(57)【要約】      （修正有）【課題】液体吐出ヘッドを構成する天板の材料として高価で加工に制約の多いシリコンウェハを使用する必要のない簡単な構造の液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供する。【解決手段】液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部１６が所定間隔で設けられた基板３６と、個々の吐出エネルギー発生部１６を仕切るように配列する仕切り壁３７ａを有する仕切り部材３７と、インクが供給されるインク供給穴３８を有する天板３９とを具え、この天板３９を仕切り部材３７を挟んで基板３６に重ね合わせることにより、基端側がインク供給穴３８に連通すると共に先端側がインク滴の吐出口２２となったインク路２１が形成される本発明の液体吐出ヘッド１０は、仕切り部材３７と天板３９との間に介在してこれらを接合する接着層４０をさらに具えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部が所定間隔で設けられた基板と、個々の前記吐出エネルギー発生部を仕切るように配列する仕切り壁を有する仕切り部材と、液体が供給される液体供給穴を有する天板とを具え、この天板を前記仕切り部材を挟んで前記基板に重ね合わせることにより、基端側が前記液体供給穴に連通すると共に先端側が液滴の吐出口となった液路が形成される液体吐出ヘッドであって、
前記仕切り部材と前記天板との間に介在してこれらを接合する接着層をさらに具えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記基板と前記仕切り部材との間に配されて前記仕切り部材と同一材料にて形成された下部補助層と、前記仕切り部材と前記接着層との間に配されて前記仕切り部材と同一材料にて形成された上部補助層とをさらに具え、前記吐出口がこれら下部および上部補助層と前記仕切り部材とで囲まれていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記接着層がシリコーン樹脂またはドライフィルム化した感光性樹脂であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記天板が前記基板の線膨張係数とほぼ同じ線膨張係数を有する成形加工品であることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部が所定間隔で設けられた基板の表面に仕切り部材を積層するステップと、
この仕切り部材を所定形状にエッチングするステップと、
エッチング処理された前記仕切り部材の表面に接着層を形成するステップと、
液体が供給される液体供給穴を有する天板を接着層の上に重ねて前記仕切り部材に接合するステップと
を具えたことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記基板の表面に仕切り部材を積層するステップに先立ち、前記基板の表面に前記仕切り部材と同一材料にて下部補助層を形成するステップと、この下部補助層を所定形状にエッチングするステップとをさらに具え、
前記エッチング処理された前記仕切り部材の表面に接着層を形成するステップに先立ち、前記エッチング処理された前記仕切り部材の表面にこの仕切り部材と同一材料にて上部補助層を形成するステップをさらに具えたことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記接着層がシリコーン樹脂またはドライフィルム化した感光性樹脂であることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記天板が前記基板の線膨張係数とほぼ同じ線膨張係数を有し、この天板を予め成形加工によって形成するステップをさらに具えていることを特徴とする請求項５から請求項７の何れかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドおよびこの液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
なお、本明細書において記述される「プリント」とは、文字や図形など有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広くプリント媒体上に画像，模様，パターンなどを形成したり、あるいはエッチングなどのようなプリント媒体の加工を行う場合も包含する。
【０００３】
また「プリント媒体」とは、一般的なプリント装置で用いられる紙片のみならず、布帛，樹脂フィルム，金属板，ガラス，セラミックス，木材，皮革などの液体を受容可能なものであり、シート状物体以外の三次元立体、例えば球体や円筒体なども包含する。
【０００４】
さらに「液体」とは、上記「プリント」の定義と同様広く解釈されるべきもので、プリント媒体上に付与されることによって、画像，模様，パターンなどの形成，エッチングなどのプリント媒体の加工，あるいはインクの処理、例えばプリント媒体に付与されるインク中の色材の凝固や不溶化に供され得る液体を指し、プリントに関して用いられるあらゆる液体を包含する。
【背景技術】
【０００５】
インクジェット方式の画像形成装置において、吐出液滴形成のためのエネルギーとして熱を利用したものは、複数の吐出口を高密度に配設することが容易であり、またこの高密度化によって高解像度および高画質の画像を高速度にて得られ、しかもカラー化が容易であるという優れた特徴を有している。
【０００６】
このような画像形成装置に用いられるインクジェットヘッドの一例が例えば特許文献１に示されており、その概略構造を図８に模式的に示す。すなわち、液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部１が所定間隔で設けられた基板２と、個々の吐出エネルギー発生部１を仕切るように配列する仕切り壁３ａが形成された仕切り部材３と、液体が供給される液体供給穴４ａを有する天板４と、この天板４の液体供給穴４ａに液体を導入するための液体供給通路５ａが形成された液体供給部材５とを具え、この液体供給部材５および天板４を仕切り部材３を挟んで基板２に重ね合わせ、仕切り部材３を介して基板２に接合することにより、先端側が吐出口６に連通する液路７とこの液路７の基端側および液体供給穴４ａの間に介在する共通液室８とを形成している。
【０００７】
このようなインクジェットヘッド９においては、基板２と天板４との熱的な整合性を取るため、天板４を基板２と同じシリコンウェハによって形成することが一般的であり、従って液体供給穴４ａの加工は天板４の両面から異方性エッチングによって形成される。
【０００８】
【特許文献１】特開平９−５７９８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図８に示すような従来のインクジェットヘッド９においては、仕切り部材３を挟んで基板２と対向する天板４を基板２と同じ材質のシリコンウェハを用いているため、天板４の加工に大きな制約があり、通常はこの天板４に形成された液体供給穴４ａに接続する液体供給部材５を天板４に連結する必要がある。しかも、天板４の液体供給穴４ａを手間の掛かる異方性エッチングにより形成しなければならず、天板４自体のコストのみならず、その製造工数が嵩んでしまう欠点があった。
【００１０】
本発明の目的は、液体吐出ヘッドを構成する天板の材料として高価で加工に制約の多いシリコンウェハを使用する必要のない簡単な構造の液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の形態は、液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部が所定間隔で設けられた基板と、個々の前記吐出エネルギー発生部を仕切るように配列する仕切り壁を有する仕切り部材と、液体が供給される液体供給穴を有する天板とを具え、この天板を前記仕切り部材を挟んで前記基板に重ね合わせることにより、基端側が前記液体供給穴に連通すると共に先端側が液滴の吐出口となった液路が形成される液体吐出ヘッドであって、
前記仕切り部材と前記天板との間に介在してこれらを接合する接着層をさらに具えていることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明においては、天板が接着層を介して仕切り部材に接合され、これによって基端側が液体供給穴に連通すると共に先端側が液滴の吐出口となった液路が形成される。天板の液体供給穴から供給される液体が液路内に導かれ、吐出エネルギー発生部の作動によって吐出口から液滴として吐出する。
【００１３】
本発明の第１の形態による液体吐出ヘッドにおいて、仕切り部材と同一材料にて形成された下部補助層を基板と仕切り部材との間に配する一方、仕切り部材と同一材料にて形成された上部補助層を仕切り部材と接着層との間に配し、吐出口をこれら下部および上部補助層と仕切り部材とで囲むようにすることができる。
【００１４】
接着層がシリコーン樹脂またはドライフィルム化した感光性樹脂であってよい。
【００１５】
天板が基板の線膨張係数とほぼ同じ線膨張係数を有する成形加工品であることが好ましい。
【００１６】
本発明の第２の形態は、液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部が所定間隔で設けられた基板の表面に仕切り部材を積層するステップと、この仕切り部材を所定形状にエッチングするステップと、エッチング処理された前記仕切り部材の表面に接着層を形成するステップと、液体が供給される液体供給穴を有する天板を接着層の上に重ねて前記仕切り部材に接合するステップとを具えたことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法にある。
【００１７】
本発明においては、液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部が所定間隔で設けられた基板の表面に仕切り部材を積層し、この仕切り部材を所定形状にエッチングして液路の仕切り壁および天板の液体供給穴に連通する共通液室の内壁を形成し、このようにしてエッチング処理された仕切り部材の表面に接着層を形成した後、液体が供給される液体供給穴を有する天板を接着層の上に重ねて仕切り部材に接合することにより、基端側が液体供給穴に連通すると共に先端側が液滴の吐出口となった液路を有する液体吐出ヘッドが形成される。
【００１８】
本発明による液体吐出ヘッドの製造方法において、基板の表面に仕切り部材を積層するステップに先立ち、基板の表面に仕切り部材と同一材料にて下部補助層を積層するステップと、この下部補助層を所定形状にエッチングするステップとをさらに具え、また、エッチング処理された仕切り部材の表面に接着層を積層するステップに先立ち、エッチング処理された仕切り部材の表面にこの仕切り部材と同一材料にて上部補助層を積層するステップをさらに具えることができる。
【００１９】
接着層がシリコーン樹脂またはドライフィルム化した感光性樹脂であってよい。
【００２０】
天板が基板の線膨張係数とほぼ同じ線膨張係数を有し、この天板を予め成形加工によって形成するステップをさらに具えることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の液体吐出ヘッドによると、基板に設けられた個々の吐出エネルギー発生部を仕切るように配列する仕切り壁を有する仕切り部材と、液体が供給される液体供給穴を有する天板との間にこれらを接合する接着層を形成したので、仕切り部材と天板とを接着層を介して接合することが可能となり、高価で加工形状に制約のあるシリコン製の天板を用いずとも、成形加工によって製造される安価な天板を用いて簡単な構成の液体吐出ヘッドを得ることができる。
【００２２】
仕切り部材と同一材料にて形成された下部補助層を基板と仕切り部材との間に配する一方、仕切り部材と同一材料にて形成された上部補助層を仕切り部材と接着層との間に配し、吐出口をこれら下部および上部補助層と仕切り部材とで囲んだ場合、吐出口の内壁をすべて同一材料にて形成することができ、熱的な変形に伴う吐出口からの液滴の吐出状態の変化を抑制することができる。
【００２３】
接着層がシリコーン樹脂またはドライフィルム化した感光性樹脂の場合、他のヘッド形成時に用いる材料と共用させることができる。例えば、シリコーン樹脂を用いた場合にはワイヤーボンディング後の封止剤と共用させることができ、ドライフィルム化した感光性樹脂を用いた場合には前記仕切り部材の材料と共用させることができるため、安価で簡単な構成の液体吐出ヘッドを得ることができる。
【００２４】
天板が基板の線膨張係数とほぼ同じ線膨張係数を有する成形加工品の場合、液体吐出ヘッドの熱的な反りを最小限に押さえることができる上、従来の液体供給部材と天板とを一体化した複雑な構造の天板であっても大量生産することができる。
【００２５】
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法によると、液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部が所定間隔で設けられた基板の表面に仕切り部材を形成して所定形状にエッチングし、エッチング処理された仕切り部材の表面に接着層を積層し、液体が供給される液体供給穴を有する天板を接着層の上に重ねて仕切り部材に接合するようにしたので、仕切り部材と天板とを接着層を介して接合することが可能となり、高価で加工形状に制約のあるシリコン製の天板を用いずとも、成形加工によって製造される安価な天板を用いて簡単な構成の液体吐出ヘッドを容易かつ低コストにて製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明による液体吐出ヘッドをフルラインタイプのインクジェットプリンタに応用した一実施形態について、図１〜図７を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこのような実施形態のみに限らず、特許請求の範囲に記載された本発明の概念に包含されるあらゆる変更や修正が可能であり、従って本発明の精神に帰属する他の任意の技術にも当然応用することができる。
【００２７】
本実施形態におけるインクジェットプリンタの外観を図１に模式的に示し、そのインクジェットヘッドの外観を分解状態で図２に示し、その内部構造を図３に模式的に示す。すなわち、本実施形態のインクジェットプリンタ１０は、フルラインタイプのカラープリンタであり、イエロー色インク,マゼンタ色インク,シアン色インク,ブラック色インクをそれぞれ蓄えた４つのインクタンク１１Ｙ,１１Ｍ,１１Ｃ,１１Ｂ（以下、これらをまとめてインクタンク１１と記述する）と、これらインクタンク１１にそれぞれ接続配管１２を介してインク供給管が接続する４つのインクジェットヘッド１３Ｙ,１３Ｍ,１３Ｃ,１３Ｂ（以下、これらをまとめてインクジェットヘッド１３と記述する）とを具え、各インクタンク１１は、接続配管１２に対して交換可能に連結される。
【００２８】
制御装置１４に接続するヘッドドライバ１５によって各電気熱変換素子、つまり吐出エネルギー発生部１６（図３参照）に対する通電のオン／オフがそれぞれ切り換えられるインクジェットヘッド１３は、無端の搬送用ベルト１７を挟んでプラテン１８と対向するように、搬送用ベルト１７の搬送方向に沿って所定間隔で配列している。そして、制御装置１４によって作動が制御される回復処理のためのヘッド移動手段１９により、プラテン１８との対向方向に昇降し得るようになっている。各インクジェットヘッド１３の側方には、プリント媒体２０に対するプリント作業に先立ち、インク路２１（図３参照）内に介在する古いインクを吐出口２２（図３参照）から吐出してインクジェットヘッド１３の回復処理を行うためのヘッドキャップ２３がインクジェットヘッド１３の配列間隔に対して半ピッチずらした状態で配置され、制御装置１４によって作動が制御されるキャップ移動手段２４により、それぞれインクジェットヘッド１３の直下に移動し、吐出口２２から吐出される廃インクを受けるようになっている。
【００２９】
プリント媒体２０を搬送する搬送用ベルト１７は、ベルト駆動モータ２５に連結された駆動ローラ２６に巻掛けられ、制御装置１４に接続するモータドライバ２７によってその作動が切り換えられる。また、搬送用ベルト１７の上流側には、この搬送用ベルト１７を帯電することにより、プリント媒体２０を搬送用ベルト１７に密着させるための帯電器２８が設けられており、この帯電器２８は、制御装置１４に接続する帯電器ドライバ２９によって、その通電のオン／オフが切り換えられる。搬送用ベルト１７の上にプリント媒体２０を供給するための一対の給紙ローラ３０には、これら一対の給紙ローラ３０を駆動回転させるための給紙用モータ３１が連結され、この給紙用モータ３１は、制御装置１４に接続するモータドライバ３２によって作動が切り換えられる。
【００３０】
従って、プリント媒体２０に対するプリント作業に先立ち、インクジェットヘッド１３がプラテン１８から離れるように上昇し、次いでヘッドキャップ２３がこれらインクジェットヘッド１３の直下に移動してインクジェットヘッド１３の回復処理を行った後、ヘッドキャップ２３を元の待機位置へ移動させ、さらにインクジェットヘッド１３をプリント位置までプラテン１８側に移動する。そして、帯電器２８を作動させると同時に搬送用ベルト１７を駆動し、さらに給紙ローラ３０によってプリント媒体２０を搬送用ベルト１７上に載置し、各インクジェットヘッド１３によって所定の色画像がプリント媒体２０にプリントされる。
【００３１】
本実施形態におけるインクジェットヘッド１３は、インクが供給される共通インク室３３と、基端がこの共通インク室３３にそれぞれ連通すると共に先端部が吐出口２２となった複数のインク路２１とを有し、各吐出口２２は、インクジェットヘッド１３のプラテン１８と対向する吐出口面３４にプリント媒体２０の搬送方向と直交するように一直線状に配列した状態で開口している。このようなインクの介在空間を形成すると共に個々の吐出口２２からのインク滴の吐出を可能とするため、本実施形態におけるインクジェットヘッド１３は、平滑なベース板３５と、このベース板３５上に搭載され、インク滴を吐出するための吐出エネルギー発生部１６が所定間隔で設けられた基板３６と、個々の吐出エネルギー発生部１６を仕切るように配列する仕切り壁３７ａを有する仕切り部材３７と、インクが供給されるインク供給穴３８を有する天板３９と、この天板３９と仕切り部材３７との間に介在してこれらを接合する接着層４０と、仕切り部材３７と同一材料にて形成され、この仕切り部材３７と基板３６との間に配される下部補助層４１と、仕切り部材３７と同一材料にて形成され、この仕切り部材３７と接着層４０との間に配される上部補助層４２とを具えている。
【００３２】
ベース板３５は、吐出エネルギー発生部１６の継続的安定動作をもたらすような放熱および蓄熱特性を有するセラミックスなどで形成される。
【００３３】
半導体製造技術を用いてシリコンウェハから形成される基板３６の吐出エネルギー発生部１６は、インク路２１中に介在するインクを加熱沸騰させ、これによって吐出口２２からインクを吐出させる電気熱変換素子であり、これらは各インク路２１に臨むように吐出口２２側に近接して配されている。
【００３４】
仕切り部材３７は、感光性樹脂を用いてこれをフォトエッチング処理することにより、個々のインク路２１に対する仕切り壁３７ａと同時に共通インク室３３の内壁３３ａを画成する。従って、この仕切り部材３７を挟んで基板３６と天板３９とを重ね合わせることにより、基端側がインク供給穴３８に連通する共通インク室３３および先端側が液滴の吐出口２２となったインク路２１が形成される。
【００３５】
天板３９は、共通インク室３３に臨むインク供給穴３８とこれに連通するインク供給通路４３とを有し、基板３６を構成するシリコンウェハの熱膨張率（３.３×１０-6／℃）に近い熱膨張率を有するカーボングラファイト（０.３×１０-6／℃）やガラス繊維強化ＰＰＳ（ポリフェニレンスルフィド）（１×１０-5／℃）などを用いた成形加工品である。このため、図８に示すようなシリコンウェハを用いて異方性エッチングにより液体供給穴４ａを形成した従来のものよりも、インク供給穴３８やインク供給通路４３の形成が極めて容易であり、しかも任意の形状およびレイアウトにて形成することができる。また、基板３６に対して天板３９の熱変形量がほぼ近似しているため、吐出エネルギー発生部１６の発熱に伴って発生するインクジェットヘッド１３の反りやこれによって生ずる剥離などの不具合の発生を抑制することができる。
【００３６】
接着層４０は、シリコーン樹脂、例えばソニーケミカル株式会社製のＴ７８０１や、ドライフィルム化した感光性樹脂、例えば東京応化工業株式会社製のＴＭＭＲなどを採用することができる。
【００３７】
下部補助層４１および上部補助層４２は、仕切り部材３７と同一の感光性樹脂にて形成されており、これによって吐出口２２の内壁がすべて同一材料にて形成されることとなり、吐出口２２の熱的な安定性を確保して良好なインク滴の吐出を行うことができる。下部補助層４１は、吐出エネルギー発生部１６よりもインク路２１の下流側、つまり吐出口２２側に形成すればよく、基板３６全面に亙って形成する必要はない。また、吐出口２２の内壁が同一材料にて形成されてさえいればよく、感光性樹脂以外の成形材料を適宜使用可能である。
【００３８】
このような構造のインクジェットヘッド１３は、図４〜図７に示すような手順に従って製造することができる。すなわち、ベースプレート１２上に吐出エネルギー発生部１６が形成された基板３６を搭載し、この基板３６上に下部補助層４１となる感光性樹脂を塗布し、フォトエッチングにより所定形状に成形する。さらに、この下部補助層４１にマスキングを施して再度感光性樹脂を塗布し、フォトエッチングによって仕切り壁３７ａや共通インク室３３の内壁３３ａを持った仕切り部材３７を成形する（図４参照）。
【００３９】
次に、上部補助層４２となるドライフィルム化した感光性樹脂４２ａを仕切り部材３７の上にテンティングによって貼り付け、仕切り部材３７のフォトエッチングで使用したものと同じ図５に示すようなフォトマスク４４を用いてこれをフォトエッチングし、仕切り部材３７の上に上部補助層４２を形成する（図６参照）。
【００４０】
さらに、上部補助層４２の表面に接着層４０を塗布した（図７参照）後、天板３９をこの接着層４０に重ね合わせて天板３９を上部補助層４２に一体的に接合し、図３に示すようなインクジェットヘッド１３を得る。
【００４１】
また、接着層４０にドライフィルム化した感光性樹脂を用いる場合は、上部補助層４２の上にテンティングによって貼り付け、その後カバーシートを剥がすことにより、上部補助層４２と接合された部分だけ感光性樹脂は残り、その他の部分はカバーシートと共に剥がれる。この際、接着層４０に用いるドライフィルム化した感光性樹脂の膜厚は、この一連の作業に支障を起こさない厚み、具体的には２.５〜７.５μm程度の膜厚が望ましい。そして、接着層４０に光を当てた後、天板３９をこの接着層４０に重ね合わせて天板３９を上部補助層４２に一体的に接合し、熱を掛けて硬化させることにより、図３に示すようなインクジェットヘッド１３を得る。
【００４２】
本発明は、液体の吐出を行わせるために利用されるエネルギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱変換体やレーザ光など）を具え、この熱エネルギーにより液体の状態変化を生起させるインクジェット方式の液体吐出ヘッドにおいて優れた効果をもたらすものである。かかる方式によれば、プリントの高密度化および高精細化が達成できるからである。この場合、プリント媒体の種類やプリントモードに応じてインクのプリント性を調整するための処理液（プリント性向上液）を単独でまたはインクと共にプリント媒体に吐出するような型式の液体吐出ヘッドに対しても本発明は適用可能である。
【００４３】
さらに、プリント媒体の搬送方向に対して交差する方向に走査移動するキャリッジに搭載されるシリアルタイプの液体吐出ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。フルラインタイプの液体吐出ヘッドにおいても、複数の液体吐出ヘッドの組合せによってその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の液体吐出ヘッドとしての構成の何れでもよい。
【００４４】
なお、この液体吐出ヘッドが搭載される画像形成装置の形態としては、コンピュータや光ディスク装置などの情報処理機器の出力端末として用いられるものの他、リーダなどと組合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシミリ装置や捺染装置、あるいはエッチング装置の形態を採るものなどであっても良く、プリント媒体としては、シート状あるいは長尺の紙や布帛、あるいは板状をなす木材や皮革，石材，樹脂，ガラス，金属などの他に、３次元立体構造物などを挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明における液体吐出ヘッドをフルラインタイプのインクジェットプリンタに組み込んだ一実施形態の外観を模式的に表す概念図である。
【図２】図１に示したインクジェットプリンタにおけるプリントヘッドの外観を分解状態で模式的に表す立体投影図である。
【図３】図２に示したプリントヘッドの内部構造を模式的に表す断面図である。
【図４】図５〜図７と共に図２に示したプリントヘッドの製造過程を模式的に表す断面図であり、
【図５】図４，図６，図７と共に図２に示したプリントヘッドの製造過程を模式的に表す断面図であり、エッチング処理を施した仕切り部材を基板上に形成した状態を示している。
【図６】図４，図５，図７と共に図２に示したプリントヘッドの製造過程を模式的に表す断面図であり、上部補助層に対する露光処理の状態を模式的に示している。
【図７】図４〜図６と共に図２に示したプリントヘッドの製造過程を模式的に表す断面図であり、エッチング処理を施した上部補助層の上に接着層を形成した状態を示している。
【図８】従来のインクジェットヘッドの内部構造を模式的に表す断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０  インクジェットプリンタ
１１Ｙ,１１Ｍ,１１Ｃ,１１Ｂ  インクタンク
１２  接続配管
１３,１３Ｙ,１３Ｍ,１３Ｃ,１３Ｂ  インクジェットヘッド
１４  制御装置
１５  ヘッドドライバ
１６  吐出エネルギー発生部
１７  搬送用ベルト
１８  プラテン
１９  ヘッド移動手段
２０  プリント媒体
２１  インク路
２２  吐出口
２３  ヘッドキャップ
２４  キャップ移動手段
２５  ベルト駆動モータ
２６  駆動ローラ
２７  モータドライバ
２８  帯電器
２９  帯電器ドライバ
３０  給紙ローラ
３１  給紙用モータ
３２  モータドライバ
３３  共通インク室
３３ａ  内壁
３４  吐出口面
３５  ベース板
３６  基板
３７  仕切り部材
３７ａ  仕切り壁
３８  インク供給穴
３９  天板
４０  接着層
４１  下部補助層
４２  上部補助層
４２ａ  感光性樹脂
４３  インク供給通路
４４  フォトマスク
【図１】
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【図２】
2007015219.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2007015219.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007015219.tif 000009
【図８】
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