(57)【要約】【課題】端子電極膜が剥離したり、外装体にクラックが発生するなどの不具合を防止するのに有効な構造を有する圧電部品を提供する。【解決手段】圧電振動子１２は、外装体（１１〜１３）の内部に振動空間１７１、１７２を有して配置されている。端子電極膜２１〜２３は、第１の電極膜２１１と、第２の電極膜２１２と、第３の電極膜２１３とを含んでいる。第１の電極膜２１１は、外装体（１１〜１３）の外面に付着され、外面に導出された圧電振動子１２の引出電極に電気的に接続されている。第２の電極膜２１２は、導電性樹脂を主成分とし、第１の電極膜２１１の上に形成されている。第３の電極膜２１３は、第２の電極膜２１３の上に形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外装体と、圧電振動子と、複数の端子電極膜とを含む圧電部品であって、
前記圧電振動子は、前記外装体の内部に振動空間を有して配置されており、
前記端子電極膜は、第１の電極膜と、第２の電極膜と、第３の電極膜とを含んでおり、
前記第１の電極膜は、前記外装体の外面に付着され、前記外面に導出された前記圧電振動子の引出電極に電気的に接続されており、
前記第２の電極膜は、導電性樹脂を主成分とし、前記第１の電極膜の上に形成されており、
前記第３の電極膜は、前記第２の電極膜の上に形成されている、
圧電部品。
【請求項２】
請求項１に記載された圧電部品であって、
前記第２の電極膜は、前記外装体の外側面にある、
圧電部品。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された圧電部品であって、
前記外装体は、支持基板と、圧電基板と、天板とを含んでおり、
前記圧電基板は、両面に振動電極膜を有し、裏面が振動空間を有して前記支持基板と対向し、表面が振動空間を有して前記天板と対向し、前記支持基板及び前記天板と一体に組み立てられている、
圧電部品。
【請求項４】
請求項１又は２に記載された圧電部品であって、
前記外装体は、支持基板と、ケース状部材とを含んでおり、
前記圧電振動子は、前記支持基板の一面側に搭載されており、
前記ケース状部材は、前記圧電振動子を包囲し、端面が前記支持基板の前記一面上に気密に接着されている、
圧電部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、共振子、発振子、またはフィルタ等に用いられる圧電部品に係る。
【背景技術】
【０００２】
この種の圧電部品として、六面体状の外装体の内部に、圧電振動子を配置するとともに、外装体の外面に圧電振動子の引出電極を導出し、外装体の外面に形成した端子電極膜を、この引出電極に接続させたものが知られている。外装体としては、支持基板、圧電基板及び天板を積層した構造を持ち、圧電基板の外面が、外装体の外面の一部を構成するタイプのものや、支持基板の一面上に圧振動子を搭載し、支持基板の一面上に、圧電振動子を包囲するように、ケース状部材を気密に接着する構造などが知られている。
【０００３】
端子電極膜は、例えば特許文献１に記載されているように、外装体の外面に、蒸着、スパッタなどの薄膜形成技術を適用することによって成膜された第１の電極膜上に、Cｕ-Ni-Snなどを、バレルメッキ処理によって、最外側電極膜を付着させることによって形成されている。上述した圧電部品を、回路基板等の実装用基板に実装する場合、端子電極膜を、実装用基板に設けられた導体パターンにはんだ付けする。
【０００４】
ところで、この種の圧電振動部品は、自動車の車載電子装置の構成部品としても用いられるようになっており、それに伴って、新たな問題が生じてきている。その代表的な問題の一つが、熱衝撃に対する耐性をいかに確保するかである。自動車の車載電子装置は、国内での使用を考えても、スタート時に氷点下にあった状態から、自動車運転時の７０〜８０℃に急激に上昇するのであり、圧電部品としては、このような急激な温度変動に伴って発生する熱衝撃に十分に耐えうるものでなければならない。
【０００５】
ところが、従来の圧電振動部品においては、前述したように、第１の電極膜は、蒸着、スパッタなどの薄膜形成技術を適用することによって成膜されているため、外装体に対する第１の電極膜の密着力が低い。しかも、この第１の電極膜の上に、バレルメッキ処理によって最外側電極膜を付着させてあるので、全体として、弾力性のない硬質の電極膜構造となる。
【０００６】
このため、車載電子装置に用いられた状態で、圧電部品に熱衝撃が加わった場合、密着力の弱い第１の電極膜が剥離したり、外装体にクラックを生じたり、あるいは、はんだフィレットに亀裂が入ることがあった。圧電基板の外面が、外装体の外面の一部を構成するタイプのものは、圧電基板の機械的強度が、支持基板及び天板のそれよりも低いために、圧電基板へのクラックが発生し易い。
同様の熱衝撃の問題は、圧電部品を回路基板にはんだ付けする場合にも発生する。
【特許文献１】特開２００３−２１８６６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、熱衝撃を受けた場合に、端子電極膜が剥離したり、外装体にクラックが発生するなどの不具合を防止するのに有効な構造を有する圧電部品を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するため、本発明に係る圧電部品は、外装体と、圧電振動子と、複数の端子電極膜とを含む。前記外装体は、全体として六面体状である。前記圧電振動子は、前記外装体の内部に振動空間を有して配置されている。
【０００９】
前記端子電極膜は、第１の電極膜と、第２の電極膜と、第３の電極膜とを含んでいる。前記第１の電極膜は、前記外面に付着され、前記外面に導出された前記圧電振動子の引出電極に電気的に接続されている。
【００１０】
前記第２の電極膜は、導電性樹脂を主成分とし、前記第１の電極膜の上に形成されている。前記第３の電極膜は、前記第２の電極膜の上に形成されている。
【００１１】
上述したように、本発明に係る圧電部品では、圧電振動子が外装体の内部に振動空間を有して配置されており、端子電極膜は、前記外装体の外面に付着され、外面に導出された圧電振動子の引出電極に電気的に接続されているから、当該圧電部品を実装用基板にはんだつけによって固着する場合、端子電極をはんだ付け端子として利用することができる。
【００１２】
本発明は、上述した実装状態で、熱衝撃が加わった場合に、その耐性を高めるべく、端子電極膜の膜構造に工夫を加えた。即ち、端子電極膜は、第１の電極膜と、第２の電極膜と、第３の電極膜とを含み、前記第２の電極膜は、導電性樹脂を主成分とし、前記第１の電極膜の上に形成されており、前記第３の電極膜は、前記第２の電極膜の上に形成されている。
【００１３】
上述した膜構造によれば、第１の電極膜と、最外側層となる第３の電極膜との間にあって、導電性樹脂を主成分とする第２の電極膜が、応力緩衝膜として機能するので、車載電子装置として用いられた場合、あるいは、回路基板へのはんだ付け時に発生する熱衝撃への耐性が高くなり、第１の電極膜の剥離、外装体へのクラック、あるいは、はんだフィレットへの亀裂などを防止することができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上述べたように、本発明によれば、熱衝撃を受けた場合に、端子電極膜が剥離したり、外装体にクラックが発生するなどの不具合を防止するのに有効な構造を有する圧電部品を提供することができる。
【００１５】
本発明の他の目的、構成及び利点については、添付図面を参照し、更に詳しく説明する。但し、添付図面は、単なる例示に過ぎない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は本発明に係る圧電部品の分解斜視図、図２は図１に図示した圧電部品の組立状態を示す斜視図、図３は図２の３−３線に沿った断面図、図４は図１〜図３に示した圧電部品の端部を拡大して示す断面図、図５は図１〜図４に示した圧電部品の電気的等価回路の一例を示す図である。
【００１７】
これらの図を参照すると、圧電部品は、支持基板１１と、圧電振動子１２と、天板１３と、端子電極膜２１〜２３とを含む。支持基板１１、圧電振動子１２及び天板１３は、ほぼ同一の四角形の平面形状を持ち、この順序で順次に積層され、全体として、六面体状の外装体を構成している。
【００１８】
圧電振動子１２は、圧電基板１２０の表面及び裏面に振動電極膜１４１、１４２を有し、裏面が、振動空間１７２を有して、支持基板１１の表面に、電気絶縁性接着剤１５によって接着され、表面が、振動空間１７１を有して天板１３の裏面に接着剤１６によって接着されている。圧電振動子１２０は、エネルギーとじこめ振動モードであれば、分極方向や振動モード等は任意であり、圧電部品において知られている圧電材料を用いることができる。
【００１９】
振動電極膜１４１、１４２は、円形状、角形状等、任意のパターンをとることができ、印刷、スパッタリング、イオンプレーティング、メッキまたはそれらの併用によって形成することができる。振動電極膜１４１、１４２は、一例であるが、Ｎｉ-Ｃｒ合金およびＡｇの二層の金属で構成することができる。
【００２０】
振動電極１４１は、一端側に引出電極１４３を有し、引出電極１４３は圧電基板１２の幅方向の両外面(側面）に導出されている。振動電極１４２も同様で、振動電極１４１の引出電極１４３とは反対側に引出電極１４４を有し、引出電極１４４は圧電基板１２の幅方向の両外面(側面）に導出されている。
【００２１】
接着剤１５は、図１では、支持基板１１及び圧電振動子１２から分離して図示されているが、実際には、支持基板１１及び圧電振動子１２の周辺を縁とるように、一体に付着されたものである。接着剤１５としては、例えば、エポキシ系接着剤を用いることができる。
【００２２】
接着剤１６は、圧電振動子１２及び天板１３の周辺を縁とるように付着されたものである。接着剤１６としては、例えば、エポキシ系接着剤を用いることができる。
【００２３】
支持基板１１は、本来の支持機能のほかに、圧電振動子１２に対する内蔵負荷容量を形成するための誘電体基板としての機能をもたせることができる。このような場合は、支持基板１１は、機械的強度の高い材料よりも、誘電率の高い誘電体セラミック、例えばＰＴ材やＰＺＴ材等を用いて構成される。そのほか、コンデンサ材料として用いられているセラミック材料から選択して使用することができる。天板１３を構成する材料の代表例としては、ＰＴ材やＰＺＴ材等を挙げることができる。
【００２４】
端子電極膜２１〜２３は、支持基板１１、圧電振動子１２の圧電基板１２０及び天板１３でなる外装体の少なくとも側面に形成されている。図示実施例において、端子電極膜２１〜２３は相互に間隔を隔て、天板１３の表面の一方の端部から、側面及び支持基板１１の底面を通って連続し、更に、他方の側面を通り、天板１３の表面の他方の端部に至るように配置されている。
【００２５】
端子電極膜２１〜２３は、支持基板１１の底面で一部とぎれていてもよい。端子電極膜２１は、圧電基板１２０に設けられた振動電極膜１４１の引出電極１４３に導通し、端子電極膜２３は圧電基板１２の裏面に設けられた振動電極膜１４２の引出電極１４４に導通している。端子電極膜２２は、アース端子となるもので、支持基板１１の表面では、端子電極膜２２は端子電極膜２１と端子電極膜２３との間で、図５に図示した負荷容量Ｃ１、Ｃ２を生じさせる。
【００２６】
本発明は、これらの端子電極膜２１〜２３の膜構成に特徴がある。即ち、図３及び図４を参照し、端子電極膜２１〜２３のうち、端子電極膜２１の膜構成を代表的に説明すると、端子電極膜２１は、第１の電極膜２１１と、第２の電極膜２１２と、第３の電極膜２１３とを含む。第２の電極膜２１２は、導電性樹脂を主成分とするもので、第１の電極膜２１１の上に形成されており、第３の電極膜２１３は、第２の電極膜２１２の上に形成されている。
【００２７】
第１の電極膜２１１は、外装体の側面に、直接に付着され、振動電極膜１４１の引出電極１４３に導通する。この第１の電極膜２１１は、めっきのための下地となるもので、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、メッキまたはそれらの併用によって形成された薄膜であり、Ｃｒ−Ｃｕ等によって構成されている。具体的には、例えば、０．１μｍのＣｒ膜と、１．５μｍのＣｕ膜とのスパッタ積層膜として構成される。そのほか、Ｃｕ膜、NiCr−Cu膜として構成することもできる。
【００２８】
第１の電極膜２１１は、第３の電極膜２１３をめっきによって形成するために不可欠なものであるが、上述したような薄膜であるため、支持基板１１、圧電基板１２０及び天板１３に対する密着力が弱く、信頼性を確保するために、その弱点を補う膜構造が必要になる。第２の電極膜２１２は、その手段として設けられている。
【００２９】
第２の電極膜２１２は、エポキシ樹脂等の接着性のある有機材料と、Ａｇ、Ｃｕ、ＡＵ等から選択された導電性成分の少なくとも一種とを混合したものである。第２の電極膜２１２は、上述した組成の導電性ペーストを第１の電極膜２１１に塗布することによって形成される。接着性のある有機材料は、エポキシ樹脂のほか、フェノール樹脂、エポキシフェノール樹脂、ウレタン樹脂、エポキシウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、又は、シリコーン樹脂などを用いてよい。第２の電極膜２１２の膜厚は、５μｍ以上、好ましくは、２０μｍ程度である。
【００３０】
第３の電極膜２１３は、湿式めっきなどの手段によって形成されたものである。湿式めっきにおいて、第１の電極膜２１１及び第２の電極膜２１２がめっき下地となり、第２の電極膜２１２の上に、第３の電極膜２１３がめっきされる。第３の電極膜２１３は、後で、回路基板上にはんだ付けされる部分であるので、それに適した膜構造とする。例えば、一例を挙げると、０．５μｍのＣｕ膜、その上に１．５μｍのＮｉ膜、更にその上に、４μｍのＳｎ膜を形成した膜構造とすることができる。そのほか、Ｎｉ−Ａｕめっき膜としてもよい。
【００３１】
図示実施例では、天板１３の表面には、端子電極膜２１〜２３の付着される幅方向の両端に、第４及び第５の電極膜２１４、２１５が付着されている。また、支持基板１１の底面には、第４及び第５の電極膜２１４、２１５が付着されている。この第４及び第５の電極膜２１４、２１５はＡｇ等の焼付け導体を、利用することができる。焼付け導体の形成に当たっては、ガラスフリットとＡｇ粉末とを混合した電極ペーストを、所定箇所に塗布し、ガラスの融点以上の温度で熱処理することによって焼き付ける。この第４及び第５の電極膜２１４、２１５の上に第２の電極膜２１２が付着され、更に、その上に第３の電極膜２１３が形成されている。他の端子電極膜２２、２３も、端子電極膜２１と同じような膜構成になっている。
【００３２】
上述した本発明に係る圧電部品において、圧電振動子１２は、一面が支持基板１１の一面に接着されており、天板１３は圧電振動子１２の他面側に接着されているから、支持基板１１、圧電振動子１２及び天板１３を積層した構造の圧電部品が得られる。
【００３３】
圧電振動子１２は、圧電基板１２０の両面に振動電極膜１４１、１４２を有し、一面が振動空間１７２を有して支持基板１１の一面に接着されており、天板１３は圧電振動子１２の他面側に振動空間１７１を有して接着されているから、圧電振動子１２の両面に形成された振動電極膜１４１、１４２に信号を供給して、を励振した場合、圧電振動子１２は振動空間１７１、１７２において振動することができる。
【００３４】
圧電部品は、端子電極膜２１〜２３を含んでおり、端子電極膜２１〜２３は、引出電極１４３、１４４を介して、振動電極膜１４１、１４２に導通している。従って、端子電極膜２１、２３を通して、圧電振動子１２の振動電極膜１４１、１４２を外部に導き、励振のための信号を供給することができる。
【００３５】
端子電極膜２１〜２３は、また、支持基板１１の底面および側面に形成されている。従って、支持基板１１を実装用基板に対面させ、支持基板１１の部分の端子電極膜２１〜２３を、実装用基板の導体パターン等にはんだ付けすることができる。
【００３６】
更に、本発明に係る圧電部品は、その特徴部分として、端子電極膜２１〜２３は、第１の電極膜２１１と、第２の電極膜２１２と、第３の電極膜２１３とを含み、第２の電極膜２１２は、導電性樹脂を主成分とするものであって、第１の電極膜２１１の上に形成されており、第３の電極膜２１３は、第２の電極膜２１２の上に形成されている。
【００３７】
上述した膜構造によれば、第１の電極膜２１１と、最外側層となる第３の電極膜との間にあり、導電性樹脂を主成分とする第２の電極膜が、応力緩衝膜として機能するので、車載電子装置として用いられた場合、あるいは、回路基板へのはんだ付け時に発生する熱衝撃に対する耐性が高くなり、第１の電極膜２１１の剥離、外装体へのクラック、あるいは、はんだフィレットへの亀裂などを防止することができる。
【００３８】
次に、この第２の電極膜２１２の作用効果について、図６を参照して説明する。図６は図１〜図５に図示した圧電部品を、実装用基板に実装した状態を示す断面図である。
【００３９】
圧電部品は、端子電極２１〜２３において、最外側層を構成する第３の電極膜２１３が、実装用基板１８１の上に形成された導体パターン１８２に、はんだフィレット１８３によりはんだ付けされている。
【００４０】
ここで、第１の電極膜２１１と、最外側層となる第３の電極膜２１３との間にあって、導電性樹脂を主成分とする第２の電極膜２１２が、応力緩衝膜として機能するので、第１の電極膜２１２の剥離、外装体のクラック、特に、圧電基板１２のクラックを防止することができる。また、あるいは、はんだフィレット１８３への亀裂などを防止することもできる。
【００４１】
図１〜図５の実施例においては、支持基板１１の底面に、第１の電極膜２１５が付着されており、天板１３の表面のうち、端子電極膜２１〜２３の付着される幅方向の両端に部分の第１の電極膜２１５の上に第２の電極膜２１２が付着されているので、第１の電極膜２１５の剥離も防止することができる。天板１３に付与された第１の電極膜２１５についても、同様の作用効果が得られる。
【００４２】
更に、本発明に係る圧電部品の他の実施例について、図７〜図１１を参照して説明する。これらの図において、図１〜図６に現れた構成部分に相当する部分については、同一の参照符号を付し、重複説明は省略する。
【００４３】
まず、図７の実施例では、第２の電極膜２１２は、支持基板１１、圧電振動子１２及び天板１３で構成される外装体の外側面に限って、第２の電極膜２１２を形成してある。この実施例は、外装体の外側面に付与される第１の電極膜２１１の剥離強度が、特に弱いことに着目したものである。
【００４４】
次に、図８の実施例では、支持基板１１の底面に設けられた第１の電極膜２１５と、第３の電極膜２１３との間に、第２の電極膜２１２を設けてある。
【００４５】
図９は、本発明に係る圧電部品の更に別の実施例を示す斜視図、図１０は図９の１０−１０線断面図、図１１は図１０の１１−１１線断面図である。この実施例では、外装体は、支持基板１１と、ケース状部材１３とを含んでいる。支持基板１１は、図１〜図８に示したものと異なるところはない。この支持基板１１の一面上に、圧電振動子１２が搭載されている。
【００４６】
圧電振動子１２は、圧電基板１２０の表面及び裏面に振動電極膜１４１、１４２を有する。これらの振動電極膜１４１、１４２は、円形状、角形状等、任意のパターンをとることができ、印刷、スパッタリング、イオンプレーティング、メッキまたはそれらの併用によって形成することができる。振動電極膜１４１、１４２は、一例であるが、Ｎｉ−Ｃｒ合金およびＡｇの二層の金属で構成することができる。
【００４７】
振動電極１４１は、圧電基板１２０の長さ方向の一端側に引出電極１４３を有し、引出電極１４３は、圧電基板１２０の長さ方向の一端面を通って、裏面側に導出されている。引出電極１４３は、裏面側の振動電極１４２から分離されている。
【００４８】
振動電極１４２も同様で、圧電基板１２０の長さ方向の他端側に引出電極１４４を有し、引出電極１４４は圧電基板１２０の長さ方向の他端面を通って、表面側に導出されている。引出電極１４４は、表面側の振動電極１４１から分離されている。
【００４９】
振動電極１４１の引出電極１４３は、支持基板１１の上に形成された導体パターン１９１に、導電性接着剤１９２によって接続されている。振動電極１４２の引出電極１４４も、支持基板１１の上に形成された導体パターン１９３に、導電性接着剤１９４によって接続されている。
【００５０】
ケース状部材１３は、圧電振動子１２を包囲し、端面が支持基板１１の一面上に、接着剤１５によって気密に接着されている。
【００５１】
端子電極膜２１〜２３は、支持基板１１及びケース状部材１３の外面に付着されている。その膜構造は、図１〜図８に示したものと同じである。即ち、端子電極膜２１〜２３は相互に間隔を隔て、ケース状部材１３の表面の一方の端部から、その側面及び支持基板１１の底面を通って連続し、他方の側面を通り、ケース状部材１３の表面の他方の端部に至るように配置されている。
【００５２】
本発明の特徴である端子電極膜構造について、端子電極膜２１〜２３のうち、端子電極膜２１の膜構成を代表的に説明すると、端子電極膜２１は、第１の電極膜２１１と、第２の電極膜２１２と、第３の電極膜２１３とを含む。第２の電極膜２１２は、導電性樹脂を主成分とするものであって、第１の電極膜２１１の上に形成されており、第３の電極膜２１３は、第２の電極膜２１２の上に形成されている。
【００５３】
第１の電極膜２１１は、支持基板１１及びケース状部材１３の外面に、直接に付着され、振動電極膜１４１の引出電極１４３に導通する。この第１の電極膜２１１は、めっきのための下地となるもので、蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、メッキまたはそれらの併用によって形成された薄膜であり、Ｃｒ−Ｃｕ等によって構成されている。
【００５４】
第２の電極膜２１２は、エポキシ樹脂等の接着性のある有機材料と、Ａｇ等の導電性成分とを混合したもので上述した組成の導電性ペーストを第１の電極膜２１１に塗布することによって形成される。
【００５５】
第３の電極膜２１３は、バレルメッキなどの手段によって形成されたものである。バレルメッキにおいて、第１の電極膜２１１及び第２の電極膜２１２がめっき下地となり、第２の電極膜２１２の上に、第３の電極膜２１３がめっきされる。他の端子電極膜２２、２３も、端子電極膜２１と同じような膜構成になっている。
【００５６】
上述した本発明に係る圧電部品において、圧電振動子１２は、圧電基板１２０の両面に振動電極膜１４１、１４２を有し、一面が振動空間１７２を有して支持基板１１の一面に接着されており、ケース状部材１３は圧電基板１２の他面側に振動空間１７１を有して接着されているから、圧電基板１２の両面に形成された振動電極膜１４１、１４２に信号を供給して、圧電基板１２を励振した場合、圧電基板１２は振動空間１７１、１７２において振動することができる。
【００５７】
端子電極膜２１〜２３は、振動電極膜１４１、１４２に導通している。従って、端子電極膜２１、２３を通して、圧電振動子１２の振動電極膜１４１、１４２を外部に導き、励振のための信号を供給することができる。
【００５８】
端子電極膜２１〜２３は、第１の電極膜２１１と、第２の電極膜２１２と、第３の電極膜２１３とを含み、第２の電極膜２１２は、第１の電極膜２１１の上に形成されており、第３の電極膜２１３は、第２の電極膜２１２の上に形成されている。
【００５９】
上述した膜構造によれば、第１の電極膜２１１と、最外側層となる第３の電極膜との間にあって、導電性樹脂を主成分とする第２の電極膜２１２が、応力緩衝膜として機能するので、車載電子装置として用いられた場合、あるいは、回路基板へのはんだ付け時に発生する熱衝撃に対する耐性が高くなり、第１の電極膜２１１の剥離、支持基板１１やケース状部材１３へのクラック、あるいは、はんだフィレットへの亀裂などを防止することができる。
【００６０】
本発明に係る圧電部品は、図示の構造に限定されない。本発明は、共振子、発振子またはフィルタ等に適した構造に変形された全ての圧電部品に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明に係る圧電部品の分解斜視図である。
【図２】図１に図示した圧電部品の組立状態を示す斜視図である。
【図３】図２の３−３線に沿った断面図である。
【図４】図１〜図３に示した圧電部品の端部を拡大して示す断面図である。
【図５】図１〜図４に示した圧電部品の電気的等価回路の一例を示す図である。
【図６】図１〜図４に図示した圧電部品を、実装用基板の上にはんだ付け実装した状態を示す断面図である。
【図７】本発明に係る圧電部品の別の実施例における端部を拡大して示す断面図である。
【図８】本発明に係る圧電部品の更に別の実施例における端部を拡大して示す断面図である。
【図９】本発明に係る圧電部品の更に別の実施例を示す斜視図である。
【図１０】図９の１０−１０線断面図である。
【図１１】図１０の１１−１１線断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１１                支持基板
１２                圧電振動子
１３                天板又はケース状部材
１４１、１４２                振動電極膜
２１、２２、２３                端子電極膜
２１１                第１の電極膜
２１２                第２の電極膜
２１３                第３の電極膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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