(57)【要約】【課題】ダイヤフラムポンプの一層の薄型化を図る。【解決手段】ハウジングに形成した凹部と、該凹部を閉塞し振動するダイヤフラムとによって画成されたポンプ室と、上記ハウジングに、上記ダイヤフラムに沿う方向に向けて形成され、その内端部が上記ポンプ室に連通する吸入ポート及び吐出ポートと、上記吸入ポートの内端部とポンプ室との間に設けられた吸入側逆止弁と、上記吐出ポートの内端部とポンプ室との間に設けられた吐出側逆止弁と、を有するダイヤフラムポンプにおいて、吸入ポート（吐出ポート）の軸線を含みダイヤフラムと直交する平面を基準としたとき、上記吸入側逆止弁と吐出側逆止弁を、この平面内において、吸入ポートと吐出ポートの内端部側ほど、ダイヤフラムから離間し、手前側ほど接近する方向に傾斜させて設けたダイヤフラムポンプ。【選択図】図４
2007071099.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングに形成した凹部と、該凹部を閉塞し振動するダイヤフラムとによって画成されたポンプ室と、上記ハウジングに、上記ダイヤフラムに沿う方向に向けて形成され、その内端部が上記ポンプ室に連通する吸入ポート及び吐出ポートと、上記吸入ポートの内端部とポンプ室との間に設けられた吸入側逆止弁と、上記吐出ポートの内端部とポンプ室との間に設けられた吐出側逆止弁と、を有するダイヤフラムポンプにおいて、
上記吸入ポートの軸線を含みダイヤフラムと直交する平面、及び上記吐出ポートの軸線を含みダイヤフラムと直交する平面をそれぞれ基準としたとき、上記吸入側逆止弁と吐出側逆止弁を、上記両平面内において、吸入ポートと吐出ポートの内端部側ほど、ダイヤフラムから離間し、手前側ほど接近する方向に傾斜させて設けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
請求項１記載のダイヤフラムポンプにおいて、吸入ポートと吐出ポートの軸線は、ダイヤフラムの延長平面と平行に延びているダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
請求項１記載のダイヤフラムポンプにおいて、吸入ポートと吐出ポートの軸線は、ダイヤフラムの延長平面とは非平行であり、該ダイヤフラムの延長平面と吸入側逆止弁及び吐出側逆止弁の設置平面がなす角度より、該軸線とダイヤフラムの延長平面とのなす角度の方が小さいように傾斜しているダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、吸入側逆止弁と吐出側逆止弁は、ハウジングとは別体の吸入側逆止弁ユニット及び吐出側逆止弁ユニットとして形成され、該吸入側逆止弁ユニットと吐出側逆止弁ユニットが吸入ポートと吐出ポートのポンプ室側開口端にそれぞれ接合されているダイヤフラムポンプ。
【請求項５】
請求項４記載のダイヤフラムポンプにおいて、吸入側逆止弁ユニットと吐出側逆止弁ユニットは同一の基板上に設けられているダイヤフラムポンプ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記逆止弁はアンブレラであるダイヤフラムポンプ。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記ダイヤフラムは圧電振動子または電歪振動子であるダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラムポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムによってポンプ室（可変容積室）を形成し、このポンプ室に連なる一対の流路に、流れ方向の異なる一対の逆止弁（ポンプ室への流体流を許す吸入側逆止弁とポンプ室からの流体流を許す吐出側逆止弁）を設けている。ダイヤフラムを振動させるとポンプ室の容積が変化し、容積が拡大する行程では吸入側逆止弁が開き、容積が縮小する行程では吐出側逆止弁が開く動作を繰り返すことから、ポンプ作用が得られる。ダイヤフラムは、ゴム、圧電振動子等の弾性（振動）可能な材料から構成される。
【特許文献１】特開２００１-１９３６５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムを含む可変容積室を薄型にできることから、薄型のポンプとして例えば水冷ノートパソコンの冷却水循環ポンプとして用いられつつある。しかし、本発明者らによれば、従来のダイヤフラムポンプは、一層の薄型化の余地がある。
【０００４】
本発明は、以上の問題意識に基づき、ダイヤフラムポンプの一層の薄型化を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、ポンプ室への流体の出入り口となる吸入ポートと吐出ポート、及び該吸入ポートと吐出ポートのポンプ室側端の内端部に設ける吸入側逆止弁と吐出側逆止弁との位置関係を改良し、ダイヤフラムポンプの薄型化を可能としたものである。
【０００６】
本発明によるダイヤフラムポンプは、ハウジングに形成した凹部と、該凹部を閉塞し振動するダイヤフラムとによって画成されたポンプ室と、上記ハウジングに、上記ダイヤフラムに沿う方向に向けて形成され、その内端部が上記ポンプ室に連通する吸入ポート及び吐出ポートと、上記吸入ポートの内端部とポンプ室との間に設けられた吸入側逆止弁と、上記吐出ポートの内端部とポンプ室との間に設けられた吐出側逆止弁と、を有するダイヤフラムポンプにおいて、吸入ポートの軸線を含みダイヤフラムと直交する平面、及び上記吐出ポートの軸線を含みダイヤフラムと直交する平面をそれぞれ基準としたとき、吸入側逆止弁と吐出側逆止弁を、上記両平面内において、吸入ポートと吐出ポートの内端部側ほど、ダイヤフラムから離間し、手前側ほど接近する方向に傾斜させて設けたことを特徴としている。
【０００７】
吸入ポートと吐出ポートの軸線は、ダイヤフラムの延長平面と平行に形成することができる。あるいは、同軸線を、ダイヤフラムの延長平面とは非平行とし、該ダイヤフラムの延長平面と吸入側逆止弁及び吐出側逆止弁の設置平面がなす角度より、該軸線とダイヤフラムの延長平面とのなす角度の方が小さいように傾斜させてもよい。
【０００８】
吸入側逆止弁と吐出側逆止弁は、ハウジングとは別体の吸入側と吐出側の逆止弁ユニットとして形成し、該吸入側と吐出側の逆止弁ユニットを吸入ポートと吐出ポートのポンプ室側開口端に接合することが望ましい。この吸入側逆止弁ユニット吐出側逆止弁ユニットは同一の基板上に設けることも可能である。
【０００９】
いずれの態様でも、逆止弁はアンブレラから構成することが望ましい。また、ダイヤフラムは圧電振動子または電歪振動子から構成するのが実際的である。特にバイモルフ型圧電振動子が好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ダイヤフラムポンプを一層薄型化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図示実施形態は、本出願人が特願２００４-１５４９９１号で原理を提案した４バルブダイヤフラムポンプに本発明を適用したものであり、図１ないし図７についてその一実施形態を説明する。本ダイヤフラムポンプは、アッパハウジング１０、ロアハウジング２０、圧電振動子（ダイヤフラム）３０及びポンプ室プレート４０を有しており、全体として扁平な直方体形状をしている。アッパハウジング１０、ロアハウジング２０及びポンプ室プレート４０はいずれも樹脂材料の成形品から構成されている。
【００１２】
ロアハウジング２０は、これらの成形品のうちで、最も大型で複雑な形状の扁平な直方体状部材であり、圧電振動子３０と対向する面に開かれたポンプ室形成凹部２０ａが形成され、その扁平な周囲四面のうちの一面から、一体に成形した互いに平行をなす吸入ポート３１と吐出ポート３２が突出成形されている（図１ないし図５参照）。ロアハウジング２０には、この吸入ポート３１に連通する吸入側流路２４Ｈと、吐出ポート３２に連通する吐出側流路２５Ｄとが形成されており、この吸入側流路２４Ｈと吐出側流路２５Ｄの内端部には、ポンプ室形成凹部２０ａに連通する流路拡張部２４Ｈａと２５Ｄａが形成されている。この流路拡張部２４Ｈａと２５Ｄａのポンプ室形成凹部２０ａ側端部には、弁受け凹部２４Ｈｂと２５Ｄｂとが形成されている。
【００１３】
この弁受け凹部２４Ｈｂと２５Ｄｂにはそれぞれ、吸込側アンブレラユニット（吸入側逆止弁ユニット）２１Ｕと吐出側アンブレラユニット（吐出側逆止弁ユニット）２２Ｕが接着固定されている。吸込側アンブレラユニット２１Ｕと吐出側アンブレラユニット２２Ｕは装着方向が異なるだけで同一構造であり、周縁部を弁受け凹部２４Ｈｂ（弁受け凹部２５Ｄｂ）との接着部２１ｂ（接着部２２ｂ）としたユニットプレート２１ａ（ユニットプレート２２ａ）の中心部に、アンブレラ装着穴２１ｃ（アンブレラ装着穴２２ｃ）を形成し、このアンブレラ装着穴２１ｃ（アンブレラ装着穴２２ｃ）の周縁に複数の流路穴２１ｄ（流路穴２２ｄ）を形成してなっている。アンブレラ装着穴２１ｃ（アンブレラ装着穴２２ｃ）に中心軸２１ｅ（中心軸２２ｅ）を装着したアンブレラ２１ｆ（アンブレラ２２ｆ）の傘部２１ｇ（傘部２２ｇ）が常時は流路穴２１ｄ（流路穴２２ｄ）を塞ぎ、傘部２１ｇ（傘部２２ｇ）に流路穴２１ｄ（流路穴２２ｄ）側から規定値以上の圧力が加わると、傘部２１ｇ（傘部２２ｇ）が弾性変形して流路穴２１ｄ（流路穴２２ｄ）を開く。吸込側アンブレラユニット２１Ｕと吐出側アンブレラユニット２２Ｕは、その表裏を逆にしてその接着部２１ｂ（接着部２２ｂ）が弁受け凹部２４Ｈｂと２５Ｄｂに接着固定され、吸込側アンブレラユニット２１Ｕは、吸入ポート３１からポンプ室形成凹部２０ａ（ポンプ室２３）への流体流を許してその逆の流体流を許さず、吐出側アンブレラユニット２２Ｕは、ポンプ室形成凹部２０ａ（ポンプ室２３）から吐出ポート３２への流体流を許してその逆の流体流を許さない。吸込側と吐出側のアンブレラユニット２１Ｕと２２Ｕのユニットプレート２１ａと２２ａは、一枚の基板としてもよい。
【００１４】
以上のロアハウジング２０には、別体としての蓋体を要することなく、ロアハウジング２０単体で、吸入ポート３１とポンプ室形成凹部２０ａとの間、及び吐出ポート３２とポンプ室形成凹部２０ａとの間の閉じられた吸入側流路２４Ｈと吐出側流路２５Ｄが形成されている。ロアハウジング２０にはまた、ポンプ室形成凹部２０ａの周囲に位置させてシールリング溝２０ｂが形成されている。このシールリング溝２０ｂは、半円を超える円の一部からなる大円弧部分２０ｂ１と、該大円弧部分２０ｂ１の両端部を直線で結んだ直線部分２０ｂ２とを有する変形Ｄ型形状をなしている。
【００１５】
吸込側アンブレラユニット２１Ｕと吐出側アンブレラユニット２２Ｕ、すなわち弁受け凹部２４Ｈｂと２５Ｄｂ（傘部２１ｇと２２ｇ）は、圧電振動子３０の平面に対して傾斜している（非平行である）。この傾斜の方向は、吸入ポート３１（吐出ポート３２）の軸線を含み圧電振動子３０と直交する平面を考えたとき、該平面内において、吸入ポート３１（吐出ポート３２）の内端部側ほど、圧電振動子３０から離間し、手前側ほど接近する方向である。このように吸込側アンブレラユニット２１Ｕと吐出側アンブレラユニット２２Ｕを傾斜させると、吸入ポート３１と吐出ポート３２の流路断面積を犠牲にすることなく、ロアハウジング２０の薄型化を図ることができる。
【００１６】
すなわち、図４に示すように、弁受け凹部２４Ｈｂの表面（吸込側アンブレラユニット２１Ｕのユニットプレート２１ａ（傘部２１ｇ））と圧電振動子３０の自由状態における平面とは、非平行であって、角度αをなしている。つまり、逆止弁（吸入側アンブレラ）２１での流路は圧電振動子３０と直交していない。一方、吸入ポート３１（吸入側流路２４Ｈ）の軸線は、圧電振動子３０の平面と平行である。そしてこの角度αの方向は、吸込側アンブレラユニット２１Ｕのユニットプレート２１ａ（傘部２１ｇ）が、吸入ポート３１（吸入側流路２４Ｈ）の内端部側ほど圧電振動子３０から離れ、手前側ほど圧電振動子３０に接近する方向である。
【００１７】
同様に、図５に示すように、弁受け凹部２５Ｄｂの表面（吐出側アンブレラユニット２２Ｕのユニットプレート２２ａ（傘部２２ｇ））と圧電振動子３０の自由状態における平面とは、非平行であって、角度αをなしている。つまり、逆止弁（吐出側アンブレラ）２２での流路は圧電振動子３０と直交していない。一方、吐出ポート３２（吐出側流路２５Ｄ）の軸線は、圧電振動子３０の平面と平行である。そしてこの角度αの方向は、吐出側アンブレラユニット２２Ｕのユニットプレート２２ａ（傘部２２ｇ）が、吐出ポート３２（吐出側流路２５Ｄ）の内端部側ほど圧電振動子３０から離れ、手前側ほど圧電振動子３０に接近する方向である。
【００１８】
図１２、図１３は、本発明の別の実施形態を示している。この実施形態は、図４、図５の実施形態では吸入ポート３１（吸入側流路２４Ｈ）と吐出ポート３２（吐出側流路２５Ｄ）の軸線が、圧電振動子３０の平面と平行であったのを非平行としたものである。すなわち、吸入ポート３１（吸入側流路２４Ｈ）の軸線を含みダイヤフラム３０と直交する平面において、該吸入ポート３１の軸線はダイヤフラム３０と角度βをなしており、この角度βは、上記角度αより小さい。同様に、吐出ポート３２（吐出側流路２５Ｄ）の軸線を含みダイヤフラム３０と直交する平面において、該吐出ポート３２の軸線はダイヤフラム３０と角度βをなしており、この角度βは、上記角度αより小さい。
【００１９】
図４、図５の実施形態、図１２、図１３の実施形態ともに、吸入ポート３１と吐出ポート３２の流路断面積を犠牲にすることなく、ロアハウジング２０の薄型化を図ることができる。
【００２０】
ロアハウジング２０にはまた、吸入側流路２４Ｈと吐出側流路２５Ｄから分岐してポンプ室プレート４０側に開口する分岐流路２４Ｈｄと２５Ｄｄとが形成されている。ポンプ室プレート４０には、この分岐流路２４Ｈｄと２５Ｄｄに連通する連通穴４１と４２が形成されており、アッパハウジング１０とポンプ室プレート４０の間には、この連通穴４１と４２に連通する板間吸入側流路１４Ｈと板間吐出側流路１５Ｄが形成されている。すなわち、ポンプ室プレート４０には、分岐流路２４Ｈｄと２５Ｄｄに嵌まる凸部４１ａと４２ａが形成されており、この凸部４１ａと４２ａの中心に、連通穴４１と４２が形成されている。４１ｂ、４２ｂは、分岐流路２４Ｈｄ、２５Ｄｄと、凸部４１ａ、４２ａ（連通穴４１、４２）との間の液密を保持するＯリングである。
【００２１】
ポンプ室プレート４０は、圧電振動子３０との対向面をポンプ室形成凹部４０ａ（図２、図４、図５）としたもので、そのほぼ中心部に、吸込側アンブレラユニット２１Ｕ、吐出側アンブレラユニット２２Ｕに対応する吸込側アンブレラ１１と吐出側アンブレラ１２が装着されている。図２には吸込側アンブレラ１１と吐出側アンブレラ１２を描いていない。すなわち、ポンプ室プレート４０には、吸込側アンブレラユニット２１Ｕと吐出側アンブレラユニット２２Ｕに対応する上下位置に、アンブレラ装着穴１１ａと１２ａが形成され、このアンブレラ装着穴１１ａと１２ａの周縁に複数の流路穴１１ｂと１２ｂが形成されている。吸込側アンブレラ１１と吐出側アンブレラ１２は、アンブレラ装着穴１１ａ（アンブレラ装着穴１２ａ）に装着される中心軸１１ｃ（中心軸１２ｃ）と、常時は流路穴１１ｂ（流路穴１２ｂ）を塞ぐ傘部１１ｄ（傘部１２ｄ）を有しており、傘部１１ｄ（傘部１２ｄ）に流路穴１１ｂ（流路穴１２ｂ）側から規定値以上の圧力が加わると、傘部１１ｄ（傘部１２ｄ）が弾性変形して流路穴１１ｂ（流路穴１２ｂ）を開く。吸込側アンブレラ１１は、アッパハウジング１０側からポンプ室形成凹部４０ａ（ポンプ室１３）への流体流を許してその逆の流体流を許さず、吐出側アンブレラ１２は、ポンプ室形成凹部４０ａ（ポンプ室１３）からアッパハウジング１０側への流体流を許してその逆の流体流を許さない。
【００２２】
アッパハウジング１０は、ロアハウジング２０に重ね合わすように、該ロアハウジング２０と実質的に同一の平面形状を有している。このアッパハウジング１０には、ポンプ室プレート４０との間に、連通穴４１と吸込側アンブレラ１１とを連通させる板間吸入側流路１４Ｈを形成する凹部１４Ｈａと、連通穴４２と吐出側アンブレラ１２とを連通させる板間吐出側流路１５Ｄを形成するための凹部１５Ｄａとが形成されている（図２、図４ないし図６参照）。この凹部１４Ｈａと１５Ｄａの周囲には、長円状Ｏリング（シールリング）１４Ｈｂと１５Ｄｂを嵌めるシールリング溝１４Ｈｃと１５Ｄｃが形成されている。アッパハウジング１０にはまた、ポンプ室プレート４０を嵌入させる凹部１０ａ（図２、図６）が形成されている。
【００２３】
ポンプ室プレート４０とアッパハウジング１０にはそれぞれ、凹部１４Ｈａと１５Ｄａに長円状Ｏリング１４Ｈｂと１５Ｄｂを嵌めた状態で互いに嵌合される位置決め嵌合突起４０ｃと嵌合穴１０ｃ（図１）が形成されており、これらを嵌合後接着することで、連通穴４１から吸込側アンブレラ１１への液密の板間吸入側流路１４Ｈ、吐出側アンブレラ１２から連通穴４２への液密の板間吐出側流路１５Ｄが形成される。すなわち、アッパハウジング１０とポンプ室プレート４０は凹部１０ａ内に該プレート４０を嵌めて予め一体化され、両者の間に閉じられた板間吸入側流路１４Ｈと板間吐出側流路１５Ｄを形成する。別言すると、板間吸入側流路１４Ｈと板間吐出側流路１５Ｄを形成するために、アッパハウジング１０とポンプ室プレート４０以外の蓋部材を必要としない。
【００２４】
ポンプ室プレート４０には、図７に特に明らかなように、圧電振動子３０と対向するポンプ室形成凹部４０ａの周囲に、ロアハウジング２０のシールリング溝２０ｂに対応する（平面的に同一形状の）シールリング溝４０ｂが形成されている。このシールリング溝４０ｂは、半円を超える円の一部からなる大円弧部分４０ｂ１と、該大円弧部分４０ｂ１の両端部を直線で結んだ直線部分４０ｂ２とを有する変形Ｄ型形状をなしている。
【００２５】
圧電振動子３０は、ユニモルフ型、バイモルフ型のいずれも使用可能である。図８ないし図１０は本出願人が特願２００４-１９２４８３号で提案したバイモルフ型の一実施例の模式図であり、中心部の円形のシム１１１と、その表裏に積層形成した圧電体１１２とを備えている。シム１１１は、導電性の金属薄板材料、例えば厚さ０．２ｍｍ程度のステンレス薄板、４２アロイ等から構成する。圧電体１１２は、例えば厚さ０．３ｍｍ程度のＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3）から構成されるもので、その表裏方向に分極処理が施されている。この分極処理は、シム１１１の表裏に位置する一対の圧電体１１２において互いに同一方向である。つまり、図８において、一対の圧電体１１２の分極方向を矢印ａまたはｂで表すと、シム１１１の厚さ方向に同一方向の分極処理が施されている。別言すると、シム１１１に接触する表裏の一対の圧電体１１２の分極特性がそれぞれ異極となり、一対の圧電体１１２の露出面がそれぞれ異極となっている。このように表裏の圧電体１１２の分極特性を同一方向にすると、シム１１１と、シム１１１表裏の一対の圧電体１１２の露出面との間に交互に正負電圧を与えたとき、シム１１１の変位量を増大させることができる。
【００２６】
一対の圧電体１１２のシム１１１側の面は、該シム１１１と全面的に導通するように接着され、シム１１１側と反対の露出面には、全面的に膜状電極１１３が形成されている。この膜状電極１１３は、例えば導電ペースト（銀ペースト、金ペースト、及び白金ペースト等）を印刷（スクリーン焼成）することで形成されている。
【００２７】
給電端子１８０は、一対の接触子１８１１と、この接触子１８１１間を接続する接続縁１８１２と、配線接続部１８１３とを有しており、一対の接触子１８１１と接続縁１８１２とはコ字状断面をなしている。一対の接触子１８１１は、圧電振動子３０の外側に位置する配線接続部１８１３側が幅広で、圧電振動子３０の中心部に向かって徐々に幅を狭くする平面略三角形状部を有する同一形状をなしている。つまり、接触子１８１１は、圧電振動子３０の膜状電極１１３との半田付け部１１３１の幅が最も狭く、圧電振動子３０の外方に向かって幅を広げている。
【００２８】
圧電振動子３０のシム１１１に形成された径方向に突出する配線接続突起１１４は、この一対の接触子１８１１の間に延びている。この配線接続突起１１４には、一対の接触子１８１１を接続する接続縁１８１２との間に隙間を確保する絶縁用凹部１１４１が形成されている。
【００２９】
円形をなすシム１１１の上下には、環状をなすスペーサ絶縁リング１１５が位置し、この上下一対のスペーサ絶縁リング１１５から、一対の接触子１８１１と配線接続突起１１４との間にストリップ状絶縁板材１１５１が延びていて、シム１１１と給電端子１８０との短絡を防止している。ストリップ状絶縁板材１１５１は同時に、給電端子１８０の接続縁１８１２が、シム１１１の絶縁用凹部１１４１側に移動するのを防止し、絶縁を確実にする。
【００３０】
シム１１１の配線接続突起１１４には、絶縁用凹部１１４１よりも圧電振動子３０の外方に位置させて、配線接続突起１１４の幅方向の両側に対称に、一対のリード線掛止凹部１１４３と１１４４が形成されており、一方のリード線掛止凹部１１４３より内方に、半田付け用貫通孔１１４５が形成されている。
【００３１】
給電端子１８０の配線接続部１８１３には、配線接続突起１１４の半田付け用貫通孔１１４５に対応させて、半田付け用貫通孔１８１４が形成されている。この半田付け用貫通孔１１４５と１８１４は平面位置が異なっており、それぞれ、リード線２１１と２２１が半田付けされている。半田付け用貫通孔１１４５と１８１４は半田付け強度を高め、その平面位置を異ならせることで全体の薄型化を図ることができる。またリード線２１１と２２１は、リード線掛止凹部１１４３と１１４４に掛け止められ、リード線２１１と２２１の抜止抵抗を高めている。
【００３２】
圧電振動子３０の表面には、ＰＰＳフィルム（絶縁性フィルム）２４１（図８）が接着されている。このＰＰＳフィルム２４１は給電端子１８０上に延びる径方向舌片２４１ａを有しており、接触子１８１１と圧電振動子３０の膜状電極１１３との離脱を防止している。
【００３３】
以上のシム１１１の配線接続突起１１４及び給電端子１８０回りの配線構造によれば、圧電振動子３０の動きを妨げることがなく、確実にシム１１１及び膜状電極１１３へ配線することができる。
【００３４】
そして、以上のように平面円形を基本形状とする圧電振動子３０は、ロアハウジング２０のポンプ室形成凹部２０ａと、ポンプ室プレート４０のポンプ室形成凹部４０ａとの間に挟着され、その周囲上下がシールリング１６と２６によってシールされてポンプ室１３と２３を形成する。シールリング１６と２６は、ロアハウジング２０のシールリング溝２０ｂとポンプ室プレート４０のシールリング溝４０ｂと同一形状であり、大円弧部分１６ａ（大円弧部分２６ａ）と、直線部分１６ｂ（直線部分２６ｂ）を有している。そして、圧電振動子３０の給電端子１８０は、これらのシールリング１６と２６の外側に、つまり直線部分１６ｂ（直線部分２６ｂ）の外側に位置している。このように配置すると、圧電振動子３０の圧電体１１２に対する給電端子１８０をシールリング１６と２６と交差させずにすみ、シールリング１６と２６を局部的に変形させることがないので、その耐久性を向上させることができる。
【００３５】
また、ロアハウジング２０と、予めポンプ室プレート４０に一体にされているアッパハウジング１０とは、両者の間に以上のように圧電振動子３０を挟着した状態で締結具（例えばボルトナット）によって結合され一体にされる。勿論付加的に接着剤を用いることができる。
【００３６】
上記構成の本ダイヤフラムポンプは、給電端子１８０とシム１１１（配線接続突起１１４）との間に交番電界を与えて圧電振動子３０を正逆に弾性変形（振動）させると、ポンプ室１３と２３のいずれか一方の容積が増大し他方の容積が減少する。ポンプ室１３の容積が増大する行程では、吸入側アンブレラ１１が開いて吸入ポート３１からポンプ室１３内に流体が流入し、同時にポンプ室２３の容積が減少するからポンプ室２３内の流体が吐出側アンブレラ（ユニット）２２を開いて吐出ポート３２に流出する。逆にポンプ室１３の容積が減少する行程では、吸入側アンブレラ（ユニット）２１が開いて吸入ポート３１からポンプ室２３内に流体が流入し、ポンプ室１３の容積が減少するからポンプ室１３内の流体が吐出側アンブレラ１２を開いて吐出ポート３２に流出する。従って、吐出ポート３２における脈動の周期を短くする（圧電振動子３０の上下の一方のみにポンプ室が形成される場合に比して半分にする）ことができる。図１１は、以上の４バルブダイヤフラムポンプの流路をスケルトンで描いたものである。
【００３７】
本発明は、以上の実施形態のロアハウジング２０に設けるアンブレラ２１、２２とポート３１、３２の関係を対象とするものであり、アッパハウジング１０、圧電振動子３０、ポンプ室プレート４０あるいはシールリング１６、２６等は一例を示すに過ぎない。また本発明は、２バルブタイプ、すなわち、圧電振動子３０の下方にのみポンプ室を形成し、上方にはポンプ室を設けない（アンブレラ１１、１２を設けない）タイプにも適用できる。また、逆止弁としてアンブレラを例示したが、アンブレラ以外の逆止弁を用いることも可能である。以上の実施形態ではダイヤフラムとして圧電振動子を用いたが、圧電振動子に代えて電歪振動子を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明によるダイヤフラムポンプの一実施形態を示す分解状態の斜視図である。
【図２】同分解状態の断面図である。
【図３】ロアハウジングの平面図である。
【図４】図３のIＶ-IＶ線に沿う断面図である。
【図５】図３のＶ-Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】アッパハウジングのポンプ室プレート側の平面図である。
【図７】ポンプ室プレートのポンプ室形成凹部側の平面図である。
【図８】バイモルフ型圧電振動子の分解斜視図である。
【図９】同バイモルフ型圧電振動子と変形Ｄ型シールリングの関係を示す斜視図である。
【図１０】同要部の平面図である。
【図１１】本発明を適用する４バルブダイヤフラムポンプの概念図である。
【図１２】本発明の別の実施形態を示す、図４に対応する断面図である。
【図１３】同図５に対応する断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０  アッパハウジング
１０ｃ  嵌合穴
１１  吸入側アンブレラ（吸入側逆止弁）
１１ａ  １２ａ  アンブレラ装着穴
１１ｂ  １２ｂ  流路穴
１１ｃ  １２ｃ  中心軸
１１ｄ  １２ｄ  傘部
１２  吐出側アンブレラ（吐出側逆止弁）
１３  ポンプ室（可変容積室）
１４Ｈ  板間吸入側流路
１４Ｈａ  凹部
１４Ｈｂ  長円状Ｏリング（シールリング）
１４Ｈｃ  シールリング溝
１５Ｄ  板間吐出側流路
１５Ｄａ  凹部
１５Ｄｂ  長円状Ｏリング
１５Ｄｃ  シールリング溝
１６  シールリング
１６ａ  大円弧部分
１６ｂ  直線部分
２０  ロアハウジング
２０ａ  ポンプ室形成凹部
２０ｂ  シールリング溝
２０ｂ１  大円弧部分
２０ｂ２  直線部分
２１  吸入側アンブレラ（吸入側逆止弁）
２１Ｕ  吸込側アンブレラユニット（吸入側逆止弁ユニット）
２１ａ  ２２ａ  ユニットプレート
２１ｂ  ２２ｂ  接着部
２１ｃ  ２２ｃ  アンブレラ装着穴
２１ｄ  ２２ｄ  流路穴
２１ｅ  ２２ｅ  中心軸
２１ｆ  ２２ｆ  アンブレラ
２１ｇ  ２２ｇ  傘部
２２  吐出側アンブレラ（吐出側逆止弁）
２２Ｕ  吐出側アンブレラユニット（吐出側逆止弁ユニット）
２３  ポンプ室（可変容積室）
２４Ｈ  吸入側流路
２４Ｈａ  流路拡張部
２４Ｈｂ  弁受け凹部
２４Ｈｄ  分岐流路
２５Ｄ  吐出側流路
２５Ｄａ  流路拡張部
２５Ｄｂ  弁受け凹部
２５Ｄｄ  分岐流路
２６  シールリング
２６ａ  大円弧部分
２６ｂ  直線部分
３０  圧電振動子（ダイヤフラム）
３１  吸入ポート
３２  吐出ポート
４０  ポンプ室プレート
４０ａ  ポンプ室形成凹部
４０ｂ  シールリング溝
４０ｂ１  大円弧部分
４０ｂ２  直線部分
４０ｃ  位置決め嵌合突起
４１  ４２  連通穴
４１ａ  ４２ａ  凸部
４１ｂ  ４２ｂ  Ｏリング
１１１  シム
１１２  圧電体
１８０  給電端子
２１１  ２２１  リード線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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