(57)【要約】【課題】スライダ装置の内部振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供する。【解決手段】第１の部材１０と、第１の部材１０を介して対向する部分を有し第１の部材に対して相対移動可能に配置された第２の部材２０と、第２の部材２０の第１の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ第１の部材１０との間に空気による静圧を作用させて第１の部材１０を非接触で支持する空気静圧軸受３０Ａ〜３０Ｄとを備える。空気静圧軸受３０Ａは、第２の部材２０に固定的に配置される固定部３２Ａと、固定部３２Ａに対して第１の部材１０に向かう方向に進退自在に設けられ第１の部材１０に対して空気による静圧を供給する空気静圧部３３Ａを備える。さらに、空気静圧部３０Ａは、固定部３２Ａと空気静圧部３３Ａとの間にバネ部材３４Ａと、振動を減衰させる振動減衰部材３５Ａとを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の部材と、
前記第１の部材を介して対向する部分を有し前記第１の部材に対して相対移動可能に配置された第２の部材と、
前記第２の部材の前記第１の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ前記第１の部材との間に流体による静圧を作用させて前記第１の部材を非接触で支持する流体静圧軸受と
を備えたスライダ装置において、
前記第２の部材を介して対向する流体静圧軸受の少なくとも一方は、
前記第２の部材に固定的に配置される固定部と、
前記固定部に対して前記第１の部材に向かう方向に進退自在に設けられ前記第１の部材に対して流体による静圧を供給する流体静圧部と、
前記固定部と前記流体静圧部との間に設けられ前記第１の部材に対して静圧をプリロードするための押圧部材と、
前記固定部と前記流体静圧部との間に設けられ前記固定部と前記空気静圧部の間の振動を減衰させる振動減衰部材と
を備えたものであることを特徴とするスライダ装置。
【請求項２】
前記第２の部材から前記第１の部材に向かって進退する調整部材が設けられ、
前記流体静圧部は、前記調整部材の先端に設けられ、前記調整部材の進退によって前記プリロード量を調整されるものである
ことを特徴とする請求項１記載のスライダ装置。
【請求項３】
前記振動減衰部材は、シリコンゲルであることを特徴とする請求項１又は２記載のスライダ装置。
【請求項４】
前記流体は、空気であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載のスライダ装置。
【請求項５】
前記押圧部材は、バネ部材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のスライダ装置。
【請求項６】
前記調整部材は、螺子であることを特徴とする請求項２記載のスライダ装置。
【請求項７】
前記押圧部材は、エアーシリンダ装置であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のスライダ装置。
【請求項８】
前記エアーシリンダ装置は、エアー圧力を可変として前記調整部材を兼ねるものであることを特徴とする請求項７記載のスライダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気静圧軸受を用いたスライダ装置に関するものであり、より具体的に説明すると、例えば、三次元測定機のＸＹＺ駆動機構等に組み込まれ、案内機構として機能するスライダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、空気静圧軸受（エアーベアリング）を用いたスライダ装置は、特許文献１に示すように、Ｘ軸方向に延びるビーム（第１の部材）と、このビームに対してＸ軸方向にスライド自在に設けられたスライダ（第２の部材）と、スライダに設けられてビームに対向して配置された複数のエアーベアリングとを備えて構成されている。複数のエアーベアリングは、ビームの案内面に対してエアーによる静圧を与えて、スライダをビームに対して非接触で支持させる。ビームを挟んで対向するエアーベアリングの一方には、エアーベアリングがビームの案内面側にプリロードされるようにバネが設けられており、これにより、剛性が最も高くなる状態でエアーベアリングが使用される。
【０００３】
一般に、プリロード発生用のバネの剛性は、エアーベアリングの空気膜の剛性よりも低くなる。そのため、スライダとビームの案内面との距離が変化した場合に、その変化量をプリロード用バネの収縮で吸収することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のようなスライダ装置であっても、スライダに様々な過渡的な力が作用すれば、その力によりスライダに振動が生じる。スライダに作用する過渡的な力とは、例えば、駆動力を発生させる機構（ボールねじなど）に起因する振動、加速時に作用する荷重変動などである。
【０００５】
上述したようにスライダ装置は、空気膜の剛性により物体を支持する案内機構であるため、空気膜の粘性のみによって、振動を減衰させる必要がある。このようなスライダ装置以外、その他の案内機構（転がり案内、すべり案内）であれば、潤滑に用いられるグリースや油の粘性により、振動を減衰させることができる。
【０００６】
しかし、一般的に、転がり案内やすべり案内の潤滑に用いられるグリースや油の粘性と比べて、空気の粘性は低い。そのため、エアーベアリングによるスライダ装置は、他の案内機構（転がり案内、すべり案内）と比較して、減衰効果が低い。
【０００７】
以上のようなスライダ装置において減衰効果を得る方法として、案内面と対向するエアパッドの溝の形に工夫を施したものがある。例えば、特許文献２に記載のエアパッドは、２箇所の空気の噴出し口を形成し、その２箇所の噴出し口からＨ型とＩ型を組み合わせた形状の凹みが加工されている。このように加工することにより、空気膜の特性を利用して減衰効果を高めることを可能としている。しかしながら、このようなスライダ装置では、その構造、大きさ及び材料によっては、Ｈ型やＩ型などの複雑な形状の加工が、困難となる場合も考えられる。
【特許文献１】特開平８−１２１４８１号公報
【特許文献２】特開２００３−１９４０５９号公報
【０００８】
本発明は、このような問題を鑑みてなされたものであって、スライダ装置の振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るスライダ装置は、第１の部材と、前記第１の部材を介して対向する部分を有し前記第１の部材に対して相対移動可能に配置された第２の部材と、前記第２の部材の前記第１の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ前記第１の部材との間に流体による静圧を作用させて前記第１の部材を非接触で支持する流体静圧軸受とを備えたスライダ装置において、前記第２の部材を介して対向する流体静圧軸受の少なくとも一方は、前記第２の部材に固定的に配置される固定部と、前記固定部に対して前記第１の部材に向かう方向に進退自在に設けられ前記第１の部材に対して流体による静圧を供給する流体静圧部と、前記固定部と前記流体静圧部との間に設けられ前記第１の部材に対して静圧をプリロードするための押圧部材と、前記固定部と前記流体静圧部との間に設けられ前記固定部と前記流体静圧部の間の振動を減衰させる振動減衰部材とを備えたものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、スライダ装置の空気静圧軸受に押圧部材及び振動減衰部材により減衰特性を持たせることによって、第１又は第２の部材の振動を減衰させることができる。したがって、前記減衰特性により、スライダ装置の振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係るスライダ装置を説明する。
【００１２】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係るスライダ装置の断面図である。スライダ装置は、主に、紙面と直交する軸方向（三次元測定機の場合、例えばＸ軸方向）に延びる四角柱状のビーム（第１の部材）１０と、このビーム１０に対してスライド自在に配置され、ビーム１０を取り囲む矩形環状のスライダ（第２の部材）２０と、スライダ２０のビーム１０を介して対向する部分にそれぞれ設けられ、ビーム１０との間に空気による静圧を作用させてスライダ２０をビーム１０に対して非接触で支持させる第１〜第４の空気静圧軸受３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄとを備えている。スライダ２０は、例えば、アルミ合金鋳物（ＡＣ４Ｃ）などで、ビーム１０は、例えば、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ合金（Ａ６０６３）などで形成されている。
【００１３】
第１の空気静圧軸受３０Ａは、スライダ２０の内周表面２０ａからスライダ２０の軸心に向かって垂直に設けられた押し螺子３１Ａと、その押し螺子３１Ａの先端に固定的に配置された固定部３２Ａと、固定部３２Ａに対してビーム１０に向かってエアーによる静圧を供給する第１空気静圧部３３Ａと、固定部３２Ａと第１空気静圧部３３Ａとの間に設けられたバネ部材３４Ａと、バネ部材３４Ａと並列した位置であって固定部３２Ａと第１空気静圧部３３Ａとの間に設けられた振動減衰部材３５Ａと、外部より第１空気静圧部３３Ａにエアーを吸入する第１エアー配管３６Ａとを有する。第１空気静圧部３３Ａは、押し螺子３１Ａの回転に伴いビーム１０に対して進退可能であると共に、第１エアー配管３６Ａからエアーを供給され、エアーをビーム１０の外周表面１０ａに噴射し、それら第１空気静圧部３３Ａとビーム１０の間に第１空気膜４０Ａを形成する。なお、振動減衰部材３５Ａは、例えば、シリコンゲル（ＧＥＬＴＥＣ社製：θ―８）などで形成されている。
【００１４】
第２の空気静圧軸受３０Ｂは、主に、スライダ２０の内周表面２０ａからスライダ２０の軸心に向かって伸びた押し螺子３１Ｂと、押し螺子３１Ｂの先端に配置された第２空気静圧部３３Ｂと、その第２空気静圧部３３Ｂに空気を供給する第２エアー配管３６Ｂとを有する。第２空気静圧部３４Ｂは、第１空気静圧部３４Ａと同様に、押し螺子３１Ｂの回転に伴いビーム１０に対して進退可能であると共に、第２空気静圧部３３Ｂにより、第２空気静圧部３３Ｂとビーム１０との間に空気膜４０Ｂを形成する。
【００１５】
第１の空気静圧軸受３０Ａ及び第２の空気静圧軸受３０Ｂは、ビーム１０を挟んで垂直方向に対向するように配置され、第３の空気静圧軸受３０Ｃ及び第４の空気静圧軸受３０Ｄは、ビーム１０を挟んで水平方向に対向するように配置されている。第３の空気静圧軸受３０Ｃは、第１の空気静圧軸受３０Ａと同様の構成であり、第４の空気静圧軸受３０Ｄは、第２の空気静圧軸受３０Ｂと同様の構成である。したがって、第３の空気静圧軸受３０Ｃ及び第４の空気静圧軸受３０Ｄは、第１の空気静圧軸受３０Ａ及び第２の空気静圧軸受３０Ｂによりビーム１０にもたらされる効果と同様の効果を奏する。すなわち、第３の空気静圧軸受３０Ｃ及び第４の空気静圧軸受３０Ｄは、第３空気膜４０Ｃ及び第４空気膜４０Ｄをビーム１０の外周表面１０ａに形成する。
【００１６】
このように、スライダ２０に設けられた第１〜第４空気静圧軸受３０Ａ〜３０Ｄからビーム１０の外周表面１０ａに対して、第１〜第４空気膜４０Ａ〜４０Ｄが形成されている。従って、ビーム１０は、スライダ２０の内周表面２０ａと接触することなく、浮いた状態に支持可能とされている。
【００１７】
なお、図１においては、説明を簡略化するために、１つのスライダ２０に二対の空気静圧軸受、すなわち、第１の空気静圧軸受３０Ａ，第２の空気静圧軸受３０Ｂ及び第３の空気静圧軸受３０Ｃ及び第４の空気静圧軸受３０Ｄのみ示しているが、一般的には、さらに複数の空気静圧軸受が設けられ、そのような場合であっても、本実施形態は適応可能である。
【００１８】
次に、バネ部材３４Ａ及び押し螺子３１Ａがもたらすプリロードについて説明する。以下の説明においては、その対象を第１の空気静圧軸受３０Ａと第２の空気静圧軸受３０Ｂとの関係に絞り、簡略化して説明する。なお、第１の空気静圧軸受３０Ａと第２の空気静圧軸受３０Ｂとの関係は、第３の空気静圧軸受３０Ｃと第４の空気静圧軸受３０Ｄとの関係においてもそのまま適応することができる。プリロードは、バネ部材３４Ａを押し螺子３１Ａ及び３１Ｂにより圧縮することにより発生する。発生したプリロードによる力ｆは、第１の空気静圧軸受３０Ａに作用し、その反作用力が、力ｆとしてスライダ２０を押し返す。スライダ２０の剛性は、十分に高いので、同時に第２の空気静圧軸受３０Ｂに力ｆとしてプリロードを与える。
【００１９】
上記の構成により、プリロードを与えている理由は、第１空気静圧部３３Ａ及び第２空気静圧部３３Ｂの剛性が最も高くなる状態でスライダ装置を使用するためである。
【００２０】
空気静圧部のみの特性曲線の一例を図２に示す。ここで、横軸は、空気静圧部３４とビーム１０の外周表面１０ａとの間隔（以下、軸受すきま）［μｍ］であり、縦軸は、負荷容量［Ｎ］である。図２に示すように、空気静圧部の剛性は、軸受すきまの変化に対して非線形特性を示す。そこで、本実施形態においては、押し螺子３１Ａ及び３１Ｂ、バネ部材３４Ａを用いてスライダ装置にプリロードを与え、スライダ装置の剛性が最も高くなる状態、例えば、図２に示す領域Ａに設定されている。押し螺子３１Ａ及び３１Ｂを調整により、空気静圧部からのエアー流量に変動が生じた等の場合であっても、プリロードを修正することが可能である。また、領域Ａ以外の剛性を必要とする場合、押し螺子３１Ａ及び３１Ｂの調整によりその領域に設定することが可能である。
【００２１】
一般に、プリロード発生用となるバネ部材３４Ａの剛性は、第１の空気静圧軸受３０Ａ，第２の空気静圧軸受３０Ｂの第１空気膜４０Ａ，第２空気膜４０Ｂの剛性よりも低くなる。したがって、スライダ２０の内周表面２０ａとビーム１０の外周表面１０ａとの距離が変化した場合に、その変化量はバネ部材３４Ａの伸縮により吸収することができる。
【００２２】
次に、図３に、本実施形態に係るスライダ装置の構造の力学モデル１を示す。第１空気静圧部３３Ａは、そのビーム１０側に第１空気膜４０Ａによる剛性ｋ１と、減衰係数ｃ１とが働く。また、第１空気静圧部３３Ａのスライダ２０側にバネ部材３４Ａによるバネ定数ｋ２と、振動減衰部材３５Ａによる減衰係数ｃ２とが働く。
【００２３】
一方、第２空気静圧部３３Ｂは、そのビーム１０の側に第２空気膜４０Ｂによる剛性ｋ３と、減衰係数ｃ３とが働く。
【００２４】
ここで、スライダ２０がアルミ合金鋳物（ＡＣ４Ｃ）で形成されているとすれば、剛性が十分に高いとみなすことができる。したがって、スライダ装置の構造の力学モデル１を図４に示されるスライダ装置の構造の力学モデル２のように描き改めることができる。なお、第１空気静圧部３３Ａの重量をｍ１とし、スライダ２０の重量をｍ２とし、定常時からのビーム１０の第１空気静圧部３３Ａ側への移動量をｘ０、第１空気静圧部３３Ａのスライダ２０側への移動量をｘ１、スライダ２０のｘ１と同方向への移動量をｘ２とする。
【００２５】
即ち、書き改められた図３に示すスライダ装置の構造の力学モデル２を運動方程式で表すと、以下に示すように第１空気静圧部３３Ａに対しては、式（１）となり、ビーム１０に対しては、式（２）となる。
【００２６】
【数１】
2007218404.tif 000003
【００２７】
【数２】
2007218404.tif 000004
【００２８】
これら式（１）及び式（２）をラプラス変換し、整理すると、以下に示すように第１空気静圧部３３Ａに対して式（３）となり、ビーム１０に対して式（４）となる。
【００２９】
【数３】
2007218404.tif 000005
【００３０】
【数４】
2007218404.tif 000006
【００３１】
ここで、パラメータは以下の通りである。
【００３２】
Ｘ１：ｘ１のラプラス変換、Ｘ２：ｘ２のラプラス変換、Ｆ：ｆのラプラス変換、ｓ：ラプラス演算子
式（３）、式（４）をもとに、Ｘ１を消去して、スライダ２０に作用した外力ｆ２から、スライダ２０の変位ｘ２に関する伝達関数Ｘ２／Ｆを求めると、式（５）となる。
【００３３】
【数５】
2007218404.tif 000007
【００３４】
このようにして導かれた式（５）の周波数伝達特性の例を図５及び図６に示す。図５は、ゲイン線図であり、図６は位相線図である。図５及び図６において、符号Ｘにより示される破線は、振動減衰部材３５Ａが組み込まれていない場合を想定し、式（５）においてｃ２＝０としたときの周波数伝関数シミュレーション結果である。同じく、符号Ｙにより示される実線は、ｃ２に粘性減衰係数を設定した場合の周波数伝達関数のシミュレーション結果である。なお、後述する図７においても、符号Ｘ及び符号Ｙは、図５及び図６の場合と同意である。
【００３５】
より具体的には、符号Ｘにより示される破線は、ｍ１を０．００４ｋｇ、ｍ２を５２６ｋｇ、ｋ１を１５４．８４Ｎ／ｍｍ、ｃ１を０．０Ｎｓ／ｍｍ、ｋ２を１．１Ｎ／ｍｍ、ｋ３を１４７．０Ｎ／ｍｍ、ｃ３を０．０Ｎｓ／ｍｍとしてシミュレーションを行った結果であり、符号Ｙで示される実線は、上記定数に加えて、ｃ２を１．０Ｎｓ／ｍｍとしてシミュレーションを行った結果である。本実施形態においては、上記のような数値を有する構成が好ましいが、シミュレーションは、一例であり、これら数値に限定されるものではない。
【００３６】
シミュレーション結果である図５を参照すると、符号Ｘで示される破線の振幅特性のピークよりも、符号Ｙで示される実線の振幅特性のピークの方が小さくなっている。このことから、振動減衰部材３５Ａの導入により、ｘ２の動き、すなわちスライダ２０の運動が非振動的になっていることが分かる。同様に、図６に示される位相特性においても、実線の曲線Ｙが破線の曲線Ｘよりも緩やかに変化しており、図５と同様にスライダ２０の運動が非振動的になっていることが分かる。
【００３７】
次に、図７を参照して、スライダ装置の構造の力学モデル１をもとに機構解析（シミュレーション）を実施した結果（時間波形）を説明する。符号Ｘで示される破線は、減衰することなく振動的な波形を示しているが、符号Ｙで示される実線は、経過時間と共に振動が減衰している。したがって、振動減衰部材３５Ａの導入により、スライダ装置に生じた振動は、共鳴することなく急速に減衰していき、安定状態へと収束することがわかる。
【００３８】
（第２実施形態）
第２実施形態に係るスライダ装置は、第１実施形態と同様に、ビーム１０と、スライダ２０と、４つの空気静圧軸受３０とを備えている（図示略）。しかし、第２実施形態に係るスライダ装置は、空気静圧軸受３０Ａ，３０Ｃに替えて図８に示すような空気静圧軸受３０Ｅを用いている点が、第１実施形態と異なる点である。
【００３９】
図８は、本発明の第２実施形態に係るスライダ装置の空気静圧軸受の概略を示す図である。空気静圧軸受３０Ｅは、主に、第１実施形態と同様の構成を持つ空気静圧部３３Ｅと、その空気静圧部３３Ｅをビーム１０側に押圧するエアーシリンダ装置３４Ｅとからなる。
【００４０】
エアーシリンダ装置３４Ｅは、主として、円筒型であってスライダ２０側に底面を有し、その底面がスライダ２０に固定されたシリンダ３４１と、シリンダ３４１の開口を塞ぐエンドピース３４２と、シリンダ３４１の内周面に当接する円板状のピストン３４３と、ピストン３４３の中心から延びエンドピース３４２の開口３４２ａからシリンダ３４１の外部に突出したピストンロッド３４４と、ピストンロッド３４４の先端に設けられ空気静圧部３３Ｅと接する鋼球からなる球面支持部３４５とから構成されている。また、スライダ２０，シリンダ３４１の底面及びシリンダ３４１の開口付近には、それぞれ通気孔２０ｂ，通気孔３４１ａ，通気孔３４１ｂが形成されており、スライダ２０に形成された通気孔２０ｂには、流体が流れる流体配管３４６が接続されている。また、ピストン３４３の側面には、全周に亘ってＯリング３４７が設けられている。このＯリング３４７により、シリンダ３４１とピストン３４３とは密接した状態とされている。したがって、通気孔３４１ａからのみ流体が出入する第１空間３４８と、通気孔３４１ｂからのみ流体が出入する第２空間３４９とが構成されている。
【００４１】
空気静圧部３３Ｅとエアーシリンダ装置３４Ｅとの間には、球面支持部３４５を囲むように振動減衰部材３５Ｅが設けられている。
【００４２】
このように形成された第２実施形態に係るスライダ装置においては、エアー配管３６Ｅより流入された空気を空気静圧部３３Ｅからビーム１０に噴射させれば、第１実施形態と同様に、空気膜４０Ｅが形成され、スライダ２０は、ビーム１０に対して被接触で支持された状態とされる。
【００４３】
また、流体配管３４６より、流体を第１空間３４８に流入させ、ピストン３４３を押圧すれば、プリロードが発生する。このプリロードは、ピストン３４３の断面積と第１空間３４８に流入される流体の圧力との積により決定される。つまり、エアーシリンダ装置３４Ｅは、第１空間３４８に流入される流体により剛性を持つので、第１実施形態のバネ部材３４Ａと同様の効果を生じさせる。さらに、エアーシリンダ装置３４Ｅは、加える流体の圧力調整により、その剛性を変更できるので調整部材としても機能する。そして、振動減衰部材３５Ｅが、エアーシリンダ装置３４Ｅと空気静圧部３３Ｅとの間に設けられているので、エアーシリンダ装置３４Ｅの剛性により生じた振動を急速に減衰させ、空気静圧軸受３０Ｅを安定状態とさせている。
【００４４】
第１及び第２実施形態において、減衰性を与えるために、空気静圧軸受としてバネ部材３４Ａ又はエアーシリンダ装置３４Ｅを有することのない構造、すなわち空気静圧部３３Ａ（３３Ｅ)及び振動減衰部材３５Ａ（３５Ｅ）のみを有する構造も想定されうるが、この場合にあっては、ヒステリシスによる変位残差が発生するという問題がある。第１実施形態においてはバネ部材３４Ａと振動減衰部材３５Ａとを共に設けていることから、バネ部材３４Ａの伸縮により補償され、変位誤差の影響が略問題になることはない。また、第２実施形態においてもエアーシリンダ装置３４Ｅと振動減衰部材３５Ｅとを共に設けているので、エアーシリンダ装置３４Ｅによる剛性により補償され、変位誤差の影響が略問題になることはない。
【００４５】
上記のように構成されたスライダ装置を案内機構とする三次元測定機によれば、内部振動が抑制され、測定精度が向上される。或いは、工作機械に使用すれば、高精度な加工が実現できる。
【００４６】
以上、発明の実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。例えば、第１実施形態に係るスライダ装置においては、一つの空気静圧部に対してバネ部材及び振動減衰部材は、それぞれ一つずつであったが、それらは複数であってもよく、空気静圧部とビームとの間の距離がプリロードを発生させる最適な距離に設計されている場合には、上記において説明した押し螺子を備えなくともよい。また、第２実施形態に係るスライダ装置においても、さらに複数の振動減衰部材を配置することが可能である。また、空気静圧部で生じさせる静圧は、空気によらなくとも、流体によるものであればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るスライダ装置の概略を示す図である。
【図２】空気静圧部の特性曲線を示す図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るスライダ装置の力学モデルを示す図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係るスライダ装置の力学モデルを示す図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係るスライダ装置の周波数応答シミュレーション結果を示すゲイン線図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係るスライダ装置の周波数応答シミュレーション結果を示す位相線図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係るスライダ装置の機構解析シミュレーション結果を示す時間経過による振動を表す図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係るスライダ装置の空気静圧軸受の概略を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０…ビーム、１０ａ…外周表面、２０…スライダ、２０ａ…内周表面、３０Ａ…第１の空気静圧軸受、３０Ｂ…第２の空気静圧軸受、３０Ｃ…第３の空気静圧軸受、３０Ｄ…第４の空気静圧軸受、３０Ｅ…空気静圧軸受、３１…押し螺子、３２…固定部、３３Ａ，３３Ｅ…空気静圧部、３４Ａ…バネ部材、３４Ｅ…エアーシリンダ装置、３５Ａ，３５Ｅ…振動減衰部材、３６Ａ…エアー配管、４０A…第１空気膜、４０Ｂ…第２空気膜、４０Ｃ…第３空気膜、４０Ｄ…第４空気膜、４０Ｅ…空気膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2007218404.tif 000010
【図４】
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【図５】
2007218404.tif 000012
【図６】
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【図７】
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【図８】
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