(57)【要約】【課題】基板上に液滴の噴射塗布にて形成された塗布膜中の液体を各部均一に乾燥することができる減圧乾燥装置を提供する。【解決手段】チャンバー３３内の下部に液滴の噴射塗布にて塗布膜が形成されている被塗布基板７を収容し、当該チャンバーの天面中央に形成された排気口３４から内部の気体を減圧排気することで、被塗布基板上の塗布膜中の液体を乾燥させるための減圧乾燥装置であって、チャンバーの内部に、第１の分散板３６と第２の分散板３７とが上下２段に設置され、第１の分散板にはその全面に分布するように多数の第１の通気孔３８が形成され、第２の分散板にはその全面に分布し、かつ、第１の分散板の第１の通気孔の配置パターンに対して孔位置をずらした配置パターンにて多数の第２の通気孔３９が形成されている。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバー内の下部に液滴の噴射塗布により塗布膜が形成された被塗布基板を収容し、当該チャンバーの天面中央に形成された排気口から内部の気体を減圧排気することで、前記被塗布基板に形成された塗布膜中の液体を乾燥させるための減圧乾燥装置であって、
前記チャンバーの内部を横断するように、第１の分散板と前記第１の分散板よりも前記被塗布基板側に第２の分散板とが設置され、前記第１の分散板には、その全面に分布するように多数の第１の通気孔が形成され、前記第２の分散板には、その全面に分布し、かつ、前記第１の分散板の第１の通気孔の配置パターンに対して孔位置をずらした配置パターンにて多数の第２の通気孔が形成されていることを特徴とする減圧乾燥装置。
【請求項２】
前記第１の分散板に形成された第１の通気孔は円孔とし、前記第２の分散板に形成された第２の通気孔は上側から下側に広がるテーパー孔としたことを特徴とする請求項１に記載の減圧乾燥装置。
【請求項３】
液滴を被塗布基板に噴射塗布して塗布膜を形成する塗布工程と、
前記塗布膜が形成された前記被塗布基板を減圧乾燥装置に収容し、前記被塗布基板に形成されている塗布膜を減圧乾燥させる減圧乾燥工程とを有し、
前記減圧乾燥工程では、チャンバーの内部を横断するように、第１の分散板と前記第１の分散板よりも前記被塗布基板側に第２の分散板とが設置され、前記第１の分散板には、その全面に分布するように多数の第１の通気孔が形成され、前記第２の分散板には、その全面に分布し、かつ、前記第１の分散板の第１の通気孔の配置パターンに対して孔位置をずらした配置パターンにて多数の第２の通気孔が形成されている減圧乾燥装置を用い、前記被塗布基板を前記チャンバー内の下部に収容し、当該チャンバーの天面に形成された排気口から当該チャンバー内の気体を減圧排気することで前記被塗布基板に形成されている塗布膜中の液体を減圧乾燥させることを特徴とする塗布体の製造方法。
【請求項４】
前記第１の分散板に形成された第１の通気孔は円孔とし、前記第２の分散板に形成された第２の通気孔は上側から下側に広がるテーパー孔とした減圧乾燥装置を用いることを特徴とする請求項３に記載の塗布体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被塗布基板に液滴噴射により塗布された塗布膜中の液体を乾燥させるために用いる減圧乾燥装置及びこの減圧乾燥装置により減圧乾燥することで基板表面に液滴噴射にて塗布形成された塗布膜中の液体を乾燥させて塗布体を得る塗布体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特開２００４−３１０７０号公報（特許文献１）に記載されているように、有機ＥＬディスプレイパネルを製造する際に使用する液滴噴射塗布装置が知られている。
【０００３】
この液滴噴射塗布装置は、高分子発光材料などの着色剤を溶媒に溶解した液体を液滴噴射塗布ヘッドのノズルから液滴として噴射させ、噴射させた液滴により基板の表面を格子状に塗布し、その後に基板表面に塗布形成された塗布膜中の溶媒を蒸発させることにより着色剤の膜を基板上に残留させ、有機ＥＬディスプレイパネルを製造するものである。
【０００４】
このような有機ＥＬディスプレイの製造過程において、基板上に塗布された塗布膜中の液体から溶媒を蒸発させるため、図７に示すような減圧乾燥装置１００を用いる。この減圧乾燥装置１００は、液滴の噴射塗布にて塗布膜が形成された被塗布基板１０１を収容するチャンバー１０２と、チャンバー１０２内に収容された、パンチングにより全面に均一に分布するように多数の通気孔が形成されている分散板１０３と、チャンバー１０２内の気体を吸引する真空ポンプ１０４とを備えている。
【０００５】
チャンバー１０２に収容された被塗布基板１０１は、支持ピン１０５により支持されている。チャンバー１０２内は分散板１０３により下側空間１０６と上側空間１０７とに仕切られている。下側空間１０６内には液滴の噴射塗布にて塗布膜が形成された被塗布基板１０１が配置され、上側空間１０７には真空ポンプ１０４が連通されている。
【０００６】
この減圧乾燥装置１００による減圧乾燥は、以下のように行う。液滴の噴射塗布が終了した被塗布基板１０１を図示しない出し入れ口からチャンバー１０２の下側空間１０６内に収容し、真空ポンプ１０４を駆動させる。真空ポンプ１０４の駆動により、上側空間１０７内の気体がチャンバー１０２外に吸引される。この吸引に伴い、被塗布基板の塗布膜中の液体から蒸発した溶媒を含む下側空間１０６内の気体は、分散板１０３の通気孔を通過して上側空間１０７内に流入し、上側空間１０７内に流入した後に真空ポンプ１０４により吸引されてチャンバー１０２から排出される。
【０００７】
図７において破線で示す矢印は、気体の流れ方向を示している。真空ポンプ１０４の出力は、下側空間１０６から分散板１０３を通過して上側空間１０７内に向かう気体の流れが、分散板１０３の全面で略均一に行われる値に設定されている。
【０００８】
しかしながら、上述した減圧乾燥装置では、以下の点について配慮がなされていなかった。液滴の噴射塗布にて塗布膜が形成された被塗布基板１０１をチャンバー１０２の下側空間１０６内に収容した場合、下側空間１０６内の気体は、チャンバー１０２内に存在する気体と塗布膜中の液体から蒸発した溶媒とが混合された混合気体となる。下側空間１０６内における被塗布基板１０１の上方空間１０７の気体中における溶媒の濃度を調べると、図８に示すように、基板１０１の中央領域が高く、縁部領域が低くなっている。
【０００９】
このため、塗布膜の乾燥速度は、溶媒濃度が高い混合気体が存在する被塗布基板１０１の中央領域では遅くなり、溶媒濃度が低い混合気体が存在する被塗布基板１０１の縁部領域では速くなることで、圧力分布にムラが生じ、また圧力差に基づく乱流を生じ、結果として乾燥速度にバラツキが生じる。被塗布基板１０１上に形成された塗布膜の乾燥速度にバラツキが生じると、溶媒が乾燥した後に被塗布基板１０１上に残留する塗布膜中着色剤の形状や厚み寸法にバラツキが生じる。一般に、乾燥速度が速い場合には残留する着色剤の膜の外形寸法が小さくなるとともに厚さ寸法が大きくなり、乾燥速度が遅い場合には残留する着色剤の膜の外形寸法が大きくなるとともに厚さ寸法が小さくなる。基板１０１上に残留した着色剤の膜の形状や厚み寸法にバラツキが生じると、着色剤の膜に電圧を印加した場合の発光状態にもバラツキが生じ、画像表示品質が低下する。
【特許文献１】特開２００４−３１０７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、被塗布基板に液滴の噴射塗布にて形成された塗布膜中の液体の乾燥を均一に行うことができる減圧乾燥装置及びこの減圧乾燥装置を用いる塗布体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１の発明は、チャンバー内の下部に液滴の噴射塗布により塗布膜が形成された被塗布基板を収容し、当該チャンバーの天面中央に形成された排気口から内部の気体を減圧排気することで、前記被塗布基板に形成された塗布膜中の液体を乾燥させるための減圧乾燥装置であって、前記チャンバーの内部を横断するように、第１の分散板と前記第１の分散板よりも前記被塗布基板側に第２の分散板とが設置され、前記第１の分散板には、その全面に分布するように多数の第１の通気孔が形成され、前記第２の分散板には、その全面に分布し、かつ、前記第１の分散板の第１の通気孔の配置パターンに対して孔位置をずらした配置パターンにて多数の第２の通気孔が形成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１の減圧乾燥装置において、前記第１の分散板に形成された第１の通気孔は円孔とし、前記第２の分散板に形成された第２の通気孔は上側から下側に広がるテーパー孔としたことを特徴とするものである。
【００１３】
請求項３の発明の塗布体の製造方法は、液滴を被塗布基板に噴射塗布して塗布膜を形成する塗布工程と、前記塗布膜が形成された前記被塗布基板を減圧乾燥装置に収容し、前記被塗布基板に形成されている塗布膜を減圧乾燥させる減圧乾燥工程とを有し、前記減圧乾燥工程では、チャンバーの内部を横断するように、第１の分散板と前記第１の分散板よりも前記被塗布基板側に第２の分散板とが設置され、前記第１の分散板には、その全面に分布するように多数の第１の通気孔が形成され、前記第２の分散板には、その全面に分布し、かつ、前記第１の分散板の第１の通気孔の配置パターンに対して孔位置をずらした配置パターンにて多数の第２の通気孔が形成されている減圧乾燥装置を用い、前記被塗布基板を前記チャンバー内の下部に収容し、当該チャンバーの天面に形成された排気口から当該チャンバー内の気体を減圧排気することで前記被塗布基板に形成されている塗布膜中の液体を減圧乾燥させることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項４の発明は、請求項３の塗布体の製造方法において、前記第１の分散板に形成された第１の通気孔は円孔とし、前記第２の分散板に形成された第２の通気孔は上側から下側に広がるテーパー孔とした減圧乾燥装置を用いることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の減圧乾燥装置によれば、被塗布基板に塗布された塗布膜中の液体の乾燥を均一に行うことができる。
【００１６】
また本発明の塗布体の製造方法によれば、塗布された液滴の乾燥が均一に行え、全面に渡り均質な表示性能を備えた塗布体を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて詳説する。
【００１８】
（第１の実施の形態）液滴噴射塗布装置１の全体構成について説明する。液滴噴射塗布装置１は、基板収容部２と、液滴塗布部３と、本発明の第１の実施の形態の減圧乾燥装置に相当する乾燥部４と、塗布体収容部５と、搬送部６とを有している。
【００１９】
基板収容部２は、架台８と架台８上に着脱可能に取付けられる収容棚８ａとを有し、着色剤を含む液滴の塗布が行われる前の被塗布基板である複数の基板７が収容棚８ａ内に収容される。
【００２０】
液滴塗布部３では、着色剤を含む液体であるインクが液滴（インク滴）として噴射され、噴射されたインク滴が基板７の表面に格子状に塗布される。液滴塗布部３は、図３に示すように、架台９とインク塗布ボックス１０とインク補給ボックス１１とを有し、インク塗布ボックス１０とインク補給ボックス１１とが架台９上に隣接して固定されている。
【００２１】
インク塗布ボックス１０の内部には、３つのインクジェットヘッドユニット１２と、３つのインクジェットヘッドユニット１２を一体にＸ軸方向に移動させるユニット移動機構１３と、基板７を保持してこの基板７をＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる基板移動機構１４と、ヘッドメンテナンスユニット１５と、３つのインクタンク１６とが収容されている。
【００２２】
ユニット移動機構１３は、架台９の上面に立設された一対の支柱１７と、一対の支柱１７の上端部間に連結されてＸ軸方向に延出するガイド板１８とを有している。ガイド板１８にはベース板１９がＸ軸方向に移動可能に取付けられている。ベース板１９は、送りネジと駆動モータとを用いた送り機構（図示せず）により、Ｘ軸方向に移動可能に設けられている。ガイド板１８には、インクジェットヘッドユニット１２が取付けられている。
【００２３】
基板移動機構１４は、Ｙ軸方向ガイド板２０と、Ｙ軸方向移動テーブル２１と、Ｘ軸方向移動テーブル２２と、保持部である基板保持テーブル２３とを有している。
【００２４】
Ｙ軸方向ガイド板２０は、架台９の上面に固定されている。Ｙ軸方向ガイド板２０の上面には、Ｙ軸方向に延出するガイド溝２０ａが形成されている。
【００２５】
Ｙ軸方向移動テーブル２１の下面には、ガイド溝２０ａに移動可能に係合する凸部（図示せず）が形成されている。Ｙ軸方向移動テーブル２１は、送りネジと駆動モータとを用いた送り機構（図示せず）により、ガイド溝２０ａに沿ってＹ軸方向へ移動可能に設けられている。Ｙ軸方向移動テーブル２１の上面には、Ｘ軸方向に延出するガイド溝２１ａが形成されている。
【００２６】
Ｘ軸方向移動テーブル２２の下面には、ガイド溝２１ａに移動可能に係合する凸部（図示せず）が形成されている。Ｘ軸方向移動テーブル２２は、送りネジと駆動モータとを用いた送り機構（図示せず）により、ガイド溝２１ａに沿ってＸ軸方向へ移動可能に設けられている。
【００２７】
基板保持テーブル２３は、Ｘ軸方向移動テーブル２２の上面に固定されている。基板保持テーブル２３の上面には、基板７が載せ降ろし可能に載置されている。基板保持テーブル２３上に載置された基板７は、吸着機構（図示せず）により吸着されて所定の位置に固定保持されている。なお、基板保持テーブル２３は、Ｘ軸方向移動テーブル２２と共にＹ軸方向に移動し、保持した基板７に対してインク滴の塗布を行う位置（図１参照）と、基板保持テーブル２３上に基板７を載せ降ろしする位置（図２参照）とに移動可能である。
【００２８】
インクジェットヘッドユニット１２は、図３に示すように、液滴噴射塗布ヘッドであるインク滴噴射塗布ヘッド２４と、塗布位置に位置する基板７の上面に対して垂直方向（Ｚ軸方向）にインク滴噴射塗布ヘッド２４を移動させるＺ軸方向移動機構１２ａと、インク滴噴射塗布ヘッド２４をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構１２ｂと、インク滴噴射塗布ヘッド２４をＺ軸回りの方向であるθ方向に回転させるθ方向回転機構１２ｃとを有している。これらの機構１２ａ〜１２ｃにより、インク滴噴射塗布ヘッド２４は、Ｚ軸方向とＹ軸方向とθ方向とに移動可能とされている。
【００２９】
インク滴噴射塗布ヘッド２４は、図４に示すように、インクタンク１６から供給されるインクを収容する液室である複数のインク室２５と、各インク室２５の壁の一部を形成するダイヤフラム２６と、各インク室２５に対応してダイヤフラム２６に当接する位置に設けられた複数の圧電素子２７と、各インク室２５の壁の一部を形成するノズルプレート２８とを備えている。ノズルプレート２８には、各インク室２５に連通する複数のノズル２９が形成されている。インク滴噴射塗布ヘッド２４では、圧電素子２７に電圧が印加されることにより圧電素子２７が変形し、この変形によりダイヤフラム２６が撓み、ダイヤフラム２６が撓むことによりインク室２５の容積が変化し、この容積変化に伴ってノズル２９から液滴であるインク滴Ｅが噴射される。なお、各インクタンク１６には異なる色（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青））のインクが収容されており、各インク滴噴射塗布ヘッド２４のノズル２９からは異なる色のインク滴が噴射される。
【００３０】
ヘッドメンテナンスユニット１５では、インク滴噴射塗布ヘッド２４のノズル２９が目詰まりした場合の清掃が行われる。ヘッドメンテナンスユニット１５は、インクジェットヘッドユニット１２のＸ軸方向の移動方向であってＹ軸方向ガイド板２０の側方に配置されている。
【００３１】
架台９の内部には、液滴噴射塗布装置１の各部を制御するための制御ボックス３０が設けられている。この制御ボックス３０からの制御により、ユニット移動機構１３によるインクジェットヘッドユニット１２の移動、基板移動機構１４による基板７の移動、インク滴噴射塗布ヘッド２４からのインク滴の噴射、搬送部６による基板７の搬送、乾燥部４によるインク滴を塗布した基板７の乾燥等が行われる。
【００３２】
インク補給ボックス１１の内部には、複数のインク補給タンク３１が着脱可能に取付けられている。個々のインク補給タンク３１にはそれぞれ異なる色（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青））のインクが収容されており、個々のインク補給タンク３１は同じ色のインクが収容されているインクタンク１６に補給パイプ３２を介して接続されている。インク補給タンク３１内のインクが無くなった場合、又は、設定量以下となった場合には、新たなインク補給タンク３１に交換する。
【００３３】
乾燥部４は図５に示す構成であり、チャンバー３３内の下部に液滴の噴射塗布により塗布膜が形成されている被塗布基板７を収容し、当該チャンバー３３の天面中央に形成された排気口３４から真空ポンプ３５にてチャンバー３３内の気体を減圧排気することで、被塗布基板７に形成されている塗布膜中の液体を乾燥させる。この乾燥部４のチャンバー３３の内部には、第１の分散板３６と第２の分散板３７とが上下２段に設置してある。上側の第１の分散板３６には、その全面に分布するように多数の第１の通気孔３８が形成してあり、下側の第２の分散板３７には、その全面に分布し、かつ、第１の分散板３６に形成された第１の通気孔３８の配置パターンに対して孔位置をずらした配置パターンにて多数の第２の通気孔３９が形成してある。
【００３４】
被塗布基板７は、チャンバー３３の底部に設けられた支持ピン４０にて支持されている。支持ピン４０は、チャンバー３３の底部に出没可能に設けられて突出位置で被塗布基板７を支持する。チャンバー３３内は上下２段にそれぞれ横断するように設置された第１の分散板３６と第２の分散板３７とにより下側空間４１と上側空間４２と中部空間４３とに仕切られている。下側空間４１内には被塗布基板７が収容され、上側空間４２には真空ポンプ３５が連通されている。
【００３５】
塗布体収容部５は、架台４４と架台４４上に着脱可能に取付けられる収容棚４５とを有し、乾燥部４において乾燥が終了した塗布体である有機ＥＬディスプレイパネル（図示せず）が搬送部６により搬送され、収容棚４５に収容される。
【００３６】
搬送部６は、上下方向に移動可能な昇降軸４６と、昇降軸４６の上端部に連結されて水平面（Ｘ−Ｙ平面）内で回動可能なリンク４７，４８と、リンク４８の先端部に取付けられたアーム４９とを備える。昇降軸４６の昇降とリンク４７，４８の回動とが行われることにより、搬送部６は、基板収容部２の収容棚８ａから基板７を取り出して液滴塗布部３の基板保持テーブル２３上に載置し、及び、基板保持テーブル２３上に保持されているインク滴の塗布が終了した基板７を基板保持テーブル２３から降ろしてチャンバー３３内に収容し、及び、乾燥処理が行われた後の有機ＥＬディスプレイパネル（塗布体）をチャンバー３３内から取り出して収容棚４５内に収容する。
【００３７】
このような構成の液滴噴射塗布装置１では、基板収容部２の収容棚８ａに収容されている基板７が搬送部６により取り出され、取り出された基板７は、図２に示すように、基板７を載せ降ろしすることが可能な位置に位置する基板保持テーブル２３上に載置される。
【００３８】
載置された基板７を保持した基板保持テーブル２３は、図１に示すインク滴の噴射塗布が行われる位置に移動し、インク滴噴射塗布ヘッド２４のノズル２９から噴射されるインク滴により基板７が塗布される。
【００３９】
基板７へのインク滴の塗布が終了して被塗布基板７となると、基板保持テーブル２３は再び図２に示す位置に移動する。基板保持テーブル２３が図２に示す位置に移動した後、基板保持テーブル２３上に保持されている被塗布基板７は、搬送部６により基板保持テーブル２３上から降ろされ、乾燥部４のチャンバー３３内に搬送される。チャンバー３３内に搬送されたインク滴が塗付された被塗布基板７は、チャンバー３３内で減圧乾燥処理され、塗布体である有機ＥＬディスプレイパネルが製造される。
【００４０】
チャンバー３３内で減圧乾燥処理されて製造された有機ＥＬディスプレイパネルは、搬送部６によりチャンバー３３内から取り出され、塗布体収容部５の収容棚４７内に収容される。
【００４１】
インク滴の塗布が終了した被塗布基板７が降ろされた後の基板保持テーブル２３上には、基板収容部２の収容棚８ａに収容されている基板７が搬送部６により取り出され、その基板７が基板保持テーブル２３上に載置され、この基板７に対するインク滴の塗布、乾燥部４での乾燥等が繰り返される。
【００４２】
被塗布基板７がチャンバー３３内に搬送される場合は、被塗布基板７を保持したアーム４９が被塗布基板７と共にチャンバー３３の出し入れ口（図示せず）からチャンバー３３内に入り込む。被塗布基板７と共にアーム４９がチャンバー３３内に入り込んだ後、支持ピン４０が上昇して被塗布基板７を持ち上げ、被塗布基板７をアーム４９から離反させて被塗布基板７を支持する。被塗布基板７がアーム４９から離反された後、アーム４９はチャンバー３３外に移動し、チャンバー３３の出し入れ口が閉止されてチャンバー３３内が気密状態となり、乾燥部４での被塗布基板７上に形成されている塗布膜の減圧乾燥処理が開始される。
【００４３】
乾燥部４での乾燥処理においては、真空ポンプ３５が駆動される。真空ポンプ３５が駆動されることにより、図５に示すように、上側空間４２内の気体がチャンバー３３外に排気口３４から吸引排出される。この吸引に伴い、塗布膜中の液体から蒸発した溶媒を含む下側空間４１内の気体は、下側の第２の分散板３７の第２の通気孔３９を通過して中部空間４３に入り、次に、上側の第１の分散板３６の第１の通気孔３８をを通過して上側空間４２内に流入し、上側空間４２内に流入した後に真空ポンプ３５により吸引され、チャンバー３３外へ排出される。図５に示す破線の矢印は、真空ポンプ３５の駆動による気体の流れ方向を示している。真空ポンプ３５の出力は、下側空間４１から上下２段に設置された第１の分散板３６と第２の分散板３７を通過して上側空間４２内に向かう気体の流れが被塗布基板７の表面で均一になる値に設定されている。
【００４４】
下側の第２の分散板３７に形成された第２の通気孔３９の配置パターンと上側の第１の分散板３６に形成された第１の通気孔３８の配置パターンとがそれらの孔位置が互いにずれ、上下方向に揃わないパターンにしてある。このため、上記の気体の流れにおいて、下側空間４１から第２の分散板３７を通過した気体に対して上側の第１の分散板３６は邪魔板の役目を果たし、中部空間４３内で気体が一時的に滞留し、その後に第１の分散板３６の第１の通気孔３８を通過して上側空間４２に流入する流れとなる。これにより、気体の流れが被塗布基板７の表面で均一になり、被塗布基板７の各部の塗布膜中の液体の乾燥速度が揃えられ、均一に乾燥させることができる。この結果、乾燥部４での減圧乾燥処理を経て製造される有機ＥＬディスプレイパネルにおける着色剤の膜の形状や厚み寸法が均一化され、着色剤の膜に電圧を印加した場合の発光状態のバラツキを防止して画像表示品質の向上を図ることができる。
【００４５】
（第２の実施の形態）本発明の第２の実施の形態の液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法について説明する。第２の実施の形態の特徴は、図１、図２に示した構成の液滴噴射塗布装置１における乾燥部４に相当する減圧乾燥装置の内部構造が図６に示すものである点である。
【００４６】
本実施の形態における減圧乾燥装置は、図５に示した第１の実施の形態における乾燥部４と同様に、チャンバー３３内の下部に液滴の噴射塗布にて塗布膜が形成されている被塗布基板７を収容し、当該チャンバー３３の天面中央に形成された排気口３４から真空ポンプ３５にてチャンバー３３内の気体を減圧排気する構成であり、チャンバー３３の内部を横断するように、第１の分散板３６と第２の分散板３７とが上下２段に設置してある。そして、上側の第１の分散板３６には、その全面に分布するように多数の第１の通気孔３８が形成してあり、下側の第２の分散板３７には、その全面に分布し、かつ、第１の分散板３６に形成された第１の通気孔３８の配置パターンに対して孔位置をずらした配置パターンにて多数の第２の通気孔３９Ａが形成してある。そして、本実施の形態の特徴として、第２の分散板３７に形成した第２の通気孔３９Ａを、上側の径よりも下側の径の方が広がるテーパー孔にしている。
【００４７】
第２の実施の形態では、このように下側の第２の分散板３７の第２の通気孔３９Ａをテーパー孔にすることで、各孔の下側開口がチャンバー３３の下側空間４１内の広い範囲の気体を吸い上げで中部空間４３に流入させることができ、したがって、下側空間４１内の気体の吸い込みを縁部でも中央部でも各部で均一に行うことができ、この結果、第１の分散板３６の邪魔板としての働きと相まって、第１の実施の形態の場合よりも効果的に被塗布基板７の表面各部の塗布液滴を均一に減圧乾燥させることができる。そしてこの結果として、乾燥部４での減圧乾燥処理を経て製造される塗布体である有機ＥＬディスプレイパネルにおける着色剤の膜の形状や厚み寸法がいっそう均一化でき、着色剤の膜に電圧を印加した場合の発光状態のバラツキを防止して画像表示品質のいっそうの向上が図れる。
【００４８】
なお、上記第１、第２の実施の形態では、インク滴の噴射塗布にて形成されている被塗布基板７上の塗布膜を減圧乾燥させることにより塗布体として有機ＥＬディスプレイパネルを製造する場合を例に挙げて説明したが、この液滴噴射塗布装置及び塗布体の製造方法は、塗布体として液晶ディスプイパネルを製造する場合にも適用できるものである。
【００４９】
また、上下の第１、第２の分散板の高さ位置や間隔、また第１、第２の通気孔のサイズはチャンバーのサイズにより任意に設定することができるものであり、図示のものに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の第１の実施の形態の減圧乾燥装置を含む液滴噴射塗布装置の平面図。
【図２】図１に示す液滴噴射塗布装置が備える基板保持テーブルを基板を載せ降ろしする位置に移動させた状態の平面図。
【図３】図１に示す液滴噴射塗布装置が備える液滴塗布部の斜視図。
【図４】図３に示す液滴塗布部が備えるインク噴射塗布ヘッドの断面図。
【図５】本発明の第１の実施の形態の減圧乾燥装置であるところの、図１に示す液滴噴射塗布装置における乾燥部の断面図。
【図６】本発明の第２の実施の形態の減圧乾燥装置の断面図。
【図７】従来例の液滴噴射塗布装置が備える乾燥部の断面図。
【図８】従来例の乾燥部による乾燥処理時におけるチャンバー内の気体中の溶媒濃度を示すグラフ。
【符号の説明】
【００５１】
４…乾燥部、７…被塗布基板、３３…チャンバー、３４…排気口、３５…真空ポンプ、３６…第１の分散板、３７…第２の分散板、３８…第１の通気孔、３９…第２の通気孔、４１…下側空間、４２…上側空間、４３…中部空間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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