(57)【要約】【課題】  表層部と中間部又は深部という深さの異なる部位の同平面位置における検査を同時に行うことの可能な探触子等を提供すること。【解決手段】  超音波の送信子１１及び受信子１２と、これら送信子及び受信子と試験体との間に介在し超音波の伝播経路を変更する中間体１１ｃ，１２ｃとを有する。送信子及び受信子並びに／又は中間体を複数設け、超音の伝播経路Ｒａ，Ｒｂを複数形成する。各伝播経路の検査対象部Ｆａ，Ｆｂが深さ方向に対する検査部中心線ＦＬ上に並んで異なる深さに位置すると共に試験体の表層部と中間部又は深部に設定されている。中間体１１ｃ，１２ｃには複数の送信子及び複数の受信子の取り付け角度を異ならせた楔を用いても良い。また、中間体は複数の音響レンズで構成することもできる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波の送信子及び受信子と、これら送信子及び受信子と試験体との間に介在し超音波の伝播経路を変更する中間体とを有する探触子であって、
前記送信子及び受信子並びに／又は前記中間体を複数設け、
前記超音の伝播経路（Ｒａ，Ｒｂ）を複数形成し、
各伝播経路の検査対象部（Ｆａ，Ｆｂ）が深さ方向に対する検査部中心線（ＦＬ）上に並んで異なる深さに位置すると共に試験体の表層部と中間部又は深部に設定されていることを特徴とする超音波探触子。
【請求項２】
前記送信子及び受信子をそれぞれ複数設け、前記中間体が前記複数の送信子及び複数の受信子の取り付け角度を異ならせた楔であることを特徴とする請求項１記載の超音波探触子。
【請求項３】
前記複数の中間体が複数の音響レンズであり、各音響レンズの焦点が検査対象部であることを特徴とする請求項１又は２記載の超音波探触子。
【請求項４】
前記送信子及び受信子をそれぞれ複数設け、これら複数の送信子及び受信子のうち表層部に検査対象部を設定したものが他のものよりも高周波数の音響特性を有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の超音波探触子。
【請求項５】
前記送信子及び受信子をそれぞれ複数設け、１探触子に属するこれら複数の送信子及び受信子がそれぞれ１端子（１０ｘ、１０ｙ）に接続されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の超音波探触子。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の複数の超音波探触子を有するセンサヘッドと、前記探触子に電気信号の送信及び受信を行う試験装置本体とを備えた超音波試験装置であって、
前記複数の探触子の受信側端子を試験装置本体の電気信号の受信端子に並列接続し、前記複数の探触子からの受信信号を同時に表示可能に構成し、前記各探触子と前記試験装置本体との間における電気信号の送信及び受信のタイミングを前記各探触子間で調整してあり又は調整可能であることを特徴とする超音波試験装置。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれかに記載の複数の超音波探触子を有するセンサヘッドと、前記探触子に電気信号の送信及び受信を行う試験装置本体とを備えた超音波試験装置であって、
前記複数の探触子の受信側端子を試験装置本体の電気信号の受信端子に並列接続し、前記複数の探触子からの受信信号を同時に表示可能に構成し、前記各探触子と前記試験体との離隔距離を調整してあり又は調整可能であることを特徴とする超音波試験装置。
【請求項８】
請求項１〜５のいずれかに記載の超音波探触子を用いた超音波検査方法であって、
前記送信子及び受信子並びに／又は前記中間体を複数設け、
前記超音の伝播経路（Ｒａ，Ｒｂ）を複数形成し、
各伝播経路の検査対象部（Ｆａ，Ｆｂ）が深さ方向に対する検査部中心線（ＦＬ）上に並んで異なる深さに位置させ、
異なる伝播経路から受信される時間的に分離された複数の受信信号により試験体の走査方向に対する同位置で異なる深さ部分の検査を行うことを特徴とする超音波試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波を用いた、表層部と中間部又は深部との検査を同時に行うことができる超音波探触子並びにこれを有する超音波試験装置及びこれを用いた超音波試験方法に関する
【背景技術】
【０００２】
超音波試験において、一振動子のみを有する探触子で反射波を捉える場合、表層部では発振パルスの余波が探傷器上にも表示されることとなる。したがって、この種の探触子によれば、表層部の超音波試験は実施が非常に困難であった。また、二振動子を有する探触子を用いた反射法では、深部に超音波を到達させるような構造となっていた。したがって、表層部は著しく感度が低く、これにより表層部の超音波試験は困難であった。一方、本発明とは目的が異なるが、塗膜の影響を除去し板厚を正確に測定しようとする技術として特許文献１のものが知られている。同文献の技術によれば、被試験体の界面エコーの減衰振動と底面エコーとが重複し計算不能となる事態を回避するため、二種の探触子を全く異なった位置に設けるという点が提唱されている。また、同先行文献では、表層部の試験困難性という点には示唆も開示もみられない。
【特許文献１】特開2002-365035号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
かかる従来の実情に鑑みて、本発明の第一の目的は、例えば表層部と中間部又は深部という深さの異なる部位の同平面位置における検査を同時に行うことの可能な探触子等を提供することにある。また、本発明の第二の目的は、複数の探触子を有するセンサヘッドを用いながら安価に構成でき、且つ被試験体の表層部と中間部又は深部にわたる広範囲の検査を簡易に行うことの可能な超音波探触子及び超音波試験方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記第一の目的を達成するため、本発明に係る超音波探触子の特徴は、超音波の送信子及び受信子と、これら送信子及び受信子と試験体との間に介在し超音波の伝播経路を変更する中間体とを有する構成において、前記送信子及び受信子並びに／又は前記中間体を複数設け、前記超音の伝播経路を複数形成し、各伝播経路の検査対象部が深さ方向に対する検査部中心線上に並んで異なる深さに位置すると共に試験体の表層部と中間部又は深部に設定されていることにある。
【０００５】
上記特徴に加え、前記送信子及び受信子をそれぞれ複数設け、前記中間体が前記複数の送信子及び複数の受信子の取り付け角度を異ならせた楔であることが望ましい。
【０００６】
さらに、前記複数の中間体が複数の音響レンズであり、各音響レンズの焦点が検査対象部であっても良い。また、前記送信子及び受信子をそれぞれ複数設け、これら複数の送信子及び受信子のうち表層部に検査対象部を設定したものが他のものよりも高周波数の音響特性を有していても良い。
【０００７】
また、前記送信子及び受信子をそれぞれ複数設け、１探触子に属するこれら複数の送信子及び受信子がそれぞれ１端子に接続されていても良い。
【０００８】
上記各特徴のいずれかを採用した複数の超音波探触子を有するセンサヘッドと、前記探触子に電気信号の送信及び受信を行う試験装置本体とを備えた超音波試験装置の特徴は、前記複数の探触子の受信側端子を試験装置本体の電気信号の受信端子に並列接続し、前記複数の探触子からの受信信号を同時に表示可能に構成し、前記各探触子と前記試験装置本体との間における電気信号の送信及び受信のタイミングを前記各探触子間で調整してあり又は調整可能に構成したことにある。
【０００９】
上記各特徴のいずれかを採用した複数の超音波探触子を有するセンサヘッドと、前記探触子に電気信号の送信及び受信を行う試験装置本体とを備えた超音波試験装置の特徴は、前記複数の探触子の受信側端子を試験装置本体の電気信号の受信端子に並列接続し、前記複数の探触子からの受信信号を同時に表示可能に構成し、前記各探触子と前記試験体との離隔距離を調整してあり又は調整可能に構成したことにある。
【００１０】
一方、上記各特徴を有する超音波探触子を用いた超音波試験方法の特徴は、前記送信子及び受信子並びに／又は前記中間体を複数設け、前記超音波の伝播経路を複数形成し、各伝播経路の検査対象部が深さ方向に対する検査部中心線上に並んで異なる深さに位置させ、異なる伝播経路から受信される時間的に分離された複数の受信信号により試験体の走査方向に対する同位置で異なる深さ部分の検査を行うことにある。
【発明の効果】
【００１１】
このように、上記本発明に係る超音波探触子及びこれを用いた超音波試験方法の特徴によれば、前記送信子及び受信子並びに／又は前記中間体を複数設け、前記超音波の伝播経路を複数形成し、各伝播経路の検査対象部が深さ方向に対する検査部中心線上に並んで異なる深さに位置すると共に試験体の表層部と中間部又は深部に設定されている。したがって、例えば同平面位置における被試験体の表層部と中間部又は深部との検査を同時に行うことが可能となった。
【００１２】
また、上記本発明の特徴を採用した複数の探触子を有するセンサヘッドを用いながら安価に構成でき、且つ被試験体の表層部と中間部又は深部にわたる広範囲の検査を簡易に行うことが可能となった。
【００１３】
本発明の他の目的、構成及び効果については、以下に示す発明の実施の形態の項で明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、図１を参照しながら、本発明の第一実施形態について説明する。図１に示すように、本発明に係る超音波試験装置１は、超音波を送受信する送受信部３と、超音波探触子１０とにより構成される。送受信部３は、パルサー３ａと、オートゲインコントローラー３ｂとを有する。図示省略するが、受信した信号を増幅するプリアンプや、フィルタ、Ａ／Ｄ変換機、信号を演算処理するパーソナルコンピュータが含まれている。
【００１５】
超音波探触子１０は、超音波を発信する第一送信子１１ａ、第二送信子１１ｂ、及び、超音波を受信する第一受信子１２ａ、第二受信子１２ｂと、これら第一送信子１１ａ、第二送信子１１ｂ、及び第一受信子１２ａ、第二受信子１２ｂと、試験体１００との間に介在し超音波の伝播経路を変更する送信側楔１１ｃと、受信側楔１２ｃとを有する。
【００１６】
この超音波を発信する第一送信子１１ａ、第二送信子１１ｂとは、一つの探触子送信端子１０ｘに接続されている。探触子送信端子１０ｘはパルサー３ａに接続されている。同様に、超音波を受信する第一受信子１２ａ、第二受信子１２ｂとは、一つの探触子受信端子１０ｙに接続されている。探触子受信端子１０ｙはオートゲインコントローラー３ｂに接続されている。
【００１７】
送信側楔１１ｃは、深部楔１１ｃ２と表層部楔１１ｃ１により構成され、受信側楔１２ｃは深部楔１２ｃ２と表層部楔１２ｃ１により構成されている。この表層部楔１１ｃ１及び表層部楔１２ｃ１の特徴は、深部楔１１ｃ２及び深部楔１２ｃ２と取り付け角度を異ならせて、試験体１００から離れた位置に配置されることから、試験体１００の表層部を伝播する表層部伝播経路Ｒａを形成する。試験体１００の表層部検査対象部Ｆａは、この表層部伝播経路Ｒａによって検査している。
【００１８】
深部楔１１ｃ２及び深部楔１２ｃ２は、表層部楔１１ｃ１及び表層部楔１２ｃ１と取り付け角度を異ならせて、試験体１００に近い位置に配置されることから、試験体１００の深部を伝播する深部伝播経路Ｒｂを形成する。試験体１００の深部検査対象部Ｒｂは、この深部伝播経路Ｒｂによって検査している。
【００１９】
第一実施形態の超音波試験装置においては、上記表層部検査対象部Ｆａと深部検査対象部Ｒｂとを、深さ方向に対する検査部中心線ＦＬ上に並んで異なる深さに位置させ、異なる伝播経路（表層部伝播経路Ｒａ、深部伝播経路Ｒｂ）から受信される時間的に分離された２つの受信信号により、試験体１００の走査方向に対する同位置で異なる深さ部分（表層部検査対象部Ｆａ、深部検査対象部Ｒｂ）の検査を行っている。
【００２０】
次に、図２を用いて、従来の構造の探触子１０ａと第一実施形態の探触子１０との違いを説明する。図２（ａ）は第一実施形態の探触子１０の構造を示しており、（ｂ）は（ａ）の受信した信号波形を示す。図２（ｃ）は従来の探触子１０ａの構造を示しており、（ｄ）は（ｃ）の受信した信号波形を示す。
【００２１】
図２（ａ）、（ｃ）で示すように、（ａ）の探触子１０においては、試験体１００の走査方向に対する同位置で異なる深さ部分を検査しているが、（ｃ）の探触子１０（ａ）においては、試験体１００の深部だけしか検査できない。図２（ｂ）に示すように、異なる受信子（第一受信子１２ａ、第二受信子１２ｂ）を一つの探触子受信端子１０ｙで受信したとしても、二つの受信信号Ｐ，Ｅには時間差があるため、混信することなく受信することができる。
【００２２】
図３の各曲線は、図２（ａ）の探触子１０と、図２（ｃ）で示される従来の探触子１０（ａ）とのそれぞれに関する超音波の伝播距離（板厚）と受信感度との関係を示すグラフである。図３のグラフで示されるように、第一実施形態の探触子１０は、従来の探触子１０（ａ）と比較して、伝播距離が短い場所でも高い感度を有することが分かる。よって、第一実施形態の探触子１０においては、試験体１００の深部だけではなく、表層部における欠陥等も検知しうることが伺える。
【００２３】
また、表層部伝播経路Ｒａを形成する第一送信子１１ａから発する超音波の周波数を、深部伝播経路Ｒｂを形成する第二送信子１１ｂから発する超音波の周波数より高く設定することにより、試験体１００の表層部検査対象部Ｆａに対する受信感度を向上させ、探触子全体として試験結果の分解能を高めることができる。
【００２４】
次に、本発明の第一実施形態の改変例である第二実施形態について説明する。なお、以下の実施形態や改変例においては、上記と同様の部材には同様の符号を付してある。
【００２５】
図４（ａ）に示すように、本発明の第二実施形態は、第一実施形態における送信側楔１１ｃ、及び受信側楔１２ｃに対応する部分が平面視で円形を呈する第一音響レンズ１１ｇと第二音響レンズ１１ｆで構成されている。そして、第一音響レンズ１１ｇの焦点が、表層部検査対象部Ｆａであり、第二音響レンズ１１ｆの焦点が、深部検査対象部Ｒｂである。本実施形態のように、超音波の経路を変更する手段に音響レンズを用いることにより、試験体１００の深部だけではなく、表層部における欠陥等も検知することが可能である。
【００２６】
本実施形態では、第一音響レンズ１１ｆ及び第二音響レンズ１１ｇに対し一つの振動子１１ｅを利用して送受信を行っている。この場合も同様に、各レンズで受信する信号にタイムラグがあるため、深部及び表層部の信号を混信することなく受信することが可能である。本実施形態も同様に、上記表層部検査対象部Ｆａと深部検査対象部Ｒｂとを、深さ方向に対する検査部中心線ＦＬ上に並んで異なる深さに位置させ、異なる伝播経路（表層部伝播経路Ｒａ、深部伝播経路Ｒｂ）から受信される時間的に分離された２つの受信信号により、試験体１００の走査方向に対する同位置で異なる深さ部分（表層部検査対象部Ｆａ、深部検査対象部Ｒｂ）の検査を行う。
【００２７】
次に図４（ｂ）に示す第三実施形態では、第一音響レンズ１１ｆは、第一振動子１１ｅ１で送受信を行い、第二音響レンズ１１ｇは第二振動子１１ｅ２で送受信を行っている。本実施形態では、表層部伝播経路Ｒａを形成する第一振動子１１ｅ１から発する超音波の周波数を、深部伝播経路Ｒｂを形成する第二振動子１１ｅ２から発する超音波の周波数より高く設定することにより、試験体１００の表層部検査対象部Ｆａに対する感度を第一実施形態同様に向上させることができる。
【００２８】
次に、図５に示す第四実施形態において、超音波試験装置１は、センサヘッド２、送受信部３、切替スイッチ４により構成されている。センサヘッド２は、送信子１１、受信子１２、間隔調整手段１５、弾性体１７により構成されている。本実施形態においては、探触子１０Ａを構成する送信子１１には、第一送信子１１ａ、および第二送信子１１ｂが設けられ、受信子１２には、第一受信子１２ａ、第二受信子１２ｂが設けられている。第一送信子１１ａ、第一受信子１２ａにより表層部伝播経路Ｒａが形成され、第二送信子１１ｂ、第二受信子１２ｂにより深部伝播経路Ｒｂが形成されている。詳しく図示しないが、他の探触子１０Ｂ、１０Ｃも同様の構成を有している。
【００２９】
本実施形態においては、間隔調整手段には調整ねじ１５が使用されており、弾性体にはスプリング１７が使用されている。送信子１１、受信子１２、調整ねじ１５、スプリング１７で一つの探触子１０を形成している。図１において示すように、複数の探触子（１０Ａ，１０Ｂ、１０Ｃ）がセンサフレーム１４で固定されている。この複数の探触子（１０Ａ，１０Ｂ、１０Ｃ）が、センサフレーム１４と接しているスプリング１７によって試験体１００方向に弾性的に付勢されている（図７参照）。
【００３０】
図６に示すように送受信部３は、パルサー３ａと、オートゲインコントローラー３ｂにより構成されている。パルサー３ａは、接続線３ａ１、３ａ２により並列に接続された第一送信子１１ａ（１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ）と、第二送信子１１ｂ（１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ）に検査パルスを供給している。このように複数の受信子１１ａ、１１ｂが、パルサー３ａに並列に接続されているので、受信側の複数の探触子１０全体として抵抗値が増大することがない。
【００３１】
同様に図６に示すように、オートゲインコントローラー３ｂは、複数の第一受信子１２ａ（１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ）と、第二受信子１２ｂ（１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ）と切替スイッチ４を介して並列に接続されている。このオートゲインコントローラー３ｂは、切替スイッチ４により、複数の受信子１２ａ、１２ｂ（１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ）からの信号が重畳し、大きい信号レベルとなっても、この信号レベルを圧縮する役割を果たす。また、信号レベルが小さい欠陥信号の、信号レベルを拡大する役割も果たす。また、試験装置本体３は複数の探触子１０からの受信信号を同時に表示可能になっている。
【００３２】
切替スイッチ４は、複数の探触子（１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ）を並列に接続すること、又は、探触子１０の一つを選択して接続することを可能としている。
【００３３】
図７はセンサヘッド２の部分断面図である。また、図８は図７おけるＡ−Ａ方向から見た探触子１０Ｂの平面図であり、図９は図７におけるＢ方向から見たセンサヘッド２の部分側面図である。図７、図９で示すように、スプリング１７により探触子１０Ｂは、試験体１００方向に付勢されており、調整ねじ１５のねじの高さで、試験体１００と探触子１０Ｂとの隔離距離を調整している。
【００３４】
詳しくは、センサフレーム１４に貫通した孔１９が設けられ、この孔１９にドライバー等を挿通し調整ねじ１５を回転させ、調整ねじ１５のねじ高さを調整している。図８に示すように、調整ねじ１５は探触子１０Ｂの四隅に配置され、この四本の調整ねじ１５のねじ高さをドライバー等で調整している。
【００３５】
次に、具体的な隔離距離の調整方法を説明する。最初に切替スイッチ４においてすべての探触子１０を並列に接続し、試験体１００における肉厚が均等な部分にセンサヘッド２を固定して底面エコーを測定する。この時点では、底面エコーは異なるタイミングで試験装置本体３に表示されている。
【００３６】
次に、切替スイッチ４を一つの探触子だけに接続するように切替える。探触子１０Ａ、探触子１０Ｂ、探触子１０Ｃにおいて、底面エコーが重なるように（受信波形のタイミングが同じになるように）、調整ねじ１５を用いて、探触子１０と試験体１００との隔離距離を一定にする。
【００３７】
このようにそれぞれの探触子１０と試験体１００との隔離距離が一定になると、底面エコーが同じタイミングで重なって試験体装置３に表示される。これにより、探触子１０と試験体１００との隔離距離を一定に調整している。ここでいう底面エコーとは、後述する図１０（ａ）で示される波形Ｅ１、（ｂ）で示される波形Ｅ２、（ｃ）で示される波形Ｅ３である。
【００３８】
また、本実施形態においては、底面エコーの替わりに表面エコーを用いて隔離距離を調整することが可能である。ここでいう表面エコーとは、後述する図１０（ａ）で示される波形Ｐ１、（ｂ）で示される波形Ｐ２、（ｃ）で示される波形Ｐ３である。
【００３９】
次に、欠陥の検出方法について説明する。センサヘッド２を探触子１０の並ぶ方向に直交する走査方向に向かって試験体１００上で移動させると、図１０（ａ）〜（ｃ）に示す底面エコーＥ１〜Ｅ３及び表面エコーＰ１〜Ｐ３をそれぞれ重ね、さらに、複数の探触子の底面エコーＥ４（ΣＥ１〜Ｅ３）及び表面エコーＰ４（ΣＰ１〜Ｐ３）を重ねて表示させているので、図１０（ｄ）に示す波形が表示される。センサヘッド２を移動させると、同図（ｄ）に示される欠陥信号Ｑ１、Ｑ２も検出されるが、最初に走査させた段階では、欠陥がどの位置にあるか特定できない。そこで、切替スイッチ４にて一つの探触子１０ごとに測定できるよう切替える。
【００４０】
そして、探触子１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃの其々が働くよう走査させ（図１０（ａ）は探触子１０Ａの受信波形、（ｂ）は探触子１０Ｂの受信波形、（ｃ）は探触子１０Ｃの受信波形である）、どの探触子１０による欠陥エコーの検出かの特定を行う。このように複数回走査させることにより、欠陥箇所を特定することが可能となる。この際、欠陥箇所は試験体１００の深部だけではなく、表層部における欠陥箇所も検出することが可能となる。
【００４１】
本実施形態によれば、複数の探触子１０から受信される複数の信号を1チャンネルに収めることができるので、試験体装置本体３が安価となり、1チャンネルのデータを採取すればよいので、データ採取も簡易となる。上記離隔距離等の調整による受信信号のタイミングの調整で、例えば底面エコー前に出没する欠陥エコーをタイミング的に明確に識別することが可能となる。
【００４２】
しかも、受信子１２を並列接続してあるので、受信子１２の複数探触子１０全体として抵抗値が増大することもなく、したがって感度低下を来すこともなく、極めて合理的な構成である。また、通常試験装置本体３に設けられたオートゲインコントローラー４により、例えば底面エコー等が複数重複してもレベル圧縮され、また、中間に生じる小さな欠陥信号はレベル拡大される。また、スプリング１７によって、試験体１００の屈曲や表面の凹凸を吸収し、各探触子１０と試験体１００との姿勢を同一に維持して信号状態を保つことが可能となる。
【００４３】
本実施形態は上記の構成に限定されない。たとえば、探触子１０の数は三個に限定されず、図１１に示すように、探触子１０の数を六個にすること、また、それ以上設けることも可能である。また、図１１に示すようにセンサヘッド２からワイヤー１８ａを介してエンコーダー１８を接続しても良い。このエンコーダー１８によって、センサヘッド２の位置を検出したり、センサヘッド２の接触不良を検出したりする機能を持たせることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、同平面位置における被試験体の表層部と中間部又は深部との検査を同時に行うことの求められるあらゆる超音波試験に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第一実施形態を示す構成図である。
【図２】（ａ）は第一実施形態の探触子の構成を示す図、（ｂ）は（ａ）の受信信号を示す図である。（ｃ）は従来の探触子の構成を示す図、（ｄ）は（ｃ）の受信信号を示す図である。
【図３】図２（ａ）と図２（ｃ）の探触子における伝播距離（板厚）と感度の関係を示すグラフである。
【図４】（ａ）本発明の第二実施形態の探触子を示す縦断面図であり、（ｂ）は本発明の第三実施形態の探触子を示す縦断面図である。
【図５】第四実施形態の超音波試験装置の構成図である。
【図６】図５の超音波試験装置の回路図である。
【図７】図５の超音波試験装置の部分断面図である。
【図８】図５の超音波試験装置の部分平面図である。
【図９】図５の超音波試験装置の部分側面図である。
【図１０】図５の超音波試験装置における試験結果の波形を示す図である
【図１１】図５のセンサヘッドの他の形態を示す平面図である
【符号の説明】
【００４６】
１：超音波試験装置、２：センサヘッド、３：送受信部、３ａ：パルサー、３ｂ：オートゲインコントローラー、４：切替スイッチ、４ａ：可動接点、
１０：探触子、１１：送信子、１１ａ：第一送信子、１１ｂ：第二送信子、
１１ｅ１：第一振動子、１１ｅ２：第二振動子、
１２：受信子、１２ａ：第一受信子１２ａ、１２ｂ：第二受信子、
１１ｃ：送信側楔、１１ｃ１：表層部楔、１１ｃ２：深部楔、１２ｃ：受信側楔、１２ｃ１：表層部楔、１２ｃ２：深部楔、
１１ｆ：第一音響レンズ、１１ｇ：第二音響レンズ、
１０Ａ：第一探触子、１４：センサフレーム、１５：調整ねじ（間隔調整手段）、１７：スプリング（弾性体）、１８：エンコーダー、Ｒａ：表層部伝播経路、Ｒｂ：深部伝播経路、Ｆａ：表層部検査対象部、Ｒｂ：深部検査対象部、ＦＬ：検査部中心線、１０ｘ：探触子送信端子、１０ｙ：探触子受信端子、Ｐ：表面波、Ｅ：底面波、Ｑ：欠陥波  １００：試験体
１０（ａ）：従来の探触子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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