(57)【要約】【課題】回転ディスクの偏心による出力信号誤差を補正する装置構成が複雑化・大型化した従来のエンコーダの問題を解決する光学式エンコーダを提供する。【解決手段】拡散光源３と、相対回転する２つの部材の一方に固定された回転ディスク１と、他方に固定され、光源３と回転ディスク１との間に間隙を介して配置された固定スケール２Ａ、２Ｂと、回転ディスク上に形成された回転スリット１１と、固定スケール２Ａ、２Ｂ上に形成された光源スリット２２Ａ、２２Ｂとインデックススリット２３Ｂと、受光素子４Ａ、４Ｂとを備えた光学式エンコーダにおいて、光源３を回転ディスク１の回転中心線上に配置し、光源スリット２２Ａ、２２Ｂとインデックススリット３Ａ、２３Ｂと受光素子４Ａ、４Ｂが、回転ディスク１の回転中心に対して点対称な位置に配置されている光源３を回転中心の延長線上に配置した。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
拡散光を射出する光源と、相対的に回転する２つの部材の一方の部材に固定された回転ディスクと、他方の部材に固定され、前記光源と前記回転ディスクとの間に間隙を介して配置された固定スケールと、前記回転ディスク上に形成された回転スリットと、前記固定スケール上に形成された光源スリットとインデックススリットと、受光素子とを備え、前記受光素子の出力である検出信号の変動から前記２つの部材の相対的角度変位を検出する光学式エンコーダにおいて、
前記光源が、前記回転ディスクの回転中心線上に配置され、前記光源スリットと前記インデックススリットと前記受光素子が、前記回転ディスクの回転中心に対して点対称な位置に１組以上配置されていることを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項２】
拡散光を射出する光源と、相対的に回転する２つの部材の一方の部材に固定された回転ディスクと、他方の部材に固定され、前記光源と前記回転ディスクとの間に間隙を介して配置された固定スケールと、前記回転ディスク上に形成された回転スリットと、前記固定スケール上に形成された光源スリットとインデックススリットと、受光素子とを備え、前記受光素子の出力である検出信号の変動から前記２つの部材の相対的角度変位を検出する光学式エンコーダにおいて、
前記光源が、前記回転ディスクの回転中心線上に配置され、前記光源スリットと前記インデックススリットと前記受光素子が、前記回転ディスクの回転中心に対して環状に配置されていることを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項３】
前記回転スリット、前記光源スリット、前記インデックススリットのスリット形状が、それぞれ前記回転ディスクの回転中心から放射状に形成されるとともに、１周あたりの本数が異なることを特徴とする請求項１または２記載の光学式エンコーダ。
【請求項４】
前記回転スリット、前記光源スリット、前記インデックススリットがそれぞれ形成された面を回転スリット面、光源スリット面、インデックススリット面とし、前記光源から光源スリット面、回転スリット面、インデックススリット面の順序で互いに平行に仮想的に配置したとき、
前記光源と前記光源スリット面間の距離をＬ１、
前記光源スリット面と前記回転スリット面間の距離をＬ２、
前記回転スリット面と前記インデックススリット面間の距離をＬ３、
前記光源からの任意の光線が前記回転スリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＲ、
前記光源からの前記任意の光線が前記光源スリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＬ、
前記光源からの前記任意の光線が前記インデックススリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＩ、
回転スリットの１回転当たりのスリット数をＮＲ、
光源スリットの１回転当たりのスリット数をＮＬ、
インデックススリットの１回転当たりのスリット数をＮＩ
とすると、
ＮＬ＝（ｒＬ／ｒＲ）ＮＲ
ＮＩ＝（ｒＩ／ｒＲ）ＮＲ
の関係が成立することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光学式エンコーダ。
【請求項５】
前記回転スリット、前記光源スリット、前記インデックススリットがそれぞれ形成された面を回転スリット面、光源スリット面、インデックススリット面とし、前記光源から光源スリット面、回転スリット面、インデックススリット面の順序で互いに平行に仮想的に配置したとき、
前記光源と前記光源スリット面間の距離をＬ１、
前記光源スリット面と前記回転スリット面間の距離をＬ２、
前記回転スリット面と前記インデックススリット面間の距離をＬ３、
前記光源からの任意の光線が前記回転スリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＲ、
前記光源からの前記任意の光線が前記光源スリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＬ、
前記光源からの前記任意の光線が前記インデックススリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＩ、
回転スリットの１回転当たりのスリット数をＮＲ、
光源スリットの１回転当たりのスリット数をＮＬ、
インデックススリットの１回転当たりのスリット数をＮＩ
とすると、
ＮＬ＝（ｒＬ／２ｒＲ）ＮＲ
ＮＩ＝（ｒＩ／２ｒＲ）ＮＲ
の関係が成立することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の光学式エンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータ等回転駆動装置の位置決め用センサとして使用される光学式ロータリエンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の光学式エンコーダは、回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正するように、回転中心に対して点対称な位置に２つの検出部を設けているものがある（例えば、特許文献１参照）。
図６において、１は回転ディスク、２Ａ、２Ｂは固定スケール、３Ａ、３Ｂは光源、４Ａ、４Ｂは受光素子で構成されており、前記回転ディスク１上には回転スリット１１が設けられており、前記固定スケール２Ａ、２Ｂ上にはそれぞれ固定スリット２１Ａ、２１Ｂが設けられている。前記固定スケール２Ａと前記固定スリット２１Ａ、前記光源３Ａ、前記受光素子４Ａの組み合わせと、前記固定スケール２Ｂと前記固定スリット２１Ｂ、前記光源３Ｂ、前記受光素子４Ｂの組み合わせは、回転ディスク１の回転中心を挟む対称位置に設けられており、前記受光素子４Ａからの検出信号ＶＡと前記受光素子４Ｂからの検出信号ＶＢは同位相で検知するように設定されている。
モータ等の回転体と連結した回転軸５の回転により前記回転ディスク１が回転すると、前記固定スケール２Ａ、２Ｂ上の前記固定スリット２１Ａ、２１Ｂを透過する光量が変化し、前記受光素子４Ａの検出信号ＶＡと前記受光素子４Ｂの検出信号ＶＢの信号も変化する。この検出信号ＶＡと検出信号ＶＢを図示しない回路により加算合成して検出出力Ｖを出力するようになっている。
上記構成では、機械的な誤差等によって回転中心と前記回転ディスク１の中心がずれ偏心していると、前記回転ディスク１が回転した際に前記受光素子４Ａからの検出信号ＶＡと前記受光素子４Ｂからの検出信号ＶＢには差が生ずる。機械的な誤差が生じる方向として、前記固定スリット２１Ａ、２１Ｂの配置に対して直交する方向に偏心する場合と、前記固定スリット２１Ａ、２１Ｂの配置に対して平行な方向に偏心する場合が考えられるが、エンコーダの誤差の要因として大きいのは図７に示すように前記固定スリット２１Ａ、２１Ｂの配置に対して直交する方向に偏心する場合である。
【０００３】
直交方向に偏心すると、図８に示すように、例えば受光素子４Ａからの検出信号ＶＡに遅れが生ずると受光素子４Ｂからの検出信号ＶＢは進みを生ずることとなる。
したがって、前記受光素子４Ａからの検出信号ＶＡと前記受光素子４Ｂからの検出信号ＶＢを加算合成することにより、図８に示すように前記検出信号ＶＡと前記検出信号ＶＢ の位相変位を平均化した検出出力Ｖを得ることができる。
このようにして従来の光学式エンコーダは、回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正していた。
【特許文献１】特開平１１−１０８６９８号公報（第２−３頁、図１、２、４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の光学式エンコーダは、回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正するように、回転中心に対して点対称な位置に２組の検出部それぞれ独立に設けているので、偏心補正を行わないエンコーダに比べて全ての光学部品が倍必要となり、装置構成が複雑になるとともに、装置が大きくなってしまうという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正できるとともに、装置構成が簡単でかつ小型化が可能な光学式のエンコーダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、拡散光を射出する光源と、相対的に回転する２つの部材の一方の部材に固定された回転ディスクと、他方の部材に固定され、前記光源と前記回転ディスクとの間に間隙を介して配置された固定スケールと、前記回転ディスク上に形成された回転スリットと、前記固定スケール上に形成された光源スリットとインデックススリットと、受光素子とを備え、前記受光素子の出力である検出信号の変動から前記２つの部材の相対的角度変位を検出する光学式エンコーダにおいて、
前記光源が、前記回転ディスクの回転中心線上に配置され、前記光源スリットと前記インデックススリットと前記受光素子が、前記回転ディスクの回転中心に対して点対称な位置に１組以上配置されていることを特徴とするものである。
また請求項２に記載の発明は、拡散光を射出する光源と、相対的に回転する２つの部材の一方の部材に固定された回転ディスクと、他方の部材に固定され、前記光源と前記回転ディスクとの間に間隙を介して配置された固定スケールと、前記回転ディスク上に形成された回転スリットと、前記固定スケール上に形成された光源スリットとインデックススリットと、受光素子とを備え、前記受光素子の出力である検出信号の変動から前記２つの部材の相対的角度変位を検出する光学式エンコーダにおいて、前記光源が、前記回転ディスクの回転中心線上に配置され、前記光源スリットと前記インデックススリットと前記受光素子が、前記回転ディスクの回転中心に対して環状に配置されていることを特徴とするものである。
【０００６】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２記載の光学式エンコーダにおいて、前記回転スリット、前記光源スリット、前記インデックススリットのスリット形状が、それぞれ前記回転ディスクの回転中心から放射状に形成されるとともに、１周あたりの本数が異なることを特徴とするものである。
また、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３記載の光学式エンコーダにおいて、前記回転スリット、前記光源スリット、前記インデックススリットがそれぞれ形成された面を回転スリット面、光源スリット面、インデックススリット面とし、前記光源から光源スリット面、回転スリット面、インデックススリット面の順序で互いに平行に仮想的に配置したとき、
前記光源と前記光源スリット面間の距離をＬ１、
前記光源スリット面と前記回転スリット面間の距離をＬ２、
前記回転スリット面と前記インデックススリット面間の距離をＬ３、
前記光源からの任意の光線が前記回転スリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＲ、
前記光源からの前記任意の光線が前記光源スリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＬ、
前記光源からの前記任意の光線が前記インデックススリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＩ、
回転スリットの１回転当たりのスリット数をＮＲ、
光源スリットの１回転当たりのスリット数をＮＬ、
インデックススリットの１回転当たりのスリット数をＮＩ
とすると、
ＮＬ＝（ｒＬ／ｒＲ）ＮＲ
ＮＩ＝（ｒＩ／ｒＲ）ＮＲ
の関係が成立することを特徴とするものである。
また、請求項５記載の発明は、請求項１乃至３記載の光学式エンコーダにおいて、前記回転スリット、前記光源スリット、前記インデックススリットがそれぞれ形成された面を回転スリット面、光源スリット面、インデックススリット面とし、前記光源から光源スリット面、回転スリット面、インデックススリット面の順序で互いに平行に仮想的に配置したとき、
前記光源と前記光源スリット面間の距離をＬ１、
前記光源スリット面と前記回転スリット面間の距離をＬ２、
前記回転スリット面と前記インデックススリット面間の距離をＬ３、
前記光源からの任意の光線が前記回転スリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＲ、
前記光源からの前記任意の光線が前記光源スリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＬ、
前記光源からの前記任意の光線が前記インデックススリットに入射する点と前記回転ディスクの回転中心との距離をｒＩ、
回転スリットの１回転当たりのスリット数をＮＲ、
光源スリットの１回転当たりのスリット数をＮＬ、
インデックススリットの１回転当たりのスリット数をＮＩ
とすると、
ＮＬ＝（ｒＬ／２ｒＲ）ＮＲ
ＮＩ＝（ｒＩ／２ｒＲ）ＮＲ
の関係が成立することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１に記載の発明によると、回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正できるとともに、装置構成が簡単でかつ小型化が可能である。
また、請求項２に記載の発明によると、全周計測することができるので、回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差をより正確に補正できる。
また、請求項３に記載の発明によると、３格子光学システムが適用できるように、３つのスリットのスリットピッチを選択できるので、高Ｓ／Ｎ比の信号を得ることができ、より正確に回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正できる。
また、請求項４に記載の発明によると、３格子光学システムの回折効果システムの光学系になるので、高Ｓ／Ｎ比の信号を得ることができ、より正確に回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正できる。
また、請求項５に記載の発明によると、３格子光学システムの幾何光学システムの光学系になるので、高Ｓ／Ｎ比の信号を得ることができ、より正確に回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１は、本発明の第１の実施例の光学式エンコーダの斜視図である。図において、１は回転ディスク、２Ａ、２Ｂは固定スケール、３は拡散光源、４Ａ、４Ｂは受光素子で構成されており、前記回転ディスク１上には回転スリット１１が設けられており、前記固定スケール２Ａ、２Ｂ上にはそれぞれ光源スリット２２Ａ、２２Ｂとインデックススリット２３Ａ、２３Ｂが設けられている。
前記固定スケール２Ａとその上に形成された前記光源スリット２２Ａとインデックススリット２３Ａおよび前記受光素子４Ａの組み合わせと、前記固定スケール２Ｂとその上に形成された前記光源スリット２２Ｂとインデックススリット２３Ｂおよび前記受光素子４Ｂの組み合わせは、回転ディスク１の回転中心を挟む対称位置に設けられており、前記受光素子４Ａからの検出信号ＶＡと前記受光素子４Ｂからの検出信号ＶＢは同位相で検知するように設定されている。
本発明が特許文献１と異なる部分は、基本光学系として３格子光学系（詳細は、
SPIC Vol.136 1st European Congress On Optics Applied to Metrology (1977),pp.325-332参照）を用いており、その光源である前記拡散光源３を、回転ディスクの回転中心線上に配置している点である。
【００１０】
本実施例の３格子光学システムを用いた光学系を図２に示す。
前記拡散光源３から射出された拡散光は、前記光源スリット２２Ａを透過し前記回転ディスク１の上部を、前記光源スリット２２Ｂを透過し前記回転ディスク１の下部を照射する。前記回転ディスク１の上部の前記回転スリット１１で反射した光は、前記インデックススリット２３Ａをその一部が透過し、前記受光素子４Ａに入射する。前記回転ディスク１の下部の前記回転スリット１１で反射した光は、前記インデックススリット２３Ｂをその一部が透過し、前記受光素子４Ｂに入射する。前記受光素子４Ａの検出信号ＶＡと前記受光素子４Ｂの検出信号ＶＢを、図示しない回路により加算合成して、回転軸５の回転変位量に応じた検出出力Ｖを出力するようになっている。
また、本発明のエンコーダは、従来のエンコーダと同様に回転ディスク１の回転中心を挟む対称位置に設けられた前記受光素子４Ａと前記受光素子４Ｂから、それぞれ検出信号ＶＡとＶＢが得られるので、回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正することができる。
上記のように、本発明のエンコーダは３格子光学系を用いて構成しているので、その光源として拡散光源を用いることが可能である。したがって、回転ディスク１の回転中心を挟む対称位置に設けた２箇所の検出部に対して、回転ディスクの回転中心線上に配置した１つの光源から光を照射することができる。そのため、本実施例の光学式エンコーダは、光源が１つしかなく装置構成が簡単でかつ小型化が可能な構成で、回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正することができる。
また、反射型エンコーダとして構成できるので、光源から受光素子まで全ての部材を回転ディスクに対して一方方向に集約して配置できることも、装置構成の簡略化や小型化に適している。
図１では、受光素子を４Ａ、４Ｂの２つのみ記述しているが、回転方向検出あるいは差動検出のために、位相が所定量だけ異なる位置に、受光素子を追加できる。必要に応じて位相をずらしたインデックススリットを設けてもよい。
また、インデックススリット２３Ａ、２３Ｂと受光素子４Ａ、４Ｂとは、それぞれ別々に設けずに、受光素子４Ａ、４Ｂ自体に、インデックススリット２３Ａ、２３Ｂ相当のスリットパターンを施してもよい。
また、図１では前記受光素子４Ａからの検出信号ＶＡと前記受光素子４Ｂからの検出信号ＶＢは同位相で検知するように設定されているが、これらの位相を所定量だけずらして、偏心補正に使用せずに回転方向の検出や差動検出のみに用いてもよい。回転ディスクの回転中心線上に光源を配置し、その周辺にインデックススリットや受光素子を集約できるので、装置構成が小型化できるという本発明の効果を活かすことができる。
【００１１】
さらに、本実施例の別の形態として図３のように、固定スケール２を単一基板で構成してもよい。なお、図では光源スリット２２とインデックススリット２３を環状に形成しているが、受光素子の配置に応じて部分的に形成してもよい。
また、図３の受光素子４Ａ、４Ｂ、４Ｃ、４Ｄのように、回転ディスク１の回転中心に対して等間隔にできるだけ多くの受光素子を設けた方が、偏心補正に対する効果は大きい。
本発明は、このように受光素子の数を増やす場合でも、光源の数を増やす必要がないという効果がある。
【実施例２】
【００１２】
図４は本発明の第２の実施例の光学式エンコーダの斜視図である。
本発明が特許文献１と異なる部分は、回転スリット２とインデックススリット２３と受光素子４Ｏが、前記回転ディスクの回転中心に対して環状に配置されている点である。
受光素子４Ｏは、フォトダイオードやフォトトランジスタなど直接光電変換できるデバイスを配置してもかまわないし、光ファイバ、プリズムなどの各種導光路を環状に配置して光電変換するデバイスは別の場所に設けてもよい。
上記構成により、完全全集計測が可能となり、回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差をさらに正確に補正できる。
【実施例３】
【００１３】
図５は、本発明の第３の実施例を示す３つのスリット形状の関係を模式的に透過光学系で示したものである。本実施例の全体の構成は、図１と同じである。図５において、８Ｒは回転スリット１１が形成される回転スリット面、８Ｌは光源スリット２２が形成される光源スリット面、８Ｉはインデックススリット２３が形成されるインデックススリット面、Ｌ１は前記光源３と前記光源スリット面８Ｌ間の距離、Ｌ２は前記光源スリット面８Ｌと前記回転スリット面８Ｒ間の距離、Ｌ３は前記回転スリット面８Ｒと前記インデックススリット面間の距離、ｒＲは前記光源３からの任意の光線が回転スリット面８Ｒに入射する点ＰＲと回転中心との距離、ｒＬは前記光源３からの前記任意の光線が光源スリット面８Ｌに入射する点ＰＬと回転中心との距離、ｒＩは前記光源３からの前記任意の光線がインデックススリット面８Ｉに入射する点ＰＩと回転中心との距離である。
拡散光源３から照射された光は、図のように広がるので、三角比の関係から、
ｒＬ＝｛Ｌ１／（Ｌ１＋Ｌ２）｝ｒＲ                    ・・・（１）
ｒＩ＝｛（Ｌ１＋２Ｌ２）／（Ｌ１＋Ｌ２）｝ｒＲ                ・・・（２）
なる関係が成立する。
そのため、回転スリット面８Ｒ上に回転中心から放射状に形成した回転スリット１１の幾何学的な像は、（１）式の関係で光源スリット面８Ｌ上に、（２）式の関係でインデックススリット面８Ｉ上に、それぞれ回転中心から放射状に現れる。
したがって、前記回転スリット、前記光源スリット、前記インデックススリットは回転中心から放射状に形成している。
一方、３格子光学系による像は、回折干渉現象により生じるので、拡散光源３から照射された任意の光路上の、前記回転スリット、前記光源スリット、前記インデックススリットのピッチが等しいことが望まれる。拡散光源を用いているので、（１）、（２）式より、
ｒＬ＜ｒＲ＜ｒＩ
なる関係なので、前記回転スリット、前記光源スリット、前記インデックススリットのピッチを等しくするように、本実施例では１周あたりの本数を各スリット毎に変えて形成している。
したがって、３格子光学システムが適用できるように、３つのスリットのスリットピッチを選択できるので、高Ｓ／Ｎ比の信号を得ることができ、より正確に回転中心に対する回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差を補正できる。
【実施例４】
【００１４】
本発明の第４の実施例は、第３の実施例の光学式エンコーダにおいて、回転スリットの１回転当たりのスリット数、光源スリットの１回転当たりのスリット数、  インデックススリットの１回転当たりのスリット数をそれぞれＮＲ、ＮＬ、ＮＩとすると、特に、
ＮＬ＝（ｒＬ／ｒＲ）ＮＲ                              ・・・（３）
ＮＩ＝（ｒＩ／ｒＲ）ＮＲ                                ・・・（４）
なる関係で、各スリットを形成したものである。
したがって、３格子光学システムの理想状態の１つである回折効果システムの光学系を構成でき、回転スリットの１ピッチ分の角度変位に対して２周期の検出信号が、高Ｓ／Ｎ比で得ることができる。信号のＳ／Ｎ比が改善できるので、回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差の補正精度も向上できる。
【実施例５】
【００１５】
本発明の第５の実施例は、第４の実施例の光学式エンコーダの（３）、（４）の代わりに
ＮＬ＝（ｒＬ／ｒＲ）ＮＲ                              ・・・（５）
ＮＩ＝（ｒＩ／ｒＲ）ＮＲ                              ・・・（６）
なる関係で、各スリットを形成したものである。
したがって、３格子光学システムの理想状態の１つである幾何光学システムの光学系を構成でき、回転スリットの１ピッチ分の角度変位に対して１周期の検出信号が、高Ｓ／Ｎ比で得ることができる。信号のＳ／Ｎ比が改善できるので、回転ディスクの偏心に起因する出力信号の誤差の補正精度も向上できる。
【産業上の利用可能性】
【００１６】
上記実施例では反射型エンコーダで説明したが、本発明は、前記第３のスリットと前記受光素子が、前記回転ディスクをはさみ前記第１のスリットと反対側に配置され、前記受光素子は、前記光源から射出され、前記第２のスリットを透過し、前記回転ディスク上の第１のスリットで反射し、前記第３のスリットを透過した光量を検出することにより相対的に回転する２つの部材の相対的角度変位を検出する透過型の光学式エンコーダにも適用できる。
また、回転ディスクの回転中心線上に光源を配置し、その周辺にインデックススリットや受光素子を集約できるので、偏心補正をおこなわない通常のエンコーダの小型化にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施例の光学式エンコーダの斜視図である。
【図２】本発明の第１実施例の光学系を示す断面図である。
【図３】本発明の第１実施例の別の構成の光学式エンコーダの斜視図である。
【図４】本発明の第２実施例の光学式エンコーダの斜視図である。
【図５】本発明の第３の実施例の３つのスリット形状の関係を示す模式図である。
【図６】従来の光学式エンコーダの斜視図である。
【図７】偏心状態の概念図である。
【図８】受光素子の検出波形と最終出力波形を示す図である。
【符号の説明】
【００１８】
１  回転ディスク
１１  回転スリット
２  固定スケール
２１Ａ、２１Ｂ  固定スリット
２２、２２Ａ、２１Ｂ  光源スリット
２３、２３Ａ、２１Ｂ  インデックススリット
３  光源
４  受光素子
５  回転軸
【図１】
2007064818.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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