(57)【要約】【課題】どのような樹脂封止成形条件下においても、気密性の低下を生じることがなく、更には、従来のシール機構による金型交換作業における作業性のメリットを十分に発揮させる適宜なシール機構を備えることにより、少なくとも型内空間部の内部を常に安定した気密性を保持させることを目的とする。【解決手段】樹脂封止金型装置１００における本シール機構とは、上型側及び下型側の固着部２４（２４ａ）・２７（２７ａ）において、該上型及び下型側取付板１５・１６と上型側及び下型側外気遮断部材１１・１２との間の夫々を隙間無く且つ接合固定することを特徴とする。【選択図】図１
2007150054.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上型と該上型と対向配置する下型との構成を少なくとも備えた樹脂封止金型と、
前記上型及び下型の夫々に、上型及び下型ベースと、前記上型及び下型ベースに対して着脱自在に交換する上型及び下型チェイスユニットとから構成し、且つ、前記上型及び下型の夫々を装着する上型及び下型取付板と、前記金型における少なくとも型内空間部を外気遮断状態にするシール機構と、を樹脂封止金型装置に設けると共に、
前記したシール機構には、前記上型及び下型の外側方周囲の夫々に、前記上型及び下型を囲った状態で設けられた上型側及び下型側の外気遮断部材と、前記上型及び下型取付板に装着された上型側及び下型側外気遮断部材と上型及び下型側取付板との少なくとも一方に設けられた前記上型側及び下型側外気遮断部材と上型及び下型取付板との間をシールする上型側及び下型側のシール部材と、前記上型側及び下型側外気遮断部材を上型及び下型取付板に固定する上型側及び下型側固定具とから構成し、更に、前記上型側及び下型側外気遮断部材両者の嵌合時に形成されるパーティングライン面の少なくとも一方の外気遮断部材のパーティングライン面に設けられた中空シール部材と、前記上型取付板に上型側外気遮断部材を回動自在にする上型側の回動部材と、前記上型側外気遮断部材の回動位置を規制して固定する上型側の回動位置規制部材と、を含む樹脂封止金型装置におけるシール機構であって、
前記した上型側及び下型側の固定具の夫々に、前記上型及び下型取付板と上型側及び下型側外気遮断部材とを固着させる上型側及び下型側の固着部を構成し、更に、上型側の固定具には、少なくとも前記上型側チェイスを交換する金型交換面に沿って前記上型取付板と上型側外気遮断部材とをロックする上型側のロック部と、から構成されると共に、
前記した上型側及び下型側の固着部において、前記上型及び下型取付板と上型側及び下型側外気遮断部材との間の夫々を隙間無く且つ接合固定することにより、前記型内空間部の気密性を保持するように構成されていることを特徴とする樹脂封止金型装置におけるシール機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、ＩＣ等の電子部品を樹脂封止金型にて封止成形する電子部品の樹脂封止金型装置に備えられたシール機構の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、樹脂封止金型（上型・下型）を備えた該金型装置において、少なくとも上下両型から構成される金型の少なくとも型内空間部に水分（例えば、大気中の湿気等）を含んだ空気が残溜している。そのため、樹脂封止成形時に、この残溜空気が溶融樹脂材料中に混入して樹脂成形体の内部及び外部にボイド（気泡）が形成されやすくなる。
即ち、このボイドの発生を防止するために、該金型装置の所要個所には適宜なシール機構が設けられると共に、該金型装置にはシール機構にて形成される外気遮断空間部に残溜する空気等を強制的に吸引排出する減圧機構が設けられている。また、外気遮断空間部と減圧機構とは真空経路にて連通接続されている。
従って、シール機構にて少なくとも型内空間部をその外部と外気遮断状態にすると共に、少なくとも型内空間部の内部を所定の真空度に設定して上下両型の型面に嵌装セットしたリードフレーム（基板）上の電子部品を封止成形するように構成されているものである（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
ここで、従来のシール機構には、上型の外側方周囲に上型を囲った状態で設けられた上型側外気遮断部材と、下型の外側方周囲に下型を囲った状態で設けられた下型側外気遮断部材とから構成され、少なくとも上下両型から構成される金型の少なくとも型内空間部をその外部と外気遮断状態にすることができるように構成されている。
また、上型側において、上型側外気遮断部材を回動すると共に、回動した上型側外気遮断部材と上型を装着した上型取付板とで形成される上型側の開口部を通して上型チェイスユニットを上型ベースに対して着脱自在に交換することができるように構成されている。一方の下型側においても、下型側外気遮断部材を回動すると共に、回動した下型側外気遮断部材と下型を装着した下型取付板とで形成される下型側の開口部を通して下型チェイスユニットを下型ベースに対して着脱自在に交換することができるように構成されている。
また、固定型及び可動型のいずれか一方の型の外側方周囲に軟質外気遮断部材を嵌装すると共に、他方の型の外側方周囲に軟質外気遮断部材に対応したシールブロックを嵌装した構成であるので、両型の型締時に、軟質外気遮断部材とシールブロックとを接合させると共に、型内空間部を両型の外側方周囲側から覆って外気遮断状態にすることができるように構成されている。
更に、上下両型の型面のクリーニング時に、軟質外気遮断部材の先端部側を少なくとも両型面間に進出するクリーニング機構の障害とならない位置にまで移動することができるように構成されている。
従って、従来のシール機構によれば、特に、樹脂金型装置に搭載した金型（上下両型）を頻繁に交換することを主眼におき、上型側及び下型側の外気遮断部材を回動させる構成にすることにより、金型交換作業における作業性を向上させるものである。
【０００４】
【特許文献１】特許第３５６６４２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来のシール機構には、金型交換時の作業性を重要視しているために、例えば、下型側において説明すると、下型側外気遮断部材と下型取付板とを接続するものは、金型交換面側を前部とすれば、この前部にはパチン錠、並びに、金型交換面と相対向配置する面側の後部には蝶番（回動部材）を設ける構成を採用している。そして、上型側にも同様に設けられている。この前部におけるパチン錠、後部における蝶番（回動部材）による接続構造によれば、上型側の外気遮断部材においては、該金型装置外に取り外すことなく、しかも前部におけるパチン錠の作用により、金型交換作業時における利便性は非常に良いものとなっている。
ところが、樹脂封止成形時に上下両型の型締め・型開き動作を繰り返し行うこと、更に、クリーニング機構による金型の両型面のクリーニングを繰り返し行うこと等によって、少なからず型内空間部を含む金型において樹脂カスが残存する。この残存する樹脂カスは、上型側には残存せずに、自然落下し下型側の様々な箇所に堆積する。
これに加えて、近年における多品種少量生産の傾向にあることから該金型装置に搭載した金型（上下両型）を頻繁に交換しなければならないことは周知のことである。
一方、該金型装置に備えられたシール機構における最も重要な作用として、少なくとも型内空間部の内部を所定の真空度を保持した状態で、常に安定した気密性を保持することが必要不可欠な要素となってくる。
【０００６】
このことから、従来のシール機構によれば、樹脂封止成形時の開始時は常に安定した気密性を保持することができるが、樹脂封止成形を繰り返し行うなかで、どうしても気密性の低下による弊害が生じてくる。
この気密性の低下の要因として、主に、下型側において説明すれば、上下両型の型締め・型開き動作を繰り返し行うと、下型側外気遮断部材と下型取付板との接続状態が都度変化して隙間が生じ、Ｏリング等のシール部材を該接続部分に介在させてはいるものの安定した接続状態を保持することが困難となってくる。
また、下型側外気遮断部材と下型取付板との隙間が発生してくると、気密性が低下することに加えて、残存する樹脂カスがこの隙間に堆積することが考えられる。この隙間に樹脂カスが堆積すると、Ｏリング等のシール部材の寿命を縮め、シール部材の劣化・損傷を早めることになる。最終的には、型内空間部の内部を所定の真空度を保持することが非常に困難となってくる。
更に、型内空間部の内部を所定の真空度を保持することが不可能になれば、前述した隙間に堆積した樹脂カスを、人的作業によるクリーニングを行うことが必要不可欠となってくる。しかし、下型側外気遮断部材と下型取付板とが下型側の後部における蝶番（回動部材）によって接続固定されていることから、十分なクリーニングを行うことが困難となってくる。
【０００７】
即ち、本発明は、どのような樹脂封止成形条件下においても、気密性の低下を生じることがなく、更には、従来のシール機構による金型交換作業における作業性のメリットを十分に発揮させる適宜なシール機構を備えることにより、少なくとも型内空間部の内部を常に安定した気密性を保持させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで、前記した技術的課題を解決するための本発明の請求項１に係わる樹脂封止金型装置１００におけるシール機構とは、上型１と上型１と対向配置する下型２との構成を少なくとも備えた樹脂封止金型と、上型１及び下型２の夫々に、上型及び下型ベース４・８と、上型及び下型ベース４・８に対して着脱自在に交換する上型及び下型チェイスユニット３・７とから構成し、且つ、上型１及び下型２の夫々を装着する上型及び下型取付板１５・１６と、金型における少なくとも型内空間部（１０）を外気遮断状態にするシール機構と、を樹脂封止金型装置１００に設けると共に、
シール機構には、上型１及び下型２の外側方周囲の夫々に、上型１及び下型２を囲った状態で設けられた上型側及び下型側の外気遮断部材１１・１２と、上型及び下型取付板１５・１６に装着された上型側及び下型側外気遮断部材１１・１２と上型及び下型側取付板１５・１６との少なくとも一方に設けられた上型側及び下型側外気遮断部材１１・１２と上型及び下型取付板１５・１６との間をシールする上型側及び下型側のシール部材１３・１４と、上型側及び下型側外気遮断部材１１・１２を上型及び下型取付板１５・１６に固定する上型側及び下型側固定具２４・２７とから構成し、更に、上型側及び下型側外気遮断部材両者１１・１２の嵌合時に形成されるパーティングライン面の少なくとも一方の外気遮断部材のパーティングライン面に設けられた中空シール部材１７と、上型取付板１５に上型側外気遮断部材１１を回動自在にする上型側の回動部材２２と、上型側外気遮断部材１１の回動位置を規制して固定する上型側の回動位置規制部材２３と、を含む樹脂封止金型装置１００におけるシール機構であって、
上型側及び下型側の固定具２４・２７の夫々に、上型及び下型側取付板１５・１６と上型側及び下型側外気遮断部材１１・１２とを固着させる上型側及び下型側の固着部２４（２４ａ）・２７（２７ａ）を構成し、更に、上型側の固定具２４には、少なくとも上型側チェイスユニット３を交換する金型交換面Ａに沿って上型取付板１５と上型側外気遮断部材１１とをロックする上型側のロック部２４（２４ｂ）と、から構成されると共に、
上型側及び下型側の固着部２４（２４ａ）・２７（２７ａ）において、上型及び下型側取付板１５・１６と上型側及び下型側外気遮断部材１１・１２との間の夫々を隙間無く且つ接合固定することにより、型内空間部（１０）の気密性を保持するように構成されていることを特徴とする。
【０００９】
なお、前記した符号は、説明の便宜上付したものであり、本発明を図面に示される実施の形態に限定するものではない。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、どのような樹脂封止成形条件下においても、気密性の低下を生じることがなく、更には、従来のシール機構による金型交換作業における作業性のメリットを十分に発揮させる適宜なシール機構を備えられた樹脂封止金型装置を用いることにより、ＩＣ等の電子部品を樹脂封止金型にて封止成形して完成する樹脂封止済基板（製品）の生産性を格段に向上させる、樹脂封止金型装置におけるシール機構を提供すると云う優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図１から図４に基づいて、最良の実施形態を説明する。
図１（１）及び図１（２）は、本発明に係わる樹脂封止金型装置（シール機構）における概略側面図及び概略正面図である。
図２（１）及び図２（２）は、図１（１）及び図１（２）に対応する該金型装置の上型チェイスユニットを交換する実施方法を示す概略側面図である。
図３（１）・（２）及び図４（１）・（２）は、図１（１）及び図１（２）に対応する該金型装置の下型チェイスユニットを交換する実施方法を示す概略正面図である。
なお、正面とは、金型交換面（前部の面）を意味する。
【００１２】
即ち、図１（１）及び図１（２）に示す樹脂封止金型装置１００には、固定上型１と、固定上型１に対向配置した可動下型２との構成を少なくとも備えた樹脂封止金型から構成されている。
該金型装置１００には、基盤上に立設した所要数のタイバー５０の上端に固着された固定盤と、各タイバー５０に上下摺動自在に嵌装された可動盤と、固定盤に装着された上型１側の型部と、可動盤に装着された下型２側の型部と、上下両型１・２の型面間に被成形品（例えば、樹脂材料や基板）を供給・取出すること、並びに、該型面における樹脂封止成形時に発生する樹脂カスをクリーニングすること等を行う一体型或は分離型の供給取出機構を該型面間へ進入・退出可能にさせる搬送レール６０と、が少なくとも構成されている。
【００１３】
なお、該金型装置１００は、図例における単数個に限定されるものでなく、所要複数個の該金型装置を併設し且つ着脱自在に構成することができる。
また、金型は、上下両型１・２（二型構造）ではなく、例えば、上下両型１・２間に中間型を更に設ける三型構造、或は、三型以上の金型構造にも実施することができるように構成されている。
このような金型（上下両型１・２）とは、トランスファー成形用金型、或は、トランスファーレス成形（圧縮成形）用金型が採用することができ、この両者の金型には、更に、離型フィルムを金型の型面間に供給する離型フィルム成形を併用して実施することができるように構成されている。
また、被成形品（例えば、電子部品を装着された基板）とは、ワイヤボンディング基板、フリップチップ基板、或は、ウェーハ基板等のウェーハレベルパッケージ、等が採用することができる。そして、基板の形状については、円形状或は多角形状等の任意の形状のもの、基板の材質については、任意の金属製リードフレームやＰＣボートと呼ばれる任意のプラスチック・セラミック・ガラス・その他の材質等のプリント回路板、等を採用することができる。一方、基板を封止成形するために用いる樹脂材料は、任意のタブレット状樹脂・液状樹脂・顆粒状樹脂・粉末状樹脂、等を採用することができる。
【００１４】
上型１は、後述する上型取付板１５を介して固定盤に装着されると共に、下型２は、後述する下型取付板１６を介して可動盤に装着されていると共に、可動盤は、基盤側に設けられた油・空圧或は電動モータ等を利用した型開閉機構（図示なし）にて上下動自在に設けられている。この型開閉機構によって、下型２側、即ち、下型２と後述する下型側外気遮断部材１２と下型取付板１６とを一体で上下動することができる。
従って、型開閉機構にて下型２側を上動することにより、上下両型１・２を型締して後述する両外気遮断部材１１・１２をその両者のＰ．Ｌ（パーティングライン）面にて接合させることができる。
【００１５】
また、上型１は、上型チェイスユニット３が上型ベース４に対して一種のアリ溝嵌合にて着脱自在に構成されると共に、上型チェイスユニット３は上型ベース４に両側から固定ブロック６にて固定されるように構成されている。一方の下型２にも上型１と同様に、下型チェイスユニット７が下型ベース８に対して一種のアリ溝嵌合にて着脱自在に構成されると共に、下型チェイスユニット７は下型ベース８に両側から固定ブロック６にて固定されるように構成されている。
そして、図１（１）に示すように、各チェイスユニット３・７には、アリ部９が夫々設けられると共に、各ベース４・８には、該アリ部９に対応した前述するアリ溝５が夫々設けられている。
従って、上下両型１・２の夫々において、この場合、金型交換面Ａ側の固定ブロック６を取り外すと共に、各ベース４・８から各チェイスユニット３・７を夫々取出し、他の新しい各チェイスユニット３・７を各ベース４・８に夫々装着すると共に、該固定ブロック６にて各ベース４・８に夫々固定して各チェイスユニット３・７を夫々交換することができる（図２（２）及び図４（２）参照。）。
【００１６】
該金型装置１００には、少なくとも金型の型内空間部をその外部と外気遮断状態にする適宜なシール機構が設けられている。
即ち、上型１の外側方周囲には円筒形・角筒形等の環状形にて構成された上型側外気遮断部材１１（シール機構）が上型１を囲った状態で設けられると共に、下型２の外側方周囲には円筒形・角筒形等の環状形にて構成された下型側外気遮断部材１２（シール機構）が下型２を囲った状態で設けられると共に、上型１と上型側外気遮断部材１１とは上型取付板１５に装着され、且つ、下型２と下型側外気遮断部材１２とは下型取付板１６に夫々装着されている。
また、上型取付板１５と上型側外気遮断部材１１との少なくとも一方に上型取付板１５と上型側外気遮断部材１１との間をシールするＯリング等の適宜なシール部材１３が設けられると共に、下型取付板１６と下型側外気遮断部材１２との少なくとも一方に下型取付板１６と下型側外気遮断部材１２との間をシールするＯリング等の適宜なシール部材１４が設けられている。
また、上下両型１・２の型締時に、上型側及び下型側外気遮断部材両者１１・１２は、両外気遮断部材１１・１２における夫々の先端部側に設けられたＰ．Ｌ面にて接合するように構成されると共に、上型側外気遮断部材１１の Ｐ．Ｌ面（接触面）に、Ｏリング等のシール部材１３・１４に換えて、伸縮自在の耐熱性ゴム等から成るチューブ状の中空シール部材１７と、中空シール部材１７の内部を加圧して中空シール部材１７を膨張させる加圧機構１８と、中空シール部材１７と加圧機構１８とは加圧経路１９を通して接続するように構成されている。
つまり、図１（１）及び図１（２）に示すように、中空シール部材１７を加圧機構１８にて膨張させることにより、該膨張中空シール部材１７（１７ａ）は上型側外気遮断部材１１のＰ．Ｌ面から突出した状態となると共に、膨張中空シール部材１７（１７ａ）を下型側外気遮断部材１２のＰ．Ｌ面に当接することにより、後述する減圧機構２０にて少なくとも上下両型１・２における少なくとも型内空間部の内部の空気等を強制的に吸引排出すると共に、上下両型１・２を型締して樹脂封止成形することができる。
従って、上下両型１・２の型締時に、両外気遮断部材１１・１２が両者のＰ．Ｌ面にて接合することにより、両外気遮断部材１１・１２と両取付板１５・１６とから外気遮断空間部１０が形成されると共に、少なくとも金型の型内空間部内を上下両型１・２の外側方周囲側から外気遮断状態にすることができる。
【００１７】
また、該金型装置１００には、外気遮断空間部１０の内部に残溜する空気等を強制的に吸引排出する真空ポンプ等の減圧機構２０が設けられると共に、減圧機構２０と外気遮断空間部１０とは真空ホース等の真空経路２１を通して連通接続されており、図示していないが、真空経路２１の排出口が上型１の型面に所要数設けられている。
即ち、下型２を上動することにより、上型側外気遮断部材１１のＰ．Ｌ面に設けられた中空シール部材１７と下型側外気遮断部材１２のＰ．Ｌ面とを当接する共に、少なくとも型内空間部の内部に残溜する空気等を減圧機構２０にて強制的に吸引排出することができる。
従って、両外気遮断部材１１・１２をそのＰ．Ｌ面にて接合して少なくとも型内空間部をその外部と外気遮断状態にすると共に、減圧機構２０にて少なくとも型内空間部（外気遮断空間部１０）を所定の真空度に設定して、上下両型１・２の型面に嵌装セットしたリードフレームを含む様々な基板における電子部品を樹脂封止成形することができる。
【００１８】
更に、上型１側において、上型取付板１５には、上型側外気遮断部材１１を回動する上型側の蝶番（ヒンジ）型の回動部材２２と、該外気遮断部材１１を所定の回動位置に規制して固定する上型側の回動位置規制部材２３と、該外気遮断部材１１を上型取付板１５に固定して装着する上型側の固定具２４とが設けられている。
そして、上型側固定具２４には、上型取付板１５と上型側外気遮断部材１１とを固着するボルト式の所要数の上型側固着部２４（２４ａ）と、少なくとも上型チェイスユニット３を交換する金型交換面Ａに沿って、上型取付板１５と上型側外気遮断部材１１とをロックするロック錠の上型側ロック部２４（２４ｂ）とから構成される。
つまり、従来のシール機構における金型交換時の作業性を重要視する、例えば、金型交換面Ａ側を前部とすれば、前部にはロック錠の上型側ロック部２４（２４ｂ）、並びに、金型交換面Ａと相対向配置する面側の後部には、上型側の蝶番型の回動部材２２を設ける構成としている。このことから、前部におけるロック錠の上型側ロック部２４（２４ｂ）、並びに、後部における上型側の蝶番型の回動部材２２による接続構造によって、上型側外気遮断部材１１を該金型装置１００外に取り外すことなく、しかも、金型交換作業時における利便性をより一層向上させることができる。
これに加えて、上型側固着部２４（２４ａ）によれば、上型取付板１５と上型側外気遮断部材１１との間の夫々を隙間無く且つ接合固定することにより、型内空間部（外気遮断空間部１０）の気密性を保持するように構成されると共に、上型側固着部２４（２４ａ）を解除する際に、解除された該固着部２４（２４ａ）を上下両型１・２の型面に落下しないように、該固着部２４（２４ａ）を落下防止させる上型側の防止部２５を更に設ける構成としている。
【００１９】
ここで、上型１の金型交換面Ａから上型チェイスユニット３を交換する手段及び実施方法について、図２（１）及び図２（２）を用いて説明する。
【００２０】
上型チェイスユニット３を交換する手段としては、図２（１）に示すように、上型側固着部２４（２４ａ）を夫々解除して各防止部２５にて各固着部２４（２４ａ）を夫々保持させると共に、下型２側の型部を下方向へ下動して上下両型１・２の型面間の接触を防止させる下方位置で下型２側の型部を待機させるように構成されている。
その後、図２（２）に示すように、下型２側の型部を下方位置に待機させた状態で、上型側外気遮断部材１１と上型取付板１５とを金型交換面Ａ側にてロックさせる上型側ロック部２４（２４ｂ）を解除させるのとほぼ同時に、上型側外気遮断部材１１を下型２方向へ回動すると共に、該外気遮断部材１１を回動位置規制部材２３にて固定することにより、該回動外気遮断部材１１(１１ａ)と上型取付板１５との間に上型側の開口部２６を形成することができるように構成されている。
従って、該開口部２６を通して上型ベース４から上型チェイスユニット３を取り出すと共に、他の新しい上型チェイスユニット３を開口部２６を通して上型ベース４に装着することができる。
【００２１】
上型チェイスユニット３の交換方法としては、まず、上型側の固着部２４（２４ａ）を解除し且つ下型２側の型部を下方位置に待機させた図２（１）に示す状態で、上型側ロック部２４（２４ｂ）を更に解除させると、上型側外気遮断部材１１が回動すると共に、回動位置規制部材２３にて該回動外気遮断部材１１（１１ａ）を固定して上型側の開口部２６を形成する。その結果、該開口部２６を通して金型交換面Ａ側の固定ブロック６を取り外してから上型ベース４から上型チェイスユニット３を取り出す（図２（２）参照。）と共に、他の新しい上型チェイスユニット３を開口部２６を通して上型ベース４に装着することができる。
従って、上型１において、開口部２６から上型チェイスユニット３を上型ベース４に対して容易に且つ迅速に交換することができる。
【００２２】
一方、下型２には、上型１側に設けられた蝶番型の回動部材２２と回動位置規制部材２３と上型側固定具２４におけるロック部２４（２４ｂ）とが設けられていないことが特徴要素となっている。
なぜならば、従来の下型側において、第一に、上下両型の型締め・型開き動作を繰り返し行うと、下型側外気遮断部材と下型取付板との接続状態が都度変化して隙間が生じ、Ｏリング等のシール部材を該接続部分に介在させてはいるものの安定した接続状態を保持することが困難となること、第二に、下型側外気遮断部材と下型取付板との隙間が発生してくると、気密性が低下することに加えて、残存する樹脂カスがこの隙間に堆積することが考えられ、Ｏリング等のシール部材の寿命を縮め、シール部材の劣化・損傷を早めること、第一及び第二の結果、型内空間部の内部を所定の真空度を保持することが非常に困難となること、更に、その結果、型内空間部の内部を所定の真空度を保持することが不可能になれば、前述した隙間に堆積した樹脂カスを、人的作業によるクリーニングすることが必要不可欠となってくるが、下型側外気遮断部材と下型取付板とが下型側の後部における蝶番型の回動部材によって接続固定されていることから、十分なクリーニングを施すことが困難となってくること等の様々な諸問題を克服させるためである。
即ち、下型２側において、下型側の固定具２７には、下型取付板１６と下型側外気遮断部材１２とを固着させるボルト式の下型側固着部２７（２７ａ）のみで構成されている。
つまり、この下型側固着部２７（２７ａ）によって、下型取付板１６と下型側外気遮断部材１２との間の夫々を隙間無く且つ接合固定することにより、型内空間部（外気遮断空間部１０）の気密性を保持するように構成されると共に、下型側固着部２７（２７ａ）を解除する際に、解除された該固着部２７（２７ａ）を上下両型１・２の型外に取り出すように構成されている（図３（１）参照。）。
これに加えて、この下型側固着部２７（２７ａ）のみの接続構造によって、下型側外気遮断部材１２は、上型１側における回動構造を用いず、且つ、該金型装置１００外に取り外すことなく、しかも、金型クリーニングにおける作業性、並びに、金型交換作業時における利便性をより一層向上させるように考慮したものとなっている。
【００２３】
即ち、図３（１）・（２）及び図４（１）・（２）を用いて、下型２の金型交換面Ａから下型チェイスユニット７を交換する手段及び実施方法を説明する。
【００２４】
下型チェイスユニット７を交換する手段としては、図３（１）に示すように、固着された上型側固着部２４（２４ａ）の上型側挿入口２８、並びに、取り出された下型側固着部２７（２７ａ）の下型側挿入口２９に嵌入させる上型側及び下型側の突起部３１・３２を夫々形成し、且つ、上下両型１・２の型面を損傷させないように貫通した貫通部３３を夫々形成された第一の金型交換治具３０を用いる構成としている。
また、この第一の金型交換治具３０において、図３（１）に示すように、下型２側の型部を下方位置に待機させ、且つ、各下型側固着部２７（２７ａ）を解除して型外に取り出した状態で、各下型側突起部３２を下型側外気遮断部材１２における下型側挿入口２９に嵌入させるように構成されていると共に、この下型側挿入口２９に対して各下型側突起部３２を嵌入させる付加的要素には、各下型側固着部２７（２７ａ）が確実に取り外されていないと、第一の金型交換治具３０は、略水平状態とならず、確実に下型側挿入口２９に嵌入できないように構成されている。このことから、下型側突起部３２には、下型側挿入口２９から下型側固着部２７（２７ａ）の取り残しを防止する役目を担うように構成されている。
その後、図３（２）に示すように、各下型側突起部３２を下型側挿入口２９に嵌入させた状態で、下型２側の型部を上動させる型締め動作を行うと、第一の金型交換治具３０における上型側突起部３１が上型側挿入口２８に嵌入させると共に、この図３（２）に示す状態にて上下両型１・２の型面の損傷しないように型締め動作を停止し待機させるように構成されている。
つまり、この前述した上下両型１・２の型面間に第一の金型交換治具３０を介在させた状態で、図３（２）に示すように、搬送レール６０側のコの字型の凹部６１、並びに、一方の下型側外気遮断部材１２の凹部３５に対して、各別に且つ一体型構造の嵌装部３６を図例における型締位置にて金型交換面Ａから自在に嵌装する第二の金型交換治具３４を用いる構成としている。
なお、図例における第一の金型交換治具３０の各突起部３１・３２は、各上型側及び下型側挿入口２８・２９に嵌入する構成を示しているが、上下両型構造の位置決め精度を向上させるために、各上型側及び下型側挿入口２８・２９に換えるか、或は、付加するかして、上型側及び／又は下型側に、各挿入口２８・２９よりも精度良く形成された位置決め孔（図示なし）を設けて、この位置決め孔に各突起部３１・３２を夫々嵌入するように構成することもできる。
【００２５】
更に、図３（２）に示す下型側外気遮断部材１２が下型取付板１６及び下型２（７・８）と完全に解除された状態になると、図４（１）に示すように、下型側外気遮断部材１２を第二の金型交換治具３４における嵌装部３６に載置させた状態で、下型２側の型部を下動させるように構成されている。
その後、図４（２）に示すように、下型取付板１６及び下型２（７・８）のみが下動して型開き（下動）すると、完全に下型側シール部材１４を略全面に渡って開口された部位構造となる。この部位構造は、従来構造における下型側外気遮断部材と下型取付板とが下型側の後部における蝶番型の回動部材によって接続固定されたものとは全く異なったものと云える。
最終的に、この図４（１）に示す状態を保持して、図４（２）に示すように、下型ベース８から下型チェイスユニット７を取り出すと共に、他の新しい下型チェイスユニット７を略全面に渡って開口された該部位構造を通して下型ベース８に装着することができる。
【００２６】
下型チェイスユニット７の交換方法としては、まず、図３（１）に示す下型２側の型部を下方位置に待機させた状態で、下型側固着部２７（２７ａ）を解除して型外に取り外し、次に、取り外した下型側外気遮断部材１２の該固着部２７（２７ａ）における下型側挿入口２９に対して、第一の金型交換治具３０における下型側突起部３２を夫々嵌入する。
次に、第一の金型交換治具３０の下型側突起部３２を下型側挿入口２９に嵌入した状態で、下型２側の型部を上動する型締め動作を行うと、固着されたままの上型側外気遮断部材１１の該固着部２４（２４ａ）における上型側挿入口２８に対して、第一の金型交換治具３０における上型側突起部３１が嵌入し、その結果、図３（２）に示す上下両型１・２の型面間に第一の金型交換治具３０を介在させた状態で、搬送レール６０側のコの字型の凹部６１、並びに、一方の下型側外気遮断部材１２の凹部３５に、各別に且つ一体型構造の第二の金型交換治具３４における嵌装部３６を、図例における型締位置にて金型交換面Ａから嵌装させる。
次に、図３（２）に示す下型側外気遮断部材１２が下型取付板１６及び下型２（７・８）と完全に解除された状態になると、図４（１）に示すように、下型側外気遮断部材１２を第二の金型交換治具３４における嵌装部３６に載置させた状態で、下型２側の型部を下動させて、下型取付板１６及び下型２（７・８）のみが下動する型締位置において、完全に下型側シール部材１４を略全面に渡って開口された部位構造を形成する。
次に、図４（１）に示す型締位置を保持した状態で、図４（２）に示すように、金型交換面Ａ側の下型側固定ブロック６を取り外してから、下型ベース８から下型チェイスユニット７を取り出すと共に、他の新しい下型チェイスユニット７を略全面に渡って開口された該部位構造を通して下型ベース８に装着することができる。
従って、この第一及び第二の金型交換治具３０・３４を用いることにより、上型１側の回動構造を用いず、且つ、該金型装置１００外に取り外すことなく、しかも、金型クリーニングにおける作業性、並びに、金型交換作業時における利便性をより一層向上させることができる。
【００２７】
以上のことから、本実施形態によれば、樹脂封止成形開始時の気密状態を樹脂封止成形を繰り返し行うなかでも気密性の低下を生じることなく、どのような樹脂封止成形条件下においても、従来のシール機構による金型交換作業における作業性のメリットを十分に発揮させる適宜なシール機構を更に備えることにより、少なくとも型内空間部（外気遮断空間部１０）の内部を常に安定した気密性を保持させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１（１）及び図１（２）は、本発明に係わる樹脂封止金型装置（シール機構）における概略側面図及び概略正面図である。
【図２】図２（１）及び図２（２）は、図１（１）及び図１（２）に対応する該金型装置の上型チェイスユニットを交換する実施方法を示す概略側面図である。
【図３】図３（１）及び図３（２）は、図１（１）及び図１（２）に対応する該金型装置の下型チェイスユニットを交換する実施方法を示す概略正面図である。
【図４】図４（１）及び図４（２）は、図１（１）及び図１（２）に対応する該金型装置の下型チェイスユニットを交換する実施方法を示す概略正面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１    上型
２    下型
３    上型チェイスユニット
４    上型ベース
５    アリ溝
６    固定ブロック
７    下型チェイスユニット
８    下型ベース
９    アリ部
１０    外気遮断空間部
１１    外気遮断部材
１１ａ    回動外気遮断部材
１２    外気遮断部材
１３・１４    シール部材
１５    上型取付板
１６    下型取付板
１７    中空シール部材
１７ａ    膨張中空シール部材
１８    加圧機構
１９    加圧経路
２０    減圧機構
２１    真空経路
２２    回動部材
２３    回動位置規制部材
２４    固定具
２４ａ    固着部
２４ｂ    ロック部
２５    防止部
２６    開口部
２７    固定具
２７ａ    固着部
２８・２９    挿入口
３０・３４    金型交換治具
３１・３２    突起部
３３    貫通孔
３５    凹部
３６    嵌装部
５０    タイバー
６０    搬送レール
６１    凹部
１００    樹脂封止金型装置
Ａ    金型交換面
【図１】
2007150054.tif 000003
【図２】
2007150054.tif 000004
【図３】
2007150054.tif 000005
【図４】
2007150054.tif 000006