(57)【要約】【課題】  表面にパターンが形成された複数の可撓性フレキシブル基板を貼り合せて液晶表示装置を製造するに際し、各フレキシブル基板表面のパターンを正確に一致させて貼り合せることができかつランニングコストの低い液晶表示装置の製造装置を提供する。【解決手段】  基板切断手段２と、可撓性の第１基板８を可撓性の第２基板９との貼り合せ位置に搬送する第１搬送手段３と、第２基板９を第１基板８との貼り合せ位置に搬送する第２搬送手段４と、第１基板８と第２基板９との位置合せを行う位置合せ手段５と、第１基板８と第２基板９とを貼り合せる基板貼着手段６とを含む液晶表示装置の製造装置１であって、基板切断手段２によってパターン毎に第１基板８および／または第２基板９を切断し、その後に位置合せおよび貼り合せを行う。【選択図】      図１
2007047304.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンが連続的に形成されてなるシート状の第１基板と、第１基板のパターンに対応するパターンが連続的に形成されてなるシート状の第２基板とを連続的に貼り合せる液晶表示装置の製造装置において、
第１基板を第２基板との貼り合せ位置に搬送する第１搬送手段と、
第２基板を第１基板との貼り合せ位置に搬送する第２搬送手段と、
第１基板と第２基板とを貼り合せる前に、第１基板または第２基板に形成される所定のパターン毎に第１基板および／または第２基板を切断する基板切断手段と、
第１基板と第２基板とを貼り合せる前に、両者に形成されるパターンに応じて両者の位置合せを行う位置合せ手段と、
第１基板と第２基板とを貼り合せる基板貼着手段とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造装置。
【請求項２】
第１搬送手段は、
第１基板の第２基板との第１の貼り合せ領域を保持する第１保持手段と、
第１保持手段により保持される第１基板の第１の貼り合せ領域に続く第２の貼り合せ領域を保持する第２保持手段とを含み、かつ
基板切断手段は、
第１保持手段により保持される第１基板の第１の貼り合せ領域と、第２保持手段により保持される第１基板の第２の貼り合せ領域との間で第１基板を切断する第１基板切断手段と含むことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項３】
第１基板表面または第２基板表面の貼り合せ領域に、
液晶物質を載置する液晶層形成手段をさらに含むことを特徴とする請求項１または２記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項４】
基板貼着手段は、
内部を密閉状態にすることが可能であり、その内部で第１基板と第２基板とを貼り合せる耐圧性容器と、
該耐圧性容器の内部を減圧状態にする減圧手段とを含み、
第１基板と第２基板とを減圧状態にて貼り合せることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項５】
少なくとも第１基板および／または第２基板を収容する耐圧性ハウジングと、
該耐圧性ハウジング内部を、第１基板と第２基板とを貼り合せるのと同じ減圧状態にするハウジング減圧手段とをさらに含み、
第１基板および／または第２基板は、
第１基板と第２基板とを貼り合せるのと同じ減圧状態中に置かれることを特徴とする請求項４記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項６】
第１基板、第２基板、第１搬送手段、第２搬送手段、基板切断手段、位置合せ手段および基板貼着手段が耐圧性ハウジング内に収容され、減圧状態に置かれることを特徴とする請求項５記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項７】
第１搬送手段による第１基板の搬送方向と、第２搬送手段による第２基板の搬送方向とが対向方向であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項８】
パターンが連続的に形成されてなるシート状の第１基板と、第１基板のパターンに対応するパターンが連続的に形成されてなるシート状の第２基板とを連続的に貼り合せる液晶表示装置の製造方法において、
第１基板の第２基板との第１貼り合せ領域を保持する工程と、
第１基板の第１貼り合せ領域に続く第２貼り合せ領域を保持する工程と、
第１基板の第１貼り合せ領域と第２貼り合せ領域との間で、第１基板を切断する工程と、
第１基板の切断片を第２基板との貼り合せ位置に搬送する工程と、
第２基板を第１基板の切断片との貼り合せ位置に搬送する工程と、
第１基板の切断片および第２基板に形成されるパターンに応じて第１基板の切断片と第２基板との位置合せを行う工程と、
第１基板の切断片と第２基板とを貼り合せる工程とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項９】
請求項８記載の液晶表示装置の製造方法により製造されることを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造装置および製造方法ならびに液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶表示装置の基板としては、光学特性に優れかつ価格の低いガラス基板が専ら使用されてきた。しかしながら、最近になって液晶表示装置の大型化が進み、またその応用範囲が拡大するとともに、液晶表示装置の軽量化、コストダウンなどが急務になっている。特に、液晶表示装置の大型化には、ガラス基板をも大型化する必要があるけれども、それでは液晶表示装置としての総重量が大きくなりすぎ、たとえば、家庭用大型テレビ、一層の軽量化が求められるパーソナルコンピュータなどの用途には不向きである。また、ガラス基板の大型化は、ガラス基板製造装置の大型化を伴い、液晶表示装置のコストを上昇させる原因の１つにもなっている。
【０００３】
このような問題に鑑み、液晶表示装置において、ガラス基板に代えてフレキシブル基板を用いることが試みられている。フレキシブル基板は、透明性合成樹脂材料からなる可撓性フィルムであり、実用上問題のない程度の光学特性を有し、ガラス基板よりも著しく軽量でかつ加工が容易なので、大型化してもコストがあまり掛からないという優れた特性を有する。また、フレキシブル基板自体が可撓性を有することから、物理的な応力が加わる状態、湾曲状態などでも使用できる。したがって、フレキシブル基板を用いれば、液晶表示装置の大型化および液晶表示装置の応用範囲の拡大は比較的容易であるけれども、フレキシブル基板を用いて液晶表示装置を効率良くかつ安価に製造する製造方法の確立が現状における重要な課題の１つになっている。
【０００４】
フレキシブル基板が一定の幅を有する長尺状シートとして形成されることを利用して、フレキシブル基板を２つ用い、第１のフレキシブル基板に電極パターン、フィルタなどを形成し、第２のフレキシブル基板に液晶を滴下して液晶層を形成し、これら２つのフレキシブル基板を連続的に貼り合せることを特徴とする液晶表示素子の製造方法が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。図５は、特許文献１における液晶表示装置の製造方法を説明するための系統図である。すなわち、特許文献１の製造方法において、Ａ工程では、ロール１０１に巻き取られている樹脂フィルム１０４を矢符１２５の方向に搬送する過程で、まず、樹脂フィルム１０４の表面にカラーフィルタ１１０および保護フィルム１１１が順次形成され、カラーフィルタ形成面の膜厚方向の反対面には粘着層１１２およびフレキシブル基板１０５が順次積層された後、保護フィルム１１１を剥離する。次いで、カラーフィルタ１１０の上層にオーバーコート膜１１３、電極１１４および配向膜１１５が順次形成され、配向膜１１５は加熱により焼き固められる。さらに、配向膜１１５の上層にスペーサ１１６および液晶層１１７が形成される。一方、Ｂ工程では、ロール１０３に巻き取られている樹脂フィルム１０６を矢符１２６の方向に搬送する過程で、フレキシブル基板１０６の表面に電極１２０および配向膜１２１が順次形成され、配向膜１２１は加熱により焼き固められる。Ａ工程で得られる表面に所定のパターンが形成されたフレキシブル基板１０５と、Ｂ工程で得られる表面に所定のパターンが形成されたフレキシブル基板１０６とは、１対のロール１１８，１１９の圧接部に搬送され、該圧接部を通過することにより連続的に貼り合わされ、さらに加熱され、その後所定の形状に切断されて液晶表示装置が得られる。特許文献１の製造方法によれば、液晶表示装置を連続的に製造するので、製造コストを低減化できる。
【０００５】
しかしながら、特許文献１の製造方法のように、フレキシブル基板１０５とフレキシブル基板１０６とをそれぞれ長尺状シートの形状を保ったまま連続的に搬送して最終的に貼り合せる場合、たとえば、２つのフレキシブル基板１０５，１０６の搬送時に付加される張力の微妙な違いによっても、それぞれの伸縮の度合が微妙に異なり、連続的な流れの中では位置合せが不充分になるので、フレキシブル基板１０５表面の電極、液晶層などのパターンと、フレキシブル基板１０６表面の電極とが正確に一致するように両者を貼り合せるのは、非常に困難であり、実際上は不可能に近い。したがって、特許文献１の製造方法は不良品率が非常に高くなり、充分なコストダウンを達成することができず、安価なフレキシブル基板を用いる利点がほとんど生かされない。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２５８６７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、複数のフレキシブル基板を連続的に貼り合せて液晶表示装置を製造するにもかかわらず、それぞれのフレキシブル基板表面に形成される所定のパターンの位置合せが容易で、それぞれのパターンを正確に一致させて貼り合せることが可能で、ランニングコストの低い液晶表示装置の製造装置および液晶表示装置の製造方法ならびに液晶表示装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、パターンが連続的に形成されてなるシート状の第１基板と、第１基板のパターンに対応するパターンが連続的に形成されてなるシート状の第２基板とを連続的に貼り合せる液晶表示装置の製造装置において、
第１基板を第２基板との貼り合せ位置に搬送する第１搬送手段と、
第２基板を第１基板との貼り合せ位置に搬送する第２搬送手段と、
第１基板と第２基板とを貼り合せる前に、第１基板または第２基板に形成される所定のパターン毎に第１基板および／または第２基板を切断する基板切断手段と、
第１基板と第２基板とを貼り合せる前に、両者に形成されるパターンに応じて両者の位置合せを行う位置合せ手段と、
第１基板と第２基板とを貼り合せる基板貼着手段とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造装置である。
【０００９】
また本発明の液晶表示装置の製造装置は、
第１搬送手段が、
第１基板の第２基板との第１の貼り合せ領域を保持する第１保持手段と、
第１保持手段により保持される第１基板の第１の貼り合せ領域に続く第２の貼り合せ領域を保持する第２保持手段とを含み、かつ
基板切断手段が、
第１保持手段により保持される第１基板の第１の貼り合せ領域と、第２保持手段により保持される第１基板の第２の貼り合せ領域との間で第１基板を切断する第１基板切断手段と含むことを特徴とする。
【００１０】
さらに本発明の液晶表示装置の製造装置は、第１基板表面または第２基板表面の貼り合せ領域に、液晶物質を載置する液晶層形成手段をさらに含むことを特徴とする。
【００１１】
さらに本発明の液晶表示装置の製造装置は、
基板貼着手段が、
内部を密閉状態にすることが可能であり、その内部で第１基板と第２基板とを貼り合せる耐圧性容器と、
該耐圧性容器の内部を減圧状態にする減圧手段とを含み、
第１基板と第２基板とを減圧状態にて貼り合せることを特徴とする。
【００１２】
さらに本発明の液晶表示装置の製造装置は、
少なくとも第１基板および／または第２基板を収容する耐圧性ハウジングと、
該耐圧性ハウジング内部を、第１基板と第２基板とを貼り合せるのと同じ減圧状態にするハウジング減圧手段とをさらに含み、
第１基板および／または第２基板が、
第１基板と第２基板とを貼り合せるのと同じ減圧状態中に置かれることを特徴とする。
【００１３】
さらに本発明の液晶表示装置の製造装置は、
第１基板、第２基板、第１搬送手段、第２搬送手段、基板切断手段、位置合せ手段および基板貼着手段が耐圧性ハウジング内に収容され、減圧状態に置かれることを特徴とする。
【００１４】
さらに本発明の液晶表示装置の製造装置は、第１搬送手段による第１基板の搬送方向と、第２搬送手段による第２基板の搬送方向とが対向方向であることを特徴とする。
【００１５】
また本発明は、パターンが連続的に形成されてなるシート状の第１基板と、第１基板のパターンに対応するパターンが連続的に形成されてなるシート状の第２基板とを連続的に貼り合せる液晶表示装置の製造方法において、
第１基板の第２基板との第１貼り合せ領域を保持する工程と、
第１基板の第１貼り合せ領域に続く第２貼り合せ領域を保持する工程と、
第１基板の第１貼り合せ領域と第２貼り合せ領域との間で、第１基板を切断する工程と、
第１基板の切断片を第２基板との貼り合せ位置に搬送する工程と、
第２基板を第１基板の切断片との貼り合せ位置に搬送する工程と、
第１基板の切断片および第２基板に形成されるパターンに応じて第１基板の切断片と第２基板との位置合せを行う工程と、
第１基板の切断片と第２基板とを貼り合せる工程とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法である。
【００１６】
また本発明は、前述の液晶表示装置の製造方法により製造されることを特徴とする液晶表示装置である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、第１搬送手段と、第２搬送手段と、基板切断手段と、位置合せ手段と、基板貼着手段とを含み、第１基板と第２基板とを連続的に貼り合せて液晶表示装置を製造する液晶表示装置の製造装置が提供される。該製造装置によれば、第１基板と第２基板とを貼り合せる前に、長尺状態にある第１基板および第２基板のいずれか一方または両方を基板切断手段により切断して枚葉化するので、位置合せを容易にかつ正確に実施でき、第１基板および第２基板に形成されるそれぞれのパターンを電気回路として充分に作動可能な状態に貼り合せることができる。したがって、得られる液晶表示装置の不良品率が著しく低下し、大幅なコストダウンを図ることができる。
【００１８】
本発明によれば、第１搬送手段が第１基板の搬送方向先端部から連続して存在する２つの貼り合せ領域（所定パターン形成領域）を直列にかつ別個に保持する２つの保持手段を含み、２つの貼り合せ領域の間で基板切断手段により第１基板を切断する構成を採ることによって、第１基板の所定パターン毎の切断が正確に行われ、第２基板との位置合せを一層精確に実施でき、得られる液晶表示装置の不良品率をさらに低下させ得る。また、第１基板の端部を２つの保持手段で直列に保持し、２つの保持手段により保持される部分の間を切断するので、第１基板端部は常に保持手段により保持され固定された状態にあり、第１基板の搬送（引き出し）を円滑に実施できる。
【００１９】
本発明によれば、本発明の製造装置内に、第１基板または第２基板の貼り合せ領域に液晶物質を載置して液晶層を形成する液晶層形成手段を設けることによって、一方の基板に液晶層を形成した直後に貼り合せを行う構成を採ることができるので、工程および工程管理の簡略化、製造装置自体の小型化などが容易になる。
【００２０】
本発明によれば、基板貼着手段が、密閉可能な耐圧性容器と、該耐圧性容器の内部を減圧状態にする減圧手段とを含む構成を採ることによって、第１基板と第２基板との貼り合せを耐圧性容器内部における減圧状態下に実施し得るので、基板の貼り合せと液晶表示装置の脱気という２つの動作を同時に実行でき、液晶表示装置を一層効率的に製造できるとともに、工程および製造装置の簡略化に寄与する。
【００２１】
本発明によれば、本発明の製造装置が、少なくとも第１基板および／または第２基板を収容し、好ましくは第１基板、第２基板、第１搬送手段、第２搬送手段、基板切断手段、位置合せ手段および基板貼着手段を収容する耐圧性ハウジングと、該耐圧性ハウジング内部を減圧状態にするハウジング減圧手段とをさらに含む構成を採ることによって、基板を切断する際に発生する屑などが切断後の基板、基板の貼り合せ領域に形成される液晶層などに付着するのを防止できるので、得られる液晶表示装置の電気的な信頼性（特に電気導通の信頼性）が一層向上するとともに、不良品率が一層低下する。さらに、貼り合せのみを減圧状態で実施するのではないことから、工程および製造装置の一層の簡略化を図り得る。
【００２２】
本発明によれば、第１搬送手段による第１基板の搬送方向と、第２搬送手段による第２基板の搬送方向とが対向方向になる構成を採ることによって、第１基板の切断位置を、第１基板と第２基板との貼り合せ位置よりも搬送方向における後ろの位置にすることができるので、第１基板の切断屑などの塵埃が切断後の第１基板、貼り合せ後の液晶表示装置などに付着または混入することが防止され、得られる液晶表示装置の電気的な信頼性が一層向上するとともに、不良品率が一層低下する。
【００２３】
本発明によれば、第１基板を長尺状態から切断し枚葉化して保持することが可能であるため、第１基板と第２基板とを貼り合せる際の位置合せを容易かつ正確に行うことができ、不良品率を抑えることが可能になる。さらに、第１基板の端部を２つの保持手段で直列に保持し、２つの保持手段により保持された部分の間隙を切断するので、第１基板の端部は常に保持手段により保持された状態であり、第１基板の搬送（引き出し）を円滑に実施できる。
【００２４】
本発明によれば、フレキシブル基板を用いて効率的にかつ低コストで製造され、電気的な信頼性が長期にわたって高水準で保持される液晶表示装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は、本発明の実施の第１形態である液晶表示装置製造装置１（以後特に断らない限り単に「製造装置１」と称す）の構成を模式的に示す斜視図である。図２は、製造装置１の要部の構成を模式的に示す断面図である。図３は、第１基板８および第２基板９表面に付される位置合せ用アライメントマークの位置を示す平面図である。
【００２６】
製造装置１は、第１基板８を切断する基板切断手段２と、第１基板８を第２基板９との貼り合せ位置に搬送する第１搬送手段３と、第２基板９を第１基板８との貼り合せ位置に搬送する第２搬送手段４と、第１基板８と第２基板９との位置合せを行う位置合せ手段５と、第１基板８と第２基板９とを貼り合せる基板貼着手段６と、第２搬送手段４に含まれる後述の紫外線照射手段３４および位置合せ手段５に含まれる後述のＣＣＤカメラ４１，４２を除く前記各手段を収容するチャンバ７とを含む。
【００２７】
基板切断手段２は、長尺シート状に形成される第１基板８を巻き取った第１基板ロール１０を着脱自在に支持しかつ後述する第１・第２保持手段１２，１３に向けて第１基板８を送給する支持ローラ１０ａと、支持ローラ１０ａによる第１基板８の搬送を補助するテンションローラ１１と、第１基板８におけるその搬送方向先端部から最も近くに位置する第１貼り合せ領域（パターン形成領域または画素領域）を保持する第１保持手段１２と、第１基板８における第１貼り合せ領域に続いて形成されている第２貼り合せ領域を保持する第２保持手段１３と、第１・第２保持手段１２，１３により保持される第１基板８を、第１貼り合せ領域と第２貼り合せ領域との間で切断する切断手段１４とを含む。
【００２８】
第１基板８は、長尺シート状に形成される可撓性フレキシブル基板表面にＴＦＴパターン、電極パターン、カラーフィルタパターンなどの所定パターンを含む方形の貼り合せ領域または画素領域８ｘが一定の間隔を開けて連続的に形成され、方形の貼り合せ領域（画素領域）８ｘの近傍には、該領域８ｘにおける一方の対角線の延長線上に該領域８ｘを介して対向する１対の十字型の粗位置合せ用アライメントマーク８ｙが付与され、他方の対角線の延長線上に該領域８ｘを介して対向する１対の十字型の微細位置合せ用アライメントマーク８ｚが付与される。粗位置合せ用および微細位置合せ用アライメントマーク８ｙ，８ｚは全ての貼り合せ領域８ｘに対して同じ位置に同じ形状で形成され、後述の位置合せ手段５による第１基板８と第２基板９との位置合せに利用される。なお、位置合せ用アラインメントマークの形状は十字型に限定されず、他の任意の形状でもよい。さらに、位置合せ用アラインメントマークの個数、付与位置なども限定されず、必要に応じて選択できる。また、第１基板８の貼り合せ領域８ｘの表面に液晶層を形成する場合、第１基板８のパターン中には、第２基板９と貼り合せる際の基板間のギャップを規制するために、複数の柱状突起が予め形成される。可撓性フレキシブル基板には、この分野で常用される樹脂材料をいずれも使用できるけれども、透明性樹脂材料が好ましい。透明性樹脂材料としては、たとえば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンサルファイド、ポリイミドなどが挙げられる。第１基板８は、第１基板ロール１０の周囲に巻き取られた形態で製造装置１内に供給される。
【００２９】
支持ローラ１０ａは、図示しない支持手段および駆動手段によりその軸心方向に回転駆動可能に支持される。支持ローラ１０ａは、たとえば、支持手段によって一方の端が支持手段から着脱可能に（たとえば支持手段が支持ローラ１０ａの軸心方向に進退可能に設計される）、かつ他方の端が支持される構成を採ることによって、第１基板ロール１０の支持ローラ１０ａへの装着および支持ローラ１０ａからの脱離を容易に実施できる。支持ローラ１０ａの駆動手段にはたとえばモータなどを使用できる。モータの回転方向、回転トルクなどは、第１基板８の搬送時の張力を一定に保つために、テンションローラ１１の回転軸に取り付けられる図示しない圧力センサによる検出結果に基づいて制御される。支持ローラ１０ａは、第１基板８を巻き取った第１基板ロール１０を支持し、さらにその回転によって、第１基板８を第１・第２保持手段１２，１３の方向に搬送する。なお、第１基板ロール１０は、支持ローラ１０ａの回転に従動して回転する。支持ローラ１０ａに装着される第１基板８が巻き取られた第１基板ロール１０は、第１基板８が全て消費された時点で支持ローラ１０ａから取り離され、新たに、第１基板８が巻き取られた第１基板ロール１０が支持ローラ１０ａに装着される。
【００３０】
テンションローラ１１は、図示しない駆動手段によりその軸心回りに回転駆動可能に支持される。テンションローラ１１は、第１・第２保持手段１２，１３の方向に搬送される第１基板８に適切な張力を付与し、第１基板８の円滑な搬送を補助する。
【００３１】
第１保持手段１２は、その下面で第１基板８の第１貼り合せ領域を保持する保持板１５と、第１基板８の搬送方向に垂直な方向（以後「第１基板８の幅方向」と称す）における保持板１５の両端を支持して保持板１５を水平に保つレール１６ａ，１６ｂと、後述する第２保持手段１３におけるプッシャー２０とともに第２保持手段１３を第１基板８の搬送方向に進退可能に移動させるプッシャー１９とを含む。本実施の形態では、保持板１５は静電チャックであり、その上面には磁性体が固定される。なお、図１において、静電チェックに接続される電気配線については図示を省略する。保持板１５は、第１基板８を静電気力により保持する。なお、静電チャックに限定されず、たとえば、機械式保持手段、粘着式保持手段などの他の保持手段も利用できる。第１保持手段１２によれば、第１基板ロール１０およびテンションローラ１１の回転によって搬送される第１基板８の、搬送方向先端部から一番目に位置する第１の貼り合せ領域を保持板１５の下面に吸着保持する。なお、プッシャー１９の構成および動作については、第２保持手段１３の説明の中で述べる。
【００３２】
第２保持手段１３は、第１基板８の搬送方向において、第１保持手段１２と同一フレーム上であってかつ第１保持手段１２よりも下流側に、第１保持手段１２と間隔を設けて配置される。第２保持手段１３は、その下面で第１基板８の第２貼り合せ領域を保持する保持板１７と、第１基板８の幅方向における保持板１７の両端を支持して保持板１７を水平に保つレール１８ａ，１８ｂと、第１保持手段１２におけるプッシャー１９とともに、保持板１７およびレール１８ａ，１８ｂを第１基板８の搬送方向に進退可能に移動させるプッシャー２０とを含んで構成される。保持板１７は、保持板１５と同様の構成を有する。プッシャー１９，２０は、図中破線で示すように、第１基板８の搬送方向に進退可能にかつ第１基板８の幅方向（すなわち鉛直方向）に回転可能に設けられる。プッシャー１９，２０には、たとえば、ボールネジとボールスプラインとを組合わせた機構などが用いられる。プッシャー１９，２０が回転してその突出部１９ａ，２０ａにより保持板１７の第１基板８幅方向の両端を挟持し、さらにプッシャー１９，２０が第１基板８の搬送方向に移動することによって、保持板１７およびレール１８ａ，１８ｂを移動させることができる。第２保持手段１３によれば、第１基板ロール１０およびテンションローラ１１の回転によって搬送される第１基板８の、搬送方向先端部から２番目に位置する第２貼り合せ領域を保持板１７の下面に吸着保持する。
【００３３】
なお、第１保持手段１２と第２保持手段１３とを設ける間隔は、第１基板８に形成される所定パターンの間隔に応じて、または得ようとする液晶表示装置３７の寸法の設計値に応じて適宜決定するのが好ましい。
【００３４】
切断手段１４は、第１・第２保持手段１２，１３の下方において、第１保持手段１２と第２保持手段１３との間隙に設けられ、支持板１５により支持される。本実施の形態では、切断手段１４にはローラカッターが用いられるけれども、それに限定されず、たとえば、レーザを利用するカッターなどの、樹脂フィルムの切断に用いられる一般的なカッターを使用できる。なお、ローラカッターは、後述の第１基板搬送手段３に含まれる直動ガイド２１により第１基板８の搬送方向において進退可能に支持されてもよい。切断手段１４によれば、第１・第２保持手段１２，１３により所定の領域が吸着保持された状態の第１基板８を切断し、第１貼り合せ領域が形成された第１基板８の切断片８ａが得られる。
【００３５】
基板切断手段２によれば、第１基板８を貼り合せ領域毎に個別の切断片８ａに切断し、該切断片８ａは第１保持手段１２により吸着保持された状態にある。
【００３６】
第１搬送手段３は、図示しない駆動伝達手段により伝達されたチャンバ７の外部に設けられた図示しない駆動源からの駆動力により稼動する直動ガイド２１と、該直動ガイド２１により第１基板８の搬送方向に進退自在に支持され、直動ガイド２１の鉛直方向下面から鉛直方向下方に向かって突出するように設けられるアーム２２とを含む。アーム２２は、直動ガイド２１に直接支持され、図示しない駆動手段により時計回りおよび反時計回りのいずれにも回転可能に設けられる回転ステージ２３と、回転ステージ２３に支持され、鉛直方向に上下動可能に設けられる垂直動ロボット２４と、垂直動ロボット２４の先端に取り付けられて保持板１５，１７を吸着保持する保持ハンド２５とを含んで構成される。
【００３７】
垂直動ロボット２４は、垂直動ロボット本体２４ａと伸縮ロッド２４ｂとを含み、伸縮ロッド２４ｂは垂直動ロボット本体２４ａ内部に設けられる駆動手段により上下動可能に設けられる。保持ハンド２５には、電磁チャックなどの電磁式保持手段が用いられ、保持板１５，１７の上面に設けられる磁性体を介して第１・第２保持手段１２，１３を吸着保持する。なお、保持ハンド２５は電磁式保持手段に限定されず、たとえば、機械式保持手段であってもよい。その場合、保持板１５，１７の上面に磁性体を取り付ける必要はない。このような構成によって、保持ハンド２５は、第１基板８の搬送方向において進退可能であり、鉛直方向において上下動可能であり、かつ水平方向においてその軸心回りに回転可能である。
【００３８】
第１搬送手段３によれば、アーム２２の水平方向における第１基板８の搬送方向とその逆方向への移動、アーム２２の水平方向における回転、および垂直動ロボット２４の鉛直方向における上下動という３つの動作を組合わせ、かつ保持ハンド２５を利用して、第１基板８の切断片８ａを吸着保持する第１保持手段１２の、第１基板８と第２基板９との貼り合せ位置への搬送、後述する位置合せ、切断片８ａを切り離した後の第１保持手段１２の基板切断手段２への返送などを実行する。なお、第１搬送手段３の動作は、後述の図４に基づく説明において詳述する。
【００３９】
第２搬送手段４は、長尺シート状に形成される第２基板９を巻き取った第２基板ロール３０を着脱可能に支持する支持ローラ３０ａと、支持ローラ３０ａによる第２基板９の搬送を補助するテンションローラ３１と、第２基板９の搬送方向においてテンションローラ３１よりも下流側に設けられるシール剤塗布手段３２と、第２基板９の搬送方向においてシール剤塗布手段３２よりも下流側に設けられる液晶滴下手段３３と、シール剤塗布手段３２の鉛直方向下方であってチャンバ７の外部に、第２基板９の搬送方向において進退可能に設けられる紫外線照射手段３４と、第１基板８と第２基板９とを貼り合せて得られる液晶表示装置３７を搬送する４対の搬送ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄと、搬送ローラ３８ｂと搬送ローラ３８ｃとの間において液晶表示装置３７の搬送位置の鉛直方向下方に設けられる切断手段３９と、液晶表示装置３７を収容するストッカー４０とを含んで構成される。
【００４０】
第２基板９は、第１基板８と同様の構成を有する。勿論、貼り合せ領域（画素領域）９ａにおける２つの対角線の延長線上には、貼り合せ領域９ａを介して対向するように１対の十字型の粗位置合せ用アライメントマーク９ｙおよび１対の十字型の微細位置合せ用アライメントマーク９ｚが、第１基板８におけるのと同じ位置に付与される。さらに第１基板８の場合と同様に、位置合せ用アラインメントマークの形状、個数、付与位置などは前記構成に限定されることなく、適宜選択可能である。また、第２基板９の表面にはさらに液晶層を形成するので、第２基板９のパターン中には、第１基板８と貼り合せる際の基板間のギャップを規制するために、複数の柱状突起が予め形成される。
【００４１】
支持ローラ３０ａは、支持ローラ１０ａと同様の構成を有する。そして、支持ローラ３０ａを回転駆動させる駆動手段には、支持ローラ１０ａと同様に、モータを使用できる。モータの回転方向、回転トルクなどは、第２基板９の搬送時の張力を一定に保つために、テンションローラ３１の回転軸に取り付けられる図示しない圧力センサによる検出結果に基づいて制御される。支持ローラ３０ａは、第２基板９をロール状に巻き取った第２基板ロール３０を着脱自在に支持し、さらにその回転によって、第２基板９を後述の貼り合せステージ３５に向けて搬送する。第２基板ロール３０は、支持ローラ３０ａの回転に伴って回転する。
【００４２】
テンションローラ３１は、図示しない駆動手段によりその軸心回りに回転駆動可能に支持される。テンションローラ３１は、搬送状態の第２基板９に適切な張力を付与し、第２基板９の円滑な搬送を補助する。
【００４３】
シール剤塗布手段３２は、第２基板９における貼り合せ領域（パターン形成領域または画素領域）を囲むようにその外周にシール剤を塗布する。シール剤塗布手段３２は、シール剤を吐出する小型シリンジ３２ａと、小型シリンジ３２ａと一体化されて小型シリンジ３２ａにシール剤を定量的に供給するディスペンサ３２ｂと、ディスペンサ３２ｂを第２基板９の幅方向において移動自在に支持する支持体３２ｃとを含む。シール剤塗布手段３２は前記の構成に限定されず、スクリーン印刷の手法を利用して第２基板９表面にシール剤を塗布してもよい。本実施の形態においては、シール剤には光硬化型樹脂が用いられるけれども、それに限定されず、熱硬化性樹脂、光と熱との併用によって硬化させる樹脂なども使用できる。シール剤塗布手段３２によれば、第２基板９上に形成される貼り合せ領域の形状を図示しないセンサにより検知し、検知結果に基づいてディスペンサ３２ｂを移動させながら小型シリンジ３２ａからシール剤を吐出し、貼り合せ領域の外周にシール剤を塗布する。
【００４４】
液晶滴下手段３３は、第２基板９のシール剤で囲まれた貼り合せ領域に液晶物質を滴下して液晶層を形成する。液晶滴下手段３３にも、シール剤塗布手段３２と同様に、液晶を吐出する小型シリンジ３３ａと、小型シリンジ３３ａと一体化されて小型シリンジ３３ａに液晶を定量的に供給するディスペンサ３３ｂと、ディスペンサ３３ｂを第２基板９の幅方向において移動自在に支持する支持体３３ｃとを含む。
【００４５】
紫外線照射手段３４は、図示しない駆動手段により、第２基板９の搬送方向に平行な方向に進退自在に支持される。紫外線照射手段３４は、第２基板９表面のシール剤を予備硬化させるだけでなく、第１基板８と第２基板９とを貼り合せる際に、貼り合せステージ３５の鉛直方向下方に移動して紫外線を照射し、第１基板８と第２基板９との接着および硬化を促進する。その後、紫外線照射手段３４は、シール剤塗布手段３２の鉛直方向下方に移動し、シール剤を予備硬化させる。紫外線照射手段３４の動作は反復される。紫外線照射手段３４には、この分野で常用される紫外線照射装置を使用できる。
【００４６】
４対の搬送ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄは、それぞれが図示しない駆動手段によりそれぞれの軸心回りに回転駆動可能に支持される。これらの搬送ローラは、第１基板８と第２基板９とを貼り合せることにより得られる液晶表示装置３７をストッカー４０に搬送する。
【００４７】
切断手段３９は、搬送ローラ３８ｂと搬送ローラ３８ｃとの間で、第２基板９上に一定の間隔を開けて連続的に形成される液晶表示装置３７を個別にストッカー４０に収容するために、第２基板９における２つの液晶表示装置３７の間で第２基板９を切断する。切断手段３９は切断手段１４と同様の構成を有する。
【００４８】
なお、第２搬送手段４は、ストッカー４０を除く各構成要素が同一のフレーム内に配置され、フレーム全体が第２基板９の幅方向に移動可能に設けられるのが好ましい。これによって、たとえば、後述する第１基板８と第２基板９との位置合せを一層円滑に実行できる。
【００４９】
第２搬送手段４によれば、第２基板９上の貼り合せ領域表面に液晶層を形成した後、第１基板１との貼り合せを行う貼り合せステージ３５に送給し、さらに貼り合せにより形成される液晶表示装置３７を１つずつ切断してストッカー４０に収容する。
【００５０】
位置合せ手段５は、第２基板９の少なくとも貼り合せ領域を載置しかつ第１基板８の切断片８ａと第２基板９との貼り合せを実施する貼り合せステージ３５と、貼り合せステージ３５の鉛直方向下方にかつチャンバ７外部に設けられる１対の粗位置合せ用ＣＣＤカメラ４１および１対の微細位置合せ用ＣＣＤカメラ４２と、ＣＣＤカメラ４１，４２を一体化して支持する支持部材４７とを含む。
【００５１】
貼り合せステージ３５は、チャンバ７の鉛直方向の底面７ａに接する周縁部４３ａと、チャンバ７の内方に向けて突出し、第２基板９を載置するための平面状頂部４３ｃを有する突出部４３ｂとからなる箱状の本体部材４３を含む。頂部４３ｃは、突出部４３ｂの少なくとも第２基板９の貼り合せ領域が載置される部分に形成される貫通孔４３ｄに嵌入される板状の光透過性窓部材４４と、貫通孔４３ｄと光透過性窓部材４４との間に配置されてチャンバ７内の気密性を確保するシール部材４５と、突出部４３ｂの内側面にねじ止めされて、少なくとも第２基板９の貼り合せ領域が載置される部分に対応する部分に形成される貫通孔４６ａと、貫通孔４６ａの周囲に延びる周縁部４６ｂとを含み、周縁部４６ｂにより光透過性窓部材４４を支持する板状支持部材４６とを含む。
【００５２】
貼り合せステージ３５の平面状頂部４３ｃは、第１搬送手段３における直動ガイド２１に支持されるアーム２２の先端に取り付けられる保持ハンド２５を下降させて平面状頂部４３ｃと接触させる場合に、その中心（たとえば対角線の交点）と保持ハンド２５の中心とが近傍に位置するように配置するのが好ましい。このような構成を採ることによって、第１基板８の切断片８ａを吸着する保持板１５をさらに吸着保持した状態の保持ハンド２５を、頂部４３ｃ上に載置される第２基板９に向けて鉛直方向に下降させる際に、各基板に付与されている粗位置合せ用アラインメント８ｙ，９ｙおよび微細位置合せ用アラインメント８ｚ，９ｚの対応するアラインメントがそれぞれ近接し、後述するＣＣＤカメラ４１，４２を用いる位置合せが一層容易に実行できる。
【００５３】
突出部４３ｂの内部はチャンバ７の外方に向けて開放されており、この部分の気圧は大気圧と同じである。
【００５４】
板状の光透過性窓部材４４には紫外線を効率よく透過させるために石英板が用いられるけれども、紫外線の透過率が良く、且つ、紫外線により劣化しない透明材料からなる板状部材であれば、それに限るものではない。
【００５５】
シール部材４５にはＯリングなどの一般的なシール部材を使用できる。
板状支持部材４６にはチャンバ７と同じ素材が用いられるが、強度上問題なければそれに限るものではない。
【００５６】
貼り合せステージ３５の平面状頂部４３ｃには、第２搬送手段４によって貼り合せ領域に液晶層が形成された第２基板９が載置される。
【００５７】
１対の粗位置合せ用ＣＣＤカメラ４１は、貼り合せステージ３５の鉛直方向下方の、第１基板８および第２基板９に付与される粗位置合せ用アラインメント８ｙ，９ｙの撮影が可能な位置に配置される。ＣＣＤカメラ４１による位置合せを実施する場合には、ＣＣＤカメラ４１により撮影した画像データに基づいて、第１基板８の切断片８ａおよび第２基板９の粗位置合せ用アラインメント８ｙ，９ｙが一致するように、第１搬送手段３および第２搬送手段４により位置合せを行う。
【００５８】
１対の微細位置合せ用ＣＣＤカメラ４２は、貼り合せステージ３５の鉛直方向下方の、第１基板８および第２基板９に付与される微細位置合せ用アラインメント８ｚ，９ｚの撮影が可能な位置に配置される。ＣＣＤカメラ４１を用いて粗位置合せを実施した後に、ＣＣＤカメラ４２により撮影した画像データに基づいて、第１基板８の切断片８ａおよび第２基板９の微細位置合せ用アラインメント８ｚ，９ｚが一致するように、第１搬送手段３および第４搬送手段４により位置合せを行う。
【００５９】
なお、ＣＣＤカメラ４１，４２を支持する支持部材４７は、紫外線照射手段３４の支持する図示しない支持部材とともに一体化され、図示しない駆動手段により、第２基板９の搬送方向に平行な方向に進退可能に設けられる。
【００６０】
位置合せ手段５によれば、第１搬送手段３の保持ハンド２５に間接的に吸着保持される第１基板８の切断片８ａを、保持ハンド２５を下降させることによって、貼り合せステージ３５の平面状頂部４３ｃ上に載置される第２基板９に近接させ、粗位置合せ用アラインメント８ｙ，９ｙを基準にする粗位置合せおよび微細位置合せ用アラインメント８ｚ，９ｚを基準にする微細位置合せが実施され、第１基板８の切断片８ａと第２基板９とが正確に位置合せされる。
【００６１】
基板貼着手段６では、第１搬送手段３において直動ガイド２１に支持されるアーム２２と、第２搬送手段４における紫外線照射手段３４と、位置合せ手段５における貼り合せステージ３５とが兼用される。位置合せ手段５による位置合せが終了した後、アーム２２は、保持ハンド２５に間接的に吸着保持される第１基板８の切断片８ａが、貼り合せステージ３５上の第２基板９表面に接触する位置まで保持ハンド２５を下降させ、切断片８ａおよび第２基板９に適切な圧力を付加する。それと同時に、紫外線照射手段３４が図示しない駆動手段によって貼り合せステージ３５の鉛直方向下方に移動し、貼り合せステージ３５の頂部４３ｃに向けて紫外線を照射し、切断片８ａと第２基板９との接合を促進し、液晶表示装置３７が製造される。
【００６２】
チャンバ７は気密性を有する耐圧性の筺体部材であり、前述のように、紫外線照射手段３４およびＣＣＤカメラ４１，４２を除く前記各手段を収容する。チャンバ７は、図示しない減圧手段を含む。減圧手段にてチャンバ７内部を減圧状態にすることによって、たとえば、第１基板８および第２基板９の脱気、第１基板８と第２基板９との貼り合せによって得られる液晶表示装置３７の脱気などを行う。減圧手段には、たとえば、真空ポンプなどを使用できる。
【００６３】
次に、図４Ａ〜図４Ｃを用いて、製造装置１の動作をさらに詳しく説明する。図４Ａ（ａ）〜（ｃ）、図４Ｂ（ｄ）〜（ｆ）および図４Ｃ（ｇ）〜（ｉ）は、製造装置１の各動作を説明するための要部断面図である。なお、図４Ａ〜図４Ｃにおいては、基板切断手段２の第１保持手段１２におけるレール１６ａ，１６ｂおよび第２保持手段１３におけるレール１８ａ，１８ｂは、製造装置１の動作を説明するために便宜上図示を省略する。したがって、図４Ａ〜図４Ｃ中では、保持板１５，１７は図示しないレール１６ａ，１６ｂおよびレール１８ａ，１８ｂにより支持されるものとする。
【００６４】
図４Ａ（ａ）においては、製造装置１を稼動させる前に、第１基板ロール１０を支持ローラ１０ａに取り付け、第２基板ロール３０を支持ローラ３０ａに取り付ける。なお、第２基板９は、貼り合せ領域（パターン形成領域または画素領域）の上層に液晶層を形成するので、該貼り合わせ領域には、第１基板８と貼り合せた時の基板間のギャップを設計値とするために、複数の柱状突起が形成される。
【００６５】
次いで、第１基板ロール１０からテンションローラ１１を介して第１基板８を引き出し、第１基板８の搬送方向（引き出し方向）先端部から第１番目に位置する第１貼り合せ領域を第１保持手段１２の保持板１５により、また第１基板８の搬送方向先端部から第２番目に位置する第２貼り合せ領域を第２保持手段１３の保持板１７によりそれぞれ吸着保持する。なお、保持板１５はレール１６ａ，１６ｂにより、また保持板１７はレール１８ａ，１８ｂによりそれぞれ水平方向に保持される。
【００６６】
引き続き、第２基板ロール３０からテンションローラ３１を介して第２基板９を引き出し、搬送ローラ３８ａに挟持させ、搬送ローラ３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄを回転駆動させて第２基板９の搬送方向（引き出し方向）端部がストッカー４０の上部に達するまで第２基板９を搬送する。このとき、第２基板９の搬送方向先端部から液晶滴下手段３３の直下までの部分には、ＴＦＴパターン、電極パターンなどのパターンの形成処理を施されないのが好ましい。
【００６７】
さらに、チャンバ７を密閉し、図示しない減圧手段（ここでは真空ポンプ）によりチャンバ−７の内部気圧を数Ｐａまで減圧する。所定の圧力まで減圧し、第１基板８および第２基板９の脱気処理を行う。脱気処理完了後もチャンバ７内部の減圧状態を保持する。
以上の操作が製造装置１を稼動させる前の準備工程である。
【００６８】
図４Ａ（ａ）は、以上の準備工程が完了した状態（すなわち第１基板８および第２基板９の脱気処理が完了した状態）を示す断面図である。この工程では、切断手段１４によって、第１基板８の第１貼り合せ領域と第２貼り合せ領域との間で第１基板８を切断し、切断片８ａを得る。切断片８ａは、第１保持手段１２の保持板１５に吸着保持される。
【００６９】
また、第１基板８の切断に同期して、シール剤塗布手段３２により、第２基板９上の貼り合せ領域を囲むようにしてシール剤を塗布する。塗布が完了すると、第２基板９は液晶滴下手段３３の下方の所定位置に搬送され、液晶滴下手段３３によって、シール剤にて囲まれる貼り合せ領域内に液晶物質を滴下する。液晶物質の滴下完了後、第２基板９の上層として液晶層が形成された貼り合せ領域が貼り合せステージ３５の平面状頂部４３ｃ上に載置されるように、第２基板９が搬送される。このとき、ＣＣＤカメラ４１，４２を利用して、貼り合せ領域が平面状頂部４３上に位置するように調整しても良い。
【００７０】
図４Ａ（ｂ）に示す工程では、直動ガイド２１が作動し、アーム２２を第１基板８の搬送方向とは逆の方向に移動させ、その先端部に取り付けられる保持ハンド２５が、保持板１５の鉛直方向上方に位置させる。
【００７１】
図４Ａ（ｃ）に示す工程では、アーム２２に取り付けられる垂直動ロボット２４を作動させ、保持ハンド２５をその下面が保持板１５の上面に接するまで下降させ、保持ハンド２５によって保持板１５を吸着保持する。
【００７２】
図４Ｂ（ｄ）に示す工程では、保持ハンド２５が保持板１５を吸着保持した状態で、アーム２２を第１基板８の搬送方向に移動させ、保持板１５を貼り合わせステージ３５の鉛直方向真上に位置させる。
【００７３】
図４Ｂ（ｅ）に示す工程では、垂直動ロボット２４が作動して保持ハンド２５を下降させ、保持ハンド２５が保持板１５を介して吸着保持する切断片８ａを、貼り合わせステージ３５上の第２基板９に近接させる。この状態で、粗位置合せ用ＣＣＤカメラ４１により、切断片８ａおよび第２基板９に付与される粗位置合せ用アライメントマーク８ｙ，９ｙを撮影し、それに基づいて粗位置合せを実施する。粗位置合せは、アーム２２の第１基板８の搬送方向への正逆移動、アーム２２の回転および第２搬送手段４の第２基板９搬送方向に垂直な方向への正逆移動（第２基板９の幅方向への移動）を組合わせて実施される。
【００７４】
図４Ｂ（ｆ）に示す工程では、保持ハンド２５をさらに下降させ、切断片８ａ表面と第２基板９表面のシール剤および液晶層とを接触させる。この状態で、微細位置合せ用ＣＣＤカメラ４２により、切断片８ａおよび第２基板９に付与される微細位置合せ用アライメントマーク８ｚ，９ｚを撮影し、それに基づいて微細位置合せを実施する。微細位置合せは、粗位置合せと同様にして実施される。
【００７５】
図４Ｃ（ｇ）に示す工程では、保持ハンド２５をさらに下降させ、切断片８ａと第２基板９とを圧接して貼り合わせ、液晶表示装置３７を製造する。このとき、第２基板９の貼り合わせ領域に所定高さの柱状突起が形成されていること、および基板間のギャップ長が設計値として定められることを考慮し、たとえば予備実験などにより求められる所定の圧力で加圧することが望ましい。なお、保持ハンド２５が、その切断片８ａへの加圧圧力を検出する圧力センサを備える場合には、検出値から圧力が自動的に調整される。さらに必要に応じて、レーザ変位計などのギャップ長測定手段を設け、ギャップ長を一層精密に管理してもよい。
【００７６】
この加圧状態において、紫外線照射手段３４が貼り合せステージ３５の鉛直方向下方に移動し、光透過性窓部材４４を介して、切断片８ａと第２基板９との積層体に紫外線を照射する。これによって両基板間の封止剤を硬化する。硬化に必要な時間が経過すると、紫外線の照射が中止されると同時に、保持ハンド２５が上昇して、保持板１５による切断片８ａの吸着保持および加圧が解除される。紫外線照射手段３４は第２基板９の搬送方向とは逆方向に移動し、それに対応して、ＣＣＤカメラ４１，４２が貼り合わせステージ３５の鉛直方向下方の位置に復帰する。この間に、続く第２基板９の貼り合わせ領域にはシール剤塗布手段３２および液晶滴下手段３３によりシール剤および液晶物質が搭載される。また、切断装置３９により第２基板９の端部が切断される。
【００７７】
図４Ｃ（ｈ）に示す工程では、保持板１５を吸着保持した状態で保持ハンド２５を鉛直方向に上昇させるとともに、プッシャー１９，２０により保持板１７を、図４Ａ（ａ）において保持板１５が存在する位置に水平移動させる。このとき、保持板１７は第１基板８を吸着保持するので、保持板１７の水平移動に伴って、第１基板ロール１０から第１基板８が引き出される。したがって、図４Ａ（ａ）において保持板１７が存在する位置の鉛直方向下方には貼り合せ領域が形成された第１基板８が存在する。
【００７８】
図４Ｃ（ｉ）に示す工程では、保持ハンド２５を図４Ａ（ａ）における保持板１７の鉛直方向上方に移動させた後、図４Ａ（ａ）における保持板１７の位置まで下降させ、保持板１５の吸着保持を解除し、レール１８ａ，１８ｂ上に保持板１５を載置する。保持板１５は、その鉛直方向下方に存在する第１基板８を吸着保持する。保持ハンド２５は、図４Ａ（ａ）の位置に復帰する。
【００７９】
これとは別に、第２搬送手段４においては、切断手段３９によって搬送ローラ３８ｂと搬送ローラ３８ｃとの間で切断された第２基板９の断片が搬送ローラ３８ｃ，３８ｄにより搬送されてストッカー４０に収容される。ここでは、製造装置１が稼動する初期状態を示すので、ストッカー４０に最初に収容されるのは第２基板９の断片であるけれども、以上の工程を繰返し実行すると液晶表示装置３７が順次ストッカー４０に収容される。
【００８０】
製造装置１において、以上のような動作を繰り返し実行することにより、液晶表示装置３７を連続的に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の実施の第１形態である液晶表示装置製造装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】図１に示す液晶表示装置製造装置の要部の構成を模式的に示す断面図である。
【図３】貼り合せに用いられる２つの基板に付される位置合せ用アライメントマークの位置を示す平面図である。
【図４Ａ】図１に示す液晶表示装置製造装置の各動作を説明する要部断面図である。
【図４Ｂ】図１に示す液晶表示装置製造装置の各動作を説明する要部断面図である。
【図４Ｃ】図１に示す液晶表示装置製造装置の各動作を説明する要部断面図である。
【図５】特許文献１の液晶表示装置製造装置の構成を模式的に示す系統図である。
【符号の説明】
【００８２】
１  液晶表示装置製造装置
２  基板切断手段
３  第１搬送手段
４  第２搬送手段
５  位置合せ手段
６  基板貼着手段
７  チャンバ
７ａ  チャンバ底面
８  第１基板
８ａ  切断片
８ｘ，９ｘ  貼り合せ領域
８ｙ，９ｙ  粗位置合せ用アライメントマーク
８ｚ，９ｚ  微細位置合せ用アライメントマーク
９  第２基板
１０  第１基板ロール
１０ａ  支持ローラ
１１  テンションローラ
１２  第１保持手段
１３  第２保持手段
１４，３９  切断手段
１５，１７  保持板
１６ａ，１６ｂ，１８ａ，１８ｂ  レール
１９，２０  プッシャー
２１  直動ガイド
２２  アーム
２３  回転ステージ
２４  垂直動ロボット
２４ａ  垂直動ロボット本体
２４ｂ  伸縮ロッド
２５  保持ハンド
３０  第２基板ロール
３０ａ  支持ローラ
３１  テンションローラ
３２  シール剤塗布手段
３２ａ，３３ａ  小型シリンジ
３２ｂ，３３ｂ  ディスペンサ
３２ｃ，３３ｃ  支持体
３３  液晶滴下手段
３４  紫外線照射手段
３５  貼り合せステージ
３７  液晶表示装置
３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ  搬送ローラ
４０  ストッカー
４１  粗位置合せ用ＣＣＤカメラ
４２  微細位置合せ用ＣＣＤカメラ
４３ａ  周縁部
４３ｂ  突出部
４３ｃ  平面状頂部
４３ｄ  貫通孔
４４  光透過性窓部材
４５  シール部材
４６  板状支持部材
４７  支持部材
【図１】
2007047304.tif 000003
【図２】
2007047304.tif 000004
【図３】
2007047304.tif 000005
【図４Ａ】
2007047304.tif 000006
【図４Ｂ】
2007047304.tif 000007
【図４Ｃ】
2007047304.tif 000008
【図５】
2007047304.tif 000009