(57)【要約】【課題】  マイクロ流路の一段面を高速に走査して流路中を流れる試料中の蛍光標識物質を検出する蛍光検出装置において、試料の流速を上げても確実な蛍光標識物質の検出を可能とすることにある。【解決手段】  レーザ光を前記マイクロ流路５１に集束させるとともに試料から発せられる蛍光を受ける対物レンズ１６と、対物レンズ１６を透過した蛍光を受光する光センサ１４と、対物レンズ１６をそのフォーカス方向とマイクロ流路５１を横断する方向とに駆動するレンズアクチュエータ２０と、光センサ１４を横方向に振動させるセンサアクチュエータ３０とを備え、測定処理時に、レンズアクチュエータ２０とセンサアクチュエータ３０を駆動させて、光センサ１４により蛍光の検出がなされる検出点を、マイクロ流路の一断面上の横方向と縦方向、並びに、この断面に垂直な方向の３方向に往復移動させるように走査する。【選択図】        図１
2007003249.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛍光標識物質の加えられた試料をマイクロ流路に流した状態でこのマイクロ流路に励起光を照射するとともに当該励起光により前記蛍光標識物質から発せられる蛍光を検出することで前記試料中の特定成分の測定を行う蛍光検出装置であって、
前記励起光となるレーザ光を出射するレーザ出力手段と、
前記レーザ光を前記マイクロ流路に集束させるとともに試料から発せられる前記蛍光を受ける対物レンズと、
前記レーザ光と前記対物レンズを透過してきた前記蛍光とを分離するビームスプリッタと、
前記対物レンズを透過してきた前記蛍光を受光する光センサと、
前記対物レンズを当該対物レンズのフォーカス方向ならびに該フォーカス方向と交差し且つ前記マイクロ流路を横断するトラバース方向に駆動するレンズ駆動手段と、
前記光センサを当該光センサに入射する前記蛍光の光軸と交差する所定方向に振動させるセンサ駆動手段と、
前記レンズ駆動手段と前記センサ駆動手段を制御する制御手段とを備え、
前記対物レンズの中心軸上の焦点位置を基準の発光点とし当該基準の発光点の光が前記光センサに到達する集束点を基準の集束点としたときに、前記センサ駆動手段の駆動方向は、発光点を前記基準の発光点から前記マイクロ流路に沿った方向に変位させた場合に集束点が前記基準の集束点から変位する方向に設定されており、
前記制御手段は、測定処理時に、前記レンズ駆動手段を駆動させて前記対物レンズの焦点を前記マイクロ流路の一断面上の横方向と縦方向とにそれぞれ往復移動させるとともに、前記センサ駆動手段を駆動させて前記光センサを前記所定方向に往復運動させるように構成されていることを特徴とする蛍光検出装置。
【請求項２】
蛍光標識物質の加えられた試料をマイクロ流路に流した状態でこのマイクロ流路に励起光を照射するとともに当該励起光により前記蛍光標識物質から発せられる蛍光を検出することで前記試料中の特定成分の測定を行う蛍光検出装置であって、
前記励起光となるレーザ光を出射するレーザ出力手段と、
前記レーザ光を前記マイクロ流路に集束させるとともに試料から発せられる前記蛍光を受ける対物レンズと、
前記レーザ光と前記対物レンズを透過してきた前記蛍光とを分離するビームスプリッタと、
前記対物レンズを透過してきた前記蛍光を受光する光センサと、
前記光センサを当該光センサに入射する前記蛍光の光軸と交差する所定方向に振動させるセンサ駆動手段とが設けられていることを特徴とする蛍光検出装置。
【請求項３】
前記対物レンズを当該対物レンズのフォーカス方向ならびに該フォーカス方向と交差し且つ前記マイクロ流路を横断するトラバース方向に駆動するレンズ駆動手段を備え、
前記センサ駆動手段の駆動方向は、前記対物レンズの中心軸上の焦点位置を基準の発光点とし当該基準の発光点の光が前記光センサに到達する集束点を基準の集束点としたときに、発光点を前記基準の発光点から前記マイクロ流路に沿った方向に変位させた場合に集束点が前記基準の集束点から変位する方向に設定されていることを特徴とする請求項２記載の蛍光検出装置。
【請求項４】
前記レンズ駆動手段と前記センサ駆動手段を制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、測定処理時に、前記レンズ駆動手段を駆動させて前記対物レンズの焦点を前記マイクロ流路の一断面上の横方向と縦方向とにそれぞれ往復移動させるとともに、前記センサ駆動手段を駆動させて前記光センサを前記所定方向に往復運動させることを特徴とする請求項２又は３に記載の蛍光検出装置。
【請求項５】
前記光センサはアバランシェ・フォトダイオード或いはＰＩＮフォトダイオードからなり、
前記対物レンズを透過してきた前記蛍光を前記光センサの受光面へ集束させる集束レンズを備えていることを特徴とする請求項２〜４の何れかに記載の蛍光検出装置。
【請求項６】
前記光センサはホト・マルチ・プライヤであることを特徴とする請求項２〜４の何れかに記載の蛍光検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、蛍光標識物質の加えられた試料に励起光を照射して試料から発せられる蛍光を検出することで試料内の特定成分の測定を行う蛍光検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
以前より、例えば生化学試料に蛍光標識物質を含んだ試薬を投入し、これをマイクロ流路に流すとともに励起光を照射して発せられる蛍光を測定することで、試料中の特定成分の定量測定を行う蛍光検出装置や落射蛍光顕微鏡などが開発されている。
【０００３】
本発明者らは、このような定量測定を高速に且つ正確に行うために、光ディスク装置の分野で用いられている対物レンズの駆動技術を応用し、励起光を対物レンズでマイクロ流路に集束させるとともに、この対物レンズを光軸方向（フォーカス方向）やマイクロ流路を横断する方向（トランスバース方向）に高速に往復移動させて、励起光がマイクロ流路の一断面上を高速に２次元走査し、そこから発せられる蛍光を開口数の高い対物レンズで集光して高感度に検出可能とした蛍光検出装置を開発している。
【０００４】
このような装置によれば、試料をマイクロ流路内に一定速度で流しながら一断面を通過する蛍光標識物質の検出を行うことで、高速に且つ正確に試料中の特定成分の量（ｍｏｌ／ｌ）を測定することが可能となる。
【０００５】
また、本発明に関連する従来技術として、次のような開示がある。例えば特許文献１には、マイクロ流路の一定範囲に励起光を漏れ光として入射してこの範囲全体の映像を取得することで蛍光測定を行う技術が開示されている。また特許文献２には、近接場光を利用して高解像度を実現するニアフィールド顕微鏡装置において、近接場光を検出するセンサユニットを試料に沿って走査させる構成が開示されている。また特許文献３には、共焦点走査顕微鏡においてテーパ状の光ガイドを設けることで精密なピンホールの位置合わせを不要とする技術が開示されている。また特許文献４には、一つの光源から出射された励起光を３つの経路に分割し、これら励起光をマイクロ流路の３箇所に照射してそこから発せられる蛍光を検出することで、マイクロ流路の３箇所で同時に蛍光測定を行えるようにした技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００５−０７００３１号公報
【特許文献２】特開平０５−１６４９６８号公報
【特許文献３】特開平０５−２９７２７９号公報
【特許文献４】特開２００３−２４７８９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者らが開発している蛍光検出装置では、蛍光標識物質から点発光される蛍光を、開口数の高い対物レンズにより大きな割合で受けて集光することにより感度よく蛍光の検出を可能としている。そのため、対物レンズの焦点位置から蛍光標識物質が少しでもずれるとその蛍光の検出は難しくなってしまう。
【０００７】
また、本発明者らが開発している蛍光検出装置では、マイクロ流路の一断面を走査するのに対物レンズをフォーカス方向とトラバース方向（マイクロ流路の横断方向）と２軸に動かさなければならず、１軸に動かす場合と違って、その振動周波数は無制限に高くすることは出来ない。
【０００８】
従って、対物レンズの駆動速度に比べて試料の流速が高くなってくると、対物レンズの駆動による走査の網に蛍光標識物質が引っかからず、蛍光の検出がなされないまま蛍光標識物質が走査断面を通り抜けてしまうという不具合が発生してしまう。そのため、正確な定量測定を行うためには、マイクロ流路中の試料の流速を余り上げられないという不都合があった。
【０００９】
従来の蛍光検出装置や様々な顕微鏡には、本発明者らが開発しているような、マイクロ流路中の一断面を高速に走査して蛍光測定を行うような構成はなく、上記の不都合を解決するような示唆を与えるものは無かった。
【００１０】
この発明の目的は、マイクロ流路の一段面を高速に走査することで流路中を流れる試料の蛍光標識物質を検出する蛍光検出装置において、試料の流速を上げても確実な蛍光標識物質の検出を可能とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記目的を達成するため、蛍光標識物質の加えられた試料をマイクロ流路に流した状態でこのマイクロ流路に励起光を照射するとともに当該励起光により前記蛍光標識物質から発せられる蛍光を検出することで前記試料中の特定成分の測定を行う蛍光検出装置であって、前記励起光となるレーザ光を出射するレーザ出力手段と、前記レーザ光を前記マイクロ流路に集束させるとともに試料から発せられる前記蛍光を受ける対物レンズと、前記レーザ光と前記対物レンズを透過してきた前記蛍光とを分離するビームスプリッタと、前記対物レンズを透過してきた前記蛍光を受光する光センサと、前記光センサを当該光センサに入射する前記蛍光の光軸と交差する所定方向に振動させるセンサ駆動手段とが設けられている構成とした。
【００１２】
このような手段によれば、光センサの振動運動により、蛍光検出が可能となる発光の検出点を一定方向に振動させるのと同様の作用を得ることが出来る。すなわち、図４に示すように、発光点Ａからの蛍光を対物レンズ１６や集束レンズ１３で集束点Ｂに集束させて検出する構成において、発光点を一方向にずらすとそれに対応する集束点も一方向にずれることとなり、光センサが振動運動することで発光の検出点が所定方向に振動したのと同様の作用が得られる。また、光センサの振動運動は、一方向のみの運動なので、二方向に振動させるのと比べてより高速な駆動が実現可能である。従って、この光センサの駆動と対物レンズの駆動とを合わせることで、蛍光の検出点の走査をより高速に且つ多次元で行うことが可能となり、試料の流速を上げてもそれに対応して確実な蛍光検出を行うことが可能となる。
【００１３】
望ましくは、前記対物レンズを当該対物レンズのフォーカス方向ならびに該フォーカス方向と交差し且つ前記マイクロ流路を横断するトラバース方向に駆動するレンズ駆動手段を備え、前記センサ駆動手段の駆動方向は、前記対物レンズの中心軸上の焦点位置を基準の発光点とし当該基準の発光点の光が前記光センサに到達する集束点を基準の集束点としたときに、発光点を前記基準の発光点から前記マイクロ流路に沿った方向に変位させた場合に集束点が前記基準の集束点から変位する方向に設定すると良い。
【００１４】
また、前記レンズ駆動手段と前記センサ駆動手段を制御する制御手段を備え、前記制御手段は、測定処理時に、前記レンズ駆動手段を駆動させて前記対物レンズの焦点を前記マイクロ流路の一断面上の横方向と縦方向とにそれぞれ往復移動させるとともに、前記センサ駆動手段を駆動させて前記光センサを前記所定方向に往復運動させるように構成すると良い。
【００１５】
このような構成によれば、対物レンズの駆動により蛍光の検出点をマイクロ流路の一断面に沿って２方向に往復移動させるように走査する作用を及ぼす一方で、光センサの駆動により蛍光の検出点をこの断面と交差（例えば直交）する方向にジグザグに走査する作用を及ぼすことが出来る。しかも、対物レンズの駆動が２方向であるのに対して、光センサの駆動は１方向のみなので、光センサの振動周波数を対物レンズの駆動周波数よりも高くすることが可能であり、これらによりマイクロ流路中の試料の流速が高くなってもそこを通過する蛍光標識物質を確実にとらえて検出することが可能となる。従って、正確な定量測定をより高速に行うことが可能となる。
【００１６】
具体的には、前記光センサはアバランシェ・フォトダイオード或いはＰＩＮフォトダイオードからなるとともに、前記対物レンズを透過してきた前記蛍光を前記光センサの受光面へ集束させる集束レンズを備えた構成とすることが出来る。その他、前記光センサとしてホト・マルチ・プライヤを適用することも出来る。
【００１７】
光センサとしてフォトダイオードを用いた場合には、検出感度を上げるためにセンサの受光面を小さく構成する必要があり、その分、発光点が対物レンズの焦点位置からずれたときの検出信号の減衰量は大きくなるので、上記光センサの振動運動によりこの発光点のずれを補うような作用が得られてより効果的である。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明に従うと、マイクロ流路中の試料の流速を高くしてもその一断面を通過する蛍光標識物質を十分確実に検出することが可能となり、それにより、より高速で正確な定量測定を実現できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１は、本発明の実施の形態の蛍光検出装置の概略を示す構成図である。
【００２１】
この実施の形態の蛍光検出装置１は、例えば唾液など生体系の液状試料に対して蛍光標識物質を含んだ試薬を投入し、さらに希釈・攪拌し、これを検査チップ５０のマイクロ流路５１に電気泳動などにより流しつつ、このマイクロ流路５１の一断面に沿って励起光となるレーザ光の焦点（或いは蛍光の検出点）を往復移動させるように走査させるとともに、この検出点が蛍光標識物質と重なったときに蛍光標識物質から発せられる蛍光を検出・カウントすることで試料中の特定成分の定量測定を行うものである。ここで、マイクロ流路は例えば幅５０μm×深さ２０μmの流路であり、また、励起光となるレーザ光の波長は例えば５３２ｎｍで、この励起光により発光される蛍光の波長は例えば５７０ｎｍとなる。
【００２２】
この蛍光検出装置１は、図１に示すように、検査チップ５０を搭載する図示略のステージと、励起光となる５３２ｎｍのレーザ光を出射する半導体レーザ励起ＹＡＧの二次高調波レーザ（以下、ＳＨＧ・ＹＡＧレーザと略す。ＳＨＧは２次高調波発生、ＹＡＧはイットリウム・アルミニウム・ガーネット）１０と、このレーザ光を検査チップ５０のマイクロ流路５１へ集束させるとともに試料から発せられた蛍光を受ける対物レンズ１６と、この対物レンズ１６を検査チップ５０の面と平行でマイクロ流路５１を横断する方向（以下、トラバース方向と呼ぶ）、および、フォーカス方向に高速駆動させるレンズアクチュエータ２０と、検査チップ５０側から反射された波長５３２ｎｍの反射ビームと試料から発せられる波長５７０ｎｍの蛍光とを分離するビームスプリッタとしてのダイクロイックミラー１１と、蛍光波長のみを透過させるバンドパス特性を有したエミッター１２と、対物レンズ１６で受けた蛍光を集束させる集束レンズ１３と、集束した蛍光を検出する光センサ１４と、この光センサ１４をマイクロ流路５１の流路に沿った方向へ振動させるセンサアクチュエータ３０と、ＳＨＧ・ＹＡＧレーザ１０の漏れ光を検出してレーザ出射強度のばらつきをモニタする出力モニタ用光センサ１７と、光センサ１４や出力モニタ用光センサ１７のセンサ信号をそれぞれ増幅して電圧信号に変換するアンプ１５，１８と、光センサ１４の信号からレーザ出射強度のばらつきの影響を除去する割算回路１９と、レンズアクチュエータ２０とセンサアクチュエータ３０との駆動制御を行う駆動制御回路４０等を備えている。
【００２３】
対物レンズ１６は、試料から点発光される蛍光を大きな割合で受けるため高い開口数（例えばＮＡ０．３やＮＡ０．４５など）のものが適用されている。
【００２４】
光センサ１４は、例えば、アバランシェフォトダイオードやＰＩＮフォトダイオードからなり、受光面の面積は非常に小さく形成され、僅かな蛍光でも高い感度で検出できるようになっている。
【００２５】
図２は、レンズアクチュエータの構造を示す斜視図である。
【００２６】
レンズアクチュエータ２０は、例えば、対物レンズ１６を保持するレンズホルダ２１を４本のワイヤー２２…で可動状態に支持するとともに、このレンズホルダ２１の側面に電磁コイル２５ａ，２５ｂ（図１参照）を取り付ける一方、これら電磁コイル２５ａ，２５ｂと対向するようにフレーム２０Ａ側に磁石２３，２３を設け、ワイヤー２２を介して電磁コイル２５ａ，２５ｂに電流を流すことで電磁力を発生させてレンズホルダ２１をフォーカス方向Ｆやトラバース方向Ｔに変位させるように構成されている。
【００２７】
なお、本発明に係るレンズアクチュエータとしては、光ディスク装置の分野で公知となっている種々のレンズアクチュエータを適用することが出来る。
【００２８】
図３は、センサアクチュエータの構造を示すもので、（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は分離斜視図である。
【００２９】
センサアクチュエータ３０は、装置に固定されるフレーム３０Ａと、光センサ１４を保持するセンサホルダ３１と、一端がフレーム３０Ａに他端がセンサホルダ３１の側面にそれぞれ固着された板バネ３２，３２およびワイヤー３３，３３と、内部に緩衝材としてのゲル等を封入し板バネ３２やワイヤー３３の共振を吸収するゲルボックス３４，３４と、センサホルダ３１の正面側に固定された磁石３５と、この磁石３５と対向してセンサホルダ３１の正面側に固着された偏平コイル３６とから構成される。
【００３０】
そして、板バネ３２，３２を介して偏平コイル３６に電流を流すことで磁石３５との電磁作用が働いて、センサホルダ３１をマイクロ流路５１の流路方向Ｒに駆動することが可能とされる。また、偏平コイル３６に所定周波数で正負に変化する所定振幅の電流を流すことでセンサホルダ３１を所定の周波数で所定の振幅で振動させることが可能とされる。ここで、流路方向Ｒとは、上述したフォーカス方向Ｆおよびトラバース方向Ｔにそれぞれ直交した方向である。光センサ１４からの検出電流はワイヤー３３，３３を介して外部に出力させる。
【００３１】
なお、板バネ３２，３２として、２枚の板バネの間にシリコンゴムなどの緩衝材を挟んだ構造のものを適用することで、ゲルボックス３４を省略することも出来る。
【００３２】
図４には、光センサ１４が変位したときの作用を説明する発光点から光センサまでの光経路図を示す。同図において、実線により対物レンズ１６の中心軸上の焦点位置に発光点がある場合の光路を、点線により上記焦点位置から発光点が横方向に変位したときの光路を示している。
【００３３】
対物レンズ１６と集束レンズ１３と光センサ１４とは、例えば、対物レンズ１６に垂直な平行光を入射したときの焦点位置を発光点Ａとして、この発光点Ａから点発光された光が対物レンズ１６と集束レンズ１３を透過して再び一点に集まる集束点Ｂに光センサ１４の受光面が来るように位置調整される。
【００３４】
この状態で、対物レンズ１６と集束レンズ１３の位置を変えずに、発光点を標準の発光点Aから横方向（対物レンズ１６の中心軸の垂直方向）に僅かに変位させた点（発光点D）とすると、そこからの点発光は対物レンズ１６と集束レンズ１３とを透過して、標準の集束点Ｂから横方向（集束レンズ１３の中心軸に対して垂直方向）に変位した点（集束点Ｅ）に集束される。ここで、対物レンズ１６と集束レンズ１３の焦点深度の比が１００倍だとすると、集束点Ｂ，Ｅ間の距離Ｌ０が５００μｍのときに発光点Ａ，Ｄ間の距離Ｌ１は５μｍとなる。
【００３５】
従って、センサアクチュエータ３０により光センサ１４を５００μｍの振幅で高速に振動させることにより、約５μｍ×２の幅で発光の検出点を振動させることが可能となる。
【００３６】
図５には、レンズアクチュエータ２０とセンサアクチュエータ３０の駆動により蛍光の検出点が走査される様子を表わした説明図を示す。
【００３７】
上記構成の蛍光検出装置１を用いて蛍光検出を行うには、先ず、マイクロ流路５１の形成された検査チップ５０をステージに載置する。このとき、検査チップ５０の位置と向きを調整して対物レンズの中心軸上の焦点位置がマイクロ流路５１の流路内に来るように、且つ、レンズアクチュエータ２０のトラバース方向の駆動方向がマイクロ流路５１の横断面に沿った方向になるようにセットする。この向き調整により、センサアクチュエータ３０の駆動方向はマイクロ流路５１の流路に沿った方向になる。
【００３８】
そして、検査チップ５０のマイクロ流路５１に電気泳動等により試料が一定の速度で流れる状態にして測定処理をスタートさせる。測定処理がスタートされると、駆動制御回路４０の制御によりレンズアクチュエータ２０が駆動して、対物レンズ１６がフォーカス方向Ｆとトラバース方向Ｔとに往復運動する。このとき、駆動制御回路４０が駆動電流を調整することで、対物レンズ１６のフォーカス方向Ｆとトラバース方向Ｔの振り幅は、それぞれマイクロ流路５１の高さＨ（約２０μｍ）と幅Ｗ（約５０μm）に制御される。そして、この運動により対物レンズ１６の焦点がマイクロ流路５１の一断面を縦横に往復移動するように走査する状態となる。
【００３９】
また、これと同時に、駆動制御回路４０の制御によりセンサアクチュエータ３０が駆動されて、光センサ１４が流路方向Ｒに高速に往復運動する。このとき、駆動制御回路４０は駆動電流を調整して、光センサ１４の振り幅を約１０００μｍに制御する。このとき光センサ１４の駆動周波数は対物レンズ１６の駆動周波数よりも十分に大きくすると良い。この運動により光センサ１４により蛍光の検出が可能な検出点は、流路方向Ｒにジグザグに高速振動する状態となる。この検出点の振り幅Ｌは１０μm程度となる。
【００４０】
そして、これらレンズアクチュエータ２０とセンサアクチュエータ３０の駆動により、図５に示すように、蛍光の検出点がマイクロ流路５１の一区間（高さＨ×幅Ｗ×流路長Ｌ）を３次元にジグザグに走査することとなる。なお、対物レンズ１６は流速方向Ｒへ変位しないため、励起光となるレーザ光の焦点は流速方向Ｒへ変位しないが、レーザ光のビームスポットは比較的大きくとることが出来るため、流速方向に１０μｍ程度の幅を有した範囲で蛍光標識物質を励起させることが出来る。
【００４１】
このような３次元の高速な走査により、試料の流速が速くて、レンズアクチュエータ２０だけの駆動では走査速度が追いつかずに蛍光標識物質が走査断面を未検出のまま通過してしまうような場合でも、上記のセンサアクチュエータ３０の駆動が併用されることにより、蛍光標識物質を確実に検出することが出来る。
【００４２】
なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
【００４３】
図６には、光センサとしてホトマルチプライヤを適用した場合の蛍光検出装置の概略を示す構成図を、図７には、光センサとしてホトマルチプライヤを適用した場合のセンサアクチュエータのセンサホルダの斜視図を示す。
【００４４】
例えば、図６と図７に示すように、蛍光の検出を行う光センサとしてホトマルチプライヤＢを適用することも出来る。ホトマルチプライヤ１４Ｂはその受光面ｄが例えば４ｍｍ×４ｍｍなどと大きいので、集束レンズ１３を省略して対物レンズ１６からの平行光をそのまま受光して検出することが可能である。なお、図６においては、対物レンズ１６を大きく拡大して示しているが、実際は、対物レンズ１６の径はホトマルチプライヤ１４Ｂの受光面ｄと同じくらいであり、対物レンズ１６からホトマルチプライヤ１４Ｂの受光面ｄに入射される光はほぼ平行光とすることが出来る。
【００４５】
また、ホトマルチプライヤ１４Ｂは光の検出に多数の配線を必要としているので、図７に示すように、センサホルダ３１を支持する板バネ３２Ｂ…とワイヤー３３Ｂ…のうち、ワイヤー３３Ｂの数を増してこれらをホトマルチプライヤ１４Ｂの配線と接続するように構成すると良い。
【００４６】
このようにホトマルチプライヤ１４Ｂを適用した蛍光検出装置１Ｂであっても、図１の蛍光検出装置１と同様に、試料の流速が比較的早くて、レンズアクチュエータ２０だけの駆動では走査速度が追いつかずに蛍光標識物質が走査断面を未検出のまま通過してしまうような場合でも、センサアクチュエータ３０の駆動を併用することにより、確実に蛍光標識物質を検出することが出来るという効果が得られる。
【００４７】
また、上述した実施の形態では、光センサ１４の振動方向が蛍光の光路が直線状であるためマイクロ流路５１の流路方向Ｒとしているが、例えば、蛍光の光路がミラーなどにより曲げられている場合には、それに対応して光センサ１４の振動方向は変更する必要がある。すなわち、光センサ１４の変位に対応する蛍光の検出点の変位方向が流路方向Ｒになるようにする必要がある。また、上記実施の形態では、対物レンズ１６の駆動方向（フォーカス方向Ｆ、トラバース方向Ｔ）と光センサ１４の駆動による検出点の変位方向（流路方向Ｒ）とが互いに直交しているものとして説明したが、直交より少しずれた角度で交差する構成としても良い。
【００４８】
その他、励起光を試料に照射して蛍光を光センサまで導く光学構成、励起光を出力する構成、試料を流す検査チップの構造など、実施の形態で示した細部等は発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施の形態の蛍光検出装置の概略を示す構成図である。
【図２】レンズアクチュエータの構造を示す斜視図である。
【図３】センサアクチュエータの構造を示すもので、（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は分離斜視図である。
【図４】光センサが変位したときの作用を説明する発光点から光センサまでの光経路を示す図である。
【図５】レンズアクチュエータとセンサアクチュエータの駆動により蛍光の検出点が走査される様子を示す説明図である。
【図６】光センサとしてホト・マルチ・プライヤを適用した場合の蛍光検出装置の概略を示す構成図である。
【図７】光センサとしてホトマルチプライヤを適用した場合のセンサアクチュエータのセンサホルダの構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５０】
１，１Ｂ    蛍光検出装置
１０        ＳＨＧ・ＹＡＧレーザ（レーザ出力手段）
１１        ダイクロイックミラー
１２        エミッター
１３        集束レンズ
１４        光センサ
１６        対物レンズ
２０        レンズアクチュエータ（レンズ駆動手段）
３０        センサアクチュエータ（センサ駆動手段）
４０        駆動制御回路（制御手段）
５０        検査チップ
５１        マイクロ流路
【図１】
2007003249.tif 000003
【図２】
2007003249.tif 000004
【図３】
2007003249.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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