(57)【要約】      （修正有）【課題】  主としてフルライン型インクジェット記録装置の記録ヘッドにおいて、ベースプレートとチップの間に多少の位置ズレが生じた場合においても、両者の接着領域を確保する。【解決手段】  ノズル列間ピッチを狭い部分と広い部分を設けることでベースプレートＨ１２００とチップＨ１１００の間に多少の位置ズレが生じた場合においても、広い部分Ｌ２においてベースプレートとチップの接着を確実に行うことが出来る。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための複数のノズルと複数の吐出エネルギーを発生する記録素子を列状に複数列配列した記録素子基板が支持板上に配置され、記録素子基板には記録素子面と反対の面からインクを供給する供給口が設けられており、支持板には記録素子基板へインクを供給するための流路が設けられているインクジェット記録ヘッドにおいて、複数のノズルとそれらに対応する吐出エネルギーを発生する記録素子がノズル群として列状に配列されており、該ノズル群が３列以上であり、かつノズル群間の距離が少なくとも２種類以上あることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記支持板に設けられた記録素子基板へインクを供給するための流路が、前記列状に配列されたノズル群に対応した位置であってノズル群の数と同数もしくはそれ以下の数設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記記録素子基板は前記支持板に、列状に配列したノズルおよび記録素子の列間の距離が最狭部以外の列間距離を持つ領域において接着されていることを特徴とする請求項１ないし請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記記録ヘッドは、記録素子基板を少なくとも２つ以上用いて複数のノズルからインクを吐出して被記録媒体の幅方向の画像形成を略同時に行うことのできるフルラインタイプの長尺記録ヘッドであることを特徴とする請求項１ないし請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記請求項１ないし請求項４に記載の記録ヘッドを用いて画像形成を行うことができることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置、および記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドに関する。本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、あるいは、これらの装置を複合した多機能記録装置等に適用することができる。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット記録装置は、ランニングコストが安く、装置の小型化も可能であり、さらに、複数色のインクを用いてカラー画像記録に対応することも容易であることから、コンピュータ関係の出力機器等に幅広く利用され、商品化されている。
【０００３】
一方、記録ヘッドの吐出口からインクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子としては、ピエゾ素子などの電気機械変換体を用いたもの、レーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用でインク滴を吐出させるもの、あるいは、発熱抵抗体を有する電気熱変換素子によって液体を加熱させるもの等がある。
【０００４】
その中でも熱エネルギーを利用してインク滴を吐出させる方式のインクジェット記録方式のヘッドは、吐出口を高密度に配列することができるため、高解像度の記録が可能である。電気熱変換素子をエネルギー発生素子として用いた記録ヘッドは、小型化も用意であり、かつ最近の半導体分野における技術の進歩と信頼性の向上が著しいＩＣ技術やマイクロ加工技術の長所を十二分に活用でき、高密度実装化が容易で製造コストも安価なことから有利である。
【０００５】
最近では、より高詳細の印字を行うために、インクを吐出するためのノズルを、フォトリソ技術を用いて高精度に作成する方法等も利用されてきている。
【０００６】
近年では、より高速に高詳細の画像の記録を実現するため、より吐出口を高密度に配置し、かつ吐出口列を多列化した記録チップを持つヘッド構造が要求されてきている。また一方で、高詳細の画像を高速に記録するため、より記録チップを複数並べて長尺化し、印字可能な幅を広げた記録ヘッドの実現も望まれている。具体的には、ヘッドの長さが４インチ〜１３インチなどの長さのものも要求されてきている。
【０００７】
従来例としては、例えば特許文献１と特許文献２をあげることが出来る。
【特許文献１】特開平１０−１３８４８０号公報
【特許文献２】特開平９−１８３２２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで従来、吐出口列が複数並んだ記録チップを持つヘッドにおいて、記録チップが接着される支持板には、吐出口列に対応する位置に記録チップへインクを供給するためのインク流路が設けられている。また記録チップと支持板はインク流路間におけるスペースにおいても接着剤等により互いに貼り合わされている。しかしながら、前述のような長尺化した記録ヘッドにおいては、支持板に、各記録チップ上の吐出口列に対応した位置に全て確実にインク流路を設けることは寸法精度の制約等から困難であり、吐出口列とインク流路との間に若干の位置ずれが生じる。この結果、記録チップと支持板との貼り合せのための接着領域の確保も難しくなる、ということが生じていた。
【０００９】
そこで本発明は、上記のような問題点に鑑み、記録チップと支持板との貼り合わせが確実に行える形状である記録ヘッドの実現を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上述の如き事情を解決するためのものであり、液体を吐出するための複数のノズルと複数の吐出エネルギーを発生する記録素子を列状に複数列配列した記録素子基板が支持板上に配置され、記録素子基板には記録素子面と反対の面からインクを供給する供給口が設けられており、支持板には記録素子基板へインクを供給するための流路が設けられているインクジェット記録ヘッドにおいて、複数のノズルとそれらに対応する吐出エネルギーを発生する記録素子がノズル群として列状に配列されており、該ノズル群が３列以上であり、かつノズル群間の距離が少なくとも２種類以上あることを特徴とする。また、前記支持板に設けられた記録素子基板へインクを供給するための流路が、前記列状に配列されたノズル群に対応した位置であってノズル群の数と同数もしくはそれ以下の数設けられていることを特徴とする。また、前記記録素子基板は前記支持板に、列状に配列したノズルおよび記録素子の列間の距離が最狭部以外の列間距離を持つ領域において接着されていることを特徴とする。また、前記記録ヘッドは、記録素子基板を少なくとも２つ以上用いて複数のノズルからインクを吐出して被記録媒体の幅方向の画像形成を略同時に行うことのできるフルラインタイプの長尺記録ヘッドであることを特徴とする。さらに上述のような記録ヘッドを用いて画像形成を行うことができることを特徴とするインクジェット記録装置である。
【発明の効果】
【００１１】
以上の説明から明らかなように、本発明においては、記録チップと支持板との接着しろの確保とつ記録チップの大型化防止を両立することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に係わる画像形成装置の実施形態の構成および動作を、図面にもとづいて説明する。
【００１３】
図１から図１１は本発明が実施もしくは適用される好適な記録ヘッド、駆動回路、インクジェット記録装置のそれぞれ及びそれぞれの関係を説明するための説明図、および本発明での効果を説明するための説明図である。
【００１４】
以下、これらの図面を参照して各部構成の説明しながら、全体を説明することにする。
【００１５】
（１）記録ヘッドの説明
図１に示すように、記録ヘッドＨ１０００は電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット（登録商標）方式のサイドシュータ型とされる記録ヘッドである。
【００１６】
そして、記録ヘッドＨ１０００は、図２の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００１とインク供給ユニットＨ１００２のインク供給部材Ｈ１５００から構成される。さらに、図３の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００１は、記録素子基板Ｈ１１００、第１のプレートＨ１２００、電気配線基板Ｈ１３００、第２のプレートＨ１４００、フィルター部材Ｈ１６００で構成されている。
【００１７】
（１−１）記録素子ユニット
図４（ａ）は、記録素子基板Ｈ１１００の構成を説明する図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）に示すＡ−Ａ断面図である。記録素子基板Ｈ１１００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板Ｈ１１０８で薄膜が形成されている。また、インク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口Ｈ１１０１が形成され、インク供給口Ｈ１１０１の両側に電気熱変換素子Ｈ１１０２がそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列されており、前記電気熱変換素子Ｈ１１０２、及び、Ａｌ等の電気配線が成膜技術により形成されている。また、該電気配線に電力を供給するために電極Ｈ１１０３が設けられている。前記インク供給口Ｈ１１０１は、前記Ｓｉ基板Ｈ１１０８の結晶方位を利用して、異方性エッチングを行う。ウエハー面に＜１００＞、厚さ方向に＜１１１＞の結晶方位を持つ場合、アルカリ系（ＫＯＨ、ＴＭＡＨ、ヒトラジン等）の異方性エッチングにより、約５４．７度の角度でエッチングが進行する。この方法を用いて、所望の深さにエッチングする。また、前記Ｓｉ基板Ｈ１１０８上には、ノズルプレートＨ１１１０が具備され、電気熱変換素子Ｈ１１０２に対応したインク流路Ｈ１１０４、ノズルＨ１１０５、発泡室Ｈ１１０７がフォトリソ技術により形成されている。また、前記ノズルＨ１１０５は前記電気熱変換素子Ｈ１１０２に対向するように設けられており、インク供給口Ｈ１１０１から供給されたインクを電気熱変換素子Ｈ１１０２により気泡を発生させてインクを吐出させるものである。記録素子基板Ｈ１１００上には上記構成からなるノズル群Ｈ１１０６が形成されており、ノズル群間の距離はノズル群Ｈ１１０６ａとノズル群Ｈ１１０６ｂ、およびノズル群Ｈ１１０６ｃとノズル群Ｈ１１０６ｄの間においてはＬ１、ノズル群Ｈ１１０６ｂとノズル群Ｈ１１０６ｄの間においてはＬ２（Ｌ２＞Ｌ１）となっている。
【００１８】
第１のプレートＨ１２００は、例えば、厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）材料で形成されている。なお、第１のプレートＨ１２００の素材は、アルミナに限られることなく、記録素子基板Ｈ１１００の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。第１のプレートＨ１２００の素材は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、カーボングラファイト、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）のうちいずれであってもよい。第１のプレートＨ１２００には、記録素子基板Ｈ１１００にインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０１が形成されており、記録素子基板Ｈ１１００のインク供給口Ｈ１１０１が第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１に対応し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００は第１のプレートＨ１２００に対して接着固定される。その接着剤は、例えば、粘度が低く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、硬化後、比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。例えば、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤、もしくは紫外線硬化併用型の熱硬化接着剤であり、接着層の厚みは５０μｍ以下が望ましい。また、第１のプレートＨ１２００は、位置決め基準となるＸ方向基準Ｈ１２０４、Ｙ方向基準Ｈ１２０５、Ｚ方向基準Ｈ１２０６を有している。インク供給口Ｈ１２０１は各記録素子基板Ｈ１１００の各ノズル群Ｈ１１０６に対応して、図５、および図６に示すように、各記録素子基板Ｈ１１００の各ノズル群Ｈ１１０６間の距離Ｌ１、およびＬ２に対応した距離で設けられている。ここで、記録素子基板Ｈ１１００を第１のプレートＨ１２００に接着固定するにあたり、理想位置に対してインク供給口Ｈ１２０１の位置ズレが重要な項目となる。図7（ａ）に示すように、もし、ノズル群１１０６間の距離が等間隔であった場合、理想位置に対してインク供給口Ｈ１２０１の位置ズレが生じていると接着剤を塗布する面積が減少してしまい、記録素子基板Ｈ１１００の第１のプレートＨ１２００への接着固定が不安定になりかねない。しかし、図７（ｂ）に示す本発明の実施例においては、仮に理想位置に対して若干の位置ズレが生じていようとも、Ｌ１に対して大きなＬ２の部分において接着剤を塗布する領域ｃが確保されるので、記録素子基板Ｈ１１００の第１のプレートＨ１２００への接着固定が確実に接着が行われる。
【００１９】
ここにおいて、もし、図８に示すように、記録素子基板Ｈ１１００ノズル群間距離を、加工精度上の公差等を考慮して十分大きな値Ｌ３（Ｌ３＞Ｌ２）にしてしまうと、結果として記録素子基板Ｈ１１００が大型化し、しいては記録ヘッドＨ１０００自体が大型化してしまう。しかしながら本発明においては、記録素子基板Ｈ１１００を第１のプレートＨ１２００に接着固定するに必要最小限の領域を確保しつつ、いたずらに記録素子基板Ｈ１１００を大型化させない、という効果が期待できる。また、記録素子基板Ｈ１１００と第１のプレートＨ１２００が接することで、印字動作に伴い発熱して記録素子基板Ｈ１１００に蓄熱される熱を、第１のプレートＨ１２００側に伝熱させることが出来る。これにより記録素子基板Ｈ１１００の昇温の抑制効果も得られる。この効果は第１のプレートＨ１２００上のインク供給口を、図９のように記録素子基板Ｈ１１００に対して一つのインク供給口Ｈ１２０７を設けた場合に比べ、より内側のノズル群Ｈ１１０６ｂやＨ１１０６ｃ付近の昇温を抑制する上でより効果的である。
【００２０】
記録素子基板Ｈ１１００は、図１に示すように第１のプレートＨ１２００上に千鳥状に配置され、同一色による幅広の記録を可能としている。例えば、ノズル群の長さが１インチ＋αの４つの記録素子基板Ｈ１１００ａ、Ｈ１１００ｂ、Ｈ１１００ｃ、Ｈ１１００ｄを千鳥状に配置し、４インチ幅の記録を可能にしている。
【００２１】
また、各記録素子基板の吐出口群の端部は、千鳥状に隣接する記録素子基板のノズル群の端部と、記録方向に対して、重複する領域（Ｊ）を設け、各記録素子基板による印刷に隙間が生じることを防止している。例えば、ノズル群Ｈ１１０６ａとノズル群Ｈ１１０６ｂに重複領域Ｈ１１０９ａ、Ｈ１１０９ｂを設けている。
【００２２】
電気配線基板Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００に対してインクを吐出するための電気信号を印加するものであり、記録素子基板Ｈ１１００を組み込むための開口部を有しており、裏面には第２のプレートＨ１４００が接着固定される。また、電気配線基板Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ１１０３に対応する電極端子Ｈ１３０２と、この配線端部に位置し記録装置本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１を有している。電気配線基板Ｈ１３００と記録素子基板Ｈ１１００は、電気的に接続されており、接続方法は、例えば、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ１１０３と電気配線基板Ｈ１３００の電極端子Ｈ１３０２を金ワイヤーＨ１３０３（不図示）を用いたワイヤーボンディング技術によりにより電気的に接続される。電気配線基板Ｈ１３００の素材としては、例えば、配線が二層構造のフレキシブル配線基板が使用され、表層はポリイミドフィルムで覆われている。
【００２３】
第２のプレートＨ１４００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのＳＵＳ板で形成されている。なお、第２のプレートの素材は、ＳＵＳに限られることなく、耐インク性を有し、良好な平面性を有する材料で作られてもよい。そして、第２のプレートＨ１４００は、第１のプレートＨ１２００に接着固定された記録素子基板Ｈ１１００および該記録素子基板を取り込む開口部を有し、第１のプレートＨ１２００に接着固定される。
【００２４】
第２のプレートの開口部Ｈ１４０２と記録素子基板Ｈ１１００の側面によって形成される溝部には、第１の封止剤Ｈ１３０４が充填され、前記電気配線基板Ｈ１３００の電気実装部を封止している。また、記録素子基板の電極Ｈ１１０３は、第２の封止剤Ｈ１３０５で封止し、電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。
【００２５】
また、第１のプレートＨ１２００の裏面側インク供給口Ｈ１２０１には、インク中に混入された異物を取り除くためのフィルター部材Ｈ１６００が接着固定される。
【００２６】
（１−２）インク供給ユニット
インク供給部材Ｈ１５００は、例えば、樹脂成形により形成され、共通液室Ｈ１５０１と、Ｚ方向基準面Ｈ１５０２を具備している。そして、Ｚ基準面Ｈ１５０２は、記録素子ユニットを位置決め固定するとともに、記録ヘッドＨ１０００のＺ基準となっている。インク供給部材Ｈ１５００の素材は、樹脂の他にもアルミナ、シリコン、カーボングラファイト等でも良い。
【００２７】
（１−３）記録素子ユニットとインク供給ユニットの結合
先述の図２に示した通り、記録ヘッドＨ１０００は、記録素子ユニットＨ１００１をインク供給部材Ｈ１５００に結合することにより完成する。
【００２８】
結合は以下のように行われる。
【００２９】
インク供給部材Ｈ１５００の開口部と記録素子ユニットＨ１００１を第３の封止剤Ｈ１５０３（不図示）により封止し、共通液室Ｈ１５０１を密閉する。そして、インク供給部材のＺ基準Ｈ１５０２に記録素子ユニットＨ１００１のＺ基準Ｈ１５０２を、例えば、ビスＨ１９００等により位置決め固定する。第３の封止剤Ｈ１５０３（不図示）は、耐インク性があり、かつ、常温で硬化し、かつ、異種材料間の線膨張差に耐えられる柔軟性のある封止剤が望ましい。
【００３０】
また、記録素子ユニットＨ１００１の外部信号入力端子Ｈ１３０１部分は、例えば、インク供給部材Ｈ１５０１の裏面に、位置決め固定される。
【００３１】
（２）インクジェット記録装置の説明
本発明のインクジェット記録装置Ｍ４０００は、図５に示すように、例えば、写真画質の記録に対応して６色分の記録ヘッドが具備されている。記録ヘッドＨ１０００Ｂｋは、ブラックインク用の記録ヘッドであり、記録ヘッドＨ１０００Ｃはシアンインク用、記録ヘッドＨ１０００Ｍはマゼンタインク用、記録ヘッドＨ１０００Ｙはイエローインク用、記録ヘッドＨ１０００ＬＣはライトシアンインク用、記録ヘッドＨ１０００ＬＭはライトマゼンタインク用である。これらの記録ヘッドＨ１０００を、記録装置本体Ｍ４０００に載置されているキャリッジＭ４００１の位置決め手段及び電気的接点Ｍ４００２によって固定支持する。そして、これらの記録ヘッドを、駆動回路によって制御し、記録媒体Ｋ１０００に対して記録を行うものである。なお、図１０の記録装置では、記録ヘッドが記録媒体Ｋ１０００幅分のノズルを有するフルラインタイプであり、記録ヘッドは固定で、記録媒体Ｋ１０００が矢印の方向に走査することで記録を行う方式である。また、これに対して、図１１の記録装置では、記録ヘッドが主走査方向（キャリッジ移動方向）に往復移動しながら記録を行う、シリアル駆動方式の記録装置である。
【００３２】
次に、本発明に係わる画像形成装置の第二実施形態の構成を図１２、および図１３を用いて説明する。図１２は本実施形態に係わる記録ヘッドの記録素子基板と第１のプレートの形態の特徴を表す断面図、図１３はその斜視図である。
【００３３】
上記第一実施形態と説明の重複する部分については同一の符号を付して説明を省略する。
【００３４】
第一実施形態に係わる記録ヘッドＨ１０００においては、図5および図6で示すとおり、第１のプレートＨ１２００には、記録素子基板Ｈ１１００上のノズル群Ｈ１１０６の数に対応して同数のインク供給口Ｈ１２０１を設けていたが、本実施形態においては図１２（ａ）および図１３に示すように、第１のプレートＨ１２１０の記録素子基板Ｈ１１００上のノズル群Ｈ１１０６の列間距離が短い部分Ｌ１に対応する場所においてはインク供給口を分割しないようにした。これにより図１２（ｂ）に示すようにインク供給口Ｈ１２１１が大きくなるので、仮にインク供給口の加工精度が極端に悪くてインク供給口間の領域が対応するノズル群の供給口を塞ぐ、もしくは接する領域が全く無くなる、というようなケースを軽減、回避することが出来る。それとともに、図１２（ｂ）で示すように必要最小限の接着領域の確保がなされ、第一実施例でも述べたように領域ｄにおいて記録素子基板Ｈ１１００と第１のプレートＨ１２１０の接触があることにより、記録素子基板Ｈ１１００の昇温の抑制効果も得られる。
【００３５】
本発明においては、ノズル群が４列構成の記録ヘッドについて説明したが、ノズル群の数は３列以上であれば、本発明の効果を得ることが可能である。また、本発明における実施例においては、記録素子基板を第一の上に複数千鳥状に配置し、同一色による幅広の記録を可能としたいわゆるフルラインタイプの記録ヘッドに関して説明したが、本発明における形態は、記録素子基板を一つないしは複数個用いたヘッドを記録媒体に対して複数回走査させて画像形成を行ういわゆるシリアルプリンタにおいても適用できる。また、記録素子基板上においてノズル群の距離を部分的に広げることで（例えば本発明においてはノズル群Ｈ１１０６ａおよびＨ１１０６ｂと、ノズル群Ｈ１１０６ｃおよびＨ１１０６ｄとの間において）物理的に着弾時間差が設けられることになるので、連続着弾インク同士の干渉などによる画像の乱れを防止する効果も期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明における記録ヘッドの外観斜視図。
【図２】本発明における記録ヘッドの分解斜視図。
【図３】本発明における記録素子ユニットの分解斜視図。
【図４】本発明における記録素子基板の概略図。
【図５】本発明における記録素子基板と第一のプレートの概略図。
【図６】本発明における記録素子基板と第一のプレートの概略斜視図。
【図７】本発明における記録素子基板と第一のプレートのと他の場合の比較のための図。
【図８】本発明における記録素子基板と第一のプレートのと他の場合の比較のための図。
【図９】本発明における記録素子基板と第一のプレートのと他の場合の比較のための図。
【図１０】本発明におけるインクジェット記録装置（フルライン方式）の概略図。
【図１１】本発明におけるインクジェット記録装置（シリアル駆動方式）の概略図。
【図１２】本発明における他の実施例の記録素子基板と第一のプレートの概略図。
【図１３】本発明における他の実施例の記録素子基板と第一のプレートの概略斜視図。
【符号の説明】
【００３７】
Ｈ１０００  記録ヘッド
Ｈ１００１  記録素子ユニット
Ｈ１００２  インク供給ユニット
Ｈ１１００  記録素子基板
Ｈ１１０１  インク供給口
Ｈ１１０２  電気熱変換素子
Ｈ１１０３  電極
Ｈ１１０４  インク流路
Ｈ１１０５  ノズル
Ｈ１１０６  ノズル群
Ｈ１１０７  発泡室
Ｈ１１０８  Ｓｉ基板
Ｈ１１０９  重複領域
Ｈ１１１０  ノズルプレート
Ｈ１２００  第１のプレート
Ｈ１２０１  インク供給口
Ｈ１２０４  Ｘ方向基準
Ｈ１２０５  Ｙ方向基準
Ｈ１２０６  Ｚ方向基準
Ｈ１２０７  インク供給口
Ｈ１２１０  第一のプレート
Ｈ１２１１  インク供給口
Ｈ１３００  電気配線基板
Ｈ１３０１  外部信号入力端子
Ｈ１３０２  電極端子
Ｈ１３０３  金ワイヤー（不図示）
Ｈ１３０４  第１の封止剤
Ｈ１３０５  第２の封止剤
Ｈ１４００  第２のプレート
Ｈ１５００  インク供給部材
Ｈ１５０１  液室（不図示）
Ｈ１５０２  Ｚ基準面
Ｈ１５０３  第３の封止剤（不図示）
Ｈ１６００  フィルター部材
Ｈ１９００  ビス
Ｍ４０００  インクジェット記録装置
Ｍ４００１  キャリッジ
Ｍ４００２  電気的接点
Ｋ１０００  記録媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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