(57)【要約】【課題】例えばブレードなどの、間隔を調整すべき部材間の隙間を容易かつ確実に、意図する寸法に調整することが可能な間隔調整装置を提供する。【解決手段】基準面Ｆからの高さが異なる複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）を有する第１調整リング１１と、第１調整リングの複数の領域のうち、所定の領域と当接する当接凸部２を備え、当接凸部２の突出高さＨ0が、第１調整リングの、複数の領域のうち、２以上の領域に当接させることができる寸法の第２調整リング１２とを備えた構成とする。  また、第２調整リングの当接凸部が、周方向に所定の間隔をおいて複数配設され、かつ、第１調整リングの高さが異なる複数の領域からなる領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）が、周方向に複数配設された構成とする。  第２調整リングの当接凸部、および、第１調整リングの高さが異なる複数の領域からなる領域群が、それぞれ周方向の、回転対称となる位置に配設された構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準面からの高さが異なる複数の領域が周方向に配設された第１調整リングと、
前記第１調整リングの前記高さが異なる複数の領域のうち、所定の領域と当接する当接凸部を備え、前記当接凸部の突出高さが、前記第１調整リングの、前記複数の領域のうち、２以上の領域に当接させることができるだけの寸法を有する第２調整リングとを備え、
前記第２調整リングの前記当接凸部を、前記第１調整リングの前記複数の領域における所定の領域に当接させることにより、前記第１調整リングと前記第２調整リングを当接させた状態での合計厚みが定まり、かつ、
前記第２調整リングの前記当接凸部と、前記当接凸部が当接する前記第１調整リングの前記領域の関係を異ならせることにより、前記第１調整リングと前記第２調整リングを当接させた状態での合計厚みを変化させることができるように構成されており、
前記第１調整リングと前記第２調整リングを組み合わせることにより、厚み寸法の変更が可能なスペーサとして用いられるように構成されていること
を特徴とする間隔調整装置。
【請求項２】
前記第２調整リングの前記当接凸部の突出高さ寸法が、前記第１調整リングの、前記複数の領域間における前記高さの差の最大値よりも大きく構成されていることを特徴とする請求項１記載の間隔調整装置。
【請求項３】
前記第２調整リングの前記当接凸部を平面的に見た場合の中心角が、前記第１調整リングの複数の領域を構成するそれぞれの領域の中心角よりも小さく構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の間隔調整装置。
【請求項４】
前記第２調整リングの前記当接凸部が、周方向に所定の間隔をおいて複数配設され、かつ、
前記第１調整リングの高さが異なる複数の領域からなる領域群が、周方向に複数配設されていること
を特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の間隔調整装置。
【請求項５】
前記第２調整リングの前記当接凸部、および、前記第１調整リングの前記領域群が、それぞれ、周方向に所定の間隔をおいて、２〜６個配設されていることを特徴とする請求項４記載の間隔調整装置。
【請求項６】
前記第２調整リングの前記当接凸部、および、前記第１調整リングの前記領域群が、それぞれ周方向の、回転対称となる位置に配設されていることを特徴とする請求項４または５記載の間隔調整装置。
【請求項７】
前記第１調整リングの、複数の領域群のそれぞれを構成する、前記高さが異なる複数の領域が、周方向に、高さの順に並ぶように配設されていることを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載の間隔調整装置。
【請求項８】
前記第１調整リングおよび前記第２調整リングの少なくとも一方が、他の部材との係合部であるフランジとしても機能するように構成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の間隔調整装置。
【請求項９】
複数枚のブレードを所定の間隔をおいて保持するために用いられるものであることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の間隔調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、間隔調整装置に関し、詳しくは、ブレードなどを所定の間隔をおいて保持する際などに用いられる間隔調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、基台に被取付部材を取り付ける際に、当該基台と被取付部材との間に形成されるクリアランスのばらつきを吸収する目的で、スペーサや座金などが用いられている。
【０００３】
また、基台と被取付部材との間に形成される隙間を一定に保つための間隔調整治具として、図９に示すように、基台としてのキャビネットのボス部５０に固定される第１の間隔調整部材５１と、被取付部材としてのブラウン管の取付けフランジ５３に取付けられ、かつ第１の間隔調整部材５１に対し回転可能に配置される第２の間隔調整部材５２とを備えた間隔調整治具６０が提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
そして、この間隔調整治具においては、図１０および図１１に示すように、第１の間隔調整部材５１の、段差を有する傾斜面５１ａ，５１ｂと、第２の間隔調整部材５２の、段差を有する傾斜面５２ａ，５２ｂを当接させるとともに、傾斜面５１ａ，５１ｂと、傾斜面５２ａ，５２ｂの位置関係を調節することにより、被取付部材としてのブラウン管の取付けフランジ５３の高さ（すなわち、基台５０とブラウン管の取付けフランジ５３の間隔）を調整することができるように構成されている。
【０００５】
また、図１２に示すように、階段状の面７１ａを有する第１のスペーサ片７１と、同じく階段状の面７２ａを有する第２のスペーサ片７２を用い、例えば、図１３に示すように、上側の第２のスペーサ片７２を矢印Ａの方向に移動させて、第１および第２のスペーサ片７１，７２の位置関係を変化させることにより高さを調整するようにしたスペーサ８０が提案されている（特許文献２参照）。
【０００６】
ところで、上記特許文献１の間隔調整治具６０においては、第１の間隔調整部材５１の傾斜面５１ａ，５１ｂ、および第２の間隔調整部材５２の傾斜面５２ａ，５２ｂに形成された複数の段差のそれぞれの寸法が、各段差間でほぼ同じとなるように構成されており、係合し合う第１の間隔調整部材５１と、第２の間隔調整部材５２の寸法精度が十分に高ければ、対応する間隔調整部材５１，５２の各部分は完全に噛み合うことになり、精度の高い間隔調整を行うことが可能になる。
【０００７】
しかしながら、実際は加工精度のばらつきなどにより、全ての対応部分が完全に噛み合うようにすることは極めて困難である。そのため、一部の段差寸法の大きい箇所により実際の間隔が決定されることになり、精度よく間隔を所望の寸法に調整することができなくなるという問題点がある。
【０００８】
また、上記特許文献２のスペーサ８０においても、第１および第２のスペーサ片７１，７２の階段状の面７１ａ，７２ａの各段差部は、その寸法が、各段差間でほぼ同じとなるように構成されているものと考えられるが、加工精度のばらつきなどにより、各段差部の寸法をすべて同一に形成することは困難であり、上述の特許文献１の間隔調整治具６０の場合と同様の問題点を包含しているものと考えられる。
【０００９】
また、上述の特許文献１および特許文献２の技術を、例えば、セラミック電子部品の製造工程でセラミック成形体を切断して個々のセラミック電子部品素子に分割する場合に用いられる複数のブレードを所定の間隔をおいて保持するための装置として適用したとすると、段差部の一部の、互いに噛み合った箇所だけで、切断の際に発生する抵抗力を受けることになるため、応力を全体に均一に分散させることができず、安定性が不十分になるとともに、その部分の磨耗が激しくなるというような問題が生じることになる。
【特許文献１】特開２００３−３３３４６０号公報
【特許文献２】実開昭６０−０４５６３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本願発明は上記課題を解決するものであり、例えばブレードなどの、間隔を調整すべき部材間の隙間を容易かつ確実に、意図する寸法に調整することが可能な間隔調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）の間隔調整装置は、
基準面からの高さが異なる複数の領域が周方向に配設された第１調整リングと、
前記第１調整リングの前記高さが異なる複数の領域のうち、所定の領域と当接する当接凸部を備え、前記当接凸部の突出高さが、前記第１調整リングの、前記複数の領域のうち、２以上の領域に当接させることができるだけの寸法を有する第２調整リングとを備え、
前記第２調整リングの前記当接凸部を、前記第１調整リングの前記複数の領域における所定の領域に当接させることにより、前記第１調整リングと前記第２調整リングを当接させた状態での合計厚みが定まり、かつ、
前記第２調整リングの前記当接凸部と、前記当接凸部が当接する前記第１調整リングの前記領域の関係を異ならせることにより、前記第１調整リングと前記第２調整リングを当接させた状態での合計厚みを変化させることができるように構成されており、
前記第１調整リングと前記第２調整リングを組み合わせることにより、厚み寸法の変更が可能なスペーサとして用いられるように構成されていること
を特徴としている。
【００１２】
ここで、第１調整リングの複数の領域とは、第１調整リングを第２調整リングに組み合わせたときに当接するそれぞれの当接面のことを言う。第１調整リングと第２調整リングとの組み合わせ角度によって当接する箇所は異なるため、当接面は複数存在することになる。また、領域の関係を異ならせるとは、例えば第１調整リングと第２調整リングとの組み合わせを変えることにより、当接する面を異ならせることを言う。
【００１３】
また、請求項２の間隔調整装置は、請求項１の発明の構成において、前記第２調整リングの前記当接凸部の突出高さ寸法が、前記第１調整リングの、前記複数の領域間における前記高さの差の最大値よりも大きい構成となっている。そして、前記当接凸部を、その突出高さ寸法に関して、前記複数の領域を構成する他の領域に接触することなく、第１調整リングの複数の領域のいずれにも当接させ得ることを特徴としている。
【００１４】
また、請求項３の間隔調整装置は、請求項１または２記載の発明の構成において、前記第２調整リングの前記当接凸部を平面的に見た場合の中心角が、前記第１調整リングの複数の領域を構成するそれぞれの領域の中心角よりも小さい構成となっている。そして、前記当接凸部を、その周方向の寸法に関して、前記複数の領域を構成する他の領域に接触することなく、第１調整リングの複数の領域のいずれにも当接させ得ることを特徴としている。
【００１５】
また、請求項４の間隔調整装置は、請求項１〜３のいずれかの発明の構成において、前記第２調整リングの前記当接凸部が、周方向に所定の間隔をおいて複数配設され、かつ、
前記第１調整リングの高さが異なる複数の領域からなる領域群が、周方向に複数配設されていること
を特徴としている。
【００１６】
また、請求項５の間隔調整装置は、請求項４の発明の構成において、前記第２調整リングの前記当接凸部、および、前記第１調整リングの前記領域群が、それぞれ、周方向に所定の間隔をおいて、２〜６個配設されていることを特徴としている。
【００１７】
また、請求項６の間隔調整装置は、請求項４または５の発明の構成において、前記第２調整リングの前記当接凸部、および、前記第１調整リングの前記領域群が、それぞれ周方向の、回転対称となる位置に配設されていることを特徴としている。
【００１８】
また、請求項７の間隔調整装置は、請求項４〜６のいずれかの発明の構成において、前記第１調整リングの、複数の領域群のそれぞれを構成する、前記高さが異なる複数の領域が、周方向に、高さの順に並ぶように配設されていることを特徴としている。
【００１９】
また、請求項８の間隔調整装置は、請求項１〜７のいずれかの発明の構成において、前記第１調整リングおよび前記第２調整リングの少なくとも一方が、他の部材との係合部であるフランジとしても機能するように構成されていることを特徴としている。
【００２０】
また、請求項９の間隔調整装置は、請求項１〜８のいずれかの発明の構成において、複数枚のブレードを所定の間隔をおいて保持するために用いられるものであることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
本願発明（請求項１）の間隔調整装置は、基準面からの高さが異なる複数の領域が周方向に配設された第１調整リングと、前記複数の領域のうち、所定の領域と当接する当接凸部を備え、当接凸部の突出高さが、第１調整リングの、複数の領域のうち、２以上の領域に当接させることができるだけの寸法を有する第２調整リングとを備えているので、第２調整リングの当接凸部を、第１調整リングの複数の領域における所定の領域に当接させることにより、第１調整リングと第２調整リングを当接させた状態における合計厚みが定まり、かつ、第２調整リングの当接凸部と、当接凸部が当接する第１調整リングの領域の関係を異ならせることにより、第１調整リングと第２調整リングを当接させた状態での合計厚みを変化させることができる。
【００２２】
すなわち、本願発明の構成によれば、第２調整リングの当接凸部が、第１調整リングの複数の領域を構成する所定の領域が当接しているときには、第１調整リングおよび第２調整リングの、他の領域同士が接触することがないため、第２調整リングの当接凸部を、第１調整リングの所定の領域にのみ当接させることが可能になる。
【００２３】
したがって、第１調整リングと第２調整リングの位置関係を変えて両者を当接させるだけで、その合計厚みを任意の厚みとすることが可能になり、本願発明の間隔調整装置を用いることにより、例えばブレードなどの、間隔を調整すべき部材間の隙間を容易かつ確実に、意図する寸法に調整することが可能になる。
なお、本願発明の間隔調整装置においては、第２調整リングの当接凸部が、第１調整リングに配設された複数の領域のうちの２以上に当接するように構成されていればよく、第２調整リングの当接凸部を、第１調整リングに配設された複数の領域のすべてに当接させることができるように構成されている必要はない。すなわち、本願発明は、第２調整リングの当接凸部が、第１調整リングに配設された複数の領域の一部には当接しない場合をも含むものである。
【００２４】
また、請求項２の間隔調整装置のように、請求項１の発明の構成において、第２調整リングの当接凸部の突出高さ寸法が、第１調整リングの、複数の領域間における高さの差の最大値よりも大きくなるようにした場合、当接凸部を、その突出高さ寸法に関して、複数の領域を構成する他の領域に接触することなく、第１調整リングの複数の領域のいずれにも当接させることが可能になり、本願発明をより実効あらしめることが可能になる。
【００２５】
また、請求項３の間隔調整装置のように、請求項１または２記載の発明の構成において、第２調整リングの当接凸部を平面的に見た場合の中心角を、第１調整リングの複数の領域を構成するそれぞれの領域の中心角よりも小さくするようにした場合、当接凸部を、その周方向の寸法に関して、複数の領域を構成する他の領域に接触することなく、第１調整リングの複数の領域のいずれにも当接させることが可能になり、本願発明をより実効あらしめることが可能になる。
【００２６】
また、請求項４の間隔調整装置のように、請求項１〜３のいずれかの発明の構成において、第２調整リングの当接凸部を、周方向に所定の間隔をおいて複数配設するとともに、第１調整リングの高さが異なる複数の領域からなる領域群を、周方向に複数配設することにより、周方向の複数箇所で、第２調整リングの当接凸部を、第１調整リングの高さが異なる複数の領域のうちの所定の領域に当接させることが可能になり、本願発明をより実効あらしめることが可能になる。
【００２７】
また、請求項５の間隔調整装置のように、請求項４の発明の構成において、第２調整リングの当接凸部、および、第１調整リングの複数の領域群を、それぞれ、周方向に所定の間隔をおいて、２〜６個の範囲で配設することにより、第２調整リングの当接凸部を、２〜６箇所で、第１調整リングの所定の領域に当接させることが可能になり、その当接状態をより安定させることが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
なお、第２調整リングの当接凸部、および、第１調整リングの複数の領域群を２〜６個としたのは、２個未満の場合（一個）の場合、当接状態が不安定になりやすいこと、６個を超えると、各部の寸法が小さくなり、第１調整リングと第２調整リングとを所定の位置関係となるように位置合せすることが困難になって、実用性が損なわれることによる。
【００２８】
また、請求項６の間隔調整装置のように、請求項４または５の発明の構成において、第２調整リングの当接凸部、および、第１調整リングの領域群を、それぞれ周方向の、回転対称となる位置に配設するようにした場合、当接状態をより安定させることが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
【００２９】
また、請求項７の間隔調整装置のように、請求項４〜６のいずれかの発明の構成において、第１調整リングの、複数の領域群のそれぞれを構成する、高さが異なる複数の領域を、周方向に、高さの順に並ぶように配設した場合、第１調整リングまたは第２調整リングを所定の方向に順に回転させるだけで、順次、第１調整リングと第２調整リングを当接させた状態での合計厚みを段階的に厚くするか、あるいは薄くすることが可能になり、操作性を向上させることが可能になる。
【００３０】
また、請求項８の間隔調整装置のように、請求項１〜７のいずれかの発明の構成において、第１調整リングおよび第２調整リングの少なくとも一方が、他の部材との係合部であるフランジとしても機能するように構成した場合、例えば、本願発明の間隔調整装置をダイシング装置のブレード（砥石）の間隔を調整するために用いるような場合に、フランジとしての機能を利用して、間隔を調整すべき対象の部材であるブレードを、あらかじめ第１調整リングおよび／または第２調整リングにセッティングしておくことにより、短時間でダイシング装置に組み付けることが可能になり、作業効率を向上させることが可能になる。
【００３１】
また、間隔調整を行うにあたって、フランジと各調整リングを同時に軸方向に引き抜くことも可能である。その場合、例えば、ブレードなどの間隔が狭い場合であっても、フランジを介して調整リングを引き抜いて回転させることにより、簡単に間隔調整を行うことが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができる。すなわち、調整すべき間隔が狭い場合、調整リング間やその近傍に指が入らず調整しにくいが、そのような場合にも間隔調整作業が容易になる。
【００３２】
また、請求項９のように、請求項１〜８のいずれかの発明にかかる間隔調整装置を、複数枚のブレードを所定の間隔をおいて保持する際の間隔調整装置として用いることにより、例えば未焼成のセラミック成形体や、セラミック焼結体を切断して個々の素子に分割する場合などにおいて、所望の寸法を備えた素子を得ることができるような高精度の切断を行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００３４】
図１は本願発明の一実施例（実施例１）にかかる間隔調整装置の構成を示す図、図２，３，４は、間隔調整装置を構成する第１調整リングおよび第２調整リングの当接状態と合計厚みの関係を示す図である。
【００３５】
この実施例１の間隔調整装置１０は、図１に示すように、基準面（例えば図１における裏面Ｆ）からの高さが異なる複数の領域（この実施例１では裏面Ｆからの高さが異なる３つの領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ））が周方向に配設された第１調整リング１１と、第１調整リング１１の高さが異なる３つの領域１ａ，１ｂ，１ｃのうち、所定の領域と当接する、突出高さＨ0の当接凸部２を備え、当接凸部２の突出高さＨ0が、第１調整リング１１の、前記複数の領域のうち、２以上の領域に当接させることができるだけの寸法を有する第２調整リング１２とを備えている。
【００３６】
なお、領域１ｃと領域１ｂとの段差（高さの差）をＨ1とし、領域１ｂと領域１ａとの段差をＨ2とし、領域１ａと領域１ｃとの段差（すなわち、複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）間における高さの差の最大値Ｈmax）をＨ3とすると、段差Ｈ3（Ｈmax）は、段差Ｈ1と段差Ｈ2を加えた値となるように構成されている。
【００３７】
そして、第２調整リング１２の当接凸部２を、第１調整リング１１の複数の領域１における所定の領域１ａ，１ｂ，１ｃに当接させることにより、図２〜図４に示すように、第１調整リング１１と第２調整リング１２を当接させた状態での合計厚みＴが定まるとともに、第２調整リング１２の当接凸部２と、当接凸部２が当接する第１調整リング１１の領域１ａ，１ｂ，１ｃの関係を異ならせることにより、第１調整リング１１と第２調整リング１２を当接させた状態での合計厚みＴを、複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）の数に対応するようにＴ１からＴ３まで段階的に変化させることができるように構成されている。
【００３８】
なお、この実施例１では第１調整リング１１と第２調整リング１２を当接させた状態での合計厚みＴを３段階に変化させることができるように構成されている。なお、合計厚みＴの変化量は各段階で同じとなるように構成することも可能であり、また、各段階で異なるように構成することも可能である。
【００３９】
また、この実施例１の間隔調整装置１０においては、第２調整リング１２の当接凸部２の突出高さ寸法Ｈ0が、第１調整リング１１の、複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）間における高さの差の最大値Ｈmax（この実施例１では領域１ａと領域１ｃとの段差Ｈ3）よりも大きくなるように構成されており、第１および／または第２の調整リング１１，１２を所定の方向に回転させて、当接凸部２を、複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）のうちの所望の領域に対向させることにより、当接凸部２を、その突出高さ寸法に関して、複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）を構成する他の領域に接触させることなく、第１調整リング１１の複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）のうちの所望の領域に当接させることができるように構成されている。
【００４０】
さらに、第２調整リング１２の当接凸部２を平面的に見た場合の中心角θ0は、第１調整リング１１の複数の領域１を構成するそれぞれの領域１ａ，１ｂ，１ｃの中心角θ1，θ2，θ3よりもわずかに小さく、当接凸部２は、当接凸部２の周方向の寸法Ｌ0（図１）と、複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）の周方向の寸法Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3（図１）との関連において、複数の領域１ａ，１ｂ，１ｃを構成する他の領域に接触することなく、第１調整リング１１の複数の領域１ａ，１ｂ，１ｃのうちの所望の領域に当接させることができるように構成されている。
【００４１】
また、この実施例１の間隔調整装置１０においては、第２調整リング１２の当接凸部２が、周方向に所定の間隔をおいて複数配設され、第１調整リング１の高さが異なる複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）からなる３つの領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）が、周方向に配設されている。
また、第２調整リング１２の当接凸部２、および、第１調整リング１１の３個の領域群１Ｇは、それぞれ周方向の、回転対称となる位置に配設されている。
【００４２】
そして、各当接凸部２の面積は同じであり、かつ、各領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）を構成する各領域１ａ，１ｂ，１ｃの面積が、各領域群１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3において同じになるように構成されている。
【００４３】
さらに、第１調整リング１１の、複数の領域群１Ｇのそれぞれを構成する、高さが異なる複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）は、周方向に、高さの順に並ぶように配設されている。
【００４４】
上述のように構成されたこの実施例１の間隔調整装置１０によれば、第１調整リング１１の複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）のうちの所定の領域に第２調整リング１２の当接凸部２を当接させることにより、第１調整リング１１と第２調整リング１２を当接させた状態における合計厚みＴを所定の厚みとすることができる。また、第１および／または第２の調整リング１１，１２を所定の方向に回転させて、第２調整リング１２の当接凸部２と、当接凸部２が当接する第１調整リング１１の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）の関係を異ならせることにより、第１調整リング１１と第２調整リング１２を当接させた状態での合計厚みＴを変化させることができる。
【００４５】
なお、この実施例１では第１調整リング１１と第２調整リング１２を当接させた状態での合計厚みＴをＴ１からＴ３まで３段階に変化させるようにしているが、合計厚みＴの変化の段階数や、１つの段階での合計厚みＴの変化量などに特別の制約はない。また、合計厚みＴの変化量は各段階で同じとしてもよく、また、各段階で異なるようにしてもよい。
【００４６】
以下に、図１〜図４を参照しつつ、本願発明の間隔調整装置１０を用いて間隔を調整する方法を具体的に説明する。
【００４７】
まず、図２に示すように、第２調整リング１２の３つの当接凸部２を、第１調整リング１１の各領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）の、基準面Ｆからの高さが最も低い領域１ａに当接させることにより、第１調整リング１１と第２調整リング１２を当接させた状態での合計厚みＴが最も小さい値Ｔ１となる。
【００４８】
また、図３に示すように、第２調整リング１２の３つの当接凸部２を、第１調整リング１１の各領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）の、基準面Ｆからの高さが２番目に低い領域１ｂに当接させることにより、第１調整リング１１と第２調整リング１２を当接させた状態での合計厚みＴが、上述のＴ１よりも大きい値Ｔ２となる。
【００４９】
また、図４に示すように、第２調整リング１２の３つの当接凸部２を、第１調整リング１１の各領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）の、基準面Ｆからの高さが最も高い領域１ｃに当接させることにより、第１調整リング１１と第２調整リング１２を当接させた状態での合計厚みＴが最も大きい値Ｔ３となる。
【００５０】
なお、この実施例１の間隔調整装置１０においては、第２調整リング１２の３つの当接凸部２、および、第１調整リング１の高さが異なる３つの領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）からなる領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）を、それぞれ周方向の、回転対称となる位置に配設しており、かつ、各当接凸部２の面積を同じとし、かつ、各領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）を構成する各領域１ａ，１ｂ，１ｃの面積を、各領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）において同じにしているため、当接状態をより安定させることが可能になり、精度の高い間隔調整を行うことが可能になる。
【００５１】
また、第１調整リング１１の、複数の領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）のそれぞれを構成する、高さが異なる複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）を、周方向に、高さの順に並ぶように配設しているので、第１調整リング１１または第２調整リング１２を所定の方向に順に回転させるだけで、順次、第１調整リング１１と第２調整リング１２の合計厚みを段階的に厚くし、あるいは薄くすることが可能になり、高い操作性を実現することができる。
【００５２】
なお、上記実施例１では、第２調整リング１２の当接凸部２を平面的に見た場合の中心角θ0が、第１調整リング１１の複数の領域１を構成するそれぞれの領域１ａ，１ｂ，１ｃの中心角θ1，θ2，θ3よりもわずかに小さくなるように構成したが、図５および図６に示すように、第２調整リング１２の当接凸部２を平面的に見た場合の中心角θ0を、さらに小さく形成し、第１調整リング１１（図１）に代えて、第１調整リング１１ａ（図５および図６では各領域１が４つの領域１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄを備えている）に用いた場合にも使用することができるように構成することも可能である。このように構成した場合、４段の厚み変更が可能となる。
【００５３】
また、図１における第２調整リング１２の当接凸部２の中心角θ0を、図１における第１調整リング１１の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）の中心角θ1〜θ3に比べて小さくした場合、第１調整リング１１の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）と第２調整リング１２の当接凸部２の当接する面積はいくらか減少することになるが、第１調整リング１１の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）と、第２調整リング１２の当接凸部２の位置関係を変更する際の操作が容易になるというメリットがある。
【実施例２】
【００５４】
図７は、上記実施例１にかかる間隔調整装置１０を、例えば、セラミック電子部品の製造工程でマザーセラミック積層体を切断して個々のセラミック電子部品素子に分割する場合などに用いられるダイシング装置において、複数のブレード（砥石）を所定の間隔をおいて保持するための間隔調整装置として適用した状態を模式的に示す図である。
【００５５】
なお、この実施例２では、第１および第２のブレード（砥石）２１，２２として、外径５２mm、厚み０．０１mmのものを用いた。
また、第１および第２のブレード（砥石）２１，２２として、砥粒がダイヤモンド（平均粒径：６μm）で、このダイヤモンドからなる砥粒をニッケルをボンドとして円盤状のブレードに成形したものを用いた。
【００５６】
また、この実施例２では、第１のブレード２１と、第２のブレード２２の間隔を２mmとした。
【００５７】
また、この実施例２では、間隔調整装置１０を構成する第１調整リング１１および第２調整リング１２として、ステンレス鋼製のものを用いた。
さらに、回転軸１５としてもステンレス鋼製のものを用いた。
【００５８】
この実施例２では、回転軸１５に第１のブレード２１がセットされ、第１調整リング１１と第２調整リング１２を当接させた状態の合計厚みＴが所定の厚みとなるように調整された状態で、間隔調整装置１０が回転軸１５にセットされている。
【００５９】
そして、間隔調整装置１０により所定の間隔が保持されるような態様で、第２のブレード２２がセットされ、ナット２３により、第１のブレード２１、間隔調整装置１０および第２のブレード２２の全体が回転軸１５に固定されている。
【００６０】
この実施例２のような態様で、間隔調整装置１０を用いることにより、第１のブレード２１と第２のブレード２２とを、所定の間隔を保った状態で回転軸１５に確実に固定することができる。
【００６１】
従って、この実施例２のように、本願発明の間隔調整装置１０を用い、所定の間隔をおいて保持されたブレード２１，２２を用いて、マザーセラミック積層体を切断して個々のセラミック電子部品素子に分割することにより、マザーセラミック積層体を、所望の寸法に精度よく切断、分割して、所望の寸法を備えたセラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【実施例３】
【００６２】
図８は、上記実施例２の変形例である実施例３にかかるものであり、実施例２と同様に、本願発明の間隔調整装置を、例えば、セラミック電子部品の製造工程でマザーセラミック積層体を切断して個々のセラミック電子部品素子に分割する場合などに用いられるダイシング装置において、複数のブレード（砥石）を所定の間隔をおいて保持するための間隔調整装置として適用した状態を模式的に示す図である。
【００６３】
この実施例３では、第１のフランジ３１と第２のフランジ３２に挟まれるようにして第１のブレード２１が回転軸１５にセットされている。
そして、第２のフランジ３２を押圧するように、第１調整リング１１が回転軸１５の第１のネジ部４１に螺合されている。
【００６４】
すなわち、この実施例３においては、間隔調整装置１０を構成する第１調整リング１１が、回転軸１５の第１のネジ部４１に螺合可能に構成されており、第２のフランジ３２を介して第１のブレード２１を回転軸１５に固定する機能を果たすように構成されている。したがって、この点において、第１調整リング１１は他の部材との係合部材としての機能（フランジとしての機能）も果たすように構成されている。
【００６５】
また、間隔調整装置１０を構成する第２調整リング１２も、軸方向への突出部分１２ａの外周にネジ部４２が配設されており、第１のナット２４を取り付けることができるように構成されている。したがって、この点において、第２調整リング１２も他の部材との係合部材としての機能（フランジとしての機能）を果たすように構成されている。
【００６６】
そして、第２調整リング１２、第２のブレード２２、第３のフランジ３３、および第１のナット２４が回転軸１５にセットされ、さらにこれらが第２のナット２５を第２のネジ部４３に螺合することにより回転軸１５に一体に固定されている。
【００６７】
なお、第２調整リング１２、第２のブレード２２、第３のフランジ３３、および第１のナット２４を回転軸１５に固定するにあたっては、例えば、第２調整リング１２に、第２のブレード２２を予めセットしておき、第３のフランジ３３を介して第１のナット２４により、第２のブレード２２を第２調整リング１２に取り付けた状態で、全体（第２調整リング１２、第２のブレード２２、第３のフランジ３３、第１のナット２４）を回転軸１５にセットし、その後、第２のナット２５を、第２調整リング１２の突出部分１２ａの外周に形成されたネジ部４２に螺合させることにより、第２調整リング１２、第２のブレード２２、第３のフランジ３３、および第１のナット２４を一括して回転軸１５に固定することができる。
【００６８】
この実施例３のように、間隔調整装置１０を構成する第１調整リング１１および第２調整リング１２にフランジとしての機能を持たせることにより、第１および第２のブレード２１，２２、第１、第２および第３のフランジ３１，３２，３３、間隔調整装置１０を構成する第１調整リング１１および第２調整リング１２などを効率よく短時間でダイシング装置などに組み付けることが可能になり、作業効率を向上させることが可能になる。
【００６９】
なお、上記実施例１では、第１調整リング１１の領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）の数および各領域群１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）を構成する領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）の数をそれぞれ３個とし、第２調整リング１２の当接凸部２の数を３個とした場合について説明したが、第１調整リングの領域群および各領域群を構成する領域の数、第２調整リングの当接凸部の数はこれに限られるものではなく、各部の寸法や具体的な構造などを考慮して、発明の効果を損なわない範囲内で、その数を任意に調整することが可能である。
【００７０】
また、上記実施例１では、第２調整リング１２の当接凸部２を、第１調整リング１１に配設された複数の領域１（１ａ，１ｂ，１ｃ）のすべてに当接させることができるようにしているが、本願発明においては、第２調整リングの当接凸部が、第１調整リングに配設された複数の領域のうちの２以上に当接するように構成されていればよく、第２調整リングの当接凸部が、第１調整リングに配設された複数の領域の一部（例えば、３つの領域のうちの１つ）には当接しないように構成されていてもよい。
【００７１】
また、上記実施例２および３では、間隔調整装置１０を、ダイシング装置において複数のブレードの間隔を調整するための装置として用いた場合を例にとって説明したが、本願発明の間隔調整装置は、マルチブレードソーなどの他の装置に用いることも可能である。
【００７２】
また、上記実施例では、２つのブレードの間隔を調整する場合を例にとって説明したが、本願発明の間隔調整装置は、３つ以上のブレードの間隔を調整する場合に用いることも可能である。
【００７３】
本願発明はさらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、第１調整リングおよび第２調整リングの具体的な構成、当接凸部や基準面からの高さが異なる複数の領域の具体的な形状、間隔を調整すべき部材（例えばブレードなどの被調整部材）の種類などに関し、発明の範囲内において、種々の応用を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本願発明によれば、第１調整リングと第２調整リングを、両者の位置関係を変えて当接させるだけで、その合計厚みを任意の厚みとすることが可能になり、本願発明の間隔調整装置を用いることにより、例えばブレードなどの、間隔を調整すべき部材間の間隔を容易かつ確実に、意図する寸法に調整することが可能になる。
したがって、本願発明は、例えば、セラミック電子部品の製造工程でマザーセラミック積層体を切断して個々のセラミック電子部品素子に分割する場合などに用いられるダイシング装置におけるブレードの間隔調整装置などの用途に広く用いることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本願発明の一実施例（実施例１）にかかる間隔調整装置の構成を示す図である。
【図２】本願発明の実施例１にかかる間隔調整装置を構成する第１調整リングおよび第２調整リングの当接状態と合計厚みの関係の一例を示す図である。
【図３】本願発明の実施例１にかかる間隔調整装置を構成する第１調整リングおよび第２調整リングの当接状態と合計厚みの関係の他の例を示す図である。
【図４】本願発明の実施例１にかかる間隔調整装置を構成する第１調整リングおよび第２調整リングの当接状態と合計厚みの関係のさらに他の例を示す図である。
【図５】本願発明の実施例１にかかる間隔調整装置の変形例を示す図である。
【図６】本願発明の実施例１にかかる間隔調整装置の変形例である図５を、角度を変えて示す図である。
【図７】本願発明の実施例１にかかる間隔調整装置をブレードの間隔を調整するための間隔調整装置として用いた実施例２のダイシング装置の要部を示す図である。
【図８】本願発明の実施例１にかかる間隔調整装置をブレードの間隔を調整するための間隔調整装置として用いた実施例３のダイシング装置の要部を示す図である。
【図９】従来の間隔調整治具の構成を示す断面図である。
【図１０】従来の間隔調整治具を構成する第１の間隔調整部材の構成を示す図である。
【図１１】従来の間隔調整治具を構成する第２の間隔調整部材の構成を示す図である。
【図１２】従来の他の間隔調整治具（スペーサ）の構成を示す図である。
【図１３】従来の他の間隔調整治具（スペーサ）の使用方法を示す図である。
【符号の説明】
【００７６】
１（１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ）     領域
１Ｇ（１Ｇ1，１Ｇ2，１Ｇ3）      領域群
２          当接凸部
１０        間隔調整装置
１１        第１調整リング
１１ａ      第１調整リング
１２        第２調整リング
１２ａ      軸方向への突出部分
１５        回転軸
２１        第１のブレード
２２        第２のブレード
２３        ナット
２４        第１のナット
２５        第２のナット
３１        第１のフランジ
３２        第２のフランジ
３３        第３のフランジ
４１        第１のネジ部
４２        ネジ部
４３        第２のネジ部
Ｆ          裏面（基準面）
Ｈ0        当接凸部の突出高さ寸法
Ｈ1        領域１ｃと領域１ｂとの段差（高さの差）
Ｈ2        領域１ｂと領域１ａとの段差（高さの差）
Ｈ3        領域１ａと領域１ｃとの段差（高さの差）
Ｈmax      複数の領域間における高さの差の最大値
Ｌ0        当接凸部の周方向の寸法
Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3      領域の周方向の寸法
Ｔ，Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３          合計厚み
θ0              当接凸部の中心角
θ1，θ2，θ3    領域の中心角
【図１】
2007278421.tif 000003
【図２】
2007278421.tif 000004
【図３】
2007278421.tif 000005
【図４】
2007278421.tif 000006
【図５】
2007278421.tif 000007
【図６】
2007278421.tif 000008
【図７】
2007278421.tif 000009
【図８】
2007278421.tif 000010
【図９】
2007278421.tif 000011
【図１０】
2007278421.tif 000012
【図１１】
2007278421.tif 000013
【図１２】
2007278421.tif 000014
【図１３】
2007278421.tif 000015