(57)【要約】【課題】液体処理室において液体処理後の被処理物を液体処理室外に搬出入口から搬出する際、液体処理中の飛散に起因して液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に再付着することにより、乾燥後の被処理物の被処理面に乾燥染みが発生するのを容易に防止する構成を有する電気光学装置の製造装置を提供する。【解決手段】洗浄乾燥室１と、洗浄乾燥室１の底面２２から起立する壁板２０に形成された、液晶装置５０の搬出入口２７と、壁板２０の室内壁面２１の搬出入口２７の上方に設けられた、室内壁面２１に付着した液滴７０が搬出入口２７に液垂れするのを防止する、搬出入口２７の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成されたじゃま板１００と、を具備し、突出したじゃま板１００の先端部１００ｓは、室内壁面２１側のじゃま板１００の基部１００ｋよりも、底面２２から高く位置していることを特徴とする。【選択図】図２
2007079370.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を、室内にて液体処理する液体処理室と、
前記液体処理室内の底面から起立する壁部に形成された、前記液体処理室外と前記液体処理室内との間で前記被処理物を搬出入するための搬出入口と、
前記壁部の室内壁面の前記搬出入口の上方から前記室内に向かって突出して設けられた、前記室内壁面に付着した液滴が前記搬出入口に液垂れするのを防止する、前記搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液垂れ位置制御体と、
を具備し、
前記突出した前記液垂れ位置制御体の先端部の上面は、前記室内壁面側の前記液垂れ位置制御体の基部の前記上面よりも、前記液体処理室の底面から高く位置していることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項２】
前記被処理物は、第１の基板と該第１の基板に対向する第２の基板との間に、電気光学物質が挟持されて構成された電気光学装置の少なくとも一部であることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項３】
前記液体処理室内に、前記被処理物を洗浄、乾燥する洗浄乾燥装置が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項４】
前記洗浄乾燥装置は、
被処理物が載置され回転する回転台と、
前記回転台に載置され回転する被処理物に液体を供給する液体供給手段と、
前記回転台に載置され回転する被処理物に接触し、該被処理物を洗浄する洗浄手段と、
を具備し、
前記回転台の回転により、洗浄後の前記被処理物は乾燥されることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項５】
前記液体処理室内に、前記回転台の周部を覆う筒状のカップ材が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項６】
前記カップ材の上端は、前記液垂れ位置制御体の前記先端部の前記上面よりも、前記液体処理室の底面から高く位置していることを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項７】
前記液垂れ位置制御体は、前記壁部と別体に形成されており、前記室内壁面に対して前記基部が固定されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項８】
前記液垂れ位置制御体の前記上面は、前記室内壁面に付着した前記液滴の液垂れ方向を、前記搬出入口方向を除く方向に誘導する斜面であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項９】
前記液垂れ位置制御体は、前記室内壁面に直交する方向に対し、前記先端部に向かって上方に傾斜していることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１０】
前記液垂れ位置制御体の前記基部は、水平方向の一端と他端との少なくとも一方に向かって下方に傾斜していることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１１】
前記液垂れ位置制御体の前記先端部に、上方に延出する土手状突起が設けられていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１２】
前記液垂れ位置制御体の前記上面に、該上面に落下した前記液滴を、前記液垂れ位置制御体の前記先端部以外の方向に誘導する誘導溝が形成されていることを特徴とする請求項８〜１１のいずれか１項の記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１３】
前記液垂れ位置制御体の前記先端部の前記上面と底面とを結ぶ先端面に、該先端部から前記液滴が液垂れした際、該液滴の液垂れ方向を、前記搬出入口方向を除く方向に誘導する誘導溝が形成されていることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項の記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１４】
被処理物を、室内にて液体処理する液体処理室と、
前記液体処理室内の底面から起立する壁部に形成された、前記液体処理室外と前記液体処理室内との間で前記被処理物を搬出入するための搬出入口と、
前記壁部の室内壁面の前記搬出入口の上方に形成された、前記室内壁面に付着した液滴が前記搬出入口に液垂れするのを防止する、前記搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液滴誘導溝と、
を具備していることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項１５】
前記被処理物は、第１の基板と該第１の基板に対向する第２の基板との間に、電気光学物質が挟持されて構成された電気光学装置の少なくとも一部であることを特徴とする請求項１４に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１６】
前記液体処理室内に、前記被処理物を洗浄、乾燥する洗浄乾燥装置が設けられていることを特徴とする請求項１４または１５に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１７】
前記洗浄乾燥装置は、
被処理物が載置され回転する回転台と、
前記回転台に載置され回転する被処理物に液体を供給する液体供給手段と、
前記回転台に載置され回転する被処理物に接触し、該被処理物を洗浄する洗浄手段と、
を具備し、
前記回転台の回転により、洗浄後の前記被処理物は乾燥されることを特徴とする請求項１６に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１８】
前記液体処理室内に、前記回転台の周部を覆う筒状のカップ材が設けられていることを特徴とする請求項１７に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１９】
前記カップ材の上端は、前記液滴誘導溝の上縁よりも、前記液体処理室の底面から高く位置していることを特徴とする請求項１８に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項２０】
前記液滴誘導溝は、水平方向の一端と他端との少なくとも一方に向かって下方に傾斜していることを特徴とする請求項１４〜１９のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項２１】
電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を、室内にて液体処理する液体処理室と、
前記液体処理室内の底面から起立する壁部に形成された、前記液体処理室外と前記液体処理室内との間で前記被処理物を搬出入するための搬出入口と、
前記壁部の室内壁面の前記搬出入口の上方から前記室内に向かって突出して設けられた、前記室内壁面に付着した液滴が前記搬出入口に液垂れするのを防止する、前記搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液垂れ位置制御体と、
を具備し、
前記突出した前記液垂れ位置制御体の先端部の上面は、前記室内壁面側の前記液垂れ位置制御体の基部の前記上面よりも、前記液体処理室の底面から高く位置していることを特徴とする電気光学装置の製造装置を用いた電気光学装置の製造方法であって、
前記被処理物を、前記搬出入口から前記液体処理室内に搬入する工程と、
前記被処理物を、前記液体処理室内において液体処理する工程と、
前記被処理物を、前記搬出入口から前記液体処理室外に搬出する工程と、
を具備することを特徴とする電気光学装置の製造装置を用いた電気光学装置の製造方法。
【請求項２２】
電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を、室内にて液体処理する液体処理室と、
前記液体処理室内の底面から起立する壁部に形成された、前記液体処理室外と前記液体処理室内との間で前記被処理物を搬出入するための搬出入口と、
前記壁部の室内壁面の前記搬出入口の上方に形成された、前記室内壁面に付着した液滴が前記搬出入口に液垂れするのを防止する、前記搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液滴誘導溝と、
を具備していることを特徴とする電気光学装置の製造装置を用いた電気光学装置の製造方法であって、
前記被処理物を、前記搬出入口から前記液体処理室内に搬入する工程と、
前記被処理物を、前記液体処理室内において液体処理する工程と、
前記被処理物を、前記搬出入口から前記液体処理室外に搬出する工程と、
を具備することを特徴とする電気光学装置の製造装置を用いた電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を液体処理室の室内にて液体処理する電気光学装置の製造装置、該製造装置を用いた電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、電気光学装置、例えば液晶装置は、ガラス基板、石英基板等からなる２枚の基板間に液晶が介在されて構成されており、一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと称す)等のスイッチング素子及び画素電極をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に挟持された液晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能としている。
【０００３】
また、ＴＦＴを配置した素子基板と、この素子基板に相対して配置される対向基板とは、別々に製造され、その後、パネル組立工程においてシール材を介して高精度（例えばアライメント誤差１μ以内）に貼り合わされる。
【０００４】
このパネル組立工程を詳しく説明すると、先ず、各基板の製造工程において夫々製造された素子基板と対向基板との各液晶層と接する面上に、液晶分子を基板面に沿って配向させるための配向膜が形成される。その後、焼成が行われ、さらに、電圧無印加時の液晶分子の配列を決定させるためのラビング処理が施される。
【０００５】
次いで、例えば液晶封入方式により、素子基板と対向基板との間に液晶が介在される場合には、素子基板と対向基板との一方の基板上のシール材塗布領域に接着剤となるシール材が、一部に切り欠きを有するよう略周状に塗布され、このシール材が用いられて素子基板と対向基板とが貼り合わされ、次いでアライメントが施されて圧着硬化された後、シール材の一部に設けられた切り欠きを介して液晶が封入された後、切り欠きが封止材により封止されて、液晶装置は組み立てられる。
【０００６】
その後、組み立てられた液晶装置は、組み立て中に液晶装置に付着した塵埃等の異物を除去するため、液体処理室である洗浄乾燥処理室（以下、洗浄乾燥室と称す）内に搬入されて、該洗浄乾燥室に配設された、例えば液晶装置を１つずつ洗浄する枚葉式の洗浄乾燥装置で洗浄処理された後、続けて乾燥処理され、洗浄乾燥室から搬出される。尚、洗浄乾燥室に対する液晶装置の搬出入は、例えばロボット等により、自動化されて行われている。
【０００７】
液晶装置等の被処理物に対し、洗浄処理または乾燥処理等の液体処理を行うことができる枚葉式の洗浄乾燥装置には、スピン式の洗浄乾燥装置が周知であり、該スピン式の洗浄乾燥装置には、被処理物が載置され回転する回転台と、被処理物に、洗浄液またはリンス液等の液体を供給する供給ノズルと、被処理物を洗浄する洗浄ブラシとを有する構成が周知である。
【０００８】
このような構成を有する洗浄乾燥装置は、回転台に載置され回転する被処理物の被処理面に対し、供給ノズルから洗浄液を供給した状態で、洗浄ブラシを、被処理面に当接、摺動させることにより、被処理面をスクラブ洗浄処理する。
【０００９】
次いで、乾燥染みの発生を防ぐため、被処理面の濡れ状態を均一にする純水等のリンス液を、供給ノズルから被処理面に供給した後、液体の供給と、洗浄ブラシの当接を停止した状態で回転台のみを回転させることにより、回転台に載置された被処理物の水滴等の液滴を飛散させて、被処理物を乾燥処理するのである。
【００１０】
ここで、被処理物の洗浄処理または乾燥処理の際、回転台の回転に伴い、被処理物から、回転台の周囲に飛散した液滴が、乾燥後の被処理物の被処理面に再付着してしまうと、被処理面に液滴の洗浄染みが発生してしまうといった問題があった。
【００１１】
このような問題に鑑み、例えば特許文献１には、回転台の周部に、該周部を周状に覆う筒状の処理容器を設けることにより、被処理物の洗浄処理または乾燥処理の際、被処理物からの液滴の飛散を、処理容器の内周面により防ぐ構成を有する洗浄乾燥装置が開示されている。
【特許文献１】特開平９−２２３６８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、液晶装置のような、素子基板と対向基板との大きさの違い等に起因する凹凸形状を被処理面に有する被処理物を洗浄、乾燥処理する際は、洗浄処理または乾燥処理中に、被処理面の凹凸に起因して、被洗浄物から液滴が激しく周囲に飛散する。
【００１３】
ここで、特許文献１に示した処理容器は、筒状に形成されている、即ち、上方が開口されて形成されているため、処理容器の上方の開口から、液滴が洗浄乾燥室全体に飛散してしまい、該飛散した液滴が洗浄処理室の底面から起立する壁部の室内壁面に付着してしまう場合がある。
【００１４】
よって、洗浄、乾燥処理の終了した被処理物を、起立する壁部に形成された搬出入口から搬出する最中に、起立する壁部の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れ、落下した結果、被処理物の被処理面に液滴が再付着してしまう場合がある。さらに液滴が再付着したまま被処理面において乾燥されると、被処理物が表示装置の場合、製造された製品に表示不良が発生してしまうといった問題があった。
【００１５】
本発明の目的は上記問題点に着目してなされたものであり、液体処理室において被処理物に液体処理を行った後、被処理物を液体処理室外に搬出入口から搬出する際、液体処理中の飛散に起因して液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に再付着することにより、乾燥後の被処理物の被処理面に乾燥染みが発生するのを容易に防止する構成を有する電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造装置を用いた電気光学装置の製造方法を提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために本発明に係る電気光学装置の製造装置は、被処理物を、室内にて液体処理する液体処理室と、前記液体処理室内の底面から起立する壁部に形成された、前記液体処理室外と前記液体処理室内との間で前記被処理物を搬出入するための搬出入口と、前記壁部の室内壁面の前記搬出入口の上方から前記室内に向かって突出して設けられた、前記室内壁面に付着した液滴が前記搬出入口に液垂れするのを防止する、前記搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液垂れ位置制御体と、を具備し、前記突出した前記液垂れ位置制御体の先端部の上面は、前記室内壁面側の前記液垂れ位置制御体の基部の前記上面よりも、前記液体処理室の底面から高く位置していることを特徴とする。
【００１７】
また、前記被処理物は、第１の基板と該第１の基板に対向する第２の基板との間に、電気光学物質が挟持されて構成された電気光学装置の少なくとも一部であることを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を、液体処理室内に搬入して液体処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、液体処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを、搬出入口の上方に位置する搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液垂れ位置制御体により容易に防止することができる。さらには、液垂れ位置制御体の基部と先端部との傾斜により、室内壁面において、搬出入口の上方から液垂れ位置制御体の上面に液垂れした液滴は、室内壁面側に誘導され、液垂れ位置制御体の先端部側から搬出入口に液垂れしなくなる。このことから、液垂れ位置制御体の先端部側から落下した液滴が搬出中の被処理物に付着し、該付着した液滴により乾燥後、被処理物に乾燥染みが発生するのを容易に防止することができるといった効果を有する。
【００１９】
さらに、前記液体処理室内に、前記被処理物を洗浄、乾燥する洗浄乾燥装置が設けられていることを特徴とする。
【００２０】
また、前記洗浄乾燥装置は、被処理物が載置され回転する回転台と、前記回転台に載置され回転する被処理物に液体を供給する液体供給手段と、前記回転台に載置され回転する被処理物に接触し、該被処理物を洗浄する洗浄手段と、を具備し、前記回転台の回転により、洗浄後の前記被処理物は乾燥されることを特徴とする。
【００２１】
本発明によれば、被処理物を液体処理室内に搬入して洗浄乾燥装置で洗浄乾燥処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、洗浄乾燥処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを、搬出入口の上方に位置する搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液垂れ位置制御体により容易に防止することができる。さらには、液垂れ位置制御体の基部と先端部との傾斜により、液垂れ位置制御体の上面に液垂れした液滴は、室内壁面側に誘導され、液垂れ位置制御体の先端部側から搬出入口に液垂れしなくなる。このことから、室内壁面から落下した液滴が搬出中の被処理物に付着し、該付着した液滴により乾燥後、被処理物に乾燥染みが発生するのを防止することができるといった効果を有する。
【００２２】
また、前記液体処理室内に、前記回転台の周部を覆うカップ材が設けられていることを特徴とする。
【００２３】
さらに、前記カップ材の上端は、前記液垂れ位置制御体の前記先端部の前記上面よりも、前記液体処理室の底面から高く位置していることを特徴とする。
【００２４】
本発明によれば、液体処理の最中に飛散した液滴が、室内壁面における搬出入口の上方であって液垂れ位置制御体の下方の領域に付着しないといった効果を有する。
【００２５】
また、前記液垂れ位置制御体は、前記壁部と別体に形成されており、前記室内壁面に対して前記基部が固定されていることを特徴とする。
【００２６】
本発明によれば、液垂れ位置制御体が、液体処理室の壁部と別体に形成されていることにより、液垂れ位置制御体を液体処理室内に容易に設けることができるといった効果を有する。
【００２７】
さらに、前記液垂れ位置制御体の前記上面は、前記室内壁面に付着した前記液滴の液垂れ方向を、前記搬出入口方向を除く方向に誘導する斜面であることを特徴とする。
【００２８】
本発明によれば、被処理物を液体処理室内に搬入して液体処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、液体処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを、液滴誘導板が、液滴を、搬出入口方向を除く方向に上面の斜面にて誘導することにより容易に防止することができるといった効果を有する。
【００２９】
また、前記液垂れ位置制御体は、前記室内壁面に直交する方向に対し、前記先端部に向かって上方に傾斜していることを特徴とする。
【００３０】
本発明によれば、被処理物を液体処理室内に搬入して液体処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、液体処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、室内壁面から搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを、液垂れ位置制御体が、基部と先端部との液垂れ位置制御体の傾斜を利用して室内壁面側に液滴を上面にて誘導することにより容易に防止することができるといった効果を有する。
【００３１】
さらに、前記液垂れ位置制御体の前記基部は、水平方向の一端と他端との少なくとも一方に向かって下方に傾斜していることを特徴とする。
【００３２】
本発明によれば、液垂れ位置制御体の基部は、水平方向の一端と他端との少なくとも一方に向かって下方に傾斜していることにより、液垂れ位置制御体の先端部と基部との傾斜を利用して室内壁面側に誘導した液滴を、水平方向の少なくとも一方の端部への傾斜を利用して、搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液垂れ位置制御体の少なくとも一方の端部に誘導することができる。よって、被処理物を液体処理室内に搬入して液体処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、液体処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを防止することができるとともに、液滴が、液垂れ位置制御体の上面に残留してしまうことを容易に防止することができるといった効果を有する。
【００３３】
さらに、前記液垂れ位置制御体の前記先端部に、上方に延出する土手状突起が設けられていることを特徴とする。
【００３４】
本発明によれば、液垂れ位置制御体の基部と先端部とに傾斜がなくとも、土手状突起により、液垂れ位置制御体の上面に付着した液滴が、液垂れ位置制御体の先端部側から液垂れして、搬出入口方向に液垂れしなくなる。このことから、液垂れ位置制御体の先端部から落下した液滴が搬出中の被処理物に付着し、該付着した液滴により乾燥後、被処理物に乾燥染みが発生するのを容易に防止することができるといった効果を有する。
【００３５】
また、前記液垂れ位置制御体の前記上面に、該上面に落下した前記液滴を、前記液垂れ位置制御体の前記先端部以外の方向に誘導する誘導溝が形成されていることを特徴とする。
【００３６】
本発明によれば、室内壁面から落下した液滴は、誘導溝により確実に、搬出入口方向を除く方向に誘導されるとともに、液垂れ位置制御体の上面に液滴が残留してしまうことを容易に防止することができるといった効果を有する。
【００３７】
さらに、前記液垂れ位置制御体の前記先端部の前記上面と底面とを結ぶ先端面に、該先端部から前記液滴が液垂れした際、該液滴の液垂れ方向を、前記搬出入口方向を除く方向に誘導する誘導溝が形成されていることを特徴とする。
【００３８】
本発明によれば、液滴が液垂れ位置制御体の先端側から搬出入口の方向に液垂れしてしまうことを防止することができるといった効果を有する。
【００３９】
本発明の電気光学装置は、被処理物を、室内にて液体処理する液体処理室と、前記液体処理室内の底面から起立する壁部に形成された、前記液体処理室外と前記液体処理室内との間で前記被処理物を搬出入するための搬出入口と、前記壁部の室内壁面の前記搬出入口の上方に形成された、前記室内壁面に付着した液滴が前記搬出入口に液垂れするのを防止する、前記搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液滴誘導溝と、を具備していることを特徴とする。
【００４０】
また、前記被処理物は、第１の基板と該第１の基板に対向する第２の基板との間に、電気光学物質が挟持されて構成された電気光学装置の少なくとも一部であることを特徴とする。
【００４１】
本発明によれば、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を、液体処理室内に搬入して液体処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、液体処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを、搬出入口の上方に位置する搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液滴誘導溝により容易に防止することができる。このことから、室内壁面から液垂れした液滴が搬出中の被処理物に付着し、該付着した液滴により乾燥後、被処理物に乾燥染みが発生するのを容易に防止することができるといった効果を有する。
【００４２】
さらに、前記液体処理室内に、前記被処理物を洗浄、乾燥する洗浄乾燥装置が設けられていることを特徴とする。
【００４３】
また、前記洗浄乾燥装置は、被処理物が載置され回転する回転台と、前記回転台に載置され回転する被処理物に液体を供給する液体供給手段と、前記回転台に載置され回転する被処理物に接触し、該被処理物を洗浄する洗浄手段と、を具備し、前記回転台の回転により、洗浄後の前記被処理物は乾燥されることを特徴とする。
【００４４】
本発明によれば、被処理物を液体処理室内に搬入して洗浄乾燥装置で洗浄乾燥処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、洗浄乾燥処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを、搬出入口の上方に位置する搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液滴誘導溝により容易に防止することができる。このことから、室内壁面から落下した液滴が搬出中の被処理物に付着し、該付着した液滴により乾燥後、被処理物に乾燥染みが発生するのを防止することができるといった効果を有する。
【００４５】
さらに、前記液体処理室内に、前記回転台の周部を覆う筒状のカップ材が設けられていることを特徴とする。また、前記カップ材の上端は、前記液滴誘導溝の上縁よりも、前記液体処理室の底面から高く位置していることを特徴とする。
【００４６】
本発明によれば、液体処理の最中に飛散した液滴が、室内壁面における搬出入口の上方であって液滴誘導溝の下方の領域に付着しないといった効果を有する。
【００４７】
また、前記液滴誘導溝は、水平方向の一端と他端との少なくとも一方に向かって下方に傾斜していることを特徴とする。
【００４８】
本発明によれば、液滴誘導溝の水平方向は、水平方向の一端と他端との少なくとも一方に向かって下方に傾斜していることにより、液滴を、水平方向のいずれかの端部への傾斜を利用して、搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液滴誘導溝の水平方向のいずれかの端部に誘導することができる。よって、被処理物を液体処理室内に搬入して液体処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、液体処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを防止することができるといった効果を有する。
【００４９】
本発明の電気光学装置の製造装置を用いた電気光学装置の製造方法は、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を、室内にて液体処理する液体処理室と、前記液体処理室内の底面から起立する壁部に形成された、前記液体処理室外と前記液体処理室内との間で前記被処理物を搬出入するための搬出入口と、前記壁部の室内壁面の前記搬出入口の上方から前記室内に向かって突出して設けられた、前記室内壁面に付着した液滴が前記搬出入口に液垂れするのを防止する、前記搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液垂れ位置制御体と、を具備し、前記突出した前記液垂れ位置制御体の先端部の上面は、前記室内壁面側の前記液垂れ位置制御体の基部の前記上面よりも、前記液体処理室の底面から高く位置していることを特徴とする電気光学装置の製造装置を用いた電気光学装置の製造方法であって、前記被処理物を、前記搬出入口から前記液体処理室内に搬入する工程と、前記被処理物を、前記液体処理室内において液体処理する工程と、前記被処理物を、前記搬出入口から前記液体処理室外に搬出する工程と、を具備することを特徴とする。
【００５０】
本発明によれば、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を液体処理室内に搬入して液体処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、液体処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを、搬出入口の上方に位置する搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液垂れ位置制御体により容易に防止することができる。さらには、室内壁面側の液垂れ位置制御体の基部よりも液垂れ位置制御体の先端部が、液体処理室の底面から高く位置していることにより、搬出入口の上方から液垂れ位置制御体の上面に液垂れした液滴は、室内壁面側に誘導され、液垂れ位置制御体の先端側から搬出入口に液垂れしなくなる。このことから、液垂れ位置制御体の先端部から落下した液滴が搬出中の被処理物に付着し、該付着した液滴により乾燥後、被処理物に乾燥染みが発生するのを容易に防止することができるといった効果を有する。
【００５１】
本発明の電気光学装置の製造装置を用いた電気光学装置の製造方法は、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を、室内にて液体処理する液体処理室と、前記液体処理室内の底面から起立する壁部に形成された、前記液体処理室外と前記液体処理室内との間で前記被処理物を搬出入するための搬出入口と、前記壁部の室内壁面の前記搬出入口の上方に形成された、前記室内壁面に付着した液滴が前記搬出入口に液垂れするのを防止する、前記搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液滴誘導溝と、を具備していることを特徴とする電気光学装置の製造装置を用いた電気光学装置の製造方法であって、前記被処理物を、前記搬出入口から前記液体処理室内に搬入する工程と、前記被処理物を、前記液体処理室内において液体処理する工程と、前記被処理物を、前記搬出入口から前記液体処理室外に搬出する工程と、を具備することを特徴とする。
【００５２】
本発明によれば、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を液体処理室内に搬入して液体処理した後、被処理物を搬出入口から液体処理室外に搬出する際、液体処理中の液滴の飛散により液体処理室の室内壁面に付着した液滴が、搬出入口に液垂れし、搬出中の被処理物に落下してしまうことを、搬出入口の上方に位置する搬出入口の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液滴誘導溝により容易に防止することができる。このことから、室内壁面から液垂れした液滴が搬出中の被処理物に付着し、該付着した液滴により乾燥後、被処理物に乾燥染みが発生するのを容易に防止することができるといった効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５３】
以下、図面を参照にして本発明の実施の形態を説明する。尚、本実施の形態では、電気光学装置の製造装置（以下、単に製造装置と称す）は、電気光学装置の少なくとも一部を構成する被処理物を、液体処理である洗浄乾燥処理する液体処理室である洗浄乾燥室を有する製造装置を例に挙げて説明する。
【００５４】
また、洗浄乾燥室によって洗浄乾燥処理される被処理物は、電気光学装置、具体的には、表示領域にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等のスイッチング素子及び画素電極が形成された第１の基板と該第１の基板に対向する対向電極が形成された第２の基板との間に、電気光学物質が挟持されて構成された、組立工程終了後の液晶装置を例に挙げて説明する。
【００５５】
先ず、本実施の形態を示す製造装置の構成を説明するに先立って、製造装置の洗浄乾燥室で洗浄乾燥処理される液晶装置の構成について、図１を用いて簡単に説明する。図１は、本実施の形態の製造装置の洗浄乾燥室において洗浄乾燥処理される液晶装置の断面図である。
【００５６】
同図に示すように、液晶装置５０は、例えば、石英基板、ガラス基板、シリコン基板を用いた第１の基板である素子基板（以下、ＴＦＴ基板と称す）１１０と、該ＴＦＴ基板１１０に対向配置される、例えばガラス基板や石英基板を用いた第２の基板である対向基板１２０との間の内部空間に、電気光学物質である液晶１５０が介在されて構成される。対向配置されたＴＦＴ基板１１０と対向基板１２０とは、シール材１５２によって貼り合わされている。
【００５７】
ＴＦＴ基板１１０の基板上に、画素を構成する画素電極（ＩＴＯ）１０９ａ及びスイッチング素子１０９ｂ等がマトリクス状に配置され、液晶１５０と接する面側に、液晶装置５０の表示領域を構成するＴＦＴ基板１１０の表示領域１１０ａが構成されている。
【００５８】
また、対向基板１２０の基板上の全面に、対向電極（ＩＴＯ）１２１が設けられており、対向電極１２１のＴＦＴ基板１１０の表示領域１１０ａに対向する位置の液晶１５０と接する面側に、液晶装置５０の表示領域を構成する対向基板１２０の表示領域１２０ａが構成されている。
【００５９】
ＴＦＴ基板１１０の画素電極１０９ａ上に、ラビング処理が施された第１の配向膜１１６が設けられており、また、対向基板１２０上の全面に渡って形成された対向電極１２１上にも、ラビング処理が施された第２の配向膜１２６が設けられている。
【００６０】
対向基板１２０に、ＴＦＴ基板１１０の表示領域１１０ａ及び対向基板１２０の表示領域１２０ａの外周を規定し区画する額縁としての遮光膜１５３が設けられている。
【００６１】
シール材１５２の外側の領域に、ＴＦＴ基板１１０の図示しないデータ線に画像信号を所定のタイミングで供給して該データ線を駆動するデータ線駆動回路１０１及び外部回路との接続のための外部接続端子１０２が、ＴＦＴ基板１１０の一辺に沿って設けられている。
【００６２】
次に、このように構成された組立後の液晶装置５０の塵埃等の異物を除去する洗浄乾燥装置を有する洗浄乾燥室の構成について図２〜図４を用いて説明する。
【００６３】
（第１実施の形態）
図２は、本発明の第１実施の形態を示す製造装置の洗浄乾燥室の構成の概略を示す透視斜視図、図３は、図２中のIII-III線に沿う洗浄乾燥室の断面図、図４は、図２の洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図、図５は、図３の洗浄乾燥室の底板形状の変形例を示す部分断面図である。
【００６４】
図２に示すように、製造装置２００の洗浄乾燥室１は、上方を解放した箱状を有しており、例えば四角状の底板２５と、該底板２５の底面２２の各辺からそれぞれ起立した４枚の壁部である壁板２０とにより形成されている。尚、洗浄乾燥室１の上方は、封止されていても構わない。
【００６５】
４枚の壁板２０に覆われた洗浄乾燥室１の室内１ｉ（図３参照）であって、底板２５の底面２２に、搬入された液晶装置５０を洗浄乾燥処理する洗浄乾燥装置１０が配設されている。
【００６６】
洗浄乾燥装置１０は、枚葉式のスピン洗浄乾燥装置であり、底面２２に載置された回転装置１７と、この回転装置１７から上方に延出し、回転装置１７のオン動作によって回転する回転軸１８と、該回転軸１８に軸支された回転台１１と、液体供給手段である供給ノズル１２と、洗浄手段である洗浄ブラシ１３と、回転台１１の周部を覆う、後述する上端１５ｊ（図３参照）が所定の高さを有する筒状のカップ材１５とにより主要部が構成されている。
【００６７】
回転台１１は、例えば円盤状を有しており、回転台１１の上面に、載置された液晶装置５０を保持する図示しないチャックが形成されている。回転台１１は、回転軸１８に底面中央を軸支され、上面に液晶装置５０が載置、保持された後、回転軸１８の回転に伴い回転する。尚、回転台１１の内部に、上面に載置された液晶装置５０を吸引保持する、真空装置に連通する真空吸引チャック（いずれも図示せず）が形成されていてもよい。
【００６８】
供給ノズル１２は、液晶装置５０を洗浄するに際し、回転台１１に載置され回転する液晶装置５０の被処理面となる表面５０ｆに種々の洗浄液を供給する。尚、供給ノズル１２は、例えば洗浄乾燥室１の底板２５の底面２２から延出するアーム等に固定されている。
【００６９】
洗浄ブラシ１３は、例えばポリビニルアルコール等で構成されており、回転台１１に載置され回転する液晶装置５０の表面５０ｆに接触、摺動することにより、表面５０ｆをスクラブ洗浄する。尚、洗浄ブラシ１３は、例えば回転装置１７から延出する伸縮アーム等に固定されており、該伸縮アームが伸縮されることにより、液晶装置５０の表面に対し、当接または離間する。
【００７０】
カップ材１５は、図示しない昇降装置により、回転台１１の周部に対し昇降自在であり、液晶装置５０を洗浄乾燥処理する際は、回転台１１の周部を覆う、図２中（Ａ）の位置に降下して位置し、液晶装置５０を洗浄、乾燥するとき以外は、回転台１１の上方となる図２中（Ｂ）の位置に上昇して位置する。
【００７１】
尚、カップ材１５は、回転台１１の周部を覆う、図２中（Ａ）の位置に降下して位置した際、図３に示すように、カップ材１５の上端１５ｊの底面２２からの高さｈ３が、洗浄乾燥室１の室内壁面２１に固定された後述するじゃま板１００の上面１００ｔの先端部１００ｓの底面２２からの高さｈ１よりも高く位置する（ｈ３＞ｈ１）。
【００７２】
また、カップ材１５は、液晶装置５０の洗浄乾燥処理中に、回転台１１の周部を覆うことにより、液晶装置５０から飛散した洗浄液や水等の液滴の洗浄乾燥装置１０の周囲への飛散をカップ材１５の内周面により防ぐ。
【００７３】
起立した４枚の壁板２０の内、１枚の壁板２０に、洗浄乾燥室１の室内１ｉに対し洗浄乾燥処理を行う液晶装置５０を搬入する、または室内１ｉから洗浄乾燥処理後の液晶装置５０を搬出する搬出入口２７が形成されている。尚、図２中は、搬出入口２７は、水平方向に幅広な長方形に形成されているが、どのような形状であっても構わない。
【００７４】
その結果、室内壁面２１に搬出入口２７が開口されている。尚、搬出入口２７は、該搬出入口２７の開口下端が、洗浄乾燥装置１０の回転台１１の上面と、洗浄乾燥室１の底面２２からの高さが略同じとなるよう形成されている。
【００７５】
搬出入口２７に、開閉自在な図示しないシャッタが設けられており、該シャッタは、室内１ｉに対し、液晶装置５０の搬出入を行うときのみ開成し、液晶装置５０の搬出入以外のときは閉成する。
【００７６】
また、搬出入口２７が形成された壁板２０の室内壁面２１において、搬出入口２７の上方に、撥液性材料、例えばテフロン（登録商標）から構成された壁板２０と別体の液垂れ位置制御体であるじゃま板１００が、例えば室内壁面２１に対し接着等により固定されている。尚、じゃま板１００は、形成の際の手間を考慮しなければ、壁板２０と一体的に形成されていても構わない。また、じゃま板１００を構成する材料は、テフロン（登録商標）に限定されない。
【００７７】
じゃま板１００は、図２、図４に示すように、水平方向略中央の頂点１００ｃから各端部１００ｅ１，１００ｅ２へそれぞれ下方となる２方向に傾斜する略屋根型形状を有している。
【００７８】
じゃま板１００は、図４に示すように、じゃま板１００の後述する基部１００ｋ側の上面１００ｔの水平方向の各端部１００ｅ１，１００ｅ２の洗浄乾燥室１の底面２２からの高さｈ５が、上面１００ｔの基部１００ｋ側の頂部１００ｃの底面２２から高さｈ４よりも低く位置して（ｈ５＜ｈ４）、室内壁面２１に対し固定されている。即ち、じゃま板１００の上面１００ｔは、斜面を構成している。
【００７９】
尚、じゃま板１００における頂点１００ｃの水平方向の位置は、じゃま板１００の水平方向の略中央に限定されず、頂点１００ｃの底面２２からの高さｈ４が、両端部１００ｅ１，１００ｅ２の底面２２からの高さｈ５よりも高く位置すれば、どの位置であっても構わない。即ち、じゃま板１００は、略屋根型形状を有しておれば、頂点１００ｃから端部１００ｅ１への傾斜角度と、頂点１００ｃから端部１００ｅ２への傾斜角度とが異なっていても構わない。
【００８０】
また、じゃま板１００は、搬出入口２７の水平方向の開口幅よりも水平方向に幅広に形成されている。即ち、図４に示すように、じゃま板１００の各端部１００ｅ１，１００ｅ２は、搬出入口２７の開口端部よりも、該開口端部から水平方向に離間して位置している。
【００８１】
さらに、じゃま板１００は、図３に示すように、室内壁面２１に直交する方向対し、先端部１００ｓに向かって上方に傾斜して固定されている。具体的には、室内壁面２１に固定されたじゃま板１００の上面１００ｔの基部１００ｋ側の高さｈ２よりも、室内１ｉ側に向かって突出して位置する上面１００ｔの先端部１００ｓ側の高さｈ１が、洗浄乾燥室１の底面２２から高く位置するよう、室内壁面２１に対し固定されている（ｈ２＞ｈ１）。
【００８２】
じゃま板１００は、洗浄乾燥中に飛散し、室内壁面２１に付着した液滴７０が、液垂れにより、搬出入口２７の方向に落下するのを、上面１００ｔが液滴７０を、搬出入口２７を除く方向に上面１００ｔにて誘導することにより防止する。
【００８３】
図２、図３に示すように、洗浄乾燥室１の底板２５に、洗浄乾燥室１の室内１ｉから洗浄乾燥室１の外部に、後述する洗浄液、リンス液等の液滴７０を底板２５から排出する排出孔２４が、例えば、じゃま板１００の水平方向の各端部１００ｅ１，１００ｅ２に対向する位置に形成されている。尚、排出孔２４の底板２５における形成位置は、この対向位置に限定されない。
【００８４】
また、洗浄乾燥室１の底板２５は、液滴７０を、洗浄乾燥室１の室内１ｉから洗浄乾燥室１の外部に底板２５から効率良く排出するため、図５に示すように、排出孔２４に対し傾斜する形状を有していてもよい。
【００８５】
次に、このように構成された本実施の形態の作用について説明する。
【００８６】
先ず、洗浄乾燥室１の室内１ｉにおいて、カップ材１５が、回転台１１の上方となる図２中（Ｂ）の位置に上昇して位置した状態において、搬出入口２７のシャッタが開成され、次いで、例えばロボットのアーム等により、自動的に液晶装置５０が、搬出入口２７から室内１ｉに搬入された後、回転台１１の上面に載置され、該上面に、例えばチャック等で固定される。また、液晶装置５０の搬入後は、シャッタは閉成される。
【００８７】
尚、搬出入口２７は、該搬出入口２７の開口下端が、回転台１１の上面と、底面２２からの高さが略同じとなるよう形成されていることから、液晶装置５０を室内１ｉへ搬入した後の回転台１１の上面への載置性が良い。
【００８８】
次いで、カップ材１５が、回転台１１の周部を覆う、図２中（Ａ）の位置に降下して位置した後、液晶装置５０の洗浄乾燥処理が行われる。具体的には、先ず、回転台１１が、回転軸１８を介して回転装置１７の駆動により回転された後、液晶装置５０の表面５０ｆに、供給ノズル１２から、例えば純水等の洗浄水を供給され、さらに、液晶装置５０の表面５０ｆに、洗浄ブラシ１３を接触、摺動させることにより、表面５０ｆがスクラブ洗浄される。尚、ここでは、図２、図３に示すように、液晶装置５０の表面５０ｆは、貼り合わされたＴＦＴ基板１１０と対向基板１２０との凹凸を有する一面側の露出面を示している。
【００８９】
洗浄処理の際、該洗浄処理に用いられた洗浄液及び液晶装置５０から飛散した洗浄液は、カップ材１５の内周面により、排出孔２４に誘導される。また、誘導された洗浄液は、底板２５の排出孔２４から洗浄乾燥室外に排出される。
【００９０】
次いで、洗浄ブラシ１３を表面５０ｆから離間させた後、乾燥染みの発生を防ぐため、表面の濡れ状態を均一にする純水等のリンス液を、供給ノズル１２から表面５０ｆに供給する。尚、この際も、用いられたリンス液及び飛散したリンス液は、カップ材の内周面により、底板２５の排出孔２４に誘導され、該排出孔２４から洗浄乾燥室１外に排出される。
【００９１】
その後、供給ノズル１２からの液晶装置５０への液体の供給を停止した状態で、回転台１１のみを回転させることにより、回転台１１に載置された液晶装置５０の水滴等の液滴を飛散させて、液晶装置５０を乾燥処理する。尚、乾燥処理の際、液晶装置５０から飛散した洗浄液は、カップ材１５の内周面により洗浄乾燥装置１０外への飛散が防止され、排出孔２４に誘導される。
【００９２】
最後に、カップ材１５を、図２の（Ａ）の位置から、回転台１１の上方の図２の（Ｂ）の位置に上昇させた後、搬出入口２７のシャッタを開成し、ロボット等のアームにより自動的に、液晶装置５０は、室内１ｉから洗浄乾燥室１外に、搬出入口２７を介して搬出される。
【００９３】
ここで、液晶装置５０の表面５０ｆに、例えばＴＦＴ基板１１０と対向基板１２０との大きさの違いにより凹凸が形成されていることにより、上述した洗浄、乾燥処理中においては、液晶装置５０から、洗浄液等の液滴が周囲に激しく飛散する。
【００９４】
よって、カップ材１５の内周面では防ぎきれなかった液滴７０は、カップ材１５の上方から、洗浄乾燥室１の室内１ｉに飛散し、例えば搬出入口２７が形成された壁板２０の室内壁面２１において、搬出入口２７の上方に付着する（図２，図３中＊１参照）。
【００９５】
尚、この際、図３に示すように、洗浄乾燥中の、即ち図２の（Ａ）に位置するカップ材１５の上端１５ｊの底面２２からの高さｈ３が、洗浄乾燥室１の室内壁面２１に固定されたじゃま板１００の先端部１００ｓの底面２２からの高さｈ１よりも高いことから、カップ材１５の上方から飛散した液滴７０が、室内壁面２１における搬出入口２７の上方であってじゃま板１００の下方の領域２９に付着することがない。即ち、領域２９に付着した液滴７０が、搬出入口２７に液垂れすることがない。
【００９６】
室内壁面２１の搬出入口２７の上方に付着した液滴７０は、室内壁面２１を有する壁板２０が起立していることにより、底面２２の方向となる下方に液垂れする。その後、液滴７０は、搬出入口２７の上方に固定されたじゃま板１００の一面である上面１００ｔに液垂れする。（図２〜図４中＊２参照）
ここで、上述したように、じゃま板１００は、該じゃま板１００の先端部１００ｓ側が、基部１００ｋ側よりも底面２２から高くなるよう（ｈ２＜ｈ１）、室内壁面２１に傾いて固定されていることにより、上面１００ｔに液垂れした液滴７０は、該上面１００ｔの傾斜により、基部１００ｋ側に誘導される（図２，図３中＊３参照）。このことから、液滴７０が、じゃま板１００の先端部１００ｓ側から、底面２２に対し落下することがない（図３中＊１０参照）。
【００９７】
その後、じゃま板１００の上面１００ｔ上の基部１００ｋ側に誘導された液滴７０は、じゃま板１００の水平方向の各端部１００ｅ１，１００ｅ２が、頂点１００ｃよりも底面２２から低く位置していることにより（ｈ５＜ｈ４）、上面１００上の基部１００ｋ側において、例えば端部１００ｅ１側に誘導された後、端部１００ｅ１から底面２２に落下する（図２〜図４中＊４参照）。
【００９８】
最後に、底面２２に落下した液滴７０は、底板２５に形成された排出孔２４から、洗浄乾燥室１の外部に排出される（図２，図３中＊５参照）。
【００９９】
このように、本実施の形態においては、底板２５から起立する壁板２０に、液晶装置５０の洗浄乾燥室１の室内１ｉへの搬出入口２７が形成されており、該搬出入口２７が開口された室内壁面２１の搬出入口２７の上方に、洗浄乾燥中に室内壁面２１に付着した液滴７０が、液垂れにより、搬出入口２７の方向に落下するのを防止する、屋根型形状を有するじゃま板１００が固定されていると示した。また、じゃま板１００は、搬出入口２７の水平方向の開口幅よりも水平方向に幅広に形成されていると示した。
【０１００】
さらに、じゃま板１００の先端部１００ｓ側の底面２２からの高さｈ１は、基部１００ｋ側の底面２２からの高さｈ２よりも高い、即ち、じゃま板１００は、室内壁面２１に対し、傾いて固定されていると示した。また、じゃま板１００の水平方向の各端部１００ｅ１，１００ｅ２の底面２２からの高さｈ５は、頂点１００ｃの底面２２からの高さｈ４よりも低いと示した。
【０１０１】
このことによれば、室内壁面２１からじゃま板１００に液垂れした液滴７０は、じゃま板１００の上面１００ｔの基部１００ｋ側と先端部１００ｓ側との傾斜により、基部１００ｋ側、即ち室内壁面２１側に確実に誘導されることから、液滴７０は、じゃま板１００の先端部１００ｓ側から搬出入口２７に落下することがない。
【０１０２】
また、基部１００ｋ側に誘導された液滴７０は、上面１００ｔの頂点１００ｃと各端部１００ｅ１，１００ｅ２との傾斜により、確実に、各端部１００ｅ１，１００ｅ２から、排出孔２４へと誘導されることから、搬出入口２７に落下することがない。
【０１０３】
よって、乾燥後、液晶装置５０を、搬出入口２７を介して洗浄乾燥室１から搬出する最中に、室内壁面２１に付着した液滴７０が、搬出入口２７の方向に落下することにより、液晶装置５０の表面５０ｆに付着してしまうことを、搬出入口２７の上方に位置する搬出入口２７の水平方向の開口幅よりも水平方向に幅広に形成されたじゃま板１００により容易に防止することができる。
【０１０４】
このことから、液晶装置５０の表面５０ｆに、室内壁面２１から落下した液滴７０が再付着することにより乾燥染みが発生するのを防止することができることから、製造された製品に表示不良が発生してしまうことを容易に防止することができる。
【０１０５】
また、上面１００ｔの頂点１００ｃと各端部１００ｅ１，１００ｅ２との傾斜を用いて、液滴７０を各端部１００ｅ１，１００ｅ２から排出孔２４に確実に誘導することにより、液滴７０がじゃま板１００の上面１００ｔに残留してしまうことを、確実に防止することができることから、じゃま板１００の上面１００ｔを衛生的に保つことができる。
【０１０６】
尚、以下変形例を示す。図６は、図２のじゃま板の上面に誘導溝を設けた変形例を示すじゃま板の部分拡大斜視図である。
【０１０７】
同図に示すように、上面１００ｔに、先端部１００ｓ側と基部１００ｋ側とを連結する、及び基部１００ｋ側において頂点１００ｃ側と各端部１００ｅ１，１００ｅ２側（図６中は、１００ｅ１側のみ図示）とを連結する誘導溝９０が形成されていてもよい。誘導溝９０は、じゃま板１００の上面１００ｔに落下した液滴７０を、じゃま板１００の先端部１００ｓ側以外の方向に誘導する。
【０１０８】
このように、上面１００ｔに誘導溝９０が形成されておれば、上面１００ｔにおける先端部１００ｓ側から基部１００ｋ側への液滴７０の液垂れの誘導（＊３）及び頂点１００ｃから各端部１００ｅ１，１００ｅ２側への液滴７０の液垂れの誘導（＊４）が確実に促進される。
【０１０９】
よって、室内壁面２１から落下した液滴７０は、誘導溝９０により確実に、搬出入口２７を除く方向、即ち排出孔２４に誘導されるとともに、じゃま板１００の上面１００ｔに液滴７０が残留してしまうことを容易かつ確実に防止することができる。
【０１１０】
また、以下別の変形例を示す。図７は、図４に示すじゃま板の形状の変形例を示す洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図、図８は、図７に示すじゃま板の形状の変形例を示す洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図である。
【０１１１】
本実施の形態においては、図２、図４に示すように、じゃま板１００は、水平方向の略中央を頂点１００ｃとして、各端部１００ｅ１，１００ｅ２へそれぞれ下方となる２方向に傾斜する略屋根型形状を有していると示した。
【０１１２】
また、図４に示すように、じゃま板１００は、該じゃま板１００の水平方向の各端部１００ｅ１，１００ｅ２の上面１００ｔの洗浄乾燥室１の底面２２からの高さｈ５が、水平方向の端部１００ｅ１，１００ｅ２を除く部位、例えば水平方向の略中央に形成された頂部１００ｃの上面１００ｔの底面２２から高さｈ４よりも低く位置する略屋根型形状を有していると示した。
【０１１３】
これに限らず、じゃま板１００は、搬出入口２７の水平方向の開口幅よりも水平方向に幅広に形成され、図３に示すように、室内壁面２１に対し、傾斜して固定されておれば、図７に示すように、直線状に形成されていても構わない。
【０１１４】
具体的には、じゃま板１００は、平坦な板状に形成された後、水平方向の一端１００ｅ１の上面１００ｔの底面２２からの高さｈ５１が、水平方向の他端１００ｅ２の上面１００ｔの底面２２からの高さｈ５２よりも低く位置するよう（ｈ５１＜ｈ５２）、即ち、じゃま板１００が、水平方向において、他端１００ｅ２側から一端１００ｅ１側に下向きに傾斜するよう、室内壁面２１に固定されていても構わない。
【０１１５】
このようなじゃま板１００によれば、室内壁面２１から上面１００ｔに液垂れし（＊２）、基部１００ｋ側に誘導された液滴７０は、傾斜により確実に一端１００ｅ１側に誘導されることから（＊４）、液晶装置５０を搬出入口２７から洗浄乾燥室１外に搬出する際、洗浄乾燥処理中の飛散により室内壁面２１に付着した液滴７０が、搬出入口２７に液垂れし、搬出中の液晶装置５０に落下してしまうことを防止することができるとともに、液滴７０が、じゃま板１００の上面１００ｔに残留してしまうことを容易に防止することができるといった本実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【０１１６】
尚、じゃま板１００は、図７とは逆に、他端１００ｅ２よりも底面２２からの高さが高い一端１００ｅ１側から（ｈ５１＞ｈ５２）他端１００ｅ２側に下向きに傾斜するよう、室内壁面２１に固定されていても構わない。
【０１１７】
また、上面１００ｔに液滴７０が残留することを無視すれば、図３に示すように、じゃま板１００の先端部１００ｓ側の上面１００ｔの高さｈ１が、基部１００ｋ側の上面１００ｔの高さｈ２よりも底面２２から高くなっておれば、図８に示すように、じゃま板１００の一端１００ｅ１の上面１００ｔの底面からの高さｈ５１と他端１００ｅ２の上面１００ｔの底面２２からの高さｈ５２とが同じであっても構わない（ｈ５１＝ｈ５２）。即ち、じゃま板１００の水平方向は傾斜してなくともよい。
【０１１８】
さらに、以下別の変形例を示す。図９は、図３に示すじゃま板の形状の変形例を壁板のみ破断して示す壁板及びじゃま板の拡大断面図である。
【０１１９】
本実施の形態においては、図３に示すように、じゃま板１００は、室内壁面２１に直交する方向に対して上方に向かって傾斜して固定されていると示したが、これに限らず、図８に示すように、先端部１００ｓの上面１００ｔの底面２２からの高さｈ１が、基部１００ｋの上面１００ｔの底面２２からの高さｈ２よりも高くなっておれば（ｈ１＞ｈ２）、じゃま板１００は、室内壁面２１に直交する方向に対して上方に向かって傾斜して固定されていなくとも構わない。
【０１２０】
具体的には、図９に示すように、じゃま板１００の先端部１００ｓに、上方に延出する土手状突起１００ｆが設けられていても構わない。この場合、土手状突起１００ｆは、該土手状突起１００ｆの上面の底面２２からの高さｈ１が、基部１００ｋの上面１００ｔの底面２２からの高さｈ２よりも高くなるよう、先端部１００ｓにおいて上方に延出している。
【０１２１】
このように、じゃま板１００の先端部１００ｓに土手状突起１００ｆを設ければ、じゃま板１００の先端部１００ｓ側と基部１００ｋ側とに傾斜がなくとも、土手状突起１００ｆにより、じゃま板１００の上面１００ｔに付着した液滴７０が（＊２）、じゃま板１００の先端部１００ｓ側から液垂れして（＊１０）、搬出入口２７に液垂れしなくなる。
【０１２２】
このことから、室内壁面２１から落下した液滴７０が搬出中の液晶装置５０に付着し、該付着した液滴７０により乾燥後、液晶装置５０に乾燥染みが発生するのを容易に防止することができるといった効果を有する。
【０１２３】
尚、以下、別の変形例を示す。じゃま板１００の形状は、上述した図２〜図９に示した形状に限らず、室内壁面２１の搬出入口２７の上方に付着した液滴７０が、搬出入口２７に液垂れし、搬出中の液晶装置５０に落下しない形状であれば、半円状等、どのような形状であっても構わない。
【０１２４】
また、以下、別の変形例を示す。図１０は、図３に示すじゃま板の形状の別の変形例を示す洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図、図１１は、図１０に示すじゃま板の断面図である。
【０１２５】
図１０、図１１に示すように、じゃま板１００の先端部１００ｓの上面１００ｔと底面とを結ぶ先端面１００ｓｍに、該先端面１００ｓｍに沿って、じゃま板１００の頂点１００ｃと各端部１００ｅ１，１００ｅ２とを連結するよう、誘導溝である溝２６０を形成してもよい。よって、溝２６０も、頂点１００ｃから、各端部１００ｅ１，１００ｅ２の方向に対して、それぞれ傾斜している。
【０１２６】
このように、溝２６０を先端面１００ｓｍに形成すれば、仮に、先端部１００ｓから、液滴７０が液垂れしてしまったとしても、液垂れした液滴７０は、先端面１００ｓｍの溝２６０により、確実に、じゃま板１００の一端側１００ｅ１，他端側１００ｅ２に誘導され、排出孔２４へと誘導されることから、液滴７０は、じゃま板１００の先端部１００ｓ側から搬出入口２７に落下することがない。このような構成によっても、本実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【０１２７】
尚、本実施の形態の形態においては、液垂れ位置制御体としてじゃま板１００を例に挙げて示したが、板状部材に限定されず、洗浄乾燥中に飛散し、室内壁面２１に付着した液滴７０が、液垂れにより、搬出入口２７の方向に落下するのを防止できるものであれば、どのようなものであっても構わない。
【０１２８】
（第２実施の形態）
図１２は、本発明の第２実施の形態を示す製造装置の洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図である。
【０１２９】
尚、本実施の形態の構成は、室内壁面２１に付着した液滴７０が、液垂れにより、搬出入口２７の方向に落下するのを、じゃま板１００の代わりに、室内壁面に形成された誘導溝により防止する点のみが異なる。よって、この相違点のみを説明し、第１実施と同様の構成には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【０１３０】
同図に示すように、室内壁面２１において、搬出入口２７の上方に、液滴誘導溝２５０が形成されている。液滴誘導溝２５０は、水平方向の略中央を頂点２５０ｃとして、各端部２５０ｅ１，２５０ｅ２へそれぞれ下方となる２方向に傾斜する略屋根型形状を有する有底溝である。
【０１３１】
液滴誘導溝２５０は、各端部２５０ｅ１，２５０ｅ２の上縁２５０ｊの洗浄乾燥室１の底面２２からの高さｈ８が、頂部２５０ｃの上縁２５０ｊの底面２２から高さｈ９よりも低く位置して（ｈ８＜ｈ９）、室内壁面２１に対し穿設されている。
【０１３２】
尚、液滴誘導溝２５０における頂点２５０ｃの水平方向の位置は、液滴誘導溝２５０の水平方向の略中央に限定されず、頂点２５０ｃの上縁２５０ｊの底面２２からの高さｈ９が、両端部２５０ｅ１，２５０ｅ２の上縁２５０ｊの底面２２からの高さｈ８よりも高く位置すれば、どの位置であっても構わない。即ち、液滴誘導溝２５０は、略屋根型形状を有しておれば、頂点２５０ｃから端部２５０ｅ１への傾斜角度と、頂点２５０ｃから端部１５０ｅ２への傾斜角度とが異なっていても構わない。
【０１３３】
また、液滴誘導溝２５０は、搬出入口２７の水平方向の開口幅よりも水平方向に幅広に形成されている。即ち、液滴誘導溝２５０の各端部２５０ｅ１，２５０ｅ２は、搬出入口２７の開口端部よりも、該開口端部から水平方向に離間して位置している。
【０１３４】
液滴誘導溝２５０は、洗浄乾燥中に飛散し、室内壁面２１に付着した液滴７０が、液垂れにより搬出入口２７の方向に落下するのを、液垂れにより溝に嵌入した液滴７０を、溝２５０が搬出入口２７を除く方向に誘導することにより防止する。
【０１３５】
次に、このように構成された本実施の形態の作用について説明する。尚、第１実施と同じ作用については、その説明を省略する。
【０１３６】
液晶装置５０を洗浄処理した後、例えば搬出入口２７が形成された壁板２０の室内壁面２１において、搬出入口２７の上方に付着した液滴７０は、室内壁面２１を有する壁板２０が起立していることにより、底面２２の方向となる下方に液垂れする。その後、液滴７０は、搬出入口２７の上方に形成された液滴誘導溝２５０に液垂れし、該溝２５０に嵌入する。（図１２中＊１２参照）
ここで、上述したように、液滴誘導溝２５０は、該液滴誘導溝２５０の水平方向の各端部２５０ｅ１，２５０ｅ２の上縁２５０ｊが、頂点２５０ｃの上縁２５０ｊよりも底面２２から低く位置していることにより（ｈ８＜ｈ９）、角端部２５０ｅ１，２５０ｅ２側に誘導された後、端部２５０ｅ１，２５０ｅ２から底面２２に落下する（図１２中＊１４参照）。
【０１３７】
このように、じゃま板１００の代わりに、室内壁面２１に、液滴誘導溝２５０を形成しても、上述した第１実施と同様に、室内壁面２１に付着した液滴７０が、搬出入口２７の方向に落下することにより、液晶装置５０の表面５０ｆに付着してしまうことを、搬出入口２７の上方に位置する搬出入口２７の水平方向の幅よりも水平方向に幅広に形成された液滴誘導溝２５０により容易に防止することができる。
【０１３８】
尚、本実施の形態においても、上述した第１実施に示したように、洗浄乾燥中の、即ち図２の（Ａ）に位置するカップ材１５の上端１５ｊの底面２２からの高さｈ３が、液滴誘導溝２５０の上縁２５０ｊの底面２２からの高さよりも高いことから、洗浄乾燥中、カップ材１５の上方から飛散した液滴７０が、室内壁面２１における搬出入口２７の上方であって液滴誘導溝２５０の下方の領域２９に付着することがない。即ち、領域２９に付着した液滴７０が、搬出入口２７に液垂れすることがない。
【０１３９】
尚、以下変形例を示す。図１３は、図１２に示す液滴誘導溝の形状の変形例を示す洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図である。
【０１４０】
本実施の形態においては、液滴誘導溝２５０は、略屋根型形状を有していると示したが、これに限らず、頂点２５０ｃの上縁２５０ｊの底面２２からの高さｈ９が、両端部２５０ｅ１，２５０ｅ２の上縁２５０ｊの底面２２からの高さｈ８よりも高く位置し、搬出入口２７の水平方向の開口幅よりも水平方向に幅広に形成されておれば、図１３に示すように、下向きの半円状であっても構わないし、どのような形状であっても構わない。
【０１４１】
尚、以下別の変形例を示す。図１４は、図１２に示す液滴誘導溝の形状のさらに別の変形例を示す洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図である。
【０１４２】
図１４に示すように、液滴誘導溝２５０は、搬出入口２７の水平方向の開口幅よりも水平方向に幅広に形成されておれば、直線状に形成され、水平方向の一端２５０ｅ１の上縁２５０ｊの底面２２からの高さｈ８１が、水平方向の他端２５０ｅ２の上縁２５０ｊの底面２２からの高さｈ８２よりも低く位置するよう（ｈ８１＜ｈ８２）、即ち、液滴誘導溝２５０が、水平方向において、他端２５０ｅ２側から一端２５０ｅ１側に下向きに傾斜するよう、室内壁面２１に形成されていても構わない。
【０１４３】
このような液滴誘導溝２５０によれば、室内壁面２１から上面１００ｔに液垂れした（＊１５）液滴７０は、傾斜により確実に一端２５０ｅ１側に誘導されることから（＊１６）、液晶装置５０を搬出入口２７から洗浄乾燥室１外に搬出する際、洗浄乾燥処理中の飛散により室内壁面２１に付着した液滴７０が、搬出入口２７に液垂れし、搬出中の液晶装置５０に落下してしまうことを防止することができる。
【０１４４】
尚、液滴誘導溝２５０は、図１２とは逆に、一端２５０ｅ１よりも底面２２からの高さが低い他端２５０ｅ２側から（ｈ８２＜ｈ８１）一端２５０ｅ１側に下向きに傾斜するよう、室内壁面２１に形成されていても構わない。
【産業上の利用可能性】
【０１４５】
本実施の形態においては、電気光学装置の製造装置は、液晶装置を洗浄乾燥処理する洗浄乾燥室を有する製造装置を例に挙げて説明したが、これに限らず、室内にて液体処理を行う液体処理室を有するものであれば、どのようなものであっても構わない。
【０１４６】
また、被処理物は、電気光学装置、具体的には、表示領域にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等のスイッチング素子及び画素電極が形成された第１の基板と該第１の基板に対向する対向電極が形成された第２の基板との間に、電気光学物質が挟持されて構成された、組立工程終了後の液晶装置を例に挙げて説明した。
【０１４７】
これに限らず、被処理物は、液晶装置の一部、具体的には、ＴＦＴ基板と対向基板とのいずれか一方であっても構わない。さらに、液晶装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上述した液晶装置は、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールを例に挙げて説明したが、これに限らず、ＴＦＤ（薄膜ダイオード）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールであっても構わない。
【０１４８】
また、被処理物は、半導体基板に素子を形成する表示用デバイス、例えばＬＣＯＳ（Liquid Crystal On Silicon）等であっても構わない。ＬＣＯＳでは、素子基板として単結晶シリコン基板を用い、画素や周辺回路に用いるスイッチング素子としてトランジスタを単結晶シリコン基板に形成する。また、画素には、反射型の画素電極を用い、画素電極の下層に画素の各素子を形成する。
【０１４９】
また、被処理物は、片側の基板の同一層に、一対の電極が形成される表示用デバイス、例えばＩＰＳ（In-Plane Switching）や、片側の基板において、絶縁膜を介して一対の電極が形成される表示用デバイスＦＦＳ（Fringe Field Switching）等であっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【０１５０】
【図１】本実施の形態の製造装置の洗浄乾燥室において洗浄乾燥処理される液晶装置の断面図。
【図２】本実施の形態を示す製造装置の洗浄乾燥室の構成の概略を示す透視斜視図。
【図３】図２中のIII-III線に沿う洗浄乾燥室の断面図。
【図４】図２の洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図。
【図５】図３の洗浄乾燥室の底板形状の変形例を示す部分断面図。
【図６】図２のじゃま板の上面に誘導溝を設けた変形例を示すじゃま板の部分拡大斜視図。
【図７】図４に示すじゃま板の形状の変形例を示す洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図。
【図８】図７に示すじゃま板の形状の変形例を示す洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図。
【図９】図３に示すじゃま板の形状の変形例を壁板のみ破断して示す壁板及びじゃま板の拡大断面図。
【図１０】図３に示すじゃま板の形状の別の変形例を示す洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図。
【図１１】図１０に示すじゃま板の断面図。
【図１２】本発明の第２実施の形態を示す製造装置の洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図。
【図１３】図１２に示す液滴誘導溝の形状の変形例を示す洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図。
【図１４】図１２に示す液滴誘導溝の形状のさらに別の変形例を示す洗浄乾燥室の底面から起立した壁部の室内壁面の部分正面図。
【符号の説明】
【０１５１】
１…洗浄乾燥室、１ｉ…室内、１０…洗浄乾燥装置、１１…回転台、１２…液体供給ノズル、１３…洗浄ブラシ、１５…カップ材、１５ｊ…カップ材の上端、２０…壁板、２１…室内壁面、２２…底面、２７…搬出入口、５０…液晶装置、７０…液滴、９０…誘導溝、１００…じゃま板、１００ｃ…じゃま板の頂点、１００ｅ１…じゃま板の一端、１００ｅ２…じゃま板の他端、１００ｆ…土手状突起、１００ｋ…じゃま板の基部、１００ｓ…じゃま板の先端部、１００ｓｍ…じゃま板の先端部の先端面、１００ｔ…じゃま板の上面、１０９ａ…画素電極、１０９ｂ…スイッチング素子、１１０…ＴＦＴ基板、１１０ａ…ＴＦＴ基板の表示領域、１２０…対向基板、１２１…対向電極、１５０…液晶、２００…製造装置、２５０…液滴誘導溝、２５０ｃ…液滴誘導溝の頂点、２５０ｅ１…液滴誘導溝の一端、２５０ｅ２…液滴誘導溝の他端、２５０ｊ…液滴誘導溝の上縁、２６０…溝。
【図１】
2007079370.tif 000003
【図２】
2007079370.tif 000004
【図３】
2007079370.tif 000005
【図４】
2007079370.tif 000006
【図５】
2007079370.tif 000007
【図６】
2007079370.tif 000008
【図７】
2007079370.tif 000009
【図８】
2007079370.tif 000010
【図９】
2007079370.tif 000011
【図１０】
2007079370.tif 000012
【図１１】
2007079370.tif 000013
【図１２】
2007079370.tif 000014
【図１３】
2007079370.tif 000015
【図１４】
2007079370.tif 000016