(57)【要約】      （修正有）【課題】付着／塗布動作を繰返した場合でも適量の修正液を塗布針の先端部に付着させることができる修正液塗布ユニットを提供する。【解決手段】粘度が高くて流動性が低い修正液を用いる場合、付着／塗布動作を繰返すと修正液の表面のうち塗布針が挿入される部分に窪みができることがある。回転モータは、たとえば所定回数の付着／塗布動作ごとに容器を所定の角度だけ回転させる。これにより、修正液の表面の窪み部分の位置をずらすことができる。したがって、付着／塗布動作を繰返した場合でも適量の修正液を塗布針の先端部に付着させることが可能になる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するための修正液が収容された容器と、塗布針を上下動させて、前記容器内に前記塗布針を挿入してその先端部に修正液を付着させ、前記塗布針の先端部に付着した修正液を前記欠陥部に塗布する駆動装置とを備える修正液塗布ユニットにおいて、
前記塗布針と前記容器を相対的に移動させることによって、前記容器内の前記塗布針が挿入される位置を変化させる移動手段を備えることを特徴とする、修正液塗布ユニット。
【請求項２】
前記移動手段は、前記容器を回転させることを特徴とする、請求項１に記載の修正液塗布ユニット。
【請求項３】
前記移動手段は、前記容器を水平方向に移動させることを特徴とする、請求項１に記載の修正液塗布ユニット。
【請求項４】
前記移動手段は、前記塗布針を水平方向に移動させることを特徴とする、請求項１に記載の修正液塗布ユニット。
【請求項５】
基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するための修正液が収容された容器と、塗布針を上下動させて、前記容器内に前記塗布針を挿入してその先端部に修正液を付着させ、前記塗布針の先端部に付着した修正液を前記欠陥部に塗布する駆動装置とを備える修正液塗布ユニットにおいて、
前記容器内の修正液の表面を平滑化する平滑化手段を備えることを特徴とする、修正液塗布ユニット。
【請求項６】
前記平滑化手段は、その裏面に突起部が設けられ、前記容器の開口された上面を閉じる蓋と、前記容器とを相対的に回転させることによって、前記突起部により前記容器内の修正液の表面を平滑化することを特徴とする、請求項５に記載の修正液塗布ユニット。
【請求項７】
前記平滑化手段は、
前記容器の開口面と略同じ形状の押圧部材、および
前記押圧部材を下降させて前記容器内の修正液の表面を押して、前記容器内の修正液を平滑化するプッシュ機構を含むことを特徴とする、請求項５に記載の修正液塗布ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、修正液塗布ユニットに関し、特に、基板上に形成された微細パターンの欠陥部に修正液を塗布する修正液塗布ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネル基板やプリント基板の製造工程において、基板上の電極やリブなどに欠陥が発生することがある。従来より、歩留まりの向上を図るために各種欠陥を修正する方法が提案されている。
【０００３】
たとえば、下記の特許文献１には、ペーストを使用した導電性膜を生成することによって、低コストで液晶基板の欠陥修正が可能な欠陥修正方法および欠陥修正装置が開示されている。
【０００４】
また、下記の特許文献２には、修正液塗布用の針の付着物を十分に除去でき、低価格で、保守が簡単な欠陥修正装置が開示されている。
【特許文献１】特開平８−２９２４４２号公報
【特許文献２】特開平９−２３６９３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
パターン修正装置の修正液塗布ユニットは、基板の欠陥部に塗布するための修正液（インクまたはペースト）が注入されたタンク内に塗布針を挿入して、塗布針の先端部を修正液の中に浸した後、塗布針の先端部に付着した修正液を基板の欠陥部に塗布する。
【０００６】
しかしながら、粘度が高くて流動性が低い修正液を用いる場合、塗布針を修正液の中から抜き出した後に修正液の表面がすぐに均一にならない。このため、塗布針の先端部に修正液を付着させて、その付着した修正液を基板の欠陥部に塗布する付着／塗布動作を繰返すと、タンク内の修正液の表面のうち塗布針が挿入される部分に窪みができてくる。このため、塗布針の先端部に修正液を付着させにくくなるという問題があった。塗布針の先端部に適量の修正液が付着しなかった場合、基板の欠陥部に塗布される修正液が適切な形状や膜厚にならない。
【０００７】
それゆえに、この発明の主たる目的は、付着／塗布動作を繰返した場合でも適量の修正液を塗布針の先端部に付着させることができる修正液塗布ユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係わる修正液塗布ユニットは、基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するための修正液が収容された容器と、塗布針を上下動させて、容器内に塗布針を挿入してその先端部に修正液を付着させ、塗布針の先端部に付着した修正液を欠陥部に塗布する駆動装置とを備える修正液塗布ユニットにおいて、塗布針と容器を相対的に移動させることによって、容器内の塗布針が挿入される位置を変化させる移動手段を備えることを特徴とする。
【０００９】
好ましくは、移動手段は、容器を回転させることを特徴とする。
また好ましくは、移動手段は、容器を水平方向に移動させることを特徴とする。
【００１０】
また好ましくは、移動手段は、塗布針を水平方向に移動させることを特徴とする。
この発明に係わる他の修正液塗布ユニットは、基板上に形成された微細パターンの欠陥部を修正するための修正液が収容された容器と、塗布針を上下動させて、容器内に塗布針を挿入してその先端部に修正液を付着させ、塗布針の先端部に付着した修正液を欠陥部に塗布する駆動装置とを備える修正液塗布ユニットにおいて、容器内の修正液の表面を平滑化する平滑化手段を備えることを特徴とする。
【００１１】
好ましくは、平滑化手段は、その裏面に突起部が設けられ、容器の開口された上面を閉じる蓋と、容器とを相対的に回転させることによって、突起部により容器内の修正液の表面を平滑化することを特徴とする。
【００１２】
また好ましくは、平滑化手段は、容器の開口面と略同じ形状の押圧部材と、押圧部材を下降させて容器内の修正液の表面を押して、容器内の修正液を平滑化するプッシュ機構とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
この発明に係わる修正液塗布ユニットでは、塗布針と容器を相対的に移動させることによって、容器内の塗布針が挿入される位置を変化させる移動手段が設けられる。したがって、付着／塗布動作を繰返した場合でも適量の修正液を塗布針の先端部に付着させることが可能になる。
【００１４】
この発明に係わる他の修正液塗布ユニットでは、容器内の修正液の表面を平滑化する平滑化手段が設けられる。この場合も、付着／塗布動作を繰返した場合でも適量の修正液を塗布針の先端部に付着させることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
［実施の形態１］
図１は、この発明の実施の形態１による修正液塗布ユニットの概略構成を示す斜視図である。図１において、この修正液塗布ユニットは、塗布針１と、塗布針１を垂直方向に駆動するための駆動装置２とを備える。塗布針１は、保持部材３を介して駆動装置２の駆動軸４の先端部に固定される。
【００１６】
また、修正液塗布ユニットは、回転テーブル５と、回転テーブル５上に円周方向に順次配置された複数の修正液タンク６＿１〜６＿４、洗浄タンク７、および乾燥タンク８とを備える。回転テーブル５の中央には回転軸９が立設されている。また、回転テーブル５には、塗布動作時に塗布針１を通過させるための切欠部１０が形成されている。複数の修正液タンク６＿１〜６＿４には、それぞれ対応する色のインクまたはペーストが注入されている。洗浄タンク７には、塗布針１を洗浄するための洗浄液が注入されている。乾燥タンク８は、塗布針１に付着した洗浄液などを除去するためのエアー噴射機構を有する。複数の修正液タンク６＿１〜６＿４、洗浄タンク７および乾燥タンク８には、それぞれ塗布針１が挿入可能な小孔が設けられている。さらに、修正液塗布ユニットは、回転軸９の先端部に接続され、回転軸９を駆動して回転テーブル５を回転させるインデックス用回転モータ１１を備える。
【００１７】
駆動装置２は、修正液タンク６＿１〜６＿４に塗布針１を挿入して塗布針１に修正液を付着させ、塗布針１に付着した修正液を基板の欠陥部に塗布する。
【００１８】
図示しないが、パターン修正装置は、修正対象とする基板がその表面に載置され、基板と平行なＹ軸方向に移動するＹ軸テーブルと、基板と垂直なＺ軸方向に移動するＺ軸テーブルと、該Ｚ軸テーブルを搭載して基板と平行でＹ軸と直交するＸ軸方向に移動するＸ軸テーブルとを備える。修正液塗布ユニットは、Ｚ軸テーブルに固定される。このような構成により、基板と修正液塗布ユニットの相対位置を移動させて、基板の欠陥部に修正液を塗布することができる。
【００１９】
図２は、図１に示した修正液塗布ユニットの要部を示す断面図である。図２において、回転テーブル５の表面には、修正液タンク６＿１を嵌め込むための凹部２１が形成されている。修正液タンク６＿１は、修正液２２が入った断面凹状の容器２３と、その開口された上面を閉じる蓋２４とで構成される。蓋２４には、塗布針１が貫通可能な孔２５が開口されている。回転テーブル５の下部には、容器２３を回転させるための回転モータ２６が取り付けられている。回転モータ２６の回転軸２７の先端部は、容器２３の底の中心部に結合されている。回転モータ２６は、たとえば所定回数の付着／塗布動作ごとに容器２３を所定の角度だけ回転させる。なお、回転軸２７と容器２３とは、接着固定させてもよいし、互いに噛み合わせるギヤなどの結合部材によって結合させてもよい。
【００２０】
蓋２４は２つのピン２８，２９によって回転テーブル５に固定され、容器２３とともに蓋２４が回転しないようになっている。ただし、蓋２４を回転テーブルに固定する方法は、これに限定されるものではない。
【００２１】
粘度が高くて流動性が低い修正液２２を用いる場合、付着／塗布動作を繰返すと修正液２２の表面のうち塗布針１が挿入される部分に窪みができることがある。しかし、回転モータ２６によって容器２３を回転させることにより、修正液２２の表面の窪み部分の位置をずらすことができる。したがって、付着／塗布動作を繰返した場合でも適量の修正液２２を塗布針１の先端部に付着させることが可能になる。なお、図１に示した修正液タンク６＿２〜６＿４も修正液タンク６＿１と同様の構成を有し、各修正タンクに対応する回転モータが設けられる。
【００２２】
図３は、この実施の形態１の変更例１を示す図である。図３において、図２に示した回転モータ２６の代わりに、駆動装置３１が設けられている。
【００２３】
駆動装置３１の駆動軸３２の先端部は、容器２３の側面に固定されている。駆動装置３１は、回転テーブル５の表面に固定され、容器２３を水平方向に駆動する。回転テーブル５の凹部２１は、駆動装置３１によって容器２３が水平方向に駆動可能なように形成されている。したがって、駆動装置３１によって容器２３を回転テーブル５の凹部２１の上面に沿って移動させることにより、修正液２２の表面の窪み部分の位置をずらすことができる。
【００２４】
なお、図３に示すように、修正液２２の種類によっては容器２３の蓋を設けなくてもよい。蓋を設ける必要がある場合は、駆動装置３１によって容器２３が水平方向に動かされても常に塗布針１が貫通可能なように、蓋に長細い形状の孔を開口しておけばよい。
【００２５】
図４は、この実施の形態１の変更例２を示す図である。図４において、駆動装置２は、塗布針１を垂直方向に駆動するだけではなく、塗布針１を水平方向にも駆動することができる。したがって、駆動装置２によって塗布針１を水平方向に直線的に移動させることにより、容器２３に対する塗布針１の挿入位置をずらすことができる。
【００２６】
なお、図４に示すように、修正液２２の種類によっては容器２３の蓋を設けなくてもよい。蓋を設ける必要がある場合は、駆動装置２によって塗布針１が水平方向に動かされても常に塗布針１が貫通可能なように、蓋に長細い形状の孔を開口しておけばよい。
【００２７】
［実施の形態２］
図５は、この発明の実施の形態２による修正液塗布ユニットの要部を示す断面図である。図５において、容器２３内の修正液２２の表面を平滑化するためのプッシュ機構４１が設けられる。プッシュ機構４１の駆動軸４２の先端部には、容器２３の開口面と略同じ形状の平面板（押圧部材）４３が固定されている。プッシュ機構４１は、平面板４３を垂直方向に下降させて、平面板４３の底面で修正液２２の表面を押して平滑化させる。
【００２８】
したがって、プッシュ機構４１によって修正液２２の表面を平滑化させることにより、付着／塗布動作を繰返した場合でも適量の修正液２２を塗布針１（図１〜図４参照）の先端部に付着させることが可能になる。このプッシュ機構４１は、たとえば図１に示したインデックス用モータ１１または駆動装置２の側面に固定される。また、平面板４３には塗布針１が貫通可能な孔が開口されている。
【００２９】
［実施の形態３］
図６（Ａ）（Ｂ）は、この発明の実施の形態３による修正液塗布ユニットの要部を示す断面図および平面図である。なお、図６（Ａ）は図２と対比される図である。図２と対応する部分においては同一符号を付し、その詳細説明は繰返さない。
【００３０】
図６（Ａ）（Ｂ）を参照して、蓋２４の裏面には、突起部５１，５２が固定されている。突起部５１は三角柱の形状を有し、突起部５２は四角柱の形状を有する。回転軸２７の先端部２７ａは、その径が細くなっており、容器２３内に突出している。ただし、回転軸２７の先端部２７ａは、必ずしも容器２３内に突出していなくてもよい。回転モータ２６は、たとえば所定回数の付着／塗布動作ごとに容器２３を所定の角度だけ回転させる。これに伴って、容器２３内の修正液２２も回転する（図６（Ｂ）では反時計回り方向）。
【００３１】
粘度が高くて流動性が低い修正液２２を用いる場合、付着／塗布動作を繰返すと修正液２２の表面のうち塗布針１が挿入される部分に窪みができることがある。また、その窪み部分の周りの修正液２２の表面が盛り上がることもある。しかし、回転モータ２６によって容器２３を回転させることにより、修正液２２の表面の窪み部分および盛り上がった部分を突起部５１，５２で矯正することができる。したがって、付着／塗布動作を繰返した場合でも適量の修正液２２を塗布針１の先端部に付着させることが可能になる。また、突起部５１，５２によって修正液２２が撹拌されて、塗料成分が均一化される。
【００３２】
なお、孔２５と同一の円周上に配置されている突起部５２の垂直方向の長さは、突起部５１の垂直方向の長さよりも短い。このため、塗布針１が挿入される部分にできた修正液２２の窪みを確実に矯正することができる。また、突起部５１を三角柱の形状とすることにより、容器２３を回転させたときの修正液２２の流れを規制している。したがって、塗布針１が挿入される部分の修正液２２の表面を上昇させて修正液２２を有効利用することができ、修正液２２の補充回数を減らすことができる。
【００３３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】この発明の実施の形態１による修正液塗布ユニットの概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示した修正液塗布ユニットの要部を示す断面図である。
【図３】この実施の形態１の変更例１を示す図である。
【図４】この実施の形態１の変更例２を示す図である。
【図５】この発明の実施の形態２による修正液塗布ユニットの要部を示す断面図である。
【図６】この発明の実施の形態３による修正液塗布ユニットの要部を示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  塗布針、２，３１  駆動装置、３  保持部材、４，３２，４２  駆動軸、５  回転テーブル、６＿１〜６＿４  修正液タンク、７  洗浄タンク、８  乾燥タンク、９，２７  回転軸、１０  切欠部、１１  インデックス用回転モータ、２１  凹部、２２  修正液、２３  容器、２４  蓋、２５  孔、２６  回転モータ、２８，２９  ピン、４１  プッシュ機構、４３  平面板、５１，５２  突起部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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