(57)【要約】    【課題】  小型半導体等の電子部品について電気特性検査及び外観検査を行い、特性ランクにより電子部品を分類し、収納部に収納する電子部品の検査分類装置を提供する。    【解決手段】  本実施形態は、分類装置の円周上に電子部品を把持する複数のスライド溝を有する回転式デスク、電子部品吸着手段、及び電子部品排出手段により構成される。回転式デスクが所定の位置に達すると、複数の電子部品は同時並行して或いはタイミングをずらして圧縮エア−により強制排出され、特性ランク毎に設定された所定の収納箱に電子部品を収納することができる。【選択図】  図３
2007003342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を検査してランクを判定する検査装置と、
前記検査装置によって判定された特性ランクに基ずいて、電子部品を対応する収納部に
分類して収納する分類装置と、
前記検査装置と前記分類装置とを統合的に制御する制御装置とを有する電子部品の検査
分類装置であって、
検査装置は、電子部品の電気特性を測定する測定手段又は、画像処理により電子部品の
外観を検査する外観検査手段とを有し、
分類装置は、間欠搬送する回転式デスク、電子部品を吸着保持する吸着手段、電子部品
を強制排出する排出手段及び電子部品を収納する収納部とを有することを特徴とする
電子部品の検査分類装置。
【請求項２】
前記回転式デスクは、その円周上に等角度毎に電子部品搭載のための複数のスライド
溝を有し、間欠搬送する回転式デスクが１工程処理する間に、前記特性ランクに対応し
て、前記回転式デスク内の複数の電子部品を吸着保持及び強制排出する処理を同時或い
は並列して行なうことを特徴とする請求項１記載の電子部品の検査分類装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型半導体等の電子部品を電気特性検査及び外観検査を行い、これらの検査結果、場合分けされる特性ランクにより電子部品を分類し、収納部に収納する電子部品の検査分類装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ミニモ−ルドトランジスタ等の半導体装置を含む電子部品は、短冊状のリ−ドフレ−ムを用いて数多くの電子部品が一括して製造され、これを個々の電子部品に分けて出荷される。この場合、リ−ドフレ−ムから電子部品を取り出した後、典型的には回転テ−ブルからなる回転式搬送機構を用いて搬送し、この搬送過程で、外観の寸法や電気特性の測定、捺印など出荷に際して必要とされる一連の処理を行った後に、梱包用のキャリアテ−プに挿入される。
【０００３】
ここで、一種類の多数の電子部品を同一のプロセス同一の装置で処理し製造しても、そのロット内で基準値特性からかなりばらつきが生ずる。しかしながら、ばらつきがあっても、基準値から外れた特性値をもつ電子部品の全部を不良品にせず、特性値によって分類し、その特性値に適合した電気回路に使用したり、再度分類分けをして使用したりするため、検査結果に基ずいて電子部品を特性ランク別に分類する必要がある。
【０００４】
そのため、図５（ａ）に示す場合、電子部品を特性ランク別に分類する方法において、電子部品を間欠搬送する横型タ−ンテ−ブルを用い、必要な特性ランク数の収納箱をソ−ト処理工程において複数個並列に並べ、横型タ−ンテ−ブルの間欠搬送の１サイクルで１つの分類分け処理（ソ−ト）を行なっていた。そのため、ソ−ト処理は間欠搬送の１サイクルと同期して行なわれるため、ソ−ト処理速度の低下は問題とならないが、分類数が増えるに従いこれらの収納箱を限られた範囲内に設置するためのスペ−スが問題となっていた。また、図５（ｂ）に示す場合、電子部品を特性ランク別に分類する方法において、電子部品を１つの振り分け口から複数の収納箱に振り分けていたため、分類数は多く設定できる反面、ソ−ト処理速度の低下が問題となっていた。
【０００５】
これに対応するため、特許文献１では、シュ−トの落し口に面し同一円周上に複数の穴が形成された回転ドラムと、各穴のそれぞれを独立して開閉し落ち込む半導体装置を停留させるか落とすかを行なうシャッタ機構と、回転ドラムの下部に配置し回転ドラムの各穴に対応した複数の収納箱と、回転ドラムを回転させ半導体装置が停留する穴を予め指定の収納箱に位置決めするインデックス機構とを設けた半導体装置の選別装置が提案されている。
【０００６】
また、特許文献２では、半導体装置の測定部での測定結果に応じて半導体装置を区分け搬送するロ−タリ−シュ−トと、このロ−タリ−シュ−トで区分け搬送された半導体装置をそれぞれ収納する複数の容器を備え、測定部の製品出口に対して設けられたロ−タリ−シュ−トの取入口から取り入れた測定終了後の半導体装置を、ロ−タリ−シュ−トにより区分け搬送して送出口から測定結果に応じて対応する容器に送出し、区分けする装置が提案されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平７−２６０８８０号公報
【特許文献２】特開２００３−６２５２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、図５の（ａ）と（ｂ）の両者の利点を兼ね備えた構成であること、つまり、所要スペ−スが小さく、簡素な構成で、ソ−ト処理速度の高速化が図れ、かつソ−ト分類数を多く取ることができ、特性ランクに合致した電子部品の検査分類装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、請求項１記載の発明は、電子部品を検査してランクを判定する検査装置と、前記検査装置によって判定された特性ランクに基ずいて、電子部品を対応する収納部に分類して収納する分類装置と、前記検査装置と前記分類装置とを統合的に制御する制御装置とを有する電子部品の検査分類装置であって、検査装置は、電子部品の電気特性を測定する測定手段又は、画像処理により電子部品の外観を検査する外観検査手段とを有し、分類装置は、間欠搬送する回転式デスク、電子部品を吸着保持する吸着手段、電子部品を強制排出する排出手段及び電子部品を収納する収納部とを有することを特徴とする。
【００１０】
以上のような請求項１記載の発明では、検査装置と分類装置をシステムとして統合的に組み合わせることにより、ソ−ト処理速度の高速化、高効率化を図ることができる。
【００１１】
請求項２記載の発明は、前記回転式デスクは、その円周上に等角度毎に電子部品搭載のための複数のスライド溝を有し、間欠搬送する回転式デスクが１工程処理する間に、前記特性ランクに対応して、前記回転式デスク内の複数の電子部品を吸着保持及び強制排出する処理を同時或いは並列して行なうことを特徴とする。
【００１２】
以上のような請求項２記載の発明では、所要スペ−スが小さく、簡素な構成で、ソ−ト処理速度の高速化、高効率化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように、本発明によれば、所要スペ−スが小さく、簡素な構成で、ソ−ト処理速度の高速化、高効率化が図れ、特性ランクに合致した電子部品の検査分類装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明を実施するための最良の形態を、図１（ａ）、（ｂ）、図２、図３（ａ）、（ｂ）及び図４を参照して説明する。
【００１５】
［実施形態の構成］
本実施形態は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、電子部品Ｐを検査して特性ランクを判定する検査装置２０と、検査装置２０によって判定された特性ランクに基ずいて電子部品Ｐを特性ランクに対応する収納部に分類する分類装置３０と、電子部品Ｐを収納する収納部４０と、検査装置２０と分類装置３０とを統合的に制御する制御装置５０により構成されている。
【００１６】
図１（ａ）に示すように、検査装置２０は、電子部品Ｐの電気特性を測定する測定手段２１及び画像処理により電子部品の外観を検査する外観検査手段２２により構成されている。検査装置２０は、複数の測子に電子部品Ｐの電極リ−ド部を一定時間接触させることによりその時の電圧、電流、抵抗値、周波数等の電気特性を得る方法であるテストコンタクト測定手段２１、及び電子部品の電極リ−ド部の変形、樹脂モ−ルド部のマ−ク識別、欠け、クラック等を判別する画像処理による電子部品外観検査手段２２とにより構成されている。
【００１７】
分類装置３０は、図２及び図３（ａ）、（ｂ）に示すように、タ−ンテ−ブル２５と同期間欠搬送する縦型の回転式デイスク３１、電子部品Ｐを吸着保持する吸着手段３２及び電子部品Ｐを強制排出する排出手段３３により構成されている。図３（ａ）、（ｂ）は、本発明の主要部である縦型回転式デスク３１の詳細を表したものである。縦型回転式デスク３１は、その円周上に等角度毎に電子部品を搭載するための複数のスライド溝３４を有し、間欠搬送するタ−ンテブル２５のタイミングに合わせ、モ−タ３５駆動により間欠回転する。
【００１８】
各スライド溝３４の深さは、電子部品Ｐが入る程度の深さであり、溝内部を電子部品Ｐがスライドできるようになっている。また、各スライド溝３４の底部には電子部品Ｐを吸着するための吸着孔３６が開いており、この吸着孔３６は図示しない真空装置及びバキュ−ム配管と連結している。各スライド溝３４に挿入吸着された電子部品Ｐは、テストコンタクト測定手段２１及び外観検査手段２２の特性ランク情報を基に、必要回数間欠回転し所定の位置に達すると、図示しないエア−供給装置から供給される圧縮エア−により所定の収納部４０へ強制排出される。この時、圧縮エア−による排出力は吸着手段３２のバキュ−ムによる吸引力よりも強くなるように設定されている。その理由は、縦型回転式デスク３１の構造簡易化のため、ソ−ト番号１〜１２の全てが吸着手段３２と同時連結しているためである。
【００１９】
収納部４０は、縦型回転式デスク３１の下方に複数の円筒状の収納箱４１が設けられ、各々チュ−ブ４２により縦型回転式デイスク３１と接続している。複数の円筒状の収納箱４１は全体が一括してカセット式の箱４３に収納されている。各収納箱４１への収納数は制御装置５０により電子部品数Ｐをカウントされており、満杯になるとアラ−ムにより取り出しの表示が出される。
【００２０】
制御装置５０は、検査装置２０により得られた特性ランク情報のもと、分類装置３０に電子部品Ｐを分類することを統合的に制御するものであり、他のコンピュ−タ制御機器とともに基板内に設けられている。
【００２１】
［実施形態の作用］
以上のような構成を有する本実施形態の作用について、図３（ａ）、（ｂ）及び図４のタイミングチャ−トを並列して説明する。電子部品Ｐが吸着ノズル６１により間欠搬送され、吸着ノズルＺ軸が下降し、吸着ノズル６１の真空破壊がＯＮとなり、電子部品Ｐは縦型回転式デスク３１のスライド溝３４に搭載される。このスライド溝３４に直結している吸着手段３２は常時バキュ−ムがＯＮの状態であり、電子部品Ｐは溝底面に固定されている。タ−ンテ−ブル２５が１工程分間欠搬送すると、これにタイミングを同じくして縦型回転式デスク３１も１工程分回転する。
【００２２】
順次、上記の動作を複数回繰り返す。つまり、予め検査装置２０の特性ランクによって識別された収納番号の位置にくるまで回転し、所定の位置に来ると圧縮エア−が吹き付けられ、電子部品Ｐはチュ−ブ４２を通り、収納箱４１に収納される。従って、例えば電子部品Ｐ１がソ−ト番号６の位置にきた時、別の電子部品Ｐ２がソ−ト番号５の位置にある時、これらの電子部品は同時に排出される。他の電子部品についても同様に、縦型回転式デスク３１が１工程回転する間に、複数個が同時に或いはタイミングをずらして並列的にいずれかのソ−ト番号位置で排出されることになる。
【００２３】
この時、排出されるべき収納位置にきてもスライド溝底部に残っている電子部品Ｐは、ソ−ト番号１０の位置にあるセンサ−（１）３７によりセンサ−チェックされ、特別の収納箱に強制的に排出される。また、この強制排出動作の確認のため、ソ−ト番号１２の位置に再確認用のセンサ−（２）３８が設置されている。もしも、ソ−ト番号１２の位置にきてもまだ電子部品Ｐが残っている場合、アラ−ムにより搬送が停止されるようになっている。
【００２４】
［実施形態の効果］
以上のような本実施形態によれば、従来のタ−ンテ−ブル２５の間欠搬送１工程の処理時間内で複数の電子部品の分類を同時に或いは並列して処理することができるようになる。従って、従来のように特性ランク数のソ−ト収納箱を複数並べて処理していた場合に比べ、工程数が減り搬送テ−ブルの小型化が可能となる。また、これにより装置が簡易化され、処理速度の高速化が可能となる。
【００２５】
［他の実施形態］
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。例えば、搬送部において電子部品Ｐを保持する保持部は、負圧による吸着部には限定されず、機械的に把持する把持部であってよい。検査部による外観検査の方法は、画像による視覚的なものには限定されず、電気的な特性検査をするものであってもよい。さらに、上記の実施形態で示した手順によって、コンピュ−タを制御するためのプログラム及びこれを記録した記録媒体も、本発明の一態様である。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態の装置全体構成を示す図である。
【図２】本発明の実施形態のソ−ト部及び収納部を示す図である。
【図３】本発明の実施形態のソ−ト部詳細を示す図である。
【図４】本発明の実施形態のタイミングチャ−トを示す図である。
【図５】従来の実施形態の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００２７】
Ｐ、Ｐ１、Ｐ２  ・・・  電子部品
１  〜  １２    ・・・  ソ−ト番号位置
２０  ・・・  検査装置
２１  ・・・  テストコンタクト測定手段
２２  ・・・  外観検査測定手段
２５  ・・・  タ−ンテ−ブル
３０  ・・・  分類装置
３１  ・・・  縦型回転式デスク
３２  ・・・  吸着手段
３３  ・・・  排出手段
３４  ・・・  スライド溝
３５  ・・・  モ−タ
３６  ・・・  吸着孔
３７  ・・・  センサ−（１）
３８  ・・・  センサ−（２）
４０  ・・・  収納部
４１  ・・・  収納箱
４２  ・・・  チュ−ブ
４３  ・・・  カセット箱
５０  ・・・  制御装置
６１  ・・・  吸着ノズル
【図１】
2007003342.tif 000003
【図２】
2007003342.tif 000004
【図３】
2007003342.tif 000005
【図４】
2007003342.tif 000006
【図５】
2007003342.tif 000007