(57)【要約】【課題】成分表に示された試料の物質を構成する元素の種類及び濃度に虚偽申告がないかまたは異物質の混入がないかを自動的であって容易かつ正確に検出し、検査者に認識させ、検査を工数及びコストを削減して行える検査装置を用いた検査方法を提供する。【解決手段】試料に１次Ｘ線を照射する１次Ｘ線照射ステップＳ２と、２次Ｘ線を検出器により検出する２次Ｘ線検出ステップＳ３と、２次Ｘ線から検出元素の種類及び濃度を元素検出部により検出する元素検出ステップＳ４と、基準元素の種類及び濃度と検出元素の種類及び濃度とを比較し一致するか判定部により判定する判定ステップＳ５と、基準元素の種類及び濃度と検出元素の種類及び濃度とが異なる場合、警告部により警告を発する警告ステップＳ７とを具備したことを特徴とする。【選択図】図６
2007278746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線出射装置を用いて、試料に１次Ｘ線を照射する１次Ｘ線照射ステップと、
前記１次Ｘ線の照射により前記試料から発生する元素特有の２次Ｘ線を、検出器により
検出する２次Ｘ線検出ステップと、
前記検出器により検出した前記２次Ｘ線から前記試料を構成する元素の種類及び濃度を
、元素検出手段により検出する元素検出ステップと、
記憶手段に格納してある前記試料を構成する元素の種類及び濃度と前記元素検出手段に
おいて検出した前記元素の種類及び濃度とを比較し、格納してある前記元素の種類及び濃
度と検出した前記元素の種類及び濃度とが一致するか判定手段により判定する判定ステッ
プと、
前記判定手段により、格納した前記元素の種類及び濃度と検出した前記元素の種類及び
濃度とが異なると判定された場合、警告手段により警告を発する警告ステップと、
を具備したことを特徴とする検査装置を用いた検査方法。
【請求項２】
前記試料を構成する元素の種類及び濃度を、前記記憶手段にデータベース化して格納す
る格納ステップをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置を用いた検査
方法。
【請求項３】
前記判定手段は、前記判定ステップにおいて、さらに、検出した前記元素に、鉛と水銀
とカドミウムとの少なくとも１つの第１の規制物質が含まれているかを判定することを特
徴とする請求項１または２に記載の検査装置を用いた検査方法。
【請求項４】
前記記憶手段に格納した前記元素に前記第１の規制物質が含まれており、前記判定手段
により検出した前記元素に前記第１の規制物質が含まれていると判定された場合、前記判
定手段は、前記判定ステップにおいて、さらに、前記第１の規制物質が規定量以上検出さ
れたかを判定することを特徴とする請求項２または３に記載の検査装置を用いた検査方法
。
【請求項５】
前記判定手段は、前記判定ステップにおいて、さらに、検出した前記元素に六価クロム
とポリ臭化ビフェニールとポリ臭化ディフェニールエテールとの少なくとも１つの第２の
規制物質が含まれている可能性を判定することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項
に記載の検査装置を用いた検査方法。
【請求項６】
前記記憶手段に格納した前記元素に前記第２の規制物質が含まれており、前記判定手段
により検出した前記元素に前記第２の規制物質が含まれている可能性があると判定された
場合、前記判定手段は、格納した前記元素と検出した前記元素の濃度が一致するかを判定
することを特徴とする請求項５に記載の検査装置を用いた検査方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の前記判定ステップの判定動作及び前記警告ステッ
プの警告動作を制御する検査装置が有する制御プログラム。
【請求項８】
試料を構成する元素の種類及び濃度がデータベース化されて格納された記憶手段と、
前記試料に、１次Ｘ線を照射するＸ線出射装置と、
前記１次Ｘ線の照射により、前記試料から発生する前記元素特有の２次Ｘ線を検出する
検出器と、
前記検出器により検出された前記２次Ｘ線から、前記試料を構成する元素の種類及び濃
度を検出する元素検出手段と、
前記記憶手段に格納された前記元素の種類及び濃度と前記元素検出手段により検出され
た前記元素の種類及び濃度とを比較し、格納された前記元素の種類及び濃度と検出された
前記元素の種類及び濃度とが一致するか判定する判定手段と、
前記判定手段により、格納された前記元素の種類及び濃度と検出された前記元素の種類
及び濃度とが異なると判定された場合、警告を発する警告手段と、
を具備することを特徴とする検査装置。
【請求項９】
前記判定手段は、さらに、検出された前記元素に、鉛と水銀とカドミウムとの少なくと
も１つの第１の規制物質が含まれているかを判定することを特徴とする請求項８に記載の
検査装置。
【請求項１０】
前記記憶手段に格納された前記元素に前記第１の規制物質が含まれており、前記判定手
段により検出された前記元素に前記第１の規制物質が含まれていると判定された場合、前
記判定手段は、さらに、前記第１の規制物質が規定量以上検出されたかを判定することを
特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記判定手段は、さらに、検出された前記元素に、六価クロムとポリ臭化ビフェニール
とポリ臭化ディフェニールエテールとの少なくとも１つの第２の規制物質が含まれている
可能性を判定することを特徴とする請求項８〜１０のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記記憶手段に格納された前記元素に前記第２の規制物質が含まれており、前記判定手
段により検出された前記元素に前記第２の規制物質が含まれている可能性があると判定さ
れた場合、前記判定手段は、格納された前記元素と検出された前記元素の濃度が一致する
かを判定することを特徴とする請求項１１に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出した試料を構成する元素の種類及び濃度が、データベース化された試料
を構成する元素の種類及び濃度と一致するかを検査する際に用いられる検査装置を用いた
検査方法、検査装置が有する制御プログラム、検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば電子機器に用いる材料（以下、試料と称す）を構成する元素の種類及び濃度が、
試料を製造したメーカから提供された成分表に示された試料を構成する元素の種類及び濃
度と一致しているか、即ち、成分表に示された物質を構成する元素の種類及び濃度が適正
であるかを、試料を破壊することなく簡易的に検査する装置としては、検査装置である蛍
光Ｘ線分析装置（以下、ＸＲＦ装置と称す）が周知である。ＸＲＦ装置は、固体、粉体、
液体を問わず、元素のあらゆる形態からなる試料を検査することができる。
【０００３】
ＸＲＦ装置を用いた検査は、特に、２００６年７月１日〜ＥＵ加盟国各国において施行
されるＥＵ−ＲｏＨＳ(Restrictions on Hazardous Substance)に基づき、試料の中に、
鉛（Ｐｂ）、水銀（Ｈｇ）、カドミウム（Ｃｄ）、六価クロム（Ｃｒ６＋）、ポリ臭化ビ
フェニール（ＰＢＢ）、ポリ臭化ディフェニールエテール（ＰＢＤＥ）の規制物質が含ま
れていないかを、例えば試料となる材料納入の際に簡易的に検査する際に用いられること
が一般的に行われている。ＸＲＦ装置を用いて検査を行うと、全ての試料に対して精密検
査を行わなくてよいため、検査工数及びコストを削減することができる。
【０００４】
ＸＲＦ装置を用いた一般的な検査方法を概略的に説明すると、先ず、試料に、Ｘ線管を
用いてＸ線（以下、１次Ｘ線と称す）を照射すると、試料に含まれる元素特有の蛍光Ｘ線
（以下、２次Ｘ線と称す）が発生する。
【０００５】
その後、２次Ｘ線を半導体検出器（以下、単に検出器と称す）で検出し、該検出した２
次Ｘ線から該２次Ｘ線の波長（エネルギ）を検出することにより、試料を構成する元素の
種類を検出する。さらに、検出した２次Ｘ線から該２次Ｘ線の強さ（Ｘ線量）を検出する
ことにより、試料を構成する元素の濃度を検出する。以上から、試料を構成する元素の種
類及び濃度を特定することができるのである。
【０００６】
その後、検査者は、ＸＲＦ装置を用いて検出した試料を構成する元素の種類及び濃度と
、材料メーカから提供された成分表に示された試料の物質を構成する元素の種類及び濃度
とが一致するかを視認により確認する。このことにより、検査者は、成分表に示された物
質を構成する元素の種類及び濃度が適正であるか、即ち、材料メーカから提供された成分
表に示された物質を構成する元素の種類及び濃度に虚偽申告がないか、特にＥＵ−ＲｏＨ
Ｓに基づく規制物質が含まれていなか、または試料を製造中に、異物質であるＥＵ−Ｒｏ
ＨＳに基づく規制物質が混入されていないかを、簡易的に検査することができる。
【０００７】
このようなＸＲＦ装置の構成、及びＸＲＦ装置を用いた検査方法は、例えば特許文献１
に開示されている。
【特許文献１】特開２００２−１６８８１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、ＸＲＦ装置を用いて検出した試料を構成する元素の種類及び濃度と、メ
ーカから提供された成分表に示された試料の物質を構成する元素の種類及び濃度とが一致
するかの確認を、検査者の視認により行うと、手間が掛かるとともに工数が増大する他、
正確に検査することができないといった問題があった。
【０００９】
また、ＸＲＦ装置は、元素の種類及び濃度等しか検出することができないため、例えば
、２次Ｘ線からクロムを検出した場合、試料中に、ＥＵ−ＲｏＨＳでは禁止されていない
三価クロム（Ｃｒ３＋）が含まれているのか、ＥＵ−ＲｏＨＳでは禁止された六価クロム
（Ｃｒ６＋）が含まれているかを検査結果から特定することができない。
【００１０】
尚、このことは、２次Ｘ線から臭素を検出した場合も同様であって、試料中に、ＥＵ−
ＲｏＨＳでは禁止されていない臭素が含まれているのか、ＥＵ−ＲｏＨＳでは禁止された
ポリ臭化ビフェニール（ＰＢＢ）、ポリ臭化ディフェニールエテール（ＰＢＤＥ）が含ま
れているかを検査結果から特定することができない。
【００１１】
このような事情に鑑み、ＸＲＦ装置を用いた簡易検査を行わずに、全ての試料に対して
、精密検査を行えば、試料を構成する元素の種類及び濃度の他、上述したように、三価ク
ロム（Ｃｒ３＋）か六価クロム（Ｃｒ６＋）か、または臭素かポリ臭化ビフェニール（Ｐ
ＢＢ）、ポリ臭化ディフェニールエテール（ＰＢＤＥ）かを確実に検出することができる
が、ＸＲＦ装置を用いて簡易的な検査を行う場合に比べて工数及びコストが増大してしま
うといった問題がある。
【００１２】
本発明の目的は上記問題に着目してなされたものであり、試料を構成する元素の種類及
び濃度を検査する簡易的な検査において、成分表に示された試料の物質を構成する元素の
種類及び濃度に虚偽申告がないかまたは異物質の混入がないかを自動的であって容易かつ
正確に検出し、検査者に認識させることができるとともに、簡易的な検査を工数及びコス
トを削減して行うことのできる検査装置を用いた検査方法、検査装置が有する制御プログ
ラム、検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために本発明に係る検査装置を用いた検査方法は、Ｘ線出射装置を
用いて、試料に１次Ｘ線を照射する１次Ｘ線照射ステップと、前記１次Ｘ線の照射により
前記試料から発生する元素特有の２次Ｘ線を、検出器により検出する２次Ｘ線検出ステッ
プと、前記検出器により検出した前記２次Ｘ線から前記試料を構成する元素の種類及び濃
度を、元素検出手段により検出する元素検出ステップと、記憶手段に格納してある前記試
料を構成する元素の種類及び濃度と前記元素検出手段において検出した前記元素の種類及
び濃度とを比較し、格納してある前記元素の種類及び濃度と検出した前記元素の種類及び
濃度とが一致するか判定手段により判定する判定ステップと、前記判定手段により、格納
した前記元素の種類及び濃度と検出した前記元素の種類及び濃度とが異なると判定された
場合、警告手段により警告を発する警告ステップと、を具備したことを特徴とする
また、前記試料を構成する元素の種類及び濃度を、前記記憶手段にデータベース化して
格納する格納ステップをさらに有することを特徴とする。
【００１４】
本発明によれば、検査装置を用いて、材料受け入れ段階における精密検査よりも簡易的
な材料検査を行う際、材料メーカから提供される成分表に示された試料の物質を構成する
元素の種類及び濃度に虚偽申告があるか、または材料製造工程において成分表に示された
物質の元素以外の異物質の混入があるかを、記憶手段にデータベース化されて記憶された
成分表に示された試料の物質を構成する元素の種類及び濃度と、検出された試料を構成す
る元素の種類及び濃度とが一致するかを判定手段で判定するステップを有することにより
、自動的であって容易かつ正確に検出することができる。また、一致しない場合、警告手
段により警告を発するステップを有することにより、虚偽申告または異物質の混入を検査
者に即座に認識させることができる。その結果、材料メーカの選定、材料検査結果の修正
を容易かつ即座に行うことができる。また、記憶手段にデータベース化されて記憶された
成分表に示された試料の物質を構成する元素の種類及び濃度と、検出された試料を構成す
る元素の種類及び濃度とが一致しない場合、精密検査を行わずとも、試料を材料メーカに
返品することができることから、精密検査を行う試料の数を、全品精密検査を行う従来よ
りも減少させることができるため、受け入れ段階の材料検査のコスト及び工数の削減を図
ることができるといった効果を有する。
【００１５】
また、前記判定手段は、前記判定ステップにおいて、さらに、検出した前記元素に、鉛
と水銀とカドミウムとの少なくとも１つの第１の規制物質が含まれているかを判定するこ
とを特徴とする。
【００１６】
本発明によれば、材料受け入れ段階における精密検査よりも簡易的な材料検査において
、試料の中に、ＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規制物質である、鉛と水銀とカドミウムとの少な
くとも１つの第１の規制物質が含まれているかを、自動的かつ容易に検出することができ
る。
【００１７】
また、前記記憶手段に格納した前記元素に前記第１の規制物質が含まれており、前記判
定手段により検出した前記元素に前記第１の規制物質が含まれていると判定された場合、
前記判定手段は、前記判定ステップにおいて、さらに、前記第１の規制物質が規定量以上
検出されたかを判定することを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、材料受け入れ段階における精密検査よりも簡易的な材料検査において
、試料中に、第１の規制物質が、ＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規定量よりも多く含まれている
かを、自動的であって容易かつ正確に検出することができるといった効果を有する。
【００１９】
さらに、前記判定手段は、前記判定ステップにおいて、さらに、検出した前記元素に六
価クロムとポリ臭化ビフェニールとポリ臭化ディフェニールエテールとの少なくとも１つ
の第２の規制物質が含まれている可能性を判定することを特徴とする。
【００２０】
本発明によれば、材料受け入れ段階における精密検査よりも簡易的な材料検査において
、試料の中に、ＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規制物質である、六価クロムとポリ臭化ビフェニ
ールとポリ臭化ディフェニールエテールとの少なくとも１つの第２の規制物質が含まれて
いる可能性があるかを、自動的であって容易かつ正確に検出することができる。
【００２１】
また、前記記憶手段に格納した前記元素に前記第２の規制物質が含まれており、前記判
定手段により検出した前記元素に前記第２の規制物質が含まれている可能性があると判定
された場合、前記判定手段は、格納した前記元素と検出した前記元素の濃度が一致するか
を判定することを特徴とする。
【００２２】
本発明によれば、濃度が一致しない場合、材料受け入れ段階における精密検査よりも簡
易的な材料検査においては、検出された試料中に含まれるクロム、臭素が、ＥＵ−ＲｏＨ
Ｓに基づく規制物質である、六価クロムとポリ臭化ビフェニールとポリ臭化ディフェニー
ルエテールとの少なくとも１つの第２の規制物質であるかを判定しないため、即ち、後の
精密検査において、第２の規制物質であるかを判定するため、受け入れ段階の材料検査の
コスト及び工数の削減を図ることができるといった効果を有する。
【００２３】
上記目的を達成するために本発明に係る検査装置が有する制御プログラムは、請求項１
〜７のいずれか１項に記載の前記判定ステップの判定動作及び前記警告ステップの警告動
作を制御する。
【００２４】
上記目的を達成するために本発明に係る検査装置は、試料を構成する元素の種類及び濃
度がデータベース化されて格納された記憶手段と、前記試料に、１次Ｘ線を照射するＸ線
出射装置と、前記１次Ｘ線の照射により、前記試料から発生する前記元素特有の２次Ｘ線
を検出する検出器と、前記検出器により検出された前記２次Ｘ線から、前記試料を構成す
る元素の種類及び濃度を検出する元素検出手段と、前記記憶手段に格納された前記元素の
種類及び濃度と前記元素検出手段により検出された前記元素の種類及び濃度とを比較し、
格納された前記元素の種類及び濃度と検出された前記元素の種類及び濃度とが一致するか
判定する判定手段と、前記判定手段により、格納された前記元素の種類及び濃度と検出さ
れた前記元素の種類及び濃度とが異なると判定された場合、警告を発する警告手段と、を
具備することを特徴とする。
【００２５】
本発明によれば、検査装置を用いて、材料受け入れ段階における精密検査よりも簡易的
な材料検査を行う際、材料メーカから提供される成分表に示された試料の物質を構成する
元素の種類及び濃度に虚偽申告があるか、または材料製造工程において成分表に示された
元素以外の異物質の混入があるかを、記憶手段にデータベース化されて記憶された成分表
に示された試料の物質を構成する元素の種類及び濃度と、検出された試料を構成する元素
の種類及び濃度とが一致するかを判定手段で判定することにより、自動的であって容易か
つ正確に検出することができる。また、一致しない場合、警告手段により警告を発するこ
とにより、虚偽申告または異物質の混入を検査者に即座に認識させることができる。その
結果、材料メーカの選定、材料検査結果の修正を容易かつ即座に行うことができる。また
、記憶手段にデータベース化されて記憶された成分表に示された試料の物質を構成する元
素の種類及び濃度と、検出された試料を構成する元素の種類及び濃度とが一致しない場合
、精密検査を行わずとも、試料を材料メーカに返品することができることから、精密検査
を行う試料の数を、全品精密検査を行う従来よりも減少させることができるため、受け入
れ段階の材料検査のコスト及び工数の削減を図ることができるといった効果を有する。
【００２６】
また、前記判定手段は、さらに、検出された前記元素に、鉛と水銀とカドミウムとの少
なくとも１つの第１の規制物質が含まれているかを判定することを特徴とする。
【００２７】
本発明によれば、材料受け入れ段階における精密検査よりも簡易的な材料検査において
、試料の中に、ＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規制物質である、鉛と水銀とカドミウムとの少な
くとも１つの第１の規制物質が含まれているかを、自動的であって容易かつ正確に検出す
ることができる。
【００２８】
さらに、前記記憶手段に格納された前記元素に前記第１の規制物質が含まれており、前
記判定手段により検出された前記元素に前記第１の規制物質が含まれていると判定された
場合、前記判定手段は、さらに、前記第１の規制物質が規定量以上検出されたかを判定す
ることを特徴とする。
【００２９】
本発明によれば、材料受け入れ段階における精密検査よりも簡易的な材料検査において
、試料中に、第１の規制物質が、ＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規定量よりも多く含まれている
かを、自動的であって容易かつ正確に検出することができるといった効果を有する。
【００３０】
さらに、前記判定手段は、さらに、検出された前記元素に、六価クロムとポリ臭化ビフ
ェニールとポリ臭化ディフェニールエテールとの少なくとも１つの第２の規制物質が含ま
れている可能性を判定することを特徴とする。
【００３１】
本発明によれば、材料受け入れ段階における精密検査よりも簡易的な材料検査において
、試料の中に、ＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規制物質である、六価クロムとポリ臭化ビフェニ
ールとポリ臭化ディフェニールエテールとの少なくとも１つの第２の規制物質が含まれて
いる可能性があるかを、自動的であって容易かつ正確に検出することができる。
【００３２】
また、前記記憶手段に格納された前記元素に前記第２の規制物質が含まれており、前記
判定手段により検出された前記元素に前記第２の規制物質が含まれている可能性があると
判定された場合、前記判定手段は、格納された前記元素と検出された前記元素の濃度が一
致するかを判定することを特徴とする。
【００３３】
本発明によれば、濃度が一致しない場合、材料受け入れ段階における精密検査よりも簡
易的な材料検査においては、検出された試料中に含まれるクロム、臭素が、ＥＵ−ＲｏＨ
Ｓに基づく規制物質である、六価クロムとポリ臭化ビフェニールとポリ臭化ディフェニー
ルエテールとの少なくとも１つの第２の規制物質であるかを判定しないため、即ち、後の
精密検査において、第２の規制物質であるかを判定するため、受け入れ段階の材料検査の
コスト及び工数の削減を図ることができるといった効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、図面を参照にして本発明の実施の形態を説明する。尚、以下に示す本実施の形態
においては、検査装置は、例えば電子機器に用いる固体の材料（以下、試料と称す）を構
成する元素の種類及び濃度が、試料を製造した材料メーカから提供された成分表に示され
た物質を構成する元素の種類及び濃度と一致しているかを、試料を破壊することなく簡易
的に試料検査する蛍光Ｘ線分析装置（以下、ＸＲＦ装置と称す）を例に挙げて説明する。
【００３５】
ＸＲＦ装置は、特に、成分表に示された物質を構成する元素の種類及び濃度に虚偽申告
があるか、特にＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規制物質が含まれていないか、または試料を製造
中に、ＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規制物質が混入されていないかを、例えば試料を材料メー
カから受け入れる受け入れ段階で簡易的に検査する際用いられる。
【００３６】
図１は、本実施の形態を示すＸＲＦ装置の構成の概略を示す図、図２は、材料メーカか
ら提供される試料の成分表の一例を示す図表、図３は、材料メーカから提供される試料中
に、禁止物質が含まれていないことが記載された非含有証明書の一例を示す図表、図４は
、材料メーカから提供される試料中に、環境悪影響物質がどの程度含まれているかが記載
された調査表の一例の一部を示す図表、図５は、図１の表示装置に表示される、元素検出
部が検出した試料を構成する元素の種類及び濃度等が記載された定量分析結果表の一例を
示す図表である。
【００３７】
図１に示すように、ＸＲＦ装置１００は、Ｘ線出射装置であるＸ線管１と、試料台２と
、検出器５と、制御装置１０と、表示装置１５とにより主要部が構成されている。
【００３８】
Ｘ線管１は、試料３を検査する際、Ｘ線（以下、１次Ｘ線と称す）２０を出射する装置
であり、１次Ｘ線２０を、試料台２に載置された試料３に向けて照射する。
【００３９】
試料台２は、試料３が載置される台であり、Ｘ線管１から出射される１次Ｘ線２０の光
路上に一部が位置するよう配設されている。また、試料台２の、Ｘ線管１から１次Ｘ線２
０が照射される位置には、所定の大きさを有する孔部２ｈが形成されている。
【００４０】
孔部２ｈは、試料台２に載置された試料３の底面３ｔの一部を試料台２から露呈させる
ことにより、底面３ｔに、Ｘ線管１から出射された１次Ｘ線２０を照射させる、例えば平
面的な形状が円形の孔である。尚、孔部２ｈは、１次Ｘ線２０の光路の照射範囲よりも、
平面的に大きな孔に形成されている。
【００４１】
検出器５は、試料検査の際、１次Ｘ線２０の照射により試料３から発生し、入光する試
料３を構成する元素特有の蛍光Ｘ線（以下、２次Ｘ線と称す）２１を検出する。
【００４２】
制御装置１０は、記憶手段である記憶部１１と、元素検出手段である元素検出部１２と
、と、判定手段である判定部１３と、警告手段である警告部１４と、制御プログラム１６
とを具備しており、例えばパソコン（ＰＣ）から構成されている。
【００４３】
記憶部１１には、検査者によりキーボード等で入力された、図２に示す材料メーカより
提供された成分表に示された試料３の物質を構成する元素の種類及び濃度がデータベース
化されて格納されている。
【００４４】
成分表は、例えば図２に示すように、既知のＩＭＤＳ（International Material Date 
System）に従って作成されたものであり、試料３を構成する物質毎の種類及び濃度の他、
質量、化学物質毎に付与される既知のＣＡＳ番号、含有量、含有目的用途等が示されてい
る。
【００４５】
また、材料メーカからは、成分表とともに、図３に示すように、試料３中に、禁止物質
が含まれていないことを証明する非含有証明書と、図４に示すように、試料３中に、環境
悪影響物質の有無または環境悪影響物質がどの程度含まれているかを調査した調査表が提
供される。尚、図２に示す成分表、図３に示す非含有証明書、図４に示す調査表は、試料
３が絶縁シートの場合を例に挙げて示している。
【００４６】
非含有証明書は、試料３中にＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規制物質が含まれていないことを
証明する他、ＸＲＦ装置１００を用いて簡易検査を行う検査者の会社が指定した禁止物質
が試料３中に含まれていないかを証明する書類であり、図３に示すように、含有されてい
ない禁止物質名とＣＡＳ番号等が示されている。
【００４７】
調査表は、試料３中に環境に対し悪影響を及ぼす物質が含有されている場合、即ち大気
環境や人体に対し毒性を有する物質が含有されている場合、試料３中に含まれた毒性を有
する物質が、環境や人体に影響のない量であることを証明するものであり、図４に示すよ
うに、物質名、含有の有無、含有量、用途等が記載されている。
【００４８】
元素検出部１２は、試料３の検査の際、検出器５から検出した２次Ｘ線２１の波長（エ
ネルギ）から、試料３を構成する元素の種類を検出し、２次Ｘ線２１の強さ（Ｘ線量）か
ら、試料３を構成する元素の濃度を検出する。
【００４９】
判定部１３は、記憶部１１にデータベース化されて格納された成分表に示された試料３
の物質を構成する元素（以下、基準元素と称す）の種類及び濃度と、元素検出部１２によ
り検出された試料３を構成する構成する元素（以下、検出元素と称す）の種類及び濃度と
を比較し、両者が一致するかを判定する。
【００５０】
即ち、判定部１３は、基準元素の種類及び濃度に虚偽申告があるか、特にＥＵ−ＲｏＨ
Ｓに基づく規制物質が含まれていなか、または試料３を製造中に、試料３にＥＵ−ＲｏＨ
Ｓに基づく規制物質が混入されていないかを判定する。尚、判定部１３による詳しい判定
方法については、図７において後述する。
【００５１】
警告部１４は、判定部１３により、基準元素の種類及び濃度と、検出元素の種類及び濃
度とが異なると判定された場合、例えば表示装置１５に警告を表示することにより、検査
者に検出元素の種類及び濃度が基準元素の種類及び濃度と一致しない旨を認識させるもの
である。尚、警告部１４による警告は、表示に限らず、警告音等であっても構わない。
【００５２】
制御プログラム１６は、判定部１３の判定動作、及び警告部１４の警告動作を制御する
ためのものである。
【００５３】
表示装置１５は、例えばモニタから構成されており、上述したように、警告部１４から
の警告が表示される他、元素検出部１２が、２次Ｘ線２１から検出した、試料３を構成す
る元素の波長（エネルギ）及び強さ（Ｘ線量）をそれぞれ表示する。
【００５４】
尚、表示装置１５に、図５に示すように、検出元素の種類及び濃度、該濃度が後述する
規定量に対し問題ないレベルなのかを判定した結果等をそれぞれ表示してもよい。尚、図
５に示す定量分析結果表は、試料３が絶縁シートの場合を例に挙げて示している。
【００５５】
次に、このように構成されたＸＲＦ装置１００を用いた検査方法、具体的には、試料３
の検査方法について、図１〜図５及び図６を用いて説明する。図６は、本実施の形態のＸ
ＲＦ装置を用いた試料の検査方法を示すフローチャートである。
【００５６】
先ず、図６のステップＳ１において、図２に示す材料メーカから提供された成分表から
、検査者は、キーボード入力等により、記憶部１１に、試料３を構成する物質の種類及び
濃度等、即ち基準元素の種類及び濃度等を入力する格納ステップを行う。
【００５７】
具体的には、試料３が絶縁シートの場合には、図２に示す成分表より、種類にはポリエ
チレンテレフタレートを入力し、濃度には９６．９６５０％を入力する。また、種類には
、アンチモン及びその化合物を入力し、濃度には、０．０３５％を入力する。
【００５８】
その結果、記憶部１１には、ポリエチレンテレフタレートを構成する元素であるＣ（炭
素）、Ｈ（水素）、Ｏ（酸素）と、ポリエチレンテレフタレートの濃度とがデータベース
化されて格納され、アンチモン及びその化合物を構成する元素であるＳｂ（アンチモン）
と、Ｓｂ（アンチモン）の濃度とがデータベース化されて格納される。即ち、基準元素が
データベース化されて格納される。
【００５９】
尚、本実施の形態においては、記憶部１１に、予め、図２に示す材料メーカから提供さ
れた成分表から、試料３を構成する物質の種類及び濃度等、即ち基準元素の種類及び濃度
等が入力されていても構わない。即ち、ステップＳ１は、行わなくともよい。
【００６０】
次いで、ステップＳ２において、試料３に１次Ｘ線２１を照射する１次Ｘ線照射ステッ
プを行う。詳しくは、先ず、試料３を、試料台２に、試料３の底面３ｔの一部が、試料台
２の孔部２ｈから露呈するよう載置する。その後、孔部２ｈにより試料台２から露呈され
た試料３の底面３ｔの部位に、Ｘ線管１から１次Ｘ線２０を照射する。
【００６１】
次いで、ステップＳ３において、１次Ｘ線２０の照射により、試料３から発生する元素
特有の２次Ｘ線２１を、検出器５を用いて検出する２次Ｘ線検出ステップを行う。
【００６２】
次いで、ステップＳ４において、検出器５により検出された２次Ｘ線２１から、元素検
出部１２を用いて、２次Ｘ線２１の波長（エネルギ）から、試料３を構成する元素の種類
を検出し、２次Ｘ線２１の強さ（Ｘ線量）から、試料３を構成する元素の濃度を検出する
、即ち、検出元素の種類及び濃度を検出する元素検出ステップを行う。
【００６３】
次いで、ステップＳ５において、ステップＳ１の格納ステップにおいて、記憶部１１に
データベース化されて格納されている基準元素の種類及び濃度と、ステップＳ４の元素検
出ステップにおいて元素検出部１２が検出した検出元素の種類及び濃度とを比較して、基
準元素の種類及び濃度と検出元素の種類及び濃度とが一致するかを、判定部１３により判
定する判定ステップを行う。尚、該判定ステップにおける詳細な判定方法に関しては、後
の図７において説明する。
【００６４】
次いで、ステップＳ６において、判定部１３は、制御プログラム１６の判定制御の下、
基準元素の種類及び濃度と検出元素の種類及び濃度とが異なるかを判定する。具体的には
、判定部１３は、試料３が絶縁シートの場合、図２の成分表に示すＣ（炭素）、Ｈ（水素
）、Ｏ（酸素）、Ｓｂ（アンチモン）以外の元素が検出されるかを判定するとともに、図
２の成分表に示す濃度と略同じ値が検出されるかを判定する。
【００６５】
尚、ポリエチレンテレフタレートは、有機化合物である。ここで、元素検出部１２では
、２次Ｘ線２１から、Ｃ（炭素）、Ｈ（水素）、Ｏ（酸素）の元素及び各濃度を検出する
が、ＸＲＦ装置１００は、上述したように、試料３を構成する物質の元素のみを検出する
装置であるため、検出結果から、検出した元素がポリエチレンテレフタレートであること
や、ポリエチレンテレフタレート自体の濃度を検出することはできない。よって、判定部
１３による判定の対象とはならない。
【００６６】
よって、このステップＳ６では、判定部１３は、元素検出部１２により、Ｓｂ（アンチ
モン）が検出されたか、及びＳｂ（アンチモン）の濃度が記憶部１１に格納されたデータ
ベースと略同じであるかを判定する。
【００６７】
記憶部１１に格納されている基準元素の種類及び濃度と元素検出部１２で検出した検出
元素の種類及び濃度とが一致すれば、具体的には、Ｃ（炭素）、Ｈ（水素）、Ｏ（酸素）
とＳｂ（アンチモン）が検出され、Ｓｂ（アンチモン）の濃度がデータベースと略一致す
れば、ＸＲＦ装置１００を用いた検査を終了する。
【００６８】
さらに、具体的には、図２に示すように、成分表には、Ｓｂ（アンチモン）及びその化
合物が０．０３５０（ｗｔ％）＝３５０（ｐｐｍ）含有されており、元素検出部１２が、
図５に示すように、３１１（ｐｐｍ）検出した場合、判定部１３は、略一致すると判定し
、ＸＲＦ装置１００を用いた検査を終了する。
【００６９】
記憶部１１に格納されている検出元素の種類及び濃度と元素検出部１２で検出した検出
元素の種類及び濃度とが異なれば、具体的には、Ｃ（炭素）、Ｈ（水素）、Ｏ（酸素）と
Ｓｂ（アンチモン）の他、データベースにない元素が検出される、または、Ｓｂ（アンチ
モン）の濃度がデータベースと一致しなければ、ステップＳ７に移行し、警告部１４にお
いて、制御プログラム１６の警告制御の下、表示装置１５に、元素が一致しない旨を表示
する警告ステップを行う。
【００７０】
次に、図７を用いて、図６のステップＳ５の判定ステップについて説明する。図７は、
記憶部に格納された元素の種類及び濃度と元素検出部で検出した元素の種類及び濃度とが
一致するかを、判定部により判定する図６のステップＳ５の判定ステップを示すフローチ
ャートである。
【００７１】
先ず、図７のステップＳ１１において、判定部１３は、元素検出部１２が検出した検出
元素に、ＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規制物質、具体的には、試料３の中に、鉛（Ｐｂ）と、
水銀（Ｈｇ）と、カドミウム（Ｃｄ）との少なくとも１つの第１の規制物質が含まれてい
るかを判定する。
【００７２】
試料３の中に、第１の規制物質が含まれておれば、ステップＳ１２に移行し、第１の規
制物質が含まれてなければ、ステップＳ１４にジャンプする。
【００７３】
ステップＳ１２では、判定部１３は、記憶部１１に格納されたデータベースの基準元素
に、ＥＵ−ＲｏＨＳでは規制されていない量の第１の規制物質が含まれているかを判定す
る。即ち、図２に示す成分表に、ＥＵ−ＲｏＨＳでは規制されていない量の第１の規制物
質が示されているかを判定する。
【００７４】
データベースに、第１の規制物質が記憶されていなければ、判定部１３は、成分表に示
された基準元素、即ち、物質の種類に虚偽申告がある、または試料３を製造中に、第１の
規制物質が試料３に混入されたと判定し、ステップＳ７に分岐し、上述したように、警告
部１４が、表示装置１５に警告を行う警告ステップを行った後、ＸＲＦ装置１００を用い
た受け入れ検査工程を終了し、試料３を材料メーカに返品する。
【００７５】
データベースの基準元素に、ＥＵ−ＲｏＨＳでは規制されていない量の第１の規制物質
が含まれておれば、ステップＳ１３に移行する。
【００７６】
ステップＳ１３では、元素検出部１２が検出した第１の規制物質の濃度から、試料３中
に、第１の物質がＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規定量以上含まれているかを判定する。尚、Ｅ
Ｕ−ＲｏＨＳに基づく規定量は、鉛（Ｐｂ）であれば、７５ｐｐｍ以上の含有が禁止であ
り、水銀（Ｈｇ）及びカドミウム（Ｃｄ）であれば、各１００ｐｐｍ以上の含有が禁止で
ある。
【００７７】
試料３中に、上述した規定量以上、第１の物質が含まれておれば、判定部１３は、成分
表に示された基準元素、具体的には物質の濃度に虚偽申告がある、または試料３を製造中
に、試料３中に第１の規制物質が混入されたと判定し、ステップＳ７に分岐し、上述した
ように、警告部１４が、表示装置１５に警告を行う警告ステップを行った後、ＸＲＦ装置
１００を用いた受け入れ検査工程を終了し、試料３を材料メーカに返品する。
【００７８】
試料３中に上述した規定量以上、第１の物質が含まれていなければ、具体的には、図５
に示すように、例えば、カドミウム（Ｃｄ）が２ｐｐｍしか含まれていなければ、ステッ
プＳ１４に移行する。
【００７９】
ステップＳ１４では、判定部１３は、元素検出部１２が検出した検出元素に、ＥＵ−Ｒ
ｏＨＳに基づく規制物質、具体的には、試料３の中に、六価クロム（Ｃｒ６＋）と、ポリ
臭化ビフェニール（ＰＢＢ）と、ポリ臭化ディフェニールエテール（ＰＢＤＥ）との少な
くとも１つの第２の規制物質が含まれている可能性があるかを判定する。
【００８０】
試料３の中に、第２の規制物質が含まれている可能性があれば、即ち、クロム（Ｃｒ）
と臭素（Ｂｒ）との少なくとも一方が検出されれば、ステップＳ１５に移行し、クロム（
Ｃｒ）と臭素（Ｂｒ）との少なくとも一方が検出されなければ、ステップＳ１６に分岐す
る。
【００８１】
ステップＳ１５では、判定部１３は、記憶部１１に格納されたデータベースの基準元素
に、第２の規制物質が含まれているかを判定する。即ち、図２に示す成分表に、第２の規
制物質が示されているかを判定する。
【００８２】
データベースの基準元素に、第２の規制物質が含まれていなければ、判定部１３は、成
分表に示された基準元素、具体的には物質の種類に虚偽申告がある、または試料３を製造
中に、試料３中に第２の規制物質が混入された可能性があると判定し、ステップＳ７に分
岐し、上述したように、警告部１４が、表示装置１５に警告を行う警告ステップを行った
後、ＸＲＦ装置１００を用いた受け入れ検査工程を終了し、試料３を材料メーカに返品す
る。
【００８３】
データベースに、第２の規制物質が記憶されておれば、ステップＳ１７に移行し、該ス
テップＳ１７では、判定部１３は、検出されたクロム（Ｃｒ）臭素（Ｂｒ）の濃度と、成
分表に記載された第２の規制物質の濃度とが一致するかを判定する。
【００８４】
濃度が一致すれば、ＸＲＦ装置１００を用いた受け入れ検査工程を終了し、次工程へと
移行する。濃度が一致しなければ、ＸＲＦ装置１００を用いた受け入れ検査工程を終了し
、精密検査工程へと移行する。
【００８５】
具体的には、元素検出部１２が、図５に示すように、臭素を、例えば２７ｐｐｍ検出し
た場合には、試料３を構成する物質は、ＥＵ−ＲｏＨＳでは規制されていない臭素なのか
ＥＵ−ＲｏＨＳで規制されたポリ臭化ビフェニール（ＰＢＢ）、ポリ臭化ディフェニール
エテール（ＰＢＤＥ）なのかを精密検査する。
【００８６】
また、元素検出部１２が、クロムを検出した場合にも、試料３を構成する物質は、ＥＵ
−ＲｏＨＳでは規制されていない三価クロム（Ｃｒ３＋）なのかＥＵ−ＲｏＨＳで規制さ
れた六価クロム（Ｃｒ６＋）なのかを精密検査する。
【００８７】
ステップＳ１６では、判定部１３により、記憶部１１に格納された基準元素の種類及び
濃度と元素検出部１２で検出した検出元素の種類及び濃度とが異なるかを判定する。
【００８８】
記憶部１１に格納された基準元素の種類及び濃度と元素検出部１２で検出した検出元素
の種類及び濃度とが一致すれば、ＸＲＦ装置１００を用いた受け入れ検査工程を終了し、
次工程へと移行する。
【００８９】
記憶部１１に格納された基準元素の種類及び濃度と元素検出部１２で検出した検出元素
の種類及び濃度とが異なれば、判定部１３は、成分表に示された基準元素、具体的には物
質の種類及び濃度に虚偽申告がある、または試料３を製造中に、試料３中に第１の規制物
質が混入されたと判定し、ステップＳ７に分岐し、上述したように、警告部１４が、表示
装置１５に警告を行う警告ステップを行った後、ＸＲＦ装置１００を用いた受け入れ検査
工程を終了し、試料３を材料メーカに返品する。
【００９０】
このように、本実施の形態においては、ＸＲＦ装置１００を用いて試料３の受け入れ段
階における精密検査よりも簡易的な受け入れ検査を行う際、材料メーカから提供された成
分表に示された基準元素の種類及び濃度を、記憶部１１にデータベース化して格納してお
き、該データベース化された基準元素の種類及び濃度と、元素検出部１２が検出した検出
元素の種類及び濃度とを比較し、両者が一致するかを判定部１３により判定すると示した
。
【００９１】
このことによれば、材料メーカから提供される成分表に示された基準元素の種類及び濃
度に虚偽申告があるか、または材料製造工程において成分表に示された基準元素以外の異
物質の混入があるかを、自動的であって容易かつ正確に検出することができる。
【００９２】
また、判定部１３により一致しないと判定された場合は、警告部１４により警告を発す
ることにより、虚偽申告または異物質の混入を検査者に即座に認識させることができる。
その結果、材料メーカの選定、材料検査結果の修正を容易かつ即座に行うことができる。
【００９３】
さらに、判定部１３により一致しないと判定された場合は、精密検査を行わずとも、試
料３を材料メーカに返品することができることから、精密検査を行う試料３の数を、全品
精密検査を行う従来よりも減少させることができるため、受け入れ段階の材料検査のコス
ト及び工数の削減を図ることができる。
【００９４】
また、本実施の形態においては、判定部１３は、さらに、元素検出部１２で検出した元
素に、鉛（Ｐｂ）と水銀（Ｈｇ）とカドミウム（Ｃｄ）との少なくとも１つの第１の規制
物質が含まれているかを判定するとともに、記憶部１１に格納したデータベースの基準元
素に、第１の規制物質が含まれておらず、元素検出部１２により検出した検出元素に第１
の規制物質が含まれていると判定部１３が判定した場合、警告部１４は、警告を発すると
示した。
【００９５】
このことによれば、ＸＲＦ装置１００を用いて試料３の受け入れ段階における精密検査
よりも簡易的な受け入れ検査を行う際、材料メーカから提供される成分表に示された基準
元素に、実際は第１の規制物質が含まれているのに、含まれていないという虚偽申告があ
るか、または材料製造工程において試料３に第１の規制物質の混入があるかを、自動的で
あって容易かつ正確に検出することができる。
【００９６】
さらに、データベースと検出結果が一致しない場合、警告部１４により警告を発するこ
とにより、虚偽申告または第１の規制物質の混入を検査者に即座に認識させることができ
る。その結果、材料メーカの選定、材料検査結果の修正を容易かつ即座に行うことができ
る。
【００９７】
尚、これらのことは、第１の規制物質に限らず、六価クロムとポリ臭化ビフェニールと
ポリ臭化ディフェニールエテールとの少なくとも１つの第２の規制物質を元素検出部１２
が検出した場合であっても同様である。
【００９８】
また、本実施の形態においては、記憶部１１に格納したデータベースの基準元素に、第
１の規制物質が含まれており、元素検出部１２により検出した検出元素に第１の規制物質
が含まれていると判定部１３により判定された場合、判定部１３は、さらに、第１の規制
物質が規定量以上検出されたかを判定すると示した。
【００９９】
このことによれば、試料３中に、第１の規制物質が、ＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規定量よ
りも多く含まれているかを、自動的であって容易かつ正確に検出することができる。
【０１００】
さらに、本実施の形態においては、記憶部１１に格納したデータベースの基準元素に、
第２の規制物質が含まれており、元素検出部１２により検出した検出元素に第２の規制物
質が含まれている可能性があると判定部１３により判定された場合、判定部１３は、検出
された臭素、クロムの濃度と、データベースの第２の規制物質の濃度とを比較して、一致
しなければ、ＸＲＦ装置１００を用いた簡易検査を終了すると示した。
【０１０１】
このことによれば、濃度が一致しなければ、ＸＲＦ装置１００を用いて試料３の受け入
れ段階における精密検査よりも簡易的な受け入れ検査を行う際、検出された試料３中に含
まれるクロム、臭素が、ＥＵ−ＲｏＨＳに基づく規制物質である第２の規制物質であるか
を判定しないため、即ち、後の精密検査工程において、第２の規制物質であるかを判定す
るため、受け入れ段階の簡易検査のコスト及び工数の削減を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
また、本実施の形態においては、検査装置は、ＸＲＦ装置を例に挙げて示し、検査方法
には、ＸＲＦ装置を用いた検査方法を示したが、ＸＲＦ装置以外であっても、試料を構成
する元素の種類及び濃度が、材料メーカから提供された成分表に示された基準元素の種類
及び濃度と一致しているかを、試料を破壊することなく簡易的に試料検査する装置及び該
装置を用いた検査方法に適用しても構わない。
【０１０３】
さらに、本実施の形態においては、ＸＲＦ装置１００を用いた検査は、材料メーカから
材料を受け入れる段階の検査を例に挙げて示したが、材料受け入れ段階の検査に限定され
ないことは勿論である。例えば、製品出荷時の検査に用いても構わない。
【０１０４】
さらに、本実施の形態においては、試料３は、電子機器に用いる材料として絶縁シート
を例に挙げて示したが、これに限らず、どのような材料に適用しても構わないことは勿論
である。また、試料３は、固体の材料を例に挙げて示したが、粉体や液体の材料を検査す
る場合に適用しても構わないことは云うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】本実施の形態を示すＸＲＦ装置の構成の概略を示す図。
【図２】材料メーカから提供される試料の成分表の一例を示す図表。
【図３】材料メーカから提供される試料中に、禁止物質が含まれていないことが記載された非含有証明書の一例を示す図表。
【図４】材料メーカから提供される試料中に、環境悪影響物質がどの程度含まれているかが記載された調査表の一例の一部を示す図表。
【図５】図１の表示装置に表示される、元素検出部が検出した試料を構成する元素の種類及び濃度等が記載された定量分析結果表の一例を示す図表。
【図６】本実施の形態のＸＲＦ装置を用いた試料の検査方法を示すフローチャート。
【図７】記憶部に格納された元素の種類及び濃度と元素検出部で検出した元素の種類及び濃度とが一致するかを、判定部により判定する図６のステップＳ５の判定ステップを示すフローチャート。
【符号の説明】
【０１０６】
１…Ｘ線管、３…試料、５…検出器、１１…記憶部、１２…元素検出部、１３…判定部
、１４…警告部、１６…制御プログラム、２０…１次Ｘ線、２１…２次Ｘ線、１００…Ｘ
ＲＦ装置。
【図１】
2007278746.tif 000003
【図２】
2007278746.tif 000004
【図３】
2007278746.tif 000005
【図４】
2007278746.tif 000006
【図５】
2007278746.tif 000007
【図６】
2007278746.tif 000008
【図７】
2007278746.tif 000009