(57)【要約】【課題】  ヘッドカバーを用いずにノズルプレートの導通を確保することが可能な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】  流路ユニット７の側面に、流路ユニットの板厚方向に貫通した状態で切欠部３４を形成し、当該切欠部は、ノズルプレート接合面１６に接合されたノズルプレート９によってノズルプレート接合面側の開口を塞いで切欠部内を収容空部３６をとし、収容空部内に導電板３５の先端部３５ａを収容して、この導電板をノズルプレートと導通させ、当該導電板を通じてノズルプレートを接地電位に調整可能に構成した。【選択図】  図６
2007055046.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室を含む液体流路を形成する板状の流路ユニットと、
導電性板材にノズル開口が開設され、当該ノズル開口を前記圧力室と連通させた状態で前記流路ユニットのノズルプレート接合面に接合されるノズルプレートと、
前記ノズルプレート及び前記流路ユニットが固定されるヘッドケースと、を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記流路ユニットの側面に、流路ユニットの板厚方向に貫通した状態で切欠部を形成し、
当該切欠部は、前記ノズルプレート接合面に接合されたノズルプレートによってノズルプレート接合面側の開口を塞いで切欠部内を収容空部をとし、
前記収容空部内に導電部材の先端部を収容して当該導電部材をノズルプレートと導通させ、当該導電部材を通じてノズルプレートを接地電位に調整可能に構成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記導電部材の先端部を前記収容空部の外側から内側に向けて屈曲し、その弾性によってノズルプレート側に付勢した状態で当該先端部を前記ノズルプレートに圧接させたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記ヘッドケースの側面の一部を反対側面に向けて窪ませて凹部を形成し、
当該凹部を、前記収容空部と連通させたことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記導電部材の先端部を前記収容空部内に収容し、当該収容空部内に導電性を有する充填材を充填することで、当該導電部材と前記ノズルプレートを導通させたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記ヘッドケースの側面において流路ユニット接合面側から反対側に向けて延在する溝部を形成し、
当該溝部の流路ユニット接合面側の一端を前記収容空部と連通させ、
前記溝部内に前記導電部材の本体部を収納したことを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに係り、特に、複数のノズル開口を開設したノズルプレートを備え、ノズル開口から液体を液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
【０００３】
このような液体噴射ヘッドには種々の形式があるが、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという）におけるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）は、リザーバから圧力室を経てノズル開口に至る一連の液体流路が形成された流路ユニット、液体流路に連通するノズル開口を複数有するノズルプレート、圧力室の容積を変動可能な圧力発生源を有するアクチュエータユニット、及び、これらの各部を取り付ける樹脂製のヘッドケースを備えたものがある。
【０００４】
従来の記録ヘッドにおけるノズルプレートは、ノズル開口を露出可能な開口窓が開設された金属製のヘッドカバーによって周縁部が被覆された状態でヘッドケースに固定されるようになっている。このヘッドカバーは、ノズルプレートを保護すると共に、ノズルプレートと導通して接地電位に調整することで、例えば、記録紙（吐出対象物の一種）等から発生した静電気によるノズルプレートの帯電や駆動ＩＣの損傷等の不具合を防止するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１９０５１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記ヘッドカバーは、ノズルプレートの周囲表面に覆い被さるように重合した状態で取り付けられるため、このヘッドカバーに記録紙が接触することの無いよう、記録ヘッド全体をヘッドカバーの厚み分だけ記録紙から遠ざける（即ち、プラテンギャップを大きくする）必要がある。これにより、ヘッドカバーの厚み分だけノズル開口が記録紙から遠ざかることになる。ノズル開口から記録紙までの距離が長くなるほど、極く微小なインク滴を吐出する場合に、インク滴の着弾位置のずれが大きくなるという問題があった。
【０００７】
また、近年、この種のプリンタでは、画質の向上を図るため顔料系のインクや、耐水性を向上させるため耐水性インクを使用する傾向がある。このようなインクの溶媒は、従来の水に対し、樹脂系の分散剤が用いられている。そのため、ノズル開口周辺に付着したインクに起因する飛行曲がり等の吐出不良を防止するためにノズルプレートの液滴吐出面に形成される撥液被膜層も、上記のようなインクに対応した撥液性の高いものが必要とされてきており、たとえば、ノズルプレートの表面（記録紙対向面）にシリコーン材料のプラズマ重合膜等の下地膜を形成し、その表面に金属アルコキシドが重合した分子膜等の撥液膜層を形成する撥液処理が行われる。しかし、このような撥液処理では下地膜が絶縁膜となる為、上記特許文献１のように、ヘッドカバーをノズルプレート表面に重合させても、ノズルプレートとヘッドカバーとの導通が確保し難くなるという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヘッドカバーを用いずにノズルプレートの導通を確保することが可能な液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドは、圧力室を含む液体流路を形成する板状の流路ユニットと、
導電性板材にノズル開口が開設され、当該ノズル開口を前記圧力室と連通させた状態で前記流路ユニットのノズルプレート接合面に接合されるノズルプレートと、
前記ノズルプレート及び前記流路ユニットが固定されるヘッドケースと、を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記流路ユニットの側面に、流路ユニットの板厚方向に貫通した状態で切欠部を形成し、
当該切欠部は、前記ノズルプレート接合面に接合されたノズルプレートによってノズルプレート接合面側の開口を塞いで切欠部内を収容空部をとし、
前記収容空部内に導電部材の先端部を収容して当該導電部材をノズルプレートと導通させ、当該導電部材を通じてノズルプレートを接地電位に調整可能に構成したことを特徴とする。
【００１０】
上記構成によれば、流路ユニットの側面に形成した収容空部内に導電部材の先端部を収容して当該導電部材をノズルプレートと導通させ、当該導電部材を通じてノズルプレートを接地電位に調整するので、従来ノズルプレートの導通に用いられていたヘッドカバーが不要となり、その分ノズル開口を吐出対象物に近づけることができる。これにより、ノズル開口から吐出される液滴の飛翔距離が縮まり、その結果、液滴の着弾位置のずれを抑制することが可能となる。
【００１１】
上記構成において、前記導電部材の先端部を前記収容空部の外側から内側に向けて屈曲し、その弾性によってノズルプレート側に付勢した状態で当該先端部を前記ノズルプレートに圧接させる構成を採用することが望ましい。
【００１２】
また、この構成において、前記ヘッドケースの側面の一部を反対側面に向けて窪ませて凹部を形成し、
当該凹部を、前記収容空部と連通させることが望ましい。
【００１３】
上記構成によれば、導電部材の先端部を収容する空間を導電部材の延在方向に拡大することができる。これにより、先端部の屈曲部分から先端までの長さをより長く確保することができるので、先端部により弾性を持たせることが可能である。このため、この弾性によって先端部をより確実にノズルプレートに接触させることができる。
【００１４】
また、上記構成において、前記導電部材の先端部を前記収容空部内に収容し、当該収容空部内に導電性を有する充填材を充填することで、当該導電部材と前記ノズルプレートを導通させる構成を採用することも可能である。
【００１５】
上記構成によれば、ノズルプレートと導電部材との間の隙間に導電性の充填材が隙間無く充填されるので、ノズルプレートと導電部材を容易且つ確実に導通させることができる。
【００１６】
また、上記構成において、前記ヘッドケースの側面において流路ユニット接合面側から反対側に向けて延在する溝部を形成し、
当該溝部の流路ユニット接合面側の一端を前記収容空部と連通させ、
前記溝部内に前記導電部材の本体部を収納することが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、ヘッドケースの側面の溝部内に導電部材の本体部を収納すると、この溝部によって導電部材の動きが規制されるので、導電部材のがたつきや位置ずれを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。
【００１９】
図１は、記録ヘッド１の構成を説明する分解斜視図、図２は、記録ヘッド１を斜め下方（ノズルプレート側）から見た斜視図、図３は、ノズルプレート側を上に向けた姿勢の記録ヘッド１の断面図、図４は、記録ヘッド１の要部断面図である。なお、図２〜４に示す記録ヘッド１は、導入針ユニット３を取り付けていない状態となっている。本実施形態における記録ヘッド１は、複数のインク導入針２（液体導入針の一種）を立設する導入針ユニット３、複数の圧電振動子４を備えたアクチュエータユニット５、当該アクチュエータユニット５を駆動するための配線基板６、インク流路（液体流路の一種）を形成する流路ユニット７、ノズル開口８が開設されたノズルプレート９、及び、ヘッドケース１０を備えて概略構成されている。
【００２０】
上記導入針ユニット３は、例えばエポキシ樹脂などの合成樹脂によって成型されており、その上面にはフィルタ１２を介在させた状態でインク導入針２がそれぞれ取り付けられている。そして、各インク導入針２にはインクカートリッジやサブタンク等のインク貯留部材（液体貯留部材の一種）が装着されるようになっている。この導入針ユニット３の内部には、インク導入針側からヘッドケース側に向けて集束した集束流路（図示せず）が各インク導入針２に対応して複数形成されている。この集束流路の上流端は、インク導入針２の針流路と液密状態で連通する一方、集束流路の下流端は、エラストマー等の弾性部材からなるパッキンシート１１を介在させた状態でヘッドケース１０のケース流路１８と液密状態で連通する。
【００２１】
上記配線基板６は、プリンタ本体側からの駆動信号を受け、この駆動信号をフレキシブルケーブル（図示せず）を通じてアクチュエータユニット５の圧電振動子４へ供給するための配線パターンが形成された吐出制御用基板である。この配線基板６は、プリンタ本体側との接続のためのコネクタ１３や電子部品１４等を実装している。コネクタ１３にはＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の配線部材が接続され、このＦＦＣを介してプリンタ本体側から駆動信号を受けるようになっている。この配線基板６は、電子部品実装面を導入針ユニット３側に向けた状態で、ヘッドケース１０の基板取付面１５に配置される。
【００２２】
ヘッドケース１０は、例えば熱硬化性樹脂の一種であるエポキシ樹脂等によって成型されており、中空箱体状のケース本体１０ａと、このケース本体１０ａの導入針ユニット３側の縁部から側方に延出された鍔部１０ｂとから概略構成されている。このヘッドケース１０の上面（導入針ユニット３側の面）は、上記配線基板６が配設される基板取付面１５として機能する一方、この基板取付面１５とは反対側の下面は、流路ユニット７が接合される流路ユニット接合面１６として機能する。また、このヘッドケース１０の内部には、図４に示すように、アクチュエータユニット５を収容する収容空部１７と、導入針ユニット３の集束流路に連通するケース流路１８が形成されている。
【００２３】
上記のアクチュエータユニット５は、圧力発生源としての圧電振動子４と、この圧電振動子４が接合される固定板１９と、圧電振動子４に配線基板６からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル（図示せず）等から構成される。各圧電振動子４は、固定端部が固定板１９上に接合され、自由端部が固定板１９の先端面よりも外側に突出している。即ち、各圧電振動子４は、所謂片持ち梁の状態で固定板１９上に取り付けられている。また、各圧電振動子４を支持する固定板１９は、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。このアクチュエータユニット５は、ヘッドケース１０の収容空部１７内に収容され、固定板１９を収容空部１７の内壁に接着等によって接合することで固定される。なお、圧力発生源としては、上記圧電振動子以外にも、静電アクチュエータ、磁歪素子、発熱素子等を用いることができる。
【００２４】
上記流路ユニット７は、流路形成基板２０及び振動板２１を積層して構成されている。図５は、流路ユニット７を流路形成基板２０側から見た部分平面図である。流路形成基板２０は、同図に示すように、共通インク室２２となる空部、インク供給口２３となる溝部、及び、圧力室２４となる空部を隔壁で区画した状態でノズルプレート９のノズル開口８に対応させて複数形成した板状の部材である。この流路形成基板２０は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することによって作製されており、一方の面には振動板２１が接合され、この振動板２１との接合面とは反対側のノズルプレート接合面２８にはノズルプレート９が接合される。上記の圧力室２４は、ノズル開口８の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向（図５における左右方向）に細長い室として形成されている。また、共通インク室２２は、ヘッドケース１０のケース流路１８と連通してインク導入針２からのインクが導入される室である。そして、この共通インク室２２に導入されたインクは、インク供給口２３（図４）を通じて各圧力室２４に供給される。
【００２５】
振動板２１は、ステンレス鋼等の金属製の支持板上にＰＰＳ樹脂等の弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板２１の圧力室２４に対応する部分には、圧電振動子４の自由端部の先端を接合するための島部２５が形成されており、この部分がダイヤフラム部として機能する。また、振動板２１は、共通インク室２２の開口面に対応する部分にコンプライアンス部２６を形成している。このコンプライアンス部２６は、エッチングなどによって支持板が除去されて弾性フィルムだけになっており、共通インク室２２内の圧力変動を緩和するように機能する。なお、ヘッドケース１０の流路ユニット接合面１６における上記コンプライアンス部２６に対応する部分には、基板取付面側に向けて１段窪んだ逃げ凹部２７が設けられている。この逃げ凹部２７は、インク室２２内の圧力が高まったときのコンプライアンス部２６の変形を許容するようになっている。
【００２６】
上記ノズルプレート９は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば３６０ｄｐｉ）で複数のノズル開口８が列状に開設された導電性板材である。このノズルプレート９を構成する導電性板材としては、例えばステンレス鋼が用いられる。このノズルプレート９の吐出側表面（吐出動作時の記録紙（吐出対象物の一種）に対向する面）には、撥液膜層（図示せず）が形成されている。なお、その反対面は、流路ユニット７に接合されるため、この面には撥液膜層は形成されていない。この撥液膜層は、インクミスト等が吐出側表面に付着するのを可及的に防止する。そして、ノズルプレート９は、各ノズル開口８を対応する圧力室２４と夫々連通させた状態で流路ユニット７（流路形成基板２０）のノズルプレート接合面２８に接合される。
【００２７】
図１に示すように、上記ノズルプレート９、上記流路ユニット７における流路形成基板２０及び振動板２１の隅角部には、夫々挿通孔３０ａ，３０ｂ，３０ｃが開設されている。各挿通孔３０は、位置決めピン３１が挿通可能な貫通孔であり、各部材９，１９，２０に夫々２箇所ずつ設けられている。位置決めピン３１は、例えばステンレス鋼等の導電性を有する材料から作製された丸棒であり、ヘッドケース１０に形成されたピン保持部（図示せず）に先端部を流路ユニット接合面１６から突出させた状態で保持されるようになっている。そして、上記構成の流路ユニット７とノズルプレート９は、ヘッドケース１０のピン保持部に保持された位置決めピン３１の先端部を各々の挿通孔３０に挿通した状態でヘッドケース１０の流路ユニット接合面１６に固定される。
【００２８】
ここで、図６は、図３における領域Ｘの拡大図である。同図に示すように、本実施形態における流路ユニット７（流路形成基板２０及び振動板２１）の側面には、板厚方向に貫通した状態で切欠部３４を形成している。この切欠部３４は、図５に示すように、流路ユニット７におけるノズル列直交方向の両側に平面視コ字状（右側の切欠部３４は左右反転コ字状）に形成されている。そして、流路ユニット７のノズルプレート接合面２８にノズルプレート９を接合し、この流路ユニット７をヘッドケース１０の流路ユニット接合面１６に取り付けると、図６に示すように、切欠部３４のノズルプレート接合面２８側の開口と流路ユニット接合面１６側の開口とが塞がれて、流路ユニット側面側が開放された空間が区画形成される。この空間は、以下に説明する導電板３５（本発明における導電部材の一種）の一部を収容可能な収容空部３６として機能する。
【００２９】
本実施形態における記録ヘッド１は、上記収容空部３６内に導電板３５の先端部３５ａを収容してノズルプレート９と接触させ、この導電板３５を通じてノズルプレート９を接地電位に調整することを特徴としている。この導電板３５は、例えばステンレス鋼等の金属から成る細長い扁平な板材であり、図３に示すように、先端部３５ａと基端部３５ｂとを互いに反対方向に屈曲して側方視略クランク状に形成してある。この導電板３５の本体部３５ｂは、ケース本体部１０ａの側面において流路ユニット取付面１６側から鍔部１０ｂに渡って沿わせてあり、また、基端部３５ｃは、鍔部１０ｂの延出方向に略直角に屈曲して鍔部１０ｂに固定してある。この基端部３５ｃは、記録ヘッド１をプリンタに搭載した状態において、記録ヘッド１を主走査方向に案内するガイドロッド（図示せず）等を通じてプリンタ本体側のグラウンドと導通するように構成されている。
【００３０】
上記導電板３５の先端部３５ａは、図６に示すように、収容空部３６の外側から内側に向けて屈曲した状態で収容空部３６内に挿入し、その弾性によってノズルプレート側に付勢した状態でノズルプレート９の裏面に圧接させている。本実施形態においては、先端部３５ａと本体部３５ｂの境界部分（図６においてＡで示す部分）を収容空部３６の内側に向けて略直角に屈曲するとともに、この屈曲部分よりも先端側の部分（図６においてＢで示す部分）をさらにノズルプレート９側に向けて斜めに屈曲してその先端をノズルプレート９に圧接させるようにしてある。これにより、導電板３５とノズルプレート９とが導通し、この導電板３５を通じてノズルプレート９を接地電位に調整することができる。なお、本実施形態においては、導電板３５の基端部３５ｃを鍔部１０ｂに固定しているので、先端部３５ａをノズルプレート９に圧接させることによる反力は、鍔部１０ｂで受け止めることができる。
【００３１】
このように、例示した記録ヘッド１では、収容空部３６内に導電板３５の先端部３５ａを収容してノズルプレート９と接触させ、この導電板３５を通じてノズルプレート９を接地電位に調整するので、従来ノズルプレートの導通に用いられていたヘッドカバーが不要となり、その厚み分、吐出対象物である記録紙にノズル開口８を近づけることができる。これにより、ノズル開口８から吐出されるインク滴の飛翔距離が縮まり、その結果、インク滴の着弾位置のずれを抑制することが可能となる。
【００３２】
図７〜１０は、本発明の第２実施形態における記録ヘッド１の構成を説明する図であり、図７は、記録ヘッド１を斜め下方から見た斜視図、図８は、記録ヘッド１のノズルプレート９側の平面図、図９は、記録ヘッド１の断面図である。また、図１０は、図９における領域Ｙの拡大図である。本実施形態の記録ヘッド１は、上記第１実施形態と同様、収容空部３６内に導電板３５の先端部３５ａを収容してノズルプレート９と接触させ、導電板３５を通じてノズルプレート９を接地電位に調整するように構成されているが、導電板３５の形状が上記第１実施形態と異なる。本実施形態における導電板３５は、ケース本体１０ａの外周面を一周する帯状のフレーム部３５ｄを有している。このフレーム部３５ｄからノズルプレート９側（収容空部３６側）に向けて本体部３５ｂが延出し、この本体部３５ｂの先方の先端部３５ａが、収容空部３６に収容されてノズルプレート９と導通している。
【００３３】
上記フレーム部３５ｄは、ヘッドケース１０の鍔部１０ｂと当接する側の縁部から側方（図８における左右両側）に向けてフランジ部３５ｅを延出している。フランジ部３５ｅには、貫通孔３８が開設されている一方、ヘッドケース１０の鍔部１０ｂには、雌ネジ部３９が開設されている。そして、貫通孔３８と雌ネジ部３９の相対位置を合わせた状態で、図示しない止着ネジを挿通孔３８に通し、雌ネジ部３９に螺合させて締め付けることで、フランジ部３５ｅを鍔部１０ｂに固定している。これにより、導電板３５をより安定した状態でヘッドケース１０に取り付けることができる。なお、本実施形態におけるフランジ部３５ｅは、上記第１実施形態における基端部３５ｃと同様に、記録ヘッド１をプリンタに搭載した状態においてプリンタ本体側のグラウンドと導通するように構成されている。
【００３４】
また、本実施形態においては、ヘッドケース１０（ケース本体１０ａ）の側面の一部を反対側面に向けて窪ませて凹部４０を形成している。この凹部４０は、図１０に示すように、ケース本体１０ａの側面と流路ユニット接合面１６との辺縁部における流路ユニット７の切欠部３４に対応する位置に設けられており、収容空部３６と連通して、この収容空部３６と共に導電板３５の先端部３５ａを収容する空間を形成するようになっている。この凹部４０を設けることによって、導電板３５の先端部３５ａを収容する空間を上記第１実施形態よりも導電板３５の延在方向（導電板長手方向）に拡大することができる。これにより、先端部３５ａの屈曲部分から先端までの長さをより長く確保することができるので、先端部３５ａにより弾性を持たせることが可能である。このため、この弾性によって先端部３５ａをより効果的にノズルプレート９に弾接させることができる。
【００３５】
さらに、本実施形態においては、ケース本体１０ａの側面に流路ユニット接合面側から反対側（鍔部１０ｂ側）に向けて延在する溝部４１を形成し、この溝部４１の流路ユニット接合面側の一端を、凹部４０及び収容空部３６に連通させている。この溝部４１の幅は、導電板３５の本体部３５ｂの幅よりも若干大きく、また、溝部４１の深さは導電板３５の本体部３５ｂの厚さよりも若干深く設定されている。そして、導電板３５をヘッドケース１０に取り付けた状態では、この溝部４１内に導電板３５の本体部３５ｂを収容するようになっている。これにより、溝部４１によって導電板３５の動きが規制されるので、導電板３５のがたつきや位置ずれを抑制することができる。その結果、導電板３５とノズルプレート９との導通を一層確実にすることが可能となる。
【００３６】
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００３７】
例えば、導電板３５とノズルプレート９とをより確実に導通させるという観点から、上記収容空部３５内に、導電性を有する充填材を充填するようにしても良い。この構成によれば、ノズルプレート９と導電板３５との間に充填材が隙間無く充填されるので、ノズルプレート９と導電板３５とを容易且つ確実に導通させることができる。なお、この充填材としては、例えば、銀、ニッケル、或いは銅等の金属粉や、金メッキが施された導電性ポリマー等の導電材を含有する導電接着剤を用いることができる。
【００３８】
また、上記切欠部３４に関し、上記各実施形態においては、流路形成基板２０と振動板２１の両方に切欠部３４を設けた構成を例示したが、これには限らず、流路形成基板２０のみに切欠部３４を設けるようにしても良い。
【００３９】
なお、以上の説明では、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド１を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されたものではなく、他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタを製造するディスプレー製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレーやＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極を形成する電極製造装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。
【図２】記録ヘッドを斜め下方から見た斜視図である。
【図３】記録ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図４】記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図５】流路ユニットを流路形成基板側から見た部分平面図である。
【図６】図３における領域Ｘの拡大図である。
【図７】第２実施形態における記録ヘッドの構成を説明する斜視図である。
【図８】第２実施形態における記録ヘッドを下方から見た平面図である。
【図９】第２実施形態における記録ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図１０】図９における領域Ｙの拡大図である。
【符号の説明】
【００４１】
１…記録ヘッド，２…インク導入針，３…導入針ユニット，４…圧電振動子，５…アクチュエータユニット，６…配線基板，７…流路ユニット，８…ノズル開口，９…ノズルプレート，１０…ヘッドケース，１０ａ…ケース本体，１０ｂ…鍔部，１５…基板取付面，１６…流路ユニット接合面，２０…流路形成基板，２１…振動板，３４…切欠部，３５…導電板，３５ａ…先端部，３５ｂ…本体部，３５ｃ…基端部，３５ｄ…フレーム部，３５ｅ…フランジ部，３６…収容空部，４０…凹部，４１…溝部
【図１】
2007055046.tif 000003
【図２】
2007055046.tif 000004
【図３】
2007055046.tif 000005
【図４】
2007055046.tif 000006
【図５】
2007055046.tif 000007
【図６】
2007055046.tif 000008
【図７】
2007055046.tif 000009
【図８】
2007055046.tif 000010
【図９】
2007055046.tif 000011
【図１０】
2007055046.tif 000012