(57)【要約】【課題】簡単な工程で、ウエブと基板との間に気泡が発生することを確実に阻止することができ、高品質な積層体を効率的且つ経済的に得ることを可能にする。【解決手段】感光性ウエブ２２の貼り付け部位を貼り付け機構４６の上流近傍の所定の位置に搬送して停止させる一方、ガラス基板２４を所定位置に搬送して停止させた後、ゴムローラ１１０ａの回転作用下に、前記感光性ウエブ２２の搬送が開始される。この感光性ウエブ２２が第１の速度で移動中に、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂにより前記感光性ウエブ２２をガラス基板２４と一体にクランプし、前記感光性ウエブ２２及び前記ガラス基板２４を第２の速度で移動しながら、ラミネート処理が行われる。【選択図】図１
2007083666.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエブをラミネートローラの押圧回転作用下に基板に貼り付けるウエブの貼り付け方法であって、
前記ウエブの貼り付け部位を、貼り付け位置の上流近傍の所定位置に搬送して一旦停止させる工程と、
前記ウエブの搬送を開始し、前記ウエブを第１の速度で搬送させながら、前記ラミネートローラにより該ウエブを前記基板と一体にクランプする工程と、
前記ウエブ及び前記基板を第２の速度で搬送させながら、前記ラミネートローラの押圧回転により前記ウエブを前記基板に貼り付ける工程と、
を有することを特徴とするウエブの貼り付け方法。
【請求項２】
請求項１記載の貼り付け方法において、前記第１の速度は、前記第２の速度よりも低速に設定されることを特徴とするウエブの貼り付け方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の貼り付け方法において、前記第１の速度から前記第２の速度には、１２０ｍｍ／ｓ2  以下の加速度で移行することを特徴とするウエブの貼り付け方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の貼り付け方法において、前記第１の速度は、０．２ｍ／ｍｉｎ以上の速度に設定されることを特徴とするウエブの貼り付け方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の貼り付け方法において、前記ウエブの搬送を開始してから前記第２の速度に至るまで、階段状又は連続的に速度を変化させることを特徴とするウエブの貼り付け方法。
【請求項６】
請求項１記載の貼り付け方法において、前記ラミネートローラは、４０度〜９０度のゴム硬度を有するゴムローラであることを特徴とするウエブの貼り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエブをラミネートローラの押圧回転作用下に基板に貼り付けるウエブの貼り付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（長尺状ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、一般的に、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置では、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離した後、前記基板に感光性樹脂層を貼り付ける方式が採用されている。
【０００４】
上記の貼り付け装置では、例えば、特許文献１に開示されているように、ガラス基板が熱圧着部に搬送されるとともに、この熱圧着部は、熱圧着ローラ対とバックアップローラとを備えている。熱圧着ローラ対は、上下に配置された第１及び第２熱圧着ローラを設けており、前記第１及び第２熱圧着ローラには、ヒータが内蔵されている。そして、熱圧着ローラ対は、ガラス基板と積層体フイルムとを挟持して搬送することにより、前記ガラス基板に前記積層体フイルムの感光層を熱圧着するように構成されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１４８７９４号公報（図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、従来、熱圧着部では、積層体フイルム及びガラス基板を停止させることなく搬送しながら、熱圧着ローラ対により間欠的にクランプを繰り返す方式が採用されている。しかしながら、この方式では、積層体フイルムの貼り付け先端及び後端が弓形の円弧状に変形し易く、貼り付け境界が直線状にならないおそれがある。この結果、貼り付け位置精度が低下するという問題がある。
【０００７】
特に、ガラス基板の大型化に伴う広幅化が促進されると、円弧状の変形量が数ｍｍ程度に顕著になり、貼り付け位置精度が大幅に低下するという問題が指摘されている。これは、ラミネートローラ（熱圧着ローラ対）の自重による撓みやクラウン形状に起因して積層体フイルムの中央部から先にクランプが開始されるためである。
【０００８】
そこで、例えば、熱圧着ローラ対を離間させておき、積層体フイルム及びガラス基板を前記熱圧着ローラ対間の所定の位置に位置決め停止した後、前記熱圧着ローラ対でこれらをクランプし、次いで、熱圧着ローラを回転させることにより、ガラス基板に積層体フイルムの感光層を貼り付ける方法がある。
【０００９】
しかしながら、図１１に示すように、停止されているガラス基板１と積層体フイルム２とを熱圧着ローラ３ａ、３ｂによりクランプする際、前記熱圧着ローラ３ａ、３ｂによるニップ領域４の外側に位置５と位置６との間で気泡が発生し易いという問題がある。この５は、例えば、略５０μｍ程度の大きさを有しており、熱圧着ローラ３ａ、３ｂの軸方向に多数発生し易く、ガラス基板１と積層体フイルム２との貼り付け品質が低下するという問題がある。
【００１０】
さらに、熱圧着ローラ３ａ、３ｂによりガラス基板１と積層体フイルム２とがクランプされた後、前記熱圧着ローラ３ａ、３ｂを所定のラミネート速度に急速に立ち上げようとすると、前記積層体フイルム２には、位置６に貼り付け品質に影響するスジが発生し易い。これにより、貼り付け品質の低下が惹起されるという問題がある。
【００１１】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程で、ラミネートローラによるクランプ時に気泡が発生することを確実に阻止することができ、貼り付け品質に影響するスジの発生がなく、高品質な積層体を効率的且つ経済的に得ることが可能なウエブの貼り付け方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、ウエブをラミネートローラの押圧回転作用下に基板に貼り付けるウエブの貼り付け方法である。そこで、先ず、ウエブの貼り付け部位を、貼り付け位置の上流近傍の所定位置に搬送して一旦停止させる。
【００１３】
次いで、ウエブの搬送を開始し、前記ウエブを第１の速度で搬送させながら、ラミネートローラにより該ウエブが基板と一体にクランプされる。そして、ウエブ及び基板を第２の速度で搬送させながら、ラミネートローラの押圧回転により前記ウエブが前記基板に貼り付けられる。基板は、予め停止しており、ラミネートローラが回転（超低速）しながら前記基板をクランプする。
【００１４】
また、第１の速度は、第２の速度よりも低速に設定されることが好ましい。さらに、第１の速度から第２の速度には、１２０ｍｍ／ｓ2  以下の加速度で移行することが好ましい。
【００１５】
さらにまた、第１の速度は、０．２ｍ／ｍｉｎ以上の速度に設定されることが好ましい。また、ウエブの搬送を開始してから第２の速度に至るまで、階段状又は連続的に速度を変化させることが好ましい。
【００１６】
さらに、ラミネートローラは、４０度〜９０度のゴム硬度を有するゴムローラであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、ウエブが所定位置に位置決め停止された後、前記ウエブが第１の速度で搬送されながら、ラミネートローラを介して前記ウエブが基板と一体にクランプされている。このため、ラミネートローラによるクランプ時に、ウエブと基板との間に気泡が発生することを確実に阻止することができる。一方、第１の速度から第２の速度までの加速パターンを緩やかに設定することにより、貼り付け品質に影響するスジの発生がなく、高品質な積層体を効率的に得ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る積層体の貼り付け方法を実施するための製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ（長尺状ウエブ）２２の感光性樹脂層２９（後述する）をガラス基板２４に熱転写する作業を行う。
【００１９】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２の断面図である。この感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持層）２６、クッション層（熱可塑性樹脂層）２７、中間層（酸素遮断膜）２８、感光性樹脂層２９及び保護フイルム３０を積層して構成される。なお、感光性ウエブ２２は、ベースフイルム２６、感光性樹脂層２９及び保護フイルム３０により構成されていてもよい。
【００２０】
ベースフイルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成され、クッション層２７は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層２８は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層２９は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム３０は、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等で形成される。
【００２１】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２２ａを収容し、この感光性ウエブロール２２ａから前記感光性ウエブ２２を送り出すウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記感光性ウエブ２２の保護フイルム３０に、幅方向に切断可能なハーフカット部位３４を形成するハーフカット機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。なお、ハーフカット機構３６は、矢印Ａ方向に所定の間隔だけ離間して２セット配設され、同時に２個所のハーフカット部位３４を形成してもよい。
【００２２】
ラベル接着機構４０の下流には、感光性ウエブ２２をタクト送りから略連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、前記感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する加熱機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。なお、貼り付け機構４６によりガラス基板２４に感光性ウエブ２２が貼り付けられた積層体を、以下、貼り付け基板２４ａという。
【００２３】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、感光性ウエブ２２の境界位置であるハーフカット部位３４を直接検出する検出機構４７が配設されるとともに、前記貼り付け機構４６の下流には、各ガラス基板２４間の前記感光性ウエブ２２を切断する基板間ウエブ切断機構４８が配設される。この基板間ウエブ切断機構４８の上流には、運転開始時及び運転終了時に使用されるウエブ切断機構４８ａが設けられる。
【００２４】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２の先端とを接合させる接合台４９が配設される。この接合台４９の下流には、感光性ウエブロール２２ａの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器５１が配設される。
【００２５】
ハーフカット機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２２ａのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。ハーフカット機構３６は、感光性ウエブ２２の搬送方向（矢印Ａ方向）に直交する方向に進退自在なスライド台５２を備える。このスライド台５２には、回転丸刃（カッタ）５４が固着されるとともに、前記回転丸刃５４に対向する位置には、感光性ウエブ２２を挟んでカット受台５６が配設される。
【００２６】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２９乃至中間層２８まで切り込むように、回転丸刃５４の切り込み深さが設定される。ハーフカット部位３４は、回転丸刃５４に代替して、例えば、固定丸刃や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、後述する帯状押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。なお、押し切り刃は、垂直方向の押し切り構成の他、斜め方向の押し切り構成を含む。
【００２７】
ハーフカット部位３４は、ガラス基板２４の間隔を設定するものであり、例えば、両側の前記ガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００２８】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００２９】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３０】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、例えば、最大５枚（ラベル間隔は最大２５０ｍｍ以下であり、第１の実施形態では、最大５枚に設定される）の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５８ａ〜５８ｅを備えるとともに、前記吸着パッド５８ａ〜５８ｅによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２を下方から保持するための受台５９が昇降自在に配置される。
【００３１】
リザーバ機構４２は、上流側の感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するが、さらにテンション変動を防ぐために、揺動自在な２連のローラ６０で構成されるダンサー６１を備えることが好ましい。なお、ローラ６０は、リザーブ量に応じて１連又は３連以上であってもよい。
【００３２】
剥離機構４４は、リザーバ機構４２の下流に配置されるとともに、サクションドラム６２と、感光性ウエブ２２を挟んでこのサクションドラム６２に接する剥離ローラ６４とを備える。剥離ローラ６４を介して感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いて保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。保護フイルム巻き取り軸６６は、保護フイルム３０に所定のテンションを付与するために、例えば、トルクモータ６８に連結される。
【００３３】
剥離機構４４の下流側には、感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構７６が配設される。テンション制御機構７６は、シリンダ７８を備え、このシリンダ７８の駆動作用下に、テンションピックアップローラ８０が揺動変位することにより、このテンションピックアップローラ８０が摺接する感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構７６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００３４】
検出機構４７は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ８２を備えており、前記光電センサ８２は、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ８２は、バックアップローラ８３に対向して配置される。なお、光電センサ８２に代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。
【００３５】
検出機構４７により検出されるハーフカット部位３４の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。
【００３６】
また、ハーフカット部位３４を直接検出するのではなく、このハーフカット部位３４に対応してハーフカット機構３６の近傍で孔部や切り欠きを形成したり、レーザ加工やアクアジェット加工による孔開けや切り込みを設けたり、インクジェットやプリンタ等によるマーキングを設けたりしてマーク部を形成し、このマーク部を検出して境界位置信号としてもよい。
【００３７】
加熱機構４５は、ガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送するための搬送機構８４を備え、この搬送機構８４は、矢印Ｃ方向に配列される複数の樹脂製円板状搬送ローラ８６を有する。搬送機構８４の矢印Ｃ方向上流側には、ガラス基板２４を受け取る受け取り部８８が設けられる。受け取り部８８の下流側には、複数の加熱炉９０が配列される。
【００３８】
加熱機構４５では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送ローラ８６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。また、搬送機構８４では、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される構成を採用してもよい。
【００３９】
加熱機構４５の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー１００が設けられる。基板ストッカー１００には、投入及び取り出し口以外の３方の側面に、除塵用ファンユニット（又はダクトユニット）１０２が付設される。ファンユニット１０２は、基板ストッカー１００内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。基板ストッカー１００に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット１０４のハンド部１０４ａに設けられた吸着パッド１０６に吸着されて取り出され、受け取り部８８に搬入される。
【００４０】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるラミネート用ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂを備える。ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂには、バックアップローラ１１２ａ、１１２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ１１２ｂは、ローラクランプ部１１４を介してゴムローラ１１０ｂ側に押圧される。
【００４１】
ゴムローラ１１０ａの近傍には、感光性ウエブ２２が前記ゴムローラ１１０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ１１６が配設される。この接触防止ローラ１１６は、図示しないアクチュエータを介して移動可能である。
【００４２】
貼り付け機構４６と基板間ウエブ切断機構４８との間には、フイルム搬送ローラ１１８ａと基板搬送ローラ１１８ｂとが配設される。ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂの接触位置と基板搬送ローラ１１８ｂとの距離は、ガラス基板２４の１枚分の長さ以下の寸法に設定される。
【００４３】
基板間ウエブ切断機構４８の下流側には、冷却機構１２０が配置されるとともに、この冷却機構１２０の下流側には、ベース剥離機構１２２が配置される。冷却機構１２０は、基板間ウエブ切断機構４８を介して貼り付け基板２４ａ間の感光性ウエブ２２が切断された後、この貼り付け基板２４ａに冷風を供給して冷却処理を施す。具体的には、冷風温度が１０℃で、風量が１．０〜２．０ｍ／ｍｉｎに設定される。なお、冷却機構１２０を使用することがなく、後述する感光性積層体ストッカー１３６で自然冷却してもよい。
【００４４】
冷却機構１２０の下流に配置されるベース剥離機構１２２は、貼り付け基板２４ａを下方から吸着する複数の吸着パッド１２４を備え、この吸着パッド１２４に前記貼り付け基板２４ａが吸着保持された状態で、ロボットハンド１２６を介してベースフイルム２６及び残存部分３０ｂを剥離する。吸着パッド１２４の上流、下流及び両側方には、貼り付け基板２４ａのラミネート部分全体に４方向の側面から除電クリーンエアを噴射する除電ブロー（図示せず）が配設されている。なお、剥離は、除塵のためテーブルを垂直にして、あるいは傾斜させて、又は裏返にして行ってもよい。
【００４５】
ベース剥離機構１２２の下流には、複数の積層体基板１３０が収容される感光性積層体ストッカー１３６が設けられる。ベース剥離機構１２２で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された積層体基板１３０は、ロボット１３２のハンド部１３２ａに設けられた吸着パッド１３４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３６に収容される。
【００４６】
感光性積層体ストッカー１３６には、投入及び取り出し口以外の３方の側面に、除塵用ファンユニット（又はダクトユニット）１０２が付設される。ファンユニット１０２は、感光性積層体ストッカー１３６内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。
【００４７】
製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、ハーフカット機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４、テンション制御機構７６及び検出機構４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記検出機構４７を前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２９がガラス基板２４の下側に貼り付けされてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。
【００４８】
製造装置２０は、ラミネート工程制御部１４０を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部１４２、基板加熱制御部１４４及びベース剥離制御部１４６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。
【００４９】
ラミネート工程制御部１４０は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
【００５０】
ラミネート制御部１４２は、工程全体のマスターとして各機能部の制御を行うものであり、検出機構４７により検出された感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、例えば、加熱機構４５を制御する制御機構を構成している。
【００５１】
ベース剥離制御部１４６は、貼り付け機構４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に積層体基板１３０を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記積層体基板１３０の情報をハンドリング制御する。
【００５２】
製造装置２０内は、仕切り壁１５０を介して第１クリーンルーム１５２ａと第２クリーンルーム１５２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１５２ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構７６までが収容されるとともに、第２クリーンルーム１５２ｂには、検出機構４７以降が収容される。第１クリーンルーム１５２ａと第２クリーンルーム１５２ｂとは、貫通部１５４を介して連通する。
【００５３】
このように構成される製造装置２０の動作について、第１の実施形態に係る貼り付け方法との関連で以下に説明する。
【００５４】
先ず、図１に示すように、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２２ａから感光性ウエブ２２が繰り出され、この感光性ウエブ２２は、ハーフカット機構３６に送られる。
【００５５】
ハーフカット機構３６では、スライド台５２が感光性ウエブ２２の幅方向（搬送方向に直交する方向）に移動する。このため、回転丸刃５４は、感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４に所望の深さまで切り込んだ状態で、移動しながら回転する。これにより、感光性ウエブ２２には、保護フイルム３０から所望の深さに切り込んだハーフカット部位３４が形成される（図２参照）。
【００５６】
ハーフカット処理された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後、一旦停止されて回転丸刃５４の走行作用下に次なるハーフカット部位３４が形成される。このため、感光性ウエブ２２には、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００５７】
さらに、感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受台５９上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５８ａ〜５８ｅにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００５８】
例えば、５本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。
【００５９】
剥離機構４４では、感光性ウエブ２２がサクションドラム６２と剥離ローラ６４とに挟持されて、前記感光性ウエブ２２のベースフイルム２６が前記サクションドラム６２に吸着保持されている。この状態で、サクションドラム６２が回転されるとともに、保護フイルム３０には、トルクモータ６８を介して所定のテンションが付与されている。
【００６０】
従って、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを残して感光性ウエブ２２から剥離され、剥離ローラ６４を介して保護フイルム巻き取り軸６６に巻き取られる。なお、剥離部位には、除電エアを吹き付けることが好ましい。
【００６１】
剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２は、テンション制御機構７６によってテンション調整が行われ、さらに検出機構４７で光電センサ８２によりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００６２】
この場合、第１の実施形態では、図４に示すタイミングチャートに沿ってラミネート処理が行われる。
【００６３】
すなわち、感光性ウエブ２２は、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、運転開始時にはフイルム搬送ローラ１１８ａの回転作用下に、その後は貼り付け基板２４ａを挟持する基板搬送ローラ１１８ｂの回転作用下に、貼り付け機構４６に定量搬送される。このため、感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４は、貼り付け位置上流近傍の所定位置に位置決め停止される。その際、接触防止ローラ１１６が上方に待機するとともに、ゴムローラ１１０ｂが下方に配置されている。
【００６４】
一方、加熱機構４５では、貼り付け機構４６におけるラミネート温度に対応して各加熱炉９０内の加熱温度が設定されている。そこで、ロボット１０４は、基板ストッカー１００に収容されているガラス基板２４を把持し、このガラス基板２４を受け取り部８８に搬入する。ガラス基板２４は、搬送機構８４を構成する搬送ローラ８６の回転作用下に、受け取り部８８から各加熱炉９０に、順次、タクト搬送される。矢印Ｃ方向後段に配置されている加熱炉９０では、ガラス基板２４は、貼り付け位置上流近傍の所定位置に一旦停止された後、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に対応して搬送され、停止される（図５参照）。
【００６５】
この状態で、ゴムローラ１１０ａが回転駆動されて感光性ウエブ２２の搬送が開始される（図４中、時間Ｔ１）。そして、感光性ウエブ２２の搬送速度が、第１の速度Ｖ１に至ると（時間Ｔ２）、ローラクランプ部１１４を介してバックアップローラ１１２ｂ及びゴムローラ１１０ｂが上昇を開始する。これにより、時間Ｔ３で、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に搬送中の感光性ウエブ２２及び停止中のガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。
【００６６】
さらに、時間Ｔ４〜時間Ｔ５において、ゴムローラ１１０ａの回転作用下に、感光性ウエブ２２は、第１の速度Ｖ１から第２の速度Ｖ２に加速されるとともに、ガラス基板２４は、前記感光性ウエブ２２と一体に搬送される。この第２の速度Ｖ２による搬送時に、ガラス基板２４には、感光性樹脂層２９が加熱溶融により転写（ラミネート）される。
【００６７】
ここで、ラミネート条件としては、第２の速度Ｖ２が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００６８】
図６に示すように、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２の１枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ１１０ａの回転が停止される。一方、ガラス基板２４に感光性ウエブ２２がラミネートされた貼り付け基板２４ａは、基板搬送ローラ１１８ｂによりクランプされる。そして、ゴムローラ１１０ｂは、ゴムローラ１１０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。
【００６９】
基板搬送ローラ１１８ｂは、貼り付け基板２４ａを矢印Ｃ方向に搬送してガラス基板２４間の間隔に対応して基板間送りを行う。その際、新たなガラス基板２４は、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのローラ中心に対応して搬送される。さらに、ゴムローラ１１０ａの回転作用下に、感光性ウエブ２２が搬送を開始し、第１の速度Ｖ１で移動している前記感光性ウエブ２２がガラス基板２４にクランプされた後、上記と同様にラミネート処理される。
【００７０】
この場合、第１の実施形態では、感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４が、貼り付け位置上流の近傍の所定の位置に一旦停止されるとともに、ガラス基板２４がゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間に搬送された後、前記感光性ウエブ２２の搬送が開始されている。そして、感光性ウエブ２２が第１の速度Ｖ１で移動中に、ゴムローラ１１０ｂが上昇してゴムローラ１１０ａ、１１０ｂ間で前記感光性ウエブ２２とガラス基板２４とがクランプされている。
【００７１】
このように、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂでガラス基板２４と感光性ウエブ２２とをクランプする際、前記感光性ウエブ２２が移動しているため、クランプ時に前記感光性ウエブ２２と前記ガラス基板２４との間に気泡が発生することを確実に阻止することができる。これにより、高品質な貼り付け基板２４ａを効率的に得ることが可能になるという効果が得られる。
【００７２】
具体的に、第１の実施形態では、ガラス基板２４は、幅寸法が９６０ｍｍ、長さが１１００ｍｍ、厚さが０．７ｍｍに設定される一方、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂの温度が１１０℃で、前記ガラス基板２４の温度が１２０℃に設定されている。さらに、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのプレス圧が１５０Ｎ／ｃｍであり、前記ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂのゴム厚が２ｍｍ、ゴム硬度が７０度、面長が１２００ｍｍ、直径が１１０ｍｍに設定されるとともに、バックアップローラ１１２ａ、１１２ｂの直径が２２０ｍｍである。
【００７３】
さらにまた、感光性ウエブ２２のテンションが１２０Ｎ／ｍ幅で、厚さが１０５μｍに設定されている。そして、ラミネート速度である第２の速度Ｖ２は、２．２ｍ／ｍｉｎである。
【００７４】
ここで、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂによりクランプを行う際、感光性ウエブ２２の第１の速度Ｖ１を０〜２．２ｍ／ｍｉｎまで変化させて気泡が発生するか否かを検出する実験を行った。その結果が図７に示されている。これにより、感光性ウエブ２２の第１の速度Ｖ１が０．２ｍ／ｍｉｎ未満では、クランプ時に気泡が発生して品質低下が惹起されるのに対し、前記第１の速度Ｖ１が０．２ｍ／ｍｉｎ以上であると、クランプ時の気泡の発生が確実に阻止された。
【００７５】
さらに、第１の速度Ｖ１から第２の速度Ｖ２に至るまでの加速度を種々変更させ、感光性ウエブ２２に貼り付け品質に影響するスジが発生するか否かの実験を行った。その結果が図８に示されている。これにより、加速度が１２０ｍｍ／Ｓ2を超えると、感光性ウエブ２２に貼り付け品質に影響するスジが発生してしまい、品質低下が惹起された。従って、第１の速度Ｖ１から第２の速度Ｖ２には、１２０ｍｍ／Ｓ2以下の加速度で移行することが好ましい。
【００７６】
これにより、第１の実施形態では、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂによりラミネート処理されて得られた貼り付け基板２４ａには、気泡や貼り付け品質に影響するスジ等の不良箇所が発生することがなく、高品質な貼り付け基板２４ａを効率的且つ経済的に得ることができる。
【００７７】
図９は、本発明の第２の実施形態に係る積層体の貼り付け方法を説明するタイミングチャートである。
【００７８】
第１の実施形態では、感光性ウエブ２２の搬送を開始してから第１の速度Ｖ１で一旦所定の時間だけ維持した後、第２の速度Ｖ２に加速しており、速度が階段状に変化している。一方、この第２の実施形態では、感光性ウエブ２２の搬送を開始してから第２の速度Ｖ２に至るまで、前記感光性ウエブ２２の搬送速度を連続的に変化させている。
【００７９】
これにより、第２の実施形態では、感光性ウエブ２２の搬送速度（ウエブ速度）が連続的に変化し、この搬送速度が第１の速度Ｖ１に至る際、ゴムローラ１１０ａ、１１０ｂにより前記感光性ウエブ２２とガラス基板２４とがクランプされている。従って、気泡や貼り付け品質に影響するスジ等の不良箇所のない、高品質な貼り付け基板２４ａを効率的に得ることができる等、第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００８０】
なお、第２の実施形態では、ウエブ速度が０から第２の速度Ｖ２まで直線状に、すなわち、同一の加速度で変化しているが、例えば、第１の速度Ｖ１に至った後、この第１の速度Ｖ１から第２速度Ｖ２までの加速度を変化させてもよい（図９中、二点鎖線参照）。
【００８１】
また、第１及び第２の実施形態では、図１に示す製造装置２０を用いており、この製造装置２０では、一組の基板搬送ローラ１１８ｂが用いられているが、これに限定されるものではなく、例えば、２組の基板搬送ローラ１１８ｂを所定間隔離間して配設してもよい。
【００８２】
図１０は、本発明に係る積層体の貼り付け方法を実施するための他の製造装置１６０の概略構成図である。なお、製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００８３】
製造装置１６０は、基板間ウエブ切断機構４８を用いておらず、ウエブ切断機構４８ａの下流に、冷却機構１２０とベース自動剥離機構１６２とが設けられる。ベース自動剥離機構１６２は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、比較的小径な剥離ローラ１６６と、巻き取り軸１６８と、自動貼り付け機１７０とを備えている。
【００８４】
巻き取り軸１６８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１６６に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。
【００８５】
ベース自動剥離機構１６２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２９のエリア位置を測定する測定器１７２が配設される。この測定器１７２は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ１７４を備え、貼り付け基板２４ａの四隅を撮影するために、４台の前記カメラ１７４が配設される。
【００８６】
このように構成される製造装置１６０では、上記の製造装置２０と同様に、第１及び第２の実施形態に係る貼り付け方法を良好且つ効率的に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る積層体の貼り付け方法を実施するための製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記貼り付け方法を説明するタイミングチャートである。
【図５】ゴムローラ間にガラス基板が配置される際の動作説明図である。
【図６】前記ガラス基板の後端が前記ゴムロール間から離間する際の動作説明図である。
【図７】第１の速度と気泡の発生との説明図である。
【図８】加速度と貼り付け品質に影響するスジの発生との説明図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る積層体の貼り付け方法のタイミングチャートである。
【図１０】前記貼り付け方法を実施するための他の製造装置の概略構成図である。
【図１１】特許文献１に開示されている貼り付け装置を構成する熱圧着ローラの説明図である。
【符号の説明】
【００８８】
２０、１６０…製造装置                ２２…感光性ウエブ
２２ａ…感光性ウエブロール            ２４…ガラス基板
２６…ベースフイルム                  ２７…クッション層
２９…感光性樹脂層                    ３０…保護フイルム
３２…ウエブ送り出し機構              ３４…ハーフカット部位
３６…ハーフカット機構                ４０…ラベル接着機構
４２…リザーバ機構                    ４４…剥離機構
４５…加熱機構                        ４６…貼り付け機構
４７…検出機構                        ４８…基板間ウエブ切断機構  
６２…サクションドラム                ６４…剥離ローラ                
６６…保護フイルム巻き取り軸          ７６…テンション制御機構          
８４…搬送機構                        １１０ａ、１１０ｂ…ゴムローラ    
１１６…接触防止ローラ                １１８ｂ…基板搬送ローラ          
１２０…冷却機構                      １２２…ベース剥離機構            
１４０…ラミネート工程制御部          １４２…ラミネート制御部          
１４４…基板加熱制御部                １４６…ベース剥離制御部
【図１】
2007083666.tif 000003
【図２】
2007083666.tif 000004
【図３】
2007083666.tif 000005
【図４】
2007083666.tif 000006
【図５】
2007083666.tif 000007
【図６】
2007083666.tif 000008
【図７】
2007083666.tif 000009
【図８】
2007083666.tif 000010
【図９】
2007083666.tif 000011
【図１０】
2007083666.tif 000012
【図１１】
2007083666.tif 000013