(57)【要約】【課題】半導体素子の測定データを登録するデータベースの管理を低コストで、簡便且つ正確に行うことが可能なデータベース管理方法およびデータベース管理プログラムを提供する。【解決手段】測定データのデータベース１３への登録開始前に、コンピュータ１２が、測定装置１１から半導体素子の測定データを含む測定情報を取得するステップと、コンピュータ１２が、測定情報に含まれる半導体素子を特定するための特定情報に基づいて、半導体素子の測定データ登録のために必要な測定データテーブルがデータベース１３に登録されているか否かを判定するステップと、コンピュータ１２が、測定データテーブルがデータベース１３に登録されていないと判定した場合に、測定情報に含まれる測定項目に基づいて測定データテーブルを作成しデータベース１３に登録するステップとを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子の特性を測定するための測定装置により測定された前記半導体素子の測定データが登録されるデータベースをコンピュータにより管理するデータベースの管理方法であって、
前記測定データの前記データベースへの登録開始前に、
前記コンピュータが、前記特性の測定項目と、前記測定項目毎の測定データと、前記半導体素子を特定するための特定情報とを含む測定情報を前記測定装置から取得するステップと、
前記コンピュータが、前記特定情報に基づいて、前記半導体素子の測定データ登録のために必要な測定データテーブルが前記データベースに登録されているか否かを判定するステップと、
前記コンピュータが、前記測定データテーブルが前記データベースに登録されていないと判定した場合に、前記測定情報に含まれる前記測定項目に基づいて前記測定データテーブルを作成し、前記データベースに登録するステップとを含むデータベースの管理方法。
【請求項２】
請求項１記載のデータベースの管理方法であって、
前記コンピュータが、前記測定データテーブルが前記データベースに登録されていると判定した場合に、前記測定情報に含まれる測定項目である第一の測定項目と、前記測定データテーブルに登録されている測定項目である第二の測定項目とを比較し、前記第二の測定項目にない新しい測定項目が、前記第一の測定項目に含まれているか否かを判定するステップと、
前記コンピュータが、前記新しい測定項目が前記第一の測定項目に含まれていると判定した場合に、前記測定データテーブルに前記新しい測定項目を追加した新しい測定データテーブルを前記データベースに登録するステップとを含むデータベースの管理方法。
【請求項３】
コンピュータに、請求項１又は２記載のデータベース管理方法の各ステップを実行させるためのデータベース管理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子の特性を測定するための測定装置により測定された前記半導体素子の測定データが登録されるデータベースをコンピュータにより管理するデータベースの管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
固体撮像素子等の半導体素子では、それを製造した後に、測定装置により各種測定項目にしたがった特性の測定を行い、この測定によって得られた測定データを管理するためにデータベースを利用している。データベースに測定データを登録するためには、測定対象となる半導体素子のロット名称、製品名称、品種名称等の半導体素子を特定するための特定情報が記録される特定情報テーブルと、その半導体素子の特性の測定項目等が記録される測定データテーブルとを対応付けて、データベースに事前に登録（以下、この登録を事前登録という）しておく必要がある。これらのテーブルを一旦登録してしまえば、登録済みの品種の半導体素子については、登録した測定データテーブルに測定データを記録していくだけで、データベースへの登録ができるようになる。しかし、新しい品種の半導体素子が出てきた場合には、上記事前登録を再び行う必要がある。以下、この事前登録の流れを、図３を参照して説明する。
【０００３】
まず、新規品種の半導体素子の測定では、テーブル作成に必要な特定情報や測定項目名を入手しておき（ステップＳ４１）、この入手した特定情報や測定項目名をもとに、テーブル作成用のＳＱＬを作成する（ステップＳ４２）。この作成したＳＱＬをデータベースで実行し、特定情報テーブル及び測定データテーブルを作成して、これをデータベースに登録する（ステップＳ４３）。
【０００４】
また、これら作成したテーブルのビューを作成し（ステップＳ４４）、後述のレプリケーション機能を使うために、上記のステップＳ４３、４４の作業を２台分行う。次に、作成したテーブルに対してデータベースのレプリケーション設定を行い、データベースの複写環境を整備する（ステップＳ４５）。
【０００５】
これらの作業は、人がコンピュータを使って手作業で行うため、ＳＱＬの編集作成に９０分、テーブル作成に１０分（２台で、２０分）、ビュー作成に２０分（２台で、４０分）、レプリケーション設定に６０分かかり、データベースの事前登録に合計２１０分かかる。
【０００６】
一方、既存品種の半導体素子に測定項目を追加する場合には、まず、追加すべき測定項目名を入手しておき（ステップＳ４６）、この入手した測定項目名をもとに、既存の測定データテーブルに対して測定項目追加のＳＱＬを編集作成する（ステップＳ４７）。この作成したＳＱＬをデータベースで実行し、既存の測定データテーブルに新しい測定項目を追加した測定データテーブルを作成し、これをデータベースに登録して、測定データテーブルを更新する（ステップＳ４８）。
【０００７】
さらに、更新した測定データテーブルのビューを再作成し（ステップＳ４９）、後述のレプリケーション機能を使うために、上記のステップＳ４８、４９の作業を２台分行う。次に、作成したテーブルのレプリケーション設定を行い、データベースの複写環境を再整備する（ステップＳ４５）。
【０００８】
これらの作業には、ＳＱＬの編集作成に２０分、測定項目の追加に１０分（２台で、２０分）、ビュー作成に２０分（２台で、４０分）、レプリケーション設定に６０分かかり、データベースの事前登録に合計１４０分かかる。
【０００９】
データベース管理に関する文献として特許文献１が挙げられる。
【００１０】
【特許文献１】特開平１０‐５５３９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述したように、従来のデータベースにおいては、新しい半導体素子が出てきたり、新しい測定項目が出できたりする度に、データベースに精通したオペレータによって事前登録を行う必要がある。このため、半導体素子の測定を開始するまでに時間がかかるという問題がある。特に、測定項目の追加は頻繁に行われるため、その都度データベースの事前登録を行うことは、頻度と時間的な面から困難である。又、データベースに精通した選任のオペレータを手当てした場合、コストが掛かる。定常的に測定項目の追加や新規製品が発生する訳ではないため、新規・変更の無い期間中、オペレータは実質、作業無しとなるためである。又、事前登録は人の手によって行うため、人為的なミスが発生する可能性も高い。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、半導体素子の測定データを登録するデータベースの管理を低コストで、簡便且つ正確に行うことが可能なデータベース管理方法およびデータベース管理プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のデータベース管理方法は、半導体素子の特性を測定するための測定装置により測定された前記半導体素子の測定データが登録されるデータベースをコンピュータにより管理するデータベースの管理方法であって、前記測定データの前記データベースへの登録開始前に、前記コンピュータが、前記特性の測定項目と、前記測定項目毎の測定データと、前記半導体素子を特定するための特定情報とを含む測定情報を前記測定装置から取得するステップと、前記コンピュータが、前記特定情報に基づいて、前記半導体素子の測定データ登録のために必要な測定データテーブルが前記データベースに登録されているか否かを判定するステップと、前記コンピュータが、前記測定データテーブルが前記データベースに登録されていないと判定した場合に、前記測定情報に含まれる前記測定項目に基づいて前記測定データテーブルを作成し、前記データベースに登録するステップとを含む。
【００１４】
本発明のデータベース管理方法は、前記コンピュータが、前記測定データテーブルが前記データベースに登録されていると判定した場合に、前記測定情報に含まれる測定項目である第一の測定項目と、前記測定データテーブルに登録されている測定項目である第二の測定項目とを比較し、前記第二の測定項目にない新しい測定項目が、前記第一の測定項目に含まれているか否かを判定するステップと、前記コンピュータが、前記新しい測定項目が前記第一の測定項目に含まれていると判定した場合に、前記測定データテーブルに前記新しい測定項目を追加した新しい測定データテーブルを前記データベースに登録するステップとを含む。
【００１５】
本発明のデータベース管理プログラムは、コンピュータに、前記データベース管理方法の各ステップを実行させるためのプログラムである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、半導体素子の測定データを登録するデータベースの管理を低コストで、簡便且つ正確に行うことが可能なデータベース管理方法およびデータベース管理プログラムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の実施形態では、半導体素子として固体撮像素子の検査を行う際に用いるデータベース管理システムについて説明する。
【００１８】
図１は、本発明の実施形態を説明するためのデータベース管理システムの概略構成を示す図である。
図１に示すデータベース管理システムは、測定装置１１と、コンピュータ１２と、更新系のデータベース１３と、参照系のデータベース１４とを備える。
【００１９】
測定装置１１は、固体撮像素子の検査を行うために必要な各種特性を測定するための装置であり、測定を行った固体撮像素子のロット名称、製品名称、及び品種名称等の固体撮像素子を特定するための特定情報と、固体撮像素子の特性の測定項目の情報と、測定によって得られた各測定項目毎の測定データとを含む測定情報をコンピュータ１２に出力する。測定装置１１には、例えば公知のテスターを用いる。
【００２０】
コンピュータ１２は、データベース管理プログラムを実行することにより、データベース１３，１４の管理を行う。このコンピュータ１２はユーザによって操作可能であり、コンピュータ１２を用いてデータベース１３に各種情報を手作業で登録することも可能である。
【００２１】
更新系のデータベース１３は、測定装置１１からの測定データが直接登録されるデータベースである。参照系のデータベース１４は、更新系のデータベース１３に登録された内容の複製が登録されるデータベースであり、測定データのデータベース１３への登録後は、このデータベース１４を参照して測定結果等を確認することができる。
【００２２】
次に、データベース管理プログラムを実行したコンピュータ１２の動作を説明する。
【００２３】
まず、コンピュータ１２を操作してデータベース管理プログラムを起動させた後、ユーザは、測定対象となる固体撮像素子の特定情報を入手する。次に、この入手した特定情報を、コンピュータ１２を操作してデータベース１３の特定情報テーブルに登録する。コンピュータ１２は、特定情報テーブルに特定情報を登録すると、その特定情報に対応付けるべき測定データテーブルの名称を自動的に決定し、決定した名称を特定情報と対応付けて特定情報テーブルに登録する。これにより、事前登録が完了する。測定データテーブルは、固体撮像素子を測定して得られた測定データをデータベース１３に登録するために必要なテーブルであり、例えば、固体撮像素子の特性の各測定項目が登録された領域と、各測定項目の測定結果を登録するための領域とが対応付けられたテーブルがこれに相当する。
【００２４】
図２は、測定装置１１から測定情報が出力されたときのコンピュータ１２の動作手順を示すフローチャートである。
事前登録完了後、測定装置１１により固体撮像素子の特性の測定が行われると、コンピュータ１２は、測定装置１１から測定情報を取得する（ステップＳ２１）。
【００２５】
次に、コンピュータ１２は、測定情報に含まれる特定情報に基づいて、その特定情報で特定される固体撮像素子の特性の測定データ登録のために必要な測定データテーブルがデータベース１３に登録されているか否かを判定する（ステップＳ２２）。具体的には、取得した特定情報に対応する測定データテーブル名を、データベース１３に事前登録されている特定情報テーブルから取得し、取得した名称の測定データテーブルをデータベース１３内で検索して、その測定データテーブルの有無を確認する。
【００２６】
検索の結果、測定装置１１から取得した特定情報に対応する測定データテーブルがデータベース１３内に存在していなかった場合（ステップＳ２２：ＹＥＳ）、コンピュータ１２は、測定装置１１によって測定された固体撮像素子が初めて測定された新規製品と判断し、Ｓ２１で取得した測定情報から測定項目を読み取り、この測定項目に基づいて測定データテーブル作成用のＳＱＬを作成する（ステップＳ２３）。
【００２７】
次に、コンピュータ１２は、作成したＳＱＬをデータベース１３で実行して測定データテーブルを作成し、これをデータベース１３に登録する（ステップＳ２４）。尚、ここで作成した測定データテーブルには、Ｓ２１で取得した特定情報に対応する測定データテーブル名が付与される。
【００２８】
次に、コンピュータ１２は、登録した測定データテーブルのビューを作成し（ステップＳ２５）、この測定データテーブルに対してレプリケーション設定を行い（ステップＳ２６）、データベース１３に加えた変更をデータベース１４に伝え、２つのデータベース１３，１４の整合性を保つ。
【００２９】
この後、コンピュータ１２は、Ｓ２１で取得した測定情報に含まれる特定情報に対応する測定データテーブル名を特定情報テーブルから取得し、取得した名称の測定データテーブルをデータベース１３内で検索し、検索により得られた測定データテーブルに、Ｓ２１で取得した測定情報に含まれる測定データを記録して、測定データの登録処理を終了する（ステップＳ２７）。
【００３０】
一方、上記検索の結果、測定装置１１から取得した特定情報に対応する測定データテーブルがデータベース１３内に存在していた場合（ステップＳ２２：ＮＯ）、コンピュータ１２は、Ｓ２１で取得した測定情報に含まれる測定項目である第一の測定項目と、データベース１３内に存在していた測定データテーブルに登録されている測定項目である第二の測定項目とを比較し、第二の測定項目にない新しい測定項目が、第一の測定項目に含まれているか否かを判定する（ステップＳ２８）。
【００３１】
新しい測定項目が第一の測定項目に含まれていないと判定した場合（ステップＳ２８：ＮＯ）、コンピュータ１２はステップＳ２７に処理を移行する。
【００３２】
一方、新しい測定項目が第一の測定項目に含まれていると判定した場合（ステップＳ２８：ＹＥＳ）、コンピュータ１２は、データベース１３内に存在していた測定データテーブルに新しい測定項目を追加した新しい測定データテーブルをデータベース１３に登録する処理を行う。
【００３３】
具体的には、コンピュータ１２は、データベース１３に存在していた測定データテーブルから第二の測定項目を読み取り（ステップＳ２９）、読み取った第二の測定項目に、Ｓ２１で取得した測定情報から読み取った新しい測定項目を追加し（ステップＳ３０）、新しい測定項目を追加した測定データテーブル作成用のＳＱＬを作成し（ステップＳ３１）、作成したＳＱＬをデータベース１３で実行して新しい測定データテーブルを作成し、これをデータベース１３に登録する（ステップＳ３２）。尚、ここで作成した新しい測定データテーブルには、新しい測定項目を追加する前に付与されていた既存の測定データテーブル名がそのまま付与される。
【００３４】
次に、コンピュータ１２は、登録した測定データテーブルのビューを作成し（ステップＳ３３）、この測定データテーブルに対してレプリケーション設定を行い（ステップＳ３４）、データベース１３に加えた変更をデータベース１４に伝え、２つのデータベース１３，１４の整合性を保つ。この後、コンピュータ１２は、ステップＳ２７へと処理を移行する。
【００３５】
以上のように、このシステムによれば、新規の固体撮像素子が出てきた場合には、ユーザがコンピュータ１２を用いてその固体撮像素子の特定情報を事前登録しておくだけで、その後は、コンピュータ１２が、測定装置１１から取得した測定情報に含まれる測定項目の情報に基づいて、事前登録された特定情報に対応する測定データテーブルを自動的に作成する。従来は、新規の固体撮像素子が出てきた場合に、ユーザがコンピュータ１２を用いてその固体撮像素子の特定情報と測定項目とを事前登録する必要があったが、このシステムによれば、事前登録を特定情報の登録のみとすることができ、事前登録に要する時間を短縮することができる。
【００３６】
又、このシステムによれば、既に登録済みの測定データテーブルの測定項目に、新しい測定項目を追加したい場合、コンピュータ１２が、測定装置１１から取得した測定情報に含まれる測定項目の情報に基づいて、既に登録している測定データテーブルに、新しい測定項目を追加して測定データテーブルを自動的に更新する。従来は、測定項目の追加が発生する度に、ユーザがコンピュータ１２を用いて測定データテーブルの更新を手作業で行う必要があったが、本システムによればこの必要がなくなるため、測定データテーブル更新時の人為的ミスを無くすことができると共に、事前登録に要する時間を短縮することができる。
【００３７】
このように、このシステムによれば、測定装置１１による測定データ登録開始前の事前登録の多くをコンピュータ１２によって自動的に行うことができるため、データベースの管理を低コストで、簡便且つ正確に行うことができる。又、事前登録にかかる時間を短縮することができるため、固体撮像素子の検査を開始するまでの時間を短くすることができ、固体撮像素子の検査を効率良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施形態を説明するためのデータベース管理システムの概略構成を示す図
【図２】図１に示す測定装置から測定情報が出力されたときのコンピュータの動作手順を示すフローチャート
【図３】従来のデータベース管理の手順を示すフローチャート
【符号の説明】
【００３９】
１１  測定装置
１２  コンピュータ
１３，１４  データベース
【図１】
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【図２】
2007286659.tif 000004
【図３】
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