(57)【要約】【課題】液滴の着弾位置の精度をより向上させること。【解決手段】液滴吐出装置は、第１の平面を有する第１の平面板を備えている。そして、第１の平面板は、第１の平面がインクジェットヘッドのノズルプレートの表面とともに実質的に一つの上部平面を構成するように、設けられている。また、ノズルプレートの表面は、上部平面の第１の方向に沿ったほぼ真中に位置する。さらに、上部平面の第１の方向に沿った長さは、ターゲットの表面の第１の方向に沿った長さの２倍以上である。また、上部平面の第２の方向に沿った長さは、ターゲットの表面の第２の方向に沿った長さ以上である。【選択図】図１
2007144300.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の表面が第１の方向と前記第１の方向に垂直な第２の方向とで決まる第１の仮想
平面に平行になるように、前記対象物を載置するステージと、
液滴を吐出するノズルの開口が設けられた外表面を有したインクジェットヘッドであっ
て、前記外表面が前記表面から所定距離だけ離れているとともに前記第１の仮想平面に平
行な第２の仮想平面上に位置している、インクジェットヘッドと、
前記表面に対する前記ノズルの相対位置が変わるように、前記ステージおよび前記イン
クジェットヘッドの少なくとも一方を他方に対して、少なくとも前記第１の方向に相対移
動させる機構と、
第１の平面を有する第１の平面板と、
を備えた液滴吐出装置であって、
前記第１の平面板は、前記第１の平面が前記第２の仮想平面上で前記外表面とともに実
質的に一つの上部平面を構成するように、設けられていて、
前記外表面は、前記上部平面の前記第１の方向に沿ったほぼ真中に位置し、
前記上部平面の前記第１の方向に沿った長さは前記表面の前記第１の方向に沿った長さ
の２倍以上であり、前記上部平面の前記第２の方向に沿った長さは前記表面の前記第２の
方向に沿った長さ以上である、
液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１記載の液滴吐出装置であって、
第２の平面を有する第２の平面板をさらに備え、
前記第２の平面板は、前記第２の平面が前記第１の仮想面上で前記表面とともに実質的
に一つの下部平面を構成するように設けられていて、
前記表面は前記下部平面の前記第１の方向に沿ったほぼ真中に位置し、
前記下部表面の前記第２の方向に沿った長さは前記表面の前記第２の方向に沿った長さ
以上である、
液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置を用いて対象物の表面に、機能液を配置する技術が知られている（例えば
（特許文献１）。このような技術に用いられる液滴吐出装置は、図５に示すように、イン
クジェットヘッド１０３と、インクジェットヘッド１０３を保持するキャリッジ１０３Ｃ
と、液滴が配置されることになる対象物１１１を載置するステージ１０２と、ステージ１
０２をＹ軸方向の正負の方向に移動させる走査機構と、を備えている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３４８３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の液滴吐出装置（図５）において、インクジェットヘッド１０３とキャリッジ１０
３Ｃとは剥き出しである。そして、インクジェットヘッド１０３とその周辺部が形成する
表面は複雑な形状を有している。このため、ステージ１０２またはインクジェットヘッド
１０３が移動すると、その移動に起因する風の影響を受けて、インクジェットヘッド１０
３と対象物１１１の表面との間の空間で、空気が予測不可能な複雑さをもって流れる。
【０００５】
このような予測不可能な空気の流れが生じると、インクジェットヘッド１０３からの液
滴が着弾する位置が、事前に期待された位置からずれる可能性が大きくなる。通常、イン
クジェットヘッドには複数のノズルが設けられているが、ノズルが設けられている位置に
応じて流れの影響が異なり得るので、着弾位置の予測が難しい。しかも、わずかな揺らぎ
によって空気の流れが毎回わずかに異なり得る。ここで、液滴の体積はピコリットルのオ
ーダなので、このような空気の流れが毎回わずかに異なるだけでも、液滴の飛翔経路への
影響が変わり得る。したがって、着弾位置がどのようにずれるかの予測も困難になる。
【０００６】
また、サイクルタイムを縮める目的でステージ１０２の速度を上げる場合には、液滴が
着弾する位置が風（気流）によってずれる度合いが顕著になる。また、１回の液滴の吐出
に伴なって生じ得る機能液のミストまたはサテライト滴が、気流によって巻き上げられて
、それらが意図しない部位に着弾する可能性もある。
【０００７】
さらに、液晶テレビ用の基板など、広い面積を有する対象物の表面に液滴を配置する場
合には、配置の最中から液滴の乾燥が始まってしまうこともある。そしてこのことによっ
て、基板上で乾燥ムラが発生し、結果として、得られる膜の厚さが均一になりにくいとい
う課題もある。
【０００８】
本発明は上記課題を鑑みてなされ、その目的の一つは、インクジェットヘッドからの液
滴の着弾位置の精度をより向上させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液滴吐出装置は、対象物の表面が第１の方向と前記第１の方向に垂直な第２の
方向とで決まる第１の仮想平面に平行になるように前記対象物を載置するステージと、液
滴を吐出するノズルの開口が設けられた外表面を有したインクジェットヘッドであって、
前記外表面が前記表面から所定距離だけ離れているとともに前記第１の仮想平面に平行な
第２の仮想平面上に位置している、インクジェットヘッドと、前記表面に対する前記ノズ
ルの相対位置が変わるように、前記ステージおよび前記インクジェットヘッドの少なくと
も一方を他方に対して、少なくとも前記第１の方向に相対移動させる機構と、第１の平面
を有する第１の平面板と、を備えている。そして、前記第１の平面板は、前記第１の平面
が前記第２の仮想平面上で前記外表面とともに実質的に一つの上部平面を構成するように
、設けられている。また、前記外表面は、前記上部平面の前記第１の方向に沿ったほぼ真
中に位置する。さらに、前記上部平面の前記第１の方向に沿った長さは前記表面の前記第
１の方向に沿った長さの２倍以上であり、前記上部平面の前記第２の方向に沿った長さは
前記表面の前記第２の方向に沿った長さ以上である。
【００１０】
上記構成によれば、第１の平面板の第１の平面と、インクジェットヘッドの外表面とが
、実質的に一つの上部平面を構成している。このため、ステージとインクジェットヘッド
との少なくとも一方が他方に対して第１の方向に相対移動する場合に、インクジェットヘ
ッドの外表面の周囲での段差が小さいので、この相対移動によって生じる気流における乱
れが小さくなる。そしてこのため、液滴の着弾精度が向上する。
【００１１】
好ましくは、上記液滴吐出装置が、第２の平面を有する第２の平面板をさらに備えてい
る。そして、前記第２の平面板は、前記第２の平面が前記第１の仮想面上で前記表面とと
もに実質的に一つの下部平面を構成するように設けられている。さらに、前記表面は前記
下部平面の前記第１の方向に沿ったほぼ真中に位置し、前記下部表面の前記第２の方向に
沿った長さは前記表面の前記第２の方向に沿った長さ以上である。
【００１２】
上記構成によれば、対象物の表面とともに下部平面を構成する第２の平面が存在する。
このため、上部平面と対象物の表面との間で、対象物の表面に配置された液滴から気化し
た溶媒が閉じ込められやすくなる。溶媒が閉じ込められ易いと、対象物の表面から溶媒が
蒸発する速度が対象物の表面に亘って均一になるので、結果として、対象物の表面に亘っ
て均一な厚さの膜が得られやすい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１から図４を参照しながら、本実施形態の液滴吐出装置１を説明する。液滴吐出装置
１は、ステージ２と、インクジェットヘッド３と、走査機構４と、平面板５Ａ，５Ｂ，７
Ａ，７Ｂ，６Ａ，６Ｂと、グランドステージ８と、を備えている。
【００１４】
ステージ２は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の双方に平行な表面を有している。この表面に
は、対象物１１が載置されることになる。そして、載置された対象物１１の表面には、イ
ンクジェットヘッド３からの液滴が着弾することになる。以下では、液滴が着弾する表面
を「ターゲット表面１１Ｓ」と表記する。なお、Ｘ軸方向と、Ｙ軸方向とは、互いに垂直
である。
【００１５】
ここで、本実施形態の対象物１１は、液晶表示装置の一部となる素子側基板である。素
子側基板は、好適には、基板と、複数のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）と、複数のＴＦＴに
対応した複数の画素電極と、を備えている。本実施形態では、複数の画素電極の表面のそ
れぞれが素子側基板の最表面を構成している。液滴吐出装置１は、このような素子側基板
の少なくともそれぞれの最表面に、機能液の液滴を配置する装置である。ここで、本実施
形態の機能液は液晶配向材料を含有している。そして、機能液の液滴が配置されることで
、素子側基板上に、液晶配向材料からなる液晶配向膜が設けられることになる。
【００１６】
なお、後述するように、対象物１１は素子側基板のみに限定されない。また、機能液は
、液晶配向材料に代えて他の材料を含有してよい。
【００１７】
対象物１１がステージ２上に載置された場合、ターゲット表面１１Ｓが仮想平面ＶＰ２
上に位置する。ここで、「仮想平面ＶＰ２」とは、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の双方に平行
な水平面の一つである。
【００１８】
インクジェットヘッド３の外表面３Ｓには、複数のノズルが設けられている。ここで、
この外表面３Ｓは、ノズルプレートの表面であり、複数のノズルのそれぞれの開口はノズ
ルプレートによって規定されている。そして、複数のノズルのそれぞれからは、インクジ
ェットヘッド３内に位置するピエゾ素子の作用、または電気熱変換素子の作用によって、
液滴が吐出される。なお、複数のノズルのそれぞれから吐出される液滴の体積は、本実施
形態では１．５ｐｌ（ピコリットル）であるが、ピエゾ素子に印加する駆動波形を変える
ことで、１．５ｐｌから４２．０ｐｌの範囲で可変である。
【００１９】
インクジェットヘッド３は、外表面３Ｓがターゲット表面１１Ｓに対向するように、キ
ャリッジ（不図示）上で配向されている。そして、インクジェットヘッド３がこのように
配向されているので、複数のノズルから吐出された液滴はいずれも、ターゲット表面１１
Ｓに着弾できる。
【００２０】
外表面３Ｓは、ターゲット表面１１Ｓから所定距離だけ離れているとともに、上述の仮
想平面ＶＰ２に平行な「仮想平面ＶＰ１」上に位置している。ただし、仮想平面ＶＰ１と
仮想平面ＶＰ２との間の距離は、約３００μｍである。したがって、外表面３Ｓとターゲ
ット表面１１Ｓとの間の距離も、約３００μｍである。ここで、外表面３Ｓとターゲット
表面１１Ｓとの間のこの距離は「ヘッドギャップ」とも呼ばれ、ノズルとターゲット表面
１１Ｓとの間の距離にほぼ等しい。なお、「ヘッドギャップ」は、インクジェット式プリ
ンタの「プラテンギャップ」に相当する。
【００２１】
走査機構４は、ターゲット表面１１Ｓに対するノズルの相対位置が変わるように、ステ
ージ２およびインクジェットヘッド３の少なくとも一方を他方に対して、相対移動させる
機能を有する。具体的には、走査機構４は、グランドステージ８上に設けられたＹ軸ガイ
ドレールと、Ｙ軸ガイドレールに沿ってＹ軸方向の正負の方向に移動するＹ軸スライダと
、グランドステージ８に固定された支持部（不図示）と、支持部上に設けられたＸ軸ガイ
ドレールと、Ｘ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向の正負の方向に移動するＸ軸スライダと
、を備えている。
【００２２】
ステージ２は、Ｙ軸スライダに連結されており、このため、Ｙ軸スライダとともに、Ｙ
軸方向の正負の方向に移動できる。また、インクジェットヘッド３は、キャリッジ（不図
示）を介してＸ軸スライダに連結されており、このため、Ｘ軸スライダとともに、Ｘ軸方
向の正負の方向に移動できる。
【００２３】
次に、図１、図２、および図４を参照しながら、平面板５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂを説明
する。なお、図４には、ステージ２側からの視点で、インクジェットヘッド３の周辺が描
かれている。
【００２４】
平面板５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂはいずれも、インクジェットヘッド３に隣合うように位
置する。ここで、これら平面板５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂはそれぞれ、仮想平面ＶＰ１上に
位置した平面５ＡＳ，５ＢＳ，６ＡＳ，６ＢＳを有する。これら平面５ＡＳ，５ＢＳ，６
ＡＳ，６ＢＳはいずれも、ステージ２側を向いた面である。そして、平面５ＡＳ，５ＢＳ
，６ＡＳ，６ＢＳは仮想平面ＶＰ１上で、外表面３Ｓとともに実質的に一つの「上部平面
」を構成する。
【００２５】
図４に示すように「上部平面」は、これら外表面３Ｓと平面５ＡＳ，５ＢＳ，６ＡＳ，
６ＢＳとの組合せによって得られる実平面であり、後述するように、全体としてターゲッ
ト表面１１Ｓに重畳する大きさを有している。ここで、「上部平面」内で、外表面３Ｓと
、平面５ＡＳ，５ＢＳとは、Ｙ軸方向に並んでいる。ただし、外表面３Ｓは、平面５ＡＳ
，５ＢＳの間に位置している。また、「上部平面」内で、外表面３Ｓと、平面６ＡＳ，６
ＢＳとは、Ｘ軸方向に並んでいる。ただし、外表面３Ｓは、平面６ＡＳ，６ＢＳの間に位
置している。
【００２６】
ここで、ターゲット表面１１ＳのＸ軸方向に沿った長さをＬｘと表記する。そして、こ
の表記にしたがうと、平面５ＡＳ，５ＢＳのＸ軸方向の長さは、どちらもＬｘ以上である
。ここで、外表面３ＳのＸ軸方向の長さをＨｘと表記する。本実施形態では、ＨｘはＬｘ
未満である。つまり、Ｘ軸方向に関して、外表面３Ｓの長さは、ターゲット表面１１Ｓの
長さ（Ｌｘ）よりも短いし、平面５ＡＳ，５ＢＳの長さよりも短い。
【００２７】
上述のように、外表面３Ｓは平面５ＡＳ，５ＢＳの間に位置している。しかしながら、
Ｘ軸方向に関して、平面５ＡＳ，５ＢＳの長さが外表面３Ｓの長さよりも長いので、外表
面３Ｓの両側にそれぞれ「隙間部分」が生じる。
【００２８】
そこで、２つの平面板６Ａ，６Ｂはどちらも、「隙間部分」を覆うように位置している
。ここで、インクジェットヘッド３がＸ軸方向に移動するので、インクジェットヘッド３
のＸ軸方向の位置に応じて２つの「隙間部分」の大きさが変わる。そこで、インクジェッ
トヘッド３のＸ軸方向に沿った位置がどこであっても、「隙間部分」を覆えるように、２
つの平面板６Ａ，６Ｂはどちらも、ロールスクリーンによって実現されている。そして、
インクジェットヘッド３の位置に応じて平面６ＡＳ，６ＢＳのそれぞれの面積が変わるよ
うに、２つの平面板６Ａ，６Ｂが構成されている。
【００２９】
例えば、平面板６Ａの場合には、平面板６Ａの一端はキャリッジ（不図示）に固定され
ており、他端はリール９Ａに固定されている。ここで、リール９Ａの位置は、支持部また
はグランドステージ８に対して固定されている。そして、インクジェットヘッド３がＸ軸
方向の正方向へ移動することで、インクジェットヘッド３がリール９Ａから離れる場合に
は、平面板６Ａはリール９Ａから出される。同様に、インクジェットヘッド３がＸ軸方向
の負方向に移動することで、インクジェットヘッド３がリール９Ａに近づく場合には、平
面板６Ａはリール９Ａに巻き取られる。平面板６Ｂとリール９Ｂとの関係も、平面板６Ａ
とリール９Ａとの関係と同様である。
【００３０】
２つの平面板６Ａ，６Ｂがこのような構成を有しているので、インクジェットヘッド３
がターゲット表面１１Ｓに対して相対移動しても、「上部平面」は、隙間のない実平面を
保ち続ける。つまり、インクジェットヘッド３の位置によらず、「上部平面」はターゲッ
ト表面１１Ｓを完全に覆う。
【００３１】
上述のように、「上部平面」は、インクジェットヘッド３の外表面３Ｓと、平面５ＡＳ
，５ＢＳ，６ＡＳ，６ＢＳと、の組合せによって得られる実平面である。ここで、ターゲ
ット表面１１ＳのＹ軸方向に沿った長さをＬｙと表記する。そして、この表記にしたがう
と、「上部平面」のＹ軸方向に沿った長さは、Ｌｙの２倍以上である。また、「上部平面
」のＸ軸方向に沿った長さは、上述のＬｘ以上である。
【００３２】
「上部平面」は、完全な連続平面でなくてもよい。本実施形態では、外表面３Ｓと平面
５ＡＳとの間に僅かな隙間があり、同様に、外表面３Ｓと平面５ＢＳとの間に僅かな隙間
があるが、どちらも以下で述べる効果を得る際に障害にならない程度の小ささの隙間であ
る。外表面３Ｓと平面６ＡＳ，６ＢＳとの間の隙間も、外表面３Ｓと平面５ＡＳ，５ＢＳ
との間の隙間と同様である。
【００３３】
外表面３Ｓは、「上部平面」のＹ軸方向に沿ったほぼ真中に位置する。つまり、Ｙ軸方
向に関しては、外表面３Ｓを中心して、正方向にも負方向にも、長さＬｙに亘って「上部
平面」が存在する。また、「上部平面」のＸ軸方向の長さは、Ｌｘ以上である。しかも、
Ｘ軸方向に関して「上部平面」は、ターゲット表面１１Ｓと完全に重畳するように位置し
ている。これらのことから、インクジェットヘッド３がＹ軸方向の正方向に相対移動して
、ターゲット表面１１Ｓの正方向の末端に達した場合でも、ターゲット表面１１Ｓの全体
が「上部平面」に覆われたままである。同様に、インクジェットヘッド３がＹ軸方向の負
方向に相対移動して、ターゲット表面１１Ｓの負方向の末端に達した場合でも、ターゲッ
ト表面１１Ｓの全体は「上部平面」に覆われたままである。
【００３４】
「上部平面」とターゲット表面１１Ｓとはほぼ互いに平行であるとともに、向き合って
いる。「上部平面」とターゲット表面１１Ｓとの間の距離は、上述の「ヘッドギャップ」
にほぼ等しい。そして、「上部平面」は実質的な段差が存在しない平らな平面である。ま
た、ステージ２およびインクジェットヘッド３の一方が他方に対してどのように相対移動
する場合にも、ターゲット表面１１Ｓが「上部平面」に覆われるように、「上部平面」の
大きさが決められている。そして、ターゲット表面１１Ｓの全体が常に「上部平面」に覆
われているので、気化した溶媒の雰囲気がターゲット表面１１Ｓの全体に亘って一定に保
たれる。「上部平面」とターゲット表面１１Ｓとの間の空間に、溶媒の雰囲気が閉じ込め
られるからである。そしてこの結果、ターゲット表面１１Ｓ上の場所によらず液滴から溶
媒が蒸発する速度が一定になるので、ターゲット表面１１Ｓ上の場所に依らず液滴が乾燥
する速度が一定になる。そして、ターゲット表面１１Ｓ上の場所に依らず液滴が乾燥する
速度が一定になるので、配置された液滴から得られる膜の厚さが一定になりやすい。
【００３５】
また、外表面３Ｓは、「上部平面」の一部である。そして、特に、Ｙ軸方向に沿って外
表面３Ｓを挟むように平面５ＡＳ，５ＢＳが位置している。このため、Ｙ軸方向に関して
、外表面３Ｓの近傍に実質的な段差がない。このことから、ステージ２およびインクジェ
ットヘッド３の一方が他方に対してＹ軸方向に相対移動する場合に生じる気流に、乱れが
起きにくくなる。あるいは、この気流の乱れが、事前に予想されやすくなる。このことか
ら、吐出された液滴の着弾位置の予測がしやすくなる。また、予期せぬ気流の乱れが生じ
る可能性が低下するので、実際の着弾位置が事前に予測された着弾位置からずれる可能性
も低下する。また、気流の乱れ自体が比較的に低いことから、Ｙ軸方向への相対移動の速
度を上げても、気流が乱れる程度が小さい。したがって、Ｙ軸方向への相対移動の速度を
上げることができるので、この結果、ターゲット表面１１Ｓの面積が大きい対象物１１を
扱う場合にも、処理に必要となる時間の増加を抑えることができる。
【００３６】
次に、図１、図２、および図３を参照しながら、２つの平面板７Ａ，７Ｂを説明する。
【００３７】
２つの平面板７Ａ，７Ｂのどちらも、ステージ２上の対象物１１に隣合うように位置し
ている。ここで、２つの平面板７Ａ，７Ｂのどちらも、ステージ２に対して固定されてい
る。これら２つの平面板７Ａ，７Ｂは、それぞれ平面７ＡＳ，７ＢＳを有する。そして、
これら平面７ＡＳ，７ＢＳは、仮想平面ＶＰ２上で、ターゲット表面１１Ｓとともに実質
的に一つの「下部平面」を構成する。「下部平面」は、ターゲット表面１１Ｓと、平面７
ＡＳ，７ＢＳと、の組合せからなる実平面である。ここで、本実施形態では、対象物１１
の厚さよりも、２つの平面板７Ａ，７Ｂの厚さの方が小さい。このため、ターゲット表面
１１Ｓと平面７ＡＳとの間には、段差がある。同様に、ターゲット表面１１Ｓと平面７Ｂ
Ｓとの間にも、段差がある。しかしながら、これらの段差の大きさが、対象物１１の厚さ
未満であれば、ターゲット表面１１Ｓと、平面７ＡＳ，７ＢＳとが、１つの平坦な平面（
「下部平面」）を構成すると表記する。
【００３８】
図３に示すように、「下部平面」内で、ターゲット表面１１Ｓと、平面７ＡＳ，７ＢＳ
とは、Ｙ軸方向に沿って並んでいる。具体的には、「下部平面」内で、ターゲット表面１
１Ｓは、平面７ＡＳ，７ＢＳの間に挟まれている。そして、「下部平面」のＸ軸方向に沿
った長さは、Ｌｘ以上である。
【００３９】
図１、図２、および図３に示すように、２つの平面板７Ａ，７Ｂのそれぞれは、ロール
スクリーンによって実現されている。そして、平面板７Ａの場合には、平面板７Ａの一端
はステージ２に固定されており、他端はリール１０Ａに固定されている。ここで、リール
１０Ａは、グランドステージ８に対して固定されている。そして、ステージ２がＹ軸方向
の正方向へ移動することで、ステージ２がリール１０Ａから離れる場合には、平面板７Ａ
はリール１０Ａから出される。同様に、ステージ２がＹ軸方向の負方向へ移動することで
、ステージ２がリール１０Ａに近づく場合には、平面板７Ａはリール１０Ａに巻き取られ
る。平面板７Ｂとリール１０Ｂとの関係も、平面板７Ａとリール１０Ａとの関係と同様で
ある。
【００４０】
仮に、２つの平面板７Ａ，７Ｂがない場合には、「下部平面」はターゲット表面１１Ｓ
だけからなる。したがって、２つの平面板７Ａ，７Ｂによって、ターゲット表面１１Ｓを
基準にして、「下部平面」の面積を広げることができる。このため、気化した溶媒の雰囲
気をターゲット表面１１Ｓ近傍に閉じ込める効果が向上する。そしてこのことから、ター
ゲット表面１１Ｓ上の場所に依らず液滴から溶媒が蒸発する速度が一定になるので、ター
ゲット表面１１Ｓ上の場所に依らず液滴の乾燥の速度が一定になる。そして、ターゲット
表面１１Ｓ上の場所に依らず液滴が乾燥する速度が一定になるので、配置された液滴から
得られる膜の厚さが一定になりやすい。
【００４１】
しかも、「下部平面」は「上部平面」と同様に、実質的な段差が存在しない平らな平面
である。ステージ２およびインクジェットヘッド３の移動による気流における乱れがより
生じにくくなる。
【００４２】
（変形例１）
上述の対象物１１は、素子側基板である。ただし、素子側基板に代えて、対象物１１は
、液晶表示装置の一部となる対向基板であってもよいし、カラーフィルタ用の基板でもよ
いし、有機エレクトロルミネッセンス表示装置用の基板でもよいし、最終的に多層構造基
板の一部となる層であってもよい。また、上記実施形態の機能液は、液晶配向材料を含有
する。ただし、機能液の液滴が配置される対象物に応じて、機能液が含有する材料は、液
晶材料でもよいし、有機エレクトロルミネッセンス材料でもよいし、カラーフィルタ材料
でもよいし、導電性材料でもよいし、絶縁性材料でもよい。
【００４３】
（変形例２）
上記実施形態では、平面５ＡＳ，５ＢＳは、２つの平面板５Ａ，５Ｂの表面である。た
だし、２つの平面板５Ａ，５Ｂの代わりに、１つの平面板が用いられてもよい。具体的に
は、２つの平面板５Ａ，５Ｂの代わりに、インクジェットヘッド３がＸ軸方向へ移動する
領域が空洞である１つの平面板が用いられてもよい。要するに、インクジェットヘッド３
の位置に依らず、「上部平面」がターゲット表面１１Ｓの全体を覆うのであれば、「上部
平面」を構成する平面を提供する平面板の数と形状とは、どちらも制限はない。
【００４４】
同様に、上記実施形態では、平面７ＡＳ，７ＢＳは、それぞれの２つの平面板７Ａ，７
Ｂの表面である。ただし、２つの平面板７Ａ，７Ｂの代わりに、１つの平面板が用いられ
てもよい。具体的には、２つの平面板７Ａ，７Ｂの代わりに、ステージ２上の対象物１１
に対応した空洞を有する１つの平面板が用いられてもよい。要するに、ターゲット表面１
１Ｓとともに「下部平面」を構成できるのであれば、「下部平面」を構成する平面を提供
する平面板の数と形状とは、どちらも制限はない。
【００４５】
（変形例３）
上記実施形態では、平面板６Ａ，６Ｂはどちらも、ロールスクリーンである。ただし、
このような構成に代えて、平面板６Ａ，６Ｂは、蛇腹構造と、蛇腹構造の下部に連結され
た平面板と、を有した構造体であってもよい。このような構造によれば、蛇腹の伸縮に応
じて、平面板がＸ軸方向にスライドする。要するに、インクジェットヘッド３のＸ軸方向
の位置に拠らず、上述の「隙間部分」を覆うのであれば、平面板６Ａ，６Ｂの数と、形状
と、構造とに、制限はない。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】液滴吐出装置の断面を示す模式図。
【図２】液滴吐出装置の断面を示す模式図。
【図３】液滴吐出装置のステージ側の平面を示す模式図。
【図４】液滴吐出装置のインクジェットヘッド側の平面を示す模式図。
【図５】従来の液滴吐出装置の断面を示す模式図。
【符号の説明】
【００４７】
１…液滴吐出装置、２…ステージ、３…インクジェットヘッド、３Ｓ…外表面、４…走
査機構、５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ，７Ａ，７Ｂ…平面板、５ＡＳ，５ＢＳ，６ＡＳ，６Ｂ
Ｓ，７ＡＳ，７ＢＳ…平面、８…グランドステージ、９Ａ，９Ｂ…リール、１０Ａ，１０
Ｂ…リール、１１…対象物、１１Ｓ…ターゲット表面。
【図１】
2007144300.tif 000003
【図２】
2007144300.tif 000004
【図３】
2007144300.tif 000005
【図４】
2007144300.tif 000006
【図５】
2007144300.tif 000007