(57)【要約】【課題】  親水撥水パターン処理によるヨレ補償では、親水撥水パターン処理という新たな工程と新たな材料を必要とするため、コストが増大する。また、液滴吐出手段は従来方式のインクジェットであるため、大きなヨレが発生すると補償しきれない恐れがある。【解決手段】  基板上に形成された回路パターンを静電誘引方式インクジェットの電極として利用した、液滴正確着弾方法と電子表示デバイス製造方法。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体パターン材料を液滴として飛翔させ、少なくとも前記液滴の着弾予定部位に第１の電極と前記第１の電極の近傍に第２の電極が設けられた基板に前記液滴を着弾させてパターンを形成するパターン形成方法であって、前記液滴が少なくとも飛翔中に帯電しており、かつ、前記基板上の着弾予定部位に設けられた前期第１の電極には前記液滴の帯電とは逆電位が印加され、前記第１の電極近傍に配置された前記第2の電極には前記第１の電極とは逆電位が印加されていることを特徴とするパターン形成方法。
【請求項２】
絶縁性液体に複数の帯電泳動粒子を分散させた電気泳動分散液を隔壁にて形成された凹部に保持して電気泳動表示装置を製造する、電気泳動表示装置の製造方法において、
前記電気泳動分散液を帯電させて飛翔させ、前記電気泳動分散液が凹部底辺に着滴するまでの間、前記凹部の底辺に設けた第1の電極に前記電気泳動分散液の帯電電位とは逆電位を印加し、前記隔壁部に設けた第2の電極には前記第1の電極とは逆電位が印加されることを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯電して飛翔する液滴に電界を印加して基板上へ着弾させる、パターン形成方法に関する。特に、電気泳動素子の電気泳動分散液のセルへの分注等、基板上に回路を設けた電子表示デバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種表示デバイスや回路を形成する手段としてインクジェット技術が注目されている。従来のインクジェットとしては、コンティニュアス方式のインクジェット（例えば特許文献1参照）や、適時にインクを吐出させる静電吸引方式（例えば特許文献2、特許文献3参照）や、ピエゾ変換方式や熱変換方式（例えば特許文献4参照）等も挙げられる。
【０００３】
しかしこれら実用化されているインクジェット方式では微小液滴の吐出、液滴の正確着弾、インク選択自由度が低いなど、様々な問題がある。特に液滴の着弾精度向上に関しては、産業用途の分野では、デバイス特性に関わるなど、深刻な課題となっている。そのため、例えばセルの周りに撥水性のバンクを設けたり（例えば特許文献5参照）、基板表面に親水撥水パターン処理をすること（例えば非特許文献1参照）で、ヨレを補償するような提案がなされている。
【０００４】
一方、新たな方式のインクジェットとして、超微細流体ジェット装置が提案されている。この技術は、微細液滴化と着弾精度の向上技術として提案されている。（例えば特許文献6参照）
【特許文献１】特公昭４１−１６９７３号公報
【特許文献２】特公昭３６−１３７６８号公報
【特許文献３】特開２００１−８８３０６号公報
【特許文献４】特公昭６１−５９９１１号公報
【特許文献５】特開２００４−００４９４５号公報
【特許文献６】特開２００４−１６５５８７号公報
【非特許文献１】Extended Abstracts of the 2003 International Conference on Solid State Devices and Materials, Tokyo, 2003, pp.222-223
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、親水撥水パターン処理によるヨレ補償では、親水撥水パターン処理という新たな工程と新たな材料を必要とするため、コストが増大する。また、液滴吐出手段は従来方式のインクジェットであるため、大きなヨレが発生すると補償しきれない恐れがある。（図３）加えて、液滴が着弾後に基板上を移動する間に、液滴の一部が乾き、本来望まない部位に膜として残ってしまうことが考えられる。
【０００６】
もう一方の超微細流体ジェット装置においても、産業用途に応用する場合、スループットが遅く、また、現状求められている液滴サイズに対しflオーダーの液滴サイズと、小さくなりすぎる。また、ノズル、基板間距離は従来のインクジェット方式より狭いものの、吐出後の液滴の着弾は制御されていないので、最終的にはヨレが発生する恐れがある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記問題点を鑑みて為されたものである。
【０００８】
本出願に係る請求項1の発明は、液体パターン材料を液滴として飛翔させ、基板に着弾させてパターンを形成するパターン形成方法であって、前記液滴が帯電しており、かつ、前記基板上の着弾位置に存在する第１の電極には前記液滴の帯電とは逆電位が印加され、前記第１の電極近傍に配置された第2の電極には前記第１の電極とは逆電位が印加されていることを特徴とする。
【０００９】
本出願に係る請求項2の発明は、絶縁性液体に複数の帯電泳動粒子を分散させた電気泳動分散液を隔壁にて形成された凹部に保持して電気泳動表示装置を製造する電気泳動表示装置の製造方法において、前記電気泳動分散液を帯電させて飛翔させ、前記電気泳動分散液が凹部底辺に着滴するまでの間、前記凹部の底辺に設けた第1の電極に前記電気泳動分散液の帯電電位とは逆電位を印加し、前記隔壁部に設けた第2の電極には前記第1の電極とは逆電位が印加されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明により、デバイス駆動のための回路として基板上に設けられる回路パターンの一部をそのまま利用して、薄膜材料を正確に着弾させることが可能となる。また、このときに利用した回路パターンの一部はデバイス駆動回路として利用することも可能である。本発明の手法により電子表示デバイスを製造することにより、素子ばらつきが少ない電子表示デバイスを提供することができる。電気泳動表示装置の製造方法においては、電気泳動表示装置の基板上に設けられた、実際の表示装置作動時に使用される回路パターンを利用して、電気泳動素子の各画素セル内に均一に電気泳動分散液を分注することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
本発明が適用されて製造される電気泳動表示装置は図２に示すような水平型電気泳動方式の表示素子100があげられる。
【００１３】
図１に示すような液体吐出装置200を用いて電気泳動分散液を各素子ごとに分注する。ガラス基板108上に白色散乱層101、TFT102、画素電極103、隔壁電極104、隔壁105を設けたガラス基板108を基板移動機構203上に設置する。
【００１４】
本図中では模式的に一画素について記載されているが、前記基板108上には非常に多数の画素が形成されている。
【００１５】
以下、各図は一画素を模式的に表す図である。
【００１６】
液滴材料供給手段206に電気泳動分散液を注入し、液滴発生手段202に電気泳動分散液を供給する。表示素子100上の画素電極103への電圧印加部204(b)と、液滴発生手段202への電圧印加部204(a)間に電圧を印加する。このとき、隔壁電極104への電圧印加部204(c)へは液滴発生手段202への電圧印加部204(a)へ印加した電圧と同極となるよう電圧を印加する。ただし、このとき隔壁電極104への電圧印加部204(c)への電圧は、表示素子100上の画素電極103への電圧印加部204(b)と、液滴発生手段202への電圧印加部204(a)間に印加する電圧より小さいものとする。
【００１７】
本実施形態の構成により、着弾予定位置に存在する電極の周囲に逆電場が発生し、確実に着弾予定位置に存在する電極上に帯電した液滴が引き寄せられる。この作用により表示素子の各素子ごとに正確に隔壁内に電気泳動分散液を分注することができる。また、電気泳動分散液内の黒色粒子が帯電して吐出されるため、通常のインクジェット法により分注したときと比較して、黒色粒子数の分注ばらつきを抑制することができる。
【００１８】
（変形例）
本実施形態においては、図2に示すような電極配置としたが、これ以外に電気泳動表示装置用の電極配置としては図４に示すような一連の構造が考えられる。また、電気泳動表示装置以外の電子表示デバイスとして、図5に示すような電極配置も考えられる。
【００１９】
本実施例においては、電気泳動表示素子について記載したが、本実施例に限らず、着弾予定部位と該着弾予定部位近傍に電極を有する構造のデバイスであれば、好適に実施できることは言うまでもない。
【００２０】
[産業上の利用可能性]
電気泳動表示装置に限らず、各種ディスプレイ等の表示装置や、有機トランジスタ等の各種デバイス形成に応用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明を実施するための装置の一例
【図２】水平型電気泳動方式の表示素子の一例
【図３】従来のインクジェット法により作成した液滴の着弾ヨレ
【図４】水平型電気泳動方式の表示素子の電極配置変形例
【図５】電子表示デバイスの電極配置変形例
【符号の説明】
【００２２】
100  電気泳動素子
101  白色散乱層
102  TFT
103  画素電極
104  隔壁電極
105  隔壁
106  透明電極
107  黒色粒子
108  ガラス基板
200  薄膜形成装置
201  液滴材料供給路
202  液滴発生手段
203  基板移動機構
204  電圧印加部
205  電圧印加制御機構
206  液滴材料供給手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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