(57)【要約】【課題】  シールによる摩擦力の増加を防ぎ、回転ロスの小さいポンプ装置を提供する。【解決手段】  ベーンポンプは、ロータ１と第２サイドハウジング６との間に配置されたプレッシャプレート１７と、このプレッシャプレート１７をロータ１側に付勢する付勢手段１８と、吐出空気をプレッシャプレート１７と第２サイドハウジング６との間に形成されたキャンセル室１９へ導く加圧流体付与手段２０とを備える。ポンプ室１３内で加圧された圧力により、プレッシャプレート１７にはサイド方向外向きの力が発生する。一方、キャンセル室１９に導かれた高圧の吐出空気により、プレッシャプレート１７にはサイド方向内向きの力が発生する。即ち、サイド方向外向きの力が、サイド方向内向きの力でキャンセルされる。このキャンセル機構により、シール部材をロータに強く押し付けなくてもシール性を確保でき、ロータ１の回転ロスを小さくできる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転するロータと、
このロータの径方向を覆うリングハウジング、前記ロータの回転軸方向を覆うサイドハウジングを備え、前記ロータと前記リングハウジングの間の加圧流体を外部へ導く吐出通路が設けられたハウジングと、
前記ロータと前記サイドハウジングとの間に配置され、前記リングハウジングの内壁面に嵌め合わされて軸方向に摺動自在に支持されるプレッシャプレートと、
このプレッシャプレートを、前記ロータ側に付勢する付勢手段と、
前記加圧流体を、前記プレッシャプレートと前記サイドハウジングとの間に形成されるキャンセル室に導く加圧流体付与手段と、
を具備する加圧流体吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の加圧流体吐出装置において、
この加圧流体吐出装置は、前記ロータの回転に伴う容積変動により流体の吸入と吐出を行うポンプ装置であることを特徴とする加圧流体吐出装置。
【請求項３】
回転するロータと、
このロータの径方向を覆うリングハウジング、前記ロータの回転軸方向を覆うサイドハウジングを備え、前記ロータと前記リングハウジングで囲まれるポンプ室に吸引負圧が生じるハウジングと、
前記ポンプ室の一方の軸方向側面を覆うとともに、前記ロータと前記サイドハウジングとの間に挟まれて配置され、前記吸引負圧により前記ポンプ室側へ引き寄せられる可撓性の膜状部材と、
を具備するポンプ装置。
【請求項４】
請求項３に記載のポンプ装置において、
前記膜状部材は、前記ロータと前記サイドハウジングとの間の微小クリアランスに配置されることを特徴とするポンプ装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載のポンプ装置において、
前記膜状部材は、前記リングハウジングと前記サイドハウジングの軸方向間に挟み付けられて固定されることを特徴とするポンプ装置。
【請求項６】
請求項３〜請求項５のいずれかに記載のポンプ装置において、
このポンプ装置は、加圧流体を前記膜状部材と前記サイドハウジングとの間のクリアランスに導く加圧流体付与手段を備えることを特徴とするポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロータの回転に伴って加圧流体（高圧流体）が吐出する加圧流体吐出装置（例えば、ポンプ装置やロータリエンジン等）、およびロータが回転して内部で吸引負圧が生じるポンプ装置に関するものであり、特にロータのサイド面のシール構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
（従来技術）
ロータのサイド面のシール構造に関する従来の技術として、特許文献１に開示された技術が知られている。
特許文献１は、図４に示すように、ベーンポンプにおけるロータ１のサイドシールに関する技術であり、リング状のシール部材Ｊ１をスプリングＪ２によってロータ１の外周縁に押し付け、ロータ１の外周縁と、第１、第２サイドハウジング５、６との間のシールを行うものである。
【０００３】
（従来技術の問題点）
ポンプ装置は、ロータ１の回転に伴い、小さい空間容積を大きい空間容積に変化させて外部流体を吸引し、大きい空間容積を小さい空間容積に変化させて吸引した流体を加圧して外部に吐出するものであるため、吐出側では内圧が高くなる。
このため、吐出側において高い吐出圧が作用しても、シール性を確保するためには、シール部材Ｊ１をロータ１に押し付けるスプリングＪ２の付勢力（バネ力）を大きくする必要がある。
【０００４】
しかし、シール部材Ｊ１がロータ１に強く押し付けられることにより、ロータ１とシール部材Ｊ１の摩擦が大きくなり、ポンプ効率が低下する。
また、ロータ１の駆動力を高める必要があるため、ロータ１の駆動装置（例えば、電動モータ）が大型化して体格が大きくなるとともに、コストも高くなる。
さらに、ロータ１に大きな駆動力が必要とされるため、駆動装置の消費エネルギー（例えば、消費電力）が大きくなってしまう。
【特許文献１】特開平７−３１７６７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、吐出側において高い圧力が作用しても摩擦力の増加を防いでロータのサイドシールが可能であり、ロータの回転ロスの小さい加圧流体吐出装置およびポンプ装置の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［請求項１の手段］
請求項１の手段を採用する加圧流体吐出装置は、プレッシャプレートを付勢手段（スプリング等）によってロータ側に押し付けて、ロータのサイド面のシールを行うとともに、加圧流体付与手段によって加圧流体をプレッシャプレートとサイドハウジングとの間に形成されるキャンセル室へ導く構成を採用している。
ここで、ロータとリングハウジングの間の高い圧力は、プレッシャプレートをロータから離れる側に押し出す力（サイド方向外向きの力）を発生する。
一方、プレッシャプレートとサイドハウジングとの間のキャンセル室に導かれた加圧流体の圧力が、プレッシャプレートをロータ側へ押し付ける力（サイド方向内向きの力）を発生する。
このように、請求項１の技術では、サイド方向外向きの力を、サイド方向内向きの力でキャンセルする。
このため、吐出側に高い圧力が作用しても、サイドシールを行うプレッシャプレートをロータ側に付勢する付勢手段（スプリング等）の付勢力を大きくすることなく、ロータのサイド面のシール性を確保することができる。
吐出側に高い圧力が作用しても、付勢手段の付勢力を大きくする必要がないため、ロータの摩擦を抑えることができ、ロータの回転ロス（ポンプ装置の場合はポンプ効率のロス、ロータリエンジン等の出力装置の場合は出力ロス）を小さくできる。
【０００７】
［請求項２の手段］
請求項２の手段を採用する加圧流体吐出装置は、ロータの回転に伴う容積変動により流体の吸入と吐出を行うポンプ装置である。
これによって、ポンプ効率の低下を防ぐことができる。
また、ロータの回転ロスを小さくできるため、ロータの駆動力を小さくすることが可能となり、ロータの駆動装置（例えば、電動モータ）を小型化でき、ポンプ装置の体格を小さくすることが可能になる。また、ロータの駆動装置（例えば、電動モータ）の小型化により、コストも下げることが可能になる。
さらに、ロータの駆動力を小さくできるため、駆動装置（例えば、電動モータ）の消費エネルギー（例えば、消費電力）を抑えることができる。
【０００８】
［請求項３の手段］
請求項３の手段を採用するポンプ装置は、ポンプ室の一方の軸方向側面を覆うとともに、ロータとサイドハウジングとの間に配置され、ロータとリングハウジングで囲まれるポンプ室に生じる吸引負圧によりポンプ室側へ引き寄せられる可撓性の膜状部材によって、ロータのサイド面のシールを行う。
ポンプ室側へ引き寄せられた膜状部材によって、ロータのサイド面のシール性を確保する。即ち、ロータの吐出圧の影響を受けることなく、ロータのサイド面のシール性を確保することができる。
このように、吐出圧側においてシール部材をロータに強く押し付けるための付勢手段を備えないため、ロータの摩擦を抑えることが可能となり、ポンプ効率の低下を防ぐことができる。
また、ロータの摩擦が抑えられるため、ロータの駆動力を小さくできる。これによって、ロータの駆動装置（例えば、電動モータ）を小型化でき、ポンプ装置の体格を小さくすることが可能になるとともに、コストも下げることが可能になる。
さらに、ロータの駆動力を小さくできるため、駆動装置（例えば、電動モータ）の消費エネルギー（例えば、消費電力）を抑えることができる。
【０００９】
［請求項４の手段］
請求項４の手段を採用するポンプ装置は、膜状部材がロータとサイドハウジングとの間の微小クリアランスに配置される。
これにより、吐出側において吐出圧により膜状部材がロータから離れても、膜状部材とロータの隙間が小さく抑えられることになり、ロータのサイド面のシール性を高く保つことが可能になる。
【００１０】
［請求項５の手段］
請求項５の手段を採用するポンプ装置は、膜状部材がリングハウジングとサイドハウジングの軸方向間に挟み付けられて固定される。
これにより、膜状部材によってリングハウジングとサイドハウジングの間のシール性を確保することができる。
【００１１】
［請求項６の手段］
請求項６の手段を採用するポンプ装置は、加圧流体を膜状部材とサイドハウジングとの間のクリアランスに導く加圧流体付与手段を備える。
これによって、吐出側において膜状部材がロータから離れる作用が抑えられることになり、ロータのサイド面のシール性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
最良の形態１の加圧流体吐出装置は、ポンプ装置（ベーンポンプ、トロコイドポンプ等の各種ポンプ）やロータリエンジンのサイドシールなどに用いて好適なものであり、回転するロータと、このロータの径方向を覆うリングハウジング、ロータの回転軸方向を覆うサイドハウジングを備え、ロータとリングハウジングの間の加圧流体を外部へ導く吐出通路が設けられたハウジングと、ロータとサイドハウジングとの間に配置され、リングハウジングの内壁面に嵌め合わされて軸方向に摺動自在に支持されるプレッシャプレートと、このプレッシャプレートをロータ側に付勢する付勢手段と、加圧流体をプレッシャプレートとサイドハウジングとの間に形成されるキャンセル室に導く加圧流体付与手段とを具備する。
【００１３】
最良の形態２のポンプ装置（ベーンポンプ、トロコイドポンプ等の各種ポンプ）は、回転するロータと、このロータの径方向を覆うリングハウジング、ロータの回転軸方向を覆うサイドハウジングを備え、ロータとリングハウジングで囲まれるポンプ室に吸引負圧が生じるハウジングと、ポンプ室の一方の軸方向側面を覆うとともに、ロータとサイドハウジングとの間に挟まれて配置され、吸引負圧によりポンプ室側へ引き寄せられる可撓性の膜状部材とを具備する。
【実施例１】
【００１４】
本発明をベーンポンプに適用した実施例１を、図１を参照して説明する。
（実施例１の構成）
実施例１に示すベーンポンプは、例えばキャニスタにおける蒸発燃料の漏れ検査、あるいは吸気負圧が小さい状態においてキャニスタに保持された蒸発燃料を吸気管に送り込むために用いられる。
【００１５】
ベーンポンプは、ロータ１の回転に伴う容積変動により流体（この実施例では空気）の吸入と吐出を行うポンプ装置の一例であり、また加圧流体吐出装置の一例でもある。
ベーンポンプは、車両に固定されるハウジング、このハウジング内で回転するロータ１、このロータ１の径方向に摺動自在に支持される複数のベーン２、およびロータ１を回転駆動する電動モータ（駆動装置）３、および後述するサイドシール構造から構成される。  
【００１６】
ハウジングは、ロータ１の径方向を覆うリングハウジング４、およびロータ１の回転軸方向を覆うサイドハウジング（第１、第２サイドハウジング５、６）で構成される。なお、リングハウジング４と第１、第２サイドハウジング５、６は、それぞれが別体であっても良いし、部分的に一体であっても良い。具体的にこの実施例１では、リングハウジング４と第１サイドハウジング５とが一体に構成されたカムハウジングと、第２サイドハウジング６とからなるハウジングを開示する。
そして、カムハウジング（リングハウジング４と第１サイドハウジング５）と第２サイドハウジング６は、ボルト７によって電動モータ３が固定されたモータフランジ８に押し付けられて軸方向に固定される構造を採用している。
【００１７】
リングハウジング４は、電動モータ３の回転軸１１に対して偏心した円筒穴形状のカム面１２を備える。
ロータ１は、略円柱形状を呈し、リングハウジング４の内側に配置されて、カム面１２との間に偏心した２重円の隙間による略三日月形状のポンプ室１３を形成する。このロータ１は、電動モータ３の回転軸１１にキー溝等で嵌まりあい、電動モータ３の回転軸１１と一体に回転する。また、ロータ１は、軸方向の一方｛図１（ａ）上側｝が第１サイドハウジング５の内面に摺接してシールされ、軸方向の他方｛図１（ａ）下側｝が、後述するプレッシャプレート１７に摺接してシールされる。さらに、ロータ１には、図１（ｂ）に示すように、周方向に等間隔に、ベーン２を径方向に摺動自在に保持するベーン溝１４が形成されている。
【００１８】
複数のベーン２は、ポンプ室１３を複数に区画する略矩形形状を呈した区画部材であり、ベーン溝１４内に摺動自在に支持され、遠心力により径方向に飛び出して、ベーン２の径方向外縁がカム面１２に摺接する。このように、ベーン２がロータ１によって回転駆動されることにより、ベーン２で区画された空間容積が、略三日月形状を呈するポンプ室１３の一端側から他端側（回転方向側）に向けて増加→減少する。
【００１９】
一方、ハウジングには、ポンプ室１３の一端側（空間容積の増加開始部分）に空気を導く吸入通路１５が形成されている。
また、ハウジングには、ポンプ室１３の他端側（空間容積の減少終焉部分）から加圧された空気を外部へ導く吐出通路１６が形成されている。
これにより、電動モータ３が通電されて、電動モータ３の回転軸１１が回転すると、ベーン２で区画される各空間容積で増加→減少を行う。ベーン２で区画された空間容積が増加することにより、空間容積内が負圧になって吸入通路１５から空間容積内に空気を吸引する。続いて、ベーン２で区画された空間容積が減少することにより、空間容積内が加圧され、圧縮された空気が吐出通路１６から外部へ吐出される。
【００２０】
次に、実施例１の特徴であるサイドシール構造を説明する。
ベーンポンプでは、ポンプ室１３の一端側（上流側の半分）が負圧になり、ポンプ室１３の他端側（下流側の半分）が加圧される状態になる。このため、ロータ１のサイド（軸方向側）から加圧された空気が負圧側に流れると、ポンプ効率が低下してしまう。そこで、ロータ１のサイド（軸方向側）から加圧された空気が負圧側に流れるのを阻止する手段として、実施例１のベーンポンプは、次に示す技術を採用している。
【００２１】
○ベーンポンプは、ロータ１と第２サイドハウジング６との間に配置され、リングハウジング４のカム面１２（内壁面）に嵌め合わされて、軸方向に摺動自在に支持されるプレッシャプレート１７を備える。
○このプレッシャプレート１７を、ロータ１側に付勢する付勢手段１８を備える。
○吐出空気を、プレッシャプレート１７と第２サイドハウジング６との間に形成されたキャンセル室１９へ導く加圧流体付与手段２０を備える。
【００２２】
プレッシャプレート１７は、カム面１２に略一致する板材であり、上述したように、カム面１２に嵌め合わされて、軸方向に摺動自在に支持される。なお、プレッシャプレート１７とカム面１２との間の摺動クリアランスは、摺動クリアランスを介してのシール漏れを防ぐべく、小さく設定されている。このプレッシャプレート１７は、ロータ１およびベーン２の摺動面｛図１（ａ）上面｝が平滑な例えば金属板であり、略中央部にロータ１の回転軸１１の端部が回転自在に挿入される凹部が形成されている。
【００２３】
付勢手段１８は、第２サイドハウジング６とプレッシャプレート１７の間に圧縮配置されたリング状の皿バネであり、復元力によりプレッシャプレート１７をロータ１側に押し付ける。これによって、ロータ１および各ベーン２の両サイドが、第１サイドハウジング５とプレッシャプレート１７の間に挟み付けられてシールがなされる。
なお、皿バネは、実施例を説明するための一例であり、他のスプリングやゴム等の弾性部材を用いても良い。
加圧流体付与手段２０は、ハウジングに形成される吐出通路１６と、プレッシャプレート１７と第２サイドハウジング６との間に形成されるキャンセル室１９とを連通させる連通部である。
【００２４】
（実施例１の効果）
実施例１のベーンポンプは、上述したように、プレッシャプレート１７を付勢手段１８によってロータ１側に押し付けて、ロータ１およびベーン２の両サイドのシールを行うとともに、ベーンポンプの吐出する加圧空気をプレッシャプレート１７と第２サイドハウジング６との間に形成されるキャンセル室１９へ導く構成を採用している。
ここで、ポンプ室１３内の他端側で加圧された圧力により、プレッシャプレート１７にロータ１から離れる側に押し出す力（サイド方向外向きの力）が発生する。
一方、実施例１のベーンポンプでは、プレッシャプレート１７と第２サイドハウジング６との間のキャンセル室１９に導かれた高圧の吐出空気が、プレッシャプレート１７をロータ１側へ押し付ける力（サイド方向内向きの力）を発生する。
この結果、サイド方向外向きの力が、サイド方向内向きの力でキャンセルされる。
【００２５】
このため、ポンプ室１３内の吐出側において高い圧力が作用しても、サイドシールを行うプレッシャプレート１７をロータ１側に付勢する付勢手段１８の付勢力を大きくする必要がなく、付勢手段１８の付勢力を小さくして、ロータ１のサイド面のシール性を確保することができる。
このように、ポンプ室１３内の吐出側に高い圧力が作用しても、付勢手段１８の付勢力を大きくする必要がないため、ロータ１の摩擦を抑えることができ、ロータ１の回転ロスを小さくできる。即ち、ベーンポンプのポンプ効率を従来に比較して高めることが可能になる。
また、ロータ１の回転ロスを小さくできるため、ロータ１の駆動力を小さくすることが可能となり、ロータ１を回転駆動するための電動モータ３を小型化でき、ベーンポンプの体格を小さくできる。また、電動モータ３の小型化により、ベーンポンプのコストも下げることができる。
さらに、ロータ１の駆動力を小さくできるため、電動モータ３の消費電力を抑えることができる。
【実施例２】
【００２６】
実施例２を図２を参照して説明する。なお、以下の実施例において上記実施例１と同一符号は同一機能物を示すものである。
上記の実施例１では、キャンセル室１９に高圧の吐出空気を導いて、サイド方向外向きの力を、サイド方向内向きの力でキャンセルすることで、ロータ１の回転ロスを小さくする技術を示した。
これに対し、この実施例２では、次の技術を採用して、ロータ１の回転ロスを小さくすることを可能にしている。
【００２７】
○ベーンポンプは、実施例１で示したように、ベーン２で区画された空間容積の増加部分において吸気負圧が生じる。
○ベーンポンプは、ポンプ室１３の一方の軸方向側面｛第２サイドハウジング６側の面：図２（ａ）の下面｝を覆うとともに、ロータ１と第２サイドハウジング６との間に挟まれて配置され、吸引負圧によりポンプ室１３側へ引き寄せられる可撓性の膜状部材２１を備える。
○膜状部材２１は、ロータ１および各ベーン２と、第２サイドハウジング６との間の微小クリアランスに配置される。
○膜状部材２１は、リングハウジング４と第２サイドハウジング６の軸方向間に挟み付けられて固定される。
この実施例２における膜状部材２１は、例えばポリエステル系樹脂膜、４フッ化エチレン樹脂膜など、耐摩耗性に優れ、且つ摺動抵抗の小さい可撓性のフィルムであり、図２（ｂ）に示すように、リングハウジング４と第２サイドハウジング６との間に挟み付けられて固定されている。
【００２８】
（実施例２の効果）  
実施例２のベーンポンプは、ロータ１が回転すると、ベーン２で区画された空間容積の増加部分において吸気負圧が生じる。すると、リングハウジング４と第２サイドハウジング６との間に挟み付けられた膜状部材２１が、吸引負圧によりポンプ室１３側へ引き寄せられて、ロータ１のサイド面のシールを行う。
このように、ポンプ室１３側へ引き寄せられた膜状部材２１によって、ロータ１およびベーン２のサイド面のシール性を確保する。即ち、ロータ１の吐出圧の影響を受けることなく、ロータ１のサイド面のシール性を確保する。
【００２９】
このように、実施例２のベーンポンプは、吐出圧側においてシール部材をロータ１に強く押し付けるための付勢手段を備えないため、ロータ１の摩擦を抑えることができ、ロータ１の回転ロスを小さくできる。即ち、ベーンポンプのポンプ効率を従来に比較して高めることが可能になる。
また、実施例１と同様、ロータ１の回転ロスを小さくできるため、ロータ１の駆動力を小さくすることが可能となり、ロータ１を回転駆動するための電動モータ３を小型化でき、ベーンポンプの体格を小さくできる。また、電動モータ３の小型化により、ベーンポンプのコストも下げることができる。
さらに、ロータ１の駆動力を小さくできるため、電動モータ３の消費電力を抑えることができる。
【００３０】
一方、実施例２では、上述したように、膜状部材２１がロータ１と第２サイドハウジング６との間の微小クリアランスに配置されるため、ポンプ室１３の吐出側において膜状部材２１がロータ１から離れる側に移動しても、膜状部材２１とロータ１の隙間が小さく、ロータ１およびベーン２のサイド面におけるシール性を高く保つことができる。
また、膜状部材２１をリングハウジング４と第２サイドハウジング６の軸方向間で挟み付ける構造を採用しているため、膜状部材２１によってリングハウジング４と第２サイドハウジング６の間のシール性も確保ができる。
【００３１】
（実施例２の変形例）
上記実施例２のベーンポンプは、加圧された高圧空気を膜状部材２１と第２サイドハウジング６との間のクリアランスに導かない例を示すが、ポンプ室１３で加圧された高圧空気を膜状部材２１と第２サイドハウジング６との間のクリアランスに導くように加圧流体付与手段を設けても良い。
このように、高圧空気を膜状部材２１と第２サイドハウジング６との間のクリアランスに導くことによって、吐出側（ベーン２で区画された空間容積の減少部分：ポンプ室１３の他端側）において膜状部材２１がロータ１から離れる作用が抑えられることになり、ロータ１およびベーン２のサイド面のシール性を高めることができる。
【実施例３】
【００３２】
実施例３を図３を参照して説明する。
上記実施例２では、膜状部材２１をリングハウジング４と第２サイドハウジング６の軸方向間で挟み付けて固定する例を示した。
これに対し、この実施例３の膜状部材２１は、実施例１で示したプレッシャプレート１７を薄くした形状の硬質部材（例えば、薄いステンレス板）である。即ち、実施例３の膜状部材２１は、カム面１２に略一致する薄い板材であり、カム面１２に嵌め合わされて、軸方向に摺動自在に支持される。
この実施例３のように、カム面１２に嵌め合わされて、軸方向に摺動自在に支持される膜状部材２１であっても、実施例２と同様の作用効果を得ることができる。
【００３３】
〔変形例〕
上記の実施例では、キャニスタにおける蒸発燃料の漏れ検査、あるいは吸気負圧が小さい状態においてキャニスタに保持された蒸発燃料を吸気管に送り込むために用いられるベーンポンプに本発明を適用する例を示したが、他の用途に用いられるベーンポンプに本発明を適用しても良い。
上記の実施例では、空気を吸引吐出するベーンポンプに本発明を適用する例を示したが、空気以外の気体（ガス等）の吸引吐出を行うベーンポンプや、液体の圧送を行うベーンポンプに本発明を適用しても良い。
上記の実施例では、ベーンポンプに本発明を適用する例を示したが、ハウジング内で回転するロータを備えた全てのポンプ装置に本発明を適用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】ベーンポンプの軸方向に沿う断面図、およびベーンポンプを軸方向から見た断面図である（実施例１）。
【図２】ベーンポンプの軸方向に沿う断面図、およびベーンポンプの要部断面図である（実施例２）。
【図３】ベーンポンプの軸方向に沿う断面図である（実施例３）。
【図４】ベーンポンプの軸方向に沿う断面図、およびベーンポンプを軸方向から見た断面図である（従来例）。
【符号の説明】
【００３５】
１  ロータ
２  ベーン
３  電動モータ
４  リングハウジング
５  第１サイドハウジング
６  第２サイドハウジング
１２  カム面（リングハウジングの内壁面）
１３  ポンプ室
１６  吐出通路
１７  プレッシャプレート
１８  付勢手段
１９  キャンセル室
２０  加圧流体付与手段
２１  膜状部材
【図１】
2007162662.tif 000003
【図２】
2007162662.tif 000004
【図３】
2007162662.tif 000005
【図４】
2007162662.tif 000006