(57)【要約】【課題】振動センサの小型化を可能とする振動検知方法を提供すること。【解決手段】１ポートＳＡＷ共振子３０を備えたバッテリレス振動センサ１００を対象物に取付け、質問器２００からバッテリレス振動センサ１００に対して連続搬送波を送出する一方で、質問器２００においてバッテリレス振動センサ１００からの反射波を監視する。対象物において振動現象が生じると、それに伴ってバッテリレス振動センサ１００に機械振動が与えられ、その結果、反射波に変化が生じるので、それに基づいて振動現象を検知する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シングルポート表面弾性波共振子を備えたバッテリレス振動センサを対象物に取付け、
当該バッテリレス振動センサに対して連続搬送波を送出する一方で、前記バッテリレス振動センサの前記シングルポート表面弾性波共振子からの反射波を監視し、前記対象物の振動現象に伴って前記バッテリレス振動センサに与えられる機械振動に応じて前記反射波に生じる変化に基づいて当該振動現象を検知する方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法であって、前記反射波に、前記連続搬送波以外の振幅、周波数又は位相の少なくともいずれか一つが含まれるか否かをチェックすることにより前記振動現象を検知する、方法。
【請求項３】
シングルポート表面弾性波共振子を備えたバッテリレス振動センサであって、対象物に取付けられるバッテリレス振動センサと、
当該バッテリレス振動センサに対して連続搬送波を送出する一方で、前記バッテリレス振動センサの前記シングルポート表面弾性波共振子からの反射波を監視し、前記対象物の振動現象に伴って前記バッテリレス振動センサに与えられる機械振動に応じて前記反射波に生じる変化に基づいて当該振動現象を検知する質問器と
を備える振動検知システム。
【請求項４】
請求項３記載の振動検知システムにおいて、前記質問器は、前記反射波に、前記連続搬送波以外の振幅、周波数又は位相の少なくともいずれか一つが含まれるか否かをチェックすることにより前記振動現象を検知する、振動検知システム。
【請求項５】
請求項３記載の振動検知システムに使用可能なバッテリレス振動センサであって、
アンテナ部と
該アンテナ部に電気的に接続されたシングルポート表面弾性波共振子と
を備えたバッテリレス振動センサ。
【請求項６】
請求項５に記載のバッテリレス振動センサであって、
前記シングルポート表面弾性波共振子は、圧電体基板と該圧電体基板上に形成された櫛歯電極を備えている、バッテリレス振動センサにおいて、
前記圧電体基板を支持する支持基板を更に備えたバッテリレス振動センサ。
【請求項７】
請求項６記載のバッテリレス振動センサにおいて、
前記シングルポート表面弾性波共振子は、前記アンテナを介して受信した前記連続搬送波を前記櫛歯電極間及び前記櫛歯電極近傍に閉じ込めるための受信波閉じ込め手段を更に備える、バッテリレス振動センサ。
【請求項８】
請求項７記載のバッテリレス振動センサにおいて、
前記櫛歯電極は、第１方向に長手を有する複数の歯部を備えており、
前記受信波閉じ込め手段は、前記第１方向に直交する第２方向における前記櫛歯電極の２つの端部の少なくとも一方に近接するようにして、前記圧電体基板上に形成された反射器を備えている、バッテリレス振動センサ。
【請求項９】
請求項８記載のバッテリレス振動センサにおいて、
前記複数の歯部は、前記第２方向において規則的に並んでおり、
前記反射器と前記櫛歯電極の前記端部との距離は、隣接する２つの前記歯部間の距離の整数倍の距離と等しい、バッテリレス振動センサ。
【請求項１０】
請求項６乃至請求項９のいずれかに記載のバッテリレス振動センサにおいて
前記圧電体基板は、前記機械振動における特徴的な周波数帯域に共振周波数が属するようにして選択された振動子形状を有する、バッテリレス振動センサ。
【請求項１１】
請求項６乃至請求項１０のいずれかに記載のバッテリレス振動センサにおいて、
前記支持基板は、凹部を形成された平板上の主部を有しており、
前記圧電体基板は、前記櫛歯電極を前記凹部上に位置させるようにして、前記支持基板に支持されている、バッテリレス振動センサ。
【請求項１２】
請求項１１記載のバッテリレス振動センサにおいて、
前記圧電体基板は、前記櫛歯電極を前記凹部に対向させるようにして、前記支持基板に支持されている、バッテリレス振動センサ。
【請求項１３】
請求項６乃至請求項１２のいずれかに記載のバッテリレス振動センサにおいて、
前記圧電体基板は、片持ち梁状に前記支持基板に支持されている、
バッテリレス振動センサ
【請求項１４】
請求項６乃至請求項１３のいずれかに記載のバッテリレス振動センサであって、
蓋部材を更に備えており、
前記支持基板は、前記蓋部材と共にキャビティを規定しており、
前記シングルポート表面弾性波共振子の前記圧電体基板は、当該キャビティ内で振動可能となるように、前記支持基板に支持されている、
バッテリレス振動センサ。
【請求項１５】
請求項１４記載のバッテリレス振動センサであって、
前記支持基板と前記蓋部材の間は封止されている、バッテリレス振動センサ。
【請求項１６】
請求項５乃至請求項１５のいずれかに記載のバッテリレス振動センサであって、
タグ基体を更に備えており、
前記アンテナ部は、該タグ基体上又は該タグ基体内に形成されており、
前記シングルポート表面弾性波共振子は、該タグ基体上に搭載され又は該タグ基体内に組み込まれ、それによって、タグ化されたバッテリレス振動センサ。
【請求項１７】
請求項１６記載のバッテリレス振動センサであって、
前記タグ基体は、合成樹脂、紙、金属、セラミック、木材又はコンクリートからなり、
前記アンテナ部は、該タグ基体上又は該タグ基体内部に形成された導電性薄膜からなる、
バッテリレス振動センサ。
【請求項１８】
請求項３記載の振動検知システムに使用可能な質問器であって、
前記バッテリレス振動センサに向けて連続搬送波を送出する一方で前記バッテリレス振動センサからの反射波を受信する送受信部と、
該送受信部に接続され、前記反射波を監視して当該反射波に生じる変化に基づいて前記振動現象が生じたか否かを判定する判定処理部
を備えた質問器。
【請求項１９】
請求項１８記載の質問器であって、
前記判定処理部は、前記反射波に、前記連続搬送波以外の振幅、周波数又は位相の少なくともいずれか一つが含まれるか否かを監視し、その結果に基づいて、前記振動現象が生じたか否かを判定する、質問器。
【請求項２０】
請求項１８又は請求項１９記載の質問器であって、
前記判定処理部は、前記連続搬送波以外の所定の振幅、周波数又は位相の少なくともいずれか一つが前記反射波に含まれる状態である要監視状態を検出したか否かを判断し、該要監視状態を検出した場合には、該要監視状態が所定期間継続するか否かを調べ、該要監視状態が前記所定期間継続した場合に、前記振動現象が生じたと判定する、質問器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の振動現象を検出する振動検知方法並びに振動センサ及び質問器を備えた振動検知システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動センサは、建造物の耐震診断や防犯セキュリティ用のガラス破壊検知装置、或いは設備や工作機械の異常振動検知に利用されている。
【０００３】
その一例として、ガラス等の破壊現象において生じる振動のように瞬時的ではあるが周期的な変化を検知するシステムがある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１のシステムでは、圧電材料を利用した振動センサを用いて、ガラス等の破壊現象において生じる振動を電気信号に変換することにより、破壊現象の有無を検知している。
【０００４】
【特許文献１】特開平２０００−４８２６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の振動センサは、形状が大きすぎるという難点がある。
【０００６】
そこで、本発明は、振動センサの小型化を可能とする振動検知方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、ＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）技術を応用し、質問器から出力する送信波の電磁エネルギを利用して振動センサを機能させることにより、振動センサをバッテリレスとし、それによって、振動センサの小型化を達成することとする。
【０００８】
具体的には、本発明は、シングルポート表面弾性波共振子を備えたバッテリレス振動センサを対象物に取付け、
当該バッテリレス振動センサに対して連続搬送波を送出する一方で、前記バッテリレス振動センサの前記シングルポート表面弾性波共振子からの反射波を監視し、前記対象物の振動現象に伴って前記バッテリレス振動センサに与えられる機械振動に応じて前記反射波に生じる変化に基づいて当該振動現象を検知する方法を提供する。
【０００９】
上記方法において、“前記反射波に生じる変化に基づいて当該振動現象を検知する”こととしては、例えば、前記反射波に、前記連続搬送波以外の振幅、周波数又は位相の少なくともいずれか一つが含まれるか否かをチェックすることにより前記振動現象を検知すること、などが挙げられる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、シングルポートの表面弾性波（ＳＡＷ）共振子を備えた振動センサと質問器を用いて振動検知システムを構築したことから、振動センサをバッテリレスとすることができる。また、振動検知用の処理を質問器側ですることとしたことから、振動センサから信号処理部などを省略することもできる。そのため、本発明による振動センサは、従来技術と比較して、かなりの小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１に示されるように、本発明の実施の形態による振動検知システムは、バッテリレス振動センサ１００と質問器２００を備えている。
【００１２】
同図に示されるように、バッテリレス振動センサ１００は、アンテナ部１０及びセンサチップ２０を備えている。後述するように、センサチップ２０内にはシングルポート表面弾性波（ＳＡＷ）共振子３０が設けられており、アンテナ部１０は、センサチップ２０内のシングルポートＳＡＷ共振子３０に電気的に接続されている。
【００１３】
図２に示されるように、本実施の形態におけるバッテリレス振動センサ１００は、タグ化されている。即ち、バッテリレス振動センサ１００は、タグ基体４０を更に備えており、タグ基体４０上に導電性薄膜からなるアンテナ部１１及び１２を形成すると共に同タグ基体４０上にセンサチップ２０を搭載するようにして、構成されている。本実施の形態におけるタグ基体４０は、合成樹脂からなるものであるが、本発明はこれに限定されず、例えば、紙、金属、セラミック、木材又はコンクリートなどから構成されていても良い。また、センサチップ２０は、タグ基体４０内に組み込まれていても良い。同様に、アンテナ部１０（１１，１２）もまた、タグ基体４０内に形成されていても良い。
【００１４】
図３に示されるように、センサチップ２０は、支持基板２２及び蓋部材２３を備えており、シングルポートＳＡＷ共振子３０は、支持基板２２及び蓋部材２３にて規定されるキャビティ２４内において、振動可能となるように支持基板２２により支持されている。詳しくは、支持基板２２は、平板上の主部（底部）２２ａと側壁部２２ｂを有する略箱型の形状を有しており、主部２２ａには凹部２２ｃが掘り込まれている。支持基板２２及び蓋部材２３は、例えば、シリコン又セラミックスなどから構成される。
【００１５】
本実施の形態における蓋部材２３は、側壁部２２ｂ上端上に接着剤により接着され、それにより、支持基板２２と蓋部材２３との間は封止されている。即ち、本実施の形態におけるキャビティ２４は、密閉された空間となっている。
【００１６】
図３及び図４に示されるように、本実施の形態におけるシングルポートＳＡＷ共振子３０は、板状の圧電体基板３２と、該圧電体基板３２上に形成された櫛歯電極（ＩＤＴ）３４及びＩＤＴ３４近傍に設けられた反射器３７及び３８とを備えている。本実施の形態における圧電体基板３２は、ランガサイト単結晶からなるものであるが、例えば、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ホウ酸リチウム又は酸化亜鉛のいずれかからなる単結晶基板であっても良い。
【００１７】
本実施の形態におけるシングルポートＳＡＷ共振子３０の圧電体基板３２は、図３に示されるように、支持基板２２により片持ち梁状に支持されている。ここで、シングルポートＳＡＷ共振子３０のＩＤＴ３４は、支持基板２２の凹部２２ｃ上に位置している。より具体的には、圧電体基板３２のうち凹部２２ｃ上に突出した部分（振動部）の根元に近いところにＩＤＴ３４が位置している。これにより、圧電体基板３２の振動部の振動をＩＤＴ３４近傍に効率よく集中させることができる。
【００１８】
また、圧電体基板３２が支持基板２２に支持された状態において、ＩＤＴ３４は、支持基板２２の主部２２ａに形成された凹部２２ｃに対向しており、且つ、当該凹部２２ｃ上に位置している。ＩＤＴ３４を凹面２２ｃに対向させないようにしてしまうと、ＩＤＴ３４を支持基板２２上に形成されたパターン（図示せず）に対して電気的に接続するために、圧電体基板３２内にビアホールを形成してフリップチップ的な接続をするか、ワイヤボンディングをする必要があるが、本実施の形態のように、ＩＤＴ３４を凹部２２ｃに対向させるようにすると、圧電体基板３２に対するビアホールの形成やワイヤボンディングを避けることができる。
【００１９】
図３及び図４から理解されるように、シングルポートＳＡＷ共振子３０のＩＤＴ３４から引き出された接続部３５，３６は、半田バンプ２５，２６を介して支持基板２２上のパターン（図示せず）に接続され、更に支持基板２２内に形成されたビアホール（図示せず）を介して端子２７に接続されている。これにより、端子２７からセンサチップ２０内部に設けられたシングルポートＳＡＷ共振子３０にエネルギを供給することができる。なお、端子２７は、センサチップ２０をタグ基体４０上に搭載することにより、タグ基体４０上に形成された配線４２（図２参照）を介してアンテナ部１０（１１，１２）に接続される。以上説明した電気的経路により、アンテナ部１０（１１，１２）にて受信した受信波は、センサチップ２０内部のＩＤＴ３４まで供給される。なお、本実施の形態において、アンテナ部１０とセンサチップ２０内部のＩＤＴ３４は、その間の経路を含めて、インピーダンスマッチングが図られている。従って、アンテナ部１０で受信された受信波はすべてＩＤＴ３４に供給され、ＩＤＴ３４で反射され、それがアンテナ部１０から反射波としてバッテリレス振動センサ１００外部に送信されることとなり、アンテナ部１０からＩＤＴ３４に至る経路の途中で反射されてしまうことがない。
【００２０】
本実施の形態による圧電体基板３２は、検知対象である対象物の機械振動における特徴的な周波数帯域に共振周波数が属するようにして選択された振動子形状を有している。例えば、本実施の形態のように、一定の厚みを有する圧電体基板３２の場合には、支持基板２２の凹部２２ｃ上に突出している圧電体基板３２の部分が圧電体基板３２における振動部となるが、この場合、当該振動部の長さを適当な値に選択して、圧電体基板３２の共振周波数を上記「特徴的な周波数帯域」に属するようにする。このようにすることで、例えば、本発明をガラスの破壊現象などに伴う振動検出に適用するような場合、ガラスの破壊現象に伴う振動自体は２ｍｓ程度の間しか持続しないのに対して、ガラス破壊に伴う振動に特徴的な周波数帯域に属するような周波数と圧電体基板３２における共振周波数とを合わせることで、ガラス破壊に伴う振動自体が止まったあとであっても、当該振動に応じて振動した圧電体基板３２の振動を２ｍｓよりもかなり長めに持続させることができ、振動検知の確度が向上する。更には、複数のバッテリレス振動センサ１００を用いたシステムを構築するような場合、各バッテリレス振動センサ１００の圧電体基板３２の共振周波数を異ならせておけば、各バッテリレス振動センサ１００の圧電体基板３２の共振周波数により固体認識をすることができる。即ち、後述するようにして質問器２００にて振動検知の判定処理をする際に、いずれのバッテリレス振動センサ１００で振動を検知したのか、周波数の違いにより特定することができる。
【００２１】
本実施の形態による反射器３７及び３８は、例えば、シングルポートＳＡＷフィルタにおける反射器とは異なり、アンテナ部１０を介して受信した受信波を櫛歯電極３４間及び櫛歯電極近傍に閉じ込めるための受信波閉じ込め手段を構成するものである。即ち、本実施の形態における受信波閉じ込め手段としての反射器３７及び３８は、受信波のエネルギをＳＡＷ共振子に集中させてエネルギ効率を上げるためのものであり、許容しうるエネルギロスの程度によっては、いずれか一方又は両方とも省略することとしても良い。
【００２２】
図５に示されるように、ＩＤＴ３４は、基部３４ａとそこから紙面上方向に向かって櫛歯状に突出した歯部３４ｂを備えている。ここで、参照符号３４ｃで示されるものは、基部３４ａと対を成す基部（図５には図示せず）から紙面下方向に向かって突出した歯部である。歯部３４ｂ及び歯部３４ｃは、いずれも幅Ｗ１を有し、紙面上下方向に長手を有している。歯部３４ｂ及び歯部３４ｃは、紙面左右方向において、交互に配置されており、隣接する歯部３４ｂ及び歯部３４ｃ間距離は、Ｄ１である。本実施の形態において、幅Ｗ１は距離Ｄ１に等しい。
【００２３】
一方、反射器３７は、同図５に示されるように、基部３７ａとそこから紙面上方向に向かって突出した歯部３７ｂを備えている。ここで、本実施の形態による歯部３７ｂの幅Ｗ２は、ＩＤＴ３４の歯部３４ｂ及び歯部３４ｃの幅Ｗ１に等しい。また、本実施の形態において、ＩＤＴ３４の端部と反射器３７の端部との距離Ｄ２は、隣接する歯部３４ｂ及び歯部３４ｃ間の距離Ｄ１に等しい。但し、本発明は、それに制限されず、例えば、ＩＤＴ３４の端部と反射器３７の端部との距離Ｄ２は、隣接する歯部３４ｂ及び歯部３４ｃ間の距離Ｄ１の整数倍の距離に等しければよい。なお、図５には、反射器３７のみが示されているが、反射器３８も反射器３７と同様の形状を有している。
【００２４】
ＩＤＴ３４の歯部３４ｂ及び３４ｃ間の距離Ｄ１は、シングルポートＳＡＷ共振子３０の共振周波数に影響を与えるものであり、当該共振周波数を後述する質問器２００から送信されてくる連続波の無線周波数（本実施の形態においては、２．４５ＧＨｚ）に一致させるようにして設計されている。
【００２５】
一方、以上説明してきたバッテリレス振動センサ１００と共に本実施の形態による振動検知システムを構成する質問器２００は、図６に示されるように、送受信部２１０、判定処理部２２０、出力部２３０及びＩ／Ｆ部２４０を備えている。
【００２６】
送受信部２１０は、バッテリレス振動センサ１００に向けて連続搬送波を送出する一方でバッテリレス振動センサ１００からの反射波を受信するものであり、例えば、連続搬送波を送信する送信部、サーキュレータ、アンテナ、バッテリレス振動センサ１００からの反射波を受信する受信部などから構成される。
【００２７】
判定処理部２２０は、送受信部２１０に接続され、送受信部２１０で受信した反射波を監視して、バッテリレス振動センサ１００により振動現象を検知したか否かを判定する。詳しくは、バッテリレス振動センサ１００が取付けられた対象物に何らかの振動現象が生じ、その振動がバッテリレス振動センサ１００のシングルポートＳＡＷ共振子に伝わると、当該振動の情報が反射波上に重畳されることになる。従って、判定処理部２２０では、反射波を監視して、反射波上に現れた変化に基づいて、検知すべき振動現象が生じたと判定する。より具体的には、判定処理部２２０は、送信した連続搬送波以外の振幅、周波数又は位相の少なくともいずれか一つが反射波に含まれるか否かをチェックして、振動現象が生じたか否かを判定する。例えば、本実施の形態のように２．４５ＧＨｚの連続搬送波を質問器２００から送信した場合、振動が生じていなければ、その連続搬送波がそのまま反射波として返ってくる。従って、例えば、周波数解析をすると、２．４５ＧＨｚのところだけにスペクトルを確認することができる。しかし、振動が生じていた場合、その振動が反射波に重畳されるため、周波数解析をすると、２．４５ＧＨｚのところだけでなく、そこから所定周波数離れた両側波帯にもスペクトルを確認することができる。このようにして、反射波を監視することで、バッテリレス振動センサ１００にて検知した振動についての情報を取得することができる。
【００２８】
なお、上に例示した連続搬送波は、単一周波数成分からなる信号であったが、本発明における連続搬送波はそれに限定されるものではない。例えば、連続搬送波は、パルス的なものでなく且つ周期的に変化する信号であれば、複数の周波数成分を有する信号であっても良い。特に、上述したような判定方法を用いる場合、連続搬送波と反射波との差異を容易に抽出できた方が良いため、連続搬送波は、滑らかに変化する周期性を持った信号であることが好ましい。
【００２９】
出力部２３０は、判定処理部２２０に接続され、振動現象の発生を判定処理部２２０が検知した場合には、それを報知するものである。本実施の形態における出力部２３０は、ブザーである。同様に、Ｉ／Ｆ部２４０は、判定処理部２２０と上位装置（図示せず）との間に接続され、振動現象の発生を判定処理部２２０が検知した場合には、当該振動現象の発生について上位装置に伝達するものである。
【００３０】
かかる構成を備えた質問器２００において、本発明による判定処理部２２０は、図７に示されるように、反射波に変化が現れた際にすぐに振動発生と判定するのではなく、その状態が一定期間持続したか否かで振動が発生したか否かを判定し、検出対象である振動とそれに類するノイズとを区別することとしている。ここで、図７に示される処理を説明するにあたり、図７に示される「要監視状態」について説明をしておく。要監視状態とは、送信した連続搬送波以外の振幅、周波数又は位相などが含まれており、その連続搬送波以外の振幅、周波数又は位相が検出対象である振動を示す特徴的なものであった状態を言う。即ち、要監視状態とは、それを検出しただけであれば、ノイズの可能性もあるが当該状態が所定期間維持されるのであれば検出対象である振動が発生したことを示すことになるため監視を要するといった状態である。以下の例においては、要監視状態が５０ｍｓに亘って維持された場合に検出すべき振動現象が発生したものと判定する。
【００３１】
図７に示されるように、本実施の形態による判定処理部２２０は、まず、要監視状態を検出すると（ステップＳ１０１）、タイマをセットする（ステップＳ１０２）。そして、その後、要監視状態が継続しているか否かについて判断すると共に（ステップＳ１０３）、その継続状態が５０ｍｓ続くか否かについて判断し（ステップＳ１０４）、要監視状態が５０ｍｓ継続した時点で、出力部（ブザー）２３０をオンしてブザーを鳴動させ、且つ、Ｉ／Ｆ部２４０を通じて、振動現象の発生を検知したことを上位装置（図示せず）に対して伝達する（ステップＳ１０５）。
【００３２】
以上、本発明の実施の形態による振動検知システムについて詳細に説明してきたが、本発明はこれに制限されるわけではなく、様々な変形・応用が可能である。例えば、上述した実施の形態においては質問器２００とバッテリレス振動センサ１００を一つずつ備えた振動検知システムについて説明したが、図８に示されるように、一つの質問器２００ａに対して複数のバッテリレス振動センサ１００を設けるようにして振動検知システムを構築することとしても良い。この場合、シングルポートＳＡＷ共振子３０１及び３０２の振動子形状を互いに異なるものとして各シングルポートＳＡＷ共振子３０１及び３０２を構成する圧電体基板の共振周波数を区別しうるようにすることで、前述したような固体識別を効果的に利用することができる。即ち、質問器２００ａから単一周波数からなる連続搬送波を送出する一方でその反射波を監視して振動検知を行うに際し、圧電体基板の互いに異なる共振周波数に基づいて、いずれのバッテリレス振動センサ１００近傍において振動が発生したのかを知ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態による振動検知システムを示す図である。
【図２】図１に示されるバッテリレス振動センサを示す斜視図である。
【図３】図２に示されるセンサチップを示す断面図である。
【図４】図３に示されるシングルポートＳＡＷ共振子を示す正面図である。
【図５】図４において楕円で囲まれた部分の拡大図である。
【図６】図１に示される質問器の構成を概略的に示す図である。
【図７】図６に示される判定処理部における処理の一例を示すフローチャートである。
【図８】本発明の実施の形態による振動検知システムの応用例を示す図である。
【符号の説明】
【００３４】
１０        アンテナ部
１１        アンテナ部
１２        アンテナ部
２０        センサチップ
２２        支持基板
２２ａ      主部
２２ｂ      側壁部
２２ｃ      凹部
２３        蓋部材
２４        キャビティ
２５        半田バンプ
２６        半田バンプ
２７        端子
３０        シングルポート表面弾性波（ＳＡＷ）共振子
３２        圧電体基板
３４        櫛歯電極（ＩＤＴ）
３４ａ      基部
３４ｂ      歯部
３４ｃ      歯部
３５        接続部
３６        接続部
３７        反射器
３７ａ      基部
３７ｂ      歯部
３８        反射器
４０        タグ基体
１００        バッテリレス振動センサ
２００        質問器
２１０        送受信部
２２０        判定処理部
２３０        出力部（ブザー）
２４０        Ｉ／Ｆ部
【図１】
2007232708.tif 000003
【図２】
2007232708.tif 000004
【図３】
2007232708.tif 000005
【図４】
2007232708.tif 000006
【図５】
2007232708.tif 000007
【図６】
2007232708.tif 000008
【図７】
2007232708.tif 000009
【図８】
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