(57)【要約】【課題】軸上像だけでなく、軸外像も精度良く検出して光学部材（被検レンズ）の光学特性を測定することができる検査装置を提供する。【解決手段】光源２と、軸上用チャート３ａおよび軸外用チャート３ｂを有するチャート板３と、被検レンズ４と、軸上用および軸外用受光センサー１３，１４とからなる検査装置１に、機械軸７と直交する平面内で軸外用受光センサー１４を移動させるとともに、この軸外用受光センサー１４をこの平面に対して揺動させ、軸外用受光センサー１４の受光面を軸外用チャート３ｂから出射した主光線に対して略垂直にする小ステージ駆動部１２と、この小ステージ駆動部１２を制御する制御装置１６とを設けて構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、チャートが形成されたチャート板と、被検レンズと、撮像素子とが機械軸上に並んで配設され、前記チャートを通過した光線を前記被検レンズで前記撮像素子に投影して前記チャートの像を形成し、前記撮像素子で検出した前記像を用いて前記被検レンズの光学特性を検査する検査装置であって、
前記チャート板に形成された前記チャートが、前記機械軸を含むように配置され、前記光源から射出した光束が通過して、前記被検レンズにより前記被検レンズの光軸上に軸上像を形成する軸上用チャートと、前記機械軸を含まないように配置され、前記光源から射出した光束が通過して、前記被検レンズにより前記被検レンズの光軸外に軸外像を形成する軸外用チャートとから構成され、
前記撮像素子が、前記軸上像を検出する軸上用撮像素子と、前記軸外像を検出する軸外用撮像素子とから構成され、
前記機械軸と直交する平面内で前記軸外用撮像素子を移動させる第１の移動機構と、
前記軸外用撮像素子を前記平面に対して揺動させ、前記軸外用撮像素子の受光面を前記軸外用チャートから出射した主光線に対して略垂直にする揺動機構と、
前記第１の移動機構および前記揺動機構を制御する制御装置とを有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記撮像素子を前記平面内で移動させる第２の移動機構を有し、
前記制御装置が、前記撮像素子からの検出信号を処理し、前記第２の移動機構を制御して前記撮像素子を移動させ、前記被検レンズの光軸の位置を検出するように構成されたことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記軸上像と前記軸外像とを同時に検出することを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記撮像素子が、互いに直交するように延び、前記チャートの像のメリジオナル像を検出するための第１のラインセンサーと、サジタル像を検出するための第２のラインセンサーとから構成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記撮像素子が、エリアセンサーで構成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項６】
前記被検レンズの前記光学特性として、ＯＴＦ、ＰＴＦおよびＭＴＦの少なくとも１つを測定する請求項１〜５のいずれかに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部材のＯＴＦ，ＰＴＦ，ＭＴＦを測定する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
量産検査におけるＭＴＦ測定装置は軸上像と複数の軸外像（周辺像）とを同時に取り込み、これらの像を用いて短時間での判定が求められるので、被検レンズのフィルムあるいは撮像面に相当する位置に複数のスリットあるいはピンホールを有するチャート板を置き、これらのスリットあるいはピンホールの像を被検レンズで拡大してラインセンサーあるいはエリアセンサーで受光する拡大投影型が主に用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
被検レンズが写真レンズの場合、ＭＴＦを評価するときの倍率βは一般に−１／５０から−１／３０である。被検レンズの焦点距離ｆは１０ｍｍ程度から３００ｍｍ超まで様々であるが、これにより撮影距離ｌは、ほぼ｜β｜・ｆとなる。そのため、焦点距離の短い被検レンズを測定する際、軸外像高のラインセンサーあるいはエリアセンサーに入射する光線の角度は機械軸に対して大きく傾くこととなる。
【０００４】
【特許文献１】特開昭５６−２５１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなラインセンサーあるいはエリアセンサーは、カバーガラスに覆われた空間に窒素ガスが封入されたケース内に配置されており、このセンサーに入射する光線の角度が大きく傾くとセンサーがカバーガラスの反射を拾ってしまい、測定精度が低下するという課題があった。
【０００６】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、軸上像だけでなく、軸外像も精度良く検出して光学部材（被検レンズ）の光学特性を測定することができる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明に係る検査装置は、光源と、チャートが形成されたチャート板と、被検レンズと、撮像素子とが機械軸上に並んで配設され、チャートを通過した光線を被検レンズで撮像素子に投影してチャートの像を形成し、この撮像素子で検出したチャートの像を用いて被検レンズの光学特性を検査するものであり、チャート板に形成されたチャートが、機械軸を含むように配置され、光源から射出した光束が通過して、被検レンズによりこの被検レンズの光軸上に軸上像を形成する軸上用チャート（例えば、実施形態における軸上検査用チャート３ａ）と、機械軸を含まないように配置され、光源から射出した光束が通過して、被検レンズによりこの被検レンズの光軸外に軸外像を形成する軸外用チャート（例えば、実施形態における軸外検査用チャート３ｂ）とから構成され、また、撮像素子が、軸上像を検出する軸上用撮像素子（例えば、実施形態における軸上用受光センサー１３）と、軸外像を検出する軸外用撮像素子（例えば、実施形態における軸外用受光センサー１４）とから構成される。そして、この検査装置は、機械軸と直交する平面内で軸外用撮像素子を移動させる第１の移動機構（例えば、実施形態における小ステージ駆動部１２）と、軸外用撮像素子をこの平面に対して揺動させ、軸外用撮像素子の受光面を軸外用チャートから出射した主光線に対して略垂直にする揺動機構（例えば、実施形態における小ステージ駆動部１２）と、第１の移動機構および揺動機構を制御する制御装置とを有して構成される。
【０００８】
このような本発明に係る検査装置は、撮像素子を平面内で移動させる第２の移動機構（例えば、実施形態における大ステージ駆動部１０）を有し、制御装置が、撮像素子からの検出信号を処理し、第２の移動機構を制御して撮像素子を移動させ、被検レンズの光軸の位置を検出するように構成されることが好ましい。
【０００９】
また、本発明に係る検査装置は、軸上像と軸外像とを同時に検出するように構成することが好ましい。
【００１０】
さらに、本発明に係る検査装置は、撮像素子が、互いに直交するように延び、チャートの像のメリジオナル像を検出するための第１のラインセンサー（例えば、実施形態における縦ラインセンサー１３ａ，１４ａ）と、サジタル像を検出するための第２のラインセンサー（例えば、実施形態における横ラインセンサー１３ｂ，１４ｂ）とから構成されるか、若しくは、エリアセンサーで構成されることが好ましい。
【００１１】
なお、本発明に係る検査装置は、被検レンズの光学特性として、ＯＴＦ，ＰＴＦおよびＭＴＦの少なくとも１つを測定することが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る検査装置を以上のように構成すると、軸上像だけでなく、軸外像も精度良く検出して、被検レンズの光学特性（ＯＴＦ，ＰＴＦ，ＭＴＦ）を測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。本発明に係る検査装置は、拡大投影型で複数画角を同時に測定できるＯＴＦ，ＰＴＦ，ＭＴＦ検査装置であって、チャートと被検レンズ間のシフト構造を無くして受光センサーが機械軸と垂直な面内でシフトする（この垂直面内で移動する）と共に、この面に対してチルトする（垂直面に対して揺動する）構造を特徴とする。まず、図１〜図３を用いて、本実施例に係る検査装置１の構成について説明する。この検査装置１は、内部に光源２およびチャート板３を有し、被検レンズ４を保持する照明部５と、この照明部５に対して相対移動可能な測定部６とを有して構成される。
【００１４】
光源２、チャート板３および被検レンズ４は、光軸上（以降の説明においては、測定装置１の「機械軸７」と呼ぶ）上に並んで配置されている。そして、測定部６は、受光側（被検レンズ４を挟んで光源２の反対側）に機械軸７に対して垂直な平面内（以下、この平面を「測定平面」と呼ぶ）に平板状の受け部８が設けられている。この受け部８の光源２側の面には、この受け部８に対して測定平面内を相対移動可能な２軸の大きなプレート（以下、「大ステージ９」と呼ぶ）と、この大ステージ９を測定平面内で駆動させる大ステージ駆動部１０とが設けられ、さらにその大ステージ９の測定平面内で相対移動および揺動可能な３軸の小さな駆動ステージ（以下、「小ステージ１１」と呼ぶ）とこの小ステージ９を駆動させる小ステージ駆動部１２とが設けられている。小ステージ１１は大ステージ９上に複数設けられる（例えば、図２の場合は、矩形状の大ステージ９の対角線方向に４個の小ステージ１１を設けた場合を示している）。この場合、図２および図３に示すように、小ステージ１１は、大ステージ９に対して対角線方向に相対移動可能に構成されるとともに、この対角線を通り大ステージ９に直交する面内で揺動可能に構成される。なお、光源２から放射された光線は、光ファイバー２ａおよび図示しないコンデンサーレンズ等により機械軸７上に放射され、チャート板３に照射される。
【００１５】
大ステージ９上の略中央部（機械軸７上若しくはその近傍）には、図２に示すように、設置面（地面）に対して垂直方向に延びた縦ラインセンサー１３ａと水平方向に延びた横ラインセンサー１３ｂとからなる軸上用受光センサー１３が設けられている。なお、この軸上用受光センサー１３は、一つのエリアセンサーで構成することも可能である。また、各々の小ステージ１１には、測定平面内で、大ステージ９の対角線方向に延びた（軸上用受光センサー１３から放射状に延びた）縦ラインセンサー１４ａと、この対角線と直交する方向に延びた横ラインセンサー１４ｂとからなる軸外用受光センサー１４が設けられている。この軸外用受光センサー１４も一つのエリアセンサーで構成することも可能である。なお、軸上用および軸外用受光センサー１３，１４を構成する縦ラインセンサー１３ａ，１４ａと横ラインセンサー１３ｂ，１４ｂとは、チャートの像のＭ（メリジオナル）像、および、Ｓ（サジタル）像を検出するために用いられる。
【００１６】
また、チャート板３には、図６に示すように機械軸７を含むように配置された軸上検査用チャート３ａと機械軸７を含まずこの機械軸７から離れた位置に配置された軸外検査用チャート３ｂとが形成されており、これらのチャート３ａ，３ｂを透過した光線が被検レンズ４により軸上用および軸外用受光センサー１３，１４に結像される。この軸上検査用および軸外検査用チャート３ａ，３ｂは、スリット若しくは点像チャートで構成される。さらに、軸外用受光センサー１４の受光面が機械軸７と直交しているときは、全てのセンサー１３，１４の受光面が同一平面内（測定平面内）に位置するように配置されている。
【００１７】
ここで、軸上用および軸外用受光センサー１３，１４に用いられるラインセンサーの構造について図４を用いて説明する。このラインセンサーＬＳは、上部が開口した空間２２を有するケース部材２１と、この空間２２のケース部材２1の底面に取り付けられたセンサー素子２２と、ケース２１の開口部を覆って空間２２を密閉するカバーガラス２３とから構成される。カバーガラス２３で密閉された空間２２には、窒素ガス等が封入されている。
【００１８】
図５（ａ）は、この検査装置１における理想的な結像状態を示しており、チャート板３に形成された軸上検査用チャート（センタースリット）３ａの像（これを「軸上像」と呼ぶ）は軸上用受光センサー１３上に結像し、軸外検査用チャート３ｂの像（これを「軸外像」と呼ぶ）はそれぞれ対応する軸外用受光センサー１４上に結像する。しかし、被検レンズ４が、ディストーションの大きなレンズである場合は、図５（ｂ）に示すように、軸上において軸上用受光センサー１３で軸上像を取り込むことができても、軸外では軸外像が軸外用受光センサー１４から外れてしまうことがある。このようなとき、軸外用受光センサー１４を放射方向に移動させて軸外像を取り込むことができる。
【００１９】
一方、被検レンズ４に透過偏芯があると、図６（ａ）に示すように、軸上用および軸外用受光センサー１３，１４からチャート像がはずれてしまう。そのため、大ステージ駆動部１０で大ステージ９を測定平面内で作動させて軸上像（センタースリット位置）を軸上用受光センサー１３で走査する（この場合、図６（ｂ）に示すように軸上用受光センサー１３と軸外用受光センサー１４とを同時に同じ量と方向にアライメントした状態となる）。そして、図５の場合と同様に、軸外用受光センサー１４（実際には小ステージ１１）を小ステージ駆動部１２で放射方向に作動させて軸外像を走査し軸外光束に対してアライメントした状態とする（図６（ｃ）に示す状態）。このように軸上用および軸外用受光センサー１３，１４を２段階でアライメントすることで、高速に測定できる対象が広がる。また、図６（ｂ）にて、軸上用受光センサー１３の座標系をグローバル座標として持ち、そして軸外用受光センサー１４の座標系をローカル座標系として持つならば、軸上用受光センサー１３と軸外用受光センサー１４とを必ずしも同時に動かす必要はない。なお、図６においては、説明を簡単にするために、軸外用受光センサー１４は２個設けた場合を示している。
【００２０】
ところで、図７に示すように、チャート板３の軸外検査用チャート３ｂから出射した光束は、軸外用受光センサー１４（図７においては、横ラインセンサー１４ｂのみを示している）のセンサー素子２０の受光面に対して斜めに入射する。そうすると、カバーガラス２３で反射した光線の一部もセンサー素子２０に入射するために、このセンサー素子２０で検出される線像強度分布の裾の部分に多重反射した成分が載ってしまうことから測定精度を下げることになる。そのため、本実施例に係る検査装置１では、センサー素子２０の受光面が軸外検査用チャート３ｂから出射した主光線に対して略垂直になるように小ステージ駆動部１２で小ステージ１１を揺動させるように構成されている。なお、この軸外用受光センサー１４の小ステージ１１に対する揺動軸（測定平面内で、この小ステージ１１が配置されている位置と大ステージ９の中心とを結ぶ大ステージ９の対角線に対して直交する方向に延びる軸）は、センサー素子２０の受光面が上述の主光線に対して略垂直になるように、光源２側から見て、このセンサー素子２０の受光面の中央付近に配置されていることが好ましい。
【００２１】
なお、このように小ステージ１１を揺動させて軸外用受光センサー１４の受光面が軸外検査用チャート３ｂから出射した主光線と略垂直になるようにすることにより、ラインセンサーＬＳのケース２１の開口部でけられる光束を減少させるとともに、センサー素子２０の受光面に主光線が略垂直に入射されるため、チャート像を効率よく検出することができる。
【００２２】
このような検査装置１においては、軸外光束の結像位置を軸外用受光センサー１４によりセンシングして理想像高よりの偏差や実際の画角がかわり全方位の非対称性が判断できる。また、この実施例のようにＭ像とＳ像のラインセンサー（縦ラインセンサー１３ａ，１４ａと横ラインセンサー１３ｂ，１４ｂ）を用いた場合はＭ像用センサーから実像高が判る。なお、本実施例においては、図２に示すように放射状に稼働しうる小ステージ１１を設けることにより、写真レンズのような偏芯の大きいレンズやディストーションの大きいレンズなど、製造誤差による画角の変化が大きいレンズの測定も可能となる。また、本実施例では軸外用受光センサー１４のＭ像とＳ像を検出する縦ラインセンサー１４ａと横ラインセンサー１４ｂとが小ステージ１１上にあり一体に動くように構成されているが、縦ラインセンサー１４ａと横ラインセンサー１４ｂとがそれぞれ独立したプレート上に配置され、それぞれ独立して作動するように構成することも可能である。
【００２３】
なお、受け部８には測定部６を機械軸７に沿って移動させる（図１においては左右方向に移動させる）測定駆動部１５が設けられている。これらの大ステージ駆動部１０、小ステージ駆動部１２、測定駆動部１５、軸上用受光センサー１３、および、軸外用受光センサー１４は制御装置１６に電気的に接続されており、大ステージ駆動部１０、小ステージ駆動部１２、および、測定駆動部１５が制御されて測定部６、大および小ステージ９，１１の作動が制御されるとともに、軸上用および軸外用受光センサー１３，１４からの検出信号が処理される。
【００２４】
上述のように被検レンズ４を照明部５にセットすると、その透過偏芯により像が大ステージ９の中心（大ステージ９と機械軸７とが交わる点であって軸上用受光センサー１３が配置されている部分）からずれた所に形成される。大ステージ９を受光面内で縦方向と横方向に作動させてスキャンし、軸上用受光センサー１３の縦ラインセンサー１３ａと横ラインセンサー１３ｂ（あるいはエリアセンサー）からの検出信号を制御装置１６で処理してチャート板３の軸上像の像位置を検出する。この像位置の検出方法としては、例えば、点像あるいは線像の重心または一番出力の高い画素の座標を像の位置として検出する。被検レンズ４の透過偏芯誤差が大きい場合、１組のラインセンサー１３ａ，１３ｂ（軸上用受光センサー１３）からチャート像が外れてしまう場合がある。よって、大ステージ９のサーチする手順を予め制御装置１６に設定しておく必要がある。例えば、大ステージ９がある矩形の範囲を外側から内側に向かって渦巻き状に作動させることにより、効率的にサーチするように構成することにより、サーチする時間を節約できる。制御装置１６は、サーチした後、縦横のラインセンサー１３ａ，１３ｂ各々の中心（あるいはエリアセンサーの中心）に軸上検査用チャート像が位置するように大ステージ９を移動させ、その位置を原点として記憶し、センタリングを終了する。
【００２５】
また、制御装置１６は、小ステージ１１についても、大ステージ９の対角線方向に作動させて、上述の軸上用受光センサー１３と同様に、軸外用受光センサー１４の検出値から軸外像が軸外用受光センサー１４の中心に位置するようにこの小ステージ１１を作動させる。そして、最後に、制御装置１６は、小ステージ１１を揺動させ、縦横のラインセンサー１４ａ，１４ｂの受光面が軸外検査用チャート３ｂから出射した主光線に対して直角になるように制御する。ここで、制御装置１６は、小ステージ１１の揺動角度Ａ、すなわち、軸外検査用チャート３ｂから出射した主光線と機械軸７とのなす角度Ａを、図９に示すように、被検レンズ４の絞り４ａから測定平面Ｙまでの機械軸７上の距離Ｄと軸外用受光センサー１４で検出する軸外像の像高Ｈとから算出することができる。なお、小ステージ１１については、図２に示すように矩形状の大ステージ９の対角線方向（斜め４５°）に作動させる構成だけでなく、上下方向と左右方向の２軸で作動せるように構成することも可能である。
【００２６】
測定においては、予め被検レンズ４の理想倍率β倍のレンズデータを用いて、フィルム面より物体面までを光線追跡してその撮影距離と実際の物体高を求めておく。制御装置１６は、検査装置１のチャート板３（スリットチャートあるいは点像チャート）と軸上用および軸外用受光センサー１３，１４の距離を、測定駆動部１５を制御して測定部６を機械軸７に沿って移動させ、計算上の撮影距離と一致させる。そして、上で述べたごとく被検レンズ４の透過偏芯誤差による光軸のズレをセンタリングする。次に被検レンズ４のフォーカスをする。検査装置１側（制御装置１６）より被検レンズ４に信号を送り、被検レンズ４内のモーター（図示せず）を駆動させセンター像の出力が高くなった位置にフォーカシングレンズを移動させる。フォーカシング終了後にもう一度検査装置１のセンタリングをしても良い。さらに、上で述べたごとく、周辺像をサーチして位置合わせをする為に小ステージ１１を放射方向に動かし、その後、測定部６の現在の位置（測定平面の位置および軸外像の像高）から揺動角度Ａを決定して小ステージ１１を揺動させる。
【００２７】
この検査装置１による被検レンズ４の検査は、図１０に示すように、制御装置１６で検査チャート３を光軸（機械軸７）に対して多少前後させて（例えば、±０．５ｍｍ程度）デフォーカスし、最良像面とその前後の領域を軸上および軸外用センサー１３、１４で測定し、この測定値からＯＴＦ，ＰＴＦ，ＭＴＦを算出する。そのため、上述の小ステージ１１の揺動制御においては、軸外検査用チャート３ｂから出射した主光線と軸外用受光センサー１４の受光面の垂線とのなす角度が±３０°以内にあるように制御されることが好ましい。この検査装置１においては、軸上像と軸外像は同時に検出することができるので、短時間で被検レンズ４の光学特性（ＯＴＦ，ＰＴＦ，ＭＴＦ）を検査することができる。
【００２８】
受光センサー１３，１４で取り込んだチャート像の概念図を図１１に示す。この図１１においては、軸外用受光センサー１４で取り込んだ軸外像のＭ像とＳ像のＬＳＦを表しているが、一般に写真レンズはビグネッティングが大きく、さらにＭ像はコマ収差の影響によりＳ像より広がっている。これを１つのセンサーで同じＳ／Ｎで取り込むとすると、Ｓ像に合わせて蓄積時間を決定することとなり、Ｍ像は分解能が小さくなってしまう。よって、Ｍ像とＳ像とを同じ精度でＬＳＦを検出するためには、この実施例に示すように、縦および横ラインセンサー１４ａ，１４ｂからなる個別のセンサーで構成した方が望ましい。チャート像（線像あるいは点像）を取り込む際、線像の長さあるいは点像の広がりをどこまで検出するかを決めておかねばならない。これにより、被検レンズ４のフレアー成分の検出精度が決まる。また、これにより、ＬＳＦを検出した後の演算での周波数の刻みも決まることとなる。
【００２９】
ところで、この検査装置１においては、小ステージ１１、すなわち、軸外用受光センサー１４を揺動させて測定しているため、縦ラインセンサー１４ａの検出値は、機械軸７と垂直な平面（上述の測定平面（図９の面Ｙ））に射影する必要がある。この縦ラインセンサー１４ａで取り込んだ線像あるいは点像を測定平面に射影するために、長さの次元を持つセンサーピッチ、センサー開口、線像或いは点像の取り込み長さにｃｏｓＡ（角度Ａの単位は「°」）をかける必要がある。図１２（ａ）に取り込み時のチャート像と長さＬを示し、図１２（ｂ）に射影後のチャート像と長さＬ′（＝Ｌ×ｃｏｓＡ）を示す。本検査装置１においては、このような射影後のチャート像を用いてＯＴＦ，ＰＴＦ，ＭＴＦを算出するように構成されている。
【００３０】
本実施例に係る検査装置１を以上のように構成することにより、チャート板３の軸上像と軸外像とを同時に検出することができるため、短い測定時間で精度良く複数画角を同時に測定することが可能となり、量産検査等に使用することができる。また、透過偏芯の比較的大きな写真レンズのような製品を、機械軸７を基準として規定した像高の光学性能により評価することが可能となる。さらに、軸外用受光センサー１４を軸上用受光センサー１３と独立して作動可能とすることで、検査装置１に高い汎用性を持たせることができる。特に、この検査装置１においては、小ステージ１１を測定平面に対して揺動させることにより、軸外用受光センサー１４の受光面が軸外検査用チャート３ｂから出射した主光線に対して略垂直になるように制御することができるため、このセンサー１４を構成するカバーガラスで反射してセンサー素子に入射する光線を抑え測定精度を向上させることができる。
【００３１】
また、これまでの拡大投影型の検査装置では、チャートおよび被検レンズへの振動などの外乱も拡大されて投影されてしまうため外乱に弱いという欠点があったが、本実施例に係る検査装置１では、チャート板３と被検レンズ４間の装置１のシフト機構が省略できるため、外乱に強い装置構造を取ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係る検査装置の構成を示す側面図である。
【図２】受光用センサーの配置を示す図である。
【図３】本発明に係る検査装置において軸外用受光センサーを揺動させたときの状態を示す側面図である。
【図４】受光用センサーの構成を示す図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は側断面図である。
【図５】受光用センサーの走査を示す説明図であり、（ａ）は理想的な結像状態を示す図であり、（ｂ）は軸外用受光センサーから外れた状態を示す図である。
【図６】受光用センサーの走査を示す説明図であり、（ａ）は被検レンズの透過偏芯誤差により受光用センサーから像がずれた状態を示す図であり、（ｂ）は軸上用受光センサーにより軸上像を走査した状態を示す図であり、（ｃ）は軸外用受光センサーにより軸外像を走査した状態を示す図である。
【図７】軸外用受光センサーを揺動させる前の光線の入射状態を示す図である。
【図８】軸外用受光センサーを揺動させた後の光線の入射状態を示す図である。
【図９】軸外用受光センサーを揺動させる角度の算出方法の説明図である。
【図１０】チャート板を移動させてデフォーカスしたときの光線の状態を示す図である。
【図１１】受光センサーで取り込んだチャート像の概念図である。
【図１２】軸外用受光センサーで取り込んだチャート像の概念図であって、（ａ）は取り込み時のチャート像の概念図であり、（ｂ）は射影後のチャート像の概念図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  検査装置    ２  光源    ３  チャート板
３ａ  軸上検査用チャート（軸上用チャート）
３ｂ  軸外検査用チャート（軸外用チャート）
４  被検レンズ    １０  大ステージ駆動部（第２の移動機構）
１２  小ステージ駆動部（第１の移動機構、揺動機構）
１３  軸上用受光センサー（軸上用撮像素子）
１４  軸外用受光センサー（軸外用撮像素子）
１３ａ，１４ａ  縦ラインセンサー（第１のラインセンサー）
１３ｂ，１４ｂ  横ラインセンサー（第２のラインセンサー）    １６  制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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