(57)【要約】【課題】  パネルの輝点等を容易に且つ正確に一致させて高精度の欠陥検出を可能にする。【解決手段】  表示面に輝点２が規則的に並んだＬＣＤパネル１等の表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出方法である。ＬＣＤパネル１の表示面の画像を基準画像２５として取り込んで、当該基準画像２５を１ピッチ分だけシフトさせた画像２６を上記基準画像２５から減算する第１工程と、上記基準画像２５を３ピッチ分だけシフトさせた画像２６を上記基準画像２５から減算する第２工程とを備えて構成した。上記各工程においては、上記基準画像２５を一定方向に沿ってそのプラス方向とマイナス方向に同じピッチ数だけそれぞれシフトさせた各画像２６を、上記基準画像２５からそれぞれ減算する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示面に輝点等の映像上の特徴部分が規則的に並んだ表示パネルの当該表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出方法であって、
上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込んで、当該基準画像を少数ピッチ分だけシフトさせた画像を上記基準画像から減算する第１工程と、
上記基準画像を多数ピッチ分だけシフトさせた画像を上記基準画像から減算する第２工程とを備えて構成されたことを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の欠陥検出方法において、
上記各工程で、上記基準画像を一定方向に沿ってそのプラス方向とマイナス方向に同じピッチ数だけそれぞれシフトさせた各画像を、上記基準画像からそれぞれ減算することを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項３】
請求項２に記載の欠陥検出方法において、
上記各画像を上記基準画像からそれぞれ減算する上記各工程での処理を、異なる２方向に対してそれぞれ行うことを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の欠陥検出方法において、
上記基準画像を上記各工程と異なるピッチ数だけシフトさせた画像を上記基準画像から減算する工程を、１又は上記ピッチ数を変えて２以上追加したことを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項５】
表示面に輝点等の映像上の特徴部分が規則的に並んだ表示パネルの当該表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出方法であって、
上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込んで、当該基準画像をシフトさせた画像を上記基準画像から減算する第１工程と、
上記基準画像を上記第１工程でのシフト方向と異なる方向にシフトさせた画像を上記基準画像から減算する第２工程とを備えて構成されたことを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項６】
表示面に明暗等の映像上の特徴部分が規則的に並んだ表示パネルの当該表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込む読み取り装置と、
当該基準画像をシフトさせた画像を形成する遅延手段と、
当該遅延手段でシフトされた画像を上記基準画像から減算する減算手段と、
上記読み取り装置で上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込んで、当該基準画像を上記遅延手段で少数ピッチ分だけシフトさせた画像を上記減算手段で上記基準画像から減算する第１処理及び、上記基準画像を上記遅延手段で多数ピッチ分だけシフトさせた画像を上記減算手段で上記基準画像から減算する第２処理の各機能を格納した制御部とを備えて構成されたことを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の欠陥検出装置において、
上記制御部が、上記第１及び第２処理で、上記基準画像を一定方向に沿ってそのプラス方向とマイナス方向に同じピッチ数だけそれぞれシフトさせた各画像を、上記基準画像からそれぞれ減算することを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の欠陥検出装置において、
上記制御部が、上記第１及び第２処理を、異なる２方向に対してそれぞれ行うことを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項９】
請求項５ないし８のいずれか１項に記載の欠陥検出装置において、
上記制御部が、上記第１及び第２処理と異なるピッチ数だけシフトさせた画像を上記基準画像から減算する処理を、１又は上記ピッチ数を変えて２以上追加したことを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項１０】
表示面に明暗等の映像上の特徴部分が規則的に並んだ表示パネルの当該表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込む読み取り装置と、
当該基準画像をシフトさせた画像を形成する遅延手段と、
当該遅延手段でシフトされた画像を上記基準画像から減算する減算手段と、
上記読み取り装置で上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込んで、当該基準画像をシフトさせた画像を上記基準画像から減算する第１処理及び、
上記基準画像を上記第１工程でのシフト方向と異なる方向にシフトさせた画像を上記減算手段で上記基準画像から減算する第２処理の各機能を格納した制御部とを備えて構成されたことを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項１１】
表示面に輝点等の映像上の特徴部分が規則的に並んだ表示パネルの当該表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出方法であって、
上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込んで、当該基準画像を一方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像と上記基準画像との差分をとる第１工程と、
上記基準画像を他方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像と上記基準画像との差分をとる第２工程と、
上記第１工程及び第２工程でそれぞれ差分をとって得た画像を合成する第３工程と
を備えて構成されたことを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の欠陥検出方法において、
上記第１工程で上記基準画像をＸ軸方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせ、上記第２工程で上記基準画像をＹ軸方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせて、上記基準画像からそれぞれ差分をとることを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載の欠陥検出方法において、
上記第１工程で上記基準画像を斜め方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせ、上記第２工程で上記基準画像を上記第１工程と異なる方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせて、上記基準画像からそれぞれ差分をとることを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項１４】
表示面に明暗等の映像上の特徴部分が規則的に並んだ表示パネルの当該表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込む読み取り装置と、
当該基準画像をシフトさせた画像を形成する遅延手段と、
当該遅延手段でシフトされた画像と上記基準画像との差分をとる差分取得手段と、
当該差分取得手段で差分をとった２つの画像を合成する合成手段と、
上記読み取り装置で上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込んで、当該基準画像を上記遅延手段で一方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像を上記差分取得手段で上記基準画像との差分をとる第１処理、上記基準画像を上記遅延手段で他方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像を上記差分取得手段で上記基準画像との差分をとる第２処理及び、上記第１工程及び第２工程でそれぞれ差分をとって得た画像を上記合成手段で合成する第３処理の各機能を格納した制御部と
を備えて構成されたことを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の欠陥検出装置において、
上記制御部が、上記第１工程で上記基準画像をＸ軸方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像と上記基準画像との差分をとり、上記第２工程で上記基準画像をＹ軸方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像と上記基準画像との差分をとることを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項１６】
請求項１４に記載の欠陥検出装置において、
上記制御部が、上記第１工程で上記基準画像を斜め方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像と上記基準画像との差分をとり、上記第２工程で上記基準画像を上記第１工程と異なる方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像と上記基準画像との差分をとることを特徴とする欠陥検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示面に輝点等の映像上の特徴部分が規則的に並んだ表示パネル（ＬＣＤパネルやＰＤＰ等）の表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出方法及び欠陥検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＣＤパネルやＰＤＰ等の表示パネルにおいては、その表示面に欠陥がないか否かを検査する必要がある。この表示面の欠陥の検出方法としては、次のようなものが知られている。ここでは、ＬＣＤパネルを例に説明する。
【０００３】
図２に示すように、ＬＣＤパネル１の表示面においては、輝点２が規則的に配列されている。
【０００４】
この図２に示すＬＣＤパネル１の表示面に欠陥がある場合、輝点２によってかき消されて発見しづらい場合が多い。このため、輝点２を消す処理を行ってから欠陥の有無が検査される。この輝点２を消す処理は次のようにして行われている。
【０００５】
検査対象パネルと同一のパネルであって欠陥のないものを初期設定として予め登録しておく。そして、図３に示すように、検査対象パネル１の表示面の画像を取り込んで、この画像から予め登録しておいた初期設定値３を減算する。これにより、輝点２が消えて、図３，４に示すように、欠陥４のみが残る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、欠陥のないパネルを初期設定として予め登録しておく場合、この登録画像と検査対象パネル１の画像とを整合させなければならない。即ち、各輝点２の位置が一致するように、登録画像と検査対象パネル１の画像とを整合させなければならない。
【０００７】
しかし、検査対象パネル１の画像は、取り込みの際に、僅かにずれたり傾いたりする場合がある。そして、取り込んだ検査対象パネル１の画像がずれたり傾いたりしていると、登録画像との間で各輝点２の位置が一致せずに輝点２が残ってしまい、欠陥と輝点２との区別がつかず、欠陥の検出が難しくなる。このため、検査画像の輝点２と登録画像の輝点２とを正確に一致させる必要があるが、各輝点２を一致させるのに時間がかかり、作業性が悪いという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、各輝点を容易に且つ正確に一致させて高精度の欠陥検出を可能にする欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供するものである。このために、第１の本発明は、表示面に輝点等の映像上の特徴部分が規則的に並んだ表示パネルの当該表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出方法であって、上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込んで、当該基準画像を少数ピッチ分だけシフトさせた画像を上記基準画像から減算する第１工程と、上記基準画像を多数ピッチ分だけシフトさせた画像を上記基準画像から減算する第２工程とを備えて構成したものである。
【０００９】
上記各工程においては、上記基準画像を一定方向に沿ってそのプラス方向とマイナス方向に同じピッチ数だけそれぞれシフトさせた各画像を、上記基準画像からそれぞれ減算することが望ましい。
【００１０】
上記第１工程において、まず上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込んで、当該基準画像を例えば１ピッチ分だけシフトさせた画像を上記基準画像から減算して、欠陥の有無を検出する。次いで、第２工程で、上記基準画像を例えば３ピッチ分だけシフトさせた画像を上記基準画像から減算して、欠陥の有無を検出する。さらに、１ピッチ又は３ピッチシフトさせる方向を、一定方向に沿ってそのプラス方向とマイナス方向とし、その両方向へ同じピッチ数だけそれぞれシフトさせることで、縁部の検出漏れを防止する。
【００１１】
また、欠陥検出装置においても、基本的な機能は上記欠陥検出方法と同様である。
【００１２】
第２の本発明は、表示面に輝点等の映像上の特徴部分が規則的に並んだ表示パネルの当該表示面の画像を処理して欠陥を検出する欠陥検出方法であって、上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込んで、当該基準画像を一方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像と上記基準画像との差分をとる第１工程と、上記基準画像を他方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像と上記基準画像との差分をとる第２工程と、上記第１工程及び第２工程でそれぞれ差分をとって得た画像を合成する第３工程とを備えて構成されたことを特徴とする。
【００１３】
上記構成により、第１工程で、上記基準画像を一方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像と上記基準画像との差分をとった画像と、第２工程で、上記基準画像を他方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせた画像と上記基準画像との差分をとった画像とを、第３工程で合成するため、欠陥の輝度値を高くして、ノイズの輝度値を低く抑えることができる。
【００１４】
上記第１工程ではＸ軸方向へ、第２工程ではＹ軸方向へ１又は数ピッチ分だけそれぞれシフトさせることが望ましい。Ｘ軸方向とＹ軸方向以外に、斜め方向にシフトさせてもよい。
【００１５】
また、第３の発明の欠陥検出装置においても、基本的な機能は上記第２の発明の欠陥検出方法と同様である。
【発明の効果】
【００１６】
上述のように、上記表示パネルの表示面の画像を基準画像として取り込んで、当該基準画像を基にして例えば１ピッチ分だけシフトさせた画像を形成することで、基準画像とシフトさせた画像との輝点等の特徴部分を容易に一致させることができる。さらに、少数ピッチのシフトと多数ピッチのシフトの二通りにシフトさせた画像と基準画像との差分をとるため、大小の欠陥を見落とすことなく検出することができる。この結果、各輝点を容易に且つ正確に一致させて、高精度の欠陥検出が可能になる。
【００１７】
また、第２の発明では、上記第１工程で差分をとった画像と、第２工程で差分をとった画像とを第３工程で合成して、欠陥の輝度値を高く、ノイズの輝度値を低くすることができるため、高精度の欠陥検出が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態に係る欠陥検出方法及び欠陥検出装置について、添付図面を参照しながら説明する。
【００１９】
［第１実施形態］
［欠陥検出装置］
まず、本発明の欠陥検出方法に用いる欠陥検出装置を添付図面に基づいて説明する。
【００２０】
欠陥検出装置は、図５に示すように主に、パネル載置台１１と、ラインセンサーカメラ１２と、照明装置１３と、制御装置１４とから構成されている。
【００２１】
パネル載置台１１は、検査対象のパネル１５を載置して欠陥の検出を行う台である。このパネル載置台１１は、パネル１５をＸＹ軸方向に移動させるＸＹ移動機構１６(図６参照)が組み込まれる。このＸＹ移動機構１６により、ラインセンサーカメラ１２の基準位置とパネル１５の基準位置とが整合するように位置調整される。ＸＹ移動機構１６は、パネル載置台１１を支持してＸ軸方向へ移動させるＸ軸移動機構部(図示せず)と、このＸ軸移動機構部をＹ軸方向へ移動させるＹ軸移動機構部(図示せず)とを備えた一般的な構成を有している。
【００２２】
ラインセンサーカメラ１２は、パネル１５の表示面の画像を基準画像として取り込むための読み取り装置である。ラインセンサーカメラ１２は、センサーを例えばＸ軸方向にパネル１５をカバーできる長さに配設して構成されている。ラインセンサーカメラ１２は、往復移動機構１７（図６参照）に取り付けられて、Ｙ軸方向に往復移動できるように構成されている。これにより、ラインセンサーカメラ１２は、Ｙ軸方向にパネル１５の全長に亘って往復移動して、スキャナーと同様の方式で、パネル１５の全体の画像を一度に取り込めるようになっている。このラインセンサーカメラ１２で取り込んだ画像情報は制御部１９内のメモリに格納される。
【００２３】
照明装置１３は、パネル１５の表示面を証明するための装置である。この照明装置１３は、ラインセンサーカメラ１２でパネル１５の全体の画像を取り込む際に、パネル１５の表示面を証明する。
【００２４】
制御装置１４は、ラインセンサーカメラ１２でパネル１５の全体の画像を取り込む際に、各装置を制御すると共に、取り込んだ画像を処理するための装置である。この制御装置１４は、図６に示すように主に、制御部１９と、表示部２０と、入力部２１とから構成されている。
【００２５】
表示部２０は、ラインセンサーカメラ１２で取り込んだパネル１５の全体の画像を表示するための装置である。
【００２６】
入力部２１は、操作等の際に必要な入力を行うキーボード等である。
【００２７】
制御部１９は、入力部２１からの操作に応じて、各装置を制御すると共に、取り込んだ画像を処理して、表示部２０に表示させるための装置である。この制御部１９は、メモリ、遅延手段、差分取得手段、２値化手段等（いずれも図示せず）が組み込まれて構成されている。さらに、制御部１９には、ラインセンサーカメラ１２でパネル１５の表示面の画像を基準画像２５（図１参照）として取り込んで、当該基準画像２５を上記遅延手段で少数ピッチ分（例えば１ピッチ）だけシフトさせた画像２６（図１参照）を上記差分取得手段で上記基準画像２５から差分を取得する第１処理と、上記基準画像２５を上記遅延手段で多数ピッチ分（例えば３ピッチ）だけシフトさせた画像２６を上記差分取得手段で上記基準画像２５から減算する第２処理の各機能が格納されている。なお、遅延手段は、上記基準画像２５を例えば１ピッチや３ピッチだけシフトさせた画像２６を形成するための手段である。差分取得手段は、当該遅延手段でシフトされた画像２６と上記基準画像２５との差分をとるための手段である。差分取得手段では、単純に上記画像２６を上記基準画像２５から減算する場合と、画像２５、２６に重み付けをして減算する場合がある。例えば、一方の画面を1.1倍して減算する等の、両者の比率を変えて減算する場合がある。
【００２８】
制御部１９には、具体的には図１１のフローチャートに示す処理機能が格納されている。この制御部１９の具体的な処理機能については後述する。
【００２９】
［欠陥検出方法］
次に、上記構成の欠陥検出装置を用いた欠陥検出方法について図１１のフローチャートを中心に説明する。
【００３０】
制御部１９の制御により、まずラインセンサーカメラ１２でパネル１５の全体の画像を取り込む（ステップ１）。即ち、照明装置１３で、パネル１５の表示面が証明された状態で、往復移動機構１７によってラインセンサーカメラ１２がパネル１５の全長に亘って移動しながらパネル１５の全体の画像を取り込む。
【００３１】
次いで、この画像を基準画像２５としてメモリに格納する（ステップ２）。
【００３２】
次いで、４つの処理をそれぞれ行う。第１の処理では、基準画像２５を基にして図７に示すようにＹ軸方向へ＋１ピッチ分だけシフトさせた画像２６を形成し（ステップ３）、図８に示すように基準画像２５から減算する（ステップ４）。次いで、減算した値を２値化してマイナスの値を除去して表示部２０に表示させる（ステップ５）。次いで、作業者が表示部２０を見ながら欠陥を検出したり、画像処理で欠陥を検出したりして、欠陥を検出したパネル１５にはマークを付ける等の処理を施して区別する（ステップ６）。
【００３３】
第２の処理では、基準画像２５を基にしてＹ軸方向へ−１ピッチ分だけシフトさせた画像２６を形成し（ステップ７）、図９に示すように未演算領域をカバーして縁部の検出漏れを防止する。次いで、基準画像２５から減算し（ステップ８）、減算した値を２値化して表示部２０に表示させる（ステップ９）。次いで、作業者が表示部２０を見ながら欠陥を検出したり、画像処理で欠陥を検出したりして、欠陥を検出したパネル１５にはマークを付ける等の処理を施して他と区別する（ステップ１０）。
【００３４】
第３の処理では、基準画像２５を基にしてＹ軸方向へ＋３ピッチ分だけシフトさせた画像２６を形成し（ステップ１１）、基準画像２５から減算する（ステップ１２）。これにより、図１０に示すように、１ピッチ分だけシフトさせた画像２６を基準画像２５から減算するとき、欠陥として認識されない部分が出てしまうような場合でも、３ピッチ分だけシフトさせると、欠陥として認識されない部分を解消できる。
【００３５】
次いで、減算した値を２値化して表示部２０に表示させる（ステップ１３）。次いで、作業者が表示部２０を見ながら欠陥を検出したり、画像処理で欠陥を検出したりして、欠陥を検出したパネル１５にはマークを付ける等の処理を施して他と区別する（ステップ１４）。
【００３６】
第４の処理では、基準画像２５を基にしてＹ軸方向へ−３ピッチ分だけシフトさせた画像２６を形成し（ステップ１５）、基準画像２５から減算する（ステップ１６）。次いで、減算した値を２値化して表示部２０に表示させる（ステップ１７）。次いで、作業者が表示部２０を見ながら欠陥を検出したり、画像処理で欠陥を検出したりして、欠陥を検出したパネル１５にはマークを付ける等の処理を施して他と区別する（ステップ１８）。
【００３７】
以上のように、パネル１５の表示面の画像を基準画像２５として取り込んで、この基準画像２５を１ピッチ分だけシフトさせた画像２６を上記基準画像２５から減算するようにしたため、基準画像２５と１ピッチ分だけシフトさせた画像２６との間で位置を調整して整合させる必要がなくなり、各輝点２を容易に且つ正確に一致させて高精度の欠陥検出が可能になる。
【００３８】
また、パネル１５の表示面の画像を基準画像２５として取り込んで、この基準画像２５を３ピッチ分だけシフトさせた画像２６を上記基準画像２５から減算するようにしたため、１ピッチのシフトでは重なってしまうような大きな欠陥を高い精度で検出することが可能になる。
【００３９】
上記各工程で、基準画像２５をＹ軸方向に沿ってそのプラス方向とマイナス方向に同じピッチ数だけそれぞれシフトさせた各画像２６を形成して、基準画像２５からそれぞれ減算するようにしたので、パネル１５の縁部まで確実に検査することができる。
【００４０】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態においても、上記第１実施形態の欠陥検出装置を用いて説明する。上記欠陥検出装置の制御部１９に、後述する処理機能が格納されている。
【００４１】
以下に、本実施形態の欠陥検出方法について図１２のフローチャートを中心に説明する。
【００４２】
制御部１９の制御により、まずラインセンサーカメラ１２でパネル１５の全体の画像を取り込む（ステップ２１）。即ち、照明装置１３で、パネル１５の表示面が証明された状態で、往復移動機構１７によってラインセンサーカメラ１２がパネル１５の全長に亘って移動しながらパネル１５の全体の画像を取り込む。
【００４３】
次いで、この画像を基準画像（図１の２５に対応）としてメモリに格納する（ステップ２２）。
【００４４】
次いで、基準画像（２５）を基にしてＸ軸方向へ１ピッチ分だけシフトさせた画像（図１中の２６に対応）を形成し（ステップ２３）、この画像を基準画像（２５）から減算する（ステップ２４）。この減算も、上記第１実施形態と同様に、いずれかに重み付けして差分をとる場合もある。検査対象物の性質に応じて適宜重み付けをする。シフトさせる方向はＸ軸方向の＋方向でも−方向でもよい。
【００４５】
次いで、基準画像（２５）を基にしてＹ軸方向へ１ピッチ分だけシフトさせた画像（２６）を形成し（ステップ２５）、この画像を基準画像（２５）から減算する（ステップ２６）。シフトさせる方向はＹ軸方向の＋方向でも−方向でもよい。
【００４６】
次いで、ステップ２４、２６でそれぞれ減算して得た画像を合成する（ステップ２７）。この画像の合成では、２つの画像を単純加算する場合以外に、諸条件に応じて、いずれかの画像に上記同様の重み付けをして加算する場合もある。本実施形態では、２つの画像を単純加算している。
【００４７】
次いで、加算した値を２値化してマイナスの値を除去して表示部２０に表示させる（ステップ２８）。次いで、作業者が表示部２０を見ながら欠陥を検出したり、画像処理で欠陥を検出したりして、欠陥を検出したパネル１５にはマークを付ける等の処理を施して区別する（ステップ２９）。画像処理によってコンピュータで欠陥を検出してもよい。
【００４８】
以上の処理の原理を図１３に基づいて説明する。
【００４９】
基準画像（２５）を基にしてＸ軸方向へ１ピッチ分だけシフトさせた画像（２６）を基準画像（２５）から減算したときの輝度値を図１３（Ａ）に示す。この輝度値をしきい値２０で２値化した結果を図１４に示す。この図１４から分かるように、比較的ノイズが少ないが、それでもやはり欠陥かノイズかの区別が付きにくい。
【００５０】
基準画像（２５）を基にしてＹ軸方向へ１ピッチ分だけシフトさせた画像（２６）を基準画像（２５）から減算したときの輝度値を図１３（Ｂ）に示す。この輝度値をしきい値２０で２値化した結果を図１５に示す。この図１５から分かるように、ノイズが多くて、欠陥かノイズかの区別が付きにくい。
【００５１】
基準画像（２５）を基にしてＸ軸方向とＹ軸方向へそれぞれ１ピッチ分ずつシフトさせた画像（２６）を基準画像（２５）から減算したときの輝度値をしきい値２０で２値化した結果を図１６に示す。この図１６から分かるように、ノイズが非常に多くて、欠陥かノイズかの区別が付きにくい。
【００５２】
基準画像（２５）を基にしてＸ軸方向へ１ピッチ分だけシフトさせた画像（２６）を基準画像（２５）から減算したときの輝度値（図１３（Ａ））と、Ｙ軸方向へ１ピッチ分だけシフトさせた画像（２６）を基準画像（２５）から減算したときの輝度値（図１３（Ｂ））とを加算した輝度値を図１３（Ｃ）に示す。この輝度値をしきい値４０で２値化した結果を図１７に示す。
【００５３】
図１３（Ｃ）のように、Ｘ軸方向の輝度値図１３（Ａ）とＹ軸方向の輝度値図１３（Ｂ）とを加算すると、輝度値が大きくなる。このとき、ノイズも加算されるが、Ｘ軸方向にシフトさせたノイズと、Ｙ軸方向にシフトさせたノイズとでは、重複することが少ない。このため全体的に、欠陥は重複して輝度値が高くなり、ノイズは重複が少なくて輝度値が低くなる。このため、例えばしきい値を４０に上げると、ノイズが落ちて、欠陥が残る。この結果、図１７に示すように、ノイズが少なく、欠陥を明確に区別できる画像になる。
【００５４】
以上のように、パネル１５の表示面の画像を基準画像（２５）として取り込んで、この基準画像（２５）を１ピッチ分だけＸ軸方向にシフトさせた画像（２６）を上記基準画像（２５）から減算した画像と、基準画像（２５）を１ピッチ分だけＹ軸方向にシフトさせた画像（２６）を上記基準画像（２５）から減算した画像とを加算して高いしきい値で２値化するため、ノイズが少なく、欠陥を明確に区別できる画像を提供することができる。この結果、上記第１実施形態の効果に加えて、高精度の欠陥検出が可能になる。
【００５５】
［変形例］
上記第１実施形態では、基準画像２５をＹ軸方向にシフトさせて欠陥検出を行うようにしたが、基準画像２５をＸ軸方向にシフトさせて欠陥検出を行うようにしてもよい。
【００５６】
さらに、直交する２方向（ＸＹ軸方向）に対してそれぞれ行うようにしてもよい。即ち、Ｘ軸方向に１ピッチシフトさせて減算した後、Ｙ軸方向に１ピッチシフトさせて減算するようにしてもよい。この場合、Ｘ軸方向に長く延びた欠陥をＹ軸方向にスライドさせることで、又はＹ軸方向に長く延びた欠陥をＸ軸方向にスライドさせることで容易に検出することができるようになる。この場合において、パネル１５の縁部をカバーする必要があるときは、直交する２方向（ＸＹ軸方向）に対してそれぞれプラス方向とマイナス方向にスライドさせて欠陥検出を行う。さらに、各方向に対して１ピッチと３ピッチずつシフトさせるようにしてもよい。また、シフトさせる方向は、互いに直交する方向に限らず、斜め方向でもよい。直交方向や斜め方向等の異なる方向にシフトさせれば、欠陥を検出しやすくなる。
【００５７】
また、上記第１実施形態では、１ピッチと３ピッチだけシフトさせて欠陥検出を行うようにしたが、２ピッチ又は４ピッチ以上シフトさせて欠陥検出を行う工程を１又は２以上追加してもよい。諸条件に応じて、ピッチ数及び追加工程数を適宜設定する。
【００５８】
上記第２実施形態では、上記第１工程で上記基準画像をＸ軸方向に１ピッチ分だけシフトさせ、上記第２工程で上記基準画像をＹ軸方向に１ピッチ分だけシフトさせるようにしたが、数ピッチ分シフトさせるようにしてもよい。また、必要に応じて、Ｘ軸方向とＹ軸方向とで異なるピッチ分だけシフトさせるようにしてもよい。状況に応じて最適なピッチ数を選択する。
【００５９】
上記第２実施形態では、Ｘ軸方向とＹ軸方向にシフトさせたが、斜め方向に（例えばＸ軸方向１ピッチとＹ軸方向に１ピッチ）シフトさせてもよい。このとき、上記第２工程では上記基準画像を上記斜め方向と異なる方向に１又は数ピッチ分だけシフトさせるようにしてもよい。この場合も、上記第２実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る欠陥検出方法を示す模式図である。
【図２】ＬＣＤパネルを示す正面図である。
【図３】従来の欠陥検出方法を示す模式図である。
【図４】輝点が消えて欠陥のみが残る状態を示す模式図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る欠陥検出装置を示す概略構成図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る制御装置を示す機能ブロック図である。
【図７】基準画像を１ピッチシフトさせる態様を示す正面図である。
【図８】基準画像を１ピッチシフトさせて減算するときの欠陥の状態を示す模式図である。
【図９】基準画像を１ピッチシフトさせたときの未演算領域を示す模式図である。
【図１０】基準画像を３ピッチシフトさせて減算するときの欠陥の状態を示す模式図である。
【図１１】制御部に格納された処理機能を示すフローチャートである。
【図１２】本発明の第２実施形態に係る制御部に格納された処理機能を示すフローチャートである。
【図１３】本発明の第２実施形態に係る制御部での処理結果を示すグラフである。
【図１４】本発明の第２実施形態に係る制御部でＸ軸方向にシフトさせたときの処理結果を示す取り込み画像である。
【図１５】本発明の第２実施形態に係る制御部でＹ軸方向にシフトさせたときの処理結果を示す取り込み画像である。
【図１６】本発明の第２実施形態に係る制御部でＸＹ軸方向にシフトさせたときの処理結果を示す取り込み画像である。
【図１７】本発明の第２実施形態に係る制御部でＸ軸方向とＹ軸方向のシフト減算値を加算して処理した結果を示す取り込み画像である。
【符号の説明】
【００６１】
１１：パネル載置台、１２：ラインセンサーカメラ、１３：照明装置、１４：制御装置、１５：パネル、１６：ＸＹ移動機構、１７：往復移動機構、１９：制御部、２０：表示部、２１：入力部、２５：基準画像、２６：シフトさせた画像。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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