(57)【要約】【課題】  一部のチップ、もしくはチップ集積群（モジュール）内に閉塞などのトラブルが発生した場合に、迅速に対応することができるナンバリングアップ型マイクロ化学反応システムを提供する。【解決手段】  このマイクロ化学反応システムは、２種以上の原料を供給する原料供給部１と、２種以上の原料を合流させることによって反応を進行させるマイクロ化学チップ１２とを有する複数の反応ライン１０を並列に設置したマイクロ化学反応システムであって、反応ラインは１２定常的に稼動する定常ライン１０ａと少なくとも１つの予備ライン１０ｂとを有する。定常ライン１０ａにはそれぞれその定常ラインが異常状態であることを検出する状態検出手段２４，４２，４４が設けられ、原料供給部１と複数の反応ライン１０の間には、定常ライン１０ａが異常状態となったときに原料を予備ライン１０ｂへ流すための供給切替弁４０が設けられている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２種以上の原料を供給する原料供給部と、それぞれが前記２種以上の原料を合流させることによって反応を進行させるマイクロ化学チップとを有する複数の反応ラインを並列に設置したマイクロ化学反応システムであって、
前記反応ラインは定常的に稼動する定常ラインと少なくとも１つの予備ラインとを有し、
前記定常ラインにはそれぞれその定常ラインが異常状態であることを検出する状態検出手段が設けられ、
前記原料供給部と前記複数の反応ラインの間には、定常ラインが異常状態となったときに原料を予備ラインへ流すための供給切替弁が設けられていることを特徴とするマイクロ化学反応システム。
【請求項２】
前記反応ラインに洗浄液供給切替弁を介して洗浄液を供給する洗浄液供給部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロ化学反応システム。
【請求項３】
前記マイクロ化学チップには、洗浄液の洗浄作用を向上させるための振動発生要素もしくは温度調整要素の一方もしくは両方が設置されていることを特徴とする請求項２に記載のマイクロ化学システム。
【請求項４】
前記状態検出手段からの信号を受けて異常を判断し、前記供給切替弁の切替動作を行う制御装置を有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のマイクロ化学反応システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のマイクロ化学チップを用いて化学反応プロセスを実行するマイクロ化学反応システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
化学反応を高速かつ高収率に行うシステムとして、マイクロ空間で反応を行うためのマイクロ化学チップ(マイクロリアクタ)を用いたシステムがある。マイクロリアクタはその内部に微小流路が形成されており、これを原料流体（試薬）が通過し、その過程で化学反応が進行するものである。マイクロリアクタは微小空間で化学反応を行うデバイスであるから、混合における分子拡散距離を小さくすることができ、通常の混合器もしくは従来のバッチによる手法では実現できないような高速かつ効率的な混合を行うことができる。一方、一度に多量の反応生成物を得られないことから、多数のマイクロリアクタを積層もしくは並列化して、多量生産を行う方策（ナンバリングアップ型マイクロ化学反応システム）が採用されている。
【０００３】
このようなマイクロリアクタでは、反応の過程で反応生成物もしくは反応副生成物の析出により、微小流路が詰まる可能性がある。また、反応システムの他の部分で発生する異物などが微小流路に入り込み、マイクロリアクタ内の流路を閉塞させる可能性もある。このような閉塞が１または複数のマイクロリアクタに発生した場合、生成システムとして機能しなくなることに加え、閉塞に伴うリアクタ内圧力の上昇により、リアクタもしくはシステム構成機器の破損につながる可能性が有る。これは、特に有害な試薬を用いている場合、重大な事故を引き起こす可能性がある問題である。
【０００４】
通常、ナンバリングアップ型マイクロ化学反応システムにおいて、１または複数のマイクロリアクタ流路内に閉塞が発生した場合、閉塞が発生したマイクロリアクタを別途取り外し、単体で流路内の洗浄を行う対策が採られる。しかしながら、閉塞が発生するたびにリアクタを取り出して洗浄を行う場合、その間、システムを停止させる必要があり、生産効率が低下するとともに、洗浄に要する時間なども考慮すると、コスト効率も低くなってしまう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みて為されたもので、一部のチップ、もしくはチップ集積群（モジュール）内に閉塞などのトラブルが発生した場合に、迅速に対応することができるナンバリングアップ型マイクロ化学反応システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、請求項１に記載のマイクロ化学反応システムは、２種以上の原料を供給する原料供給部と、前記２種以上の原料を合流させることによって反応を進行させるマイクロ化学チップとを有する複数の反応ラインを並列に設置したマイクロ化学反応システムであって、前記反応ラインは定常的に稼動する定常ラインと少なくとも１つの予備ラインとを有し、前記定常ラインにはそれぞれその定常ラインが異常状態であることを検出する状態検出手段が設けられ、前記原料供給部と前記複数の反応ラインの間には、定常ラインが異常状態となったときに原料を予備ラインへ流すための供給切替弁が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
請求項１に記載の発明においては、定常ラインに異常が発生した時に、状態検出手段がこれを自動的に検出し、供給切替弁を介して原料を予備ラインへ流すので、生産が停滞することなく、また、圧力等の条件を一定に維持することにより、安定な稼動を継続する。
【０００８】
請求項２に記載のマイクロ化学反応システムは、前記反応ラインに洗浄液供給切替弁を介して洗浄液を供給する洗浄液供給部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロ化学反応システム。
請求項２に記載の発明においては、異常が発生した反応ラインに洗浄液供給部より洗浄液供給切替弁を介して洗浄液が供給される。これにより、異常が発生した反応ラインの閉塞等を解消して、このラインを定常状態に復帰させるので、長期に亘って安定な稼動が維持される。
【０００９】
請求項３に記載のマイクロ化学反応システムは、請求項２に記載の発明において、前記マイクロ化学チップには、洗浄液の洗浄作用を向上させるための振動発生要素もしくは温度調整要素の一方もしくは両方が設置されていることを特徴とする。
請求項３に記載の発明においては、温度や振動の効果により、高い洗浄作用を発揮させて、異常発生ラインの復帰を促進する。
【００１０】
請求項４に記載のマイクロ化学反応システムは、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の発明において、前記状態検出手段からの信号を受けて異常を判断し、前記供給切替弁の切替動作を行う制御装置を有することを特徴とする。
請求項４に記載の発明においては、制御装置によって異常を判断し、供給切替弁の切替動作を行わせるので、条件を事前に入力しておくことにより、適切な対応を行うことができる。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１ないし請求項４に記載のマイクロ化学反応システムによれば、定常ラインに異常が発生した時に、状態検出手段がこれを自動的に検出し、原料を予備ラインへ流すことにより、圧力等の条件を一定に維持して、安定な生産を継続することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態を説明する。
図１ないし図３はこの発明の第１の実施の形態のマイクロ化学反応システムを示すものである。このシステムは２液混合用であるが、３液もしくはそれ以上の混合であってもよい。
【００１３】
この実施の形態のマイクロ化学反応システムは、原料供給部１と反応部２とからなっている。反応部２は、複数の反応ライン１０を有しており、各反応ライン１０は２つの原料液を混合して反応させる混合・反応器（マイクロリアクタ）１２を有している。この例では、混合・反応器１２はＹ字状の微細流路からなる合流路１４を有するマイクロリアクタ１２を用いているが、他の形式の混合・反応器１２でもよい。マイクロリアクタ１２には、必要に応じてヒータ等の温度調整機構が設けられている。
【００１４】
反応部２の反応ライン１０は、定常的に稼動する定常ライン１０ａと、定常ライン１０ａの１つが異常な状態になった時にこれに替わって稼動する予備ライン１０ｂとを備えている。定常ライン１０ａの数は、要求される処理量に応じて決められ、予備ライン１０ｂの数は、定常ライン１０ａにおいて発生する異常状態の頻度や、その修復に要する時間等を考慮して決める。
【００１５】
定常ライン１０ａおよび予備ライン１０ｂは、上流および下流の一対の開閉弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃと、これらの間の管継手１８ａ，１８ｂを介して、共通給液ライン２０ａ，２０ｂおよび共通排出ライン２２に接続されている。従って、これらの開閉弁１６ａ，１６ｂ，１６ｃを閉としてから管継手１８ａ，１８ｂを外すことにより、他のラインが稼動中でも、特定のラインを外したり、交換したりすることができる。共通排出ライン２２は、成分測定装置２４および３方向切替弁である排出切替弁２６を介して、生成物容器２８および廃液容器３０に切替可能に接続されている。共通排出ライン２２は各反応ライン１０に逆止弁３１を介して接続されている。
【００１６】
原料供給部１は、２つの原料液容器３２，３４と、これら原料液容器３２，３４からそれぞれ原料液を反応部２へ圧送する一対のポンプ３６，３８を備えており、ポンプ３６，３８の吐出口は共通給液ライン２０ａ，２０ｂに接続されている。共通給液ライン２０ａ，２０ｂと各反応ライン１０の間には原料液の供給をオンオフ制御する電磁開閉弁である原料供給弁（供給切替弁）４０が設けられている。この実施の形態では、定常ライン１０ａの原料供給弁４０はノーマルオープンの電磁開閉弁を用いており、予備ライン１０ｂの原料供給弁４０はノーマルクローズの電磁開閉弁を用いている。これらの原料供給弁４０は、制御装置から送られる制御信号により開閉制御される。
【００１７】
各反応ライン１０には、各反応ライン１０の状態を自動的に測定する状態測定センサが設けられている。すなわち、この実施の形態では、マイクロリアクタ１２の上流側に圧力センサ４２が、下流側に流量センサ４４および成分測定装置２４が設けられている。これらの状態測定センサの測定結果は制御装置４６に出力されるようになっている。制御装置４６は、コンピュータやシーケンサによって構成されている。成分測定装置２４としては、濃度計もしくはｐＨ計、光学顕微鏡、熱レンズ顕微鏡、レーザー顕微鏡などが用いられる。
【００１８】
状態測定センサの数や種類は、検知すべき異常状態を想定して、適宜に選択することができる。この実施の形態では、異常状態として、主に流路の閉塞と成分異常に対処することを目的としている。この実施の形態では、圧力センサ４２と流量センサ４４を設けているので、圧力異常、流量異常、および閉塞が個別に検知される。例えば、１つの反応ライン１０の圧力が他より上昇し、流量が減少する場合は、マイクロリアクタ１２で閉塞が起きていると考えられ、そのラインは異常と判断される。一方、流量が減少し、圧力も低下している場合には、原料供給部１での原料供給量自体が減少していると考えられ、必ずしもそのラインの異常とは判断されない。
【００１９】
検知すべき異常状態としては、この他に、反応が温度の厳密な制御を必要とする場合には温度異常があげられ、そのために温度センサを適宜に設置する。マイクロリアクタ１２における温度センサの設置は、温度自体の制御にも用いられるし、また異常の検知のためにも用いられる。
【００２０】
制御装置４６は、これらの状態測定センサの測定結果から、各定常ライン１０ａの稼動状態を判断し、ある定常ライン１０ａが異常であると判断した時に、その定常ライン１０ａの原料供給弁４０を閉じ、予備ライン１０ｂの原料供給弁４０を開いて、その分の原料液を予備ライン１０ｂに向けるようになっている。一方、個別のラインではなく、原料供給部１等の問題であると判断されれば、それへの対処（原料の補給等）を実行したり、警報を発する等の処置を執る。
【００２１】
以下、このように構成されたマイクロ化学反応システムの動作を説明する。
図１に示す定常稼動状態では、定常ライン１０ａの原料供給弁４０は開状態であり、試薬a、試薬ｂがそれぞれのポンプ３６，３８より各マイクロリアクタ１２に導入、混合され、反応生成物は共通排出ライン２２を介して生成物容器２８に送出される。予備ライン１０ｂの原料供給弁４０は閉状態であり、各試薬は導入されない。各反応ライン１０に設置されている圧力センサ４２、流量センサ４４、成分測定装置２４は測定、検知を常時行っており、その測定値は制御装置４６に出力されている。
【００２２】
制御装置４６は、状態測定センサの測定結果に基づいて、適時、各反応ライン１０の稼動状態を判断する。判断の仕方としては、例えば、各測定値についてそれぞれ所定の許容値を設定し、測定値がその範囲内にあるか否かを判断し、いずれかの測定値が許容範囲を外れた場合には、稼動状態が異常であると判断する。一方、いくつかの測定値を総合的に評価して、正常か異常かを判断するようにしてもよい。その場合には、許容範囲を段階的に設定するようにしてもよいし、測定値を数値的に評価して判断するようにしてもよい。例えば、生成物の成分に関しては、許容範囲を外れると不良品となるので、単独で判断し、詰まりの判断については、流量と圧力の双方に影響が出るので、流量センサ４４と圧力センサ４２の出力を総合的に判断する。
【００２３】
制御装置４６は、ある定常ライン１０ａが異常な稼動状態であると判断した時に、図２に示すように、その反応ライン１０の原料供給弁４０を閉じて給液を停止し、予備ライン１０ｂの原料供給弁４０を開いてその分を原料液を予備ライン１０ｂに向ける。これにより、ポンプ３６，３８の吐出流量を調整したりすることなしに、他の定常ライン１０ａの流量や圧力をそのまま維持して安定な製造を継続することができる。
【００２４】
成分測定装置２４が異常値を検知する場合、検知作業自体に時間を要する場合が有る。また、測定値の種類によっては測定を必ずしも連続的に行えない場合が有る。すなわち、測定が間歇的になる場合が有る。これらの場合には、異常成分の検知に時間遅れが生じるので、成分測定装置２４と着脱継手部との距離Ｌ（図１参照）をその時間遅れによる流出分を考慮して長くすることが好ましい。つまり、ライン内の流速をｖ、成分異常検知および原料供給弁４０の閉止に要する時間をｔとすると、Ｌ＞ｖｔ、とする。このようにすれば、原料供給弁４０の遮断後の反応ライン１０では、原料供給弁４０閉止により流体の流れがその状態で止まり、成分異常の生成物が共通排出ライン２２に流入することがない。
【００２５】
また、この実施の形態では、共通排出ライン２２の下流側に成分測定装置２４が設けられており、万が一共通排出ライン２２に異常成分の液が流入した場合に、制御装置４６は、この成分測定装置２４により成分異常を検出し、その下流の３方向切替弁である排出切替弁２６を動作させて、流出先を生成物容器２８から廃液タンクに切り替えるようにする。これにより、異常成分液によって生成物容器２８を汚染することが防止される。
【００２６】
予備ライン１０ｂが稼動して、異常発生反応ライン１０の機能を代替している間に、図３に示すように、異常が発生した定常ライン１０ａを管継手１８ａ，１８ｂの部分から取り外し、修理又は交換作業を行う。修理又は交換作業が終わった後は、原則として予備ライン１０ｂを閉止して定常ライン１０ａを稼動するようにする。なお、この例では予備ライン１０ｂは１つであるが、予備ライン１０ｂを複数設けておけば、修理や交換作業の必要性を低減することができ、複数の定常ライン１０ａが同時に異常となっても対応可能である。
【００２７】
図４は、第１の実施の形態の変形例であり、予備ライン１０ｂに３方向切替弁である排出切替弁２６ａを設置して、予備ライン１０ｂを廃液容器３０ａと共通排出ライン２２のいずれかに切替可能に接続したものである。この実施の形態では、予備ライン１０ｂが稼動し始めてから所定の時間は、図５に示すように、生成物を廃液容器３０に流し、所定の時間が経過して、予備ライン１０ｂの状態が安定してから、図６に示すように、共通排出ライン２２に流すようにする。これは、切替当初は予備ライン１０ｂの稼動状態は不安定であり、流路に不純物が残留していることも考えられるので、これらを共通排出ライン２２に流して汚染しないためである。
【００２８】
図７は、第１の実施の形態のさらなる変形例であり、ここでは予備ラインと定常ラインは同じ構造である。また、各反応ライン１０には、共通排出ライン２２へ合流する前に廃液容器３０へ通じる排出切替弁２６が設置されている。そして、その内の任意の１つのラインの原料供給弁４０が閉となって予備ライン１０ｂとなっており、他の反応ライン１０定常ライン１０ａとなっている。
【００２９】
このマイクロ化学反応システムでは、定常ライン１０ａが異常状態となって予備ライン１０ｂが稼動した場合、それをそのまま定常ライン１０ａとして用い、異常となった定常ライン１０ａを修復したらそれを予備ライン１０ｂとする。これにより余計な切り替え動作を行わないで済むので、手間が省け、またラインの切り替えに伴う成分不良生成物を減らすことができる。また、この実施の形態では、全ての反応ライン１０に排出切替弁２６が設置されているので、そのラインが稼動した当初の成分不良部分、および異常発生に伴う成分不良部分を、共通排出ライン２２に送ることなく、廃液容器３０へ導出することができる。
【００３０】
図８に示すのは、この発明の他の実施の形態のマイクロ化学反応システムであり、原料供給部１、反応部２および洗浄液供給部３とからなっている。原料供給部１および反応部２の構成は、基本的に先の実施の形態と同じ構成であり、符号を同じくして説明を省略する。各反応ライン１０には、マイクロリアクタ１２の下流側に、洗浄液排出容器５０へ通じる廃液ライン５２と生成物容器２８に通じる共通排出ライン２２への接続切り替えを行う排出切替弁５４が設けられている。
【００３１】
洗浄液供給部３は、洗浄液を貯留する洗浄液容器４８と、この洗浄液容器４８から洗浄液を洗浄液供給ライン５６に送出する洗浄液ポンプ５８と、洗浄液供給ライン５６と各反応ライン１０の間を開閉する洗浄液供給弁６０とを有している。この実施の形態では、洗浄液供給弁６０は、洗浄液供給ライン５６を原料供給弁４０の下流側で各反応ライン１０に接続している。これらの洗浄液供給弁６０の開閉は、原料供給弁４０とともに、制御装置４６によって制御される。なお、この実施の形態の説明では、制御装置４６と各センサおよび制御弁との接続の図示は省略している。
【００３２】
この実施の形態では、図９に示すように、各マイクロリアクタ１２に、ピエゾ素子などを利用した振動発生要素６２と、ペルチェ素子などを用いた温度調整要素６４とが設置されたマイクロリアクタベース６６が取り付けられている。また、マイクロリアクタ１２には、その温度を測定するための温度センサ６８が設けられている。これらの振動発生要素６２および温度調整要素６４は、反応を進行させるためのものではなく（そのために使用してもよいが）、洗浄液による洗浄効果を上げるためのものである。振動発生要素６２および温度調整要素６４は、制御装置４６もしくはシーケンサからの電気的な制御信号により駆動される。振動発生要素６２の周波数および振幅、温度調整要素６４の温度は、系内の洗浄に好適な条件となるように適宜に設定することができる。
【００３３】
上記のように構成されたマイクロ化学反応システムの動作について説明する。
図１０に示す定常稼動状態では、定常ライン１０ａの原料供給弁４０は開状態であり、試薬a、試薬ｂがそれぞれのポンプ３６，３８より各マイクロリアクタ１２に導入、混合され、反応生成物は共通排出ライン２２を介して生成物容器２８に送出される。予備ライン１０ｂの原料供給弁４０は閉状態であり、各試薬は導入されず、また洗浄液供給部３や洗浄液供給ライン５６は動作していない。
【００３４】
制御装置４６は、状態測定センサの測定結果に基づいて、適時、各反応ライン１０の稼動状態を判断する。そして、ある反応ライン１０が異常状態であると判断した時には、図１１に示すように、その反応ライン１０の原料供給弁４０を閉じ、ラインへの給液を停止し、予備ライン１０ｂの原料供給弁４０を開いて原料液を予備ライン１０ｂに向ける。予備ライン１０ｂの排出切替弁２６は所定の時間が経過してこのラインの状態が安定するまでは洗浄液排出容器５０側に連通させ、その後に共通排出ライン２２に連通させる。
【００３５】
そして、この異常状態が閉塞によるものである判断される場合には、図１２に示すように、異常となった反応ライン１０の排出切替弁２６を廃液ライン５２に切り替え、さらにこの反応ライン１０に通じる洗浄液供給ライン５６の洗浄液供給弁６０を開として、洗浄液をマイクロリアクタ１２に供給し、これを洗浄する。残留する反応途中の原料液と洗浄液は廃液ライン５２を介して洗浄液排出容器５０に排出される。この際、制御装置４６は、マイクロリアクタ１２の下部に設置した振動発生要素６２に信号を送ってこれを発振させる。また、併行して、温度調整要素６４に信号を送り、マイクロリアクタ１２の洗浄を促進する温度条件下で洗浄を行うようにする。
【００３６】
洗浄作業は、閉塞したラインの圧力センサ４２による測定値を制御装置４６によりモニターしながら行う。ラインが閉塞している場合、所定の流量で洗浄液を供給する場合に測定される圧力は、閉塞していない時よりも高くなっているはずである。従って、圧力センサ４２からの検出値が平常値に戻るまで、洗浄動作を継続する。圧力センサ４２の検出値が平常値に戻った場合には、図１３に示すように、洗浄液供給弁６０を閉とし、原料供給弁４０を開として、反応ライン１０およびマイクロリアクタ１２内の洗浄液を原料液に置換する。
【００３７】
なお、残留する洗浄液が排出されるまで、排出切替弁２６は洗浄液排出容器５０側にしておく。供給側を切り替えた後、所定時間が経過し、成分測定装置の測定結果が通常の反応生成物を検出したことを確認してから、排出切替弁２６を生成物容器２８側に切り替えて、図１０に示す定常の稼動状態とする。なお、制御装置４６は、洗浄作業が一定の時間を経てもなお圧力が低下しない場合には、その旨の警報を発する。
【００３８】
制御装置４６は、成分測定装置２４による成分の監視を、各ラインについて常時行っており、これが異常値と判断される場合には、供給側の切り替えの有無を問わず、排出側を排液ラインに切り替えるようにする。これにより、ある１つのラインの異常による共通排出ライン２２や生成物容器２８の汚染を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】この発明の第１の実施の形態のマイクロ化学反応システムの構成を示すブロック図である。
【図２】図１のマイクロ化学反応システムにおいて異常が発生した時の流体の流れを示すブロック図である。
【図３】図１のマイクロ化学反応システムにおいて異常が発生したラインの修復過程を示す図である。
【図４】第１の実施の形態の変形例のマイクロ化学反応システムの構成を示すブロック図である。
【図５】図４のマイクロ化学反応システムにおいて異常が発生した時の流体の流れを示すブロック図である。
【図６】第１の実施の形態のさらに他の変形例のマイクロ化学反応システムの構成と定常稼動時の流体の流れを示すブロック図である。
【図７】図６のマイクロ化学反応システムにおいて異常が発生した時の流体の流れを示すブロック図である。
【図８】この発明の第２の実施の形態のマイクロ化学反応システムの構成を示すブロック図である。
【図９】図８の実施の形態のマイクロ化学反応システムのマイクロリアクタの構成を示す斜視図である。
【図１０】図８のマイクロ化学反応システムの定常稼動時の流体の流れを示すブロック図である。
【図１１】図８のマイクロ化学反応システムにおいて異常が発生した時の切替過程を示すブロック図である。
【図１２】図８のマイクロ化学反応システムにおいて異常が発生したラインの洗浄過程を示すブロック図である。
【図１３】図８のマイクロ化学反応システムにおいて異常が発生したラインの定常状態復帰過程を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  原料供給部
２  反応部
３  洗浄液供給部
１０  反応ライン
１０ａ  定常ライン
１０ｂ  予備ライン
１２  マイクロリアクタ
１２  混合・反応器
１４  合流路
１６ａ，１６ｂ  開閉弁
１８  管継手
２０  共通給液ライン
２２  共通排出ライン
２４  成分測定装置
２６  排出切替弁
２８  生成物容器
３０  廃液容器
３１  逆止弁
３２，３４  原料液容器
３６，３８  ポンプ
４０  原料供給弁（供給切替弁）
４２  圧力センサ
４４  流量センサ
４６  制御装置
４８  洗浄液容器
５０  洗浄液排出容器
５２  廃液ライン
５４  排出切替弁
５６  洗浄液供給ライン
５８  洗浄液ポンプ
６０  洗浄液供給弁
６２  振動発生要素
６４  温度調整要素
６６  マイクロリアクタベース
６８  温度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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