(57)【要約】【課題】封入液室と伝導穴との封入液の移動を円滑にすること、および本体ボディからの熱がシールダイアフラムに伝達しづらいような構造の差圧測定装置を提供する。【解決手段】高圧側バックプレート面は、本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と低圧側過大圧伝導穴の端を備え、前記低圧側バックプレート面は、本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と高圧側過大圧伝導穴の端を備え、高圧側保護ダイアフラムは、高圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備え、低圧側保護ダイアフラムは、低圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
差圧センサを内蔵する本体ボディのバックプレート面の略中央位置に差圧センサに連通する伝導穴の開口を設けてこの開口を取り巻くように環状の凹部を形成し、
この凹部に保護ダイアフラムを固定するとともにその保護ダイアフラムを覆うようにシールダイアフラムを本体ボディに固定したことを特徴とする差圧測定装置。
【請求項２】
対向する２つのバックプレート面を持つと共に差圧センサを内蔵する本体ボディと、前記対向する２つのバックプレート面に固定される一対の保護ダイアフラムと、前記保護ダイアフラムを覆うように前記本体ボディに固定される一対のシールダイアフラムで構成される差圧カプセルであって、
前記対向する２つのバックプレート面は外側に凸状の湾曲面として形成され、
その凸状の湾曲面の任意の位置に前記差圧センサに連通している伝導穴の開口を配置すると共に、前記保護ダイアフラムを収納するための前記伝導穴の開口を取り巻く環状の凹部を形成した
ことを特徴とする差圧測定装置。
【請求項３】
前記保護ダイアフラムは、中央または略中央に開口部を持つ平円板で形成され、前記対向する２つのバックプレート面の環状の凹部に装着されると共に、中央部と外周部で気密に固定されることを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。
【請求項４】
前記シールダイアフラムは、中央部が平坦で外周部に折り返しを有する平円板で形成され、前記対向する２つのバックプレート面に固定された保護ダイアフラムを覆うと共に、折り返しの先端部で前記本体ボディの段差の側面に気密に固定されることを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。
【請求項５】
前記対向する２つのバックプレート面の中央位置に伝導穴の開口が設けられると共に、それぞれ差圧センサの一方に連通していることを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。
【請求項６】
前記保護ダイアフラムを収納するための前記伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部の任意の位置に過大圧伝導穴の開口が設けられると共に、該過大圧伝導穴が反対側の伝導穴と連通することを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。
【請求項７】
前記本体ボディの内部には封入液が充填され、前記シールダイアフラムと前記保護ダイアフラムとの間は一定の間隔を保つように封入液の量が調整されることを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。
【請求項８】
高圧側バックプレート面と、前記高圧側バックプレート面の反対側に形成される低圧側バックプレート面と、内蔵された差圧センサと、高圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される高圧側伝導穴と、低圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される低圧側伝導穴と、前記低圧側伝導穴に連通する低圧側過大圧伝導穴と、前記高圧側伝導穴に連通する高圧側過大圧伝導穴とを有する本体ボディと、
前記高圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する高圧側保護ダイアフラムと、
前記低圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する低圧側保護ダイアフラムと、
前記高圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記高圧側の圧力を受ける高圧側シールダイアフラムと、
前記低圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記低圧側の圧力を受ける低圧側シールダイアフラムと
を備える差圧測定装置であって、
前記高圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記低圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記低圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記高圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記高圧側保護ダイアフラムは、前記高圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備え、
前記低圧側保護ダイアフラムは、前記低圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備える
ことを特徴とする差圧測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、差圧測定装置に関し、詳しくは過大圧保護構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
図５は、従来の差圧測定装置の一例を示す構成図である。図５の差圧測定装置は、測定対象プロセスの高圧側と低圧側の圧力差を電気信号に変換する圧力検出部１１と、この圧力検出部１１で生成された電気信号を増幅する増幅部１２とで構成されている。
【０００３】
圧力検出部１１は、高圧側の圧力を導入する高圧力導入部を形成する高圧側フランジ１３と、低圧側の圧力を導入する低圧力導入部を形成する低圧側フランジ１４と、これら高圧側フランジ１３と低圧側フランジ１４に導入される圧力差を検出するダイアフラムよりなる受圧部（差圧カプセル）１５とで構成されている。このように構成される圧力検出部１１は、高圧側フランジ１３と低圧側フランジ１４がナット１６とボルト１７で係止されている。
【０００４】
図６は従来の差圧カプセル１５の一例を示す構成図である。差圧センサ５０を内蔵する本体ボディ６１の一方の面には高圧側バックプレート面５１が形成され、他方の面には低圧側バックプレート面５２が形成されている。これら高圧側バックプレート面５１と低圧側バックプレート面５２は、外側に凸状の湾曲面として形成されている。
【０００５】
高圧側バックプレート面５１には、高圧側バックプレート面５１との間に低圧側過大圧室５８を形成するように高圧側予加重ダイアフラム５３が配置固着されている。さらに、高圧側予加重ダイアフラム５３を覆い圧力伝達媒体６２としての封入液を封入する高圧側シールダイアフラム室５４が形成されるようにして高圧側シールダイアフラム６３が設けられ、その外周端部は本体ボディ６１に溶接等により気密に取り付けられている。
【０００６】
低圧側バックプレート面５２には、低圧側バックプレート面５２との間に高圧側過大圧室５７を形成するように低圧側予加重ダイアフラム５６が配置固着されている。さらに、低圧側予加重ダイアフラム５６を覆い圧力伝達媒体６２を封入する低圧側シールダイアフラム室５９が形成されるようにして低圧側シールダイアフラム６４が設けられ、その外周端部は本体ボディ６１に溶接等により気密に取り付けられている。
【０００７】
高圧側予加重ダイアフラム５３と低圧側予加重ダイアフラム５６は、組み立て前は平板状になっているが、高圧側バックプレート面５１および低圧側バックプレート面５２に組み立て固着するのにあたり、各バックプレート面に沿って凸状に湾曲するように圧力を加える。
【０００８】
本体ボディ６１には、高圧側過大圧伝導穴６０と低圧側伝導穴６５と低圧側過大圧伝導穴６６と高圧側伝導穴６８が設けられている。
【０００９】
高圧側過大圧伝導穴６０の一端は高圧側過大圧室５７に開口連通し、他端は高圧側伝導穴６８を介して高圧側シールダイアフラム室５４に連通するとともに差圧センサ５０の一方に連通している。
【００１０】
低圧側過大圧伝導穴６６の一端は低圧側過大圧室５８に開口連通し、他端は低圧側伝導穴６５を介して低圧側シールダイアフラム室５９に連通するとともに差圧センサ５０の他方に連通している。
【００１１】
このような構成において、低圧側シールダイアフラム６４に低圧側の圧力Ｐが加わると圧力伝達媒体６２に伝達され、さらに低圧側伝導穴６５を介して差圧センサ５０の他方の面に圧力Ｐが伝達される。また、この低圧側の圧力Ｐは、低圧側過大圧伝導穴６６を介して高圧側予加重ダイアフラム５３を加圧する。
【００１２】
ここで、高圧側予加重ダイアフラム５３は本来平板であるものを凸状に変形させているので、その復元力が圧力Ｐに対抗することになって変位しない。
高圧側予加重ダイアフラム５３と低圧側予加重ダイアフラム５６の復元力は最大測定圧力の約２倍に相当するように凸状の形状が設計されている。したがって、約２倍を超える圧力が加わることにより、高圧側予加重ダイアフラム５３と低圧側予加重ダイアフラム５６は変位しはじめることになる。
【００１３】
高圧側予加重ダイアフラム５３が変位すると圧力伝達媒体６２を移動させ、低圧側シールダイアフラム６４も変位する。そして、圧力Ｐが最大測定圧力の２倍を超えて約３倍になると、図７に示すように低圧側シールダイアフラム６４は低圧側予加重ダイアフラム５６に着座し、それ以上変位しなくなる。圧力Ｐが最大測定圧力の約３倍を超えても、低圧側シールダイアフラム６４は低圧側予加重ダイアフラム５６に接しているため圧力伝達媒体６２の圧力は約３倍以上には上昇せず、差圧センサ５０は約３倍以上の圧力を受けることはない。
【００１４】
【特許文献１】特開２００５−２０７７４３号公報（第６頁〜第７頁  第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかし、従来技術で説明した差圧測定装置は、圧力伝達媒体６２としての封入液を封入する高圧側シールダイアフラム室５４への伝導穴６８と低圧側シールダイアフラム室５９への低圧側伝導穴６５が、それぞれ高圧側シールダイアフラム６３と低圧側シールダイアフラム６４の外周端部近傍に設けられているために、これら高圧側シールダイアフラム６３と低圧側シールダイアフラム６４に加えられる圧力差に応じた圧力伝達媒体６２の移動が不確実であるという問題がある。
【００１６】
また、高圧側シールダイアフラム６３と低圧側シールダイアフラム６４の外周端部を本体ボディ６１に直接取り付ける構造であるため、本体ボディ６１の熱膨張が直接これら高圧側シールダイアフラム６３と低圧側シールダイアフラム６４に伝わってしまい、シールダイアフラム６３、６４が熱による変化を受けやすいという問題もある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するために、本発明の差圧測定装置は、以下に示すように構成する。
【００１８】
（１）差圧センサを内蔵する本体ボディのバックプレート面の略中央位置に差圧センサに連通する伝導穴の開口を設けてこの開口を取り巻くように環状の凹部を形成し、
この凹部に保護ダイアフラムを固定するとともにその保護ダイアフラムを覆うようにシールダイアフラムを本体ボディに固定したことを特徴とする差圧測定装置。
（２）対向する２つのバックプレート面を持つと共に差圧センサを内蔵する本体ボディと、前記対向する２つのバックプレート面に固定される一対の保護ダイアフラムと、前記保護ダイアフラムを覆うように前記本体ボディに固定される一対のシールダイアフラムで構成される差圧カプセルであって、
前記対向する２つのバックプレート面は外側に凸状の湾曲面として形成され、
その凸状の湾曲面の任意の位置に前記差圧センサに連通している伝導穴の開口を配置すると共に、前記保護ダイアフラムを収納するための前記伝導穴の開口を取り巻く環状の凹部を形成した
ことを特徴とする差圧測定装置。
（３）前記保護ダイアフラムは、中央または略中央に開口部を持つ平円板で形成され、前記対向する２つのバックプレート面の環状の凹部に装着されると共に、中央部と外周部で気密に固定されることを特徴とする（２）に記載の差圧測定装置。
（４）前記シールダイアフラムは、中央部が平坦で外周部に折り返しを有する平円板で形成され、前記対向する２つのバックプレート面に固定された保護ダイアフラムを覆うと共に、折り返しの先端部で前記本体ボディの段差の側面に気密に固定されることを特徴とする（２）に記載の差圧測定装置。
（５）前記対向する２つのバックプレート面の中央位置に伝導穴の開口が設けられると共に、それぞれ差圧センサの一方に連通していることを特徴とする請求項２に記載の差圧測定装置。
（６）前記保護ダイアフラムを収納するための前記伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部の任意の位置に過大圧伝導穴の開口が設けられると共に、該過大圧伝導穴が反対側の伝導穴と連通することを特徴とする（２）に記載の差圧測定装置。
（７）前記本体ボディの内部には封入液が充填され、前記シールダイアフラムと前記保護ダイアフラムとの間は一定の間隔を保つように封入液の量が調整されることを特徴とする（２）に記載の差圧測定装置。
（８）高圧側バックプレート面と、前記高圧側バックプレート面の反対側に形成される低圧側バックプレート面と、内蔵された差圧センサと、高圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される高圧側伝導穴と、低圧側の圧力を前記差圧センサに伝達する封入液が封入される低圧側伝導穴と、前記低圧側伝導穴に連通する低圧側過大圧伝導穴と、前記高圧側伝導穴に連通する高圧側過大圧伝導穴とを有する本体ボディと、
前記高圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する高圧側保護ダイアフラムと、
前記低圧側バックプレート面に密着固定され、過大圧のときに変位する低圧側保護ダイアフラムと、
前記高圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記高圧側の圧力を受ける高圧側シールダイアフラムと、
前記低圧側保護ダイアフラムを覆い前記本体ボディに固定され、前記低圧側の圧力を受ける低圧側シールダイアフラムと
を備える差圧測定装置であって、
前記高圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記高圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記低圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記低圧側バックプレート面は、前記本体ボディから突き出た凸状の曲面で形成されると共に、前記低圧側伝導穴の開口を取り巻いた環状の凹部と前記高圧側過大圧伝導穴の端を備え、
前記高圧側保護ダイアフラムは、前記高圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備え、
前記低圧側保護ダイアフラムは、前記低圧側伝導穴の開口が貫通する開口部を備える
ことを特徴とする差圧測定装置。
【発明の効果】
【００１９】
本提案によれば、バックプレート面の略中央位置に伝導穴の開口（入口）を設け、この開口を取り巻くようにした環状（同心円状）の凹部を形成し、この凹部に保護ダイアフラムを配置し、その保護ダイアフラムを覆うようにシールダイアフラムを本体ボディに固定した構造にすることで、シールダイアフラム裏側の封入液室への通路が本体ボディの中央にあるために封入液の移動が容易で、確実な過大圧保護が期待できるという効果がある。
【００２０】
また、シールダイアフラムの折り返しの先端部で本体ボディの段差の側面に気密に固定される構造にしたことにより、本体ボディからの熱を遮蔽するアイソレーション効果により、本体ボディとの熱膨張差によるシールダイアフラムの剛性変化を受けにくくするという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明に係る差圧測定装置の実施形態について、図面を参照して説明する。
「実施例１」
【００２２】
本発明の差圧測定装置と従来の差圧測定装置は、受圧部（差圧カプセル）の構造が相違する。図１および図２は、本発明で用いる差圧カプセルの一実施例を示す構成図である。図１および図２において、差圧センサ２３を内蔵する本体ボディ２４の一方の面には高圧側バックプレート面２１が形成され、他方の面には低圧側バックプレート面２２が形成されている。これら高圧側バックプレート面２１と低圧側バックプレート面２２は外側に凸状の湾曲面として形成されていて、これら湾曲面には高圧側保護ダイアフラム２５および低圧側保護ダイアフラム２６がそれぞれ取り付けられる。そしてさらにこれら高圧側保護ダイアフラム２５および低圧側保護ダイアフラム２６を覆うようにして、高圧側シールダイアフラム２７および低圧側シールダイアフラム２８がそれぞれ取り付けられる。なお、差圧センサ２３としては、ピエゾ抵抗式シリコンセンサや振動式シリコンセンサなどが用いられる。
【００２３】
高圧側バックプレート面２１の中央位置には差圧センサ２３の一方に連通する高圧側伝導穴３１の開口が設けられ、この開口を取り巻くようにして高圧側保護ダイアフラム２５を取り付けるための環状の高圧側凹部３２が形成されている。この高圧側凹部３２の外周端部の外側には高圧側シールダイアフラム２７の折り返し３８部分を密着結合するための段差３９が設けられている。また、高圧側バックプレート面２１の任意の位置、実施例では高圧側伝導穴３１の開口よりも上部位置には、低圧側伝導穴３４と連通する低圧側過大圧伝導穴３３の開口が設けられている。
【００２４】
低圧側バックプレート面２２の中央位置には差圧センサ２３の他方に連通する低圧側伝導穴３４の開口が設けられ、この開口を取り巻くようにして低圧側保護ダイアフラム２６を取り付けるための環状の低圧側凹部３５が形成されている。この低圧側凹部３５の外周端部の外側には低圧側シールダイアフラム２８の折り返し３８部分を密着結合するための段差３９が設けられている。また、低圧側バックプレート面２２の任意の位置、実施例では低圧側伝導穴３４の開口よりも上部位置には、高圧側伝導穴３１と連通する高圧側過大圧伝導穴３６の開口が設けられている。
【００２５】
高圧側保護ダイアフラム２５は、中央位置または略中央位置、実施例においては中央位置に開口部３７を持つ平円板で形成され、高圧側バックプレート面２１の環状の高圧側凹部３２に装着されると共に、図２に示す中央部（内周部）（ａ点）と外周部（ｂ点）の２箇所でレーザー溶接などにより気密に固定される。このように平板の高圧側保護ダイアフラム２５は、高圧側凹部３２の湾曲面に固定されているため、ある圧力までは湾曲面に密着した状態を維持する構造となっている。
【００２６】
低圧側保護ダイアフラム２６は、中央位置または略中央位置、実施例においては中央位置に開口部３７を持つ平円板で形成され、低圧側バックプレート面２２の環状の低圧側凹部３５に装着されると共に、図２に示す中央部（内周部）（ｃ点）と外周部（ｄ点）の２箇所でレーザー溶接などにより気密に固定される。このように平板の低圧側保護ダイアフラム２６は、低圧側凹部３５の湾曲面に固定されているため、ある圧力までは湾曲面に密着した状態を維持する構造となっている。
【００２７】
高圧側シールダイアフラム２７は、中央部が平坦で外周部に折り返し３８を有する平円板で形成され、高圧側バックプレート面２１に固定された高圧側保護ダイアフラム２５を覆うと共に、折り返し３８の先端部で本体ボディ２４の段差３９の側面（ｅ点）（図２参照）に溶接により気密に固定される。この高圧側シールダイアフラム２７の材質は、３１６ステンレス鋼やニッケル基合金が使用されている。
【００２８】
低圧側シールダイアフラム２８は、中央部が平坦で外周部に折り返し３８を有する平円板で形成され、低圧側バックプレート面２４に固定された低圧側保護ダイアフラム２６を覆うと共に、折り返し３８の先端部で本体ボディ２４の段差３９の側面（ｆ点）（図２参照）に溶接により気密に固定される。この低圧側シールダイアフラム２８の材質は、３１６ステンレス鋼やニッケル基合金が使用されている。
【００２９】
本体ボディ２４の伝導穴（高圧側伝導穴３１、低圧側伝導穴３４、高圧側過大圧伝導穴３６、低圧側過大圧伝導穴３３）には封入液が充填される。高圧側シールダイアフラム２７と高圧側保護ダイアフラム２５との間に形成される高圧側封入液室４１および低圧側シールダイアフラム２８と低圧側保護ダイアフラム２６との間に形成される低圧側封入液室４２は、一定の間隔を保つように封入液の量が調整されている。
【００３０】
このような構成において、高圧側に加えられた圧力Ｐが測定範囲内の圧力Ｐ１であるときには、図２および図４に示すように、高圧側シールダイアフラム２７を介して高圧側シールダイアフラム２７の裏側にある高圧側封入液室４１の封入液に伝達される。この封入液への圧力伝達は、高圧側伝導穴３４を通じて差圧センサ２３にも伝達されるとともに、高圧側バックプレート面２１に設けられた高圧側伝導穴３１と連通している高圧側過大圧伝導穴３６を通じて低圧側保護ダイアフラム２６の裏側にも伝達される。しかし、平板の低圧側保護ダイアフラム２６は強制的に低圧側バックプレート面２４の低圧側凹部３５の湾曲面に固定されているため、測定範囲内の圧力による封入液の伝達力が加わっても湾曲面に密着して離れず変位しない。
【００３１】
低圧側に加えられた測定範囲内の圧力Ｐの場合も同様に、低圧側シールダイアフラム２８を介して低圧側シールダイアフラム２８の裏側にある低圧側封入液室４２の封入液に伝達される。この封入液への圧力伝達は、低圧側伝導穴３４を通じて差圧センサ２３に伝達されるとともに、低圧側バックプレート面２２に設けられた低圧側伝導穴３４と連通している低圧側過大圧伝導穴３３を通じて高圧側保護ダイアフラム２５の裏側に伝達される。しかし、平板の高圧側保護ダイアフラム２５は強制的に高圧側バックプレート面２１の高圧側凹部３２の湾曲面に固定されているため、測定範囲内の圧力による封入液の伝達力が加わっても湾曲面に密着して離れず変位しない。
【００３２】
次に、高圧側に加えられた圧力Ｐが測定範囲を超えた圧力Ｐ２である場合には、図３および図４に示すように、高圧側シールダイアフラム２７に加えられた圧力が高圧側シールダイアフラム２７の裏側にある高圧側封入液室４１の封入液に伝達される。この封入液への圧力伝達は、高圧側伝導穴３１と連通している高圧側過大圧伝導穴３６を通じて低圧側保護ダイアフラム２６の裏側に伝達される。ここで、低圧側保護ダイアフラム２６は強制的に低圧側バックプレート面２４の低圧側凹部３５の湾曲面に固定されているため、測定範囲外の圧力による封入液の伝達力が加わると湾曲面に密着している状態から離れて変位する。
【００３３】
低圧側保護ダイアフラム２６が低圧側凹部３５の湾曲面から離れるように変位すると、その変位に応じて高圧側伝導穴３１に充填されている封入液が低圧側保護ダイアフラム２６の裏側に流れ込み、高圧側シールダイアフラム２７の裏側の封入液が低圧側保護ダイアフラム２６の裏側方向に移動する。この結果、高圧側シールダイアフラム２７の裏側の高圧側封入液室４１に存在していた封入液がなくなり、高圧側シールダイアフラム２７も変位して高圧側保護ダイアフラム２５に着座する。このときの圧力をＰ２とすると、これ以上の圧力を高圧側シールダイアフラム２７に加えても応答できなくなるため、差圧センサ２３への封入液による圧力伝達ができない。すなわち、差圧センサ２３は過大圧から保護されることになる。
【００３４】
低圧側に加えられた圧力Ｐが測定範囲を超えた圧力Ｐ２である場合も高圧側と同様に、高圧側保護ダイアフラム２５が高圧側凹部３２の湾曲面から離れ、低圧側シールダイアフラム２８が低圧側保護ダイアフラム２６に着座する。これにより、これ以上の圧力が加えられても差圧センサ２３への圧力の伝達はされないため、差圧センサ２３は過大圧から保護される。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
バックプレート面の略中央位置に伝導穴の開口を設け、この開口を取り巻くようにした環状の凹部を形成し、この凹部に保護ダイアフラムを配置し、その保護ダイアフラムを覆うようにシールダイアフラムを本体ボディに固定した構造にすることで、シールダイアフラム裏側の封入液室への通路が本体ボディの中央にあるために封入液の移動が容易で、確実な過大圧保護が期待できる差圧測定装置を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の差圧カプセルとシールダイアフラムおよび保護ダイアフラムの関係を示した説明図である。
【図２】同、差圧カプセルにシールダイアフラムおよび保護ダイアフラムを装着した様子を示す説明図である。
【図３】同、高圧側に過大圧が印加されたときのシールダイアフラムおよび保護ダイアフラムの変位状態を示した説明図である。
【図４】同、印加される圧力と保護ダイアフラムの変位との状態を示すグラフである。
【図５】差圧測定装置を示す外観図である。
【図６】従来技術における差圧カプセルの構成を示した説明図である。
【図７】同、過大圧が印加されたときの変位状態を示した説明図である。
【符号の説明】
【００３７】
１１      圧力検出部
１２      増幅部
１３      高圧側フランジ
１４      低圧側フランジ
１５      受圧部（差圧カプセル）
２１      高圧側バックプレート面
２２      低圧側バックプレート面
２３      差圧センサ
２４      本体ボディ
２５      高圧側保護ダイアフラム
２６      低圧側保護ダイアフラム
２７      高圧側シールダイアフラム
２８      低圧側シールダイアフラム
３１      高圧側伝導穴
３２      高圧側凹部
３３      低圧側過大圧伝導穴
３４      低圧側伝導穴
３５      低圧側凹部
３６      高圧側過大圧伝導穴
３７      開口部
３８      折り返し
４１      高圧側封入液室
４２      低圧側封入液室
【図１】
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【図２】
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【図３】
2007232580.tif 000005
【図４】
2007232580.tif 000006
【図５】
2007232580.tif 000007
【図６】
2007232580.tif 000008
【図７】
2007232580.tif 000009