(57)【要約】【課題】  ジョブショップ形式の生産形態をとる生産ラインにおいて、各処理設備に適切な作業指示を行って、総合的に生産性・効率を向上させる。【解決手段】  生産ラインにおける主要な効率の指標である、リードタイム、装置稼働率、装置効率、納期遵守性といった項目について、個別に最適化するのではなく、生産ラインの総合的な効率を向上するために、装置状態、ロット状態に基づいて、主要指標についての重み付けが可能な総合的な指標を算定し、生産状況、その時点での指標の重要度に応じたロット処理順序、工程処理パターンを作成し、総合効率の高い柔軟な生産制御システムを提供する。【選択図】図２
2007164580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の工程及び複数のロットを処理するジョブショップ形態を取る生産ラインにおいて、前記各ロットの状態データと、前記工程の各装置の状態データを取得し、
前記各工程が取り得る前記ロットの処理順序の組み合わせを作成して、前記各工程の前記ロットの処理順序を組み合わせて、全工程の工程処理パターンを全て構成し、
前記各ロットの状態データと、前記各装置の状態データを基に得られる評価点より、前記工程処理パターンの中から、前記評価点が最良となる前記工程処理パターンを選定し、前記評価点が最良である前記工程処理パターンを構成する前記各工程の前記ロットの処理順序で前記各装置を制御することを特徴とする生産制御システム。
【請求項２】
複数の工程及び複数のロットを処理するジョブショップ形態を取る生産ラインにおいて、前記各ロットの状態データと、前記工程の各装置の状態データを取得し、
前記各工程が取り得る前記ロットの処理順序の組み合わせを作成して、前記各工程の前記ロットの処理順序を組み合わせて、全工程の工程処理パターンを全て構成し、
前記各ロットの状態データと、前記各装置の状態データを基に得られる評価点から、前記工程処理パターンの中から、前記評価点が最良となる前記工程処理パターンを選定する第１の計算装置と、
前記第１の計算装置から得られた前記評価点が最良の前記工程処理パターンを構成する前記各工程の前記ロットの処理順序に基づいて、前記各装置を制御し、前記各装置に前記ロットを供給する第２の計算装置を備えることを特徴とする生産制御システム。
【請求項３】
前記ロット処理のリードタイム評価指標と、前記装置の稼働率評価指標と、前記装置の効率評価指標と、前記ロットの納期遅延率評価指標とに基づいて、前記評価点を算出することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の生産制御システム。
【請求項４】
前記評価点を構成する各評価指標に夫々に重み付け係数を乗じたものに基づいて、前記評価点を算出することを特徴とする請求項４に記載の生産制御システム。
【請求項５】
前記重み付け係数は、可変であることを特徴とする請求項４に記載の生産制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジョブショップ型の多品種少量の生産形態をとる製造工場等の生産制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、あらゆる生産ラインにおいては、各ロットの納期を遵守することや、生産のリードタイムを可能な限り短縮することは、効率的な生産を行ううえで重要な項目である。生産ラインを効率的に稼動させるために、生産する対象製品の工程に合わせて、フローショップ型、ジョブショップ型、オープンショップ型など、各種の生産形態が実践されている。
【０００３】
半導体生産ラインにおいては、生産する品種が多く、生産工程が複雑なため、単純なフローショップ型では効率的な生産は困難であるので、多種の機械で、多様な順番で半導体ウェハをロット単位で工程処理するジョブショップ型をとっている。ジョブショップ形態をとる生産形態の中でも、特に半導体生産ラインにおいては、処理装置としてスパッタ、ステッパ装置等、他の製品の生産ラインよりも高価な製造装置を使用する為、前記ロットの納期遵守、リードタイム短縮といった評価指標に加えて、装置の稼働率をあらわす評価指標が、生産ラインの効率を評価するうえで、大きな要因となる。したがって、半導体生産ラインにおいては、装置の稼働率は、生産ラインの総合的な効率を考えるうえでは、欠かすことにできない主要な評価指標となる。
【０００４】
このように、生産対象や生産設備等の要因により、生産ラインにおける評価指標の重み付けは異なる場合がある。また、評価指標毎に、その構成要素は夫々異なる。
【０００５】
例えば、装置の稼働率については、その向上のために、装置のスループットの最大化を図る方法がある。これには、各装置の処理方法に応じたロット供給を行う必要があり、一般的には、同一レシピ（条件）で処理可能ロットを連続で供給することにより、レシピ切替により発生する時間ロスを削減、あるいはバッチ編成装置においては、フルバッチで処理させてスループットを向上させる。
【０００６】
この他、各種の評価指標の構成要素の分析等をして、様々な評価指標改善の方法が考案され、実践されている。しかしながら、前述のように多品種少量生産をおこなう半導体生産ラインなど、生産ラインによって、評価指標の重み付けが異なったり、稼動する生産装置の様々な動作条件や納期など、多くの制約や考慮すべき要素があり、かつ評価指標は独立ではなく互いに影響しあっていること等もあって、総合的に生産ラインの効率化を図ることは非常に困難であるとされている。
【０００７】
こうしたなかで、生産ラインの効率化の為の生産制御システムやシミュレーション方法などが、数多く提案されており、以下の文献にその例を見ることができる。
【０００８】
例えば、特許文献１では、フルバッチ処理をさせる為の方法として、装置での処理待ちロットと装置に未到着のロットの到着時刻を予測するリアルタイムスケジューリング装置を組み合わせることにより、フルバッチで処理させるスケジュールを作成する方法がある。また、特許文献２では、処理するロットの装置への投入タイミングを適切に設定すべく、各種状態のデータベースを作成し、これに基づいて、装置へのロット投入のスケジューリングをシミュレートし、スケジュール効率の向上を図ったものなどが提案されている。
【特許文献１】特開平８−２４１１５号公報
【特許文献２】特開平８−３１７０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１の方法は、図１４に示すように、バッチ編成工程においてバッチ編成待ちロットの最遅着手時刻と、バッチ編成可能ロットの到着予定時刻と現在時刻の関係によってバッチ編成可能ロットの到着を待って工程処理を開始するかどうかを判断するものであり、この仕組みは納期を守りつつバッチ編成数をあげるという点で効果はあるが、バッチ編成可能ロットの到着予定時刻はあらかじめスケジューラによって計算されたものであるために、バッチ編成可能ロットの処理順序を前倒しするなどの方法によりバッチ編成可能ロットの到着予定時刻を早める可能性を考慮していない点が不十分である。
【００１０】
また、こうした方式は、評価指標の１つの要素である装置効率を上げることを目的としており、その他の評価指標の向上や改善については考慮されていない。特許文献２についても、同様に装置効率の向上に重点を置いたものであるため、生産ライン全体としての効率向上を考慮したものとはいえない。
【００１１】
総合的に生産ラインの効率向上を図るうえでは、各種の評価指標を個別に最適に調整するだけでは不十分であり、リードタイム長期化・稼働率低下・装置効率悪化・納期遅れなどの重要な要素に注目して、これらの評価指標を同時に考慮して、総合的な観点で評価しなければならない。つまり、複数の評価指標について相互にバランスを取ったうえで総合的に適正化することが重要である。また、一方、実際の生産ラインでは、在庫や、市場の動向に応じて、生産ラインにおける各種評価指標の重要度は変化するものであるので、これらの生産ラインの評価指標の重要度は常に一定とは限らず、状況に応じて、その重要度は変動するので、柔軟な対応ができることが望まれる。
【００１２】
本発明は、生産ラインにおける各種の生産性・効率を評価する評価指標について、一方に偏ることなく、夫々の評価指標のバランスを取って、総合的に生産性・効率が向上するようなロット処理順序および、これに基づく工程処理パターンを選定しつつ、生産状況に応じて柔軟に対応することが可能な生産制御システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成すべく、本発明は、複数の工程及び複数のロットを処理するジョブショップ形態を取る生産ラインにおいて、各ロットの状態データと、工程の各装置の状態データを取得し、各工程が取り得るロットの処理順序の組み合わせを作成して、各工程のロットの処理順序を組み合わせて、全工程の工程処理パターンを全て構成し、前記各ロットの状態データと、各装置の状態データを基に得られる評価点より、工程処理パターンの中から、評価点が最良となる工程処理パターンを選定し、評価点が最良である工程処理パターンを構成する各工程のロットの処理順序で各装置を制御することを特徴とする。
【００１４】
また、例えば、複数の工程及び複数のロットを処理するジョブショップ形態を取る生産ラインにおいて、各ロットの状態データと、工程の各装置の状態データを取得し、各工程が取り得るロットの処理順序の組み合わせを作成して、各工程のロットの処理順序を組み合わせて、全工程の工程処理パターンを全て構成し、各ロットの状態データと、各装置の状態データを基に得られる評価点より、工程処理パターンの中から、評価点が最良となる工程処理パターンを選定する第１の計算装置と、第１の計算装置から得られた評価点が最良の工程処理パターンを構成する各工程のロットの処理順序に基づいて、各装置を制御し、各装置にロットを供給する第２の計算装置を備えることとしてもよい。
【００１５】
また、例えば、評価点は、ロット処理のリードタイム評価指標と、装置の稼働率評価指標と、装置の効率評価指標と、ロットの納期遅延率評価指標とに基づいて算出することとした構成でもよい。
【００１６】
また、例えば、前記評価点は、評価点を構成する各評価指標に、夫々に重み付け係数を乗じたものに基づいて算出することとした構成でもよい。
【００１７】
また、例えば、前記評価点の重み付け係数は、可変であることとしても良い。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の構成によれば、複数の工程及び複数のロットを処理するジョブショップ形態を取る生産ラインにおいて、各ロットの状態データと、工程の各装置の状態データを取得し、各工程が取り得るロットの処理順序の組み合わせを作成して、各工程のロットの処理順序を組み合わせて、全工程の工程処理パターンを全て構成し、前記各ロットの状態データと、各装置の状態データを基に得られる評価点から、工程処理パターンの中から、評価点が最良となる工程処理パターンを選定し、評価点が最良である工程処理パターンを構成する各工程のロットの処理順序で各装置を制御することとした。
【００１９】
このように構成することで、ロットの状態と装置の状態との両方のデータから、各種評価指標に基づく総合的な評価を示す評価点が最も良い、全工程の工程処理パターンを抽出して、これに基づいて生産ラインの各装置にロットの処理順序を指示することができるので、スケジューリング時点で得られている各種条件を考慮された生産制御を行って、総合的に生産ラインの効率を上げることが可能となる。
【００２０】
また、複数の工程及び複数のロットを処理するジョブショップ形態を取る生産ラインにおいて、各ロットの状態データと、工程の各装置の状態データを取得し、各工程が取り得るロットの処理順序の組み合わせを作成して、各工程のロットの処理順序を組み合わせて、全工程の工程処理パターンを全て構成し、各ロットの状態データと、各装置の状態データを基に得られる評価点より、工程処理パターンの中から、評価点が最良となる工程処理パターンを選定する第１の計算装置と、第１の計算装置から得られた評価点が最良の工程処理パターンを構成する各工程のロットの処理順序に基づいて、各装置を制御し、各装置にロットを供給する第２の計算装置を備えることとした。
【００２１】
このように構成することで、第１の計算装置で、ロットの状態と装置の状態との両方のデータから、各種評価指標に基づく総合的な評価を示す評価点が最も良い、全工程の工程処理パターンを抽出して、第２の計算装置は、この結果を取得して、これに基づいて、各装置の制御、ロットの供給を行うので、機器等の情報取得およびスケジュール計算と生産制御を分担して行って、計算機の付加が分散できると共に、機能別に分かれているのでトラブル対応やメンテナンス対応が容易にしつつ、総合的に生産ラインの効率を上げることが可能となる。
【００２２】
また、例えば、評価点は、ロット処理のリードタイム評価指標と、装置の稼働率評価指標と、装置の効率評価指標と、ロットの納期遅延率評価指標とに基づいて算出することとした。
【００２３】
このように構成されることで、評価点が、リードタイム評価指標と、装置の稼働率評価指標と、装置の効率評価指標と、納期遅延率評価指標といった生産ライン効率のための主要な評価指標に基づいて算出されるため、得られる評価点は、これら全ての評価指標が常に反映されたものになる。そして、この評価点の中から評価点が最も良い全工程の工程処理パターンを抽出するので、これに基づいて生産ラインの各装置にロットの処理順序を指示して、生産制御することにより、総合的に生産ラインの効率を上げることが可能となる。
【００２４】
また、評価点は、該評価点を構成する各評価指標に、夫々に重み付け係数を乗じたものに基づいて算出することとした。
【００２５】
このように構成することで、リードタイム評価指標、装置の稼働率評価指標、装置の効率評価指標、ロットの納期遅延率評価指標評価指標の各評価指標の重み付けを必要に応じて調整することができるので、各生産ラインにおいて重要度の高い評価指標に重点を置いて、生産ラインの各装置にロットの処理順序を指示して、夫々の生産ライン合わせて、総合的に効率を上げることができる。
【００２６】
また、前記評価点の重み付け係数は、可変であることとした。
【００２７】
このように構成することで、リードタイム評価指標・装置の稼働率評価指標・装置の効率評価指標・納期遅延率評価指標といった主要な評価指標を生産状況、その時点での評価指標の重要度に応じて、その重み付けを柔軟に調整して生産ライン効率の総合評価を行い、これに基づき、ロット処理順序を作成するので、重要な評価指標に注目しつつ、総合的に適正化した生産制御をおこなうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態を図１〜図１３に基づいて、説明する。最初に、本発明の実施形態に係る、生産制御システムの全体構成を示すブロック図について、図１を基に説明する。生産制御システムは第１の計算装置である生産管理コンピュータ１、第２の計算装置である装置制御コンピュータ２、搬送設備３、記録装置４、ロットを処理する工程である生産設備Ｓ１〜生産設備ＳＮからなる。
【００２９】
第１の計算装置としての生産管理コンピュータ１は、生産ラインの生産設備Ｓ１〜生産設備ＳＮ（以下、生産設備（Ｓ１〜ＳＮ））の各装置を管理するコンピュータであり、各生産設備（Ｓ１〜ＳＮ）の稼動状態や処理能力などをあらわす装置の状態データを取得し、記録装置４に記録・保存する。また、生産管理コンピュータ１は、処理予定または処理中の各ロットの処理状態や納期などをあらわすロットの状態データも取得し、記録装置４に記録・保存する。
【００３０】
そして生産管理コンピュータ１は、装置の状態データとロットの状態データを基に、各装置のロット処理順序を作成し、第２の計算装置としての装置制御コンピュータ２に送信する。装置制御コンピュータ２は、この処理順序に基づいて、各生産設備（Ｓ１〜ＳＮ）の装置が各ロットの処理を行うように制御する。また、装置制御コンピュータ２は、この処理順序に基づいて、各ロットを搬送設備３により、各生産設備（Ｓ１〜ＳＮ）に搬送させるように制御する。このようにして、各ロットは夫々対応する機種（製品）に応じて複数の工程で順番に処理され、完成品に至る。
【００３１】
次に、各装置のロット処理順序および工程処理パターン作成の流れについて図２〜図５に基いて説明する。図２は、各工程のロット処理順序作成〜最良の工程処理パターンの決定までの流れを示す作成フロー図である。図３は、工程の流れを示す工程処理フロー図である。図４は、工程１におけるロット処理順序の組合せを示す図である。図５は各工程処理パターンの生産ラインの総合効率を示す評価点としての総合評価点を表す図である。
【００３２】
各装置のロット処理順序および工程処理パターン作成の流れは、以下のようである。まず、はじめに《手順１》として、工程処理パターンの候補を作成する。
【００３３】
《手順１−１》各工程のロットの処理順序組み合わせ作成
各工程のロット処理順序の組み合わせ作成は、最初の工程である工程１を処理する生産設備から作成する。生産管理コンピュータ１は、記録装置４に記録されている工程１を処理する生産設備の処理待ちロットの処理順序の全ての組み合わせを計算し、生産管理コンピュータ１内のメモリに保持する。
【００３４】
《手順１−２》各ロット処理順序の組合せについての処理開始時刻と処理終了時刻の見込算出
《手順１−１》で計算した工程１のロット処理順序の組み合わせ毎に、各ロットについて、処理順序に基づく工程１の処理時間を計算し、各ロットにおける見込処理開始時刻と見込処理完了時刻を得ることができる。これに次工程までの搬送時間を加えることにより、次工程（図３における工程２−１および工程２−２）夫々へのロット到着時刻を算出する。
【００３５】
続いて、工程２−１と２−２のそれぞれについて、《手順１−１》と同様に、全てのロットについて、ロット処理順序の組み合わせを作成する。そして、《手順１−２》の流れに従い、工程２−１と２−２の夫々について各次工程への到着時刻を算出する。以降、最終工程までこの作業を繰り返すことにより、全ての工程におけるロット処理順序組み合わせを計算し、各ロットの各工程における見込処理開始時刻、見込処理完了時刻、ロット到着時間を算出できる。
【００３６】
《手順１−３》工程処理パターンの組み合わせ作成と工程処理フローとの整合性がない工程処理パターンの削除
【００３７】
次に、上で計算した各工程のロット処理順序を、工程別に組み合わせて、全工程における工程処理パターンの組み合わせを全て作成する。そして、生産管理コンピュータ１は、記録装置４より工程処理フローを取り出し、上で作成した全ての工程処理パターンと比較して、時間的に矛盾が生じているものや、工程処理フローに記述されている処理順序と一致しない無効な工程処理パターンを除外する。
【００３８】
《手順２》工程処理パターンの総合評価点の算出
【００３９】
《手順１》で作成された、夫々の有効な工程処理パターンにおいて、上記の結果、およびロットの状態データ、装置の状態データ等から、この工程処理パターンを構成するロット毎のリードタイム評価指標としてのリードタイム評価点・納期遅延率評価指標としての納期遅延評価点、またこの工程処理パターンを構成する装置毎の稼働率評価指標としての装置非稼働時間・効率評価指標としての装置効率を算出し、これを基にして、所定の演算をおこない、総合評価点を算出する
【００４０】
《手順２−１》リードタイム評価点の算出
【００４１】
全ロットに対して、先頭工程の処理開始実績時刻と最終工程の完了予定時刻の差であるリードタイム求める。そして、各工程の処理時間である処理開始時刻と処理完了時刻の差を全工程の総和を求め、これを各ロットのリードタイム評価点とする。
【００４２】
式１．リードタイム評価点算出式
【数１】
2007164580.tif 000003
《手順２−２》納期遅延率評価点の算出
【００４３】
各ロットに定められている納期と出荷予定日との差を求め、出荷ロットの中の納期までに出荷できないと見込まれるロット数の比率を納期遅延評価点とする。
【００４４】
式２．納期遅延率評価点算出式
【００４５】
【数２】
2007164580.tif 000004
《手順２−３》装置非稼働時間の算出
各装置におけるロット処理見込時間（処理開始見込時刻−処理完了見込時刻）の総和を求め（稼働見込時間）、それを生産ライン稼働時間から減じて、装置非稼働時間を算出する。
【００４６】
式３．装置非稼動時間算出式
【数３】
2007164580.tif 000005
《手順２−４》装置効率の算出
【００４７】
各装置における見込稼働時間と見込処理ロット数を求め、見込処理ロット数で見込稼働時間を割ったものを装置効率とする。即ち、この値が低いほど単位時間当たりの処理量が多いこととなり処理効率が高いといえる。
【００４８】
式４．装置効率算出式
【数４】
2007164580.tif 000006
【００４９】
そして、《手順２−１》〜《手順２−４》で算出した４つの評価点（指標）から夫々の工程処理パターンに基づいて、この工程処理パターンの全ロットのリードタイム評価点の合算、全ロットの納期評価点の合算、全装置の装置稼働率の合算、全装置の装置効率を計算し、夫々に重み付け係数としての重み付けパラメータを乗じたうえで、全て合算して、１つの工程処理パターンの総合評価点を算出する。
【００５０】
式５．総合評価点算出式
【数５】
2007164580.tif 000007
但し、α・β・δ・εは重み付けパラメータとする。
《手順３》総合評価点が最良となる工程処理パターンの決定
【００５１】
《手順１》〜《手順２》で算出した全ての有効な工程処理パターンの総合評価点を比較し、総合評価点が最小となる点数を最良として、これを満たす工程処理パターンを抽出し、採用する。
【００５２】
以上が、本発明における最適な工程処理パターンの計算の流れである。このようにして抽出した全工程の工程処理パターンは、生産ラインの主要な評価指標であるリードタイム、装置の稼働率、装置の効率、納期遅延に関する評価指標に基づく総合評価点により評価され、このうち最も総合評価点が良いものであるので、主要な評価指標が常に反映され、全ての評価指標について、総合的に優れたものになる。
【００５３】
そして、この工程処理パターンに基づいて、生産ラインの各装置にロットの処理順序を指示することによって、スケジューリング時点で得られている各種条件を考慮して、総合的に効率の高い生産ラインの制御をおこなうことが可能となる。
【００５４】
また、このように構成することで、生産管理コンピュータ１で、ロットの状態と装置の状態との両方のデータから、各種評価指標に基づく総合的な評価を示す評価点が最も良い、全工程の工程処理パターンを計算・抽出して、装置制御コンピュータ２は、この結果を取得して、これに基づき各装置の制御、ロットの供給を行って、機器等の情報取得およびスケジュール計算と生産制御を分担して行うので、計算機の付加が分散できると共に、機能別に分かれているのでトラブル対応やメンテナンス対応が容易にしつつ、総合的に生産ラインの効率を上げることが可能となる。
【００５５】
また、総合評価点を算出する式５において、右辺の各項にα・β・δ・εの重み付けパラメータを乗じているが、これは例えば、納期遵守に重きを置く場合はβを他のパラメータよりも小さくするという具合で調整することができ、このような重み付けパラメータを持つことにより、リードタイム評価点・装置非稼働時間・装置効率・納期遅延率評価点といった主要な評価指標を生産状況、その時点での評価指標の重要度に応じて、その重み付けを柔軟に調整して生産ライン効率の総合評価を行い、これに基づいて総合的に適正化した生産制御をおこなうことができる。
【００５６】
なお、本実施形態では生産管理コンピュータ１および装置制御コンピュータ２を用いて、各種データ処理を行ったが、これらのデータ処理は、一括、あるいは分散して、任意のコンピュータで処理することができる。
【００５７】
次に、これまでに説明した実施形態について、さらに具体的な例を示して、図６〜図１３を用いて説明する。
【００５８】
ここでは、具体例として、図６に示すような３工程・５装置の工場において、機種（製品）ＡのＬＯＴ０１、ＬＯＴ０３と機種（製品）ＢのＬＯＴ０２の工程処理パターンの決定の流れを示す。
【００５９】
機種Ａ、機種Ｂは工程１の処理装置は共通であり、工程２、３については別の装置を用いて加工するものとする。また、装置２はバッチ編成装置であり、最大２ロットを同時に処理することが可能である。それ以外の装置は１ロットずつ処理する装置である。工程１、２、３の処理時間は夫々６０分、１２０分,６０分である。説明のため現時刻を０：００とする。ＬＯＴ０３は時刻０:００の時点で、既に工程１の処理を完了しており、工程２に仕掛かっているものとする。また各ロットには図７に示すような納期が設定されている。
【００６０】
上記の状況のもとで、全ての工程処理パターンの組み合わせは、工程１ではＬＯＴ０１、ＬＯＴ０２のロット処理順序の組み合わせがあり、工程２−１にはＬＯＴ０１、ＬＯＴ０２、ＬＯＴ０３において、２ロット同時に処理するロット処理順序の組み合わせと別々に処理するロット処理順序の組み合わせがあり、さらに工程２−２と工程３−１と工程３−２では夫々ＬＯＴ０１、ＬＯＴ０２、ＬＯＴ０３のロット処理順序の組み合わせがある。
【００６１】
これらの各工程におけるロットの処理順序の組み合わせから、機種Ａの工程処理フロー（工程１→工程２−１→工程３−１）に合わせて当てはめ、機種Ａにおける、全ての工程処理パターンを作成する。機種Ｂについても機種Ａと同様に全ての工程処理パターンを作成する。そして、工程処理フロー（図６）と作成された機種Ａ、Ｂについての全ての工程処理パターンを照合し、工程処理フローの処理順序と異なるものや、フローに存在しないもの（例えば、工程２−２でＬＯＴ０１を処理するものが含まれている工程処理パターン）を除外する。
【００６２】
このようにして、工程処理フローに適合する、有効な工程処理パターンが抽出され、これら夫々の工程処理パターンについて、式１〜式５を用いて総合評価点を算出する。
【００６３】
ここでは、簡単のため、搬送時間を省き、有効な工程処理パターンのうち、図８に示す４パターンを取り上げて、詳しく説明する。なお、パターン１、２は工程２−１を単独で流す場合であり、パターン３、４は工程２−１を２ロットバッチで流す場合である。
【００６４】
各パターンの処理開始見込時刻と完了見込時刻を図８に示す。この４パターンについて、式１〜式４を用いてリードタイム評価点・納期遅延評価点・装置非稼働時間・装置効率を算出した結果が夫々図９〜図１２である。そして式５に基づき、各４パターンの総合評価点を合計したものが図１３である。（ここでは、重み付けパラメータα・β・δ・εは全て１としている。）
【００６５】
こうして得られた４パターンの総合評価点のうち、その値が最小値をとるパターン２を総合的に生産効率が最良となる工程処理パターンとして抽出し、この工程処理パターンを構成する各工程のロット処理順序として採用する。
【００６６】
こうしたケースでは、従来技術では、工程1のＬＯＴ０１とＬＯＴ０２のどちらから着手するかを決定する際に、納期が迫っているＬＯＴ０１を選択してしまうことが多い。その場合は、パターン１、３、４のケースとなり、リードタイム評価点の合計は３．２５もしくは３．５０となる。
【００６７】
または、装置２のバッチロット数を上げることを重視するあまり、パターン３、４を採用するとリードタイム評価点の合計は３．５０となる。
【００６８】
ところが本発明に係る生産制御システムによると、重み付けパラメータを全て１とした場合、各パターンのリードタイム評価点は図９に示すとおりになり、パターン２のリードタイム評価点が３．００で、最も良く、図１３の総合評価点においてもパターン２が最良ということが分る。
【００６９】
つまり、従来手法では選択されなかったパターン２のような納期には余裕のあるＬＯＴ０２の処理を先に着手するようなパターンであっても、総合的な生産効率も高く、かつリードタイム評価点も高い結果となり、総合生産効率を重視しながら、リードタイムの短縮を重視する場合は、パターン２を採用することが最も適切であることがわかり、この生産制御システムの有効性が明らかである。
【００７０】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明の範囲はこれに限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えて実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の生産制御システム構成図
【図２】各工程のロット処理順序作成の流れを示す作成フロー図
【図３】工程の流れを示す工程処理フロー図
【図４】工程１におけるロット処理順序の組合せを示す図
【図５】各工程処理パターンの評価点（総合評価点）を表す図
【図６】本発明に基く具体的構成の１例（実施形態）
【図７】実施形態におけるロット別の納期を示す表
【図８】実施形態におけるロットと工程処理パターンの関係を示す表
【図９】実施形態におけるリードタイム評価点を示す表
【図１０】実施形態における納期遅延評価点を示す表
【図１１】実施形態における装置非稼働時間を示す表
【図１２】実施形態における装置効率を示す表
【図１３】実施形態における総合評価点を示す表
【図１４】従来のバッチ編成工程
【符号の説明】
【００７２】
１  生産管理コンピュータ
２  装置制御コンピュータ
３  搬送設備
４  記録装置
Ｓ１〜ＳＮ  生産設備
【図１】
2007164580.tif 000008
【図２】
2007164580.tif 000009
【図３】
2007164580.tif 000010
【図４】
2007164580.tif 000011
【図５】
2007164580.tif 000012
【図６】
2007164580.tif 000013
【図７】
2007164580.tif 000014
【図８】
2007164580.tif 000015
【図９】
2007164580.tif 000016
【図１０】
2007164580.tif 000017
【図１１】
2007164580.tif 000018
【図１２】
2007164580.tif 000019
【図１３】
2007164580.tif 000020
【図１４】
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