(57)【要約】【課題】光学的にウェブの欠陥を検出する装置信号の欠陥には至らない地合ノイズを利用し、ウェブの色合いムラや膜内・膜面の微妙なゆらぎなどを正確に検出し、生産加工設備の異常個所や異常の程度を推定することが可能となり、ウェブの生産工程にフィードバック制御することで、早期に適切な工程アクションを行うことが可能である。【解決手段】  ウェブ10の欠陥を検査するために、投光部21からウェブ10に光を照射しその透過光もしくは反射光を、受光部22にて受光するとともに、受光部22からの出力信号によって欠陥を検知する欠陥検査装置20において、出力信号から地合ノイズ相当の信号を検出するための地合ノイズ検出手段を備え、地合ノイズ検出手段は、地合ノイズ相当の信号に対し、多段の閾値を有している。ウェブ生産システムは、欠陥検出装置20を備え、欠陥検出装置20の検出結果に基づきウェブの生産工程にフィードバック制御する制御手段Ｃを備える。【選択図】図２
2007003391.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェブの欠陥を検査するために、投光部から前記ウェブに光を照射しその透過光もしくは反射光を、受光部にて受光するとともに、前記受光部からの出力信号によって欠陥を検知する欠陥検査装置において、
前記出力信号から地合ノイズ相当の信号を検出するための地合ノイズ検出手段を備え、
前記地合ノイズ検出手段は、前記地合ノイズ相当の信号に対し、多段の閾値を有していることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
前記地合ノイズ相当の信号に含まれる電気ノイズを除去する電気ノイズ除去手段を有することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検出装置。
【請求項３】
前記多段の閾値を超えた信号の回数及び閾値を超えた信号の幅をカウントするカウント手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項2に記載の欠陥検出装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の欠陥検出装置を備え、
前記欠陥検出装置の検出結果に基づきウェブの生産工程にフィードバック制御する制御手段を備えることを特徴とするウェブ生産システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば写真用フィルム等のウェブを連続して搬送しながら加工する生産ラインに設置される欠陥検出装置及びウェブ生産システムに関し、専用の設備を設置することなく異常を判断し、生産工程にフィードバック制御することで、早期に適切な工程アクションを行うことが可能となる。
【背景技術】
【０００２】
写真用フィルム等のウェブを連続して搬送しながら加工する工程においては、ウェブの欠陥を検査して、傷や異物付着等の欠陥が検知された場合には、この欠陥の箇所を後の断裁・包装工程において除去する必要がある。したがって、ウェブの欠陥の大きさ・種類等の情報とともに、欠陥の生じた位置の情報を正確に検知する必要がある。この欠陥の検査を行う装置としては、一般に、光学的にウェブの欠陥を検知する装置が知られ、この装置は、ウェブに白色光やレーザー光を照射し、その透過光や反射光を受光し、ウェブの正常部位と欠陥部の相違を出力信号から検出することにより、ウェブの欠陥を検査する装置である。そして、出力信号の中からウェブの欠陥相当の信号を検出することにより、ウェブの欠陥が検知される。
【０００３】
ところで、ウェブの欠陥相当の出力信号には、欠陥相当の信号以外の、ウェブの粗度や色合いのムラ等に起因する、いわゆる地合ノイズの信号が含まれており、通常は、欠陥相当の信号を検知する際の阻害となるノイズとして、電気的に除去したり抑制する処理を加えている。ウェブを生産する工程においては、ウェブの粗度や色合いのムラ等を生じさせる生産設備の異常や条件の変化を監視するには専用の装置が必要だった。
【０００４】
生産加工設備の異常や条件の変動や、製品品質上問題とならない程度のウェブの僅かな歪等の状態は、地合ノイズ相当の信号の発生頻度や発生の特徴に顕著に現れる場合がある。
【０００５】
つまり、生産加工設備の異常や条件の変化を、専用の装置を設置することなく、欠陥装置の地合ノイズ相当の信号を検出・分析することにより捉えることができれば、容易かつ安価にウェブの生産工程にフィードバックすることが可能となる。すなわち、地合ノイズ相当の信号とウェブの状態や生産条件等との相関関係を把握することができれば、ウェブの生産性を容易かつ安価に向上させることが可能となる（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００3−98100号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この特許文献1では、通常地合ノイズとして排除されるべき地合ノイズ相当の信号を検出するとともに、この地合ノイズ相当の信号の量や周波数等の特徴を分析することが可能となるが、さらにウェブの色合いムラや膜内・膜面の微妙なゆらぎなどを正確に検出して異常個所や異常の程度を推定することが要求されている。
【０００７】
この発明は、前記のような事情に鑑みてなされたものであり、光学的にウェブの欠陥を検出する装置信号の欠陥には至らない地合ノイズを利用し、ウェブの色合いムラや膜内・膜面の微妙なゆらぎなどを正確に検出し、生産加工設備の異常個所や異常の程度を推定することが可能となり、ウェブの生産工程にフィードバック制御することで、早期に適切な工程アクションを行うことが可能な欠陥検出装置及びウェブ生産システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成されている。
【０００９】
請求項１に記載の発明は、ウェブの欠陥を検査するために、投光部から前記ウェブに光を照射しその透過光もしくは反射光を、受光部にて受光するとともに、前記受光部からの出力信号によって欠陥を検知する欠陥検査装置において、前記出力信号から地合ノイズ相当の信号を検出するための地合ノイズ検出手段を備え、前記地合ノイズ検出手段は、前記地合ノイズ相当の信号に対し、多段の閾値を有していることを特徴とする。
【００１０】
地合ノイズ信号検出手段によって、受光部からの出力信号から地合ノイズ相当の信号が検出される。生産加工設備の異常や条件の変動や、製品品質上問題とならない程度のウェブの僅かな歪等の状態は、地合ノイズ相当の信号の発生頻度や発生の特徴に顕著に現れる場合がある。つまり、生産加工設備の異常や条件の変化を、専用の装置を設置することなく、欠陥検査装置の地合ノイズ相当の信号を検出・分析することができる。
【００１１】
例えば、溶剤系の塗布では、塗布後の乾燥工程において、工程内の溶剤濃度の違いによりウェブの塗布面が変質し、品質(見栄え)に影響を与えることがある。地合ノイズ相当の信号の信号強度と信号の幅により発生した異常(塗布面の変質から乾燥工程の溶剤濃度分布)を判断することができる。また、地合ノイズ相当の信号の強度条件と信号の幅条件の別のパターンにより、乾燥条件の幅手方向の不均一さを推測することができる。
【００１２】
また、塗布工程のコーティング設備は、塗布の進行に伴い間隙部に塗布剤が徐々に蓄積していくことが知られている。蓄積度合いが酷くなると、塗布面にスジ状欠陥や帯状欠陥が発生することとなるが、地合ノイズ相当の信号に対し、多段の閾値を備え、この多段の閾値によって抽出することにより、信号振幅の経時変化を捉えることができ、欠陥を引き込まずに処置を行うことができる。地合ノイズ相当の信号の強度の強いものが、ウェブの幅手あるいは長手にランダムに発生し、且つその発生頻度が増えてきたことを多段の閾値により判断し、コーティング設備上流の塗布液の送液配管内に配置されるフィルタが目詰まりする兆候を捉えることができる。
【００１３】
地合ノイズ信号検出手段としては、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）を利用したハードウェア、ソフトウェア処理で実現できる。
【００１４】
ウェブには、例えば、写真用フィルム等の感光材料の生産工程において形成されるウェブがある。
【００１５】
欠陥検査装置とは、光学的にウェブの欠陥を検査する装置である。すなわち、投光部からウェブに光を投光するとともに、この光の透過光や反射光を受光部において受光し、ウェブの正常部位と欠陥部との相違を出力信号から検出することにより、ウェブの欠陥を検査する装置である。
【００１６】
投光部からウェブに向けて投光される光には、例えば、レーザー光、あるいはハロゲンランプによる白色光源を使用する。
【００１７】
受光部としては、例えば、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）ラインセンサがある。このＣＣＤラインセンサの画素の並びとウェブの幅手方向を略一致させて配置することにより、ウェブの状態を映像信号として、幅手方向に１ラインスキャン毎に取り込むことができる。
【００１８】
なお、光学的な欠陥検査装置において検出される地合ノイズ相当の信号の原因としては、ウェブの粗度や色合い等のムラの他、例えば、塗布工程における塗布層内の素材の不均一性、支持体や塗布層の屈折率や分子的な配向状態等の変化、乾燥条件や乾燥履歴がウェブの表面や塗布層の物理的な変化に影響して生じる光学的な歪み、等がある。
【００１９】
さらに前記したような、ムラや物性変化、を引き起こす原因となる生産加工設備の異常や条件変化としては、例えば、塗布液の不完全な攪拌作業、塗布マシンへの老廃物等の付着、乾燥工程におけるウェブの長手や幅手方向での温度分布のミスマッチ、ウェブのロット間での僅かな物性の相違、等がある。
【００２０】
請求項2に記載の発明は、前記地合ノイズ相当の信号に含まれる電気ノイズを除去する電気ノイズ除去手段を有することを特徴とする。電気ノイズ除去手段によって地合ノイズ相当の信号に含まれる電気ノイズが除去され、ウェブの欠陥相当の信号を確実に検出することが可能となる。電気ノイズ除去手段としては、例えば、ＣＰＵを利用したハードウェア、ソフトウェア処理で実現できる。
【００２１】
請求項3に記載の発明は、前記多段の閾値を超えた信号の回数及び閾値を超えた信号の幅をカウントするカウント手段を備えていることを特徴とする。カウント手段は多段の閾値を超えた信号の回数及び閾値を超えた信号の幅をカウントし、このカウント値によって、地合ノイズ相当の信号の一つの大きな特徴である、地合ノイズの周期や周波数を求めることが可能となる。カウント手段としては、例えば、ＣＰＵを利用したハードウェア、ソフトウェア処理で実現できる。
【００２２】
請求項4に記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の欠陥検出装置を備え、前記欠陥検出装置の検出結果に基づきウェブの生産工程をフィードバック制御する制御手段を備えることを特徴とする。欠陥検出装置の検出結果に基づきウェブの生産工程にフィードバック制御することで、早期に適切な工程アクションを行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、この発明の欠陥検出装置及びウェブ生産システムの実施の形態について説明するが、この発明の実施の形態は、発明の最も好ましい形態を示すものであり、これに限定されない。
【００２４】
図1は欠陥検出装置及びウェブ生産システムをウェブを連続して搬送しながら加工する生産ラインに設置した実施の形態を示す図である。
【００２５】
この実施の形態の生産ライン1は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の支持体を連続して搬送しながら感光層を塗布するラインであり、この生産ライン1には塗布工程Ａ及び乾燥工程Ｂが設置されている。塗布工程Ａでは、送液ライン４からフィルタ５を介して感光液が供給され、塗布装置２によりウェブ10に感光層を塗布する。乾燥工程Ｂでは、乾燥ブロワー6から熱風を感光層が塗布されたウェブ10に吹き付けて、感光層を乾燥させる。
【００２６】
この発明に係る欠陥検査装置20は、生産ライン1に設置され、この欠陥検査装置20によって、ウェブ10である支持体および感光層等に生じた傷、気泡、異物付着物等の欠陥を検出して排除するために、ウェブ10の欠陥の検査が行われる。
【００２７】
欠陥検査装置20は、投光部21、受光部22、処理部２３を備える。投光部21は、ウェブ10に、ハロゲンランプ等の白色照明光を投光する。受光部22は、投光部21から投光され、ウェブ10を透過した白色照明光を受光するとともに、ウェブ10の欠陥を検知するために、所定のアナログ信号を出力する。受光部22としてＣＣＤラインセンサが用いられる。処理部２３は、受光部22からのアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器、欠陥の幅手や長手の位置を検知するための手段、および、この手段を構成する機器からの出力信号を検知するとともに相互に関連付けて結合するＣＰＵ等を利用した制御手段Ｃ、これらの情報を記録するディスク記録媒体23ｄ、制御手段Ｃから出力される情報を表示するモニタ23ｂやプリンタ23ｃ等から概略構成されている。この処理部２３は、地合ノイズ相当の信号を検出・分析することにより、容易かつ安価にウェブの生産工程にフィードバックすることが可能となり、制御手段Ｃは検出結果に基づき塗布工程Ａの塗布装置２、送液ライン４、また乾燥工程の乾燥装置３などをフィードバック制御する。
【００２８】
以下に欠陥検査装置20によるウェブ10の欠陥の検査工程を、図２に基づいて説明する。
【００２９】
この欠陥検査装置20によるウェブ10の検査は、ウェブ10を断裁する前の工程で、連続して搬送されるウェブ10にハロゲンランプによる白色照明光を照射して、この透過光の光量変化から欠陥を検知するとともに、この欠陥の位置情報を検知することにより行われる。
【００３０】
先ず、透過光を受光する受光部22は、透過光を受光しながら、この透過光を電子情報、すなわち、画素毎の受光量強度に置換され、映像信号としてカメラから出力される。すなわち、透過光量の変化が生じた場合には、その変化がアナログ信号の形状や強度の変化として検出される。
【００３１】
次に、受光部22から出力された映像信号を、Ａ／Ｄ変換器23ａ1によって波形30の基となるデジタル信号に変換する。変換されたデジタル信号に電気ノイズ除去手段23ａ2により地合ノイズ相当の信号に含まれる電気ノイズを除去する。電気ノイズ除去手段23ａ2として、所定のフィルタ処理、例えば、微分処理や高周波ノイズ成分を除去する処理を施し、波形31の基となる、特徴が抽出されたデジタル信号となるようにする。
【００３２】
なお、Ａ／Ｄ変換器23ａ1としては、平均的な地合ノイズ相当の信号を２ビット以上分解できる機能を有するものである。通常、予め発生が予測される地合ノイズレベルをＡ／Ｄ変換してデータとして扱う必要はないが、地合ノイズ相当の信号を検知・利用するこの発明では、欠陥検出と同一のＡ／Ｄ変換出力データを利用する場合は、地合ノイズをも十分分解できるＡ／Ｄ変換器23ａ1が必要になる。
【００３３】
次に、フィルタ処理されたデジタル信号に対して、予め設定された、欠陥相当の信号を検出するための閾値である欠陥信号抽出コンパレータ23ａ3や、地合ノイズ相当の信号を検知するための閾値である地合ノイズ信号検知コンパレータ23ａ4の値と比較する。この比較作業は、欠陥相当の信号31ａであるか否か、あるいは、地合ノイズ相当の信号31ｂであるか否か、が判定される。
【００３４】
地合ノイズ信号検知コンパレータ23ａ4は、出力信号から地合ノイズ相当の信号を検出するための地合ノイズ検出手段を構成し、地合ノイズ相当の信号に対し、多段の閾値ａ，ｂ，ｃを備えている。閾値ａによって地合ノイズ相当の信号31ｂ1であるか否か、が判定され、閾値ｂによって地合ノイズ相当の信号31ｂ2であるか否か、が判定され、閾値ｃによって地合ノイズ相当の信号31ｂ3であるか否か、が判定され、多段の閾値ａ，ｂ，ｃによって抽出することにより地合ノイズの程度を判断することができ、この実施の形態では、多段の閾値ａ，ｂ，ｃとしているが、これに限定されず任意に設定できる。
【００３５】
また、カウント手段24を備え、図3に示すように、一定期間を示す所定の測定ゲート4０を設定するとともに、地合ノイズ信号検知コンパレータ23ａ4を測定ゲート4０内でクロスした地合ノイズ相当の信号の多段の閾値を超えた信号41の回数及び閾値を超えた信号の幅をカウントする。このカウント値によって、地合ノイズ相当の信号の一つの大きな特徴である、周期や周波数を求めることが可能となり、制御手段Ｃにおいて信号の特徴量が算出される。
【００３６】
このように、光学的にウェブの欠陥を検出する装置信号の欠陥には至らない地合ノイズ用を利用し、多段の閾値ａ，ｂ，ｃによって抽出することでウェブの色合いムラや膜内・膜面の微妙なゆらぎなどを正確に検出することができる。
【００３７】
また、制御手段Ｃでは、欠陥を検知する信号31ａであると判定された場合、もしくは、地合ノイズ相当の信号の変動を検知するために所定時間等ごとに、その時点における、欠陥の位置や時刻を相互に関連付けて結合した状態でディスク記録媒体23ｄに記録する。
【００３８】
さらに制御手段Ｃは、欠陥を表す情報をリアルタイムでモニタ23ｂに出力するととともに、連続搬送されるウェブ10の一巻が終了するごとに、あるいは所定時間ごとに、データベース化してモニタ23ｂに出力したり、ディスク記録媒体23ｄに保存したり、必要に応じてプリンタ23ｃに出力したりする。
【００３９】
次に、モニタ23ｂに出力する実施の形態を図４乃至図６に示す。
【００４０】
図4は地合ノイズ信号をウェブの長手、幅手、信号強度のパラメータで３Ｄ表示しグラフ化した図である。乾燥工程Ｂ内の溶剤濃度の違いにより乾燥したウェブの塗布面が変質し、品質(見栄え)に影響を与えた例を示し、図４（ａ）が異常時、図4（ｂ）が正常時である。地合ノイズ相当の信号強度を色で表示し、例えばウェブの塗布層を黄色、緑色、水色で表示し、信号強度が大きい部分は表側を赤色、裏側を青色で示すことができる。
【００４１】
地合ノイズ検出手段が地合ノイズ相当の信号に対し、多段の閾値ａ，ｂ，ｃを有し、この多段の閾値ａ，ｂ，ｃにより、地合ノイズ相当の信号強度と信号の幅により発生した異常を判断し、閾値ａ、閾値ｂ、閾値ｃによる信号強度から異常程度、箇所などを判断することができる。例えば、図４（ａ）の異常時では、赤色の部分が閾値ａ，ｂ，ｃを越えており、図4（ｂ）の正常時では赤色の部分がなく、多少信号強度に変化があるが黄色で表示されており、正常と判断することができる。
【００４２】
また、地合ノイズ相当の信号の強度条件と信号の幅条件の別のパターンにより、乾燥条件の幅手方向の不均一さを推測することができる。
【００４３】
図5はウェブの同一幅手位置での信号強度トレンドをグラフ化した図である。この図5においても図4と同様に、地合ノイズ相当の信号強度を色で表示している。図5（ａ）から図5（ｄ）へウェブの同一幅手位置での信号強度が変化し、破線矢印位置が劣化していくことが確認された幅手箇所である。塗布工程Ａのコーティング設備は、塗布の進行に伴い間隙部に塗布液が徐々に蓄積していき、蓄積度合いが酷くなると、塗布面にスジ状欠陥や帯状欠陥が発生する。多段の閾値ａ，ｂ，ｃを設けておくことで、信号振幅の経時変化を捉えることができ、この信号振幅の経時変化から塗布面にスジ状欠陥や帯状欠陥が発生したことを検知することができる。
また、多段の閾値ａ，ｂ，ｃによる信号強度の度合いにより、多層塗布の異常個所を層別に特定することができる。このことにより、塗布工程Ａの異常が生じる層の部分の制御を行い、欠陥を引き込まずかつ適切な層の処置を行うことができる。  
【００４４】
図6は多段の閾値ａ，ｂ，ｃを超えた箇所を長手（横軸）、幅手（縦軸）のグラフにプロットした図である。閾値ａを超えた箇所は小さな点ａ1で示し、閾値ｂを超えた箇所は中程度の点ｂ1で示し、閾値ｃを超えた箇所は大きな点ｃ1で示し、太いラインｄによって示している。塗布の経過に伴ない閾値を超える信号が増えてきていることがわかり、コーティング設備上流の塗布液の送液配管内フィルタの目詰まりの兆候を捉えることができる。
【００４５】
この実施の形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
【００４６】
受光部22から出力された出力信号の中からウェブ10の欠陥相当の信号が検出されるため、この信号から、欠陥の大きさ・種類等とともに欠陥の生じた位置や発生時刻を検知することが可能となる。
【００４７】
また、出力信号の中から地合ノイズ相当の信号が検出される。ところで、生産加工設備の異常や条件の変動や、製品品質上問題とならない程度のウェブａの僅かな歪等の状態は、地合ノイズ相当の信号の発生頻度や発生の特徴に顕著に現れる場合がある。つまり、生産加工設備の異常や条件の変動と、製品品質上問題とならない程度のウェブの僅かな歪等の状態との因果関係を、専用の装置を設置することなく、地合ノイズ相当の信号を検出・分析することにより捉えることが可能となる。
【００４８】
すなわち、図4に示すように、溶剤系の塗布では、塗布後の乾燥工程において、乾燥工程Ｂ内の溶剤濃度の違いにより塗布面が変質し、ウェブ品質(見栄え)に影響を与えることがあるが、多段の閾値ａ，ｂ，ｃにより、地合ノイズ相当の信号強度と信号の幅により発生した異常の程度を判断することができる。また、地合ノイズ相当の信号の強度条件と信号の幅条件の別のパターンにより、乾燥条件の幅手方向の不均一さを推測することができる。
【００４９】
この異常程度の判断によって、乾燥工程Ｂ内の異常個所、異常の程度などを判断することができ、制御手段Ｃによって、フィードバック制御する制御して乾燥工程Ｂの乾燥条件(乾燥風量、乾燥風圧、溶剤濃度バランスなど)を調整することができる。
【００５０】
また、塗布工程のコーティング設備は、塗布の進行に伴ない間隙部に塗布液が徐々に蓄積していくことが知られており、蓄積度合いが酷くなると、塗布面にスジ状欠陥や帯状欠陥が発生することとなるが、図5に示すように、多段の閾値ａ，ｂ，ｃを設けておくことで信号振幅の経時変化を捉えることができる。
【００５１】
この異常程度の判断によって、塗布工程Ａ内の塗布の進行に伴ない間隙部に塗布液が徐々に蓄積していることを判断することができ、フィードバック制御する制御して塗布工程Ａの塗布を停止したり、異常個所の清掃などを行うことで、欠陥を引き込まずに処置を行うことができる。
【００５２】
また、図6に示すように、多段の閾値ａ，ｂ，ｃを超えた箇所を長手（横軸）、幅手（縦軸）のグラフにプロットすることで、地合ノイズに相当する信号強度の強いものが、幅手、長手にランダムに発生し、且つその発生頻度が増えてきたことがわかる。
【００５３】
この異常程度の判断によって、塗布工程Ａ内のコーティング設備上流の塗布剤送液配管内のフィルタ目詰まりの兆候を捉えることができ、フィードバック制御する制御して塗布工程Ａの塗布を停止し、フィルタの清掃、交換などを行うことで、欠陥を引き込まずに処置を行うことができる。
【００５４】
このようにして、この発明では専用の設備を設置することなく異常を判断し、欠陥検出装置の検出結果に基づきウェブの生産工程にフィードバック制御することで、早期に適切な工程アクションを行うことが可能となる。
【００５５】
欠陥検知装置20は、投光部21からウェブ10に向けて投光される光として白色光源であるハロゲンランプが用いられるとともに、受光部22としてＣＣＤラインセンサが用いられる。ここで、白色光源を用いることにより、ウェブ10の材質、厚さ等の影響を受けにくくするとともに、装置を安価に構成することができる。
【００５６】
また、ＣＣＤラインセンサは、画素が多数配列された構造で、一つ一つの画素が受光した光強度を記憶できるため、強度と受光パターンの広がりやその特徴を同時に検知することができ、欠陥の検出のみならず、その特徴抽出が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
この発明は、例えば写真用フィルム等のウェブを連続して搬送しながら加工する生産ラインに設置され、専用の設備を設置することなく異常を判断し、ウェブの生産工程にフィードバック制御することで、早期に適切な工程アクションを行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】欠陥検出装置及びウェブ生産システムをウェブを連続して搬送しながら加工する生産ラインに設置した実施の形態を示す図である。
【図２】ＣＣＤラインセンサから出力される出力信号から、欠陥情報および地合ノイズ変動情報を抽出し、フィードバック制御する概略ブロック図である。
【図３】検出信号の処理工程を示す図である。
【図４】地合ノイズ信号をウェブの長手、幅手、信号強度のパラメータで３Ｄ表示しゲラフ化した図である。
【図５】ウェブの同一幅手位置での信号強度トレンドをゲラフ化した図である。
【図６】多段の閾値を超えた箇所を長手（横軸）、幅手（縦軸）のグラフにプロットした図である。
【符号の説明】
【００５９】
10  ウェブ
20 欠陥検査装置
21 投光部
22 受光部
23 処理部
23ａ 欠陥信号抽出コンパレータ
23ｂ 地合ノイズ信号検知コンパレータ
ａ，ｂ，ｃ  閾値
Ａ  塗布工程
Ｂ  乾燥工程
Ｃ  制御手段
【図１】
2007003391.tif 000003
【図２】
2007003391.tif 000004
【図３】
2007003391.tif 000005
【図４】
2007003391.tif 000006
【図５】
2007003391.tif 000007
【図６】
2007003391.tif 000008