(57)【要約】【課題】漏洩検査装置及び方法において、漏洩試験における検査精度の向上を図ると共に検査設備や検査コストの増加を抑制可能とする。【解決手段】被検査体Ａを収容するフード１１を設け、被検査体Ａ内を排気する真空ポンプ１６を連結すると共に、フード１１にトレースガスを供給するトレースガス供給器１３を連結し、また、フード１１から被検査体Ａに朗詠するトレースガスの漏洩量を検出するリークディテクタ１９を設け、漏洩量判定装置２２がトレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率αに基づいて被検査体Ａの漏洩を判定する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を収容する容器と、前記被検査体内または前記容器内のいずれか一方を排気する排気手段と、前記被検査体内または前記容器内のいずれか他方にトレースガスを供給するトレースガス供給手段と、前記被検査体と前記容器との間でのトレースガスの漏洩量を検出する漏洩量検出手段と、前記トレースガス供給手段によるトレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて前記被検査体の漏洩を判定する漏洩判定手段とを有することを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の漏洩検査装置において、前記判定手段は、前記トレースガス供給手段によるトレースガス供給開始から所定時間経過後に前記漏洩量検出手段が検出したトレースガス漏洩量が予め設定された下限値以下のときに漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量が予め設定された上限値以上のときに漏洩ありと判定し、トレースガス漏洩量が前記下限値より多く前記上限値より少ないと判定されたときに、トレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて前記被検査体の漏洩を判定することを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の漏洩検査装置において、前記漏洩判定手段は、前記所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率が予め設定された規定変化率以上のときに漏洩ありと判定することを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の漏洩検査装置において、前記漏洩判定手段は、前記所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいてトレースガス供給開始時期を推定し、推定されたトレースガス供給開始時期と実際のトレースガス供給開始時期との偏差が予め設定された規定時期よりも大きいときに漏洩ありと判定することを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項５】
容器内に被検査体を収容し、前記被検査体内または前記容器内のいずれか一方を排気して減圧すると共に、前記被検査体内または前記容器内のいずれか他方にトレースガスを供給し、前記被検査体と前記容器との間でのトレースガスの漏洩量を検出し、トレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて前記被検査体の漏洩を判定することを特徴とする漏洩検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の漏洩検査方法において、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガス漏洩量が予め設定された下限値以下のときに漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量が予め設定された上限値以上のときに漏洩ありと判定し、トレースガス漏洩量が前記下限値より多く前記上限値より少ないと判定されたときに、前記所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率が予め設定された規定変化率以上のときに漏洩ありと判定することを特徴とする漏洩検査方法。
【請求項７】
請求項５に記載の漏洩検査方法において、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガス漏洩量が予め設定された下限値以下のときに漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量が予め設定された上限値以上のときに漏洩ありと判定し、トレースガス漏洩量が前記下限値より多く前記上限値より少ないと判定されたときに、前記所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいてトレースガス供給開始時期を推定し、推定されたトレースガス供給開始時期と実際のトレースガス供給開始時期との偏差が予め設定された規定時期よりも大きいときに漏洩ありと判定することを特徴とする漏洩検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアコンの熱交換器など密閉真空状態の構成要素を有する被検査体の漏洩を検査するための漏洩検査装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の漏洩検査装置は、被試験体を収容する気密性のあるフードに、トレースガス供給器を連結すると共に、被試験体に真空ポンプを連結し、また、フードから被試験体へのトレースガスの漏洩を検出するリークディテクタ及び漏洩判定装置を連結して構成されている。
【０００３】
従って、この漏洩検査装置にて、まず、真空ポンプにより被試験体の内部の空気を排気して真空状態とし、次に、トレースガス供給器からフード内にトレースガスを供給して大気圧状態のフード内にトレースガスを充満させる。この状態で、リークディテクタにより被試験体内に漏れたトレースガスを検出し、その漏れ量を判定装置で基準値と比較することにより被試験体の漏れの有無を判定する。
【０００４】
このように従来の漏洩検査装置にあっては、内容積が小さい被試験体を真空ポンプで真空に排気しており、真空ポンプの容量等設備規模が小さく、設備費用、消費動力等が低くなる利点がある。ところで、従来の漏洩検査装置では、検出したトレースガスの漏れ量が所定の予め設定された基準値以下の場合には、トレースガスの漏れなしと判定している。しかし、被試験体内には、排気処理をした後も、僅かに前回の試験時に漏れたトレースガスが残留している可能性があり、この残留したトレースガスや残留した大気中に含まれてしたトレースガスなどをフードからの漏洩ガスとして誤検出してしまうことがあり、漏洩検査をもっと高精度に実施する際の障害となっていた。
【０００５】
被試験体の漏洩を高精度に検出するものとして、下記特許文献１に記載されたものがある。この特許文献１に記載された漏洩試験方法は、被試験体を収容する試験槽に真空装置を連結すると共に、窒素ガスのタンク及びボンベを連結し、また、試験槽にリークディテクタを連結して構成し、ヘリウムガスが充填された被試験体を試験槽内に収容し、まず、真空装置により真空槽内を減圧し、次に、試験槽内に窒素ガスを充填して圧力を一定に維持した状態で、リークディテクタにより試験槽内のヘリウムガスを検出し、この検出値を被試験体がない時に測定されたバックグラウンド値と比較して漏洩の有無を判定するものである。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１７１３２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上述した従来の漏洩試験方法にあっては、試験前に被試験体内にヘリウムガスを充填する必要があり、作業が面倒であると共に、試験コストが増加してしまうという問題がある。また、試験槽に真空装置を連結すると共に窒素ガスのタンク及びボンベを連結する必要があり、装置が複雑となって設備コスト増加し、且つ、窒素ガスの消費量が増加して試験コストが増加してしまうという問題がある。また、大きな被検査体を検査するには大きなフードが必要のため、漏洩したヘリウムガスが希薄となり、検査時間を長く要する問題がある。
【０００８】
本発明はこのような課題を解決するものであり、漏洩試験における検査精度の向上を図ると共に検査設備や検査コストの増加を抑制可能とした漏洩検査装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するための請求項１の発明の漏洩検査装置は、被検査体を収容する容器と、前記被検査体内または前記容器内のいずれか一方を排気する排気手段と、前記被検査体内または前記容器内のいずれか他方にトレースガスを供給するトレースガス供給手段と、前記被検査体と前記容器との間でのトレースガスの漏洩量を検出する漏洩量検出手段と、前記トレースガス供給手段によるトレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて前記被検査体の漏洩を判定する漏洩判定手段とを有することを特徴とするものである。
【００１０】
請求項２の発明の漏洩検査装置では、前記判定手段は、前記トレースガス供給手段によるトレースガス供給開始から所定時間経過後に前記漏洩量検出手段が検出したトレースガス漏洩量が予め設定された下限値以下のときに漏洩なしと判定する一方、レースガス漏洩量が予め設定された上限値以上のときに漏洩ありと判定し、トレースガス漏洩量が前記下限値より多く前記上限値より少ないと判定されたときに、トレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて前記被検査体の漏洩を判定することを特徴としている。
【００１１】
請求項３の発明の漏洩検査装置では、前記漏洩判定手段は、前記所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率が予め設定された規定変化率以上のときに漏洩ありと判定することを特徴としている。
【００１２】
請求項４の発明の漏洩検査装置では、前記漏洩判定手段は、前記所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいてトレースガス供給開始時期を推定し、推定されたトレースガス供給開始時期と実際のトレースガス供給開始時期との偏差が予め設定された規定時期よりも大きいときに漏洩ありと判定することを特徴としている。
【００１３】
請求項５の発明の漏洩検査方法は、容器内に被検査体を収容し、前記被検査体内または前記容器内のいずれか一方を排気して減圧すると共に、前記被検査体内または前記容器内のいずれか他方にトレースガスを供給し、前記被検査体と前記容器との間でのトレースガスの漏洩量を検出し、トレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて前記被検査体の漏洩を判定することを特徴とするものである。
【００１４】
請求項６の発明の漏洩検査方法では、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガス漏洩量が予め設定された下限値以下のときに漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量が予め設定された上限値以上のときに漏洩ありと判定し、トレースガス漏洩量が前記下限値より多く前記上限値より少ないと判定されたときに、前記所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率が予め設定された規定変化率以上のときに漏洩ありと判定することを特徴としている。
【００１５】
請求項７の発明の漏洩検査方法では、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガス漏洩量が予め設定された下限値以下のときに漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量が予め設定された上限値以上のときに漏洩ありと判定し、トレースガス漏洩量が前記下限値より多く前記上限値より少ないと判定されたときに、前記所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいてトレースガス供給開始時期を推定し、推定されたトレースガス供給開始時期と実際のトレースガス供給開始時期との偏差が予め設定された規定時期よりも大きいときに漏洩ありと判定することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明の漏洩検査装置によれば、被検査体を収容する容器と、被検査体内または容器内の一方を排気する排気手段と、他方にトレースガスを供給するトレースガス供給手段と、被検査体と容器との間でのトレースガスの漏洩量を検出する漏洩量検出手段と、トレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて被検査体の漏洩を判定する漏洩判定手段を設けたので、容器に被検査体を収容し、被検査体内または容器内の一方を排気して減圧し、他方にトレースガスを供給して充填した状態で、漏洩量検出手段により被検査体と容器との間のトレースガス漏洩量を検出し、所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて被検査体の漏洩を判定することで、常時漏洩しているトレースガスだけを確実に検出することができ、漏洩試験における検査精度を向上することができると共に、検査設備や検査コストの増加を抑制することができる。
【００１７】
請求項２の発明の漏洩検査装置によれば、判定手段は、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガス漏洩量が下限値以下のときに漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量が上限値以上のときに漏洩ありと判定し、トレースガス漏洩量が下限値より多く上限値より少ないと判定されたときに、トレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて被検査体の漏洩を判定するので、事前に、トレースガス漏洩量に基づいて漏洩の有無を判定することで、試験による判定時間を短縮し、試験時間及び試験コストを低減することができる。
【００１８】
請求項３の発明の漏洩検査装置によれば、漏洩判定手段は、所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率が規定変化率以上のときに漏洩ありと判定するので、トレースガスの供給時は、残留しているトレースガスにより漏洩変化率が大きくなるが、所定時間経過時には、トレースガスが漏洩していなければその変化率は小さくなることから、このときのトレースガスの漏洩変化率が規定変化率以上のときに正確に漏洩ありと判定することができ、検査精度を向上することができる。
【００１９】
請求項４の発明の漏洩検査装置によれば、漏洩判定手段は、所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいてトレースガス供給開始時期を推定し、推定されたトレースガス供給開始時期と実際のトレースガス供給開始時期との偏差が規定時期よりも大きいときに漏洩ありと判定するので、トレースガスの供給時は、残留しているトレースガスにより漏洩変化率が大きくなるが、所定時間経過時には、トレースガスが漏洩していなければその変化率は小さくなることから、このときのトレースガスの漏洩変化率に基づいて推定されたトレースガス供給開始時期が実際のトレースガス供給開始時期から大きくずれているときに正確に漏洩ありと判定することができ、検査精度を向上することができる。
【００２０】
請求項５の発明の漏洩検査方法によれば、容器内に被検査体を収容し、被検査体内または容器内の一方を排気して減圧すると共に、他方にトレースガスを供給し、被検査体と容器との間でのトレースガスの漏洩量を検出し、トレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて被検査体の漏洩を判定するようにしたので、常時漏洩しているトレースガスだけを確実に検出することができ、漏洩試験における検査精度を向上することができると共に、検査設備や検査コストの増加を抑制することができる。
【００２１】
請求項６の発明の漏洩検査方法によれば、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガス漏洩量が下限値以下のときに漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量が上限値以上のときに漏洩ありと判定し、トレースガス漏洩量が下限値より多く上限値より少ないと判定されたときに、所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率が規定変化率以上のときに漏洩ありと判定するようにしたので、事前に、トレースガス漏洩量に基づいて漏洩の有無を判定することで、試験による判定時間を短縮し、試験時間及び試験コストを低減することができ、また、所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率と規定変化率を比較することで、残留しているトレースガスの影響をなくして正確に漏洩を判定することができ、検査精度を向上することができる。
【００２２】
請求項７の発明の漏洩検査方法によれば、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガス漏洩量が下限値以下のときに漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量が上限値以上のときに漏洩ありと判定し、トレースガス漏洩量が下限値より多く上限値より少ないと判定されたときに、所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいてトレースガス供給開始時期を推定し、推定されたトレースガス供給開始時期と実際のトレースガス供給開始時期との偏差が規定時期よりも大きいときに漏洩ありと判定するようにしたので、事前に、トレースガス漏洩量に基づいて漏洩の有無を判定することで、試験による判定時間を短縮し、試験時間及び試験コストを低減することができ、また、所定時間経過時に推定されたトレースガス供給開始時期と実際のトレースガス供給開始時期を比較することで、残留しているトレースガスの影響をなくして正確に漏洩を判定することができ、検査精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る漏洩検査装置の好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。
【実施例】
【００２４】
図１は、本発明の一実施例に係る漏洩検査装置の概略構成図、図２は、本実施例の漏洩検査装置における漏洩検査方法を説明するための概略図、図３及び図４は、本実施例の漏洩検査結果の具体例を表すグラフ、図５は、本実施例の漏洩検査装置における漏洩検査方法を説明するフローチャートである。
【００２５】
本実施例の漏洩検査装置において、図１に示すように、被検査体Ａは、エアコンの熱交換器など密閉真空状態の構成要素ある。この被検査体Ａを収容する容器としてのフード１１は、所定の大きさを有するは小型形状をなし、気密性を有している。このフード１１には、配管１２によりトレースガス供給器（トレースガス供給手段）１３が連結されており、配管１２には開閉バルブ１４が装着されている。この場合、トレースガスとしては、ヘリウムガス、ヘリウムガスと窒素ガスの混合ガス、水素ガスと窒素ガスの混合ガス、フロンガス、フロンガスと窒素ガスの混合ガスなどの検査媒体が適用される。
【００２６】
一方、被検査体Ａには、配管１５により真空ポンプ（排気手段）１６が連結されており、配管１５には開閉バルブ１７が装着されている。また、被検査体Ａには、配管１５から分岐した配管１８によりリークディテクタ（漏洩量検出手段）１９が連結されており、配管１８には開閉バルブ２０が装着されている。そして、リークディテクタ１９には、信号線２１により漏洩判定装置（漏洩判定手段）２２が接続されている。
【００２７】
このリークディテクタ１９は、被検査体Ａとフード１１との間でのトレースガスの漏洩量を検出するものである。漏洩判定装置２２は、トレースガス供給器１３によるトレースガス供給開始から所定時間が経過するまでのトレースガスの漏洩量に基づいて被検査体Ａの漏洩を判定するものである。
【００２８】
このように構成された本実施例の漏洩検査装置にて、漏洩判定装置２２は、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガスの漏洩量、所定時間経過時の漏洩変化率に基づいて被検査体Ａの漏洩の有無を判定するものであり、３つの判定部３１，３２，３３を有している。即ち、第１判定部３１は、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガス漏洩量が予め設定された下限値以下のときに漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量が予め設定された上限値以上のときに漏洩ありと判定する。第２判定部３２は、トレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率が予め設定された規定変化率以上のときに漏洩ありと判定する。第３判定部３３は、トレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいてトレースガス供給開始時期を推定し、推定されたトレースガス供給開始時期と実際のトレースガス供給開始時期との偏差が予め設定された規定時期よりも大きいときに漏洩ありと判定する。
【００２９】
以下、第１、第２、第３判定部３１，３２，３３の判定処理について詳細に説明する。図２に示すように、フード１１内に被検査体Ａを収納し、真空ポンプ１６により被試験体Ａの内部を排気して減圧した後、トレースガス供給器１３によりフード１１にトレースガスを供給して充満させる。この場合、トレースガス供給開始時間ｔ＝０であり、トレースガス供給終了時間ｔ＝ｔｍである。
【００３０】
このとき、リークディテクタ１９は、フード１１から被検査体Ａに漏れたトレースガスの漏洩量を検出し、検出結果を漏洩判定装置２２に出力している。例えば、トレースガスの漏洩量（リークレイト）ＬＲｍがトレースガス供給開始時間ｔ＝０からトレースガス供給終了時間ｔ＝ｔｍまで上昇したとき、第１判定部３１は、トレースガス供給終了時間ｔ＝ｔｍが経過したときの漏洩量ＬＲｔ＝ＬＲｔｍに基づいて漏洩の有無を判定する。即ち、トレースガス漏洩量に対して、下限値ＬＲ１が設定されると共に、上限値ＬＲ２が設定されている。この下限値ＬＲ１及び上限値ＬＲ２は、事前の設計や実験などにより予め設定されるものであり、トレースガス供給終了時ｔｍのトレースガス漏洩量ＬＲｔｍが下限値ＬＲ１以下のときには、トレースガスの漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍが上限値ＬＲ２以上のときには、トレースガスの漏洩ありと判定する。
【００３１】
そして、トレースガス供給終了時ｔｍのトレースガス漏洩量ＬＲｔｍが下限値ＬＲ１より多く、且つ、上限値ＬＲ２より少ないときには、第２、第３判定部３２，３３にて、トレースガス供給終了時間ｔ＝ｔｍの直前のトレースガスの漏洩変化率に基づいて被検査体Ａの漏洩を判定する。
【００３２】
即ち、トレースガス供給終了時間ｔ＝ｔｍのときのトレースガス漏洩量ＬＲｔｍと、このトレースガス供給終了時間ｔ＝ｔｍから所定時間ａ秒前のトレースガス供給終了直前時間ｔ＝ｔａのときのトレースガス漏洩量ＬＲｔａを取り込み、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍとトレースガス漏洩量ＬＲｔａを一次式に近似し、その一次式の傾き、つまり、漏洩変化率αを算出する。第２判定部３２は、このトレースガス漏洩量ＬＲｔｍ、ＬＲｔａに基づいて求めた漏洩変化率αが予め設定された規定変化率αｃ以上のときは、トレースガスの漏洩ありと判定する。なお、この規定変化率αｃは、事前の設計や実験などにより予め設定される。
【００３３】
そして、第２判定部３２にて、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍ、ＬＲｔａに基づいて求めた漏洩変化率αが規定変化率αｃより小さいのときは、第３判定部３３にて、被検査体Ａの漏洩を判定する。即ち、第２判定部３２にて、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍ、ＬＲｔａを近似した一次式のグラフを延長して横軸（時間軸）と交差させて交点ｔ０としたとき、ここが漏洩変化率αに基づいて推定されたトレースガス供給開始時期ｔ＝ｔ０となる。第３判定部３３は、この推定されたトレースガス供給開始時期ｔ＝ｔ０と、実際のトレースガス供給開始時期ｔ＝０との偏差βが、予め設定された規定時期βｃよりも大きいときは、トレースガスの漏洩ありと判定し、偏差βが規定時期βｃ以下であるときは、トレースガスの漏洩なしと判定する。
【００３４】
被検査体Ａに対して漏洩の有無を確認する場合、トレースガスを用いて漏洩検査を実施し、漏洩が発見されたらその不良部分を修復した後、再び、漏洩検査を実施して漏洩の有無を確認する必要がある。そのため、被検査体Ａの漏洩検査を実施するとき、この被検査体Ａに前回の検査時に漏れたトレースガス残量している可能性があり、この場合、真空ポンプ１６により被試験体Ａの内部を排気しても、残留しているトレースガスを完全に排気することが困難となる。また、大気中にトレースガスが含まれている場合、同様に真空ポンプで排気しても僅かにトレースガスが残留する場合がある。
【００３５】
従って、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガス漏洩量ＬＲｔｍに対して基準値を設け、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍがこの基準値を超えたときに漏洩ありと判定した場合、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍには、残留しているトレースガス量を含んでいる可能性があり、被試験体Ａの漏洩を正確に判断することができない。
【００３６】
そこで、本実施例では、上述した第２、第３判定部３２，３３にて、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍ、ＬＲｔａに基づいて求めた漏洩変化率αや推定されたトレースガス供給開始時期ｔ＝ｔ０と実際のトレースガス供給開始時期ｔ＝０との偏差βを用いて、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍに残留するトレースガス量が含まれているかどうかを判定し、被試験体Ａの漏洩を正確に判断するようにしている。
【００３７】
例えば、被試験体Ａに漏洩部が存在して残留するトレースガス量がほとんどない場合、トレースガスは継続的に被試験体Ａに漏洩して被試験体Ａ内のトレースガスが連続的に増加するため、図３のグラフに示すように、トレースガス漏洩量ＬＲｔは、トレースガス供給開始時間ｔ＝０からトレースガス供給終了時間ｔｍまでほぼ直線的に上昇する傾向を示す。この場合、第２判定部３２は、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍ、ＬＲｔａに基づいて求めた漏洩変化率αが規定変化率αｃより大きい、つまり、傾きが大きいため、被検査体Ａに漏洩ありと判定する。また、第３判定部３３は、推定されたトレースガス供給開始時期ｔ＝ｔ０と実際のトレースガス供給開始時期ｔ＝０との偏差βが規定時期βｃよりも大きいため、被検査体Ａに漏洩ありと判定する。
【００３８】
一方、被試験体Ａに漏洩部が存在せずに残留するトレースガス量が多い場合、トレースガスは被試験体Ａに漏洩せずに被試験体Ａ内のトレースガスも増加しないため、図４のグラフに示すように、トレースガス漏洩量ＬＲｔは、トレースガス供給開始時間ｔ＝０からトレースガス供給終了時間ｔｍまで一時的に上昇するが、途中で上昇しなくなる傾向を示す。この場合、第１判定部３１が、トレースガス供給終了時ｔｍのトレースガス漏洩量ＬＲｔｍが下限値ＬＲ１より多くても、第２判定部３２は、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍ、ＬＲｔａに基づいて求めた漏洩変化率αが規定変化率αｃ以上、つまり、傾きが小さいため、被検査体Ａに漏洩なしと判定する。また、第３判定部３３は、推定されたトレースガス供給開始時期ｔ＝ｔ０と実際のトレースガス供給開始時期ｔ＝０との偏差βが規定時期βｃ以下であるため、被検査体Ａに漏洩なしと判定する。
【００３９】
なお、図４のグラフにて、トレースガス漏洩量ＬＲｔが上昇した後、トレースガス供給終了直前時間ｔａまで一時的に上昇し、その後下降する傾向を示すが、これは被検査体Ａに残留しているトレースガスが飽和して放出されたためであり、極端な例として、漏洩変化率αが負になる場合もある。
【００４０】
ここで、このように構成された本実施例の漏洩検査装置による漏洩検査方法を具体的に説明する。
【００４１】
実施例の漏洩検査装置による漏洩検査方法において、図１及び図５に示すように、ステップＳ１にて、フード１１内に被検査体Ａを収容し、まず、開閉バルブ１７を開放し、真空ポンプ１６を作動することで、配管１５を通して被検査体Ａ内を排気して減圧し、内部を真空状態として開閉バルブ１７を閉止する。次に、ステップＳ２にて、開閉バルブ１４を開放し、トレースガス供給器１３に貯留されているトレースガスを配管１２を通してフード１１内に供給し、大気圧状態のフード１１内にトレースガスを充満させ、所定時間の経過後に開閉バルブ１４を閉止する。
【００４２】
リークディテクタ１９は、フード１１から被検査体Ａに漏れたトレースガスの漏洩量を検出しており、ステップＳ３では、第１判定部３１が、トレースガス供給終了時間ｔ＝ｔｍのトレースガス漏洩量ＬＲｔｍと下限値ＬＲ１を比較して漏洩の有無を判定する。即ち、ここで、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍが下限値ＬＲ１以下のときには、ステップＳ７に移行して、トレースガスの漏洩なしと判定する。
【００４３】
一方、ステップＳ３にて、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍが下限値ＬＲ１より大きいときは、ステップＳ４に移行して、第１判定部３１が、トレースガス供給終了時間ｔ＝ｔｍのトレースガス漏洩量ＬＲｔｍと上限値ＬＲ２を比較して漏洩の有無を判定する。即ち、ここで、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍが上限値ＬＲ２以上のときには、ステップＳ８に移行して、トレースガスの漏洩ありと判定する。そして、このステップＳ４にて、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍが上限値ＬＲ２より小さいときは、ステップＳ５に移行する。
【００４４】
このステップＳ５では、第２判定部３２が、トレースガス供給終了時間ｔ＝ｔｍのときのトレースガス漏洩量ＬＲｔｍと、トレースガス供給終了直前時間ｔ＝ｔａのときのトレースガス漏洩量ＬＲｔａに基づいて算出した漏洩変化率αに基づいて漏洩の有無を判定する。即ち、ここで、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍ、ＬＲｔａに基づいて求めた漏洩変化率αが規定変化率αｃより小さいのときは、ステップＳ７に移行して、トレースガスの漏洩なしと判定する。
【００４５】
一方、ステップＳ５にて、漏洩変化率αが規定変化率αｃ以上であるときは、ステップＳ６に移行して、第３判定部３３が、推定されたトレースガス供給開始時期ｔ＝ｔ０と、実際のトレースガス供給開始時期ｔ＝０との偏差βに基づいて漏洩の有無を判定する。即ち、ここで、偏差βが規定時期βｃ以下であるときは、ステップＳ７に移行して、トレースガスの漏洩なしと判定する。また、ステップＳ６にて、偏差βが規定時期βｃよりも大きいときは、ステップＳ８に移行して、トレースガスの漏洩ありと判定する。
【００４６】
このように本実施例の漏洩検査装置にあっては、被検査体Ａを収容するフード１１を設け、被検査体Ａ内を排気する真空ポンプ１６を連結すると共に、フード１１にトレースガスを供給するトレースガス供給器１３を連結し、また、フード１１から被検査体Ａに朗詠するトレースガスの漏洩量を検出するリークディテクタ１９を設け、漏洩量判定装置２２がトレースガス供給開始から所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率αに基づいて被検査体Ａの漏洩を判定するようにしている。
【００４７】
従って、リークディテクタ１９により被検査体Ａとフード１１との間のトレースガス漏洩量ＬＲｔを検出し、所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率αに基づいて被検査体Ａの漏洩を判定することで、常時漏洩しているトレースガスだけを確実に検出することができ、漏洩試験における検査精度を向上することができると共に、検査設備や検査コストの増加を抑制することができる。
【００４８】
また、本実施例の漏洩検査装置では、漏洩判定装置２２として、３つの判定部３１，３２，３３を設け、第１判定部３１は、トレースガス供給開始から所定時間経過後のトレースガス漏洩量ＬＲｔｍが予め設定された下限値ＬＲ１以下のときに漏洩なしと判定する一方、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍが予め設定された上限値ＬＲ２以上のときに漏洩ありと判定するようにしている。従って、事前に、トレースガス漏洩量ＬＲｔｍに基づいて漏洩の有無を判定することで、試験による判定時間を短縮し、試験時間及び試験コストを低減することができる。
【００４９】
また、本実施例の漏洩検査装置では、第２判定部３２は、所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率αが規定変化率αｃ以上のときに漏洩ありと判定するようにしている。従って、トレースガスの供給時は、残留しているトレースガスにより漏洩変化率が大きくなるが、所定時間経過時には、トレースガスが漏洩していなければその変化率は小さくなることから、このときのトレースガスの漏洩変化率が規定変化率以上のときに正確に漏洩ありと判定することができ、検査精度を向上することができる。
【００５０】
更に、本実施例の漏洩検査装置では、第３判定部３３は、所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率αに基づいてトレースガス供給開始時期ｔ０を推定し、推定されたトレースガス供給開始時期とｔ０実際のトレースガス供給開始時期０との偏差βが規定時期βｃよりも大きいときに漏洩ありと判定するようにしている。従って、トレースガスの供給時は、残留しているトレースガスにより漏洩変化率が大きくなるが、所定時間経過時には、トレースガスが漏洩していなければその変化率は小さくなることから、このときのトレースガスの漏洩変化率に基づいて推定されたトレースガス供給開始時期が実際のトレースガス供給開始時期から大きくずれているときに正確に漏洩ありと判定することができ、検査精度を向上することができる。
【００５１】
なお、上述した本実施例の漏洩検査装置にて、漏洩判定装置２２として、３つの判定部３１，３２，３３を設け、第１判定部３１がトレースガス漏洩量ＬＲｔに基づいて漏洩を判定し、第２判定部３２がトレースガスの漏洩変化率αに基づいて漏洩を判定し、第３判定部３３が推定されたトレースガス供給開始時期と実際のトレースガス供給開始時期との偏差に基づいて漏洩を判定するようにしたが、この構成に限定されるものではない。例えば、第１判定部３１と第２判定部３２とで漏洩判定装置を構成したり、第１判定部３１と第３判定部３３とで漏洩判定装置を構成したり、または、第２判定部３２や第３判定部３３単独で漏洩判定装置を構成してもよい。
【００５２】
また、上述した本実施例では、被検査体Ａ内を排気して減圧し、フード１１内にトレースガスを供給し、フード１１から被検査体Ａ内に漏洩するトレースガスを検出するようにしたが、フード１１内を排気して減圧し、被検査体Ａ内にトレースガスを供給し、被検査体Ａからフード１１内に漏洩するトレースガスを検出するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明に係る漏洩検査装置は、トレースガスの供給を開始してから所定時間経過時のトレースガスの漏洩変化率に基づいて被検査体の漏洩を判定するようにしたものであり、いずれの被検査体の漏洩検査装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の一実施例に係る漏洩検査装置の概略構成図である。
【図２】本実施例の漏洩検査装置における漏洩検査方法を説明するための概略図である。
【図３】本実施例の漏洩検査結果の具体例を表すグラフである。
【図４】本実施例の漏洩検査結果の具体例を表すグラフである。
【図５】本実施例の漏洩検査装置における漏洩検査方法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００５５】
Ａ  被検査体
１１  フード（容器）
１３  トレースガス供給器（トレースガス供給手段）
１６  真空ポンプ（排気手段）
１９  リークディテクタ（漏洩量検出手段）
２２  漏洩判定装置
３１  第１判定部
３２  第２判定部
３３  第３判定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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