(57)【要約】【課題】第１情報記録層Ａ１を構成する熱調整層６の主成分の含有量Ａと膜厚ｄとを適切な範囲とすることで、第１情報記録層Ａ１は高い透過率と良好な記録特性との両立が可能となり、これにより第２情報記録層Ａ２への記録再生時のレーザー光の照射パワーを低く抑えることができる光学情報記録媒体２０を提供する。【解決手段】第１基板１上に積層された第１情報記録層Ａ１、中間透明層８、第２情報記録層Ａ２、第２基板１３を有する光学情報記録媒体２０において、前記第１情報記録層Ａ１を構成している熱調整層６はＳｉもしくはＡｌの少なくとも一方を含有し、その含有量Ａが原子分率で５０ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲内で、かつ、前記熱調整層６の膜厚ｄは、照射するレーザー光の波長をλ、前記熱調整層の屈折率をｎとした時、０＜（ｄ×ｎ）≦（１／１６）λ  の範囲内にしたことを特徴とする。【選択図】図１
2007164896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半透過記録層と半透過反射層と熱調整層とを有し第１基板上に積層される第１情報記録層、前記第１情報記録層上に積層される中間透明層、記録層と反射層とを有し前記中間透明層上に積層される第２情報記録層、前記第２情報記録層上に積層される第２基板、を有する光学情報記録媒体において、前記熱調整層はＳｉもしくはＡｌの少なくとも一方を含有し、その含有量Ａが原子分率で５０ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲内で、かつ、前記熱調整層の膜厚ｄは、照射するレーザー光の波長をλ、前記熱調整層の屈折率をｎとした時、０＜（ｄ×ｎ）≦（１／１６）λ  の範囲内にしたことを特徴とする光学情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー光等の光の照射によって情報の記録、再生及び消去が行われる情報記録層を、複数有する光学情報記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学情報記録媒体とは、例えばＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＢＤ−ＲＥのように、レーザー光などを用いて情報信号を記録することが可能な媒体である。
【０００３】
これら光学情報記録媒体のなかでもＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＢＤ−ＲＥなどは主に映像情報のような情報量の大きいものの記録、書き換えに使用されるが、近年、映像の高解像度化が例に挙げられるように、記録される情報信号の量は増大化しており、これに伴い光学情報記録媒体には更なる高容量化が要求されている。
【０００４】
光学情報記録媒体の高容量化の方法としては、記録再生に使用するレーザー光を短波長にするなどして、情報記録層の記録密度上げる方法があるが、更に高容量化を図るためには、例えば基板の片面側に記録層と反射層等からなる情報記録層を２層以上重ね合わせて接合し、多層化するといった方法が知られており、下記［特許文献１］及び、［特許文献２］には、複数の情報記録層を有している光学情記録媒体に関する発明が記載されている。更に、下記［特許文献３］には図８に示すように、第１媒体１０１（本発明の第１情報記録層Ａ１）と第２媒体２０１（本発明の第２情報記録層Ａ２）とを有し、第１媒体１０１は、保護層１０２、記録層１０４（本発明の半透過記録層３）、界面層１０３、反射層１０７（本発明の半透過反射層５）に加え、熱拡散層１０８（本発明の熱調整層６）を有することで高い透過率を有するような光学情報記録媒体に関する発明が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２１５５１６号公報
【０００６】
【特許文献２】特開２００１−２４３６５５号公報
【特許文献３】特開２０００−２２２７７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述のように、光学情報記録媒体は記録容量の増加要求により情報記録層を多層化する方向にあるが、情報記録層を複数有する光学情報記録媒体においては、記録再生光入射側から見て奥の情報記録層に記録再生を行うレーザー光は、記録再生光入射側から見て手前の情報記録層を透過する際に、必ず手前の情報記録層によりある程度反射、吸収されてしまう。このため、奥の情報記録層の記録再生を行う際には、予め手前の情報記録層が反射、吸収する分だけ強いパワーでレーザーの照射を行うのであるが、手前の情報記録層の反射、吸収が大きければその分照射するレーザーのパワーが大きくなり、電力の消費量が大きくなる他、レーザー発生機構や光学情報記録媒体自体への負荷が大きくなるという課題がある。
【０００８】
記録再生光入射側から見て手前の情報記録層の反射、吸収を下げる、即ち透過率を上げるためには、手前の情報記録層を構成している記録層及び反射層を薄くすることが有効であると一般に知られているが、記録層及び反射層を単純に薄くすると記録特性が悪化するために、この手法のみでは手前の情報記録層に高い透過率と良好な記録特性とを両立させることは困難であった。前記[特許文献３]の発明ではこの課題に対し、手前の第１媒体１０１を構成している反射層１０７の膜厚を薄くして透過率を向上させるとともに、前記反射層１０７が薄くなったことに伴う冷却能力の低下を、前記反射層１０７に隣接して熱拡散層１０８を設けることで補い、記録特性を良好に保持しつつ高い透過率を有するような光学情報記録媒体の構造を開示している。
【０００９】
しかしながら、本発明者が前記[特許文献３]の発明を検証したところ、前記[特許文献３]に記載されている熱拡散層１０８の膜厚ｄの範囲では、前記第１媒体１０１の透過率の向上が認められない範囲が存在している他、前記[特許文献３]には熱拡散層１０８を構成する主成分の含有率に関する特段の記載は無いにも関わらず、前記第１媒体１０１の記録特性を良好に保持させるためには、前記熱拡散層１０８を構成する主成分の含有率がある特定の範囲になければならないことが判明した。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、記録再生光入射側から見て手前の第１情報記録層を構成している熱調整層の主成分の含有量Ａと膜厚ｄとを適切な範囲とすることで、前記第１情報記録層に高い透過率と良好な記録特性とを両立させ、記録再生光入射側から見て奥の第２情報記録層への記録再生時のレーザー光の照射パワーを低く抑えることができる光学情報記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、半透過記録層３と半透過反射層５と熱調整層６とを有し第１基板１上に積層される第１情報記録層Ａ１、前記第１情報記録層Ａ１上に積層される中間透明層８、記録層１０と反射層１２とを有し前記中間透明層８上に積層される第２情報記録層Ａ２、前記第２情報記録層Ａ２上に積層される第２基板１３、を有する光学情報記録媒体２０において、前記熱調整層６はＳｉもしくはＡｌの少なくとも一方を含有し、その含有量Ａが原子分率で５０ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲内で、かつ、前記熱調整層６の膜厚ｄは、照射するレーザー光の波長をλ、前記熱調整層の屈折率をｎとした時、０＜（ｄ×ｎ）≦（１／１６）λ  の範囲内にしたことを特徴とする光学情報記録媒体２０を提供することにより、上記課題を解決する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る光学情報記録媒体は、上記のような構成のため、
（１）手前の情報記録層に熱調整層を設けることで半透過反射層の厚さを薄くし透過率を向上させることで、奥の情報記録層への記録再生時のレーザー光の照射パワーを低く抑えることができ、電力の消費量の低減、レーザー発生機構や光学情報記録媒体自体への負荷の軽減が可能となる。
（２）熱調整層の膜厚とその主成分の含有量の範囲とを適正化したため、手前の情報記録層は良好な記録感度と高い透過率とを両立することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明に係る光学情報記録媒体の実施の形態について図面に基づいて説明する。
【００１４】
図１は本発明に係る光学情報記録媒体の模式断面図である。図２は界面層、拡散防止層を有する本発明に係る光学情報記録媒体の模式断面図である。図３は本発明に係る熱調整層のＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａとジッタとの関係を示す図である。図４は本発明に係る熱調整層のＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａと透過率との関係を示す図である。図５は本発明に係る熱調整層の膜厚ｄと屈折率ｎとを乗じた値（ｄ×ｎ）と透過率との関係を示す図である。図６は本発明に係る熱調整層の膜厚ｄと屈折率ｎとを乗じた値（ｄ×ｎ）とジッタとの関係を示す図である。図７は追記型光記録媒体に応用した本発明に係る光学情報記録媒体の模式断面図である。
【００１５】
図１に示される光学情報記録媒体２０は、半透過記録層３と半透過反射層５と熱調整層６と前記半透過記録層３の上下層に設けられた第１保護層２と第２保護層４と前記熱調整膜６上に積層された光学調整層７とを有し第１基板１上に積層される第１情報記録層Ａ１、前記第１情報記録層Ａ１上に積層される中間透明層８、記録層１０と反射層１２と前記記録層１０の上下層に設けられた第３保護層９と第４保護層１１とを有し前記中間透明層８上に積層される第２情報記録層Ａ２、前記第２情報記録層Ａ２上に積層される第２基板１３、を有する光学情報記録媒体２０において、前記熱調整層６はＳｉもしくはＡｌの少なくとも一方を含有し、その含有量Ａが原子分率で５０ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲内で、かつ、前記熱調整層６の膜厚ｄは、照射するレーザー光の波長をλ、前記熱調整層の屈折率をｎとした時、０＜（ｄ×ｎ）≦（１／１６）λ  の範囲内にした構成を特徴とする。
【００１６】
前記光学情報記録媒体２０を構成する第１基板１及び、第２基板１３の材料としては、ガラス、ポリカーボネート、ポリメチル・メタクリレート、ポリオレフィン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等が挙げられるが、特に、光学的複屈折及び吸湿性が小さく、成形が容易であることからポリカーボネート樹脂の使用が好ましい。前記第１基板１には、プラスチック系基板の場合には主に射出成形によって、ガラス系基板の場合には主にフォトポリマー法によって、グルーブ等が凹凸形状として同心円状又は螺旋状に形成される。また、レーザー光を透過する必要がある前記第１基板１には透明な材料が使用されるが、レーザー光を透過する必要が無く、前記光学情報記録媒体２０の物理強度を向上させる目的の前記第２基板１３は、特に透明な材料を使用する必要はない。
【００１７】
前記第１基板１の厚さは、０．０１ｍｍ未満では第１情報記録層Ａ１への記録再生時に第１基板表面上のゴミの影響を受け易く、反対に第１基板１の厚さが５ｍｍ以上の場合、光学記録再生機器の対物レンズの開口数を大きくとれないために、照射レーザー光のスポット径を小さくできず、記録密度を上げることが困難となる。このことから光学情報記録媒体２０の全厚に制限がないのであれば、前記第１基板１の厚さは０．０１ｍｍ〜５ｍｍの範囲内にあればよい。ただし、一般にＤＶＤディスクは０．６ｍｍ基板を２枚接合して全厚を１．２ｍｍにしていることから、ＤＶＤディスクとの互換性を考慮すると０．０１ｍｍ〜０．６ｍｍの範囲内にあるのが好ましく、更に０．６ｍｍとすることが特に好ましい。
【００１８】
前記第２基板１３の厚さには特に制限はないが、前述した様に一般的なＤＶＤディスクは全厚が１．２ｍｍであるため、前記光学情報記録媒体２０の全厚が１．２ｍｍになるように第２基板１３の厚さを選択することが好ましい。
【００１９】
前記第１基板１及び、前記第２基板１３は、光学情報記録媒体によってフレキシブルなものでもリジットなものでも良く、光学情報記録媒体が仮にテープ状、シート状、カード状であれば第１基板１、第２基板１３はフレキシブルなものが使用され、仮にカード状、ディスク状であればリジットなものが使用される。
【００２０】
前記光学情報記録媒体２０を構成する、第１保護層２、第２保護層４、第３保護層９、第４保護層１１は、記録時のレーザー照射により発生した熱が、第１基板１、半透過記録層３や記録層１０などを変形させること、及び、それに伴う記録特性の劣化を防止する効果の他、光学的な干渉効果により再生時の信号コントラストを改善する等の機能をも有しており、記録再生消去用レーザー光に対して透明で屈折率ｎ1が１．９≦ｎ1≦２．３の範囲内にあるものが好ましく、この光学特性と熱特性とを満たす保護層の材料としては、ＳｉＯ２、ＳｉＯ、ＺｎＯ、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、ＺｒＯ２、ＭｇＯ等の酸化物、ＺｎＳ、Ｉｎ２Ｓ３、ＴａＳ４等の硫化物、ＳｉＣ、ＴａＣ、ＷＣ、ＴｉＣ等の炭化物等の単体もしくはこれらの混合物が挙げられ、中でも記録、消去の繰り返しによっても、記録感度、Ｃ／Ｎ比、消去率等の劣化が起こりにくいＺｎＳとＳｉＯ２との混合膜の使用が特に好ましい。尚、第１保護層２、第２保護層４、第３保護層９及び、第４保護層１１は特に同一の材料、組成に統一する必要はなく、層ごとに異種の材料、組成で構成することも可能である。
【００２１】
前記第１保護層２及び、前記第３保護層９の厚さは、およそ５ｎｍ〜５００ｎｍの範囲内にあるが、４０ｎｍ未満ではディスクの光学特性を確保するのが困難で、反対に３００ｎｍより厚いと生産性に劣ることなどから、４０ｎｍ〜３００ｎｍの範囲内にあることが好ましく、更にこの範囲内にあれば隣接する層からの剥離や、クラック等の欠陥も生じ難くなる。
【００２２】
前記第２保護層４及び、前記第４保護層１１の厚さは、０．５ｎｍ未満であると半透過記録層３、記録層１０への冷却能力が過剰となり、記録時に必要な熱量を確保するためにレーザーパワーを上げる必要性が生じ、反対に５０ｎｍを超えると半透過記録層３、記録層１０への冷却能力が不十分となり、オーバーライト特性の悪化を招くこととなるため、０．５ｎｍ〜５０ｎｍの範囲内にあることが好ましく、更にこの範囲内にあればＣ／Ｎ比、消去率等の記録特性は良好となり、多くの回数にわたり安定的な書き換えが可能となる。
【００２３】
前記光学情報記録媒体２０を構成する半透過記録層３及び、記録層１０は、照射されるレーザーのパワーにより、結晶状態と非晶質状態との間を可逆的に相変化する相変化材料で構成されており、その材料としてはＳｂ−ＴｅにＡｇ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｂｉ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｇｅの元素を少なくとも１種類以上含む合金、もしくはＧｅ−ＳｂにＩｎ、Ｓｎ、Ｂｉの元素を少なくとも１種類以上含む合金、もしくはＧａ−ＳｂにＩｎ、Ｓｎ、Ｂｉの元素を少なくとも１種類以上含む合金等が挙げられる。尚、前記半透過記録層３及び、前記記録層１０は特に同一の材料、組成に統一する必要はなく、層ごとに異種の材料、組成で構成することも可能である。
【００２４】
前記半透過記録層３の厚さは、３ｎｍ未満では結晶化速度が遅く、記録特性が悪化し、反対に１５ｎｍを超えると透過率が低下することとなるため、３ｎｍ〜１５ｎｍの範囲内にあることが好ましい。
【００２５】
前記記録層１０の厚さは、１０ｎｍ未満では記録時の発熱量が小さく、記録感度が悪化し、反対に２５ｎｍを超えると記録時に大きなレーザーパワーが必要となるため、１０ｎｍ〜２５ｎｍの範囲内にあることが好ましい。
【００２６】
前記光学情報記録媒体２０を構成する半透過反射層５及び、反射層１２は、再生時に照射されるレーザー光を記録再生光学機器に反射すると共に、記録時には前記半透過記録層３、前記記録層１０で発生する熱を適切に放熱し冷却を行う効果も有している。前記半透過反射層５、前記反射層１２の材料としては高い反射率を有するＡｌ、Ａｕ、Ａｇ等の金属、これら金属を主成分とし１種類以上の金属又は半導体からなる添加元素を含む合金、これら金属にＡｌ、Ｓｉ等の金属窒化物、金属酸化物、金属カルコゲン化物等の金属化合物を混合したものなどが挙げられるが、中でも高い反射率と熱伝導率を兼ね備えているＡｌ、Ａｕ、Ａｇ等の金属、もしくはこれらの金属を主成分とする合金の使用が好ましく、これら合金の例としては、ＡｌとＳｉ、Ｍｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｍｎ、Ｚｒ等の元素のうち少なくとも１種類以上とからなるもの、ＡｕもしくはＡｇとＣｒ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｎｄ等の元素のうち少なくとも１種類以上とからなるものなどが一般的である。
【００２７】
更に、前記光学情報記録媒体２０が高速度記録に対応するためには、前記半透過反射層５及び、前記反射層１２はとりわけ高い熱伝導率が必要となるため、その材料はＡｇを主成分とする金属、合金もしくは混合物の使用が特に好ましい。また、前記半透過記録層３に使用する材料は、第２情報記録層Ａ２への記録再生光を透過する必要があり、特に記録レーザー波長を良く透過するＡｕ、Ａｇの使用が好ましい。ただし、ＡｇもしくはＡｇ合金を半透過反射層５、反射層１２として用いる場合には、ＡｇＳ化合物の発生を抑制するために、半透過反射層５、反射層１２に隣接する層は硫黄成分を含有していないものを用いることが望ましい。
【００２８】
前記半透過反射層５の厚さは、使用する材料の熱伝導率等により変化するが、３ｎｍ〜２０ｎｍの範囲内にあることが好ましい。これは、３ｎｍ未満では半透過記録層３で記録時に発生する熱を効果的に放熱できずに記録特性が悪化し、反対に２０ｎｍを超えると第２情報記録層Ａ２への記録再生光の透過率が減少するためである。
【００２９】
前記反射層１２の厚さは、使用する材料の熱伝導率等により変化するが、５０ｎｍ〜３００ｎｍの範囲内にあることが好ましい。これは、反射層１２はおおむね５０ｎｍ以上で光学的に安定した反射率を有するが、過度に厚くすると冷却能力が過剰となる他、３００ｎｍを超えると成膜に多くの時間を要するためである。
【００３０】
前記光学情報記録媒体２０を構成する熱調整層６の主な目的は前記半透過記録層３への冷却能力の向上であり、前記熱調整層６を設けることによって向上する冷却能力の分、前記半透過反射層５の膜厚を薄くすることが可能となり、この結果、前記第１情報記録層Ａ１の透過率が向上するのである。
【００３１】
前記熱調整層６の材料としては、ＳｉもしくはＡｌの少なくとも一方を含有する窒化物、酸化物などの単体あるいは混合物であり、例えば高い熱伝導率を有するＡｌ−Ｎ、Ｓｉ−Ｎの他、Ａｌ−Ｏ−Ｎ、Ａｌ−Ｏ、Ｓｉ−Ｏ、Ｓｉ−Ｏ−Ｎ等とこれらの混合物が挙げられる。ただし、これら前記熱調整層６に使用される材料中のＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａは、原子分率で５０ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲に、好ましくは５２ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲に、更に好ましくは５５ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲にあるものとする。また、前記熱調整層６の膜厚ｄは、照射するレーザー光の波長をλ、前記熱調整層の屈折率をｎとした時、０＜（ｄ×ｎ）≦（１／１６）λ  の範囲を、好ましくは（０．１９／１６）λ≦（ｄ×ｎ）≦（０．７８／１６）λの範囲をとるものとする。
【００３２】
前記光学情報記録媒体２０を構成する光学調整層７は、第１情報記録層Ａ１の透過率を向上させる効果を有するため、減衰係数は１よりも小さいものが好ましく、その厚さは使用する材料の屈折率や透過レーザー光の波長により最適な範囲が異なる。また、光学調整層７の材料としては、近年使用されることの多い４０５ｎｍ〜６６０ｎｍの波長の記録レーザー光を照射したときにその屈折率が中程度であるものが良く、ＳｉＯ２、ＳｉＯ、ＺｎＯ、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、ＺｒＯ２、ＭｇＯ等の酸化物、ＺｎＳ，Ｉｎ２Ｓ３、ＴａＳ４等の硫化物、ＳｉＣ、ＴａＣ、ＷＣ、ＴｉＣ等の炭化物の単体及び混合物が挙げられ、中でも生産性の高いＺｎＳとＳｉＯ２の混合膜の使用が特に好ましい。
【００３３】
前記光学情報記録媒体２０には必要に応じて界面層１７、拡散防止層１８等を設けても良い。図２に第１情報記録層Ａ１１及び、第２情報記録層Ａ２１に界面層１７、拡散防止層１８を有する本発明の光学情報記録媒体３０を示す。尚、光学情報記録媒体３０は界面層１７、拡散防止層１８を有している他は、光学情報記録媒体２０と全く同等なものであり、光学情報記録媒体２０に関する記載は基本的に光学情報記録媒体３０にも適応することは明白である。
【００３４】
前記光学情報記録媒体３０を構成する界面層１７は、前記半透過記録層３及び、前記記録層１０の片面、もしくは両面に設けられ、第１保護層２、第２保護層４、第３保護層９、第４保護層１１の材料成分が半透過記録層３もしくは記録層１０内へ拡散することを防ぐ目的を有する。界面層１７の材料としては硫黄又は硫化物を含まないことが重要であり、これは界面層１７が硫黄又は硫化物を含む場合、半透過記録層３、記録層１０へのオーバーライトの繰り返しによって、界面層１７中の硫黄又は硫化物が半透過記録層３、記録層１０へと拡散し記録特性を劣化させるためである。このことから、前記界面層１７に使用できる材料としては、窒化物、酸化物、炭化物を含むものが好ましく、具体的にはＧｅ−Ｎ、Ｓｉ−Ｎ、Ａｌ−Ｎ、Ａｌ−Ｏ、Ｚｒ−Ｏ、Ｃｒ−Ｏ、Ｓｉ−Ｃ、Ｃのうち少なくとも１種類を含む材料が特に好ましい。また、これらの材料に酸素、窒素、水素などを含有させても良い他、これら窒化物、酸化物、炭化物は化学量論組成でなくとも良く、窒素、酸素、炭素が過剰あるいは不足していても良い。
【００３５】
前記光学情報記録媒体３０を構成する拡散防止層１８は、前記半透過反射層５、前記反射層１２にＡｇもしくはＡｇ合金を使用し、かつ、前記第２保護層４、前記第４保護層１１にＺｎＳの混合物などの硫黄成分を有する材料を使用する場合に、Ａｇを含有している前記半透過反射層５、前記反射層１２と、硫黄成分を含有している前記第２保護層４、前記第４保護層１１との間に設けることが好ましい。前記拡散防止層１８は半透過反射層５、反射層１２中に含有されているＡｇと、第２保護層４、第４保護層１１中に含有されている硫黄成分とが反応して、反射率の低下を引き起こすＡｇＳ化合物が生成されるのを抑制する効果を有しており、その材料としては、前記界面層１７同様、硫黄成分を含まない材料を使用することが重要であり、具体的には前記界面層１７で使用される材料に加え、金属、半導体、Ｓｉ−Ｎ、Ｇｅ−Ｎ、Ｇｅ−Ｃｒ−Ｎなどが用いられる。
【００３６】
前記光学情報記録媒体２０及び、前記光学情報記録媒体３０を構成する、半透過記録層３、半透過反射層５、熱調整層６、第１保護層２、第２保護層４、光学調整層７、記録層１０、反射層１２、第３保護層９、第４保護層１１、及び界面層１７、拡散防止層１８等の薄膜形成法としては、抵抗加熱方式や電子ビーム方式の真空蒸着法、イオンプレーティング法、直流方式、交流方式、反応性方式等のスパッタリング法等が挙げられ、中でも組成、膜厚のコントロールが容易なスパッタリング法の使用が適しており、このスパッタリング法によれば、前記光学情報記録媒体２０及び、前記光学情報記録媒体３０を構成する各層の膜厚を、膜の堆積状態を水晶振動型膜厚計によりモニタリングすることや、スパッタ電源の出力、時間の調整などで容易に制御することができるのである。また、スパッタリング装置には、複数枚を同時に成膜するバッチ式と１枚ずつ成膜する枚葉式があり、これらを場合によって使い分けることが可能である。
【００３７】
スパッタリング法で成膜を行う時は、成膜する第１基板１、第２基板１３等を真空槽内に固定、移動もしくは回転した状態で行うが、膜厚を均一に形成するためには自転させながら行うことが好ましく、更に公転を組み合わせることで膜厚の均一性はより向上する。また、必要に応じて成膜する第１基板１、第２基板１３などを冷却することにより、第１基板１、第２基板１３等の反りを抑制することができる。
【００３８】
本発明の光学情報記録媒体の作製手順について、前記光学情報記録媒体２０を例として以下に述べる。前記光学情報記録媒体２０の作製は、前述のスパッタリング装置を使用して第１基板１上に、第１保護層２、半透過記録層３、第２保護層４、半透過反射層５、熱調整層６、光学調整層７を順次成膜することで第１情報記録層Ａ１を形成し、前記第１情報記録層Ａ１上に紫外線硬化樹脂を塗布しグルーブ転写用のクリアスタンパーを押し付けながら、紫外線を照射しこれを硬化する事により中間透明層８を形成し、前記中間透明層８上に再度スパッタリング装置を使用して第３保護層９、記録層１０、第４保護層１１、反射層１２を順次成膜することで第２情報記録層Ａ２を形成し、最後に第２基板１３を粘着テープもしくは紫外線硬化樹脂により接合するという手順にて行う。
【００３９】
また、前述の手順とは別の前記光学情報記録媒体２０の作製方法としては、まず前述のスパッタリング装置を使用して第１基板１上に、第１保護層２、半透過記録層３、第２保護層４、半透過反射層５、熱調整層６、光学調整層７を順次成膜することで第１情報記録層Ａ１を形成し、これとは別に、第２基板１３上に、反射層１２、第４保護層１１、記録層１０、第３保護層９を順次成膜することで第２情報記録層Ａ２を形成し、第１情報記録層Ａ１が形成された前記第１基板１と、第２情報記録層Ａ２が形成された前記第２基板１３とを、紫外線硬化樹脂や粘着テープを用いて、両基板上の情報記録層同士が相対するように接合するという方法がある。この場合、接合に用いられる紫外線硬化樹脂や粘着テープ層が中間透明層８となる。
【００４０】
前者の作製手順と、後者の作製手順とを比較した場合、後者の作製手順の方がより生産性に優れているため、光学情報記録媒体２０の作製時には後者の作製手順をとることが好ましい。
【００４１】
上記のような手順により作製された前記光学情報記録媒体２０の半透過記録層３及び、記録層１０は現段階では全て非晶質状態であり、これを全て結晶状態に相変化させるための初期化が必要となる。初期化は光の照射により半透過記録層３及び、記録層１０を結晶化温度以上融点以下の温度に加熱することで行われるが、これに使用する光源としてはレーザー、キセノンフラッシュランプ等が挙げられ、中でも再生時に発生するノイズが少ないことからレーザー光が多く使用される。
【００４２】
本発明の光学情報記録媒体への記録再生方法について、前記光学情報記録媒体２０を例として以下に述べる。前記光学情報記録媒体２０への情報信号の記録は次のように行われる。前記光学情報記録媒体２０の第１情報記録層Ａ１を構成する半透過記録層３に、半透過記録層を構成する相変化材料の融点以上の温度に加熱するようなパワーのレーザー光を照射すると、前記半透過記録層３のレーザー照射部分は溶融液相化されることとなる。この溶融部分はレーザー光が通過すると、第２保護層４を介して半透過反射層５及び熱調整層６にて急冷され、非晶質状態のピットとなる。前記ピットは前記半透過記録層３が結晶化温度以上融点以下の温度に加熱するようなパワーのレーザー光を再度照射されることにより、結晶状態に可逆的に変化することができる。つまり、レーザー照射時に前記半透過記録層３が達する温度によって、レーザー照射部は結晶状態もしくは非晶質状態のどちらかの状態をとるのである。これと全く同様に第２情報記録層Ａ２を構成する記録層１０においても、照射されるレーザー光によって加熱、第４保護層１１を介して反射層１２にて冷却され、照射部が結晶状態もしくは非晶質状態のどちらの状態をとることとなる。前記光学情報記録媒体２０はこの特性を利用し、レーザーのパワーを使い分けることで、半透過記録層３もしくは記録層１０に結晶状態の部分と非晶質状態の部分を、記録する情報信号に応じて選択、形成し、情報信号の記録を行うのである。
【００４３】
前記光学情報記録媒体２０からの情報信号の再生は次のように行われる。まず、半透過記録層３もしくは記録層１０の再生したい層に焦点が合うように、記録層が結晶化温度まで達しないような低いパワーのレーザー光を照射する。このレーザー光は照射部の半透過記録層３、記録層１０が結晶状態である場合は半透過反射層５、反射層１２にて反射され、また、照射部の半透過記録層３、記録層１０が非晶質状態のピットである場合はこのピットにてレーザー光は反射され記録再生光学機器に検出される。半透過記録層３、記録層１０が結晶状態である場合と非晶質状態のピットである場合とでは、レーザー光の反射率が異なり、記録層が結晶状態である方がレーザーの反射光の強度が強くなるため、記録再生光学機器はこの強度の差を検出して、光学情報記録媒体２０に記録された情報信号を再生するのである。
【００４４】
この時、第２情報記録層Ａ２で記録再生を行うレーザー光は、第１情報記録層Ａ１を必ず通過しなければならず、この際、前記第１情報記録層Ａ１はある程度レーザー光を反射、吸収してしまう。このため、前記第２情報記録層Ａ２に記録再生を行う場合には、予め前記第１情報記録層Ａ１が反射、吸収する分強いパワーでレーザー照射を行っており、前記第１情報記録層Ａ１での反射、吸収が大きければその分照射するレーザーのパワーを上げなくてはならない。
【００４５】
この前記第１情報記録層Ａ１におけるレーザー光の反射、吸収は、主に前記第１情報記録層Ａ１を構成する半透過反射層５の透過率が関係しており、この前記半透過反射層５の膜厚が増加すると透過率が減少し、レーザー光の反射、吸収が増加することとなる。故に、前記第１情報記録層Ａ１の透過率を上げるためには、前記半透過反射層５の膜厚を薄くすることが有効であるが、前記半透過反射層５の膜厚を薄くすると、半透過記録層３への冷却能力が減少し、前記第１情報記録層Ａ１の記録特性が悪化することとなる。このため、前記光学情報記録媒体２０では、この冷却能力の低下を補うために熱伝導率及びレーザー光の透過率の高い熱調整層６を設け、かつ前記熱調整層６の主成分の含有量Ａと熱調整層６の膜厚ｄを最適化することで、前記第１情報記録層Ａ１の記録特性の悪化を抑えると同時に、透過率の向上を図っているのである。
【実施例１】
【００４６】
第１基板１として、直径１２０ｍｍ、厚さ０．６ｍｍのポリカーボネート樹脂製の基板を成形した。尚、前記第１基板１上にはトラックピッチが０．７４μｍ、深さ２５ｎｍのグルーブがレーザー光の入射方向から見て凸状に、グルーブ幅とランド幅の比がおよそ５０：５０になるように螺旋状に形成されており、情報信号の記録再生は前記グルーブ上に形成される半透過記録層３にて行われることとなる。
【００４７】
次に、前記第１基板１を高周波マグネトロンスパッタ装置の真空容器内に設置し、前記真空容器内を３．０×１０−５Ｔｏｒｒまで減圧した後、Ａｒガスで全圧２．９×１０−３Ｔｏｒｒとし、ＳｉＯ２を２０ｍｏｌ％添加したＺｎＳをターゲットとして用いて、前記第１基板１上に厚さ６６ｎｍの第１保護層２を形成した。次に、Ａｇ−Ｉｎ−Ｓｂ−Ｔｅ合金をターゲットとして用いて、前記第１保護層２上に厚さ６ｎｍの半透過記録層３を形成した。次に、前記第１保護層２と同一のターゲットを用いて、前記半透過記録層３上に厚さ９ｎｍの第２保護層４を形成した。次に、Ａｇ−Ｐｄ−Ｃｕ合金をターゲットとして用いて、前記第２保護層４上に厚さ５ｎｍの半透過反射層５を形成した。
【００４８】
次に、真空容器内をＡｒとＮ２の混合ガスで窒素分圧７５％、スパッタガス圧９．５×１０−３Ｔｏｒｒとし、Ａｌ−Ｔｉ合金をターゲットとして用いて、前記半透過反射層５上に厚さ５ｎｍの熱調整層６を形成した。ただし、ターゲットに使用したＡｌ−Ｔｉ合金のＴｉの含有量は極めて小さいため、成膜された前記熱調整層６はほぼＡｌ−Ｎ膜とみなしてよい。
【００４９】
次に、再度真空容器内をＡｒガスで全圧２．９×１０−３Ｔｏｒｒとし、前記第１保護層２と同一のターゲットを用いて、前記熱調整層６上に厚さ５６ｎｍの光学調整層７を形成した。これにより、前記第１基板１上に第１情報記録層Ａ１が形成されたこととなる。
【００５０】
次に、真空容器内をＡｒガスで全圧２．９×１０−３Ｔｏｒｒとしたままで、前記第１基板と同様に成形された第２基板１３上に、前記半透過反射層５と同一のＡｇ−Ｐｄ−Ｃｕ合金をターゲットとして用いて、厚さ９０ｎｍの反射層１２を形成した。次に、前記第１保護層２と同一のターゲットを用いて、前記反射層１２上に厚さ２０ｎｍの第４保護層１１を形成した。次に、前記半透過記録層３と同一のＡｇ−Ｉｎ−Ｓｂ−Ｔｅ合金をターゲットとして用いて、前記第４保護層１１上に厚さ１６ｎｍの記録層１０を形成した。次に、前記第１保護層２と同一のターゲットを用いて、前記記録層１０上に厚さ６６ｎｍの第３保護層９を形成した。これにより、前記第２基板１３上に第２情報記録層Ａ２が形成されたこととなる。
【００５１】
次に、第１情報記録層Ａ１が形成された前記第１基板１の第１情報記録層Ａ１側に、アクリル系紫外線硬化樹脂（大日本インキ社製ＳＤ６６１）をスピンコートし、その上に第２情報記録層Ａ２が形成された前記第２基板１３を、前記第１情報記録層Ａ１と前記第２情報記録層Ａ２とが向かい合うように設置し、紫外線照射により前記紫外線硬化樹脂を硬化させることで厚さ５０μｍの中間透明層８を形成すると共に、第１情報記録層Ａ１が形成された前記第１基板１と第２情報記録層Ａ２が形成された前記第２基板１３とを接合した。
【００５２】
次に、接合された前記第１基板１と前記第２基板１３の各情報記録層の半透過記録層３及び、記録層１０に、トラック方向のビーム幅が半径方向よりも広い照射形状を有しているワイドビームを用いてレーザー光を照射し、結晶化温度以上融点以下の温度に加熱することで、前記半透過記録層３及び、前記記録層１０の初期化処理を行った。これにより、光学情報記録媒体２０が作製され、これを記録媒体（１）とした。
【実施例２】
【００５３】
実施例１において、熱調整層６形成時のスパッタリング条件の内、真空容器内を窒素分圧６５％、スパッタガス圧７．５×１０−３Ｔｏｒｒとした他は実施例１と同様にして光学情報記録媒体２０を作製し、これを記録媒体（２）とした。
【実施例３】
【００５４】
実施例１において、熱調整層６形成時のターゲットをＳｉに変更した他は実施例１と同様にして光学情報記録媒体２０を作製し、これを記録媒体（３）とした。
【実施例４】
【００５５】
実施例１において、熱調整層６の厚さを２０ｎｍに変更した他は実施例１と同様にして光学情報記録媒体２０を作製し、これを記録媒体（４）とした。
【００５６】
（比較例１）
実施例１において、熱調整層６を形成しない他は実施例１と同様にして光学情報記録媒体を作製し、これを記録媒体（５）とした。尚、記録媒体（５）の場合、光学調整層７が熱調整層６に代わり半透過反射層５の冷却機能を補助することとなる。
【００５７】
（比較例２）
実施例１において、熱調整層６を形成せず、半透過反射層５の厚さを１０ｎｍに変更した他は実施例１と同様にして光学情報記録媒体を作製し、これを記録媒体（６）とした。尚、記録媒体（６）の場合も記録媒体（５）同様、光学調整層７が熱調整層６に代わり半透過反射層５の冷却機能を補助することとなる。
【００５８】
（比較例３）
実施例１において、熱調整層６形成時のスパッタリング条件の内、真空容器内を窒素分圧４０％、スパッタガス圧３．７×１０−３Ｔｏｒｒとした他は実施例１と同様にして光学情報記録媒体を作製し、これを記録媒体（７）とした。
【００５９】
（比較例４）
実施例１において、熱調整層６の厚さを３０ｎｍに変更した他は実施例１と同様にして光学情報記録媒体を作製し、これを記録媒体（８）とした。
【００６０】
（評価方法）
前記記録媒体（１）〜（８）の第１情報記録層Ａ１の記録特性を評価する目的で、波長λ＝６６０ｎｍのレーザーダイオード及びＮＡ＝０．６５の光学レンズを搭載した光ディスクドライブテスタ（パルステックス社製ＤＤＵ１０００）を用いて、前記記録媒体（１）〜（８）の第１情報記録層Ａ１に対し、８−１６（ＦＥＭ＋）変調ランダムパターンを、ＤＶＤ-ＲＯＭ２層規格２倍速相当である記録線速度７．７ｍ／ｓ、最短マーク長０．４４０μｍ等の規格を満たす最適な条件により、隣接トラックも含め１０回オーバーライトした後、レーザーパワー１．４ｍＷの再生レーザー光を用いて再生し、その再生信号の振幅の中心でのクロック・トゥ・データ・ジッタを測定した。
【００６１】
また、前記記録媒体（１）〜（８）とは別に、記録媒体（１）〜（８）と全く同等の作製条件で、第１基板１上に第１情報記録層Ａ１のみを形成した含有率分析用ディスク（１）〜（８）を作製し、この含有率分析用ディスク（１）〜（４）、（７）、（８）上の熱調整層をＥＳＣＡ（ＰＨＹＳＩＣＡＬ  ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ社製ＱＵＡＮＴＵＭ２０００  Ｓｃａｎｉｎｇ  ＥＳＣＡ  Ｍｉｃｒｏｐｒｏｂｅ）を用いて分析することで、前記記録媒体（１）〜（４）、（７）、（８）の熱調整層６のＡｌ及びＳｉの含有率Ａを求めた。また、記録媒体（５）、（６）に関しては、含有率分析用ディスク（５）、（６）上の光学調整層のＳｉの含有率を同様に分析することで、熱調整層６に代わり半透過反射層５の冷却機能を補助する光学調整層７のＳｉの含有率Ａを求めた。
【００６２】
また、更に前記記録媒体（１）〜（８）とは別に、第２情報記録層Ａ２を有しない以外は記録媒体（１）〜（８）と全く同等の透過率測定用ディスク（１）〜（８）を作製、初期化を行った上で、前記透過率測定用ディスク（１）〜（８）の第１情報記録層に、記録レーザー光と同等である波長λ＝６６０ｎｍの光を照射し、その透過率をＥＴＡ−ＲＴ（Ｓｔｅａｇ  ＥＴＡ−Ｏｐｔｉｋ  ＧｍｂＨ社製）を用いて測定することで、前記記録媒体（１）〜（８）の第１情報記録層Ａ１の透過率を求めた。
【００６３】
また、更にシリコンウエハ上に厚さ１００ｎｍの熱調整膜を、前記記録媒体（１）〜（４）、（７）、（８）の熱調整層６と同等のスパッタリング条件で形成した。また、同様にしてシリコンウエハ上に厚さ１００ｎｍの光学調整膜を、前記記録媒体（５）、（６）の光学調整層７と同等のスパッタリング条件で形成した。前記熱調整膜及び、前記光学調整膜の屈折率を自動波長走査型エリプソメーター（日本分光社製ＭＥＬ−３０）を用いて測定することで、前記記録媒体（１）〜（４）、（７）、（８）の熱調整層６の屈折率及び、前記記録媒体（５）、（６）の光学調整層７の屈折率を求めた。
【００６４】
（評価結果）
表1に前記記録媒体（１）〜（８）の評価結果を示す。尚、前記記録媒体（５）、（６）は熱調整層６を有さないため、熱調整層６に代わり半透過反射層５の冷却機能を補助する光学調整層７中のＳｉの含有率Ａ、屈折率ｎの値を括弧内に記した。
【００６５】
【表１】
2007164896.tif 000003
表１の結果に基づき、図３にＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａとジッタとの関係を示す。尚、図３中の各プロットと近接する括弧内の数字は表１の記録媒体番号と各々対応する。また、図３中の実線は実用上必要であるジッタの判定基準である９．５％以下を示す境界線であり、この境界線以下の領域にあるような熱調整層６を有する第１情報記録層Ａ１のジッタは実用上必要な値を満たしており、良好な記録特性を持つことを意味している。
【００６６】
図３より、実用上必要であるジッタ９．５％以下を満たす記録媒体は、記録媒体（１）〜（４）、（６）、（８）であることがわかり、熱調整層６を有していない記録媒体（５）のジッタは判断基準値を満たしておらず、光学調整層７のみでは冷却能力が不十分で良好な記録特性を得られないことが判明した。また、記録媒体（６）は熱調整層６を有していないが、半透過反射層５の厚さを他の記録媒体（１）〜（５）、（７）、（８）の２倍としたため、冷却能力が向上しジッタの判定基準値を満たすことができている。しかしながら、後述する図４においては透過率が判定基準値を満たすことができず、これは、半透過反射層５が厚くなることで十分な冷却能力が得られ第１情報記録層Ａ１の記録特性は向上したものの、その分レーザー光の透過率が悪化したことを意味している。
【００６７】
ここで、記録媒体（６）は半透過反射層５の厚さが他の記録媒体と異なり、他の記録媒体の結果と単純に比較ができないために、図３の結果から除外して考えると、第１情報記録層Ａ１が実用上必要なジッタを有するような、熱調整層６のＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａは、図３中の破線を上下限とする  ５０ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲をとることがわかる。このことは、前記以外の含有量Ａの範囲  Ａ≦５０ａｔ％、もしくは６０ａｔ％≦Ａをとるような熱調整層６を有する第１情報記録層Ａ１では、ジッタが実用上必要な判定基準を満たさず、良好な記録特性が得られないことを意味している。
【００６８】
次に、表１の結果に基づき、図４にＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａと透過率との関係を示す。尚、図４中の各プロットと近接する括弧内の数字は表１の記録媒体番号と各々対応する。また、図４中の実線は実用上必要である透過率の判定基準である４０％以上を示す境界線であり、この境界線以上の領域にあるような熱調整層６を有する第１情報記録層Ａ１は、良好な透過率を持つことを意味している。また更に、図４中の破線は図３中で実用上必要なジッタを有するＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａの範囲とされた上下限を示している。
【００６９】
図４より、実用上必要である透過率４０％以上を満たす記録媒体は、記録媒体（１）〜（４）、（５）、（７）であり、図３においてはジッタの判定基準値を満たす記録媒体（８）が、図４においては透過率の判断基準値を満たさず、反対に図３においてはジッタの判定基準値を満たさなかった記録媒体（５）、(７)が、図４においては透過率の判定基準値を満たしていることがわかる。このことから、ジッタと透過率を双方とも満たすような第１情報記録層Ａ１を得るためには、前記熱調整層６のＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａという１つのパラメータのみでは決定できないことが判明した。
【００７０】
ここで、表１の結果に基づき、図５に熱調整層６の膜厚ｄと屈折率ｎとを乗じた値（ｄ×ｎ）と透過率との関係を示す。尚、図５中の各プロットと近接する括弧内の数字は図４と同様に表１の記録媒体番号と各々対応し、また、図５中の実線は透過率の判定基準である４０％以上を示す境界線とする。
【００７１】
図５より、実用上必要である透過率４０％以上を満たす記録媒体は、記録媒体（１）〜（４）、（５）、（７）であることがわかる。ここで、前述したように記録媒体（６）の半透過反射層５の厚さは他の記録媒体と異なるため、他の記録媒体の結果と単純に比較ができず、図５の結果から除外して考えると、第１情報記録層Ａ１が実用上必要な透過率を有するような、熱調整層６の膜厚ｄは、照射するレーザー光の波長をλ、前記熱調整層の屈折率をｎとした時、図５中の破線を上限とする  ０＜（ｄ×ｎ）≦（１／１６）λの範囲をとることがわかる。このことは、前記範囲以外の（１／１６）λ≦（ｄ×ｎ）であるような熱調整層６の膜厚ｄを有する第１情報記録層Ａ１では、透過率が判定基準に満たず、第２情報記録層Ａ２への記録再生レーザー光の照射パワーの低減は図れないことを意味している。
【００７２】
次に、表１の結果に基づき、図６に熱調整層６の膜厚ｄと屈折率ｎとを乗じた値（ｄ×ｎ）とジッタとの関係を示す。尚、図６中の各プロットと近接する括弧内の数字は図３と同様に表１の記録媒体番号と各々対応し、また、図６中の実線はジッタの判定基準である９．５％以下を示す境界線とする。また更に、図６中の破線は図５中で実用上必要な透過率を有する（ｄ×ｎ）の範囲とされた上限を示している。
【００７３】
図６より、実用上必要であるジッタ９．５％以下を満たす記録媒体は、半透過反射層５の厚さが異なる記録媒体（６）の結果を除くと、記録媒体（１）〜（４）、（８）であり、図５においては透過率の判定基準値を満たす記録媒体（５）、(７)が、図６においてはジッタの判断基準値を満たさず、反対に図５においては透過率の判定基準値を満たさなかった記録媒体（８）が、図６においてはジッタの判定基準値を満たしていることがわかる。このことから、ジッタと透過率を双方とも満たすような第１情報記録層Ａ１を得るためには、前記熱調整層６の膜厚ｄと屈折率ｎとを乗じた値（ｄ×ｎ）という１つのパラメータのみでは決定できないことが判明した。
【００７４】
以上のことから、第１情報記録層Ａ１に良好な記録特性と高い透過率を持たせるためには、熱調整層６の材料中のＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａを５０ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲に、好ましくは５２ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲に、更に好ましくは５５ａｔ％≦Ａ≦６０ａｔ％の範囲にすることと共に、前記熱調整層６の膜厚ｄを、照射するレーザー光の波長をλ、前記熱調整層の屈折率をｎとした時、０＜（ｄ×ｎ）≦（１／１６）λの範囲に、好ましくは  （０．１９／１６）λ＜（ｄ×ｎ）≦（０．７８／１６）λの範囲にすることが必要であり、これら双方の範囲を共に満たすような熱調整層６を有する第１情報記録層Ａ１は良好な記録特性と高い透過率とを両立することができるのである。ここで、前記実施例１〜実施例４の第１情報記録層Ａ１は、前記含有量Ａの範囲と前記（ｄ×ｎ）の範囲を共に満たす熱調整層６を有しているため、良好な記録特性と高い透過率とを両立することができ、このことから、本発明の光学情報記録媒体２０は、第２情報記録層Ａ２への記録再生時のレーザー光の照射パワーを低く抑えることができるのである。
【００７５】
尚、前述の形態では情報記録層が２層である相変化型記録媒体に関し記述したが、情報記録層が２層以上の場合でも本発明は適用が可能である他、相変化型記録媒体以外の例えば図７に示すような追記型光記録媒体の他、光カード等、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更して実施することが可能である。
【００７６】
図７に示す追記型光情報記録媒体４０は、第１基板１上に追記型半透過記録層３ａと半透過反射層５と熱調整層６と光学調整層７とを有する追記型第１情報記録層Ａ１２を順次スパッタリング法やスピンコート法に形成し、前記追記型第１情報記録層Ａ１２上に粘着シートや紫外線硬化樹脂を用いてグルーブを有する中間透明層８を形成し、前記中間透明層８上に第１保護層２と追記型記録層１０ａと反射層１２とを有する追記型第２情報記録層Ａ２２を順次スパッタリング法やスピンコート法により形成し、前記追記型第２情報記録層Ａ２２上に第２基板１３を粘着シートや紫外線硬化樹脂を用いて接合することにより得る。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明に係る光学情報記録媒体の模式断面図である。
【図２】界面層、拡散防止層を有する本発明に係る光学情報記録媒体の模式断面図である。
【図３】本発明に係る熱調整層のＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａとジッタとの関係を示す図である。
【図４】本発明に係る熱調整層のＳｉもしくはＡｌもしくはそれら双方の含有量Ａと透過率との関係を示す図である。
【図５】本発明に係る熱調整層の膜厚ｄと屈折率ｎとを乗じた値（ｄ×ｎ）と透過率との関係を示す図である。
【図６】本発明に係る熱調整層の膜厚ｄと屈折率ｎとを乗じた値（ｄ×ｎ）とジッタとの関係を示す図である。
【図７】追記型光記録媒体に応用した本発明に係る光学情報記録媒体の模式断面図である。
【図８】従来の光学情報記録媒体の模式断面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１    第１基板
２    第１保護層
３    半透過記録層
３ａ    追記型半透過記録層
４    第２保護層
５    半透過反射層
６    熱調整層
７    光学調整層
８    中間透明層
９    第３保護層
１０    記録層
１０ａ    追記型記録層
１１    第４保護層
１２    反射層
１３    第２基板
１７    界面層
１８    拡散防止層
２０・３０    光学情報記録媒体
４０    追記型光学情報記録媒体
Ａ１・Ａ１１    第１情報記録層
Ａ１２    追記型第１情報記録層
Ａ２・Ａ２１    第２情報記録層
Ａ２２    追記型第２情報記録層
【図１】
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【図２】
2007164896.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2007164896.tif 000009
【図７】
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【図８】
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