(57)【要約】【課題】安定した信号品質を得るとともに、光の損失が小さい光導波路を提供すること。【解決手段】  厚み方向Ｘの中心部に向かって屈折率が大きくなるように形成された第１領域１ａと、該第１領域１ａよりも屈折率が小さく、かつ第１領域１ａの側面を露出させて第１領域１ａの両主面に形成された第２領域１ｂと、を含んでなる平板状の位相格子１を備える光導波路であって、第１領域１ａの一側面１ｃから入射される光を第１領域１ａの平面方向に伝送し、第１領域１ａの他側面１ｄから出射させる。【選択図】図１
2007232786.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向の中心部に向かって屈折率が大きくなるように形成された第１領域と、該第１領域よりも屈折率が小さく、かつ前記第１領域の側面を露出させて前記第１領域の両主面に形成された第２領域と、を含んでなる平板状の位相格子を備える光導波路であって、
前記第１領域の一側面から入射される光を前記第１領域の平面方向に伝送し、前記第１領域の他側面から出射することを特徴とする光導波路。
【請求項２】
光が入出射されない前記位相格子の側面に反射部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の光導波路。
【請求項３】
前記位相格子は、ＧｅＯ５、ＴｉＯ２、およびＡｌ２Ｏ３の少なくとも１つを含む石英ガラスからなることを特徴とする請求項１または２に記載の光導波路。
【請求項４】
前記第１領域の一側面および他側面に、異なる本数の入出力用光ファイバが接合されてなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光導波路。
【請求項５】
前記入出力用光ファイバは、前記第１領域の一側面および他側面に融着接合されていることを特徴とする請求項４に記載の光導波路。
【請求項６】
前記入出力用光ファイバは、前記第１領域の一側面および他側面に、屈折率分布型レンズを介して接合されていることを特徴とする請求項４または５に記載の光導波路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信用機器、光センシングシステム用機器、モジュールの内部、又は外部との接続に使用する光インターコネクション用の光導波路に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信用機器においては、各種装置間または回路基板間を接続する大容量の伝送方式として光ファイバを用いた多芯光ファイバ伝送方式が利用されている。その際、例えばマイクロプロセッサとメモリ間を接続するメモリバスを光配線化する場合には、バス型配線にマルチチャネル伝送が必要となる。このようなバス型配線では、１芯対多芯の接続構造を実現するために平板光導波路を使って光信号を並列伝送する手法が使われている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
そして、このような伝送手段を備えた光学部品としては、平板光導波路に相当する光シートバス８を用いた光多分岐器が提案されている（たとえば、特許文献２参照）。この光シートバス８の材料としては、コア層の厚さが１mm、屈折率が１．４９の非晶質のポリフィレン、ポリメチルメタクリレート（PMMA）などの光学樹脂材料が用いられ、コア層を被覆するクラッド層には、屈折率１．３４のフッ素系樹脂を用いられている。そして、このような光多分岐器は、コア径が約１ｍｍのプラスチック光ファイバ３（以下、POFとする）を光シートバス８の入出射端に接続することによって構成されている。この光多分岐器では、光シートバス８のコア層とＰＯＦのコア径が同等であるため、位置決め精度が容易であるとともに実装コストも安価なものであった。
【０００４】
このような光多分波器は、たとえば４層からなる積層型の光シートバス８とＰＯＦを用いた１×４型があり、各層の片側に一本のＰＯＦを装着し、出力側に４本のＰＯＦを密着して接続したもので、入射側の１本のＰＯＦの光ファイバ３から波長６８０〜８５０ｎｍの光を入射することにより、出力側の４本の光ファイバに入射光９を分岐することができる。
【特許文献１】信学技報  OCS2001-1 光シートバスによる光通信
【特許文献２】特開２００４−９３６００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した積層型の平板光導波路は、主として樹脂系材料で構成され、伝送用光ファイバ３はＰＯＦで構成されている。そのため、伝送速度はクロストークまたは樹脂材料の分散による信号光の歪の影響により最大５００Ｍｂｐｓ程度であり、それ以上の伝送速度を求めれば、安定した信号品質を得ることが困難であった。また、出力の均一化を維持するためには、たとえば光導波路長を２０ｍｍ程度およびＰＯＦの外径が１ｍｍ程度以上のように、光多分岐器自体を大きくする必要があった。このような光多分岐器において、部品の小型化を図るために、ＰＯＦの収納スペースをできるだけ小さくする必要があったが、ＰＯＦを比較的小さい円形状に巻いて収納すれば、ＰＯＦの曲がりによって伝搬光に大きな損失が生じる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の光導波路は、厚み方向の中心部に向かって屈折率が大きくなるように形成された第１領域と、該第１領域よりも屈折率が小さく、かつ前記第１領域の両側面を露出させて前記第１領域の周面に形成された第２領域と、を含んでなる平板状の位相格子を備える光導波路であって、前記第１領域の一側面から入射される光を前記第１領域の平面方向に伝送し、前記第１領域の他側面から出射することを特徴とする。
【０００７】
また、本発明は、光が入出射されない前記位相格子の側面に反射部を設けたことを特徴とする。
【０００８】
さらに、本発明において、前記位相格子は、ＧｅＯ５、ＴｉＯ２、およびＡｌ２Ｏ３の少なくとも１つを含む石英ガラスからなることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、前記第１領域の一側面および他端面に、異なる本数の入出力用光ファイバが接合されてなることを特徴とする。
【００１０】
さらに、本発明において、前記入出力用光ファイバは、前記第１領域の一側面および他側面に融着接合されていることを特徴とする。
【００１１】
さらに、本発明において、前記入出力用光ファイバは、前記第１領域の一側面および他側面に、屈折率分布型レンズを介して接合されていることを特徴とする光導波路。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、厚み方向の中心部に向かって屈折率が大きくなるように形成された第１領域と、該第１領域よりも屈折率が小さく、かつ前記第１領域の側面を露出させて前記第１領域の両主面に形成された第２領域と、を含む平板状の位相格子によって光導波路を構成している。そのため、本発明の光導波路によれば、前記第１領域と前記第２領域の屈折率の差によって第１領域の平面方向に光を伝送させることができる。その結果、本発明の光導波路は、前記位相格子における前記第１領域に光を入射することにより、前記位相格子を利用して光の伝送を実現することができる。
【００１３】
また、本発明の光導波路では、前記第１領域が中心部から外側に向かって屈折率が分布していることから、屈折率分布型のレンズ機能を備える構成としている。その結果、本発明の光導波路は、たとえば前記第１領域の両側面に接続される光ファイバのコア部に集光するように光を入出力することができるため、前記光ファイバとの光の結合効率が向上する。
【００１４】
また、本発明において、光が入出射されない前記位相格子の側面に反射部を設ければ、たとえば光の入射角度の変動によって第１領域から光が外部に出射されても、前記反射部によって光が前記第１領域に再入射することができるため、光の損失を抑制することができる。
【００１５】
さらに、本発明においては、前記位相格子をＧｅＯ５、ＴｉＯ２、およびＡｌ２Ｏ３の少なくとも１つを含む石英ガラスで構成すれば、照射される光に応じて屈折率が変化する機能を石英ガラスに持たせることができるため、所望の屈折率分布を有する前記第１領域および前記第２領域を容易に形成することができる。さらに、このような材料で構成される位相格子からなる光導波路であれば、樹脂材料で構成される光導波路に比べて、耐熱性および耐湿性を向上させることができる。
【００１６】
また、本発明においては、前記第１領域の一側面および他側面に異なる本数の入出力用光ファイバを接合すれば、光の分岐機能を有することができるため、光多分岐器に適用することができる。そして、この前記入出力用光ファイバは、前記第１領域の一側面および他側面に融着接合されることにより、光学接着剤等の屈折率を変化させる要因を介在させることがない。その結果、このような構成によれば、前記入出力用光ファイバと前記第１領域との界面で生じる光の損失を低減することができる。
【００１７】
さらに、本発明においては、前記入出力用光ファイバを前記第１領域の一側面および他側面に屈折率分布型レンズを介して接合すれば、該屈折率分布型レンズと前記位相格子の屈折率分布を整合させることができるため、光伝送の際に生じる光の損失をより小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下においては、本発明の実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。
【００１９】
本発明の光導波路１００は、図１に示すように、屈折率分布を有する第１領域１ａおよび該第１領域１ａより屈折率が小さい第２領域１ｂを有する位相格子１、第１領域１ａの両側面にそれぞれ接続される光ファイバ２、光ファイバ３と、を備える。また、図２には、光導波路１００を複数積層させた積層型の光導波路を示す。
【００２０】
位相格子１は、媒質中の屈折率分布を利用して光を伝送させる機能を有し、その形状は平板状で構成されている。この位相格子１は、位相格子１の厚み方向Ｘに対し、位相格子１の中心部Ｙに向かって漸次屈折率が大きくなるように設定される第１領域１ａと、該第１領域１ａの両主面に配設されるとともに第１領域１ｂよりも小さい屈折率を有する第２領域１ｂから構成されている。
【００２１】
この位相格子１は、積層型の光導波路１００’の場合、隣接する第１領域１ａの中心部間の間隔（以下、格子間隔Λとする）と屈折率分布ｎ（ｘ）とが図３に示すような関係である。この図３に示すように、位相格子１は、第１領域１ａの中心部の屈折率が最も大きく、第２領域１ｂに向かって漸次屈折率が小さくなるような正弦波状に変動する分布を有し、第２領域１ｂで屈折率が最小となる。なお、この第１領域１ａと第２領域２ｂには、明確な境界面がないため、便宜上、図面では境界を示している。
【００２２】
そして、光ファイバ２ａから入射された光は第１領域１ａで図１内の矢印で示されているように、第１領域１ａと第２領域１ｂとの境界面で光が反射されながら第１領域１ａの平面方向に光が伝送し、光ファイバ２ｂに入射される。
【００２３】
また、この屈折率分布ｎ（ｘ）は以下の式で表される。なお、屈折率ｎ１は、位相格子１内で構成される第１領域１ａおよび第２領域１ｂが形成される前の状態にある物質（以下、基体１’とする）の屈折率を示し、屈折率ｎ０は、第１領域１ａの最も大きい屈折率と屈折率ｎ１との中間の値である。また、屈折率変調度δは、位相格子１内における屈折率分布おける最大値と最小値との差である。
【数１】
2007232786.tif 000003
【００２４】
位相格子１の基体１’の材質としては、たとえば主として石英ガラスからなる基板に屈折率を増大させるための光熱反応性材料を添加したものを用いることができる。この光熱反応性材料として、ＧｅＯ５、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３を用いれば、ＵＶ照射によって石英ガラスの屈折率に比べて大きい屈折率を有する部位を形成することできるため、第１領域１ａおよび第２領域１ｂの屈折率変動を大きくすることができる（たとえば、δ＝０．００１〜０．１の範囲）。その結果、位相格子１では、第１領域１ａと第２領域１ｂの境界面でより確実に光を反射させることができるため、光損失を低減することができる。また、基体１’の材質としては、上述した材質に限定されるものではなく、たとえば蛍光性のシリカガラスにＧｅ，Ａｇを添加したＰＴＲ（Photo-Thermo-Refractive）ガラスにより構成することもできる。
【００２５】
光ファイバは（光ファイバ２〜光ファイバ６）、屈折率の高いコア部（コア部２ａ〜コア部６ｂ）と該コア部の外周を被覆するクラッド部（クラッド部２ｂ〜６ｂ）からなり、コア部とクラッド部との屈折率差による反射を利用することによってコア部内で光を伝送するものであり、たとえば円柱状の石英等から構成される。
【００２６】
この光ファイバは、図４に示すように、１つの位相格子１に対して、第１領域１ａの一側面１ｃに１本接続され、他側面１ｄに３本接続されている。そのため、この１つの位相格子１に対しては、第１領域１ａの両側面で異なる本数の光ファイバが接続されている。このように、位相格子１に接続される光ファイバの本数を異ならせれば、たとえば１本の光ファイバ２ａに入射した光を、他側面に接続された複数の光ファイバに分岐して外部に光を出射するような光多分岐機能を備えた光学部品を作製することが可能である。
【００２７】
この光ファイバと位相格子１との接続には、たとえば透光性のＵＶ硬化接着剤を用いて接着する方法や融着による接続する方法がある。特に、融着による接合は、光ファイバと位相格子１との界面に屈折率の異なる物質を介在させることなく接続できるため、光の損失を抑制するという点で好ましい。この融着接合は、たとえば高周波放電による加熱融着またはＣＯ２レーザ照射による加熱融着等がある。
【００２８】
また、この光ファイバには、位相格子１と接続される部分の少なくとも一部が屈折率分布型レンズであることが好ましい。この屈折率分布型レンズは、その軸対称にほぼ２乗の屈折率分布を備えるファイバであり、位相格子１に入射する光を入射する光を集光あるいはコリメートする機能を有する。この屈折率分布型レンズは、たとえば円柱状の石英等から構成され、クラッド部の外径が１２５μｍ、コア部の径が５０μｍ程度であり、コア部に上述の屈折率分布を有する。つまり、このコア部の屈折率分布を位相格子１の屈折率分布と同程度の値に設定すれば、屈折率分布型レンズと位相格子１の整合がよくなるため、より光の接続損失を抑制することができる。
【００２９】
また、本発明の光導波路１００は、図４に示すように、光が入出射しない位相格子１の側面に光反射部１２を設けることが好ましい。なお、光が入出射しない側面とは、光ファイバが接続されている側面１ｃ、１ｄ以外の側面を示している。この光反射部１２は、たとえば位相格子１の側面を鏡面研磨することによって得られる。また、この光反射部１２は、たとえば金属膜やチタンやクロムを含む誘電体膜を蒸着等の方法によって設けてもよい。そして、この光反射部１２は、たとえば光ファイバに入射される光の入射角度の変動によって第１領域１ａから、光を伝送するための媒体（たとえば、光ファイバ）以外の外部に出射されるような光を位相格子１内に再入射することができるため、位相格子１内を伝送する光の損失を防止することができる。
【００３０】
また、積層型の光導波路１００’であれば、図５に示すように、光導波路１００’の積層方向に対して間隔２Λで光ファイバを接続してもよい。即ち、この構成は、積層されている位相格子１のうち、１つ置きに光ファイバを接続するものである。このように、位相格子１を積層方向で交互に使用することから、異なる位相格子１間の信号光のクロストークによる伝送信号の劣化を防止することができる。
【００３１】
以下に、本発明の光導波路１００’の製造方法について詳述する。
【００３２】
光導波路１００’を構成する位相格子１は、主として基体１’にＵＶ光を照射し、該ＵＶ光が照射された部位で屈折率が大きくなることを利用して屈折率分布を有する第１領域１ａおよび第２領域１ｂを形成する。
【００３３】
位相格子の格子間隔Λは、Λ＝λｍ／（２×ｓｉｎΘ２）で表される。ここで、λｍ＝λｕｖ／ｎ１であり、λｕｖは基体１’に照射するＵＶ光の波長である。そしてΘ２は基体１’へのＵＶ光の入射角である。上記した数式に表されるように、ＵＶ光の入射角Θ２を調整することにより、位相格子間隔Λを設定することができる。
【００３４】
図６は、位相格子１を作製する際に用いる光学干渉法の光学系を示す模式図である。この光学系では、まず、強度Ｐの位相のそろったコヒーレントな平行ＵＶ光を反射率Ｒ１、透過率Ｔ１の部分反射ミラー１３に入射角Θ１で入射させる。そこで一部は強度P０で反射し、強度P１で透過する。強度P1で透過したＵＶ平行光は、部分反射ミラー１３に対しΘ２で傾斜した反射率R2の全反射ミラー１４に入射角｛Θ１−Θ２｝入射され、強度P2で反射される。その後、反射光は部分反射ミラー１３に入射角｛Θ１−２Θ２｝で再度入射され、一部が強度P3の平行ＵＶ光の状態で透過する。そして、この強度P3の平行ＵＶ光と強度P0の平行ＵＶ光とが角度２Θ２で交差し、光が干渉した状態で基体１’に入射される。即ち、その交差する場所で基体１’を部分反射ミラー１３に対し角度｛Θ１−Θ２｝傾斜させ設置することにより、二つの露光用平行ＵＶ光を入射角Θ２で基体１’に入射させることができる。この基体１’への入射角Θ２の調整は、全反射ミラー１４の角度を調整することにより得ることができる。また、ＵＶ光の露光強度P０とP３を等しくすれば、位相格子１の断面における屈折率分布を第１領域１ａの中心部を軸として対称に形成することができる。この場合の部分反射ミラー１３の反射率R1は、R1=｛２K＋１−（４K＋１）１/２  ｝／２Kで表すことができる。ここで、K＝R２T1２であり、R2は全反射ミラー１４の反射率、T1は部分反射ミラー１３の透過率を示している。
【００３５】
図７は、基体１’を部分反射ミラー１３に対し、角度｛Θ１―Θ２｝で傾斜設置し、ＵＶ平行光を入射角度Θ２’で基体１’に入射する場合の露光記録条件を示す模式図である。この基体１’を露光する際には、基体１’を屈折率ｎ１（基体１’の屈折率）とほぼ等しいマッチングオイル内につけて露光する。なお、空気中から屈折率ｎ１のマッチングオイル内にＵＶ光を入射する場合は、屈折率差により入射角Θ２´が変化するため、Θ２´＝ｓｉｎ―１（ｎ１ｓｉｎΘ２）を考慮する必要がある。そして、このような露光工程を経て、第１領域１ａおよび第２領域１ｂが縞状に形成されるため、所望の屈折率分布を有する位相格子１、すなわち、光導波路１００’が作製される。また、図８は、波長３２５ｎｍのＵＶ光を用いて、露光記録された格子間隔Λと平行ＵＶ光の入射角Θ２’の関係を示したグラフであり、平行ＵＶ光の入射角Θ２’を変化させることによって所望の格子間隔Λを有する光導波路１００’（位相格子１）を得ることができる。
【実施例】
【００３６】
本実施例では積層型の光導波路を用いて評価を行った。なお、積層型の光導波路は、図４に示すような１×４型の光導波路、即ち、１つの位相格子１に対して入力用光ファイバが１本、出力用光ファイバが４本接続された光導波路を４層積層してなる構成であり、そのため、実際のところ、４×１６型の光導波路になっている。
【００３７】
先ず、位相格子１の製作は、図６に示した光学干渉による光学系を用いて行った。基体１’は、屈折率ｎ＝１．４８７であり、１０ｍｍ角で厚さＴ＝３ｍｍのＰＴＲガラスで作製した。そしてこの基体１’を傾斜角度の微調整が可能な治具上に設置して固定し、位相格子１とほぼ同様な屈折率１．４９を有する深さ１０ｍｍ程度のマッチングオイルの中に浸け、水平面に対し所定の角度（Θ１−Θ２）に調整して固定した。露光記録用光源には、波長３２５ｎｍのコヒーレント長３０ｃｍ、出力５０ｍＷのＨｅ−Ｃｄレーザを用いた。露光光学系は、レーザ出射光をピンホール付き集光レンズを用い、コリメータレンズで出力強度１／ｅ２で２０ｍｍ径の平行光に拡大し、分離平行光学系に設置した。使用する部分反射ミラー１３および全反射ミラー１４は共に誘電体多層膜を蒸着して形成し、部分反射ミラー１３の透過率Ｔ１は６０％、反射率Ｒ１は３３％、また、全反射ミラー７の反射率Ｒ２は９０％である。そして、部分反射ミラー１３と全反射ミラー１４との間隔がＬ＝２０ｍｍとなるように配置した。このような光学系を適用させることにより、部分反射ミラー１３からの光Ｐ０と部分反射ミラー１３からの透過光Ｐ３の強度がほぼ等しくなり、基体１’における露光記録に対し、間隔Λにおいて、対称な屈折率分布を得ることができる。図８のグラフは、屈折率ｎ１＝１．４８７の基体１’に対し上記光学系による記録用ＵＶ光に波長３２５ｎｍのレーザ光源を使った場合の基板５への入射角Θ２と位相格子１の格子間隔Λの関係を示したもので、格子間隔Λ＝４０μｍの場合、基板５内での入射角Θ２‘＝０．１度である。しかし、屈折率が１である空気中に換算すると、Θ２＝０．１５度となる。従って、光学係の全反射ミラー７の角度は、Θ２＝０．１５度にする。又、Θ１＝３０度とし、Θ１−Θ２＝２９．８５度とした。
【００３８】
そのような光学系を用いて、基体１’をＵＶレーザ光により暗室環境下において１５分間露光記録し、その後露光した基体１’を４５０〜５００度で加熱処理することで、１０×１０×３ｍｍの屈折率分布を有する基体１’を作製した。
【００３９】
次にその基体１’をダイシングマシンにて幅Ｗ＝３５０μｍ、高さＨ＝５００μｍ、厚さＴ＝３０００μｍで切断し、Ｈ＝５００μｍの端面４箇所を研磨し、入出射面を除く位相格子１の側面に屈折率１．４７の透光性のＵＶ接着剤による透光性材料を塗布して、反射部１２を形成した。入出射用に使用する光ファイバは、コア径５０μｍ、クラッド径８０μｍ、比屈折率差Δ＝１．９％（α＝１６．９度）の光ファイバを用いた。位相格子には、１段につき一方側に１本、その他方側に４本整列接続し、それらを４段にして構成するため、入射側の４本の光ファイバ３は、端面を４列に整列する長さ１０ｍｍの４芯の光ファイバ３が密着して並置できる微小孔のあるフェルールを用いて固定し、出射側の４×４の光ファイバは、４本が密着積層できる構造の長さ１０ｍｍの立体ファイバアレイにより固定するとともに、各端面を研磨したものを使用する。なお、このとき、使用する光ファイバの光軸の間隔は８０μｍである。このような光ファイバをＷ＝３５０μｍ、Ｈ＝５００μｍ、Ｔ＝３０００μｍのサイズの４段積層型の位相格子１に透光性部材からなるＵＶ接着剤により、位相格子１の光入出射面に接着し、４段型の１×４型の光多分岐器として構成した。
【００４０】
上述した製法によって作製された光導波路に対し、入射側の光ファイバの４本に波長８５０ｎｍ、出力５ｍＷのレーザ光をそれぞれ入射し、１６本の出力側光ファイバから光を出射した。そして、この光導波路において、図４に示すような１段目の位相格子で挿入損失の評価を行った。具体的には、１段目の位相格子１に接続された入力用光ファイバ２から光を上記した出力で光を入射し、４本の出力用光ファイバ８、９、１０、１１から出射される光の出力を測定して各出力用光ファイバにおける挿入損失を算出し、その値を１段目に配された各出射側光ファイバ（４本）の挿入損失を測定し、その平均値を表１に示した。なお、Ｔ＝３０００μｍ＞１．５×３５０／ｔａｎ（１６．９°）＝１７２８μｍであり、各光ファイバの挿入損失は、−１０Ｌｏｇ１０（Ｉｎ／Ｉ０）  （ｎ＝１〜４）で表される。
【表１】
2007232786.tif 000004
【００４１】
また、信頼性試験として試作サンプル１１個準備して、Ｔｅｌｃｏｄｉａ１２２１に準拠した内容の恒温恒湿試験、温度サイクル試験を行い、信頼性上問題の無いことを確認した。
【００４２】
以上、説明したように、本発明による位相格子型光導波路を用いることにより、従来の樹脂性の光シートバスを用いた光多分岐器に比較して、モジュール構造にしたとしても、従来の長さ６０ｍｍ、高さ８ｍｍ、幅１２ｍｍに対し、本発明によるものは、長さ２５ｍｍ、高さ３ｍｍ、幅３ｍｍ程度に小型・集積化され、そして、１×４型の出射側の光ファイバ４本の合計挿入損失（＝−１０Ｌｏｇ10｛各出射側光ファイバの出力の総和／入射側の光ファイバの出力｝）の平均も１．９ｄＢ程度となり、従来の樹脂製の光シートバスの場合の約４ｄＢに対し大幅に低減できた。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の光導波路を示す側面図である。
【図２】本発明の光導波路を複数積層させた光導波路を示す側面図である。
【図３】本発明の光導波路に用いられる位相格子の屈折率変動を示すグラフである。
【図４】本発明の光導波路の他の実施形態を示す平面図である。
【図５】本発明の光導波路を複数積層させた光導波路の他の実施形態を示す側面図である。
【図６】本発明の光導波路に用いられる位相格子を製作する際に使用する光学干渉法の光学系を示す模式図である。
【図７】本発明の光導波路に用いられる位相格子の前駆体である基体を光学干渉法を用いて露光記録する工程を示す模式図である。
【図８】光学干渉法におけるＵＶ光入射角Θ２と格子間隔Λの関係を示したグラフである。
【符号の説明】
【００４４】
１００、１００’：光導波路
１：位相格子
１’：基体
１ａ：第１領域
１ｂ：第２領域
２〜１１：光ファイバ
１２：反射部
１３：部分反射ミラー
１４：全反射ミラー
【図１】
2007232786.tif 000005
【図２】
2007232786.tif 000006
【図３】
2007232786.tif 000007
【図４】
2007232786.tif 000008
【図５】
2007232786.tif 000009
【図６】
2007232786.tif 000010
【図７】
2007232786.tif 000011
【図８】
2007232786.tif 000012