(57)【要約】【課題】露光点データに基づいて露光ヘッドにより基板上に露光パターンを露光する際に用いられる露光点データであって、基板の変形などに応じて原画像データから取得される露光点データの取得方法において、露光点データの取得時間を短縮する。【解決手段】原画像データを複数の画像領域に分割し、画像領域毎の符号化データ量が所定値以上の画像領域を対象画像領域として求め、基板１２上の露光ヘッド３０の仮想的な描画軌跡の情報に対応する、上記対象画像領域の原画像データ上の仮想露光点データ軌跡の情報を複数取得し、その仮想露光点データ軌跡に対応したトレースデータを原画像データから取得してテンプレート記憶部５６ａに記憶し、実際の露光の際の基板１２上における露光軌跡情報に対応する仮想露光点データ軌跡情報を特定し、その仮想渡航点データ軌跡情報に対応するトレースデータを露光点データとして取得する。【選択図】図５
2007286528.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得方法おいて、
前記画像の元の原画像データを複数の画像領域に分割し、
該分割した画像領域毎の符号化データ量を示す情報を求め、
該情報が所定値以上の画像領域を対象画像領域として求め、
予め設定された前記基板上における前記描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と前記対象画像領域の原画像データとを対応付けて前記対象画像領域の原画像データ上における前記描画点形成領域の前記仮想描画軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得し、
該複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得し、
該取得した複数の仮想描画データを予め記憶するとともに、前記仮想描画点データ軌跡情報と前記仮想描画データとの対応関係を予め設定し、
前記画像の描画の際の前記基板上における前記描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得し、
該取得した描画軌跡情報と前記原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得し、
該取得した描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画点データ軌跡情報を取得し、該取得した仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、
該特定された仮想描画データを前記描画データとして取得することを特徴とする描画データ取得方法。
【請求項２】
前記複数の画像領域のうち前記符号化データ量を示す情報が大きいものほど優先的に前記対象画像領域として求めることを特徴とする請求項１記載の描画データ取得方法。
【請求項３】
前記複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得する際、前記対象画像領域の原画像データの線幅が所定値より大きい場合には、前記複数の仮想描画点データ軌跡情報のうち一部の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得することを特徴とする請求項１または２記載の描画データ取得方法。
【請求項４】
全ての前記対象画像領域の符号化データ量を示す情報を加算した加算値と前記仮想描画データを記憶する仮想描画データ記憶部の記憶容量との関係に基づいて、前記複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得する際、前記複数の仮想描画点データ軌跡情報のうち一部の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得することを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の描画データ取得方法。
【請求項５】
描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、該移動に応じて前記描画点を前記基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得装置において、
前記画像の元の原画像データを複数の画像領域に分割し、該分割した画像領域毎の符号化データ量を示す情報を求め、該情報が所定値以上の画像領域を対象画像領域として求める対象画像領域取得部と、
予め設定された前記基板上における前記描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と前記対象画像領域の原画像データとを対応付けて前記対象画像領域の原画像データ上における前記描画点形成領域の前記仮想描画軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得する仮想描画点データ軌跡情報取得部と、
該仮想描画点データ軌跡情報取得部により取得された複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得する仮想描画データ取得部と、
該仮想描画データ取得部より取得された複数の仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、
前記仮想描画点データ軌跡情報と前記仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、
前記画像の描画の際の前記基板上における前記描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得する描画軌跡情報取得部と、
該描画軌跡情報取得部により取得された描画軌跡情報と前記原画像データとを対応付けて前記原画像データ上における前記描画点形成領域の前記描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得する描画点データ軌跡情報取得部と、
該描画点データ軌跡情報取得部により取得された描画点データ軌跡に対応する前記仮想描画点データ軌跡情報を特定する仮想描画点データ軌跡情報特定部と、
該仮想描画点データ軌跡情報特定部により特定された仮想描画点データ軌跡情報に対応する前記仮想描画データを前記対応関係に基づいて前記予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、該特定された仮想描画データを前記描画データとして取得する描画データ取得部とを備えたことを特徴とする描画データ取得装置。
【請求項６】
前記対象描画領域取得部が、前記複数の画像領域のうち前記符号化データ量を示す情報が大きいものほど優先的に前記対象画像領域として求めるものであることを特徴とする請求項５記載の描画データ取得装置。
【請求項７】
前記仮想描画データ取得部が、前記対象画像領域の原画像データの線幅が所定値より大きい場合には、前記複数の仮想描画点データ軌跡情報のうち一部の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得するものであることを特徴とする請求項５または６記載の描画データ取得装置。
【請求項８】
前記仮想描画データ取得部が、全ての前記対象画像領域の符号化データ量を示す情報を加算した加算値と前記仮想描画データ記憶部の記憶容量との関係に基づいて、前記複数の仮想描画点データ軌跡情報のうち一部の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて該仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを前記対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得するものであることを特徴とする請求項５から７いずれか１項記載の描画データ取得装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、描画データに基づいて基板上に画像を描画する際に用いられる描画データを取得する描画データ取得方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント配線板や液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの基板に所定のパターンを記録する装置として、フォトリソグラフの技術を利用した露光装置が種々提案されている。
【０００３】
上記のような露光装置としては、たとえば、フォトレジストが塗布された基板上に光ビームを主走査および副走査方向に走査させるとともに、その光ビームを、露光パターンを表す露光画像データに基づいて変調することにより露光パターンを形成する露光装置が提案されている。
【０００４】
上記のような露光装置として、たとえば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（以下、ＤＭＤという）等の空間光変調素子を利用し、露光画像データに応じて空間光変調素子により光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。
【０００５】
そして、上記のようなＤＭＤを用いた露光装置としては、たとえば、ＤＭＤを露光面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じてＤＭＤのメモリセルに多数のマイクロミラーに対応した描画データを入力し、ＤＭＤのマイクロミラーに対応した描画点群を時系列に順次形成することにより所望の画像を露光面に形成する露光装置が提案されている（たとえば特許文献１参照）。
【０００６】
ここで、上記のような露光装置を用いて、たとえば、多層プリント配線板の露光パターンを形成する際には、各層を張り合わせるプレス工程において基板に熱が加えられ、その熱により基板が変形してしまう場合があるため、各層の露光パターンの位置合わせを高精度に行うためには、上記のような基板の変形に応じた露光パターンを各層において形成する必要がある。
【０００７】
また、フラットパネルディスプレイにおいてもカラーフィルタパターンを露光する際、基板に加熱処理が施されるのでその熱によって基板が伸縮し、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の記録位置ずれが生じてしまうおそれがあるため、上記のような基板の変形に応じた露光パターンを形成する必要がある。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−２３３７１８号公報
【特許文献２】特願２００５−２６９７８２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、たとえば、同じ露光パターンを多数の基板に形成する場合などにおいて、リアルタイムに基板毎の変形量に応じた露光画像データを生成し、その露光画像データに基づいて露光を行うようにしたのでは、ＤＭＤのマイクロミラー毎に描画データを取得してフレームデータを作成する必要があるので、メモリアクセスの処理時間が長くなり、基板の変形量に応じた露光画像データの生成に時間がかかり生産効率の低下を招くおそれがある。
【００１０】
また、予め基板の変形量を予想し、その予想変形量に応じた露光画像データを予め複数記憶しておき、その中から実際の変形量に応じた露光画像データを読み出す方法も考えられるが（たとえば、特許文献２参照）、全ての予想変形量に応じた露光画像データを予め記憶するようにしたのでは、予め露光画像データを記憶しておくメモリの容量が非常に大きくなってしまいコストアップになる。
【００１１】
本発明は、上記事情に鑑み、上記のような露光装置に用いられる描画データを取得する方法および装置において、上記のような生産効率の低下およびコストアップを招くことなく、基板の変形などに応じた描画データを取得することができる描画データ取得方法および装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の描画データ取得方法は、描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、その移動に応じて描画点を基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる描画データを取得する描画データ取得方法おいて、画像の元の原画像データを複数の画像領域に分割し、その分割した画像領域毎の符号化データ量を示す情報を求め、その情報が所定値以上の画像領域を対象画像領域として求め、予め設定された基板上における描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と対象画像領域の原画像データとを対応付けて対象画像領域の原画像データ上における描画点形成領域の仮想描画軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得し、複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得し、その取得した複数の仮想描画データを予め記憶するとともに、仮想描画点データ軌跡情報と仮想描画データとの対応関係を予め設定し、画像の描画の際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得し、その取得した描画軌跡情報と原画像データとを対応付けて原画像データ上における描画点形成領域の描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得し、その取得した描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡情報を取得し、その取得した仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データを上記対応関係に基づいて予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、その特定された仮想描画データを描画データとして取得することを特徴とする。
【００１３】
また、上記本発明の描画データ取得方法においては、複数の画像領域のうち符号化データ量を示す情報が大きいものほど優先的に対象画像領域として求めるようにすることができる。
【００１４】
また、複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得する際、対象画像領域の原画像データの線幅が所定値より大きい場合には、複数の仮想描画点データ軌跡情報のうち一部の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得するようにすることができる。
【００１５】
また、全ての対象画像領域の符号化データ量を加算した加算値と仮想描画データを記憶する仮想描画データ記憶部の記憶容量との関係に基づいて、複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得する際、複数の仮想描画点データ軌跡情報のうち一部の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得するようにすることができる。
【００１６】
本発明の描画データ取得装置は、描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域を、基板に対して相対的に移動させるとともに、その移動に応じて描画点を基板上に順次形成して画像を描画する際に用いられる描画データを取得する描画データ取得装置において、画像の元の原画像データを複数の画像領域に分割し、その分割した画像領域毎の符号化データ量を示す情報を求め、該情報が所定値以上の画像領域を対象画像領域として求める対象画像領域取得部と、予め設定された基板上における描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と対象画像領域の原画像データとを対応付けて対象画像領域の原画像データ上における描画点形成領域の仮想描画軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得する仮想描画点データ軌跡情報取得部と、仮想描画点データ軌跡情報取得部により取得された複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得する仮想描画データ取得部と、仮想描画データ取得部より取得された複数の仮想描画データが予め記憶された仮想描画データ記憶部と、仮想描画点データ軌跡情報と仮想描画データとの対応関係が予め設定された対応関係設定部と、画像の描画の際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得する描画軌跡情報取得部と、描画軌跡情報取得部により取得された描画軌跡情報と原画像データとを対応付けて原画像データ上における描画点形成領域の描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得する描画点データ軌跡情報取得部と、描画点データ軌跡情報取得部により取得された描画点データ軌跡に対応する仮想描画点データ軌跡情報を特定する仮想描画点データ軌跡情報特定部と、仮想描画点データ軌跡情報特定部により特定された仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データを上記対応関係に基づいて予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、その特定された仮想描画データを描画データとして取得する描画データ取得部とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
また、上記本発明の描画データ取得装置においては、対象描画領域取得部を、複数の画像領域のうち符号化データ量を示す情報が大きいものほど優先的に対象画像領域として求めるものとすることができる。
【００１８】
また、仮想描画データ取得部を、対象画像領域の原画像データの線幅が所定値より大きい場合には、複数の仮想描画点データ軌跡情報のうち一部の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得するものとすることができる。
【００１９】
また、仮想描画データ取得部を、全ての対象画像領域の符号化データ量を示す情報を加算した加算値と仮想描画データ記憶部の記憶容量との関係に基づいて、複数の仮想描画点データ軌跡情報のうち一部の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得するものとすることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の描画データ取得方法および装置によれば、画像の元の原画像データを複数の画像領域に分割し、その分割した画像領域毎の符号化データ量を示す情報を求め、その情報が所定値以上の画像領域を対象画像領域として求め、予め設定された基板上における描画点形成領域の仮想的な描画軌跡の情報であって、互いに異なる複数の仮想描画軌跡情報と対象画像領域の原画像データとを対応付けて対象画像領域の原画像データ上における描画点形成領域の仮想描画軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡の情報をそれぞれ取得し、複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得し、その取得した複数の仮想描画データを予め記憶するとともに、仮想描画点データ軌跡情報と仮想描画データとの対応関係を予め設定し、画像の描画の際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡の情報を取得し、その取得した描画軌跡情報と原画像データとを対応付けて原画像データ上における描画点形成領域の描画軌跡情報に対応する描画点データ軌跡の情報を取得し、その取得した描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画点データ軌跡情報を取得し、その取得した仮想描画点データ軌跡情報に対応する仮想描画データを上記対応関係に基づいて予め記憶された複数の仮想描画データの中から特定し、その特定された仮想描画データを描画データとして取得するようにしたので、上記のような生産効率の低下を招くことなく描画データを取得することができる。
【００２１】
また、対象画像領域の原画像データについてのみ仮想描画データを取得して予め記憶するようにしたので、仮想描画データを記憶する仮想描画データ記憶部の容量を小さくすることができる。
【００２２】
また、符号化データ量を示す情報が所定値以上の画像領域を対象画像領域として求めるようにしたので、対象画像領域以外の画像領域の原画像データから取得された描画データのデータ転送量を低減することができる。
【００２３】
また、複数の画像領域のうち符号化データ量を示す情報が大きいものほど優先的に対象画像領域として求めるようにした場合には、対象画像領域以外の原画像データから取得された描画データのデータ転送量をできるだけ低減することができる。
【００２４】
また、複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得する際、対象画像領域の原画像データの線幅が所定値より大きい場合には、複数の仮想描画点データ軌跡情報のうち一部の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得するようにした場合には、予め記憶しておく仮想描画データの容量を小さくすることができ、メモリの容量を小さくすることができるので、コストの削減を図ることができる。
【００２５】
また、全ての対象画像領域の符号化データ量を加算した加算値と仮想描画データを記憶する仮想描画データ記憶部の記憶容量との関係に基づいて、複数の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得する際、複数の仮想描画点データ軌跡情報のうち一部の仮想描画点データ軌跡情報に基づいて仮想描画点データ軌跡に対応した仮想描画データを対象画像領域の原画像データからそれぞれ取得するようにした場合には、仮想描画データ記憶部の記憶容量に合わせて適切に仮想描画データを取得することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明の描画データ取得方法および装置の一実施形態を用いた露光装置について詳細に説明する。図１は、本露光装置の概略構成を示す斜視図である。本露光装置は、所定の露光パターンを露光する装置であって、特に、その露光パターンを露光するために用いられる露光画像データの取得方法に特徴を有するものであるが、まずは、露光装置の概略構成について説明する。
【００２７】
露光装置１０は、図１に示すように、基板１２を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１４を備えている。そして、４本の脚部１６に支持された厚い板状の設置台１８の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド２０が設置されている。移動ステージ１４は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド２０によって往復移動可能に支持されている。
【００２８】
設置台１８の中央部には、移動ステージ１４の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート２２が設けられている。コの字状のゲート２２の端部の各々は、設置台１８の両側面に固定されている。このゲート２２を挟んで一方の側にはスキャナ２４が設けられ、他方の側には基板１２の先端および後端と、基板１２に予め設けられている円形状の複数の基準マーク１２ａの位置とを検知するための複数のカメラ２６が設けられている。
【００２９】
ここで、基板１２における基準マーク１２ａは、予め設定された基準マーク位置情報に基づいて基板１２上に形成された、たとえば孔である。なお、孔の他にランドやヴィアやエッチングマークを用いてもよい。また、基板１２に形成された所定のパターン、たとえば、露光しようとする層の下層のパターンなどを基準マーク１２ａとして利用するようにしてもよい。また、図１においては、基準マーク１２ａを６個しか示していないが実際には多数の基準マーク１２ａが設けられている。
【００３０】
スキャナ２４およびカメラ２６はゲート２２に各々取り付けられて、移動ステージ１４の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ２４およびカメラ２６は、これらを制御する後述するコントローラに接続されている。
【００３１】
スキャナ２４は、図２および図３（Ｂ）に示すように、２行５列の略マトリックス状に配列された１０個の露光ヘッド３０（３０Ａ〜３０Ｊ）を備えている。
【００３２】
各露光ヘッド３０の内部には、図４に示すように入射された光ビームを空間変調する空間光変調素子（ＳＬＭ）であるデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）３６が設けられている。ＤＭＤ３６は、マイクロミラー３８が直交する方向に２次元状に多数配列されたものであり、そのマイクロミラー３８の列方向が走査方向と所定の設定傾斜角度θをなすように取り付けられている。したがって、各露光ヘッド３０による露光エリア３２は、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。そして、図３（Ａ）に示すように、移動ステージ１４の移動に伴い、基板１２には露光ヘッド３０毎の帯状の露光済み領域３４が形成される。なお、各露光ヘッド３０に光ビームを入射する光源については図示省略してあるが、たとえば、レーザ光源などを利用することができる。
【００３３】
露光ヘッド３０の各々に設けられたＤＭＤ３６は、マイクロミラー３８単位でオン/オフ制御され、基板１２には、ＤＭＤ３６のマイクロミラー３８に対応したドットパターン（黒/白）が露光される。前述した帯状の露光済み領域３４は、図４に示すマイクロミラー３８に対応した２次元配列されたドットによって形成される。二次元配列のドットパターンは、走査方向に対して傾斜されていることで、走査方向に並ぶドットが、走査方向と交差する方向に並ぶドット間を通過するようになっており、高解像度化を図ることができる。なお、傾斜角度の調整のバラツキによって、利用しないドットが存在する場合もあり、たとえば、図４では、斜線としたドットは利用しないドットとなり、このドットに対応するＤＭＤ３６におけるマイクロミラー３８は常にオフ状態となる。
【００３４】
また、図３（Ａ）および（Ｂ）に示すように、帯状の露光済み領域３４のそれぞれが、隣接する露光済み領域３４と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド３０の各々は、その配列方向に所定間隔ずらして配置されている。このため、たとえば、１行目の最も左側に位置する露光エリア３２Ａ、露光エリア３２Ａの右隣に位置する露光エリア３２Ｃとの間の露光できない部分は、２行目の最も左側に位置する露光エリア３２Ｂにより露光される。同様に、露光エリア３２Ｂと、露光エリア３２Ｂの右隣に位置する露光エリア３２Ｄとの間の露光できない部分は、露光エリア３２Ｃにより露光される。
【００３５】
次に、露光装置１０の電気的構成について説明する。
【００３６】
本露光装置１０は、図５に示すように、ＣＡＭ（Computer Aided Manufacturing）ステーションを有するデータ作成装置４０から出力された、露光すべき露光パターンを表わすベクトルデータを受け付け、このベクトルデータに所定の処理を施す画像処理部５０と、カメラ２６により撮影された基準マーク１２ａの画像に基づいて基準マーク１２ａの検出位置情報を取得する検出位置情報取得部５１と、検出位置情報取得部５１により取得された検出位置情報に基づいて、実際の露光の際における基板１２上の各マイクロミラー３８の露光軌跡の情報を取得する露光軌跡情報取得部５２と、露光軌跡情報取得部５２により取得された各マイクロミラー３８毎の露光軌跡情報に基づいて露光画像データの座標系における露光点データ軌跡情報を取得する露光点データ軌跡情報取得部５３と、露光点データ軌跡情報取得部５３により取得された露光点データ軌跡情報に基づいて、後述する露光点データ情報を取得する露光点データ情報取得部５４と、露光点データ軌跡情報取得部５３により取得された露光点データ軌跡情報に基づいて、後述する配線部データから各マイクロミラー３８毎の露光点データをサンプリングするサンプリングデータ取得部５５と、露光点データ情報取得部５４により取得された露光点データ情報に基づいて、後述する表示部データから各マイクロミラー３８毎の露光点データを取得する露光点データ取得部５６、露光点データ取得部５６により取得された露光点データに基づいて各マイクロミラーに供給される制御信号を生成し、その制御信号を各露光ヘッド３０に出力する露光ヘッド制御部５８と、本露光装置全体を制御するコントローラ７０とを備えている。
【００３７】
また、本露光装置１０は、移動ステージ１４をステージ移動方向へ移動させる移動機構６０を備えている。移動機構６０は、移動ステージ１４をガイド２０に沿って往復移動させるものであれば如何なる既知の構成を採用してもよい。
【００３８】
なお、上記各構成要素の作用については後で詳述する。
【００３９】
次に、本露光装置１０の作用について図面を参照しながら説明する。
【００４０】
本露光装置１０は、移動ステージ１４上に設置された基板１２を、ステージ移動方向に移動させ、その移動にともなって順次露光ヘッド制御部５８から露光ヘッド３０に制御信号を出力し、基板１２上に時系列に露光点を形成することによって所望の露光パターンを基板１２上に露光するものである。
【００４１】
そして、本露光装置１０は、予め露光点データ取得部５６に記憶されたテンプレートデータから所定のトレースデータを選択し、その選択されたトレースデータに基づいて各マイクロミラー３８毎の露光点データ列を取得し、その取得した露光点データ列に基づいて露光ヘッド制御部５８から露光ヘッド３０の各マイクロミラー３０に制御信号を出力して基板１２に露光パターンを露光するものである。
【００４２】
まずは、露光点データ取得部５６に予め記憶されるテンプレートデータおよびその作成方法について説明する。
【００４３】
[テンプレートデータの作成方法]
まず、データ作成装置４０において、基板１２に露光される露光パターンを表すベクトルデータが作成される。なお、本実施形態の説明においては、配線の露光パターンを表わすベクトルデータが作成される。配線の露光パターンＲは、図６に示すように、縦、横、斜めの配線が種々の間隔を空けて配置されたものである。データ作成装置４０においては、図６に示すような露光パターンＲを表すベクトルデータが作成される。
【００４４】
そして、データ作成装置４０において作成されたベクトルデータは、画像処理部５０に出力され、ラスターデータに変換されて一時記憶される。そして、画像処理部５０において、ラスターデータに変換された露光パターンＲは、図６に点線で示すように複数の画像領域に分割される。そして、各画像領域毎について、符号化データ量が算出される。ここで、符号化データ量とは、露光パターンＲを、マイクロミラー３８の走査方向に対応する方向についてランレングス圧縮したときのデータ量のことをいう。そして、各画像領域毎に算出された符号化データ量が所定値以上か否かを判定し、符号化データ量が所定値以上の画像領域を対象画像領域とし、符号化データ量が所定値未満の画像領域を非対象画像領域とする。たとえば、図６に示すような露光パターンＲである場合には、図６のハッチングで示す領域が符号化データ量が大きいので対象画像領域とされる。
【００４５】
そして、上記のようにして求められた対象画像領域の露光パターンについて、テンプレートデータが作成される。なお、本実施形態においては、非対象画像領域についてはテンプレートデータを作成しないが、非対象画領域の露光パターンから露光点データを取得する方法については後述する。
【００４６】
画像処理部５０においては、図７に示すように、１つの対象画像領域の露光画像データと各マイクロミラー３８により露光される基板上の露光点の座標系とが対応付けられ、所定の始点s（x1,y1）から所定の終点e（x2,y2）までを結んだベクトルＶ１の延長ベクトルＶ１ｔ上の画素データが、所定のサンプリングピッチでサンプリングされ、部分露光点データ列が取得される。なお、図７におけるｙ方向は、マイクロミラー３８の基板１２に対する走査方向に対応する方向であり、ｘ方向は上記走査方向に直交する方向に対応する方向である。つまり、ベクトルＶ１は、マイクロミラー３８の像が基板１２上を通過し得る軌跡の一部を意味する。
【００４７】
ここで、ｙ方向に平行な方向のベクトルで、かつ、ｙ方向について所定の長さＬ0を有するベクトルを基準ベクトルとし、所定の露光点データ数をN、基準ベクトルのｙ方向サンプリングピッチをpitch_y0とする。
【００４８】
また、ベクトルＶ１の始点をs(x1, y1)、終点をe(x2, y2)、露光点データのｘ方向のサンプリングピッチをpitch_x、ｙ方向のサンプリングピッチをpitch_y、終点eの変動幅をｘ方向にΔx、ｙ方向にΔyとすると、以下の様な関係になる。
【００４９】
L0  ＝  N  ×  pitch_y0                                    ・  ・  ・  (1)
Δx  ＝  x2 − x1                                          ・  ・  ・  (2)
Δy  ＝  y2 −(y1+L0)                                      ・  ・  ・  (3)
pitch_x  ＝  Δx／N                                        ・  ・  ・  (4)
pitch_y  ＝  pitch_y0  ×  (L0+Δy)／L0                    ・  ・  ・  (5)
具体的には、例えば、N = 4096、pitch_y0 = 0.75μm等となる。
【００５０】
また、延長ベクトルＶ１ｔとは、ベクトルＶ１の終点e(x2,y2)をベクトルＶ１の終点側に延長したベクトルであり、以下の関係で表すことができる。
【００５１】
Ｖ１ｔ  ＝  Ｖ１  ×  ( 1 + ｋ)                            ・  ・  ・  (6)
ここで、ｋ＝（所定のｙ方向サイズ＋余裕値α）/L0  ・  ・  ・  (7)
とすることが望ましい。
【００５２】
ただし、ｋ>0は必須ではなく、k=0(即ちＶ１ｔ＝Ｖ１)とすることも可能である。
【００５３】
そして、具体的には、図７に示すように、１つの始点ｓに対して、上記基準ベクトルＶ１が設定され、その基準ベクトルＶ１の延長ベクトルＶ１ｔ上における画素データがサンプリングピッチpitchi_y0でサンプリングされるとともに、上記基準ベクトルＶ１の始点sと、基準ベクトルの終点eを中心とした所定の変動範囲Ｗに位置する複数の終点ｅとをそれぞれ結んだベクトルＶ１が設定され、その設定された各ベクトルＶ１の延長ベクトルＶ１ｔ上における画素データがサンプリングピッチpitch_x、pitch_yでサンプリングされ、各ベクトルＶ１ｔ毎にそれぞれ部分露光点データ列が取得される。なお、変動範囲Ｗのサイズは、基板１２の変形の程度に応じて予め設定されているものとする。
【００５４】
そして、図７に示す対象画像領域の領域Ａの中の全ての露光点の位置が始点ｓとされ、それぞれの始点ｓについて、上記と同様に、所定の変動範囲Ｗに位置する終点ｅまでを結んだベクトルＶ１が設定され、その各ベクトルＶ１の延長ベクトルＶ１ｔ毎にそれぞれ部分露光点データ列が取得される。なお、上記のようにして取得された部分露光点データ列を、以下「トレースデータ」という。また、領域Ａの範囲は、基板１２の変形の程度に応じて予め設定されているものとする。
【００５５】
そして、領域Ａの中の全ての始点ｓの座標（ｘ１,ｙ１）とその始点ｓに結ばれた終点ｅの変動量（Δｘ,Δｙ）との組み合わせについて、図８に示すように、トレースデータ番号が付される。なお、上記変動量（Δｘ,Δｙ）とは、上述したように、上記基準ベクトルの終点ｅの位置を基準とした場合における、変動範囲Ｗ内の各終点ｅのｘ方向およびｙ方向へのずれ量を示すものである。したがって、上記基準ベクトルの終点ｅの変動量Δｘ,変動量Δｙはともに０ということになる。
【００５６】
そして、画像処理部５０において、各トレースデータにランレングス圧縮が施される。そして、図８に示す対応関係と、表における各トレースデータ番号に対応する、ランレングス圧縮処理済みのトレースデータが、画像処理部５０から出力される。そして、図８に示す対応関係は、露光点データ情報取得部５４に設定され、ランレングス圧縮済みの各トレースデータは、それぞれ対応するトレースデータ番号と対応付けられてテンプレートデータとしてまとめられ、露光点データ取得部５６のテンプレート記憶部５６ａに記憶される。
【００５７】
なお、上記のようにして各ベクトルＶ１について取得されたトレースデータを互いに比較し、全ての露光点データが一致するベクトルＶ１同士については、そのトレースデータを共通化し、同じトレースデータ番号を付するようにすればよい。
【００５８】
また、上記説明においては、領域Ａ中における全ての露光点の位置を始点ｓとし、それぞれの始点ｓについてベクトルＶ１を設定し、その各ベクトルＶ１の延長ベクトルＶ１ｔ毎にそれぞれトレースデータを取得するようにしたが、必ずしも全ての露光点の位置を始点ｓとしなくてもよい。たとえば、対象画像領域内の原画像データの線幅が所定値よりも大きい場合には、領域Ａ内の一部の露光点のみを始点ｓとするようにしてもよい。また、変動範囲Ｗ内の一部の露光点だけを終点ｅとするようにしてもよい。
【００５９】
また、全ての対象画像領域の符号化データ量の総量がテンプレート記憶部５６ａの容量よりも大きくなるような場合にも、上記と同様に、一部のベクトルＶ１についてのみトレースデータを取得するようにしてもよい。
【００６０】
また、本実施形態においては、始点sと終点eとを直線で結ぶようにしたが、これに限らず、たとえば、曲線で結んだり、もしくは折れ線で結ぶようにしてもよい。
【００６１】
そして、全ての対象画像領域について、上記と同様にしてトレースデータが取得され、それぞれテンプレートデータとしてテンプレート記憶部５６ａに記憶される。
【００６２】
なお、本実施形態においては、上記のように符号化データ量が所定値以上の画像領域を対象画像領域とし、その対象画像領域についてテンプレートデータを記憶するようにしたが、テンプレート記憶部５６ａの記憶容量に制限がある場合には、必ずしも符号化データ量が所定値以上の全ての画像領域を対象画像領域とする必要はなく、たとえば、符号化データ量の多い順に優先順位を付け、その優先順位の高いものから順に対象画像領域とするようにしてもよい。
【００６３】
また、本実施形態においては、各対象画像領域毎にトレースデータを取得してテンプレートデータを作成するようにしたが、たとえば、対象画像領域がｙ方向について隣接している場合には、隣接する対象画像領域を１つの対象画像領域としてトレースデータを取得するようにしてもよい。
【００６４】
また、対象画像領域のｙ方向についての長さが基準ベクトルの長さよりも長い場合には、図９に示すように、始点ｓを設定する領域Ａを複数設けてトレースデータを取得するようにしてもよい。
【００６５】
また、本実施形態においては、対象画像領域を決定する際、分割された各画像領域毎の符号化データ量を算出するが、このとき、各画像領域毎の全ての画素データの符号化データ量の総量を算出して所定値以上か否かを判定するようにしてもよいし、たとえば、各画像領域について、上述したベクトルＶ１を設定し、基準ベクトルの符号化データ量が所定値以上か否かを判定するようにしてもよいし、また、符号化データ量が最大となるベクトルＶ１の符号化データ量が所定値以上か否かを判定するようにしてもよい。
【００６６】
また、対象画像領域を決定する際、必ずしも符号化データ量を算出する必要はなく、たとえば、各画像領域の原画像データのｙ方向についての線密度を求め、その線密度が所定値以上の画像領域を対象画像領域として決定するようにしてもよい。
【００６７】
[露光点データ情報の取得]
そして、上記のようにしてテンプレート記憶部５６ａに記憶されたテンプレートデータは、露光点データ情報取得部５４において取得された露光点データ情報に基づいて読み出され、露光ヘッド制御部５８に出力されるが、次に、露光点データ情報取得部５４における露光点データ情報の取得について説明する。
【００６８】
まず、コントローラ７０が移動機構６０に制御信号を出力し、移動機構６０はその制御信号に応じて移動ステージ１４を、図１に示す位置からガイド２０に沿って一旦上流側の所定の初期位置まで移動させた後、下流側に向けて所望の速度で移動させる。なお、上記上流側とは、図１における右側、つまりゲート２２に対してスキャナ２４が設置されている側のことであり、上記下流側とは、図１における左側、つまりゲート２２に対してカメラ２６が設置されている側のことである。
【００６９】
そして、上記のようにして移動する移動ステージ１４上の基板１２が複数のカメラ２６の下を通過する際、これらのカメラ２６により基板１２が撮影され、その撮影画像を表す撮影画像データが検出位置情報取得部５１に入力される。検出位置情報取得部５１は、入力された撮影画像データに基づいて基板１２の基準マーク１２ａの位置を示す検出位置情報を取得する。基準マーク１２ａの検出位置情報の取得方法については、たとえば、円形状の画像を抽出することにより取得するようにすればよいが、他の如何なる既知の取得方法を採用してもよい。また、上記基準マーク１２ａの検出位置情報は、具体的には座標値として取得されるが、その座標系は各マイクロミラー３８により露光される露光点の座標系と同じである。
【００７０】
そして、上記のようにして取得された基準マーク１２ａの検出位置情報は、検出位置情報取得部５１から露光軌跡情報取得部５２に出力される。
【００７１】
そして、露光軌跡情報取得部５２において、入力された検出位置情報に基づいて、実際の露光の際における基板１２上の各マイクロミラー３８毎の露光軌跡の情報が取得される。具体的には、露光軌跡情報取得部５２には、各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６の各マイクロミラー３８の像が通過する位置を示す通過位置情報が、各マイクロミラー３８毎に予め設定されている。上記通過位置情報は、移動ステージ１４上の基板１２の設置位置に対する、各露光ヘッド３０の設置位置によって予め設定されているものであり、複数のベクトルまたは複数点の座標値で表わされるものである。図１０に、プレス工程などを経ていない理想的な形状の基板１２、つまり、歪などの変形が生じておらず、基準マーク１２ａが予め設定された基準マーク位置情報１２ｂの示す位置に配置している基板１２と、所定のマイクロミラー３８の通過位置情報１２ｃとの関係を示す模式図を示す。なお、上記通過位置情報の座標系も、マイクロミラー３８により露光される露光点の座標系と同じである。そして、上記通過位置情報１２ｃにおける複数の基準点１２ｅ（図１０に示す白丸）によって区切られるベクトルＶ２の長さと、上述した基準ベクトルの長さとは同じ長さに設定されている。
【００７２】
そして、露光軌跡情報取得部５２においては、図１１に示すように、通過位置情報１２ｃと検出位置情報１２ｄとが対応付けられ、通過位置情報１２ｃにおける各基準点１２ｅについて、検出位置情報１２ｄとの位置関係が求められる。具体的には、たとえば、図１２に示すように、基準点１２ｅとその基準点１２ｅを囲む検出位置情報１２ｄとで決定される矩形Ｓａ、Ｓｂ、Ｓｃ、Ｓｄの面積が求められる。そして、上記のような面積が、各基準点１２ｅについてそれぞれ求められ、露光軌跡情報として露光点データ軌跡情報取得部５３に出力される。なお、上記のような露光軌跡情報は、各マイクロミラー３８の通過位置情報１２ｃ毎に求められ、露光点データ軌跡情報取得部５３に出力される。
【００７３】
そして、露光点データ軌跡情報取得部５３は、上記のようにして入力された露光軌跡情報に基づいて、その露光軌跡情報に対応する露光点データ軌跡情報を取得する。
【００７４】
具体的には、露光点データ軌跡取得部５３には、図１３に示すように、露光画像データの座標系における基準マーク１２ａの位置情報１２ｆが予め設定されており、以下の式(8)を満たすようなトレース点１２ｇの座標が、各基準点１２ｅについてそれぞれ求められる。そして、図１３に示すように、各トレース点１２ｇを結んだベクトルＶ３の情報が露光点データ軌跡情報として露光点データ情報取得部５４に出力される。
【００７５】
Ｓａ：Ｓｂ：Ｓｃ：Ｓｄ＝Ｔａ：Ｔｂ：Ｔｃ：Ｔｄ            ・  ・  ・  (8)
そして、露光点データ情報取得部５４は、入力された各ベクトルＶ３の情報に基づいて、露光点データ情報を取得する。具体的には、露光点データ情報取得部５４は、各ベクトルＶ３の始点と終点の座標値を取得し、その始点と終点の座標値に基づいて終点の変動量（Δｘ,Δｙ）を求め、上記始点の座標値および終点の変動量（Δｘ,Δｙ）と、図８に示す対応関係とに基づいて、各ベクトルＶ３に対応するトレースデータ番号を求める。
【００７６】
なお、たとえば、始点の座標が、図１４に示すように領域Ａの外の位置である場合、始点の座標値と同じ座標値が図８に示す対応関係に存在しないことになる。
【００７７】
上記のような場合には、たとえば、図１５に示すように、始点Ｐ１および終点Ｐ２によって表されるベクトルＶ３を始点Ｐ１側に延長し、その延長線上における、図８に示す対応関係に存在する始点Ｐ０を求める。そして、その始点Ｐ０および上記変動量（Δｘ,Δｙ）と、図８に示す対応関係とに基づいて、そのベクトルＶ３に対応するトレースデータ番号を求める。なお、上記のようにベクトルの延長線上における始点Ｐ０を求めて、トレースデータ番号を求めた場合には、トレースデータ番号だけでなく、始点Ｐ０に対する始点Ｐ１のｙ方向についてのずれ量が求められ、そのずれ量が読出開始位置として取得される。
【００７８】
露光点データ情報取得部５４においては、上記のようにしてトレースデータ番号および読出開始位置が各ベクトルＶ３について求められ、各ベクトルＶ３に対応する露光点データ情報として露光点データ取得部５６に出力される。なお、始点の座標値と図８に示す対応関係の座標値と一致する場合には、読出開始位置は０ということになる。
【００７９】
なお、本実施形態においては、隣接するトレース点１２ｇを直線で結んでベクトルＶ３としたが、これに限らず、たとえば、隣接するトレース点１２ｇを曲線で結んだり、もしくは折れ線で結んだりしてベクトルＶ３としてもよい。特に、ｘ方向に隣接する位置情報１２ｆを結ぶ直線とベクトルＶ３の交点の部分については、折れ線で近似することが望ましい。
【００８０】
[露光点データの取得]
次に、上記のようにして露光点データ情報取得部５４において取得された各ベクトルＶ３の露光点データ情報に基づいて、対象画像領域の原画像データにおける露光点データを取得する方法を説明する。
【００８１】
まず、露光点データ取得部５６には、図１６に示すように、各トレースデータがトレースデータ番号１〜ｎと対応付けられてテンプレート記憶部５６ａに記憶されている。そして、上記のようにして各ベクトルＶ３に対応する露光点データ情報が入力されると、その露光点データ情報におけるトレースデータ番号のトレースデータを選択し、そのトレースデータに解凍処理を施した後、その解凍処理済みのトレースデータにおける露光点データ情報の読出開始位置から露光点データ読み出す。なお、読出開始位置が０の場合は、トレースデータは先頭から読み出され、読出開始位置がｍ１である場合には、ｍ１の位置から読み出される。また、露光点データは上記露光点データ数Nだけ読み出すようにすればよい。
【００８２】
また、トレースデータ番号とトレースデータの記憶領域との関係については、たとえば、図１７に示すような、トレースデータ番号とそのトレースデータ番号のトレースデータが記憶された記憶領域の先頭アドレスとの対応関係を予め設定しておくようにすればよい。
【００８３】
また、露光点データ情報取得部５４に、予め図１７に示すような対応関係を設定しておき、各ベクトルＶ３について求められたトレースデータ番号と図１７に示す対応関係とから先頭アドレスを求め、その先頭アドレスと読出開始位置とから読出開始アドレスを求め、その読出開始アドレスを露光点データ取得部５６に出力し、露光点データ取得部５６が、入力された読出開始アドレスによって示されるアドレスから露光点データを読み出すようにしてもよい。
【００８４】
そして、上記のように各ベクトルＶ３について、それぞれ露光点データを取得し、これらを繋ぎ合わせることによって、対象画像領域における１つのマイクロミラー３８の露光点データ軌跡に対応した露光点データ列が取得される。
【００８５】
そして、上記と同様にして、各マイクロミラー３８毎の通過位置情報と検出位置情報とに基づいて、各マイクロミラー３８毎の対象画像領域の原画像データ上における露光点データ軌跡情報が求められ、その各マイクロミラー３８毎の露光点データ軌跡情報に基づいて、トレースデータ番号と読出開始位置とからなる露光点データ情報が求められ、その各マイクロミラー３８毎の露光点データ情報に基づいてトレースデータが読み出されて各マイクロミラー３８毎の露光点データ列が取得される。
【００８６】
また、上記説明においては、露光点データ情報取得部５４において、ベクトルＶ３に対応するトレースデータ番号が見つかった場合における露光点データの取得方法について説明したが、たとえば、基板１２の歪みの程度が想定されていた範囲よりも大きく、ベクトルＶ３に対応するトレースデータ番号が存在しない場合がある。そして、上記のような場合にもベクトルＶ３に対応する露光点データを適切に取得する必要がある。
【００８７】
そこで、たとえば、サンプリングデータ取得部５５にも予め対象画像領域の原画図データを記憶しておき、上記のようにベクトルＶ３に対応するトレースデータ番号が見つからない場合には、そのベクトルＶ３の情報をサンプリングデータ取得部５５に出力し、サンプリングデータ取得部５５において、原画像データからベクトルＶ３に対応する露光点データをサンプリングし、そのサンプリングした露光点データを露光点データ取得部５６に出力するようにすればよい。そして、露光点データ取得部５６において、その他のベクトルＶ３に対応する露光点データと繋ぎ合わせるようにすればよい。
【００８８】
ここまで対象画像領域の原画像データからの露光点データの取得について説明したが、次に、非対象画像領域の原画像データにおける露光点データを取得する方法について説明する。
【００８９】
上述したように、非対象画像領域の原画像データはラスター変換されて画像処理部５０に一時記憶されてある。そして、画像処理部５０に一時記憶された非対象画像領域の原画像データは、サンプリングデータ取得部５５に出力される。また、上記のようにして露光点データ軌跡情報取得部５３において取得された各マイクロミラー３８毎の露光点データ軌跡情報もサンプリングデータ取得部５５に出力される。そして、サンプリングデータ取得部５５は上記露光点データ軌跡情報の各ベクトルＶ３と非対象画像領域の原画像データとを対応付け、各ベクトルＶ３上の原画像データを所定のサンプリングピッチでサンプリングして露光点データとして読み出す。そして、上記のようにして取得された各マイクロミラー３８毎の露光点データ列を露光点データ取得部５６に出力する。
【００９０】
そして、露光点データ取得部５６において、トレースデータを読み出すことによって取得された、対象画像領域の原画像データについての各マイクロミラー３８毎の露光点データ列と、サンプリングデータ取得部５５において取得された、非対象画像領域の原画像データについての各マイクロミラー３８毎の露光点データ列とが繋ぎ合わされて、各マイクロミラー３８毎の露光点データ列が生成される。
【００９１】
[露光]
次に、上記のようにして取得された各マイクロミラー３８毎の露光点データに基づいて基板１２上に露光する方法について説明する。
【００９２】
上記のようにして取得された各マイクロミラー３８毎の露光点データは露光ヘッド制御部５８に出力される。そして、上記出力とともに移動ステージ１４が、再び上流側に所望の速度で移動させられる。
【００９３】
そして、基板１２の先端がカメラ２６により検出されると露光が開始される。具体的には、露光ヘッド制御部５８から各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６に上記露光点データに基づいた制御信号が出力され、露光ヘッド３０は入力された制御信号に基づいてＤＭＤ３６のマイクロミラーをオン・オフさせて基板１２を露光する。
【００９４】
なお、露光ヘッド制御部５８から各露光ヘッド３０へ制御信号が出力される際には、基板１２に対する各露光ヘッド３０の各位置に対応した制御信号が、移動ステージ１４の移動にともなって順次露光ヘッド制御部５８から各露光ヘッド３０に出力されるが、このとき、たとえば、図１８に示すように、各マイクロミラー３８毎に取得されたＬ個の露光点データ列の各列から、各露光ヘッド３０の各位置に応じた露光点データを１つずつ順次読み出して各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６に出力するようにしてもよいし、図１７に示すように取得された露光点データに９０度回転処理もしくは行列を用いた転置変換などを施し、図１９に示すように、基板１２に対する各露光ヘッド３０の各位置に応じたフレームデータ１〜Ｌを生成し、このフレームデータ１〜Ｌを各露光ヘッド３０に順次出力するようにしてもよい。
【００９５】
そして、移動ステージ１４の移動にともなって順次各露光ヘッド３０に制御信号が出力されて露光が行われ、基板１２の後端がカメラ１２により検出されると露光が終了する。
【００９６】
なお、上記説明においては、プレス工程などにおいて変形した基板１２に露光する際の露光点データの取得方法について説明したが、変形してない理想的な形状の基板１２に露光する際についても、上記と同様の方法を採用して露光点データを取得することができる。たとえば、各マイクロミラー３８毎に予め設定された上記通過位置情報に対応する露光点データ軌跡の情報を取得し、その取得した露光点データ軌跡情報に基づいて露光点データ情報を取得し、その露光点データ情報に基づいてトレースデータを読み出すようにすればよい。
【００９７】
また、上記実施形態においては、基板１２上における基準マーク１２ａを検出し、その検出位置情報に基づいて、実際の露光の際における基板１２上の各マイクロミラー３８の露光軌跡情報を取得するようにしたが、これに限らず、たとえば、移動ステージ１４のステージ移動方向と直交する方向へのずれ情報を取得するずれ情報取得手段を設け、そのずれ情報取得手段に取得されたずれ情報に基づいて、実際の露光の際における基板１２上の各マイクロミラー３８の露光軌跡情報を取得し、その露光軌跡情報に基づいてベクトルＶ３からなる露光点データ軌跡情報を取得し、各ベクトルＶ３について、上記と同様にして露光点データを取得するようにしてもよい。なお、上記ずれ情報は、ずれ情報取得手段に予め設定しておけばよい。ずれ情報の計測方法としては、たとえば、ＩＣウェーハ・ステッパー装置などで利用されるレーザ光を用いた測定方法を用いることができる。たとえば、移動ステージ１４に、ステージ移動方向に延びる反射面を設けるとともに、その反射面に向けてレーザ光を射出するレーザ光源および上記反射面において反射した反射光を検出する検出部を設け、移動ステージ１４の移動にともなって、反射光の位相ずれを順次検出部により検出することによって上記ずれ量を計測することができる。
【００９８】
また、移動ステージ１４のヨーイングも考慮して露光軌跡情報を取得するようにしてもよい。
【００９９】
また、基準マーク１２ａの検出位置情報と上記ずれ情報との両方を考慮して露光軌跡情報を取得するようにしてもよい。
【０１００】
また、基板１２の移動の速度変動情報を予め取得する速度変動情報取得手段を設け、速度変動情報取得手段により取得された速度変動情報に基づいて、基板１２の移動の速度が遅い基板１２上の領域ほど露光点データの密度が大となるように、上記基準ベクトルのサンプリングピッチpitch_y0を小とし、露光点データを取得するようにしてもよい。なお、上記基板１２の移動の速度変動情報とは、移動ステージ１４の移動機構６０の制御精度に応じて発生する移動速度のムラである。
【０１０１】
また、上記実施形態では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた露光装置について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子を使用することもできる。
【０１０２】
また、上記実施形態では、いわゆるフラッドベッドタイプの露光装置を例に挙げたが、感光材料が巻きつけられるドラムを有する、いわゆるアウタードラムタイプの露光装置としてもよい。
【０１０３】
また、上記実施形態の露光対象である基板１２は、プリント配線基板だけでなく、フラットパネルディスプレイの基板であってもよい。また、基板１２の形状は、シート状のものであっても、長尺状のもの（フレキシブル基板など）であってもよい。
【０１０４】
また、本発明における描画軌跡情報は、実際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡を用いて描画軌跡情報としてもよいし、実際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡を近似したものを描画軌跡情報としてもよいし、実際の基板上における描画点形成領域の描画軌跡を予測したものを描画軌跡情報としてもよい。
【０１０５】
また、露光対象をＬＳＩとしてもよく、その場合メモリセル等の同一パターンをテンプレート化することもできる。
【０１０６】
また、テンプレートを作成する装置と、テンプレートを読み出す装置とを、別体で構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明の描画データ取得装置の一実施形態を用いた露光装置の概略構成を示す斜視図
【図２】図１の露光装置のスキャナの構成を示す斜視図
【図３】（Ａ）は基板の露光面上に形成される露光済み領域を示す平面図、（Ｂ）は各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す平面図
【図４】図１の露光装置の露光ヘッドにおけるＤＭＤを示す図
【図５】露光装置の電気的構成を示すブロック図
【図６】配線の露光パターンを示す図
【図７】トレースデータの作成方法を説明するための図
【図８】ベクトルＶ１（仮想描画点データ軌跡情報）とトレースデータとの対応関係を示す図
【図９】ベクトルＶ１の始点の設定方法の一例を説明するための図
【図１０】理想的な形状の基板上における基準マークと所定のマイクロミラーの通過位置情報との関係を示す模式図
【図１１】マイクロミラーの露光軌跡情報の取得方法を説明するための図
【図１２】マイクロミラーの露光軌跡情報に基づいて露光点データ軌跡情報を取得する方法を説明するための図
【図１３】マイクロミラーの露光軌跡情報に基づいて露光点データ軌跡情報を取得する方法を説明するための図
【図１４】ベクトルＶ１（仮想描画点データ軌跡情報）のその他の設定方法を説明するための図
【図１５】ベクトルＶ３（露光点データ軌跡情報）に対応するトレースデータ番号を求めるその他の方法を説明するための図
【図１６】テンプレートデータを示す図
【図１７】トレースデータ番号と先頭アドレスとの対応関係を示す図
【図１８】各マイクロミラー毎の露光点データ列を示す図
【図１９】各フレームデータを示す図
【符号の説明】
【０１０８】
１０    露光装置
１２    基板
１２ａ    基準マーク
１２ｂ    基準マーク位置情報
１２ｃ    通過位置情報
１２ｄ    検出位置情報
１４    移動ステージ
１８    設置台
２０    ガイド
２２    ゲート
２４    スキャナ
２６    カメラ
３０    露光ヘッド
３２    露光エリア
３６    ＤＭＤ
５０    画像処理部（対象画像領域取得部、仮想描画点データ軌跡情報取得部、仮想
描画データ取得部）
５１    検出位置情報取得部
５２    露光軌跡情報取得部（描画軌跡情報取得部）
５３    露光点データ軌跡情報取得部（描画点データ軌跡情報取得部）
５４    露光点データ情報取得部（対応関係設定部、仮想描画点データ軌跡情報特定
部）
５５    サンプリングデータ取得部
５６    露光点データ取得部（描画データ取得部）
５６ａ  テンプレート記憶部（仮想描画データ記憶部）
【図１】
2007286528.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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