(57)【要約】【課題】  燃料油を効率よく昇温させることができる燃料噴射ノズルを提供する。【解決手段】  燃料噴射ノズル１０に形成した噴射孔１１を、階段状に折れ曲がった形状とすることにより、噴射孔１１が折れ曲がる部分（上流側貫通孔１４と連結孔１５の接続部分、連結孔１５と下流側貫通孔１６の接続部分）で、燃料油の流れに乱れが生じ、噴射孔１１の中心部分を流れていた温度の低い燃料油と、噴射孔１１の周壁近傍を流れる温度の高い燃料油とが混ざり合うため、噴射孔１１の周壁と燃料油とで熱交換量が向上し、燃料油の温度分布を平均化することができる。したがって、簡素な構成で効率よく燃料油を昇温させることができる。【選択図】              図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃焼室側へ燃料油を噴射する燃料噴射装置の先端に取り付けられ、通過する燃料油を昇温する燃料噴射ノズルであって、
当該燃料噴射ノズルの表裏面を連通し、燃料油が通過する噴射孔が、階段状に折れ曲がっていることを特徴とする燃料噴射ノズル。
【請求項２】
前記噴射孔の折れ曲がり部の上流側の噴射孔と下流側の噴射孔とが、それぞれの噴射孔の中心軸をオフセットさせて連結されていることを特徴とする請求項１に記載の燃料噴射ノズル。
【請求項３】
前記下流側の噴射孔に前記上流側の噴射孔が複数連結され、
前記下流側の中心軸に対して、前記複数の上流側の噴射孔が軸対称に配置されることを特徴とする請求項２に記載の燃料噴射ノズル。
【請求項４】
前記上流側の噴射孔は、前記下流側の流路と連結される側の端部の内径が、他方の端部の内径に対して小径に形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載の燃料噴射ノズル。
【請求項５】
前記噴射孔の内周面にヒータが備えられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１に記載の燃料噴射ノズル。
【請求項６】
前記ヒータは、金属膜であることを特徴とする請求項５に記載の燃料噴射ノズル。
【請求項７】
当該燃料噴射ノズルは母材として真性半導体が用いられ、
前記ヒータは、Ｐ型半導体またはＮ型半導体によって構成されていることを特徴とする請求項５に記載の燃料噴射ノズル。
【請求項８】
少なくとも２枚以上のプレートに対して、それぞれのプレートの主面を貫通する孔を形成し、
前記プレートの一方において、他方の前記プレートとの重ね合わせ面に、プレートの重ね合わせ時にそれぞれのプレートに形成された孔をつなぐ溝を形成し、
前記プレートを重ね合わせて貼り合せることを特徴とする燃料噴射ノズル製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関の燃焼室に燃料油を供給する燃料噴射装置の先端に取り付けられた燃料噴射ノズルおよび燃料噴射ノズル製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、内燃機関（以下、エンジンとも呼ぶ）の燃焼室内に燃料油を噴射する燃料噴射弁（以下、インジェクタとも呼ぶ）がある。
また一般に、噴射された燃料油の粒径が小さくなればなるほど、空気と接触する面積が大きくなるため、気化し易いことが知られている。
このため、燃料を加圧する圧力を高くして燃料油の噴射速度を大きくしたり、燃料油を加熱することによって燃料油の平均粒径を小さくしたりすることが行われていた。
例えば特許文献１に記載のものは、噴射された燃料油の粒径を小さくするために、インジェクタ先端の噴射孔の先に、筒状の加熱器（Ｒｅｓｔｒｉｃｔｏｒ  ｔｕｂｅ）を取り付け、加熱器によって燃料油を昇温させて噴射させる構成が提案されている。
さらに、高い圧力まで加圧された燃料油が噴射される際に減圧沸騰してしまうことを防ぐために、筒状の加熱器において燃料油の圧力低下を防ぎながら加熱する構成が提案されている。
【特許文献１】米国特許  ６，２７６，３４７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような従来のインジェクタにおいては、ポンプで燃料油を沸騰しない圧力まで加圧すると、インジェクタ先端部での燃料の速度は、噴射孔の直径や長さにも依存するが、場合によっては１００ｍ／ｓを超える速度に達するため、筒状の加熱器を瞬間的に通過してしまい、十分に燃料油を過熱することができず、特に噴射孔の中心部分を流れる燃料油がほとんど昇温されないといった問題があった。
一方、加熱器を長くすることで燃料油の通過時間を長くして燃料油を十分に昇温させることも考えられるが、直噴式内燃機関に使用するインジェクタでは燃焼室内に先端部が設置されるため、空気の流れを妨げるような構造物を燃焼室内に向けて延ばすことは好ましくない。
また、加熱器の流路の径を小さくすることでも、燃料油の通過時間を長くすることができるが、流路の径を小さくすると、流路の壁面と燃料油との摩擦損失が大きくなり、燃料油を十分な速度で噴射することができない、または、十分な量の燃料油を噴射できないなどの問題が生じる。
そもそも、直噴式インジェクタは燃焼室が加圧状態のときに燃料油を噴射する必要があり、しかも十分な速度を確保する必要があるため、少なくとも数Ｍｐａ以上に加圧する必要があった。
【０００４】
そこで本発明はこのような問題点に鑑み、燃料油を効率よく昇温させることができる燃料噴射ノズルおよび燃料噴射ノズル製造方法を提供することを目的とする。
を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、燃料噴射装置の先端に取り付けられ、通過する燃料油を昇温する燃料噴射ノズルに、燃料噴射ノズルの表裏面を連通し、階段状に折れ曲がった噴射孔を形成するものとした。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、噴射孔が階段状に折れ曲がっているため、噴射孔を通過する燃料油の昇温時に、噴射孔の中心部を流れる過熱されにくい燃料油が噴射孔の周壁に衝突し、噴射孔の周壁近傍を流れる温度の高い燃料油と混合させることができる。
したがって、簡素な構成によって、噴射孔の周壁と燃料油との熱交換量を向上させることができ、さらに燃料油の温度分布を平均化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
次に本発明の実施の形態を実施例により説明する。
まず第１の実施例について説明する。
図１に、燃料噴射ノズルを燃焼室内に燃料油を噴射するインジェクタに適用した場合のインジェクタ先端部断面を示す。
図示しない燃料ポンプによって加圧された燃料油が、インジェクタ１に供給される。
インジェクタ１は、特に燃料噴射部分においてインジェクタケーシング２によって外周が囲まれている。
インジェクタケーシング２の内部には、燃料ポンプによって加圧された燃料油を蓄える油圧室８が形成され、インジェクタケーシング２の底壁（図１中の下方側）には油圧室８と連通する流量調節孔９が形成されている。
【０００８】
油圧室８には図１中の上下方向に移動可能な針弁３が備えられ、上下に移動させることにより針弁３の先端によって流量調節孔９を塞いだり、開口させたりすることができる。
この針弁３を上下に移動させることによって、油圧室８内から流量調節孔９を通って噴出される燃料油の流量を制御することができる。
インジェクタケーシング２の燃料噴射側には、流量調節孔９を覆うようにしてノズル保持部材４が取り付けられる。
【０００９】
ノズル保持部材４は、流量調節孔９の開口と対向する位置に燃料噴射ノズル１０を保持している。
また燃料噴射ノズル１０にそれぞれ一端が接続された２本の引き出し電極７ａ、７ｂは、その他端がノズル保持部材４の内部を通って外部まで伸び、図示しないスイッチを介して電源に接続されている。
燃料噴射ノズル１０には、燃料噴射ノズル１０の表裏面をつなぎ、階段状に折れ曲がった噴射孔１１が形成されている。
【００１０】
引き出し電極７ａ、７ｂに電圧を印加すると、燃料噴射ノズル１０が発熱する。
燃料噴射ノズル１０は、噴射孔１１を通過する燃料油を昇温しながら燃焼室内（図１中の下方側）に燃料油を噴射するものである。
このように、油圧室８に供給された燃料油は、針弁３の動作によって流量調節孔９から噴出される流量が制御され、流量調節孔９から噴出された燃料油は噴射孔１１の通過時に昇温されて燃焼室内に噴射される。
【００１１】
次に図２の（ａ）に、燃料噴射ノズル１０の上面を示し、図２の（ｂ）に、図２の（ａ）におけるＡ−Ａ部断面を示す。
ディスク形状の上流側基材１２ａと下流側基材１２ｂとより、燃料噴射ノズル１０の基材１２が構成される。
なお、図２（ｂ）の上側（以下、上流側とも呼ぶ）が流量調節孔９と対向し、下側（以下、下流側とも呼ぶ）が燃料噴射側となっている。
基材１２には、上流側と下流側の外面をつなぐ噴射孔１１が形成されている。
【００１２】
噴射孔１１は、上流側基材１２ａの表裏面をつなぐ４つの上流側貫通孔１４と、下流側基材１２ｂにおいて上流側貫通孔１４よりも燃料噴射ノズル１０の外径側位置に形成された４つの下流側貫通孔１６と、下流側基材１２ｂにおいて上流側基材１２ａとの接合面に形成されて燃料噴射ノズル１０の径方向に伸びる４つの連結孔１５とより構成される。
連結孔１５は、上流側貫通孔１４と下流側貫通孔１６とに連通している。
これにより図２（ｂ）に示すように、噴射孔１１は断面が階段状に折れ曲がった形状となる。
図２の（ａ）に示すように、噴射孔１１が基材１２の周方向に等間隔に４つ設けられている。
基材１２の表裏面には、外周縁に沿って金属膜１９が設けられている。
基材１２の上流側の面に形成された金属膜１９が図１に示す引き出し配線７ａと接続され、基材１２の下流側の面に形成された金属膜１９が引き出し配線７ｂと接続されて、引き出し配線７ａ、７ｂを通じて燃料噴射ノズル１０に電力が供給される。
【００１３】
次に、燃料噴射ノズル１０の製造工程について説明する。
なお基材１２として、シリコンを用いるものとする。
図３の（ａ）〜（ｃ）は、上流側基材１２ａの製造工程を示す図であり、図４の（ａ）〜（ｆ）は、下流側基材１２ｂの製造工程を示す図である。また図５は、上流側基材１２ａと下流側基材１２ｂの組み付け工程を示す図である。
また、各図は図２の（ａ）におけるＡ−Ａ部断面に対応する図である。
まず、図３の（ａ）〜（ｃ）を用いて上流側基材１２ａの製造工程について説明する。
図３の（ａ）に示すように、基材１２ａの一表面に、後の工程で上流側貫通孔１４を形成する部分を開口させてマスク材２０をデポジッションする。
図３の（ｂ）に示すように、エッチングを行うことによって、マスク材２０によって覆われていない部分の上流側基材１２ａを削り、上流側貫通孔１４を形成する。
この上流側貫通孔１４の形成には、たとえばボッシュプロセスと呼ばれるＤｅｅｐ−ＲＩＥを用いてエッチングを行えばよい。
上流側貫通孔１４の形成後、図３の（ｃ）に示されるようにマスク材２０を取り除く。
【００１４】
次に図４の（ａ）〜（ｆ）を用いて下流側基材１２ｂの製造工程について説明する。
図４の（ａ）〜（ｃ）に示す基材１２ｂにマスク材２１を用いて下流側貫通孔１６を形成する工程は、上記上流側基材１２ａに上流側貫通孔１４を形成する場合と同様であり説明を省略する。
なお、上流側貫通孔１４と下流側貫通孔１６を形成する位置は、上流側基材１２ａと下流側基材１２ｂとを重ね合わせたときに、両貫通孔１４、１６が重ならない位置とし、下流側貫通孔１６を上流側貫通孔１４よりも基材１２の中心に対して外周側に形成する。
【００１５】
図４の（ｄ）に示すように、下流側基材１２ｂの上流側基材１２ａと重ね合わせる側の面に、マスク材２２を形成する。
マスク材２２は、後の工程で形成される連結孔１５と対応する位置に開口部２２ａが形成されている。
なお開口部２２ａは、マスク材２２を上面から見た場合、マスク材２２の中心側から放射状に広がるように形成され、開口部２２ａの外周側の端部が下流側貫通孔１６と接続し、開口部２２ａの中心側の端部は、上流側基材１２ａと下流側基材１２ｂとを重ね合わせた場合に上流側貫通孔１４と接続する。
【００１６】
図４の（ｅ）に示すようにエッチングを行うことによって上流側基材１２ａの表面に連結孔１５を形成する。
このエッチングは、比較的大きなアスペクト比が要求されないため、たとえばＩＣＰなどのエッチングを利用すればよい。
連結孔１５の形成後、図４の（ｆ）に示すようにマスク材２２を取り除く。
これにより、表面に放射状に広がる溝形状の連結孔１５が形成され、さらに連結孔１５の外周側が下流側貫通孔１６と接続された下流側基材１２ｂが形成される。
【００１７】
次に上流側基材１２ａと下流側基材１２ｂの組み付け工程について説明する。
図５の（ａ）に示すように、上流側基材１２ａと下流側基材１２ｂとを貼り合わせて基材１２を形成する。
この貼り合わせには、たとえば陽極接合を用いればよい。
次に図５の（ｂ）に示すように、基材１２の表裏面の外周縁にリング形状の金属膜１９を形成することにより、燃料噴射ノズル１０を得ることができる。
なお金属膜１９は、電解メッキ、無電解メッキ、スパッタリングや真空蒸着などを用いて形成することができる。
このようにして形成された燃料噴射ノズル１０を、図１に示すようにインジェクタ１の先端部にプレート保持部材４を用いて取り付ける。
【００１８】
本実施例は以上のように構成され、燃料噴射ノズル１０に形成した燃料油が通過する噴射孔１１を、階段状に折れ曲がった形状とすることにより、噴射孔１１が折れ曲がる部分（上流側貫通孔１４と連結孔１５の接続部分、連結孔１５と下流側貫通孔１６の接続部分）で、燃料油の流れに乱れが生じ、噴射孔１１の中心部分を流れていた温度の低い燃料油と、噴射孔１１の周壁近傍を流れる温度の高い燃料油とが混ざり合うため、噴射孔１１の周壁と燃料油とで熱交換量が向上し、燃料油の温度分布を平均化することができる。
したがって、簡素な構成で効率よく燃料油を昇温させることができる。
【００１９】
なお、噴射孔１１が折れ曲がった部分の圧力損失（以下、エルボ損失と呼ぶ）は、燃料油の流量が同じ場合は、流路断面積が小さい方が大きくなる。
したがって、噴射孔１１の径を大きくすることにより、エルボ損失を低減することが可能である。
【００２０】
次に第２の実施例について説明する。
図６の（ａ）に燃料噴射ノズル１０Ａの上面図を示し、図６の（ｂ）に、図６の（ａ）におけるＢ−Ｂ部断面を示す。
上流側に配置された上流側基材２５ａと、下流側に配置された下流側基材２５ｂとより基材２５が構成される。
下流側基材２５ｂには、その表裏面を貫通する２つの下流側貫通孔１６Ａが形成されている。
上流側基材２５ａには、８個の上流側貫通孔１４Ａが形成されている。
上流側貫通孔１４Ａは、各下流側貫通孔１６Ａの周りに周方向等間隔に４つずつ配置されている。
上流側基材２５ａの下流側基材２５ｂとの接合面に、上流側基材２５ａと下流側基材２５ｂとの重ね合わせ時に上流側貫通孔１４Ａと下流側貫通孔１６Ａとをつなぐ連結孔１５Ａが形成される。
これにより、１つの下流側貫通孔１６Ａにつき、４つの連結孔１５Ａが接続される。
他の構成は、第１の実施例と同じであり、同一番号を付して説明を省略する。
この場合にも、上記第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
また、図示しないが噴射孔が途中で分岐する形状であってもよい。
このように、噴射孔が途中で折れ曲がった形状であれば、種々の形状を適用することができる。
【００２１】
次に第３の実施例について説明する。
図７の（ａ）に、燃料噴射ノズル１０Ｂの上面図を示し、図７の（ｂ）に、図７の（ａ）におけるＣ−Ｃ部断面を示す。
上流側基材２６ａと下流側基材２６ｂとを張り合わせることにより燃料噴射ノズル１０Ｂが形成される。
下流側基材２６ｂの中心には、下流側貫通孔１６Ｂが形成される。
上流側基材２６ａには、下流側貫通孔１６Ｂの周りに等間隔に４つの上流側貫通孔１４Ｂが形成される。
また下流側基材２６ｂの上流側基材２６ａと接続される側の面には、上流側基材２６ａと下流側基材２６ｂとを張り合わせたときに上流側貫通孔１４Ｂと下流側貫通孔１６Ｂとを連通させる連結孔１５Ｂが形成されている。
【００２２】
図８に示すように、連結孔１５Ｂの中心軸３０が下流側貫通孔１６Ｂの中心軸３１（図７の（ｂ）参照）と交差しない、すなわち下流側貫通孔１６Ｂと連結孔１５Ｂとがオフセットするように接続されている。
なお図８において、連結孔１５Ｂを１つのみ図示し、他は省略してある。
ここで、中心軸３０および中心軸３１は、それぞれの連結孔１５Ｂおよび下流側貫通孔１６Ｂ内を流れる燃料油の流れに対して垂直な断面をとったときの重心位置とする。
なお、上流側貫通孔１４Ｂは下流側貫通孔１６Ｂよりも大径の孔である。
連結孔１５Ｂは、上流側貫通孔１４Ｂと連結された側の端部から下流側貫通孔１６Ｂに連結される側の端部に向けて徐々に孔の内径が小さくなっている。
【００２３】
このように、下流側貫通孔１６Ｂの中心軸３１に対して、下流側貫通孔１６Ｂよりも上流側に位置する連結孔１５Ｂの中心軸３０をオフセットさせることにより、図８に矢印で示すように下流側貫通孔１６Ｂの中心軸３０の周りを回転しながら燃料油が進む流れ、すなわち旋廻流が生じる。
旋廻流は下流側貫通孔１６Ｂの周壁との摩擦の影響で、回転が弱まるので、最後には回転が無くなり、中心軸３１に平行な流れになる。
そのため、図７の（ａ）、（ｂ）に示すように、下流側貫通孔１６Ｂの中心軸３１に対して、連結孔１５Ｂの中心軸３０が軸対称となるように連結孔１５Ｂを配置することにより、旋廻流の回転が強く、安定したものになり、旋廻流が消滅するまでの時間を長くすることが可能である。
【００２４】
また、旋廻流の強さは、下流側貫通孔１６Ｂの上流側、すなわち上流側貫通孔１４Ｂおよび連結孔１５Ｂの流路から下流側貫通孔１６Ｂに流れ込む燃料油の流速に影響されるため、連結孔１５Ｂの上流側貫通孔１４Ｂにつながる側から下流側貫通孔１６Ｂにつながる側に向けて孔の径を絞り、燃料油の流速を早めてある。
他の構成は第１の実施例と同様であり、同一番号を付して説明を省略する。
【００２５】
燃料噴射ノズル１０Ｂの製造工程は、第１の実施例と同様であり説明を省略するが、連結孔１５Ｂの中心軸３０と下流側貫通孔１６Ｂの中心軸３１とをオフセットさせる加工は精度が必要なため、下流側基材２６ｂに溝を掘って連結孔１５Ｂを形成する。
これは、エッチングの位置合わせの精度を高める方が、プレート同士を貼り合せる際の位置合わせの精度を高めるよりも、一般的には簡単なためである。
なお本実施例において、連結孔１５Ｂが本発明における上流側の噴射孔を構成し、下流側貫通孔１６Ｂが下流側の噴射孔を構成する。
【００２６】
本実施例は以上のように構成され、連結孔１５Ｂの中心軸３０と下流側貫通孔１６Ｂの中心軸３１とをオフセットさせることにより、下流側貫通孔１６Ｂを流れる燃料油に旋廻流を発生させることができる。
したがって旋廻流が発生している部分は、下流側貫通孔１６Ｂの周壁から燃料油への熱伝達係数が大きくなるため、効率よく燃料油を昇温させることができ、噴射孔１１Ｂの長さを短くすることができる。
【００２７】
また、連結孔１５Ｂを、下流側貫通孔１６Ｂの中心軸３１に対して軸対象となるように下流側貫通孔１６Ｂに連結させたので、下流側貫通孔１６Ｂ内に発生する旋廻流の速さを大きく、安定したものとすることができる。
また、連結孔１５Ｂの下流側貫通孔１６Ｂと連結される側の内径を、上流側貫通孔１４Ｂと接続される側の内径よりも小径としたので、下流側貫通孔１６Ｂに流れ込む燃料油の流速を早めることができる。
【００２８】
次に第４の実施例について説明する。
図９に、燃料噴射ノズル１０Ｃの断面を示す。
第１の実施例と同様に、基材１２に噴射孔１１を形成し、さらに基材１２の表裏面および噴射孔１１の内周面に、無電解メッキにより金属膜２９を形成する。
なお、金属膜２９を形成したくない部分には、あらかじめマスク材をデポジッションしてから、メッキを施す。
無電解メッキでは金属膜２９の厚さが足りない場合は、電解メッキを施す。
基材１２の上流側の面に形成された金属膜２９に、図１に示す引き出し配線７ａを接続し、下流側の面に引き出し配線７ｂを接続する。
他の構成は、第１の実施例と同様であり説明を省略する。
【００２９】
本実施例は以上のように構成され、噴射孔１１の内周面に形成した金属膜２９に電圧を印加して、噴射孔１１内を流れる燃料油を直接昇温させる構成としたので、基材１２に電圧を印加して基材１２全体を昇温させる場合と比較して、効率よく燃料油を昇温させることができる。
【００３０】
次に第５の実施例について説明する。
図１０に、燃料噴射ノズル１０Ｄの断面を示す。
第１の実施例と同様に、基材１２Ｄに噴射孔１１を形成する。
基材１２Ｄの材料としては、シリコンまたはその他の半導体で、絶縁性の高い真性半導体を用いる。
基材１２Ｄの表裏面および噴射孔１１の内周面にＰ型半導体３９を形成する。
基材１２Ｄの表裏面に、外周縁に沿ってＰ型半導体３９の上から金属膜１９が設けられている。
基材１２Ｄの上流側の面に形成された金属膜１９に引き出し配線７ａが接続され、基材１２Ｄの下流側の面に形成された金属膜１９に引き出し配線７ｂが接続される。
金属膜１９に電圧が印加されると、Ｐ型半導体３９が発熱し、噴射孔１１内を流れる燃料油を昇温する。
他の構成は第１の実施例と同様であり説明を省略する。
【００３１】
Ｐ型半導体３９の形成手順について説明する。
基材１２ＤのＰ型半導体３９を形成しない部分にマスク材をデポジッションする。
Ｐ型のドーパントとなるイオンを含む水溶液等に基材１２Ｄを浸し、その後基材１２Ｄを加熱する。
所望の部分がＰ型にドープされた後、基材１２Ｄを溶液から取り出し、その後、マスク材を取り除くことによって、Ｐ型半導体３９が形成される。
電極を取り出しやすい部分に、金属膜１９を形成するが、その方法は電解メッキ、無電解メッキ、スパッタリング、真空蒸着のいずれでも構わない。
【００３２】
本実施例は以上のように構成され、噴射孔１１の内周面および基材１２Ｄの表裏面にＰ型半導体３９を形成して金属膜１９に電圧を印加してＰ型半導体３９を発熱させ、噴射孔１１内を流れる燃料油を昇温する構成としたので、Ｐ型半導体３９を急激に加熱させた場合でも、Ｐ型半導体３９と基材１２Ｄとは熱膨張係数が同じであるため、Ｐ型半導体３９が基材１２Ｄから剥がれてしまったり、割れてしまったりすることを防止することができる。
なお、Ｐ型半導体３９に替えてＮ型半導体を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】燃料噴射ノズルを適用したインジェクタ先端部断面を示す図である。
【図２】第１の実施例における燃料噴射ノズルを示す図である。
【図３】燃料噴射ノズルの上流側基材の製造工程を示す図である。
【図４】燃料噴射ノズルの下流側基材の製造工程を示す図である。
【図５】燃料噴射ノズルの製造工程を示す図である。
【図６】第２の実施例における燃料噴射ノズルを示す図である。
【図７】第３の実施例における燃料噴射ノズルを示す図である。
【図８】連結孔と下流側貫通孔の連結関係を示す図である。
【図９】第４の実施例における燃料噴射ノズルを示す図である。
【図１０】第５の実施例における燃料噴射ノズルを示す図である。
【符号の説明】
【００３４】
１    インジェクタ
２    インジェクタケーシング
３    針弁
４    プレート保持部材
７ａ、７ｂ    引き出し配線
８    油圧室
９    流量調節孔
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ    燃料噴射ノズル
１１、１１Ａ、１１Ｂ    噴射孔
１２、１２Ｄ    基材
１２ａ、２５ａ、２６ａ    上流側基材
１２ｂ、２５ｂ、２６ｂ    下流側基材
１４、１４Ａ、１４Ｂ    上流側貫通孔
１５、１５Ａ、１５Ｂ    連結孔
１６、１６Ａ、１６Ｂ    下流側貫通孔
１９、２９    金属膜
２０、２１、２２    マスク材
３０、３１    中心軸
３９    Ｐ型半導体
【図１】
2007071149.tif 000003
【図２】
2007071149.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2007071149.tif 000007
【図６】
2007071149.tif 000008
【図７】
2007071149.tif 000009
【図８】
2007071149.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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