(57)【要約】【課題】透過性を有する光学部材のうち、少なくとも透過効率が高い平板状の光学部材、さらには曲率を有する光学部材に対して高精度で異物検出することができる明視野照明を用いた撮像システムおよび光学部材検査装置を提供すること。【解決手段】撮像システムは、被検物を同軸落斜照明する第一の光源部と、被検物で反射した光が入射する撮像光学系および撮像光学系に対して被検物と共役な位置関係にある撮像素子を持つ撮像手段と、被検物を含み、撮像手段の光軸上に配設される被検光学系と、被検光学系に対して撮像手段の反対側に位置するミラーと、を有する構成にした。【選択図】図１
2007218756.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物を同軸落斜照明する第一の光源部と、
前記被検物で反射した光が入射する撮像光学系、および前記撮像光学系に対して前記被検物と共役な位置関係にある撮像素子を持つ撮像手段と、
前記被検物を含み、前記撮像手段の光軸上に配設される被検光学系と、
前記被検光学系に対して前記撮像手段の反対側であって、前記被検光学系を透過した光を反射して、該被検光学系を介して撮像手段に導くような位置に配設されたミラーと、を有することを特徴とする撮像システム。
【請求項２】
請求項１に記載の撮像システムにおいて、
前記第一の光源部は、前記撮像光学系の光軸上に配設され、光源からの光を前記被検光学系に導くハーフミラーを有することを特徴とする撮像システム。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の撮像システムにおいて、
前記撮像光学系は、前記被検光学系側で略テレセントリックであることを特徴とする撮像システム。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の撮像システムにおいて、
前記被検物は、平板状の光学部材であることを特徴とする撮像システム。
【請求項５】
請求項４に記載の撮像システムにおいて、
前記ミラーは、前記光学部材と略同一形状であることを特徴とする撮像システム。
【請求項６】
請求項３に記載の撮像システムにおいて、
前記被検物は、曲面を持つ光学部材であることを特徴とする撮像システム。
【請求項７】
請求項６に記載の撮像システムにおいて、
前記被検光学系は、正のパワーを持つ補助レンズ群を有することを特徴とする撮像システム。
【請求項８】
請求項７に記載の撮像システムにおいて、
前記被検物は、負のパワーを持つレンズであることを特徴とする撮像システム。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれかに記載の撮像システムにおいて、
前記ミラーは、前記被検光学系の焦点位置に配設されることを特徴とする撮像システム。
【請求項１０】
請求項１から請求項８のいずれかに記載の撮像システムにおいて、
前記ミラーは、前記被検光学系の焦点位置に対して光軸方向に変位させて配設されることを特徴とする撮像システム。
【請求項１１】
請求項１０に記載の撮像システムにおいて、
前記ミラーに対して前記被検光学系の反対側に位置し、前記ミラーを介して前記被検光学系に光を照射する光源と、前記光源から照射された光を均一に拡散する拡散板と、を有する第二の光源部をさらに有し、
前記第一の光源部と前記第二の光源部は、択一的に発光制御されることを特徴とする撮像システム。
【請求項１２】
請求項１１に記載の撮像システムにおいて、
前記ミラーは、前記拡散板の拡散面に対して突出した部分に設けられていることを特徴とする撮像システム。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２のいずれかに記載の撮像システムと、
前記撮像システムにより撮像された被検物の画像に所定の画像処理を施すとともに、前記被検物にある異物を検出し該被検物の良否判定を行うプロセッサと、を有することを特徴とする光学部材検査装置。
【請求項１４】
前記プロセッサの判定結果を報知する報知手段を有することを特徴とする請求項１３に記載の光学部材検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ等の光学部材の外観検査に用いられる撮像システムおよび該撮像システムを備える光学部材検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、小型な部品や製品の外観形状の検査のために用いられる検査装置として、例えば、以下の特許文献１に開示されるものが知られている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２７７４０４号公報
【０００４】
上記特許文献１に開示される装置では、テーブル上に載置された被検物は同軸落斜させた光によって照明される。そして該被検物で反射した光をＣＣＤカメラ等の撮像部によって受光することにより撮像が行われる。そして、撮像された被検物の画像に基づき欠陥があるか否かといった外観形状の検査が行われる。
【０００５】
上記特許文献１に開示される装置のような照明手法を、一般に明視野照明という。明視野照明を用いた検査では、被検物に関する撮像画像は次のような特徴を持つ。すなわち、被検物においてキズ等といった異物がない正常な部位に入射した光は正反射して撮像部に導かれる。そのため、撮像画像において該正常な部位は背景領域として明るく表れる。これに対し、被検物において異物がある部位に入射した光は散乱反射する。そのため、撮像画像において他の領域（背景領域）よりも暗く表れる。
【０００６】
しかし、従来の明視野照明を利用した検査装置では、透過性を有する平板状の光学部材を検査しようとすると、被検物を透過する光が多くなってくる。そのため、本来明るく表れるはずの背景領域（正常部位）が暗くなってしまい、高精度な異物の特定の妨げになりかねないという問題がある。該問題は、特に表面に反射防止コートが施されるといった透過効率が高い光学部材、例えば光学フィルタ等を被検物とする場合、より一層顕著に表れる。
【０００７】
また、従来の明視野照明を利用した検査装置では、透過性かつ曲率を有する光学部材を検査しようとすると、入射位置での該曲率に応じて反射の態様が異なるといった現象が起こる。詳しくは、光学部材の近軸で反射する光は比較的正反射に近いため、撮像部に入射するが、反射位置が光学部材の光軸から離れるにつれ、反射光は撮像部から大きく外れてしまう。結果として、背景領域の中央から周縁部に行くにつれ徐々に暗くなっていく画像が生成されてしまう。該画像では、光学部材の周縁部にある異物は背景と同化してしまい、精確に検出されにくいという問題点も指摘される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
以上の諸事情に鑑み、本発明は、透過性を有する光学部材のうち、少なくとも透過効率が高い平板状の光学部材、さらには曲率を有する光学部材に対して高精度で異物検出することができる明視野照明を用いた撮像システムおよび光学部材検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本願発明に係る撮像システムは、被検物を同軸落斜照明する第一の光源部と、被検物で反射した光が入射する撮像光学系および撮像光学系に対して被検物と共役な位置関係にある撮像素子を持つ撮像手段と、被検物を含み、撮像手段の光軸上に配設される被検光学系と、被検光学系に対して撮像手段の反対側であって、被検光学系を透過した光を反射して、該被検光学系を介して撮像手段に導くような位置に配設されたミラーと、を有することを特徴とする。
【００１０】
上記のように構成された撮像システムによれば、少なくとも透過性を有する平板状の光学部材を被検物とした場合、該被検物を透過した光をミラーによって反射させて再び該被検物を介して撮像手段に入射させることが可能になる。つまり本発明によれば、透過性ある平板状の光学部材であっても高精度な異物検出が可能な画像を撮像することができる。
【００１１】
請求項２に記載の撮像システムによれば、第一の光源部は、撮像手段の光軸上に配設され、光源からの光を被検光学系に導くハーフミラーを有するように構成される。
【００１２】
また、請求項３に記載の撮像システムによれば、上記撮像光学系は、被検光学系側で略テレセントリックとなるように構成することができる。
【００１３】
請求項４に記載の撮像システムによれば、被検物として平板状の光学部材を使用することができる。この場合、上記ミラーは、該光学部材と略同一形状であることが望ましい（請求項５）。
【００１４】
また、撮像光学系を請求項３に記載のように構成した撮像システムによれば、曲面を持つ光学部材を被検物とすることもできる（請求項６）。
【００１５】
また、請求項７に記載の被検光学系によれば、被検光学系は、正のパワーを持つ補助レンズ群を有することができる。これにより、例えば負のパワーを持つレンズであっても好適に外観検査を行うことができる（請求項８）。
【００１６】
具体的な構成としては、上記ミラーは、被検光学系の焦点位置に配設されることが望ましい（請求項９）。これにより、より鮮明であってかつ異物検出に適した画像が撮像される。また、該ミラーは、被検光学系の焦点位置に対して光軸方向に変位させて配設することも可能である。これにより、撮像画像にミラーの像が映り込む現象を低減することができる。
【００１７】
さらに、請求項１１に記載の撮像システムによれば、ミラーに対して被検光学系の反対側に位置し、ミラーを介して被検光学系に光を照射する光源と、光源から照射された光を均一に拡散する拡散板と、を有する第二の光源部をさらに有し、各光源部は択一的に発光制御される。これにより、明視野照明と暗視野照明の二種類の照明方式による異物検出が可能になる。
【００１８】
請求項１２に記載の撮像システムによれば、ミラーは、拡散板の拡散面に対して突出した部分に設けることができる。
【００１９】
請求項１３に記載の光学部材検査装置は、請求項１から請求項１３のいずれかに記載の撮像システムと、該撮像システムにより撮像された被検物の画像に所定の画像処理を施すとともに、被検物にある異物を判定し、該被検物の良否判定を行うプロセッサと、を有することを特徴とする。
【００２０】
請求項１４に記載の光学部材検査装置によれば、プロセッサの判定結果を報知する報知手段を有することが望ましい。
【発明の効果】
【００２１】
このように本発明にかかる撮像システムによれば、被検物に対して撮像光学系と反対側にミラーを配設する。これにより、透過性を有する光学部材を被検物とした場合であっても、該光学部材を透過した光は上記ミラーによって撮像手段へ導かれる。つまり、明視野照明方式で透過性を有する光学部材を撮像した場合であっても、光量を損失することなく、鮮明で異物検出に好適な画像を得ることができる。また、該ミラーを所定位置に配設することにより、光学部材がレンズのように曲率を有する場合であっても、均一な明るさの背景を持つ画像を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の撮像システムおよび光学部材検査装置について、第一実施形態の構成と共に説明する。図１は第一実施形態の光学部材検査装置１００の概略構成を示す図である。光学部材検査装置１００は、撮像システム１０Ａ、プロセッサ２０、報知部３０を有する。なお第一実施形態の光学部材検査装置１００（撮像システム１０Ａ）は、表面に反射防止膜等が施された光学フィルタ等といった、透過効率が比較的高い平板状の光学部材を被検物にした時に好適な構成である。
【００２３】
撮像システム１０Ａは、ＣＣＤ１、撮像光学系２、開口絞り３、被検光学系４、ミラー５、第一光源６、ハーフミラー７、を有する。第一光源６を除く各部材１〜７は、撮像光学系２の光軸（図１中一点鎖線で示す）上に配設されている。図１では、撮像光学系２を、便宜上、一枚のみ示しているが、実際の装置における撮像光学系２は複数枚から構成される。また、図１では、ＣＣＤ１と撮像光学系２間に開口絞り３があるように描かれているが、実際の装置では、撮像光学系２を構成するレンズ間に開口絞り３が配設されることもある。なお、図１の位置に開口絞りを配置した場合には、射出瞳径は開口絞り径と等しくなる。
【００２４】
本実施形態では、撮像光学系２は、ＣＣＤ１の撮像面と該ＣＣＤ１の撮像領域内にある被検光学系４とが略共役な関係になる位置に配設される。また開口絞り３は、撮像光学系２の焦点位置に配設される。つまり、撮像光学系２は、物体側、より具体的には被検光学系４側でテレセントリックになっている。
【００２５】
被検光学系４は、少なくとも被検物４ａを含む光学系である。第一実施形態では、被検光学系４は、被検物４ａのみからなる。被検物４ａは、前工程終了後、直接あるいは一時的に収納されたトレイから、図示しない搬送アームによって、撮像システム１０Ａ内の図示しないテーブルに載置される。
【００２６】
ミラー５は、被検光学系４に対して撮像光学系２の反対側であって、被検光学系４よりも所定量離れた位置に配設される。該所定量とは、装置のサイズおよび撮像画像の鮮明度を考慮しつつ適切に設定される。詳しくは、ミラー５をあまりに被検光学系４から離しておくと、その分装置の大型化に繋がるため好ましくない。また、ミラー５を被検光学系４に近接配置しすぎるとミラー５の鏡面における付着物等が撮像画像に映り込むおそれがあるため好ましくない。なお第一実施形態では、ミラー５は、被検物４ａを透過した光をもれなく反射できるように被検物４ａと同一形状もしくは被検物４ａよりも大きい相似形状のものを用いている。
【００２７】
第一光源６は、撮像光学系２の光軸さらに言えば撮像素子に入射する光束の光路外に配設されている。第一光源６は、被検物４ａが載置されるとプロセッサ２０の制御下、点灯される。第一光源６から照射された光束は、光軸上に配設されたハーフミラー７により偏向され被検物４ａに入射（同軸落斜）する。なお、本実施形態ではコストダウンを達成するために、必要最小限の部材のみからなる構成を示しているが、必ずしも該構成に限定するものではない。例えば第一光源６とハーフミラー７間に拡散板を配設することにより、被検物４ａにおいて入射光量をより一層均一化させることができる。
【００２８】
被検物４ａに入射した光は、主として表面で反射する反射成分と該被検物４ａを透過する透過成分に分けられる。反射成分は、ハーフミラー７、撮像光学系２、開口絞り３を介して撮像素子１に入射する。なお、図１では撮像素子１に入射する反射成分を破線で示す。以下の各図においても同様である。
【００２９】
被検物４ａを透過した透過成分は、後段にあるミラー５で反射し、再び被検物４ａに入射する。そして上記反射成分と同様の光路を辿って撮像素子１に入射する。なお、図１では透過成分を矢印線で示す。以下の各図においても同様である。
【００３０】
つまり、従来の構成では、結像に寄与しなかった透過成分も有効に撮像素子１に導くことができる。従って、従来の構成と同様に明視野照明を使用しているにもかかわらず、本実施形態の撮像システム１０Ａは、背景が明るくなりその分異物を表す暗転領域がより鮮明に映し出された画像が撮像される。撮像素子１は、撮像画像に関するデジタルデータ（画像データ）をプロセッサ２０に出力する。
【００３１】
プロセッサ２０は、光学部材検査装置１００全体の制御を行うＣＰＵや、ＣＣＤが撮像した画像データに所定の処理を施す画像処理部等を有する。プロセッサ２０は、撮像素子１からの画像データに二値化処理をはじめ種々の処理を施した後、異物の有無やサイズ等から被検物４ａに対する良否判定を行う。ここで、上述したように、撮像システム１０Ａで撮像された画像は、従来の構成で撮像された画像に比べ、背景に対して異物に対応する領域が鮮明に表れている。従って、反射防止膜が施された光学フィルタのように透過効率が高い平板状の光学部材であっても高い精度をもって異物の検出さらには製品（装置に組み込まれる場合には該装置を構成する部品）としての良否判定を行うことができる。
【００３２】
報知部３０は、プロセッサ２０によりなされた判定結果をユーザに報知する。ここでは報知部３０として、モニタを想定する。但し、報知部は必ずしもモニタである必要はなく、例えば音声装置等によって良品や不良品の別を報知する構成であっても良い。モニタ３０は、被検物４ａが良品であるか不良品であるかどうかの判定結果のみならず、撮像システム１０Ａより送信されプロセッサ２０により画像処理が施された画像データや、二値化処理等の処理結果を表示することも可能である。
【００３３】
以上が本発明の第一実施形態の光学部材検査装置１００の説明である。次に被検物４ａが曲率を持つ光学部材、例えばレンズである場合の構成例を第二実施形態、第三実施形態として説明する。
【００３４】
図２は、第二実施形態の光学部材検査装置を構成する撮像システム１０Ｂの概略構成を示す図である。撮像システム１０Ｂは、被検物４ａとして正のパワーを持つレンズを想定する。なお第二実施形態の光学部材検査装置における、撮像システム１０Ｂ以外の構成は、第一実施形態の光学部材検査装置１００と同一である。また、撮像システム１０Ｂを構成する各部材のうち、撮像システム１０Ａと同一の部材には図１と同一の符号を付して参照することにし、ここでは、本実施形態独自の構成のみ説明する。
【００３５】
図２に示すように、曲面を持つ光学部材（本実施形態では正のパワーを持つ光学部材）を被検物４ａとする場合、撮像システム１０Ｂにおけるミラー５は、被検光学系４の焦点位置に配設される。第二実施形態では、被検光学系４は被検物４ａのみからなるため、被検光学系４の焦点距離はすなわち被検物４ａの焦点距離である。このように配置構成することにより、第一光源６から照射され被検光学系４（ここでは、被検物４ａ）を透過した光（透過成分）は、ミラー５で収束しつつ反射する。そして、ミラー５で反射した光は被検物４ａによって平行光に変換され、撮像素子１に入射する。なお、第二実施形態のミラー５は、第一実施形態とは異なり、被検物４ａから射出され焦点位置に向かって収束する光（透過成分）が入射するに十分な形状であればよい。
【００３６】
このように、図２に示す第二実施形態の撮像システム１０Ｂは、従来の構成では被検物４ａの結像に寄与しない光のうち、被検物４ａにおける透過成分を撮像素子１に導くことが可能になる。よって、上記第一実施形態と同様、第二実施形態の撮像システム１０Ｂも高精度での異物検出や良否判定を可能にする画像を生成することができる。
【００３７】
図３は、第三実施形態の光学部材検査装置を構成する撮像システム１０Ｃの概略構成を示す図である。撮像システム１０Ｃは、被検物４ａとして負のパワーを持つレンズを想定する。なお第三実施形態の光学部材検査装置における、撮像システム１０Ｃ以外の構成は、第一実施形態の光学部材検査装置１００と同一である。また、撮像システム１０Ｃを構成する各部材のうち、撮像システム１０Ａ、１０Ｂと同一の部材には図１、図２と同一の符号を付して参照することにし、ここでは、本実施形態独自の構成のみ説明する。
【００３８】
図３に示すように、負のパワーを持つレンズを被検物とする場合、被検物４ａでの透過成分は、発散状態にある。第三実施形態の撮像システム１０Ｃでは、発散状態にある透過成分を効率よくミラー５に導くため、被検物４ａとミラー５間に正のパワーを持つ補助レンズ４ｂを配設する。つまり、撮像システム１０Ｃの被検光学系４は、被検物４ａと補助レンズ４ｂから構成され、全体として正のパワーを持つ。従ってミラー５は、被検光学系４の焦点距離、より詳しくは各レンズ４ａ、４ｂの合成焦点距離だけ離れた位置に配設される。このように構成することにより、被検物が負のパワーを持つレンズであっても、第二実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００３９】
なお、上記のような補助レンズ４ｂは、第三実施形態のように被検物４ａが正のパワーを持つ場合であっても使用することができる。例えば、図２に示す被検物４ａの正のパワーが比較的弱い場合、補助レンズ４ｂを挿入することにより、ミラー５を被検物４ａ近傍に配設することができる。
【００４０】
パワーを持つ光学部材を被検物４ａとする場合に好適な第二、第三の各実施形態では、第一光源６から照射される光の光量やレンズのパワーによっては、稀に、撮像素子１への入射光量のうち、被検物４ａの中心領域からの光の光量が他の領域に比べて極端に大きくなる場合がある。この場合、撮像画像において、該中心領域に相当する領域が白飛びしてしまい、異物の有無やサイズの精確な検出の妨げになるおそれがある。
【００４１】
図４に示す第四実施形態の撮像システム１０Ｄは、上記のような白飛びによる異物検出精度の低下を有効に防止するために第二実施形態に暗視野照明方式を実現する要素を付加した構成例である。つまり、撮像システム１０Ｄは、単一のシステムでありながら、ミラー５を用いた高精度な明視野照明方式および暗視野照明方式を実現する構成である。
【００４２】
一般に、暗視野照明によって撮像された画像は、明視野照明とは異なり、背景が暗転し、異物が存在する領域が明るく表れる。従って、撮像システム１０Ｄによれば、第二実施形態の構成により撮像された画像での異物検出性能を、別途暗視野照明により撮像された画像によって補完することが可能になる。なお、ここでの第四実施形態の撮像システム１０Ｄは、第二実施形態の変形として説明しているが、第三実施形態の撮像システム１０Ｃであっても、撮像システム１０Ｄと同様の構成を付加する変形を行うことは可能である。
【００４３】
図４に示すように撮像システム１０Ｄは、ミラー５を挟んで被検光学系４の反対側に第二光源８、拡散板９、第一光源６または第二光源のいずれか一方が発光するように択一的にＯＮ／ＯＦＦを切り替える第一スイッチ１０、第二スイッチ１１、を有する。
【００４４】
撮像システム１０Ｄでは、明視野照明による被検物４ａの撮像を行う場合、第一光源６のみが発光するように各スイッチ１０、１１が切り替えられる。つまり、上述した第二実施形態の撮像システム１０Ｂと同一の使用態様を採る。
【００４５】
また、暗視野照明による被検物４ａの撮像を行う場合、第二光源８のみが発光するように各スイッチ１０、１１が切り替えられる。
【００４６】
プロセッサ２０は、各照明方式により撮像された各画像に基づき、異物検出、さらには良否判定を行う。
【００４７】
以上が、本発明に係る撮像システムおよび該撮像システムを有する光学部材検査装置の説明である。なお、上述した実施形態の光学部材検査装置１００の構成は、本発明の一例に過ぎず、以下のような変形を行っても上記構成と同等の効果を奏する。
【００４８】
例えば、上記各実施形態において、撮像光学系２は、物体側でテレセントリックになっていると説明した。このように構成することにより、被検物４ａの光軸方向での配置位置の微小なずれや被検物４ａ表面からの異物の深さ等に起因する撮像倍率の変動を抑え、常に略同一倍率での撮像が可能になる。しかし、第一実施形態のように平板状の被検物４ａを撮像する場合、撮像光学系２に関する他の部材との相対的位置調整を簡易化させるために、撮像光学系２は必ずしも精確なテレセントリックにしなくても良い。
【００４９】
また、上記説明では、検査対象毎に異なる構成の実施形態を提示した。各実施形態は、必ずしも別個独立して存在する必要はなく単一のシステムとして構成することも可能である。例えば、図３に示す補助レンズ４ｂを光軸に対して直交する面内で移動可能に構成する。そして、被検物４ａの持つパワーに応じて補助レンズ４ｂを光軸上に挿入あるいは待避させることにより、第一〜第三実施形態を単一のシステムで実現することができる。
【００５０】
また、第二、第三の各実施形態では、ミラー５は、被検光学系４の焦点位置に配設されると説明した。ここで、ミラー５を上記焦点位置から撮像光学系２の光軸方向に沿って微少量変位させて配設してもよい。ミラー５を変位させた状態で撮像された画像は、被検光学系４を介したミラー５の像がぼけるため、レンズ中央に対応する領域の明るさが抑えられる。従って、第四実施形態の構成に近似した効果、すなわち該レンズ中央に対応する領域における異物検出精度を向上させることが可能になる。
【００５１】
さらに、上記の第四実施形態において、ミラー５と拡散板９は、互いに独立している。しかし、本発明に係る撮像システムおよび光学部材検査装置では、ミラー５と拡散板９を一体形成させた調光部材を使用することも可能である。該調光部材を使用した第四実施形態の撮像システム１０Ｄの変形例において、被検物４ａ近傍の拡大図を図５に示す。図５に示すように、該変形例は、拡散板９１と、拡散板９１の略中央部から略直角に突出した突出部先端面に蒸着されるミラー部９５とからなる調光部材９０を有する。図５に示すように、調光部材９０を使用することにより、光ピックアップ用対物レンズ等の焦点距離が極端に短い光学部材を被検物４ａとする検査時であっても、例えばテーブルやレンズホルダといった他の部材Ｔと接触する等の不具合を生じることなく、該光学部材４ａの焦点距離に正確にミラー部９５を配置させることができる。
【００５２】
また、上記の各実施形態では一枚の正レンズを補助レンズとして用いているが、必要に応じて複数枚からなる補助レンズ群を用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の第一実施形態の撮像システムおよび光学部材検査装置の全体を模式的に示す図である。
【図２】本発明の第二実施形態の撮像システムを模式的に示す図である。
【図３】本発明の第三実施形態の撮像システムを模式的に示す図である。
【図４】本発明の第四実施形態の撮像システムを模式的に示す図である。
【図５】本発明の第四実施形態の撮像システムの変形例を一部拡大して示す図である。
【符号の説明】
【００５４】
１    撮像素子
２    撮像光学系
３    開口絞り
４    被検光学系
４ａ    被検物
４ｂ    補助レンズ
５    ミラー
６    第一光源
８    第二光源
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ    撮像システム
１００    光学部材検査装置
【図１】
2007218756.tif 000003
【図２】
2007218756.tif 000004
【図３】
2007218756.tif 000005
【図４】
2007218756.tif 000006
【図５】
2007218756.tif 000007