(57)【要約】 【課題】  高速回転するウエハから放射方向に飛散するスラリーを効率良くかつ確実に受け止めることができる飛散防止手段を備えた外周研磨装置を得る。【解決手段】  半導体ウエハ１を保持して軸線Ｌ回りに回転させるチャックテーブル１２と、上記ウエハ外周部のベベル面と円周端面とを研磨する複数の研磨部材１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと、研磨中のウエハ１にスラリーを供給するスラリー供給装置１６とを有する外周研磨装置において、上記スラリーの飛散を防止するため、上記チャックテーブル１２及び研磨部材１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの回り全体を取り囲むように飛散防止カーテン１７を配設し、この飛散防止カーテン１７は、フィルムや繊維等の柔軟性素材によって変形自在な薄板状に形成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周部にベベル面と円周端面とを有する半導体ウエハを保持して軸線回りに回転させるチャックテーブルと、該チャックテーブルの回りに配置され、上記ウエハのベベル面と円周端面とを研磨する複数の研磨部材と、上記チャックテーブルに対してウエハの搬入及び搬出を行う搬送機構と、上記ウエハにスラリーを供給するスラリー供給装置と、上記スラリーの飛散を防止する飛散防止カーテンとを有し、
上記飛散防止カーテンは、柔軟性素材によって変形自在な薄板状に形成され、上記チャックテーブル及び研磨部材の回り全体を取り囲むように配設されている、
ことを特徴とする外周研磨装置。
【請求項２】
上記飛散防止カーテンが合成樹脂製フィルムにより形成され、このフィルムが、縦方向に複数の切れ目を入れることによって縦に細長い複数の短冊部に分割されていることを特徴とする請求項１に記載の外周研磨装置。
【請求項３】
上記飛散防止カーテンが、一定間隔で切れ目を入れた複数のフィルムにより形成され、これらのフィルムが、切れ目の位置を左右にずらした状態で内外に重設されていることを特徴とする請求項２に記載の外周研磨装置。
【請求項４】
上記飛散防止カーテンが、毛足の長い複数の合成樹脂製繊維をスラリーの飛散防止に必要な密度で縦向きに配列し、これらの繊維の上端部を支持板に保持させることにより形成されていることを特徴とする請求項１に記載の外周研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハの外周部に形成されたベベル面と円周端面とを研磨するための外周研磨装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図７には、外周部にベベル面１ａ，１ｂと円周端面１ｃとを有する半導体ウエハ１が示されている。このような半導体ウエハ１の外周部を研磨する場合、外周研磨装置が使用される。この外周研磨装置は、例えば特許文献１や特許文献２に記載されているように、ウエハを保持して軸線回りに回転させるチャックテーブルと、このチャックテーブルの回りに配置され、上記ウエハ１の表面側ベベル面１ａと裏面側ベベル面１ｂと円周端面１ｃとを研磨する複数の研磨部材とを有していて、上記チャックテーブルでウエハを高速回転させながら、該ウエハの上面又は上下面にスラリーを供給し、各研磨部材に設けられた研磨パッドを上記ベベル面と円周端面とに押し付けて研磨するように構成されている。研磨時に上記各研磨部材は、ウエハとの接触位置を変えるため、ベベル面及び円周端面に沿って移動する。
【０００３】
研磨中にウエハに供給されたスラリーは、高速回転する該ウエハの外周から放射方向に飛散し、周辺機器や加工室の室壁などに衝突する。衝突したスラリーの大部分は床に落下して回収溝に流れ込み、回収されて再使用されるが、一部のスラリーは周辺機器や室壁あるいは床などに付着したまま残留する。残留したスラリーは、上記加工室が研磨中換気されているため乾燥して凝縮し易く、その凝縮が進行すると落ちにくくなってしまう。
そこで、研磨終了後に加工室内の各所に純水シャワーを噴射し、付着したスラリーを洗い流すようにしているが、加工室内の様々な部分に付着して凝縮したスラリーを完全に洗い流すのは非常に難しい作業である。
【０００４】
また、ウエハの研磨加工中に、周囲に飛散したスラリーが各部に付着して凝縮すると、シャーベット化したスラリーによる堰が至る所に形成され、液状のスラリーの流れが堰き止められて円滑な回収が阻害されるだけでなく、回収量の減少に伴ってスラリーの使用量が増大するという問題も生じていた。
【０００５】
このため、従来より、スラリーの飛散や凝縮等を防止するための各種対策が講じられている。例えば、上記特許文献２においては、研磨室（加工室）の内壁を親水性に形成することによって研磨中にも内壁の湿気が保たれるようにし、それによってスラリーの付着を最小限に抑えるようにしている。
しかしながら、上述したように、研磨中加工室は換気状態に保たれているため、内壁も乾燥し易く、スラリーの付着や凝縮等を抑えるのにも限界がある。
【０００６】
また、各研磨部材にそれぞれ飛散防止カバーを取り付け、この飛散防止カバーでスラリーを受け止めるといった工夫もなされているが、この飛散防止カバーは、各研磨部材に個別に取り付けられて研磨中その研磨部材と一緒に動くため、隣接する研磨部材間にはどうしても隙間が存在することになり、ウエハの全周から放射方向に飛散するスラリーを完全に遮断することはできなかった。
【０００７】
そこで、特許文献３に示すように、研磨領域の全周を取り囲むことができる筒状の飛散防止カバーを配設することが考えられる。しかし、金属あるいはプラスチックからなるこのような硬質の筒状カバーは、周辺機器との間で位置干渉を生じたり、保守や点検等の作業の邪魔になるため、現実に設置するのは非常に難しい。
しかも、硬質カバーでチャックテーブルの周囲全体を取り囲むと、ウエハの搬送形態によっては該チャックテーブルに対するウエハの搬入及び搬出が困難になる場合もある。即ち、特許文献４に示すように、昇降ストロークの大きい昇降形の搬送機構を使用し、上記カバーの内側領域内でこの搬送機構を昇降させてチャックテーブルに対するウエハの搬入及び搬出を行うようにした場合には特に問題ないが、特許文献５に示すように、一端を支点として左右に揺動する揺動アーム形の搬送機構を使用し、チャックテーブルの上面からそれほど高くない位置でこの搬送機構を揺動させてウエハの搬入及び搬出を行うようにした場合には、上記カバーが邪魔になって作業を行うことができない。
【０００８】
而して、この種の外周研磨装置においては、一般に、研磨に先立ってウエハの姿勢を揃える位置決め機構や、研磨後のウエハを洗浄する洗浄機構、あるいは洗浄後のウエハを乾燥する乾燥機構などが装置内に一緒に組み込まれていて、各機構の配置等に応じて上述した昇降形と揺動形の二種類の搬送機構の一方が選択的に用いられたり、あるいは両方が同時に用いられたりする。このため、上記飛散防止カバーは、どのような形態の搬送機構であっても容易に対応できるように構成されていることが望ましい。
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−１４４２０１号公報
【特許文献２】特開２００５−  ４０８８７号公報
【特許文献３】特開２００１−２７７１１４号公報
【特許文献４】特開２００３−  ７７８７２号公報
【特許文献５】特開２００３−２０９０７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで本発明の目的は、ウエハの外周研磨装置に、ウエハの全周から放射方向に飛散するスラリーを効率良くかつ確実に受け止めることができる飛散防止手段を設けると共に、この飛散防止手段を、保守や点検等の作業の邪魔になりにくく、かつ、どのような形態のウエハ搬送機構であってもそれに適応させて設置することができるように構成することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明によれば、外周部にベベル面と円周端面とを有する半導体ウエハを保持して軸線回りに回転させるチャックテーブルと、該チャックテーブルの回りに配置され、上記ウエハのベベル面と円周端面とを研磨する複数の研磨部材と、上記チャックテーブルに対してウエハの搬入及び搬出を行う搬送機構と、上記ウエハにスラリーを供給するスラリー供給装置と、上記スラリーの飛散を防止する飛散防止カーテンとを有し、上記飛散防止カーテンは、柔軟性素材によって変形自在な薄板状に形成され、上記チャックテーブル及び研磨部材の回り全体を取り囲むように配設されていることを特徴とする外周研磨装置が提供される。
【００１２】
本発明においては、上記飛散防止カーテンが合成樹脂製フィルムにより形成され、このフィルムが、縦方向に複数の切れ目を入れることによって縦に細長い複数の短冊部に分割されていることが望ましい。
より望ましくは、上記飛散防止カーテンが、一定間隔で切れ目を入れた複数のフィルムにより形成されていて、これらのフィルムが、切れ目の位置を左右にずらした状態で相互に重設されていることである。
【００１３】
また、本発明においては、上記飛散防止カーテンが、毛足の長い複数の合成樹脂製繊維をスラリーの飛散防止に必要な密度で縦向きに配列し、これらの繊維の上端部を支持板に保持させることにより形成されていても良い。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、合成樹脂製フィルムや合成樹脂製繊維等の柔軟性素材によって変形自在な薄板状に形成した飛散防止カーテンを、チャックテーブル及び研磨部材の回り全体を取り囲むように配設したことにより、研磨中にウエハの全周から放射方向に飛散するスラリーを、該カーテンの柔軟性によって衝突エネルギーを減殺しながら効率良くかつ確実に受け止めることができる。
また、上記飛散防止カーテンは柔軟であるため、硬質の筒状カバーに比べ、取り扱いが容易で、保守や点検等の作業の邪魔になりにくい。
さらに、搬送機構でウエハをチャックテーブルに対し搬入又は搬出する場合、該搬送機構を、上記飛散防止カーテンを押し退けながら移動させるようにすることも、該カーテンの上を移動させるようにすることもできるため、どのような形態のウエハ搬送機構を用いる場合であっても、それに適応させて上記飛散防止カーテンを設置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１及び図２は本発明に係る外周研磨装置の第１実施形態を示すもので、装置の要部が概略的に示されている。この外周研磨装置は、周囲が室壁１１で囲まれた加工室１０を有し、この加工室１０内に、外周部にベベル面１ａ，１ｂと円周端面１ｃとを有する半導体ウエハ１（図７参照）を保持して鉛直な中心軸線Ｌ回りに回転させる円形のチャックテーブル１２と、該チャックテーブル１２に対してウエハ１の搬入及び搬出を行う搬送機構１３と、上記チャックテーブル１２の回りに配置されてウエハ１の表裏のベベル面１ａ，１ｂと円周端面１ｃとを研磨する複数の研磨部材１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと、研磨加工中の上記ウエハ１にスラリーを供給するスラリー供給装置１６と、上記スラリーの飛散を防止する飛散防止カーテン１７とが配設されている。
【００１６】
上記チャックテーブル１２は、軸受部２０に回転自在に支持されたテーブル軸２１の上端に設けられていて、上記搬送機構１３により搬入されたウエハ１を真空吸着によって外周部が側方にはみ出した状態で水平に保持し、上記テーブル軸２１に連結されたモーターによって上記軸線Ｌ回りに所要の速度で正逆所要の方向に駆動回転されるようになっている。従って、上記チャックテーブル１２の上面には複数の吸着孔が開口し、この吸着孔がテーブル軸２１内の流路を通じて図示しない真空ポンプに接続されている。
しかし、上記チャックテーブル１２上へウエハ１をチャックする手段は、上述したような真空吸着に限らず、静電気による付着力を利用する静電チャックや、その他の適宜方法を用いることができる。
【００１７】
上記搬送機構１３は、基端部２４ａを支点として左右に揺動する揺動アーム２４の先端に、ウエハ１を把持する把持部２５を備えた揺動形の搬送機構である。上記把持部２５には、放射方向に開閉する複数の爪２６が設けられ、これらの爪２６でウエハ１の外周を把持するようになっている。しかし、ウエハの把持には、真空吸着やその他の適宜方法を用いることもできる。上記揺動アーム２４は、上記チャックテーブル１２の上面からそれほど高くない位置に配設されていて、加工室１０に隣接して設けられたウエハ１の仮置き場であるバッファ（図示せず）と上記チャックテーブル１２との間を揺動し、バッファに置かれた未研磨ウエハを該チャックテーブル１２上に搬入する作業と、該チャックテーブル１２上にある研磨済みウエハをバッファに搬出する作業とを行う。上記把持部２５は、上記バッファ上の位置とチャックテーブル１２上の位置とにおいて、ウエハ受け渡しのために上下動することができるが、そのストロークはそれほど大きくはない。
【００１８】
上記チャックテーブル１２上に保持されて回転するウエハ１の外周部は、上記複数の研磨部材１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄによって研磨される。これらの研磨部材のうち、第１研磨部材１４ａはウエハ１の表面側ベベル面１ａを研磨し、第２研磨部材１４ｂは裏面側ベベル面１ｂを研磨し、第３及び第４研磨部材１４ｃ，１４ｄはそれぞれ円周端面１ｃを研磨するもので、上記第１研磨部材１４ａと第２研磨部材１４ｂとがチャックテーブル１２を挟んで互いに相対する位置に配設され、第３研磨部材１４ｃと第４研磨部材１４ｄとが、これら第１研磨部材１４ａと第２研磨部材１４ｂとの間の位置において、上記チャックテーブル１２を挟んで互いに相対するように配設されている。しかし、上記第３研磨部材１４ｃと第４研磨部材１４ｄのうち一方を省略しても良い。
【００１９】
上記各研磨部材１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、金属や合成樹脂又はセラミック等からなる硬質の基材３０に弧状の湾曲部３０ａを形成し、この湾曲部３０ａの内面に柔軟性ある研磨パッド３１を貼着することにより、該研磨パッド３１からなる湾曲した作業面３１ａを形成したもので、この作業面３１ａを上記ベベル面１ａ，１ｂと円周端面１ｃとに押し付けて研磨するものである。従って、上記第１研磨部材１４ａと第２研磨部材１４ｂとは、作業面３１ａの母線をそれぞれ表面側及び裏面側のベベル面１ａ，１ｂに沿う方向に傾斜させて配設されており、また、第３研磨部材１４ｃと第４研磨部材１４ｄとは、作業面３１ａの母線を上記円周端面１ｃと平行する鉛直方向に向けて配設されている。
【００２０】
上記研磨部材１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄはそれぞれ、支持機構３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄにより移動自在に支持されていて、上記チャックテーブル１２に対するウエハ１の搬入及び搬出時には、作業の邪魔にならないようにチャックテーブル１２から離れた待避位置まで後退し、ウエハ１の研磨時に、図示した加工位置まで前進して各作業面３１ａがベベル面１ａ，１ｂ及び円周端面１ｃに当接するようになっている。また、研磨中は、ウエハ１との接触位置を変えるため、ベベル面１ａ，１ｂ及び円周端面１ｃに沿う方向にゆっくりと移動する。
【００２１】
上記ウエハ１の研磨加工中、該ウエハ１の上面中央部には、上記スラリー供給装置１６によってスラリーが供給される。このスラリー供給装置１６は、先端にノズル部１６ａを有するパイプによって構成され、加工室１０内の一部に回動自在に配設されており、ウエハ１の非研磨時には図２の鎖線位置に待避しているが、研磨時には図１及び図２の実線で示す位置に旋回し、先端のノズル部１６ａからウエハ１にスラリーを供給する。
【００２２】
ウエハ１に供給された上記スラリーは、高速で回転する該ウエハ１の全周から放射方向に飛散し、その一部は研磨部材１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄに衝突して跳ねるなどして向きを変えるものもあるが、殆どのスラリーは上記飛散防止カーテン１７によって受け止められ、その外側に位置する室壁や周辺機器等への付着が防止される。
上記飛散防止カーテン１７は、柔軟性素材によって変形自在な薄板状に形成され、上記チャックテーブル１２及び各研磨部材１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの回り全体を取り囲むように加工室１０の天井部分から下向きに配設されている。図示した例では、飛散防止カーテン１７が薄板状をした４つのカーテン部材１７ａからなっていて、これらのカーテン部材１７ａが四角形の筒形をなすように配設されている。
【００２３】
上記各カーテン部材１７ａは、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、２枚の薄くて柔らかい合成樹脂製フィルム３６，３６により形成されていて、これらのフィルム３６の上端部が、合成樹脂製の薄い支持板３７に接着や挟持等の手段により固定されている。この場合、二枚のフィルム３６，３６の間に僅かな隙間を介在させても良いが、両フィルム３６，３６を相互に当接させても良い。
【００２４】
上記各フィルム３６には、その下端部から上向きに延びて上端近くまで達する縦方向の切れ目３８が一定間隔で複数設けられ、この切れ目３８によって両フィルム３６がそれぞれ縦に細長い複数の短冊部３９に分割されている。また、内外両フィルム３６，３６間で切れ目３８の位置を左右にずらす（オフセットさせる）ことにより、一方のフィルム３６の短冊部３９の中央部に他方のフィルム３６の切れ目３８が位置するように構成されている。
【００２５】
上記飛散防止カーテン１７をこのように構成することにより、スラリーの衝突エネルギーを各短冊部３９の変形によって効率良く緩和、吸収させることができる。しかも、二枚のフィルム３６，３６間で切れ目３８の位置を相互にずらすことにより、スラリーの衝突によって短冊部３９が変形しても、二枚のフィルム３６が相互に補完し合うことによって隙間の形成が防止されるため、スラリーがカーテン１７を透過して外部に飛散するのが確実に防止され、勝れたスラリー飛散防止効果を得ることができる。
なお、上記切れ目３８が上方に延伸してフィルム３６が破損するのを防止するため、各切れ目３８の上端には円形部３８ａが形成されている。
【００２６】
上記飛散防止カーテン１７は、スラリーをできるだけ狭い範囲内で受け止めて落下させることによって効率良く回収するため、上記研磨部材１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄによる研磨作業の障害とならず、しかも研磨時に各研磨部材がチャックテーブル１２から離れる方向に最大限後退したときもそれらを包囲し得るような範囲内で、できるだけチャックテーブル１２に近接した位置に配設することが望ましい。
また、上記飛散防止カーテン１７の下端部は、チャックテーブル１２上のウエハ１よりも下方の位置まで延びていることが望ましいが、必ずしも床面近くにまで達している必要はなく、該ウエハ１と同じ位置かそれより若干下方の位置まで延びていれば良い。
【００２７】
上記フィルム３６としては、例えば、耐薬品性や耐熱性及び耐寒性等に勝れて強度も大きいポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルムを好適に用いることでき、その場合に使用可能なフィルムの厚さは５〜３５０μｍ程度であり、好ましくは２０〜１００μｍ程度である。また、上記短冊部３９の幅は５〜２０ｍｍ程度が好ましいが、それ以上であっても構わない。
さらに、上記フィルム３６は、表面が平滑であっても良いが、スラリー等の液体が付着した場合でも互いに密着しにくいように、小さな凹凸等を形成することによって表面を粗面に形成したものや、適宜間隔で複数の折り目を横向きや縦向き等に設けることによって波付けしたものなどであっても良い。
【００２８】
上記飛散防止カーテン１７は、上記チャックテーブル１２の回り全体を取り囲んでいるため、搬送機構１３の移動軌道（揺動軌道）の一部を遮断していることになる。しかし、該カーテン１７は柔軟なフィルム３６によって変形自在なるように形成されると共に、小幅な短冊部３９に分割されているため、搬送機構１３はこのカーテン１７を自由に押し退けながら揺動することができる。従って、該飛散防止カーテン１７が搬送機構１３によるウエハ１の搬送の障害になることはない。
【００２９】
図示した実施例では、上記飛散防止カーテン１７が内外２枚のフィルム３６，３６で形成されているが、該フィルム３６の数は１枚であっても３枚以上であっても良い。また、上記搬送機構１３の揺動軌道がカーテン１７の比較的低い位置にあってカーテン１７を容易に押し退けられるような場合には、上記短冊部３９の幅を２０ｍｍより大きくすることもでき、場合によっては切れ目３８がないフィルム３６を用いることもできる。
さらに、上記飛散防止カーテン１７が、複数のカーテン部材１７ａを組み合わせることにより形成されているが、一つの長いカーテン部材を四角形や円形等に折り曲げて形成することもできる。
【００３０】
上記飛散防止カーテン１７で受け止められたスラリーは床面上に落下し、回収ポイントに形成された回収溝４３に流れ込んで回収されたあと、必要に応じて浄化処理されることによって循環的に再使用される。
上記回収ポイントには、上記回収溝４３とドレン排出溝４４とが形成されていて、制御装置４５で制御される弁体４３ａ，４４ａでこれら両溝４３，４４が選択的に開閉されるようになっている。そして、ウエハ１の研磨中は、上記回収溝４３が開放してドレン排出溝４４が弁体４４ａにより閉鎖され、研磨終了後に純水によるシャワーで加工室１０内が洗浄されるとき、上記回収溝４３が弁体４３ａで閉鎖されると共に、ドレン排出溝４４が開放し、純水で洗われて薄められたスラリーがドレンとして外部に排出される。
【００３１】
なお、図示した例では上記回収ポイントが加工室１０の隅に設けられているが、スラリーの回収経路を短くして回収効率を高めるためには、上記飛散防止カーテン１７の内側領域か真下付近に設けることが望ましく、カーテン１７の外側の領域に設ける場合であってもできるだけ該カーテン１７の近くに設けることが望ましい。
【００３２】
ウエハ１の研磨が終了すると、スラリー供給装置１６が図２に鎖線で示す待避位置に移動すると共に、各研磨部材１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄがウエハ１から離れた待避位置に移動し、搬送機構１３によってチャックテーブル１２上の研磨済みウエハが保持されてバッファに搬出され、該バッファから別の未研磨ウエハが上記チャックテーブル１２上に搬入されてその研磨が行われる。
【００３３】
図４（ａ）及び図４（ｂ）は、上記飛散防止カーテン１７を構成するカーテン部材の異なる構成例を示すものである。このカーテン部材１７ｂは、毛足が長くて細い柔軟な複数の合成樹脂製繊維４７を、スラリーの飛散防止に必要な密度で縦向きに配列し、これらの繊維４７の上端部を支持板４８に保持させることにより形成されている。
上記繊維４７は、図５（ａ），（ｂ）に示すように、複数本を束ねることによって小径の繊維束４９とし、複数の繊維束４９を、カーテン部材１７ｂの前後面方向に隙間が生じない程度のピッチで上記支持板４８に埋め込んでいる。同図（ａ）は、上記繊維束４９を千鳥状に配設した例であり、同図（ｂ）は一列に配設した例である。
【００３４】
しかし、上記繊維束４９は、必ずしも円形である必要はなく、楕円形や平板状であっても良い。あるいは、図５（ｃ）に示すように、繊維４７を一定厚さの連続する薄板状に配列して支持板４８に埋め込んでも良い。
上記繊維４７としては、例えばナイロン（登録商標）製の繊維を使用することができるが、それ以外の素材からなるものであっても良い。
【００３５】
図６は本発明に係る外周研磨装置の第２実施形態を示すもので、この第２実施形態は、ウエハ１の搬送機構１３が上記第１実施形態の場合と相違している。
上記搬送機構１３は、加工室１０の天井部分に設けられて図示しないバッファの位置まで延びる直線軌道５２と、該直線軌道５２に沿って移動する走行体５３と、この走行体５３に伸縮軸５５で昇降自在に支持された把持部５４とからなるもので、昇降形の搬送機構である。上記把持部５４には、放射方向に開閉自在の複数の爪５６が設けられていて、これらの爪５６でウエハ１の外周を把持するようになっているが、真空吸着やその他の適宜方法でウエハを把持することもできる。
【００３６】
上記走行体５３は、図示したように把持部５４を上昇させた状態でチャックテーブル１２と上記バッファとの間を移動し、それぞれの位置において該把持部５４が昇降することによってウエハ１を把持しあるいは解放する。従って、上記把持部５４の昇降ストロークは第１実施形態の搬送機構より大きい。
また、飛散防止カーテン１７は、上記走行体５３の移動軌道を遮断しない高さに取り付けられていて、上部が開放しており、このカーテン１７の上を上記走行体５３がウエハを保持したまま移動し、該カーテン１７の開放する上部を通じてチャックテーブル１２へのウエハ１の搬入及び搬出を行うようになっている。
【００３７】
上記第２実施形態のその他の構成及び作用は実質的に第１実施形態と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第１実施形態と同じ符号を付してその説明は省略する。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係る外周研磨装置の第１実施形態を示す要部断面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３（ａ）】飛散防止カーテンを構成するカーテン部材の一例を示す正面図である。
【図３（ｂ）】図３（ａ）におけるＡ−Ａ線での拡大断面図である。
【図４（ａ）】飛散防止カーテンを構成するカーテン部材の他例を示す正面図である。
【図４（ｂ）】図４（ａ）におけるＢ−Ｂ線での拡大断面図である。
【図５（ａ）】繊維の配列形態の一例を示す部分拡大図である。
【図５（ｂ）】繊維の配列形態の他例を示す部分拡大図である。
【図５（ｃ）】繊維の配列形態の他例を示す部分拡大図である。
【図６】本発明に係る外周研磨装置の第２実施形態を示す要部断面図である。
【図７】半導体ウエハを中間部を省略して示す側面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１      ウエハ
１ａ，１ｂ      ベベル面
１ｃ      円周端面
１２      チャックテーブル
１３      搬送機構
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ      研磨部材
１６      スラリー供給装置
１７      飛散防止カーテン
３６      フィルム
３８      切れ目
３９      短冊部
４７      繊維
４８      支持板
Ｌ      軸線
【図１】
2007042670.tif 000003
【図２】
2007042670.tif 000004
【図３（ａ）】
2007042670.tif 000005
【図３（ｂ）】
2007042670.tif 000006
【図４（ａ）】
2007042670.tif 000007
【図４（ｂ）】
2007042670.tif 000008
【図５（ａ）】
2007042670.tif 000009
【図５（ｂ）】
2007042670.tif 000010
【図５（ｃ）】
2007042670.tif 000011
【図６】
2007042670.tif 000012
【図７】
2007042670.tif 000013