(57)【要約】【課題】  半導体工場及びＬＣＤ工場等のクリーンルームで静電気放電（ＥＳＤ）及び微細塵埃によって発生する問題を防止して製品の収率と生産性を高めることができるイオナイジングファンフィルターユニットを提供する。【解決手段】  イオナイジングファンフィルターユニットは、ファンモーター制御部１２の制御によって駆動され、上部ケースにその一部が露出するように設置されたファンモーター２４と、イオン出力方式の選択によって高電圧が印加され、コロナ放電によって静電気を除去するためのイオンを発生させてファンモーター２４によって吸入される空気中に放出するイオン発生部１１と、下部ケース内に設置され、ファンモーター２４によって吸入された空気をフィルタリングし、フィルタリングした空気中にイオン発生部１１から発生されるイオンを拡散させるフィルタリング手段とが一体に構成されている。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部空気を取り込むためのものであり、ファンモーター制御手段の制御によって駆動され、上下が開放した下部ケースの上に積層された上部ケースにその一部が露出するように設置されたファンモーターと、
イオン出力方式の選択によって高電圧が印加され、コロナ放電によって静電気を除去するためのイオンを発生させて上記ファンモーターによって吸入される空気中に放出するイオン発生手段と、
上記下部ケース内に設置され、上記ファンモーターによって吸入された空気をフィルタリングし、フィルタリングした空気中に上記イオン発生手段から発生されるイオンを拡散させるフィルタリング手段とを備え、
上記ファンモーター、上記イオン発生手段、及び上記フィルタリング手段は、一体に構成されていること
を特徴とするイオナイジングファンフィルターユニット。
【請求項２】
上記ファンモーター制御手段は、
ＩＤを設定して上記ファンモーターの駆動環境を設定するためのスイッチから構成された操作手段と、
上記ファンモーターを含む当該イオナイジングファンフィルターユニットの運転状態を感知するモーターセンサー入力手段と、
上記操作手段及び上記モーターセンサー入力手段からの入力を解析して制御信号を出力するＣＰＵと、
上記ＣＰＵの制御によって上記ファンモーターの回転速度を制御するモーター制御手段と、
上記ＣＰＵの制御によって上記ファンモーターの回転速度を含む当該イオナイジングファンフィルターユニットの動作状態を表示する表示手段とを有すること
を特徴とする請求項１記載のイオナイジングファンフィルターユニット。
【請求項３】
上記ファンモーター制御手段は、さらに、遠隔調整器から送信される当該イオナイジングファンフィルターユニットの動作を遠隔制御するための無線信号を受信して上記ＣＰＵに供給する無線通信モジュールを有すること
を特徴とする請求項２記載のイオナイジングファンフィルターユニット。
【請求項４】
上記イオン発生手段は、
イオン出力方式を採用するためのポジティブ信号及びネガティブ信号を発生する信号発生手段と、
イオン出力方式を選択するイオン出力選択手段と、
上記信号発生手段からのポジティブ信号及びネガティブ信号が印加され、上記イオン出力選択手段によって選択されたイオン出力方式を採用するように調整する信号調整手段と、
ポジティブ高電圧出力手段又はネガティブ高電圧出力手段からポジティブイオン又はネガティブイオンの出力レベル信号が入力され、当該ポジティブ高電圧出力手段と当該ネガティブ高電圧出力手段との高電圧を一定レベルに維持するような電圧レベル信号に変換するフィードバック回路手段と、
上記フィードバック回路手段によって入力された電圧レベル信号と自ら発生する調整された基準レベル信号とを比較した結果と、上記信号調整手段のイオン出力方式にしたがって上記ポジティブ高電圧出力部又は上記ネガティブ高電圧出力部にて発生する高電圧調整のための高電圧調整信号とを、当該ポジティブ高電圧出力手段又は当該ネガティブ高電圧出力手段に印加する高電圧調整手段と、
上記高電圧調整手段からの高電圧調整信号に基づいてイオン発生のための高電圧を発生し、この高電圧をポジティブエミッタポイント及びネガティブエミッタポイントに印加するポジティブ高電圧出力手段及びネガティブ高電圧出力手段と、
上記ポジティブ高電圧出力手段と上記ネガティブ高電圧出力手段とから高電圧が印加され、コロナ放電によってイオンを発生させるようにＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルター上に設置された金属性又は非金属性のポジティブエミッタポイント及びネガティブエミッタポイントとを有すること
を特徴とする請求項１記載のイオナイジングファンフィルターユニット。
【請求項５】
上記イオン発生手段は、さらに、上記フィードバック回路手段によって入力された電圧レベル信号と上記高電圧調整手段の基準レベル信号とを比較して、上記ポジティブ高電圧出力手段及び上記ネガティブ高電圧出力手段における高電圧出力状態が正常であるか異常であるかを判断してこれを表示するエラー表示手段を有すること
を特徴とする請求項４記載のイオナイジングファンフィルターユニット。
【請求項６】
上記ポジティブエミッタポイント及び上記ネガティブエミッタポイントは、上記ＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルター上に設置された支持台に一定間隔をあけて相互に設置されていること
を特徴とする請求項４記載のイオナイジングファンフィルターユニット。
【請求項７】
上記フィルタリング手段は、
上記ファンモーターによって外部から吸入された空気から塵埃を１次的にフィルタリングするように、上記上部ケース内部の上記ファンモーターの両側に所定の傾斜をもって設置されたプレフィルターと、
上記プレフィルターによってフィルタリングされた空気を２次的にフィルタリングしてポジティブエミッタポイント及びネガティブエミッタポイントにて発生するイオンを拡散させるように上記下部ケース内部に水平に設置されたＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルターとを有すること
を特徴とする請求項１記載のイオナイジングファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）工場等のクリーンルーム（clean room）に使用されるイオナイジングファンフィルターユニットに関し、特に、外部から吸入される空気中に含まれている塵埃等のような異物をフィルタリングし、クリーンルームや装備等に供給するとともに、静電気を除去するためのイオンを発生させ、空気中に拡散させることができるようにするイオナイジングファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体やＬＣＤ等を製造する工場は、クリーンルームとなっているが、このクリーンルームにて最も重要に維持管理されなければならないことは、塵埃及び静電気を除去することである。従来では、塵埃を除去するために、図１に示すように、空調機１０１を別個に設置するとともに、工場の天井に空気をフィルタリングするＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）／ＵＬＰＡ（UltraLowPenetration Air Filter）フィルター等のフィルター１０２を設置することにより、外部や空調機１０１から天井を通じて流入してくる空気がフィルター１０２によってフィルタリングされるようにして工場全体をクリーンルームとし、さらに、静電気を除去するために、機械等の設備の上方に静電気制御装置１０３を別個に設置している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上述したような方法でクリーンルームを設計する場合には、空調機及びフィルターとともに、静電気制御装置を別個に設置しなければならないことから、予算が２重にかかり、設備毎に静電気制御装置を別途設置しなければならないという問題があった。
【０００４】
また、空調機及びフィルターとは別個に静電気制御装置を設置する場合には、これらに電力を供給したり、これらの駆動を制御するためのケーブルを別個に連結したりしなければならないことから、ケーブルを敷設する作業が複雑となる上、外見上も見栄えがよくないという問題があった。
【０００５】
さらに、１つの工場内でも工程の清浄度がクラス１００である工場の場合には、工程によってはクラス１０の清浄度を要求するものがあるにもかかわらず、工場全体の清浄度が一律であることから、要求される清浄度に合わせることができない場合が生じたり、空気の流れが一定化せずに静電気除電時間やイオンバランスが合わない等の問題が惹起される場合も多かった。
【０００６】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、イオンの中和によって除電効果が劣化したり、イオンバランスの不均衡が発生したりしないように、空調機と塵埃フィルタリング機能及び静電気制御機能を一体化することにより、工場全体をクリーンルームとしたり、クリーンルーム内でも特に要求される重要工程に局所的に設置したりするのが容易であり、静電気制御装置を別個に購入して設置しなければならない不便を解消し、経費を節減することができるイオナイジングファンフィルターユニットを提供することを目的とする。
【０００７】
また、本発明は、最も重要な静電気管理において、空気の流れと静電気制御装置は極めて重要な関係があるが、イオンバランス及び除電時間を最も理想的に整合させることができるイオナイジングファンフィルターユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した目的を達成する本発明にかかるイオナイジングファンフィルターユニットは、外部空気を取り込むためのものであり、ファンモーター制御手段の制御によって駆動され、上下が開放した下部ケースの上に積層された上部ケースにその一部が露出するように設置されたファンモーターと、イオン出力方式の選択によって高電圧が印加され、コロナ放電によって静電気を除去するためのイオンを発生させて上記ファンモーターによって吸入される空気中に放出するイオン発生手段と、上記下部ケース内に設置され、上記ファンモーターによって吸入された空気をフィルタリングし、フィルタリングした空気中に上記イオン発生手段から発生されるイオンを拡散させるフィルタリング手段とを備え、上記ファンモーター、上記イオン発生手段、及び上記フィルタリング手段は、一体に構成されていることを特徴としている。
【０００９】
また、本発明にかかるイオナイジングファンフィルターユニットにおいて、上記ファンモーター制御手段は、ＩＤを設定して上記ファンモーターの駆動環境を設定するためのスイッチから構成された操作手段と、上記ファンモーターを含む当該イオナイジングファンフィルターユニットの運転状態を感知するモーターセンサー入力手段と、上記操作手段及び上記モーターセンサー入力手段からの入力を解析して制御信号を出力するＣＰＵと、上記ＣＰＵの制御によって上記ファンモーターの回転速度を制御するモーター制御手段と、上記ＣＰＵの制御によって上記ファンモーターの回転速度を含む当該イオナイジングファンフィルターユニットの動作状態を表示する表示手段とを有するのが望ましい。
【００１０】
さらに、本発明にかかるイオナイジングファンフィルターユニットにおいて、上記ファンモーター制御手段は、さらに、遠隔調整器から送信される当該イオナイジングファンフィルターユニットの動作を遠隔制御するための無線信号を受信して上記ＣＰＵに供給する無線通信モジュールを有するのが望ましい。
【００１１】
さらにまた、本発明にかかるイオナイジングファンフィルターユニットにおいて、上記イオン発生手段は、イオン出力方式を採用するためのポジティブ信号及びネガティブ信号を発生する信号発生手段と、イオン出力方式を選択するイオン出力選択手段と、上記信号発生手段からのポジティブ信号及びネガティブ信号が印加され、上記イオン出力選択手段によって選択されたイオン出力方式を採用するように調整する信号調整手段と、ポジティブ高電圧出力手段又はネガティブ高電圧出力手段からポジティブイオン又はネガティブイオンの出力レベル信号が入力され、当該ポジティブ高電圧出力手段と当該ネガティブ高電圧出力手段との高電圧を一定レベルに維持するような電圧レベル信号に変換するフィードバック回路手段と、上記フィードバック回路手段によって入力された電圧レベル信号と自ら発生する調整された基準レベル信号とを比較した結果と、上記信号調整手段のイオン出力方式にしたがって上記ポジティブ高電圧出力部又は上記ネガティブ高電圧出力部にて発生する高電圧調整のための高電圧調整信号とを、当該ポジティブ高電圧出力手段又は当該ネガティブ高電圧出力手段に印加する高電圧調整手段と、上記高電圧調整手段からの高電圧調整信号に基づいてイオン発生のための高電圧を発生し、この高電圧をポジティブエミッタポイント及びネガティブエミッタポイントに印加するポジティブ高電圧出力手段及びネガティブ高電圧出力手段と、上記ポジティブ高電圧出力手段と上記ネガティブ高電圧出力手段とから高電圧が印加され、コロナ放電によってイオンを発生させるようにＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルター上に設置された金属性又は非金属性のポジティブエミッタポイント及びネガティブエミッタポイントとを有するのが望ましい。
【００１２】
また、本発明にかかるイオナイジングファンフィルターユニットにおいて、上記イオン発生手段は、さらに、上記フィードバック回路手段によって入力された電圧レベル信号と上記高電圧調整手段の基準レベル信号とを比較して、上記ポジティブ高電圧出力手段及び上記ネガティブ高電圧出力手段における高電圧出力状態が正常であるか異常であるかを判断してこれを表示するエラー表示手段を有するのが望ましい。
【００１３】
さらに、本発明にかかるイオナイジングファンフィルターユニットにおいて、上記ポジティブエミッタポイント及び上記ネガティブエミッタポイントは、上記ＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルター上に設置された支持台に一定間隔をあけて相互に設置されているのが望ましい。
【００１４】
さらにまた、本発明にかかるイオナイジングファンフィルターユニットにおいて、上記フィルタリング手段は、上記ファンモーターによって外部から吸入された空気から塵埃を１次的にフィルタリングするように、上記上部ケース内部の上記ファンモーターの両側に所定の傾斜をもって設置されたプレフィルターと、上記プレフィルターによってフィルタリングされた空気を２次的にフィルタリングしてポジティブエミッタポイント及びネガティブエミッタポイントにて発生するイオンを拡散させるように上記下部ケース内部に水平に設置されたＨＥＰＡ又はＵＬＰＡフィルターとを有するのが望ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明にかかるイオナイジングファンフィルターユニットにおいては、イオンの中和による除電効果が劣化したりイオンバランスの不均衡が起きないように空調機とほこりフィルタリング機能及び静電気制御機能を一体化することで工場全体をクリーンルームにしたり、クリーンルーム内でも特に要求される重要工程に別途に局所的に設置するのが容易で、別途の静電気制御装置を購入して設置しなければならない不便を解消して経費を節減することができる。
【００１６】
また、本発明にかかるイオナイジングファンフィルターユニットにおいては、最も重要な静電気管理において、空気の流れと静電気制御装置は極めて重要な関係があるが、イオンバランス及び除電時間を最も理想的に整合（matching）させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１８】
図２及び図３は、空調機と塵埃フィルタリング機能及び静電気制御機能を一体化した本発明にかかるイオナイジングファンフィルターユニットを図示したものである。イオナイジングファンフィルターユニットは、上下が開放した下部ケース３３の上に積層された上部ケース３２と、これと対をなす下部ケース３３と、イオンを放出するポジティブエミッタポイント（Positive Emitter Point）２１ａとネガティブエミッタポイント（Negative Emitter Point）２１ｂとを固定する固定フレーム３４等を具備している。
【００１９】
上部ケース３２には、外部空気やクリーンルーム内部の空気を取り込むためのファンモーター２４がその一部が露出するように設置されている。また、この上部ケース３２の上部には、静電気を除去するためのイオンを発生させるイオン発生部１１と、ファンモーター２４の駆動を制御するファンモーター制御部１２と、後述する遠隔調整器から送信される無線信号を受信する無線通信モジュール３０とが設置されている。
【００２０】
ここで、上部ケース３２の上部に固設された取っ手３６は、当該イオナイジングファンフィルターユニットを組み立てたり設置したりする際に、その移動を容易にするためのものである。
【００２１】
また、上部ケース３２の内部のうち、ファンモーター２４の両側には、プレフィルター２３が所定の傾斜をもって設置され、当該上部ケース３２と対をなす下部ケース３３の内部には、ＨＥＰＡ／ＵＬＰＡフィルター２２が水平に設置されている。また、ＨＥＰＡ／ＵＬＰＡフィルター２２とともに下部ケース３３に組み立てられる固定フレーム３４の支持台３５には、イオンを放出するポジティブエミッタポイント２１ａとネガティブエミッタポイント２１ｂとが一定間隔をあけて相互に設置されている。
【００２２】
静電気を除去するためのイオンを発生するように上部ケース３２の上部に位置するイオン発生部１１は、図４に示すように、イオン出力方式を採用するためのポジティブ信号とネガティブ信号を発生する信号発生部１４と、イオン出力方式を選択するイオン出力選択部１６と、信号発生部１４のポジティブ信号とネガティブ信号とが印加され、イオン出力選択部１６によって選択されたイオン出力方式を採用するように調整する信号調整部１５と、ポジティブ高電圧出力部２０ａ又はネガティブ高電圧出力部２０ｂからポジティブイオン又はネガティブイオンの出力レベル信号が入力され、当該ポジティブ高電圧出力部２０ａと当該ネガティブ高電圧出力部２０ｂとの高電圧を一定レベルに維持するような電圧レベル信号に変換するフィードバック回路部１７と、このフィードバック回路部１７によって入力された電圧レベル信号と自ら発生する調整された基準レベル信号とを比較した結果と、上記信号調整部１５のイオン出力方式にしたがってポジティブ高電圧出力部２０ａ又はネガティブ高電圧出力部２０ｂにて発生する高電圧調整のための高電圧調整信号とを、当該ポジティブ高電圧出力部２０ａ又は当該ネガティブ高電圧出力部２０ｂに印加する高電圧調整部１８と、この高電圧調整部１８からの高電圧調整信号に基づいてイオン発生のための高電圧を発生し、この高電圧をポジティブエミッタポイント２１ａ及びネガティブエミッタポイント２１ｂに印加するポジティブ高電圧出力部２０ａ及びネガティブ高電圧出力部２０ｂと、これらポジティブ高電圧出力部２０ａとネガティブ高電圧出力部２０ｂとから高電圧が印加され、コロナ放電によってイオンを発生させるようにＨＥＰＡ／ＵＬＰＡフィルター２２上に設置された金属性又は非金属性のポジティブエミッタポイント２１ａ及びネガティブエミッタポイント２０ｂ等から構成されている。
【００２３】
また、高電圧調整部１８には、フィードバック回路部１７によって入力された電圧レベル信号と高電圧調整部１８の基準レベル信号とを比較して、ポジティブ高電圧出力部２０ａ及びネガティブ高電圧出力部２０ｂにおける高電圧出力状態が正常であるか異常であるかを判断してこれを表示するエラー表示部１９が接続されている。
【００２４】
上記ファンモーター制御部１２は、ＩＤを設定してファンモーター２４の駆動環境を設定するためのスイッチから構成される操作部２９と、ファンモーター２４を含む当該イオナイジングファンフィルターユニットの運転状態を感知するモーターセンサー入力部２８と、操作部２９とモーターセンサー入力部２８との入力を解析してモーター制御部２５及び表示部２７等に制御信号を出力するＣＰＵ２６と、このＣＰＵ２６の制御によってファンモーター２４の回転速度を制御するモーター制御部２６と、ＣＰＵ２６の制御によってファンモーター２４の回転速度を含む当該イオナイジングファンフィルターユニットの動作状態を表示する表示部２７等から構成されている。
【００２５】
さらに、ＣＰＵ２６には、遠隔調整器３１から送信される当該イオナイジングファンフィルターユニットの動作を遠隔制御するための無線信号を受信して当該ＣＰＵ２６に供給する無線通信モジュール３０が接続されている。これにより、イオナイジングファンフィルターユニットは、その動作を遠隔から調整可能とされる。
【００２６】
以下、このように構成されたイオナイジングファンフィルターユニットの動作を説明する。
【００２７】
まず、電源部１３は、イオン発生部１１及びファンモーター制御部１２に必要な電力を供給する。電源部１３からの電力が供給されたイオン発生部１１は、イオン発生のための高電圧を発生して出力するが、特に出力される出力レベル信号をフィードバックして出力が一定レベルを維持するように調整する機能を有する。また、ファンモーター制御部１２は、外部空気やクリーンルーム内部の空気を取り込み、各種フィルターによって塵埃等を除去した後、その空気を必要な場所へと供給するようにファンモーター２４を制御する。
【００２８】
電源部１３からの電力が供給された信号発生部１４は、イオンの出力方式を決定するために必要なポジティブ信号及びネガティブ信号を生成して信号調整部１５に供給する。信号調整部１５は、当該イオナイジングファンフィルターユニットを設置する際に、その設置距離及び空気の流れ状態等を把握してイオン選択部１６の選択位置が選択されるのに応じて、直流パルス（Pulse DC）又は直流の定常状態（Steady-State DC）のうち、一の選択信号をフィードバック回路部１７に供給する。
【００２９】
フィードバック回路部１７は、ポジティブ高電圧出力部２０ａ及びネガティブ高電圧出力部２０ｂから、ポジティブイオン及びネガティブイオンの出力レベル信号が入力され、ポジティブ高電圧出力部２０ａ及びネガティブ高電圧出力部２０ｂの高電圧出力を一定レベルに維持させるような電圧レベル信号に変換し、さらに、信号調整部１５から供給された選択信号を調整するとともに、ポジティブ高電圧出力部２０ａ及びネガティブ高電圧出力部２０ｂからフィードバックされる電圧レベル信号を調整して高電圧調整部１８に供給し、エラー表示部１９に出力する。
【００３０】
これにより、エラー表示部１９は、フィードバック回路部１７によって入力された信号と高電圧調整部１８の基準レベル信号とを比較分析し、その結果に基づいて、当該イオナイジングファンフィルターユニット、すなわち、イオン発生のための高電圧発生動作が正常であるか異常であるかを表示する。
【００３１】
また、高圧調整部１８は、フィードバック回路部１７によって入力された信号と当該高圧調整部１８にて発生する調整された基準レベル信号とを比較及び調整し、高電圧を調整するための高電圧調整信号に変換してポジティブ高電圧出力部２０ａ及びネガティブ高電圧出力部２０ｂに供給する。
【００３２】
このように、高電圧調整部１８から高電圧調整信号が供給されたポジティブ高電圧出力部２０ａ及びネガティブ高電圧出力部２０ｂは、イオンを発生させるために必要な高電圧を発生し、ポジティブエミッタポイント２１ａ及びネガティブエミッタポイント２１ｂに印加する。
【００３３】
上記ポジティブ高電圧出力部２０ａ及びネガティブ高電圧出力部２０ｂから高電圧が印加されたポジティブエミッタポイント２１ａ及びネガティブエミッタポイント２１ｂは、コロナ放電によって静電気を除去するためのイオンを発生させるようになる。
【００３４】
したがって、外部やクリーンルーム内部からファンモーター２４によって取り込まれた空気は、プレフィルター２３及びＨＥＰＡ／ＵＬＰＡフィルター２２によってフィルタリングされる一方で、ポジティブエミッタポイント２１ａ及びネガティブエミッタポイント２１ｂによって放出されるイオンとともに、工場全体又は特定空間に供給されることになる。
【００３５】
ここで、ファンモーター２４は、モーター制御部２５によって回転速度等が制御されるものであり、ポジティブエミッタポイント２１ａ及びネガティブエミッタポイント２１ｂにて発生するイオンを拡散させるために、外部やクリーンルーム自体で空気を取り込んで循環させる役目を果たす。
【００３６】
ファンモーター２４の両側に所定の傾斜をもって設置されたプレフィルター２３は、ファンモーター２４によって外部又はクリーンルームから吸入された空気を１次的にフィルタリングする。塵埃等を除去されたフィルタリング後の空気は、ＨＥＰＡ／ＵＬＰＡフィルター２２に供給される。そして、ＨＥＰＡ／ＵＬＰＡフィルター２２は、プレフィルター２３によってフィルタリングされた空気を完全に再度フィルタリングした上で、ポジティブエミッタポイント２１ａ及びネガティブエミッタポイント２１ｂにて発生するイオンを拡散させて工場全体や特定空間に供給することになる。
【００３７】
このように、外部やクリーンルームの空気を取り込むファンモーター２４の回転速度を調整するモーター制御部２５は、ＣＰＵ２６からの制御信号に基づいて、当該ファンモーター２４の駆動を制御する。ここで、操作部２９は、ＩＤを設定してファンモーター２４の駆動環境を設定するためのスイッチから構成され、モーターセンサー入力部２８は、ファンモーター２４を含む当該イオナイジングファンフィルターユニットの運転状態を感知してＣＰＵ２６に供給する。
【００３８】
また、表示部２７は、ＣＰＵ２６の制御により、ファンモーター２４の回転速度を含む当該イオナイジングファンフィルターユニットの動作状態を表示する。
【００３９】
特に、ＣＰＵ２６には、遠隔調整器３１から送信される当該イオナイジングファンフィルターユニットの動作を遠隔制御するための無線信号を受信して当該ＣＰＵ２６に供給する無線通信モジュール３０が接続されていることから、管理者は、遠隔地からも当該イオナイジングファンフィルターユニットの駆動を調整することができる。
【００４０】
図５は、本発明によるイオナイジングファンフィルターユニット１００をクリーンルーム全体に設置した状態を示す設置状態図であり、図６は、本発明によるイオナイジングファンフィルターユニット１００を単一の装置に設置した状態を示す設置状態図である。
【００４１】
このようなイオナイジングファンフィルターユニット１００は、クリーンルームを構築するのに必須の機能である塵埃をフィルタリングするファンフィルターユニット機能を実現しながらも、除電効果及びイオンバランスが良好な静電気制御の機能も実現することができる。
【００４２】
以上説明したように、本発明の実施の形態として示すイオナイジングファンフィルターユニットは、特にクリーンルームの塵埃を除去して静電気を放電するためのものであり、容易且つ効率的に設置管理することができ、半導体やＬＣＤ工場等で製品の収率及び生産性の向上に大きく寄与することができる。
【００４３】
なお、上述した実施の形態では、半導体やＬＣＤ工場等に設置して望ましいイオナイジングファンフィルターユニットについてのみ説明したが、本発明の技術的思想は、これに限定されたり制限されたりするものではなく、当業者によって変形され、多様に実施されることができるものであることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】従来のクリーンルームの構造を示す概路図である。
【図２】本発明の実施の形態として示すイオナイジングファンフィルターユニットの構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態として示すイオナイジングファンフィルターユニットの構成を示す分解斜視図である。
【図４】図２及び図３に示すイオン発生部及びファンモーター制御部の構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施の形態として示すイオナイジングファンフィルターユニットをクリーンルーム全体に設置した状態を示す設置状態図である。
【図６】本発明の実施の形態として示すイオナイジングファンフィルターユニットを単一の装置に設置した状態を示す設置状態図である。
【符号の説明】
【００４５】
１１  イオン発生部
１２  ファンモーター制御部
１３  電源部
１４  信号発生部
１５  信号調整部
１６  イオン出力選択部
１７  フィードバック回路部
１８  高電圧調整部
１９  エラー表示部
２０ａ  ポジティブ高電圧出力部
２０ｂ  ネガティブ高電圧出力部
２１ａ  ポジティブエミッタポイント
２１ｂ  ネガティブエミッタポイント
２２  ＨＥＰＡ／ＵＬＰＡフィルター
２３  プレフィルター
２４  ファンモーター
２５  モーター制御部
２６  ＣＰＵ
２７  表示部
２８  センサー入力部
２９  操作部
３０  無線通信モジュール
３１  遠隔調整器
３２  上部ケース
３３  下部ケース
３４  固定フレーム
３５  支持台
３６  取っ手
１００  イオナイジングファンフィルターユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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