(57)【要約】【課題】  マスク上にウェハを固定し、ウェハの位置ズレを防ぐ。【解決手段】  上下一対のマスクで挟まれたウェハに対して該マスクの両主面側から露光させる光源を有する露光装置であって、中央部分が開口した開口部を有するテーブル部と、開口部内に嵌合する第一の透明部材と、第一の透明部材上に載置される下マスクとこの下マスクを囲う緩衝部材と、下マスク上に固定されるウェハの上に載置される上マスクと、上マスク上に載置される第二の透明部材と、第一の透明部材と下マスクとにウェハの表面から外部まで連通する第一貫通孔と、第一の透明部材、緩衝部材、下マスク、上マスク、ウェハ、で囲まれた吸引空間部と外部とを連通するように第一の透明部材に設けられる第二貫通孔と、第一貫通孔と第二貫通孔とに接続される吸引手段とから構成される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下一対のマスクで挟まれたウェハに対して該マスクの両主面側から露光させる光源を有する露光装置であって、
中央部分が開口した開口部を有するテーブル部と、
その開口部内に嵌合する第一の透明部材と、
前記第一の透明部材上に載置される下マスクとこの下マスクを囲う緩衝部材と、
前記下マスク上に固定されるウェハの上に載置される上マスクと、
この上マスク上に載置される第二の透明部材と、
前記第一の透明部材と前記下マスクとに前記ウェハの表面から外部まで連通する第一貫通孔と、
前記第一の透明部材、前記緩衝部材、前記下マスク、前記上マスク、前記ウェハで囲まれた吸引空間部と外部とを連通するように第一の透明部材に設けられる第二貫通孔と、
前記第一貫通孔と前記第二貫通孔とに接続される吸引手段とから構成されることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記吸引手段が、前記第一貫通孔と接続される第一貫通孔吸引手段と、前記第二貫通孔に接続される第二貫通孔吸引手段とから構成されることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハを露光させる露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来よりフォトリソグラフィ技術によるウェハ表面へのパターン（例えば、微細な回路パターン）形成は、各種電子製品の製造に欠かせないものとなっている。
このフォトリソグラフィ技術は、以下の手順により行われる。まず、レジストが表面に塗布されたウェハに所定のパターンが施されてそのパターン部分が透明となっているマスクを重ねた状態で露光装置に固定し、光源より当該マスクに向けて光照射する。そして、マスクの透明となる部分を透過してウェハ上のレジストが感光する。その後、ウェハを取り出して現像液に浸して現像し、パターン部分に対応してレジストのパターンを得る。次にエッチングを行ってレジストがない部分を除去する。その後、アッシング等によってレジストを除去する。これにより、マスクのパターン部分に対応した凹凸形状を得ることができる。
【０００３】
このように、フォトリソグラフィ技術には露光装置を用いた露光工程がある。この露光装置の光源は、レジストの感光波長を含む光を照射することができる。
また、ウェハの両主面を露光させる露光装置による露光は、マスクを露光装置のステージに固定し、そのマスクの上にウェハを載置し、さらにウェハの上にマスクを載置し、該マスクを固定することで行われる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−１５５４３０号公報（段落０００２〜０００４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ウェハが帯状ではなく矩形形状や略円形形状となる場合、ウェハを固定する機構がないため、固定した上下のマスクの間をウェハが微小に移動してしまい、正確な露光がしにくいという問題があった。
これは、ウェハの表面もマスクの表面が滑らかなために、ステージの上下やマスクの移動による振動、外部（ポンプ）からの振動等でマスクの表面をウェハが滑ってしまうことにある。
【０００５】
そこで、本発明では、前記した問題を解決し、マスク上にウェハを固定し、ウェハの位置ズレを防ぐ露光装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明は、上下一対のマスクで挟まれたウェハに対して該マスクの両主面側から露光させる光源を有する露光装置であって、中央部分が開口した開口部を有するテーブル部と、その開口部内に嵌合する第一の透明部材と、前記第一の透明部材上に載置される下マスクとこの下マスクを囲う緩衝部材と、前記下マスク上に固定されるウェハの上に載置される上マスクと、この上マスク上に載置される第二の透明部材と、前記第一の透明部材と前記下マスクとに前記ウェハの表面から外部まで連通する第一貫通孔と、前記第一の透明部材、前記緩衝部材、前記下マスク、前記上マスク、前記ウェハで囲まれた吸引空間部と外部とを連通するように第一の透明部材に設けられる第二貫通孔と、前記第一貫通孔と前記第二貫通孔とに接続される吸引手段とから構成されることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明は、前記吸引手段が、前記第一貫通孔と接続される第一貫通孔吸引手段と、前記第二貫通孔に接続される第二貫通孔吸引手段とから構成されても良い。
【発明の効果】
【０００８】
このような露光装置によれば、マスクと第一の透明部材とを連通する第一貫通孔が設けられているので、吸引手段によりウェハを下マスクに固定することができ、また、吸引空間部に連通するように第一の透明部材に第二貫通孔が設けられているので、吸引手段により上マスク、下マスクを固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に、本発明を実施するための最良の形態（以下、「実施形態」という。）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る露光装置の一例を示す断面図である。図２は、テーブル部にマスクとウェハとを載置した状態を示す平面図である。なお、ウェハは、円板状に形成されている場合について説明する。
【００１０】
図１に示すように、本発明の実施形態に係る露光装置１０は、中央部分が開口した開口部１Ａを有するテーブル部１と、その開口部１Ａ内に嵌合する第一の透明部材２Ａと、第一の透明部材２上に載置される下マスク３Ａとこの下マスク３Ａを囲う緩衝部材４と、下マスク３Ａ上に固定されるウェハＷの上に載置される上マスク３Ｂと、この上マスク３Ｂ上に載置される第二の透明部材２Ｂと、第一の透明部材２Ａと下マスク３ＡとにウェハＷの表面から外部まで連通する第一貫通孔５Ａと、第一の透明部材２Ａ、緩衝部材４、下マスク３Ａ、上マスク３Ｂ、ウェハＷで囲まれた吸引空間部Ｂと外部とを連通するように第一の透明部材２Ａに設けられる第二貫通孔５Ｂと、第一貫通孔５Ａと第二貫通孔５Ｂとに接続される吸引手段６と、光源８とから主に構成されている。
【００１１】
図１に示すように、テーブル部１は、このテーブル部２の平行状態を調節する平行調節部（図示せず）に固定され、その上面が、平坦に形成され、さらに、その平面内の中央の部分が平面視矩形状（図２参照）で前記上面と直交する側面となるように開口部１Ａが設けられている。
【００１２】
第一の透明部材２Ａは、例えばガラスからなり、開口部１Ａ内に嵌合するように平面視矩形形状で形成されている。この第一の透明部材２Ａの上であって表面の内側には下マスク３Ａが載置されるようになっている。この第一の透明部材２Ａは、後述する光源８からの光を透過するようになっている。そのため、光源８からの光が下マスク３Ａ及びウェハＷまで届かせることができる。また、この下マスク３Ａは、例えば、ガラス板からなり、ウェハＷに所定のパターンを形成するためのそのパターン（図示せず）が施されている。
【００１３】
なお、この下マスク３Ａの上にウェハＷを載置することとなる。
また、上マスク３Ｂは、例えば、ガラス板からなり、ウェハＷに所定のパターンを形成するためのそのパターン（図示せず）が施されており、ウェハＷの上に載置されることとなる。なお、上ウェハ３Ｂは、後述する環状の緩衝部材４よりも平面視で広くなるように形成されている。
【００１４】
第一の透明部材２Ａと下マスク３Ａとには、ウェハＷが接する下マスク３Ａの表面側から第一の透明部材２Ａの下マスク３Ａが接している面とは反対側の面まで連通している第一貫通孔５Ａが設けられている。この第一貫通孔５Ａは、下マスク３Ａ及び第一の透明部材２Ａの平面おける中心線に対して対称に少なくとも２箇所設けられている。
また、第一の透明部材２Ａには、吸引空間部Ｂと連通する第二貫通孔５Ｂが形成されている。この吸引空間部Ｂとは、後述するが、第一の透明部材２Ａ、下マスク３Ａ、ウェハＷ、上マスク３Ｂ、緩衝部材４で囲まれて気密状態が保たれた空間をいう。
なお、第一貫通孔５Ａは、第一の透明部材２Ａと下マスク３Ａとを穿孔する加工により設けられる。第一の透明部材２Ａと下マスク３Ａとの穿孔はそれぞれ個別に行っても良い。同様に、第二貫通孔５Ｂは、第一の透明部材２Ａを穿孔する加工により設けられる。
【００１５】
この第二貫通孔は、吸引空間部Ｂと連通する位置であって、第一の透明部材２Ａの平面おける中心線に対して点対称となるように第一の透明部材２Ａに少なくとも２箇所設けられている（本実施形態では４箇所）。
【００１６】
緩衝部材４は、第一の透明部材２Ａ上に配置され、下マスク３Ａとこの下マスク３Ａを囲うように環状に形成されている。また、高さが下マスク３Ａ、ウェハＷ、上マスク３Ｂを重ねた高さよりもやや高い程度に形成されている。
【００１７】
したがって、第一の透明部材２Ａの上に載置される下マスク３Ａ、ウェハＷ、上マスク３Ｂに、さらに後述する第二の透明部材２Ｂを乗せたとき、上マスク３Ｂが緩衝部材４を押し込みつつ上ウェハを押さえるので、第一の透明部材２Ａ、下マスク３Ａ、ウェハＷ、上マスク３Ｂ、緩衝部材４で囲まれた空間が気密状態を保つ吸引空間部Ｂとなる。
【００１８】
したがって、第一貫通孔５Ａに後述する吸引手段６（第一貫通孔吸引手段６Ａ）を接続することにより下マスク３Ａ上のウェハＷを固定することができる。
第二の透明部材２Ｂの第二貫通孔５Ｂに後述する吸引手段６（第二貫通孔吸引手段６Ｂ）を接続することにより上マスク３Ｂを吸引して固定することができる。
【００１９】
第二の透明部材２Ｂは、例えば、ガラスからなり、前記のごとく上マスク３Ｂの上に載置され、上マスク３Ｂよりも広い平面となるように平面視矩形形状で形成されている。この第二の透明部材２Ｂは、後述する光源８からの光を透過するようになっている。そのため、光源８からの光が上マスク３Ｂ及びウェハＷまで届かせることができる。
【００２０】
吸引手段６は、第一貫通孔５Ａと接続される第一貫通孔吸引手段６Ａと、第二貫通孔５Ｂに接続される第二貫通孔吸引手段６Ｂとから構成されており、第一貫通孔吸引手段６Ａが第一貫通孔５Ａと接続されていることでウェハＷのみを吸引して下マスク３Ａ上に固定することができ、第二貫通孔吸引手段６Ｂが第二貫通孔５Ｂと接続されていることで第二の透明部材２Ｂを吸引し、下マスク３Ａ、ウェハＷ、上マスク３Ｂを固定することができる。
【００２１】
なお、吸引手段６は、第一貫通孔５Ａとの間と、第二貫通孔５Ａとの間とにそれぞれ開閉バルブ（図示せず）を設けても良い。これによってもウェハＷを吸引してこのウェハＷを下ウェハ３Ａの上に固定することができ、また、第二の透明部材２Ｂを吸引して下マスク３Ａ、ウェハＷ、上マスク３Ｂを固定することができる。
【００２２】
光源８は、従来周知の光源が用いられ、ウェハＷの表面に設けたレジストの感光波長を含む光を照射することができる。
また、この光源８は、図１に示すように、テーブル部１に対して、下側と上側に所定の間隔をあけて２つ一対で設けられている。これにより、ウェハＷの上面と下面とを同時に露光させることができる。
【００２３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態には限定されない。例えば、ウェハＷの形状は矩形形状であっても良い。また、吸引空間部Ｂの平面視における形状は、矩形環状の他に円形環状となるように、テーブル部１の開口部１Ａ、第一の透明部材２Ａ、第二の透明部材２Ｂの平面視の形状を円形にしても良い。
【００２４】
また、本発明の実施形態に係る露光装置にマスクを固定する前の位置あわせ（以下、「アライメント」という。）機構を取り付けても良い。このアライメント機構は、自動と手動（マニュアル）とに分けられる。自動アライメント機構の場合は、カメラが上マスク３Ｂのマーク位置を検出し、位置情報を覚え、その軸上に下マスク３Ａに吸着された基板を移動させて、あらかじめ保存した上マスク３Ｂのマーク画像と下マスク３Ａのマークでアライメントを行なう。また、マニュアルアライメント機構の場合は、まず上マスク３Ｂ、下マスク３Ｃをギャップをあけた状態で重ね、上マスク３Ｂ側より顕微鏡を用いて位置を合わせる。その後、上マスク３Ｂを移動させて下マスク３Ａ上に基板をセットする。上マスク３Ｂを元の位置に戻し、アライメントを完了させる。
これにより、上マスク３Ｂと下マスク３Ａとを正確な位置に載置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係る露光装置の一例を示す断面図である。
【図２】テーブル部にマスクとウェハとを載置した状態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１０    露光装置
１      テーブル部
１Ａ    開口部
２Ａ    第一の透明部材
２Ｂ    第二の透明部材
３Ａ    下マスク
３Ｂ    上マスク
４      緩衝部材
５Ａ    第一貫通孔
５Ｂ    第二貫通孔
６      吸引手段
６Ａ    第一貫通孔吸引手段
６Ｂ    第二貫通孔吸引手段
８      光源
【図１】
2007234742.tif 000003
【図２】
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