(57)【要約】【課題】筐体側コネクタとラック側コネクタとを円滑に正しく接続させることができる筐体を提供する。【解決手段】ラック５０に収容される筐体において、底板１の一部を直角に折り曲げることによって、ラック側コネクタ８と嵌合可能なコネクタ３Ｂが取り付けられるリアパネル３を形成した。【選択図】図３
2007234631.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラックに収容される筐体において、
底板と、
この底板に対して垂直に連なるフロントパネルと、
このフロントパネルに対向し、前記ラックに設けられたラック側コネクタと嵌合可能なコネクタを有するリアパネルとを備え、
前記リアパネルは、前記底板の一部を折り曲げることによって形成されていることを特徴とする筐体。
【請求項２】
前記底板にエンボス加工によって凸部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の筐体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は筐体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体露光装置のウエハステージ及びレチクルステージの駆動手段として複数のモータが使用されており、各モータの駆動には電子機器ユニットや電気基板を組み込んだ筐体ユニットが必要である。筐体ユニットはその筐体ユニットの形状に合致した複数の収納室を有するラックに収納される。（特開平６−６９６７５号公報参照）。
【０００３】
一般に、筐体は底板とフロントパネルとリアパネルとカバーとを備える。底板の四辺部分を上方へ直角に折り曲げて折曲部を形成し、その折曲部にフロントパネル及びリアパネルを取り付ける。また、リアパネルにコネクタを設け、筐体をラックに収納した際にリアパネル上のコネクタをラックに設けられたラック側コネクタに嵌合する。
【特許文献１】特開平６−６９６７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、底板の四辺部分を精度良く直角に折り曲げて折曲部を形成することは難しいため、リアパネルを底板に対して直角に取り付けることは困難だった。その結果、筐体の収納方向とコネクタの挿抜方向とを高精度に一致させて、両コネクタを円滑に正しく接続させるのは難しかった。
【０００５】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は筐体側コネクタとラック側コネクタとを円滑に正しく接続させることができる筐体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、ラックに収容される筐体において、底板と、この底板に対して垂直に連なるフロントパネルと、このフロントパネルに対向し、前記ラックに設けられたラック側コネクタと嵌合可能なコネクタを有するリアパネルとを備え、前記リアパネルは、前記底板の一部を折り曲げることによって形成されていることを特徴とする。
【０００７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の筐体において、前記底板にエンボス加工によって凸部が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、筐体側コネクタとラック側コネクタとを円滑に正しく接続させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図４はこの発明の一実施形態に係る筐体ユニットとラックとの関係を説明するための図である。
【００１１】
ラック５０は直方体状の筐体ユニットＢＵを収納可能な収納室５１を有する。収納室５１の開口部５２はラック５０の正面側に位置し、外部に臨む。筐体ユニットＢＵはフロントパネル２に設けられたハンドル２Ａを使用して収納室５１に挿入される。
【００１２】
収納室５１の背面側内壁５３にはラック側コネクタ８が設けられている。このラック側コネクタ８は図示しないホストコンピュータ、リニアモータ、外部電源等に接続されている。筐体内に配置される電子機器ユニット６及び電気基板７（図２、３参照）はラック側コネクタ８を介してホストコンピュータ、リニアモータ等に接続される。
【００１３】
次に、図１〜３を用いて筐体及び筐体ユニットを説明する。
【００１４】
図１はこの発明の一実施形態に係る筐体のカバーを外した状態を示す斜視図、図２はカバーを外した状態の筐体ユニットの平面図、図３は図２のIII−III線に沿う断面を示す概念図である。なお、図１〜３ではハンドル２Ａの図示は省略されている。
【００１５】
この筐体は底板１とフロントパネル２とリアパネル３と中間パネル４とカバー５とを備えている。底板１、フロントパネル２、リアパネル３、中間パネル４及びカバー５は、それぞれ例えばステンレス鋼、鉄鋼、アルミニウム、マグネシウム合金等の薄板を曲げ加工して形成される。
【００１６】
底板１とリアパネル３とは１枚の板材を直角に折り曲げて形成したものである。そのため、底板１の板厚とリアパネル３の板厚とは等しい。底板１の三辺には折曲部１ａ，１ｂ，１ｃ（図２参照）がそれぞれ形成されている。折曲部１ａ，１ｂ，１ｃは底板１の三辺部分を上方へ直角に折り曲げて形成したものである。
【００１７】
また、底板１にはエンボス加工によって凸部１ｄが形成されている。図示しないが、凸部１ｄの先端には取付穴（図示せず）が形成されている。
【００１８】
折曲部１ｂには２つの取付穴１ｂ−１が形成されている。なお、図１では折曲部１ｂの２つの取付穴１ｂ−１のうち片方は見えない。
【００１９】
リアパネル３の三辺には折曲部３ａ，３ｂ，３ｃがそれぞれ形成されている。
【００２０】
折曲部３ａ，３ｂ，３ｃはリアパネル３に対して直角に折り曲げられている。折曲部３ａ，３ｂ，３ｃはフロントパネル２へ近づく方向へ折り曲げられている。
【００２１】
折曲部３ａにはカバー５をリアパネル３に取り付けるナベねじ５ｄを通すための取付穴３ａ−１が形成されている。なお、折曲部３ｃにもカバー５をリアパネル３に取り付けるナベねじ５ｄを通すための取付穴（図示せず）が形成されている。
【００２２】
また、リアパネル３にはラック側コネクタ８（図３参照）と嵌合可能な筐体側コネクタ（コネクタ）３Ｂが取り付けられている。
【００２３】
更に、リアパネル３には中間パネル４を取り付けるナベねじ４ｄを通すための取付穴（図示せず）が形成されている。
【００２４】
底板１に対して直角に取り付けられるフロントパネル２の三辺には折曲部２ａ，２ｂ，２ｃがそれぞれ形成されている。
【００２５】
折曲部２ａ，２ｂ，２ｃはフロントパネル２に対して直角に折り曲げられている。
【００２６】
折曲部２ａ，２ｂ，２ｃはリアパネル３に近づく方向へ折り曲げられている。
【００２７】
折曲部２ａにはカバー５をフロントパネル２に取り付けるナベねじ５ｄを通すための取付穴２ａ−１が形成されている。また、折曲部２ｃにはカバー５をフロントパネル２に取り付けるナベねじ５ｄを通すための取付穴２ｃ−１が形成されている。
【００２８】
フロントパネル２には取付穴１ｂ−１と対向する位置に取付穴（図示せず）が形成されている。
【００２９】
また、フロントパネル２には中間パネル４を取り付けるナベねじ４ｄを通すための取付穴（図示せず）が形成されている。
【００３０】
中間パネル４は矩形状の板材であり、中間パネル４は底板１に直角に取り付けられている。
【００３１】
中間パネル４の三辺には折曲部４ａ，４ｂ，４ｃがそれぞれ形成されている。折曲部４ａ，４ｂ，４ｃは中間パネル４の三辺部分を同一方向へ直角に折り曲げて形成されている。
【００３２】
折曲部４ａには中間パネル４を底板１に取り付けるための２つの取付穴４ａ−１が形成されている。なお、取付穴４ａ−１は底板１に形成された凸部１ｄの先端の取付穴（図示せず）と対向する。
【００３３】
折曲部４ｂには中間パネル４をフロントパネル２に取り付けるための２つの取付穴４ｂ−１が形成されている。取付穴４ｂ−１はフロントパネル２の取付穴（図示せず）と対向する。
【００３４】
折曲部４ｃには中間パネル４をリアパネル３に取り付けるための２つの取付穴（図示せず）が形成されている。この取付穴はリアパネル３の取付穴（図示せず）と対向する。
【００３５】
カバー５は２つの側板５ａ，５ｂと天板５ｃとで構成されている。側板５ａ，５ｂは互いに平行であり、天板５ｃに対してそれぞれ直角に折り曲げられている。側板５ａ，５ｂにはカバー５をフロントパネル２及びリアパネル３に取り付けるナベねじ５ｄを通すための取付穴５ａ−１，５ｂ−１がそれぞれ形成されている。
【００３６】
筐体ユニットＢＵは図示しない半導体露光装置のウエハステージ及びレチクルステージを駆動するための電子機器ユニット６及び電気基板７と、電子機器ユニット６及び電気基板７を収納する直方体状の筐体とから構成される。電子機器ユニット６は図示しないリニアモータ制御回路等の電子機器を内蔵し、底板１の凸部１ｄにねじ（図示せず）で固定されている。また、電気基板７は中間パネル４の一方の面にナベねじ７ａで固定されている。
【００３７】
次に、筐体ユニットは例えば以下の工程を経て組み立てられる。
【００３８】
まず、ナベねじ４ｅを底板１の底面側から凸部１ｄの取付穴及び取付穴４ａ−１に挿入して底板１に中間パネル４を取り付けるとともに、ナベねじ４ｄをリアパネル３の背面側からリアパネル３の取付穴及び中間パネル４の取付穴に挿入してリアパネル３に中間パネル４を取り付ける。ナベねじ４ｅの位置は底板１の下面より上方となるので、筐体ユニットＢＵをラック５０の収納室５１に収容したときにナベねじ４ｅの頭部によってラック５０（図４参照）の載置面５０ａに接触せず、ラック５０の載置面５０ａが傷付き難くなる。
【００３９】
次に、中間パネル４にナベねじ７ａで電気基板７を取り付けるとともに、底板１上に電子機器ユニット６を取り付ける。
【００４０】
その後、ナベねじ２ｄをフロントパネル２の取付穴及び取付穴１ｂ−１に挿入してフロントパネル２を底板１に取り付ける。
【００４１】
次に、ナベねじ４ｄをフロントパネル２の取付穴及び取付穴４ｂ−１に挿入してフロントパネル２に中間パネル４の折曲部４ｂを取り付ける。
【００４２】
その後、電子機器ユニット６及び電気基板７と筐体側コネクタ３Ｂとの配線を行う。
【００４３】
最後に、ナベねじ５ｄを取付穴５ａ−１及び取付穴２ａ−１に挿入してカバー５をフロントパネル２に取り付けるとともに、ナベねじ５ｄを取付穴５ｂ−１及び取付穴３ａ−１に挿入してカバー５をリアパネル３に取り付ける。
【００４４】
以上の工程を経て、筐体ユニットＢＵの組立が完了する。
【００４５】
この実施形態によれば、底板１にリアパネルを取り付けるための折曲部を形成する代わりに、底板１の一部を折り曲げてリアパネル３を形成し、折り曲げ時にリアパネル３を構成する板材の長さ分、長い折りしろが得られるため、リアパネル３の底板１に対する直角度を得やすい。その結果、筐体ユニットＢＵをラック５０へ収納したとき、筐体側のコネクタ３Ｂとラック側コネクタ８とを円滑に正しく接続させることができる。
【００４６】
また、底板１にリアパネル３を取り付ける製造工程が省略されるので、筐体の製造時間が短縮され、製造コストの低減を図ることができる。
【００４７】
更に、中間パネル４の底板１への取付けにナベねじ４ｅを用いたので、さらねじを用いるときのように取付穴間の寸法を精密に管理する必要がなく、しかもねじの共通化が可能となる。
【００４８】
また、底板１の板厚を従来より薄くしてリアパネル３の板厚と同じ厚さにできるので、筐体の軽量化を図ることができる。
【００４９】
更に、前述の実施形態では、エンボス加工によって形成される凸部として、上方へ突出する凸部１ｄを底板１に形成し、ナベねじ４ｅを挿入する取付穴を凸部１ｄに形成したが、更に下方へ突出する位置決め用凸部（図示せず）を底板１に形成してもよい。このようにすれば、位置決め用凸部をラック５０の載置面５０ａに形成された位置決め用凹部に係合させて、筐体ユニットの位置決めを行うことができる。
【００５０】
また、凸部１ｄに代えて、下方へ突出する凸部（図示せず）を底板１に形成し、ナベねじ４ｅを挿入する取付穴（図示せず）をその凸部以外の部分に形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】図１はこの発明の一実施形態に係る筐体のカバーを外した状態を示す斜視図である。
【図２】図２はカバーを外した状態の筐体ユニットの平面図である。
【図３】図３は図２のIII−III線に沿う断面を示す概念図である。
【図４】図４はこの発明の一実施形態に係る筐体ユニットとラックとの関係を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５２】
１：底板、１ｄ：凸部、２：フロントパネル、３：リアパネル、３Ｂ：筐体側コネクタ（コネクタ）、８：ラック側コネクタ、５０：ラック。
【図１】
2007234631.tif 000003
【図２】
2007234631.tif 000004
【図３】
2007234631.tif 000005
【図４】
2007234631.tif 000006