(57)【要約】【課題】流動性材料を吐出して平面表示装置用の基板上にリブを形成するノズルにおいて、吐出口を形成する複数の部材の間に不要な隙間が生じることを防止する。【解決手段】ノズル１は、ノズル先端部１１およびノズル先端部１１を挟持する保持部１２を備え、ノズル先端部１１は金属の第１先端部材２１、並びに、吐出口１１２を形成するセラミックの第２先端部材２２および第３先端部材２３を重ね合わせたものとされる。保持部１２の板状の第１当接部３１１および第２当接部３２１は付勢部３３により互いに近づく方向に付勢され、弾性変形しつつノズル先端部１１上の当接領域１１ａ，１１ｂに面接触する。これにより、セラミック部材の破損を防止しつつノズル先端部１１を吐出口１１２の配列方向に関して均一に付勢することができ、ノズル先端部１１に不要な隙間が生じることを防止することができる。【選択図】図２
2007222770.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査方向に移動しつつ前記走査方向に垂直な方向に配列された複数の吐出口から流動性材料を吐出することにより、平面表示装置用の基板上にリブを形成するノズルであって、
所定の積層方向に複数の部材を積層することにより前記積層方向に垂直な方向に配列された複数の吐出口が形成されたノズル先端部と、
前記積層方向に沿って前記ノズル先端部を両側から挟持する保持部と、
を備え、
前記ノズル先端部上において前記保持部と当接する２つの当接領域のそれぞれが、前記複数の吐出口の配列方向に平行な線状または帯状の領域であり、かつ、前記積層方向に関して前記ノズル先端部内の流動性材料の流路に重なるとともに前記複数の吐出口の前記配列方向における前記流路の幅よりも長く、
前記保持部が、
前記２つの当接領域の一方の領域に当接し、前記ノズル先端部の前記複数の吐出口とは反対側の後端を越えて後方へと延びる第１当接部と、
前記２つの当接領域の他方の領域に当接し、前記ノズル先端部の前記後端を越えて後方へと延びるとともに前記後端の後方にて前記第１当接部との間の距離が一定に拘束される第２当接部と、
前記ノズル先端部の前記後端よりも後方において前記第１当接部と前記第２当接部とを互いに近づく方向に付勢することにより、前記第１当接部および前記第２当接部を弾性変形させる付勢部と、
を備えることを特徴とするノズル。
【請求項２】
請求項１に記載のノズルであって、
前記保持部から前記ノズル先端部に最も力が作用する位置と前記複数の吐出口との間の距離が、前記最も力が作用する位置と前記ノズル先端部の前記後端との間の距離よりも短いことを特徴とするノズル。
【請求項３】
請求項１または２に記載のノズルであって、
前記第１当接部が、前記付勢部が開放された状態で前記２つの当接領域の前記一方の領域に傾斜して対向し、前記付勢部により付勢されることにより前記一方の領域にて面接触することを特徴とするノズル。
【請求項４】
請求項３に記載のノズルであって、
前記第２当接部が、前記付勢部が開放された状態で前記２つの当接領域の前記他方の領域に傾斜して対向し、前記付勢部により付勢されることにより前記他方の領域に面接触することを特徴とするノズル。
【請求項５】
請求項３または４に記載のノズルであって、
前記ノズル先端部が、前記流路に連絡するとともに前記第１当接部に対向する開口を有し、
前記第１当接部が、前記開口に流動性材料を供給する供給路を有することを特徴とするノズル。
【請求項６】
請求項５に記載のノズルであって、
前記ノズル先端部の前記複数の部材が、
前記複数の吐出口に対応する複数の溝が形成されたセラミック部材と、
前記開口が形成された金属部材と、
を含むことを特徴とするノズル。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のノズルであって、
前記付勢部が、
前記第１当接部および前記第２当接部を貫通するシャフト部と、
前記シャフト部に取り付けられ、前記第１当接部および前記第２当接部の外側から前記第１当接部および前記第２当接部に接触する接触部と、
を備えることを特徴とするノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面表示装置用の基板上にリブを形成する際に、流動性を有するリブの材料を基板に向けて吐出するノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ表示装置、有機ＥＬ表示装置、電解放出表示装置、その他の様々な表示装置では、リブやリブ状のスペーサ（以下、単に「リブ」と呼ぶ。）が形成された基板が用いられる。このようなリブは、多くの場合、フォトリソグラフィ法により精度よく形成されるが、製造コストの削減の観点から、ノズルから流動性材料を吐出してリブを形成する方法も開発が進められている。
【０００３】
リブを形成する際に使用されるノズルは、構造が微細であるため、分解不可能な一体物として製作すると、ブラシや超音波振動等を用いて十分に洗浄することができなくなる。そこで、ノズルを吐出方向に平行な複数の板状の部材により構成する手法が不可欠となる。このとき、これらの部材間に微小な隙間が発生することを防止するために接着剤を用いると、吐出口や流路の大きさの精度が低下してしまう。
【０００４】
特許文献１では、バリアリブを形成するためのヘッド部が開示されており、ヘッド部では、吐出口となる複数の溝が形成された超硬合金であるブレードが鉄系合金にて形成された２つの支持体により挟み込まれる。これらの部材はネジ棒により結合される。なお、２つの支持体の先端側には超硬合金にて形成されたエッジ本体が予め装着される。
【０００５】
特許文献２はリブ間に蛍光材料を塗布するノズルに関するものであるが、この文献の図１０では、複数の溝が形成された板状のシムを２つのブロックにて挟み込むことにより複数のスリットが形成されたノズルが記載されている。そして、２つのブロックおよび板状シムの少なくとも１つは耐摩耗性を向上するためにセラミックにより形成される。
【特許文献１】特開２００３−２９７２３１号公報
【特許文献２】特開２０００−１６７４６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１のようにネジ棒によりノズルの部品を締結すると、部品内の応力に偏りが生じ、部品間に僅かな隙間が生じてしまう。また、全ての部品を金属で形成する場合、数μｍ程度の微細な加工をしようとしてもバリの影響が無視できなくなる。さらに、吐出口が極めて微細な場合、ノズル先端を金属にて形成すると材料の流れに対する対摩耗性にも問題が生じる。
【０００７】
一方、特許文献２のように部品にセラミックを利用すると、対摩耗性に関する問題を克服することができるが、割れやすいため、部品を大きくしなければならず、微細なパターンを形成するには取り扱いが困難となる。また、リブ形成に使用されない特許文献２のノズルの場合と異なり、リブ形成では流動性材料に大きな圧力が加わるため、ノズルの部材間に隙間が生じないようにネジにて強く締結を行うとセラミックの部品が破損してしまう。
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、リブを形成するための流動性材料に高い圧力を与えて吐出を行うノズルにおいて、ノズルを構成する複数の部材間に不要な隙間が生じることを防止することを主たる目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、走査方向に移動しつつ前記走査方向に垂直な方向に配列された複数の吐出口から流動性材料を吐出することにより、平面表示装置用の基板上にリブを形成するノズルであって、所定の積層方向に複数の部材を積層することにより前記積層方向に垂直な方向に配列された複数の吐出口が形成されたノズル先端部と、前記積層方向に沿って前記ノズル先端部を両側から挟持する保持部とを備え、前記ノズル先端部上において前記保持部と当接する２つの当接領域のそれぞれが、前記複数の吐出口の配列方向に平行な線状または帯状の領域であり、かつ、前記積層方向に関して前記ノズル先端部内の流動性材料の流路に重なるとともに前記複数の吐出口の前記配列方向における前記流路の幅よりも長く、前記保持部が、前記２つの当接領域の一方の領域に当接し、前記ノズル先端部の前記複数の吐出口とは反対側の後端を越えて後方へと延びる第１当接部と、前記２つの当接領域の他方の領域に当接し、前記ノズル先端部の前記後端を越えて後方へと延びるとともに前記後端の後方にて前記第１当接部との間の距離が一定に拘束される第２当接部と、前記ノズル先端部の前記後端よりも後方において前記第１当接部と前記第２当接部とを互いに近づく方向に付勢することにより、前記第１当接部および前記第２当接部を弾性変形させる付勢部とを備える。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のノズルであって、前記保持部から前記ノズル先端部に最も力が作用する位置と前記複数の吐出口との間の距離が、前記最も力が作用する位置と前記ノズル先端部の前記後端との間の距離よりも短い。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のノズルであって、前記第１当接部が、前記付勢部が開放された状態で前記２つの当接領域の前記一方の領域に傾斜して対向し、前記付勢部により付勢されることにより前記一方の領域にて面接触する。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のノズルであって、前記第２当接部が、前記付勢部が開放された状態で前記２つの当接領域の前記他方の領域に傾斜して対向し、前記付勢部により付勢されることにより前記他方の領域に面接触する。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項３または４に記載のノズルであって、前記ノズル先端部が、前記流路に連絡するとともに前記第１当接部に対向する開口を有し、前記第１当接部が、前記開口に流動性材料を供給する供給路を有する。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のノズルであって、前記ノズル先端部の前記複数の部材が、前記複数の吐出口に対応する複数の溝が形成されたセラミック部材と、前記開口が形成された金属部材とを含む。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項１ないし６のいずれかに記載のノズルであって、前記付勢部が、前記第１当接部および前記第２当接部を貫通するシャフト部と、前記シャフト部に取り付けられ、前記第１当接部および前記第２当接部の外側から前記第１当接部および前記第２当接部に接触する接触部とを備える。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、ノズル先端部を吐出口の配列方向に関して均一に付勢することができ、ノズル先端部の複数の部材の間に不要な隙間が生じることを防止することができる。また、請求項２ないし４の発明では、ノズル先端部の複数の部材をより適切に付勢することができる。
【００１７】
請求項５の発明では、ノズル先端部に容易に流動性材料を供給することができ、請求項６の発明では、吐出口近傍の部位の耐久性を向上しつつ、ノズル先端部にて不要な隙間が発生することをより確実に防止することができる。請求項７の発明では、第１当接部および第２当接部を容易に付勢することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は本発明の一の実施の形態に係るノズル１が使用される様子を示す図であり、ノズル１の先端部（以下、「ノズル先端部１１」と呼ぶ。）を図示している。
【００１９】
ノズル１はガラス基板９上に流動性材料９１を吐出して平面表示装置用のリブを形成するために使用される。流動性材料９１は樹脂であるバインダに低軟化点ガラスフリットを混入したものであり、さらに、紫外線硬化樹脂やその他の添加剤が加えられている。なお、ノズル１から吐出された材料がそのままリブとして利用されるのではなく、流動性材料９１は、光照射部８からの紫外線により硬化した後、別途、炉にて樹脂成分を除去しつつ焼成されて最終的なリブとなる。
【００２０】
ノズル先端部１１は内部に流路１１１を有し、先端には（紙面に垂直な方向に）多数の吐出口１１２が設けられ、吐出口１１２はガラス基板９に極めて近接した状態とされる。吐出口１１２から流動性材料９１が吐出される際には、ガラス基板９の主面に沿ってノズル１が図１の右方向である走査方向に相対的に移動し、ノズル１の移動に合わせて走査方向に垂直な方向に配列された複数の吐出口１１２からガラス基板９の主面に傾斜して流動性材料９１が吐出される。流動性材料９１には吐出直後に光照射部８から紫外線が照射され、これにより、流動性材料９１はほぼ吐出直後の形状にて硬化する。その結果、断面のアスペクト比（幅に対する高さの比）を高くすることができる。
【００２１】
図２はノズル１全体の断面図である。ノズル１は既述のノズル先端部１１、および、ノズル先端部１１を上下から挟持する保持部１２を備え、ノズル先端部１１は３つの板状の部材２１，２２，２３を図２の上下方向である積層方向に積層した（重ね合わせた）ものであり、保持部１２は積層方向に沿ってノズル先端部１１を両側から（すなわち、上下から）挟持する。以下、ノズル先端部１１の３つの部材２１，２２，２３を順に、「第１先端部材２１」、「第２先端部材２２」、「第３先端部材２３」と呼ぶ。
【００２２】
図３．Ａは図２中の矢印Ａの位置における第１先端部材２１の底面図であり、図３．Ｂは図２中の矢印Ｂの位置における第２先端部材２２の底面図であり、図３．Ｃは図２中の矢印Ｃの位置における第３先端部材２３の平面図である。ただし、図３．Ａ〜図３．Ｃでは上側が図２の左側となるように統一している。
【００２３】
図２および図３．Ａに示すように、第１先端部材２１は下面に流動性材料９１の流路となる凹部２１１を有し、凹部２１１には第１先端部材２１を貫通する開口２１ａが設けられる。開口２１ａは流動性材料９１の流入口であり、凹部２１１は流動性材料９１の流路であるとともに流動性材料９１に与えられる圧力を均一にする役割も果たす。凹部２１１には流動性材料９１が乱流を引き起こすようにして均一に広がるように、流れ方向に凹凸が設けられてもよい。また、凹部２１１の深さを幅方向（図３．Ａの左右方向）に関して不均一とし、複数の吐出口１１２からの流動性材料９１の吐出速度の均一化が図られてもよい。図２および図３．Ｂに示すように、第２先端部材２２にはノズル先端部１１の幅方向（吐出口１１２が並ぶ方向）に長いスリット２２１が設けられ、図２に示すように第１先端部材２１と第２先端部材２２とが重ねられるとスリット２２１全体が凹部２１１と重なる。
【００２４】
第３先端部材２３は、図２および図３．Ｃに示すように上面に凹部２３１を有し、凹部２３１からノズル先端部１１の先端（図３．Ｃの下方）に向かって多数の溝２３２が形成される。なお、実際には図３．Ｃに示す数よりも多くの溝２３２が設けられる。複数の溝２３２は図１および図２に示す複数の吐出口１１２にそれぞれ対応し、第３先端部材２３に第２先端部材２２が重ね合わされることにより、先端部材２１〜２３の積層方向に垂直な方向に配列された多数の吐出口１１２が形成される。溝２３２自体は、吐出口１１２近傍の流路１１１（図１参照）となり、第１先端部材２１の凹部２１１、第２先端部材２２のスリット２２１および第３先端部材２３の凹部２３１が開口２１ａから流路１１１へと流動性材料９１を導く流路となる。
【００２５】
なお、図１に示すように、吐出口１１２の一部は、ガラス基板９に対向するノズル先端部１１の面１１３に含まれており、図３．Ｃに示すように第３先端部材２３の先端（下端）は若干櫛歯状になっている。これにより、流動性材料９１が吐出直後に安定してガラス基板９に密着することとなる。
【００２６】
第３先端部材２３は、流動性材料９１に対する耐摩耗性が求められるとともに高精度な微細加工が施されることからセラミック部材とされ、第２先端部材２２も対摩耗性および形状精度の観点からセラミック部材とされる。一方、開口２１ａが形成される第１先端部材２１は金属部材（具体的にはステンレス鋼の部材）として安価に製作される。精度および対摩耗性が求められる部位以外を弾性に富む金属にて形成することにより、吐出口１１２近傍の部位の耐久性を向上しつつ、ノズル先端部１１にて不要な隙間が発生することをより確実に防止することが実現される。また、開口２１ａ近傍にて応力集中が生じることからも第１先端部材２１は破損しやすいセラミックではなく金属にて形成されることが好ましい。
【００２７】
図２に示すように、ノズル先端部１１を挟持する保持部１２は、第１先端部材２１に当接する第１保持部材３１および第３先端部材２３に当接する第２保持部材３２を備え、さらに、第１保持部材３１と第２保持部材３２とを互いに近づける方向に付勢する付勢部３３を備える。第１保持部材３１および第２保持部材３２はステンレス鋼等の金属にて形成される。
【００２８】
第１保持部材３１は、ノズル先端部１１の後端１１４（吐出口１１２とは反対側の端部）を越えて後方に延びる板状であって第１先端部材２１に面接触する第１当接部３１１、および、ノズル先端部１１の後方にて第２保持部材３２側へと延びる後方部３１２を備える。第２保持部材３２もノズル先端部１１の後端１１４（吐出口１１２とは反対側の端部）を越えて後方に延びる板状であって第３先端部材２３に面接触する第２当接部３２１、および、ノズル先端部１１の後方にて第１保持部材３１側へと延びる後方部３２２を備える。第１後方部３１２と第２後方部３２２とは当接し、これにより、後端１１４の後方にて第１当接部３１１と第２当接部３２１との間の距離が一定に拘束される。
【００２９】
付勢部３３は、第１当接部３１１および第２当接部３２１を貫通するネジであるシャフト部３３１と、シャフト部３３１に一体的に取り付けられて第１当接部３１１の外側から第１当接部３１１に接触する接触部３３２と、シャフト部３３１に螺合により取り付けられて第２当接部３２１の外側から第２当接部３２１に接触する接触部３３３とを備える。実際には、複数の付勢部３３が吐出口１１２の配列方向に配列される。また、シャフト部３３１および接触部３３２は頭部を有するボルトであり、接触部３３３はナットであり、ボルトにナットがねじ込まれることにより、ノズル先端部１１の後端１１４よりも後方において第１当接部３１１と第２当接部３２１とが互いに近づく方向に容易に付勢される。
【００３０】
保持部１２がノズル先端部１１を挟み込まない、すなわち、付勢部３３が開放された状態では、図４に示すように、第１当接部３１１が、ノズル先端部１１の上面の一部である当接領域１１ａに傾斜して対向し、付勢部３３により付勢されることにより、図２に示すように第１当接部３１１が弾性変形により撓んで当接領域１１ａに面接触する。一方、第２当接部３２１も付勢部３３が開放された状態では、図４に示すように、ノズル先端部１１の下面の一部である当接領域１１ｂに傾斜して対向し、付勢部３３により付勢されることにより、図２に示すように第２当接部３２１が弾性変形により撓んで当接領域１１ｂに面接触する。
【００３１】
図２および図４では、保持部１２がノズル先端部１１を挟む込む様子を強調して示しており、実際には、ノズル先端部１１の後端１１４の積層方向の高さａ（図４参照）と、この位置における第１当接部３１１と第２当接部３２１との間の距離ｂとの差は僅かとされる。保持部１２の吐出方向の長さ、厚さ、材質、ノズル先端部１１の吐出方向の長さ、付勢部３３の位置等にもよるが、例えば、ａとｂとの差は０．１ｍｍとされる。
【００３２】
保持部１２における上記弾性変形は、後方部３１２と後方部３２２とが当接して第１当接部３１１および第２当接部３２１の支点となり、付勢部３３が力点となり、第１当接部３１１および第２当接部３２１のノズル先端部１１と接触する部位が作用点となることにより生じ、その結果、先端部材２１〜２３が積層方向に関して適度な力で挟み込まれる。
【００３３】
図２に示すように、第１当接部３１１内には供給路３１ａが形成されており、第１先端部材２１の開口２１ａは、ノズル先端部１１内の流路に連絡するとともに、供給路３１ａの一端の位置で第１当接部３１１に対向する。第１当接部３１１と供給路３１ａとの間にはＯリング２１２が配置され、付勢部３３により第１当接部３１１とノズル先端部１１とが面接触することにより、Ｏリング２１２を挟んで開口２１ａと供給路３１ａとが連絡する。その結果、供給路３１ａを介して流動性材料９１を開口２１ａ内へと供給することが可能となり、簡単な構成でノズル先端部１１に容易に流動性材料９１を供給することができる。
【００３４】
ノズル先端部１１の当接領域１１ａ，１１ｂにおいて、第１当接部３１１および第２当接部３２１から最も大きな圧力（単位面積当たりの力）が作用する位置は、第１当接部３１１および第２当接部３２１の先端側に偏る（例えば、図２中に符号１０ａ，１０ｂを付す位置となる）ことから、保持部１２からノズル先端部１１に最も力が作用する位置と複数の吐出口１１２との間の（吐出方向における）距離は、最も力が作用する位置とノズル先端部１１の後端１１４との間の（吐出方向における）距離よりも短くなる。これにより、流動性材料９１の漏れを厳密に防止する必要があるノズル先端部１１の吐出口１１２側を後端１１４よりも強く付勢することができ、先端部材２１〜２３がより適切に付勢される。
【００３５】
また、図３．Ａおよび図３．Ｂ中に破線して示すように、ノズル先端部１１上の当接領域１１ａ，１１ｂのそれぞれは、複数の吐出口１１２の配列方向に（すなわち、溝２３２の配列方向に）平行な帯状の領域であり、かつ、ノズル先端部１１の積層方向に関してノズル先端部１１内の流動性材料９１の流路に（部分的に）重なるとともに吐出口１１２の配列方向における流路の幅よりも長い。これにより、ノズル先端部１１の幅が長さ（吐出方向の長さ）の２〜５倍であっても、吐出口１１２の配列方向に関してノズル先端部１１を均一に付勢することができ、先端部材２１〜２３の間に不要な隙間が生じることを防止することができる。また、ノズル先端部１１と保持部１２とが当接領域１１ａ，１１ｂにて面接触することにより、先端部材２１〜２３をより適切に付勢することができ、特に、セラミック部材である第３先端部材２３に局所的な応力が生じて破損してしまうことを防止することができる。その結果、例えば、０．７ＭＰａ程度の高い内圧が加えられても流動性材料９１の漏れを防止することができる。また、第１先端部材２１と第１当接部３１１とを面接触させることにより、開口２１ａに起因する応力集中も緩和することができる。
【００３６】
さらに、ノズル先端部１１を挟持する保持部１２をノズル先端部１１近傍にて薄くすることができるため、ノズル先端部１１を狭い空間に容易に配置することができる。特に、図１に示すように吐出直後の流動性材料９１に紫外線を照射する場合には、光照射部８およびその付属部品がノズル先端部１１近傍に多数配置されるが、このような場合であってもノズル１を容易に所望位置に配置することができる。
【００３７】
また、ノズル先端部１１は付勢部３３を開放するのみで容易に分解することができるため、ブラシ洗浄や超音波洗浄により内部の洗浄を容易に行うことができる。
【００３８】
以上、本発明の一の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【００３９】
例えば、上記実施の形態では、３つの先端部材２１〜２３によりノズル先端部１１の主要部が構成されるが、ノズル先端部１１は第１先端部材２１に第３先端部材２３を重ね合わせたものであってもよい。また、金属部材とセラミック部材とを含むのであれば、４つ以上の板状の部材を重ね合わせることによりノズル先端部１１が組み立てられてもよい。第１先端部材２１は、ポリカーボネートやエンジニアリングプラスチック等の金属以外の曲げ強度に優れた材料により形成されてもよい。
【００４０】
各先端部材の形状も図３．Ａ〜図３．Ｃに示すものには限定されず、例えば、図３．Ｂに示すスリット２２１に代えて、図５に示すように、第３先端部材２３の溝２３２に合わせた多数の微細な開口２２１ａが第２先端部材２２に設けられてもよい。
【００４１】
第１保持部材３１および第２保持部材３２は、一方のみがＬ字状で他方が板状であってもよい。さらには、２つの板状の部材と、ノズル先端部１１の後方にてこれらの部材の間に挟まれる部材とで保持部１２が組み立てられてもよい。付勢部３３は必ずしもボルトとナットとの組み合わせである必要はなく、他の構造であってもよい。さらには、保持部１２全体をクリップ状の１つの部材として形成し、弾性変形の復元力を利用してノズル先端部１１が挟持されてもよい。
【００４２】
ノズル先端部１１近傍に配管を配置することが可能であれば、第１保持部材３１内の供給路３１ａはノズル先端部１１側の面から外側の面へと貫通する孔とされて第１当接部３１１の外側の面に配管が接続されてもよい。
【００４３】
先端部材の強度が高い場合は、当接領域１１ａ，１１ｂは帯状でなく吐出口１１２の配列方向に平行な線状の領域であってもよい。
【００４４】
ノズル１は、プラズマ表示装置や有機ＥＬ表示装置用の基板上へのリブ形成のみならず、他の表示装置用の基板へのリブの形成にも利用することができる。特に、ノズル１は微細なリブの形成に適しているため、電界放出表示装置（ＦＥＤ）用の基板へのリブ（スペーサとして機能するリブ）の形成に適している。また、リブが形成される基板はガラス基板９には限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】ノズルが使用される様子を示す図である。
【図２】ノズルの断面図である。
【図３．Ａ】ノズル先端部の部材を示す図である。
【図３．Ｂ】ノズル先端部の部材を示す図である。
【図３．Ｃ】ノズル先端部の部材を示す図である。
【図４】ノズルの断面図である。
【図５】ノズル先端部の部材を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１    ノズル
９    ガラス基板
１０ａ，１０ｂ  （最も力が作用する）位置
１１    ノズル先端部
１１ａ，１１ｂ    当接領域
１２    保持部
２１    第１先端部材
２１ａ    開口
２２    第２先端部材
２３    第３先端部材
３１ａ    供給路
３３    付勢部
９１    流動性材料
１１２    吐出口
１１４    （ノズル先端部の）後端
２１１    （流路の一部である）凹部
２３２    溝
３１１    第１当接部
３２１    第２当接部
３３１    シャフト部
３３２，３３３    接触部
【図１】
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【図２】
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【図３．Ａ】
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【図３．Ｂ】
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【図３．Ｃ】
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【図４】
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【図５】
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