(57)【要約】【課題】安定した基板搬送を可能とするとともに、基板の位置決めを容易に行うことができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】基板２を浮上させて支持する基板浮上支持部５と、基板浮上支持部５の搬送路に基板２の搬送方向に沿って形成された移動通路を構成するスリット状の間隙部５ｅと、基板２の略重心を通る搬送方向の直線上に配置され基板浮上支持部５で浮上された基板２の下面を吸着保持する少なくとも１つの吸着部９と、吸着部９を支持し移動通路を構成するスリット状の間隙部５ｅに沿って移動可能に設けられた搬送部７が備えられている。【選択図】図１
2007281285.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を浮上させて支持する基板浮上支持部と、
前記基板浮上支持部の搬送路に前記基板の搬送方向に沿って形成された移動通路を構成するスリット状の間隙部と、
前記基板の略重心を通る前記搬送方向の直線上に配置され前記基板浮上支持部で浮上された前記基板の下面を吸着保持する少なくとも１つの吸着部と、
前記吸着部を支持し、前記移動通路を構成するスリット状の間隙部に沿って移動可能に設けられた搬送部とを具備することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記搬送部には、前記基板の略重心に前記吸着部が配置されることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記搬送部には、前記基板の略重心を通る前記搬送方向の直線上に前記吸着部が複数配置されることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記搬送部は、前記搬送方向に対して直交する方向に移動するＸテーブルと、前記Ｘテーブル上に前記基板の下面に直交する軸線回りに回転する回転テーブルとを有し、前記回転テーブルに前記吸着部が配置されることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記回転テーブルは、前記搬送方向に沿って延設された矩形板状に形成され、この回転テーブル上に前記吸着部が複数配置されることを特徴とする請求項４記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記搬送部は、前記移動通路を構成するスリット状の間隙部に沿って敷設された軌道部上に移動可能に設けられた搬送テーブルと、この搬送テーブルの略中に設けられ前記搬送方向に対して直交する方向に移動するＸテーブルと、前記Ｘテーブル上に設けられ前記基板の下面に直交する軸線回りに回転する回転テーブルと、前記Ｘテーブルを挟んで前記搬送方向の前後方向の前記搬送テーブル上に上下移動可能に設けられた保持部材とを備え、前記回転テーブル上と前記各保持部材上に前記吸着部がそれぞれ配置されることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記保持部材は、前記回転テーブルの前記吸着部による前記基板の位置決め動作中は下方に移動して待避し、前記位置決め終了後に上方に移動して、前記保持部材上に設けられた前記吸着部により前記基板を吸着することを特徴とする請求項６記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記搬送部は、前記基板浮上支持部の搬送路上に配置された前記基板の少なくとも隣接する２辺のエッジ位置を検出する少なくとも３個の位置決めセンサにより検出された前記基板の位置ずれ情報に基づいて、前記搬送部及び前記Ｘテーブルを前記搬送方向及び搬送方向に直交する方向に移動させるとともに、前記回転テーブルを回転させることにより前記基板を基準位置に位置決めすることを特徴とする請求項４又は６のいずれかに記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ガラス基板等の基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板（以下、基板という）の基板搬送装置には、基板の搬送方向に延設され、上方に配された基板をスライド自在に載置するコロ搬送部又は基板をエアー浮上させるエアー浮上ステージと、基板の一辺（端部）を保持しつつ移動する搬送部とを備えたものがある（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）。
【０００３】
この種の基板搬送装置では、例えばエアー浮上ステージに複数のエアー吐出孔が形成され、このエアー吐出孔から基板の下面に向けて圧力空気が吐出されることにより基板を押し上げ浮上させ、圧力空気の継続的な吐出によって浮上した基板を支持している。浮上した基板は、エアー浮上ステージと非接触状態とされているため、ほぼ抵抗がない状態で支持されている。一方、搬送部には、基板の搬送方向に沿う端部を把持する把持機構や、浮上している基板の前端部を、両端をＬ字状に折り曲げた挟み込み部により挟持する保持機構が備えられている。この保持機構により浮上した基板を保持させ、搬送部が搬送方向に延設された軌道上を移動することにより、エアー浮上ステージ上の基板が搬送可能とされている。このとき、基板がエアー浮上ステージに対して非接触状態とされ、ほぼ抵抗がない状態で支持されているため、端部側が片軸状態で保持された基板を搬送部の移動に従動させることができる。
【０００４】
また、特許文献１では、基板搬送装置のコロ搬送部上に搬入された基板は、例えば水平移動可能とされた位置決めピンなどを備える位置決め機構によって、所定の位置に整列（位置決め）される。この基板の位置決めでは、搬入した基板の端部に位置決めピンを当接させ、位置決めピンを基板に当接し水平移動することによって基板を所定の位置に導き、基板の向きや、搬送方向および搬送方向の直交方向の設置位置を調整する。
【特許文献１】特開２０００−９６６１号公報
【特許文献２】特開２０００−７２２５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の基板搬送装置では、基板が浮上することにより基板とエアー浮上ステージとの抵抗がほぼない状態とされる一方で、基板の重心から遠く離れた基板の端部側を保持し片軸状態で基板を搬送するため、搬送時に基板の重量と搬送速度に起因する回転モーメントが保持機構に作用し、搬送時又は停止時に基板がずれるという問題があった。
【０００６】
また、エアー浮上ステージに搬入した段階で位置決めされた基板が搬送時又は停止時にずれた場合には、搬入位置まで戻して再度位置決めを行わなければならず、タクトタイムの増加を招くという問題があった。さらに、従来の位置決め機構では、基板の各端部に当接させる複数の位置決めピンを用い、各位置決めピンに駆動機構を要するため、基板搬送装置の構成が複雑化するという問題があった。また、位置決めピンは、矩形状の基板の各端部に対して当接可能な位置に予め設けられるため、種々の基板の大きさに柔軟に対応することが困難な場合があるという問題があった。
【０００７】
一方、近年、例えば液晶ディスプレイ装置の大型化に伴いこれに使用されるガラス基板も大型化されてきている。この大型化した基板は、従来の基板よりもその重量が大きいため、搬送時には、より大きな回転モーメントが保持機構に作用する。このため、搬送時に基板のずれが生じやすくなる。この対策の1つに、基板の搬送速度を遅くして、保持機構に作用する回転モーメントを小さくすることが考えられるが、この場合には、基板の搬送に時間が掛かり、生産性が低下するという問題が生ずる。また、基板の保持力を大きくすることも考えられるが、この場合には、上面にレジストやパターンなどが施された基板に損傷を与える恐れがある。また、ガラス基板の端部を保持して強制搬送させる基板搬送装置では、エアー浮上ステージの外側に沿って搬送部が設けられるため、基板搬送装置の幅が大きくなる。特に、フラットディスプレイパネル（ＦＰＤ）を製造するマザーガラス基板は、大型化の傾向にあり、最近では２０００ｍｍを超えるガラス基板が出現している。このガラス基板のサイズに比例して基板搬送装置も大型化し、搬送装置を輸送する際に特殊なトラックが必要になり、運送時間や輸送経路等の制約を受けるという問題が生ずる。
【０００８】
また、回転モーメントを作用させないように、基板を両軸の搬送部で保持した場合には、保持機構や搬送部の駆動機構をエアー浮上ステージの両側方にそれぞれ設けなければならず、基板搬送装置が一軸搬送に比べて更に大型化するという問題が生ずる。さらに、駆動機構を２つ設けた場合には、各駆動機構の高精度の同期を図る必要が生じ、同期がずれた場合には、搬送される基板のローリングが発生し基板を搬送できなくなるという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記事情を鑑み、安定した基板搬送を可能にするとともに、基板の位置決めを容易に行うことができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【００１１】
本発明の基板搬送装置は、基板を浮上させて支持する基板浮上支持部と、前記基板浮上支持部の搬送路に前記基板の搬送方向に沿って形成された移動通路を構成するスリット状の間隙部と、前記基板の略重心を通る前記搬送方向の直線上に配置され前記基板浮上支持部で浮上された前記基板の下面を吸着保持する少なくとも１つの吸着部と前記吸着部を支持し、前記移動通路を構成するスリット状の間隙部に沿って移動可能に設けられた搬送部とを具備することを特徴とする。また、前記搬送部は、前記搬送方向に対して直交する方向に移動するＸテーブルと、前記Ｘテーブル上に前記基板の下面に直交する軸線回りに回転する回転テーブルとを有し、前記回転テーブルに前記吸着部が配置されることを特徴とする。
【００１２】
この発明に係る基板搬送装置においては、基板の略重心を通る搬送方向の直線上で基板を吸着部により吸着保持して搬送することができる。また、吸着部を回転テーブルに設けるとともに、この回転テーブルをＸテーブルに設けることにより、基板浮上支持部上で基板を搬送方向および搬送方向に直交する方向に移動させることができ、且つ回転させることが可能になる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の基板搬送装置によれば、基板の略重心を通る搬送方向の直線上で基板を吸着保持して搬送することにより、回転モーメントを作用させずに基板を搬送することができる。よって、搬送部からずれることなく基板を安定して搬送することができる。また、搬送部に搬送方向に対して直交する方向に移動するＸテーブルを設けるとともに、このＸテーブル上に回転テーブルを設けることによって、吸着部により吸着保持された基板を搬送方向および搬送方向に直交する方向に移動させることができ、且つ回転させることができる。これにより、吸着部を備える搬送部によって、基板浮上支持部上に搬入した基板の位置決めを行うことができる。このため、基板搬送装置に位置決めピンなどの位置決め機構を別途設ける必要がなく、構成の簡素化を図ることができ、基板搬送装置の低コスト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図１から図３を参照し、本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置１について説明する。
【００１５】
本発明の第１実施形態は、図１に示すように、ＦＰＤに用いられるガラス基板２（以下、基板という）の外観検査を行うための基板検査装置Ａに関するものである。この基板検査装置Ａは、基板２を搬送する基板搬送装置１と、基板搬送装置１で搬送した基板２の詳細観察を行う検査部３とから構成されている。
【００１６】
基板搬送装置１は、図１から図２に示すように、矩形枠状に形成された基台４と、基台４の上面に設けられたエアー浮上ステージ（基板浮上支持部）５と、エアー浮上ステージ５の基板搬入領域に基板２の２辺に沿うように設けられた３個の位置決めセンサ６と、搬送方向Ｙに沿って移動可能に設けられた搬送部７とから構成されている。
【００１７】
エアー浮上ステージ５は、図１に示すように、基台４の搬送方向Ｙに直交する一端辺部４ｄから他端辺部４ｅまでの長さ寸法を有する複数の浮上ブロック（浮上支持板）５ａにより形成されている。この複数の浮上ブロック５ａは、矩形板状に形成され、長手方向を搬送方向Ｙとし、搬送方向Ｙの直交方向Ｘに一定間隔で並列配置され、隣り合う浮上ブロック５ａの間隙が間隙部５ｅとされている。これらの間隙部５ｅのうち搬送路の略中央に位置する間隙部５ｅは、搬送部７の移動通路を構成するスリット状の間隙部として使用される。このとき、各浮上ブロック５ａは、上面５ｂが同一水平面を形成するように配置されている。また、各浮上ブロック５ａの表面には、エアーを吐出するためのエアー吐出孔５ｃが複数分散配置されている。この各浮上ブロック５ａのエアー室には、例えばコンプレッサーなどの図示せぬ圧力空気吐出手段が図示せぬ配管などを介して接続されており、エアー吐出孔５ｃから一定圧力の圧力空気をエアー浮上ステージ５の上面５ｂ側に向けて吐出可能とされている。これにより、エアー浮上ステージ５上に搬入した基板２は、基板２の下面２ａ側から圧力空気が吐出され、基板２と浮上ブロック５aとの間のエアー層によりエアー浮上ステージ５上に浮上した状態で支持される。
【００１８】
位置決めセンサ６は、エアー浮上ステージ５の基板搬入領域に搬入された基板２の２辺のエッジ位置情報を検出するもので、基板２が図１中の破線で示す基準位置に設定された状態で、基板２の隣接する長辺側に２個配置され、短辺側に１個配置されている。位置決めセンサ６としては、例えばラインセンサが用いられ、ラインセンサの中心が基準位置に設定された基板２のエッジ部に一致するように位置調整されている。すなわち、これら３個の位置決めセンサ６の中心を基準位置として、３個の位置決めサンサ６の出力から基板２のエッジ位置情報を求め、基板２のＸＹ方向のずれ量と回転ずれ量を求めることができる。
【００１９】
搬送部７は、図２から図３に示すように、基台４の一端辺部４ｄと他端辺部４ｅとの間に搬送方向Ｙに沿って架設されたフレーム部４ｆ上に移動可能に設けられている。フレーム部４ｆは、エアー浮上ステージ５の中心に位置する移動通路となる間隙部５ｅと重なる位置に配置される。この搬送部７は、例えば、フレーム部４ｆ上に搬送方向Ｙに沿って敷設された２条の第１軌道部７ａと、第１軌道部７ａ上を滑動する図示せぬスライダ部に支持された矩形板状の搬送テーブル７ｂと、第１軌道部７ａの間のフレーム部４ｆ上に第１軌道部７ａに平行して設けられ、搬送テーブル７ｂを搬送方向Ｙに駆動させるリニアモータ７ｃと、搬送テーブル７ｂの長手方向の中央上面に搬送方向Ｙの直交方向Ｘに延設された２条の第２軌道部７ｄと、第２軌道部７ｄ上を滑動する１つの吸着ユニット８とから構成されている。
【００２０】
吸着ユニット８は、図３に示すように、Ｘテーブル８ａと、Ｘテーブル８ａの突出部８ｂの先端に固定されＸテーブル８ａを第２軌道部７ｄ上で滑動可能とする滑動ブロック８ｃと、Ｘテーブル８ａの上面８ｄに垂直に固定された例えば垂直アクチュエータなどの２つの待避シリンダ８ｅと、平板状のモータステージ８ｆと、モータステージ８ｆの上面８ｇの４つの端部から垂直に突設される矩形棒状の柱部８ｈと、４本の柱部８ｈの先端に連結されつつ支持された矩形板状の上板部８ｉと、上板部８ｉの上面８ｊ側に設けられた円板状の回転テーブル８ｋと、回転テーブル８ｋの上面８ｌに設けられた吸着部（第一の吸着部）９とから構成されている。
【００２１】
Ｘテーブル８ａとモータステージ８ｆと上板部８ｉと回転テーブル８ｋには、それぞれの中央位置に開口部８ｍが設けられている。この開口部８ｍには、Ｘテーブル８ａの下面側に配された回転モータ８ｎから垂直に延設されるシャフト８ｐが挿通され、カップリング８ｑを介して第一の吸着部９に接続されている。これにより、回転モータ８ｎの駆動で第一の吸着部９がシャフト８ｐの軸線Ｏ１回りに回転可能とされている。また、上板部８ｉは、下面が待避シリンダ８ｅに支持されており、これにより回転モータ８ｎとモータステージ８ｆと柱部８ｈと上板部８ｉと回転テーブル８ｋと第一の吸着部９とが上下動可能とされている。さらに、第一の吸着部９は、有底円筒部９ｂと、この有底円筒部９ｂの上端の開口部に首振り可能に取り付けられた吸着パッド９ｃとを主な構成要素とし、コンプレッサーなどの吸引手段の吸引動作により吸着パッド９ｃが基板２の裏面に吸着する。吸着パッド９ｃは、基板２の裏面に吸着を開始すると、このときの負圧により吸着パッド９ｃが有底円筒部９ｂ内に引き込まれ基板２の浮上基準位置に設定される。ここで、図１に示すように、吸着ユニット８は、エアー浮上ステージ５で浮上された基板２の略重心Ｚを通る搬送方向Ｙの直線Ｓ上に配され、吸着パッド９ｃがエアー浮上ステージ５の中心に位置する移動通路を構成する間隙部５ｅと重なる位置に配されている。さらに、吸着パッド９ｃの上面がエアー浮上ステージ５の上面５ｂに対して基板２の浮上高さとほぼ同位置とされている。また、吸着ユニット８には、第２軌道部７ｄ上で移動可能とするため、例えばリニアモータなどの駆動手段が設けられている。ここで、第一の吸着部９の搬送方向Ｙと直交方向Ｘとの移動量は、±１０ｍｍ程度とされており、好ましくは±５〜３ｍｍ程度、より好ましくは±３〜１ｍｍ程度とされる。また、搬送テーブル７ｂが第１軌道部７ａ上を搬送方向Ｙに移動可能とされていることにより、第一の吸着部９は、基板２を吸着保持して搬送方向Ｙに移動される。
【００２２】
一方、検査部３は、図１から図２に示すように、基台４の搬送方向Ｙに沿う両端辺部４ｂ、４ｃの上面４ｇから垂直に突設された２本の支柱３ａと両支柱３ａの先端をつなぎ搬送方向Ｙの直交方向Ｘに連設された矩形柱状の水平部材３ｂとからなる門型支柱部３ｃと、水平部材３ｂに支持され水平部材３ｂに沿って移動可能とされた顕微鏡部３ｄとから構成されている。顕微鏡部３ｄは、水平部材３ｂの上面３ｅに支持され基台４側に垂下された支持部材３ｆと、垂下された支持部材３ｆの先端に取り付けられた顕微鏡ヘッド３ｇとから構成されている。ここで、支持部材３ｆが水平部材３ｂに沿って移動可能とされていることにより、顕微鏡ヘッド３ｇが搬送方向Ｙの直交方向Ｘに移動可能とされている。また、顕微鏡ヘッド３ｇは、対物レンズの光軸Ｏ２が垂直方向に配されるように支持部材３ｆに取り付けられ、顕微鏡ヘッド３ｇには、下方に位置される基板２に向けて光を照射する図示せぬ落射照明部とＣＣＤカメラ３ｈとが取り付けられている。ＣＣＤカメラ３ｈは、顕微鏡ヘッド３ｇの対物レンズにより取得された画像を撮像するためのものである。
【００２３】
ついで、上記の構成からなる基板検査装置１において基板２を搬送する方法および基板搬送装置１により搬送した基板２を基板検査装置Ａで検査する方法について説明する。
【００２４】
図１に示すように、はじめに、例えば搬送ロボットを用いて、エアー浮上ステージ５に基板２を搬入し、エアー吐出孔５ｃから圧力空気を吐出して基板２を浮上させた状態とする。ここで、基板２は、搬送ロボットによって基板２の略重心Ｚが第一の吸着部９の上方に位置するように搬入される。この段階では、基板２の方向性が定められていないとともに、基板２は、原点座標取得を行う基準位置から搬送方向Ｙの直交方向Ｘに１〜２ｍｍ程度ずれた状態とされている。ついで、図３に示す吸着ユニット８の待避シリンダ８ｅを駆動させ、浮上した基板２の下面２ａに第一の吸着部９の吸着パッド９ｃを当接させる。このとき吸着パッド９ｃは、基板２の下面２aに当接して基板２と平行になるように首を振り、この状態で図示せぬ吸引手段により吸引動作することで基板２に対する吸着が開始される。この吸着により吸着パッド９ｃは、有底円筒部９ｂ内に引き込まれ基板浮上高さに水平に位置決めされ、基板２の略重心Ｚ直下の下面２ａ（以下、重心位置Ｚという）を吸着保持する。
【００２５】
ついで、各位置決めセンサ６により、基板２のＸＹ方向のずれ量と回転ずれ量を求め、この位置ずれ情報に基づいて吸着ユニット８の回転モータ８ｎを駆動し第一の吸着部９を回転させ、基板２の側端部２ｂが搬送方向Ｙに沿うように回転方向θの基板２の位置合わせを行うとともに、第２軌道部７ｄ上で搬送方向Ｙの直交方向Ｘに移動させてＸ方向の位置合わせを行い、搬送テーブル７ｂを第１軌道部７ａ上で搬送方向Ｙに沿って移動させてＹ方向の位置合わせを行う。このように、各位置決めセンサ６で検出された基板２の位置ずれ情報に基づいて搬送部７及びＸテーブル８ａを搬送方向及び搬送方向に直交する方向に移動させるとともに、回転テーブル８ｋを回転させることにより、エアー浮上ステージ５上に搬入された基板２のエッジが各位置決めセンサ６の中心に合わされ、基板２が基準位置に位置決めされる。
【００２６】
ついで、第一の吸着部９に基板２を保持させつつ、搬送部７を搬送方向Ｙに移動し、基板２を検査部３へと搬送する。例えば、基板２に生じている欠陥の位置座標がマクロ検査などにより事前に確認されている場合には、その欠陥の位置座標データに基づき顕微鏡ヘッド３ｇの光軸Ｏ２に直交し、搬送方向Ｙに直交する直線上に指定した欠陥が位置されるよう、基板２を搬送する。これと同時に、顕微鏡ヘッド３ｇが門型支柱部３ｃの水平部材３ｂに沿って移動され、下方に位置する基板２の欠陥に対し観察可能な位置に合わされる。この段階で、基板２の表面２ｄに向けて落射照明部から光が照射され、顕微鏡ヘッド３ｇの焦点が表面２ｄに合わされて、顕微鏡ヘッド３ｇにより欠陥の画像が取得される。顕微鏡３ヘッド３ｇにより取得された画像はＣＣＤカメラ３ｈにより撮像され、例えばモニターなどの図示せぬ表示部に画像が表示される。この画像を観察者が観察し、基板２の詳細観察が行われる。ここで、基板２を検査部３に向け搬送する際に、第一の吸着部９が基板２の重心位置Ｚを吸着保持しているため、第一の吸着部９に回転モーメントは作用せず、搬送前に基準位置に位置決めされた基板２の原点座標が狂うことなく搬送される。
【００２７】
したがって、上記の構成からなる基板搬送装置１によれば、吸着部（第一の吸着部）９により基板２の重心位置Ｚを吸着保持することができ、吸着部９が搬送方向Ｙと、搬送方向Ｙの直交方向Ｘとで移動可能とされ、且つ基板２の下面２ａに直交する方向の軸線Ｏ１回りに回転可能とされているため、エアー浮上ステージ５上の基板２の位置合わせを容易に行うことができ、基板２の大きさに柔軟に対応することができる。また、１つの吸着部９で基板２の搬送と基板２の位置決めを行うことができ、従来の例えば位置決めピンなどを備える位置決め機構を別途、基板搬送装置１に設ける必要がないため、基板搬送装置１のコストの低減を図ることができる。
【００２８】
また、上記の構成からなる基板搬送装置１によれば、吸着部９により基板２の重心位置Ｚが吸着保持されるため、搬送時に搬送部７に回転モーメントが作用することがなく、安定した基板２の搬送を行うことができる。
【００２９】
さらに、搬送部７をエアー浮上ステージ５の内部に設けることにより、従来のように搬送部をエアー浮上ステージ５の外側に設けたものと比べ、装置の搬送方向Ｙと直交する幅寸法を小さくでき、装置の小型化を図ることができるとともに、特殊なトラックを使用することなく容易に輸送することができる。
【００３０】
なお、本発明は、上記の第１実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、基板搬送装置１が基板検査装置Ａに備えられているものとしたが、これに限定されるものではなく、製造ライン内の基板搬送装置として使用されてもよいものである。また、基板２を浮上させるエアー浮上ステージ（基板浮上支持部）５の基板浮上手段として、圧力空気を吐出させる構成としたが、例えば超音波などにより基板２が浮上されてもよいものであり、本発明が適用される基板浮上支持部の基板浮上手段が特に限定されるものではない。さらに、搬送部７は、基台４のフレーム部４ｆ上に設けられ第１軌道部７ａ上を移動されるものとしたが、搬送方向Ｙに沿って吸着部９が移動可能とされていればよいものであるため、特に搬送部７の構成や駆動機構が限定されるものではない。また、吸着ユニット８が搬送テーブル７ｂ上に設けられ、且つ搬送テーブル７ｂ上に形成された第２軌道部７ｄ上で搬送方向Ｙの直交方向Ｘに移動可能とされているが、これに限定されるものではなく、吸着部９が搬送方向Ｙと、搬送方向Ｙの直交方向Ｘとで移動可能とされ、且つ垂直方向の軸線Ｏ１回りに回転可能とされていればよいものである。
【００３１】
また、上記の第１実施形態では、顕微鏡部３ｄの図示せぬ落射照明部から、搬送された基板２の表面２ｄに向けて光を照射し顕微鏡ヘッド３ｇにより基板２の詳細観察を行うものとしたが、これに限定されるものではない。つまり、例えば図４から図５に示すように、エアー浮上ステージ５に開口部５ｆを形成し、このエアー浮上ステージ５の開口部５ｆの下方に、例えばＬＥＤを線状配列させたライン照明部１０やコンデンサレンズを備えた透過照明部を設け、開口部５ｆ上に搬送された基板２に対し裏面側から光を照射し、基板２を透過した透過照明によって詳細観察されてもよいものである。
【００３２】
ついで、図６から図８を参照し、本発明の第２実施形態に係る基板搬送装置１について説明する。
【００３３】
本発明の第２実施形態は、図１から図３に示した第１実施形態と同様、例えば液晶ディスプレイ装置等に用いられるガラス基板２（以下、基板という）の外観検査を行うための基板検査装置Ｂに関するものであり、基板搬送装置１と、検査部３とから構成されている。本実施形態の説明では、第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付し詳細な説明を省略する。
【００３４】
図６から図８に示すように、吸着ユニット８には、第１実施形態に示した回転テーブル８ｋに変わり、シャフト８ｐの軸線Ｏ１を中心に、搬送方向Ｙに沿って前方と後方に延設された矩形板状の回転テーブル８ｒが設けられている。この回転テーブル８ｒの上面８ｌには、シャフト８ｐと回転可能に連結された吸着部（第一の吸着部）１１が設けられている。吸着部１１（第一の吸着部）は、第１実施形態で示した吸着部（第一の吸着部）９と同じ構成とされている。また、回転テーブル８ｒの上面８ｌには、第一吸着部１１を間にして基板２の略重心Ｚを通る搬送方向Ｙの直線Ｓ上の前方と後方とに、補助用の吸着部（第二の吸着部）１２が設けられている。第二の吸着部１２は、回転テーブル８ｒの上面に垂直に突設された矩形板状の保持部材１２ａと、保持部材１２ａの側面に固着された２つの吸着パッド１２ｂとから構成されている。保持部材１２ａに固着された２つの吸着パッド１２ｂは、並設されているとともに、保持部材１２ａの上端面よりも上方に吸着パッド１２ｂの上端面が位置するように取り付けられている。また、各吸着パッド１２ｂの上端面と、第一の吸着部１１の吸着パッド１１ａの上端面とは、水平位置が同位置とされている。ここで、第二の吸着部１２に設けられた吸着パッド１２ｂは、例えば内部が中空とされ、この中空部に例えば真空吸引手段が接続されていることにより吸着パッド１２ｂの上端面が真空吸引時に吸盤として作用するものである。
【００３５】
ついで、上記の構成からなる基板搬送装置１を用いて基板２の搬送を行う方法について説明する。
【００３６】
第１実施形態と同様、図６から図８に示すように、搬送ロボットによって基板２の略重心Ｚが吸着部１１の上方に位置するよう基板２がエアー浮上ステージ５上に搬入される。エアー浮上ステージ５に搬入され浮上された基板２の下面２ａに、第一の吸着部１１の吸着パッド１１ａが当接されるように待避シリンダ８ｅを駆動させ、第１実施形態と同様にして吸着パッド１１aにより基板２を吸着保持する。この段階で、第一の吸着部１１の前方と後方とに位置する第二の吸着部１２の吸着パッド１２ｂは基板２に吸着されていない。ついで、各位置決めセンサ６により、基板２のＸＹ方向のずれ量と回転ずれ量を求め、この位置ずれ情報に基づいて吸着ユニット８の回転モータ８ｎを駆動し第一の吸着部１１を回転させ、基板２の側端部２ｂが搬送方向Ｙに沿うように回転方向θの基板２の位置合わせを行うとともに、第２軌道部７ｄ上で搬送方向Ｙの直交方向Ｘに進退させてＸ方向の位置合わせを行い、搬送テーブル７ｂを第１軌道部７ａ上で搬送方向Ｙに沿って進退させＹ方向の位置合わせを行う。このとき、第二の吸着部１２は、第一の吸着部１１のＹ方向とＸ方向への移動に従動されている。ついで、基板２が基準位置に対する位置決め完了後に、第二の吸着部１２の保持部材１２ａに取り付けられた各吸着パッド１２ｂを基板２の下面２ａに吸着させ、確実に基板２を吸着保持させる。この基板２が確実に保持された状態で、搬送部７を第１軌道部７ａ上で駆動させ、基板２を検査部３に向けて搬送する。搬送された基板２は、顕微鏡部３ｄにより詳細観察が実施される。
【００３７】
したがって、上記の構成からなる基板搬送装置１によれば、吸着部（第一の吸着部）１１によって基板２の重心位置Ｚを吸着保持することができ、基板浮上支持部（エアー浮上ステージ）５に搬入された基板２の位置決めを容易に行うことができる。また、吸着部（第二の吸着部）１２によって位置決めされた基板２の搬送方向Ｙの前方と後方とを吸着保持することができ、吸着部１１と吸着部１２とが基板２の重心Ｚを通る搬送方向Ｙの直線Ｓ上に配置されることによって、回転モーメントを作用させずに、安定した基板２の搬送を行うことができる。
【００３８】
なお、本発明は上記の第２実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、第二の吸着部１２は、第一の吸着部１１の搬送方向Ｙに沿って前方と後方とに設けられるものとしたが、どちらか一方に設けられてもよいものである。また、第二の吸着部１２は、１つの保持部材１２ａに矩形状の吸着パッド１２ｂを２つ備える構成としたが、保持部材１２ａおよび吸着パッド１２ｂの数量や形状が限定されるものではない。さらに、第一の吸着部１１と第二の吸着部１２とが１つの回転テーブル８ｒ上に形成されているものとしたが、第一の吸着部１１の搬送方向Ｙの前方と後方とに位置する第二の吸着部１２が第一の吸着部１１と分離されて設けられてもよいものである。さらに、待避シリンダ８ｅの駆動によって第一の吸着部１１と第二の吸着部１２とがともに上下移動されるものとしたが、第一の吸着部１１と第二の吸着部１２とにそれぞれ待避シリンダを設けて、個別に上下移動されてもよいものである。
【００３９】
ついで、図９から図１１を参照し、本発明の第３実施形態に係る基板搬送装置１について説明する。
【００４０】
本発明の第３実施形態は、図１から図３に示した第１実施形態と同様、例えば液晶ディスプレイ装置等に用いられるガラス基板２（以下、基板という）の外観検査を行うための基板検査装置Ｃに関するものであり、基板搬送装置１と、検査部３とから構成されている。本実施形態の説明では、第１実施形態および第２実施形態と同様の構成について、同一符号を付し詳細な説明を省略する。
【００４１】
図９から図１１に示すように、搬送部７の搬送テーブル７ｂ上には、吸着部（第一の吸着部）１３と補助用の吸着部（第二の吸着部）１４とが備えられている。吸着部（第一の吸着部）１３は、第１実施形態に示した吸着部（第一の吸着部）９と同様の構成である。一方、第二の吸着部１４は、搬送テーブル７ｂの略中央の設けられた吸着ユニット８を挟んで搬送方向の前方と後方に設けられている。第二の吸着部１４は、搬送テーブル７ｂ上に昇降機構、例えば吸着待避シリンダ１５ａを介して支持された矩形板状の板部材１５ｂと、板部材１５ｂの上面に突設された矩形板状の保持部材１４ａと、保持部材１４ａの側面に取り付けられた矩形状の複数の吸着パッド１４ｂとから構成されている。ここで、吸着待避シリンダ１５ａは、搬送テーブル７ｂの搬送方向Ｙ側の端部７ｃと第一の吸着部１３の側近にそれぞれ設けられており、第二の吸着部１４が上下動可能とされている。ここで、第二の吸着部１４に設けられた吸着パッド１４ｂは、例えば内部が中空とされ、この中空部に例えば真空吸引手段が接続されていることにより吸着パッド１４ｂの上端面が真空吸引時に吸盤として作用するものである。
【００４２】
ついで、上記の構成からなる基板搬送装置１を用いて基板２の搬送を行う方法について説明する。
【００４３】
第１実施形態に示したように、搬送ロボットによって基板２の略重心Ｚが第一の吸着部１３の上方に位置するように基板２がエアー浮上ステージ５上に搬入される。エアー浮上ステージ５に搬入され浮上された基板２の下面２ａに、第一の吸着部１３の吸着パッド１３ａが当接されるように待避シリンダ８ｅを駆動させ、第１実施形態と同様にして吸着パッド１３aにより基板２を吸着保持する。この段階で、第一の吸着部１３の前方と後方とに位置する第二の吸着部１４の吸着パッド１４ｂは基板２に吸着されていない。ついで、各位置決めセンサ６により、基板２のＸＹ方向のずれ量と回転ずれ量を求め、この位置ずれ情報に基づいて吸着ユニット８の回転モータ８ｎを駆動し第一の吸着部１３を回転させ、基板２の側端部２ｂが搬送方向Ｙに沿うように回転方向θの基板２の位置合わせを行うとともに、第２軌道部７ｄ上で搬送方向Ｙの直交方向Ｘに進退させてＸ方向の位置合わせを行い、搬送テーブル７ｂを第１軌道部７ａ上で搬送方向Ｙに沿って進退させＹ方向の位置合わせを行う。この位置決め動作中、第二の吸着部１４は吸着待避シリンダ１５を駆動させ、保持部材１４ａを下方に移動させ待避させる。第一の吸着部１３によって基板２の位置決めが完了した段階で、吸着待避シリンダ１５ａを駆動させ、保持部材１４ａを上方に移動させて、保持部材１４ａに取り付けられた各吸着パッド１４ｂを基板２の下面２ａに当接させ吸着させる。これにより、第二の吸着部１４が基板２を吸着保持する。第一の吸着部１３と第二の吸着部１４とにより基板２が吸着保持された段階で、搬送部７を駆動させ基板２を検査部３に向けて搬送する。搬送された基板２は、顕微鏡部３ｄにより詳細観察が実施される。
【００４４】
したがって、上記の構成からなる基板搬送装置１によれば、基板２の重心位置Ｚを吸着保持する吸着部（第一の吸着部）１３を備えることによって、エアー浮上ステージ５に搬入された基板２の位置決めができるとともに、搬送時に回転モーメントを発生させずに搬送することができる。また、吸着部（第二の吸着部）１４が吸着部１３に対して搬送方向Ｙの前方と後方とに配されることにより、基板２を確実に保持することができ、搬送時に基板２がずれることを防止できる。
【００４５】
なお、本発明は上記の第３実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、吸着部（第一の吸着部）１３と吸着部（第二の吸着部）１４とが１つの搬送テーブル７ｂ上に形成されているものとしたが、吸着部１３の搬送方向Ｙの前方と後方とに位置する吸着部１４を吸着部１３と異なる搬送テーブル上に設けてもよいものである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置を用いた外観検査装置の斜視図である。
【図２】図１に示した外観検査装置の搬送部および検査部を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る第一の吸着部を示す斜視図である。
【図４】本発明の基板検査装置を備える外観検査装置の変形例を示す図である。
【図５】図４に示した外観検査装置の透過照明部を示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る基板検査装置１を用いた外観検査装置Ｂの斜視図である。
【図７】図６に示した外観検査装置の搬送部および検査部を示す斜視図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る第一の吸着部および第二の吸着部を示す斜視図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る基板検査装置１を用いた外観検査装置Ｃの斜視図である。
【図１０】図９に示した外観検査装置の搬送部および検査部を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第３実施形態に係る第一の吸着部および第二の吸着部を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１    基板搬送装置
２    基板
２ａ  基板の下面
３    検査部
４    基台
５    エアー浮上ステージ（基板浮上支持部）
５ａ  浮上ブロック（支持板）
７    搬送部
７ａ  第１の軌道部
７ｂ  搬送テーブル
７ｄ  第２の軌道部
８    吸着ユニット
９    吸着部（第一の吸着部）
１１  吸着部（第一の吸着部）
１２  吸着部（第二の吸着部）
１３  吸着部（第一の吸着部）
１４  吸着部（第二の吸着部）
Ｏ１  軸線
Ｏ２  画像中心軸
Ａ    基板検査装置
Ｂ    基板検査装置
Ｃ    基板検査装置
Ｓ    搬送方向の直線
Ｘ    搬送方向
Ｙ    搬送方向の直交方向
Ｚ    重心
θ    回転方向
【図１】
2007281285.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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