(57)【要約】      （修正有）【課題】測定対象に１組のパッドに１組のプローブを接触させて、パルス波形のような信号波形の入出力によって測定対象の電気抵抗を求める。【解決手段】信号波形が伝搬する信号線路２，３，７と、電気抵抗を測定すべき測定対象５に、信号線路３を伝搬した信号波形を入力する入力部６と、信号波形と測定対象からの反射信号とを信号線路２，３，７上で分岐する分岐部８と、分岐された反射信号を測定する測定部４と、測定された反射信号の振幅から測定対象の電気抵抗を決定する決定部１１と、を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号波形が伝搬する信号線路と、
電気抵抗を測定すべき測定対象に、前記信号線路を伝搬した信号波形を入力する入力部と、
前記信号波形と前記測定対象からの反射信号とを前記信号線路上で分岐する分岐部と、
前記分岐された反射信号を測定する測定部と、
前記測定された反射信号の振幅から前記測定対象の電気抵抗を決定する決定部と、を備える抵抗測定装置。
【請求項２】
前記入力される信号波形の信号振幅が所定の値である場合における前記反射信号の振幅と前記電気抵抗の値との対応関係を記録する対応関係記憶部をさらに備え、
前記決定部は、前記測定された反射信号の振幅に対応する前記電気抵抗の値を前記対応関係から求める請求項１に記載の抵抗測定装置。
【請求項３】
前記測定部の測定精度と前記対応関係とによって算出される前記電気抵抗の測定精度が所定の許容範囲にない場合に、前記測定部による測定と前記決定部による電気抵抗の決定とを複数回実行させることにより電気抵抗の変動分を算出し、前記電気抵抗の変動分が所定の許容範囲となったときに、前記電気抵抗を決定する制御部をさらに備える請求項１または２に記載の抵抗測定装置。
【請求項４】
信号波形が伝搬する信号線路と前記信号線路上で信号波形を分岐する分岐部とを用いた電気抵抗の測定方法であり、
電気抵抗を測定すべき測定対象に、前記信号線路を伝搬した信号波形を入力する入力ステップと、
前記分岐部で分岐された反射信号を測定する測定ステップと、
前記測定された反射信号の振幅から前記測定対象の電気抵抗を決定する決定ステップと、を備える電気抵抗の測定方法。
【請求項５】
前記測定対象として電気抵抗の値が既知である基準抵抗を用いて、前記入力される信号波形の信号振幅が所定の値である場合における前記反射信号の振幅と前記電気抵抗の値との関係を記録するステップをさらに備える請求項４に記載の電気抵抗の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細なデバイスの検査技術に係り、特にそのようなデバイスに信号波形を入力して電気抵抗を測定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、各種デバイス、素子の電気抵抗をパルス波形のような信号波形の入出力によって求める場合、２組のプローブを用いていた。その場合、１組プローブにより、電圧波形を入力し、さらに１組のプローブによりその電圧波形を観測していた。そして、観測された電圧からデバイスの抵抗を算出していた。したがって、このようなデバイスには、電圧波形入力用の１組のパッドと、電圧波形観測用のさらに１組のパッドが設けられていた。
【０００３】
図８に、従来の技術によるデバイスの電気抵抗を測定するシステムの構成を示す。このシステムは、電圧印加手段５１から出力された信号を５０オームの同軸ケーブル５２およびプローブ５６Ａを介してデバイス５５の１組のパッドにコンタクトする。一方、デバイス５５のもう１組のパッドに接触させたプローブ５６Ｂから５０オームの同軸ケーブル５３を介してオシロスコープ５４に、検出信号が供給される。
【０００４】
電圧波形印加手段５１で出力された信号６１は、そのままデバイス５５に印加される（信号６２）。また、プローブ５６Ｂを通じて観測される信号６３は、デバイス５５が並列に挿入された回路を通過した電圧波形としてオシロスコープ５４で観測される（信号６３）。
【０００５】
この場合、デバイス印加手段５１の出力電圧Ｖａ、デバイス５５の両端の電圧Ｖｄ、デバイスの抵抗Ｚｔ、同軸ケーブルのインピーダンスＺ０およびオシロスコープＺｉの入力インピーダンスをＺ０＝Ｚｉ＝５０オームとすると、デバイスの抵抗は、以下の（式１）で与えられる。
【０００６】
Ｚｔ＝ＶｄＺ０／（Ｖａ−Ｖｄ）；（式１）
ここで、印加電圧Ｖａが既知であるので、オシロスコープ５４で観測される電圧Ｖｄによりデバイスの抵抗値Ｚｔが算出される。
【特許文献１】実開平５−４０４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、デバイス５５のパッド（電極）は、微細であるため、２組のプローブ５６Ａ、５６Ｂを接触させることが困難となる。このため、デバイス５５の抵抗を測定するための専用のパッドを２組設ける必要がある。また、２組のパッドに接触させる２組のプローブが必要となる。
【０００８】
本発明の目的は、このような専用の２組のパッド、あるいは、２組のプローブを用いることなく、デバイス、素子等測定対象に１組のパッドに１組のプローブを接触させて、パルス波形のような信号波形の入出力によって測定対象の電気抵抗を求める技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は前記課題を解決するために、以下の手段を採用した。すなわち、本発明は、信
号波形が伝搬する信号線路と、電気抵抗を測定すべき測定対象に、前記信号線路を伝搬した信号波形を入力する入力部と、前記信号波形と前記測定対象からの反射信号とを前記信号線路上で分岐する分岐部と、前記分岐された反射信号を測定する測定部と、前記測定された反射信号の振幅から前記測定対象の電気抵抗を決定する決定部と、を備える抵抗測定装置である。
【００１０】
また、本発明は、信号波形が伝搬する信号線路と前記信号線路上で信号波形を分岐する分岐部とを用いた電気抵抗の測定方法であり、電気抵抗を測定すべき測定対象に、前記信号線路を伝搬した信号波形を入力する入力ステップと、前記分岐部で分岐された反射信号を測定する測定ステップと、前記測定された反射信号の振幅から前記測定対象の電気抵抗を決定する決定ステップと、を備える電気抵抗の測定方法であってもよい。
【００１１】
本発明によれば、信号波形と前記測定対象からの反射信号とを前記信号線路上で分岐させ、分岐された反射信号を測定するので、従来のように、信号波形を入力するための入力手段と別個に、測定対象からの信号を検出する手段を測定対象に接触させる必要がない。
【００１２】
前記測定対象として電気抵抗の値が既知である基準抵抗を用いて、前記入力される信号波形の信号振幅が所定の値である場合における前記反射信号の振幅と前記電気抵抗の値との関係を記録するステップをさらに備えるようにしてもよい。本発明によれば、電気抵抗の値が既知である基準抵抗を用いて、反射信号の振幅と前記電気抵抗の値との関係を求めるので、測定対象からの反射信号の振幅が分かればその測定対象の電気抵抗を測定できる。
【００１３】
前記基準抵抗を用いた場合の前記反射信号の振幅と前記電気抵抗の値との関係から、基準抵抗以外の測定対象に信号波形が入力されたときの反射信号の振幅とその測定対象の電気抵抗の値との関係を補完により求めるステップをさらに備えるようにしてもよい。本発明によれば、少ない数の基準抵抗によって、反射信号の振幅と電気抵抗の値との関係が得られた場合でも、補間によってさらに細かい値にて、反射信号の振幅と電気抵抗の値との関係を得ることができる。
【００１４】
前記信号波形がパルス波形であり、前記測定ステップは、前記信号波形が前記分岐部から前記測定対象に至るまでの伝搬時間と前記反射信号が前記測定対象から前記分岐部に至るまでの伝搬時間とによる遅延時間が前記パルス幅よりも大きい場合に、前記入力信号と前記反射信号とを分離して、信号波形と反射信号それぞれの信号振幅を測定するステップと、前記遅延時間が前記パルス幅よりも小さい場合に、前記信号波形と前記反射信号とを重ね合わせた重畳信号にて信号振幅を測定するとともに重畳信号中の信号振幅の変化から前記反射信号振幅を求めるステップと、を有するものでもよい。本発明によれば、入力信号と反射信号とを分離して観測される場合と、重畳して観測される場合とのいずれにおいても、反射信号振幅を求めることができる。
【００１５】
本発明は、前記測定ステップでの測定精度と前記対応関係によって算出される前記電気抵抗の測定精度とが所定の許容範囲にない場合に、前記測定ステップと前記決定ステップとを複数回実行させることにより電気抵抗の変動分を算出し、前記電気抵抗の変動分が所定の許容範囲となったときに、前記電気抵抗を決定するステップをさらに備えるものでもよい。本発明によれば、電気抵抗の測定精度とが所定の許容範囲にない場合に、測定ステップを複数回繰り返すことにより測定精度を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、１組のパッドに１組のプローブを接触させて、パルス波形のような信号波形の入出力によってデバイス、素子等の電気抵抗を求めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態（以下、実施形態という）を説明する。以下の実施形態の構成は例示であり、本発明は実施形態の構成には限定されない。
【００１８】
《発明の骨子》
図１１に示した電圧印加手段５１からデバイス５５に至る伝送線路を分配手段によって電気的に整合のとれた状態で分岐させる。分岐した伝送線路の一方を測定対象のデバイスに接続させる。また、分岐した伝送線路の他方を波形観測手段に接続する。この場合に、電圧観測手段では、電圧印加手段５１から分配手段を介して直接到達する波形と、デバイス５５で一旦反射された後、分配手段を介して到達する波形とが観測される。
【００１９】
この場合に、測定対象として標準抵抗を用いて、観測される反射電圧波形の振幅と標準抵抗の抵抗値との関係を事前に求めておく。そして、実際の測定対象であるデバイス５５について、電圧観測手段で観測された反射電圧波形の振幅からデバイス５５の抵抗を求める。
【００２０】
このような構成と手順により、デバイス５５に設けた１組のパッドと、システムに設けた１組のプローブとによりデバイス５５の電気抵抗が求められる。
【００２１】
ゆえに、専用のパッド、複数のプローブが不要になる。基本的には、デバイス５５にプローブを接触させ、そのときの反射波形振幅をオシロスコープ等で測定することで、デバイス５５の抵抗値の評価が可能となり、デバイス開発期間を短縮できる。
【００２２】
《第１実施形態》
図１から図４、および図７の図面により、本発明の第１実施形態に係る電気抵抗測定方法を説明する。
【００２３】
図１に、本実施形態の電気抵抗測定方法を適用するシステムの構成を示す。このシステムでは、電圧印加手段１の出力信号が、同軸ケーブル２を介して分配手段８の第１のポートに接続されている。分配手段８の第２のポートは、５０オームの同軸ケーブル７を介してオシロスコープ４に接続される。このときオシロスコープ４の入力インピーダンスとしては５０オームが選択される。
【００２４】
さらに分配手段８の第３のポートに５０オームの同軸ケーブル３を介して入力インピーダンスが５０オームのプローブ６を接続する。この５０オームのプローブ６がデバイス５の測定パッドに接触する。
【００２５】
ここで、分配手段８は、３つのポートを有し、どのポートから見てもインピーダンスが５０オームとなる機能を有するものである。電圧印加手段１は、ファンクションジェネレータや任意波形発生器など、デバイス５に所定の信号を印加することができる波形発生器である。オシロスコープ４は、印加波形やデバイス５からの反射波形を観測したり計測したりすることができる装置である。
【００２６】
次に信号の流れについて説明する（破線で図示している）。電圧印加手段１から発生された信号１０１は、５０オームの同軸ケーブル２を通り分配手段８の第１のポートに入力される。ここで、信号１０１の１／２のパワーはオシロスコープ４の側に（信号１０２で図示）、信号１０１の残り１／２のパワーは、５０オームの同軸ケーブル３を通りデバイス５側に伝わる。
【００２７】
同軸ケーブル７のインピーダンスとオシロスコープ４のインピーダンスとが５０オームで整合がとれているので、オシロスコープ４に入る信号１０２は、反射をほとんど生じない。一方、デバイス５側の信号１０３は、５０オームの同軸ケーブル３や５０オームのプローブ６では整合がとれている。しかし、デバイス５部分ではデバイス５の抵抗値によって整合・不整合が変わる。すなわち、デバイスの抵抗値が５０オームであれば整合がとれるので反射はない。しかし、デバイスの抵抗値が５０オーム以外の値では反射が発生する。その場合には、反射波は、信号１０３の経路を信号１０４のように逆に進む。信号１０４は、分配手段８の部分にてさらに１／２に分配され、信号１０５となってオシロスコープ４に入力される。
オシロスコープ４の入力は、信号１０２＝信号１０１×１／２；
デバイス５からの反射信号１０５＝信号１０１×（１／２）×（１／２）×反射係数
＝信号１０１×（１／４）×反射係数；となる。
【００２８】
図２に、入力パルス幅Ｔｐｗと、分配手段８からデバイス５までの遅延時間Ｔｄ、およびデバイス５での反射係数ρの符号の関係を示す。反射波形は、入力波形に対し２Ｔｄ（分配手段８とデバイス５との往復の遅延時間）だけ遅れたところに現れる。入力パルス幅Ｔｐｗが狭い場合には、反射波形は、入力波形と時間的に分離して観測できる。
【００２９】
一方、入力パルス幅Ｔｐｗが２Ｔｄより長いと入力波形と反射波形とが重なって観測される。その場合、反射係数が正の場合には入力波形に加算される。また、反射係数が負の場合には減算されたような波形となる。図２はこれを模式的表現し、条件に応じて分類した表である。
【００３０】
すなわち、図２において、Ｔｐｗ＜２Ｔｄで、１＞ρ＞０の場合（図２の左上欄）では、入力波形振幅Ｖｆに対して、２Ｔｄ離れた位置に、反射波形振幅ＶｒがＶｆと同一方向にＶｆより小さい振幅で観測されている。
【００３１】
また、Ｔｐｗ＜２Ｔｄで、０＞ρ＞−１の場合（図２の右上欄）では、入力波形振幅Ｖｆに対して、２Ｔｄ離れた位置に、反射波形振幅ＶｒがＶｆと逆の負方向にＶｆより小さい振幅で観測されている。
【００３２】
また、Ｔｐｗ＞２Ｔｄで、１＞ρ＞０の場合（図２の左下欄）では、入力波形振幅Ｖｆの波形に重畳して、入力波形振幅Ｖｆの立ち上がりから２Ｔｄ離れた位置に、反射波形振幅ＶｒがＶｆに加算する波形として観測されている。
【００３３】
また、Ｔｐｗ＞２Ｔｄで、０＞ρ＞−１の場合（図２の右下欄）では、入力波形振幅Ｖｆの波形に重畳して、入力波形振幅Ｖｆの立ち上がりから２Ｔｄ離れた位置に、反射波形振幅ＶｒがＶｆを減算する波形として観測されている。
【００３４】
いずれの場合でも、以下の式２によって、目的の抵抗Ｚを求めることができる。
【００３５】
Ｚ  ＝  Ｚ０×（Ｖｆ＋２・Ｖｒ  ）／（Ｖｆ−２・Ｖｒ）  （式２）
ここで、Ｚ０は、同軸ケーブルのインピーダンス（５０オーム）である。
図３に、式２から、入力波形振幅Ｖｆをパラメータ（Ｖｆ１、Ｖｆ２，Ｖｆ３）として反射電圧Ｖｒと電気抵抗との関係を計算した結果の例を示す。
【００３６】
このようにして、入力波形振幅Ｖｆと反射波形振幅Ｖｒを測定すれば、図３の関係からそのときのデバイス５の抵抗を算出することができる。
【００３７】
実際に反射波形振幅を測定し抵抗を求めると、反射係数が正の場合に理論計算とのずれが生じる。これは、図３のグラフで抵抗が大きくなるにしたがって傾きが小さくなるために誤差が大きくなることと、ケーブル・部品等の整合性、抵抗誤差などによるものと思われる。これらの要因をできるだけ排除するために、以下の二つの方法がある。
（１）予め必要な電圧測定精度を求めておき、オシロスコープで測定する場合にこの精度以下になるように測定すればよい。図７は、反射率係数と抵抗の関係、測定誤差をパラメータとした場合の抵抗と反射電圧の測定に必要な電圧分解能の関係を示している。反射係数曲線の傾きが小さい抵抗大の場合には、測定電圧分解能を小さくなり（より測定の精度が必要）、反射係数の傾きが大きい付近の抵抗では、測定分解能が大きくなることが分かる。よって凡その抵抗値と許容誤差の関係から測定する際の電圧測定精度が得られる。この電圧測定精度で測定されるよう測定時のオシロスコーブ等の加算平均回数を設定すれば良い。
（２）予め複数の既知の抵抗（基準抵抗）で入力波形振幅・反射波形振幅との関係を求めておき、測定された反射波形振幅を前記関係から補間等により求める、方法にすればよい。
【００３８】
図４は、基準抵抗により求めた曲線と、別の手段（デジタルマルチメータなど）で測定対象の抵抗値および図１の測定系で求めた反射波形振幅とを重ねてプロットした図である。基準抵抗に基づいて補間された曲線上に実際の測定対象の抵抗値がプロットされており、本方法の有効性が確認できる。ここで抵抗軸の最大値の測定点は、抵抗＝∞（オープン）の測定値（反射電圧）をプロットしたものである。
【００３９】
なお、図３および図４に示されるように、抵抗値が大きな領域（例えば、図３で抵抗値がＺ１で示される値より大きい領域）では、反射振幅のわずかの変化に対して、抵抗値の変化が極めて大きくなる。このような領域では、前述の通り予め必要な電圧測定精度から反射電圧を測定して抵抗値を算出する方法と、反射振幅の測定を繰り返して、算出される抵抗値が所定のバラツキ以内になるまで平均化処理とをすれば良い。
【００４０】
《第２実施形態》
図５、および図６の図面に基づいて本発明の第２実施形態に係る電気抵抗測定装置を説明する。上記第１実施形態では、分配手段８で分岐した伝送線路において、電圧印加手段１からの出力信号をオシロスコープ４で観測することにより、デバイス５の電気抵抗を測定する方法を説明した。
【００４１】
本実施形態では、第１実施形態の方法によりデバイス５の電気抵抗を測定する電気抵抗測定装置について説明する。この電気抵抗測定装置は、ＣＰＵの制御により、電圧を印加し、反射波振幅を計測する。そして、計測された反射波振幅に基づく抵抗値が表示される。他の構成および作用は、第１実施形態の場合と同様である。そこで、同一の構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
図５に、本電気抵抗測定装置の構成図を示す。図５のように、電気抵抗測定装置は、電圧印加手段１、電圧印加手段１に接続される同軸ケーブル２、同軸ケーブル２の信号１０１を分岐して同軸ケーブル３（信号１０３）および同軸ケーブル７（信号１０２）に分配する分配手段８、同軸ケーブル３からの信号１０３を測定対象のデバイス５に入力するとともに、反射波（信号１０４）を検知するプローブ６、同軸ケーブル７の信号（信号１０２、および分配手段により信号１０４から分岐した信号１０５）の振幅を測定する測定器４Ａと、電圧印加手段１と、測定器４Ａとを制御するとともに、メモリ１２のデータを参照してデバイス５の抵抗値を決定するＣＰＵ１１、およびＣＰＵ１１の出力を表示する表示装置１３を有している。
【００４３】
このように、図５の構成は、基本的には、図１に示した構成と同様である。ただし、図５の構成では、電圧印加手段１は、ＣＰＵ１１からの制御にしたがって、信号波形を同軸ケーブル２に出力する。ＣＰＵ１１は、信号波形出力のオンオフのタイミング、出力信号の波形形状（矩形パルス波形の場合、パルス幅、およびデューティ比、ノコギリ波の場合、波形の傾きを含む）、周波数、信号振幅等を制御する。
【００４４】
また、図５では、図１のオシロスコープ４に代えて、測定器４Ａが備えられている。測定器４Ａは、同軸ケーブル７とのインピーダンスの整合がとれた入力端子と、入力端子に入力された信号を増幅する増幅器と、増幅された信号をデジタルデータに変換するアナログ・デジタル変換器と、変換されたデジタルデータを蓄積する記憶手段（あるいは、バッファ記憶）とを有している。測定器４Ａは、ＣＰＵ１１の指示により、測定を開始し、測定された信号の波形振幅を示すデータをＣＰＵ１１に読み取らせる。
【００４５】
メモリ１２は、例えば、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、フラッシュメモリ、ハードディスク装置等である。メモリ１２は、図４に示した反射電圧Ｖｒに対する測定対象の抵抗値の対応関係が記憶されている。
【００４６】
この対応関係は、事前に、抵抗値が既知の複数の標準抵抗をプローブ６に接続し、ＣＰＵ１１の制御によって測定器４Ａからの測定データを記憶し、補間曲線を求めることによって算出される。
【００４７】
なお、このような対応関係は、電気抵抗測定装置内の不図示の標準抵抗接続端子に予め標準抵抗を接続しておき、ＣＰＵ１からの制御によってプローブ６への接続先をスイッチで切り替えて測定するようにしてもよい。プローブの接続先を切り替えるスイッチとしては、例えば、同軸リレーのような高周波スイッチを用いることができる。
【００４８】
この場合には、複数の標準抵抗の値は、予め、ＣＰＵ１１が実行する制御プログラム内に固定的に設定しておけばよい。このような機能（測定器校正モード）を備えることにより、ユーザ所望の時点で、電気抵抗測定装置を校正することが可能となる。
【００４９】
また、標準抵抗の値自体を固定しない場合には、各標準抵抗接続端子に接続する標準抵抗の抵抗値を設定する設定テーブルに、ユーザが標準抵抗の値を設定するようにしてもよい。そして、ＣＰＵ１１は、設定テーブルに設定された標準抵抗の値を用いて、測定器４Ａで観測された反射波振幅と抵抗値との関係から図４と同様の補間曲線を求めればよい。
【００５０】
補間曲線を示すデータについては、所定の分解能にて、テーブル形式で反射波振幅Ｖｒと、抵抗値Ｚｔとの関係が記憶されるようにすればよい。また、補間曲線にフィットする実験式Ｚｔ＝ｆ（Ｖｒ）を求め、実験式の係数をメモリ１２に保持するようにしてもよい。
【００５１】
図６に、電気抵抗測定時にＣＰＵ１１が実行する処理のフローチャートを示す。この処理では、ＣＰＵ１１は、まず、電圧印加手段１に指示し、信号波形を同軸ケーブル２に出力させる（Ｓ１）。
【００５２】
次に、ＣＰＵ１１は、測定器４Ａによって測定された反射波振幅の測定結果を読み取る（Ｓ２）。
【００５３】
次に、ＣＰＵ１１は、反射波振幅と電気抵抗との関係をメモリ１２から参照し、反射波振幅に対する電気抵抗を決定する（Ｓ３）。なお、反射波振幅と電気抵抗との関係が実験式で得られている場合には、反射波振幅に対する電気抵抗を実験式から決定すればよい。
【００５４】
次に、ＣＰＵ１１は、決定された電気抵抗を表示装置１３に表示する（ＳＡ）。
【００５５】
以上述べたように、本実施形態の電気抵抗測定装置によれば、１組のプローブ６を測定対象のデバイス５に接触させることによって、予め標準抵抗を用いて測定し記憶しておいた、反射波振幅と電気抵抗との関係からデバイス５の抵抗値を決定できる。
【００５６】
したがって、第１実施形態の場合と同様、デバイス５に専用のパッドを２組設ける必要がない。また、プローブ５として電圧印加用と反射波検出用との２組を設ける必要がない。したがって、微細なデバイス５についても、１組のプローブでパルス等の信号波形印加時の電気抵抗を測定できる。
《その他》
本実施形態は、以下の発明の態様（以下、付記という）を開示する。
（付記１）
信号波形が伝搬する信号線路と、
電気抵抗を測定すべき測定対象に、前記信号線路を伝搬した信号波形を入力する入力部と、
前記信号波形と前記測定対象からの反射信号とを前記信号線路上で分岐する分岐部と、
前記分岐された反射信号を測定する測定部と、
前記測定された反射信号の振幅から前記測定対象の電気抵抗を決定する決定部と、を備える抵抗測定装置。（１）
（付記２）
前記入力される信号波形の信号振幅が所定の値である場合における前記反射信号の振幅と前記電気抵抗の値との対応関係を記録する対応関係記憶部をさらに備え、
前記決定部は、前記測定された反射信号の振幅に対応する前記電気抵抗の値を前記対応関係から求める付記１に記載の抵抗測定装置。（２）
（付記３）
前記測定部の測定精度と前記対応関係とによって算出される前記電気抵抗の測定精度が所定の許容範囲にない場合に、前記測定部による測定と前記決定部による電気抵抗の決定とを複数回実行させることにより電気抵抗の変動分を算出し、前記電気抵抗の変動分が所定の許容範囲となったときに、前記電気抵抗を決定する制御部をさらに備える付記１または２に記載の抵抗測定装置。（３）
（付記４）
信号波形が伝搬する信号線路と前記信号線路上で信号波形を分岐する分岐部とを用いた電気抵抗の測定方法であり、
電気抵抗を測定すべき測定対象に、前記信号線路を伝搬した信号波形を入力する入力ステップと、
前記分岐部で分岐された反射信号を測定する測定ステップと、
前記測定された反射信号の振幅から前記測定対象の電気抵抗を決定する決定ステップと、を備える電気抵抗の測定方法。（４）
（付記５）
前記測定対象として電気抵抗の値が既知である基準抵抗を用いて、前記入力される信号波形の信号振幅が所定の値である場合における前記反射信号の振幅と前記電気抵抗の値との関係を記録するステップをさらに備える付記４に記載の電気抵抗の測定方法。（５）
（付記６）
前記基準抵抗を用いた場合の前記反射信号の振幅と前記電気抵抗の値との関係から、基準抵抗以外の測定対象に信号波形が入力されたときの反射信号の振幅とその測定対象の電気抵抗の値との関係を補完により求めるステップをさらに備える付記５に記載の電気抵抗の測定方法。
（付記７）
前記信号波形がパルス波形であり、
前記測定ステップは、
前記信号波形が前記分岐部から前記測定対象に至るまでの伝搬時間と前記反射信号が前記測定対象から前記分岐部に至るまでの伝搬時間とによる遅延時間が前記パルス幅よりも大きい場合に、前記入力信号と前記反射信号とを分離して、信号波形と反射信号それぞれの信号振幅を測定するステップと、
前記遅延時間が前記パルス幅よりも小さい場合に、前記信号波形と前記反射信号とを重ね合わせた重畳信号にて信号振幅を測定するとともに重畳信号中の信号振幅の変化から前記反射信号振幅を求めるステップと、を有する付記４から６のいずれかに記載の電気抵抗の測定方法。
（付記８）
前記測定ステップでの測定精度と前記対応関係によって算出される前記電気抵抗の測定精度とが所定の許容範囲にない場合に、前記測定ステップと前記決定ステップとを複数回実行させることにより電気抵抗の変動分を算出し、前記電気抵抗の変動分が所定の許容範囲となったときに、前記電気抵抗を決定するステップをさらに備える付記４から７のいずれかに記載の電気抵抗の測定方法。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る電気抵抗測定方法を適用するシステムの構成図である。
【図２】入力パルス幅Ｔｐｗと、分配手段８からデバイス５までの遅延時間Ｔｄ、およびデバイス５での反射係数ρの符号の関係を示す図である
【図３】入力波形振幅をパラメータとして反射電圧と電気抵抗との関係を計算した結果の例を示す図である。
【図４】基準抵抗により求めた曲線と、別の手段で測定したデバイスの抵抗値および図１１の測定系で求めた反射波形振幅を重ねてプロットした図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る電気抵抗測定装置の構成図である。
【図６】電気抵抗測定時に実行される処理のフローチャートである。
【図７】反射率係数と抵抗の関係、測定誤差をパラメータとした場合の抵抗と反射電圧の測定に必要な電圧分解能の関係を示す図である。
【図８】従来の技術によるデバイスの電気抵抗を測定するシステムの構成図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  電圧印加手段
２、３、７  同軸ケーブル
５  デバイス
８  分配器
４  オシロスコープ
４Ａ  測定器
６  プローブ
１１  ＣＰＵ
１２  メモリ
１３  表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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