(57)【要約】【課題】基板に形成されるＸ軸及びＹ軸スクライブラインを一工程によって処理することができる多軸同期制御を利用したスクライブ装置及び方法を提供する。【解決手段】基板がローディングされて一方向に移動する基板移送手段と、基板移送手段の進行方向に対して垂直方向に配置された第１ガイドと、第１ガイドに予め設定された間隔で装着された複数の第１スクライブ手段と、第１スクライブ手段によって形成された複数の第１スクライブラインに対して垂直方向のスクライブラインを形成する第２スクライブ手段と、第２スクライブ手段を基板移送手段の進行方向に対して垂直方向に移送させる第２ガイドと、第２スクライブ手段によって形成される第２スクライブラインが第１スクライブラインに対して垂直に形成されるように、基板移送手段及び第２スクライブ手段の移送速度を制御する制御部とで構成する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板がローディングされて一方向に移動する基板移送手段と、
前記基板移送手段の進行方向に対して垂直方向に配置された第１ガイドと、
前記第１ガイドに予め設定された間隔で装着された複数の第１スクライブ手段と、
前記基板移送手段の移送速度を制御する制御部とを含むことを特徴とする多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項２】
前記第１スクライブ手段によって形成された複数の第１スクライブラインに対して垂直方向のスクライブラインを形成する第２スクライブ手段と、
前記第２スクライブ手段を前記基板移送手段の進行方向に対して垂直方向に移送させる第２ガイドとをさらに含み、
前記制御部は、前記第２スクライブ手段によって形成される第２スクライブラインが前記第１スクライブラインに対し垂直に形成されるように、前記第２スクライブ手段の移送速度を制御することを特徴とする請求項１に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項３】
前記基板移送手段が移送可能に設置されるベースをさらに含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項４】
前記第１ガイドは、前記複数の第１スクライブ手段を乗降させる第１乗降手段をさらに含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項５】
前記第２ガイドは、前記第２スクライブ手段を乗降させる第２乗降手段をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項６】
前記第２ガイドは、前記第２スクライブ手段を移送させる移送手段をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項７】
前記移送手段は、リニアガイドモータで構成されることを特徴とする請求項６に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記基板に表示されたスクライブラインマークを読取るための読取手段をさらに含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項９】
前記第２ガイドは、前記基板移送手段の移動方向に対する配置角を調整することができる角度調節手段をさらに含むことを特徴とする請求項２乃至８のいずれかに記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記基板に形成される複数の第２スクライブラインのうちの隣接したラインの間で前記第２スクライブ手段が移動可能に、前記第２ガイドの角度を前記角度調節手段によって調節することを特徴とする請求項９に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項１１】
前記制御部は、前記第２スクライブ手段によって形成される第２スクライブラインが前記第１スクライブラインに対して垂直に形成されるように、前記移送手段の移送速度によって前記第２スクライブ手段の移送速度を調節することを特徴とする請求項９に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項１２】
前記第１スクライブ手段及び第２スクライブ手段はホイールチップで構成されることを特徴とする請求項２に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項１３】
前記第１スクライブ手段は、前記基板に形成される第１スクライブラインの数だけ前記第１ガイドに装着されることを特徴とする請求項２に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項１４】
前記第１スクライブ手段は前記第１ガイドに脱着可能であることを特徴とする請求項１３に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項１５】
一方向に移送可能な基板移送手段に基板をローディングする段階と、
前記基板移送手段の移送方向に対して垂直に配置された複数の第１スクライブ手段を利用して第１スクライブラインを形成しながら、第２スクライブ手段を利用して前記基板移送手段の移送方向に対して垂直方向に第２スクライブラインを予め設定された間隔で繰り返し形成する段階とを含むことを特徴とする多軸同期制御を利用したスクライブ方法。
【請求項１６】
前記第２スクライブ手段は、前記基板移送手段の進行方向側に前記基板移送手段の移送速度によって設定された斜線方向に移送されることを特徴とする請求項１５に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ方法。
【請求項１７】
前記第２スクライブ手段の移送範囲のうちの前記基板移送手段の移送範囲は、前記基板に形成される第２スクライブラインの間隔より小さい範囲内に設定されることを特徴とする請求項１５に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ装置。
【請求項１８】
前記第２スクライブラインの繰り返し形成は、前記基板移送手段の移送のうちの前記第２スクライブ手段の往復移送によって行われることを特徴とする請求項１５に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ方法。
【請求項１９】
前記第２スクライブ手段の往復移送のうちの一方向移送は前記第２スクライブラインを形成する移送であり、他方向移送は前記基板から分離されて移送されることを特徴とする請求項１８に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ方法。
【請求項２０】
前記第２スクライブ手段の往復移送のうちの一方向移送は前記第２スクライブラインを形成する移送であり、他方向移送は、前記第２スクライブ手段が移送方向を変更して次の第２スクライブラインを形成する移送によって行われることを特徴とする請求項１８に記載の多軸同期制御を利用したスクライブ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は多軸同期制御を利用したスクライブ装置及びその方法（ＡＰＰＡＲＡＴＵＳ  ＡＮＤ  ＭＥＴＨＯＤ  ＦＯＲ  ＳＣＲＩＢＩＮＧ  ＳＵＢＳＴＲＡＴＥ  ＵＳＩＮＧ  ＳＹＮＣＨＲＯＮＩＺＥＤ  ＭＵＬＴＩ−ＡＸＩＳ）に係り、特に、基板にＸ軸スクライブラインとＹ軸スクライブラインを同時に形成するための多軸同期制御を利用したスクライブ装置及びその方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｄｅｖｉｃｅ、ＬＣＤ）は非金属基板、つまり、脆性基板を利用する。非金属基板は、衝撃に弱くて割れやすい短所を有するが、一枚の大型ガラス基板に複数のＬＣＤ単位セルを形成した後に個別化することが非常に容易であるという長所を提供する両面性を有する。このような非金属基板の切断技術は、製品の量産性及び製品収率に多くの影響を与える要因として作用する。
【０００３】
具体的には、液晶表示装置の場合、図１に示すように、母基板３（ｍｏｔｈｅｒ  ｂｏａｒｄ）と呼ばれる大型ガラス基板に少なくとも２つ以上のＬＣＤ単位セル４が同時に形成される。一枚の母基板３に少なくとも２つ以上のＬＣＤ単位セル４の製作が完了した後、ＬＣＤ単位セル４を個別化工程によって母基板３から個別化させる。その後に、完全な液晶表示装置となるようにアセンブリ工程が進められる。個別化工程は、他の工程と比較すれば、非常に重要な比重を有する。これは、個別化工程が製品生産の殆ど最後の段階に属するので、個別化工程における不良は直接的に収率を落とす結果を招く。つまり、液晶表示装置に用いられるガラス基板は非結晶質基板であるため、脆性（Ｂｒｉｔｔｌｅｎｅｓｓ）が非常に高くて、切断過程でエッジに形成された微細クラックが応力が脆弱な所に沿って急速に伝播することによって、望まない部分が切断されるなど個別化工程中に不良が続出するため、格別な注意を必要とする。
【０００４】
上記のように母基板を切断するための技術として、例えば、特許文献１に開示されているものがある。特許文献１のスクライブ装置は、図２に示すように、ローディングされた基板３０が真空吸着手段のような固定手段によって固定されて回転するステージ２０と、このステージ２０をＹ方向に移動させる一対の案内レール２１と、この案内レール２１に沿ってステージ２０を移動させるボールスクリュー２２と、Ｘ方向に沿ってステージ２０上に架設されたガイドバー２３と、Ｘ方向にスライディング可能にガイドバー２３に設置された複数のスクライブヘッド２６と、このスクライブヘッド２６をスライドディングさせるモータ２４と、スクライブヘッド２６の下部への乗降移動が可能であると同時に、左右に回転できるように設置されるチップホルダー２７と、このチップホルダー２７の下端に回転可能に装着されるカッタホイールチップ２８と、ガイドバー２３の上方に設置され、ステージ２０上の基板３０に形成されているアラインメントマーク（ａｌｉｇｎｍｅｎｔ  ｍａｒｋ）を認識する一対のカメラとで構成されている。
【０００５】
上記のように構成された従来のスクライブ装置では、図３に示すように２つのブロック３２、３６に区分され、それぞれのブロック３２、３６が複数の子基板３３に分離される母基板３０を切断するためには、まず、１−Ａ点と１−Ｈ点を表示する整列マークを読取った後、ヘッドのカッティング座標を補正した後に前記１−Ａ点と１−Ｈ点を連結するスクライブライン（横）３４を形成し、同じ方式によって８−Ａ点と８−Ｈ点のスクライブライン３４を形成して母基板３０に複数の横線を形成する。
【０００６】
そして、ステージ２０を９０度回転させて１−Ａ点と８−Ａ点のスクライブライン（縦）３５を形成し、同じ方式によって１−Ｈ点と８−Ｈ点のスクライブライン３５を形成して母基板３０に複数の縦線を形成する。
【特許文献１】大韓民国特許出願公開第２００４−１０６７８号明細書（２００４年１月３１日公開、図１９等参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のような従来のスクライブ装置は、横のスクライブラインを形成した後に、母基板を９０度回転させて再び縦のスクライブラインを形成しなければならず、横のスクライブラインを形成した後に縦のスクライブラインを形成するために再整列を必要とするため、工程時間が長くなって生産性が落ちる問題があった。
【０００８】
本発明の目的は、上述したような問題点を解決するためになされたものであって、基板に形成されるＸ軸及びＹ軸スクライブラインを一工程によって処理することができる多軸同期制御を利用したスクライブ装置及びその方法を提供することにある。
【０００９】
また、本発明の他の目的は、Ｘ軸及びＹ軸スクライブラインを一度の工程によって処理することにより、生産性を高める多軸同期制御を利用したスクライブ装置及びその方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置は、基板がローディングされて一方向に移動する基板移送手段と；基板移送手段の進行方向に対して垂直方向に配置された第１ガイドと；第１ガイドに予め設定された間隔で装着された複数の第１スクライブ手段と；基板移送手段の移送速度を制御する制御部とを含むことを特徴とする。
【００１１】
このような多軸同期制御を利用したスクライブ装置において、第１スクライブ手段によって形成された複数の第１スクライブラインに対して垂直方向のスクライブラインを形成する第２スクライブ手段と；第２スクライブ手段を基板移送手段の進行方向に対して垂直方向に移送させる第２ガイドとをさらに含み；制御部は、第２スクライブ手段によって形成される第２スクライブラインが第１スクライブラインに対して垂直に形成されるように、第２スクライブ手段の移送速度を制御することがこのましく、また、基板移送手段が移送可能に設置されるベースをさらに含むことができ、さらに、第１ガイドは、複数の第１スクライブ手段を乗降させる第１乗降手段をさらに含むことが好適であり、さらにまた、第２ガイドは、第２スクライブ手段を乗降させる第２乗降手段をさらに含むことが好ましい。そして、以上のような多軸同期制御を利用したスクライブ装置において、第２ガイドは、第２スクライブ手段を移送させる移送手段をさらに含むことが好ましく、また、移送手段は、リニアガイドモータで構成されることが良く、さらには、制御部は、基板に表示されたスクライブラインマークを読取るための読取手段をさらに含むことができ、さらにまた、第２ガイドは、基板移送手段の移動方向に対する配置角を調整することができる角度調節手段をさらに含むことが好適であり、そして、制御部は、基板に形成される複数の第２スクライブラインのうちの隣接したラインの間で第２スクライブ手段が移動可能に第２ガイドの角度を角度調節手段によって調節することが好ましく、また、制御部は、第２スクライブ手段によって形成される第２スクライブラインが第１スクライブラインに対して垂直に形成されるように移送手段の移送速度によって第２スクライブ手段の移送速度を調節することができ、さらには、第１スクライブ手段及び第２スクライブ手段は、ホイールチップで構成されることが好適であり、さらにまた、第１スクライブ手段は、基板に形成される第１スクライブラインの数だけ第１ガイドに装着されることが良く、そしてまた、第１スクライブ手段は、第１ガイドに脱着可能であることが好ましい。
【００１２】
また、上記目的を達成するために、本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ方法は、一方向に移送可能な基板移送手段に基板をローディングする段階と；基板移送手段の移送方向に対して垂直に配置された複数の第１スクライブ手段を利用して第１スクライブラインを形成しながら、第２スクライブ手段を利用して基板移送手段の移送方向に対して垂直方向に第２スクライブラインを予め設定された間隔で繰り返し形成する段階とを含むことを特徴とする。
【００１３】
また、上記のような多軸同期制御を利用したスクライブ方法において、第２スクライブ手段は、基板移送手段の進行方向側に基板移送手段の移送速度によって設定された斜線方向に移送されることが好ましく、また、第２スクライブ手段の移送範囲のうちの基板移送手段の移送範囲は、基板に形成される第２スクライブラインの間隔より小さい範囲内に設定されることが好適であり、さらには、第２スクライブラインの繰り返し形成は、基板移送手段の移送のうちの第２スクライブ手段の往復移送によって行われることが好ましい。そして、第２スクライブ手段の往復移送のうちの一方向移送は第２スクライブラインを形成する移送であり、他方向移送は基板から分離されて移送されること好ましく、そしてまた、第２スクライブ手段の往復移送のうちの一方向移送は第２スクライブラインを形成する移送であり、他方向移送は、第２スクライブ手段が移送方向を変更して次の第２スクライブラインを形成する移送によって行われることが好適である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置及びその方法によれば、基板に形成されるＸ軸スクライブラインとＹ軸スクライブラインをほぼ同時に形成することで工程時間を短縮させるので、生産性を高める効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置及びその方法について、本発明の好ましい実施形態を示した添付図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明の説明においては、同一部分は同一符号を付し、その繰り返し説明は省略する。また、図１及びその関連説明の他、図２及び図３及び従来技術の関連説明の内、本発明の技術思想に矛盾しない一般的事項についても重複説明を避けるが本発明に含まれる。
【００１６】
図４は本発明による一実施形態としての多軸同期制御を利用したスクライブ装置を説明するためのブロック図であり、図５〜図１５は本発明による一実施形態としての、多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図であり、図１６は本発明による一実施形態におけるＸ軸ヘッドとＹ軸ヘッド間の速度関係を説明するためのグラフであり、図１７は本発明による一実施形態としての多軸同期制御を利用したスクライブ方法を説明するためのフローチャートである。
【００１７】
本実施形態による多軸同期制御を利用したスクライブ装置について説明する前に、まず、本発明によってスクライブラインが形成される基板５０について説明する。基板５０は、図１４に示したように、Ｘ軸方向に形成されるＸ軸スクライブライン５５ａ〜５５ｅと、Ｙ軸方向に形成されるＹ軸スクライブライン５６ａ〜５６ｅとが形成されてなる。そして、スクライブラインを形成するためにはスクライブマーク、つまり、Ｘ軸スクライブライン５５ａ〜５５ｅが始まる基板５０の一側端（右側端）に形成される複数のＸ軸マーク５２ａ〜５２ｅと、Ｙ軸スクライブライン５６ａ〜５６ｅが始まる基板５０の他側端（上側端）に形成される複数のＹ軸マーク５３ａ〜５３ｅとが基板５０に形成されなければならず、Ｘ軸マーク５２ａ〜５２ｅ及びＹ軸マーク５３ａ〜５３ｅは読取手段であるカメラ８５によって読取られる。
【００１８】
このような基板５０に対してスクライブラインを形成するための本実施形態による多軸同期制御を利用したスクライブ装置は、図４及び図５に示したように、基板５０がローディングされてＸ軸方向に予め設定された速度で移動するテーブル４５と、テーブル４５が移送されるベース４０と、テーブル４５に対してＹ軸方向に予め設定された位置に配置されたＸ軸ヘッドガイド６０と、Ｘ軸ヘッドガイド６０に予め設定された間隔で形成されるＸ軸スクライブライン５５ａ〜５５ｅの間隔で装着された複数のＸ軸ヘッド６５と、Ｘ軸とＹ軸の間の斜線方向に配置されるＹ軸ヘッドガイド７０と、Ｙ軸ヘッドガイド７０に装着されて往復移送されるＹ軸ヘッド７５と、テーブル４５のＸ軸方向移送とＸ軸ヘッド６５の乗降、Ｙ軸ヘッドガイド７０の斜線設定角度、Ｙ軸ヘッド７５の乗降及び移送を制御する制御部８０と、基板５０に形成されたＸ軸マーク５２ａ〜５２ｅ及びＹ軸マーク５３ａ〜５３ｅを読取るカメラ８５とで構成される。
【００１９】
そして、テーブル４５は、Ｘ軸方向に移送させるテーブル移送モータ９１と、テーブル移送モータ９１を制御部８０の制御信号によって駆動させるテーブル移送駆動部９０とをさらに含んで構成される。
【００２０】
Ｘ軸ヘッドガイド６０は、Ｘ軸ヘッド６５を基板５０に対して上下に乗降させるＸ軸ヘッド乗降モータ９３と、Ｘ軸ヘッド乗降モータ９３を制御部８０の制御信号によって駆動させるＸ軸ヘッド乗降駆動部９２とをさらに含んで構成される。
【００２１】
Ｙ軸ヘッドガイド７０は、Ｙ軸ヘッド７５を往復移送させるＹ軸ヘッド移送モータ９５と、Ｙ軸ヘッド移送モータ９５を制御部８０の制御信号によって駆動させるＹ軸ヘッド移送駆動部９４と、Ｙ軸ヘッド７５を基板５０に対して上下に乗降させるＹ軸ヘッド乗降モータ９７と、Ｙ軸ヘッド乗降モータ９７を制御部８０の制御信号によって駆動させるＹ軸ヘッド乗降駆動部９６とをさらに含んで構成される。
【００２２】
そして、Ｙ軸ヘッドガイド７０は、Ｙ軸ヘッドガイド７０の斜線方向の角度（Ｘ軸とＹ軸の間の斜線角度）を設定するために、Ｙ軸ヘッドガイド７０とベース４０の間に設置されるＹ軸ヘッドガイドモータ９９と、Ｙ軸ヘッドガイドモータ９９を制御部８０の制御信号によって駆動させるＹ軸ヘッドガイド駆動部９８とをさらに含んで構成される。
【００２３】
一方、Ｘ軸ヘッド６５とＹ軸ヘッド７５は、スクライブラインを形成するためにスクライブ手段を含んでおり、本実施形態においては、前記スクライブ手段としてホイールチップを選択して説明する。
【００２４】
Ｘ軸ヘッド６５は、Ｘ軸ヘッドガイド６０に脱着可能に装着されることはもちろん、相互間隔が調節可能である。上述のように構成された本実施形態による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を、図５〜図１７を参照して説明する。
【００２５】
先に、テーブル４５のＸ軸方向移送速度ＶｘｔとＹ軸ヘッド７５の斜線方向移送速度Ｖｈとの間の関係について、図１６を参照して説明する（以下に説明されるそれぞれの速度は、速度ベクターを意味する）。テーブル４５の移送速度がＶｘｔに設定されれば、Ｙ軸ヘッドガイド７０の斜線設定角度によってＹ軸ヘッド７５の移送速度であるＶｈから前記Ｖｘｔをベクター減算した結果が、図１６のＶｙ値になるように、Ｙ軸ヘッド７５の速度Ｖｈを設定しなければならない。そして、Ｙ軸ヘッドガイド７０の斜線角度設定は、Ｙ軸ヘッド７５の移送距離がＹ軸スクライブライン５６ａ〜５６ｅの間隔範囲内でなされるように設定されなければならず、Ｙ軸ヘッド７５が一つのＹ軸スクライブラインを形成完了した後に基板５０の上側端に復帰する時間が必要であるので、Ｙ軸スクライブラインの終了時点から次のＹ軸スクライブラインの開始点まで到達する間のテーブル４５の移送距離を移動する時間も含んでＹ軸ヘッドガイド７０の斜線角度を設定しなければならない。以上のように設定された状態で、基板５０にＸ軸マーク５２ａ〜５２ｅ及びＹ軸マーク５３ａ〜５３ｅを形成する。
【００２６】
そして、制御部８０（以下、動作は制御部によって制御されることを基本とする）は、カメラ８５によってＸ軸マーク５２ａ〜５２ｅ及びＹ軸マーク５３ａ〜５３ｅを確認してＸ軸ヘッド６５の間隔を設定し、Ｙ軸ヘッド７５を図５のＡ点に位置した待機位置に移動させて待機させる（Ｓ１１）。
【００２７】
Ｙ軸ヘッド７５を図６のＢ点に移動させ、Ｙ軸ヘッド７５がＹ軸マーク５３ａ〜５３ｅのうちの第１マーク５３ａに位置するようにし（Ｓ１２）、前記基板５０に下降させて密着させる（Ｓ１３）。テーブル４５をＶｘｔの速度で移送させると同時に、Ｙ軸ヘッド７５をＶｈの速度で第１Ｙ軸スクライブライン５６ａを形成しながら図７のＣ点と図８のＤ点まで移送させる（Ｓ１４）。このようにすると、第１Ｙ軸スクライブライン５６ａが形成されたが、まだＸ軸スクライブライン５５ａ〜５５ｅは形成されない。
【００２８】
以上のように、第１Ｙ軸スクライブライン５６ａの形成が終了すれば（Ｓ１５）、Ｙ軸ヘッド７５を上昇させて（Ｓ１６）図９のＥ点、つまり、第２Ｙ軸マーク５３ｂに復帰移送させ（Ｓ１７）、Ｙ軸ヘッド７５を下降させて（Ｓ１８）第２Ｙ軸スクライブライン５６ｂを形成し始め、図１０のＦ点及び図１１のＧまで形成する（Ｓ１９、Ｓ２０）。この時、第２Ｙ軸スクライブライン５６ｂが形成されながら、Ｘ軸スクライブライン５５ａ〜５５ｂも共に一部形成され始める。
【００２９】
このような過程によって第３Ｙ軸スクライブライン５６ｃ、第４Ｙ軸スクライブライン５６ｄを形成し、図１２〜図１４のＨ点、Ｉ点、Ｊ点を通過しながら最後のＹ軸スクライブライン５６ｅを形成し（Ｓ２１）、Ｙ軸ヘッド７５を上昇させて図１５のＡ点に移送させる（Ｓ２３）。この時、Ｘ軸スクライブライン５５ａ〜５５ｅも仕上げされるので、Ｘ軸ヘッド６５も上昇させる（Ｓ２２）。
【００３０】
上記説明においては、Ｙ軸ヘッドガイド７０を一方向の斜線にだけ設定した状態でＹ軸ヘッド７５を往復移送させながら下降  ⇒  スクライブライン形成  ⇒  上昇  ⇒  復帰  ⇒  下降  ⇒  スクライブライン形成の過程によって行われる過程を説明したが、Ｙ軸ヘッドガイドを両方向の斜線方向に繰り返されるようにしながら往復する全ての過程でスクライブラインを形成することもできる。
【００３１】
以上、本発明者を上記実施形態によって具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるわけではなく、その要旨を逸脱しない範囲で多様に変更可能であることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】基板切断工程を説明するための例示図である。
【図２】従来のスクライブ装置を説明するための正面図である。
【図３】従来のスクライブ装置による基板の切断過程を説明するための平面図である。
【図４】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置を説明するためのブロック図である。
【図５】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図６】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図７】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図８】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図９】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図１０】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図１１】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図１２】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図１３】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図１４】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図１５】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ装置の動作を説明するために各段階の状態を示した平面図である。
【図１６】本発明によるＸ軸ヘッドとＹ軸ヘッド間の速度関係を説明するためのグラフである。
【図１７】本発明による多軸同期制御を利用したスクライブ方法を説明するための順序図である。
【符号の説明】
【００３３】
４０  ベース
４５  テーブル
５０  基板
６０  Ｘ軸ヘッドガイド
６５  Ｘ軸ヘッド
７０  Ｙ軸ヘッドガイド
７５  Ｙ軸ヘッド
８０  制御部
８５  カメラ
９０  テーブル移送駆動部
９１  テーブル移送モータ
９２  Ｘ軸ヘッド乗降駆動部
９３  Ｘ軸ヘッド乗降モータ
９４  Ｙ軸ヘッド移送駆動部
９５  Ｙ軸ヘッド移送モータ
９６  Ｙ軸ヘッド乗降駆動部
９７  Ｙ軸ヘッド乗降モータ
９８  Ｙ軸ヘッドガイド駆動部
９９  Ｙ軸ヘッドガイドモータ
【図１】
2007301974.tif 000003
【図２】
2007301974.tif 000004
【図３】
2007301974.tif 000005
【図４】
2007301974.tif 000006
【図５】
2007301974.tif 000007
【図６】
2007301974.tif 000008
【図７】
2007301974.tif 000009
【図８】
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【図９】
2007301974.tif 000011
【図１０】
2007301974.tif 000012
【図１１】
2007301974.tif 000013
【図１２】
2007301974.tif 000014
【図１３】
2007301974.tif 000015
【図１４】
2007301974.tif 000016
【図１５】
2007301974.tif 000017
【図１６】
2007301974.tif 000018
【図１７】
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