(57)【要約】【課題】液晶表示デバイスを精度よく検査できる液晶表示デバイス検査装置を提供する。【解決手段】液晶表示デバイス検査装置１の制御装置４は、画素に所定時間、電圧を印加することで画素容量に電荷を充電した充電状態から画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる液晶表示デバイス制御部４３１１と、放電開始後、液晶パネル１０の画像をＣＣＤカメラ３に撮像させて検査用画像データを順次取得する画像データ取得部４３１２と、検査用画像データに基づいて、検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値、放電終了時間、および、検査用画像データを取得した各時間に対して各平均値を直線近似した際の近似式の傾きのうち少なくともいずれかの検査情報を算出する検査情報算出部４３１３Ａと、検査情報と基準検査情報とを比較して液晶パネル１０を検査するデバイス検査部４３１３Ｄとを備える。【選択図】図１
2007286402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、
前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる放電開始ステップと、
放電開始時から所定時間後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを取得する検査用画像データ取得ステップと、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を算出する平均値算出ステップと、
前記平均値と基準となる基準平均値とを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査方法。
【請求項２】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、
前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる放電開始ステップと、
放電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を順次算出する平均値算出ステップと、
前記平均値と基準となる基準終了平均値とを順次比較し、比較した結果に応じて前記画素容量の放電が終了した放電終了時間を算出する放電終了時間算出ステップと、
前記放電終了時間と基準となる基準時間とを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査方法。
【請求項３】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、
前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる放電開始ステップと、
放電開始時から所定時間後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を順次算出する平均値算出ステップと、
前記検査用画像データを取得した各時間に対して算出した各平均値を直線近似し、直線近似した近似式の傾きを算出する傾き算出ステップと、
前記傾きと基準となる基準傾きとを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査方法。
【請求項４】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、
前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる放電開始ステップと、
放電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出する標準偏差算出ステップと、
取得した複数の検査用画像データのうち、算出した標準偏差が最大の検査用画像データを判定する最大検査用画像データ判定ステップと、
前記最大検査用画像データに基づいて、前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査方法。
【請求項５】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、
前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する充電開始ステップと、
充電開始時から所定時間後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを取得する検査用画像データ取得ステップと、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を算出する平均値算出ステップと、
前記平均値と基準となる基準平均値とを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査方法。
【請求項６】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、
前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する充電開始ステップと、
充電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を順次算出する平均値算出ステップと、
前記平均値と基準となる基準終了平均値とを順次比較し、比較した結果に応じて前記画素容量の充電が終了した充電終了時間を算出する充電終了時間算出ステップと、
前記充電終了時間と基準となる基準時間とを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査方法。
【請求項７】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、
前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する充電開始ステップと、
充電開始時から所定時間後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を順次算出する平均値算出ステップと、
前記検査用画像データを取得した各時間に対して算出した各平均値を直線近似し、直線近似した近似式の傾きを算出する傾き算出ステップと、
前記傾きと基準となる基準傾きとを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査方法。
【請求項８】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、
前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する充電開始ステップと、
充電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出する標準偏差算出ステップと、
取得した複数の検査用画像データのうち、算出した標準偏差が最大の検査用画像データを判定する最大検査用画像データ判定ステップと、
前記最大検査用画像データに基づいて、前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査方法。
【請求項９】
請求項４または請求項８に記載の液晶表示デバイス検査方法において、
前記画素が最大輝度値となるように前記液晶表示デバイスを駆動して前記液晶表示デバイスに白画像を表示させる白画像表示ステップと、
前記液晶表示デバイスに表示された白画像を前記撮像装置に撮像させて白画像データを取得する白画像データ取得ステップと、
前記画素が最小輝度値となるように前記液晶表示デバイスを駆動して前記液晶表示デバイスに黒画像を表示させる黒画像表示ステップと、
前記液晶表示デバイスに表示された黒画像を前記撮像装置に撮像させて黒画像データを取得する黒画像データ取得ステップとを備え、
前記標準偏差算出ステップは、対応する画素毎に、前記白画像データにおける画素毎の各画素値、および前記黒画像データにおける画素毎の各画素値によって正規化した前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値に基づいて、前記標準偏差を算出することを特徴とする液晶表示デバイス検査方法。
【請求項１０】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査装置であって、
前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置を駆動制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、
前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる液晶表示デバイス制御部と、
放電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を前記撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得部と、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値と、前記画素容量の放電が終了した放電終了時間と、前記検査用画像データを取得した各時間に対して各前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の各平均値を直線近似した際の近似式の傾きとのうち少なくともいずれかの検査情報を算出する検査情報算出部と、
前記検査情報と基準となる基準検査情報とを比較して前記液晶表示デバイスを検査するデバイス検査部とを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査装置。
【請求項１１】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査装置であって、
前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置を駆動制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、
前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる液晶表示デバイス制御部と、
放電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を前記撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得部と、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出する標準偏差算出部と、
前記検査用画像データ取得部にて取得された複数の検査用画像データのうち、前記標準偏差算出部にて算出された標準偏差が最大の検査用画像データを判定する最大検査用画像データ判定部と、
前記最大検査用画像データに基づいて、前記液晶表示デバイスを検査するデバイス検査部とを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査装置。
【請求項１２】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査装置であって、
前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置を駆動制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、
前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する液晶表示デバイス制御部と、
充電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を前記撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得部と、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値と、前記画素容量の充電が終了した充電終了時間と、前記検査用画像データを取得した各時間に対して各前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の各平均値を直線近似した際の近似式の傾きとのうち少なくともいずれかの検査情報を算出する検査情報算出部と、
前記検査情報と基準となる基準検査情報とを比較して前記液晶表示デバイスを検査するデバイス検査部とを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査装置。
【請求項１３】
画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査装置であって、
前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置を駆動制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、
前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する液晶表示デバイス制御部と、
充電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を前記撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得部と、
前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出する標準偏差算出部と、
前記検査用画像データ取得部にて取得された複数の検査用画像データのうち、前記標準偏差算出部にて算出された標準偏差が最大の検査用画像データを判定する最大検査用画像データ判定部と、
前記最大検査用画像データに基づいて、前記液晶表示デバイスを検査するデバイス検査部とを備えていることを特徴とする液晶表示デバイス検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画素容量を有する画素を備えた液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法、および液晶表示デバイス検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、画素容量を有する画素を備え、画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスが知られている。
このような液晶表示デバイスを市場に供給するにあたっては、それが正常に動作するか否かを検査する必要がある。そして、従来、液晶表示デバイス内の画素に欠陥があるか否かを検査する検査方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の技術では、液晶表示デバイス内の各画素に所定量の電荷を一旦充電した後に、その電荷を自然に放電させる。すなわち、自然放電させることで、時間を掛けてゆっくり放電させる。そして、その放電過程において、各画素間に生じる表示状態の変化を視覚によって観察することで、液晶表示デバイスに欠陥が存在するか否かを検査している。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−２９３１４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、目視により液晶表示デバイスを検査しているので、検査する作業者が異なる場合には、作業者毎に検査精度が異なるものとなり、液晶表示デバイスを精度よく検査することが難しい。
【０００５】
本発明の目的は、液晶表示デバイスを精度よく検査できる液晶表示デバイス検査方法、および液晶表示デバイス検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液晶表示デバイス検査方法は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる放電開始ステップと、放電開始時から所定時間後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを取得する検査用画像データ取得ステップと、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を算出する平均値算出ステップと、前記平均値と基準となる基準平均値とを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする。
【０００７】
本発明では、放電開始ステップで、画素容量に電荷を充電した状態から電圧の印加を停止して放電させ、液晶表示デバイスに表示される画像を放電開始時から経時的に変化させる。例えば、放電開始後における液晶表示デバイスの全画素の表示状態が「黒」から「白」に変化する構成とした場合（液晶表示デバイスがいわゆるノーマリホワイト型の場合）、正常な特性（画素容量や回路特性）を有する画素が「黒」を維持している際に、欠陥となる正常ではない特性を有する画素はいち早く「白」に変化する。すなわち、上述した構成とした場合、液晶表示デバイスに欠陥が存在していると、平均値算出ステップで算出した平均値は、基準平均値（正常な特性を有する画素のみを備えた液晶表示デバイスにおける平均値）よりも大きいものとなる。このため、検査ステップにおいて平均値と基準平均値とを比較することで液晶表示デバイスに欠陥が存在しているか否か（液晶表示デバイスが低品質であるか高品質であるか）を検査でき、ひいては、各画素容量や各画素の回路特性を簡易的にかつ定量的に検査して液晶表示デバイスを精度よく検査できる。
また、撮像装置を用いて検査用画像データを取得し、所定の画像処理を施すことで平均値算出ステップおよび検査ステップを実施しているので、従来の視覚によって液晶表示デバイスを検査する構成と比較して、液晶表示デバイスを簡易的にかつ精度よく検査できる。
さらに、放電開始時から所定時間後に取得した検査用画像データに基づいて、液晶表示デバイスの検査を実施できるので、画素容量において電荷が完全に放電するまで待つ必要がなく、前記所定時間を適宜、設定することで、全検査工程を短い時間で実施できる。
【０００８】
本発明の液晶表示デバイス検査方法は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる放電開始ステップと、放電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を順次算出する平均値算出ステップと、前記平均値と基準となる基準終了平均値とを順次比較し、比較した結果に応じて前記画素容量の放電が終了した放電終了時間を算出する放電終了時間算出ステップと、前記放電終了時間と基準となる基準時間とを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする。
【０００９】
本発明では、放電開始ステップで、画素容量に電荷を充電した状態から電圧の印加を停止して放電させ、液晶表示デバイスに表示される画像を放電開始時から経時的に変化させる。例えば、放電開始後における液晶表示デバイスの全画素の表示状態が「黒」から「白」に変化する構成とした場合（液晶表示デバイスがいわゆるノーマリホワイト型の場合）、正常な特性（画素容量や回路特性）を有する画素が「黒」を維持している際に、欠陥となる正常ではない特性を有する画素はいち早く「白」に変化する。すなわち、上述した構成とした場合、液晶表示デバイスに欠陥が存在していると、放電終了時間算出ステップで算出した放電終了時間は、基準時間（正常な特性を有する画素のみを備えた液晶表示デバイスにおける放電終了時間）よりも短いものとなる。このため、検査ステップにおいて放電終了時間と基準時間とを比較することで液晶表示デバイスに欠陥が存在しているか否か（液晶表示デバイスが低品質であるか高品質であるか）を検査でき、ひいては、各画素容量や各画素の回路特性を簡易的にかつ定量的に検査して液晶表示デバイスを精度よく検査できる。
また、撮像装置を用いて検査用画像データを順次取得し、所定の画像処理を施すことで平均値算出ステップ、放電終了時間算出ステップ、および検査ステップを実施しているので、従来の視覚によって液晶表示デバイスを検査する構成と比較して、液晶表示デバイスを簡易的にかつ精度よく検査できる。
【００１０】
本発明の液晶表示デバイス検査方法は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる放電開始ステップと、放電開始時から所定時間後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を順次算出する平均値算出ステップと、前記検査用画像データを取得した各時間に対して算出した各平均値を直線近似し、直線近似した近似式の傾きを算出する傾き算出ステップと、前記傾きと基準となる基準傾きとを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする。
【００１１】
本発明では、放電開始ステップで、画素容量に電荷を充電した状態から電圧の印加を停止して放電させ、液晶表示デバイスに表示される画像を放電開始時から経時的に変化させる。例えば、放電開始後における液晶表示デバイスの全画素の表示状態が「黒」から「白」に変化する構成とした場合（液晶表示デバイスがいわゆるノーマリホワイト型の場合）、正常な特性（画素容量や回路特性）を有する画素が「黒」を維持している際に、欠陥となる正常ではない特性を有する画素はいち早く「白」に変化する。すなわち、上述した構成とした場合、液晶表示デバイスに欠陥が存在していると、傾き算出ステップで算出した傾きは、基準傾き（正常な特性を有する画素のみを備えた液晶表示デバイスにおける傾き）よりも大きいものとなる。このため、検査ステップにおいて傾きと基準傾きとを比較することで液晶表示デバイスに欠陥が存在しているか否か（液晶表示デバイスが低品質であるか高品質であるか）を検査でき、ひいては、各画素容量や各画素の回路特性を簡易的にかつ定量的に検査して液晶表示デバイスを精度よく検査できる。
また、撮像装置を用いて検査用画像データを順次取得し、所定の画像処理を施すことで平均値算出ステップ、傾き算出ステップ、および検査ステップを実施しているので、従来の視覚によって液晶表示デバイスを検査する構成と比較して、液晶表示デバイスを簡易的にかつ精度よく検査できる。
さらに、放電開始時から所定時間の範囲内で検査用画像データを順次取得し、取得した検査用画像データに基づいて、液晶表示デバイスの検査を実施できるので、画素容量において電荷が完全に放電するまで待つ必要がなく、前記所定時間の範囲を適宜、設定することで、全検査工程を短い時間で実施できる。
【００１２】
本発明の液晶表示デバイス検査方法は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる放電開始ステップと、放電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出する標準偏差算出ステップと、取得した複数の検査用画像データのうち、算出した標準偏差が最大の検査用画像データを判定する最大検査用画像データ判定ステップと、前記最大検査用画像データに基づいて、前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする。
【００１３】
本発明では、放電開始ステップで、画素容量に電荷を充電した状態から電圧の印加を停止して放電させ、液晶表示デバイスに表示される画像を放電開始時から経時的に変化させる。例えば、放電開始後における液晶表示デバイスの全画素の表示状態が「黒」から「白」に変化する構成とした場合（液晶表示デバイスがいわゆるノーマリホワイト型の場合）、正常な特性（画素容量や回路特性）を有する画素が「黒」を維持している際に、欠陥となる正常ではない特性を有する画素はいち早く「白」に変化する。すなわち、上述した構成とした場合、液晶表示デバイスに欠陥が存在していると、検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差が大きくなる。このため、検査ステップにおいて、例えば、最大検査用画像データに対して一般的な欠陥強調処理を施すことで、液晶表示デバイスに欠陥が存在しているか否か（液晶表示デバイスが低品質であるか高品質であるか）を検査できる。また、検査ステップにおいて、最大検査用画像データに基づいて、各画素容量や各画素の回路特性のばらつきを簡易的にかつ定量的に検査できる。したがって、液晶表示デバイスを精度よく検査できる。
また、最大検査用画像データ判定ステップで複数の検査用画像データのうち標準偏差が最大となる最大検査用画像データを判定し、検査ステップで最大検査用画像データに基づいて液晶表示デバイスを検査している。このことにより、液晶表示デバイスに欠陥が存在している場合に、欠陥を最も識別しやすい最大検査用画像データに基づいて液晶表示デバイスの検査を実施できるので、欠陥を有する画素を精度よく検出できるとともに、各画素容量や各画素の回路特性のばらつきを良好に検査できる。
さらに、撮像装置を用いて検査用画像データを順次取得し、所定の画像処理を施すことで標準偏差算出ステップ、最大検査用画像データ判定ステップ、および検査ステップを実施しているので、従来の視覚によって液晶表示デバイスを検査する構成と比較して、液晶表示デバイスを容易にかつ精度よく検査できる。
【００１４】
本発明の液晶表示デバイス検査方法は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する充電開始ステップと、充電開始時から所定時間後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを取得する検査用画像データ取得ステップと、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を算出する平均値算出ステップと、前記平均値と基準となる基準平均値とを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする。
【００１５】
本発明では、充電開始ステップで、画素容量に電荷を充電していない状態から画素に電圧を印加することで充電を開始し、液晶表示デバイスに表示される画像を充電開始時から経時的に変化させる。例えば、充電開始後における液晶表示デバイスの全画素の表示状態が「白」から「黒」に変化する構成とした場合（液晶表示デバイスがいわゆるノーマリホワイト型の場合）、正常な特性（画素容量や回路特性）を有する画素が「白」を維持している際に、欠陥となる正常ではない特性を有する画素はいち早く「黒」に変化する。すなわち、上述した構成とした場合、液晶表示デバイスに欠陥が存在していると、平均値算出ステップで算出した平均値は、基準平均値（正常な特性を有する画素のみを備えた液晶表示デバイスにおける平均値）よりも小さいものとなる。このため、検査ステップにおいて平均値と基準平均値とを比較することで液晶表示デバイスに欠陥が存在しているか否か（液晶表示デバイスが低品質であるか高品質であるか）を検査でき、ひいては、各画素容量や各画素の回路特性を簡易的にかつ定量的に検査して液晶表示デバイスを精度よく検査できる。
また、撮像装置を用いて検査用画像データを取得し、所定の画像処理を施すことで平均値算出ステップおよび検査ステップを実施しているので、従来の視覚によって液晶表示デバイスを検査する構成と比較して、液晶表示デバイスを簡易的にかつ精度よく検査できる。
さらに、充電開始時から所定時間後に取得した検査用画像データに基づいて、液晶表示デバイスの検査を実施できるので、画素容量において電荷が完全に充電するまで待つ必要がなく、前記所定時間を適宜、設定することで、全検査工程を短い時間で実施できる。
【００１６】
本発明の液晶表示デバイス検査方法は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する充電開始ステップと、充電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を順次算出する平均値算出ステップと、前記平均値と基準となる基準終了平均値とを順次比較し、比較した結果に応じて前記画素容量の充電が終了した充電終了時間を算出する充電終了時間算出ステップと、前記充電終了時間と基準となる基準時間とを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする。
【００１７】
本発明では、充電開始ステップで、画素容量に電荷を充電していない状態から画素に電圧を印加することで充電を開始し、液晶表示デバイスに表示される画像を充電開始時から経時的に変化させる。例えば、充電開始後における液晶表示デバイスの全画素の表示状態が「白」から「黒」に変化する構成とした場合（液晶表示デバイスがいわゆるノーマリホワイト型の場合）、正常な特性（画素容量や回路特性）を有する画素が「白」を維持している際に、欠陥となる正常ではない特性を有する画素はいち早く「黒」に変化する。すなわち、上述した構成とした場合、液晶表示デバイスに欠陥が存在していると、充電終了時間算出ステップで算出した充電終了時間は、基準時間（正常な特性を有する画素のみを備えた液晶表示デバイスにおける充電終了時間）よりも短いものとなる。このため、検査ステップにおいて充電終了時間と基準時間とを比較することで液晶表示デバイスに欠陥が存在しているか否か（液晶表示デバイスが低品質であるか高品質であるか）を検査でき、ひいては、各画素容量や各画素の回路特性を簡易的にかつ定量的に検査して液晶表示デバイスを精度よく検査できる。
また、撮像装置を用いて検査用画像データを順次取得し、所定の画像処理を施すことで平均値算出ステップ、放電終了時間算出ステップ、および検査ステップを実施しているので、従来の視覚によって液晶表示デバイスを検査する構成と比較して、液晶表示デバイスを簡易的にかつ精度よく検査できる。
【００１８】
本発明の液晶表示デバイス検査方法は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する充電開始ステップと、充電開始時から所定時間後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値を順次算出する平均値算出ステップと、前記検査用画像データを取得した各時間に対して算出した各平均値を直線近似し、直線近似した近似式の傾きを算出する傾き算出ステップと、前記傾きと基準となる基準傾きとを比較して前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする。
【００１９】
本発明では、充電開始ステップで、画素容量に電荷を充電していない状態から画素に電圧を印加することで充電を開始し、液晶表示デバイスに表示される画像を充電開始時から経時的に変化させる。例えば、充電開始後における液晶表示デバイスの全画素の表示状態が「白」から「黒」に変化する構成とした場合（液晶表示デバイスがいわゆるノーマリホワイト型の場合）、正常な特性（画素容量や回路特性）を有する画素が「白」を維持している際に、欠陥となる正常ではない特性を有する画素はいち早く「黒」に変化する。すなわち、上述した構成とした場合、液晶表示デバイスに欠陥が存在していると、傾き算出ステップで算出した傾きは、基準傾き（正常な特性を有する画素のみを備えた液晶表示デバイスにおける傾き）よりも大きい（絶対値で比較した場合）ものとなる。このため、検査ステップにおいて傾きと基準傾きとを比較することで液晶表示デバイスに欠陥が存在しているか否か（液晶表示デバイスが低品質であるか高品質であるか）を検査でき、ひいては、各画素容量や各画素の回路特性を簡易的にかつ定量的に検査して液晶表示デバイスを精度よく検査できる。
また、撮像装置を用いて検査用画像データを順次取得し、所定の画像処理を施すことで平均値算出ステップ、傾き算出ステップ、および検査ステップを実施しているので、従来の視覚によって液晶表示デバイスを検査する構成と比較して、液晶表示デバイスを簡易的にかつ精度よく検査できる。
さらに、充電開始時から所定時間の範囲内で検査用画像データを順次取得し、取得した検査用画像データに基づいて、液晶表示デバイスの検査を実施できるので、画素容量において電荷が完全に充電するまで待つ必要がなく、前記所定時間の範囲を適宜、設定することで、全検査工程を短い時間で実施できる。
【００２０】
本発明の液晶表示デバイス検査方法は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査方法であって、前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する充電開始ステップと、充電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得ステップと、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出する標準偏差算出ステップと、取得した複数の検査用画像データのうち、算出した標準偏差が最大の検査用画像データを判定する最大検査用画像データ判定ステップと、前記最大検査用画像データに基づいて、前記液晶表示デバイスを検査する検査ステップとを備えていることを特徴とする。
【００２１】
本発明では、充電開始ステップで、画素容量に電荷を充電していない状態から画素に電圧を印加することで充電を開始し、液晶表示デバイスに表示される画像を充電開始時から経時的に変化させる。例えば、放電開始時における液晶表示デバイスの全画素の表示状態が「白」から「黒」に変化する構成とした場合（液晶表示デバイスがいわゆるノーマリホワイト型の場合）、正常な特性（画素容量や回路特性）を有する画素が「白」を維持している際に、欠陥となる正常ではない特性を有する画素はいち早く「黒」に変化する。すなわち、上述した構成とした場合、液晶表示デバイスに欠陥が存在していると、検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差が大きくなる。このため、検査ステップにおいて、例えば、最大検査用画像データに対して一般的な欠陥強調処理を施すことで、液晶表示デバイスに欠陥が存在しているか否か（液晶表示デバイスが低品質であるか高品質であるか）を検査できる。また、検査ステップにおいて、最大検査用画像データに基づいて、各画素容量や各画素の回路特性のばらつきを簡易的にかつ定量的に検査できる。したがって、液晶表示デバイスを精度よく検査できる。
また、最大検査用画像データ判定ステップで複数の検査用画像データのうち標準偏差が最大となる最大検査用画像データを判定し、検査ステップで最大検査用画像データに基づいて液晶表示デバイスを検査している。このことにより、液晶表示デバイスに欠陥が存在している場合に、欠陥を最も識別しやすい最大検査用画像データに基づいて液晶表示デバイスの検査を実施できるので、欠陥を有する画素を精度よく検出できるとともに、各画素容量や各画素の回路特性のばらつきを良好に検査できる、。
さらに、撮像装置を用いて検査用画像データを順次取得し、所定の画像処理を施すことで標準偏差算出ステップ、最大検査用画像データ判定ステップ、および検査ステップを実施しているので、従来の視覚によって液晶表示デバイスを検査する構成と比較して、液晶表示デバイスを容易にかつ精度よく検査できる。
【００２２】
本発明の液晶表示デバイス検査方法では、前記画素が最大輝度値となるように前記液晶表示デバイスを駆動して前記液晶表示デバイスに白画像を表示させる白画像表示ステップと、前記液晶表示デバイスに表示された白画像を前記撮像装置に撮像させて白画像データを取得する白画像データ取得ステップと、前記画素が最小輝度値となるように前記液晶表示デバイスを駆動して前記液晶表示デバイスに黒画像を表示させる黒画像表示ステップと、前記液晶表示デバイスに表示された黒画像を前記撮像装置に撮像させて黒画像データを取得する黒画像データ取得ステップとを備え、前記標準偏差算出ステップは、対応する画素毎に、前記白画像データにおける画素毎の各画素値、および前記黒画像データにおける画素毎の各画素値によって正規化した前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値に基づいて、前記標準偏差を算出することが好ましい。
【００２３】
ところで、撮像装置で取得した画像データには、液晶表示デバイスに照射される光束の照明ムラ等に起因する成分が含まれている。このため、標準偏差算出ステップにおいて、検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差をそのまま算出した場合には、前記成分が含まれた状態で標準偏差を算出することとなり、欠陥による画素値のばらつきが反映された標準偏差を正確に算出することが難しい。
本発明では、標準偏差算出ステップは、対応する画素毎に、白画像データにおける画素毎の各画素値、および黒画像データにおける画素毎の各画素値によって、検査用画像データにおける画素毎の各画素値を正規化する。すなわち、標準偏差算出ステップは、検査用画像データから前記成分を除去する補正を実施する。そして、標準偏差算出ステップは、正規化した検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を算出する。このことにより、欠陥による画素値のばらつきが反映された標準偏差を正確に算出でき、最大検査用画像データ判定ステップにおいて、欠陥を最も識別しやすい最大検査用画像データを正確に判定できる。したがって、液晶表示デバイスをより精度よく検査できる。
【００２４】
本発明の液晶表示デバイス検査装置は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査装置であって、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置を駆動制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる液晶表示デバイス制御部と、放電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を前記撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得部と、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値と、前記画素容量の放電が終了した放電終了時間と、前記検査用画像データを取得した各時間に対して各前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の各平均値を直線近似した際の近似式の傾きとのうち少なくともいずれかの検査情報を算出する検査情報算出部と、前記検査情報と基準となる基準検査情報とを比較して、前記液晶表示デバイスを検査するデバイス検査部とを備えていることを特徴とする。
【００２５】
また、本発明の液晶表示デバイス検査装置は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査装置であって、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置を駆動制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記画素に所定時間、電圧を印加することで前記画素容量に電荷を充電した充電状態から前記画素への電圧の印加を停止して放電を開始させる液晶表示デバイス制御部と、放電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を前記撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得部と、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出する標準偏差算出部と、前記検査用画像データ取得部にて取得された複数の検査用画像データのうち、前記標準偏差算出部にて算出された標準偏差が最大の検査用画像データを判定する最大検査用画像データ判定部と、前記最大検査用画像データに基づいて、前記液晶表示デバイスを検査するデバイス検査部とを備えていることを特徴とする。
【００２６】
また、本発明の液晶表示デバイス検査装置は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査装置であって、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置を駆動制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する液晶表示デバイス制御部と、充電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を前記撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得部と、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の平均値と、前記画素容量の充電が終了した充電終了時間と、前記検査用画像データを取得した各時間に対して各前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の各平均値を直線近似した際の近似式の傾きとのうち少なくともいずれかの検査情報を算出する検査情報算出部と、前記検査情報と基準となる基準検査情報とを比較して前記液晶表示デバイスを検査するデバイス検査部とを備えていることを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の液晶表示デバイス検査装置は、画素容量を有する画素を備え、前記画素容量の充電状態に応じた画像を表示する液晶表示デバイスを検査する液晶表示デバイス検査装置であって、前記液晶表示デバイスに表示された画像を撮像する撮像装置と、前記撮像装置を駆動制御する制御装置とを備え、前記制御装置は、前記画素容量に電荷を充電していない状態から前記画素に電圧を印加することで充電を開始する液晶表示デバイス制御部と、充電開始後、前記液晶表示デバイスに表示された画像を前記撮像装置に撮像させて検査用画像データを順次取得する検査用画像データ取得部と、前記検査用画像データに基づいて、前記検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出する標準偏差算出部と、前記検査用画像データ取得部にて取得された複数の検査用画像データのうち、前記標準偏差算出部にて算出された標準偏差が最大の検査用画像データを判定する最大検査用画像データ判定部と、前記最大検査用画像データに基づいて、前記液晶表示デバイスを検査するデバイス検査部とを備えていることを特徴とする。
【００２８】
上述した各液晶表示デバイス検査装置によれば、該各液晶表示デバイス検査装置により上述した液晶表示デバイス検査方法を実行できるため、上述した液晶表示デバイス検査方法と同様の作用効果を享受できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
[第１実施形態]
本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
〔液晶表示デバイス検査装置の構成〕
図１は、液晶表示デバイス検査装置１の構成を示すブロック図である。
液晶表示デバイス検査装置１は、検査対象である液晶表示デバイスとしての液晶パネル１０の各画素の画素容量や回路特性を簡易的にかつ定量的に検査する装置である。この液晶表示デバイス検査装置１は、図１に示すように、チェッカ装置２と、撮像装置としてのＣＣＤカメラ３と、制御装置４とを備える。
【００３０】
図２は、液晶パネル１０の等価回路を示す図である。
ここで、検査対象となる液晶パネル１０は、透過型の液晶パネルであり、例えば、ＴＦＴ基板と対向基板との間に液晶層が密閉封入された構成を有する。そして、液晶パネル１０は、画素容量（液晶層）の充電状態に応じて液晶分子の配向状態を変更し、画素毎に入射光束を透過若しくは遮断して所定の光学像を形成する。より具体的に、液晶パネル１０は、図２に示すように、行方向に沿って延びるｍ行の走査線Ｘ１〜Ｘｍ（ｍは整数）と、列方向に沿って延びるｎ列のデータ線Ｙ１〜Ｙｎ（ｎは整数）との交差部にマトリクス配置された複数（ｍ×ｎ個）の画素１１を備えている。そして、各画素１１の単位回路１１Ａは、図２に示すように、スイッチング素子１２と、画素容量（液晶層）１３等を備える。
【００３１】
これらのうち、スイッチング素子１２は、本実施形態では、ＴＦＴ素子を採用している。このスイッチング素子１２は、図２に示すように、制御用端子であるゲートＧ、第１の端子であるソースＳ、および第２の端子であるドレインＤを有する。そして、ゲートＧは、図２に示すように、走査線Ｘ１〜Ｘｍの１つに接続されている。ソースＳは、図２に示すように、データ線Ｙ１〜Ｙｎの１つに接続されている。ドレインＤは、図２に示すように、画素電極１４に接続されている。そして、ドレインＤを介して画素電極１４に入力するSource駆動信号、および所定の信号線Ｚを介して対向電極に入力するＶcom駆動信号により画素電極１４および前記対向電極間の電位差に応じた電圧が画素容量１３に印加され、画素容量１３が充電される。
【００３２】
なお、具体的な図示は省略したが、液晶パネル１０の光束入射側には、バックライト等の光源装置が配設され、制御装置４による制御の下、前記光源装置が点灯することで液晶パネル１０に光束が入射する。
また、本実施形態では、液晶パネル１０は、電圧を印加しない状態（画素容量１３が放電した状態）において、入射光束を全て透過して白表示を実施するノーマリホワイト型の液晶パネルで構成されている。また、液晶パネル１０としては、電圧を印加しない状態において、入射光束を遮断して黒表示を実施するノーマリブラック型の液晶パネルで構成しても構わない。
【００３３】
チェッカ装置２は、液晶パネル１０を液晶表示デバイス検査装置１のパネル設置治具（図示略）に設置した状態で、液晶パネル１０の走査線Ｘ１〜Ｘｍ、データ線Ｙ１〜Ｙｎ、および信号線Ｚに電気的に接続する。また、チェッカ装置２は、制御装置４による制御の下、走査線Ｘ１〜Ｘｍのうち少なくともいずれかの走査線に対して所定のGate駆動信号を出力する。また、チェッカ装置２は、制御装置４による制御の下、データ線Ｙ１〜Ｙｎのうち少なくともいずれかのデータ線に対して所定のSource駆動信号を出力する。さらに、チェッカ装置２は、制御装置４による制御の下、信号線Ｚに対して所定のＶcom駆動信号を出力する。そして、チェッカ装置２は、制御装置４による制御の下、液晶パネル１０を駆動して所定の光学像を形成させる。
【００３４】
ＣＣＤカメラ３は、制御装置４による制御の下、液晶パネル１０に形成された光学像を撮像し、撮像した画像に応じた信号を制御装置４に出力する。このＣＣＤカメラ３は、具体的な図示は省略するが、エリアセンサであるＣＣＤと、光束を集光してＣＣＤに照射する集光レンズと、ＣＣＤにて入射光束を所定時間、受光させるシャッタ等を備える。
なお、ＣＣＤカメラ３のＣＣＤは、液晶パネル１０の解像度以上の解像度を有しているものが好ましい。
【００３５】
制御装置４は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)およびハードディスクを備えたコンピュータで構成され、種々のプログラムを実行して液晶表示デバイス検査装置１全体を制御する。この制御装置４は、図１に示すように、操作部４１と、表示部４２と、制御装置本体４３とを備える。
操作部４１は、例えば、キーボードやマウス等で入力操作される図示しない各種操作ボタンを有している。この操作ボタンの入力操作を実施することにより、制御装置４を適宜動作させるとともに、例えば、表示部４２に表示される情報に対して、制御装置４の動作内容の設定等が実施される。そして、作業者による操作部４１の入力操作により、操作部４１から適宜所定の操作信号を制御装置本体４３に出力する。
なお、この操作部４１としては、操作ボタンの入力操作に限らず、例えば、タッチパネルによる入力操作や、音声による入力操作等により、各種条件を設定入力する構成としてもできる。
【００３６】
表示部４２は、制御装置本体４３に制御され、所定の画像を表示する。例えば、制御装置本体４３により処理された液晶パネル１０の検査結果の表示、または、操作部４１の入力操作により、制御装置本体４３の後述するメモリに格納する情報を設定入力または更新する際、制御装置本体４３から出力されるメモリ内のデータを適宜表示させる。この表示部４２は、例えば、液晶や有機ＥＬ(Electro Luminescence)、ＰＤＰ(Plasma Display Panel)、ＣＲＴ(Cathode-Ray Tube)等が用いられる。
【００３７】
制御装置本体４３は、ＣＰＵを制御するＯＳ(Operating System)上に展開されるプログラムとして構成され、操作部４１からの操作信号の入力に応じて、所定の制御プログラムを実行し、液晶表示デバイス検査装置１全体を駆動制御する。この制御装置本体４３は、図１に示すように、制御部４３１と、メモリ４３２とを備える。
制御部４３１は、メモリ４３２に記憶された制御プログラムにしたがって所定の処理（パネル検査処理）を実行する部分であり、図１に示すように、液晶表示デバイス制御部４３１１と、画像データ取得部４３１２と、画像処理部４３１３等を備える。
【００３８】
液晶表示デバイス制御部４３１１は、チェッカ装置２に所定の制御信号を出力し、チェッカ装置２に液晶パネル１０を駆動させる。
例えば、液晶表示デバイス制御部４３１１は、メモリ４３２に予め記憶された情報を読み出し、液晶パネル１０に白画像を表示させる旨の制御信号をチェッカ装置２に出力する。
また、例えば、液晶表示デバイス制御部４３１１は、メモリ４３２に予め記憶された情報を読み出し、液晶パネル１０に黒画像を表示させるとともに画素容量１３の放電を開始する旨の制御信号をチェッカ装置２に出力する。
【００３９】
画像データ取得部４３１２は、ＣＣＤカメラ３に所定の制御信号を出力し、ＣＣＤカメラ３に液晶パネル１０にて形成された光学像を撮像させる。また、画像データ取得部４３１２は、ＣＣＤカメラ３から出力される電気信号を入力してコンピュータにて読取可能な信号（デジタル信号）に変換し、画素毎に所定階調（例えば、全階調が２５６）の画素値（階調値）に関する情報を含んだ画像データを取得する。そして、画像データ取得部４３１２は、取得した画像データをメモリ４３２に記憶させる。
例えば、画像データ取得部４３１２は、液晶パネル１０にて白画像が形成されている際に、ＣＣＤカメラ３に白画像を撮像させ、白画像データを取得する。そして、画像データ取得部４３１２は、白画像データをメモリ４３２に記憶させる。
また、例えば、画像データ取得部４３１２は、液晶パネル１０にて黒画像が形成されている際に、ＣＣＤカメラ３に黒画像を撮像させ、黒画像データを取得する。そして、画像データ取得部４３１２は、黒画像データをメモリ４３２に記憶させる。
さらに、例えば、画像データ取得部４３１２は、画素容量１３の放電開始後、ＣＣＤカメラ３に所定周期（例えば、60Hz）で、画素容量１３の放電により形成される光学像が変化する過程での各光学像を撮像させ、検査用画像データを順次取得する。そして、画像データ取得部４３１２は、検査用画像データを取得した放電時間（放電開始時からの時間）に関連付けてメモリ４３２に記憶させる。
【００４０】
画像処理部４３１３は、メモリ４３２に記憶された画像データを読み出し、画像データに所定の画像処理を施す。そして、画像処理部４３１３は、画像処理した結果に応じて、液晶パネル１０を検査（評価）する。この画像処理部４３１３は、図１に示すように、検査情報算出部４３１３Ａと、標準偏差算出部４３１３Ｂと、最大検査用画像データ判定部４３１３Ｃと、デバイス検査部４３１３Ｄとを備える。
検査情報算出部４３１３Ａは、画像データに所定の画像処理を施し、液晶パネル１０を検査するための検査情報を算出する。この検査情報算出部４３１３Ａは、図１に示すように、平均値算出部４３１３Ａ１と、放電終了時間算出部４３１３Ａ２と、傾き算出部４３１３Ａ３とを備える。
【００４１】
平均値算出部４３１３Ａ１は、メモリ４３２に順次記憶される検査用画像データを読み出し、検査用画像データにおける全画素の画素値の平均値（検査情報）を順次算出する。そして、平均値算出部４３１３Ａ１は、算出した平均値を、前記平均値を算出する際に用いた検査用画像データを取得した放電時間に関連付けて順次、メモリ４３２に記憶させる。
放電終了時間算出部４３１３Ａ２は、メモリ４３２に順次記憶される平均値を読み出し、メモリ４３２に予め記憶された基準となる基準終了平均値と、読み出した平均値とを順次比較し、平均値が基準終了平均値以上となった場合に、前記平均値に関連付けられた放電時間を放電終了時間（検査情報）として算出する。そして、放電終了時間算出部４３１３Ａ２は、算出した放電終了時間をメモリ４３２に記憶させる。
傾き算出部４３１３Ａ３は、メモリ４３２に記憶された放電開始時から放電終了時までの各平均値のうち、所定範囲内の各放電時間に関連付けられた各平均値を読み出し、各放電時間に対して各平均値を直線近似し、直線近似した近似式の傾き（検査情報）を算出する。そして、傾き算出部４３１３Ａ３は、算出した傾きをメモリ４３２に記憶させる。
【００４２】
標準偏差算出部４３１３Ｂは、メモリ４３２に順次記憶される検査用画像データを読み出し、検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出する。そして、標準偏差算出部４３１３Ｂは、順次算出した標準偏差を、前記標準偏差を算出する際に用いた検査用画像データに関連付けて順次、メモリ４３２に記憶させる。
最大検査用画像データ判定部４３１３Ｃは、メモリ４３２に記憶された各標準偏差を読み出し、各標準偏差のうち最大の標準偏差を認識し、認識した標準偏差に関連付けられた検査用画像データを最大検査用画像データとして判定する。
【００４３】
デバイス検査部４３１３Ｄは、検査情報算出部４３１３Ａにて算出されメモリ４３２に記憶された検査情報（平均値、放電終了時間、傾き）を読み出し、メモリ４３２に予め記憶された基準となる基準検査情報（基準平均値、基準時間、基準傾き）と検査情報とを比較して、液晶パネル１０を検査（評価）する。
また、デバイス検査部４３１３Ｄは、最大検査用画像データ判定部４３１３Ｃにて判定された最大検査用画像データをメモリ４３２から読み出し、最大検査用画像データに基づいて、欠陥を強調する一般的な欠陥強調処理を実施し、欠陥に相当する画素位置を特定する。
【００４４】
メモリ４３２は、所定の制御プログラム、制御部４３１にて処理を実行するための情報（基準終了平均値、基準検査情報等）、および制御部４３１にて処理されたデータ等を記憶する。
なお、基準終了平均値は、正常な特性（画素容量１３の容量やスイッチング素子１２の特性）を有する画素１１のみを備えた液晶パネル１０の各画素容量１３を放電した状態で前記液晶パネル１０に白画像を表示させ、該白画像を取得した白画像データにおける全画素の画素値の平均値を意味する。
【００４５】
基準検査情報である基準平均値は、正常な特性を有する画素１１のみを備えた液晶パネル１０における各画素容量１３を充電した状態から放電を開始した後、後述する放電時間Ｔ１で取得された検査用画像データにおける全画素の画素値の平均値を意味する。
また、基準検査情報である基準放電終了時間は、正常な特性を有する画素１１のみを備えた液晶パネル１０における各画素容量１３を充電した状態から放電を開始した後、検査用画像データを順次取得し、取得した複数の検査用画像データのうち全画素の画素値の平均値が基準終了平均値以上となった検査用画像データを取得した放電時間を意味する。
さらに、基準検査情報である基準傾きは、正常な特性を有する画素１１のみを備えた液晶パネル１０における各画素容量１３を充電した状態から放電を開始した後、検査用画像データを順次取得し、所定範囲内の各放電時間に対して該各放電時間に取得した各検査用画像データの各平均値を直線近似し、直線近似した近似式の傾きを意味する。
【００４６】
〔液晶表示デバイス検査方法〕
次に、上述した液晶表示デバイス検査装置１による液晶表示デバイス検査方法を図面に基づいて説明する。
図３は、液晶表示デバイス検査方法を説明するフローチャートである。
図４および図５は、液晶表示デバイス検査方法を説明するための図である。具体的に、図４は、液晶表示デバイス検査方法の実施時での液晶パネル１０の光学像の変化を示す図である。図５は、液晶表示デバイス検査方法の実施時でのチェッカ装置２から液晶パネル１０に出力される各信号の電圧レベル、および画素容量１３の充電電荷量を示す図である。
なお、以下では、液晶パネル１０を液晶表示デバイス検査装置１におけるパネル設置部（図示略）に設置した状態とし、液晶パネル１０とチェッカ装置２とが電気的に接続されているものとする。また、以下では、液晶パネル１０の光束入射側に配設される光源装置が点灯し、液晶パネル１０に光束が入射している状態とする。
作業者は、制御装置４の操作部４１を操作し、液晶パネル１０の検査を実行する旨の設定入力を実施する。そして、制御装置４の制御部４３１は、操作部４１から出力される操作信号に応じて、メモリ４３２に記憶された制御プログラムを読み出し、制御プログラムにしたがって、以下に示すように、液晶パネル１０を検査するパネル検査処理を実行する。
【００４７】
先ず、制御部４３１の液晶表示デバイス制御部４３１１は、メモリ４３２に予め記憶された情報を読み出し、液晶パネル１０に白画像を表示させる旨の制御信号をチェッカ装置２に出力する。そして、チェッカ装置２は、液晶表示デバイス制御部４３１１からの制御信号にしたがって、走査線Ｘ１〜Ｘｍに対してゲートオフレベル電圧ＶＧＬ（例えば、-10V）のGate駆動信号を出力する。また、チェッカ装置２は、データ線Ｙ１〜Ｙｎに対して0VのSource駆動信号を出力する。さらに、チェッカ装置２は、信号線Ｚに対して0VのＶcom駆動信号を出力する。そして、液晶パネル１０は、画素容量１３が放電した状態となり、入射光束の略全てを透過して白画像を形成する（処理ＳＴ１：白画像表示ステップ）。
【００４８】
処理ＳＴ１の後、制御部４３１の画像データ取得部４３１２は、ＣＣＤカメラ３に所定の制御信号を出力してＣＣＤカメラ３に液晶パネル１０にて形成された白画像を撮像させ白画像データＷＤ（図４）を取得する（処理ＳＴ２：白画像データ取得ステップ）。そして、画像データ取得部４３１２は、取得した白画像データＷＤをメモリ４３２に記憶させる。
【００４９】
処理ＳＴ２の後、制御部４３１の液晶表示デバイス制御部４３１１は、メモリ４３２に予め記憶された情報を読み出し、液晶パネル１０に黒画像を表示させる旨の制御信号をチェッカ装置２に出力する。そして、チェッカ装置２は、液晶表示デバイス制御部４３１１からの制御信号にしたがって、図５に示すように、所定時間（例えば、50msec）、走査線Ｘ１〜Ｘｍに対してゲートオンレベル電圧ＶＧＨ（例えば、15V）のGate駆動信号を出力する。また、チェッカ装置２は、図５に示すように、前記所定時間、データ線Ｙ１〜Ｙｎに対して所定の電圧値（例えば、5V）のSource駆動信号を出力する。さらに、チェッカ装置２は、図５に示すように、前記所定時間、信号線Ｚに対して0VのＶcom駆動信号を出力する。すなわち、チェッカ装置２は、液晶表示デバイス制御部４３１１からの制御信号にしたがって、図５に示すように、前記所定時間、画素容量１３に、所定の電圧を印加して充電させる。そして、液晶パネル１０は、画素容量１３が電圧(5V)の印加により充電された状態となり、入射光束の略全てを遮断して黒画像を形成する（処理ＳＴ３：黒画像表示ステップ）。
【００５０】
処理ＳＴ３の後、制御部４３１の画像データ取得部４３１２は、前記所定時間の経過後、ＣＣＤカメラ３に所定の制御信号を出力してＣＣＤカメラ３に液晶パネル１０に形成された黒画像を撮像させ黒画像データＢＤ（図４）を取得する（処理ＳＴ４：黒画像データ取得ステップ）。そして、画像データ取得部４３１２は、取得した黒画像データＢＤをメモリ４３２に記憶させる。
【００５１】
処理ＳＴ４の後、液晶表示デバイス制御部４３１１は、メモリ４３２に予め記憶された情報を読み出し、前記所定時間の経過後、画素容量１３の放電を開始する旨の制御信号をチェッカ装置２に出力する。そして、チェッカ装置２は、液晶表示デバイス制御部４３１１からの制御信号にしたがって、図５に示すように、前記所定時間の経過後、走査線Ｘ１〜Ｘｍに対してゲートオフレベル電圧ＶＧＬのGate駆動信号を出力する。また、チェッカ装置２は、図５に示すように、前記所定時間の経過後、データ線Ｙ１〜Ｙｎに対して0VのSource駆動信号を出力する。さらに、チェッカ装置２は、図５に示すように、前記所定時間の経過後も継続して、信号線Ｚに対して0VのＶcom駆動信号を出力する。すなわち、チェッカ装置２は、液晶表示デバイス制御部４３１１からの制御信号にしたがって、図５に示すように、前記所定時間、画素容量１３に電圧(5V)を印加して充電した状態から、画素容量１３への電圧の印加を停止し、画素容量１３の放電を開始させる（処理ＳＴ５：放電開始ステップ）。
【００５２】
処理ＳＴ５の後、画像データ取得部４３１２は、ＣＣＤカメラ３に所定の制御信号を出力してＣＣＤカメラ３に所定周期（例えば、60Hz）で画素容量１３の放電により形成される光学像が変化する過程での各光学像（図４に示すように放電時間が経過するにしたがって輝度が高くなる各光学像）を撮像させ検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎ（図４）を順次取得する（処理ＳＴ６；検査用画像データ取得ステップ）。そして、画像データ取得部４３１２は、取得した検査用画像データを、取得した放電時間に関連付けて順次、メモリ４３２に記憶させる。
【００５３】
処理ＳＴ６の後、制御部４３１の平均値算出部４３１３Ａ１は、メモリ４３２に順次記憶される検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎを読み出し、検査用画像データにおける全画素の画素値の平均値を順次算出する（処理ＳＴ７：平均値算出ステップ）。そして、平均値算出部４３１３Ａ１は、算出した平均値を、前記平均値を算出する際に用いた検査用画像データを取得した放電時間に関連付けて順次、メモリ４３２に記憶させる。
【００５４】
処理ＳＴ７と並行して、制御部４３１の標準偏差算出部４３１３Ｂは、メモリ４３２に順次記憶される検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎを読み出し、検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出する（処理ＳＴ８：標準偏差算出ステップ）。
より具体的に、標準偏差算出部４３１３Ｂは、メモリ４３２に記憶された白画像データＷＤ、黒画像データＢＤ、および検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎを読み出し、白画像データＷＤにおける画素毎の各画素値を１００％とし、黒画像データＢＤにおける画素毎の各画素値を０％として、対応する画素毎に、白画像データＷＤにおける画素毎の各画素値、および黒画像データＢＤにおける画素毎の各画素値によって正規化した検査用画像データにおける画素毎の各画素値（％）に基づいて、標準偏差を算出する。
そして、標準偏差算出部４３１３Ｂは、順次算出した標準偏差を、前記標準偏差を算出する際に用いた検査用画像データに関連付けて順次、メモリ４３２に記憶させる。
【００５５】
図６は、平均値算出ステップＳＴ７にて算出した各平均値と放電時間との関係（放電特性）を示す図である。
処理ＳＴ８の後、制御部４３１の放電終了時間算出部４３１３Ａ２は、メモリ４３２に順次記憶される平均値を読み出し、メモリ４３２に予め記憶された基準となる基準終了平均値Ａend（図６、例えば、180階調）と、読み出した平均値とを順次比較し、平均値が基準終了平均値Ａend以上となった場合に、前記平均値に関連付けられた放電時間を放電終了時間Ｔend（図６）として算出する（処理ＳＴ９：放電終了時間算出ステップ）。そして、放電終了時間算出部４３１３Ａ２は、算出した放電終了時間Ｔendをメモリ４３２に記憶させる。
【００５６】
処理ＳＴ９の後、制御部４３１の傾き算出部４３１３Ａ３は、メモリ４３２に記憶された放電開始時（放電時間が０）から放電終了時（放電終了時間Ｔend）までの各平均値のうち、所定範囲（例えば、放電時間が650ms〜1050msec程度）内の各放電時間に関連付けられた各平均値を読み出し、図６に示すように、各放電時間に対して各平均値を直線近似し、直線近似した直線Ｌ（近似式）の傾きＡを算出する（処理ＳＴ１０：傾き算出ステップ）。そして、傾き算出部４３１３Ａ３は、算出した傾きＡをメモリ４３２に記憶させる。
【００５７】
処理ＳＴ１０の後、制御部４３１の最大検査用画像データ判定部４３１３Ｃは、メモリ４３２に記憶された各標準偏差を読み出し、各標準偏差のうち最大の標準偏差を認識し、認識した標準偏差に関連付けられた検査用画像データを最大検査用画像データ（例えば、図４では、検査用画像データＥＤ３）として判定する（処理ＳＴ１１：最大検査用画像データ判定ステップ）。
【００５８】
処理ＳＴ１１の後、制御部４３１のデバイス検査部４３１３Ｄは、以下に示すように、液晶パネル１０の検査を実施する（処理ＳＴ１２：デバイス検査ステップ）。
先ず、デバイス検査部４３１３Ｄは、メモリ４３２に記憶された検査情報と、メモリ４３２に記憶された基準検査情報とを比較する。
すなわち、デバイス検査部４３１３Ｄは、メモリ４３２に記憶された放電開始時から放電終了時までの各平均値のうち、所定の放電時間Ｔ１（図６）で取得された検査用画像データに関連付けられた平均値Ａ１（図６）を読み出し、メモリ４３２に予め記憶された基準平均値と、平均値Ａ１とを比較する。
【００５９】
また、デバイス検査部４３１３Ｄは、メモリ４３２に記憶された放電終了時間Ｔendを読み出し、メモリ４３２に予め記憶された基準放電終了時間と放電終了時間Ｔendとを比較する。
さらに、デバイス検査部４３１３Ｄは、メモリ４３２に記憶された傾きＡを読み出し、メモリ４３２に予め記憶された基準傾きと傾きＡとを比較する。
そして、デバイス検査部４３１３Ｄは、検査情報と基準検査情報とを比較し、液晶パネル１０に欠陥が存在するか否かの判定や、液晶パネル１０を品質の度合いに応じてランク分けする。
【００６０】
次に、デバイス検査部４３１３Ｄは、最大検査用画像データ判定部４３１３Ｃにて判定された最大検査用画像データＥＤ３をメモリ４３２から読み出し、最大検査用画像データＥＤ３に対して欠陥を強調する一般的な欠陥強調処理を実施し、欠陥である画素位置を特定する。
例えば、デバイス検査部４３１３Ｄは、所定のフィルタを用い、最大検査用画像データＥＤ３における画素毎に、注目する画素に対して水平方向および垂直方向に位置する各画素の画素値を積算する。そして、デバイス検査部４３１３Ｄは、画素毎に積算された各積算値を予め設定された閾値と比較することで、欠陥成分である画素位置Ｐ１，Ｐ２（図４）を特定する。
そして、制御部４３１は、デバイス検査部４３１３Ｄによる検査結果を適宜、表示部４２に表示させる。
【００６１】
上述した第１実施形態によれば、以下の効果がある。
ところで、放電開始ステップＳＴ５の後、液晶パネル１０の画像の表示状態としては、正常な特性（画素容量１３の容量やスイッチング素子１２の特性）を有する画素１１が「黒」を維持している際に、欠陥となる正常ではない特性を有する画素１１はいち早く「白」に変化するものである。
このため、液晶パネル１０に欠陥が存在していると、平均値算出ステップＳＴ７で算出した平均値Ａ１は、基準平均値よりも大きいものとなる。また、放電終了時間算出ステップＳＴ９で算出した放電終了時間Ｔendは、基準放電終了時間よりも短いものとなる。さらに、傾き算出ステップＳＴ１０で算出した傾きＡは、基準傾きよりも大きいものとなる。したがって、検査ステップＳＴ１２において検査情報（平均値Ａ１、放電終了時間Ｔend，傾きＡ）と基準検査情報（基準平均値、基準放電終了時間、基準傾き）とを比較することで液晶パネル１０に欠陥が存在しているか否か（液晶パネル１０が低品質であるか高品質であるか）を検査でき、ひいては、各画素容量１３の容量や各画素１１のスイッチング素子１２の特性を簡易的にかつ定量的に検査できる。
また、液晶パネル１０に欠陥が存在していると、検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎにおける画素毎の各画素値の標準偏差が大きくなる。このため、検査ステップＳＴ１２において、最大検査用画像データＥＤ３に対して一般的な欠陥強調処理を施すことで、液晶パネル１０に欠陥が存在しているか否かを検査できる。また、検査ステップＳＴ１２において、最大検査用画像データＥＤ３に基づいて、各画素容量１３の容量や各画素１１のスイッチング素子１２の特性のばらつきを簡易的にかつ定量的に検査できる。
したがって、液晶パネル１０を精度よく検査できる。
【００６２】
また、ＣＣＤカメラ３を用いて検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎを取得し、所定の画像処理を施すことで平均値算出ステップＳＴ７、標準偏差算出ステップＳＴ８、放電終了時間算出ステップＳＴ９、傾き算出ステップＳＴ１０、最大検査用画像データ判定ステップＳＴ１１、および検査ステップＳＴ１２を実施しているので、従来の視覚によって液晶パネル１０を検査する構成と比較して、液晶パネル１０を簡易的にかつ精度よく検査できる。
【００６３】
ここで、本実施形態では、最大検査用画像データ判定ステップＳＴ１１で検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎのうち標準偏差が最大となる最大検査用画像データＥＤ３を判定し、検査ステップＳＴ１２で最大検査用画像データＥＤ３に基づいて液晶パネル１０を検査している。このことにより、液晶パネル１０に欠陥が存在している場合に、欠陥を最も識別しやすい最大検査用画像データＥＤ３に基づいて液晶パネル１０の検査を実施できるので、欠陥を有する画素位置Ｐ１，Ｐ２を精度よく検出できるとともに、各画素容量１３の容量や各画素１１のスイッチング素子１２の特性のばらつきを良好に検査できる。
【００６４】
ところで、ＣＣＤカメラ３で取得した画像データには、液晶パネル１０に照射される光束の照明ムラ等に起因する成分が含まれている。このため、標準偏差算出ステップＳＴ８において、検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎにおける画素毎の各画素値の標準偏差をそのまま算出した場合には、前記成分が含まれた状態で標準偏差を算出することとなり、欠陥による画素値のばらつきが反映された標準偏差を正確に算出することが難しい。
本実施形態では、標準偏差算出ステップＳＴ８は、対応する画素毎に、白画像データＷＤにおける画素毎の各画素値、および黒画像データＢＤにおける画素毎の各画素値によって、検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎの画素毎の各画素値を正規化する。すなわち、標準偏差算出ステップＳＴ８は、検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎから前記成分を除去する補正を実施する。そして、標準偏差算出ステップＳＴ８は、正規化した検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎにおける画素毎の各画素値の標準偏差をそれぞれ算出する。このことにより、欠陥による画素値のばらつきが反映された標準偏差を正確に算出でき、最大検査用画像データ判定ステップＳＴ１１において、欠陥を最も識別しやすい最大検査用画像データＥＤ３を正確に判定できる。したがって、液晶パネル１０をより精度よく検査できる。
また、同一の液晶パネル１０に表示される画像から、白画像データＷＤ、黒画像データＢＤ、および検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎを取得しているので、例えば、異なる液晶パネル１０から白画像データＷＤおよび黒画像データＢＤと検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎとをそれぞれ取得する構成と比較して、検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎにおける画素毎の各画素値の正規化を精度よく実施できる。
【００６５】
また、高速（60Hz）で撮像可能なＣＣＤカメラ３を用いているので、放電開始後の液晶パネル１０の変化する表示状態を細かく取り込むことができ、傾きＡの算出や、最大検査用画像データＥＤ３の判定を良好に実施できる。
【００６６】
[第２実施形態]
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
以下の説明では、前記第１実施形態と同様の構造および同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明は省略または簡略化する。
図７は、第２実施形態における液晶表示デバイス検査装置１´の構成を示すブロック図である。
前記第１実施形態では、液晶表示デバイス検査装置１は、液晶パネル１０（画素１１）の放電特性を計測することで液晶パネル１０を検査している。
これに対して第２実施形態では、液晶表示デバイス検査装置１´は、液晶パネル１０（画素１１）の充電特性を計測することで液晶パネル１０を検査する。すなわち、本実施形態は、図７に示すように、制御部４３１における液晶表示デバイス制御部４３１１´および充電終了時間算出部４３１３Ａ２´の機能が前記第１実施形態で説明した液晶表示デバイス制御部４３１１および放電終了時間算出部４３１３Ａ２と異なるのみであり、その他の構成は、前記第１実施形態と同様のものである。
【００６７】
液晶表示デバイス制御部４３１１´は、チェッカ装置２に所定の制御信号を出力し、チェッカ装置２に液晶パネル１０を駆動させる。
例えば、液晶表示デバイス制御部４３１１´は、前記第１実施形態で説明した液晶表示デバイス制御部４３１１と同様に、メモリ４３２に予め記憶された情報を読み出し、液晶パネル１０に白画像や黒画像を表示させる旨の制御信号をチェッカ装置２に出力する。
また、例えば、液晶表示デバイス制御部４３１１´は、液晶パネル１０に白画像を表示させた後、画素容量１３の充電を開始する旨の制御信号をチェッカ装置２に出力する。
【００６８】
充電終了時間算出部４３１３Ａ２´は、前記第１実施形態で説明したメモリ４３２に予め記憶された基準終了平均値の値が異なり、メモリ４３２に順次記憶される平均値を読み出し、基準終了平均値と、読み出した平均値とを順次比較し、平均値が基準終了平均値以下となった場合に、前記平均値に関連付けられた充電時間（充電開始時からの時間）を充電終了時間（検査情報）として算出する。そして、充電終了時間算出部４３１３Ａ２´は、算出した充電終了時間をメモリ４３２に記憶させる。
【００６９】
次に、上述した液晶表示デバイス検査装置１´による液晶表示デバイス検査方法を図面に基づいて説明する。
図８は、液晶表示デバイス検査方法を説明するフローチャートである。
図９は、液晶表示デバイス検査方法を説明するための図である。具体的に、図９は、液晶表示デバイス検査方法の実施時でのチェッカ装置２から液晶パネル１０に出力される各信号の電圧レベル、および画素容量１３の充電電荷量を示す図である。
なお、本実施形態の液晶表示デバイス検査方法は、前記第１実施形態で説明した液晶表示デバイス検査方法と略同様であり、以下では、簡略化して説明する。
【００７０】
先ず、液晶表示デバイス制御部４３１１´は、液晶パネル１０の黒画像表示を実施する（処理ＳＴ３）。そして、画像データ取得部４３１２は、黒画像データＢＤ（図４参照）を取得する（処理ＳＴ４）。
処理ＳＴ４の後、液晶表示デバイス制御部４３１１´は、液晶パネル１０の白画像表示を実施する（処理ＳＴ１）。そして、画像データ取得部４３１２は、白画像データＷＤ（図４参照）を取得する（処理ＳＴ２）。
すなわち、本実施形態では、前記第１実施形態とは逆に、画素容量１３に所定の電圧を印加して充電させ液晶パネル１０に黒画像を表示させた後、画素容量１３を放電させて液晶パネル１０に白画像を表示させる。
【００７１】
処理ＳＴ２の後、液晶表示デバイス制御部４３１１´は、メモリ４３２に予め記憶された情報を読み出し、画素容量１３の充電を開始する旨の制御信号をチェッカ装置２に出力する。そして、チェッカ装置２は、液晶表示デバイス制御部４３１１からの制御信号にしたがって、図９に示すように、走査線Ｘ１〜Ｘｍに対して所定電圧値のGate駆動信号を出力する。また、チェッカ装置２は、図９に示すように、データ線Ｙ１〜Ｙｎに対して5VのSource駆動信号を出力する。さらに、チェッカ装置２は、図９に示すように、信号線Ｚに対してGNDのＶcom駆動信号を出力する。すなわち、チェッカ装置２は、液晶表示デバイス制御部４３１１´からの制御信号にしたがって、図９に示すように、画素容量１３が放電した状態から、画素容量１３への電圧の印加を開始し、画素容量１３の充電を開始させる（処理ＳＴ５´：充電開始ステップ）。
なお、前記所定電圧値としては、図９に示すように、0V〜-15Vの間の電圧値を採用できる。本実施形態では、0V〜-15Vの間の電圧値のGate駆動信号を走査線Ｘ１〜Ｘｍに対して出力することで、画素容量１３への充電を通常（図５）よりも鈍らせ、画素容量１３に時間を掛けて充電させる構成としている。
処理ＳＴ５´において、画素容量１３の充電を開始した後は、図４に示す画像とは逆となる。すなわち、液晶パネル１０にて形成される光学像は、充電時間が経過するにしたがって輝度が低くなるように変化する。
【００７２】
処理ＳＴ５´の後、制御部４３１は、前記第１実施形態と同様に、検査用画像データの取得（処理ＳＴ６）、平均値の算出（処理ＳＴ７）、および標準偏差の算出（処理ＳＴ８）を実施する。
なお、本実施形態では、検査用画像データ取得ステップＳＴ６で取得した検査用画像データを充電時間に関連付けてメモリ４３２に記憶し、平均値算出ステップＳＴ７で算出した平均値を該平均値を算出する際に用いた検査用画像データを取得した充電時間に関連付けてメモリ４３２に記憶させるものである。
また、本実施形態では、平均値算出ステップＳＴ７にて算出した各平均値と、充電時間との関係は、図５に示す関係とは逆となり、充電時間が経過するにしたがって平均値が小さくなる。
【００７３】
処理ＳＴ８の後、充電終了時間算出部４３１３Ａ２´は、メモリ４３２に順次記憶される平均値を読み出し、メモリ４３２に予め記憶された基準となる基準終了平均値（例えば、20階調）と、読み出した平均値とを順次比較し、平均値が基準終了平均値以下となった場合に、前記平均値に関連付けられた充電時間を充電終了時間として算出する（処理ＳＴ９´：充電終了時間算出ステップ）。そして、充電終了時間算出部４３１３Ａ２´は、算出した充電終了時間をメモリ４３２に記憶させる。
処理ＳＴ９´の後、制御部４３１は、前記第１実施形態と同様に、傾きの算出（処理ＳＴ１０）、最大検査用画像データの判定（処理ＳＴ１１）、および液晶パネル１０の検査（処理ＳＴ１２）を実施する。
【００７４】
上述した第２実施形態においては、充電特性を計測して液晶パネル１０を検査する構成とした場合であっても前記第１実施形態と同様の効果を享受できる。
【００７５】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記各実施形態では、検査情報である平均値Ａ１、放電終了時間Ｔend（充電終了時間）、および傾きＡと、基準検査情報である基準平均値、基準放電終了時間（基準充電終了時間）、および基準傾きとをそれぞれ比較するとともに、最大検査用画像データＥＤ３に基づいて画素位置Ｐ１，Ｐ２を特定することで、液晶パネル１０の検査を実施していたが、これに限らない。
例えば、平均値Ａ１と基準平均値とを比較するだけで、液晶パネル１０の検査を実施する構成としても構わない。この場合には、検査用画像データ取得ステップＳＴ６では放電（充電）開始時から所定時間後（放電時間Ｔ１）で検査用画像データを取得すればよく、平均値算出ステップＳＴ７では前記取得された検査用画像データにおける全画素の画素値の平均値を算出すればよい。すなわち、この場合には、画素容量１３において電荷が完全に放電（充電）するまで待つ必要がなく、前記所定時間を適宜、設定することで、全検査工程を短い時間で実施できる。
【００７６】
また、例えば、放電終了時間Ｔend（充電終了時間）と基準放電終了時間（基準充電終了時間）とを比較するだけで、液晶パネル１０の検査を実施する構成としても構わない。
さらに、例えば、傾きＡと基準傾きとを比較するだけで、液晶パネル１０の検査を実施する構成としても構わない。
すなわち、検査情報としては、平均値Ａ１、放電終了時間Ｔend（充電終了時間）、および傾きＡのうち少なくともいずれかの情報であればよい。基準検査情報も同様である。
【００７７】
さらに、例えば、最大検査用画像データＥＤ３に基づいて画素位置Ｐ１，Ｐ２を特定するだけで、液晶パネル１０の検査を実施する構成としても構わない。この場合には、検査用画像データ取得ステップＳＴ６では放電（充電）開始時から所定時間の範囲内で検査用画像データを順次取得すればよく、標準偏差算出ステップＳＴ８では前記取得した検査用画像データにおける画素毎の各画素値の標準偏差を順次算出すればよい。すなわち、この場合には、画素容量１３において電荷が完全に放電（充電）するまで待つ必要がなく、前記所定時間の範囲を適宜、設定することで、全検査工程を短い時間で実施できる。
【００７８】
前記各実施形態では、標準偏差を算出する際に、白画像データＷＤおよび黒画像データＢＤを用いて、検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎの画素毎の各画素値を正規化していたが、これに限らない。
例えば、白画像データＷＤの全画素の画素値の平均値を１００％とし、黒画像データＢＤの全画素の画素値の平均値を０％として、取得した検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎの各平均値を正規化した値（％）としても構わない。
また、例えば、白画像表示ステップＳＴ１、白画像データ取得ステップＳＴ２、黒画像表示ステップＳＴ３、および黒画像データ取得ステップＳＴ４を省略し、検査用画像データＥＤ１〜ＥＤｎの画素毎の各画素値を正規化しない構成としても構わない。
【００７９】
前記各実施形態では、ノーマリホワイト型の液晶パネル１０の検査方法および検査装置を説明したが、本発明は、ノーマリブラック型の液晶パネル１０の検査も勿論実施できるものである。
前記第１実施形態では各画素１１の放電特性を計測することで液晶パネル１０の検査を実施し、前記第２実施形態では各画素１１の充電特性を計測することで液晶パネル１０の検査を実施していたが、放電特性および充電特性の双方を計測することで液晶パネル１０の検査を実施する構成としても構わない。
【００８０】
前記各実施形態では、検査用画像データの全画素の画素値の平均値を算出し、検査用画像データの全画素の画素毎の各画素値の標準偏差を算出していたが、これに限らず、検査用画像データにおける全画素のうち所定領域の各画素に基づいて平均値および標準偏差を算出する構成としても構わない。
前記各実施形態において、液晶表示デバイス検査方法のフロー（図３、図８）は、前記各実施形態で説明したフローに限らず、実施する工程の順番を適宜、変更しても構わない。
【００８１】
前記各実施形態では、液晶表示デバイスとしてＴＦＴのスイッチング素子１２を用いた透過型の液晶パネル１０を採用したが、これに限らず、その他のスイッチング素子を用いた透過型の液晶パネルや、ＬＣＯＳ(Liquid Crystal On Silicon)等の反射型液晶パネル、その他のダイオード素子を用いた液晶パネル等の液晶表示デバイスを採用しても構わない。
【００８２】
本発明を実施するための最良の構成などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】第１実施形態における液晶表示デバイス検査装置の構成を示すブロック図。
【図２】前記実施形態における液晶パネルの等価回路を示す図。
【図３】前記実施形態における液晶表示デバイス検査方法を説明するフローチャート。
【図４】前記実施形態における液晶表示デバイス検査方法を説明するための図。
【図５】前記実施形態における液晶表示デバイス検査方法を説明するための図。
【図６】前記実施形態における平均値算出ステップにて算出した各平均値と放電時間との関係（放電特性）を示す図。
【図７】第２実施形態における液晶表示デバイス検査装置の構成を示すブロック図。
【図８】前記実施形態における液晶表示デバイス検査方法を説明するフローチャート。
【図９】前記実施形態における液晶表示デバイス検査方法を説明するための図。
【符号の説明】
【００８４】
１，１´・・・液晶表示デバイス検査装置、３・・・ＣＣＤカメラ（撮像装置）、４・・・制御装置、１０・・・液晶パネル（液晶表示デバイス）、１１・・・画素、１３・・・画素容量、４３１１，４３１１´・・・液晶表示デバイス制御部、４３１２・・・検査用画像データ取得部、４３１３Ａ・・・検査情報算出部、４３１３Ｂ・・・標準偏差算出部、４３１３Ｃ・・・最大検査用画像データ判定部、４３１３Ｄ・・・デバイス検査部、ＳＴ１・・・白画像表示ステップ、ＳＴ２・・・白画像データ取得ステップ、ＳＴ３・・・黒画像表示ステップ、ＳＴ４・・・黒画像データ取得ステップ、ＳＴ５・・・放電開始ステップ、ＳＴ５´・・・充電開始ステップ、ＳＴ６・・・検査用画像データ取得ステップ、ＳＴ７・・・平均値算出ステップ、ＳＴ８・・・標準偏差算出ステップ、ＳＴ９・・・放電終了時間算出ステップ、ＳＴ９´・・・充電終了時間算出ステップ、ＳＴ１０・・・傾き算出ステップ、ＳＴ１１・・・最大検査用画像データ判定ステップ、ＳＴ１２・・・デバイス検査ステップ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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