(57)【要約】【課題】内部からの発塵を防止する効果に優れたアクチュエータを提供する。【解決手段】ハウジング１０内に配設された位置決め機構に沿って往復移動するとともに、所定の位置で停止する移動体２を備え、当該移動体の移動経路を成すハウジングのスリット１２を塞ぐための可動式のシールベルト１６が設けられたアクチュエータＡであって、スリットの両端側には、シールベルトの一部を覆うカバーＣ１が設けられており、当該カバーは、シールベルトとの間に所定の隙間ｓ１を空けて、当該シールベルトと対向している。【選択図】図１
2007278385.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング内に配設された位置決め機構に沿って往復移動するとともに、所定の位置で停止する移動体を備え、当該移動体の移動経路を成すハウジングのスリットを塞ぐための可動式のシールベルトが設けられたアクチュエータであって、
スリットの両端側には、シールベルトの一部を覆うカバーが設けられており、当該カバーは、シールベルトとの間に所定の隙間を空けて、当該シールベルトと対向していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
カバーは、ハウジングと一体を成して設けられていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、製造や検査などで各種の製品を移動するアクチュエータに関し、特に半導体などの精密部品の製造や検査等に用いられるアクチュエータの発塵防止に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかるアクチュエータは、細長い矩形状の筐体(ハウジング)内に配設された直動案内装置と、当該直動案内装置に案内されて往復移動する移動体と、当該移動体を往復移動させるとともに所定の位置で停止させるための位置決め機構(例えば、ボールねじ機構など)を駆動するための駆動装置とを備えている。なお、直動案内装置には、ハウジングの長手方向に沿って延出したガイドレールと、当該ガイドレールに沿って往復移動可能なスライダとが設けられている。
【０００３】
例えば、図５(ａ)〜(ｃ)及び図６には、２つの直動案内装置(２本のガイドレール４)を配設し、当該２つの直動案内装置に１つの移動体２を設けているとともに、当該移動体２の位置決め機構として、ボールねじ機構を適用したアクチュエータＢの構成が一例として示されている。なお、図６には、アクチュエータＢ全体の構成例が示されているが、同図において、直動案内装置及び位置決め機構(ボールねじ機構)の構成は、その記載を省略している。かかるアクチュエータＢにおいて、ボールねじ機構は、２本のガイドレール４の間に、当該ガイドレール４の延出方向に沿って平行に延出したねじ軸(図示しない)と、送りねじとしてのボールナット(図示しない)とを備えており、当該ねじ軸が駆動装置(例えば、モータ)６によって回転する。また、ねじ軸の外周面及びボールナットの内周面には、相互に対向する螺旋状のボール溝(図示しない)がそれぞれ設けられており、当該ねじ軸及びボールナットの双方のボール溝により形成される螺旋状転動空間(図示しない)には、複数のボール(図示しない)が転動自在に配置されている。そして、ボールナットは、ブラケット(図示しない)を介して移動体２に固定され、当該移動体２は、直動案内装置のスライダ８に固定されている。
【０００４】
このようなボールねじ機構によれば、モータ６によりねじ軸を回転させると、このときの回転運動が複数のボールに伝達され、これら複数のボールが螺旋状転動空間に沿って循環することにより、ボールナットをねじ軸に沿って往復運動させることができる。これにより、ボールナットに固定された移動体２をスライダ８を介してガイドレール４(ねじ軸)に沿って往復移動させることができるとともに、モータ６を停止することで移動体２を所定の位置で停止させることができる。
【０００５】
また、ハウジング１０には、その上部(図５(ａ)の上側部分)に移動体２の移動経路を成すスリット(開口)１２が設けられている。なお、図５(ａ)〜(ｃ)及び図６に示す構成において、ハウジング１０は、一例として、上部カバー１０ｓ、底部カバー１０ｔ、一対の側面部カバー１０ｕ、及び一対の端部カバー１０ｖで構成されており、当該上部カバー１０ｓ、側面部カバー１０ｕ及び端部カバー１０ｖにより、スリット１２が構成されている。
この場合、ハウジング１０の上部カバー１０ｓは、その幅(図６の矢印ｗ方向の距離)がハウジング１０の全体(矩形状の筐体)の幅(図６のｗで示す距離)よりも所定の大きさだけ小さく構成されており、側面部カバー１０ｕは、その一端側(上部カバー１０ｓ側(図５(ａ)の上側))が、上部カバー１０ｓに沿って、当該上部カバー１０ｓ側へ所定の角度を成して屈曲して構成されている。また、端部カバー１０ｖは、上部カバー１０ｓ及び側面部カバー１０ｕの長手方向(図５(ａ)の左右方向)の両端部にそれぞれ連続して設けられている。
【０００６】
このような構成において、上部カバー１０ｓの幅方向(図６の矢印ｗ方向)の両端部、側面部カバー１０ｕの幅方向(図６の矢印ｗ方向)の両端部、及び端部カバー１０ｖの長手方向(図５(ａ)の左右方向)の両端部で囲まれて成る所定の大きさの開口部として、スリット１２が構成されている(図６)。なお、底部カバー１０ｔは、その長手方向(図５(ａ)の左右方向)の両端部が端部カバー１０ｖと連続するとともに、その幅方向(図６の矢印ｗ方向)の両端部が側面部カバー１０ｕと連続して設けられている。
【０００７】
また、移動体２には、その上部(図５(ａ)上側の部分)に、所定の長さ(図５(ａ)の左右方向の距離)、所定の幅(図５(ｂ)の上下方向の距離)、及び所定の高さ(図５(ａ)の上下方向の距離)で突出する凸状部２ａが、各ガイドレール４のスライダ８の略上方(図５(ａ)の上方向)の位置へ設けられている。
この場合、移動体２は、その凸状部２ａがスリット１２からハウジング１０の外部に突出するように、ハウジング１０の底部(底部カバー１０ｔ(図５(ａ)の下側の部分))の肉厚に合わせて、直動案内装置のガイドレール４及びスライダ８とともにその高さを設定して構成されている(図５(ａ))。これにより、移動体２は、その凸状部２ａをスリット１２からハウジング１０の外部(図５(ａ)の上部)に突出させて、ハウジング１０(上部カバー１０ｓ及び側面部カバー１０ｕ)に接触することなくガイドレール４に沿って往復移動することができる。なお、移動体２は、その凸状部２ａの上面が平坦面状を成して形成されており、当該平坦面(ワーク取付面)に取り付けたワーク(図示しない)上に、例えば、半導体ウエハーなどを載置することで、検査等の作業を行うことができる。
【０００８】
ところで、上述したように、ハウジング１０の上面(図５(ａ)の上側の面)にスリット１２を設けただけでは、当該スリット１２によりアクチュエータＢの内部が外部に対して常時開放状態となってしまい、アクチュエータＢの内部に外部から塵埃が侵入してしまうとともに、アクチュエータＢの内部から外部へ塵埃が散出してしまう。
【０００９】
このような塵埃の侵入や散出を防止するための対策として、例えば、特許文献１には、スリットによる開口を塞ぐ可動式のシールベルトを設けたアクチュエータの構成が一例として示されている。例えば、図５(ａ)〜(ｃ)及び図６に示す構成において、アクチュエータＢには、移動体２の移動方向(図５(ａ)の左右方向)の両端部に上下２つずつ、合計４つのプーリ１４が、軸受(図示しない)を介して回転自在に設けられており、当該プーリ１４と移動体２との間に所定の幅及び所定の長さのシールベルト１６を架けてスリット１２による開口を塞いでいる。この場合、シールベルト１６は、その一端が移動体２の一端側(図５(ａ)の右側)に固定され、その他端が一端側(図５(ａ)の右側)のプーリ１４を経てアクチュエータＢの一端側(図５(ａ)の右側)で折り返し、当該アクチュエータＢの他端側(図５(ａ)の左側)に至り、さらに他端側(図５(ａ)の左側)のプーリ１４を経て再度折り返し、移動体２の他端側(図５(ａ)の左側)に固定されている。
【００１０】
この場合、ハウジング１０には、その底部(底部カバー１０ｔ(図５(ａ)の下側の部分))にシールベルト１６を収容するための貫通孔(シールベルト収容孔)１８が設けられている。図５(ａ)に示す構成において、シールベルト収容孔１８は、一例として、その長さが一端側(図３(ａ)の右下側)のプーリ１４から他端側(図５(ａ)の左下側)のプーリ１４までの距離と略同一の所定の長さであって、その内周部がシールベルト１６に接触しない所定の大きさを成す角孔として構成されている。
なお、図５(ａ)〜(ｃ)及び図６に示す構成において、アクチュエータＢには、移動体２の凸状部２ａの数(２つ)に合わせて、２つのスリット１２が設けられているとともに、プーリ１４一式、シールベルト１６及びシールベルト収容孔１８も、それぞれ２つずつ設けられている。
【００１１】
これにより、シールベルト１６は、可動ループを形成し、移動体２の移動に伴ってプーリ１４に案内されながら移動体２と同一の移動方向へ、スリット１２による開口を塞いだ状態で移動する。この結果、アクチュエータＢの外部から内部への塵埃の侵入及び内部から外部への塵埃の散出を防止することができる。なお、図５(ａ)〜(ｃ)及び図６に示す構成において、スリット１２を形成する上部カバー１０ｓ及び側面部カバー１０ｕには、相互の対向部(図５(ｂ)において、上部カバー１０ｓの下端部、側面部カバー１０ｕの上端部)に、移動体２の移動方向(図５(ｂ),(ｃ)の左右方向)に沿った一対のシール溝20s,20uが形成されている。そして、シールベルト１６は、その両側縁(図５(ｂ)の上側の縁及び下側の縁)が、これらのシール溝20s,20uの中に収容されるように位置付けることで、移動体２の移動方向(シール溝20s,20uの形成方向(図５(ｂ),(ｃ)の左右方向))に沿って案内されるとともに、そのシール性能の向上が図られている。
【００１２】
また、図５(ａ)〜(ｃ)及び図６に示す構成において、アクチュエータＢには、吸引機構(図示しない)へ連結され、当該アクチュエータＢの内気を吸引して減圧し、その内部を負圧に保つための吸引口３２がハウジング１０に設けられている。このように、吸引機構によりアクチュエータＢの内部を負圧に保つことによっても、当該アクチュエータＢの内部から外部へ塵埃が散出することを防止している。この場合、一例として、ハウジング１０には、その長手方向(図５(ａ)の左右方向)の一端側(モータ６側(図５(ａ)の左側))の端部、及び他端側(モータ６とは反対側(図５(ａ)の右側))の側面部の２箇所に、吸引機構(図示しない)へ連結された連結部材(例えば、連結チューブや連結管など)の吸引口３２が設けられており、吸引機構(図示しない)は、当該２箇所の吸引口３２からアクチュエータＢの内気を吸引している。
【００１３】
なお、ハウジング１０には、一例として、一端側(モータ６側(図５(ａ)の左側))の端部カバー１０ｖの端部(図５(ａ)の左端部)、及び一方側(図５(ｂ)の下側)の側面部カバー１０ｕの端部(図５(ｂ)の右端部)に、所定の大きさの内径を成して当該ハウジング１０の内側(図５(ａ)の左側及び図５(ｂ)の上側)から外側(図５(ａ)の右側及び図５(ｂ)の下側)までを貫通する貫通孔１０ａが形成されており、当該貫通孔１０ａには、吸引機構(図示しない)との接続用の環状部材(貫通孔側接続部材)７０が設けられている。また、吸引機構(図示しない)へ連結された連結部材(吸引チューブ３０)の先端部には、当該貫通孔１０ａとの接続用の環状部材(吸引機構側接続部材)７２が設けられている。
【００１４】
このような構成において、例えば、貫通孔側接続部材７０の外周部に所定の螺旋状溝(雌ねじ部(図示しない))を形成するとともに、吸引機構側接続部材７２の内周部に当該螺旋状溝(雌ねじ部)と螺合する所定の螺旋状溝(雄ねじ部(図示しない))を形成し、当該両螺旋状溝(雌ねじ部と雄ねじ部)を螺合させることで、ハウジング１０(端部カバー１０ｖ及び側面部カバー１０ｕ)の貫通孔１０ａと吸引機構(図示しない)の吸引チューブ３０とを接続して連結させることができる。これにより、ハウジング１０の内部において開口する吸引口３２が構成されている。
なお、図６には、アクチュエータＢ全体の構成例が示されているが、同図においては、吸引チューブ３０及び吸引口３２の記載を省略している。
【００１５】
また、ハウジング１０には、シールベルト１６の移動方向(図５(ａ)の左右方向)の両端側に、当該シールベルト１６を覆うカバー(シールベルトカバー)Ｃ３が設けられている。この場合、かかるシールベルトカバーＣ３は、ハウジング１０の一端側(図５(ａ)の右上側)のプーリ１４の上方(図５(ａ)の上側)、及び他端側(図５(ａ)の左上側)のプーリ１４の上方(図５(ａ)の上側)へ位置付けられている。また、シールベルトカバーＣ３は、プーリ１４の幅(図５(ｂ)の上下方向の距離)及び径(長さ)(図５(ｂ)の左右方向の距離、図５(ａ),(ｃ)の上下方向の距離)よりも僅かに大きな矩形状を成す平板として構成されている。さらに、シールベルトカバーＣ３は、その内面(図５(ａ),(ｃ)の下側の面)が、シールベルト１６の外表面(シールベルト１６がアクチュエータＢの外部に露出する面(図５(ａ),(ｃ)の上側の面))１６ａとの間に所定の隙間ｓ２を空けた状態で当該シールベルト１６と対向するように、ハウジング１０の端部カバー１０ｖへ固定されている。
なお、図５(ａ)〜(ｃ)及び図６に示す構成において、アクチュエータＢには、各シールベルト１６の移動方向(図５(ａ)の左右方向)の両端側に１つずつ、合計４つのシールベルトカバーＣ３が設けられている。
【００１６】
このような構成によれば、吸引機構(図示しない)によって吸引口３２からアクチュエータＢの内気を吸引すると、アクチュエータＢの外部から内部へ吸引された外気(アクチュエータＢの設置場所の空気(雰囲気))は、吸引口３２から吸引チューブ３０を経て、吸引機構(図示しない)へ至る経路で流動し、アクチュエータＢの外部へ排出される。この結果、アクチュエータＢの内部から外部への塵埃の散出を防止することができ、アクチュエータＢの内部からの発塵を防止する効果を高めることができる。
【００１７】
しかしながら、特に、移動体２を高速で移動させる必要がある場合など、なお、僅かにアクチュエータＢの内部から外部へ塵埃が散出してしまう場合があり、非常に高い清浄度(クリーン度)が要求される特別な条件下(例えば、半導体などの精密機器の製造や検査を行うため、限りなく無塵状態に保つ必要のあるクリーンルーム内など)での使用には、必ずしも十分に対応することができなくなってしまう虞がある。
【特許文献１】実開平７−７８３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
本発明は、このような課題を解決するためになされており、その目的は、内部からの発塵を防止する効果に優れたアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
このような目的を達成するために、本発明のアクチュエータには、ハウジング内に配設された位置決め機構に沿って往復移動するとともに、所定の位置で停止する移動体が備えられ、当該移動体の移動経路を成すハウジングのスリットを塞ぐための可動式のシールベルトが設けられている。このような構成において、スリットの両端側には、シールベルトの一部を覆うカバーが設けられており、当該カバーは、シールベルトとの間に所定の隙間を空けて、当該シールベルトと対向している。
この場合、カバーは、ハウジングと一体を成して設けられていてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、シールベルトとの間のベンチュリ機能を高めたシールベルトを設けることで、内部からの発塵を防止する効果に優れたアクチュエータを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータについて、添付図面を参照して説明する。なお、その際、上述した従来のアクチュエータＢ(図５(ａ)〜(ｃ)及び図６)と同一若しくは類似の構成については、図面上で同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００２２】
図１(ａ),(ｂ)には、本発明の第１実施形態に係るアクチュエータＡが示されている。かかるアクチュエータＡには、ハウジング１０内に配設されたガイドレール４に沿ってスライダ８が移動する直動案内装置と、当該直動案内装置に案内されて往復移動する移動体２と、当該移動体２を往復移動及び所定の位置で停止させるための位置決め機構と、当該位置決め機構を駆動するための駆動装置とが備えられている(図５(ａ)〜(ｃ)及び図６参照)。この場合、アクチュエータＡのハウジング１０は、一例として、その内部に直動案内装置、位置決め機構及び駆動装置を配設可能な所定のスペースを有する細長い矩形状を成して構成されている(同図参照)。
【００２３】
本実施形態においては、直動案内装置として、２本のガイドレール４がハウジング１０の長手方向に沿って延出しており、当該ガイドレール４には、各ガイドレール４に沿って往復移動可能なスライダ８が２つずつ、合計４つ設けられている。この場合、アクチュエータＡには、一例として、各ガイドレール４の２つのスライダ８に固定されるとともに、２本のガイドレール４にスライダ８を介して跨った状態で、１つの移動体２が設けられている(図５(ａ)及び図６参照)。
【００２４】
なお、直動案内装置として配設するガイドレール４の本数は、特に限定されず、例えば、１本のみであってもよいし、３本以上であってもよい。また、各ガイドレール４に設けるスライダ８の数は、特に限定されず、例えば、１つのみであってもよいし、３つ以上であってもよい。さらに、複数のガイドレール４を配設する場合、各ガイドレール４に設けるスライダ８の数は、全てのガイドレール４において同数でなくともよい。なお、スライダ８に固定する移動体２の数は、特に限定されず、例えば、各スライダ８に１つずつであってもよいし、２つ以上であってもよい。また、複数のスライダ８を設ける場合、各スライダ８に固定する移動体２の数は、全てのスライダ８において同数でなくともよい。
【００２５】
さらにまた、直動案内装置は、ガイドレール４に沿ってスライダ８を往復移動させることが可能な機構であればよく、その形式は特に限定されない。例えば、直動案内装置として、軌道溝を転動可能な複数の転動体(玉やころ)を備えた直動軸受、カムフォロア及びローラフォロアや、すべり軸受、空気軸受等の静圧軸受などを任意に選択して適用することができる。
【００２６】
また、本実施形態においては、一例として、位置決め機構には、ボールねじ機構(図示しない)が適用され、当該ボールねじ機構のねじ軸(図示しない)を駆動する(回転する)ための駆動装置には、モータ６が適用されている。これにより、移動体２をガイドレール４(ねじ軸)に沿って往復移動及び位置決めしている。なお、位置決め機構としては、移動体２を往復移動させるとともに、所定の位置で停止させることができる機構であれば特に限定されず、ボールねじ機構の他、例えば、リニアモータ機構やベルト機構などを適用することもできる。
【００２７】
また、アクチュエータＡには、移動体２の移動経路を成すスリット(開口)１２が、ハウジング１０の上部(図１(ｂ)の上側部分)に形成されている。本実施形態において、スリット１２は、一例として、移動体２の２つの凸状部２ａの移動経路をそれぞれ成すように、２つ形成されている(図６参照)。なお、ハウジング１０に形成するスリット１２の数は、例えば、移動体２(凸状部２ａ)の数やその移動経路の数などに応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。
【００２８】
この場合、アクチュエータＡには、当該スリット１２を塞ぐための可動式のシールベルト１６が設けられている。本実施形態において、シールベルト１６は、一例として、２つのスリット１２による開口を塞ぐため、各スリット１２に１本ずつ、合計２本設けられている(図６参照)。なお、アクチュエータＡに設けるシールベルト１６の本数は、スリット１２による開口の数に応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。また、各シールベルト１６は、所定の材質、長さ及び幅の１本のベルト素材で構成してもよいし、複数のベルト素材を連結して構成してもよい。
【００２９】
また、アクチュエータＡには、その内気を吸引するための吸引口３２が、ハウジング１０に設けられている。本実施形態においては、一例として、アクチュエータＡには、ハウジング１０の長手方向の一端側(モータ６側)の端部、及び他端側(モータ６とは反対側)の側面部の２箇所に、それぞれ１つずつ(合計２つ)吸引口３２が設けられている(図５(ａ)参照)。
【００３０】
この場合、吸引口３２は、連結部材(吸引チューブ３０)を介して、所定の吸引機構(図示しない)と連結されており、当該吸引機構によって、アクチュエータＡの内気を吸引することで、当該アクチュエータＡの内部を減圧するとともに、負圧に保つことができる。なお、吸引機構(図示しない)は、アクチュエータＡの内部からその内気を連続的あるいは断続的に吸引することができる機構であれば特に限定されず、吸引機構として、例えば、各種の吸引装置や吸引ポンプなどを適用することができる。
また、吸引口３２は常時開口状態であってもよいし、例えば、タイマーなどにより開口状態と閉口状態とを所定間隔や所定時間により切り替えるようにしてもよい。なお、貫通孔側接続部材７０及び吸引機構側接続部材７２としては、例えば、各種の継手(隔壁ユニオン)などを適用すればよい。
【００３１】
また、ハウジング１０のスリットの両端側には、シールベルト１６の一部を覆うカバー(シールベルトカバー)Ｃ１が設けられている(図１(ａ),(ｂ)には、一例として、スリット１２の右端側に設けられたシールベルトカバーＣ１を示す)。この場合、シールベルトカバーＣ１は、シールベルト１６との間に所定の隙間ｓ１を空けて、当該シールベルトと対向している。すなわち、シールベルトカバーＣ１は、ハウジング１０のスリット１２の両端側で、その内面(図１(ｂ)の下側の面)Ｃ１ａがシールベルト１６の外表面(シールベルト１６がアクチュエータＡの外部に露出する面(図１(ｂ)の上側の面))１６ａとの間に所定の隙間ｓ１を空けた状態で、当該シールベルト１６を所定の範囲で覆うように位置付けられている。
なお、隙間ｓ１の大きさ(幅(図１(ａ)の上下方向の距離)や高さ(図１(ｂ)の上下方向の距離)など)は、例えば、ハウジング１０及びスリット１２の大きさやシールベルト１６の幅や長さなどに応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。
【００３２】
本実施形態において、シールベルトカバーＣ１は、一例として、２つのスリット１２の両端側(移動体２の移動方向の両端側)に１つずつ、合計４つ設けられている。なお、図１(ａ),(ｂ)には、一方のスリット１２の一端側に設けられたシールベルトカバーＣ１の構成のみを示すが、当該一方のスリット１２の他端側、及び他方のスリット１２の両端側にも同様構成のシールベルトカバーＣ１がそれぞれ１つずつ設けられている。このため、以下においては、図１(ａ),(ｂ)に示すシールベルトカバーＣ１(一方のスリット１２の一端側に設けられたシールベルトカバーＣ１)を例にとって、その構成について説明する。
【００３３】
かかるシールベルトカバーＣ１は、平板状を成しているとともに、その幅(図１(ａ)の上下方向の距離)がプーリ１４の幅(同図同一方向の距離)よりも僅かに大きく、その長さ(図１(ａ),(ｂ)の左右方向の距離)が当該プーリ１４の径(長さ)(同図同一方向の距離)よりも所定の距離だけ大きな(長い)矩形状を成して構成されている。なお、図１(ａ),(ｂ)に示す構成において、シールベルトカバーＣ１は、一例として、上述した大きさを成す１つの平板状に構成しているが、例えば、上述した従来と同様構成のシールベルトカバーＣ３に所定の大きさのカバー構成体を連結し、その全体の大きさをシールベルトカバーＣ１と同様の大きさ(幅及び長さ)を成すように構成してもよい。
【００３４】
ここで、図１(ａ),(ｂ)に示す構成においては、例えば、シールベルト１６が移動体２の移動に伴って、アクチュエータＡの内部から外部へ引き出される場合、当該シールベルト１６は、その移動方向をスリット１２の一端側(図１(ａ),(ｂ)の右端側)で、垂直方向(図１(ｂ)の上下方向)から水平方向(移動体２の移動方向(図１(ｂ)の左右方向))へ、プーリ１４によって転換している(図１(ｂ)参照)。この場合、シールベルトカバーＣ１は、シールベルト１６が、その移動方向を垂直方向(図１(ｂ)の上下方向)から水平方向(図１(ｂ)の左右方向)へ方向転換する部分(転換部１６ｒ)の全体を覆っている。
さらに、シールベルトカバーＣ１は、転換部１６ｒに加えて、シールベルト１６が、転換部１６ｒから移動体２の移動方向に所定距離だけ移動する部分(例えば、図１(ｂ)の左側へ所定距離だけ移動する部分(移動部１６ｇ))の全体も覆っている。
【００３５】
また、別の捉え方をすると、シールベルト１６が移動体２の移動に伴って、アクチュエータＡの外部から内部へ引き込まれる場合、当該シールベルト１６は、その移動方向をスリット１２の一端側(図１(ａ),(ｂ)の右端側)で、水平方向(移動体２の移動方向(図１(ｂ)の左右方向))から垂直方向(図１(ｂ)の上下方向)へ、プーリ１４によって転換している(図１(ｂ)参照)。この場合、シールベルトカバーＣ１は、シールベルト１６が、その移動方向を水平方向(図１(ｂ)の左右方向)から垂直方向(図１(ｂ)の上下方向)へ方向転換する部分(転換部１６ｒ)の全体を覆っている。
さらに、シールベルトカバーＣ１は、転換部１６ｒに加えて、シールベルト１６が、移動体２の移動方向に沿って転換部１６ｒまで所定距離だけ移動する部分(例えば、図１(ｂ)の右側へ所定距離だけ移動する部分(移動部１６ｇ))の全体も覆っている。
【００３６】
なお、転換部１６ｒ及び移動部１６ｇの大きさ(幅(図１(ｂ)の上下方向の距離)及び長さ(図１(ｂ)の左右方向の距離))は、例えば、ハウジング１０及びスリット１２の大きさやシールベルト１６の幅や長さなどに応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。また、図１(ａ),(ｂ)に示す構成においては、シールベルトカバーＣ１は、シールベルト１６を転換部１６ｒ及び移動部１６ｇの範囲で覆っているとともに、スリット１２の両端側(移動体２の移動方向の両端側)の開口部を所定の範囲(当該移動部１６ｇの大きさに相当する範囲)で塞いでいる。
【００３７】
また、シールベルトカバーＣ１は、シールベルト１６を転換部１６ｒ及び移動部１６ｇの範囲で覆うように、ハウジング１０の上部カバー１０ｓ、側面部カバー１０ｕ及び端部カバー１０ｖの外表面(図１(ａ)に示されている面)の所定位置に固定されている。なお、シールベルトカバーＣ１の固定方法は、特に限定されず、例えば、シールベルトカバーＣ１及びハウジング１０の各カバー10s,10u,10vに、相互に係合する凹凸状を成す所定の係合部を設け、当該係合部を嵌合させて、固定すればよい。また、このような嵌合固定の他、シールベルトカバーＣ１は、例えば、接着剤によって接合させてもよいし、締結部材(ボルトなど)によって締結させてもよい。また、例えば、ハウジング１０の上部カバー１０ｓ、側面部カバー１０ｕ及び端部カバー１０ｖに、シールベルトカバーＣ１の輪郭に略沿った内郭を有する所定の取付穴を設けて嵌合させてもよい。
また、シールベルトカバーＣ１は、例えば、その断面形状が長方形を成す平板状や、ハウジング１０のスリット１２に嵌合する所定の凸状部をその底面(図１(ｂ)の下側の面)の所定位置に設けた断面形状がＴ形状を成す平板状などに構成すればよい。
【００３８】
以上のような構成によれば、吸引機構(図示しない)によって吸引口３２からアクチュエータＡの内気を吸引すると、シールベルトカバーＣ１とシールベルト１６との間(隙間ｓ１)には吸引圧がかかり、当該隙間ｓ１から外気(アクチュエータＡの設置場所の空気(雰囲気))がアクチュエータＡの内部へ吸引される。この時、隙間ｓ１が絞りの役目を果たすため、アクチュエータＡの内部へ吸引される雰囲気(吸気)は、当該隙間ｓ１を通過する際の流動速度が大きくなる。すなわち、当該吸気に対して、いわゆるベンチュリ効果が作用し、アクチュエータＡの雰囲気を当該アクチュエータＡの外部から内部へ強力に吸引することができる。
【００３９】
本実施形態においては、シールベルトカバーＣ１は、シールベルト１６の所定範囲(転換部１６ｒ及び移動部１６ｇ)を、隙間ｓ１を空けた状態で覆っているため、シールベルトカバーＣ１とシールベルト１６との間(隙間ｓ１)は、その長さ(図１(ｂ)の左右方向の距離)が転換部１６ｒの長さ(同図同一方向の距離)に加えて、移動部１６ｇの長さ(同図同一方向の距離)でも確保されている。このため、隙間ｓ１の長さを充分確保することができ、アクチュエータＡの内部へ吸引される雰囲気(吸気)が隙間ｓ１を通過する際、当該吸気に対して作用するベンチュリ効果を大きくすることができる。
【００４０】
ここで、例えば、図５(ａ)〜(ｃ)に示す従来の構成では、シールベルト１６は、移動部１６ｇ(図１(ａ),(ｂ)参照)の範囲において、その両側縁(図５(ｂ)の上側の縁及び下側の縁)の上下面(外表面１６ａ及びこれと反対側の面)がシール溝20s,20uとの間に隙間ｓ１以下程度の微小隙間を有しているか、あるいは隙間がない状態とされている。これに対し、転換部１６ｒ(図１(ａ),(ｂ)参照)の範囲においては、シールベルト１６の上面(外表面１６ａ)がシールベルトカバーＣ３との間に微小隙間(隙間ｓ２)を有しているに過ぎない。このため、かかる従来の構成では、特に、移動体２が高速で移動する場合に、スリット１２とシールベルトカバーＣ３との境界部分の隙間ｓ２から僅かに外部へ塵埃が散出してしまい、厳しいクリーン度の要求に応えるには十分とはいえないことが試験の結果、判明した。
【００４１】
そこで、本実施形態に係るアクチュエータＡでは、転換部１６ｒの範囲に加えて(転換部１６ｒの範囲からさらに延長して)、シールベルト１６の両側縁(図１(ａ)の上側の縁及び下側の縁)の上下面(外表面１６ａ及びこれと反対側の面(内面)１６ｂ)がシール溝20s,20uとの間に隙間ｓ１以下程度の微小隙間を有しているか、あるいは隙間がない状態とされている移動部１６ｇの範囲においても、シールベルト１６の上面(外表面１６ａ)がシールベルトカバーＣ１との間に微小隙間(隙間ｓ１)を有する構成としている。なお、図１(ｂ)には、一例として、シールベルト１６の上面(外表面１６ａ)が、シール溝20u(20s)との間に微小隙間(隙間ｓ１)を有し、シールベルト１６の下面(内面１６ｂ)が、シール溝20u(20s)と接触した状態(シール溝20u(20s)との間に隙間がない状態)の構成を示しているが、シールベルト１６とシール溝20s,20uとの位置関係は、これに限定されるものではない。
【００４２】
これにより、例えば、移動体２が高速で移動する場合であっても、スリット１２とシールベルトカバーＣ１との境界部分から塵埃が直接外部へ散出することを、有効に防止することが可能となった。すなわち、アクチュエータＡ内の塵埃は、シールベルト１６を伝って転換部１６ｒを越え、さらに移動部１６ｇに沿った微小隙間(隙間ｓ１)部分を通り抜けない限り、スリット１２とシールベルトカバーＣ１との境界部分から直接外部へ散出されることはなく、吸引機構(図示しない)による内気の吸引とも相俟って、当該境界部分からの塵埃の外部への直接散出を、有効かつ確実に防止することが可能となった。
【００４３】
この結果、アクチュエータＡの内部から外部への塵埃の散出を確実に防止することができ、アクチュエータＡの内部からの発塵を防止する効果を格段に向上させることができる。これにより、例えば、半導体などの精密機器の製造や検査を行うため、限りなく無塵状態に保つ必要のあるクリーンルーム内であっても、アクチュエータＡを使用することができる。
【００４４】
なお、シールベルトカバーの形状、大きさ及び数などは、例えば、ハウジング１０の大きさやシールベルト１６及びスリット１２の数などに応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。例えば、上述した本実施形態に係るシールベルトＣ１の他、図２(ａ),(ｂ)に示す第２実施形態、図３(ａ),(ｂ)に示す第３実施形態、及び図４に示す第４実施形態などのような各種の形状、大きさ及び数を成してシールベルトカバーを構成することができる。
【００４５】
例えば、図２(ａ),(ｂ)に示す本発明の第２実施形態において、シールベルト１６を覆うカバー(シールベルトカバー)Ｃ２は、一例として、スリット１２の両端側(移動体２の移動方向の両端側)に１つずつ、合計２つ設けられている。なお、図２(ａ),(ｂ)には、スリット１２の一端側に設けられたシールベルトカバーＣ２の構成のみを示すが、スリット１２の他端側にも同様構成のシールベルトカバーＣ２が１つ設けられている。このため、以下においては、図２(ａ),(ｂ)に示すシールベルトカバーＣ２(スリット１２の一端側に設けられたシールベルトカバーＣ２)を例にとって、その構成について説明する。
【００４６】
かかるシールベルトカバーＣ２は、その幅(図２(ａ)の上下方向の距離)がハウジング１０の端部カバー１０ｖの幅と略同一を成し、その長さ(図２(ａ)の左右方向の距離)がシールベルト１６の転換部１６ｒから移動部１６ｇまでの長さより若干大きな平板状を成して構成されている。また、シールベルトカバーＣ２は、その内面(図２(ｂ)の下側の面)Ｃ２ａの所定範囲(転換部１６ｒ及び移動部１６ｇの大きさに相当する範囲)が、２つのシールベルト１６の外表面(図２(ｂ)の上側の面)１６ａとの間に所定の隙間ｓ１を空けた状態で、当該シールベルト１６と対向するように位置付けられている。なお、隙間ｓ１の大きさ(幅(図２(ａ)の上下方向の距離)や高さ(図２(ｂ)の上下方向の距離)など)は、例えば、ハウジング１０及びスリット１２の大きさやシールベルト１６の幅や長さなどに応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。
【００４７】
このような構成により、シールベルトカバーＣ２は、ハウジング１０のスリット１２の一端側で、２つのシールベルト１６の所定範囲(転換部１６ｒ及び移動部１６ｇの範囲)を、隙間ｓ１を空けた状態で覆うだけでなく、当該所定範囲を含めた、当該ハウジング１０の上部の一端側の端部全体を覆っている(図２(ａ),(ｂ))。さらに、シールベルトカバーＣ２は、スリット１２の一端側で、その開口部を所定の範囲(移動部１６ｇの大きさに相当する範囲)で塞いでいる。
また、シールベルトカバーＣ２は、シールベルト１６を転換部１６ｒ及び移動部１６ｇの範囲で覆うとともに、端部カバー１０ｖと所定角度(図２(ｂ)では略直角)を成して連続するように、ハウジング１０の上部カバー１０ｓ及び側面部カバー１０ｕの外表面(図２(ａ)に示されている面)の所定位置に固定されている。なお、シールベルトカバーＣ２の固定方法は、特に限定されず、例えば、接着剤によって接合させてもよいし、締結部材(ボルトなど)によって締結させてもよい。また、例えば、ハウジング１０の上部カバー１０ｓ、側面部カバー１０ｕ及び端部カバー１０ｖに、シールベルトカバーＣ２の輪郭に略沿った内郭を有する所定の取付穴を設けて嵌合させてもよい。
【００４８】
なお、図２(ａ),(ｂ)に示す構成においては、一例として、シールベルトカバーＣ２は、その幅方向(図２(ａ)の上下方向)の両端部の移動体２側(例えば、図２(ａ)の左側)の角部を所定の大きさの矩形状に切り欠いて構成されている。この場合、当該角部は、移動部１６ｇの長さ(図２(ａ)の左右方向の距離)と略同一の長さ(同図同一方向の距離)を成すとともに、所定の幅(図２(ａ)の上下方向の距離)を成す矩形状に切り欠かれている。ただし、シールベルトカバーＣ２は、このように当該角部を切り欠かず、例えば、全体形状が所定の大きさの長方形を成すように構成してもよい。
また、シールベルトカバーＣ２は、例えば、その断面形状が長方形を成す平板状や、ハウジング１０の各スリット１２に嵌合する所定の２つの凸状部をその底面(図２(ｂ)の下側の面)の所定位置に設けた平板状などに構成すればよい。
【００４９】
以上のような構成によれば、上述した第１実施形態に係るシールベルトカバーＣ１と同様に、シールベルトカバーＣ２は、シールベルト１６の所定範囲(転換部１６ｒ及び移動部１６ｇ)を、隙間ｓ１を空けた状態で覆っているため、シールベルトカバーＣ２とシールベルト１６との間(隙間ｓ１)は、その長さ(図２(ｂ)の左右方向の距離)が転換部１６ｒの長さ(同図同一方向の距離)に加えて、移動部１６ｇの長さ(同図同一方向の距離)でも確保されている。このため、隙間ｓ１の長さを充分確保することができ、吸引機構(図示しない)によって吸引口３２からアクチュエータＡの内気を吸引した場合、アクチュエータＡの内部へ吸引される雰囲気(吸気)が隙間ｓ１を通過する際、当該吸気に対して作用するベンチュリ効果を大きくすることができる。
【００５０】
この結果、アクチュエータＡの内部から外部への塵埃の散出を確実に防止することができ、アクチュエータＡの内部からの発塵を防止する効果を格段に向上させることができる。これにより、例えば、半導体などの精密機器の製造や検査を行うため、限りなく無塵状態に保つ必要のあるクリーンルーム内であっても、アクチュエータＡを使用することができる。
【００５１】
また、図３(ａ),(ｂ)に示す本発明の第３実施形態、及び図４に示す本発明の第４実施形態において、ハウジング１０には、シールベルト１６を所定範囲(転換部１６ｒの範囲)で覆うために、上述した従来と同様構成のシールベルトカバーＣ３が設けられている。この場合、ハウジング１０には、２本のシールベルト１６の移動方向(図３(ａ),(ｂ)及び図４の左右方向)の両端側に１つずつ、合計４つのシールベルトカバーＣ３が設けられており、各シールベルトカバーＣ３は、その内面(図３(ｂ)の下側の面)Ｃ３ａがシールベルト１６の外表面(図３(ｂ)の上側の面)１６ａとの間に所定の隙間ｓ１を空けた状態で、当該シールベルト１６と対向するように位置付けられている。なお、図３(ａ),(ｂ)及び図４には、一方のシールベルト１６の移動方向の一端側に設けられたシールベルトカバーＣ３の構成のみを示す。
【００５２】
また、シールベルトカバーＣ３は、シールベルト１６を転換部１６ｒの範囲で覆うように、ハウジング１０の端部カバー１０ｖの外表面(図３(ａ)に示されている面)の所定位置に固定されている。なお、シールベルトカバーＣ３の固定方法は、特に限定されず、例えば、接着剤によって接合させてもよいし、締結部材(ボルトなど)によって締結させてもよい。また、例えば、ハウジング１０の端部カバー１０ｖに、シールベルトカバーＣ３の輪郭に略沿った内郭を有する所定の取付穴を設けて嵌合させてもよい。
また、シールベルトカバーＣ３は、例えば、その断面形状が長方形を成す平板状や、ハウジング１０の端部カバー１０ｖの取付穴に嵌合する所定の凸状部をその底面(図３(ｂ)の下側の面)の所定位置に設けた断面形状がＴ形状を成す平板状などに構成すればよい。
【００５３】
なお、第３実施形態においては、シールベルト１６を転換部１６ｒの範囲で覆うシールベルトカバーＣ３に加えて、シールベルト１６を所定範囲(移動部１６ｇの範囲)で覆うために、ハウジング１０の上部カバー１０ｓ及び側面部カバー１０ｕに所定の突出部(上部カバー突出部ｓｄ及び側面部カバー突出部ｕｄ)が設けられている。
この場合、上部カバー１０ｓの上部カバー突出部ｓｄ、及び側面部カバー１０ｕの側面部カバー突出部ｕｄは、ハウジング１０(上部カバー１０ｓ及び側面部カバー１０ｕ)と一体を成したシールベルトカバーとして構成されており、その内面(図３(ｂ)の下側の面)uda(sda)が、シールベルト１６の外表面(図３(ｂ)の上側の面)１６ａとの間に所定の隙間ｓ１を空けた状態で、当該シールベルト１６と対向するように位置付けられている。なお、隙間ｓ１の大きさ(幅(図３(ａ)の上下方向の距離)や高さ(図３(ｂ)の上下方向の距離)など)は、例えば、ハウジング１０及びスリット１２の大きさやシールベルト１６の幅や長さなどに応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。
【００５４】
本実施形態において、ハウジング１０の上部カバー１０ｓには、移動部１６ｇの長さ(図３(ａ),(ｂ)の左右方向の距離)と略同一の長さ(同図同一方向の距離)で一対の側面部カバー１０ｕの方向へ所定距離(図３(ａ)の上下方向の距離)だけそれぞれ突出した突出部(上部カバー突出部ｓｄ)が、その長手方向(図３(ａ),(ｂ)の左右方向)の両端部に、一対の側面部カバー１０ｕ側へ各１つずつ、合計４つ設けられている。なお、図３(ａ),(ｂ)には、上部カバー１０ｓの長手方向(図３(ａ),(ｂ)の左右方向)の一端部(図３(ａ),(ｂ)の右端部)において、一方(図３(ａ),(ｂ)の下方)の側面部カバー１０ｕの方向へ突出した上部カバー突出部ｓｄの構成のみを示す。
【００５５】
また、ハウジング１０の一対の側面部カバー１０ｕには、移動部１６ｇの長さ(図３(ａ),(ｂ)の左右方向の距離)と略同一の長さ(同図同一方向の距離)で上部カバー１０ｓの方向へ所定距離(図３(ａ)の上下方向の距離)だけそれぞれ突出した突出部(側面部カバー突出部ｕｄ)が、その長手方向(図３(ａ),(ｂ)の左右方向)の両端部に各１つずつ、合計４つ設けられている。なお、図３(ａ),(ｂ)には、一方(図３(ａ),(ｂ)の下方)の側面部カバー１０ｕの長手方向(図３(ａ),(ｂ)の左右方向)の一端部(図３(ａ),(ｂ)の右端部)において、上部カバー１０ｓの方向へ突出した側面部カバー突出部ｕｄの構成のみを示す。
【００５６】
本実施形態において、上部カバー突出部ｓｄと側面部カバー突出部ｕｄは、移動部１６ｇの幅(図３(ａ)の上下方向の距離)の略中間位置で、それぞれの端部(図３(ａ)においては、上部カバー突出部ｓｄの下端部と側面部カバー突出部ｕｄの上端部)に沿って相互に当接するように、その突出距離(図３(ａ)の上下方向の距離)を所定距離に設定して構成されている。このような構成によれば、ハウジング１０は、上部カバー１０ｓの上部カバー突出部ｓｄと側面部カバー１０ｕの側面部カバー突出部ｕｄが、各スリット１２の両端側(移動体２の移動方向の両端側)において、シールベルト１６を所定範囲(移動部１６ｇの範囲)で覆うことができる。
【００５７】
なお、図３(ａ),(ｂ)に示す構成においては、上部カバー突出部ｓｄと側面部カバー突出部ｕｄとの当接部は、一例として、シールベルト１６の移動方向(図３(ａ),(ｂ)の左右方向)と平行な直線状を成して構成したが、例えば、シールベルト１６の移動方向(図３(ａ),(ｂ)の左右方向)に対して所定の角度で傾斜する斜線状を成して構成してもよいし、曲線状などを成して構成してもよい。また、上部カバー突出部ｓｄ及び側面部カバー突出部ｕｄは、シールベルト１６を所定範囲(移動部１６ｇの範囲)で覆うことが可能であればよく、その形状、大きさ及び数などは、例えば、ハウジング１０の大きさやシールベルト１６及びスリット１２の数などに応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。
【００５８】
また、本実施形態において、上部カバー１０ｓの上部カバー突出部ｓｄと側面部カバー１０ｕの側面部カバー突出部ｕｄは、シールベルト１６を移動部１６ｇの範囲で覆っているとともに、スリット１２の両端側(移動体２の移動方向の両端側)の開口部を所定の範囲(当該移動部１６ｇの大きさに相当する範囲)で塞いでいる。すなわち、本実施形態において、ハウジング１０のスリット１２は、上部カバー１０ｓ、側面部カバー１０ｕ、上部カバー突出部ｓｄ及び側面部カバー突出部ｕｄで囲まれて成る所定の大きさの開口部として構成され、その両端部の所定範囲(移動部１６ｇの大きさに相当する範囲)が、当該上部カバー突出部ｓｄ及び側面部カバー突出部ｕｄによって塞がれた状態になっている。
【００５９】
また、図４に示す本発明の第４実施形態においては、シールベルト１６を所定範囲(転換部１６ｒの範囲)で覆うシールベルトカバーＣ３に加えて、シールベルト１６を所定範囲(移動部１６ｇの範囲)で覆うために、ハウジング１０の上部カバー１０ｓに所定の突出部(上部カバー突出部ｓｄ)が設けられている。この場合、上部カバー１０ｓの上部カバー突出部ｓｄは、ハウジング１０(上部カバー１０ｓ)と一体を成したシールベルトカバーとして構成されており、その内面(図３(ｂ)の下側の面)ｓｄａが、シールベルト１６の外表面(図３(ｂ)の上側の面)１６ａとの間に所定の隙間ｓ１を空けた状態で、当該シールベルト１６と対向するように位置付けられている。なお、隙間ｓ１の大きさ(幅(図４の上下方向の距離)や高さ(図３(ｂ)の上下方向に相当する距離)など)は、例えば、ハウジング１０及びスリット１２の大きさやシールベルト１６の幅や長さなどに応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。
【００６０】
すなわち、本実施形態において、ハウジング１０は、上部カバー１０ｓに上部カバー突出部ｓｄのみを設け、上述した側面部カバー１０ｕの側面部カバー突出部ｕｄ(図３(ａ)参照)を省略して構成されている。この場合、ハウジング１０の上部カバー１０ｓには、移動部１６ｇの長さ(図４の左右方向の距離)と略同一の長さ(同図同一方向の距離)で一対の側面部カバー１０ｕの方向へ所定距離(図４の上下方向の距離)だけそれぞれ突出した突出部(上部カバー突出部ｓｄ)が、その長手方向(図４の左右方向)の両端部に、一対の側面部カバー１０ｕ側へ各１つずつ、合計４つ設けられている。なお、図４には、上部カバー１０ｓの長手方向(図４の左右方向)の一端部(図４の右端部)において、一方(図４の下方)の側面部カバー１０ｕの方向へ突出した上部カバー突出部ｓｄの構成のみを示す。
【００６１】
本実施形態において、上部カバー突出部ｓｄは、側面部カバー１０ｕの端部(図４においては、上端部)に沿って当接するように、その突出距離(図４の上下方向の距離)を所定距離に設定して構成されている。このような構成によれば、ハウジング１０は、上部カバー１０ｓの上部カバー突出部ｓｄが、各スリット１２の両端側(移動体２の移動方向の両端側)において、シールベルト１６を所定範囲(移動部１６ｇの範囲)で覆うことができる。
【００６２】
なお、本実施形態においては、上部カバー１０ｓの上部カバー突出部ｓｄは、シールベルト１６を移動部１６ｇの範囲で覆っているとともに、スリット１２の両端側(移動体２の移動方向の両端側)の開口部を所定範囲(当該移動部１６ｇの大きさに相当する範囲)で塞いでいる。すなわち、本実施形態において、ハウジング１０のスリット１２は、上部カバー１０ｓ、側面部カバー１０ｕ、及び上部カバー突出部ｓｄで囲まれて成る所定の大きさの開口部として構成され、その両端部の所定範囲(移動部１６ｇの大きさに相当する範囲)が、当該上部カバー突出部ｓｄによって塞がれた状態になっている。
【００６３】
なお、本実施形態において、ハウジング１０は、上部カバー１０ｓに上部カバー突出部ｓｄのみを設け、側面部カバー１０ｕの側面部カバー突出部ｕｄ(図３(ａ)参照)を省略して構成したが、上部カバー１０ｓの上部カバー突出部ｓｄを省略し、側面部カバー１０ｕに側面部カバー突出部ｕｄのみを設けて構成してもよい。
この場合、ハウジング１０の側面部カバー１０ｕには、移動部１６ｇの長さ(図４の左右方向の距離)と略同一の長さ(同図同一方向の距離)で上部カバー１０ｓの方向へ所定距離(図４の上下方向の距離)だけそれぞれ突出した突出部(側面部カバー突出部ｕｄ)を、その長手方向(図４の左右方向)の両端部に各１つずつ、合計４つ設ければよい。また、側面部カバー突出部ｕｄは、上部カバー１０ｓの端部(図４においては、下端部)に沿って当接するように、その突出距離(図４の上下方向の距離)を所定距離に設定して構成すればよい。このような構成によれば、ハウジング１０の側面部カバー１０ｕは、側面部カバー突出部ｕｄが、各スリット１２の両端側(移動体２の移動方向の両端側)において、シールベルト１６を所定範囲(移動部１６ｇの範囲)で覆うことができる。
【００６４】
また、上述した第３実施形態及び第４実施形態において、ハウジング１０には、上部カバー１０ｓ及び側面部カバー１０ｕをそれぞれ設け、当該上部カバー１０ｓ及び側面部カバー１０ｕに上部カバー突出部ｓｄや側面部カバー突出部ｕｄを設けたが、例えば、ハウジング１０の上部カバー１０ｓ及び側面部カバー１０ｕを、上部カバー突出部ｓｄ及び側面部カバー突出部ｕｄとともに一体的に構成してもよい。この場合、ハウジング１０のスリット１２は、当該一体構成されたハウジング１０のカバーに所定の大きさの開口を形成し、その両端部が所定範囲(移動部１６ｇの大きさに相当する範囲)で塞がれた状態となるように構成すればよい。
【００６５】
以上のような構成によれば、シールベルトカバーＣ３、上部カバー突出部ｓｄ及び側面部カバー突出部ｕｄは、シールベルト１６の所定範囲(転換部１６ｒ及び移動部１６ｇ)を、隙間ｓ１を空けた状態で覆っているため、シールベルトカバーＣ３、上部カバー突出部ｓｄ及び側面部カバー突出部ｕｄとシールベルト１６との間(隙間ｓ１)は、その長さ(図３(ａ),(ｂ)及び図４の左右方向の距離)が転換部１６ｒの長さ(同図同一方向の距離)に加えて、移動部１６ｇの長さ(同図同一方向の距離)でも確保されている。このため、隙間ｓ１の長さを充分確保することができ、吸引機構(図示しない)によって吸引口３２からアクチュエータＡの内気を吸引した場合、アクチュエータＡの内部へ吸引される雰囲気(吸気)が隙間ｓ１を通過する際、当該吸気に対して作用するベンチュリ効果を大きくすることができる。
【００６６】
この結果、アクチュエータＡの内部から外部への塵埃の散出を確実に防止することができ、アクチュエータＡの内部からの発塵を防止する効果を格段に向上させることができる。これにより、例えば、半導体などの精密機器の製造や検査を行うため、限りなく無塵状態に保つ必要のあるクリーンルーム内であっても、アクチュエータＡを使用することができる。
【００６７】
なお、上述した第１実施形態〜第４実施形態においては、各アクチュエータＡにおいて、同一のシールベルトカバーＣ１、シールベルトカバーＣ２、上部カバー突出部ｓｄ及び側面部カバー突出部ｕｄを設けたが、アクチュエータＡは、これらを任意に組み合わせて設けて構成してもよい。例えば、アクチュエータＡは、ハウジング１０のスリット１２の一端側(移動体２の移動方向の一端側)にシールベルトカバーＣ１を設け、他端側にシールベルトカバーＣ２を設けて構成してもよい。また、例えば、アクチュエータＡは、ハウジング１０のスリット１２の一端側(移動体２の移動方向の一端側)に上部カバー突出部ｓｄ及び側面部カバー突出部ｕｄを設け、他端側に上部カバー突出部ｓｄのみを設けて構成してもよい。
【００６８】
また、上述した第１実施形態〜第４実施形態においては、吸引機構(図示しない)によって吸引口３２からアクチュエータＡの内気を吸引して減圧し、当該アクチュエータＡを負圧状態に維持することで、アクチュエータＡの内部から外部への塵埃の散出の防止を図ったが、例えば、アクチュエータＡの外部から内部への塵埃の侵入の防止を図る場合であっても、上述した各実施形態によれば、優れた塵埃の侵入防止効果を発揮することができる。
【００６９】
この場合、例えば、所定の吸入機構(図示しない)などにより、アクチュエータＡの内部へ空気の吸入圧を加えることで、当該アクチュエータＡの内気を加圧し、その内部を正圧状態に維持すればよい。すなわち、吸入機構(図示しない)によってアクチュエータＡの内部へ空気を吸入すると、シールベルトカバーＣ１などとシールベルト１６との間(隙間ｓ１)には吸出圧がかかり、当該隙間ｓ１から当該アクチュエータＡの内気が外部へ吸出される。この時、隙間ｓ１が絞りの役目を果たすため、アクチュエータＡの外部へ吸出される当該アクチュエータＡの内気(排気)は、当該隙間ｓ１を通過する際の流動速度が大きくなる。すなわち、当該排気に対して、いわゆるベンチュリ効果が作用し、アクチュエータＡの内気を当該アクチュエータＡの内部から外部へ強力に吸出することができる。
この結果、アクチュエータＡの外部から内部への塵埃の侵入を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの構成を示す図であって、(ａ)は、シールベルトカバーの構成を説明するための要部平面図、(ｂ)は、シールベルトカバー近傍の拡大断面図。
【図２】本発明の第２実施形態に係るアクチュエータの構成を示す図であって、(ａ)は、シールベルトカバーの構成を説明するための要部平面図、(ｂ)は、シールベルトカバー近傍の拡大断面図。
【図３】本発明の第３実施形態に係るアクチュエータの構成を示す図であって、(ａ)は、シールベルトカバーの構成を説明するための要部平面図、(ｂ)は、シールベルトカバー近傍の拡大断面図。
【図４】本発明の第４実施形態に係るアクチュエータの構成を示す図であって、シールベルトカバーの構成を説明するための要部平面図。
【図５】従来のアクチュエータの構成例を示す図であって、(ａ)は、全体を示す縦断面図、(ｂ)は、シールベルトカバーの構成を説明するための要部平面図、(ｃ)は、シールベルトカバー近傍の拡大断面図。
【図６】従来のアクチュエータの全体構成例を示す斜視図。
【符号の説明】
【００７１】
２  移動体
４  ガイドレール
６  駆動装置
８  スライダ
１０  ハウジング
１０ｓ  上部カバー
１０ｔ  底部カバー
１０ｕ  側面部カバー
１０ｖ  端部カバー
１２  スリット
１４  プーリ
１６  シールベルト
１６ａ  シールベルト外表面
１６ｂ  シールベルト内面
１６ｇ  移動部
１６ｒ  転換部
２０ｓ，２０ｕ  シール溝
３０  吸引チューブ
３２  吸引口
Ａ，Ｂ，  アクチュエータ
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３  シールベルトカバー
ｓ１  シールベルト−シールベルトカバー間の隙間
ｓｄ  上部カバー突出部
ｓｄａ  上部カバー突出部内面
ｕｄ  側面部カバー突出部
ｕｄａ  側面部カバー突出部内面
【図１】
2007278385.tif 000003
【図２】
2007278385.tif 000004
【図３】
2007278385.tif 000005
【図４】
2007278385.tif 000006
【図５】
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【図６】
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