(57)【要約】【課題】  流体研磨加工において、砥粒の磨耗や計測油の混入等によるスラリーの経時的劣化による加工時間が徐々に増加しサイクルタイムが伸びることを防止する。【解決手段】  研磨流体であるスラリー（７）を供給装置（２ａ，２ｂ）により工作物（５）に供給して、工作物に微小孔を研磨加工する、流体研磨加工方法が具備する複数の加工工程においては、加工前後の作動流体流量（Ｑ1、Ｑ2）が計測され、所定の加工時間（Ｔ）の間スラリーが工作物に流される。加工前と加工後の作動流体流量との間の増加量（ｄＱ＝Ｑ2−Ｑ1）と加工時間（Ｔ）の比（ｄＱ／Ｔ）として規定される加工能力係数（Ｋ）により所定の加工時間は決定される。流体研磨加工における過去のデータに基づいて、加工能力係数（Ｋ）が決められており、加工能力係数が前もって決められた閾値（ａ）未満になった場合には、加工圧を高めるか又はスラリーを追加・更新する。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨流体であるスラリー（７）を供給装置により工作物（５）に供給して、前記工作物（５）に微小孔を研磨加工する流体研磨加工方法において、この流体研磨加工方法は、少なくとも１回の加工工程を具備しており、
前記少なくとも１回の加工工程は、
加工前の作動流体流量（Ｑ1）を計測する手順と、
所定の加工時間（Ｔ）の間スラリー（７）を前記工作物に流す手順と、
加工後の作動流体流量（Ｑ2）を計測する手順と、
を具備しており、
前記流体研磨加工方法において、
加工前と加工後の作動流体流量との間の増加量（ｄＱ＝Ｑ2−Ｑ1）と加工時間（Ｔ）との比（ｄＱ／Ｔ）に関する過去のデータに基づいて、加工能力係数（Ｋ）が決められており、
前記加工能力係数（Ｋ）が前もって決められた閾値（ａ）未満になった場合には、流体研磨加工性能を向上させる対策が実施される、ことを特徴とする流体研磨加工方法。
【請求項２】
前記作動流体は、スラリー、オイル、エアーのいずれかであることを特徴とする請求項１に記載の流体研磨加工方法。
【請求項３】
前記流体研磨加工性能を向上させる対策は、前記供給装置からのスラリー（７）供給圧力を上昇させることであることを特徴とする請求項１又は２に記載の流体研磨加工方法。
【請求項４】
前記流体研磨加工性能を向上させる対策は、新しいスラリー（７）を追加又は更新することであることを特徴とする請求項１又は２に記載の流体研磨加工方法。
【請求項５】
前記加工能力係数（Ｋ）は、複数の工作物の加工能力係数の移動平均（ΣＫj／Ｎ）として求められており、各個別の工作物の加工能力係数（Ｋj）は、その工作物の各工程の加工能力係数（Ｋi）の平均（ΣＫi／Ｍ）であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の流体研磨加工方法。
【請求項６】
前記加工能力係数（Ｋ）は、複数の工作物の加工能力係数の移動平均（ΣＫj／Ｎ）として求められており、各個別の工作物の加工能力係数（Ｋj）は、その工作物の各工程の作動流体流量と、それらに対応する加工時間とにより形成される３つ以上の計測値を使用して、数学的に外挿する方法により算出される、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の流体研磨加工方法。
【請求項７】
前記数学的に外挿する方法は最小２乗法であることを特徴とする請求項６に記載の流体研磨加工方法。
【請求項８】
１つの工作物の加工中において、前記供給装置からのスラリー（７）の供給圧力は一定に保持されることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の流体研磨加工方法。
【請求項９】
前記工作物（５）はディーゼルエンジン用燃料インジェクタの微小孔であることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の流体研磨加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体研磨加工方法及びそれを実施するための流体研磨加工装置に係り、より特別には、研磨材スラリーを使用した、微小孔の高精度加工方法及び加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
燃料噴射器ノズル先端、気化器噴出孔、流体流量調整用オリフィス、印字機噴射ノズル等、高精度の微小孔が設けられた装置は数多く存在する。このような微小孔を加工する方法として、レーザ、電子ビーム、放電加工等あるが、これらの方法によっても十分な精度が達成できない場合、流体研磨加工方法が採用される場合がある。流体研磨加工方法が使用される例として、例えば、ディーゼルコモンレール燃料インジェクタ用のオリフィスの微小孔の加工があげられる。近年ディーゼルはコモンレール化が進み、出力８０ｋＷ程度の小型乗用車から大型トラックまで搭載されているが、燃料インジェクタに流量誤差が生じると、燃料効率が低下して経済性に悪影響を与えるとともに、排ガス中の環境汚染物が増加し、環境上も好ましくない。
【０００３】
ディーゼルコモンレールインジェクタの流量誤差は、その構成部品であるオリフィスの静的オイル流量精度の影響が大きく、流体研磨による調量加工が行われている。流体研磨はシリンダからピストンの移動により吐出されたスラリー（砥粒と油を混ぜたもの）をオリフィスに流し、径の拡大と入り口Ｒの形成を行っている。
【０００４】
この流体研磨加工の加工能力は、スラリーの状態と加工圧に左右される。圧力は設備で一定に制御されているが、スラリーは使用するうちに砥粒の磨耗や計測油の混入等により劣化が進み、その結果、加工能力係数が日々低下していってしまう。これに伴い、加工精度が悪化し、且つ加工時間が徐々に増加し１つの加工工程のサイクルタイム（ＣＴ）が伸びていってしまう（図４参照）。
【０００５】
また、流体研磨加工方法について提案する別の従来技術がある（例えば、特許文献１及び２参照）が、本発明の提案を開示するものではない。
【特許文献１】特開２００４−２８４０１４号
【特許文献２】特表平１１−５１０４３７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上述した事情に鑑みなされたもので、流体研磨加工において、砥粒の磨耗や計測油の混入等によるスラリーの経時的劣化により、加工時間が徐々に増加しサイクルタイムが伸びることを防止可能な流体研磨加工方法及びそれのための装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１に記載の形態では、上述した目的を達成するために、研磨流体であるスラリー（７）を供給装置により工作物（５）に供給して、前記工作物（５）に微小孔を研磨加工する流体研磨加工方法は、少なくとも１回の加工工程を具備しており、前記加工工程においては、所定の加工時間（Ｔ）の間スラリー（７）が前記工作物に流され、加工前後の作動流体流量（Ｑ1、Ｑ2）が計測される。前記流体研磨加工方法において、加工前と加工後の作動流体流量との間の増加量（ｄＱ＝Ｑ2−Ｑ1）と加工時間（Ｔ）の比（ｄＱ／Ｔ）に関する過去のデータに基づいて、加工能力係数（Ｋ）が決められており、前記加工能力係数（Ｋ）が前もって決められた閾値（ａ）未満になった場合には、流体研磨加工性能を向上させる対策が実施されることを特徴とする。
【０００８】
この様に構成することにより、スラリー品質の劣化を加工能力係数（Ｋ）の変化として捕らえ、加工能力係数の閾値を設けて、加工能力係数が閾値より小さくなった場合には、流体研磨加工性能を向上させることにより対応して、加工サイクルタイム（ＣＴ）の増大を防止する。
【０００９】
本発明の請求項２に記載の形態では、上記請求項１に記載の形態において、流体流量はスラリー流量、オイル流量、エアー流量のいずれかであることを特徴とする。
本形態によれば、作動流体を具体化する形態を開示する。
【００１０】
本発明の請求項３に記載の形態では、上記請求項１又は２に記載の形態において、前記流体研磨加工性能を向上させる対策は、前記供給装置からのスラリー（７）供給圧力を上昇させることであることを特徴とする。
本形態によれば、加工圧を高くすることによりスラリー劣化に対応して、加工サイクルタイム（ＣＴ）の増大を防止する。
【００１１】
本発明の請求項４に記載の形態では、上記請求項１又は２に記載の形態において、前記流体研磨性能を向上させる対策は、新しいスラリー（７）を追加又は更新することであることを特徴とする。
本形態によれば、加工能力係数が閾値より小さくなった場合には、スラリーの追加・更新を実施することにより対応して、加工サイクルタイム（ＣＴ）の増大を防止する。
【００１２】
本発明の請求項５に記載の形態では、上記請求項１から４に記載の形態のいずれか一項において、前記加工能力係数（Ｋ）は、複数の工作物の加工能力係数の移動平均（ΣＫj／Ｎ）として求められており、各個別の工作物の加工能力係数（Ｋj）は、その工作物の各工程の加工能力係数（Ｋi）の平均（ΣＫi／Ｍ）であることを特徴とする。
本形態によれば、加工能力係数を求める方法を具体化する形態を開示する。
【００１３】
本発明の請求項６に記載の形態では、上記請求項１から４に記載の形態のいずれか一項において、前記加工能力係数（Ｋ）は、複数の工作物の加工能力係数の移動平均（ΣＫj／Ｎ）として求められており、各個別の工作物の加工能力係数（Ｋj）は、その工作物の各工程の作動流体流量と、それらに対応する加工時間とにより形成される３つ以上の計測値を使用して、数学的に外挿する方法により算出されることを特徴とする。
本形態によれば、加工能力係数を求める方法を具体化する形態を開示する。
【００１４】
本発明の請求項７に記載の形態では、上記請求項６において、前記数学的に外挿する方法は最小２乗法であることを特徴とする。
本形態によれば、加工能力係数を求める方法を具体化する形態を開示する。
【００１５】
本発明の請求項８に記載の形態では、上記請求項１から７に記載の形態のいずれか一項において、１つの工作物（５）の加工中において、前記供給装置からのスラリー（７）の供給圧力は一定に保持されることを特徴とする。
本形態によれば、流体研磨加工において、微小孔の研磨加工はより無理なくスムーズに実施できる。
【００１６】
本発明の請求項９に記載の形態では、上記請求項１から８に記載の形態のいずれか一項において、前記工作物（５）はディーゼルエンジン用燃料インジェクタの微小孔であることを特徴とする。
本形態によれば、本発明の用途をより具体化する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態の流体研磨加工方法及びそれを実施するための装置を詳細に説明する。
図１から図３は本発明に係る流体研磨装置の実施の形態を図解的に示す。図１は本発明の実施の形態の流体研磨装置５０の概略的な設備構成を示し、図２は図１の流体研磨装置５０の（流体研磨）加工ユニット１０の構成の説明図であり、図３は図１の流体研磨装置５０の（オイル流量）計測ユニット２０の構成の説明図である。この実施の形態において、加工される工作物（ワーク）は、ディーゼルコモンレ−ル用インジェクタ（燃料噴射装置）のオリフィスであり、その微小孔が流体研磨装置５０により流体研磨加工される。
【００１８】
まず図１を参照すると、本実施の形態の流体研磨装置５０は、（流体研磨）加工ユニット（部）１０と、オイル流量の計測ユニット（部）２０と、洗浄ユニット（部）４０とを具備する。
加工ユニット１０は、スラリー供給装置（スラリータンク１＋シリンダ２ａ，２ｂ）からスラリー７（加工媒体：砥粒と油を混ぜたもの）をワーク（工作物）であるオリフィス５に流して加工を行う。加工後、洗浄部４０により洗浄される。次に計測ユニット２０は、オイルの供給装置（オイルタンク２１＋シリンダ２２）から作動流体であるオイルをオリフィス５に流して、そのときの流量を流量計２５で測定する。このサイクルを繰り返して、目標のオイル流量に到達させる。
【００１９】
次に図２を参照すると、図１の流体研磨装置５０の内の加工ユニット１０の概要構成が示されている。加工ユニット１０は、研磨材を含む研磨流体（スラリー）７を収容するためのスラリータンク１を具備しており、スラリータンク１には攪拌機４が設けられる。攪拌機４によりスラリータンク１内のスラリー７を攪拌することにより、スラリー７の分離、沈殿を防止している。加工ユニット１０は更に、それぞれピストン６ａ、６ｂを具備する２基のシリンダ（供給装置）２ａ、２ｂと、２基の三方弁３ａ、３ｂ及び逆止弁８ａ、８ｂとを具備する。シリンダ２ａ、２ｂはプランジャ式供給装置である。シリンダ２ａ、２ｂはスラリー吐出用であって、吸い込み時間ロスをなくすために２基具備されており、例えば、一方のシリンダ２ａがスラリーを吐出している間に、他方のシリンダ２ｂが吸い込みを行いシリンダが切り替わるまで待機する。従って、シリンダが切り替えられると、遅延なく他方のシリンダ２ｂによりスラリー７を吐出出来る。
【００２０】
この場合、シリンダ２ａがスラリー７をオリフィス５に吐出する場合には、三方弁３ａは配管１１と１２を連通させ、配管１３の出口を閉じるように設定される。またこの際、シリンダ２ｂがスラリー７をスラリータンク１から吸引できるように、三方弁３ｂは配管１４と１６を連通させ、配管１５の入口を閉じるように設定される。そして、上記のシリンダの切り替えの際には、三方弁３ａは配管１１と１３を連通させ、配管１２の入口を閉じるように設定され、三方弁３ｂは配管１４と１５を連通させ、配管１６の出口を閉じるように設定される。従って、シリンダ２ｂがスラリー７をオリフィス５に吐出可能になり、シリンダ２ａがスラリー７をスラリータンク１から吸引可能になる。シリンダから吐出されたスラリー７は、配管１２又は１５から配管１７，１８を介して、加工されるオリフィス５に供給される。逆止弁８ａ、８ｂはそれぞれシリンダ２ａ、２ｂへの逆流を防止する。
【００２１】
（オイル流量）計測ユニット２０は、オイルシリンダ（作動流体供給装置）２２と、オイルタンク（流動流体タンク）２１と、三方弁２３と、逆止弁２８とを具備する。後述のオイル流量計測手順において、この場合軽油であるオイル（作動流体）はオイルタンク２１より供給配管３３、三方弁２３、配管３１を介してオイルシリンダ２２に吸引され、オイルシリンダ２２は配管３１、三方弁２３、逆止弁２８、配管３２、圧力センサ２９、流量計２５、配管３４を介してオイルをオリフィス（工作物）５に供給する。この際、三方弁２３は配管３１と３２を連通させ、配管３３を閉鎖するように設定される。本実施の形態において、オイルの供給装置はプランジャ式のオイルシリンダ２２であるが、別の定量ポンプ等の流体供給装置であっても良い。配管３４は加工ユニット１０の配管１８に接続されても良い。
【００２２】
次に、上記構成（の流体研磨装置５０）にて、本発明の実施の形態による流体研磨加工方法により工作物であるオリフィスに微小孔を加工する場合を説明する。先ず、オリフィス５にはレーザー加工等により下穴加工が実施される。その後本実施の形態による流体研磨加工方法が施される。研磨流体であるスラリー７が、加工ユニット１０の例えばシリンダ２ａにより一定圧力でオリフィス５に供給される。この場合、スラリー７の圧力は一定になるように、図示されない制御装置によりシリンダ２ａが制御される。
【００２３】
本実施の形態においては、加工能力係数（Ｋ）を設定して加工時間（Ｔ）を決定し、その加工時間（Ｔ）の間、流体研磨加工を実施することにより所定の寸法の微小孔を精度良く仕上げる。１つの工程の加工時間（Ｔｉ）は、所定の寸法の微小孔を加工するのに必要な加工時間より短く設定し、１つの工程を実施するごとに実際の作動流体（オイル）（ここでは、軽油）を微小孔に流してオイル流量（Ｑｉ）を計測する。次の工程の加工時間（Ｔｉ＋１）は直前に計測したオイル流量（Ｑｉ）に基づいて決定する。このようにして、複数の工程が実施され、所定の寸法の微小孔に徐々に近づけるように仕上げる。
【００２４】
加工時間を算出するための基となる加工能力係数（Ｋｉ）とは、ある加工時間（Ｔｉ）の間流体研磨加工した場合の、オイル流量（Ｑｉ）の変化量（ｄＱｉ）により決定される。即ち、加工能力係数：Ｋｉ＝ｄＱｉ／Ｔｉである。
本実施の形態においては、研磨流体であるスラリーの品質の変化を、スラリーの加工能力係数（Ｋ）の変化として捕らえ、加工能力係数の変化に従い、対策を講じて流体研磨加工の効率を維持しようとするものである。スラリーの品質の劣化に伴い、加工能力係数は小さくなる。従って、同じオイル流量変化を生じる加工を実施した場合に、加工時間は増大する。
【００２５】
図４は流動における（スラリーが加工に使用されることによる）加工能力係数（Ｋ）の変化を示している。プロットされた各点において、加工圧は一定である。このグラフからも明らかなように、加工能力係数（Ｋ）は日々低下していってしまう。ここで加工能力係数（Ｋ）の変化は、加工エネルギと関係している。加工エネルギーＷはＷ＝αＰＱ（ここで、αは係数、Ｐは加工圧、Ｑは流量である）で表され、流量ＱはＱ＝ＣＡ√（Ｐ／ρ）（ここで、Ｃは流量係数、Ａはオリフィス断面積、ρは密度である）で表される。もし、スラリーが劣化（砥粒の磨耗や油混入による配合比等の変化）した場合、αやρが変化することから、加工エネルギが低下し、それに合わせて加工能力係数が減少していってしまう。
【００２６】
しかし、加工エネルギは圧力の関係式になっていることから、加工能力係数の減少に合わせて、圧力をうまく制御すれば加工能力を一定に保つことができる。もしくは、加工能力係数の情報を基にスラリーの追加・更新を行い、αやρを一定にすることで加工能力を一定に保つことが可能である。例えば、図５のフローチャートのように加工能力係数（Ｋ）がある閾値ａを下回った場合、スラリーの追加や圧力の設定の変更を行う。ただし、これを実現するには、現状の加工能力係数の把握が必要となる。
【００２７】
各ワーク（工作物）はオイル流量規格に入るまでリトライ加工されるため、図６のように加工前後のオイル流量変化（ｄＱ＝Ｑ２−Ｑ１）と加工時間（Ｔ）から、そのワーク（工作物）の加工能力係数（Ｋｉ＝ｄＱ／Ｔ）を算出する。加工能力係数はリトライ毎に算出できるため、リトライ回数（Ｍ回）で平均し、そのワークの加工能力係数を求める（Ｋｊ＝ΣＫｉ／Ｍ）。さらに、ワーク毎に加工能力のバラツキがあることから、Ｎ個のワークの加工能力を移動平均する（ΣＫｊ／Ｎ）ことで、より厳密に加工能力を把握する。
【００２８】
図６に従い、本実施の形態における流体研磨加工方法の概要を説明する。例えば、先ず、下穴加工後オリフィス５の微小孔に作動流体であるオイルを流し第１のオイル（作動流体）流量Ｑ1を計測する。その後第１の段階の流体研磨加工を開始するが、第１の工程の加工においては、過去の流体研磨加工データに基づいて得られる加工能力係数Ｋを使用して、目標の微小孔における目標のオイル流量Ｑfより少ない流量である第２のオイル流量Ｑ2までの第１の加工時間Ｔ0を求める（Ｔ0＝（Ｑ2−Ｑ1）／Ｋ）。第１の工程の加工において、第１の加工時間Ｔ0の間流体研磨加工が実施される。この段階で実際のオイル流量Ｑ2’を計測する。
【００２９】
以降の加工工程も、上記第１の工程と同様に実施される。図６に示す例では、３回の工程が実施されて、オイル流量は規格内に収まるので加工は終了する。この図６の例において各工程の終了時にオイル流量Ｑiが計測される。各工程における加工時間Ｔiは分かっているので、各工程における実際の加工能力係数Ｋiが算出できる。従って、１つのワ−ク（工作物）に関するそのワークの加工能力係数の平均（Ｋj＝ΣＫi／Ｍ）を求めることができる。
【００３０】
本発明の流体研磨加工方法の第１の実施の形態における、スラリーの劣化に対する対策段階のプロセスのフローチャートを図５に示す。ステップ１（Ｓ１）において本プロセスが開始されると、ステップ２（Ｓ２）において、特定の１つの工作物（ワーク）の流体研磨加工において、上記のごとく各工程におけるそれぞれ加工能力係数（Ｋi）を算出し、加工能力係数の平均値（Ｋj）を求める（これが、当該ワークの加工能力係数である）。これらの値（Ｋi，Ｋj）は記憶装置に記憶する。次に、ステップ３（Ｓ３）において、それ以前に流体研磨加工された工作物のＮ−１個の加工能力係数のデータに、上記の１つの工作物の加工能力係数のデータを加えたＮ個の工作物のデータに基づく加工能力係数の移動平均（ΣＫj／Ｎ）を求める。
【００３１】
次に、ステップ４において、前記移動平均が所定閾値（ａ）より小さくなったかどうかを調べる。所定閾値（ａ）より小さい場合は、圧力設定を高するように変更する。所定閾値（ａ）より大きい場合は、何も変更せずそのまま終了し（ステップ６（Ｓ６））、同じスラリーの性状で且つ同じ吐出圧力で次の工作物（ワーク）の加工を行う。
【００３２】
本発明の第２の実施の形態のフローチャートを図７に示す。第２の実施の形態では、上記第１の実施の形態のフローチャートのステップ５（Ｓ５）において、加工圧の設定変更の代わりに、スラリーの追加又は更新を行い、スラリーの品質の改善対策で対応する。これ以外の手順は、上記第１の実施の形態と同様であるので、重複を避け説明を省略する。
また、加工圧の設定変更、スラリーの追加・更新が、スラリーの品質劣化の程度により使い分けられても良い。また、例えば加工圧力のレベルにより、スラリーの追加・更新が行われ、スラリーの追加の回数により、スラリーの更新が行われても良い。このように、加工圧の設定変更、スラリーの追加・更新が、適宜状況に応じて使い分けられても良い。
【００３３】
次に上記実施の形態の効果及び作用について説明する。
本発明の第１の実施の形態の流体研磨加工方法及びそのための装置により以下の効果が期待できる。
・スラリー品質の劣化を加工能力係数（Ｋ）の変化として捕らえ、加工能力係数の閾値を設けて、加工能力係数が閾値より小さくなった場合には、加工圧を高くすることにより対応して、加工サイクルタイム（ＣＴ）の増大を防止する。
【００３４】
本発明の第２の実施の形態の流体研磨加工方法及びそのための装置により以下の効果が期待できる。
・上記第１の実施の形態と同様に加工能力係数が閾値より小さくなった場合には、スラリーの追加・更新を実施することにより対応して、加工サイクルタイム（ＣＴ）の増大を防止する。
【００３５】
また、上記において記載した、あるいは添付図面に示した実施の形態において、スラリーを工作物であるオリフィスに供給する供給装置は、プランジャ式ポンプであるシリンダであったが、供給装置はプランジャ式ポンプ以外の種々な既知のポンプ又は流体供給装置であっても良く、スラリー供給装置は１基具備されたが、２基以上具備されてもよい。
【００３６】
これとは別に、本実施例では本発明がディーゼルコモンレールインジェクタ用のオリフィスの加工に適用された例を示したがこれに限定されず、それ以外のオリフィスの加工、あるいは前述したように燃料噴射器ノズル先端、気化器噴出孔、流体流量調整用オリフィス、印字機噴射ノズル等の微小孔の加工に適用されてもよい。
【００３７】
上記の実施の形態は本発明の例であり、本発明は、該実施の形態により制限されるものではなく、請求項に記載される事項によってのみ規定されており、上記以外の実施の形態も実施可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】図１は、本発明に係る流体研磨装置の一実施の形態の概略的な設備構成の説明図である。
【図２】図２は、図１の流体研磨装置の加工ユニットの構成の説明図である。
【図３】図３は図１の流体研磨装置の計測ユニットの構成の説明図である。
【図４】図４は、流体研磨加工における加工能力係数の経日変化のデータを示すグラフである。
【図５】図５は本発明の流体研磨加工方法におけるスラリー劣化防止プロセスの第１の実施の形態のフローチャートである。
【図６】図６は本発明の流体研磨加工方法の実施の形態における、加工能力係数の把握方法を説明するグラフである。
【図７】図７は本発明の流体研磨加工方法におけるスラリー劣化防止プロセスの第２の実施の形態のフローチャートである。
【符号の説明】
【００３９】
１    スラリータンク
２ａ，２ｂ    シリンダ（供給装置）
３ａ，３ｂ    三方弁
４    攪拌器
５    オリフィス(工作物）
６ａ，６ｂ    ピストン
７    スラリー
１０    加工ユニット
２０    計測ユニット
２１    オイルタンク
２２    オイルシリンダ
２３    三方弁
２５    流量計
２９    圧力センサ
５０    流体研磨装置
【図１】
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【図２】
2007083319.tif 000004
【図３】
2007083319.tif 000005
【図４】
2007083319.tif 000006
【図５】
2007083319.tif 000007
【図６】
2007083319.tif 000008
【図７】
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