(57)【要約】      （修正有）【課題】基板吸着テーブルの撓みや変形を防止することのできる位置決めテーブル装置を提供する。【解決手段】基板吸着テーブル上に載置された基板の傾き及び高さ位置を調整する調整機構を回転テーブル１４１上に設置された三つのテーブル昇降機構１７から構成した位置決めテーブル装置において、基板吸着テーブル１２の下面部に当接するサポート部材をピストンロッドの先端部に有する５個のエアーシリンダ１８を回転テーブル１４１の周囲に配置した。【選択図】図１
2007310019.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、該ベースの上方に設けられたテーブルと、該テーブルと前記ベースとの間に設けられ、各々前記テーブルの下面の支持点で前記テーブルを支持するとともに互いに独立に前記支持点を上下動可能な三つのテーブル昇降機構とを備えた位置決めテーブル装置において、
前記テーブルの下面部に当接するサポート部材を伸縮自在のロッドの先端部に有する少なくとも三つのアクチュエータを配置したことを特徴とする位置決めテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえばフラットパネルディスプレイなどのパネルを製造する場合に用いられ、載置される基板の位置決めを行うための位置決めテーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板に加工、検査等の処理を施すため、基板を載置し、位置決めする装置として、基板の高さ方向位置及び傾きの調整が可能なものがある（例えば特許文献１参照）。
図６は傾き調整の可能な６軸位置決めテーブル装置の一例の概略構成を示す図であり、同図に示される位置決めテーブル装置１０は、ベース１１、ベース１１の上方に設けられるテーブルとしての基板吸着テーブル１２を備えている。
【０００３】
基板吸着テーブル１２は矩形状をなしており、この基板吸着テーブル１２の上面部には多数の基板吸着ノズル（図示せず）が設けられている。また、基板吸着テーブル１２はベース１１の上方に設けられており、ベース１１と基板吸着テーブル１２との間には、基板吸着テーブル１２をその中心軸回りに水平面内で回転駆動するテーブル回転機構１４が設けられていると共に、テーブル回転機構１４を介して基板吸着テーブル１２を互いに直交する二つの軸方向（図中Ｘ方向及びＹ方向）に水平面内で送り駆動するテーブル送り機構１５が設けられている。
テーブル回転機構１４は基板吸着テーブル１２の下面部と対向する矩形状の回転テーブル１４１と、この回転テーブル１４１を回転駆動する駆動機構部１４２とからなり、回転テーブル１４１の上面部には、基板吸着テーブル１２の上面部に載置された基板Ｗの高さ位置及び傾きを調整する調整機構１６が設けられている。
【０００４】
テーブル送り機構１５はベース１１の上面部に互いに平行に設置された二つのリニアガイド１５１（図７参照）を有しており、各リニアガイド１５１のスライダ上面部にはＸ方向移動テーブル１５２が設置されている。このＸ方向移動テーブル１５２は例えばボールねじと駆動モータとからなる駆動機構部（図示せず）により図中Ｘ方向に送り駆動されるようになっており、Ｘ方向移動テーブル１５２の上面部には、二つのリニアガイド１５３（図７参照）が互いに平行に設置されている。これらのリニアガイド１５３は図中Ｙ方向に沿ってＸ方向移動テーブル１５２上に設置されており、各リニアガイド１５３のスライダ上面部には、例えばボールねじと駆動モータとからなる駆動機構部（図示せず）により図中Ｙ方向に送り駆動されるＹ方向移動テーブル１５４が設置されている。
【０００５】
調整機構１６は、図８に示すように、三つのテーブル昇降機構１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃから構成されている。これらのテーブル昇降機構１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃは、図９に示すように、機構ベース１７０と、駆動モータ１７１と、この駆動モータ１７１により回転駆動される送りねじ軸１７２と、機構ベース１７０の水平案内部に案内されるとともに送りねじ軸１７２により図中Ｘ方向に送り駆動されるスライドブロック１７３とを備えており、スライドブロック１７３の上面部には、スライドブロック１７３の移動方向に沿って傾斜する傾斜面１７３ａが形成されている。また、テーブル昇降機構１７はスライドブロック１７３の傾斜面１７３ａに沿って移動可能に案内される傾斜面１７４ａを下面部に有するとともに、機構ベース１７０の垂直案内部により上下方向に移動可能に案内される昇降ブロック１７４を備えており、この昇降ブロック１７４の上面部には、基板吸着テーブル１２の下面部に接触する半球状のテーブル接触部材１７５が設けられている。
【特許文献１】特開２０００−３５６７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図６に示した位置決めテーブル装置では、被露光基板Ｗの大形化に伴って基板吸着テーブル１２の大きさが大きくなると、基板吸着テーブル１２の周縁部に撓みや変形が発生するおそれがあった。また、位置決めテーブルが組み込まれる装置によっては、基板吸着テーブル１２の上面に局部的に大きな外力が作用する場合があり、このような場合も基板吸着テーブル１２に撓みや変形が発生する。
【０００７】
これを防止する方策としては、基板吸着テーブル１２の剛性を上げるため、特に厚さ（高さ）を厚くしたりするなどが考えられるが、基板吸着テーブル１２の厚さを厚くすると基板吸着テーブル１２の重量が増大するため、テーブル昇降機構１７の駆動モータとして駆動トルクの大きい駆動モータを必要とし、コストの上昇を招くという問題があった。
本発明は、上述した点に着目してなされたものであり、薄型のテーブルを用いながら撓みや変形が小さく、テーブル上面の平面度を高めることのできる位置決めテーブル装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明は、ベースと、該ベースの上方に設けられたテーブルと、該テーブルと前記ベースとの間に設けられ、各々前記テーブルの下面の支持点で前記テーブルを支持するとともに互いに独立に前記支持点を上下動可能な三つのテーブル昇降機構とを備えた位置決めテーブル装置において、前記テーブルの下面部に当接するサポート部材を伸縮自在のロッドの先端部に有する少なくとも三つのアクチュエータを配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る位置決めテーブル装置では、テーブルの下面部に当接するサポート部材を伸縮自在のロッドの先端部に有する少なくとも三つのアクチュエータを配置したことで、自重による撓みや変形がテーブルの周縁部に発生し難くなるので、テーブルの撓みや変形を防止することができる。また、テーブルの厚さを厚くしたりする必要がないので、コストの上昇を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る位置決めテーブル装置の実施の形態を図１〜図５を参照して説明するが、図６〜図９に示したものと同一部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は割愛する。
図１及び図２は本発明の第１の実施形態を示す図であり、図１に示すように、回転テーブル１４１の周囲には、アクチュエータとしての５個のエアーシリンダ１８がそれぞれ所定位置に配置されている。これらのエアーシリンダ１８は上下方向に伸縮するピストンロッド１８１（図２参照）をそれぞれ有しており、各ピストンロッド１８１の先端部には、基板吸着テーブル１２の下面部に当接する半球状のサポート部材１９が設けられている。なお、エアーシリンダ１８のシリンダ本体１８２はテーブル送り機構１５のＹ方向移動テーブル１５４上に設置されている。なお、シリンダ本体１８２はベース１１あるいは回転テーブル１４１上に設置するようにしてもよい。
【００１１】
また、５個のエアーシリンダ１８のうち１個のエアーシリンダ１８は、図１に示すように、基板吸着テーブル１２とテーブル昇降機構１７Ａとの接触点Ｐ及び基板吸着テーブル１２の中心Ｏを通り且つ基板吸着テーブル１２の長手方向に延びる直線Ｌ１上に配置され、残りの４個のエアーシリンダ１８は直線Ｌ１と平行な直線Ｌ２，Ｌ３上にそれぞれ２個ずつ配置されている。
【００１２】
このように構成される位置決めテーブル装置では、基板吸着テーブル１２の下面部に当接する半球状のサポート部材１９をピストンロッド１８１の先端部に有する５個のエアーシリンダ１８を回転テーブル１４１の周囲に配置し、基板吸着テーブル１２を下面側から上方に押圧するようにしたことにより、基板吸着テーブル１２の自重や上面に作用する外力による撓みや変形が補正されるため、基板吸着テーブル１２の周縁部に発生し難くなるので、基板吸着テーブル１２の撓みや変形を防止することができる。また、基板吸着テーブル１２の周縁部が撓んだり変形したりすることを防止するために、基板吸着テーブル１２の厚さを厚くしたりする必要がない。したがって、テーブル昇降機構１７の駆動モータとして駆動トルクの大きい駆動モータを用いる必要がないので、コストの上昇を抑制することができる。
【００１３】
エアーシリンダ１８による押圧力はエアーシリンダ１８へ供給する圧力をレギュレータ等（図示せず）で調整できる。そして、予め基板吸着テーブル１２全体としての撓み（変形）量が最小となるような各エアーシリンダ１８の押圧力を求めておき、その押圧力となるように調整する。あるいは例えばピストンロッド１８１の伸縮を変位センサにより検出し、空圧制御装置（図示せず）にフィードバックし、空圧制御装置がこの変位が、テーブル１２全体としての撓み量が最小となる場合に対応する値になるよう押圧力を制御するようにしてもよい。
【００１４】
上述した第１の実施形態では回転テーブル１４１の周囲に五つのエアーシリンダ１８を配置したが、エアーシリンダの数は５個に限定されるものではない。たとえば、基板吸着テーブルが図１に示したものより横長の場合には、図３に示す第２の実施形態のように、回転テーブル１４１の周囲に例えば１０個のエアーシリンダ１８を配置してもよい。また、基板吸着テーブルの形状が正方形に近い形状である場合には、図４に示す第３の実施形態のように、回転テーブル１４１の周囲に３個のエアーシリンダ１８を配置してもよい。
【００１５】
上述した第１〜第３の実施形態ではテーブル昇降機構１７のスライドブロック１７３を図中Ｘ方向にスライドさせて基板Ｗの傾き及び高さを調整する場合を例示したが、テーブル昇降機構１７を設置する向き（ひいては、スライドブロック１７３のスライド方向）はこれに限定されず、例えば、図５に示す第４の実施形態のように、テーブル昇降機構１７のスライドブロック１７３を図中Ｙ方向にスライドさせて基板Ｗの傾き及び高さを調整するようにしてもよい。
【００１６】
上述した第１〜第４の実施形態では回転テーブル１４１の周囲に複数個のエアーシリンダ１８を配置した場合を例示したが、エアーシリンダの代わりに複数個の油圧シリンダあるいは電動シリンダを回転テーブル１４１の周囲に配置してもよい。
また、本発明はテーブル回転機構１４及びテーブル送り機構１５の両方あるいは一方を有しない位置決めテーブル装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る位置決めテーブル装置の第１の実施形態を示す図である。
【図２】図１のII−II断面図である。
【図３】本発明に係る位置決めテーブル装置の第２の実施形態を示す図である。
【図４】本発明に係る位置決めテーブル装置の第３の実施形態を示す図である。
【図５】本発明に係る位置決めテーブル装置の第４の実施形態を示す図である。
【図６】従来の位置決めテーブル装置の概略構成を示す図である。
【図７】図６のVII−VII断面図である。
【図８】図６に示すテーブル昇降機構の概略構成図である。
【図９】図６のIX−IX断面図である。
【符号の説明】
【００１８】
１１  ベース
１２  基板吸着テーブル
１３  マスクホルダ
１４  テーブル回転機構
１４１  回転テーブル
１５  テーブル送り機構
１６  テーブル昇降機構
１７  調整機構
１８  エアーシリンダ
１８１  ピストンロッド
１９  サポート部材
【図１】
2007310019.tif 000003
【図２】
2007310019.tif 000004
【図３】
2007310019.tif 000005
【図４】
2007310019.tif 000006
【図５】
2007310019.tif 000007
【図６】
2007310019.tif 000008
【図７】
2007310019.tif 000009
【図８】
2007310019.tif 000010
【図９】
2007310019.tif 000011