(57)【要約】      （修正有）【課題】突起のあるテープであっても、全面を確実に清掃することのできるクリーナ装置を提供する。【解決手段】スペーサテープ１２の搬送経路両側に回転ブラシ２４を配置して真空ボックス２６で覆う。真空ボックス２６の開口側には、スペーサテープ１２の搬送経路を挟んで真空ボックス２６とは反対側に遮蔽板３０を配置する。真空ボックス２６の底板の中央に、吸引装置に接続されるホース３２の一端を接続する。スペーサテープ１２を搬送しながら回転ブラシ２４を回転させ吸引装置３４を作動させて真空ボックス内を負圧にする。スペーサテープ１２の表面が回転ブラシ２４で擦られ、表面に付着した塵等の異物がテープ表面から除去され、除去された異物は、真空ボックス２６から外部へ飛散することなく、ボックス内に流入する空気に乗ってホース３２を介して吸引装置へ確実に吸引される。【選択図】図１
2007281295.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープを搬送する搬送手段と、
前記テープの搬送経路の両側に設けられ、前記搬送手段で搬送される前記テープの表面に接触してテープ表面の異物を除去する一対のブラシと、
各々の前記ブラシに対応して設けられ、前記ブラシのテープ側以外の部分を覆うように設けられたボックスと、
前記ボックス内の空気を吸引して前記ボックス内を負圧にする吸引手段と、
前記テープの搬送経路を挟んで前記ボックスとは反対側で、かつ前記ボックスのテープ側開口部分とは間隙を介して対向するように配置された遮蔽部材と、
を有することを特徴とするクリーナ装置。
【請求項２】
前記ブラシはロール状に形成されて回転する、ことを特徴とする請求項１に記載のクリーナ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープの表面を清掃するクリーナ装置に関し、特に、半導体の製品テープを保護するためのスペーサテープを清掃するのに好適なクリーナ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製品テープ、例えば、ＴＡＢテープ、ＣＯＦテープ等は、表面を保護するためにスペーサテープ（保護用テープ）と共にロール状に巻き取られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−０７６０６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来、半導体の製品テープを清掃するために、粘着ゴムローラや、粘着テープローラを用いて塵等の異物を取っていた。
【０００４】
しかしながら、この方法では、図３に示すように、突起（エンボス）１２Ａのあるスペーサテープ１２の場合、ローラに接触しない部分があり、全面を確実に清掃できないという問題があった。
【０００５】
以上のことから本発明は、突起のあるテープであっても、全面を確実に清掃することのできるクリーナ装置を提供することが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のクリーナ装置は、テープを搬送する搬送手段と、前記テープの搬送経路の両側に設けられ、前記搬送手段で搬送される前記テープの表面に接触してテープ表面の異物を除去する一対のブラシと、各々の前記ブラシに対応して設けられ、前記ブラシのテープ側以外の部分を覆うように設けられたボックスと、前記ボックス内の空気を吸引して前記ボックス内を負圧にする吸引手段と、前記テープの搬送経路を挟んで前記ボックスとは反対側で、かつ前記ボックスのテープ側開口部分とは間隙を介して対向するように配置された遮蔽部材と、を有することを特徴としている。
【０００７】
次に、請求項１に記載のクリーナ装置の作用を説明する。
【０００８】
請求項１に記載のクリーナ装置では、テープが搬送手段によって搬送される。
【０００９】
テープが搬送されることでテープ両面がブラシに擦られ、テープ表面に付着していた異物が除去される。
【００１０】
ブラシを覆うボックス内の空気が吸引手段によって吸引されるため、テープ表面から除去された異物は空気と共に吸引手段に吸引される。
【００１１】
ブラシは、テープ表面に接触するため、テープ表面が多少凹凸していても、テープ全面を擦ることができ、テープ全面から異物を除去できる。
【００１２】
また、ボックスの開口部分に対向して遮蔽部材が設けられているため、遮蔽部材が無い場合に比較してボックス内の真空度を高めることができ、ボックス開口部分と遮蔽部材との間の隙間にて、ボックス内へ流れる空気の流速を高め、テープ表面から除去された異物をボックス外へ飛散させること無く確実に吸引手段で吸引させることができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のクリーナ装置において、前記ブラシはロール状に形成されて回転する、ことを特徴としている。
【００１４】
次に、請求項２に記載のクリーナ装置の作用を説明する。
【００１５】
ブラシがロール状に形成されて回転するため、回転しないブラシよりもテープ表面の異物の除去性能が向上する。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明のクリーナ装置によれば、凹凸のあるテープであてっても、表面の異物を確実に除去できる、という優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の適用されたクリーナ装置１０を説明する。
【００１８】
図１に示すように、クリーナ装置１０は、スペーサテープ１２を保持する巻き出し側リール軸１４、巻き出し側リール軸１４から引き出されたスペーサテープ１２を巻き取る巻き取り側リール軸１６を備えている。
【００１９】
巻き取り側リール軸１６は、モータ１８で回転され、巻き出し側リール軸１４から引き出されたスペーサテープ１２が順次巻き取り側リール軸１６に巻き取られる構成となっている。
【００２０】
巻き出し側リール軸１４と巻き取り側リール軸１６との間には、ボックス２０が配置されている。
【００２１】
ボックス２０には、巻き出し側リール軸側及び巻き取りリール側にそれぞれスリット状の開口２２が形成されている。
【００２２】
ボックス２０の内部には、スペーサテープ１２の搬送経路を挟んで両側に回転ブラシ２４が設けられている。なお、一方の回転ブラシ２４と他方の回転ブラシ２４とは、スペーサテープ１２の搬送経路を挟んで互いに対向せず、スペーサテープの搬送方向にずらして配置されている。
【００２３】
これらの回転ブラシ２４は、軸２４Ａの外周から放射方向に無数の繊維２４Ｂが延びているものである。
【００２４】
図１、及び図２に示すように、ボックス２０の内部には、回転ブラシ２４を覆うように真空ボックス２６が配置されている。
【００２５】
回転ブラシ２４の軸２４Ａは、一端が真空ボックス２６から突出してモータ２８に接続されている。
【００２６】
真空ボックス２６は、スペーサテープ１２の搬送経路側が開口しており、開口端部は、図１に示すように、内側に傾斜している。真空ボックス２６の開口からは、回転ブラシ２４の一部分が突出している。
【００２７】
真空ボックス２６の開口側には、スペーサテープ１２の搬送経路を挟んで真空ボックス２６とは反対側に遮蔽板３０が配置されている。
【００２８】
遮蔽板３０は、回転ブラシ２４と対向する面が、凹んだ略円弧形状に形成されている。
【００２９】
遮蔽板３０と真空ボックス２６との間には、スペーサテープ１２の厚さ寸法よりも若干幅広の隙間がスペーサテープ１２の搬送経路部分に対応して形成されている。
【００３０】
図２に示すように、遮蔽板３０は、真空ボックス２６の長手方向（矢印Ａ方向）に沿って、真空ボックス２６の開口部分よりも長く形成されている。
【００３１】
真空ボックス２６の底板２６Ａの中央には、ホース３２の一端が接続されている。ホース３２の他端には、真空ボックス内を負圧にするための吸引装置３４が接続されている。吸引装置３４は、空気を吸引するブロア、吸引した空気中の塵を除去するフィルター等を備えている。
（作用）
次に、本実施形態のクリーナ装置１０の作用を説明する。
【００３２】
先ず、巻き取り側リール軸１６をモータで回転し、巻き出し側リール軸１４からスペーサテープ１２を順次引き出す。これと共に、回転ブラシ２４を回転させ（例えば、矢印Ｂ方向）、吸引装置３４を作動させて真空ボックス内を負圧にする。
【００３３】
巻き出し側リール軸１４から引き出されたスペーサテープ１２がボックス内を通過する際に、スペーサテープ１２の表面が回転ブラシ２４で擦られ、表面に付着した塵等の異物がテープ表面から除去される。
【００３４】
なお、回転ブラシ２４の繊維がスペーサテープ１２に当たった際に、繊維の先端が若干曲がる程度に回転ブラシ２４をスペーサテープ１２の表面に押し付けることにより、スペーサテープ１２に突起１２Ａが形成されていても、スペーサテープ１２の表面全体を確実に擦ることができる。
【００３５】
真空ボックス２６の内部は負圧にされているので、真空ボックス２６と遮蔽板３０との間の隙間を介して外部の空気が真空ボックス内に高速で流入し、流入した空気はホース３２を介して吸引装置３４へ流れる。このため、テープ表面から除去された異物は、真空ボックス２６から外部へ飛散することなく、ボックス内に流入する空気に乗ってホース３２を介して吸引装置３４へ確実に吸引される。
【００３６】
なお、遮蔽板３０が無い場合には、真空ボックス２６の開口面積が大きくなるために真空ボックス内の真空度が上がらず、ボックス内に流入する空気の速度が極端に低下してしまい、テープ表面から除去した異物を吸引できない虞がある。また、遮蔽板３０を用いず、回転ブラシ２４と真空ボックス２６の組を、スペーサテープ１２の搬送経路を挟んで互いに対向させて配置した場合も、２つの真空ボックス２６の中間、即ち、スペーサテープ１２の位置にて真空度が上がらず（ほぼ大気圧）、空気の流れを作ることが期待できず、よって、効果的に異物を吸引できなくなる。
【００３７】
スペーサテープ１２の幅はいろいろあるので、回転ブラシ２４の長さは、最も幅広のスペーサテープ１２の幅寸法よりも長く形成されている。
【００３８】
なお、図１、２から分かるように、スペーサテープ１２の幅が変わっても、遮蔽板３０を前面に設けた真空ボックス２６の開口面積（真空ボックス２６と遮蔽板３０との間の隙間部分）は変化せず、真空ボックス内の圧力は変わらない。つまり、本実施形態のクリーナ装置１０によれば、スペーサテープ１２の幅が変わっても塵の取れる度合いは変わらない。
【００３９】
仮に、遮蔽板３０が無い場合に、幅の狭いスペーサテープ１２を搬送すると、真空ボックス２６の開口面積が大きくなってしまい、真空ボックス内の真空度が十分に上がらないために異物を吸引できなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】実施形態に係るクリーナ装置の概略構成を示す側面図である。
【図２】真空ボックスの断面図である。
【図３】（Ａ）はスペーサテープの斜視図であり、（Ｂ）はスペーサテープの側面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０    クリーナ装置
１２    スペーサテープ
２４    回転ブラシ
２６    真空ボックス（ボックス）
３０    遮蔽板（遮蔽部材）
３４    吸引装置（吸引装置）
【図１】
2007281295.tif 000003
【図３】
2007281295.tif 000004
【図２】
2007281295.tif 000005