(57)【要約】  【課題】  被処理物の洗浄面に対するロールブラシの接触量の調整作業を簡単に、かつ高精度に行うことができる洗浄装置、及び板状の製品の製造方法を提供する。  【解決手段】  ガラス基板（被処理物）Ｗの洗浄面Ｗ１に対するロールブラシ３の位置を変更する第２の電動モータ（ロールブラシ位置変更部）Ｍ２と、電動モータＭ２の駆動制御を行う第２のモータ制御部（接触量調整部）を設ける。そして、第２のモータ制御部が、ロールブラシ３を回転駆動する第１の電動モータＭ１の負荷電流値を用いて、電動モータＭ２の駆動制御を行うことにより、ロールブラシ３の洗浄面Ｗ１との接触量を調整する。【選択図】  図１
2007083182.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロールブラシと、前記ロールブラシを回転駆動する回転駆動用モータとを具備し、前記ロールブラシを用いて、被処理物に洗浄処理を施す洗浄装置であって、
前記回転駆動用モータの負荷電流値を検出する負荷電流値検出部と、
前記被処理物の洗浄面に対する前記ロールブラシの位置を変更するロールブラシ位置変更部と、
前記負荷電流値検出部により検出された前記回転駆動用モータの負荷電流値を用いて、前記ロールブラシ位置変更部の駆動を制御することにより、前記ロールブラシの位置を変更して前記被処理物の洗浄面に対する当該ロールブラシの接触量を調整する接触量調整部と
を備えていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記ロールブラシ位置変更部には、前記ロールブラシを回転可能に支持する支持部と、
前記支持部を移動させることにより、前記被処理物の洗浄面に対する当該ロールブラシの位置を変更する位置変更用モータとが設けられている請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記被処理物側に設けられた情報記憶部から当該被処理物についての前記洗浄処理に関する処理情報を取得する情報取得部を備えるとともに、
前記接触量調整部は、前記情報取得部により取得された前記処理情報と、前記負荷電流値検出部からの前記回転駆動用モータの負荷電流値とを用いて、前記ロールブラシ位置変更部の駆動を制御する請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記接触量調整部は、前記被処理物に応じて設定された適正値と、前記負荷電流値検出部からの前記回転駆動用モータの負荷電流値との比較結果に基づいて、前記ロールブラシ位置変更部の駆動を制御する請求項１〜３のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項５】
第１及び第２の前記回転駆動用モータによりそれぞれ回転駆動されるとともに、前記被処理物が挿通される第１及び第２の前記ロールブラシと、前記第１及び第２のロールブラシにそれぞれ設けられた第１及び第２の前記ロールブラシ位置変更部とを備えるとともに、
前記接触量調整部は、前記第１及び第２の回転駆動用モータの負荷電流値をそれぞれ用いて、前記第１及び第２のロールブラシ位置変更部の駆動を制御することにより、前記第１及び第２のロールブラシの位置をそれぞれ変更して前記被処理物の洗浄面に対する前記第１及び第２のロールブラシの接触量をそれぞれ調整することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記ロールブラシの回転軸と前記回転駆動用モータの出力軸とが、一体的に連結されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項７】
モータによって回転駆動されるロールブラシを用いて、被処理物に洗浄処理を施す洗浄工程を含んだ板状の製品の製造方法であって、
前記洗浄処理を、請求項１〜６のいずれか１項に記載の洗浄装置を用いて行うことを特徴とする板状の製品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルに使用されるガラス基板などの被処理物に洗浄処理を行う洗浄装置、及びこれを用いた板状の製品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶表示装置には、一対のガラス基板により液晶層を狭持した液晶パネルが含まれているが、一対の各ガラス基板では、ＴＦＴ等の液晶層を画素単位に駆動するための画素電極やドライバ回路、さらには液晶層を配向する配向膜等の薄膜が種々の製造工程を経て当該ガラス基板の表面上に形成されている。また、このようなガラス基板では、薄膜の製造過程において、異物が薄膜に付着する、または各製造工程途中での搬送時などの際に、塵芥等の異物が当該ガラス基板の表面に付着することがある。このため、ガラス基板では、不要な付着物（異物）を除去する洗浄工程を適宜行うことにより、上記薄膜等を表面上に正常に形成して、上記付着物に起因する不良の発生を低減し、液晶パネル及び液晶表示装置の製造歩留や品質などが低下するのを防ぐことが求められている。
【０００３】
一方、上記ガラス基板のような板状の製品に対し洗浄工程を行う洗浄装置としては、例えば下記特許文献１、２に記載されているように、電動モータによって回転駆動される一対のロールブラシを用いたものが提案されている。すなわち、この従来の洗浄装置では、電動モータと一対のロールブラシとが無端状のベルトを介在させて接続されており、一対のロールブラシ間に鋼板やプレスパネルなどの板状製品（被処理物）を挿通させて、当該被処理物の表面（洗浄面）に洗浄処理を施していた。
【０００４】
また、上記従来の洗浄装置では、電動モータの負荷電流値を検出し、その検出結果を基にロールブラシの被処理物の洗浄面に対する接触量を求めていた。そして、従来の洗浄装置では、求めた接触量に基づいて、ロールブラシの摩耗状況を判断し、その判断結果に応じて一対のロールブラシの軸間距離を調節ボルトにて変更することにより上記接触量を調整し、洗浄面に対する洗浄処理を適正に実施可能とされていた。
【特許文献１】実開平６−７０８６５号公報
【特許文献２】特開平５−３０９３４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記のような従来の洗浄装置では、作業者が上記調節ボルトを回動させることにより、一対のロールブラシの軸間距離を変更して、被処理物の洗浄面に対するロールブラシの接触量を調整していた。また、このロールブラシの接触量の調整作業は、電動モータを停止させてベルト及びロールブラシを止めた状態で行う必要があった。このため、従来の洗浄装置では、ロールブラシの接触量の調整作業に時間及び手間を要するという問題点があった。
【０００６】
また、上記のような作業者による調整作業では、ロールブラシの摩耗状況に適切に対応させて調節ボルトを微細に回動動作させることは困難であり、それゆえ従来の洗浄装置では、ロールブラシの接触量を精度よく調整できないという問題点があった。ことに、数百ミクロン単位の調整を行うことが求められる上記ガラス基板の洗浄処理に従来の洗浄装置を適用するには、接触量の調整を精度よく行うことができずに、洗浄処理を適正に行えないおそれがあった。
【０００７】
上記の課題を鑑み、本発明は、被処理物の洗浄面に対するロールブラシの接触量の調整作業を簡単に、かつ高精度に行うことができる洗浄装置、及び板状の製品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明にかかる洗浄装置は、ロールブラシと、前記ロールブラシを回転駆動する回転駆動用モータとを具備し、前記ロールブラシを用いて、被処理物に洗浄処理を施す洗浄装置であって、
前記回転駆動用モータの負荷電流値を検出する負荷電流値検出部と、
前記被処理物の洗浄面に対する前記ロールブラシの位置を変更するロールブラシ位置変更部と、
前記負荷電流値検出部により検出された前記回転駆動用モータの負荷電流値を用いて、前記ロールブラシ位置変更部の駆動を制御することにより、前記ロールブラシの位置を変更して前記被処理物の洗浄面に対する当該ロールブラシの接触量を調整する接触量調整部とを備えていることを特徴とするものである。
【０００９】
上記のように構成された洗浄装置では、接触量調整部が負荷電流値検出部からの回転駆動用モータの負荷電流値を用いて、ロールブラシ位置変更部の駆動を制御することにより、ロールブラシの位置を変更して被処理物の洗浄面に対する当該ロールブラシの接触量を調整している。これにより、ロールブラシの調整量は、上記従来例と異なり、自動的に、かつ適切に調整されることとなり、被処理物の洗浄面に対するロールブラシの接触量の調整作業を簡単に、かつ高精度に行うことができる。
【００１０】
また、上記洗浄装置において、前記ロールブラシ位置変更部には、前記ロールブラシを回転可能に支持する支持部と、
前記支持部を移動させることにより、前記被処理物の洗浄面に対する当該ロールブラシの位置を変更する位置変更用モータとが設けられていることが好ましい。
【００１１】
この場合、上記接触量調整部は位置変更用モータの駆動を制御することにより、ロールブラシを回転駆動させた状態で、支持部とともにロールブラシを移動させて、ロールブラシの接触量を自動的に、かつ適切に調整することができ、高精度な調整作業を簡単に行うことができる。
【００１２】
また、上記洗浄装置において、前記被処理物側に設けられた情報記憶部から当該被処理物についての前記洗浄処理に関する処理情報を取得する情報取得部を備えるとともに、
前記接触量調整部は、前記情報取得部により取得された前記処理情報と、前記負荷電流値検出部からの前記回転駆動用モータの負荷電流値とを用いて、前記ロールブラシ位置変更部の駆動を制御してもよい。
【００１３】
この場合、接触量調整部が情報記憶部に記憶されている被処理物の上記処理情報と、検出された負荷電流値とを用いて、ロールブラシの接触量を調整するので、当該被処理物の洗浄面に対する適正な洗浄処理をより確実に行うことができる。また、処理情報が情報取得部を介して接触量調整部に自動的に入力されることから、当該処理情報の入力作業の手間及び時間を省略することができ、被処理物に適正な洗浄処理を効率よく行うことが可能となる。
【００１４】
また、上記洗浄装置において、前記接触量調整部は、前記被処理物に応じて設定された適正値と、前記負荷電流値検出部からの前記回転駆動用モータの負荷電流値との比較結果に基づいて、前記ロールブラシ位置変更部の駆動を制御することが好ましい。
【００１５】
この場合、接触量調整部は被処理物の洗浄面に対してより適切な接触量に調整して、ロールブラシによる洗浄処理を行わせることができる。
【００１６】
また、上記洗浄装置において、第１及び第２の前記回転駆動用モータによりそれぞれ回転駆動されるとともに、前記被処理物が挿通される第１及び第２の前記ロールブラシと、前記第１及び第２のロールブラシにそれぞれ設けられた第１及び第２の前記ロールブラシ位置変更部とを備えるとともに、
前記接触量調整部は、前記第１及び第２の回転駆動用モータの負荷電流値をそれぞれ用いて、前記第１及び第２のロールブラシ位置変更部の駆動を制御することにより、前記第１及び第２のロールブラシの位置をそれぞれ変更して前記被処理物の洗浄面に対する前記第１及び第２のロールブラシの接触量をそれぞれ調整してもよい。
【００１７】
この場合、第１及び第２のロールブラシにより、被処理物の両面を同時に洗浄処理することができ、被処理物の洗浄処理をさらに効率よく行うことができる。また、接触量調整部が第１及び第２のロールブラシ位置変更部を互いに独立して制御することから、接触量調整部は第及び第２の各ロールブラシの対応する洗浄面との接触量を個別に調整することができ、被処理物に適正な洗浄処理を容易に行うことができる。
【００１８】
また、上記洗浄装置において、前記ロールブラシの回転軸と前記回転駆動用モータの出力軸とが、一体的に連結されていることが好ましい。
【００１９】
この場合、上記負荷電流値検出部が回転駆動用モータの負荷電流値を精度よく検出することができ、よって接触量調整部によるロールブラシの接触量の調整をより高精度に行うことができる。
【００２０】
また、本発明の板状の製品の製造方法は、モータによって回転駆動されるロールブラシを用いて、被処理物に洗浄処理を施す洗浄工程を含んだ板状の製品の製造方法であって、
前記洗浄処理を、上記洗浄装置のいずれかを用いて行うことを特徴とするものである。
【００２１】
上記のように構成された板状の製品の製造方法では、被処理物の洗浄面に対するロールブラシの接触量が自動的に、かつ適切に調整されて、当該洗浄面に対する洗浄処理が行われるので、製造歩留及び品質の低下が極力防がれた板状の製品を容易に、かつ効率よく製造することができる。尚、ここでいう製品には、被処理物から製造される製品の最終的な形態（製造物）だけでなく、その最終製品が製造される途中の中間的な形態が含まれている。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、被処理物の洗浄面に対するロールブラシの接触量の調整作業を簡単に、かつ高精度に行うことができる洗浄装置、及び板状の製品の製造方法を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の洗浄装置、及びこれを用いた板状の製品の製造方法を示す好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、本発明を液晶パネルに使用されるガラス基板を洗浄する洗浄装置に適用した場合を例示して説明する。
【００２４】
図１は、本発明の実施形態にかかる洗浄装置の要部構成を説明する図である。図２（ａ）は図１に示したロールブラシとガラス基板の洗浄面とを示す拡大側面図であり、（ｂ）は上記洗浄装置に設けられたカセット受入部を説明する図である。図１及び図２において、本実施形態の洗浄装置１には、被処理物としてのガラス基板Ｗを所定の搬送方向（図に矢印Ｐにて図示）に搬送する搬送部２と、搬送部２の上方に設けられ、ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対する洗浄処理を実質的に施すロールブラシ３とが設けられている。
【００２５】
また、洗浄装置１は、処理制御装置５と、ロールブラシ３の回転軸４を回転可能に支持する支持部としての支持ボックス６ａ、６ｂと、これらの支持ボックス６ａ、６ｂに連結されるとともに、図に両矢印Ｍにて示す動作方向にロールブラシ３を移動可能な状態で、当該ロールブラシ３を支持する可動支持機構７とを備えている。また、洗浄装置１には、例えばタッチパネル機能を有する表示装置８と、洗浄面Ｗ１に洗浄液を供給する供給ノズル９とが設けられており、洗浄装置１は、カセット受入部に配置されたカセット１０内の複数の各ガラス基板Ｗに対し所定の洗浄処理を順次行うようになっている。
【００２６】
詳細には、カセット１０は、図２（ｂ）に示すように、複数のガラス基板Ｗを互いに所定の間隔をおいて収納可能に構成されたものであり、複数のガラス基板Ｗを収納した状態で、上記カセット受入部に出し入れされるように構成されている。また、カセット１０内に収納された各ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１側には、例えば上記液晶パネルに含まれる液晶層を画素単位に駆動するためのＴＦＴ等の画素電極及びドライバ回路などが形成されている。そして、カセット１０内の各ガラス基板Ｗは、図示しない搬入出機により搬送部２上に移されて洗浄装置１による洗浄処理が行われた後、同搬入出機にて洗浄装置１からカセット１０内に移送される。また、カセット１０内の全てのガラス基板Ｗに対し洗浄処理が終了されると、このカセット１０はカセット受入部から後続の製造工程が行われる場所に移動されるようになっている。
【００２７】
また、カセット１０には、ガラス基板Ｗ側に設けられた情報記憶部としてのＩＣタグ（ＲＦＩＤタグ）１０ａが着脱自在に取り付けられており、カセット受入部に設置されたリーダ・ライタ装置１１との間で情報（データ）の読み出し及び書き込みが行われるようになっている。
【００２８】
また、ＩＣタグ１０ａ内に設けられたデータ保持部には、カセット１０内に収納されているガラス基板Ｗについての洗浄処理に関する所定の処理情報が記憶されており、リーダ・ライタ装置１１から処理制御装置５に自動的に伝えられるようになっている。この処理情報には、カセット１０内に収納されているガラス基板Ｗの収納枚数、ガラス基板Ｗの種類、当該ガラス基板Ｗに対して処理済みの製造工程及び処理予定の製造工程などのデータが含まれており、ガラス基板Ｗの洗浄処理毎に、処理制御装置５に対して処理情報を入力することなく、当該ガラス基板Ｗに適正な洗浄処理を効率よく実施できるようになっている。
【００２９】
搬送部２は、上記搬送方向に沿って所定の間隔をおいて設けられた複数のローラ２ａを備えており、図２（ａ）に示すように、ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１をロールブラシ３側に向けた状態で、当該ガラス基板Ｗをローラ２ａの回転動作によって予め設定された一定の搬送速度にて搬送するように構成されている。また、各ローラ２ａの表面にはゴムライニング等の処理が施されており、各ローラ２ａはガラス基板Ｗに傷を付けることなく、かつ当該ガラス基板Ｗをスリップさせることなく円滑に搬送できるようになっている。
【００３０】
ロールブラシ３には、回転軸４に一体回転可能に取り付けられた円筒状の基部３ａ、及び基部３ａの外周外方に突出した多数の繊維状部材からなるブラシ部３ｂが設けられている。また、これらの基部３ａ及びブラシ部３ｂは、６６ナイロンなどの合成樹脂を用いて構成されており、ブラシ部３ｂは、ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１を傷付けることなく、当該洗浄面Ｗ１上に付着した塵芥などの異物を除去するよう構成されている。これにより、ガラス基板Ｗでは、不要な付着物（異物）が洗浄面Ｗ１から取り除かれた状態で、上記液晶層を配向する配向膜などの薄膜を形成する、後続の薄膜形成工程等を行うことが可能となり、付着物に起因して液晶パネル及びこれを用いた液晶表示装置の製造歩留や品質などが低下するのを極力防げるようになっている。
【００３１】
また、ロールブラシ３の回転軸４では、その両端部が基部３ａ及びブラシ部３ｂよりも長手方向外側（図１の左右方向側）に突出するように設けられており、両端部は支持ボックス６ａ、６ｂの内部に配置された軸受（図示せず）にて回転可能に支持されている。また、回転軸４の右端部側は、支持ボックス６ｂの内部または外部で、回転駆動用モータとしての第１の電動モータＭ１の出力軸Ｍ１ａに一体的に連結されており、ロールブラシ３は、第１の電動モータＭ１により図に矢印Ｒ１にて例示する回転方向に任意の回転速度で回転駆動されるようになっている。これにより、ブラシ部３ｂの先端部分がガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に接触して、当該洗浄面Ｗ１に対する洗浄処理が実施される。
【００３２】
また、第１の電動モータＭ１には、例えば直流モータが使用されており、図１に太線にて示す電力線により、処理制御装置５から電源供給が行われるように構成されている。また、第１の電動モータＭ１と処理制御装置５との間には、電流計Ａが接続されており、処理制御装置５側から第１の電動モータＭ１に供給される電流値、つまり当該電動モータＭ１の負荷電流値が電流計Ａから後述のブラシ制御部５２に出力（フィードバック）されるようになっている。
【００３３】
また、第１の電動モータＭ１は、図示を省略した架台上に搭載されており、可動支持機構７によって支持ボックス６ｂとともにガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対して鉛直な方向（すなわち、上記両矢印Ｍで示した動作方向）に移動可能になっている。
【００３４】
可動支持機構７には、第２の電動モータＭ２により回転駆動される駆動軸７ａ、７ｂ、７ｃと、これらの駆動軸７ａ〜７ｃが連結されたギヤボックス７ｄ、７ｅと、ギヤボックス７ｄ、７ｅにそれぞれ連結されるとともに、設置面上に置かれたベース（図示せず）に回転自在に支持された支持軸７ｆ、７ｇとが設けられている。そして、この可動支持機構７では、ブラシ制御部５２からの電源供給が第２の電動モータＭ２に行われたときに、駆動軸７ａが図に両矢印Ｒ２にて示すいずれか一方の回転方向に回転駆動され、駆動軸７ｂ、７ｃが上記両矢印Ｍのいずれかの一方の方向、すなわち図１の上方向または下方向に駆動する。これにより、可動支持機構７は、第２の電動モータＭ２の回転動作に応じて、図１の上方向または下方向に支持ボックス６ａ、６ｂ、ロールブラシ３、及び第１の電動モータＭ１を移動させることができ、ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対してのロールブラシ３の接触量を調整可能に構成されている。
【００３５】
具体的にいえば、ギヤボックス７ｄの内部には、図１の左右方向及び上下方向で各々対向する４つの傘歯車（図示せず）が収納されており、第２の電動モータＭ２の回転動作に応動する駆動軸７ａの回転動作を、駆動軸７ｂの回転動作に変換している。すなわち、このギヤボックス７ｄの内部では、駆動軸７ａの左端部に連結された傘歯車と、この傘歯車に左右方向で対向配置され、かつ当該ギヤボックス７ｄの内部に回転自在に配置された傘歯車とが設けられている。また、駆動軸７ｂの下端部に連結された傘歯車と、支持軸７ｆの上端部に連結された傘歯車とが、上下方向で対向配置され、かつ左右方向の２つの上記傘歯車に噛み合うように設けられている。そして、ギヤボックス７ｄの内部では、駆動軸７ａに連結された傘歯車が第２の電動モータＭ２の回転動作に応じて回転動作すると、駆動軸７ｂに連結された傘歯車が他の２つの傘歯車に支承された状態で回転して、駆動軸７ａの回転動作が駆動軸７ｂの回転動作として伝達される。
【００３６】
同様に、ギヤボックス７ｅの内部では、図１の左右方向及び上下方向で各々対向する４つの傘歯車（図示せず）が収納されており、第２の電動モータＭ２の回転動作を、駆動軸７ａの回転動作及び駆動軸７ｃの回転動作に変換している。すなわち、このギヤボックス７ｅの内部では、駆動軸７ａの右端部に連結された傘歯車と、この傘歯車に左右方向で対向配置され、かつ第２の電動モータＭ２の出力軸Ｍ２ａに連結された傘歯車とが設けられている。また、駆動軸７ｃの下端部に連結された傘歯車と、支持軸７ｇの上端部に連結された傘歯車とが、上下方向で対向配置され、かつ左右方向の２つの上記傘歯車に噛み合うように設けられている。そして、ギヤボックス７ｅの内部では、第２の電動モータＭ２の出力軸Ｍ２ａに連結された傘歯車が当該電動モータＭ２の回転動作に応じて回転動作すると、駆動軸７ａに連結された傘歯車及び駆動軸７ｃに連結された傘歯車は支持軸７ｇに連結された傘歯車に支承された状態で回転する。これにより、第２の電動モータＭ２の回転動作が、駆動軸７ａの回転動作及び駆動軸７ｂの回転動作として伝達される。
【００３７】
また、駆動軸７ｂ、７ｃの上端部には、対応する支持ボックス６ａ、６ｂ内に設けられた雌ねじ部分に螺着する雄ねじ部分が設けられており、駆動軸７ｂ、７ｃが回転動作することにより、上記雄ねじ部分に対する雌ねじ部分の位置が上下方向で移動するようになっている。これにより、支持ボックス６ａ、６ｂは、駆動軸７ｂ、７ｃの回転動作に応動して、同時に上方向または下方向に移動され、ロールブラシ３はガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対して離間または近接し、当該洗浄面Ｗ１に対するロールブラシ３の接触量が調整可能となる。
【００３８】
尚、上記の説明以外に、上記雄ねじ部分及び雌ねじ部分に代えて、支持ボックス６ａ、６ｂと駆動軸７ｂ、７ｃの上端部との各連結部分にボールねじを設け、駆動軸７ｂ、７ｃにより支持ボックス６ａ、６ｂを上下方向に移動させる構成でもよい。
【００３９】
第２の電動モータＭ２は、支持ボックス６ａ、６ｂを上記動作方向に移動させることにより、ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対するロールブラシ３の位置を変更する位置変更用モータを構成しており、この電動モータＭ２には、例えば直流モータが使用されている。また、この第２の電動モータＭ２への電源供給は、ロールブラシ３のガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１との接触量に応じて変動する、第１の電動モータＭ１の負荷電流値を基に行われるようになっており、上記接触量が適切な値で当該洗浄面Ｗ１に対する洗浄処理が行われるように構成されている。
【００４０】
また、支持ボックス６ａ、６ｂ、可動支持機構７、及び第２の電動モータＭ２が、ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対するロールブラシ３の位置を変更するロールブラシ位置変更部を構成している。
【００４１】
処理制御装置５は、コンピュータ装置を用いて構成されたものであり、例えば表示装置８のタッチパネルへの操作入力に応じて、洗浄装置１の各部の駆動制御を行うように構成されている。具体的には、処理制御装置５は、ＣＰＵやＭＰＵを用いて構成された主制御部５１及びブラシ制御部５２と、リーダ・ライタ装置１１との間で双方向のデータ通信を行うデータ送受信部５３とを備えている。また、この処理制御装置５には、ＨＤＤやメモリなどにより構成された記憶部５４が設けられており、主制御部５１やブラシ制御部５２等で使用されるプログラムデータやガラス基板Ｗに対する洗浄処理の処理条件を示すデータが予め保持されているとともに、上記負荷電流値などの検出データが必要に応じて記憶されるようになっている。
【００４２】
また、記憶部５４が保持している処理条件には、ガラス基板Ｗの種類（上記配向膜等の薄膜の有無などを示す洗浄面Ｗ１の状態を含む。）に応じて異なる、搬送部２の搬送速度や洗浄液の種類、第１の電動モータＭ１の回転速度等の処理条件を指定するデータ、さらには負荷電流値の適正値等の洗浄処理に必要なデータが含まれている。なお、この説明以外に、上記処理条件などのガラス基板Ｗの洗浄処理に必要なデータを上記処理情報に含めてＩＣタグ１０ａに記憶させ、当該ガラス基板Ｗの洗浄処理を行う前にＩＣタグ１０ａから読み出して記憶部５４に一時的に記憶させてもよい。
【００４３】
また、処理制御装置５では、データ送受信部５３を介して表示装置８との間で双方向のデータ通信が行われるように構成されている。つまり、処理制御装置５では、上記タッチパネルへの操作入力に応じて生成される指示信号がデータ送受信部５３を経て主制御部５１に入力されて、洗浄装置１の各部が適切に駆動される。
【００４４】
一方、処理制御装置５から表示装置８側には、電流計Ａにて検出された第１の電動モータＭ１の負荷電流値やこの負荷電流値から求められるロールブラシ３のガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１との接触量の検出データ、あるいはリーダ・ライタ装置１１により読み出されたガラス基板Ｗについての上記処理情報のデータなどがデータ送受信部５３を経て送信され、表示装置８で適宜表示されるようになっている。さらに、処理制御装置５では、ガラス基板Ｗの洗浄処理での異常発生の有無などを示すデータがデータ送受信部５３を経て表示装置８に適宜通知されるようになっており、作業者が表示装置８により洗浄処理の進捗状況や結果を容易に視認できるようになっている。
【００４５】
主制御部５１は、図３（ａ）を参照して、ソフトウェアにて機能的に設けられた処理判別部５１ａ、搬送制御部５１ｂ、洗浄液制御部５１ｃ、及びメンテナンス判別部５１ｄを備えている。
【００４６】
処理判別部５１ａは、データ送受信部５３及びリーダ・ライタ装置１１とともに、上記情報記憶部としてのＩＣタグ１０ａからガラス基板Ｗについての洗浄処理に関する処理情報を取得する情報取得部を構成している。また、処理判別部５１ａは、リーダ・ライタ装置１１から送信されてきた処理情報からガラス基板Ｗの種類を判別するとともに、その判別したガラス基板Ｗの種類を主制御部５１の各部及びブラシ制御部５２に通知するようになっている。これにより、洗浄装置１の各部では、判別されたガラス基板Ｗの種類に応じて最適に動作することが可能となり、洗浄装置１は、当該ガラス基板Ｗに対し適正な洗浄処理を行うことができる。
【００４７】
搬送制御部５１ｂは、処理判別部５１ａからのガラス基板Ｗの種類を基に記憶部５４を参照することにより、搬送部２のローラ２ａの回転速度を決定する。そして、搬送制御部５１ｂは、ローラ２ａが決定した回転速度で回転動作するように、搬送部２に対して指示信号を出力することで当該搬送部２の駆動制御を行う。
【００４８】
洗浄液制御部５１ｃは、処理判別部５１ａからのガラス基板Ｗの種類を基に記憶部５４を参照することにより、洗浄液の要否や種類を判別する。そして、洗浄液制御部５１ｃは、図２（ａ）に示したように、ロールブラシ３に対しガラス基板Ｗの搬送方向の上流側に設置された供給ノズル９から当該ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対して、当該洗浄面Ｗ１に最適な洗浄液を供給させるようになっている。
【００４９】
メンテナンス判別部５１ｄは、洗浄装置１の各部の稼働時間やガラス基板Ｗの洗浄処理枚数などの処理履歴を含んだメンテナンス情報を管理するよう構成されており、当該メンテナンス情報に含まれる上記稼働時間等のデータをカウントして記憶部５４に適宜記憶させるようになっている。また、メンテナンス判別部５１ｄは、管理しているメンテナンス情報を基に洗浄装置１の各部についてのメンテナンス作業の要否を判別するとともに、この判別結果を表示装置８に出力することによって作業者にメンテナンス作業の要否を通知可能になっている。
【００５０】
ブラシ制御部５２には、図３（ｂ）を参照して、ソフトウェアにて機能的に設けられた第１のモータ制御部５２ａ、第２のモータ制御部５２ｂ、適正値設定部５２ｃ、負荷電流値取得部５２ｄ、及び接触量検知部５２ｅが設置されている。
【００５１】
第１のモータ制御部５２ａは、第１の電動モータＭ１の駆動制御を行うものであり、処理判別部５１ａからのガラス基板Ｗの種類を基に記憶部５４を参照することにより、第１の電動モータＭ１の回転速度を決定する。そして、第１のモータ制御部５２ａは、第１の電動モータＭ１が決定した回転速度にて回転駆動するように、図示しない電源部から当該電動モータＭ１への電源供給を行わせる。これにより、ロールブラシ３は、ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に適切な回転速度で回転駆動される。
【００５２】
第２のモータ制御部５２ｂは、第２の電動モータＭ２の駆動制御を行うものであり、接触量検知部５２ｅで検知されたロールブラシ３とガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１との接触量に基づき第２の電動モータＭ２を必要に応じて回転駆動させるように構成されている。
【００５３】
適正値設定部５２ｃは、処理判別部５１ａからのガラス基板Ｗの種類を基に記憶部５４を参照することにより、当該ガラス基板Ｗの洗浄処理の際に、第１の電動モータＭ１の負荷電流値の適正値を設定する必要があるか否かについて判別する。そして、適正値設定が必要であると判別したときに、適正値設定部５２ｃは、記憶部５４に記憶されている適正値を読み出して、接触量検知部５２ｅに通知する。
【００５４】
具体的には、記憶部５４に記憶されている負荷電流値の適正値は、例えばガラス基板Ｗのテストピースに洗浄処理を施すことにより、予め求められたものであり、図４に例示するように、負荷電流値の適正値と接触量との相関関係を示すデータとして求められ、テーブル化されて記憶部５４に記憶されている。具体的には、ロールブラシ３の回転速度が例えば３００ｒｐｍである場合、図４に◆のプロットにて例示するように、電流計Ａで検出される負荷電流値が２０９ｍＡを示すときにはロールブラシ３とガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１との接触量は０．０ｍｍである。つまり、接触量が０．０ｍｍであるときには、図２（ａ）に示したように、ブラシ部３ｂの先端部分は曲げなどの変形を生じることなく、洗浄面Ｗ１に接触している。また、負荷電流値は接触量の変化に応じて、変動するものであり、ロールブラシ３が洗浄面Ｗ１に近接または離間するにつれて、負荷電流値はそれぞれ大きい値及び小さい値を示す。つまり、上記３００ｒｐｍの回転速度では、負荷電流値が２３２ｍＡ及び３２３ｍＡを示すときには、ブラシ部３ｂの先端部分がガラス基板Ｗ側に押込まれ、その接触量はそれぞれ０．５ｍｍ及び２．０ｍｍである。
【００５５】
また、ロールブラシ３の回転速度が例えば６００ｒｐｍである場合、図４に■のプロットにて例示するように、負荷電流値が３１９ｍＡを示すときには接触量は０．０ｍｍである。また、負荷電流値が３９８ｍＡ及び５６７ｍＡを示すときには、接触量はそれぞれ０．５ｍｍ及び２．０ｍｍである。そして、適正値設定部５２ｃでは、処理判別部５１ａから通知されたガラス基板Ｗの種類に基づき、当該ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に適切なロールブラシ３（第１の電動モータＭ１）の回転速度と接触量とを求める。その後、適正値設定部５２ｃは、求めた回転速度及び接触量を基に記憶部５４を参照することにより、負荷電流値の適正値を取得して接触量検知部５２ｅに出力する。
【００５６】
図３に戻って、負荷電流値取得部５２ｄは、電流計Ａとともに、第１の電動モータＭ１の負荷電流値を検出する負荷電流値検出部を構成するものであり、電流計Ａから入力された負荷電流値を示すアナログ信号をデジタル信号に変換する。そして、負荷電流値取得部５２ｄは、変換した負荷電流値の検出データを接触量検知部５２ｅに出力する。
【００５７】
接触量検知部５２ｅは、第２のモータ制御部５２ｂ及び適正値設定部５２ｃとともに、ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対するロールブラシ３の接触量を調整する接触量調整部を構成しており、上記負荷電流値検出部により検出された第１の電動モータＭ１の負荷電流値を用いて、上記ロールブラシ位置変更部の駆動を制御するようになっている。すなわち、接触量検知部５２ｅは、負荷電流値取得部５２ｄからの検出された負荷電流値と、適正値設定部５２ｃからの適正値との比較を行うことにより、上記接触量を検知可能になっている。また、接触量検知部５２ｅは、上記比較結果に基づいて、第２の電動モータＭ２を回転駆動させる必要があるか否かについて判別して、その判別結果に従って、第２のモータ制御部５２ｂに対する指示信号を生成して出力する。これにより、第２の電動モータＭ２が回転駆動され、可動支持機構７、支持ボックス６ａ、６ｂ、及びロールブラシ３が順次動かされて、当該ロールブラシ３の洗浄面Ｗ１との接触量が調整される。
【００５８】
ここで、上記のように構成された本実施形態の洗浄装置１の動作について、図１乃至図５を参照して、具体的に説明する。尚、以下の説明では、ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対する洗浄動作とロールブラシ３の接触量の調整動作について主に説明する。
【００５９】
図５のステップＳ１に示すように、主制御部５１では、処理判別部５１ａがリーダ・ライタ装置１１によりＩＣタグ１０ａから読み出された処理情報からガラス基板Ｗの種類を取得し、取得したガラス基板Ｗの種類を処理制御装置５内の各部に通知する。その後、適正値設定部５２ｃは通知されたガラス基板Ｗの種類に基づいて、接触量検知部５２ｅに対して負荷電流値の適正値を新たに設定する必要があるか否かについて判別し（ステップＳ２）、適正値設定部５２ｃが新たに設定する必要がないと判別したときには、ステップＳ４に進む。
【００６０】
一方、ステップＳ２において、適正値設定部５２ｃが負荷電流値の適正値を新たに設定する必要があると判別したときには、適正値設定部５２ｃは上記ステップＳ１で取得されたガラス基板Ｗの種類を基に記憶部５４を参照して、当該ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に適切な負荷電流値の適正値を求めて、接触量検知部５２ｅに伝達する。
【００６１】
続いて、洗浄装置１では、上記ステップＳ１で取得されたガラス基板Ｗの種類に基づき第１の電動モータＭ１及び搬送部２などの各部が動かされて、当該ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対する洗浄処理が開始される（ステップＳ４）。
【００６２】
次に、接触量検知部５２ｅは、適正値設定部５２ｃからの適正値と、負荷電流値取得部５２ｄから逐次入力される第１の電動モータＭ１の現時点での負荷電流値（以下、“検出値”という。）との比較を行う（ステップＳ５）。そして、検出値が適正値よりも小さいことが検知されると、接触量検知部５２ｅはロールブラシ３の接触量が小さいと判断して、ロールブラシ３が洗浄面Ｗ１に近づくように、第２の電動モータＭ２を駆動させる指示信号を生成し、第２のモータ制御部５２ｂに出力する（ステップＳ６）。
【００６３】
また、上記ステップＳ５において、検出値が適正値よりも大きいことが検知されると、接触量検知部５２ｅはロールブラシ３の接触量が大きいと判断して、ロールブラシ３が洗浄面Ｗ１から遠ざかるように、第２の電動モータＭ２を駆動させる指示信号を生成し、第２のモータ制御部５２ｂに出力する（ステップＳ７）。
【００６４】
また、上記ステップＳ５において、検出値が適正値と同じ値であることが検知されると、接触量検知部５２ｅはロールブラシ３の接触量がガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対して最適な適正値であると判断して、接触量の適正化を完了する（ステップＳ８）。なお、上記の説明以外に、例えばステップＳ５において、接触量検知部５２ｅが適正値と検出値との比較結果（差の値）を基に、記憶部５４内の図４に例示した負荷電流値と接触量との相関データを参照することにより、検出値から現時点の具体的な接触量を求め、当該接触量を基準に第２の電動モータＭ２を駆動させたり、表示装置８に表示させたりすることもできる。
【００６５】
次に、洗浄装置１では、搬送部２に含まれたセンサーからの検出信号に基づいて、ガラス基板Ｗに対する洗浄処理が終了したか否かについて判断する（ステップＳ９）。そして、洗浄処理が終了していないと判断されると、上記ステップＳ５に戻る。
【００６６】
一方、上記ステップＳ９において、洗浄処理が終了した判断されると、ガラス基板Ｗの洗浄処理が行われたことがデータ送受信部５３を介してリーダ・ライタ装置１１に伝えられ、リーダ・ライタ装置１１は洗浄処理が行われたことをＩＣタグ１０ａに記憶させる。そして、カセット１０内の全てのガラス基板Ｗの洗浄処理が終了している場合には、洗浄装置１の各部は停止される。
【００６７】
以上のように構成された本実施形態の洗浄装置１では、第２のモータ制御部（接触量調整部）５２ｂが第１の電動モータ（回転駆動用モータ）Ｍ１の検出された負荷電流値を用いて、第２の電動モータＭ２及び可動支持機構７（ロールブラシ位置変更部）の駆動を制御している。従って、本実施形態の洗浄装置１では、ロールブラシ３の位置を変更して、ガラス基板（被処理物）Ｗの洗浄面Ｗ１に対する当該ロールブラシ３の接触量を自動的に、かつ適切に調整することができる。この結果、本実施形態の洗浄装置１では、上記従来例と異なり、ガラス基板Ｗの洗浄面Ｗ１に対するロールブラシ３の接触量の調整作業を簡単に、かつ高精度に行うことができる。
【００６８】
また、本実施形態の洗浄装置１では、図５のステップＳ４〜Ｓ９に示したように、洗浄処理中に接触量の調整作業を実施できることから、当該接触量の調整作業を実施するために、洗浄装置１を停止させる必要がない。従って、本実施形態の洗浄装置１では、ガラス基板Ｗ、ひいては液晶パネル（液晶表示装置）のサイクルタイムの短縮化を図ることができ、液晶表示装置の生産性を向上させることが可能となる。
【００６９】
尚、上記の実施形態はすべて例示であって制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって規定され、そこに記載された構成と均等の範囲内のすべての変更も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００７０】
例えば、上記の説明では、液晶パネルに使用されるガラス基板を洗浄する洗浄装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）に使用されるガラス基板等の他のガラス基板、または鋼板などの金属板、あるいはアクリル樹脂等の合成樹脂板、その他板状の製品に洗浄処理を施す各種洗浄装置に適用することができる。特に、本発明は、幅及び厚さが一定に形成され、表面（洗浄面）が平滑で薄い形態の板状製品（被処理物）に好適な洗浄装置を構成することができる。
【００７１】
また、上記の説明では、１つのロールブラシにより、被処理物の洗浄面に対する洗浄処理を行う構成について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば第１及び第２のロールブラシを設けて、これらのロールブラシの間に被処理物を挿通させることにより、洗浄処理を実施する構成でもよい。このように構成した場合には、被処理物の両面を洗浄面として同時に洗浄処理することができ、当該被処理物の洗浄処理を効率よく行うことができる。
【００７２】
また、無端状のベルトを用いて第１及び第２のロールブラシの各回転軸を連結し、一つの回転駆動用モータによって２つのロールブラシを回転駆動させることもできる。但し、上記実施形態のように、第１及び第２のロールブラシに第１及び第２の負荷電流値検出部と第１及び第２のロールブラシ位置変更部をそれぞれ設ける場合の方が好ましい。つまり、この場合では、接触量調整部が第１及び第２のロールブラシ位置変更部の各駆動を制御することにより、第１及び第２のロールブラシの対応する洗浄面との接触量を個別に調整することができ、両方の各洗浄面に対し適正な洗浄処理を容易に行えるからである。また、無端状のベルトを使用していないので、当該ベルトのテンション（張力）を変更することなく、各接触量の適切な調整を容易に行える点でも好ましい。また、上記実施形態のように、ロールブラシの各回転軸と回転駆動用モータの出力軸とを一体的に連結する場合の方が、上記負荷電流値検出部が回転駆動用モータの負荷電流値を精度よく検出することが可能となり、接触量調整部によるロールブラシの接触量の調整をより高精度に行うことができる点でも好ましい。
【００７３】
また、上記の説明では、搬送部によって被処理物を搬送方向に搬送させた状態で洗浄処理を実施する構成について説明したが、本発明は被処理物とロールブラシとを相対的に移動させた状態で、被処理物の洗浄面に対しロールブラシによる洗浄処理を実施する構成であればよく、被処理物に対してロールブラシを移動させながら、洗浄処理を行わせることもできる。
【００７４】
また、上記の説明では、負荷電流値検出部に電流計を用いた場合について説明したが、変流器その他の電流検出部を用いて回転駆動用モータを流れる負荷電流値を検出する構成でもよい。また、上記の説明以外に、交流モータを用いて回転駆動用モータを構成したり、ステッピングモータを用いて位置変更用モータを構成したりすることもできる。
【００７５】
また、上記の説明では、位置変更用モータに連結されたギヤボックスを有するロールブラシ位置変更部を用いた場合について説明したが、本発明のロールブラシ位置変更部は、接触量調整部からの制御（指示）信号を入力して、当該接触量調整部による駆動制御に従って、上記接触量の調整が行われるように、ロールブラシの位置を変更するものであれば何等限定されない。例えば、油圧式あるいは空気圧式のシリンダまたはアクチュエータを備えた可動支持機構を用いることもできる。
【００７６】
また、上記の説明では、情報取得部にリーダ・ライタ装置を用いるとともに、上記カセットに取り付けられたＩＣタグを被処理物側に設けられた情報記憶部として用いた場合について説明したが、本発明の情報取得部及び情報記憶部はこれに限定されるものではなく、例えば被処理物の表面に処理情報を示す識別子（パターン）を付与することで当該被処理物の表面自体を情報記憶部として機能させるとともに、このパターンを光学的に読み取り可能な検出器を情報取得部に用いることができる。但し、上記のようなＩＣタグなどのデータ記憶素子を用いる場合の方が、被処理物に関する処理情報などのデータを容易に更新（変更）したり、処理情報の情報管理をより簡単に行えたりできる点で好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の実施形態にかかる洗浄装置の要部構成を説明する図である。
【図２】（ａ）は図１に示したロールブラシとガラス基板の洗浄面とを示す拡大側面図であり、（ｂ）は上記洗浄装置に設けられたカセット受入部を説明する図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ図１に示した主制御部及びブラシ制御部の具体的な構成を示すブロック図である。
【図４】図１に示した第１の電動モータの負荷電流値と、ロールブラシのガラス基板との接触量との関係を示すグラフである。
【図５】上記洗浄装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７８】
１    洗浄装置
３    ロールブラシ
４    回転軸
５    処理制御装置
５１    主制御部
５１ａ    処理判別部（情報取得部）
５２    ブラシ制御部
５２ａ    第１のモータ制御部
５２ｂ    第２のモータ制御部（接触量調整部）
５２ｃ    適正値設定部（接触量調整部）
５２ｄ    負荷電流値取得部（負荷電流値検出部）
５２ｅ    接触量検知部（接触量調整部）
５３    データ送受信部（情報取得部）
６ａ、６ｂ    支持ボックス（支持部）
７    可動支持機構（ロールブラシ位置変更部）
１０ａ    ＩＣタグ（情報記憶部）
１１    リーダ・ライタ装置（情報取得部）
Ａ    電流計（負荷電流値検出部）
Ｍ１    第１の電動モータ（回転駆動用モータ）
Ｍ１ａ    出力軸
Ｍ２    第２の電動モータ（位置変更用モータ）
Ｗ    ガラス基板（被処理物）
Ｗ１    洗浄面
【図１】
2007083182.tif 000003
【図２】
2007083182.tif 000004
【図３】
2007083182.tif 000005
【図４】
2007083182.tif 000006
【図５】
2007083182.tif 000007