(57)【要約】      （修正有）【課題】テーブル等の移動部材あるいは摺動部材の停止時に回転モーメントが発生するのを有効に抑えることができ、かつ駆動部を複数有しているので推力も大きな構造のアクチュエータを提供する。【解決手段】レールおよびレールに沿って移動する移動部材あるいは摺動部材を備える直線状の軌道部と、軌道部と略平行に配置され、軌道部に直線運動を伝達する駆動部とを有する。駆動部は複数が設けられ、軌道部の移動部材あるいは摺動部材と略直角に配置された連結部が駆動部の数と同数設けられ、駆動部が連結部に力を加えることにより移動部材あるいは摺動部材がレール上を直線状に往復移動する。移動部材あるいは摺動部材の移動を停止させる停止部が連結部とは別途設けられている。【選択図】図７
2007218296.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レールおよび前記レールに沿って移動する移動部材あるいは摺動部材を備える直線状の軌道部と、前記軌道部と略平行に配置され、前記軌道部に直線運動を伝達する駆動部とを有し、
前記駆動部は複数が設けられ、前記軌道部の移動部材あるいは摺動部材と略直角に配置された連結部が前記駆動部の数と同数設けられ、前記駆動部が前記連結部に力を加えることにより前記移動部材あるいは摺動部材が前記レール上を直線状に往復移動し、
前記移動部材あるいは摺動部材の移動を停止させる停止部が前記連結部とは別途設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
移動部材あるいは摺動部材の移動を停止させる外部ストッパが設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２記載のアクチュエータにおいて、
移動部材あるいは摺動部材の移動量を調整する調整手段が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１〜３何れか記載のアクチュエータにおいて、
駆動部は少なくとも２つ以上が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１〜４何れか記載のアクチュエータにおいて、
ボディを挟んでレールと取付部材を連結固定するように固定用部材が取り付けられる穴がレールに設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１〜５何れか記載のアクチュエータにおいて、
駆動部の移動部材にマグネットが取り付けられ、ボディの少なくともどちらか一方の側面に軌道部の移動部材あるいは摺動部材の移動位置を検出するためのセンサが備え付けられることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１〜６何れか記載のアクチュエータにおいて、
駆動部は少なくとも圧力流体による流体圧シリンダもしくはバンド式ロッドレスシリンダ、マグネットにより外部移動体が変位するマグネット式ロッドレスシリンダ、または電動アクチュエータの何れかからなることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体圧や電動機構等を駆動源として作動するアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、直線動作する軌道部とこれを駆動させる駆動部との組み合わせよりなるアクチュエータが知られている。軌道部には、高精度なリニアガイド等が用いられ、駆動部には、空気等の流体圧によりピストンが動作する一般的な流体圧シリンダ、マグネット式ロッドレスシリンダ、バンド式ロッドレスシリンダまたは電動アクチュエータ等が用いられている。
【０００３】
上記アクチュエータの代表的な一例が第２６０６６４１号実用新案登録公報（特許文献１）に開示されている。この公報に開示されたアクチュエータ（流体圧シリンダ）では、ボディのシリンダ部と略平行に配置されたガイドレール部に往復移動可能なテーブルが組み付けられている。テーブルに連結されたピン（ロッド）がボディの長穴に挿通されてピストンに係合しており、ボディのポートからシリンダ室に給排気される圧縮空気等によりピストンがシリンダ室内で往復移動すると、ピストンがピン（ロッド）を介してテーブルをガイドレール上で往復移動させ、ピン（ロッド）がボディの長穴端面に当接することによりテーブルの移動が停止せしめられる。
【０００４】
上記アクチュエータは、テーブルがボディ両端面から突出せずボディ上のみで往復移動するので、コンパクトな構造となっている。さらにテーブルの長さをボディよりも短くできるので、テーブルが軽く、シリンダ推力のロスが少なく、テーブル作動時の慣性力も小さくなり、動作時のアクチュエータ各部への衝撃力等の負担も軽くできる。また、流体圧が作用するピストン受圧面にロッドが連結されていないので、ロッド径分だけ推力が小さくなることがなく、ピストン径分の推力を発生させることができる。さらにロッドが連結されておらずピストン両側の受圧面積が同じなので、テーブルの移動方向にかかわらず同じ大きさの推力を発生させることができ、動作方向による推力の違いを考慮する必要がない。また、このようにピストン両側の受圧面積が同じなので、両側加圧のバルブで中間停止させる場合にもレギュレータ等で両側の圧力を調整する必要がなく、設備の簡略化や軽量化を実現することができ、コストダウンにも貢献することができる。
【０００５】
ところで、近年、アクチュエータには、コンパクトで推力の大きな製品の要求が多くなっている。
【０００６】
しかしながら、推力を大きくすべくシリンダ径を大きくするとボディも大きくなってしまうことから、ボディの大きさをほとんど変えないで推力アップする方法として、複数のシリンダ部を組み込んだリニアガイド付きアクチュエータの一例が特開平１０−６１６１１号公報（特許文献２）に開示されている。この公報に開示されたアクチュエータでは、スライドテーブルを往復移動させる機構が上記特許文献１記載のアクチュエータとは異なり、ピストンの軸方向に連結されたロッドがボディ端面より突出しており、ボディのポートより圧縮空気を吸排気させると、ピストンが軸方向に往復動作し、それに伴いロッドも往復移動し、ロッド先端に連結されたエンドプレートに連結固定されたスライドテーブルが軸線方向に往復移動する構造になっている。
【０００７】
したがって、このアクチュエータではその構造上、スライドテーブルの長さはボディと略同じ長さ分が必要であるため、特許文献１記載のアクチュエータよりもスライドテーブルの重さが増えることになる。したがって、ピストンを２つにして推力を増やしてもスライドテーブルが重くなった分だけ推力の損失が大きくなるため、ピストンを複数にして推力を増やした効果を充分に発揮することができない。さらに前述のようにスライドテーブルの長さはボディと略同じ長さ分が必要であるため、ストロークが長くなるほどスライドテーブルも長くなることにより重さも重くなるので、ストロークによりシリンダ推力の損失の差が大きくなる。また、スライドテーブルが重くなる分、スライドテーブルが往復移動するときの慣性力が大きくなり、アクチュエータ本体の各部への負担が大きくなり、強度的に弱くなってしまう場合も発生する。さらにスライドテーブルが長く重くなるため、アクチュエータ本体の重さも増えてしまう。また、ピストンの往復移動に伴い、スライドテーブルがストローク分だけボディより突出する構造であるため、アクチュエータとしてコンパクトになっていない。よってコンパクト、軽量ということに反する構造となってしまっている。
【０００８】
また、ロッドやカラー、ボディ等の部品には寸法のバラツキがある。２つのピストンがカラーに当接して停止するとき、それぞれのピストンの当接面からロッド先端までの長さはどうしてもバラツキによる僅かな寸法差が発生するため、前記寸法差を吸収するためロッド先端のフローティングブッシュとエンドプレートの間にわずかな隙間を設けてある。したがって、僅かに隙間があるので、ピストンがカラーに当接したフルストロークの状態ではフローティングブッシュとエンドプレートの隙間分だけスライドテーブルに遊びが生じる。また、このときにはシリンダの推力がスライドテーブルに作用していない状態となる。また、遊びがあるので、この部分が摩耗しやすく、アクチュエータを使用しているうちにこの隙間が拡大し、ストロークエンドでのテーブルのガタが大きくなり、停止位置精度が悪くなる。また、ガタが大きくなるにつれて破損等の故障が発生しやすい状態となる。さらに流体圧が作用するピストンの片面にロッドがあるので、受圧面積に差が発生し、これによりテーブルの移動方向での推力や、アクチュエータの速度や動作特性に差が生じる。さらに両側加圧のバルブで中間停止させる場合にはピストン両側の圧力を調整する必要があるのでレギュレータ等を追加する必要があり、これによりコストアップに繋がり、装置のコンパクトの弊害となる。また、シリンダ室が２つ設けられているので、ピストン部にロッドが連結されていない側では推力も２倍になるが、ロッドが連結されているピストン面では実際にはロッドのない側のピストン１.５個分程度の推力しか発生しない。つまり、推力が２倍になるということで推力２倍分に相当するワーク等を積載しても移動させることができない場合が発生する。
【０００９】
以上のことから、特許文献１記載の構造に複数のシリンダを組み込めば、スライドテーブルは長くならないので軽量化できることにより推力損失が少なく、ピストン部の軸方向にロッドが連結されていないのでシリンダ室分の推力が得られ、ボディからガイドブロックが突出しないコンパクトなアクチュエータを提供することができる。
【００１０】
しかしながら、この場合には、以下のような問題がある。
【００１１】
すなわち、上記特許文献１記載の構造でシリンダを２つ組み込んだ場合、２つのピストンにそれぞれ差し込まれるピンがボディの貫通溝端面に当接して停止する。しかしながら、ピンが当接する貫通溝端面の位置寸法は加工上のバラツキによりそれぞれの溝が完全に同じ位置寸法ではない。また、スライドテーブルに組み込まれた２本のピンの外径寸法や位置にもバラツキがある。以上のようにどのように精度良く加工や組立てを行なっても各部品の寸法や組立上のバラツキは発生してしまうため、２本のピンのうち、１本はボディの溝端面に当接するが、残り１本のピンと溝端面との間には隙間が生じることになる。したがって、当接しているピンを中心として、当接していないピン側のピストン推力によるモーメントがベアリングに作用する。そうすると、作用するモーメントによりベアリングのボールが弾性変形して、スライドテーブルの位置が若干動いてしまうことになる。また、ピストン推力による余分なモーメントがベアリングに作用することになるので、ベアリングの寿命にも影響する。このようにリニアガイドの精度が十分に発揮できないばかりか、リニアガイドの寿命も縮めてしまうことになる。
【００１２】
また、ピンがボディ溝部に当接するのではなく、ピストンがエンドカバーに当接して停止する構造にした場合は、ピンとこれを差し込むピストン穴間に隙間が残るため、モーメントの発生は防げるが、ピストンの動作停止後に上記隙間分だけテーブルに遊びが発生してしまい、精度が出ない。また、このときはピストン推力がテーブルに作用しない構造となってしまう。
【００１３】
これを解決するためには、ピンとこれを差し込むの穴間に隙間がない状態にすればよいが、そうすると各部品の仕上がりや組立上のバラツキにより片側のピストンのみがエンドカバーに当接するが、片側のピストンはエンドカバーに当接しないため、前述と同様にモーメントが発生してしまう。
【００１４】
【特許文献１】第２６０６６４１号実用新案登録公報
【特許文献２】特開平１０−６１６１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は以上の点に鑑みて、上記テーブル等の移動部材あるいは摺動部材の停止時に回転モーメントが発生するのを有効に抑えることができ、かつ駆動部を複数有しているので推力も大きな構造のアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１によるアクチュエータは、レールおよび前記レールに沿って移動する移動部材あるいは摺動部材を備える直線状の軌道部と、前記軌道部と略平行に配置され、前記軌道部に直線運動を伝達する駆動部とを有し、前記駆動部は複数が設けられ、前記軌道部の移動部材あるいは摺動部材と略直角に配置された連結部が前記駆動部の数と同数設けられ、前記駆動部が前記連結部に力を加えることにより前記移動部材あるいは摺動部材が前記レール上を直線状に往復移動し、前記移動部材あるいは摺動部材の移動を停止させる停止部が前記連結部とは別途設けられていることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の請求項２によるアクチュエータは、上記した請求項１記載のアクチュエータにおいて、移動部材あるいは摺動部材の移動を停止させる外部ストッパが設けられていることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の請求項３によるアクチュエータは、上記した請求項１または２記載のアクチュエータにおいて、移動部材あるいは摺動部材の移動量を調整する調整手段が設けられていることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の請求項４によるアクチュエータは、上記した請求項１〜３何れか記載のアクチュエータにおいて、駆動部は少なくとも２つ以上が設けられていることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の請求項５によるアクチュエータは、上記した請求項１〜４何れか記載のアクチュエータにおいて、ボディを挟んでレールと取付部材を連結固定するように固定用部材が取り付けられる穴がレールに設けられていることを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の請求項６によるアクチュエータは、上記した請求項１〜５何れか記載のアクチュエータにおいて、駆動部の移動部材にマグネットが取り付けられ、ボディの少なくともどちらか一方の側面に軌道部の移動部材あるいは摺動部材の移動位置を検出するためのセンサが備え付けられることを特徴とする。
【００２２】
更にまた、本発明の請求項７によるアクチュエータは、上記した請求項１〜６何れか記載のアクチュエータにおいて、駆動部は少なくとも圧力流体による流体圧シリンダもしくはバンド式ロッドレスシリンダ、マグネットにより外部移動体が変位するマグネット式ロッドレスシリンダ、または電動アクチュエータの何れかからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は、以下の効果を奏する。
【００２４】
すなわち、上記構成を備えた本発明のアクチュエータにおいては、上記ピン等の連結部とは別途に移動部材あるいは摺動部材の移動を停止させる停止部が設けられているために、一部の連結部が停止作動して偏ったモーメントが発生するのを防止することが可能とされている。駆動部は複数が設けられているので、単数の場合よりも推力は大きい。したがって本発明所期の目的どおり、上記テーブル等の移動部材あるいは摺動部材の停止時に回転モーメントが発生するのを有効に抑えることができ、かつ駆動部を複数有しているので推力も大きな構造のアクチュエータを提供することができる。
【００２５】
また、外部ストッパにより外部から移動部材あるいは摺動部材の移動を停止させることができ、移動量調整手段により移動部材あるいは摺動部材の移動量を調整することができる。また、駆動部が２つ以上設けられている場合には、駆動部の数に見合った推力を得ることができ、ボディを挟んでレールと取付部材を連結固定するように固定用部材が取り付けられる穴がレールに設けられている場合には、固定用部材を穴に差し込むことにより容易にアクチュエータを装着することができる。また、マグネットおよび移動位置検出センサが設けられている場合には、移動部材あるいは摺動部材の移動位置を高精度で検出することができる。また、本発明において駆動部の種類は特に限定されず、流体圧シリンダのほか、バンド式ロッドレスシリンダ、マグネットにより外部移動体が変位するマグネット式ロッドレスシリンダ、または電動アクチュエータ等であってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
（１）駆動部の駆動力を軌道部の移動部材あるいは摺動部材に伝達する連結部以外に停止部を設け、この停止部が軌道部のレール等の固定側に当接することにより移動部材あるいは摺動部材の移動を停止させる。
（２）ピストンの往復移動をガイドテーブル（ガイドブロックとも称する）に伝達するシャフト以外にストッパピンを設け、ストッパピンがガイドレールまたはボディに当接することによりガイドテーブルの移動を停止させる。
【実施例】
【００２７】
つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
【００２８】
実施例１・・・
図１〜図７は、本発明の実施例１に係るアクチュエータを示しており、このアクチュエータは、軌道部がリニアガイド１、駆動部がエアシリンダ２により構成されている。
【００２９】
上記エアシリンダ２の躯体であるボディ３の内部にシリンダ室４が２つ平行に設けられ、これらシリンダ室４の中心軸線と平行ないし略平行にリニアガイド１が配置されている。ボディ３にはシリンダ室４が２つ以上あるいは３つ以上設けられていてもよい。リニアガイド１は、直線軌道であるガイドレール５と、このガイドレール５に沿って軸線方向に直線上に往復移動可能な移動部材であるガイドテーブル６とから構成されている。ガイドテーブル６には、テーブル機能等を有する別部材（図示せず）が連結固定されていてもよい。ガイドレール５はボディ３にボルト７等により着脱自在に連結固定されているが、ボディ３にＴスロット溝（図示せず）を設けて、ボルトとナットでガイドレール５をボディ３に固定してもよい。また、ボルト７以外の手段、例えば圧入、カシメ、溶接または接着等の手段によりガイドレール５をボディ３に固定してもよい。また、ガイドレール５とボディ３に互いに対応する凹凸形状を設けることにより、互いに嵌まり込む構造としてもよい。また、ガイドレール５とボディ３の間には、位置決めおよび強度補強のためにピン８が組み込まれているが、ピン８以外の部材、例えばキー等を組み込んでもよい。
【００３０】
ガイドレール５に穴ぐり９およびこれに連通する貫通穴１０が形成され、この穴ぐり９および貫通穴１０と略同位置にボディ３にも貫通穴１１が形成されており、ボルト等の固定用部材（図示せず）をこれら穴ぐり９および貫通穴１０，１１に挿入することにより、当該アクチュエータを装置等の取付部材に連結固定する。ボディ３の貫通穴１１にはネジ加工１２が施されており、ボディ３の底面側からボルト（図示せず）等の固定用部材をネジ込むことにより装置等に連結固定することもできる。ボディ３の貫通穴１１にネジ加工を設ける代わりに、ボディ３の底面側からボルト等を螺入するためのネジ加工をガイドレール５の貫通穴１０に施してもよい。
【００３１】
ガイドテーブル６の下面に、上記軸線方向と略直角に連結部である２本のシャフト１３が設けられており、これらのシャフト１３は、ボディ３に設けた貫通長穴１４に挿通されて、シリンダ室４内部に配置されたピストン１５と連結されている。当該実施例ではシャフト１３は円柱形であるが、四角柱形や六角柱形等の多角形形状であってもよく、楕円形状であってもよい。また、当該実施例ではシャフト１３がガイドテーブル６にネジ込まれているが、圧入等の手段により連結固定されてもよく、シャフト１３とガイドテーブル６が一体的に形成されてもよく、あるいはシャフト１３と一体あるいは連結された別部材（図示せず）がガイドテーブル６に連結されていてもよい。図ではシャフト１３の先端部が挿入されるピストン１５の穴１６は貫通しているが、貫通していなくてもよい。また、図ではシャフト１３と穴１６内壁間には上記軸線方向の隙間が設けられているが、隙間はなくてもよい。また、ピストン１５にシャフト１３がネジ込みや圧入や接着等の手段で組み込まれ、ガイドテーブル６側にシャフト１３が入る穴かシャフト１３が当接する部材（何れも図示せず）があってピストン１５の推力および往復動がガイドテーブル６に伝えられる構造であってもよい。また、ピストン１５はこれを軸線方向分割タイプとしてシャフト１３を挟み込む構造であってもよい。
【００３２】
ボディ３に設けられたポート１７，１８から空気等の圧縮流体を吸排気させると、２つのピストン１５がシリンダ室内４を軸線方向に直線上に往復移動し、これによりシャフト１３を介してガイドテーブル６もガイドレール５上を軸線方向に往復移動する。尚、ポート１７，１８は一方のシリンダ室４に連通し、一方のシリンダ室４は連通孔２４を介して他方のシリンダ室４に連通している。
【００３３】
ピストン１５に、マグネット等の磁性体（図示せず）が組み付けられて、ボディ３に設けたセンサ取付溝１９に装着されるセンサ（図示せず）がこの磁性体の磁力を感知して反応することにより、ピストン１５およびガイドテーブル６の位置が検出される。
【００３４】
ガイドテーブル６には、シャフト１３以外に、停止部であるストッパピン２１が設けられており、このストッパピン２１は、ガイドレール５に形成された溝部２２に挿入されている。ガイドレール５の溝部２２の幅はストッパピン２１の外径よりも大きく設定されているので、ガイドテーブル６がガイドレール５上を直線状に往復移動すると、ストッパピン２１も溝部２２の中を直線的に往復移動する。そして、ストッパピン２１がガイドレール５の溝部２２の両端面２２ａ，２２ｂの一方に当接することにより、ガイドテーブル６の往復移動が停止せしめられる。
【００３５】
シャフト１３が挿通しているボディ３の貫通長穴１４の長さはシャフト１３の外径とピストン１５の移動量を加算した数値よりも長い貫通溝となっている。したがってストッパピン２１がガイドレール５の溝部２２の両端面２２ａ，２２ｂに当接したときには、ボディ３の貫通長溝１４の端面とシャフト１３の間には隙間があって両者は当接しないので、どちらかのシャフト１３を中心にシリンダ推力によるモーメントがリニアガイド１に作用することはない。したがってリニアガイド１の高精度を損なうことはなく、また長寿命でリニアガイド１を使用することができる。ちなみにストッパピン２１は、２本のシャフト１３ないし２組のピストン１５・シリンダ室４（これらは当該アクチュエータの幅方向に対称的な構造とされている）の間であってその中間位置に設けられている。
【００３６】
尚、当該実施例では、ストッパピン２１がガイドテーブル６にネジ込まれているが、圧入や溶接等の手段で組み込まれていてもよく、複数の部品で構成されていてもよく、ガイドテーブル６と一体的に形成されていてもよい。また当該実施例では、ストッパピン２１がガイドレール５の貫通穴（上記溝部２２）からボディ３に設けた溝部２３まで延びているが、ストッパピン２１が往復移動するガイドレール５の溝部２２は貫通していなくてもよい。ボディ３の溝部２３はボディ３に対して貫通していてもよい。ストッパピン２１が前述のようにガイドレール５の溝部２２端面ではなく、ボディ３の溝部２３端面に当接する構造になっていてもよい。また、ストッパピン２１が当接するガイドレール５あるいはボディ３の溝部２２，２３端面にゴムや樹脂等の弾性体（図示せず）が設けられていてもよく、ストッパピン２１の当接面にゴムや樹脂等の弾性体（図示せず）が設けられていてもよい。また、ストッパピン２１が当接するガイドレール５あるいはボディ３の溝部２２，２３端面に別の受け部材（図示せず）を設けて、この受け部材にストッパピン２１が当接する構造であってもよい。例えば、ストッパピン２１がボディ３に当接する構造の場合、ボディ３がアルミ等の軟材の場合、鉄やステンレス鋼など強度や摩耗に対し強い材質やそれらに熱処理が施されたものを受け部材として当接面に設けることにより、耐久性を向上させることができる。また、前記部材に、耐食、耐摩耗性や強度対策用の表面処理等が施されていても良い。
【００３７】
実施例２・・・
上記実施例１のようなアクチュエータでは、ガイドテーブル６の軸線方向の移動量を調整する調整手段としてアジャスタ機構が組み込まれることが多い。またストロークエンドでの衝撃緩和対策として、ラバーストッパやショックアブソーバを使用することも多い。
【００３８】
図８〜図１１の例では、ボディ３の両端面に設けられたプレート２６にアジャストボルトとしてラバーストッパ２７が組み込まれている。もちろん金属ストッパやショックアブソーバ等であってもよい。この例では、ガイドテーブル６の両端面に設けられたストッパ受け２８がラバーストッパ２７に当接することによりガイドテーブル６の移動が停止せしめられる。尚、図ではラバーストッパ２７がガイドテーブル６の中心（幅方向中央）からオフセットした位置に配置されているが、ガイドテーブル６の中心位置（幅方向中央位置）に配置されていてもよい。
【００３９】
実施例３・・・
図１２〜図１５の例では、ラバーストッパ２７と金属ストッパ２９の両方が組み込まれており、ラバーストッパ２７で衝撃を緩和し、金属ストッパ２９で高い停止位置精度を確保する。ショックアブソーバ等と組み合わせてもよい。
【００４０】
尚、上記実施例２〜３に共通して、ラバーストッパ２７、金属ストッパ２９またはショックアブソーバ等のアジャスタ機構は、ガイドテーブル６側に組み込まれて、プレート２６に当接する構造であってもよい。ストッパ受けはなくてもよく、この場合にはガイドテーブル６またはプレート２６にアジャストボルトが直接当接する。また、プレート２６はボディ３の端面でなく上面に取り付けられていてもよく、ボディ３と一体的に形成されていてもよい。
【００４１】
また、プレート２６には、軸方向に配管が可能なポート（図示せず）が設けられ、ここに着脱自在のブランクプラグ３０が取り付けられている。したがってこの場合には、ブランクプラグ３０の取付箇所を変更することにより、ボディ３側面のポート１７，１８とプレート２６のポートとを何れか選択使用することができる。さらにボディ３の側面にポートがなくて、プレート２６の端面と側面にポートを設けてもよく、プレート２６の上面と底面にポートを設けてもよい。
【００４２】
実施例４
図１６〜図１９の例では、ガイドテーブル６の側面に設けられたストッパ受け２８が、ボディ３の側面に取り付けたアジャストブロック３１に組み込まれたショックアブソーバ３２に当接する構造とされている。もちろんショックアブソーバ３２に代えてラバーストッパや金属ストッパであってもよい。また、ストッパ受け２８とガイドテーブル６、アジャストブロック３１とボディ３は一体的に形成されていてもよい。
【００４３】
尚、上記実施例２〜４では、アジャストボルトがガイドテーブル６に設けられたストッパ受け２８に当接する構造であるが、ピストン１５にアジャストボルトを当接させることによりストロークを調整する構造であってもよい。
【００４４】
実施例５・・・
また、これらのアクチュエータはクリーンルームで使用されることが多く、図２０〜図２４の例では、ボディ３の側面に設けられたリリーフポート３３がピストン１５またはストッパピン２１の近辺で発生する塵埃等をここからクリーンルーム外へ排出するように構成されている。リリーフポート３３は一方のシリンダ室４に連通するとともに、一方および他方のシリンダ室４，４はリリーフ用連通部３４を介して連通している。リリーフポート３３はボディ３の端面や底面等に設けられてもよい。また、ボディ３のリリーフポート３３を介して上記塵埃等を回収するポートがスイッチレール、アジャストブロック、エンドロックブロックまたは集中配管ブロック等のボディ３側面に設置される部材に設けられてもよい。
【００４５】
実施例６・・・
図２５〜図３０の例では、ガイドレール５の横幅が長く設定されているので、上記実施例１におけるシャフト１３が、ガイドレール５に設けた貫通長穴３６とボディ３の貫通長穴１４の双方に挿通されてピストン１５に連結される構造となっている。
【００４６】
実施例７・・・
図３１〜図３４の例では、アクチュエータを装置等の取付部材に連結固定するボルトを挿入・螺入するための穴３７がボディ３にも追加された構造となっている。
【００４７】
実施例８・・・
図３５〜図４０の例では、ガイドレール５の外側ではなく内側にガイドテーブル６が配置された構造になっている。また、上記実施例６と同様、ガイドレール５の横幅が長いので、上記実施例１におけるシャフト１３が、ガイドレール５に設けた貫通長穴３６とボディ３の貫通長穴１４の双方に挿通されてピストン１５に連結される構造となっている。
【００４８】
尚、上記実施例６〜８においては、上記したストローク調整機構（図８〜図１９）やリリーフポート（図２０〜図２４）等が設けられていてもよい。
【００４９】
実施例９，１０・・・
上記実施例１〜８では、ボディ３とガイドレール５が別部品として組み合わされていたが、図４１〜図４６の例（実施例９）では、このボディ３とガイドレール５が一体的に成形された構造とされている。この場合、材質としては、ガイドレール５の材質として一般的に使用される鉄やステンレス鋼によりボディ３も成形すればよいが、ボディ３の材質はアルミ材等とするとともに、リニアガイド１のボールやローラ等の摺動部材（転動体）が摺動（転動）する部分のみを摺動に適した材料としてこれらを組み合わせる構造としてもよい。シャフト１３は、実施例１のようにガイドレール５の両脇からボディ３の貫通長穴１４を通ってピストン１５に連結される構造であってもよい。ガイド部の構造は実施例６〜８（図２５〜図４０）と同様の構造であってもよい。実施例２〜４（図８〜図１９）のストローク調整機構が設けられていてもよい。実施例５（図２０〜図２４）のリリーフポート３３が設けられていてもよく、図４７（実施例１０）の例では、リリーフポート３３がスイッチレール３８に設けられている。また、リリーフポート３３は、ストローク調整ブロック等のボディ３側面に取り付けられる部材に設けられていてもよい。
【００５０】
実施例１１・・・
図４８〜５１の例では、ガイドテーブル６がボディ３の片側端面から突出しており、その先端部に略直角にプレート３９が設けられている。プレート３９の端面には、ユーザーで治具等を取り付けるためのネジ穴４０や位置決め用のピン穴４１が設けられている。ガイドテーブル６とプレート３９は一体的に成形されていてもよい。アクチュエータを装置等の取付部材に連結固定するボルトは、ガイドテーブル上面に設けた貫通穴４２を通ってボディ３の穴ぐり９および貫通穴１０に入れられる。ガイドレール６とボディ３は一体成形ではなく、上記実施例のように別部品として組み合わされるものでもよく、シャフト１３の位置は実施例１〜５と同様であってもよい。また、実施例２〜４（図８〜図１９）のストローク調整機構や実施例５（図２０〜図２４）のリリーフポートが設けられてもよい。
【００５１】
実施例１２・・・
図５２〜図５５の例では、ボディ３の側面に配管ブロック４４が連結され、この配管ブロック４４の後端面に、テーブル６戻り側のポートへエアを供給するポート４５が設けられるとともに、この配管ブロック４４にストローク調整用のアジャストボルト４６が取り付けられている。また、ボディ３の後端面にプレート４７が連結され、このプレート４７の後端面に、テーブル６出側のポートへエアを供給するポート４８が設けられるとともに、このプレート４７にストローク調整用のアジャストボルトが取り付けられている。ガイドテーブル６と先端プレート３９は一体形状となっているが、分割タイプであってもよい。
【００５２】
実施例１３・・・
図５６〜図５９の例では、ガイドテーブル６がボディ３の両側端面からそれぞれ突出して、その先端部にそれぞれ略直角にプレート３９が設けられている。プレート３９の端面にはそれぞれ、ユーザーで治具等を取り付けるためのネジ穴４０や位置決め用のピン穴４１が設けられている。ガイドテーブル６とプレート３９は一体的に成形されていてもよい。ガイドテーブル６上面の位置決めピン穴は丸穴５０と長穴５１が交互に配置されて、ガイドテーブル６上面のどこに治具を設置してもピン穴が使用できるようになっている。ガイドレール６とボディ３は一体成形ではなく、上記実施例のように別部品として組み合わされるものでもよく、シャフト１３の位置は実施例１〜５と同様であってもよい。また、実施例２〜４（図８〜図１９）のストローク調整機構や実施例５（図２０〜図２４）のリリーフポートが設けられていてもよい。
【００５３】
実施例１４・・・
図６０〜図６３の例では、プレート３９に取り付けられたストローク調整用のアジャストボルト４６がボディ３の端面に当接する構造とされている。
【００５４】
実施例１５・・・
図６４の例では、実施例１〜１４とは反対に、ストッパピン２１がガイドレール５の上面に立設され、ガイドテーブル６の下面に設けた長溝５２に係合している。この場合、ストッパピン２１はガイドレール５と一体に成形されていてもよく、下方へ延長されて圧入や接着等の手段によりボディ３に組み込まれていてもよい。また、ストッパピン２１は、ガイドレール５ではなくボディ３に立設されてもよく、ストッパピンは、長溝５２ではなく、ガイドテーブル５に設けたブロック（図示せず）に当接する構造であってもよい。また、ガイドレール５は実施例９のようにボディ３と一体であってもよく、シャフト１３の位置は実施例１〜５と同様であってもよい。また、実施例２〜４（図８〜図１９）のストローク調整機構や実施例５（図２０〜図２４）のリリーフポートが設けられていてもよい。
【００５５】
実施例１６・・・
図６５〜図６７の例では、ストローク調整用のアジャストボルト４６がガイドテーブル６の両端面にそれぞれ取り付けられている。ガイドレール６とボディ３は一体成形ではなく、上記実施例のように別部品として組み合わされるものでもよく、シャフト１３の位置は実施例１〜５と同様であってもよい。
【００５６】
実施例１７・・・
図６８〜図７０の例では、シャフト１３が挿通するボディ３の貫通長穴１４を覆い隠すようにガイドテーブル６の下面にプレート５３が設けられている。ボディ３の貫通長穴１４よりもガイドテーブル６の長さが短い場合等において、プレート５３により貫通長穴１４からゴミ等がシリンダ部に入って作動不良の発生や故障を防ぐ構造となっている。プレート５３は、図示しないネジによりガイドテーブル６に連結されているが、ガイドテーブル６と一体でもよく、溶接や接着等の手段により固定されていてもよい。また、プレート５３はシャフト１３と一体に成形されていてもよい。また、プレート５３を挟み込んで固定する構造としてシャフト１３がガイドテーブル６に連結固定されていてもよい。
【００５７】
実施例１８・・・
図７１〜図７５の例では、ピストン１５にロッド５４が連結され、このロッド５４の先端部に、ガイドテーブル６に連結されたシャフト１３が連結されている。ロッド５４はロッドカバー５５に摺動自在に支持され、ロッドカバー５５には、ロッドシール５６やストッパ用止め輪であるピン５７が組み込まれている。ロッド５４の先端部には、シャフト１３の先端を差し込んで係合する穴５８が設けられている。ガイドレールに設ける貫通長穴３６は、実施例１７のようなプレート等により隠れる構造であってもよい。また、ガイドレール５は実施例９のようにボディ３と一体であってもよく、シャフト１３の位置は実施例１〜５と同様であってもよい。また、実施例２〜４（図８〜図１９）のストローク調整機構や実施例５（図２０〜図２４）のリリーフポートが設けられていてもよい。
【００５８】
更に、上記各実施例は、以下のような構造であってもよい。
（１）ガイドレール上には複数個のガイドテーブルがあってもよい。
（２）軌道部のリニアガイドは、ボールが循環するタイプ以外に、ローラ等が循環するタイプでもよく、またボールやローラ等が循環しない有限直線運動タイプでもよく、滑り軸受等であってもよい。
（３）リニアガイドの材質は、実施例のステンレスや鉄以外のアルミ、真鍮等の金属でもよく、樹脂やセラミック等の金属以外の材質であってもよく、異種金属の組み合わせや金属と金属以外の素材を組み合わせたものであってもよい。
（４）実施例ではエア等の圧力流体を供給することにより２つのピストンが略同時に同一方向に直線移動するが、ピストンが別々に異なる方向に移動する構造でもよく、一方のピストンでテーブルを移動させた後、もう一方のピストンが前記移動方向とは反対方向にテーブルを移動させる互い違いの移動動作する構造であってもよい。
（５）駆動部は、実施例以外にマグネット式やバンド式のロッドレスシリンダ、回転モータやリニアモータ等の電動アクチュエータ等の直動機能を有するアクチュエータでもよい。同種のアクチュエータが複数組み込まれていてもよく、また異種のアクチュエータが組み込まれていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施例１に係るアクチュエータの平面図
【図２】同アクチュエータの正面図
【図３】同アクチュエータの側面図
【図４】図１におけるＡ−Ａ線断面図
【図５】図１におけるＢ−Ｂ線断面図
【図６】図７におけるＣ−Ｃ線断面図
【図７】図１におけるＤ−Ｄ線断面図
【図８】本発明の実施例２に係るアクチュエータの平面図
【図９】同アクチュエータの正面図
【図１０】同アクチュエータの左側面図
【図１１】同アクチュエータの右側面図
【図１２】本発明の実施例３に係るアクチュエータの平面図
【図１３】同アクチュエータの正面図
【図１４】同アクチュエータの左側面図
【図１５】同アクチュエータの右側面図
【図１６】本発明の実施例４に係るアクチュエータの平面図
【図１７】同アクチュエータの正面図
【図１８】同アクチュエータの左側面図
【図１９】同アクチュエータの右側面図
【図２０】本発明の実施例５に係るアクチュエータの平面図
【図２１】同アクチュエータの正面図
【図２２】同アクチュエータの側面図
【図２３】図２０におけるＥ−Ｅ線断面図
【図２４】図２０におけるＦ−Ｆ線断面図
【図２５】本発明の実施例６に係るアクチュエータの平面図
【図２６】同アクチュエータの正面図
【図２７】同アクチュエータの側面図
【図２８】図２５におけるＧ−Ｇ線断面図
【図２９】図２７におけるＨ−Ｈ線またはＩ−Ｉ線断面図
【図３０】図２５におけるＪ−Ｊ線断面図
【図３１】本発明の実施例７に係るアクチュエータの平面図
【図３２】同アクチュエータの正面図
【図３３】図３１におけるＫ−Ｋ線断面図
【図３４】図３１におけるＬ−Ｌ線断面図
【図３５】本発明の実施例８に係るアクチュエータの平面図
【図３６】同アクチュエータの正面図
【図３７】同アクチュエータの側面図
【図３８】図３５におけるＭ−Ｍ線断面図
【図３９】図３７におけるＮ−Ｎ線またはＯ−Ｏ線断面図
【図４０】図３５におけるＰ−Ｐ線断面図
【図４１】本発明の実施例９に係るアクチュエータの平面図
【図４２】同アクチュエータの正面図
【図４３】同アクチュエータの側面図
【図４４】図４１におけるＱ−Ｑ線断面図
【図４５】図４１におけるＲ−Ｒ線断面図
【図４６】図４１におけるＳ−Ｓ線断面図
【図４７】本発明の実施例１０に係るアクチュエータの背面図
【図４８】本発明の実施例１１に係るアクチュエータの平面図
【図４９】同アクチュエータの正面図
【図５０】同アクチュエータの左側面図
【図５１】同アクチュエータの右側面図
【図５２】本発明の実施例１２に係るアクチュエータの平面図
【図５３】同アクチュエータの正面図
【図５４】同アクチュエータの左側面図
【図５５】同アクチュエータの右側面図
【図５６】本発明の実施例１３に係るアクチュエータの平面図
【図５７】同アクチュエータの正面図
【図５８】同アクチュエータの左側面図
【図５９】同アクチュエータの右側面図
【図６０】本発明の実施例１４に係るアクチュエータの平面図
【図６１】同アクチュエータの正面図
【図６２】同アクチュエータの左側面図
【図６３】同アクチュエータの右側面図
【図６４】本発明の実施例１５に係るアクチュエータの断面図
【図６５】本発明の実施例１６に係るアクチュエータの平面図
【図６６】同アクチュエータの正面図
【図６７】同アクチュエータの側面図
【図６８】本発明の実施例１７に係るアクチュエータの平面図
【図６９】同アクチュエータの正面図
【図７０】図６８におけるＴ−Ｔ線断面図
【図７１】本発明の実施例１８に係るアクチュエータの平面図
【図７２】同アクチュエータの正面図
【図７３】同アクチュエータの側面図
【図７４】図７１におけるＵ−Ｕ線断面図
【図７５】図７３におけるＶ−Ｖ線またはＸ−Ｘ線断面図
【符号の説明】
【００６０】
１  リニアガイド（軌道部）
２  エアシリンダ（駆動部）
３  ボディ
４  シリンダ室
５  ガイドレール
６  ガイドテーブル
１３  シャフト
１４，３６  貫通長穴
１５  ピストン
１６，３７，５８  穴
１７，１８  ポート
２１  ストッパピン
２２，２３  溝部
３９，５３  プレート
４２  貫通穴
５２  長溝
５４  ロッド
【図１】
2007218296.tif 000003
【図２】
2007218296.tif 000004
【図３】
2007218296.tif 000005
【図４】
2007218296.tif 000006
【図５】
2007218296.tif 000007
【図６】
2007218296.tif 000008
【図７】
2007218296.tif 000009
【図８】
2007218296.tif 000010
【図９】
2007218296.tif 000011
【図１０】
2007218296.tif 000012
【図１１】
2007218296.tif 000013
【図１２】
2007218296.tif 000014
【図１３】
2007218296.tif 000015
【図１４】
2007218296.tif 000016
【図１５】
2007218296.tif 000017
【図１６】
2007218296.tif 000018
【図１７】
2007218296.tif 000019
【図１８】
2007218296.tif 000020
【図１９】
2007218296.tif 000021
【図２０】
2007218296.tif 000022
【図２１】
2007218296.tif 000023
【図２２】
2007218296.tif 000024
【図２３】
2007218296.tif 000025
【図２４】
2007218296.tif 000026
【図２５】
2007218296.tif 000027
【図２６】
2007218296.tif 000028
【図２７】
2007218296.tif 000029
【図２８】
2007218296.tif 000030
【図２９】
2007218296.tif 000031
【図３０】
2007218296.tif 000032
【図３１】
2007218296.tif 000033
【図３２】
2007218296.tif 000034
【図３３】
2007218296.tif 000035
【図３４】
2007218296.tif 000036
【図３５】
2007218296.tif 000037
【図３６】
2007218296.tif 000038
【図３７】
2007218296.tif 000039
【図３８】
2007218296.tif 000040
【図３９】
2007218296.tif 000041
【図４０】
2007218296.tif 000042
【図４１】
2007218296.tif 000043
【図４２】
2007218296.tif 000044
【図４３】
2007218296.tif 000045
【図４４】
2007218296.tif 000046
【図４５】
2007218296.tif 000047
【図４６】
2007218296.tif 000048
【図４７】
2007218296.tif 000049
【図４８】
2007218296.tif 000050
【図４９】
2007218296.tif 000051
【図５０】
2007218296.tif 000052
【図５１】
2007218296.tif 000053
【図５２】
2007218296.tif 000054
【図５３】
2007218296.tif 000055
【図５４】
2007218296.tif 000056
【図５５】
2007218296.tif 000057
【図５６】
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【図５７】
2007218296.tif 000059
【図５８】
2007218296.tif 000060
【図５９】
2007218296.tif 000061
【図６０】
2007218296.tif 000062
【図６１】
2007218296.tif 000063
【図６２】
2007218296.tif 000064
【図６３】
2007218296.tif 000065
【図６４】
2007218296.tif 000066
【図６５】
2007218296.tif 000067
【図６６】
2007218296.tif 000068
【図６７】
2007218296.tif 000069
【図６８】
2007218296.tif 000070
【図６９】
2007218296.tif 000071
【図７０】
2007218296.tif 000072
【図７１】
2007218296.tif 000073
【図７２】
2007218296.tif 000074
【図７３】
2007218296.tif 000075
【図７４】
2007218296.tif 000076
【図７５】
2007218296.tif 000077