(57)【要約】【課題】  各種の欠陥の検査や画像評価を容易にかつ短時間で行うことができる検査方法および検査装置を提供する。【課題手段】  検査装置は、画像データ記憶手段４１と、検査対象確認用配列及び検査結果記録用配列を初期化する配列準備手段４２と、座標記憶手段に初期検査座標を記憶する初期検査用座標記憶手段４３と、検査対象確認用配列の検査対象座標を検査回数変数値に変更する検査対象確認用配列更新手段４４と、前記座標および比較対象座標の各画像データで評価値を算出し、評価値が不良の時は検査結果記録用配列の該当座標の検査結果値を更新し、良の時は座標を座標記憶手段に記憶するデータ評価手段４５と、検査対象確認用配列で初期値の座標を探して座標記憶手段に記憶し、検査回数変数値を更新する検査対象更新手段４６と、検査対象確認用配列、検査結果記録用配列のデータに基づいて被検査物を評価する検査物評価手段４７とを備える。【選択図】        図２
2007085759.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物を撮影した画像データに基づいて被検査物を検査する検査方法であって、
前記画像データを二次元の画像データ用配列に記憶する画像データ記憶工程と、
前記画像データ用二次元配列と同じ大きさの検査対象確認用配列および検査結果記録用配列を用意して各配列データを初期値に初期化する配列準備工程と、
配列の座標を記憶可能な座標記憶手段に初期検査用の座標を記憶する初期検査用座標記憶工程と、
前記座標記憶手段に座標が記憶されているかを確認し、座標が記憶されている場合には、記憶されている座標を読み出し、検査対象確認用配列の前記座標を所定の検査回数変数値に変更する検査対象確認用配列更新工程と、
前記画像データ用配列において前記座標記憶手段から読み出された前記座標の画像データと、その座標に隣接する比較対象座標のうち、検査対象確認用配列における各座標のデータが初期値のままである比較対象座標の画像データとを所定の評価式に代入して評価値を算出し、前記比較対象座標のうち、評価値が不良と判断された座標があった場合には、検査結果記録用配列の該当座標の検査結果値を更新し、評価値が良と判断された座標があった場合には、その座標を前記座標記憶手段に記憶するデータ評価工程と、
前記座標記憶手段に記憶されている座標が無い場合に、検査対象確認用配列のなかで初期値のままの座標を探して前記座標記憶手段に記憶するとともに、検査回数変数値を更新する検査対象更新工程と、
前記検査対象確認用配列のなかで初期値のままの座標が無くなった時点で各検査対象確認用配列および検査結果記録用配列のデータに基づいて被検査物を評価する検査物評価工程と、
を備えることを特徴とする検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の検査方法において、
画像データ記憶工程は、画像データとして被測定物を撮像したカメラの各撮像画素の輝度値データを画像データ用配列に記憶し、
前記データ評価工程は、前記座標の輝度値データと、比較対象の各座標の輝度値データとの差を求め、その差の絶対値が予め設定されている閾値よりも大きければその比較対象座標の評価値は不良であると判断し、閾値以下であればその比較対象座標の評価値は良であると判断することを特徴とする検査方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の検査方法において、
前記検査物評価工程は、
前記検査対象確認用配列に記憶された検査回数変数値のうち、最も数が多い変数値が設定された領域は正常領域と評価し、
その他の変数値が設定された領域を欠陥領域と評価し、
さらに欠陥領域は、同じ変数値が連続して配置された領域をそれぞれ独立した欠陥と評価するとともに、
前記検査結果記録用配列に記憶された検査結果値が初期値以外であるか否かおよびその値の大きさに基づいて欠陥領域のエッジを評価することを特徴とする検査方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれかに記載の検査方法において、
前記データ評価工程は、
検査対象座標の周囲に隣接する８個の座標のうち、検査対象確認用配列において対応する座標のデータが初期値のままである座標を比較対象座標とすることを特徴とする検査方法。
【請求項５】
被検査物を撮像した画像データに基づいて被検査物を検査する検査装置であって、
前記画像データを二次元の画像データ用配列に記憶する画像データ記憶手段と、
前記画像データ用二次元配列と同じ大きさの検査対象確認用配列および検査結果記録用配列を用意して各配列データを初期値に初期化する配列準備手段と、
配列の座標を記憶可能な座標記憶手段に初期検査用の座標を記憶する初期検査用座標記憶手段と、
前記座標記憶手段に座標が記憶されているかを確認し、座標が記憶されている場合には、記憶されている座標を読み出し、検査対象確認用配列の前記座標を所定の検査回数変数値に変更する検査対象確認用配列更新手段と、
前記画像データ用配列において前記座標記憶手段から読み出された前記座標の画像データと、その座標に隣接する比較対象座標のうち、検査対象確認用配列における各座標のデータが初期値のままである比較対象座標の画像データとを所定の評価式に代入して評価値を算出し、前記比較対象座標のうち、評価値が不良と判断された座標があった場合には、検査結果記録用配列の該当座標の検査結果値を更新し、評価値が良と判断された座標があった場合には、その座標を前記座標記憶手段に記憶するデータ評価手段と、
前記座標記憶手段に記憶されている座標が無い場合に、検査対象確認用配列のなかで初期値のままの座標を探して前記座標記憶手段に記憶するとともに、検査回数変数値を更新する検査対象更新手段と、
前記検査対象確認用配列のなかで初期値のままの座標が無くなった時点で各検査対象確認用配列および検査結果記録用配列のデータに基づいて被検査物を評価する検査物評価手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の表示デバイスやその応用製品であるプロジェクタ等の製造において、各種の欠陥を効率よく検査する検査方法および検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクタ（投影機）では、表示デバイスであるＴＦＴパネルや、照明・光学系の欠陥を検査するため、プロジェクタから投影された画像をＣＣＤカメラで取り込み、取り込んだ画像データを画像処理装置で処理することで、シミ、ムラ、スジなどの各種の欠陥を検出する検査方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２９４２０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されているように、点欠陥、シミ欠陥、スジ欠陥、ムラ欠陥、線欠陥等の各種の欠陥を検査する場合、各欠陥毎に異なる方法で検査しており、検査処理が複雑になり、かつ検査時間も長くなってしまうという問題があった。表示画像の色ムラなどを評価する場合も同様の問題があった。
【０００５】
本発明は、上述のような課題に鑑みてなされたものであり、各種の欠陥の検査や画像評価を容易にかつ短時間で行うことができる検査方法および検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の検査方法は、被検査物を撮影した画像データに基づいて被検査物を検査する検査方法であって、前記画像データを二次元の画像データ用配列に記憶する画像データ記憶工程と、前記画像データ用二次元配列と同じ大きさの検査対象確認用配列および検査結果記録用配列を用意して各配列データを初期値に初期化する配列準備工程と、配列の座標を記憶可能な座標記憶手段に初期検査用の座標を記憶する初期検査用座標記憶工程と、前記座標記憶手段に座標が記憶されているかを確認し、座標が記憶されている場合には、記憶されている座標を読み出し、検査対象確認用配列の前記座標を所定の検査回数変数値に変更する検査対象確認用配列更新工程と、前記画像データ用配列において前記座標記憶手段から読み出された前記座標の画像データと、その座標に隣接する比較対象座標のうち、検査対象確認用配列における各座標のデータが初期値のままである比較対象座標の画像データとを所定の評価式に代入して評価値を算出し、前記比較対象座標のうち、評価値が不良と判断された座標があった場合には、検査結果記録用配列の該当座標の検査結果値を更新し、評価値が良と判断された座標があった場合には、その座標を前記座標記憶手段に記憶するデータ評価工程と、前記座標記憶手段に記憶されている座標が無い場合に、検査対象確認用配列のなかで初期値のままの座標を探して前記座標記憶手段に記憶するとともに、検査回数変数値を更新する検査対象更新工程と、前記検査対象確認用配列のなかで初期値のままの座標が無くなった時点で各検査対象確認用配列および検査結果記録用配列のデータに基づいて被検査物を評価する検査物評価工程と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明では、画像データ記憶工程で撮影した画像データを画像データ用配列に記憶し、配列準備工程で、画像データ用配列と同じサイズでかつ初期化された検査対象確認用配列および検査結果記録用配列を用意する。次に、検査対象確認用配列更新工程では、初期検査用座標記憶工程で記憶された検査対象座標を読み出し、検査対象確認用配列の同座標のデータを検査回数変数値で変更する。そして、データ評価工程では、検査対象座標の画像データと、その周囲の比較対象座標の画像データとを、例えば各輝度値の差を閾値と比較するなどして評価する。ここで、評価値が不良の場合には、検査結果記録用配列において該当する比較対象座標のデータを更新し、評価値が良であれば、その比較対象座標を座標記憶手段に記憶する。さらに、座標記憶手段に座標が記憶されていない場合には、検査対象確認用配列に基づいて未検査の座標を探し、未検査の座標が無くなるまで上記処理を繰り返す。
以上の一連の処理を行うことで、スジ欠陥、シミ欠陥、ムラ欠陥、点欠陥などの各種欠陥検出結果や、色ムラなどの評価結果を、検査対象確認用配列、検査結果記録用配列に基づいて評価できる。
このため、従来のように、各種欠陥用の個別の検出処理を行う必要がないため、様々な種類の欠陥検出や評価処理を短時間で行うことができる。
【０００８】
本発明において、画像データ記憶工程は、画像データとして被測定物を撮像したカメラの各撮像画素の輝度値データを画像データ用配列に記憶し、前記データ評価工程は、前記座標の輝度値データと、比較対象の各座標の輝度値データとの差を求め、その差の絶対値が予め設定されている閾値よりも大きければその比較対象座標の評価値は不良であると判断し、閾値以下であればその比較対象座標の評価値は良であると判断することが好ましい。
【０００９】
輝度値に基づいて評価すれば、他の画素部分に比べて明るい明欠陥や、他の画素部分に比べて暗い暗欠陥等の輝度値の違いに基づく欠陥を容易に検出することができる。
【００１０】
本発明において、前記検査物評価工程は、前記検査対象確認用配列に記憶された検査回数変数値のうち、最も数が多い変数値が設定された領域は正常領域と評価し、その他の変数値が設定された領域を欠陥領域と評価し、さらに欠陥領域は、同じ変数値が連続して配置された領域をそれぞれ独立した欠陥と評価するとともに、前記検査結果記録用配列に記憶された検査結果値が初期値以外であるか否かおよびその値の大きさに基づいて欠陥領域のエッジを評価することが好ましい。
【００１１】
検査回数変数値は、評価結果が異なる領域毎に異なる数値が設定される。通常は、正常領域が最も広くなるはずであるから、最も数が多い検査回数変数値が設定された領域を正常領域と判断すればよい。また、正常領域以外は欠陥領域と評価することになるが、その欠陥領域内においても、検査回数変数値が異なる部分があれば、それらは別々の欠陥部分であると評価できる。また、検査結果記録用配列の欠陥値が大きいほど、その欠陥部分は正常部分に比べて高いコントラストであることが分かる。
従って、検査対象確認用配列および検査結果記録用配列を評価することで、欠陥部分の範囲やその状態（高いコントラストであるか否かなど）を容易に評価することができる。
【００１２】
本発明において、前記データ評価工程は、検査対象座標の周囲に隣接する８個の座標のうち、検査対象確認用配列において対応する座標のデータが初期値のままである座標を比較対象座標とすることが好ましい。
【００１３】
検査対象座標の周囲の８個を比較対象座標としていれば、欠陥がどの方向に連続していても検出することができ、シミなどの面欠陥であっても、スジなどの線欠陥であっても確実に検出することができる。
【００１４】
本発明の検査装置は、被検査物を撮像した画像データに基づいて被検査物を検査する検査装置であって、前記画像データを二次元の画像データ用配列に記憶する画像データ記憶手段と、前記画像データ用二次元配列と同じ大きさの検査対象確認用配列および検査結果記録用配列を用意して各配列データを初期値に初期化する配列準備手段と、配列の座標を記憶可能な座標記憶手段に初期検査用の座標を記憶する初期検査用座標記憶手段と、前記座標記憶手段に座標が記憶されているかを確認し、座標が記憶されている場合には、記憶されている座標を読み出し、検査対象確認用配列の前記座標を所定の検査回数変数値に変更する検査対象確認用配列更新手段と、前記画像データ用配列において前記座標記憶手段から読み出された前記座標の画像データと、その座標に隣接する比較対象座標のうち、検査対象確認用配列における各座標のデータが初期値のままである比較対象座標の画像データとを所定の評価式に代入して評価値を算出し、前記比較対象座標のうち、評価値が不良と判断された座標があった場合には、検査結果記録用配列の該当座標の検査結果値を更新し、評価値が良と判断された座標があった場合には、その座標を前記座標記憶手段に記憶するデータ評価手段と、前記座標記憶手段に記憶されている座標が無い場合に、検査対象確認用配列のなかで初期値のままの座標を探して前記座標記憶手段に記憶するとともに、検査回数変数値を更新する検査対象更新手段と、前記検査対象確認用配列のなかで初期値のままの座標が無くなった時点で各検査対象確認用配列および検査結果記録用配列のデータに基づいて被検査物を評価する検査物評価手段と、を備えることを特徴とする。
【００１５】
本発明によれば、前記検査方法と同じ作用効果を奏することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本実施形態は、図１に示すように、プロジェクタ（投影機）１からスクリーン２に投影された映像（画像）を撮像手段であるＣＣＤカメラ３で取り込み、その画像データを画像処理装置１０で処理することで欠陥検査を行うものである。すなわち、画像処理装置１０によって本発明の検査装置が構成されている。
【００１７】
画像処理装置１０は、図２に示すように、画像データ用配列２１、検査対象確認用配列２２、検査結果記録用配列２３の３種類の二次元配列データが記憶される配列記憶手段２０と、前記各配列に対応する座標を記憶可能な座標記憶手段３０と、前記配列記憶手段２０および座標記憶手段３０に記憶された各配列データを用いて所定の画像処理を行う画像処理手段４０とを備える。
【００１８】
画像データ用配列２１は、図３に示すように、二次元の配列であり、ＣＣＤカメラ３の撮像画素の配列数に応じた大きさ（行数および列数）とされている。すなわち、本実施形態では、ＣＣＤカメラ３の各撮像画素の輝度データを画像データ用配列２１に記憶できるように構成されている。例えば、図３の画像データ用配列２１は、行数１３×列数１１の二次元配列とされている。
【００１９】
図３において、「Dij」は、行番号ｉ、列番号ｊの画素データを表す。例えば「D65」は、行番号６、列番号５の画素データを表す。
また、画像データ用配列２１に記憶された被処理画像の元データをDdefと表記する。さらに、ある画像データDpicのｉ行、ｊ列の画素データを「Dpic->Dij」と表記する。
なお、画像データ用配列２１は、予めノイズ除去等の処理が施されたものであることが好ましい。
【００２０】
検査対象確認用配列２２および検査結果記録用配列２３は、図４に示すように、画像データ用配列２１と同じサイズ、つまり同じ行数および列数の二次元配列とされている。
ここで、各配列２２，２３には、初期値として「０」が記憶されている。また、検査対象確認用配列２２に記憶されたデータを「DJ2」とし、検査結果記録用配列２３に記憶されたデータを「DJ1」とする。
従って、例えば、検査対象確認用配列２２の３行、４列のデータは、「DJ2->D34」と表記され、検査結果記録用配列２３の７行、Ａ列のデータは、「DJ1->D7A」と表記される。
【００２１】
座標記憶手段３０は、先入れ先出し記憶方式（ＦＩＦＯ）の記憶手段である。
【００２２】
画像処理手段４０は、画像データ記憶手段４１、配列準備手段４２、初期検査用座標記憶手段４３、検査対象確認用配列更新手段４４、データ評価手段４５、検査対象更新手段４６、検査物評価手段４７を備える。
【００２３】
画像データ記憶手段４１は、ＣＣＤカメラ３で撮像された画像データを前記画像データ用配列２１に記憶する。
配列準備手段４２は、前記検査対象確認用配列２２および検査結果記録用配列２３を用意し、かつ、各配列２２，２３に初期値「０」を設定する。
初期検査用座標記憶手段４３は、前記座標記憶手段３０に所定の初期検査用座標（アドレス）Ａxyを記憶する。ここで、Ａxyは、各配列２１〜２３において、ｘ行、ｙ列の座標を表す。例えば、座標Ａ65は、配列において、６行、５列の座標を表す。
【００２４】
検査対象確認用配列更新手段４４は、前記座標記憶手段３０に座標が記憶されているかを確認し、座標が記憶されている場合には、記憶されている座標Ａlmを読み出し、検査対象確認用配列２２の前記座標を所定の検査回数変数値に変更する。
データ評価手段４５は、前記画像データ用配列２１において前記座標記憶手段３０から読み出された前記座標Ａlmの画像データ（Ddef->Dlm）と、その座標Ａlmに隣接する比較対象座標のうち、検査対象確認用配列２２における各座標のデータが初期値のままである比較対象座標の画像データとを所定の評価式に代入して評価値を算出し、前記比較対象座標のうち、評価値が不良と判断された座標があった場合には、検査結果記録用配列の該当座標の検査結果値に「１」を加えて更新（インクリメント）し、評価値が良と判断された座標があった場合には、その座標を前記座標記憶手段（FIFO）３０に記憶する。
【００２５】
検査対象更新手段４６は、前記座標記憶手段３０に記憶されている座標が無い場合に、検査対象確認用配列２２のなかで初期値のままの座標を探して前記座標記憶手段３０に記憶するとともに、検査回数変数値Ｚに「１」を加えて更新（インクリメント）する。
検査物評価手段４７は、前記検査対象確認用配列２２のなかで初期値のままの座標が無くなった時点で各検査対象確認用配列２２および検査結果記録用配列２３のデータに基づいて被検査物を評価する。
【００２６】
次に、本発明の実施の形態による画像処理装置１０の動作について説明する。
図５はこの実施の形態の画像処理装置１０の動作を説明するためのフローチャートである。図５に示す動作は画像処理装置１０の画像処理手段４０において実行される。すなわち、画像処理手段４０は、画像処理装置１０に組み込まれたＣＰＵおよびこのＣＰＵで実行されるプログラムによって実現されている。つまり、図５のフローチャートの処理は、前記ＣＰＵで所定のプログラムを実行することで行われる。
【００２７】
まず、画像データ記憶手段４１は、スクリーン２に表示された被測定物（検査対象）の画像を、この画像を撮影するＣＣＤカメラ３から取り込み、配列記憶手段２０の画像データ用配列２１に記憶する画像データ記憶工程を行う（ステップ１、以下ステップを「ＳＴ」と略す）。従って、画像データ用配列２１に記憶された画像データが、画像処理の元データDdefとなる。
図６には、画像データDdefの具体例が示されている。この画像データDdefは、ＣＣＤカメラ３の各撮像画素の輝度データ（図６では１８９〜２００の数値）を画像データ用配列２１に記憶したものである。
【００２８】
次に、配列準備手段４２は、配列準備工程を行う（ＳＴ２）。具体的には、配列準備手段４２は、前記画像データ用配列２１のサイズに合わせて検査対象確認用配列２２および検査結果記録用配列２３を用意し、初期値「０」を設定する。すなわち、すべての配列に初期値「０」が設定されたデータＤＪ１，ＤＪ２を用意する。また、検査回数変数Ｚを初期値「１」に設定する。
【００２９】
次に、初期検査用座標記憶手段４３は、座標記憶手段３０に所定の初期座標Ａｘｙを入力する初期検査用座標記憶工程を行う（ＳＴ３）。
初期座標Ａｘｙは、例えば、Ddefの中心座標、図６の例ではＡ６５（６行、５列の座標）を設定すればよい。
【００３０】
次に、検査対象確認用配列更新手段４４は、座標記憶手段（FIFO）３０に座標が記憶されているか否かを確認する（ＳＴ４）。
ＳＴ４で座標が記憶されていることが確認されると、検査対象確認用配列更新手段４４は、座標記憶手段３０に記憶されている検査対象座標Ａｌｍを読み出し、検査対象確認用配列２２における座標Ａｌｍのデータ、つまりＤＪ２->ＤｌｍをＺにする検査対象確認用配列更新工程を行う（ＳＴ５）。例えば、Ａｌｍ＝Ａ６５であり、かつ、Ｚ＝１である場合、図８に示すように、ＤＪ２のＤ６５を「１」にする。
【００３１】
次に、データ評価手段４５は、画像データ用配列２１の検査対象座標Ａｌｍの画像データと、その周囲の比較対象座標の画像データとを所定の評価式を用いて評価するデータ評価工程を行う（ＳＴ６）。
データ評価工程ＳＴ６では、データ評価手段４５は、図９のフローチャートに示すように、座標変数ｐ、ｑを初期値に設定する（ＳＴ６１）。本実施形態では、初期値を「−１」に設定しているため、ｐ＝−１、ｑ＝−１に設定している。なお、座標変数ｐ、ｑは、検査対象座標Ａｌｍの周囲の８個の比較対象座標を指定するために用いられるものであり、それぞれ「−１，０，＋１」の３つの値に順次変更される。すなわち、図３に示すように、Ddefにおける検査対象座標の画像データをＤｌｍであるとき、その周囲の８個の比較対象座標の画像データはＤ(l-1,m-1)からＤ（l+1,m+1）で表される。例えば、検査対象の画像データがＤ６５の場合、比較対象の画像データはＤ５４，Ｄ５５，Ｄ５６，Ｄ６４，Ｄ６６，Ｄ７４，Ｄ７５，Ｄ７６で表される。
【００３２】
ＳＴ６１の処理後、データ評価手段４５は、検査対象確認用配列２２のデータＤＪ２において比較対象座標のデータ、つまりＤＪ２->Ｄ(l+p)(m+q)がＺであるかを確認する検査対象確認工程を行う（ＳＴ６２）。例えば、検査対象座標の画像データＤＪ２->Ｄ(l)(m)＝Ｄ６５であり、ｐ＝−１，ｑ＝−１の場合、ＤＪ２->Ｄ(l+p)(m+q)＝Ｄ５４である。従って、ＳＴ６２では、ＤＪ２−＞Ｄ５４がＺであるか否かが確認される。
ここで、ＳＴ５に示すように、ＤＪ２のデータは、検査対象画素となった座標は検査回数変数値Ｚに更新され、未検査の座標は初期値のままである。従って、ＳＴ６２では、比較対象座標が検査済みの場合に「Ｙｅｓ」と判断され、未検査の場合に「Ｎｏ」と判断される。
【００３３】
ＳＴ６２で「Ｎｏ」であった場合には、データ評価手段４５は、所定の評価式に検査対象および比較対象の各データを代入して評価値を算出する評価値算出工程を行う（ＳＴ６３）。つまり、評価値はValue＝Estimate(Ddef->Dlm，Ddef->D(l+p)(m+q))で求められる。本実施形態における評価値は、検査対象の画像データから比較対象の画像データを引いて算出している。すなわち、Value＝Ddef->Dlm − Ddef->D(l+p)(m+q)で求められる。
【００３４】
次に、データ評価手段４５は、評価式で算出した評価値Valueを所定の閾値Limitと比較する比較工程を行う（ＳＴ６４）。ここで、閾値Limitは例えば「３」等に設定され、各画像データの差（絶対値）である評価値が「３」よりも大きいか、否かを判定する。
ここで、評価値Valueが閾値Limit以上の場合、つまり検証の結果、不良と判断された場合には、検査結果記録用配列２３の比較対象座標のデータ、つまりＤＪ１->Ｄ(l+p)(m+q)に「１」を加算してインクリメントする（ＳＴ６５）。
【００３５】
一方、評価値Valueが閾値Limitよりも小さい場合、つまり検証の結果、良と判断された場合には、座標記憶手段３０に、比較対象座標のアドレス値Ａ(l+p)(m+q)を入力する（ＳＴ６６）。
【００３６】
ＳＴ６５，６６の処理後、あるいはＳＴ６２で「Ｙｅｓ」と判断された場合には、変数ｑ＝１であるか否かを判断する（ＳＴ６７）。当初は、ｑ＝−１であったので、「Ｎｏ」と判断される。すると、ｑに「１」が加算され、ｑ＝０となる（ＳＴ６８）。
【００３７】
そして、ＳＴ６２の判断処理に戻り、ＳＴ６２〜ＳＴ６８の処理を繰り返す。すなわち、ＳＴ６２では、ＤＪ２->Ｄ(l+p)(m+q)＝Ｄ５５がＺであるかが判断され、その結果に基づき、ＳＴ６３〜６７の処理が繰り返される。
さらに、ＳＴ６８でｑに「１」が加算されて、ｑ＝１となった場合も、ＳＴ６２〜ＳＴ６７の処理が行われる。すなわち、ＳＴ６２では、ＤＪ２->Ｄ(l+p)(m+q)＝Ｄ５６がＺであるかが判断され、その結果に基づき、ＳＴ６３〜６７の処理が繰り返される。
【００３８】
ＳＴ６７では、ｑ＝１のため、「Ｙｅｓ」と判断される。このため、ｐ＝１であるか否かが判断される（ＳＴ６９）。現時点では、ｐは「−１」なので、ＳＴ６９では「Ｎｏ」と判断され、ｐに「１」が加算され、かつ、ｑは「−１」に設定される（ＳＴ７０）。
そして、ＳＴ６２〜ＳＴ６７の処理が繰り返される。すなわち、ＳＴ６２では、ｐ＝０、ｑ＝−１であるため、ＤＪ２->Ｄ(l+p)(m+q)＝Ｄ６４がＺであるかが判断され、その結果に基づき、ＳＴ６３〜６７の処理が繰り返される。
【００３９】
次に、ＳＴ６８でｑに「１」が加算されるので、ＳＴ６２では、ｐ＝０、ｑ＝０であるため、ＤＪ２->Ｄ(l+p)(m+q)＝Ｄ６５がＺであるかが判断される。ここで、ＳＴ５でＤＪ２−＞Ｄ６５は「Ｚ」に設定されているので、ＳＴ６２では「Ｙｅｓ」と判断され、ＳＴ６７の処理に移行して「Ｎｏ」と判断され、ＳＴ６８でｑに「１」が加算される。
そして、ＳＴ６２では、ｐ＝０、ｑ＝１であるため、ＤＪ２->Ｄ(l+p)(m+q)＝Ｄ６６がＺであるかが判断され、その結果に基づき、ＳＴ６３〜６７の処理が繰り返される。
【００４０】
そして、ＳＴ６７で「Ｙｅｓ」、ＳＴ６９で「Ｎｏ」と判断され、ＳＴ７０でｐに「１」が加算され、ｑが「−１」に設定されるので、ｐ＝１、ｑ＝−１となって、ＳＴ６２〜ＳＴ６８が繰り返される。すなわち、ＳＴ６２ではＤＪ２->Ｄ７４〜Ｄ７６が「Ｚ」であるかが順次判断され、その結果に基づき、ＳＴ６３〜６７の処理が繰り返される。
【００４１】
ｐ＝１、ｑ＝１、つまり比較対象座標Ｄ７６のデータとの比較評価が終わると、ＳＴ６７およびＳＴ６９が「Ｙｅｓ」と判断されるため、データ評価工程ＳＴ６が終了する（ＳＴ７１）。
【００４２】
データ評価工程ＳＴ６が終了すると、図５に示すように、ＳＴ４に戻り、座標記憶手段３０に座標データが記憶されているか否かを再度確認する。座標記憶手段３０に、ＳＴ６６のアドレス入力処理で入力された座標データが残っている場合には、前述したように、検査対象確認用配列更新工程ＳＴ５およびデータ評価工程ＳＴ６が実行される。
【００４３】
一方、ＳＴ４で座標記憶手段３０に座標データが残っていない場合には、検査対象確認用配列２２のデータが「０」のアドレスＡａｂを探す（ＳＴ７）。つまりＤＪ２−＞Ｄａｂ＝０のアドレスＡａｂを検索する。
ここで、ＤＪ２−＞Ｄａｂ＝０のアドレスＡａｂが見つかった場合には、そのアドレスデータＡａｂを座標記憶手段（FIFO）３０に登録し（ＳＴ８）、変数Ｚに「１」を加算する（ＳＴ９）。従って、Ｚ＝１であった場合には、Ｚ＝２になる。
【００４４】
そして、ＳＴ４に戻って座標記憶手段３０に座標データが残っているかが判断され、ＳＴ８で入力したアドレスデータが残っているので、検査対象確認用配列更新工程ＳＴ５およびデータ評価工程ＳＴ６の処理が実行される。
【００４５】
一方、ＳＴ７で「Ｎｏ」と判断された場合には、未検査の座標が無い、つまり全座標の画像データの評価が終わっていることになるので、検査物評価工程ＳＴ１０が実行される。
検査物評価工程ＳＴ１０では、例えば、検査員が、図７の検査結果記録用配列２３および図８に示す検査対象確認用配列２２の各データＤＪ１，ＤＪ２を見て、欠陥の有無および種類を評価する。
すなわち、図７に示す検査結果記録用配列２３のデータＤＪ１により、境界を持つ欠陥すなわちスジや線などの欠陥の境界部分を検出でき、さらにそのデータ値によってその欠陥を重み付けすることができる。すなわち、ＤＪ１は、検査対象画素の輝度データとの差が閾値よりも大きい比較対象画素であると「１」毎加算されていくものであり、その値が大きければ周囲の画素に対して輝度値が異なる欠陥部分であることが判断できる。なお、シミ欠陥のように、欠陥部分の面積が広い場合、欠陥部分の画素同士は輝度値の差も小さいためＤＪ１の値も小さくなる。すなわち、ＤＪ１の値は、欠陥のエッジ（輪郭部分、境界部分）で大きな値になるため、ＤＪ１のデータによって欠陥のエッジの状態を把握することができる。
【００４６】
また、図８に示す検査対象確認用配列２２のデータＤＪ２により、孤立したデータ空間を持つ欠陥、つまりシミ、ムラ、斑点、スジ、線、点などの各種欠陥の位置および大きさ（面積）を把握することができる。すなわち、ＤＪ２の中で最も数が多い「１」の部分は、欠陥ではない正常部分であり、「２」以上の数字の部分は、同じ数字の部分が一つの連続する欠陥領域となる。
従って、ＤＪ１のデータがすべて「０」であり、かつＤＪ２のデータがすべて「１」の場合には、その画像つまり検査対象の表示品質が良いことがわかる。
【００４７】
なお、前記ＤＪ１，ＤＪ２において、各数値毎に色や明度を変化させて表示してもよい。この場合、欠陥部分が色や明度で強調されたデータＤＪ１，ＤＪ２が得られるため、検査員が容易に欠陥部分を把握、評価することができる。
また、ＤＪ１やＤＪ２の各データに基づいて検査装置が自動的に欠陥評価を行うように設定してもよい。
【００４８】
図１０〜１２には別の処理例が示されている。すなわち、図１０に示す画像データDdefに対して前記ＳＴ１〜ＳＴ１０までの評価処理を行ったところ、図１１，１２に示すようなＤＪ１，ＤＪ２が得られる。
すなわち、図１２に示すデータＤＪ２により、左上にスジ状の欠陥があり、右下に円状あるいは矩形状の欠陥があることが分かる。また、図１１に示すデータＤＪ１により、左上のスジ欠陥は、数値が６や７と大きいので、周囲と非常にコントラストがあることが分かり、右下の欠陥はシミ・ムラ系の欠陥であることが分かる。
【００４９】
本実施形態によれば、次のような効果がある。
（１）画像処理装置１０は、配列記憶手段２０に検査対象確認用配列２２および検査結果記録用配列２３を用意し、座標記憶手段３０に記憶されたアドレスデータに基づいて順次検査対象画素を選定し、その輝度データと、周囲の比較対象画素の輝度データとを比較し、その結果に応じて、各データＤＪ１，ＤＪ２を適宜更新しているので、スジ欠陥、シミ欠陥、ムラ欠陥、点欠陥などの各種欠陥等の様々な欠陥をＳＴ１〜ＳＴ１０の一連の処理で検出することができる。
このため、従来のように、各種欠陥用の個別の処理を行う必要がないため、様々な種類の欠陥検出や評価処理を短時間で行うことができる。
【００５０】
（２）また、データＤＪ２では、連続する欠陥毎に異なる数値が設定されるため、独立した各欠陥の位置や大きさを容易に把握できる。さらに、ＤＪ２に設定される数値Ｚは、各欠陥毎に「１」ずつインクリメントされるので、ＤＪ２の中の最大の数を検出すれば、その数から１を引いた数が欠陥の数に一致するので、画像データDdef内の欠陥数も容易に把握できる。
【００５１】
（３）さらに、データＤＪ１では、欠陥の輪郭部分を検出でき、かつその数値が大きくなれば周囲の画素に比べてコントラストが大きいことが把握できるため、検出された欠陥の評価も容易に行うことができる。
【００５２】
（４）検査対象画素と、その周囲の８個の比較対象画素のうちの既に検査対象となっていない画素とを比較するようにしているとともに、ＳＴ６４で評価値Valueが閾値Limit以内であって良と判断された比較対象画素の座標データを座標記憶手段（ＦＩＦＯ）３０に入力し、次の検査対象画素の座標データとしているので、図６の右上の欠陥部分のように、その欠陥部分（輝度値が１９２の領域）に対して隣接するある画素の輝度データが閾値以上離れている場合であっても、他の画素との輝度データとの差が閾値以内であれば、検査対象画素にすることができる。従って、各画素を効率的に評価することができる。
【００５３】
（５）データＤＪ１，ＤＪ２では、検出結果を数字で表記できるので、検査員であればその欠陥検出結果を容易に確認できる。また、欠陥部分が数字で表されるため、検査装置による自動評価も可能となり、検査工程の自動化をより一層促進できる。
【００５４】
なお、本発明は、前記実施形態に限らない。
前記実施形態では周囲の８近傍の比較対象画素としていたが、ラインスキャンタイプにしてもよい。この場合、Ｘ方向またはＹ方向のどちらか単方向のエッジは強調のみとなるが、処理速度を向上することができる。
【００５５】
画像データ用配列２１に記憶される画像データとしては輝度値に限らず、例えば、色ムラ評価などを行う場合には、色度計などを用いて色度や彩度などのデータを記憶してもよく、検査したい内容に応じた画像データを取得して画像データ用配列２１に記憶すればよい。
また、データ評価手段４５における評価値の算出方法も、前記実施形態のように各輝度値の差を求めるものに限らず、検査内容に応じた算出方法を選択すればよい。
【００５６】
本発明の検査対象は、プロジェクタ１に限らず、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどでもよい。本発明は、撮影した画像データに基づいて欠陥検出や評価を行うものであるため、各種の表示体の評価・検査や、カラーフィルタなどの評価・検査などを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施の形態による画像処理装置の利用例を示す図。
【図２】画像処理装置の構成を示すブロック図。
【図３】画像データ用配列の例を示す図。
【図４】初期化された検査対象確認用配列および検査結果記録用配列を示す図。
【図５】本実施形態の動作を説明するフローチャート。
【図６】画像データ用配列の画像データの例を示す図。
【図７】検査結果記録用配列のデータの例を示す図。
【図８】検査対象確認用配列のデータの例を示す図。
【図９】データ評価工程を説明するフローチャート。
【図１０】画像データ用配列の画像データの他の例を示す図。
【図１１】検査結果記録用配列の他のデータの例を示す図。
【図１２】検査対象確認用配列の他のデータの例を示す図。
【符号の説明】
【００５８】
１…プロジェクタ、３…ＣＣＤカメラ、１０…画像処理装置、２０…配列記憶手段、２１…画像データ用配列、２２…検査対象確認用配列、２３…検査結果記録用配列、３０…座標記憶手段、４０…画像処理手段、４１…画像データ記憶手段、４２…配列準備手段、４３…初期検査用座標記憶手段、４４…検査対象確認用配列更新手段、４５…データ評価手段、４６…検査対象更新手段、４７…検査物評価手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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