(57)【要約】【課題】  剥離困難な剥離が可能になったガラス板剥離装置を提供する。  例えば、フォトリソ方式でカラーフィルタ用ブラックマトリクスを形成していたが、この方法が実現することにより、ガラス基板を用い、ブラックマトリクスを形成することが可能となり、約３０％のコストダウンが達成される。【解決手段】  基板から密着もしくは極めて狭い間隔で積層しているガラス板を剥離するガラス板剥離装置において、基板固定機構、ガラス板固定機構、基板固定機構とガラス板固定機構の一方の剥離開始辺より間隔を広げる分離機構、基板とガラス板の間隙に空気を送風する送風機構からなるガラス板剥離装置を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と密着しているガラス板を該基板から剥離するガラス板剥離装置において、基板固定機構と、ガラス板固定機構と、基板とガラス板の剥離開始辺に設けたくさび状の剥離開始補助機構と、少なくとも剥離開始辺に位置し、基板とガラス板の間隙に空気を送風する送風機構とを有するガラス板剥離装置。
【請求項２】
前記送風機構は、ガラス板の側辺にも設けてある請求項１記載のガラス板剥離装置。
【請求項３】
前記送風機構は、剥離方向に移動可能に設けてある請求項１または２に記載のガラス板剥離装置。
【請求項４】
前記基板がガラス板である請求項１〜３の何れかに記載のガラス板剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板から密着もしくは極めて狭い間隔で積層しているガラス板を剥離するガラス板剥離装置、例えばガラス板を用いたカラーフィルタ用転写式ブラックマトリクス形成時のガラス版と、カラーフィルタに用いるガラス基板とを分離する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタ基板のブラックマトリクスを形成する方法として、多くはフォトリソ方式がある。
【０００３】
カラーフィルタ製造工程の中のブラックマトリクス形成工程のコストダウンで、従来のフォトリソ方式に代わる方法があり、これがガラス板を用いてブラックマトリクスをカラーフィルタガラス基板に転写する方式で特許文献１の様な技術である。
【０００４】
これは、ガラス凹版を用いてカラーフィルタ用ブラックマトリクスを形成する方法で、この凹版にブラックマトリクス材と接着剤をのせて、カラーフィルタ用ガラス基板に、この接着剤とブラックマトリクス材を転写させる。転写後、ガラス凹版をこのカラーフィルタが設けられたガラス基板から剥離しなければならない。しかし、剥離する際は、ガラス板にはほとんど弾性域がないため、わずかずつ撓ませて剥離するか、あるいは一気に剥がすしかない。
【０００５】
特許文献は以下の通り。
【特許文献１】特開平５−６６３０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、大気圧の影響で一気に剥がすことはできず、また、わずかな撓みを利用して剥がすことにも限界がある。特に、接着剤が用いられている場合には困難を極めていた。
【０００７】
基板が小さい版で、ガラス板も同様小さい場合であれば、ほとんど大気圧の影響を受けずに剥がれるが、３００ｍｍ角を越える大きさになると、撓みを利用しての剥離は難しくなる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、以上の様な課題を解決するため、請求項１の発明においては、基板と密着しているガラス板を該基板から剥離するガラス板剥離装置において、基板固定機構と、ガラス板固定機構と、基板とガラス板の剥離開始辺に設けたくさび状の剥離開始補助機構と、少なくとも剥離開始辺に位置し、基板とガラス板の間隙に空気を送風する送風機構とを有するガラス板剥離装置を提供するものである。
【０００９】
また、請求項２の発明においては、前記送風機構は、ガラス板の側辺にも設けてある請求項１記載のガラス板剥離装置を提供するものである。
【００１０】
また、請求項３の発明においては、前記送風機構は、剥離方向に移動可能に設けてある請求項１または２に記載のガラス板剥離装置を提供するものである。
【００１１】
また、請求項４の発明においては、前記基板がガラス板である請求項１〜３の何れかに記載のガラス板剥離装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００１２】
従来、ガラス板で剥離困難な剥離が可能になった。
【００１３】
例えば、フォトリソ方式でカラーフィルタ用ブラックマトリクスを形成していたが、この方法が実現することにより、ガラス基板を用い、ブラックマトリクスを形成することが可能となり、約３０％のコストダウンが達成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、例えばガラス板を用いたカラーフィルタ用転写式ブラックマトリクス形成時のガラス板と、カラーフィルタに用いるガラス基板とを分離する装置として用いた場合の基板から密着もしくは極めて狭い間隔で積層しているガラス板を剥離するガラス板剥離装置に応用した場合の一実施例を用いて、本発明の実施の形態について、図面に基づいて詳細に説明する。
【００１５】
通常、密着あるいは圧着されたガラス２枚を、分離、剥離するには、密着性が良ければ良いほど、２枚のガラス板の間に空気が無いため、機械的にガラス板を支持して引き剥がすことは困難である。
【００１６】
引き剥がすのであれば、わずかずつゆっくり引き剥がし、空気が自然に無理なく隙間に流れ込んでいくのに合わせて、ゆっくり引き剥がさなければならない。無理に引き剥がそうとすると、ガラス板が破損してしまう。
【００１７】
そこで、本方式の剥離装置は、その空気の流れを高圧エアー等で作ってやり、それを２枚のガラスの間に吹き込むことで、ガラス間の真空状態を解消し、そのエアーによるガラス面の盛り上がりにより、ガラスにわずかな撓みを生じさせ、２枚のガラスの分離を行う。
【００１８】
装置の形態としては、密着したガラス板とガラス基板２枚のまま、真空吸着等の方法で動かない様にガラス基板の裏面より固定する。空気が入りやすいように、ガラス基板の辺もしくは、隣り合う２ヶ所の角部に、くさび状の刃で、２枚の合わせ目に割を入れ隙間を作っておく。この辺もしくはこの角の間の辺から以下の剥離を始める。
【００１９】
このガラス基板の外周に、沿ってエアーノズルを移動可能であるように装着し、エアーを吹きながら分離させ移動していく。
【００２０】
また、大判のガラスになると、エアーの圧が遠くまで届かなくなるため、合わせたガラス板の上面を真空吸着で吸引し、分離したガラスを持ち上げ、分離できるようにしておく。
【００２１】
この上面の吸着場所は、前述のガラス角部２ヶ所に分離の割を入れた隣り合う２ヶ所の辺の付近からめくり上げて持ち上げられるよう、この辺に均等に数個並べておく。
【００２２】
高圧エアーにより、この１辺がほぼ均等に分離されたら、上面ガラス板を支持している吸引パッドにより、わずかにガラスの１辺を持ち上げる。
【００２３】
この隣り合う２ヶ所の角部に挟まれた１辺を分離するエアーノズルは、これと垂直の２辺の外に平行に取り付けられたガイドに支持され、分離された２枚のガラスの間にもぐっていくことが出来る。
【００２４】
こうして高圧エアーを吹き、上ガラスの一端から剥離し始め、剥離したガラスの隙間にエアーノズルをもぐりこませてさらに剥離を進め、上ガラスの一端を持ち上げる動作と、高圧エアーの両方でガラス板を剥離、分離していく。
【実施例】
【００２５】
図１および図２に実際に３６０ｍｍ×４６０ｍｍ×０．７ｍｍ厚のガラス２枚を合わせて接着したものを剥離する装置の図を示す。
【００２６】
なお、この２枚の間にはブラックマトリックスが０．７μｍの層が部分的に設けられ、他の一部の領域に接着剤が設けられているので、単に積層されている状態よりも剥離困難な状態になっている。
【００２７】
斜線で示された（１）は、剥離される２枚の接着されたガラス板（３６０ｍｍ×４６０ｍｍ）で、（２）がそれをのせるためのフレームで組まれた下フレームである。（３）は、剥離された上面のガラス板を持ち上げるための上フレームである。そして、この上フレーム（３）は、下フレーム（２）に取り付けられている蝶番（４）により、矢印（Ａ）の方向に回転可能である。
【００２８】
下フレーム（２）の４ヶ所にバキュームパッド（５）（６）が取り付けられ、ガラス板（１）が装着された後吸引され、下フレーム（２）に固定される。また、上フレーム（３）には、同じくバキュームパッド（７）が取り付けられ、ガラス板（１）の上面を固定する。そして、このバキュームパッド（７）は、リニアガイド（８）により、矢印（Ｂ）の方向へスライド可能で、また、パッド首部が自在に振れる構造となっている。
【００２９】
下フレーム（２）にセットされた接着された２枚のガラス板（１）は、前述のように上面、下面とも固定され、次にカッター刃（９）（１０）によって、角部２ヶ所から、２枚のガラスの合わせ目から分離される。
【００３０】
最初にこの分離された角部に、カッター刃（９）（１０）に取り付けられたエアーノズル（１７）（１８）が高圧エアーを吹き出し、角部の分離面積を大きくする。次に、エアーノズル（１１）により、その分離面積を広げていく。また、これと直角な辺に装着されたエアーノズル（１３）（１４）により、エアーノズル（１１）の装着された辺と直角な辺も、エアーにより分離しながら移動していく。
【００３１】
このように、ある程度ガラス分離面積が大きくなったら、上フレーム（３）を上ガラスと一緒に持ち上げ、隙間をわずかに広げていく。この隙間に、スライドガイド（１５）（１６）に支持され移動しながらエアーノズル（１１）をもぐりこませてエアーを吹き、さらに剥離面積を増やしていく。
【００３２】
最後に、図３に示すように、上ガラス（２２）の撓み分を、バキュームパッド（７）の構造で吸収し、撓んだ状態で上ガラス（２２）と下ガラス（２１）を分離できる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】剥離装置外観平面図である。
【図２】剥離装置外観側面図である。
【図３】ガラスの撓み状態を示す側面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１…剥離される２枚の接着されたガラス板
２…下フレーム
３…上フレーム
４…蝶番
５…バキュームパッド
６…バキュームパッド
７…バキュームパッド
８…リニアガイド
９…カッター刃
１０…カッター刃
１１…エアーノズル
１２…エアーノズル移動ガイド
１３…エアーノズル
１４…エアーノズル
１５…スライドレール
１６…スライドレール
１７…エアーノズル
１８…エアーノズル
２１…下フレーム側のガラス板
２２…上フレーム側のガラス板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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