(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の電気光学装置の集合体をスクライブブレイク法で分断して個々の電気光学装置にする際に、落下により分断面に欠け等が発生することを抑制する。【解決手段】受け冶具３０６上の集合体２０を、伸縮シート３０８の上からブレイクバー３０により圧力を加えて分断し、伸縮シート３０８の上から板状部材３１０を被せて、集合体２０を受け冶具３０６と板状部材３１０とで挟み込み、板状部材３１０を下にして載置して受け冶具３０６を外し、伸縮シート３０８を伸張させることにより集合体２０を個々の電気光学装置にする。伸縮シート３０８を伸張して接着剤２１０の層を含めて完全に分断できるため、接着剤という延性を有する物質を介して接合された複数の基板を含む電気光学装置の集合体２０を、落下による破損等を抑制しつつ分断できる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々に対向基板が配置され、各々が電気光学装置となる複数の回路パターンが互いに所定の間隔をもってマトリクス状に配置されたマザー基板に、当該回路パターン毎に区切る溝を形成する第１の工程と、
保持部材上に受け冶具を配置した後、前記マザー基板を、前記対向基板が下面となるように前記保持部材上に載置する第２の工程と、
前記マザー基板の前記対向基板と反対側の表面に、一方の面に粘着性を有する伸縮シートを貼付する第３の工程と、
前記伸縮シートの上から、前記マザー基板の前記溝に対応した領域にブレイクバーにより圧力を加えて前記マザー基板に分割面を形成する第４の工程と、
前記伸縮シートを伸張させることにより、前記マザー基板を分断して個々の電気光学装置にする第５の工程と、を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２】
前記第５の工程は、
前記伸縮シートの上から板状部材を被せて、前記マザー基板を前記受け冶具と前記板状部材とで挟んで固定するシート固定工程と、
前記受け冶具と前記板状部材で挟んだ前記マザー基板を、前記保持部材から外し、前記板状部材を下にして載置する反転工程と、
前記受け冶具を外し、前記伸縮シートを伸張自在とした後に、前記シートを伸張させるシート伸張工程と、の３工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項３】
前記第１の工程は、前記溝を、前記マザー基板の前記対向基板が配置されている方の面に形成する工程であることを特徴とする請求項１、または２に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
各々に対向基板が配置され、各々が電気光学装置となる複数の回路パターンが互いに所定の間隔をもってマトリクス状に配置された第１のマザー基板に当該回路パターン毎に区切る第１の溝を形成する第１の工程と、
第２のマザー基板に前記第１の溝と同一パターンの第２の溝を形成する第２の工程と、
前記第１のマザー基板の前記回路パターンが形成されていない方の面である第２の面を、前記第２のマザー基板に、前記第１の溝と前記第２の溝とが重なるように接着剤により貼り合わせ、電気光学装置の集合体を形成する第３の工程と、
保持部材上に受け冶具を配置した後、前記電気光学装置の集合体を、前記対向基板が下面となるように保持部材上に載置する第４の工程と、
前記第２のマザー基板の表面に、一方の面に粘着性を有する伸縮シートを貼付する第５の工程と、
前記伸縮シートの上から、前記第２の溝上にブレイクバーにより圧力を加えて、前記第１のマザー基板、及び前記第２のマザー基板に分割面を形成する第６の工程と、
前記伸縮シートを伸張させることにより前記第１のマザー基板、及び前記接着剤を分断して、前記電気光学装置の集合体を個々の電気光学装置にする第７の工程と、を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
前記第７の工程は、
前記伸縮シートの上から板状部材を被せて、前記電気光学装置の集合体を前記受け冶具と前記板状部材とで挟んで固定するシート固定工程と、
前記受け冶具と前記板状部材で挟んだ前記電気光学装置の集合体を、前記保持部材から外し、前記板状部材を下にして載置する反転工程と、
前記受け冶具を外し、前記伸縮シートを伸張自在とした後に、前記シートを伸張させるシート伸張工程と、の３工程からなることを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
前記第１の工程は、前記第１の溝を、前記第１のマザー基板の前記対向基板が配置されている方の面に形成する工程であり、
前記第２の工程は、前記第２の溝を、前記第２のマザー基板の前記第１のマザー基板と接着される方の面に形成する工程であることを特徴とする請求項４、または５に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
第１の面に、互いに所定の間隔をもってマトリクス状に配置され、各々に対向基板が配置され各々が電気光学装置となる複数の回路パターンと、当該回路パターンを区切る溝と、を持つマザー基板を前記回路パターン毎に分断する電気光学装置の製造装置であって、  前記マザー基板を前記第１の面を下にして保持する保持部材と、
前記マザー基板と前記保持部材との間に介装されて前記マザー基板の周縁部を支持する受け冶具と、
前記マザー基板の前記対向基板と反対側の表面に貼付される粘着性と伸縮性とを有する伸縮シートと、
前記伸縮シートの上から前記溝上に圧力を加えることにより、前記マザー基板を分断するブレイクバーと、
前記伸縮シートの上から前記マザー基板を覆う板状部材と、を有することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項８】
第１の面に、互いに所定の間隔をもってマトリクス状に配置された複数の回路パターンと、当該回路パターン毎に区切る第１の溝と、を持つ第１のマザー基板と、平面に投影される形状が前記第１の溝と同一である第２の溝が表面に形成され、前記第１の溝と前記第２の溝とが重なるように、当該表面が前記第１のマザー基板の第２の面に接着剤により貼り合わされている第２のマザー基板と、を含む電気光学装置の集合体を、前記回路パターンごとに分断する電気光学装置の製造装置であって、
前記電気光学装置の集合体を前記第１の面を下にして保持する保持部材と、
前記第１のマザー基板と前記保持部材との間に介装されて前記第１のマザー基板の周縁部を支持する受け冶具と、
前記第２のマザー基板の裏面に貼付される粘着性と伸縮性とを有する伸縮シートと、
前記伸縮シートの上から前記第２の溝上に圧力を加えることにより、前記第１のマザー基板及び前記第２のマザー基板を分断するブレイクバーと、
前記伸縮シートの上から前記電気光学装置の集合体を覆う板状部材と、を有することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項９】
前記受け冶具は、前記対向基板を配置する領域に相当する開口部を有する平板状の部材であることを特徴とする請求項７、または８に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１０】
前記受け冶具の開口部は、前記対向基板を配置する領域に沿った形状を有することを特徴とする請求項７、または８に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１１】
前記受け冶具は２以上の突起を具備しており、前記板状部材には前記突起の形状、個数、及び形成位置に対応する穴が形成されていることを特徴とする請求項７、または８に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１２】
前記穴は、内部の形状が、前記伸縮シートに覆われた前記突起に隙間なく嵌まるように形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１３】
前記保持部材は、上面に高剛性材質の薄板を具備していることを特徴とする請求項７、または８に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１４】
前記ブレイクバーの先端部の長手方向に垂直な平面における形状は、角形状又は曲面形状であることを特徴とする請求項７、または８に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１５】
前記ブレイクバーは、並列に配置された複数の先端部を有することを特徴とする請求項７、または８に記載の電気光学装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置、特に液晶表示装置の製造装置、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、ガラス、あるいは石英等からなる２枚の基板間に液晶を封入して形成されている。一方の基板には例えば薄膜トランジスタ等の能動素子をマトリクス状に配置し、他方の基板には対向電極を配置して、両基板間に封入した液晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能にしている。以下、上記能動素子が形成される基板を素子基板、上記対向電極が形成される基板を対向基板と称する。そして、液晶表示装置の前段階の、液晶注入等が行われていない状態を液晶パネルと称する。
【０００３】
図１は一般的な液晶パネルを表わす模式斜視図である。素子基板１０２と対向基板１０４がシール材１０６で所定の間隔をもって接着されており、シール材１０６の内側の領域に表示領域がある。素子基板１０２、対向基板１０４、及びシール材１０６で形成される空間内には液晶が封入されており、シール材１０６の外側にはデータ線駆動回路１０８等が形成されている。
【０００４】
データ線駆動回路１０８への外部からの画像信号の伝達は、実装端子１１０に接続される図示しないフレキシブル・プリント・サーキット（以下、「ＦＰＣ」と称する。）を経由して行われる。実装端子１１０とデータ線駆動回路１０８間は図示しない複数の接続配線で接続されている。これらの回路や端子の配置される領域が必要なため、素子基板１０２は対向基板１０４よりも大きい。そして、好ましくは、素子基板の裏面に防塵ガラス１１２が貼付されている。
【０００５】
液晶表示装置を投射型表示装置のライトバルブとして用いる場合、異物の影響を考慮する必要がある。投射型表示装置は液晶表示装置の画面上の画像をスクリーンに拡大投射するため、液晶表示装置の表面（画面）に異物が付着すると、当該異物の影響により投射される画像の質が著しく劣化するからである。したがって、投射型表示装置に用いる液晶表示装置は、特許文献１に記載するように少なくともどちらか一方の面に防塵ガラスを接着剤により貼付して、デフォーカス作用により異物の影響を低減するようになっている。異物の影響を低減するという目的からは、当該防塵ガラスは液晶表示装置の表示領域上に配置されていれば良いため、素子基板と同等の大きさを有する必要はない。
【０００６】
しかし液晶表示装置の製造工程では、製造効率を向上させるために、液晶パネル形成工程までは素子基板が複数集まって形成されるマザー基板のままで処理を進めて、マザー基板に複数の液晶パネルを同時に形成するアレイ製造が一般的である。アレイ製造では、複数の素子基板の集合体であるマザー基板のままで、上記薄膜トタンジスタ等を形成する。そして上記マザー基板を個々の液晶パネルに分断した後に、液晶注入や上記ＦＰＣの接続等を行う。
【０００７】
スループットを向上させるためには上記マザー基板と略同一の防塵ガラスを当該マザー基板に貼付して、個々の液晶パネルに分断する際に上記マザー基板と一括して分断することが一般的となる。したがって、防塵ガラス１１２は素子基板と同じ大きさとなる。
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−１４８５８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、ガラス等からなる基板の分断方法の主流であるスクライブブレイク法、すなわち基板に所定の深さまでの溝を形成した後、反対側から当該溝に圧力を加えて当該溝に沿って基板を分断する場合、接着剤のように硬化しても若干の延性を有する物質はうまく分断できない。
【００１０】
したがって上述の接着剤を介して接合された２枚の基板をスクライブブレイク法で分断する場合、接着剤の層が分断できず、短冊状に分断したものを持ち上げると、不意に短冊状のものから液晶パネルが落下してしまう場合があり、当該落下により分断面に欠け等が発生し得るという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、各々に対向基板が配置され、各々が電気光学装置となる複数の回路パターンが互いに所定の間隔をもってマトリクス状に配置されたマザー基板に、当該回路パターン毎に区切る溝を形成する第１の工程と、保持部材上に受け冶具を配置した後、上記マザー基板を、上記対向基板が下面となるように上記保持部材上に載置する第２の工程と、上記マザー基板の上記対向基板と反対側の表面に、一方の面に粘着性を有する伸縮シートを貼付する第３の工程と、上記伸縮シートの上から、上記マザー基板の上記溝に対応した領域にブレイクバーにより圧力を加えて上記マザー基板に分割面を形成する第４の工程と、上記伸縮シートを伸張させることにより、上記マザー基板を分断して個々の電気光学装置にする第５の工程と、を含む。
【００１２】
このような製造方法によれば、ブレイクバーにより溝に沿った分割面を形成した後に、伸縮シートを伸張させることにより上記分割面を広げる方向に、すなわち上記マザー基板の水平方向にのみ力を加えることができる。したがって、分割面を形成した後にマザー基板を折る方向に力を加える手法に比べて、確実に溝に沿って分断できる。
【００１３】
好ましくは、上記第５の工程は、上記伸縮シートの上から板状部材を被せて、上記マザー基板を上記受け冶具と上記板状部材とで挟んで固定するシート固定工程と、上記受け冶具と上記板状部材で挟んだ上記マザー基板を、上記保持部材から外し、上記板状部材を下にして載置する反転工程と、上記受け冶具を外し、上記伸縮シートを伸張自在とした後に、上記シートを伸張させるシート伸張工程と、の３工程を含む。
【００１４】
このような製造方法によれば、ブレイクバーにより溝に沿った分割面を形成した後のマザー基板を受け冶具とシートで挟んで固定することにより、振動等が加わることなく移送可能にできる。そして、他の場所まで移送した後に反転し受け冶具を外した後で、平坦な面上で伸縮シートを伸張できるので、上記分割面を広げる方向にのみ力を加えることができる。したがって、上記マザー基板を、より一層確実に溝に沿って分断できる。
【００１５】
また、好ましくは、上記第１の工程は、上記溝を、上記マザー基板の上記対向基板が配置されている方の面に形成する工程である。
【００１６】
このような製造方法によれば、ブレイクバーによる加圧が溝を広げる方向に働くので、分割面を容易に形成できる。
【００１７】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、各々に対向基板が配置され、各々が電気光学装置となる複数の回路パターンが互いに所定の間隔をもってマトリクス状に配置された第１のマザー基板に当該回路パターン毎に区切る第１の溝を形成する第１の工程と、第２のマザー基板に上記第１の溝と同一パターンの第２の溝を形成する第２の工程と、上記第１のマザー基板の上記回路パターンが形成されていない方の面である第２の面を、上記第２のマザー基板に、上記第１の溝と上記第２の溝とが重なるように接着剤により貼り合わせ、電気光学装置の集合体を形成する第３の工程と、保持部材上に受け冶具を配置した後、上記電気光学装置の集合体を、上記対向基板が下面となるように保持部材上に載置する第４の工程と、上記第２のマザー基板の表面に、一方の面に粘着性を有する伸縮シートを貼付する第５の工程と、上記伸縮シートの上から、上記第２の溝上にブレイクバーにより圧力を加えて、上記第１のマザー基板、及び上記第２のマザー基板に分割面を形成する第６の工程と、上記伸縮シートを伸張させることにより上記第１のマザー基板、及び上記接着剤を分断して、上記電気光学装置の集合体を個々の電気光学装置にする第７の工程と、を含む。
【００１８】
このような製造方法によれば、接着剤で貼り合わされている２枚の基板を含む電気光学装置の集合体に伸縮シート上から分割面を形成した後、上記伸縮シートを伸張して接着剤の層を含めて完全に分断できる。したがって、接着剤という延性を有する物質を介して接合された複数の基板を含む電気光学装置の集合体を、確実に分断できる。
【００１９】
好ましくは、上記第７の工程は、上記伸縮シートの上から板状部材を被せて、上記電気光学装置の集合体を上記受け冶具と上記板状部材とで挟んで固定するシート固定工程と、上記受け冶具と上記板状部材で挟んだ上記電気光学装置の集合体を、上記保持部材から外し、上記板状部材を下にして載置する反転工程と、上記受け冶具を外し、上記伸縮シートを伸張自在とした後に、上記シートを伸張させるシート伸張工程と、の３工程からなる。
【００２０】
このような製造方法によれば、ブレイクバーにより第１の溝に沿った分割面を形成した後の電気光学装置の集合体を、受け冶具とシートで挟んで固定することにより、振動等が加わることなく移送可能にできる。そして、他の場所まで移送した後に反転し受け冶具を外した後で、平坦な面上で伸縮シートを伸張できる。したがって、接着剤という延性を有する物質を介して接合された複数の基板を含む電気光学装置の集合体を、確実に分断できる。
【００２１】
また、好ましくは、上記第１の工程は、上記第１の溝を、上記第１のマザー基板の上記対向基板が配置されている方の面に形成する工程であり、上記第２の工程は、上記第２の溝を、上記第２のマザー基板の上記第１のマザー基板と接着される方の面に形成する工程である。
【００２２】
このような製造方法によれば、ブレイクバーによる加圧が溝を広げる方向に働くので、分割面を容易に形成できる。
【００２３】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造装置は、第１の面に、互いに所定の間隔をもってマトリクス状に配置され、各々に対向基板が配置され各々が電気光学装置となる複数の回路パターンと、当該回路パターンを区切る溝と、を持つマザー基板を上記回路パターン毎に分断する電気光学装置の製造装置であって、上記マザー基板を上記第１の面を下にして保持する保持部材と、上記マザー基板と上記保持部材との間に介そうされて上記マザー基板の周縁部を支持する受け冶具と、上記マザー基板の上記対向基板と反対側の表面に貼付される粘着性と伸縮性とを有する伸縮シートと、上記伸縮シートの上から上記溝上に圧力を加えることにより、上記マザー基板を分断するブレイクバーと、上記伸縮シートの上から上記マザー基板を覆う板状部材と、を有する。
【００２４】
このような製造装置によれば、ブレイクバーにより溝に沿った分割面を形成した後に、伸縮シートを伸張させることにより上記分割面を広げる方向にのみ、すなわち水平方向にのみ力を加えることができる。したがって、分割面を形成した後にマザー基板を折る方向に力を加える手法に比べて、上記マザー基板を確実に溝に沿って分断できる。
【００２５】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造装置は、第１の面に、互いに所定の間隔をもってマトリクス状に配置された複数の回路パターンと、当該回路パターン毎に区切る第１の溝と、を持つ第１のマザー基板と、平面に投影される形状が上記第１の溝と同一である第２の溝が表面に形成され、上記第１の溝と上記第２の溝とが重なるように、当該表面が上記第１のマザー基板の第２の面に接着剤により貼り合わされている第２のマザー基板と、を含む電気光学装置の集合体を、上記回路パターンごとに分断する電気光学装置の製造装置であって、上記電気光学装置の集合体を上記第１の面を下にして保持する保持部材と、上記第１のマザー基板と上記保持部材との間に介そうされて上記第１のマザー基板の周縁部を支持する受け冶具と、上記第２のマザー基板の裏面に貼付される粘着性と伸縮性とを有する伸縮シートと、上記伸縮シートの上から上記第２の溝上に圧力を加えることにより、上記第１のマザー基板及び上記第２のマザー基板を分断するブレイクバーと、上記伸縮シートの上から上記電気光学装置の集合体を覆う板状部材と、を有することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【００２６】
このような製造装置によれば、接着剤で貼り合わされている２枚の基板を含む電気光学装置の集合体に伸縮シート上から分割面を入れた後、伸縮シートを伸張して接着剤の層を含めて完全に分断できる。したがって、接着剤という延性を有する物質を介して接合された複数の基板を含む電気光学装置の集合体を、確実に分断できる。
【００２７】
また、好ましくは、上記受け冶具は、上記対向基板を配置する領域に相当する開口部を有する平板状の部材である。
【００２８】
このような製造装置によれば、マザー基板の対向基板の配置領域を受け冶具の開口部内に配置するだけで、マザー基板の周縁部を保持板上に支持することができる。
【００２９】
また、好ましくは、上記受け冶具の開口部は、上記対向基板を配置する領域に沿った形状を有する。
【００３０】
このような製造装置によれば、隣接する対向基板間の距離と最外周の対向基板と受け冶具までの距離とを等しくできる。その結果、マザー基板に形成した溝から対向基板までの距離と受け冶具までの距離とが等しくなり、マザー基板の分断が一層容易になる。
【００３１】
また、好ましくは、上記受け冶具は２以上の突起を具備しており、上記板状部材には上記突起の形状、個数、及び形成位置に対応する穴が形成されている。
【００３２】
このような製造装置によれば、上記受け冶具と上記板状部材とを互いに確実に結合できる。したがって、分割面形成後の上記マザー基板、あるいは上記電気光学装置の集合体を安全に移送して反転できるので、落下等による不良品の発生をより一層抑制できる。
【００３３】
また、好ましくは、上記穴は、内部の形状が、上記伸縮シートに覆われた上記突起に隙間なく嵌まるように形成されている。
【００３４】
このような製造装置によれば、上記伸縮シートにより上記マザー基板、あるいは上記電気光学装置の集合体を上記受け冶具、及び上記板状部材に結合できる。したがって、上記マザー基板、あるいは上記電気光学装置の集合体を安全に移送して反転できるので、落下等による不良品の発生をより一層抑制できる。
【００３５】
また、好ましくは、上記保持部材は、上面に高剛性材質の薄板を具備している。
このような製造装置によれば、上記ブレイクバーの加圧時による上記電気光学装置の集合体の変形を抑制し、圧力を溝に集中できるため、上記電気光学装置の集合体を溝上で正確に分断できる。
【００３６】
また、好ましくは、上記ブレイクバーの先端部の長手方向に垂直な平面における形状は、角形状又は曲面形状である。
【００３７】
かかる形状の先端形状を持つブレイクバーによれば、狭い領域に圧力を集中できるため、上記電気光学装置の集合体を溝上で正確に分断できる。
【００３８】
また、好ましくは、上記ブレイクバーは、並列に配置された複数の先端部を有する。
【００３９】
かかる形状のブレイクバーによれば、１回の昇降動作で複数の分割面を形成できるため、作業効率を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、本発明の実施形態にかかる電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法について図面を参照しながら説明する。上記図１に示すような、防塵ガラスを少なくとも素子基板側に備えた液晶パネルを、当該パネルの集合体から分断する装置、及び分断する方法である。
【００４１】
図２は、電気光学装置としての液晶パネルの集合体（以下「集合体」と称する。）２０を示す図である。本実施形態の対象となる集合体２０は、第１のマザー基板２０２、第２のマザー基板２０４、および複数の対向基板１０４等で形成されている。本図では都合上、第１のマザー基板２０２と第２のマザー基板２０４を分離して描いているが、実際には上記２枚の基板は後述する図３に示すように接着剤２１０で接着されている。
【００４２】
第１のマザー基板２０２は素子基板の集合体であり、各々の液晶パネルの素子基板１０２がマトリクス状に並んでいる。各々の素子基板表面には、表示領域とその周辺のデータ線駆動回路、及びＦＰＣ端子等が形成されており（図１参照）、上述したように対向基板１０４は素子基板１０２より小さく、対向基板１０４は表示領域上に接合されるため、各々の対向基板は隣接する対向基板との間に所定の間隔を有している。
【００４３】
そして当該間隔の中間には第１の溝（以下、「スクライブライン」と称する。）２０６が形成されている。スクライブラインは、集合体２０を後述するスクライブブレイク法で分断して個々の液晶パネルにするためのものであり、高硬度材質の回転刃を回転させながら移動させることにより形成される。そして各々の素子基板１０２上の表示領域には、対向基板１０４が図１に示すようにシール材で接合されている。
【００４４】
第２のマザー基板２０４は、厚さ以外は第１のマザー基板と同一形状であり、第１のマザー基板と同様に第２のスクライブライン２０８が形成されている。したがって、第１のマザー基板２０２と第２のマザー基板２０４は、第１と第２の双方のスクライブライン（以下、「両スクライブライン」と称する。）が完全に重なるように接合できる。
【００４５】
図３（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態にかかる液晶パネルの製造装置の概略を、図２で述べた、２枚のマザー基板が接着剤を介して接合されている集合体２０を例にして説明する図である。
【００４６】
図３（ａ）は、保持部材としてのテーブル３０２上に載置された集合体２０をブレイクバー３０で分断する態様を示すものである。集合体２０は、テーブル３０２上に高剛性材質の薄板としての保持板３０４を介して載置される。保持版３０４は所定の厚み、所定の硬度を有しており、ブレイクバー３０により印圧された場合でも撓みにくい構造となっている。
【００４７】
受け冶具３０６は、集合体２０の周縁部において第１のマザー基板２０２と保持板３０４の間に介そうされており、当該周縁部における受け冶具３０６と対向基板１０４との間隔が、集合体２０の周縁部以外の領域での各対向基板同士の間隔と一致するようにしている。その結果、集合体２０の周縁部の両スクライブラインの下側の空洞部が左右対称となり、スクライブブレイク時に、集合体２０における両スクライブラインの位置に関係なく同一の圧力が加わる。
【００４８】
伸縮シート３０８は、粘着性、及び伸縮性を有し、第２のマザー基板２０４の裏面に貼付されている。第１のマザー基板２０２と第２のマザー基板２０４に分割面３００を形成後、上記伸縮性を利用して、接着剤２１０を、分断後のマザー基板の端面に沿って分断する。
【００４９】
ブレイクバー３０は、長手方向長さが第１のマザー基板２０２の直径より若干長い棒状の部材で、図示しない駆動機構により両スクライブライン上に静的又は動的圧力を加えて、スクライブラインに沿って第１のマザー基板２０２と第２のマザー基板２０４とを、同一線上で同時に分割面３００を形成する。圧力を集中させるために、先端の断面形状は３０度から５０度の角度の先端の角形状、又はＲ２．５ｍｍから１００ｍｍ程度の円弧上となっている。
【００５０】
図３（ｂ）は、ブレイクバー３０により第１のマザー基板２０２と第２のマザー基板２０４に分割面３００を形成した後、板状部材としての底板（以下、「底板」と称する。）３１０を伸縮シート３０８上に被せた態様を示すものである。底板３１０は２個の位置決め穴３１２を有しており、受け冶具３０６の位置決め突起３１４に嵌め合わせて固定できる。その結果、分割面３００を形成後の集合体２０を受け冶具３０６と底板３１０とで挟み、テーブル３０２上からの移送や表裏の反転を容易にしている。位置決め穴３１２の径は位置決め突起３１４の径より大きく、伸縮シート３０８ごしに嵌め合せることに対応している。また、伸縮シート３０８は柔軟性に富む材質からなり、位置決め突起３１４を位置決め穴３１２に伸縮シート３０８ごしに嵌め合せることに対応している。
【００５１】
図３（ｃ）は、対向基板１０４上にも防塵ガラスを接着した集合体２０の態様を示すものである。集合体２０は、第１のマザー基板２０２の裏面に防塵ガラスの集合体である第２のマザー基板２０４が接着されており、各々の対向基板１０４の表面にも、平面形状が対向基板の平面形状と略同一の第２の防塵ガラス１１４が第２の接着剤１１６にて貼付されている。そのため、受け冶具３０６の、集合体２０の周縁部における第１のマザー基板２０２と保持板３０４との間に介そうされる部分の厚みが増大している。
【００５２】
図４（ａ）〜（ｂ）は、本実施形態にかかる液晶パネルの製造装置の概略を、マザー基板が２０１の１枚で、それに対向基板を加えた集合体を例にして説明する図である。
【００５３】
図４（ａ）は、保持部材としてのテーブル３０２上に載置されたマザー基板２０１に、ブレイクバー３０で分割面３００を形成する態様を示すものである。マザー基板２０１は、受け冶具３０６を介して保持板３０４上に載置されている。受け冶具３０６の周縁部の厚さは、マザー基板が１枚になったことにより、その分薄くなっている。そして、ブレイクバー３０はスクライブライン２０５上に圧力を加えることにより、当該スクライブラインに沿って分割面３００を形成する。
【００５４】
図４（ｂ）は、ブレイクバー３０によりマザー基板２０１に分割面３００を形成した後、伸縮シート３０８上に底板３１０を被せた態様を示すものである。これにより、２枚のマザー基板を用いたときと同様に、分割面３００を形成後のマザー基板２０１を、テーブル３０２上からの移送したり、表裏の反転を容易にしている。
【００５５】
図５（ａ）、（ｂ）は受け冶具３０６の形状を示す図である。図５（ａ）が平面図、図５（ｂ）はＡ−Ａ´線における断面図である。方形の板に、集合体２０の対向基板１０４の配置に合わせた位置決め穴４０２が形成されている。上述したように、受け冶具３０６は最外周に配置されている対向基板に対してスクライブラインを挟んで対称となる必要があるため、上記位置決め穴は、集合体２０の表面に配置された対向基板の外周を結ぶ線に対して所定の間隔を有している。
【００５６】
受け冶具３０６は例えば図５（ａ）に示すように、矩形状の外形を有して構成され、中央は開口している。中央の開口部は、マザー基板上の対向基板の配置領域に応じた形状を有している。この形状によって、マザー基板上の対向基板の配置領域を受け冶具の開口部内に配置するだけで、マザー基板を保持板上に支持することができる。
【００５７】
また、隣接する対向基板間の距離と最外周の対向基板と受け冶具までの距離とを等しくできるため、マザー基板に形成したスクライブラインから対向基板までの距離と受け冶具までの距離とが等しくなり、マザー基板の分断が一層容易になる。なお受け冶具の形状は円形状等であってよい。
【００５８】
位置決め穴４０２の周囲には第１のマザー基板２０２の平面形状と略同一の段差部４０４があり、集合体２０を嵌めこんで固定可能となっている。この段差部４０４で集合体２０の位置を正確に合わせるため、ブレイクバー３０はスクライブライン上に正確に圧力を加えることができる。また、位置決め突起３１４が２箇所に形成されており、伸縮シート３０８越しに、後述する底板３１０の位置決め穴３１２を嵌めこむことができる。
【００５９】
図６（ａ）、（ｂ）は底板３１０の形状を示す図である。図６（ａ）が平面図、図６（ｂ）はＢ−Ｂ´線における断面図である。底板３１０は、平面形状が受け冶具３０６の平面形状と略同一の平板である。そしてその面上で、後述するように伸縮シート３０８の伸張を行なうため、個々に分断された液晶パネルが引っかかることがないように、平滑な一枚板となっている。ただし、受け冶具３０６の位置決め突起３１４に対応する位置に当該突起を嵌めるための位置決め穴３１２がある。
【００６０】
位置決め穴３１２の形状は、位置決め突起３１４の形状と伸縮シート３０８の厚さ等で定まる。位置決め突起３１４上を伸縮シート３０８で被い、その上から底板３１０を嵌め込んだときに、受け冶具３０６と底板３１０とが完全に固定され、また伸縮シート３０８も受け冶具３０６と底板３１０とで挟まれて固定されるように、寸法が決定される。したがって、位置決め穴３１２は底板３１０を貫通する貫通孔でなくてもよい。例えば、伸縮シート３０８が弾力性を欠く場合は、位置決め突起３１４を短くし、位置決め穴３１２を窪みのような形状にすることが好ましい。
【００６１】
なお、底板の形状は必ずしも受け冶具の形状と一致する必要はなく、ブレイクバー３０により分断された集合体を支えることができる大きさ、形状であればよい。
【００６２】
次に図７〜１３を用いて、本実施形態の液晶パネルの製造方法を、２枚のマザー基板が接着剤を介して接合されている集合体２０を対象とする場合について説明する。
【００６３】
図７は、テーブル３０２に固定された保持板３０４の上に受け冶具３０６をセットした状態である。保持板３０４上には２箇所に位置決め部６０２が備えられており、受け冶具３０６の位置を定めることができる。
【００６４】
図８は、保持板３０４上に受け冶具３０６を介して集合体２０を載置した状態である。受け冶具３０６の段差部４０４に集合体２０を構成する第１のマザー基板２０２の周縁部、すなわち対向基板１０４が貼付されていない領域の表面が接し、対向基板１０４の表面は保持板３０４に直に接している。
【００６５】
図９は、集合体２０の裏面に伸縮シート３０８を貼付した状態である。上述したように伸縮シート３０８は伸張性を有するが、貼付する際は伸ばさない。
【００６６】
図１０は、集合体を構成する第１のマザー基板２０２と第２のマザー基板２０４を、ブレイクバー３０で矢印方向の圧力を両スクライブライン上に加えることにより、分割面３００を形成する態様を示す図である。上述したように、ブレイクバー３０は図示しない駆動機構により上下動可能で、両スクライブライン上に静的または動的圧力を加えることができる。保持板３０４上の位置決め部６０２により、テーブル３０２上における受け冶具３０６の位置が正確に定まり、集合体２０の位置は受け冶具３０６の段差部４０４により正確に定まるので、テーブルを水平面上で両スクライブラインと同間隔でスライドさせることにより、等間隔で形成されている各々のスクライブライン上を順次加圧できる。
【００６７】
なお、受け冶具３０６を９０度回転させてセットすることにより集合体２０の縦方向にも分割面を形成することができる。さらに、ブレイクバーを９０度回転させて取り付けることによっても、集合体２０の縦方向に分割面３００を形成することもできる。
【００６８】
図１１は、分割面３００が形成された集合体２０の上に、伸縮シート３０８ごしに底板３１０を被せた状態を示す図である。好ましくは、被せる前に伸縮シート３０８を集合体に押し付けて、粘着性がより強く発揮されるように、すなわちより強い力で貼付されるようにする。
【００６９】
図１２は、底板３１０と受け冶具３０６で挟まれ、裏面に伸縮シート３０８が貼付された分割面３００を形成後の集合体を外し、裏表を反転させ、図示しない平らな作業台上に置き、受け冶具３０６を外した態様を示す図である。集合体２０を構成する第１のマザー基板２０２、及び第２のマザー基板２０４は、周縁部の液晶パネルが形成されていない領域も含めて、両スクライブライン上に分割面３００が形成されている。しかし、第１のマザー基板２０２と第２のマザー基板２０４を接着している接着剤２１０は、上記２枚の基板を構成するガラスまたは石英等とは異なり延性を有するため、ブレイクバー３０による加圧のみでは完全には分断できていない。
【００７０】
図１３は、伸縮シート３０８の伸張により、集合体２０を接着剤２１０も含めて分割面３００で分断して、個々の液晶パネルにする態様を示す図である。図１３（ａ）は伸縮シート３０８を伸張させる前の状態である。集合体２０は裏面に添付された伸縮シート３０８と共に図示しない底板上に置かれている。図１３（ｂ）は、伸縮シート３０８を矢印の方向に引き伸ばして、集合体２０を接着剤２１０も含めて図に示す横方向の分割面ごとに分断した態様を示す。伸縮シート３０８を引き伸ばすことにより、接着剤２１０は水平方向に引っ張られ、完全に分断される。このあと伸縮シート３０８を横方向に伸ばして、集合体２０を縦方向の分割面ごとに分断する。以上をもって、集合体２０は個々の液晶パネルに完全に分断される。
【００７１】
このように分割面３００を形成後の集合体２０に底板３１０を被せ、分割面３００形成時から敷いてあった受け冶具３０６とで挟むことにより、スクライブブレイク後の集合体２０の表裏を反転することができる。そして、その状態で伸縮シート３０８を引き伸ばすことにより、落下等による破損を発生させずに、個々の液晶パネルに分断することが可能となる。
【００７２】
（変形例１）
上記の実施形態では、ブレイクバー３０として、１回の加圧で一本の分割面をマザー基板に入れられるように、先端部が一本の棒状となっているものを例示した。しかし、１回の加圧で複数の分割面を入れられる形状のブレイクバーを用いることも可能である。図１４に、変形例としてそのようなブレイクバーを示す。先端部が複数の棒状となっており、１回の加圧で平行に並ぶ複数の分割面を入れられる。また、先端部を格子状にして、縦方向と横方向の分割面を一度に形成可能なブレイクバーを用いてもよい。
【００７３】
（変形例２）
上記の実施形態では、伸縮シート３０８を位置決め穴３１２と位置決め突起３１４とで挟み込んで固定する態様を示した。しかし、伸縮シートを受け冶具や底板に対して固定せず、受け冶具と底板に固定した状態で伸縮できるようにする態様もある。図１５に、変形例としてそのような伸縮シートを示す。位置決め穴３１２および位置決め突起３１４に対応する部分が大きな穴、あるいは切り欠きになっており、分割面形成後のマザー基板を底板を外さずに分断できる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】一般的な液晶パネルを表わす模式斜視図。
【図２】電気光学装置としての液晶パネルの集合体を示す図。
【図３】液晶パネルの製造装置の概略を示す図。
【図４】液晶パネルの製造装置の概略を示す図。
【図５】受け冶具の形状を示す図。
【図６】底板の形状を示す図。
【図７】保持板上に受け冶具をセットした状態を示す図。
【図８】保持板上に受け冶具を介して集合体を載置した状態を示す図。
【図９】集合体の裏面に伸縮シートを貼付した状態を示す図。
【図１０】ブレイクバーで圧力を加える態様を示す図。
【図１１】分割面形成後の集合体上に、底板を被せた状態を示す図。
【図１２】分断後の集合体を、裏表を反転させる態様を示す図。
【図１３】伸縮シートを伸張する態様を示す図。
【図１４】変形例にかかるブレイクバーの形態を示す図。
【図１５】変形例にかかるシートの形態を示す図。
【符号の説明】
【００７５】
２０…液晶パネルの集合体、３０…ブレイクバー、１０２…素子基板、１０４…対向基板、１０６…シール材、１０８…データ線駆動回路、１１０…実装端子、１１２…防塵ガラス、１１４…第２の防塵ガラス、１１６…第２の接着剤、２０１…マザー基板、２０２…第１のマザー基板、２０４…第２のマザー基板、２０５…溝としてのスクライブライン、２０６…第１の溝としての第１のスクライブライン、２０８…第２の溝としての第２のスクライブライン、２１０…接着剤、３００…分割面、３０２…保持部材としてのテーブル、３０４…高剛性材質の薄板としての保持板、３０６…受け冶具、３０８…伸縮シート、３１０…板状部材としての底板、３１２…位置決め穴、３１４…位置決め突起、４０４…段差部、６０２…位置決め部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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