(57)【要約】【課題】  潜在的に存在する不良を検出できる電気光学装置の検査方法及び電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】  基板上に、電気光学物質を保持し、当該基板上に画素が配列されてなる表示領域と、前記画素に駆動信号を与えて前記電気光学物質を駆動させる駆動回路と、を具備する電気光学装置の検査方法であって、前記表示領域は、一方向に配列する複数の前記画素に駆動信号を供給する配線を複数具備し、前記駆動回路は、前記複数の配線に駆動信号を与える出力端子からなる第１出力端子群と、前記配線に非接続とされた前記第１出力端子群と同一の駆動信号が出力可能な出力端子からなる第２出力端子群と、を有し、前記駆動回路における前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群が駆動信号を出力する際の電流値を測定すること、を特徴としている。【選択図】        図７
2007004019.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、電気光学物質を保持し、当該基板上に画素が配列されてなる表示領域と、前記画素に駆動信号を与えて前記電気光学物質を駆動させる駆動回路と、を具備する電気光学装置の検査方法であって、
前記表示領域は、一方向に配列する複数の前記画素に駆動信号を供給する配線を複数具備し、
前記駆動回路は、
前記複数の配線に駆動信号を与える出力端子からなる第１出力端子群と、
前記配線に非接続とされた前記第１出力端子群と同一の駆動信号が出力可能な出力端子からなる第２出力端子群と、
を有し、
前記駆動回路における前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群が駆動信号を出力する際の電流値を測定すること、
を特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項２】
前記駆動回路には、当該駆動回路内に電源を供給する入力端子が設けられ、前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群に駆動信号を出力する際の当該入力端子に供給される電流値を測定し、異常を検出すること、
を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項３】
前記検査方法は、前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群のそれぞれの出力端子を個々に駆動したときの電流値を測定して異常を検出すること、
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項４】
前記検査方法は、前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群のそれぞれの出力端子を、複数のグループに分けて駆動したときの電流値を測定して異常を検出すること、
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項５】
前記電気光学装置は、複数色の着色層を備え、
前記複数のグループのそれぞれは、前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群のそれぞれの端子を、前記複数色の着色層のうち一つの色の着色層に対応した端子毎にグループ分けしてあること、
を特徴とする請求項４に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項６】
前記グループ毎に測定した、前記電流値を比較して良品又は不良品を判定すること、
を特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項７】
前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群が駆動信号を出力している状態で、前記表示領域における表示画像の良品又は不良品を判定する外観検査を行うこと、
を特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査方法を用いること、
を特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の検査方法、及び電気光学装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気光学装置においては、液晶装置や、有機又は無機のエレクトロルミネッセンス装置（ＥＬ装置）等が知られている。また、このような電気光学装置を製造する工程においては、複数生産される電気光学装置のうち欠陥品を検出する検査工程が行われるのが一般的である（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平０７−２９４３７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、本発明者によれば、特許文献１等の検査方法においては、電気光学装置の初期の使用状態における不良を検出することが可能となるものの、使用状態の経時変化に伴う不良、換言すれば、潜在的に存在する不良を検出できないという問題が見出された。従って、従来の検査工程では、経時変化に伴う不良品発生を予測することができないという問題を有している。
【０００４】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、潜在的に存在する不良を検出できる電気光学装置の検査方法及び電気光学装置の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
また、本発明者によれば、電気光学装置の量産品において、検査工程で良品と判定されたとしても、その一部の電気光学装置は、使用時間の経過によって表示不良等の故障が生じてしまうことを確認した。また、本発明者は、その原因について検討した結果、ドライバＩＣ等の実装部品を基板に実装する工程において、端子間における微細なゴミの混入や実装環境の湿気に起因する水分残留等が原因となり、出荷段階では良好と判定された電気光学装置であっても、経時変化によって導通不良や短絡（ショート）が生じてしまうことを見出した。また、本発明者は、従来の検査工程では、経時変化に伴う不良品の発生までは検出できないことが明らかになった。
本発明者は、上記の問題点を解決すべく、以下の手段を有する本発明を想到した。
【０００６】
即ち、本発明の電気光学装置の検査方法は、基板上に、電気光学物質を保持し、当該基板上に画素が配列されてなる表示領域と、前記画素に駆動信号を与えて前記電気光学物質を駆動させる駆動回路と、を具備する電気光学装置の検査方法であって、前記表示領域は、一方向に配列する複数の前記画素に駆動信号を供給する配線を複数具備し、前記駆動回路は、前記複数の配線に駆動信号を与える出力端子からなる第１出力端子群と、前記配線に非接続とされた前記第１出力端子群と同一の駆動信号が出力可能な出力端子からなる第２出力端子群と、を有し、前記駆動回路における前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群が駆動信号を出力する際の電流値を測定すること、を特徴としている。
【０００７】
ここで、電気光学物質もしくは電気光学装置とは、電界により物質の屈折率が変化して光の透過率を変化させる電気光学効果を有するものの他、電気エネルギーを光学エネルギーに変換するもの等も含んで総称している。
また、配線とは、画素内の電気光学物質に電圧や電流を付与するための配線である。また、画素にスイッチング素子が接続されているアクティブマトリクス方式である場合には、配線はスイッチング素子を駆動させる配線としても機能する。また、このようなアクティブマトリクス方式としては、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）等のスイッチング素子として採用され、配線はこれらのスイッチング素子を駆動させるものとして機能する。また、ＴＦＴにおける配線は、例えば走査線や信号線となるものであり、ＴＦＤにおける配線は、例えばセグメント線やコモン線となるものである。また、配線はパッシブマトリクス方式におけるストライプ配線であってもよい。
【０００８】
また、駆動回路とは、表示領域の外周の少なくとも一部に設けられた回路である。また、当該駆動回路は、基板上において導電性粒子等の導電部材を介在させて配線と接続されるものであって所謂ＩＣチップである。また、ＴＦＴの場合では電気光学装置には走査線及び信号線の各々を制御する駆動回路が２つ設けられており、ＴＦＤの場合では電気光学装置には走査線を制御する駆動回路が１つ設けられている。また、駆動回路においては、第２出力端子群が配線と非接続となっていることから、当該第２出力端子群は、表示に寄与しない不使用端子となる。
【０００９】
そして、本発明者は、駆動回路と配線との実装状態を検査する方法として、単に第１出力端子と配線との間における導通不良や短絡を検査しただけでは、電気光学装置に潜在的に存在する不良を判定できないことを見出した。そこで、本発明者は、第１出力端子群から配線に駆動信号を出力させると共に、配線に接続されていない第２出力端子群においても当該第２出力端子から駆動信号を出力させ、駆動回路全体に供給される電流量を測定することで、電気光学装置に潜在的に存在する不良を有効的に判定できることを見出した。
具体的に説明すると、駆動回路と配線とを導通粒子を介在させて実装した際に、第１出力端子群と配線との間において導通状態が確保されたとしても、第２出力端子群における出力端子同士が短絡している場合がある。このような第２出力端子群における不良は、表示領域に画像を表示させる際には全く問題はなく、また、従来の検査方法によって検出されることはない。しかしながら、本発明者は、このような第２出力端子群における短絡は、電気光学装置に潜在的に存在する不良として捉えることができ、当該不良要因を有する電気光学装置は、第１出力端子群と配線との間の導通状態（実装状態）が経時変化し、後に不良品になる可能性が高いことを確認した。
【００１０】
従って、本発明によれば、駆動回路における第１出力端子群及び第２出力端子群が駆動信号を出力する際の電流量を測定することで、経時変化に伴う不良が生じ易い電気光学装置を検出することができる。また、換言すれば、電気光学装置の初期の使用状態では発見できなかった不良を予測することができる。そして、量産工程において、不良要因を有する電気光学装置を除くことで、経時変化に伴う不良が生じにくい電気光学装置を出荷することができる。
【００１１】
また、本発明の電気光学装置の検査方法は、前記駆動回路には、当該駆動回路内に電源を供給する入力端子が設けられ、前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群に駆動信号を出力する際の当該入力端子に供給される電流値を測定し、異常を検出すること、を特徴としている。
ここで、入力端子とは、極めて少ない数個の端子であり、配線に接続される第１出力端子群の出力端子数や、第２出力端子群の出力端子数よりも少ない。従って、少ない数の入力端子を利用して駆動回路の電流量を測定することができる。
また、第１出力端子群及び第２出力端子群の各々の出力端子に流れる電流を測定するには、針状のプローブ等を各出力端子に接触させて行う必要がある。この場合、プローブ間の短絡や、プローブと出力端子との間の接触抵抗等が発生する可能性があり、出力端子毎に電流を測定するのは、現実的ではない。
従って、駆動回路における入力端子という、少ない端子を利用して電流量を測定することで、経時変化に伴う不良が生じ易い電気光学装置を容易に検出することができる。
【００１２】
また、本発明の電気光学装置の検査方法は、前記検査方法は、前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群のそれぞれの出力端子を個々に駆動したときの電流値を測定して異常を検出すること、を特徴としている。
このように、第１出力端子群と第２出力端子群との各々を駆動する際の電流値を測定して検査する方法であっても、第２出力端子から駆動信号を出力させているので、上記と同様な潜在的な不良を発見する効果が得られる。また、測定するのは入力端子だけであるので、検査効率を向上させる効果がある。
【００１３】
また、本発明の電気光学装置の検査方法は、前記検査方法は、前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群のそれぞれの出力端子を、複数のグループに分けて駆動したときの電流値を測定して異常を検出すること、を特徴としている。
このようにすれば、駆動回路における第１出力端子群及び第２出力端子群が同時に出力する電流量をグループ毎に測定することができる。
【００１４】
また、本発明の電気光学装置の検査方法は、前記電気光学装置は、複数色の着色層を備え、前記複数のグループのそれぞれは、前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群のそれぞれの端子を、前記複数色の着色層のうち一つの色の着色層に対応した端子毎にグループ分けしてあること、を特徴としている。
【００１５】
ここで、互いに異なる複数色とは、例えば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、及び青（Ｂ）によって構成される複数色、或いは、３色よりも多い色数で構成される複数色からなる。そして、当該複数色の各色を諧調させることで、フルカラー表示を可能とするものである。
このようにすれば、表示領域が表示可能な複数色について、駆動回路における第１出力端子群及び第２出力端子群が同時に出力する電流量を単色毎に測定することができる。
そして、単色を表示させるので、出力端子間に１ヶ所でも短絡があると、短絡箇所を通じて隣接する出力端子に駆動信号が流れてしまうため、出力端子の電流値が大きくなる。従って、隣接する端子間で短絡しているか否かを電流値として検出することができる。
【００１６】
また、本発明の電気光学装置の検査方法は、前記グループ毎に測定した、前記電流値を比較して良品又は不良品を判定すること、を特徴としている。
このようにすれば、グループ毎に測定した電流値を比較して良品又は不良品を判定するので、上記と同様の効果が得られる。
【００１７】
また、本発明の電気光学装置の検査方法は、前記第１出力端子群及び前記第２出力端子群が駆動信号を出力している状態で、前記表示領域における表示画像の良品又は不良品を判定する外観検査を行うこと、を特徴としている。
【００１８】
このようにすれば、上記の検査方法による効果が得られるだけでなく、表示領域の外観検査によって、表示画像の良品又は不良品を判定して、電気光学装置の検査を行うことができる。また、外観検査による検査方法の場合、単色を表示領域に表示させて、他の色が表示されているか否かを判定することで、第１出力端子群の出力端子間で短絡があるか否かを判定することができる。
【００１９】
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、先に記載の電気光学装置の検査方法を用いること、を特徴としている。
このようにすれば、上記の検査方法を利用して電気光学装置を製造できるので、経時変化に伴う不良が生じ易い電気光学装置を検出することができる。また、電気光学装置の初期の使用状態では発見できなかった不良を予測することができる。そして、量産工程において、このような不良が生じる可能性を有している電気光学装置を除き、良品の電気光学装置のみを出荷することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る電気光学装置の検査方法、及び電気光学装置の製造方法について説明する。
なお、各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならせて表示している。
【００２１】
（液晶装置）
まず、本発明の検査対象となる電気光学装置に係る液晶装置について説明する。
以下に示す本実施形態の液晶装置は、スイッチング素子として薄膜ダイオード（Thin Film Diode、以下、ＴＦＤと略記する）を用いたアクティブマトリクス型であると共に、バックライトからの光を利用して表示を可能にした透過型の液晶装置である。
【００２２】
まず、図１に基づいて、本実施形態の液晶装置１００の断面構造について説明する。
図１に示すように、液晶装置１００は、対向する基板１０，２０間に液晶層（電気光学物質）５０を備えた構成となっている。
ここで、基板１０はＴＦＤを備えるＴＦＤ基板であり、基板２０はＴＦＤ基板１０に対向する対向基板である。また、基板１０，２０の間には液晶層５０を内包するようにシール剤５２が設けられている。
【００２３】
また、ＴＦＤ基板１０は、ガラス基板等の透明性部材を基体とし、その表面にフルカラー表示可能な画像表示領域（表示領域）４、シール部材５２、周辺見切り部材５３、走査ドライバ（駆動回路）１１０、及びデータドライバ１２０を備えている。画像表示領域４には、画素電極３１とＴＦＤ素子４０とがマトリクス状に配列されている。
【００２４】
また、対向基板２０は、ガラス基板等の透明性部材を基体とし、ＴＦＤ基板１０の画素電極３１の境界領域と対向する領域に、ブラックマトリクスと称せられる遮光膜２３が形成され、その上層側にはＩＴＯ膜からなるストライプ状の共通電極１３が形成されている。また、画素電極３１及び共通電極１３の表面の液晶層５０と接触する側には、ポリイミドを主体として構成される膜に対してラビング処理が施された配向膜が形成されている。
【００２５】
次に、図２に基づいて、本実施形態の液晶装置１００の平面構造について説明する。
図２に示すように、液晶装置１００は、ＴＦＤ基板１０の一方側（図中下側）に走査ドライバ１１０とデータドライバ１２０とを備えている。また、データドライバ１２０から画像表示領域４に向けて、複数のデータ線（配線）９が延在している。また、走査ドライバ１１０から画像表示領域４に向けて、上記の共通電極となる走査線１３が延在している。
ここで、データ線９は、画像表示領域４内の縦方向に向けて延在していると共に、画像表示領域４の外部において、データドライバ１２０の出力端子を接続されている。また、走査線１３（共通電極１３）は、画像表示領域４内の左右方向に向けて延在していると共に、画像表示領域４の外部において、引出線１３ａを通じて走査ドライバ１１０の出力端子と接続されている。
【００２６】
また、画像表示領域４においては、マトリクス状に複数の画素が配列されており、走査ドライバ１１０及びデータドライバ１２０から画素に対して駆動信号が与えられることで、画素毎に液晶層５０が駆動するようになっている。また、画像表示領域４は、一方向に配列する複数の画素に共通に接続されるデータ線９を、データ線９の延在方向に直交する方向に複数具備している。即ち、後述する駆動用端子群２１の各々に対応させてデータ線９を有している。また、画像表示領域４は、データ線９が延在する方向に沿って、画素と重なるようにストライプ状の着色層を有している。着色層は、ＲＧＢの３色の各々から構成されており、各色の透過光を諧調させると共に合成することで、フルカラー表示を行うようになっている。
また、本実施形態においては、画像表示領域４の解像度は、画素数２４０×３２０からなるＱＶＧＡである。従って、画像表示領域４内に７２０本のデータ線９と、３２０本の走査線１３とが互いに交差するように設けられている。
【００２７】
次に、図３に基づいて、本実施形態の液晶装置１００の等価回路について説明する。
図３に示すように、液晶装置１００は、走査ドライバ１１０及びデータドライバ１２０を有している。液晶装置１００には、信号線として、複数の走査線１３と、当該走査線１３と交差する複数のデータ線９とが設けられ、走査線１３は走査ドライバ１１０により、データ線９はデータドライバ１２０により、各々駆動される。そして、各画素１５０において、走査線１３とデータ線９との間にＴＦＤ素子４０と液晶表示要素１６０（液晶層５０）とが直列に接続されている。
なお、図３では、ＴＦＤ素子４０が走査線１３側に接続され、液晶表示要素１６０がデータ線９側に接続されているが、これとは逆にＴＦＤ素子４０をデータ線９側に、液晶表示要素１６０を走査線１３側に設ける構成としてもよい。
【００２８】
次に、図４に基づいて、本実施形態の液晶装置１００に具備された画素の構造について模式的に説明する。
図４に示すように、液晶装置１００では、走査線１３に対しＴＦＤ素子４０を介して接続された画素電極３１がマトリクス状に設けられており、当該画素電極３１と紙面垂直方向に平面的に対向して共通電極９が短冊状に設けられている。共通電極９は、図３におけるデータ線９と同一であり、走査線１３と交差する形のストライプ形状を有している。本実施形態において、各画素電極３１が形成された個々の領域が１つの画素であり、マトリクス状に配置された各画素にＴＦＤ素子４０が具備されており、当該画素毎に表示が可能な構成になっている。
ＴＦＤ素子４０は、走査線１３と画素電極３１とを接続するスイッチング素子であって、ＴＦＤ素子４０は、Ｔａを主成分とする第１導電膜と、第１導電膜の表面に形成され、Ｔａ２Ｏ３を主成分とする絶縁膜と、絶縁膜の表面に形成され、Ｃｒを主成分とする第２導電膜とを含むＭＩＭ（Metal-Insulator-Metal）構造を具備して構成されている。そして、ＴＦＤ素子４０の第１導電膜が走査線１３に接続され、第２導電膜が画素電極３１に接続されている。
【００２９】
次に、図５に基づいて、本実施形態の液晶装置１００におけるデータドライバ１２０とデータ線９との接続状態について説明する説明図である。
図５に示すように、本実施形態のデータドライバ１２０は、ＴＦＤ基板１０とは別体のＩＣチップからなり、ＴＦＤ基板１０に実装されたものである。また、データドライバ１２０は、７９２本からなる複数の出力端子を備えている。当該複数の出力端子は、データ線９に接続されて画像表示領域４に画像表示を行うための駆動信号を出力する駆動用端子群（第１出力端子群）２１と、データ線９に接続されない不使用端子群（第２出力端子群）２２とに区分される。ここで、駆動用端子群２１の本数は、接続されるデータ線９と同数であり、７２０本となっている。また、不使用端子群２２の本数は、データドライバ１２０の両側において各々３６本、合計７２本となっている。
【００３０】
このようなＩＣチップからなるデータドライバ１２０は、例えば、ＩＣチップをフェースダウンボンディングする実装方法によって実装される。このような実装の際には、駆動用端子群２１とデータ線９との間に、異方性導電ペースト（ＡＣＰ）や異方性導電フィルム（ＡＣＦ）からなる異方性導電膜を介在させて実装させている。また、ＴＦＤ基板１０には、ダミーバンプが設けられており、当該ダミーバンプと不使用端子群２２とが同様に実装されている。
【００３１】
また、データドライバ１２０は、上記の出力端子のみならず、データドライバ１２０の自身に電力を供給するための入力端子２３を備えている。これによって、入力端子２３から供給される電力を利用して、駆動用端子群２１からデータ線９に駆動信号が出力され、画像表示領域４に画像表示を行うようになっている。また、不使用端子群２２においても、画像表示には全く寄与しないが、駆動用端子群２１が出力する駆動信号と同一の駆動信号を出力することが可能となっている。
また、データドライバ１２０の動作は、当該データドライバ１２０に設けられた制御端子から制御プログラムに応じた制御信号が付与されることで行われる。
【００３２】
次に、図６に基づいて、データドライバ１２０の出力端子について詳述する。
図６は、図５の要部を示す拡大図である。
図６に示すように、駆動用端子群２１は、画像表示領域４がＲＧＢの各色で表示をするための駆動信号を、データ線９に対して出力するようになっている。ここで、駆動用端子群２１を構成する出力端子は、隣り合う端子が異なる色を表示させる駆動信号を出力するようになっている。
また、不使用端子群２２においても、駆動用端子群２１に対応するように、ＲＧＢの各色で表示をするための駆動信号を出力することが可能となっている。
【００３３】
（液晶装置の検査方法の第１実施形態）
次に、液晶装置の検査方法の第１実施形態について説明する。
図７は、本実施形態の液晶装置の検査方法を説明するためのフローチャート図である。
【００３４】
まず、駆動用端子群２１と不使用端子２２に対して駆動信号を出力する。ここで、画像表示領域４がＲＧＢの各々の単色表示を行うように、Ｒ表示を行う出力端子（グループ）のみ、Ｇ表示を行う出力端子（グループ）のみ、Ｂ表示を行う出力端子（グループ）のみに順次に駆動信号を出力する（ステップＳ１）。そして、ＲＧＢの各々の表示を行う際に入力端子２３に供給される電流量を測定し、当該電流量を測定値として記憶する（ステップＳ２）。
【００３５】
次に、ステップＳ２にて記憶したＲ表示の測定値と、同じくステップＳ２にて記憶したＧ表示の測定値を比較する（ステップＳ３）。ここで、Ｒ表示の測定値とＧ表示の測定値とが異なる場合（ＮＯの場合）には、不良品判定となる（ステップＳ４）。一方、Ｒ表示の測定値とＧ表示の測定値とが同じ場合（ＹＥＳの場合）には、次の比較を行う。
次に、ステップＳ２にて記憶したＧ表示の測定値と、同じくステップＳ２にて記憶したＢ表示の測定値を比較する（ステップＳ５）。ここで、Ｇ表示の測定値とＢ表示の測定値とが異なる場合（ＮＯの場合）には、不良品判定となる（ステップＳ６）。一方、Ｇ表示の測定値とＢ表示の測定値とが同じ場合（ＹＥＳの場合）には、良品判定となる（ステップＳ７）。
【００３６】
このような検査方法においては、図６に示すように駆動用端子群２１及び不使用端子群２２のＲＧＢの出力端子は互いに異なる色同士で隣接し、特定の色を表示させる駆動信号を与えることができるので、出力端子間に少なくとも１ヶ所に短絡があると、短絡箇所を通じて隣接する出力端子に駆動信号が流れてしまい、出力端子の電流値が大きくなる。例えば、ＲとＧの出力端子間で短絡がある場合には、ＲもしくはＧを表示させる駆動信号を出力した際に電流量が大きくなる。また、ＧとＢの出力端子間で短絡がある場合には、ＧもしくはＢを表示させる駆動信号を出力した際に電流量が大きくなる。また、ＢとＲの出力端子間で短絡がある場合には、ＢもしくはＲを表示させる駆動信号を出力した際に電流量が大きくなる。通常は、Ｒ，Ｇ，Ｂそれぞれの駆動用端子群２１と不使用端子群２２は同じ数に設定されている。そのため良品であれば、それぞれの電流値が等しくなる。しかし、Ｒ，Ｇ，Ｂの出力端子間に短絡があると電流値が大きくなり、それぞれの電流値が等しくなくなるので不良品と判定することができる。
【００３７】
上述したように、本実施形態の検査方法によれば、データドライバ１２０における駆動用端子群２１及び不使用端子群２２が同時に出力する電流量を測定することで、経時変化に伴う不良が生じてしまうという潜在的不良を検出することができる。そして、特に、本実施形態においては、駆動用端子群２１からＲＧＢの各々を表示させる駆動信号を出力し、不使用端子群２２から同様の駆動信号を出力することで、異なる色を表示させる出力端子間での短絡を電流値として検出することができる。
【００３８】
なお、上記の実施形態においては、駆動用端子群２１と不使用端子２２に対して駆動信号を出力しているが、このような検出法方法以外にも、駆動用端子群２１と不使用端子２２のそれぞれの出力端子を個々に駆動させ、当該個別駆動の際の電流値を測定してもよい。このように、駆動用端子群２１と不使用端子２２との各々を駆動する際の電流値を測定して検査する方法であっても、不使用端子２２から駆動信号を出力させているので、上記と同様な潜在的な不良を発見する効果が得られる。また、測定するのは入力端子だけであるので、検査効率を向上させる効果がある。
【００３９】
（液晶装置の検査方法の第２実施形態）
次に、液晶装置の検査方法の第２実施形態について説明する。
ここでは、既述の実施形態と同一構成には同一符号を付して説明を省略する。
【００４０】
本実施形態の検査方法は、既述の第１実施形態の検査方法を行っている間に、画像表示領域４における表示画像の良品又は不良品を判定するものである。即ち、外観検査を行うものである。
【００４１】
このようにすれば、上記のように電流値の大小によって液晶装置の潜在的不良を検出することができるだけでなく、画像表示領域４の表示画像における明らかな異常を検出することが可能となる。
従って、既述の実施形態における効果が得られるだけでなく、画像表示領域４の外観検査によって、表示画像の良品又は不良品を判定して、液晶装置の検査を行うことができる。また、外観検査による検査方法の場合、単色を画像表示領域４に表示させ、他の色が表示されているか否かを判定することで、駆動用端子群２１の出力端子間で短絡があるか否かを判定することができる。
【００４２】
（液晶装置の製造方法）
次に、液晶装置の製造方法について説明する。
図８は、本実施形態の液晶装置の製造方法を概略的に説明するためのフローチャート図である。
図８に示すように、まず、ＴＦＤ基板１０に画像表示領域を作成する（ステップＳ３１）。ここでは、公知の半導体製造工程によりガラス基板上に走査線１３、ＴＦＤ素子４０、画素電極３１等がパターニング形成される。一方、対向基板２０に対しても共通電極９がパターニング形成される。また、両基板１０，２０の液晶層５０と接触する面には配向膜が形成されてラビング処理が施される。
【００４３】
次に、ＴＦＤ基板１０と対向基板２０とを貼り合わせる（ステップＳ３２）。ここでは、ＴＦＤ基板１０或いは対向基板２０に対してシール剤５２を塗布形成した後に両基板１０，２０が貼りあわされる。更に、その後に、シール剤５２の内側に液晶層５０が真空注入される。
なお、真空注入による液晶層５０の注入に限らず、貼り合わせ工程Ｓ３２の前に、液晶層５０を塗布形成する、所謂ＯＤＦ工程を行ってもよい。
【００４４】
次に、走査ドライバ１１０及びデータドライバ１２０といった駆動用ＩＣを実装する（ステップＳ３３）。ここでは、異方性導電ペースト（ＡＣＰ）や異方性導電フィルム（ＡＣＦ）からなる異方性導電膜を介在させて、ＴＦＤ基板１０と駆動用ＩＣを実装させる。これによって、データ線９と駆動用端子群２１の出力端子とが実装される。ここで、駆動用ＩＣは、駆動用端子群２１のみならず、不使用端子群２２を備えており、当該不使用端子群２２はＴＦＤ基板１０上のダミーバンプと実装される。
【００４５】
次に、検査工程を行う（ステップＳ３４）。
ここでは、既述の実施形態に示した検査方法が行われ、データドライバ１２０に供給される電流量の測定し、不使用端子群２２の出力端子間で短絡があるか否かが検出される。また、ＲＧＢ毎に短絡があるか否かが検出される。更に、画像表示領域４の表示画像の外観検査も行われる。
そして、検査の結果、液晶装置１００の不良品である場合（ステップＳ３５）と、良品である場合（ステップＳ３６）とについて、各々判定される。
ここで、不良品と判定されたものは、潜在的不良を有しているものであり、良品と判定されたものは、潜在的不良を有していないものである。
【００４６】
上述したように、本実施形態の液晶装置の製造方法においては、既述の液晶装置の検査方法を利用しているので、出荷段階で表示不良が生じるおそれがある液晶装置を省くことができる。そして、良品の液晶装置１００のみを出荷することができる。
【００４７】
なお、上記の実施形態においては、液晶装置の検査方法及び製造方法について説明したが、本発明は検査対象を液晶装置に限定するものではない。電気光学物質としてＥＬ素子を備えるＥＬ装置の検査方法においても適用可能である。
また、ＴＦＤ素子をスイッチング素子として備える電気光学装置に限らず、ＴＦＴをスイッチング素子として備える電気光学装置についても本発明を適用することができる。ＴＦＴにおいては、ゲートラインとソースラインとに対してドライバによって各々に信号を与えることにより、ＴＦＴをスイッチング駆動させている。そして、各ドライバが不使用端子を有している場合に、本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の電気光学装置に係る液晶装置の断面構造を示す図。
【図２】本発明の電気光学装置に係る液晶装置の平面構造を示す図。
【図３】本発明の電気光学装置に係る液晶装置の等価回路を示す図。
【図４】本発明の電気光学装置に係る液晶装置の画素構造を示す図。
【図５】本発明の電気光学装置に係る液晶装置の出力端子の接続状態を示す図。
【図６】図５を拡大した図。
【図７】本発明の電気光学装置の検査方法の第１実施形態を示すフローチャート図。
【図８】本発明の電気光学装置の製造方法を示すフローチャート図。
【符号の説明】
【００４９】
４  画像表示領域（表示領域）、  １０  ＴＦＤ基板（基板）、  ９  データ線（配線）、  ２０  対向基板（基板）、  ２１  駆動用端子群（第１出力端子群）、  ２２  不使用端子群（第２出力端子群）、  ２３  入力端子、  ５０  液晶層（電気光学物質）、  １２０  データドライバ（駆動回路）、  １００  液晶装置（電気光学装置）、  ＲＧＢ  複数色。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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