(57)【要約】【課題】  研削砥石の形状によらずドレッシング及び／又はツルーイングの精度を確保することができる研削砥石用修正装置及び研削砥石の修正方法を提供すること。【解決手段】  回転軸Ｘ１に沿って伸延した支持部１１２を有し、この支持部１１２の先端にワーク２００を研削する研削砥石１１３を保持した状態で支持部１１２を回転させる回転手段１１０と、修正冶具１２１を有し、回転中の研削砥石１１３に対して修正冶具１２１を当接させてドレッシング及びツルーイングの少なくとも一方を実施する修正手１２０を備える研削砥石用修正装置１００であって、支持部１１２に対して前進後退可能であり、回転中の支持部１１２に当接することで支持部１１２の振れを抑制するガイド手段１３０を設けた。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に沿って伸延した支持部を有し、この支持部の先端にワークを研削する研削砥石を保持した状態で前記支持部を回転させる回転手段と、
修正冶具を有し、回転中の前記研削砥石に対して前記修正冶具を当接させてドレッシング及びツルーイングの少なくとも一方を実施する修正手段とを備える研削砥石用修正装置であって、
前記支持部に対して前進後退可能に設けられ、回転中の前記支持部に当接することで前記支持部の振れを抑制するガイド手段を備えることを特徴とする研削砥石用修正装置。
【請求項２】
前記回転手段及び前記修正手段の動作を制御する制御手段と、
回転による前記支持部又は前記研削砥石の振れを検出する振れ検出手段とを備え、
前記制御手段は、前記振れ検出手段からの信号に基づいて、前記支持部に対する前記ガイド手段の接触状態を制御し、この制御状態で前記研削砥石を修正するように前記修正手段及び前記回転手段の動作を制御することを特徴とする研削砥石用修正装置。
【請求項３】
前記ガイド手段は、前記支持部に当接するガイド部と、前記ガイド部を移動させるアクチュエータとにより構成され、
前記制御手段は、前記検出手段からの信号に基づいて、前記アクチュエータを制御することを特徴とする請求項２に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項４】
前記ガイド部は、前記支持部に当接する部位が凹み、略Ｖ字状となっていることを特徴とする請求項３に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項５】
前記ガイド部は、前記支持部に当接する部位が凹み、略Ｕ字状となっていることを特徴とする請求項３に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記振れ検出手段から前記支持部の振れ検出を示す信号を受けた時点で、前記ガイド手段が前記支持部に向けて前進するように制御することを特徴とする請求項２〜５いずれか１項に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項７】
前記振れ検出手段は、前記ガイド手段と一体的に構成されており、前記ガイド手段が前記支持部に接触した際の反力を検出することを特徴とする請求項２〜５いずれか１項に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記振れ検出手段からの信号が所定範囲内となった状態で前記アクチュエータの動作を停止させ、この停止状態で前記研削砥石を修正することを特徴とする請求項７に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項９】
前記制御手段は、前記支持部の振動位相からずれた位相で前後ガイド部が振動するように前記アクチュエータを制御し、この制御状態で前記研削砥石を修正することを特徴とする請求項７に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項１０】
前記制御手段は、前記振れ検出手段からの信号が所定範囲内となった状態で、前記支持部の振動位相からずれた位相で前記ガイド部が振動するように前記アクチュエータを制御することを特徴とする請求項９に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項１１】
前記ガイド部の振動位相は、前記支持部の振動位相に対して略１８０度ずれていることを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項１２】
前記修正手段による修正直後の前記研削砥石の修正状態を検出する修正状態検出手段を備え、
前記制御手段は、前記修正状態検出手段からの信号に基づいて前記研削砥石の修正状態良否を判定し、否判定の場合には、前記研削砥石を再度修正するように前記回転手段、前記修正手段、及び前記ガイド手段の動作を制御することを特徴とする請求項２〜１１いずれか１項に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項１３】
修正直後の前記研削砥石によって研削された前記ワークの研削状態を検出する研削状態検出手段を備え、
前記制御手段は、前記研削状態検出手段からの信号に基づいて前記ワークの研削状態良否を判定し、否判定の場合には、前記研削砥石を再度修正するように前記回転手段、前記修正手段、及び前記ガイド手段の動作を制御することを特徴とする請求項２〜１１いずれか１項に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項１４】
再度修正する場合、前記制御手段は、前記回転手段、前記修正手段、及び前記ガイド手段の動作の少なくとも１つを、前回の条件とは異なる条件にて制御することを特徴とする請求項１２又は請求項１３に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項１５】
前記制御手段による判定結果を外部に出力する報知手段を備えることを特徴とする請求項１２〜１４いずれか１項に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項１６】
前記ガイド手段と前記修正冶具との間に、前記研削砥石を含む前記支持部を配置したことを特徴とする請求項１〜１５いずれか１項に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項１７】
前記研削砥石は、前記ワークの内面を研削する小径砥石であることを特徴とする請求項１〜１６いずれか１項に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項１８】
前記研削砥石は、前記修正冶具によって修正される部位の少なくとも一部として、前記支持部に支持された状態で前記回転軸に対して傾斜する傾斜部を有することを特徴とする請求項１〜１７いずれか１項に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項１９】
前記修正冶具はロータリドレッサであり、
前記修正手段は前記ロータリドレッサを回転させることを特徴とする請求項１〜１８いずれか１項に記載の研削砥石用修正装置。
【請求項２０】
ワークを研削する研削砥石に修正冶具を接触させて、前記研削砥石の形状及び表面状態の少なくとも一方を修正する研削砥石の修正方法であって、
回転軸に沿って伸延した支持部先端に前記研削砥石を固定した状態で、前記支持部を回転させる始動ステップと、
前記支持部に対して前進後退可能に設けられたガイド手段を、回転中の前記支持部に当接させて前記支持部の振れを抑制する抑制ステップと、
前記支持部の振れが抑制された状態で、回転中の前記研削砥石に前記修正冶具を接触させて、ドレッシング及びツルーイングの少なくとも一方を実施する修正ステップとを備えることを特徴とする研削砥石の修正方法。
【請求項２１】
振れ検出手段にて、回転中の前記支持部又は前記研削砥石の振れを検出する検出ステップを備え、
前記抑制ステップにおいて、前記検出ステップにて検出された振れに基づいて、前記支持部に当接する前記ガイド手段の接触状態を調整することを特徴とする請求項２０に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項２２】
前記検出ステップにおいて、回転中の前記支持部又は前記研削砥石の振れが検出された時点で、前記抑制ステップにおいて、前記ガイド手段を前記支持部に向けて前進させることを特徴とする請求項２１に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項２３】
前記検出ステップにおいて、前記振れ検出手段は、前記ガイド手段が前記支持部に接触した際の反力を検出することを特徴とすることを特徴とする請求項２１に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項２４】
前記振れ検出手段の検出信号が所定の範囲内となった状態で前記ガイド手段の駆動を停止させ、この停止状態で前記修正ステップを実施することを特徴とする請求項２３に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項２５】
前記抑制ステップにおいて、前記支持部の振動位相からずれた位相で前記ガイド手段を振動させて、前記支持部の振れを抑制することを特徴とする請求項２３に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項２６】
前記振れ検出手段の検出信号が所定の範囲内となった状態で、前記支持部の振動位相からずれた位相で前記ガイド手段を振動させて、前記支持部の振れを抑制することを特徴とする請求項２５に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項２７】
前記ガイド手段の振動位相は、前記支持部の振動位相に対して略１８０度ずれていることを特徴とする請求項２５又は請求項２６に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項２８】
前記修正ステップ後に、前記研削砥石の修正状態を検出し、その良否を判定する修正状態判定ステップを備え、
前記判定ステップにおいて否判定された場合、前記研削砥石を再度修正することを特徴とする請求項２０〜２７いずれか１項に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項２９】
前記修正ステップ後に、修正直後の前記研削砥石によって研削された前記ワークの研削状態を検出し、その良否を判定する研削状態判定ステップを備え、
前記判定ステップにおいて否判定された場合、前記研削砥石を再度修正することを特徴とする請求項２０〜２７いずれか１項に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項３０】
再度修正する場合、前記始動ステップにおける前記支持部の回転状態、前記抑制ステップにおける前記ガイド手段の駆動状態、及び前記修正ステップにおける前記修正冶具の修正動作の少なくとも１つを、前回の条件とは異なる条件とすることを特徴とする請求項２８又は請求項２９に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項３１】
前記ガイド手段と前記修正冶具との間に、前記研削砥石を含む前記支持部を配置したことを特徴とする請求項２０〜３０いずれか１項に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項３２】
前記研削砥石は、前記ワークの内面を研削する小径砥石であることを特徴とする請求項２０〜３１いずれか１項に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項３３】
前記研削砥石は、前記修正冶具によって修正される部位の少なくとも一部として、前記支持部に支持された状態で前記回転軸に対して傾斜する傾斜部を有することを特徴とする請求項２０〜３２いずれか１項に記載の研削砥石の修正方法。
【請求項３４】
前記修正冶具はロータリドレッサであることを特徴とする請求項２０〜３４いずれか１項に記載の研削砥石の修正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを研削する研削砥石に修正冶具を接触させて、ドレッシング及びツルーイングの少なくとも一方を実施する研削砥石用修正装置及び研削砥石の修正方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ワークを研削する研削砥石は、一般的に砥粒を結合剤で固めたものであり、微小な気孔を多数含んでいる。砥粒が脱落したり気孔に異物が詰まったりして表面から露出する砥粒が埋没すると、目詰まり状態となって切れ味が低下する。そこで、例えば定期的にドレッシングして、研削砥石の表面状態を整える必要がある。また、ワークを研削することによって研削砥石は磨耗し、その形状が後退していく。その際、研削面が均一に後退せずに、研削面形状が所望形状からずれる場合があるが、このような場合には、ツルーイングして形状を整える必要がある。
【０００３】
これら修正作業（ドレッシング及びツルーイングの少なくとも一方）は、回転軸に沿って伸延した支持部先端に研削砥石を固定し、研削砥石を含む支持部を回転させた状態で研削砥石に修正冶具（ドレッサ又はツルア）を当接することにより実施される。
【０００４】
ところで、ワークの形状及び研削部位によっては、研削面に当接しないように研削砥石を保持する支持部を細くする必要がある。この場合、支持部の剛性が小さいため、支持部の長さ、研削砥石の重量、回転速度等によっては支持部に振れが生じることとなる。特に研削砥石がワークの内面を研削する小径砥石の場合、支持部がより細いので振れが生じやすい。また、回転手段（例えばスピンドル）への取り付け誤差（回転軸と支持部の中心軸とのずれ）によって、支持部に振れが生じることもある。
【０００５】
本発明者も、回転中の支持部に振れが生じることを確認している。このように振れが生じると、研削面への修正冶具の接触にばらつきが生じるので、安定して研削砥石を修正することができない。すなわち、ドレッシング及び／又はツルーイングの精度が低下する。
【０００６】
これに対し、例えば特許文献１に内研用小径砥石の成形方法及び内研用小径砥石の成形装置が開示されている。この構成によると２個のロータリドレッサ（以下修正冶具と示す）を用い、それぞれの中心軸を内研用小径砥石（以下研削砥石と示す）の軸心とほぼ同一平面上に位置せしめるとともに、ほぼ平行にならしめ、これら１対の修正冶具によって研削砥石を挟みつけた形で、ドレッシング及びツルーイングの少なくとも一方を実施する。従って、１対の修正冶具のそれぞれの研削力が相殺される形になり、修正冶具の接触による軸部（以下支持部と示す）の撓みの発生を軽減することができる。また、支持部の振れが生じたとしても、１対の修正冶具によって研削砥石を挟みつけることで振れを抑え、安定して研削砥石を修正することができる。
【特許文献１】特開２００１−１６２５３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に示す構成の場合、１対の修正冶具によって研削砥石を挟みつける構成である。従って、１対の修正冶具の中心軸と研削砥石の軸心とが平行でなければ、それぞれの修正冶具による研削力を相殺することができない。従って、例えば円錐形状のように、研削砥石の形状によっては上記構成を適用するのが困難である。
【０００８】
本発明は上記問題点に鑑み、研削砥石の形状によらずドレッシング及び／又はツルーイングの精度を確保することができる研削砥石用修正装置及び研削砥石の修正方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成する為に請求項１〜２０に記載の発明は、回転軸に沿って伸延した支持部を有し、この支持部の先端にワークを研削する研削砥石を保持した状態で支持部を回転させる回転手段と、修正冶具を有し、回転中の研削砥石に対して修正冶具を当接させてドレッシング及びツルーイングの少なくとも一方を実施する修正手段とを備える研削砥石用修正装置に関する発明である。
【００１０】
先ず請求項１に記載のように、支持部に対して前進後退可能に設けられ、回転中の支持部に当接することで支持部の振れを抑制するガイド手段を備えることを特徴とする。
【００１１】
このように本発明によると、回転中の支持部に当接することで支持部の振れを抑制（少なくとも低減）するガイド手段を備えるので、研削砥石の形状によらずドレッシング及び／又はツルーイングの精度を確保することができる。
【００１２】
請求項２に記載のように、回転手段及び前記修正手段の動作を制御する制御手段と、回転による支持部又は研削砥石の振れを検出する振れ検出手段とを備え、制御手段は、振れ検出手段からの信号に基づいて、支持部に対するガイド手段の接触状態を制御し、この制御状態で研削砥石を修正するように修正手段及び回転手段の動作を制御する構成とすることが好ましい。
【００１３】
このような構成とすると、支持部又は研削砥石の振れに応じてガイド手段を支持部に当接させることができるので、効率よく支持部の振れを抑制することができる。しかしながら、例えば予め振れ量が分かっているような場合には、振れ検出をせず、ガイド手段を所定量前進させて、支持部の振れを抑制する構成としても良い。
【００１４】
請求項３に記載のように、ガイド手段が支持部に当接するガイド部と、ガイド部を移動させるアクチュエータとにより構成される場合、制御手段が、検出手段からの信号に基づいてアクチュエータを制御する構成とすれば良い。
【００１５】
その際、ガイド部を、請求項４に記載のように、支持部に当接する部位が凹んだ略Ｖ字状としても良いし、請求項５に記載のように、略Ｕ字状としても良い。このように構成すると、１つのガイド手段によって異なる複数方向から支持部に接触することができるので、一方向のみから接触する構成と比べて、支持部の振動を規制することができる。すなわち、より効率的に振れを抑制することができる。
【００１６】
請求項６に記載のように、振れ検出手段から支持部の振れ検出を示す信号を受けた時点で、制御手段は、支持部に向けて前進するようにガイド手段を制御しても良い。このような構成とすると、振れが生じた際に、自動的にガイド手段を支持部に当接させることができる。
【００１７】
しかしながら、振れが必ず生じる場合には、請求項７に記載のように、振れ検出手段がガイド手段と一体的であり、ガイド手段が支持部に接触した際の反力を検出する構成としても良い。この構成の場合、ガイド手段が支持部に接触するまで支持部の振れを検出することはできないが、接触した時点から振れを検出することができる。具体的には、ガイド手段が支持部に接触した際に受ける反力には、支持部の振れによる応力が加算され、振れ検出手段からの信号は振れに応じた振幅を有する波形となる。従って、支持部の振れを検出することができる。
【００１８】
また、振れ検出手段とガイド手段とを一体的に構成しているので、装置構成を簡素化することができる。このような振れ検出手段としては、圧電素子等から構成される圧力センサを適用することができる。
【００１９】
ここで、反力を検出する構成の振れ検出手段の場合、ガイド手段によって支持部を押すほど、支持部からの反力が強くなる。また、振れに応じた振幅は、ガイド手段によって押されるほど振れ幅が規制されて小さくなる。従って、振れに応じた振幅が所定値以下となる反力以上であって、支持部が反りすぎない反力未満の所定範囲内となった状態で、修正することが好ましい。例えば請求項８に記載のように、制御手段は、振れ検出手段からの信号が所定範囲内となった状態でアクチュエータの動作を停止させ、この停止状態で研削砥石を修正する構成とすることができる。
【００２０】
また、請求項９に記載のように、制御手段は、支持部の振動位相からずれた位相でガイド部が振動するようにアクチュエータを制御し、この制御状態で研削砥石を修正する構成としても良い。この場合、支持部の振動の少なくとも一部をガイド部の振動によって相殺することがができるので、支持部の振れを抑制することができる。
【００２１】
特に請求項１０に記載のように、制御手段は、振れ検出手段からの信号が所定範囲内となった状態で、支持部の振動位相からずれた位相でガイド部が振動するようにアクチュエータを制御する構成とすると、ガイド部の移動量が少なくて良いので、支持部の振動周波数にガイド部の振動周波数を合わせやすくなる。すなわち、支持部の振れをより抑制することができる。
【００２２】
尚、請求項１１に記載のように、ガイド部の振動位相を、支持部の振動位相に対して略１８０度ずれた構成とすると、支持部の振れをより抑制することができる。その際、振幅をほぼ等しくすると尚良い。
【００２３】
請求項１２に記載のように、修正手段による修正直後の研削砥石の修正状態を検出する修正状態検出手段を備え、制御手段は、修正状態検出手段からの信号に基づいて研削砥石の修正状態良否を判定し、否判定の場合には、研削砥石を再度修正するように回転手段、修正手段、及びガイド手段の動作を制御する構成としても良い。
【００２４】
この場合、装置内で修正状態の評価をすることができ、必要に応じて自動的に再修正することができるので、再修正が必要である場合のロス時間を短縮することができる。
【００２５】
尚、請求項１３に記載のように、修正直後の研削砥石によって研削されたワークの研削状態を検出する研削状態検出手段を備え、制御手段は、研削状態検出手段からの信号に基づいてワークの研削状態良否を判定し、否判定の場合には、研削砥石を再度修正するように回転手段、修正手段、及びガイド手段の動作を制御する構成としても良い。この場合も、装置内で修正状態の評価をすることができ、必要に応じて自動的に再修正することができるので、再修正が必要である場合のロス時間を短縮することができる。
【００２６】
しかしながら本構成の場合、１つのワークを試し研削する形であり、研削砥石の修正状態が不良である場合には、１つの不良品が発生することとなる。また、ワークを研削する分、評価までに余分な時間がかかる。従って、製品歩留及び再修正までのロス時間の点から、請求項１２に示す構成の方が好ましい。
【００２７】
請求項１４に記載のように、再度修正する場合、制御手段は、回転手段、修正手段、及びガイド手段の動作の少なくとも１つを、前回の条件とは異なる条件にて制御する構成としても良い。同一条件にて再度修正を行っても良いが、同一条件の場合再度修正状態が不良となる場合も考えられる。そこで、例えばガイド手段の移動速度を低下させたり、回転手段の回転速度を低下させるなどして、支持部に振れが生じる条件を緩和したり、より精度良く振れを抑制できる条件に変更し、修正状態が良となるようにすると良い。
【００２８】
請求項１５に記載のように、制御手段による判定結果を外部に出力する報知手段を備えた構成としても良い。これにより、修正状態不良が生じた場合には報知（表示、警報等）するので、設備異常等がないかこのタイミングで作業員が確認することができる。尚、この報知手段を、設備異常等を知らせる手段と併用しても良い。
【００２９】
請求項１６に記載のように、ガイド手段と修正冶具との間に、研削砥石を含む支持部を配置した構成とすると良い。この場合、ガイド手段と修正冶具によって研削砥石を含む支持部を挟むので、同一側にガイド手段と修正冶具を配置する場合よりも、研削砥石を含む支持部を安定して保持することができる。
【００３０】
請求項１７に記載のように、研削砥石として、ワークの内面を研削する小径砥石に好適である。ワークの内面を研削する小径砥石の場合、その直径が数ｍｍ程度であり、また、内面に接触しないように支持部の径が小径砥石の直径以下に設定される。従って、回転時に振れが生じやすい。それに対し、請求項１〜１７いずれかに記載の発明であれば、支持部の振れを抑制し、ドレッシング及び／又はツルーイングの精度を確保することができる。
【００３１】
請求項１〜１７いずれかに記載の発明は、研削砥石の形状によらず支持部の振れを抑制することができるので、請求項１８に記載のように、研削砥石として、修正冶具によって修正される部位の少なくとも一部に、支持部に支持された状態で回転軸に対して傾斜する傾斜部を有する構成にも適用が可能である。
【００３２】
尚、請求項１９に記載のように、修正冶具はロータリドレッサであり、修正手段はロータリドレッサを回転させる構成としても良い。この構成が修正冶具側の一般的な構成であるが、上記構成に限定されるものではない。例えば、修正冶具を回転させずに研削砥石に接触させる構成としても良い。
【００３３】
次に、請求項２０〜３４に記載の発明は、ワークを研削する研削砥石に修正冶具を接触させて、研削砥石の形状及び表面状態の少なくとも一方を修正する研削砥石の修正方法に関するものである。
【００３４】
先ず請求項２０に記載のように、回転軸に沿って伸延した支持部先端に研削砥石を固定した状態で、支持部を回転させる始動ステップと、支持部に対して前進後退可能に設けられたガイド手段を、回転中の支持部に当接させて支持部の振れを抑制する抑制ステップと、支持部の振れが抑制された状態で、回転中の研削砥石に修正冶具を接触させて、ドレッシング及びツルーイングの少なくとも一方を実施する修正ステップとを備えることを特徴とする。
【００３５】
このように本発明によると、支持部に対して前進後退可能に設けられたガイド手段を回転中の支持部に当接させて支持部の振れを抑制（少なくとも低減）し、その抑制状態で修正を行うので、ドレッシング及び／又はツルーイングの精度を確保することができる。また、ガイド手段を支持部に当接させるので、研削砥石の形状に関係なく、支持部の振れを抑制することができる。
【００３６】
請求項２１に記載のように、振れ検出手段にて、回転中の支持部又は研削砥石の振れを検出する検出ステップを備え、抑制ステップにおいて、検出ステップにて検出された振れに基づいて、支持部に当接するガイド手段の接触状態を調整することが好ましい。本発明の作用効果は、請求項２に記載の発明の作用効果と同様であるので、その記載を省略する。
【００３７】
請求項２２に記載のように、検出ステップにおいて、回転中の支持部又は研削砥石の振れが検出された時点で、抑制ステップにおいて、ガイド手段を支持部に向けて前進させるようにしても良い。本発明の作用効果は、請求項６に記載の発明の作用効果と同様であるので、その記載を省略する。
【００３８】
請求項２３に記載のように、検出ステップにおいて、振れ検出手段は、ガイド手段が支持部に接触した際の反力を検出しても良い。
【００３９】
この構成の場合、ガイド手段が支持部に接触するまで支持部の振れを検出することはできないが、接触した時点から振れを検出することができる。具体的には、ガイド手段が支持部に接触した際に受ける反力には、支持部の振れによる応力が加算され、振れ検出手段からの信号は振れに応じた振幅を有する波形となる。従って、支持部の振れを検出することができる。尚、このような振れ検出手段としては、圧電素子等から構成される圧力センサを適用することができる。
【００４０】
請求項２４〜２７に記載の発明の作用効果は、請求項８〜１１に記載の発明の作用効果と同様であるので、その記載を省略する。
【００４１】
請求項２８に記載のように、修正ステップ後に、研削砥石の修正状態を検出し、その良否を判定する修正状態判定ステップを備え、判定ステップにおいて否判定された場合、研削砥石を再度修正しても良い。本発明の作用効果は、請求項１２に記載の発明の作用効果と同様であるので、その記載を省略する。
【００４２】
請求項２９に記載のように、修正ステップ後に、修正直後の研削砥石によって研削されたワークの研削状態を検出し、その良否を判定する研削状態判定ステップを備え、判定ステップにおいて否判定された場合、研削砥石を再度修正しても良い。本発明の作用効果は、請求項１３に記載の発明の作用効果と同様であるので、その記載を省略する。
【００４３】
請求項３０に記載の発明の作用効果は、請求項１４に記載の発明の作用効果と同様であるのでその記載を省略する。
【００４４】
請求項３１〜３４に記載の発明の作用効果は、請求項１６〜１９に記載の発明の作用効果と同様であるのでその記載を省略する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
（第１の実施形態）
本実施形態に係る研削砥石用修正装置について説明する前に、従来構成の研削砥石用修正装置及びその問題点について、図１及び図２を用いて簡単に説明する。図１は、従来の研削砥石用修正装置を説明するための概略構成図であり、一部（修正手段）を断面で示している。図２は、支持部の振れを説明するための模式図である。
【００４６】
図１に示すように、従来の研削砥石用修正装置１００は、研削砥石１１３を回転させる回転手段１１０と、研削砥石１１３の形状及び／または表面状態を修正する修正手段１２０とにより構成される。
【００４７】
回転手段１１０は、スピンドル１１１の回転軸Ｘ１に沿って伸延した形状の支持部（クイルとも言う）１１２を有しており、例えば一体化されたモータを駆動させることによりスピンドル１１１を回転させ、研削砥石１１３を保持した状態で支持部１１２を回転軸Ｘ１周りに回転させるように構成されている。
【００４８】
支持部１１２は一般的に超硬等の金属材料から構成されている。また、研削砥石１１３もＣＢＮ等の一般的な材料を用いて構成されている。
【００４９】
修正手段１２０は、回転中の研削砥石１１３の研削面に対して修正冶具１２１を当接させて、研削面の修正を行うものである。例えば図１に示すように、修正冶具１２１としてロータリドレッサを適用し、修正冶具１２１を回転させた状態で回転中の研削砥石１１３に接触させて、ドレッシング及び／またはツルーイングを実施するように構成されている。
【００５０】
ところで、研削砥石１１３によって研削されるワークの形状及び研削部位によっては、研削面に支持部１１２が当接しないように、支持部１１２を細くする必要がある。この場合、支持部１１２の剛性が小さいため、支持部１１２の長さ、研削砥石１１３の重量、スピンドル１１１の回転速度等によっては支持部１１２に振れが生じることとなる。特に研削砥石１１３がワークの内面を研削する小径砥石の場合、支持部１１２がより細く、研削面に当接しないように長い（伸延した形状である）ので振れが生じることとなる。また、回転手段１１０のスピンドル１１１に支持部１１２を取り付ける誤差（回転軸Ｘ１と支持部１１２の中心軸とのずれ）によって、支持部１１２に振れが生じることもある。
【００５１】
これについては、本発明者が実際に振れが生じることを確認している。例えば内面研削用の小径（例えば５ｍｍφ）の研削砥石１１３を、それよりも径が細く（例えば４ｍｍφ）、長い（例えば７ｃｍ）支持部１１２に固定して確認したところ、図２に示すように、回転に伴って研削砥石１１３を含む支持部１１２の振れ（破線で示す）が確認された。この振れは回転に伴って増幅し、例えば１０００００ｒｐｍにおいて２０μｍ程度であった。
【００５２】
このように、支持部１１２に振れが生じていると、研削砥石１１３の研削面への修正冶具１２１の接触にばらつきが生じるので、安定して研削砥石１１３を修正することができない。すなわち、ドレッシング及び／又はツルーイングの精度が低下する。
【００５３】
これに対し、次に本実施形態に係る研削砥石用修正装置について図３〜図５を用いて説明する。尚、以下においては、上記した従来構成の研削砥石用修正装置１００（図１）と構成要素が同じものについては同一符号にて示す。図３は、本実施形態に係る研削砥石用修正装置１００の概略構成を示す図であり、一部（修正手段１２０）を断面で示している。図４は、研削砥石１１３の形状を説明するための図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は斜視図である。図４（ｂ）においては、台座を省略して図示している。図５は、本実施形態の特徴部分であるガイド手段の構成を示す側面図である。
【００５４】
図３に示すように、本実施形態に係る研削砥石用修正装置１００も、研削砥石１１３を回転させる回転手段１１０と、研削砥石１１３の形状及び／または表面状態を修正する修正手段１２０を有している。そして、支持部１１２に対して前進後退可能に設けられ、回転中の支持部１１２に当接することで支持部１１２の振れを抑制するガイド手段１３０をさらに有している。
【００５５】
尚、本実施形態における研削砥石１１３は、ＣＢＮとビトリファイド系の結合剤から構成されており、ワークの内面を研削する小径砥石として構成されている。具体的には、図４（ａ），（ｂ）に示すように、支持部１１２に支持された状態で回転軸Ｘ１に対して傾斜した傾斜部１１３ａと、傾斜部１１３ａに連結し、回転軸Ｘ１に対して平行な柱部１１３ｂとにより構成される。尚、符号１１３ｃは、研削砥石１１３を支持部１１２に固定するための台座であり、台座１１３ｃの一部が研削砥石１１３に固定され、一部が支持部１１２に固定されている。また、直径Ｄ１は５ｍｍφであり、長さＬ１は８ｍｍである。
【００５６】
ガイド手段１３０は、支持部１１２に対して前進後退可能に設けられ、回転中の支持部１１２に当接することで支持部１１２の振れを抑制するように構成されている。本実施形態においては、図３及び図５に示すように、支持部１１２に当接するガイド部１３１と、ガイド部１３１を支持部１１２に対して前進後退（矢印方向）させるアクチュエータ１３２とにより構成される。尚、アクチュエータ１３２の形態は電気式、油圧、空圧等特に限定されるものではない。
【００５７】
このように本実施形態に係る研削砥石用修正装置１００によると、アクチュエータ１３２を制御することにより、回転中の支持部１１２にガイド部１３１を接触させて、支持部１１２の振れを抑制（少なくとも低減）することができる。従って、従来のように研削砥石１１３を１対の修正冶具１２１によって挟みこむ構成ではないので、研削砥石１１３の形状によらずドレッシング及び／又はツルーイングの精度を確保することができる。
【００５８】
また、本実施形態においては、図５に示すようにガイド部１３１の支持部１１２に当接する部位を、前進方向に対して凹んだ略Ｖ字状としている。具体的には、伸延方向に直交する面において略Ｖ字状とし、当接させた状態で、略Ｖ字状の傾斜面の少なくとも一方にて支持部１１２を保持する構成としている。このように構成すると、１つのガイド部１３１によって異なる複数方向から支持部１１２に接触することができるので、一方向のみから接触する構成と比べて、支持部１１２の振動を規制することができる。すなわち、より効率的に振れを抑制することができる。さらには、図３に示すように、ガイド部１３１によって支持部１１２の所定範囲を保持する構成としている。従って、より安定して振れを抑制することができる。尚、ガイド部１３１の形状は上記例に限定されるものではない。また、ガイド部１３１は１つに限定されるものではなく、複数設けて、複数箇所で支持部１１２に接触する構成としても良い。
【００５９】
さらに、本実施形態に係る研削砥石用修正装置１００は、回転による支持部１１２又は研削砥石１１３の振れを検出する振れ検出手段１４０を有している。従って、振れ検出手段１４０からの信号に基づいて、支持部１１２に対するガイド部１３１の接触状態を制御し、効率よく支持部１１２の振れを抑制することができる。制御については後述する。しかしながら、例えば予め振れ量が分かっている場合、振れ検出をせず、ガイド部１３１を所定量前進させて、支持部１１２の振れを抑制する構成としても良い。
【００６０】
振れ検出手段１４０は、回転による支持部１１２又は研削砥石１１３の振れを検出するものであれば特に限定されるものではない。本実施形態においては、図３及び図５に示すように、ガイド手段１３０と一体的であり、ガイド部１３１が支持部１１２に接触した際の反力を検出するように構成されている。この構成の場合、ガイド部１３１が支持部１１２に接触するまで支持部１１２の振れを検出することはできないが、接触した時点から振れを検出することができる。
【００６１】
具体的には、支持部１１２に接触した際に受ける反力には支持部１１２の振れによる応力が加算される。従って、振れ検出手段１４０からの信号は、図６に示すように振れに応じた振幅を有する波形となり、支持部１１２の振れを検出することができる。尚、支持部１１２を押す（支持部１１２に対する送り量が増す）ほど、支持部１１２からの反力が強くなる。図６は、振れ検出手段１４０の検出信号を示す模式図である。
【００６２】
また、振れ検出手段１４０とガイド手段１３０とを一体的に構成しているので、装置構成を簡素化することができる。このような振れ検出手段１４０としては、圧電素子等から構成される圧力センサを適用することができる。
【００６３】
尚、図５において、符号１３３は、ガイド部１３１及び振れ検出手段１４０を支持し、アクチュエータ１３２の動作に連動するアーム部であり、符号１３４はガイド部１３１と振れ検出手段１４０を連結し、ガイド部１３１が受けた反力を振れ検出手段１４０に伝達する連結部である。このように、振れ検出手段１４０はガイド部１３１とアーム部１３３との間に配置されている。
【００６４】
次に、上記構成の研削砥石用修正装置１００による研削砥石１１３の修正方法の一例を、図６〜９を用いて説明する。図７は、研削砥石用修正装置１００の制御構成を示すブロック図である。図８は、修正処理を示すフローである。図９は、修正処理の各ステップを示す図であり、（ａ）は始動ステップ、（ｂ）は抑制ステップ及び検出ステップ、（ｃ）は修正ステップを示す図である。尚、図９（ａ）〜（ｃ）において、一部（修正手段１２０）を断面で示している。
【００６５】
図７に示すように研削砥石用修正装置１００は、振れ検出手段１４０からの信号に基づいて、支持部１１２の振れを抑制するようにガイド手段１３０のアクチュエータ１３２を制御する制御手段１５０を有している。すなわち、この制御手段１５０は、振れ検出手段１４０からの信号に基づいて、支持部１１２に対するガイド部１３１の接触状態を制御する。
【００６６】
尚、制御手段１５０は、回転手段１１０及び修正手段１２０の動作も制御する。また、制御手段１５０は比較判定手段も兼ねており、例えば記憶手段１５１に格納された基準信号と振れ検出手段１４０からの信号を比較判定し、所定の制御信号を出力するように構成されている。
【００６７】
このように構成される研削砥石用修正装置１００において、制御手段１５０は研削砥石１１３が支持部１１２に固定された状態で、回転手段１１０のモータに駆動信号を出力する。これにより、スピンドル１１１が所望の回転数（例えば３００００〜１５００００ｒｐｍ）で回転される。このステップが図９（ａ）に示す始動ステップである。
【００６８】
回転手段１１０が動作されると、制御手段１５０はガイド手段１３０のアクチュエータ１３２に速度Ｖ１で前進するように駆動信号を出力する（Ｓ１００）。これにより、ガイド部１３１が支持部１１２に向けて前進される。
【００６９】
振動する（振れている）支持部１１２にガイド部１３１が接触すると、ガイド部１３１が受けた反力が振れ検出手段１４０に伝達され、図６に示すように、振れ検出手段１４０の出力が立つ。従って、出力が最初に立ったポイントを接触点（開始点）とすることができる。この接触点を示す信号を振れ検出手段１４０から受けると、制御手段１５０は、ガイド手段１３０のアクチュエータ１３２に速度Ｖ１よりも低速の速度Ｖ２で前進後退するように駆動信号を出力する（Ｓ１１０）。
【００７０】
このように、支持部１１２に接触するまで速度Ｖ１として移動時間を短縮（修正時間を短縮）し、接触後は速度Ｖ２として支持部１１２に無理な応力をかけることなく、振れが小さくなるように精度良くガイド部１３１を位置決めする構成としている。尚、アクチュエータ１３２（ガイド部１３１）の移動速度については上記例に限定されるものではない。全て同じ速度としても良いし、さらに細かく制御しても良い。
【００７１】
ここで、ガイド部１３１が支持部１１２を押す（支持部１１２に対する送り量が増す）ほど、支持部１１２からの反力が強くなる。また、振れは小さくなる。従って、制御手段１５０は、振れ検出手段１４０の出力が、図６に示すように、振れに応じた振幅が所定値以下となるα以上であって、支持部１１２が反りすぎないβ未満の所定範囲内にあるか否かを判定（Ｓ１２０）する。すなわち、振れ検出手段１４０の出力がα以上β未満となるように、振れ検出手段１４０の信号に基づいて、アクチュエータ１３２の動作を制御（前進後退指令を出力）する。これらＳ１１０及びＳ１２０が、図９（ｂ）に示す抑制ステップ及び検出ステップである。
【００７２】
振れ検出手段１４０の出力がα以上β未満となると、制御手段１５０は、アクチュエータ１３２に対して動作停止指令を出力する（Ｓ１３０）。そして、この停止状態で回転する研削砥石１１３の研削面に対して修正冶具１２１が所望の状態で接触するように、回転手段１１０及び修正手段１２０の少なくとも一方に対して、修正作業実行指令を出力する（Ｓ１４０）。これにより、研削砥石１１３が修正される。本実施形態においては、修正手段１２０に修正作業実行指令を出力し、これにより修正手段１２０が回転及び移動されて、研削砥石１１３に修正冶具１２１が接触されるように構成されている。このステップが図９（ｃ）に示す修正ステップである。以上で修正処理が終了となる。
【００７３】
このように本実施形態に係る研削砥石用修正装置１００及び研削砥石１１３の修正方法によると、支持部１１２の振れに応じて、振れを小さくするようにガイド部１３１を支持部１１２に当接させることができるので、効率よく支持部１１２の振れを抑制することができる。
【００７４】
また、本実施形態においては、図９（ｃ）に示すように、ガイド手段１３０のガイド部１３１と修正冶具１２１との間に、研削砥石１１３を含む支持部１１２を配置して修正を行う構成としている。従って、修正時に、修正冶具１２１とガイド部１３１とによって研削砥石１１３を含む支持部１１２を挟むので、同一側に修正冶具１２１とガイド部１３１を配置する場合よりも、研削砥石１１３を含む支持部１１２を安定して保持しつつ修正することができる。しかしながら、修正冶具１２１とガイド部１３１の配置は上記例に限定されるものではない。
【００７５】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態を図１０〜１２に基づいて説明する。図１０は、本実施の形態に係る研削砥石用修正装置１００の概略構成を示す図であり、一部（修正手段１２０）を断面で示している。図１１は、原理を説明するための補足図である。図１２は、修正処理を示すフローである。
【００７６】
第２の実施形態に係る研削砥石用修正装置１００及び研削砥石１１３の修正方法は、第１の実施形態によるものと共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。
【００７７】
図１０に示すように、本実施形態に係る研削砥石用修正装置１００は、第１の実施形態に係る研削砥石用修正装置１００と構成要素が同一である。第１の実施形態と異なる点は、ガイド部１３１を振動（図中の矢印）させながら、修正冶具１２１を研削砥石１１３に接触させて修正作業を実施する点にある。
【００７８】
第１の実施形態に記載したように、回転に伴って支持部１１２には振れ（振動）が生じる。そこで、本実施形態においては、図１１に示すように、支持部１１２の振動位相からずれた位相でガイド部１３１を振動させることで、ガイド部１３１の振動により支持部１１２の振動を相殺し、支持部１１２の振れを抑制（少なくとも低減）する。そして、この制御状態で研削砥石１１３を修正するので、ドレッシング及び／又はツルーイングの精度を確保することができる。
【００７９】
本実施形態においては、図１１に示すように、ガイド部１３１の振動位相を支持部１１２の振動位相に対して略１８０度ずれた構成としている。従って、支持部１１２の振れをより効率よく抑制することができる。その際、両者の振幅をほぼ等しくすると尚良い。
【００８０】
尚、研削砥石１１３の修正手順は以下の通りである。Ｓ２００〜Ｓ２２０までは、第１の実施形態に記載した図８のＳ１００〜Ｓ１２０と同じであるのその記載を省略する。
【００８１】
振れ検出手段１４０の出力がα以上β未満となると、制御手段１５０は、振幅成分抽出部（図示略）に振れ検出手段１４０の出力の振れによる振幅成分を抽出する処理（振幅成分抽出処理）の実行を指令し、振幅成分抽出部は振幅成分抽出処理を実行する（Ｓ２３０）。これにより、振れによる信号が形成される。
【００８２】
次いで、制御手段１５０は、この信号に基づいて、ガイド手段１３０のアクチュエータ１３２に対して振動するように制御指令を出力する（Ｓ２４０）。これにより、支持部１１２の振動位相からずれた位相でガイド部１３１を振動（微動）され、支持部１１２の振れが抑制される。
【００８３】
そしてこの振動状態で、制御手段１５０は、回転する研削砥石１１３の研削面に対して修正冶具１２１が所望の状態で接触するように、回転手段１１０及び修正手段１２０の少なくとも一方に対して、修正作業実行指令を出力する（Ｓ２５０）。これにより、研削砥石１１３が修正される。本実施形態においては、修正手段１２０に修正作業実行指令を出力し、これにより修正手段１２０が回転及び移動されて、研削砥石１１３に修正冶具１２１が接触されるように構成されている。以上で修正処理が終了となる。
【００８４】
尚、本実施形態において、制御手段１５０は、振れ検出手段１４０の出力がα以上β未満となった状態で、支持部１１２の振動位相からずれた位相でガイド部１３１が振動するようにアクチュエータ１３２を制御する構成としている。この場合、振動によるガイド部１３１の移動量が少なくて良いので、支持部１１２の振動周波数にガイド部１３１の振動周波数を合わせやすくなる。すなわち、支持部１１２の振れをより抑制することができる。しかしながら、ガイド部１３１を振動させるタイミングは上記例に限定されるものではない。
【００８５】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態を図１３〜１５に基づいて説明する。図１３は、本実施の形態に係る研削砥石用修正装置１００の概略構成を示す図であり、一部（修正手段１２０）を断面で示している。図１４は、研削砥石用修正装置１００の制御構成を示すブロック図である。図１５は、修正状態評価処理を示すフローである。
【００８６】
第３の実施形態に係る研削砥石用修正装置１００及び研削砥石１１３の修正方法は、第１又は第２の実施形態によるものと共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。
【００８７】
図１３，１４に示すように、本実施形態に係る研削砥石用修正装置１００は、第１の実施形態に示す研削砥石用修正装置１００の構成に対して、さらに研削砥石１１３の修正状態を検出する修正状態検出手段１６０を付加した点を特徴とする。
【００８８】
修正状態検出手段１６０としては、研削砥石１１３の修正状態（形状及び／または表面状態）を検出することができるものであれば良い。接触式、非接触式のいずれでも良い。本実施形態においては、接触式の修正状態検出手段１６０を適用している。
【００８９】
第１又は第２の実施形態に示す修正処理が終了した時点で、図１５に示すように修正状態検出手段１６０は修正直後の研削砥石１１３の修正状態を検出する（Ｓ３００）。本実施形態においては、修正手段１２０が退避位置まで移動された状態で、修正状態検出手段１６０が研削砥石１１３に接触し、その修正状態を検出する。
【００９０】
そして、制御手段１５０は、修正状態検出手段１６０からの信号を例えば記憶手段１５１に予め記憶された基準データと比較し、研削砥石１１３の修正状態良否を判定する（Ｓ３１０）。その結果、良判定の場合には、修正状態評価処理は終了し、続いて研削砥石１１３によるワークの研削処理が実行される。また、不良判定の場合には、第１又は第２の実施形態に示す修正処理（Ｓ１００〜Ｓ１４０，Ｓ２００〜Ｓ２５０）が再度実行される。
【００９１】
このように、本実施形態に係る研削砥石用修正装置１００及び研削砥石１１３の修正方法によれば、装置１００内で修正状態の評価をすることができる。また、その評価結果に基づいて、不良の場合には研削砥石１１３を自動的に再修正することができる。従って、再修正が必要である場合のロス時間を短縮することができる
尚、図１４に示すように、制御手段１５０による判定結果を外部に報知（表示、警報等）する報知手段１７０を備えた構成としても良い。これにより、例えば修正状態不良が生じた場合に、設備異常等がないか作業員が即座に確認することができる。尚、この報知手段１７０を、設備異常や修正処理完了等を知らせる報知手段と併用して使用する構成としても良い。
【００９２】
尚、本実施形態においては、修正直後の研削砥石１１３の修正状態を検出する構成例を示した。しかしながら、修正状態検出手段１６０に代わって、図１６に示すように、修正直後の研削砥石１１３によって研削されたワーク２００の研削状態を検出する研削状態検出手段１６１を備える構成としても良い。この場合、制御手段１５０は、研削状態検出手段１６１からの信号に基づいてワーク２００の研削状態良否を判定し、不良判定の場合には、研削砥石１１３を再度修正処理するように制御すれば良い。図１６は、本実施形態に係る研削砥石用修正装置１００の変形例を示す図であり、一部（修正手段１２０，支持手段１８０、ワーク２００）を断面で示している。
【００９３】
しかしながら本構成の場合、１つのワーク２００を試し研削する形であり、研削砥石１１３の修正状態が不良である場合には、１つの不良品が発生することとなる。また、ワーク２００を研削する分、評価までに余分な時間がかかる。従って、製品歩留及び再修正までのロス時間の点から、修正状態検出手段１６０による構成の方が好ましい。
【００９４】
研削状態検出手段１６１としては、研削されたワーク２００の研削状態（形状及び／または表面状態）を検出することができるものであれば良い。接触式、非接触式のいずれでも良い。図１６においては、ワーク２００の内面２０１を接触式の研削状態検出手段１６１にて検出する構成としている。尚、図１６中において、符号１８０は、ワーク２００を支持する支持手段であり、符号１８１はワーク２００をクランプするクランプ部である。
【００９５】
また、本実施形態においては、不良判定の場合、同一条件で再度修正処理が実行される例を示した。しかしながら、再度修正する場合、制御手段１５０が、回転手段１１０、修正手段１２０、及びガイド手段１３０の動作の少なくとも１つを、前回の修正処理条件とは異なる条件にて制御する構成としても良い。同一条件の場合、再度修正状態が不良となる場合が考えられる。そこで、支持部１１２に振れが生じる条件を緩和したり、より精度良く振れを抑制できる条件に変更する（例えばガイド部１３１の移動速度を低下、スピンドル１１１の回転速度を低下等）ことで、修正状態が良となるようにすると良い。しかしながら、このような処置をすると、一般的に修正処理時間が長くなる。
【００９６】
以上本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態のみに限定されず、種々変更して実施することができる。
【００９７】
本実施形態においては、研削砥石１１３として、ワーク２００の内面２０１を研削する小径砥石を対象とする例を示した。しかしながら、対象となる研削砥石１１３の構成は上記例に限定されるものではない。また、その形状が、支持部１１２に支持された状態で回転軸Ｘ１に対して傾斜した傾斜部１１３ａと、傾斜部１１３ａに連結し、回転軸Ｘ１に対して平行な柱部１１３ｂとにより構成される例を示した。しかしながら、それ以外の形状の研削砥石１１３に対しても本発明の適用が可能である。
【００９８】
また、本実施形態においては、研削砥石１１３を支持する支持部１１２の径が研削砥石１１３の直径よりも小さい例を示した。しかしながら、支持部１１２の構成は上記例に限定されるものではない。回転軸Ｘ１に沿って伸延し、先端に研削砥石１１３を支持する構成であり、回転に伴って振れ（振動）が生じるものであれば本発明の適用が可能である。
【００９９】
また、本実施形態においては、修正手段１２０の修正冶具１２１がロータリドレッサである例を示した。しかしながら、上記構成に限定されるものではない。例えば、修正冶具１２１を回転させずに研削砥石１１３に接触させる構成としても良い。
【０１００】
また、本実施形態においては、ガイド手段１３０を構成するガイド部１３１の支持部１１２に当接する部位が、ガイド部１３１の前進方向に対して（支持部１１２に対して）凹んだ略Ｖ字状である例を示した。しかしながら、ガイド部１３１の形状は上記例に限定されるものではない。例えば、図１７に示すように、ガイド部１３１の前進方向に対して（支持部１１２に対して）凹んだ略Ｕ字状としても良い。この場合も、略Ｖ字状同様、１つのガイド部１３１によって異なる複数方向から支持部１１２に接触することができるので、一方向のみから接触する構成と比べて、支持部１１２の振動を規制することができる。すなわち、より効率的に振れを抑制することができる。図１７は、ガイド部１３１の変形例を示す図である。
【０１０１】
また、本実施形態においては、支持部１１２又は研削砥石１１３の振れを検出する振れ検出手段１４０として、ガイド部１３１が支持部１１２から受けた反力の一部として支持部１１２の振れを検出する構成の振れ検出手段１４０を示した。しかしながら、振れ検出手段１４０は上記例に限定されるものではない。例えば、図１８に示すように、研削砥石１１３の変位を振れとして検出するものでも良い。この場合、ガイド部１３１が支持部１１２に接触する前の状態でも、支持部１１２の振れを検出することができる。このような構成においては、振れ検出手段１４０から支持部１１２の振れ検出を示す信号を受けた時点で、制御手段１５０が、支持部１１２に向けてガイド部１３１が前進するようにアクチュエータ１３２の動作を制御することができる。すなわち、振れが生じた場合にだけ（必要に応じて）、自動的にガイド部１３１を支持部１１２に当接させることができる。その際、振れが所定のレベルを超えた場合に、アクチュエータ１３２の動作を制御するようにしても良い。図１８は、振れ検出手段１４０の変形例を示す図である。
【０１０２】
また、ガイド手段１３０の配置は本実施形態に示したものに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】従来構成の研削砥石用修正装置を説明するための概略構成図である。
【図２】支持部の振れを説明するための模式図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る研削砥石用修正装置の概略構成を示す図である。
【図４】研削砥石の形状を説明するための図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は斜視図である。
【図５】ガイド手段の構成を示す側面図である。
【図６】振れ検出手段の検出信号を示す模式図である。
【図７】制御構成を示すブロック図である。
【図８】修正処理を示すフローである。
【図９】修正処理の各ステップを示す図であり、（ａ）は始動ステップ、（ｂ）は抑制ステップ及び検出ステップ、（ｃ）は修正ステップを示す図である。
【図１０】第２実施形態に係る研削砥石用修正装置の概略構成を示す図である。
【図１１】原理を説明するための補足図である。
【図１２】修正処理を示すフローである。
【図１３】第３実施形態に係る研削砥石用修正装置の概略構成を示す図である。
【図１４】制御構成を示すブロック図である。
【図１５】修正状態評価処理を示すフローである。
【図１６】研削砥石用修正装置の変形例を示す図である。
【図１７】ガイド部の変形例を示す図である。
【図１８】振れ検出手段の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【０１０４】
１００・・・研削砥石用修正装置
１１０・・・回転手段
１１２・・・支持部
１１３・・・研削砥石
１１３ａ・・・傾斜部
１２０・・・修正手段
１２１・・・修正冶具
１３０・・・ガイド手段
１３１・・・ガイド部
１３２・・・アクチュエータ
１４０・・・振れ検出手段
１５０・・・制御手段
１６０・・・修正状態検出手段
１６１・・・研削状態検出手段
２００・・・ワーク
【図１】
2007015056.tif 000003
【図２】
2007015056.tif 000004
【図３】
2007015056.tif 000005
【図４】
2007015056.tif 000006
【図５】
2007015056.tif 000007
【図６】
2007015056.tif 000008
【図７】
2007015056.tif 000009
【図８】
2007015056.tif 000010
【図９】
2007015056.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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