(57)【要約】【課題】保護膜が形成された偏光板を、保護膜に傷や汚れを発生させることなく基板に貼付することができる偏光板貼付方法を提供する。【解決手段】貼付ヘッドの吸着ステージに取り付けられた吸着プレートを介して、保護膜が形成された偏光板を吸い付け、基板が配置されたパネル支持テーブルに貼付ヘッドを移動する。そして、吸着プレートを基板に平行にして、吸着プレートと基板とのクリアランスが偏光板の厚さと等しくなるように、貼付ヘッドを移動させる。続いて、貼付ヘッドへの偏光板の吸着を停止し、吸着ステージを上昇させて、吸着プレートを偏光板から離す。そして、貼付ヘッドを移動させることによって、貼付ヘッドの先端に設けられた貼付ローラで偏光板を端部から順に基板４１に押し当てる。【選択図】図１
2007256677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保護膜が形成された偏光板を基板に貼付する偏光板貼付方法であって、
支持テーブル上に配置された基板と偏光板とが平行になるように偏光板を移動し、偏光板を基板に接触させる偏光板配置ステップと、
ローラを移動して、ローラによって偏光板を基板に押し当てる偏光板貼付ステップとを含む
ことを特徴とする偏光板貼付方法。
【請求項２】
偏光板を吸い付ける吸着手段と、偏光板を基板に押し当てるローラとを備えた偏光板貼付ヘッドを偏光板に近づけ、前記吸着手段に、保護膜が形成された側の偏光板の面を吸い付けさせる偏光板吸着ステップを含み、
偏光板配置ステップで、吸着手段が偏光板を吸い付ける吸着面と基板とが平行になり、前記吸着面と基板との間隔が偏光板の厚さと等しくなるように偏光板貼付ヘッドを移動することによって偏光板を基板に接触させ、吸着手段による偏光板の吸着を停止して吸着手段を偏光板から離し、
偏光板貼付ステップで、偏光板貼付ヘッドのローラが偏光板を基板に押し当てるようにしながら偏光板貼付ヘッドを移動する
請求項１に記載の偏光板貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏光板を基板に貼付する偏光板貼付方法に関し、特に、保護膜が形成された偏光板を基板に貼付する偏光板貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板（例えば、各種表示パネルの基板）に偏光板が貼付される場合がある。図５は、基板に貼付される偏光板の例を示す説明図である。偏光板２１の一方の面２２は、保護膜が形成される面である。以下、この面を保護膜面と記す。また、偏光板２１のもう一方の面２３は、偏光板を基板に貼付するための接着剤が塗布される面である。以下、この面を糊面と記す。保護膜面２２には、偏光板を保護する保護膜が形成される。偏光板２１は保護膜面２２に保護膜が形成された後に基板に貼付される。また、偏光板が貼付された製品（例えば、表示パネル）の検査は、保護膜を除去する前に行われ、検査後に保護膜は除去される。なお、表示パネルの検査としては、例えば、画像の表示検査等がある。
【０００３】
図６は、基板に偏光板を貼付する偏光板貼付装置の偏光板貼付ヘッド（偏光板を基板に貼付する部分。以下、貼付ヘッドと記す。）の側面図である。図６では、貼付ヘッド１１の他に、偏光板２１、基板４１および基板を支持するパネル支持テーブル３１も示している。
【０００４】
貼付ヘッド１１は、偏光板２１を吸い付けたときに偏光板２１と接触する吸着プレート１２と、偏光板２１を基板４１に押し当てながら回転する貼付ローラ１３とを備えている。後述するように、吸着プレート１２は、貼付ヘッド１１が備える吸着ステージに取り付けられている。吸着プレート１２には、穴が設けられていて、吸着ステージは吸着プレート１２を介して偏光板２１を吸い付ける。
【０００５】
図６に示す状態において、偏光板２１の保護膜面が吸着プレート１２に接触している。また、偏光板２１の糊面には接着剤が塗布されている。
【０００６】
なお、図６に示すように、パネル支持テーブル３１は、基板４１を定位置に配置させるための凸部（以下、基準ガイドと記す。）３２を備える。偏光板２１が貼付される基板４１は、基準ガイド３２に押し当てられるようにして配置されることにより、パネル支持テーブル３１上の定位置に配置される。
【０００７】
図７は、吸着プレート１２の移動を示す説明図である。吸着プレート１２が取り付けられている吸着ステージは、吸着プレート１２を水平にした場合における上下方向に移動可能である。従って、吸着プレート１２も、上下方向（吸着プレート１２を水平にした場合における上下方向）に移動可能である。図７（ａ）は、吸着プレート１２の吸着面が貼付ローラ１３の表面よりも張り出している状態を示している。図７（ｂ）は、吸着プレート１２の吸着面と貼付ローラ１３の表面（吸着プレート１２を水平にしたときに下端となる部分）とが同一平面に収まる状態を示している。すなわち、吸着プレート１２の吸着面と貼付ローラ１３の表面とがいわゆる面一（つらいち）となる状態を示している。図７（ｃ）は、貼付ローラ１３の表面が吸着プレート１２の吸着面よりも張り出している状態を示している。図７に示すように、吸着プレート１２は、貼付ヘッド１１から張り出す方向に移動したり、貼付ヘッド１１に近づく方向に移動したりする。
【０００８】
図８は、従来の偏光板貼付方法で偏光板を基板に貼付する状況を示す説明図である。貼付ヘッド１１は、偏光板２１を吸い付け、偏光板２１の端部を貼付ローラ１３によって基板４１に押し当てる。そして、貼付ローラ１３が偏光板２１の端部から偏光板２１を基板４１に押し当てながら移動するように、貼付ヘッド１１が移動する。図８に示す例では、矢印の方向に貼付ヘッド１１が移動する。その結果、貼付ローラ１３が回転しながら、偏光板２１を端部から順に基板４１に押し当てて、基板４１に貼付していく。
【０００９】
次に、貼付ヘッド１１による偏光板の吸着について説明する。図９は、吸着プレート１２の方向から貼付ヘッド１１を観察した場合の構成要素を示す説明図である。図６に示す構成要素と同様の構成要素については、図６と同一の符号を付し説明を省略する。貼付ヘッド１１は、吸着穴１６が設けられた吸着ステージ１４を備える。吸着ステージ１４は、吸着穴１６から空気を吸い込む。また、吸着穴１６は、例えば、縦方向および横方向それぞれに並ぶように設けられる。既に説明したように、吸着ステージ１４は上下方向に移動可能である。
【００１０】
吸着プレート１２は、吸着ステージ１４に着脱可能なプレートであり、偏光板が貼付される基板の大きさに応じた吸着プレート１２が吸着ステージ１４に取り付けられる。吸着プレート１２は、例えば、ねじ等によって吸着ステージ１４に取り付けられる。吸着プレート１２には、プレート穴１５が設けられている。プレート穴１５は、例えば、吸着プレート１２が取り付けられたときに吸着穴１６の並びに沿うような穴として設けられる。
【００１１】
吸着プレート１２にはプレート穴１５が設けられているので、吸着プレート１２が取り付けられた状態で吸着ステージ１４が吸着穴１６から空気を吸い上げると、吸着ステージ１４は吸着プレート１２を介して偏光板を吸い付けることができる。
【００１２】
なお、吸着プレート１２は、例えば、ＳＵＳ（Stainless Used Steel）の層とウレタンゴムの層を含み、ＳＵＳの層が吸着ステージ１４に接するように取り付けられる。従って、貼付ヘッド１１によって吸い付けられる偏光板の保護膜面は、ウレタンゴムの層に接する。
【００１３】
また、貼付ヘッド１１は、側面部材１８と吸着ステージ１４との間に基準板１７を備える。基準板１７は、側面部材１８と吸着ステージ１４との間に設けられた軸１９に沿って移動可能であり、吸着ステージ１４の側面に接触することができる。吸着ステージ１４が吸着プレート１２を介して偏光板を吸い付けたときに、偏光板の縁が吸着ステージ１４からはみ出すことがある。その場合、基準板１７を吸着ステージ１４の側面に接触するように移動させることで、偏光板の縁の位置と吸着ステージ１４および吸着プレート１２の縁の位置とを揃えることができる。
【００１４】
図１０は、従来の偏光板貼付方法で偏光板を基板に貼付する偏光板貼付装置の動作を示すフローチャートである。まず、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１を、偏光板チップが配置された偏光板チップステージ上に移動する（ステップＳ２１）。このとき、吸着ステージ１４は、空気の吸い込みを停止している。なお、偏光板チップとは、基板の大きさに応じてカットされた偏光板である。この偏光板チップには、予め保護膜面に保護膜が形成されている。また、偏光板チップステージとは、偏光板チップを支持するテーブルである。次に、吸着ステージ１４（図９参照。）を下降させて、吸着ステージ１４を偏光板チップに近づけ、偏光板チップを吸い付ける（ステップＳ２２）。ステップＳ２２では、吸着ステージ１４は強い吸着力で偏光板チップを吸い付ける。
【００１５】
続いて、偏光板貼付装置は、吸着ステージ１４を上昇させて、吸い付けた偏光板を偏光板チップステージから遠ざける（ステップＳ２３）。ステップＳ２３における吸着ステージ１４の吸着力はステップＳ２２と同様である。
【００１６】
続いて、基準板１７（図９参照。）を吸着ステージ１４側に寄せて、偏光板チップの縁の位置と、吸着ステージ１４および吸着プレート１２の縁の位置とを揃える（ステップＳ２４）。このとき、吸着プレート１２に吸い付けられた偏光板チップの位置をずらせるように、吸着ステージ１４の吸着力をステップＳ２３より低下させる。
【００１７】
図１１は、偏光板（偏光板チップ）２１を吸い付けた貼付ヘッド１１を示す説明図である。図１１は、図９と同様に、プレート１２の方向から貼付ヘッド１１を観察した状態を示している。ステップＳ２４の動作により、偏光板チップの縁の位置と、吸着ステージ１４および吸着プレート１２の縁の位置は揃えられる。
【００１８】
ステップＳ２４の後、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１を、基板が配置されたパネル支持テーブル３１に移動する（ステップＳ２５）。ステップＳ２５での移動中、再び吸着ステージ１４の吸着力を強める。
【００１９】
続いて、偏光板貼付装置は、貼付ローラ１３が、偏光板２１の端部をパネル支持テーブル３１上の基板４１に押し当てるように、貼付ヘッド１１を下降させる（図６参照。）。そして、図８で説明したように、貼付ヘッド１１を移動させる（ステップＳ２６）。また、ステップＳ２６では、吸着ステージ１４も下降させる。ステップＳ２６では、吸着ステージ１４の吸着力を弱める。
【００２０】
ステップＳ２６で、偏光板２１は、貼付ローラ１３によって端部から順に基板４１に貼付される（図８参照。）。
【００２１】
基板４１への偏光板２１の貼付が終了した後、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１をパネル支持テーブル３１から上昇させる。また、吸着ステージ１４も上昇させる（ステップＳ２７）。
【００２２】
再度、別の偏光板を基板に貼付する場合、ステップＳ２１以降の動作を繰り返す。
【００２３】
貼付ヘッド１１は、ステップＳ２６において、偏光板２１を吸着する状態を維持する。この理由を以下に示す。図１２は、偏光板貼付時における偏光板２１の吸着を停止した場合の状況を示す説明図である。ステップＳ２６において、貼付ヘッド１１が偏光板２１の吸着を停止してしまうと、図１２に示すように、偏光板２１がたわんだ状態で貼付ヘッド１１から落下してしまう可能性がある。このようにたわんだ状態で落下した偏光板２１を貼付ローラ１３が基板４１に押し当てながら移動すると、偏光板２１と基板４１との間に気泡が生じてしまうという問題が発生する。そのため、ステップＳ２６では、偏光板２１の吸着を維持して、偏光板２１が貼付ヘッド１１から落下してしまうことを防止している。
【００２４】
なお、このように、偏光板を貼付ヘッドに吸着させたまま貼付ヘッドを移動しつつ貼付ローラによって偏光板を基板に押し当てて、偏光板を基板に貼付する偏光板貼付装置が特許文献１に記載されている。
【００２５】
【特許文献１】特開２００３−１６１９３５号公報（段落００２３、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
偏光板を貼付ヘッドに吸着させたまま貼付ヘッドを移動して、貼付ローラによって偏光板を基板に押し当てる従来の偏光板貼付方法では、偏光板に形成された保護膜に傷や汚れが発生してしまうという問題が発生する。
【００２７】
図１３は、偏光板の保護膜に傷や汚れが発生する原因を示す説明図である。ステップＳ２６において、貼付ローラ１３が偏光板２１の端部から偏光板２１を基板４１に押し当てながら移動するように貼付ヘッド１１が移動するとき、偏光板２１の保護膜面２２は、吸着プレート１２に吸い付けられている（図１３参照。）。保護膜面２２が吸着プレート１２に吸い付けられた状態で、貼付ローラ１３が偏光板２１を基板４１に押し当てながら移動すると、偏光板２１は、吸着プレート１２に吸い付けられたまま吸着プレート１２上を移動する。既に説明したように、吸着プレート１２のウレタンゴムの層に偏光板２１の保護膜面２２が接触している。ウレタンゴムに偏光板２１の保護膜面２２が吸い付けられて偏光板２１が吸着プレート１２に対して移動するときの摩擦は大きく、そのため保護膜に傷や汚れが生じる。さらに、ウレタンゴムにはプレート穴１５（図９、図１１参照。）も設けられている。このようなプレート穴１５を有する面に偏光板２１が吸着され、プレート穴１５を有する面に対して偏光板２１が移動することも、保護膜に傷や汚れが生じる原因となる。
【００２８】
図１４は、偏光板の保護膜に生じた傷や汚れを示す説明図である。上述のような理由によって、偏光板の保護膜面２２には傷や汚れ２５が生じる。
【００２９】
基板を含む製品として表示パネルを製造する場合、画像の表示検査や表示パネルの外観検査等の検査工程は、偏光板から保護膜を除去する前に行われ、検査後に保護膜を除去する。従って、偏光板や表示パネル自体には何ら問題がなくても、保護膜に生じた傷や汚れによって、検査時に表示パネルが不良と判定されてしまうことがある。すなわち、本来は良品である表示パネルが検査時に不良と誤判定されることがある。このように、保護膜に生じた傷や汚れは誤判定の原因となる。
【００３０】
そこで、本発明は、保護膜が形成された偏光板を、保護膜に傷や汚れを発生させることなく基板に貼付することができる偏光板貼付方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
本発明の態様１は、保護膜が形成された偏光板を基板に貼付する偏光板貼付方法であって、支持テーブル（例えばパネル支持テーブル３１）上に配置された基板と偏光板とが平行になるように偏光板を移動し、偏光板を基板に接触させる偏光板配置ステップと、ローラ（例えば貼付ローラ１３）を移動して、ローラによって偏光板を基板に押し当てる偏光板貼付ステップとを含むことを特徴とする偏光板貼付方法を提供する。
【００３２】
本発明の態様２は、態様１において、偏光板を吸い付ける吸着手段（例えば吸着プレート１２および吸着ステージ１４）と、偏光板を基板に押し当てるローラ（例えば貼付ローラ１３）とを備えた偏光板貼付ヘッドを偏光板に近づけ、吸着手段に、保護膜が形成された側の偏光板の面を吸い付けさせる偏光板吸着ステップを含み、偏光板配置ステップで、吸着手段が偏光板を吸い付ける吸着面（例えば吸着プレート１２の面）と基板とが平行になり、その吸着面と基板との間隔が偏光板の厚さと等しくなるように偏光板貼付ヘッドを移動することによって偏光板を基板に接触させ、吸着手段による偏光板の吸着を停止して吸着手段を偏光板から離し、偏光板貼付ステップで、偏光板貼付ヘッドのローラが偏光板を基板に押し当てるようにしながら偏光板貼付ヘッドを移動する偏光板貼付方法を提供する。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、偏光板配置ステップで、支持テーブル上に配置された基板と偏光板とが平行になるように偏光板を移動し、偏光板を基板に接触させる。従って、ローラによって偏光板を基板に押し当てるときに、偏光板がたわんで落下しないように吸着プレートに偏光板を吸い付けておく必要がない。そのため、偏光板の保護膜を吸着プレートに吸い付けながらローラで偏光板を基板に押し当てる必要がなく、吸着プレートとの摩擦によって偏光板の保護膜に傷や汚れが生じることを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
本発明の偏光板貼付方法は、従来の偏光板貼付装置と同様の偏光板貼付装置を用いて実現する。すなわち、図６や図９に示す貼付ヘッド（偏光板貼付ヘッド）を備えた偏光板貼付装置を用いて実現する。図６および図９を参照して、貼付ヘッドについて説明する。図６、図９に示すように、貼付ヘッド１１は、貼付ローラ１３と、吸着プレート１２と、吸着ステージ１４と、基準板１７と、側面部材１８とを備える。側面部材１８は、貼付ローラ１３、吸着プレート１２、吸着ステージ１４、基準板１７等の構成部を支持する外枠である。
【００３５】
貼付ローラ１３は、貼付ヘッド１１の先端に設けられ、偏光板を基板（例えば、表示パネルの基板）に押し当てる。また、偏光板を基板に押し当てた状態で貼付ヘッド１１が移動すると貼付ローラ１３は回転しながら移動する。
【００３６】
吸着ステージ１４は、空気を吸い込む吸着穴１６を備え、吸着プレート１２を介して偏光板を吸い付ける。吸着穴１６は、例えば、縦方向および横方向それぞれに並ぶように設けられる。吸着ステージ１４は、吸着穴１６からの空気の吸い込みを開始したり、停止したりする。また、吸着ステージ１４は、空気を吸い込む力（換言すると、偏光板を吸い付ける吸着力）を変化させることができる。本例では、吸着ステージ１４は、吸着力を「強」および「弱」の２段階に変化させるものとして説明する。
【００３７】
吸着プレート１２は、吸着ステージ１４に着脱可能なプレートであり、偏光板が貼付される基板の大きさに応じた吸着プレート１２が吸着ステージ１４に取り付けられる。吸着プレート１２は、例えば、ねじ等によって吸着ステージ１４に取り付けられる。吸着プレート１２には、プレート穴１５が設けられている。プレート穴１５は、例えば、吸着プレート１２が取り付けられたときに吸着穴１６の並びに沿うような穴として設けられる。吸着プレート１２にはプレート穴１５が設けられているので、吸着プレート１２が取り付けられた状態で吸着ステージ１４が吸着穴１６から空気を吸い上げると、吸着ステージ１４は吸着プレート１２を介して偏光板を吸い付けることができる。
【００３８】
吸着プレート１２は、例えば、ＳＵＳ（Stainless Used Steel）の層とウレタンゴムの層を含み、ＳＵＳの層が吸着ステージ１４に接するように取り付けられる。
【００３９】
吸着ステージ１４は、吸着プレート１２を水平にした場合における上下方向に移動可能である。吸着ステージ１４が移動することによって、吸着プレート１２は、貼付ヘッド１１から張り出す方向に移動したり、貼付ヘッド１１に近づく方向に移動したりする。
【００４０】
基準板１７は、側面部材１８と吸着ステージ１４との間に設けられた軸１９に沿って移動可能であり、吸着ステージ１４の側面に接触することができる。偏光板が吸着プレート１２に吸い付けられた状態で、基準板１７を吸着ステージ１４の側面に接触するように移動させることで、偏光板の縁の位置と吸着ステージ１４および吸着プレート１２の縁の位置とを揃えることができる。
【００４１】
また、偏光板貼付装置は、吸着プレート１２が水平になるようにしたり、吸着プレート１２が水平面に対して斜めになるように、貼付ヘッド１１を回転する。また、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１全体を上下方向に移動させる。
【００４２】
図１は、本発明による偏光板貼付方法で偏光板を基板に貼付する偏光板貼付装置の動作の例を示すフローチャートである。また、図２および図３は、本発明による偏光板貼付方法を実施しているときの貼付ヘッド１１の状態を示す説明図である。以下、図１、図２、図３および図９を参照して本発明による偏光板貼付方法について説明する。
【００４３】
まず、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１を、偏光板チップ（基板の大きさに応じてカットされた偏光板）２１が配置された偏光板チップステージ５１上に移動する（ステップＳ１）。図２（ａ）は、ステップＳ１における貼付ヘッド１１の状態を示している。図２（ａ）に示すように、ステップＳ１では、吸着プレート１２と偏光板チップ２１とが平行になるように、貼付ヘッド１１を移動する。また、偏光板貼付装置は、貼付ローラ１３の下端１３ａ（吸着プレート１２を水平にしたときに貼付ローラ１３の下端となる部分）が偏光板チップ２１の端部の上方に位置するように、貼付ヘッド１１を移動する。偏光板チップステージ５１上に配置されている偏光板チップ２１は、予め保護膜面に保護膜が形成されている。また、本例では、ステップＳ１において既に偏光板チップ２１の糊面に接着剤が塗布されているものとする。偏光板チップ２１は、保護膜面が上向きになるように偏光板チップステージ５１上に配置されている。また、ステップＳ１では、吸着ステージ１４（図９参照。）は、空気の吸い込みを停止している。
【００４４】
ステップＳ１の後、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１の吸着ステージ１４（図９参照。）を下降させて、吸着プレート１２を偏光板チップ２１に近づける。そして、吸着ステージ１４は、吸着プレート１２を介して偏光板チップ２１を吸い付ける（ステップＳ２）。図２（ｂ）は、ステップＳ２における貼付ヘッド１１の状態を示している。吸着ステージ１４を下降させることで、図２（ｂ）に示すように、吸着プレート１２が偏光板チップ２１に近づき、その状態で貼付ヘッド１１は、偏光板チップ２１を吸着プレート１２に吸い付ける。ステップＳ２では、強い方の吸着力で偏光板チップ２１を吸い付ける。
【００４５】
ステップＳ２の後、偏光板貼付装置は、吸着ステージ１４を上昇させる（ステップＳ３）。図２（ｃ）は、ステップＳ３における貼付ヘッド１１の状態を示している。吸着ステージ１４を上昇させることで、図２（ｃ）に示すように、吸着プレート１２に吸い付けられた偏光板チップ２１は、偏光板チップステージ５１から上昇する。ステップＳ３では、偏光板貼付装置は、吸着プレート１２の面と貼付ローラ１３の下端１３ａとが同一平面に収まる状態になるまで、吸着ステージ１４を上昇させ、吸着プレート１２の面と貼付ローラ１３の下端１３ａとが同一平面に収まる状態になるところで吸着ステージ１４を停止させる。ステップＳ３における吸着ステージ１４の吸着力はステップＳ２と同様である。
【００４６】
続いて、基準板１７（図９参照。）を吸着ステージ１４側に移動させて、偏光板チップ２１の縁の位置と、吸着ステージ１４および吸着プレート１２の縁の位置とを揃える（ステップＳ４）。基準板１７を移動させる処理は、例えば、偏光板貼付装置が行えばよい。ステップＳ４では、吸着ステージ１４の吸着力を弱い方の吸着力に切り替える。
【００４７】
ステップＳ４の後、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１を、基板４１が配置されたパネル支持テーブル３１に移動する（ステップＳ５）。図２（ｄ）は、ステップＳ５における貼付ヘッド１１の状態を示している。本例では、図２（ｄ）に示すように、偏光板貼付装置は、貼付ローラ１３が下方を向いて吸着プレート１２が斜めになるようし、偏光板チップ２１が基板４１の上方に位置するように、貼付ヘッド１１を移動する。基板４１は、例えば、表示パネルの基板である。なお、基板４１は、基準ガイド３２に押し当てられるように配置されることにより、パネル支持テーブル３１上の定位置に配置されている。ステップＳ５での移動中、吸着ステージ１４の吸着力は強い方の吸着力に切り替えられる。
【００４８】
上述のステップＳ１〜Ｓ５の動作は、従来の偏光板貼付方法におけるステップＳ２１〜Ｓ２５（図１０参照。）の動作と同様である。
【００４９】
ステップＳ５の後、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１を下降させ、貼付ヘッド１１を基板４１に近づける（ステップＳ６）。図３（ａ）は、ステップＳ５における貼付ヘッド１１の状態を示している。
【００５０】
ステップＳ６の後、偏光板貼付装置は、図３（ａ）に示す状態から、吸着プレート１２と基板４１とが平行になるように、貼付ヘッド１１を回転させる。吸着プレート１２と基板４１とを平行にした後、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１を下降させる（ステップＳ７）。図３（ｂ）は、ステップＳ７終了時における貼付ヘッド１１の状態を示している。偏光板貼付装置は、図３（ｂ）に示すように、吸着プレート１２と基板４１とのクリアランス（間隔）が、偏光板チップ２１の厚さ（保護膜も含む偏光板チップ２１の厚さ）と等しくなるように貼付ヘッド１１を下降させる。この動作は、予め基板４１および偏光板チップ２１の厚さを定めておき、シーケンス制御によって実現すればよい。
【００５１】
吸着プレート１２と基板４１とのクリアランスが偏光板チップ２１の厚さと等しくなるように貼付ヘッド１１を移動させた状態では、偏光板チップ２１は、吸着プレート２１および基板４１に接触する状態となるが、吸着プレート２１から偏光板チップ２１を基板４１に押し当てる力はかからない。また、吸着プレート１２の吸着面と貼付ローラ１３の下端１３ａとが同一平面に収まっているので、貼付ローラ１３からも偏光板チップ２１に力はかからない。
【００５２】
また、ステップＳ７において、吸着プレート１２と基板４１とを平行にして、貼付ヘッド１１を下降させるので、偏光板チップ２１の糊面全体が同時に基板４１に接触する。
【００５３】
ステップＳ７の後、偏光板貼付装置は、吸着ステージ１４に偏光板チップ２１の吸着を停止させる。さらに、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１の吸着ステージ１４を上昇させ、貼付ヘッド２１全体を下降させる（ステップＳ８）。ステップＳ８において、吸着ステージを上昇させる距離は、貼付ヘッド２１全体を下降させる距離よりも大きくする。図３（ｃ）は、ステップＳ８終了時における貼付ヘッド１１の状態を示している。吸着ステージ１４による偏光板チップ２１の吸着が停止され、吸着ステージ１４が上昇するので、図３（ｃ）に示すように、吸着プレート１２は偏光板チップ２１から離れる。なお、吸着ステージを上昇させる距離は、貼付ヘッド２１全体を下降させる距離よりも大きいので、ステップＳ８の後、吸着プレート１２と偏光板チップ２１とは接触しない。一方、貼付ヘッド２１全体を下降させているので、貼付ローラ１３は、偏光板チップ２１の端部を基板４１に押し当てる。ステップＳ８で貼付ヘッド２１を下降させる距離は、貼付ローラ１３が偏光板チップ２１を基板４１に押し当てる力が生じる距離であれば十分である。
【００５４】
ステップＳ８の後、偏光板貼付装置は、貼付ローラ１３が偏光板チップ２１の端部から偏光板チップ２１を基板４１に押し当てながら移動するように、貼付ヘッド１１を移動する（ステップＳ９）。図３（ｄ）は、ステップＳ９における貼付ヘッド１１の状態を示している。図３（ｄ）に示すように、偏光板貼付装置は、吸着プレート１２と偏光板チップ２１とが平行の状態を保ったまま貼付ヘッド１１を移動すればよい。貼付ローラ１３が偏光板チップ２１を基板４１に押し当てる力が生じているので、ステップＳ９の動作により、貼付ローラ１３は回転しながら、偏光板チップ２１を端部から順に基板４１に押し当てて、基板４１に貼付していく。
【００５５】
基板４１への偏光板チップ２１の貼付が終了した後、偏光板貼付装置は、貼付ヘッド１１をパネル支持テーブル３１から上昇させる（ステップＳ１０）。以上で、１枚の偏光板チップの貼付処理が完了する。
【００５６】
再度、別の偏光板チップを基板に貼付する場合、ステップＳ１以降の動作を繰り返す。
【００５７】
本発明によれば、貼付ローラ１３が回転しながら偏光板チップ２１を基板４１に押し当てていくとき、偏光板チップ２１と吸着プレート１２とは接触していない。従って、偏光板チップ２１が吸着プレート１２に吸い付けられながら吸着プレート１２の面上を移動することがなく、吸着プレート１２との摩擦によって偏光板チップ２１の保護膜に傷や汚れが生じることを防止できる。
【００５８】
また、偏光板チップ２１の保護膜に傷や汚れが生じないので、検査時における誤判定を防止することができる。すなわち、偏光板や基板を含む製品自体には何ら問題がなくても、保護膜に生じた傷や汚れによって、検査時に製品が不良と判定されてしまうことを防止することができる。例えば、表示パネルの外観検査や、表示パネルに表示させた画像を検査する表示検査において、そのような誤判定を防止することができる。また、偏光板チップ２１の保護膜に傷や汚れが生じないので、誤判定を引き起こすような製品が検査工程に流出することを防止することができる。
【００５９】
また、誤判定が減少することにより、不良率が改善される。誤判定によって不良品と判定される製品（例えば表示パネル等）の数が減少するので、偏光板等の材料費を従来よりも低減することができる。
【００６０】
また、貼付ローラ１３が回転しながら偏光板チップ２１を基板４１に押し当てていくとき、吸着ステージ１４は偏光板チップ２１を吸着しないので、ユーティリティ費用（偏光板の吸着に要するコスト）を従来よりも削減することができる。
【００６１】
また、上記の実施の形態では、ステップＳ９において、吸着プレート１２と偏光板チップ２１とが平行の状態を保ったまま貼付ヘッド１１を移動する場合を示した。ステップＳ８において、貼付ヘッド１１の吸着ステージ１４を上昇させて、吸着プレート１２を偏光板チップ２１から離した後、貼付ローラ１３が偏光板チップ２１と接触して、回転しながら偏光板チップ２１を基板４１に押し当てるのであれば、吸着プレート１２と偏光板チップ２１とが平行でなくてもよい。例えば、図４に示すように、吸着プレート１２が偏光板チップ２１に対して斜めになるようにして、貼付ヘッド１１を移動させてもよい。ただし、貼付ローラ１３が偏光板チップ２１を基板４１に押し当てる力が生じるように、貼付ローラ１３の高さを定める。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、表示パネル等の基板に対する偏光板の貼付に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明による偏光板貼付方法で偏光板を基板に貼付する偏光板貼付装置の動作の例を示すフローチャート。
【図２】本発明による偏光板貼付方法を実施しているときの貼付ヘッドの状態を示す説明図。
【図３】本発明による偏光板貼付方法を実施しているときの貼付ヘッドの状態を示す説明図。
【図４】吸着プレートが偏光板チップに対して斜めになるようにして貼付ヘッドを移動させる状態を示す説明図。
【図５】基板に貼付される偏光板の例を示す説明図。
【図６】貼付ヘッドの側面図。
【図７】吸着プレートの移動を示す説明図。
【図８】従来の偏光板貼付方法で偏光板を基板に貼付する状況を示す説明図。
【図９】吸着プレートの方向から貼付ヘッドを観察した場合の構成要素を示す説明図。
【図１０】従来の偏光板貼付方法で偏光板を基板に貼付する偏光板貼付装置の動作を示すフローチャート。
【図１１】偏光板を吸い付けた貼付ヘッドを示す説明図。
【図１２】偏光板貼付時における偏光板の吸着を停止した場合の状況を示す説明図。
【図１３】偏光板の保護膜に傷や汚れが発生する原因を示す説明図。
【図１４】偏光板の保護膜に生じた傷や汚れを示す説明図。
【符号の説明】
【００６４】
１１  貼付ヘッド（偏光板貼付ヘッド）
１２  吸着プレート
１３  貼付ローラ
１４  吸着ステージ
１５  プレート穴
１６  吸着穴
２１  偏光板
２２  保護膜面
２３  糊面
３１  パネル支持テーブル
４１  基板
【図１】
2007256677.tif 000003
【図２】
2007256677.tif 000004
【図３】
2007256677.tif 000005
【図４】
2007256677.tif 000006
【図５】
2007256677.tif 000007
【図６】
2007256677.tif 000008
【図７】
2007256677.tif 000009
【図８】
2007256677.tif 000010
【図９】
2007256677.tif 000011
【図１０】
2007256677.tif 000012
【図１１】
2007256677.tif 000013
【図１２】
2007256677.tif 000014
【図１３】
2007256677.tif 000015
【図１４】
2007256677.tif 000016