(57)【要約】【課題】  磁気ヘッドに電磁波を作用させることによって、磁気ヘッドの特性をさらに精度よく試験することができ、磁気ヘッドの品質向上を図ることができる磁気ヘッドの試験装置および試験方法を提供する。【解決手段】  ＭＲ素子を備える磁気ヘッドが形成された被試験体１０に磁界を作用させる磁界発生手段２０と、該磁界発生手段による磁界の強度を増減させた際に、前記被試験体に形成されている磁気ヘッドの前記MR素子の抵抗値の変化を測定する抵抗値検出手段３０を備えた磁気ヘッドの試験装置において、前記被試験体１０に電磁波を作用させ、電磁波が作用する環境下で前記被試験体の特性を検知するための電磁波発生手段４０を備えていることを特徴とする。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＭＲ素子を備える磁気ヘッドが形成された被試験体に磁界を作用させる磁界発生手段と、該磁界発生手段による磁界の強度を増減させた際に、前記被試験体に形成されている磁気ヘッドの前記MR素子の抵抗値の変化を測定する抵抗値検出手段を備えた磁気ヘッドの試験装置において、
前記被試験体に電磁波を作用させ、電磁波が作用する環境下で前記被試験体の特性を検知するための電磁波発生手段を備えていることを特徴とする磁気ヘッドの試験装置。
【請求項２】
前記電磁波発生手段は、前記被試験体に作用させる電磁波の強度を可変とする発信機を備えていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項３】
前記電磁波発生手段は、前記被試験体に対する向き、距離、配置位置を可変とするアンテナを備えていることを特徴とする請求項１または２記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項４】
ＭＲ素子を備える磁気ヘッドが形成された被試験体に磁界を作用させ、印加する磁界に対する前記ＭＲ素子の抵抗値を検知して前記ＭＲ素子の良否を試験する磁気ヘッドの試験方法において、
前記被試験体に磁界を作用させる際に、同時に前記被試験体に電磁波を作用させることにより前記ＭＲ素子の特性を検知して前記磁気ヘッドの良否を判定することを特徴とする磁気ヘッドの試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドの特性を試験する試験装置および試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドは一つのヘッド内に再生用の素子と記録用の素子を備えたものであり、セラミックからなるウエハに磁性膜等を所定パターンで成膜することによって形成される。実際の製造に際しては、１枚のウエハに多数個の磁気ヘッドを作り込み、最終的に再生用の素子と記録用の素子を備えた個片のスライダーとして形成される。
磁気ヘッドの再生用の素子に使用されるのはＭＲ素子（磁気抵抗素子）であり、このＭＲ素子は、外部から磁界が印加されると磁化方向が変化して電気抵抗が変化する磁気抵抗効果を利用したものである。
【０００３】
このＭＲ素子を備えた磁気ヘッドについては、外部磁界を印加したときの抵抗値変化を測定して素子の特性の良否を判定する特性試験を製造段階で行っている（たとえば、特許文献１参照）。この特性試験は、磁気ヘッドが作り込まれたウエハを、磁気ヘッドが一列状に配列されたロウバーに切り出した状態で行われる。すなわち、コイルに交流電流を供給してロウバーに印加する交流磁界を発生させ、この交流磁界内にロウバーを配置し、個々のＭＲ素子に所定のセンス電流を供給した状態でＭＲ素子の両端にあらわれる電圧を測定し、ＭＲ素子の抵抗値の変化を検知することによってＭＲ素子の特性が試験される。
【特許文献１】特開平９−１６９２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
磁気ヘッドのとくに再生用の素子の特性の試験では、上述した外部磁界内における抵抗値の変化を測定する試験が基本的な試験内容となるが、磁気ヘッドに作用する外的な要因としては磁界以外に熱や電磁波があり、これらに対する耐性を試験するために、ロウバーを加熱環境下に置いて磁気特性を試験するといったことも行われている。また、最近は、媒体の高密度記録を可能にするため、磁気ヘッドに形成される素子がきわめて微細構造となってきているために、外的な電磁波の影響によってＭＲ素子の特性や耐久性が劣化することが懸念されるようになってきた。
【０００５】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、磁気ヘッドに外的に電磁波を作用させることによって、磁気ヘッドの特性をさらに精度よく試験することができ、磁気ヘッドの品質向上を図ることができる磁気ヘッドの試験装置および試験方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、ＭＲ素子を備える磁気ヘッドが形成された被試験体に磁界を作用させる磁界発生手段と、該磁界発生手段による磁界の強度を増減させた際に、前記被試験体に形成されている磁気ヘッドの前記MR素子の抵抗値の変化を測定する抵抗値検出手段を備えた磁気ヘッドの試験装置において、前記被試験体に電磁波を作用させ、電磁波が作用する環境下で前記被試験体の特性を検知するための電磁波発生手段を備えていることを特徴とする。
【０００７】
また、前記電磁波発生手段は、前記被試験体に作用させる電磁波の強度を可変とする発信機を備えていることを特徴とする。
また、前記電磁波発生手段は、前記被試験体に対する向き、距離、配置位置を可変とするアンテナを備えていることを特徴とする。
【０００８】
また、ＭＲ素子を備える磁気ヘッドが形成された被試験体に磁界を作用させ、印加する磁界に対する前記ＭＲ素子の抵抗値を検知して前記ＭＲ素子の良否を試験する磁気ヘッドの試験方法において、前記被試験体に磁界を作用させる際に、同時に前記被試験体に電磁波を作用させることにより前記ＭＲ素子の特性を検知して前記磁気ヘッドの良否を判定することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る磁気ヘッドの試験装置および試験方法によれば、被試験体に磁界を印加して磁気ヘッドに形成されているＭＲ素子の特性を試験する際に、被試験体に同時に電磁波を作用させて試験することが可能となり、より信頼性の高い磁気ヘッドの試験を行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は、本発明に係る磁気ヘッドの試験装置の構成を模式的に示したものである。
本発明に係る試験装置で試験対象とする被試験体１０は、磁気ヘッドが作り込まれたウエハから切り出したロウバーである。本実施形態の試験装置は、被試験体１０に作用させる磁界を発生する磁界発生手段２０と、該磁界発生手段２０により磁界の強度を増減させた際に、前記被試験体１０に形成されている各々の磁気ヘッドのＭＲ素子の前記磁界の強度に対する抵抗値の変化を測定する抵抗値検出手段３０と、被試験体１０に外部から電磁波を作用させる電磁波発生手段４０とを備える。
【００１１】
磁界発生手段２０は被試験体１０に交流磁界を作用させるもので、コイルに交流電流を通電させる電源部と、交流電流値を増減制御する制御部を備える。図１では、被試験体１０に作用させる磁界を発生させる磁界発生手段２０を模式的にＮ極２０ａとＳ極２０ｂを対向させて配置した構造として示している。被試験体１０であるロウバーは、Ｎ極２０ａとＳ極２０ｂの間に配置される。
【００１２】
ＭＲ素子の抵抗値を測定する抵抗値検出手段３０は、被試験体１０に形成されているＭＲ素子にセンス電流を供給するセンス電流源と、ＭＲ素子の両端にあらわれる電圧を検知する電圧測定部を備える。ＭＲ素子に外部から磁界を作用させたときの抵抗値の変化は、この電圧測定部の電圧値とセンス電流値から求められる。
【００１３】
被試験体１０に外部から電磁波を作用させる電磁波発生手段４０は、電磁波の発信機４２と被試験体１０に向けて電磁波を発信させるアンテナ４４とを備える。発信機４２は発信周波数および電磁波の強度を調節可能である。図１に示すアンテナ４４はロッド状に形成したものであり、磁界発生手段２０による磁界内に配置されている被試験体１０に向けて電磁波を作用させることができるように、被試験体１０との距離、配置位置、配置方向が適宜調節可能である。なお、被試験体１０に対して電磁波を作用させるアンテナ４４の配置数は１個に限らず、複数個配置することも可能である。
【００１４】
本実施形態の試験装置を使用する際は、図１に示すように、磁界発生手段２０による磁界内に被試験体１０のロウバーを配置し、磁界発生手段２０によって被試験体１０に磁界を作用させると同時に、電磁波発生手段４０によって被試験体１０に電磁波を作用させて被試験体１０を試験する。
被試験体１０に作用させる磁界の強度によって被試験体１０のＭＲ素子の抵抗値がどのように変化するかは、磁界発生手段２０により被試験体１０に作用させる磁界を所定強度範囲に設定し、この範囲内で磁界を増減させ、そのときの抵抗値を測定することによって測定できる。この磁界に対するＭＲ素子の抵抗値変化の測定は、従来のＭＲ素子の特性試験の場合と同様である。
【００１５】
本実施形態では、この磁界に対する抵抗値の変化の測定に加えて、被試験体１０に電磁波を作用させることにより、電磁波が作用する環境下で被試験体１０の磁界に対する抵抗値変化がどのようになるかを検知することができる。電磁波の影響を試験する際には、電磁波発生手段４０の発信機４２を制御して被試験体１０に作用させる電磁波の強度や周波数を変えることによって、種々の電磁波の作用に対する被試験体１０のＭＲ素子の特性を検知することができる。
【００１６】
このように、本実施形態の試験装置によれば、被試験体１０に磁界を作用させると同時に被試験体１０に電磁波を作用させた環境下でＭＲ素子の特性を検査することができることから、磁気ヘッドの磁気抵抗特性に加えて磁気ヘッドに対する電磁波の影響についても試験することができ、より高品質の磁気ヘッドを提供することが可能となる。
もちろん、実際の試験では、電磁波を作用させずに磁気抵抗特性をのみを試験する試験と、電磁波を作用させて電磁波による影響下における磁気抵抗特性を試験して被試験体１０を評価するようにしてもよい。
【００１７】
図２は、電磁波発生手段４０で使用するアンテナ４４のいくつかの形態を示すものである。図２（ａ）は、ロッド状に形成したアンテナの例、図２（ｂ）は、ロッド端をリング状としたアンテナの例、図２（ｃ）は、ロッド端に複数の針状突起を配置した例、図２（ｄ）は、ロッド端をリング状とし、リングの内周面に針状突起を設けた例である。
このように、被試験体１０に電磁波を作用させるアンテナとしては適宜形態のものを使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの試験装置の全体構成を示す説明図である。
【図２】試験装置の電磁波発生手段に用いるアンテナの例を示す説明図である。
【００１９】
１０  被試験体
２０  磁界発生手段
２０ａ  Ｎ極
２０ｂ  Ｓ極
３０  抵抗値検出手段
４０  電磁波発生手段
４２  発信機
４４  アンテナ
【図１】
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【図２】
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