(57)【要約】【課題】磁性金属材料からなる工作物であっても効率的に研磨することができる磁気研磨装置及び磁気研磨加工用工具を提供する。【解決手段】磁性砥粒２を磁気吸着する２以上の永久磁石１１ａ，１１ｂそれぞれがヨーク１２に離間して固定された先端構造を有する磁気研磨加工用工具１０を備え、その磁気研磨加工用工具１０の先端に磁性砥粒２を磁気吸着させた後に回転又は回動させながら工作物３上を相対移動させて当該工作物３を研磨する磁気研磨装置により、上記課題を解決した。このとき、２以上の永久磁石１１ａ，１１ｂそれぞれはＮ極又はＳ極になり、Ｎ極１１ａ、ヨーク１２、Ｓ極１１ｂ及び磁性砥粒２の間で閉磁気回路４が構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性砥粒を磁気吸着する２以上の永久磁石それぞれがヨークに離間して固定された先端構造を有する磁気研磨加工用工具を備え、前記磁気研磨加工用工具の先端に磁性砥粒を磁気吸着させた後に回転又は回動させながら工作物上を相対移動させて当該工作物を研磨することを特徴とする磁気研磨装置。
【請求項２】
前記２以上の永久磁石それぞれはＮ極又はＳ極になり、当該Ｎ極、ヨーク、Ｓ極及び磁性砥粒の間で閉磁気回路が構成されることを特徴とする請求項１に記載の磁気研磨装置。
【請求項３】
磁性砥粒を磁気吸着する２以上の永久磁石それぞれがヨークに離間して固定された先端構造を有し、その先端に磁性砥粒を磁気吸着させた後に回転又は回動させながら工作物上を相対移動させて当該工作物を研磨する磁気研磨加工用工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気研磨装置及び磁気研磨加工用工具に関し、更に詳しくは、磁性金属材料からなる工作物であっても効率的に研磨することができる磁気研磨装置及び磁気研磨加工用工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば金型の曲面を精密研磨仕上げする場合、その多くは手作業によって行われている。そのため、機械的手段によって効率よく精密研磨仕上げできる新しい技術が求められている。
【０００３】
ところで、磁場の作用を取り込んだ精密加工技術である「磁気援用加工法（磁気研磨法ともいう）」は、既成概念にとらわれない新技術として注目されている。この磁気研磨法は、磁力線を媒介にして磁性砥粒や磁性粒子に加工力と運動力を与えて精密な表面加工を実現するものである。特に磁性砥粒や磁性粒子等を粒子ブラシとして用いれば、その粒子ブラシが柔軟な加工挙動を示すので、例えば金型の曲面等、複雑な部品の形状精度を維持しながら精密研磨を行うことができる（例えば、特許文献１を参照）。
【特許文献１】特開２００２−１９２４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
研磨対象となる工作物が非磁性の金属材料で形成されている場合、磁気研磨法では、加工域に強い磁場を発生させ、磁極と工作物との間に磁性砥粒等からなる粒子ブラシを形成することにより、工作物表面を効率的に研磨することができる。しかしながら、金型等のように磁性金属材料からなる工作物を磁気研磨する場合は、非磁性金属材料からなる工作物を磁気研磨する場合とは異なり、磁極と工作物との間に形成された粒子ブラシの中間でねじれ現象と攪拌現象が発生して、粒子ブラシを構成する磁性砥粒の粉砕や細粒化が進み、経時的に安定した研磨を行うことができないという問題がある。また、研磨後の工作物表面に残留する磁性砥粒も多く見られ、研磨加工に供される砥粒数の減少が問題となっている。
【０００５】
この問題について詳しく説明する。図１０は、従来の磁気研磨加工用工具を備えた平面型磁気研磨装置の例を示す模式図である。図示の磁気研磨装置は、下側ヨーク上の磁性テーブルに磁性金属材料からなる工作物を磁着させ、その工作物を磁気研磨加工用工具と磁性砥粒とを用いて研磨加工する装置である。磁気研磨加工用工具は、工作物の上方に配置された回転軸の先端に設けられて回転磁極を構成し、この回転磁極には上側ヨークが接触している。上側ヨークと下側ヨークとの間には、鉄心にコイルが捲き回された電磁コイルが配置されている。電磁コイルにより発生した磁場は、鉄芯／上側ヨーク／回転磁極／工作物／磁性テーブル／下側ヨーク／鉄芯からなる閉磁気回路を構成する。こうした従来の平面型磁気研磨装置において、加工域に在る磁性砥粒は、強い磁力を受けて回転磁極と工作物との間に集中して充填される。このとき、回転磁極を高速回転させると、磁性砥粒もその回転に追従して回転移動し、工作物の表面を研磨加工する。
【０００６】
図１０に示す磁気研磨装置においては、磁性金属材料からなる工作物が常にＳ極に磁化されるため、工作物の表面に接触する磁性砥粒に強い磁気吸引力が作用する。このとき、粒子ブラシを構成する回転磁極側の磁性砥粒は回転磁極と一緒に回転するのに対し、粒子ブラシを構成する工作物側の磁性砥粒は、磁化された工作物表面に磁気吸引され、回転磁極の回転に追従し難い状態になる。その結果、粒子ブラシは、その中間でねじれ現象や攪拌現象が生じ、磁性砥粒の粉砕や細粒化が進むことになると共に、磁性砥粒が工作物の表面に残留することになる。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、磁性金属材料からなる工作物であっても効率的に研磨することができる磁気研磨装置及び磁気研磨加工用工具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の磁気研磨装置は、磁性砥粒を磁気吸着する２以上の永久磁石それぞれがヨークに離間して固定された先端構造を有する磁気研磨加工用工具を備え、前記磁気研磨加工用工具の先端に磁性砥粒を磁気吸着させた後に回転又は回動させながら工作物上を相対移動させて当該工作物を研磨することを特徴とする。本発明においては、前記２以上の永久磁石それぞれはＮ極又はＳ極になり、当該Ｎ極、ヨーク、Ｓ極及び磁性砥粒の間で閉磁気回路が構成される。
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の磁気研磨加工用工具は、磁性砥粒を磁気吸着する２以上の永久磁石それぞれがヨークに離間して固定された先端構造を有し、その先端に磁性砥粒を磁気吸着させた後に回転又は回動させながら工作物上を相対移動させて当該工作物を研磨する工具である。
【００１０】
本発明は、磁化し易い磁性金属材料からなる工作物を加工対象とした場合に、磁性砥粒がその工作物に磁気吸引される磁化現象を弱くして効率的な研磨加工を行うことができる装置及び工具を提供したものであり、その具体的手段として、（１）従来の閉磁気回路でない新たな閉磁気回路を構成することにより工作物の表面への磁場の影響を軽減させたこと、（２）ループ減衰脱磁原理を利用して工作物を脱磁しながら研磨加工を行うことにある。本発明によれば、２以上の永久磁石それぞれがヨークに離間して固定されているので、それぞれＮ極とＳ極になる複数の永久磁石の表面に磁性砥粒が磁気吸着（以下、「磁着」ともいう。）して粒子ブラシが形成される。こうした粒子ブラシは永久磁石とヨークとの間で閉磁気回路を構成し、磁性砥粒はその閉磁気回路の磁力線により保持される。その結果、相対移動する際、研磨加工用工具側の磁性砥粒も工作物側の磁性砥粒もその相対移動に追従して移動することができる。こうした本発明の磁気研磨装置によれば、磁性金属材料からなる工作物を加工対象とした場合であっても、従来のようなねじれ現象や攪拌現象が生じ難く、磁性砥粒の粉砕や細粒化が進むのを抑えることができる。
【００１１】
さらに、本発明によれば、磁気研磨加工用工具の先端に磁性砥粒を磁気吸着させた後に回転又は回動させながら工作物上を相対移動させて当該工作物を研磨するので、永久磁石により磁化した工作物上を異なる磁極が繰り返し通過する。その結果、ループ減衰脱磁原理により、磁化した工作物を脱磁しながら研磨加工を行うことができる。そして、磁性金属材料からなる工作物の磁化が弱まるので、工作物の表面に磁着した状態で残る磁性砥粒を少なくすることができ、研磨に供する磁性砥粒を磁極間に保持して研磨加工を効率的に行うことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の磁気研磨装置及び磁気研磨加工用工具によれば、磁性金属材料からなる工作物を加工対象とした場合であっても、従来のようなねじれ現象や攪拌現象が生じ難く、磁性砥粒の粉砕や細粒化が進むのを抑えることができるので、効率的に研磨することができる。また、本発明によれば、ループ減衰脱磁原理を利用して工作物を脱磁しながら研磨加工を行うことができるので、工作物の表面に磁着した状態で残る磁性砥粒を少なくすることができ、研磨に供する磁性砥粒を磁極間に保持して研磨加工を効率的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の磁気研磨装置及び磁気研磨加工用工具について、図面を参照しつつ説明する。なお、本発明は、その技術的特徴を有する範囲を包含し、以下に示す図面等に限定されない。
【００１４】
本発明は、磁化し易い磁性金属材料からなる工作物を加工対象とした場合に、磁性砥粒がその工作物に磁気吸引される磁化現象を弱くして効率的な研磨加工を行うことができる装置を提供したものであり、その具体的手段として、（１）従来の閉磁気回路でない新たな閉磁気回路を構成することにより工作物の表面への磁場の影響を軽減させたこと、（２）ループ減衰脱磁原理を利用して工作物を脱磁しながら研磨加工を行うことにある。
【００１５】
図１は、本発明の磁気研磨装置の一例を示す構成図であり、図２は、本発明の磁気研磨装置に用いられる磁気研磨加工用工具の一例を示す図面代用写真である。本発明の磁気研磨装置１は、図１及び図２に示すように、磁性砥粒２を磁気吸着する２以上の永久磁石１１それぞれがヨーク１２に離間して固定された先端構造を有する磁気研磨加工用工具１０を備えている。そして、その磁気研磨加工用工具１０の先端に磁性砥粒２を磁気吸着させた後に回転又は回動させながら工作物３上を相対移動させて当該工作物３を研磨する装置である。このとき、２以上の永久磁石１１それぞれはＮ極又はＳ極になり、そのＮ極１１ａ、ヨーク１２、Ｓ極１１ｂ及び磁性砥粒２の間で閉磁気回路４が構成される。
【００１６】
磁気研磨加工用工具１０は、図１及び図２に示すように、磁性砥粒２を磁気吸着する２以上の永久磁石１１それぞれがヨーク１２に離間して固定された先端構造を有し、その先端に磁性砥粒２を磁気吸着させた後に回転又は回動させながら工作物３上を相対移動させて工作物３を研磨する工具である。この磁気研磨加工用工具１０に磁性砥粒２を磁着させると、図１及び図２に示すように、離間した永久磁石１１に磁性砥粒２が磁着して粒子ブラシ２’を形成し、その粒子ブラシ２’と永久磁石１１，１１とヨーク１２とで閉磁気回路４が形成する。本発明は、磁性砥粒２を磁気研磨加工用工具１０に磁着させて形成される閉磁気回路４により、磁性金属材料からなる工作物３の表面への磁場の影響を軽減させることができる。なお、図１及び図２中の符号１３は固定治具であり、ヨークと永久磁石からなる先端部を結合している。その固定治具１３は、回転装置、回動装置又は往復運動装置のチャック部に装着される。
【００１７】
図３は、本発明の磁気研磨装置が工作物を研磨加工している具体的形態を示す図面代用写真であり、図４は、図３に示す磁気研磨装置の全体構成の具体的形態を示す図面代用写真である。なお、図示の例は試験的な構成を示したものであり、本発明の磁気研磨装置１は図示の形態に限定されない。磁気研磨加工用工具１０は、図３に示すように回転装置に取り付けられ、その先端の永久磁石１１には磁性砥粒２が磁着し、粒子ブラシ２’を形成している。図３に示す磁気研磨装置においては、磁気研磨加工用工具１０と工作物３との距離が調整され、粒子ブラシ２’が磁性金属材料からなる工作物３の表面に接触している。この状態で磁気研磨加工用工具１０を回転させると、工作物３の表面が粒子ブラシ２’で研磨される。工作物３は、図４に示すように、移動テーブル１４であるＸ・Ｙステージに固定され、そのＸ・Ｙステージが移動することにより、磁気研磨加工用工具１０との間で相対移動する。
【００１８】
本発明によれば、２以上の永久磁石１１それぞれがヨーク１２に離間して固定されているので、それぞれＮ極１１ａとＳ極１１ｂになる複数の永久磁石１１の表面に磁性砥粒２が磁着して粒子ブラシ２’が形成される。こうした粒子ブラシ２’は永久磁石１１とヨーク１２との間で閉磁気回路４を構成し、磁性砥粒２はその閉磁気回路４の磁力線により保持される。その結果、相対移動する際、研磨加工用工具側の磁性砥粒も工作物側の磁性砥粒もその相対移動に追従して移動することができる。こうした本発明の磁気研磨装置によれば、磁性金属材料からなる工作物３を加工対象とした場合に、従来のようなねじれ現象や攪拌現象が生じ難く、磁性砥粒の粉砕や細粒化が進むのを抑えることができる。
【００１９】
次に、ループ減衰脱磁原理を利用した工作物の脱磁について説明する。磁気研磨加工用工具１０の先端の粒子ブラシ２’を磁性金属材料からなる工作物の表面に接触させると共に磁気研磨加工用工具１０を回転させると、工作物表面上の任意の１点では、Ｎ極とＳ極とが交互に通過して交番磁場が作用する。この作用により、磁性金属材料からなる工作物の磁化の大きさは、工具１０の回転と共に次第に小さな値になって脱磁状態となる。図５は、ループ減衰脱磁法の原理図である。図５に示すように、ある残留磁束密度Ｂｒを有する磁性材料に対し、プラス／マイナスの磁界Ｈを交互にかけながら１’→２’→３’→４’→５’の順で除々に減衰させていくと、時間ｔの経過と共に、磁性体の残留磁束密度はヒステリシスループに沿って１→２→３→４→５の順で原点０に減衰しながら近づいていく。この事象は、磁性材料の磁化特性曲線で示されるループ減衰脱磁法の原理そのものに一致する。この効果により、磁性金属材料からなる工作物３表面は、自動的に脱磁状態となり、残留磁性砥粒は極めて少なくなることが期待できる。
【００２０】
すなわち、本発明によれば、磁気研磨加工用工具１０の先端に磁性砥粒２を磁着させた後に回転又は回動させながら工作物３上を相対移動させて工作物３を研磨するので、永久磁石１１により磁化した工作物３上を異なる磁極１１ａ，１１ｂが繰り返し通過する。その結果、ループ減衰脱磁原理により、磁化した工作物３を脱磁しながら研磨加工を行うことができる。そして、磁性金属材料からなる工作物３の磁化が弱まるので、工作物３の表面に磁着した状態で残る磁性砥粒２を少なくすることができ、研磨に供する磁性砥粒２を磁極間に保持して研磨加工を効率的に行うことができる。
【００２１】
本発明に使用される永久磁石１１は、特に限定されないが、希土類磁石、フェライト磁石、アルニコマグネット、ＭＡ磁石等を挙げることができる。なお、希土類磁石としては、具体的には、ネオジウム磁石（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ）やサマリウムコバルト磁石（Ｓｍ−Ｃｏ）が好ましく用いられる。
【００２２】
永久磁石１１は、２以上用いられ、それぞれが離間した状態でヨーク１２に固定されている。永久磁石１１は、図２に示すように、Ｎ極とＳ極とを構成する２つであってもよいし、３つでも４つでも５つい上であってもよい。要するに、２以上の複数の永久磁石１１がそれぞれ離間した状態でヨーク１２に固定されていればよい。永久磁石が奇数の場合には、Ｎ極とＳ極の何れか一方が１つ少なくなり、偶数の場合には、Ｎ極とＳ極は同数となる。永久磁石１１の配置は、回転軸又は回動軸の中心点から同じ距離に複数配置されていることが好ましく、上述したようにループ減衰脱磁原理により磁化した工作物３を脱磁しながら研磨加工を行うことができる。また、回転軸又は回動軸の中心点からの距離が短い複数の永久磁石群と、回転軸又は回動軸の中心点からの距離が長い複数の永久磁石群とを配置したものであってもよい。この場合も、ループ減衰脱磁原理により磁化した工作物３を脱磁しながら研磨加工を行うことができる。なお、さらに距離が異なる永久磁石群を設けても構わない。
【００２３】
永久磁石１１の大きさは、配置する箇所に応じた大きさであることが好ましく、例えば偶数配置する場合には通常同じ大きさとなるが、奇数配置する場合には少ない極をやや大きくすることが好ましい。なお、永久磁石１１は、その磁化の大きさが磁石の大きさに顕著に変動しないので、小さい磁石であっても比較的大きな磁化を有し、磁性砥粒等を強く磁気吸着することができるという効果がある。
【００２４】
ヨーク１２は特に限定されず、一般的にヨークとして用いられているものを用いることができる。例えば、後述する実施例に示す一般構造用圧延鋼材（ＳＳ４００）等が用いられる。
【００２５】
粒子ブラシ２’を形成する磁性砥粒２としては各種のものを用いることができる。磁性砥粒２は、磁石に磁気吸着する程度の磁性を有するものが好ましく、例えば現在国内で唯一市販されている磁性砥粒（東洋研磨材工業株式会社；ＫＭＸ−８０）や、その他の未市販の磁性砥粒等を使用することができ、また、砥粒機能を有する磁性粒子であってもよい。こうした磁性粒子としては、電解鉄等の鉄材や、ニッケル、Ｎｉ−Ｐ合金又はＮｉ−Ｂ合金等のニッケル合金材等を使用することができる。また、砥粒機能を有する磁性粒子として、磁性のない砥粒の表面に磁性金属皮膜（例えば、ニッケル又はニッケル合金めっき皮膜）を形成してなる複合磁性粒子や、高温高圧下の不活性ガス中で鉄と焼結させた酸化アルミニウムや、不活性ガス雰囲気中でのアルミニウムと酸化鉄とのテルミット反応の生成物等を用いることも可能である。なお、研磨作用を備える磁性砥粒が好ましく用いられるが、磁性粒子を増量材料として加えることが工業的には好ましい。磁性砥粒と磁性粒子との配合割合は、それらの研磨能力と工作物の被研磨性とを考慮して設定される。
【００２６】
なお、こうした磁性砥粒等は、そのまま使用してもよいし、必要に応じて、一般的な研磨粒子を含むスラリーと共に使用してもよい。一般的な研磨粒子とは、ＪＩＳ表示でＡ、ＷＡ、ＧＣ、ＳＡ、ＭＡ、Ｃ、ＭＤ、ＣＢＮといったものを含む、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＣ、ＺｒＯ２、Ｂ４Ｃ、ダイアモンド、立方晶窒化ホウ素、ＭｇＯ、ＣｅＯ２又はヒュームドシリカ等の砥粒とを結合させたものを挙げることができる。
【実施例】
【００２７】
以下、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、本発明の範囲は以下の実施例に限定されるものではない。
【００２８】
（実施例１）
上記図３及び図４に示す磁気研磨装置を用いて磁気研磨を行った。２つの永久磁石１１ａ，１１ｂをヨーク１２に離間して固定した磁気研磨加工用工具１０を準備し、その工具１０の先端に磁性砥粒２を磁着させて粒子ブラシ２’を形成した後に回転治具１３をＮＣフライス盤の主軸に固定した。一方、Ｘ・ＹステージをＮＣ立てフライス盤テーブル上に搭載し、そのＸ・Ｙステージ上に工作物３であるＳＰＣＣ磁性鋼板を搭載した。粒子ブラシ２’が工作物３に接触するまで工具１０を下降させた後、ＮＣフライス盤の主軸を回転させて工作物表面を研磨加工した。さらに、Ｘ・Ｙステージで工作物を送りながら工作物の全面を研磨加工した。表１は、このときの加工条件を示している。ここでは、磁性砥粒としての電解鉄粉と、研磨材としてのダイヤモンド砥粒と、研磨液としての水溶性研磨液とを用いてなる研磨スラリーを作製し、この研磨スラリーを工具の先端に磁着させて粒子ブラシ２’を形成した。
【００２９】
【表１】
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【００３０】
（評価）
上記加工条件で研磨した後の工作物の加工面について、加工量と表面粗さを評価した。加工量は、工作物の重さを加工前後で測定して評価し、表面粗さは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１（２００１）に準拠して最大高さＲｚと算術平均粗さＲａで評価した。なお、工作物の前加工面は、研磨紙＃１２０を用いた手加工によって表面粗さ７．１μｍＲｚに設定した。実験では４回の往復で一担実験を止め、十分に超音波洗浄して加工量と表面粗さを測定した。また、加工後の加工面を電子顕微鏡（１００倍）で観察し、その表面形態を観察した。さらに、脱磁効果については、工作物の方に送り運動を与え、磁気研磨加工用工具を回転させた場合と回転させない場合の結果を比較して目視評価した。
【００３１】
（結果）
図６は、加工面の表面粗さのプロフィルを示すグラフであり、図７は、加工面の表面粗さと加工量の時間的変化を示すグラフである。図６及び図７に示すように、４回往復加工した後の加工面はほぼ平滑化され、加工前の表面粗さ７．１μｍＲｚ（０．７６μｍＲａ）から０．９０μｍＲｚ（０．１６μｍＲａ）と小さくなり、平滑性が向上した。４回往復加工した後の加工面の表面粗さは、ゆるやかに減少しており、８回往復加工後で平滑性は定常状態に落着くことがわかる。一方、加工量は直線的に増加しているのが確認された。
【００３２】
図８は、得られた工作物表面の電子顕微鏡写真である。図８（Ａ）は加工前の加工面を示したものであり、図８（Ｂ）は４回往復加工した後の加工面を示したものであり、図８（Ｃ）は８回往復加工した後の加工面を示したものである。図示のように、加工後においては、加工前の粗面がほぼ均一になっているのが確認された。本実験条件では加工面を鏡面にできていないが、微細な梨地面が観察されたことから、粒子ブラシ２’の加工作用は磁性砥粒２の転がり現象が伴っていると考えらる。
【００３３】
図９は、磁性砥粒の残留現象を比較した写真であり、図９（Ａ）は、磁気研磨加工用工具を回転させた状態で工作物に送り運動を与えた後の工作物表面の写真であり、図９（Ｂ）は、磁気研磨加工用工具を回転させない状態で工作物に送り運動を与えた後の工作物表面の写真である。両者を比較すると、回転させた図９（Ａ）の方は、工作物表面に残留する磁性砥粒が少なかったが、回転させない図９（Ｂ）の方は、工作物表面に残留する磁性砥粒が多いことが分かる。このことからも、本発明に係る磁気研磨加工用工具を回転又は回動させることにより、工作物の脱磁に効果があることが明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の磁気研磨装置の一例を示す模式図である。
【図２】本発明の磁気研磨装置に用いられる磁気研磨加工用工具の一例を示す図面代用写真である。
【図３】本発明の磁気研磨装置が工作物を研磨加工している具体的形態を示す図面代用写真である。
【図４】図３に示す磁気研磨装置の全体構成の具体的形態を示す図面代用写真である。
【図５】ループ減衰脱磁法の原理図である。
【図６】実施例１において、加工面の表面粗さのプロフィルを示すグラフである。
【図７】実施例１において、加工面の表面粗さと加工量の時間的変化を示すグラフである。
【図８】実施例１において、得られた工作物表面の電子顕微鏡写真である。
【図９】磁性砥粒の残留現象を比較した写真である。
【図１０】従来の磁気研磨加工用工具を備えた平面型磁気研磨装置の例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  磁気研磨装置
２  磁性砥粒
２’  粒子ブラシ
３  工作物
４  閉磁気回路
１０  磁気研磨加工用工具
１１  永久磁石
１１ａ  Ｎ極
１１ｂ  Ｓ極
１２  ヨーク
１３  固定治具
１４  移動テーブル
【図１】
2007210073.tif 000004
【図２】
2007210073.tif 000005
【図３】
2007210073.tif 000006
【図４】
2007210073.tif 000007
【図５】
2007210073.tif 000008
【図６】
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【図７】
2007210073.tif 000010
【図８】
2007210073.tif 000011
【図９】
2007210073.tif 000012
【図１０】
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