(57)【要約】【課題】紫外線波長域に吸収帯のある被測定ガスを検出できる光学式ガス検知装置を提供する。【解決手段】光学式ガス検知装置１００として、紫外線を放射する紫外線光源１１０と、紫外線を検出する紫外線検出素子１２０とを備え、紫外線光源１１０から紫外線検出素子１２０に到る紫外線の光路上に被測定ガスが導入され、被測定ガスによる紫外線の吸収度合いを紫外線検出素子１２０により検出して、被測定ガスの濃度を測定するようにした。【選択図】図１
2007232402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線を放射する紫外線光源と、
紫外線を検出する紫外線検出素子とを備え、
前記紫外線光源から前記紫外線検出素子に到る紫外線の光路上に被測定ガスが導入され、
前記被測定ガスによる紫外線の吸収度合いを前記紫外線検出素子により検出して、前記被測定ガスの濃度を測定することを特徴とする光学式ガス検知装置。
【請求項２】
前記被測定ガスは、単原子からなる分子であることを特徴とする請求項１に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項３】
前記被測定ガスは、酸素及び水素の少なくとも一方であることを特徴とする請求項２に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項４】
前記紫外線光源は、所定波長域を含む紫外線を放射するものであり、
前記紫外線の光路上に配置され、所定波長の紫外線を選択的に透過する波長選択フィルタを備えることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項５】
前記波長選択フィルタは、前記紫外線検出素子上に積層され、接着剤を介して固定されていることを特徴とする請求項４に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項６】
前記接着剤は、無機系材料からなる接着剤であることを特徴とする請求項５に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項７】
前記波長選択フィルタは、金属膜を多層に積層してなる多層膜フィルタであることを特徴とする請求項４〜６いずれか１項に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項８】
前記被測定ガスとして、吸収波長の異なる複数のガスを測定対象とし、
それぞれの前記ガスに応じて、前記多層膜フィルタと前記紫外線検出素子が配置されていることを特徴とする請求項７に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項９】
前記多層膜フィルタとして、前記被測定ガスの吸収波長とは異なる波長の紫外線を透過するリファレンス用フィルタを含み、
前記紫外線検出素子として、前記リファレンス用フィルタを透過した紫外線を検出するリファレンス用検出素子を含むことを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項１０】
前記波長選択フィルタは、透過波長を調整可能な可変式フィルタであることを特徴とする請求項４〜６いずれか１項に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項１１】
前記紫外線光源から前記紫外線検出素子に到る紫外線の光路を内部空間に含むハウジングを備え、
前記ハウジング内の空間に、前記被測定ガスが導入されることを特徴とする請求項１〜１０いずれか１項に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項１２】
前記ハウジングの内壁面上に、紫外線の反射層が設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項１３】
前記反射層は、白色塗料による塗布層であることを特徴とする請求項１２に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項１４】
前記反射層は、金属材料によるコーティング層であることを特徴とする請求項１２に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項１５】
前記反射層の表面に、無機系材料からなり、前記反射層よりも紫外線透過率の高い保護層が設けられていることを特徴とする請求項１２〜１４いずれか１項に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項１６】
前記ハウジング内壁面の表面粗さが、前記紫外線検出素子にて検出される紫外線の検出波長の３倍以下に調整されていることを特徴とする請求項１１〜１５いずれか１項に記載の光学式ガス検知装置。
【請求項１７】
前記ハウジング内壁面の表面粗さが、前記紫外線検出素子にて検出される紫外線の検出波長以下に調整されていることを特徴とする請求項１６に記載の光学式ガス検知装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学式ガス検知装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学式ガス検知装置として、赤外線を用いたＮＤＩＲ（非分散赤外線）方式のガス検知装置が知られている（例えば特許文献１参照）。この光学式ガス検知装置は、赤外線を放射する赤外線光源と、赤外線を検出する赤外線センサとを含んでいる。
【０００３】
ところで、ＣＯ２やＮＨ３等の多原子からなる分子（以下多原子分子と示す）は、原子間の固有振動周波数（言い換えれば振動に起因する吸収帯）が赤外線波長域にあるため、所定波長の赤外線を吸収する特性がある。したがって、上述の光学式ガス検知装置によって検出することが可能である。
【特許文献１】特開２００５−２０８００９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
これに対し、例えばＯ２やＨ２等の単原子からなる分子は、固有振動周波数が紫外線波長域にあるため、特許文献１に示すような光学式ガス検知装置では検出することができない。
【０００５】
本発明は上記問題点に鑑み、紫外線波長域に吸収帯のある被測定ガスを検出できる光学式ガス検知装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成する為に請求項１に記載の光学式ガス検知装置は、紫外線を放射する紫外線光源と、紫外線を検出する紫外線検出素子とを備え、紫外線光源から紫外線検出素子に到る紫外線の光路上に被測定ガスが導入され、被測定ガスによる紫外線の吸収度合いを紫外線検出素子により検出して、被測定ガスの濃度を測定することを特徴とする。
【０００７】
このように本発明によれば、紫外線波長域（Ｘ線との境界〜可視光との境界（４００ｎｍ））に吸収帯のある被測定ガスを検出することができる。したがって、請求項２に記載のように、固有振動周波数（言い換えれば振動に起因する吸収帯）が紫外線波長域にある、単原子からなるガス分子（例えば等核二原子分子）を検出することができる。具体的には、請求項３に記載のように、酸素及び水素の少なくとも一方を被測定ガスとすることができる。
【０００８】
請求項４に記載のように、紫外線光源が、所定波長域を含む紫外線を放射する構成においては、光学式ガス検知装置として、紫外線の光路上に配置され、所定波長の紫外線を選択的に透過する波長選択フィルタを備えることが好ましい。これにより、紫外線検出素子が、被測定ガスにて一部吸収された紫外線を選択的に検出することができる。すなわち、被測定ガスの濃度を測定することができる。なお、紫外線光源が、所定波長の紫外線を放射する構成においては、波長選択フィルタは特に不要である。
【０００９】
請求項５に記載のように、波長選択フィルタを、紫外線検出素子上に積層し、接着剤を介して固定しても良い。このように集積することで、装置の体格を小型化することができる。なお、有機系材料からなる接着剤の場合、紫外線の影響で劣化しやすい。したがって、請求項６に記載のように、無機系材料からなる接着剤を採用することが好ましい。
【００１０】
波長選択フィルタとしては、例えば請求項７に記載のように、金属膜を多層に積層してなる多層膜フィルタを採用しても良い。多層膜フィルタの場合、金属膜の構成によって、所定波長の紫外線を選択的に透過することができる。
【００１１】
また、請求項８に記載のように、測定ガスとして、吸収波長の異なる複数のガスを測定対象とする際には、それぞれのガスに応じて、多層膜フィルタと紫外線検出素子を配置すれば良い。このように構成することで、１つの装置として、複数のガスを検出することが可能となる。
【００１２】
なお、請求項９に記載のように、多層膜フィルタとして、被測定ガスの吸収波長とは異なる波長の紫外線を透過するリファレンス用フィルタを含み、紫外線検出素子として、リファレンス用フィルタを透過した紫外線を検出するリファレンス用検出素子を含むと良い。これにより、温度依存性や紫外線光源の劣化による影響を除去することができる。
【００１３】
上述した多層膜フィルタ以外にも、波長選択フィルタとして、例えば請求項１０に記載のように、透過波長を調整可能な可変式フィルタを採用しても良い。可変式フィルタの場合、透過波長を任意で調整することができる。したがって、１つの可変式フィルタと紫外線検出素子とで、吸収波長の異なる複数のガスを測定することが可能である。また、リファレンスを不要とすることもできる。このような可変式フィルタとしては、例えばファブリペローフィルタや回折格子を採用することができる。
【００１４】
なお、請求項１〜１０いずれか１項に記載の光学式ガス検知装置においては、請求項１１に記載のように、紫外線光源から紫外線検出素子に到る紫外線の光路を内部空間に含むハウジングを備え、ハウジング内の空間に、被測定ガスが導入される構成を採用しても良い。このように、ハウジング内に、紫外線光源と紫外線検出素子（必要に応じて波長選択フィルタ）を配置し、ハウジング内の空間に導入される被測定ガスを検出する構成が実用的である。
【００１５】
請求項１２に記載のように、ハウジングの内壁面上に、紫外線の反射層を設けることが好ましい。これによって、紫外線によるハウジングの劣化を防ぐことができる。また、紫外線検出素子の検出感度を向上することができる。
【００１６】
具体的には、請求項１３に記載のように、反射層として白色塗料による塗布層を採用しても良い。紫外線は、白色に対する反射効率が他の色に比べて大きいので、反射層として好適である。特に、有機材料よりも無機材料からなる白色塗料の方が、劣化に対しては好ましい。
【００１７】
請求項１４に記載のように、反射層として金属材料によるコーティング層を採用しても良い。金属表面での反射効率は樹脂やセラミック等に比べると大きいので、反射層として好適である。
【００１８】
また、請求項１５に記載のように、反射層の表面に、無機系材料からなり、反射層よりも紫外線透過率の高い保護層を設けると良い。これにより、反射層（塗布層、コーティング層）が紫外線により劣化し、剥離するのを防ぐことができる。すなわち、反射層をハウジング内壁面上に維持することができる。また、紫外線透過率が高いので、保護層による反射効率の低下を極力抑制することができる。
【００１９】
請求項１６に記載のように、ハウジング内壁面の表面粗さを、紫外線検出素子にて検出される紫外線の検出波長の３倍以下に調整すると良い。表面粗さが大きくなるほど反射効率が小さくなる。特に検出波長の３倍を超えると、反射効率が小さくなることが知られている。したがって、本発明の構成を採用することで、紫外線の反射効率を高めることができる。すなわち、紫外線によるハウジングの劣化を防ぎ、紫外線検出素子の検出感度を向上することができる。なお、請求項１７に記載のように、ハウジング内壁面の表面粗さを、紫外線検出素子にて検出される紫外線の検出波長以下に調整すると、より紫外線の反射効率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る光学式ガス検知装置の概略断面図である。図２は、波長選択フィルタと紫外線検出素子との積層構造を示す概略断面図である。図３は、ハウジングの断面構造であり、（ａ）は反射層を、（ｂ）は反射層と保護層を設けた例を示す図である。
【００２１】
本実施形態に係る光学式ガス検知装置は、紫外線波長域に吸収帯のある被測定ガスを検出することを目的として構成されている。図１に示す光学式ガス検知装置１００は、紫外線を放射する紫外線光源１１０、紫外線を検出する紫外線検出素子１２０、紫外線光源から紫外線検出素子に到る紫外線の光路上に配置された波長選択フィルタ１３０、及びこれら１１０〜１３０を収容するハウジング１４０とにより構成されている。
【００２２】
紫外線光源１１０としては、被測定ガスの吸収帯に応じた波長の紫外線を放射するものであれば採用することができる。本実施形態においては、被測定ガスの吸収帯に合わせて、２００ｎｍ〜４００ｎｍ（紫外及び近紫外）の広い放射波長域をもつ光源を採用している。具体的には、エキシマランプや水銀ランプを採用している。
【００２３】
紫外線検出素子１２０としては、紫外線を検出できるものであれば、光導電型でも良いし、光起電力型でも良い。本実施形態においては、波長選択フィルタ１３０を透過した紫外線の強度に応じた電気信号を出力する、ＧａＡｓ等の化合物半導体からなるフォトダイオードを採用している。
【００２４】
波長選択フィルタ１３０は、例えば紫外線光源１１０として広い放射波長域をもつ光源を採用した場合に、被測定ガスの吸収帯に応じた所定波長（又は所定波長域）の紫外線のみを選択的に透過させて、紫外線検出素子１２０に受光させるためのものである。本実施形態においては、波長選択フィルタ１３０として透過波長を任意で調整することのできるファブリペローフィルタを採用している。ファブリペローフィルタは、例えばＭｏ、Ｓｉ、Ｇｅなどで構成された透過膜をギャップ間に挟んで対向させ、ギャップ間隔を任意に変更可能とすることで、ギャップ間で多重反射を起こさせる可変式のフィルタであり、例えばMEMS技術を用いて形成することができる（例えば本出願人が先に出願した特開２００５−２１５３２３号公報を参照）。このような可変式のフィルタとしては、ファブリペローフィルタ以外にも、回折格子などを採用することができる。
【００２５】
また、本実施形態においては、図２に示すように、波長選択フィルタ１３０を紫外線検出素子１２０上に積層配置し、接着剤１５０を介して固定している。このように両者を積層配置する構造を採用すると、装置１００の体格を小型化することができる。なお、図２において、符号１５１は、紫外線検出素子１２０を構成する基板上に波長選択フィルタ１３０を離間して支持するための支持部を示している。この支持部１５１は必須の構成ではなく、波長選択フィルタ１３０を紫外線検出素子１２０の受光面に対して直接配置し、接着剤１５０を介して固定することも可能である。この場合、装置１００の体格をより小型化することができる。
【００２６】
なお、上述した接着剤１５０として、有機系材料（高分子材料）からなる接着剤を用いると、有機系材料（高分子材料）が紫外線の影響で劣化するため、長期的な接続信頼性を確保することが困難である。これに対し、本実施形態においては、有機系材料（高分子材料）よりも耐久性を有する無機系材料からなる接着剤（例えばシリコン系接着剤）を、接着剤１５０として採用している。したがって、長期的な接続信頼性を確保することが可能である。
【００２７】
ハウジング１４０は、例えば合成樹脂やＡｌ等の金属を構成材料とし、紫外線光源１１０、紫外線検出素子１２０、及び波長選択フィルタ１３０を内部に収容し、紫外線光源１１０から紫外線検出素子１２０に到る紫外線の光路を制限するように構成されている。言い換えれば、紫外線光源１１０から紫外線検出素子１２０に到る紫外線の光路を内部空間に含むように構成されている。本実施形態においては、筒状部材の両端部（開口端部）を蓋してハウジング１４０が構成されており、一方の端部（蓋部）に紫外線光源１１０が配置され、他方の端部（蓋部）に紫外線検出素子１２０が配置されている。したがって、紫外線光源１１０から放射された紫外線は、波長選択フィルタ１３０を介して直接紫外線検出素子１２０に入射するか、或いは、ハウジング１４０にて反射された後に、波長選択フィルタ１３０を介して直接紫外線検出素子１２０に入射するように構成されている。このように、ハウジング１４０によって紫外線の光路を制限することで、紫外線検出素子１２０の検出感度を向上（受光効率を向上）することができる。なお、図１において、符号１４１は、ハウジング１４０の筒状部分に設けられた、ハウジング１４０の外部とハウジング１４０の内部空間との間で、被測定ガスを流通可能とする窓部１４１である。
【００２８】
また、図３（ａ）に示すように、本実施形態においては、紫外線検出素子１２０の検出感度をさらに向上（受光効率を向上）するために、ハウジング１４０の内壁面に紫外線の反射層１４２を設けている。これによって、ハウジング１４０の内壁面における反射効率が向上するので、紫外線検出素子１２０の検出感度が向上する。また、紫外線によるハウジング１４０の劣化を防ぐことができる。特にハウジング１４０が合成樹脂からなる場合には効果的である。
【００２９】
このような反射層１４２としては、例えば白色塗料による塗布層を採用することができる。白色の紫外線反射効率が他の色の紫外線反射効率に比べて大きいので、反射層１４２として好適である。特に無機材料からなる白色塗料を用いると、有機材料からなる白色塗料を用いる場合に比べて、反射層１４２の劣化を防ぐことができる。このような無機材料としては、例えば公知の白色顔料（例えばＺｎＯ、ＴｉＯ２、リトポン）を採用することができる。
【００３０】
また、反射層１４２としては、上述の白色塗布層以外にも、例えば金属材料によるコーティング層を採用することができる。金属表面での反射効率は樹脂やセラミック等に比べると大きいので、反射層として好適である。このような金属材料としては、紫外線反射効率の高いＡｇ、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｐｔを採用することが好ましく、これらの材料をスパッタ、ＣＶＤ、メッキ等の方法を用いてハウジング１４０の内壁面に成膜し、反射層１４２とすれば良い。
【００３１】
なお、構成材料自体が紫外線に対する耐久性を有するものであれば、反射層１４２をそのまま露出させることも可能である。しかしながら、図３（ｂ）に示すように、反射層１４２の表面に、無機系材料からなり、反射層１４２よりも紫外線透過率の高い保護層１４３を設けると良い。これにより、反射層１４２が紫外線により劣化し、ハウジング１４０から剥離するのを防ぐことができる。すなわち、反射層１４２をハウジング１４０の内壁面上に維持することができるので、剥離による反射効率の低下を防ぐことができる。また、紫外線透過率が高いので、保護層１４３による反射効率の低下を極力抑制することができる。保護層１４３の構成材料としては、例えば紫外線透過率の高いＭｇＦ２、ＳｉＯ２、ＳｉＮ、ＳｉＯＮを採用することができる。なかでもフッ素含有のシリカガラスが好適である。
【００３２】
ところで、紫外線（光）反射表面の表面粗さが大きくなるほど紫外線（光）の反射効率が小さくなり、特に検出波長の３倍を超えると反射効率が急激に小さくなることが知られている。そこで、本実施形態においては、ハウジング１４０の内壁面（その内壁面上に形成された反射層１４２等を含む）の表面粗さを、紫外線検出素子１２０にて検出される紫外線の検出波長（換言すれば被測定ガスの吸収波長）の３倍以下（例えば１．２μｍ以下）となるように調整している。したがって、紫外線の反射効率を高めることができる。すなわち、紫外線によるハウジング１４０の劣化を防ぎ、紫外線検出素子１２０の検出感度を向上することができる。なお、ハウジング１４０の内壁面の表面粗さを、紫外線検出素子１２０にて検出される紫外線の検出波長以下（例えば０．２μｍ以下）となるように調整すると、より紫外線の反射効率を高めることができる。
【００３３】
このように構成される光学式ガス検知装置１００においては、上述したように、波長選択フィルタ１３０として、透過波長を任意に調整可能な可変式のファブリペローフィルタを採用している。したがって、図１に示すように、１つの波長選択フィルタ１３０と紫外線検出素子１２０とで、吸収波長の異なる複数のガスを測定することが可能である。また、被測定ガスの紫外線吸収量の温度依存性や紫外線光源１１０の劣化による紫外線量（強度）の変化の影響を除去することを目的として、被測定ガスの吸収波長とは異なる波長の紫外線を検出するリファレンスの機能も果たすことができる。すなわち、装置１００の体格を小型化することができる。
【００３４】
このように本実施形態に係る光学式ガス検知装置１００によれば、紫外線波長域に吸収帯のある被測定ガス、例えば固有振動周波数（言い換えれば振動に起因する吸収帯）が紫外線波長域にある単原子分子（例えば等核二原子分子）を検出することができる。このような単原子分子としては、例えば酸素や水素がある。本実施形態においては、酸素を被測定ガスとしている。酸素は固有振動周波数が２００〜２４０ｎｍであるので、３００ｎｍ程度の波長をリファレンスとし、紫外線検出素子１２０の、酸素に対応する波長の紫外線検出時の電気信号とリファレンスに対応する波長の紫外線検出時の電気信号とを比較して、酸素のガス濃度を算出するようにしている。なお、被測定ガスとして、酸素と水素を検出することも可能である。
【００３５】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
【００３６】
本実施形態においては、波長選択フィルタ１３０を紫外線検出素子１２０上に積層配置する例を示した。しかしながら、波長選択フィルタ１３０の配置は上記例に限定されるものではない。紫外線の光路上であれば良い。例えば、紫外線光源１１０上に積層配置しても良い。
【００３７】
また、本実施形態においては、波長選択フィルタ１３０として、可変式のフィルタ（一例としてファブリペローフィルタ）を採用する例を示した。しかしながら、可変式のフィルタ以外にも、金属膜を多層に積層してなる多層膜フィルタを採用することができる。この多層膜フィルタは、屈折率の異なる金属膜を交互に積層してなる公知のものであり、金属膜の構成によって、所定波長の紫外線を選択的に透過することができる。したがって、吸収波長の異なる複数のガスを測定対象とする際には、例えば図４に示すように、それぞれのガスに応じて波長選択フィルタ１３０（１３１，１３２）と紫外線検出素子１２０（１２１，１２２）を配置すれば良い。また、リファレンスを必要とする場合には、図４に示すように、波長選択フィルタ１３０として被測定ガスの吸収波長とは異なる波長の紫外線を透過するリファレンス用フィルタ１３３を、紫外線検出素子１２０として、リファレンス用フィルタ１３３を透過した紫外線を検出するリファレンス用検出素子１２３を配置すれば良い。図４は、変形例を示す断面図である。
【００３８】
また、本実施形態においては、紫外線光源１１０として、被測定ガスの吸収帯に合わせて、２００ｎｍ〜４００ｎｍ（紫外及び近紫外）の広い放射波長域をもつ光源（例えばエキシマランプや水銀ランプ）を採用する例を示した。しかしながら、紫外線光源１１０は上記例に限定されるものではない。被測定ガスの吸収帯に応じた波長の紫外線を放射するものであれば採用することができる。具体的には、ＬＥＤ（例えば３族窒化物半導体等による）やレーザ（ＡｒＦレーザ、Ｆ２レーザ、ＬＤ等）を採用することができる。これらは、放射波長域が狭く、指向性も高いので、紫外線検出素子１２０の検出感度を向上することができる。また、図５に示すように、波長選択フィルタ１３０を不要とすることも可能であり、これにより装置１００の体格を小型化することができる。さらにＬＥＤやＬＤは小型の発光素子であるので、これによっても装置１００の体格を小型化することができる。なお、吸収波長の異なる複数のガスを被測定ガスとする場合には、それぞれの吸収波長に対応する波長の紫外線を放射する紫外線光源１１０と、紫外線光源１１０に対応する紫外線検出素子１２０を配置すれば良い。また、リファレンスを必要とする場合には、被測定ガスの吸収波長とは異なる波長の紫外線を放射するリファレンス用の紫外線光源１１０と、リファレンス用の紫外線光源１１０に対応するリファレンス用の紫外線検出素子１２０を配置すれば良い。図５は、変形例を示す断面図である。
【００３９】
また、本実施形態においては、筒状部材の両端部（開口端部）を蓋してハウジング１４０が構成されており、一方の端部（蓋部）に紫外線光源１１０が配置され、他方の端部（蓋部）に紫外線検出素子１２０が配置される例を示した。しかしながら、ハウジング１４０の構成、ハウジング１４０における紫外線光源１１０と紫外線検出素子１２０の配置は上記例に限定されるものではない。例えば、紫外線光源１１０から放射された紫外線が、反射鏡を介して、紫外線検出素子１２０に到達するように、紫外線光源１１０と紫外線検出素子１２０がハウジング１４０の同一端部に配置されても良い。
【００４０】
また、本実施形態においては、ハウジング１４０内に、紫外線光源１１０、紫外線検出素子１２０、及び波長選択フィルタ１３０を配置する例を示した。しかしながら、ハウジング１４０を含まない構成としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光学式ガス検知装置の概略断面図である。
【図２】波長選択フィルタと紫外線検出素子との積層構造を示す概略断面図である。
【図３】ハウジングの断面構造であり、（ａ）は反射層を、（ｂ）は反射層と保護層を設けた例を示す図である。
【図４】変形例を示す断面図である。
【図５】変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１００・・・光学式ガス検知装置
１１０・・・紫外線光源
１２０・・・紫外線検出素子
１２２・・・リファレンス用検出素子
１３０・・・波長選択フィルタ
１３３・・・リファレンス用フィルタ
１４０・・・ハウジング
１４２・・・反射層
１４３・・・保護層
１５０・・・接着剤
【図１】
2007232402.tif 000003
【図２】
2007232402.tif 000004
【図３】
2007232402.tif 000005
【図４】
2007232402.tif 000006
【図５】
2007232402.tif 000007