカメラとが備えられたものである。この装置において、前記ＣＣＤカメラはＴＡＢの１ピース毎の画像を取得すると共に、該カメラにより取得された１ピースの画像と予め記憶された基準画像とが対比されることにより当該ピースがＯＫピース又はＮＧピースであることが判定され、ＮＧピースであればパンチ装置によりパンチ穴を形成する（以下、単に「パンチする」という）ようになっている。
【０００４】
ところで、前記特許文献１に記載の装置において、ＮＧピースにパンチするときには、ＮＧピースが検出される毎にＮＧピースをパンチ装置の対応位置（以下、「パンチ位置」という）に移送し、パンチされた後、このＮＧピースの次のピースが撮像位置に戻されるように移送手段が制御される。このような構成においては、ＮＧピースが連続する場合に、逐一ＮＧピースをパンチ位置と撮像位置とを往復させることになって検査効率が悪い。
【０００５】
このような問題に対処するものとして、本出願人による先の出願（特願２００５−１９５８２４号明細書）に開示された検査装置がある。
【０００６】
この検査装置では、連続してＮＧピースが検出されたときは検査を継続し、ＮＧピースに後続するＯＫピースが検出されたときに、１または複数のＮＧピースをパンチ位置に移送し、これらのＮＧピースを連続的にパンチするようになっている。このようにＯＫピースの検出がＮＧピースをパンチするトリガーとされている場合には、装置の異常等によりＯＫピースであってもＮＧピースであると判定される不具合が生じた場合に、ＮＧ判定が延々と続いて異常を検知することができない。そのため、このような異常を早期に察知するために、所定回数（例えば５回）ＮＧ判定が連続すると装置を一旦停止して作業者に異常を知らせるようになっている。
【０００７】
そして、このように停止された状態の装置において、作業者により装置の異常が発見されたときは装置の修理等が行われるのであるが、装置に異常がなく、欠陥等を有するＮＧピースが所定回数連続していると確認されたときは、これらのＮＧピースがパンチ位置に移送されて連続的にパンチされた上で、これらのＮＧピースの後続のピースが撮像位置に位置決めされ、検査が再開されることになる。
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−１８２０６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、ＴＡＢが製造される前工程などにおいて、何らかのトラブルにより複数の連続するピースに亘って傷や印刷不良等が形成される場合がある（例えば長さ８０ｍのＴＡＢに対して１０ｍの傷など）。このような場合には、前記所定回数よりも多数のＮＧピースが連続するため、前記のように所定回数ＮＧピースが連続すると装置が一旦停止するように構成されているものにおいては、所定回数ＮＧピースが検出される毎に装置が一旦停止すると共に、作業者が逐一対応しなければならず、作業効率が悪い。
【００１０】
そこで、本発明は、ＴＡＢの各ピースを画像処理により良否判定し、ＮＧピースにパンチ穴を形成するＴＡＢの検査装置において、ＴＡＢ表面の傷や印刷不良等により連続的してＮＧピースが存在するときに、これらのＮＧピースに効率良くパンチ穴を形成することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するため、本発明は次のように構成したことを特徴とする。
【００１２】
まず、本願の請求項１に記載の発明は、多数のピースを一定ピッチで設けてなる帯状のＴＡＢをリールから繰り出して所定の移送経路上を移送する移送手段と、該移送手段で移送されているＴＡＢの各ピースを画像として取得する画像取得手段と、該取得手段で取得した画像を処理し、予め登録された基準画像と対比することによってピースの良否判定を行う判定手段と、前記移送経路上に設けられてＮＧピースにパンチ穴を形成するパンチ手段とを有するＴＡＢの検査装置であって、前記移送経路上に、前記判定手段により判定されたＮＧピースが移送され、該ＮＧピースに続くピースがＮＧピースか否かを作業者の目視により判定する目視ステーションが設けられていると共に、該目視ステーションでの目視判定によりＮＧピースが連続すると判定されたときに、その連続する範囲の情報を入力するＮＧ範囲入力手段と、前記移送手段を制御する移送制御手段とが備えられ、該移送制御手段は、前記判定手段により判定されたＮＧピースを目視ステーションに移送し、前記ＮＧ範囲入力手段によりＮＧピースが連続する範囲の情報が入力された後に、入力された範囲のＮＧピースを前記パンチ手段の対応位置に順次連続的に移送するように前記移送手段を制御すると共に、前記パンチ手段は、前記移送手段により順次移送されてくるＮＧピースに対して連続的にパンチ穴を形成することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、前記移送制御手段は、前記判定手段により判定されたＮＧピースとその後続のピースを目視ステーションに移送するように移送手段を制御すると共に、該目視ステーションに移送されてくるＮＧピースが連続するときに、そのＮＧピースの前端及び後端のピースを指示する指示手段が備えられ、前記ＮＧ範囲入力手段は、該指示手段により前端及び後端が指示されたＮＧピースが連続する範囲を取り込むことを特徴とする。
【００１４】
そして、請求項３に記載の発明は、前記請求項１に記載のＴＡＢの検査装置において、前記ＮＧ範囲入力手段は、ＮＧピースが連続するＴＡＢの長さ又はピース個数の情報を入力することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
まず、請求項１に記載の発明によれば、移送手段により多数のピースを一定のピッチで設けてなる帯状のＴＡＢがリールから繰り出されて所定の移送経路上を移送されると共に、画像取得手段により移送中のＴＡＢの各ピースの画像が取得され、判定手段によりこの画像と予め登録された基準画像とを対比することにより当該ピースがＯＫピース又はＮＧピースであることが判定される。
【００１６】
前記判定手段によりＯＫピースと判定されたときは、移送手段によるＴＡＢの移送が継続されて後続のピースについて同様の判定が行われるのであるが、ＮＧピースと判定されたときは、ＮＧピースが目視ステーションに移送されるように移送手段が制御され、該目視ステーションにおいて該ＮＧピースに続くピースがＮＧピースか否かを作業者の目視により判定するようになっている。そして、作業者による目視判定の結果として、ＮＧピースが連続すると判定されたときに、その連続する範囲の情報がＮＧ範囲入力手段により入力され、この後、入力された範囲のＮＧピースがパンチ手段の対応位置に順次連続的に移送され、移送されてくるＮＧピースに対してパンチ手段により連続してパンチ穴が形成される。例えば前記目視判定の結果、判定手段により判定されたＮＧピースから後続のピースに亘って形成された傷や印刷不良等が確認された場合は、これらの傷等に応じたＴＡＢの範囲の情報が入力されているので、この範囲内のＮＧピースに連続的にパンチ穴が形成される。
【００１７】
このように、本発明によれば、画像処理によりＮＧピースの判定がなされたときに、目視によりＮＧピースが連続するか否かが確認され、連続的にＮＧピースが続く場合に、ピースを基準位置とパンチ位置との間を往復させることなく連続的にパンチ手段によりパンチ穴が形成されるので、検査の効率化が実現される。
【００１８】
また、請求項２に記載の発明によれば、前記移送制御手段は、前記判定手段により判定されたＮＧピース及びその後続のピースを目視ステーションに移送すると共に、該目視ステーションに移送されてくるＮＧピースが連続するときに、指示手段によりそのＮＧピースの前端及び後端のピースが指示される。そして、ＮＧ範囲入力手段は該指示手段により前端及び後端が指示されたＮＧピースが連続する範囲を取り込むようになっている。
【００１９】
例えば複数のピースに亘って傷や印刷不良等が形成されている場合には、指示手段によりＮＧピースの前端が指示された後、作業者は目視ステーションで移送されるＴＡＢ表面の定点観察を行い、傷等が確認されなくなれば指示手段によりＮＧピースの後端が指示される。この結果、傷等の存在する範囲内にあるＮＧピースが特定され、これらのＮＧピースがパンチ手段の対応位置に順次連続的に移送されると共に、順次移送されてくるＮＧピースにパンチ手段により連続的にパンチ穴が形成されるので、検査の効率化が図られる。
【００２０】
そして、請求項３に記載の発明によれば、前記ＮＧ範囲入力手段は、ＮＧピースが連続するＴＡＢの長さ又はピース個数の情報を入力するようになっている。例えば複数のピースに亘って傷等が形成されている場合には、判定手段により判定されたＮＧピースが目視ステーションに移送された後に、作業者がＮＧピース及びその後続のピースについて目視判定を行い、傷等に応じたＴＡＢの長さ又はピース個数を入力するようになっている。
【００２１】
そして、このＴＡＢの長さ又はピース個数の範囲に含まれるＮＧピースがパンチ手段の対応位置に順次連続的に移送されると共に、移送されてくるＮＧピースにパンチ手段により連続的にパンチ穴が形成されるので、検査の効率化が図られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の第１の実施の形態について説明する。
【００２３】
図１に示す本実施の形態に係るＴＡＢの検査装置１は、図２に示すような帯状のＴＡＢの各ピースＸ…Ｘの良否判定を行うものである。ＴＡＢは、幅方向両端に沿って一定のピッチでパーフォレーションＰ…Ｐが設けられた帯状のフィルムテープＴに、１チップごとに回路パターン（以下、パターンの単位を「ピースＸ」という）が一定のピッチで繰り返して設けられたものである。
【００２４】
図１に示すように、前記検査装置１は、機枠２と、該機枠２に設けられて前記ＴＡＢを巻き出す巻出リール１０と、該巻出リール１０から繰り出されたＴＡＢを案内するガイドローラ１１，１１と、ＴＡＢの蛇行防止のために備えられてＴＡＢのパーフォレーションＰ…Ｐに係合する複数のスプロケットホイール１２ａ〜１２ｅと、回転駆動してＴＡＢを移送させる第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃと、ＴＡＢを巻き取る巻取リール１４とを有している。
【００２５】
また、ＴＡＢの移送経路に沿って、ＴＡＢ表面の静電気を取り除く除電機１５と、エア吸引作用によりＴＡＢ表面の塵埃を取り除く除塵装置１６と、ＴＡＢ表面の金属異物を取り除く磁性粉除去磁石１７と、ＴＡＢ表面に接触して異物を取り除く粘着ロール１８と、ＴＡＢの各ピースＸの下流側のエッジを検出する光電センサ１９と、ＴＡＢの幅方向の直線画像を連続的に取得する第１、第２ラインセンサ２０，２１と、ＴＡＢを斜め上方から照明する第１投光機２２と、ＴＡＢを裏面から照明する第２投光機２３と、作業者がＴＡＢ表面の拡大画像を目視するための顕微鏡２４と、ＴＡＢにパンチ穴を形成するパンチ装置２５と、ＴＡＢ表面に接触して表面のごみを取り除くごみ取りロール２６とが備えられている。また、機枠２の上部には、前記第１、第２ラインセンサ２０，２１により取得した画像等の表示を行う第１、第２検査用モニタ２７，２８が備えられている。
【００２６】
一方、巻出リール１０には、ＴＡＢと保護シートＳとが重ねられた状態で巻き掛けられており、該巻出リール１０からＴＡＢが繰り出されると同時に保護シートＳが分離するようになっている。そして、分離した保護シートＳを案内する複数のガイドローラ２９ａ〜２９ｄと、中央のガイドローラ２９ｂ，２９ｃの間に設けられて自重により保護シートＳのテンションを適正化するダンサローラ３０とが設けられ、これらに案内された保護シートＳは、巻取リール１０によりＴＡＢが巻き取られる際に同時に巻き取られ、巻取リール１４においてはＴＡＢと保護シートＳとが重ねられた状態となる。
【００２７】
さらに、前記顕微鏡２４とパンチ装置２５との間に備えられたスプロケットホイール１２ｄは、該ホイール１２ｄの回転量の情報に基いて、ＴＡＢの移送距離及び移送速度の情報を取得するエンコーダ１２ｄ′（図３参照）に連絡されている。そして、第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃのうちの上流側の第１駆動ローラ１３ａは、前記エンコーダ１２ｄ′で取得した移送速度の情報に基いて回転数のフィードバック制御を行うようになっている。また、第１駆動ローラ１３ａの下流側の第２、第３駆動ローラ１３ｂ，１３ｃは、ＴＡＢのテンションを適正化する回転数に設定されている。
【００２８】
そして、第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃの上方には、ＴＡＢを上方から押圧する押付けローラ１３ａ′〜１３ｃ′が備えられている。なお、押付けローラ１３ａ′〜１３ｃ′は、ＴＡＢのパーフォレーションＰ…Ｐが設けられた幅方向両端部を押圧するようになっており、ＴＡＢのテンションを適正化するために作用する。
【００２９】
一方、図３に示すように、この検査装置１には、互いに信号の授受を行う搬送用コントローラ１００と画像用コントローラ１１０とが備えられている。搬送用コントローラ１００は、前記エンコーダ１２ｄ′、光電センサ１９、及び作業者がデータ等を入力するキーボード１０１、タッチパネル１０２等からの信号を入力し、第１〜第３駆動ローラ１３ａ〜１３ｃ、及びパンチ装置２５などに制御信号を出力するようになっている。また、前記画像用コントローラ１１０は、前記エンコーダ１２ｄ′、第１、第２ラインセンサ２０，２１等からの信号を入力し、第１、第２検査用モニタ２７，２８などに制御信号を出力するようになっている。
【００３０】
前記第１投光機２２は、移送中のＴＡＢの斜め上方から光の照射を行うように配置され、第１ラインセンサ２０は、該第１投光機２２の照明によるＴＡＢの反射光を連続的に検出するようになっている。また、前記第２投光機２３は、移送中のＴＡＢの下方から光の照射を行うように配置され、第２ラインセンサ２１は、該第２投光機２３の照明によるＴＡＢの透過光を連続的に検出するようになっている。そして、前記画像用コントローラ１１０は、第１、第２ラインセンサ２０，２１から取得したＴＡＢの幅方向の直線画像を組み合わせて１ピースの画像を作成する。
【００３１】
さらに、前記画像用コントローラ１１０に内蔵されたメモリ１００ａには、ピースＸの基準画像が格納されており、この基準画像と第１、第２ラインセンサ２０，２１により取得した１ピースの画像とを対比することにより、各ピースＸの欠陥等の存在（以下、「ＮＧ」という）又は欠陥等の非存在（以下、「ＯＫ」という）が判定される。
【００３２】
一方、判定結果は、移送用コントローラ１００に入力され、これに応じてＴＡＢの移送制御が行われる。第１、第２ラインセンサ２０，２１で取得した１ピースの画像が、共にＯＫ判定されたときは、当該ピースＸについての検査は終了されて後続のピースＸの検査が開始されるが、いずれか一方又は両方がＮＧ判定されたピースＸは、前記顕微鏡２４の対応位置（以下、「顕微鏡位置」という）又は前記パンチ装置２５の対応位置（以下、「パンチ位置」いう）に移送され、後続のピースＸについての検査が一旦中断される。
【００３３】
また、検査開始時には、前記光電センサ１９はフィルムテープＴに設けられた先頭のピースＸの下流側のエッジを検出する。そして、このピースＸが光電センサ１９により検知された位置から所定距離上流側の基準位置に移送され、ＴＡＢの初期位置の設定が完了する。また、作業者は、予めＴＡＢの各ピースＸのピッチ等の情報を前記タッチパネル１０２により入力し、これらの情報に基いて、基準位置から前記第１、第２ラインセンサ２０，２１までの距離、基準位置から顕微鏡位置までの距離、基準位置からパンチ位置までの距離等が演算される。そして、前記エンコーダ１２ｄ′による移送距離の情報に基いて、第１、第２ラインセンサ２０，２１による画像取得開始のタイミング、画像取得終了のタイミング、パンチ装置２５によるパンチのタイミングなどが計算される。
【００３４】
ところで、検査開始時には、ＮＧ判定されたピースＸの扱いについて、図４に示すように、タッチパネル１０２のモード選択画面で「顕微鏡モード」と「パンチモード」とが選択可能となっている。
【００３５】
ここで、作業者により顕微鏡モードが選択されたときの制御について図５のフローチャートを用いて説明する。
【００３６】
まず、ステップＳ１でＮをゼロに初期化し、ステップＳ２で、ＴＡＢを所定速度で連続的に移送する。そして、ステップＳ３で、画像取得のタイミングか否かを判定し、画像取得のタイミングになればステップＳ４に進み、第１、第２ラインセンサ２０，２１によりそれぞれ１つのピースの画像を取得する
次に、ステップＳ５で、Ｎ≠０か否かを判定し、Ｎ＝０のときは、ステップＳ６に進み、当該ピースについての良否判定を行う。このとき、前記ステップＳ４で取得した画像と基準画像とを対比し、これらの画像が略同様であってＯＫ判定がなされた場合は、ステップＳ２に戻って次のピースについて同様に判定が行われる。また、ステップＳ６で、取得した画像と基準画像とに差異が認められてＮＧ判定がなされた場合は、ステップＳ７に進み、ＮにＮ＋１を代入してステップＳ２に戻る。
【００３７】
一方、ステップＳ５でＮ≠０のとき、即ち既に一回以上ＮＧピースが検出されている状態では、ステップＳ８に進み、前記ステップＳ６と同様のピースの良否判定を行う。ここでＯＫ判定されたときは、後述の第１ＮＧ処理を実行し、ＮＧ判定されたときは、ステップＳ９に進み、ＮにＮ＋１を代入してステップＳ１０に進む。ステップＳ１０では、Ｎ＝５か否かの判定を行い、Ｎ≠５のとき、つまり１〜４回連続してＮＧ判定された状態のときはステップＳ２に戻り、Ｎ＝５のとき、つまり５回連続してＮＧ判定されているときはステップＳ１１に進み、後述の第２ＮＧ処理を実行する。
【００３８】
図６に示すように、前記第１ＮＧ処理は、ステップＳ２１でＴＡＢの送りを一時停止させた後、ステップＳ２２で、ＮＧピースを顕微鏡位置に高速位置決めする。ここで、ＮＧピースが複数あるときは、最下流のＮＧピースを顕微鏡位置に位置決めする。そして、ステップＳ２３でｉに１を代入する。
【００３９】
このとき、図７に示すようにタッチパネル１０２には「ＯＫ」、「ＮＧ」、「次ピース」、「停止」の選択が可能な顕微鏡チェック画面が表示されている。ステップＳ２４で、顕微鏡位置にあるＮＧピースが作業者により目視判定されると共に、タッチパネル１０２のＯＫ又はＮＧの押操作により検査結果が入力される。そして、ステップＳ２５でｉ＝Ｎか否かについて判定を行う。この判定でｉ≠Ｎと判定されたときは、ステップＳ２６で、作業者により「次ピース」の押操作がなされると、１ピース分ＴＡＢを送ると共に、ステップＳ２７でｉにｉ＋１を代入した上で、ステップＳ２４に戻り、後続のＮＧピースについて作業者の目視による同様の判定を行う。
【００４０】
また、ステップＳ２５でｉ＝Ｎと判定されたときは、ステップＳ２８に進み、再開方法を選択する。このときタッチパネル１０２には、図８に示すような、３通りの再開方法が表示され、作業者が操作することにより選択可能となっている。
【００４１】
そして、ステップＳ２８で、再検査即ちタッチパネル１０２の再開方法選択画面で「ＮＧピースより検査再開（ＮＧピースを再検査）」が選択されたときは、ステップＳ２９でＮＧピースを基準位置に高速位置決めし、図５のフローチャートのステップＳ２に戻る。
【００４２】
この再検査が選択されたときのＴＡＢの送り動作を図９を用いて説明する。ここでは、ＮＧピースが２回連続で検出された後、ＯＫピースが検出されたときを例に説明する。なお、この図において、未判定のピースには斜線を施している。
【００４３】
まず、図９（ａ）に示すように、各ピースＸ１〜Ｘ３がラインセンサ２０，２１を通過すると、図９（ｂ）に示すように、下流側のＮＧピースＸ１を顕微鏡位置に高速で移動させる。そして、図９（ｃ）に示すように、顕微鏡２４でピースＸ１，Ｘ２の目視判定を順次行った結果、再度画像処理による良否判定を行いたいとのことで、作業者によりタッチパネル１０２で再検査が選択されると、図９（ｄ）に示すように、ピースＸ１を基準位置に高速で移動させて、ピースＸ１〜Ｘ３の再検査を実行する。
【００４４】
また、ステップＳ２８で、パンチ実行即ちタッチパネル１０２の再開方法選択画面で「ＮＧピースをパンチし、次のピースから検査再開」が選択された場合は、ステップＳ３０でＮＧピースをパンチ位置に高速で位置決めする。そして、ステップＳ３１でＮＧピースにパンチし、ステップＳ３２でＯＫピースを基準位置に高速位置決めする。なお、複数のＮＧピースが検出されている場合は、下流側のＮＧピースをパンチ位置に位置決めし、このＮＧピースにパンチした後１ピース分ＴＡＢを送って次のＮＧピースをパンチするように制御する。
【００４５】
このパンチ実行が選択されたときのＴＡＢの送り動作を図１０を用いて説明する。このときも、ＮＧピースが２回連続で検出された後、ＯＫピースが検出されたときを例に説明する。
【００４６】
まず、図１０（ａ）に示すように、各ピースＸ１〜Ｘ３がラインセンサ２０，２１を通過すると、図１０（ｂ）に示すように、下流側のＮＧピースＸ１を顕微鏡位置に高速で移動させる。そして、図１０（ｃ）に示すように、顕微鏡２４でピースＸ１，Ｘ２の目視判定を順次行った結果、ピースＸ１，Ｘ２が確かにＮＧであると判定されて作業者によりタッチパネル１０２でパンチ実行が選択されると、図１０（ｄ）に示すように、ピースＸ１をパンチ位置に高速で移動させ、ピースＸ１，Ｘ２にパンチした後、図１０（ｅ）に示すように、ＯＫピースＸ３を基準位置に高速位置決めする。
【００４７】
さらに、ステップＳ２８で、パンチせず即ちタッチパネル１０２の再開方法選択画面で「ＮＧピースをパンチせず、ＯＫピースから検査再開」が選択された場合は、ステップＳ３３でＯＫピースを基準位置に高速位置決めする。
【００４８】
このパンチせずが選択されたときのＴＡＢの送り動作を図１１を用いて説明する。このときも、ＮＧピースが２回連続で検出された後、ＯＫピースが検出されたときを例に説明する。
【００４９】
まず、図１１（ａ）に示すように、各ピースＸ１〜Ｘ３がラインセンサ２０，２１を通過すると、図１１（ｂ）に示すように、下流側のＮＧピースＸ１を顕微鏡位置に高速で移動させる。そして、図１１（ｃ）に示すように、顕微鏡２４でピースＸ１，Ｘ２の目視判定を順次行った結果、ピースＸ１，Ｘ２がＯＫであると判断されて作業者によりタッチパネル１０２でパンチせずが選択されると、図１１（ｄ）に示すように、これらのピースＸ１，Ｘ２にはパンチせずにＯＫピースＸ３を基準位置に高速位置決めする。
【００５０】
次に、前記第２ＮＧ処理について説明すると、図１２のフローチャートに示すように、ステップＳ４１でＴＡＢ送りを一時停止させ、ステップＳ４２でＮＧピースを顕微鏡位置に位置決めする。そして、ステップＳ３２でこのＮＧピースについての目視判定の結果ＯＫ／ＮＧを図７に示した表示画面のタッチパネル１０２の操作により入力し、「次ピース」の押操作によりステップＳ４４で１ピース分ＴＡＢを送る。このとき前記ＮＧピースの次のピースが顕微鏡位置に位置決めされる。そして、ステップＳ４５で、作業者によるタッチパネル１０２の「停止」の押操作に応じて停止信号が入力されたか否かについて判定が行われ、停止信号が入力されていないときはステップＳ４３に戻って同様の検査を行い、停止信号が入力されたときは、ステップＳ４６に進んで再開方法を選択する。
【００５１】
そして、ステップＳ４６で、再検査即ちタッチパネル１０２の再開方法選択画面で「ＮＧピースより検査再開（ＮＧピースを再検査）」が選択されたときは、ステップＳ４７でＮＧピースを基準位置に高速位置決めし、図５のフローチャートのステップＳ２に戻る。
【００５２】
この再検査が選択されたときのＴＡＢの送り動作を図１３を用いて説明する。まず、図１３（ａ）に示すように、各ピースＸ１〜Ｘ５がラインセンサ２０，２１を通過すると、図１３（ｂ）に示すように、下流側のＮＧピースＸ１を顕微鏡位置に高速で移動させる。そして、図１３（ｃ）に示すように、顕微鏡２４でピースＸ１〜Ｘ５の目視判定を順次行った結果、もう一度画像処理による良否判定を行いたいとのことで、顕微鏡チェック画面で「停止」が押操作されると共に、再開方法選択画面でで再検査が選択されると、図１３（ｄ）に示すように、ピースＸ１を基準位置に高速で移動させて、ピースＸ１〜Ｘ５の再検査を実行する。なお、この例ではピースＸ１〜Ｘ５の目視判定を行った時点で停止信号が入力されているが、４個以内、或いは６個以上のＮＧピースを目視判定した上で、ピースＸ１〜Ｘ５の再検査を行うようにしてもよい。
【００５３】
また、ステップＳ４６で、パンチ実行即ちタッチパネル１０２の再開方法選択画面で「ＮＧピースをパンチし、次のピースから検査再開」が選択された場合は、ステップＳ４８でＮＧピースをパンチ位置に高速で位置決めする。そして、ステップＳ４９でＮＧピースにパンチし、ステップＳ５０でＮＧピースに後続するピースを基準位置に高速位置決めする。なお、複数のＮＧピースをパンチするときには、下流側のＮＧピースをパンチ位置に位置決めし、このＮＧピースにパンチした後１ピース分ＴＡＢを送って次のＮＧピースをパンチするようにして、複数のＮＧピースを連続的にパンチする。
【００５４】
このパンチ実行が選択されたときのＴＡＢの送り動作を図１４を用いて説明する。まず、図１４（ａ）に示すように、各ピースＸ１〜Ｘ５がラインセンサ２０，２１を通過すると、図１４（ｂ）に示すように、下流側のＮＧピースＸ１を顕微鏡位置に高速で移動させる。そして、図１４（ｃ）に示すように、顕微鏡２４でピースＸ１〜Ｘ５の目視判定を順次行った結果、複数のピースに亘る傷ｄが発見され、ピースＸ５の上流側においてもＮＧピースが存在することが予想されたので、「次ピース」を押操作して目視判定を継続する。そして、ピースＸ６で傷ｄの終端が確認され、ピースＸ７では傷ｄは存在しないことが確認されたので「停止」が押操作される。そして、作業者によりタッチパネル１０２でパンチ実行が選択されると、図１４（ｄ）に示すように、ピースＸ１をパンチ位置に高速で移動させ、ピースＸ１〜Ｘ６にパンチした後、図１４（ｅ）に示すように、ピースＸ７を基準位置に高速位置決めする。
【００５５】
さらに、ステップＳ４６で、パンチせず即ちタッチパネル１０２の再開方法選択画面で「ＮＧピースをパンチせず、ＯＫピースから検査再開」が選択された場合は、ステップＳ３３でＯＫピースを基準位置に高速位置決めする。
【００５６】
このパンチせずが選択されたときのＴＡＢの送り動作を図１５を用いて説明すると、まず、図１５（ａ）に示すように、各ピースＸ１〜Ｘ５がラインセンサ２０，２１を通過すると、図１５（ｂ）に示すように、下流側のＮＧピースＸ１を顕微鏡位置に高速で移動させる。そして、図１５（ｃ）に示すように、顕微鏡２４でピースＸ１〜Ｘ５の目視判定を順次行った結果、ピースＸ１〜Ｘ５がＯＫであると判断されて作業者によりタッチパネル１０２の再開方法選択画面でパンチせずが選択されると、図１５（ｄ）に示すように、これらのピースＸ１〜Ｘ５にはパンチせずに、後続のピースＸ６を基準位置に高速位置決めする。
【００５７】
次に、作業者によりパンチモードが選択された場合の処理について図１６のフローチャートを用いて説明する。なお、このフローチャートにおけるステップＳＳ６１〜Ｓ６８、Ｓ７０、Ｓ７１は、図５のフローチャートのステップＳ１〜Ｓ８、Ｓ１０、Ｓ１１と同様であるため、説明を省略する。
【００５８】
図１６のフローチャートにおいて、ステップＳ６８でＯＫピースであると判定されたときは、ステップＳ６９に進み、図１７のフローチャートに示すパンチ処理を行う。このパンチ処理は、ステップＳ８１でＴＡＢの送りを一時停止させ、ステップＳ８２でＮＧピースをパンチ位置に高速で位置決めする。そして、ステップＳ８３でｊに１を代入し、ステップＳ８４でＮＧピースにパンチを実行する。次に、ステップＳ８５でｊ＝Ｎか否かの判定を行い、ｊ＝Ｎのときは、ステップＳ８６で１ピース分ＴＡＢを送り、ステップＳ８７でｊにｊ＋１を代入して、ステップＳ８４に戻り、次のＮＧピースをパンチする。
【００５９】
また、ステップＳ７１でＮ＝５であると判定されたときは、ステップＳ７２に進み、第３ＮＧ処理を行う。この第３ＮＧ処理は、図１８のフローチャートに従って行われるが、各ステップＳ９１〜Ｓ１０１は、図１２に示した第２ＮＧ処理の各ステップＳ４１〜Ｓ５１と同様の処理であるため、説明を省略する。なお、この第３ＮＧ処理においては、ステップＳ９６で再検査が選択されて、ステップＳ９７でＮＧピースを基準位置に高速で位置決めした後に、図１６のフローチャートのステップＳ６２に戻るようになっている。
【００６０】
このように、ＮＧピースが５回連続して検出されたときは、顕微鏡モード、パンチモードに拘らず、同様の制御を行うようになっている。
【００６１】
以上のように、多数のピースを一定のピッチで設けてなる帯状のＴＡＢが巻出リール１０から繰り出されて移送されると共に、ラインセンサ２０，２１により移送中のＴＡＢの各ピースＸの画像が取得され、画像用コントローラ１１０でこの画像と予め登録された基準画像とを比較することにより当該ピースＸがＯＫピース又はＮＧピースであることが判定される。
【００６２】
前記画像用コントローラ１１０によりＯＫピースと判定されたときは、ＴＡＢの移送が継続されて後続のピースについて同様の判定が行われるのであるが、ＮＧピースと判定されたときは、ＮＧピースが顕微鏡位置に移送され、このＮＧピース及び後続のピースについて作業者の目視によりＯＫ又はＮＧの判定が行われる。そして、作業者による目視判定の結果がタッチパネル１０２の操作により入力され、ＮＧピースがパンチ位置に移送される。ここでの目視判定の結果、前記ＮＧピースから後続のピースに亘って形成された傷や印刷不良等が確認された場合は、これらが確認されなくなるまで順次ピースの検査を継続し、ここで確認されたＮＧピースが連続的にパンチされる。
【００６３】
このように、画像処理によりＮＧピースの判定がなされたときに、目視によりこのＮＧピース及び後続のピースに対して異常状態（傷、印刷不良等）の詳細が確認され、連続的にＮＧピースが続く場合に、ピースを基準位置とパンチ位置との間を往復させることなく連続的にパンチ装置２５によりパンチ穴が形成されるので、検査の効率化が実現される。
【００６４】
次に、本発明の第２〜４の実施の形態について説明する。この実施の形態は、前記第１の実施の形態に対してＮＧピースの処理方法が異なるものであり、装置構成は同様であるから同一の構成要素については同一の符号を付す。
【００６５】
まず、第２の実施の形態は、顕微鏡モードの処理が異なるものである。これにおいては、図１９のフローチャートに示すように、ステップＳ１１１でＴＡＢを所定の速度で送り、ステップＳ１１２で画像取得タイミングか否かを判定する。そして、画像取得タイミングであれば、ステップＳ１１３に進み、１つのピースについてラインセンサ２０，２１により画像を取得すると共に、ステップＳ１１４で当該ピースについての良否判定を行う。この判定において、ＯＫピースであると判定されたときは、ステップＳ１１１に戻って次のピースについて同様の画像判定を行う。また、前記ステップＳ１１４の判定において、ＮＧピースであると判定されたときは、ステップＳ１１５に進み、第４ＮＧ処理を実行する。
【００６６】
この第４ＮＧ処理は、図２０のフローチャートに従って行われる。まず、ステップＳ１２１でＴＡＢの送りを一時停止させ、ステップＳ１２２でＮＧピースを顕微鏡位置に高速位置決めする。そして、ステップＳ１２３で当該ＮＧピースについての目視判定の結果ＯＫ／ＮＧを図７に示したタッチパネル１０２の顕微鏡チェック画面上で入力し、ステップＳ１２４で「次ピース」が押操作されると１ピース分ＴＡＢを送って次のピースを顕微鏡位置に位置決めする。そして、ステップＳ１２５で「停止」の押操作による停止信号が入力されたか否かについて判定を行い、停止信号が入力されていない場合は、ステップＳ１２３に戻って顕微鏡位置にあるピースについて目視判定を行う。
【００６７】
また、ステップＳ１２５で停止信号が入力されたことが判定されたときは、ステップＳ１２６で再開方法を選択する。ここで、再検査が選択されたときは、ステップＳ１２７に進んでＮＧピースを基準位置に高速位置決めする。また、パンチ実行が選択されたときは、ステップＳ１２８でＮＧピースをパンチ位置に高速位置決めし、ステップＳ１２９で、ＮＧピースにパンチする。ここで複数のＮＧピースが存在する場合は、下流側のものから順次パンチすることになる。パンチが完了すると、ステップＳ１３０で、ＮＧピースに後続するピースを基準位置に高速位置決めする。
【００６８】
このパンチ実行が選択されたときのＴＡＢの送り動作を図２１を用いて説明すると、まず、図２１（ａ）に示すように、ピースＸ１がラインセンサ２０，２１を通過し、ＮＧ判定されると、図２１（ｂ）に示すように、ＮＧピースＸ１を顕微鏡位置に高速で移動させる。そして、図２１（ｃ）に示すように、顕微鏡２４でピースＸ１の目視判定を行った結果、後続のピースに亘る傷ｄが発見され、ピースＸ１の上流側にＮＧピースが存在することが予想されるので、「次ピース」を押操作して目視判定を継続する。そして、順次ピースを検査した結果、ピースＸ４に傷ｄの終端が確認されると共にピースＸ５に傷ｄは存在しないことが確認されたので「停止」が押操作される。次に、作業者によりタッチパネル１０２の再開方法選択画面ででパンチ実行が選択されると、図２１（ｄ）に示すように、ピースＸ１をパンチ位置に高速で移動させ、ピースＸ１〜Ｘ４にパンチした後、図２１（ｅ）に示すように、ピースＸ５を基準位置に高速位置決めする。
【００６９】
この実施の形態においては、画像処理により一つでもＮＧピースが判定されると、このＮＧピースについて作業者により目視判定が行われ、この目視の結果に応じてＮＧピースの後続のピースも目視判定される。従って、複数の連続するピースに亘って形成された傷や印刷不良等があるときに、連続するＮＧピースを効率良く検出することができ、また、これらのＮＧピースが連続的にパンチされるので、ＮＧピースが基準位置と顕微鏡位置とを往復することなく、作業効率が向上する。
【００７０】
次に、第３の実施の形態について説明する。この実施の形態は、前記第１の実施の形態に対して、タッチパネル１０２の顕微鏡チェックの表示画面が異なり、この画面の操作に応じてＮＧピースの処理を行うものである。
【００７１】
即ち、顕微鏡チェックの表示画面は、図２２に示すように、「ＴＡＢ送りスタート」及び「ＴＡＢ送り停止」が選択可能になっており、「ＴＡＢ送り停止」が選択されると、図８に示した再開方法選択画面が表示される。そして、この場合には、前記第２〜第４ＮＧ処理に代えて、以下に説明する第５ＮＧ処理が行われる。
【００７２】
第５ＮＧ処理は、図２３のフローチャートに示すように、ステップＳ１４１でＴＡＢ送りを一時停止し、ステップＳ１４２でＮＧピースを顕微鏡位置に高速位置決めする。そして、ステップＳ１４３で作業者によりタッチパネル１０２の「ＴＡＢ送りスタート」が押操作されたか否かについて判定を行い、押操作されれば、ステップＳ１４４でＴＡＢを所定速度で連続的に移送すると共に、ＴＡＢ送り量を測定する。そして、ステップＳ１４５で、「ＴＡＢ送り停止」が押操作されたか否かの判定を行い、押操作されていないときは、ステップＳ１４４に戻ってＴＡＢ送り量の測定を継続し、押操作されれば、ステップＳ１４６でＮＧ範囲を設定する。ここでのＮＧ範囲は、前記ステップＳ１４４で測定した送り量の範囲であって、この範囲に含まれるピースはＮＧピースとして判定される。
【００７３】
そして、ステップＳ１４７に進み、図８の再開方法選択画面で、再検査が選択されたときは、ステップＳ１４８に進み、ＮＧピースの内の最下流のＮＧピースを基準位置に高速位置決めする。なお、このフローチャートにおける、（ＩＩＩ）は、第２ＮＧ処理の（Ｉ）、第３ＮＧ制御の（ＩＩ）、第４ＮＧ制御の（エンド）に対応している。
【００７４】
また、ステップＳ１４７で、パンチ実行が選択された場合は、ステップＳ１４９でＮＧピースをパンチ位置に高速位置決めし、ステップＳ１５０で前記範囲内に含まれるピースの全てに連続的にパンチする。そして、ステップＳ１５１で、ＮＧピースに後続するピースを基準位置に高速位置決めする。さらに、ステップＳ１４７で、パンチせずが選択された場合は、ステップＳ１５２でＮＧピースに後続するピースを基準位置に高速位置決めする。
【００７５】
この実施の形態においては、ＮＧピースが顕微鏡位置に位置決めされた後、作業者は、タッチパネル１０２の顕微鏡チェック画面で「ＴＡＢ送りスタート」を押操作し、連続的に移送されるＴＡＢの表面を観察しながら、後続のＴＡＢについての判定を行う。そして、複数のピースに亘る傷や印刷不良等が存在する場合は、傷等が確認されなくなったときに、「ＴＡＢ送り停止」を押操作し、これによって傷等が存在する範囲が特定される。そして、この範囲内に含まれるピースをＮＧピースとしてパンチする。このような方法によっても、連続するＮＧピースが効率良く検出され、ＮＧピースが連続的にパンチされることにより検査効率が向上する。
【００７６】
次に、第４の実施の形態について説明する。この実施の形態は、前記第３の実施の形態と同様にタッチパネル１０２の顕微鏡チェックの表示画面が異なるものである。
【００７７】
即ち、顕微鏡チェック表示画面は、図２４に示すように、「数字１〜９の入力キー（テンキー）」、「ＴＡＢ長さ」、「ピース個数」、「再入力」、「設定完了」が選択可能となっている。そして、「ＴＡＢ長さ」又は「ピース個数」が押操作されたときに、隣接するブランクにテンキーにより数字を入力表示可能となっており、いずれかに数字が入力された状態で「設定完了」が押操作されると、再開方法選択画面が表示されるようになっている。そして、この場合には、前記第２〜第４ＮＧ処理に代えて、以下に説明する第６ＮＧ処理が行われる。
【００７８】
第６ＮＧ処理は、図２５のフローチャートに示すように、ステップＳ１６１でＴＡＢ送りを一時停止し、ステップＳ１６２でＮＧピースを顕微鏡位置に高速位置決めする。そして、この状態で作業者は、顕微鏡２４でＮＧピースを目視判定することにより欠陥の詳細や傾向を確認すると共に、後続のピースについて顕微鏡２４を使用せずに目視判定する。そして、複数のピースに亘って形成された傷等が確認された場合には、これらのピースを含む範囲をタッチパネル１０２の顕微鏡チェック画面で入力する。ここでは、ＮＧピースから上流側への長さ、又はＮＧピースを含む後続のピースの個数が入力されることになる。
【００７９】
そして、ステップＳ１６４に進み、図８の再開方法選択画面で、再検査が選択されたときは、ステップＳ１６５に進み、前記範囲内の最下流のＮＧピースを基準位置に位置決めする。なお、このフローチャートにおける、（ＩＩＩ）は、第２ＮＧ処理の（Ｉ）、第３ＮＧ制御の（ＩＩ）、第４ＮＧ制御の（エンド）に対応している。
【００８０】
また、ステップＳ１６４で、パンチ実行が選択された場合は、ステップＳＳ１６６でＮＧピースをパンチ位置に高速位置決めし、ステップＳ１６７で前記ステップＳ１６４で入力された範囲内に含まれるピースの全てに連続的にパンチする。そして、ステップＳ１６８で、ＮＧピースに後続するピースを基準位置に高速位置決めする。さらに、ステップＳ１６４で、パンチせずが選択された場合は、ステップＳ１６９でＮＧピースに後続するピースを基準位置に高速位置決めする。
【００８１】
この実施の形態においては、ＮＧピースが顕微鏡位置に位置決めされた後、作業者は、ＮＧピースの後続のピースについて観察を行い、複数のピースに亘る傷や印刷不良等が確認された場合は、この傷等の大体のＴＡＢ長さ、又は大体のピース個数をタッチパネル１０２の顕微鏡チェック画面で入力する。そして、このＴＡＢ長さ又はピース個数の範囲内に含まれるピースをＮＧピースとしてパンチする。このような方法によっても、連続するＮＧピースが効率良く検出されると共に、ＮＧピースが連続的にパンチされることにより検査効率が向上する。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は、ＴＡＢの良否判定を行う検査装置に関し、連続するＮＧピースに効率良くパンチ穴を形成することができるので、半導体製造産業に広く好適である。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置の正面図である。
【図２】ＴＡＢの説明図である。
【図３】検査装置のシステム図である。
【図４】タッチパネルのモード選択画面である。
【図５】顕微鏡モードにおける制御のフローチャートである。
【図６】第１ＮＧ処理のフローチャートである。
【図７】タッチパネルの顕微鏡チェック画面である。
【図８】タッチパネルの再開方法選択画面である。
【図９】第１ＮＧ処理の再検査選択時の動作図である。
【図１０】第１ＮＧ処理のパンチ実行選択時の動作図である。
【図１１】第１ＮＧ処理のパンチせず選択時の動作図である。
【図１２】第２ＮＧ処理のフローチャートである。
【図１３】第２ＮＧ処理の再検査選択時の動作図である。
【図１４】第２ＮＧ処理のパンチ実行選択時の動作図である。
【図１５】第２ＮＧ処理のパンチせず選択時の動作図である。
【図１６】パンチモードにおける制御のフローチャートである。
【図１７】パンチ処理のフローチャートである。
【図１８】第３ＮＧ処理のフローチャートである。
【図１９】第２の実施の形態に係る顕微鏡モードにおける制御のフローチャートである。
【図２０】第４ＮＧ処理のフローチャートである。
【図２１】第２ＮＧ処理のパンチ実行選択時の動作図である。
【図２２】第３の実施の形態に係るタッチパネルの顕微鏡チェック画面である。
【図２３】第５ＮＧ処理のフローチャートである。
【図２４】第４の実施の形態に係るタッチパネルの顕微鏡チェック画面である。
【図２５】第６ＮＧ処理のフローチャートである。
【符号の説明】
【００８４】
１          検査装置
１０        巻出リール
１３ａ〜１３ｃ    駆動ローラ
２０        第１ラインセンサ
２１        第２ラインセンサ
２４        顕微鏡
２５        パンチ装置
１００      移送用コントローラ
１０２      タッチパネル
１１０      画像用コントローラ
【図１】
2007281123.tif 000003
【図２】
2007281123.tif 000004
【図３】
2007281123.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007281123.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007281123.tif 000009
【図８】
2007281123.tif 000010
【図９】
2007281123.tif 000011
【図１０】
2007281123.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2007281123.tif 000015
【図１４】
2007281123.tif 000016
【図１５】
2007281123.tif 000017
【図１６】
2007281123.tif 000018
【図１７】
2007281123.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2007281123.tif 000021
【図２０】
2007281123.tif 000022
【図２１】
2007281123.tif 000023
【図２２】
2007281123.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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