(57)【要約】【課題】光軸ずれが少なくかつ耐熱性の高い光ファイバ部品を提供する。【解決手段】筒体の内孔内で光ファイバの少なくとも一端が固定されてなる光ファイバ部品であって、光ファイバの一端は、筒体の軸方向と直交する方向に断面視して筒体の内面を周方向にｎ等分（ｎは３以上の整数）したｎ個の領域に区画したときに、ｎ個の各領域に筒体の内周面に部分的に当接する当接部が設けられており、光ファイバと筒体とを非当接部に存在する接合材でもって接合せしめた。【選択図】図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒体の内孔内で光ファイバの少なくとも一端が固定されてなる光ファイバ部品であって、
前記光ファイバの一端は、前記筒体の軸方向と直交する方向に断面視して前記筒体の内面を周方向にｎ等分（ｎは３以上の整数）したｎ個の領域に区画したときに、ｎ個の各領域に前記筒体の内周面に部分的に当接する当接部が設けられており、前記光ファイバと前記筒体とを非当接部に存在する接合材でもって接合せしめてなる光ファイバ部品。
【請求項２】
前記筒体の内孔は、前記筒体の軸方向と直交する方向に断面視して、多角形状であることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ部品。
【請求項３】
前記光ファイバの一端は、前記筒体の一端側の内孔内で固定されているとともに、前記筒体の他端側の内孔内に挿入されている前記光ファイバは、前記筒体の内周面と空隙部を設けて配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の光ファイバ部品。
【請求項４】
前記光ファイバの一端の外周に金属部が設けられるとともに、該金属部と同一の金属を前記接合材が含んでおり、該接合材が前記金属部で前記光ファイバに接合されて前記光ファイバの一端を固定することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光ファイバ部品。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載された光ファイバ部品と、該光ファイバ部品の前記筒体の内孔を塞ぐように前記筒体の一端面に接合された光学素子と、を備える光デバイス。
【請求項６】
前記光ファイバの一部がグレーデッドインデックスファイバで構成されていることを特徴とする請求項５に記載の光デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバ部品とその光ファイバ部品を用いた光デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光ファイバを用いて温度等の物理量を検知する光ファイバセンサや、光ファイバ通信が広く用いられている。
例えば、光ファイバセンサは、感知部に給電を必要としないこと、遠隔での計測に有利であること、多重化技術を用いた多点計測が可能であるなどの特長を活かし、発電施設、土木構造物、海底地震計、製造プロセスラインといった分野で幅広く用いられている。
また、耐熱、耐食性に優れる溶融石英からなる光ファイバを用いた光ファイバセンサは、感知部の構造によっては、耐熱、耐食性を要する環境での測定が可能であるという点にも注目されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、感知部を耐熱性フェルール、耐熱性接着剤等耐熱材料のみで構成した耐熱性の高い干渉型光ファイバセンサが紹介されている（図３）。この特許文献１の感知部１００は、光ファイバ１０１の金属メッキ端面と、光ファイバ１０５の金属メッキ端面間の反射、干渉を利用して、空間１０４の寸法変化を感知することでフェルール１０２に掛かる物理量を検出するものである。この感知部１００では、耐熱性の高い石英材料からなる光ファイバ１０１，１０５と、耐熱性の高いジルコニア等のセラミックやガラスからなる耐熱性フェルール１０２と、セラミック接着剤やポリイミド接着剤などの耐熱性接着剤１０３を用いて高い耐熱性を持たせている。尚、金属被膜１０７は、ニッケル、銅等からなり、光ファイバ１０１を補強している。
【０００４】
光ファイバ通信はデータ伝送の増大に伴い、急激な普及を示している。最近までは、幹線網や中継網といった分野が主流であったが、近年は加入者網への普及が増大してきた。こうした光ファイバ通信において、光ファイバと並んで、送受信を担うＬＤ光源モジュールや受光モジュールは最重要部品であるが、加入者網への普及に伴い、これらの部品の大量生産に適した製法として表面実装技術が検討されている。表面実装技術は電子部品の実装で確立した技術であるが、局所的な加熱ではなく、実装部品全体が２００℃以上の高熱に曝される。このため、実装部品に高温耐熱性が要求され始めている。
【０００５】
特許文献２では、表面実装用モジュールに用いられる、耐熱性を向上させた光ファイバ付きフェルールが紹介されている。図４は、特許文献２に開示された平面実装用モジュールに用いられている光ファイバ付きフェルール２００を、模式的に示す断面図であり、光ファイバ２０１、フェルール２０２、接着剤２０３で構成されている。特許文献２では、接着剤２０３として、ポリイミド樹脂または、低融点ガラスが用いられることが開示されている。ポリイミド樹脂のガラス転移点は約２７０℃であり、低融点ガラスのガラス転移点は約３００℃であり、一方半田リフロー炉の温度は約２４０℃であり、十分な耐熱性を持ち、リフロー炉内で接着剤の軟化が発生せず、十分な光学的精度を保持することが出来る。
【０００６】
このように、光センサや光通信に用いられる光ファイバ部品には、高い耐熱性が要求されるようになってきている。
【特許文献１】特開平１０−３１９２４１号公報
【特許文献２】特開２００２−１４２６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の光ファイバ部品には耐熱性に対して以下のような問題があった。
例えば、特許文献１の光ファイバセンサ用の感知部では、光ファイバとフェルールの接合材として用いられるセラミック接着剤やポリイミド樹脂の加熱硬化時におけるフェルールと光ファイバの熱膨張差により、残留応力が発生する。これが原因で、光ファイバとフェルールの接合部において光ファイバの折れが発生することがある。
またポリイミド樹脂を用いた場合、十分な強度を得るためにポリイミドと光ファイバの接触面を増やす必要があるが、接触面を増加させるとポリイミドの熱膨張係数はフェルールの５倍以上も大きいために、光ファイバをポリイミドで引っ張り込むという問題があった。このため、本来のフェルールの変形以外の原因で空間１０４は拡げられ、これによる測定誤差が生じるという問題があった。
【０００８】
また、特許文献２の表面実装用の光ファイバ付きフェルールでは接着剤としてポリイミド樹脂や低融点ガラスが用いられるが、低融点ガラスは、溶融前には粒径が１０μｍ以上のガラス粉末を含むものであるため、フェルールと光ファイバの隙間を大きくする必要があった。このように、フェルールと光ファイバの隙間を大きくすると、フェルールの軸と光ファイバの軸を一致させることが難しく、接続ロスが大きくなるという問題があった。一方ポリイミド樹脂を用いた場合には、強度が弱く、熱衝撃によりクラックが発生し、充分な接合が得られないという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、光軸ずれが少なくかつ耐熱性の高い光ファイバ部品を提供することを第１の目的とする。
【００１０】
また、本発明は、光学特性に優れかつ耐熱性が高い光学デバイスを提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
以上の目的を達成するために、本発明に係る光ファイバ部品は、筒体の内孔内で光ファイバの少なくとも一端が固定されてなる光ファイバ部品であって、前記光ファイバの一端は、前記筒体の軸方向と直交する方向に断面視して前記筒体の内面を周方向にｎ等分（ｎは３以上の整数）したｎ個の領域に区画したときに、ｎ個の各領域に前記筒体の内周面に部分的に当接する当接部が設けられており、前記光ファイバと前記筒体とを非当接部に存在する接合材でもって接合せしめてなることを特徴とする。
また、本発明に係る光デバイスは、本発明に係る光ファイバ部品と、該光ファイバ部品の前記筒体の内孔を塞ぐように前記筒体の一端面に接合された光学素子とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように構成された本発明に係る光ファイバ部品は、３以上の当接部で前記光ファイバを保持することができるので、前記筒体と前記光ファイバの同心度を高くでき、かつ前記光ファイバと前記筒体とを非当接部において、例えば、耐熱性の高いガラス材等の接合材で接合できるので、耐熱性を高くできる。
また、本発明に係る光デバイスは、本発明に係る、光軸ズレがなくかつ耐熱性の高い光ファイバ部品を用いて構成されているので、光学特性に優れかつ耐熱性が高い光学デバイスを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら本発明に係る実施の形態の光ファイバ部品について説明する。
実施の形態１．
図１Ａは、本発明に係る実施の形態１の光ファイバ部品（光ファイバ付きフェルール）１０ａの構成を示す断面図（ａ）および端面図（ｂ）である。
【００１４】
この光ファイバ部品１０ａは、石英やガラス材等からなる光ファイバ１１と、ジルコニアやアルミナ等セラミックス、ガラス材、ニッケル等の金属からなる筒体であるフェルール１２ａと、例えば、ガラス材からなる接合材１３から構成されている。
【００１５】
光ファイバ部品１０ａにおいて、フェルール１２ａは、挿入部１ａと挿入部１ａより径の小さい固定部２ａとからなる内孔３ａを有し、その内孔３ａに光ファイバ１１が挿入される。そして、光ファイバ１１は固定部２ａにおいて、接合材１３により固定される。
【００１６】
本実施の形態１の光ファイバ部品１０ａは、内孔３ａの固定部２ａに形状に特徴があり、この固定部２ａにより、光ファイバ１１を光軸ずれなく固定しかつ耐熱性の高い光ファイバ部品の提供を可能にしている。
【００１７】
実施の形態１の光ファイバ部品１０ａでは、この固定部２ａは、図１Ａ（ｂ）に示すように、光ファイバ１１が当接する凸部（当接部）２ａ'を３箇所に有しており、この凸部２ａ'により光軸ずれのない光ファイバ１１の固定を可能にしている。すなわち、３つの凸部２ａ'における光ファイバ１１との当接部は固定部２ａの軸から等距離（光ファイバ１１の半径に相当する距離）になるように設けられ、光軸ずれのない光ファイバ１１の固定を可能する。実施の形態１において、３つの凸部２ａ'は、それぞれの当接部が固定部２ａの中心軸と平行になるように、形成されることが好ましい。すなわち、この凸部２ａ'は、固定部２ａの一端から他端まで延在する突条で構成されていることが好ましい。また、３つの凸部２ａ'は、等間隔に形成されることが好ましい。
【００１８】
また、実施の形態１の光ファイバ部品では、固定部２ａにおいて、３つの凸部２ａ'の間（非当接部）には、光ファイバ１１との間に、耐熱性を持ったガラス材やロウ材を用いて固定するために十分な、例えば、１０μｍ以上の空隙が確保されている。これにより、ガラス粉末が含まれた接合材を塗布したり、ガラス材やロウ材を溶融して浸透させることが可能となり、耐熱性の高い強固な接合が確保できる。
【００１９】
以上のように構成された実施の形態１の光ファイバ部品によれば、フェルールの貫通孔に高い位置精度で光ファイバが保持され、かつ耐熱性の高い光ファイバ部品の提供が可能となる。これにより、例えば、コア部が径１０μｍ程度であるシングルモードファイバが用いられる光通信分野に使用でき、かつ表面実装が可能な光ファイバ部品（例えば、コネクタ用の部品）を提供できる。
【００２０】
尚、本実施の形態１において、フェルール１２ａの貫通孔の加工には、セラミックスやガラスを用いたフェルールでは、切削加工やレーザー加工を用いることができ、ニッケル等の金属を用いたフェルールの場合は電気鋳造法により、精密に作製することが可能である。
【００２１】
また、接着剤１３には、低融点ガラスを用いることが好ましい。すなわち、比較的低融点のガラスでは、約３００℃に溶融温度があり、線熱膨張係数はセラミックスや金属やガラス等に近いため、冷却時の残留応力も十分に小さくでき、接合強度を高くできる。
【００２２】
以上の実施の形態１では、固定部２ａにおいて、凸部２ａ'を３箇所に設けたが、本発明は、これに限られるものではなく、凸部２ａ'を３箇所以上にもうけてもよい。
【００２３】
以上、実施の形態１により本発明に係る具体的な一形態について説明したが、本発明は実施の形態１の構成に限られるものではなく、筒体（フェルール）の内孔（貫通孔１２ａ）内で光ファイバの少なくとも一端が固定されてなる光ファイバ部品において、以下のように構成したものである。
すなわち、本発明の光ファイバ部品において、筒体（フェルール）は、その軸方向に直交する断面を見て、図１Ａ（ｂ）に示すように、仮想等分線Ｘで筒体内孔の内周面を周方向にｎ等分（ｎは３以上の整数）し、該仮想等分線Ｘでｎ個の領域に区画された仮想領域Ｙを設定したときに、各領域に光ファイバが部分的に当接するように当接部が設けられている。
そして、光ファイバをｎ箇所の当接部に当接するように筒体（フェルール）の内孔に挿入して、その当接部の間の非当接部にできる光ファイバと筒体の内周面の間の空隙に接合材により接合している。
【００２４】
次に、本発明の実施の形態１に係る光ファイバ部品の製造方法の一例を示す。
＜フェルールの作製＞
フェルール１２ａは、例えばジルコニアセラミックスを用いて作製する場合、まず、フェルール１２ａの前駆体である成形体を作製する。成形体は、ジルコニアセラミックスの原料粉末にバインダーと溶媒を混練した後に、内孔を有した円筒体になるように押し出し成形されることによって作製される。次に、該成形工程によって得られた成形体は、所望の寸法に裁断された後に、脱脂され、１５００℃程度の温度で焼成して燒結体が作製される。その後、燒結体は、たとえばダイヤモンド砥粒のついたワイヤーで内孔と外周を所定の寸法になるよう研磨加工される。このとき、フェルール１２ａの内孔に設けられる凸部２ａ'は、ワイヤー加工でも形成してもよいが、レーザ加工によって形成してもよい。また、この凸部２ａ'は、成形体の内孔を形成するためのコアピンの外周部に溝を設けることによって、成形体の状態で凸部２ａ'を形成してもよい。以上のような工程を経て、フェルール１２ａが作製される。
【００２５】
＜光ファイバ部品の作製＞
光ファイバ部品は、上記したフェルール１２ａの内孔に光ファイバ１１を挿入固定することによって作製することができる。本発明の光ファイバ部品は、フェルール１２ａの内周面と光ファイバ１１の外周部が３箇所以上で部分的に当接する構成であるため、光ファイバ１１をフェルール１２ａに挿入するときに、以下のような工夫を施した。石英からなる光ファイバ１１をジルコニアからなるフェルール１２ａに挿入する際には、フェルール１２ａを１００〜２００℃で加熱させながら挿入すると良い。これは、フェルール１２ａの方が光ファイバ１１より熱膨張率が大きいため、加熱すると光ファイバ１１とフェルール１２ａに小さな空隙が生じ、光ファイバ１１を容易に挿入することができる。そして、フェルール１２ａは、光ファイバ１１の挿入後に室温まで冷却させると、収縮して光ファイバ１１の外周部とフェルール１２の内孔に設けられた当接部（凸部２ａ'）が当接するようになる。最後に、接合材１３を光ファイバ１１とフェルール１２ａの非当接部に注入して固定する。この工程においては、接合材１３が接着剤であれば、光ファイバ１１とフェルール１２ａの空隙部（非当接部）に注入すればよいが、ガラス材やロウ材の場合は光ファイバ１１とフェルール１２ａの当接する端部を下方にして、上方から接合材１３を溶かして流し込むと、効率よく非当接部に接合材１３を注入することができる。その後、接合材１３を冷却等によって硬化させてフェルール１２ａの内孔内に光ファイバ１１を固定することにより、光ファイバ部品が得られる。
【００２６】
以下、本発明の範囲内にある他の実施の形態について、説明する。
実施の形態２．
図１Ｂは、本発明に係る実施の形態２の光ファイバ部品１０ｂの構成を示す断面図（ａ）と、端面図（ｂ）である。
この実施の形態２の光ファイバ部品１０ｂは、固定部２ｂの断面形状が三角形である貫通孔３ｂを有するフェルール１２ｂを用いて構成した以外は、実施の形態１の光ファイバ部品と同様に構成される。
【００２７】
実施の形態２の光ファイバ部品１０ｂでは、図１Ｂ（ｂ）に示すように、固定部２ｂにおいて、その任意の断面で上記三角形の各辺の中央部で光ファイバ１１が当接する当接部２ｂ'を有するように、固定部２ｂが形成されており、この固定部２ｂの構造により、光軸ずれのない光ファイバ１１の固定を可能にしている。すなわち、各面における光ファイバ１１の当接部が固定部２ｂの軸から等距離になるように固定部２ｂが形成されており、これにより光軸ずれのない光ファイバ１１の固定を可能する。実施の形態２において、それぞれの当接部が固定部２ｂの中心軸と平行になるように、形成されることが好ましい。また、固定部２ｂの断面形状は、正三角形であることが好ましく、これにより、光ファイバ１１の当接部を等間隔にでき、より確実に光軸ずれを防止できる。
【００２８】
また、実施の形態２の光ファイバ部品１０ｂでは、図１Ｂ（ｂ）に示すように、固定部２ｂにおいて、３つの当接部の間には、光ファイバ１１との間に、耐熱性を持ったガラス材やロウ材を用いて固定するために十分な、空隙が確保されている。これにより、ガラス粉末が含まれた接合材を塗布したり、ガラス材やロウ材を溶融して浸透させることが可能となり、耐熱性の高い強固な接合が確保できる。
【００２９】
以上のように構成された実施の形態２の光ファイバ部品は、実施の形態１と同様な作用効果を有する。
また、本実施の形態２の光ファイバ部品は、固定部である内孔に凸部を形成することなく、断面形状を三角形にすることにより、３つの当接部で光ファイバを保持しているので、内孔の加工を容易にできる。
【００３０】
尚、実施の形態２では、固定部２ｂの断面形状を三角形としたが、本発明はこれに限られるものではなく、３つ以上の当接部を有するような四角形、五角形、六角形等の他の多角形であってもよい。このような断面形状の作製方法としては、上述した押し出し成形方法によるフェルール１２ａ前駆体（成形体）の内孔を作製するためのコアピンの形状を、多角形状にすれば容易に作製することができるとともに量産性にも優れている。
また、角部にＲがついていても問題はなく、光ファイバ１１を支持することが可能である。
【００３１】
実施の形態３．
本発明に係る実施の形態３の光ファイバ部品１０ｃは、実施の形態１又は２の光ファイバ部品において、光ファイバ１１としてＮｉ、Ｃｕ、Ａｕ等の金属被膜１４（金属部）が施された光ファイバを用い、固定部２ａ又は２ｂの内周面にめっき又は蒸着等により金属膜を形成して、接合材１３としてロウ材を用いたものである（図３Ｃ）。
実施の形態３において、上述した以外の部分については、実施の形態１又は２の光ファイバ部品と同様に構成される。
【００３２】
以上のように構成した実施の形態３の光ファイバ部品１０ｃは、当接部の間の非当接部にできる光ファイバと筒体の内周面の間の空隙を、溶融したロウ材が浸透できる程度に大きくすることができるので、ロウ材を用いて容易に接合できる。ここで、ロウ材としては、耐熱性を高くするために、３００℃程度で溶融するＡｕＳｎやＡｕＧｅ等共晶点を持つものを用いることが好ましい。
【００３３】
また、本実施の形態３では、接合材１３が光ファイバ１１を被覆する金属部１４に含まれる金属と同一の金属を含むことが好ましく、これによって、接合材１３と金属部１４との熱膨張係数が近似した構成とすることができるため、接合強度を向上させることが可能となる。
【００３４】
以上説明した実施の形態１〜３の光ファイバ部品では、内孔３ａが固定部２ａ（２ｂ）より径の大きい挿入部１ａを有しているので、その内孔３ａに光ファイバ１１を挿入した後、挿入部１ａに接合材１３を固体の状態で挿入し、接合材１３を軟化又は溶融して光ファイバと固定部２ａ，２ｂの内周面の間の空隙に浸透させて接合することができる。
また、挿入部１ａと固定部２ａの境界部分は、図１Ａ〜図１Ｃに示すように、徐々に径が小さくなるように傾斜していることが好ましく、このようにすると、軟化又は溶融した接合材１３を光ファイバと固定部２ａ，２ｂの内周面の間の空隙に容易に浸透させることが可能になるとともに、接合強度をより高くできる。
【００３５】
実施の形態４．
図２Ａは、本発明に係る実施の形態４の光デバイス２０ａの構成を示す断面図であり、該光デバイスは実施の形態２の光ファイバ部品を用いて構成されている。
具体的には、光ファイバが挿入されたフェルール１２ａ（１２ｂ）の固定部２ａ（２ｂ）側の端面に、光学素子２５が内孔を塞ぐように接合材２６で固定されている。
ここで、光学素子２５は、ファラデー回転子、ポッケルス素子、エタロンフィルタ等の種々の素子を選択することができる。また、接合材２６は、接合材１３と同様にガラス材やロウ材を用いることができるが、接合材１３より溶融点が低いと、接合材２６で接合する際、接合材１３を溶融させることがないので望ましい。
【００３６】
以上のように構成された実施の形態４の光デバイスは、その一部を構成する本発明に係る光ファイバ部品における、光ファイバとフェルールの同心度が高いため、光ファイバ部品と光学素子の結合効率を高くでき、接続によるロスを小さくできる。
また、本発明に係る光ファイバ部品の耐熱性が高いので、耐熱性の高い光デバイスを構成することができる。
【００３７】
また、本実施の形態４の光デバイスでは、図２Ｂに示すように光ファイバ１１の先端部にレンズ効果を持つ、グレーデッドインデックスファイバ２７を設け、光学距離調整用の純石英ファイバ２８を融着により、光学素子と接続することが好ましく、これにより、光ファイバ部品と光学素子の結合効率をより高くできる。
【実施例】
【００３８】
実施例として、図２Ｂに示す光デバイスを作製した。
光学素子２５としては、エタロンフィルタを用いた。エタロンフィルタは約１００μｍの石英体ブロックの両端面に、照射される光の一部を反射し、それ以外の光を透過する機能を有する部分反射膜を形成することにより作製した。この石英は約１０ｐｐｍ／℃の光路長変化率を有しており、エタロンフィルタとして用いると透過または反射波長が温度に応じて変化し、温度センサとして機能する。本実施例では反射波長を利用するような構成とした。
【００３９】
光ファイバ１１として、ポリイミド樹脂がコートされたシングルモードファイバの先端部にグレーデッドインデックスファイバ２７と純石英ファイバ２８を融着接続したものを用い、フェルール１２との接続部における被覆は除去した。
また、フェルール１２は、外径が２．５ｍｍのジルコニア製のものを用い、内孔（固定部）は、その断面形状が一辺２１６．５μｍの正三角形になるようにダイアモンドが付着したワイヤで加工した。この正三角形断面の角部には、円弧状になっている（Ｒがついている）。また、固定部における中心ズレは１μｍ以内であった。
【００４０】
また、フェルール１２の挿入部１ａの内径は１ｍｍの円形になるように加工した。接合材１３として、ガラス転移点２５０℃以上、溶融点３５０℃以上の鉛−ホウ素−ケイ素等からなるガラスを用いた。この接合は、接合材１３であるガラスを、予め、内径が２００μｍ、外径が１ｍｍとなるように円筒形状に焼き固め、それをフェルールの挿入部１ａに挿入した。
【００４１】
そして、光ファイバ１１をフェルール１２に挿入し、ホットプレート上でフェルール１２の光ファイバ１１の固定端側が下になるようにして加熱処理（処理温度は約４００℃で１０分間）することにより、ガラス材を固定部に浸透させることで、フェルール１２の一端部まで到達させ、接合した。次にこの端部を鏡面研磨し、光ファイバ付きフェルールを作製した。
【００４２】
次に、フェルール１２の端部にエタロンフィルタを接合材２６で接続した。接合材２６は溶融温度が３５０℃以下のガラスを用い、先に用いた接合材１３より溶融温度が低いものとした。
【００４３】
このようにして、実施例の光デバイスを作製して評価した。
この実施例に用いたエタロンフィルタは、反射光を利用するものであり、光ファイバ１１から放射された光は、エタロンフィルタで反射した後、光ファイバ１１に再入射する必要がある。このため光ファイバの光軸に垂直に、エタロンフィルタの反射膜が配置されていないと、効率よく再入射されないが、本実施例の光デバイスでは、光ファイバ１１をフェルール１２に同心度高く固定されており、その角度ズレ（光ファイバの光軸に垂直な面に対する反射膜のずれ）は０．２度以内に収まっていた。これに対して、従来のものでは、角度ズレが１度以上生じる場合があった。さらに、本実施例において、レンズ効果を持つグレーデッドインデックスファイバ２７を用いることで、９０％以上の反射率で再入射させることができた。これは、光ファイバと光学素子の結合効率がほぼ１００％であることを意味する。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１Ａ】本発明に係る実施の形態１の光ファイバ部品の構成を示す断面図（ａ）と、端面図（ｂ）である。
【図１Ｂ】本発明に係る実施の形態２の光ファイバ部品の構成を示す断面図（ａ）と、端面図（ｂ）である。
【図１Ｃ】本発明に係る実施の形態２の光ファイバ部品の構成を示す断面図である。
【図２Ａ】本発明に係る実施の形態３の光デバイスの構成を示す断面図である。
【図２Ｂ】本発明に係る実施の形態３の変形例の光デバイスの構成を示す断面図である。
【図３】従来の干渉型光ファイバセンサのセンサ部の構成を示す断面図である。
【図４】従来の光ファイバ付きフェルールの構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１ａ  挿入部、２ａ，２ｂ  固定部、２ａ'  凸部（当接部）、２ｂ'  当接部、３ａ，３ｂ  内孔、１０ａ，１０ｂ，１０ｃ  光ファイバ部品、１１  光ファイバ、１２ａ，１２ｂ  フェルール（筒体）、１３，２６  接合材、１４  金属被膜、２０ａ，２０ｂ  光デバイス、２５  光学素子、２７  グレーデッドインデックスファイバ、２８  純石英ファイバ。
【図１Ａ】
2007264424.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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