(57)【要約】【課題】投射型表示装置の照明光学系に使用可能な偏光変換素子の製造方法を提供する。【解決手段】ガラス板材１の一方の主面に偏光分離膜１１を形成し、他方の主面に反射膜１２を形成した第１の透光性板材１０と、両主面に何も形成されていないガラス板材１からなる第２の透光性板材２０とを交互に積層すると共に、積層する第１及び第２の透光性板材１０、２０間の形成角度が略４５度の傾斜角度となるように面方向の位置を順次ずらして接着剤を介して階段状に積層して積層体２１を形成する。そして形成した積層体２１を略４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体２２に切断した後、ダイシング装置を用いて積層分割体２２の両端を切断し、最後に積層分割体２２の一部に１／２波長板２４を貼付するようにした。【選択図】図１
2007249128.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏光変換素子の製造方法であって、平行平板である第１の透光性板材と、平行平板であ
る第２の透光性板材とを準備する準備工程と、
前記第１の透光性板材の一方の主面に偏光分離膜を形成すると共に、第１の透光性板材
の他方の主面に反射膜を形成する成膜工程と、
前記第１の透光性板材と前記第２の透光性板材との端縁を結ぶ平面と前記第１及び第２
の透光性板材との間の形成角度が略４５度の傾斜角度となるように前記第１及び第２の透
光性板材の面方向の位置を順次ずらして接着剤を介して階段状に積層して積層体を形成す
る積層体形成工程と、
前記積層体形成工程において一体化された積層体を、前記略４５度の傾斜角度に沿った
所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する第１の切断工程と、
ダイシング装置を用いて前記積層分割体の両端を切断する第２の切断工程と、
両端を切断した前記積層分割体の一部に１／２波長板を貼付する貼付工程と、
を有することを特徴とする偏光変換素子の製造方法。
【請求項２】
偏光変換素子の製造方法であって、平行平板である第１の透光性板材と、平行平板であ
る第２の透光性板材とを準備する準備工程と、
前記第１の透光性板材の一方の主面に偏光分離膜を形成する第１の成膜工程と、
前記第２の透光性板材の一方の主面に反射膜を形成する第２の成膜工程と、
前記第１の透光性板材と前記第２の透光性板材との端縁を結ぶ平面と前記第１及び第２
の透光性板材との間の形成角度が略４５度の傾斜角度となるように前記第１及び第２の透
光性板材の面方向の位置を順次ずらして接着剤を介して階段状に積層して積層体を形成す
る積層体形成工程と、
前記積層体形成工程において一体化された積層体を、前記略４５度の傾斜角度に沿った
所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する第１の切断工程と、
ダイシング装置を用いて前記積層分割体の両端を切断する第２の切断工程と、
両端を切断した前記積層分割体の一部に１／２波長板を貼付する貼付工程と、
を有することを特徴とする偏光変換素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源から出射される光を１種類の直線偏光光に変換する偏光変換素子の製造
方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から液晶プロジェクタ等の投射型表示装置に用いられる液晶ライトバルブを照明す
る照明装置としては、２枚のレンズ板を用いた所謂フライアイインテグレータを使用した
ものがある。そして、このような照明装置における照明効率をさらに向上させたものとし
て２枚のレンズ板のうち、出射側に配置したレンズ板の出射面に偏光ビームスプリッタア
レイと１／２波長板とを所定の位置に配置し、光源光の利用効率を高めるようにした偏光
照明装置並びにその偏光照明装置を使用した投射型表示装置が提案されている（特許文献
１）。
【０００３】
図６は特許文献１に開示されている偏光照明装置の光学系の概略構成を示した図である
。
この図６に示す偏光照明装置１０１は、システム光軸Ｌに沿って配置した光源部１０２
、第１のレンズ板１０３、第２のレンズ板１０４から構成されている。光源部１０２から
出射された光は、第１のレンズ板１０３により第２のレンズ板１０４内に集光され、第２
のレンズ板１０４を通過する過程においてランダムな偏光光は偏光方向が揃った１種類の
偏光光に変換され、照明領域１０５に至るようになっている。
光源部１０２は、光源ランプ２０１と放物面リフレクター２０２とから構成されている
。光源ランプ２０１から放射されたランダムな偏光光は、放物面リフレクター２０２によ
って一方向に反射されて、略平行な光束となって第１のレンズ板１０３に入射される。こ
のとき、光源光軸Ｒはシステム光軸Ｌに対して一定の角度だけ傾斜させてある。
【０００４】
第１のレンズ板１０３は、矩形状の輪郭をした微小な矩形集光レンズ３０１が縦横に複
数配列した構成である。第１のレンズ板１０３に入射した光は、矩形集光レンズ３０１の
集光作用により、システム光軸Ｌと垂直な平面内に矩形集光レンズ３０１の数と同数の集
光像を形成する。なお、この複数の集光像は光源ランプの投写像に他ならないため、以下
では２次光源像と呼ぶ。
第２のレンズ板１０４は、集光レンズアレイ４１０、偏光分離プリズムアレイ４２０、
λ／２位相差板４３０、及び出射側レンズ４４０から構成される複合積層体であり、第１
のレンズ板１０３による２次光源像が形成される位置の近傍におけるシステム光軸Ｌに対
して垂直な平面内に配置されている。この第２のレンズ板１０４は、インデクレータ光学
系の第２のレンズ板としての機能、偏光分離素子としての機能、及び偏光変換素子として
の機能を併せ持っている。
【０００５】
集光レンズアレイ４１０は、第１のレンズ板１０３とほぼ同様な構成となっている。即
ち、第１のレンズ板１０３を構成する矩形集光レンズ３０１と同数の集光レンズ４１１を
複数配列したものであり、第１のレンズ板１０３からの光を集光する作用がある。集光レ
ンズアレイ４１０は、インテグレータ光学系の第２のレンズ板に相当するものである。
偏光分離プリズムアレイ４２０は、内部に偏光分離膜を備えた四角柱状のプリズム合成
体からなる偏光ビームスプリッター４２１と、同じく内部に反射膜を備えた四角柱状のプ
リズム合成体からなる反射ミラー４２２とからなる対を基本構成単位とし、その対を平面
的に複数配列したものである。集光レンズアレイ４１０を構成する集光レンズ４１１に対
して１対の基本構成単位が対応するように規則的に配置されている。
【０００６】
ここで、第１のレンズ板１０３により形成される２次光源像が偏光ビームスプリッター
４２１の部分に位置するように、偏光分離プリズムアレイ４２０を含む第２のレンズ板１
０４が配置されている。そのために、光源部１０２はその光源光軸Ｒがシステム光軸Ｌに
対して僅かに角度をなすように配置されている。
偏光分離プリズムアレイ４２０に入射したランダムな偏光光は偏光ビームスプリッター
４２１により偏光方向の異なるＰ偏光光とＳ偏光光の２種類の偏光光に分離される。Ｐ偏
光光は進行方向を変えずに偏光ビームスプリッター４２１をそのまま通過する。これに対
して、Ｓ偏光光は偏光ビームスプリッター４２１の偏光分離膜４２３で反射して進行方向
を約９０度変え、隣接する反射ミラー４２２の反射面４２４で反射して進行方向を約９０
度変え、最終的にはＰ偏光光とほぼ平行な角度で偏光分離プリズムアレイ４２０より出射
される。
【０００７】
偏光分離プリズムアレイ４２０の出射面には、λ／２位相差膜４３１が規則的に配置さ
れたλ／２位相差板４３０が設置されている。すなわち、偏光分離プリズムアレイ４２０
を構成する偏光ビームスプリッター４２１の出射面部分にのみλ／２位相差膜４３１が配
置され、反射ミラー４２２の出射面部分にはλ／２位相差膜４３１は配置されていない。
このようなλ／２位相差膜４３１の配置状態により、偏光ビームスプリッター４２１から
出射されたＰ偏光光は、λ／２位相差膜４３１を通過する際に偏光面の回転作用を受けＳ
偏光光へと変換される。一方、反射ミラー４２２から出射されたＳ偏光光はλ／２位相差
膜４３１を通過しないので、偏光面の回転作用は一切受けず、Ｓ偏光光のままλ／２位相
差板４３０を通過する。つまり、偏光分離プリズムアレイ４２０とλ／２位相差板４３０
によりランダムな偏光光は、１種類の偏光光（この場合はＳ偏光光）に変換されることに
なる。このようにしてＳ偏光光に揃えられた光束は、出射側レンズ４４０により照明領域
１０５へと導かれ、照明領域１０５上で重畳結合されることになる。
ここで、上記したような偏光分離プリズムアレイ４２０とλ／２位相差板４３０とから
なる偏光変換素子の製造工程を簡単に説明する。
この場合は、先ず、ガラス板材の一方の主面に偏光分離膜を形成し、他方の主面に反射
膜を形成した第１の透光性板材と、両主面に何も形成されていないガラス板材を用意する
。
【０００８】
次に、第１の透光性板材と第２の透光性板材とを交互に積層することになるが、このと
きに積層する第１及び第２の透光性板材間の形成角度が略４５度の傾斜角度となるように
面方向の位置を順次ずらして接着剤を介して階段状に積層して積層体を形成する。
次に、この積層体を略４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面によ
り複数の積層分割体に切断し、切断した積層分割体の両端の突出部を平坦にした後、その
積層分割体の一部に１／２波長板を貼付するようにしていた。
図７は上記した積層分割体の両端の突出部を平坦にする工程を説明するための図であり
、図７に示す積層分割体１２０の両端の突出部１２１を平坦にする際は、複数個の積層分
割体１２０を組み合わせた後、図８に示すロータリー研磨装置により積層分割体１２０の
両端の突出部１２１を研磨して平坦にしていた。
【０００９】
図８は、偏光変換素子の製造工程において用いられる従来のロータリー研磨装置の構成
を示した図であり、この図８に示すロータリー研磨装置は、保持テーブル１３１と研磨盤
１３２とから構成され、保持テーブル１３１上の保持面１３１ａには、複数の積層分割体
１２０を収容した収容部１３４ａ、１３４ｂが保持されている。
研磨盤１３２は、回転軸１３２ａを中心に回転可能に保持され、回転軸１３２ａに直交
し且つ保持テーブル１３１の保持面１３１ａと対向する対向面に研磨材１３３が配設され
ている。
そして、研磨盤１３２及び保持テーブル１３１を回転させ、保持テーブル１３１上に保
持した複数の収容部材１３４ａ、１３４ｂに収容された積層分割体１２０の一端の突出部
１２１に、研磨盤１３２の研磨材１３３を当接させて研磨することで、積層分割体１２０
の端部にある突出部１２１が平坦になるように研磨していた。
【００１０】
なお、他の先行文献としては、特許文献２にプロジェクタの高輝度化に対応すると共に
、構造を簡素化し、製造時の作業工数を低減することができる偏光変換装置、この偏光変
換装置を備えた照明光学装置、及びプロジェクタが開示されている。また特許文献３には
、ガラス面を鏡面研磨することができるロータリー研削盤が開示されている。
【特許文献１】特開平８−３０４７３９号公報
【特許文献２】特開２００３−２８７７１９公報
【特許文献３】特開２００４−５８２１９公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上記したような投射型表示装置の偏光照明光学系に用いられる偏光分離プリ
ズムアレイ４２０は、偏光ビームスプリッター４２１と反射ミラー４２２との構成単位と
集光レンズアレイ４１０を構成する集光レンズ４１１の構成単位とが対応するように配置
する必要があるため、図７に示した積層分割体１２０の両端の突出部１２１を平坦にして
偏光分離プリズムアレイ４２０を作製する場合には、その長さＬの寸法誤差は±３０μｍ
以内の寸法精度が求められていた。
【００１２】
しかしながら、図８に示したロータリー研削盤を使用して積層分割体１２０の両端の突
出部１２１を研磨する場合は、バイス１３４ａ、１３４ｂの底面部の厚みｈ1、ｈ2（ｈ1
＜ｈ2）のバラツキにより、バイス１３４ａ、１３４ｂに収容されている積層分割体１２
０の研磨面までの高さＨ1、Ｈ2（Ｈ1＞Ｈ2）にバラツキが生じ、投射型表示装置の偏光照
明光学系において要求される寸法精度（誤差±３０μｍ以内）を満足しないという問題点
があった。
【００１３】
また、偏光照明光学系に用いられる偏光分離プリズムアレイ４２０は、図９に示すよう
に、複数個の偏光分離プリズムアレイ４２０を組み合わせて使用することになる。この場
合は偏光分離プリズムアレイ４２０の端面を基準に組み合わせるようにしていたが、上記
したようにロータリー研削盤を使用して積層分割体１２０の両端を研磨した場合は、偏光
分離プリズムアレイ４２０同士の平行度にズレが生じる。例えば、偏光分離プリズムアレ
イ４２０の端面４２０ａから端面４２０ｂとの間の平行度に４０分（±２０分）程度のず
れが発生するという問題点があった。
そこで、本発明は上記したような点を鑑みてなされたものであり、投射型表示装置の照
明光学系に使用可能な偏光変換素子の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明は、偏光変換素子の製造方法であって、平行平板であ
る第１の透光性板材と、平行平板である第２の透光性板材とを準備する準備工程と、第１
の透光性板材の一方の主面に偏光分離膜を形成すると共に、第１の透光性板材の他方の主
面に反射膜を形成する成膜工程と、第１の透光性板材と第２の透光性板材との端縁を結ぶ
平面と第１及び第２の透光性板材との間の形成角度が略４５度の傾斜角度となるように第
１及び第２の透光性板材の面方向の位置を順次ずらして接着剤を介して階段状に積層して
積層体を形成する積層体形成工程と、積層体形成工程において一体化された積層体を、略
４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断
する第１の切断工程と、ダイシング装置を用いて積層分割体の両端を切断する第２の切断
工程と、両端を切断した積層分割体の一部に１／２波長板を貼付する貼付工程とを有する
ようにした。
【００１５】
このような本発明では、第２の切断工程において、積層分割体の両端を切断する際にダ
イシング装置を使用するようにしたことで、積層分割体の寸法精度を大幅に高めることが
可能になる。これにより、投射型表示装置の偏光照明光学系において要求される寸法精度
を満足した偏光変換素子を実現することができる。
また、両端を切断した積層分割体を組み合わせたときに発生していた平行度のズレも大
幅に改善することが可能になる。
【００１６】
また本発明は、偏光変換素子の製造方法であって、平行平板である第１の透光性板材と
、平行平板である第２の透光性板材とを準備する準備工程と、第１の透光性板材の一方の
主面に偏光分離膜を形成する第１の成膜工程と、第２の透光性板材の一方の主面に反射膜
を形成する第２の成膜工程と、第１の透光性板材と第２の透光性板材との端縁を結ぶ平面
と第１及び第２の透光性板材との間の形成角度が略４５度の傾斜角度となるように第１及
び第２の透光性板材の面方向の位置を順次ずらして接着剤を介して階段状に積層して積層
体を形成する積層体形成工程と、積層体形成工程において一体化された積層体を、略４５
度の傾斜角度に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する
第１の切断工程と、ダイシング装置を用いて積層分割体の両端を切断する第２の切断工程
と、両端を切断した積層分割体の一部に１／２波長板を貼付する貼付工程と、を有するこ
とを特徴とする。
【００１７】
このような本発明では、第２の切断工程において、積層分割体の両端を切断する際にダ
イシング装置を使用するようにしたことで、積層分割体の寸法精度を大幅に高めることが
可能になる。これにより、投射型表示装置の偏光照明光学系において要求される寸法精度
を満足した偏光変換素子を実現することができる。
【００１８】
また、両端を切断した積層分割体を組み合わせたときに発生していた平行度のズレも大
幅に改善することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は本発明の第１の実施形態に係る偏光変換素子の製造方法を示した工程図である。
第１の実施形態においては、準備工程として、第１の透光性板材１０及び第２の透光性
板材２０のベースとなるガラス板材１を用意する。
次に、成膜工程として、図１（ａ）に示すように、第１の透光性板材１０を構成するガ
ラス板材１の一方の主面１ａに偏光分離膜１１を形成し、他方の主面１ｂに反射膜１２を
形成する。なお、第２の透光性板材２０を構成するガラス板材１の両主面には何も形成し
ない。
【００２０】
次に、積層体形成工程として、図１（ｂ）に示すような治具２を用いて、第１の透光性
板材１０と第２の透光性板材２０とを交互に積層するが、このときに積層する第１の透光
性板材１０と第２の透光性板材２０との端縁を結ぶ平面と、第１及び第２の透光性板材１
０、２０との間の形成角度が略４５度の傾斜角度となるように第１及び第２の透光性板材
１０、２０の面方向位置を順次ずらして階段状に積層して積層体２１を形成する。このと
き第１及び第２の透光性板材１０、２０との間に紫外線硬化型の接着剤３を塗布しておき
、積層体２１を加圧して接着剤３を均一に展開させた状態で、図示しない紫外線照射装置
から紫外線を積層体２１に照射し、接着剤３を硬化させて積層体２１を貼り合わせるよう
にしている。
【００２１】
次に、第１の切断工程として、上記積層体形成工程において一体化した積層体２１を治
具２から取り出し、図示しない固定板に積層体２１の背面側の側面を剥離可能な接着剤等
により仮固定した後、図１（ｃ）に点線で示した略４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチ
Ｐの複数の平行な切断面４にて積層体２１を切断して複数の積層分割体２２に切断する。
次いで、第２の切断工程として、図１（ｄ）に示すように切断した積層分割体２２の両
端の鋭角状に突出した突出部２３を点線で示した切断面で切断することになるが、第１の
実施形態では後述するダイシング装置を用いて突出部２３の切断を行うことにより、積層
分割体２２の突出部２３の切断と積層分割体２２の長さ方向の寸法精度を高めるようにし
た点に特徴がある。
そして、上記したように積層分割体２２の両端の突出部２３を切断した後は、貼付工程
として突出部２３を切断した積層分割体２２の一部に１／２波長板２４を貼付するように
している。
尚、本発明に係る偏光変換素子は、図１に示した如く両主面に夫々、偏光分離膜１１、
反射膜１２を形成した第１の透光性板材１０と、両主面に何も形成していない第２の透光
性板材２０とを積層して製造したものに限らず、次に示す如く製造してもよい。
【００２２】
図２は、本発明の第２の実施形態に係る偏光変換素子の製造方法を示した工程図である
。第２の実施形態においては、準備工程として、第１の透光性板材１０及び第２の透光性
板材２０のベースとなるガラス板材１を用意する。
次に、第１の成膜工程として、図２（ａ）に示すように、第１の透光性板材１０を構成
するガラス板材１の一方の主面１ａに偏光分離膜１１を形成する。
次に、第２の成膜工程として、図２（ａ）に示すように、第２の透光性板材２０を構成
するガラス板材１の一方の主面１ｂに反射膜１２を形成する。
【００２３】
次に、積層体形成工程として、図２（ｂ）に示すような治具２を用いて、第１の透光性
板材１０と第２の透光性板材２０とを交互に積層するが、このときに積層する第１の透光
性板材１０と第２の透光性板材２０との端縁を結ぶ平面と、第１及び第２の透光性板材１
０、２０との間の形成角度が略４５度の傾斜角度となるように第１及び第２の透光性板材
１０、２０の面方向位置を順次ずらして階段状に積層して積層体２１を形成する。このと
き第１及び第２の透光性板材１０、２０との間に紫外線硬化型の接着剤３を塗布しておき
、積層体２１を加圧して接着剤３を均一に展開させた状態で、図示しない紫外線照射装置
から紫外線を積層体２１に照射し、接着剤３を硬化させて積層体２１を貼り合わせるよう
にしている。
【００２４】
次に、第１の切断工程として、上記積層体形成工程において一体化した積層体２１を治
具２から取り出し、図示しない固定板に積層体２１の背面側の側面を剥離可能な接着剤等
により仮固定した後、図２（ｃ）に点線で示した略４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチ
Ｐの複数の平行な切断面４にて積層体２１を切断して複数の積層分割体２２に切断する。
次いで、第２の切断工程として、図２（ｄ）に示すように切断した積層分割体２２の両
端の鋭角状に突出した突出部２３を点線で示した切断面で切断することになるが、第２の
実施形態では後述するダイシング装置を用いて突出部２３の切断を行うことにより、積層
分割体２２の突出部２３の切断と積層分割体２２の長さ方向の寸法精度を高めるようにし
た点に特徴がある。
そして、上記したように積層分割体２２の両端の突出部２３を切断した後は、貼付工程
として突出部２３を切断した積層分割体２２の一部に１／２波長板２４を貼付するように
している。
【００２５】
図３は、前述の第１及び第２実施形態の偏光変換素子の製造工程において使用するダイ
シング装置３０の構成を示した図である。この図３に示すダイシング装置３０は、ベース
３１上に第１可動部材３２がＹ軸方向に移動可能に配設されていると共に、その第１可動
部材３２を駆動するための第１モータ３３が備えられている。また、第１可動部材３２に
は第２可動部材３４がＺ軸方向に移動可能に配設されていると共に、第２可動部材３４を
Ｚ軸方向に駆動するための第２モータ３５が備えられている。第２可動部材３４の端部に
はブレード３６が軸心（Ｙ軸）まわりに回転可能に設けられていると共に、そのブレード
３６を軸心まわりに回転駆動するための第３モータ３７が備えられている。また、ベース
３１上に基台３８がＸ軸方向に相対移動可能に配設されていると共に、その基台３８をＸ
軸方向に駆動するための第４モータ３９が備えられている。この基台３８のブレード３６
側の面には、ワーク４０の表面に接着されたダイシングテープ４１が真空吸着されるよう
になっている。制御装置４４は、第１モータ３３、第２モータ３５、第３モータ３７、第
４モータ３９の各制御を行う。
【００２６】
図４はブレード３６を図３の矢印Ａで示す方向から見た図であり、ブレード３６は、薄
肉円板状に形成されたブレード本体３６ａと、そのブレード本体３６ａを両面から挟み込
んで固定するフランジ３６ｂとから成るものであり、そのフランジ３６ｂが第２可動部材
３４に備えられた駆動軸４２に固定されている。
【００２７】
図５は、図３に示すダイシング装置３０のブレード３６によるワーク４０の切断方法を
説明する図である。なお、ここでは、ワーク４０として上記した積層分割体２２の両端を
切断する場合を例に挙げて説明する。
積層分割体２２の両端をダイシングするに際しては、積層分割体２２が粘着層４３を介
してダイシングテープ４１に貼り付けられ、そのダイシングテープ４１が基台３８上に真
空吸着された状態で処理が施される。すなわち、ブレード３６が第３モータ３７により、
図４に矢印で示す方向に回転させられつつ第２可動部材３４が第２モータ３５によりベー
ス３１に近づく方向（Ｚ軸方向）に移動させられることで、ブレード３６が積層分割体２
２の厚み方向に切り込まされ、更に積層分割体２２を載せた基台３８が第４モータ３９に
よりＸ軸方向に移動させられることで、前記ブレード３６が（Ｘ軸方向）に沿って移動し
て積層分割体２２の一端部側の突出部２３が切断される。そして第１可動部材３２が第１
モータ３３によりその１方向に垂直な方向（Ｙ軸方向）に移動されて積層分割体２２の他
端部側の突出部２３が切断される。
【００２８】
このように本実施形態においては、偏光変換素子を製造するにあたり図３に示すような
ダイシング装置３０を用いて積層分割体２２の両端の突出部２３を切断するようにしてい
る。このようした場合は、積層分割体２２の貼り合わせラインをアライメントラインとし
て利用することができるため、積層分割体２２の長さＬの寸法誤差が約５０μｍ（±２５
μｍ）まで向上させることができる。これにより、投射型表示装置の偏光照明光学系にお
いて要求される寸法精度（誤差±３０μｍ以内）を満足した偏光変換素子を実現すること
ができる。
【００２９】
また、積層分割体２２の突出部２３を切断する際の精度向上に伴い、切断した端面を基
準にして本実施形態の偏光変換素子を複数配列した場合、従来、４０分（±２０分）程度
のずれが発生していた偏光変換素子の端面間の平行度を約１０分（±５分）まで改善でき
ることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る偏光変換素子の製造方法を示した工程図。
【図２】本発明の第２の実施形態に係る偏光変換素子の製造方法を示した工程図。
【図３】第１及び第２の実施形態の偏光変換素子の製造工程において使用するダイシング装置の構成を示した図。
【図４】ブレードを図３の矢印Ａで示す方向から見た図。
【図５】図３に示すダイシング装置のブレードによるワークの切断方法を説明する図。
【図６】特許文献１に開示されている偏光照明装置の光学系の概略構成を示した図。
【図７】積層分割体の両端の突出部を平坦にする工程の一例を示した図。
【図８】ロータリー研削装置による積層分割体の両端の突出部を平坦にする工程の一例を示した図。
【図９】偏光分離プリズムアレイの平行度の説明図。
【符号の説明】
【００３１】
１…ガラス板材、２…治具、３…接着剤、１０、２０…透光性板材、１１…偏光分離膜、
１２…反射膜、２１…積層体、２２…積層分割体、２３…突出部、２４…波長板、３０…
ダイシング装置、３１…ベース、３２…可動部材、３３…モータ、３４…可動部材、３５
…モータ、３６…ブレード、３６ａ…ブレード本体、３６ｂ…フランジ、３７…モータ、
３８…基台、３９…モータ、４１…ダイシングテープ、４２…駆動軸、４３…粘着層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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