(57)【要約】【課題】清浄空間を必要とするクリーンルームに使用されるファンフィルタユニットにおいて、ファンフィルタユニットの取付けやフィルタ着脱を容易にすることを目的とする。【解決手段】ファン１とモータ２と除塵フィルタ４を内包したチャンバ３とファンユニット側からの除塵フィルタ固定手段と除塵フィルタ４からファンフィルタユニットの吹き出し方向への風向板８および第２の風向板９と整流手段１０を備え、設置状況に左右されることなく任意方向、形状の開口をチャンバ３に設置することが可能になり、空気清浄効果、軽作業化、スピード化の効果を得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモータからなるファンユニットと除塵フィルタを内包するチャンバと、この除塵フィルタの吹出し面とは異なるチャンバの面に吹出し開口部分を設けたチャンバの送風路とからなるファンフィルタユニットの送風装置。
【請求項２】
吹出し開口部分は任意の形状であることを特徴とする請求項１記載のファンフィルタユニットの送風装置。
【請求項３】
除塵フィルタをファンユニット側からＬ形の金具で固定できる固定手段を設けてなる請求項１または２記載のファンフィルタユニットの送風装置。
【請求項４】
チャンバに当接して、除塵フィルタをチャンバに固定する固定金具を有し、固定手段は除塵チャンバの外周フレームを抱え込みチャンバ側に圧接可能な弾性を持つ金具からなる請求項３記載のファンフィルタユニットの取付装置。
【請求項５】
チャンバは、側面部にひんじ手段を有する扉と扉に構築したファンユニットからなる請求項１〜４のいずれかに記載のファンフィルタユニットの送風装置。
【請求項６】
チャンバ内部で、除塵フィルタ下流側の吹出し開口部分に対向する部分に平板の風向板と平板の風向板に連接する湾曲形の風向板からなる請求項１〜５のいずれかに記載のファンフィルタユニットの送風装置。
【請求項７】
チャンバ内部で、除塵フィルタ下流側の吹出し開口部分に対向する部分に複数の平板の風向板からなる請求項１〜５のいずれかに記載のファンフィルタユニットの送風装置。
【請求項８】
チャンバ内部で、除塵フィルタ下流側の吹出し開口部分に対向する部分に湾曲形の風向板からなる請求項１〜５のいずれかに記載のファンフィルタユニットの送風装置。
【請求項９】
チャンバ内部で、吹出し開口部の前面に整流手段を設けた請求項１〜８いずれかに記載のファンフィルタユニットの送風装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットの送風装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットの送風装置は、ファンフィルタユニット構造体のチャンバ下流側に設けられる除塵フィルタと共に積層構造を成してクリーンルーム内の構造物天面に取付けられたものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、ファンフィルタユニットの送風装置について具体的な構成を図７を参照しながら説明する。
【０００４】
図に示すように、ファンフィルタユニットは方形を常とし、ファンフィルタユニット１００はファン１とモータ２からなるファンユニットを内包するチャンバ３とチャンバ３の下方に着脱可能な除塵フィルタ４からなり、前記除塵フィルタ４の断面略Ｃ字形状またはロの字形状の枠部に設けたフィルタの上流側貫通穴１０１と下流側貫通穴１０２を設け、固定手段１０３により上流側貫通穴１０１で前記チャンバ３に固定される。また、ファンフィルタユニット１００は、開口部を設けた構造物１４の開口部天面１０４に配し、前記チャンバ３に配した本体固定金具１０６により開口部縁部に固定している。また前記除塵フィルタ４の下流側貫通穴１０２は、前記チャンバ３に除塵フィルタ４固定後は、穿孔手段１０５を施している。前記除塵フィルタ４の形状はチャンバ３と同形状を常とし、ファンフィルタユニットを構成している。
【特許文献１】特開２０００−２４４１４７号公報（段落００２７〜００３４、図１〜図１６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来のチャンバと除塵フィルタの積層構造では、任意形状の開口部に設置することは、方形のフィルタ下流部を塞ぎ、クリーン空間内を十分な掃気ができないことや、任意形状の設置部に装置を取付けることが困難な状況では、クリーンな環境を保つべきクリーン空間内を掃気できない空間を生むのでクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。
【０００６】
また、設置当初に比べ稼動時の構造物上部のメンテナンス空間は、設備のユニット化、省スペース化により縮小傾向にあり、構造部上部にメンテナンススペースの確保が困難なため、除塵フィルタ着脱構造に関し省スペース化が要求されている。
【０００７】
また、クリーン空間内は、より清浄な高クリーン度が求められる傾向にあり、そのためには天井面全面からの掃気が要求されている。
【０００８】
また、除塵フィルタからの送風状態は、高クリーン度に密接に関係しており、送風状態の均一化が要求されている。
【０００９】
本発明は、このような従来の積層構造で方形開口部から清浄空気を供給する送風装置の課題を解決するものであり、任意開口部からの清浄空気を供給することができ、また、省スペースでの除塵フィルタ着脱および、メンテナンス省力化をはかることができ、また、任意開口部からの送風の均一化ができるファンフィルタユニットの送風装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のファンフィルタユニットの送風装置は、上記目的を達成するために、ファンとモータからなるファンユニットと除塵フィルタを内包するチャンバと、この除塵フィルタの吹出し面とは異なるチャンバの面に吹出し開口部分を設けたチャンバの送風路とからなるファンフィルタユニットの送風装置としたものである。この手段により、任意の開口面を形成することができる。
【００１１】
また、他の手段は、吹出し開口部分は任意の形状であることを特徴とするものである。この手段により、クリーン空間への送風路の形成が任意の形状で形成することができる。
【００１２】
また、他の手段は、除塵フィルタをファンユニット側からＬ形の金具で固定できる固定手段を設けてなるものである。この手段により任意の方向から除塵フィルタのメンテナンスができる、ファンフィルタユニットの送風装置が得られる。
【００１３】
また、他の手段は、チャンバに当接して、除塵フィルタをチャンバに固定する固定金具を有し、固定手段は除塵チャンバの外周フレームを抱え込みチャンバ側に圧接可能な弾性を持つ金具からなるものである。
【００１４】
また、他の手段は、チャンバは、側面部にひんじ手段を有する扉と扉に構築したファンユニットからなるものである。この手段により、ファンフィルタユニットが設置した状態、除塵フィルタの着脱が容易にできる。
【００１５】
また、他の手段は、チャンバ内部で、除塵フィルタ下流側の吹出し開口部分に対向する部分に平板の風向板と平板の風向板に連接する湾曲形の風向板からなるものである。これにより除塵フィルタからの送風を任意の方向に均一に導くことができるファンフィルタユニットの送風装置が得られる。
【００１６】
また、他の手段は、チャンバ内部で、除塵フィルタ下流側の吹出し開口部分に対向する部分に複数の平板の風向板からなるものである。この手段により、除塵フィルタからの送風を均一にする作用を有する。
【００１７】
また、他の手段は、チャンバ内部で、除塵フィルタ下流側の吹出し開口部分に対向する部分に湾曲形の風向板からなるものである。この手段により、除塵フィルタからの送風を均一にして開口部に導く作用を有する。
【００１８】
また、他の手段は、チャンバ内部で、吹出し開口部の前面に整流手段を設けたものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、除塵フィルタとファンユニットの積層方向以外に送風方向を設定でき、積層方向の吸込みスペースなくすことができるファンフィルタユニットの送風装置を提供できる。
【００２０】
また、送風空間の天井面の任意形状に対し、送風開口部を任意に形成できる効果のあるファンフィルタユニットの送風装置を提供できる。
【００２１】
また、ファンユニット側から除塵フィルタを容易に取り出すことができメンテナンスこうかのあるファンフィルタユニットの送風装置を提供できる。
【００２２】
また、除塵フィルタ通過後の流れに整流効果のあるファンフィルタユニットの送風装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモータからなるファンユニットと除塵フィルタをチャンバに内包し、この除塵フィルタの吹出し面とは異なるチャンバの面に吹出し開口部分を設けたチャンバの送風路とからなるファンフィルタユニットの送風装置としたものであり、任意の開口面を形成することができる。
【００２４】
また、本発明の請求項２記載の発明は、吹出し開口部分は任意の形状であることを特徴とするものであり、クリーン空間への送風路の形成が任意の形状で形成することができる。
【００２５】
また、本発明の請求項３記載の発明は、除塵フィルタをファンユニット側からＬ形の金具で固定できる固定手段を設けてなるものであり、ファンフィルタユニットが設置した状態、除塵フィルタの着脱が容易にできる。
【００２６】
また、本発明の請求項４記載の発明は、チャンバに当接して、除塵フィルタをチャンバに固定する固定金具を有し、固定手段は除塵チャンバの外周フレームを抱え込みチャンバ側に圧接可能な弾性を持つ金具からなる請求項３記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものであり、工具を用いることなく除塵フィルタの着脱を容易にできる。
【００２７】
また、本発明の請求項５記載の発明は、チャンバは、側面部にひんじ手段を有する扉と扉に構築したファンユニットからなるものであり、除塵フィルタのメンテナンスの向上という作用を有する。
【００２８】
また、本発明の請求項６記載の発明は、チャンバ内部で、除塵フィルタ下流側の吹出し開口部分に対向する部分に平板の風向板と平板の風向板に連接する湾曲形の風向板からなるものであり、除塵フィルタからの送風を開口部に導く作用を有する。
【００２９】
また、本発明の請求項７記載の発明は、チャンバ内部で、除塵フィルタ下流側の吹出し開口部分に対向する部分に複数の平板の風向板からなるものであり、除塵フィルタからの送風を均一にする作用を有する。
【００３０】
また、本発明の請求項８記載の発明は、チャンバ内部で、除塵フィルタ下流側の吹出し開口部分に対向する部分に湾曲形の風向板からなるものであり、除塵フィルタからの送風を均一にして開口部に導く作用を有する。
【００３１】
また、本発明の請求項９記載の発明は、チャンバ内部で、吹出し開口部の前面に整流手段を設けたものであり、整流作用を有する。
【００３２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３３】
（実施の形態１）
図１、図２に示すように、ファン１とモータ２とからなるファンユニット５と除塵フィルタ４を内包したチャンバ３は任意の方向に吹出し開口部７を備え、機器の天井面に設置することができる。
【００３４】
図２において、吹き出し開口部７は任意形状を形成してチャンバ３を構成し、除塵フィルタ４からの清浄空気を送風することができる。
【００３５】
図１において除塵フィルタ４はファンユニット５を内包したチャンバ３の内面にＬ型金具６により任意に固定できる固定手段と、ファンユニット５はチャンバ３の除塵フィルタ４の上流の蓋構造を持つチャンバ３の側面で構成される。
【００３６】
上記構成において蓋構造のチャンバ３の側面は着脱可能となり、かつファンユニット５も着脱可能となり、除塵フィルタ４もファンフィルタニットから取り出せる構造となる。また、固定手段をＬ型金具６としたが、図４に示すように除塵フィルタ４の外周フレーム４ａを抱え込みチャンバ３の下流側開口部に圧接するための弾性体６ａ、もしくは板ばねでもよい。
【００３７】
図２において、蓋構造のチャンバ３の側面はファンユニット５と一体構造をなし、チャンバ３とヒンジ手段１２で各々の端部を連接されるように構成され、扉の開閉動作をなすことができるファンユニット５となる。この構成により、チャンバ３に内包した除塵フィルタをファンユニット５の扉部より着装することができる。
【００３８】
また、図１においてチャンバ３の除塵フィルタ下流側にチャンバ吹出口へ傾斜した風向板８と前記風向板８に連接した湾曲形状に第２の風向板９を備え、除塵フィルタ４からの送風を前期チャンバ３の吹出し口へ導出するように配置し任意方向への吹き出しが可能となる。
【００３９】
図１において前期風向板８と第２の風向板９により導出後に配置した整流手段、好ましくは細孔を等間隔に配置した平板、もしくは均一な密度を有する不織布のシートにより均一な送風が可能となる。
【００４０】
（実施の形態２）
本発明の第２の実施の形態について、図５、図６を用いて説明する。
【００４１】
図５はチャンバ３の除塵フィルタ４下流側にチャンバの吹出口１３へ傾斜した風向板８を任意間隔で複数枚備え、除塵フィルタ４からの送風を前期チャンバ３の吹出口１３に任意に導出されることになり、吹出口１３からの任意の送風を可能にする。
【００４２】
また図６はチャンバ３の除塵フィルタ下流側にチャンバの吹出口１３へ傾斜した第２の風向板９を任意間隔で複数枚備え、除塵フィルタ４からの送風を前期チャンバ３の吹出口１３に任意に導出されることになり、吹出口１３からの任意の送風を可能にする。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
ファンフィルタユニットの側面に扉形態のファンユニットを取り付けて、チャンバに除塵フィルタの固定手段を内包したことで容易に除塵フィルタの交換作業ができ、チャンバの任意方向へ吹出口を形成したことで、任意形状の構造物の天井面にファンフィルタユニットを取付け、任意形状の清浄空間の達成の用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示す断面図
【図２】本発明の実施の形態１〜２の構成を示す下方よりの平面図
【図３】本発明の実施の形態１〜２のファンユニットの扉の一体構成を示す下方よりの平面図
【図４】本発明の実施の形態１〜２の風向板構成を示す断面図
【図５】本発明の実施の形態２の風向板構成を示す断面図
【図６】本発明の実施の形態２の第２の風向板構成を示す断面図
【図７】従来の実施の形態を示す断面図
【符号の説明】
【００４５】
１      ファン
２      モータ
３      チャンバ
４      除塵フィルタ
４ａ    外周フレーム
５      ファンユニット
６      Ｌ型金具
６ａ    圧接するための弾性体
７      吹出し開口部
８      風向板（平板）
９      第２の風向板（湾曲板）
１０    整流手段
１１    第２の整流手段
１２    ヒンジ手段
１３    吹出口
１４    構造物
１００  ファンフィルタユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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