(57)【要約】【課題】柔らかくて自然な画面を提供することができる振動型ティルティング装置を提供する。【解決手段】ディジタルマイクロミラーパネルから反射される光を反復的にティルティングする振動型ティルティング装置が開示される。光経路内に位置してディジタルマイクロミラーパネルから出た光を反射するミラーと、ミラーの一面と結合したミラーホルダーと、ミラーホルダーの裏面に結合されるコイルと、コイルを貫く磁場を生成するマグネットを含んでおり、ミラーホルダーは、一部が切開されてミラーホルダーの質量慣性モーメントを減少させた振動型ティルティング装置は、ディジタルマイクロミラーパネルから入射される光を周期的にティルティングすることで、より柔らかくて自然な画面を提供することだけではなく、ミラーの追従能力が向上されて残振の除去された振動型ティルティング装置を提供することができる。【選択図】図３
2007004154.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光経路内に位置してディジタルマイクロミラーパネルから出た光を反射するミラーと、
前記ミラーの一面と結合したミラーホルダーと、
前記ミラーホルダーの裏面に結合されるコイルと、
前記コイルを貫く磁場を生成するマグネットを含んでおり、
前記ミラーホルダーは、一部が切開されて前記ミラーホルダーの質量慣性モーメントを減少させた振動型ティルティング装置。
【請求項２】
前記ミラーホルダーは、十字形状を有する請求項１に記載の振動型ティルティング装置。
【請求項３】
前記ミラーホルダーの所定の位置には、多数の貫通孔が穿孔された請求項１に記載の振動型ティルティング装置。
【請求項４】
前記ミラーホルダーは、アルミニウムにて形成された請求項１に記載の振動型ティルティング装置。
【請求項５】
光経路内に位置してディジタルマイクロミラーパネルから出た光を反射するミラーと、
前記ミラーの一面と結合したミラーホルダーと、
前記ミラーホルダーの裏面に結合されるコイルと、
前記コイルを貫く磁場を生成するマグネットを含んでおり、
前記ミラーホルダーは、熱変形温度が１５０℃以上であり疲労限度が１２ＭＰａ以上である樹脂から形成される振動型ティルティング装置。
【請求項６】
前記ミラーホルダーは、固定部と、前記固定部から延長されたベンディング部及び前記ミラーを支持するミラー支持部を含む請求項５に記載の振動型ティルティング装置。
【請求項７】
前記ミラーホルダーは、前記コイルの電磁気力が作用して前記ベンディング部のベンディングによって前記ミラー支持部が振動する請求項６に記載の振動型ティルティング装置。
【請求項８】
前記ミラーホルダーは、一部が切開された請求項５に記載の振動型ティルティング装置。
【請求項９】
前記ミラーホルダーは、十字形状を有する請求項８に記載の振動型ティルティング装置。
【請求項１０】
前記ミラーホルダーの所定の位置に多数の貫通孔が穿孔された請求項５に記載の振動型ティルティング装置。
【請求項１１】
前記振動型ティルティング装置は、
前記ミラーホルダーと一定間隔離隔されて位置しその一部が前記コイルの内部に位置するコアと、
前記ミラーホルダーと一定間隔離隔されて位置し前記コイルの外周面に対向するヨークを追加で含んでおり、
前記マグネットは、前記コアと前記ヨークの間に介在されて前記コアと前記ヨークを磁化する請求項１ないし１０項の中のある一項に記載の振動型ティルティング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディジタルマイクロミラーパネルから反射される光を反復的にティルティングするティルティング装置に関するもので、より詳細には、質量慣性モーメントを減少させて優れた振動性能を備えた振動型ティルティング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＬＰ（Digital Light Processing）を用いた映像投射装置は、一般ＬＣＤ(Liquid Crystal Display)映像器機の短所である画素のモザイク現象をとり除くことで原色再現能力を進めたものであって、劇場、会議室またはプロジェクションＴＶなどで広く使用されている。映像投射装置は、投射方式に応じて大きく前面映像投射（Front Projection）装置及び後面映像投射（Rear Projection）装置に分けられる。
【０００３】
前面映像投射装置は、スクリーンの前面から映像信号を投射する方式を用いて、劇場、会議室などで一般的に利用される。一方、後面映像投射装置はスクリーンの後面から映像信号を投射する方式を利用する。このような後面映像投射装置は、プロジェクションＴＶの形態に普遍化されている。特に、後面映像投射装置は、周りの環境が明るい所でも比較的明るい映像を表示することができるから前面映像投射装置に比べてよく利用される。
【０００４】
図１は、従来の映像投射装置を示す斜視図であり、図２は、従来の映像投射装置によってスクリーンに現われた画素構造を示した概略図である。従来の映像投射装置は、図１に示したように、ランプ１１と、ランプ１１から発光された光を集束して照射する集光レンズ１３と、集光レンズ１３に集束された白色光をレッド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）及びブルー（Ｂ）カラーに色を分離して、各フレーム当たり１／３ずつ照明するカラーホイール１５と、カラーホイール１５から発光する色相別発散光を平行に照射する視準レンズ１７と、視準レンズ１７で集束された色相別光の画素別反射角を調節して画像を形成するディジタルマイクロミラー（Digital Micro-mirror）パネル１９（以下、「ＤＭＤ」という。)と、上記ＤＭＤから出た光をスクリーン（Ｓ）の大画面に投射する投射レンズ６０を備える。ＤＭＤ１９には、シリコーンウェハ上に、一つの画素構造を担当するように微細な大きさを有する複数のマイクロミラー（未図示）が多数形成されていて、上記マイクロミラーは制御機によってＤＭＤ１９に提供されるディジタル情報に応じて個別的に非常に早い速度でティルティング運動しながら入射された光の経路をｏｎ／ｏｆｆ転換する。そして、ＤＭＤ１９に個別にそれぞれ制御された画素は、投射レンズ６０を通じて拡大されてスクリーン（Ｓ）に得ようとする大画面の画像が結像されるのである。このように、従来の映像投射装置は、小さい原画像をそのまま拡大投射して大画面に結像するので、図２に示されているように、各画素（Ｐ）の間に形成される格子柄により画質の落ちる問題点がある。また、早い画像や視聴者の視野が早く動く場合、例えば、白地に黒い縞模様のようにコントラスト比が大きい所で虹の色相が目立つとか、視野の早い移動によって各画素（Ｐ）の間の格子柄が著しく認識されてスクリーンに結像されるので画質の落ちる問題点が発生する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために導出されたもので、本発明の目的は、ディジタルマイクロミラーパネルから反射される光を一定した間隔でティルティングしてスクリーンに反射することで、柔らかくて自然な画面を提供することができる振動型ティルティング装置を提供することである。本発明の別の目的は、ティルティング装置の質量慣性モーメントを減少させてライジングタイムやオーバシュートを減らすことができる振動型ティルティング装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記のような目的を果たすために次のような構成を有する。本発明の一実施例による振動型ティルティング装置は、光経路内に位置してディジタルマイクロミラーパネルから出た光を反射するミラーと、ミラーの一面と結合しているミラーホルダーと、ミラーホルダーの裏面に結合されるコイルと、コイルを貫く磁場を生成するマグネットを含んでおり、ミラーホルダーは一部が切開されてミラーホルダーの質量慣性モーメントを減少させたことを特徴とする。
【０００７】
本発明の振動型ティルティング装置は、ディジタルマイクロミラーパネルから反射される光をミラーを通じて一定時間間隔で反射させることで、より鮮かで柔らかい画面を提供することができるようになる。ミラーホルダーは、その一部を切開して質量慣性モーメントを減少させる方が好ましい。例えば、ミラーホルダーを十字形状に形成するとか、ミラーホルダーの所定の位置に多数の貫通孔を形成することができる。そして、ミラーホルダーを質量が小さくて剛性が比較的優れたアルミニウムから形成して質量慣性モーメントを減少させる方が好ましい。このように、上記ミラーホルダーの質量慣性モーメントを減少させることで本発明のティルティング装置のライジングタイムやオーバシュートを減らすことができるようになる。
【０００８】
本発明の別の実施例による振動型ティルティング装置は、光経路内に位置してディジタルマイクロミラーパネルからの光を反射するミラーと、ミラーの一面と結合しているミラーホルダーと、ミラーホルダーの裏面に結合されるコイルと、コイルを貫く磁場を生成するマグネットを含んでおり、ミラーホルダーは、熱変形温度が１５０℃以上であり、疲労限度が１２ＭＰａ以上である樹脂から形成されることが好ましい。
【０００９】
ミラーホルダーは、高温及び高い疲労応力（fatigue stress）の環境にて作動するので一般のＤＬＰ（Digital Lighting Processing）の通常の使用温度である１５０℃以上の熱変形温度及び無限寿命と見做す事ができる１０１０サイクルにて１２ＭＰａ以上の疲労限度を備えるのが好ましい。ミラーホルダーは、固定部と、固定部から延長されたベンディング部及びミラーを支持するミラー支持部を含む。ミラーホルダーは、コイルの電磁気力が作用してベンディング部のベンディングによりミラー支持部が振動することになる。ミラーホルダーをプラスチックから形成することで、ミラーホルダーの質量慣性モーメントを減少させることができるし、製作の容易いことだけでなく、金属に比べて弾性係数（Young's modulus）が小さいので少ない力でも振動を誘発することができる。プラスチックにて形成されたミラーホルダーは、その一部を切開して質量慣性モーメントを減少させることが好ましい。例えば、ミラーホルダーを十字形状に形成するとか、ミラーホルダーの所定の位置に多数の貫通孔を形成することができる。
【００１０】
本発明の別の実施例による振動型ティルティング装置は、ミラーホルダーと一定間隔離隔されて位置しその一部がコイルの内部に位置するコアと、ミラーホルダーと一定間隔離隔されて位置しコイルの外周面に対向するヨークを追加で含んでおり、マグネットはコアとヨークの間に介在されてコアとヨークを磁化する。このような実施例による振動型ティルティング装置は、コアとヨークによって磁気效率を進めることができる。
【発明の効果】
【００１１】
以上の説明から明らかなように、本発明は、上記のような構成によって次のような效果をはかることができる。発明の振動型ティルティング装置は、ディジタルマイクロミラーパネルから反射される光を一定した間隔でティルティングしてスクリーンに反射することにより、柔らかくて自然な画面を提供することができる。また、本発明の振動型ティルティング装置は、ティルティング装置の質量慣性モーメントを減少させることによりライジングタイムやオーバシュートを減らしてミラーの残振をとり除くことができるし、追従能力の優れた振動型ティルティング装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明によるティルティング装置の好ましい実施例を添付図面を参照して詳しく説明するが、添付図面を参照して説明することにおいて、図面符号に構わずに同一であるものや対応する構成要素は同じ参照番号を付与して、これに対する重複される説明は略する。
【００１３】
図３は、本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置を示す斜視図である。図３によれば、本発明の一実施例による振動型ティルティング装置は、ミラー１、ミラーホルダー２、コイル３、コア５、マグネット７及びヨーク９を含む。ミラー１は、ミラーホルダー２の上面に附着されて、図８に図示されているように、光経路内に挿入されてＤＭＤ１９から反射された光を一定した角図で周期的に反射する役目をする。ミラー１はＤＭＤ１９から入射された光をティルティングして、スクリーンに形成される画素を画素間垂直距離（Ｌ）の半分であるＬ／２ほど上昇することになるが、これに対する具体的な説明は下でする。ミラー１としては、一般の硝子（glass）が使用される。ミラー１の形状は、ＤＭＤ１９から反射される光をスクリーン（Ｓ）に反射することができれば何でも使用できる。
【００１４】
コイル３は、ミラーホルダー２の裏面に左右対称で附着される。コイル３の内部には、コア５の一部が挿入される。また、コイル３はヨーク９によって取り囲まれている。磁化されたコア５及びヨーク９によって発生する磁場がコイル３を貫く。したがって、コイル３に電流が印加されると、フレミングの左手の法則によってコイル３には一定した力が作用する。この力によってコイル３と、これと結合したミラー１及びミラーホルダー２が振動することになる。上記コイルの形成位置は、ミラーホルダー２の振動中心に対して左右対称されるように形成することで、力がミラーホルダー２の左右に均等に及ぶようにすることが好ましい。
【００１５】
コア５は、図３に示されているように、その一部がコイル３の内部に位置する。そして、コア５はミラーホルダー２と一定間隔離隔されてティルティング装置の底に固定される。コア５はマグネット７と接してＮ極またはＳ極に磁化（magnetization）される。マグネット７は、ミラーホルダー２と分離されていて、コア５及びヨーク９と接する。マグネット７は、コア５及びヨーク９をＮ極／Ｓ極に磁化させる。したがって、磁化されたコア５及びヨーク９は、マグネットが延長されたことと同じ效果を誘発し、これによりコイル３を貫く磁場を形成する。マグネット７は永久磁石で形成する。
【００１６】
ヨーク９は、マグネット７の上部に位置してコア５の周りをくるむ。したがって、ヨーク９はマグネット７により磁化されてコア５とともに磁場を形成する。ヨーク９の形状は、コア５をくるむ構造であれば円筒形だけではなく四角形など何でも可能である。
【００１７】
ミラーホルダー２は、ミラー１を支持するミラー支持部２５と、ミラーホルダー２の振動中心になる固定部２１と、固定部２１及びミラー支持部２５を連結するベンディング部２３を含む。固定部２１は、一端が固定され、ミラーホルダー２の振動を支持する役目をする。ベンディング部２３は、ミラー支持部２５の裏面に電磁気力が作用すれば、ベンディング（bending）によりミラー支持部２５が振動することになる。したがって、ベンディング部２３の形状及び材質に応じてミラーホルダー２全体の弾性係数が決まる。ミラー支持部２５の裏面には、コイル３が結合されて、コイル３はミラー支持部２５に電磁気力を印加する。
【００１８】
ミラーホルダー２の振動する角図は、スクリーンの大きさなどに応じて決まるが、一般に０．０１５゜内外である。ミラーホルダー２はミラー１とともに振動するが、ミラーホルダー２の振動によるライジングタイム（rising time）またはオーバシュート（overshoot）を減少させるためにはミラーホルダー２の質量慣性モーメントを最小に減らすことが好ましい。
【００１９】
図４は、本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置のミラーホルダー２の一部を切開した状態を示す斜視図である。ミラーホルダー２は質量慣性モーメントを減らすために、振動の中心２ａからずいぶん離れた部分の質量を減らすのが好ましい。本実施例では、ミラーホルダー２を十字模様に形成した。勿論、ミラーホルダー２の形状がこれに限られることではなく、ミラー１を支持することと同時に慣性モーメントを減らすことができればどんな形状でも可能である。
【００２０】
図５は、本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置のミラーホルダー２に多数の貫通孔を穿孔した状態を示す斜視図である。ミラーホルダー２は質量慣性モーメントを減らすために、ミラーホルダー２の縁に左右対称で多数の貫通孔を形成した。
【００２１】
ミラーホルダー２の質量慣性モーメントを減少させるために、ミラーホルダー２自体の質量を減らすこともできる。例えば、ミラーホルダー２を比重が少なくて軽いアルミニウムから形成することができる。アルミニウムは、比重が２．７であって鉄（７．８）よりずっと軽いのでミラーホルダーの質量慣性モーメントを減らすことができる。また、ミラーホルダー２をプラスチックで形成することもできる。プラスチックは金属に比べて比重が小さいから質量慣性モーメントを減らすことができる。また、ミラーホルダー２を金属にて製作する場合には金型を使うので製作費用が多く所要されるが、プラスチックを利用する場合には射出成形によって製作されられるので製作費用を節減することができるようになる。そして、プラスチックは金属に比べて弾性係数が小さいから、上記振動軸（２ａ）が同じスプリング定数値を有するためには、上記振動軸（２ａ）の厚さを大きくしなければならない。したがって、上記振動軸（２ａ）の厚さを大きくできるので加工が容易くなる。
【００２２】
ミラーホルダー２は、光経路内に位置するので光源による高温（一般に１５０℃）を耐えるためには熱変形温度が１５０℃以上のものが好ましい。また、ミラーホルダー２は非常に早い速度で周期的に振動するから上記振動軸（２ａ）には疲労応力（fatigue stress）が集中される。したがって、ミラーホルダー２は、優れた屈曲強度及び弾性率を備える材料を用いて形成するのが好ましい。
【００２３】
図６は、ミラーホルダー２を一般の工業用プラスチックであるポリフェニレンサルファイド（polyphenylene sulfide）にて製作した場合の疲労限度を示すＳ−Ｎカーブ（Stress-N Cycles Curve）である。図６で、横軸は上記ミラーホルダー２に加えられるサイクルの数を、そして、縦軸は疲労限度（ＭＰａ）をそれぞれログスケール（log scale）に示した。図６に示されているように、上記ミラーホルダー２は、無限寿命に見做すことができる１０１０サイクル（cycle）にて疲労限度（endurance limit）が１２ＭＰａ以上であるのが好ましい。
【００２４】
ミラーホルダー２は、非常に微細な角図で振動するので精緻な製作が要求される。したがって、ミラーホルダー２は精密成形性が優れた材質で形成されることが好ましい。特に、棚加工、ドリリング（drilling）、グラインディング（grinding）、ソーイング（sawing）などのような機械加工によって精緻に加工できる材質であることが好ましい。
【００２５】
図７は、本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置の作動状態を示す断面図である。マグネット７のＮ極はヨーク９と接して、Ｓ極はコア５と接する。したがって、マグネット７によってヨーク９はＮ極に磁化されて、コア５はＳ極に磁化されるので、ヨーク９からコア５方向に磁場が形成される。コイル３は、コア５とヨーク９の間に位置するので、磁場がコイル３を貫く。したがって、コイル３に電流が印加されると、フレミングの左手の法則によってコイル３に一定した大きさの力が作用する。コイル３に印加される電流の強さ及び方向を変化させるとコイル３に作用する力が変化してコイル３が振動することになる。そして、コイル３と繋がれたミラーホルダー２及びミラー１が一定した間隔で振動することによりＤＭＤから反射される光をティルティングする。
【００２６】
図８は、本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置のティルティング作用を示す概略図であり、図９は、ティルティング装置によってティルティングされてスクリーンに投射された画素構造を示す概略図である。本発明による振動型ティルティング装置のミラー１には、ＤＭＤ１９から反射された光が入射される。この際、ミラー１はミラーホルダーとともに振動しながら図８のように入射される光を一定した時間間隔でティルティングする。ティルティングの速度は一般的に６０Ｈｚであり、必要に応じて変更可能である。ＤＭＤ１９から入射された光がミラー１によって反射される場合、スクリーン（Ｓ）には図２のような画素（Ｐ）配列が形成される。図２で、それぞれの画素（Ｐ）の間の垂直距離はＬである。ティルティング装置１０の振動によってミラー１が約０．０１５°ほど回転すると、光は０．０１５°ほどティルティングされて、図９に示されているように、スクリーン（Ｓ）上でＬ／２ほど上昇した画素（Ｐ’）の配列を形成する。上述したように、ティルティング装置１０の振動速度は６０Ｈｚのように非常に早いので視覚的残像效果によってティルティングされた画素（Ｐ’）がずっとスクリーン上に表示されることと認識するようになる。したがって、画素（Ｐ）の間の間隔をティルティングされた画素（Ｐ’）を用いてとり除くことで自然で柔らかい画像が生成されることができる。また、画質がより一層鮮かであるから長期間視聴でも目が易しく疲れない效果を有する。
【００２７】
図１０は、ミラーホルダーの質量慣性モーメントの変化に応ずるティルティング装置の振動性能を実験するためのミラー１、ミラーホルダー２及びコイル３を示す概略図である。本実験では、図１０に示されているように、ミラー１の中心から７ｍｍ離れた地点での振動距離をｖｉｂｒｏｍｅｔｅｒにて測定した。そして、ミラー１、ミラーホルダー２及びコイル３の全体的な減衰係数ｃ（damping coefficient,Nms）及び弾性係数ｋ（spring coefficient,N/m）を同じくした。
【００２８】
実験例
【００２９】
ミラーホルダー２の一部を切開して、図４に示されているように、十字形状に作って、ミラーホルダー２の質量慣性モーメントを減少させた。そして、ミラーホルダー２の材質はアルミニウムにした。ミラー１、ミラーホルダー２及びコイル３の全体的な減衰係数はｃ＝０．００７（Ｎｍｓ）、弾性係数はｋ＝３８．２４８４３４（Ｎ／ｍ）であり、それぞれの質量及び質量慣性モーメントは次の表１のように構成した。
【００３０】
ミラー、ミラーホルダー及びコイルの材質、質量及び質量慣性モーメントを示す。
【表１】
2007004154.tif 000003
【００３１】
比較例
【００３２】
ミラーホルダー２の一部を切開しないでミラー１の形状と同じに四角にした。そして、材質もスチール（steel）を含んで形成した。ミラー１、ミラーホルダー２及びコイル３の全体的な減衰係数はｃ＝０．００７（Ｎｍｓ）、弾性係数はｋ＝３８．２５（Ｎ／ｍ）であり、それぞれの質量及び質量慣性モーメントは次の表２のように構成した。
【００３３】
ミラー、ミラーホルダー及びコイルの材質、質量及び質量慣性モーメントを示す。
【表２】
2007004154.tif 000004
【００３４】
実験結果
【００３５】
上記表１及び表２から、実験例は比較例に比べて質量と質量慣性モーメントにおいて著しく減少したことが分かる。これによるミラー１及びミラーホルダー２の時間に応ずる変位波形を図１１Ａ及び図１１Ｂに示した。図１１Ａは、上記比較例に応ずる変位波形を示したグラフであり、図１１Ｂは、実験例に応ずる変位波形を示したグラフである。図１１Ａ及び図１１Ｂのライジングタイム及びオーバシュートを次の表３に示した。
【００３６】
比較例と実験例のライジングタイム及びオーバシュートの比較を示す。
【表３】
2007004154.tif 000005
【００３７】
上記表３から、ミラーホルダーの質量慣性モーメントを減少させることにより、ライジングタイム及びオーバシュートを著しく減らすことができるということが分かる。したがって、本発明の振動型ティルティング装置は、ライジングタイムの減少による追従能力の上昇と、オーバシュートの減少により残振をとり除くことで振動性能を進めることができる。以上、本発明の実施例を説明したが、本発明の多様な変更例と修正例が本発明の技術的思想を具現する限り、本発明の範囲に属することに解釈されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】従来の映像投射装置の概略図である。
【図２】従来の映像投射装置によってスクリーンに現われた画素構造を示す概略図である。
【図３】本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置の一実施例の斜視図である。
【図４】本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置のミラーホルダーの一部を切開した状態を示す斜視図である。
【図５】本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置のミラーホルダーに多数の貫通孔を穿孔した状態を示す斜視図である。
【図６】ミラーホルダーをポリフェニレンサルファイドにて製作した場合の疲労限度を示すＳ−Ｎグラフである。
【図７】本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置の作動状態を示す断面図である。
【図８】本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置のティルティング作用を示す概略図である。
【図９】本発明の好ましい一実施例による振動型ティルティング装置によってスクリーンに投射された画素構造を示す概略図である。
【図１０】ミラーホルダーの質量慣性モーメントの変化に応ずるティルティング装置の振動性能を実験するためのミラー、ミラーホルダー及びコイルを示す概略図である。
【図１１Ａ】質量慣性モーメントを減少させなかったミラーホルダーの時間に応ずる変位を測定したグラフである。
【図１１Ｂ】質量慣性モーメントを減少させたミラーホルダーの時間に応ずる変位を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３９】
１  ミラー
２  ミラーホルダー
３  コイル
５  コア
７  マグネット
９  ヨーク
１０  ティルティング装置
１１  ランプ
１３  集光レンズ
１５  カラーホイール
１７  視準レンズ
１９  ＤＭＤ
２１  固定部
２３  ベンディング部
２５  ミラー支持部
６０  投射レンズ
【図１】
2007004154.tif 000006
【図２】
2007004154.tif 000007
【図３】
2007004154.tif 000008
【図４】
2007004154.tif 000009
【図５】
2007004154.tif 000010
【図６】
2007004154.tif 000011
【図７】
2007004154.tif 000012
【図８】
2007004154.tif 000013
【図９】
2007004154.tif 000014
【図１０】
2007004154.tif 000015
【図１１Ａ】
2007004154.tif 000016
【図１１Ｂ】
2007004154.tif 000017