(57)【要約】【課題】空気清浄ユニットにおいて、定期的に交換が必要なケミカルフィルタの交換をクリーン空間に入らずに、かつ、塵埃除去フィルタを外すことなく行えることを目的とする。【解決手段】ファン１とモーター２のファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、その下方にケミカルフィルタ５および塵埃除去フィルタ６を設け、塵埃除去フィルタ６のフレームに両側面に支持ステー１２が固定され、チャンバー４の両側面には受け金具１７が固定され、支持ステー１２を昇降ねじ１４がねじ貫通され、ねじの上端には駆動ハンドル１６、下端には昇降金具１５が配置される。駆動ハンドル１６を回して昇降金具１５を上方に移動し、受け金具１７を介してチャンバー４を上方に持ち上げることにより、ファンユニット３とケミカルフィルタ５と塵埃除去フィルタが分離し、ケミカルフィルタ５を引き出すことができる。【選択図】図１
2007278658.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記塵埃除去フィルタの両側面に支持ステーを備え、前記チャンバーの天面両端に受け金具を備え、前記支持ステーをねじ貫通する昇降ねじと昇降金具と駆動ハンドルで駆動部を構成し、前記駆動部を上下することにより、前記受け金具を介してチャンバーの位置を上下させ前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置。
【請求項２】
前記支持ステーに前記受け金具の動きを制約するガイドを持ったことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項３】
前記支持ステーにケミカルフィルタスライドガイドを持ったことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項４】
前記支持ステーを前記塵埃除去フィルタフレームに直接固定ことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項５】
駆動ハンドル部を六角頭または六角穴としたことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項６】
前記支持ステーに空気清浄ユニット固定金具を兼用させたことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項７】
前記支持ステーに空気清浄ユニット天吊り金具を兼用させたことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項８】
前記ケミカルフィルタに引き抜き取っ手を装着させたことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用される空気清浄ユニットのフィルタ交換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットのフィルタ交換装置は、クリーンルーム内側方向からアプローチして着脱可能に構成している（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−８４３２６号公報（段落００２９〜００３０、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のフィルタ交換装置ではクリーンな環境を保つべきクリーン空間内に人が入ってケミカルフィルタの交換作業をおこなうことになり、内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。
【０００４】
また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内のメンテナンススペースの確保が困難なため、クリーン空間の中に入らず、ケミカルフィルタを交換できることが要求されている。
【０００５】
また、ケミカルフィルタの交換作業についても製造装置等の稼動時間に制約を与えるために、可能な限り短時間で行なえることが要求されている。
【０００６】
また、ケミカルフィルタを交換する際に外部空間からクリーン空間へ塵埃の侵入する課題があるため、塵埃除去フィルタを外さずにケミカルフィルタの交換をおこなうことが要求されている。
【０００７】
本発明は、このような従来のフィルタ交換装置の課題を解決するものであり、クリーン空間に入ることなくケミカルフィルタの交換ができ、また、短時間に外部の塵埃をクリーン空間内に侵入させることなく交換がおこなえるフィルタ交換装置を提供する事を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のフィルタ交換装置は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記塵埃除去フィルタの両側面に支持ステーを備え、前記チャンバーの天面両端に受け金具を備え、前記支持ステーをねじ貫通する昇降ねじと昇降金具と駆動ハンドルで駆動部を構成し、前記駆動部を上下することにより、前記受け金具を介してチャンバーの位置を上下させ前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置である。
【０００９】
上記構成により、前記駆動ハンドルで前記昇降ねじを回転させ、前記支持ステーを固定側として駆動部を上昇させ、駆動部の構成部材である昇降金具が前記受け金具を介してチャンバーを持ち上げ、前記ケミカルフィルタをチャンバーから分離させてケミカルフィルタをスライドして取り出せるようにしたものである。
【００１０】
また、他の手段は、前記支持ステーに前記受け金具の動きを制約するガイドを持つことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１１】
上記構成により、支持ステーに受け金具ガイドを設け受け金具が垂直のみに移動させ、さらに最上部まで移動したとき受け金具を介してチャンバーを水平に保持するようにし、ケミカルフィルターの交換を容易にしたものである。
【００１２】
また、他の手段は、前記支持ステーにケミカルフィルタスライドガイドを持ったことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１３】
上記構成により、支持ステーにケミカルフィルタガイドを設けスライド位置を規制し、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００１４】
また、他の手段は、前記支持ステーを前記塵埃除去フィルタフレームに直接固定ことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１５】
上記構成により、塵埃除去フィルタのフレーム側面溝部に支持ステー受け金具を挿入し、支持ステーを直接塵埃除去フィルタに装着可能としたものである。
【００１６】
また、他の手段は、駆動ハンドル部を六角頭または六角穴としたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１７】
上記構成により、駆動ハンドル部を六角頭または六角穴とし、ラチェットレンチを使用してチャンバーを短時間で上下出来るようにしたものである。
【００１８】
また、他の手段は、支持ステーに空気清浄ユニット固定金具を兼用させることを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１９】
上記構成により、支持ステーに空気清浄ユニット固定用の穴加工を追加し固定金具としての機能を付加したものである。
【００２０】
また、他の手段は、支持ステーに空気清浄ユニット天吊り金具を兼用させたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２１】
上記構成により、支持ステーに空気清浄ユニット天吊り用の穴加工を追加し天吊り金具としての機能を付加したものである。
【００２２】
また、他の手段は、ケミカルフィルタに引き抜き取っ手を固定させたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２３】
上記構成により、ケミカルフィルタのフレーム側面溝部に取っ手受け金具を挿入し、取っ手を直接ケミカルフィルタを装着し交換を容易にしたものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記塵埃除去フィルタの両側面に支持ステーを備え、前記チャンバーの天面両端に受け金具を備え、前記支持ステーをねじ貫通する昇降ねじと昇降金具と駆動ハンドルで駆動部を構成し、前記駆動部を上下することにより、前記受け金具を介してチャンバーの位置を上下させ前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せるようにしたことによりクリーン空間に入ることなくケミカルフィルタの交換が可能になる効果が得られる。
【００２５】
また、本発明によれば、支持ステーに前記受け金具の動きを制約するガイドを持つことにより、チャンバーの昇降がスムーズに行えるという効果が得られる。
【００２６】
また、本発明によれば、支持ステーにケミカルフィルタスライドガイドを持つことにより、ケミカルフィルタの装着位置が正確になるという効果が得られる。
【００２７】
また、本発明によれば、支持ステーを塵埃除去フィルタフレームに直接固定することにより、支持ステーを支える固定枠が不要となり空気清浄ユニットがコンパクトになるという効果が得られる。
【００２８】
また、本発明によれば、駆動ハンドル部を六角頭または六角穴とすることにより、ラチェットレンチでスピーディに交換作業が行えるという効果が得られる。
【００２９】
また、本発明によれば、支持ステーに空気清浄ユニット固定金具を兼用させたことにより、専用の固定金具を装備せずに据付固定できるという効果が得られる。
【００３０】
また、本発明によれば、支持ステーに空気清浄ユニット天吊り金具を兼用させたことにより、専用の天吊り金具を装備せずに天吊り設置できるという効果が得られる。
【００３１】
また、本発明によれば、ケミカルフィルタに引き抜き取っ手を装着することにより、ケミカルフィルタの交換が容易にできるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記塵埃除去フィルタの両側面に支持ステーを備え、前記チャンバーの天面両端に受け金具を備え、前記支持ステーをねじ貫通する昇降ねじと昇降金具と駆動ハンドルで駆動部を構成し、前記駆動部を上下することにより、前記受け金具を介してチャンバーの位置を上下させ前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せるフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタを容易に交換できるという作用を有する。
【００３３】
また、本発明の請求項２記載の発明は、支持ステーに前記受け金具の動きを制約するガイドを持つフィルタ交換装置であり、チャンバーの昇降がスムーズに行えるという作用を有する。
【００３４】
また、本発明の請求項３記載の発明は、支持ステーにケミカルフィルタスライドガイドを持つフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタの装着位置が正確になるという作用を有する。
【００３５】
また、本発明の請求項４記載の発明は、支持ステーを塵埃除去フィルタフレームに直接固定するフィルタ交換装置であり、支持ステーを支える固定枠が不要となり空気清浄ユニットがコンパクトになるという作用を有する。
【００３６】
また、本発明の請求項５記載の発明は、駆動ハンドル部を六角頭または六角穴とするフィルタ交換装置であり、ラチェットレンチでスピーディに交換作業が行えるという作用を有する。
【００３７】
また、本発明の請求項６記載の発明は、支持ステーに空気清浄ユニット固定金具を兼用させたフィルタ交換装置であり、専用の固定金具を装備せずに据付固定できるという作用を有する。
【００３８】
また、本発明の請求項７記載の発明は、支持ステーに空気清浄ユニット天吊り金具を兼用させたフィルタ交換装置であり、専用の天吊り金具を装備せずに天吊り設置できるという作用を有する。
【００３９】
また、本発明の請求項８記載の発明は、ケミカルフィルタに引き抜き取っ手を装着したフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタの交換が容易にできるとい作用を有する。
【００４０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００４１】
（実施の形態１）
本発明の第１の実施の形態による空気清浄ユニットは、図１に示すように、ファン１とモーター２のファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、その下方にケミカルフィルタ５および塵埃除去フィルタ６を設けられる。また、チャンバー４とケミカルフィルタ５のシールをするケミカルフィルタ上面パッキン７、ケミカルフィルタ５と塵埃除去フィルタ６をシールする塵埃除去フィルタ上面パッキン８、塵埃除去フィルタ６と設置枠１０をシールする塵埃除去フィルタ下面パッキン９を備えている。ケミカルフィルタ５、塵埃除去フィルタ６は両側面に断面Ｃ字状のフレームフランジ４１を備えている。さらに、略Ｌ字状の支持ステー１２の先端にＴ字状の固定金具１１を有している。支持ステー１２の他方には昇降ねじ１４が貫通される。昇降ねじ１４には駆動ハンドル１６と昇降金具１５を備えている。支持ステー１２は、塵埃除去フィルタ６のフレーム両側面のフレームフランジ４１と固定金具１１によって固定される。また、チャンバー４の天面両端には受け金具１７が固定される。昇降金具１５は回動可能に受け金具１７に取り付けられる。支持ステー１２を昇降ねじ１４がねじ貫通され、ねじの上端に駆動ハンドル１６下端に昇降金具１５が配置される。
【００４２】
上記構成において、駆動ハンドル１６を回すことにより昇降ねじ１４の作用により昇降金具１５が上方に移動し、受け金具１７を介してチャンバー４を上方に持ち上げる。従って、ファンユニット３とケミカルフィルタ５と塵埃除去フィルタ６が分離し、ケミカルフィルタ５を引き出すことができる。
【００４３】
（実施の形態２）
図２に示すように支持ステー１２の天面両端にガイド２１を設け、支持ステー１２天面と受け金具１７が面接触するように配置する。
【００４４】
上記構成において、支持ステー１２の内側を受け金具１７がガイド２１に添って垂直に移動し、最上部で受け金具１７と支持ステー１２が密着しチャンバー４を水平状態に保持することができる。
【００４５】
（実施の形態３）
図３に示すように支持ステー１２にフィルタガイド１８を固定し、フィルタガイド１８がケミカルフィルタ５の側面および背面に沿うように配置する。
【００４６】
上記構成において、ケミカルフィルタ５を交換するとき、フィルタガイド１８が幅方向および奥行きの位置決めとして働き、正確に装着することができる。
【００４７】
（実施の形態４）
図４に示すように、塵埃除去フィルタ６のフレームフランジ４１をはさんで固定金具１１と支持ステー１２を対に配置する。
【００４８】
上記構成において、支持ステー１２側からねじ４２により固定金具１１を引き寄せフレームフランジ４１をはさみこむことにより支持ステー１２と塵埃除去フィルタ６を締結することができる。
【００４９】
（実施の形態５）
図５に示すように、昇降ねじ１４頂部が六角頭５１の形状となっている。
【００５０】
上記構成により、ラチェットレンチ５２で昇降ねじ１４を回転させ、短時間でチャンバー４を昇降することができる。
【００５１】
（実施の形態６）
図６に示すように、支持ステー１２の下端を曲げ、曲げ部に固定用穴６１を開けている。
【００５２】
上記構成により、専用固定金具を装備することなく支持ステーの固定穴で空気清浄ユニットを固定することができる。
【００５３】
（実施の形態７）
図７に示すように支持ステー１２の上端に天吊り用穴７１を開けている。
【００５４】
上記構成により、専用天吊り金具を装備することなく支持ステーの天吊り穴で空気清浄ユニットを天吊り設置することができる。
【００５５】
（実施の形態８）
図８に示すようにケミカルフィルタ５のフレームフランジ４１をはさんで固定金具１１と取っ手８１を対に配置する。
【００５６】
上記構成において、取っ手８１側からねじ４２により固定金具１１を引き寄せフレームフランジ４１をはさみこむことにより取っ手８１とケミカルフィルタ５を締結することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
以上のように本発明によれば、塵埃除去フィルタの両側面に支持ステーを有し、チャンバーの天面両端に受け金具と駆動ハンドルを有し、駆動ハンドルを回すことによりチャンバーを持ち上げることで、ケミカルフィルタがファンユニットおよび塵埃除去フィルタから分離され、容易にケミカルフィルタの交換ができ、クリーンルーム内で用いられる空気清浄ユニットのフィルタ交換装置の用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示す正面図
【図２】本発明の実施の形態２の構成を示す側面図（部分）
【図３】本発明の実施の形態３の構成を示す斜視図
【図４】本発明の実施の形態４の構成を示す正面図（部分断面図）
【図５】本発明の実施の形態５の構成を示す正面図（部分）
【図６】本発明の実施の形態６の構成を示す正面図
【図７】本発明の実施の形態７の構成を示す正面図
【図８】本発明の実施の形態８の構成を示す側面図（部分断面図）
【図９】本発明の実施の形態８の構成を示す斜視図
【符号の説明】
【００５９】
１    ファン
２    モーター
３    ファンユニット
４    チャンバー
５    ケミカルフィルタ
６    塵埃除去フィルタ
７    ケミカルフィルタ上面パッキン
８    塵埃除去フィルタ上面パッキン
９    塵埃除去フィルタ下面パッキン
１０  設置枠
１１  固定金具
１２  支持ステー
１３  固定ナット
１４  昇降ねじ
１５  昇降金具
１６  駆動ハンドル
１７  受け金具
１８  フィルタガイド
２１  ガイド
４１  フレームフランジ
４２  ねじ
５１  六角頭
５２  ラチェットレンチ
６１  固定用穴
７１  天吊り用穴
８１  取っ手
【図１】
2007278658.tif 000003
【図２】
2007278658.tif 000004
【図３】
2007278658.tif 000005
【図４】
2007278658.tif 000006
【図５】
2007278658.tif 000007
【図６】
2007278658.tif 000008
【図７】
2007278658.tif 000009
【図８】
2007278658.tif 000010
【図９】
2007278658.tif 000011