(57)【要約】【課題】プレス型の転写パターン形状を破損するおそれがなく、しかもインプリント法のみを用いて低コストで生産性を損なうことなく、バリなどを発生せずに確実に貫通する微細貫通孔を有する貫通孔構造体を製造する。【解決手段】インプリンティング法により貫通孔構造体２０を製造するにあたり、構造体層１０を重ね合わせた多層構造の被加工体１２をプレス加工し、プレス型１５に形成される転写パターン形状１６を被加工体に転写して少なくとも１つの構造体層を打ち抜いて後、その加工後の被加工体の構造体層を剥離して、微細貫通孔１９を有する貫通孔構造体を得る。プレス型に形成される転写パターン形状を被加工体に転写するときは、その被加工体の複数の構造体層に微細貫通孔を形成するとよい。被加工体の各構造体層間に分離層１３を設け、その分離層で分離して構造体層を剥離するとよい。また、被加工体の各構造体層は、端部長さを不揃いとするとよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一材料よりなる構造体層を重ね合わせた多層構造の被加工体をプレス加工し、プレス型に形成される転写パターン形状を前記被加工体に転写して少なくとも１つの構造体層を打ち抜いて後、その加工後の被加工体の構造体層を剥離して、微細貫通孔を有する貫通孔構造体を得ることを特徴とする、インプリンティング法による貫通孔構造体の製造方法。
【請求項２】
前記転写パターン形状を前記被加工体に転写してその被加工体の複数の構造体層に前記微細貫通孔を形成することを特徴とする、請求項１に記載のインプリンティング法による貫通孔構造体の製造方法。
【請求項３】
前記被加工体の各構造体層間に分離層を設け、その分離層で分離して構造体層を剥離することを特徴とする、請求項１または２に記載のインプリンティング法による貫通孔構造体の製造方法。
【請求項４】
前記被加工体の各構造体層の端部長さを不揃いとすることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれか１に記載のインプリンティング法による貫通孔構造体の製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１に記載の製造方法により形成してなることを特徴とする、貫通孔構造体。
【請求項６】
インクジェットヘッド用ノズルプレートとして使用することを特徴とする、請求項５に記載の貫通孔構造体。
【請求項７】
請求項６に記載の貫通孔構造体を使用して形成することを特徴とする、インクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項８に記載のインクジェットヘッドを使用することを特徴とする、インクジェト記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェットヘッドと記録媒体とを相対移動しながら、インクジェットヘッドから吐出するインク滴で、用紙・ＯＨＰフィルム等の記録媒体に画像を記録するインクジェットプリンタ等のインクジェット記録装置に関する。および、そのようなインクジェット記録装置で使用するインクジェットヘッドに関する。および、そのようなインクジェットヘッドにおける複数のノズルを有するノズルプレートなど、微細孔を有する貫通孔構造体、およびインプリンティング法を用いて、そのような貫通孔構造体を製造する製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細孔を有するノズルプレートなどの貫通孔構造体の製造方法として、従来の機械加工や光リソグラフィの限界に制限されない分解能を持つナノインプリント法が注目されている。このナノインプリント法について、特許文献１や特許文献２を参照しながら、以下に説明する。
【０００３】
まず、下記の特許文献１に開示されている、一般に熱インプリントと呼ばれているナノインプリント法によれば、まず図６（Ａ）に示すように、表面に、ＰＭＭＡ等のレジスト膜からなる被加工体１が形成された基板２と、２５ｎｍ程度以下の微細な凹凸状の転写パターン形状３が格子状に形成されたプレス型４を用意する。
【０００４】
次に、図６（Ｂ）に示すように、ガラス転移点以上にまで加熱することで軟化した被加工体１にプレス型４を押し付ける。このとき、転写パターン形状３で被加工体１を完全に打ち抜くには、非常に高い圧力で転写パターン形状３を押し付ける必要がある。しかし、このとき高い圧力で押し付けて、例え完全に打ち抜くことができたとしても、基板２との衝突により転写パターン形状３の先端を破損する可能性が大きかった。そこで、被加工体１は、完全に打ち抜かずに、残部５を残すことが一般的である。そして、図６（Ｃ）に示すように、ガラス転移点以下になるまで冷却することにより固化した被加工体１からプレス型４を引き剥がす。このようにして、プレス型４の転写パターン形状３を転写して被加工体１に反転パターンを形成していた。
【０００５】
他方、下記の特許文献２に開示されている、一般に光インプリントと呼ばれているナノインプリント法によれば、図７（Ａ）に示すように、表面に、ＵＶ効果樹脂等の光硬化性の物質からなる被加工体１が形成された基板２と、石英やパイレックス（登録商標）等の光透過性の材料からなり、微細な凹凸状の転写パターン形状３が例えば格子状に形成されたプレス型４を用意する。
【０００６】
次に、図７（Ｂ）に示すように、被加工体１にプレス型４を押し付ける。このときも、転写パターン形状３で被加工体１を完全に打ち抜くには、非常に高い圧力で転写パターン形状３を押し付ける必要がある。しかし、このとき高い圧力で押し付けて、例え完全に打ち抜くことができたとしても、基板２との衝突により転写パターン形状３の先端を破損する可能性が大きかった。そこで、被加工体１は、完全に打ち抜かずに、残部５を残すことが一般的である。その後、プレス型４を透して光を照射することにより硬化された被加工体１から、図７（Ｃ）に示すようにプレス型４を引き剥がす。このようにして、プレス型４の転写パターン形状３を転写して被加工体１に反転パターンを形成していた。
【０００７】
これらの方法により転写パターン形状３が転写された被加工体１は、基板２のエッチング用マスクとして使用することができ、また基板２をドライエッチングやウェットエッチングにより除去することにより分離された被加工体１そのものを、微細孔を有する貫通孔構造体として使用することもできる。
【０００８】
以上のように、ナノインプリント法では、所望の転写パターン形状３が形成されたプレス型４を用意することができれば、いたって簡単なプロセスで微細パターンを複製することができる。プレス型４としては、数ｎｍ〜数十ｎｍの解像度を持つ電子ビーム露光技術とエッチング技術により製造したシリコンや石英の型、またはこれらの型をマスタとした金属の型や数十ｎｍ〜数μｍの解像度を持つリソグラフィ技術、および金属めっき技術により製造した金属の型を使用することができる。
【０００９】
従来、このようなナノインプリント法を用いて、インクジェット記録装置に用いられるインクジェットヘッドのノズルプレートのような微細孔を有する貫通孔構造体を製造する方法も開示されている。例えば、下記の特許文献３に記載の発明には、軟化した被加工体１にプレス型４を押し付け、その後、冷却することにより固化した被加工体１から図８（Ａ）に示すようにプレス型４を引き剥がし、プレス型４をホットエンボス（熱インプリント）することにより被加工体１に残部５を有する貫通穴６を形成してから、図８（Ｂ）に示すように、超音波を用いて残部５を除去することで、貫通孔７を形成してインクジェットヘッドのノズルプレートとする方法が開示されている。
【００１０】
ところが、このような方法では、インプリントとは別の工程で残部５を除去して貫通孔７を形成することから、生産性が悪い問題があった。このため、従来のノズルプレート製造方法の中には、例えば下記の特許文献４に記載されるように、図９に示すごとく下型８に熱可塑性樹脂よりなる被加工体１を流し込み、プレス型４でスタンピングすることによって熱インプリントで貫通孔７をあけ、プレス型４を引き剥がすことによりインクジェットヘッドのノズルプレートを製造する方法なども提案されている。
【００１１】
しかしながら、このような製造方法では、プレス型４の先が下型８と衝突して損傷するおそれがあり、また貫通孔７の周囲にバリを生ずるおそれがあった。このようなおそれを解消すべく、図１０に示すように被加工体１を保護シート９の上に形成して図９に示すような下型８内に設け、プレス型４でスタンピングすることも考えられている。
【００１２】
【特許文献１】米国特許第５，７７２，９０５号公報
【特許文献２】特開２０００−１９４１４２号公報
【特許文献３】特開２００５−２８０１８２号公報
【特許文献４】特開２００６−７７１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところが、被加工体１を保護シート９の上に形成してプレス型４でスタンピングする従来の製造方法では、被加工体１とは異種材料で形成された、変形しやすい保護シート９上に被加工体１を形成することから、プレス型４でスタンピングするとき、被加工体１がのびるだけで、現実には被加工体１を貫通することができないことが判った。仮に被加工体１に貫通孔７を形成することができたとしても、貫通に至るまでに被加工体１が大きくのびることから、貫通孔７の周囲にバリが多く発生することがわかった。
【００１４】
そこで、この発明の第１の目的は、プレス型の転写パターン形状を破損するおそれがなく、しかもインプリント法のみを用いて低コストで生産性を損なうことなく、バリなどを発生せずに確実に貫通する微細貫通孔を有する貫通孔構造体を製造する製造方法を提供することにある。
【００１５】
この発明の第２の目的は、製造時に、プレス型の転写パターン形状を破損するおそれがなく、しかもインプリント法のみを用いて低コストで生産性を有し、バリなどを発生せずに確実に貫通する微細貫通孔を有する貫通孔構造体を提供することにある。
【００１６】
この発明の第３の目的は、そのような貫通孔構造体をノズルプレートとして使用するインクジェットヘッドを提供することにある。
【００１７】
この発明の第４の目的は、そのようなインクジェットヘッドを使用するインクジェット記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
このため、この発明の第１の態様は、上述した第１の目的を達成すべく、インプリンティング法により貫通孔構造体を製造するにあたり、
構造体層を重ね合わせた多層構造の被加工体をプレス加工し、プレス型に形成される転写パターン形状を前記被加工体に転写して少なくとも１つの構造体層を打ち抜いて後、
その加工後の被加工体の構造体層を剥離して、微細貫通孔を有する貫通孔構造体を得るものである。
【００１９】
ここで、プレス型に形成される転写パターン形状を被加工体に転写するときは、その被加工体の複数の構造体層に微細貫通孔を形成するとよい。被加工体の各構造体層間に分離層を設け、その分離層で分離して構造体層を剥離するとよい。また、被加工体の各構造体層は、端部長さを不揃いとするとよい。
【００２０】
この発明の第２の態様は、上述した第２の目的を達成すべく、第１の態様の製造方法により形成してなる貫通孔構造体であり、例えばインクジェットヘッド用ノズルプレートとして使用するとよい。
【００２１】
この発明の第３の態様は、上述した第３の目的を達成すべく、インクジェットヘッドにおいて、この発明の第２の態様の貫通孔構造体を使用して形成したことを特徴とするものである。
【００２２】
この発明の第４の態様は、上述した第４の目的を達成すべく、インクジェト記録装置において、この発明の第３の態様のインクジェットヘッドを使用することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２３】
この発明の第１の態様によれば、構造体層を重ね合わせた多層構造の被加工体をプレス加工し、プレス型に形成される転写パターン形状を被加工体に転写するとき、転写パターン形状で最後の構造体層まで打ち抜かないようにすると、転写パターン形状の先端が、被加工体保持部材に衝突することがなく、プレス型の転写パターン形状を破損するおそれをなくすことができる。
【００２４】
加えて、同一材料よりなる構造体層を重ね合わせて被加工体の厚さを厚くし、被加工体を一塊とするので、その被加工体に転写パターン形状を転写するとき、被加工体がのびることなく、バリなどを発生せずに確実に貫通する微細貫通孔を有する貫通孔構造体を製造することができる。また、転写パターン形状を被加工体に転写して少なくとも１つの構造体層を打ち抜くようにするので、インプリント法のみを用いて、低コストでかつ生産性の高い貫通孔構造体を製造することができる。
【００２５】
ここで、プレス型に形成される転写パターン形状を被加工体に転写するとき、その被加工体の複数の構造体層に微細貫通孔を形成するようにすると、一度の加工で複数の貫通孔構造体を得、貫通孔構造体の生産性を向上することができる。
【００２６】
被加工体の各構造体層間に分離層を設け、その分離層で分離して構造体層を剥離するようにすると、プレス加工後の構造体層の剥離を容易として貫通孔構造体の生産性を向上することができる。
【００２７】
被加工体の各構造体層の端部長さを不揃いとすると、各構造体層の端部間に長さ方向の段差ができて各端部を摘みやすくし、プレス加工後の各構造体層の剥離を容易とすることができる。
【００２８】
この発明の第２の態様によれば、貫通孔構造体を第１の態様の製造方法により形成するので、製造時に、プレス型の転写パターン形状を破損するおそれがなく、しかもインプリント法のみを用いて低コストで生産性を有し、バリなどを発生せずに確実に貫通する微細貫通孔を有する貫通孔構造体を提供することができる。
【００２９】
この発明の第３の態様によれば、第２の態様の貫通孔構造体を使用するので、製造時に、プレス型の転写パターン形状を破損するおそれがなく、しかもインプリント法のみを用いて低コストで生産性を有し、バリなどを発生せずに確実に貫通するノズル孔を有するノズルプレートを形成し、そのようなノズルプレートを用いたインクジェットヘッドを提供することができる。
【００３０】
この発明の第４の態様によれば、第３の態様のインクジェットヘッドを使用するので、第３の態様の効果を有するインクジェットヘッドを用いてインクジェット記録装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、図面を参照しつつ、この発明の実施の最良形態につき説明する。
図１（Ａ）ないし（Ｅ）には、微細貫通孔を有する貫通孔構造体の製造方法を示す。図１（Ａ）ないし（Ｅ）は、それぞれ１つの微細貫通孔列に沿う縦断面であり、発明内容を理解しやすくするために、各構成部材の縮尺は違えてなる。
【００３２】
図示貫通孔構造体の製造方法では、図１（Ａ）に示すように、同じ材料からなる複数の構造体層１０を重ね合わせた多層構造の被加工体１２を用いる。構造体層１０は、各種の熱可塑性樹脂、熱硬化樹脂、エネルギ硬化性樹脂などを用い、任意の厚さで、任意の大きさにつくる。そして、所望の枚数を、容易に剥がすことができる適宜の方法で重ね合わせて被加工体１２を形成する。図示例では、厚さが２０μｍで、大きさが３０ｍｍ角と２５ｍｍ角の熱可塑性ポリイミドフィルムを不図示のガイド板を用いて交互に重ね合わせて５層の構造体層１０からなる被加工体１２を形成してなる。
【００３３】
ここで、被加工体１２の各構造体層１０間には、加工後の被加工体１２における各構造体層１０の剥離を容易とする分離層１３を設けるとよい。分離層１３は、適宜の材料を使用し、所望の方法により任意の厚さで形成する。図示例では、厚さが０．５μｍの銅薄膜を真空蒸着により形成してなる。
【００３４】
そして、そのような被加工体１２は、図１（Ａ）に示すように、プレス台１４上に固定し、または単にプレス台１４上に載置する。被加工体１２は、図示しない保持基板で保持してその保持基板を挟んでプレス台１４上に固定し、または載置するようにしてもよい。
【００３５】
次いで、図１（Ｂ）に示すように、プレス台１４上の被加工体１２に対向してプレス型１５を配置する。プレス型１５は、金属、セラミック、ガラス、シリコンなどの材料を使用して、フォトリソグラフィ技術、Ｘ線リソグラフィ技術、エッチング技術、電鋳技術、機械加工技術などの既知の技術を用い、またはこれらの技術を組み合わせた方法を用いてつくる。図示例では、プレス型１５として、フォトリソグラフィとエッチングで加工したシリコン製マスタ型に電鋳を施したニッケル基合金製のものを使用している。
【００３６】
プレス型１５には、任意形状の転写パターン形状１６を形成する。図示例では、先端径がφ５０μｍで、高さが１００μｍ程度の円柱形状を多数形成してなる。なお、このプレス型１５は、図示例のようにプレスヘッド１７に固定してもよいし、被加工体１２上に単に置くだけでもよい。また、このプレス型１５には、被加工体１２を加工後、被加工体１２から容易に抜くことができるように表面処理を施すようにするとよい。
【００３７】
その後、不図示のヒータ等の加熱手段を用いて、被加工体１２とプレス型１５の少なくともいずれか一方を、被加工体１２のガラス転移点以上の温度になるまで加熱する。図示例では、被加工体１２とプレス型１５の双方を、２８０度になるまで加熱している。
【００３８】
それから、プレス台１４側を上昇してもよいが、この例では、図示しないサーボモータや油圧などの荷重発生手段によりプレスヘッド１７側を下降して、例えば６５ＭＰａの圧力が転写パターン形状１６の先端に加わるようにプレス型１５を被加工体１２にプレスする。プレスは、大気圧の下で行ってもよいし、真空雰囲気中で行ってもよい。また、この例のように一定の圧力が転写パターン形状１６の先端に加わるように制御してもよいが、転写パターン形状１６の先端が一定の押し込み量となるように制御してもよい。
【００３９】
そして、図１（Ｃ）に示すように、転写パターン形状１６で４つの構造体層１０を貫通し、その先端を最下層の構造体層１０の途中まで押し込み、その押し込み状態を例えば５分間保持することにより、流動状態の被加工体１２が転写パターン形状１７のまわりに十分に馴染むようにして、プレス型１５に形成される転写パターン形状１６を被加工体１２に転写する。
【００４０】
なお、図示例では、被加工体１２とプレス型１５の少なくともいずれか一方を加熱して後、プレス加工を行っているが、逆にプレス加工を行って後に、被加工体１２やプレス型１５を加熱するようにしてもよい。また、プレス型１５は、被加工体１２の上に配置しているが、下に配置するようにしてもよい。
【００４１】
次に、被加工体１２とプレス型１５を自然冷却し、またはエアや冷却液を用いて強制的に冷却することにより、被加工体１２を硬化する。その後、図１（Ｄ）に示すように、加工後の被加工体１２からプレス型１５を離し、転写パターン形状１６を被加工体１２から引き抜く。図示例では、被加工体１２およびプレス型１５を自然冷却により１００℃以下まで冷却して後、離型して貫通穴１８を有する被加工体１２を形成する。
【００４２】
それから、プレス台１４上から、加工後の被加工体１２を取り出し、図１（Ｅ）に示すように、密着している構造体層１０を分離層１３で順に一枚ずつ分離して各構造体層１０を剥離し、最下層の構造体層１０Ａを除き、複数の微細貫通孔１９を有する４つの貫通孔構造体２０を得る。
【００４３】
各構造体層１０を剥離する方法としては、各構造体層１０間に設ける分離層１３を利用して各構造体層１０を物理的に分離する他、分離層１３をエッチング等で除去することにより分離することなどが考えられる。ここでは、図１（Ｄ）に示すように被加工体１２の各構造体層１０の端部長さを不揃いとして各構造体層１０の端部間に長さ方向の段差を形成することにより各端部を掴みやすくし、その端部をピンセット等で摘んで物理的に剥離してなる。
【００４４】
なお、剥離後に貫通孔構造体２０に残った分離層１３は、エッチングなどにより除去してもよいし、不都合がなければ残したままでもよい。また、貫通孔１９を有しない最下層の構造体層１０Ａは、そのまま廃棄することなしに、資源保護や環境保護の観点から再利用するとよい。
【００４５】
以上のとおり、構造体層１０を重ね合わせた多層構造の被加工体１２をプレス加工し、プレス型１５に形成される転写パターン形状１６を被加工体１２に転写するとき、転写パターン形状１６で最後の構造体層１０Ａまで打ち抜かないようにすると、転写パターン形状１６の先端が、被加工体１２を保持するプレス台１４などに衝突することがなく、プレス型１５の転写パターン形状１６を破損するおそれをなくすことができる。
【００４６】
加えて、同一材料よりなる構造体層１０を重ね合わせて被加工体１２の厚さを厚くし、被加工体１２を一塊とするので、その被加工体１２に転写パターン形状１６を転写するとき、被加工体１２がのびることなく、バリなどを発生せずに確実に貫通する微細貫通孔１９を有する貫通孔構造体２０を製造することができる。また、転写パターン形状１６を被加工体１２に転写して少なくとも１つの構造体層１０を打ち抜くようにするので、インプリント法のみを用いて、低コストでかつ生産性の高い貫通孔構造体２０を製造することができる。
【００４７】
ここで、プレス型１５に形成される転写パターン形状１６を被加工体１２に転写するとき、その被加工体１２の複数の構造体層１０に貫通穴１８を形成し、加工後の被加工体１２の構造体層１０を剥離して微細貫通孔１９を形成するようにすると、一度の加工で複数の貫通孔構造体２０を得、貫通孔構造体２０の生産性を向上することができる。
【００４８】
被加工体１２の各構造体層１０間に分離層１３を設け、その分離層１３で分離して構造体層１０を剥離するようにすると、プレス加工後の構造体層１０の剥離を容易として貫通孔構造体２０の生産性を向上することができる。このとき、物理的に分離するようにすると、薬液やガス等の化学物質を使用せずに各構造体層１０を分離することができ、化学物質を扱う手間が省け、地球環境の保全に寄与することができる。
【００４９】
図２（Ａ）ないし（Ｅ）には、インクジェットヘッド用ノズルプレートとして使用する貫通孔構造体２０の製造方法を示す。
【００５０】
図２（Ａ）に示すように、同一材料よりなる構造体層１０を重ね合わせた多層構造の被加工体１２を用意する。図示例では、厚さが５０μｍで、大きさが３０ｍｍ角の熱可塑性ポリイミドフィルムを使用し、２層構造としてなる。両構造体層１０間には、例えば厚さ０．５μｍの銅箔層を真空蒸着法により形成して分離層１３を設ける。そして、プレス台１４上に載置する。
【００５１】
次に、図２（Ｂ）に示すように、プレスヘッド１７で保持して被加工体１２と対向し、転写パターン形状１６を有するプレス型１５を配置する。ここでは、転写パターン形状１６を形成すべく、先端径がφ２０μｍ、高さが５５μｍ程度で、テーパ加工されたピンが１００個以上形成されている。それから、被加工体１２とプレス型１５を、被加工体１２のガラス転移点以上である２８０℃まで加熱する。
【００５２】
その後、図２（Ｃ）に示すように、プレス型１５を被加工体１２にプレスする。図示例では、５０ＭＰａの圧力が転写パターン形状１６の先端に加わるように荷重を加え、その状態を５分間保持する。次いで、プレス型１５および被加工体１２を１００℃以下に冷却して硬化して後、図２（Ｄ）に示すように離型して、貫通穴１８を有する被加工体１２を形成する。
【００５３】
それから、プレス台１４上から、加工後の被加工体１２を取り出し、図２（Ｅ）に示すように、密着している２つの構造体層１０を分離層１３で分離して構造体層１０間を剥離し、微細貫通孔１９を有する１つの貫通孔構造体２０を得る。その後、その貫通孔構造体２０の外形を一定の大きさに打ち抜いて、後述するノズル孔４１を有するノズルプレート４０を形成してなる。なお、微細貫通孔１９を有しない構造体層１０Ａは、前例と同様に再利用するとよい。
【００５４】
図３には、インクジェット記録装置で用いるインクジェットヘッドを分解して示す。
図中符号３０は、エネルギ発生手段の一例として示す圧電素子である。３１は振動板であり、３２は液流路３３を有する流路板である。４０は、上述した図２に示す方法により形成したノズルプレートであり、流路板３２に重ね合わせて設けたとき液流路３３に連通する複数のノズル孔４１を並べて二列にあけてなる。
【００５５】
そして、印字時は、圧電素子３０に通電して振動板３１に振動を発生し、インクが蓄積された液流路３３から押し出すことにより、ノズルプレート４０のノズル孔４１からインク滴を吐出して飛翔し、記録媒体に印字を行う。
【００５６】
図４には、図３に示すインクジェットヘッドを使用するインクジェット記録装置の一例であるインクジェットプリンタを正面から見て示す。図５には、その一部を斜め上から見て示す。
【００５７】
図中符号５０は、筐体である。筐体５０の左右の側板５１、５２には、ガイドシャフト５３とガイド板５４を平行に掛け渡して設ける。それらガイドシャフト５３とガイド板５４で、キャリッジ５５を支持する。キャリッジ５５には、不図示の無端ベルトを取り付ける。無端ベルトは、筐体５０内の左右に設ける図示しない駆動プーリと従動プーリに掛けまわす。そして、駆動プーリの回転とともに従動プーリを従動回転して無端ベルトを走行し、キャリッジ５５を図中矢示するごとく左右に摺動自在に備える。
【００５８】
キャリッジ５５には、イエロ、シアン、マゼンタ、ブラックのインクを吐出する図３に示す構成の４色のインクジェットヘッド５６ｙ、５６ｃ、５６ｍ、５６ｂをキャリッジ５５の移動方向に並べて搭載する。各インクジェットヘッド５６は、下向きにヘッド面５６Ａを備え、各ヘッド面５６Ａに複数のノズル孔（図３に示すノズル孔４１）を有する。各ヘッド面５６Ａの複数のノズル孔４１は、キャリッジ５５の移動方向と直交する方向に、図３に示すように千鳥状に直線的に並べて形成してなる。
【００５９】
そして、キャリッジ５５を図示する左端とすると、各インクジェットヘッド５６を、筐体５０内の底板５７上に設置する回復装置５８と対向する。回復装置５８は、インク滴吐出不良のノズル孔４１からインクを吸い出し、吐出不良を回復する装置である。
【００６０】
筐体５０内の底板５７上には、回復装置５８の隣りにヘッド面清掃装置６０を設ける。ヘッド面清掃装置６０には、洗浄液供給装置７０とクリーニング装置７１を設ける。
【００６１】
ヘッド面清掃装置６０に隣接する位置には、板状のプラテン６２を設置する。そのプラテン６２の背面側には、プラテン６２上に、記録媒体である用紙６３を供給する給紙台６４を斜めに立てて設ける。また、図示省略するが、給紙台６４上の用紙６３をプラテン６２上に送り出す給紙ローラを備える。さらには、プラテン６２上の用紙６３を図５中矢示方向に搬送して正面側に排出する搬送ローラ６５を設ける。
【００６２】
筐体５０の底板５７上には、さらに右端に駆動装置６６を設置する。駆動装置６６は、不図示の給紙ローラや搬送ローラ６５などを駆動するとともに、上述した駆動プーリを駆動することにより無端ベルトを走行してキャリッジ５５を移動する。
【００６３】
そして、記録時は、駆動装置６６で駆動して用紙６３をプラテン６２上に移動し、所定位置に位置決めするとともに、キャリッジ５５を移動して用紙６３上を走査し、右方向に移動しながら４色のインクジェットヘッド５６ｙ、５６ｃ、５６ｍ、５６ｂを用いて順にそれぞれのノズル孔４１からインク滴を吐出して用紙６３上に画像を記録する。画像記録後、キャリッジ５５を左方向に戻すとともに、用紙６３を矢示方向に所定量搬送する。
【００６４】
次いで、再びキャリッジ５５を右方向に移動しながら往路で４色のインクジェットヘッド５６ｙ、５６ｃ、５６ｍ、５６ｂを用いて順にそれぞれのノズル孔４１からインク滴を吐出して用紙６３上に画像を記録する。そして、同様に画像記録後、キャリッジ５５を左方向に戻すとともに、用紙６３を矢示方向に所定量搬送する。以下同様に繰り返し、１枚の用紙６３上に画像を記録する。
【００６５】
この例では、使用によりインクジェットヘッド５６ｙ、５６ｃ、５６ｍ、５６ｂのノズル孔４１にインク詰まりが生じないように、またはインク詰まりが生じた場合にはすぐに解消するように、適宜の間隔でキャリッジ５５を左方向へと移動して回復装置５８と対向するインク詰まり回復位置とし、回復装置５８でインクジェットヘッド５６ｙ、５６ｃ、５６ｍ、５６ｂのノズル孔４１のインクを吸引してインク詰まりを解消する。
【００６６】
また、適宜の間隔でキャリッジ５５を左方向へと移動して後、戻してヘッド面清掃装置６０を通過するとき、インクジェットヘッド５６ｙ、５６ｃ、５６ｍ、５６ｂのヘッド面５６Ａに洗浄液を付着してそのヘッド面５６Ａに摺接するクリーニング部材で拭いてヘッド面５６Ａを清掃する。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】（Ａ）ないし（Ｅ）は、微細貫通孔を有する貫通孔構造体の製造方法を示す製造工程図である。
【図２】（Ａ）ないし（Ｅ）は、インクジェットヘッド用ノズルプレートとして使用する貫通孔構造体の製造方法を示す別の製造工程図である。
【図３】インクジェット記録装置で用いるインクジェットヘッドの分解図である。
【図４】図３に示すインクジェットヘッドを使用するインクジェット記録装置の一例であるインクジェットプリンタの正面図である。
【図５】そのインクジェットプリンタの一部を斜め上から見て示す斜視図である。
【図６】（Ａ）ないし（Ｃ）は、従来のナノインプリント法を用いた貫通孔構造体の製造工程図である。
【図７】（Ａ）ないし（Ｃ）は、従来のナノインプリント法を用いた別の製造工程図である。
【図８】（Ａ）ないし（Ｃ）は、ナノインプリント法を用いたインクジェットヘッド用ノズルプレートの従来の製造工程図である。
【図９】ナノインプリント法を用いたインクジェットヘッド用ノズルプレートの従来の製造工程図である。
【図１０】ナノインプリント法を用いたインクジェットヘッド用ノズルプレートの従来の別の製造工程図である。
【符号の説明】
【００６８】
１０    構造体層
１２    被加工体
１３    分離層
１４    プレス台
１５    プレス型
１６    転写パターン形状
１７    プレスヘッド
１８    貫通穴
１９    微細貫通孔
２０    貫通孔構造体
４０    インクジェットヘッド用ノズルプレート（貫通孔構造体）
４１    ノズル孔（微細貫通孔）
５６、５６ｙ、５６ｃ、５６ｍ、５６ｂ    インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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