(57)【要約】【課題】負圧に減圧された環境下で使用される各種産業機械や各種計測装置の部材同士をボルト結合する場合に有用な部材のボルト結合方法を提供する。【解決手段】  負圧に減圧された環境下で使用される機械の二つの部材１４，１７のうち一方の部材１４に形成された有底のねじ穴２２にボルト２１のねじ部２１ａを螺入して二つの部材１４，１７をボルト結合するに際して、ねじ穴２２とねじ部２１ａとの引っ掛かり率を６０％以下にして二つの部材１４，１７をボルト結合するようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧に減圧された環境下で使用される機械の二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、前記ねじ穴と前記ねじ部との引っ掛かり率を６０％以下にして前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする部材のボルト結合方法。
【請求項２】
請求項１記載の部材のボルト結合方法において、前記ねじ穴と前記ねじ部との引っ掛かり率を６０％以下４０％以上にしたことを特徴とする部材のボルト結合方法。
【請求項３】
前記ねじ穴の底部に溜まった気体は、前記ボルトのねじ山と前記ねじ穴のねじ山との間に形成された間隙を通り、さらに前記二つの部材のうち前記ねじ穴が形成されていない部材に形成されたガス抜き溝またはガス抜き孔を通って外部に排出されることを特徴とする請求項１又は２記載の部材のボルト結合方法。
【請求項４】
前記ねじ穴の底部に溜まった気体は、前記ボルトのねじ山と前記ねじ穴のねじ山との間に形成された間隙を通り、さらに前記ねじ穴が形成されていない部材と前記ボルトの頭部との間に設けられたワッシャに形成されたスリットを通過して外部に排出されることを特徴とする請求項１又は２記載の部材のボルト結合方法。
【請求項５】
二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、前記ねじ穴の底部に溜まった気体を抜き出すガス抜き溝を前記ねじ部に有するボルトを使用して前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする部材のボルト結合方法。
【請求項６】
二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、前記ねじ穴との間にガス抜き用通路を形成する平面部を前記ねじ部に有するボルトを使用して前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする部材のボルト結合方法。
【請求項７】
二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、前記ボルトのねじ部との間にガス抜き用通路を形成する溝部を前記ねじ穴に形成して前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする部材のボルト結合方法。
【請求項８】
二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、前記ボルトのねじ部との間にガス抜き用通路を形成する溝部を前記ねじ穴に形成して前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする部材のボルト結合方法。
【請求項９】
二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、外周面にガス抜き溝を有するナットを前記二つの部材のうち一方の部材にインサートして前記ねじ穴に形成した後、前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする部材のボルト結合方法。
【請求項１０】
前記ナットは難削性を有する材料で形成されていることを特徴とする請求項９記載の部材のボルト結合方法。
【請求項１１】
案内レールと、該案内レールに形成された直線状の転動体転動溝と対向する転動体転動溝を有するスライダ本体と、該スライダ本体の転動体転動溝と前記案内レールの転動体転動溝との間に設けられた多数の転動体と、前記スライダ本体の端面部を覆うエンドキャップと、該エンドキャップに形成されたボルト挿通孔を挿通して前記スライダ本体の端面部に形成された有底のねじ穴に螺入されるねじ部を有する複数本のエンドキャップ固定ボルトとを備えたリニアガイド装置において、
前記ボルトのねじ部と前記ねじ穴との引っ掛かり率を６０％以下にしたことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項１２】
請求項１１記載のリニアガイド装置において、前記ボルト挿通孔に開口するガス抜き溝またはガス抜き孔を前記エンドキャップに形成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項１３】
請求項１１記載のリニアガイド装置において、前記スライダ本体の端面部と前記ボルトの頭部との間にワッシャを設け、該ワッシャにスリットを形成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項１４】
案内レールと、該案内レールに形成された直線状の転動体転動溝と対向する転動体転動溝を有するスライダ本体と、該スライダ本体の転動体転動溝と前記案内レールの転動体転動溝との間に設けられた多数の転動体と、前記スライダ本体の端面部を覆うエンドキャップと、該エンドキャップに形成されたボルト挿通孔を挿通して前記スライダ本体の端面部に形成された有底のねじ穴に螺入されるねじ部を有する複数本のエンドキャップ固定ボルトとを備えたリニアガイド装置において、
前記ボルトのねじ部にガス抜き溝を前記ねじ部の基端部から先端部にわたって形成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項１５】
案内レールと、該案内レールに形成された直線状の転動体転動溝と対向する転動体転動溝を有するスライダ本体と、該スライダ本体の転動体転動溝と前記案内レールの転動体転動溝との間に設けられた多数の転動体と、前記スライダ本体の端面部を覆うエンドキャップと、該エンドキャップに形成されたボルト挿通孔を挿通して前記スライダ本体の端面部に形成された有底のねじ穴に螺入されるねじ部を有する複数本のエンドキャップ固定ボルトとを備えたリニアガイド装置において、
前記ボルトのねじ部に平面部を前記ねじ部の基端部から先端部にわたって形成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項１６】
案内レールと、該案内レールに形成された直線状の転動体転動溝と対向する転動体転動溝を有するスライダ本体と、該スライダ本体の転動体転動溝と前記案内レールの転動体転動溝との間に設けられた多数の転動体と、前記スライダ本体の端面部を覆うエンドキャップと、該エンドキャップに形成されたボルト挿通孔を挿通して前記スライダ本体の端面部に形成された有底のねじ穴に螺入されるねじ部を有する複数本のエンドキャップ固定ボルトとを備えたリニアガイド装置において、
前記ボルトのねじ部との間にガス抜き用通路を形成する溝部を前記ねじ穴に形成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項１７】
案内レールと、該案内レールに形成された直線状の転動体転動溝と対向する転動体転動溝を有するスライダ本体と、該スライダ本体の転動体転動溝と前記案内レールの転動体転動溝との間に設けられた多数の転動体と、前記スライダ本体の端面部を覆うエンドキャップと、該エンドキャップに形成されたボルト挿通孔を挿通して前記スライダ本体の端面部にインサートされたナットに螺入されるねじ部を有する複数本のエンドキャップ固定ボルトとを備えたリニアガイド装置において、
前記ナットの底部に溜まったガスを抜き出すガス抜き溝を前記ナットの外周面に形成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項１８】
前記ナットは難削性を有する材料で形成されていることを特徴とする請求項１７記載のリニアガイド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二つの部材をボルトにより結合する方法に関し、特に、負圧に減圧された環境下で使用される機械の二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して二つの部材を結合する方法に関する。また、本発明はリニアガイド装置に関し、特に、負圧に減圧された環境下で使用されるリニアガイド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置、液晶ディスプレイ製造装置などの各種産業機械やＸ線、電子線等を利用した各種計測機器では、直線運動する物体をその移動方向に案内する手段として、図２０に示すようなリニアガイド装置１０が従来から使用されている。このリニアガイド装置１０は案内レール１１を備えており、この案内レール１１の上面中央部には複数のボルト挿通孔１２が案内レール１１の長手方向に一定ピッチで貫設されている。これらのボルト挿通孔１２は案内レール１１の高さ方向に貫通しており、各ボルト挿通孔１２には、例えばテーブル送り装置の基台上に案内レール１１を固定するレール固定用ボルト（図示せず）が挿入されるようになっている。
【０００３】
一方、案内レール１１の左右側面部には、直線状の転動体転動溝１３（図２１参照）が二条ずつ形成されている。これらの転動体転動溝１３はスライダ本体１４に形成された複数の転動体転動溝１５と各々対向しており、転動体転動溝１３と転動体転動溝１５との間には、多数の転動体１６（図２０参照）が転動自在に設けられている。
スライダ本体１４はスライダ本体１４の端面部１４ａを覆う二つのエンドキャップ１７（図２０参照）と共にリニアガイド装置１０のスライダ１８を構成しており、各エンドキャップ１７には、複数の転動体方向転換路１９が転動体転動溝１３，１５に対応して形成されている。
【０００４】
転動体方向転換路１９はほぼＵ字状に湾曲しており、スライダ１８の相対的直線運動に伴って転動体転動溝１３，１５を転動した転動体１６は、転動体方向転換路１９を経由してスライダ本体１４内に貫設された転動体戻し通路２０に導入されるようになっている。
エンドキャップ１７は複数のエンドキャップ固定ボルト２１（図２０参照）によりスライダ本体１４の端面部１４ａに取り付けられており、スライダ本体１４の端面部１４ａには、上記ボルト２１のねじ部２１ａと螺合する有底のねじ穴２２（図２２参照）が形成されている。なお、エンドキャップ１７には、エンドキャップ固定ボルト２１のねじ部２１ａを通すためのボルト挿通孔２３（図２２参照）が複数箇所に穿設されている。
【０００５】
このようなリニアガイド装置を備えた産業機械や計測機器を減圧チャンバ内に設置し、減圧チャンバ内を真空ポンプにより減圧すると、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体がエンドキャップ固定ボルト２１のねじ部２１ａとねじ穴２２との間に形成された隙間を通り、さらにエンドキャップ固定ボルト２１の頭部２１ｂとエンドキャップ１７との間から減圧チャンバ内に徐々に漏れ出すため、減圧チャンバ内を所定の圧力まで減圧するのに多くの時間を要するという問題がある。そこで、これを解決する方策として、ねじ穴２２の底部に溜まった気体をボルト２１の中心部に形成されたガス抜き孔２４（図２３（ａ）参照）またはスライダ本体１４に形成されたガス抜き孔２５（図２３（ｂ）参照）を通じて抜き出す方法が提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−１２２１３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図２３（ａ）に示した方法では、ねじ穴２２の底部に溜まった気体を短時間で排気できるが、ガス抜き孔２４の孔明け加工に多くの手間と費用を要するという問題があった。また、図２３（ｂ）に示した方法では、スライダ本体１４がチタン、セラミックス、超硬合金などの難削材で形成されている場合にはガス抜き孔２５の加工に多くの手間と費用を要するという問題があった。
本発明は、上述した点に着目してなされたものであり、負圧に減圧された環境下で使用される各種産業機械や各種計測装置の部材同士をボルト結合する場合に有用な部材のボルト結合方法を提供することを目的とする。また、本発明は負圧に減圧された環境下で使用する場合に好適なリニアガイド装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、第１の発明は、負圧に減圧された環境下で使用される機械の二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、前記ねじ穴と前記ねじ部との引っ掛かり率を６０％以下にして前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする。
第１の発明において、前記ねじ穴と前記ねじ部との引っ掛かり率は６０％以下４０％以上であることが好ましい。また、前記ねじ穴の底部に溜まった気体は、前記ボルトのねじ山と前記ねじ穴のねじ山との間に形成された間隙を通り、さらに前記二つの部材のうち前記ねじ穴が形成されていない部材に形成されたガス抜き溝またはガス抜き孔を通って外部に排出されることが望ましい。さらに、前記ねじ穴の底部に溜まった気体は、前記ボルトのねじ山と前記ねじ穴のねじ山との間に形成された間隙を通り、さらに前記ねじ穴が形成されていない部材と前記ボルトの頭部との間に設けられたワッシャに形成されたスリットを通過して外部に排出されてもよい。
【０００８】
第２の発明は、二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、前記ねじ穴の底部に溜まった気体を抜き出すガス抜き溝を前記ねじ部に有するボルトを使用して前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする。
第３の発明は、二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、前記ねじ穴との間にガス抜き用通路を形成する平面部を前記ねじ部に有するボルトを使用して前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
第４の発明は、二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、前記ボルトのねじ部との間にガス抜き用通路を形成する溝部を前記ねじ穴に形成して前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする。
第５の発明は、二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、前記ボルトのねじ部との間にガス抜き用通路を形成する溝部を前記ねじ穴に形成して前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする。
【００１０】
第６の発明は、二つの部材のうち一方の部材に形成された有底のねじ穴にボルトのねじ部を螺入して前記二つの部材をボルト結合するに際して、外周面にガス抜き溝を有するナットを前記二つの部材のうち一方の部材にインサートして前記ねじ穴に形成した後、前記二つの部材をボルト結合するようにしたことを特徴とする。この場合、前記ナットは難削性を有する材料で形成されていることが望ましい。
【００１１】
第７の発明は、案内レールと、該案内レールに形成された直線状の転動体転動溝と対向する転動体転動溝を有するスライダ本体と、該スライダ本体の転動体転動溝と前記案内レールの転動体転動溝との間に設けられた多数の転動体と、前記スライダ本体の端面部を覆うエンドキャップと、該エンドキャップに形成されたボルト挿通孔を挿通して前記スライダ本体の端面部に形成された有底のねじ穴に螺入されるねじ部を有する複数本のエンドキャップ固定ボルトとを備えたリニアガイド装置において、前記ボルトのねじ部と前記ねじ穴との引っ掛かり率を６０％以下にしたことを特徴とする。
【００１２】
第７の発明において、前記ボルト挿通孔に開口するガス抜き溝またはガス抜き孔を前記エンドキャップに形成することができる。また、前記スライダ本体の端面部と前記ボルトの頭部との間にワッシャを設け、該ワッシャにスリットを形成してもよい。
第８の発明は、案内レールと、該案内レールに形成された直線状の転動体転動溝と対向する転動体転動溝を有するスライダ本体と、該スライダ本体の転動体転動溝と前記案内レールの転動体転動溝との間に設けられた多数の転動体と、前記スライダ本体の端面部を覆うエンドキャップと、該エンドキャップに形成されたボルト挿通孔を挿通して前記スライダ本体の端面部に形成された有底のねじ穴に螺入されるねじ部を有する複数本のエンドキャップ固定ボルトとを備えたリニアガイド装置において、前記ボルトのねじ部にガス抜き溝を前記ねじ部の基端部から先端部にわたって形成したことを特徴とする。
【００１３】
第９の発明は、案内レールと、該案内レールに形成された直線状の転動体転動溝と対向する転動体転動溝を有するスライダ本体と、該スライダ本体の転動体転動溝と前記案内レールの転動体転動溝との間に設けられた多数の転動体と、前記スライダ本体の端面部を覆うエンドキャップと、該エンドキャップに形成されたボルト挿通孔を挿通して前記スライダ本体の端面部に形成された有底のねじ穴に螺入されるねじ部を有する複数本のエンドキャップ固定ボルトとを備えたリニアガイド装置において、前記ボルトのねじ部に平面部を前記ねじ部の基端部から先端部にわたって形成したことを特徴とする。
【００１４】
第１０の発明は、案内レールと、該案内レールに形成された直線状の転動体転動溝と対向する転動体転動溝を有するスライダ本体と、該スライダ本体の転動体転動溝と前記案内レールの転動体転動溝との間に設けられた多数の転動体と、前記スライダ本体の端面部を覆うエンドキャップと、該エンドキャップに形成されたボルト挿通孔を挿通して前記スライダ本体の端面部に形成された有底のねじ穴に螺入されるねじ部を有する複数本のエンドキャップ固定ボルトとを備えたリニアガイド装置において、前記ボルトのねじ部との間にガス抜き用通路を形成する溝部を前記ねじ穴に形成したことを特徴とする。
【００１５】
第１１の発明は、案内レールと、該案内レールに形成された直線状の転動体転動溝と対向する転動体転動溝を有するスライダ本体と、該スライダ本体の転動体転動溝と前記案内レールの転動体転動溝との間に設けられた多数の転動体と、前記スライダ本体の端面部を覆うエンドキャップと、該エンドキャップに形成されたボルト挿通孔を挿通して前記スライダ本体の端面部にインサートされたナットに螺入されるねじ部を有する複数本のエンドキャップ固定ボルトとを備えたリニアガイド装置において、前記ナットの底部に溜まったガスを抜き出すガス抜き溝を前記ナットの外周面に形成したことを特徴とする。
第１１の発明において、前記ナットは難削性を有する材料で形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
第１〜第６の発明によれば、ねじ穴の底部に溜まった気体を速やかに抜き出すことが可能となるので、負圧に減圧された環境下で使用される各種産業機械や各種計測装置の部品同士をボルト結合する場合に有用な部材のボルト結合方法を提供できる。
第７〜第１１の発明によれば、ねじ穴の底部に溜まった気体を速やかに抜き出すことが可能となるので、負圧に減圧された環境下で使用する場合に好適なリニアガイド装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１に、本発明の第１の実施形態を示す。同図に示すように、第１の部材としてのスライダ本体１４と第２の部材としてのエンドキャップ１７とをエンドキャップ固定ボルト２１により結合する場合は、エンドキャップ１７に形成されたボルト挿通孔２３にエンドキャップ固定ボルト２１のねじ部２１ａを挿入した後、スライダ本体１４の端面部１４ａに形成されたねじ穴２２にボルト２１のねじ部２１ａを螺入する。このとき、本発明の第１の実施形態では、ボルト２１のねじ部２１ａとねじ穴２２との引っ掛かり率を６０％（通常は７５〜１００％）に予め設定しておく。
【００１８】
なお、本実施形態では、エンドキャップ固定ボルト２１は非磁性を有する金属材料（例えばチタン合金）から形成されている。また、スライダ本体１４は難削性及び非磁性を有する材料（例えば、チタン合金、非磁性セラミックス、非磁性超硬合金など）で形成され、エンドキャップ１７はＰＥＥＫなどの合成樹脂材で形成されている。さらに、案内レール１１（図２０参照）はスライダ本体１４と同様に難削性及び非磁性を有する材料（例えば、チタン合金、非磁性セラミックス、非磁性超硬合金など）で形成され、転動体１６（図２０参照）は窒化珪素セラミックスから形成され、非磁性用途に対応できる仕様となっている。
【００１９】
図２〜図４に、ボルト２１のねじ部２１ａとねじ穴２２との引っ掛かり率を６０％、１００％、７５％にそれぞれ設定した場合におけるねじ部２１ａとねじ穴２２との間に形成される間隙の断面を示す。これらの図から明らかなように、ボルト２１のねじ部２１ａとねじ穴２２との引っ掛かり率を６０％に設定してスライダ本体１４とエンドキャップ１７とをボルト結合すると、引っ掛かり率を７５％〜１００％に設定した場合と比較して、ねじ部２１ａとねじ穴２２との間に形成される間隙２７の断面積が大きくなる。これにより、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体を速やかに抜き出すことが可能となるので、上述した本発明の第１の実施形態では、リニアガイド装置等が設置される減圧チャンバの内部を比較的短時間で所定の圧力まで減圧することができる。
【００２０】
なお、この場合、図１に示すように、エンドキャップ１７のボルト挿通孔２３に開口するガス抜き溝２８をエンドキャップ１７に形成しておくことにより、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体をより速やかに抜き出すことができる。
図１に示した第１の実施形態では、スライダ本体１４の端面部１４ａに形成された有底のねじ穴２２とボルト２１のねじ部２１ａとの引っ掛り率を６０％に設定してスライダ本体１４とエンドキャップ１７とをボルト結合するようにしたが、ボルト２１のねじ部２１ａとねじ穴２２との引っ掛り率を６０％以下、好ましくは６０％以下４０％以上に設定しても同様の効果が得られる。
【００２１】
また、図１に示した第１の実施形態では、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体を速やかに抜き出すために、エンドキャップ１７のボルト挿通孔２３に開口するガス抜き溝２８をエンドキャップ１７に形成した場合を例示したが、図５に示す第２の実施形態のように、ボルト挿通孔２３に開口するガス抜き孔２９をエンドキャップ１７に形成しても同様の効果が得られる。
【００２２】
また、ガス抜き溝２８やガス抜き孔２９をエンドキャップ１７に形成する代わりに、図６及び図７に示す第３の実施形態のように、スリット３１を有するワッシャ３０をボルト２１の頭部２１ｂとエンドキャップ１７の正面部１７ａとの間に介在させても同様の効果が得られる。
図８〜図１０は本発明の第４の実施形態を示す図であり、この第４の実施形態が上述した第１ないし第３の実施形態と異なる点は、ボルト２１のねじ部２１ａとねじ穴２２との引っ掛り率を６０％以下にする代わりに、ボルト２１のねじ部２１ａにガス抜き溝３２をねじ部２１ａの一端から他端にわたって形成した点である。
【００２３】
このような構成によると、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体はボルト２１のねじ部２１ａに形成されたガス抜き溝３２を通り、さらにエンドキャップ１７の背面部に形成されたガス抜き溝２８を通って抜き出されるため、第１ないし第３の実施形態と同様に、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体を速やかに抜き出すことができる。
図１１〜図１３は本発明の第５の実施形態を示す図であり、この第５の実施形態が上述した第４の実施形態と異なる点は、ボルト２１の軸方向に延びる平面部３３をボルト２１のねじ部２１ａに形成し、この平面部３３とねじ穴２２との間にガス抜き用通路３４を形成した点である。
【００２４】
このような構成によると、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体は平面部３３とねじ穴２２との間に形成されたガス抜き用通路３４を通り、さらにエンドキャップ１７に形成されたガス抜き溝２８を通って外部に排出されるため、第１ないし第４の実施形態と同様に、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体を速やかに抜き出すことができる。
図８〜図１０に示した第４の実施形態では、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体を速やかに抜き出すために、ボルト２１のねじ部２１ａにガス抜き溝３２を形成した場合を例示したが、図１４〜図１６に示す第６の実施形態のように、ボルト２１のねじ部２１ａとの間にガス抜き用通路を形成する溝部３６をねじ穴２２に形成してもよい。
【００２５】
このような構成によると、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体は溝部３６により形成されたガス抜き用通路を通り、さらにエンドキャップ１７に形成されたガス抜き溝２８を通って外部に排出されるため、第４の実施形態と同様に、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体を速やかに抜き出すことができる。
図１７〜図１９は本発明の第７の実施形態を示す図であり、この第７の実施形態が第１〜第６の実施形態と異なる点は、チタン合金、セラミックス、超硬合金などの難削材からなるナット３７をスライダ本体１４の端面部１４ａに形成された穴部３８に圧入してボルト２１のねじ部２１ａと螺合するねじ穴２２を形成し、ナット３７の外周面にガス抜き溝３９をナット３７の一端から他端にわたって形成した点である。
このような構成によると、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体はナット３７の外周面に形成されたガス抜き溝３９を通って外部に排出されるため、上述した第１〜第６の実施形態と同様に、ねじ穴２２の底部に溜まった空気等の気体を速やかに抜き出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１の実施形態を説明するための図である。
【図２】図１に示すボルトのねじ部とねじ穴との引っ掛かり率が６０％である場合のねじ部とねじ穴との引っ掛かり状態を示す図である。
【図３】ボルトのねじ部とねじ穴との引っ掛かり率が１００％である場合のねじ部とねじ穴との引っ掛かり状態を示す図である。
【図４】ボルトのねじ部とねじ穴との引っ掛かり率が７５％である場合のねじ部とねじ穴との引っ掛かり状態を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施形態を説明するための図である。
【図６】本発明の第３の実施形態を説明するための図である。
【図７】図６に示すワッシャの平面図である。
【図８】本発明の第４の実施形態を説明するための図である。
【図９】図８に示すボルトの側面図である。
【図１０】図９のX−X断面図である。
【図１１】本発明の第５の実施形態を説明するための図である。
【図１２】図１１に示すボルトの側面図である。
【図１３】図１１のXIII−XIII断面図である。
【図１４】本発明の第６の実施形態を説明するための図である。
【図１５】図１４に示すスライダ本体の部分断面図である。
【図１６】図１５のXVI−XVI断面図である。
【図１７】本発明の第７の実施形態を説明するための図である。
【図１８】図１７に示すスライダ本体の部分断面図である。
【図１９】図１８のXIX−XIX断面図である。
【図２０】リニアガイド装置の概略構成を示す平面図である。
【図２１】図２１のXXI−XXI断面図である。
【図２２】図２０に示すスライダ本体の端面部に形成されたねじ穴を示す断面図である。
【図２３】従来例を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００２７】
１１  案内レール
１３，１５  転動体転動溝
１４  スライダ本体
１６  転動体
１７  エンドキャップ
２１  エンドキャップ固定ボルト
２１ａ  ねじ部
２１ｂ  頭部
２２  ねじ穴
２３  ボルト挿通孔
２７  間隙
２８，３２，３９  ガス抜き溝
２９  ガス抜き孔
３０  ワッシャ
３１  スリット
３３  平面部
３４，３５  ガス抜き用通路
３６  溝部
３７  ナット
【図１】
2007232200.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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