(57)【要約】【課題】自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける装置及び方法を提供すること。【解決手段】自動試験システム（１０４）のインタフェースユニットを位置付けるマニピュレータ（１００）を開示する。一実施形態において、マニピュレータ（１００）は前記インタフェースユニットを支持する支持デバイス（１０６）を含む。基部（１０８）は前記支持デバイス（１０６）に接続する。基部（１０８）は支持デバイス（１０６）に回転軸（１１２）の回りを移動させる回転調整機構（１１０）を含む。平面調整機構（１１４）は、回転軸（１１２）に垂直な面（１１６）において支持デバイス（１０６）を移動させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動試験システムのインタフェースユニットを位置付けるマニピュレータであって、
取り外し可能なアタッチメントにおける前記インタフェースユニットを支持する支持デバイスと、
前記支持デバイスに接続する基部と、を含み、
前記基部が、前記支持デバイスに前記インタフェースユニットと共に回転軸の回りを移動させる回転調整機構と、
前記回転軸に垂直な面において前記支持デバイスを前記インタフェースユニットと共に移動させる平面調整機構と、を含むこと、
を特徴とするマニピュレータ。
【請求項２】
前記インタフェースユニットと前記基部との間で方向性を選択的に調整するインタフェース調整機構をさらに含むこと、
を特徴とする請求項１に記載のマニピュレータ。
【請求項３】
前記支持デバイスが中心柱を含むことを特徴とする請求項１に記載のマニピュレータ。
【請求項４】
前記支持デバイスが、前記基部に接続する中心柱と、前記中心柱から延出する一対のアームと、前記一対のアームに配置した取付け部と、を含み、前記取付け部が、取り外し可能なアタッチメントにおける前記インタフェースユニットを前記支持デバイスに固定すること、
を特徴とする請求項１に記載のマニピュレータ。
【請求項５】
前記支持デバイス及び前記基部が、前記回転調整機構によって互いに接続されること  を特徴とする請求項１に記載のマニピュレータ。
【請求項６】
前記回転調整機構が旋回取付け具であることを特徴とする請求項５に記載のマニピュレータ。
【請求項７】
前記回転調整機構が旋回手段であることを特徴とする請求項１に記載のマニピュレータ。
【請求項８】
前記平面調整機構が一対の牽引摺動手段であることを特徴とする請求項１に記載のマニピュレータ。
【請求項９】
前記一対の牽引摺動手段を互いに直交するように配置することを特徴とする請求項８に記載のマニピュレータ。
【請求項１０】
前記平面調整機構が、材料運搬デバイスと試験装置との間で既存の牽引摺動手段に対して直交するように配置した補助牽引摺動手段を含むこと、
を特徴とする請求項１に記載のマニピュレータ。
【請求項１１】
自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける改良型マニピュレータであって、
取り外し可能なアタッチメントにおける前記インタフェースユニットを有する支持デバイスと、
前記支持デバイスに接続する基部と、を含み、
前記基部が、前記支持デバイスに前記インタフェースユニットと共に回転軸の回りを移動させる回転調整機構と、
前記自動試験システムの試験装置と材料運搬デバイスとの間で牽引摺動手段に取り付ける補助調整機構と、を含み、
前記補助調整機構と前記既存の牽引摺動手段が、前記回転軸に垂直な面において前記支持デバイスを前記インタフェースユニットと共に移動させること、
を特徴とする改良型マニピュレータ。
【請求項１２】
半導体デバイスが正常に機能するかどうかを判断するために電気信号を生成して測定する試験装置と、
前記半導体デバイスを前記試験装置に提示する材料運搬デバイスと、
インタフェースユニットを位置付けるマニピュレータと、を含み、
前記マニピュレータが、取り外し可能なアタッチメントにおける前記インタフェースユニットを有する支持デバイスと、前記支持デバイスに接続する基部とを含み、前記基部が、回転軸の回りを前記支持デバイスに前記インタフェースユニットと共に移動させる回転調整機構と、前記回転軸に垂直な面において前記インタフェースユニットと共に前記支持デバイスを移動させる平面調整機構とを含むこと、
を特徴とする自動試験システム。
【請求項１３】
前記材料運搬デバイス上の前記半導体デバイスを前記試験装置と電気的に接続させる接触部を有するインタフェースユニットをさらに含むこと、
を特徴とする請求項１２に記載の自動試験システム。
【請求項１４】
前記インタフェースユニットと前記基部との間で方向性を選択的に調整するインタフェース調整機構をさらに含むこと、
を特徴とする請求項１３に記載の自動試験システム。
【請求項１５】
前記インタフェースユニットが前記インタフェース調整機構を含むこと、
を特徴とする請求項１４に記載の自動試験システム。
【請求項１６】
前記インタフェースユニットと前記基部との間で方向性を選択的に調整するインタフェース調整機構をさらに含むこと、
を特徴とする請求項１２に記載の自動試験システム。
【請求項１７】
前記材料運搬デバイスが、実装済みの半導体デバイスのハンドラであること、
を特徴とする請求項１２に記載の自動試験システム。
【請求項１８】
前記材料運搬デバイスが、ウェハ上の未実装の半導体デバイスのプローバであること、
を特徴とする請求項１２に記載の自動試験システム。
【請求項１９】
前記マニピュレータが前記材料運搬デバイスの一体的な構成要素であること、
を特徴とする請求項１２に記載の自動試験システム。
【請求項２０】
前記マニピュレータが前記試験装置の一体的な構成要素であること、
を特徴とする請求項１９に記載の自動試験システム。
【請求項２１】
前記マニピュレータが、前記材料運搬デバイスから取り外される別個の構成要素であること、
を特徴とする請求項１２に記載の自動試験システム。
【請求項２２】
前記インタフェースユニットが、前記インタフェースユニットと前記基部との間の距離を選択的に調整するインタフェース調整機構を含むこと、
を特徴とする請求項１２に記載の自動試験システム。
【請求項２３】
前記マニピュレータから前記インタフェースユニットを選択的に昇降するガントリーをさらに含むこと、
を特徴とする請求項１２に記載の自動試験システム。
【請求項２４】
自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける方法であって、
材料運搬デバイスの接続領域から一定の距離の場所に前記インタフェースユニットを支持する支持デバイスを移動させるステップと、
前記インタフェースユニットを通る回転軸の回りを前記支持デバイスに回転させるステップと、を含み、
前記支持デバイスを回転させることにより、前記材料運搬デバイスの前記接続領域に略垂直に前記インタフェースユニットの長手方向軸が位置付けられること、
を特徴とする方法。
【請求項２５】
前記インタフェースユニットを通る回転軸の回りを前記支持デバイスに回転させるステップの前に、前記材料運搬デバイスの前記接続領域に略平行な方向に前記支持デバイスを移動させるステップをさらに含むこと、
を特徴とする請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記インタフェースユニットを通る回転軸の回りを前記支持デバイスに回転させるステップの後に、前記材料運搬デバイスの前記接続領域に略平行な方向に前記支持デバイスを移動させるステップをさらに含むこと、
を特徴とする請求項２４に記載の方法。
【請求項２７】
前記支持デバイスから前記インタフェースユニットを取り外すステップをさらに含むこと、
を特徴とする請求項２４に記載の方法。
【請求項２８】
前記支持デバイスから前記インタフェースユニットを取り外すステップが、前記インタフェースユニットの前記長手方向軸に沿って互いに対向する端部で前記インタフェースユニットを持ち上げることを含むこと、
を特徴とする請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記支持デバイスから前記インタフェースユニットを取り外すステップが、ガントリーを用いて前記インタフェースユニットを持ち上げることを含むこと、
を特徴とする請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記支持デバイスに取替え用のインタフェースユニットを取り付けることをさらに含むこと、
を特徴とする請求項２７に記載の方法。
【請求項３１】
前記材料運搬デバイスの前記接続領域に前記インタフェースユニットを戻すように前記支持デバイスを移動させることをさらに含むこと、
を特徴とする請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
前記インタフェースユニットの一方の側部にアクセスするステップと、前記インタフェースユニットを通る前記回転軸の回りを前記支持デバイスに回転させるステップと、前記インタフェースユニットの他方の側部にアクセスするステップと、前記インタフェースユニットを通る前記回転軸の回りを前記支持デバイスに回転させるステップと、前記材料運搬デバイスの前記接続領域に前記インタフェースユニットを戻すように前記支持デバイスを移動させるステップと、をさらに含むこと、
を特徴とする請求項２４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体デバイスは製造プロセス中に試験する必要がある。その試験には自動試験装置（ＡＴＥ）を使用することができる。試験装置は、半導体デバイスが正常に機能するかどうかを判断するために必要な電気信号を生成して測定する回路を含み得る。半導体デバイスを試験装置まで移動させるために、別個の材料運搬デバイスを使用することができる。
【０００３】
材料運搬デバイスは、半導体デバイスを実装後に試験する際にはハンドラと称されることが多い。まだウェハ上にあるうちに半導体デバイスを試験する際には、材料運搬デバイスのことをプローバと称することが多い。
【０００４】
一般には、試験対象のデバイスのタイプに基づいて試験装置と材料運搬デバイスの特定の特徴を選択し、試験装置と材料運搬デバイスを組み立てて１つの試験セルとする。
【０００５】
様々なインタフェースユニットを使用することにより、多くの異なるタイプのデバイスと試験装置を接続することができる。典型的に、インタフェースユニットはプローブ又は接触部を有している。材料運搬デバイスは、電気信号が被試験デバイスと試験装置との間を移動できるよう、プローブ又は接触部に接触するように試験対象の半導体デバイスを位置付ける。
【０００６】
試験装置とハンドラとの間にインタフェースユニットを配置するが、通常はインタフェースユニットに近づけるように試験装置を移動させる。ほとんどのインタフェースユニットはマニピュレータと呼ばれるデバイスに取り付けて、インタフェースユニットに接近させる。マニピュレータは試験装置をハンドラと位置合わせすることもある。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一実施の形態において、自動試験システムのインタフェースユニットを位置付けるマニピュレータであって、取り外し可能なアタッチメントにおける前記インタフェースユニットを支持する支持デバイスと、前記支持デバイスに接続する基部と、を含み、前記基部が、前記支持デバイスに前記インタフェースユニットと共に回転軸の回りを移動させる回転調整機構と、前記回転軸に垂直な面において前記支持デバイスを前記インタフェースユニットと共に移動させる平面調整機構と、を含む。
【０００８】
他の実施の形態において、自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける改良型マニピュレータであって、取り外し可能なアタッチメントにおける前記インタフェースユニットを有する支持デバイスと、前記支持デバイスに接続する基部と、を含み、前記基部が、前記支持デバイスに前記インタフェースユニットと共に回転軸の回りを移動させる回転調整機構と、前記自動試験システムの試験装置と材料運搬デバイスとの間で牽引摺動手段に取り付ける補助調整機構と、を含み、前記補助調整機構と前記既存の牽引摺動手段が、前記回転軸に垂直な面において前記支持デバイスを前記インタフェースユニットと共に移動させる。
【０００９】
さらに他の実施の形態において、自動試験システムであって、半導体デバイスが正常に機能するかどうかを判断するために電気信号を生成して測定する試験装置と、前記半導体デバイスを前記試験装置に提示する材料運搬デバイスと、インタフェースユニットを位置付けるマニピュレータと、を含み、前記マニピュレータが、取り外し可能なアタッチメントにおける前記インタフェースユニットを有する支持デバイスと、前記支持デバイスに接続する基部とを含み、前記基部が、回転軸の回りを前記支持デバイスに前記インタフェースユニットと共に移動させる回転調整機構と、前記回転軸に垂直な面において前記インタフェースユニットと共に前記支持デバイスを移動させる平面調整機構とを含む。
【００１０】
さらに他の実施の形態において、自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける方法であって、材料運搬デバイスの接続領域から一定の距離の場所に前記インタフェースユニットを支持する支持デバイスを移動させるステップと、前記インタフェースユニットを通る回転軸の回りを前記支持デバイスに回転させるステップと、を含み、前記支持デバイスを回転させることにより、前記材料運搬デバイスの前記接続領域に略垂直に前記インタフェースユニットの長手方向軸が位置付けられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明を例示する実施形態を図面に示す。
【００１２】
図１から図４を参照すると、自動試験システム１０４（図３及び図４）のインタフェースユニット１０２を位置付けるマニピュレータ１００が示されている。一実施形態では、マニピュレータ１００は支持デバイス１０６と基部１０８とを含み得る。支持デバイス１０６は取り外し可能なアタッチメントにおけるインタフェースユニット１０２を有する。基部１０８は支持デバイス１０６に接続する。
【００１３】
図１及び図２を参照する。一実施形態では、基部１０８は支持デバイス１０６をインタフェースユニット１０２と共に回転軸１１２の回りを移動させる回転調整機構１１０を含み得る。基部１０８は、回転軸１１２に垂直な面１１６においてインタフェースユニット１０２と共に支持デバイス１０６を移動させる平面調整機構１１４を含み得る。
【００１４】
さらに図１及び図２を参照する。一実施形態では、インタフェースユニット１０２と基部１０８との間で方向性を選択的に調整するインタフェース調整機構１１８を示す。インタフェース調整機構１１８はインタフェースユニット１０２上に配置されて、支持デバイス１０６に接続され得る。
【００１５】
一実施形態では、支持デバイス１０６は中心柱１２０を含み得る。支持デバイスは基部１０８に接続する中心柱１２０を含み得る。一対のアーム１２２が中心柱１２０から延出し得る。取付け部１２４を一対のアーム１２２に配置し得る。取付け部１２４は、取り外し可能なアタッチメントにおけるインタフェースユニット１０２を支持デバイス１０６に固定するように構成することができる。
【００１６】
図１を参照する。一実施形態では、支持デバイス１０６と基部１０８は、回転調整機構１１０によって互いに接続するように保持され得る。例えば、回転調整機構１１０は旋回取付け具１２６であってもよい。別の実施形態では、回転調整機構１１０は支持デバイス１０６にインタフェースユニット１０２と共に回転軸１１２の回りを移動させる旋回手段１２６であってもよい。旋回手段１２６としては、取り付けた部品を自由に回転させる連結具、ピボット、又はその他の締結デバイス等があるが、これらに限定しない。回転調整機構１１０は、支持デバイス１０６を水平面において回転させるピボット式の支持部を含み得る。また回転調整機構１１０は、支持デバイス１０６を回転させる回転台状の回転デバイスを含み得る。
【００１７】
図１から図４を参照する。一実施形態では、平面調整機構１１４は１対の牽引摺動手段１２８及び１３０を含み得る。一般に、牽引摺動手段１２８及び１３０は互いに直交するように配置し得る。
【００１８】
別の実施形態では、平面調整機構１１４は材料運搬デバイス１３２と試験装置１３４との間の既存の牽引摺動手段１３０Ａに対して直交するように配置した補助牽引摺動手段１２８Ａを含む。支持デバイス１０６は中心柱１２０を含み得る。基部１０８は牽引摺動手段１２８Ａを含み得る。
【００１９】
図１から図４を参照する。一実施形態では、基部１０８は回転軸１１２に垂直な面１１６においてインタフェースユニット１０２と共に支持デバイス１０６を移動させる一対の牽引摺動手段１２８及び１３０を含み得る。この一対の牽引摺動手段１２８及び１３０は、互いに直交するように配置され得る。
【００２０】
図１から図４を参照する。一実施形態では、マニピュレータ１００は自動試験システム１０４のインタフェースユニット１０２を位置付ける改良型マニピュレータであり得る。改良型マニピュレータ１００は、支持デバイス１０６と基部１０８を含み得る。基部１０８は自動試験システム１０４の材料運搬デバイス１３２と試験装置１３４との間で牽引摺動手段１３０Ａに取り付けられる補調整機構１２８Ａを含み得る。補助調整機構１２８Ａと既存の牽引摺動手段１３０Ａにより、支持デバイス１０６はインタフェースユニット１０２と共に、回転軸１１２に垂直な面１１６において移動することができる。
【００２１】
図１から図４を参照すると、自動試験システム１０４は試験装置１３４、材料運搬デバイス１３２、インタフェースユニット１０２、及びマニピュレータ１００を含み得る。一般に、自動試験システム１０４は半導体デバイスが正常に機能するかどうかを判断するために電気信号を生成して測定するように構成することができる。材料運搬デバイス１３２は試験装置１３４に半導体デバイスを提示するように構成することができる。インタフェースユニットは一般に、材料運搬デバイス１３２上の半導体デバイスを試験装置１３４と電気的に接続する接触部を有する。
【００２２】
一実施形態では、材料運搬デバイス１３２は実装済みの半導体デバイス用のハンドラであり得る。別の実施形態では、材料運搬デバイス１３２はウェハ上の未実装半導体デバイス用のプローバであり得る。
【００２３】
マニピュレータ１００は材料運搬デバイス１３２の一体的な要素としてもよい。マニピュレータ１００は試験装置１３４の一体的な要素としてもよい。代替的に、マニピュレータ１００は、材料運搬デバイス１３２から取り外される別個の要素としてもよい。
【００２４】
図５を参照する。一実施形態では、自動試験システム１０４はマニピュレータ１００から選択的にインタフェースユニット１０２を昇降するガントリー５００を含み得る。ガントリー５００はインタフェースユニット１０２の取付け部１２４と接続する一対の取付け位置５０２を有し得る。ガントリー５００をマニピュレータ１００のインタフェースユニット１０２に隣接するように位置付けると、支持デバイス１０６が回転してインタフェースユニットの対向する側部１３６を露呈させる。典型的に、支持デバイス１０６は試験装置１３４の通常の動作位置から約９０度回転させられる。
【００２５】
ガントリー５００を使用しなくとも、マニピュレータ１００を平行移動させて回転させることにより、インタフェースユニット１０２の前部１３８及び後部１４０に迅速にアクセスすることができる。さらに、マニピュレータ１００はインタフェースユニット１０２の対向する側部１３６の両方へのアクセスを提供する。この構成によれば、マニピュレータ１００から障害もなく対向する側部１３６を、２名の人間で持ち上げることが可能である。
【００２６】
図６を参照すると、自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける方法６００が示されている。一実施形態では、方法６００は材料運搬デバイスの接続領域から一定の距離の場所にインタフェースユニットを支持する支持デバイスを移動させるステップ６０２を含み得る。方法６００は、インタフェースユニットを通る回転軸の回りを支持デバイスに回転させるステップ６０４を含み得る。支持デバイスを回転させることにより、材料運搬デバイスの接続領域に略垂直にインタフェースユニットの長手方向軸が位置付けられる。
【００２７】
任意に、方法６００は支持デバイスからインタフェースユニットを取り外すステップ６０６をさらに含み得る。一実施形態では、インタフェースユニットを取り外すステップ６０６はガントリーを用いてインタフェースユニットを持ち上げることを含み得る。別の実施形態では、インタフェースユニットを取り外すステップ６０６は、作業者１名、或いは１組の作業者によってインタフェースユニットを持ち上げることを含み得る。
【００２８】
任意に、方法６００は取替え用のインタフェースユニットを支持デバイスに取り付けるステップ６０８をさらに含み得る。方法６００はまた、材料運搬デバイスの接続領域にインタフェースユニットを戻すように支持デバイスを移動させるステップ６１０をさらに含み得る。
【００２９】
図７を参照すると、自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける方法７００が示されている。一実施形態では、方法７００は材料運搬デバイスの接続領域から一定の距離の場所にインタフェースユニットを支持する支持デバイスを移動させるステップ７０２を含み得る。方法７００は、インタフェースユニットを通る回転軸の回りを支持デバイスに回転させるステップ７０４を含み得る。一実施形態では、支持デバイスを回転させることにより、材料運搬デバイスの接続領域に略垂直にインタフェースユニットの長手方向軸が位置付けられる。
【００３０】
任意に、方法７００は支持デバイスからインタフェースユニットを取り外すステップ７０６をさらに含み得る。
【００３１】
任意に、支持デバイスからインタフェースユニットを取り外すステップ７０６に加えて、又はステップ７０６の代わりとして、方法７００はインタフェースユニットの一方の側部にアクセスして、インタフェースユニットを通る回転軸の回りを支持デバイスに回転させるステップ７０８を含み得る。方法７００は、インタフェースユニットの他方の側部にアクセスするステップ７１０を含み得る。方法７００は、インタフェースユニットを通る回転軸の回りを支持デバイスに回転させるステップ７１２を含み得る。
【００３２】
方法７００は、材料運搬デバイスの接続領域にインタフェースユニットを戻すように支持デバイスを移動させるステップ７１４を含み得る。
【００３３】
以下本発明の付記を説明する。
【００３４】
（付記１）
自動試験システム（１０４）のインタフェースユニット（１０２）を位置付けるマニピュレータ（１００）であって、
取り外し可能なアタッチメントにおける前記インタフェースユニット（１０２）を支持する支持デバイス（１０６）と、
前記支持デバイス（１０６）に接続する基部（１０８）と、を含み、
前記基部（１０８）が、前記支持デバイス（１０６）に前記インタフェースユニット（１０２）と共に回転軸（１１２）の回りを移動させる回転調整機構（１１０）と、
前記回転軸（１１２）に垂直な面（１１６）において前記支持デバイス（１０６）を前記インタフェースユニット（１０２）と共に移動させる平面調整機構（１１４）と、を含むこと、
を特徴とするマニピュレータ（１００）。
【００３５】
（付記３）
前記支持デバイス（１０６）及び前記基部（１０８）が、前記回転調整機構（１１０）によって互いに接続されることを特徴とする付記１に記載のマニピュレータ（１００）。
【００３６】
（付記４）
自動試験システム（１０４）を含むマニピュレータ（１００）であって、
前記自動試験システム（１０４）は、
半導体デバイスが正常に機能するかどうかを判断するために電気信号を生成して測定する試験装置（１３４）と、
前記半導体デバイスを前記試験装置（１３４）に提示する材料運搬デバイス（１３２）とを含むことを特徴とする付記１に記載のマニピュレータ（１００）。
【００３７】
（付記５）
前記マニピュレータ（１００）から前記インタフェースユニット（１０２）を選択的に昇降するガントリー（５００）をさらに含むこと、
を特徴とする付記４に記載の自動試験システム（１０４）。
【００３８】
（付記６）
自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける方法であって、
材料運搬デバイスの接続領域から一定の距離の場所に前記インタフェースユニットを支持する支持デバイスを移動させるステップ（６０２、７０２）と、
前記インタフェースユニットを通る回転軸の回りを前記支持デバイスに回転させるステップ（６０４、７０４）と、を含み、
前記支持デバイスを回転させることにより、前記材料運搬デバイスの前記接続領域に略垂直に前記インタフェースユニットの長手方向軸が位置付けられること、
を特徴とする方法（６００、７００）。
【００３９】
（付記７）
前記支持デバイスから前記インタフェースユニットを取り外すステップ（６０６、７０６）をさらに含むこと、
を特徴とする付記６に記載の方法（６００、７００）。
【００４０】
（付記８）
前記支持デバイスから前記インタフェースユニットを取り外すステップ（６０６、７０６）が、前記インタフェースユニットの前記長手方向軸に沿って互いに対向する端部で前記インタフェースユニットを持ち上げることを含むこと、
を特徴とする付記７に記載の方法（６００、７００）。
【００４１】
（付記９）
前記支持デバイスから前記インタフェースユニットを取り外すステップ（６０６、７０６）が、ガントリーを用いて前記インタフェースユニットを持ち上げることを含むこと、
を特徴とする付記８に記載の方法（６００、７００）。
【００４２】
（付記１０）
前記インタフェースユニットの一方の側部にアクセスするステップ（７０８）と、前記インタフェースユニットを通る前記回転軸の回りを前記支持デバイスに回転させるステップと、前記インタフェースユニットの他方の側部にアクセスするステップ（７１０）と、前記インタフェースユニットを通る前記回転軸の回りを前記支持デバイスに回転させるステップ（７１２）と、前記材料運搬デバイスの前記接続領域に前記インタフェースユニットを戻すように前記支持デバイスを移動させるステップ（７１４）と、をさらに含むこと、
を特徴とする付記６に記載の方法（７００）。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】自動試験システムのインタフェースユニットを位置付けるマニピュレータの正面図である。
【図２】図１に示すマニピュレータの平面図である。
【図３】図１に示すマニピュレータを備える自動試験システムを示す図である。
【図４】図３で示す自動試験システム及びマニピュレータの別の図である。
【図５】図１から図４の自動試験システムと共に使用するガントリーを示す図である。
【図６】自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける一方法を示す図である。
【図７】自動試験システムのインタフェースユニットを位置付ける一方法を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１００  マニピュレータ
１０２  インタフェースユニット
１０４  自動試験システム
１０６  支持デバイス
１０８  基部
１１０  回転調整機構
１１２  回転軸
１１４  平面調整機構
１１８  インタフェース調整機構
１２８、１３０  牽引摺動手段
１３２  材料運搬デバイス
１３４  試験装置
【図１】
2007232723.tif 000003
【図２】
2007232723.tif 000004
【図３】
2007232723.tif 000005
【図４】
2007232723.tif 000006
【図５】
2007232723.tif 000007
【図６】
2007232723.tif 000008
【図７】
2007232723.tif 000009
【外国語明細書】
2007232723000001.pdf