(57)【要約】【課題】  信号光と光ファイバとの結合効率を向上させることにより、長距離通信を可能とする一芯双方向型の光通信モジュールを提供することを目的とする。【解決手段】  一本の光ファイバと、信号光を出力するＬＤ光源と、信号光を光ファイバのコア中心に集光するための集光手段と、信号光の光路中においてその光軸に対し傾斜して配置された平行平面板と、を有し、平行平面板により発生する収差を、集光手段を光軸に対して傾斜させて配置させることにより補正したことを特徴とする光通信モジュールを提供する。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一本の光ファイバと、
信号光を出力するＬＤ光源と、
前記信号光を前記光ファイバのコア中心に集光するための集光手段と、
前記信号光の光路中においてその光軸に対し傾斜して配置された平行平面板と、を有し、
前記平行平面板により発生する収差を、前記集光手段を光軸に対して傾斜させて配置させることにより補正したことを特徴とする光通信モジュール。
【請求項２】
前記集光手段は、前記平行平面板の傾斜方向と同じ方向に傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項３】
前記集光手段は、前記平行平面板の傾斜方向に対して光軸周りに９０度回転した方向に傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の光通信モジュール。
【請求項４】
前記集光手段が光軸に対して１．９度から２．５度傾斜していることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の光通信モジュール。
【請求項５】
前記集光手段は、前記信号光を前記光ファイバの入射端面上におけるコア中心に導くために移動可能に配置されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の光通信モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一本の光ファイバを用いて情報信号光の送受信を行う一芯双方向型の光通信モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、信号光の送受信を一本の光ファイバで行う一芯双方向送受信光通信モジュールが知られている。例えば、特許文献１には、信号光を発光するレーザ光源と、レーザ光源からの信号光を光ファイバのコア中心に導くための光偏向手段（集光レンズ）と、光偏向手段によって偏向される信号光の光ファイバへの入射面内における位置がコア中心に向うように光偏向手段に対し負帰還制御を行う第一の制御手段と、信号光の光量が所定の光量となるように前記レーザ光源に対しＡＰＣ制御を行う第二の制御手段とを備える光通信装置が記載されている。第一の制御手段は、負帰還制御により信号光の入射位置が光ファイバのコア中心に向うように集光レンズを駆動させる。
【０００３】
また、特許文献２には、光ファイバの所定の端面において、コアとクラッドとの間に回折光が生じるような所定量の段差を形成し、その段差により発生する反射光の１次回折光の強度分布に基づいて光源からの光の該所定の端面における入射位置を検知することができる光通信モジュールが記載されている。
【０００４】
また、特許文献１の光通信装置に特許文献２に記載の光ファイバを用いることにより、第一の制御手段において、光ファイバの端面から発生する反射光の１次回折光の強度分布に基づいて信号光の入射位置を検出して負帰還制御を行うことができる光通信モジュールも提案されている。
【０００５】
また、一般的に、一芯双方向型の光通信モジュールでは、信号光の送受信を一本の光ファイバで行うため、光通信モジュール内に、異なる波長の光を分離するためのＷＤＭ（Wavelength Division Multiplex）フィルタや受信光を受信するための素子等が備えられる。また、光源としては、フォトダイオードを内蔵して光量モニタが可能なレーザダイオード（ＬＤ）が用いられている（例えば、ファブリペロ型ＬＤ）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−９６２９９号公報
【特許文献２】特開２００４−１５７３６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、一芯双方向型の光通信モジュールでは、上述のように、ＷＤＭフィルタ（その形状は平行平面板である）を必要とするが、信号光の集束光中にそのような平行平面板を配置すると信号光中に収差（非点収差やコマ収差）が発生することが知られている。収差が発生すると、光ファイバ端面上に形成されるスポット径が大きくなり、信号光と光ファイバとの結合効率が低下してしまう。信号光と光ファイバとの結合効率が低下すればするほど、光ファイバへ取り込まれる光量は低下し、信号光の長距離伝送が困難となる。
【０００８】
そこで本発明は上記の事情に鑑み、信号光と光ファイバとの結合効率を向上させることにより、長距離通信を可能とする一芯双方向型の光通信モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、本発明は、一本の光ファイバと、信号光を出力するＬＤ光源と、信号光を光ファイバのコア中心に集光するための集光手段と、信号光の光路中においてその光軸に対し傾斜して配置された平行平面板と、を有し、平行平面板により発生する収差を、集光手段を光軸に対して傾斜させて配置させることにより補正したことを特徴とする光通信モジュールを提供する。
【００１０】
このような構成とすることにより、本発明に係る光通信モジュールは、集光手段を傾斜させることにより、信号光中の収差を補正することができる。したがって、信号光中の収差が補正されることにより信号光と光ファイバとの結合効率が向上する。また、集光手段を傾斜させるのみの構成であるため、収差を補正するために新たに部品を加える必要がない。
【００１１】
また、本発明に係る光通信モジュールにおいて、集光手段は、平行平面板の傾斜方向と同じ方向に傾斜していることを特徴とする。或いは、集光手段は、平行平面板の傾斜方向に対して光軸周りに９０度回転した方向に傾斜していることを特徴とする。
【００１２】
また、具体的には、集光手段が光軸に対して１．９度から２．５度傾斜していることを特徴とする。
【００１３】
また、集光手段は、信号光を光ファイバの入射端面上におけるコア中心に導くために移動可能に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
したがって、本発明によれば、信号光と光ファイバとの結合効率を向上させることにより、長距離通信を可能とする一芯双方向型の光通信モジュールを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明に係る光通信モジュールについて説明する。
【００１６】
図１は、本発明の光通信モジュール１００の構成を表す図である。光通信モジュール１００は、例えば、加入者宅内に引き込んだ光ファイバとＰＣ等とを接続するためのＯＮＵ内に組み込まれる。光通信モジュール１００は、例えば、一本の光ファイバを用いて、波長１．３μｍの送信用の上り信号と波長１．５μｍの受信用の下り信号とを波長分割多重方式（ＷＤＭ）によって双方向に伝送することができるよう構成されている。
【００１７】
光通信モジュール１００は、レーザダイオード（ＬＤ）１と、集光レンズ３と、ＷＤＭフィルタ７と、光ファイバ９と、位置検出器１１と、集光レンズ１３と、受信光検出器１５と、負帰還制御回路１９と、アクチュエータ駆動回路２１とを有する。
【００１８】
ＬＤ１は、送信用の情報によって変調された波長１．３μｍの信号光（レーザ光）を出力するように構成された光源である。ＬＤ１は、例えば、結晶の劈開面を利用するファブリペロ型ＬＤであり、そのハーメチック・シール内部に光量モニタ用の素子（フォトダイオード等）が設けられている。ＬＤ１では、内蔵されたフォトダイオード等によりモニタされた光量に基づいてＡＰＣ（Automatic Power Control）が行われる。また、ＬＤ１は、カバーガラスを有し、出射光はカバーガラスを経て射出される。また、ＬＤ１は、負帰還制御回路１９に対し光量モニタ信号を出力する機能を有する。
【００１９】
ここで、図１において、ＸＹＺ座標軸を定義する。ＬＤ１がレーザを放射する方向、すなわち、ＬＤ１中の半導体基板と垂直な方向（紙面左右方向）をＺ軸方向とし、ＬＤ１から放射されたレーザが進む方向をＺ軸の正方向とする。また、紙面に垂直な方向をＸ軸方向とし、紙面に対して垂直上向き（手前側）をＸ軸の正方向とする。また、Ｚ軸、Ｘ軸に垂直な方向（紙面上下方向）をＹ軸方向とし、紙面上側へ向う方向をＹ軸の正方向とする。
【００２０】
ＬＤ１から射出された送信光（波長１．３μｍの信号光）は、集光レンズ３に入射し、集光レンズ３を出射後、次第に収束しながら、ＷＤＭフィルタ７を経て、光ファイバ９の端面９aにスポットを形成する。なお、ＬＤ１、ＷＤＭフィルタ７、光ファイバ９はそれぞれ光通信モジュール１００のハウジング（不図示）に固定されて配置されている。それに対して、集光レンズ３は、Ｚ軸と垂直な方向に微動可能に配置されており、アクチュエータ駆動回路２１により制御される図示しないアクチュエータにより駆動される。光通信モジュール１００を組み付ける際は、ＬＤ１上のレーザ放射位置の中心からＺ軸正方向に延ばされた直線（なお、この直線を便宜上「光軸」と定義する）上に、おおよそ、集光レンズ３、ＷＤＭフィルタ７、光ファイバ９の端面９aそれぞれの中心位置が配置されるように位置合わせされる。
【００２１】
集光レンズ３は、収差を低減することができる非球面レンズであることが好ましい。また、集光レンズ３は、その主平面が上述の光軸と垂直に配置される場合に、ＬＤ１の半導体基板表面（発光面）を含むＸＹ平面と、光ファイバ９の端面９a上のコアの表面から少しだけＺ軸正方向側の位置を含むＸＹ平面上とが共役（端面９a上に所定の大きさのスポットを形成させるため）となるように配置される。なお、ＷＤＭフィルタ７が集光レンズ３と光ファイバ９との間に配置され、集光レンズ３とＬＤ１との間には何も配置されないため、集光レンズ３は、ファイバ９よりＬＤ１に接近させて配置することが好ましい。
【００２２】
本発明の実施形態においては、集光レンズ３は、光軸に対して所定の角度を有するように配置される。例えば、図１では、集光レンズ３は、Ｘ軸と平行且つ集光レンズ３の中心を通る回転軸３aを中心に所定量回転（チルト）した状態で配置される。また、集光レンズ３は、チルトした状態を維持したまま、アクチュエータ駆動回路２１により駆動される図示しないアクチュエータにより光軸に対して垂直方向（ＸＹ平面に平行な方向）に移動させられる。
【００２３】
ＷＤＭフィルタ７は、送信光を光ファイバ９に向けて通過させる（送信光がＷＤＭフィルタ７を通過する際、送信光には収差が発生する）。一方で、ＷＤＭフィルタ７は、光ファイバ９側の反射面７aにおいて光ファイバ９から射出された１．５μｍの受信光を全て反射し、集光レンズ１３の方向へ偏向させる。集光レンズ１３は、該受信光を、受信光検出器１５の受光面へと集光させる。受信光検出器１５は、受光面にＰＤを備えており、ＰＤが受光した受信光を電気信号に変換するとともに、該電気信号を情報として復調する処理を行う。
【００２４】
光ファイバ９の端面９aは、クラッド面とクラッド面から所定量突出したコア面とからなる。クラッド面はＸ軸に平行且つＺ軸に対して所定の角度（例えば４５度）を有するように形成されている。また、端面９aは、入射した送信光の一部が反射するよう構成されている。位置検出器１１は、端面９aにより反射された送信光（回折光）を受光することができる位置に配置される。例えば、端面９aがＺ軸に対して４５度傾斜するように形成されていれば、位置検出器１１は、端面９aに対してＹ軸正方向の位置に配置される。なお、位置検出器１１を配置させる際は、端面９aの中心（コア面の中心）に対向する位置に、位置検出器１１の受光面の中心が配置されるようにする。
【００２５】
位置検出器１１は、受光面がその中心で互いに直交して延出する２本の境界線によって４つのエリアに分割された４分割のＰＤを有する。位置検出器１１は、受光する送信光の光量変化をエリアごとに検出する。負帰還制御回路１９は位置検出器１１により検出される光量変化をモニタする。
【００２６】
負帰還制御回路１９は、位置検出器１１による検出結果に基づいて、送信光が光ファイバ９の端面９aの中心（コア面）へ入射するように集光レンズ３の位置を制御するための信号をアクチュエータ駆動回路２１へ送信する。
【００２７】
アクチュエータ駆動回路２１は、集光レンズ３の位置を微調整する（負帰還制御により制御する）ための図示しないアクチュエータを駆動するための回路である。
【００２８】
光通信モジュール１００では、アクチュエータ駆動回路２１により集光レンズ３に対して負帰還制御を行う前に、まず、ＬＤ１から射出される送信光の光量が所定の値となるようにＬＤ１に電流を印加する。その後、ＬＤ１内の光量モニタ用の素子により検出される光量が所定の値以上となると、負帰還制御回路１９は、アクチュエータ駆動回路２１に信号を送信し、集光レンズ３の制御を開始する。さらに、負帰還制御が行われた後は、ＬＤ１はＡＰＣによりその出力が調整される。
【００２９】
また、光通信モジュール１００では、ＷＤＭフィルタ７により発生する非点収差を、集光レンズ３をチルトさせることにより補正することができる。すなわち、光通信モジュール１００では、集光レンズ３をチルトさせると非点収差が発生することを利用して、集光レンズ３においてＷＤＭフィルタ７により発生する非点収差とおおよそ相反する量の非点収差を発生させることにより、結果として光学系全体の非点収差を補正する。一般的に、光ファイバ９に入射する送信光中の非点収差量が少なければ少ないほど、光ファイバ９と送信光との結合効率は高くなる。なお、結合効率とは、光ファイバ端面に集光された光のうち、光ファイバ内に取り込まれる光の割合である。
【００３０】
以下、光通信モジュール１００における、集光レンズ３のチルト量、ＷＤＭフィルタ７（平行平面板）の厚み及びチルト量に対する、非点収差量と結合効率との関係を光学系モデルを用いて説明する。なお、以下、比較例１〜３、実施例１，２についてそれぞれ説明するが、光通信モジュール５００に対応する光学系モデルは実施例１および実施例２である。実施例１に対し比較例１，２、実施例２に対し比較例１，３をそれぞれ対比させて説明する。
【００３１】
＜比較例１＞
図２は、ＷＤＭフィルタ７を含まない場合の光学系モデルである。つまり、ＷＤＭフィルタ７による非点収差が生じない系である。光学系には、カバーガラス１a（厚み０．２５ｍｍ）と、集光レンズ３（チルト無し）とがそれぞれ配置されている。送信光の使用波長は１３１０ｎｍである。また、カバーガラス１aは平行平面板でありその硝材はＢＫ７相当で、ｄ線の屈折率ｎｄ＝１．５１６３３、アッベ数ν＝６４．１のものである。また、集光レンズ３による結像倍率は−１．１４４であり、ｄ線の屈折率ｎｄ＝１．５８９１３、アッベ数ν＝６１．２のものを使用している。また、入射瞳直径は７ｍｍ、瞳アポダイゼーションは０．４０２とする。比較例１は平行平面板により非点収差が生じない場合の結合効率を確認するためのものである。
【００３２】
瞳アポダイゼーションとは、光量分布をガウス分布で表現したときに、ピークの１／２の光量が規格化された瞳座標のどこに位置するかを示す値である。規格化された瞳座標に対しアポダイゼーションの値をａとすると、光量分布Ｉ（ｘ）は以下のように表せる。
【数１】
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【００３３】
表１は比較例１の光学系のレンズデータである。ｒは曲率半径、ｄはレンズ厚またはレンズ間隔、ｎは使用波長１３１０ｎｍにおける屈折率である。なお、第０面は光源面である。またｒの欄がブランクである面は「平面（ｒ＝無限大）」であることを表す。
【表１】
2007232834.tif 000004
【００３４】
＜比較例２＞
図３は、カバーガラス１aと、集光レンズ３（チルト無し）と、ＷＤＭフィルタ７とを含む光学系モデルである。また、カバーガラス１aとＷＤＭフィルタ７とは平行平面板でありその硝材はＢＫ７相当で、ｄ線の屈折率ｎｄ＝１．５１６３３、アッベ数ν＝６４．１のものである。ＷＤＭフィルタ７の厚みは０．５ｍｍである。また、送信光の波長、集光レンズの倍率、集光レンズの硝材、入射瞳直径、瞳アポダイゼーションは比較例１の光学系と同様とする。ＷＤＭフィルタ７は３０度チルトされている（すなわち、送信光の光軸に対して３０度傾斜している）。比較例２は、ＷＤＭフィルタ７により発生する非点収差によりどれくらい結合効率が低下するかを確認するためのものである。
【００３５】
表２は比較例２のレンズデータである。
【表２】
2007232834.tif 000005
【００３６】
図４は比較例２の光学系の横収差図であり、図５は比較例２の光学系の縦収差図である。図４の横収差図を見ると、メリジオナル平面（Ｙ−ＦＡＮ）およびサジタル平面（Ｘ−ＦＡＮ）において収差が存在することがわかる。
【００３７】
＜実施例１＞
図６は、実施例1の光学系モデルであり、比較例２の光学系の集光レンズ３をチルトさせたものである。そのチルト量（光軸に対する傾斜角度）は、この光学系において、結合効率が最も高くなるような値に設定されている（この場合は、ＷＤＭフィルタ７のチルト方向と同方向に１．９度）。
【００３８】
表３は実施例１のレンズデータである。
【表３】
2007232834.tif 000006
【００３９】
図７は実施例１の光学系の横収差図であり、図８は実施例１の光学系の縦収差図である。図７の横収差図を見ると、比較例２（図４）と比べてメリジオナル平面（Ｙ−ＦＡＮ）およびサジタル平面（Ｘ−ＦＡＮ）において収差が補正されていることがわかる。
【００４０】
表４は、比較例１、比較例２、実施例１の収差および結合効率の計算結果である。比較例１では、ＲＭＳ波面収差およびＰ−Ｖ波面収差は生じず、結合効率は０．９７２となっている。
【００４１】
比較例２はＲＭＳ波面収差が０．０８２λ、Ｐ−Ｖ波面収差が０．４４９λであり、結合効率は０．９１０となった。ＷＤＭフィルタ７を配置した影響により、比較例１の光学系よりも結合効率が０．０６２低下していることがわかる。
【００４２】
実施例１はＲＭＳ波面収差が０．０１１λ、Ｐ−Ｖ波面収差が０．０５４λであり、結合効率は０．９７０となった。比較例２の光学系よりも収差量が低減している（ＲＭＳ、Ｐ−Ｖ共に約１３％程度に低減）。また、集光レンズ３のチルトがない比較例２の光学系よりも結合効率が０．０６０高く、ＷＤＭフィルタ７のない（無収差の）比較例１の結合効率よりも０．００２低いだけであった。したがって、実施例１の光学系では、ＷＤＭフィルタ７で非点収差が発生しているにもかかわらず、集光レンズ３のチルトにより非点収差が補正され、結果として結合効率の低下が抑制されていることがわかる。
【表４】
2007232834.tif 000007
【００４３】
＜比較例３＞
図９は、比較例３の光学系モデルであり、比較例２の光学系のＷＤＭフィルタ７のチルトを４５度（すなわち、光軸に対して４５度傾斜）としたものである。
【００４４】
表５は比較例３のレンズデータである。
【表５】
2007232834.tif 000008
【００４５】
図１０は比較例３の光学系の横収差図であり、図１１は比較例３の光学系の縦収差図である。図１０の横収差図を見ると、メリジオナル平面（Ｙ−ＦＡＮ）およびサジタル平面（Ｘ−ＦＡＮ）において収差が存在することがわかる。
【００４６】
＜実施例２＞
図１２は、実施例２の光学系モデルであり、比較例３の光学系（図９）の集光レンズ３をチルトさせたものである。そのチルト量（光軸に対する傾斜角度）は、この光学系において、結合効率が最も高くなるような値に設定されている（この場合は、ＷＤＭフィルタ７のチルト方向と同方向に２．５度）。
【００４７】
表６は実施例２のレンズデータである。
【表６】
2007232834.tif 000009
【００４８】
図１３は実施例２の光学系の横収差図であり、図１４は実施例２の光学系の縦収差図である。図１３の横収差図を見ると、比較例３（図１０）と比べてメリジオナル平面（Ｙ−ＦＡＮ）およびサジタル平面（Ｘ−ＦＡＮ）において収差が補正されていることがわかる。
【００４９】
表７は、比較例１、比較例３、実施例２の収差および結合効率の計算結果である。比較例３はＲＭＳ波面収差が０．３２３λ、Ｐ−Ｖ波面収差が１．７３５λであった。ＷＤＭフィルタ７のチルトを３０度としている比較例２の光学系よりも収差の発生量が大きいことがわかる（表４参照）。また、結合効率は０．７４８であるため、収差の増加と共に結合効率が低下していることがわかる。ＷＤＭフィルタ７のない比較例１の光学系と比較すると結合効率が０．２２４も低下し、ＷＤＭフィルタ７のチルト量が異なる比較例２と比較すると結合効率が０．１６２低下している。
【００５０】
実施例２はＲＭＳ波面収差が０．０２２λ、Ｐ−Ｖ波面収差が０．１２４λであり、結合効率は０．９５０となった。比較例３の光学系よりも収差量が低減している（ＲＭＳ、Ｐ−Ｖ共に約７％程度に低減）。また、集光レンズ３のチルトがない比較例２の光学系よりも結合効率が０．２０２高く、ＷＤＭフィルタ７のない（無収差の）比較例１の結合効率よりも０．０２２低いだけであった。したがって、実施例２の光学系では、ＷＤＭフィルタ７で非点収差が大幅に発生しているにもかかわらず、集光レンズ３のチルトにより非点収差を補正し、結果として結合効率の低下を抑制していることがわかる。なお、非点収差補正後の結合効率は、実施例１の光学系の方が高いが、補正率は実施例２の光学系の方が高い。
【００５１】
つまり、ＷＤＭフィルタ７のチルト量が３０度程度であれば結合効率はおおよそ最大値となる。しかし、装置内の配置上、ＷＤＭフィルタ７をさらにチルトさせたい場合も生じうる。その場合、ＷＤＭフィルタ７による非点収差は増大するが、集光レンズ３のチルトにより十分補正可能である。
【表７】
2007232834.tif 000010
【００５２】
実施例１および実施例２においては、集光レンズ３をＷＤＭフィルタ７のチルトと同じ方向にチルトさせる構成とした。しかし、集光レンズ３のチルトの方向を、ＷＤＭフィルタ７のチルトの方向を光軸周りに９０度回転させた方向としても（すなわち、図１の集光レンズ３を、Ｙ軸と平行且つ集光レンズ３の中心を通る回転軸を中心に所定量回転（チルト）させた状態）、光学系全体での収差を低減させることができる。したがって、集光レンズ３のチルトの方向は実施例１および実施例２の方向に限定されるものではない。
【００５３】
したがって、本発明の光通信モジュール１００では、集光レンズをチルトさせて非点収差を発生させることにより、ＷＤＭフィルタによる非点収差を打ち消し、光学系全系の非点収差を補正することができる。非点収差が補正されることにより、光ファイバと送信光との結合効率が向上し、結果として、光通信モジュール１００は、送信光の長距離通信を可能とさせる。非点収差を発生させる手段としてレンズのチルトを用いるため、別の部材を使用して非点収差を補正するよりも低コストで収差を補正することができる。また、レンズにシリンダ成分を乗せて回転非対称な形状にして非点収差を補正する方法よりも、通常の回転対称なレンズを用いることができる点で、モジュールの作成が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の光通信モジュールの構成を示す図である。
【図２】比較例１の光学系モデルを示す図である。
【図３】比較例２の光学系モデルを示す図である。
【図４】比較例２の横収差図である。
【図５】比較例２の縦収差図である。
【図６】実施例１の光学系モデルを示す図である。
【図７】実施例１の横収差図である。
【図８】実施例１の縦収差図である。
【図９】比較例３の光学系モデルを示す図である。
【図１０】比較例３の横収差図である。
【図１１】比較例３の縦収差図である。
【図１２】実施例２の光学系モデルを示す図である。
【図１３】実施例２の横収差図である。
【図１４】実施例２の縦収差図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  ＬＤ
３  集光レンズ
７  ＷＤＭフィルタ
９  光ファイバ
１１  位置検出器
１３  集光レンズ
１５  受信光検出器
１７  光量検出器
１９  負帰還制御回路
２１  アクチュエータ駆動回路
【図１】
2007232834.tif 000011
【図２】
2007232834.tif 000012
【図３】
2007232834.tif 000013
【図４】
2007232834.tif 000014
【図５】
2007232834.tif 000015
【図６】
2007232834.tif 000016
【図７】
2007232834.tif 000017
【図８】
2007232834.tif 000018
【図９】
2007232834.tif 000019
【図１０】
2007232834.tif 000020
【図１１】
2007232834.tif 000021
【図１２】
2007232834.tif 000022
【図１３】
2007232834.tif 000023
【図１４】
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