(57)【要約】【課題】塗布性のよい着色感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】染料、感光剤、硬化剤、アルカリ可溶性樹脂および溶剤を含む着色感光性樹脂組成物であって、該溶剤が乳酸ブチルおよびプロピレングリコールブチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤ならびに乳酸エチルおよびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤であり、乳酸ブチルおよびプロピレングリコールブチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量が、全溶剤に対して質量分率で、２０〜９０質量％であり、乳酸エチルおよびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量が、前記と同じ基準で、１０〜８０質量％である着色感光性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
染料、感光剤、硬化剤、アルカリ可溶性樹脂および溶剤を含む着色感光性樹脂組成物であって、該溶剤が乳酸ブチルおよびプロピレングリコールブチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤ならびに乳酸エチルおよびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤であり、乳酸ブチルおよびプロピレングリコールブチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量が、全溶剤に対して質量分率で、２０〜９０質量％であり、乳酸エチルおよびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量が、前記と同じ基準で、１０〜８０質量％である着色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されるカラーフィルタ。
【請求項３】
請求項２に記載のカラーフィルタを具備するイメージセンサ。
【請求項４】
請求項３に記載のイメージセンサを具備するカメラシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色感光性樹脂組成物、カラーフィルタ、イメージセンサおよびカメラシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラやデジタルビデオなどに用いられるイメージセンサは、カラーフィルタを有する。
そして、着色感光性樹脂組成物は、カラー液晶表示装置やイメージセンサなどに用いられるカラーフィルタの構成単位である画素を形成するための原材料として広く使われている。該着色感光性樹脂組成物としては、例えば、色素、アルカリ可溶樹脂および感光剤を含むものが知られており、これらに加えて硬化剤を含むものも知られている（例えば、特許文献１参照）。
着色感光性樹脂組成物を用いて画素を形成するには、例えば、基板の表面上に着色感光性樹脂組成物からなる層を形成し、該層にマスクを介して光線を照射して露光する方法が知られている。露光後の着色感光性樹脂組成物層を現像液で処理することにより、着色感光性樹脂組成物層のうち光線が照射されて露光された領域が現像液に溶解し、照射されなかった領域が溶解することなく残って、画素を構成する。着色感光性樹脂組成物に含まれる色素の色を変えながら同様の操作を繰り返し行うことにより、三原色に対応した各色の画素を順次形成して、カラーフィルタを得ることができる（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２６８２３６号公報  ２頁右欄２１行目―２２行目
【特許文献２】特開平７−３０６３０９号公報  １１頁右欄２８行目―３５行目
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし着色感光性樹脂組成物を使用するときにはその塗布性が問題となることが多い。塗布性の問題とは、基板上への塗布時に塗布面内での膜厚均一性に問題が出ることである。膜厚均一性の問題とは、塗布面内で膜厚を複数ポイント測定すると、同一塗布面内にもかかわらず、その膜厚値に変動があることである。膜厚均一性に問題があると、塗布面内での膜厚の一様性が悪くなり塗布ムラの程度が悪くなる。
そこで本発明者らは、塗布性のよい着色感光性樹脂組成物を開発するべく、鋭意検討した結果、特定の溶剤を特定量含有する着色感光性樹脂組成物を用いて塗布膜を形成すると、塗布膜の膜厚均一性が良好であって、塗布ムラが少なくなることがわかった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
すなわち本発明は、染料、感光剤、硬化剤、アルカリ可溶性樹脂および溶剤を含む着色感光性樹脂組成物であって、該溶剤が乳酸ブチルおよびプロピレングリコールブチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤ならびに乳酸エチルおよびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤であり、乳酸ブチルおよびプロピレングリコールブチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量が、全溶剤に対して質量分率で、２０〜９０質量％であり、乳酸エチルおよびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量が、前記と同じ基準で、１０〜８０質量％である着色感光性樹脂組成物を提供する。
【０００６】
また、本発明は、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されるカラーフィルタ、前記のカラーフィルタを具備するイメージセンサおよび前記のイメージセンサを具備するカメラシステムを提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタを形成する際に、該着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布ときの塗布性が良好になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を詳細に説明する。
【０００９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、染料を含有する。染料は感光性樹脂組成物に用いられる有機溶剤に溶解し得て、カラーフィルタの画素を形成し得る染料であれば、特に限定されるものではない。
例えば、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー４、１４、１５、２３、２４、３８、６２、６３、６８、８２、８８、９４、９８、９９、１６２、
Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド４５、４９、
Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ２、７、１１、１５、２６、５６、
Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー３５、３７、５９、６７、
などが挙げられる。
またＣ．Ｉ．アシッド染料として
Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１７、２９、４０、７６、
Ｃ．Ｉ．アシッドレッド９１、９２、９７、１１４、１３８、１５１、
Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ５１、６３、
Ｃ．Ｉ．アシッドブルー８０、８３、９０、
Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン９、１６、２５、２７、
などの染料が例示される。また本願発明に用いられる染料は、例示された染料に限定されるものではない。
【００１０】
また、本発明の着色感光性樹脂組成物の染料には、式（ｉ）〜（ｖｉｉ）で表される酸性染料のアミン塩、および式（ｖｉｉｉ）〜（ｉｘ）で表される酸性染料のスルホンアミド化合物も使用できる。
【００１１】
Ｄ−（ＳＯ３−）ｍ（ＣｎＨ２ｎ＋１Ｎ＋Ｈ３）ｍ                            （ｉ）
Ｄ−（ＳＯ３−）ｍ｛（ＣｎＨ２ｎ＋１）２Ｎ＋Ｈ２｝ｍ                    （ｉｉ）
Ｄ−（ＳＯ３−）ｍ｛（ＣｎＨ２ｎ＋１）３Ｎ＋Ｈ｝ｍ                    （ｉｉｉ）
Ｄ−（ＳＯ３−）ｍ｛（ＣｎＨ２ｎ＋１）４Ｎ＋｝ｍ                        （ｉｖ）
Ｄ−（ＳＯ３−）ｍ（ＣｅＨ２ｅ＋１ＯＣｆＨ２ｆＮ＋Ｈ３）ｍ                （ｖ）
Ｄ−（ＳＯ３−）ｍ｛（ＣｎＨ２ｎ＋１）(ＰｈＣＨ２)２Ｎ＋Ｈ｝ｍ          （ｖｉ）
Ｄ−（ＳＯ３−）ｍ｛（ＣｎＨ２ｎ＋１）Ｐｙ＋｝ｍ                      （ｖｉｉ）
Ｄ−［｛ＳＯ２ＮＨ（ＣｎＨ２ｎ＋１）｝ｐ］［（ＳＯ３Ｌ）ｑ］        （ｖｉｉｉ）
Ｄ−［｛ＳＯ２ＮＨ（ＣｅＨ２ｅ＋１ＯＣｆＨ２ｆ）｝ｐ］［（ＳＯ３Ｌ）ｑ］（ｉｘ）
【００１２】
［式（ｉ）〜（ｉｘ）中、Ｄは、色素母体を表す。
ｍは、１以上２０以下の整数を表す。
ｎは、１以上２０以下の整数を表す。
ｅおよびｆは、それぞれ独立に、１以上１０以下の整数を表す。
Ｐｈは、フェニル基を表す。
Ｐｙは、窒素原子でＣｎＨ２ｎ＋１につながるピリジン環残基またはメチルピリジン環残基を表す。
ｐは、１以上８以下の整数を表す。
ｑは、０以上８以下の整数を表す。
Ｌは、水素原子または一価の陽イオンを表す。］
【００１３】
色素母体Ｄとして、具体的には、アゾ染料母体、キサンテン染料母体、アントラキノン染料母体、トリフェニルメタン染料母体、メチン染料母体、シアニン染料母体およびフタロシアニン染料母体などが挙げられる。
ｍは、好ましくは１以上１０以下の整数、より好ましくは１以上８以下の整数を表す。
ｎは、好ましくは１以上１０以下の整数、より好ましくは１以上８以下の整数を表す。
ｅおよびｆは、それぞれ独立に、好ましくは１以上８以下の整数、より好ましくは１以上６以下の整数を表す。
Ｐｙは、好ましくはメチルピリジン環残基を表す。
ｐは、好ましくは１以上６以下の整数、より好ましくは１以上５以下の整数を表す。
ｑは、好ましくは０以上６以下の整数、より好ましくは０以上５以下の整数を表す。
Ｌで表される一価の陽イオンとしては、例えば、ナトリウム原子、カリウム原子、（Ｃ２Ｈ５）３ＨＮ＋などの４級アンモニウムイオンなどが挙げられる。
【００１４】
また、染料として、式（２１）〜式（３３）で表される染料を使用することができる。
【００１５】
2007316181.tif 000002
【００１６】
2007316181.tif 000003
【００１７】
本願発明中の着色感光性樹脂組成物で用いる染料の組合せ例として、赤のカラーフィルタを形成するためには、例えば、好ましくは式（１３）で表される染料、式（２４）で表される染料および式（２５）で表される染料の組合せが選択できる。
青のカラーフィルタを形成するためには、例えば、好ましくは式（２５）で表される染料、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー９０およびＣ．Ｉ．ソルベントブルー６７の組合せが選択できる。
緑のカラーフィルタを形成するためには、例えば、好ましくはＣ．Ｉ．ソルベントブルー６７、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン９、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１６、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー８２およびＣ．Ｉ．ソルベントイエロー１６２の組合せが選択できる。
黄色のカラーフィルタを形成するために例えば、好ましくはＣ．Ｉ．ソルベントイエロー８２およびＣ．Ｉ．ソルベントイエロー１６２の組合せが選択できる。
イエロー赤、緑、青および黄の染料の組合せは上記の組合せに限られるものではなく、目的としたカラーフィルタの分光スペクトルに合わせて適宜で各染料を組合せることができる。
【００１８】
染料の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは２０〜８０質量％であり、より好ましくは２５〜７５質量％であり、とりわけ好ましくは２５〜６０質量％である。ここで、本明細書中、固形分は、着色感光性樹脂組成物の溶剤成分を除いた成分の合計量をいう。染料の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタの色濃度が高く、パターニング時における現像液への溶解コントラストが大きくなるため好ましい。
【００１９】
本発明の着色感光性樹脂組成物に用いられる感光剤としては、例えばフェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物とのエステル化合物が挙げられる。ここで、フェノール化合物としては、例えば、ジ、トリ、テトラおよびペンタヒドロキシベンゾフェノンや、式（４１）〜式（５１）で表される化合物などが挙げられる。
【００２０】
2007316181.tif 000004
【００２１】
ｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物としてはｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸、ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸などが挙げられる。
【００２２】
本発明中の感光性樹脂組成物は、具体的には、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノンとｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４２）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４３）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４４）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４５）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４６）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４７）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４８）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４９）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（５０）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（５１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（４２）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（４３）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（４４）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（４５）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（４６）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（４７）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（４８）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（４９）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（５０）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステル、式（５１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸とのエステルが挙げられ、好ましくは、式（４１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（４３）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、式（５１）で表される化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステル、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノンとｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸とのエステルが挙げられる。また、本発明の着色感光性樹脂組成物に用いられる感光剤は、上記化合物に限られるものではなく、ｉ線フォトレジストに用いられる感光剤を用いることができる。
【００２３】
感光剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは２０〜５０質量％、より好ましくは３０〜４５質量％である。感光剤の含有量が前記の範囲にあると、パターン形成時の現像後残膜率とパターン形成する際の露光時間との、両者の値がともによい値が得られる傾向があり好ましい。
【００２４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、硬化剤を含有する。硬化剤には、加熱により硬化する化合物が用いられる。前記の硬化剤としては、式（Ｉ）で表される化合物が挙げられる。
【００２５】
2007316181.tif 000005
【００２６】
［式（Ｉ）中、Ｒ１〜Ｒ６は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０の直鎖状アルキル基または炭素数３〜１０の分岐状アルキル基を表す。ただし、少なくとも２個は水素原子ではない。］
【００２７】
炭素数１〜１０の直鎖状アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシルが挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基が挙げられる。
炭素数３〜１０の分岐状アルキル基としては、イソプロピル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、下記の基などが挙げられ、好ましくはイソプロピル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基が挙げられる。
【００２８】
2007316181.tif 000006
【００２９】
式（Ｉ）で表される化合物としては、具体的には、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサエトキシメチルメラミンが挙げられ、好ましくはヘキサメトキシメチルメラミンが挙げられる。
【００３０】
硬化剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは１０〜４０質量％であり、より好ましくは２０〜３０質量％である。硬化剤の含有量が前記の範囲にあると、フォトリソグラフィー法でパターンを形成する際の投影露光時間が短くなるため好ましく、また現像後のパターンの形状が良好で、該パターンを加熱して硬化させた後のパターンの機械的強度が充分であり、また現像工程で画素の膜減りが発生しないので画像の色ムラが生じ難いため好ましい。
【００３１】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含有する。アルカリ可溶性樹脂は、フォトリソグラフィーにおいて、未露光部がアルカリ現像液に溶解し、かつ露光部がアルカリ現像液に溶解しない性質を有するものであれば、特に限定されず、例えば、ノボラック樹脂、ポリビニル樹脂などが用いられる。
【００３２】
ノボラック樹脂としてはパラクレゾールノボラック樹脂、メタクレゾールノボラック樹脂、パラクレゾールとメタクレゾールとのノボラック樹脂、式（７１）で表される繰り返し構造を有するノボラック樹脂などが挙げられる。
【００３３】
2007316181.tif 000007
【００３４】
前記のノボラック樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜２０,０００であり、より好ましくは５，０００〜１８，０００、とりわけ好ましくは１０,０００〜１５,０００である。
【００３５】
前記のポリビニル樹脂としては、重合成分として、ｐ−ビニルフェノールを有するもの、中でもスチレンとｐ−ビニルフェノールとの共重合体などが挙げられる。また、ｐ−ビニルフェノールの水酸基の水素原子を、炭素数１〜６のアルキル基で一部置換した共重合体を用いるとフォトリソグラフィー法でパターンを形成する際の投影露光時間が短くなり、形状も改良されるため好ましい。ｐ−ビニルフェノールの水酸基を置換する基としては、炭素数１〜６のアルキル基が好ましく、該アルキル基は、分岐していてもよく、または環状構造を有していても良い。前記の炭素数１〜６のアルキル基としては、メチル基、エチル基、イソプロピル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、シクロヘキシル基が挙げられる。
【００３６】
前記のポリビニル樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量は、好ましくは１，０００〜２０,０００であり、より好ましくは２，０００〜１８,０００、とりわけ好ましくは２，０００〜４，０００である。
【００３７】
アルカリ可溶性樹脂の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは１〜５０質量％であり、より好ましくは１〜４０質量％であり、とりわけ好ましくは５〜４０質量％である。アルカリ可溶性樹脂の含有量が前記の範囲にあると、現像液に対する溶解度が充分であって、また現像工程での膜減りを生じにくく、フォトリソグラフィー法でパターンを形成する際の投影露光時間が短くなり好ましい。
【００３８】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、金属イオン封鎖剤を含んでもよい。金属イオン封鎖剤を含有することにより、着色感光性樹脂組成物の保存前後における、該着色感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィーを行うときの投影露光するときの露光量の変化が小さくなる傾向がある。
前記の金属イオン封鎖剤としては、例えば、アデカスタブＣＤＡ−１、ＣＤＡ−１Ｍ、ＣＤＡ−６、ＺＳ−２７、ＺＳ−９０、ＺＳ−９１（いずれも、旭電化工業（株）製）、キレストＭＺ−２、キレストＭＺ−４Ａ（いずれも、キレスト（株）製）、１，１０−フェナントロリン、１，２−フェニレンジアミン、１，７−フェナントロリン、トリピリジン、２，２’−ビピリジン、２，３，７，８，１２，１３，１７，１８−オクタエチル−２１Ｈ，２３Ｈ−ポルフィリン、ネオクプロイン、３，５，６，８−テトラメチル−１，１０−フェナントロリン、４，４’−ジメチル−２，２’−ビキノリン、４，４’−ジフェニル−２，２’−ビキノリン、４，７−ジメチル−１，１０−フェナントロリン、ｐ−フェナントロリン、５−メチル−１，１０−フェナントロリンが挙げられる。前記の金属イオン封鎖剤は、単独でも、混合して用いてもよい。
【００３９】
金属イオン封鎖剤を含有する場合、その含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは０．００１〜１０質量％、より好ましくは０．０１〜１質量％である。金属イオン封鎖剤の使用量が前記の範囲にあると、これを含む着色感光性樹脂組成物のフォトリソグラフィーにおける感度が高く、また該着色感光性樹脂組成物の保存の前後での、露光量の変化がより小さくなるので好ましい。
【００４０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は溶剤を含有する。該溶剤は、乳酸ブチルおよびプロピレングリコールブチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤ならびに乳酸エチルおよびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤であり、乳酸ブチルおよびプロピレングリコールブチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量が、全溶剤に対して質量分率で、２０〜９０質量％であり、乳酸エチルおよびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量が、前記と同じ基準で、１０〜８０質量％である。好ましくは、乳酸ブチルおよびプロピレングリコールブチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量は、全溶剤に対して質量分率で、３０〜８０質量％であり、乳酸エチルおよびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量が、前記と同じ基準で、２０〜７０％であり、より好ましくは、乳酸ブチルおよびプロピレングリコールブチルエーテルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量は、全溶剤に対して質量分率で、２０〜４０質量％であり、乳酸エチルおよびＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量が、前記と同じ基準で、６０〜８０質量％である。
溶剤の種類および含有量が前記の範囲にあると、塗布性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００４１】
さらに本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲であれば、他の溶剤を含有してもよい。前記の溶剤としては、例えば、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、メチルセルソルブアセテート、エチルセルソルブアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシド、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ピルビン酸エチルなどが挙げられ、好ましくはプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが挙げられる。該溶剤は、単独でも、２種以上を混合して用いてもよい。
本発明の着色感光性樹脂組成物における溶剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは６０〜９０質量％、より好ましくは６５〜８５質量％である。
【００４２】
また、本発明の着色感光性樹脂組成物には、塩基性化合物（ただし式（Ｉ）で表される化合物を除く）を添加してもよい。該塩基性化合物としては、アミン類などの塩基性含窒素有機化合物などが挙げられる。
該塩基性化合物を添加することにより、露光後の引き置き特性、すなわち、露光後に基板を放置することに起因する光酸発生剤の失活によりパターン寸法が変化しにくいという性質を良好にできるので、好ましい。
該塩基性化合物の具体例としては、Ｎ−メチルアミン、Ｎ−エチルアミン、Ｎ−ｎ−プロピルアミン、Ｎ−ｎ−ブチルアミン、Ｎ−ｎ−ヘキシルアミン、Ｎ−シクロヘキシルアミン、Ｎ−ｎ−ペンチルアミン、Ｎ−ｎ−オクチルアミン、Ｎ−ｎ−ノニルアミン、Ｎ−ｎ−デシルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミン、Ｎ，Ｎ−メチルフェニルアミン、Ｎ，Ｎ−メチルシクロヘキシルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、メチルジフェニルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、メチルフェニルシクロヘキシルアミン、トリフェニルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリ−ｎ−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリ−ｓｅｃ−ブチルアミン、トリ−ｔｅｒｔ−ブチルアミン、トリ−ｎ−ペンチルアミン、トリイソペンチルアミン、トリ−ｓｅｃ−ペンチルアミン、トリ−ｎ−ヘキシルアミン、トリ−ｓｅｃ−ヘキシルアミン、トリ−ｔｅｒｔ−ヘキシルアミン、トリ−ｎ−オクチルアミン、ジイソブチルアミン、Ｎ−フェニルジエタノールアミン、Ｎ−ベンジルイソプロピルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、ジフェニルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔２−（２−メトキシエトキシ）エチル〕アミン、３−アミノ−エタノール、２−アミノ−エタノール、１−アミノ−１−プロパノール、２−アミノ−１−プロパノール、３−アミノ−１−プロパノール、２−アミノ−２−プロパノール、
１−アミノ−１−ブタノール、２−アミノ−１−ブタノール、３−アミノ−１−ブタノール、４−アミノ−１−ブタノール、１−アミノ−２−ブタノール、２−アミノ−２−ブタノール、３−アミノ−２−ブタノール、４−アミノ−２−ブタノール、１−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、２−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、３−アミノ−２−メチル−１−プロパノール、２−アミノメチル−１−プロパノール、１−アミノ−１−ペンタノール、２−アミノ−１−ペンタノール、３−アミノ−１−ペンタノール、４−アミノ−１−ペンタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、１−アミノ−２−ペンタノール、２−アミノ−２−ペンタノール、３−アミノ−２−ペンタノール、４−アミノ−２−ペンタノール、５−アミノ−２−ペンタノール、１−アミノ−３−ペンタノール、２−アミノ−３−ペンタノール、３−アミノ−３−ペンタノール、４−アミノ−３−ペンタノール、５−アミノ−３−ペンタノール、１−アミノ−２−メチル−１−ブタノール、２−アミノ−２−メチル−１−ブタノール、３−アミノ−２−メチル−１−ブタノール、４−アミノ−２−メチル−１−ブタノール、２−アミノメチル−１−ブタノール、１−アミノ−２−メチル−２−ブタノール、３−アミノ−２−メチル−２−ブタノール、４−アミノ−２−メチル−２−ブタノール、２−メチルアミノ−２−ブタノール、１−アミノ−３−メチル−１−ブタノール、２−アミノ−３−メチル−１−ブタノール、３−アミノ−３−メチル−１−ブタノール、４−アミノ−３−メチル−１−ブタノール、３−アミノメチル−１−ブタノール、１−アミノ−２，２−ジメチル−１−プロパノール、３−アミノ−２，２−ジメチル−１−プロパノール、２，２−アミノメチルメチル−１−プロパノール、１−アミノ−３−メチル−２−ブタノール、２−アミノ−３−メチル−２−ブタノール、３−アミノ−３−メチル−２−ブタノール、４−アミノ−３−メチル−２−ブタノール、３−メチルアミノ−２−ブタノール、Ｎ，Ｎ−メチルメタノールアミン、Ｎ，Ｎ−メチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−メチル−ｎ−プロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−メチル−イソプロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−メチル−メチル−ｎ−ブタノールアミン、Ｎ，Ｎ−メチル−メチル−ｓｅｃ−ブタノールアミン、Ｎ，Ｎ−メチル−メチル−ｔｅｒｔ−ブタノールアミン、Ｎ，Ｎ−メチルヘキサノールアミン、Ｎ，Ｎ−メチルペンタノールアミン、Ｎ，Ｎ−エチルメタノールアミン、Ｎ，Ｎ−エチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−エチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−エチルプロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−エチルブタノールアミン、Ｎ，Ｎ−エチルヘキサノールアミン、Ｎ，Ｎ−エチルペンタノールアミン、Ｎ，Ｎ−プロピルメタノールアミン、Ｎ，Ｎ−プロピルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−プロピルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−プロピルプロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−プロピルブタノールアミン、Ｎ，Ｎ−プロピルヘキサノールアミン、Ｎ，Ｎ−プロピルペンタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ブチルメタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ブチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ブチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ブチルプロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−ブチルブタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ブチルヘキサノールアミン、Ｎ，Ｎ−ブチルペンタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ペンチルメタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ペンチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ペンチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ペンチルプロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−ペンチルブタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ペンチルヘキサノールアミン、Ｎ，Ｎ−ペンチルペンタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ヘキシルメタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ヘキシルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ヘキシルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ヘキシルプロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−ヘキシルブタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ヘキシルヘキサノールアミン、Ｎ，Ｎ−ヘキシルペンタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルメタノールアミン、Ｎ，Ｎ−メチルエチルメタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルメタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−メチルエチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリ−ｎ−プロパノールアミン、トリ−ｎ−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリ−ｔｅｒｔ−ブタノールアミン、２−アミノ−２−メチル−１，３−プロパンジオールアニリン、ｐ−アミノフェノール、２−メチルアミノフェノール、Ｎ−メチルアニリン、２−メチルアニリン、３−メチルアニリン、４−メチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−ｎ−プロピルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−イソプロピルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−ｎ−ブチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−ｓｅｃ−ブチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−ｔｅｒｔ−ブチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチルシクロヘキシルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−ｎ−ヘキシルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−ｎ−オクチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−ｎ−ドデシルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１−ナフチルアニリン、２−アニリノエタノール、２−アニリノジエタノール、４−アニリノフェノール、２，６−イソプロピルアニリン、ｐ−イソプロパノールアニリン、２，６−ジイソプロパノールアニリン、ｏ−ジイソプロパノールアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｓｅｃ−ブチルアニリン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアニリン、ｐ−オクチルアニリン、ｏ−エチルアニリン、２，６−ジエチルアニリン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアニリン、２−ｓｅｃ−ブチルアニリン、２，５−ｔｅｒｔ−ブチルアニリン、３，４−エチレンオキシアニリン、３−アミノ−１−フェニルブタン、ジフェニルアミンＮ−エチル−２，３−キシリジン、ｐ−ｎ−ヘキシルアニリン、１，４−ジアザビシクロ〔２，２，２〕オクタン、１，８−ジアザビシクロ〔５，４，０〕−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ〔４，３，０〕ノン−５−エン、４−ニトロアニリン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、４，４’−ジアミノ−１，２−ジフェニルエタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジメチルジフェニルメタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジエチルジフェニルメタン、４，４’−ジアミノ−３，３’，５，５’−テトラエチル−ジフェニルメタン、８−キノリノール、ベンズイミダゾール、２−ヒドロキシベンズイミダゾール、２−ヒドロキシキナゾリン、４−メトキシベンジリデン−４’−ｎ−ブチルアニリン、サリチル酸アミド、サリチルアニリド、１，８−ビス（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）ナフタレン、１，２−ジアジン（ピリダジン）、ピペリジン、ｐ−アミノ−安息香酸、Ｎ−アセチルエチレンジアミン、２−メチル−６−ニトロアニリン、５−アミノ−２−メチルフェノール、４−ｎ−ブトキシアニリン、３−エトキシ−ｎ−プロピルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミン、４−ｔｅｒｔ−ブチルシクロヘキシルアミンや、式（ＩＩＩ）〜式（Ｖ）で表される化合物が挙げられる。
【００４３】
2007316181.tif 000008
【００４４】
［式（ＩＩＩ）〜式（Ｖ）中、Ｒ１４〜Ｒ１６は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜６の直鎖状アルキル基、炭素数３〜６の分岐状アルキル基、炭素数５〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１２のアリール基または炭素数１〜６のアルコキシ基を表す。前記の炭素数１〜６の直鎖状アルキル基、炭素数３〜６の分岐状アルキル基、炭素数５〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１２のアリール基および炭素数１〜６のアルコキシ基は、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、または炭素数１〜６のアルコキシ基で置換されていてもよい。また、該アミノ基は、さらに、炭素数１〜４のアルキル基で置換されていてもよい。
Ｒ１２、Ｒ１３、Ｒ１７およびＲ１８は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜６の直鎖状アルキル基、炭素数３〜６の分岐状アルキル基、炭素数５〜１０のシクロアルキル基または炭素数６〜１２のアリール基を表す。該直鎖状アルキル基、該分岐状アルキル基、該シクロアルキル基、該アリール基は、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、または炭素数１〜６のアルコキシ基で置換されていてもよい。該アミノ基は、炭素数１〜４の直鎖状または分岐状アルキル基で置換されていてもよい。
Ａは、単結合、炭素数１〜６のアルキレン基、カルボニル基、イミノ基、スルフィド基、アミノ基、またはジスルフィド基を表す。］
【００４５】
前記の炭素数１〜６の直鎖状アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基が挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基が挙げられる。
前記の炭素数３〜６の分岐状アルキル基としては、イソプロピル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基が挙げられ、好ましくはイソプロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基が挙げられる。
前記の炭素数５〜１０のシクロアルキル基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基が挙げられ、好ましくはシクロペンチル基、シクロヘキシル基が挙げられる。
前記の炭素数６〜１２のアリール基としては、フェニル基、ナフチル基が挙げられる。
【００４６】
前記の式（ＩＩＩ）で表される塩基性化合物としては、具体的には、イミダゾール、ピリジン、４−メチルピリジン、４−メチルイミダゾール、２−ジメチルアミノピリジン、２−メチルアミノピリジン、１,６−ジメチルピリジンなどが挙げられる。
【００４７】
前記の式（ＩＶ）で表される塩基性化合物としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−ヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−オクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、３−（トリフルオロメチル）フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリンなどが挙げられる。
【００４８】
前記の式（Ｖ）で表される塩基性化合物としては、ビピリジン、２，２’−ジピリジルアミン、ジ−２−ピリジルケトン、１，２−ジ（２−ピリジル）エタン、１，２−ジ（４−ピリジル）エタン、１，３−ジ（４−ピリジル）プロパン、１，２−ビス（２−ピリジル）エチレン、１，２−ビス（４−ピリジル）エチレン、１，２−ビス（４−ピリジルオキシ）エタン、４，４’−ジピリジルスルフィド、４，４’−ジピリジルジスルフィド、１，２−ビス（４−ピリジル）エチレン、２，２’−ジピコリルアミン、３，３’−ジピコリルアミンなどが挙げられる。
【００４９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明の効果を失わない程度にさらに、界面活性剤を含んでもよい。
前記の界面活性剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤およびフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤などが挙げられる。
前記のシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同２９ＳＨＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（トーレシリコーン（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越シリコーン製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（ジーイー東芝シリコーン（株）製）などが挙げられる。
前記のフッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（大日本インキ化学工業（株）製）、エフトップＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（新秋田化成（株）製）、サーフロンＳ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（ＢＭ  Ｃｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
前記のフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合およびフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、メガファックＲ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（大日本インキ化学工業（株）製）などが挙げられる。
これらの界面活性剤は、単独でも２種類以上を組合せて用いてもよい。
界面活性剤を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物に対し質量分率で、好ましくは０．０００５質量％以上０．６質量％以下であり、より好ましくは０．００１質量％以上０．５質量％である。界面活性剤の含有量が、前記の範囲にあると、塗布膜の平坦性がさらに良好になる傾向があり好ましい。
【００５０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明の効果を失わない程度にさらにエポキシ樹脂やオキセタン化合物などを含んでもよい。
前記のエポキシ樹脂としては、具体的には、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール・ノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂などのグリシジルエーテル類；
３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、１−エポキシエチル−３，４−エポキシシクロヘキサンなどの脂環式エポキシ樹脂；
フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステルなどのグリシジルエステル類；
テトラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどのグリシジルアミン類；
トリグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹脂などが挙げられる。
【００５１】
前記のエポキシ樹脂の市販品としては、エピコート８０１（ビスフェノールＦ型エポキシ化合物、エポキシ当量は２０５〜２２５）、８０２（ビスフェノールＦ型エポキシ化合物、エポキシ当量は１９０〜２０５）、８０７（ビスフェノールＦ型エポキシ化合物、エポキシ当量は１６０〜１７５）、８１５（ビスフェノールＦ型エポキシ化合物、エポキシ当量は１８１〜１９１）、８２７（ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、エポキシ当量は１８０〜１９０）、８２８（ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、エポキシ当量は１８４〜１９４）、１５２（フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量は１７２〜１７８ｇ）、１５４（フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量は１７６〜１８０）、１８０Ｓ６５（オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量は２０５〜２２０）（いずれも、ジャパンエポキシレジン（株）製）、ＥＳＣＮ１９５ＸＬ（オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量は１９５〜２００）（住友化学（株）製）、ＥＰ４１００（ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、エポキシ当量は１８０〜２００）、同４３４０（ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、エポキシ当量は２０５〜２３０）（いずれも、旭電化工業（株）製）などが挙げられる。
【００５２】
前記のオキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００５３】
前記のエポキシ樹脂やオキセタン化合物を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物中固形分に対して質量分率で、好ましくは０．０１〜１０質量％、より好ましくは０．１〜５質量％である。エポキシ樹脂やオキセタン化合物の使用量が前記の範囲にあると、耐溶剤性を高める傾向があり好ましい。
【００５４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明の効果を失わない程度にさらに紫外線吸収剤を含んでもよい。
前記の紫外線吸収剤としては、アデカスタブＬＡ−３２、アデカスタブＬＡ−３６、アデカスタブＬＡ−３６ＲＧ、アデカスタブ１４１３、アデカスタブＬＡ−５１、アデカスタブＬＡ−５２、アデカスタブＬＡ−５７、アデカスタブＬＡ−６２、アデカスタブＬＡ−６７、アデカスタブＬＡ−６３Ｐ、アデカスタブＬＡ−６８ＬＤ、アデカスタブＬＡ−７７Ｙ、アデカスタブＬＡ−７７Ｇ、アデカスタブＬＡ−８２、アデカスタブＬＡ−８７、アデカスタブＬＡ−５０１、アデカスタブＬＡ−５０２ＸＰ、アデカスタブＬＡ−５０３、アデカスタブＬＡ−６０１、アデカスタブＬＡ−６０２、アデカスタブＬＡ−６０３、アデカスタブＬＡ−８０１（いずれも、旭電化工業（株）製）、Ｓｕｍｉｓｏｒｂ  ２００、Ｓｕｍｉｓｏｒｂ  ３２０、Ｓｕｍｉｓｏｒｂ  ３００、Ｓｕｍｉｓｏｒｂ  ３５０、Ｓｕｍｉｓｏｒｂ  ３４０（いずれも、住友化学（株）製）、  ＴＩＮＵＶＩＮ  Ｐ、ＴＩＮＵＶＩＮ  ３２６、ＴＩＮＵＶＩＮ  ３２７、ＴＩＮＵＶＩＮ  ３２８、ＴＩＮＵＶＩＮ  ２３４（いずれも、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製）などが挙げられる。
紫外線吸収剤を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物中固形分に対して質量分率で、好ましくは０．００１〜１０質量％、より好ましくは０．０１〜１質量％である。紫外線吸収剤の使用量が前記の範囲にあると、耐光性が向上する傾向があり好ましい。
【００５５】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明の効果を失わない程度にさらに酸化防止剤を含んでもよい。
前記の酸化防止剤としては、アデカスタブＰＥＰ−４Ｃ、アデカスタブＰＥＰ−８、アデカスタブＰＥＰ−８Ｗ、アデカスタブＰＥＰ−１１Ｃ、アデカスタブＰＥＰ−２４Ｇ、アデカスタブＰＥＰ−３６、アデカスタブＰＥＰ−３６Ｚ、アデカスタブＨＰ−１０、アデカスタブ２１１２、アデカスタブ２１１２ＲＧ、アデカスタブ２６０、アデカスタブ５２２Ａ、アデカスタブ３２９Ｋ、アデカスタブ１１７８、アデカスタブ１５００、アデカスタブＣ、アデカスタブ１３５Ａ、アデカスタブ３０１０、アデカスタブＴＰＰ、アデカスタブＡＯ−２０、アデカスタブＡＯ−３０、アデカスタブＡＯ−４０、アデカスタブＡＯ−５０、アデカスタブＡＯ−５０ＲＧ、アデカスタブＡＯ−５０Ｆ、アデカスタブＡＯ−６０、アデカスタブＡＯ−６０Ｇ、アデカスタブＡＯ−６０Ｐ、アデカスタブＡＯ−７０、アデカスタブＡＯ−８０、アデカスタブＡＯ−３３０、アデカスタブＡ−６１１、アデカスタブＡ−６１１ＲＧ、アデカスタブＡ−６１２、アデカスタブＡ−６１２ＲＧ、アデカスタブＡ−６１３、アデカスタブＡ−６１３ＲＧ、アデカスタブＡＯ−５１、アデカスタブＡＯ−１５、アデカスタブＡＯ−１８、アデカスタブ３２８、アデカスタブＡＯ−３７、アデカスタブＡＯ−２３、アデカスタブＡＯ−４１２Ｓ、アデカスタブＡＯ−５０３Ａ（いずれも、旭電化工業（株）製）、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＧＭ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＧＳ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＢＢＭ−Ｓ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＷＸ−Ｒ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＷＸ−ＲＡ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＷＸ−ＲＣ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＮＷ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＧＡ−８０、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＧＰ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＴＰＬ−Ｒ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＴＰＭ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＴＰＳ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＴＰ−Ｄ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ＭＢ、Ｓｕｍｉｌｉｚｅｒ  ９Ａ（いずれも、住友化学（株）製）、Ｉｒｇａｎｏｘ  １０７６、Ｉｒｇａｎｏｘ  １０１０、Ｉｒｇａｎｏｘ  ３１１４、Ｉｒｇａｎｏｘ  ２４５（いずれも、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ（株）製）などが挙げられる。
酸化防止剤を用いる場合、その使用量は、着色感光性樹脂組成物中固形分に対して質量分率で、好ましくは０．００１〜１０質量％、より好ましくは０．０１〜１質量％である。酸化防止剤の使用量が前記の範囲にあると、耐光性や耐熱性が向上する傾向があり好ましい。
【００５６】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤中において、前記の各成分を混合することにより、調製することができる。調製された着色感光性樹脂組成物は、例えば、孔径０．１μｍ程度のフィルタでろ過されるにより、粒径がフィルタの孔径より大きい未溶解物を除去することができて、塗布の際に基板上に均一に塗布することができる。
【００５７】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いることにより、０．４〜２．０μｍの膜厚で、縦および横の長さがそれぞれ独立に１．０〜２０μｍ程度の画素からなるカラーフィルタを得ることができる。
カラーフィルタを得るには、通常の感光性樹脂組成物と同様にフォトリソグラフィー法により操作すればよく、例えば、支持体上に本発明の感光性樹脂組成物からなる塗布膜を設け、前記の塗布膜を露光した後、現像して画素を形成すればよい。支持体としては、例えば、イメージセンサが形成されたシリコンウエハ、透明なガラス板、石英板などが挙げられる。
【００５８】
支持体上に塗布膜を設けるには、例えば、本発明の着色感光性樹脂組成物をスピンコート法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法、ディップ法、流延塗布法、ロール塗布法、スリット＆スピンコート法、スリットコート法などの塗布方法で支持体の上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を加熱などにより除去させればよい。このようにして、支持体の上に感光性樹脂組成物の固形分からなる塗布膜が形成される。塗布後、溶剤などの揮発成分を加熱して除去するときの温度としては、７０〜１２０℃が好ましい。
【００５９】
次いで、この塗布膜を露光する。露光には目的とするパターンに応じたパターンからなるマスクパターンが用いられ、前記のマスクパターンを介して光線を照射すればよい。露光に用いられる光線としては、例えば、ｇ線、ｉ線などを用いることができ、ｇ線ステッパー、ｉ線ステッパーなどの露光機を用いて露光すればよい。照射領域における光線の照射量は、感光剤の種類や含有量、硬化剤の種類や含有量、アルカリ可溶性樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量、単量体比、含有量、などによって適宜選択される。また、こうして露光された塗布膜は、加熱されてもよい。加熱することで、硬化剤が硬化して、塗布膜の機械的強度が向上する傾向があり、好ましい。加熱する場合の加熱温度は、好ましくは８０〜１５０℃である。
【００６０】
露光後、得られた塗布膜を現像する。現像は、通常の感光性樹脂組成物を用いた場合と同様に、塗布膜が設けられた支持体を現像液に接触させればよい。現像液としては、通常の感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する場合と同様の現像液を用いることができる。現像液を振り切り、次いで水洗して現像液を除去することにより、目的とする画素が形成されたカラーフィルタを得ることができる。また、現像液を振り切り、次いでリンス液でリンスをし、水洗する場合もある。このリンスにより、現像時に支持体上に残った着色感光性樹脂組成物に由来する残渣を取り除くことができる。
【００６１】
次いで、現像後の該塗布膜には、紫外線が照射されてもよい。紫外線が照射されることにより、塗布膜中に残存する感光剤が分解されて、感光剤による可視域の吸収がなくなる傾向があり、好ましい。さらに、水洗後、加熱により、形成された画素の機械的強度を向上することができる。加熱温度は、好ましくは１６０〜２２０℃である。加熱温度が前記の範囲にあると、硬化剤により硬化が十分に進み、一方、染料が分解することがなく、好ましい。
【００６２】
こうして、目的とする形状で画素が形成されるが、このカラーフィルタの画素形成工程を異なる色ごとに繰り返すことで、例えば、赤色の画素、緑色の画素および青色の画素といった３色の画素が同一の支持体上に形成される。なお、各色の画素の形成順序については、任意に変更することができる。
【００６３】
イメージセンサとしては、ＣＣＤやＣＭＯＳなどが挙げられる。
【００６４】
前記のイメージセンサを組み込むことにより、カメラシステムを製造することができる。
【００６５】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【実施例】
【００６６】
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
【００６７】
合成例１
式（７０）で表される化合物〔ＰＩＰＥ−ＣＤ；三井化学（株）製〕５０．８部、メチルイソブチルケトン５０．８部ｇおよびシュウ酸９．５部の混合物を攪拌しながら８０℃で攪拌しながら１時間かけてホルマリン（ホルムアルデヒドを質量分率で３７％含有する）１３．８部を滴下して加えた。
【００６８】
2007316181.tif 000009
【００６９】
滴下終了後、９１℃に昇温し、同温度で１０時間反応させた。反応後の反応混合物にイオン交換水１２５部、メチルイソブチルケトン７６部を加えて水洗し、更にメチルイソブチルケトン５１部、イオン交換水１２５部を加えて洗浄し、その後蒸留により脱水して、ノボラック樹脂のメチルイソブチルケトン溶液１４５．５部を得た。得られたメチルイソブチルケトン溶液にメチルイソブチルケトン１３３部、ｎ−ヘプタン３６３部を加えて分別し、樹脂層（液体）として樹脂Ａを得た。この樹脂Ａの平均分子量（ＧＰＣ、ポリスチレン換算）は１３，５００であった。
【００７０】
上記の樹脂Ａのポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）の測定については、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行った。
装置；ＨＬＣ-８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム；ＴＳＫ−ＧＥＬＧ４０００ＨＸＬ＋ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ（直列接続）
カラム温度；４０℃
溶媒；ＴＨＦ
流速；１．０ｍＬ／ｍｉｎ
注入量；５０μＬ
検出器；ＲＩ
測定試料濃度；０．６質量％（溶媒；ＴＨＦ）
校正用標準物質；ＴＳＫ  ＳＴＡＮＤＡＲＤ  ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ  Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００（東ソー（株）製）
【００７１】
実施例１
（着色感光性樹脂組成物１の調製）
下記の成分が混合され、該混合物はメンブランフィルター（孔径０．１μｍ）で濾過されて、着色感光性樹脂組成物１が得られた。
【００７２】
Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー６７  （染料）  １６質量部
Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー１６２  （染料）  １８質量部
Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー８２  （染料）  １０質量部
Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１６  （染料）  １質量部
Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン９  （染料）  ２質量部
２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン（モノ、ビス、トリス、テトラキス）−（６−ジアゾ−５，６−ジヒドロ−５−オキソ−１−ナフタレンスルホナート）（感光剤）  ４質量部
１−４−（７−ヒドロキシ−２，４，４−トリメチル−２−クロマニル）レゾルシノール（ビス，トリス）−（６−ジアゾ−５，６−ジヒドロ−５−オキソ−１−ナフタレンスルホナート）と４−（７，８−ジヒドロキシ−２，４，４−トリメチル−２−クロマニル）ピロガロール（モノ，ビス，トリス，テトラキス，ペンタキス）（６−ジアゾ−５，６−ジヒドロ−５−オキソ−１−ナフタレンスルホナート）（感光剤）の混合物  １５質量部
４−［１’，２’，３’，４’，４’ａ，９’ａ−ヘキサヒドロ−６’−ヒドロキシスピロ（シクロヘキサン−１，９’−キサンテン）−４’ａ−イル］レゾルシノールトリス（６−ジアゾ−５，６−ジヒドロ−５−オキソ−１−ナフタレンスルホナート）（感光剤）  １１質量部
合成例１で得られた樹脂Ａ（固形分換算）８質量部
ヘキサメトキシメチルメラミン  （硬化剤）  １５質量部
乳酸エチル  （溶剤）  １２９質量部
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド  （溶剤）  ７７質量部
乳酸ブチル  （溶剤）  ５１質量部
【００７３】
2007316181.tif 000010
【００７４】
（評価）
上記で得た調製直後の着色感光性樹脂組成物１は、シリコンウエハの上にスピンコート法で塗布されて、塗布膜が得られた。シリコンウエハ上の該塗布膜を斜め４５度から目視すると、ムラが見えなかった。
該塗布膜は、１００℃で１分間加熱されて着色感光性樹脂組成物１中の溶剤が揮発・除去されて、着色感光性樹脂組成物層を形成した。得られた組成物層はｉ線（波長３６５ｎｍ）露光されたのち、露光後の着色感光性樹脂組成物層は２３℃に保った現像液［３質量％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液］に１分間浸漬されて現像され、水洗され、乾燥されて、緑色画素が形成された。
【００７５】
比較例１
溶剤として、乳酸エチル／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド／乳酸ブチルの組合せのかわりに、乳酸エチル／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドとし、その比率を１８３／７８質量部とした以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物２を得て、実施例１と同様に評価を行った。その結果、シリコンウエハ上の該塗布膜を斜め４５度から目視すると、縞状のムラが見られた。
【００７６】
実施例２
溶剤として、乳酸エチル／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド／乳酸ブチルの１２９／７７／５１質量部の代わりに、その比率を１０２／７７／７７質量部とした以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物３を得て、実施例１と同様に評価を行った。その結果、シリコンウエハ上の該塗布膜を斜め４５度から目視すると、ムラが見えなかった。
【００７７】
実施例３
溶剤として、乳酸エチル／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド／乳酸ブチルの１２９／７７／５１質量部の代わりに、その比率を７７／７７／１０２質量部とした以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物４を得て、実施例１と同様に評価を行った。その結果、シリコンウエハ上の該塗布膜を斜め４５度から目視すると、ムラが見えなかった。
【００７８】
実施例４
溶剤として、乳酸エチル／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド／乳酸ブチルの組合せの代わりに、比率はそのままに、乳酸エチル／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド／プロピレングリコールブチルエーテルとした以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物５を得て、実施例１と同様に評価を行った。その結果、シリコンウエハ上の該塗布膜を斜め４５度から目視すると、ムラが見えなかった。
【００７９】
実施例５
溶剤として、乳酸エチル／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド／乳酸ブチルの１２９／７７／５１質量部の代わりに、乳酸エチル／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド／プロピレングリコールブチルエーテルとし、さらに比率を１００／７５／７５質量部とした以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物５を得て、実施例１と同様に評価を行った。その結果、シリコンウエハ上の該塗布膜を斜め４５度から目視すると、ムラが見えなかった。
【００８０】
実施例６
溶剤として、乳酸エチル／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド／乳酸ブチルの１２９／７７／５１質量部の代わりに、乳酸エチル／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド／プロピレングリコールブチルエーテルとし、さらに比率を７４／７４／９８質量部とした以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物６を得て、実施例１と同様に評価を行った。その結果、シリコンウエハ上の該塗布膜を斜め４５度から目視すると、ムラが見えなかった。
【００８１】
実施例７
本発明は、ＣＣＤイメージセンサにおけるカラーフィルタアレイ１０（図１）を形成する技術に関するものである。カラーフィルタアレイの作成方法につき図２〜図７を用い説明する。
シリコン基板１におけるＰ型不純物領域の表面の一部にＰやＡｓ等のＮ型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより、フォトダイオード２を形成する。また、当該表面であって前記一部とは異なる領域にフォトダイオード２よりＮ型不純物濃度の高い不純物拡散層からなる垂直電荷転送部３を形成する。この垂直電荷転送部３はＰやＡｓ等のＮ型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより形成され、フォトダイオード２が入射光を受けることにより発生した電荷を転送する縦方向のＢｕｒｒｉｅｄ  Ｃｈａｎｎｅｌ層（ＣＣＤ）の役割を果たす。
本実施例では、シリコン基板１の不純物領域をＰ型不純物層、フォトダイオード２および垂直電荷転送部３をＮ型不純物層としているが、シリコン基板１の不純物領域をＮ型不純物層、フォトダイオード２および垂直電荷転送部３をＰ型不純物層として実施することもできる。
シリコン基板１、フォトダイオード２および垂直電荷転送部３上には、ＳｉＯ２またはＳｉＯ２／ＳｉＮ／ＳｉＯ２等の絶縁膜を介してポリＳｉ、タングステン、タングステンシリサイド、Ａｌ、Ｃｕ等からなる垂直電荷転送電極４が形成される。垂直電荷転送電極４はフォトダイオード２に発生した電荷を垂直電荷転送部３に転送するための転送ゲートとしての役割、および、垂直電荷転送部３に転送された電荷をチップの縦方向に転送するための転送電極としての役割を果たす。
垂直電荷転送電極４の上方および側面には、ＳｉＯ２、ＳｉＮ等の絶縁膜５を介して遮光層６が形成される。遮光膜６はタングステン、タングステンシリサイド、または、Ａｌ、Ｃｕ等の金属からなり、入射光が垂直電荷転送電極４や垂直電荷転送部３に入り込むのを防ぐ役割を果たす。また、遮光膜６の側面のうち、フォトダイオード２の上方には遮光膜６に張り出し部を設け、入射光が垂直電荷転送部３に漏れこむのを防ぐこともできる。
遮光膜６の上方にはＢＰＳＧ膜７、Ｐ−ＳｉＮ膜８が形成されている。ＢＰＳＧ膜７とＰ−ＳｉＮ膜８の界面がフォトダイオード２の上方で下に湾曲する形状になるように形成されており、入射光を効率よくフォトダイオード２に導くための層内レンズの役割を果たす。
Ｐ−ＳｉＮ膜８表面または画素領域以外の凹凸部を平坦化する目的で平坦化膜層９が形成される（図２）。
次に、この基板上に、本願発明の着色感光性樹脂組成物のうち緑色画素パターンを形成するための着色感光性樹脂組成物が塗布され（１０Ｇ）（図２）、フォトマスク１３を介してパターンの投影露光が行われる（図３）。引き続いて塗布された着色感光性樹脂組成物の露光により現像液に対して不溶化するようになった露光領域１４以外の、現像液に対して可溶である未露光領域１５を現像液で溶解しパターンを形成する。その後、加熱硬化が行われ、所望の緑色画素パターン１０Ｇが形成される（図４）。
次いで、赤色画素パターン１０Ｒおよび青色画素パターン１０Ｂについてこの工程が繰り返され、３色の画素パターンがイメージセンサ形成基板の同一平面上に形成される（図５）。
さらに、カラーフィルタアレイの凹凸を平坦化する目的で平坦化膜１１を形成し（図６）、次いでイメージセンサのフォトダイオード２に入射する光を効率良く集光させるためのマイクロレンズレンズ１２が形成されて（図７）、ＣＣＤイメージセンサおよびカメラシステムが形成される。
【００８２】
実施例８
本発明は、ＣＭＯＳイメージセンサにおけるカラーフィルタアレイ４０（図２）を形成する技術に関するものである。カラーフィルタアレイの作成方法は、上記実施例７における説明と同様である。
Ｓｉ基板にＰウエル３１を形成し、当該Ｐウエルの表面の一部にＰやＡｓ等のＮ型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより、受光部３２を形成する。また、Ｓｉ基板のＰウエル３１の表面であって前記一部とは異なる領域に受光部３２よりＮ型不純物濃度の高い不純物拡散層３３を形成する。この不純物拡散層３３はＰやＡｓ等のＮ型不純物をイオン注入した後、熱処理を行うことにより形成され、受光部３２が入射光を受けることにより発生した電荷を転送する浮遊拡散層の役割を果たす。
本実施例では、ウエル３１をＰ型不純物層、フォトダイオード３２および不純物拡散層３３をＮ型不純物層としているが、ウエル３１をＮ型不純物層、フォトダイオード３２および不純物拡散層３３をＰ型不純物層として実施することもできる。
Ｐウエル３１、受光部３２および不純物拡散層３３上には、ＳｉＯ２またはＳｉＯ２／ＳｉＮ／ＳｉＯ２等の絶縁膜３７が形成され、絶縁膜３４上にはポリＳｉ、タングステン、タングステンシリサイド、Ａｌ、Ｃｕ等からなる電極３４が形成される。電極３４はゲートＭＯＳトランジスタのゲートの役割を果たし、本実施例では、受光部３２に発生した電荷を不純物拡散層３３に転送するための転送ゲートとしての役割を果たす。
電極３４の上方には、ＳｉＯ２、ＳｉＮ等の絶縁膜３７を介して配線層３５が形成される。配線層３５の上方にはＢＰＳＧ膜３６、Ｐ−ＳｉＮ膜３８が形成されている。ＢＰＳＧ膜３６とＰ−ＳｉＮ膜３８の界面が受光部３２の上方で下に湾曲する形状になるように形成されており、入射光を効率よく受光部３２に導くための層内レンズの役割を果たす。
Ｐ−ＳｉＮ膜３８表面または画素領域以外の凹凸部を平坦化する目的で平坦化膜層３９が形成される。
次に、この基板上に、本願発明の着色感光性樹脂組成物のうち緑色画素パターンを形成するための着色感光性樹脂組成物が塗布され（Ｇ）、フォトマスクを介してパターンの投影露光が行われる。引き続いて塗布された着色感光性樹脂組成物の露光により現像液に対して不溶化するようになった露光領域以外の、現像液に対して可溶である未露光領域を現像液で溶解しパターンを形成する。その後、加熱硬化が行われ、所望の緑色画素パターンＧが形成される。
次いで、赤色画素パターンＲおよび青色画素パターンＢについてこの工程が繰り返され、３色の画素パターンがイメージセンサ形成基板の同一平面上に形成される。
さらに、カラーフィルタアレイの凹凸を平坦化する目的で平坦化膜４１を形成し、次いでイメージセンサの受光部３２に入射する光を効率良く集光させるためのオンチップレンズ（マイクロレンズ）４２が形成されて、ＣＭＯＳイメージセンサおよびカメラシステムが形成される。
【００８３】
実施例９
本発明のカメラシステムを図８に示す。カラーフィルタアレイの作成方法は、上記実施例４における説明と同様である。
入射光はレンズ５１を介して、イメージセンサ５２に入射される。イメージセンサ５２の光入射面側にはオンチップレンズ１２または４２とカラーフィルタアレイ１０または４０が形成されている。撮像デバイス５２から出力された信号は信号処理回路５３で信号処理され、カメラ出力される。
イメージセンサ５２はデバイス駆動回路５５により駆動される。デバイス駆動回路５５はモード設定部５４により、静止画モード、動画モード等の設定を入力することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、ＣＣＤやＣＭＯＳセンサなどのイメージセンサ用のカラーフィルタの形成に好適に用いられ、該カラーフィルタはイメージセンサに好適に具備され、該イメージセンサはカメラシステムに好適に具備される。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】図１は、ＣＣＤイメージセンサの断面構造を示す。
【図２】図２は、カラーフィルタアレイの作成方法の一工程を示す。
【図３】図３は、カラーフィルタアレイの作成方法の一工程を示す。
【図４】図４は、カラーフィルタアレイの作成方法の一工程を示す。
【図５】図５は、カラーフィルタアレイの作成方法の一工程を示す。
【図６】図６は、カラーフィルタアレイの作成方法の一工程を示す。
【図７】図７は、カラーフィルタアレイの作成方法の一工程を示す。
【図８】図８は、ＣＭＯＳイメージセンサの断面構造を示す。
【図９】図９は、カメラシステムのブロック図を示す。
【符号の説明】
【００８６】
１；シリコン基板
２、３２；フォトダイオード
３；垂直電荷転送部
４；垂直電荷転送電極
５、３７；絶縁膜
６；遮光膜
７、３６；ＢＰＳＧ膜
８、３８；Ｐ−ＳｉＮ膜
９、３９；平坦化膜（１）
１０、４０；カラーフィルタアレイ
１０Ｇ、４０Ｇ；緑色画素パターン
１０Ｒ、４０Ｒ；赤色画素パターン
１０Ｂ、４０Ｂ；青色画素パターン
１１、４１；平坦化膜（２）
１２、４２；マイクロレンズアレイ
１３；フォトマスク
１４；露光領域
１５；未露光領域
３１；ウエル
３３；不純物拡散層
３４；電極
３５；配線層
【図１】
2007316181.tif 000011
【図２】
2007316181.tif 000012
【図３】
2007316181.tif 000013
【図４】
2007316181.tif 000014
【図５】
2007316181.tif 000015
【図６】
2007316181.tif 000016
【図７】
2007316181.tif 000017
【図８】
2007316181.tif 000018
【図９】
2007316181.tif 000019