(57)【要約】【課題】  簡便・低コストの圧力伝送器を提供する。【解決手段】  プロセスの圧力が印加されるシールダイアフラムと圧力を測定するセンサとがボディに設けられた連通路により連通し、前記連通路に封入液が充填された圧力伝送器において、前記ボディに接合され、前記連通路により前記シールダイアフラムに連通されたダイアフラムと、前記ダイアフラムを覆うように形成され、圧縮されたガスが充填された耐圧基準室とを備えたことを特徴とする圧力伝送器。【選択図】                    図１
2007085808.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスの圧力が印加されるシールダイアフラムと圧力を測定するセンサとがボディに設けられた連通路により連通し、前記連通路に封入液が充填された圧力伝送器において、
前記ボディに接合され、前記連通路により前記シールダイアフラムに連通されたダイアフラムと、
前記ダイアフラムを覆うように形成され、圧縮されたガスが充填された耐圧基準室と
を備えたことを特徴とする圧力伝送器。
【請求項２】
前記ダイアフラムは変形可能な厚さに形成され、
前記ガスはアルゴンまたは窒素であり、
前記耐圧基準室の内部を構成する部品の表面は金メッキされた
ことを特徴とする請求項１記載の圧力伝送器。
【請求項３】
プロセスの圧力が印加されるシールダイアフラムと、
ボディに設けられ封入液が充填された連通路と、
前記ボディに接合され、前記連通路により前記シールダイアフラムに連通されたダイアフラムと、
前記ダイアフラムを覆うように形成され、圧縮されたガスが充填された耐圧基準室と、
前記シールダイアフラムに連通され、圧力伝送器が接続されたセンサ取付口と
を備えたことを特徴とする外付け過大圧保護用部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力伝送器及び圧力伝送器に係る過大圧保護用部品に関し、特に、過大圧保護機構を備えた圧力伝送器及び圧力伝送器に係る過大圧保護用部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧力伝送器には、過大圧保護機構を備えたものもある（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。図３は、従来の圧力伝送器を示す構成図である。
【０００３】
同図において、シールダイアフラム１３にはプロセスの圧力が印加される。また、シールダイアフラム１３とプロテクションダイアフラム１４とセンサ１１とは連通路１５により連通する。さらに、連通路１５には封入液（圧力伝達用オイル）が充填される。
【０００４】
また、シールダイアフラム１３はボディ１２に接合され、プロテクションダイアフラム１４はボディ１２に接合される。また、センサ１１はボディ１２に固定される。さらにまた、ボディ１２は、連通路１５を備える。
【０００５】
さらに、プロテクションダイアフラム１４は、ボディ１２の着座面に対し予め凸形形状に形成され、この凸形形状がボディ１２のバックアッププレート面に接して所定の押圧力でバックプレート面に押圧取り付けられる。
【０００６】
このような図３の従来例の動作を説明する。プロセスの圧力が変化すると、シールダイアフラム１３が変化し、連通路１５内の封入液の圧力が変化し、センサ１１が変化する。このようにして、センサ１１は圧力を測定する。
【０００７】
また、所定以上の圧力（過大圧力）が印加されると、シールダイアフラム１３が変化し、連通路１５内の封入液の圧力が変化し、プロテクションダイアフラム１４が変化する。こうして、過大圧力からセンサ１１を保護する。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−１１７０８６号公報
【特許文献２】特開２００２−０８３５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、図３の従来例の構成では、過大圧の設定毎に、ダイアフラムの形成形状とボディのバックアップ面とのマッチングと、ダイアフラム全面にわたる押圧力の検討とが必要となる。このため、従来の圧力伝送器は、高度な製造技術を要し、高価という課題がある。
【００１０】
詳しくは、従来の圧力伝送器は、高い精度のダイアフラムの形成技術と、高い精度の押圧力を与える溶接技術その他の高度な生産上の技術とを要するという課題がある。
【００１１】
本発明の目的は、以上説明した課題を解決するものであり、簡便・低コストの圧力伝送器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的を達成する本発明は、次の通りである。
（１）プロセスの圧力が印加されるシールダイアフラムと圧力を測定するセンサとがボディに設けられた連通路により連通し、前記連通路に封入液が充填された圧力伝送器において、前記ボディに接合され、前記連通路により前記シールダイアフラムに連通されたダイアフラムと、前記ダイアフラムを覆うように形成され、圧縮されたガスが充填された耐圧基準室とを備えたことを特徴とする圧力伝送器。
（２）前記ダイアフラムは変形可能な厚さに形成され、前記ガスはアルゴンまたは窒素であり、前記耐圧基準室の内部を構成する部品の表面は金メッキされたことを特徴とする請求項１記載の圧力伝送器。
（３）プロセスの圧力が印加されるシールダイアフラムと、ボディに設けられ封入液が充填された連通路と、前記ボディに接合され、前記連通路により前記シールダイアフラムに連通されたダイアフラムと、前記ダイアフラムを覆うように形成され、圧縮されたガスが充填された耐圧基準室と、前記シールダイアフラムに連通され、圧力伝送器が接続されたセンサ取付口とを備えたことを特徴とする外付け過大圧保護用部品。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば次のような効果がある。
本発明によれば、簡便・低コストの圧力伝送器を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に図１に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例を示す構成図である。図３の従来例と同一の要素には同一符号を付し説明を省略する。また、センサ１１の記載は省略する。
【００１５】
図１の実施例の特徴は、ダイアフラム２１と耐圧力基準室２２との構成にある。
【００１６】
ダイアフラム２１は、ボディ１２に接合される。また、ダイアフラム２１は、連通路１５によりシールダイアフラム１３に連通される。さらに、ダイアフラム２１の厚さは、非常に薄く、通常の状態で容易にガスにより変形可能となるように形成される。
【００１７】
また、耐圧力基準室２２は、ダイアフラム２１を覆うように形成される。即ち、ダイアフラム２１の一方の面には連通路１５が接続され、ダイアフラム２１の他方の面には耐圧力基準室２２が接続される。
【００１８】
さらに、耐圧力基準室２２には、圧縮されたガスが充填される。そして、センサ１１の耐圧に基づくプロセスの過大圧力の設定の値と耐圧力基準室２２内のガスの圧力の値とは同じにする。このことにより、ダイアフラム２１は、圧縮されたガスによってボディ１２のバックアッププレート面に密着する。
【００１９】
このような図１の実施例の動作を説明する。
まず、プロセスの圧力が過大でないとき（正常のとき）は、ダイアフラム２１は、ボディ１２のバックアッププレート面に密着したままとなる。そして、プロセスの圧力が変化すると、シールダイアフラム１３を介し、連通路１５内の封入液の圧力が変化し、センサに圧力が伝達される。このようにして、センサは圧力を測定する。
【００２０】
次に、プロセスの圧力が過大のときは、ダイアフラム２１は、ボディ１２のバックアッププレート面から離れ、連通路１５に充填された封入液が、ダイアフラム２１とボディ１２との隙間に移動する。このようにして、過大圧力からセンサ１１を保護する。
【００２１】
最後に、プロセスの圧力が過大から正常に変化すると、ダイアフラム２１は、再びボディ１２のバックアッププレート面に密着する。
【００２２】
以上のことにより、図１の実施例は、簡便・低コストで過大圧保護機構を形成できる。詳しくは、ダイアフラム２１及び耐圧力基準室２２は簡便・低コストに形成できる。また、ダイアフラム２１の形成が簡便になり、組立における溶接等が簡便になる。
【００２３】
さらに、耐圧力基準室２２内のガスの圧力を高くするとダイアフラム２１が作用する過大圧力の設定が高くなり、耐圧力基準室２２内のガスの圧力を低くするとダイアフラム２１が作用する過大圧力の設定が低くなる。よって、簡便に過大圧力の設定を調整できる。さらにまた、共通した部品で簡便に過大圧力の設定を調整できる。
【００２４】
また、上述の実施例において、封止するガスは不活性なガスを使用する。具体的にはアルゴンまたは窒素等を使用する。このようにすると、ガスの圧力の変化を抑制でき、長期間、安定した特性が得られる。
【００２５】
さらに、上述の実施例において、耐圧力基準室２２の内部を構成する全ての部品の表面に安定した金属を使用する。例えば、部品の表面に金メッキをする。このようにすると、ガスの圧力の変化を抑制でき、長期間、安定した特性が得られる。
【００２６】
以下に図２に基づいて本発明を詳細に説明する。図２は、本発明の他の実施例を示す構成図である。図３の従来例と同等の要素には同等符号を付し説明を省略する。
【００２７】
図２の実施例の特徴は、図１の実施例と同様に、ダイアフラム２１と耐圧力基準室２２との構成にあり、センサ取付口３１を有する外付け過大圧保護用部品３０の構成にある。
【００２８】
同図において、過大圧保護用部品３０と圧力伝送器（図示せず）とは、センサ取付口３１を介して接続される。
【００２９】
過大圧保護用部品３０は、図１の実施例と同様に、プロセスの圧力が印加されるシールダイアフラム１３と、ボディ１２に設けられ封入液が充填された連通路１５と、ボディ１２に接合され、連通路１５によりシールダイアフラム１３に連通されたダイアフラム２１と、ダイアフラム２１を覆うように形成され、圧縮されたガスが充填された耐圧基準室２２とを備える。また、過大圧保護用部品３０は、シールダイアフラム１３に連通されたセンサ取付口３１を備える。
【００３０】
さらに、連通路１５には圧力伝達用オイル封入口が設けられ、耐圧基準室２２にはバルブ等から形成される耐圧力基準室内圧力封入口３３が設けられる。
【００３１】
このような図２の実施例は、耐圧力基準室２２内のガスの圧力が調整可能である。例えば、校正のときに、所要の圧力を封入・封止することができる。したがって、過大圧保護の程度を、設置後に変更することができる。
【００３２】
また、図２の実施例は、過大圧保護用部品３０と、市販されている圧力伝送器（図示せず）とで構成可能である。具体的には、センサ取付口３１に圧力伝送器を取り付け、封入液を封入し、耐圧基準室２２にセンサで測定スパン＋α（但しセンサの耐圧以下）のガスを封止する。
【００３３】
よって、簡便に過大圧保護機構を備えた圧力伝送器を形成できる。
【００３４】
本発明は、上述の実施例に限定されることなく、その本質を逸脱しない範囲でさらに多くの変更及び変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図３】従来の圧力伝送器を示す構成図である。
【符号の説明】
【００３６】
１１  センサ
１２  ボディ
１３  シールダイアフラム
１４  プロテクションダイアフラム
１５  連通路
２１  ダイアフラム
２２  耐圧力基準室
３０  外付け過大圧保護用部品
３１  センサ取付口
３２  圧力伝達用オイル封入口
３３  耐圧力基準室内圧力封入口
【図１】
2007085808.tif 000003
【図２】
2007085808.tif 000004
【図３】
2007085808.tif 000005