(57)【要約】【課題】マイクロミラーのクロストークによる角度ずれの補正を実装領域を増大させることなく行うこと。【解決手段】反射面の角度制御の可能な複数のマイクロミラーを平面状に配置し、１つまたは複数の入力ポートから入射した光信号を複数のマイクロミラーで反射させて１つまたは複数の出力ポートのうちの選択されたそれぞれの出力ポートに入射させる光スイッチシステムであって、入力ポートと出力ポートとの間における接続情報ＳＪを記憶する記憶部２１と、複数のマイクロミラーのうちの隣り合うマイクロミラーの間において発生するクロストークに対する補正量ＨＲを取得する補正量取得部２３と、接続情報ＳＪおよび補正量ＨＲに基づいてマイクロミラーの制御量ＳＲを求める演算部２２と、制御量に基づいてマイクロミラーを駆動する駆動出力部２４とを有してなる。【選択図】  図３
2007264305.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射面の角度制御の可能な複数のマイクロミラーを平面状に配置し、１つまたは複数の入力ポートから入射した光信号を前記複数のマイクロミラーで反射させて１つまたは複数の出力ポートのうちの選択されたそれぞれの出力ポートに入射させる光スイッチシステムであって、
前記入力ポートと前記出力ポートとの間における接続情報を記憶する記憶部と、
前記複数のマイクロミラーのうちの隣り合うマイクロミラーの間において発生するクロストークに対する補正量を取得する補正量取得部と、
前記接続情報および前記補正量に基づいて前記マイクロミラーの制御量を求める演算部と、
前記制御量に基づいて前記マイクロミラーを駆動する駆動出力部と、
を有してなることを特徴とする光スイッチシステム。
【請求項２】
隣合うマイクロミラーの間において発生するクロストークの補正量のデータを記憶したクロストークテーブルが設けられており、
前記補正量取得部は、前記接続情報に基づいて前記クロストークテーブルからデータを読み出すことによって前記補正量を取得する、
請求項１記載の光スイッチシステム。
【請求項３】
前記補正量取得部は、対象となるマイクロミラーに隣合うマイクロミラーの制御角または当該制御角に対応する電圧値を用いて演算を行うことによって、当該対象となるマイクロミラーについての前記補正量を取得する、
請求項１記載の光スイッチシステム。
【請求項４】
前記補正量取得部は、
前記制御角または前記電圧値についての２次の項と１次の項との加算値を演算することにより前記補正量を取得する、
請求項３記載の光スイッチシステム。
【請求項５】
反射面の角度制御の可能な複数のマイクロミラーを平面状に配置し、１つまたは複数の入力ポートから入射した光信号を前記複数のマイクロミラーで反射させて１つまたは複数の出力ポートのうちの選択されたそれぞれの出力ポートに入射させる光スイッチシステムであって、
前記入力ポートと前記出力ポートとの間における接続情報を記憶する記憶部と、
前記接続情報に基づいて前記マイクロミラーの制御角を取得する制御角取得部と、
前記マイクロミラーの機械的共振を低減するために前記制御角に対してフィルタリングを行うフィルタ部と、
前記フィルタリングを行った制御角を電圧値に変換するθＶ変換部と、
前記電圧値に基づいて前記マイクロミラーを駆動する駆動出力部と、
前記複数のマイクロミラーのうちの隣り合うマイクロミラーの間において発生するクロストークに対する補正量を求める補正量取得部と、
を有し、
前記補正量取得部は、対象となるマイクロミラーに隣合うマイクロミラーの制御角または当該制御角に対応する電圧値についての２次の項と１次の項との加算値を演算することにより前記補正量を求めるものであり、
求められた前記補正量を当該対象となるマイクロミラーの前記制御角または前記電圧値に適用することによって、当該対象となるマイクロミラーの駆動量を補正するように構成されている、
ことを特徴とする光スイッチシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーのようなマイクロミラーを用いて、入力ポートから入射した光信号を切り換えて出力ポートに送り出す光スイッチシステムに関する。本発明は、例えば波長分割多重 (WDM: Wavelength Division Multiplexing)通信や空間分割通信などの光クロスコネクト (OXC: Optical Cross-Connect) システムなどに利用される。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＭＥＭＳ技術を適用したマイクロミラー（DMD: Digital Micro-mirror Device）が開発され、光ネットワークのノードに設置される光スイッチシステムに利用されている。光スイッチシステムは、反射面の角度制御の可能な複数のマイクロミラーを平面状に配置し、複数の入力ポートから入射した光信号を複数のマイクロミラーで反射させて複数の出力ポートのうちの選択されたそれぞれの出力ポートに入射させる。このようにポートを切り換えることにより、光伝送路上の複数系統の光信号の光交換を行うことができる。
【０００３】
このような光スイッチシステムにおけるマイクロミラーの制御に関して、従来において次のような技術が開示されている。
【０００４】
すなわち、特許文献１には、透過型液晶表示パネルとその背面に配置されたマイクロミラーとからなる反射型液晶表示装置が開示されている。この装置では、透過型液晶表示パネルからの透過光の輝度が、マイクロミラーによる反射角によって調整される。つまり、照射光の光軸に対するマイクロミラー面の角度を変化させ、ＬＣＤ画素の透過光の輝度ムラを調整する。また、ＬＣＤ画素の透過光の輝度レベルを画素単位で補正し、フリッカ調整、クロストーク調整、またはゴースト調整を行う。
【０００５】
また、特許文献２には、マイクロミラーの角度位置を検出するミラー角度センサを用い、クローズドループによってマイクロミラーの角度位置を制御する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１５１２３
【特許文献２】特開２００５−９９６８２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、光スイッチシステムにおいては、マイクロミラーの角度制御を行い、マイクロミラーを適切な角度となるように制御して入力ポートからの光を出力ポートに出力する。本来、制御角の理論値は、マイクロミラー、入力ポート、および出力ポートの幾何学的配配置よって算出可能である。しかし、実際には、マイクロミラーの構造上のバラツキや光学系レンズなどの組み立て誤差などによって、制御角は理論値から外れる。そのため、出力ポートに光モニタ装置などを接続して最も損失の少ない制御角（実測最適点）、またはＶＯＡ（Variable Optical Attenuator ）角（実測ＶＯＡ点）を測定する。
【０００７】
他方、マイクロミラーは、小型化が可能なことが特徴であるが、それ故に、隣接するミラー間に電気的なクロストークが生じ易く、このクロストークがマイクロミラーの制御角に影響を与えて角度ずれを生じさせる原因となっている。マイクロミラーに角度ずれが生じた場合には、入力ポートと出力ポートとの間の光学的な結合効率が低下し、挿入損失が増大することとなる。
【０００８】
しかし、マイクロミラーのクロストークの影響を低減することは困難であるため、それを目的とした調整または補正は行われていない。
【０００９】
また、上に述べた特許文献２においては、ミラー角度センサによってマイクロミラーの角度位置を検出し、クローズドループによってマイクロミラーの角度位置を制御するので、クロストークの影響はなり低減される。しかし、そのようなミラー角度センサを各マイクロミラーに対して実装することは、実装領域が増大し、コストアップの要因となり、小型化および低価格化の点で不利である。
【００１０】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、マイクロミラーのクロストークによる角度ずれの補正を実装領域を増大させることなく行い、低損失の光スイッチシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る光スイッチシステムは、反射面の角度制御の可能な複数のマイクロミラーを平面状に配置し、１つまたは複数の入力ポートから入射した光信号を前記複数のマイクロミラーで反射させて１つまたは複数の出力ポートのうちの選択されたそれぞれの出力ポートに入射させる光スイッチシステムであって、前記入力ポートと前記出力ポートとの間における接続情報を記憶する記憶部と、前記複数のマイクロミラーのうちの隣り合うマイクロミラーの間において発生するクロストークに対する補正量を取得する補正量取得部と、前記接続情報および前記補正量に基づいて前記マイクロミラーの制御量を求める演算部と、前記制御量に基づいて前記マイクロミラーを駆動する駆動出力部とを有してなる。
【００１２】
好ましくは、隣合うマイクロミラーの間において発生するクロストークの補正量のデータを記憶したクロストークテーブルが設けられており、前記補正量取得部は、前記接続情報に基づいて前記クロストークテーブルからデータを読み出すことによって前記補正量を取得する。
【００１３】
また、前記補正量取得部は、対象となるマイクロミラーに隣合うマイクロミラーの制御角または当該制御角に対応する電圧値を用いて演算を行うことによって、当該対象となるマイクロミラーについての前記補正量を取得する。
【００１４】
また、前記補正量取得部は、前記制御角または前記電圧値についての２次の項と１次の項との加算値を演算することにより前記補正量を取得する。
【００１５】
本発明に係る他の形態の光スイッチシステムは、前記入力ポートと前記出力ポートとの間における接続情報を記憶する記憶部と、前記接続情報に基づいて前記マイクロミラーの制御角を取得する制御角取得部と、前記マイクロミラーの機械的共振を低減するために前記制御角に対してフィルタリングを行うフィルタ部と、前記フィルタリングを行った制御角を電圧値に変換するθＶ変換部と、前記電圧値に基づいて前記マイクロミラーを駆動する駆動出力部と、前記複数のマイクロミラーのうちの隣り合うマイクロミラーの間において発生するクロストークに対する補正量を求める補正量取得部と、を有し、前記補正量取得部は、対象となるマイクロミラーに隣合うマイクロミラーの制御角または当該制御角に対応する電圧値についての２次の項と１次の項との加算値を演算することにより前記補正量を求めるものであり、求められた前記補正量を当該対象となるマイクロミラーの前記制御角または前記電圧値に適用することによって、当該対象となるマイクロミラーの駆動量を補正するように構成される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によると、マイクロミラーのクロストークによる角度ずれの補正を実装領域を増大させることなく行い、低損失の光スイッチシステムを提供することができる。
【００１７】
請求項３〜５の発明によると、マイクロミラーのクロストークによる角度ずれの補正をできるだけ簡単な構成により低コストで行うことができる。
【００１８】
また、請求項５の発明によると、マイクロミラーの過剰な補正を抑え、補正の精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
〔第１の実施形態〕
図１は本発明に係る光スイッチシステム１のミラー構成の例を模式的に示す図、図２は図１に示す光スイッチシステム１を平面的に示す図、図３は本発明に係る第１の実施形態の光スイッチシステム１の制御機能を示すブロック図である。
【００２０】
図１において、光スイッチシステム１は、光ファイバーＨＦにより導光される入力ポート１１から入射する複数の光信号に対し、光スイッチ１２Ａ、１２Ｂによってそれぞれの進行方向を切り替え、所定の出力ポート１３からそれぞれ出射するように構成される。
【００２１】
図１に示す光スイッチシステム１では、入力ポート１１および出力ポート１３は、マトリクス状に配列された４×４個のものが示されている。光スイッチ１２Ａ、１２Ｂは、それぞれ、同じくマトリクス状に配列された４×４個のマイクロミラー１４，１４…、１５，１５…から構成されている。
【００２２】
１６個のうちのいずれかの入力ポート１１から入射した光は、その光軸上にあるいずれかの光スイッチ１２Ａに入射し、そこで反射する。また、１６個のうちのいずれかの出力ポート１３には、その光軸上にあるいずれかの光スイッチ１２Ｂから光が入射する。つまり、マトリクス状に配列された４×４個の入力ポート１１と光スイッチ１２Ａ、出力ポート１３と光スイッチ１２Ｂは、それぞれ１対１で対応している。光スイッチ１２Ａと光スイッチ１２Ｂとの間の対応関係によって、入力ポート１１と出力ポート１３との対応が決定される。
【００２３】
マイクロミラー１４，１５は、例えば、ＭＥＭＳ技術によって製作されるＤＭＤ（Digital Micro mirror Device ）であり、各ミラーが平行平板型静電アクチュエータによって支持され、その反射面の角度制御が可能となっている。このようなマイクロミラー１４，１５それ自体は公知であり、種々の構造のものを本実施形態のマイクロミラーとして適用することが可能である。
【００２４】
図２に示すように、入力ポート１１および出力ポート１３は光軸が互いに平行に配置され、光スイッチ１２Ａ、１２Ｂは、光軸に対してそれぞれ４５度傾いた状態で配置されている。マイクロミラー１４，１５の角度を制御することによって、いずれかの入力ポート１１といずれかの出力ポート１３とが光学的に接続される。
【００２５】
なお、図２においては、入力ポート１１および出力ポート１３がともにそれぞれ４個ずつであり、入射側の光スイッチ１２Ａとして４個のマイクロミラーＡ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４が設けられ、出射側の光スイッチ１２Ｂとして４個のマイクロミラーＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４が設けられたモデルが示されている。
【００２６】
このモデルに従うと、４×２個のマイクロミラーＡ１〜４、Ｂ１〜４の角度制御によって、４個の入力ポートＰＡ１〜４と４個の出力ポートＰＢ１〜４とを漏れなく組み合わせて接続することができる。通常、１つの入力ポート１１から入射した光信号は１つの出力ポート１３のみから出射するように、また１つの出力ポート１３から出射する光信号は１つの入力ポート１１のみから入射するように接続されるが、このような接続に限ることなく、１つの入力ポート１１から複数の出力ポート１３に、また複数の入力ポート１１から１つの出力ポート１３に、それぞれ光信号が伝達されるように接続することも可能である。
【００２７】
以下においては、説明を簡潔にするために、特に指摘がない場合には図２に示したような４×２個のマイクロミラーＡ１〜４，Ｂ１〜４を制御する例について説明する。なお、マイクロミラーＡ１〜４のいずれかまたは全部を「マイクロミラーＡ」「Ａ側のマイクロミラー」などと記載することがある。マイクロミラーＢ１〜４についても同様である。また、Ａ側およびＢ側のそれぞれのマイクロミラーについて、それぞれの番号は１〜４であるが、これを「チャネル」で示すこともある。その場合に、対象（ターゲット）となるマイクロミラーがＮチャネルである場合に、その両隣のマイクロミラーは、「Ｎ−１」チャネル、または「Ｎ＋１」となる。また、マイクロミラーが２次元的に配列されている場合は、対象となるマイクロミラーの周囲にあるマイクロミラー、つまり例えば左右上下にあるマイクロミラーが隣り合うマイクロミラーとなる。その場合には、隣り合うマイクロミラーのチャネル数はマイクロミラーの配列状態に応じて定まる。
【００２８】
図３において、光スイッチシステム１は、特にその制御部分は、記憶部２１、演算部２２、補正量取得部２３、および駆動出力部２４を有する。
【００２９】
記憶部２１は、入力ポート１１と出力ポート１３との間における接続情報ＳＪを記憶する。つまり、記憶部２１には、入力ポートＰＡ１〜４と出力ポートＰＢ１〜４との互いの接続情報ＳＪが記憶されている。このような接続情報ＳＪは、例えば、光スイッチシステム１を管理するコンピュータから、その時々の要求に応じて送られてくる。
【００３０】
演算部２２は、接続情報ＳＪおよび補正量取得部２３で得られる補正量ＨＲに基づいて、マイクロミラーＡ，Ｂの制御量ＳＲを求める。制御量ＳＲは、最終的にはマイクロミラーＡ、Ｂを駆動するためにマイクロミラーの制御電極に印加する電圧値ＶＴである。したがって、接続情報ＳＪと補正量ＨＲとに基づいて直接に演算を行い、補正された電圧値ＶＴを求めるようにしてもよい。この場合には、補正量ＨＲとして、電圧値ＶＴに対応した補正量を用いる。
【００３１】
また、通常、接続情報ＳＪに基づいて、マイクロミラーＡ，Ｂの制御角（制御角度）θを求めた後、制御角θから電圧値ＶＴを求める。したがって、接続情報ＳＪと補正量ＨＲとに基づいて演算を行い、これにより制御量ＳＲとして補正された制御角θを求め、その後に、その制御角θから電圧値ＶＴを求めてもよい。この場合には、補正量ＨＲとして、制御角θに対応した補正量を用いる。
【００３２】
なお、制御角θと電圧値ＶＴとの関係は次の（１）式で示される。
【００３３】
θ＝α×（ＶＴ）2   ……（１）
但し、αは各マイクロミラーの硬度などによって決定される固有定数である。
【００３４】
つまり、マイクロミラーの制御角θは、マイクロミラーの駆動のための電圧値ＶＴの２乗に比例する。
【００３５】
また、補正量取得部２３において制御量ＳＲを求めるに際して、補正されていない制御角θまたは電圧値ＶＴを求め、これに補正量ＨＲを加味することにより、補正された制御角θまたは電圧値ＶＴを求めることでもよい。この場合に、接続情報ＳＪに対応した各マイクロミラーの制御角θまたは電圧値ＶＴを、初期値テーブルＳＴとして記憶しておき、接続情報ＳＪに応じて初期値テーブルＳＴからデータを読み出すことにより、補正されていない制御角θまたは電圧値ＶＴを得るようにすることができる。
【００３６】
そのような初期値テーブルＳＴに記憶すべき制御角θまたは電圧値ＶＴは、実測によって取得することができる。例えば、対象となるマイクロミラー以外のマイクロミラーをＯＦＦにした状態、つまり電圧を印加しない状態としておき、対象となるマイクロミラーにのみ電圧を印加して、最適の制御角θまたは電圧値ＶＴを実測によって取得する。
【００３７】
また、マイクロミラーＡ，Ｂの機械的な共振を除去しまたは低減するために、制御角θを示す制御信号に対するフィルタリングが行われる。したがって、そのようなフィルタリングを行うためのフィルタ部を演算部２２に設けてもよい。また、演算部２２において制御角θまたは電圧値ＶＴを演算する際に、そのようなフィルタリングの処理をも含めて演算するようにしてもよい。
【００３８】
補正量取得部２３は、接続情報ＳＪに基づいて、隣り合うマイクロミラーの間において発生するクロストークに対する補正量ＨＲを取得する。つまり、補正量取得部２３においては、補正の対象となるマイクロミラーについて、その周囲において隣接する他のマイクロミラーからのクロストークによる影響を補正により無くしまたは低減するための補正量ＨＲを取得する。図２に示す例では、マイクロミラーＡ１については、マイクロミラーＡ２からのクロストークを補正するための補正量ＨＲであり、マイクロミラーＡ２については、マイクロミラーＡ１およびＡ３からのクロストークを補正するための補正量ＨＲである。
【００３９】
このような補正量ＨＲを取得するために、補正量を記憶したクロストークテーブルＣＴを補正量取得部２３内に設けておくことができる。すなわち、クロストークテーブルＣＴは、例えば、隣合うマイクロミラーの間において発生するクロストークの補正量を記憶するようにし、接続情報ＳＪに基づいてこのクロストークテーブルＣＴからデータ読み出すことによって補正量ＨＲを取得する。
【００４０】
その場合に、クロストークテーブルＣＴには、全てのマイクロミラーＡ，Ｂについて、各マイクロミラーＡ，Ｂが対応する相手のマイクロミラーＢ，Ａごとに、且つ、各マイクロミラーＡ，Ｂに隣合うマイクロミラーが対応する相手のマイクロミラーＢ，Ａごとに、それぞれ補正量ＨＲを記憶しておく。
【００４１】
また、クロストークテーブルＣＴとして、全てのマイクロミラーＡ，Ｂについての補正量ＨＲを記憶するのでなく、複数のまたは全てのマイクロミラーＡ，Ｂに共通に用いられる補正量ＨＲを記憶しておいてもよい。その場合には、複数のまたは全てのマイクロミラーＡ，Ｂに共通に用いられる右隣または左隣のマイクロミラーに対応した補正量ＨＲを記憶しておく。
【００４２】
また、補正量取得部２３において、補正量ＨＲを演算によって求めるようにすることも可能である。その場合には、対象となるマイクロミラーに隣合うマイクロミラーの制御角θまたは当該制御角θに対応する電圧値ＶＴを用いて演算を行うことによって、当該対象となるマイクロミラーについての補正量ＨＲを取得する。
【００４３】
演算の内容として、制御角θまたは電圧値ＶＴについての２次の項と１次の項との加算値を演算することにより補正量ＨＲを取得する。または、制御角θまたは電圧値ＶＴについての２次の項のみを演算することにより補正量ＨＲを取得する。その他、種々の内容の演算を行うことでもよい。
【００４４】
補正量ＨＲを演算によって求める場合に、その演算に用いられる係数を記憶した係数テーブルＫＴを設けておき、係数テーブルＫＴから読み出した係数を用いて演算を行ってもよい。例えば、係数テーブルＫＴから読み出した係数を、制御角θまたは電圧値ＶＴについての２次の項または１次の項の係数として用いて演算を行う。
【００４５】
補正量ＨＲを演算によって求める場合に、演算部２２においてフィルタリングを行った後の制御角θまたは電圧値ＶＴを用いて補正量ＨＲを求め、且つ、演算部２２においてフィルタリングを行った後の制御角θまたは電圧値ＶＴに対して補正量ＨＲによる補正を行うことが望ましい。これによって、過剰なまたは過度の補正が行われることが防止され、補正の精度を向上させることができるからである。詳しい理由は後で説明する。
【００４６】
なお、マイクロミラーのクロストークは、隣接するマイクロミラーに印加される電圧による静電気力が主な原因となって生じる。例えば、対象となるマイクロミラーが所定の制御状態にあるとして、その隣のマイクロミラーを制御するために電圧を印加しまたは電圧値を変更すると、それによって所定の制御状態にある対象のマイクロミラーの制御角θが変化する。制御角θの変化によって角度ずれが生じ、光学的な結合効率が低下する。そのため、出力ポートに伝達される光信号のレベルが低下し、全体として光スイッチシステム１による挿入損失が増大する。本実施形態の光スイッチシステム１においては、このようなクロストークによる光信号のレベルの低下を抑えるための補正がなされている。
【００４７】
駆動出力部２４は、制御量ＳＲに基づいてマイクロミラーＡ，Ｂを駆動する。駆動出力部２４は、例えば、演算部２２から出力されるデジタルの電圧値ＶＴをアナログの出力電圧Ｖに変換するＡＤ変換器である。マイクロミラーＡ，Ｂは、駆動出力部２４からの出力電圧Ｖによって、その駆動量が決まる。
【００４８】
上のように構成した光スイッチシステム１では、クロストークの補正をオープンル−プで行うことができ、従来のようなミラー角度センサを各マイクロミラーに設けることを要しない。したがって、マイクロミラーのクロストークによる角度ずれの補正を実装領域を増大させることなく行うことができ、低損失の光スイッチシステムを提供することができる。
【００４９】
なお、記憶部２１、演算部２２、および補正量取得部２３は、デジタル信号による処理を行い、駆動出力部２４はデジタル信号をアナログ信号に変換する処理を行う。駆動出力部２４は、物理的に、マイクロミラーＡ，Ｂの個数に応じた個数だけ設ける必要がある。しかし、記憶部２１、演算部２２、および補正量取得部２３は、物理的には１個のみであってもよい。つまり、１個の記憶部２１、１個の演算部２２、および１個の補正量取得部２３によって、全てのマイクロミラーＡ，Ｂに対する処理を行うことが可能である。
【００５０】
また、演算部２２におけるフィルタリングの処理は、個々のマイクロミラーＡ，Ｂに対して最適なパラメータを適用して行うように演算してもよく、または全部のマイクロミラーＡ，Ｂに対して同じパラメータを適用して演算を行ってもよい。このような演算部２２および補正量取得部２３は、専用のハードウエア回路によって構成してもよく、ＤＳＰやＣＰＵなどを用いて構成してもよく、またはそれらの組み合わせでもよい。
〔第２の実施形態〕
次に、より具体的な制御機能を、第２の実施形態の光スイッチシステム１Ｂとして説明する。
【００５１】
図４は第２の実施形態の光スイッチシステム１Ｂの制御機能を示すブロック図、図５は初期値テーブルＳＴ２を示す図、図６はクロストークテーブルＣＴ２Ａ，Ｂを示す図、図７は変形例のクロストークテーブルＣＴ３を示す図である。
【００５２】
なお、第２の実施形態においては、基本的には第１の実施形態で説明した内容が引き継がれている。したがって、ここでは、第１の実施形態に対する追加点または第１の実施形態との相違点について説明し、他は説明を省略しまたは簡略化する。
【００５３】
図４において、光スイッチシステム１Ｂは、記憶部３１、制御角算出部３２、補正量算出部３３、クロストークテーブル格納部３４、補正部３５、フィルタ部３６、θＶ変換部３７、およびＤＡ変換部３８を有する。
【００５４】
記憶部３１は、記憶部２１と同様に、接続情報ＳＪを記憶する。記憶部３１として、例えばＤＰＲＡＭ（Dual Port Random Access Memory) 、その他の半導体メモリが用いられる。
【００５５】
制御角算出部３２は、接続情報ＳＪに基づいて、マイクロミラーＡ，Ｂの制御角θを算出または生成する。制御角θの算出のために、図５に示すような初期値テーブルＳＴ２が設けられている。
【００５６】
図５において、初期値テーブルＳＴ２は、図２に示す入射側のマイクロミラーＡ１〜４と出射側のマイクロミラーＢ１〜４との全ての組み合わせについて、それぞれ、入射側のマイクロミラーＡおよび出射側のマイクロミラーＢに適用すべき制御角θを記憶する。したがって、初期値テーブルＳＴ２には、４×４×２個の制御角θのデータが記憶されている。但し、互いに対称位置にあるマイクロミラーＡとマイクロミラーＢとで同じ制御角θを用いることができる場合には、データの個数を例えばその２分の１に低減することが可能である。
【００５７】
制御角算出部３２は、接続情報ＳＪに基づいて、初期値テーブルＳＴ２から該当するマイクロミラーＡ，Ｂのデータを読み出し、それを制御角θとする。
【００５８】
補正量算出部３３は、接続情報ＳＪに基づいて、複数のマイクロミラーＡ，Ｂのうちの隣り合うマイクロミラーの間において発生するクロストークに対する補正量ＨＲを求める。
【００５９】
クロストークテーブル格納部３４には、クロストークテーブルＣＴ２が格納されており、補正量算出部３３は、そのクロストークテーブルＣＴ２から読み出したデータから補正量ＨＲを求める。
【００６０】
図６に示すクロストークテーブルＣＴ２には、全てのマイクロミラーＡ，Ｂについて、各マイクロミラーＡ，Ｂが対応する相手のマイクロミラーＢ，Ａごとに、且つ、各マイクロミラーＡ，Ｂに隣合うマイクロミラーが対応する相手のマイクロミラーＢ，Ａごとに、それぞれ補正量ＨＲが記憶されている。ここでの補正量ＨＲは、制御角θについてのクロストークに対応した補正量である。
【００６１】
すなわち、図６（Ａ）に示すクロストークテーブルＣＴ２Ａにおいて、テーブルＣＴ２Ａ１１は、マイクロミラーＡ１について、当該マイクロミラーＡ１が対応する相手がマイクロミラーＢ１である場合について、マイクロミラーＡ１に隣合う右側および左側のマイクロミラーが対応する相手のマイクロミラーＢ１〜４ごとに、それぞれ補正量ＨＲを記憶する。テーブルＣＴ２Ａ１２〜４は、それぞれ、マイクロミラーＡ１について、当該マイクロミラーＡ１が対応する相手がマイクロミラーＢ２〜４である場合について、マイクロミラーＡ１に隣合う右側および左側のマイクロミラーが対応する相手のマイクロミラーＢ１〜４ごとに、それぞれ補正量ＨＲを記憶する。
【００６２】
なお、図６（Ａ）ではマイクロミラーＡ１についのみしか示されていないが、クロストークテーブルＣＴ２Ａには、マイクロミラーＡ２〜４についても同様に補正量ＨＲが記憶されている。
【００６３】
同様に、図６（Ｂ）に示すクロストークテーブルＣＴ２Ｂにおいても、テーブルＣＴ２Ｂ１１は、マイクロミラーＢ１について、当該マイクロミラーＢ１が対応する相手がマイクロミラーＡ１である場合について、マイクロミラーＢ１に隣合う右側および左側のマイクロミラーが対応する相手のマイクロミラーＡ１〜４ごとに、それぞれ補正量ＨＲを記憶する。テーブルＣＴ２Ｂ１２〜４は、それぞれ、マイクロミラーＢ１について、当該マイクロミラーＢ１が対応する相手がマイクロミラーＡ２〜４である場合について、マイクロミラーＢ１に隣合う右側および左側のマイクロミラーが対応する相手のマイクロミラーＡ１〜４ごとに、それぞれ補正量ＨＲを記憶する。
【００６４】
そして、図６（Ｂ）のクロストークテーブルＣＴ２Ｂには、マイクロミラーＢ２〜４についても同様に補正量ＨＲが記憶されている。
【００６５】
したがって、Ａ用およびＢ用のそれぞれのクロストークテーブルＣＴ２Ａ，２Ｂは、それぞれ、最大で、ポート数の巾乗の個数の補正量ＨＲのデータを記憶することになる。この例では、４×４×４×４個の補正量ＨＲのデータを記憶することになる。したがって、クロストークテーブルＣＴの全体では、４×４×４×４×２個となる。
【００６６】
しかし、入力ポート１１と出力ポート１３とが１対１でのみ対応する場合には、マイクロミラーＡとマイクロミラーＢとの組み合わせの個数は減少するので、補正量ＨＲの個数も減少する。
【００６７】
なお、クロストークテーブルＣＴ２に記憶しておくべきそれぞれの補正量ＨＲは、クロストークによる影響を実測することにより取得する。例えば、対象となるマイクロミラーＡについての補正量ＨＲを取得する場合に、他のマイクロミラーについてはＯＦＦの状態としておき、マイクロミラーＡの左隣のマイクロミラーまたは右隣のマイクロミラーを、光信号がそれぞれ４つのマイクロミラーＢに向かうように順次切り換え、その時々の影響を示すデータ、またはその影響を打ち消すためのデータを実測する。これらのデータに基づいて補正量ＨＲを決定する。
【００６８】
上に述べたように、クロストークテーブルＣＴ２にそれぞれの補正量ＨＲを記憶させておいた場合に、１つのマイクロミラーの補正量ＨＲを得るためには、接続情報ＳＪに基づいて１つの補正量ＨＲを読み出す。読み出した補正量ＨＲは、そのまま補正量ＨＲのデータとして用いる。
【００６９】
補正部３５は、制御角算出部３２から出力される制御角θと補正量算出部３３から出力される補正量ＨＲとを加算し、補正された制御角θ２を出力する。
【００７０】
フィルタ部３６は、マイクロミラーＡ，Ｂの機械的な共振を除去しまたは低減するためのフィルタリングを行う。つまり、補正部３５から出力される制御角θ２の信号は、通常、あるタイミングｔ＝０で瞬時に一定値まで立ち上がるステップ入力であると見做せるので、それと同じ波形の電圧をマイクロミラーに印加した場合には、マイクロミラーの機械的な慣性などのために行き過ぎや振動が発生し、安定までに時間を要する。そこで、各マイクロミラーの機械的特性に対応して、振動などが生じることなく短時間で安定するように、適当な伝達関数を持ったフィルタ部３６を設ける。フィルタ部３６は、通常、適当な遮断周波数および位相特性を持ったローパスフィルタによって構成される。制御角θ２は、フィルタ部３６を通過して制御角θ３となる。
【００７１】
本実施形態では、ＤＳＰなどによって実行されるデジタルフィルタであり、その特性を決めるパラメータは、各マイクロミラーの特性に合わせて設定され、各マイクロミラーの動作が最適化されている。しかし、全部のマイクロミラーに対して１種類のパラメータを共通に用いることも可能である。
【００７２】
θＶ変換部３７は、上に述べた（１）式の関係を用いて、制御角θ３を電圧値ＶＴに変換する。
【００７３】
ＤＡ変換部３８は、θＶ変換部３７から出力されるデジタルの電圧値ＶＴをアナログの出力電圧Ｖに変換する。
【００７４】
上のように構成した光スイッチシステム１Ｂでは、クロストークについて、それぞれのマイクロミラーに対応した個別の補正量のデータが実測されてクロストークテーブルＣＴ２に記憶されており、そのデータを読み出して制御角θの補正を行うので、クロストークに対して高精度な補正を行うことができ、制御角θのずれがなくなって最適な角度での制御が可能となる。
【００７５】
なお、クロストークは隣接するマイクロミラーに印加される電圧によるものであるから、その電圧が小さい場合にはクロストークの影響を無視することも可能である。したがって、上に述べたクロストークテーブルＣＴ２において、制御角θが小さくしたがって電圧値ＶＴが小さいものについては、その補正量ＨＲのデータを持つことなく省略することも可能である。このように、接続情報ＳＪのうちの、電圧が小さくなる組み合わせのデータを削減することによって、補正量ＨＲを実測する手間を削減し、且つ記憶部３１に記憶するデータ量を低減することが可能である。
【００７６】
ところで、クロストークテーブルＣＴ２の各マイクロミラーに対応したテーブルに、当該マイクロミラーの初期値θを記憶させておいてもよい。
【００７７】
つまり、図７に示すように、クロストークテーブルＣＴ３において、その一部であるテーブルＣＴ３Ａ１１には、マイクロミラーＡ１について、当該マイクロミラーＡ１が対応する相手がマイクロミラーＢ１である場合について、両隣のマイクロミラーの対応する相手のマイクロミラーごとに補正量ＨＲが記憶されており、且つ、当該マイクロミラーＡ１について、光信号をマイクロミラーＢに向けるための制御角が、初期値θ１１として記憶されている。
【００７８】
このように、初期値テーブルＳＴ２とクロストークテーブルＣＴ２とを合体したクロストークテーブルＣＴ３を作成しておくことによって、制御角算出部３２に格納した初期値テーブルＳＴ２を省略することができる。
【００７９】
しかし、上に述べたクロストークテーブルＣＴ２，３では、記憶すべき補正量ＨＲの個数、つまりデータ量が多くなる。したがって、データの取得に時間を要し、クロストークテーブルＣＴ２，３の記憶容量も多く必要である。次に、記憶すべきデータ量を低減した例を、第３の実施形態の光スイッチシステム１Ｃとして説明する。
〔第３の実施形態〕
第３の実施形態においては、第２の実施形態に対して、クロストークテーブル格納部３４に格納されたクロストークテーブルＣＴ４のみが異なり、他は同じであるから、クロストークテーブルＣＴ４のみについて説明する。
【００８０】
図８は第３の実施形態に用いるクロストークテーブルＣＴ４を示す図である。
【００８１】
図８において、クロストークテーブルＣＴ４は、全てのマイクロミラーに対して共通に適用するものである。クロストークテーブルＣＴ４は、補正を行うべき１つのマイクロミラーについて、その左側（左チャネル）のマイクロミラーによる影響を補正する補正量ＨＲ３Ｌを格納したクロストークテーブルＣＴ４Ｌ〔図８（Ａ）〕と、その右側（右チャネル）のマイクロミラーによる影響を補正する補正量ＨＲ３Ｒを格納したクロストークテーブルＣＴ４Ｒ〔図８（Ｂ）〕とからなる。
【００８２】
例えば、図８（Ａ）に示すクロストークテーブルＣＴ４Ｌには、補正を行うべきマイクロミラーがＡ側である場合に適用するＡ用の４個の補正量ＨＲ３Ｌと、補正を行うべきマイクロミラーがＢ側である場合に適用するＢ用のデータである４個の補正量ＨＲ３Ｌとが記憶されている。図８（Ｂ）に示すクロストークテーブルＣＴ４Ｒについても同様である。
【００８３】
したがって、例えば、補正を行うべき対象となるマイクロミラーＡ２に対しては、左側のマイクロミラーＡ１の向く相手のマイクロミラーＢに対応した位置に記憶された補正量ＨＲ３Ｌと、右側のマイクロミラーＡ３の向く相手のマイクロミラーＢに対応した位置に記憶された補正量ＨＲ３Ｒとを読み出し、それらを加算することによって補正量ＨＲを取得する。
【００８４】
このように、クロストークテーブルＣＴ４に、全てのマイクロミラーに対して共通に適用する補正量ＨＲのデータを記憶することによって、クロストークテーブルＣＴ４のデータ量が大幅に低減される。
【００８５】
例えば、クロストークテーブルＣＴ４においては、４×２×２個の補正量のデータを記憶することになる。この場合に、クロストークテーブルＣＴ４Ｌ，ＣＴ４Ｒにおいて、それぞれＡ用とＢ用とが互いに同じデータを用いる場合には、それらを共通とし、データ量をさらに２分の１に、つまり結局４×２個に低減することができる。
【００８６】
なお、クロストークテーブルとして、全てのマイクロミラーに対して共通に適用するものでなく、その一部である複数のマイクロミラーに対して共通に適用するものとしてもよい。例えば、Ａ側のマイクロミラーに共通に適用するクロストークテーブルと、Ｂ側のマイクロミラーに共通に適用するクロストークテーブルとを設けてもよい。
【００８７】
上に述べた第２および第３の実施形態においては、補正量ＨＲをクロストークテーブルＣＴから読み出すことによって取得していたが、次に、補正量ＨＲを演算によって求める例について、第４の実施形態として説明する。
〔第４の実施形態〕
図９は本発明に係る第４の実施形態の光スイッチシステム１Ｄの制御機能を示すブロック図である。
【００８８】
図９に示す光スイッチシステム１Ｄにおいては、図４に示す光スイッチシステム１Ｂに対して、補正量算出部３３Ｄ、係数テーブル格納部３４Ｄ、および係数テーブルＫＴのみが異なり、他はほぼ同様であるので、それらについてのみ説明する。
【００８９】
図９において、補正量算出部３３Ｄは、係数テーブル格納部３４Ｄに格納された係数テーブルＫＴに基づいて、制御角θの補正量ＨＲを演算によって算出する。演算に用いる演算式として、種々のものを用いることができるが、例えば、左右に隣り合うマイクロミラーに印加される制御角θの２次の項と１次の項との重み加算値で示される演算式を用いることができる。演算に用いる制御角θとして、制御角算出部３２Ｄで算出した制御角θを用いることができる。重みとして、係数テーブルＫＴに記憶された係数を用いる。演算式の詳細については後の第５の実施形態において説明する。
【００９０】
係数テーブルＫＴは、補正量ＨＲの演算に用いられる１つまたは複数の係数を記憶する。例えば、対象となるマイクロミラーの右側および左側のマイクロミラーに適用すべき複数の係数を記憶する。補正量算出部３３Ｄは、係数テーブルＫＴから読み出した係数を適用して、右側および左側のマイクロミラーからの影響を打ち消すための補正量ＨＲを演算する。演算は、例えばタイミングクロックなどに合わせて、所定の短い時間間隔ごとに行われ、その度ごとに補正量ＨＲが算出されて補正が行われる。
【００９１】
このように、係数を適用して演算によって補正量ＨＲを求めることにより、補正量ＨＲや係数などを記憶するメモリの容量が低減される。
【００９２】
さて、上に述べた第２〜第４の実施形態においては、制御角θに対して補正を行ったが、電圧値ＶＴに対して補正を行うこともできる。次に、電圧値ＶＴに対して補正を行う例を、第５の実施形態として説明する。
〔第５の実施形態〕
図１０は第５の実施形態の光スイッチシステム１Ｅの制御機能を示すブロック図、図１１は係数テーブルＫＴＥを示す図、図１２は過剰な補正が行われる例を説明するための図である。
【００９３】
図１０において、光スイッチシステム１Ｅは、記憶部３１Ｅ、制御角算出部３２Ｅ、フィルタ部３６Ｅ、θＶ変換部３７Ｅ、補正量算出部３３Ｅ、補正部３５Ｅ、ＤＡ変換部３８Ｅ、および係数テーブルＫＴＥを有する。
【００９４】
第５の実施形態においては、補正量算出部３３Ｅ、補正部３５Ｅ、および係数テーブルＫＴＥ以外の要素については、第２の実施形態の光スイッチシステム１Ｂと同じ機能を有するので、後者については説明を省略しまたは簡略化する。また、前者については、第４の実施形態のそれらと類似の機能を有するので、それらの相違点および追加点について主に説明する。
【００９５】
補正量算出部３３Ｅは、係数テーブルＫＴＥに基づいて、電圧値ＶＴの補正量ＨＲを演算によって算出する。演算に用いる演算式として、種々のものを用いることができる。例えば次の（２）式を用いることができる。
【００９６】
ΔＶＴ（Ｎ）＝Ｋ１×〔ＶＴ（Ｎ−１）〕2 ＋Ｋ２×〔ＶＴ（Ｎ−１）〕
＋Ｋ３×〔ＶＴ（Ｎ＋１）〕2 ＋Ｋ４×〔ＶＴ（Ｎ＋１）〕
……（２）
但し、Ｎは対象となるマイクロミラーのチャネルを示し、ΔＶＴ（Ｎ）はその補正量ＨＲを示す。また、ＶＴ（Ｎ−１）、ＶＴ（Ｎ＋１）は、それぞれＮ−１チャネルまたはＮ＋１チャネルのマイクロミラーに印加される電圧値ＶＴである。Ｋ１〜４は係数である。
【００９７】
つまり、（２）式によると、補正量ＨＲは、左右に隣り合うマイクロミラーに印加される電圧値ＶＴの２次の項と１次の項との重み加算値で示される。演算に用いる電圧値ＶＴは、θＶ変換部３７Ｅから出力されるそれぞれのマイクロミラーに印加すべき電圧値ＶＴを用いる。つまり、フィルタ部３６Ｅによりフィルタリングされた電圧値ＶＴを用いて、（２）式による演算が行われる。また、（２）式で用いられる重みは、上に述べた係数Ｋ１〜４である。
【００９８】
図１１に示すように、係数テーブルＫＴＥは、（Ｎ−１）チャネル用の係数テーブルＫＴＥＬと、（Ｎ＋１）チャネル用の係数テーブルＫＴＥＲとからなる。係数テーブルＫＴＥＬには２つの係数Ｋ１，Ｋ２が、係数テーブルＫＴＥＲには２つの係数Ｋ３，Ｋ４が、それぞれ記憶されている。
【００９９】
クロストークによる影響を打ち消すための補正量ＨＲの演算を、上の（２）式に示すようにモデル化することが可能である。（２）式で示されるモデルは、本発明の発明者らがクロストークの影響を打ち消すための実験とその実験結果に基づく統計とによって見いだした。
【０１００】
したがって、係数テーブルＫＴＥに記憶しておくべき係数Ｋ１〜４の値は、実験的に求めることができる。例えば、全てのマイクロミラーについてのクロストークに対する補正が最適化されるように、係数Ｋ１〜４の値を決めておく。
【０１０１】
なお、補正量ＨＲの演算は、タイミングクロックなどに合わせて、所定の短い時間間隔ごとに行われ、その度ごとに補正量ＨＲが算出されて補正が行われる。
【０１０２】
また、補正量ＨＲの演算において、上に述べた（２）式に代えて、次の（３）式を用いることも可能である。
【０１０３】
ΔＶＴ（Ｎ）＝Ｋ１〔ＶＴ（Ｎ−１）／ＶＴ（Ｎ）〕2 
＋Ｋ２〔ＶＴ（Ｎ−１）／ＶＴ（Ｎ）〕
＋Ｋ３〔ＶＴ（Ｎ＋１）／ＶＴ（Ｎ）〕2 
＋Ｋ４〔ＶＴ（Ｎ＋１）／ＶＴ（Ｎ）〕    ……（３）
但し、係数Ｋ１〜４は、上に述べた（２）式用のものとは異なる値である。
【０１０４】
この（３）式によると、補正量ＨＲは、左右に隣り合うマイクロミラーに印加される電圧値ＶＴと対象となるマイクロミラーに印加される電圧値ＶＴとの比のそれぞれ２次の項と１次の項との重み加算値で示される。
【０１０５】
また、上に述べた（２）式に代えて、次の（４）式を用いることも可能である。
【０１０６】
ΔＶＴ（Ｎ）＝Ｋ１〔ＶＴ（Ｎ−１）−ＶＴ（Ｎ）〕2 
＋Ｋ２ｌ〔ＶＴ（Ｎ−１）−ＶＴ（Ｎ）〕ｌ
＋Ｋ３〔ＶＴ（Ｎ＋１）−ＶＴ（Ｎ）〕2 
＋Ｋ４ｌ〔ＶＴ（Ｎ＋１）−ＶＴ（Ｎ）〕ｌ  ……（４）
この（４）式によると、補正量ＨＲは、左右に隣り合うマイクロミラーに印加される電圧値ＶＴと対象となるマイクロミラーに印加される電圧値ＶＴとの差の絶対値のそれぞれ２次の項と１次の項との重み加算値で示される。
【０１０７】
このように、クロストークによる影響を打ち消すための補正量ＨＲは、対象となるマイクロミラーに隣合うマイクロミラーに印加される電圧値ＶＴの関数であり、電圧値ＶＴを含む項の２次の項と１次の項との重み加算値で示すことができる。また、マイクロミラーに印加される電圧値ＶＴと制御角θとは、上の（１）式の関係にあるので、これら（２）〜（４）式において、電圧値ＶＴの項を制御角θの項に変換し、制御角θの補正量ＨＲを同様にして演算することができる。このようにして制御角θの補正量ＨＲを演算する例が、上に述べた第４の実施形態である。したがって、第４の実施形態の演算式として、（２）〜（４）式を、制御角θの補正量ＨＲであるΔθ（Ｎ）を求める形に変形したものを用いることができる。
【０１０８】
また、第５の実施形態では、第２〜第４の実施形態のように制御角θを用いて補正を行うのとは異なり、フィルタ部３６Ｅによりフィルタリングされた電圧値ＶＴを用いて補正を行うので、マイクロミラーの機械的な特性による補正の誤差の発生を抑えることができ、高精度な補正を行うことができる。
【０１０９】
すなわち、図１２に示すように、対象となるＮチャネルのマイクロミラーに１００Ｖの電圧が印加されている状態で、時間ｔ＝１において、隣の（Ｎ＋１）チャネルのマイクロミラーが０Ｖから１００Ｖに立ち上げられた場合を考える。（Ｎ＋１）チャネルのマイクロミラーの立ち上げによって、Ｎチャネルのマイクロミラーの電圧値ＶＴに、補正量ＨＲとして５Ｖが追加されるとすると、その５Ｖの追加は、瞬間的にステップ状に印加するのではなく、図１２に実線で示すように、（Ｎ＋１）チャネルのマイクロミラーの電圧の立ち上がり特性に沿った滑らかな曲線状に印加する必要がある。その理由は、ステップ状に印加した場合には、実際には（Ｎ＋１）チャネルのマイクロミラーに未だ印加されていない電圧値に対して補正を行ってしまうこととなり、過剰な補正が行われ、Ｎチャネルのマイクロミラーが過度的に正しい制御角θからずれてしまう。
【０１１０】
したがって、第５の実施形態では、フィルタ部３６Ｅによりフィルタリングされた後の実際にマイクロミラーに印加される電圧値ＶＴを用いて、補正量ＨＲを演算する。したがって、図１２に示すように（Ｎ＋１）チャネルの滑らかな曲線状に上昇する実際の電圧に応じた補正量ＨＲが算出される。これによって、常に正確な補正量ＨＲが算出され、精度のよい補正が行われる。
【０１１１】
因みに、制御角算出部３２Ｅで算出された制御角θを用いて補正量ＨＲを演算した場合には、Ｎチャネルのマイクロミラーの制御角θには、時間ｔ＝１において、補正量ＨＲであるΔθ（Ｎ）がステップ状に加算されることとなる。この加算分のΔθ（Ｎ）は、フィルタ部３６Ｅを通過することによって一応のフィルタリングが掛かるものの、図１２に破線で示すように、（Ｎ＋１）チャネルのマイクロミラーに印加される実際の電圧の上昇よりも早く上昇し、その結果、過剰な補正が行われてしまうことになる。この過剰な補正によって、同じく図１２に破線で示すように、Ｎチャネルのマイクロミラーを経由して得られる光信号のレベルが一時的に低下してしまうことになる。
【０１１２】
上に述べたように、本実施形態の光スイッチシステム１，１Ｂ〜１Ｅによると、マイクロミラーのクロストークによる角度ずれの補正を実装領域を増大させることなく行い、低損失の光スイッチシステムを提供することができる。また、第３〜第５の実施形態の光スイッチシステム１Ｂ〜１Ｅによると、マイクロミラーのクロストークによる角度ずれの補正をできるだけ簡単な構成により低コストで行うことができる。第５の実施形態の光スイッチシステム１Ｅによると、マイクロミラーの過剰な補正を抑え、補正の精度を向上させることができる。
【０１１３】
上に述べた各実施形態において、マイクロミラーＡ，Ｂが１次元的に配列された場合について説明したが、これらが２次元的または３次元的に配列されたものであっても適用可能である。
【０１１４】
上に述べた各実施形態において、光スイッチ１２Ａ、１２Ｂの構造、形状、マイクロミラーの配置および個数などは、上に述べた以外の種々のものであってもよい。クロストークテーブルＣＴおよび係数テーブルＫＴの構成、形式、データの配置方法、データの形式およびデータの単位などは、上に述べた以外の種々のものであってもよい。その他、入力ポート１１、出力ポート１３、演算部２２、補正量取得部２３、補正量算出部３３、補正部３５、および光スイッチシステム１，１Ｂ〜１Ｅの全体または各部の構造、構成、形状、個数、材質、処理内容および処理順序などは、本発明の趣旨に沿って適宜変更することができる。
【０１１５】
本発明の光スイッチシステムは、波長分割多重型の光スイッチシステムまたは空間分割通信型の光スイッチシステムなど、種々の方式の光スイッチシステムとして利用することができる。
【０１１６】
以上、本発明の実施形態をいくつかの実施例とともに説明したが、本発明は上記実施形態に限定されることなく種々の形態で実施することが可能である。
（付記１）
反射面の角度制御の可能な複数のマイクロミラーを平面状に配置し、１つまたは複数の入力ポートから入射した光信号を前記複数のマイクロミラーで反射させて１つまたは複数の出力ポートのうちの選択されたそれぞれの出力ポートに入射させる光スイッチシステムであって、
前記入力ポートと前記出力ポートとの間における接続情報を記憶する記憶部と、
前記複数のマイクロミラーのうちの隣り合うマイクロミラーの間において発生するクロストークに対する補正量を取得する補正量取得部と、
前記接続情報および前記補正量に基づいて前記マイクロミラーの制御量を求める演算部と、
前記制御量に基づいて前記マイクロミラーを駆動する駆動出力部と、
を有してなることを特徴とする光スイッチシステム。
（付記２）
隣合うマイクロミラーの間において発生するクロストークの補正量のデータを記憶したクロストークテーブルが設けられており、
前記補正量取得部は、前記接続情報に基づいて前記クロストークテーブルからデータを読み出すことによって前記補正量を取得する、
付記１記載の光スイッチシステム。
（付記３）
前記クロストークテーブルには、全てのマイクロミラーについて、各マイクロミラーの向けられるべき方向ごとに、且つ各マイクロミラーに隣合うマイクロミラーのそれぞれ向けられるべき方向ごとに、それぞれ補正量が記憶されており、
前記演算部は、対象となるマイクロミラーおよび対象となるマイクロミラーに隣合うマイクロミラーのそれぞれ向けられるべき方向に対応した補正量を用いて、対象となるマイクロミラーの制御量を求める、
付記２記載の光スイッチシステム。
（付記４）
前記クロストークテーブルには、隣合うマイクロミラーの向けられるべき方向に対応した補正量が記憶されており、
前記演算部は、対象となる複数のマイクロミラーについて、前記クロストークテーブルから読み出した補正量を共通に用いて、対象となるマイクロミラーの制御量を求める、
付記２記載の光スイッチシステム。
（付記５）
前記補正量取得部は、対象となるマイクロミラーに隣合うマイクロミラーの制御角または当該制御角に対応する電圧値を用いて演算を行うことによって、当該対象となるマイクロミラーについての前記補正量を取得する、
付記１記載の光スイッチシステム。
（付記６）
前記補正量取得部は、
前記制御角または前記電圧値についての２次の項と１次の項との加算値を演算することにより前記補正量を取得する、
付記５記載の光スイッチシステム。
（付記７）
前記補正量の演算に用いられる係数を記憶した係数テーブルが設けられており、
前記補正量取得部は、前記係数テーブルから読み出した係数を、前記２次の項または前記１次の項の係数として用いて演算を行う、
付記６記載の光スイッチシステム。
（付記８）
前記補正量取得部は、次の式に基づいて演算を行う、
ΔＶＴ（Ｎ）＝Ｋ１×〔ＶＴ（Ｎ−１）〕2 ＋Ｋ２×〔ＶＴ（Ｎ−１）〕
＋Ｋ３×〔ＶＴ（Ｎ＋１）〕2 ＋Ｋ４×〔ＶＴ（Ｎ＋１）〕
但し、Ｎは対象となるマイクロミラーのチャネル、ΔＶＴ（Ｎ）はその補正量、ＶＴ（Ｎ−１）はＮ−１チャネルのマイクロミラーに印加される電圧値、ＶＴ（Ｎ＋１）はＮ＋１チャネルのマイクロミラーに印加される電圧値、Ｋ１〜４は係数、
付記６記載の光スイッチシステム。
（付記９）
前記補正量取得部は、次の式に基づいて演算を行う、
ΔＶＴ（Ｎ）＝Ｋ１〔ＶＴ（Ｎ−１）／ＶＴ（Ｎ）〕2 
＋Ｋ２〔ＶＴ（Ｎ−１）／ＶＴ（Ｎ）〕
＋Ｋ３〔ＶＴ（Ｎ＋１）／ＶＴ（Ｎ）〕2 
＋Ｋ４〔ＶＴ（Ｎ＋１）／ＶＴ（Ｎ）〕
但し、Ｎは対象となるマイクロミラーのチャネル、ΔＶＴ（Ｎ）はその補正量、ＶＴ（Ｎ−１）はＮ−１チャネルのマイクロミラーに印加される電圧値、ＶＴ（Ｎ＋１）はＮ＋１チャネルのマイクロミラーに印加される電圧値、Ｋ１〜４は係数、
付記６記載の光スイッチシステム。
（付記１０）
前記補正量取得部は、次の式に基づいて演算を行う、
ΔＶＴ（Ｎ）＝Ｋ１〔ＶＴ（Ｎ−１）−ＶＴ（Ｎ）〕2 
＋Ｋ２ｌ〔ＶＴ（Ｎ−１）−ＶＴ（Ｎ）〕ｌ
＋Ｋ３〔ＶＴ（Ｎ＋１）−ＶＴ（Ｎ）〕2 
＋Ｋ４ｌ〔ＶＴ（Ｎ＋１）−ＶＴ（Ｎ）〕ｌ
但し、Ｎは対象となるマイクロミラーのチャネル、ΔＶＴ（Ｎ）はその補正量、ＶＴ（Ｎ−１）はＮ−１チャネルのマイクロミラーに印加される電圧値、ＶＴ（Ｎ＋１）はＮ＋１チャネルのマイクロミラーに印加される電圧値、Ｋ１〜４は係数、
付記６記載の光スイッチシステム。
（付記１１）
前記演算部は、前記接続情報から前記マイクロミラーの制御角を求め、求めた制御角に対してマイクロミラーの機械的共振を低減するためのフィルタリングを行い、前記フィルタリングを行った後の制御角または当該制御角に対応する電圧値に対して前記補正量による補正を行う、
付記５ないし１０のいずれかに記載の光スイッチシステム。
（付記１２）
反射面の角度制御の可能な複数のマイクロミラーを平面状に配置し、１つまたは複数の入力ポートから入射した光信号を前記複数のマイクロミラーで反射させて１つまたは複数の出力ポートのうちの選択されたそれぞれの出力ポートに入射させる光スイッチシステムであって、
前記入力ポートと前記出力ポートとの間における接続情報を記憶する記憶部と、
前記接続情報に基づいて前記マイクロミラーの制御角を取得する制御角取得部と、
前記マイクロミラーの機械的共振を低減するために前記制御角に対してフィルタリングを行うフィルタ部と、
前記フィルタリングを行った制御角を電圧値に変換するθＶ変換部と、
前記電圧値に基づいて前記マイクロミラーを駆動する駆動出力部と、
前記複数のマイクロミラーのうちの隣り合うマイクロミラーの間において発生するクロストークに対する補正量を求める補正量取得部と、
を有し、
前記補正量取得部は、対象となるマイクロミラーに隣合うマイクロミラーの制御角または当該制御角に対応する電圧値についての２次の項と１次の項との加算値を演算することにより前記補正量を求めるものであり、
求められた前記補正量を当該対象となるマイクロミラーの前記制御角または前記電圧値に適用することによって、当該対象となるマイクロミラーの駆動量を補正するように構成されている、
ことを特徴とする光スイッチシステム。
（付記１３）
前記補正量の演算に用いられる係数を記憶した係数テーブルが設けられており、
前記補正量取得部は、前記係数テーブルから読み出した係数を、前記２次の項または前記１次の項の係数として用いて演算を行う、
付記１２記載の光スイッチシステム。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】本発明に係る光スイッチシステムのミラー構成の例を模式的に示す図である。
【図２】図１に示す光スイッチシステムを平面的に示す図である。
【図３】第１の実施形態の光スイッチシステムの制御機能を示すブロック図である。
【図４】第２の実施形態の光スイッチシステムの制御機能を示すブロック図である。
【図５】初期値テーブルを示す図である。
【図６】クロストークテーブルを示す図である。
【図７】クロストークテーブルの変形例を示す図である。
【図８】第３の実施形態に用いるクロストークテーブルを示す図である。
【図９】第４の実施形態の光スイッチシステムの制御機能を示すブロック図である。
【図１０】第５の実施形態の光スイッチシステムの制御機能を示すブロック図である。
【図１１】係数テーブルを示す図である。
【図１２】過剰な補正が行われる例を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１１８】
１，１Ｂ〜１Ｅ  光スイッチシステム
１１  入力ポート
１２Ａ、１２Ｂ  光スイッチ
１３  出力ポート
２１  記憶部
２２  演算部
２３  補正量取得部
２４  駆動出力部
３１  記憶部
３２  制御角算出部（演算部）
３３  補正量算出部（補正量取得部）
３４  係数テーブル格納部
３５  補正部（演算部）
３６  フィルタ部（演算部）
３７  θＶ変換部（演算部）
３８  ＤＡ変換部（駆動出力部）
ＨＲ  補正量
【図１】
2007264305.tif 000003
【図２】
2007264305.tif 000004
【図３】
2007264305.tif 000005
【図４】
2007264305.tif 000006
【図５】
2007264305.tif 000007
【図６】
2007264305.tif 000008
【図７】
2007264305.tif 000009
【図８】
2007264305.tif 000010
【図９】
2007264305.tif 000011
【図１０】
2007264305.tif 000012
【図１１】
2007264305.tif 000013
【図１２】
2007264305.tif 000014