(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドの目詰まり等による交換の頻度を低減する。【解決手段】圧力室ＣＡと、その上方に形成された圧電素子ＰＥと、を有し、圧電素子ＰＥの動作に応じて、圧力室ＣＡに導入された液滴を圧力室ＣＡの底部のノズル孔１ａから吐出させる液滴吐出ヘッドの、側壁と、その底部を構成しノズル孔１ａが形成されたノズルプレート１とを有する圧力室ＣＡにおいて、ノズル孔１ａから液滴が吐出不能となった場合に、圧力室ＣＡの側壁とノズルプレート１の間の接着層（紫外線硬化樹脂）を紫外線照射により剥離し、その側壁に新しいノズルプレートを接合する。【選択図】図４
2007244936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子と、
前記圧電素子に接続された振動板と、
前記振動板に接続された流路基板と、
前記流路基板に接続されたプレートと、を有し、
前記プレートと前記流路基板とは、紫外線によりその接着力が低下する接着層により接合されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記プレートは、紫外線透過部材よりなることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記プレートは、透明部材よりなることを特徴とする請求項１又は２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記流路基板が圧力室を含み、
前記プレートが前記圧力室に連通するノズル孔を含み、
前記圧電素子は、第１電極および第２電極との間に配置された圧電体膜を有し、
前記第１電極および第２電極に電位を印加することにより、前記圧電体膜に歪みを生じさせ、前記圧力室を加圧することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置であって、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
圧電素子と、
前記圧電素子に接続された振動板と、
前記振動板に接続された流路基板と、
前記流路基板に接続されたプレートと、を有し、
前記流路基板が圧力室を含み、
前記プレートが前記圧力室に連通するノズル孔を含む液滴吐出ヘッドの再生方法であって、
前記ノズル孔の一部が塞がった場合に、前記流路基板から前記プレートを剥離し、前記流路基板に他のプレートを接合することを特徴とする液滴吐出ヘッドの再生方法。
【請求項７】
前記プレートと前記流路基板とは、紫外線によりその接着力が低下する第１の接着層により接合され、
前記プレートの剥離は、前記第１の接着層に前記紫外線を照射することにより行われ、
前記他のプレートの接合は、前記紫外線によりその接着力が低下する第２の接着層により行われることを特徴とする請求項６記載の液滴吐出ヘッドの再生方法。
【請求項８】
前記他のプレートの接合は、あらかじめ前記第２の接着層が形成された前記流路基板に、前記他のプレートを接合することにより行われることを特徴とする請求項７記載の液滴吐出ヘッドの再生方法。
【請求項９】
前記プレートおよび他のプレートは、紫外線透過部材よりなることを特徴とする請求項７又は８記載の液滴吐出ヘッドの再生方法。
【請求項１０】
圧電素子と、
前記圧電素子に接続された振動板と、
前記振動板に接続された流路基板と、
前記流路基板に接続されたプレートと、を有し、
前記流路基板が圧力室を含み、
前記プレートが前記圧力室に連通するノズル孔を含む液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の使用方法であって、
前記プレートのノズル孔の一部が塞がった場合に、前記流路基板から前記プレートを剥離し、前記流路基板に他のプレートを接合し、前記他のプレートのノズル孔から前記圧力室に導入された液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの再生方法および液滴吐出装置の使用方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドは、圧力室を圧電素子により加圧し、その内部のインク（液）を圧力室底部のノズル孔から吐出する部材である。このような、インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等に利用され、ノズル孔から吐出されるインクによって印刷がなされる。
【０００３】
例えば、下記特許文献１には、インクの吐出不良をなくすために、ヘッド部材（２１０）と、ヘッドケース（２１８）の接着面に、インク供給口（２１８ｈ）の周りを一周する接着剤溝（２１８ｅ）を設け、接着剤注入口（２１８ｄ）から接着剤を注入し、空気抜き孔（２１８ｆ）まで充填する技術が開示されている。また、下記特許文献２には、ノズルプレートを交換可能にし、ノズル開口の目詰まりを回復すべく、ノズルプレート（１７）を吸引孔（２３）で吸引する技術が開示されている。なお、括弧内は、これらの文献に記載の符号である。
【０００４】
一方、液滴吐出ヘッドは、上記インクの吐出だけでなく、例えば、液晶装置の製造装置として用いられ、液晶装置を構成する液晶等の吐出にも用いられる。
【特許文献１】特開平１１−３２０９０５号公報
【特許文献２】特開平２００２−６７３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明者は、液体噴射装置、特に、半導体装置の製造に用いる、産業用の液体噴射装置に関する研究・開発を行っている。
【０００６】
上記産業用の液体噴射装置は、例えば表示装置のカラーフィルタ材料や配向膜材料等を基板上に吐出する。即ち、これら材料溶液を基板上に吐出し、適宜処理を施してカラーフィルタや配向膜を形成する。
【０００７】
これらの材料溶液には有機溶媒が用いられ、処理の高速化等から速乾性が要求されるため、揮発性の高い溶液が用いられる傾向にある。また、溶質も、高分子材料等、粘度の高い溶液が用いられる。
【０００８】
かかる材料溶液をノズル孔から吐出させる場合には、ノズル孔から吐出される液滴の飛行曲がりやノズル孔の目詰まりが起こりやすい。特に、ノズル孔は、材料溶液が、外気と接触する場所であるため、溶媒の揮発等により材料溶液が固化しやすい。
【０００９】
このような、ノズル孔の目詰まりなどが起こった場合には、処理が一時中断し、そのメンテナンスに時間をとられる等、処理のスループットを悪化させていた。
【００１０】
このような問題に対し、本発明者は、ノズル孔を定期的に空打ち（フラッシング）し、目詰まり等を解消する。もしくはノズル孔の内壁に付着した固形物を目詰まりする前に、空打ちにより取り除く等の方法や、ノズル孔から材料溶液を吐出させない程度の微振動を圧力室に与える方法を検討していた。また、圧力室を減圧し、ノズル孔の内壁に付着した固形物を圧力室内部に吸引することで、ノズル孔を回復させる方法を検討していた。
【００１１】
しかしながら、このような方法によってもノズル孔の目詰まり等の解消には限界があり、装置の継続使用（継続吐出）の際には、ノズル孔に強固に固形物（固形成分）が付着し、回復不可能な液滴吐出ヘッドが発生し得る。
【００１２】
このような場合には、新しい液滴吐出ヘッドに交換し、処理を継続せざるを得なかった。追って詳細に説明するように、産業用の液滴吐出装置に用いられる液滴吐出ヘッドは、その耐久性や剛性を保つため品質の良い高価な材料を加工して形成されるものも多く、また、その汎用性が小さいことから、その単価は、大きなものである。
【００１３】
従って、ノズルの目詰まり等による液滴吐出ヘッドの交換が頻発すると、製品製造のスループットが低下するばかりか、そのコストも増大するといった問題があった。また、前述したように、製品に用いられる材料の多様化により、揮発性の高い溶媒の使用や粘性の高い材料溶液の使用にも適宜対応可能なノズル孔の目詰まり等の対策が緊急の課題であった。
【００１４】
本発明は、ノズル孔の目詰まり等の対策に有効な液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供することを目的とする。また、ノズル孔の目詰まり等の対策に有効な液滴吐出ヘッドの再生方法、液滴吐出装置の使用方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
（１）本発明の液滴吐出ヘッドは、圧電素子と、上記圧電素子に接続された振動板と、上記振動板に接続された流路基板と、上記流路基板に接続されたプレートと、を有し、上記プレートと上記流路基板とは、紫外線によりその接着力が低下する接着層により接合されていることを特徴とする。
【００１６】
このように、プレートと流路基板を、紫外線によりその接着力が低下する接着層により接合することで、目詰まり等によりプレートのノズル孔から液滴が吐出不能となっても、プレートを容易に交換することが可能となる。従って、液滴吐出ヘッドの目詰まり等による交換の頻度を低減することができる。また、液滴吐出処理のスループットを向上させることができる。また、処理コストを低減することができる。
【００１７】
上記プレートは、例えば、紫外線透過部材よりなる。
【００１８】
上記プレートは、例えば、透明部材よりなる。
【００１９】
上記流路基板は、圧力室を含み、上記プレートが上記圧力室に連通するノズル孔を含み、上記圧電素子は、第１電極および第２電極との間に配置された圧電体膜を有し、上記第１電極および第２電極に電位を印加することにより、上記圧電体膜に歪みを生じさせ、上記圧力室を加圧する。
【００２０】
（２）本発明の液滴吐装置は、液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置であって、上記液滴吐出ヘッドを有する。
【００２１】
（３）本発明の液滴吐出ヘッドの再生方法は、圧電素子と、上記圧電素子に接続された振動板と、上記振動板に接続された流路基板と、上記流路基板に接続されたプレートと、を有し、上記流路基板が圧力室を含み、上記プレートが上記圧力室に連通するノズル孔を含む液滴吐出ヘッドの再生方法であって、上記ノズル孔の一部が塞がった場合に、上記流路基板から上記プレートを剥離し、上記流路基板に他のプレートを接合することを特徴とする。
【００２２】
このように、ノズル孔の一部が塞がった場合に、圧力室の側壁からプレートを剥離し、他のプレートを接合することで、液滴吐出ヘッドの目詰まり等による交換の頻度を低減することができる。また、液滴吐出処理のスループットを向上させることができる。また、処理コストを低減することができる。
【００２３】
上記プレートと上記流路基板とは、例えば、紫外線によりその接着力が低下する第１の接着層により接合され、上記プレートの剥離は、上記第１の接着層に上記紫外線を照射することにより行われ、上記他のプレートの接合は、上記紫外線によりその接着力が低下する第２の接着層により行われる。
【００２４】
上記他のプレートの接合は、例えば、あらかじめ上記第２の接着層が形成された上記流路基板に、上記他のプレートを接合することにより行われる。
【００２５】
上記プレートおよび他のプレートは、例えば、紫外線透過部材よりなる。
【００２６】
（４）本発明の液滴吐出装置の使用方法は、圧電素子と、上記圧電素子に接続された振動板と、上記振動板に接続された流路基板と、上記流路基板に接続されたプレートと、を有し、上記流路基板が圧力室を含み、上記プレートが上記圧力室に連通するノズル孔を含む液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の使用方法であって、上記プレートのノズル孔の一部が塞がった場合に、上記流路基板から上記プレートを剥離し、上記流路基板に他のプレートを接合し、上記他のプレートのノズル孔から上記圧力室に導入された液滴を吐出させることを特徴とする。
【００２７】
このように、ノズル孔の一部が塞がった場合に、圧力室の側壁からプレートを剥離し、他のプレートを接合することで、液滴吐出ヘッドの目詰まり等による交換の頻度を低減することができる。また、液滴吐出処理のスループットを向上させることができる。また、処理コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。なお、同一の機能を有するものには同一もしくは関連の符号を付し、その繰り返しの説明を省略する。
【００２９】
＜液滴吐出装置構成＞
図１は、本実施の形態の液滴吐出装置の概略斜視図である。図１に示すように、液滴吐出装置１０１は、液滴吐出ヘッド１０３およびその移動手段１０５を有する。移動手段１０３は、液滴吐出ヘッド１０３を脱着可能に保持し、液滴吐出ヘッド１０３をｘ方向ガイド１０７およびｙ方向ガイド１０９に沿って移動させる。また、移動手段１０５には、制御手段１１５が接続され、制御手段１１５によって液滴吐出ヘッド１０３を所望の位置に移動させる。なお、この制御手段１１５については、追って詳細に説明する。
【００３０】
また、液滴吐出ヘッド１０３の下部には、載置台１１３が配置され、その上部には、図示しない処理対象材（例えば、ガラス基板など）が設置され、液滴吐出ヘッド１０３から液滴が処理対象材に対し吐出される。
【００３１】
なお、液滴吐出ヘッド１０３を上下方向（ｚ方向）に移動させる手段を備ええもよい
また、載置台１１３を、ｘ方向、ｙ方向およびｚ方向に移動させる手段を備えてもよい。
【００３２】
＜液滴吐出ヘッド構成＞
図２は、本実施の形態の液滴吐出ヘッドの構成を示す要部断面図であり、図３は、本実施の形態の液滴吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【００３３】
図２および図３に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッドは、圧力室（キャビティ、凹部）ＣＡと、その上部に配置された圧力素子ＰＥと、を有する。
【００３４】
圧力室ＣＡは、底面、側壁および上面を有し、底面はノズルプレート（プレート、平板）１により構成され、側壁は、シリコン基板（流路基板）３により構成され、上面は、振動板（弾性板、弾性膜、ダイヤフラム）５により構成される。このシリコン基板３には、開口部が設けられ、この開口部が圧力室ＣＡとなる。また、この開口部は、開口領域１１ａ、１１ｂ、１１ｃを有し、１１ｂおよび１１ｃが材料溶液の流路となる（図３参照）。
【００３５】
また、圧力室ＣＡの底面にはノズル孔１ａが配置されている。このノズル孔１ａは、ノズルプレート１に、複数の圧力室ＣＡに対し１つずつ形成されている。ノズル孔３の孔の直径（孔径）は、例えば２０μｍである。
【００３６】
ノズルプレート１は、ガラス基板もしくは透明樹脂基板である。このように光透過性（特に、紫外線透過性）の基材を用いることが好ましい。これは、追って詳細に説明するように、当該ノズルプレート１を介して後述する接着層４に紫外線を照射するためである。このノズルプレート１とシリコン基板３とは、接着層４を用いて接合（接着、圧着）されている。
【００３７】
この接着層４は、感圧性を有し、紫外線（ＵＶ）によりその接着力が低下する接着層であり、樹脂よりなる。その反応機構は、例えば、紫外線を照射することにより樹脂を構成する化合物が重合硬化し、接着力（粘着力）が低下する。この場合、接着層は紫外線硬化樹脂であるといえる。このような樹脂としては、例えば、アクリル系粘着材ポリマー、紫外線硬化型オリゴマーおよび光開始剤を含有する樹脂（接着層）が挙げられる。
【００３８】
アクリル系粘着材ポリマーとしては、例えば、アクリル酸−２エチルヘキシル、アクリル酸等が使用され、紫外線硬化型オリゴマーとしては、ウレタンアクリルレートオリゴマー等が使用される。また、光開始剤としては、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等が使用される。
【００３９】
圧電素子ＰＥは、圧力室ＣＡの上部、即ち、振動板５の上部に配置され、下から下部電極７ａ、圧電体膜（圧電体層）７ｂおよび上部電極７ｃが順次積層された構成を有する。圧電体膜７ｂは、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛、Ｐｂ（Ｚｒ1-xＴｉx））よりなる。また、圧電素子ＰＥ（上部電極７ｃ）の上部には、外部引き出し電極８が配置されている。
【００４０】
また、圧電素子ＰＥの上部には、保護基板（封止樹脂）９が配置されている。この保護基板９には、凹部９ａおよび開口領域９ｂ、９ｃが設けられ、凹部９ａ内に圧電素子ＰＥが配置される。なお、保護基板９上にはコンプライアンス基板等が設けられる（図３参照）
従って、材料溶液は、流路（リザーバ）１１ｃから流路１１ｂを介して圧力室ＣＡに充填され、圧電素子ＰＥの駆動によって圧力室ＣＡが加圧され、ノズル孔のノズル孔１ａから材料溶液が吐出される（図３参照）。この際、振動板３は、圧電素子ＰＥの駆動を圧力室ＣＡに伝える役割を有する。
【００４１】
このように、本実施の形態によれば、ノズルプレート１と圧力室ＣＡの側壁とを、紫外線によりその接着力が低下する接着層４により接合したので、少なくとも一部が塞がり、吐出した液滴に飛行曲がりが発生したり目詰まりが生じたりしても、ノズルプレート１を容易に交換することが可能となる。
【００４２】
次いで、このノズルプレートの交換方法（液滴吐出ヘッドの再生方法または修理方法、液滴吐出装置の使用方法）について説明する。
【００４３】
図４および図５は、本実施の形態のノズルプレートの交換方法を示す工程断面図である。なお、液滴吐出ヘッド１０３の構成は、図２に示したものと比べ簡略化して記載してある。
【００４４】
まず、第１ノズルプレート１を有する液滴吐出ヘッド（液滴吐出装置）１０３を用いて、処理対象材を処理する（図１参照）。例えば、液晶装置に用いられるカラーフィルム（カラーフィルタ）であって、赤、緑、青のフィルム領域がアレイ状に配置されたカラーフィルムを形成すべく、基板上に各種材料溶液を吐出する。
【００４５】
この際、処理を繰り返し、第１ノズルプレート１のノズル孔１ａに目詰まりが部１３生じ、吐出不能（使用不能）となった場合、液滴吐出ヘッド１０３を液滴吐出装置１０１から取り外し、図４に示すように、紫外線照射装置に、その底面（ノズルプレート１部、液滴吐出面）を上側にして載置する。次いで、紫外線照射部１５から紫外線（ＵＶ）を照射し、接着層４の接着力を低下させる。なお、ここでの吐出不能とは、完全にノズル孔１ａが塞がった場合の他、部分的にノズル孔１ａが塞がり、飛行曲がりが生じたり、十分な吐出量が確保できなくなった場合も含む。
【００４６】
次いで、第１ノズルプレート１をシリコン基板（圧力室ＣＡの側壁）３から剥離し、新しいノズルプレート（第２ノズルプレート）１Ａを、圧力室ＣＡの側壁に接着層を用いて接着する。この際に使用する接着層も、前述した紫外線（ＵＶ）によりその接着力が低下する接着層（例えば、アクリル系粘着材ポリマー、紫外線硬化型オリゴマーおよび光開始剤を含有する樹脂）である。
【００４７】
例えば、図５（Ａ）に示すように、接着層４をあらかじめ第２ノズルプレート１Ａ側に形成しておき、圧力室ＣＡの側壁（シリコン基板３）と接着（圧着）させてもよい。この場合、接着層４が圧力室ＣＡの内部にはみ出すことを防止するため、ノズルプレート１Ａに位置決め用の穴（開口部）を設け、また、シリコン基板３にも対応する位置に、位置決め用の凹部を設け、これらの間に例えばピンを挿入するなどして、接着の位置合わせを行う。
【００４８】
一方、図５（Ｂ）に示すように、接着層４をあらかじめ圧力室ＣＡの側壁（シリコン基板３）側に形成しておき、第２ノズルプレート１Ａと接着させてもよい。ここで、そもそも圧力室ＣＡには、その液滴を精度良く吐出させるため、即ち、吐出回数や圧力室ＣＡの位置が異なっても同じ量の液滴を吐出させるため、各圧力室ＣＡに均一に圧力が加わるよう制御されている。従って、ノズル孔１ａの位置が圧力室ＣＡに対し少しずれても、吐出量に大きなばらつきが生じることはない。従って、接着層４をあらかじめ圧力室ＣＡの側壁（シリコン基板３）側に形成した方が、位置あわせずれのマージンを大きくすることができる。もちろん、この場合においても、図５（Ａ）の場合と同様に、ピン等による位置合わせを行ってもよい。
【００４９】
また、この場合、即ち、各ノズル孔１ａの位置が各圧力室ＣＡに対し同様にずれた場合、吐出量に大きなばらつきが生じることはないが、処理対象材に対する吐出位置の精度が要求される場合には、その調整を行うことが好ましい。
【００５０】
例えば、図１の制御手段１１５にずれ量を入力することにより処理対象材に対する吐出位置の微調整を行う。この制御手段１１５には、ＣＰＵ（中央演算装置）、ＲＯＭ（read only memory）およびＲＡＭ（random access memory）等のメモリが内蔵されている。ＲＯＭには、例えば、制御プログラムや制御データが格納され、ＲＡＭには例えば、図示しない外部装置から入力された入力データが一時的に格納される。
【００５１】
例えば、あらかじめ吐出量、吐出タイミングと吐出位置に合わせて吐出を行うようＲＯＭにプログラムが格納され、具体的な、吐出量、吐出タイミングと吐出位置の値を手動で入力する。
【００５２】
この制御手段に、第２ノズルプレート１Ａのノズル孔１ａの位置（例えば座標）を自動もしくは手動で入力する。所定のノズルプレート（第１ノズルプレート）１のノズル孔１ａの座標との差を演算し、図１の液滴吐出ヘッド１０３の移動距離を調整する。かかる調整により、所望の吐出位置に精度良く液滴の吐出を行うことができる。
【００５３】
また、剥離したノズルプレート１を洗浄し、目詰まり部（固化樹脂部）１３を取り除くことにより、再利用してもよい。液滴吐出ヘッド１０３の状態においては、その圧力室ＣＡ内の汚染や他の構成部分（例えば、振動板や圧電素子部）の変質や変形が生じ得るため、ノズルプレート１の目詰まり部１３を除去すべく、例えば、強力な洗浄溶液（溶解溶液）、具体的には、強い酸やアルカリ等を用いて処理すること等が困難であった。また、目詰まり部１３を物理的に取り除く（例えば、ピンのようなモノで押し出す等の処理をする）ことが困難であった。しかしながら、ノズルプレート１を取り外した状態であれば、当該ノズルプレートの素材が耐え得る範囲で、前述の処理を施すことにより、目詰まり部１３の除去を行うことが可能となる。
【００５４】
以上、詳細に説明したように、本実施の形態によれば、ノズル孔１ａから液滴が吐出不能となった場合に、圧力室ＣＡの側壁から第１ノズルプレート１を剥離し、第２ノズルプレート１Ａを接合することで、液滴吐出ヘッド１０３の目詰まり等による交換の頻度を低減することができる。また、液滴吐出処理工程のスループットを向上させることができる。従って、製品、この場合は、液晶装置の製造の効率化を図ることができる。また、液滴吐出処理工程のコストを低減することができる。言い換えれば、液滴吐出装置のランニングコストを低減できる。従って、製品、この場合は、液晶装置の製造コストの低減を図ることができる。また、液滴吐出ヘッドの目詰まり等による廃棄量を低減でき、環境負荷（環境破壊）を低減することができる。また、製品に用いられる材料の多様化により、揮発性の高い溶媒や粘性の高い材料溶液が使用されても十分対応し得る。
【００５５】
また、本実施の形態においては、容易にノズルプレート１の交換を行うことができるため、製品毎にノズルプレートのノズル孔の配置や大きさが異なる場合、あらかじめ製品毎に複数種のノズルプレートを準備し、これらを適宜、張り替えることにより、各種製品の製造に対応可能である。
【００５６】
なお、上記実施の形態においては、ノズルプレート１の材料として、ガラス基板もしくは透明樹脂基板を例に説明したが、この他、紫外線を透過する材料（紫外線透過部材）を用いてもよい。
【００５７】
また、上記実施の形態においては、ノズルプレート１と圧力室ＣＡの側壁との接着層として、紫外線によりその接着力が低下する接着層を例に説明したが、特定の処理により接着力が低下する物質を接着層として用いてもよい。例えば、レーザー光等のエネルギー線を照射することによりアブレーション（気化）する樹脂等を用いて接合しておき、ノズルプレートの剥離の際、接着層にエネルギー線の照射を行ってもよい。但し、紫外線硬化樹脂等は、樹脂の硬化により接着力を低減できるので、有機物汚染等を低減でき、より好ましい。
【００５８】
また、上記実施の形態においては、目詰まりが生じたノズル孔１ａに対する対策を前提に説明したが、あらかじめ、液滴吐出ヘッドの使用時間や使用吐出回数に応じて、定期的に（目詰まりの有無に関わらず）新しいノズルプレートに張り替えるようにしてもよい。
【００５９】
また、上記実施の形態においては、処理対象材として液晶装置のカラーフィルムを例に説明したが、配向膜材料や液晶等の吐出にも適用可能である。また、液晶装置の他の装置、例えば、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、表面伝導型電子放出(Surface-conduction Electron-emitting)装置等の液体電極材料等の吐出にも適用可能である。また、バイオチップの製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用可能である。もちろん、インクジェットプリンタにも適用可能である。このように、幅広い分野に適用可能であるが、前述した産業用の液滴吐出装置に用いて好適である。特に、有機溶媒や速乾性の溶液の吐出に用いて好適である。
【００６０】
また、上記実施の形態においては、圧電素子として横型の圧電素子ＰＥを例に説明したが、縦方向に圧電体膜や電極が延在する構成（縦型圧電素子）でもよく、要は、第１電極および第２電極との間に配置された圧電体膜を有し、第１電極および第２電極に電位を印加することにより、圧電体膜の歪みを生じさせ、圧力室を加圧できる構成のものであればよい。
【００６１】
また、上記実施の形態においては、圧力室ＣＡの側面とその底部が異なる部材（この場合、シリコン基板とノズルプレート）で形成されている液滴吐出ヘッドを例に説明したが、圧力室ＣＡの側壁と底面が同一部材で一体形成されている液滴吐出ヘッドにも適用可能である。この場合、例えばノズルプレート１に圧力室となる凹部を形成したような構成となる。従って、上記部材（ノズルプレート）と振動板５との間に接着層を設けることとなる。
【００６２】
また、上記実施の形態と、前述したノズル孔の空打ちや微振動を圧力室に与える方法もしくは圧力室を減圧し、ノズル孔の内壁に付着した固形物を圧力室内部に吸引する方法等を併用してもよい。
【００６３】
また、上記実施の形態を通じて説明された実施例や応用例は、用途に応じて適宜に組み合わせて、又は変更若しくは改良を加えて用いることができ、本発明は上述した実施の形態の記載に限定されるものではない。そのような組み合わせ又は変更若しくは改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本実施の形態の液滴吐出装置の概略斜視図である。
【図２】本実施の形態の液滴吐出ヘッドの構成を示す要部断面図である。
【図３】本実施の形態の液滴吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【図４】本実施の形態のノズルプレートの交換方法を示す工程断面図である。
【図５】本実施の形態のノズルプレートの交換方法を示す工程断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１…ノズルプレート、１ａ…ノズル孔、３…シリコン基板、４…接着層、５…振動板、７ａ…下部電極、７ｂ…圧電体膜、７ｃ…上部電極、８…外部引き出し電極、９…保護基板、９ａ…凹部、９ｂ、９ｃ…開口領域、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ…開口領域、１３目詰まり部、１５…紫外線照射部、１０１…液滴吐出装置、１０３…液滴吐出ヘッド、１０５…移送手段、１０７…ｘ方向ガイド、１０９…ｙ方向ガイド、１１３…載置台、１１５…制御手段、ＣＡ…圧力室、ＰＥ…圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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