(57)【要約】【課題】液晶表示パネルの動的特性に基づく欠陥を、精度よく検査する方法等を提供する。【解決手段】上述した課題は、対向する電極の間に液晶材料を封入した液晶素子を備えた画素を、マトリクス状に配置した液晶表示パネルの検査方法であって、被検査画素の前記液晶素子の前記対向する電極の間に、第１の電圧を印加する第１充電工程と、前記被検査画素の前記液晶素子の対向する電極の間に、第１の電圧とは逆極性の第２の電圧を印加する第２充電工程と、前記第２充電工程後に、前記被検査画素の前記液晶素子の前記電極に蓄積された電荷を放電し、放電された電荷量を測定する測定工程と、を含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査方法等により解決することができる。【選択図】図１
2007199429.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する電極の間に液晶材料を封入した液晶素子を備えた画素を、マトリクス状に配置した液晶表示パネルの検査方法であって、
被検査画素の前記液晶素子の前記対向する電極の間に、第１の電圧を印加する第１充電工程と、
前記被検査画素の液晶素子の対向する電極の間に、第１の電圧とは逆極性の第２の電圧を印加する第２充電工程と、
前記第２充電工程後に、前記被検査画素の前記液晶素子の前記電極に蓄積された電荷を放電し、放電された電荷量を測定する測定工程と、を含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２】
前記第１の電圧の絶対値と前記第２の電圧の絶対値とが等しいことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項３】
対向する電極の間に液晶材料を封入した液晶素子を備えた画素を、マトリクス状に配置した液晶表示パネルの製造方法であって、前記製造方法が前記液晶素子の欠陥の有無を検査する検査工程を含み、前記検査工程が、
被検査画素の前記液晶素子の前記対向する電極の間に、第１の電圧を印加する第１充電工程と、
前記被検査画素の液晶素子の対向する電極の間に、第１の電圧とは逆極性の第２の電圧を印加する第２充電工程と、
前記第２充電工程後に、前記被検査画素の前記液晶素子の前記電極に蓄積された電荷を放電し、放電された電荷量を測定する測定工程と、を含むことを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項４】
対向する電極の間に液晶材料を封入した液晶素子を備えた画素を、マトリクス状に配置した液晶表示パネルの検査方法であって、
被検査画素の前記液晶素子の前記対向する電極の間に、検査電圧を印加する充電工程と、
前記液晶素子の前記電極に蓄積された電荷を放電し、放電される電荷の経時的変化を求める測定工程と、を含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査方法。
【請求項５】
前記測定工程が、放電開始直後の状態と放電開始直後から所定時間経過後の状態との変化から、前記放電される電荷の経時的変化を求めることを特徴とする請求項４に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項６】
対向する電極の間に液晶材料を封入した液晶素子を備えた画素を、マトリクス状に配置した液晶表示パネルの製造方法であって、前記製造方法が前記液晶素子の欠陥の有無を検査する検査工程を含み、前記検査工程が、
被検査画素の前記液晶素子の前記対向する電極に、検査電圧を印加する充電工程と、
前記液晶素子の前記電極に蓄積された電荷を放電し、放電開始から所定の時間間隔をおいて、放電された電荷の電荷量を測定し、前記電荷量の変化を求める測定工程と、を含むことを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項７】
複数の制御線と、前記複数の制御線と交差する複数の信号線と、前記制御線と前記信号線との交差位置に配置され、液晶素子と前記制御線の信号に基づいて前記信号線と前記液晶素子との接続状態を制御するスイッチ素子とを備えた画素と、前記液晶素子の基準電位をあたえる共通線と、を備えた液晶表示パネルの検査装置であって、前記検査装置が、
電源と、
電荷量測定装置と、
前記電源を被検査画素の前記共通線に接続して前記被検査画素の前記液晶素子の前記対向する電極の間に電圧を印加する工程と、前記電源を前記被検査画素が接続された前記信号線に接続して前記被検査画素の前記液晶素子の前記対向する電極の間に電圧を印加する工程と、前記被検査画素の前記液晶素子の前記電極に蓄積された電荷を放電して、前記電荷量測定装置により放電された電荷の電荷量を測定する工程と、を実行する制御装置と、を備えたことを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。
【請求項８】
複数の制御線と、前記複数の制御線と交差する複数の信号線と、前記制御線と前記信号線との交差位置に配置された画素とを有し、前記画素が、液晶素子と、前記制御線の信号に基づいて前記信号線と前記液晶素子との接続状態を制御するスイッチ素子とを有する液晶表示パネルの検査装置であって、前記検査装置が、
電源と、
電荷量測定装置と、
前記電源を被検査画素が接続された前記信号線に接続して、前記被検査画素の前記液晶素子の前記対向する電極の間に電圧を印加した後に、前記被検査画素の前記液晶素子の前記電極に蓄積された電荷を放電して、前記電荷量測定装置により、所定時間間隔をおいて放電される電荷の電荷量を測定して、前記電荷量の変化量を求める制御装置と、を備えたことを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの製造方法、検査方法および検査装置に関し、特に、液晶材料を封入した液晶表示パネルの製造方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶材料を利用した表示装置は、光源となるバックライトと、一定の偏光をもつ光のみを透過する偏向フィルタと、画素ごとに偏光状態を制御する表示パネルと、３原色を作るカラーフィルタとから構成されるものが主流となっている。このうち、表示パネルは、ガラス板などの基体の上に、画素ごとに、トランジスタや保持容量などの素子を形成したアクティブマトリクスアレイ基板上に液晶素子を設けた構造が一般的である。
【０００３】
図２に、典型的な液晶表示パネルの液晶素子２３３の構造を示す。液晶素子２３３は、液晶材料３０２と、液晶材料３０２を両側から挟むように配置された配向膜３０１、３０３と、配向膜３０１、３０３のさらに外側を挟むように配置された対向する２つの電極３００、３０４からなる。対向する電極の一方の電極３０４は、ＴＦＴ基板上に設けられている。
【０００４】
液晶素子２３３は、電極３００、３０４の間に電圧が印加されていない状態では入射光の偏光を９０度回転して出射し、電圧が印加されると入射光をそのままの偏光状態で出射する機能を有する。表示パネルは、かかる機能を利用して、偏光方向が揃った光を、液晶素子２３３に入射し、液晶素子２３３通過後の光を再度偏向フィルタに入力することにより、光の遮蔽／透過状態を制御するのである。従って、液晶素子２３３の液晶材料３０２の分子群が、電圧が印加されていない状態で、一定の方向に配向していないと、光の遮蔽／透過状態をうまく制御することができない。このため、各電極３００、３０４と液晶材料３０２の間に配向膜３０１、３０３を設け、液晶の分子群を一定の方向に配向させている。
【０００５】
ところで、液晶表示パネル上の画素は、全て均一な特性をもっていることが望ましいが、現在の製造技術では、物理的面積が広いパネル領域にわたって安定した特性をもったパネルを形成することは困難である。例えば、液晶材料封入する領域に異物が混入したり、対向する電極３００、３０４の間のギャップが不均一となったり、配向膜３０１、３０４の形成段階で欠陥が生じたり、液晶材料３０２自体が不均一であったりと、様々な原因により欠陥が生じる。このため、液晶表示パネルの製造最終段階で、パネルが所定の特性を有するか否かを検査する必要がある。
【０００６】
このような検査の方法としては、特許文献１に示すように、パネルを光学的に撮像または目視して検査を用いる方法や、液晶素子の静電容量を測定することにより不具合の有無を検出する電気的な検査方法が考えられる。電気的な測定は、光学的な測定に比べて、装置構造が簡単で、測定に必要な時間が短いという利点がある。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−５５１９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、液晶パネルの欠陥には、光の遮蔽量（透過量）が不十分などといったような定常状態での欠陥（静的特性の欠陥）と、応答性が遅いといった定常状態に至る過程の欠陥（動的特性の欠陥）にわけることができる。このうち、静的特性の欠陥は、上述したように定常状態の静電容量を測定する方法で検出することが可能であるが、動的特性の欠陥は静電容量を定常状態で測定しただけでは検出できないことがある。
【０００９】
例えば、配向膜３０１、３０４の一部に欠陥があったり、応答性の遅い液晶材料が含まれているような欠陥の場合、定常状態における静電容量は欠陥のないものとほとんど変わらないため、検出することは極めて困難である。そこで、電気的な測定方法を利用して、液晶パネルの動的な物性に起因する欠陥を検出できる検査方法が求められていた。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題は、対向する電極の間に液晶材料を封入した液晶素子を備えた画素を、マトリクス状に配置した液晶表示パネルの検査方法であって、被検査画素の前記液晶素子の前記対向する電極の間に、第１の電圧を印加する第１充電工程と、前記被検査画素の前記液晶素子の対向する電極の間に、第１の電圧とは逆極性の第２の電圧を印加する第２充電工程と、前記液晶素子の前記電極に蓄積された電荷を放電し、放電された電荷量を測定する測定工程とを含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査方法等により解決することができる。
【００１１】
すなわち、予め所定方向の電界がかかっている液晶素子に、逆向きの電界が印加されるような電圧を印加した直後に液晶素子がどの程度の電荷を蓄積するかを検査することにより、液晶素子の電気的な動的特性を検出することができる。分子群の応答性が悪い液晶素子は、電気的な応答性も悪い。このため、電気的な特性を検出することにより、分子群の応答性の悪い欠陥画素を検出することができる。このとき、検出する電荷を供給するために付与する電圧を、予め印加されていた電圧と逆極性で絶対値が同じ電圧とすることにより、検査による液晶素子の劣化を防止することができる。
【００１２】
また、上述した課題は、対向する電極の間に液晶材料を封入した液晶素子を備えた画素を、マトリクス状に配置した液晶表示パネルの検査方法であって、被検査画素の前記液晶素子の前記対向する電極の間に、検査電圧を印加する充電工程と、前記液晶素子の前記電極に蓄積された電荷を放電し、放電される電荷の経時的変化を求める測定工程と、を含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査方法等によっても解決することができる。
【００１３】
すなわち、液晶素子から放電される電荷の経時的な変化を測定することにより、当該液晶素子の電気的な動特性を求めることができる。一般に、分子群の応答性が悪い液晶素子は、電気的な応答性も悪い。そこで、液晶素子の電気的な応答性を検出することによって、応答性の遅い画素の検出を行うことができる。このとき、放電直後とほぼ定常状態に達したときの２つの測定値から変化量を求めることによって、ＳＮ比の高い変化量を求めることができるため、精度の高い検査を行うことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明により、液晶表示パネルの動的特性に基づく欠陥を、精度よく検査する方法等を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（第１の実施形態）
以下、図面参照下に、本発明の代表的な実施例の一例を示す。
図１は、本発明に係る検査装置１００を検査対象である液晶表示パネル２００に接続した状態の概略構成図である。
【００１６】
液晶表示パネル２００は、画素を選択するための制御線２１２、２１３、２１４、２１５と、各制御線と交差し、画素の状態を制御する信号を伝達する信号線２１８、２１９と、制御線２１２の入力に基づき外部からの信号入力線２１１と信号線２１８との接続状態を制御するトランジスタ２２０と、制御線２１３の入力に基づき信号入力線２１１と信号線２１９との接続状態を制御するトランジスタ２２１と、制御線と信号線の交差部分に配置された画素（２３０、２４０等）と、画素の保持容量（２３２、２４２等）と液晶素子（２３３、２４３等）とに基準電位を与える共通線２１７から構成されている。
【００１７】
画素２３０は、ゲート端子が制御線２１４に、ドレイン端子が信号線２１８に接続されたスイッチ素子であるトランジスタ２３１と、トランジスタ２３１のソース端子に直列に接続された保持容量２３２と液晶素子２３３とからなる。保持容量２３２の他端は、共通線２１７に接続されている。また、液晶素子２３３は、ＴＦＴアクティブマトリクス基板側の電極（図２の電極３０４）がトランジスタ２３１のソース端子に、対向する電極３００が共通線２１７に接続されている。
【００１８】
各画素素子の液晶材料の封入部分の構造は、前述した図２と同じ構成である。また、液晶表示パネル２００内の他の画素（２４０、２５０等）の構成も、画素２３０と同様な構成となっている。
【００１９】
なお、スイッチ素子（２３１、２４１等）は、信号線２１８と液晶素子２３３との接続状態を制御できる機能を有するものであれば、トランジスタ以外の機能素子に適宜変更可能である。また、トランジスタ２２０、２２１も、信号入力線２２１と信号線２１８、２１９との接続状態を制御する機能があれば、シフトレジスタなどに適宜変更可能である。
【００２０】
液晶表示パネル２００は、検査装置１００に接続されている。検査装置１００は、被検査画素の選択や検査装置の動作を制御する制御装置１０４と、被検査画素の液晶素子に電圧を印加するための電源１０１、１０５と、被検査画素から放電された電荷量を測定し、液晶素子の欠陥の有無を判定する電荷量測定装置１０２と、電源１０１と電荷量測定装置１０２とを選択的に信号入力線２１１に接続するスイッチ素子１０３とから構成される。制御線２１２、２１３、２１４、２１５は、制御装置１０４に接続されている。また、共通線２１７は、電源１０５に接続されている。
【００２１】
次に、検査装置１００の動作を、図３のフローチャート参照下に説明を行う。
はじめに、スイッチ素子１０３により信号入力線２１１と電源１０１とを接続する。電源１０１の出力は０Ｖ、すなわち接地電位に設定する。また、電源１０５の出力電圧を５Ｖに設定する。この状態で、制御線２１２と制御線２１４にオン電圧を与える。すると、制御線２１２が制御するトランジスタ２２０が接続された信号線２１８と、制御線２１４との交差位置（１行１列）に配置された画素２３０が被検査画素として選択される。
【００２２】
ここで、本願における「オン電圧」とは、スイッチ素子が導通状態（オン状態）となる電圧、すなわちスレッショルド電圧以上の電圧をいう。検査装置１００では、トランジスタ２３１をオン状態にするために、制御線２１４に８Ｖのオン電圧を与えている。
【００２３】
他方、スイッチ素子がオフ状態になる電圧を「オフ電圧」という。例えば、被検査画素２３０が接続されていない制御線２１５には−５Ｖのオフ電圧を与え、制御線２１５に接続されている画素（２４０、２６０等）を非選択状態にしている。オン電圧とオフ電圧の電圧や極性は、トランジスタのチャネルや型により異なるため、トランジスタの仕様にあわせて適宜設定することになる。
【００２４】
再び検査装置１００の動作の説明に戻る。制御線２１２にオン電圧が与えられたことにより、トランジスタ２２０がオン状態となり、信号入力線２１１と信号線２１８が導通状態となる。また、制御線２１４にオン電圧が与えられたことにより、被検査画素２３０のトランジスタ２３１がオン状態となり、制御線２１８と液晶素子２３３が導通状態となる。このため、液晶素子２３３の電極３０４（トランジスタ２３１のソース端子側の電極）は接地電位となる。他方、対向する電極３００は、５Ｖの電圧が印加されている共通線２１７が接続されている。このため、液晶素子２３３には、−５Ｖの電圧（共通線２１７に接続された電極３００からみた電極３０４の電圧）が印加されていることになり、電極３００には正電荷が、電極３０４には負電荷が供給される（ステップ４０１）。この状態を１００マイクロ秒程度保持して、液晶素子２３３を充電する（第１充電工程）。
【００２５】
その後、電源１０５の出力電圧を接地電位に、電源１０１の出力電圧を５Ｖに設定する。すると、今度は電極３０４に接地電位となり、電極３００が５Ｖとなるため、液晶素子２３３には、第１充電工程とは逆極性の５Ｖの電圧が印加される（ステップ４０２）。この状態を１００マイクロ秒程度保持して、液晶素子２３３を逆極性に充電する（第２充電工程）。なお、保持時間は、測定する液晶素子２３３の応答性等の電気的特性により、適宜設定することになる。
【００２６】
第２充電工程が終了すると、いったん制御線２１４にオフ電圧を印加して、トランジスタ２３０をオフ状態にする。その後、電源１０１の出力電圧を０Ｖに、電源１０５の出力電圧を５Ｖに設定する（ステップ４０３）。信号線２１８や信号入力線２１１は電源１０１と導通状態であるため、信号線２１８等の寄生容量に蓄積された電荷が放電される。信号線２１８と切り離されている液晶素子２３３に蓄積された電荷は保持される。その後、電荷量測定装置１０２をリセットし、スイッチ１０３を電荷量測定装置１０２側に切り替える。
【００２７】
この状態で、制御線２１４にオン電圧を印加して、被検査画素２３０のトランジスタ２３１を再びオン状態にする。すると、液晶素子２３３に蓄積された電荷が、トランジスタ２３１を経由して信号線２１８に放電される。放電された電荷は、信号入力線２１１を経由して電荷量測定装置１０２に流入する。電荷量測定装置１０２は、放電開始から１００マイクロ秒の間に流入した電荷量を測定する（ステップ４０４）。液晶素子２３３は、定常状態に達するまでに１０ミリ秒程度の時間がかかるため、ステップ４０４で測定される電荷量は、定常状態電荷量ではなく、液晶素子２３３に印加される電界を反転させた直後の電荷量である点に留意されたい（測定工程）。
【００２８】
ここで、放電開始の時点で、液晶素子２３３は第２充電工程で充電された電圧（５Ｖ）が保持されており、さらに、ステップ４０３で共通線２１７に印加される電圧が変更されたことにより、検査装置１００の接地電位からみた電極３００の電圧は１０Ｖとなっている点に留意されたい。このように、測定時に共通線２１７の電圧を変更することにより、ＳＮ比の高い測定値を得ることができる。
【００２９】
次に、電荷量測定装置１０２は、測定結果が所定範囲内にあるか判定する（ステップ４０５）。配向膜３０１、３０３が正常に形成できていない、液晶材料３０２の品質が悪いなどの原因により、分子群の状態変化の応答性の悪い液晶素子では、電気的な動的特性も悪くなるため、測定される電荷量が正常の液晶素子で測定される範囲から逸脱する。電荷量測定装置１０２は、測定結果が所定範囲にない場合には、被検査画素２３０に欠陥があると判定し、被検査画素の位置、測定された電荷量などを記録する（ステップ４０６）（判定工程）。以上で、１列１行の画素２３０の検査を終了する。
【００３０】
同様な検査工程を、１列２行の画素２４０、１列３行の画素（図示せず）・・・と順次実行する。１列目の画素の検査を全て終了したら、２列１行の画素２５０、２列２行の画素２６０・・・と順次検査を行い２列目の画素を全て検査する。同様に、３列目の各画素、４列目の各画素・・・と順次検査を行い、全画素の検査を行うと表示パネル２００の検査工程を終了する（ステップ４０７）。
【００３１】
上述した検査では、液晶素子２３３に比較的大きな電圧を印加しているが、第１充電工程と第２充電工程で逆極性の電圧を印加しているため、液晶素子２３３が劣化することを防止できる。このとき、第１充電工程で印加する電圧と第２充電工程で印加する電圧とは、極性が逆で絶対値が等しい電圧とすることが望ましい。
【００３２】
なお、上述した画素の検査順序は、一例であって、これに限られるものではない。例えば、１列１行の画素２３０の検査の後に、２列１行の画素２５０、３列１行の画素・・・というように、列方向にスキャンして検査してもよい。また、液晶表示パネルの製造工程の安定性、信頼性が高い場合には、全画素を検査する必要はなく、所定の画素をサンプルして検査を行ってもよい。
【００３３】
（第２の実施形態）
本発明の別の実施形態に示す。第２の実施形態は、第１の実施形態と検査手順が異なるが、検査装置１００と液晶表示パネル２００の構成や接続状態は図１と同じである。
【００３４】
次に、第２の実態形態の検査手順を図４のフローチャート参照下に説明する。
はじめに、スイッチ素子１０３により信号入力線２１１と電源１０１とを接続する。電源１０１の出力は５Ｖに、電源１０５の出力電圧を０Ｖに設定する。この状態で、制御線２１２と制御線２１４にオン電圧を与える。すると、制御線２１２が制御するトランジスタ２２０が接続された信号線２１８と、制御線２１４との交差位置（１行１列）に配置された画素２３０が被検査画素として選択される。
【００３５】
制御線２１２にオン電圧が与えられたことにより、トランジスタ２２０がオン状態となり、信号入力線２１１と信号線２１８が導通状態となる。また、制御線２１４にオン電圧が与えられたことにより、被検査画素２３０のトランジスタ２３１がオン状態となり、信号線２１８と液晶素子２３３が導通状態となる。このため、液晶素子２３３の電極３００（トランジスタ２３１のソース端子側の電極）は５Ｖとなる。他方、共通線２１７が接続されている対向する電極３００の電位は接地電位である。したがって、液晶素子２３３には５Ｖの電圧が印加されていることになり、電極３０４には正電荷が、電極３００には負電荷が供給される（ステップ５０１）（充電工程）。
【００３６】
この状態を１００マイクロ秒程度保持した後に、いったん制御線２１４をオフ電圧を印加して、トランジスタ２３０をオフ状態にする。保持する時間は、測定する液晶表示パネル２００の液晶素子２３３の応答性により適宜設定することになる。その後、電源１０１の出力電圧を０Ｖに、電源１０５の出力電圧を５Ｖに設定する（ステップ５０２）。信号線２１８や信号入力線２１１は電源１０１と導通状態であるため、信号線２１８等の寄生容量に蓄積された電荷が放電される。信号線２１８と切り離されている液晶素子２３３に蓄積された電荷は保持される。その後、電荷量測定装置１０２をリセットし、スイッチ１０３を電荷量測定装置１０２側に切り替える。
【００３７】
この状態で、制御線２１４にオン電圧を印加して、被検査画素２３０のトランジスタ２３１を再びオン状態にする。すると、液晶素子２３３に蓄積された電荷が、トランジスタ２３１を経由して信号線２１８に放電される。放電された電荷は、信号入力線２１１を経由して電荷量測定装置１０２に流入する。電荷量測定装置１０２は、放電開始から１００マイクロ秒経過した時点で１度目の電荷量の測定を行う（ステップ５０３）。さらに、１００ミリ秒経過した時点で２度目の電荷量の測定を行う（ステップ５０４）（測定工程）。
【００３８】
ここで、放電開始の時点で、液晶素子２３３は充電工程で充電された電圧（５Ｖ）が保持されており、さらに、ステップ５０２で共通線２１７に印加される電圧が変更されたことにより、検査装置１００の接地電位からみた電極３００の電圧は１０Ｖとなっている点に留意されたい。このように、測定時に共通線２１７の電圧を変更することにより、ＳＮ比の高い測定値を得ることができる。
【００３９】
その後、電荷量測定装置１０２は、１度目の測定電荷量と２度目の測定電荷量の差（経時的変化）を求める。そして求めた変化量が所定範囲内にあるか判定する（ステップ５０５）。配向膜３０１、３０３が正常に形成できていなかったり、品質の悪い液晶材料３０２が含まれているなどの原因により、分子群の状態変化の応答性の悪い液晶素子では、静電容量の応答性（動的特性）も悪いため、測定される変化量が正常の液晶素子で測定される範囲から逸脱する。電荷量測定装置１０２は、測定結果が所定範囲にない場合には、被検査画素２３０に欠陥があると判定し、被検査画素の位置、測定された電荷量などを記録する（ステップ５０６）（判定工程）。以上で、１列１行の画素２３０の検査を終了する。
【００４０】
同様な検査工程を、１列２行の画素２４０、１列３行の画素（図示せず）・・・と順次実行する。１列目の画素の検査を全て終了したら、２列１行の画素２５０、２列２行の画素２６０・・・と順次検査を行い２列目の画素を全て検査する。同様に、３列目の各画素、４列目の各画素・・・と順次検査を行い、全画素の検査を行うと表示パネル２００の検査工程を終了する（ステップ５０７）。
【００４１】
なお、上述した画素の検査順序は、一例であって、これに限られるものではない。例えば、１列１行の画素２３０の検査の後に、２列１行の画素２５０、３列１行の画素・・・というように、列方向にスキャンして検査してもよい。また、液晶表示パネルの製造工程の安定性、信頼性が高い場合には、全画素を検査する必要はなく、所定の画素をサンプルして検査を行ってもよい。
【００４２】
また、１回目と２回目の測定を行うタイミングは、液晶素子２３３の応答性によって適宜変更可能である。このとき、１回目の測定は放電開始直後に、２回目の測定は１回目の測定から十分な時間（例えば、１ミリ秒）を経過した後、望ましくは定常状態に達した状態で行うと、変化量を大きくとることができるため測定のＳＮ比を大きくとることができ、精度の高い検査を行うことができる。
【００４３】
また、２回目の測定を定常状態に達した状態で実行した場合には、得られる測定結果は、静的特性の測定結果とみることができるから、測定結果の絶対的な値が所定範囲内にあるかを判定することによって、静的特性による欠陥検査を並行して実施することができる。
【００４４】
さらに、放電開始直後とほぼ定常状態に達した時点との間でも測定を行って、経時的変化をさらに細かく求めることにより、さらに精密な検査や欠陥モード判定が可能である。
【００４５】
本実施形態では、電荷量測定装置により放電電流の電荷量の変化を求めているが、電荷量測定装置の代わりに電流計を設置し、電流量の変化により画素の動的特性の欠陥を求めてもよい。本願における「放電される電荷の経時的変化」とは、電荷量の変化と電流量の変化の双方を含む概念である。
【００４６】
以上、本発明に係る技術的思想を特定の実施例を参照しつつ詳細にわたり説明したが、本発明の属する分野における当業者には、請求項の趣旨及び範囲から離れることなく様々な変更及び改変を加えることが出来ることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係る検査装置の説明図である。
【図２】検査対象となる液晶表示パネルの説明図である。
【図３】第１の実施形態の動作フローチャートである。
【図４】第２の実施形態の動作フローチャートである。
【符号の説明】
【００４８】
１００  検査装置
１０１、１０５  電源
１０２  電荷量測定装置
２００  液晶表示パネル
２１２、２１３、２１４、２１５  制御線
２１７  共通線
２１８、２１９  信号線
２３０、２４０、２５０、２６０  画素
２３１、２４１、２５１、２６１  スイッチ素子
２３３、２４３、２５３、２６３  液晶素子
３００、３０４  電極
３０２  液晶材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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