(57)【要約】【課題】多くの工程を必要とせず容易に表面に精度の良い凹凸パターンを有するブランケットを作製し、このパターンを有するブランケットを用い連続して良好な微細パターンを形成するとともにパターンの形成に係るコストの低減および時間の短縮を図ることを目的とする。【解決手段】塗布ローラーをブランケットローラーに装着した所望のパターンのブランケットに接触し、ブランケットローラーの塗布液を転写する転写工程とを備えるパターン形成方法に用いるブランケットが、ブランケット表面の樹脂またはゴム系材料層のパターンを所望のパターンのネガパターンを有する反転印刷用転写除去版に樹脂またはゴム系材料を塗布して形成することを特徴とするブランケットの製造方法等を提供する。【選択図】図７
2007083645.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液供給装置から塗布液が供給される塗布ローラーをブランケットローラーに装着した所望のパターンの凸版が形成された樹脂またはゴム系材料層を表面に有するブランケットに接触してブランケットローラーに塗布液によるパターンを形成する塗布およびパターニング工程と、前記塗布工程を経たブランケットローラーの塗布液によるパターンを基板に押圧して転写する転写工程とを備えるパターン形成方法に用いるブランケットが、前記ブランケット表面の樹脂またはゴム系材料層のパターンを所望のパターンのネガパターンを有する反転印刷用転写除去版に樹脂またはゴム系材料を塗布して形成することを特徴とするブランケットの製造方法。
【請求項２】
上記樹脂またはゴム系材料塗布手段は樹脂またはゴム系材料を定厚で供給する請求項１に記載のブランケットの製造方法。
【請求項３】
上記反転印刷用転写除去版がガラスまたは金属または樹脂またはこれらの複合でできた請求項１または２のいずれか一項に記載のブランケットの製造方法。
【請求項４】
塗布液供給装置から塗布液が供給される塗布ローラーをブランケットローラーに装着した所望のパターンが形成された樹脂またはゴム系材料層を表面に有するブランケットに押圧してブランケットローラーに塗布液によるパターンを形成する塗布工程と、前記塗布工程を経たブランケットローラーの塗布液によるパターンを基板に転写する転写工程とを備えるパターン形成方法において、前記ブランケットに請求項１〜３のいずれかに記載の方法で製造したブランケットを使用することを特徴とするパターン形成方法。
【請求項５】
上記塗布液供給手段は一つの塗布ローラーに塗布液供給装置から塗布液を供給し、それにより、前記塗布ローラー上に形成された塗布膜を、前記塗布ローラーもしくはブランケットローラーのいずれかの位置を調整し接触させることにより、塗布膜の所望の部分だけブランケットローラーに転写し、ブランケットローラー上に塗布膜を形成することを特徴とする請求項４に記載のパターン形成方法。
【請求項６】
上記塗布ローラーから余剰塗布液を除去する余剰塗布液除去手段を有する請求項４または５に記載のパターン形成方法。
【請求項７】
上記余剰塗布液除去手段は、塗布ローラーの洗浄と洗浄された塗布ローラーの乾燥を行って塗布ローラーに残存した塗布液を除去する請求項４〜６のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項８】
複数の塗布液供給手段およびブランケットローラーを有する請求項４〜７のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項９】
上記塗布液供給手段は塗布液を定厚で供給する請求項４〜８のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項１０】
塗布液供給装置と、この塗布液供給装置から塗布液が供給される塗布ローラーと、装着した所望のパターンが形成された樹脂またはゴム系材料層を表面に有するブランケットを備えるブランケットローラーと、塗布ローラーに押圧してブランケットローラーに塗布液によるパターンを形成する塗布機構と、ブランケットローラーの塗布液によるパターンを基板に転写する転写機構とを備えるパターン形成装置において、前記ブランケットに請求項１〜３のいずれかに記載の方法で製造したブランケットを使用することを特徴とするパターン形成装置。
【請求項１１】
上記塗布液供給手段は一つの塗布ローラーに塗布液供給装置から塗布液を供給し、それにより、前記塗布ローラー上に形成された塗布膜を、前記塗布ローラーもしくはブランケットローラーのいずれかの位置を調整し接触させることにより、塗布膜の所望の部分だけブランケットローラーに転写し、ブランケットローラー上に塗布膜を形成する機構であることを特徴とする、請求項１０に記載のパターン形成装置。
【請求項１２】
上記塗布ローラーから余剰塗布液を除去する余剰塗布液除去手段を有する請求項１０または１１に記載のパターン形成装置。
【請求項１３】
上記余剰塗布液除去手段は、塗布ローラーの洗浄機構と洗浄された塗布ローラーの乾燥を行う乾燥機構からなることを特徴とする請求項１２記載のパターン形成装置。
【請求項１４】
複数の塗布液供給手段およびブランケットローラーを有する請求項１０〜１３のいずれか一項に記載のパターン形成装置。
【請求項１５】
上記塗布液供給手段が塗布液を定厚で供給する機構であることを特徴とする請求項１０〜１４のいずれか一項に記載のパターン形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ等の精細なパターンを形成する際に使用するブランケットの製造方法とその製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に用いられるカラーフィルタを、従来のフォトリソ法に代わって印刷により得ようという試みがある。フォトリソ法では色ごとに露光、現像などの工程を経ることから全体としての作業効率が低いとともに、露光装置、現像装置などの高価な光学機器を要しており、コストの引き下げが困難であるという問題点がある。一方印刷法では、露光および現像の工程がなく、露光装置、現像装置などの高価な光学機器の必要もないためコストの引き下げやタクトタイムの短縮が期待される。印刷法でパターンを得る場合、各パターン構成色の塗布液をブランケットに塗布し、余剰塗布液除去版で余剰の塗布液を除去することでブランケット上にパターンを形成し、そのブランケット上のパターンを基板に転写することにより基板上に塗布液のパターンを得る。ただし、この印刷法では被印刷体に印刷されるまでに多くの回数インキを転写しなければならず、インキのパターン形状あるいは表面形状に影響を及ぼすという問題もある。例えば、特許文献１参照。また、この課題を考慮して版機能を有したブランケットを使用する方法もある。例えば、特許文献２参照。
【０００３】
以下に特許文献を示す。
【特許文献１】特開平１１−１９８３３７号公報
【特許文献２】特開２００３−８９２５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の版機能を有するブランケットは、作製時に感光性樹脂を使用し、露光、現像等の多くの工程を有しており、多くの高価な装置が必要となるためコストの引き下げが困難である。また、フォトリソ法によるパターニングには形状の精密性において課題もある。
【０００５】
そこで、本発明はブランケット作製時に反転印刷法で使用する除去版を用いて多くの工程を必要とせず容易に表面に精度の良い凹凸パターンを有するブランケットを作製し、このパターンを有するブランケットを用い連続して良好な微細パターンを形成するとともにパターンの形成に係るコストの低減および時間の短縮を図ることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（請求項１）
本発明は上記課題を考慮してなされたもので、塗布液供給装置から塗布液が供給される塗布ローラーをブランケットローラーに装着した所望のパターンの凸版が形成された樹脂またはゴム系材料層を表面に有するブランケットに接触してブランケットローラーに塗布液によるパターンを形成する塗布およびパターニング工程と、前記塗布工程を経たブランケットローラーの塗布液によるパターンを基板に押圧して転写する転写工程とを備えるパターン形成方法に用いるブランケットが、前記ブランケット表面の樹脂またはゴム系材料層のパターンを所望のパターンのネガパターンを有する反転印刷用転写除去版に樹脂またはゴム系材料を塗布して形成することを特徴とするブランケットの製造方法により上記課題を解決するものである。
【０００７】
（請求項２）
上記発明において、上記樹脂またはゴム系材料塗布手段は樹脂またはゴム系材料を定厚で供給するものである。
【０００８】
（請求項３）
上記発明において、上記反転印刷用転写除去版はガラスまたは金属または樹脂またはこれらの複合でできたものである。
【０００９】
（請求項４）
また、もう一つの発明は、塗布液供給装置から塗布液が供給される塗布ローラーをブランケットローラーに装着した所望のパターンが形成された樹脂またはゴム系材料層を表面に有するブランケットに押圧してブランケットローラーに塗布液によるパターンを形成する塗布工程と、前記塗布工程を経たブランケットローラーの塗布液によるパターンを基板に転写する転写工程とを備えるパターン形成方法において、前記ブランケットに請求項１〜３のいずれかに記載の方法で製造した精密パターンを有するブランケットを使用することを特徴とするパターンの形成方法であり、このパターン形成方法を提供して上記課題を解消するものである。
【００１０】
（請求項５）
上記発明において、上記塗布液供給手段は一つの塗布ローラーに塗布液供給装置から塗布液を供給し、それにより、前記塗布ローラー上に形成された塗布膜を、前記塗布ローラーもしくはブランケットローラーのいずれかの位置を調整し接触させることにより、塗布膜の所望の部分だけブランケットローラーに転写し、ブランケットローラー上に塗布膜を形成するものである。
【００１１】
（請求項６）
上記発明において、上記塗布ローラーから余剰塗布液を除去する余剰塗布液除去手段を有する請求項４または５に記載のパターン形成方法である。
【００１２】
（請求項７）
上記発明において、余剰塗布液除去手段は、塗布ローラーの洗浄と洗浄された塗布ローラーの乾燥を行って塗布ローラーに残存した塗布液を除去する請求項４〜６のいずれか一項に記載のパターン形成方法である。
【００１３】
（請求項８）
上記発明において、複数の塗布液供給手段およびブランケットローラーを有することが可能である。
【００１４】
（請求項９）
上記発明において、上記塗布液供給手段は塗布液を定厚で供給するものである。
【００１５】
（請求項１０）
また、もう一つの発明は、塗布液供給装置と、この塗布液供給装置から塗布液が供給される塗布ローラーと、装着した所望のパターンが形成された樹脂またはゴム系材料層を表面に有するブランケットを備えるブランケットローラーと、塗布ローラーに押圧してブランケットローラーに塗布液によるパターンを形成する塗布機構と、ブランケットローラーの塗布液によるパターンを基板に転写する転写機構とを備えるパターン形成装置において、前記ブランケットに請求項１〜３のいずれかに記載の方法で製造したブランケットを使用することを特徴とするパターンの形成装置を提供して上記課題を解消するものである。
【００１６】
（請求項１１）
上記発明において、上記塗布液供給手段は一つの塗布ローラーに塗布液供給装置から塗布液を供給し、それにより、前記塗布ローラー上に形成された塗布膜を、前記塗布ローラーもしくはブランケットローラーのいずれかの位置を調整し接触させることにより、塗布膜の所望の部分だけブランケットローラーに転写し、ブランケットローラー上に塗布膜を形成するものである。
【００１７】
（請求項１２）
上記発明において、上記塗布ローラーから余剰塗布液を除去する余剰塗布液除去手段を有することが可能である。
【００１８】
（請求項１３）
上記発明において、上記余剰塗布液除去手段は、塗布ローラーの洗浄と洗浄された塗布ローラーの乾燥を行って塗布ローラーに残存した塗布液を除去するものである。
【００１９】
（請求項１４）
上記発明において、複数の塗布液供給手段およびブランケットローラーを有することが可能である。
【００２０】
（請求項１５）
上記発明において、上記塗布液供給手段は塗布液を定厚で供給するものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、版機能を有するブランケットをコストおよび時間を抑えて容易に作製することが可能である。また、本発明により製造された精密パターンを有するブランケットを使用して印刷を行うことで、精密なパターン形成に係るコストの低減および時間の短縮となる。
【００２２】
さらに、本発明によれば、基板に形成された塗布液の膜厚が均一となり、転写後のブランケット上に残存塗布膜がなく、ブランケット上の残存塗布膜除去の工程を必要とせずに連続して良好なパターンが得られるためパターン形成に係るコストの低減および時間の短縮となる。また、膜厚均一性の悪い塗布液塗り始め部分および端部の塗布膜は塗布ローラー上に残り、塗布ローラー洗浄装置により容易に除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明をガラス基板上に液晶表示装置用カラーフィルタの画素パターンを形成するのに使用した例を示して説明する。
【００２４】
反転印刷用除去版２は、反転印刷法においてブランケット上に塗布されたインキ膜の所望のパターン部以外を除去する目的で、例えば、Ｃｒ膜付きガラスにポジレジストを塗布し所望のパターンを有するフォトマスクを用いて露出、現像を行いレジストパターンを形成した後、Ｃｒエッチングおよびガラスエッチングによりガラスに凹凸のパターンを形成、その後レジストおよびＣｒ膜を剥離して作成されたもので、版の深さは５〜３０μｍであり、材質はガラスまたは金属または樹脂からなるものである。
【００２５】
図１はシリコーンゴムを上記反転印刷用除去版へ塗布する様子を示す説明図である。樹脂またはゴム系材料供給装置１がシリコーンゴムを画線部以外で０．５ｍｍ〜１ｍｍの厚さになる様に供給しながら定盤上に固定された反転印刷用除去版２の上を移動し、版２の上にシリコーンゴム層３を形成する。その後図２に示すようにこのシリコーンゴム層３の塗布表面に厚さ０．２〜０．３ｍｍのＰＥＴフィルム４をのせて静置して硬化させ、硬化
後にシリコーンゴムを版から取り去ると表面に凹凸のパターンを有し裏面にＰＥＴフィルムの付いたゴム層が得られる。このＰＥＴフィルムを図３に示すように厚さ０．５〜１ｍｍで材質ウレタン樹脂のクッション層となるスポンジ５と貼り合せるとブランケットＡとなる。ここではシリコーンゴムを例として示しているが、樹脂またはゴム系材料はシリコーンゴムに限らない。また、ＰＥＴフィルム、クッション層はあってもなくても良い。
【００２６】
図４は本発明に係るパターン形成装置の一例を示す説明図である。該パターン形成装置は塗布液供給装置６と、供給装置６から供給されたインキを塗膜化する塗布ローラー７、塗布ローラー７上の塗膜から画素パターンに必要な大きさの画素用塗膜を転移する表面に凹凸パターンを有するブランケットＡを張ったブランケットローラー９を備えていることを特徴とするものである。また、塗布ローラー７の終端側にブランケットローラー９の表面のブランケットＡの凸部へ転移されずに残った残存インキ膜を除去する余剰塗布液除去装置１０を具備している。余剰塗布液除去装置１０は、溶剤もしくはアルカリ洗浄する方法により洗浄する洗浄部と、エアナイフで乾燥する乾燥部からなっている。
【００２７】
定盤上にはガラス基板１１が固定されており、移動機構部８が基板１１の上を通り移動する。ここではガラス基板を例として示しているが、基板とは、ガラスに限らずフィルム、樹脂等、パターンが形成される対象である。なお、前記基板に塗布膜のパターンが転写しやすいように表面処理を施すなど、目的に応じて適宜処理を行うことが可能である。
【００２８】
具体的に画素パターンの形成は、図５に示すように、塗布液供給装置６からインキを回転している塗布ローラー７に供給し、該塗布ローラー７上にインキ膜１２を形成する。次に、図６のように前記塗布ローラー７と反対方向に回転しているブランケットローラー９の表面のブランケットＡの凸部に、塗布開始部分を除く膜厚均一な部分のみのインキ膜を転移する。この際、塗布ローラー７上のインキ膜１２の膜厚均一部分がブランケットローラー９の上部に達した時にブランケットローラー９または塗布ローラー７が上または下に移動して接触することでブランケットＡ表面の凸部に膜厚均一なインキ膜が転移される。ここでブランケットＡに転移しなかった残存塗布膜１３は余剰塗布液除去装置１０により洗浄除去され、洗浄後乾燥工程にて乾燥することで次の塗膜形成を確実に行うことが出来る。塗布ローラー７からブランケットローラー９へのインキ膜の転移が完了すると、転移開始時とは逆にブランケットローラー９または塗布ローラー７が下または上に移動して離間した状態となる。
【００２９】
次に、移動機構部８はガラス基板１１上へと移動し、図７に示すようにブランケットローラー９が下方に移動して前記ブランケットＡ上のインキパターン１４を基板１１に押圧しながら回転し転写することで、図８のように基板上に画素パターンＢを形成することが完了する。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明の微細印刷パターンは、カラーフィルタに限らず、配線パターン、抵抗パターン、蛍光体パターン、電極パターン等を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】シリコーンゴムの反転印刷用除去版への塗布を示す説明図である。
【図２】図１のシリコーンゴム裏面にＰＥＴフィルムをのせた様子を示す図である。
【図３】図２のシリコーンゴムにＰＥＴフィルムがついたものを版から取り、クッション層と貼り合せてブランケットとした図である。
【図４】本発明に係るパターン形成装置の形態を示す説明図である。
【図５】前記の実施の形態において塗布ローラーに対する塗布液の供給を示す説明図である。
【図６】前記の実施の形態においてブランケットローラーに巻いたブランケットに対する塗布ローラーからの塗布膜の供給を示す説明図である。
【図７】前記の実施の形態において基板上への塗布液のパターンの転写を示す説明図である。
【図８】前記の実施の形態において基板上への塗布液のパターンの形成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３２】
Ａ  …ブランケット
Ｂ  …カラーフィルタ
１  …樹脂またはゴム系材料供給装置
２  …反転印刷用除去版
３  …シリコーンゴム
４  …ＰＥＴフィルム
５  …クッション層
６  …塗布液供給装置
７  …塗布ローラー
８  …ブランケットローラー移動機構部
９  …ブランケットローラー
１０  …余剰塗布液除去装置
１１  …基板
１２  …塗布膜
１３  …残存塗布膜
１４  …画素パターン
【図１】
2007083645.tif 000003
【図２】
2007083645.tif 000004
【図３】
2007083645.tif 000005
【図４】
2007083645.tif 000006
【図５】
2007083645.tif 000007
【図６】
2007083645.tif 000008
【図７】
2007083645.tif 000009
【図８】
2007083645.tif 000010