(57)【要約】      （修正有）【課題】帯状の被露光材が蛇行しながら送出されても、隣接する露光パターン同士が重なりあったり、露光パターン同士が極端に離れることがなく正常に露光転写することができ露光装置を提供する。【解決手段】コントローラ２２は、カメラ１６ａ，１６ｂ，１８で撮影した画像情報に基づいて送り量誤差（ワーク２の送り出し方向の誤差）ΔＸ１，ΔＸ２と幅方向ずれ量（ワーク２の幅方向の移動誤差）ΔＹを演算するとともに、これらの演算結果に基づいて、ワーク２に連続的に露光転写した露光パターン同士が重なり合わず、且つ露光パターン同士が隙間を設けて隣接しないように、フレーム駆動機構１４及びインデクサーを駆動制御する。【選択図】図３
2007310209.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の被露光材をマスクに対向するように所定量ずつ送出し、前記マスクのパターンを前記被露光材の長手方向に連続的に露光転写していく露光装置において、
送出されてきた前記被露光材の蛇行量を検出する蛇行検出手段と、
前記マスクのパターンを前記被露光材の被露光位置に整合させるアライメント手段と、
前記被露光材に連続的に露光転写される露光パターン同士が重なり合わず、且つ露光パターン同士が隙間を設けて隣接しないように、前記蛇行検出手段の検出結果に基づいて前記アライメント手段による前記マスク及び前記被露光位置の整合を調整する整合調整手段と、を備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記蛇行検出手段及び前記アライメント手段は、前記被露光材の長手方向に所定間隔をあけて形成した被露光材側マークと、前記マスクに形成したマスク側マークと、これら被露光材側マーク及びマスク側マークの重畳状態の情報を得る撮像手段とを備えていることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状の被露光材をマスクに対向するように所定量ずつ送出し、前記マスクのパターンを前記被露光材の長手方向に隣接して連続的に露光転写していく露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
テレビシャドウマスク、ＩＣリードフレーム等を大量に生産する露光装置として、例えば特許文献１のように、帯状の被露光材を表マスク及び裏マスクの間に所定量ずつ送出し、表マスク及び裏マスクを被露光材に密着させ、各マスクの外側に配置した平行光源から各マスクに向けて露光を照射することで、表マスク及び裏マスクのマスクパターンを被露光材の表裏両面に同時に露光する露光装置が知られている。
【０００３】
この特許文献１では、被露光材のエッジラインと平行なライン上に露光間ピッチに合わせて等間隔に基準穴を設けるとともに、表マスク及び裏マスクのいずれか一方に、これら基準穴に対応させて同一ピッチで２箇所、材料整合用のアライメントマークを形成し、カメラ（特許文献１では、２次元センサと称している）が、被露光材の基準穴と対応するマスクの材料整合用アライメントマークの重畳状態を読み取ることで被露光材とマスクの相対的な位置情報を得ている。そして、得られた位置情報に基づいて、マスク位置調整機構が、基準穴と材料整合用アライメントマークとが整合するようにマスクを相対的に移動させることで、被露光材と表マスク及び裏マスクのうちの一方とのアライメントを行うことにより、被露光材のエッジラインを基準とした所定の位置に露光パターンを形成することができる。なお、表マスク及び裏マスクとは、別途設けられた専用のインデックスマークを用いて位置合わせを行なうようにしている。
【特許文献１】特開平０８−１６０５４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、実際の被露光材のエッジラインは完全な直線状ではなく、わずかながら曲がりがあるため、特許文献１の装置は、帯状の被露光材の曲がりのあるエッジラインを基準として被露光材に露光転写が行なわれることにより、隣接する露光パターン同士に傾きが生じたり、重なり合う不良部分や、隣接する露光パターン同士が極端に離れる場合があり、被露光材の歩留りの面で問題がある。
そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、帯状の被露光材が蛇行しながら送出されても、隣接する露光パターン同士が重なり合ったり、露光パターン同士が極端に離れることがなく正常に露光転写することができ、被露光材の歩留りが向上する露光装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するため、本発明に係る露光装置は、帯状の被露光材をマスクに対向するように所定量ずつ送出し、前記マスクのパターンを前記被露光材の長手方向に隣接して連続的に露光転写していく露光装置において、送出されてきた前記被露光材の蛇行を検出する蛇行検出手段と、前記マスクのパターンを前記被露光材の被露光位置に整合させるアライメント手段と、前記被露光材に連続的に露光転写される露光パターン同士が重なり合わず、且つ露光パターン同士が隙間を設けて隣接しないように、前記蛇行検出手段の検出結果に基づいて前記アライメント手段による前記マスク及び前記被露光位置の整合を調整する整合調整手段とを備えている。
ここで、前記蛇行検出手段及び前記アライメント手段は、前記被露光材の長手方向に所定間隔をあけて形成した被露光材側マークと、前記マスクに形成したマスク側マークと、これら被露光材側マーク及びマスク側マークの重畳状態の情報を得る撮像手段とを備えた構成が好ましい。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る露光装置によると、整合調整手段が、被露光材に連続的に露光転写される露光パターン同士が重なり合わず、且つ露光パターン同士が隙間を設けて隣接しないように、前記蛇行検出手段の検出結果に基づいてアライメント手段による前記マスク及び被露光位置の整合を調整するので、帯状の被露光材が蛇行しながら送出されても正常に露光転写することができ、被露光材の歩留りを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明に係る露光装置について、図面を参照しながら説明する。
（露光装置の全体構成）
先ず、本発明に係る露光装置の全体構成について図１を参照して説明する。図１の符号１は帯状のワーク２をタクト送りで巻き出す巻き出し装置、符号３は露光部Ｐの下流側に配置されて露光後のワーク２を巻き取るための巻取り装置である。
【０００８】
露光部Ｐの近傍には、ワーク２の撓みを極力少なくする２個の支持ロール４ａ，４ｂが露光部Ｐを挟み込むように配置されている。支持ロール４ａ，４ｂの外側には露光部Ｐのワーク２を固定するための固定用クランプ５ａ，５ｂが配置されている。上流側の固定用クランプ５ｂには、露光部Ｐに位置するワーク２に対してバックテンションを付与するバックテンションロール６が設けられ、下流側の固定用クランプ５ａの巻取り装置３側には、ワーク２をクランプした状態で巻取り装置３側に所定量送り出し、その後、クランプ状態を解除して元の位置に戻るインデクサー７が設けられている。
【０００９】
このインデクサー７の送り出し量に応じて巻き出し装置１によるワーク２の巻き出しと巻取り装置３によるワーク２の巻取りが行われる。なお、符号２ａは巻き出し装置１側と巻取り装置３側に設けられたワーク送りバッファ部分である。
また、露光部Ｐのワーク２の表面側には、所定の転写パターンを有するマスク８が配置されている。
【００１０】
そして、露光部Ｐにおいてワーク２及びマスク８のアライメント調整を行なった後、マスク８をワーク２の表面に密着させた状態で、マスク８の上方に配置した平行光源１０からマスクに向けて露光を照射し、マスク８のパターンをワーク２の表面に露光転写する。この露光転写が完了すると、インデクサー７でワーク２を巻取り装置３側に所定量送り出す動作を行う。そして、ワーク２の送り出しが終了した後、下流側の固定用クランプ５ａ、又は両側の固定用クランプ５ａ，５ｂで露光位置Ｐに送られてきたワーク２を固定し、上記と同様の工程で新たな露光転写を行う。
【００１１】
（第１実施形態）
次に、図２は、本発明に係る第１実施形態のワーク２及びマスク８の具体的構成を示し、図３は、第２実施形態の露光部Ｐの構成を示すものである。
図２に示すように、本実施形態のマスク８には、回路パターン等の所定のパターンＰＴ１が形成されているとともに、ワーク２の幅方向の一方の縁部に対応する側に、一対のマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂが、ワーク２の長手方向に所定間隔をあけて形成されている。これら一対のマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂは、透光性の領域に、例えば非透光性で、且つ後述の基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…よりも小さな円形のマークである。
【００１２】
また、ワーク２の幅方向の一方の縁部に、穴明け機４２によって複数の円形の基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…が形成されている。ワーク２がインデクサー７で巻取り装置３側に所定量だけ送られた後、穴明け機４２は、ワーク２の長さ方向に互いに離間して配置した一対のエッジポジショニングセンサ４２ａ，４２ｂによりワーク２のエッジラインの位置を検出し、それぞれのセンサ４２ａ，４２ｂに対応して設けられた図示しないアクチュエータにより２ヶ所のエッジラインが所定位置となるように調整した後、基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…を順に形成していく。これら基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…の間隔は、一対のマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂの間隔と同一に設定されている。
【００１３】
露光部Ｐは、図３に示すように、マスク８がマスク保持フレーム１２により真空吸着で保持されている。このマスク保持フレーム１２は、フレーム駆動機構１４によりＸＹθ方向に微小移動制御可能となっている（ＸＹ平面をワーク２の被露光面と平行な平面、θをＸＹ平面に垂直な軸周りの回転方向と定義する）。なお、この図では、マスク保持フレーム１２を上下方向に移動し、マスク８をワーク２の表面に密着させる機構は省略している。
【００１４】
マスク８に形成したマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂに上方から対向する位置に、２台のカメラ１６ａ，１６ｂが配置されており、これらカメラ１６ａ，１６ｂはマスク保持フレーム１２、またはマスク保持フレーム１２を保持する図示しないマスクステージに固定されている。
また、ワーク送り出し方向の前方に配置されているカメラ１６ａよりさらにワーク送り出し方向の前方位置に、１台のカメラ１８が配置されており、このカメラ１８も、図示しないがマスク保持フレーム１２、またはマスク保持フレーム１２を保持する図示しないマスクステージに固定されている。
【００１５】
これら３台のカメラ１６ａ，１６ｂ，１８は、ワーク送り出し方向に沿って直線上に配置され、カメラ１６ａ，１６ｂの間の間隔、カメラ１６ａ，１８の間の間隔は同一（インデクサー７による一回当たりの所定の送り出し量）に設定されている。
なお、カメラ１６ａ，１６ｂ，１８は、図示しないが複数のレンズ等からなる光学系、ハーフミラー及び二次元のイメージセンサ、及び焦点調整機構で構成されている。
【００１６】
また、ワーク２に形成した３個の基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃに下方から対向する位置に、照明器２０ａ，２０ｂ，２０ｃが配置されている。これら照明器２０ａ，２０ｂ，２０ｃは、図示しないが集光レンズと発光ダイオード等の投光素子等により構成されている。
そして、前述したカメラ１６ａ，１６ｂ，１８、フレーム駆動機構１４、インデクサー７及び穴あけ機４２は、コントローラ２２に接続している。
コントローラ２２は、キーボード、表示画面等の表示装置を有するコンピュータシステムにより構成されており、キー操作等によりカメラ１６ａ，１６ｂ，１８の焦点を合わせる制御を行うことができるとともに、フレーム駆動機構１４、インデクサー７及び穴あけ機４２の駆動制御を行うことができる。
【００１７】
次に、第１実施形態の露光手順について図４を参照しながら説明する。
先ず、図４（ａ）に示すように、コントローラ２２は穴あけ機４２に対して駆動信号を送り、穴明け機４２がワーク２の幅方向の一方の縁部に一番目の基準穴４０ａを形成する。
次に、図４（ｂ）に示すように、コントローラ２２はインデクサー７及び穴明け機４２に対して駆動信号を送り、インデクサー７の駆動によりワーク２が規定送り量（予め設定されている送り量）で送り出されるとともに、穴あけ機４２がワーク２の幅方向の一方の縁部に２番目の基準穴４０ｂを形成する。
【００１８】
次に、図４（ｃ）に示すように、コントローラ２２はインデクサー７及び穴明け機４２に対して駆動信号を送り、インデクサー７の駆動によりワーク２は規定送り量で送り出されるとともに、穴明け機４２はワーク２の幅方向の一方の縁部に３番目の基準穴４０ｃを形成する。次に、コントローラ２２は、カメラ１６ａ，１６ｂで撮像された画像情報に基づき、１番目の基準穴４０ａとマスクアライメントマークＭ１ａとの相対的なずれ量及び、２番目の基準穴４０ｂとマスクアライメントマークＭ１ｂとの相対的なずれ量を演算し、これらずれ量が減少するようにフレーム駆動機構１４を駆動制御する。これにより、フレーム駆動機構１４は、マスク８を保持しているマスク保持フレーム１２をＸＹθ方向に微小移動させ、ワーク２とマスク８のアライメントを行なう。
【００１９】
そして、マスク８をワーク２の表面に密着させた状態で、マスク８の上方に配置した平行光源１０からマスク８に向けて露光を照射し、マスク８のパターンをワーク２の表面に露光転写する。
次に、図４（ｄ）に示すように、コントローラ２２は、駆動信号をインデクサー７に送り、ワーク２は、規定送り量で送り出されていく。また、コントローラ２２が穴あけ機４２に対して駆動信号を送り、ワーク２の幅方向の一方の縁部に４番目の基準穴４０ｄを形成する。
【００２０】
また、コントローラ２２は、カメラ１８で撮像された１番目の基準穴４０ａの画像情報と、カメラ１６ａで撮像された２番目の基準穴４０ｂの画像情報と、カメラ１６ｂで撮像された３番目の基準穴４０ｃの画像情報とに基づいてワーク２の幅方向ずれ量ΔＹを演算する。このとき、基準穴４０ｂの中心及び基準穴４０ｃの中心を通る直線と基準穴４０ａの中心のＹ軸方向（幅方向）のずれ量がΔＹとする。
【００２１】
次に、図４（ｅ）に示すように、コントローラ２２は、演算したワーク２の幅方向ずれ量ΔＹと、カメラ１６ａ，１６ｂで撮像された画像情報とに基づいて、フレーム駆動機構１４を駆動制御する。すなわち、コントローラ２２は、ワーク２の幅方向ずれ量ΔＹを考慮しながら、２番目の基準穴４０ｂとマスクアライメントマークＭ１ａとの相対的なずれ量と、３番目の基準穴４０ｃとマスクアライメントマークＭ１ｂとの相対的なずれ量が減少するようにフレーム駆動機構１４を駆動制御する。すなわち、基準穴４０ｂとマスクアライメントマークＭ１ａとは中心同士が合うように調整するが、基準穴４０ｃとマスクアライメントマークＭ１ｂとの位置合わせは、ワーク２の幅方向ずれ量ΔＹを考慮し、一回目の露光パターンとこれから露光するパターンとが傾きなくつながれるような位置関係となるようにする。
【００２２】
そして、マスク８をワーク２の表面に密着させた状態で、マスク８の上方に配置した平行光源１０からマスク８に向けて露光を照射すると、既にワーク２に露光転写されている露光パターンに重なり合わず、しかも、その露光パターンとの間に隙間を設けずに新たな露光パターンが露光転写される。
次に、図示しないが、コントローラ２２は駆動信号をインデクサー７に送り、ワーク２が、規定送り量で送り出されていく。そして、図４（ｄ）以降と同様の手順で、ワーク２に新たな露光パターンを露光転写していく。
【００２３】
なお、ワーク２が本発明の被露光材に相当し、ワーク２に形成した基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…、マスク８に形成したマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂ及びカメラ１６ａ，１６ｂ，１８が本発明の蛇行検出手段に相当し、マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂ及びカメラ１６ａ，１６ｂが本発明のアライメント手段に相当し、コントローラ２２、フレーム駆動機構１４及びインデクサー７が本発明の整合調整手段に相当し、基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…が本発明の被露光材側マークに相当し、マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂが本発明のマスク側マークに相当し、カメラ１６ａ，１６ｂ，１８が本発明の撮像手段に相当し、幅方向ずれ量ΔＹが本発明の蛇行量に相当する。
【００２４】
本実施形態によると、コントローラ２２が、カメラ１６ａ，１６ｂ，１８で撮影した画像情報に基づいて幅方向ずれ量ΔＹを演算するとともに、これらの演算結果に基づいて、ワーク２に連続的に露光転写した露光パターン同士が重なり合わず、且つ露光パターン同士が隙間を設けて隣接しないように、フレーム駆動機構１４及びインデクサー７を駆動制御するので、ワーク２が蛇行しながら送出されても正常に露光転写することができ、ワーク２の歩留りを向上させることができる。
また、ワーク２の蛇行を検出する手段を、ワーク２に形成した基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…と、マスク８に形成したマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂと、カメラ１６ａ，１６ｂ，１８としたので、簡便な装置構成とすることができる。
【００２５】
（第２実施形態）
次に、図５は、本発明に係る第２実施形態のワーク２及びマスク８の具体的構成を示し、図４は、第２実施形態の露光手順を示したものである。なお、図２から図４で示した第１実施形態の構成と同一構成部分には、同一符号を付してその説明を省略する。
図５に示すように、本実施形態のマスク８には、第１実施形態と同様に一対のマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂが形成されているとともに、ワーク２の幅方向の他方の縁部に対応する側に一対のマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂが形成されている。これら一対のマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂも、透光性の領域に、例えば非透光性で、且つ後述の基準穴４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄよりも小さな円形のマークである。
【００２６】
また、ワーク２の幅方向の両縁部には、それぞれ穴明け機４２が配置されており、一方の穴明け機４２が基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…を形成し、他方の穴明け機４２が、基準穴４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ…を形成するようになっている。なお、基準穴４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ…は、基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…に対してワーク送り出し方向に同一位置に形成される。
【００２７】
また、本実施形態が第１実施形態の露光部Ｐと異なる点は、図６（ａ）に示すように、マスク８に形成したマスクアライメントマークＭ２ａ，Ｍ２ｂに対して上方から対向する位置にカメラ１７ａ，１７ｂが配置されているとともに、第１実施形態のようなワーク送り出し方向の前方にカメラ１８が配置されていない。
したがって、本実施形態は、マスク８に形成したマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂ，Ｍ２ａ，Ｍ２ｂに対して上方から対向する位置に４台のカメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが、マスク保持フレーム１２に固定された状態で配置されている。
そして、４台のカメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂは、コントローラ２２に接続している。
【００２８】
次に、第２実施形態の露光手順について図６を参照しながら説明する。
先ず、図６（ａ）に示すように、コントローラ２２は２台の穴あけ機４２に対して駆動信号を送り、２台の穴明け機４２は、ワーク２の幅方向の両縁部に１列目の基準穴４０ａ，４１ａを形成する。
次に、図６（ｂ）に示すように、コントローラ２２はインデクサー７及び２台の穴明け機４２に対して駆動信号を送り、インデクサー７の駆動によりワーク２が規定送り量で送り出されるとともに、２台の穴あけ機４２がワーク２の幅方向の両縁部に２列目の基準穴４０ｂ，４１ｂを形成する。
【００２９】
次に、図６（ｃ）に示すように、コントローラ２２はインデクサー７及び２台の穴明け機４２に対して駆動信号を送り、インデクサー７の駆動によりワーク２が規定送り量で送り出されるとともに、２台の穴あけ機４２がワーク２の幅方向の両縁部に３列目の基準穴４０ｃ，４１ｃを形成する。次に、コントローラ２２は、カメラ１６ｂ，１７ｂで撮像された画像情報に基づき、２列目の基準穴４０ｂとマスクアライメントマークＭ１ｂとの相対的なずれ量及び、２列目の基準穴４１ｂとマスクアライメントマークＭ２ｂとの相対的なずれ量を演算し、これらずれ量が減少するようにフレーム駆動機構１４を駆動制御する。これにより、フレーム駆動機構１４は、マスク８を保持しているマスク保持フレーム１２をＸＹθ方向に微小移動させ、ワーク２とマスク８のアライメントを行なう。この状態で、コントローラ２２は、カメラ１６ａで撮像された１列目の基準穴４０ａとマスクアライメントマークＭ１ａとの画像情報に基づき、送り量誤差ΔＸ１を演算する。なお、より好ましくは、同時にカメラ１７ａで基準穴４１ａとマスクアライメントマークＭ２ａとの画像情報に基づき、送り量誤差ΔＸ２を得て両者の平均値を後述の補正送りに用いるようにしてもよい。
【００３０】
次に、図６（ｄ）に示すように、コントローラ２２は、演算した送り量誤差ΔＸ１（あるいは送り量誤差ΔＸ１，ΔＸ２の平均値）に基づいた駆動信号をインデクサー７に送り、ワーク２は、送り量誤差ΔＸ１（あるいは送り量誤差ΔＸ１，ΔＸ２の平均値）を補正するような補正送り量で送り出されていく。また、コントローラ２２が２台の穴あけ機４２に対して駆動信号を送り、ワーク２の幅方向の両縁部に４列目の基準穴４０ｄ，４１ｄを形成する。
【００３１】
また、コントローラ２２は、カメラ１６ａ，１７ａで撮像された画像情報に基づき、基準穴４０ｂとマスクアライメントマークＭ１ａとの相対的ずれ量及び基準穴４１ｂとマスクアライメントマークＭ２ａとの相対的ずれ量を演算し、これらずれ量が減少するようにフレーム駆動機構１４を駆動制御する。これにより、ワーク２とマスク８のアライメントを行なう。次に、コントローラ２２は、この状態でカメラ１６ｂで撮像された３列目の基準穴４０ｃとマスクアライメントマークＭ１ｂの画像情報及びカメラ１７ｂで撮像された３列目の基準穴４１ｃとマスクアライメントマークＭ２ｂの画像情報に基づいてワーク２の幅方向の一方側のずれ量ΔＹ１、幅方向の他方側のずれ量ΔＹ２及びワーク２の送り方向のずれ量ΔＸ１，ΔＸ２（図６（ｄ）に示すもの）を演算するとともに、図示しない記憶部に記憶する。
そして、マスク８をワーク２の表面に密着させた状態で、マスク８の上方に配置した平行光源１０からマスク８に向けて露光を照射し、マスク８のパターンをワーク２の表面に露光転写する。
【００３２】
次に、図６（ｅ）に示すように、コントローラ２２は、図６（ｄ）で得られた送り量誤差ΔＸ１（あるいは送り量誤差ΔＸ１，ΔＸ２の平均値）に基づいた駆動信号をインデクサー７に送り、ワーク２をその補正送り量で送り出し、５列目の基準穴４０ｅ，４１ｅを形成する。次に、先に記憶した送り量誤差ΔＸ１，ΔＸ２、幅方向ずれ量ΔＹ１，ΔＹ２を考慮しながら、カメラ１６ａ，１７ａで撮像された画像情報に基づいて、フレーム駆動機構１４を駆動制御する。すなわち、コントローラ２２は、３列目の基準穴４０ｃとマスクアライメントマークＭ１ａとの相対的なずれ量が先に記憶した送り量誤差ΔＸ１、幅方向ずれ量ΔＹ１と、３列目の基準穴４１ｃとマスクアライメントマークＭ２ａとの相対的なずれ量が、先に記憶した送り量誤差ΔＸ２、幅方向ずれ量ΔＹ２と、それぞれ一致した状態となるようにスレーム駆動機構１４を駆動制御する。さらに、この状態での４列目の基準穴４０ｄとマスクアライメントマークＭ１ｂとの送り量誤差ΔＸ１１，幅方向ずれ量ΔＹ１１及び４列目の基準穴４１ｄとマスクアライメントマークＭ２ｂとの送り量誤差ΔＸ２２，幅方向ずれ量ΔＹ２２をカメラ１６ｂ，１７ｂにより取得し、ΔＸ１−ΔＸ１１、ΔＸ２−ΔＸ２２、ΔＹ１−ΔＹ１１及びΔＹ２−ΔＹ２２の演算結果を記憶部に記憶する。
【００３３】
そして、マスク８をワーク２の表面に密着させた状態で、マスク８の上方に配置した平行光源１０からマスク８に向けて露光を照射すると、既にワーク２に露光転写されている露光パターンに重なり合わず、しかも、その露光パターンとの間に隙間を設けずに新たな露光パターンが露光転写される。
次に、図示しないが、コントローラ２２は、演算した送り量誤差（図６（ｅ）におけるΔＸ１−ΔＸ１１（あるいは、ΔＸ１−ΔＸ１１とΔＸ２−ΔＸ２２との平均値）に基づいた駆動信号をインデクサー７に送り、ワーク２が、前記送り量誤差を補正するような補正送り量で送り出されていく。そして、図６（ｄ）以降と同様の手順で、ワーク２に新たな露光パターンを露光転写していく。
【００３４】
なお、本実施形態のワーク２に形成した基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…，４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ…、マスク８に形成したマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂ，Ｍ２ａ，Ｍ２ｂ及びカメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが本発明の蛇行検出手段に相当し、マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ２ａ及びカメラ１６ａ，１７ａが本発明のアライメント手段に相当し、コントローラ２２、フレーム駆動機構１４及びインデクサー７が本発明の整合調整手段に相当し、基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…，４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ…が本発明の被露光材側マークに相当し、マスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂ，Ｍ２ａ，Ｍ２ｂが本発明のマスク側マークに相当し、カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが本発明の撮像手段に相当し、送り量誤差ΔＸ１，ΔＸ２及び幅方向ずれ量ΔＹ１，ΔＹ２が本発明の蛇行量に相当する。
【００３５】
本実施形態によると、コントローラ２２が、カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂで撮影した画像情報に基づいて送り量誤差ΔＸ１，ΔＸ２及び幅方向ずれ量ΔＹ１，ΔＹ２等を演算するとともに、これらの演算結果に基づいて、ワーク２に連続的に露光転写した露光パターン同士が重なり合わず、且つ露光パターン同士が隙間を設けて隣接しないように、フレーム駆動機構１４及びインデクサー７を駆動制御するので、ワーク２が蛇行しながら送出されても正常に露光転写することができ、ワーク２の歩留りを向上させることができる。
【００３６】
また、ワーク２の蛇行を検出する手段を、ワーク２に形成した基準穴４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ…，４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ…と、マスク８に形成したマスクアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｂ，Ｍ２ａ，Ｍ２ｂと、カメラ１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂとしたので、簡便な装置構成とすることができる。
なお、上記各実施形態では、片面露光の場合について述べたが、特許文献１のような両面露光装置にも本発明は適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に係る露光装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明に係る露光装置の第１実施形態の露光部に配置されているマスク及び被露光材を示す斜視図である。
【図３】第１実施形態の露光部を示す概略構成図である。
【図４】第１実施形態の露光部による露光転写までの動作を示す図である。
【図５】本発明に係る露光装置の第２実施形態の露光部に配置されているマスク及び被露光材を示す斜視図である。
【図６】第２実施形態の露光部による露光転写までの動作を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
２…ワーク、７…インデクサー、８…マスク、１０…光源、１２…マスク保持フレーム、１４…フレーム駆動機構、１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ，１８…カメラ、２２…コントローラ、４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ…基準穴、Ｍ１ａ，Ｍ１ｂ，Ｍ２ａ，Ｍ２ｂ…マスクアライメントマーク、ΔＸ１，ΔＸ２…送り量誤差、ΔＹ，ΔＹ１，ΔＹ２…幅方向ずれ量、Ｐ  露光部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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