(57)【要約】【課題】石英プレートをスライドさせることによって移送可能にして石英プレートの入れ替えを容易にする有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置を提供する。【解決手段】有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置は、有機発光素子が形成されたデバイス硝子基板と密封硝子基板との合着工程においてチャンバ内に移送される石英プレートと、前記石英プレートをチャンバ内に移送するために前記石英プレートが載せられる額縁形態の保護枠と、前記保護枠の移送を補助するスライド式移送器具が具備され、前記チャンバ内に設置される額縁形態の支持プレートと、からなる。【選択図】図２
2007042625.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機発光素子が形成された硝子基板と前記有機発光素子を密封するための硝子基板との合着工程においてチャンバ内に移送される石英プレートと、
前記石英プレートをチャンバ内に移送するために前記石英プレートが載せられる額縁形態の保護枠と、
前記保護枠の移送を補助するスライド式移送器具が具備され、前記チャンバ内に設置される額縁形態の支持プレートと、からなることを特徴とする有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項２】
前記スライド式移送器具は、
前記保護枠の移送方向に沿って設置され、前記保護枠に接触しながら前記保護枠をガイドする複数個のローラであることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項３】
前記ローラは、前記保護枠の側面に接するように前記支持プレートの上面に設置される、前記上面に垂直な軸回りに回転可能な複数の第１ローラと、  前記保護枠の下面に接するように前記支持プレートのホールの内側面に設置される、前記内側面に垂直な軸回りに回転可能な複数の第２ローラと、から構成されることを特徴とする請求項２に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項４】
前記保護枠には、前記石英プレートが載せられるように段差部が具備されることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項５】
前記保護枠の一側部にはハンドルが具備されることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項６】
前記石英プレートは、複数に分割されて設置されることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項７】
前記保護枠の上面には合着工程において基板を吸着するための複数の吸着部が設置されることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項８】
前記ローラは、カムフォロアであることを特徴とする請求項２に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項９】
有機発光素子が形成されたデバイス硝子基板と、前記有機発光素子を密封するための硝子基板との合着工程においてチャンバ内に移送される石英プレートと、
前記石英プレートのチャンバ内への設置及び取り出しが可能になるように、前記石英プレートが載せられ、前記石英プレートをスライドしながら移送する額縁形態の保護枠と、からなることを特徴とする有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項１０】
前記保護枠には、前記石英プレートが載せられるための段差部が具備されることを特徴とする請求項９に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項１１】
前記保護枠の一側部にはハンドルが具備されることを特徴とする請求項９に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項１２】
前記石英プレートは、複数に分割されて設置されることを特徴とする請求項９に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【請求項１３】
前記保護枠の上面には、前記合着工程において基板を吸着するための複数の吸着部が設置されることを特徴とする請求項９に記載の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置に関し、より詳細には、石英プレートをスライド移送可能にして石英プレートの入れ替えを容易にする有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、有機発光表示装置は電子注入電極と正孔注入電極からそれぞれ電子と正孔を発光層内部に注入し、注入された電子と正孔が結合したエキシトン（ｅｘｃｉｔｏｎ）が励起状態から基底状態に落ちる時に発光する原理を利用した発光表示装置である。
【０００３】
このような原理によって、従来の薄膜液晶表示素子とは違って、別途の光源を要しないので素子の体積と重量を小さくすることができるという長所がある。
【０００４】
前記有機発光表示装置を駆動する方式は、パッシブマトリックス型（ｐａｓｓｉｖｅ  ｍａｔｒｉｘ  ｔｙｐｅ）とアクティブマトリックス型（ａｃｔｉｖｅ  ｍａｔｒｉｘ  ｔｙｐｅ）に分けることができる。前記パッシブマトリックス型有機発光表示装置は、その構成が単純であり、かつ製造方法も単純であるが、消費電力が大きく、表示素子の大面積化が困難であり、配線の数が増加すればするほど開口率が低下するという短所がある。
【０００５】
したがって、小型の表示素子が、前記パッシブマトリックス型有機発光表示装置に適用される一方、大面積の表示素子が、前記アクティブマトリックス型有機発光表示装置に適用される。
【０００６】
しかし、従来の有機発光表示装置の有機発光層材料とカソード電極物質は耐湿性及び耐酸化性が低く、ディスプレイの動作に劣化を発生させるが、このような劣化は黒点（ｄａｒｋ  ｓｐｏｔ）と呼ばれる非発光領域を生成させる。また、時間が経つにつれて黒点領域は周りへ拡散し、結局素子全体が発光されなくなるという問題がある。
【０００７】
したがって、上記の問題を解決するために、水分及び酸素への露出を最大限防止する封止（ｅｎｃａｐｓｕｌａｔｉｏｎ）という工程を遂行するが、これは、ともに偏平なプレートからなる有機発光素子が形成されたデバイス硝子基板、及び密封硝子基板に荷重を加え、密封樹脂を利用して合着する工程である。
【０００８】
以下、添付された図面を参照して従来のデバイス硝子基板と密封硝子基板とを合着する工程について説明する。
【０００９】
図１に示したように、先ず密封硝子基板１０は石英プレート３０上に積載され、デバイス硝子基板１は石英プレート３０の上方に配置された金属製の吸着プレート２０に真空吸着される。
【００１０】
このとき、デバイス硝子基板１の主要表面に形成された有機ＥＬ表示デバイス２と密封硝子基板１０の主要表面に形成された乾燥剤層１２とが向き合うように配置される。
【００１１】
その後、図示していない移動器具によって吸着プレート２０が下降させられる。そして、デバイス硝子基板１と密封硝子基板１０の間のギャップが所定の大きさになるまで吸着プレート２０によって荷重が加えられる。
【００１２】
その後、石英プレート３０の下方に配置されたＵＶ照査装置４０によって、石英プレート３０及び密封硝子基板１０を透過して密封樹脂１３に達するＵＶの照射が行われて、密封樹脂１３が硬化されることで、デバイス硝子基板１と密封硝子基板１０の合着が行われる。
【００１３】
このようにして、デバイス硝子基板１と密封硝子基板１０とが合着され、デバイス硝子基板１に形成された有機ＥＬ表示デバイス２は外部からの水分の侵入から保護される。
【００１４】
その後、互いに合着されたデバイス硝子基板１及び密封硝子基板１０が個々の有機ＥＬ表示デバイス２ごとに切断されて、個々の有機ＥＬパネルが製作される。
【００１５】
このような合着方式には、チャンバの外に設置されたＵＶ照射装置４０のＵＶによって前記密封樹脂１３を硬化させる合着工程中の加圧に耐えることができ、かつＵＶの透過度の高い材質である石英プレート３０が使われる。
【００１６】
しかし、大型基板（第４世代級以上）の合着工程においては、圧力に耐えることができる剛性を維持する石英プレートの製作が難しく、そのため合着される基板の大きさには限界があるという問題があった。
【００１７】
また、従来、石英プレートの入れ替えの際に側面または上部に大きな物理的力が加わると、石英プレートが破損して経済的損失が発生するという問題があり、さらに、破損した石英プレートを入れ替るためには合着工程で用いられるチャンバを分解しなければならないという問題がある。
【００１８】
一方、前記従来の有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置に関する技術を記載した文献としては、下記特許文献１〜３等がある。
【特許文献１】特開第２００４−３１７８６２号明細書
【特許文献２】特開第２００３−３２３９７８号明細書
【特許文献３】特開第２００３−０１７２５７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
したがって、本発明は前記問題点を解決するために案出されたもので、その目的は、大型基板の合着工程において圧力に耐えることができる石英プレートを提供して、石英プレートの入れ替え等の維持補修作業を容易に行うことができる石英プレート支持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
前記の目的を果たすために、本発明によれば、有機発光素子が形成されたデバイス硝子基板と、前記有機発光素子を密封するための密封硝子基板との合着工程においてチャンバ内に移送される石英プレートと、前記石英プレートをチャンバ内に移送するために前記石英プレートが載せられる額縁形態の保護枠と、前記保護枠の移送を補助するスライド式移送器具が具備され、前記チャンバ内に設置される額縁形態の支持プレートと、から構成される有機発光表示装置製造用石英プレート支持装置が提供される。
【００２１】
ここで、前記スライド式移送器具は前記保護枠の移送方向に沿って設置され、前記保護枠に接触しながら前記保護枠をガイドする複数個のローラであることが望ましく、前記ローラは前記保護枠の側面に接するように前記支持プレートの上面に設置される、前記上面に垂直な軸回りに回転可能な複数の第１ローラと、前記保護枠の下面に接するように前記支持プレートのホールの内側面に設置される、前記内側面に垂直な軸回りに回転可能な複数の第２ローラと、から構成されることができる。
【００２２】
また、前記保護枠には前記石英プレートが載せられることができるように段差部が具備されることが望ましく、その一側部には使用者が容易に保護枠を移送できるようにハンドルが具備される。
【００２３】
前記石英プレートは複数に分割されて設置することができ、２個に分割されて設置されることが望ましい。
【００２４】
また、前記保護枠の上面には合着工程において基板を吸着するための複数の吸着部を設置することが可能であり、前記ローラはカムフォロア（Ｃａｍ  Ｆｏｌｌｏｗｅｒ）であることが望ましい。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように、本発明によれば有機発光素子が形成されたデバイス硝子基板と、前記有機発光素子を密封するための密封硝子基板との合着工程において、チャンバに石英プレートをスライドさせて移送することができるので、石英プレートを入れ替えるために合着工程チャンバを分解しなければならないという従来技術の不便さを解消し、石英プレートの破損の虞を減らし、石英プレートの入れ替え等の維持補修作業の利便性を高めるという效果がある。
【００２６】
また、大型基板の合着工程において、圧力に耐えることができる剛性を維持する石英プレートを提供することができるので、大型基板の合着工程に適用することができるという效果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態について、本発明の属する技術分野において通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。
【００２８】
添付した図２は、本発明の石英プレート支持装置を図示した斜視図であり、本発明の支持装置は、有機発光素子が形成されたデバイス硝子基板と密封硝子基板との合着工程においてチャンバ（図示せず）内に移送・設置される石英プレート１００（当業界では通常Ｑｕａｒｔｚという）と、前記石英プレート１００をチャンバ内に移送するために前記石英プレート１００が載せられる額縁形態の保護枠１１０と、前記保護枠１１０の移送を補助するスライド式移送器具が具備され、前記チャンバ内に設置される額縁形態の支持プレート１２０と、から構成される。
【００２９】
前記石英プレート１００は、前記合着工程において、チャンバの外に設置されたＵＶ照射装置のＵＶ線によって密封樹脂を硬化させるときに設置されるもので、本発明の石英プレート１００は、チャンバ内に固定されており入れ替えの際にチャンバを分解しなければならない従来の石英プレートとは違って、前記額縁形態の保護枠１１０に載せられた状態でチャンバ内に移送されるので設置及び取り出しが容易な構造を持つ。
【００３０】
前記保護枠１１０は、前記石英プレート１００を透過してＵＶの照射が行われるように、前記石英プレート１００が置かれる中央部分にホールが形成された額縁形態で構成され、前記ホールは前記石英プレート１００がその上に置かれることができるように石英プレート１００より小さく形成される。
【００３１】
また、図５を参照すれば、前記保護枠１１０には、前記石英プレート１００が載せられることが可能であり、載せられた石英プレート１００が安定的に固定されるように前記ホール１１３には段差部１１２が形成される。
【００３２】
前記段差部１１２の大きさは具体的に限定されず、前記石英プレート１００の大きさに応じて異なった大きさで形成されることができる。
【００３３】
また、前記保護枠１１０の上面には合着工程において基板を吸着するための吸着部１１１が複数設置されることができる。前記吸着部１１１は図面から分かるように、石英プレート１００の外周を取り囲むように設置されることが望ましい。また、前記保護枠１１０の上面の、前記石英プレート１００の長手方向の中央部に対応する位置にはガラス基板の心出しのためのセンタリング装置１１６が設置される。
【００３４】
図３から分かるように、このような前記保護枠１１０は、前記石英プレート１００を載せた状態でチャンバ内に移送されて、前記石英プレート１００のチャンバ内への設置及び取り出しを行う。
【００３５】
また、作業者が前記保護枠１１０を手動で容易に移送することができるように、前記保護枠１１０の一側部にはハンドル１１５が具備される。
【００３６】
一方、前記支持プレート１２０は、チャンバ内に設置され、前記石英プレート１００を透過してＵＶの照射がなされるように、前記保護枠１１０と同様に前記石英プレート１００が置かれる中央部分にホール１２１（図４参照）が形成された額縁形態で構成され、前記保護枠１１０の移送を補助するためのスライド式移送器具が具備される。
【００３７】
本発明の一実施形態においては、前記スライド式移送器具として、前記保護枠１１０の移送方向に沿って設置され、前記保護枠１１０に接触しながら保護枠１１０の移送をガイドする複数のローラが提案される。
【００３８】
前記ローラは前記保護枠１１０の側面に接するように前記支持プレート１２０の上面に設置される、前記上面に垂直な軸回りに回転可能な複数の第１ローラ１２２ａと、前記保護枠１１０の下面に接するように前記支持プレート１２０のホール１２１の内側面に設置される、前記内側面に垂直な軸回りに回転可能な複数の第２ローラ１２２ｂと、から構成される。
【００３９】
すなわち、前記第１ローラ１２２ａは、前記保護枠１１０が前記支持プレート１２０の上面に置かれて移送される時に、前記保護枠１１０の側面に接するように位置し、前記保護枠１１０の移送が円滑になされるようにスライドさせる役割を果たす。
【００４０】
これと同時に、図４から分かるように、第２ローラ１２２ｂは、前記保護枠１１０の下面に接するように位置し、前記保護枠１１０の移送が円滑になされるようにスライドさせる役割を果たすので、保護枠１１０の移送がより円滑になされる。
【００４１】
ここで、前記ローラは、カム器具や直線運動のガイドローラとして利用されるカムフォロアを適用することが一番望ましい。カムフォロアはコンパクトで、剛性の高いシャフト付きのベアリングであり、外輪は直接相手面と接触しながら回転運動をするため、衝撃荷重にも耐えられるように肉厚が大きく設計されている。
【００４２】
このような本発明の石英プレート支持装置においては、石英プレート１００が、それを支持する保護枠１１０と一緒に移動するので石英プレート１００の入れ替えが容易である。
【００４３】
また、前記支持プレート１２０の上面及び内側面にローラが設置されているので、石英プレート１００の入れ替えをより容易にして維持補修の容易性を高めることができる。
【００４４】
また、従来の技術では石英プレート１００上に位置するＵＶマスクの入れ替えの際の重量及び大きさによる問題点、及びチャンバ内の空間が小さいことによる問題点があったが、本発明のローラを利用した石英プレート１００の優れた移動性により、石英プレート１００上に位置するＵＶマスクの入れ替えが容易になり、ＵＶマスクの入れ替えの際の作業者のミスによる石英プレートの損傷が防止される。
【００４５】
添付した図５は本発明の石英プレート支持装置を図示した分解斜視図である。
【００４６】
前記石英プレート１００は複数に分割されて設置することができるが、前記石英プレート１００ａ、１００ｂを示す図５から分かるように、２個に分割されて設置することが一番望ましい。
【００４７】
このように石英プレート１００ａ、１００ｂを２分割で製作すれば、７０ｔ以上の加圧に耐えることができる構造が実現可能であり、入れ替え作業の容易性による製作納期の短縮、及び経済性の向上という利点がある。
【００４８】
以上、添付した図面を参照して本発明について詳細に説明したが、これは例示的なものに過ぎず、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるということを理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】従来の有機発光表示装置の封止のための構造を図示した概路図である。
【図２】本発明の石英プレート支持装置を図示した斜視図である。
【図３】本発明の石英プレート支持装置を図示した斜視図である。
【図４】本発明の石英プレート支持装置を図示した底面図である。
【図５】本発明の石英プレート支持装置を図示した分解斜視図である。
【符号の説明】
【００５０】
１００    石英プレート、
１１０    保護枠、
１１２    段差部、
１１３    ホール、
１１５    ハンドル、
１２０    支持プレート、
１２２ａ    第１ローラ、
１２２ｂ    第２ローラ。
【図１】
2007042625.tif 000003
【図２】
2007042625.tif 000004
【図３】
2007042625.tif 000005
【図４】
2007042625.tif 000006
【図５】
2007042625.tif 000007