(57)【要約】【課題】温度制御した空気の一部を空気吸入口に返還することにより、外気温湿度変動による制御精度への影響を緩和するとともに、この外気変動影響の緩和により使用可能な外気の条件範囲を拡大することができる空調装置を提供すること。【解決手段】空気吸入口１と空気排出口２とが形成された筐体３と、空気吸入口１に配設された冷却コイル４と、冷却コイル４の下流側に配設された電気ヒータ５と、空気排出口２から筐体３内の空気を排出する送風機６とを備えた空調装置において、冷却コイル４と電気ヒータ５とで温度調整した空気の一部を取り込んで再度空気吸入口１に返還するバイパス流路７と、バイパス流路７の開度を調節するバイパス弁８とを設ける。【選択図】図１
2007240106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気吸入口と空気排出口とが形成された筐体と、空気吸入口に配設された冷却コイルと、冷却コイルの下流側に配設された電気ヒータと、空気排出口から筐体内の空気を排出する送風機とを備えた空調装置において、冷却コイルと電気ヒータとで温度調整した空気の一部を取り込んで再度空気吸入口に返還するバイパス流路と、該バイパス流路の開度を調節するバイパス弁とを設けたことを特徴とする空調装置。
【請求項２】
バイパス流路に返還する空気の風量を制御する循環ファンを設けたことを特徴とする請求項１記載の空調装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空調装置に関し、特に、温度制御した空気の一部を空気吸入口に返還することにより、外気温湿度変動による制御精度への影響を軽減するとともに、この外気変動影響の緩和により使用可能な外気の条件範囲を拡大することができる空調装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、空調装置は、例えば、図３に示すように、空気吸入口１と空気排出口２とが形成された筐体３と、空気吸入口１に配設された冷却コイル４と、冷却コイル４の下流側に配設された電気ヒータ５と、空気排出口２から筐体３内の空気を排出する送風機６と、空気排出口２に配設された温度センサ１１とを備え、空気吸入口１から冷却コイル４により冷却しながら取り入れた外気を、下流側に配設した電気ヒータ５によって精密に設定温度に調節し、空気排出口２から排出するようにしている。
【０００３】
ところで、このような空調装置においては、取り入れた外気をそのまま設定温度に調節することから、外気温湿度の変動が直接的に制御精度に影響し、クリーンブース等に供給する供給エアの制御精度が向上しにくいという問題を有している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記従来の空調装置の有する問題点に鑑み、温度制御した空気の一部を空気吸入口に返還することにより、外気温湿度変動による制御精度への影響を緩和するとともに、この外気変動影響の緩和により使用可能な外気の条件範囲を拡大することができる空調装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明の空調装置は、空気吸入口と空気排出口とが形成された筐体と、空気吸入口に配設された冷却コイルと、冷却コイルの下流側に配設された電気ヒータと、空気排出口から筐体内の空気を排出する送風機とを備えた空調装置において、冷却コイルと電気ヒータとで温度調整した空気の一部を取り込んで再度空気吸入口に返還するバイパス流路と、該バイパス流路の開度を調節するバイパス弁とを設けたことを特徴とする。
【０００６】
この場合において、バイパス流路に返還する空気の風量を制御する循環ファンを設けることができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の空調装置によれば、空気吸入口と空気排出口とが形成された筐体と、空気吸入口に配設された冷却コイルと、冷却コイルの下流側に配設された電気ヒータと、空気排出口から筐体内の空気を排出する送風機とを備えた空調装置において、冷却コイルと電気ヒータとで温度調整した空気の一部を取り込んで再度空気吸入口に返還するバイパス流路と、該バイパス流路の開度を調節するバイパス弁とを設けることから、筐体内で温度制御した空気をすべて空調装置からクリーンブース等に供給せずに、その空気の一部を空気吸入口に返還することができ、これにより、空気吸入口から導入する空気の温湿度変動を小さくし、外気温湿度変動による制御精度への影響を緩和するとともに、この外気変動影響の緩和により使用可能な外気の条件範囲を拡大することができる。
【０００８】
この場合、バイパス流路に返還する空気の風量を制御する循環ファンを設けることにより、バイパスする風量を一定値にし、手動ダンパーでは困難な供給エアとリターンエアの風量バランスを容易に調整して、空調装置の性能の安定化と調整費用及び時間の削減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の空調装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１に、本発明の空調装置の第１実施例を示す。
この空調装置は、空気吸入口１と空気排出口２とが形成された筐体３と、空気吸入口１に配設された冷却コイル４と、冷却コイル４の下流側に配設された電気ヒータ５と、空気排出口２から筐体３内の空気を排出する送風機６とを備えている。
そして、この空調装置は、冷却コイル４と電気ヒータ５とで温度調整した筐体３の空気の一部を取り込んで再度空気吸入口１に返還するバイパス流路７と、該バイパス流路７の開度を調節するバイパス弁８とを設けている。
【００１１】
空調装置は、筐体３の下に冷却コイル４を作動させる冷凍機９を設置するとともに、筐体３の下部に空気吸入口１を形成している。
空気吸入口１の下流側には冷却コイル４が配設され、冷却コイル４の下流側には電気ヒータ５が配設されている。
筐体３の上面には空気排出口２が形成され、該空気排出口２には、空気吸入口１から取り入れた空気を排出する送風機６が設置されている。空調装置の風量は、この送風機６の出力を手動で切り替えることにより複数の段階に設定することができる。
なお、送風機６の下流側には、温度センサ１１が設置されており、該温度センサ１１が検出する空気の温度と設定温度に基づいて、冷却コイル４と電気ヒータ５の出力を制御する。
【００１２】
バイパス流路７は、空気排出口２の上流側で分岐し、空気吸入口１の下流側で外気と合流する管路を形成し、本実施例では、送風機６による筐体３への吸込流を利用して、筐体３内で温度制御した空気の一部を空気吸入口１に戻すようにしている。
そして、このバイパス流路７の途中には、バイパス流路７の開度を調節するバイパス弁８が設けられている。
本実施例では、このバイパス弁８を手動で調整するようにしており、例えば、供給エアとリターンエアを１対１や２対１の風量バランスで振り分けることができる。
【００１３】
次に、本実施例の空調装置の動作を説明する。
設定温度と風量を設定し、空調装置をＯＮにすると、送風機６が駆動し、空気吸入口１から外気が筐体３内に導入され、空気排出口２から排出される。
この場合、筐体３内で温度制御された空気はすべてが空気排出口２から排出されず、この空気の何割かが空気排出口２の手前でバイパス流路７に流入し、空気吸入口１に返還される。
返還されたリターンエアは、送風機６の作用により、外気と共に空気吸入口１から筐体３内に導入され、冷却コイル４と電気ヒータ５によって温度調節された後、クリーンブース等に送られる。
この際、筐体３内で温度制御された空気は、またその何割かが空気排出口２の手前でバイパス流路７に流入し、空気吸入口１に返還される。
このように、筐体３内に導入する外気に温度制御された空気を混合することにより、空気吸入口１から導入する空気の温湿度変動を小さくし、外気温湿度変動による制御精度への影響を緩和することができる。
【００１４】
かくして、本実施例の空調装置は、空気吸入口１と空気排出口２とが形成された筐体３と、空気吸入口１に配設された冷却コイル４と、冷却コイル４の下流側に配設された電気ヒータ５と、空気排出口２から筐体３内の空気を排出する送風機６とを備えた空調装置において、冷却コイル４と電気ヒータ５とで温度調整した筐体３の空気の一部を取り込んで再度空気吸入口１に返還するバイパス流路７と、該バイパス流路７の開度を調節するバイパス弁８とを設けることから、筐体３内で温度制御した空気をすべて空調装置からクリーンブース等に供給せずに、その空気の一部を空気吸入口１に返還することができ、これにより、空気吸入口１から導入する空気の温湿度変動を小さくし、外気温湿度変動による制御精度への影響を緩和するとともに、この外気変動影響の緩和により使用可能な外気の条件範囲を拡大することができる。
【実施例２】
【００１５】
図２に、本発明の空調装置の第２実施例を示す。
この空調装置は、空気吸入口１と空気排出口２とが形成された筐体３と、空気吸入口１に配設された冷却コイル４と、冷却コイル４の下流側に配設された電気ヒータ５と、空気排出口２から筐体３内の空気を排出する送風機６とを備えている。
そして、この空調装置は、冷却コイル４と電気ヒータ５とで温度調整した筐体３の空気の一部を取り込んで再度空気吸入口１に返還するバイパス流路７と、該バイパス流路７の開度を調節するバイパス弁８とを設けるとともに、バイパス流路７に返還する空気の風量を制御する循環ファン１０を設けている。
【００１６】
バイパス流路７は、筐体３の上部で分岐し、空気吸入口１の下流側で外気と合流する管路を形成している。
そして、本実施例では、筐体３内に、バイパス流路７にリターンエアの風量を制御するための循環ファン１０を設置することにより、筐体３内で温度制御した空気の一部を強制的に空気吸入口１に戻すとともに、この循環ファン１０によりリターンエアの風量を一定とする制御を行うようにしている。
循環ファン１０は、その運転電流を測定することでフィードバックを行い、インバータの出力周波数を制御する。
一方、空気排出口２から出る供給エアの風量は、送風機６の運転電流値をインバータにフィードバックし出力周波数を自動調整する。
これらにより、供給エアとリターンエアの風量バランスを自動で調整することができる。
なお、バイパス流路７の途中には、バイパス流路７の開度を調節する手動のバイパス弁８も設けられている。
また、空調装置のその他の構成は、第１実施例と同様であるため、その説明を省略する。
【００１７】
かくして、本実施例の空調装置は、空気吸入口１と空気排出口２とが形成された筐体３と、空気吸入口１に配設された冷却コイル４と、冷却コイル４の下流側に配設された電気ヒータ５と、空気排出口２から筐体３内の空気を排出する送風機６とを備えた空調装置において、冷却コイル４と電気ヒータ５とで温度調整した筐体３の空気の一部を取り込んで再度空気吸入口１に返還するバイパス流路７と、該バイパス流路７の開度を調節するバイパス弁８とを設けることから、筐体３内で温度制御した空気をすべて空調装置からクリーンブース等に供給せずに、その空気の一部を空気吸入口１に返還することができ、これにより、空気吸入口１から導入する空気の温湿度変動を小さくし、外気温湿度変動による制御精度への影響を緩和するとともに、この外気変動影響の緩和により使用可能な外気の条件範囲を拡大することができる。
そして、バイパス流路７に返還する空気の風量を制御する循環ファン１０を設けることにより、バイパスする風量を一定値にし、手動ダンパーでは困難な供給エアとリターンエアの風量バランスを容易に調整して、空調装置の性能の安定化と調整費用及び時間の削減を図ることができる。
【００１８】
以上、本発明の空調装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００１９】
本発明の空調装置は、温度制御した空気の一部を空気吸入口に返還することにより、外気温湿度変動による制御精度への影響を緩和するとともに、この外気変動影響の緩和により使用可能な外気の条件範囲を拡大できることから、外気温湿度が変動しやすい環境で精密な温度制御が要求される空調装置として好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の空調装置の第１実施例を示す断面図である。
【図２】本発明の空調装置の第２実施例を示す断面図である。
【図３】従来の空調装置の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２１】
１    空気吸入口
２    空気排出口
３    筐体
４    冷却コイル
５    電気ヒータ
６    送風機
７    バイパス流路
８    バイパス弁
９    冷凍機
１０  循環ファン
１１  温度センサ
【図１】
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【図２】
2007240106.tif 000004
【図３】
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