(57)【要約】【課題】熱線式流量計を構成する発熱温度センサ等における測定対象である水に接触する部位に、水中に生じるスケール、スライム等の不純物が付着するのを効果的に防止する。【解決手段】流路１の途中に介装する管路体１０と、発熱手段である発熱温度センサ２０と、温度検知手段である通常の温度センサ３０とを有し、湯水に直接的に接する発熱温度センサ２０の放熱面部２１ａと温度センサ３０の検知面部３１ａに、それぞれ殺菌力のある金属ＣｕやＡｇ等をメッキする。【選択図】図１
2007003545.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体の流路に、被測定流体に接する放熱面部を備えた発熱手段を配置し、被測定流体への熱伝達により熱を損失する前記発熱手段の温度を検出することで、被測定流体の流量を検出する熱線式流量計であって、
少なくとも前記発熱手段の放熱面部に、不純物が付着するのを防ぐ不純物付着防止処理を施し、
前記不純物付着防止処理は、前記発熱手段の放熱面部に、殺菌力のある金属をメッキしたことであることを特徴とする熱線式流量計。
【請求項２】
被測定流体の流路に、被測定流体に接する検知面部を備えた温度検知手段を配置し、該温度検知手段が検出した被測定流体の水温に基づき、前記発熱手段により検出された流量を補正する熱線式流量計であって、
前記温度検知手段の検知面部に、不純物が付着するのを防ぐ不純物付着防止処理を施し、
前記不純物付着防止処理は、前記温度検知手段の検知面部に、殺菌力のある金属をメッキしたことであることを特徴とする請求項１に記載の熱線式流量計。
【請求項３】
被測定流体の流路の途中に介装する管路体を備え、該管路体に前記発熱手段を埋設し、その放熱面部を、前記管路体の内周面とほぼ同一面上に露出させたことを特徴とする請求項１または２に記載の熱線式流量計。
【請求項４】
被測定流体の流路の途中に介装する管路体を備え、該管路体に前記発熱手段及び温度検知手段を埋設し、それぞれの放熱面部及び検知面部を、管路体の内周面とほぼ同一面上に露出させたことを特徴とする請求項２に記載の熱線式流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定流体の流路に、被測定流体に接する放熱面部を備えた発熱手段を配置し、被測定流体への熱伝達により熱を損失する前記発熱手段の温度を検出することで、被測定流体の流量を検出する熱線式流量計に関し、そのうち特に、前記発熱手段の放熱面部に、被測定流体中に生じるスケール、スライム等の不純物が付着するのを防ぐ不純物付着防止処理に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、水の流量を測定するための流量計には、代表的なものとして、図９に示すような水車型流量計や、図１０に示すような、いわゆるカルマン渦式流量計が知られている。
【０００３】
図９に示す水車型流量計は、複数の羽根３が、流路１中を矢印Ａの方向に流れる水を受けて、支柱軸２を回転中心として回転するように構成されており、各羽根３の先端側に設けられた磁石４がホールＩＣ５に近づいたときに、そのことをホールＩＣ５で検知するようになっている。磁石４がホールＩＣ５近傍を通る回数を単位時間当たりに検出することにより、水の流量を検知できるように設定されている。
【０００４】
図１０に示すカルマン渦式流量計は、矢印Ａの方向に水が流れる流路１に、カルマン渦発生用の棒状の渦発生手段６を設け、この渦発生手段６の下流側に、カルマン渦による水の振動を検知する振動検知素子７を設置して構成されている。かかるカルマン渦式流量計では、振動検知素子７によって、例えば周波数を検知することにより水の流量を検知できるように設定されている。
【０００５】
前記何れのタイプの流量計であっても、例えば、風呂装置における給湯管に設ける場合等、測定する水が比較的きれいであれば問題はないが、例えば、風呂装置における追い焚き用の戻り管に設ける場合等、測定する水に、髪の毛や垢等の不純物が多く含まれていると問題があった。
【０００６】
すなわち、図９に示す水車型流量計では、複数の羽根３や支柱軸２に髪の毛が絡まったりごみ等も付着しやすく、正確な測定ができなくなるばかりか、流路１における水詰まりの原因にもなり得るという問題があった。一方、図１０に示すカルマン渦式流量計では、前記水車型流量計よりは髪の毛等が付着しにくいものの、やはり突起物である渦発生手段６や、振動検知素子７には髪の毛等が付着することがあり、誤検出や水詰まりの原因となる虞があった。
【０００７】
以上の問題点を解決し得る技術として、最近では、いわゆる熱線式流量センサの研究開発が進められている。一般に熱線式流量計は、流路中を流れる水に接する放熱面部を備えた発熱温度センサと、流路中を流れる水の温度を測定する通常の温度センサとを備えるように構成される。
【０００８】
熱線式流量計は特開昭５３−４３２４４号公報や特開昭６２−２４８９１９号公報に示されるように、原理的に言えば、発熱させている発熱温度センサは、水の流量が増えると水流による冷却度合いが強くなり温度が低下するが、かかる温度低下は流量に依存するため、前記発熱温度センサ自体の温度を検出することで流量を測定できるものである。一方、通常の温度センサは、水の温度を測定し温度出力や、温度誤差の補正に使用されるものである。なお、熱線式流量計の出力特性は、図１１に示すグラフのようになる。
【０００９】
このような熱線式流量計によれば、前記発熱温度センサや温度センサを水に接触させる各々の部位は、流路中に突出させる必要はなく、水流に対する余分な抵抗とならないように、例えば、流路壁面と同一面上で水に接するように形成することが可能である。そうすれば、熱線式流量計の一部に、髪の毛等の不純物が付着するという前述の問題点を解消し得る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、各種流量計の測定対象となる水中に含まれる不純物は、前記髪の毛や垢ばかりではなく、他に主なものとして、金属面に付着する酸化物（例えば炭酸カルシウム等）の被膜であるスケールや、水中の石灰・石膏等が固結した湯垢、それに微生物の分泌物が主成分となるスライム等がある。
【００１１】
スケール等の不純物は、前記水車型流量計や、カルマン渦式流量計の各々の構成部品に付着して、水流の測定に誤差を生じさせる原因となる他、前記熱線式流量計においても、長年の間に発熱温度センサや温度センサの水に接触する部位に付着することは当然考えられる。
【００１２】
そうなると、図１１に示すグラフ中で破線で示したように、熱線式流量計でもゲインの低下や応答速度の低下が想定されるため、熱線式流量計を構成する発熱温度センサや温度センサの水に接触する部位について、如何にスケールやスライム等の不純物が付着するのを防止するかが、重要な研究課題として挙げられていた。
【００１３】
本発明は、以上のような研究課題に着目してなされたものであり、熱線式流量計を構成する発熱温度センサ等における測定対象である水に接触する部位に、水中に生じるスケール、スライム等の不純物が付着するのを効果的に防止することができる不純物付着防止処理を施した熱線式流量計を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前述した目的を達成するための本発明の要旨とするところは、以下の各項に存する。  
１．被測定流体の流路（１）に、被測定流体に接する放熱面部（２１ａ）を備えた発熱手段（２０）を配置し、被測定流体への熱伝達により熱を損失する前記発熱手段（２０）の温度を検出することで、被測定流体の流量を検出する熱線式流量計であって、
少なくとも前記発熱手段（２０）の放熱面部（２１ａ）に、不純物が付着するのを防ぐ不純物付着防止処理を施し、
前記不純物付着防止処理は、前記発熱手段（２０）の放熱面部（２１ａ）に、殺菌力のある金属をメッキしたことであることを特徴とする熱線式流量計。
【００１５】
２．被測定流体の流路（１）に、被測定流体に接する検知面部（３１ａ）を備えた温度検知手段（３０）を配置し、該温度検知手段（３０）が検出した被測定流体の水温に基づき、前記発熱手段（２０）により検出された流量を補正する熱線式流量計であって、
前記温度検知手段（３０）の検知面部（３１ａ）に、不純物が付着するのを防ぐ不純物付着防止処理を施し、
前記不純物付着防止処理は、前記温度検知手段（３０）の検知面部（３１ａ）に、殺菌力のある金属をメッキしたことであることを特徴とする１項に記載の熱線式流量計。
【００１６】
３．被測定流体の流路（１）の途中に介装する管路体（１０）を備え、該管路体（１０）に前記発熱手段（２０）を埋設し、その放熱面部（２１ａ）を、前記管路体（１０）の内周面とほぼ同一面上に露出させたことを特徴とする１項または２項に記載の熱線式流量計。
【００１７】
４．被測定流体の流路（１）の途中に介装する管路体（１０）を備え、該管路体（１０）に前記発熱手段（２０）及び温度検知手段（３０）を埋設し、それぞれの放熱面部（２１ａ）及び検知面部（３１ａ）を、管路体（１０）の内周面とほぼ同一面上に露出させたことを特徴とする２項に記載の熱線式流量計。
【００１８】
次に前述した解決手段に基づく作用を説明する。  
本発明に係る１項記載の熱線式流量計によれば、被測定流体の流路（１）に、被測定流体に接する放熱面部（２１ａ）を備えた発熱手段（２０）を配置し、被測定流体への熱伝達により熱を損失する前記発熱手段（２０）の温度を検出することで、被測定流体の流量を検出する。
【００１９】
そして、少なくとも前記発熱手段（２０）の放熱面部（２１ａ）に、被測定流体中に生じるスケール、スライムを含む不純物が付着するのを防ぐ不純物付着防止処理を施す。それにより、長年に亘って前記放熱面部（２１ａ）を水に浸けていても、前記放熱面部（２１ａ）に不純物が付着しなくなり、該不純物を原因とする流量計におけるゲインの低下や応答速度の低下を防ぐことが可能となる。
【００２０】
前記不純物付着防止処理は、前記発熱手段（２０）の放熱面部（２１ａ）に、殺菌力のある金属をメッキすることである。これにより、材質の選択だけで簡単に殺菌力を得ることができる。ここで殺菌力のある金属とは、例えばＡｇ、Ｃｕ等があり、これらの金属を用いれば、主として微生物の繁殖を抑制することができ、スライム等の付着を防止することができる。
【００２１】
また、２項に記載の熱線式流量計によれば、被測定流体の流路（１）に、被測定流体に接する検知面部（３１ａ）を備えた温度検知手段（３０）を配置し、該温度検知手段（３０）が検出した被測定流体の水温に基づき、前記発熱手段（２０）により検出された流量を補正する。
【００２２】
従って、被測定流体に温度変化があっても、温度検知手段（３０）からのデータに基づき、前記発熱手段（２０）の温度出力や、温度誤差の補正を行うことができ、より正確な流量の測定を行うことができる。
【００２３】
また、３項または４項に記載のように、前記発熱手段（２０）や温度検知手段（３０）を、流路（１）途中に介装する管路体（１０）に埋設し、それぞれの放熱面部（２１ａ）や検知面部（３１ａ）を、管路体（１０）の内周面とほぼ同一面上に露出させれば、流路（１）中に突出することなく、水流に対する余分な抵抗とならず、また、髪の毛等の不純物が絡まるように付着するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る熱線式流量計によれば、被測定流体に直接接する発熱手段の放熱面部、あるいは温度検知手段の検知面部に、被測定流体中に生じるスケール、スライムを含む不純物が付着するのを防ぐ不純物付着防止処理として、発熱手段の放熱面部に殺菌力のある金属をメッキすることにより、長年に亘って前記放熱面部等を水に浸けていても、放熱面部等に不純物が付着しなくなり、該不純物を原因とする流量計におけるゲインの低下や、応答速度の低下を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面に基づき、本発明の各種実施の形態を説明する。  
先ず、本発明に係る熱線式流量計の測定原理について説明する。  
発熱温度センサ（発熱手段）のチップ（放熱面部）は、直径Ｄの流路中を流れる水に対して、表面積Ｓで接しているものとする。ここで表面積Ｓから単位時間に伝達される熱量Ｑは、次式で表される。  
Ｑ＝αＳ（Ｔｗ−Ｔｏ）
Ｔｗ：物体の表面温度
Ｔｏ：流体温度
α：熱伝導率
熱量Ｑを一定とするとαが変化する。
【００２６】
ここでα＝Ｎｕ・λ／Ｄと、
流路内乱流の熱伝達の実験式Ｎｕ＝０．０２３Ｒｅ０．８Ｐｒ０．４とからαを求めると、
α＝０．０２３λ／Ｄ・Ｒｅ０．８Ｐｒ０．４となる。
λ：流体の熱伝導率
Ｄ：流路の内径
Ｒｅ：ＶＤ／υ
Ｐｒ：υρＣ／λ
前記式よりＴｗ（チップの温度）−Ｔｏ（流水の温度）と、λが一定であれば、Ｑはαに比例する。また、αはＲｅの関数であることから、Ｑは流速に比例する。
【００２７】
ここでαを書き直すと、次式で表される。  
α＝０．０２３λ／Ｄ・（ＶＤ／υ）０．８・（υρＣ／λ）０．４
以上のことから、熱量Ｑを求めることにより、流量（流速）を測定することができる。熱線式流量計は前述した原理を応用したものである。
【００２８】
第１の実施の形態に係る熱線式流量計は、図１に示すように、被測定流体の流路１の途中に介装する管路体１０と、発熱手段である発熱温度センサ２０と、温度検知手段である通常の温度センサ３０と、前記発熱温度センサ２０及び温度センサ３０を接続したブリッジ回路４０（図５参照）を具備して成る。
【００２９】
流路１は、具体的には例えば、風呂装置（図示せず）における給湯管や、追い焚き用の戻り管であり、被測定流体としては湯水が該当する。図１に示すように、管路体１０は、湯水を矢印Ａの方向に通す芯管１１と、芯管１１の外周を覆う外管１２とから成る。
【００３０】
管路体１０の両端にある接続口の周囲には、流路１の接続端部に接続するためにねじ溝が刻設された継手部１３、１３が形成されている。管路体１０の材質は、熱伝導率の小さい合成樹脂が望ましい。なお、管路体１０の内径は、流路１の内径と同一程度まで大きくする方が、最大流量時における流速が小さくなり、後述する発熱温度センサ２０や温度センサ３０の感度が大きなところで動作することから、好ましい。
【００３１】
図１に示すように、発熱温度センサ２０は、湯水に接する放熱面部２１ａを除いて前記管路体１０内部に埋設されている。それにより、発熱温度センサ２０は、断熱材（管路体１０の材質）で覆われて、外表面が直接空気に触れないため、対流による熱損失は低減される。
【００３２】
図２に示すように、発熱温度センサ２０は、湯水への熱流伝達を円滑に行うように、湯水に接液する電極構造が採用されている。すなわち、発熱温度センサ２０は、電極としてのチップ２１と、チップ２１の上端面に設置された抵抗２２とから構成される。チップ２１の下方に延出した円柱部分の先端面側が、湯水に直接的に接する放熱面部２１ａとなっている。放熱面部２１ａは、芯管１１の内周面とほぼ同一面上に露出している。
【００３３】
チップ２１の材質は、熱伝導率が大きいものを選択し、また熱容量が小さくなるように設計するとよい。本実施の形態では、前記放熱面部２１ａに、湯水中に生じるスケール、スライム等の不純物が付着するのを防ぐための不純物付着防止処理として、放熱面部２１ａを含むチップ２１総てを殺菌力のある金属で成形する。かかる殺菌力を備え、しかも前述した熱伝導率が大きい金属としては、ＣｕやＡｇ等が相当する。また、ＴｉＯ等の金属酸化物でもよい。
【００３４】
また、前記金属で放熱面部２１ａを総て成形するのが、例えばコスト面等で妥当でない場合、放熱面部２１ａに前記金属を所定割合で含有させるだけでもよく（いわゆるドープ）、あるいは、図４に示したように、放熱面部の表面にだけ前記殺菌力のある金属をメッキしてもよい。
【００３５】
抵抗２２は、具体的に薄膜チップ抵抗からなり、その発熱は、薄膜チップ抵抗自体に電力を供給することによる自己発熱を利用する。更に詳しく言えば、抵抗２２は純ニッケル抵抗から成り、チップ２１の上端面に抵抗２２は接着剤にて接合されている。
【００３６】
管路体１０内における湯水の流量の増加は、湯水中に伝達される熱の増加になり、抵抗２２内の残留熱が減少する。その結果、抵抗２２の温度が低下し、抵抗値が下がる。すなわち、抵抗２２の抵抗値変化を測定すれば、湯水の流量が求められることになる。
【００３７】
前述したような発熱温度センサ２０は、管路体１０の内径全周に亘り湯水を温めるのではなく、チップ２１の放熱面部２１ａが接する乱流境界層だけを温めるようになっている。発熱温度センサ２０は、具体的には、図３（ａ）〜（ｃ）に示す形状に構成されるが、チップ２１の形状は図示したものに限られない。要は、外表面が抵抗２２の設置に適しており、シールに適しており、放熱面部２１ａが接液すること等を備える構造であればよい。ただし、前述したように、熱容量が小さくなるように設計することが好感度を得る条件となる。
【００３８】
一方、温度センサ３０は、湯水の温度を測定して温度出力や温度誤差を補正し、前記発熱温度センサ２０により検出された流量を補正するものである。仮に、湯水の温度が常に一定であり、湯水の温度変化による影響を除去する必要がないような場合は、温度センサ３０を設ける必要はない。
【００３９】
温度センサ３０は、前記発熱温度センサ２０と熱特性が同じになるように、発熱温度センサ２０とほぼ同一に構成されている。すなわち、温度センサ３０も、電極としてのチップ３１と、チップ３１の上端面に設置された抵抗３２とから構成され、チップ３１の下方に延出した円柱部分の先端面側が、湯水に直接的に接する検知面部３１ａとなっている。
【００４０】
図１に示すように、温度センサ３０も、前記発熱温度センサ２０と同様に、湯水に接する検知面部３１ａを除いて前記管路体１０内部に埋設されるが、温度センサ３０の埋設位置は、発熱温度センサ２０の影響を受けないように、発熱温度センサ２０の上流側に設定されている。また、温度センサ３０を構成するチップ３１の材質は、チップ２１と同一の殺菌力のある金属が採用され、それにより、検知面部３１ａにも不純物付着防止処理が施されている。
【００４１】
図５は、前記発熱温度センサ２０及び温度センサ３０のそれぞれの抵抗２２、３２を含むブリッジ回路４０を示している。ブリッジ回路４０に、定電圧源４１から一定電圧を供給すると、発熱温度センサ２０の抵抗２２は、温度センサ３０により検出される湯水の温度より、例えば＋２０℃位に発熱するように設定されている。
【００４２】
ブリッジ回路４０には、前記抵抗２２、３２に対向するように一対の抵抗４２、４３が設けられている。抵抗４２、４３は、ブリッジ回路４０の両端電圧を一定比率に分割するための抵抗である。また、抵抗３２と抵抗４３との間には、基準温度時におけるブリッジ回路４０のゼロ調整用の抵抗４４が設けられている。
【００４３】
また、ブリッジ回路４０には、このブリッジ回路４０の出力を増幅して流量信号を得るための差動増幅回路４５が接続されている。差動増幅回路４５は、抵抗４６、４７、４８と、演算増幅器４９から成り、演算増幅器４９の反転入力端子は、抵抗４６を介して、前記抵抗２２、４２の中点に接続され、演算増幅器４９の非反転入力端子は、抵抗４７を介して抵抗４４に接続されている。
【００４４】
このようなブリッジ回路４０の電圧に基づいて得られるデータから、管路体１０中を流れる湯水の流量を測定することができる。なお、ブリッジ回路４０における発熱温度センサ２０の抵抗２２の両端の電圧Ｅは、Ｅ＝Ｒ1Ｖ／（Ｒ1＋Ｒ2）で表される。ここでＲ1は抵抗２２の抵抗値であり、Ｒ2は抵抗４２の抵抗値である。抵抗２２の抵抗変化ΔＲ1による電圧変化ΔＥは、次式で表される。  
ΔＥ＝Ｒ2Ｖ／（Ｒ1＋Ｒ2）２ΔＲ1
【００４５】
次に作用を説明する。  
以上のような熱線式流量計によれば、管路体１０に埋設した発熱温度センサ２０の放熱面部２１ａから流水に伝達される熱流を、図５に示すブリッジ回路４０の電圧変化から検出し、このデータに基づいて、管路体１０中の流量を測定することができる。
【００４６】
熱線式流量計のうち発熱温度センサ２０の放熱面部２１ａと、温度センサ３０の検知面部３１ａは、長時間管路体１０中を流れる湯水に接触するため、湯水中の不純物が付着する虞がある。ところが、本実施の形態では、前記発熱温度センサ２０や温度センサ３０を、それぞれ殺菌力のある金属（例えばＡｇ、Ｃｕ、ＴｉＯ等）により成形したから、このような材質の選択だけで、放熱面部２１ａや検知面部３１ａにおける殺菌力を簡単に得ることができる。
【００４７】
それにより、湯水に接する放熱面部２１ａや検知面部３１ａにおける、微生物の付着・繁殖を抑制することができ、主としてスライム等の付着を防止することができる。従って、スライム等の不純物を原因とする流量計におけるゲインの低下や応答速度の低下を防ぐことが可能となる。
【００４８】
また、放熱面部２１ａや検知面部３１ａを総て前記金属で成形するのが、例えばコスト面（Ａｇは高価である等）等で妥当でない場合、放熱面部２１ａや検知面部３１ａに前記金属を所定割合で含有させるだけでもよく（いわゆるドープ）、あるいは、図４に示したように、放熱面部２１ａや検知面部３１ａの表面にだけ、前記殺菌力のある金属をメッキしてもよい。
【００４９】
図６は、本発明の第２の実施の形態を示している。  
本実施の形態は、発熱温度センサ２０の放熱面部２１ａに、不純物付着防止処理として、摩擦係数の少ない物質をコーティング加工している。ここで摩擦係数の少ない物質とは、例えばテフロン（登録商標、ポリテトラフルオロエチレンの商品名）等が適する。ここでチップ２１の材質は、前記第１の実施の形態に係る金属に限定されるものではない。温度センサ３０の検知面部３１ａについても、同様のコーティング加工を施すとよい。
【００５０】
このように、チップ２１の放熱面部２１ａにだけ、テフロンに代表される摩擦係数の少ない物質をコーティング加工すれば、チップ２１自体の材質の如何に関わらず、放熱面部２１ａの表面に、水中の微細な塵等の固形物が付着したり、集積したりするのを防ぐことができる。
【００５１】
図７は、本発明の第３の実施の形態を示している。  
本実施の形態では、発熱温度センサ２０の放熱面部２１ａの周囲を、不純物が付着しにくい程度の流速で、被測定流体が流れるように設定している。具体的には、図７に示すように、被測定流体である湯水の流路１の途中に、センサ流路１ａをバイパス経路として設ける。センサ流路１ａの入口の直ぐ下流側には、センサ流路１ａ内に湯水を導くためのガイド凸部８が設けられている。
【００５２】
また、センサ流路１ａの入口と出口の間に位置する流路１内には、流路１とセンサ流路１ａとの分流比を一定にするための層流エレメント９が設けられている。そして、熱線式流量センサの管路体１０の内径は、センサ流路１ａの内径に等しくなるように設定される。
【００５３】
不純物が付着しにくい流速としては、実験的には３ｍ／ｓ程度であることが確かめられている。従って、流路１における最低流量に対して、少なくともセンサ流路１ａ内の流量が３ｍ／ｓ以上になるように、流路１とセンサ流路１ａとの分流比を設定するとよい。流路１における流量は、流量センサが実際測定するセンサ流路１ａにおける流量データを、前記流路１とセンサ流路１ａとの分流比で補正することにより求めることができる。
【００５４】
このように、管路体１０内、すなわち、放熱面部２１ａや検知面部３１ａの周囲を、不純物が付着しにくい程度の流速で湯水が流れるようにすれば、前記放熱面部２１ａや検知面部３１ａの表面に、微細な固形物が付着したり集積したりするのを防ぐことができる。なお、本実施の形態における構成は、前記第１または第２の実施の形態における放熱面部２１ａや検知面部３１ａの構成と組み合わせることができる。
【００５５】
図８は、本発明の第４の実施の形態を示している。  
本実施の形態では、発熱温度センサ２０のチップ２１と温度センサ３０のチップ３１とを、それぞれ第１の実施の形態と同様に電極として構成し、これらにＡＣ電源５０から所定の電圧を印加するように構成されている。
【００５６】
それにより、放熱面部２１ａと検知面部３１ａとの間に交流波を示す電解が発生し、かかる電解により生じた電子が、湯水中に溶解している鉱物質を電離する。従って、鉱物質等のスケールが放熱面部２１ａと検知面部３１ａに付着したり集積したりするのを防ぐことができる。
【００５７】
本実施の形態では、特に、水中に含まれる硬質のカルシウムやマグネシウムが、イオン化して活性化された水により軟質のカルシウムやマグネシウム化合物となり、放熱面部２１ａや検知面部３１ａの表面にスケールとなって付着するのを効果的に防ぐことができる。なお、図８中では図示省略したが、ＡＣ電源５０の出力を定電圧回路によって定電圧化するように構成するとよい。
【００５８】
なお、本発明の根幹を成す不純物付着防止処理は、前述した各種実施の形態で具体的に示すものに限定されるわけではない。本実施の形態では、被測定流体として液体（水）の例を示してきたが、特開昭５３−４３２４４号公報に示されるように気体であってもかまわない。この場合、特にセンサを被測定流体中に突出させずに、測定管路表面とほぼ同一平面とし、かつ表面にテフロンコーティングをすることで、空気中のごみ、チリ等の付着による測定感度劣化を防止できる。また、放熱面部２１ａに不純物付着防止手段を設ける以外に、検知面部３１ａにも同様の処理を行うとよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】第１の実施の形態に係る熱線式流量計を示す断面図である。
【図２】第１の実施の形態に係る熱線式流量計を構成する発熱温度センサを拡大して示す断面図である。
【図３】第１の実施の形態に係る熱線式流量計を構成する発熱温度センサを示す（ａ）平面図、（ｂ）正面図、（ｃ）側面図である。
【図４】第１の実施の形態に近い他の実施の形態に係る発熱温度センサを示す断面図である。
【図５】第１の実施の形態に係る熱線式流量計を構成するブロック回路を示す回路図である。
【図６】第２の実施の形態に係る熱線式流量計を構成する発熱温度センサを拡大して示す断面図である。
【図７】第３の実施の形態に係る熱線式流量計を概略的に示す断面図である。
【図８】第４の実施の形態に係る熱線式流量計を示す断面図である。
【図９】従来の水車式流量計を示す説明図である。
【図１０】従来のカルマン渦式流量計を示す説明図である。
【図１１】熱線式流量計の出力特性を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６０】
１…流路
１ａ…センサ流路
１０…管路体
１１…芯管
１２…外管
１３…継手部
２０…発熱温度センサ
２１…チップ
２１ａ…放熱面部
２２…抵抗
３０…温度センサ
３１…チップ
３１ａ…検知面部
３２…抵抗
４０…ブリッジ回路
４１…定電圧源
４２…抵抗
４３…抵抗
４４…抵抗
４５…差動増幅回路
４９…演算増幅器
５０…ＡＣ電源
【図１】
2007003545.tif 000003
【図２】
2007003545.tif 000004
【図３】
2007003545.tif 000005
【図４】
2007003545.tif 000006
【図５】
2007003545.tif 000007
【図６】
2007003545.tif 000008
【図７】
2007003545.tif 000009
【図８】
2007003545.tif 000010
【図９】
2007003545.tif 000011
【図１０】
2007003545.tif 000012
【図１１】
2007003545.tif 000013