(57)【要約】【課題】  光源としてシリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子を用いた光学顕微鏡用の照明装置又はそのような照明部を有する光学顕微鏡を提供を提供すること。【解決手段】  本発明の光学顕微鏡用の照明装置は、光学顕微鏡に備え付け可能な函体２２と、函体内に配置され少なくとも一つのシリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子が固定された基台部１６と、ＬＥＤ素子を挟んで基台部とは反対側の函体の開口部に配置されたコレクタレンズ２６とを含み、函体内にてコレクタレンズと基台部との間の空間が密封されていることを特徴とする。【選択図】        図１
2007249065.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学顕微鏡用の照明装置であって、光学顕微鏡に備え付け可能な函体と、前記函体内に配置されシリコン系の樹脂にてＬＥＤを封入して成る少なくとも一つのＬＥＤ素子が固定された基台部と、前記ＬＥＤ素子を挟んで前記基台部とは反対側の前記函体の開口部に配置されたコレクタレンズとを含み、前記函体内にて前記コレクタレンズと前記基台部との間の空間が密封されていることを特徴とする光学顕微鏡用の照明装置。
【請求項２】
請求項１の照明装置であって、前記ＬＥＤ素子に電気的に接続されたケーブルが前記函体の一部又は前記基台部の一部に穿孔された配線孔を貫通し、前記配線孔が気体の流通を阻止するべく密封可能なケーブル固定具により封止されていることを特徴とする装置。
【請求項３】
光学顕微鏡であって、該光学顕微鏡の照明光を通すための光路と、該光路の端部に設けられる開口部と、シリコン系の樹脂にてＬＥＤを封入して成る少なくとも一つのＬＥＤ素子が固定され前記ＬＥＤ素子を前記開口部に向けて配置された基台部と、前記ＬＥＤ素子を挟んで前記基台部とは反対側の前記光路に配置されたコレクタレンズとを含み、前記光路内にて前記コレクタレンズと前記基台部との間の空間が密封されていることを特徴とする光学顕微鏡。
【請求項４】
請求項３の光学顕微鏡であって、前記ＬＥＤ素子に電気的に接続された配線が前記基台部の一部に穿孔された配線孔を貫通し、前記配線孔が気体の流通を阻止するべく密封可能なケーブル固定具により封止されていることを特徴とする光学顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学顕微鏡に係り、より詳細には、光学顕微鏡の照明装置に係る。
【背景技術】
【０００２】
昨今の半導体技術の進歩により、高出力のＬＥＤ（発光ダイオード）が低廉にて入手可能となり、また、ＬＥＤの発光波長が多様化されるようになったことから、光学顕微鏡の照明装置に於ける光源として、今までのハロゲンランプ、水銀ランプ或いはキセノンランプ等に代えて、ＬＥＤを採用する試みがなされている。周知の如く、ＬＥＤは、ハロゲンランプ等の電球に比して、機械的強度が大きい、寸法が小さい、低電圧で発光する、寿命が長い、といった利点を有し、また、発光波長が電圧によらず一定なので、レンズの色収差が問題となる光学顕微鏡の照明の光源として非常に便利であることが期待されている（明るさを変更しても実質的に色温度が変わらない。）。更に、ＬＥＤは、光源から発生する熱も、電球の場合に比して、極めて少ないので、光学顕微鏡に於ける試料の観察（特に、生物試料やその他の温度の変化に敏感な試料の観察）に適している。そのような光学顕微鏡の、主として、明視野観察のための光源として、ＬＥＤを用いた例は、例えば、下記の非特許文献１に見られる。
【０００３】
ＬＥＤは、通常、小さな、例えば、矩形状の半導体チップであり、照明装置として使用される場合には、半導体チップ自体が露出しないように透明なプラスチック樹脂又はガラスに封入され、埃やごみの付着や機械的な衝撃から保護されるようになっている。そして、特に、樹脂にて封入される場合には、樹脂は、半球状に型取られ、ＬＥＤから発せられた光を集光するレンズとして機能するようになっている。かくして、調製されたＬＥＤ素子（以下、ＬＥＤを樹脂等に封入してなる装置を、ＬＥＤの半導体チップと区別する目的で、「ＬＥＤ素子」と称する。）は、適宜、基板上に固定され、任意の函体内に設置され、照明装置として用いられる（例えば、特許文献１参照）。電球に比して、ＬＥＤの発熱量は小さいものの、ＬＥＤ自体又はＬＥＤ素子が過熱状態となることは、ＬＥＤ素子の寿命を短くすることとなるため、避けるべきである。例えば、非特許文献１に記載の光学顕微鏡の場合、照明部は、基板上に固定されたプラスチック樹脂のＬＥＤ素子の周囲に空気の流れが許されるような構造を有し、ＬＥＤ自体から生ずる熱が放熱されるように構成されている。（プラスチック樹脂に封入されているタイプのＬＥＤ素子が用いられているのは、一般の照明装置用の、可視光を十分に透過し且廉価に製造・入手可能なプラスチック樹脂封入型のＬＥＤ素子が手軽に入手可能であったためと考えられる。）
【特許文献１】特公平４−３６５９５号公報
【非特許文献１】研究・臨床用生物顕微鏡  ECLIPSE  50i/55i  ［2006年2月24日検索］<URL:http://www.nikon-instruments.jp/jpn/page/products/50i55i.aspx]
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
光学顕微鏡の照明装置の光源は、可視光だけでなく、紫外光又は赤外光の照明も可能であることが好ましく、また、長時間又は種々の環境下に於ける観察に耐え得るように、熱に強く、又、湿度や（周囲のガス等に対する）化学的変化にも耐性を有していることも望まれる。しかしながら、プラスチック樹脂封入型のＬＥＤ素子により、かかる光学顕微鏡用の照明装置の光源に望まれる条件を満たすことは、一般には、困難である。また、ガラス封止型のＬＥＤ素子の場合、紫外光又は赤外光の照明も可能であるが、値段が高く、又、ＬＥＤを封入するガラスを集光レンズとして機能するように加工したものは、一般には流通しておらず、入手困難である。更に、ＬＥＤ素子等は、Ｒｏｈｓ(Restricting the use of Hazardous
Substances：欧州連合が施行する有害物質規制指令）等の環境基準を満たす必要があるが、現在流通しているプラスチック又はガラス封入型のＬＥＤ素子は、そのような環境対策を必ずしも取っていない場合が多い。
【０００５】
上記のプラスチック又はガラス封入型のＬＥＤ素子の不具合を解決するものとして、近年、シリコン系の樹脂にてＬＥＤを封入したＬＥＤ素子（シリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子）が登場し始めている。かかるシリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子の場合、ＬＥＤを封入するシリコン系樹脂が、紫外光による劣化がプラスチック樹脂に比して著しく少なく、紫外光及び赤外光の透過性も良好であるので、紫外光又は赤外光の照明も可能である。また、シリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子は、耐熱及び耐環境変化性能も優れ、ＬＥＤを封入するシリコン系樹脂媒体を集光レンズとして機能するよう加工することも容易であり、更に、Ｒｏｈｓ等の環境基準を満たしているものが多い。従って、シリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子は、プラスチック又はガラス封入型のＬＥＤ素子に代えて、光学顕微鏡用の照明装置の光源として有利に用いることができる。
【０００６】
しかしながら、シリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子は、表面に埃を吸着しやすいという性質を有している。特に、発光動作中に於いては、光源の表面には、静電気が生じ、埃が引き付けられることがあるので、適宜、表面の埃や汚れを拭き取ることが好ましいところ、シリコン系樹脂は、比較的柔らかく、一般に、一旦吸着した埃を溶剤などでふき取ることは困難である。従って、光学顕微鏡用の照明装置の光源としてシリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子を採用する場合には、素子の表面への埃の吸着についての問題にも配慮する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、光源としてシリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子を用いた光学顕微鏡用の照明装置又はそのような照明部を有する光学顕微鏡が提供される。
【０００８】
本発明の光学顕微鏡用の照明装置は、光学顕微鏡に備え付け可能な函体と、函体内に配置され少なくとも一つのＬＥＤ素子が固定された基台部と、ＬＥＤ素子を挟んで基台とは反対側の函体の開口部に配置されたコレクタレンズとを含んでいる。ＬＥＤ素子としては、シリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子、即ち、シリコン系の樹脂にてＬＥＤを封入して成るものが採用され、しかも、ＬＥＤ素子は、函体内のコレクタレンズと基台部との間の空間に在って、外部から密封されている。かくして、本発明の照明装置によれば、前記のシリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子の利点、即ち、照明光として、可視光だけなく、紫外光及び赤外光も安定的に利用することができるようになり、また、耐熱及び耐環境変化性能も良いシリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子を採用することにより、照明装置の寿命が延び、経済的に有利となる。ＬＥＤ素子自体は、大気又は周囲の雰囲気から隔離され、ＬＥＤ素子表面上への外部空気の流通が遮断されることになるので、装置の使用中に、ＬＥＤ素子の表面に埃や汚れが付着することが回避され、使用者による使用中の埃や汚れの除去が不要となる。更に、シリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子の採用によれば、Ｒｏｈｓ等の環境基準を満たす照明装置が提供される。
【０００９】
上記の本発明の照明装置に於いて、ＬＥＤ素子への電力の供給は、基台部を介した適当な電力を伝達する手段が設けられるが、ケーブルにて行われる場合には、かかるケーブルは、函体の一部又は基台部の一部に穿孔された配線孔を貫通し、配線孔は気体の流通を阻止するべく封止されていることが好ましい。封止する器具は、例えば、孔を適宜密閉し得るケーブル固定具が用いられてよい。
【００１０】
また、上記の照明装置に於いて、函体内のコレクタレンズと基台部との間の空間は、照明装置の製造・組立時の周囲の空気であってもよいが、長時間、ＬＥＤ素子を点灯し続ける場合には、空気の酸素等のガス若しくは水分がシリコン表面を劣化させる可能性もあるので、好ましくは、不活性ガスにて充填されるか、或いは乾燥されてよい。特に、発熱することにより、空間内のガスの膨張が問題になる場合には、空間内は真空に維持されるようになっていてよい。他方、外部からの空気の流入を防止する目的で、空間内の空気又はガスは、高圧に保持されていてもよい。
【００１１】
既に述べた如く、ＬＥＤ素子は過熱状態となると劣化して寿命が短くなる可能性がある。ＬＥＤ素子自身の発熱量は、ランプに比べれば微弱であるが、長時間使用すると、熱が蓄積し、素子が過熱状態となる。そこで、上記の本発明に於いては、基台部に放熱フィンが設けられ、その基台部上に固定されたＬＥＤ素子の発する熱を放熱できるようになっていてよい。また、基台部が熱伝導性の高い材料にて構成され、これにより、放熱効果が増大されるようになっていてもよい。
【００１２】
上記の本発明の照明装置に於ける技術思想は、光学顕微鏡に一体的に構成される照明部に適用されてもよい。その場合には、本発明の光学顕微鏡には、照明光を通すための光路と、該光路の端部に設けられる開口部とが設けられ、かかる開口部には、少なくとも一つのシリコン系の樹脂にてＬＥＤを封入して成るＬＥＤ素子が固定された基台部が、ＬＥＤ素子を光学顕微鏡の内方に向けて配置される。光路中の光源から見て出射側に設けられるコレクタレンズは、基台と、ＬＥＤ素子を挟むように配置され、ＬＥＤ素子を内包するコレクタレンズと基台部との間の空間は密封される。かかる場合、ＬＥＤ素子に電気的に接続されたケーブルは、基台部の一部に穿孔された配線孔を貫通し、配線孔が気体の流通を阻止するべく封止されることが好ましく、また、光路内のコレクタレンズと基台部との間の空間は、上記と同様の理由により、不活性ガスにて充填されるか、真空とされるか、高圧に保持されるか、或いは、乾燥された状態となっていてよい。また、ＬＥＤ素子の放熱の目的で、基台部に放熱フィンが設けられていてよく、或いは、基台部が熱伝導性の高い材料にて構成されていてよい。
【発明の効果】
【００１３】
現在のところ、ＬＥＤ素子を照明用光源に使用している光学顕微鏡では、既に触れたように、ＬＥＤ素子は、プラスチック樹脂封入型のものであるので、主として、明視野観察又は透過光観察のためのハロゲンランプの代用として用いられている。しかしながら、本発明の照明装置又は光学顕微鏡は、紫外光照明が可能なシリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子が採用されているので、種々の蛍光色素を用いた蛍光観察或いは生体試料の自家蛍光の観察を行えることとなり、ハロゲンランプの代用としてだけなく、水銀ランプ、キセノンランプ或いはレーザーに代える照明装置として用いることができる。このような照明は、紫外光をある程度透過し紫外光による劣化の少ないガラス封入型ＬＥＤ素子でも可能であるが、ＬＥＤ素子自体の製造コスト、封入媒体の加工の容易性の観点から、シリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子を用いた照明装置の方が有利であり、便利であるといえる。
【００１４】
更に、本発明の照明装置又は光学顕微鏡に於いては、ＬＥＤ素子は、外部空気から隔離された密閉された空間内に配置されることになるので、照明装置又は光学顕微鏡の使用中に主として静電気の作用によるＬＥＤ素子表面上の埃や汚れの蓄積が回避され、従って、照明装置のメンテナンスが不要若しくは極めて容易になる。更に、ＬＥＤ素子周囲に外部空気の流通がないことから、ＬＥＤ素子表面の劣化を大幅に低減若しくは遅延されることとなり、従って、装置の照明用光源としての耐用寿命（表面が劣化により曇ると、半導体チップの寿命が来る前に、照明装置として使用できなくなる。）を延長することが可能となる。
【００１５】
本発明のその他の目的及び利点は、以下の本発明の好ましい実施形態の説明により明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に添付の図を参照しつつ、本発明を幾つかの好ましい実施形態について詳細に説明する。図中、同一の符号は、同一の部位を示す。
【００１７】
図１は、本発明の好ましい実施形態の一つである光学顕微鏡に任意の手段により着脱可能に外付けして用いられる光学顕微鏡用照明装置（所謂「ランプハウス」）１０の正面図（Ａ）及び側方断面図（Ｂ）を模式的に示している。同図を参照して、シリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子１２は、該ＬＥＤ素子に電力を供給するためのケーブル１８を、例えば、はんだ付けにより電気的接続する基板１４上に固定され、基板１４は、熱伝導性グリース等を介して基台部１６上に配置される。基台部１６は、外周に螺刻された面２０と函体２２に嵌合して光軸中心位置を確保する面２０’とを有し、ＬＥＤ素子１２が略筒状の函体２２の内部へ進入するように、函体２２の一方の開口部へねじ込まれる。函体２２の内部には、ＬＥＤ素子１２を挟んで基台部１６に対向する位置にコレクタレンズ２６が設けられ、コレクタレンズ２６は、その外周が函体２２の内壁に対して密着するような寸法を有し、コレクタレンズ２６の外周と函体２２の内壁は、真空パッキング、封止リング２８により封止される。
【００１８】
一方、基台部１６の外壁と函体２２内壁には、相補的な周状肩部がそれぞれ設けられ、真空パッキン、封止リング３０を挟んで係合する。ＬＥＤ素子１２へ電力を供給するケーブル１８は、基台部１６に穿孔された配線孔３２を貫通し、照明装置の外部の電源装置（図示せず）へ接続される。配線孔３２に於いて、基板１４と基台部１６との接触面が密封され、空気の流通が阻止されていることが好ましいが、そうでなくても、配線孔３２の外端口は、密封可能にケーブルを固定する器具又はブシュ等の手段３４により、封止されていることが好ましい。かくして、ＬＥＤ素子１２の存在する函体２２内のコレクタレンズ２６と基台部１６との間の空間は、密閉された状態となり、外部よりの空気の流通が阻止されることとなるので、照明装置の組立後に（組立は、好適には、クリーンルームで行われてよい。）、ＬＥＤ素子の表面近傍に埃や汚れが進入することが防止され、表面に吸着した埃や汚れを除去することが難しいというシリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子の不具合は、使用に於いて、何等気にする必要がなくなることとなる。なお、図１（Ｂ）の例では、配線孔３２は、基台部１６に設けられているが、図１（Ｃ）の如く、任意に函体の内壁から外壁へ貫通するようになっていてよい。この場合、基台部１６には、螺刻された面２０は無く、一本又は複数本のセットビス１００にて固定される。
【００１９】
シリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子は、シリコン系樹脂媒体が、可視光だけなく、紫外光又は赤外光も透過するので、紫外光又は赤外光の照明光源として用いることができる。従って、本発明の照明装置によれば、ＬＥＤ照明により、光学顕微鏡に於ける紫外光又は赤外光を用いた観察が可能となる。また、ＬＥＤ素子のＬＥＤチップ表面に所望の発光波長を有する蛍光色素を塗布したものを用いることにより、種々の波長の光に対してＬＥＤ照明装置が構成される。既に述べた如く、ＬＥＤ照明装置は、従前のハロゲンランプを用いたランプハウスに比して、小型、軽量であるので、種々の波長の光のＬＥＤ照明装置を複数準備し、観察前後又は観察中に適宜複数個の照明装置を交換することも容易である。本発明の実施形態に於いて、好適に用いられるＬＥＤ素子は、例えば、Lumileds社のLUXEON（登録商標）Ｋ２などであるが、これに限定するものではない。
【００２０】
コレクタレンズ２６と基台部１６との間の函体内の空間は、通常の空気であってよいが、好ましくは、窒素、アルゴン等の不活性ガスにて充填されていてよい。上記の如く、本発明の照明装置は、紫外光を用いた観察が可能となる。その場合、コレクタレンズ２６と基台部１６との間の函体内の空間が、不活性ガスにて充填されていると、紫外光による樹脂の劣化をより一層遅らせることができ、これにより、照明装置の寿命が延びることとなる。同様に、かかる空間は、真空状態にされてもよく、或いは、乾燥剤等を配するなどして乾燥され、水分が除去されていることが望ましい。また、逆に、外部からの空気の流入を回避すべく、コレクタレンズ２６と基台部１６との間の函体内の空間が高圧で維持されるようになっていてよい。更に、図示していないが、コレクタレンズ２６と基台部１６との間の函体内の空間を形成する函体又は基台部の一部がゴムシート等の弾性材にて形成されていてよい。この場合、ＬＥＤの発熱による函体内の空間の気体の圧力の増大が緩和されることとなる。
【００２１】
既に述べた如く、ＬＥＤ素子が過熱状態となると、ＬＥＤが熱により損傷するおそれがある。本発明の上記の照明装置では、ＬＥＤ素子が密閉された空間に配置されているので、従前の如く、外部空気の流通による放熱はできない。そこで、上記の照明装置の基台部１６は、好ましくは、熱伝導性の高い材料、例えば、アルミニウムなどの金属材料にて形成される。また、図１（Ｄ）に示されている如く、基台部に放熱フィンが設けられ、ＬＥＤ素子の過熱状態を回避するようになっていてよい。
【００２２】
上記の本発明の照明装置に於いて、特記すべきことは、ＬＥＤ素子を封入した空間の出射側がコレクタレンズ２６より成っているので、ＬＥＤ素子を外部空気から隔離する手段に要する部材数が低減されていることとなる（ＬＥＤ素子は小形なので、コレクタレンズ２６を図示の如く設けるスペースが確保される。なお、所望の光束を得るべく、コレクタレンズ２６の後に任意に、破線にて示されている如き集光レンズ１０１、又は、選択した波長の光のみを透過する干渉膜を形成した励起フィルタ１０２、更には、照明装置１０を顕微鏡本体に取り付けたときに開き、取り外すと閉じられるシャッター１０３が備えられていてよい。
【００２３】
図２（Ａ）は、図２（Ｂ）に例示されている如く、光学顕微鏡３８の照明光の光路４４の内部に挿入される形式の照明装置１０の側方断面図を示す。基本的な構成は、図１の照明装置と同様であるが（簡単のため、ケーブル１８等は、記載を省略している。）、顕微鏡内部にて位置決めされるよう、函体２２の外周にフランジ４０が設けられている。任意に例えば、円板状の放熱フィン４２が設けられていてよい。
【００２４】
図３は、ＬＥＤ素子が固定された基台部１６が、光学顕微鏡の照明光の光路４４の開口端４６に直接に取り付けられた例を示している。この場合には、図示していないが、電力供給用のケーブルを通す配線孔は、基台部１６に設けられてもよいが、光学顕微鏡の照明光の光路の壁の一部が穿孔され、図１の例の如く、任意の密封可能にケーブルを固定する器具又はブシュ等の手段により封止される配線孔が設けられていて良い。
【００２５】
以上の説明は、本発明の実施の形態に関連してなされているが、当業者にとつて多くの修正及び変更が容易に可能であり、本発明は、上記に例示された実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の概念から逸脱することなく種々の装置に適用されることは明らかであろう。
【００２６】
特に、本発明には、以下の態様が含まれる。
請求項１又は２の照明装置であって、前記函体内の前記コレクタレンズと前記基台部との間の空間に不活性ガスが充填されていることを特徴とする装置。
請求項１又は２の照明装置であって、前記函体内の前記コレクタレンズと前記基台部との間が真空であることを特徴とする装置。
請求項１又は２の照明装置であって、前記函体内の前記コレクタレンズと前記基台部との間の空間が高圧に保持されていることを特徴とする装置。
請求項１又は２の照明装置であって、前記函体内の前記コレクタレンズと前記基台部との間の空間が乾燥されていることを特徴とする装置。
請求項１又は２の照明装置であって、前記基台部に放熱フィンが設けられていることを特徴とする装置。
請求項１又は２の装置であって、前記基台部が熱伝導性の高い材料にて構成されていることを特徴とする装置。
請求項１又は２の照明装置であって、前記函体は、前記光学顕微鏡に着脱可能である照明装置。
請求項３又は４の光学顕微鏡であって、前記光路内の前記コレクタレンズと前記基台部との間の空間に不活性ガスが充填されていることを特徴とする光学顕微鏡。
請求項３又は４の光学顕微鏡であって、前記光路内の前記コレクタレンズと前記基台部との間が真空であることを特徴とする光学顕微鏡。
請求項３又は４の光学顕微鏡であって、前記光路内の前記コレクタレンズと前記基台部との間の空間が高圧に保持されていることを特徴とする光学顕微鏡。
請求項３又は４の光学顕微鏡であって、前記光路内の前記コレクタレンズと前記基台部との間の空間が乾燥されていることを特徴とする光学顕微鏡。
請求項３又は４の光学顕微鏡であって、前記基台部に放熱フィンが設けられていることを特徴とする光学顕微鏡。
請求項３又は４の光学顕微鏡であって、前記基台部が熱伝導性の高い材料にて構成されていることを特徴とする光学顕微鏡。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１（Ａ）は、本発明の好ましい実施形態の一つである光学顕微鏡用の照明装置の正面図であり、図１（Ｂ）は、その側方断面図を示す。破線で描かれたものは、任意で設けられる集光レンズ、励起フィルタ、シャッター等である。図１（Ｃ）及び（Ｄ）は、図１（Ｂ）の修正例の側方断面図を示す。
【図２】図２（Ａ）は、光学顕微鏡の照明光の光路内に備えられるようになった本発明による別の好ましい実施形態である照明装置の側方断面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の照明装置を光学顕微鏡に設置した状態を示す。照明装置の近傍のみ破断して断面図が描かれている。図中、破線は、顕微鏡内の照明光の光路の内壁とミラーを示す。
【図３】図３は、光学顕微鏡の照明光の光路の入口端近傍の断面図であって、入口端にＬＥＤ素子を担持する基台部が直接設けられた場合の例を示す。
【符号の説明】
【００２８】
１０…照明装置
１２…シリコン系樹脂封入型ＬＥＤ素子
１４…基板
１６…基台部
１８…ケーブル
２２…函体
２６…コレクタレンズ
２８…真空パッキン
３０…真空パッキン
３２…配線孔
３４…密封可能にケーブルを固定する器具（ブシュ）
３６…放熱フィン
３８…光学顕微鏡
４２…放熱フィン
４４…光路
【図１】
2007249065.tif 000003
【図２】
2007249065.tif 000004
【図３】
2007249065.tif 000005