(57)【要約】【課題】  スジ状の抜けやムラを発生しないインクジェット塗工装置を提供することである。また、インクジェット塗工装置を用いて、カラーフィルタや有機ＥＬ素子等の光学素子を製造する方法において、スジ状の抜けやムラを発生しない方法を提供することである。【解決手段】  インクジェット塗工装置において、インクジェットヘッドの隣接するノズルの間隔をＬとした際に、前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドのうち、同一色のインクを吐出するインクジェットヘッドｎ個を（ｎは２以上の自然数）、前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドのノズルを前記第１の方向に配列方向が略揃うように、当該同一色のインクジェットヘッドをｎ個並列に配置し、前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドをそれぞれノズルを前記第１の方向にＬ／ｎずつ順次ずらして配置する。【選択図】図１
2007256312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、このノズルから複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、
前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、
前記インクジェットヘッドの隣接するノズルの間隔をＬとした際に、
前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドのうち、同一色のインクを吐出するインクジェットヘッドｎ個を（ｎは２以上の自然数）、
前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドのノズルを前記第１の方向に配列方向が略揃うように、当該同一色のインクジェットヘッドをｎ個並列に配置し、
前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドをそれぞれノズルを前記第１の方向にＬ／ｎずつ順次ずらして配置し、
前記インクジェットヘッドと前記基板とを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行う工程と、
前記インクジェットヘッドと前記基板とを第１の方向に相対的に副走査させる工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドが、赤色、緑色、青色のインクを吐出するインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記ｎ個の特定色のインクジェットヘッドにおいて行うインクの吐出の際に、
それぞれのインクジェットヘッドの第２の方向の位置の差を、前記基材の主走査の速度で除した時間分だけ吐出タイミングを変化させ、
前記ｎ個の特定色のインクジェットヘッド全体で直線状にインクを吐出させることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
ほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、このノズルから複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、
前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように有機発光層をパターニングすることにより有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法であって、
前記インクジェットヘッドの隣接するノズルの間隔をＬとした際に、
前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドのうち、同一色のインクを吐出するインクジェットヘッドｎ個を（ｎは２以上の自然数）、
前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドのノズルを前記第１の方向に配列方向が略揃うように、当該同一色のインクジェットヘッドをｎ個並列に配置し、
前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドをそれぞれノズルを前記第１の方向にＬ／ｎずつ順次ずらして配置し、
前記インクジェットヘッドと前記基板とを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行う工程と、
前記インクジェットヘッドと前記基板とを第１の方向に相対的に副走査させる工程とを含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項５】
前記ｎ個の特定色のインクジェットヘッドにおいて行うインクの吐出の際に、
それぞれのインクジェットヘッドの第２の方向の位置の差を、前記基材の主走査の速度で除した時間分だけ吐出タイミングを変化させ、
前記ｎ個の特定色のインクジェットヘッド全体で直線状にインクを吐出させることを特徴とする請求項４に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項６】
ほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、このノズルから複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドと搬送ステージとを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出する手段を備えたインクジェット塗工装置であって、
前記インクジェットヘッドの隣接するノズルの間隔をＬとした際に、
前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドのうち、同一色のインクを吐出するインクジェットヘッドｎ個（ｎは２以上の自然数）から構成されるインクジェットヘッドサブユニットを備え、
前記インクジェットサブユニットを構成する同一色のインクジェットヘッドが、いずれも前記第１の方向にノズルの配列方向が揃うように並列に配置され、かつ、
前記インクジェットサブユニットを構成するインクジェットヘッドが、それぞれノズルを前記第１の方向にＬ／ｎずつ順次ずらして配置されてなるインクジェットヘッドサブユニットを備えたことを特徴とするインクジェット塗工装置。
【請求項７】
前記特定色用のインクジェットヘッドサブユニットとして、赤色のインクを吐出するインクジェットヘッドサブユニット、緑色のインクを吐出するインクジェットヘッドサブユニット、青色のインクを吐出するインクジェットヘッドサブユニットを備えたことを特徴とする請求項６に記載のインクジェット塗工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク皮膜を有する印刷物を製造するインクジェット塗工装置とこのインクジェット塗工装置を用いて塗工層を形成する印刷物（主としてカラーフィルタ）に関する。
この印刷物の塗工層として、カラーフィルタの着色層、色変換フィルターの色変換層、有機エレクトロルミネッセンス素子（以下有機ＥＬ素子という）の有機発光層及び電荷輸送層、回路基板の回路パターン、薄膜トランジスタの配線パターン、マイクロレンズのレンズパターン、バイオチップの流路パターン等を挙げることができる。
【背景技術】
【０００２】
例えば、カラーフィルタの製造方法としてはフォトリソグラフィー法、エッチング法等が知られている。フォトリソグラフィー法によるカラーフィルタの製造方法は、基板全体に各色の感光性樹脂層の塗布膜を形成し、パターン状に露光した後に塗布膜の不要な部分を取り除き、残ったパターンを各画素とする。この方法では塗布膜の多くが現像除去されるため、大量の材料が無駄になる。さらに、画素ごとに露光、現像工程を行うため、工程数が多くなる。このフォトリソグラフィー方式は、カラーフィルタに限らず、有機エレクトロルミネッセンス素子等、種々の光学素子や電気素子（以下、光学素子等という）の製造に利用されている。
しかし、カラーフィルタの基板サイズは年々大型化が進んでいる。カラーフィルタのコストダウン化を図るためには、従来のフォトリソグラフィー工程を繰り返す顔料分散法等は無駄が多く、近年、インクジェットを用いた方法が検討されている。
【０００３】
インクジェット塗工装置は、複数のノズルが整列配置されたインクジェットヘッドを備えている。インクジェット塗工装置では、ノズルと基板置台とを、基板置台面上に沿って相対的に移動させ描画を行っている。基板の大型化に伴い歩留まりを考慮し、インクジェット塗工装置は、インクジェットヘッドは複数個整列で配置して備え、吐出液量が均一になるような吐出パターン情報を作成している。また、インクジェット塗工装置を用いてストライプ状に並んだ複数色のパターンを有する光学素子等を作成する方法としていくつかの方法が知られている。例えば、ストライプ状パターンの長手方向と特定色のインクジェットヘッドの向きを略直交させ、このストライプ状パターンの長手方向に沿ってインクジェットヘッドを主走査する第１の方法（特許文献１及び特許文献２）や、ストライプ状パターンの長手方向と特定色のインクジェットヘッドの向きを略平行とし、このストライプ状パターンの長手方向と直交する方向にインクジェットヘッドを走査する第２の方法（特許文献３）が知られている。
【０００４】
インクジェット塗工装置においては、印刷中にノズルの高い位置精度が要求される。また近年表示装置の高精細化が進行し、例えばフルスペックハイビジョン（横１９２０×縦１０８０）に対応する液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、インクジェット塗工装置で製造する場合、従来よりも高度な画素密度を備えることが必要である。
しかし、前掲第１の方法では、画素密度の高い光学素子等を製造する場合にはインクジェットヘッドの配置が僅かでもずれると混色を発生する問題があり、精度よく画素密度の高い光学素子等を製造することができなかった。また、前掲第２の方法においては、相違する色の画素間で混色が発生した場合であっても、インクジェットヘッドに属するノズルの吐出タイミングを変えることにより不良を防止することができる。しかし、同一色のストライプ状のパターンを構成する特定の画素と、この画素と隣接する同一色の画素の間隔（ピッチ）は、インクジェットヘッドのノズルの間隔に依存する。このため、この第２の方法においては同一色における吐出の解像度に限界があった。
そして、吐出の解像度が不足すると、吐出したインクパターンの隙間が生じたり、ドットが重ったりする。このような現象が生じるとスジ状の抜けやムラができ、不良の原因となる問題が生じていた。
【特許文献１】特開平８−２９２３１９号公報
【特許文献２】特開２００１−２２８３２０号公報
【特許文献３】特開２００３−１２７３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の課題とするところは、上記課題を解決するためになされるものであり、スジ状の抜けやムラを発生しないインクジェット塗工装置を提供することである。また、インクジェット塗工装置を用いて、カラーフィルタや有機ＥＬ素子等の光学素子を製造する方法において、スジ状の抜けやムラを発生しない方法を提供することである。
さらに具体的には、カラーフィルタのストライプ状のパターンを構成する特定の画素と、この画素と隣接する同一色の画素の間隔（ピッチ）との間の吐出の解像度を向上させることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その構成を以下に示す。
（請求項１）
ほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、このノズルから複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、
前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、
前記インクジェットヘッドの隣接するノズルの間隔をＬとした際に、
前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドのうち、同一色のインクを吐出するインクジェットヘッドｎ個を（ｎは２以上の自然数）、
前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドのノズルを前記第１の方向に配列方向が略揃うように、当該同一色のインクジェットヘッドをｎ個並列に配置し、
前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドをそれぞれノズルを前記第１の方向にＬ／ｎずつ順次ずらして配置し、
前記インクジェットヘッドと前記基板とを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行う工程と、
前記インクジェットヘッドと前記基板とを第１の方向に相対的に副走査させる工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【０００７】
（請求項２）
前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドが、赤色、緑色、青色のインクを吐出するインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【０００８】
（請求項３）
前記ｎ個の特定色のインクジェットヘッドにおいて行うインクの吐出の際に、
それぞれのインクジェットヘッドの第２の方向の位置の差を、前記基材の主走査の速度で除した時間分だけ吐出タイミングを変化させ、
前記ｎ個の特定色のインクジェットヘッド全体で直線状にインクを吐出させることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【０００９】
（請求項４）
ほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、このノズルから複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、
前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように有機発光層をパターニングすることにより有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法であって、
前記インクジェットヘッドの隣接するノズルの間隔をＬとした際に、
前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドのうち、同一色のインクを吐出するインクジェットヘッドｎ個を（ｎは２以上の自然数）、
前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドのノズルを前記第１の方向に配列方向が略揃うように、当該同一色のインクジェットヘッドをｎ個並列に配置し、
前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドをそれぞれノズルを前記第１の方向にＬ／ｎずつ順次ずらして配置し、
前記インクジェットヘッドと前記基板とを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行う工程と、
前記インクジェットヘッドと前記基板とを第１の方向に相対的に副走査させる工程とを含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【００１０】
（請求項５）
前記ｎ個の特定色のインクジェットヘッドにおいて行うインクの吐出の際に、
それぞれのインクジェットヘッドの第２の方向の位置の差を、前記基材の主走査の速度で除した時間分だけ吐出タイミングを変化させ、
前記ｎ個の特定色のインクジェットヘッド全体で直線状にインクを吐出させることを特徴とする請求項４に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【００１１】
（請求項６）
ほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、このノズルから複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドと搬送ステージとを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出する手段を備えたインクジェット塗工装置であって、
前記インクジェットヘッドの隣接するノズルの間隔をＬとした際に、
前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドのうち、同一色のインクを吐出するインクジェットヘッドｎ個（ｎは２以上の自然数）から構成されるインクジェットヘッドサブユニットを備え、
前記インクジェットサブユニットを構成する同一色のインクジェットヘッドが、いずれも前記第１の方向にノズルの配列方向が揃うように並列に配置され、かつ、
前記インクジェットサブユニットを構成するインクジェットヘッドが、それぞれノズルを前記第１の方向にＬ／ｎずつ順次ずらして配置されてなるインクジェットヘッドサブユニットを備えたことを特徴とするインクジェット塗工装置。
【００１２】
（請求項７）
前記特定色用のインクジェットヘッドサブユニットとして、赤色のインクを吐出するインクジェットヘッドサブユニット、緑色のインクを吐出するインクジェットヘッドサブユニット、青色のインクを吐出するインクジェットヘッドサブユニットを備えたことを特徴とする請求項６に記載のインクジェット塗工装置。
【発明の効果】
【００１３】
以上より、本発明によれば、カラーフィルタのストライプ状のパターンを構成する特定の画素と、この画素と隣接する同一色の画素の間隔（ピッチ）との間の吐出の解像度を向上させることができた。これにより、スジ状の抜けやムラの発生しないカラーフィルタの製造方法を提供することができた。
また、スジ状の抜けやムラの発生しない有機ＥＬ素子の製造方法を提供することができた。また本発明によれば、ストライプ状のパターンを構成する特定の画素と、この画素と隣接する同一の画素の間隔（ピッチ）との間の吐出の解像度を向上させたインクジェット塗工装置を提供することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
第１の発明は、ほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、このノズルから複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することによりカラーフィルタを製造する方法を前提とする。すなわち、前掲背景技術における第２の方法によりカラーフィルタを製造する方法にかかるものである。
第１の発明においては、前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドのうち、同一色のインクを吐出するインクジェットヘッドｎ個を（ｎは２以上の自然数）配置する。
この際、このｎ個の同一色のインクジェットヘッドのノズルを前記第１の方向に配列方向が略揃うように、当該同一色のインクジェットヘッドをｎ個並列に配置する。
さらに、ある特定のインクジェットヘッドに属するノズルのうち隣接するノズルの間隔をＬとした際に、前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドをそれぞれノズルを前記第１の方向にＬ／ｎずつ順次ずらして配置する。
そして、第１の発明のでは、このように配置したインクジェットヘッドユニットを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行い、さらにインクジェットヘッドと前記基板とを第１の方向に相対的に副走査させる工程とを含むことを特徴とする。
すなわち、第１の発明ではｎ個のインクジェットヘッドを、Ｌ／ｎだけずらして並列させることで、従来のインクジェット塗工装置に比して特定色の解像度をｎ倍とすることができた。これによりスジ状のムラ等の問題を解決することができた。ｎは２以上の自然数であればかまわないが、より好ましくは３又は４または５以上の自然数とすることできる。
【００１５】
第２の発明は、第１の発明により特定されるインクジェットヘッドサブユニットを赤、緑、青の三色分それぞれ備えることを特徴とする。これによりカラーフィルタの製造方法において、赤、緑、青の３色それぞれで従来よりもｎ倍の解像度で直線状の画素パターンを形成することができた。
【００１６】
第３の発明は、ｎ個の特定色のインクジェットヘッドにおいて行うインクの吐出の際に、それぞれのインクジェットヘッドのＹ方向の位置の差を、前記基材の主走査の速度で除した時間分だけ吐出タイミングを変化させる。つまり、第１の発明、第２の発明においては特定色のインクジェットヘッドを並列して配置するため、当該特定色のインクジェットヘッド全てが第１の方向に直線状に配置されず、第２の方向にずれて配置される。このため、当該特定色のインクジェットヘッドを全て同時に吐出し、直線状の画素パターンを得ることができない。そこで、第３の発明では、当該特定色のインクジェットヘッドの吐出タイミングを、そのインクジェットヘッドの第２の方向上の位置の差を、主走査の速度で除した時間を変化させ、ｎ個の特定色のインクジェットヘッド全体で直線状にインクを吐出させて、カラーフィルタを製造する。このようにすることでストライプ状の画素を有するカラーフィルタを高精度に製造することができた。
【００１７】
第４の発明は、ほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、このノズルから複数色のインクを吐出する有機エレクトロルミネッセンス素子と基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することにより有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法を前提とする。すなわち、前掲背景技術における第２の方法により有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法にかかるものである。
第４の発明においては、前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドのうち、同一色のインクを吐出するインクジェットヘッドｎ個を（ｎは２以上の自然数）配置する。
この際、このｎ個の同一色のインクジェットヘッドのノズルを前記第１の方向に配列方向が略揃うように、当該同一色のインクジェットヘッドをｎ個並列に配置する。
さらに、ある特定のインクジェットヘッドに属するノズルのうち隣接するノズルの間隔をＬとした際に、前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドをそれぞれノズルを前記第１の方向にＬ／ｎずつ順次ずらして配置する。
そして、第４の発明のでは、このように配置したインクジェットヘッドユニットを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行い、さらにインクジェットヘッドと前記基板とを第１の方向に相対的に副走査させる工程とを含むことを特徴とする。
すなわち、第４の発明ではｎ個のインクジェットヘッドを、Ｌ／ｎだけずらして並列させることで、従来のインクジェット塗工装置に比して特定色の解像度をｎ倍とすることができた。これによりスジ状のムラ等の問題を解決することができた。ｎは２以上の自然数であればかまわないが、より好ましくは３、４又は５以上の自然数とすることできる。
【００１８】
第５の発明は、ｎ個の特定色のインクジェットヘッドにおいて行うインクの吐出の際に、それぞれのインクジェットヘッドのＹ方向の位置の差を、前記基材の主走査の速度で除した時間分だけ吐出タイミングを変化させる。つまり、第４の発明においては特定色のインクジェットヘッドを並列して配置するため、当該特定色のインクジェットヘッド全てが第１の方向に直線状に配置されず、第２の方向にずれて配置される。このため、当該特定色のインクジェットヘッドを全て同時に吐出し、直線状の画素パターンを得ることができない。そこで、第５の発明では、当該特定色のインクジェットヘッドの吐出タイミングを、そのインクジェットヘッドの第２の方向上の位置の差を、主走査の速度で除した時間を変化させ、ｎ個の特定色のインクジェットヘッド全体で直線状にインクを吐出させて、カラーフィルタを製造する。このようにすることでストライプ状の画素を有する有機エレクトロルミネッセンス素子を高精度に製造することができた。
【００１９】
第６の発明は、インクジェット塗工装置に係るものであり、ほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、このノズルから複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することにより印刷するインクジェット塗工装置を前提とする。すなわち、前掲背景技術における第２の方法により印刷物を製造するインクジェット塗工装置にかかるものである。
第６の発明においては、インクジェット塗工装置は、前記複数色のインクを吐出するインクジェットヘッドのうち、同一色のインクを吐出するインクジェットヘッドｎ個が（ｎは２以上の自然数）配置されている。
この際、このｎ個の同一色のインクジェットヘッドのノズルを前記第１の方向に配列方向が略揃うように、当該同一色のインクジェットヘッドがｎ個並列に配置されている。
さらに、ある特定のインクジェットヘッドに属するノズルのうち隣接するノズルの間隔をＬとした際に、前記ｎ個の同一色のインクジェットヘッドをそれぞれノズルを前記第１の方向にＬ／ｎずつ順次ずらして、インクジェットヘッドが配置されている。
すなわち、第６の発明ではｎ個のインクジェットヘッドを、Ｌ／ｎだけずらして並列させることで、従来のインクジェット塗工装置に比して特定色の解像度をｎ倍とすることができた。これによりスジ状のムラ等の問題を解決することができた。ｎは２以上の自然数であればかまわないが、より好ましくは３又は４、又は５以上の自然数とすることできる。
【００２０】
第７の発明は、第１の発明により特定されるインクジェットヘッドサブユニットを赤、緑、青の三色分それぞれ備えたインクジェット塗工装置である。このインクジェット塗工装置を使用することで、赤、緑、青色それぞれで従来よりもｎ倍（ｎ＝２の場合にあっては２倍、ｎ＝３の場合にあっては３倍）の解像度で直線状の画素パターンを形成できた。
【００２１】
以下、図面を参照し、本発明のインクジェット塗工装置を詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係るインクジェット塗工装置および周辺設備の全体図である。インクジェット塗工装置は、塗工搬送ステージ２、インクジェットヘッドユニット１４、インクジェットヘッドユニット移動軸４、メインコントローラ１０、吐出制御部９で構成されている。
塗工搬送ステージ２には塗工対象となる基材を搭載する。基材として、前述した印刷物又は光学素子等を挙げることができる。以下ではカラーフィルタを形成する場合を例として説明する。搬送ステージ２は、所定の搬送方向１１（主走査方向である。以下Ｙ方向ともいう）に沿って移動する。
インクジェットヘッドユニット１４はインクジェットヘッドユニット移動軸４上を移動する。インクジェットヘッドユニット移動軸４は、インクジェットヘッドユニットの走査方向１１と直交している。この軸と平行方向をＸ方向とする。
搬送ステージ２は、塗工基材１を固定するための真空吸着穴を備え、基材表面より突出するものなく基材を固定することができる。これによって、基材１とインクジェットヘッド１３のギャップを極小に近づけられる。
吐出制御部９には、インクジェットヘッドユニット移動の軌跡の直線性の測定値を記憶する記憶部（図示しない）が内蔵されている。
これによって、インクジェットヘッドユニットのＸ軸上の任意の位置での直線性を把握することができ、仮にインクジェットヘッドユニット１４が所望の位置において、Ｘ軸に対し直線でないとしても、その位置での直線性（ズレ）に応じてノズルの吐出タイミングを変えることで、塗工精度を補正することができる。
【００２２】
図２には、上記インクジェットヘッドユニット１４およびその周辺機構図の詳細を示す。
インクジェットヘッドユニット１４は複数のインクジェットヘッドを備えている。インクジェットヘッドは、インクを吐出する複数のノズルを備えている。このノズルの間隔を所定の間隔になるようインクジェットヘッドは好ましい方向に配向していなければならない。インクジェットヘッドの配向が所定の向きからずれることをインクジェットヘッドの回転ズレという。このため、インクジェット塗工装置は回転方向（以下、θ方向ともいう）のズレを補正するためのθ調整機構１５を備えている。θ調整機構１５により、インクジェットヘッドユニットが複数のインクジェットヘッドを搭載する際、当該複数のインクジェットヘッドの全体の大まかな方向を調整することができる。
しかし、複数のインクジェットヘッドを用いる場合、個々のインクジェットヘッドの向きをさらに調整しなければならない。図１及び図２にはこのインクジェットヘッドの回転ズレを検出するための検出手段（倒立顕微鏡７）が２つ示されている。
【００２３】
図３は、本発明のインクジェットヘッドユニット内のインクジェットヘッドの配列の1例を示す平面図である。インクジェットヘッドユニット１９は、インクジェットヘッドとインクジェットヘッドの２つの組からなるインクジェットヘッドサブユニットを多数配列して構成される。インクジェットヘッドユニットを構成するインクジェットヘッドのうち、図３の左側１／３領域に配置されるインクジェットヘッドはＲｅｄ（赤色）インクを吐出し、中央１／３領域に配置されるインクジェットヘッドはＧｒｅｅｎ（緑色）インクを吐出し、右側１／３領域に配置されるインクジェットヘッドはＢｌｕｅ（青色）インクを吐出する。インクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルを多数配列してなり、ノズルはＸ方向（第１の方向）に略配列されている。また、インクジェットヘッドユニットの主走査方向は、Ｘ方向と直交するＹ方向（第２の方向）である。
図３では、Ｂｌｕｅインクを吐出するインクジェットヘッド１３ａとＢｌｕｅインクを吐出するインクジェットヘッド１３ｂの２つの組からなるインクジェットヘッドサブユニット１３１を示す。インクジェットヘッド１３ａとインクジェットヘッド１３ｂは、いずれもほぼ走査方向（Ｙ方向ともいう）と直交する方向（第１の方向とする。Ｘ方向ともいう）に平行に並列配置されている。このインクジェットヘッド１３ａとインクジェットヘッド１３ｂは、いずれもノズル間隔が同一かつ均一になるようにノズルが配置されている。また、インクジェットヘッド１３ａとインクジェットヘッド１３ｂは、当該ノズル間隔の１／２の距離、ノズルのＸ方向の位置がずれるように配置されている。
インクジェットヘッドサブユニット１３１は、いずれもＢｌｕｅインクを吐出するインクジェットヘッドを２つ備える。そして、ノズル間隔の１／２の距離ずらしてインクジェットヘッドを配置したため、ＢｌｕｅインクのＸ方向の吐出解像度が、インクジェットヘッド１３ａ又はインクジェットヘッドｂのみの解像度に比して２倍となる。
図３に示すインクジェットヘッドユニットでは、Ｂｌｕｅ吐出領域（右側領域）に、このようなインクジェットヘッドサブユニットが２６個配置され、全体としてＢｌｕｅインクを高解像度で吐出するユニットを形成している。インクジェットヘッドサブユニット１３１以外のインクジェットサブユニットは囲みで図示しない。
さらに、Ｇｒｅｅｎ吐出領域、Ｒｅｄ吐出領域においても同様のインクジェットサブユニットを設け、ＲＧＢ３色の吐出を高解像度で行えるようインクジェットヘッドサブユニットを形成している。
【００２４】
図７は、本発明のインクジェットヘッドユニット内のインクジェットヘッドの配列の1例と基材との関係を示す平面図である。インクジェットヘッドユニット７４は図３と同様のインクジェットヘッドユニットである。基材７５には第１の方向に沿って直線状の画素パターンを形成する。
インクジェットヘッドサブユニット１３１は、第２の方向にずらした千鳥状の配置されている。この場合、隣接する同色のインクジェットヘッドの第２の方向の位置の差を、塗工対象となる基材の主走査の速度で除した時間分だけ、当該インクジェットヘッドの属するノズルの吐出タイミングを変化させ、インクジェットヘッドユニット全体で直線状にインクを吐出させることができる。このようにして、基材に対しインクを直線的にかつ高密度で付与し、直線状の画素（Ｂｌｕｅ画素７１、Ｇｒｅｅｎ画素７２、Ｒｅｄ画素７３）を高精度で形成することができる。基材の主走査の速度は基材搬送ステージの移動速度から求めることができる。
【００２５】
図４は、インクジェットヘッドのアライメント（位置調整）機構部の図面である。この例ではアライメント機構がインクジェットヘッドの周囲に配置され、インクジェットヘッドはサブユニット（２５）内の中心位置には配置されていない。アライメント機構部は各インクジェットヘッドに備わっており、これにより各インクジェットヘッドを平行（基材搬送方向と直交する方向）に、かつＸ方向の相互関係を調整することができ、またＹ方向については位置の違い分だけ吐出タイミングを変えるため、機械的は調整は必要としない。
【００２６】
図８の左側には、インクジェットヘッドサブユニットの一例とこれを構成するインクジェットヘッドのノズル位置関係を示す。インクジェットヘッドサブユニット５２は、インクジェットヘッドヘッド１３ｃ及びインクジェットヘッド１３ｄ（又はインクジェットヘッド１３ｅ及びインクジェットヘッド１３ｆ）の２つの組により構成される。インクジェットヘッド１３ｃは、インクジェットヘッド１３ｄは、いずれも第１の方向に略均一の間隔に配置されたノズルを有する。インクジェットヘッド１３ｃとインクジェット１３ｄは、第１の方向に、ノズル間隔の１／２の距離ずらして第１の方向に沿って並列するように配置されている。インクジェットヘッド１３ｅとインクジェットヘッド１３ｆも同様に配置されインクジェットヘッドサブユニットを構成している。これら２つのインクジェットヘッドサブユニットから形成される吐出インクパターン５１は、インクジェットヘッド単独で吐出インクパターンを形成する場合に比べ２倍解像度を向上させることができる。
図８の右側には、２つのインクジェットヘッド１３ｇからなるインクジェットサブユニット配置の例を示す。この場合においても、第２の方向上で対応するインクジェットヘッドは、ノズル間隔の１／２ずらすように配置されている。
【００２７】
また、図５には、インクジェットヘッドサブユニット相互の第２の方向上における位置関係と、特定のインクジェットヘッドサブユニットを構成するインクジェットヘッド相互の第２の方向上における位置関係の例をパターン１〜４に示す。
【００２８】
図６は、図５の隣接ヘッド距離をまとめた表である。
これによれば、２ｃとｄ−ｂの大小関係で隣接ヘッド距離の順序が変わるが、どちらの場合でもパターン１が最も隣接ヘッド距離が短いことがわかる。
隣接ヘッドの吐出タイミングを極力近づけ、乾燥起因のムラを抑えるためには、パターン１が優れていた。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェット塗工装置の全体図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドユニットおよびその周辺機構図である。
【図３】本発明のインクジェットヘッドユニット内のインクジェットヘッドの配列を示す平面図である。
【図４】本発明のインクジェットヘッドのアライメント機構部の図面である。
【図５】インクジェットヘッドサブユニットの配列と隣接ヘッド距離を示す模式図である。
【図６】隣接ヘッド距離を表で表した模式図である。
【図７】本発明のインクジェットヘッドユニットと基材の関係を示す模式図である。
【図８】インクジェットヘッドサブユニットとノズル位置の関係を示す模式図である。
【符号の説明】
【００３０】
１…塗工基材
２…搬送ステージ
３…メンテナンスステーション
４…インクジェットヘッドユニット移動軸（Ｘ軸）
５…リニアスケール
６…インクジェットヘッドユニット移動ベース
７…倒立顕微鏡
８…搬送ステージ制御部
９…吐出制御部
１０…メインコントローラ
１１…搬送ステージ搬送方向（Ｙ方向）
１２…インクジェットヘッドユニット移動方向（Ｘ方向）
１３ａ…インクジェットヘッド
１３ｂ…インクジェットヘッド
１３ｃ…インクジェットヘッド
１３ｄ…インクジェットヘッド
１３ｅ…インクジェットヘッド
１３ｆ…インクジェットヘッド
１３ｇ…インクジェットヘッド
１３１…インクジェットヘッドサブユニット
１４…インクジェットヘッドユニット
１５…θ調整機構（θ軸）
１６…昇降機構（Ｚ軸）
１７…Ｚ方向
１８…θ方向
１９…インクジェットヘッドベース板
２０…アライメントマーク
２１…インクジェットヘッド取付け部
２２…調整ステージ
２３…インクジェットヘッドユニットベース
２４…ノズル
２５…サブユニット
５１…吐出インクパターン
５２…インクジェットヘッドサブユニット
７１…Ｂｌｕｅ画素
７２…Ｇｒｅｅｎ画素
７３…Ｒｅｄ画素
７４…インクジェットヘッドユニット
７５…基材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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