(57)【要約】【課題】  性能の低下や磨耗・発熱等の問題を低減することにより従来の固定子の撓みによる問題を解決することが可能なリニアモータを提供すること。【解決手段】  複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子と、を具備してなるリニアモータにおいて、上記固定子と可動子の間であって可動子の両端位置に摺動部を配置し、上記摺動部は、摺動部材と、該摺動部材の外周に設けられた弾性手段とから構成されているもの  【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、
上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子と、
を具備してなるリニアモータにおいて、
上記固定子と可動子の間であって可動子の両端位置に摺動部を配置し、
上記摺動部は、摺動部材と、該摺動部材の外周に設けられた弾性手段とから構成されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
請求項１記載のリニアモータにおいて、
上記弾性手段は環状弾性部材であることを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
請求項１記載のリニアモータにおいて、
上記弾性手段は放射方向に沿って配置された複数個のコイルスプリングであることを特徴とするリニアモータ。  
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れかに記載のリニアモータにおいて、
上記摺動部材はアウターケース内に収容・配置されていて、該アウターケースの外周に上記弾性手段を設置したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れかに記載のリニアモータにおいて、
上記摺動部材の内周側には軸方向に延長された複数個の溝が設けられていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れかに記載のリニアモータにおいて、
上記摺動部材には軸方向に延長された切込みが形成されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項７】
請求項４記載のリニアモータにおいて、
上記摺動部材は球面形状をなしていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項８】
複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、
上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子と、
を具備してなるリニアモータにおいて、
上記固定子と可動子の間であって可動子の両端位置に摺動部を配置し、
上記摺動部は球面形状をなす摺動部材から構成されていることを特徴とするリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、精密位置決めシステムに用いるリニアモータに係り、特に、固定子と可動子の間であって可動子の両端位置に摺動部材を設置し、それによって、固定子と可動子の間に空間を保持して固定子と可動子の接触を防止することができるように工夫したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
非接触駆動が可能なリニアモータは、例えば、精密位置決め装置の駆動機構として好適である。従来のリニアモータは、例えば、図１８に示すような構成になっている。図１８はリニアモータ７０１の構成を示す一部断面図であり、リアモータ７０１は、固定子７０３と可動子７０５とから構成されている。上記固定子７０３は、非磁性センター軸７０７と、この非磁性センター軸７０７の外周に積層・配置されたリング状の複数個の永久磁石７０９と、上記複数個の永久磁石７０９の外周側に設置された非磁性薄肉パイプ７１１と、上記複数個の永久磁石７０９の両側位置において上記非磁性センター軸７０７に螺合されると共に上記非磁性薄肉パイプ７１１内にその一部が挿入・配置された一対の図示しないエンドキャップとから構成されている。
【０００３】
又、上記可動子７０５であるが、コイルケース７１５と、このコイルケース７１５内に収容・配置されたコイル部７１７とから構成されている。
【０００４】
上記固定子７０３はその両端を図示しない支持部材によって支持されている。又、上記可動子７０５は図示しない直動ガイド機構によってガイドされた状態で、図中左右方向（矢印ａ方向）に移動するものである。
【０００５】
尚、同種のリニアモータの構成を開示するものとして、例えば、特許文献１等がある。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−３１３５６６号公報
【０００７】
ところで、この種のリニアモータの場合には、シャフト状の固定子７０３の中央部における撓みの問題がある。固定子７０３の中央部が撓んだ場合には、固定子７０３と可動子７０５が接触してしまうことがあり、可動子７０５の円滑な移動が損なわれてしまうことになる。
【０００８】
そこで、図１８に示すリニアモータの場合には、固定子７０３と可動子７０５のコイル部７１７との間の隙間（Ｌ）を大きく設定している。このように隙間（Ｌ）を大きく設定することにより、仮に、固定子７０３の中央部が撓んでしまった場合にも、固定子７０３と可動子７０５のコイル部７１７との間の空間を確保して、固定子７０３と可動子７０５のコイル部７１７の接触を防止するようにしている。
【０００９】
又、図１９に示すような構成のリニアモータもある。この場合は、固定子７０３の非磁性体パイプ７１１を薄肉ではなく厚肉としているものであり、それによって、固定子７０３の剛性を高くして固定子７０３の撓み量を低減させようとするものである。
その他の構成は図１８に示したリニアモータの構成と同じであるので、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
【００１０】
又、図２０に示すような構成のリニアモータもある。この場合には、固定子７０３と可動子７０５との間であって可動子７０５の両端位置に摺動部材７２１、７２１を設置し、それによって、固定子７０３と可動子７０５のコイル部７１７との接触を防止しようとするものである。
その他の構成は図１８に示したリニアモータの構成と同じであるので、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、図１８に示すリニアモータのように、固定子７０３と可動子７０５のコイル部７１７との間の隙間（Ｌ）を大きく設定した場合には、固定子７０３側の永久磁石７０９と可動子７０５のコイル部７１７との距離が大きくなってしまい、それによって、推進に寄与する磁力が低下してしまってリニアモータとしての性能が低下してしまうという問題があった。
又、図１９に示すリニアモータの場合にも、固定子７０３の非磁性パイプ７１１を厚肉としたことにより、固定子７０３側の永久磁石７０９と可動子７０５のコイル部７１７との距離が大きくなってしまい、それによって、推進に寄与する磁力が低下してしまってリニアモータとしての性能が低下してしまうという問題があった。
又、図２０に示すように、摺動部材１２１、１２１を設置する構成の場合には、可動子７０５が移動する際に固定子７０３の撓みを強制的に規制することとなり、それによって、摺動抵抗が増大してしまうという問題があった。摺動抵抗が大きくなった場合には、駆動モータのトルク損失が大きくなってしまったり、摺動部材１２１、１２１の磨耗や発熱等の問題が発生してしまうことになる。
【００１２】
本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、性能の低下や磨耗・発熱等の問題を低減する事により従来の固定子の撓みによる問題を解決することが可能なリニアモータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記従来の課題を解決するべく本願発明の請求項１によるリニアモータは、複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子と、を具備してなるリニアモータにおいて、上記固定子と可動子の間であって可動子の両端位置に摺動部を配置し、上記摺動部は、摺動部材と、該摺動部材の外周に設けられた弾性手段とから構成されていることを特徴とするものである。
又、請求項２によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、  上記弾性手段は環状弾性部材であることを特徴とするものである。
又、請求項３によるリニアモータは、請求項１記載のリニアモータにおいて、  上記弾性手段は放射方向に沿って配置された複数個のコイルスプリングであることを特徴とするものである。
又、請求項４によるリニアモータは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のリニアモータにおいて、上記摺動部材はアウターケース内に収容・配置されていて、該アウターケースの外周に上記弾性手段を設置したことを特徴とするものである。
又、請求項５によるリニアモータは、請求項１〜請求項４の何れかに記載のリニアモータにおいて、上記摺動部材の内周側には軸方向に延長された複数個の溝が設けられていることを特徴とするものである。
又、請求項６によるリニアモータは、請求項１〜請求項５の何れかに記載のリニアモータにおいて、上記摺動部材には軸方向に延長された切込みが形成されていることを特徴とするものである。
又、請求項７によるリニアモータは、請求項４記載のリニアモータにおいて、  上記摺動部材は球面形状をなしていることを特徴とするものである。
又、請求項８によるリニアモータは、複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子と、を具備してなるリニアモータにおいて、上記固定子と可動子の間であって可動子の両端位置に摺動部を配置し、上記摺動部は球面形状をなす摺動部材から構成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
以上述べたように本願発明によるリニアモータによると、複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子と、を具備してなるリニアモータにおいて、上記固定子と可動子の間であって可動子の両端位置に摺動部を配置し、上記摺動部は、摺動部材と、該摺動部材の外周に設けられた弾性手段とから構成されているので、まず、摺動部を設置することにより、固定子と可動子との間の空間を確実に確保することができ、それによって、固定子と可動子との接触を防止して円滑な動作を提供することが可能になる。
又、可動子が移動する際の摺動抵抗が軽減されることになるので、駆動モータのトルク損失や摺動部の磨耗や発熱の問題を解消することができる。
又、摺動部を使用することによって固定子側と可動子側との距離が拡大されるようなことはないので、磁力の低下に起因した性能の低下の問題もない。
又、弾性手段を環状弾性部材として構成した場合は、比較的簡単な構成で所望の効果を得ることができる。
又、弾性手段を放射方向に沿って配置された複数個のコイルスプリングによって構成した場合も同様である。
又、摺動部材をアウターケース内に収容・配置して、該アウターケースの外周に弾性手段を設置した場合にも同様の効果を奏することができる。
又、摺動部材の内周側に軸方向に延長された複数個の溝を設けた場合には、それによって、摺動接触面積を減少させて摺動抵抗を軽減させることができるとともに、空気流路を提供することにより放熱効果を高めることができる。
又、摺動部材に軸方向に延長された切込みを形成した場合には、摺動部材自体が弾性変形するので、摺動抵抗の軽減効果をさらに高めることができる。
又、摺動部材を球面形状のものとした場合には摺動抵抗軽減効果をさらに高めることができるとともに、偏心、偏角に対しても効果的に対応することができる。
又、複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子とを具備してなるリニアモータにおいて、上記固定子と可動子の間であって可動子の両端位置に摺動部を配置し、上記摺動部は球面形状をなす摺動部材から構成した場合も、略同様の効果を奏することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図１乃至図３を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。図１は本実施の形態によるリニアモータを使用したアクチュエータの構成を示す側断面図である。まず、リニアモータ１があり、このリニアモータ１は固定子３と可動子５とから構成されている。上記固定子３は、非磁性センター軸７と、この非磁性センター軸７の外周に積層・配置されたリング状の複数個の永久磁石９と、上記複数個の永久磁石９の外周側に設置された非磁性薄肉パイプ１１と、上記複数個の永久磁石９の両側位置において上記非磁性センター軸７に螺合されるとともに上記非磁性薄肉パイプ１１内にその一部が挿入・配置された一対のエンドキャップ１３、１３とから構成されている。
【００１６】
又、上記可動子５であるが、コイルケース１５と、このコイルケース１５内に収容・配置されたコイル部１７等から構成されている。
【００１７】
上記固定子３はその両端を固定子支持部１９、１９によって夫々支持されている。又、上記可動子５は直動ガイド機構２１によってガイドされた状態で、図１中左右方向（矢印ａ方向）に移動するものである。上記直動ガイド機構２１は、一対のガイドレール２３、２３（図１では片側のみ示す）と夫々のガイドレール２３、２３に移動可能に係合するガイド部材２５、２５（図１では片側の２個のみ示す）とから構成されている。
尚、ガイドレール１本で構成する場合もある。
【００１８】
上記固定子３と可動子５のコイル部１７との間であって可動子５の両端位置には摺動部３１、３１が設置されている。以下、この摺動部３１の構成を詳細に説明する。
上記摺動部３１は、図２及び図３に示すような構成になっている。まず、中空円筒形状をなす摺動部材３３があり、この摺動部材３３には中心部に貫通孔３５が穿孔されている。この貫通孔３５に固定子３が挿通されるものである。  
【００１９】
又、上記摺動部材３３の外周部には環状溝３７、３７が形成されている。上記環状溝３７、３７には弾性手段としての環状弾性部材３９、３９が装着されている。
尚、左右の摺動部３１、３１はともに同じ構成になっている。
【００２０】
以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、摺動部３１、３１を設置することにより、固定子３と可動子５との間の空間を確実に確保することができ、それによって、固定子３と可動子５のコイル部１７との接触を防止することができるので、リニアモータとして円滑な動作を提供することが可能になる。
又、可動子５が移動する際の摺動抵抗が軽減されることになる。これは、摺動部材３の摺動部材３３の外周に環状弾性部材３９、３９を設置し、これら２個の環状弾性部材３９、３９が可動子５の移動時に適宜弾性変形することにより固定子３側の撓みを緩やかに矯正するように作用するからである。そして、摺動抵抗が軽減されることにより、図示しない駆動モータのトルク損失や摺動部材３１の磨耗や発熱の問題を効果的に解消することができる。
又、本実施の形態による摺動部３１、３１を使用することによって、固定子３側の永久磁石９と可動子５側のコイル部１７との距離が拡大されるようなことはないので、磁力の低下に起因した性能の低下の問題もない。
【００２１】
次に、図４及び図５を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。この第２の実施の形態の場合には、前記第１の実施の形態における摺動部３１の摺動部材３３の内周面に軸方向に延長された複数個の溝５１を設けた構成になっている。
その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同様であり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
【００２２】
以上この実施の形態によると前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができるとともに、摺動部材３３の内周面に軸方向に延長された複数個の溝５１を形成しているので、摺動部材３３と固定子３側との摺動接触面積が減少し、それによって、摺動抵抗をさらに軽減させることができるものである。又、上記複数個の溝５１を形成することにより空気の流通経路を提供することができるので、該空気流路を利用して摺動抵抗によって発生した熱を効果的に放熱させることができる。
又、上記複数個の溝５１を形成することにより固定子外周に塗布したグリスが溝部にたまることで摺動部材の磨耗を低減することができる。
【００２３】
次に、図６及び図７を参照して本発明の第３の実施の形態を説明する。この第３の実施の形態における摺動部３１は次のような構成になっている。まず、アウターケース６１があり、このアウターケース６１内には摺動部材６３が配置されている。上記摺動部材６３の両端には止め輪６５、６５が設置されていて、これら止め輪６５、６５によって上記摺動部材６３を固定している。
【００２４】
上記アウターケース６１の外周部には環状溝６７、６７が形成されていて、これら環状溝６７、６７内には環状弾性部材６９、６９が夫々装着されている。
【００２５】
このような構成でも前記第１、第２の実施の形態の場合と略同様の効果を奏することができる。
上記アウターケース６１を使用することにより、その内部の摺動部材６３の形状、大きさなどの変更が可能になる。
又、可動子の両端位置に摺動部材の配置が困難な場合、より容易に配置することが可能になる。
又、摺動部材外部に異常な外力がかかった場合、摺動部材の変形を抑えることで、円滑な動作が可能になる。
【００２６】
次に、図８及び図９を参照して本発明の第４の実施の形態を説明する。この第４の実施の形態の場合には、前記第３の実施の形態の場合における摺動部材６３の内周面に軸方向に延長された複数個の溝８１を形成したものである。
その他の構成は前記第３の実施の形態の場合と同様であり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
したがって、前記第３の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができるとともに、摺動部材６３と固定子３との摺動接触面積が減少するので、摺動抵抗をさらに軽減させることができる。又、上記複数個の溝８１を形成することにより空気の流通経路を提供することができるので、該空気流路を利用して摺動抵抗によって発生した熱を効果的に放熱させることができる。
又、上記複数個の溝８１を形成することにより固定子外周に塗布したグリスが溝部にたまることで摺動部材の磨耗を低減することができる。
【００２７】
次に、図１０及び図１１を参照して本発明の第５の実施の形態を説明する。この実施の形態における摺動部３１は次のような構成になっている。まず、略中空円筒形状をなす摺動部材９１があり、この摺動部材９１には中心位置に貫通孔９３が穿孔されている。上記貫通孔９３に固定子３が挿通されるものである。上記摺動部材９１には軸方向に延長された複数個（この実施の形態の場合は５個）の切り込み９５が設けられている。
この実施の形態の場合は片側に切り込み９５が設けられているが切り込みは両側に設けてもよい。
【００２８】
上記摺動部材９１の外周部には環状溝９７が形成されていて、この環状溝９７内には環状弾性部材９９が装着されている。
又、切り込みが両側に設けてある場合は両側に、環状溝９７を形成し、この環状溝９７内には環状弾性部材９９を装着する。
【００２９】
したがって、前記第１〜第４の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができるとともに、摺動部材９１に複数個の切り込み９５が形成されているので、摺動部材９１自身も弾性変形可能な構成となっており、上記環状弾性部材９９の弾性変形と摺動部材９１自身の弾性変形と相まって摺動抵抗の軽減効果をさらに高めることができる。
【００３０】
次に、図１２及び図１３を参照して本発明の第６の実施の形態を説明する。この第６の実施の形態の場合には、前記第５の実施の形態の場合おける摺動部材９１の貫通孔９３の内周面に軸方向に延長された複数個の溝１０１を形成したものである。
その他の構成は前記第５の実施の形態の場合と同様であり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
【００３１】
よって、前記第５の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができるとともに、摺動部材９１の貫通孔９３の内周面に軸方向に延長された複数個の溝１０１を形成しているので、摺動部材９１と固定子３との間の摺動接触面積を減少させることができ、摺動抵抗をさらに軽減させることができるものである。
又、上記複数個の溝１０１を形成することにより空気の流通経路を提供することができるので、該空気流路を利用して摺動抵抗によって発生した熱を効果的に放熱させることができる。
又、上記複数個の溝１０１を形成することにより固定子外周に塗布したグリスが溝部にたまることで摺動部材の磨耗を低減することができる。
【００３２】
次に、図１４を参照して本発明の第７の実施の形態を説明する。この実施の形態における摺動部３１は次のような構成になっている。まず、中空円筒形状をなす摺動部材１１１があり、この摺動部材１１１の外周側には４箇所において、弾性手段１１３が設置されている。この弾性手段１１３は、コイルスプリング１１５と押さえ部材１１７とから構成されている。上記コイルスプリング１１５は、上記摺動部材１１１側に形成された凹部１１９内にその先端が嵌合されていて、又、上記押さえ部材１１７によってスプリング力を蓄勢された状態で装着されている。又、上記押さえ部材１１７はコイルケース１５に形成された貫通孔１２１内に圧入されている。
尚、その他の構成は前記各実施の形態と同様であり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。    
【００３３】
よって、可動子５が移動する際には弾性手段１１３のコイルスプリング１１５が適宜弾性変形することにより、固定子３側の撓みを緩やかに矯正しながら移動することになり、それによって、摺動抵抗を低減させることができる、等、前記各実施の形態の場合と略同様の効果を奏することができる。
【００３４】
次に、図１５を参照して本発明の第８の実施の形態を説明する。この実施の形態の場合における摺動部３１は、略球面形状をなす摺動部材１３１から構成されているものである。
尚、その他の構成は前記各実施の形態と同様であり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
このような構成でも前記各実施の形態と略同様の効果を奏することができるとともに偏心、偏角に対しても効果的に対応することができる。
【００３５】
次に、図１６及び図１７を参照して本発明の第９の実施の形態を説明する。この実施の形態における摺動部３１は次のような構成になっている。まず、アウターケース１４１があり、このアウターケース１４１内には摺動部材１４３が収容・配置されている。この摺動部材１４３は略球面形状をなしている。又、この摺動部材１４３の両側には止め輪１４５、１４５が設置されていて、これら止め輪１４５、１４５によって摺動部材１４３を固定している。
【００３６】
上記アウターケース１４１の外周部には環状溝１４７、１４７が形成されていて、これら環状溝１４７、１４７内には環状弾性部材１４９、１４９が装着されている。
【００３７】
このような構成であっても前記各実施の形態の場合と略同様の効果を奏することができるものである。又、偏心、偏角に対しても効果的に対応することができる。
【００３８】
尚、本発明は前記第１〜第９の実施の形態に限定されるものではない。
まず、環状弾性部材、コイルスプリング等の個数、位置等についてはこれを特に限定するものではない。
その他、摺動部以外の各部の構成については図示したものは一例でありそれらに限定されるものではない。  
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、リニアモータに係り、特に、固定子と可動子の間であって可動子の両端位置に摺動部材を設置し、それによって、固定子と可動子の間に空間を保持して固定子と可動子の接触を防止することができるように工夫したものに関し、例えば、精密位置決めシステムに用いられるリニアモータに好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの構成を示す側断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２（ａ）は摺動部材の斜視図、図２（ｂ）は摺動部材の側面図、図２（ｃ）は図２（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２（ａ）は摺動部材の分解斜視図、図２（ｂ）は摺動部材の分解側面図、図２（ｃ）は図２（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図４（ａ）は摺動部材の斜視図、図４（ｂ）は摺動部材の側面図、図４（ｃ）は図４（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図５（ａ）は摺動部材の分解斜視図、図５（ｂ）は摺動部材の分解側面図、図５（ｃ）は図５（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態を示す図で、図６（ａ）は摺動部材の斜視図、図６（ｂ）は摺動部材の側面図、図６（ｃ）は図６（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態を示す図で、摺動部材の分解斜視図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態を示す図で、図８（ａ）は摺動部材の斜視図、図８（ｂ）は摺動部材の側面図、図８（ｃ）は図８（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態を示す図で、摺動部材の分解斜視図である。
【図１０】本発明の第５の実施の形態を示す図で、図１０（ａ）は摺動部材の斜視図、図１０（ｂ）は摺動部材の側面図、図１０（ｃ）は図１０（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図１１】本発明の第５の実施の形態を示す図で、図１１（ａ）は摺動部材の分解斜視図、図１１（ｂ）は摺動部材の分解側面図、図１１（ｃ）は図１１（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図１２】本発明の第６の実施の形態を示す図で、図１２（ａ）は摺動部材の斜視図、図１２（ｂ）は摺動部材の側面図、図１２（ｃ）は図１２（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図１３】本発明の第６の実施の形態を示す図で、図１３（ａ）は摺動部材の分解斜視図、図１３（ｂ）は摺動部材の分解側面図、図１３（ｃ）は図１３（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図１４】本発明の第７の実施の形態を示す図で、図１４（ａ）はリニアモータの横断面図、図１４（ｂ）はリニアモータの一部縦断面図である。
【図１５】本発明の第８の実施の形態を示す図で、リニアモータの縦断面図である。
【図１６】本発明の第９の実施の形態を示す図で、摺動部材の分解斜視図である。
【図１７】本発明の第９の実施の形態を示す図で、図１７（ａ）は摺動部材の斜視図、図１７（ｂ）は摺動部材の側面図、図１７（ｃ）は図１７（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。
【図１８】従来例を示す図で、リニアモータの縦断面図である。
【図１９】従来例を示す図で、リニアモータの縦断面図である。
【図２０】従来例を示す図で、リニアモータの縦断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  リニアモータ
３  固定子
５  可動子
７  非磁性体センター軸
９  永久磁石
１１  非磁性体パイプ
１３  エンドキャップ
１５  コイルケース
１７  コイル部
１９  支持部
２１  直動ガイド機構
２３  ガイドレール
２５  ガイド部材
３１  摺動部
３３  摺動部材
３５  貫通孔
３７  環状溝
３９  環状弾性部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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