(57)【要約】【課題】ダイから成形体を抜き出す工程において、成形体にクラックや割れが発生するのを防止することができる成形装置及び成形方法を提供する。【解決手段】成形装置１は、制御装置２、第１のパンチ１４、第１面２１Ｂを有するダイ２１及び第２面３４Ａを有する第２のパンチ３４を備えている。誘電体成形体５のダイ２１からの抜き出し動作において、まず、第１のパンチ１４を僅かに上昇させて、圧縮成形体５に加わる圧力を所定の圧力まで減少させる。圧縮成形体５に加わる圧力を所定の圧力に維持したまま、第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４を、第２のパンチ３４の第２面３４Ａがダイ２１の第１面２１Ｂと一致するまで上昇させる。制御装置２は、第２のパンチ３４の第２面３４Ａとダイ２１の第１面２１Ｂとが一致したことを判断したときに、圧縮成形体５に加わる圧力が０となるように第１のパンチ１４を第１駆動機構１３により駆動制御する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面を有し、貫通孔が形成されたダイと、
該ダイの該貫通孔の一方の開口端側から該貫通孔に嵌入可能に構成される第１のパンチと、
該第１のパンチと対向し該第１面と平行をなす第２面を有し、該ダイの該貫通孔の他方の開口端側から該貫通孔に嵌入可能に構成され、該第１のパンチと該ダイとの協働により粉体を圧縮するための粉体成形キャビティを画成する第２のパンチと、
該第１のパンチと該第２のパンチとの対向方向に該第１のパンチを駆動する第１駆動装置と、
該対向方向に該第２のパンチ及び該ダイのいずれか一方を駆動する第２駆動装置と、
該第１面に対する該第２面の位置を検出する位置検出手段と、
該第１のパンチと該第２のパンチとによる該粉体成形キャビティ内の該粉体の圧縮時に、該第１のパンチ及び該第２のパンチに加わる圧力を検出する圧力検出手段と、
該第１駆動装置及び該第２駆動装置を制御し、該第１のパンチ及び該第２のパンチを駆動する制御手段と、を有し、
該第１のパンチと該第２のパンチとにより該粉体成形キャビティにおいて該粉体を圧縮成形し成形体を形成した後に、該制御手段は、該第１のパンチを該第２のパンチから離間する方向に駆動して、該第１のパンチ及び該第２のパンチにより該成形体に加わる圧力を所定の圧力まで減少させ、次に該第１のパンチを該成形体から離間する方向に該第１駆動装置を駆動すると共に該第２のパンチを該第１のパンチの方向に該第２駆動装置を駆動するか、又は該ダイを該第１のパンチから離間する方向に該第２駆動装置を駆動し、該位置検出手段により該第１面と該第２面とが一致したことを検出したときに、該成形体に加わる圧力が０となるように該第１のパンチを該第１駆動装置により駆動制御することを特徴とする成形装置。
【請求項２】
該制御手段は、該所定の圧力を保ちつつ、該第１のパンチを該成形体から離間する方向に該第１駆動装置を駆動すると共に該第２のパンチを該第１のパンチの方向に該第２駆動装置を駆動するか、該所定の圧力を保ちつつ、該ダイを該第１のパンチから離間する方向に該第２駆動装置を駆動することを特徴とする請求項１に記載の成形装置。
【請求項３】
該第１のパンチを該成形体から離間する方向に該第１駆動装置を駆動すると共に該第２のパンチを該第１のパンチの方向に該第２駆動装置を駆動するか、又は該ダイを該第１のパンチから離間する方向に該第２駆動装置を駆動するときは、該制御手段は、該成形体に加わる圧力が段階的に減少するように該第１のパンチを該第１駆動装置により駆動制御することを特徴とする請求項１に記載の成形装置。
【請求項４】
第１面を有し、貫通孔が形成されたダイと、該ダイの該貫通孔の一方の開口端側から該貫通孔に嵌入可能に構成される第１のパンチと、該第１のパンチと対向し該第１面と平行をなす第２面を有し、該ダイの該貫通孔の他方の開口端側から該貫通孔に嵌入可能に構成され、該第１のパンチと該ダイとの協働により粉体を圧縮するための粉体成形キャビティを画成する第２のパンチと、を備える成形装置を用い、
該第１のパンチと該第２のパンチとにより該粉体成形キャビティ内の該粉体を圧縮し成形体を形成する工程と、
該成形体を該ダイから抜き出す工程と、を有し、
該抜き出す工程において、該第１のパンチを該第２のパンチから離間する方向に駆動して、該第１のパンチ及び該第２のパンチにより該成形体に加わる圧力を所定の圧力まで減少させ、次に該第１のパンチを該成形体から離間する方向に駆動すると共に該第２のパンチを該第１のパンチの方向に駆動するか、又は該ダイを該第１のパンチから離間する方向に駆動し、該第１面と該第２面とが一致したときに、該成形体に加わる圧力が０となるように該第１のパンチを駆動することを特徴とする成形方法。
【請求項５】
該抜き出す工程において、該所定の圧力を保ちつつ、該第１のパンチを該成形体から離間する方向に駆動すると共に該第２のパンチを該第１のパンチの方向に駆動するか、該所定の圧力を保ちつつ、該ダイを該第１のパンチから離間する方向に駆動することを特徴とする請求項４に記載の成形方法。
【請求項６】
該抜き出す工程において、該第１のパンチを該成形体から離間する方向に駆動すると共に該第２のパンチを該第１のパンチの方向に駆動するか、又は該ダイを該第１のパンチから離間する方向に駆動するときは、該成形体に加わる圧力が段階的に減少するように該第１のパンチを駆動することを特徴とする請求項４に記載の成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形装置に関し、特に、パンチを位置制御または圧力制御により駆動する粉体成形装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の成形装置は、上パンチと、ダイと、下パンチと、上パンチの位置を検出する位置検出装置と、位置検出装置の検出結果に基づき上パンチを駆動させる制御装置とを備えている。かかる成形装置では、粉体材料を圧縮成形後、ダイを下降させて、圧縮成形体をダイから抜き出している。そして、ダイから成形体を抜き出す工程において、上パンチの位置のみを制御して、成形体にかかる圧力を制御し、ダイから成形体が抜き出される時点を予め予測し、その予測した時点で成形体から上パンチを離間させて、成形体にかかる圧力を０にしている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−２２５８０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記の成形装置におけるダイから成形体を抜き出す方法では、ダイと成形体との位置関係を把握しておらず、上述の予め予測した時点で上パンチを成形体から離間させているので、実際には、成形体の寸法誤差により、成形体がダイから抜け出る前に成形体から上パンチを離間させていたり、抜け出て数秒たった後に成形体から上パンチを離間させていることがあった。これにより、成形体にクラックや割れが発生することがあった。
【０００４】
そこで、本発明は、ダイから成形体を抜き出す工程において、成形体にクラックや割れが発生するのを防止すことができる成形装置及び成形方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために本発明は、第１面を有し、貫通孔が形成されたダイと、ダイの貫通孔の一方の開口端側から貫通孔に嵌入可能に構成される第１のパンチと、第１のパンチと対向し第１面と平行をなす第２面を有し、ダイの貫通孔の他方の開口端側から貫通孔に嵌入可能に構成され、第１のパンチとダイとの協働により粉体を圧縮するための粉体成形キャビティを画成する第２のパンチと、第１のパンチと第２のパンチとの対向方向に第１のパンチを駆動する第１駆動装置と、対向方向に第２のパンチ及びダイのいずれか一方を駆動する第２駆動装置と、第１面に対する第２面の位置を検出する位置検出手段と、第１のパンチと第２のパンチとによる粉体成形キャビティ内の粉体の圧縮時に、第１のパンチ及び第２のパンチに加わる圧力を検出する圧力検出手段と、第１駆動装置及び第２駆動装置を制御し、第１のパンチ及び第２のパンチを駆動する制御手段とを有する成形装置を提供している。
【０００６】
そして、第１のパンチと第２のパンチとにより粉体成形キャビティにおいて粉体を圧縮成形し成形体を形成した後に、制御手段は、第１のパンチを第２のパンチから離間する方向に駆動して、第１のパンチ及び第２のパンチにより成形体に加わる圧力を所定の圧力まで減少させ、次に第１のパンチを成形体から離間する方向に第１駆動装置を駆動すると共に第２のパンチを第１のパンチの方向に第２駆動装置を駆動するか、又はダイを第１のパンチから離間する方向に第２駆動装置を駆動し、位置検出手段により第１面と第２面とが一致したことを検出したときに、成形体に加わる圧力が０となるように第１のパンチを第１駆動装置により駆動制御する。
【０００７】
かかる構成によれば、第１面と第２面とが一致したことを検出したときに、成形体に加わる圧力が０となるように第１のパンチを第１駆動装置により駆動制御するので、成形体のダイからの抜き出し時における成形体の割れや欠けを確実に防止することができる。
【０００８】
ここで、制御手段は、所定の圧力を保ちつつ、第１のパンチを成形体から離間する方向に第１駆動装置を駆動すると共に第２のパンチを第１のパンチの方向に第２駆動装置を駆動するか、所定の圧力を保ちつつ、ダイを第１のパンチから離間する方向に第２駆動装置を駆動することが好ましい。
【０００９】
かかる構成によれば、制御手段は、成形体に加わる圧力を所定の圧力まで減少した（ホールドダウン）後、所定の圧力を維持したまま、第１面と第２面とが一致したことを検出したときに、成形体に加わる圧力が０となるように第１のパンチを第１駆動装置により駆動制御する。このような圧力プロファイリングは、抜き出し方向における成形体強度が高く、ホールドダウンから抜き出し完了まで、徐々に成形体に加わる圧力を減圧する必要がないアスペクト比の小さい（抜き出し方向に直交する方向の幅に対して抜き出し方向の高さが低い）成形体に対して有効である。
【００１０】
更に、第１のパンチを成形体から離間する方向に第１駆動装置を駆動すると共に第２のパンチを第１のパンチの方向に第２駆動装置を駆動するか、又はダイを第１のパンチから離間する方向に第２駆動装置を駆動するときは、制御手段は、成形体に加わる圧力が段階的に減少するように第１のパンチを第１駆動装置により駆動制御することが好ましい。
【００１１】
このような成形体に加わるある力を段階的に減少させる圧力プロファイリングは、段付きダイにより成形される成形体を抜き出す場合に有効である。
【００１２】
また、本発明は、第１面を有し、貫通孔が形成されたダイと、ダイの貫通孔の一方の開口端側から貫通孔に嵌入可能に構成される第１のパンチと、第１のパンチと対向し第１面と平行をなす第２面を有し、ダイの貫通孔の他方の開口端側から貫通孔に嵌入可能に構成され、第１のパンチとダイとの協働により粉体を圧縮するための粉体成形キャビティを画成する第２のパンチと、を備える成形装置を用い、第１のパンチと第２のパンチとにより粉体成形キャビティ内の粉体を圧縮し成形体を形成する工程と、成形体をダイから抜き出す工程とを有する成形方法を提供している。
【００１３】
そして、抜き出す工程において、第１のパンチを第２のパンチから離間する方向に駆動して、第１のパンチ及び第２のパンチにより成形体に加わる圧力を所定の圧力まで減少させ、次に第１のパンチを成形体から離間する方向に駆動すると共に第２のパンチを第１のパンチの方向に駆動するか、又はダイを第１のパンチから離間する方向に駆動し、第１面と第２面とが一致したときに、成形体に加わる圧力が０となるように第１のパンチを駆動する。
【００１４】
かかる構成によれば、第１面と第２面とが一致したことを検出したときに、成形体に加わる圧力が０となるように第１のパンチを駆動するので、成形体のダイからの抜き出し時における成形体の割れや欠けを確実に防止することができる。
【００１５】
ここで、抜き出す工程において、所定の圧力を保ちつつ、第１のパンチを成形体から離間する方向に駆動すると共に第２のパンチを第１のパンチの方向に駆動するか、所定の圧力を保ちつつ、ダイを第１のパンチから離間する方向に駆動することが好ましい。
【００１６】
かかる構成によれば、成形体に加わる圧力を所定の圧力まで減少した（ホールドダウン）後、所定の圧力を維持したまま、第１面と第２面とが一致したことを検出したときに、成形体に加わる圧力が０となるように第１のパンチを駆動する。このような圧力プロファイリングにより成形体を抜き出す方法は、抜き出し方向における成形体強度が高く、ホールドダウンから抜き出し完了まで、徐々に成形体に加わる圧力を減圧する必要がないアスペクト比の小さい（抜き出し方向に直交する方向の幅に対して抜き出し方向の高さが低い）成形体に対して有効である。
【００１７】
更に、抜き出す工程において、第１のパンチを成形体から離間する方向に駆動すると共に第２のパンチを第１のパンチの方向に駆動するか、又はダイを第１のパンチから離間する方向に駆動するときは、成形体に加わる圧力が段階的に減少するように第１のパンチを駆動することが好ましい。
【００１８】
このような成形体に加わるある力を段階的に減少させる方法は、段付きダイにより成形される成形体を抜き出す場合に有効である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の成形装置及び成形方法によれば、ダイから成形体を抜き出す工程において、成形体にクラックや割れが発生するのを防止することができる
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の第１の実施の形態による成形装置及び成形方法について、図１から図４を参照しながら説明する。図１は、本実施の形態における成形装置１の説明図を示している。図１に示すように、成形装置１は、制御装置２と、上パンチ部１０と、成形部２０と、下パンチ部３０とを備えている。成形部２０は上パンチ部の鉛直下方に位置し、下パンチ部３０は成形部２０の鉛直下方に位置する。
【００２１】
上パンチ部１０は、図示せぬフレームに固定された第１サーボ駆動装置１１を有している。第１サーボ駆動装置１１は、第１サーボモータ１２と、第１駆動機構１３とを有している。第１サーボモータ１２は、その駆動力を出力するための回転軸１２Ａを備え、回転軸１２Ａは、第１駆動機構１３に連結されている。第１駆動機構１３の下端には、第１のパンチ１４が連結されている。第１のパンチ１４は、回転軸１２Ａの回転による第１駆動機構１３の駆動により、鉛直方向に移動可能に構成されている。よって、第１のパンチ１４は、第１駆動機構１３を介して、第１サーボモータ１２により鉛直方向にサーボ駆動される。
【００２２】
また、第１駆動機構１３と第１のパンチ１４との連結部には、第１のパンチ１４の下端面に加わる圧力を検出するための第１圧力検出装置１５が設けられている。更に、上パンチ部１０は、第１のパンチ１４の鉛直方向における位置を検出するための第１リニアスケール１６を有している。第１リニアスケール１６は、シリンダ状をなし、図示せぬフレームに固定された計測部１６Ａと、計測部１６Ａ内に設けられ、下端が第１のパンチ１４に接続されたシャフト部１６Ｂ（図２）とを有している。第１リニアスケール１６は、位置検知手段を構成し、第１のパンチ１４の鉛直方向に沿う移動によるシャフト部１６Ｂの移動を計測部１６Ａが計測することにより、第１のパンチ１４の位置を検出している。
【００２３】
成形部２０は、第１のパンチ１４の下方において、図示せぬフレームに固定され、貫通孔２１ａが形成されたダイ２１を有している。ダイ２１は、その第１のパンチ１４側に位置し略水平方向に延びる第１面２１Ｂを有している。第１のパンチ１４は、鉛直方向に沿う移動により、ダイ２１の上方から貫通孔２１ａに嵌入可能に構成されている。
【００２４】
下パンチ部３０は、図示せぬフレームに固定された第２サーボ駆動装置３１を有している。第２サーボ駆動装置３１は、第２サーボモータ３２と、第２駆動機構３３とを有している。第２サーボモータ３２は、その駆動力を出力するための回転軸３２Ａを備え、回転軸３２Ａは、第２駆動機構３３に連結されている。第２駆動機構３３の上端には、第２のパンチ３４が連結されている。第２のパンチ３４は、第１のパンチ１４と対向し第１面２１Ｂと略平行をなす第２面３４Ａを有している。また、第２のパンチ３４は、回転軸３２Ａの回転による第２駆動機構３３の駆動により、鉛直方向に移動可能に構成されている。よって、第２のパンチ３４は、第２駆動機構３３を介して、第２サーボモータ３２により鉛直方向にサーボ駆動される。また、第２のパンチ３４は、鉛直方向に沿う移動により、ダイ２１の下方から貫通孔２１ａに嵌入可能に構成され、ダイ２１との協働により粉体充填凹部２２を画成する。
【００２５】
また、第２駆動機構３３と第２のパンチ３４との連結部には、第２のパンチ３４の上端面に加わる圧力を検出するための第２圧力検出装置３５が設けられている。更に、下パンチ部３０は、第２のパンチ３４の鉛直方向における位置を検出するための、第１リニアスケール１６と同様の第２リニアスケール３６を有している。よって、第２リニアスケール３６は、計測部１６Ａと同様の計測部３６Ａと、シャフト部１６Ｂと同様のシャフト部３６Ｂとを有している。尚、シャフト部３６Ｂは、その上端が第２のパンチ３４に接続されている。そして、第２リニアスケール３６は、第１リニアスケール１６と同様に、計測部３６Ａ及びシャフト部３６Ｂにより第２のパンチ３４の第２面３４Ａの位置を検出している。
【００２６】
制御装置２は、第１サーボモータ１２及び第２サーボモータ３２とそれぞれ配線３を介して接続されている。また、制御装置２は、第１圧力検出装置１５、第１リニアスケール１６、第２圧力検出装置３５及び第２リニアスケール３６とそれぞれ配線３介して接続されている。配線３を介して、制御装置２は、各圧力検出装置により検出される第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４に加わる圧力、及び各リニアスケールにより計測される第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４の第２面３４Ａの位置を把握している。また、制御装置２には、ダイ２１の第１面２１Ｂの位置が記憶されている。
【００２７】
更に、制御装置２は、第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４に加わる圧力、又は第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４の位置に基づき  各モータ１２、３２を介して、第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４を駆動可能に構成されている。即ち、制御装置２は、第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４を、位置制御又は圧力制御により駆動する。また、制御装置２は、第２のパンチ３４の第２面３４Ａの位置及びダイ２１の第１面２１Ｂに基づき、両者の位置関係を把握している。
【００２８】
次に、成形装置１によって誘電体フィルタを成形するための粉末圧縮成形方法について図１〜図６を参照して説明する。まず、図１に示すように、粉体充填凹部２２に誘電体材料からなる粉末材料４を所定量充填する。次に、制御装置２により、第２のパンチ３４を静止させたまま第１サーボ駆動装置１１を駆動して、粉末材料４が所望の寸法となるまで第１のパンチ１４を下降させる。これにより、図２に示すように、粉末材料４は、誘電体成形体５として成形される。
【００２９】
次に、誘電体成形体５のダイ２１からの抜き出し動作について説明する。図３、５及び６は、成形装置１における誘電体成形体５のダイ２１からの抜き出し動作を示す図であり、図４は、後述のホールドダウン後の抜き出し動作における第１のパンチへの圧力（圧縮成形体５への圧力）と、第２のパンチの移動量との関係を示す図である。
【００３０】
その後、図３に示すように第１のパンチ１４を僅かに上昇させて、圧縮成形体５に加わる圧力を所定の圧力まで減少させる（ホールドダウン）。この時、誘電体成形体５は、スプリングバックにより、第１のパンチ１４の方向に膨張する。尚、図３における点線５Ａは、膨張前（圧縮完了時）の誘電体成形体５の外形を示している。
【００３１】
次に、図４に示すように、圧縮成形体５に加わる圧力を所定の圧力に維持したまま、第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４を上昇させる。図５に示すように、第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４を上昇させることにより、誘電体成形体５の上部の第１のパンチ１４に接していない部分は外部に露出する。第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４により所定の圧力が誘電体成形体５に加えられているため、誘電体成形体５の外部に露出した部分には、誘電体成形体５の幅方向（水平方向）へのスプリングバックによる膨張はあまり生じない。これにより、誘電体成形体５に発生するクラックを防止することができる。
【００３２】
更に、圧縮成形体５に加わる圧力を所定の圧力に維持したまま、第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４を、第２のパンチ３４の第２面３４Ａがダイ２１の第１面２１Ｂと一致するまで上昇させる。そして、図４に示すように、制御装置２は、第２のパンチ３４の第２面３４Ａとダイ２１の第１面２１Ｂとが一致したことを判断したときに、圧縮成形体５に加わる圧力が０となるように第１のパンチ１４を第１駆動機構１３により駆動制御する。これにより、抜き出し時における誘電体成形体５の割れや欠けを確実に防止することができる。
【００３３】
また、アスペクト比の小さい誘電体成形体５は、抜き出し方向における成形体強度が高いため、ホールドダウンから抜き出し完了まで、徐々に誘電体成形体５に加わる圧力を減圧する必要がない。よって、図４に示すような圧力プロファイリングで誘電体成形体５を抜き出す方法は、アスペクト比の小さい誘電体成形体５に対して有効である。ここで、本実施の形態におけるアスペクト比とは、図５における上下方向の高さ／左右方向の幅であり、アスペクト比が小さい誘電体成形体５とは、高さが低い成形体をいう。
【００３４】
次に、本発明の第２の実施の形態における成形装置について、図７及び図８を参照して説明する。尚、第１の実施の形態と同一の部材については、同一の番号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。また、図８は、第２の実施の形態におけるホールドダウン後の抜き出し動作における第１のパンチへの圧力（圧縮成形体５への圧力）と、第２のパンチの移動量との関係を示す図である。図７に示すように、第１の実施の形態のダイ２１に相当する段付きダイ１２１は、貫通孔１２１ａの一部を規定する内方突出部１２１Ｂを備えている。内方突出部１２１Ｂは、第２のパンチ３４側に位置し第１のパンチ１４に対向する第３面１２１Ｃ（本発明の請求項の第１面に相当する）を有している。尚、本実施の形態において制御装置２には、段付きダイ１２１の第３面１２１Ｃの位置が記憶されている。
【００３５】
成形装置１０１による粉末圧縮成形動作においては、ダイ１２１が内方突出部１２１Ｂを有しているので、上部成形体１０５Ａと下部成形体１０５Ｂとを備える誘電体成形体１０５が成形される。上部成形体１０５Ａは、第１のパンチ１４側に位置し、下部成形体１０５Ｂは、上部成形体１０５Ａよりも左右方向の幅が狭く第２のパンチ３４側に位置している。
【００３６】
本実施の形態における誘電体成形体１０５のダイ１２１からの抜き出し動作においては、第１の実施の形態に同様に、まず、第１のパンチ１４を僅かに上昇させて、圧縮成形体１０５に加わる圧力を所定の圧力まで減少させる（ホールドダウン）。次に、図８に示すように、圧縮成形体１０５に加わる圧力を所定の圧力に維持したまま、第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４を上昇させる。そして、上部成形体１０５Ａがダイ１２１から抜け出たときに、第１のパンチ３４を制御して第１のパンチに加わる圧力を減少させる。これは、上部成形体１０５Ａがダイ１２１から抜け出たことにより、誘電体成形体１０５におけるスプリングバックを抑制すべき部分が、下部成形体１０５Ｂのみとなるためである。また、第１のパンチに加わる圧力を減少させることにより、抜け出た上部成形体１０５Ａの変形を防止することができる。
【００３７】
更に、図８に示すように、制御装置２は、第２のパンチ３４の第２面３４Ａとダイ２１の第３面１２１Ｃとが一致したことを判断したときに、圧縮成形体１０５に加わる圧力が０となるように第１のパンチ１４を第１駆動機構１３により駆動制御する。これにより、抜き出し時における誘電体成形体１０５の割れや欠けを確実に防止することができる。また、図８に示すような圧力プロファイリングで成形体を抜き出す方法は、段付きダイ１２１により成形される誘電体成形体１０５を抜き出す場合に有効である。
【００３８】
尚、本発明の成形装置１、１０１は、上述した実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載した範囲で種々の変形や改良が可能である。例えば、誘電体成形体５、１０５の抜き出し時に、ダイ２１、１２１を固定して、第１のパンチ１４及び第２のパンチ３４を上昇させて抜き出したが、第２のパンチ３４を固定して、ダイ２１、１２１を下降させて、誘電体成形体５、１０５を抜き出しても良い。この時、第２リニアスケール３６と同様のリニアスケールをダイ２１、１２１に設けて、ダイ２１、１２１の位置を把握する。また、第１、２駆動機構１３、３３は、ボールネジを利用した機構であっても良いし、クランク機構、エキセン機構、ナックル（トグルリンク）機構またはカム機構であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の第１の実施の形態による成形装置の概略図。
【図２】本発明の第１の実施の形態による成形装置の粉末圧縮成形動作において、第１のパンチを下降させて、粉末材料を圧縮成形した状態を示す図。
【図３】図２の後に、第１のパンチ１４を僅かに上昇させた状態を示す図。
【図４】本発明の第１の実施の形態による誘電体成形体を抜き出すときの第１のパンチに加わる圧力と、第２のパンチの第２面の移動量との関係を示す図。
【図５】図３の後に、第１のパンチと第２のパンチとを上昇させ、誘電体成形体の上部をダイから抜き出した状態を示す図。
【図６】図５の後に、第１のパンチと第２のパンチとを上昇させ、誘電体成形体をダイから抜き出した状態を示す図。
【図７】本発明の第２の実施の形態による成形装置の概略図。
【図８】本発明の第２の実施の形態による誘電体成形体を抜き出すときの第１のパンチに加わる圧力と、第２のパンチの第２面の移動量との関係を示す図。
【符号の説明】
【００４０】
１、１０１  成形装置
２  制御装置
４  粉末材料
５、１０５  誘電体成形体
１０  上パンチ部
１２  第１サーボモータ
１４  第１のパンチ
１５  第１圧力検出装置
１６  第１リニアスケール
２０  成形部
２１、１２１  ダイ
２１Ｂ  第１面
２１ａ、１２１ａ  貫通孔
３０  下パンチ部
３２  第２サーボータ
３４  第２のパンチ
３４Ａ  第２面
３５  第２圧力検出装置
３６  第２リニアスケール
１２１Ｃ  第３面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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