(57)【要約】【課題】電気光学パネルに配線基板を実装する場合において、アライメント精度を確保しつつ、配線基板の歩留まりを向上させることができるとともにアライメントマークの視認性を高めてアライメント作業の容易化を図る。【解決手段】本発明の電気光学装置は、電気光学パネルと、該電気光学パネルに実装された配線基板と、を備えた電気光学装置において、前記電気光学パネルに形成され、複数の段差がずれて設けられてなる第１の外縁部を有する第１のアライメントマーク１１１Ａと、前記配線基板の前記第１のアライメントマークと対応する位置に形成され、前記第１の外縁部と対応する方向に沿った第２の外縁部を備えた第２のアライメントマーク１２１Ａと、を具備することを特徴とする。【選択図】図２
2007240809.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学パネルと、該電気光学パネルに実装された配線基板と、を備えた電気光学装置において、
前記電気光学パネルに形成され、複数の段差がずれて設けられてなる第１の外縁部を有する第１のアライメントマークと、
前記配線基板の前記第１のアライメントマークと対応する位置に形成され、前記第１の外縁部と対応する方向に沿った第２の外縁部を備えた第２のアライメントマークと、
を具備することを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
電気光学パネルと、該電気光学パネルに実装された配線基板と、を備えた電気光学装置において、
前記電気光学パネルに形成され、複数の第１の端子が第１の配列軸に沿って配列され、該第１の配列軸と交差する方向に前記複数の第１の端子から離間した第１の共通点を通過する複数の線に沿ってそれぞれ伸びる第１の端子群と、
前記配線基板に形成され、前記第１の端子群と対応する態様で複数の第２の端子が第２の配列軸に沿って配列され、該第２の配列軸と交差する方向に前記複数の第２の端子から離間した第２の共通点を通過する複数の線に沿ってそれぞれ伸び、前記第１の端子にそれぞれ導電接続されてなる第２の端子群と、
前記電気光学パネルに形成され、前記第１の配列軸に沿った方向若しくは前記第１の配列軸から第１の共通点へ向かう方向に伸び、複数の段差がずれて設けられた第１の外縁部を有する第１のアライメントマークと、
前記配線基板の前記第１のアライメントマークと対応する位置に形成され、前記第１の外縁部と対応する方向に沿った第２の外縁部を備えた第２のアライメントマークと、
を具備することを特徴とする電気光学装置。
【請求項３】
前記電気光学パネルの前記第１の端子群の配列方向両側には、前記第１の端子群の配列方向と直交し、かつ、前記第１の共通点を通過する第１の対称軸に対して線対称の位置に線対称の形状となるようにそれぞれ前記第１のアライメントマークが配置され、
前記配線基板の前記第２の端子群の配列方向両側には、前記第２の端子群の配列方向と直交し、かつ、前記第２の共通点を通過する第２の対称軸に対して線対称の位置に線対称の形状となるようにそれぞれ前記第２のアライメントマークが配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【請求項５】
電気光学パネルと、該電気光学パネルに実装された配線基板と、を備えた電気光学装置の製造方法において、
一方に向かって伸び、途中に段差を備えた第１の外縁部を有する第１のアライメントマークを前記電気光学パネルに設け、前記第１の外縁部は、前記段差を挟んで配置された、直線状に伸びる第１の外形辺と、該第１の外形辺に平行な直線状の第２の外形辺とを少なくとも有し、
前記第１のアライメントマークと対応する位置に形成され、前記第１の外縁部と対応する方向に沿った第２の外縁部を備えた第２のアライメントマークを前記配線基板に設け、前記第２の外縁部は少なくとも一部に直線状に伸びる直線部を有し、
前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが所定の位置関係となるように位置合わせを行う工程で、前記直線部を前記第１の外形辺又は前記第２の外形辺と合わせることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
電気光学パネルと、該電気光学パネルに実装された配線基板と、を備えた電気光学装置の製造方法において、
前記電気光学パネルには、複数の第１の端子が第１の配列軸に沿って配列され、該第１の配列軸と交差する方向に前記複数の第１の端子から離間した第１の共通点を通過する複数の線に沿ってそれぞれ伸びる第１の端子群と、前記第１の配列軸に沿った方向若しくは前記第１の配列軸から第１の共通点へ向かう方向に伸び、途中に段差を備えた第１の外縁部を有する第１のアライメントマークとを設け、
前記配線基板には、前記第１の端子群と対応する態様で複数の第２の端子が第２の配列軸に沿って配列され、該第２の配列軸と交差する方向に前記複数の第２の端子から離間した第２の共通点を通過する複数の線に沿ってそれぞれ伸び、前記第１の端子にそれぞれ導電接続されてなる第２の端子群と、前記第１のアライメントマークと対応する位置に形成され、前記第１の外縁部と対応する方向に沿った第２の外縁部を備えた第２のアライメントマークとを設け、
前記第１の外縁部は、前記段差を挟んで配置された、直線状に伸びる第１の外形辺と、該第１の外形辺に平行な直線状の第２の外形辺とを少なくとも有し、
前記第２の外縁部は少なくとも一部に直線状に伸びる直線部を有し、
前記第１の端子群と前記第２の端子群とが重ねあわされた状態で、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが所定の位置関係となるように位置合わせを行う工程で、前記直線部を前記第１の外形辺又は前記第２の外形辺と合わせることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
前記段差の量は前記第２のアライメントマークの前記第２の外縁部と直交する方向の幅より小さいことを特徴とする請求項５又は６に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
前記電気光学パネルには前記段差の方向に複数の前記第１のアライメントマークが配列されていることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
前記複数の第１のアライメントマークでは前記段差が前記第１の外縁部に沿った方向に見て異なる位置に設けられていることを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第１のアライメントマークには前記第１の外縁部に沿って複数の段差が設けられていることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
前記複数の段差は前記第１の外縁部に沿って同じ向きに生ずるように形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の電気光学装置。
【請求項１２】
前記位置合わせは、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークを、前記段差の方向に位置合わせする段階を含むことを特徴とする請求項５又は６に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
前記電気光学パネルの前記第１の端子群の配列方向両側には、前記第１の端子群の配列方向と直交し、かつ、前記第１の共通点を通過する第１の対称軸に対して線対称の位置に線対称の形状となるようにそれぞれ前記第１のアライメントマークが配置され、
前記配線基板の前記第２の端子群の配列方向両側には、前記第２の端子群の配列方向と直交し、かつ、前記第２の共通点を通過する第２の対称軸に対して線対称の位置に線対称の形状となるようにそれぞれ前記第２のアライメントマークが配置されることを特徴とする請求項５又は６に記載の電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電気光学装置、電子機器、及び、電気光学装置の製造方法に係り、特に、電気光学パネルに配線基板を実装する場合に好適なアライメント技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、携帯電話機やノート型コンピュータ装置、テレビ受像機等の電子機器に搭載される電気光学装置として、液晶表示パネル等の電気光学パネルと、この電気光学パネルに実装されたフレキシブル配線基板とを含む構造が知られている。ここで、電気光学パネルを駆動する駆動回路がパネル側に設けられている場合には、フレキシブル配線基板は電子機器の表示制御系から送出される表示データや制御信号を電気光学パネルへ供給する。また、電気光学パネル側に駆動回路が設けられない場合には、駆動回路はフレキシブル配線基板上に実装されたり、或いは、フレキシブル配線基板が接続されてなる別の回路基板上に実装されたりする。この場合には、フレキシブル配線基板は、駆動回路が出力する駆動信号を電気光学パネルへ供給する。
【０００３】
上記の構成では、電気光学パネルの端縁部には複数の入力端子が一列に配列され、また、フレキシブル配線基板の端縁部には複数の接続端子が入力端子と対応して一列に配列されている。そして、電気光学パネルにフレキシブル配線基板を実装する場合には、入力端子列と接続端子列とが異方性導電膜（ＡＣＦ；Anisotropic Conductive Film）等を挟んで対向するように配置され、ツールにより熱及び圧力を加えることにより、対応する入力端子と接続端子がそれぞれ導電接続した状態とされる。
【０００４】
上記のフレキシブル配線基板の接続端子列は、電気光学パネルの入力端子列と正確に対応するように形成されるが、フレキシブル配線基板はポリイミド樹脂等をベースとして構成されているので、温度変化や吸湿等による膨張や収縮が大きく、これによって接続端子列の端子ピッチが変化する。したがって、温度変化や吸湿に起因する影響を受けにくいガラス基板上に形成される入力端子列との間に配列ピッチのずれが生じ、これにより接続端子と入力端子の配列方向の端子位置が整合しなくなるため、実装不良を招くという問題点がある。
【０００５】
そこで、上記複数の入力端子及び複数の接続端子を、入力端子列及び接続端子列からそれぞれ端子の配列方向と交差する既定の方向に離間した共通点を通過する複数の線に沿った帯状に構成し、これによってフレキシブル配線基板の膨張や収縮によって接続端子列の配列ピッチが多少変化しても、入力端子列と接続端子列を上記共通点からの距離が変化する方向に相対的にずらすことによって配列ピッチを整合させることができるように構成した端子構造及び実装方法が提案されている（例えば、以下の特許文献１参照）。
【０００６】
また、このような電気光学装置において電気光学パネルにフレキシブル配線基板を電気光学パネルに実装する方法としては、電気光学パネルとフレキシブル配線基板の一方に形成された基準マークと他方に形成されたスケールとを用いて位置合わせを行う方法が知られている（例えば、以下の特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００３−２５８０２７号公報
【特許文献２】特開２００３−２５８３９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前述のように基準マークとスケールを用いたアライメント方法では、基準マークとスケールとがそれぞれ直線状パターン（直線的に伸びる帯状パターン）で形成され、スケールは複数の直線状パターン（直線的に伸びる帯状パターン）がストライプ状に配列されたパターン群で構成されているため、アライメント精度を高めようとすると極めて細幅の直線状パターンを設けなくてはならない。特にフレキシブル配線基板においてはアライメントマークのパターン精度を高めることが難しいため、フレキシブル配線基板の歩留まりが低下し、製造コストが増大するという問題点がある。
【０００８】
また、上記と同様の理由で、スケール側には多数の細幅の直線状パターンがストライプ状に配列されることとなるため、視認性が悪くなり、アライメント作業に時間や手間がかかるという問題点もある。
【０００９】
そこで、本発明は上記問題点を解決するものであり、電気光学パネルに配線基板を実装する場合において、アライメント精度を確保しつつ、配線基板の歩留まりを向上させることができるとともにアライメントマークの視認性を高めてアライメント作業の容易化を図ることができる電気光学装置又は電気光学パネル、或いは、これらの製造方法を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
斯かる実情に鑑み、本発明の電気光学装置は、電気光学パネルと、該電気光学パネルに実装された配線基板と、を備えた電気光学装置において、前記電気光学パネルに形成され、複数の段差がずれて設けられてなる第１の外縁部を有する第１のアライメントマークと、前記配線基板の前記第１のアライメントマークと対応する位置に形成され、前記第１の外縁部と対応する方向に沿った第２の外縁部を備えた第２のアライメントマークと、を具備することを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、第１のアライメントマークの第１の外縁部に複数の段差がずれて設けられていることにより、第２のアライメントマークの第２の外縁部を上記第１の外縁部の複数の段差に対応して設けられた複数の異なる外縁位置にそれぞれ合わせることが可能になる。したがって、アライメント精度が第１のアライメントマークの段差量で決定されるため、第２のアライメントマークのパターン幅を大きくすることができることから、配線基板の歩留まりを高めることができ、その製造コストを低減できる。また、第１の外縁部の段差量に対応するアライメント精度を得ることができるため、アライメント精度を確保しつつ、第１のアライメントマークの数を低減できるとともに、複数の段差がずれて設けられているため、アライメントマークの視認性を向上させることができる。
【００１２】
また、本発明の別の電気光学装置は、電気光学パネルと、該電気光学パネルに実装された配線基板と、を備えた電気光学装置において、前記電気光学パネルに形成され、複数の第１の端子が第１の配列軸に沿って配列され、該第１の配列軸と交差する方向に前記複数の第１の端子から離間した第１の共通点を通過する複数の線に沿ってそれぞれ伸びる第１の端子群と、前記配線基板に形成され、前記第１の端子群と対応する態様で複数の第２の端子が第２の配列軸に沿って配列され、該第２の配列軸と交差する方向に前記複数の第２の端子から離間した第２の共通点を通過する複数の線に沿ってそれぞれ伸び、前記第１の端子にそれぞれ導電接続されてなる第２の端子群と、前記電気光学パネルに形成され、前記第１の配列軸に沿った方向若しくは前記第１の配列軸から第１の共通点へ向かう方向（例えば、後述する第１の対称軸に沿った方向）に伸び、複数の段差がずれて設けられた第１の外縁部を有する第１のアライメントマークと、前記配線基板の前記第１のアライメントマークと対応する位置に形成され、前記第１の外縁部と対応する方向に沿った第２の外縁部を備えた第２のアライメントマークと、を具備することを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、電気光学パネルに形成した第１のアライメントマークの第１の外縁部に複数の段差が設けられていることにより、配線基板に形成した第２のアライメントマークの第２の外縁部を第１の外縁部に合わせようとしたとき、第１のアライメントマークの複数の段差に対応して設けられた複数の異なる外縁位置にそれぞれ位置合わせを行うことができる。したがって、アライメント精度が第１のアライメントマークの段差量で決定されるため、第２のアライメントマークのパターン幅を大きくすることができることから、配線基板の歩留まりを高めることができ、その製造コストを低減できる。また、第１の外縁部の段差量に対応するアライメント精度を得ることができるため、アライメント精度を確保しつつ、第１のアライメントマークの数を低減できるとともに、複数の段差がずれて設けられているため、アライメントマークの視認性を向上させることができる。
【００１４】
本発明において、前記電気光学パネルの前記第１の端子群の配列方向両側には、前記第１の端子群の配列方向と直交し、かつ、前記第１の共通点を通過する第１の対称軸に対して線対称の位置に線対称の形状となるようにそれぞれ前記第１のアライメントマークが配置され、前記配線基板の前記第２の端子群の配列方向両側には、前記第２の端子群の配列方向と直交し、かつ、前記第２の共通点を通過する第２の対称軸に対して線対称の位置に線対称の形状となるようにそれぞれ前記第２のアライメントマークが配置されていることが好ましい。これによれば、配列方向両側で第１のアライメントマークと第２のアライメントマークをそれぞれ位置合わせすることにより、第１の端子群と第２の端子群の配列方向のアライメント（回転姿勢に関するアライメント）を高精度に行うことが可能になる。また、第１のアライメントマーク及び第２のアライメントマークを第１の端子群及び第２の端子群の配列方向両側において上記第１の対称軸及び第２の対称軸に対して線対称の位置に線対称の形状となるようにそれぞれ配置することにより、配列方向両側のアライメントの位置関係を対称的に設定することで、第１の端子群と第２の端子群の配列方向の位置合わせ（第１の対称軸と第２の対称軸の重ね合わせ）を行うことが可能になる。なお、この場合において、第１の端子群及び第２の端子群についても、上記第１の対称軸及び第２の対称軸に対して線対称な端子配列及び端子形状を有するように構成することがより望ましい。
【００１５】
次に、本発明の電気光学パネルは、複数の第１の端子が第１の配列軸に沿って配列され、該第１の配列軸と交差する方向に離間した第１の共通点を通過する複数の線に沿ってそれぞれ伸びる帯状に構成されてなる第１の端子群と、前記第１の配列軸に沿った方向若しくは前記第１の配列軸から第１の共通点へ向かう方向に伸び、途中に段差を備えた第１の外縁部を有する第１のアライメントマークと、を具備することを特徴とする。
【００１６】
本発明において、前記第１の端子群の配列方向両側には、前記第１の端子群の配列方向と直交し、かつ、前記第１の共通点を通過する第１の対称軸に対して線対称の位置に線対称の形状となるようにそれぞれ前記第１のアライメントマークが配置されていることが好ましい。
【００１７】
次に、本発明の電子機器は、上記のいずれかに記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。電子機器としては特に限定されないが、例えば、ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話機、携帯型情報端末、電子腕時計、電子辞書などの携帯型電子機器が好ましい。
【００１８】
次に、本発明の電気光学装置の製造方法は、電気光学パネルと、該電気光学パネルに実装された配線基板と、を備えた電気光学装置の製造方法において、一方に向かって伸び、途中に段差を備えた第１の外縁部を有する第１のアライメントマークを前記電気光学パネルに設け、前記第１の外縁部は、前記段差を挟んで配置された、直線状に伸びる第１の外形辺と、該第１の外形辺に平行な直線状の第２の外形辺とを少なくとも有し、前記第１のアライメントマークと対応する位置に形成され、前記第１の外縁部と対応する方向に沿った第２の外縁部を備えた第２のアライメントマークを前記配線基板に設け、前記第２の外縁部は少なくとも一部に直線状に伸びる直線部を有し、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが所定の位置関係となるように位置合わせを行う工程で、前記直線部を前記第１の外形辺又は前記第２の外形辺と合わせることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の別の電気光学装置の製造方法は、電気光学パネルと、該電気光学パネルに実装された配線基板と、を備えた電気光学装置の製造方法において、前記電気光学パネルには、複数の第１の端子が第１の配列軸に沿って配列され、該第１の配列軸と交差する方向に前記複数の第１の端子から離間した第１の共通点を通過する複数の線に沿ってそれぞれ伸びる第１の端子群と、前記第１の配列軸に沿った方向若しくは前記第１の配列軸から第１の共通点へ向かう方向に伸び、途中に段差を備えた第１の外縁部を有する第１のアライメントマークとを設け、前記配線基板には、前記第１の端子群と対応する態様で複数の第２の端子が第２の配列軸に沿って配列され、該第２の配列軸と交差する方向に前記複数の第２の端子から離間した第２の共通点を通過する複数の線に沿ってそれぞれ伸び、前記第１の端子にそれぞれ導電接続されてなる第２の端子群と、前記第１のアライメントマークと対応する位置に形成され、前記第１の外縁部と対応する方向に沿った第２の外縁部を備えた第２のアライメントマークとを設け、前記第１の外縁部は、前記段差を挟んで配置された、直線状に伸びる第１の外形辺と、該第１の外形辺に平行な直線状の第２の外形辺とを少なくとも有し、前記第２の外縁部は少なくとも一部に直線状に伸びる直線部を有し、前記第１の端子群と前記第２の端子群とが重ねあわされた状態で、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークとが所定の位置関係となるように位置合わせを行う工程で、前記直線部を前記第１の外形辺又は前記第２の外形辺と合わせることを特徴とする。
【００２０】
本発明において、前記段差の量は前記第２のアライメントマークの前記第２の外縁部と直交する方向の幅より小さいことが好ましい。これによれば、第２のアライメントマークの幅を大きく設定して配線基板の歩留まり向上や製造コストの低減を図る一方、第１のアライメントマークの第１の外縁部の段差の量を小さくしてアライメント精度を高めることができる。
【００２１】
本発明において、前記電気光学パネルには前記段差の方向に複数の前記第１のアライメントマークが配列されていることが好ましい。これによれば、段差の方向に配列された複数の第１のアライメントマークによって段差の方向にアライメントを実施できる。この場合に、前記第１のアライメントマークの間隔が前記段差の量と一致することが望ましい。これによれば、段差の量とマーク間隔とが一致しているため、第１のアライメントマークの配列範囲全体に亘って段差の量を最小目盛としてアライメントを行うことができる。
【００２２】
本発明において、前記複数の第１のアライメントマークでは前記段差が前記第１の外縁部に沿った方向に見て異なる位置に設けられていることが好ましい。これによれば、複数の第１のアライメントマーク間で第１の外縁部に沿った方向に見て異なる位置に段差が設けられていることにより、段差の位置を目印としてアライメントを行うことができるので、段差の方向だけでなく、第１の外縁部に沿った方向についてもアライメントを行うことが可能になる。
【００２３】
本発明において、前記第１のアライメントマークには前記第１の外縁部に沿って複数の段差が設けられていることが好ましい。これによれば、一つの第１のアライメントマークの第１の外縁部に沿って複数の段差が設けられるため、アライメント精度と視認性とを高レベルで両立させることが可能になる。また、第１の外縁部に沿った方向に複数の段差が設けられるため、当該段差を第１の外縁部に沿った方向の位置決め部位として用いることが可能になることから、段差の方向だけでなく、第１の外縁部に沿った方向についてもアライメントを行うことが可能になる。
【００２４】
本発明において、前記複数の段差は前記第１の外縁部に沿って同じ向きに生ずるように形成されていることが好ましい。これによれば、複数の段差が同じ向きに生ずるように構成されていることにより、段差の方向に見て、段差の数だけアライメント位置が設定されることとなるので、第１のアライメントマークの数をそれほど増大させなくても、或いは、第１のアライメントマークの形状をそれほど複雑化させなくても、アライメント精度を高めることができる。
【００２５】
本発明において、前記位置合わせは、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークを、前記段差の方向に位置合わせする段階を含むことが好ましい。
【００２６】
本発明において、前記電気光学パネルの前記第１の端子群の配列方向両側には、前記第１の端子群の配列方向と直交し、かつ、前記第１の共通点を通過する第１の対称軸に対して線対称の位置に線対称の形状となるようにそれぞれ前記第１のアライメントマークが配置され、前記配線基板の前記第２の端子群の配列方向両側には、前記第２の端子群の配列方向と直交し、かつ、前記第２の共通点を通過する第２の対称軸に対して線対称の位置に線対称の形状となるようそれぞれ前記第２のアライメントマークが配置されることが好ましい。この場合、前記第１の対称軸と前記第２の対称軸とを重ね合わせる段階（前記配列方向両側にそれぞれ配置された前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークが共に前記第１の配列軸及び第２の配列軸に沿った方向に見て対称な位置関係となるように設定し、かつ、前記配列方向両側にそれぞれ配置された前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークが共に前記第１の配列軸及び第２の配列軸から第１の共通点及び第２の共通点へ向かう方向（例えば、上記第１の対称軸及び第２の対称軸に沿った方向）に見て同じ位置関係となるように設定する段階）が含まれることが望ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
次に、添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。図１は本実施形態の電気光学装置１００の全体構成を示す概略平面図である。電気光学装置１００は、電気光学パネル１１０と、これに実装されたフレキシブル配線基板１２０とを備えている。
【００２８】
電気光学パネル１１０は、図示例の場合には液晶表示セルで構成され、ガラスやプラスチック等で構成された基板１１１と１１２がシール材１１３で貼り合わされ、基板間には電気光学物質である液晶１１４が封入されている。基板１１１には基板１１２の外形よりも外側へ張り出してなる基板張出部１１１Ｔが設けられ、この基板張出部１１１Ｔ上には、シール材１１３の内側に構成された駆動領域内に配置される電極に直接若しくは間接的に接続された配線１１５が引き出されている。
【００２９】
配線１１５としては、例えば、上記駆動領域内においてマトリクス状に配列された複数の画素ごとに設けられた能動素子（ＴＦＴ；薄膜トランジスタなど）に接続される選択配線１１５ｇと、上記能動素子に接続されたデータ配線１１５ｓと、上記画素内において上記能動素子に接続された画素電極と対向配置される共通電極に接続される共通配線１１５ｃとが設けられている。なお、図示例は能動素子として三端子型非線形素子を用いた場合について示したものであるが、本発明はこのようなものに限らず、例えば、ＴＦＤ（薄膜ダイオード）等の二端子型非線形素子を用いる構造であってもよく、或いは、能動素子を用いないパッシブマトリクス型表示体であっても構わない。
【００３０】
配線１１５の先端には、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）等の透明導電体や金などの導電接触性の良好な金属で被覆された第１の端子１１５ｔが設けられている。そして、複数の第１の端子１１５ｔが基板張出部１１１Ｔの外縁に沿って配列されることにより第１の端子群１１５Ｇが構成されている。
【００３１】
図４は、第１の端子群１１５Ｇ及び後述する第２の端子群１２５Ｇの配列態様を示す説明図である。なお、図４においては、第１の端子群１１５Ｇ及び第２の端子群１２５Ｇの配列方向両端の一対の第１の端子１１５ｔ及び第２の端子１２５ｔのみを図示してあり、他の端子は図示を省略してある。
【００３２】
図４に示すように、複数の第１の端子群１１５Ｇは第１の配列軸Ｘ１に沿って配列されている。ここで、第１の配列軸Ｘ１はそれぞれ帯状に形成された各第１の端子１１５ｔの中点を結ぶ線と一致している。また、Ｗ１は第１の端子群１１５Ｇの第１の配列軸Ｘ１に沿った幅を示す。
【００３３】
第１の端子群１１５Ｇにおいて、複数の第１の端子１１５ｔは、第１の配列軸Ｘ１と交差（図示例の場合には直交）する方向に離間した第１の共通点Ｐ１を通過する複数の線に沿って伸びる帯状に構成されている。第１の共通点Ｐ１は、第１の配列軸Ｘ１に沿った幅Ｗの中点を通過し、第１の配列軸Ｘ１に直交する第１の対称軸Ｙ１上の点である。ここで、Ｄ１は第１の配列軸Ｘ１から第１の共通点Ｐ１までの第１の対称軸Ｙ１に沿った距離を示す。
【００３４】
図示例の場合、第１の端子群１１５Ｇにおいては、複数の第１の端子１１５ｔは、第１の対称軸Ｙ１の両側に線対称となる位置及び姿勢で配置されている。ただし、本発明の場合、複数の第１の端子１１５ｔは必ずしも第１の対称軸Ｙ１の両側に対称な配列及び姿勢で配置されている必要はない。
【００３５】
再び図１に戻って説明を続ける。上記基板張出部１１１Ｔ上には、第１の端子群１１５Ｇの配列方向両側にそれぞれ第１のアライメントマーク１１１Ａが形成されている。この第１のアライメントマーク１１１Ａは、基板張出部１１１Ｔ上に透明導電体や金属などで形成された薄膜で形成されたものであってもよく、或いは、基板張出部１１１Ｔに設けられた凹部や貫通孔であってもよい。図示例の場合、第１のアライメントマーク１１１Ａは、第１の端子群１１５Ｇの上記第１の対称軸Ｙ１に対して配列方向両側の線対称な位置に線対称のパターン形状を有する態様で形成されている。
【００３６】
一方、フレキシブル配線基板１２０はポリイミド樹脂等で構成される基体１２１を有し、この基体１２１上に銅などの所定のパターンで形成された複数の配線１２５を備えている。また、基体１２１上には必要に応じて半導体チップ等の種々の電子部品１２２が実装されていてもよい。さらに、フレキシブル配線基板１２０には複数の入力端子１２６が設けられ、外部から所定の信号を受けることができるように構成されている。これらの入力端子１２６は直接若しくは間接的に上記配線１２５に接続されている。
【００３７】
複数の配線１２５は複数の第２の端子１２５ｔを有し、これらの第２の端子１２５ｔは基体１２１の外縁に沿って配列されて第２の端子群１２５Ｇを構成している。図４に示すように、複数の第２の端子群１２５Ｇは第２の配列軸Ｘ２に沿って配列されている。ここで、第２の配列軸Ｘ２はそれぞれ帯状に形成された各第２の端子１２５ｔの中点を結ぶ線と一致している。また、Ｗ２は第２の端子群１２５Ｇの第２の配列軸Ｘ２に沿った幅を示す。
【００３８】
第２の端子群１２５Ｇにおいて、複数の第２の端子１２５ｔは、第２の配列軸Ｘ２と交差（図示例の場合には直交）する方向に離間した第２の共通点Ｐ２を通過する複数の線に沿って伸びる帯状に構成されている。第２の共通点Ｐ２は、第２の配列軸Ｘ２に沿った幅Ｗの中点を通過し、第２の配列軸Ｘ２に直交する第２の対称軸Ｙ２上の点である。ここで、Ｄ２は第２の配列軸Ｘ２から第２の共通点Ｐ２までの第２の対称軸Ｙ２に沿った距離を示す。
【００３９】
図示例の場合、第２の端子群１２５Ｇにおいては、複数の第１の端子１２５ｔは、第２の対称軸Ｙ２の両側に線対称となる位置及び姿勢で配置されている。ただし、複数の第２の端子１２５ｔは必ずしも第２の対称軸Ｙ２の両側に対称な配列及び姿勢で配置されている必要はない。
【００４０】
複数の第２の端子１２５ｔは、複数の第１の端子１１５ｔと対応する配列態様及び姿勢で形成されている。すなわち、例えば、設計段階では、所定の温度や湿度などの環境下において、第１の端子群１１５Ｇと第２の端子群１２５Ｇとが完全に平面的に一致するように構成されている。すなわち、この環境下では、上記幅Ｗ１＝Ｗ２、距離Ｄ１＝Ｄ２となり、さらに、第１の配列軸Ｘ１と第２の配列軸Ｘ２を重ね合わせ、第１の対称軸Ｙ１と第２の対称軸Ｙ２を重ね合わせたとき（このときには第１の共通点Ｐ１と第２の共通点Ｐ２も重なる。）に、第１の端子１１５ｔの位置及び姿勢を規定する第１の共通点Ｐ１を通過する複数の線と、第２の端子１２５ｔの位置及び姿勢を規定する第２の共通点Ｐ２を通過する複数の線とが完全に一致するように構成されている。
【００４１】
図４に示す例では、上記環境とは異なる環境下にあるため、フレキシブル配線基板１２０が基板１１１よりも膨張し、その結果、第１の配列軸Ｘ１と第２の配列軸Ｘ２が重ね合わされ、第１の対称軸Ｙ１と第２の対称軸Ｙ２を重ね合わされた状態ではあるが、Ｗ１<Ｗ２、Ｄ１<Ｄ２となり、第１の対称軸Ｙ１及び第２の対称軸Ｙ２上の位置以外の位置に配置された第１の端子１１５ｔと第２の端子１２５ｔとが平面的にずれている。
【００４２】
再び図１に戻って説明を続ける。フレキシブル配線基板１２０には、上記第２の端子群１２５Ｇの配列方向両側にそれぞれ第２のアライメントマーク１２１Ａが形成されている。この第２のアライメントマーク１２１Ａは、基体１２１上に透明導電体や金属などで形成された薄膜で形成されたものであってもよく、或いは、基体１２１に設けられた凹部や貫通孔であってもよい。図示例の場合、第２のアライメントマーク１２１Ａは、第２の端子群１２５Ｇの上記第２の対称軸Ｙ２に対して配列方向両側の線対称な位置に線対称のパターン形状を有する態様で形成されている。
【００４３】
図２は、図１に示す電気光学装置１００の一部を拡大して、第１の端子群１１５Ｇと第２の端子群１２５Ｇの実装領域の端部にある第１のアライメントマーク１１１Ａと第２のアライメントマーク１２１Ａとが重なった部分を示す拡大部分平面図、図３は、第１のアライメントマーク１１１Ａと第２のアライメントマーク１２１Ａのみを重ねた状態でさらに拡大して示す平面パターン図である。
【００４４】
第１のアライメントマーク１１１Ａは帯状に構成され、第１の配列軸Ｘ１に沿った一対の第１の外縁部１１１Ａｘを備えている。ここで、一方の第１の外縁部１１１Ａｘは複数の直線状の外形辺１１１Ａｘ１、１１１Ａｘ２を有し、これらの外形辺の間に段差１１１Ａｙ２が形成されている。また、他方の第１の外縁部１１１Ａｘは外形辺１１１Ａｘ２、１１１Ａｘ４を有し、これらの外形辺の間に段差１１１Ａｙ３が形成されている。
【００４５】
また、第１のアライメントマーク１１１Ａは第１の対称軸Ｙ１に沿った一対の第１の外縁部１１１Ａｙを備えている。ここで、一方の第１の外縁部１１１Ａｙは外形辺１１１Ａｙ１と１１１Ａｙ２を有し、これらの外形辺の間に段差１１１Ａｘ１が形成されている。また、他方の第１の外縁部１１１Ａｙは外形辺１１１Ａｙ３、１１１Ａｙ４を有し、これらの外形辺の間に段差１１１Ａｘ４が形成されている。
【００４６】
上記のように構成された第１のアライメントマーク１１１Ａは、第１の対称軸Ｙ１の方向の異なる位置に複数配置されている。図示例の場合、複数のアライメントマーク１１１Ａの第１の対称軸Ｙ１に沿った方向の間隔Ｇｙは、段差１１１Ａｙ２、１１１Ａｙ３の段差量Ｄｙと同じに設定されている。なお、第１のアライメントマーク１１１Ａの第１の対称軸Ｙ１に沿った方向の幅Ｗｙ１は２Ｄｙである。これによって、複数の第１のアライメントマーク１１１Ａの形成範囲においては、第１の対称軸Ｙ１に沿った方向に見て、段差１１１Ａｙ２、１１１Ａｙ３の間隔Ｇｙで外形辺１１１Ａｘ３、１１１Ａｘ１及び１１１Ａｘ４、１１１Ａｘ２が順次に配列されていることとなる。
【００４７】
また、本実施形態では、複数の第１のアライメントマーク１１１Ａが第１の配列軸Ｘ１に沿った方向に一定量Ｓｘずつずれるように配置されている。これによって、各第１の外縁部１１１Ａｙ１、１１１Ａｙ２、１１１Ａｙ３、１１１Ａｙ４が第１の配列軸Ｘ１に沿った方向に順次に上記一定量Ｓｘだけずれて配置されていることとなる。特に、複数の第１のアライメントマーク１１１Ａを全体的に見たときには、配列軸Ｘ１に沿った方向の第１の外縁部に沿って、複数の段差１１１Ａｙ２が図３の斜め右上方向に順次にずれて配列されていることとなる。これは複数の段差によって対称軸Ｙ１に沿った方向の位置合わせ用の外形辺の外縁位置が増えることを意味するとともに、位置合わせを行う際の視認性を高めるためにも好ましい構成である。
【００４８】
一方、第２のアライメントマーク１２１Ａは、第２の対称軸Ｙ２に沿った方向に直線状に伸びる一対の第２の外縁部１２１Ａｙと、第２の配列軸Ｘ２に沿った方向に直線状に伸びる一対の第２の外縁部１２１Ａｘとを有する矩形（正方形若しくは長方形）の平面形状を有している。そして、第２の対称軸Ｙ２に沿った方向の幅Ｗｙ２は上記第１のアライメントマークの第１の対称軸Ｙ１に沿った方向の段差量Ｄｙや間隔Ｇｙよりも大きく構成されている。特に、図示例の場合、第１のアライメントマーク１１１Ａの第１の対称軸Ｙ１に沿った幅Ｗｙ１よりも第２のアライメントマーク１２１Ａの第２の対称軸Ｙ２に沿った幅Ｗｙ２が大きくなるように形成されている。
【００４９】
上記のように第２のアライメントマーク１２１Ａの平面形状の寸法を大きくすることによって、フレキシブル配線基板１２０のパターン精度を低下させることができるため、歩留まりを向上させ、製造コストを低減させることができる。一方、電気光学パネル１１０では、駆動領域内に形成する画素内のパターンを形成する際に数μｍから数十μｍ程度の細かなパターン形成を行う工程を有しているので、当該工程において第１のアライメントマーク１１１Ａを同時に形成することにより、フレキシブル配線基板１２０に比べると圧倒的に細かなパターン精度で、しかも製造工程に変更を加えずに支障なく製造を行うことが可能になる。
【００５０】
また、第２のアライメントマーク１２１Ａの第２の配列軸Ｘ２に沿った方向の長さＬｘ２は、第１のアライメントマーク１１１Ａの第１の配列軸Ｘ１に沿った方向の長さＬｙ１よりも長く形成されている。図示例の場合には、複数の第１のアライメントマーク１１１Ａの第１の配列軸Ｘ１に沿った方向の全形成範囲Ｒｙ１よりも第２のアライメントマーク１２１Ａの第２の配列軸Ｘ２に沿った方向の長さＬｘ２が大きくなるように設定されている。これによって、第２のアライメントマーク１２１Ａの第２の外縁部１２１Ａｘ１、１２１Ａｘ２を第１のアライメントマーク１１１Ａの全長に亘ってその第１の外縁部１１１Ａｘと重ねて位置を比較することが可能になるため、位置合わせ時の視認性が向上し、アライメント作業を容易に（確実かつ短時間で）実施することが可能になる。
【００５１】
本実施形態の第１のアライメントマーク１１１Ａと第２のアライメントマーク１２１Ａは、基本的には第１の対称軸Ｙ１及び第２の対称軸Ｙ２に沿った方向（すなわち段差１１１Ａｙ２及び１１１Ａｙ３の段差方向）の位置関係を設定するためのもの、すなわち、第１の配列軸Ｘ１と第２の配列軸Ｘ２を合わせたりずらしたりするために用いられるものである。この場合、上記の段差量Ｄｙや間隔Ｇｙが位置合わせの最小目盛として機能する。
【００５２】
しかしながら、上記第１のアライメントマーク１１１Ａと第２のアライメントマーク１２１Ａは、第１の配列軸Ｘ１及び第２の配列軸Ｘ２に沿った方向（段差１１１Ａｘ１及び１１１Ａｘ４の方向）の位置関係を設定するため、すなわち、第１の対称軸Ｙ１と第２の対称軸Ｙ２を合わせるために用いてもよい。この場合、上記所定量Ｓｘが位置合わせの最小目盛として機能する。また、段差１１１Ａｘ１及び１１１Ａｘ４の配列方向の段差量、或いは、外形辺１１１Ａｙ２と１１１Ａｙ３の配列方向の間隔を最小目盛として用いることもできる。
【００５３】
次に、図４及び図５を参照して本実施形態の実装前のアライメント作業の方法について詳細に説明する。ここで、図４は上述のようにアライメント作業の第１段階としての位置決め作業を施した状態を示す説明図、図５はアライメント作業の第２段階としての位置調整が完了した状態（すなわち実装ができる状態）を示す説明図である。
【００５４】
まず、第１段階では、図４に示すように、電気光学パネル１１０の第１の配列軸Ｘ１をフレキシブル配線基板１２０の第２の配列軸Ｘ２に合わせるとともに、電気光学パネル１１０の第１の対称軸Ｙ１をフレキシブル配線基板１２０の第２の対称軸Ｙ２に合わせる。
【００５５】
ここで、電気光学パネル１１０の第１のアライメントマーク１１１Ａの特定位置（例えば、図示例の場合には第１の対称軸Ｙ１に沿った方向に配列された複数の第１のアライメントマーク１１１Ａのうちの中央に配置された第１のアライメントマーク１１１Ａの第１の対称軸Ｙ１の方向の幅Ｗｙ１の中点（外形辺１１１Ａｘ１と１１１Ａｘ４が配置される位置）を第１の配列軸Ｘ１が通過するように予め形成されている。また、フレキシブル配線基板１２０については、例えば、第２のアライメントマーク１２１Ａの第１の対称軸Ｙ２に沿った方向の幅Ｗｙ２の中点を第２の配列軸Ｘ２が通過するように予め形成されている。
【００５６】
したがって、配列方向両側の一対の第２のアライメントマーク１２１Ａをそれぞれ第１の対称軸Ｙ１に沿った方向の中央に配置された第１のアライメントマーク１１１Ａと重ね、第２のアライメントマーク１２１Ａの一対の第２の外縁部１２１Ａｘ１、１２１Ａｘ２が、当該中央の第１のアライメントマーク１１１Ａに隣接する両側の第１のアライメントマーク１１１Ａの外形辺１１１Ａｘ３及び１１１Ａｘ２と重なるように配置されることで、或いは、当該両側の外形辺１１１Ａｘ３と１１１Ａｘ２との間の間隔が相互に等しくなる位置に配置されることで、図４に示す状態、すなわち第１の配列軸Ｘ１と第２の配列軸Ｘ２が一致した状態とすることができる。
【００５７】
また、第１のアライメントマーク１１１Ａは第１の対称軸Ｙ１の両側に線対称となるように配置され、第２のアライメントマーク１２１Ａは第２の対称軸Ｙ２の両側に線対称となるように配置されているので、配列方向両側の第２のアライメントマーク１２１Ａがそれぞれ第１のアライメントマーク１１１Ａに対して線対称の位置関係になるように配置することで、図４に示す状態、すなわち第１の対称軸Ｙ１と第２の対称軸Ｙ２が一致した状態とすることができる。図示例の場合には、配列方向両側の第２のアライメントマーク１２１Ａの第２の外縁部１２１Ａｙ１がほぼ図示下から二番目の第２のアライメントマーク１１１Ａの外形辺１１１Ａｙ１と、第１の配列軸Ｘ１及び第２の配列軸Ｘ２に沿った方向に見て一致するように合わせることで、第１の対称軸Ｙ１と第２の対称軸Ｙ２とを一致させることができる。
【００５８】
設計時の環境に比べて温度や湿度が変化した場合には、フレキシブル配線基板１２０の寸法変化が大きいことにより、上記のように第１の配列軸Ｘ１と第２の配列軸Ｘ２が重なり第１の対称軸Ｙ１と第２の対称軸Ｙ２が重なる状態であっても、第１の端子群１１５Ｇと第２の端子群１２５Ｇとは整合しない。例えば、図４に示すようにＸ１とＸ２が重なりＹ１とＹ２が重なっていても、設計時に比べてフレキシブル配線基板１２０が膨張することにより、第２の端子群１２５Ｇの配列方向の幅Ｗ２は第１の端子群１１５Ｇの配列方向の幅Ｗ１よりも配列方向に広がった状態となる。この場合、一般的には、距離Ｄ１<Ｄ２も成立し、第２の共通点Ｐ２は第１の共通点Ｐ１よりも第１の配列軸Ｘ１、第２の配列軸Ｘ２から遠ざかった位置に設定されていることとなる。
【００５９】
そこで、第１の端子群１１５Ｇの全ての第１の端子１１５ｔと、第２の端子群１２５Ｇの全ての第２の端子１２５ｔとが重なる（整合する）ようにするためには、フレキシブル配線基板１２０を電気光学パネル１１０に対して第１の対称軸Ｙ１、第２の対称軸Ｙ２に沿って図示上方へ移動させればよい。この場合、配列方向両側のそれぞれの第２のアライメントマーク１２１Ａの第２の配列軸Ｘ２に沿った第２の外縁部１２１Ａｘ１、１２１Ａｘ２が共に複数の第１のアライメントマーク１１１Ａに対して第１の対称軸Ｙ１、第２の対称軸Ｙ２に沿った方向に見て同じ位置になる状態を維持しつつ（すなわち第１の配列軸Ｘ１と第２の配列軸Ｘ２を平行状態に保ちつつ）、第２のアライメントマーク１２１Ａを第１の対称軸Ｙ１及び第２の対称軸Ｙ２に沿って（図示上方へと）移動させていく。すると、やがて第２の端子群１２５の各第２の端子１２５ｔが第１の端子群１１５Ｇの各第１の端子１１５ｔに重なる。正確に言えば、第１の端子１１５ｔの一部と第２の端子１２５ｔの一部とが配列方向に見て一致した位置に存在するようになる。図示例の場合、この状態は第２のアライメントマーク１２１Ａの第２の外縁部１２１Ａｘ２が最も図示上側にある第１のアライメントマーク１１１Ａの第１の対称軸Ｙ１に沿った幅方向の中点（外形辺１１１Ａｘ１、１１１Ａｘ４の位置）と重なるときに得られている。
【００６０】
設計時の環境下でＷ１＝Ｗ２、Ｄ１＝Ｄ２となるように設定されていても、環境が変化するとＷ１とＷ２は等しくなくなり、Ｄ１とＤ２も等しくなくなるが、フレキシブル配線基板１２０の寸法変化が等方的であると仮定すると、常にＷ１／Ｄ１＝Ｗ２／Ｄ２は成立することとなるので、上記のように第１の端子群１１５Ｇと第２の端子群１２５Ｇとが整合した状態では、第１の共通点Ｐ１と第２の共通点Ｐ２が重なり合うこととなる。実際にはフレキシブル配線基板１２０の寸法変化が完全に等方的であるとは限らないが、寸法変化がそれほど大きくなければ、近似的には第１の共通点Ｐ１と第２の共通点Ｐ２がほぼ重なりあい、また、第１の端子群１１５Ｇと第２の端子群１２５Ｇもほぼ整合することとなる。
【００６１】
なお、本実施形態では、第１のアライメントマーク１１１Ａと第２のアライメントマーク１２１Ａとが第１の対称軸Ｙ１、第２の対称軸Ｙ２に沿った方向の位置決めだけでなく、第１の配列軸Ｘ１、第２の配列軸Ｘ２に沿った方向の位置決めにも用いることができるように構成されているが、第１のアライメントマーク１１１Ａと第２のアライメントマーク１２１Ａとを第１の対称軸Ｙ１、第２の対称軸Ｙ２に沿った方向の位置調整（第１の配列軸Ｘ１と第２の配列軸Ｘ２を合わせたりずらしたりする位置調整）にのみ用い、第１の対称軸Ｙ１と第２の対称軸Ｙ２を合わせるための（すなわち、第１の配列軸Ｘ１、第２の配列軸Ｘ２に沿った方向の位置決めを行うための）別のアライメントマークの組み合わせを、第１のアライメントマーク１１１Ａと第２のアライメントマーク１２１Ａにおける第１の配列軸Ｘ１、第２の配列軸Ｘ２と第１の対称軸Ｙ１，第２の対称軸Ｙ２とのＸとＹの関係を逆になるように設定した形状（図示例の複数の第１のアライメントマーク１１１Ａ及び第２のアライメントマーク１２１Ａを図の紙面と直交する軸周りに９０度回転させた形状）で形成することもできる。
【００６２】
図６は、上記実施形態と異なる第１のアライメントマーク１１１Ａ′のパターン形状や配列態様を示す概略平面図である。この第１のアライメントマーク１１１Ａ′においては、第１の配列軸Ｘ１に沿った一対の第１の外縁部１１１Ａｘ′（外形辺１１１Ａｙ１、１１１Ａｙ２、１１１Ａｙ３からなるもの及び外形辺１１１Ａｙ４、１１１Ａｙ５、１１１Ａｙ６からなるもの）にそれぞれ複数の段差１１１Ａｙ３、１１１Ａｙ６及び１１１Ａｙ１、１１１Ａｙ４が形成されている。また、第１の対称軸Ｙ１に沿った一対の第１の外縁部１１１Ａｙ′（外形辺１１１Ａｙ１、１１１Ａｙ２、１１１Ａｙ３からなるもの及び外形辺１１１Ａｙ４、１１１Ａｙ５、１１１Ａｙ６からなるもの）にそれぞれ複数の段差１１１Ａｘ４、１１１Ａｘ１及び１１１Ａｘ６、１１１Ａｘ３が形成されている。
【００６３】
そして、このように構成された複数の第１のアライメントマーク１１１Ａ′が第１の対称軸Ｙ１に沿って配列されている。各第１のアライメントマーク１１１Ａ′においては、第１の配列軸Ｘ１に沿った第１の外縁部１１１Ａｘ′に設けられた各段差１１１Ａｙ３、１１１Ａｙ６、１１１Ａｙ１、１１１Ａｙ４の第１の配列軸Ｘ１に沿った方向の位置が一定量Ｓｘずつずれていくように構成されている。ただし、各第１のアライメントマーク１１１Ａ′の第１の配列軸Ｘ１に沿った方向両端にある外形辺１１１Ａｙ２、１１１Ａｙ５の第１の配列軸Ｘ１に沿った方向の位置は相互に同一の位置になるように設定されている。
【００６４】
これらの複数の第１のアライメントマーク１１１Ａ′は、上記の第１のアライメントマーク１１１Ａと同様に、第１の対称軸Ｙ１に沿った方向の位置合わせ（第１の配列軸Ｘ１の位置決め）に用いることができるだけでなく、第１の配列軸Ｘ１に沿った方向の位置合わせ（第１の対称軸Ｙ１の位置決め）にも用いることができる。そして、先の実施形態と同様に、複数の段差１１１Ａｙ３、１１１Ａｙ６、１１１Ａｙ１、１１１Ａｙ４がそれぞれ斜め方向に順次にずれて配置されている。これは複数の段差によって対称軸Ｙ１に沿った方向の位置合わせ用の外形辺の外縁位置が増えることを意味するとともに、位置合わせを行う際の視認性を高めるためにも好ましい構成である。
【００６５】
図７は、上記とはさらに異なる第１のアライメントマーク１１１Ａ″の形状や配列態様を示す概略平面図である。この第１のアライメントマーク１１１Ａ″においては、第１の配列軸Ｘ１に沿った一対の第１の外縁部１１１Ａｘ″（外形辺１１１Ａｘ１、１１１Ａｘ２、１１１Ａｘ３、・・・、１１１Ａｙ９からなるもの及び外形辺１１１Ａｘ１０、１１１Ａｘ１１、１１１Ａｘ１２、・・・、１１１Ａｘ１８からなるもの）にそれぞれ複数の段差１１１Ａｙ１０、１１１Ａｙ１１、１１１Ａｙ１２、・・・、１１１Ａｙ１７及び１１１Ａｙ８、１１１Ａｙ７、１１１Ａｙ６、・・・、１１１Ａｙ１が形成されている。また、第１の対称軸Ｙ１に沿った一対の第１の外縁部１１１Ａｙ″の一方（外形辺１１１Ａｙ１、１１１Ａｙ２、１１１Ａｙ３、・・・、１１１Ａｙ１７からなるもの）にそれぞれ複数の段差１１１Ａｘ１７、１１１Ａｘ１６、１１１Ａｘ１５、・・・、１１１Ａｘ１０、１１１Ａｘ１、１１１Ａｘ２、・・・１１１Ａｘ６、１１１Ａｘ７、１１１Ａｙ８が形成されている。ただし、他方の外縁部１１１Ａｙ″（外形辺１１１Ａｘ１８のみからなるもの）には段差が形成されていない。
【００６６】
この第１のアライメントマーク１１１Ａ″は、上記実施形態のように複数形成されずに、一つだけであっても、上記の複数の第１のアライメントマーク１１１Ａ、１１１Ａ′の組み合わせと同様に、第１の対称軸Ｙ１に沿った方向の位置合わせ（第１の配列軸Ｘ１の位置決め）に用いることができるだけでなく、第１の配列軸Ｘ１に沿った方向の位置合わせ（第１の対称軸Ｙ１の位置決め）にも用いることができる。そして、先の実施形態と同様に、複数の段差１１１Ａｙ１〜１１１Ａｙ１７がそれぞれ斜め方向に順次にずれて配置されている。これは複数の段差によって対称軸Ｙ１に沿った方向の位置合わせ用の外形辺の外縁位置が増えることを意味するとともに、位置合わせを行う際の視認性を高めるためにも好ましい構成である。
【００６７】
以上のように、本発明では、第１のアライメントマーク１１１Ａ、１１１Ａ′、１１１Ａ″の第１の配列軸Ｘ１に沿った第１の外縁部１１１Ａｘ、１１１Ａｘ′、１１１Ａｘ″において段差が形成されていることにより、第１の対称軸Ｙ１に沿った方向の位置合わせ（第１の配列軸Ｘ１の位置決め）を行うことが可能である。また、上記実施形態では、第１の対称軸Ｙ１に沿った第１の外縁部１１１Ａｙ、１１１Ａｙ′、１１１Ａｙ″においても段差が形成されていることにより、第１の配列軸Ｘ１に沿った方向の位置合わせ（第１の対称軸Ｙ１の位置決め）を行うことも可能である。
【００６８】
なお、上記各実施形態では、第１の配列軸Ｘ１に沿った第１の外縁部に設けられた段差が第１の対称軸Ｙ１に沿った外縁部を構成し、第１の対称軸Ｙ１に沿った第１の外縁部に設けられた段差が第１の配列軸Ｘ１に沿った外縁部を構成している。すなわち、いずれの外縁部の段差も当該外縁部と直交する他方の外縁部で構成されている（すなわち段差を構成する直線状の辺が直角となっている）ため、第１の配列軸Ｘ１と第１の対称軸Ｙ１の双方に対する位置合わせに共に用いることができるものとなっているが、段差を構成する辺の伸びる方向は任意であり、直角ではなく傾斜していてもよく、また、直線状ではなく曲線状に構成されていてもよい。
【００６９】
最後に、図８及び図９を参照して本発明に係る電子機器について説明する。図８は本発明に係る電子機器であるノート型パーソナルコンピュータ装置２００の概略斜視図である。このパーソナルコンピュータ２００は、複数の操作ボタン２０１ａや他の操作装置２０１ｂを備えた本体部２０１と、この本体部２０１に接続され、表示画面２０２ａを備えた表示部２０２とを備えている。図示例の場合、本体部２０１と表示部２０２は開閉可能に構成されている。表示部２０２の内部には上述の電気光学装置１００が内蔵されており、表示画面２０２ａに所望の表示画像が表示されるようになっている。この場合、パーソナルコンピュータ２００の内部には、上記電気光学装置１００を制御する表示制御回路が設けられる。この表示制御回路は、電気光学装置１００のフレキシブル配線基板１２０に対して映像信号その他の入力データや所定の制御信号を送り、電気光学パネル１１０の動作態様を決定するように構成されている。
【００７０】
図９は本発明に係る他の電子機器である携帯電話機３００の概略斜視図である。ここに示す携帯電話機３００は、複数の操作ボタン３０１ａ，３０１ｂ及び送話口などを備えた操作部３０１と、表示画面３０２ａや受話口などを備えた表示部３０２とを有し、表示部３０２の内部に上記の電気光学装置１００が組み込まれてなる。そして表示部３０２の表示画面３０２ａにおいて電気光学装置１００により形成された表示画像を視認することができるようになっている。この場合、携帯電話機３００の内部には、上記電気光学装置１００を制御する表示制御回路が設けられる。この表示制御回路は、電気光学装置装置１００のフレキシブル配線基板１２０に対して映像信号その他の入力データや所定の制御信号を送り、電気光学パネル１１０の動作態様を決定するように構成されている。
【００７１】
尚、本発明の電気光学装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記各実施形態の電気光学装置は液晶表示体を構成する電気光学パネルを含むものとして説明したが、本発明では、液晶表示体に限らず、有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示体等の他の電気光学パネルを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】実施形態の全体構成を示す概略平面図。
【図２】実施形態の一部（図１のIIで示す一点鎖線の円内）を拡大して示す部分平面図。
【図３】実施形態のアライメントマークのみをさらに拡大して示す平面図。
【図４】実装前に配列軸と対称軸をあわせた状態を示す説明図。
【図５】実装前に第１の端子群と第２の端子群を整合させた状態を示す説明図。
【図６】別の第１のアライメントマークの構成例を示す平面図。
【図７】さらに別の第１のアライメントマークの構成例を示す平面図。
【図８】電子機器の一例を示す概略斜視図。
【図９】電子機器の他の例を示す概略斜視図。
【符号の説明】
【００７３】
１００…電気光学装置、１１０…電気光学パネル、１１１Ａ…第１のアライメントマーク、１１１Ａｘ、１１１Ａｙ…第１の外縁部、１１１Ａｘ１、１１１Ａｘ２、・・・・、１１１Ａｙ１、１１１Ａｙ２、・・・…外形辺（段差）、１１５…配線、１１５ｔ…第１の端子、１１５Ｇ…第１の端子群、Ｘ１…第１の配列軸、Ｙ１…第１の対称軸、Ｐ１…第１の共通点、１２０…フレキシブル配線基板、１２１Ａ…第２のアライメントマーク、１２１Ａｘ、１２１Ａｙ…第２の外縁部、１２５…配線、１２５ｔ…第２の端子、１２５Ｇ…第２の端子群、Ｘ２…第２の配列軸、Ｙ２…第２の対称軸、Ｐ２…第２の共通点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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