(57)【要約】【課題】インクジェット印刷装置のためのセンサ装置を提供する。【解決手段】センサ装置は、１） 基板の上表面にインクを堆積するために用いられる少なくとも１つの印刷ヘッドを備え、基板は印刷ヘッドに対し移動しており、２）基板の上表面からの距離を検出するために用いられる少なくとも１つのセンサと、３）センサから基板の上表面までの距離に基づいて基板からノズルまでの距離を決定し、基板からノズルまでの距離に基づいて基板に堆積されるインクの軌跡を調節するコントローラを備えている。他の多くの形態が提供される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上表面にインクを堆積するために用いられる少なくとも１つの印刷ヘッドを備え、基板は印刷ヘッドに対し移動しており、
基板の上表面からの距離を検出するために用いられる少なくとも１つのセンサと、
センサから基板の上表面までの距離に基づいて基板からノズルまでの距離を決定し、基板からノズルまでの距離に基づいて印刷パラメータを調節するコントローラを備えた装置。
【請求項２】
少なくとも１つのセンサは基板の厚さを検出するために用いられる請求項１記載の装置。
【請求項３】
少なくとも１つのセンサはレーザーセンサである請求項１記載の装置。
【請求項４】
少なくとも１つのセンサは超音波距離センサである請求項１記載の装置。
【請求項５】
１又はそれ以上の印刷ヘッドに接続され、基板からノズルまでの距離を調節するために用いられる１又はそれ以上のアクチュエータを備える請求項１記載の装置。
【請求項６】
印刷パラメータはインク液滴の軌跡である請求項１記載の装置。
【請求項７】
印刷パラメータはインク液滴の速度である請求項１記載の装置。
【請求項８】
印刷パラメータはインク液滴のサイズである請求項１記載の装置。
【請求項９】
印刷パラメータは基板の上表面の座標である請求項１記載の装置。
【請求項１０】
印刷パラメータは基板からノズルまでの距離である請求項１記載の装置。
【請求項１１】
センサから基板までの距離を検知し、
センサから基板までの検知された距離に基づいて、１又はそれ以上のインクジェット印刷ヘッドからから基板までの距離を決定し、
１又はそれ以上のインクジェット印刷ヘッドからから基板までの決定された距離に基づいて印刷パラメータを調節するインクジェット印刷方法。
【請求項１２】
センサで基板の厚さを検出することを含む請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
少なくとも１つのセンサはレーザーセンサである請求項１１記載の方法。
【請求項１４】
少なくとも１つのセンサは超音波距離センサである請求項１１記載の方法。
【請求項１５】
１又はそれ以上の印刷ヘッドに連結されている１又はそれ以上のアクチュエータにより１又はそれ以上の印刷ヘッドを調節することを含む請求項１１記載の方法。
【請求項１６】
印刷パラメータはインク液滴の軌道である請求項１１記載の方法。
【請求項１７】
印刷パラメータはインク液滴の速度である請求項１１記載の方法。
【請求項１８】
印刷パラメータはインク液滴のサイズである請求項１１記載の方法。
【請求項１９】
印刷パラメータは基板の上表面の座標である請求項１１記載の方法。
【請求項２０】
印刷パラメータは基板とノズルの間の距離である請求項１１記載の方法。
【請求項２１】
基板の外形マップを蓄積することを含む請求項１１記載の方法。
【請求項２２】
外形マップに基づいて１又はそれ以上の印刷ヘッドを調節することを含む請求項２１記載の方法。
【請求項２３】
印刷ブリッジと、
印刷ブリッジに連結され、基板の上表面にインクを堆積するために用いられる少なくとも１つの印刷ヘッドと、
印刷ブリッジと少なくとも１つの印刷ヘッドの下方に位置し、少なくとも１つの印刷ヘッドに対して基板を移動させるために用いられるステージと、
印刷ブリッジに連結され、基板の上表面から少なくとも１つのセンサまでの距離を検出するために用いられる少なくとも１つのセンサと、
センサから基板の上表面までの距離に基づいて基板からノズルまでの距離を決定し、基板からノズルまでの距離に基づいて印刷パラメータを調節するコントローラを備えたインクジェット印刷システム。
【請求項２４】
１又はそれ以上の印刷ヘッドに連結され、基板からノズルまでの距離を調節するために用いられる１又はそれ以上のアクチュエータを備えた調節可能な装着システムを含む請求項２３記載のシステム。
【請求項２５】
調節可能な装着システムは、
印刷ブリッジに連結された支持アクチュエータと、
支持アクチュエータと、１又はそれ以上の印刷ヘッドに連結された１又はそれ以上のアクチュエータに連結された支持部を備え、支持アクチュエータは基板と支持部の間の距離を調節するために用いられ、１又はそれ以上の印刷ヘッドに連結された１又はそれ以上のアクチュエータは１又はそれ以上の印刷ヘッドノズルと基板の間の距離を調節するために用いられる請求項２４記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
本出願は、２００５年９月２９日に「ディスプレイパネルのカラーフィルタをインクジェット印刷する方法及び装置」の名称で出願された米国特許仮出願第６０／７２１７４１号に基づく優先権を主張し、この出願は引用により全体として本明細書に組み込まれる。
本出願は２００４年１２月２２日に「印刷ヘッドを配列するための方法及び装置」の名称で出願された米国特許出願第１１／０１９９３０号に関連し、この出願は引用により全体として本明細書に組み込まれる。
【発明の分野】
【０００２】
本発明の実施例は、一般に、フラットパネルディスプレイ処理装置（例えば、ＬＣＤ、ＯＬＥＤ、及び他のタイプのフラットパネルディスプレイ）、半導体ウエハ処理、ソーラーパネル処理等のための装置及び方法のような基板処理装置及び方法に関する。
【発明の背景】
【０００３】
フラットパネルディスプレイ産業は、ディスプレイデバイスを、特にガラス又は他の基板のカラーフィルタを製造するためにインクジェット印刷を用いることを試みてきた。本装置及び方法の実施例は、高い効率を維持しつつ、欠陥を有することがある移動する基板上に正確かつ精密にインク又は他の材料をインクジェットすることを含む。従って、本発明の方法及び装置は、不完全な基板上に正確な堆積を効率的かつ安定して達成するために用いられる。
【発明の概要】
【０００４】
ある態様において、本発明は、１）基板の上表面にインクを堆積するために用いられる少なくとも１つの印刷ヘッドを備え、基板は印刷ヘッドに対し移動しており、２）基板の上表面から少なくとも１つのセンサまでの距離を検出するために用いられる１つのセンサと、３）センサから基板の上表面までの距離に基づいて基板からノズルまでの距離を決定し、基板からノズルまでの距離に基づいて基板上に堆積されるインクの軌道を調節するコントローラを備えた装置を提供する。
【０００５】
他の態様において、本発明は、基板の上表面にインクを堆積するために用いられる少なくとも１つの印刷ヘッドを備え、基板は印刷ヘッドに対し移動しており、基板の上表面から少なくとも１のセンサまでの距離を検出するために用いられる少なくとも１つのセンサと、センサから基板の上表面までの距離に基づいて基板からノズルまでの距離を決定し、基板からノズルまでの距離に基づいて印刷パラメータを調節するコントローラを備えた装置を提供する。
【０００６】
更に、他の態様において、本発明は、センサから基板までの距離を検知し、センサから基板までの検知された距離に基づいて、１又はそれ以上のインクジェット印刷ヘッドからから基板までの距離を決定し、１又はそれ以上のインクジェット印刷ヘッドからから基板までの決定された距離に基づいて印刷パラメータを調節するインクジェット印刷方法を提供する。
【０００７】
更に、他の態様において、本発明は、印刷ブリッジと、印刷ブリッジに連結され、基板の上表面にインクを堆積するために用いられる少なくとも１つの印刷ヘッドと、印刷ブリッジと少なくとも１つの印刷ヘッドの下方に位置し、少なくとも１つの印刷ヘッドに対して基板を移動させるために用いられるステージと、印刷ブリッジに連結され、基板の上表面から少なくとも１つのセンサまでの距離を検出するために用いられる少なくとも１つのセンサと、センサから基板の上表面までの距離に基づいて基板からノズルまでの距離を決定し、基板からノズルまでの距離に基づいて印刷パラメータを調節するコントローラを備えたインクジェット印刷システムを提供する。
本発明の他の構成及び形態は、以下の詳細な説明、特許請求の範囲及び添付図面からより明らかになる。
【発明の詳細な説明】
【０００８】
本発明は、インクジェット印刷アセンブリを用いて基板上にインク液滴の正確な位置決めを行うためのシステム及び方法を提供する。基板の速度は、基板の欠陥がインクジェット印刷の正確性に影響を与える程度に十分に大きい。基板の欠陥は、基板の厚さ及び平坦さの変動のような様々なものを含むことができる。インクが堆積されるピクセルの構造（例えば、ピクセル井戸のようなもの）は特に小さく、欠陥は比較的大きいので、インクジェット印刷工程により生ずる欠陥の可能性はかなり大きい。
【０００９】
本発明によれば、基板及び／又はインクジェット印刷アセンブリの変化を検出し、インクジェットプロセスを制御し、これによって基板に堆積されたインクの位置の正確性を確保することができる検査システムをインクジェット印刷システムに提供することができる。基板上に堆積されたインクの位置の不正確性は、基板の欠陥（例えば、ねじれ、曲がり、突出、窪み等）、インクジェット印刷システムにおける機械的な欠陥のようなものによって生じることがある。本発明のセンサシステムは、基板及び／又はインクジェット印刷システムにおける欠陥を検出することができるセンサシステムを含むことができる。いくつかの実施例において、センサシステムはインクジェットプリンターのコントローラに情報を提供することができ、これによってインク液滴のサイズ、インク液滴堆積速度、インク液滴堆積のタイミング、インクジェットノズル／印刷ヘッドの配置及び／又は配列、インクジェット印刷システムのステージの移動、及び／又は他の性能特性のような特性を変化させることにより、これらの位置の不正確さを補償することが可能になる。
【００１０】
同一又は他の実施例において、装置はノズルを備えた１又はそれ以上のインクジェット印刷ヘッドを含むことができる。レンジセンサ（例えば、距離センサ等）を用い、ノズルから基板の上表面及び／又は基板の他のポイント（例えば、ピクセル又はサブピクセル井戸の底）までの距離を決定することができる。例えば、センサにより計測された距離は、データを分析することができるコントローラ（例えば、アルゴリズムが走っているコンピューター等）に送られることができる。分析されたデータを用い、コントローラはインクジェット印刷ヘッドからのインク堆積のタイミングを調整することができる。インク堆積のタイミングはコントローラにより調節されることができ、これによってインクが適切なピクセル井戸又はサブピクセル井戸に到達することが可能になる。
【００１１】
図１Ａ及び図１Ｂは、本発明のインクジェット印刷システム１００の実施例の正面図斜視図及び側面図を各々示し、このシステムは一般的に参照番号１００で示される。本発明のインクジェット印刷システム１００は、例示的実施例において、印刷ブリッジ１０２を含むことができる。印刷ブリッジ１０２はステージ１０４の上方に位置することができ、及び／又はこれに連結されることができる。ステージ１０４は基板１０６を支持することができる。印刷ヘッド１０８、１１０、１１２は印刷ブリッジ１０２上に支持されることができる。また、印刷ブリッジ１０２は画像システム１１４を支持することができる。また、印刷ブリッジ１０２はセンサ１１６を支持することができる。印刷ヘッド１０８−１１２、画像システム１１４、及び／又はセンサ１１６は、システムコントローラ１２０と連結（例えば、論理的及び／又は電気的等）されることができる。
【００１２】
図１Ａ及び図１Ｂの例示的実施例において、印刷ブリッジ１０２はインクジェット印刷が可能なようにステージ１０４の上方に支持されることができる。印刷ブリッジ１０２及び／又はステージ１０４は、図１Ａ及び図１Ｂにおける矢印Ｙ方向、及び図１Ａにおける矢印Ｘで示されるように、Ｘ及びＹ方向に正及び負の両方向に独立して各々移動可能である。同一又は他の実施例において、印刷ブリッジ１０２及び／又はステージ１０４は回転可能である。印刷ブリッジ１０２は、いかなる数の印刷ヘッド１０８−１１２及び／又はセンサ（例えば、複数の画像システム１１４、複数のセンサ１１６等）を支持し、移動することができる。基板１０６は、いくつかの実施例において、移動可能なステージ１０４上に位置し、又はこれと連結されることができる。
【００１３】
図１Ａ及び図１Ｂにおいて、３個の印刷ヘッド１０８−１１２が印刷ブリッジ１０２上に示されているが、いかなる数の印刷ヘッドを印刷ブリッジ１０２上に配置し、及び／又はこれとの関係で使用することができる（例えば、１、２、４、５、６、７個の印刷ヘッド等）。印刷ヘッド１０８−１１２の各々は、単一カラーのインクを分配することができ、いくつかの実施例において、複数カラーのインクを分配することができる。インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２は垂直方向及び水平方向に移動可能及び／又は配列可能であり、これによって液滴を正確に配置することが可能になる。インクジェット印刷ヘッドの移動及び／又は配列は自動化されてもよく、及び／又は手動で行ってもよい。更に、インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２の方向性は図示されているように、ほとんど垂直方向に配向されているが、他の配向及び／又は位置も採用することができる。また、印刷ブリッジ１０２は移動可能及び／又は回転可能であり、これによって正確なインクジェット印刷のために印刷ヘッド１０４−１０６を位置決めすることが可能になる。操作において、インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２は滴状（例えば、液滴、スプレー、粒子等）でインクを分配することができる（例えば、ノズルから）。
【００１４】
画像システム１１４は基板１０６に向かって配方され、基板１０６の静止及び／又は移動画像を捕獲することができる。インクジェット印刷システムに用いられる例示的な画像システムは、２００４年１２月２２日に、「印刷ヘッドを配列するための方法及び装置」の名称で出願された米国特許出願第１１／０１９，９３０号に記載されており、この出願は引用により全体として本明細書に組み込まれる。同様に、画像システム１１４は１又はそれ以上の高解像度デジタルライン走査カメラ、ＣＣＤベースカメラ、及び／又は他の適したカメラを含むことができる。
【００１５】
更に、図１Ａ及び図１Ｂにおいて、単一のセンサ１１６が印刷ブリッジ１０２に示されているが、複数のセンサを印刷ブリッジ１０２に連結することもできる。センサ１１６は複数の異なる方法でブリッジ１０２に連結することができる。例えば、複数のセンサ１１６は、ブリッジ１０２に直接的に、及び／又はインクジェット１０８−１１２及び／又は画像システム１１４を介して連結することができる。複数のセンサ１１６は、印刷ブリッジ１０２に沿って異なる位置に配置することができる。いくつかの実施例において、センサ１１６は、インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２とブリッジ１０２の間のような印刷ヘッド１０８−１１２の近傍に配置することができる。更に、センサ１１６は図示されているようにほぼ垂直に配向しているが、他の好ましい配向及び／又は位置を用いることも可能である。
【００１６】
センサ１１６は、インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２から基板１０６の範囲（例えば、距離等）を検出することができる。また、センサ１１６は基板１０６の高さ（例えば、厚さ等）を検出することができる。更に、センサ１１６は、センサ１１６及び／又は印刷ヘッド１０８−１１２の１又はそれ以上のノズルからステージ１０４及び／又は基板１０６（例えば、基板の上部、ピクセル井戸の底部等）までの距離を検出するために用いることができる。センサ１１６はこれらの及び他の関連する作用を果たすことができるいかなる適切なセンサであってもよい。
【００１７】
図示される実施例において、レーザーセンサを用いることができる。レーザーセンサは、高いサンプリング速度及び正確性で、基板１０６及び／又はステージ１０４の厚さ及び／又は高さを計測することができる。同様に、レーザーセンサは、基板の底表面からピクセル又はサブピクセル井戸の底部までの距離のような他の高さを計測することもできる。
配置されるメーター／センサ１１６に適した商業的入手可能なセンサの例は、シンガポールのオムロンエレクトロニクスＰｔｅ．社により製造されるＺＳ−シリーズスマートセンサ（２Ｄ  ＣＭＯＳレーザータイプ）、及び日本国大阪府の株式会社キーエンスにより製造されたＬＣ−シリーズレーザーディスプレイスメントメーターを含む。他の実施例において、センサ１１６は、超音波距離センサのような他のセンサ又はメーターのタイプであってもよい。高さ（例えば、垂直方向の配置）及び／又はスパン距離を計測するためのいかなる適切な装置を用いることができると理解される。
【００１８】
印刷ブリッジ１０２、ステージ１０４、インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２及び／又はセンサ１１６は、システムコントローラ１２０に連結されることができる（例えば、デジタル的、電気的等）。システムコントローラ１２０は、インクジェット印刷操作において、印刷ブリッジ１０２、ステージ１０４、インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２及び／又はセンサ１１６の動きを制御するために用いることができる。また、システムコントローラ１２０は、インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２のためのパルス信号の発生を制御し、及び／又はインクジェット印刷に関連する作用の他の制御を行うことができる。システムコントローラ１２０は、１又はそれ以上のマイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、専用ハードウェアー及びこれらの組合せ等のようないかなる適した構成であってもよく、本明細書で説明されるインクジェット印刷システム１００の作用を制御するために提供され及び用いる（例えば、プログラムする）ことができる。
【００１９】
図２は、本発明の印刷システム２００の例示的な実施例におけるインクジェット印刷ヘッド１０８、１１０、１１２の拡大斜視図である。インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２は印刷ブリッジ１０２に連結されることができる。印刷ブリッジ１０２は、ステージ１０４及び基板１０６上に配置することができる。基板１０６はステージ１０４の上表面上に配置することができる。センサ１１６はインクジェット印刷ヘッド１０８−１１２に近接して配置することができる。インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２、印刷ブリッジ１０２、ステージ１０４、及び／又はセンサ１１６はシステムコントローラ１２０と連結されることができる。センサ１１６は印刷方向Ｙに対し印刷ヘッド１０８、１１０、１１２の背後の位置に示されているが、いくつかの実施例において、センサ１１６は他の位置及び方向に配置することができる。例えば、センサ１１６は、印刷方向Ｙに対し印刷ヘッド１０８−１１２の正面、及び／又は近傍に追加的又は選択的に配置することができる。いくつかの実施例において、センサ１１６は傾斜しており、これによって印刷ヘッド１０８−１１２の直下の距離又は高さを検出することが可能になる。
【００２０】
図２に示される実施例において、基板１０６及び／又はステージ１０４は形状に欠陥を有することがある。例えば、基板１０６及び／又はステージ１０４の両方は基板１０６の上表面の平坦性に影響を与える起伏を有することがある。更に、印刷ブリッジ１０２は完全には平坦でないことがあり、これによって印刷ヘッド１０８−１１２と基板１０６の間の距離は印刷ヘッド１０８−１１２が印刷ブリッジ１０２に沿って移動すると変化することがある。同様に、ステージ１０４を移動させるレール（図示せず）が完全には平坦でなく、これによって印刷ヘッド１０８−１１２と基板１０６の間の距離はステージの移動によって変化することがある。
【００２１】
更に、図２において、例示的な実施例に係るインクジェット印刷工程の間、インク液滴はインクジェット印刷ヘッド１０８−１１２から基板１０６上に堆積されることができる。インクジェット印刷プロセスの間、印刷ブリッジ１０２及び／又はステージ１０４は移動することができる。従って、インク液滴がインクジェット印刷ヘッド１０８−１１２のノズルと基板１０６の上表面の間の距離を移動するとき、インク液滴の位置２０２は基板１０６の上表面の欠陥により影響を受けることがある。基板１０６の上表面の欠陥を明らかにするため、システムコントローラ１２０はセンサ１１６、インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２、ブリッジ１０２、及び／又はステージ１０４から与えられる情報を用い、インクジェット印刷ヘッド１１０から放出されるインク液滴の軌道（例えば、液滴が堆積／放出されるタイミング、インク液滴の速度、インク液滴の軌跡等）及び／又はサイズ（例えば、容積、形状、分配、テール等）を調整する。これによって、インク液滴の位置２０２は正しい位置となり（例えば、ピクセル井戸、上表面の座標等）、これによって印刷プロセスの間にカラーフィルタに欠陥が生ずることがなくなる。いくつかの実施例において、距離情報に基づいてタイミングを調整する場合、着地位置の距離の変化は以下の例の方程式により求めることができる。
【数１】
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上式においてｄＤは着地位置の距離の変化を示し、Ｖｓはステージのスピードを示し、ｄＨは基板高さ距離の変化を示し、Ｖｄはインク液滴のスピードを示す。
いくつかの実施例において、基板の外形マップ又はプロファイルを１又はそれ以上の最初の印刷経路の間に蓄積し、その後外形マップを次の印刷経路において用いることができる。例えば、印刷経路の間、システムコントローラ１２０はセンサ１１６、インクジェット印刷ヘッド１０８−１１２、ブリッジ１０２、及び／又はステージ１０４から提供される情報を用い、異なる地点における基板表面の相対的な高さを表すデータベースを蓄積することができる。次の印刷経路において、システムコントローラ１２０は、例えば、データベースの情報に基づいて印刷ヘッド１０８−１１２の高さを調節することができる。この情報はセンサ１１６からの新しい情報と共に又はこれに代わって用いることができる。いくつかの実施例において、外形マップはステージ単独で形成することができ、異なる基板と共に用いることができる。
【００２２】
図３を参照すると、いくつかの実施例において、本発明に係る印刷システム３００は調整可能な装着システムを用いてブリッジ１０２に装着される印刷ヘッド１０８、１１０、１１２を含むことができる。調節可能な装着システムは、各々の印刷ヘッド１０８−１１２のために１又はそれ以上のアクチュエータ３０２を含むことができ、これによって基板１０６の表面上の印刷ヘッド１０８、１１０、１１２の高さを印刷の間に個別的に独立して調節することが可能になる。いくつかの実施例において、基板１０６の上表面における印刷ヘッド１０８−１１２の高さは、基板の厚さ又は平坦性の変化に関わらず、調節可能な装着システムにより印刷の間一定に維持することができる。例えば、調節可能な装着システムは直接的にセンサ１１６に連結することができ（及び／又はシステムコントローラ１２０を介して非直接的に、図１Ａ及び図１Ｂ参照）、これによってセンサから基板上表面までの距離情報をフィードバック信号として受領することが可能になる。調節可能な装着システムはこのフィードバック信号を用い、印刷ヘッド１０８−１１２の高さを調節し、印刷の間、基板１０６の上表面からの印刷ヘッド１０８−１１２の距離を一定に保持することができる。即ち、１の印刷ヘッド１１２が、以前印刷した領域及び他の印刷ヘッド１０８、１１０の下方の領域の両方より高い基板の領域に接近すると、センサ１１６は調節可能な装着システムアクチュエータ３０２に（及び／又はシステムコントローラ１２０）にフィードバック信号を送り、これによって調節可能な装着システムアクチュエータ３０２は、基板１０６の高い領域の上昇分に実質的に等しい量だけ印刷ヘッド１１２を上昇させる（他の印刷ヘッド１０８、１１０の高さを維持しながら）。従って、基板の輪郭に沿って印刷ヘッド１０８、１１０、１１２の高さを動的に調節することにより、一定の印刷高さを維持することが可能になる。
【００２３】
同一又は他の実施例において、印刷ヘッド１０８−１１２、印刷ブリッジ１０２、センサ１１６、コントローラ１２０及びアクチュエータ３０２は、インクジェットのタイミング及び／又は液滴の配置の微細な調整との関連で用いることができる。即ち、１つの印刷ヘッド（例えば、印刷ヘッド１１２）が、（例えば、センサ１１６及び／又は画像システム１１４（図１Ａ））により、残りの印刷ヘッド（例えば、印刷ヘッド１０８、１１０）により分配される液滴と異なるサイズ及び／又は速度の液滴を分配すると決定し、及び／又はインク液滴に関する他の制御が必要である場合、印刷ヘッド１１２の高さはアクチュエータ３０２により調節され、これによって印刷ヘッド１１２は印刷ヘッド１０８、１１０と実質的に同様な方法でインクを分配する。例えば、印刷ヘッド１１２が印刷ヘッド１０８、１１０より早く起動し、既に印刷された領域及び他の印刷ヘッド１０８、１１０の下方の領域の両方よりも高い基板１０６の領域に接近すると、センサ１１６はフィードバック信号を調節可能な装着システムアクチュエータ３０２（及び／又はシステムコントローラ１２０）に送り、これによって調節可能な装着システムアクチュエータ３０２は印刷ヘッド１１２を基板１０６の高い領域の上昇分に実質的に等しい量より高く上昇させる（他の印刷ヘッド１０８、１１０の高さは維持する）。この方法により、印刷ヘッドが移動され、印刷ヘッド１０８−１１０のいくつか又は全てから分配される液滴がインクジェット印刷が可能なように同時に基板に到着するか又は適切なスペースを持って到着することを可能にする。従って、基板の外形に沿って印刷ヘッド１０８、１１０、１１２の高さを動的に調節することにより、一定の印刷パラメータ（例えば、高さ、液滴タイミング、液滴サイズ等）が維持される。
【００２４】
いくつかの実施例において、アクチュエータ３０２は、モータ、空気圧スライド、油圧ピストン及び／又は圧電素子を用いて構成することができる。更に、各々の印刷ヘッド１０８、１１０、１１２の個々の、独立したアクチュエータに加え、追加的な支持部３０６を用いて全ての印刷ヘッド１０８、１１０、１１２の高さを同時に調節するためにアクチュエータ３０４を用いることも可能である。いくつかの実施例において、各々の印刷ヘッド１０８−１１２のために１以上のアクチュエータを用いることができる。例えば、１つのアクチュエータを各々の印刷ヘッド１０８、１１０、１１２のいずれかの端部に配置し、これによってヘッドを更に調節／配向しノズルから基板までの距離に維持することができる。図３において調節可能な装着システムはアクチュエータ３０２、３０４と支持部３０６を含む。他の実施例において、印刷ヘッド１０８−１１２は、アクチュエータ３０２のみと共に、アクチュエータ３０４及び支持部３０６なしに、ブリッジ１０２に取付けることができる。このような実施例において、調節可能な装着システムはアクチュエータ３０２のみを含むことができる。
【００２５】
上述した実施例は本発明の例示的な実施例のみを開示する。本発明の範囲内における上述した装置及び方法の変更は本技術分野における当業者にとって容易に明らかである。例えば、超音波センサと組合された放射座標の印刷ブリッジを採用したインクジェット印刷システムを用いることができる。更に、本発明はスペーサ形成、偏光コーティング、ナノ粒子回路形成にも応用することができる。
従って、本発明は例示的な実施例との関係で開示されているが、他の実施例も特許請求の範囲により定められる本発明の精神と範囲に含まれると理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１Ａ】本発明に係るインクジェット印刷システムの実施例の正面斜視図である。
【図１Ｂ】本発明に係るインクジェット印刷システムの実施例の側面図である。
【図２】本発明の例示的実施例におけるインクジェット印刷ヘッドの拡大斜視図である。
【図３】本発明の他の例示的実施例におけるインクジェット印刷ヘッドの拡大斜視図である。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【外国語明細書】
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