(57)【要約】【課題】加工物の切断時の装置制御が的確に行え、加工終了間際の装置振動による加工物の破損を防止でき、ワイヤコストやダミー部材のコスト低減が可能になるワイヤソーを提供する。【解決手段】複数本のワークローラ２０間にワイヤを多数回巻回したワイヤ列のワイヤ３を高速で往復動又は一方走行させ、切断テーブル３１にダミー部材３２を介して取付けた加工物Ａを前記ワイヤ列に押し当て、この加工物Ａを多数枚に切り出すワイヤソーにおいて、前記加工物Ａのダミー部材３２に、加工物Ａの長さ方向に沿って、加工物Ａの中央部軸線上に該当する位置と、ダミー部材３２の幅方向の端部近傍の位置とに、ワイヤ列のワイヤ３を検知する検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃを設け、各検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃでワイヤ列のワイヤ３の接触を独立して検知する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数本のワークローラ間にワイヤを多数回巻回してワイヤ列を形成し、このワイヤ列のワイヤを高速で往復動又は一方走行させ、切断テーブルにダミー部材を介して取付けた加工物を前記ワイヤ列に押し当て、この加工物を多数枚に切り出すワイヤソーにおいて、前記加工物のダミー部材に、加工物の長さ方向に沿って、加工物の中央部軸線上に該当する位置と、ダミー部材の幅方向の少なくとも一方の端部近傍の位置とに、ワイヤ列のワイヤ検知センサを設け、各検知センサでワイヤ列のワイヤの接触を独立して検知するようにしたことを特徴とするワイヤソー。
【請求項２】
上記請求項１に記載のワイヤソーにおける検知センサが導通ワイヤを用いて形成され、この導通ワイヤを上記ダミー部材に設けた溝や貫通孔に収納し、前記導通ワイヤに電圧を印加することにより、ワイヤ列のワイヤによる導通ワイヤの断線を電気的に検出するようにしたことを特徴とするワイヤソー。
【請求項３】
上記請求項１に記載のワイヤソーにおける検知センサが検知ワイヤを用いて形成され、この検知ワイヤを上記ダミー部材に設けた溝や貫通孔に緊張状態で収納し、前記検知ワイヤに張力検出部材を接続し、検知ワイヤにワイヤ列のワイヤが接触して生じる検知ワイヤの張力変動を張力検出部材で電気的に検出するようにしたことを特徴とするワイヤソー。
【請求項４】
複数本のワークローラからなるワークローラ群を、ワークローラの軸心と平行な軸心を中心に往復回転が付与される回動部材に取付け、ワーク切断時に回動部材を往復回転させてワークローラ間のワイヤを揺動させる揺動機構を設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかの項に記載のワイヤソー。
【請求項５】
ダミー部材の幅方向の端部近傍に設けた検知センサにてワイヤを検知した後、ワイヤソーの切断条件を変更する制御を行うようにしたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかの項に記載のワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、走行させたワイヤ列に加工物を押し当てて切断するワイヤソー、更に詳しくは、加工物の切断終了間際で的確にワイヤソーの動作を制御することができるようにしたワイヤソーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来からワイヤソーにおいては、複数本のワークローラに巻回されたワイヤ列に加工物を押し当て、ワイヤ列の加工物切断部分の近傍にＳｉＣ、ダイヤモンド等の硬質砥粒を含有するスラリー液を供給しながら切断する遊離砥粒ワイヤソーと、ワイヤに砥粒を樹脂や電着等で固定し、加工物の切断位置近傍に冷却液を供給しながら切断する固定砥粒ワイヤソーがある。
【０００３】
これらのワイヤソーは、供給リールから供給されたワイヤを張力機構を介して、複数本のワークローラに巻回し、回収側の張力機構を経て回収リールに巻き取られるようになっている。
【０００４】
また、従来のワイヤソーには、ワイヤ列を揺動させることにより、加工物へのワイヤの接触を円弧状に行い、接触抵抗を弱めて加工能力を増大させる揺動機構を搭載したワイヤソーもある。
【０００５】
このワイヤ列の揺動は、上記複数本のワークローラを支持するスピンドルを揺動円盤上に設け、この揺動円盤をスピンドルの回転とは別の適宜な駆動源で一定角度の往復回転させることで行われ、ワイヤを巻回し、ワイヤ列を形成する際には揺動円盤を全回転させることになる。
【０００６】
これらのワイヤソーは、図１１（ａ）のように、上下動する切断テーブル１の下部に、例えばカーボン、ガラス部材、セラミックス等からなるダミー部材２を用いて加工物Ａを取付け、上記のように、加工物Ａがワイヤ列のワイヤ３に押し当てられ、ワイヤ３が撓みながら加工物が切断される。この時、予め加工物Ａの大きさとワイヤ３の加工終了間際の撓みを考慮して切断テーブル１の移動量（加工物Ａの大きさ＋ダミー部材２の切り込み量）を設定しておき、そのデータ位置まで切断テーブル１が移動しながら加工物Ａ及び、この加工物Ａを切断テーブル１に固定するダミー部材２を切断することになる。
【０００７】
ところで、上記のようなワイヤソーにおいては、切断時の負荷により、加工部分のワイヤ３が撓み、加工物Ａの切断終了部付近が完全に切断されていない状態になる場合があった。
【０００８】
このような状態でワイヤソーを停止させると、加工物Ａが枚葉状に分離されないばかりか、再度ワイヤソーの運転を開始しても、加工精度（平面度、厚み、表面の傷等）が悪くなるという問題がある。
【０００９】
そこで、加工物Ａが完全に切断されたかを検知すべく、図１２（ａ）のように、加工物Ａを固定するダミー部材２の幅方向中央部に溝４を設け、この溝４内に検知棒５を納め、ワイヤ列のワイヤ３が検知棒５と接触することで、通電状態から加工物Ａの切断完了を検知することが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【００１０】
また、加工物Ａとダミー部材２の間に導通した金属板を設け、ワイヤ列のワイヤ３が金属板を切断することで、加工物Ａの切断完了を検知することが行われている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平８−１１２７４８号公報
【特許文献２】実開平１−１４３３４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、従来から、ワイヤソーにおいては、加工物Ａの切断終了間際又は切断完了時におけるダミー部材２の切断時には、加工物Ａとダミー部材２とが薄く切断されて接着代が少なくなっており、接着剤が剥がれやすくなっているためにワイヤ３の高速走行や揺動動作等による装置の振動が加工物Ａに伝わると、加工物Ａがダミー部材２から剥がれ、ワイヤ列に巻き込んだりするという問題がある。
【００１２】
このようにワイヤ列に加工物Ａを巻き込むと、全ての加工物が破損するだけでなく、ワークローラや装置まで破損する場合がある。そこで、切断終了間際付近においては、加工物Ａに伝わる装置の振動を極力少なくする必要がある。
【００１３】
しかし、従来の特許文献１で示した方法は、加工物Ａの切断開始点と切断完了点の判断はできるものの、切断終了間際の切断状態を正確に把握することができず、切断終了間際における装置の振動を防止するための切断条件を変更するタイミングが、切断テーブル１の位置データからの経験上でしか設定できないため、加工物Ａの巻き込みを的確に防止できないという問題がある。
【００１４】
また、揺動機構を有したワイヤソーは、図１２（ｂ）のように、ワイヤ列が左右に往復傾動しながら加工物Ａを切断するために、加工物Ａの両側が早く切断され、中央部が遅れて切断される傾向が、揺動機構のないワイヤソーに比べて大きいことになる。
【００１５】
このため、加工物Ａの切り込み量（切断テーブル移動量に相当）を多く設定しなければ中央部の切断が完全に行われないことになる。
【００１６】
また、加工物Ａの切り込み量を多くしていった場合、特に揺動角度が大きい場合、傾動したワイヤ３が切断テーブル１に接触する場合がある。
【００１７】
従って、揺動機構を有するワイヤソーでは、揺動を行わずに切断する場合に対して、ダミー部材２を厚く設定しなければならず、ダミー部材２のコストが高くなるという問題や切断テーブル１が切断され、装置が損傷するという問題があった。
【００１８】
しかし、特許文献１における方法は揺動機構によるワイヤ列の揺動は考慮されていないため、特許文献１の方法を適用しても上記の問題を解決することはできなかった。
【００１９】
更に、ワイヤソーには、ワイヤ列の下部から加工物を押し当てて切断するアッパーカット方式と、ワイヤ列の上部から加工物を押し当てて切断するダウンカット方式があるが、このダウンカット方式においては、図１１のように、加工物Ａが宙吊りの状態になっており、図１１（ｂ）のように、切断終了間際になると、スラリ液６が切断した加工物Ａ間に溜まり、枚葉状の加工物同士が表面張力で貼り付き始める。
【００２０】
この状態で揺動動作やワイヤ高速走行を続けると、装置の僅かな振動が加工物Ａに伝わり、図１１（ｃ）のように、貼り付いた加工物Ａの重みと装置の振動で加工物Ａが割れて落下してしまうという問題があり、加工終了付近では極力装置の振動を減らす必要がある。
【００２１】
また、加工物Ａの切断が完了すれば、切断精度を要求しないダミー部材２の切断となるにも関わらず、従来は、切断終了間際の切断状況の把握は経験的なものであり、加工物切断と同じ条件のまま、即ち、新しいワイヤを供給しながら切断していたので、特に固定砥粒の高価なワイヤを使用する場合コストが高くつくことになり、しかも、加工時間が長くなって装置稼働率が低下するという問題があった。
【００２２】
そこで、この発明の課題は、上記した問題点を解決するため、加工物の切断時の装置制御が的確に行え、加工終了間際の装置振動による加工物の破損を防止でき、揺動動作時の装置破損も防止でき、更にワイヤコストやダミー部材のコスト低減が可能になるワイヤソーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記の課題を解決するため、この発明は、複数本のワークローラ間にワイヤを多数回巻回してワイヤ列を形成し、このワイヤ列のワイヤを高速で往復動又は一方走行させ、切断テーブルにダミー部材を介して取付けた加工物を前記ワイヤ列に押し当て、この加工物を多数枚に切り出すワイヤソーにおいて、前記加工物のダミー部材に、加工物の長さ方向に沿って、加工物の中央部軸線上に該当する位置と、ダミー部材の幅方向の少なくとも一方の端部近傍の位置とに、ワイヤ列のワイヤ検知センサを設け、各検知センサでワイヤ列のワイヤの接触を独立して検知するようにした構成を採用したものである。
【００２４】
上記検知センサが導通ワイヤを用いて形成され、この導通ワイヤを上記ダミー部材に設けた溝や貫通孔に収納し、前記導通ワイヤに電圧を印加することにより、ワイヤ列のワイヤによる導通ワイヤの断線を電気的に検出するようにしたり、上記検知センサが検知ワイヤを用いて形成され、この検知ワイヤを上記ダミー部材に設けた溝や貫通孔に緊張状態で収納し、前記検知ワイヤに張力検出部材を接続し、検知ワイヤにワイヤ列のワイヤが接触して生じる検知ワイヤの張力変動を張力検出部材で電気的に検出するようにした構造とすることができる。
【００２５】
ここで、上記ワイヤ列のワイヤ検知センサは、ダミー部材に、加工物の長さ方向に沿って、加工物の中央部軸線上に該当する位置と、ダミー部材の幅方向の少なくとも一方端部近傍の位置の二箇所に設ければよく、また、上記張力検出部材としては、ロードセルを用いることができる。
【００２６】
また、上記ワイヤソーにおいて、複数本のワークローラからなるワークローラ群を、ワークローラの軸心と平行な軸心を中心に往復回転が付与される回動部材に取付け、ワーク切断時に回動部材を往復回転させてワークローラ間のワイヤを揺動させる揺動機構を設けるようにすることもできる。
【００２７】
更に、上記ワイヤソーにおいて、ダミー部材の幅方向の端部近傍に設けた検知センサにてワイヤを検知した後、ワイヤソーの切断条件を変更する制御を行うようにすることもできる。
【００２８】
ここで、ダミー部材の幅方向の端部近傍に設けた検知センサにてワイヤを検知した時は加工物の切断終了間際であり、この後のワイヤソーの切断条件の変更とは、例えば、切断テーブルの速度変更や停止、ワイヤの走行速度の低減、ワイヤの供給量、ワイヤの供給方向の逆転等であり、また、揺動機構を設けたワイヤソーにおいては、揺動速度、左右の揺動角度、揺動の有無等を変更することである。
【発明の効果】
【００２９】
この発明によると、切断テーブルに加工物を取付けるダミー部材に複数本の検知センサを独立して検知可能に設けたので、加工物の切断時にどの部分を切断しているのかの判断が自動的に行え、装置の制御を的確に行える。
【００３０】
また、ダミー部材の加工物端部の少なくとも一方に検知センサを設けることにより、揺動機構を停止させるタイミングを検知でき、加工終了間際の装置振動による加工物の破損を防止できる。
【００３１】
更に、加工物とダミー部材の切断か、あるいはダミー部材のみの切断かが自動的に検知でき、ワイヤの供給量を調整できるため、ワイヤの撓み戻り待ちの間のワイヤコストを低減できる。しかも、ダミー部材のみの切断と検知すれば加工精度に関係なくなるため、ワイヤの逆転走行等（例えばワイヤの供給を逆転させ一度使用したワイヤを供給する）も行え、ワイヤコストの低減が図れる。
【００３２】
また、揺動機構を使用しても、必要以上にダミー部材の厚みを厚くする必要がなく、ダミー部材のコストを低減できるとともに切断テーブルを誤って切断することが防止でき、装置の損傷を防止できる。
【００３３】
特に、揺動機構を使用した場合に、ダミー部材に対する切り込み代を必要最低限に設定でき、切断時間を短縮できるだけでなく、ワイヤ使用量の低減につながる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、この発明の実施の形態を図示例に基づいて説明する。
【００３５】
図１は、揺動機構を使用したワイヤソーの全体構造を示し、供給側リール１１から引き出したワイヤ３は、モータ１２によって駆動される供給側トラバーサ１３と、複数のガイドプーリ１４を介してモータ１５とテンションアーム１６からなるテンション機構１７と、ワイヤ３の張力を測るロードセル１８と、複数のガイドプーリ１９に導かれた後、所定の間隔で両側と下部に平行配置された三本のワークローラ２０に多数回巻回してワイヤ列を形成し、その後、複数のガイドプーリ２１と、ワイヤ３の張力を測るロードセル２２と、モータ２３とテンションアーム２４からなるテンション機構２５と、複数のガイドプーリ２６と、モータ２７によって駆動される供給側トラバーサ２８を通ってからモータ３０の回転により巻き取り力が付与された回収側リール２９に巻き取られるようになっている。
【００３６】
上記ワークローラ２０は外周にワイヤ３が納まる多数の溝が一定間隔で設けられ、ワークローラ２０間の外周に巻回した上部ワイヤ列の直上に、切断テーブル３１が上下動するように配置され、この切断テーブル３１の下面に、例えば、カーボン、ガラス部材、セラミックス等を用いたダミー部材３２を介して加工物Ａが接着によって取付けられ、加工物Ａをワイヤ列に向けて押し下げることにより、多数枚の枚葉状に切断するようになっている。
【００３７】
上記したワークローラ２０間のワイヤ列のワイヤ３は、ワークローラ２０の回転により高速で往復動又は一方走行させ、そのワイヤ列の切断加工の近傍位置に、ＳｉＣ、ダイヤモンド等の硬質砥粒を含有するスラリー液、又は洗浄を容易にするため水溶性のスラリー液を供給する砥液ノズル３３が配置されている。なお、上記ワイヤ３にダイヤモンド粒を樹脂等で固定したワイヤを使用することもある。この場合は、スラリー液に替え冷却液を用いることができる。
【００３８】
上記ワイヤ列を揺動させる揺動機構３４は、上記三本のワークローラ２０を支持するスピンドルを、装置本体でクロスローラベアリング３５を介して回転可能に支持した揺動円盤３６上に設け、この揺動円盤３６をスピンドルの回転とは別の揺動モータ３７でベルト３８を用いて駆動するように構成され、加工物Ａの切断時に揺動円盤３６に一定角度の往復回転を与えてワイヤ列を揺動させ、また、ワークローラ２０へワイヤ３を巻回し、ワイヤ列を形成する際には揺動円盤３６を全回転させることになる。
【００３９】
上記のようなワイヤソーにおいて、加工物Ａを切断テーブルに取付けるダミー部材３２に、加工物Ａの長さ方向に沿って、加工物Ａの中央部軸線上に該当する位置と、ダミー部材３２の幅方向の両端部近傍の位置との３箇所に、ワイヤ列のワイヤ３を検知する検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃを設け、各検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃでワイヤ列のワイヤ３の接触を独立して検知するようになっている。
【００４０】
上記検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃは、導通ワイヤや検知ワイヤを用いて形成され、図２（ａ）乃至（ｃ）に示す第１の例では、検知センサ３９ａを上記ダミー部材３２の中央部下面に設けた溝４０に収納すると共に、検知センサ３９ｂ、３９ｃをダミー部材の幅方向の両端部近傍に設けた貫通孔４１、４１に収納し、ワイヤ列のワイヤ３が検知センサ３９ｂ、３９ｃに接触することで加工物Ａが切断完了間際であることを検知して制御部４３に切断条件変更の信号を出力するようにし、検知センサ３９ａに接触することで切断の完了を検知するように配置している。
【００４１】
図３（ａ）、（ｂ）は、上記第１の例と同じ検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃの配置であるが、揺動機構を採用していないワイヤソーに使用したものである。
【００４２】
図４に示す第２の例は、上記第１の例と同じ検知センサの配置であるが、ワイヤ列のワイヤ３が検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃを切断すること切断位置を検知するようにしたものである。
【００４３】
図５に示す第３の例は、ダミー部材３２の中央部下面に設けた溝４０と、ダミー部材３２の幅方向の一方端部近傍に設けた貫通孔４１に検知センサ３９ａと３９ｂを収納したものであり、ワイヤ列のワイヤ３は左右に等角度で揺動させる場合、ダミー部材３２の中央部と幅方向の一方端部近傍の二本の検知センサ３９ａと３９ｂであっても、切断位置を精度よく検知することができ、切断終了間際の切断条件設定の変更を的確に行うことができる。
【００４４】
図６に示す第４の例は、ダミー部材３２の中央部下面に設けた溝４０に検知センサ３９ａを配置し、ダミー部材３２の幅方向の両端部外面にそれぞれ検知センサ３９ｂと３９ｃを接着剤で固定したものである。
【００４５】
図７は、上記検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃによる加工物Ａの切断完了を検出するための接触検知方法の第１の例を示し、上記検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃに導通ワイヤを用い、検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃの両端を上記ダミー部材３２と検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃとが絶縁されるように絶縁部材４２で電気絶縁的に取付け、各検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃに制御部４３の電源４４を電流計４５を介して接続し、ワイヤ３と電源４４の他極を接地部５５とし、装置本体の導通部４６を介して接続し、ワイヤ列のワイヤ３が検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃに接触することで電流が流れ、電流計４５によってワイヤ３の切断位置を検知するようになっている。
【００４６】
図８は、上記接触検知方法の第２の例を示し、上記検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃに検知ワイヤを用い、検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃの一端を支持部材４７でダミー部材３２に固定し、検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃの他端をダミー部材３２に固定したロードセル４８に接続して検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃを緊張状態の配置とし、ロードセル４８に制御部４９の検出部５０を接続し、ワイヤ列のワイヤ３が検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃに接触することで検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃに張力がかかり、この張力の変化をロードセル４８で電気的な抵抗の変化として捉え、切断位置を検知するようになっている。
【００４７】
図９は、断線検知方法の例を示し、上記検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃに導通ワイヤを用い、検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃを上記ダミー部材３２に取付け、制御部５１のスイッチ５２と電源５３及び電流計５４を各検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃの両端と接続して各検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃごとに閉回路を形成し、ワイヤ列のワイヤ３が検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃを切断して開回路になると、これを電流計５４が検知して切断位置を検知するようになっている。
【００４８】
なお、この断線検知方法の場合、図７の接触検知方式の場合のように検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃとなる導通ワイヤをダミー部材３２と電気絶縁的に取付ける必要はない。なぜならダミー部材３２がカーボンのような導通部材であっても、導通ワイヤを流れる電流の抵抗値とダミー部材３２のみを通じて流れる電流の抵抗値は大きく相違し、導通ワイヤが断線した場合の電流値の変化は大きく、各検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃは各々独立に電流値を検出しており、どの導通ワイヤが断線したかは判別可能であるからである。
【００４９】
この発明のワイヤソーは上記のような構成であり、次に、このワイヤソーによる加工物の切断方法を説明する。
【００５０】
図１０のフローチャートに示すように、ワイヤソーの制御部分に加工条件を入力すると共に、図１のように、上昇位置にある切断テーブル３１の下面に、検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃを備えたダミー部材３２を用いて加工物Ａを接着固定した状態で、装置を起動させると、ワークローラ２０間のワイヤ列のワイヤ３が高速で往復動又は一方走行し、切断テーブル３１が下降して加工物Ａをワイヤ列に押付けていくことにより、加工物Ａの切断が開始される。
【００５１】
図２（ａ）と図３（ａ）は、ワイヤ列のワイヤ３による加工物Ａの切断がダミー部材３２の下部にまで進んだ状態を示し、図２はワイヤ列のワイヤを揺動させた場合、図３はワイヤ列のワイヤを揺動させない場合の切断状態である。
【００５２】
上記加工物Ａの切断が終わりに近づくと、ワイヤ列のワイヤ３を揺動させた場合、図２（ｂ）のように、ダミー部材３２を切り込んだワイヤ３は、ダミー部材３２の幅方向の両端部近傍の位置に配置した検知センサ３９ｂと３９ｃに接触又はこれを切断する。
【００５３】
また、ワイヤ列のワイヤ３を揺動させない場合の切断においては、ワイヤ列のワイヤ３が押し下げによって撓むことで、図３（ｂ）の実線のように、ワイヤ３は、ダミー部材３２の幅方向の両端部近傍の位置に配置した検知センサ３９ｂ、３９ｃに接触又はこれを切断する。何れにしても、この時点では、加工物Ａの上部中央位置に加工残部Ａ１がある。
【００５４】
上記のように、ダミー部材３２を切り込んだワイヤ３が、ダミー部材３２の幅方向の両端部近傍の位置に配置した検知センサ３９ｂ、３９ｃに接触又は切断し、これを図７乃至図９で示した検知方法によって検知すると、図１０のフローチャートに示すように、ワイヤソーの制御部分に入力され、予め設定された加工条件、例えば、切断テーブル３１の速度変更や停止、ワイヤ３の走行速度の低減、ワイヤ３の供給量、ワイヤ３の供給方向の逆転、揺動条件（例えば揺動速度、左右の揺動角度、揺動の有無）等の変更がなされる。なお、図２（ｃ）では揺動動作を停止させた場合を図示してある。
【００５５】
上記のように、加工条件が変更された状態で更に切断を続けると、加工物Ａの上部中央位置にあった加工残部Ａ１が切断され、図２（ｃ）や図３（ｂ）の二点鎖線で示すように、ダミー部材３２を切り込んだワイヤ３が、ダミー部材３２の中央に位置する検知センサ３９ａに接触又は切断し、これを図７乃至図９で示した検知方法によって検知すると、図１０のフローチャートに示すように、切断完了とみなして装置を停止させる。
【００５６】
このように、加工物Ａの切断時に、ダミー部材３２の幅方向の一方端部又は両端部近傍の位置に検知センサ３９ｂと３９ｃを設けることにより、例えば、揺動機構３４を停止させるタイミングを的確に検知でき、加工終了間際の装置振動による加工物Ａの破損防止と切断テーブル３１の誤切断を防止でき、また、ダミー部材３２の加工物Ａに沿って、中央部軸線上の位置に設けた検知センサ３９ａで切断を停止させることにより、ダミー部材３２の切断量を最小限に抑えることができ、ダミー部材３２の厚みを必要以上に厚くする必要がなくなり、ダミー部材３２のコスト低減が図れるだけでなく、ダミー部材３２への切り込み代を必要最小限にでき、切断時間の短縮とワイヤ使用量の低減が可能になる。
【００５７】
なお、本発明は上記実施形態に限定されず、ダウンカット方式だけでなく、アッパーカット方式にも使用でき、検知センサの設置位置も検知したい状態に合わせて適宜上下、左右、前後、設置数等変更できる。また、検知方法も公知の接触、断線検知を利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】この発明にかかるワイヤソーの全体構造を示す正面図
【図２】揺動機構を有するワイヤソーに用いた検知センサの第１の例を示し、（ａ）はワイヤによる加工物の切断がダミー部材に達した時点の拡大した縦断正面図、（ｂ）はワイヤが両側端部の検知センサで検出された切断終了間際の拡大した縦断正面図、（ｃ）は揺動動作を停止させた後の切断終了間際から切断完了時を説明する拡大した縦断正面図
【図３】揺動機構のないワイヤソーに用いた検知センサの第１の例を示し、（ａ）はワイヤによる加工物の切断がダミー部材に達した時点の拡大した縦断正面図、（ｂ）は切断終了間際から切断完了時を説明する拡大した縦断正面図
【図４】揺動機構を有するワイヤソーに用いた検知センサの第２の例を示し、ワイヤが両側端部の検知センサで検出された切断終了間際の拡大した縦断正面図
【図５】揺動機構を有するワイヤソーに用いた検知センサの第３の例を示し、ワイヤが両側端部の検知センサで検出された切断終了間際の拡大した縦断正面図
【図６】揺動機構を有するワイヤソーに用いた検知センサの第４の例を示し、ワイヤが両側端部の検知センサで検出された切断終了間際の拡大した縦断正面図
【図７】検知センサを用いた検知方法の第１の例である接触検知方法を示す平面図
【図８】検知センサを用いた検知方法の第２の例である接触検知方法を示す平面図
【図９】検知センサを用いた検知方法の第３の例である断線検知方法を示す平面図
【図１０】この発明の装置制御を示すフローチャート
【図１１】（ａ）はワイヤソーにおける切断テーブルと加工物及びワイヤの関係を示す切断前の側面図、（ｂ）は同加工物の切断完了状態を示す側面図、（ｃ）は加工物が割れて落下が生じた状態の側面図
【図１２】（ａ）は従来の揺動機構のないワイヤソーにおける従来の検知センサを示し、ワイヤによる加工物の切断がダミー部材に達した時点の拡大した縦断正面図、（ｂ）は従来の揺動機構を有するワイヤソーにおける従来の検知センサを適用した場合の切断完了時を示す拡大した縦断正面図
【符号の説明】
【００５９】
１        切断テーブル
２        ダミー部材
３        ワイヤ
４        溝
５        検知棒
６        スラリ液
１１      供給側リール
１２      モータ
１３      供給側トラバーサ
１４      ガイドプーリ
１５      モータ
１６      テンションアーム
１７      テンション機構
１８      ロードセル
１９      ガイドプーリ
２０      ワークローラ
２１      ガイドプーリ
２２      ロードセル
２３      モータ
２４      テンションアーム
２５      テンション機構
２６      ガイドプーリ、
２７      モータ
２８      回収側トラバーサ
２９      回収側リール
３０      モータ
３１      切断テーブル
３２      ダミー部材
３３      砥液ノズル
３４      揺動機構
３５      クロスローラベアリング
３６      揺動円盤
３７      揺動モータ
３８      ベルト
３９ａ、３９ｂ、３９ｃ  検知センサ
４０      溝
４１      貫通孔
４２      絶縁部材
４３      制御部
４４      電源
４５      電流計
４６      導通部
４７      支持部材
４８      ロードセル
４９      制御部
５０      検出部
５１      制御部
５２      スイッチ
５３      電源
５４      電流計
５５      接地部
Ａ        加工物
Ａ１      加工残部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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