(57)【要約】【課題】幅広い測定レンジを維持しつつ測定プローブの被測定物に対する接触圧を低減させるとともに、測定プローブの撓み及びガタを減少させてヒステリシスを低減させ、繰り返し精度を向上させることができる直動式寸法計測装置を提供する。【解決手段】測定プローブ７ａ、７ｂが固定されたアーム部材８ａ、８ｂと、測定プローブ７ａ、７ｂの摺動方向に延びたスライド軸部材９ａ、９ｂと、ワークＷとの接触位置からスライド軸部材９ａ、９ｂまでの長さｔ１より大きな離間寸法ｔ２を有しつつスライド軸部材９ａ、９ｂの両端部を摺動自在に支承する軸受１０ａ〜１０ｄと、コイルスプリング１２を介してアーム部材８ａ、８ｂを押圧することによりスライド軸部材９ａ、９ｂと共に摺動させ、測定プローブ７ａ、７ｂをワークＷに接触させ得る押圧手段１１ａ、１１ｂとを備えた直動式寸法計測装置である。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定プローブを直線上で摺動させつつ被測定物に接触させて当該被測定物の所望部位についての寸法を計測する直動式寸法計測装置において、
先端に前記測定プローブが固定されたアーム部材と、
該アーム部材の基端側に固定され、軸心が前記測定プローブの摺動方向に延びたスライド軸部材と、
前記測定プローブの被測定物との接触位置から前記スライド軸部材の軸心までの長さより大きな離間寸法を有しつつ前記スライド軸部材の両端部を支持するとともに、当該スライド軸部材をその軸方向に摺動自在に支承する一対の軸受と、
所定の弾性部材を介して前記アーム部材を押圧することにより当該アーム部材を前記スライド軸部材と共に摺動させ、前記測定プローブを被測定物に接触させ得る押圧手段と、
を備えたことを特徴とする直動式寸法計測装置。
【請求項２】
前記アーム部材は、左右一対配設されるとともに、一方のアーム部材の基端側に固定されたスライド軸部材に他方のアーム部材の基端側が連結され、その連結部には当該スライド軸部材の摺動を許容しつつ他方のアーム部材を支持する支持部材が形成されたことを特徴とする請求項１記載の直動式寸法計測装置。
【請求項３】
前記押圧手段のアーム部材に対する接近を検知する検知手段を具備するとともに、当該検知手段による検知に基づき、前記押圧手段による押圧動作を停止させることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の直動式寸法計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定プローブを直線上で摺動させつつ被測定物に接触させて当該被測定物の所望部位についての寸法を計測する直動式寸法計測装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に被測定物の直径等を計測する寸法計測装置には、接触式のものと非接触式のものとがあるが、接触式のものは通常、非接触式のものに比べ、耐環境性に優れており、且つ、油膜などが付着した被測定物に対しても誤計測が少ないため、寸法計測において高い信頼を得ている。かかる接触式の寸法計測装置は、更に測定プローブを円弧状に動作させる回動支承式のものと測定プローブを直線上で動作させる直動支承方式のものとに大別される。
【０００３】
このうち回転支承式のものは、直動支承方式に比べ、測定プローブの駆動抵抗が小さく低操作荷重での駆動が可能であるものの、測定プローブが円弧状に動作することから、被測定物の寸法変化と測定プローブの動作とが直線的比例関係とはならず、幅広い測定レンジのものには対応が困難である。然るに、幅広い測定レンジに対応させる必要がある計測工程においては、従来より、直動支承方式の寸法計測装置（直動式寸法計測装置）が多く使用されており、特に自動化工程に適用すべく、モータ等の駆動源の駆動により測定プローブを直線上で摺動させつつ被測定物に接触させて寸法計測し得るものが使用されるに至っている。尚、かかる先行技術は、文献公知発明に係るものでないため、記載すべき先行技術文献情報はない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の直動式寸法計測装置においては、幅広い測定レンジに対応し得るものの、回動支承式のものに比べ、測定プローブの駆動抵抗が大きくなることから、当該測定プローブの被測定物に対する接触圧が大きくなってしまう不具合があった。しかして、被測定物に対する接触圧が大きいと、測定プローブの撓みや被測定物に形成された微小陥没等に起因する計測誤差が大きくなってしまい、装置の信頼性が低下してしまうという問題があった。
【０００５】
また、多くの直動支承方式においては、測定プローブが先端に取り付けられたアーム部材と、測定プローブの摺動方向に延設されたボールネジ等の摺動軸と、該摺動軸にアーム部材を摺動自在に連結して支承させる軸受とを具備したものが一般的であるが、幅広い測定レンジを確保するには当該アーム部材を比較的長く設定して、測定プローブの接触位置から摺動軸の軸心までの寸法を大きくする必要がある。その場合、軸受におけるクリアランス（摺動のためにアーム部材基端側との間で必要なクリアランス）に起因するガタは、比較的長尺なアーム部材を介して測定プローブに伝わることとなるため、増幅されて大きなものとなり、計測誤差を生じさせる原因となる。
【０００６】
更に、測定プローブを駆動させるための操作駆動荷重と、測定プローブが被測定物に接触した際の接触部からの反力とによりアーム部材にモーメントが生じることから、当該アーム部材先端（測定プローブが取り付けられた側）での撓みが大きくなる傾向にあり、上述したガタと相まって、測定プローブの摺動に複雑なヒステリシスを生じさせる原因ともなっている。この場合、寸法計測装置全体としての繰り返し精度が低下してしまうという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、幅広い測定レンジを維持しつつ測定プローブの被測定物に対する接触圧を低減させるとともに、測定プローブの撓み及びガタを減少させてヒステリシスを低減させ、繰り返し精度を向上させることができる直動式寸法計測装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１記載の発明は、測定プローブを直線上で摺動させつつ被測定物に接触させて当該被測定物の所望部位についての寸法を計測する直動式寸法計測装置において、先端に前記測定プローブが固定されたアーム部材と、該アーム部材の基端側に固定され、軸心が前記測定プローブの摺動方向に延びたスライド軸部材と、前記測定プローブの被測定物との接触位置から前記スライド軸部材の軸心までの長さより大きな離間寸法を有しつつ前記スライド軸部材の両端部を支持するとともに、当該スライド軸部材をその軸方向に摺動自在に支承する一対の軸受と、所定の弾性部材を介して前記アーム部材を押圧することにより当該アーム部材を前記スライド軸部材と共に摺動させ、前記測定プローブを被測定物に接触させ得る押圧手段とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の直動式寸法計測装置、前記アーム部材は、左右一対配設されるとともに、一方のアーム部材の基端側に固定されたスライド軸部材に他方のアーム部材の基端側が連結され、その連結部には当該スライド軸部材の摺動を許容しつつ他方のアーム部材を支持する支持部材が形成されたことを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の発明は、請求項１又は請求項２記載の直動式寸法計測装置において、前記押圧手段の前記アーム部材に対する接近を検知する検知手段を具備するとともに、当該検知手段による検知に基づき、前記押圧手段による押圧動作を停止させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明によれば、押圧手段が所定の弾性部材を介してアーム部材を押圧することにより測定プローブを被測定物に接触させ得るので、幅広い測定レンジを維持しつつ測定プローブの被測定物に対する接触圧を低減させることができる。同時に、スライド軸部材の両端部を摺動自在としつつ支持する軸受が、測定プローブの被測定物との接触位置からスライド軸部材の軸心までの長さより大きな離間寸法を有して配設されているので、測定プローブの撓み及びガタを減少させてヒステリシスを低減させ、繰り返し精度を向上させることができる。
【００１２】
請求項２の発明によれば、一方のアーム部材の基端側に固定されたスライド軸部材に他方のアーム部材の基端側が連結され、その連結部には当該スライド軸部材の摺動を許容しつつ他方のアーム部材を支持する支持部材が形成されているので、支持部材にてアーム部材のスライド軸部材に対する回転方向の動作を規制することができ、両アーム部材の支持をより確実に行わせることができるとともに、支持部材をスライド軸部材とは別個の部材に形成させたものに比べ、直動型寸法計測装置全体を小型化することができる。
【００１３】
請求項３の発明によれば、押圧手段のアーム部材に対する接近を検知する検知手段を具備するとともに、当該検知手段による検知に基づき、押圧手段による押圧動作を停止させるので、測定プローブが被測定物に接触した時点を正確に把握して押圧手段による押圧を即座に停止させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら具体的に説明する。
本実施形態に係る直動式寸法計測装置は、測定プローブを直線上で摺動させつつ被測定物に接触させて当該被測定物の所望部位についての寸法（具体的には外径）を計測するためのもので、図１及び図２に示すように、台部１と、本体部６と、台部１上に配設された下面固定部２と、本体部６に対して上下動可能に配設された可動部３と、該可動部３に配設された上面固定部４と、計測部５とから主に構成されている。
【００１５】
下面固定部２及び上面固定部４には、被測定物としてのワークＷの下面及び上面に当接し得る突起部２ａ、４ａがそれぞれ形成されている。そして、下面固定部２の突起部２ａにワークＷを載置させた状態で可動部３を下降させることにより、上面固定部４の突起部４ａをワークＷの上面に当接させ、当該ワークＷを上下から挟持して固定し得るよう構成されている。
【００１６】
計測部５は、上述の如く固定されたワークＷの外径を計測するための部位で、図３及び図４に示すように、左右一対のアーム部材８ａ、８ｂと、上下一対のスライド軸部材９ａ、９ｂと、軸受１０ａ〜１０ｄと、押圧手段１１ａ、１１ｂと、弾性部材としてのコイルスプリング１２と、モータＭにて回転可能なボールネジ１３と、一対のリニアゲージＳ１、Ｓ２（図１参照）とから主に構成されている。
【００１７】
アーム部材８ａ、８ｂは、先端に測定プローブ７ａ、７ｂがそれぞれ固定されつつ図中左右方向へ直線的に摺動して互いに近接又は離間し得るもので、左側のアーム部材８ａ（以下、左側アーム部材８ａと呼ぶ）の内側面にはリニアゲージＳ２の作動子Ｓ２ａ先端が当接するとともに、右側のアーム部材８ｂ（以下、右側アーム部材８ｂと呼ぶ）の内側面にはリニアゲージＳ１の作動子Ｓ１ａ先端が当接するよう構成されている。しかして、リニアゲージＳ１及びＳ２の測定値に基づき、測定プローブ７ａ、７ｂの離間寸法を検出し得るようになっている。
【００１８】
また、左側アーム部材８ａの基端側は、下側のスライド軸部材９ｂ（以下、第２スライド軸部材９ｂと呼ぶ）に対して固定部材１７を介して固定されるとともに、上側のスライド軸部材９ａ（以下、第１スライド軸部材９ａと呼ぶ）に対して支持部材１５を介し摺動自在に連結されている。一方、右側アーム部材８ｂの基端側は、第１スライド軸部材９ａに対して固定部材１４を介して固定されるとともに、第２スライド軸部材９ｂに対して支持部材１６を介し摺動自在に連結されている。
【００１９】
これら第１スライド軸部材９ａ及び第２スライド軸部材９ｂは、軸心が測定プローブ７ａ、７ｂの摺動方向（図中、左右方向）に延びた長尺状部材から成り、両端部が軸受１０ａ、１０ｂ及び１０ｃ、１０ｄにて支持されるとともに、それぞれが左右方向に摺動自在とされている。即ち、軸受１０ａ〜１０ｄは、第１スライド軸部材９ａ及び第２スライド軸部材９ｂをその軸方向に摺動自在に支承し得るよう構成されており、これにより、第２スライド軸部材９ｂは、測定プローブ７ａを有した左側アーム部材８ａと一体化され、当該左側アーム部材８ａと共に左右方向へ摺動可能とされるとともに、第１スライド軸部材９ａは、測定プローブ７ｂを有した右側アーム部材８ｂと一体化され、当該右側アーム部材８ｂと共に左右方向へ摺動可能とされているのである。
【００２０】
ここで、図５に示すように、測定プローブ７ａ、７ｂのワークＷとの接触位置から第１スライド軸部材９ａ及び第２スライド軸部材９ｂの軸心までの長さｔ１よりも、軸受１０ａ、１０ｂ（１０ｃ及び１０ｄも同様）の離間寸法ｔ２の方が大きくなるよう設定されている。これにより、軸受１０ａ〜１０ｄにて支持された第１スライド軸部材９ａ及び第２スライド軸部材９ｂに生じてしまうガタの測定プローブ７ａ、７ｂに対する影響を極力小さくすることができ、当該測定プローブ７ａ、７ｂの撓み及びガタを減少させてヒステリシスを低減させ、繰り返し精度を向上させることができる。
【００２１】
然るに、第２スライド軸部材９ｂが左側アーム部材８ａと共に摺動しても、支持部材１６がその摺動を許容しつつ右側アーム部材８ｂの基端側を支持する一方、第１スライド軸部材９ａが右側アーム部材８ｂと共に摺動しても、支持部材１５がその摺動を許容しつつ左側アーム部材８ａの基端側を支持するよう構成されている。即ち、一方のアーム部材の基端側に固定されたスライド軸部材に他方のアーム部材の基端側が連結され、その連結部には当該スライド軸部材の摺動を許容しつつ他方のアーム部材を支持する支持部材が形成されているのである。
【００２２】
押圧手段１１ａ、１１ｂは、コイルスプリング１２、１２を介して左側アーム部材８ａ及び右側アーム部材８ｂを押圧することにより、これら左側アーム部材８ａ及び右側アーム部材８ｂを第２スライド軸部材９ｂ及び第１スライド軸部材９ａと共に摺動させ、測定プローブ７ａ、７ｂを互いに近接させるためのものである。押圧手段１１ａ、１１ｂは、その基端がボールネジ１３と連結され、モータＭの回転駆動力が伝達されて左右に移動し得るようになっており、互いに近接する過程で左側アーム部材８ａ及び右側アーム部材８ｂを押圧して、これらも近接させ得るよう構成されている。
【００２３】
コイルスプリング１２は、押圧手段１１ａ、１１ｂからアーム部材８ａ、８ｂに亘って挿通されたボルトＢの外周に配設されており、当該押圧手段１１ａ、１１ｂとアーム部材８ａ、８ｂとの間に介在したものである。かかるボルトＢは、先端がアーム部材８ａ、８ｂに固定され、基端の頭部が押圧手段１１ａ、１１ｂに位置するよう配設されたもので、押圧手段１１ａ、１１ｂのアーム部材８ａ、８ｂに対する図３の状態からの更なる離間を規制する一方、近接は許容し、コイルスプリング１２を介した押圧を可能としている。
【００２４】
従って、左側押圧手段１１ａ及び右側押圧手段１１ｂが弾性部材としてのコイルスプリング１２を介して左側アーム部材８ａ及び右側アーム部材８ｂを押圧することにより測定プローブ７ａ、７ｂをワークＷの側面に接触させ得るので、コイルスプリング１２の弾力により当該測定プローブ７ａ、７ｂをワークＷに対して極めてソフトに接触させることができ、幅広い測定レンジを維持しつつ測定プローブ７ａ、７ｂのワークＷに対する接触圧を低減させることができる。
【００２５】
ボールネジ１３は、モータＭの出力軸と連結され、当該モータＭの駆動により回転されるものであり、左側の押圧手段１１ａ（以下、左側押圧手段１１ａという）の基端及び右側の押圧手段１１ｂ（以下、右側押圧手段１１ｂという）の基端と連結されているとともに、左側押圧手段１１ａとの連結部位と右側押圧手段１１ｂとの連結部位とでは外周のネジが逆に形成されている。これにより、モータＭを正転駆動させれば、左側押圧手段１１ａと右側押圧手段１１ｂとが近接する方向に移動し、当該モータＭを逆転駆動させれば、左側押圧手段１１ａと右側押圧手段１１ｂとが離間する方向に移動することとなる。
【００２６】
また、左側押圧手段１１ａには、フォトセンサ１９が形成されるとともに、左側アーム部材８ａから左側押圧手段１１ａに向かって延設部１８が延設されている。これらフォトセンサ１９と延設部１８とは、本発明における検知手段を構成するもので、左側押圧手段１１ａが左側アーム部材８ａに近接すると、フォトセンサ１９による光の送受が遮られ、当該近接を検知し得るよう構成されている。
【００２７】
具体的には、左側押圧手段１１ａがコイルスプリング１２を介して左側アーム部材８ａを押圧して摺動させる過程で、測定プローブ７ａがワークＷの外周面に当接すると、左側アーム部材８ａは静止して左側押圧手段１１ａがコイルスプリング１２を圧縮つつ近接することとなるので、延設部１８が図７の状態から図８の状態となり、発光素子１９ａから照射された光ｈを受光素子１９ｂが受光しなくなる。
【００２８】
かかる光ｈの遮断の検知信号をモータＭの駆動制御部に送り、当該モータＭを瞬時に停止させるのである。尚、同様の検知手段が右側押圧手段１１ｂ及び右側アーム部材８ｂに形成されており、当該右側押圧手段１１ｂの右側アーム部材８ｂに対する近接を検知し得るようになっている。これにより、測定プローブ７ａ、７ｂがワークＷに接触した時点を正確に把握して左側押圧手段１１ａ、右側押圧手段１１ｂによる押圧を即座に停止させることができるので、当該測定プローブ７ａ、７ｂのワークＷに対するソフトな接触を維持させることができる。
【００２９】
次に、上記直動式寸法計測装置における作用について説明する。
まず、図３及び図４に示すように、測定プローブ７ａ、７ｂを十分に離間させた状態にてワークＷを突起部２ａ、４ａで挟持して固定させておく。かかる状態でモータＭを正転駆動させると、左側押圧手段１１ａが図中右方向へ、右側押圧手段１１ｂが図中左方向へ移動するので、それぞれがコイルスプリング１２を介して左側アーム部材８ａ、右側アーム部材８ｂを押圧することとなる。
【００３０】
これら左側アーム部材８ａは、左側押圧手段１１ａで押圧されることにより、第２スライド軸部材９ｂと共に右方向へ摺動するとともに、その基端が支持部材１５にて右側アーム部材８ｂの摺動に伴う第１スライド軸部材９ａの摺動を許容（第１スライド軸部材９ａとは連動しない）しつつ支持される一方、右側アーム部材８ｂは、右側押圧手段１１ｂで押圧されることにより、第１スライド軸部材９ａと共に摺動するとともに、その基端が支持部材１６にて左側部材８ａの摺動に伴う第２スライド軸部材９ｂの摺動を許容（第２スライド軸部材９ｂとは連動しない）しつつ支持される。
【００３１】
これにより、支持部材１５、１６にて左側アーム部材８ａ及び右側アーム部材８ｂの第１スライド軸部材９ａ、９ｂに対する回転方向の動作を規制することができ、両アーム部材８ａ、８ｂの支持をより確実に行わせることができるとともに、支持部材１５、１６をスライド軸部材９ａ、９ｂとは別個の部材に形成させたものに比べ、直動型寸法計測装置全体を小型化することができる。言い換えるならば、第１スライド部材９ａは、左側アーム部材８ａのスライド部としての機能と、右側アーム部材８ｂの回転規制としての機能との両者を兼用し得るとともに、第２スライド部材９ｂは、右側アーム部材８ｂのスライド部としての機能と、左側アーム部材８ａの回転規制としての機能との両者を兼用し得るのである。
【００３２】
然るに、左側アーム部材８ａの摺動と共にリニアゲージＳ２の作動子Ｓ２ａが変位する一方、右側アーム部材８ｂの摺動と共にリニアゲージＳ１の作動子Ｓ１ａが変位し、これらの変位を計測し得るようになっている。しかして、右側アーム部材８ａ及び左側アーム部材８ｂが押圧されて摺動し、互いに近接する過程において、図５及び図６で示すように、ワークＷの両側面に測定プローブ７ａ、７ｂが接触すると、延設部１８及びフォトセンサ１９とから成る検知手段が検知し、モータＭを停止させる。
【００３３】
すなわち、ワークＷに測定プローブ７ａ、７ｂに接触すると、左側アーム部材８ａ及び右側アーム部材８ｂが静止する一方、左側押圧手段１１ａ及び右側押圧手段１１ｂがコイルスプリング１２を圧縮しつつ左側アーム部材８ａ及び右側アーム部材８ｂに接近し始め、図８に示すように、延設部１８がフォトセンサ１９における発光素子１９ａと受光素子１９ｂとの間に介在することとなる。
【００３４】
この延設部１８による介在で、発光素子１９ａから照射された光ｈを受光素子１９ｂが受光しなくなると、測定プローブ７ａ、７ｂがワークＷに接触したと把握できるので、その時点でモータＭの駆動が停止され、左側押圧手段１１ａ及び右側押圧手段１１ｂによる押圧動作が停止することとなる。従って、測定プローブ７ａ、７ｂがワークＷに接触したにも関わらず押圧手段１１ａ、１１ｂによる押圧が継続され、接触圧が過大となってしまうのを確実に回避することができる。
【００３５】
こうしてモータＭが停止した時点の左側アーム部材８ａと右側アーム部材８ｂの変位をリニアゲージＳ１及びＳ２にて計測し、これに基づき各測定プローブ７ａ、７ｂのワークＷの接触点間の寸法を把握すれば、ワークＷの外径を検出することができる。外径を検出した後は、モータＭを逆転駆動させ、押圧手段１１ａ、１１ｂを離間させると、ボルトＢによりアーム部材８ａ、８ｂも離間し、初期位置まで戻って待機状態とされる。尚、押圧手段１１ａ、１１ｂが初期位置となったことを検知するセンサ（不図示）を設け、当該初期位置となった時点でモータＭを停止させるよう構成するのが好ましい。
【００３６】
本実施形態によれば、押圧手段１１ａ、１１ｂがコイルスプリング１２を介してアーム部材８ａ、８ｂを押圧することにより測定プローブ７ａ、７ｂをワークＷに接触させ得るとともに、スライド軸部材９ａ、９ｂの両端部を摺動自在としつつ支持する軸受１０ａ〜１０ｄが、測定プローブ７ａ、７ｂのワークＷとの接触位置からスライド軸部材９ａ、９ｂの軸心までの長さｔ１より大きな離間寸法ｔ２を有して配設されているので、幅広い測定レンジを維持しつつ測定プローブ７ａ、７ｂのワークＷに対する接触圧を低減させることができると同時に、測定プローブ７ａ、７ｂの撓み及びガタを減少させてヒステリシスを低減させ、繰り返し精度を向上させることができる。
【００３７】
以上、本実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば延設部１８及びフォトセンサ１９とから成る検知手段に代え、測定プローブ７ａ、７ｂがワークＷに接触したことを検知し得る他の検知手段（接触式或いは非接触式であってもよい）としてもよい。また、押圧手段１１ａ、１１ｂは、モータＭ及びボールネジ１３にて駆動されているが、他の汎用的な駆動機構を用いるようにしてもよい。
【００３８】
更に、本実施形態においては、コイルスプリングを介して押圧手段１１ａ、１１ｂがアーム部材８ａ、８ｂを押圧しているが、かかるコイルスプリングに代えて他の弾性部材（弾力に富んだゴムや樹脂等）としてもよい。尚、本実施形態いおいては、ワークＷを床面に対して上下方向に固定して測定部５による測定を行っているが、当該ワークＷを水平方向に固定するよう構成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
押圧手段が弾性部材を介してアーム部材を押圧することにより測定プローブを被測定物に接触させ得るとともに、スライド軸部材の両端部を摺動自在としつつ支持する軸受が、測定プローブの被測定物との接触位置からスライド軸部材の軸心までの長さより大きな離間寸法を有して配設された直動式寸法計測装置であれば、外観形状が異なるもの或いは他の機能が付加されたもの等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施形態に係る直動式寸法計測装置の全体正面図
【図２】同直動式寸法計測装置の左側面図であって一部破断した図
【図３】同直動式寸法計測装置における計測部を示す上面図であって測定プローブが離間した状態を示す模式図
【図４】同計測部を示す正面図であって測定プローブが離間した状態を示す模式図
【図５】同計測部を示す上面図であって測定プローブが被測定物に接触した状態を示す模式図
【図６】同計測部を示す正面図であって測定プローブが被測定物に接触した状態を示す模式図
【図７】同直動式寸法計測装置における検知手段を示す図（図３におけるＶＩＩ部拡大図）であって押圧部材がアーム部材に対して接近していない状態を示す模式図
【図８】同直動式寸法計測装置における検知手段を示す図（図５におけるＶＩＩＩ部拡大図）であって押圧部材がアーム部材に対して接近していない状態を示す模式図
【符号の説明】
【００４１】
１    台部
２    下面固定部
３    可動部
４    上面固定部
５    計測部
６    本体部
７ａ、７ｂ  測定プローブ
８ａ、８ｂ  アーム部材
９ａ、９ｂ  スライド軸部材
１０ａ〜１０ｄ  軸受
１１ａ、１１ｂ  押圧手段
１２  コイルスプリング（弾性部材）
１３  ボールネジ
１４、１７  固定部材
１５、１６  支持部材
１８  延設部（検知手段）
１９  フォトセンサ（検知手段）
Ｓ１、Ｓ２  リニアゲージ
Ｍ    モータ
Ｗ  ワーク（被測定物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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