(57)【要約】【課題】  分極軸方位を同定する方法であって、より簡易で検査時間の短縮が実現された結晶評価方法を提供する。【解決手段】  本発明の結晶評価方法は、  （ａ）分極を有する結晶からなる試料を準備すること、  （ｂ）前記試料の分極軸方位についての知見を得るための指標となる第１基準ラマンシフトを決定すること、  （ｃ）前記試料にレーザ光を照射すること、  （ｄ）前記第１基準ラマンシフトにおけるラマン散乱光の強度に従い分極軸方位を同定すること、を含む。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）分極を有する結晶からなる試料を準備すること、
（ｂ）前記試料の分極軸方位についての知見を得るための指標となる第１基準ラマンシフトを決定すること、
（ｃ）前記試料にレーザ光を照射すること、
（ｄ）前記第１基準ラマンシフトにおけるラマン散乱光の強度に従い分極軸方位を同定すること、を含む、結晶評価方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記試料は、基体の上に設けられたセラミックス膜である、結晶評価方法。
【請求項３】
請求項２において、
前記基体の表面と平行な方向と、分極軸方位とのずれを同定する、結晶評価方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、
前記ラマン散乱光は、偏光されている、結晶評価方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかにおいて、
前記レーザ光の照射は、前記試料の複数の測定点で行われ、
前記試料における前記第１基準ラマンシフトにおけるラマン散乱光の強度の分布を求めること、を含む、結晶評価方法。
【請求項６】
請求項５において、
前記試料がセラミックス膜であるときに、該セラミックス膜の面内における前記ラマン散乱光の強度の分布を求めること、を含む、結晶評価方法。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかにおいて、
前記（ｂ）は、さらに、第２基準ラマンシフトを決定すること、を含む、結晶評価方法。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかにおいて、
前記第１基準ラマンシフトおよび前記第２基準ラマンシフトの少なくとも一方は、ブリルアンゾーン中心近傍の全対称既約表現に属する格子振動に由来するスペクトルが観測されるラマンシフトである、結晶評価方法。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかにおいて、
前記第１基準ラマンシフトは、縦波に由来するスペクトルが観測されるラマンシフトであり、
前記第２基準ラマンシフトは、前記第１基準ラマンシフトと同一の全対称既約表現に属するモードに対する横波に由来するスペクトルが観測されるラマンシフトであり、
前記（ｄ）では、前記第１基準ラマンシフトにおける散乱光の強度と、前記第２基準ラマンシフトにおける散乱光の強度との比に従い、分極軸方位を同定すること、を含む、結晶評価方法。
【請求項１０】
請求項７ないし９のいずれかにおいて、
前記レーザ光の照射は、前記試料の複数の測定点で行われ、
前記試料がセラミックス膜であるときに、該セラミックス膜の面内における前記第１基準ラマンシフトのラマン散乱光強度と前記第２基準ラマンシフトのラマン散乱光強度との比の分布を求めること、を含む、結晶評価方法。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれかにおいて、
前記試料は、斜方相ニオブ酸カリウムであり、
第１基準ラマンシフトを、８３０ｃｍ―１に最も近い全対称既約表現に属する縦波の格子振動によるピークの位置とする、結晶評価方法。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記第２基準ラマンシフトは、６０５ｃｍ―１に最も近い全対称既約表現に属する横波の格子振動によるピークの位置とする、結晶評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、結晶評価方法に関し、特に、セラミックス材料などの分極軸方位を評価するための結晶評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
焦電素子や強誘電体素子に用いられるセラミックス結晶、或いは圧電素子に用いられる多くのセラミックス結晶は、分極を有する。これらを薄膜状態で利用しその特性を引き出すためには、分極軸が所望の方向に向いている必要がある。そのため、セラミックス膜を形成した後に、該膜の結晶の分極軸方位を知ることは、特性のよい圧電素子、焦電素子および強誘電素子などを得るためには、重要な工程となる。
【０００３】
従来、非破壊で分極軸方位を同定する方法としては、Ｘ線や電子線による回折現象を利用した方法がある。これらの方法は、直接にセラミックス膜の分極軸方位を同定できるわけではなく、格子定数を決定することにより、結晶学的見地から分極軸方位が間接的に同定されるのである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述のようなＸ線や電子線による回折現象を利用した同定方法によると、対象となる試料の結晶方位と照射されるＸ線や電子線との角度調整などが複雑でありその調整に長時間を要することがある。また、これらの手法は、前述のように測定で決定された格子定数から分極軸方位を求めるため、例えば試料の結晶系が極めて立方晶に近い（擬立方晶）など、極めて接近した格子定数を持つ材料である場合には、測定の分解能上、分極軸方位を同定することが困難なことがある。そのため、より簡易な方法であって、短時間のうちに分極軸方位を同定することができる評価方法が求められている。
【０００５】
本発明の目的は、分極軸方位を同定する方法であって、より簡易で検査時間の短縮が実現された結晶評価方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の結晶評価方法は、
（ａ）分極を有する結晶からなる試料を準備すること、
（ｂ）前記試料の分極軸方位についての知見を得るための指標となる第１基準ラマンシフトを決定すること、
（ｃ）前記試料にレーザ光を照射すること、
（ｄ）前記第１基準ラマンシフトにおけるラマン散乱光の強度に従い分極軸方位を同定すること、を含む。
【０００７】
本発明にかかる結晶評価方法によれば、あらかじめ、分極軸方位を同定する基準ラマンシフトを決定しておくことで、該基準ラマンシフトのラマン散乱光の強度を見るだけで、分極軸方位を同定することができる。そのため、従来にかかる技術のように、長い処理時間を必要とすることもなく、簡易な方法で分極軸方位を同定することができる。
【０００８】
本発明は、さらに、下記の態様をとることができる。
【０００９】
（２）本発明の結晶評価方法において、
前記試料は、基体の上に設けられたセラミックス膜であることができる。
【００１０】
（３）本発明の結晶評価方法において、
前記基体の表面と平行な方向と、分極軸方位とのずれを同定する、結晶評価方法。
【００１１】
（４）本発明の結晶評価方法において、
前記ラマン散乱光は、偏光されていることができる。
【００１２】
（５）本発明の結晶評価方法において、
前記レーザ光の照射は、前記試料の複数の測定点で行われ、
前記試料における前記第１基準ラマンシフトにおけるラマン散乱光の強度の分布を求めること、を含むことができる。
【００１３】
（６）本発明の結晶評価方法において、
前記試料がセラミックス膜であるときに、該セラミックス膜の面内における前記ラマン散乱光の強度の分布を求めること、を含むことができる。
【００１４】
（７）本発明の結晶評価方法において、
前記（ｂ）は、さらに、第２基準ラマンシフトを決定すること、を含むことができる。
【００１５】
（８）本発明の結晶評価方法において、
前記第１基準ラマンシフトおよび前記第２基準ラマンシフトの少なくとも一方は、ブリルアンゾーン中心近傍の全対称既約表現に属する格子振動に由来するスペクトルが観測されるラマンシフトであることができる。
【００１６】
（９）本発明の結晶評価方法において、
前記第１基準ラマンシフトは、縦波に由来するスペクトルが観測されるラマンシフトであり、
前記第２基準ラマンシフトは、前記第１基準ラマンシフトと同一の全対象既約表現に属するモードに対する横波に由来するスペクトルが観測されるラマンシフトであり、
前記（ｄ）では、前記第１基準ラマンシフトにおける散乱光の強度と、前記第２基準ラマンシフトにおける散乱光の強度との比に従い、分極軸方位を同定すること、を含むことができる。
【００１７】
（１０）本発明の結晶評価方法において、
前記レーザ光の照射は、前記試料の複数の測定点で行われ、
前記試料がセラミックス膜であるときに、該セラミックス膜の面内における前記第１基準ラマンシフトのラマン散乱光強度と前記第２基準ラマンシフトのラマン散乱光強度との比の分布を求めること、を含むことができる。
【００１８】
（１１）本発明の結晶評価方法において、
前記試料は、斜方相ニオブ酸カリウムであり、
第１基準ラマンシフトを、８３０ｃｍ―１に最も近い全対称既約表現に属する縦波の格子振動によるピークの位置とすることができる。
【００１９】
（１２）本発明の結晶評価方法において、
前記第２基準ラマンシフトは、６０５ｃｍ―１に最も近い全対称既約表現に属する横波の格子振動によるピークの位置とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態の一例について説明する。
【００２１】
１．結晶評価方法
本実施の形態にかかる結晶評価方法では、まず、結晶からなる試料を準備する（工程ａ）。試料としては、所定の結晶構造を有する基板、基体の上に設けられた所定の結晶構造を有する薄膜などをあげることができる。具体的には、ペロブスカイト型のセラミックスである、ニオブ酸カリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸バリウムやこれらの物質の一部を他の元素で置換した固溶体などをあげることができる。これらのペロブスカイト型のセラミックス膜などは、圧電、焦電素子や強誘電体メモリに適用される強誘電体キャパシタに用いられ、これらの薄膜の分極軸方位を同定できることで、特性の良好な素子の形成に大きく寄与することができる。
【００２２】
次に、試料の分極軸方位の知見を得るための指標となる基準ラマンシフトを決定する（工程ｂ）。これにより、ラマン散乱測定を行なうことのみで、分極軸方位を同定することができるようになる。最適な基準ラマンシフトは、試料によって異なるが、たとえば、ブリルアンゾーン中心近傍の全対称既約表現に属する格子振動に由来するスペクトルが観測されるラマンシフトを選択することができる。ここで、「ブリルアンゾーン」とは、結晶の周期性（実空間の次元で、長さ[ｍ]に対応）を、そのフーリエ空間（逆格子空間の次元で、長さの逆数(波数)[ｍ−１]）で表現したときの単位胞のことをいう。「ブリルアンゾーン中心近傍の格子振動」と述べたのは、一般にラマン散乱測定に用いるレーザの波長は可視領域にあり、対象となる結晶の単位胞サイズに比して極めて大きな値をとる（従ってその逆数である波数は極めて小さくゼロに近似できる）ために、ブリルアンゾーン中心近傍の格子振動のみが観測されるからである。「全対称既約表現に属する格子振動」とは、対象となる結晶の属する点群における全ての対称操作に対し、その振動方向が普遍である格子振動をいう。本実施の形態の実験例で試料とした、斜方晶ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）を例にとると、該結晶は、Ｃ２ｖという点群に属し、対称操作（回転操作、鏡映操作など）を４つ有する。対称操作とは、そのような操作を結晶に施した前後で、結晶の位置関係が変わらない操作のことである。この４つの操作で分極軸方位（という物理的性質）は常に普遍であるため（ノイマンの原理）、全対称表現に属する格子振動モード（Ｃ２ｖ点群では、慣例上Ａ1と標記される）の振動方向は分極軸方位に一致することがわかる。以上が、全対称既約表現に属する格子振動に由来するスペクトルが観測されるラマンシフトが最適な基準ラマンシフトとして選択できる理由である。
【００２３】
また、基準ラマンシフトは、１つである必要はなく、複数の基準ラマンシフトを決定することができる。この場合、同じ試料を測定したときに一方の基準ラマンシフト（第１基準ラマンシフト）とその出現位置が異なる（格子振動エネルギーの異なる）ラマンシフトを他方の基準ラマンシフト（第２基準ラマンシフト）とすることができる。
【００２４】
具体的には、第１基準ラマンシフトは、縦波に由来するスペクトルが観測されるラマンシフトとすることができ、第２基準ラマンシフトは、横波に由来するスペクトルが観測されるラマンシフトとすることができる。ここで、「縦波」および「横波」とは、後方散乱でラマン測定を行った場合、レーザの入射方向に格子振動は伝播するが、格子振動の振動方向と伝播方向が一致したものを縦波（ＬＯ）といい、一方、振動方向と伝播方向が互いに垂直な位置関係にあるものを横波（ＴＯ）という。このとき、振動方向とは、一つの原子に着目し、その振動（往復運動）の振幅の方向をいい、伝播方向とは、隣同士の格子点の位相（位置関係）の周期的なズレの進行方向をいう。
【００２５】
たとえば、試料として、斜方相ニオブ酸カリウムを用いた場合には、第１基準ラマンシフトを、８３０ｃｍ―１に最も近い全対称既約表現に属する縦波の格子振動、Ａ１（ＬＯ）によるピークの位置とし、第２基準ラマンシフトは、６０５ｃｍ―１に最も近い全対称既約表現に属する横波の格子振動、Ａ１（ＴＯ）によるピークの位置とすることができる。
【００２６】
次に、前記試料にレーザ光を照射する（工程（ｃ））。これは、通常のラマン散乱光測定装置により行われることができる。レーザ光は、照射する前に偏光されていることが好ましい。また、得られたラマン散乱光は、偏光されていることが好ましい。たとえば、工程（ｂ）で決定した基準ラマンシフトの近傍に複数のスペクトルが重なって存在する場合、基準ラマンシフトでのスペクトルの強度のみを観測することができず、評価精度が低下してしまうことがある。このような場合、ラマン散乱光を偏光することで所望のラマンシフトの強度のみを選択的に抽出することができ、評価精度を向上することができるという利点がある。
【００２７】
次に、工程（ｂ）で決定された基準ラマンシフトにおける散乱光の強度に従い分極軸方位を同定する（工程（ｄ））。具体的には、基準ラマンシフトでのスペクトルの強度により、分極軸が所望の方向を向いている割合を見積もることができるのである。たとえば、試料として、前述の斜方相ニオブ酸カリウムを用いた場合には、その時のレーザの入射方向が分極軸方位と一致したとき、Ａ１（ＬＯ）ピークの強度が最大となり、分極軸方位とレーザ入射方向とのズレが大きくなるに従い該ピーク強度は減少する。また、これまでの議論より、Ａ１（ＬＯ）によるピーク強度とＡ１（ＴＯ）によるそれとは、互いに相補的な関係にあることがわかる。
【００２８】
また、この工程では、所与の基体の上に設けられたセラミックス膜の分極軸方位を同定する際に、たとえば、ラマン散乱測定を複数の測定点で行い、試料であるセラミックス膜の面内における強度の分布を求めることもできる。つまり、セラミックス膜の面内における第１基準ラマンシフトの強度をマッピングすることとなる。この態様によれば、試料であるセラミックス膜全体の分極軸方位を調べたい場合に、分布図（マップ）をみるだけで、同定することができることとなる。
【００２９】
さらに、工程（ｂ）において、複数の基準ラマンシフトを決定する場合、第１基準ラマンシフトでのスペクトルの強度と、第２基準ラマンシフトでのスペクトルの強度の比に従って、同定することが好ましい。ラマン散乱光のスペクトルの強度は、たとえば、測定条件などにより変化することがある。しかし、複数の基準ラマンシフトでのスペクトル強度の比を求めることで、測定条件などの影響を受けることなく、分極軸方位の同定精度を高めることができる。
【００３０】
また、上述した面内の分布を測定する工程においても、第１基準ラマンシフトでの強度と第２基準ラマンシフトでの強度の比をマッピングすることができる。これにより、精度の高い結晶評価を行うことができる。
【００３１】
本実施の形態にかかる結晶評価方法によれば、あらかじめ、分極軸方位を同定する基準ラマンシフトを決定しておくことで、該基準シフトのラマン散乱光の強度を見るだけで、分極軸方位を同定することができる。そのため、従来にかかる技術のように、長い処理時間を必要とすることもなく、より簡易である分極軸方位の同定方法を提供することができる。
【００３２】
２．実験例
以下に、本実施の形態にかかる結晶評価方法の効果を確認するための実験例について説明する。
【００３３】
（実験例１）
まず、試料として、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）の単結晶基板（５ｍｍ×５ｍｍ、厚み１ｍｍ）を準備した（工程（ａ））なお、試料であるＫＮｂＯ３単結晶基板は、分極軸方向が基板表面にほぼ平行であることが精密Ｘ線回折実験から予め判っている。ついで、この試料の分極軸方位を同定するための基準ラマンシフトを８３０ｃｍ−１と決定した（工程（ｂ））。ついで、試料にアルゴンイオンレーザ光（波長５１４．５ｎｍ）を照射した（工程（ｃ））。このラマン散乱スペクトルを図１に示す。なお、図１に示すスペクトルは、具体的には、基板真上から基板に向け垂直にレーザを入射し、後方に散乱された光入射レーザと同一方向に偏光した後、これを分光したスペクトルである。なお、図１中において、「ｙ（ｘ，ｘ）−ｙ」という表記は、「レーザの入射方向（入射光の偏光方向，散乱光の偏光方向）散乱光の取り出し方向」を意味しており、座標軸系は図２に定義されているものである。
【００３４】
次に、得られたスペクトルにおいて、基準ラマンシフトである８３０ｃｍ−１のラマン散乱光の強度に従い分極軸方位を同定した（工程（ｄ））。具体的な同定方法を図２、３を参照しつつ説明する。図２は、図３に示す各スペクトルが観測された時のレーザ光の照射方向を説明するための図であり、試料である基板を示す。図３は、種々の方向からレーザ光を照射したときの基準ラマンシフト近傍のスペクトルを示す。図３中、線Ａは、分極軸方向に対し平行な方向、つまり図２に示すｚ軸に平行な方向からレーザを照射した時に観測されたスペクトルである。線Ｂは、基板に対して垂直方向、つまり、図２に示すｙ軸に平行な方向、線Ｃは、図２に示すｘ軸に平行な方向からレーザ光を当て、後方に散乱された光を分光したものである。図３からわかるように、光の入散乱方向が分極軸に平行であるとき（線Ａのスペクトルに該当する。）基準ラマンシフト近傍で、一本の強いスペクトルのピークが観測された。これは、Ａ１（ＬＯ）に帰属されるモードである。また、入射レーザの偏光方向を試料の一つの結晶軸方位に平行に揃えた場合、Ａ１モードは、入射と散乱の偏光方向が互いに平行であるときに選択的に抽出される性質がある。一方、その他の方向では、ピークが観測されていない（線Ｂ、Ｃ）。このことから、試料であるＫＮｂＯ３単結晶基板の分極軸方位が、基板表面に対してほぼ平行であると同定することができるのである。
【００３５】
以上のことより、本実施の形態にかかる結晶評価方法を用いることで、確かに分極軸方位を同定できることが確認された。また、斜方晶ＫＮｂＯ３結晶は、通常のＸ線回折で格子定数を求めると擬立方晶であることがわかる。すなわち、図３に示したように、擬立方軸とした場合の（１１０）面の極点図形はほぼ４回軸対称のスポットとなり、従ってその分極軸方位をＸ線回折結果から決定することは極めて困難であった。しかし、上述のように、本実験例では、より簡易な方法で、分極軸方位を同定できたことが分かった。
【００３６】
（実験例２）
実験例２では、実験例１で用いた試料と同様であるＫＮｂＯ３単結晶基板を準備した（工程（ａ））。よって、試料であるＫＮｂＯ３単結晶基板は、分極軸方向が基板表面にほぼ平行であることが精密Ｘ線回折実験から予め判っている。次に、基準ラマンシフトの決定を行った（工程（ｂ））。実験例２では、第１基準ラマンシフトを８３０ｃｍ−１近傍とし、第２の基準ラマンシフトを６０５ｃｍ−１近傍とした。次に、試料にアルゴンイオンレーザ光（波長５１４．５ｎｍ）を照射した（工程（ｃ））。具体的には、基板表面でのレーザビーム径は約１０μｍとし、縦横共に０．２５ｍｍ間隔で測定し、計４００点のデータ収集を行った。次に、得られたラマン散乱スペクトルに従い分極軸方位の同定をした（工程（ｄ））。実験例２では、この工程（ｄ）においては、第１基準ラマンシフトにおける散乱光の強度（以下、「Ｉ（８３０）」と記す。）と、第２基準ラマンシフトにおける散乱光の強度（以下、「Ｉ（６０５）」と記す。）との比Ｒ（＝Ｉ（８３０）/Ｉ（６０５））の面内分布を調べた。図５にその測定結果を示す。
【００３７】
図５から分かるように、走査エリア内でのＲの値の分布はほぼ全面で０．０１以下と極めて小さな値でばらつきが少ないことが分かった。従って、試料であるＫＮｂＯ３単結晶基板は分極軸方位が基板表面に平行であり極めて均質な単結晶基板であることが確認された。これは、事前に得られていた、試料の情報と一致する。
【００３８】
（実験例３）
次に、実験例３として、ＫＮｂＯ３結晶基板を準備した（工程（ａ））。工程（ｂ）ないし工程（ｄ）は、実験例２と同様に行った。図６に得られた面内分布の測定結果を示す。図６からわかるように、走査エリア内でのＲ値は、１０−１のオーダー（０．１〜０．３）であり、図５に比べて一桁以上値が大きい。これは、微小領域（たとえばサブミクロンのオーダー）において、基板表面に平行でないいくつかの分極方位をもった結晶ドメインの存在によるものと推定され、平均的に見れば分極軸方位が基板表面平行方向からやや浮いた状態で分布した状態であることを示しているものと解釈できる。これにより、実験例３で準備した基板は、実験例２で準備した基板と比して良質の単結晶基板ではないと評価することができた。そこで、実験例３にかかる基板をについて、破壊測定（電子顕微鏡による高分解能組織観察）を行った。その結果、ラマン散乱スペクトルから推定されたとおり、結晶方位の異なる微小ドメインが分布している状態が直接観察され、実験例で得られた評価結果と極めて一致していることが確認できた。
【００３９】
また、実験例２、３に例示したように、分極軸方位分布の側面からの品質管理を行う場合、目的に応じてＲの値の上限を決定し、それを判定基準としてやればよい。
【００４０】
（実験例４）
実験例４では、試料として、サファイア基板上に気相法により成膜された、膜厚が約１５０ｎｍの（Ｋ０．９、Ｎａ０．１）ＮｂＯ３（以下、ＫＮＮと略して記す）結晶膜を準備した（工程（ａ））。次に、基準ラマンシフトを決定した（工程（ｂ）。基準ラマンシフトは、実験例２と同様であった。次に、試料にレーザ光を照射した（工程（ｃ））。具体的には、基板の垂直方向からアルゴンイオンレーザ（波長５１４．５ｎｍ）を１μｍ径で膜の表面に照射し、その後方散乱光を偏光することで分光機を介してＡ１対称モードを強調して抽出した。図７に得られたラマンスペクトルを示す。次に、得られたスペクトルに従い分極軸方位の同定を行った（工程（ｄ））。まず、全体のスペクトルプロファイルを既往の研究結果（Ａ．Ｍ．Ｑｕｉｔｔｅｔら、Ｐｈｙｓ．Ｒｅｖ．Ｂ１４（１９７６）５０６８）と比較したところ両者はほぼ一致し、その結晶系は斜方晶であることが判明した。また、ラマンシフト８３０ｃｍ−１近傍のＡ１（ＬＯ）ピーク強度（Ｉ（８３０））が見られるため、ＫＮｂＯ３結晶膜分極軸方位は完全にサファイア基板表面に平行ではないが、ラマンシフト６０５ｃｍ−１近傍のＡ１（ＴＯ）ピーク強度（Ｉ（６０５））に比べ相対的に小さいことから、分極軸の大部分が基板平行方向であるような、ほぼ所望のＫＮＮ結晶配向膜が得られていることが判った。これは、サファイア基板との格子整合により、そのような配向分布が得られたものと合理的に推察される。
【００４１】
ＫＮＮ結晶膜は、その優れた材料特性から近年表面弾性波デバイスへの応用等が期待されている。そして、その特性を最大限に活かすには、ＫＮＮ膜の分極軸方位を基板表面と平行にすることが重要である。これは、そのようにＫＮＮ結晶膜を配向させると電気機械結合定数が大きくなり、従ってエネルギー損失を小さくできるからである。本実施の形態にかかる結晶評価方法を用いることで、材料特性を十分に引き出すことができているＫＮＮ膜を形成できたか否かを容易に評価することができ、たとえば、特性の良い素子の形成に寄与することができる。
【００４２】
以上の実験例から、本実施の形態にかかる結晶評価方法を用いることで、より簡易な方法で、迅速にその膜の分極軸方位を同定することができることが確認された。上述の実験例では、ＫＮｂＯ３や、そのＫサイトを一部Ｎａで置換したＫＮＮ膜を対象とした実験例について記載したが、分極軸を有する結晶であれば、本発明の結晶評価方法を適用できるのはいうまでもない。
【００４３】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。たとえば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（たとえば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】実験例１におけるラマン散乱のスペクトルを示す図。
【図２】実験例１において、レーザ光の入射方向を説明するための図。
【図３】実験例１におけるラマン散乱のスペクトルを示す図。
【図４】実験例１における試料のＸ線回折の結果を示す図。
【図５】実験例２の測定結果を示す図。
【図６】実験例３の測定結果を示す図。
【図７】実験例４におけるラマン散乱のスペクトルを示す図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図７】
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【図５】
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【図６】
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