(57)【要約】  【課題】ミクロ検査装置に目視用のマクロ検査装置を組み込むことで、省スペースで安価なマクロ、ミクロ検査併用の基板検査装置を提供する。  【解決手段】基板検査装置１は、基板Ａを水平に載置するミクロ検査ステージ５と、ミクロ検査ステージ５に載置された基板Ａをミクロ検査する検査ヘッド１９と、ミクロ検査ステージ５上に設けられ、ミクロ検査ステージ５に載置された基板Ａを受け取って目視によるマクロ検査に適した角度に回動するマクロ検査用ステージ６と、マクロ検査用ステージ６に保持された基板Ａを照明するマクロ照明部９で構成されている。  【選択図】図３
2007278715.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を水平に載置するミクロ検査ステージと、
前記ミクロ検査ステージに載置された前記基板をミクロ検査する検査ヘッドと、
前記ミクロ検査ステージ上に設けられ、前記ミクロ検査ステージに載置された前記基板を受け取って目視によるマクロ検査に適した角度に回動するマクロ検査用ステージと、
前記マクロ検査用ステージに保持された前記基板を照明するマクロ照明部とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記ミクロ検査ステージは、上面に搬送方向に溝部を形成し基板を非接触で浮上させる浮上ステージで構成され、前記マクロ検査ステージは、前記溝部に収納可能な櫛歯状に形成された複数の基板支持部からなることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記ミクロ検査ステージは、長方形状に形成され前記基板を浮上させる浮上ブロックを所定の間隙で複数列に配置して上面に溝部を形成し、前記マクロ検査用ステージは、前記浮上ブロック間の前記溝部に収納可能な櫛歯状に基板支持部を構成し、この基板支持部の上面に前記基板を吸着保持する吸着パッド設けたことを特徴とする請求１記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記ミクロ検査ステージは、前記基板を浮上させて搬送させる浮上ステージに構成され、前記マクロ検査用ステージは、前記浮上ステージの搬送端に併設され、前記ミクロ検査ステージにより搬送された前記基板を保持してマクロ検査に適した角度に回動することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記マクロ検査ステージは、櫛歯状に形成され複数の基板支持部からなり、これらの基板支持部の上面に前記基板を浮上させる浮上手段と前記基板を吸着保持する吸着パッドとを備え、このマクロ検査ステージを前記ミクロ検査ステージとして兼用することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記ミクロ検査ステージは、前記浮上ステージの一部を櫛歯状に連結した構成とし、この上面に前記基板を吸着可能な吸着パッドを設けるとともに、前記吸着パッドで前記基板を保持した状態で所定の角度に回動する回動駆動部を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記マクロ検査用ステージは、前記基板を吸着パッドで保持して移動させるスライドアームを有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項８】
前記マクロ検査ステージは、前記基板の裏面側から照明するバックライト光源を前記基板に沿って移動可能に設けたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項９】
前記マクロ検査ステージは、前記基板を所定に角度に立ち上げた状態で目視検査により検出された欠陥の位置を登録するポインタを前記基板に沿って移動可能に設けたことを特徴とする請求項１乃至６記載のいずれかに記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等に用いられる大型ガラス基板の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等のフラットパネルディスプレイ（以下、ＦＰＤという）の製造工程では、各製造工程で製造されるマザーガラス基板（以下、基板という）の外観を検査することが行なわれている。基板の外観を検査する基板検査装置としては、基板全体を巨視的に観察するマクロ検査と、顕微鏡等を用いて比較的小さい欠陥等の有無を微視的に検査するミクロ検査とがある。従来の検査方法では、検出カメラを備えた欠陥検出部により基板全体の画像を取得してマクロ検査した後、この基板を搬送設備で欠陥レビュー部に移動し、欠陥検出部で検出された欠陥を詳細に検査する方法がとられている。従来の基板検査装置としては、基板を搬入・搬出させるころ搬送部と、基板を浮上させるエア浮上ステージと、基板の一端を把持して搬送する保持機構とを備えることで、大型ガラス基板に対応することが可能な基板検査装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。あるいは、目視マクロ検査とミクロ検査とが併用できる基板検査装置として、ミクロ検査を行なうミクロ検査用ホルダの上方に挿脱可能なマクロ検査用ホルダを設け、マクロ検査時にガラス基板を保持したマクロ検査用ホルダをミクロ検査用ホルダの上方に移動させ、マクロ検査用ホルダを目視観察し易い角度に立ち上げた状態で基板の上方からマクロ照明光を照射して目視による検査した後、マクロ検査用ホルダからミクロ検査用ホルダに基板を載せ換えてミクロ検査を行う基板検査装置が提案されている（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２０００−９６６１号公報
【特許文献２】特開２００１−１９４３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、近年ガラス基板の大型化に伴い、検査装置自体も大型化に対応する検査装置が要求されている。前述の特許文献２のように基板を所定の角度に立ち上げて目視によるマクロ検査とミクロ検査とが併用できる基板検査装置では、ミクロ観察する際にマクロ用検査ホルダを退避させるため、マクロ検査用ホルダを退避させるスペースと、基板を搬入・搬出させる搬送ロボットを設置するスペースが必要になり装置が大型化するとともに、マクロ検査用ホルダを退避位置まで移動させる大がかりな駆動系が必要になるという問題が生ずる。
また、基板が大型化し、１０００ｍｍを超えるような大型ガラス基板を安定して検査するために、前述の特許文献１のようにガラス基板をエアで浮上させて検査することが行なわれているが、このように基板を浮上させて搬送すると目視によるマクロ検査ができなくなるため、検出カメラを備えた欠陥検出部によりマクロ検査するしかなかった。しかし、ＦＰＤの製造工程では、基板を検査者が目視によりマクロ検査したいという要望があるが、この要望を満たすためには、目視用のマクロ検査装置を増設する必要が生じ、ミクロ検査とマクロ検査の二つの装置設置するための空間と、設備費用が必要となる。
【０００４】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、ミクロ検査装置に目視用のマクロ検査装置を組み込むことで、省スペースで安価なマクロ、ミクロ検査併用の基板検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の基板検査装置は、基板を水平に載置するミクロ検査ステージと、前記ミクロ検査ステージに載置された前記基板をミクロ検査する検査ヘッドと、前記ミクロ検査ステージ上に設けられ、前記ミクロ検査ステージに載置された前記基板を受け取って目視によるマクロ検査に適した角度に回動するマクロ検査用ステージと、前記マクロ検査用ステージに保持された前記基板を照明するマクロ照明部とを備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００６】
本願発明によれば、ガラス基板の大型化に対応した浮上ステージを有するミクロ基板検査装置と浮上ステージ内部に収容可能あるいは浮上ステージと兼用可能な回動アームを備え、この回動アームにより、基板を保持、回動し、浮上ステージの上方でのマクロ検査が可能となることで、装置全体の省スペース化、低コスト化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
（第１の実施形態）
図１から図３は本発明に係る第１の実施形態を示している。図１は平面図、図２は側面図、図３は斜視図を示す。図１から図３に示すように、この実施形態の基板検査装置１は浮上ステージ２と、ベース本体３と、ミクロ検査部４と、ミクロ検査ステージ５と、マクロ検査部を構成するマクロ検査用ステージ６、マクロフレーム７、回動駆動装置８及びマクロ照明部９とを備えている。
【０００８】
浮上ステージ２は、ＦＰＤの製造工程で製造されるマザーガラス基板（以下、基板という）Ａを所定の高さに浮上させる長方形状に形成された浮上ブロック２ａを所定の隙間２ｂで複数列に配置し、その上面に基板Ａの搬送方向に溝部が形成されている。この浮上ステージ２は、後述する検査ヘッド１９の検査領域（対物レンズの走査ライン）となる間隙２ｃが設けられ、この間隙２ｃを挟んで搬送方向の上流側と下流側に浮上ブロック２ａが複数に分割して配置されている。この検査領域の間隙２ｃは、検査ヘッド１９の透過照明用光源からの透過照明光が通過できる間隔であればよい。また、各浮上ブロック２ａには，その上面２ｅに開口する複数の孔１０ａが形成され、圧縮空気を噴出することにより各浮上ブロック２ａの上面２ｅに配置された基板Ａを浮上させることが可能な浮上手段１０が設けられている。検査対象となる基板Ａは、年々大型化しており、１辺の長さが１０００ｍｍを超え、更に２０００ｍｍを超える、例えば２１６０ｍｍ×２４００ｍｍ、２４００ｍｍ×２８００ｍｍの大型ガラス基板も出現している。浮上ステージ２は、基板Ａを搬送する基板搬送ステージの役目と、基板Ａを水平に載置してミクロ検査するための検査ステージの役目をする。
【０００９】
ベース本体３は、図示しない除振台を備えた脚部１１ａ上に矩形枠上に形成されたベース部１１ｂが一体に設けられている。このベース部１１ｂには、浮上ステージ２の搬送方向（Ｙ方向）と直交するＸ方向の両側に沿って、ベース部１１ｂの上面１１ｃにＹ方向に一対のガイド１２が敷設され、このガイド１２の間に浮上ステージ２が固定されるとともに、ベース部１１ｂの両側に後述する門型フレーム１７が固定されている。また、これらのガイド１２上には、リニアモータ等からなる搬送部１３がＹ方向に移動自在に設けられている。この搬送部１３は、浮上ステージ２の上に浮上した基板Ａの端部を固定して強制的に搬送するものである。更に、この搬送部１３の上面１３ａには、基板Ａの側縁部の背面Ａ１を吸着保持する吸着保持部１４が複数設けられている。この吸着保持部１４は、上面１４ａに基板Ａの背面Ａ１に対して密着して吸着する吸着部（吸着パッド）１６が首振り可能に設けられている。搬送部１３は、基板Ａが浮上ステージ２に配置された際に吸着部１６が浮上ステージ２の上面から突出するように上昇し、基板Ａが搬出される際に吸着部１６が基板Ａと接触しない退避位置まで下降するように上下移動が可能になっている。更に、搬送部１３の上面１３ａには、基板Ａを基準位置に位置決めするために基板Ａの隣接する２辺に沿って設けられた複数の基準ピン１５ａと、この基準ピン１５ａと対向する基板Ａの反対側の２辺に沿って押付けピン１５ｂが設けられ、この基準ピン１５ａと押付けピン１５ｂにより位置決め機構を構成している。押付けピン１５ｂは、基板Ａの搬入時に上昇し、基板Ａの外側から内側に移動することにより基板Ａを基準ピン１５ａに押付けて位置決めする。
【００１０】
ミクロ検査ステージ５は、浮上ステージ２の上方でＸ方向に配置される門型フレーム１７と、この門型フレーム１７の水平アームの側部１７ａに設けられＸ方向に延設されるガイド１８とで構成されている。
ミクロ検査部４は、基板Ａを拡大観察可能な対物レンズを有する顕微鏡等の検査ヘッド１９と、ガイド１８上をＸ方向に移動自在なリニアモータ等からなる搬送部２０とで構成され、Ｘ方向に移動自在になっている。なお、検査ヘッド１９の下方には、浮上ステージ２を上下に挟むように透過照明用光源（不図示）がＸ方向に移動自在設けられている。
【００１１】
マクロ検査用ステージ６は、浮上ステージ２を構成する複数の浮上ブロック２ａの各隙間２ｂに配置される櫛歯状に形成された基板支持部６ｂを有し、Ｙ方向の一端が浮上ステージ２のＹ方向の端面２ｄより突出し、浮上ステージ２の上方に起き上がり自在となるように回動軸６ａによりマクロフレーム７に軸着されている。基板支持部６ｂを浮上ステージ２の上方に起き上がり自在とするため、マクロ検査用ステージ６はミクロ検査部４及びミクロ検査ステージ５とは鉛直方向に互いに干渉しない位置に配置されている。また、基板支持部６ｂの各櫛歯部は、浮上ブロック２ａの上面２ｅより下方に収納され、各浮上ブロック２ａと干渉しないように、各櫛歯部の幅寸法を浮上ブロック２ａの隙間２ｂより短く形成してあり、好ましくは浮上ブロック２ａとの間が５ｍｍ〜１０ｍｍになるように幅寸法に設定さている。また、マクロフレーム７には回動駆動装置８が設けられている。回動軸６ａは回動駆動装置８と接続されていて、回動駆動装置８は回動軸６ａを回動させることにより、マクロ検査用ステージ６を回動させることができる。各基板支持部６ｂの上面６ｃには、浮上ブロック２ａの上面２ｅに基板Ａが配置された際に、マクロ検査ステージ６が上昇し基板Ａの背面Ａ１を吸着する吸着パッド２１が複数設けられている。
マクロ照明部９は，マクロ検査用ステージ６の上方に位置し、マクロ照明光源２２と、このマクロ照明光源２２から出射される照明光を下方に向ける反射ミラー２３と、この反射ミラー２３により反射した照明光を収束させる収束レンズとしてのフレネルレンズ２４と、このフレネルレンズ２４により収束された照明光を透過させる透明な状態及び照明光を散乱させる不透明状態に切替える液晶散乱板２４ａで構成されている。
【００１２】
次に、この実施形態の基板検査装置１の作用について説明する。先ず、搬送部１３は、基板Ａの搬入側に移動し、吸着保持部１４の吸着部（吸着パッド）１６の上端が浮上ステージ２の上面２ｅの浮上基準高さより僅かに高くなるように吸着部１６を上昇させて待機する。基板搬送ロボット（不図示）によって基板検査装置１に搬送された基板Ａは、浮上ステージ２の上面２ｅに配置される。この際、浮上ステージ２の上面２ｅに形成されている浮上手段１０の孔１０ａから圧縮空気が噴出して、基板Ａは浮上ステージ２の上面２ｅより僅かに浮上した状態となる。このとき、基板Ａの両端の背面Ａ１が各吸着保持部１４の吸着部１６に接触することにより、基板Ａは吸着部１６との摩擦力により浮上ステージ２上に浮上している基板Ａを拘束し静止させる。
【００１３】
この状態で、搬送部１３に備えられている押付けピン１５ｂを基板Ａの上面より突出するように上昇させ、この押付けピン１５ｂを基板Ａの内方向に移動させ、基板Ａを基準ピン１５に押付けて基準位置に位置決めをする。基板Ａの位置決めが完了した後、吸着保持部１４の真空吸引を開始すると、基板Ａの背面Ａ１に当接している各吸着部１６により基板Ａが吸着される。このとき各吸着部１６は、吸引動作により吸着部１６が僅かに下がり、基板Ａの両端部が浮上基準高さに設定される。基板Ａは、搬送部１３に吸着保持された状態で浮上ステージ２の上面２ｅより僅かに浮上する。この際、浮上手段１０による圧縮空気は浮上ステージ２の上面２ｅ全体に配置された孔１０ａより噴出していて、基板Ａの背面Ａ１に均一に圧力を与えて浮上させるので、基板Ａに歪み、弛み等が発生する恐れがない。このため、大型化した基板においても対応可能となっている。
【００１４】
次に、基板検査装置１によりマクロ検査を実施する。搬送部１３は、ガイド１２上でＹ方向に移動し、搬送部１３に固定された基板Ａを図１に仮想線で示されるマクロ検査用ステージ６が待機している位置Ｐまで移動する。次に、回動駆動装置８を稼動させて、マクロ検査用ステージ６を僅かに上方へ移動させ、基板支持部６ｂの吸着パッド２１を基板Ａの背面Ａ１に当接させて吸着保持する。この状態で搬送部１３の吸着保持部１４に備えられている吸着部１６による吸着を解除する。これにより、基板Ａはマクロ検査用ステージ６とともに、浮上ステージ２の上方へ回動自在となる。次に、検査者によるマクロ観察し易い傾斜角度、例えは４５°〜６０°にマクロ検査用ステージ６を回動し、基板Ａの上方よりマクロ照明部９から照射光を照明する。マクロ照明光源２２により出射された照射光は、反射ミラー２３に反射して、フレネルレンズ２４により収束光に変化させた後、液晶散乱板２４ａを透明な状態またな不透明な状態に切替えることにより収束光又は均一な散乱光に変換されて基板Ａの表面Ａ２に照射される。このようにして照明した状態で、検査者が目視でマクロ検査を実施する。状況に応じてマクロ検査用ステージ６を揺動させて、基板Ａの反射光の変化等を観察する。この目視観察中に基板Ａの表面Ａ２に欠陥部を確認した際に、例えばレーザーポインタを用いて欠陥の位置座標を取得して検査処理部の記憶部に保存する。
【００１５】
マクロ検査が完了した後、引き続き基板検査装置１によりミクロ検査を実施する。まず、マクロ検査用ステージ６を下方に回動させて、基板支持部６ｂが浮上ステージ２の上面２ｅの僅か上方、つまりは基板Ａが浮上ステージ２よりも僅かに上方に位置するようにする。このとき浮上手段１０から圧縮空気が噴出され、基板Ａが浮上ステージ２上に浮上する。この状態で、搬送部１３の真空吸引を開始し、基板Ａの背面Ａ１に当接している各吸着部１６により基板Ａを吸着させ、基板Ａを搬送部１３上に吸着保持する。基板Ａが搬送部１３に吸着保持された後、各基板支持部６ｂの吸着パッド２１の吸着を解除する。基板Ａの受け渡しが完了した後、基板支持部６ｂを浮上ステージ２の上面２ｅより下方に移動させ待機させる。基板Ａを基板支持部６ｂから搬送部１３に受け渡す際に、上述と同様に搬送部１３の位置決めピン１５ａと押付けピン１５ｂにより基板Ａを基準位置に位置決めするようにしてもよい。
【００１６】
これにより、再度基板Ａは搬送部１３に吸着保持され、搬送部１３とともにＹ方向に移動自在となる。次に、基板Ａをミクロ検査部４の位置まで搬送部１３により搬送する。マクロ検査において検査処理部の記憶部に登録された欠陥から詳細に検査が必要な欠陥を指定し、指定された欠陥の座標データを記憶部から読み出す。ミクロ検査部４は、この座標データに基づいて搬送部１３により搬送された基板ＡをＹ方向に位置調整し、ミクロ検査ステージ５により搬送部２０をＸ方向に位置調整することで、基板Ａの欠陥位置に検査ヘッド１９の対物レンズを合わせ、検査ヘッド１９によって欠陥を拡大して詳細に検査する。このとき、検査ヘッド１９がＸ方向に移動するのと同期して、検査領域に設けられた間隙２ｃ内を透過照明用光源（不図示）がＸ方向に移動して、透過照明用光源の透過光によりミクロ検査が行われる。なお、マクロ検査で登録された全ての欠陥に対して検査ヘッド１９を順番に移動させてミクロ検査を実施するようにしてもよい。
【００１７】
以上で、基板検査装置１により、基板Ａのマクロ検査及びミクロ検査が行われる。この実施形態の基板検査装置１では、基板Ａを保持して所定に角度に回動するマクロ検査用ステージ６の基板支持部６ｂが、ミクロ検査時に使用する浮上ステージ２の内部に収容可能で、マクロ検査時にマクロ検査用ステージ６が浮上ステージ２から分離してマクロ検査実施が可能である。このため、従来のミクロ検査で必要なスペースと同等のスペースでマクロ検査も行えることから、省スペース化を実現できる。このようにマクロ検査用ステージ６をミクロ検査部４の浮上ステージ２に出没可能に収納して一体化させることにより、従来のようにマクロ検査部、ミクロ検査部を別体構造として併設するものと比べて装置の設置スペースを小さくできるとともに設備コストの削減を実現できる。さらに、ミクロ検査部４の浮上ステージ２上で基板Ａの受け渡しを行なうことができるため、基板Ａをマクロ検査部からミクロ検査部４に受け渡すために水平移動させる移動機構（搬送ロボット）が不要になり、マクロ検査用ステージ６を回動させる簡単な機構で実現でき、大型化した基板にも容易に対応することが可能となる。また、ミクロ検査時にも浮上手段１０と吸着保持部１４による機械的な支持方法とを併用することにより、大型化した基板でも変形等の恐れなく、安定した状態で基板Ａを移動できる。
【００１８】
また、基板の大型化に対する対応として以下のような変形例もある。図４、図５は基板検査装置１のマクロ検査用ステージ６の変形例を示す。図４に示すように、各基板支持部２５の上面２５ａにはスライドアーム２６が基板支持部２５の長手方向Ｑに移動可能に設けられている。吸着パッド２１はスライドアーム２６の上面２６ａに設けられている。この変形例によれば、図５に示すように、マクロ検査実施時に所定の角度に基板支持部２５を回動させた後、この基板支持部２５の上にスライドアーム２６を長手方向Ｑに自由に移動することができる。これにより、スライドアーム２６上に吸着保持された基板Ａは、基板支持部２５の上を長手方向Ｑに移動可能になり、マクロ照明部９による照射光の照明領域が基板Ａの大きさよりも小さくても、スライドアーム２６を上下方向に移動させることによってマクロ照明部９の照明光を基板Ａの全面に対して走査し、基板Ａの全面を目視検査することができる。基板Ａが大型化しても、基板Ａを所定角度の傾けた状態で上下方向に移動させることにより、照射光を全体に照明する必要がなく、マクロ照明部９の小型化が図れるとともに、検査者から遠く離れる大型基板の上方や下方を検査者の視野に近づけて目視検査することが可能になり、マクロ検査の精度を高めることができる。
浮上ステージ２は、長方形状に形成した浮上ブロック２ａを所定の隙間２ｂをもって併設させたが、マクロ検査用ステージ６の基板支持部６ｂを収容可能な溝部を有すれば、一枚の浮上ステージで構成することも可能である。また、浮上ステージ２は、ミクロ検査部４の検査領域に基板Ａを精密に浮上させるため、基板Ａの搬送方向と直交する方向の透過照明用の間隙２ｃに沿って溝部のない精密浮上ステージを設けることもできる。
【００１９】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について図６に示す。図６は斜視図を表す。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、説明を省略する。この実施形態の基板検査装置２７の浮上ステージ２は、長方形状に形成された浮上ブロック２８が所定の隙間２ｂで複数列に配置され、ベース部１１ｂの上面１１ｃに固定されている。この浮上ブロック２８は、検査ヘッド１９の検査領域となる間隙２ｃに対して基板Ａの搬入側に設けられている。この間隙２ｃを挟んだ反対側には、浮上ブロック２８と同様の基板支持部２９ａを櫛歯状に形成したマクロ検査用ステージ２９がマクロフレーム７に回転自在に支持されている。基板支持部２９ａの上面２９ｂには、第１の実施形態と同様の浮上手段１０が設けられ、この浮上手段１０の間に第１の実施形態と同様の吸着パッド２１が設けられている。各基板支持部２９ａは、水平な姿勢に待機した状態では、その上面２９ｂが浮上ブロック２８の上面２８ａと同一になるようにベース部１１ｂ上にロックされる。
【００２０】
次に、この実施形態の基板検査装置２７の作用について説明する。第一の実施形態と同様に基板Ａが搬送部１３によりマクロ検査用ステージ２９が待機している位置Ｐまで搬送される。次に、各基板支持部２９ａの浮上手段１０の出力を停止して、吸着保持部１４を僅か下方に位置調整する。これにより、マクロ検査ステージ２９の上面２９ｂと基板Ａの背面Ａ１とを接触させて、吸着パッド２１で吸着する。この状態で搬送部１３の吸着保持部１４に備えられている吸着部１６による吸着を解除するとともに、マクロ検査用ステージ２９の各基板支持部２９ａをベース部１１ｂに対するロックから解除する。これにより、マクロ検査ステージ２９は浮上ステージ２の上方へ回動自在となる。次に、検査者によりマクロ検査が可能な位置まで基板Ａを上方へ回動して、第一の実施形態と同様にマクロ検査を実施する。マクロ検査が完了した後、マクロ検査用ステージ２９を下方に回動させて、各基板支持部２９ａの上面２９ｂが浮上ブロック２８の上面２８ａと同じ高さになるようにしてベース部１１ｂにロックさせる。次に、搬送部１３の吸着保持部１４に備えられている吸着部１６の吸着を開始し、基板Ａの両端部を搬送部１３に吸着保持するとともに、吸着保持部１４を僅か上方に位置調整する。この状態で、各基板支持部２９ａの浮上手段１０を再開させ、基板Ａを浮上させる。これにより、再度基板Ａは搬送部１３に吸着保持され、搬送部１３とともにＹ方向に移動自在となる。次に、第一の実施形態と同様にミクロ検査を実施する。
【００２１】
この実施形態の基板検査装置２７では、浮上ステージ２の一部がマクロ検査用ステージ２９として基板支持部２９ａと兼用されているので、さらに装置全体の重量を軽減することができ、コストも安くすることができる。
【００２２】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態について図７から図９に示す。図７は平面図、図８は側面図、図９は斜視図を示す。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、説明を省略する。この実施形態の基板検査装置３０のマクロフレーム３１はベース部３２とガイドフレーム３３により構成されている。ガイドフレーム３３は略棒状で、ベース部３２の上に平行に２本設けられ、浮上ステージ２とは鉛直方向に所定の角度を有している。２本のガイドフレーム３３が互いに向き合う面にはマクロ検査用ステージ６をガイドフレーム３３の長手方向Ｒに移動させるスライド機構３４が設けられている。マクロ検査用ステージ６の回動軸６ａは、軸着部３５でスライド機構３４に回動軸６ａ回りに回動自在で、かつガイドフレーム３３の長手方向Ｒに移動自在に設けられている。また、図８に示すように、ガイドフレーム３３の浮上ステージ２と向き合う面３３ａには、バックライト光源３６がガイドフレーム３３の長手方向Ｒに移動可能に設けられている。バックライト光源３６は、基板Ａをマクロ検査するための基板Ａの背面Ａ２側から照射光を発光できる構成になっている。また、ガイドフレーム３３の浮上ステージ２と向き合う面３３ａの反対側の面３３ｂにはポインタ３７がガイドフレーム３３の長手方向Ｒに移動自在に設けられている。ガイドフレーム３３に設けられるバックライト光源３６及びポインタ３７は、マクロ検査用ステージ６が回動及びガイドフレーム３３上を移動する際には、マクロ検査用ステージ６と干渉しないようにガイドフレーム３３の上端部３３ｃあるいは下端部３３ｄに退避される。
【００２３】
次に、この実施形態の基板検査装置３０の作用について説明する。第２の実施形態同様に、基板Ａは搬送部１３によりマクロ検査用ステージ６が待機している位置Ｐまで搬送され、この基板Ａをマクロ検査用ステージ６にて浮上ステージ２の上方へ回動して、マクロ検査が実施できる角度に設定する。次に、第１の実施形態と同様にマクロ照明部９により基板Ａを照明し、状況に応じてマクロ検査用ステージ６を揺動させてマクロ検査を実施する。この際、マクロ検査用ステージ６と浮上ステージ２のなす角をガイドフレーム３３と浮上ステージ２のなす角以上に設定すれば、マクロ検査用ステージ６と干渉せずにバックライト光源３６がガイドフレーム３３上を移動可能である。この状態で、基板Ａの背面Ａ１に照明して、マクロ検査することが可能となる。さらに、マクロ検査用ステージ６と浮上ステージ２のなす角をガイドフレーム３３と浮上ステージ２のなす角と同じに設定すれば、ポインタ３７がガイドフレーム３３の上をマクロ検査用ステージ６と干渉することなく移動可能であるとともに、ポインタ３７をマクロ検査によって検出された欠陥の位置に合わせることにより、ガイドフレーム３３の長手方向Ｒとこれと直交する方向との成分にわけて欠陥の座標表示が可能となる。これによりマクロ検査で確認できた欠陥の位置情報を次工程のミクロ検査に対応させて、より正確なミクロ検査が実施可能となる。
【００２４】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【００２５】
なお、浮上手段１０は圧縮空気を噴出させて、基板Ａを浮上させるものとしたが、基板Ａを非接触状態で搬送できものであれば、静電気浮上や超音波浮上等の非接触浮上搬送手段を利用するものとしても良い。また、浮上手段１０を含めた浮上ステージ２は、搬送部１３により基板Ａを移動する際、基板Ａが歪んだり、弛んだりしないで水平に搬送できれば、例えばころ搬送等の接触搬送手段としても良い。
また、第１の実施形態、第３の実施形態によるマクロ検査用ステージ６及び第２の実施形態によるマクロ検査用ステージ２９は長手方向に平行な軸まわりに揺動可能とし、基板Ａを上下方向と左右方向の二軸で揺動させるようにしても良い。
また、基板Ａをミクロ検査する際は、Ｙ方向に搬送部１３にて基板Ａを移動調整し、Ｘ方向にミクロ検査ステージ５で検査ヘッド１９を移動することにより、基板Ａをミクロ検査部４でミクロ検査することを可能とした。しかし、ミクロ検査ステージ５の門型フレーム１７をＹ方向に移動可能とし、検査ヘッド１９をＸ方向及びＹ方向に移動自在として基板Ａをミクロ検査可能としても良い。この場合、マクロ検査用ステージ６によるマクロ検査時に、門型フレーム１７をマクロ検査用ステージと干渉しない位置退避させ、ミクロ検査時に門型フレーム１７をマクロ検査用ステージ側に移動させる構成にすることにより、マクロ検査用ステージ６をミクロ検査ステージに兼用することが可能になり、さらに省スペース化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】この発明の第１の実施形態の基板検査装置を示す平面図である。
【図２】この発明の第１の実施形態の基板検査装置を示す側面図である。
【図３】この発明の第１の実施形態の基板検査装置を示す斜視図である。
【図４】この発明の第１の実施形態の変形例における回動アームを示す斜視図である。
【図５】この発明の第１の実施形態の変形例における回動アームを示す斜視図である。
【図６】この発明の第２の実施形態の基板検査装置を示す平面図である。
【図７】この発明の第３の実施形態の基板検査装置を示す平面図である。
【図８】この発明の第３の実施形態の基板検査装置を示す側面図である。
【図９】この発明の第３の実施形態の基板検査装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００２７】
１  基板検査装置
２  浮上ステージ
２ｂ  隙間
３  ベース本体
４  ミクロ検査部
５  ミクロ検査ステージ
６  マクロ検査用ステージ
６ａ  回動軸
６ｂ  基板支持部
７  マクロフレーム
８  回動駆動装置
９  マクロ照明部
１０  浮上手段
１３  搬送部
１９  検査ヘッド
２１  吸着パッド
２６  スライドアーム
２７  基板検査装置
２８  浮上ブロック（浮上ステージ）
２９  マクロ検査用ステージ（（浮上ステージ）
３０  基板検査装置
３３  ガイドフレーム
３４  回動アームスライド機構
３６  バックライト光源
３７  ポインタ
Ａ  基板
Ｘ  方向
Ｙ  方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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