(57)【要約】【課題】高感度化すると共に、（着色剤含有率の高い組成の場合でも）高硬度で先鋭な硬化膜の短いタクトタイムでの形成を可能とする。【解決手段】光硬化性組成物が重合性化合物及びアルカリ可溶性樹脂を含む場合に、アルカリ可溶性樹脂が分子中に光重合開始基を有している。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルカリ可溶性樹脂と重合性化合物とを含む光硬化性組成物において、
前記アルカリ可溶性樹脂が、分子中に光重合開始基を有することを特徴とする光硬化性組成物。
【請求項２】
着色剤を更に含む請求項１に記載の光硬化性組成物。
【請求項３】
前記アルカリ可溶性樹脂は、分子中における光重合開始基の含有比率が３〜５０ｍｏｌ％であって、酸価が２０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであって、重量平均分子量が３０００〜５００００である請求項１又は２に記載の光硬化性組成物。
【請求項４】
前記光重合開始基が、下記式（１）〜（３）で表される基より選択される少なくとも１つである請求項１〜３のいずれか１項に記載の光硬化性組成物。
【化１】
2007047756.tif 000015
〔式中、「＊」は、アルカリ可溶性樹脂分子の分子鎖に結合する結合手を表す。Ａ、Ｂ、及びＣは、各々独立に、水素原子、炭素数１〜６の炭化水素基、ハロゲン原子、カルボキシル基、水酸基、メルカプト（ＳＨ）基を表す。Ｒ1、Ｒ2、及びＲ3は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜６の炭化水素基、カルボキシル基、水酸基、メルカプト（ＳＨ）基を表す。〕
【請求項５】
前記アルカリ可溶性樹脂は、分子中に光ラジカル発生を増感する光重合増感基を更に有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の光硬化性組成物。
【請求項６】
前記光重合増感基の分子中における含有比率が０．１〜５ｍｏｌ％である請求項５に記載の光硬化性組成物。
【請求項７】
前記光重合増感基が、（メタ）アクリルアルキルアミド基及び下記式（４）〜（６）で表される基より選択される少なくとも１つである請求項５又は６に記載の光硬化性組成物。
【化２】
2007047756.tif 000016
〔式中、「＊＊」は、アルカリ可溶性樹脂分子の分子鎖（又は主鎖）に結合する結合手を表す。Ｒ７及びＲ８は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜６の炭化水素基、ハロゲン原子を表す。〕
【請求項８】
前記（メタ）アクリルアルキルアミド基が、下記式（７）で表される基である請求項７に記載の光硬化性組成物。
【化３】
2007047756.tif 000017
〔式中、Ｒ６は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ４及びＲ５は各々独立に、水素原子、又は炭素数１〜３のアルキル基を表す。〕
【請求項９】
請求項２〜８のいずれか１項に記載の光硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項１０】
請求項２〜８のいずれか１項に記載の光硬化性組成物を基板上に塗布後、フォトリソグラフィー法により像形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法に関し、詳しくは、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルタの作製に好適な光硬化性組成物、並びにこれを用いたカラーフィルタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置（ＬＣＤ）の用途が、ＴＶ用途に拡大する状況にあり、表示画像のコントラスト、色度に対する要求が高度になってきており、ＬＣＤ等を構成するカラーフィルタに含まれる着色剤の含有率が高くなる傾向にある。また、イメージセンサ（ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどの固体撮像素子）の用途においても、カラーフィルタ層の更なる薄膜化が要求されるようになり、色特性を維持するためには有機顔料や染料などの着色剤の含有率を高めざるを得なくなっている。
【０００３】
そのため、着色剤の含有率が高くなるに伴なって、カラーフィルタの作製に用いられる光硬化性組成物の光感度としては、よりいっそう高感度のものが求められるようになっている。特に、ブラックマトリクス作製用の硬化性組成物においては、用いる着色剤が黒色であり、着色剤による光の吸収が大きいため、膜の硬化の点ではより困難であり、ブラックマトリクス作製用の光硬化性組成物としてはより高感度のものが求められる。
【０００４】
カラーフィルタは、フォトリソ法により画素パターンを形成して作製することができる。すなわち、顔料や染料で着色され、基板上に塗布形成されたフォトレジスト塗布膜にフォトマスクを通してパターン露光を行ない、パターン露光されたフォトレジスト塗布膜中の光硬化性成分を硬化させた後、現像処理して非露光部（未硬化部）の塗布膜を溶解除去することにより画素パターンが得られ、カラーフィルタを作製できる。このとき、パターン露光による膜硬化が不充分であるとカラーフィルタ（画像）を構成する露光部が現像処理で基板から除去されてしまうため、着色剤の含有率が多い系に構成しながらも充分な光硬化性を確保するには、より高い感度で、より高度の硬化性能が得られる組成に構成する必要がある。
【０００５】
一方、近年ではコストダウンの要求、基板の大型化の要求などから、作製工程でのタクトタイムの短縮化、換言すれば工程の高速化が求められ、これまで以上に硬化性を充分に得るのは難しく、かかる観点からも光硬化性組成物の更なる高感度化、硬化性の向上に対する要望が強い。
【０００６】
光硬化性組成物の感度を高める手段としては、例えば、アルカリ可溶性樹脂に重合性の二重結合を導入してアルカリ可溶性樹脂に架橋性を持たせたり、また、光増幅型の組成物に構成する等の技術が従来から種々提案されている（例えば、特許文献１〜４参照）。
【特許文献１】特開２０００−３９５１２号公報
【特許文献２】特開平１１−９５４２５号公報
【特許文献３】特開平８−２６２４２２号公報
【特許文献４】特開２０００−２５０２０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、これまでの技術では、着色剤の含有率を多くした場合に、高硬度で画素欠陥（例えば画素欠けや画素剥れなど）のないカラーフィルタ（すなわち着色画素）を短いタクトタイムで形成することが可能な技術が確立されるまでに至っておらず、特にブラックマトリクスなどの高い遮光性が要求される用途においては、黒濃度が高くなるほど膜中での光の減衰は大きくなり、硬化不良及びそれに伴なう画素欠けや画素剥れなどの画素欠陥の発生がより顕著となる。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みなされたものであり、高感度を有し、（着色剤含有率の高い組成の場合でも）高硬度で先鋭な硬化膜を短いタクトタイムで形成することができる光硬化性組成物並びに、着色剤含有率が高く、画素欠けや画素剥れ等の欠陥がなく先鋭で平滑なカラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞  アルカリ可溶性樹脂と重合性化合物とを含む光硬化性組成物において、前記アルカリ可溶性樹脂が、分子中に光重合開始基を有することを特徴とする光硬化性組成物である。
＜２＞  着色剤を更に含む前記＜１＞に記載の光硬化性組成物である。
＜３＞  前記アルカリ可溶性樹脂は、分子中における光重合開始基の含有比率が３〜５０ｍｏｌ％であって、酸価が２０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであって、重量平均分子量が３０００〜５００００である前記＜１＞又は＜２＞に記載の光硬化性組成物である。
【００１０】
＜４＞  前記光重合開始基が、下記式（１）〜（３）で表される基より選択される少なくとも１つである前記＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の光硬化性組成物である。
【００１１】
【化１】
2007047756.tif 000002
【００１２】
前記式（１）〜（３）において、「＊」は、アルカリ可溶性樹脂分子の分子鎖に結合する結合手を表す。Ａ、Ｂ、及びＣは、各々独立に、水素原子、炭素数１〜６の炭化水素基、ハロゲン原子、カルボキシル基、水酸基、メルカプト（ＳＨ）基を表す。Ｒ1、Ｒ2、及びＲ3は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜６の炭化水素基、カルボキシル基、水酸基、メルカプト（ＳＨ）基を表す。
【００１３】
＜５＞  前記アルカリ可溶性樹脂は、分子中に光ラジカル発生を増感する光重合増感基を更に有する前記＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の光硬化性組成物である。
＜６＞  前記光重合増感基の分子中における含有比率が０．１〜５ｍｏｌ％である前記＜５＞に記載の光硬化性組成物である。
【００１４】
＜７＞  前記光重合増感基が、（メタ）アクリルアルキルアミド基及び下記式（４）〜（６）で表される基より選択される少なくとも１つである前記＜５＞又は＜６＞に記載の光硬化性組成物である。
【００１５】
【化２】
2007047756.tif 000003
【００１６】
前記式（４）〜（６）において、「＊＊」は、アルカリ可溶性樹脂分子の分子鎖（又は主鎖）に結合する結合手を表す。Ｒ７及びＲ８は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜６の炭化水素基、ハロゲン原子を表す。
【００１７】
＜８＞  前記（メタ）アクリルアルキルアミド基が、下記式（７）で表される基である前記＜７＞に記載の光硬化性組成物である。
【００１８】
【化３】
2007047756.tif 000004
【００１９】
前記式（７）において、Ｒ６は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ４及びＲ５は各々独立に、水素原子、又は炭素数１〜３のアルキル基を表す。
【００２０】
＜９＞  前記＜２＞〜＜８＞のいずれか１つに記載の光硬化性組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルタである。
＜１０＞  前記＜２＞〜＜８＞のいずれか１つに記載の光硬化性組成物を基板上に塗布後、フォトリソグラフィー法により像形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、高感度を有し、（着色剤含有率の高い組成の場合でも）高硬度で先鋭な硬化膜を短いタクトタイムで形成することができる光硬化性組成物、並びに、着色剤含有率が高く、画素欠けや画素剥れ等の欠陥がなく先鋭で平滑なカラーフィルタ及びその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の光硬化性組成物、並びに該光硬化性組成物を用いたカラーフィルタ及びその製造方法について詳細に説明する。
【００２３】
本発明の光硬化性組成物は、分子中に光重合開始基を有するアルカリ可溶性樹脂と、重合性化合物とを少なくとも含んでなり、一般には溶剤を用いて構成され、必要に応じて更に、着色剤、光重合開始剤、その他成分を用いて構成することができる。
【００２４】
−アルカリ可溶性樹脂−
本発明の光硬化性組成物は、分子中に光重合開始基を有するアルカリ可溶性樹脂の少なくとも一種（以下、「本発明に係るアルカリ可溶性樹脂」ということがある。）を含有する。このアルカリ可溶性樹脂は、分子内にアルカリ可溶性を促進する基（以下、「アルカリ可溶化基」ともいう。）を有する樹脂であり、着色剤を含有する場合には着色剤の分散剤として機能し得るものである。
【００２５】
本発明に係るアルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子（好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子）中に少なくとも１つのアルカリ可溶性を促進する基（例えばカルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基など）と共に、少なくとも１つの光重合開始基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。このうち、更に好ましくは、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものである。
【００２６】
本発明における光重合開始基は、曝光により光ラジカルを発生し、発生した光ラジカルの作用により後述する重合性化合物のラジカル重合反応を促進する基である。好ましい光重合開始基としては、下記式（１）〜（３）で表される基を挙げることができる。
【００２７】
【化４】
2007047756.tif 000005
【００２８】
前記基中の「＊」は、アルカリ可溶性樹脂分子（好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子）の分子鎖（特に主鎖）に結合する結合手を表す。
また、前記基において、Ａ、Ｂ、及びＣは、各々独立に、水素原子、炭素数１〜６の炭化水素基（例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、シクロヘキシル基など）、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子など）、カルボキシル基、水酸基、メルカプト（ＳＨ）基を表す。Ｒ1、Ｒ2、及びＲ3は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜６の炭化水素基（例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、シクロヘキシル基など）、カルボキシル基、水酸基、メルカプト（ＳＨ）基を表す。
【００２９】
本発明に係るアルカリ可溶性樹脂としては、光重合開始基非含有のアルカリ可溶性樹脂に分子中に存在する水酸基など所定の部位を基点に少なくとも１つの光重合開始基を導入する、あるいは少なくとも一種のアルカリ可溶化基含有モノマーと少なくとも一種の光重合開始基含有モノマーとを共重合させる、等の方法により得られたものを使用できる。アルカリ可溶性樹脂の製造には、例えば公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。
また、上記のほか、アルカリ可溶化基及び光重合開始基を有する市販のアルカリ可溶性樹脂を使用することもできる。
【００３０】
本発明に係るアルカリ可溶性樹脂の１分子中に存在する光重合開始基の含有比率としては、３〜５０ｍｏｌ％の範囲内が好ましく、５〜３０ｍｏｌ％の範囲内がより好ましい。光重合開始基の比率が前記範囲内であると、ラジカル重合反応に伴なう重合硬化を良好に行なえ、高度の硬化度を確保し得ると共に、欠けや剥れ等の欠陥のない硬化物（カラーフィルタを含む。）が得られる点で有効である。
【００３１】
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、分子中に光重合開始基を有することを特徴とするものであるが、光重合開始基を有しないアルカリ可溶性樹脂も併用することができる。これらの併用できるアルカリ可溶性樹脂としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等が挙げられる。また、これらの樹脂のＯＨ基、ＣＯＯＨ基にイソシアネート基もしくはエポキシ環を有するアクリロイル化合物を作用させて得られる炭素−炭素不飽和結合を側鎖に有するポリマーも本発明の光硬化性組成物の高感度化に有用であり、併用することが好ましい。
【００３２】
これらの中では特に、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体が好適である。このほか、水溶性ポリマーとして、２−ヒドロキシエチルメタクリレート等が有用なものとして挙げられる。該ポリマーは任意の量で混合して用いることができる。
【００３３】
上記以外に、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクレート／メタクリル酸共重合体などが挙げられる。
【００３４】
アルカリ可溶性樹脂の具体的な構成単位については、特に（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が好適である。
【００３５】
前記（メタ）アクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。ここで、アルキル基及びアリール基の水素原子は、置換基で置換されていてもよい。
前記アルキル（メタ）アクリレート及びアリール（メタ）アクリレートの具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジルアクリレート、トリルアクリレート、ナフチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート等を挙げることができる。
【００３６】
また、前記ビニル化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、ＣＨ２＝ＣＲ１１Ｒ１２、ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１１）（ＣＯＯＲ１３）  〔ここで、Ｒ１１は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ１２は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素環を表し、Ｒ１３は炭素数１〜８のアルキル基又は炭素数６〜１２のアラルキル基を表す。〕、等を挙げることができる。
【００３７】
これら共重合可能な他の単量体は、１種単独であるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。
好ましい共重合可能な他の単量体は、ＣＨ２＝ＣＲ１１Ｒ１２、ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１１）（ＣＯＯＲ１３）、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート及びスチレンから選択される少なくとも１種であり、特に好ましくは、ＣＨ２＝ＣＲ１１Ｒ１２及び／又はＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１１）（ＣＯＯＲ１３）である。
【００３８】
特に、下記の構成単位（ａ）及び（ｂ）の少なくとも一方を共重合成分として含むアルカリ可溶性樹脂が好ましい。下記（ａ）の分子中の比率については、０〜５０ｍｏｌ％が好ましく、下記（ｂ）の分子中の比率については、２０〜８０ｍｏｌ％が好ましい。
【００３９】
【化５】
2007047756.tif 000006
【００４０】
前記（ａ）及び（ｂ）中のＲ１１は、水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基など）を表し、前記（ａ）中のＲ１２は、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基（例えばフェニル基、ナフチル基など）を表し、前記（ｂ）中のＲ１３は、炭素数１〜１８のアルキル基（例えば、メチル基、エチル基、ヘキシル基、２−エチルヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基など）、又は炭素数７〜１２のアラルキル基（例えばベンジル基など）を表す。
上記のうち、前記（ａ）は、Ｒ１１が水素原子であって、Ｒ１２がフェニル基であることが好ましい。また、前記（ｂ）は、Ｒ１１がメチル基であって、Ｒ１３がベンジル基であることが好ましい。
【００４１】
本発明に係るアルカリ可溶性樹脂は、更に分子中に、光重合開始基からの光ラジカルの発生を増感、つまり光ラジカルの発生感度を高める光重合増感基を有していることが好ましい。同一分子内に光重合開始基と共に、該光重合開始基からの光ラジカルの発生を促すための光重合増感基を存在させることによって、光硬化性組成物を光硬化させる際の光感度が向上して硬化性を促進でき、より高度の硬化度を得ることができる。これにより、欠陥がなく形状の良好な硬化物（カラーフィルタを含む。）を作製することができる。
【００４２】
前記光重合増感基としては、（メタ）アクリルアルキルアミド基及び下記式（４）〜（６）で表される基を好適に挙げることができる。
【００４３】
【化６】
2007047756.tif 000007
【００４４】
前記基中の「＊＊」は、アルカリ可溶性樹脂分子（好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子）の分子鎖（又は主鎖）に結合する結合手を表す。
また、前記式（６）中のＲ７及びＲ８は、各々独立に、水素原子、炭素数１〜６の炭化水素基（例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ヘキシル基、シクロヘキシル基など）、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子など）を表す。
【００４５】
前記（メタ）アクリルアルキルアミド基としては、下記式（７）で表される基が好ましい。下記式中、Ｒ６は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基（例えばメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基など）を表し、好ましくは水素原子又はメチル基である。Ｒ4及びＲ5は各々独立に、水素原子、又は炭素数１〜３のアルキル基（例えばメチル基、エチル基、ブチル基など）を表し、好ましくはＲ4及びＲ5ともにメチル基である。
上記のうち好ましくは、Ｒ６が水素原子であって、Ｒ4及びＲ5がともにメチル基である（メタ）アクリルアルキルアミド基である。
【００４６】
【化７】
2007047756.tif 000008
【００４７】
光重合増感基のアルカリ可溶性樹脂への導入は、アルカリ可溶性樹脂に光重合増感基を付加する等により導入するか、あるいは少なくとも（メタ）アクリロイル基（及び場合により光重合開始基）を有する少なくとも一種のモノマーと、光重合増感基（及び場合により光重合開始基）を有する少なくとも一種のモノマーとを共重合させる、等の方法により行なえる。
【００４８】
本発明に係るアルカリ可溶性樹脂の１分子中に存在する光重合増感基の比率としては、０．１〜５ｍｏｌ％の範囲内が好ましく、０．５〜３ｍｏｌ％の範囲内がより好ましい。光重合増感基の比率が前記範囲内であると、ラジカルの発生感度が高められ、着色剤を多量に含むなど、ラジカルの発生及びそれに伴ないラジカル反応が起こりにくい組成の場合でも、ラジカル重合反応を速やかに行なわせることができ、高度の硬化性を有し、欠陥のない硬化物を得るのに効果的である。
【００４９】
本発明に係るアルカリ可溶性樹脂は、上記以外に更に、カルボキシル基を側鎖に有することが、アルカリ現像性を付与する点で好ましい。
【００５０】
以下、本発明に係るアルカリ可溶性樹脂の具体例を列挙する。但し、本発明においては、これらに限定されるものではない。
【００５１】
【化８】
2007047756.tif 000009
【００５２】
【化９】
2007047756.tif 000010
【００５３】
本発明に係るアルカリ可溶性樹脂の酸価としては、２０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲内が好ましく、２５〜１３０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲内がより好ましい。酸価が前記範囲内であると、アルカリ可溶性樹脂のアルカリに対する溶解性が大きくなりすぎて現像適正範囲（現像ラチチュード）が狭くなることがなく、また、アルカリに対する溶解性が小さくなって現像に時間がかかり過ぎることもない。アルカリ可溶性樹脂の酸価を上記範囲とするには、各単量体の共重合比率を適切に調整することにより容易に行なうことができる。
【００５４】
本発明に係るアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量Ｍｗ（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）としては、カラーレジストを塗布等の工程上使用しやすい粘度範囲を実現するために、また膜強度を確保するために、３，０００〜５０，０００の範囲が好ましく、より好ましくは４，０００〜４０，０００の範囲であり、最も好ましくは５，０００〜２０，０００の範囲である。
【００５５】
本発明に係るアルカリ可溶性樹脂の光硬化性組成物中における含有量としては、全固形成分に対して５〜８０質量％が好ましく、より好ましくは２０〜６０質量％である。
【００５６】
−重合性化合物−
本発明の光硬化性組成物は、重合性化合物の少なくとも一種を含有する。重合性化合物としては、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、常圧下で１００℃以上の沸点を持つ化合物が好適である。
【００５７】
少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で１００℃以上の化合物としては、例えば、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、ペンタエリスリトール又はジペンタエリスリトールのポリ（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号各公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートを挙げることができる。さらに、日本接着協会誌Ｖol．２０、Ｎo.７（ｐ.３００〜３０８）に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。中でも、４官能以上のアクリレート化合物がより好ましい。
【００５８】
また、上記した多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化した化合物が、特開平１０−６２９８６号公報に一般式（１）及び（２）としてその具体例と共に記載されており、これらも重合性化合物として用いることができる。
【００５９】
上記のうち、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、及びこれらのアクリロイル基がエチレングリコール、プロピレングリコール残基を介して接続されている構造が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。
これらの重合性化合物は、１種単独で用いる以外に、２種以上を組合せて用いることができる。
【００６０】
重合性化合物の含有量としては、光硬化性組成物の全固形分に対して、好ましくは２０〜２００質量％であり、より好ましくは５０〜１２０質量％である。重合性化合物の量が前記範囲であると、硬化性を充分に確保できる。
【００６１】
−着色剤−
本発明の光硬化性組成物は、着色剤の少なくとも一種を好適に含有することができ、着色された可視像を形成し得るように構成することができる。着色剤には、顔料、染料等が含まれる。以下、本発明において好適な顔料及び染料を中心に説明する。
【００６２】
顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。また、無機顔料又は有機顔料のいずれに関わらず、高透過率なことが好ましいことを考慮するとなるべく細かいものの使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、顔料の平均粒子径は０．０１μｍ〜０．３μｍが好ましく、０．０１μｍ〜０．１μｍがより好ましい。
【００６３】
前記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
【００６４】
前記有機顔料としては、例えば、
C.I.Pigment Yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199, ;
C.I.Pigment Orange 36, 38, 43, 71;
C.I.Pigment Red 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177, 209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C.I.Pigment Violet 19, 23, 32, 39;
C.I.Pigment Blue 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;
C.I.Pigment Green 7, 36, 37;
C.I.Pigment Brown 25, 28;
C.I.Pigment Black 1, 7;
等を挙げることができる。但し、本発明においては、これらに限定されるものではない。
【００６５】
好ましい顔料としては以下のものが挙げられる。
C.I.Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C.I.Pigment Orange 36, 71,
C.I.Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C.I.Pigment Violet 19, 23, 32,
C.I.Pigment Blue 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66,
C.I.Pigment Green 7, 36,
C.I.Pigment Black 1
【００６６】
有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。前記組合せの具体例を以下に示す。
例えば、赤の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独、又はそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料又はペリレン系赤色顔料との混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７が挙げられ、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４が挙げられ、色再現性の点でＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：５０が好ましい。１００：５未満では４００nmから５００nmの光透過率を抑えることが困難で色純度を上げることができない場合がある。また、１００：５０を超えると主波長が短波長よりになり、ＮＴＳＣ目標色相からのずれが大きくなる場合がある。特に、上記質量比としては、１００：１０〜１００：３０の範囲が最適である。尚、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
【００６７】
また、緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又はこれとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、３７とＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０又はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：１５０が好ましい。上記質量比が１００：５未満では４００nm〜４５０nmの光透過率を抑えることが困難となり色純度を上げることができない場合がある。また１００：１５０を越えると主波長が長波長よりになりＮＴＳＣ目標色相からのずれが大きくなる場合がある。上記質量比としては１００：３０〜１００：１２０の範囲が特に好ましい。
【００６８】
青の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、又はこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えばＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、１００：０〜１００：３０が好ましく、より好ましくは１００：１０以下である。
【００６９】
ブラックマトリクスの形成に使用可能な着色剤としては、前記C.I.Pigment Black 7（カーボンブラック）、チタンブラック（酸化窒化チタン）、酸化鉄、酸化チタン、及びこれら以外の後述の顔料・染料が挙げられ、特に限定されるものではないが、中でも、C.I.Pigment Black 7（カーボンブラック）、チタンブラックが好ましく、さらにC.I.Pigment Black 7（カーボンブラック）が好ましい。これらは単独または併用することができる。
【００７０】
カーボンブラックと共に他の黒色着色剤を併用する場合は、カーボンブラックの質量に対する黒色着色剤の質量との質量比としては、９５：５〜６０：４０の範囲が好ましく、９５：５〜７０：３０がより好ましく、９０：１０〜８０：２０が更に好ましい。併用する黒色着色剤が複数の場合はそれらの合計質量となる。質量比が前記範囲内であると、分散液の凝集がなくムラのない安定した塗布膜が作成できる。
【００７１】
カーボンブラックとしては、例えば、特開平１１−６０９８８号公報、特開平１１−６０９８９号公報、特開平１０−３３０６４３号公報、特開平１１−８０５８３号公報、特開平１１−８０５８４号公報、特開平９−１２４９６９号公報、特開平９−９５６２５号公報で開示されている樹脂被覆カーボンブラックを使用することができる。
【００７２】
その他、上記の各種着色剤粒子の表面を適宜樹脂で被覆した着色剤を使用することもできる。着色剤を樹脂（被覆用樹脂）で被覆するには、着色剤粒子に被覆用樹脂及び溶剤を加えてミルベースをつくり、それをフラッシング処理やニーダー、ボールミル、サンドミル、ビーズミル、２本又は３本ロールミル、エクストルーダー、ペイントシェーカー、超音波、ホモジナイザーなどの方法により分散処理を行う。これらの処理方法は２つ以上組合わせることも可能である。必要に応じてカーボンブラックを均一に分散させるため分散剤を用いることができる。
【００７３】
被覆用樹脂としては、例えば、以下のものを挙げることができる。
１）ポリオレフィン系ポリマー
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン等
２）ジエン系ポリマー
ポリブタジエン、ポリイソプレン等
３）共役ポリエン構造を有するポリマー
ポリアセチレン系ポリマー、ポリフェニレン系ポリマー等
４）ビニルポリマー
ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、酢酸ビニル、ポリビニルアルコール、ポリ（メタ）アクリル酸、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、ポリアクリルアミド、ポリアクリロニトリル、ポリビニルフェノール等
５）ポリエーテル
ポリフェニレンエーテル、ポリオキシラン、ポリオキセタン、ポリテトラヒドロフラン、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタール等
６）フェノール樹脂
ノボラック樹脂、レゾール樹脂等
７）ポリエステル
ポリエチレンテレフタレート、ポリフェノールフタレインテレフタレート、ポリカーボネート、アルキッド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等
８）ポリアミド
ナイロン−６、ナイロン６６、水溶性ナイロン、ポリフェニレンアミド等
９）ポリペプチド
ゼラチン、カゼイン等
１０）エポキシ樹脂及びその変性物
ノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールエポキシ樹脂、ノボラックエポキシアクリレート及び酸無水物による変性樹脂等
１１）その他
ポリウレタン、ポリイミド、メラミン樹脂、尿素樹脂、ポリイミダゾール、ポリオキサゾール、ポリピロール、ポリアニリン、ポリスルフィド、ポリスルホン、セルロース類等
【００７４】
より具体的には、カルボキシル基を含有するアクリル樹脂として、例えば、（メタ）アクリル酸、（無水）マレイン酸、クロトン酸、イタコン酸、フマル酸、などのカルボキシル基を有するモノマーと、スチレン、α−メチルスチレン、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、酢酸ビニル、アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミド、グリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル酸グリシジル、クロトン酸グリシジルエーテル、（メタ）アクリル酸クロライド、ベンジル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ，Ｎジメチルアクリルアミド、Ｎ−メタクリロイルモルホリン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリルアミドなどの共重合成分とを共重合させたポリマーが挙げられる。中でも好ましいものは、構成モノマーとして少なくとも（メタ）アクリル酸あるいは（メタ）アクリル酸アルキルエーテルを含有するアクリル樹脂であり、さらに好ましくは（メタ）アクリル酸及びスチレンを共重合成分として有するアクリル樹脂である。
【００７５】
また、これらの樹脂は樹脂側鎖にエチレン性二重結合を付加させることもできる。樹脂側鎖に二重結合を付与することにより、光硬化性が高まるため、解像性、密着性をさらに向上させることができ好ましい。
エチレン性二重結合を導入する合成手段として、例えば、特公昭５０−３４４４３号公報、特公昭５０−３４４４４号公報などに記載の方法等が挙げられる。具体的には、カルボキシル基や水酸基にグリシジル基、エポキシシクロヘキシル基および（メタ）アクリロイル基を併せ持つ化合物やアクリル酸クロライドなどを反応させる方法が挙げられる。例えば、（メタ）アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、α−エチルアクリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、（イソ）クロトン酸グリシジルエーテル、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸クロライド、（メタ）アリルクロライドなどの化合物を使用し、カルボキシル基や水酸基を有する樹脂に反応させることにより側鎖に重合基を有する樹脂を得ることができる。特に、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートを反応させた樹脂が好ましい。
【００７６】
また、少なくとも下記一般式〔Ｉ〕で表されるモノマーと少なくとも酸性基を有するモノマー（上記した共重合成分を挙げることができる。）との共重合反応によって得られるポリマーも使用することができる。
【００７７】
【化１０】
2007047756.tif 000011
【００７８】
前記一般式〔Ｉ〕において、Ｒは、水素原子又はメチル基を表し、Ｒ11〜Ｒ15はそれぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基、及びアリール基から選ばれる基である。
ここで、ハロゲン原子の具体例としては、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉなどが挙げられる。アルキル基としては、直鎖、分岐、又は環状であってもよく、メチル基、ｎ−プロピル基、ｉｓｏ−プロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基などが挙げられ、炭素数１〜７のものが好ましい。アリール基としては、フェニル基、フリル基、ナフチル基などが挙げられる。
【００７９】
また、下記のような樹脂も被覆用樹脂として用いることができる。
線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、樹脂側鎖または主鎖にカルボキシ基あるいはフェノール性水酸基等の酸性基を有するものがアルカリ現像可能なため、環境上の観点から好ましい。特にカルボキシル基を有する樹脂、例えば、アクリル酸（共）重合体、スチレン／無水マレイン酸樹脂、ノボラックエポキシアクリレートの酸無水物変性樹脂等は高アルカリ現像性なので好ましい。側鎖にカルボン酸を有するポリマーとしては、例えば特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報、特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたものなども有用である。これらのなかでベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／および他のモノマーとの多元共重合体も好適である。
そのほか、水溶性ポリマーとして、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコール等も有用である。また、硬化皮膜の強度をあげるためにアルコール可溶性ナイロンや２，２−ビス−（４−ヒドロキシフェニル）−プロパンとエピクロルヒドリンのポリエーテルなども有用である。これらのポリマーは任意な量を混合させることができる。
【００８０】
更には、下記のようなエポキシ樹脂も用いることができる。
１．グリシジルアミン型エポキシ樹脂
２．トリフェニルグリシジルメタン型エポキシ樹脂
３．テトラフェニルグリシジルメタン型エポキシ樹脂
４．アミノフェノール型エポキシ樹脂
５．ジアミドジフェニルメタン型エポキシ樹脂
６．フェノールノボラック型エポキシ樹脂
７．オルソクレゾール型エポキシ樹脂
８．ビスフェノールＡノボラック型エポキシ樹脂
【００８１】
上記のうち、被覆用樹脂としては、種々のモノマーを選択し、溶解度と酸価をコントロールすることができることから、（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸エステルとの共重合体が好ましい。
【００８２】
これらの被覆用樹脂のゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）で測定した質量平均分子量（重量平均分子量）の好ましい範囲は、１，０００〜３００，０００であり、より好ましくは３，０００〜１５０，０００である。３００，０００以下とすることで良好な現像性が得られる。
【００８３】
顔料等の着色剤の分散には、通常分散剤が用いられる。分散剤には、被覆用樹脂をそのまま用いるほか、後述するような分散剤が併用可能である。これらの分散剤は単独でも、複数組み合わせても使用できる。分散処理により着色剤表面に樹脂が吸着されると同時に、着色剤粒子の凝集が破壊され粒径が微細化される。
【００８４】
本発明において、上記樹脂で被覆された着色剤の形態としては、粉末、ペースト状、ペレット状、ペースト状、シート状等が挙げられる。
樹脂で被覆された着色剤の好ましい平均粒径は０．００３〜０．５μｍの範囲であり、より好ましくは、０．００５〜０．３μｍの範囲であり、これにより本発明の種々の効果、特に現像性と現像再現性が一層優れるようになる。
【００８５】
着色剤として染料を用いる場合は、均一に溶解させて光硬化性組成物を得る。
前記染料は、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用として公知の染料が使用できる。例えば、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許第４，８０８，５０１号明細書、米国特許第５，６６７，９２０号明細書、米国特許第５，０５９，５００号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報、特開平８−２１１５９９号公報、特開平４−２４９５４９号公報、特開平１０−１２３３１６号公報、特開平１１−３０２２８３号公報、特開平７−２８６１０７号公報、特開２００１−４８２３号公報、特開平８−１５５２２号公報、特開平８−２９７７１号公報、特開平８−１４６２１５号公報、特開平１１−３４３４３７号公報、特開平８−６２４１６号公報、特開２００２−１４２２０号公報、特開２００２−１４２２１号公報、特開２００２−１４２２２号公報、特開２００２−１４２２３号公報、特開平８−３０２２２４号公報、特開平８−７３７５８号公報、特開平８−１７９１２０号公報、特開平８−１５１５３１号公報等に開示されている色素が使用できる。
【００８６】
化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系等の染料が使用できる。
【００８７】
また、水又はアルカリ現像を行なうレジスト系の場合、現像により光未照射部のアルカリ可溶性樹脂及び／又は染料を完全に除去するという点では、酸性染料及び／又はその誘導体を好適に使用できる場合がある。その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び／又は、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
【００８８】
前記酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有するものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
以下、酸性染料の具体例を挙げる。但し、これらに限定されるものではない。
ａｃｉｄ  ａｌｉｚａｒｉｎ  ｖｉｏｌｅｔ  Ｎ；ａｃｉｄ  ｂｌａｃｋ  １，２，２４，４８；ａｃｉｄ  ｂｌｕｅ  １，７，９，１５，１８，２３，２５，２７，２９，４０，４５，６２，７０，７４，８０，８３，８６，８７，９０，９２，１０３，１１２，１１３，１２０，１２９，１３８，１４７，１５８，１７１，１８２，１９２，２４３，３２４：１；ａｃｉｄ  ｃｈｒｏｍｅ  ｖｉｏｌｅｔ  Ｋ；ａｃｉｄ  Ｆｕｃｈｓｉｎ；ａｃｉｄ  ｇｒｅｅｎ  １，３，５，９，１６，２５，２７，５０；ａｃｉｄ  ｏｒａｎｇｅ  ６，７，８，１０，１２，５０，５１，５２，５６，６３，７４，９５；ａｃｉｄ  ｒｅｄ  １，４，８，１４，１７，１８，２６，２７，２９，３１，３４，３５，３７，４２，４４，５０，５１，５２，５７，６６，７３，８０，８７，８８，９１，９２，９４，９７，１０３，１１１，１１４，１２９，１３３，１３４，１３８，１４３，１４５，１５０，１５１，１５８，１７６，１８３，１９８，２１１，２１５，２１６，２１７，２４９，２５２，２５７，２６０，２６６，２７４；ａｃｉｄ  ｖｉｏｌｅｔ  ６Ｂ，７，９，１７，１９；ａｃｉｄ  ｙｅｌｌｏｗ  １，３，７，９，１１，１７，２３，２５，２９，３４，３６，４２，５４，７２，７３，７６，７９，９８，９９，１１１，１１２，１１４，１１６，１８４，２４３；Ｆｏｏｄ  Ｙｅｌｌｏｗ  ３；及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
【００８９】
前記酸性染料の中でも、ａｃｉｄ  ｂｌａｃｋ  ２４；ａｃｉｄ  ｂｌｕｅ  ２３，２５，２９，６２，８０，８６，８７，９２，１３８，１５８，１８２，２４３，３２４：１；ａｃｉｄ  ｏｒａｎｇｅ  ８，５１，５６，６３，７４；ａｃｉｄ  ｒｅｄ  １，４，８，３４，３７，４２，５２，５７，８０，９７，１１４，１４３，１４５，１５１，１８３，２１７；ａｃｉｄ  ｖｉｏｌｅｔ  ７；ａｃｉｄ  ｙｅｌｌｏｗ  １７，２５，２９，３４，４２，７２，７６，９９，１１１，１１２，１１４，１１６，１８４，２４３；ａｃｉｄ  ｇｒｅｅｎ  ２５等の染料及びこれらの染料の誘導体が好ましい。
また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  ４４，３８；Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ  ｏｒａｎｇｅ  ４５；Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ  Ｂ、Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ  １１０等の酸性染料及びこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
【００９０】
着色剤の光硬化性組成物中における含有量は、特に限定されるものではないが、該組成物の全固形分に対して、好ましくは３０〜６０質量％である。着色剤の含有量が前記範囲であると、適度な色度を有するカラーフィルタを得ることができ、光硬化が充分に進まず膜としての強度が低下したり、アルカリ現像の際の現像ラチチュードが狭くなることも回避できる。
【００９１】
着色剤の分散性を向上させる目的で、従来公知の分散剤や界面活性剤を添加することもできる。分散剤としては、例えば、フタロシアニン誘導体（市販品ＥＦＫＡ−７４５（エフカ社製））、ソルスパース５０００（ゼネカ（株）製）；オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮo.７５、Ｎo.９０、Ｎo.９５（共栄社油脂化学工業（株）製）、Ｗ００１（裕商社製）等のカチオン系界面活性剤；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤；Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商社製）等のアニオン系界面活性剤；ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（以上森下産業（株）製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（サンノプコ製）等の高分子分散剤；ソルスパース３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２４０００、２６０００、２８０００などの各種ソルスパース分散剤（ゼネカ（株）製）；アデカプルロニックＬ３１，Ｆ３８，Ｌ４２，Ｌ４４，Ｌ６１，Ｌ６４，Ｆ６８，Ｌ７２，Ｐ９５，Ｆ７７，Ｐ８４，Ｆ８７、Ｐ９４，Ｌ１０１，Ｐ１０３，Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３（旭電化（株）製）及びイソネットＳ−２０（三洋化成（株）製）が挙げられる。
【００９２】
−光重合開始剤及び光重合増感剤−
本発明の光硬化性組成物は、必要に応じて光重合開始剤及び／又は光重合増感剤の少なくとも一種を更に含めることができる。本発明の光硬化性組成物を構成する既述のアルカリ可溶性樹脂は光重合開始基を有するが、追加的に光硬化性組成物中に光重合性開始剤を用いることにより、より高度の硬化度が得られると共に、硬化性を所望に制御することも可能になる。また、本発明に係るアルカリ可溶性樹脂に光重合増感基を付与することも可能であるが、樹脂だけでなく、光重合増感剤を添加して構成することも可能である。光重合開始剤及び／又は光重合増感剤として機能する化合物の中にはそれぞれ単独の機能しか示さない化合物もあるが、光重合開始剤と光重合増感剤との双方の機能を示す化合物もある。
【００９３】
本発明の光硬化性組成物中に含ませることができる光重合開始剤、光重合増感剤として機能する化合物としては、例えば、特開平５７−６０９６号公報に記載のハロメチルオキサジアゾール；特公昭５９−１２８１号公報、特開昭５３−１３３４２８号公報等に記載のハロメチル−ｓ−トリアジン等活性ハロゲン化合物；米国特許ＵＳＰ−４３１８７９１、欧州特許公開ＥＰ−８８０５０Ａ等に記載のケタール、アセタール又はベンゾインアルキルエーテル類等の芳香族カルボニル化合物；米国特許ＵＳＰ−４１９９４２０に記載のベンゾフェノン類等の芳香族ケトン化合物；Ｆｒ−２４５６７４１に記載の（チオ）キサントン類又はアクリジン類化合物；特開平１０−６２９８６号公報に記載のクマリン類又はロフィンダイマー類等の化合物；特開平８−０１５５２１号公報等のスルホニウム有機硼素錯体等；等を用いることができる。
【００９４】
中でも、好適な化合物としては、アセトフェノン系化合物、ケタール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾイル系化合物、キサントン系化合物、トリアジン系化合物、ハロメチルオキサジアゾール系化合物、アクリジン類系化合物、クマリン類系化合物、ロフィンダイマー類系化合物、ビイミダゾール系化合物等が挙げられる。
【００９５】
前記アセトフェノン系化合物としては、例えば、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、４’−イソプロピル−２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオフェノンなどが挙げられる。
【００９６】
前記ケタール系化合物としては、例えば、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタールなどが挙げられる。
【００９７】
前記ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、４，４’−（ビスジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−（ビスジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ジクロロベンゾフェノン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−トリル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパノン−１などが挙げられる。
【００９８】
前記ベンゾイン系化合物、前記ベンゾイル系化合物としては、例えば、ベンゾインイソプロピルエーテル、ゼンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルｏ−ベンゾイルベゾエートなどが挙げられる。
【００９９】
前記キサントン系化合物としては、例えば、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、モノイソプロピルチオキサントン、クロロチオキサントンなどが挙げられる。
【０１００】
前記トリアジン系化合物としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル）−１，３−ブタジエニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ビフェニル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（ｐ−メチルビフェニル）−ｓ−トリアジン、ｐ−ヒドロキシエトキシスチリル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、メトキシスチリル−２，６−ジ（トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、３，４−ジメトキシスチリル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−ベンズオキソラン−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−（ジエトキシカルボニルアミノ）−フェニル）−２，６−ジ（クロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ，Ｎ−（ジエトキシカルボニルアミノ）−フェニル）−２，６−ジ（クロロメチル）−ｓ−トリアジンなどが挙げられる。
【０１０１】
前記ハロメチルオキサジアゾール系化合物としては、例えば、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（シアノスチリル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ナフト−１−イル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−スチリル）スチリル−１，３，４−オキソジアゾールなどが挙げられる。
【０１０２】
前記アクリジン類系化合物としては、例えば、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタンなどが挙げられる。
【０１０３】
前記クマリン類系化合物としては、例えば、３−メチル−５−アミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−クロロ−５−ジエチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−ブチル−５−ジメチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリンなどが挙げられる。
【０１０４】
前記ロフィンダイマー類系化合物としては、例えば、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体などが挙げられる。
【０１０５】
前記ビイミダゾール系化合物としては、例えば、２−メルカプトベンズイミダゾール、２，２’−ベンゾチアゾリルジサルファイドなどが挙げられる。
【０１０６】
上記以外に、１−フェニル−１，２−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、Ｏ−ベンゾイル−４’−（ベンズメルカプト）ベンゾイル−ヘキシル−ケトキシム、２，４，６−トリメチルフェニルカルボニル−ジフェニルフォスフォニルオキサイド、ヘキサフルオロフォスフォロ−トリアルキルフェニルホスホニウム塩等が挙げられる。
【０１０７】
その他、光重合開始剤及び光重合増感剤としては、公知の化合物も使用できる。例えば、米国特許第２，３６７，６６０号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３６７，６６１号及び第２，３６７，６７０号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に開示されている、α−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３，０４６，１２７号及び第２，９５１，７５８号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物／トリハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物等が挙げられる。
以上に挙げた光重合開始剤を併用することもできる。
【０１０８】
光重合開始剤及び／又は光重合増感剤を含有する場合の光硬化性組成物中における含有量としては、その合計量として、光硬化性組成物の全固形分に対して、０．１〜１０．０質量％が好ましく、より好ましくは０．５〜５．０質量％である。含有量が前記範囲内であると、重合硬化を良好に行なえ、高度の膜強度を得ることができる。
【０１０９】
−溶剤−
本発明の光硬化性組成物を調製する際には溶剤を使用することができる。
前記溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチルなどの３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル；２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピルなどの２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル；ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等；エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等；ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレシ、等が挙げられる。
【０１１０】
これらのうち、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等が好適である。
溶剤は、単独で用いる以外に２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１１１】
−その他成分−
本発明の光硬化性組成物には、必要に応じてフッ素系有機化合物、熱重合防止剤、その他充填剤、前記アルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物、上記以外の界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などの各種添加物を含有することかできる。
【０１１２】
−フッ素系有機化合物−
本発明の光硬化性組成物には、フッ素系有機化合物の少なくとも一種を含有することで、塗布液としての液特性（特に流動性）を改善でき、塗布厚の均一性や省液性を改善することができる。すなわち、基板と塗布液との界面張力を低下させて基板への濡れ性が改善され、基板への塗布性が向上するので、少量の液量で数μｍ程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一な膜厚の塗布膜を得ることができる点で好ましい。
フッ素系有機化合物のフッ素含有率は３〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素系有機化合物のフッ素含有率が前記範囲であると、塗布厚均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中への溶解性も良好である。
【０１１３】
フッ素系有機化合物としては、例えば、メガファックＦ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１４１、同Ｆ１４２、同Ｆ１４３、同Ｆ１４４、同Ｒ３０、同Ｆ４３７（以上、大日本インキ化学工業（株）製）、フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１、同ＦＣ１７１(以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ１０６８、同ＳＣ−３８１、同ＳＣ−３８３、同Ｓ３９３、同ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）等が挙げられる。
【０１１４】
フッ素系有機化合物は特に、塗布膜が薄くなると、塗布ムラや厚みムラ、更には塗布面で液切れを起こしやすいスリット塗布において効果的である。
【０１１５】
フッ素系有機化合物の添加量としては、光硬化性組成物の溶液全量に対して、好ましくは０．００１〜２．０質量％であり、より好ましくは０．００５〜１．０質量％である。
【０１１６】
−熱重合防止剤−
以上のほか、光硬化性組成物には、熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４′−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２'−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【０１１７】
また、上記以外の添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤；イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの、アルコール可溶性ナイロン、ビスフェノールＡとエピクロルヒドリンとから形成されたフェノキシ樹脂などのアルカリ可溶の樹脂；ノニオン系、カチン系、アニオン系等の界面活性剤、具体的にはフタロシアニン誘導体（市販品ＥＦＫＡ−７４５（森下産業社製））；オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業社製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮo.７５、Ｎo.９０、Ｎo.９５（共栄社油脂化学工業社製）、Ｗ００１（裕商社製）等のカチオン系界面活性剤；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル（ＢＡＳＦ社製  プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１等のノニオン系界面活性剤；Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商社製）等のアニオン系界面活性剤；ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（以上森下産業社製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（サンノプコ社製）等の高分子分散剤；ソルスパース３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２４０００、２６０００、２８０００などの各種ソルスパース分散剤（ゼネカ社製）；アデカプルロニックＬ３１，Ｆ３８，Ｌ４２，Ｌ４４，Ｌ６１，Ｌ６４，Ｆ６８，Ｌ７２，Ｐ９５，Ｆ７７，Ｐ８４，Ｆ８７、Ｐ９４，Ｌ１０１，Ｐ１０３，Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３（旭電化社製）及びイソネットＳ−２０（三洋化成社製）；２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【０１１８】
また、光未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、現像性の更なる向上を図る場合には、有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸を添加することが有効である。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０１１９】
本発明の光硬化性組成物は、既述した本発明に係るアルカリ可溶性樹脂、重合性化合物、並びに必要に応じて着色剤、光重合開始剤及びその他成分を溶剤と共に混合し、各種の混合機、分散機を用いて分散混合する工程を経ることによって調製することができる。
なお、分散混合する工程は、混練分散とそれに続けて行なう微分散処理とで構成されるのが好ましいが、混練分散を省略して微分散処理のみとすることも可能である。
【０１２０】
本発明の光硬化性組成物の主な用途としては、電子部品の保護膜（オーバーコート層）や、ビルドアップ基板の絶縁材料、特にＬＣＤ用途、ＴＦＴの層間絶縁膜用途、ＣＯＡの保護膜（平坦化膜）用途、スペーサ用途に好適であり、また、プリント基板に関連したソルダーレジストとしても用いることができる。更に、着色剤を含有する場合は、カラーフィルタ材料として前記種々の耐性を発揮し得るため、特開平９−３１１３４７号公報の図１などに開示されている、いわゆるＣＯＡ用として有用であり、カラーフィルタ、すなわち着色された樹脂被膜で構成された着色画素として好適に用いることができる。特に着色剤含有率の高い場合に有効である。
【０１２１】
本発明のカラーフィルタは、着色剤を含む前記本発明の光硬化性組成物を用いて構成されたものであり、フォトリソグラフィー法により基板上に好適に形成できる。
本発明の光硬化性組成物は、その硬化物（カラーフィルタ、並びにフォトスペーサや平坦化膜、層間絶縁膜、樹脂被膜を含む。）が透明性に優れると共に、高感度を有し、（着色剤含有率の高い組成の場合でも）高硬度で先鋭な硬化膜を短いタクトタイムで形成し得、アルカリ水溶液による現像特性も高いことから、種々用途への展開が可能である。
【０１２２】
本発明の光硬化性組成物においては、着色剤を含有する場合、好ましくは着色剤をアルカリ可溶性樹脂で混練分散処理した後の粘度が比較的高粘度（１０，０００ｍＰａ・ｓ以上、好ましくは１００，０００ｍＰａ・ｓ以上）になるように混練分散処理し、次いで本発明に係るアルカリ可溶性樹脂を添加して微分散処理し、微分酸処理後の粘度が比較的低粘度（１,０００ｍＰａ・ｓ以下、好ましくは１００ｍＰａ・ｓ以下）になるように微分散処理する。
【０１２３】
混練分散処理では、二本ロール、三本ロール、ボールミル、トロンミル、ディスパー、ニーダー、コニーダー、ホモジナイザー、ブレンダー、単軸及び２軸の押出機等を用いるのが好適であり、強い剪断力を与えながら分散する。次いで、溶剤及び本発明に係るアルカリ可溶性樹脂を加えて、主として縦型若しくは横型のサンドグラインダー、ピンミル、スリットミル、超音波分散機等を用いて、ビーズ（粒径０．１〜１ｍｍのガラス、ジルコニア等）で微分散処理する。ここで、混練分散処理を省くこともできる。その場合は、着色剤と分散剤もしくは表面処理剤と、本発明に係るアルカリ可溶性樹脂及び溶剤でビーズ分散を行なう。なお、混練、分散の詳細については、T.C. Patton著"Paint Flow and Pigment Dispersion"（1964年 John Wiley and Sons社刊）等に記載されている。
【０１２４】
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の光硬化性組成物を基板上に塗布後、フォトリソグラフィー法により像形成してカラーフィルタを作製する。
フォトリソグラフィー法による場合、本発明の光硬化性組成物を、直接又は他の層を介して基板に回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法（好ましくはスリットコーターを用いたスリット塗布）により塗布し、乾燥（プリベーク）させて光硬化性組成物の塗布膜を形成し、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させ、アルカリ現像液で未硬化部を現像処理して除去することによって、２色以上の各色（例えば３色あるいは４色）の画素からなるパターン状皮膜を形成し、カラーフィルタを得ることができる。この際に照射される放射線としては、特にｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。
【０１２５】
基板上に塗設された本発明の光硬化性組成物からなる塗布膜の乾燥（プリベーク）は、ホットプレート、オーブン等を用い、５０〜１４０℃の温度にて１０〜３００秒で行なうことができる。
【０１２６】
現像処理は、未露光部をアルカリ水溶液に溶出させ、光硬化した部分だけが残る。アルカリ現像液としては、未露光部の光硬化性組成物の塗布膜を溶解する一方、露光部を溶解しないものであればいかなるものも用いることができる。現像温度としては、通常２０℃〜３０℃であり、現像時間としては２０〜９０秒である。
また、現像処理後には一般に、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施した後、５０〜２４０℃の温度で加熱処理（ポストベーク）が行なわれる。
【０１２７】
以上のような工程を、各色毎に順次所望の色相分繰り返し行なうことにより、プロセス上の困難性が少なく、高品質で低コストに硬化膜が得られ、着色剤を含む場合にはカラーフィルタが得られる。
【０１２８】
基板としては、例えば液晶表示素子（ＬＣＤ）等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス、及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子（ＣＣＤなどのイメージセンサ）等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等が挙げられる。さらに、プラスチック基板も可能である。これらの基板上には、通常、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている。
また、前記プラスチック基板には、その表面にガスバリヤー層及び／又は耐溶剤性層を有していることが好ましい。
【０１２９】
本発明の光硬化性組成物を基板上に塗布する場合の塗膜の塗布厚み（乾燥膜厚）としては、一般に０．３〜５．０μｍが好適であり、望ましくは０．５〜３．５μｍ、最も望ましくは１．０〜２．５μｍである。
【０１３０】
前記アルカリ現像液としては、上記のように本発明の光硬化性組成物の未硬化部を溶解する一方、硬化部を溶解しない組成のものであれば選択することができ、具体的には、種々の有機溶剤の組合せやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
前記有機溶剤としては、本発明の光硬化性組成物の調製に用いることができる既述の溶剤が挙げられる。
【０１３１】
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−［５，４，０］−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解して調製したアルカリ性水溶液を使用できる。なお、アルカリ現像液を用いた場合は一般に、現像処理後に水での洗浄（リンス）が行なわれる。
【０１３２】
前記ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像処理後の加熱であり、通常約２００〜２２０℃の加熱（ハードベーク）が行なわれる。ポストベークは、現像処理後の塗布膜に対して、前記条件となるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式にて行なうことができる。
【実施例】
【０１３３】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
【０１３４】
−アルカリ可溶性樹脂の合成−
（１）共重合体Ｂ−１（光重合開始基含有）の合成
ベンジルメタクリレート６４．４部、メタクリル酸４．５部、及び１−アクリロイル−２−（ｐ−クロルベンゾイル）フェニルカルバモイルエタン３１．１部を反応容器に入れ、これに更にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１００部及びアゾビスイソブチロニトリル５部を加えて均一に溶解させた溶液を、９５℃下で５時間かけて重合反応を行なわせ、共重合体Ｂ−１の溶液を得た。
得られた溶液は、固形分が４９．２％であり、粘度が１１２１ｍＰａ（２５℃）であった。また、共重合体Ｂ−１の酸価は２８．６ｍｇＫＯＨ／ｇであり、重量平均分子量が１０，０００であり、分子中における光重合開始基の含有比率は１２．１ｍｏｌ％であった。
【０１３５】
（２）共重合体Ｂ−２（光重合開始基及びアクリルアルキルアミド基含有）の合成
ベンジルメタクリレート５６．３部、メタクリル酸４．１部、１−アクリロイル−２−（ｐ−クロルベンゾイル）フェニルカルバモイルエタン３８．２部、及びＮ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド１．４部を反応容器に入れ、これに更にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１００部及びアゾビスイソブチロニトリル５部を加えて均一に溶解させた溶液を、９５℃下で５時間かけて重合反応を行なわせ、共重合体Ｂ−２の溶液を得た。
得られた溶液は、固形分が４９．４％であり、粘度が１２０１ｍＰａ（２５℃）であった。また、共重合体Ｂ−２の酸価は１５．１ｍｇＫＯＨ／ｇであり、重量平均分子量は１０，４００であり、分子中における光重合開始基の含有比率は１５．４ｍｏｌ％であり、分子中における光重合増感基の含有比率は２．１ｍｏｌ％であった。
【０１３６】
（３）共重合体Ｂ−３（光重合開始基含有）の合成
前記（１）共重合体Ｂ−１の合成において、重合反応を行なう時間を５時間から２．５時間に変更したこと以外、同様にして共重合体Ｂ−３の溶液を得た。
得られた溶液は、固形分が４９．５％であり、粘度が３５８ｍＰａ（２５℃）であった。また、共重合体Ｂ−３の酸価は２８．０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、重量平均分子量は３，５００であり、分子中における光重合開始基の含有比率は１２．１ｍｏｌ％であった。
【０１３７】
−顔料分散液の調製−
（１）顔料分散液Ｐ−１の調製
下記組成の化合物を混合して得た混合液を、平均粒子径０．３ｍｍのジルコニアビーズを用いてビーズ分散機により分散させて顔料分散液Ｐ−１を調製した。
・前記共重合体Ｂ−１                                  …２７．６部
・Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン  ３６                  …３０．０部
・Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１                          …  ３．３部
（ビックケミー（株）製；分散剤）
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …６９．４部
【０１３８】
（２）顔料分散液Ｐ−２の調製
下記組成の化合物を混合して得た混合液を、平均粒子径０．３ｍｍのジルコニアビーズを用いてビーズ分散機により分散させて顔料分散液Ｐ−２を調製した。
・前記共重合体Ｂ−２                                  …  ５４．０部
・Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン  ３６                  …  ６０．０部
・Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１                          …    ６．５部
（ビックケミー（株）製；分散剤）
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …１４５．７部
【０１３９】
（３）顔料分散液Ｐ−３の調製
下記組成の化合物を混合して得た混合液を、平均粒子径０．３ｍｍのジルコニアビーズを用いてビーズ分散機により分散させて顔料分散液Ｐ−３を調製した。
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体        …  ２２．２部
（＝９０／１０[モル比]）
・Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン  ３６                  …  ５０．０部
・Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１                          …    ５．０部
（ビックケミー（株）製；分散剤）
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …１４３．４部
【０１４０】
（４）顔料分散液Ｐ−４の調製
下記組成の化合物を混合して得た混合液を、平均粒子径０．３ｍｍのジルコニアビーズを用いてビーズ分散機により分散させて顔料分散液Ｐ−４を調製した。
・前記共重合体Ｂ−１                                  …  ２７．６部
・Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー  １３８                …  ３０．０部
・Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１                          …    ３．３部
（ビックケミー（株）製；分散剤）
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …  ６９．４部
【０１４１】
（５）顔料分散液Ｐ−５の調製
前記（１）顔料分散液Ｐ−１の調製において、共重合体Ｂ−１を光重合開始基を有する下記共重合体Ｂ−４に代えたこと以外は同様にして、顔料分散液Ｐ−５を調製した。
共重合体Ｂ−４：スチレン４０部とベンジルメタクリレート３０部とメタクリル酸１０部と２−（４−クロロベンゾイル）−２−（４−スチリルオキシ）プロパン２０部とを共重合して得た化合物（酸価：６５．２ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量：９８００）。共重合体Ｂ−４の分子中における光重合開始基の含有比率は、６．８ｍｏｌ％であった。
【０１４２】
（６）顔料分散液Ｐ−６の調製
前記（１）顔料分散液Ｐ−１の調製において、共重合体Ｂ−１を光重合開始基を有する下記共重合体Ｂ−５に代えたこと以外は同様にして、顔料分散液Ｐ−６を調製した。
共重合体Ｂ−５：ベンジルメタクリレート５５部とスチレン２０部とアクリル酸５部と１−スチリル−２−Ｏ−ベンゾイルオキシム２０部とを共重合して得た化合物（酸価：３９．４ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量：１１０００）。共重合体Ｂ−５の分子中における光重合開始基の含有比率は、６．２ｍｏｌ％であった。
【０１４３】
（７）顔料分散液Ｐ−７の調製
前記（１）顔料分散液Ｐ−１の調製において、共重合体Ｂ−１を光重合開始基及び光重合増感基を有する下記共重合体Ｂ−６に代えたこと以外は同様にして、顔料分散液Ｐ−７を調製した。
共重合体Ｂ−６：ベンジルメタクリレート５０部とスチレン１５部とアクリル酸５部と１−スチリル−２−Ｏ−ベンゾイルオキシム２５部と１−（アクリロイロキシカルバモイル）チオキサントン５部とを共重合して得た化合物（酸価：３９．６ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量：１２０００）。共重合体Ｂ−６の分子中における、光重合開始基の含有比率は８．２ｍｏｌ％であり、光重合増感基の含有比率は１．６ｍｏｌ％であった。
【０１４４】
（８）顔料分散液Ｐ−８の調製
前記（１）顔料分散液Ｐ−１の調製において、共重合体Ｂ−１を前記共重合体Ｂ−３に代えたこと以外は同様にして、顔料分散液Ｐ−８を調製した。
【０１４５】
（９）顔料分散液Ｐ−９の調製
前記（４）顔料分散液Ｐ−４の調製において、共重合体Ｂ−１を前記共重合体Ｂ−３に代えたこと以外は同様にして、顔料分散液Ｐ−９を調製した。
【０１４６】
（実施例１）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−１を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−１                                …１５６．４部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  ２５．０部
・イルガキュア３６９                                  …    ３．６部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・前記共重合体Ｂ−１                                  …  １６．６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …２５６．８部
【０１４７】
（実施例２）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−２を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−１                                …１７５．０部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  ２８．０部
・イルガキュア３６９                                  …    ４．０部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・前記共重合体Ｂ−２                                  …  １８．６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …２８７．６部
【０１４８】
（実施例３）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−３を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−１                                …５０．０部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  ８．０部
・イルガキュア３６９                                  …  １．２部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体        …  ２．６部
（＝９０／１０[モル比]）
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …８４．９部
【０１４９】
（実施例４）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−４を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−２                                …２１０．０部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  ４２．０部
・イルガキュア３６９                                  …    ６．３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・前記共重合体Ｂ−２                                  …  ２８．０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …４３１．３部
【０１５０】
（実施例５）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−５を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−３                                …２５０．０部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  ４０．０部
・イルガキュア３６９                                  …    ５．４部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・前記共重合体Ｂ−１                                  …  ２７．０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …４１２．０部
【０１５１】
（実施例６）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−６を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−３                                …１８５．０部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  ２９．６部
・イルガキュア３６９                                  …    ４．０部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・前記共重合体Ｂ−２                                  …  ２０．０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …３０５．０部
【０１５２】
（比較例１）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された比較の光硬化性組成物ＣＲ−７を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−３                                …１００．０部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  １６．０部
・イルガキュア３６９                                  …    ２．５部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体        …    ５．４部
（＝９０／１０[モル比]）
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …１６８．５部
【０１５３】
（実施例７）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−８を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−１                                …  ８２．３部
・前記顔料分散液Ｐ−４                                …  ７４．１部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  ２５．０部
・イルガキュア３６９                                  …    ３．６部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・前記共重合体Ｂ−１                                  …  １６．６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …２５６．８部
【０１５４】
（実施例８）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−９を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−１                                …１５６．４部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  ２５．０部
・前記共重合体Ｂ−１                                  …  １６．６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …２５６．８部
【０１５５】
（比較例２）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−１０を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−３                                …１００．０部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  １６．０部
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体        …    ５．４部
（＝９０／１０[モル比]）
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …１６８．５部
【０１５６】
（実施例９）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−１１を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−１                                …１５６．４部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  ２５．０部
・イルガキュア３６９                                  …    ３．６部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・ジエチルチオキサントン                              …    １．２部
（ＤＥＴＸ、日本化薬（株）製；増感剤）
・前記共重合体Ｂ−１                                  …  １６．６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …２５６．８部
【０１５７】
（実施例１０）
実施例１において、顔料分散液Ｐ−１を顔料分散液Ｐ−５に代えたこと以外、実施例１と同様にして、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−１２を調製した。
【０１５８】
（実施例１１）
実施例１において、顔料分散液Ｐ−１を顔料分散液Ｐ−６に代えたこと以外、実施例１と同様にして、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−１３を調製した。
【０１５９】
（実施例１２）
実施例１において、顔料分散液Ｐ−１を顔料分散液Ｐ−７に代えたこと以外、実施例１と同様にして、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−１４を調製した。
【０１６０】
（実施例１３）
下記組成の化合物を混合して攪拌し、均一で緑色に着色された本発明の光硬化性組成物ＣＲ−１５を調製した。
・前記顔料分散液Ｐ−８                                …  ８２．３部
・前記顔料分散液Ｐ−９                                …  ７４．１部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            …  ２５．０部
・イルガキュア３６９                                  …    ３．６部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
・前記共重合体Ｂ−３                                  …  １６．６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    …１５６．８部
・３−エトキシエチルプロピオネート                    …１００部
【０１６１】
（画素形成及び評価）
各実施例及び比較例で得られた光硬化性組成物について、下記のようにして画素を形成すると共に、画素の欠けや剥れ、画素表面の平滑性、並びに画素の断面形状を評価した。
【０１６２】
光硬化性組成物の各々を、それぞれカラーフィルタ作製用のガラス基板上にスピンコーターにより塗布し、その後１００℃のホットプレート上にガラス基板が接するようにして載置して２分間乾燥させ、膜厚２．０μｍの緑色膜を形成した。次いで、各緑色膜に対して、２．５ｋＷの超高圧水銀灯により所定のパターンが描かれてあるマスクを通して、２５mJ/cm2、５０mJ/cm2、７５mJ/cm2、１００mJ/cm2、及び１５０mJ/cm2、２００mJ/cm2の露光量で照射した。照射後、現像液ＣＤ（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１０％希釈液を用いて、３０℃で４０秒間現像処理を行ない、続いて純水でリンスして緑色画素を得た。その後、２２０℃にてポストベークを行なった。
【０１６３】
次に、得られた緑色画素の各々について、下記方法により測定・評価を行なった。測定及び評価した結果は下記表１〜３に示す。
−１．画素の欠け及び剥れの評価−
現像処理及びリンス後の各緑色画素を顕微鏡により観察し、評価した。
【０１６４】
−２．画素の表面平滑性の評価−
ガラス基板上の緑色画素の表面を、原子間力顕微鏡ＡＦＭ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ（株）製）を用いて測定し、得られた測定値（Å）を指標にして平滑性の評価を行なった。
測定値は、５０Å以下であると平滑性が良好であることを示す。
【０１６５】
−３．画素の断面形状（パターンプロファイル）の評価−
まず、測長ＳＥＭ（Ｓ−７８００Ｈ、日立製作所（株）製）により上記の緑色画素の形成過程において、ポストベーク前の画素パターンの幅を測定し、パターンマスク幅と同じ幅（ここでは２μｍ幅）になるパターンを選択した。次に、選択した該パターンについて、現像処理後、及びポストベーク後のパターンについてそれぞれ１つのパターンの断面が観察できるように分割して試料を作製し、ＳＥＭ（Ｓ−７８００Ｈ、日立製作所（株）製）を用いて形状を観察、写真撮影をした。その結果、断面は全て順テーパーであった。すなわち、基板に近いほど広がった形状であった。
【０１６６】
【表１】
2007047756.tif 000012
【０１６７】
【表２】
2007047756.tif 000013
【０１６８】
【表３】
2007047756.tif 000014
【０１６９】
前記表１〜３に示すように、実施例では、現像処理による画素の一部欠けや剥れの発生がなく、良好な断面形状を有すると共に形状良好で表面平滑なカラーフィルタを得ることができた。また、非画像部である未硬化部は、未溶解物や現像残渣がなく、良好な現像性を示した。
これに対し、比較例では、画素欠けや剥れがなく形状良好な画素を得ることができず、作製されたカラーフィルタは表面性状及び断面パターンファイルに劣っていた。
【０１７０】
なお、上記の実施例で用いたアルカリ可溶性樹脂以外に、例えば式（１）〜（３）、式（４）〜（６）で表される基を有する樹脂など、既述の他の本発明に係るアルカリ可溶性樹脂を用いて構成した場合も本実施例と同様の作用を発揮し得、上記同様の効果を得ることが可能である。