(57)【要約】【課題】複数のレーザビームを出力する光走査光学系のビームプロファイルを精密に計測でき、計測時間を短縮化でき、かつ、計測作業を簡易化できる光走査光学系の計測方法を提供する。【解決手段】ＲＯＳを走査状態にしつつ複数のレーザビームをパルス状に出力し、かつ、出力タイミングを異ならせて、互いの重なりをなくした状態で各レーザビームのスポットＳＰＡ，ＳＰＢの画像ＩＭを撮像し、スポットの画像ＳＰＡ，ＳＰＢに基づいてビームプロファイルを計測する。これによれば、複数のビームスポットが重ならないので、同時に複数のビームのプロファイルビーム間隔、ビーム径を計測できると共に、走査状態において計測するので、精度よくプロファイルビーム間隔、ビーム径を計測できる。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレーザビームを走査可能な光走査光学系における前記複数のレーザビームのビームプロファイルを計測する光走査光学系の計測方法であって、
前記光走査光学系を走査状態にしつつ前記複数のレーザビームをパルス状に出力し、かつ、出力タイミングを異ならせて、互いの重なりをなくした状態で前記各レーザビームのスポットの画像を撮像手段により撮像し、
前記複数のレーザビームのスポットの画像に基づいて前記ビームプロファイルを計測する、
ことを特徴とする光走査光学系の計測方法。
【請求項２】
計測した前記ビームプロファイルと前記出力タイミングとに基づいて、前記複数のレーザビームを同時に出力した場合の前記複数のレーザビームの位置を算出する、ことを特徴とする請求項１に記載の光走査光学系の計測方法。
【請求項３】
前記ビームプロファイルには、前記複数のレーザビームの走査方向におけるビーム間隔及び前記複数のレーザビームのビーム径が含まれる、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の光走査光学系の計測方法。
【請求項４】
前記複数のレーザビームのスポットが共通の画面内に入るように撮像することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の光走査光学系の計測方法。
【請求項５】
算出した前記複数のレーザビームを同時に出力した場合の前記複数のレーザビームの位置に基づいて、前記複数のレーザビームを同時に出力した場合のその位置関係を表示装置に画像表示する、ことを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の光走査光学系の計測方法。
【請求項６】
複数のレーザビームを走査可能な光走査光学系における前記複数のレーザビームのビームプロファイルを計測する光走査光学系の計測装置であって、
前記光走査光学系を走査状態にしつつ前記複数のレーザビームをパルス状に出力し、かつ、出力タイミングを異ならせて、互いの重なりをなくした状態で前記各レーザビームのスポットの画像を撮像手段に撮像させ、前記複数のレーザビームのスポットの画像に基づいて前記ビームプロファイルを計測する計測制御手段を有する、
ことを特徴とする光走査光学系の計測装置。
【請求項７】
前記計測制御手段は、計測した前記ビームプロファイルと前記出力タイミングとに基づいて、前記複数のレーザビームを同時に出力した場合の前記複数のレーザビームの位置を算出する、ことを特徴とする請求項６に記載の光走査光学系の計測装置。
【請求項８】
前記計測制御手段は、前記複数のレーザビームの走査方向におけるビーム間隔及び前記複数のレーザビームのビーム径を前記ビームプロファイルとして計測する、ことを特徴とする請求項５又は６に記載の光走査光学系の計測装置。
【請求項９】
前記計測制御手段は、前記複数のレーザビームのスポットが共通の画面内に入るように撮像手段に撮像させることを特徴とする請求項６ないし８のいずれかに記載の光走査光学系の計測装置。
【請求項１０】
前記計測制御手段は、算出した前記複数のレーザビームを同時に出力した場合の前記複数のレーザビームの位置に基づいて、前記複数のレーザビームを同時に出力した場合のその位置関係を表示装置に画像表示する、ことを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の光走査光学系の計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像形成装置に用いられる光走査光学系のビームプロファイルを計測する計測方法及び計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子写真方式の画像形成装置に用いられる光走査光学系は、一般的には、ユニット化さされて画像形成装置に組み込まれるが、光走査光学系を組み込む前にレーザビームのビーム径や位置等のビームプロファイルを計測して評価する必要がある。特に、複数のレーザ光源を搭載した光走査光学系では、画質要求上、ビームプロファイルを計測して複数のレーザビーム間の間隔を検査、調整する必要がある。
ところで、複数のレーザ光源を搭載した光走査光学系では、隣合うレーザビーム間に部分的な重なりが生じるため、個々のレーザビームのプロファイルを計測するためには、例えば、走査用のポリゴンミラーを停止させた状態で個々のレーザビーム毎に点灯させ、個々ビームの形状と位置をＣＣＤカメラ等で撮像する方法が知られている。しかしながら、この方法では、計測に長時間を要するとともに実際の走査状態と異なる条件で計測するため、計測結果と実際の光走査光学系との間に誤差が生じやすい。
特許文献１は、この問題を解決するために、走査用のポリゴンミラーを回転させた状態で複数のレーザビームをＣＣＤカメラで撮像し、重畳する２つのビームを画像処理により分離してレーザビームの間隔等のビームプロファイルを算出する技術を開示している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１４５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に開示された技術によれば、短時間で複数のレーザビームのビームプロファイルを計測できるが、光走査光学系の構成部品の寸法誤差や組立誤差がビームプロファイルの計算に反映されないため、計測値が実際の値とずれる可能性がある。
また、特許文献１に開示された技術では、光走査光学系の仕様に応じて計算モデルが必要であり、これらのモデルの設定処理負担が大きい。
【０００５】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数のレーザビームを出力する光走査光学系のビームプロファイルを精密に計測でき、計測時間を短縮化でき、かつ、計測作業を簡易化できる光走査光学系の計測方法及び計測装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る光走査光学系の計測方法は、複数のレーザビームを走査可能な光走査光学系における複数のレーザビームのビームプロファイルを計測する光走査光学系の計測方法であって、光走査光学系を走査状態にしつつ前記複数のレーザビームをパルス状に出力してそのスポットの画像を撮像手段により撮像し、複数のレーザビームのスポットの画像に基づいてビームプロファイルを計測する、ことを特徴としている。
この構成によれば、複数のレーザビームをパルス状に出力し、かつ、出力タイミングを異ならせることにより、複数のレーザビーム間の重畳を確実に防止でき、個々のレーザビームプロファイルを正確に計測できる。また、計測を走査状態（ポリゴンミラーを回転させた状態）で行うため、光走査光学系が画像形成装置の感光体に書き込んでいるのと同様の条件で計測できる。
【０００７】
上記構成において、計測したビームプロファイルと出力タイミングとに基づいて、複数のレーザビームを同時に出力した場合の複数のレーザビームの位置を算出する、構成を採用できる。
この構成によれば、同時出力した場合の複数のレーザビーム間の距離等を正確に算出することができる。
【０００８】
上記構成において、ビームプロファイルには、複数のレーザビームの走査方向におけるビーム間隔及び複数のレーザビームのビーム径が含まれる、構成を採用できる。
この構成によれば、ビーム間隔とビーム径とを同時に計測できる。
【０００９】
上記構成において、複数のレーザビームのスポットが共通の画面内に入るように撮像する、構成を採用できる。
この構成によれば、複数のスポット画像を一画面内に収めることにより、各種ビームプロファイルを同時に計測でき、計測時間を短縮化できる。
【００１０】
上記構成において、算出した複数のレーザビームを同時に出力した場合の複数のレーザビームの位置に基づいて、複数のレーザビームを同時に出力した場合のその位置関係を表示装置に画像表示する、構成を採用できる。
この構成によれば、複数のレーザビームを同時に出力した場合のレーザビーム間の位置関係を視覚的に容易に把握できる。
【００１１】
本発明に係る光走査光学系の計測装置は、複数のレーザビームを走査可能な光走査光学系における複数のレーザビームのビームプロファイルを計測する光走査光学系の計測装置であって、光走査光学系を走査状態にしつつ複数のレーザビームをパルス状に出力し、かつ、出力タイミングを異ならせて、互いの重なりをなくした状態で各レーザビームのスポットの画像を撮像手段に撮像させ、複数のレーザビームのスポットの画像に基づいてビームプロファイルを計測する計測制御手段を有する、ことを特徴としている。
【００１２】
上記構成において、計測制御手段は、計測したビームプロファイルと出力タイミングとに基づいて、複数のレーザビームを同時に出力した場合の複数のレーザビームの位置を算出する、構成を採用できる。
【００１３】
上記構成において、計測制御手段は、複数のレーザビームの走査方向におけるビーム間隔及び複数のレーザビームのビーム径をビームプロファイルとして計測する、構成を採用できる。
【００１４】
上記構成において、計測制御手段は、複数のレーザビームのスポットが共通の画面内に入るように撮像手段に撮像させる、構成を採用できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、複数のレーザビームを出力する光走査光学系のビームプロファイルを精密に計測でき、計測時間を短縮化でき、かつ、計測作業を簡易化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る光走査光学系の計測システムの概略構成図である。
この計測システムは、被計測対象であり光走査光学系としての光走査光学ユニット１０（以下、ＲＯＳ（Ｒａｓｔｅｒ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｓｃａｎｎｅｒ）１０という）を設置するための計測台１００、撮像手段としてのＣＣＤカメラ１１０、画像処理装置１３０、ホストコンピュータ１４０、表示装置としてのモニタ１５０、パルス発生ボード１６０、制御回路１７０等から構成される。尚、画像処理装置１３０、ホストコンピュータ１４０、パルス発生ボード１６０、制御回路１７０等から本発明の計測制御手段が構成される。
【００１７】
ＲＯＳ１０は、レーザビームＬＢ１，ＬＢ２をそれぞれ出力するレーザダイオードＬＤＡ，ＬＤＢ、レーザビームＬＢ１，ＬＢ２を反射するポリゴン面を備えるポリゴンミラー２０、レーザビームＬＢ１，ＬＢ２を透過する各種レンズ３０、ミラー４０等の各種光学部品を内蔵している。
レーザダイオードＬＤＡ，ＬＤＢからのレーザビームＬＢ１，ＬＢ２は、ミラー４０でポリゴンミラー２０に向けて反射され、図示しない駆動モータにより所定方向に所定回転数（例えば、１万ｒｐｍ）で駆動されるポリゴンミラー２０により走査される。
【００１８】
計測台１００は、計測すべきＲＯＳ１０が所定の位置に置かれ、図示しないクランプ機構によりＲＯＳ１０を解放可能にクランプする。
ＣＣＤカメラ１１０は、計測台１００にクランプされた状態のＲＯＳ１０のポリゴンミラー２０により走査されるレーザビームＬＢ１，ＬＢ２がその入射するように計測台１００に対して所定位置に配置されており、その入射部には、レーザビームＬＢ１，ＬＢ２を数倍程度に拡大する対物レンズ１２０を備えている。
【００１９】
制御回路１７０は、ＲＯＳ１０へポリゴンミラー２０を駆動する駆動信号１７０ｓとレーザダイオードＬＤＡ，ＬＤＢをそれぞれパルス状に点灯させるパルス変調信号１６０ｓａ１，１６０ｓａ２とを出力するとともに、ＲＯＳ１０からＳＯＳ（Ｓｔａｒｔ  Ｏｆ  Ｓｃａｎ）信号１０ｓが入力される。尚、ＳＯＳ信号１０ｓは、ポリゴンミラー２０の走査タイミングを示す基準信号である。
【００２０】
パルス発生ボード１６０は、ＳＯＳ信号１０ｓを制御回路１７０から受け取るとともに、このＳＯＳ信号１０ｓを基に、パルス変調信号１６０ｓａ１，１６０ｓａ２を生成して制御回路１７０へ出力すると共にトリガ信号１６０ｓｂを生成してＣＣＤカメラ１１０へ出力する。また、パルス発生ボード１６０は、ホストコンピュータ１４０との間で各種データを授受し、ホストコンピュータ１４０から得られるデータにもとづいて、パルス変調信号１６０ｓａ１，１６０ｓａ２やトリガ信号１６０ｓｂを生成する。さらに、パルス発生ボード１６０は、ＳＯＳ信号１０ｓを基にポリゴンミラー２０のポリゴン面の位置をカウントして、このカウント情報をホストコンピュータ１４０へ出力する。
【００２１】
画像処理装置１３０は、ＣＣＤカメラ１１０から転送される画像データに対して、ノイズ除去、パターンマッチング、ビーム径計測、ビーム位置計測等の画像処理を実行し、処理結果を計測データとしてホストコンピュータ１４０へ出力する。
【００２２】
ホストコンピュータ１４０は、画像処理装置１３０及びパルス発生ボード１６０を制御し、具体的には、パルス変調信号１６０ｓａ１，１６０ｓａ２やトリガ信号１６０ｓｂを生成するのに必要なデータをパルス発生ボード１６０へ制御信号を出力し、画像処理装置１３０へＣＣＤカメラ１１０の画像データの取り込みを指令し、画像処理結果等の各種データをモニタ１５０に表示する。
【００２３】
上記した計測システムを用いたＲＯＳ１０の評価プロセスは、図２に示すように、先ず、評価すべきＲＯＳ１０を計測台１０に載せ（プロセスＰＲ１）、次いで、ＲＯＳ１０を駆動する（プロセスＰＲ２）。これにより、ポリゴンミラー２０が回転し、レーザビームＬＢ１，ＬＢ２を走査可能な状態になる。
【００２４】
次いで、ＲＯＳ１０のビームプロファイルを計測する（プロセスＰＲ３）。尚、ビームプロファイルの計測処理については後述する。
次いで、計測したＲＯＳ１０のビームプロファイルに基づいて、ＲＯＳ１０が良品であるか不良品であるかを判定する（プロセスＰＲ４）。この判定処理は、ホストコンピュータ１４０において実行される。
次いで、判定結果をモニタ１５０へ表示する（プロセスＰＲ５）。この表示により、作業者は、ＲＯＳ１０が良品であるか不良品であるかを認識できる。
次いで、ＲＯＳ１０の駆動を停止し（プロセスＰＲ６）、ＲＯＳ１０を計測台１００から搬出する（プロセスＰＲ７）。これにより、ＲＯＳ１０の評価プロセスが完了する。
【００２５】
次に、上記計測システムによるビームプロファイルの計測処理の一例について、図３に示すフローチャートを参照して説明する。
先ず、ホストコンピュータ１４０は、ＣＣＤカメラ１１０の撮像したレーザビームＬＢ１，ＬＢ２のスポットの画像を画像処理装置１３０へ取り込ませる（ステップ１）。
この画像の取り込みに際して、ホストコンピュータ１４０は、図４（Ａ）に示すように、所定周波数に基準クロックＣＬＫを基準にレーザダイオードＬＤＡを点灯させるためのデータＰＤＡＴＡ１とレーザダイオードＬＤＢを点灯させるためのデータＰＤＡＴＡ２とを生成し、これらのデータＰＤＡＴＡ１，ＰＤＡＴＡ２をパルス発生ボードに与える。
パルス発生ボード１６０では、データＰＤＡＴＡ１，ＰＤＡＴＡ２に基づいて、パルス変調信号１６０ｓａ１，１６０ｓａ２を生成してＲＯＳ１０に出力すると共に、上記したトリガー信号１６０ｓｂを生成してＣＣＤカメラ１１０へ出力する。
尚、パルスデータＰＤＡＴＡ１のパルスと、パルスデータＰＤＡＴＡ２のパルスとは、所定クロック分だけ時間的にずれており、これにより、レーザダイオードＬＤＡとレーザダイオードＬＤＢの出力タイミングを異ならせることができる。データＰＤＡＴＡ１のパルスとデータＰＤＡＴＡ２のパルスとの時間差は、画像上で互いのスポットの重なりが発生しない値に設定される。
【００２６】
これにより、レーザビームＬＢ１，ＬＢ２は、異なるタイミングで出力され、ポリゴンミラー２０の同じポリゴン面において反射されてＣＣＤカメラ１０へ入射し、図４（Ｂ）に示すように、ＣＣＤカメラ１０の画像ＩＭ内には、複数のビームスポットＳＰＡ（１）、ＳＰＢ（２）、ＳＰＡ（３）が映される。ビームスポットＳＰＡ（１），ＳＰＡ（３）は、レーザダイオードＬＤＡから出力されたものであり、ＳＰＢ（２）はレーザダイオードＬＤＢから出力されたものである。また、ＳＰＡ（１）、ＳＰＢ（２）、ＳＰＡ（３）は、この順序でＣＣＤカメラ１１０に入射したものである。尚、パルス発生ボード１６０からＣＣＤカメラ１１０へ入力されるトリガー信号１６０ｓｂは、ビームスポットＳＰＡ（１）、ＳＰＢ（２）、ＳＰＡ（３）のすべてが一の画像フレーム内に収まる撮像タイミングとなるように調整されている。また、走査状態においてビームスポットＳＰＡ（１）、ＳＰＢ（２）、ＳＰＡ（３）を撮像するので、その形状が走査方向に長い楕円形となる。
【００２７】
次いで、画像処理装置１３０では、画像ＩＭのバックグラウンド濃度（ビームスポットＳＰＡ（１）、ＳＰＢ（２）、ＳＰＡ（３）以外の領域の平均濃度）とビームスポットＳＰＡ（１）、ＳＰＢ（２）、ＳＰＡ（３）の最大濃度を算出する（ステップＳＴ２）。このとき、画像ＩＭに画像ノイズが多く含まれる場合には、適宜フィルタ処理を施し、画像ノイズを除去する（ステップＳＴ３）。
次いで、画像処理装置１３０では、上記の最大濃度、バックグラウンド濃度等から閾値濃度を算出し、この閾値濃度により画像ＩＭを二値化する（ステップＳＴ４）。
【００２８】
次いで、画像処理装置１３０では、図５に示すように、二値化により得られ各ビームスポットＳＰＡ（１）、ＳＰＢ（２）、ＳＰＡ（３）の重心Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３を算出する（ステップＳＴ５）。
次いで、重心Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３の位置情報から、ビームスポットＳＰＡ（１）、ＳＰＢ（２）、ＳＰＡ（３）がいずれのレーザダイオードＬＤＡ，ＬＤＢのビームスポットかを判別し、それぞれに番号を付与する（ステップＳＴ７）。
【００２９】
次いで、画像処理装置１３０では、図６に示すように、ビームスポットＳＰＡ（１）、ＳＰＢ（２）、ＳＰＡ（３）の横方向径ｔａｎ１〜ｔａｎ３及び縦方向径ｓａｇ１〜ｓａｇ３を計算する（ステップＳＴ８）。
【００３０】
ここで、上記の濃度重心の計算方法について説明する。たとえば、図９に示すような画像があったとすると、各四角は画像の画素（ドット）として、各四角内の色を濃度とする（白が一番高く黒が一番低いとする）。そして、二値化重心で求めた重心位置を（ｘ１、ｙ１）、濃度重心に使う計算領域（正方形状）の一辺の長さをＦ、画像ＩＭのバックグラウンド濃度をＤｂｇ、濃度重心座標を（ｘ２、ｙ２）とすると、各成分は次式により産出される。
【００３１】
【数１】
2007218730.tif 000003
【００３２】
また、横方向径ｔａｎ１〜ｔａｎ３及び縦方向径ｓａｇ１〜ｓａｇ３の計算方法について説明すると、先ず、横方向、縦方向について次に示すビームプロファイル関数ｔａｎ（ｘ）、ｓａｇ（ｙ）を作成する。
【００３３】
【数２】
2007218730.tif 000004
【００３４】
次いで、（ｘ−Ｆ／２≦ｘ≦ｘ＋Ｆ／２）領域における横方向径ｔａｎ（ｘ）の最大値をｔａｎＭＡＸ、（ｙ−Ｆ／２≦ｙ≦ｙ＋Ｆ／２）領域における縦方向径ｓａｇ（ｙ）の最大値をｓａｇＭＡＸ、ビーム径の計算しきい値をｔｈ（通常は１／（ｅ×ｅ））とし、横方向径ｔａｎ（ｘ）及び縦方向径ｓａｇ（ｙ）のしきい値ｔａｎ＿ｔｈ，ｓａｇ＿ｔｈを次式より求める。
【００３５】
【数３】
2007218730.tif 000005
【００３６】
横方向径ｔａｎ（ｘ）は、（ｘ−Ｆ／２≦ｘ≦ｘ＋Ｆ／２）を満たす値であり、たとえば、図１０に示すように、ｔａｎ径として決定される。
縦方向径ｓａｇ（ｙ）は、（ｙ−Ｆ／２≦ｙ≦ｙ＋Ｆ／２）を満たす値であり、ｔａｎ径と同様に決定される。
【００３７】
次いで、画像処理装置１３０では、図７に示すように、レーザダイオードＬＤＡ（基準となるＬＤ）のビームスポットＳＰＡ（１）濃度重心位置からビームスポットＳＰＡ（３）の濃度重心一までのベクトルＡＶ１を算出すると共に、ベクトルＡＶ１から１クロックあたりの画面内の移動量ベクトルＶ１を求める（ステップＳＴ９）。
具体的には、図４（Ａ）に示したように、ビームスポットＳＰＡ（１）からビームスポットＳＰＡ（３）までは４クロック分離れているので、Ｖ１＝ＡＶ１／４となる。
【００３８】
次いで、レーザダイオードＬＤＡ，ＬＤＢを同時に点灯（出力）した場合の各ビームの位置を計算する（ステップＳＴ１０）。
具体的には、図４に示したように、ビームスポットＳＰＢ（２）は、ビームスポットＳＰＡ（１）に対して２クロック分時間的に遅れているため、図８に示すように、ビームスポットＳＰＢ（２）をＶ１×２の距離分だけビームスポットＳＰＡ（１）方向に戻してスポットＳＰＢ（２）’とする。この画像をモニタ１５０に表示される。
ビームスポットＳＰＡ（１）とスポットＳＰＢ（２）’との関係から、レーザダイオードＬＤＡ，ＬＤＢを同時に点灯（出力）した場合の各ビームの位置関係、すなわち、ビームスポットＳＰＡ（１）とスポットＳＰＢ（２）’との縦方向距離Ｌ１と横方向距離Ｌ２とが求まる。この関係から、ビームプロファイルを評価することができる。
【００３９】
以上のように、本実施形態によれば、ポリゴンミラー２０を回転させて走査状態にすると共に、レーザダイオードＬＤＡ，ＬＤＢの点灯タイミングを制御してそのレーザビームＬＢ１，ＬＢ２のスポット画像を同一画面内に収まるように撮像することにより、レーザビームＬＢ１，ＬＢ２のスポット画像の重畳をなくすことができ、個々のレーザビームＬＢ１，ＬＢ２の径を精密に計測できると共に、同時点灯時におけるレーザビームＬＢ１，ＬＢ２の距離も正確にかつ高速に求めることができる。
【００４０】
上記実施形態では、２つのレーザダイオードＬＤＡ，ＬＤＢを備えるＲＯＳ１０を計測する場合について説明したが、これに限定されるわけではなく、たとえば、３２個のレーザビームを同時点灯可能な面発光レーザを備えたＲＯＳ等にも本発明を適用可能である。
図１１は、上記の面発光レーザの３２個のレーザビームを同時点灯させた際のＣＣＤカメラ１０の画像の一例である。
図１１に示すように、３２個のビームスポットＳＰ１〜ＳＰ３２のうち、縦方向において隣合うビームスポットは部分的に重畳してしまう。
このため、図１２（Ａ），（Ｂ）に示すように、白色で示したビームスポットのレーザビーム（１６本）をデータＰＤＡＴＡ１のタイミングで点灯させ、灰色で示したビームスポットのレーザビーム（１６本）をデータＰＤＡＴＡ２のタイミングで点灯させることにより、すべてのビームスポットＳＰ１〜ＳＰ３２の重畳をなくすことができる。
また、すべてのビームスポットＳＰ１〜ＳＰ３２が一画面内に収まらない場合には、３２本のレーザビームの点灯タイミングを２つだけでなく、さらに細かく分ければよい（たとえば４つの異なるタイミングで出力する）。
【００４１】
上記実施形態では、ポリゴンミラー２０の一のポリゴン面により走査したときにおけるレーザビームのプロファイルを計測した場合について説明したが、複数のポリゴン面についてそれぞれ計測し、これらの平均値に基づいて評価する構成とすることも可能であある。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施形態に係る光走査光学系の計測システムの概略構成図である。
【図２】ＲＯＳの評価プロセスの一例を示す工程図である。
【図３】ＲＯＳのビームプロファイルの計測処理の一例を示すフローチャートである。
【図４】パルス変調信号とスポット画像との関係を示す図である。
【図５】各ビームスポットの濃度重心を示す図である。
【図６】各ビームスポットの径を示す図である。
【図７】１クロック当たりのビームスポットの移動量を説明するための図である。
【図８】同時点灯時に換算した場合のビームスポットの関係を示す図である。
【図９】スポット画像の濃度重心の計算方法を説明するための図である。
【図１０】ビームプロファイル関数からビーム径を求める方法を説明するためのグラフである。
【図１１】３２個のレーザ光源をもつ面発光レーザを同時点灯させたときのスポットの画像例を示す図である。
【図１２】３２個のレーザ光源をもつ面発光レーザを２のグループに分けて異なるタイミングでパルス状に点灯させたときのスポットの画像例を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  ＲＯＳ
２０  ポリゴンミラー
１００  計測台
１１０  ＣＣＤカメラ
１３０  画像処理装置
１４０  ホストコンピュータ
１５０  モニタ
１６０  パルス発生ボード
１７０  制御回路
ＬＢ１，ＬＢ２  レーザビーム
ＬＤＡ、ＬＤＢ  レーザダイオード
ＳＰＡ，ＳＰＢ  ビームスポット
【図１】
2007218730.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2007218730.tif 000015
【図１１】
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【図１２】
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