(57)【要約】【課題】  ゲージ抵抗の抵抗変化が正負のいずれの特性を示す場合にも対処することができる圧力信号出力装置を提供すること。【解決手段】  圧力信号出力装置１は、定電流電源１４と、圧力に依存して抵抗値が変化するとともに抵抗変化が温度に依存して変化するピエゾ抵抗素子１２と、電流調整回路４０と、出力端子１６を備えている。電流調整回路４０は、温度上昇に依存して電流値を減少する第１電流調整回路２０と、温度上昇に依存して電流値を増大する第２電流調整回路３０の並列回路を有している。ピエゾ抵抗素子１２と電流調整回路４０の並列回路は、定電流電源１４に対して直列に接続されている。出力端子１６は、定電流電源１４とピエゾ抵抗素子１２の接続点に接続されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力に依存して変化する電圧を出力する圧力信号出力装置であり、
定電流電源と、圧力に依存して抵抗値が変化するとともに抵抗変化が温度に依存して変化するピエゾ抵抗素子と、電流調整回路と、出力端子を備えており、
その電流調整回路は、温度上昇に依存して電流値を減少する第１電流調整回路と、温度上昇に依存して電流値を増大する第２電流調整回路の並列回路を有しており、
定電流電源に対して、ピエゾ抵抗素子と電流調整回路の並列回路が直列に接続されており、
出力端子は、定電流電源とピエゾ抵抗素子の接続点に接続されていることを特徴とする圧力信号出力装置。
【請求項２】
第１電流調整回路は、第１固定抵抗とｐｎｐトランジスタが直列に接続されており、
第２電流調整回路は、ダイオードと第２固定抵抗が直列に接続されており、
ｐｎｐトランジスタのベース端子は、ダイオードと第２固定抵抗の接続点に接続されていることを特徴とする請求項１の圧力信号出力装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力に依存して変化する電圧を出力する圧力信号出力装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ピエゾ抵抗素子の抵抗値は、加えられる圧力に依存して変化する。この現象を利用して、圧力に依存して変化する電圧（信号）を出力する装置が開発されている。この種の圧力信号出力装置は、内燃機関の爆発圧力や油圧駆動装置の油圧などを測定するために用いられる。
図７に、従来の圧力信号出力装置３０１の回路図を示す。圧力信号出力装置３０１は、定電流電源３１４と、ピエゾ抵抗素子３１２と、出力端子３１６を備えている。ピエゾ抵抗素子３１２は、定電流電源３１４に対して直列に接続されている。出力端子３１６は、定電流電源３１４とピエゾ抵抗素子３１２の接続点に接続されている。定電流電源３１４は、ピエゾ抵抗素子３１２に定電流Ｉｉｎを供給する。ピエゾ抵抗素子３１２の抵抗値が圧力に依存して変化すると、その抵抗変化に応じた電圧変化が出力端子３１６に現れる。その電圧変化を換算して、ピエゾ抵抗素子３１２に加わる圧力が測定される。
【０００３】
ピエゾ抵抗素子３１２には、半導体基板に設けられたゲージ抵抗を用いることが多い。ゲージ抵抗は、半導体基板の表面部に不純物を導入することによって形成される。この種のゲージ抵抗の抵抗変化は、温度に依存して変化することが知られている。即ち、ゲージ抵抗の感度が、温度に依存して変化してしまう。
図８に、ゲージ抵抗に導入される不純物濃度と感度の関係を示す。ゲージ抵抗に導入される不純物濃度が、約１０１８ｃｍ-３以下、又は約１０２０ｃｍ-３以上の範囲に調整されていると、ゲージ抵抗の抵抗変化は、温度が上昇したときに正の特性（温度に依存して感度が向上）を示す。一方、ゲージ抵抗に導入される不純物濃度が、約１０１８ｃｍ-３〜約１０２０ｃｍ-３の範囲に調整されていると、ゲージ抵抗の抵抗変化は、温度が上昇したときに負の特性（温度に依存して感度が悪化）を示す。
【０００４】
図９に、圧力信号出力装置３０１の出力電圧の波形を示す。この圧力信号出力装置３０１のピエゾ抵抗素子３１２には、抵抗変化が正の特性を示すゲージ抵抗が用いられている。ピエゾ抵抗素子３１２に加えられる圧力の大きさは同一である。
図９に示すように、低温Ｔ１℃（例えば−２０℃）、常温Ｔ２（例えば２５℃）、高温Ｔ３（例えば１２５℃）において、それぞれの環境温度における電圧変化ΔＶ１、ΔＶ２、ΔＶ３は、同一の圧力にも関わらず異なっている。したがって、それぞれの環境温度におけるゲージ抵抗の抵抗変化が異なっている。ゲージ抵抗の抵抗変化が、環境温度の上昇に依存して正の特性を示し、感度が向上してしまうことが分かる。
【０００５】
特許文献１には、図９に示す特性、即ち、ゲージ抵抗の抵抗変化が正の特性を示す場合に対処する技術が開示されている。特許文献１では、ゲージ抵抗に対して補正用の固定抵抗を並列接続する。固定抵抗には、環境温度に依存して抵抗値が変わらないものが用いられている。したがって、環境温度が上昇すると、固定抵抗の抵抗値は変わらないものの、ゲージ抵抗の抵抗値は上昇する。このため、環境温度が上昇すると、固定抵抗に流入する電流値は増大し、ゲージ抵抗に流入する電流値は減少する。これにより、ゲージ抵抗の抵抗変化の増大分を、ゲージ抵抗に流入する電流値の減少分によって相殺することができる。
【０００６】
【特許文献１】特開平３−１９４４０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の技術では、ゲージ抵抗の抵抗変化が正の特性を示す場合にしか対処することができない。このため、ゲージ抵抗に導入される不純物濃度を、約１０１８ｃｍ-３以下、又は約１０２０ｃｍ-３以上の範囲に調整しなければならない。特許文献１の技術では、不純物濃度が約１０１８ｃｍ-３〜約１０２０ｃｍ-３の範囲のゲージ抵抗を利用することができない。このため、特許文献１の技術では、圧力信号出力装置の設計の自由度を著しく制限してしまう。
本発明は、ゲージ抵抗の抵抗変化が正負のいずれの特性を示す場合にも対処することができる圧力信号出力装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、ピエゾ抵抗素子に対して並列に接続されている電流調整回路を備えていることを特徴としている。その電流調整回路は、温度上昇に依存して電流値を減少する第１電流調整回路と、温度上昇に依存して電流値を増大する第２電流調整回路の並列回路を有していることを特徴としている。
電流調整回路は、ピエゾ抵抗素子に対して並列に接続されている。このため、電流調整回路の電流値の増減によって、ピエゾ抵抗素子に流れる電流値の増減を調整することができる。電流調整回路の電流値は、第１電流調整回路の電流値と第２電流調整回路の電流値に基づいて調整される。第１電流調整回路の電流値と第２電流調整回路の電流値は、温度上昇に依存して変化する。したがって、電流調整回路の電流値も、温度上昇に依存して変化する。温度が上昇したときに、第１電流調整回路の電流値の減少分が、第２電流調整回路の電流値の増大分を上回るときは、電流調整回路には、温度上昇に依存して減少する電流値が流れる。このとき、ピエゾ抵抗素子に流れる電流値は、温度上昇に依存して増大する。温度が上昇したときに、第１電流調整回路の電流値の減少分が、第２電流調整回路の電流値の増大分を下回るときは、電流調整回路には、温度上昇に依存して増大する電流値が流れる。このとき、ピエゾ抵抗素子に流れる電流値は、温度上昇に依存して減少する。第１電流調整回路と第２電流調整回路の特性を調整することによって、ピエゾ抵抗素子に流れる電流値を温度上昇に依存して調整することができる。したがって、ピエゾ抵抗素子の抵抗変化が、温度上昇に依存して正負のいずれに変化したとしても、それに対応してピエゾ抵抗素子に流れる電流値の増減を調整することによって相殺することができる。本発明によれば、電圧変化が環境温度に依存しない圧力信号出力装置を得ることができる。
【０００９】
本発明は、圧力に依存して変化する電圧を出力する圧力信号出力装置に具現化することができる。本発明の圧力信号出力装置は、定電流電源と、圧力に依存して抵抗値が変化するとともに抵抗変化が温度に依存して変化するピエゾ抵抗素子と、電流調整回路と、出力端子を備えている。電流調整回路は、温度上昇に依存して電流値を減少する第１電流調整回路と、温度上昇に依存して電流値を増大する第２電流調整回路の並列回路を有している。ピエゾ抵抗素子と電流調整回路は並列回路を構成しており、その並列回路は定電流電源に対して直列に接続されている。出力端子は、定電流電源とピエゾ抵抗素子の接続点に接続されている。
本発明の電流調整回路は、第１電流調整回路と第２電流調整回路の特性を調整することによって、ピエゾ抵抗素子に流れる電流値を温度上昇に依存して調整することができる。したがって、ピエゾ抵抗素子の抵抗変化が、温度上昇に依存して正負のいずれに変化したとしても、それに対応してピエゾ抵抗素子に流れる電流値の増減を調整することによって相殺することができる。本発明の圧力信号出力装置は、電圧変化が環境温度に依存しない特性を得ることができる。
【００１０】
本発明の第１電流調整回路は、第１固定抵抗とｐｎｐトランジスタが直列に接続されていることが好ましい。本発明の第２電流調整回路は、ダイオードと第２固定抵抗が直列に接続されていることが好ましい。ｐｎｐトランジスタのベース端子は、第２電流調整回路のダイオードと第２固定抵抗の接続点に接続されていることが好ましい。
上記態様の第１電流調整回路は、温度上昇に依存して電流値を減少する特性を有している。上記態様の第２電流調整回路は、温度上昇に依存して電流値を増大する特性を有している。さらに、第１固定抵抗及び／又は第２固定抵抗の抵抗値を調整することによって、温度が上昇したときに、「第１電流調整回路の電流値の減少分＞第２電流調整回路の電流値の増大分」又は「第１電流調整回路の電流値の減少分＜第２電流調整回路の電流値の増大分」のいずれかの関係を得ることができる。上記態様の電流調整回路によれば、ピエゾ抵抗素子の抵抗変化が温度上昇に依存して正負のいずれに変化したとしても、それに対応してピエゾ抵抗素子に流れる電流値の増減を調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
下記に詳細に説明する実施例の主要な形態を最初に列記する。
（形態１）圧力信号出力装置は、油圧駆動装置の油圧を測定する。
（形態２）ピエゾ抵抗素子は、半導体基板に設けられたゲージ抵抗を用いている。
（形態３）形態２において、ゲージ抵抗に導入される不純物濃度は、１０１８ｃｍ−３〜１０２０ｃｍ-３である。上記の不純物濃度を有するゲージ抵抗は、環境温度の上昇に伴う抵抗変化が負の特性を示す。
（形態４）形態２において、ゲージ抵抗に導入される不純物濃度は、１０１８ｃｍ−３以下か１０２０ｃｍ-３以上の範囲である。上記の不純物濃度のゲージ抵抗は、環境温度の上昇に伴う抵抗変化が正の特性を示す。
【実施例】
【００１２】
図１に、本実施例の圧力信号出力装置１の回路図を示す。圧力信号出力装置１は、車両等の油圧駆動装置の油圧を計測するために用いられる。圧力信号出力装置１が設置される環境温度は、極寒の低温から常温（例えば−４０℃〜３０℃）の範囲であり、油圧駆動装置の作動時には高温（例えば８０℃〜１５０℃）にまで達することがある。圧力信号出力装置１には、このような広範な範囲の環境温度の変化においても、正確な計測値を出力することが求められている。
圧力信号出力装置１は、定電流電源１４と、ピエゾ抵抗素子１２と、電流調整回路４０と、出力端子１６を備える。ピエゾ抵抗素子１２には、ｎ型の不純物を含むシリコンチップの表面部に、ｐ型の不純物を導入して形成されたゲージ抵抗が用いられている。そのピエゾ抵抗素子１２には、受圧ブロックが接している。燃焼圧は、受圧ブロックを介してピエゾ抵抗素子１２に印加される。ピエゾ抵抗素子１２は、印加された燃焼圧に依存して抵抗値が変化する。電流調整回路４０は、温度上昇に依存して電流値を減少する第１電流調整回路２０と、温度上昇に依存して電流値を増大する第２電流調整回路３０の並列回路を有している。ピエゾ抵抗素子１２と電流調整回路４０は、並列回路を構成しており、その並列回路は、定電流電源１４に対して直列に接続されている。出力端子１６は、定電流電源１４とピエゾ抵抗素子１２の接続点に接続されている。出力端子１６は、燃焼圧の増大によるピエゾ抵抗素子１２の抵抗変化から導き出される電圧変化を出力する。出力される電圧変化は、電流調整回路４０で補正されてから出力される。
【００１３】
図２に、電流調整回路４０を構成する第１電流調整回路２０と第２電流調整回路３０の具体的な回路図を示す。
第１電流調整回路２０は、抵抗値がＲｅである第１固定抵抗２２と、ｐｎｐトランジスタ２４が直列に接続されている。ｐｎｐトランジスタ２４のコレクタ端子は、接地電圧に固定されている。第２電流調整回路３０は、２つのダイオード３２、３４と、抵抗値がＲｂｂの第２固定抵抗３６が直列に接続されている。第２固定抵抗３６の一方は、接地電圧に固定されている。第１電流調整回路２０のｐｎｐトランジスタ２４のベース端子は、第２電流調整回路３０のダイオード３４と第２固定抵抗３６の接続点に接続されている。
【００１４】
ここで、電流調整回路４０に印加される電圧をＶｒとする。電流調整回路４０は、第１電流調整回路２０と第２電流調整回路３０の並列回路であるので、第１電流調整回路２０と第２電流調整回路３０にも電圧Ｖｒが印加される。なお、電圧Ｖｒは、出力電圧Ｖoutのうちのオフセット電圧にほぼ一致する。
次に、電流調整回路４０に流入する調整電流Ｉｃを導出する。調整電流Ｉｃは、第１電流調整回路２０に流れる電流Ｉｃａと第２電流調整回路３０に流れる電流Ｉｃｂの和算値である。
まず、第２電流調整回路３０に流れる電流Ｉｃｂを導出する。一般的に、ダイオード３２、３４の順方向の電圧Ｖｄは、温度上昇に対して負の特性を有している。したがって、ダイオード３２、３４のそれぞれの順方向の電圧Ｖｄは、温度上昇に依存して降下する。ダイオード３２、３４のそれぞれの順方向の電圧Ｖｄは、温度変化ΔＴを変数とする関数で表され、その関係を数１に示す。
【００１５】
【数１】
2007232590.tif 000003
【００１６】
第２電流調整回路３０には、電圧Ｖｒが印加されている。第２固定抵抗３６の両端には、電圧Ｖｒからダイオード３２とダイオード３４のそれぞれの電圧降下の合計を差し引いた電圧が印加される。したがって、第２電流調整回路３０に流れる電流Ｉｃｂは、数２に示すように導出できる。前記したように、電圧Ｖｒは、出力電圧Ｖoutのうちのオフセット電圧にほぼ一致する。オフセット電圧は、一般的に、ほぼ一定の間を維持するか、又は温度上昇に対して正の特性を有している。一方、数１に示すように、電圧Ｖｄは、温度上昇に依存して降下する。抵抗値Ｒｂｂは固定なので、電流Ｉｃｂは、温度上昇に依存して増大することが分かる。
【００１７】
【数２】
2007232590.tif 000004
【００１８】
次に、第１電流調整回路２０を流れる電流Ｉｃａを導出する。
第１電流調整回路２０には、電圧Ｖｒが印加されている。第１電流調整回路２０のｐｎｐトランジスタ２４のエミッタ・ベース間には、寄生のｐｎダイオードが形成されている。ｐｎｐトランジスタ２４のエミッタ・ベース間では、ダイオード３２、３４と同様に、温度上昇によって電圧Ｖｄが降下する（数１参照）。ｐｎｐトランジスタ２４のベース端子は、第２電流調整回路３０に接続されており、電流調整回路４０の一部はループを構成している。したがって、第１電流調整回路２０の第１固定抵抗２２の両端に印加される電圧Ｖｃａは、数３によって導出される。第１電流調整回路２０に流入する電流Ｉｃａは、電圧Ｖｃａと第１固定抵抗２２の抵抗Ｒｅから数４によって導出される。前記したように、電圧Ｖｄは、温度上昇に依存して降下する。抵抗値Ｒｅは固定なので、電流Ｉｃａは、温度上昇に依存して減少することが分かる。
【００１９】
【数３】
2007232590.tif 000005
【数４】
2007232590.tif 000006
【００２０】
電流調整回路４０の調整電流Ｉｃは、電流Ｉｃａと電流Ｉｃｂの和算値である。ピエゾ抵抗素子１２と電流調整回路４０は並列回路であるので、ピエゾ抵抗素子１２に流れる電流Ｉｓは、数５によって導出される。
【００２１】
【数５】
2007232590.tif 000007
【００２２】
第１電流調整回路２０の電流Ｉｃａと第２電流調整回路３０の電流Ｉｃｂは、第１固定抵抗２２の抵抗値Ｒｅ及び／又は第２固定抵抗３６の抵抗値Ｒｂｂを調節することで変化させることができる。そして、調整電流Ｉｃにより、ピエゾ抵抗素子１２に流入する電流Ｉｓを調整することができる。
なお、上記のような構成の第１電流調整回路２０と第２電流調整回路３０は、ダイオード３２、３４とｐｎｐトランジスタ２４が主な要素である。これらは、ピエゾ抵抗素子１２と同時に作製することができる。
【００２３】
次に、図３に基づいて、一定温度下におけるピエゾ抵抗素子１２の抵抗Ｒｓの変化と、各部の電流の関係について説明する。図３は、ピエゾ抵抗素子１２の抵抗Ｒｓの変化と、入力電流Ｉｉｎ、ピエゾ抵抗素子１２の電流Ｉｓ、調整電流Ｉｃ、電流Ｉｃａ、電流Ｉｃｂの関係を示すシミュレーション結果である。シミュレーションは、環境温度が２５℃の一定温度として行った。シミュレーションの条件は、入力電流Ｉｉｎを３ｍＡ、第１電流調整回路２０の第１固定抵抗２２の抵抗Ｒｅを１ｋΩ、第２電流調整回路３０の第２固定抵抗３６の抵抗Ｒｂｂを２０ｋΩとして行った。
図３に示すように、温度が一定の場合、ピエゾ抵抗素子１２の抵抗Ｒｓが変化しても、各部の電流Ｉｓ、Ｉｃ、Ｉｃａ、Ｉｃｂは不変である。第１電流調整回路２０の電流Ｉｃａと第２電流調整回路３０の電流Ｉｃｂは、変化の因子が温度のみである。温度が一定の場合には、ピエゾ抵抗素子１２の抵抗Ｒｓが変化しても、第１電流調整回路の電流Ｉｃａと第２電流調整回路３０の電流Ｉｃｂは変化しない。ピエゾ抵抗素子１２の抵抗Ｒｓの変化に対して、調整電流Ｉｃを一定に保つことができる。即ち、圧力信号出力装置１に電流調整回路４０を設けたとしても、圧力信号出力装置１は、印加される圧力に応じた出力電圧Ｖoutを出力することができる。
【００２４】
次に、図４に基づいて、温度の変化と各部の電流Ｉｉｎ、Ｉｓ、Ｉｃ、Ｉｃａ、Ｉｃｂの変化の関係について説明する。図４は、入力電流Ｉｉｎと、電流Ｉｓと、調整電流Ｉｃと、電流Ｉｃａと、電流Ｉｃｂの関係を示すシミュレーション結果である。シミュレーションは、入力電流Ｉｉｎを３ｍＡ、第１電流調整回路２０の第１固定抵抗２２の抵抗Ｒｅを１ｋΩ、第２電流調整回路３０の第２固定抵抗３６の抵抗Ｒｂｂを２０ｋΩとして行った。
図４に示すように、第１電流調整回路２０の電流Ｉｃａは、温度上昇にともなって減少する。第２電流調整回路３０の電流Ｉｃｂは、温度上昇に伴って増加する。電流Ｉｃａの負の傾きは、電流Ｉｃｂの正の傾きよりも大きい。したがって、電流Ｉｃａと電流Ｉｃｂの和である電流調整回路４０の電流Ｉｃは、温度上昇に伴って減少する。結果、ピエゾ抵抗素子１２に流入する電流Ｉｓは、温度の上昇に伴って増加する。ピエゾ抵抗素子１２の抵抗変化が、温度の上昇にともなって負の特性を有する場合に適している。即ち、ピエゾ抵抗素子１２のゲージ抵抗に導入されている不純物濃度が、１０１８ｃｍ−３〜１０２０ｃｍ-３の範囲のときに適している。
【００２５】
調整電流Ｉｃは、第２電流調整回路３０の第２固定抵抗３６の抵抗Ｒｂｂを変化させることで温度上昇にともなって増加させることも、減少させることもできる。図５は、環境温度の変化とピエゾ抵抗素子１２に流入する電流Ｉｓの変化の関係を示すシミュレーション結果である。シミュレーションは、第２固定抵抗３６のＲｂｂを１ｋΩ、２ｋΩ、３ｋΩ、４ｋΩ、５ｋΩに設定して行った。また、入力電流Ｉｉｎを３ｍＡ、第１電流調整回路２０の第１固定抵抗２２の抵抗Ｒｅを１ｋΩとして行った。
【００２６】
図５に示すように、抵抗Ｒｂｂがおよそ２ｋΩ以下の場合には、ピエゾ抵抗素子１２に流入する電流Ｉｓは、温度上昇に伴って減少する。図６は、電流Ｉｓが温度上昇に伴って減少する場合の温度と、入力電流Ｉｉｎ、ピエゾ抵抗素子１２の電流Ｉｓ、調整電流Ｉｃ、電流Ｉｃａ、及び、電流Ｉｃｂの関係を示すグラフである。図６に示すように、抵抗Ｒｂｂがおよそ２ｋΩ以下の場合には、電流Ｉｃａの負の傾きは、電流Ｉｃｂの正の傾きよりも小さい。したがって、電流Ｉｃａと電流Ｉｃｂの和である調整電流Ｉｃは、温度上昇に伴って徐々に増加する。結果、電流Ｉｓは、温度上昇に伴って徐々に減少する。圧力変化に伴うピエゾ抵抗素子１２の抵抗Ｒｓが温度上昇に対して正の特性を有する場合に有効である。即ち、ピエゾ抵抗素子１２のゲージ抵抗に導入されている不純物濃度が、１０１８ｃｍ−３以下、又は１０２０ｃｍ-３以上の範囲のときに適している。
【００２７】
抵抗Ｒｂｂが２ｋΩを超えると、調整電流Ｉｃが徐々に減少する。電流Ｉｓは、温度上昇に伴って徐々に増加する。圧力変化に伴うピエゾ抵抗素子１２の抵抗Ｒｓの変化が温度上昇に対して負の特性を有する場合に有効である。
第２固定抵抗３６の抵抗Ｒｂｂを調節することで、電流Ｉｓを温度上昇に対して増加することもでき、温度上昇に対して減少させることもできる。抵抗Ｒｂｂの調節により、抵抗Ｒｓの変化が温度に対して正負のいずれの特性を有していても対応することができる。本実施例の構成を採用すれば、ピエゾ抵抗素子の半導体基板の不純物濃度がいかなる濃度でも、出力電圧を正確に補正することができる。本圧力信号出力装置１の構成によれば、精度の高い圧力信号出力装置を得ることができる。
【００２８】
以上、本発明の好適な実施態様を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した態様を様々に変形、変更したものが含まれる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１実施例の圧力信号出力装置を模式的に示した回路図である。
【図２】第１実施例の圧力信号出力装置の、電流調整回路側を詳細に示した回路図である。
【図３】ピエゾ抵抗素子と各部の電流の関係を示すグラフである。
【図４】温度と各部の電流の関係を示すグラフである。
【図５】第２電流調整回路の抵抗体の抵抗が１ｋΩ、２ｋΩ、３ｋΩ、４ｋΩ、５ｋΩのときの、環境温度の変化とピエゾ抵抗素子の電流Ｉｓの関係を示グラフである。
【図６】温度と各部の電流の関係を示すグラフである。
【図７】従来の圧力信号出力装置の一例を模式的に示した回路図である。
【図８】半導体基板の濃度と出力電圧の変位割合を示すグラフである。
【図９】従来の圧力信号出力装置における温度と出力電圧の関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３０】
１：圧力信号出力装置
１２：ピエゾ抵抗素子
１４：定電流電源
１６：出力端子
２０：第１電流調整回路
２２：第１固定抵抗
２４：ｐｎｐトランジスタ
３０：第２電流調整回路
３２、３４：ダイオード
３６：第２固定抵抗
４０：電流調整回路
【図１】
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【図２】
2007232590.tif 000009
【図３】
2007232590.tif 000010
【図４】
2007232590.tif 000011
【図５】
2007232590.tif 000012
【図６】
2007232590.tif 000013
【図７】
2007232590.tif 000014
【図８】
2007232590.tif 000015
【図９】
2007232590.tif 000016