(57)【要約】【課題】クリーンルームへの入室のための所定の準備がなされないままにクリーンルームに入室することを禁止し、クリーンルームの清浄度を維持する。【解決手段】入室管理装置３００は、非クリーンルーム１００とクリーンルーム２００との間に配置され、非クリーンルーム１００側に第１扉３１２を有し、クリーンルーム２００側に第２扉３１４を有するエアーシャワールーム３１０と、作業者がクリーンルーム２００に入室するための準備をするために非クリーンルーム２００に配置された複数の入室準備ユニット３２２、３２４、３２６と、複数の入室準備ユニット３２２、３２４、３２６が所定の順番で動作したときに第１扉３１２のロックを解除して非クリーンルーム１００からエアーシャワールーム３１０に入室することを可能にするコントローラとを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームへの入室を管理する入室管理装置であって、
非クリーンルームとクリーンルームとの間に配置され、前記非クリーンルーム側に第１扉を有し、前記クリーンルーム側に第２扉を有するエアーシャワールームと、
作業者が前記クリーンルームに入室するための準備をするために前記非クリーンルームに配置された複数の入室準備ユニットと、
前記複数の入室準備ユニットが所定の順番で動作したときに前記第１扉のロックを解除して前記非クリーンルームから前記エアーシャワールームに入室することを可能にするコントローラと、
を備えることを特徴とする入室管理装置。
【請求項２】
前記複数の入室準備ユニットは、手洗ユニット及び殺菌ユニットを含み、前記コントローラは、前記手洗ユニット及び前記殺菌ユニットが前記手洗ユニット、前記殺菌ユニットの順番で動作したときに前記第１扉のロックを解除して前記非クリーンルームから前記エアーシャワールームに入室することを可能にする、ことを特徴とする請求項１に記載の入室管理装置。
【請求項３】
前記複数の入室準備ユニットは、手洗ユニット、乾燥ユニット及び殺菌ユニットとを含み、前記コントローラは、前記手洗ユニット、前記乾燥ユニット及び前記殺菌ユニットが前記手洗ユニット、前記乾燥ユニット、前記殺菌ユニットの順番で動作したときに前記第１扉のロックを解除して前記非クリーンルームから前記エアーシャワールームに入室することを可能にする、ことを特徴とする請求項１に記載の入室管理装置。
【請求項４】
前記非クリーンルームから前記エアーシャワールームへの入室を検知する第１検知ユニットと、
前記エアーシャワールームから前記クリーンルームへの退室を検知する第２検知ユニットとを更に備え、
前記コントローラは、前記第１検知ユニットによって前記エアーシャワールームへの入室が検知され、更に前記第２検知ユニットによって前記エアーシャワールームからの退出が検知されたことに応じて前記第１扉をロックする、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の入室管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームへの入室を管理する管理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
飲料や食品を製造、処理、検査等するためにクリーンルームが使用される。クリーンルームと非クリーンルームとは、エアーシャワールームによって分離されている。作業者は、例えば、手を洗い、乾燥させて、更に殺菌した後にエアーシャワールームを通ってクリーンルームに入室する。
【特許文献１】特開２００１−２９１０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
手洗いや殺菌などの準備をすることなく作業者がエアーシャワールームを通ってクリーンルームに入室すると、クリーンルーム内が汚染される可能性がある。したがって、手洗いや殺菌などの所定の準備をした後にクリーンルームに入室することを義務付けることが一般的ではあるが、従来は、所定の準備をしないままでも非クリーンルームからエアーシャワールームを通ってクリーンルームに入室することができた。よって、誤ってクリーンルーム内に菌やダスト等が持ち込まれてクリーンルームが汚染される可能性を否定できなかった。
【０００４】
本発明は、上記の課題認識に基づいてなされたものであり、例えば、クリーンルームへの入室のための所定の準備がなされないままにクリーンルームに入室することを禁止し、クリーンルームの清浄度を維持することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、クリーンルームへの入室を管理する入室管理装置に関するものであり、前記入室管理装置は、非クリーンルームとクリーンルームとの間に配置され、前記非クリーンルーム側に第１扉を有し、前記クリーンルーム側に第２扉を有するエアーシャワールームと、作業者が前記クリーンルームに入室するための準備をするために前記非クリーンルームに配置された複数の入室準備ユニットと、前記複数の入室準備ユニットが所定の順番で動作したときに前記第１扉のロックを解除して前記非クリーンルームから前記エアーシャワールームに入室することを可能にするコントローラとを備える。
【０００６】
本発明の好適な実施形態によれば、前記複数の入室準備ユニットは、例えば、手洗ユニット及び殺菌ユニットを含み、前記コントローラは、例えば、前記手洗ユニット及び前記殺菌ユニットが前記手洗ユニット、前記殺菌ユニットの順番で動作したときに前記第１扉のロックを解除して前記非クリーンルームから前記エアーシャワールームに入室することを可能にする。
【０００７】
本発明の好適な実施形態によれば、前記複数の入室準備ユニットは、例えば、手洗ユニット、乾燥ユニット及び殺菌ユニットとを含み、前記コントローラは、例えば、前記手洗ユニット、前記乾燥ユニット及び前記殺菌ユニットが前記手洗ユニット、前記乾燥ユニット、前記殺菌ユニットの順番で動作したときに前記第１扉のロックを解除して前記非クリーンルームから前記エアーシャワールームに入室することを可能にする。
【０００８】
本発明の好適な実施形態によれば、前記入室管理装置は、前記非クリーンルームから前記エアーシャワールームへの入室を検知する第１検知ユニットと、前記エアーシャワールームから前記クリーンルームへの退室を検知する第２検知ユニットとを更に備えることが好ましく、前記コントローラは、前記第１検知ユニットによって前記エアーシャワールームへの入室が検知され、更に前記第２検知ユニットによって前記エアーシャワールームからの退出が検知されたことに応じて前記第１扉をロックすることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、例えば、クリーンルームへの入室のための所定の準備がなされないままにクリーンルームに入室することを禁止し、クリーンルームの清浄度を維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
【００１１】
図１は、本発明の好適な実施形態の入室管理装置の概略構成を示す図である。本発明の好適な実施形態の入室管理装置３００は、非クリーンルーム１００とクリーンルーム２００との間に配置されたエアーシャワールーム３１０を備えている。エアーシャワールーム３１０は、非クリーンルーム１００側に第１扉３１２を有し、クリーンルーム２００側に第２扉３１４を有する。ここで、非クリーンルーム１００は、エアーシャワールーム３１０を介して接続されたクリーンルーム２００よりも清浄度が低い空間をいうものとする。例えば、第１の清浄度に維持された第１のクリーンルームと、それに対してエアーシャワールームを介して接続された第２の清浄度に維持された第２のクリーンルームとがあり、第１の清浄度よりも第２の清浄度が低い場合（例えば、ダスト数が多い場合）は、第２のクリーンルームは、第１のクリーンルームとの関係では、非クリーンルームである。
【００１２】
入室管理装置３００は、更に、作業者がクリーンルーム２００に入室するための準備をするために非クリーンルーム１００に配置された複数の入室準備ユニット３２２、３２４、３２６と、複数の入室準備ユニット３２２、３２４、３２６が所定の順番で動作したときに第１扉３１２のロックを解除して非クリーンルーム１００からエアーシャワールーム３１０（結果として、クリーンルーム２００）に入室することを可能にするコントローラ３３０とを備える。
【００１３】
入室準備ユニット３２２、３２４、３２６は、それぞれ、例えば、手洗ユニット、乾燥ユニット、殺菌ユニットでありうる。以下では、この例にしたがって説明する。
【００１４】
入室管理装置３００は、非クリーンルーム１００からエアーシャワールーム３１０への作業者の入室を検知する第１検知ユニット３４２と、エアーシャワールーム３１０からクリーンルーム２００への退室を検知する第２検知ユニット３４４とを備えることが好ましい。コントローラ３３０は、第１扉３４２のロックを解除した後に、例えば、第１検知ユニット３４２によってエアーシャワールーム３１０への入室が検知され、更に第２検知ユニット３４４によってエアーシャワールーム３１０からの退出が検知されたことに応じて第１扉３４２を再びロックする。第１扉３４２のロック及びその解除は、ロック機構３１６によってなされる。
【００１５】
図２は、入室管理装置３００の制御系の構成例を示すブロック図である。手洗ユニット３２２は、例えば、フォトインターラプタ等の検知センサ３２２ａと、検知センサ３２２ａの出力信号（手の検知）にしたがって所定時間だけ蛇口を通して水を出すための電磁弁とを含みうる。乾燥ユニット３２４は、例えば、フォトインターラプタ等の検知センサ３２４ａと、検知センサ３２４ａの出力信号（手の検知）にしたがって所定時間だけノズルから温風を噴射する温風噴射部とを含みうる。殺菌ユニット３２６は、例えば、フォトインターラプタ等の検知センサ３２６ａと、検知センサ３２６ａの出力信号（手の検知）にしたがって所定時間だけノズルから殺菌液（例えば、アルコール）を噴射する殺菌液噴射部とを含みうる。
【００１６】
図３は、コントローラ３３０におけるインターロック制御の流れを示すフローチャートである。ここでは、コントローラ３３０は、手洗ユニット３２２、乾燥ユニット３２４、殺菌ユニット３２６がその順番で動作したときに、第１扉３１２のロックを解除して非クリーンルーム１００からエアーシャワールーム３１０への入室、及び、それに続くクリーンルーム２００への入室を可能にする例を説明する。
【００１７】
手洗ユニット３２２において、検知センサ３２２ａによって手が検知されると、それに応答して手洗ユニット３２２において蛇口から水が出される。コントローラ３３０は、ステップＳ１０において、手洗ユニット３２２が動作したか否かを判断する。この判断は、手洗ユニット３２２の検知センサ３２２ａによって手が検知されたか否かに基づいてなされうる。
【００１８】
手洗ユニット３２２が動作したと判断されると、コントローラ３３０は、ステップＳ２０において、所定時間内に乾燥ユニット３２４が動作したか否かを判断する。この判断は、乾燥ユニット３２４の検知センサ３２４ａによって手が検知されたか否かに基づいてなされうる。
【００１９】
乾燥ユニット３２４が所定時間内に動作したと判断されると、コントローラ３３０は、ステップＳ３０において、所定時間内に殺菌ユニット３２６が動作したか否かを判断する。この判断は、殺菌ユニット３２６の検知センサ３２６ａによって手が検知されたか否かに基づいてなされうる。
【００２０】
殺菌ユニット３２６が所定時間内に動作したと判断されると、コントローラ３３０は、手洗ユニット３２２、乾燥ユニット３２４、殺菌ユニット３２６がその順番で動作したと判断し、ステップＳ４０において、第１扉３１２のロックを解除するようにロック機構３１６に指令を送る。ロック機構３１６は、この指令にしたがって第１扉３１２のロックを解除する。
【００２１】
次いで、コントローラ３３０は、ステップＳ５０において、所定時間内に非クリーンルーム１００からエアーシャワールーム３１０に作業者が入室したか否かを第１検知ユニット３４２からの検知信号を監視することによって判断する。
【００２２】
エアーシャワールーム３１０に作業者が入室したことが検知されると、コントローラ３３０は、エアーシャワールーム３１０に備えられたエアーシャワーユニットを所定時間だけ動作させる。
【００２３】
次いで、コントローラ３３０は、ステップＳ７０において、所定時間内にエアーシャワールーム３１０からクリーンルーム２００に作業者が退室したか否かを第２検知ユニット３４４からの検知信号を監視することによって判断する。
【００２４】
エアーシャワールーム３１０からクリーンルーム２００に作業者が退室したことが検知されると、コントローラ３３０は、ステップＳ８０において、第１扉３１２をロックするようにロック機構３１６に指令を送る。ロック機構３１６は、この指令にしたがって第１扉３１２をロックする。
【００２５】
以上のようなインターロック制御によれば、複数の入室準備ユニット３２２、３２４、３２６が所定の順番で動作したときに第１扉３１２のロックが解除されて非クリーンルーム１００からエアーシャワールーム３１０（結果として、クリーンルーム２００）への入室が可能になり、それ以外では第１扉３１２のロックが解除されないので非クリーンルーム１００からエアーシャワールーム２００（結果として、クリーンルーム２００）への入室が禁止される。したがって、所定の準備をしないまま誤って非クリーンルーム１００からクリーンルーム２００に入室することが防止される。
【００２６】
なお、本発明は、例えば、飲料や食品等の製造、処理、検査等のためのクリーンルームに好適なほか、半導体デバイスやその製造装置の製造等のためのクリーンルームにも好適である。後者においては、例えば、手洗や、手袋やマスク等をその収納部から取り出したことなどを検知し、その順番が所定の順番である場合に非クリーンルームからエアーシャワールームへの入室を許可しうる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の好適な実施形態の入室管理装置の概略構成を示す図である。
【図２】入室管理装置の制御系の構成例を示すブロック図である。
【図３】コントローラにおけるインターロック制御の流れを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００２８】
１００  非クリーンルーム
２００  クリーンルーム
３００  入室管理装置
３１０  エアーシャワールーム
３１２  第１扉
３１４  第２扉
３１６  ロック機構
３２２  手洗ユニット（第１入室準備ユニット）
３２２ａ  検知センサ
３２４  乾燥ユニット（第２入室準備ユニット）
３２４ａ  検知センサ
３２６  殺菌ユニット（第３入室準備ユニット）
３２６ａ  検知センサ
３３０  コントローラ
【図１】
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【図２】
2007162277.tif 000004
【図３】
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