(57)【要約】【課題】簡素な構造をもって容器の通気部に取り外し可能に取り付けることができるとと共に、塵芥のみならずガスも確実に捕捉除去し得るエアフィルタユニットの提供。【解決手段】ろ材１は、通気性を備えた合成樹脂製のシート体１０ａよりなる扁平袋体１０内にガス除去剤１１を封入してなる。フィルタフレーム２は、通気部Ｃａにキャップ状をなすようにはめ付けられる、筒一端２１を開放させ、かつ、筒他端２２を通気穴２３ａを備えた座板２３によって閉塞された筒状をなすように構成されている。前記ろ材１によってフィルタフレーム２の前記通気穴２３ａをフィルタフレーム２の内側から塞いでなる。【選択図】図４
2007083162.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器に形成された通気部に取り外し可能にはめ付けられてこの容器内のエアを清浄に保つエアフィルタユニットであって、
ろ材と、フィルタフレームとから構成されており、
ろ材は、通気性を備えた合成樹脂製のシート体よりなる扁平袋体内にガス除去剤を封入してなり、
フィルタフレームは、前記通気部にキャップ状をなすようにはめ付けられ、又は、栓状をなすようにはめ付けられる、筒一端を開放させ、かつ、筒他端に通気穴を備えた筒状をなすように構成されており、
前記ろ材によってフィルタフレームの前記通気穴をフィルタフレームの内側から塞いでなることを特徴とするエアフィルタユニット。
【請求項２】
フィルタフレームの筒一端側からこのフィルタフレームに圧入されるリング体を有しており、圧入されたこのリング体によってろ材の周縁部がフィルターフレームの筒他端側の内面に押し付けられていることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタユニット。
【請求項３】
ろ材を構成する扁平袋体が、ポリテトラフルオロエチレンを主体とするシート体によって構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のエアフィルタユニット。
【請求項４】
フィルタフレームの筒他端に外向きに張り出すフランジが形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項３記載のいずれか１項に記載のエアフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、通気部を備えた容器のこの通気部に取り外し可能にはめ付けられてこの容器内のエアを清浄に保つために用いられるエアフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウエハーの運搬ケースなど、収納対象物を収納した状態において容器内部のエアを高度に清浄に保つことが要請される容器がある。この種の容器では塵芥はもとよりｐｐｂレベルの微量なガスも容器内部に存在しないことが求められるところである。
【０００３】
その一方で、この種の容器にはいわゆる呼吸弁と称される通気部が備えられており、このため、この通気部を通るエアから前記塵芥およびガスを取り除くことがまた求められるところである。
【０００４】
こうしたことから、従前よりこの種の容器のかかる通気部にはエアフィルタが組み込まれていた。
【０００５】
しかるに、この種の容器の再利用を容易とする観点からは、かかるエアフィルタは取り替えができ、かつ、それが容易で、さらに、低廉に構成されるべきものである。しかも、かかるエアフィルタは、塵芥のみならずガスも確実に捕捉除去し得るものである必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明が解決しようとする主たる問題点は、簡素な構造をもって、この種の容器の通気部に取り外し可能に取り付けることができるとと共に、塵芥のみならずガスも確実に捕捉除去し得るエアフィルタユニットの提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を達成するために、この発明にあっては、エアフィルタユニットを、以下の（１）〜（５）の構成を備えたものとした。
（１）容器に形成された通気部に取り外し可能にはめ付けられてこの容器内のエアを清浄に保つエアフィルタユニットであって、
（２）ろ材と、フィルタフレームとから構成されており、
（３）ろ材は、通気性を備えた合成樹脂製のシート体よりなる扁平袋体内にガス除去剤を封入してなり、
（４）フィルタフレームは、前記通気部にキャップ状をなすようにはめ付けられ、又は、栓状をなすようにはめ付けられる、筒一端を開放させ、かつ、筒他端に通気穴を備えた筒状をなすように構成されており、
（５）前記ろ材によってフィルタフレームの前記通気穴をフィルタフレームの内側から塞いでなる。
【０００８】
かかるエアフィルタユニットは、容器の通気部にフィルタフレームの筒一端側からはめ付けることにより、ろ材のガス除去剤によってこの通気部を通るエアから除去対象ガスを除去する。また、ろ材のシート体によってこの通気部を通るエアから塵芥も除去できる。エアフィルタユニットは、フィルタフレームとろ材を単純に組み合わせてなることから、低廉に供給でき、容器の再使用に際してのエアフィルタユニットの交換の要請にも良くかなう。
【０００９】
かかるエアフィルタユニットが、前記フィルタフレームの筒一端側からこのフィルタフレームに圧入されるリング体を有しており、圧入されたこのリング体によってろ材の周縁部をフィルターフレームの筒他端側の内面に押し付けさせるようにしておくこともある。
【００１０】
このようにした場合、ろ材とフィルタフレームとのアッセンブリーが容易であり、またこのアッセンブリーにあたって溶着などを用いた場合と異なりこのアッセンブリーがエアフィルタユニット自体からのガスの発生の懸念要因となることもない。
【００１１】
前記ろ材を構成する扁平袋体を、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を主体とするシート体によって構成させておくこともある。
【００１２】
ＰＴＦＥは自身よりガスや粉塵を生じさせることがなく、また、このＰＴＦＥによって扁平袋体に封入されたガス除去剤から生じる粉塵などを外部に漏れ出させることもない。
【００１３】
前記フィルタフレームの筒他端に外向きに張り出すフランジを形成させておくこともある。
【００１４】
このようにした場合、通気部へのエアフィルタユニットの栓状をなすはめ付け状態を、通気部の入り口にフランジを突き当てさせることにより安定的に維持させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
この発明にかかるエアフィルタユニットは、フィルタフレームの筒一端側から容器の通気部にこのフィルタフレームをはめ付けることにより、容器内部を高度に清浄に保つことが要請される容器の通気部に取り外し可能に容易に取り付けることができるとと共に、通気部を通るエアから、そのろ材を構成するシート体によって塵芥を、また、このシート体によって構成された扁平袋体内に封入されたガス除去剤によってガスを、それぞれ確実に捕捉除去することができる。エアフィルタユニットはフィルタフレームの通気穴をその内側から塞ぐようにこれにろ材を組み合わせてなり、構造は簡素であり、したがって低廉に供給できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図１ないし図８に基づいて、この発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００１７】
なお、ここで図１は、実施の形態にかかるエアフィルタユニットＦを構成するろ材を示している。また、図２〜図４は、かかるエアフィルタユニットＦの構成例の一つを、図５および図６は、かかるエアフィルタユニットＦの構成例の他の一つを、図７および図８は、かかるエアフィルタユニットＦの構成例のさらに他の一つを、それぞれ示している。
【００１８】
この実施の形態にかかるエアフィルタユニットＦは、通気部Ｃａを備えた容器Ｃのこの通気部Ｃａに取り外し可能にはめ付けられてこの容器Ｃ内のエアを清浄に保つために用いられるものである。
【００１９】
かかる容器Ｃとしては、通気部Ｃａ以外の箇所では、気密状態にシールされるものが予定される。典型的には、本体とこの本体の開口を塞ぐ蓋体とからなる容器Ｃにあっては、本体と蓋体との組み合わせ箇所である本体の開口においては両者は気密状態にシールされる。
【００２０】
通気部Ｃａは、典型的には、このように組み合わされる本体及び蓋体の双方又はいずれか一方に一カ所又は二カ所以上設けられる。かかる通気部Ｃａとしては、容器Ｃの内外を通気状態に連通させる通気穴Ｃａ’や管状通気路Ｃａ”などが予定される。かかる通気部Ｃａは、例えば、容器Ｃの運搬時などにおいて、容器外Ｃｃが低圧になったときは容器外Ｃｃに容器内Ｃｂのエアを容器内外の圧が等しくなるまで吐き出し、容器外Ｃｃが高圧になったときは容器内Ｃｂに容器外Ｃｃのエアを容器内外の圧が等しくなるまで吸い込むように機能するものであり、一般に呼吸弁と称されている。
【００２１】
かかるエアフィルタユニットＦは、こうした容器Ｃの通気部Ｃａに取り付けられて、かかる容器内Ｃｂを高度に清浄に保つようにするものである。
【００２２】
かかる容器Ｃとしては、典型的には、シリコンウエハーの運搬ケース、電子部品の運搬ケース、電子機器の運搬ケース、電子機器の筐体など、内外の通気を確保しつつ、内部のエアを高度に清浄に保つ必要のあるものが予定される。
【００２３】
運搬ケースの場合、典型的には、一回の運搬終了後はケース内部は洗浄などして清浄化され、エアフィルタユニットＦも取り替えられて、再度の運搬に用いられる。
【００２４】
かかるエアフィルタユニットＦは、ろ材１と、フィルタフレーム２とから構成されている。
【００２５】
ろ材１は、通気性を備えた合成樹脂製のシート体１０ａよりなる扁平袋体１０内にガス除去剤１１を封入してなる。
【００２６】
図示の例では、ろ材１を構成する扁平袋体１０は、二枚の円形のシート体１０ａ、１０ａをその全周縁部において他方のシート体１０ａに対し溶着を施して構成されている。ガス除去剤１１は典型的にはこの扁平袋体１０を生成する過程において二枚のシート体１０ａ、１０ａの間に充填される。
【００２７】
ガス除去剤１１としては、繊維状活性炭、ヤシ殻活性炭、珪酸多孔質物質、イオン交換樹脂活性アルミナなどを用いることができる。これらは、粉状あるいは粒状にして、あるいはまた、シート状に成形して用いられる。
【００２８】
これらの活性炭などを担持体として、酸性化合物（例えば、リン酸化合物、硫酸化合物など）を担持させれば、有機性ガスの他にアルカリ性ガスを効率的に捕捉除去することができる。
【００２９】
また、これらの活性炭などを担持体として、アルカリ化合物（例えば、炭酸カリウム、炭酸ソーダ、苛性カリウムなど）を担持させれば、有機性ガスの他に酸性ガスを効率的に捕捉除去することができる。
【００３０】
また、これらの活性炭などを担持体として、過マンガン酸塩を担持させれば、有機性ガスの他に硫黄化合物などを効率的に捕捉除去することができる。
【００３１】
また、上記酸性化合物を担持した活性炭などと、アルカリ化合物を担持させた活性炭などと、過マンガン酸塩を担持した活性炭などの、二種以上をブレンドしてガス除去剤１１とすれば、有機性ガス、アルカリ性ガス、酸性ガス、硫黄化合物の三種以上を効率的に捕捉除去することができる。
【００３２】
図示の例では、前記扁平袋体１０は、ポリテトラフルオロエチレンを主体とするシート体１０ａによって構成されている。
【００３３】
具体的には、図示の例にあっては、かかるシート体１０ａは、ＰＴＦＥを延伸させて得られた微細な孔を持ったシート１０ｂの両面に、ポリエチレン（ＰＥ）とポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）との複合素材よりなる不織布１０ｃを、積層させて構成されている。図示の例にあっては、二枚のかかるシート体１０ａを重ね合わせるようにした状態から、これにヒートシールを施して、前記扁平袋体１０を得るようにしている。ＰＴＦＥは比較的融点が高いが、二枚のシート体１０ａは前記不織布１０ｃによってこのヒートシールにより適切にとじ合わされる。
【００３４】
フィルタフレーム２は、前記通気部Ｃａにキャップ状をなすようにはめ付けられ、又は、栓状をなすようにはめ付けられるように構成されている。
【００３５】
すなわち、かかるフィルタフレーム２は、筒一端２１を開放させ、かつ、筒他端２２に通気穴２３ａを備えた座板２３を備えた筒状をなすように構成されている。
【００３６】
具体的には、図示の例にあっては、フィルタフレーム２の主体をなす筒状部２０は円筒状をなすように構成されている。座板２３はこの筒状部２０の外径より外径を大きくした円板状をなすように構成されており、座板２３の外周部は筒状部２０の筒他端２２側の外周面よりも外側に張り出している。これによりフィルタフレーム２は、その筒他端２２に外向きに張り出すフランジ２４を備えている。
【００３７】
かかる座板２３には通気穴２３ａが形成されている。そして、この通気穴Ｃａ’は、前記ろ材１によってフィルタフレーム２の内側から塞がれている。
【００３８】
図示の例では、エアフィルタユニットＦは、かかるフィルタフレーム２の筒一端２１側からこのフィルタフレーム２に圧入されるリング体３を有している。すなわち、かかるリング体３の外径はフィルタフレーム２の筒状部２０の内径と等しいかこれよりやや大きい。前記ろ材１はかかる筒状部２０の内径と略等しい外径を持つように構成されている。そして筒状部２０内に筒一端２１側から通気穴２３ａを塞ぐようにろ材１を入れ込ませた後、リング体３を筒一端２１側から筒状部２０内に、このリング体３によってろ材１の周縁部１２がフィルタフレーム２の座板２３の内面２３ｂに押し付けられる位置まで、弾性変形させながら押し入れ、フィルタフレーム２とろ材１とを一体化させている。
【００３９】
かかるエアフィルタユニットＦは、容器Ｃの通気部Ｃａにフィルタフレーム２の筒一端２１側からはめ付けることにより、ろ材１のガス除去剤１１によってこの通気部Ｃａを通るエアから除去対象ガスを除去する。また、ろ材１のシート体１０ａによってこの通気部Ｃａを通るエアから塵芥も除去できる。エアフィルタユニットＦは、フィルタフレーム２とろ材１を単純に組み合わせてなることから、低廉に供給でき、容器Ｃの再使用に際してのエアフィルタユニットＦの交換の要請にも良くかなうものである。
【００４０】
この実施の形態にあっては、ろ材１の扁平袋体１０を構成するシート体１０ａは、ＰＴＦＥを主体としており、このＰＴＦＥは自身よりガスや粉塵を生じさせることがなく、また、扁平袋体１０に封入されたガス除去剤１１から生じる粉塵などを外部に漏れ出させることもない。
【００４１】
また、この実施の形態にあっては、ろ材１を、フィルタフレーム２に圧入されるリング体３によってこのフィルタフレーム２の座板２３の通気穴２３ａを塞ぐようにフィルタフレーム２に組み合わせていることから、ろ材１とフィルタフレーム２とのアッセンブリーも容易であり、またこのアッセンブリーにあたって溶着などを用いた場合と異なりこのアッセンブリーがエアフィルタユニットＦ自体からのガスの発生の懸念要因となることもない。
【００４２】
フィルタフレーム２の筒状部２０は、エアフィルタユニットＦを容器Ｃの通気部Ｃａにキャップ状をなすようにはめ付けるときには、その内径を管状通気路Ｃａ”として構成されるこの通気部Ｃａの外径と等しいか、やや小さくするように構成される。これにより、気密状態でのかかるはめ付けをなすことが可能となる。（図３）
【００４３】
また、フィルタフレーム２の筒状部２０は、エアフィルタユニットＦを容器Ｃの通気部Ｃａに栓状をなすようにはめ付けるときには、その外径を管状通気路Ｃａ”または通気穴Ｃａ’として構成されるこの通気部Ｃａの穴径と等しいか、やや大きくするように構成される。これにより、気密状態でのかかるはめ付けをなすことが可能となる。（図６、図８）前記フランジ２４によって、この栓状をなすはめ付け状態は安定的に維持される。
【００４４】
フィルタフレーム２は、かかる気密状態でのかかるはめ付けをなす観点から、典型的には、合成樹脂によって構成される。また、前記リング体３も前記圧入を可能とする観点から、典型的には、合成樹脂によって構成される。かかる合成樹脂としては、アクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ＡＢＳ樹脂などを用いることができる。
【００４５】
フィルタフレーム２の通気穴Ｃａ’は、図２や図５に示される例のように円周方向に隣り合う通気穴Ｃａ’との間に間隔を開けて複数設けるようにしておくこともある。この場合、隣り合う通気穴Ｃａ’との間がろ材１の押さえ片部２５となる。
【００４６】
図７に示される例では、通気穴Ｃａ’の直径方向に架け渡し状にろ材１の押さえ片部２５が設けられている。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】ろ材１の要部破断斜視構成図
【図２】同平面構成図
【図３】同使用状態を示した断面構成図（図２におけるＡ−Ａ線位置）
【図４】エアフィルタユニットＦの分解斜視構成図
【図５】エアフィルタユニットＦの他の一例の平面構成図
【図６】同使用状態を示した断面構成図（図５におけるＢ−Ｂ線位置）
【図７】エアフィルタユニットＦのさらに他の一例の平面構成図
【図８】同使用状態を示した断面構成図（図７におけるＣ−Ｃ線位置）
【符号の説明】
【００４８】
Ｃ  容器
Ｃａ  通気部
Ｆ  エアフィルタユニット
１  ろ材
１０  扁平袋体
１１  ガス除去剤
２  フィルタフレーム
２１  筒一端
２２  筒他端
２３  座板
２３ａ  通気穴
【図１】
2007083162.tif 000003
【図２】
2007083162.tif 000004
【図３】
2007083162.tif 000005
【図４】
2007083162.tif 000006
【図５】
2007083162.tif 000007
【図６】
2007083162.tif 000008
【図７】
2007083162.tif 000009
【図８】
2007083162.tif 000010