(57)【要約】【課題】  本発明は、フィルターの前に浮遊物を除去できる表示装置の製造システムに関するものである。【解決手段】  表示装置の製造システムは、作業流体を利用して、表示パネルに形成される被作業部材のうちの不要な部位を除去する作業チャンバー、作業チャンバーから排出される作業流体に暴露されて、作業流体に含まれている被作業部材の破砕成分である浮遊物を濾過する浮遊物濾過ユニット、浮遊物濾過ユニットから排出される作業流体に暴露されて、作業流体に含まれている被作業部材の成分を濾過するフィルター、そして、フィルターで被作業部材成分が濾過された作業流体を貯蔵する流体貯蔵槽を含む。【選択図】  図１
2007281467.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業流体を利用して、表示パネルに形成された被作業部材のうちの不要な部位を除去するための作業チャンバー、
前記作業チャンバーから排出される前記作業流体を受けて、前記作業流体に含まれている前記被作業部材の浮遊物を濾過する浮遊物濾過ユニット、
前記浮遊物濾過ユニットから排出される前記作業流体を受けて、前記作業流体に含まれている前記被作業部材の溶解成分を濾過するフィルター、
及び前記フィルターで濾過された剥離液を貯蔵する剥離液貯蔵槽を含む表示装置の製造システム。
【請求項２】
前記浮遊物濾過ユニットは、
その内部にメインチャンバーが形成されたケース、
前記メインチャンバーに備えられ、その内部に補助チャンバーが形成され、その面上に複数の網目（mesh）が形成された濾過器、
前記作業チャンバーから、浮遊物が含まれている作業流体を前記補助チャンバーに案内する流入管、
前記浮遊物が含まれている作業流体中、前記濾過器を通過した作業流体を前記フィルターに案内する流出管、
及び前記濾過器を通過できなかった浮遊物を外部に排出する排出ユニットを含む、請求項１に記載の表示装置の製造システム。
【請求項３】
前記排出ユニットは、
前記濾過器の内面に接触可能に備えられる刷子、
前記濾過器の内面に積層された浮遊物を除去するために、前記刷子を駆動させる駆動部、
及び前記刷子によって前記濾過器の内面から落ちた浮遊物を外部に排出する排出管を含む、請求項２に記載の表示装置の製造システム。
【請求項４】
前記濾過器は円筒形状であり、
前記駆動部は回転モーターであり、前記ケースの一端に位置し、
前記排出管は前記ケースの他端に位置し、
そして前記刷子は、前記濾過器の内面から落ちた前記浮遊物が前記排出管に移動するように、螺旋形状を有する、請求項３に記載の表示装置の製造システム。
【請求項５】
前記排出ユニットは、
前記濾過器の内面に積層された浮遊物が除去される時点を検出する検出部、
及び前記検出部によって検出された値に応じて前記駆動部を制御する制御部をさらに含む、請求項３に記載の表示装置の製造システム。
【請求項６】
前記検出部は、前記流出管上に備えられる流量感知センサーである、請求項５に記載の表示装置の製造システム。
【請求項７】
前記制御部は、設定されたプログラムによって動作する一つ以上のマイクロプロセッサーを含み、
そして前記設定されたプログラムは、
前記流量感知センサーによって検出された流量を設定流量と比較する段階、
そして前記流量が前記設定流量より大きければ、前記駆動部を駆動させる段階を遂行する、請求項６に記載の表示装置の製造システム。
【請求項８】
前記排出ユニットは、
前記排出管を通して、随時に前記浮遊物が外部に排出されることを防止するために、前記排出管に備えられるバルブをさらに含み、
前記設定されたプログラムは、
前記駆動部が駆動される時点で、設定時間の後に前記バルブを開ける段階をさらに遂行する、請求項７に記載の表示装置の製造システム。
【請求項９】
前記作業チャンバーは、現像が完了したフォトレジスト（ＰＲ）を蒸着膜から剥離するための剥離チャンバーであり、
前記作業流体は剥離液であり、
そして前記浮遊物は、前記剥離液によって溶解されずに残った前記フォトレジストのパーティクルである、請求項２に記載の表示装置の製造システム。
【請求項１０】
前記濾過器はステンレス材質からなる、請求項９に記載の表示装置の製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表示装置の製造システムに係り、より詳しくは、作業流体を使用して被作業部材を溶解または破砕するシステムにおいて、被作業部材を溶解して含有する作業流体と被作業部材が破砕された浮遊物とを効果的に濾過分離するためのシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明の対象となる表示装置は、現在幅広く使用されている各種表示装置であって、液晶表示装置（ＬＣＤ）と有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）表示装置など、色々な種類がある。
【０００３】
このうち、液晶表示装置は、電界生成電極が形成されている二枚の表示基板と、その間に挿入されている液晶層とで構成されて、電極に電圧を印加して、液晶層の液晶分子を再配列させることにより、液晶層を通過する光の透過率を調節する表示装置である。
【０００４】
このような液晶表示装置は、基板上に薄膜蒸着（deposition）、クリーニング（cleaning）、フォトレジストコーティング（photo  resist  coating）、露光（exposure）、現像（development）、エッチング（etching）、及びフォトレジスト剥離（photo  resist  strip）などのような一連の処理を行うことによって製造される。
【０００５】
ここで、フォトレジストは、ポジティブフォトレジストとネガティブフォトレジストとに区分される。即ち、露光工程で所定の模様が潜在的に形成（パターン化）されたフォトレジストが以降の現像工程で現像液によって損なわれないように、ポジティブフォトレジストは未露光部分を高温硬化し、ネガティブフォトレジストは露光部分を高温硬化する。
【０００６】
また、パターン化されたフォトレジストを剥離するシステムは、表示基板が流入する剥離チャンバー、表示基板上のパターン化されたフォトレジストを溶解するために、剥離液を剥離チャンバーに注入する注入器、剥離チャンバーから排出される剥離液中のフォトレジスト成分を濾過するためのフィルター、そして、フォトレジスト成分が濾過された剥離液を貯蔵する貯蔵槽からなる。
【０００７】
しかし、従来の製造システムは次のような問題点を露呈する恐れがある。露光工程でパターン化されたフォトレジストが、以降の現像工程で現像液によって損なわれないように高温硬化するため、パターン化されたフォトレジストは溶解性が劣化し、熱的特性及び耐薬品性などが向上して剥離作業を妨げるようになる。このため、これを剥離するのに要する時間が長くなり、剥離時、数μｍから数百μｍのフォトレジストパーティクルが剥離液に浮遊するようになる。
【０００８】
このような浮遊物により、フィルターの寿命が低下する問題点があり得るため、高価なフィルターが頻繁に交替されなければならず、したがって、費用が大きく増加する恐れがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、フィルターの前で浮遊物を除去することができ、これによって、現像液や剥離液の再生、再利用が容易になる表示装置の製造システムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一実施例による表示装置の製造システムは、作業流体を利用して、表示パネルに形成された被作業部材のうちの不要な部位を除去するための作業チャンバー、この作業チャンバーから排出される作業流体を受けて、作業流体に含まれている被作業部材の浮遊物を濾過する浮遊物濾過ユニット、浮遊物濾過ユニットから排出される作業流体を受けて、作業流体に含まれている被作業部材の溶解成分を濾過するフィルター、そしてフィルターで被作業部材の溶解成分が濾過された作業流体を貯蔵する流体貯蔵槽を含む。
【００１１】
また、浮遊物濾過ユニットは、その内部にメインチャンバーが形成されたケース、メインチャンバーに備えられ、その内部に補助チャンバーが形成され、その面上に複数の網目が形成された濾過器、作業チャンバーから、浮遊物が含まれている作業流体を補助チャンバーに案内する流入管、浮遊物が含まれている作業流体中の濾過器を通過した作業流体をフィルターに案内する流出管、そして濾過器を通過できなかった浮遊物を外部に排出する排出ユニットを含む。
【００１２】
また、排出ユニットは、濾過器の内面に接触可能に備えられる刷子、濾過器の内面に積層された浮遊物を除去するために刷子を駆動させる駆動部、そして、刷子によって、濾過器の内面から落ちた浮遊物を外部に排出する排出管を含むことができる。
【００１３】
また、濾過器は円筒形状であり、駆動部は回転モーターであり、ケースの一端に位置し、排出管はケースの他端に位置し、そして、刷子は、濾過器の内面から落ちた浮遊物が排出管に移動するように、螺旋形状を有することができる。
【００１４】
また、排出ユニットは、濾過器の内面に積層された浮遊物が除去される時点を検出する検出部、そして検出部によって検出された値に応じて駆動部を制御する制御部をさらに含むことができる。
【００１５】
また、検出部は、流出管上に備えられる流量感知センサーであることができる。
【００１６】
また、制御部は、設定されたプログラムによって動作する一つ以上のマイクロプロセッサーを含み、設定されたプログラムは、流量感知センサーによって検出された流量を設定流量と比較する段階、そして、流量が設定流量より大きければ、駆動部を駆動させる段階を遂行することができる。
【００１７】
また、排出ユニットは、排出管を通して、随時に浮遊物が外部に排出されることを防止するために、排出管に備えられるバルブをさらに含み、設定されたプログラムは、駆動部が駆動される時点で、設定時間の後にバルブを開ける段階をさらに遂行することができる。
【００１８】
また、作業チャンバーは、現像が完了したフォトレジストを蒸着膜から剥離するためのチャンバーであり、作業流体は剥離液であり、浮遊物は、剥離液によって溶解されずに残ったフォトレジストのパーティクルであることができる。
【００１９】
また、濾過器はステンレス材質で作ることができる。
【発明の効果】
【００２０】
固形物と液体を作業直後に濾過分離しているので、溶解可能な固形成分の溶解を阻止できて、液体の主成分である、現像液や剥離液を再生し、再利用することが容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施例について本発明が属する技術分野にて通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。しかし、本発明は色々な相違した形態で実現でき、ここで説明する実施例に限られない。
【００２２】
図１は、本発明の一実施例による表示装置の製造システムを示す。
図１に示したように、表示装置の製造システムは、作業チャンバー３００、浮遊物濾過ユニット１００、フィルター５００、そして流体貯蔵槽７００を含む。
【００２３】
作業チャンバー３００は、現像液や剥離液などの作業流体を利用して、表示パネル（図示せず）に形成されるフォトレジストなど被作業部材のうちの不要な部位を除去する。一例として、作業チャンバー３００は、剥離液を利用して、現像が完了したフォトレジストを蒸着膜から剥離するためのチャンバーであることができる。この場合、前記作業チャンバー３００は、現像が完了したフォトレジスト（ＰＲ）を蒸着膜（図示せず）から剥離するための剥離チャンバーであり、前記作業流体は剥離液であることができる。他の例として、作業チャンバー３００は、現像液を利用して現像するチャンバーであることができる。
【００２４】
浮遊物濾過ユニット１００は、作業チャンバー３００から排出される作業流体を受けて、作業流体に含まれている被作業部材の破砕成分である浮遊物を濾過する。特に、作業チャンバー３００が前記剥離するためのチャンバーである場合、浮遊物は、剥離液によって溶解されずに残ったフォトレジストのパーティクル（particle）である。
【００２５】
フィルター５００は、浮遊物濾過ユニットから排出される作業流体（被作業部材の浮遊物は除去され、被作業部材の成分のみを含む状態である）を受けて、作業流体から被作業部材の成分を濾過する。
【００２６】
流体貯蔵槽７００は、フィルター５００で被作業部材成分が濾過された作業流体を貯蔵する。特に、流体貯蔵槽７００に貯蔵された作業流体は、蒸留や液体クロマトグラフで精製できるので再使用が可能であり、結果として、薬品廃棄物が低減するので、環境汚染も低減する効果が予想される。
【００２７】
浮遊物貯蔵槽９００は浮遊物を貯蔵する。
【００２８】
以下、図２を参照して、前記浮遊物濾過ユニット１００を具体的に説明する。
図２は、本発明の一実施例による表示装置の製造システムにおける浮遊物濾過ユニット１００を示す。
【００２９】
浮遊物濾過ユニット１００は、図２に示したように、ケース１１０、濾過器１２０、流入管１３０、流出管１４０、そして排出ユニット１５０を含む。ケース１１０の内部にはメインチャンバー１１１が形成される。
【００３０】
濾過器１２０はメインチャンバー１１１に備えられ、その内部に補助チャンバー１２１が形成され、その面上に複数の網目１２２が形成される。このような網目１２２の大きさは、浮遊物（図示せず）の大きさによって数μｍから数百μｍまで設定されることができる。さらに、濾過器１２０は、浮遊物が面に容易に付着されないように、滑らかなステンレス材質からなることができる。
【００３１】
流入管１３０は、作業チャンバー（図１の“３００”参照）から浮遊物が含まれている作業流体を濾過器の補助チャンバー１２１に案内する。具体的に、流入管１３０はケース１１０に備えられるが、濾過器１２０の補助チャンバー１２１と連通する。
【００３２】
流出管１４０は、浮遊物が含まれている作業流体中、濾過器１２０を通過した作業流体をフィルター５００に案内する。具体的には、流出管１４０は、ケース１１０の下部に備えられ、メインチャンバー１１１と連通するように備えられる。
【００３３】
排出ユニット１５０は、濾過器１２０を通過できなかった浮遊物を浮遊物貯蔵槽９９に排出する。
【００３４】
以下、図２を参照して、前記排出ユニット１５０を具体的に説明する。排出ユニット１５０は、刷子１５１、駆動部１５２、そして排出管１５３を含むことができる。
【００３５】
濾過器１２０を通過できなかった浮遊物が濾過器１２０の内面に積層されるので、刷子１５１は、濾過器１２０の内面に積層された浮遊物を円滑に除去するために、濾過器１２０の内面に接触可能に備えられる。
【００３６】
駆動部１５２は、濾過器１２０の内面に積層された浮遊物を除去するために刷子１５１を駆動させる。
【００３７】
排出管１５３は、刷子１５１によって濾過器１２０の内面から落ち出た浮遊物を、浮遊物貯蔵槽９００に案内する。
【００３８】
特に、排出ユニット１５０を通して濾過器１２０の内面に積層された浮遊物が、より円滑に浮遊物貯蔵槽９００に移動するようにするために、濾過器１２０は円筒形状を有し、駆動部１５２は回転モーターであり、ケース１１０の一端に位置し、排出管１５３はケース１１０の他端に位置し、そして、刷子１５１は、濾過器の内面から落ちた浮遊物が排出管１５３に移動するように、螺旋形状を有するのが望ましい。
【００３９】
また、排出ユニット１５０は、排出管１５３を通して、随時に浮遊物が浮遊物貯蔵槽９００に排出されることを防止するために、排出管１５３に備えられるバルブ１５４をさらに含むことができる。
【００４０】
以下、図３を参照して、前記排出ユニット１５０をより具体的に説明する。特に、排出ユニット１５０は、自動制御が可能であるように設計されることができる。図３は、本発明の一実施例による表示装置の製造システム中の浮遊物濾過ユニットにおける流量感知センサー、制御部、回転モーター、そしてバルブの関係を示すブロック図である。
【００４１】
つまり、排出ユニット１５０は、検出部１５５と制御部１５６をさらに含むことができる。具体的には、検出部１５５は、濾過器１２０の内面に積層された浮遊物が除去される時点を検出し、このような検出部１５５としては流量感知センサーが用いられることができる。制御部１５６は、検出部１５５によって検出された値に応じて駆動部を制御する。
【００４２】
このような制御部１５６は、設定されたプログラムによって動作する一つ以上のマイクロプロセッサーに実現されることができ、このような設定されたプログラムは、後述の各段階を遂行するための一連の命令を含むものとすることにできる。
【００４３】
まず、制御部１５６は、検出部１５５によって検出された流量を設定流量と比較する。その後、制御部１５６は、流量が設定流量より大きければ、駆動部１５２を駆動させる。
【００４４】
また、制御部１５６は、駆動部１５２が駆動される時点で、設定時間の後に排出管１５３に備えられたバルブ１５４を開けて、刷子１５１によって引っ張られてくる浮遊物が浮遊物貯蔵槽９００に排出されるようにする。
【００４５】
一方、図３に示してはいないが、浮遊物濾過ユニットは、貯蔵槽に浮遊物が含まれている作業流体を入れて浮遊物を沈澱させる方式などを使用することもできる。
【００４６】
浮遊物が含まれている作業流体が直ちにフィルターに行かず、浮遊物濾過ユニットによって浮遊物が除去された状態でフィルターに流入するので、フィルターの寿命を延長させることができる。また、フィルターの交替周期が長くなるので、費用を低減させることができる。
【００４７】
以上、本発明の望ましい実施例について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されるわけではなく、特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の色々な変形及び改良形態もまた本発明の権利範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施例による表示装置の製造システムを概略的に示した図である。
【図２】図１の表示装置の製造システムにおける浮遊物濾過ユニットを示した図である。
【図３】図２の浮遊物濾過ユニットにおける流量感知センサー、制御部、回転モーター、及びバルブの関係を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００４９】
９９、９００  浮遊物貯蔵槽
１００  浮遊物濾過ユニット
１１０  ケース
１１１  メインチャンバー
１２０  濾過器
１２１  補助チャンバー
１２２  網目
１３０  流入管
１４０  流出管
１５０  排出ユニット
１５１  刷子
１５２  駆動部
１５３  排出管
１５４  バルブ
１５５  検出部
１５６  制御部
３００  作業チャンバー
５００  フィルター
７００  流体貯蔵槽
【図１】
2007281467.tif 000003
【図２】
2007281467.tif 000004
【図３】
2007281467.tif 000005