(57)【要約】 【課題】性能の劣化を抑制できる光源装置を提供する。【解決手段】光源装置２０は、フランジ２４を有する放電ランプ１と、フランジ２４と当接して放電ランプ１を保持する保持装置２１とを有している。放電ランプ１は、その放電ランプ１の種類に応じてフランジ２４に形成された第１凹凸構造を備え、保持装置２１は、第１凹凸構造と嵌り合う第２凹凸構造を備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フランジを有する放電ランプと、前記フランジと当接して前記放電ランプを保持する保持装置とを有する光源装置であって、
前記放電ランプは、該放電ランプの種類に応じて前記フランジに形成された第１凹凸構造を備え、
前記保持装置は、前記第１凹凸構造と嵌り合う第２凹凸構造を備えた光源装置。
【請求項２】
前記第１凹凸構造は、凸部及び凹部の少なくとも一方を複数有し、
前記第２凹凸構造は、前記第１凹凸構造に応じて設けられた凹部及び凸部の少なくとも一方を複数有し、
前記第１凹凸構造を形成する前記凸部及び凹部の大きさ、形状、及び相対位置関係の少なくとも一つは、前記放電ランプの種類に応じて定められ、
前記第２凹凸構造を形成する前記凹部及び凸部の大きさ、形状、及び相対位置関係の少なくとも一つは、前記第１凹凸構造に応じて定められている請求項１記載の光源装置。
【請求項３】
放電ランプと、
前記放電ランプを保持可能な保持装置と、
前記保持装置が所定の放電ランプを保持したときに該所定の放電ランプを駆動可能状態に設定し、前記所定の放電ランプ以外の他の放電ランプを保持したときに該他の放電ランプを駆動不可能状態に設定する安全装置とを備えた光源装置。
【請求項４】
前記安全装置は、前記所定の放電ランプを保持したときに該所定の放電ランプを駆動するための駆動信号を通信し、前記他の放電ランプを保持したときに前記駆動信号の通信を遮断するスイッチを有する請求項３記載の光源装置。
【請求項５】
前記放電ランプは、該放電ランプの種類に応じた形状を有する識別部材を備え、
前記所定の放電ランプの前記識別部材は、前記保持装置に保持されたときに前記駆動信号を通信するように前記スイッチを操作する形状を有する請求項４記載の光源装置。
【請求項６】
前記放電ランプは、前記保持装置と当接して位置決めされるフランジを有し、
前記識別部材は、前記フランジの前記保持装置との当接面に設けられ、前記放電ランプの種類に応じた位置に配置された突起部材であり、
前記保持装置は、前記フランジとの当接面の前記突起部材に対応する位置に、前記突起部材の形状に対応した嵌合部を有し、
前記安全装置は、前記嵌合部を通じて前記スイッチを作動させる請求項５記載の光源装置。
【請求項７】
所定面を有するフランジと前記所定面から突出する軸状部材とを有する放電ランプと、
前記放電ランプを保持可能な保持装置とを備え、
前記軸状部材は、該軸状部材の表面に、前記軸状部材の軸方向から前記軸状部材の周方向に沿って連続して形成された溝を有し、
前記保持装置は、
前記フランジの前記所定面を支持する第１面、及び前記軸状部材が貫通可能な開口を有する板状部材と、
前記第１面とは反対側の第２面側において前記開口を貫通した前記軸状部材を囲むように設けられ、前記板状部材の前記第２面と対向する第３面と前記板状部材を貫通した前記軸状部材の前記溝に配置可能な凸部とを有し、前記軸状部材の周囲を前記溝に沿って回転することにより、前記板状部材を前記フランジと前記第３面との間に挟持可能なリング状部材とを有する光源装置。
【請求項８】
前記溝は、前記リング状部材の回転方向に向かうにつれて漸次窄まるテーパ状である請求項７記載の光源装置。
【請求項９】
所定の保持装置と当接して固定されるフランジを有する放電ランプであって、
前記フランジは、前記放電ランプの種類と、前記保持装置に固定される際の前記放電ランプの取り付け方向とに応じて特徴付けられた形状を有する放電ランプ。
【請求項１０】
前記フランジは、前記保持装置の保持面と当接する所定面を有し、前記所定面に前記放電ランプの種類に応じて形状、大きさ、及び位置の少なくとも一つが定められた凹部及び凸部の少なくとも一方を有する請求項９記載の放電ランプ。
【請求項１１】
前記フランジは、前記保持装置の保持面と当接する所定面を有し、該所定面から見た外形形状が前記放電ランプの種類に応じて定められている請求項９記載の放電ランプ。
【請求項１２】
所定の保持装置に保持されるフランジと前記フランジから突出する軸状部材とを有する放電ランプであって、
前記軸状部材は、該軸状部材の表面に、前記軸状部材の軸方向から前記軸状部材の周方向に沿って連続して形成された溝を有し、
前記溝に作用する前記軸方向の力により前記保持装置に保持される放電ランプ。
【請求項１３】
基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
前記露光光を射出する光源装置を備え、前記光源装置は、請求項１〜請求項８のいずれか一項記載の光源装置である露光装置。
【請求項１４】
基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
前記露光光を発生する光源を備え、前記光源は、請求項９〜請求項１２のいずれか一項記載の放電ランプである露光装置。
【請求項１５】
請求項１３又は請求項１４記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源装置、放電ランプ、露光装置、及びデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトリソグラフィ工程においては、マスクのパターンからの露光光を基板上に照射して基板を露光する露光装置が用いられる。露光装置は、露光光を発生する光源を有しており、その光源として放電ランプ（水銀ランプ）を用いる場合がある。下記特許文献１には、放電ランプを保持する保持装置を備えた光源装置、及びその光源装置を備えた露光装置に関する技術の一例が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−４５２１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
露光装置には、その露光装置に対応した最適な放電ランプが用意され、露光装置は、その最適な放電ランプを保持装置で保持する。そして、露光装置は、保持装置で保持した放電ランプに応じた最適な使用条件でその放電ランプを使用することによって、所望の性能を発揮する。したがって、露光装置においては、最適な放電ランプを保持装置で良好に保持し、その最適な放電ランプを最適な使用条件で使用することが重要である。ところが、保持装置に最適な放電ランプが保持されず、例えば作業者によって違う種類の放電ランプが取り付けられてしまう可能性がある。その場合、所望状態の露光光を射出できなくなる等、光源装置及び放電ランプの性能が劣化する可能性があり、ひいては、露光装置の性能が劣化する可能性がある。
【０００４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、性能の劣化を抑制できる光源装置を提供することを目的とする。また、最適な使用条件で使用可能な放電ランプを提供することを目的とする。また、最適な放電ランプを用いて所望の性能を発揮できる露光装置、及びデバイス製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するため、本発明は実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。
【０００６】
本発明の第１の態様に従えば、フランジ（２４）を有する放電ランプ（１）と、フランジ（２４）と当接して放電ランプ（１）を保持する保持装置（２１）とを有する光源装置であって、放電ランプ（１）は、該放電ランプ（１）の種類に応じてフランジ（２４）に形成された第１凹凸構造（３１）を備え、保持装置（２１）は、第１凹凸構造（３１）と嵌り合う第２凹凸構造（３２）を備えた光源装置（２０）が提供される。
【０００７】
本発明の第１の態様によれば、最適な放電ランプを保持装置で良好に保持し、その最適な放電ランプを最適な使用条件で使用することができる。したがって、光源装置の性能の劣化を抑制できる。
【０００８】
本発明の第２の態様に従えば、放電ランプ（１）と、放電ランプ（１）を保持可能な保持装置（２１）と、保持装置（２１）が所定の放電ランプ（１）を保持したときに該所定の放電ランプ（１）を駆動可能状態に設定し、所定の放電ランプ（１）以外の他の放電ランプ（１’）を保持したときに該他の放電ランプ（１’）を駆動不可能状態に設定する安全装置（５０）とを備えた光源装置（２０）が提供される。
【０００９】
本発明の第２の態様によれば、最適な放電ランプを保持装置で良好に保持し、その最適な放電ランプを最適な使用条件で使用することができる。したがって、光源装置の性能の劣化を抑制できる。
【００１０】
本発明の第３の態様に従えば、所定面（２６）を有するフランジ（２４）と所定面（２６）から突出する軸状部材（７０）とを有する放電ランプ（１）と、放電ランプ（１）を保持可能な保持装置（２１）とを備え、軸状部材（７０）は、該軸状部材（７０）の表面に、軸状部材（７０）の軸方向から軸状部材の周方向に沿って連続して形成された溝（７１）を有し、保持装置（２１）は、フランジ（２４）の所定面（２６）を支持する第１面（８１）、及び軸状部材（７０）が貫通可能な開口（８３）を有する板状部材（８０）と、第１面（８１）とは反対側の第２面（８２）側において開口（８３）を貫通した軸状部材（７０）を囲むように設けられ、板状部材（８０）の第２面（８２）と対向する第３面（９１）と板状部材（８０）を貫通した軸状部材（７０）の溝（７１）に配置可能な凸部（９２）とを有し、軸状部材（７０）の周囲を溝（７１）に沿って回転することにより、板状部材（８０）をフランジ（２４）と第３面（９１）との間に挟持可能なリング状部材（９０）とを有する光源装置（２０）が提供される。
【００１１】
本発明の第３の態様によれば、最適な放電ランプを保持装置で良好に保持し、その最適な放電ランプを最適な使用条件で使用することができる。したがって、光源装置の性能の劣化を抑制できる。
【００１２】
本発明の第４の態様に従えば、所定の保持装置（２１）と当接して固定されるフランジ（２４）を有する放電ランプであって、フランジ（２４）は、放電ランプ（１）の種類と、保持装置（２１）に固定される際の放電ランプ（１）の取り付け方向とに応じて特徴付けられた形状を有する放電ランプ（１）が提供される。
【００１３】
本発明の第４の態様によれば、放電ランプは最適な使用条件で使用される。したがって、放電ランプの性能の劣化を抑制できる。
【００１４】
本発明の第５の態様に従えば、所定の保持装置（２１）に保持されるフランジ（２４）とフランジ（２４）から突出する軸状部材（７０）とを有する放電ランプであって、軸状部材（７０）は、該軸状部材（７０）の表面に、軸状部材（７０）の軸方向から軸状部材（７０）の周方向に沿って連続して形成された溝（７１）を有し、溝（７１）に作用する軸方向の力により保持装置（２１）に保持される放電ランプ（１）が提供される。
【００１５】
本発明の第５の態様によれば、放電ランプは最適な使用条件で使用される。したがって、放電ランプの性能の劣化を抑制できる。
【００１６】
本発明の第６の態様に従えば、基板（Ｐ）上に露光光（ＥＬ）を照射して基板（Ｐ）を露光する露光装置において、露光光（ＥＬ）を射出する光源装置を備え、光源装置は、上記態様の光源装置（２０）である露光装置（ＥＸ）が提供される。
【００１７】
本発明の第６の態様によれば、最適な光源装置を用いて所望の性能を発揮できる。
【００１８】
本発明の第７の態様に従えば、基板（Ｐ）上に露光光（ＥＬ）を照射して基板（Ｐ）を露光する露光装置において、露光光（ＥＬ）を発生する光源を備え、光源は、上記態様の放電ランプ（１）である露光装置（ＥＸ）が提供される。
【００１９】
本発明の第７の態様によれば、最適な放電ランプを用いて所望の性能を発揮できる。
【００２０】
本発明の第８の態様に従えば、上記態様の露光装置を用いるデバイス製造方法が提供される。
【００２１】
本発明の第８の態様によれば、所望の性能を発揮できる露光装置を用いてデバイスを製造することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、装置の性能の劣化を抑制でき、基板を良好に露光することができる。したがって、所望の性能を有するデバイスを製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内における所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００２４】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係る露光装置ＥＸを示す概略構成図である。図１において、露光装置ＥＸは、パターンが形成されたマスクＭを保持して移動可能なマスクステージ１４と、基板Ｐを保持して移動可能な基板ステージ１５と、露光光ＥＬを射出する光源装置２０と、光源装置２０から射出された露光光ＥＬをマスクＭに導き、その露光光ＥＬでマスクＭを照明する照明光学系ＩＬと、露光光ＥＬで照明されたマスクＭのパターンの像を基板Ｐ上に投影する投影光学系ＰＬと、露光装置ＥＸ全体の動作を制御する制御装置１６とを備えている。なお、ここでいう基板は半導体ウエハ等の基材上に感光材（フォトレジスト）を塗布したものを含み、マスクは基板上に縮小投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含む。
【００２５】
光源装置２０は、露光光ＥＬを発生する放電ランプ１と、放電ランプ１を保持する保持装置２１と、放電ランプ１から発生した露光光ＥＬを集光する楕円鏡２とを備えている。光源装置２０は、不図示のランプハウス（ハウジング）の内側に配置されている。放電ランプ１は、陰極及び陽極を有する超高圧水銀ランプを含む。放電ランプ（水銀ランプ）１は、発光管内に封入された水銀を蒸発させて発光する。放電ランプ１は、第１口金１Ａと第２口金１Ｂとを有している。第１口金１Ａは陽極側に設けられ、第２口金１Ｂは陰極側に設けられている。第１、第２口金１Ａ、１Ｂは、例えばモリブデン等の金属部材であって、放電ランプ１は、その第１、第２口金１Ａ、１Ｂを介して電力を受ける。また、露光装置ＥＸは、第１、第２口金１Ａ、１Ｂのそれぞれに対してガス（例えば圧縮空気）を吹き付ける第１、第２ノズル１７、１８を有している。第１、第２ノズル１７、１８のそれぞれは、不図示のガス供給装置に接続されており、第１、第２ノズル１７、１８のそれぞれから供給されるガスによって、第１、第２口金１Ａ、１Ｂの温度が調整される。
【００２６】
保持装置２１は、放電ランプ１を保持する保持部材２２を備えている。保持部材２２は、放電ランプ１の陰極側である下端を保持する。楕円鏡２は、不図示の支持装置に支持されており、保持装置２１は、放電ランプ１を楕円鏡２に対して独立して保持する。また、本実施形態の保持装置２１は、例えば特開２００４−２９６１２５号公報に開示されているような、保持部材２２に保持された放電ランプ１の位置を調整可能な位置調整機構２３を備えている。位置調整機構２３は、ラックピニオンステージを含み、放電ランプ１を保持する保持部材２２をＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸方向に移動可能に支持する。位置調整機構２３は、楕円鏡２及び照明光学系ＩＬの少なくとも一方に対する放電ランプ１の位置を調整可能である。
【００２７】
本実施形態の照明光学系ＩＬは、例えば特開２００４−６９８６３号公報に開示されているように、ダイクロイックミラー３、シャッタ４、コリメータレンズ５、波長選択フィルタ６、オプティカルインテグレータ７、フィールドレンズ８、ハーフミラー９、リレーレンズ１０、ブラインド装置１１、コンデンサレンズ１２、及び折り曲げミラー１３等を備えている。照明光学系ＩＬは、マスクＭ上の所定の照明領域を均一な照度分布の露光光ＥＬで照明する。本実施形態においては、照明光学系ＩＬから射出される露光光ＥＬとして、放電ランプ１から射出される輝線のうち、ｉ線（波長３６５ｎｍ）が用いられる。
【００２８】
マスクステージ１４は、マスクステージ駆動装置１４Ｄの駆動により、マスクＭを保持した状態で、Ｘ軸、Ｙ軸、及びθＺ方向に移動可能である。マスクステージ１４のＸ軸、Ｙ軸、及びθＺ方向の位置情報は、レーザ干渉計１４Ｌによって計測される。制御装置１６は、レーザ干渉計１４Ｌの計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置１４Ｄを駆動し、マスクステージ１４に保持されているマスクＭの位置制御を行う。
【００２９】
投影光学系ＰＬは、マスクＭのパターンの像を所定の投影倍率で基板Ｐに投影する。本実施形態の投影光学系ＰＬは、その投影倍率が例えば１／４、１／５、１／８等の縮小系である。なお、投影光学系ＰＬは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系ＰＬは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。また、投影光学系ＰＬは、倒立像と正立像とのいずれを形成してもよい。
【００３０】
基板ステージ１５は、基板ステージ駆動装置１５Ｄの駆動により、基板Ｐを保持した状態で、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６自由度の方向に移動可能である。基板ステージ１５のＸ軸、Ｙ軸、及びθＺ方向の位置情報は、レーザ干渉計１５Ｌによって計測され、基板ステージ１５に保持されている基板Ｐの表面の面位置情報（Ｚ軸、θＸ、及びθＹ方向に関する位置情報）は、不図示のフォーカス・レベリング検出系によって検出される。制御装置１６は、レーザ干渉計１５Ｌの計測結果及びフォーカス・レベリング検出系の検出結果に基づいて基板ステージ駆動装置１５Ｄを駆動し、基板ステージ１５に保持されている基板Ｐの位置制御を行う。
【００３１】
露光装置ＥＸは、マスクステージ１４に保持されているマスクＭを照明光学系ＩＬからの露光光ＥＬで照明し、マスクＭからの露光光ＥＬを投影光学系ＰＬを介して基板ステージ１５に保持された基板Ｐ上に照射することによって、マスクＭのパターンの像を基板Ｐ上に投影して、基板Ｐを露光する。
【００３２】
次に、本実施形態に係る光源装置２０について説明する。図２は、本実施形態に係る光源装置２０を示す斜視図、図３（Ａ）は、光源装置２０の一部のＸＺ平面と平行な断面図、図３（Ｂ）は、光源装置２０の一部のＹＺ平面と平行な断面図である。図３（Ａ）は、図２のＡ−Ａ線断面矢視図に相当し、図３（Ｂ）は、図２のＢ−Ｂ線断面矢視図に相当する。
【００３３】
図２及び図３において、光源装置２０は、放電ランプ１と、その放電ランプ１を保持する保持部材２２を含む保持装置２１とを備えている。本実施形態においては、放電ランプ１は、フランジ２４を有している。フランジ２４は、第２口金１Ｂの下端に設けられている。保持装置２１の保持部材２２は、放電ランプ１のフランジ２４を保持する上面２５を有し、フランジ２４の下面２６と当接して、放電ランプ１を保持する。すなわち、放電ランプ１のフランジ２４は、保持部材２２の上面２５と当接する下面２６を有し、保持部材２２は、その保持部材２２の上面２５をフランジ２４の下面２６と当接することによって、放電ランプ１を保持する。すなわち、本実施形態においては、保持部材２２の上面２５の少なくとも一部は、放電ランプ１を保持するための保持面として機能し、放電ランプ１は、フランジ２４の下面２６を保持部材２２の上面２５と当接することによって、保持部材２２に保持される。
【００３４】
フランジ２４の複数の所定位置には、雄ねじ溝を有する雄ねじ部材（ボルト部材）２７を配置可能な孔２８が形成されており、保持部材２２の複数の所定位置には、雄ねじ部材２７の雄ねじ溝に対応する雌ねじ溝を有する雌ねじ孔２９が形成されている。フランジ２４の孔２８に雄ねじ部材２７を配置し、雌ねじ孔２９に対して雄ねじ部材２７を回転することで、放電ランプ１のフランジ２４は、保持部材２２に固定される。本実施形態においては、雄ねじ部材２７及びその雄ねじ部材２７に対応する雌ねじ孔２９は２つずつ設けられている。
【００３５】
放電ランプ１は、その放電ランプ１の種類に応じてフランジ２４に形成された第１凹凸構造３１を備えており、保持装置２１の保持部材２２は、第１凹凸構造３１と嵌り合う第２凹凸構造３２を備えている。第１凹凸構造３１は、フランジ２４の下面２６に形成されており、第２凹凸構造３２は、保持部材２２の上面２５に形成されている。
【００３６】
図４は、フランジ２４を下面２６側から見た図、図５は、保持部材２２を上面２５側から見た図である。図４に示すように、本実施形態においては、フランジ２４の下面２６側から見た外形形状は、略十字状である。また、雄ねじ部材２７を配置するための孔２８は、フランジ２４の下面２６の中央に対して、図中、Ｙ軸方向両側のそれぞれに１つずつ形成されている。
【００３７】
本実施形態においては、第１凹凸構造３１は、フランジ２４の下面２６に設けられた−Ｚ方向に突出する凸部３３を複数有しており、第２凹凸構造３２は、第１凹凸構造３１の凸部３３に応じて保持部材２２の上面２５に設けられた凹部３４を複数有している。第１凹凸構造３１を形成する複数の凸部３３の大きさ、形状、及び相対位置関係は、放電ランプ１の種類に応じて定められており、第２凹凸構造３２を形成する複数の凹部３４の大きさ、形状、及び相対位置関係は、それぞれの凸部３３と凹部３４とが嵌り合うように、第１凹凸構造３１の複数の凸部３３に応じて定められている。
【００３８】
本実施形態においては、第１凹凸構造３１は、フランジ２４の下面２６の所定位置に設けられた第１凸部３３Ａと、第１凸部３３Ａに対して第１の位置関係で設けられた第２凸部３３Ｂと、第１凸部３３Ａに対して第２の位置関係で設けられた第３凸部３３Ｃとを有している。本実施形態においては、第１凸部３３Ａは、フランジ２４の下面２６のほぼ中央に形成され、第２凸部３３Ｂは、第１凸部３３Ａに対して第１の距離Ｌ１だけ離れた＋Ｘ側に形成され、第３凸部３３Ｃは、第１凸部３３Ａに対して第２の距離Ｌ２だけ離れた−Ｘ側に形成されている。本実施形態においては、第１の距離Ｌ１と第２の距離Ｌ２とはほぼ同じである。
【００３９】
また、第１凸部３３Ａの下面２６側から見た外形形状は、第１の形状であり、第２凸部３３Ｂの下面２６側から見た外形形状は、第２の形状であり、第３凸部３３Ｃの下面２６側から見た外形形状は、第３の形状である。本実施形態においては、第１凸部３３Ａの下面２６側から見た外形形状は、略円形状である。また、本実施形態においては、第２凸部３３Ｂの下面２６側から見た外形形状、及び第３凸部３３Ｃの下面２６側から見た外形形状も、略円形状である。
【００４０】
また、第１凸部３３Ａの下面２６側から見た大きさ（径）は、第１の値Ｄ１であり、第２凸部３３Ｂの下面２６側から見た大きさ（径）は、第２の値Ｄ２であり、第３凸部３３Ｃの下面２６側から見た大きさ（径）は、第３の値Ｄ３である。本実施形態においては、第２の値Ｄ２と第３の値Ｄ３とはほぼ同じであり、第１の値Ｄ１は、第２の値Ｄ２及び第３の値Ｄ３よりも大きい。すなわち、本実施形態においては、第２凸部３３Ｂと第３凸部３３Ｃとはほぼ同じ大きさであり、第１凸部３３Ａは、第２凸部３３Ｂ及び第３凸部３３Ｃより大きい。
【００４１】
第２凹凸構造３２を形成する複数の凹部３４の大きさ、形状、及び相対位置関係は、それぞれの凸部３３と凹部３４とが嵌り合うように、第１凹凸構造３１の複数の凸部３３に応じて定められている。図５に示すように、本実施形態においては、第２凹凸構造３２は、第１凹凸構造３１の第１、第２、第３凸部３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃのそれぞれと嵌り合うように、その大きさ、形状、及び位置が定められた第１、第２、第３凹部３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃを有している。
【００４２】
また、第１凹凸構造３１の複数の凸部３３のそれぞれと第２凹凸構造３２の複数の凹部３４のそれぞれとが嵌り合うことによって、放電ランプ１の取り付け方向が規定される。このように、放電ランプ１のフランジ２４は、放電ランプ１の種類と、保持部材２２に固定される際の放電ランプ１の取り付け方向とに応じて特徴付けられた形状を有する。
【００４３】
次に、上述の構成を有する放電ランプ１を保持装置２１で保持する動作の一例について説明する。放電ランプ１を保持装置２１で保持するために、フランジ２４の第１凹凸構造３１の第１、第２、第３凸部３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃと、それら第１、第２、第３凸部３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃに対応する保持部材２２の第２凹凸構造３２の第１、第２、第３凹部３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃとを位置決めし、第１、第２、第３凸部３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃと、第１、第２、第３凹部３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃとを嵌め合う。放電ランプ１が露光装置ＥＸに対応する最適なものである場合、第１凹凸構造３１と第２凹凸構造３２とは良好に嵌り合う。第１凹凸構造３１の複数の凸部３３のそれぞれと第２凹凸構造３２の複数の凹部３４のそれぞれとが嵌り合うことによって、放電ランプ１のフランジ２４の下面２６と保持部材２２の上面２５とが当接される。そして、フランジ２４の下面２６と保持部材２２の上面２５とを当接した状態で、フランジ２４の孔２８に雄ねじ部材２７を配置し、雌ねじ孔２９に対して雄ねじ部材２７を回転することで、放電ランプ１のフランジ２４は、保持部材２２と当接して固定される。
【００４４】
以上説明したように、本実施形態においては、露光装置ＥＸに対応した最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。したがって、光源装置２０の性能の劣化を抑制でき、ひいては露光装置ＥＸの性能の劣化を抑制できる。したがって、基板Ｐを良好に露光することができる。
【００４５】
露光装置ＥＸには、その露光装置ＥＸに対応した最適な放電ランプ１が用意されており、露光装置ＥＸは、その最適な放電ランプ１を保持装置２１で保持し、その保持装置２１で保持した放電ランプ１に応じた最適な使用条件でその放電ランプ１を使用することによって、所望の性能を発揮する。すなわち、放電ランプ１には、最適な使用温度（例えば第１，第２口金１Ａ、１Ｂの最適使用温度）、第１、第２ノズル１７、１８等を用いた放電ランプ１の最適な温度制御方法、第１、第２口金１Ａ、１Ｂを介して放電ランプ１に供給される最適な電流量、及び放電ランプ１の最適な制御方法等、最適な使用条件が、放電ランプ１の種類毎に定められており、露光装置ＥＸは、その露光装置ＥＸに対応した最適な種類の放電ランプ１を保持装置２１で保持し、その保持装置２１で保持した放電ランプ１に応じた最適な使用条件でその放電ランプ１を使用することを前提としている。したがって、露光装置ＥＸに対応した最適な種類の放電ランプ１を保持装置２１で保持し、その放電ランプ１の種類に応じた最適な使用条件で使用することが重要である。ところが、例えば作業者が誤って、露光装置ＥＸに対応する最適な放電ランプ１を保持装置２１に取り付けずに、露光装置ＥＸに対応しない違う種類の放電ランプを取り付けてしまう可能性がある。違う種類の放電ランプであっても、例えば外観が似ていると、作業者が誤って違う種類の放電ランプを保持装置に取り付けてしまう可能性がある。露光装置ＥＸに対応していない違う種類の放電ランプ１が保持装置に保持されてしまうと、放電ランプを最適な使用条件で使用できなくなり、例えば、所望の光量の露光光ＥＬを得ることができなくなる等、所望状態の露光光ＥＬを射出できなくなる可能性がある。
【００４６】
本実施形態においては、放電ランプ１は、その放電ランプ１の種類に応じてフランジ２４に形成された第１凹凸構造３１を備え、保持装置２１の保持部材２２は、第１凹凸構造３１と嵌り合う第２凹凸構造３２を備えているので、例えば作業者が誤って露光装置ＥＸと対応していない違う種類の放電ランプ１を保持装置２１に取り付けてしまうといった不具合の発生を抑制することができる。すなわち、本実施形態においては、露光装置ＥＸに対応する最適な放電ランプ以外の他の放電ランプが保持装置２１の保持部材２２に保持されるのを阻止することができる。したがって、露光装置ＥＸに対応する最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。したがって、光源装置２０の性能の劣化を抑制でき、ひいては露光装置ＥＸの性能の劣化を抑制できる。
【００４７】
そして、放電ランプ１の種類に応じて、第１凹凸構造３１を形成する複数の凸部３３の大きさ、形状、及び相対位置関係を定め、その定めた結果に基づいて凸部３３を形成するとともに、保持装置２１の保持部材２２に、凸部３３に応じてその大きさ、形状、及び相対位置関係が定められた凹部３４を形成することによって、違う種類の放電ランプ１が保持装置２１の保持部材２２に取り付けられてしまうことを抑制できる。
【００４８】
なお、本実施形態においては、第１凹凸構造３１は−Ｚ方向に突出する凸部３３のみを有し、第２凹凸構造３２は凹部３４のみを有している場合について説明したが、もちろん、第１凹凸構造３１が＋Ｚ方向に凹む凹部のみを有していてもよいし、凸部及び凹部の両方を有していてもよい。そして、保持部材２２に、第１凹凸構造３１と嵌り合う凸部、若しくは凹部及び凸部の両方を形成することにより、第１凹凸構造３１と第２凹凸構造３２と嵌め合うことができる。
【００４９】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。上述の第１実施形態においては、フランジ２４の下面２６に設けられた第１凹凸構造３１と、保持部材２２の上面２５に設けられた第２凹凸構造３２とを用いて、露光装置ＥＸに対応しない違う種類の放電ランプが保持部材２２に保持されるのを阻止しているが、本実施形態の特徴的な部分は、下面２６側から見たフランジ２４の外形形状が、放電ランプ１の種類と、保持装置２１に固定される際の放電ランプ１の取り付け方向とに応じて特徴付けられている点にある。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００５０】
図６（Ａ）は、第２実施形態に係る光源装置２０の一部のＸＺ平面と平行な断面図、図６（Ｂ）は、光源装置２０の一部のＹＺ平面と平行な断面図である。図６に示すように、本実施形態に係る光源装置２０も、放電ランプ１と、その放電ランプ１を保持する保持部材２２を含む保持装置２１とを備えている。放電ランプ１は、フランジ２４を有している。フランジ２４は、第２口金１Ｂの下端に設けられている。
【００５１】
本実施形態においては、保持装置２１の保持部材２２は、放電ランプ１のフランジ２４と嵌り合う凹部３５を有している。凹部３５は、放電ランプ１の上面２５に形成されている。放電ランプ１のフランジ２４の下面２６は、凹部３５の内側の＋Ｚ方向を向く面（保持面）３６と当接可能であり、保持装置２１の保持部材２２は、保持面３６をフランジ２４の下面２６と当接することによって、放電ランプ１を保持する。保持部材２２の保持面３６は、ＸＹ平面とほぼ平行である。また、上述の第１実施形態と同様、フランジ２４の複数の所定位置には、雄ねじ部材（ボルト部材）２７を配置可能な孔２８が形成されており、保持部材２２の複数の所定位置には、雄ねじ部材２７に対応する雌ねじ孔２９が形成されている。
【００５２】
図７は、フランジ２４を下面２６側から見た図、図８は、保持部材２２を上面２５側から見た図である。放電ランプ１のフランジ２４は、下面２６側から見た外形形状が、放電ランプ１の種類と、保持装置２１に固定される際の放電ランプ１の取り付け方向とに応じて特徴付けられている。また、保持部材２２の凹部３５は、上面２５側から見た形状が、フランジ２４と嵌り合うように定められている。図７に示すように、本実施形態においては、フランジ２４の下面２６側から見た外形形状は、略八角形状であり、８つの辺のうち、１つの辺は、他の辺よりも長い。また、図８に示すように、凹部３５の上面２５側から見た形状は、フランジ２４と凹部３５とが嵌り合うように、フランジ２４に応じて、略八角形状である。
【００５３】
次に、上述の構成を有する放電ランプ１を保持装置２１で保持する動作の一例について説明する。放電ランプ１を保持装置２１で保持するために、フランジ２４と、保持部材２２の凹部３５とを位置決めし、フランジ２４と凹部３５とを嵌め合う。放電ランプ１が露光装置ＥＸに対応する最適なものである場合、フランジ２４と凹部３５とは良好に嵌り合う。フランジ２４と凹部３５とが嵌り合うことによって、放電ランプ１のフランジ２４の下面２６と保持部材２２の凹部３５の内側の保持面３６とが当接される。そして、フランジ２４の孔２８に雄ねじ部材２７を配置し、雌ねじ孔２９に対して雄ねじ部材２７を回転することで、放電ランプ１のフランジ２４は、保持部材２２と当接して固定される。本実施形態においては、フランジ２４と凹部３５とが嵌り合うことによって、放電ランプ１の取り付け方向が規定される。
【００５４】
以上説明したように、本実施形態においても、露光装置ＥＸに対応しない放電ランプが保持装置２１に保持されるのを阻止することができるとともに、フランジ２４と凹部３５とが嵌り合うことによって、放電ランプ１の取り付け方向が規定される。したがって、露光装置ＥＸに対応する最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。
【００５５】
＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態について説明する。第３実施形態は、第２実施形態の変形例であり、図９は、フランジ２４を下面２６側から見た図、図１０は、保持部材２２を上面２５側から見た図である。本実施形態においても、放電ランプ１のフランジ２４は、下面２６側から見た外形形状が、放電ランプ１の種類と、保持装置２１に固定される際の放電ランプ１の取り付け方向とに応じて特徴付けられている。また、保持部材２２の凹部３５は、上面２５側から見た形状が、フランジ２４と嵌り合うように定められている。図９に示すように、本実施形態においては、フランジ２４の下面２６側から見た外形形状は、略円形状の板状部材の周縁の複数の所定位置のそれぞれに、放射方向（ＸＹ方向）に突出する凸部３７を有する形状を有している。本実施形態においては、凸部３７は、フランジ２４の中央に対して、＋Ｘ側、＋Ｙ側、−Ｙ側の３つの位置のそれぞれに形成されている。また、図１０に示すように、凹部３５の上面２５側から見た形状は、フランジ２４と凹部３５とが嵌り合うように、フランジ２４の凸部３７に応じて、保持面３６の中央から離れる方向に凹む凹部３８を有する形状を有している。
【００５６】
本実施形態においても、露光装置ＥＸに対応しない放電ランプが保持装置２１に保持されるのを阻止することができるとともに、フランジ２４と凹部３５とが嵌り合うことによって、放電ランプ１の取り付け方向が規定される。したがって、露光装置ＥＸに対応する最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。
【００５７】
＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態について説明する。第４実施形態は、第２、第３実施形態の変形例であり、図１１は、フランジ２４を下面２６側から見た図、図１２は、保持部材２２を上面２５側から見た図である。本実施形態においても、放電ランプ１のフランジ２４は、下面２６側から見た外形形状が、放電ランプ１の種類と、保持装置２１に固定される際の放電ランプ１の取り付け方向とに応じて特徴付けられている。また、保持部材２２の凹部３５は、上面２５側から見た形状が、フランジ２４と嵌り合うように定められている。図１１に示すように、本実施形態においては、フランジ２４の下面２６側から見た外形形状は、略円形状の板状部材の周縁の複数の所定位置のそれぞれに、フランジ２４の中央に向かってＸＹ方向に凹む凹部３９を有する形状を有している。本実施形態においては、凹部３９は、フランジ２４の中央に対して、＋Ｘ側、＋Ｙ側、−Ｙ側の３つの位置のそれぞれに形成されている。また、図１２に示すように、凹部３５の上面２５側から見た形状は、フランジ２４と凹部３９とが嵌り合うように、フランジ２４の凹部３９に応じて、保持面３６の中央に向かって突出する凸部４０を有する形状を有している。
【００５８】
本実施形態においても、露光装置ＥＸに対応しない放電ランプが保持装置２１に保持されるのを阻止することができるとともに、フランジ２４と凹部３５とが嵌り合うことによって、放電ランプ１の取り付け方向が規定される。したがって、露光装置ＥＸに対応する最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。
【００５９】
なお、上述の第２〜第４実施形態において、フランジ２４の下面２６に、放電ランプ１の種類に応じて形状、大きさ、及び位置の少なくとも１つが定められた−Ｚ方向に突出する凸部３３を形成し、保持部材２２の保持面３６に、フランジ２４の下面２６に形成された凸部３３と嵌り合う凹部３４を形成してもよい。また、フランジ２４の下面２６に凹部を形成し、保持部材２２の保持面３６に、フランジ２４の下面２６に形成された凹部と嵌り合う凸部を形成してもよい。
【００６０】
＜第５実施形態＞
次に、第５実施形態について説明する。本実施形態の光源装置２０の特徴的な部分は、保持装置２１が露光装置ＥＸに対応する放電ランプ１を保持したときに、その放電ランプ１を駆動可能状態に設定し、露光装置ＥＸに対応しない違う種類の放電ランプ１’を保持したときに、その違う種類の放電ランプ１’を駆動不可能状態に設定する安全装置５０を備えた点にある。
【００６１】
図１３は、第５実施形態に係る光源装置２０を示す概略斜視図、図１４は、第５実施形態に係るフランジ２４を下面２６側から見た図、図１５は、光源装置２０の一部の側断面図である。図１３に示すように、光源装置２０は、放電ランプ１と、その放電ランプ１を保持可能な保持部材２２を含む保持装置２１とを備えている。放電ランプ１はフランジ２４を有している。また、保持装置２１の保持部材２２は、放電ランプ１のフランジ２４と嵌り合う凹部３５を有している。
【００６２】
図１４に示すように、フランジ２４の下面２６側から見た外形形状は、放電ランプ１の種類と、保持装置２１に固定される際の放電ランプ１の取り付け方向とに応じて特徴付けられている。本実施形態においては、フランジ２４の下面２６側から見た外形形状は、略円形状の板状部材の周縁の複数の所定位置のそれぞれを、円弧状に切り欠いた形状を有している。また、上述の実施形態と同様、フランジ２４の複数の所定位置には、雄ねじ部材（ボルト部材）２７を配置可能な孔２８が形成されており、保持部材２２の上面の複数の所定位置には、雄ねじ部材２７に対応する雌ねじ孔２９が形成されている。本実施形態においては、雄ねじ部材２７及びその雄ねじ部材２７に対応する雌ねじ孔２９は３つずつ設けられている。
【００６３】
また、フランジ２４は、放電ランプ１を種類に応じて形成された第１凹凸構造３１を有している。第１凹凸構造３１は、フランジ２４の下面２６に形成された凸部３３を複数有している。本実施形態においては、第１凹凸構造３１は、フランジ２４の下面２６の中央に設けられた第１凸部３３Ａと、フランジ２４の下面２６の所定位置に設けられた第２凸部３３Ｂとを有している。第２凸部３３Ｂは、フランジ２４の下面２６に設けられ、放電ランプ１の種類に応じた位置に配置された突起部材であり、放電ランプ１の種類に応じた形状を有している。本実施形態においては、第１凸部３３Ａ及び第２凸部３３Ｂの下面２６側から見た外形形状は、略円形状である。
【００６４】
図１５に示すように、保持部材２２は、フランジ２４の第１凹凸構造３１と嵌り合う第２凹凸構造３２を備えている。保持部材２２の凹部３５の内側には、フランジ２４の下面２６と当接する保持面３６が形成されており、第２凹凸構造３２は、保持部材２２の保持面３６に形成され、フランジ２４の第１凸部３３Ａと嵌り合う第１凹部３４Ａと、第２凸３３Ｂと嵌り合う開口部３４Ｂ’とを含む。開口部３４Ｂ’は、保持部材２２の保持面３６の第２凸部３３Ｂと対応する位置に形成されている。開口部３４Ｂ’は、第２凸部３３Ｂの形状に対応しており、第２凸部３３Ｂを配置可能である。保持部材２２は、フランジ２４と当接して放電ランプ１を保持し、放電ランプ１は、フランジ２４を保持部材２２と当接させることによって、保持部材２２に対して位置決めされる。
【００６５】
図１５において、光源装置２０は、保持装置２１が露光装置ＥＸに対応する放電ランプ１を保持したときにその放電ランプ１を駆動可能状態に設定し、露光装置ＥＸに対応する放電ランプ１以外の他の放電ランプ１’を保持したときにその他の放電ランプ１’を駆動不可能状態に設定する安全装置５０を備えている。安全装置５０は、露光装置ＥＸに対応する放電ランプ１を保持したときにその放電ランプ１を駆動するための駆動信号を通信し、他の放電ランプ１’を保持したときに駆動信号の通信を遮断するスイッチ５１を有している。放電ランプ１の第２凸部３３Ｂは、保持部材２２に保持されたときに、駆動信号を通信するようにスイッチ５１を操作する形状を有している。
【００６６】
本実施形態においては、保持部材２２は、内部空間５７を有しており、その内部空間５７には中間部材５２が配置されている。中間部材５２は、Ｚ軸方向に延びるピン状部材５３と、そのピン状部材５３のＺ軸方向（長手方向）の所定位置に形成されたフランジ５４とを有しており、少なくともＺ軸方向に移動可能である。また、中間部材５２は、ばね部材５６によって上方（＋Ｚ方向）に付勢されている。保持部材２２の内部空間５７の内側には、中間部材５２のフランジ５４の下面と対向し、ばね部材５６を支持する支持面５５が形成されており、ばね部材５６は、フランジ５４の下面と支持面５５との間に配置されている。ばね部材５６は、フランジ５４を有する中間部材５２を上方（＋Ｚ方向）に付勢する。
【００６７】
また、保持部材２２は、内部空間５７と保持部材２２の下面側の空間とを接続するように形成された貫通孔５８を有している。貫通孔５８は、支持面５５と保持部材２２の下面とを貫通するように形成されており、支持面５５は、貫通孔５８の上端を囲むように形成されている。中間部材５２のピン状部材５３の下端は、貫通孔５８をＺ軸方向に移動可能である。スイッチ５１は、貫通孔５８の下方に配置されており、中間部材５２は、貫通孔５８を通じて、スイッチ５１を操作可能である。
【００６８】
開口部３４Ｂ’は、内部空間５７と保持部材２２の上面２５側（保持面３６側）の空間とを接続するように形成された貫通孔を含む。開口部３４Ｂ’は、保持面３６と内部空間５７の内面６２とを貫通するように形成されている。中間部材５２のピン状部材５３の上端は、開口部３４Ｂ’をＺ軸方向に移動可能である。また、開口部３４Ｂ’は、第２凸部３３Ｂと嵌合可能である。中間部材５２は、開口部３４Ｂ’に配置される第２凸部３３Ｂと、スイッチ５１との間において、Ｚ軸方向に移動可能に設けられている。
【００６９】
図１５に示すように、フランジ２４が凹部３５に配置され、第２凸部３３Ｂと開口部３４Ｂ’とが嵌り合い、第２凸部３３Ｂが開口部３４Ｂ’の内側に配置されたとき、第２凸部３３Ｂの下端と中間部材５２のピン状部材５３の上端とが接触し、第２凸部３３Ｂは、中間部材５２を下方（−Ｚ方向）に移動する。第２凸部３３Ｂは、開口部３４Ｂ’を通じて、中間部材５２を下方（−Ｚ方向）に移動可能な形状を有しており、開口部３４Ｂ’の内側に配置されることによって、中間部材５２を下方（−Ｚ方向）に移動可能である。一方、第２凸部３３Ｂと開口部３４Ｂ’とが嵌り合っておらず、第２凸部３３が開口部３４Ｂ’の内側に配置されていないとき、すなわち、中間部材５２に対して開口部３４Ｂ’を通じて外力が作用されていないとき、中間部材５２は、ばね部材５６の付勢力によって、上方（＋Ｚ方向）に移動する。
【００７０】
次に、上述の構成を有する放電ランプ１を保持装置２１に保持する動作の一例について説明する。フランジ２４の第１凹凸構造３１と保持部材２２の第２凹凸構造３２とを嵌め合い、放電ランプ１のフランジ２４の下面２６と保持部材２２の保持面３６とを当接させる。放電ランプ１が露光装置ＥＸに対応する最適なものである場合、第１凹凸構造３１と第２凹凸構造３２とは良好に嵌り合う。第１凹凸構造３１と第２凹凸構造３２とが嵌り合うことによって、放電ランプ１のフランジ２４の下面２６と保持部材２２の保持面３６とが当接され、放電ランプ１のフランジ２４は保持部材２２に対して位置決めされる。図１５に示すように、第２凸部３３Ｂと開口部３４Ｂ’とが嵌り合うと、その第２凸部３３Ｂは、開口部３４Ｂ’を通じて、中間部材５２を下方に移動する。中間部材５２の下方にはスイッチ５１が配置されており、中間部材５２が下方に移動することによって、中間部材５２の下端とスイッチ５１とが接触し、スイッチ５１が操作される。本実施形態においては、中間部材５２の下端とスイッチ５１とが接触して、スイッチ５１が操作されると、放電ランプ１を駆動するための駆動信号が通信される。したがって、第２凸部３３Ｂが開口部３４Ｂ’を通じて中間部材５２を下方に移動し、その中間部材５２を用いてスイッチ５１を作動することにより、放電ランプ１を駆動するための駆動信号が通信され、その放電ランプ１は駆動可能状態となる。
【００７１】
一方、図１６に示すように、露光装置ＥＸに対応していない他の放電ランプ１’が保持装置２１に取り付けられた場合、その放電ランプ１’のフランジ２４には開口部３４Ｂ’と対応する第２凸部３３Ｂが形成されていないので、開口部３４Ｂ’を通じてスイッチ５１は操作されない。本実施形態においては、開口部３４Ｂ’を通じて中間部材５２に外力が作用しない場合、ばね部材５６により中間部材５２に対して上方（＋Ｚ方向）への付勢力が作用される。ばね部材５６による上方（＋Ｚ方向）への付勢力が作用され、中間部材５２が上方に移動した場合、中間部材５２の下端とスイッチ５１とは離れるように設定されており、スイッチ５１は中間部材５２によって作動されない。本実施形態においては、開口部３４Ｂ’に第２凸部３３Ｂが配置され、その開口部３４Ｂ’を通じて中間部材５２が−Ｚ方向に移動されない限り、スイッチ５１は操作されず、放電ランプ１を駆動するための駆動信号の通信は遮断された状態となる。したがって、露光装置ＥＸに対応しない他の放電ランプ１’が保持装置２１に保持された場合でも、安全装置５０は、露光装置ＥＸに対応しない放電ランプ１’を駆動不可能状態に設定することができる。
【００７２】
以上説明したように、安全装置５０を設けたことにより、露光装置ＥＸに対応する最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。そして、例えば作業者が誤って露光装置ＥＸに対応しない放電ランプ１’を保持装置２１に取り付けてしまった場合であっても、その放電ランプ１’には駆動信号が通信されない（電力が供給されない）ので、その放電ランプ１’から露光光ＥＬを発生させてしまう不具合を抑制することができる。
【００７３】
＜第６実施形態＞
次に、第６実施形態について説明する。第６実施形態は、第５実施形態の変形例であり、図１７は、第６実施形態に係る光源装置２０を示す概略斜視図、図１８は、第６実施形態に係るフランジ２４を下面２６側から見た図、図１９は、光源装置２０の一部の側断面図である。図１７に示すように、光源装置２０は、放電ランプ１と、その放電ランプ１を保持可能な保持部材２２を含む保持装置２１とを備えている。放電ランプ１はフランジ２４を有している。また、保持装置２１の保持部材２２は、放電ランプ１のフランジ２４と嵌り合う凹部３５を有している。
【００７４】
図１８に示すように、本実施形態においては、フランジ２４の下面２６側から見た外形形状は、略円形状である。また、上述の実施形態と同様、フランジ２４の複数の所定位置には、雄ねじ部材（ボルト部材）２７を配置可能な孔２８が形成されており、保持部材２２の上面の複数の所定位置には、雄ねじ部材２７に対応する雌ねじ孔２９が形成されている。本実施形態においては、雄ねじ部材２７及びその雄ねじ部材２７に対応する雌ねじ孔２９は３つずつ設けられている。
【００７５】
また、フランジ２４は、放電ランプ１を種類に応じて形成された第１凹凸構造３１を有している。本実施形態においては、第１凹凸構造３１は、フランジ２４の下面２６の中央に設けられた第１凸部３３Ａを有している。本実施形態においては、第１凸部３３Ａの下面２６側から見た外形形状は、三角形状である。
【００７６】
図１９に示すように、保持部材２２は、フランジ２４の第１凹凸構造３１と嵌り合う第２凹凸構造３２を備えている。保持部材２２の凹部３５の内側には、フランジ２４の下面２６と当接する保持面３６が形成されており、第２凹凸構造３２は、保持部材２２の保持面３６に形成され、フランジ２４の第１凸部３３Ａと嵌り合う開口部３４Ａ’を含む。開口部３４Ａ’は、保持部材２２の保持面３６の第１凸部３３Ａと対応する位置に形成されている。開口部３４Ａ’は、第１凸部３３Ａの形状に対応しており、第１凸部３３Ａを配置可能である。
【００７７】
上述の第５実施形態と同様、本実施形態の光源装置２０も、保持装置２１が露光装置ＥＸに対応する放電ランプ１を保持したときにその放電ランプ１を駆動可能状態に設定し、露光装置ＥＸに対応する放電ランプ１以外の他の放電ランプ１’を保持したときにその他の放電ランプ１’を駆動不可能状態に設定するスイッチ５１を含む安全装置５０を備えている。放電ランプ１の第１凸部３３Ａは、保持部材２２に保持されたときに、駆動信号を通信するようにスイッチ５１を操作する形状を有している。
【００７８】
また、保持部材２２は、内部空間５７’を有しており、その内部空間５７’には、ピン状部材５３とフランジ５４とを含むＺ軸方向に移動可能な中間部材５２が配置されている。中間部材５２は、ばね部材５６によって上方（＋Ｚ方向）に付勢されている。
【００７９】
中間部材５２のピン状部材５３の下端は、貫通孔５８をＺ軸方向に移動可能である。スイッチ５１は、貫通孔５８の下方に配置されており、中間部材５２は、貫通孔５８を通じて、スイッチ５１を操作可能である。また、中間部材５２のピン状部材５３の上端は、開口部３４Ａ’をＺ軸方向に移動可能である。
【００８０】
図１９に示すように、フランジ２４が凹部３５に配置され、第１凸部３３Ａと開口部３４Ａ’とが嵌り合い、第１凸部３３Ａが開口部３４Ａ’の内側に配置されたとき、第１凸部３３Ａの下端と中間部材５２のピン状部材５３の上端とが接触し、第１凸部３３Ａは、中間部材５２を下方（−Ｚ方向）に移動する。これにより、スイッチ５１が中間部材５２によって操作され、放電ランプ１を駆動するための駆動信号が通信される。一方、図２０に示すように、露光装置ＥＸに対応していない放電ランプ１’が保持装置２１に取り付けられ、第１凸部３３Ａが開口部３４Ａ’の内側に配置されないとき、すなわち、中間部材５２に対して開口部３４Ａ’を通じて外力が作用されていないとき、中間部材５２は、ばね部材５６の付勢力によって上方（＋Ｚ方向）に移動する。これにより、放電ランプ１を駆動するための駆動信号の通信は遮断される。
【００８１】
以上説明したように、本実施形態においても、露光装置ＥＸに対応する最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。
【００８２】
＜第７実施形態＞
次に、第７実施形態について説明する。第７実施形態は、第５、第６実施形態の変形例であり、図２１は、第７実施形態に係る光源装置２０の一部の側断面図である。図２１において、放電ランプ１のフランジ２４は、放電ランプ１の種類に応じた形状を有し、放電ランプ１の種類に応じた位置に形成された開口部６０を有している。また、保持部材２２は、中間部材５２を配置可能な内部空間５７と、内部空間５２に配置されている中間部材５２のフランジ５４の上面と対向する支持面６２とを有している。フランジ５４の上面と支持面６２との間にはばね部材５６が配置されている。ばね部材５６の上端及び下端のそれぞれは、支持面６２及びフランジ５４の上面のそれぞれに接続されており、ばね部材５６は、中間部材５２を上方（＋Ｚ方向）に付勢する。
【００８３】
また、保持部材２２は、内部空間５７と保持部材２２の上面２５側（保持面３６側）の空間とを接続するように形成された開口部６１を有している。保持部材２２の開口部６１は、保持面３６と内部空間５７の支持面６２とを貫通する貫通孔を含む。保持部材２２の開口部６１は、フランジ２４の開口部６０に対応する位置に形成されており、中間部材５２の上端を配置可能である。また、中間部材５２の下方にはスイッチ５１が設けられている。
【００８４】
また、フランジ２４の下面２６には、上述の第１実施形態と同様、第１、第２、第３凸部３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃを含む第１凹凸構造３１が形成され、保持部材２２の保持面３６には、第１、第２、第３凸部３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃと嵌り合う第１、第２、第３凹部３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃを含む第２凹凸構造３２が形成されている。
【００８５】
次に、上述の構成を有する放電ランプ１を保持装置２１に保持する動作の一例について説明する。フランジ２４の第１凹凸構造３１と保持部材２２の第２凹凸構造３２とを嵌め合い、放電ランプ１のフランジ２４の下面２６と保持部材２２の保持面３６とを当接させる。放電ランプ１が露光装置ＥＸに対応する最適なものである場合、第１凹凸構造３１と第２凹凸構造３２とは良好に嵌り合う。第１凹凸構造３１と第２凹凸構造３２とが嵌り合うことによって、放電ランプ１のフランジ２４の下面２６と保持部材２２の保持面３６とが当接され、放電ランプ１のフランジ２４は保持部材２２に対して位置決めされる。図２１に示すように、第１凹凸構造３１と第２凹凸構造３２とが嵌り合う場合、フランジ２４の開口部６０と保持部材２２の開口部６１との位置がほぼ一致するように、開口部６０、６１のそれぞれの位置及び形状が設定されている。中間部材５２は、ばね部材５６によって上方（＋Ｚ方向）に付勢されており、フランジ２４の開口部６０と保持部材２２の開口部６１との位置がほぼ一致することによって、中間部材５２は上方へ移動し、中間部材５２の上端が、開口部６０、６１の内側に配置されるとともに、中間部材５２の下端とスイッチ５１とが離れる。本実施形態においては、中間部材５２の下端とスイッチ５１とが離れ、スイッチ５１が操作されない状態において、放電ランプ１を駆動するための駆動信号が通信される。したがって、ばね部材５６による中間部材５２の上方への移動を妨げないように開口部６０と開口部６１とを位置合わせすることによって、中間部材５２とスイッチ５１とが離れ、放電ランプ１を駆動するための駆動信号が通信され、その放電ランプ１は駆動可能状態となる。
【００８６】
一方、図２２に示すように、露光装置ＥＸに対応していない他の放電ランプ１’が保持装置２１に取り付けられた場合、その放電ランプ１’のフランジ２４には、保持部材２２の開口部６１と対応する開口部６０が形成されていないので、保持部材２２の開口部６１がフランジ２４によって塞がれる。この場合、ばね部材５６による中間部材５２の上方への移動がフランジ２４によって妨げられ、中間部材５２とスイッチ５１との接触状態が維持される。本実施形態においては、中間部材５２の下端とスイッチ５１とが接触し、スイッチ５１が操作されている状態において、放電ランプ１を駆動するための駆動信号の通信が遮断される。したがって、他の放電ランプ１’が保持装置２１に取り付けられた場合、安全装置５０は他の放電ランプ１’を駆動不可能状態に設定することができる。
【００８７】
以上説明したように、フランジ２４の一部に、放電ランプ１の種類に応じた形状を有し、放電ランプ１の種類に応じた位置に開口部６０を設けるとともに、保持部材２２にも、フランジ２４の開口部６０に対応する位置に開口部６１を形成することによって、露光装置ＥＸに対応する最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。
【００８８】
＜第８実施形態＞
次に、第８実施形態について説明する。図２３は、第８実施形態に係る光源装置２０の一部を示す側面図である。図２３において、光源装置２０は、放電ランプ１と、放電ランプ１を保持可能な保持装置２１とを備えている。
【００８９】
放電ランプ１は、下面２６を有するフランジ２４と下面２６から突出する軸状部材７０とを有している。軸状部材７０は、その軸状部材７０の表面に、軸状部材７０の軸方向（Ｚ軸方向）から軸状部材７０の周方向に沿って連続して形成された溝７１を有している。すなわち、溝７１は、軸状部材７０の軸方向（Ｚ軸方向）に延びる第１領域７１Ａと、第１領域７１Ａの上端と接続し、周方向に沿って延びる第２領域７１Ｂとを含む。
【００９０】
保持装置２１は、フランジ２４の下面２６を支持する上面８１、及び軸状部材７０が貫通可能な開口８３を有する板状部材８０と、上面８１とは反対側の下面８２側において開口８３を貫通した軸状部材７０を囲むように設けられ、板状部材８０の下面８２と対向する上面９１と板状部材８０を貫通した軸状部材７０の溝７１に配置可能な凸部９２とを有し、軸状部材７０の周囲を溝７１に沿って回転することにより、板状部材８０をフランジ２４と上面９１との間に挟持可能なリング状部材９０とを備えている。そして、溝７１の第２領域７１Ｂは、リング状部材７０の回転方向に向かうにつれて漸次窄まるテーパ状である。
【００９１】
図２４は、図２３のＣ−Ｃ線断面矢視図である。図２４に示すように、リング状部材９０は、板状部材８０を貫通した軸状部材７０を囲むように設けられ、その軸状部材７０の溝７１に配置可能な凸部９２を有している。凸部９２は、リング状部材９０の内側面において、リング状部材９０の中心に向かって突出する部材である。
【００９２】
次に、上述の構成を有する放電ランプ１を保持装置２１に保持する動作の一例について説明する。放電ランプ１の軸状部材７０を開口８３に配置して、フランジ２４の下面２６と板状部材８０の上面８１とを接触させる。そして、板部材８０の下面８２側において、軸状部材７０を囲むようにリング状部材９０を配置して、板部材８０の開口８３を貫通した軸状部材７０の溝７１の第１領域７１Ａに凸部９２を配置する。そして、軸状部材７０の溝７１の第１領域７１Ａでリング状部材９０の凸部９２をガイドしつつ、リング状部材９０を上方へ移動し、板状部材８０の下面８２とリング状部材９０の上面９１とを接近させる。そして、溝７１の第２領域７１Ｂでリング状部材９０の凸部９２をガイドしつつ、リング状部材９０を軸状部材７０の周囲において回転させる。第２領域７１Ｂは、リング状部材９０の回転方向に向かうにつれて漸次窄まるテーパ状であり、図２３に示すように、凸部９２が徐々に上方に移動するように案内するガイド面７１Ｇを有している。これにより、リング状部材９０を回転させることによって、リング状部材９０の上面９１を板状部材８０の下面８２に近づけ、フランジ２４の下面２６とリング状部材９０の上面９１とで板状部材８０を挟むことができる。これにより、溝７１には軸方向（Ｚ軸方向）への力が作用し、放電ランプ１は、その軸方向の力によって、保持装置２１の板状部材８０に固定される。図２５には、板状部材８０をリング状部材９０の上面９１とフランジ２４の下面２６とで挟持している状態が示されている。
【００９３】
以上説明したように、本実施形態においても、最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。そして、例えば溝７１を、放電ランプ１の種類に応じて特徴付けられた形状にするとともに、その溝７１に配置可能な凸部９２を有するリング状部材９０を用いて放電ランプ１を保持することによって、露光装置ＥＸに対応しない他の放電ランプ１’が保持装置２１に保持されることを抑制することができる。
【００９４】
＜第９実施形態＞
次に、第９実施形態について説明する。図２６は、第９実施形態に係る光源装置２０の一部を示す側面図、図２７は、光源装置２０の一部を示す平面図であって、図２６のＤ−Ｄ線矢視図に相当する。また、図２８（Ａ）は、放電ランプ１の一部を示す側断面図、図２８（Ｂ）は、放電ランプ１の一部を示す平面図であって、図２８（Ａ）のＥ−Ｅ線矢視図に相当する。また、図２９は、保持部材２２の平面図である。
【００９５】
図２６及び図２７において、光源装置２０は、放電ランプ１と、放電ランプ１を保持可能な保持部材２２を含む保持装置２１とを備えている。放電ランプ１は、フランジ２４を備えている。図２８に示すように、フランジ２４は、略円形状の板部材である第１フランジ２４Ａと、第１フランジ２４Ａの周縁の複数の所定位置のそれぞれに設けられ、放射方向（ＸＹ方向）に突出する第２フランジ２４Ｂとを含む。第１フランジ２４Ａ及び第２フランジ２４Ｂを含むフランジ２４は、放電ランプ１の種類と、保持装置２１に固定される際の放電ランプ１の取り付け方向とに応じて特徴付けられた形状を有する。本実施形態においては、第２フランジ２４Ｂは、第１フランジ２４Ａの周縁の３つの位置のそれぞれに設けられた板状部材であって、第２フランジ２４Ｂの厚み（Ｚ軸方向のサイズ）は、第１フランジ２４Ｂの厚みよりも十分に小さい（薄い）。
【００９６】
保持部材２２は、フランジ２４を配置可能な凹部３５を有している。凹部３５の内側には、フランジ２４の下面２６と当接する保持面３６が形成されている。また、保持部材２２は、保持面３６の一部と対向する対向面１００を有している。対向面１００を形成する対向部材１０１は、保持部材２２と一体であり、対向部材１０１の対向面１００と反対側の面は保持部材２２の上面２５の一部である。また、対向面１００は、保持面３６の周縁領域の一部と対向するように配置されており、図２９に示すように、保持面３６の周縁領域の３つの所定領域と対向するように配置されている。そして、対向面１００と保持面３６とのそれぞれの間隔は、図２７において、Ｚ軸まわりに反時計回転方向に進むにつれて小さく（狭く）なるように形成されている。より具体的には、第２フランジ２４Ｂの厚さ（Ｚ軸方向における大きさ）よりも小さくなるまで形成されている。また、対向部材１０１どうしの間には凹部１０２が形成され、その凹部１０２には、第２フランジ２４Ｂが配置可能となっている。すなわち、凹部１０２及び対向部材１０１を含む保持部材２２の構造は、フランジ２４の構造に対応するように形成されている。また、放電ランプ１のフランジ２４の下面２６側から見た外形形状、第１、第２フランジ２４Ａ、２４Ｂの厚み（Ｚ軸方向における大きさ）、及びＸＹ方向における大きさ等は、放電ランプ１の種類と、保持装置２１に固定される際の放電ランプ１の取り付け方向とに応じて特徴付けられている。保持部材２２の凹部３５は、上面２５側から見た形状が、フランジ２４と嵌り合うように定められている。
【００９７】
次に、上述の構成を有する放電ランプ１を保持部材２２に保持する動作の一例について説明する。放電ランプ１の第２フランジ２４Ｂと保持部材２２の凹部１０２とを位置合わせし、フランジ２４の下面２６と保持部材２２の保持面３６とを当接させる。そして、保持部材２２の保持面３６に対して放電ランプ１のフランジ２４の下面２６を滑らせるように、フランジ２４をθＺ方向に回転する。これにより、第２フランジ２４Ｂは、保持面３６と対向面１００との間に挟時され、保持部材２２に保持される。図２６及び図２７には、保持部材２２で保持された状態のフランジ２４が示されている。
【００９８】
以上説明したように、本実施形態においても、最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。そして、例えば第２フランジ２４Ｂを、放電ランプ１の種類に応じて特徴付けられた形状にするとともに、保持部材２２の凹部１０２を、第２フランジ２４Ｂに対応するように形成することより、露光装置ＥＸに対応しない他の放電ランプ１’が保持装置２１に保持されることを抑制することができる。
【００９９】
＜第１０実施形態＞
次に、第１０実施形態について説明する。図３０は、第１０実施形態に係る光源装置２０の一部を示す側断面図、図３１は、光源装置２０の一部を示す平面図であって、図３０のＦ−Ｆ線矢視図に相当する。
【０１００】
図３０及び図３１において、光源装置２０は、フランジ２４を有する放電ランプ１と、放電ランプ１を保持する保持部材２２を含む保持装置２１とを備えている。フランジ２４には、放電ランプ１の種類に応じて形成された第１凹凸構造３１が形成され、保持部材２２には、第１凹凸構造３１と嵌り合う第２凹凸構造３２が形成されている。
【０１０１】
本実施形態においては、保持装置２１は、保持部材２２の上面２５と対向する下面１２１を有する板ばね部材１２０を複数有している。板ばね部材１２０は、保持部材２２の上面２５に設けられている。本実施形態においては、板ばね部材１２０は、フランジ２４のＹ軸方向両側のそれぞれに１つずつ設けられている。
【０１０２】
板ばね部材１２０のそれぞれの一端は、接続部材１２２によって、保持部材２２の上面２５に接続されている。図３１の矢印ｙ１で示すように、接続部材１２２は、板ばね部材１２０をθＺ方向に回転可能に支持する。保持装置２１は、保持部材２２の上面２５と板ばね部材１２０の下面１２１との間でフランジ２４を挟むことによって、放電ランプ１を保持する。保持部材２２の上面２５と板ばね部材１２０の下面１２１との間でフランジ２４を挟む場合、フランジ２４の下面２６と保持部材２２の上面２５とを当接した後、図３１の実線で示すように、板ばね部材１２０の下面１２１とフランジ２４の上面とが接触するように、板ばね部材１２０の位置を調整する。これにより、フランジ２４は、板ばね部材１２０の下面１２１と保持部材２２の上面２５との間で挟まれ、保持部材２２に固定される。また、保持部材２２に放電ランプ１を取り付ける際、又は保持部材２２から放電ランプ１を外す際には、板ばね部材１２０は、図３１の鎖線で示すように、その取り付け作業又は外し作業を妨げない位置に退避される。
【０１０３】
以上説明したように、本実施形態においても、最適な放電ランプ１を保持装置２１で良好に保持し、その最適な放電ランプ１を最適な使用条件で使用することができる。また、本実施形態においては、例えばボルト部材等を用いることなく、板ばね部材１２０を用いて、保持部材２２に対する放電ランプ１の固定を簡単に行うことができ、保持部材２２に対する放電ランプ１の取り付け作業及び外し作業の作業時間の短縮等を図ることができる。
【０１０４】
＜第１１実施形態＞
次に、第１１実施形態について説明する。図３２は、第１１実施形態に係る光源装置２０を示す概略斜視図である。上述の実施形態で説明したように、口金１Ａ、１Ｂには、ノズル１７，１８によって、温度調整用（冷却用）のガスが供給されるが、口金１Ａ、１Ｂに対してそのガスを当てる位置を示す印を、口金１Ａ、１Ｂに設けることができる。図３２には、第２口金１Ｂの所定位置に、ガスを当てる位置を示す印として、溝１３０が形成されている例が示されている。なお、印としては、例えば刻印であってもよい。印は、放電ランプ１の種類に応じて形成されている。このように、放電ランプ１の種類に応じた印を設けることによっても、露光装置ＥＸに対応しない放電ランプ１’が保持装置２１に取り付けられることを抑制することができる。
【０１０５】
なお、上述の第１〜第１１の各実施形態の基板Ｐとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版（合成石英、シリコンウエハ）等が適用される。
【０１０６】
露光装置ＥＸとしては、マスクＭと基板Ｐとを同期移動してマスクＭのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置（スキャニングステッパ）の他に、マスクＭと基板Ｐとを静止した状態でマスクＭのパターンを一括露光し、基板Ｐを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパ）にも適用することができる。
【０１０７】
また、露光装置ＥＸとしては、第１パターンと基板Ｐとをほぼ静止した状態で第１パターンの縮小像を投影光学系（例えば１／８縮小倍率で反射素子を含まない屈折型投影光学系）を用いて基板Ｐ上に一括露光する方式の露光装置にも適用できる。この場合、更にその後に、第２パターンと基板Ｐとをほぼ静止した状態で第２パターンの縮小像をその投影光学系を用いて、第１パターンと部分的に重ねて基板Ｐ上に一括露光するスティッチ方式の一括露光装置にも適用できる。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板Ｐ上で少なくとも２つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Ｐを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
【０１０８】
また、本発明は、特開平１０−１６３０９９号公報、特開平１０−２１４７８３号公報、特表２０００−５０５９５８号公報などに開示されているような複数の基板ステージを備えたマルチステージ型の露光装置にも適用できる。
【０１０９】
更に、特開平１１−１３５４００号公報や特開２０００−１６４５０４号公報に開示されているように、基板を保持する基板ステージと基準マークが形成された基準部材や各種の光電センサを搭載した計測ステージとを備えた露光装置にも本発明を適用することができる。
【０１１０】
また、本発明は、国際公開第９９／４９５０４号パンフレットに開示されているような、露光光の光路を液体で満たした状態で基板を露光する液浸式の露光装置にも適用することができる。
【０１１１】
露光装置ＥＸの種類としては、基板Ｐに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子（ＣＣＤ）あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
【０１１２】
以上のように、本願実施形態の露光装置ＥＸは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【０１１３】
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図３３に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ２０２、デバイスの基材である基板を製造するステップ２０３、前述した実施形態の露光装置ＥＸによりマスクのパターンを基板に露光する露光工程及びその露光された基板を現像する現像工程を含む基板処理ステップ２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製造される。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】第１実施形態に係る露光装置を示す概略構成図である。
【図２】第１実施形態に係る光源装置を示す斜視図である。
【図３】第１実施形態に係る光源装置の一部の側断面図であって、図３（Ａ）はＸＺ平面と平行な断面図、図３（Ｂ）はＹＺ平面と平行な断面図である。
【図４】第１実施形態に係るフランジを下面側から見た図である。
【図５】第１実施形態に係る保持装置を上面側から見た図である。
【図６】第２実施形態に係る光源装置の一部の側断面図であって、図６（Ａ）はＸＺ平面と平行な断面図、図６（Ｂ）はＹＺ平面と平行な断面図である。
【図７】第２実施形態に係るフランジを下面側から見た図である。
【図８】第２実施形態に係る保持装置を上面側から見た図である。
【図９】第３実施形態に係るフランジを下面側から見た図である。
【図１０】第３実施形態に係る保持装置を上面側から見た図である。
【図１１】第４実施形態に係るフランジを下面側から見た図である。
【図１２】第４実施形態に係る保持装置を上面側から見た図である。
【図１３】第５実施形態に係る光源装置を示す斜視図である。
【図１４】第５実施形態に係るフランジを下面側から見た図である。
【図１５】第５実施形態に係る光源装置の一部を示す側断面図である。
【図１６】露光装置に対応していない放電ランプを保持した状態の保持装置を示す側断面図である。
【図１７】第６実施形態に係る光源装置を示す斜視図である。
【図１８】第６実施形態に係るフランジを下面側から見た図である。
【図１９】第６実施形態に係る光源装置の一部を示す側断面図である。
【図２０】露光装置に対応していない放電ランプを保持した状態の保持装置を示す側断面図である。
【図２１】第７実施形態に係る光源装置の一部を示す側断面図である。
【図２２】露光装置に対応していない放電ランプを保持した状態の保持装置を示す側断面図である。
【図２３】第８実施形態に係る光源装置の一部を示す側面図である。
【図２４】図２３のＣ−Ｃ線断面矢視図である。
【図２５】第８実施形態に係る光源装置の一部を示す側面図である。
【図２６】第９実施形態に係る光源装置の一部を示す側断面図である。
【図２７】図２６のＤ−Ｄ線矢視図である。
【図２８】第９実施形態に係る放電ランプの一部を示す側断面図である。
【図２９】図２８のＥ−Ｅ線矢視図である。
【図３０】第１０実施形態に係る光源装置の一部を示す側断面図である。
【図３１】図３０のＦ−Ｆ線矢視図である。
【図３２】第１１実施形態に係る光源装置を示す斜視図である。
【図３３】マイクロデバイスの製造工程の一例を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
【０１１５】
１…放電ランプ、２０…光源装置、２１…保持装置、２２…保持部材、２４…フランジ、２５…上面、３１…第１凹凸構造、３２…第２凹凸構造、３３…凸部、３４…凹部、３６…保持面、５０…安全装置、５１…スイッチ、７０…軸状部材、７１…溝、８０…板状部材、８１…上面、８２…下面、８３…開口、９０…リング状部材、９１…上面、９２…凸部、ＥＸ…露光装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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