(57)【要約】【課題】微細凸部の先端形状を最適化し、光の反射防止機能を損なうことなく、微細凸部先端の破損を防止することができ、反射防止機能と耐傷付き性を兼ね備えた反射防止微細構造と共に、このような構造を備えた反射防止成形体及びその製造方法を提供する。【解決手段】可視光線の波長よりも短いピッチで配列された無数の微細凸部１ｐから成る反射防止微細構造において、上記微細凸部１ｐを円錐台状又は角錐台状とし、その底面形状を直径Ｄの円又は直径Ｄの円に内接する多角形（但し、１００ｎｍ＜Ｄ＜３８０ｎｍ）とすると共に、上面形状を直径ｄの円又は直径ｄの円に内接する多角形（但し、５ｎｍ＜ｄ＜５０ｎｍ）とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
無数の微細凸部が可視光線の波長よりも短いピッチで配列されて成る反射防止微細構造において、上記微細凸部が円錐台状又は角錐台状をなし、その底面形状が直径Ｄの円又はこの円に内接する多角形であると共に、上面形状が直径ｄの円又はこの円に内接する多角形であって、上記直径Ｄ及びｄが次式の範囲内であることを特徴とする反射防止微細構造。
１００ｎｍ＜Ｄ＜３８０ｎｍ
５ｎｍ＜ｄ＜５０ｎｍ
【請求項２】
上記微細凸部の先端面が曲面を有し、該曲面の曲率半径ａが次式を満足することを特徴とする請求項１に記載の反射防止微細構造。
ａ≧〔｛（ｄ２−ｄＤ）／（４Ｈ）｝２＋（ｄ／２）２〕１／２
【請求項３】
隣接する微細凸部の底面同士が接触状態に配列されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の反射防止微細構造。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の反射防止微細構造を少なくとも一方の面に備えていることを特徴とする反射防止成形体。
【請求項５】
透明であることを特徴とする請求項４に記載の反射防止成形体。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の反射防止微細構造を備えた成形型と、基材の少なくとも一方を加熱した状態で両者を相対的に押し当て、基材表面に上記微細構造を形成することを特徴とする反射防止成形体の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の反射防止微細構造を備えた成形型と基材の間に活性エネルギー線硬化性樹脂を介在させた状態で活性エネルギー線を照射し、基材表面に上記微細構造を形成することを特徴とする反射防止成形体の製造方法。
【請求項８】
請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の反射防止微細構造を備えていることを特徴とする自動車用部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光の反射防止機能のみならず、耐傷付き性にも優れた反射防止微細構造と、このような微細構造を備え、無反射パネルとして、例えば、自動車を始めとする車両や、船舶、航空機などの各種メーター類や、ディスプレイ装置などに好適に使用することができる反射防止成形体、さらには、当該反射防止成形体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやＣＲＴディスプレイなど各種のディスプレイ装置、身近な例では、例えば家庭用テレビの画面に外光や室内の照明などが映り込むと、映像の視認性が著しく低下することがある。
【０００３】
また、自動車の運転席には、スピードメータや燃料計などの各種計器類をまとめて収納したディスプレイ部の前面にメーターフロントカバーが嵌め込まれているが、これにフロントウインドウやサイドウインドウを通して車外の景色が映り込むことによって、ディスプレイ部の各種表示が見づらくなることがあるため、その上方にメーターフードを配置して、メーターディスプレイへの外光の入射を遮るようにしている。
【０００４】
このような光の反射を防止するための構造としては、屈折率の異なる複数の薄膜から成る多層反射防止膜が知られているが、このような多層反射防止膜よりもさらに反射率を低下できるものとして、微細構造を用いた反射防止構造の提案がなされている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２６７８１５号公報
【０００５】
上記特許文献１には、透明性成形品の表面に、透明性素材から成る無数の微細凹凸を光の波長以下のピッチで形成することによって、光の屈折率が厚み方向に変化するようにした反射防止構造が記載されている。
すなわち、例えば波形あるいは三角形をなす無数の微細凹凸が表面に形成されていることによって、凹凸の最表面では透明性素材の存在割合が限りなく０％に近いものとなって、実質的に空気の屈折率に等しくなる一方、凹凸の底部では逆に空気の存在割合が限りなく０％に近いものとなって透明性素材の屈折率と等しくなり、中間部ではその断面における透明性素材の占める断面積に応じた屈折率となる結果、光の屈折率が当該反射防止構造の厚み方向に、空気の屈折率から透明性素材の屈折率の間で連続的に変化するようになることから、屈折率の異なる複数の薄膜から成る多層反射防止膜（この場合の屈折率は段階的に変化する）と同様の原理によって、当該反射防止膜よりも優れた反射防止性能を発揮させることができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載の反射防止構造においては、上記のように光の反射率を大幅に低下させることができるものの、当該反射防止構造を構成する微細凹凸の先端が破壊され易く、反射防止構造の表面に触れたり、表面を拭いたりすることによって、傷が生じ、反射防止性能が損なわれるという問題点があった。
【０００７】
本発明は、光の波長以下のピッチに形成した微細凹凸から成る従来の反射防止構造における上記課題を解決すべくなされたものであって、その目的とするところは、微細凹凸の先端形状を最適化し、もって光の反射防止機能を損なうことなく、微細凹凸先端の破壊を防止することができ、反射防止機能と耐傷付き性を兼ね備えた反射防止微細構造と共に、このような微細構造を備えた反射防止成形体及びその製造方法、さらには、上記反射防止微細構造を備えた自動車用部品、例えばメーターフロントカバーやウインドウガラスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記目的を達成すべく、鋭意検討を重ねた結果、微細凹凸構造を構成する個々の微細突起における最も傷付き易い先端部分を反射防止機能に影響しない範囲内で平滑にし、上記微細凹凸構造を微細な円錐台状あるいは角錐台状にすることによって、上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに到った。
【０００９】
本発明は上記知見に基づくものであって、本発明の反射防止微細構造は、可視光線の波長よりも短いピッチで配列された無数の微細凸部から成る反射防止微細構造において、上記微細凸部が円錐台状又は角錐台状をなし、その底面形状を直径Ｄの円又は直径Ｄの円に内接する多角形（但し、１００ｎｍ＜Ｄ＜３８０ｎｍ）とすると共に、上面形状を直径ｄの円又は直径ｄの円に内接する多角形（但し、５ｎｍ＜ｄ＜５０ｎｍ）としたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の反射防止成形体は、本発明の上記反射防止微細構造を少なくとも一方の面に備えていることを特徴とし、当該反射防止成形体の製造方法においては、上記反射防止微細構造を備えた成形型を用意し、当該成形型及び基材の一方又は双方を加熱した状態で両者を相対的に押し当てることによって当該基材の表面に上記した本発明の微細構造を形成したり、上記成形型と基材の間に活性エネルギー線硬化性樹脂を介在させた状態で活性エネルギー線を照射することによって同様の反射防止微細構造を基材の表面に形成したりするようにしている。
【００１１】
さらに、本発明の自動車用部品は、上記反射防止微細構造を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、反射防止微細構造を構成する個々の微細凸部の形状を円錐台状あるいは角錐台状のものとし、その底面形状を直径Ｄの円、又はこの直径Ｄの円に内接する多角形（但し、１００ｎｍ＜Ｄ＜３８０ｎｍ）とすると共に、上面形状を直径ｄの円又は直径ｄの円に内接する多角形（但し、５ｎｍ＜ｄ＜５０ｎｍ）としたことから、微細構造による反射防止機能が実質的に低下しない範囲内で、傷付き易い微細凸部の先端部が平坦化されているので、反射防止機能と耐傷付き性とを両立させることができる。
【００１３】
また、本発明の反射防止成形体は、その表面に上記反射防止微細構造を形成したものであるから、光の反射を極めて低いレベルに抑えながら、接触等による損傷を最小限に抑えることができ、長期に亘って光の反射防止機能を維持することができ、自動車を始めとする各種の部品、例えばメーターフロントカバーに適用することによって、屋外景色などの映り込みを防止することができ、外光を遮断するためのフードを廃止したフードレスメーターを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の反射防止微細構造や、該微細構造を適用した反射防止成形体について、その製造方法や実施形態などと共に、さらに詳細に説明する。
【００１５】
本発明の反射防止微細構造は、上記したように、円錐台状あるいは角錐台状をなす無数の微細凸部から構成されており、これら微細凸部が可視光線の波長よりも短いピッチで配列されていると共に、その底面及び上面形状が所定サイズの円形あるいは多角形をなしているものである。
【００１６】
図１は、本発明の反射防止微細構造の実施形態の一例を示すものであって、本発明の反射防止微細構造１は、先端部が平坦な円錐台又は角錐台形状（この例では、円錐台）をなす無数の微細凸部１ｐが可視光全の波長より短いピッチで配列された構造を備えたものである。
したがって、当該反射防止微細構造の厚み方向の各段面における当該微細構造素材と空気の存在比率によって定まる各断面における光の屈折率が、厚み方向に向けて空気の屈折率から素材の屈折率まで、連続的に変化するようになることによって、光の反射防止特性が発揮される一方、各微細凸部１ｐの先端部が後述する数値範囲で平坦化されているので、他の部材と擦れ合ったり、ぶつかったりしても損傷を受けにくく、反射防止性能に対する影響を最小限のものとして、光の反射防止機能を耐傷付き性とを両立させることができる。
【００１７】
上記微細凸部１ｐの大きさについては、図２（ａ）に示すように、その形状が円錐台状の場合には、底面の径をＤ、上面の径をｄとするとき、それぞれ１００ｎｍ＜Ｄ＜３８０ｎｍ、５ｎｍ＜ｄ＜５０ｎｍの範囲内とすることが必要となる。
また、微細凸部１ｐの形状が図２（ｂ）に示すように、角錐台状（図においては、典型例として四角錘台の場合を示している）の場合には、底面を形成する多角形に外接する円の径をＤ、上面を形成する多角形に外接する円の径をｄとするとき、同様に、それぞれ１００ｎｍ＜Ｄ＜３８０ｎｍ、５ｎｍ＜ｄ＜５０ｎｍの範囲内とすることが必要となる。
【００１８】
すなわち、底面寸法Ｄが可視光線の最短波長である３８０ｎｍ以上となると、隣接する微細凸部１ｐ間のピッチを可視光線の波長よりも短くすることができず、光の回折が生じて、反射防止機能が低下することになる。
一方、底面寸法Ｄの下限値については、反射防止機能を確保するためには、当該微細凸部１ｐの側面をある程度傾斜させることによって、厚み方向断面における光の屈折率を連続的に変化させることが必要であることから、底面寸法Ｄが１００ｎｍ以下になると、後述する上面寸法ｄの上限値５０ｎｍとの兼ね合いによっては、側面の傾斜が不十分となって、十分な反射防止機能が得られなくなることによる。
【００１９】
図３は、反射防止微細構造を構成する各微細凸部１ｐの上面寸法ｄと平均反射率との関係を示すグラフであって、上面寸法ｄが大きくなるほど平坦面の割合が増大する結果、反射率が高くなるが、図から判るように、微細凸部１ｐの上面寸法ｄが５０ｎｍ以上になると反射率が急激に増加し始めるものの、それまでは平坦化しない場合（ｄ＝０の場合）と実質的に変わりがないことから、微細凸部１ｐの上面寸法ｄを５０ｎｍ未満に抑える必要がある。
なお、このような微細構造については、電子線リソグラフィなどを用いたとしても、微細凸部１ｐの上面寸法ｄを５ｎｍ以下に成形するのは極めて難しく、これが限界値と言うことができる。
【００２０】
また、反射率をより低減させるためには、上記微細凸部１ｐの上面（先端面）は、図４（ａ）に示すように、平面よりも、例えばドーム状のような曲面であることがむしろ望ましく、この場合の曲面の曲率半径をａとするとき、微細凸部１ｐの高さＨ、底面寸法Ｄ及び上面寸法ｄから下記の式に基づいて算出される値よりも大きいことが望ましい。
ａ＞〔｛（ｄ２−ｄＤ）／（４Ｈ）｝２＋（ｄ／２）２〕１／２
すなわち、上記算出式の右辺は、底面形状の外接円の中心点を通る法線から、微細構造先端の稜線に下ろした垂線の長さであって、この垂線の長さは先端面の曲率半径を表わす。微細凸部１ｐにおける先端面の曲率半径ａが算出値以下の場合には、先端の形状が鋭利になり、引っかかりによる傷付の原因となる傾向がある。
【００２１】
なお、微細凸部１ｐの先端面形状については、上記曲率半径ａのドーム状曲面の内側に納まる形状でさえあれば、図４（ｂ）及び（ｃ）に示すような不定形のものであっても差し支えない。
【００２２】
本発明における微細凸部１ｐの形状は、上記したように、円錐台あるいは角錘台状のものであるが、必ずしも正確な円錐台や角錐台、すなわち円錐台における母線や角錐台における稜線が直線であるもののみに限定される訳ではなく、曲線であってもよく、これら母線や稜線が以下に示すようなｎ次の線形式で表わされる曲線をなしていることが望ましく、これによって、当該反射防止微細構造の厚み方向の屈折率の変化がよりなだらかなものとなって、光の反射率をより効果的に低減することができるようになる。なお、線形式の次数ｎについては、１を超え３以下の範囲内とすることが望ましい。
【００２３】
すなわち、図５（ａ）又は（ｂ）に示すように、当該反射防止微細構造における個々の微細凸部１ｐの高さをＨ、微細凸部１ｐの稜線を延長した時に現れる頂点までの高さをｈ、微細凸部１ｐの底面径又は底面多角形に外接する円の直径をＤとし、微細凸部１ｐの中心を通る垂直断面における底辺をＸ軸上に、頂点をＺ軸上にとると、稜線上のＸ座標値は以下のようなｎ次の線形式（１）又は（２）で表わすことができる。このとき、頂点の位置によって定数項を加えて補正することもできる。
Ｘ＝（Ｄ／２）×｛１−（Ｚ／ｈ）ｎ｝・・・（１）
Ｚ＝｛ｈ／（Ｄ／２）ｎ｝×Ｘｎ              ・・・（２）
【００２４】
また、微細凸部１ｐの底面形状については、微細凸部１ｐ間の平面部分を極力減らして反射率をより低減させる観点からは、隣接する微細凸部１ｐの底面同士が離間することなく、接触した状態に配置されていることが望ましい。
このような観点から、方向性のない円形や、平面上に隙間なく敷き詰めることができる正三角形、正方形、正六角形とすることが望ましい。
【００２５】
本発明の上記反射防止微細構造を基材、代表的には透明基材の片面、望ましくは両面に成形することによって、反射防止成形体とすることができ、このような成形体を各種ディスプレイ装置のパネルや、ショウウインドウや展示ケースなどの透明パネルに適用することによって、外光や室内照明の反射を低減し、反射像の映り込みを効果的に防止して、映像や表示、内部展示物の視認性を向上させることができる。
また、自動車を始めとする各種の部品、例えば、ウインドウ屋ルーフのガラス、メーターフロントカバー、ヘッドランプ、リヤフィニッシャー、液晶などの表示装置の最前面に用いるフィルムなど適用することによって、同様の反射防止効果を得ることができる。
【００２６】
本発明の上記反射防止成形体を製造するに際しては、上記のような無数の微細凸部１ｐを備えた成形型を用意し、この成形型と基材の一方、又は双方を加熱した状態で両者を相対的に押し当てることによって、当該基材の表面に上記のような反射防止微細構造１を成形することができる。
また、上記成形型と基材の間に、活性エネルギー線硬化性樹脂を介在させた状態で活性エネルギー線を照射し、当該樹脂を硬化させることによって、当該基材の表面に上記のような反射防止微細構造１を成形し、反射防止成形体とすることができる。
【００２７】
上記基材の材料としては、代表的には透明性があるものが望ましく、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニール、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ＡＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ガラス強化ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶性ポリマー、フッ素樹脂、ポリアレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリイミド等の熱可塑性樹脂や、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリアミドビスマレイミド、ポリビスアミドトリアゾール等の熱硬化性樹脂、及びこれらを２種以上ブレンドした材料を用いることができる。
【００２８】
また、例えば紫外線などの照射によって重合を開始し、硬化する活性エネルギー線硬化樹脂としては、例えば、紫外線硬化型アクリルウレタン計樹脂、紫外線硬化型ポリエステルアクリレート系樹脂、紫外線硬化型エポキシアクリレート樹脂、紫外線硬化型ポリオールアクリレート樹脂、紫外線硬化型エポキシ樹脂などを挙げることができ、必要に応じて活性エネルギー線を照射することによってラジカルを発生する重合開始剤を用いることもでき、より強固に固めるためイソシアネートのような硬化剤を加えることもできる。
なお、ここで用いられる活性エネルギー線としては、代表的には、紫外線やＸ線、その他電子線、電磁波などが挙げられるが特に限定されるものではない。
【００２９】
また、ガラス等の無機系透明材料を用いることも可能であり、この場合には、電子ビーム等によってガラス表面を切削することにより上記のような反射防止構造を形成する方法や、本発明の反射防止構造を備えた型に溶融した無機系透明材料を流し込む方法によって基材表面に当該反射防止構造を形成することができる。
なお、必要に応じて、溶融した無機系透明材料を流し込んだのち、冷却しないうちに同様の反射防止構造を有する第２の型を押し当てる、または両面に型を押し当てた無機系透明材料を軟化点まで加熱し、圧力をかけて形状を転写することによって、基材の両面に微細構造を形成することができる。
【実施例】
【００３０】
以下に、実施例に基づいて、本発明をさらに具体的に説明する。なお、本発明がこれらの実施例のみに限定されないことは言うまでもない。
【００３１】
（実施例１）
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、この金型を１５０℃に加熱したのち、ポリメチルメタクリレート基材の両面に１０ＭＰａの圧力で１時間押し当てた後、７０℃以下まで冷却することによって、円錘台状をなし、底面の直径Ｄが２００ｎｍ、上面の直径ｄが２０ｎｍ、高さＨが４００ｎｍであって、先端の曲率半径ａが１０．２５ｎｍの微細凸部１ｐが六方細密状態（ピッチ：２００ｎｍ）に配列された反射防止微細構造１を両面に備えた反射防止成形体を作成した。
【００３２】
（実施例２）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面の直径Ｄが２５０ｎｍ、上面の直径ｄが２５ｎｍ、高さＨが７５０ｎｍの円錘台状をなし、先端が平面である微細凸部１ｐが六方細密状態（ピッチ：２５０ｎｍ）に配列された反射防止微細構造１を備えた反射防止成形体を作成した。
【００３３】
（実施例３）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用し、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面の直径Ｄが２５０ｎｍ、上面の直径ｄが２５ｎｍ、高さＨが２５０ｎｍの円錘台状をなし、先端の曲率半径ａが１３．７１ｎｍの微細凸部１ｐが六方細密状態（ピッチ：２５０ｎｍ）に配列された反射防止微細構造１を備えた反射防止成形体を作成した。
【００３４】
（実施例４）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面を形成する正方形に外接する円の直径Ｄが２５０ｎｍ、上面を形成する正方形に外接する円の直径ｄが５０ｎｍ、高さＨが５００ｎｍの正四角錘台状をなし、先端の曲率半径ａが２５．５０ｎｍである微細凸部１ｐが六方細密状態（ピッチ：１７７ｎｍ）に配列された反射防止微細構造１を備えた反射防止成形体を作成した。
【００３５】
（実施例５）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返し、ポリメチルメタクリレート基材の裏面側に、底面の直径Ｄが３００ｎｍ、上面の直径ｄが５０ｎｍ、高さＨが６００ｎｍの円錘台状をなし、先端の曲率半径ａが２５．５４ｎｍの微細凸部１ｐが六方細密状態（ピッチ：３００ｎｍ）に配列された反射防止微細構造１を備えた反射防止成形体を作成した。
【００３６】
（実施例６）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面が正方形であって、これに外接する円の直径Ｄが２５０ｎｍ、上面を形成する正方形に外接する円の直径ｄが３０ｎｍ、頂点までの高さｈが６４０ｍｍ、高さＨが５５０ｎｍの正四角錘台状をなし、先端が平面をなすと共に、先端面外周部分から底面外周部分に至る稜線が、次数ｎ＝１．２の線形式（１）で表される微細凸部１ｐが六方細密状態（ピッチ：１７７ｎｍ）に配列された反射防止微細構造１を備えた反射防止成形体を作成した。
Ｘ＝（Ｄ／２）×｛１−（Ｚ／ｈ）ｎ｝・・・（１）
【００３７】
（実施例７）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面が正方形をなし、これに外接する円の直径Ｄが２５０ｎｍ、上面を形成する正方形に外接する円の直径ｄが５０ｎｍ、頂点までの高さｈが７２０ｍｍ、高さＨが５５０ｎｍの正四角錘台状をなし、先端面の曲率半径ａが５０ｎｍであって、先端面外周部分から底面外周部分に至る稜線が、次数ｎ＝１．２の上記線形式（１）で表される微細凸部１ｐが六方細密状態（ピッチ：１７７ｎｍ）に配列された反射防止微細構造１を備えた反射防止成形体を作成した。
【００３８】
（実施例８）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、正方形の底面を有し、これに外接する円の直径Ｄが３００ｎｍ、上面を形成する正方形に外接する円の直径ｄが４０ｎｍ、頂点までの高さｈが４００ｍｍ、高さＨが３００ｎｍの正四角錘台状をなし、先端面の曲率半径ａが４５ｎｍであって、先端面外周部分から底面外周部分に至る稜線が、次数ｎ＝２の線形式（２）で表される微細凸部１ｐが六方細密状態（ピッチ：２１２ｎｍ）に配列された反射防止微細構造１を備えた反射防止成形体を作成した。
Ｚ＝｛ｈ／（Ｄ／２）ｎ｝×Ｘｎ              ・・・（２）
【００３９】
（実施例９）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面が正方形であって、これに外接する円の直径Ｄが２００ｎｍ、上面を形成する正方形に外接する円の直径ｄが１０ｎｍ、頂点までの高さｈが５５５ｍｍ、高さＨが５００ｎｍの正四角錘台状をなし、先端面の曲率半径ａが１５ｎｍであって、先端面外周部分から底面外周部分に至る稜線が、次数ｎ＝２の上記線形式（２）で表される微細凸部１ｐが六方細密状態（ピッチ：１４１ｎｍ）に配列された反射防止微細構造１を備えた反射防止成形体を作成した。
【００４０】
（比較例１）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用し、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面径が２５０ｎｍで、高さが７５０ｎｍの円錐状をなす微細凸部が六方細密状態（ピッチ：２５０ｎｍ）に配列された反射防止構造を備えた反射防止成形体を作成した。
【００４１】
（比較例２）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返し、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面の直径Ｄが４００ｎｍ、上面の直径ｄが２５ｎｍ、高さＨが８００ｎｍの円錘台状をなし、先端の曲率半径ａが１２．８４ｎｍの微細凸部が六方細密状態（ピッチ：４００ｎｍ）に配列された反射防止構造を備えた反射防止成形体を作成した。
【００４２】
（比較例３）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用して、上記実施例１と同様の操作を繰り返し、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、底面の直径Ｄが２５０ｎｍ、上面の直径ｄが１００ｎｍ、高さＨが５００ｎｍの円錘台状をなし、先端の曲率半径ａが５０．５６ｎｍの微細凸部が六方細密状態（ピッチ：２５０ｎｍ）に配列された反射防止構造を備えた反射防止成形体を作成した。
【００４３】
〔評価試験方法〕
上記実施例及び比較例によって得られた各反射防止成形体について、以下の要領によって、平均反射率、耐傷付き性について評価を行った。
その結果を各反射防止成形体の諸元と共に、表１に示す。
【００４４】
（１）平均反射率
変角分光光度計（大塚電子製）を用いて、光の入射角度０度、測定角度０度における各反射防止成形体の反射率を波長３８０〜７８０ｎｍの範囲で１０ｎｍごとに測定し、その平均値を平均反射率とした。
【００４５】
（２）耐傷付き性試験
ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−４に規定された鉛筆硬度試験に基づいて、ＨＢの鉛筆を用いて１ｋｇ荷重で引っ掻き、目視によって傷が確認できたものを「×」、できないものを「○」と評価した。
以上の結果を反射防止微細構造の諸元と共に、表１にまとめて示す。
【００４６】
【表１】
2007264594.tif 000003
【００４７】
この結果、反射防止微細構造を形成する微細凸部が円錐台状又は角錐台状をなし、底面寸法Ｄ及び上面寸法ｄがそれぞれ所定の範囲内である実施例１〜９においては、いずれも可視光線波長の平均反射率が低く、しかも耐傷付き性にも優れることが確認された。
これに対し、円錐形状の微細凸部から成る微細構造を備えた比較例１の反射防止成形体においては、反射防止性能には優れるものの、傷が付き易くて実用的ではなく、微細凸部の形状が円錐台状であるものの、底面寸法が大きくて凸部間のピッチが可視光線の最短波長よりも大きい比較例２、さらには上面寸法が大きすぎる比較例３の反射防止成形体においては、耐傷付き性に波優れるものの、反射防止機能に劣る結果となった。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の反射防止微細構造を示す斜視図である。
【図２】（ａ）  反射防止微細構造を構成する微細凸部が円錐台状をなす場合の採寸位置を示す説明図である。（ｂ）  反射防止微細構造を構成する微細凸部が角錐台状をなす場合の採寸位置を示す説明図である。
【図３】反射防止微細構造における微細凸部の上面寸法ｄと平均反射率の関係を示すグラフである。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は反射防止微細構造における微細凸部の上端面の形状を説明する概略図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は本発明の反射防止微細構造における微細凸部の稜線形状をｎ次の線形式（１）及び（２）で表した説明図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  反射防止微細構造
１ｐ  微細凸部
【図１】
2007264594.tif 000004
【図２】
2007264594.tif 000005
【図３】
2007264594.tif 000006
【図４】
2007264594.tif 000007
【図５】
2007264594.tif 000008