(57)【要約】【課題】導電性がよく、近赤外線による撮影が可能となる透明導電膜を提供する。【解決手段】ガラス基板１０上に設けた金属酸化物または金属窒化物よりなる透明導電層１２と、透明導電層１２に接触して設けられ、透明導電層１２よりも比抵抗が低い金属よりなり、互いに電気的に接続されていて、かつ、所定の間隙を有するように複数配列された金属薄膜１１と、を有することを特徴とする透明導電膜。【選択図】図１
2007042330.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な第１の導電層と、
前記第１の導電層に接触して設けられ、前記第１の導電層よりも比抵抗が低い物質よりなり、互いに電気的に接続されていて、かつ、所定の間隙を有するように複数配列された第２の導電層と、
を有することを特徴とする透明導電膜。
【請求項２】
前記間隙は、前記複数配列された前記第２の導電層を通して波長８００〜１０００ｎｍの光によって物体の全体像を認識できる程度に設けられていることを特徴とする請求項１記載の透明導電膜。
【請求項３】
前記第１の導電層は、前記第２の導電層に対して比抵抗が１００倍以上であることを特徴とする請求項１記載の透明導電膜。
【請求項４】
前記第２の導電層は、前記第１の導電層上に前記間隔をあけてストライプ状に配列されていることを特徴とする請求項１または２記載の透明導電膜。
【請求項５】
前記第２の導電層は、前記第１の導電層上に前記間隔をあけて格子状に配列されていることを特徴とする請求項１または２記載の透明導電膜。
【請求項６】
前記第１の導電層は金属酸化物または金属窒化物であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の透明導電膜。
【請求項７】
前記第２の導電層は金属であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の透明導電膜。
【請求項８】
前記金属の厚さは５〜１００ｎｍ、前記複数配列されているなかの一つの前記金属の幅は１μｍ〜１０ｍｍであることを特徴とする請求項７記載の透明導電膜。
【請求項９】
前記金属は、前記第１の導電層と接しない部分が保護層に覆われていることを特徴とする請求項７または８記載の透明導電膜。
【請求項１０】
前記保護層は、前記第１の導電層と同一の素材であることを特徴とする請求項９記載の透明導電膜。
【請求項１１】
前記第２の導電層は、透明基材と接するように配置され、当該透明基材が前記保護層となることを特徴とする請求項９に記載の透明導電膜。
【請求項１２】
前記保護層の上に、前記保護層と接触するように透明基材が設けられていることを特徴とする請求項９または１０記載の透明導電膜。
【請求項１３】
前記透明基材は、エレクトロクロミック材料を有するガラスであることを特徴とする請求項１１または１２記載の透明導電膜。
【請求項１４】
前記透明基材は、ガラスであることを特徴とする請求項１１または１２記載の透明導電膜。
【請求項１５】
エレクトロクロミック材料を有するガラスの少なくとも片面に、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の透明導電膜を設けたことを特徴とする調光ガラス。
【請求項１６】
ガラスの少なくとも片面に、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の透明導電膜を設けたことを特徴とする発熱ガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明導電膜、これを用いた調光ガラスおよび発熱ガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
透明導電膜は、たとえば、調光ガラス、発熱ガラスなどの機能ガラスにおいて、これら機能ガラスの機能を出すために必要な電圧の印加または電流を流すために用いられている。
【０００３】
透明導電膜としては、これまでインジウムすず酸化物（以下、ＩＴＯという）に代表される金属酸化物が用いられている。このような金属酸化物は、透明性が金属と比較してよいものの抵抗は高い。このため、機能ガラスにおいてはその機能を十分に引き出すために必要な電圧の印加が難しいといった問題があった。
【０００４】
そこで従来は、金属酸化物をガラス全面に貼付けるとともに、さらにその金属酸化物の全面に薄い金属膜を貼り合わせて、全体としての電気抵抗を下げつつ、金属膜を薄くすることで透明性能も確保した技術がある（特許文献１）。
【特許文献１】特開昭６３−１１０５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、金属膜は、膜厚を薄くすることで可視光はある程度通すようになるものの、膜厚を薄くしても赤外線域の波長を透過しないという特性を持つ。このため、様々な用途に用いられる機能ガラスには、このような金属膜を全面に貼付けた透明導電膜を利用できない場合がある。たとえば、調光ガラス、発熱ガラスなどの使用例としては自動車窓用のガラスがあるが、自動車窓用のガラスに金属膜を全面に貼付けた透明導電膜を使用していると赤外線を透過しなくなるため、自動車速度取り締まり装置など近赤外線を利用した撮影装置によって車両内部の撮影ができなくなってしまう。このため、このような赤外線を透過しない透明導電膜は使用することができない。
【０００６】
そこで本発明の目的は、金属膜を用いた場合でも、赤外線をある程度透過させることが可能な透明導電膜を提供することである。また、本発明の他の目的は、金属膜を用いた場合でも、赤外線をある程度透過させることが可能な調光ガラス、および発熱ガラスを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、透明な第１の導電層と、前記第１の導電層に接触して設けられ、前記第１の導電層よりも比抵抗が低い物質よりなり、互いに電気的に接続されていて、かつ、所定の間隙を有するように複数配列された第２の導電層と、を有することを特徴とする透明導電膜である。
【０００８】
また上記他の課題を解決するための本発明は、エレクトロクロミック材料を有するガラスの少なくとも片面に、上記透明導電膜を設けたことを特徴とする調光ガラスである。また本発明は、ガラスの少なくとも片面に、上記透明導電膜を設けたことを特徴とする発熱ガラスである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の透明導電膜によれば、第１の導電層に接触して、第１の導電層よりも比抵抗が低い物質よりなり、互いに電気的に接続されていて、かつ、所定の間隙を有するように第２の導電層を複数配列したことで、第１導電層上により比抵抗が低い第２導電層を設けたことで、透明導電膜の全面にいち速く電流を行き届かせることができるとともに、間隔をあけて第２の導電層を設けているので、全体としての見通しを妨げることが少ない。したがって、この透明導電膜をエレクトロクロミック材料を有するガラスの少なくとも片面に設けることで、従来よりも調光速度の速い調光ガラスを提供することができる。また、ガラスの少なくとも片面にこの透明導電膜を設けることで、従来よりも発熱温度の高い発熱ガラスを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００１１】
（実施形態１）
実施形態１は、本発明を適用した調光ガラスである。図１は、本発明を適用した調光ガラスの一例を示す断面図であり、図２は、この調光ガラスの平面図である。
【００１２】
この調光ガラス１は、透明基材である第１ガラス基板１０上に、所定間隔をあけてストライプ状に第１金属薄膜１１が形成され、この第１金属薄膜１１を覆うように導電性金属酸化物膜または導電性金属窒化物膜（以下導電性金属酸化物膜および導電性金属窒化物膜を総称して導電性金属酸窒化物膜と称する）１２が形成されている。第１導電性金属酸窒化物膜１２上には調光素子膜１３が形成され、その上から第２導電性金属酸窒化物膜１４が形成されている。そして第２導電性金属酸窒化物膜１４上には、さらにストライプ状の第２金属薄膜１５が形成され、この第２金属薄膜１５を覆うように第２導電性金属酸窒化物膜１４がされに形成されている。第２導電性金属酸窒化物膜１４上には中間膜１６を介して第２ガラス基板１７が形成されている。
【００１３】
この調光ガラス１においては、第１ガラス基板１０上の第１金属薄膜１１と第１導電性金属酸窒化物膜１２、および調光素子膜１３上の第２金属薄膜１５と第２導電性金属酸窒化物膜１４が本発明による透明導電膜となる。
【００１４】
第１金属薄膜１１および第２金属薄膜１５は、第２の導電層となるものである。第１金属薄膜１１および第２金属薄膜１５は、図２に示すように、ストライプ状に形成されているが、全てのストライプがその周辺部において、周辺部配線１５ａにより互いに電気的に接続されている。なお、なお図２においては、第２金属薄膜１５の周辺部配線１５ａのみ示されているが、第１金属薄膜１１についても同様に周辺部配線により接続されている。
【００１５】
このように金属薄膜をストライプ状に間隔をあけて形成することで、調光ガラス全面の電気抵抗を下げて、調光ガラス１としての機能の向上を図るとともに、可視光はもとより近赤外線（波長８００〜１０００ｎｍ）による撮影の場合も、この調光ガラス１を通して向こう側を全体的に見通して物体の全体像を認識（または撮影）することが可能となる。
【００１６】
第１金属薄膜１１は第１ガラス基板１０に直接接触するように形成されるとともに、表面を第１導電性金属酸窒化物膜１２によって覆われている。したがって、第１金属薄膜１１は第１ガラス基板１０と接する面は第１ガラス基板１０が保護層となって覆い、他の面は第１導電性金属酸窒化物膜１２が保護層となって覆われることになる。
【００１７】
一方、第２金属薄膜１５は、調光素子膜１３に全体が接している第２導電性金属酸窒化物膜１４の上に形成され、さらに第２導電性金属酸窒化物１４によって覆われている。したがって、第２金属薄膜１５は第２導電性金属酸窒化物１４が保護層となって覆っていることになる。
【００１８】
このような構造によって、第１金属薄膜１１も第２金属薄膜１５も、直接空気や水分と接触することがなくなり、第１金属薄膜１１および第２金属薄膜１５の腐食を防止している。
【００１９】
なお、周辺部配線１５ａは、ここではストライプ状の金属薄膜と同一材により同時に形成しているが、視界を妨げないようにすればガラス基板上に金属薄膜とは別に配線してもよいし、またガラス基板から外れた位置に配線してもよい。第１金属薄膜１１に接続される周辺部配線も同様である。
【００２０】
以下では、第１金属薄膜１１も第２金属薄膜１５も同様の機能を有するため単に金属薄膜と称して説明する。また同様に、第１導電性金属酸窒化物膜および第２導電性金属酸窒化物膜１４も同じ機能を持つものであるため単に導電性金属酸窒化物膜として説明する。
【００２１】
金属薄膜の厚さは、好ましくは金属薄膜自体が可視光を透過する厚さである。このような厚さとしては、金属種にもよるが、アルミや銅などでは、５〜１００ｎｍ程度である。５ｎｍ未満であると、金属薄膜といえどもあまりにも薄いため導電性が低くなり好ましくない。一方、１００ｎｍを越えた場合可視光の透過性能が悪く好ましくない。
【００２２】
ストライプ状にした金属薄膜の一本の幅（図２中Ａ）は、１μｍ〜１０ｍｍ程度が好ましい。１μｍ未満の場合、上記金属薄膜の厚さを１０ｎｍとした場合において幅が１μｍ未満では導電性が低くなるため好ましくない。一方、１０ｍｍを越えると、後述するように自動車のフロントガラスとして用いた場合に赤外線による全体の見通しが悪くなるので好ましくないのである。
【００２３】
一方、ストライプの空間部分の間隔（図２中Ｃで示した金属薄膜が存在しない部分）は、この調光ガラス１の大きさに合わせていかような間隔でも可能であるが、たとえば、０．５μｍ〜１．５ｍ程度が好ましい。これは０．５μｍ未満であると、間隔が少なすぎて、金赤外線による見通しがまったく利かなくなるおそれがあるので好ましくなく、１．５ｍを超えると、間隔があきすぎて、透明導電膜としての抵抗低減効果が期待できなくなるためである。この間隔は、より好ましくは０．５μｍ〜１ｍｍ程度である。この間隔でしかも均等に間隔をあけることで、十分な抵抗低減効果があるとともに、近赤外線による全体の見通しも十分に確保することができる。
【００２４】
金属薄膜として利用できる金属は、導電性金属酸窒化物膜などより比抵抗の小さいものであればよく、たとえば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｗ、Ｆｅ、Ｎｉ、またはこれらいずれかの合金などを用いることができる。なかでもＡｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｒ、およびステンレスは、薄膜化やストライプ形状の製作などが容易である。
【００２５】
このような金属薄膜の形成は、たとえば、金属ペーストを薄く塗布して焼結させる方法、金属薄膜の元となる金属をターゲットとして用いたスパッタ法などがある。特にスパッタ法は金属薄膜を非常に薄く形成できるので好ましい。
【００２６】
一方、第１および第２導電性金属酸窒化物膜１２および１４は、第１導電層であり、導電性金属酸化物膜または導電性金属窒化物膜である。この第１および第２導電性金属酸窒化物膜１２および１４に用いられる導電性金属酸化物膜としては、たとえば、ＩＴＯ（ＩｎＺｎＯ）、ＳｎＯ、ＺｎＯ、ＣｄＯ、ＴｉＯ２、ＣｄＩｎ２Ｏ４、Ｃｄ２ＳｎＯ２、Ｚｎ２ＳｎＯ４、ＭｇＩｎＯ４、ＣａＧａＯ４などである。また、導電性金属窒化物膜としては、たとえば、ＴｉＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮなどが用いられる。
【００２７】
金属薄膜に用いる金属の比抵抗は、代表的なものを挙げると、たとえば銀（Ａｇ）の比抵抗値は、１．６×１０−６Ωｃｍ（常温中、以下いずれも同じ）、アルミニウム（Ａｌ）の比抵抗値は２．６９×１０−６Ωｃｍ、銅（Ｃｕ）の比抵抗値は１．６７３×１０−６Ωｃｍなどである。一方、導電性金属酸窒化物膜の代表的な部材であるＩＴＯ膜の比抵抗は、組成の違いにより若干異なるものの２×１０−４Ωｃｍ前後である。したがって、ＩＴＯ膜と金属薄膜との比抵抗の差は約１００倍以上あることになる。
【００２８】
用いる導電性金属酸窒化物膜の厚さは、利用目的にあった可視光の透過性を有するようにすればよいが、上記した金属薄膜の耐防食性を確保するためには、少なくとも金属薄膜より厚くなるようにすることが好ましい。
【００２９】
調光素子膜１３は、エレクトロクロミック材料を用いたもので、電圧に反応して透明になったり、着色したりする。具体的には、たとえば酸化タングステンを含ませたガラス材である。この調光素子膜１３に対して上下の導電層、すなわち、第１金属薄膜１１を含む第１導電性金属酸窒化物膜１２と第２金属薄膜１５を含む第２導電性金属酸窒化物膜１４により電圧を印加することで、調光素子膜１３を自在に変色させることができる。
【００３０】
中間膜１６は、この調光ガラス全体の強度を増すために設けられている。中間膜１６の素材としては、自動車用合わせガラスとして用いられている透明樹脂膜が使用可能である。
【００３１】
以上説明した本実施形態１は、ガラス基板上にストライプ状に金属薄膜を形成することで、導電性金属酸窒化物膜全面にいち速く電流を行き届かせることができるとともに、光透過性を低下させることがない。しかも、金属薄膜をストライプ状にしたことで近赤外線による写真撮影においてもこの調光ガラス１を通り向こう側を見通して撮影可能となるので、車両のフロントガラスとして用いることも可能となる。
【００３２】
なお、本実施形態では、第１金属薄膜１１をストライプ状に形成することとしたが、近赤外線を通して向こう側を見通して撮影することができればよいため、このようなストライプパターンに限定されるものではない。
【００３３】
以下その他の金属薄膜形成パターン例を説明する。以下の説明では第１および第２金属薄膜１１，１５の形成パターン以外は上述した実施形態と同じである。
【００３４】
図３は、第１および第２金属薄膜１１および１５を斜め方向に形成した例を示す平面図である。図においては、第２金属薄膜１５が見えている状態の平面図であるが第１金属膜のパターンも同じである（以下同様）。この例は、図２に示した場合と同じように、ストライプではあるが、その方向をガラス基板の切り出し辺１９に対して斜め方向に金属薄膜を形成したものである。
【００３５】
図４は、第１および第２金属薄膜１１，１５を格子状に形成したものである。この場合、ストライプ状よりも速く全体に電圧をかけることができる。
【００３６】
図５は、第１および第２金属薄膜１１，１５を斜めに、かつ、格子状に形成したものである。この場合も、ストライプ状よりも速く全体に電圧をかけることができる。
【００３７】
このように金属薄膜は様々な方向に形成可能である。また、図２〜５では第１および第２金属薄膜１１，１５をともに同じパターンとして形成した形態を説明したが、互いに異なるパターンとしてもよい。
【００３８】
また、透明基材としては、第１ガラス基板１０、第２ガラス基板１７のようにガラスを用いているが、これに代えて、たとえば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレ−ト（ＰＥＮ）、アクリルなどの透明樹脂材料を用いることもできる。
【００３９】
（実施形態２）
実施形態２は、本発明を適用した発熱ガラスである。図６は、本発明を適用した発熱ガラスの一例を示す断面図であり、図７は、この発熱ガラスの平面図である。
【００４０】
この発熱ガラス２は、透明基材である第１ガラス基板２０上に、所定間隔をあけてストライプ状に金属薄膜２１が形成され、この金属薄膜２１を覆うように導電性金属酸化物膜または導電性金属窒化物膜（以下導電性金属酸窒化物膜２２と称する）が形成されている。導電性金属酸窒化物膜２２上には、中間膜２６を介してさらに第２ガラス基板２７が形成されている。
【００４１】
この発熱ガラス２においては、第１ガラス基板２０上の金属薄膜２１と導電性金属酸窒化物膜２２が本発明による透明導電膜となる。
【００４２】
金属薄膜２１は、実施形態１と同様であり、図７に示すように、第１ガラス基板２０上にストライプ状に形成されているが、全てのストライプがその周辺部において、周辺部配線２１ａによりが互いに電気的に接続されている。
【００４３】
このように金属薄膜２１をストライプ状に間隔をあけて形成することで、発熱ガラス全面の電気抵抗を下げて、発熱ガラス２としての機能の向上を図るとともに、可視光はもとより近赤外線による撮影の場合も、この発熱ガラス２を通して向こう側を全体的に見通して物体の全体像を認識（または撮影）することが可能となる。これは実施形態１と同様であるが以下詳細に説明する。
【００４４】
金属薄膜２１は第１ガラス基板２０に直接接触するように形成されるとともに、表面を導電性金属酸窒化物膜２２によって覆われている。したがって、金属薄膜２１は第１ガラス基板２０と接する面は第１ガラス基板２０が保護層となって覆い、他の面は導電性金属酸窒化物膜によって覆われることになる。この用な構造によって、金属薄膜２１は直接空気や水分と接触することがなくなり、金属薄膜２１の腐食を防止している。なお、周辺部配線２１ａは、ここではストライプ状の金属薄膜２１と同一材により同時に形成しているが、視界を妨げないようにすれば、別途、ガラス基板上またはガラス基板から外れた位置に配線してもよい。
【００４５】
金属薄膜２１の厚さは、好ましくは金属薄膜２１自体が可視光を透過する厚さである。このような厚さとしては、金属種にもよるが、アルミや銅などでは、１０ｎｍ〜１００μｍ程度である。１０ｎｍ未満であると、金属薄膜２１といえどもあまりにも薄いため導電性が低くなり好ましくない。一方、１００μｍを越えた場合可視光の透過性能が悪く好ましくない。
【００４６】
ストライプ状にした金属薄膜２１の一本の幅（図７中Ａ）は、１μｍ〜１０ｍｍ程度が好ましい。１μｍ未満の場合、上記金属薄膜２１の厚さを１０ｎｍとした場合において幅が１μｍ未満では導電性が低くなるため好ましくない。一方、１０ｍｍを越えると、後述するように自動車のフロントガラスとして用いた場合に赤外線による全体の見通しが悪くなるので好ましくないのである。
【００４７】
一方、ストライプの空間部分の間隔（図７中間隔Ｃで示した金属薄膜２１が存在しない部分）は、この発熱ガラス２の大きさに合わせていかような間隔でも可能であるが、たとえば、０．５μｍ〜１．５ｍ程度が好ましい。これは０．５μｍ未満であると、間隔が少なすぎて、金赤外線による見通しがまったく利かなくなるおそれがあるので好ましくなく、１．５ｍを超えると、間隔があきすぎて、透明導電膜としての抵抗低減効果が期待できなくなるためである。この間隔は、より好ましくは０．５μｍ〜１ｍｍ程度である。この間隔でしかも均等に間隔をあけることで、十分な抵抗低減効果があるとともに、近赤外線による全体の見通しも十分に確保することができる。
【００４８】
金属薄膜２１として利用できる金属は、導電性金属酸窒化物膜などより比抵抗の小さいものであればよく、たとえば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｗ、Ｆｅ、Ｎｉ、またはこれらいずれかを含む合金などを用いることができる。なかでもＡｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｃｒ、およびステンレスは、薄膜化やストライプ形状の製作などが容易である。
【００４９】
一方、導電性金属酸窒化物膜は、導電性金属酸化物膜または導電性金属窒化物膜であり、導電性金属酸化物膜としては、たとえば、ＩＴＯ（ＩｎＺｎＯ）、ＳｎＯ、ＺｎＯ、ＣｄＯ、ＴｉＯ２、ＣｄＩｎ２Ｏ４、Ｃｄ２ＳｎＯ２、Ｚｎ２ＳｎＯ４、ＭｇＩｎＯ４、ＣａＧａＯ４などが用いられる。また、導電性金属窒化物膜としては、たとえば、ＴｉＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮ、などが用いられる。
【００５０】
金属薄膜２１に用いる金属の比抵抗は、代表的なものを挙げると、たとえば銀（Ａｇ）の比抵抗値は、１．６×１０−６Ωｃｍ（常温中、以下いずれも同じ）、アルミニウム（Ａｌ）の比抵抗値は２．６９×１０−６Ωｃｍ、銅（Ｃｕ）の比抵抗値は１．６７３×１０−６Ωｃｍなどである。
【００５１】
一方、導電性金属酸窒化物膜の代表的な部材であるＩＴＯ膜の比抵抗値は、組成の違いにより若干異なるものの２×１０−４Ωｃｍ前後である。したがって、ＩＴＯ膜と金属薄膜２１との比抵抗の差は約１００倍以上あることになる。
【００５２】
このような金属薄膜の形成は、たとえば、金属ペーストを薄く塗布して焼結させる方法、金属薄膜の元となる金属をターゲットとして用いたスパッタ法などがある。特にスパッタ法は金属薄膜を非常に薄く形成できるので好ましい。
【００５３】
用いる導電性金属酸窒化物膜の厚さは、利用目的にあった可視光の透過性を有するようにすればよいが、上記した金属薄膜の耐防食性を確保するためには、少なくとも金属薄膜より厚くなるようにすることが好ましい。
【００５４】
中間膜２６は、この発熱ガラス全体の強度を増すために設けられている。中間膜２６の素材としては、自動車用合わせガラスとして用いられている透明樹脂膜が使用可能である。
【００５５】
以上説明した本実施形態２は、第１ガラス基板２０上にストライプ状に金属薄膜２１を形成することで、導電性金属酸窒化物膜全面にいち速く電流を行き届かせることができるとともに、光透過性を低下させることがない。しかも、金属薄膜２１をストライプ状にしたことで近赤外線による写真撮影においてもこの発熱ガラス２を通り向こう側を見通して撮影可能となるので、車両のフロントガラスとして用いることも可能となる。
【００５６】
なお、本実施形態２では、金属薄膜２１をストライプ状に形成することとしたが、近赤外線を通して向こう側を見通して撮影することができればよいため、このようなストライプパターンに限定されるものではない。ストライプ状以外の金属薄膜パターン例としては、既に説明した図３〜５と同様に、斜め方向ストライプ、格子状、斜め格子状などである。また、透明基材としては、第１ガラス基板２０、第２ガラス基板２７のようにガラスを用いているが、これに代えて、たとえば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレ−ト（ＰＥＮ）、アクリルなどの透明樹脂材料を用いることもできる。
【００５７】
（実施例）
次に、具体的に制作した調光ガラス１および発熱ガラス２による実施例を説明する。
【００５８】
実施例として製作した調光ガラスは前述した実施形態１と同じであり、同様に発熱ガラスは実施形態２と同じである。
【００５９】
具体的な製造方法は、それぞれの実施形態を同様構成となるように、ガラス基板上に金属薄膜として銀ペーストを薄く塗り焼結させた後、ＩＴＯ膜をスパッタ法により形成した。なお、ＩＴＯ膜の厚さはいずれも２００μｍとした。
【００６０】
表１および表２は、上記製造方法によって金属薄膜の幅、厚さ、および間隔の異なる実施例と比較例を示す。
【００６１】
シート抵抗の測定方法は、図８に示すように、ガラス基板１０上に金属薄膜１１として銀ペーストを薄く塗り焼結させた後、ＩＴＯ膜１２を形成したテストピースを用いて、ＩＴＯ膜１２上から、金属薄膜１１が存在する部分にテスターを当てて測定した。測定器は株式会社ダイアインスツルメンツ製ロレスタＧＰを用いた。
【００６２】
光透過性の測定位置は、金属薄膜１１，１５として銀ペーストを焼結し、第１導電性金属酸窒化物１２および第２導電性金属酸窒化物１４としてＩＴＯ膜を用いて実施形態１と同様構造の調光ガラスを形成し、任意の５点を計測して、その平均値を求めた（ただし任意の５点は金属膜の面積比などを考慮し、金属薄膜のある部分とない部分がほぼ均等に計測されるように考慮している）。
【００６３】
測定器は、日立制作所製分光光度計Ｕ−４０００を用いた。可視光の透過率は、波長３８０〜７８０ｎｍの光を上記測定位置により計測した。近赤外線の透過率は、波長８５０ｎｍの光を当てて、上記測定位置により計測した。
【００６４】
調光時間は、可視光透過率を１０％以上変更可能な調光ガラス１を制作し、１．５Ｖの電圧を印加し、光透過率が１０％変化するまでの時間である。なお、表に示した値は、比較例２を基準Ａとした相対値である。
【００６５】
上昇温度は、金属薄膜２１として銀ペーストを焼結し、導電性金属酸窒化物膜２２としてＩＴＯ膜を用いて実施形態２と同様構成の発熱ガラスを製作し、金属薄膜２１が存在する部分の第２ガラス基板２７表面上に熱電対式の温度計を貼付けて温度を計測し、開始温度から飽和温度（温度がそれ以上上昇しなくなった温度）に達した時の温度幅（温度幅＝飽和温度―初期温度）である。なお、表に示した値は、比較例２を基準Ｂとした相対値である。
【００６６】
なお、この表１および２に示す実施例および比較例は、それぞれ表中に示すとおり、上記の方法により実際に実験を行って計測した実施例と、銀およびＩＴＯ膜の比抵抗値から算出した理論値による実施例を含むものである。この理論値の計算には、実験に用いた銀ペースト焼結後の比抵抗４×１０−６Ωｃｍ、ＩＴＯの比抵抗２×１０−４Ωｃｍを用いて算出した。
【００６７】
【表１】
2007042330.tif 000003
【００６８】
【表２】
2007042330.tif 000004
【００６９】
各表からわかるように、実施例においては、金属薄膜のない比較例２よりも可視光透過率が劣るもののシート抵抗は少なくなっている。そして各実施例は金属箔舞うを全面に形成した比較例１よりも近赤外線透過率は向上している。また、各実施例は調光時間、上昇温度幅のいずれも比較例２よりも向上している。ただし、実施例５は金属薄膜の厚さが薄いため他の実施例と比べてシート抵抗があまり下がっていない。実施例６は金属薄膜の厚さが厚いため他の実施例と比べて近赤外線の透過率が低い。実施例７は金属薄膜の幅が細いため他の実施例と比べてシート抵抗があまり下がっていない。実施例８は金属薄膜の幅が太いため他の実施例と比べて近赤外線の透過率が低い。実施例９は金属薄膜の間隔が狭いため他の実施例と比べて近赤外線の透過率が低い。実施例１０は金属薄膜の幅が細いため他の実施例と比べてシート抵抗があまり下がっていない。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明は、機能性ガラスなどに用いる透明導電膜として使用することができ、特に、自動車窓用の調光ガラス、発熱ガラスなどとして好適である。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明を適用した調光ガラスの一例を示す断面図である。
【図２】上記調光ガラスの平面図である。
【図３】金属薄膜形成パターンの他の例を示す平面図である。
【図４】金属薄膜形成パターンの他の例を示す平面図である。
【図５】金属薄膜形成パターンの他の例を示す平面図である。
【図６】本発明を適用した発熱ガラスの一例を示す断面図である。
【図７】上記発熱ガラスの平面図である。
【図８】シート抵抗測定のためのテストピースの断面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１…調光ガラス、
２…発熱ガラス、
１０、２０…第１ガラス基板、
１１…第１金属薄膜（または金属薄膜）、
１２…第１導電性金属酸窒化物膜（またはＩＴＯ膜）、
１３…調光素子膜、
１４…第２導電性金属酸窒化物膜、
１５…第２金属薄膜、
１６、２６…中間膜、
１７、２７…第２ガラス基板、
１５a、２１ａ…周辺部配線、
２１…金属薄膜、
２２…導電性金属酸窒化物膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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