(57)【要約】【課題】低真空領域での圧力制御を容易に可能とすることができ、制御時間を大幅に短縮する。【解決手段】弁支えの弁デスクに対する相対的な移動に伴なって弁デスクを弁座の方向に受け板を反弁座面の方向に拡げる手段と、受け板を保持する手段と、を有して、受け板を保持手段によって保持する時に弁デスクは弁座に対して未完閉止状態におかれ、弁支えの弁デスクに対する更なる相対的移動に伴なって弁デスクは弁座に対して完全閉止状態におかれるようにして構成される。【選択図】図２０
2007278383.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段と、を有して、前記弁デスクで前記弁座を閉止するようにした振子式ゲートバルブにおいて、
前記弁デスクを前記弁座に対して未完閉止状態であってコンダクタンス低減領域に置くときに、未完閉止状態によって形成される隙間を流れる流体による逆圧に対して抵抗を増大させ、前記弁デスクの振動を抑制するコンダクタンス低減手段を設け、前記弁デスクに対する更なる移動に伴なって前記弁デスクは前記弁座に対して完全閉止状態におかれること
を特徴とする振子式ゲートバルブ。
【請求項２】
中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座および他方の開口を形成した前記弁箱の壁の内面に設けた反弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段と、前記弁デスクに相対的に移動されるよう前記ロッドの遊端に連結した弁支えと、該弁支えに相対的に移動されるように、かつ前記反弁座面に対向し前記弁デスクに対峙して設けた受け板と、前記ロッドを傾動させるとき、前記弁支えの前記弁デスクに対する相対的な移動に伴なって前記弁デスクを前記弁座の方向に受け板を前記反弁座面の方向に拡げる手段と、前記受け板を保持する手段と、を有して、前記弁デスクで前記弁座を閉止するようにした振子式ゲートバルブにおいて、
前記受け板を前記保持手段によって保持する時に前記弁デスクは前記弁座に対して未完閉止状態におかれ、前記弁支えの前記弁デスクに対する更なる相対的移動に伴なって前記弁デスクは前記弁座に対して完全閉止状態におかれること
を特徴とする振子式ゲートバルブ。
【請求項３】
請求項５において、前記保持手段は、前記受け板が前記反弁座面に接触保持することによって構成されることを特徴とする振子式ゲートバルブ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかにおいて、前記弁デスクには前記弁座に対向してシールリングが設けてあることを特徴とする振子式ゲートバルブ。
【請求項５】
中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座および他方の開口を形成した前記弁箱の壁の内面に設けた反弁座と、前記弁座に離接されるように前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、前記動力伝達手段が前記弁デスクに形成された第１コロガイド溝と、前記弁デスクに相対的に移動されるよう前記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、前記第１コロガイド溝に対向する第２コロガイド溝と、前記第１、第２コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第１のコロと、前記弁支えに設けた第４コロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、前記第４コロガイド溝に対向する第３コロガイド溝と、前記第３、第４コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第２のコロとより成り、前記第１コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延びる長孔であり、前記第２コロガイド溝が、前記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延びる長孔であり、前記第４コロガイド溝が、前記弁デスクに近づく方向に斜め下方に延びる長孔であり、前記第３コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め上方に延びる長孔である振子式ゲートバルブにおいて、
前記第１のコロおよび第２のコロが夫々係合する長孔内を斜め方向に転動するときに、前記受け板は、前記反弁座面に接触保持され、この時に前記弁デスクは、前記弁座に対して未完閉止状態であること
を特徴とする振子式ゲートバルブ。
【請求項６】
中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座および他方の開口を形成した前記弁箱の壁の内面に設けた反弁座と、前記弁座に離接されるように前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、前記動力伝達手段が前記弁デスクに形成された第１コロガイド溝と、前記弁デスクに相対的に移動されるよう前記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、前記第１コロガイド溝に対向する第２コロガイド溝と、前記第１、第２コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第１のコロと、前記弁支えに設けた第４コロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、前記第４コロガイド溝に対向する第３コロガイド溝と、前記第３、第４コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第２のコロとより成り、前記第１コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、前記第２コロガイド溝が、前記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であり、前記第４コロガイド溝が、前記弁デスクに近づく方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、前記第３コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔である振子式ゲートバルブにおいて、
前記第１のコロおよび第２のコロが夫々係合する長孔内を斜め方向に転動するときに、前記受け板は、前記反弁座面に接触保持され、この時に前記弁デスクは、前記弁座に対して未完閉止状態にあり、略垂直に転動する時に前記受け板が前記反弁座面に接触保持されている状態で、前記弁デスクは、前記弁座に対して完全閉止状態になること
を特徴とする振子式ゲートバルブ。
【請求項７】
中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座および他方の開口を形成した前記弁箱の壁の内面に設けた反弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、前記動力伝達手段が前記弁デスクの前記弁座と反対側の背面に夫々突出せしめた互いに離間して対向する２枚のホルダーと、前記ホルダーの互いに対向する面に形成された第１コロガイド溝と、前記弁デスクに相対的に移動されるよう前記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、前記第１コロガイド溝に対向する第２コロガイド溝と、前記第１、第２コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第１コロと、前記弁支えに設けた第４コロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、前記第４コロガイド溝に対向する第３コロガイド溝と、前記第３、第４コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第２のコロとより成り、前記第１及び第２コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延びる長孔であり、前記第３及び第４コロガイド溝が、前記弁箱の他方の開口から離れる方向に斜め下方に延びる長孔である振子式ゲートバルブにおいて、
前記第１のコロおよび第２のコロが夫々係合する長孔内を斜め方向に転動するときに、前記受け板は、前記反弁座面に接触保持され、この時に前記弁デスクは、前記弁座に対して未完閉止状態であること
を特徴とする振子式ゲートバルブ。
【請求項８】
中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座および他方の開口を形成した前記弁箱の壁の内面に設けた反弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、前記動力伝達手段が前記弁デスクの前記弁座と反対側の背面に夫々突出せしめた互いに離間して対向する２枚のホルダーと、前記ホルダーの互いに対向する面に形成された第１コロガイド溝と、前記弁デスクに相対的に移動されるよう前記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、前記第１コロガイド溝に対向する第２コロガイド溝と、前記第１、第２コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第１のコロと、前記弁支えに設けた第４コロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、前記第４コロガイド溝に対向する第３コロガイド溝と、前記第３、第４コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第２のコロとより成り、前記第１コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、第２コロガイド溝が、前記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であり、前記第４コロガイド溝が、前記弁箱の他方の開口から離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、前記第３コロガイド溝が、前記弁箱の他方の開口に近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔である振子式ゲートバルブにおいて、
前記第１のコロおよび第２のコロが夫々係合する長孔内を斜め方向に転動するときに、前記受け板は、前記反弁座面に接触保持され、この時に前記弁デスクは、前記弁座に対して未完閉止状態にあり、略垂直に転動する時に前記受け板が前記反弁座面に接触保持されている状態で、前記弁デスクは、前記弁座に対して完全閉止状態になること
を特徴とする振子式ゲートバルブ。
【請求項９】
中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段と、を有して、前記弁デスクで前記弁座を閉止するようにした振子式ゲートバルブ振子式ゲートバルブによるゲートバルブ開閉方法において、
前記弁デスクを前記弁座に対して未完閉止状態であってコンダクタンス低減領域に置くときにコンダクタンス低減によって未完閉止状態で形成される隙間を流れる流体による逆圧に対して抵抗を増大させて前記弁デスクの振動を抑制し、この状態で前記弁デスクの更なる移動に伴って前記弁デスクを前記弁座に対して完全閉止状態におくこと
を特徴とする振子式ゲートバルブのゲートバルブ開閉方法。
【請求項１０】
弁デスクに対峙して設けた受け板と、前記ロッドを傾動させたとき、前記弁支えの前記弁デスクに対する相対的な移動に伴なって前記弁デスクを前記弁座の方向に、そして前記受け板を前記反弁座面の方向に拡げ、前記受け板が前記反弁座面に接触保持され、前記弁デスクが前記弁座を閉止するようにした振子式ゲートバルブによるゲートバルブ開閉方法において、
前記弁デスクが前記弁座に対して未完閉止状態にある時に、前記受け板を前記反弁座面に接触保持させてシール逆方向に作用する流体圧力に対してコンダクタンス低減（ゼロを含む）状態を形成すること
を特徴とする振子式ゲートバルブのゲートバルブ開閉方法。
【請求項１１】
請求項９または１０において、コンダクタンス低減領域で前記弁デスクをわずかに開く制御を行うことを特徴とする振子式ゲートバルブのゲートバルブ開閉方法。
【請求項１２】
請求項９または１０において、前記コンダクタンス低減領域で前記弁デスクによる完全閉止状態にし、該完全閉止状態形成は、該弁デスクに取り付けたシールリングを押圧した状態でなされることを特徴とする振子式ゲートバルブのゲートバルブ開閉方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は振子式ゲートバルブ、特に、半導体ウエハー等の処理装置に用いる振子式のゲートバルブおよびゲートバルブ開閉方法に関する。このような振子式ゲートバルブは、ＡＰＣ（Ａｄａｐｔｉｖｅ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）ペンドロールバルブと呼ばれている。ＡＰＣ（ペンドロールバルブ）は、真空雰囲気のある装置に使用され、真空ポンプとチャンバー間に設置することによりチャンバー内の圧力を自動制御することになる。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハーや液晶基板などの処理装置においては、ウエハーや基板に対し、種々の処理を行う処理案内を処理室の壁に設けた開口を介して真空に排気しており、壁には壁の開口を開閉するために例えば振子式のゲートバルブが設けられている。
【０００３】
従来の振子式ゲートバルブとしては例えば特許文献１に示すものがある。
【０００４】
図２４及び図２５は従来の振子式ゲートバルブを示し、１は略楕円形断面の中空の弁箱、２、３は弁箱１の互いに対向する壁に軸方向に対向して夫々設けた円形状の開口、４は一方の開口２を形成した弁箱１の壁の内側面に設けた弁座、５は弁座４に離接されるよう弁箱１の内部に配置した円盤状の弁デスク、７は弁箱１に設けた枢支部、６はその一端を弁デスク５に固定し、他端を枢支部７に傾動自在に枢支せしめたロッド、８は弁箱１に固定したロッド駆動装置である。ロッド駆動装置８は上記ロッド６を枢支部７を中心として傾動または揺動自在ならしめると共に、弁座４に対向せしめた後上記弁デスク５を上記ロッド６を介して上記弁座４の方向に向かって押圧せしめるように構成さている。
【０００５】
このように、従来の振子式ゲートバルブはロッド駆動装置８を操作して、弁デスク５が弁座４に対向する位置までロッド６を傾動せしめ、この状態で、さらにロッド駆動装置８を操作して、弁デスク５を弁座４に押圧せしめ、弁デスク５によって開口２をシールするようになっている。
【０００６】
しかしながら、従来の振子式ゲートバルブにおいては、弁デスク５の中央部をロッド６の先端部で弁座４に押圧するものであるためロッド６に大きな力を加える必要があり、そのためロッド駆動装置８を大きくする必要があり、また、ロッド６も太いものを用いる必要があった。
【０００７】
そのため、特許文献２に示すように、弁デスク５に対向する弁板を用い、弁デスク５とこの弁板間に圧力流体を導入して夫々を離間せしめる方向に抑制し、弁板が開口３に対接したときの反力を利用することにより弁デスク５を弁座４に押圧するようにしたものもあるが、圧力流体を導入する装置が別途必要で、装置が大きくなる。
【０００８】
本発明者等はこの欠点を除くようにするために、特許文献３に示す流量制御バルブすなわち、振子式ゲートバルブを提案した。すなわち、この公報には中空の弁箱と、上記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、上記一方の開口を形成した上記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、上記弁座に離接されるよう上記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を上記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、上記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、上記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、上記動力伝達手段が上記弁デスクに形成された第１のコロガイド溝と、上記弁デスクに相対的に移動されるよう上記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、上記第１のコロガイド溝に対向する第２のコロガイド溝と、上記第１、第２のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第１のコロと、上記弁支えに設けた第４のコロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、上記第４のコロガイド溝に対向する第３のコロガイド溝と、上記第３、第４のコロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第２のコロとより成り、上記第１のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延びる長孔であり、上記第２のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延びる長孔であり、上記第４のコロガイド溝が、上記弁デスクに近づく方向に斜め下方に延びる長孔であり、上記第３のコロガイド溝が、上記弁デスクから離れる方向に斜め上方に延びる長孔であることを特徴とする流量制御バルブが記載されている。
【０００９】
特許文献４には、バルブプレートの終端位置において、接触リングはスプリング手段の付勢力に接してバルブプレート方向に押圧され、周囲の面を越えてバルブ本体の接触面に接触するようにした制御スライドバルブが記載されている。
【００１０】
【特許文献１】米国特許第６，０８９，５３７号公報
【特許文献２】特開平３−２７７８７６号公報
【特許文献３】特許第３５８８６３７号公報
【特許文献４】特開２００５−９６７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述した流量制御バルブによれば、受け板には最大荷重が加えられ、この力が反力として弁デスクに加えられることによって弁デスクが弁座に強固に押圧されるというメリットがある。
【００１２】
ところで、弁デスク５が弁座に完全閉止状態とされる直前の未完閉止状態、すなわち、わずかに開放あるいはシール材が初期接触の状態においてシール方向と逆方向に逆圧が作用するとそのクローズ状態を保持することが困難となる制御不能範囲が出現することがある。このような場合、マイクロステップ駆動方式によって閉止操作を行うに際してなめらかな制御が行えず、またクローズドモータ制御を採用した場合に即応性が得られないという問題がある。
【００１３】
本発明は、かかる点に鑑みて弁デスクが弁座に完全閉止状態とされる直前の未完閉止状態において逆圧が作用した時に、未完閉止状態を形成して低真空領域での安定した圧力制御を可能にすることができる振子式ゲートバルブあるいは／およびこれを使用したゲートバルブ開閉方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、振子運動とシール運動とを一つの駆動源で行うことを前提として、弁デスクが弁座に完全閉止するいわゆる締め切りの直前の圧力制御不安定領域において逆圧に対するコンダクタンスをゼロまでの領域においてコンダクタンスを低減する手段を設けたバルブ構造を提供することを特徴とする。
【００１５】
コンダクタンスを低減するバルブ構造は、受け板を弁座に対峙した反弁座面に上述の圧力制御不安定領域に直座、すなわち接触保持させ、反力を形成することによって達成される。反弁座面による接触保持は直接、間接を問わないが、直接的なものとすることによって構造をより簡単にすることができる。また、この受け板の反弁座面への拡がり動作は、特許文献３に示すバルブ構造によって容易に実現できるが、拡がり動作を発生させればよく、当該バルブ構造には限定されない。
【００１６】
本発明は、中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段と、を有して、前記弁デスクで前記弁座を閉止するようにした振子式ゲートバルブにおいて、
前記弁デスクを前記弁座に対して未完閉止状態であってコンダクタンス低減領域に置くときに、未完閉止状態によって形成される隙間を流れる流体による逆圧に対して抵抗を増大させ、前記弁デスクの振動を抑制するコンダクタンス低減手段を設け、前記弁デスクに対する更なる移動に伴なって前記弁デスクは前記弁座に対して完全閉止状態におかれること
を特徴とする振子式ゲートバルブあるいは／およびこの振子式ゲートバルブによるゲートバルブ開閉方法を提供する。
【００１７】
本発明は、更に、中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座および他方の開口を形成した前記弁箱の壁の内面に設けた反弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段と、前記弁デスクに相対的に移動されるよう前記ロッドの遊端に連結した弁支えと、該弁支えに相対的に移動されるように、かつ前記反弁座面に対向し前記弁デスクに対峙して設けた受け板と、前記ロッドを傾動させるとき、前記弁支えの前記弁デスクに対する相対的な移動に伴なって前記弁デスクを前記弁座の方向に受け板を前記反弁座面の方向に拡げる手段と、前記受け板を保持する手段と、を有して、前記弁デスクで前記弁座を閉止するようにした振子式ゲートバルブにおいて、
前記受け板を前記保持手段によって保持する時に前記弁デスクは前記弁座に対して未完閉止状態におかれ、前記弁支えの前記弁デスクに対する更なる相対的移動に伴なって前記弁デスクは前記弁座に対して完全閉止状態におかれること
を特徴とする振子式ゲートバルブあるいは／およびこの振子式ゲートバルブによるゲートバルブ開閉方法を提供する。
【００１８】
また、本発明は、前記保持手段は、前記受け板が前記反弁座面に接触保持することによって構成されることを特徴とする振子式ゲートバルブを提供する。
【００１９】
また、本発明は、前記弁デスクには前記弁座に対向してシールリングが設けてあることを特徴とする振子式ゲートバルブを提供する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、弁デスクが弁座に完全閉止状態とされる直前の未完閉止状態において逆圧が作用した時に、未完閉止状態を形成して低真空領域での安定した圧力制御を可能にすることができる振子式ゲートバルブあるいは／およびこれを使用したゲートバルブ開閉方法を提供することができる。
【００２１】
また、本発明によれば、振子運動とシール運動とを１つの駆動原（モータ）で駆動することができ、完全閉止状態までの制御を任意に、すなわち思いのままに行うことのできる振子式ゲートバルブあるいは／およびこれを使用したゲートバルブ開閉方法を提供することができる。
【００２２】
すなわち、本発明によれば、低真空領域での圧力制御を可能とすることができ、制御時間を大幅に短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の実施例である振子式ゲートバルブは、中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座および他方の開口を形成した前記弁箱の壁の内面に設けた反弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、前記動力伝達手段が前記弁デスクに形成された第１コロガイド溝と、前記弁デスクに相対的に移動されるよう前記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、前記第１コロガイド溝に対向する第２コロガイド溝と、前記第１、第２コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第１のコロと、前記弁支えに設けた第４コロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、前記第４コロガイド溝に対向する第３コロガイド溝と、前記第３、第４コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第２のコロとより成り、前記第１コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延びる長孔であり、前記第２コロガイド溝が、前記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延びる長孔であり、前記第４コロガイド溝が、前記弁デスクに近づく方向に斜め下方に延びる長孔であり、前記第３コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め上方に延びる長孔である振子式ゲートバルブであって、
前記第１のコロおよび第２のコロが夫々係合する長孔内を斜め方向に転動するときに、前記受け板は、前記反弁座面に接触保持され、この時に前記弁デスクは、前記弁座に対して未完閉止状態であることを特徴として構成される。
【００２４】
また、本発明の実施例である振子式ゲートバルブは、中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座および他方の開口を形成した前記弁箱の壁の内面に設けた反弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、前記動力伝達手段が前記弁デスクに形成された第１コロガイド溝と、前記弁デスクに相対的に移動されるよう前記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、前記第１コロガイド溝に対向する第２コロガイド溝と、前記第１、第２コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第１のコロと、前記弁支えに設けた第４コロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、前記第４コロガイド溝に対向する第３コロガイド溝と、前記第３、第４コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第２のコロとより成り、前記第１コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、前記第２コロガイド溝が、前記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であり、前記第４コロガイド溝が、前記弁デスクに近づく方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、前記第３コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔である振子式ゲートバルブであって、
前記第１のコロおよび第２のコロが夫々係合する長孔内を斜め方向に転動するときに、前記受け板は、前記反弁座面に接触保持され、この時に前記弁デスクは、前記弁座に対して未完閉止状態にあり、略垂直に転動する時に前記受け板が前記反弁座面に接触保持されている状態で、前記弁デスクは、前記弁座に対して完全閉止状態になることを特徴として構成される。
【００２５】
また、本発明の実施例である振子式ゲートバルブは、中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座および他方の開口を形成した前記弁箱の壁の内面に設けた反弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、前記動力伝達手段が前記弁デスクの前記弁座と反対側の背面に夫々突出せしめた互いに離間して対向する２枚のホルダーと、前記ホルダーの互いに対向する面に形成された第１コロガイド溝と、前記弁デスクに相対的に移動されるよう前記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、前記第１コロガイド溝に対向する第２コロガイド溝と、前記第１、第２コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第１コロと、前記弁支えに設けた第４コロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、前記第４コロガイド溝に対向する第３コロガイド溝と、前記第３、第４コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第２のコロとより成り、前記第１及び第２コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延びる長孔であり、前記第３及び第４コロガイド溝が、前記弁箱の他方の開口から離れる方向に斜め下方に延びる長孔である振子式ゲートバルブであって、
前記第１のコロおよび第２のコロが夫々係合する長孔内を斜め方向に転動するときに、前記受け板は、前記反弁座面に接触保持され、この時に前記弁デスクは、前記弁座に対して未完閉止状態であることを特徴として構成される。
【００２６】
本発明の実施例である振子式ゲートバルブは、中空の弁箱と、前記弁箱の互いに対向する壁に軸方向に対向して設けた一方及び他方の開口と、前記一方の開口を形成した前記弁箱の壁の内側面に設けた弁座および他方の開口を形成した前記弁箱の壁の内面に設けた反弁座と、前記弁座に離接されるよう前記弁箱内に配置した弁デスクと、その基部を前記弁箱に傾動自在に枢支せしめたロッドと、前記ロッドを傾動せしめる駆動装置と、前記ロッドの動きを弁デスクに伝達する動力伝達手段とより成り、前記動力伝達手段が前記弁デスクの前記弁座と反対側の背面に夫々突出せしめた互いに離間して対向する２枚のホルダーと、前記ホルダーの互いに対向する面に形成された第１コロガイド溝と、前記弁デスクに相対的に移動されるよう前記ロッドの遊端に連結した弁支えと、この弁支えに形成した、前記第１コロガイド溝に対向する第２コロガイド溝と、前記第１、第２コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第１のコロと、前記弁支えに設けた第４コロガイド溝と、受け板と、この受け板に形成した、前記第４コロガイド溝に対向する第３コロガイド溝と、前記第３、第４コロガイド溝に夫々係合せしめた共通の第２のコロとより成り、前記第１コロガイド溝が、前記弁デスクから離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、第２コロガイド溝が、前記弁デスクに近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔であり、前記第４コロガイド溝が、前記弁箱の他方の開口から離れる方向に斜め下方に延び次いで略垂直となる長孔であり、前記第３コロガイド溝が、前記弁箱の他方の開口に近づく方向に斜め上方に延び次いで略垂直となる長孔である流量制御バルブであり、
前記第１のコロおよび第２のコロが夫々係合する長孔内を斜め方向に転動するときに、前記受け板は、前記反弁座面に接触保持され、この時に前記弁デスクは、前記弁座に対して未完閉止状態にあり、略垂直に転動する時に前記受け板が前記反弁座面に接触保持されている状態で、前記弁デスクは、前記弁座に対して完全閉止状態になることを特徴として構成される。
【００２７】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２８】
以下、本発明の実施例を特許文献３に記載した流量制御バルブ、すなわち振子式ゲートバルブを使用して構成する例について説明する。
【００２９】
本発明の実施例である振子式ゲートバルブ１００は、図１〜図３に示すように、略楕円形断面の中空の弁箱１と、弁箱１の互いに対向する壁に軸方向に夫々設けた円形状の開口２、３と、開口２を形成した弁箱１の壁の内側面に形成した弁座４と、弁座４に対接されるよう弁箱１内に配置した円盤状の弁デスク（弁体）５と、弁箱１に設けた枢支部７（図２４）と、その一端を弁デスク５に係合、すなわち連結し他端を枢支部７に傾動自在に枢支せしめたロッド６と、弁箱１に設けた、ロッド６を傾動せしめるロッド駆動装置８と、ロッド６の傾動を弁デスク５に伝達する動力伝達手段９とにより構成される。
【００３０】
動力伝達手段９には、図４及び図５に示すように弁デスク５の背面５ａから夫々突出せしめた互いに離間して対向する２枚の（一対，２組）ホルダー１０と、ホルダー１０の互いに対向する面に形成した第１コロガイド溝１１と、互いに対向する第１コロガイド溝１１に夫々その両端部が挿入係合される第１のコロ１２と、ロッド６の一端に固定し、上記２枚のホルダー１０間に挿入した弁支え１３と、第１のコロ１２を受容するため弁支え１３に貫通して設けた第２コロガイド溝１４とを有せしめる。
【００３１】
なお、ホルダー１０に形成した第１コロガイド溝１１は、図２〜図６に示すように弁デスク５から離れる方向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる、第１のコロ１２の直径と略等しい幅の長孔とし、第２コロガイド溝１４は図２及び図７に示すように第１コロガイド溝１１と対応する位置で弁座４に近づく方向に斜め上方に延び、次いで略垂直となる、第１のコロ１２の直径と略等しい幅の長孔とし、この結果、弁デスク５と相対的にホルダー１０に沿って弁支え１３を図２及び図３において上下に摺動したとき、弁支え１３に相対的に弁デスク５が弁座４に拡大方向に移動、すなわち離接する方向に移動されるようにする。
【００３２】
更に本実施例においては動力伝達手段９に、図３及び図５に示すように、弁支え１３の両側面に夫々配置せしめた左右一対の受け板１５と、左右の受け板１５間を連結する連結杆１６と、受け板１５の互いに対向する面に形成した第３コロガイド溝１７と、互いに対向する第３コロガイド溝１７にその両端部が挿入係合される第２のコロ１８と、第２のコロ１８を受容するため弁支え１３に貫通して設けた第４コロガイド溝１９と、図８に示すように各ホルダー１０と各受け板１５を夫々連結する板バネ２０と、図９に示すようにロッド６を弁デスク５に相対的に常時一方向に抑制せしめるため、その一端を上記ロッド６の一端側に固定し、他端を弁デスク５に固定した引張バネ２１と、弁デスク５の下端部から下方に突出した板バネ等のストッパー２２とを有せしめる。
【００３３】
なお、板バネ２０は、ホルダー１０と受け板１５が互いに相対的にロッド６の傾動方向に移動することは抑制するが、これと直角の方向には抑制しないように機能する。
【００３４】
また、受け板１５に形成した第３コロガイド溝１７は、図１０に示すように弁箱１の開口３から離れる方向に斜め下方に延び、次いで略垂直となる第２のコロ１８の直径と略等しい幅の長孔とし、弁支え１３に形成する第４コロガイド溝１９は図２及び図７に示すように第３コロガイド溝１７と対応する位置で弁箱１の開口３に近づく方向に斜め上方に延び、次いで略垂直となる、第２のコロ１８の直径と略等しい幅の長孔とし、この結果、受け板１５と相対的にホルダー１０に沿って弁支え１３を図２及び図３に示すように上下に摺動したときに、弁支え１３に相対的に受け板１５が開口３に離接する方向に移動されるようにする。
【００３５】
本実施例の振子式ゲートバルブ１００は上記のような構成であるから、図１に示すゲートバルブ開口２、３を開いた状態から、これを閉じるときは、ロッド駆動装置８を操作してロッド６を開口２、３位置に移動せしめれば、図１１及び図１２に示すように、弁デスク５はその下端部から突出したストッパー２２が弁箱１の内側面に突き当たって停止するようになる。ロッド６を更に移動せしめれば、弁支え１３が引張バネ２１を引張しながら弁デスク５に相対的にロッド６と共に移動し、第１のコロ１２がホルダー１０の第１コロガイド溝１１の下端までコロガイド溝１１、１４内を転道しながら移動し、最終的には第１のコロ１２はホルダー１０の第1コロガイド溝１１の下端の略垂直な部分を下方に移動し、また、弁支え１３の第２コロガイド溝１４の上端の略垂直な部分に移動し、弁デスク５に最大荷重が加えられ、弁デスク５が弁座４に強固に押圧されるようになる。
【００３６】
同様にして弁支え１３の第４コロガイド溝１９を貫通する第２のコロ１８は、図１３に示すように受け板１５の第３コロガイド溝１７の下端までコロガイド溝１７内を転動しながら移動し、最終的には第２のコロ１８は受け板１５の第３コロガイド溝１７の下端の略垂直な部分を下方に移動し、また、弁支え１３の第４コロガイド溝１９の上端の略垂直な部分に移動し、受け板１５には最大荷重が加えられ、この力が反力として弁デスク５に加えられ弁デスク５が弁座４に更に強固に押圧されるようになる。
【００３７】
なお、この状態で駆動装置８によるロッド６の傾動を停止すれば弁デスク５は弁座４に押圧された状態に維持される。
【００３８】
振子式ゲートバルブ１００を開く場合には、ロッド駆動装置８を操作して開口２、３を開く方向にロッド６を傾動せしめる。この場合、まず引張バネ２１のバネ力によってホルダー１０及び受け板１５に相対的に弁支え１３のみが移動し、コロ１２、１８が弁支え１３と共にホルダー１０、受け板１５のコロガイド溝１１、１７内を転動しながら移動し、この結果、弁デスク５が弁座４から離れ、また、受け板１５が開口３から離れ、その後、更にロッド６を移動せしめれば弁デスク５がロッド６と共に移動し、開口２、３が開くようになる。
本発明の他の例においては、ホルダー１０及び受け板１５を夫々一体としてもよい。
【００３９】
以下、振子式ゲートバルブ１００、すなわちベンドロールバルブの動作を構成を参照して説明する。なお、説明の都合上、図面が重複する場合がある。
【００４０】
（１）弁デスク（弁体）５と弁支え（駆動棒）１３の連結（図１４）
なお、図１４は図４に対応する。
ホルダー１０と弁支え１３には、それぞれ前述した斜めおよび垂直方向の長孔とされた第１コロガイド溝（長穴）１１および第２コロガイド溝（長穴）１４が設けてある。
これらのコロガイド溝１１、１４と第１のコロ（駆動ローラー）１２を介して、ホルダー１０は弁支え１３と連結（係合）され、弁デスク５に固定される。弁支え１３が駆動され、移動すると、第２コロガイド溝１４は第１のコロ１２を第１コロガイド溝に沿って転動させ、これによって弁デスク５は弁支え１３から離れるように、すなわち拡がる方向に移動され得るようになる。
【００４１】
（２）受け板１５と弁支え１３の連結（図１５）
なお、図１５は図５に対応する。
受け板１５にも、ホルダー１０に設けた同様に傾斜を持った第３コロガイド溝（長穴）１７が加工してある。弁支え１３には図７に示すように第２コロガイド溝１４とは逆傾斜した第４コロガイド溝（長穴）１９が加工してある。
これらのコロガイド溝１７、１９と第２のコロ（駆動ローラー）１８を介して受け板１５は弁支え１３と連結（係合）される。弁支え１３が駆動され、移動すると、第４コロガイド溝１９は第２のコロ１８を第３コロガイド溝１７に沿って転動させ、これによって受け板１５は弁支え１３から離れるように、すなわち、拡がる方向に移動され得るようになる。弁支え１３の移動に伴なって受け板１５および弁デスク５の双方が拡がる方向に移動することになる。
【００４２】
（３）板バネ２０の取付け（図１６）
ホルダー１０と受け板１５とを板バネ２０によって連結する。これにより、ホルダー１０と受け板１５とはＹ方向（受け板長手方向）に関して固定される。また、Ｚ方向（拡がり方向）に関しては板バネ２０のバネ力により、ホルダー１０と受け板１５が引き合う方向に力が働くことになる。
【００４３】
（４）弁支え１３とロッド（アーム）６の連結（図１７）
なお、図１７は図８に対応する。
弁支え１３は、ロッド６とパワーボルト３１によって固定される。弁支え１３とロッド６は、弁支え１３に設けた切り欠きの範囲内で回転することができる。
【００４４】
（５）引張りバネ（スプリング）２１の取付、及び弁開状態（図１８）
ロッド６と弁デスク５とを引張りバネ２１により連結する。これにより、弁開状態でのロッド６と弁支え１３（すなわち弁デスク５）との角度を一定にする。
【００４５】
（６）弁閉動作（図１９）
なお、図１９は図９に対応する。
弁閉の動作では受け板１５とホルダー１０（弁デスク５）は、弁閉位置で固定され、弁支え１３のみがロッド６の回転運動によりＹ方向に移動する。
これにより、第１のコロ１２、第２のコロ１８が第１コロガイド溝１１、第２コロガイド溝１４、第３コロガイド溝１７、第４コロガイド溝１９の中を傾斜に沿って転動し、受け板１５とホルダー１０（弁デスク５）はＺ方向に板バネ２０が撓みながら拡がることになる。
【００４６】
（７）コンダクタンス低減手段を備えたコンダクタンス低減領域の形成（図２０）
ここで、第１コロガイド溝１１が、弁デスク５から離れる方向に斜め下方に延びる長孔であり、第２コロガイド溝１４が弁デスク５に近づく方向に斜め上方に延びる長孔であり、第３コロガイド溝１７が弁デスク５に近づく方向に斜め下方に延びる長孔であり、第４コロガイド溝１９が、弁デスク５から離れる方向に斜め上方に延びる長孔であり、斜め方向に延びる長孔によって水平方向の距離、すなわち拡がり距離が定まる。第２のコロ１８が第３コロガイド溝１７および第４コロガイド溝１９の端部（ａ）から端部（ｃ）へと転動する間（ｂ）において、受け板１５がホルダー１０（弁デスク５）あるいは弁支え１３から完全に拡がりきる直前（手前）の状態においてコンダクタンス低減領域が形成される。配管抵抗の逆数あるいは流体の流れに対する抵抗の逆数として理解し得る。
【００４７】
第１のコロ１２および第２のコロ１８が夫々係合する長孔内を傾斜に沿って転動するときに、（ｂ）の状態において、すなわち拡がりの途中（斜め方向の長孔の移転動中に）おいて、受け板１５は反弁座面に直座、すなわち接触保持される。従って、これ以上拡がることがない。この時に、ホルダー１０（弁デスク５）は弁座に対し直座していない。すなわち未完閉止状態にある。なお、反弁座面は弁箱１の開口３を形成した壁の内側面に設けた弁座であって弁座と区別するために反弁座面と称するが、弁座４のようにシールリング（０リング、シール材）３２が接触することはない。弁デスク５には開口２に向けて開口２を取り囲むようにシールリング３２が設けてある。上述の未完閉止状態にあっては、シールリング３２は弁座に接触開始しているが弁デスク５自体は弁座に着座した状態となっていない。すなわち弁デスク５は更に弁座方向に接近、弁支え１３から見れば拡がる方向に移動可能である。（ｂ）状態ではシールリング３２が接触開始していると説明したがシールリング３２が接触開始する直前に設定されてもよい。
【００４８】
いずれにしても、このような状態である弁デスク５が弁座に直座する直前の未完閉止状態にあっては従来、制御不安定状態であり、制御不能範囲とされて来た。
本実施例にあっては、受け板１５が反弁座面に直座することによって弁デスク５が弁支え１３を介してしっかりと支えられ、弁デスク５と弁座との間の時間を通って流れる流体によって形成される逆圧に対するコンダクタンス低減（直接的にコンダクタンス０を形成する場合を含む）領域が形成されることになる。コンダクタンス低減領域は、受け板１５の反弁座面に対する直接あるいは間接的な接触保持によって形成され得、上述の不安定制御領域が安定制御領域となる。
【００４９】
上述の例では弁支え１３のＹ方向への移動に伴なって受け板１５と弁デスク５とは弁支え１３に対して一体的に拡がる方向に拡がることを特徴としているが、弁支え１３の移動によって受け板１５および弁デスク５が別個にあるいは別個にかつ時間をずらして移動する構成として反力を受けた状態でコンダクタンス低減領域を形成するようにしてもよい。このように、受け板１５で反力を受けた上で弁デスク５を弁箱１の本体に押し付ける構造としているために、弁デスク５のシールリング３２が弁座に接着してクローズしている状態において逆圧が作用した場合にあってもそのクローズ状態を保持することができる。本例の場合、受け板１５を反弁座面に直座することとしているが、直接は望ましい形ではあるが必須の条件ではない。コンダクタンス低減領域において反力を受ける抵抗力を増大させることが重要である。このために、コンダクタンス低減領域の形成にあっては逆圧に対する抵抗力増大手段を設けることである。これによって次のステップの完全閉止状態に移行する時に逆圧による弁デスク５の振れを防止することが可能になる。すなわち、振動抑制手段であるコンダクタンス低減手段を設ける。
【００５０】
（８）完全閉止状態（図２１）
第１のコロ１２、第２のコロ１８が第１コロガイド溝１１、第２コロガイド溝１４、第３コロガイド溝１７、第４コロガイド溝１９の端部に図２１に示すように到達すると、受け板１５と弁デスク５は拡がりきり、それ以上拡がることはなく、完全閉止状態となる。この完全閉止状態は、第１のコロ１２、第２のコロ１８が長孔を略垂直に転動する時に形成される。この状態では第２のコロ１８は受け板１５の第３のコロガイド溝１７の下端の略垂直な部分を下方に移動し、また弁支え１３の第４コロガイド溝１９の上端の略垂直な部分に移動し、受け板１５には最大荷重が加えられ、この力が反力として弁デスク５に加えられ、弁デスク５が弁座に更に強固に押圧される。
【００５１】
（９）完全閉止状態から全開位置への動作
完全閉止状態から全開位置への動作は、全開位置から完全閉止状態形成操作の逆側への動作になる。この場合に上述したと同様にコンダクタンス低減領域が形成される。
図２２は本実施例の振子式ゲートバルブ（ペンドロールバルブ）１００を使用した場合のシステム構成を示す。
振子式ゲートバルブ１００の開口２、３の両側にそれぞれ真空チャンバ４１、真空ポンプ４２が設置され、真空チャンバ４１にＧＡＳを導入するためのマスフロー４３が設けられる。振子式ゲートバルブ１００はＡＰＣコントローラ４４によって制御されるようになっており、ＡＰＣコントローラ４４にはホストシステム４５およびＡＣ ｏｒ ＤＣ電源４６が接続される。真空チャンバ４１に真空計４７が、マスフロー４３にマスフローコントローラ４８が接続される。
【００５２】
圧力制御のために、マイクロステップ駆動方式を採用することができる。ステップ数はサイズにより異なるが、数百万〜数十万ステップとすることができ、高分解能とすることができる。従ってコンダクタンスゼロまで制御可能とする。バルブ構造と組み合わせることによって制御不能範囲を消滅させ、マイクロステップ駆動方式による正確でなめらかな制御を行うことができる。また、クローズトループモータ制御方式を採用することによって設定圧力までの制御時間を大幅に短縮することができる。すなわち、クローズトループモータ制御の採用によって、逐次変化する真空チャンバ４１の圧力に対して即時対応することができる。
【００５３】
図２３は、コンダクタンスゼロまで制御可能な振子式ゲートバルブ１００を使用したことによる設定圧力までの制御時間を大幅に短縮した例を示す。図２３（ａ）は、本実施例によるバルブストロークと圧力関係図を示し、図２３（ｂ）は従来例であるポジション制御させた場合のバルブストロークと圧力関係図を示す。
【００５４】
図２３（ａ）にあっては、コンダクタンスゼロまで弁デスク５は動作している。そして、図２３（ａ）に示すように、本実施例によれば、バルブ動作開始から５ｓｅｃで圧力安定となることが判る。そして、このような制御方式にあってはコンダクタンスゼロの直前で少しだけ弁デスク５を閉方向に動作させ、圧力安定に寄与する制御を行うことができる。
【００５５】
図２３（ｂ）に示す例にあっては圧力安定に必要なバルブ開度へ直接移動させる操作を行っても、バルブ動作開始から圧力安定までは少なくとも１０ｓｅｃ要している。
【実施例２】
【００５６】
図２６−図２８は本発明の第２の実施例を示す。振子式ゲートバルブとして構成することは先の第１の実施例と同様であり、同一の構成については同一番号を付し、第１の実施例の説明を援用するものとする。
【００５７】
図２６において、振子式ゲートバルブ１００は、略楕円形断面の中空弁箱１と、弁箱１の互いに対向する壁に軸方向に夫々設けた円形状の開口２、３と、開口２を形成した弁箱１の壁の内側面に形成した弁座４と、弁座４に対接されるよう弁箱１内に配置した円盤状の弁デスク（弁体）５と、弁箱１に設けた枢支部７と、その一端を弁デスク５に係合、すなわち連結し他端を枢支部７に傾動自在に枢支せしめたロッド６と、弁箱１に設けた、ロッド６を傾動せしめるロッド駆動装置８と、ロッド６の傾動を弁デスク５に伝達する動力伝達手段９とにより構成される。
【００５８】
ロッド駆動装置８は、ころがり溝５１を備えたクランクアーム５２とおよびロッド６に設けたコロ５３をころがり溝５１と摺動可能にした操作部として構成され、振子式作用をするように構成される。
【００５９】
動力伝達手段９は電動アクチュエータで構成され、駆動源であるモータ５４によって駆動される。
【００６０】
このように構成される振子式ゲートバルブ１００は、図１に示す振子式ゲートバルブ１００に対応する。
【００６１】
図２７は図２６の横断面を示す。
枢支部７は、ロッド駆動装置８に連結されて回動するシャフト７１とシャフト７１の先端中央部でシャフト７１によって回動され、かつ離間部７３で離間可能にして接続されるシャフト７４によって構成される。シャフト７１には、図に示すように、ラジアル軸受５５が設けてある。
【００６２】
シャフト７４は連結装置５６を介して弁箱１に支持材５７によって支持された電動アクチュエータ６１に連結され、電動アクチュエータ６０はコンダクタンス低減動作用をなす。
【００６３】
連結装置５６は電動アクチュエータ６０によって操作される操作ロッド６１が固定される内弁６２と、これを収納する外片６３と、内片６２および外片６３との間のスラスト軸受６４と、シャフト７２に連結する連結部６５とから構成される。
【００６４】
シャフト７２の周囲にはバネ受け６６が設けられ、シャフト７２に設けた他のバネ受け６７との間にはコンダクタンス低減動作用アシストバネ６８が設けられ、コンダクタンス低減領域形成時に電動アクチュエータ６０によるコンダクタンス低減動作用についてコンダクタンス低減動アシスト作用をなす。７２、７５は摺動材である。
【００６５】
このような構成によって、弁デスク５は枢支部７に固定されたロッド６の傾動によって回動し、また電動アクチュエータ６０の作用によってシャフト ７４がシャフト７１から離間部７３で離間するように操作され、これに伴なって弁デスク５は弁箱の弁座４に対して接近するように動き得る。この接近状態を二点鎖線８１で示す。この状態ではシールリング３２は弁座４に接触する。
【００６６】
図２８はコンダクタンス低減手段によるコンダクタンス低減領域の形成状態を示す。図２８（ａ）は弁座４から弁デスク５が離れて開口が開放されている状態を示す。図２８（ｂ）はコンダクタンス低減領域が形成された状態を示す。
【００６７】
図２８（ａ）の状態から電動アクチュエータ６０を操作し、操作ロッド６１を矢印で示す引き込み方向へ動作させる。この電動アクチュエータは制御装置（図示せず）によって制御されてロッドの位置を決定し、図２８（ｂ）に示す状態を形成する。この状態は、シールリング３２は弁座４に接触しているが完全閉止の状態ではない。すなわち、弁デスク５が弁座４に接触して完全閉止状態形成の直前の状態で、ロッド６を電動アクチュエータ６０およびコンダクタンス低減動作用アシストバネ６８が作用した拘束の状態でコンダクタンス低減領域が形成される。
【００６８】
第１の実施例にあっては、受け板１５が反弁座面が接触することによって拘束状態を形成しながらコンダクタンス低減領域を形成していたが、第２の実施例にあっては反弁座面による保持ということは行わないで、電動アクチュエータ６０およびコンダクタンス低減作用アシストバネ６８の作用で拘束状態を形成している。このようにすることによってコンダクタンス低減領域において反力を受ける抵抗力を増大させることによって、第１の実施例と同様に抵抗力増大手段の形成、すなわち抵抗力増大手段を備えたコンダクタンス低減手段を形成することを行っており、コンダクタンス低減手段が作用する状態でのコンダクタンス低減領域を形成することができる。
【００６９】
このコンダクタンス低減領域を形成して後に、第１の実施例と同様に動力伝達手段９の作用によって完全閉止状態が形成されることになる。
完全閉止状態から全開位置への動作は、全開位置から完全閉止状態形成操作の逆側への動作となる。
【００７０】
以上のように、本実施例によれば、コンダクタンスゼロまでの制御が可能となる振子式ゲートバルブが提供され、圧力安定までの時間短縮を達成することができ、制御不安定、制御不能領域を消滅させることができる。
【００７１】
そして、本実施例によれば、振子運動とシール動作を１つのモータで駆動することができ、コンダクタンスゼロ（完全締め切り、完全閉止状態）までの制御を任意に、すなわち思いのままに行うことができるようになるために、低真空領域での圧力制御が可能とされ、かつ制御時間を大幅に短縮できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施例に採用される振子式ゲートバルブの弁が閉じる前の状態における縦断面正面図である。
【図２】図１に示すＸ−Ｘ線断面図である。
【図３】図１に示すＹ−Ｙ線断面図である。
【図４】本発明の実施例に採用される振子式ゲートバルブの動力伝達装置の説明用斜視図である。
【図５】本発明の実施例に採用される振子式ゲートバルブの動力伝達装置の説明斜視図である。
【図６】本発明の実施例に採用される振子式ゲートバルブの第１コロガイド溝の側面図である。
【図７】本発明の実施例に採用される振子式ゲートバルブの第２、４コロガイド溝の側面図である。
【図８】本発明の実施例に採用される振子式ゲートバルブの動力伝達装置の説明用斜視図である。
【図９】本発明の実施例に採用される振子式ゲートバルブの動力伝達装置の説明用斜視図である。
【図１０】本発明の実施例に採用される振子式ゲートバルブの第３コロガイド溝の側面図である。
【図１１】本発明の実施例に採用される振子式ゲートバルブの弁が閉じる直前の状態における縦断正面図である。
【図１２】図１１のＸ−Ｘ線断面図である。
【図１３】図１１のＹ−Ｙ線断面図である。
【図１４】弁デスク（弁体）と弁支え（駆動棒）との連結を示す図である。
【図１５】受け板と弁支えの連結を示す図である。
【図１６】板バネの取付け状況を示す図である。
【図１７】弁支えとロッド（アーム）の連結を示す図である。
【図１８】引張りバネ（スプリング）の取付、及び弁開状態を示す図である。
【図１９】弁閉動作を示す図である。
【図２０】コンダクタンス低減領域の形成図である。
【図２１】完全閉止状態を示す図である。
【図２２】本発明の実施例に採用される振子式ゲートバルブを使用した場合のシステム構成を示す図である。
【図２３】設定圧力までの制御時間を短縮した例を従来例と比較して示す図である。
【図２４】従来の振子式ゲートバルブの斜視図である。
【図２５】従来の振子式ゲートバルブの縦断側面図である。
【図２６】本発明の他の実施例の構成を示す縦断面正面図である。
【図２７】図２６の横断面図である。
【図２８】本発明の実施例の操作状態を示す図である。
【符号の説明】
【００７３】
１…弁箱、２…開口、３…開口、４…弁座、５…弁デスク、５ａ…背面、６…ロッド、７…枢支部、８…駆動装置、９…動力伝達手段、１０…ホルダー、１１…第１コロガイド溝、１２…第１のコロ、１３…弁支え、１４…第２コロガイド溝、１５…受け板、１６…連結杆、１７…第３コロガイド溝、１８…第２のコロ、１９…第４コロガイド溝、２０…板バネ、２１…引張バネ、２２…ストッパー、１００…振子式ゲートバルブ（ペンドロールバルブ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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