(57)【要約】【課題】振動子を水中に配置したとき、振動子の周辺に気泡が溜まりにくい超音波探触子を提供すること。【解決手段】第１振動子３および第２振動子４の夫々の超音波送受信面１３,１４の中心Ｐ１,Ｐ２と、超音波送受信面１３,１４が位置する仮想球面１８の中心とを含む断面において、第３振動子５の超音波送受信面１５が、上記中心Ｐ１と、上記中心Ｐ２とを結ぶ線分の垂直二等分線上に位置すると共に仮想球面１８の中心に向けて突出するように、第３振動子５を、振動子取付面１０を横断するように形成された気泡抜き溝２１の底面に取り付ける。第３振動子５の超音波送受信面１５を、略球面形状に形づくる。【選択図】図１
2007232490.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子取付面を有するバッキング部材と、
上記振動子取付面に互いに非接触な状態で取り付けられると共に、仮想球面の曲率と同じ曲率の球面の一部から成る超音波送受信面を夫々有する第１振動子および第２振動子と、
上記第１振動子および上記第２振動子の夫々の上記超音波送受信面の中心と、上記仮想球面の中心とを含む断面において、上記第１振動子の上記超音波送受信面の上記中心と、上記第２振動子の上記超音波送受信面の上記中心とを結ぶ線分の垂直二等分線上に略位置していると共に、略上記仮想球面の中心の方向に突出する形状の超音波送受信面を有し、かつ、上記振動子取付面に上記第１振動子および上記第２振動子に非接触な状態で取り付けられている第３振動子と
を備えることを特徴とする超音波探触子。
【請求項２】
請求項１に記載の超音波探触子において、
上記第３振動子は、略上記仮想球面の中心の方向に突出する略球面形状の超音波送受信面を有することを特徴とする超音波探触子。
【請求項３】
請求項１または２に記載の超音波探触子において、
上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分の少なくとも一部と上記バッキング部材の端縁とを連通する気泡抜き溝を有し、
上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分の少なくとも一部は、上記気泡抜き溝の一部であることを特徴とする超音波探触子。
【請求項４】
請求項３に記載の超音波探触子において、
上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分は、上記気泡抜き溝の一部であることを特徴とする超音波探触子。
【請求項５】
請求項３または４に記載の超音波探触子において、
上記気泡抜き溝は、略円筒形状の底面を有していることを特徴とする超音波探触子。
【請求項６】
請求項３または４に記載の超音波探触子において、
上記気泡抜き溝は、上記第３振動子と接触している部分の少なくとも一部から上記バッキング部材の端縁に向けて上記垂直二等分線に垂直な面との距離が拡大するよう上記仮想球面の中心から拡径する方向に形成されていることを特徴とする超音波探触子。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１つに記載の超音波探触子において、
上記第３振動子の上記超音波送受信面の中心は、上記仮想球面上に略位置していることを特徴とする超音波探触子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波探触子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、超音波探触子としては、特開２０００−１３１２９７号公報（特許文献１）に記載されている表面波測定用探触子がある。この表面波測定用探触子は、基台と、基台の断面円弧状の凹部上に略等間隔に貼り付けられた三つの板状の振動子とを備える。この表面波測定用探触子は、次のようにして、被疲労度測定部材の疲労度の測定を行うようになっている。
【０００３】
先ず、ガラス等の透明の容器の底に被疲労度測定部材を配置した後、この容器に水を充填する。次に、上記三つの板状の振動子が水につかるように、表面波測定用探触子を上記容器中に配置した後、上記三つの振動子のうちの一の振動子の超音波送受信面から水が充填されたガラス等の透明の容器の底に載置された被疲労度測定部材の表層部に向けて超音波を発振する。そして、その発振された超音波を上記被疲労度測定部材の表層部（表面を含む）を伝播させた後、上記一の振動子以外の振動子で受信することにより、上記超音波が上記被疲労度測定部材を伝播するときの伝播速度を測定する。最後に、この測定した伝播速度に基づいて、この測定した伝播速度と相関関係がある上記被疲労度測定部材の疲労の程度を測定する。
【０００４】
しかしながら、上記従来の表面波測定用探触子では、表面波測定用探触子を水で満たされた上記容器中に配置する際に、上記断面円弧状の凹部に気泡が溜まって、上記被疲労度測定部材に対する超音波の伝播速度を正確に測定できないという問題がある。
【特許文献１】特開２０００−１３１２９７号公報（第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明の課題は、振動子を水中に配置したとき、振動子の周辺に気泡が溜まりにくい超音波探触子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、この発明の超音波探触子は、
振動子取付面を有するバッキング部材と、
上記振動子取付面に互いに非接触な状態で取り付けられると共に、仮想球面の曲率と同じ曲率の球面の一部から成る超音波送受信面を夫々有する第１振動子および第２振動子と、
上記第１振動子および上記第２振動子の夫々の上記超音波送受信面の中心と、上記仮想球面の中心とを含む断面において、上記第１振動子の上記超音波送受信面の上記中心と、上記第２振動子の上記超音波送受信面の上記中心とを結ぶ線分の垂直二等分線上に略位置していると共に、略上記仮想球面の中心の方向に突出する形状の超音波送受信面を有し、かつ、上記振動子取付面に上記第１振動子および上記第２振動子に非接触な状態で取り付けられている第３振動子と
を備えることを特徴としている。
【０００７】
上記超音波送受信面とは、超音波の送信と超音波の受信のうちの少なくとも一方を行う面のことをいう。
【０００８】
本発明によれば、上記第３振動子の略上記仮想球面の中心の方向に突出する形状の部分に気泡が溜まらない。したがって、第３振動子の超音波の発振時に被疲労度測定部材に対する超音波の反射時間を正確に測定できる。
【０００９】
また、一実施形態の超音波探触子は、上記第３振動子が、略上記仮想球面の中心の方向に突出する略球面形状の超音波受信面を有する。
【００１０】
上記略球面形状には、上記断面において、略円形状であるものの他、上記断面において、上記仮想球面の中心に向かって凸の略楕円形状や、上記仮想球面の中心に向かって凸の放物線形状等、上記仮想球面の中心に向かって凸の湾曲形状が含まれるものとする。
【００１１】
上記実施形態によれば、上記第３振動子を形成し易くて好ましい。
【００１２】
また、一実施形態の超音波探触子は、上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分の少なくとも一部と上記バッキング部材の端縁とを連通する気泡抜き溝を有し、上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分の少なくとも一部は、上記気泡抜き溝の一部である。
【００１３】
上記実施形態によれば、上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分の少なくとも一部は、上記気泡抜き溝の一部であるので、上記振動子取付面が上記バッキング部材の鉛直方向の下方に位置し、かつ、上記第１振動子の超音波送受信面の中心と上記第２振動子の超音波送受信面の中心が、鉛直方向の同じ高さに位置している状態で、超音波探触子を水中に配置したとき、上記第３振動子の超音波送受信面の近傍に溜まる傾向がある気泡を、上記気泡抜き溝を通じて超音波探触子の外部に逃がすことができる。したがって、超音波の発振中に、気泡が上記第１乃至第３振動子の周辺に存在することがないので、被疲労度測定部材に対する超音波の伝播速度を正確に測定できる。
【００１４】
また、一実施形態の超音波探触子は、上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分が、上記気泡抜き溝の一部である。
【００１５】
上記実施形態によれば、上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分は、上記気泡抜き溝の一部であるので、上記第３振動子の周辺の気泡を、上記気泡抜き溝を通じて確実に外部に逃がすことができる。
【００１６】
また、一実施形態の超音波探触子は、上記気泡抜き溝が、略円筒形状の底面を有している。
【００１７】
上記実施形態によれば、上記気泡抜き溝が、略円筒形状の底面を有していて、上記気泡抜き溝の底面の形状が単純な形状であるので、上記気泡抜き溝を簡単安価に製造できる。
【００１８】
また、一実施形態の超音波探触子は、上記気泡抜き溝は、上記第３振動子と接触している部分の少なくとも一部から上記バッキング部材の端縁に向けて上記垂直二等分線に垂直な面との距離が拡大するように形成されている。
【００１９】
上記実施形態によれば、超音波探触子の姿勢をくずすことなく気泡を超音波探触子の外部に排除できる。
【００２０】
また、一実施形態の超音波探触子は、上記第３振動子の上記超音波送受信面の中心が、上記仮想球面上に略位置している。
【００２１】
上記実施形態によれば、上記第３振動子の上記超音波送受信面の中心が、上記仮想球面上に略位置しているので、被疲労度測定部材に対する超音波の伝播速度を容易かつ正確に行うことができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の超音波探触子によれば、第３振動子の略上記仮想球面の中心の方向に突出する形状の部分に気泡が溜まらない。したがって、第３振動子の超音波の発振時に被疲労度測定部材に対する超音波の反射時間を正確に測定できる。
【００２３】
また、一実施形態の超音波探触子によれば、超音波探触子の駆動時に振動子取付面の第３振動子の付近に溜まる傾向がある気泡を、気泡抜き溝を通じて超音波探触子の外部に逃がすことができる。したがって、超音波の発振中に、気泡が第１乃至第３振動子の振動子取付面に接触するように存在することがないので、被疲労度測定部材に対する超音波の伝播速度を正確に測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を図示の形態により詳細に説明する。
【００２５】
図１は、本発明の第１実施形態の超音波探触子を側方から見た図である。
【００２６】
図１に示すように、この超音波探触子は、樹脂製のバッキング部材１と、第１振動子３と、第２振動子４と、第３振動子５とを備える。
【００２７】
上記バッキング部材１は、振動子取付面１０を有し、第１乃至第３振動子３,４,５は、振動子取付面１０に互いに非接触な状態で取付られている。上記第１振動子３の超音波送受信面１３と、第２振動子４の超音波送受信面１４は、仮想球面１８の曲率と同じ曲率の球面の一部から成っており、超音波送受信面１３の中心Ｐ１と、超音波送受信面１４の中心Ｐ２は、仮想球面１８の同じ大円１９上に位置している。
【００２８】
上記第３振動子５の超音波送受信面１５は、略球面形状をしている。この超音波送受信面１５の中心Ｐ３は、第１振動子３および第２振動子４の夫々の超音波送受信面１３の中心Ｐ１,Ｐ２と、仮想球面１８の中心とを含む断面において、超音波送受信面１３の中心Ｐ１と、超音波送受信面１４の中心Ｐ２とを結ぶ線分の垂直二等分線上に略位置している。上記第３振動子５の超音波送受信面１５は、仮想球面１８の中心の方向に突出している。
【００２９】
上記振動子取付面１０は、略球面形状の部分２０と、この略球面形状の部分２０を横断するように延在する気泡抜き溝２１とを有する。上記気泡抜き溝２１は、略円筒形状の底面を有している。上記気泡抜き溝２１は、仮想球面１８の大円１９を含む平面に垂直な平面であって上記垂直二等分線を含む平面の法線方向に延在しており、略球面形状の部分２０は、気泡抜き溝２１によって二つの領域に分断されている。上記第１振動子３は、分断された略球面形状の部分２０の一方の領域に取り付けられる一方、第２振動子４は、分断された略球面形状の部分２０の他方の領域に取り付けられている。さらに、上記第１振動子３と第２振動子４は、略球面形状の部分２０の同じ大円２２上に配置されている。また、上記第３振動子５は、気泡抜き溝２１の底面に取り付けられており、振動子取付面１０における第３振動子５と接触している部分は、気泡抜き溝２１の一部になっている。尚、第１実施形態では、上記第３振動子５の超音波送受信面１５の中心Ｐ３は、仮想球面１８上に位置している。
【００３０】
図２は、振動子取付面１０を図１に矢印ａで示す方向から見たときの平面図であり、仮想球面１８の中心から第３振動子５の超音波送受信面１５の中心Ｐ３を見たときの平面図である。
【００３１】
図２に示す平面において、振動子取付面１０は、円から円の直径を中心にして線対称な部分だけを円の縁から縁まで残して、残りを切除したような形状をしている。すなわち、振動子取付面１０は、その長手方向の縁が直線形状で、かつ、その幅方向の縁が円弧形状になっている。振動子取付面１０は、矢印ｂで示す幅方向の寸法が略同一になっており、大円２２に対して線対称な形状をしている。また、第１または第２振動子３,４の振動子取付面１０に取付けられている部分の縁は略長方形であり、第３振動子５の振動子取付面１０に取付られている部分の縁は、略円形状をしている。上記第１振動子３における振動子取付面１０に取り付けられている裏面の中心と、第３振動子５における振動子取付面１０に取り付けられている裏面の中心との大円２２方向の距離は、第３振動子５における振動子取付面１０に取り付けられている裏面の中心と、第２振動子４における振動子取付面１０に取り付けられている裏面の中心との距離と略等しくなっている。図２の平面図において、上記円筒形状の気泡抜き溝２１は、矢印ｂで示す幅方向に延在している。上記略球面形状の部分２０と、円筒形状の気泡抜き溝２１とは、幅方向の中心線、すなわち、大円２２上においては、段差がなくて円滑に繋がっている一方、略球面形状の部分２０と気泡抜き溝２１との境界３０,３１における大円２２と交わる部分以外の部分においては、段差を介して繋がっている。この段差は、幅方向の中心線、すなわち、大円２２から幅方向の外方に行くにしたがって大きくなっている。この段差は、大円２２を含むと共に、図２の紙面に垂直な平面に対して、略面対称な構造を有している。
【００３２】
図３は、被疲労度測定部材２８の超音波の伝播速度を測定している際の、第１実施形態の超音波探触子の大円２２（仮想球面１８の大円１９）を含む断面図である。
【００３３】
以下に、図３を参照しながら、第１実施形態の超音波探触子を用いた被疲労度測定部材２８の疲労度の測定方法について簡単に述べることにする。
【００３４】
先ず、ガラス等の透明な容器に水を充填させた後、この水が充填された容器の底に被疲労度測定部材２８を載置する。
【００３５】
次に、超音波探触子の第１〜第３振動子３,４,５を上記容器内に充填されている水に接触させた後、超音波送受信面１５から超音波を発振する。そして、超音波が超音波送受信面１５から発振された時から、超音波送受信面１５から発振された超音波が被疲労度測定部材２８の表面で反射して超音波送受信面１５に到達した時までの第１時間を測定する。また、超音波送受信面１３から超音波を発振して、超音波が超音波送受信面１３から発振された時から、超音波送受信面１３から発振された超音波が被疲労度測定部材２８の表面を伝播して超音波送受信面１４に到達した時までの第２時間を測定する。そして、超音波探触子を、第２時間と第１時間との差が所定の時間である点に配置して、超音波送受信面１３,１４の曲率中心Ｐｋを、被疲労度測定部材２８の表面２７上に位置させるようにする。
【００３６】
次に、超音波探触子を被疲労度測定部材２８に近づけるように、被疲労度測定部材２８の表面２７の法線方向に、曲率中心Ｐｋを距離ｚ移動させる。図３は、この状態を図示したものである。この状態において、超音波を超音波送受信面１３から図１に矢印ａで示す超音波送受信面１３の中心の法線方向に発振して、超音波を、超音波送受信面１３から矢印ａ方向に水中を伝播させた後、矢印ｂに示す方向に被疲労度測定部材２８の表面２７（厳密には表層）を伝播させ、その後、矢印ｃに示す超音波送受信面１４の中心の法線方向に水中を伝播させる。そして、この経路を伝播した超音波における、超音波が超音波送受信面１３から発振した時から超音波が超音波送受信面１４に到達した時までの時間を測定する。そして、水に対する超音波の伝播速度がわかっていることにより、図３の状態において、表面Ａから曲率中心Ｐｋまでの矢印ａ方向のＡ−Ｐｋの距離と、曲率中心Ｐｋから表面Ｃまでの矢印ｃ方向のＣ−Ｐｋの距離とが厳密に算出できることに基づいて、超音波の被疲労度測定部材２８の表層部の伝播速度を導き出す。
【００３７】
最後に、超音波の被疲労度測定部材２８の表層部の伝播速度に基づいて、この伝播速度と相関関係がある被疲労度測定部材２８の疲労度を測定する。例えば、この方法を被疲労度測定部材の一例としての玉軸受の内輪の軌道底に適用すれば、その軌道底の転動疲労を測定することができる。
【００３８】
尚、振動子取付面１０がバッキング部材１の鉛直方向の下方に位置し、かつ、第１振動子３の超音波送受信面１３の中心と第２振動子４の超音波送受信面１４の中心とが、鉛直方向の略同じ高さに位置し、かつ、第１〜第３振動子３,４,５が水に接触している状態で、図２の平面図における振動子取付面１０の幅は、上記透明な容器の側面から振動子取付面１０の周辺に溜まっている気泡が視認できる程度の短い長さに設定されている。
【００３９】
上記第１実施形態の超音波探触子によれば、振動子取付面１０における第３振動子５と接触している部分の少なくとも一部は、気泡抜き溝２１の一部であるので、振動子取付面１０がバッキング部材１の鉛直方向の下方に位置し、かつ、第１振動子３の超音波送受信面１３の中心と第２振動子４の超音波送受信面１４の中心とが、鉛直方向の同じ高さに位置している状態で、超音波探触子を水中に配置したとき、振動子取付面１０の第３振動子５の付近に溜まる傾向がある気泡を、気泡抜き溝２１を通じて超音波探触子の外部に逃がすことができる。したがって、超音波の発振中に、気泡が第１〜第３振動子３,４,５の周辺に存在することがないので、被疲労度測定部材２８に対する超音波の伝播速度を正確に測定できる。
【００４０】
また、上記第１実施形態の超音波探触子によれば、振動子取付面１０における第３振動子５と接触している部分は、気泡抜き溝２１の一部であるので、第３振動子５の周辺の気泡を、気泡抜き溝２１を通じて確実に外部に逃がすことができる。
【００４１】
また、上記第１実施形態の超音波探触子によれば、気泡抜き溝２１の底面が、略円筒形状であって、気泡抜き溝２１の底面の形状が単純な形状であるので、気泡抜き溝２１を簡単安価に製造できる。
【００４２】
尚、上記第１実施形態の超音波探触子では、仮想球面１８の中心から第３振動子５の超音波送受信面１５の中心Ｐ３を見たときの平面図において、第１乃至第３振動子３,４,５の振動子取付面１０に取付られている部分の縁は、略円形状をしていたが、この発明では、仮想球面の中心から第３振動子の超音波送受信面の中心を見たときの平面図において、第１乃至第３振動子の振動子取付面に取付られている部分の縁は、正方形や、長方形等、円形状以外の如何なる形状であっても良い。
【００４３】
また、上記第１実施形態の超音波探触子では、第３振動子５が気泡抜き溝２１の底面に取り付けられ、振動子取付面１０における第３振動子５と接触している部分（全ての部分）が気泡抜き溝２１の一部であったが、この発明では、第３振動子５は、気泡抜き溝と、振動子取付面における気泡抜き溝以外の部分とにまたがって取り付けられても良い。
【００４４】
また、上記第１実施形態の超音波探触子では、振動子取付面１０は、長手方向の縁が直線形状で、かつ、幅方向の縁が円弧形状であるが、この発明では、振動子取付面は、この形状以外の形状であっても良い。
【００４５】
また、上記第１実施形態の超音波探触子では、気泡抜き溝２１は、振動子取付面を横断すると共に、略直線状に延在していたが、この発明では、気泡抜き溝は、振動子取付面を横断すると共に、屈曲したり湾曲した形状であっても良い。また、上記第１実施形態の超音波探触子では、気泡抜き溝２１の底面は、円筒形状であったが、この発明では、気泡抜き溝の底面は、平面形状等、円筒形状以外の形状であっても良い。
【００４６】
また、上記第１実施形態の超音波探触子では、第３振動子５の超音波送受信面１５の中心Ｐ３は、仮想球面１８よりも、仮想球面１８の中心側に位置したが、この発明では、第３振動子の超音波送受信面の中心（上記Ｐ３に対応する点）は、仮想球面よりも、仮想球面の中心側とは反対側に位置しても良い。また、第３振動子の超音波送受信面の中心（上記Ｐ３に対応する点）は、略仮想球面上に位置しても良い。第３振動子の超音波送受信面の中心を、略仮想球面上に位置させた場合、上記第１時間と上記第２時間とが等しいことをもって、第１振動子の超音波送受信面の曲率中心Ｐｋが、被疲労度測定部材の表面上に位置していることを判断できる。したがって、被疲労度測定部材に対する超音波の伝播速度を容易かつ正確に行うことができる。
【００４７】
図４は、第２実施形態の超音波探触子の気泡抜き溝４１の底面形状を示す図である。
【００４８】
図４に示すように、この気泡抜き溝４１は、馬の鞍状（サドル状）の形状をしている。図４に４４で示す点は、図４のｘ方向において極小になっていると共に、図４のｙ方向で極大になっており、所謂鞍点になっている。図示しない第３振動子は、この鞍点付近に取り付けられる。また、図示しない第１および第２振動子は、図４における鞍点４４のｘ軸方向の両側に、鞍点との距離を同じにして、配置されている。被疲労度測定部材の超音波の伝播速度を測定する際には、水が充填された透明な容器に、図４にｚの正方向で示す方向を、鉛直方向の下方向に向けて、測定行うようにする。第２実施形態のように、馬の鞍状（サドル状）の形状の底面を有する気泡抜き溝４１を採用すると、超音波の測定の最中に、気泡が気泡抜き溝４１に留まることがなくて、気泡を、超音波探触子の外部に円滑かつ略完全に逃がすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の第１実施形態の超音波探触子を側方から見た図である。
【図２】振動子取付面を図１に矢印ａで示す方向から見たときの平面図である。
【図３】被疲労度測定部材の超音波の伝播速度を測定している際の、第１実施形態の超音波探触子の断面図である。
【図４】第２実施形態の超音波探触子の気泡抜き溝の底面形状を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  バッキング部材
３  第１振動子
４  第２振動子
５  第３振動子
１０  振動子取付面
１３  第１振動子の超音波送受信面
１４  第２振動子の超音波送受信面
１５  第３振動子の超音波送受信面
１８  仮想球面
１９  仮想球面の大円
２１,４１  気泡抜き溝
Ｐ１  第１振動子の超音波送受信面の中心
Ｐ２  第２振動子の超音波送受信面の中心
Ｐ３  第３振動子の超音波送受信面の中心
【図１】
2007232490.tif 000003
【図２】
2007232490.tif 000004
【図３】
2007232490.tif 000005
【図４】
2007232490.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月8日(2006.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子取付面を有するバッキング部材と、
上記振動子取付面に互いに非接触な状態で取り付けられると共に、仮想球面の曲率と同じ曲率の球面の一部から成る超音波送受信面を夫々有する第１振動子および第２振動子と、
上記第１振動子および上記第２振動子の夫々の上記超音波送受信面の中心と、上記仮想球面の中心とを含む断面において、上記第１振動子の上記超音波送受信面の上記中心と、上記第２振動子の上記超音波送受信面の上記中心とを結ぶ線分の垂直二等分線上に略位置していると共に、略上記仮想球面の中心の方向に突出する形状の超音波送受信面を有し、かつ、上記振動子取付面に上記第１振動子および上記第２振動子に非接触な状態で取り付けられている第３振動子と
を備えることを特徴とする超音波探触子。
【請求項２】
請求項１に記載の超音波探触子において、
上記第３振動子は、略上記仮想球面の中心の方向に突出する略球面形状の超音波送受信面を有することを特徴とする超音波探触子。
【請求項３】
請求項１または２に記載の超音波探触子において、
上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分の少なくとも一部と上記バッキング部材の端縁とを連通する気泡抜き溝を有し、
上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分の少なくとも一部は、上記気泡抜き溝の一部であることを特徴とする超音波探触子。
【請求項４】
請求項３に記載の超音波探触子において、
上記振動子取付面における上記第３振動子と接触している部分は、上記気泡抜き溝の一部であることを特徴とする超音波探触子。
【請求項５】
請求項３または４に記載の超音波探触子において、
上記気泡抜き溝は、略円筒形状の底面を有していることを特徴とする超音波探触子。
【請求項６】
請求項３または４に記載の超音波探触子において、
上記気泡抜き溝は、上記第３振動子と接触している部分の少なくとも一部から上記バッキング部材の端縁に向けて上記垂直二等分線に垂直な面との距離が拡大するように形成されていることを特徴とする超音波探触子。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１つに記載の超音波探触子において、
上記第３振動子の上記超音波送受信面の中心は、上記仮想球面上に略位置していることを特徴とする超音波探触子。