(57)【要約】【課題】本発明は、排気時間の短縮を図ることができ、高い耐久性を有し、小型化を図ることができる真空弁を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、弁本体３１の下面に備わり入力ポート３２が形成される略円筒形状の入力ポート部材４１と、弁本体３１の側面に備わり入力ポート３２と連通する出力ポート３３が形成される出力ポート部材４２と、入力ポート部材４１の上端面に形成される弁座３４と、弁座３４と当接および離間するように昇降動作を行なう弁体２４とを有する真空弁において、弁座３４が出力ポート３３の内周面の最下部よりも高い位置にあることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁本体の下面に備わり第１ポートが形成される略円筒形状の第１ポート部材と、弁本体の側面に備わり前記第１ポートと連通する第２ポートが形成される第２ポート部材と、前記第１ポート部材の上端面に形成される弁座と、前記弁座と当接および離間するようにストローク動作を行なう弁体と、を有する真空弁において、
前記弁座が前記第２ポートの内周面の最下部よりも高い位置にあること、
を特徴とする真空弁。
【請求項２】
請求項１に記載する真空弁において、
前記第２ポートの内周面の最下部から前記弁座までの高さである弁座高さをＨとし、前記第２ポートの内径をＤ２とし、前記弁体のストローク量をＳＴとするときに、Ｈ＝（Ｄ２−ＳＴ）×（５％〜９５％）との条件を満たすこと、
を特徴とする真空弁。
【請求項３】
請求項１に記載する真空弁において、
前記第２ポートの内周面の最下部から前記弁座までの高さである弁座高さは、３ｍｍ以上１５ｍｍ以下であること、
を特徴とする真空弁。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載するいずれか一つの真空弁において、
前記第１ポートの内径をＤ１とし、前記弁体がストローク動作を行なう範囲における弁本体の内径をＤ３とするときに、（Ｄ３／Ｄ１）＞１．４の条件を満たすこと、
を特徴とする真空弁。
【請求項５】
請求項１乃至請求項３に記載するいずれか一つの真空弁において、
前記第１ポートの内径をＤ１とし、前記弁体がストローク動作を行なう範囲における弁本体の内径をＤ３とし、前記弁体の外径をＤ４とするときに、（Ｄ３／Ｄ１）＞１．４、かつ（Ｄ３／Ｄ４）＞１．０５の条件を満たすこと、
を特徴とする真空弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空弁の弁本体における流路構造に関するものであって、特に、弁座の位置について所定の条件を有することを特徴とする。
【背景技術】
【０００２】
従来からの一般的な真空弁として特許文献１に以下のような真空弁が開示されている。図８は、特許文献１に開示された真空弁１０１の断面図を示し、一点鎖線を挟んで左側が閉弁時を、右側が開弁時を示している。図８に示すように、真空弁１０１はメインディスク室１１１と第１ピストン室１１２と第２ピストン室１１３とを備えている。そして、これらの各室間をステム１２３が連通して配置されている。メインディスク室１１１は、弁本体１３１とメインディスク１２４（弁体）とベローズ１３６とにより、弁室を構成している。弁本体１３１は、下面に入力ポート１３２と側面に出力ポート１３３を備えている。そして、入力ポート１３２は真空チャンバー（不図示）に接続され、出力ポート１３３は真空ポンプ（不図示）に接続されている。入力ポート１３２の上端面には弁座１３４を備えている。メインディスク室１１１内においてステム１２３の外周部分にはベローズ１３６が配置されている。第１ピストン室１１２と第２ピストン室１１３には、それぞれピストン（１２１、１２２）を備えている。
【０００３】
このような構成からなる真空弁１０１は、以下のように作用する。メインディスク１２４が弁座１３４と当接し入力ポート１３２と出力ポート１３３が遮断されている状態において、エア供給路１２５から第１ピストン室１１２へ、またはエア供給路１２６から第２ピストン室１１３にエアを供給すると、各室のピストン（１２１、１２２）の動作によりステム１２３が上昇する。すると、ステム１２３と一体のメインディスク１２４が上昇し、弁座１３４と離間する。これにより入力ポート１３２と出力ポート１３３が連通し、入力ポート１３２から出力ポート１３３へと流体が流れる。
【特許文献１】特開平８−６１５５８号公報（段落００１７、００１８、００２３、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された真空弁１０１においては、弁座１３４が出力ポート１３３の下面よりも下の位置に配置されている。そのため、メインディスク１２４の開弁時において、入力ポート１３２と出力ポート１３３とが連通する連通流路のメインディスク１２４と弁座１３４の間で形成される部分の出力ポート１３３から見たときの断面積が小さくなる。従って、入力ポート１３２から出力ポート１３３へ流体が流れにくくなり、排気時間の短縮を図ることができなくなってしまう。
【０００５】
そこで、排気時間の短縮を図る手段として、（１）弁体のリフト量を長くして連通流路の断面積を大きくし排気量を増大させることにより排気抵抗の影響を小さくすること、（２）弁本体の内径を大きくして連通流路の断面積を大きくし排気量を増大させることにより排気抵抗の影響を小さくすること、（３）弁座にテーパやＲを設けることにより流体を流れやすくして排気を促し排気抵抗を抑制すること、などが考えられる。
【０００６】
しかしながら、前記の排気時間の短縮を図る手段には以下の課題が存在する。
（１）「弁体のリフト量を長くして連通流路の断面積を大きくし排気量を増大させることにより排気抵抗の影響を小さくすること」とする手段では、アクチュエータとしてシリンダを用いるとストローク量を大きく取る必要がある。そのため、可動軸やピストン周りのシール部材（パッキンやＯリングなど）について、１ストロークあたりの摺動量が大きくなってしまい、当該シール部材の寿命が低下して耐久性が得られないおそれがある。また、ベローズ弁を使用する場合には、特にベローズのコストが高くなってしまう。
【０００７】
（２）「弁本体の内径を大きくして連通流路の断面積を大きくし排気量を増大させることにより排気抵抗の影響を小さくすること」とする手段では、真空弁の外形が幅広となり配管作業が困難となったり、真空弁の設置スペースが大きくなったり、真空弁に使用される材料コストが大きくなってしまう。
【０００８】
（３）「弁座にテーパやＲを設けることにより流体を流れやすくして排気を促し排気抵抗を抑制すること」とする手段には、閉弁時において弁体と弁座との間の密閉度を確保するために弁体に加える荷重を大きくする必要があり、アクチュエータが大きくなってしまう。
【０００９】
そこで本発明は、排気時間の短縮を図ることができ、高い耐久性を有し、小型化を図ることができる真空弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明は以下のようなことを特徴とする。
（１）本発明は、弁本体の下面に備わり第１ポートが形成される略円筒形状の第１ポート部材と、弁本体の側面に備わり第１ポートと連通する第２ポートが形成される第２ポート部材と、第１ポート部材の上端面に形成される弁座と、弁座と当接および離間するようにストローク動作を行なう弁体とを有する真空弁において、弁座が第２ポートの内周面の最下部よりも高い位置にあることを特徴とする。
【００１１】
（２）本発明は、（１）に記載する真空弁において、第２ポートの内周面の最下部から弁座までの高さである弁座高さをＨとし、第２ポートの内径をＤ２とし、弁体のストローク量をＳＴとするときに、Ｈ＝（Ｄ２−ＳＴ）×（５％〜９５％）との条件を満たすことを特徴とする。
【００１２】
（３）本発明は、（１）に記載する真空弁において、第２ポートの内周面の最下部から弁座までの高さである弁座高さは、３ｍｍ以上１５ｍｍ以下であることを特徴とする。
【００１３】
（４）本発明は、（１）乃至（３）に記載するいずれか一つの真空弁において、第１ポートの内径をＤ１とし、弁体がストローク動作を行なう範囲における弁本体の内径をＤ３とするときに、（Ｄ３／Ｄ１）＞１．４の条件を満たすことを特徴とする。
【００１４】
（５）本発明は、（１）乃至（３）に記載するいずれか一つの真空弁において、第１ポートの内径をＤ１とし、弁体がストローク動作を行なう範囲における弁本体の内径をＤ３とし、弁体の外径をＤ４とするときに、（Ｄ３／Ｄ１）＞１．４、かつ（Ｄ３／Ｄ４）＞１．０５の条件を満たすことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
このような特徴を有する本発明は、以下のような作用・効果を有する。
（１）本発明は、弁本体の下面に備わり第１ポートが形成される略円筒形状の第１ポート部材と、弁本体の側面に備わり第１ポートと連通する第２ポートが形成される第２ポート部材と、第１ポート部材の上端面に形成される弁座と、弁座と当接および離間するようにストローク動作を行なう弁体とを有する真空弁において、弁座が第２ポートの内周面の最下部よりも高い位置にあるので、第１ポートから流入する流体は弁体と弁座の間を通って第２ポート内へ広がるように流出されることから第１ポートから第２ポートへ流体が流れやすくなり排気時間の短縮を図ることができる。
【００１６】
（２）本発明は、（１）に記載する真空弁において、第２ポートの内周面の最下部から弁座までの高さである弁座高さをＨとし、第２ポートの内径をＤ２とし、弁体のストローク量をＳＴとするときに、Ｈ＝（Ｄ２−ＳＴ）×（５％〜９５％）との条件を満たすので、流体の流れに適した弁体と弁座の間の流路面積を確保して第１ポートから第２ポートへの流体が流れやすくなることから、（１）に記載する効果をより確実に達成することができる。
【００１７】
（３）本発明は、（１）に記載する真空弁において、第２ポートの内周面の最下部から弁座までの高さである弁座高さは、３ｍｍ以上１５ｍｍ以下であるので、流体の流れに適した弁体と弁座の間の流路面積を確保して第１ポートから第２ポートへの流体が流れやすくなることから、（１）に記載する効果をより確実に達成することができる。
【００１８】
（４）本発明は、（１）乃至（３）に記載するいずれか一つの真空弁において、第１ポートの内径をＤ１とし、弁体がストローク動作を行なう範囲における弁本体の内径をＤ３とするときに、（Ｄ３／Ｄ１）＞１．４の条件を満たすので、第１ポートから流入する流体が弁本体の内周面の全面に広がって第２ポートへ流れ込むことにより第１ポートから第２ポートへの流体が流れやすくなることから、（１）乃至（３）に記載する効果をより確実に達成することができる。
【００１９】
（５）本発明は、（１）乃至（３）に記載するいずれか一つの真空弁において、第１ポートの内径をＤ１とし、弁体がストローク動作を行なう範囲における弁本体の内径をＤ３とし、弁体の外径をＤ４とするときに、（Ｄ３／Ｄ１）＞１．４、かつ（Ｄ３／Ｄ４）＞１．０５の条件を満たすので、第１ポートから流入する流体が弁本体の内周面の全面に広がり第２ポートへ流れ込むことにより、かつ弁本体の内周面と弁体の外周面の間を通って第２ポートへ流れ込むことにより、第１ポートから第２ポートへの流体が流れやすくなることから、（１）乃至（３）に記載する効果をより確実に達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施例について説明する。
＜本発明の真空弁の構成＞
まず、本発明の真空弁１の構成について説明する。なお、真空弁１で「上」とはシリンダ部側、「下」とは弁部側を指すものとする。
図１は、本発明の真空弁１の閉弁時における断面図である。また、図２は、本発明の真空弁１の開弁時における断面図である。図１や図２に示すように、本発明の真空弁１は、上下方向で２つの部分に分割された中空部を有し、上下に大きく弁部１１とシリンダ部１２とに分けられる。上部にあるシリンダ部１２の外観はシリンダチューブ２１により構成されその中空部はシリンダを構成しており、ピストン２２が摺動可能に嵌合されている。ピストン２２の中央には、可動軸２３が固設され、可動軸２３は下部にある弁部１１まで貫通し、その下端には、外径をＤ４とする弁体２４が固設されている。また、ピストン２２の上側に形成された上シリンダ室２７は駆動エアポート２５に接続し、ピストン２２の下側に形成された下シリンダ室２８は駆動エアポート２６に接続している。駆動エアポート（２５、２６）にはエア供給装置（不図示）から駆動エアが供給される。
【００２１】
次に、弁部１１の構造を説明する。弁部１１の外観は弁本体３１により構成され、弁本体３１の下面には、真空チャンバー（不図示）に接続する入力ポート３２が形成されている略円筒形状の入力ポート部材４１を備える。入力ポート３２の内径をＤ１とする。また、弁本体３１の右側面には、真空ポンプ（不図示）に接続する出力ポート３３が形成されている出力ポート部材４２を備える。出力ポート３３の内径をＤ２とする。なお、入力ポート３２と出力ポート３３が逆に配置される場合として、弁本体３１の下面に出力ポート３３が形成されている出力ポート部材４２を備え、弁本体３１の右側面に入力ポート３２が形成されている入力ポート部材４１を備える場合もある。この場合も、以下に説明する内容と同様の作用および効果が得られる。
【００２２】
そして、入力ポート３２の上端部に弁座３４が形成され、弁体２４の下面が弁座３４に対し当接、離間する。そして、弁座３４は出力ポート３３の内周面の最下部よりも高い位置にあり、出力ポート３３の内周面の最下部から弁座３４までの高さを弁座高さＨとする。弁体２４における弁座３４と当接する面には、シール部材であるゴム製のＯリング３５が変形可能に保持されている。弁体２４の上面には、可動軸２３を覆う形でベローズ３６が付設されている。ベローズ３６は、可動軸２３から真空流路を遮断するために設けている。半導体製造工程では、極力パーティクルの混入を防止する必要があるからである。
【００２３】
また、図１と図２に示すように、弁本体３１のテーパ形状の内周面と出力ポート３３の内周面が接する部分における弁本体３１の内径をＤ３とする。以下、説明の便宜上、Ｄ３をボディ内径と定義する。なお、ボディ内径Ｄ３は、出力ポート３３の内径Ｄ２が図１と図２に示す場合より小さい場合には、弁本体３１の内周面のテーパ形状の終点から下方向に真っ直ぐ伸びた部分と出力ポート３３の内周面が接する部分となる。いずれにしても、ボディ内径Ｄ３は、弁体２４のストローク動作を行なう範囲における弁本体３１の内径であることには変わりはない。
【００２４】
＜本発明の真空弁の作用＞
以上のような構成からなる真空弁１の作用について説明する。まず、図１に示すように、真空弁１は、駆動エアポート２５からエアを供給して上シリンダ室２７内を加圧し、駆動エアポート２６から下シリンダ室２８内のエアを排気する。これによりピストン２２が下方に押圧され、ピストン２２と一体の可動軸２３および弁体２４が下方に移動して、弁体２４が弁座３４に当接し閉弁状態になっている。そして、この状態から駆動エアポート２６にエアを供給して下シリンダ室２８内を加圧し、駆動エアポート２５から上シリンダ室２７内のエアを排気することによりピストン２２が上方に押圧される。すると、ピストン２２と一体の可動軸２３および弁体２４が上方に移動して、弁体２４が弁座３４から離間し図２に示すように開弁状態になる。
【００２５】
このように開弁状態にすることにより、入力ポート３２と出力ポート３３が連通する。そのため、入力ポート３２に接続する真空チャンバー（不図示）内が、出力ポート３３に接続する真空ポンプ（不図示）の作用により排気される。以上が真空弁としての一般的な作用である。
【００２６】
次に、本発明の真空弁１の特徴的な作用について説明する。
図１や図２に示すように、真空弁１は出力ポート３３の内周面の最下部である下面３３ａに対して弁座３４が高い位置にある点に特徴を有している。ここで、前記のように、出力ポート３３の内周面の最下部から弁座３４までの高さを弁座高さＨとする。このような特徴点を有することにより、開弁時において入力ポート３２と出力ポート３３とが連通する連通流路における弁座３４と弁体２４の間で形成される部分の出力ポート部材４２の出口側から見たときの断面積が広がる。そのため、入力ポート３２から出力ポート３３へ流体が流れやすくなり、出力ポート３３からの排気流量が増大する。
【００２７】
ここで、開弁時において出力ポート部材４２の出口側から見た出力ポート３３内部の様子を略図にして図３、図４に示す。開弁時における弁体２４のストローク量を同一とする条件のもと、図３に示すような弁座高さＨ＞０の場合には、図４に示すような弁座高さＨ≦０の場合に比べて、弁座３４と弁体２４の間で形成される連通流路の断面（斜線部に示す）の面積である流路面積Ｓが大きくなることが分かる。
【００２８】
図５は、弁座高さＨと流路面積Ｓの関係を示す図である。図５に示すように、弁座高さＨに対して流路面積Ｓは放物線を描くように表すことができる。具体的には、弁座高さＨを出力ポート３３の内径Ｄ２と弁体２４のストローク量ＳＴの関数として考えた場合、Ｈ＝（Ｄ２−ＳＴ）×５０％付近を頂点とするほぼ左右対称の放物線を描くことになる。そして、従来品も含まれる弁座高さＨ≦０の場合に比べて弁座高さＨ＞０の場合のほうが、流路面積Ｓが大きくなっている。そのため、弁座高さＨ≦０の場合に比べて弁座高さＨ＞０の場合のほうが、入力ポート３２から出力ポート３３に流れる流体の量が増大して、コンダクタンスＣを増大すると考えることができる。
【００２９】
そこで、本実施例では弁座高さＨ＞０の場合のうち、以下の数式の条件を満たすように弁座高さＨを設定する。
【数１】
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このような条件で弁座高さＨを設定することにより、図５に示すように、従来品と比較して流路面積Ｓを約２０％以上も大きくすることができ、入力ポート３２から出力ポート３３に流れる流体の量が増大して、コンダクタンスＣを増大させることができる。なお、出願人が実際に行なった評価によれば、所定のストローク量ＳＴのもと、出力ポート３３の内径Ｄ２＝φ４０ｍｍかつ流量＝８ＳＬＭの条件下で、コンダクタンスＣが確実に約８％以上も増大するという効果が得られた実績がある。
【００３０】
また、開弁時において、入力ポート３２から流れて弁体２４の下面に当たった流体は、その後出力ポート３３の下面から高い位置にある弁座３４の部分に誘導されて出力ポート３３側へ流れる。そのため流路抵抗が少なくなり、入力ポート３２から出力ポート３３へ流体が流れやすくなるので、入力ポート３２に接続する真空チャンバー（不図示）内から出力ポート３３に接続する真空ポンプ（不図示）への排気時間の短縮を図ることができる。
【００３１】
そこで、本出願人は、出力ポート３３の下面と弁座３４の間の弁座高さＨと入力ポート３２から出力ポート３３への流体の流れやすさとの関係について、評価実験を行なった。図６にその評価結果を示す。図６は、横軸に弁座高さＨを取り、縦軸にコンダクタンスＣを取っている。ここで、コンダクタンスＣとは、流れ易さを表す数値であり、流路内のある２つの位置における圧力をＰ１、Ｐ２とし、かつ流体の流量をＱとしたときに、Ｃ＝Ｑ／（Ｐ１−Ｐ２）で表されるものである。そのため、コンダクタンスＣの値が大きいほうが流れやすいことを示している。なお、図６は流量を５ＳＬＭとしている。ここで、ＳＬＭの単位は、１ａｔｍ、２５℃における１分間あたりの流量をリットルで表したものである。
【００３２】
図６に示すように、出力ポート３３の下面に対して弁座３４が低い位置にある場合（例えば弁座高さＨ＝−１である従来品の場合）に比べて、出力ポート３３の下面に対して弁座３４が高い位置にある場合（弁座高さＨ＞０）の方がコンダクタンスＣの値が大きくなっている。そこで、顕著にコンダクタンスＣの値が大きくなる効果が得られる範囲として、弁座高さＨは３ｍｍから１５ｍｍの範囲とすることが望ましい。このように、弁座高さＨを３ｍｍから１５ｍｍの範囲とすることにより、図６に示す評価結果では、従来品の場合に比べてコンダクタンスＣが約２０％以上も増大している。
【００３３】
また、流体は入力ポート３２から流入し、ボディ内部の弁体２４と弁座３４の周辺を通り抜けて、出力ポート３３へと流出するので、入力ポート３２の内径Ｄ１と、ボディ内径Ｄ３と、弁体２４の外径Ｄ４の関係も、コンダクタンスＣへ影響を与えることが考えられる。そこで、本出願人は、入力ポート３２の内径Ｄ１と、ボディ内径Ｄ３と、弁体２４の外径Ｄ４の関係がコンダクタンスＣへ与える影響について、評価実験を行なった。
【００３４】
図７に、その評価結果を示す。図７は、弁座高さＨを横軸に取り、コンダクタンスＣを縦軸に取ることにより、入力ポート３２の内径Ｄ１と、ボディ内径Ｄ３と、弁体２４の外径Ｄ４との関係について示している。図７に示す（Ｄ３／Ｄ１）と（Ｄ３／Ｄ４）の各条件において、弁座高さＨ＞０において従来品よりコンダクタンスＣが増大する効果が得られる部分が存在することが分かる。
【００３５】
そこで、入力ポート３２の内径Ｄ１と、ボディ内径Ｄ３と、弁体２４の外径Ｄ４との関係を設定する。具体的には、以下の数式の条件を満たすようにする。
【数２】
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【数３】
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【００３６】
前記の数式で示される条件を満たすことにより、コンダクタンスＣが増大させることができる。
【００３７】
またその他の例として、ベローズ３６の外径を弁体２４の外径Ｄ４よりも小さくすることにより、入力ポート３２から流入する流体が弁体２４の上側に位置するベローズ３６側へ流れ込み、出力ポート３３側へ流出する。そのため、出力ポート３３へ流出する流体量が増大し、入力ポート３２から出力ポート３３へ流れる流体量が増大するので、コンダクタンスＣが増大する効果が得られる。
【００３８】
また、本実施例では、シリンダ部材やベローズ３６が短くピストンストロークも短いことから、真空弁の小型化が図れ、真空弁周辺の配管作業の負担が軽減され、真空弁の製作コストが軽減され、また、可動軸２３やピストン２２周りのシール部材（パッキンやＯリングなど）の寿命が伸びて真空弁の耐久性を図ることができる。
【００３９】
以上のような実施例により以下のような効果が得られる。
（１）本実施例は、弁本体３１の下面に備わり入力ポート３２が形成される略円筒形状の入力ポート部材４１と、弁本体３１の側面に備わり入力ポート３２と連通する出力ポート３３が形成される出力ポート部材４２と、入力ポート部材４１の上端面に形成される弁座３４と、弁座３４と当接および離間するように昇降動作を行なう弁体２４とを有する真空弁において、弁座３４が出力ポート３３の内周面の最下部よりも高い位置にあるので、入力ポート３２から流入する流体は弁体２４と弁座３４の間を通って出力ポート３３内へ広がるように流出されることから入力ポート３２から出力ポート３３へ流体が流れやすくなり排気時間の短縮を図ることができる。
【００４０】
（２）本実施例は、（１）に記載する真空弁において、出力ポート３３の内周面の最下部から弁座３４までの高さである弁座高さをＨとし、出力ポート３３の内径をＤ２とし、弁体２４のストローク量をＳＴとするときに、Ｈ＝（Ｄ２−ＳＴ）×（５％〜９５％）との条件を満たすので、流体の流れに適した弁体２４と弁座３４の間の流路面積Ｓを確保して入力ポート３２から出力ポート３３への流体が流れやすくなることから、（１）に記載する効果をより確実に達成することができる。
【００４１】
（３）本実施例は、（１）に記載する真空弁において、出力ポート３３の内周面の最下部から弁座３４までの高さである弁座高さは、３ｍｍ以上１５ｍｍ以下であるので、流体の流れに適した弁体２４と弁座３４の間の流路面積Ｓを確保して入力ポート３２から出力ポート３３への流体が流れやすくなることから、（１）に記載する効果をより確実に達成することができる。
【００４２】
（４）本実施例は、（１）乃至（３）に記載するいずれか一つの真空弁において、入力ポート３２の内径をＤ１とし、弁体２４がストローク動作を行なう範囲における弁本体３１の内径をＤ３とするときに、（Ｄ３／Ｄ１）＞１．４の条件を満たすので、入力ポート３２から流入する流体が弁本体３１の内周面の全面に広がって出力ポート３３へ流れ込むことにより入力ポート３２から出力ポート３３への流体が流れやすくなることから、（１）乃至（３）に記載する効果をより確実に達成することができる。
【００４３】
（５）本実施例は、（１）乃至（３）に記載するいずれか一つの真空弁において、入力ポート３２の内径をＤ１とし、弁体２４がストローク動作を行なう範囲における弁本体３１の内径をＤ３とし、弁体２４の外径をＤ４とするときに、（Ｄ３／Ｄ１）＞１．４、かつ（Ｄ３／Ｄ４）＞１．０５の条件を満たすので、入力ポート３２から流入する流体が弁本体３１の内周面の全面に広がり出力ポート３３へ流れ込むことにより、かつ弁本体３１の内周面と弁体２４の外周面の間を通って出力ポート３３へ流れ込むことにより、入力ポート３２から出力ポート３３への流体が流れやすくなることから、（１）乃至（３）に記載する効果をより確実に達成することができる。
【００４４】
尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様
々な変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の真空弁の閉弁時における断面図である。
【図２】本発明の真空弁の開弁時における断面図である。
【図３】開弁時において出力ポート部材の出口側から見た出力ポート内部の様子を示す略図である。（弁座高さＨ＞０の場合）
【図４】開弁時において出力ポート部材の出口側から見た出力ポート内部の様子を示す略図である。（弁座高さＨ≦０の場合）
【図５】弁座高さＨと流路面積Ｓの関係を示す図である。
【図６】弁座高さＨとコンダクタンスＣの関係についての評価結果を示す図である。
【図７】入力ポートの内径Ｄ１とボディ内径Ｄ３と弁体の外径Ｄ４と弁座高さＨとコンダクタンスＣとの関係についての評価結果を示す図である。
【図８】特許文献１に開示された真空弁の断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  真空弁
１１  弁部
１２  シリンダ部
２１  シリンダチューブ
２２  ピストン
２３  可動軸
２４  弁体
２５  駆動エアポート
２６  駆動エアポート
２７  上シリンダ室
２８  下シリンダ室
３１  弁本体
３２  入力ポート
３３  出力ポート
３４  弁座
３５  Ｏリング
３６  ベローズ
Ｃ  コンダクタンス
Ｄ１  入力ポートの内径
Ｄ２  出力ポートの内径
Ｄ３  ボディ内径
Ｄ４  弁体の外径
Ｈ  弁座高さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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