(57)【要約】【課題】２枚の基板の相対的な位置合せを行う構成を簡素化し、装置の小型化を図ることができる貼合せ基板製造装置を提供する。【解決手段】基板貼合せ前の上基板（ＣＦ基板）と下基板（アレイ基板）との位置決め時において、上基板に対する下基板の位置ずれの検出に基づき、下保持板８の保持面８ａに設けられる第１及び第２位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄの複数の電極に駆動電圧を印加して各電極と下基板に設けられる導電膜（複数のＴＦＴがマトリクス状に形成されることで所定抵抗値を有する導電膜となる）との間に静電力を発生させ、その下基板をＸ，Ｙ方向及びθ方向のいずれかに移動させて位置決めを行う構成とした。【選択図】図１
2007232835.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理室内に互いに対向する上保持板及び下保持板で相対的な位置ずれを補正して上基板及び下基板を保持し、その位置ずれ補正後に前記上保持板と下保持板との間で前記基板を加圧して貼り合せる貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造装置であって、
前記下保持板の前記下基板を保持する保持面に設けられ、複数の電極を第１の方向に並設し複数相の駆動電圧を印加すべく各相の電極同士を接続して構成される第１位置決め駆動装置と、
前記下保持板の保持面に設けられ、複数の電極を前記第１の方向と異なる第２の方向に並設し複数相の駆動電圧を印加すべく各相の電極同士を接続して構成される第２位置決め駆動装置と、
前記下基板は導電膜を備えてなり、その下基板の前記上基板に対する位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、
前記位置ずれ検出手段の検出に基づいて、前記第１及び第２位置決め駆動装置の各相毎に接続された前記各電極に各相の前記駆動電圧を印加して前記下基板の導電膜に逆極性の電荷を誘導させ、その電荷誘導後に前記各電極に印加する前記駆動電圧又は極性を切り換えて前記各電極と前記導電膜との間で生じる静電力により前記下基板を前記第１，第２の方向及び各方向を組み合わせた方向のいずれかに移動させて前記下基板の位置ずれを補正するように制御する制御装置と
を備えたことを特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載の貼合せ基板製造装置において、
前記基板及び前記下保持板の保持面は矩形状をなしており、
前記第１位置決め駆動装置は、前記保持面において少なくとも対角の位置に対で設けられ、
前記第２位置決め駆動装置は、前記保持面において少なくとも前記第１位置決め駆動装置とは別の対角の位置に対で設けられることを特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の貼合せ基板製造装置において、
前記第２の方向は、前記第１の方向の直交方向に設定されており、
前記下基板は、前記第１，第２の方向及び前記下保持板の保持面上の回転方向のいずれかに移動されて位置ずれが補正されることを特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の貼合せ基板製造装置において、
前記制御装置は、前記各電極に印加する前記駆動電圧の電圧値又は印加時間を制御することを特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の貼合せ基板製造装置において、
前記貼合せ基板は、フラットパネルディスプレイに用いられるものであり、
前記下基板は、前記導電膜を構成すべく複数の薄膜トランジスタがマトリクス状に形成されたアレイ基板であることを特徴とする貼合せ基板製造装置。
【請求項６】
処理室内に互いに対向する上保持板及び下保持板で相対的な位置ずれを補正して上基板及び下基板を保持し、その位置ずれ補正後に前記上保持板と下保持板との間で前記基板を加圧して貼り合せる貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造方法であって、
前記下保持板の前記下基板を保持する保持面に設けられ、複数の電極を第１の方向に並設し複数相の駆動電圧を印加すべく各相の電極同士を接続して構成される第１位置決め駆動装置と、
前記下保持板の保持面に設けられ、複数の電極を前記第１の方向と異なる第２の方向に並設し複数相の駆動電圧を印加すべく各相の電極同士を接続して構成される第２位置決め駆動装置とを備え、
前記下基板は導電膜を備えてなりその下基板の前記上基板に対する位置ずれの検出に基づいて、前記第１及び第２位置決め駆動装置の各相毎に接続された前記各電極に各相の前記駆動電圧を印加して前記下基板の導電膜に逆極性の電荷を誘導させ、その電荷誘導後に前記各電極に印加する前記駆動電圧又は極性を切り換えて前記各電極と前記導電膜との間で生じる静電力により前記下基板を前記第１，第２の方向及び各方向を組み合わせた方向のいずれかに移動させて前記下基板の位置ずれを補正し、その位置ずれ補正後に貼り合せを実施することを特徴とする貼合せ基板製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶やプラズマ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられる２枚の基板を貼り合わせた貼合せ基板（パネル）を製造する際に使用して好適な貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイのパネルは、例えば複数のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）がマトリクス状に形成されたアレイ基板（ＴＦＴ基板）と、カラーフィルタ（赤、緑、青）や遮光膜等が形成されたカラーフィルタ基板（ＣＦ基板）とが極めて狭い間隔（数μｍ程度）で対向して設けられ、両基板間に液晶が封入されるとともに、両基板が光硬化性樹脂を含むシール材（接着剤）で互いに貼り合わされて製造される。
【０００３】
このような両基板の貼合せ時には、互いに位置合せを行っておく必要がある。そのため、貼合せ基板を製造する貼合せ装置においては、貼り合わせる基板の少なくとも一方の位置を移動させて配置位置の微調整を行う位置合せ機構が備えられている。
【０００４】
例えば特許文献１に示されている貼合せ装置では、上基板を保持する上保持板と下基板を保持する下保持板とを有しており、その下保持板を保持面上のＸ，Ｙ方向及び回転方向に移動させる位置合せ機構（文献では第２移動機構）が備えられている。そして、上基板及び下基板にはそれぞれ位置合せのためのアライメントマークが設けられており、これら両基板のアライメントマークに基づいて位置ずれが生じていることを検出すると、位置合せ機構が両基板の位置ずれを補正すべく下基板を保持した下保持板を移動させるようになっている。
【特許文献１】特開２００２−２２９０４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年のＬＣＤ等においては更なる大画面化が要求されており、貼合せ基板の大型化が図られている。これにより、貼合せ装置においても基板を保持する上保持板や下保持板を大型化する必要がある。
【０００６】
そのため、位置合せ機構では、下基板の大型化に伴う重量増加のみならず下保持板の大型化に伴う重量増加をも考慮して機械的強度を高く構成する必要があるため、位置合せ機構が大型化し、ひいては貼合せ装置全体が大型化してしまう。また、これらの大型化に伴ってコストが非常に高くなることが懸念されている。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、２枚の基板の相対的な位置合せを行う構成を簡素化し、装置の小型化を図ることができる貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、処理室内に互いに対向する上保持板及び下保持板で相対的な位置ずれを補正して上基板及び下基板を保持し、その位置ずれ補正後に前記上保持板と下保持板との間で前記基板を加圧して貼り合せる貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造装置であって、前記下保持板の前記下基板を保持する保持面に設けられ、複数の電極を第１の方向に並設し複数相の駆動電圧を印加すべく各相の電極同士を接続して構成される第１位置決め駆動装置と、前記下保持板の保持面に設けられ、複数の電極を前記第１の方向と異なる第２の方向に並設し複数相の駆動電圧を印加すべく各相の電極同士を接続して構成される第２位置決め駆動装置と、前記下基板は導電膜を備えてなり、その下基板の前記上基板に対する位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、前記位置ずれ検出手段の検出に基づいて、前記第１及び第２位置決め駆動装置の各相毎に接続された前記各電極に各相の前記駆動電圧を印加して前記下基板の導電膜に逆極性の電荷を誘導させ、その電荷誘導後に前記各電極に印加する前記駆動電圧又は極性を切り換えて前記各電極と前記導電膜との間で生じる静電力により前記下基板を前記第１，第２の方向及び各方向を組み合わせた方向のいずれかに移動させて前記下基板の位置ずれを補正するように制御する制御装置とを備えたことをその要旨とする。
【０００９】
この発明では、基板貼合せ前の基板の位置決め時において、上基板に対する下基板の位置ずれの検出に基づき、下保持板の保持面に設けられる第１及び第２位置決め駆動装置の複数の電極に駆動電圧を印加して各電極と下基板に設けられる導電膜との間に静電力を発生させ、その下基板を第１の方向及び第１の方向と異なる第２の方向並びに各方向を組み合わせた方向のいずれかに移動させて位置決めが行われる。つまり、下保持板の保持面に設けた各位置決め駆動装置により下基板を直接的に駆動して下基板の位置決めを行う構成のため、下基板の位置決めを行うべくその下基板を保持する下保持板全体を駆動する従来の構成と比べて、下基板の位置決めを行う構成を簡素化でき小型化することができる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の貼合せ基板製造装置において、前記基板及び前記下保持板の保持面は矩形状をなしており、前記第１位置決め駆動装置は、前記保持面において少なくとも対角の位置に対で設けられ、前記第２位置決め駆動装置は、前記保持面において少なくとも前記第１位置決め駆動装置とは別の対角の位置に対で設けられることをその要旨とする。
【００１１】
この発明では、第１位置決め駆動装置が保持面において少なくとも対角の位置に対で設けられ、第２位置決め駆動装置が保持面において少なくとも第１位置決め駆動装置とは別の対角の位置に対で設けられる。これにより、矩形状をなす下基板の四隅に位置決め駆動装置が配置され、しかも駆動方向が同一の位置決め駆動装置を対角に配置していることから、位置決め時の下基板の駆動を安定して行うことができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の貼合せ基板製造装置において、前記第２の方向は、前記第１の方向の直交方向に設定されており、前記下基板は、前記第１，第２の方向及び前記下保持板の保持面上の回転方向のいずれかに移動されて位置ずれが補正されることをその要旨とする。
【００１３】
この発明では、第１位置決め駆動装置では下基板を第１の方向に駆動し、第２位置決め駆動装置では下基板を第１の方向と直交する第２の方向に駆動し、更に各位置決め駆動装置を所定の駆動タイミングで駆動することで下基板を保持面上の回転方向に駆動する。これにより、下基板を効率良く駆動でき下基板の位置補正を効率良く行うことができるため、下基板の位置決めにかかる時間を短縮することができる。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の貼合せ基板製造装置において、前記制御装置は、前記各電極に印加する前記駆動電圧の電圧値又は印加時間を制御することをその要旨とする。
【００１５】
この発明では、制御装置により各電極に印加する駆動電圧の電圧値又は印加時間が制御されるため、例えば下基板を移動させる距離を微小に制御することができる。
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の貼合せ基板製造装置において、前記貼合せ基板は、フラットパネルディスプレイに用いられるものであり、前記下基板は、前記導電膜を構成すべく複数の薄膜トランジスタがマトリクス状に形成されたアレイ基板であることをその要旨とする。
【００１６】
この発明では、フラットパネルディスプレイに用いられるアレイ基板の位置決めを行う構成を簡素化でき、その構成を小型化することができる。
請求項６に記載の発明は、処理室内に互いに対向する上保持板及び下保持板で相対的な位置ずれを補正して上基板及び下基板を保持し、その位置ずれ補正後に前記上保持板と下保持板との間で前記基板を加圧して貼り合せる貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造方法であって、前記下保持板の前記下基板を保持する保持面に設けられ、複数の電極を第１の方向に並設し複数相の駆動電圧を印加すべく各相の電極同士を接続して構成される第１位置決め駆動装置と、前記下保持板の保持面に設けられ、複数の電極を前記第１の方向と異なる第２の方向に並設し複数相の駆動電圧を印加すべく各相の電極同士を接続して構成される第２位置決め駆動装置とを備え、前記下基板は導電膜を備えてなりその下基板の前記上基板に対する位置ずれの検出に基づいて、前記第１及び第２位置決め駆動装置の各相毎に接続された前記各電極に各相の前記駆動電圧を印加して前記下基板の導電膜に逆極性の電荷を誘導させ、その電荷誘導後に前記各電極に印加する前記駆動電圧又は極性を切り換えて前記各電極と前記導電膜との間で生じる静電力により前記下基板を前記第１，第２の方向及び各方向を組み合わせた方向のいずれかに移動させて前記下基板の位置ずれを補正し、その位置ずれ補正後に貼り合せを実施することをその要旨とする。
【００１７】
この発明においても、前記請求項１に記載の発明と同様に、下保持板の保持面に設けた各位置決め駆動装置により下基板を直接的に駆動して下基板の位置決めを行う構成のため、その構成を簡素化でき小型化することができる。
【発明の効果】
【００１８】
従って、上記記載の発明によれば、２枚の基板の相対的な位置合せを行う構成を簡素化でき、装置の小型化を図ることができる貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１は、液晶ディスプレイに用いる貼合せ基板（パネル）を製造する貼合せ基板製造装置を示す。ベース板１上にはステージ２が配設され、そのステージ２上には上方に開口する下側容器３が支持されている。また、前記ベース板１には支持枠４が固定され、その支持枠４の上端部には上部駆動機構５が支持されている。
【００２０】
前記上部駆動機構５の下側には前記下側容器３に対向するように開口する上側容器６が支持され、その上側容器６は前記上部駆動機構５により昇降可能に支持されている。そして、上側容器６の下端開口部が下側容器３の上端開口部に当接するまで下降すると、上側容器６と下側容器３とで密封される空間で処理室（真空チャンバ）７が形成されるようになっている。因みに、前記下側容器３の開口端面にはシール材が取着されており、前記上側容器６とで形成する処理室７の気密性を確保するようになっている。
【００２１】
前記下側容器３内の底面には、載置される矩形状の下基板Ｗ２（図２参照）の大きさに対応した矩形状の保持面８ａをその上面に有する下保持板８が配設されている。また、下側容器３には基板昇降装置９が昇降可能に支持され、昇降駆動装置９ａにより下基板Ｗ２の搬入及び上基板Ｗ１との貼り合わせが完了した貼合せ基板Ｗの搬出時において昇降される。因みに、図１では基板昇降装置９が下保持板８から突出した位置にあり、図２に示す基板貼合せ時には下保持板８の上面の保持面８ａから下側に収納される。
【００２２】
前記下保持板８の保持面８ａの四隅には、図３に示すように、下基板Ｗ２の位置補正及び静電保持を行うための４つの位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄがそれぞれ対応する位置に備えられている。対角の位置に対で設けられる第１位置決め駆動装置１０Ａ，１０Ｃは、下保持板８の保持面８ａに載置される下基板Ｗ２をＸ方向に移動させる駆動装置であり、第１位置決め駆動装置１０Ａ，１０Ｃとは別の対角の位置に対で設けられる第２位置決め駆動装置１０Ｂ，１０Ｄは、その下基板Ｗ２をＸ方向と直交するＹ方向に移動させる駆動装置である。また、これら第１及び第２位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄを組み合わせた所定の駆動タイミングで駆動することで、下保持板８上で回転方向（θ方向）に下基板Ｗ２を回転させることも可能となっている。
【００２３】
前記第１及び第２位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄは、図４に示すように、パルス駆動誘導電荷形の駆動装置にて構成されている。詳しくは、第１及び第２位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄの本体内には複数（例えば９個）の電極ａ〜ｉが内蔵されており、各電極ａ〜ｉは下基板Ｗ２を移動させる方向、即ち第１位置決め駆動装置１０Ａ，１０ＣではＸ方向、第２位置決め駆動装置１０Ｂ，１０ＤではＹ方向に並設されている。また、各電極ａ〜ｉの内、２個置きの電極ａ，ｄ，ｇが第１電源端子Ｔ１に接続され、電極ｂ，ｅ，ｈが第２電源端子Ｔ２に接続され、電極ｃ，ｆ，ｉが第３電源端子Ｔ３に接続されている。つまり、各電源端子Ｔ１〜Ｔ３には、各相の電極ａ〜ｉ同士が接続されている。そして、各電源端子Ｔ１〜Ｔ３には、図５に示す制御装置２０からドライバ回路２１を介して所定のタイミングで各相に対応した駆動電圧（＋Ｖ、−Ｖ及び０Ｖ）が印加される。
【００２４】
ここで、本実施の形態の貼合せ基板Ｗは液晶ディスプレイに用いられるパネルであり、上基板Ｗ１はカラーフィルタ（赤、緑、青）及び遮光膜が形成されたカラーフィルタ基板（ＣＦ基板）、下基板Ｗ２は複数のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）がマトリクス状に形成されたアレイ基板（ＴＦＴ基板）である。アレイ基板である下基板Ｗ２の上面には、所定抵抗値を有する導電膜１５が形成された基板と言うことになる。
【００２５】
そして、下基板Ｗ２を移動させるには、先ず図４（ａ）に示すように、各電源端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３にそれぞれ＋Ｖ，−Ｖ，０Ｖの駆動電圧を印加する。すると、電極ａ，ｄ，ｇには＋電荷、電極ｂ，ｅ，ｈには−電荷が生じ、図４（ｂ）に示すように、下基板Ｗ２の導電膜１５に各電極ａ，ｄ，ｇ，ｂ，ｅ，ｈと逆極性の電荷を誘導し、その導電膜１５に各電極ａ，ｄ，ｇ，ｂ，ｅ，ｈの電荷のパターンを転写する。尚、このとき、下基板Ｗ２は下保持板８に対し静電力による吸引力（保持力）にて相互間の摩擦力以上に保持される。
【００２６】
次いで、下基板Ｗ２の導電膜１５に転写した電荷が所定量以上残留するタイミングで、図４（ｃ）に示すように、各電源端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３に印加する駆動電圧をそれぞれ−Ｖ，＋Ｖ，−Ｖに切り換え、電極ａ，ｄ，ｇに−電荷、電極ｂ，ｅ，ｈに＋電荷、電極ｃ，ｆ，ｉに−電荷を生じさせる。すると、下基板Ｗ２の導電膜１５に転写した電荷と、電極ａ，ｄ，ｇ及び電極ｂ，ｅ，ｈで生じる電荷とがそれぞれ同極性となって互いに反発し、下基板Ｗ２に浮上力が生じる。また、下基板Ｗ２の導電膜１５に転写した電荷と、移動方向の次の電極ａ〜ｉで生じる電荷とでは逆極性となるため、移動方向の次の電極ａ〜ｉに吸引力が生じ、その吸引力が下基板Ｗ２の移動方向への駆動力となる。このように浮上力と駆動力が作用する下基板Ｗ２は、図４（ｄ）に示すように、電極ａ〜ｉの１個分移動する。
【００２７】
次いで、下基板Ｗ２の導電膜１５に転写した電荷が次第に消失しようとするため、図４（ｅ）に示すように、各電源端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３に印加する駆動電圧をそれぞれ０Ｖ，＋Ｖ，−Ｖとして、下基板Ｗ２の導電膜１５に転写した電荷の再充電を行う。つまり、前記図４（ｂ）と同様の状態とし、以降は各電極ａ〜ｉに印加する駆動電圧を１相ずらして各ステップを繰り返すことにより、第１及び第２位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄは下基板Ｗ２を所定量移動させるようになっている。また、各電極ａ〜ｉに印加する駆動電圧を逆相とすれば、下基板Ｗ２を逆方向に移動させることも可能になっている。
【００２８】
ここで、上基板Ｗ１と下基板Ｗ２とのそれぞれにはアライメントマークが設けられている。このアライメントマークは製造装置の所定部位に取り付けられた図５に示すＣＣＤカメラ２２により撮影され、このＣＣＤカメラ２２からの撮影データは画像処理装置２３を介して制御装置２０に入力される。制御装置２０は、その撮影データに基づき上基板Ｗ１に対して下基板Ｗ２がＸ，Ｙ方向及びθ方向のいずれの方向に位置ずれが生じているかを演算し、この演算結果に基づいて下基板Ｗ２の位置ずれを補正するように第１及び第２位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄを制御している。
【００２９】
図１に示すように、前記下保持板８の上方には上保持板１１が配設され、その上保持板１１は前記上部駆動機構５により昇降可能に支持されている。上保持板１１には、上基板Ｗ１を吸着する真空チャック機能及び静電チャック機能が備えられ、それらの各機能は制御装置２０により制御される。そして、上記した下基板Ｗ２の位置補正後に、真空とした処理室７内で上保持板１１が下保持板８に向かって下降し、その上保持板１１と下保持板８との間で上基板Ｗ１（ＣＦ基板）と下基板Ｗ２（ＴＦＴ基板）とが液晶を封入して接着剤（光硬化性樹脂を含むシール材）にて貼り合わされる。
【００３０】
このとき、前記上部駆動機構５に設けられるロードセル２４では、上保持板１１の加圧力（荷重）の検出が行われており、図５に示す制御装置２０若しくは破線にて示す演算装置２５ではその加圧力の演算が行われている。そして、制御装置２０は、その演算結果に基づき上基板Ｗ１と下基板Ｗ２との貼り合わせに必要な加圧力が生じるように、前記上部駆動機構５の駆動部分である加圧板上下モータ２６をドライバ回路２７を通じて制御している。
【００３１】
因みに、制御装置２０は、基板貼合せ時において、図４（ｂ）や図４（ｅ）のように下基板Ｗ２に静電力による保持力が生じるように第１及び第２位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄを制御し、位置決めした下基板Ｗ２の下保持板８上での位置ずれを抑制している。つまり、第１及び第２位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄは静電チャック機能も有している。
【００３２】
そして、このようにして上基板Ｗ１と下基板Ｗ２とが貼り合わされた貼合せ基板Ｗが製造され、前記上部駆動機構５による上保持板１１の上昇とともに処理室７内を大気圧に戻し、製造された貼合せ基板Ｗが前記基板昇降装置９の持ち上げ後に次工程へと搬出されるようになっている。
【００３３】
次に、本実施の形態の特徴的な作用効果を記載する。
（１）本実施の形態では、基板貼合せ前の上基板Ｗ１（ＣＦ基板）と下基板Ｗ２（アレイ基板）との位置決め時において、上基板Ｗ１に対する下基板Ｗ２の位置ずれの検出に基づき、下保持板８の保持面８ａに設けられる第１及び第２位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄの複数の電極ａ〜ｉに駆動電圧を印加して各電極ａ〜ｉと下基板Ｗ２に設けられる導電膜１５（複数のＴＦＴがマトリクス状に形成されることで所定抵抗値を有する導電膜となる）との間に静電力を発生させ、その下基板Ｗ２をＸ，Ｙ方向及びθ方向のいずれかに移動させて位置決めを行う構成としている。つまり、下保持板８の保持面８ａに設けた各位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄにより下基板Ｗ２を直接的に駆動して下基板Ｗ２の位置決めを行う構成のため、下基板の位置決めを行うべくその下基板を保持する下保持板全体を駆動する従来の構成と比べて、下基板Ｗ２の位置決めを行う構成を簡素化できて小型化でき、製造装置全体の小型化を図ることができる。
【００３４】
（２）本実施の形態では、第１位置決め駆動装置１０Ａ，１０Ｃが保持面８ａにおいて対角の位置に対で設けられ、第２位置決め駆動装置１０Ｂ，１０Ｄが保持面８ａにおいて第１位置決め駆動装置１０Ａ，１０Ｃとは別の対角の位置に対で設けられている。これにより、矩形状をなす下基板Ｗ２の四隅に位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄが配置され、しかも駆動方向が同一の位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄを対角に配置していることから、位置決め時の下基板Ｗ２の駆動を安定して行うことができる。
【００３５】
（３）本実施の形態では、第１位置決め駆動装置１０Ａ，１０Ｃでは下基板Ｗ２をＸ方向に駆動し、第２位置決め駆動装置１０Ｂ，１０Ｄでは下基板Ｗ２をＸ方向と直交するＹ方向に駆動し、更に各位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄを所定の駆動タイミングで駆動することで下基板Ｗ２を保持面８ａ上の回転方向に駆動する。これにより、下基板Ｗ２を効率良く駆動でき下基板Ｗ２の位置補正を効率良く行うことができるため、下基板Ｗ２の位置決めにかかる時間を短縮することができる。
【００３６】
（４）本実施の形態では、下基板Ｗ２の位置ずれをＣＣＤカメラ２２の撮影とその画像処理にて非接触で検出する構成としているため、位置ずれを検出する手段の上基板Ｗ１や下基板Ｗ２等への接触を防止することができる。
【００３７】
尚、本発明の実施の形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施の形態では、下保持板８の保持面８ａに直接的に下基板Ｗ２を保持したが、下基板Ｗ２が当接される保持面８ａ上のいずれかに多孔質シート（ポーラスシート）を敷設してもよい。このようにすれば、例えば下基板Ｗ２がゴミ等で傷ついたりすることを抑制できる。また、下基板Ｗ２を保持する静止摩擦抵抗が大きくなるため、下基板Ｗ２の位置ずれをより好適に抑制することができる。
【００３８】
・上記実施の形態では、Ｘ方向駆動用の第１位置決め駆動装置１０Ａ，１０ＣとＹ方向駆動用の第２位置決め駆動装置１０Ｂ，１０Ｄとを用いたが、駆動方向はこれに限らず、第１，第２位置決め駆動装置の駆動方向を直交以外の異なる方向（第１，第２の方向）に設定した構成のものを用いてもよい。
【００３９】
・上記実施の形態では、下保持板８の保持面８ａの四隅に位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄを配設したが、位置決め駆動装置の数や配置を適宜変更してもよい。例えば、四隅の位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄに加え、中央部等に位置決め駆動装置を追加してもよい。また、四隅以外の場所に位置決め駆動装置を配設してもよい。また、Ｘ方向駆動用の第１位置決め駆動装置１０Ａ，１０Ｃを対角の位置に対で配置し、Ｙ方向駆動用の第２位置決め駆動装置１０Ｂ，１０Ｄを第１位置決め駆動装置１０Ａ，１０Ｃとは別の対角の位置に対で配置したが、Ｘ方向駆動用の第１位置決め駆動装置とＹ方向駆動用の第２位置決め駆動装置の配置の組み合わせも適宜変更してもよい。
【００４０】
・上記実施の形態では、位置決め駆動装置１０Ａ〜１０Ｄの電極ａ〜ｉを９個としたが、電極の数はこれに限らず、８個以下や１０個以上としてもよい。また、各電極ａ〜ｉを３個の電源端子Ｔ１〜Ｔ３にそれぞれ接続して３相の駆動電圧を印加する構成としたが、駆動電圧を３相以外としてもよい。
【００４１】
・上記実施の形態では、各電極ａ〜ｉに印加する駆動電圧を＋Ｖ，−Ｖ，０Ｖのいずれか（極性及びオンオフの切り替え）としたが、各電極ａ〜ｉに印加する駆動電圧の電圧値又は印加時間を制御してもよい。このようにすれば、例えば下基板Ｗ２を移動させる距離を微小に制御することができる。
【００４２】
・上記実施の形態では、下基板Ｗ２の位置ずれを検出する手段としてＣＣＤカメラ２２を用いて非接触で検出したが、これ以外の非接触型の検出手段や接触型の検出手段を用いてもよい。
【００４３】
・上記実施の形態では、液晶ディスプレイに用いる貼合せ基板を製造する製造装置であったが、プラズマ等、他のフラットパネルディスプレイに用いる貼合せ基板を製造する製造装置であってもよい。この場合、導電膜を有する側の基板を下保持板に保持する構成とする。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本実施の形態における貼合せ基板製造装置を示す概略構成図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は貼合せ基板を説明するための説明図である。
【図３】位置決め駆動装置を有する下保持板の平面図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は位置決め駆動装置の動作を説明するための説明図である。
【図５】貼合せ基板製造装置の電気的構成を説明するためのブロック図である。
【符号の説明】
【００４５】
７…処理室、８…下保持板、８ａ…保持面、１０Ａ，１０Ｃ…第１位置決め駆動装置、１０Ｂ，１０Ｄ…第２位置決め駆動装置、１１…上保持板、１５…導電膜、２２…位置ずれ検出手段を構成するＣＣＤカメラ、Ｗ…貼合せ基板、Ｗ１…上基板、Ｗ２…下基板、ａ〜ｉ…電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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