(57)【要約】【課題】温度に応じて適切にリフレッシュ周期を変更してスタンバイ電流を削減する。【解決手段】温度検出部１０１は温度を検出し、周期変更制御部１０２は温度が所定の周期変更温度になると、リフレッシュ周期を変更するための周期変更信号を送出し、リフレッシュタイミング信号生成部１０３はリフレッシュタイミング信号を生成し、周期変更信号に応じてリフレッシュタイミング信号の周期を変更し、定電流生成回路１０４はリフレッシュタイミング信号の生成用の電流を生成し、低温用定電流設定回路１０５は温度が周期変更温度以下の場合に生成する電流の大きさを指定し、高温用定電流設定回路１０６は温度が周期変更温度よりも高温の場合に生成する電流の大きさを指定する。【選択図】図１
2007310983.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リフレッシュ動作が必要な半導体記憶装置において、
温度を検出する温度検出部と、
前記温度が所定の周期変更温度になると、リフレッシュ周期を変更するための周期変更信号を送出する周期変更制御部と、
リフレッシュタイミング信号を生成し、前記周期変更信号に応じて前記リフレッシュタイミング信号の周期を変更するリフレッシュタイミング信号生成部と、
前記リフレッシュタイミング信号の生成用の信号を生成する信号生成回路と、
前記温度が前記周期変更温度以下の場合に生成する前記信号の大きさを指定する第１の設定回路と、
前記温度が前記周期変更温度よりも高温の場合に生成する前記信号の大きさを指定する第２の設定回路と、
を有することを特徴とする半導体記憶装置。
【請求項２】
前記信号生成回路で生成される前記信号は電流であり、前記第１の設定回路は前記電流の大きさを指定する第１の定電流設定回路であり、前記第２の設定回路は前記電流の大きさを指定する第２の定電流設定回路であることを特徴とする請求項１記載の半導体記憶装置。
【請求項３】
前記信号が温度上昇とともに増加する温度依存性を有する場合、前記第１の設定回路で指定される前記信号の大きさは、前記第２の設定回路で指定される前記信号の大きさと同一であることを特徴とする請求項１記載の半導体記憶装置。
【請求項４】
前記第１の設定回路及び前記第２の設定回路は、複数のヒューズを有し、切断する前記ヒューズの位置によって前記信号の大きさが指定されており、
前記信号が温度上昇とともに増加する温度依存性を有する場合、前記第１の設定回路における前記ヒューズの切断位置は、前記第２の設定回路における前記ヒューズの切断位置と同一であることを特徴とする請求項１記載の半導体記憶装置。
【請求項５】
前記第１の設定回路または前記第２の設定回路のいずれで指定された前記信号の大きさを前記信号生成回路にて使用させるかを選択する選択回路と、
前記信号の温度依存性を示す温度依存情報を記憶する温度依存情報記憶部と、を更に有し、
記憶された前記温度依存情報が、温度上昇とともに前記信号が増加する前記温度依存性を示す場合、前記選択回路は、前記温度が前記周期変更温度以下の場合にも前記第２の設定回路で指定された前記信号の大きさを選択することを特徴とする請求項１記載の半導体記憶装置。
【請求項６】
試験時に、異なる温度で前記信号生成回路にて生成される前記信号の大きさを比較して、比較結果に応じた前記温度依存情報を生成する温度依存性測定部を更に有し、
生成した前記温度依存情報を前記温度依存情報記憶部に記憶することを特徴とする請求項５記載の半導体記憶装置。
【請求項７】
前記温度依存性測定部は、前記信号の大きさを計数する計数部と、異なる温度での前記計数部の計数結果を保持する記憶部と、異なる温度での前記計数結果の比較結果に応じた前記温度依存情報を生成する比較部と、を有することを特徴とする請求項６記載の半導体記憶装置。
【請求項８】
リフレッシュ動作が必要な半導体記憶装置のリフレッシュ周期制御方法において、
前記半導体記憶装置の温度がリフレッシュ周期を変更する周期変更温度以下の場合の、リフレッシュタイミング信号の生成用の信号の大きさを指定する第１の指定情報を第１の設定回路に記憶し、
前記温度が前記周期変更温度よりも高温の場合の、前記信号の大きさを指定する第２の指定情報を第２の設定回路に記憶し、
前記温度に応じて、前記第１の指定情報または前記第２の指定情報で指定される大きさの前記信号を生成し、
前記信号を用いて前記リフレッシュタイミング信号を生成することを特徴とするリフレッシュ周期制御方法。
【請求項９】
前記信号は定電流生成回路で生成される電流であることを特徴とする請求項８記載のリフレッシュ周期制御方法。
【請求項１０】
前記信号が温度上昇とともに増加する温度依存性を有する場合、前記第１の設定回路に、前記第２の指定情報が示す前記信号の大きさと同じ大きさを示す前記第１の指定情報を記憶することを特徴とする請求項８記載のリフレッシュ周期制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体記憶装置及びリフレッシュ周期制御方法に関し、特にＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）などのリフレッシュ動作が必要な半導体記憶装置及びリフレッシュ周期制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＲＡＭのリフレッシュ周期を決めるもととなるセルフオシレータの発振周期を、定電流生成回路で生成した電流を用いて一定周期にする技術がある。
デバイスの試験工程においては、半導体記憶装置の内部に搭載される複数のヒューズを用いた回路の、所定数のヒューズをトリミングすることにより、定電流生成回路で生成される電流の大きさを可変し、リフレッシュ周期を設定することができる。なお、定電流生成回路から出力される電流が大きいと、リフレッシュ周期が短くなり、電流が小さいとリフレッシュ周期が長くなるのが一般的であるので、以降の説明ではそれを前提にする。
【０００３】
また、従来、スタンバイ電流を低減するために、温度センサを半導体記憶装置に搭載して、温度によってリフレッシュ周期を可変する技術が知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。
【０００４】
図８は、温度に応じたリフレッシュ周期の可変の例を示す図である。
ここでは、メモリセルのデータ保持時間（ｔＲＥＦ）を合わせて図示している。ＤＲＡＭのメモリセルのデータ保持時間は、一般に、温度が低くなるにつれて延び、ある温度（約２０℃程度）以下では飽和してくるという温度特性を有している。そのため、図８のように、リフレッシュ周期（ＲＥＦ周期）を、例えば、６０℃より高温の場合には短くし、６０℃以下の場合には延ばすことで、スタンバイ電流を削減することができる。
【０００５】
ところで、前述のようにリフレッシュ周期は定電流生成回路から出力される電流の大きさによって可変されるが、この電流は温度依存性を有している。温度依存性は、定電流生成回路のトランジスタの閾値電圧などのパラメータによって変わる場合がある。
【０００６】
図９は、定電流生成回路で生成される電流の温度特性及びリフレッシュ周期の温度特性を示す図である。
図９（Ａ）のように、定電流生成回路で生成される電流Ｉｒｅｆは、定電流生成回路のトランジスタのパラメータのばらつきなどにより、チップによって、温度の上昇とともに増加する場合と減少する場合の両方が考えられる。以下、電流Ｉｒｅｆが温度の上昇とともに増加する場合は温度依存がプラス、温度の上昇とともに減少する場合には、温度依存がマイナスと呼ぶことにする。
【０００７】
電流Ｉｒｅｆの温度依存がマイナスの場合には、それを反映してリフレッシュ周期も図９（Ｂ）のように、温度の上昇に対する傾きがマイナスとなり、電流Ｉｒｅｆの温度依存がプラスの場合には、それを反映してリフレッシュ周期も図９（Ｃ）のように、温度上昇に対する傾きがプラスとなる。なお、図９（Ｂ）、（Ｃ）では、リフレッシュ周期を切り替える周期変更温度（図９では６０℃）以下の場合での、リフレッシュ周期の目標値（ターゲット）と、周期変更温度より高温の場合の目標値を図示している。
【０００８】
従来では、デバイスの試験工程において、この周期変更温度より高温の場合のリフレッシュ周期の目標値に、ある温度で一致するように、電流Ｉｒｅｆの大きさを可変してリフレッシュ周期を調整していた。図９（Ｂ）、（Ｃ）では、一例として９５℃でリフレッシュ周期を目標値に一致させた場合を示している。
【特許文献１】特開２００３−５８６１号公報
【特許文献２】特開２００３−１０００７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、従来では、周期変更温度での周期延長倍率は一律であり、図９のように高温の場合のみでリフレッシュ周期を調整した場合、チップごとの電流Ｉｒｅｆの温度依存のばらつきにより、常温や低温でリフレッシュ周期がばらついてしまう。そして、目標値よりも周期が短くなる側にリフレッシュ周期がばらついた場合には、スタンバイ電流が増加してしまうという問題があった。
【００１０】
さらに、周期延長倍率が一律であるため、以下のような問題もある。
図１０は、従来におけるリフレッシュ周期の調整の様子を示す図である。
図１０（Ａ）がチップの電流Ｉｒｅｆの温度依存がマイナスの場合、図１０（Ｂ）がチップの電流Ｉｒｅｆの温度依存がプラスの場合を示している。また、メモリセルのデータ保持時間（ｔＲＥＦ）を合わせて図示している。
【００１１】
例えば、図１０（Ａ）の左図では周期変更温度付近でリフレッシュ周期とデータ保持時間とのマージンが少ない。リフレッシュ周期がデータ保持時間を越えるとメモリセルのデータが消えてしまうため、このマージンは大きいほうが望ましい。そこで、図１０（Ａ）右図のように周期変更温度での周期延長倍率を下げることで、マージンを多くとることができる。
【００１２】
ところが、リフレッシュ周期がデータ保持電流Ｉｒｅｆの温度依存がマイナスのチップの場合で、図１０（Ｂ）のように、周期変更温度以下での目標値より短い場合、温度依存がプラスのチップと同様に周期延長倍率を下げると、目標値よりも更に短くなってしまう。これによりスタンバイ電流がさらに増加してしまうという問題があった。
【００１３】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、温度に応じて適切にリフレッシュ周期を変更してスタンバイ電流を削減することが可能な半導体記憶装置を提供することを目的とする。
【００１４】
また、本発明の他の目的は、温度に応じて適切にリフレッシュ周期を変更してスタンバイ電流を削減することが可能なリフレッシュ周期制御方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明では上記問題を解決するために、リフレッシュ動作が必要な半導体記憶装置において、図１に示すように、温度を検出する温度検出部１０１と、温度が所定の周期変更温度になると、リフレッシュ周期を変更するための周期変更信号を送出する周期変更制御部１０２と、リフレッシュタイミング信号を生成し、周期変更信号に応じてリフレッシュタイミング信号の周期を変更するリフレッシュタイミング信号生成部１０３と、リフレッシュタイミング信号の生成用の信号（図１では電流の場合について示している。）を生成する定電流生成回路１０４と、温度が周期変更温度以下の場合に生成する電流の大きさを指定する低温用定電流設定回路１０５と、温度が周期変更温度よりも高温の場合に生成する電流の大きさを指定する高温用定電流設定回路１０６と、を有することを特徴とする半導体記憶装置１００ａが提供される。
【００１６】
上記の構成によれば、温度検出部１０１は温度を検出し、周期変更制御部１０２は温度が所定の周期変更温度になると、リフレッシュ周期を変更するための周期変更信号を送出し、リフレッシュタイミング信号生成部１０３はリフレッシュタイミング信号を生成し、周期変更信号に応じてリフレッシュタイミング信号の周期を変更し、定電流生成回路１０４はリフレッシュタイミング信号の生成用の電流を生成し、低温用定電流設定回路１０５は温度が周期変更温度以下の場合に生成する電流の大きさを指定し、高温用定電流設定回路１０６は温度が周期変更温度よりも高温の場合に生成する電流の大きさを指定する。
【００１７】
また、上記の構成において、電流が温度上昇とともに増加する温度依存性を有する場合、低温用定電流設定回路１０５で指定される電流の大きさを、高温用定電流設定回路１０６で指定される電流の大きさと同一とすることによって、周期変更温度以下の場合にも、高温用定電流設定回路１０６で指定される電流の大きさと同じ大きさが指定される。
【００１８】
また、リフレッシュ動作が必要な半導体記憶装置のリフレッシュ周期制御方法において、前記半導体記憶装置の温度がリフレッシュ周期を変更する周期変更温度以下の場合の、リフレッシュタイミング信号の生成用の信号の大きさを指定する第１の指定情報を第１の設定回路に記憶し、前記温度が前記周期変更温度よりも高温の場合の、前記信号の大きさを指定する第２の指定情報を第２の設定回路に記憶し、前記温度に応じて、前記第１の指定情報または前記第２の指定情報で指定される大きさの前記信号を生成し、前記信号を用いて前記リフレッシュタイミング信号を生成することを特徴とするリフレッシュ周期制御方法が提供される。
【００１９】
上記の方法によれば、半導体記憶装置の温度がリフレッシュ周期を変更する周期変更温度以下の場合の、リフレッシュタイミング信号の生成用の信号の大きさを指定する第１の指定情報が第１の設定回路に記憶され、温度が周期変更温度よりも高温の場合の、信号の大きさを指定する第２の指定情報が第２の設定回路に記憶され、温度に応じて、第１の指定情報または第２の指定情報で指定される大きさの信号が生成され、その信号を用いてリフレッシュタイミング信号が生成される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、周期変更温度以下の場合のリフレッシュタイミング信号の生成用の信号の大きさと、周期変更温度より高温の場合のリフレッシュタイミング信号の生成用の信号の大きさを両方指定できるので、周期変更温度での周期延長倍率が一律であっても、信号の温度依存性によらず、チップごとにリフレッシュ周期を目標値に調整することができる。これにより、スタンバイ電流の増加を防止することができる。
【００２１】
また、リフレッシュタイミング信号の生成用の信号が、温度の上昇とともに増加する温度依存性を有している場合には、温度が周期変更温度以下の場合にも、周期変更温度より高温の場合の信号の大きさを指定することで、リフレッシュ周期がデータ保持時間より長くなってしまうことを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、第１の実施の形態の半導体記憶装置の構成を示す図である。
第１の実施の形態の半導体記憶装置１００ａは、温度を検出する温度検出部１０１と、周期変更制御部１０２と、リフレッシュタイミング信号生成部１０３と、定電流生成回路１０４と、低温用定電流設定回路１０５と、高温用定電流設定回路１０６と、選択回路１０７と、トリミングテストモード回路１０８と、定電流モニタ回路１０９と、を有している。
【００２３】
温度検出部１０１は、半導体記憶装置１００ａの温度を検出する。
周期変更制御部１０２は、温度検出部１０１で検出した温度が周期変更温度（例えば、６０℃）になると、リフレッシュ周期を変更するための周期変更信号を送出する。
【００２４】
リフレッシュタイミング信号生成部１０３は、セルフオシレータ１０３−１と分周回路１０３−２を有している。セルフオシレータ１０３−１は、リフレッシュタイミング信号生成用の電流Ｉｒｅｆをもとに一定のリフレッシュ周期を有するリフレッシュタイミング信号を生成する。分周回路１０３−２は、周期変更信号を入力すると、セルフオシレータ１０３−１で生成されたリフレッシュタイミング信号の周期（周波数）を変更して出力する。
【００２５】
なお、リフレッシュタイミング信号生成部１０３から生成されたリフレッシュタイミング信号は、図示を省略しているが、リフレッシュ実行信号を生成して図示しないＤＲＡＭのメモリセルのリフレッシュ動作を実行させる回路ブロックに入力される。
【００２６】
定電流生成回路１０４は、電流Ｉｒｅｆを生成する。
低温用定電流設定回路１０５は、検出した温度が周期変更温度以下の場合に定電流生成回路１０４で生成する電流Ｉｒｅｆの大きさを指定する。
【００２７】
高温用定電流設定回路１０６は、検出した温度が周期変更温度より高温の場合に定電流生成回路１０４で生成する電流Ｉｒｅｆの大きさを指定する。
なお、低温用定電流設定回路１０５と高温用定電流設定回路１０６は、試験時には電流Ｉｒｅｆの大きさを所望に調整できる。さらに、これらは複数のヒューズを有しており、試験時に、指定された温度でリフレッシュ周期が目標値と一致したときの電流Ｉｒｅｆの大きさを、所定位置のヒューズを切断することで記憶している。そして、実使用時には、その切断位置に応じて、生成する電流Ｉｒｅｆの大きさを指定するコードを出力する（詳細は後述する。）。
【００２８】
選択回路１０７は、周期変更制御部１０２の制御のもと、温度が周期変更温度以下の場合には、低温用定電流設定回路１０５に記憶された電流Ｉｒｅｆの大きさを指定するコードを選択して定電流生成回路１０４に送出する。温度が周期変更温度より高温の場合は、高温用定電流設定回路１０６に記憶された電流Ｉｒｅｆの大きさを指定するコードを選択して定電流生成回路１０４に送出する。
【００２９】
トリミングテストモード回路１０８と、定電流モニタ回路１０９は、試験時に用いられるものである。詳細は後述する。
以下、第１の実施の形態の半導体記憶装置１００ａによるリフレッシュ周期制御方法を説明する。
【００３０】
図２は、第１の実施の形態の半導体記憶装置におけるリフレッシュ周期制御を示す図である。
図２（Ａ）がチップの電流Ｉｒｅｆの温度依存がマイナスの場合、図２（Ｂ）がチップの電流Ｉｒｅｆの温度依存がプラスの場合を示している。
【００３１】
例えば、図２のように−３０℃でリフレッシュ周期を目標値と一致させたい場合、試験時において、低温用定電流設定回路１０５により電流Ｉｒｅｆの大きさを調整して、リフレッシュ周期が目標値に一致したときの電流Ｉｒｅｆの大きさを示すようにヒューズを切断する。そして、ヒューズの切断位置により表されるコードを、温度が周期変更温度以下の場合に使用する電流Ｉｒｅｆの大きさを指定する情報として記憶する。
【００３２】
同様に、例えば、９５℃でリフレッシュ周期を目標値と一致させたい場合、試験時において、高温用定電流設定回路１０６により電流Ｉｒｅｆの大きさを調整して、リフレッシュ周期が目標値に一致したときの電流Ｉｒｅｆの大きさを示すようにヒューズを切断する。そして、ヒューズの切断位置により表されるコードを、温度が周期変更温度よりも高温の場合に使用する電流Ｉｒｅｆの大きさを指定する情報として記憶する。
【００３３】
実使用時、半導体記憶装置１００ａの温度が周期変更温度（図２の場合６０℃）より高温の場合、選択回路１０７は高温用定電流設定回路１０６のコードを選択して、定電流生成回路１０４に送出する。定電流生成回路１０４は、コードに応じた大きさの電流Ｉｒｅｆを生成する。リフレッシュタイミング信号生成部１０３のセルフオシレータ１０３−１は、生成された電流Ｉｒｅｆをもとにリフレッシュタイミング信号を生成する。これにより、電流Ｉｒｅｆの温度依存性によらず９５℃で目標値に一致するリフレッシュ周期が得られる。
【００３４】
温度が下降して周期変更温度以下になった場合、周期変更制御部１０２は、周期変更信号を送出し、リフレッシュタイミング信号生成部１０３の分周回路１０３−２に入力する。分周回路１０３−２は、セルフオシレータ１０３−１で生成されたリフレッシュタイミング信号の周期が高温の場合よりも延長するように分周する。また、選択回路１０７は低温用定電流設定回路１０５のコードを選択して、定電流生成回路１０４に送出する。定電流生成回路１０４は、コードに応じた大きさの電流Ｉｒｅｆを生成する。リフレッシュタイミング信号生成部１０３のセルフオシレータ１０３−１は、生成された電流Ｉｒｅｆをもとにリフレッシュタイミング信号を生成する。
【００３５】
これにより、図２（Ａ）、（Ｂ）のように、分周回路１０３−２での周期延長倍率が電流Ｉｒｅｆの温度依存性によらず一律であっても、設定した−３０℃でリフレッシュ周期を目標値に一致させることができる。これにより、リフレッシュ周期のばらつきを抑制でき、スタンバイ電流の増加を防止することができる。
【００３６】
ところで、データ保持時間との関係で、図２（Ｂ）のように電流Ｉｒｅｆの温度依存がプラスの場合、低温用定電流設定回路１０５にて、例えば−３０℃でリフレッシュ周期が目標値と一致するように調整した場合、データ保持時間とリフレッシュ周期とのマージンが小さくなる場合がある。
【００３７】
図３は、温度依存がプラスの場合のリフレッシュ周期制御の例を示す図である。
図３（Ａ）のように、周期変更温度以下の場合に分周回路１０３−２にて周期を延長して、さらにリフレッシュ周期が、例えば、−３０℃で目標値に一致するように調整した場合、データ保持時間を上回ってしまう場合がある。これを防ぐために、電流Ｉｒｅｆの温度依存がプラスの場合には、試験時に、低温用定電流設定回路１０５に記憶する電流Ｉｒｅｆの大きさを示すコードを、高温用定電流設定回路１０６に記憶されているものと同じものとする。これにより、図３（Ｂ）のように、周期変更温度でのリフレッシュ周期の延長分は、分周回路１０３−２による延長分のみとなり、データ保持時間とのマージンをとることができる。
【００３８】
なお、電流Ｉｒｅｆの温度依存を測定するために、第１の実施の形態の半導体記憶装置１００ａでは、例えば、定電流モニタ回路１０９が用いられる。試験時に定電流モニタテストモード回路１０９−１は、モニタイネーブル信号により定電流モニタ制御回路１０９−２に定電流生成回路１０４から、定電流生成用電圧Ｖｒｅｆを取得させる。定電流モニタ制御回路１０９−２は、これを増幅して電流に変換する。定電流モニタ制御回路１０９−２は試験端子１０９−３に接続されており、試験端子１０９−３に外部のテスタなどを接続して、異なる２点の温度における電流を測定することで、電流Ｉｒｅｆの温度依存がプラスか否かを判定することができる。
【００３９】
また、他にも、セルフオシレータ１０３−１や分周回路１０３−２から出力されるリフレッシュタイミング信号の周期または周波数を、異なる温度で測定することにより温度依存性を検出することができる。
【００４０】
さらには、定電流生成回路１０４において、低温用定電流設定回路１０５からのコードをもとに生成され、所定の電圧を分圧して電流Ｉｒｅｆの大きさを決定する分圧用コードと、高温用定電流設定回路１０６からのコードをもとに生成され、所定の電圧を分圧して電流Ｉｒｅｆの大きさを決定する分圧用コードとを、外部のテスタや測定装置などで把握させ、比較することによって温度依存性を検出することができる（詳細は後述する。）。
【００４１】
次に、試験時に低温用定電流設定回路１０５と高温用定電流設定回路１０６に電流Ｉｒｅｆの大きさを指定するコードを記憶する処理及び、そのコードに応じた電流Ｉｒｅｆの生成について詳細に説明する。
【００４２】
図４は、高温用定電流設定回路及び選択回路の詳細を示す回路図である。
高温用定電流設定回路１０６は、例えば５つのコード部１０６−０、１０６−１、…、１０６−４を有している。各コード部１０６−０〜１０６−４は、ヒューズ／ラッチ回路１１０−０、１１０−１、…、１１０−４、ＮＯＲ回路１１１−０、１１１−１、…、１１１−４、１１２−０、１１２−１、…、１１２−４、インバータ回路１１３−０、１１３−１、…、１１３−４を有している。
【００４３】
ヒューズ／ラッチ回路１１０−０〜１１０−４は、ヒューズとラッチ回路からなり、ヒューズの状態に応じて、セット信号またはリセット信号によりヒューズの状態（切断されているか否か）がラッチ回路に書き込まれる。以下、ヒューズが切断されている場合には“０”が書き込まれ、切断されていない場合には“１”が書き込まれるとする。
【００４４】
各コード部１０６−０〜１０６−４のＮＯＲ回路１１１−０〜１１１−４の一方の入力端子はヒューズ／ラッチ回路１１０−０〜１１０−４と接続されており、他方の入力端子には図１で示したトリミングテストモード回路１０８からテストモードイネーブル信号が入力される。試験を行う際には、テストモードイネーブル信号はＨ（High）レベルとなり、実使用時にはＬ（Low）レベルとなる。
【００４５】
ＮＯＲ回路１１１−０〜１１１−４の出力端子は、ＮＯＲ回路１１２−０〜１１２−４の一方の入力端子と接続され、ＮＯＲ回路１１２−０〜１１２−４の他方の入力端子には、トリミングテストモード回路１０８からトリミングコード０〜４が入力される。ＮＯＲ回路１１２−０〜１１２−４の出力はインバータ回路１１３−０〜１１３−４で反転されて高温用定電流設定回路１０６から出力される。
【００４６】
このような高温用定電流設定回路１０６では、定電流生成回路１０４で生成する電流Ｉｒｅｆの大きさを、コード部１０６−０〜１０６−４のヒューズ／ラッチ回路１１０−０〜１１０−４の、どのヒューズが切断されているかで指定する。但し、試験時には、リフレッシュ周期を目標値に調整するために、実際にヒューズを切断する前に、テストモードイネーブル信号をＨレベルにして、トリミングコード０〜４を“０”または“１”に変更することで、電流Ｉｒｅｆの大きさを指定するコードを生成する。
【００４７】
試験時には、テストモードイネーブル信号がＨレベルになることにより、ＮＯＲ回路１１１−０〜１１１−４の出力は“０”となる。そのため、例えば、トリミングコード０、１を“１”、その他を“０”とした場合、ＮＯＲ回路１１２−０〜１１２−４からの出力は“００１１１”となり、インバータ回路１１３−０〜１１３−４で反転され“１１０００”というコードが高温用定電流設定回路１０６から出力される。このコードによってリフレッシュ周期が目標値に調整される場合には、コードに応じたヒューズを切断する。例えば、上記の“１１０００”のコードを得るために、ヒューズ／ラッチ回路１１０−０〜１１０−４のうち、ヒューズ／ラッチ回路１１０−０、１１０−１のヒューズを切断する。ヒューズ／ラッチ回路１１０−０〜１１０−４のラッチ回路には、半導体記憶装置１００ａの起動時に、外部の制御手段によりヒューズの状態が検出され、その状態に応じて切断状態のときには“０”、切断されていない場合には“１”がセットされる。
【００４８】
なお、低温用定電流設定回路１０５も、高温用定電流設定回路１０６と同様の構成であるので説明を省略する。
選択回路１０７は、セレクタ１０７−０、１０７−１、…、１０７−４を有している。各セレクタ１０７−０〜１０７−４には、それぞれ高温用定電流設定回路１０６と低温用定電流設定回路１０５の対応するコード部１０６−０〜１０６−４からのインバータ回路１１３−０〜１１３−４からの出力が入力される。そして、図１で示した周期変更制御部１０２からの選択信号によって、周期変更温度以下の場合には、低温用定電流設定回路１０５からのコードが選択され、周期変更温度より高温の場合には、高温用定電流設定回路１０６からのコードが選択される。
【００４９】
定電流生成回路１０４では、選択されたコードに応じてリフレッシュタイミング信号生成部１０３で用いる電流Ｉｒｅｆを生成する。
図５は、定電流生成回路の一例の回路図である。
【００５０】
定電流生成回路１０４は、デコーダ１２０と、参照電圧端子１２１とｎチャネル型ＭＯＳ（Metal Oxide Semiconductor）トランジスタ（以下ＮＭＯＳと表記する。）１２２のドレイン間に直列に接続された抵抗Ｒ０、Ｒ１、…、Ｒ３１、Ｒ３２と、デコーダ結果である分圧用信号０、１、…、３１からなる分圧用コードに応じてオンまたはオフして参照電圧を分圧するスイッチ１２２−０、１２２−１、…、１２２−３１と、出力段のＮＭＯＳ１２３を有している。ＮＭＯＳ１２２のソースは接地されており、ゲートは自身のドレインと接続しており、ゲート及びドレイン電圧が定電流生成用電圧Ｖｒｅｆとなる。この定電流生成用電圧Ｖｒｅｆは、ＮＭＯＳ１２３のゲートに入力され、ＮＭＯＳ１２３のドレイン電流がリフレッシュタイミング信号生成部１０３で使用される電流Ｉｒｅｆとなる。
【００５１】
このような定電流生成回路１０４では、選択回路１０７から出力されるコードがデコードされ生成された分圧用信号０〜３１より、所定数のスイッチ１２２−０〜１２２−３１をオンまたはオフすることによって、参照電圧を分圧し、ＮＭＯＳ１２３のゲート電圧を決定し、電流Ｉｒｅｆを生成している。なお、前述したように、このスイッチ１２２−０〜１２２−３１をオンまたはオフして参照電圧を分圧する分圧用コードを、高温時と低温時で比較することで、電流Ｉｒｅｆの温度依存性を検出できる。
【００５２】
次に、第２の実施の形態の半導体記憶装置を説明する。
図６は、第２の実施の形態の半導体記憶装置の構成を示す図である。
第１の実施の形態の半導体記憶装置１００ａと同一の構成要素については同一符号とし、説明を省略する。
【００５３】
第２の実施の形態の半導体記憶装置１００ｂは、第１の実施の形態の半導体記憶装置１００ａと異なり、試験時に測定した電流Ｉｒｅｆの温度依存性の情報を記憶する温度依存情報記憶部１３０を有している。また、選択回路１０７ａの機能が一部異なっている。温度依存情報記憶部１３０は、例えば、ヒューズを有しており、これが切断されているか否かで電流Ｉｒｅｆの温度依存がプラスかマイナスかを表すことができる。
【００５４】
なお、温度依存は、前述したように外部のテスタで異なる温度での電流を測定することにより検出するか、セルフオシレータ１０３−１や分周回路１０３−２から出力されるリフレッシュタイミング信号の周期または周波数を、異なる温度で測定することにより検出することができる。さらには、定電流生成回路１０４で用いられる分圧用コードを、外部のテスタや測定装置などで把握させ、異なる温度の分圧用コードを比較することによって温度依存性を検出することができる。
【００５５】
図３（Ａ）で示したように、電流Ｉｒｅｆの温度依存がプラスの場合には、周期変更温度以下の、ある温度でリフレッシュ周期を目標値に合わせようとすると、リフレッシュ周期がデータ保持時間を上回る場合や、リフレッシュ周期とデータ保持時間とのマージンが少なくなる場合がある。これを防止するために、選択回路１０７ａは、温度依存情報記憶部１３０に記憶されている電流Ｉｒｅｆの温度依存がプラスの場合には、周期変更温度以下の際に、周期変更制御部１０２から低温用定電流設定回路１０５のコードを使用するための選択信号が入力されても、高温用定電流設定回路１０６のコードを選択して出力する。これにより、リフレッシュ周期とデータ保持時間とのマージンが小さくなることを防止することができる。
【００５６】
なお、温度依存情報記憶部１３０に記憶された電流Ｉｒｅｆの温度依存がマイナスの場合には、第１の実施の形態の半導体記憶装置１００ａの場合と同様に、選択回路１０７ａは、周期変更制御部１０２からの選択信号のもと、周期変更温度以下では低温用定電流設定回路１０５からのコードを選択し、周期変更温度よりも高温の場合には高温用定電流設定回路１０６からのコードを選択する。
【００５７】
次に、第３の実施の形態の半導体記憶装置を説明する。
図７は、第３の実施の形態の半導体記憶装置の構成を示す図である。
第１及び第２の実施の形態の半導体記憶装置１００ａ、１００ｂと同一の構成要素については同一符号とし、説明を省略する。
【００５８】
第３の実施の形態の半導体記憶装置１００ｃは、第２の実施の形態の半導体記憶装置１００ｂと同様に、電流Ｉｒｅｆの温度依存を記憶する温度依存情報記憶部１３０を有しているが、温度依存を測定するための第２の実施の形態の半導体記憶装置１００ｂのように定電流モニタ回路１０９や外部のテスタを必要とせず、半導体記憶装置１００ｃの内部で温度依存を測定する温度依存性測定部１４０を有している。
【００５９】
温度依存性測定部１４０は、カウンタ１４０−１と、高温用レジスタ１４０−２と、低温用レジスタ１４０−３と、比較器１４０−４を有している。
カウンタ１４０−１は、定電流生成回路１０４で生成される電流Ｉｒｅｆの大きさをカウントする。
【００６０】
高温用レジスタ１４０−２は、高温（例えば、９５℃）での試験時のカウンタ１４０−１の値を保持する。
低温用レジスタ１４０−３は、低温（例えば、−３０℃）での試験時のカウンタ１４０−１の値を保持する。
【００６１】
比較器１４０−４は、高温用レジスタ１４０−２で保持されたカウンタ値と低温用レジスタ１４０−３で保持されたカウンタ値とを比較して、その比較結果を温度依存情報として出力し、温度依存情報記憶部１３０に記憶させる。
【００６２】
このように、第３の実施の形態の半導体記憶装置１００ｃによれば、異なる温度での電流Ｉｒｅｆの大きさを上記のようなカウンタ１４０−１の値で比較することによって、電流Ｉｒｅｆの温度依存を、外部のテスタなどを用いなくとも半導体記憶装置１００ｃの内部で検出できるので、試験時間を短縮することができる。
【００６３】
以上、本発明を実施の形態に基づいて説明したが、本発明は上記に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内で様々な変形が可能である。
例えば、上記では定電流生成回路１０４によって、リフレッシュタイミング信号の生成用の電流Ｉｒｅｆを生成したが、これに限定されず、定電圧発生回路などによりリフレッシュタイミング信号の生成用の信号を生成するようにしてもよい。
【００６４】
（付記１）  リフレッシュ動作が必要な半導体記憶装置において、
温度を検出する温度検出部と、
前記温度が所定の周期変更温度になると、リフレッシュ周期を変更するための周期変更信号を送出する周期変更制御部と、
リフレッシュタイミング信号を生成し、前記周期変更信号に応じて前記リフレッシュタイミング信号の周期を変更するリフレッシュタイミング信号生成部と、
前記リフレッシュタイミング信号の生成用の信号を生成する信号生成回路と、
前記温度が前記周期変更温度以下の場合に生成する前記信号の大きさを指定する第１の設定回路と、
前記温度が前記周期変更温度よりも高温の場合に生成する前記信号の大きさを指定する第２の設定回路と、
を有することを特徴とする半導体記憶装置。
【００６５】
（付記２）  前記信号生成回路で生成される前記信号は電流であり、前記第１の設定回路は前記電流の大きさを指定する第１の定電流設定回路であり、前記第２の設定回路は前記電流の大きさを指定する第２の定電流設定回路であることを特徴とする付記１記載の半導体記憶装置。
【００６６】
（付記３）  前記第１の設定回路及び前記第２の設定回路は、複数のヒューズを有し、切断する前記ヒューズの位置によって前記信号の大きさを指定することを特徴とする付記１記載の半導体記憶装置。
【００６７】
（付記４）  前記信号が温度上昇とともに増加する温度依存性を有する場合、前記第１の設定回路で指定される前記信号の大きさは、前記第２の設定回路で指定される前記信号の大きさと同一であることを特徴とする付記１記載の半導体記憶装置。
【００６８】
（付記５）  前記第１の設定回路及び前記第２の設定回路は、複数のヒューズを有し、切断する前記ヒューズの位置によって前記信号の大きさが指定されており、
前記信号が温度上昇とともに増加する温度依存性を有する場合、前記第１の設定回路における前記ヒューズの切断位置は、前記第２の設定回路における前記ヒューズの切断位置と同一であることを特徴とする付記１記載の半導体記憶装置。
【００６９】
（付記６）  前記第１の設定回路または前記第２の設定回路のいずれで指定された前記信号の大きさを前記信号生成回路にて使用させるかを選択する選択回路と、
前記信号の温度依存性を示す温度依存情報を記憶する温度依存情報記憶部と、を更に有し、
記憶された前記温度依存情報が、温度上昇とともに前記信号が増加する前記温度依存性を示す場合、前記選択回路は、前記温度が前記周期変更温度以下の場合にも前記第２の設定回路で指定された前記信号の大きさを選択することを特徴とする付記１記載の半導体記憶装置。
【００７０】
（付記７）  前記温度依存情報記憶部はヒューズを有し、前記ヒューズが切断されているか否かにより、前記温度依存情報が決定されることを特徴とする付記６記載の半導体記憶装置。
【００７１】
（付記８）  試験時に、異なる温度で前記信号生成回路にて生成される前記信号の大きさを比較して、比較結果に応じた前記温度依存情報を生成する温度依存性測定部を更に有し、
生成した前記温度依存情報を前記温度依存情報記憶部に記憶することを特徴とする付記６記載の半導体記憶装置。
【００７２】
（付記９）  前記温度依存性測定部は、前記信号の大きさを計数する計数部と、異なる温度での前記計数部の計数結果を保持する記憶部と、異なる温度での前記計数結果の比較結果に応じた前記温度依存情報を生成する比較部と、を有することを特徴とする付記８記載の半導体記憶装置。
【００７３】
（付記１０）  リフレッシュ動作が必要な半導体記憶装置のリフレッシュ周期制御方法において、
前記半導体記憶装置の温度がリフレッシュ周期を変更する周期変更温度以下の場合の、リフレッシュタイミング信号の生成用の信号の大きさを指定する第１の指定情報を第１の設定回路に記憶し、
前記温度が前記周期変更温度よりも高温の場合の、前記信号の大きさを指定する第２の指定情報を第２の設定回路に記憶し、
前記温度に応じて、前記第１の指定情報または前記第２の指定情報で指定される大きさの前記信号を生成し、
前記信号を用いて前記リフレッシュタイミング信号を生成することを特徴とするリフレッシュ周期制御方法。
【００７４】
（付記１１）  前記信号は定電流生成回路で生成される電流であることを特徴とする付記１０記載のリフレッシュ周期制御方法。
（付記１２）  前記第１の設定回路及び前記第２の設定回路は、複数のヒューズを有し、切断する前記ヒューズの位置によって前記信号の大きさを指定することを特徴とする付記１０記載のリフレッシュ周期制御方法。
【００７５】
（付記１３）  前記信号が温度上昇とともに増加する温度依存性を有する場合、前記第１の設定回路に、前記第２の指定情報が示す前記信号の大きさと同じ大きさを示す前記第１の指定情報を記憶することを特徴とする付記１０記載のリフレッシュ周期制御方法。
【００７６】
（付記１４）  前記第１の設定回路及び前記第２の設定回路は、複数のヒューズを有し、切断する前記ヒューズの位置によって前記信号の大きさを指定し、
前記信号が温度上昇とともに増加する温度依存性を有する場合、前記第１の設定回路における前記ヒューズの切断位置を、前記第２の設定回路における前記ヒューズの切断位置と同一にすることを特徴とする付記１０記載のリフレッシュ周期制御方法。
【００７７】
（付記１５）  前記温度依存性を、異なる温度での前記信号を測定することにより検出することを特徴とする付記１３記載のリフレッシュ周期制御方法。
（付記１６）  前記温度依存性を、異なる温度での前記リフレッシュ周期または前記リフレッシュタイミング信号の周波数を測定することにより検出することを特徴とする付記１３記載のリフレッシュ周期制御方法。
【００７８】
（付記１７）  前記信号を生成する信号生成回路において、前記第１の指定情報をもとに生成され、所定の電圧を分圧して前記信号の大きさを決定する第１の分圧用コードと、前記第２の指定情報をもとに生成され、前記所定の電圧を分圧して前記信号の大きさを決定する第２の分圧用コードとを比較することによって前記温度依存性を検出することを特徴とする付記１３記載のリフレッシュ周期制御方法。
【００７９】
（付記１８）  前記信号の温度依存性を示す温度依存情報を記憶して、
記憶された前記温度依存情報が、温度上昇とともに前記信号が増加する前記温度依存性を示す場合、前記温度が前記周期変更温度以下の場合にも前記第２の指定情報で指定される大きさの前記信号を生成することを特徴とする付記１０記載のリフレッシュ周期制御方法。
【００８０】
（付記１９）  異なる温度で生成される前記信号の大きさを比較して、比較結果に応じた前記温度依存情報を生成することを特徴とする付記１８記載のリフレッシュ周期制御方法。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】第１の実施の形態の半導体記憶装置の構成を示す図である。
【図２】第１の実施の形態の半導体記憶装置におけるリフレッシュ周期制御を示す図である。
【図３】温度依存がプラスの場合のリフレッシュ周期制御の例を示す図である。
【図４】高温用定電流設定回路及び選択回路の詳細を示す回路図である。
【図５】定電流生成回路の一例の回路図である。
【図６】第２の実施の形態の半導体記憶装置の構成を示す図である。
【図７】第３の実施の形態の半導体記憶装置の構成を示す図である。
【図８】温度に応じたリフレッシュ周期の可変の例を示す図である。
【図９】定電流生成回路で生成される電流の温度特性及びリフレッシュ周期の温度特性を示す図である。
【図１０】従来におけるリフレッシュ周期の調整の様子を示す図である。
【符号の説明】
【００８２】
１００ａ  半導体記憶装置
１０１  温度検出部
１０２  周期変更制御部
１０３  リフレッシュタイミング信号生成部
１０３−１  セルフオシレータ
１０３−２  分周回路
１０４  定電流生成回路
１０５  低温用定電流設定回路
１０６  高温用定電流設定回路
１０７  選択回路
１０８  トリミングテストモード回路
１０９  定電流モニタ回路
１０９−１  定電流モニタテストモード回路
１０９−２  定電流モニタ制御回路
１０９−３  試験端子
【図１】
2007310983.tif 000003
【図２】
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【図３】
2007310983.tif 000005
【図４】
2007310983.tif 000006
【図５】
2007310983.tif 000007
【図６】
2007310983.tif 000008
【図７】
2007310983.tif 000009
【図８】
2007310983.tif 000010
【図９】
2007310983.tif 000011
【図１０】
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