(57)【要約】【課題】高輝度、高効率で製造が容易な有機ＥＬ素子アレイを提供する。【解決手段】各有機ＥＬ素子の有機化合物層の上方にバンドパスフィルター層が形成されている。前記バンドパスフィルター層と、前記有機化合物層の下方に形成した反射層との間で微小共振器構造を形成している。所定の色の発光光のみが前記バンドパスフィルター層を透過し共振を起こさない構成とされている。【選択図】図１
2007335185.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一電極と第二電極との間に有機化合物層を狭持した有機ＥＬ素子が複数個配列されてなる有機ＥＬ素子アレイにおいて、
各有機ＥＬ素子の有機化合物層の上方にバンドパスフィルター層が形成されており、前記バンドパスフィルター層と、前記有機化合物層の下方に形成した反射層との間で微小共振器構造が形成されており、所定の色の発光光のみがバンドパスフィルターを透過し共振を起こさずに射出されることを特徴とする、有機ＥＬ素子アレイ。
【請求項２】
共振させる所定の色の発光光は、前記有機化合物層における光吸収、各層間での反射による損失が大きい発光光であることを特徴とする、請求項１に記載した有機ＥＬ素子アレイ。
【請求項３】
赤色の発光を示す有機ＥＬ素子と、緑色の発光を示す有機ＥＬ素子と、青色の発光を示す有機ＥＬ素子とを備えており、赤色の発光を示す有機ＥＬ素子、又は赤色及び緑色の発光を示す有機ＥＬ素子に共振器構造が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載した有機ＥＬ素子アレイ。
【請求項４】
バンドパスフィルター層に微細な凹凸が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載した有機ＥＬ素子アレイ。
【請求項５】
バンドパスフィルター層の凹凸はピッチが０．１６６μｍ以下であることを特徴とする、請求項４に記載した有機ＥＬ素子アレイ。
【請求項６】
バンドパスフィルター層の凹凸はアルミナを含有していることを特徴とする、請求項４又は５に記載した有機ＥＬ素子アレイ。
【請求項７】
バンドパスフィルター層の上方に共振器構造が形成されており、前記バンドパスフィルター層と前記バンドパスフィルター層の上方に形成された反射層との間で前記発光光を共振させていることを特徴とする、請求項１又は３に記載した有機ＥＬ素子アレイ。
【請求項８】
赤色の発光を示す有機ＥＬ素子と、緑色の発光を示す有機ＥＬ素子と、青色の発光を示す有機ＥＬ素子とを備えており、青色の発光を示す有機ＥＬ素子、又は青色及び緑色の発光を示す有機ＥＬ素子に前記バンドパスフィルター層と前記バンドパスフィルター層の上方に形成された反射層との間で共振器構造が形成されていることを特徴とする、請求項７に記載した有機ＥＬ素子アレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ素子（以下、素子と省略する場合がある。）が複数個配置されてなる有機ＥＬ素子アレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ブラウン管に代わる表示装置として、軽量で消費電力の小さいフラット表示装置の研究、開発が行われている。このなかで、有機ＥＬ素子アレイを備えた表示装置は、自発光で、応答速度が高速であり、低消費電力での駆動が可能な表示装置として、注目されている。有機ＥＬ素子アレイを構成する有機ＥＬ素子は、対抗する電極間に有機化合物層を挟持した構成とされている。有機ＥＬ素子の両電極間に電圧を印加すると、一方の電極から注入された電子と他方の電極から注入されたホールとが前記有機化合物層の発光層で再結合し、発生する再結合エネルギーにより前記発光層中の有機発光分子が励起される。励起状態にある有機発光分子が基底状態に戻る際に、放出されるエネルギーを光として取り出すことにより、有機ＥＬ素子は発光する。そのなかでも、ＴＦＴ基板上に積層した素子を発光させ、その光をＴＦＴ駆動回路や配線等が形成されている基板側とは反対の方向（いわゆるトップ側）から高効率に光を取り出す構成、すなわちトップエミッション型の表示装置の開発が進んでいる。
【０００３】
また有機ＥＬ素子において、光の干渉効果を利用する試みがなされている。例えば、特許文献１は、光反射材料からなる第一電極と、透明電極からなる第二電極との間に有機化合物層を挟持し、第二電極又は前記有機化合物層の発光層の少なくとも一方が、前記発光層で発光した光を共振させる共振器構造となる素子を開示している。この素子では、以下の式を満たす範囲で、共振器構造の光学的距離Ｌが正の最小値となるように構成されている。
【０００４】
（２Ｌ）／λ＋Φ／（２π）＝ｍ  （ｍは整数）
Ｌ：共振器構造の光学的距離
Φ：発光層で発生した光が共振器構造の両端で反射する際に生じる位相シフト
λ：発光層で発生した光のうちの取り出したい光のスペクトルのピーク波長
【０００５】
また各素子に微小共振器構造として機能するマイクロキャビティを形成し、特定波長の光を取り出すことも試みられており、この微小共振器構造を利用することで、特定の波長の光を選択増強することができる。例えば、特許文献２は、有機ＥＬ素子を複数個配列してなる有機ＥＬ素子アレイを開示している。この有機ＥＬ素子アレイは、互いに異なる色の発光光を射出する複数色の素子を有している。そして、特定の少なくとも一色の素子について、有機化合物層の発光層から射出される発光光を所定の光学長の範囲内で繰り返し反射させ、これによって特定の波長の発光光を増強選択する微小共振器構造を設けている。他の少なくとも一色の素子については、微小共振器構造を設けず、発光層から射出される発光をそのまま射出するように構成されている。
【０００６】
【特許文献１】国際公開第ＷＯ０１／０３９５５４
【特許文献２】特開２００５−１０８７３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の有機ＥＬ素子で有機ＥＬ素子アレイを構成するには、反射層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、半透過層を素子ごとに塗り分ける必要がある。そのため、マスク蒸着をする場合に工程数が増えてしまう問題がある。また、最適な光学的距離の共振器構造を設けても効率向上が得られない発光色が存在し、反射層と半透過層の間に特定波長を吸収してしまう層が存在すると、共振器構造を設けることで、効率が減少してしまうという問題がある。
【０００８】
本発明の目的は、高輝度、高効率で製造が容易な有機ＥＬ素子アレイを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記した背景技術の課題を解決するための手段として、請求項１に記載した発明に係る有機ＥＬ素子アレイは、第一電極と第二電極との間に有機化合物層を狭持した有機ＥＬ素子が複数個配列されてなる有機ＥＬ素子アレイにおいて、各有機ＥＬ素子の有機化合物層の上方にバンドパスフィルター層が形成されている。前記バンドパスフィルター層と、前記有機化合物層の下方に形成した反射層との間で微小共振器構造を形成しており、所定の色の発光光のみが前記バンドパスフィルター層を透過し共振を起こさないことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、所定の色の発光を示す有機ＥＬ素子は、下部反射電極とバンドパスフィルター層により有機化合物層を挟んだ形態で共振器構造を形成している。前記バンドパスフィルター層は所定の波長を持つ発光光のみ透過する性質を持っており、バンドパスフィルターを透過する発光光は前記共振器構造で共振を起こさずに素子外へ取り出される。そのためバンドパスフィルター層を透過する発光光は、有機化合物層における吸収や、共振領域における反射による損失の影響を受けずに、光を外部に取り出すことができる。
【００１１】
本発明を用いれば、共振器構造による干渉効果を使う発光色と使わない発光色を分けることができる。また、前記バンドパスフィルター層は素子ごとに塗り分ける必要がない為、最適な干渉効果を持つ有機ＥＬ素子アレイを容易に作製することができる。
【００１２】
しかも、各素子を塗り分けた場合と比べ、共振器構造が形成されていない素子の発光光は下部反射層との干渉強めあいだけを考慮すれば良いので、素子作成における工程を大幅に削減することが可能である。
【００１３】
ちなみに、上記所定の色以外の発光を示す有機ＥＬ素子にも共振器構造を形成する場合は、同共振器構造を有機化合物層の上方に形成させる。そのため、発光光は有機化合物層内で吸収されたり、反射層で損失することなく、発光光を効率よく取り出すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
＜第１実施形態＞
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は、赤色及び緑色の発光を示す素子に微小共振器構造を持ったトップエミッション型の有機ＥＬ素子アレイの概略図を示している。本実施形態の有機ＥＬ素子アレイは、基板（不図示）上に、反射アノード電極（第一電極）１１、ホール輸送層１２が形成されている。更に、青色発光層１３Ｂ、緑色発光層１３Ｇ、赤色発光層１３Ｒ、電子輸送層１４、電子注入層１５、バンドパスフィルター層１７、透明カソード電極（第二電極）１８が形成されてなる。赤色及び緑色の発光を示す素子では、有機化合物層１６を挟む反射アノード電極１１とバンドパスフィルター層１７との間で多重干渉現象を利用した共振器構造が形成され、同共振器構造で増強した光が透明カソード電極１８側から射出される。バンドパスフィルター層１７は、青色の発光光のみ透過する特性をもっている為、青色の発光光は共振を起こさずにそのまま透明カソード電極１８側から射出されることになる。
【００１６】
図１に示した有機ＥＬ素子アレイは、あくまでもごく基本的な素子構成であり、反射アノード電極１１、有機化合物層１６、バンドパスフィルター層１７、透明カソード電極１８の構成はこれに限定されるものではない。有機化合物層１６として、ホール輸送層１２、発光層１３、電子輸送層１４、電子注入層１５の４層以外にも更に、反射アノード電極１１とホール輸送層１２の間にホール注入を改善するためにホール注入層を設けた構成等も可能である。また反射アノード電極１１、有機化合物層１６、バンドパスフィルター層１７、透明カソード電極１８を逆さまに積層して、光取り出し方向を基板側に変更した構成（ボトムエミッション）も可能である。
【００１７】
反射アノード電極１１は、正孔の注入を効率よく行うため、仕事関数が大きい材料、具体的にはＩＴＯまたはＩＺＯなどの透明性の導電性金属酸化物層からなる。その下に反射率の高いメタル層、例えば、クロム、銀、白金、アルミ、または、これらを含む合金などを形成することが好ましい。上記メタル層が形成される場合、このメタル層と上記導電性金属酸化物層との境界面が共振器構造の下部反射層に相当する。ちなみに、前記反射アノード電極１１の反射率は、高い方が好ましく、８０％以上であることが好ましい。
【００１８】
ホール輸送層１２は、反射アノード電極１１から注入されたホールが発光層１３へと移動する際の経路となる層である。前記ホール輸送層１２の材料としては、Ｎ，Ｎ’−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−ベンジジン（Ｎ，Ｎ’−Ｄｉ（ｎａｐｈｔｈａｌｅｎｅ−１−ｙｌ）−Ｎ，Ｎ’−ｄｉｐｈｅｎｙｌ−ｂｅｎｚｉｄｉｎｅ：ＮＰＢ），４，４’，４’’−トリス（３−メチルフェニルフェニルアミノ）トリフェニルアミン（４，４’，４’’−ｔｒｉｓ（３−ｍｅｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌｐｈｅｎｙｌａｍｉｎｏ）ｔｒｉｐｈｅｎｙｌａｍｉｎｅ：ＭＴＤＡＴＡ），Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−ジ（３−メチルフェニル）−１，１’−ビフィニル−４，４’−ジアミン（Ｎ，Ｎ’−ｄｉｐｈｅｎｙｌ−Ｎ，Ｎ’−ｄｉ（３−ｍｅｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌ）−１，１’−ｂｉｐｈｅｎｙｌ−４，４’−ｄｉａｍｉｎｅ：ＴＰＤ）等が挙げられる。
【００１９】
発光層１３（Ｒ、Ｇ、Ｂ）は、到来した電子とホールが再結合し、光の３原色に対応した赤、緑、青の光を発生させる層である。電子輸送層１４から注入された電子とホール輸送層１２から注入されたホールが再結合する時、その際に発するエネルギーが内部に存在する有機分子の電子を励起する。前記励起した電子が緩和する際にエネルギーに応じた波長の光が放出され、発光を得ることができる。
【００２０】
発光層１３（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の材料としては、アルミキノリン錯体（Ａｌｑ３）、またはキナクリドン誘導体を含むビス（ベンゾキノライト）ベリリウム錯体（ｂｉｓ  （１０−ｈｙｄｒｏｘｙｂｅｎｚｏ［ｈ］ｑｕｉｎｏｌｉｎａｔｏ）  ｂｅｒｙｌｌｉｕｍ：Ｂｅｂｑ2）等が挙げられる。
【００２１】
電子輸送層１４は、透明カソード電極１８から注入された電子が発光層１３へと移動する際の経路となる層である。前記電子輸送層１４の材料としては、アルミキノリン錯体（Ａｌｑ3）、またはビス（ベンゾキノリノラト）ベリリウム錯体（ｂｉｓ  （１０−ｈｙｄｒｏｘｙｂｅｎｚｏ［ｈ］ｑｕｉｎｏｌｉｎａｔｏ）  ｂｅｒｙｌｌｉｕｍ：Ｂｅｂｑ2）等が挙げられる。
【００２２】
バンドパスフィルター層１７としては、図２（ａ）に示すようなサブ波長構造を持つ周期格子を使うことが可能であり、ここでは例として表面上にピラミッド型の角錐が多数形成されている。サブ波長構造を持つ周期格子は回折波を発生しないが、その構造は光波に対して平均的な屈折率を持った媒質と等価になる。つまり媒質３１と媒質３２の占有率は、錐の先端層ではほとんどが媒質３２、錐の根本層では媒質３１で占められている。図２（ｂ）に示すように平均屈折率は深さ方向に対して媒質３２から媒質３１の値に徐々に変わっている。光の反射は屈折率の急激な変化によって生じるので、連続的な屈折率変化に対して光はほとんど反射されない。例えば、電子情報通信学会論文誌２０００／３  Ｖｏｌ．Ｊ８３−Ｃ  Ｎｏ．３  Ｐ．１７３−１８１にピラミッド型微細周期格子の反射特性の計算例が記載されている。四角錐の高さが格子周期の１．５倍である微細構造の場合、波長が格子周期の１．５倍から３倍の間では反射率は０．１％以下となる。格子周期３３が１５０ｎｍの微細構造なら、青色の可視光（波長：４５０ｎｍ）のみ反射しないバンドパスフィルター層を得ることが可能である。また、格子周期３３が１８０ｎｍの微細構造を用いれば、青色及び緑色の可視光（波長：４５０ｎｍ、波長：５３０ｎｍ）を反射させないバンドパスフィルター層を得ることが可能である。バンドパスフィルター層１７の材質としてはアルミナ化合物を用いてもよい。
【００２３】
透明カソード電極１８としては、ＩＴＯやＩＺＯなどの透明性の導電性金属酸化物が好ましい。
【００２４】
次に本実施形態の機能ついて説明する。
【００２５】
反射アノード電極１１の上面とバンドパスフィルター層１７の下面とで繰り返し反射をおこす微小共振器構造として機能するように設定する。ここで、反射アノード電極１１とバンドパスフィルター層１７の光学的距離は、光路長＋位相シフトが特定波長の整数倍となっていることが望ましい。上記の光学的距離の共振領域を持つ微小共振器構造において、特定波長の発光光が繰り返し反射することで、特定周波数の発光光が射出される確率が上昇し、効率を改善させることができる。
【００２６】
しかし、最適な光学的距離の共振領域を持つ微小共振器構造を形成しても、必ずしも効率が向上するとは限らず、特定波長の発光光では共振器構造を設けることで、効率が悪化する場合も起こりうる。例えば、青色や緑色の発光光は、共振領域内の有機化合物層での吸収、反射層での損失が大きい為、十分な効率改善を得ることが難しい。
【００２７】
図３は本実施形態に係わる反射電極の透過率と反射率の波長依存性データである。この反射電極では５００ｎｍ付近から波長が短くなるにつれ、反射率が低下し、青色の波長領域である４００ｎｍ〜５００ｎｍでは赤や緑に比べ十分な反射率が得られないことがわかる。その為、共振器構造による繰り返し反射によって、青発光の損失が増加し却って効率を下げてしまう可能性がある。
【００２８】
図４は本実施形態に係わる有機化合物層の透過率と反射率の波長依存性データである。この有機化合物層では５５０ｎｍ付近から波長が短くなるにつれ、透過率が低下し、青色の波長領域である４００ｎｍ〜５００ｎｍでは透過率は６０％ほどまで減少してしまうことがわかる。その為、青色発光は共振器構造による繰り返し反射によって、有機化合物層における吸収が増加し、却って効率を下げてしまう可能性がある。
【００２９】
そこで、本実施形態ではバンドパスフィルター層１７で青色の発光光（波長：４５０ｎｍ）のみ反射させない構成としたトップエミッション型の有機ＥＬ素子アレイとしている。バンドパスフィルター層１７は赤色及び緑色の発光光に対しては反射層として機能する為、繰り返し反射により光増強する共振器構造を形成している。一方、青色の発光光はバンドパスフィルター層１７を透過する為、発光層１３Ｂで発生した発光をそのまま外部に取り出すことができる。青色の発光光は共振現象を起こさない為、有機化合物層１６での光吸収や反射層での損失を避け、効率よく外部に発光光を取り出すことが可能である。
【００３０】
上記バンドパスフィルター層１７を透過する発光光は青色に限定したことではなく、２色以上の発光光を透過させても良い。例えば図２に記載の微細凹凸構造を持ったバンドパスフィルター層を備えるなら、格子周期３３が１５０ｎｍなら、青色の可視光（波長：４５０ｎｍ）のみ反射しないバンドパスフィルター層を得ることが可能である。また、格子周期３３が１８０ｎｍの微細構造を用いれば、青色及び緑色の可視光（波長：４５０ｎｍ、波長：５３０ｎｍ）を反射させないバンドパスフィルター層を得ることが可能である。格子周期３３を調節することで、バンドバスフィルター層における透過と反射の割合を制御し、色度、視野角の優れた有機ＥＬ素子アレイを得ることも可能である。
【００３１】
青色の発光を示す素子は共振器構造の光学的距離を考慮する必要はなく、反射アノード電極１１で反射した光との強め合いの関係だけを考えれば良い。発光領域より上側の層の膜厚は青色の光取り出しにほとんど影響しない為、赤色や緑色の共振器構造に最適な膜厚に有機化合物層１６を設定することができ、素子ごとに有機化合物層１６の膜厚を設定しなくても良い。
【００３２】
赤色及び緑色の発光を示す素子は、発光光が反射アノード電極１１とバンドパスフィルター層１７とにより反射され、微小共振器構造として機能するように、有機化合物層１６の膜厚を設定しなければならない。発光色によって最適な共振距離が異なり、赤色及び緑色の有機化合物層１６の膜厚は以下の式を満たす範囲で、共振器構造の光学的距離Ｌが正の最小値となるように構成されていることが望ましい。
【００３３】
（２Ｌ）／λ＋Φ／（２π）＝ｍ  （ｍは整数）
Ｌ：共振器構造の光学的距離
Φ：発光層で発生した光が共振器構造の両端で反射する際に生じる位相シフト
λ：発光層で発生した光のうちの取り出したい光のスペクトルのピーク波長
【００３４】
＜第２実施形態＞
図５は、各素子に微小共振器構造を持ったトップエミッション型の有機ＥＬ素子アレイの概略図を示している。本実施形態の有機ＥＬ素子アレイは、反射アノード電極１１、ホール輸送層１２、青色発光層１３Ｂ、緑色発光層１３Ｇ、赤色発光層１３Ｒ、電子輸送層１４、電子注入層１５、バンドパスフィルター層１７、透明カソード電極１８、半透過層１９からなる。反射アノード電極１１とバンドパスフィルター層１７との間で多重干渉現象を利用した共振器構造が形成され、同共振器構造で増強した光が透明カソード電極１８側から射出される。前記バンドパスフィルター層１７として［００２２］記載のサブ波長構造を持つ周期格子を電子注入層１５側のみに設けると、青色の発光光のみ透過する特性をもっている為、青色の発光光は反射を起こさず、そのまま透明カソード電極１８に侵入する。透明カソード電極１８で反射された青色の発光光は前記バンドパスフィルター層１７のサブ波長構造を持つ周期格子が形成されていない面と半透過層１９の間で繰り返し反射され、素子の発光放射面側に射出される。
【００３５】
つまり、赤色及び緑色の発光光は、有機化合物層１６を挟み反射アノード電極１１とバンドパスフィルター層１７の間で共振現象を起こし、光増強されて半透過層１９側に射出される。バンドパスフィルター層１７を透過した青色の発光光は半透過層１９とバンドパスフィルター層１７の間で共振現象を起こし、光増強されて半透過層１９側に射出される。青色の発光光のみ共振器構造を有機化合物層１６の上方に形成することで、有機化合物層１６による光吸収を避けて高い輝度を得ることができる。
【００３６】
図５に示した本実施形態は、あくまでもごく基本的な素子構成であり、反射アノード電極１１、有機化合物層１６、バンドパスフィルター層１７、透明カソード電極１８、半透過層１９の構成はこれに限定されるものではない。有機化合物層１６として、ホール輸送層１２、発光層１３、電子輸送層１４、電子注入層１５の４層以外にも更に、反射アノード電極１１とホール輸送層１２の間にホール注入を改善するためにホール注入層を設けた構成等も可能である。また反射アノード電極１１を透明アノード電極とバンドパスフィルター層に、バンドパスフィルター層と透明カソード電極を反射カソード電極に変えて、光取り出し方向を基板側（ボトムエミッション）に変更した構成も可能である。
【００３７】
本実施形態は、有機化合物層１６が特定波長の光を吸収してしまい、共振器構造により十分な効率改善が得られない場合に有効な構成である。青色の共振器構造を有機化合物層１６の上方に形成することで、有機化合物層１６による光吸収を避けつつ、共振器構造による光増強をすることができる。
【００３８】
青色の発光を示す素子は、有機化合物層１６を挟む形態で共振器構造が形成されていないので、有機化合物層１６の膜厚を設定する際に、反射アノード電極１１で反射した光との強め合いの関係だけを考えれば良い。そのため、赤色や緑色の共振器構造に最適な膜厚に有機化合物層１６を設定することができ、各素子ごとに有機化合物層１６の膜厚を設定しなくても良い。
【００３９】
赤色及び緑色の発光を示す素子は、発光光が反射アノード電極１１とバンドパスフィルター層１７により反射され、微小共振器構造として機能するように、有機化合物層１６の膜厚を設定しなければならない。また青色の発光を示す素子は、発光光がバンドパスフィルター層１７と半透過層１９により反射され、微小共振器構造として機能するように、透明カソード層１８の膜厚を設定しなければならない。発光色によって最適な共振距離が異なり、共振領域の膜厚は以下の式を満たす範囲で、共振器構造の光学的距離Ｌが正の最小値となるように構成されていることが望ましい。
【００４０】
（２Ｌ）／λ＋Φ／（２π）＝ｍ  （ｍは整数）
Ｌ：共振器構造の光学的距離
Φ：発光層で発生した光が共振器構造の両端で反射する際に生じる位相シフト
λ：発光層で発生した光のうちの取り出したい光のスペクトルのピーク波長
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】バンドパスフィルター層を備えた有機ＥＬ素子アレイの断面図である。
【図２】微細な凹凸を持ったバンドパスフィルター層を説明するための断面図である。
【図３】本実施形態に係わる、反射電極の透過率と反射率の波長依存性のデータである。
【図４】本実施形態に係わる、有機化合物層の透過率と反射率の波長依存性のデータである。
【図５】青色の発光において有機化合物層の上方に共振器構造を設けた有機ＥＬ素子アレイの断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１１    反射アノード電極
１２    ホール輸送層
１３Ｒ  赤色発光層
１３Ｇ  緑色発光層
１３Ｂ  青色発光層
１４    電子輸送層
１５    電子注入層
１６    有機化合物層
１７    バンドパスフィルター層
１８    透明カソード電極
１９    半透過層
３１    バンドパスフィルター層側の媒質
３２    屈折率の異なる媒質
３３    微細構造の格子周期
【図１】
2007335185.tif 000003
【図２】
2007335185.tif 000004
【図３】
2007335185.tif 000005
【図４】
2007335185.tif 000006
【図５】
2007335185.tif 000007