(57)【要約】【課題】  ウエハに形成されている磁気ヘッドのパッドに、電流印加プローブピンおよび電圧測定プローブピンを接触させて、該磁気ヘッドのインダクタンスを測定する技術を改良し、プローンブピンの寄生容量に起因する測定誤差を防止して測定精度を向上させる。【解決手段】  複数個の磁気ヘッド１Ａ〜１Ｄの内で、磁気ヘッド１について考察すると、パッド２ａに対し、その＋Ｙ側から電流印加プローブピン５ａを差し延べて該パッド２ａに接触させ、このパッド２ａの−Ｙ側から電圧測定プローブピン６ａを差し延べて該パッド２ａに接触させる。これにより、電流印加プローブピン５ａと電圧測定プローブピン６ａとが平行に並んで対向することが無くなるので、両者の間に寄生容量が発生しない。パッド２ｂについても同様であり、その他の磁気ヘッドについても同様である。このようにして、寄生容量に起因する測定誤差が防止され、インダクタンス測定精度が向上する。【選択図】  図１
2007071598.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する装置において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙを設定して、パッドの配列方向をＸ軸に合わせ、
１個のパッドに対して、先端を＋Ｙ方向に向けてＹ軸に平行な１本のプローブピンと、先端を−Ｙ方向に向けてＹ軸に平行な１本のプローブピンとが設けられていることを特徴とする、磁気ヘッドのインダクタンス測定装置。
【請求項２】
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する装置において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙを設定してパッドの配列方向をＸ軸に合わせ、かつ、座標原点を通る直線がＹ軸となす角を±θとし、
同じパッドに接触させる２本のプローブピンの片方は＋θ方向に、他方は−θ方向に、それぞれ傾斜していて、該２本のプローブピンの配置が概要的に放射状であることを特徴とする、磁気ヘッドのインダクタンス測定装置。
【請求項３】
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する装置において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙと、ウエハ面に垂直なＺ軸とを設定して、パッドの配列方向をＸ軸に合わせ、
同じパッドに接触させる２本のプローブピンの片方はＹ軸とほぼ平行であり、
上記２本のプローブピンの他方はほぼＺ軸方向、もしくは、Ｚ軸方向の成分を含む方向であることを特徴とする、磁気ヘッドのインダクタンス測定装置。    
【請求項４】
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する方法において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙを設定して、パッドの配列方向をＸ軸に合わせ、
パッドの＋Ｙ側から電流印加プローブピンを差し延べて、その先端をパッドに接触させるとともに、
パッドの−Ｙ側から電圧測定プローブピンを差し延べて、その先端をパッドに接触させて、プローブピン周りの寄生容量を減少せしめることを特徴とする、磁気ヘッドのインダクタンス測定方法。
【請求項５】
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する方法において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙを設定してパッドの配列方向をＸ軸に合わせ、かつ、座標原点を通る直線がＹ軸となす角を±θとし、
パッドの＋θ側からパッドに向けて電流印加プローブピンを差し延べて、その先端をパッドに接触導通せしめるとともに、
パッドの−θ側からパッドに向けて電圧測定プローブピンを差し延べて、その先端をパッドに接触導通せしめて、プローブピン周りの寄生容量を減少せしめることを特徴とする、磁気ヘッドのインダクタンス測定方法。
【請求項６】
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する方法において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙと、ウエハ面に垂直なＺ軸とを設定して、パッドの配列方向をＸ軸に合わせ、
パッドのＹ側から電流印加プローブピン又は電圧測定プローブピンの何れか片方を差し延べて、その先端をパッドに接触導通せしめるとともに、
パッドからＺ軸方向に離れた箇所から電流印加プローブピン又は電圧測定プローブピンの他方を差し延べて、その先端をパッドに接触導通せしめて、プローブピン周りの寄生容量を減少せしめることを特徴とする、磁気ヘッドのインダクタンス測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドのパッドにプローブピンを接触導通させて、そのインダクタンスを測定する技術に係り、特に、ウエハ上に構成されている多数の磁気ヘッドのインダクタンスを同時に、高精度で測定し得るように改良した測定装置、及び同測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図３は従来例の磁気ヘッドを説明するために示したもので、（Ａ）は１個の磁気ヘッドを模式的に描いた平面図である。
磁気ヘッド１は、読み取り作用をするリード素子ＭＲと、書き込み作用をするライト素子ＩＮＤとを各１個備えており、
上記のリード素子ＭＲは２個のパッド２ａ，２ｂを有しており、ライト素子ＩＮＤは２個のパッド２ｃ，２ｄと書き込み用コイル３とを有している。符号Ｇを付して示したのはグランド端子である。
前記の（Ａ）図は１個の磁気ヘッド１を描いてあるが、これを生産する場合は（Ｂ）図のように、ウエハ４の面に多数の磁気ヘッド１を配列して一挙に形成される。
【０００３】
図４は、１個の磁気ヘッド１のインダクタンスを測定している状態を模式的に描いた斜視図である。
説明の便宜上、直交３軸Ｘ，Ｙ，Ｚを想定する。本発明における座標軸は説明の便宜上のものであって、座標軸を変換することもできる。すなわち、本発明の必須構成要件を限定するものではない。
本願の添付図面においては、磁気ヘッドの面をＸ−Ｙ面に揃え、かつ、多数のパッドの配列方向をＸ軸方向としている。
【０００４】
図４に示したように、多数のパッドのそれぞれに対して、それぞれ２本のプローブピンすなわち電流印加プローブピンと電圧測定プローブピンとを接触導通させてインダクタンス測定操作が行われる。
説明を明確ならしめるため、それぞれの構成部材に対して図示のように符号と名称とを付して特定する。
パッド２ａに対して、電流印加プローブピン５ａと電圧測定プローブピン６ａとが、
パッド２ｂに対して、電圧測定プローブピン６ｂと電流印加プローブピン５ｂとが、
パッド２ｃに対して、電流印加プローブピン５ｃと電圧測定プローブピン６ｃとが、
パッド２ｄに対して、電圧測定プローブピン６ｄと電流印加プローブピン５ｄとが、
それぞれ接触導通されている。
この図４の模式図はインダクタンス測定操作の基本原理を表すものであって、本発明の全般を通じて準用される。ただし、本図は原理を表している図であるから、これを種々に変形して適用される。後に詳述する本発明は、インダクタンス測定におけるプローブピンの配列を改良したものである。    
【０００５】
磁気ヘッドは非常に小形の部材であって、図４に示した例では、長辺約１．２ｍｍ，短辺約０．３ｍｍである。
このような超小形部材が、前掲の図３（Ｂ）に示したように、ウエハ４の面上に多数形成されるので、これら多数の磁気ヘッドを個々に切り離す前に、複数個ずつ連結されている状態で、以下に述べるようにしてインダクタンス測定が行なわれる。本発明において「ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッド」とはこのように連結されている状態の磁気ヘッドをいう。
図５は、４個の磁気ヘッド１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄのインダクタンスを同時に測定している状態（従来例）を描いた模式的な平面図である。  
【０００６】
４個の磁気ヘッド１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，および１Ｄには、それぞれ２個ずつパッドが設けられている（パッドについては、先に図３、図４で説明した）。従って、図示した４個の磁気ヘッドには、４×４＝１６個のパッドが設けられている。
説明を簡明にするため、符号２ａ，２ｂを付して示した２個のパッドを一つのユニットとして考察する。本図５の全体は、８組のユニットが配列されたものである。
パッド２ａに対して電流印加プローブピン５ａと電圧測定プローブピン６ａとが、 
パッド２ｂに対して電圧測定プローブピン６ｂと電流印加プローブピン５ｂとが、 
それぞれパッドの＋Ｙ側から、Ｙ軸と平行に、−Ｙ方向に差し延べられて、これらプローブピンの先端がパッドに接触導通されている。
【０００７】
前掲の図５に示した従来例は、同時に４個の磁気ヘッドを測定できるので、高能率の測定操作が可能であり、同様にして６個，８個の同時測定も不可能ではない。
しかも、磁気ヘッドがウエハに形成されている状態で、個々に切り離す前に測定できるので、高能率で測定操作を行ない得るという点は非常に優れている。
後に詳しく延べるように、本発明は、上記の「高能率の測定操作が可能である」という従来例の長所を損なうことなく改良を図ったものである。
【特許文献１】特開２００４−１９９７９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明が解決しようとする課題を御理解いただくため、測定の形態について考察する。インダクタンスの測定に限らず、一般に物理量の測定には、学術研究の為の実験室的な測定と、生産工程における検査の為の測定とがある。
実験室的測定においては、費用と手数とを厭わずに、最大限の高精度が追及される。
生産検査的測定においては、誤差を許容範囲内に収めることを前提として、能率向上，コスト低減が追及される。
本発明者らは磁気ヘッドについて、別途に実験室的に測定したインダクタンス値と、図５に示した従来技術に係る生産検査的インダクタンス測定成績とを比較したところ、以下に述べるごとく、測定誤差が許容し得ない程度に大きいことを確認した。
【０００９】
前掲の図４に示した従来例の磁気ヘッドを実験室的に測定した結果のインダクタンスが８ｎＨであったのに対して、産業検査的に測定したインダクタンス値は５．５３ｎＨであった。その差２．４７ｎＨが許容範囲内であるか否かを一概には言えないが、本発明者が磁気ヘッドのインダクタンス測定を研究している開発条件においては、前記の２．４７ｎＨ（誤差率３０％）の差が許容範囲外であると判断された。
本発明は上述の事情に鑑みて創作れたものであって、その目的は、ウエハ上に構成されている多数の磁気ヘッドのインダクタンスを高精度で測定し得るように改良した測定装置、及び同測定方法を提供することである。ただし、多数の磁気ヘッドを同時に高能率で測定し得るという従来例（図５）の長所を損なわないこと、および、測定装置全体の重量・形状寸法や製造コストを増加させないことを前提としての改良である。。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するため本発明者らは、図５に示した従来例のインダクタンス測定において過大な誤差が発生する原因を探求した。
その結果、図５に付記したような寄生容量が、前記誤差の原因であることを確認した。詳しくは次の通りである。
電流印加プローブピン５ａと電圧測定プローブピン６ｂとの間に、寄生容量Ｃａが、
電圧測定プローブピン６ａと電流印加プローブピン５ｂとの間に、寄生容量Ｃｂが、
電流印加プローブピン５ａと電圧測定プローブピン６ａとの間に、寄生容量Ｃｃが、
電圧測定プローブピン６ｂと電流印加プローブピン５ｂとの間に、寄生容量Ｃｄが、
それぞれ存在している。これら４種類の寄生容量Ｃａ，Ｃｂ，Ｃｃ，Ｃｄが、インダクタンス測定誤差の主因である。
【００１１】
本発明者らは、インダクタンス測定誤差の縮小という最終目的のために、前記の寄生容量を減少させることを図った。
実際問題として、プローブピン周辺物質の誘電率を変化させることは不可能であり、プローブピンの太さ寸法を著しく減少させることは容易でない。
そこで本発明者らは、プローブピン相互の間隔寸法を拡大することにより前記寄生容量Ｃａ，Ｃｂ，Ｃｃ，Ｃｄを減少させた。
ただし『プローブピン相互の間隔寸法を拡大すれば良い』というだけのものではない。
多数の磁気ヘッドを同時に測定することができ、かつ、多数のプローブピン相互が干渉しないようにしなければならないので『プローブピン相互の間隔寸法拡大』は単なる設計的配慮ではなく、プローブピン配置に関する技術的思想を基本的に改革することによって初めて達成し得たものである。
【００１２】
前述の原理（プローブピン相互の間隔寸法拡大）に基づく具体的な構成として、請求項１に係る発明装置は（図１参照）、
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する装置において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙを設定して、パッドの配列方向をＸ軸に合わせるとともに、座標軸に関しては±の方向性を想定し、
１個のパッド（例えば２ａ）に対して、先端を＋Ｙ方向に向けてＹ軸に平行な１本のプローブピン（例えば５ａ）と、先端を−Ｙ方向に向けてＹ軸に平行な１本のプローブピン（例えば６ａ）とが設けられて、双方のプローブピンがＹ軸方向に対向していることを特徴とする（従来技術において平行に並んでＸ軸方向に対向していたプローブピン同士を、一直線上に並んだＹ軸方向の対向に改良した）。
【００１３】
請求項２に係る発明装置の構成は（図２（Ａ）参照）、
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する装置において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙを設定してパッドの配列方向をＸ軸に合わせ、かつ、座標原点を通る直線がＹ軸となす角を±θとし、
同じパッド（例えば２ａ）に接触せしむべき２本のプローブピンの片方（例えば５ａ）は＋θ方向に、他方（例えば６ａ）は−θ方向に、それぞれ傾斜していて、該２本のプローブピン（５ａ，６ａ）の配置が概要的に放射状であること（ハの字状と言うこともできる）を特徴とする。
【００１４】
請求項３に係る発明装置の構成は、（図２（Ｂ）参照）
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する装置において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙと、ウエハ面に垂直なＺ軸とを設定して、パッドの配列方向をＸ軸に合わせ、
同じパッド（例えば２ａ）に接触させる２本のプローブピン（例えば５ａ，６ａ）の片方（例えば６ａ）はＹ軸とほぼ平行であり、
上記２本のプローブピンの他方（例えば５ａ）はほぼＺ軸方向、もしくは、Ｚ軸方向の成分を含むような斜め方向（例えば５ａ′）であることを特徴とする。    
【００１５】
請求項４に係る発明方法の構成は（図１参照）、
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する方法において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙを設定して、パッドの配列方向をＸ軸に合わせ、
パッド（例えば２ａ）の＋Ｙ側から電流印加プローブピン（例えば５ａ）を差し延べて、その先端をパッド（例えば２ａ）に接触させるとともに、
該パッド（例えば２ａ）の−Ｙ側から電圧測定プローブピン（例えば６ａ）を差し延べて、その先端をパッド（例えば２ａ）に接触させて、プローブピン周りの寄生容量を減少せしめることを特徴とする。
【００１６】
請求項５に係る発明方法の構成は（図２参照）、
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する方法において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙを設定してパッドの配列方向をＸ軸に合わせ、かつ、座標原点Ｏを通る直線がＹ軸となす角を±θとして、この角度θに±の方向性を想定し、
パッド（例えば２ａ）の＋θ側から該パッドに向けて電流印加プローブピン（例えば５ａ）を差し延べて、その先端をパッドに接触導通せしめるとともに、
上記パッド（例えば２ａ）の−θ側から該パッドに向けて電圧測定プローブピン（例えば６ａ）を差し延べて、その先端をパッドに接触導通せしめて、プローブピン（この場合５ａ，６ａ）回りの寄生容量を減少せしめることを特徴とする。
【００１７】
請求項６に係る発明方法の構成は、（図３参照）
ウエハに構成されている複数個の磁気ヘッドのパッドのそれぞれに対して、電流印加用のプローブピン、及び電圧測定用のプローブピンを各１本ずつ接触させて、磁気ヘッドのインダクタンスを測定する方法において、
ウエハ面に平行な直交２軸Ｘ−Ｙと、ウエハ面に垂直なＺ軸とを設定して、パッドの配列方向をＸ軸に合わせ、
パッド（例えば２ａ）のＹ側から電圧測定プローブピン（例えば６ａ）を差し延べて、その先端をパッドに接触導通せしめるとともに、
パッド（例えば２ａ）に比してＺ座標値を異にする箇所から電流印加プローブピン（例えば５ａ）を差し延べて、その先端をパッドに接触導通せしめ、
又は、前記電圧測定プローブピン（例えば６ａ）と電流印加プローブピン（例えば５ａ）とを置換して、それぞれの先端をパッドに接触導通せしめることにより、プローブピン周りの寄生容量を減少せしめることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１の発明装置を適用すると、電流印加プローブピンと電圧測定プローブピンとがパッドに対して相互に反対側に位置しており、両者の間の寄生容量はほとんどゼロと見做し得る程度に微小である。従って、寄生容量に起因するインダクタンス測定誤差を実用上完全に防止することができる。
しかも、多数のプローブピンが全てＹ軸方向に配置されているので、プローブピン相互の干渉を生じる虞れが無く、多数の磁気ヘッドのインダクタンスを同時に測定することができ、測定作業の能率が高い。  
【００１９】
請求項２の発明装置を適用すると、一つのパッドに接触せしめられる２本のプローブピンがＹ軸に関して互いに反対方向に傾斜し、概要的に放射商状を形成しているので、該２本のプローブピンの間の寄生容量がきわめて僅かである。このため、寄生容量に起因するインダクタンス測定誤差は実用上無視し得る程度に小さくなる。
【００２０】
請求項３の発明装置を適用すると、一つのパッドに接触せしめられる２本のプローブピンの、片方はＹ軸方向の姿勢であり、他方はＸ−Ｙ面に対して交差しているから、双方のプローブピンの間の寄生容量がきわめて僅かである。このため、寄生容量に起因するインダクタンス測定誤差が実用上無視し得る程度に小さくなる。
その上、多数のプローブピンの配置がＸ−Ｙ面に限定されず、立体交差的に配列されているので、空間あたりのプローブピン密度が低い。このため、プローブピン相互の干渉を生じる虞れが無く、近い将来に予想される磁気ヘッドの一層の微細化に対応することができるという期待効果も貴重である。
【００２１】
請求項４の発明方法を適用すると、
同じパッドに接触せしめられる電流印加プローブピンと電圧測定プローブピンとを、パッドに関して相互に反対側に位置せしめるので、両者の間の寄生容量はほとんどゼロと見做し得る程度に微小である。従って、寄生容量に起因するインダクタンス測定誤差を実用上完全に防止することができる。
しかも、多数のプローブピンを全てＹ軸方向に配置するので、プローブピン相互の干渉を生じる虞れが無く、多数の磁気ヘッドのインダクタンスを同時に測定することができ、測定作業の能率が高い。
【００２２】
請求項５の発明方法を適用すると、
一つのパッドに接触せしめる２本のプローブピンを、軸に関して互いに反対方向に傾斜させ、概要的に放射商状を形成するので、該２本のプローブピンの間の寄生容量がきわめて僅かである。このため、寄生容量に起因するインダクタンス測定誤差が実用上無視し得る程度に小さくなる。
【００２３】
請求項６の発明方法を適用すると、
一つのパッドに接触せしめる２本のプローブピンの、片方をＹ軸方向の姿勢とし、他方はＸ−Ｙ面に対して交差させるので、双方のプローブピンの間の寄生容量がきわめて僅かである。このため、寄生容量に起因するインダクタンス測定誤差が実用上無視し得る程度に小さくなる。
その上、多数のプローブピンの配置がＸ−Ｙ面に限定されず、該多数のプローブピンを立体交差的に配列するので、空間あたりのプローブピン密度が低い。このため、プローブピン相互の干渉を生じるる虞れが無く、近い将来に予想される磁気ヘッドの一層の微細化に対応することができるという期待効果も貴重である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
図１は、本発明装置の１実施形態に対応する模式図であって、前掲の図５（従来例の測定装置）に対し、請求項１の発明装置を適用して改良したものである。
４個の磁気ヘッド１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄは、ウエハの面に形成されて未だ切り離されていない状態である。
それぞれの磁気ヘッドが４個のパッド２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを有しているから、全部で４×４＝１６個のパッドが測定に用いられ、以下に説明するように４個の磁気ヘッドのインダクタンスを同時に測定できるように構成してある。
【００２５】
先に図４を参照してインダクタンス測定の原理を説明したように、１個のパッドに対して１本の電流印加プローブピンと１本の電圧測定プローブピンとを接触導通させなばならない。従って、４個の磁気ヘッド（１６個のパッド）に対し、１６本の電流印加プローブピンと１６本の電圧測定プローブピンとを配置しなければならない。
前掲の図５に示した従来例に比して本実施形態（図１）は、磁気ヘッドの個数、パッドの個数、及びプローブピンの本数に関して同様である。異なっているのは、その配置である。すなわち、有害な寄生容量が発生しないような配置形態を創作したものである。以下に詳しく説明する。
【００２６】
磁気ヘッドの表面に沿った直交座標Ｘ−Ｙを設定する。なお説明の便宜上、Ｙ軸に関しては、その方向性に＋と−とを想定する。これは説明の便宜上のものであるから、＋と−とを読み替えても良い。すなわち本発明の構成要件を実質的に制約するものではない。
本実施形態の構成を考察するために、『符号２ａ，２ｂを付して示した２個のパッドと、これらに接触させる４本のプローブピン』を一つのユニットと見ることにする。本実施形態（図１）は、上記ユニットの８個から成り立っている。  
【００２７】
パッド２ａ，２ｂはＸ軸方向に並んでいる。４本のプローブピンはＹ軸と平行に配置する。
上記４本のプローブピンの内、２本の電流印加プローブピンはパッドの＋Ｙ側に、２本の電圧測定プローブピンはパッドの−Ｙ側に、それぞれ配置する。詳しくは次のとおりである。
パッド２ａの＋Ｙ側から、電流印加プローブピン５ａを−Ｙ方向に差し延べて、その先端をパッド２ａに接触導通させる。同様に、パッド２ｂの＋Ｙ側から、電流印加プローブピン５ｂを−Ｙ方向に差し延べて、その先端をパッド２ｂに接触導通させる。
一方、パッド２ａの−Ｙ側から、電圧測定プローブピン６ａを＋Ｙ方向に差し延べて、その先端をパッド２ａに接触導通させる。同様に、パッド２ｂの−Ｙ側から、電圧測定プローブピン６ｂを＋Ｙ方向に差し延べて、その先端をパッド２ｂに接触導通させる。
【００２８】
以上はパッド２ａ、２ｂを含むユニットの構成である。次に、パッド２ｃ、２ｄを含むユニットの構成も上記と同様である。すなわち、
パッド２ｃの＋Ｙ側から、電流印加プローブピン５ｃを−Ｙ方向に差し延べて、その先端をパッド２ｃに接触導通させる。同様に、パッド２ｄの＋Ｙ側から、電流印加プローブピン５ｄを−Ｙ方向に差し延べて、その先端をパッド２ｄに接触導通させる。
一方、パッド２ｃの−Ｙ側から、電圧測定プローブピン６ｃを＋Ｙ方向に差し延べて、その先端をパッド２ｃに接触導通させる。同様に、パッド２ｄの−Ｙ側から、電圧測定プローブピン６ｄを＋Ｙ方向に差し延べて、その先端をパッド２ｄに接触導通させる。
【００２９】
以上に述べたように、磁気ヘッド１Ａに対して２組のユニットを配設して、該磁気ヘッド１Ａのインダクタンス測定を可能ならしめた。
その他の磁気ヘッド１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅに対しても、それぞれ２組のユニットを配設すると、本図１に示したように、４個の磁気ヘッドについてインダクタンスを測定できるようになる。
図１から容易に理解されるように、電流印加プローブピン５ａと電圧測定プローブピン６ａとは、パッド２ａに関して反対側に位置しているので、両者の間の寄生容量Ｃｃは僅少である。
【００３０】
すなわち、図５（従来例）におけるがごとく『電流印加プローブピン５ａと電圧測定プローブピン６ａとが平行に対向』していないので、形成される静電容量が非常に小さい。
従って、寄生容量がインダクタンス測定に及ぼす誤差は、実用上無視し得る程度に微小である。
本実施形態においては、電流印加プローブピン５ａと電流印加プローブピン５ｂとが平行に対向しているが、これらの間に存在する寄生容量がインダクタンス測定に及ぼす影響は無視し得る程度に小さいから、別段の不具合を生じる虞れは無い。  
【００３１】
以上に説明した構造・機能から明らかなように、本実施形態におけるプローブピンが『Ｙ軸に平行である』という構成要件は幾何学的に厳密であることを要しない。つまり、ほぼ平行であれば足りる。
また、背景技術を説明した段落番号０００３において述べたように、本発明における座標軸は、Ｘ，Ｙ，Ｚを相互に変換することもでき、座標軸の方向性（＋，−）を入れ替えることもできる（既に説明した図１だけでなく、後に説明する図２も同様である）。
図１について以上に述べた構成を装置として見ると、請求項１の発明に対応している。
また、方法として見ると、請求項４の発明に対応している。
【００３２】
図２（Ａ）は、前記と異なる実施形態を示す。本図２（Ａ）に付記した直交座標Ｘ−Ｙは、先に説明した図１における直交座標と同様であるが、本図においては更に、座標面内においてＹ軸を回転させた補助軸を想定する。
座標原点０を通る鎖線で表した補助軸の回転方向を＋θとし、座標原点０を通る点線で表した補助軸の回転方向を−θとする。この±も説明の便宜上のものである。
【００３３】
本図２（Ａ）においては、磁気ヘッド１Ａに設けられているパッド２ａおよびパッド２ｂの周辺を抽出拡大して描いてある。その他の磁気ヘッドおよびパッド（共に図外）の周辺も同様である。
４本のプローブピン５ａ〜６ｂが、パッドに比して概要的に＋Ｙ側に位置していることは前例（図１）と同様であるが、本実施形態におけるプローブピンはＹ軸と平行でなく、
＋θ，−θ方向に傾斜している。ただし、プローブピンそれぞれの全体が傾斜していなくても良く、図に表されているように『パッドに接触している箇所の付近』がＹ軸に対して傾斜していれば良い。      
【００３４】
パッド２ａに接触導通させる電流印加プローブピン５ａは、Ｙ軸に平行でなく、＋θ方向に傾斜している、すなわち、該電流印加プローブピン５ａはパッド２ａに対して＋θ方向から差し伸べられて、その先端がパッド２ａに接触導通している。
これに対して電圧測定プローブピン６ａは−θ方向に傾斜している。すなわち、該電圧測定プローブピン６ａはパッド２ａに対して−θ方向から差し伸べられて、その先端がパッド２ａに接触導通している。
更にパッド２ｂに関しては、電圧測定プローブピン６ｂがパッド２ｂに対して＋θ方向から差し伸べられて、その先端が該パッド２ｂに接触導通しており、
電流印加プローブピン５ｂは−θ方向に傾斜している。すなわち、電流印加プローブピン５ｂはパッド２ｂに対して−θ方向から差し伸べられて、その先端がパッド２ｂに接触導通している。
本発明を実施する際、−θ方向への傾斜角と＋θ方向への傾斜角とは、必ずしも同じ角度でなくても良い。
【００３５】
本実施形態（図２（Ａ））のようにプローブピンを配置すると、一つのパッドに接触せしめられる２本のプローブピンが放射状（ハの字状）をなし、両者の間の平均間隔寸法が大きくなる。従ってこれらプローンブピン間の寄生容量が減少し、インダクタンス測定の誤差が少なくなる。
以上に説明した図２（Ａ）の構成を、装置発明として見ると請求項２に対応し、方法発明として見ると請求項５に対応する。
【００３６】
図２（Ｂ）は前記と更に異なる実施形態の模式的な斜視図であって、前掲の図２（Ａ）と同様に、磁気ヘッド１Ａに設けられているパッド２ａ及びパッド２ｂの周辺を抽出拡大して描いてある。その他の磁気ヘッド及びパッド（共に図外）の周辺も同様である。
本実施形態においては、先に説明した直交座標Ｘ−Ｙの他に、ウエハの面に垂直なＺ軸を加えて直交３軸Ｘ−Ｙ−Ｚを設定する。
パッド２ａに対して、その＋Ｙ側から−Ｙ方向に電圧測定プローブピン６ａを差し延べて、先端をパッド２ａに接触導通させる。
上記パッド２ａの＋Ｚ側から−Ｚ方向に電流印加プローブピン５ａを差し延べて、その先端をパッド２ａに接触導通させる。すなわち本図２（Ｂ）において、磁気ヘッド１Ａの上方から下向きに電流印加プローブピン５ａを突き出して、その先端をパッド２ａに接触導通させる。
同様に、パッド２ｂに対して、その＋Ｙ側から−Ｙ方向に電圧測定プローブピン６ｂを差し延べて、先端をパッド２ｂに接触導通させるとともに、
パッド２ｂの＋Ｚ側から−Ｚ方向に電流印加プローブピン５ｂを差し延べて、その先端をパッド２ｂに接触導通させる。
【００３７】
以上に説明した図２（Ｂ）のように構成すると、従来技術においてＸ−Ｙ面近傍（磁気ヘッド表面付近）に密集させていた電流印加プローブピンおよび電圧測定プローブピンを、Ｘ−Ｙ−Ｚの３次元空間に分散配置するので、空間（単位体積）あたりのプローブピン密度が小さくなる。
最新の技術においても、１．２ｍｍ×０．３ｍｍの微小な部材である磁気ヘッドに対して、８本のプローブピンを接触導通させることは高精度の製作技術を要するが、本図２（Ｂ）のように立体的に配置して密集を避けると、設計製作が寸法精度的に容易になるだけでなく、設計の自由度が増加する。
さらに、電子機器の技術的進歩に伴って、磁気ヘッドの微細化は一層進むものと予測される。プローブピンを立体的に配置することは、磁気ヘッドの微細化に対応し得る技術としても貴重である
【００３８】
図２（Ｂ）に示した実施形態の変形例として、電流印加プローブピン５ａをＺ軸と平行にせず、仮想線で描いた５ａ′のように、Ｚ軸に対して傾斜させることもできる。このように構成しても、寄生容量を減少させてインダクタンス測定精度を向上させることについて同様の作用効果が得られる。
上記のように、Ｚ軸に対して傾斜させるという構成は、要するに、プローブピンの配置にＺ軸方向成分を持たせるということである。
【００３９】
図２（Ｂ）のように、プローブピンにＺ軸方向成分を持たせることによって、インダクタンス測定装置全体が大型大重量にならないか、という懸念は無用である。その理由を次に述べる。
先に図４に実寸の１例を付記したように、磁気ヘッドの大きさは１．２ｍｍ×０．３ｍｍという微小なものであり、これに対して８本のプローブピンを接触導通させるのであるから、プローブピンのＸ軸方向平均間隔は約４０〜１００ミクロンである。すなわち、従来技術においては、多数のプローンブピンがＸ−Ｙ面に密集し、Ｘ軸方向に過密であった。このようなプローンブピン配列形態を改善して、その配列にＺ軸方向成分を持たせても、インダクタンス測定装置全体の形状寸法は実用上不変である。
また、プローブピンにＺ軸方向成分を持たせても、該プローブピンの重量はほとんど変わらない。その上、本発明の適用によってプローブピンの本数は変化しない。
【００４０】
図２（Ｂ）を参照して以上に説明した構成を、装置発明として見れば請求項３に対応し、方法発明として見れば請求項６に対応する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の１実施形態を示し、請求項１および請求項４に対応する模式的な平面図
【図２】（Ａ）は上記と異なる実施形態を示し、請求項２および請求項５に対応する模式的な平面図、（Ｂ）は更に異なる実施形態を示し、請求項３および請求項６に対応する模式的な斜視図
【図３】磁気ヘッドに関する背景技術を説明するために示したもので、（Ａ）は磁気ヘッドの模式的な平面図、（Ｂ）はウエハに多数の磁気ヘッドが構成されている状態を描いた部分破断平面図
【図４】磁気ヘッドのインダクタンスを測定する原理的な説明図
【図５】従来例のインダクタンス測定技術、および、その問題点を説明するために示したもので、磁気ヘッドのインダクタンスを測定している状態を描いた模式的な平面図に寄生容量を付記した図
【符号の説明】
【００４２】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ…磁気ヘッド、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ…パッド、３…書き込み用コイル、４…ウエハ、５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ電流印加プローブピン、６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ…電圧測定プローブピン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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