(57)【要約】【課題】被測定信号の信号品質劣化がほとんどない、データサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法を提供する。【解決手段】基準クロックをサンプリング制御部３０から光検出ボード２３に送出し、光検出ボード２３はそれをループバッククロックとして送り返し、サンプリング制御部３０は、両クロックの位相差にもとづいて位相が制御されたサンプリングクロックとデータ格納メモリ４０制御用クロックとを生成するとともに、サンプリングクロックを光検出ボード２３に送出し、光検出ボード２３部はそれによりデータサンプリングを行うとともに、サンプリングデータをサンプリング制御部３０に送出し、サンプリング制御部３０のメモリコントローラ３９は、受信したサンプリングデータを、データ格納メモリ４０制御用クロックを基準としたタイミングにより、データ格納メモリ４０へ格納する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数Ｎ（Ｎは２以上の整数）のデータサンプリング部と、
前記複数Ｎのデータサンプリング部にてサンプリングされたデータに対応して、当該データを格納するデータ格納メモリおよびメモリコントローラを有する複数Ｎのサンプリング制御部と、
前記複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部に位相の制御されたクロック信号を供給する際の基準となる基準クロックを生成する基準クロック発振器とを有し、
前記複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部がケーブルで接続されて構成されるＮ個のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法において、
前記基準クロックを前記複数Ｎのサンプリング制御部からケーブルを介して前記複数Ｎのデータサンプリング部に送出し、
前記複数Ｎのデータサンプリング部は受信した前記基準クロックをケーブルを介して前記複数Ｎのサンプリング制御部にループバッククロックとして送り返し、
前記サンプリング制御部は、前記基準クロックと受信した前記ループバッククロックの位相差にもとづいて位相が制御されたサンプリングクロックとデータ格納メモリクロックとを生成するとともに、
前記サンプリングクロックを、ケーブルを介して前記データサンプリング部に送出し、
前記データサンプリング部は受信した前記サンプリングクロックを用いてデータのサンプリングを行って、当該サンプリングデータを、ケーブルを介して前記サンプリング制御部に送出し、
前記サンプリング制御部の前記メモリコントローラは、受信した前記サンプリングデータを、前記データ格納メモリクロックを基準としたタイミングにより、前記データ格納メモリへ格納することを特徴とするデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法。
【請求項２】
前記複数Ｎの各データサンプリングチャンネル内の前記基準クロックとループバッククロックとの位相差をｔ１とすると、前記サンプリング制御部内の基準クロックに対してｔ１／２だけ位相の進んだサンプリングクロックをデータサンプリング部へ送り出すことを特徴とする請求項１に記載のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法。
【請求項３】
前記複数Ｎの各データサンプリングチャンネル内の前記基準クロックとループバッククロックとの位相差をｔ１とすると、前記サンプリング制御部内の基準クロックに対してｔ１／２だけ位相の遅れたデータ格納メモリクロックを用いて前記データ格納メモリへデータを格納することを特徴とする請求項１に記載のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法。
【請求項４】
複数Ｎ（Ｎは２以上の整数）のデータサンプリング部と、
前記複数Ｎのデータサンプリング部にてサンプリングされたデータに対応して、当該データを格納するデータ格納メモリおよびメモリコントローラを有する複数Ｎのサンプリング制御部と、
前記複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部に位相の制御されたクロック信号を供給する際の基準となる基準クロックを生成する基準クロック発振器とを有し、
前記複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部がケーブルで接続されて構成されるＮ個のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置において、
前記基準クロックを前記複数Ｎのサンプリング制御部からケーブルを介して前記複数Ｎのデータサンプリング部に送出し、
前記複数Ｎのデータサンプリング部は受信した前記基準クロックをケーブルを介して前記複数Ｎのサンプリング制御部にループバッククロックとして送り返し、
前記サンプリング制御部は、前記基準クロックと受信した前記ループバッククロックの位相差にもとづいて位相が制御されたサンプリングクロックとデータ格納メモリクロックとを生成するとともに、
前記サンプリングクロックを、ケーブルを介して前記データサンプリング部に送出し、
前記データサンプリング部は受信した前記サンプリングクロックを用いてデータのサンプリングを行って、当該サンプリングデータを、ケーブルを介して前記サンプリング制御部に送出し、
前記サンプリング制御部の前記メモリコントローラは、受信した前記サンプリングデータを、前記データ格納メモリクロックを基準としたタイミングにより、前記データ格納メモリへ格納することを特徴とするデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置。
【請求項５】
複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部がケーブルで接続されて構成されるＮ個のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置において、
前記複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部に位相の制御されたクロック信号を供給する際の基準となる基準クロックを生成する基準クロック発振器と、
前記基準クロック信号の位相を所定量遅延さす第１の遅延器と、
前記第１の遅延器の出力信号を遅延さす第２の遅延器と、
当該基準クロック信号が、前記サンプリング制御部から前記データサンプリング部を経て前記サンプリング制御部へ、前記ケーブルを介してループバックされたクロック信号の位相と前記第２の遅延器の出力信号との位相を比較して当該位相が一致するように第１と第２の遅延器の遅延量を調整する第１の位相比較器と、
前記第１の遅延器の出力信号を遅延さす第３の遅延器と、
前記第３の遅延器の出力信号と前記基準クロック信号の位相を比較して当該位相が一致するように前記第３の遅延器の遅延量を調整する第２の位相比較器と、
前記第２の位相比較器の出力信号で前記基準クロックを遅延さす第４の遅延器と、
を備えたことを特徴とするデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置。
【請求項６】
前記第１と第２の遅延器の遅延量は、前記基準クロック信号とループバック信号との間の位相差の半分とする事を特徴とする請求項５に記載のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、データサンプリング部とサンプリング制御部が空間的に離れた複数チャンネルを有するデータサンプリング装置における、チャンネル間のスキュー補正方法及びスキュー補正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
データサンプリング部とサンプリング制御部が空間的に離れた複数チャンネルを有するデータサンプリング装置において、各チャンネルのデータサンプリング部とサンプリング制御部間の距離が異なっていると、データサンプリング部とサンプリング制御部間の信号の伝播時間が異なり、チャンネル間のスキューが発生する。このスキューは、サンプリング周期に対して相対的に大きいと各チャンネルのデータの同時性に影響を与え、全チャンネル同一タイミングでのデータサンプリングおよび格納を正しく行うことができなくなる。
【０００３】
そこで、従来の、空間的に離れ、データサンプリング部とサンプリング制御部間の距離がそれぞれ異なる、複数のチャンネルを有するデータサンプリング装置は、データサンプリング部とサンプリング制御部間の距離の違いに起因するチャンネル間のスキューを低減するために、各チャンネルのデータサンプリング部とサンプリング制御部間のケーブルの長さを等しくし、各チャンネルの伝播時間を揃えることを行っている。
【０００４】
また、従来の、異なる伝播時間を持つデータサンプリング装置の複数チャンネル間のスキュー補正方法は、被測定信号のサンプリングに先立ち、スキューを補正しない状態にて、各チャンネルの被測定信号を同一タイミングの校正用クロックに切り替えて各被測定信号ラインに注入し、それをサンプリング測定する。そこから得られたデータ群よりチャンネル間スキューを算出し、補正を行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００４−２３９７５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来のケーブル長を等しくする方法では、サンプリング制御部からサンプリング制御部が最も離れたチャンネルのケーブル長にそれ以外のチャンネルのケーブル長を揃えなければならないので、ケーブルに本来必要とするもの以上の長さが必要となり、さらにその余分な長さのケーブルをシステム筐体内に収納するのに窮するという課題を有していた。
【０００６】
また、前記従来の特許文献１に示される方法では、スキュー量を算出するための校正工程が被測定信号のデータサンプリングに先立って必要なので、それのための時間と手間が必要であるという課題を有していた。さらに、校正用クロックへの切り替え用として、被測定信号の経路にリレーなどの切り替え器が挿入されるので、被測定信号の信号品質が劣化する恐れがあるという課題を有していた。
【０００７】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、各チャンネルのケーブル長が必要最小限なものでよく、校正工程が不要で、被測定信号の信号品質劣化がほとんどない、データサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法およびスキュー補正装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記従来の課題を解決するために、本発明のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法は、複数Ｎ（Ｎは２以上の整数）のデータサンプリング部と、前記複数Ｎのデータサンプリング部にてサンプリングされたデータに対応して、当該データを格納するデータ格納メモリおよびメモリコントローラを有する複数Ｎのサンプリング制御部と、前記複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部に位相の制御されたクロック信号を供給する際の基準となる基準クロックを生成する基準クロック発振器とを有し、前記複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部がケーブルで接続されて構成されるＮ個のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法において、前記基準クロックを前記複数Ｎのサンプリング制御部からケーブルを介して前記複数Ｎのデータサンプリング部に送出し、前記複数Ｎのデータサンプリング部は受信した前記基準クロックをケーブルを介して前記複数Ｎのサンプリング制御部にループバッククロックとして送り返し、前記サンプリング制御部は、前記基準クロックと受信した前記ループバッククロックの位相差にもとづいて位相が制御されたサンプリングクロックとデータ格納メモリクロックとを生成するとともに、前記サンプリングクロックを、ケーブルを介して前記データサンプリング部に送出し、前記データサンプリング部は受信した前記サンプリングクロックを用いてデータのサンプリングを行って、当該サンプリングデータを、ケーブルを介して前記サンプリング制御部に送出し、前記サンプリング制御部の前記メモリコントローラは、受信した前記サンプリングデータを、前記データ格納メモリクロックを基準としたタイミングにより、前記データ格納メモリへ格納することを特徴としたものである。
【０００９】
また、本発明のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置は、複数Ｎ（Ｎは２以上の整数）のデータサンプリング部と、前記複数Ｎのデータサンプリング部にてサンプリングされたデータに対応して、当該データを格納するデータ格納メモリおよびメモリコントローラを有する複数Ｎのサンプリング制御部と、前記複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部に位相の制御されたクロック信号を供給する際の基準となる基準クロックを生成する基準クロック発振器とを有し、前記複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部がケーブルで接続されて構成されるＮ個のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置において、前記基準クロックを前記複数Ｎのサンプリング制御部からケーブルを介して前記複数Ｎのデータサンプリング部に送出し、前記複数Ｎのデータサンプリング部は受信した前記基準クロックをケーブルを介して前記複数Ｎのサンプリング制御部にループバッククロックとして送り返し、前記サンプリング制御部は、前記基準クロックと受信した前記ループバッククロックの位相差にもとづいて位相が制御されたサンプリングクロックとデータ格納メモリクロックとを生成するとともに、前記サンプリングクロックを、ケーブルを介して前記データサンプリング部に送出し、前記データサンプリング部は受信した前記サンプリングクロックを用いてデータのサンプリングを行って、当該サンプリングデータを、ケーブルを介して前記サンプリング制御部に送出し、前記サンプリング制御部の前記メモリコントローラは、受信した前記サンプリングデータを、前記データ格納メモリクロックを基準としたタイミングにより、前記データ格納メモリへ格納することを特徴としたものである。
【００１０】
また、本発明のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置は、複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部がケーブルで接続されて構成されるＮ個のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置において、前記複数Ｎのデータサンプリング部とサンプリング制御部に位相の制御されたクロック信号を供給する際の基準となる基準クロックを生成する基準クロック発振器と、前記基準クロック信号の位相を所定量遅延さす第１の遅延器と、前記第１の遅延器の出力信号を遅延さす第２の遅延器と、当該基準クロック信号が、前記サンプリング制御部から前記データサンプリング部を経て前記サンプリング制御部へ、前記ケーブルを介してループバックされたクロック信号の位相と前記第２の遅延器の出力信号との位相を比較して当該位相が一致するように第１と第２の遅延器の遅延量を調整する第１の位相比較器と、前記第１の遅延器の出力信号を遅延さす第３の遅延器と、前記第３の遅延器の出力信号と前記基準クロック信号の位相を比較して当該位相が一致するように前記第３の遅延器の遅延量を調整する第２の位相比較器と、前記第２の位相比較器の出力信号で前記基準クロックを遅延さす第４の遅延器と、を備えたことを特徴としたものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法およびスキュー補正装置によれば、各チャンネルのケーブルに余分な長さが必要なく、校正工程が不要で、被測定信号の信号品質劣化がほとんどなく、チャンネル間のスキューを補正することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本発明のデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法およびスキューー補正装置の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１は、本発明の実施例におけるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法を備えたプリント回路基板検査装置の概略構成図を示す。
【００１４】
図１において、センサユニット１は内蔵されたポリゴンミラー（図示せず）の回転により走査されたレーザビーム２を出力し、そのレーザビーム２はテーブル３上に載せられた被検査プリント回路基板４上をＸ軸方向に走査する。図中の矢印１０はレーザビーム走査の軌跡を表している。一方、被検査プリント回路基板４を載せたテーブル３はテーブル駆動部５によりＹ軸方向に移動される。したがって、ポリゴンミラーの回転によるＸ軸方向の走査およびそれに同期してテーブル３をＹ軸方向に移動させることにより、レーザビーム２は被検査プリント回路基板４上の全面を走査することとなる。
【００１５】
センサユニット１はまた、複数の光検出ボード（データサンプリング部、図示せず）を内蔵し、各光検出ボード（データサンプリング部）では、被検査プリント回路基板４からのレーザビーム２の反射光を受光および光電変換し、アナログ−デジタル変換して、光センサデータをシステムコントローラ（図示せず）へ送る。
【００１６】
システムコントローラは、前述したレーザビーム２の被検査プリント回路基板４上の全面走査に合わせて各チャンネルの光センサデータを取り込み、データ格納メモリへ書き込み、その各チャンネルのデータから選択・合成処理し、画素データを生成した後、画像メモリへ画素データを書き込む。そして、検査領域に対応する各チャンネルの画素データを画像メモリから読み出して被検査プリント回路基板４の検査を行う。
【００１７】
図２は、本発明の実施例におけるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法を備えたプリント回路基板検査装置をより詳細に説明するための、センサユニット内部の概略構成図を示す。
【００１８】
図２において、半導体レーザ光源２０はレーザビームを射出し、レーザビームは回転するポリゴンミラー２１にて反射され、ｆθレンズ等からなる走査光学系２２を経て、被検査プリント回路基板（図示せず）に対して略垂直に照射し、被検査プリント回路基板上を走査する。そして被検査プリント回路基板からのレーザビームの反射光がミラー等からなる受光光学系（図示せず）を経て、４個の光検出ボード（データサンプリング部）２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ上の光センサにて受光される。
【００１９】
検査対象であるプリント回路基板に照射されたレーザビームは多くの場合、拡散反射するが、プリント回路基板の上には、抵抗、コンデンサ、ＩＣ、コネクタなどの回路部品が実装されており、レーザビームの照射位置とその近傍の回路部品の位置および高さによっては、当該回路部品によりある方向の反射光が遮られて、光検出ボード（データサンプリング部）２３（２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ）に設定された受光方向がその方向と一致していると反射光が到達しない。その際においても、遮られる反射光とは別の角度を持った反射光を検出するために、異なる受光方向を持った光検出ボード（データサンプリング部）を複数、備えている。
【００２０】
各光検出ボード（データサンプリング部）２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄでは、光センサ出力に対して電流−電圧変換、増幅、アンチエイリアスフィルタリングなどの処理を行い、アナログ−デジタル変換器にてデジタルの光センサデータに変換して、システムコントローラへ向けて送信する。
【００２１】
備えているすべてのチャンネルの光検出ボード（データサンプリング部）２３から出力される光センサデータをシステムコントローラは受信し、データ格納メモリに保存し、それらを選択・合成処理することで、各サンプリング点に対応する画素データを生成する。その際に、光センサデータが所定の値よりも小さいチャンネルは反射光が遮られたと考えられるため、画素データ生成に当該データを採用しない等のアルゴリズムが用いられる。
【００２２】
正しく各画素データを選択・合成し生成するためには、画素データ生成に使用する各チャンネルのデータは同時にサンプリングされたものでなければならない。それには、各光検出ボード（データサンプリング部）２３上のアナログ−デジタル変換器のクロック入力端子におけるサンプリングクロック位相が同一である必要がある。さらに、システムコントローラにおいて、受信した各チャンネルの光センサデータ列に対し適切な時間関係を持った制御信号で格納メモリが制御されることにより、正しく光センサデータが保存される必要がある。
【００２３】
以下に、本発明の実施例において、上述のふたつの必要条件を実現する方法とその動作を説明する。
【００２４】
図３は、本発明の実施例におけるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法のブロック構成図を示す。
【００２５】
図３において、光検出ボード（データサンプリング部）２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄはそれぞれチャンネルａ、ｂ、ｃ、ｄ用のものである。同様に、サンプリング制御部３０およびケーブル３３についても添字が対応するチャンネルを示す。
【００２６】
まず、チャンネルａについて動作を説明する。
【００２７】
システムコントローラ２９に設けられた基準クロック発振器３１にて生成された基準クロック信号ＲＣＫが、サンプリング制御部３０ａの送信バッファ３２を経由し、ケーブル３３ａを介して光検出ボード（データサンプリング部）２３ａに送られる。光検出ボード（データサンプリング部）２３ａでは、受信バッファ３４で受けたクロック信号を送信バッファ３２およびケーブル３３ａを介し、そのままサンプリング制御部３０ａへ送り返す。サンプリング制御部３０ａでは、受信バッファ３４で受けたクロック信号ＬＢＣＫをクロックコントローラ３５に入力する。クロックコントローラ３５には基準クロック信号ＲＣＫも入力されており、クロックコントローラ３５は基準クロック信号ＲＣＫとループバックされたクロック信号ＬＢＣＫの位相差を検出し、その位相差の１／２だけ基準クロック信号ＲＣＫに対して位相の進んだクロック信号ＳＣＫを生成する。クロック信号ＳＣＫは、送信バッファ３２を介して光検出ボード（データサンプリング部）２３ａへ送られ、光検出ボード（データサンプリング部）２３ａ側では受信バッファ３４を介して、サンプリングクロックとしてアナログ−デジタル変換器３６へ入力される。
【００２８】
サンプリング制御部３０ａ側での基準クロック信号ＲＣＫとループバックされたクロック信号ＬＢＣＫの位相差は、送信バッファ３２、ケーブル３３ａ、受信バッファ３４を介して、サンプリング制御部３０ａと光検出ボード（データサンプリング部）２３ａとの間を信号が一往復する時間に等しい。また、同一の光検出ボード（データサンプリング部）に対するＲＣＫ送信、ＬＢＣＫ受信、およびＳＣＫ送信のためのケーブルの長さは、余分な長さを必要とせず同一とできる。
【００２９】
したがって基準クロック信号ＲＣＫとループバックされたクロック信号ＬＢＣＫとの位相差の１／２だけ基準クロック信号ＲＣＫに対して位相の進んだクロック信号ＳＣＫが、送信バッファ３２、ケーブル３３ａ、受信バッファ３４を介してサンプリング制御部３０ａから光検出ボード（データサンプリング部）２３ａへ伝播し、アナログ−デジタル変換器３６へ入力される際の位相は、システムコントローラにおける基準クロック信号ＲＣＫと同じとなる。
【００３０】
これは、基準クロック信号ＲＣＫに対するＳＣＫの進み時間と、サンプリング制御部３０ａから光検出ボード（データサンプリング部）２３ａへの伝播時間とが等しく、相殺するためで、サンプリング制御部３０ａと光検出ボード（データサンプリング部）２３ａとを接続するケーブル３３ａの長さに影響されない。それゆえ、サンプリング制御部と光検出ボード（データサンプリング部）間の接続ケーブルの長さが異なるデータサンプリングチャンネルにおいても、基準クロック信号ＲＣＫとアナログ−デジタル変換器のクロック入力とは同位相となり、全チャンネルのサンプリングタイミングは同じとなる。
【００３１】
一方、光検出ボード（データサンプリング部）２３ａに設けられた光センサ３７は、被検査プリント回路基板からのレーザビームの反射光を受光し光電変換する。アナログフロントエンド部３８は光センサ３７の出力信号に電流−電圧変換、増幅、アンチエイリアスフィルタリングなどの処理を行い、その出力はアナログ−デジタル変換器３６でデジタルデータに変換され、送信バッファ３２を介してシステムコントローラのサンプリング制御部３０ａへ送られる。サンプリング制御部３０ａでは、そのデータを受信バッファ３４を介しメモリコントローラ３９へ入力する。メモリコントローラ３９へは、基準クロック信号ＲＣＫとループバックされたクロック信号ＬＢＣＫとの位相差の１／２だけ基準クロック信号ＲＣＫに対して位相の遅れたクロック信号ＭＣＫ（データ格納メモリ制御用クロック）もクロックコントローラ３５から入力される。
【００３２】
上述の説明のとおり、基準クロック信号ＲＣＫとアナログ−デジタル変換器３６のクロック入力とは同位相となるから光センサ出力３７のアナログフロントエンド部３８の出力信号を基準クロック信号ＲＣＫのタイミングでＡ／Ｄ変換することができる。即ち、位相が一致し、基準クロック信号ＲＣＫとアナログ−デジタル変換器３６のデータ出力は同期が取れている。
【００３３】
また、ＭＣＫと基準クロック信号ＲＣＫも位相は異なるものの同期はしているので、ＭＣＫとアナログ−デジタル変換器３６のデータ出力は同期が取れ所定の位相関係を有している。さらに、同一の光検出ボード（データサンプリング部）に対するＲＣＫ送信、ＬＢＣＫ受信、およびデータ受信のためのケーブルの長さは、余分な長さを必要とせず同一とできるので、アナログ−デジタル変換器３６のデータ出力が、送信バッファ３２、ケーブル３３ａ、受信バッファ３４を経由してメモリコントローラ３９までデータ入力信号として到達するまでの時間遅れは、基準クロック信号ＲＣＫとループバックされたクロック信号ＬＢＣＫの位相差の１／２に等しい。
【００３４】
即ち、基準クロック信号ＲＣＫとループバックされたクロック信号ＬＢＣＫとの位相差の１／２に相当する遅延を基準クロック信号ＲＣＫに対してもたせてメモリコントローラ３９へのクロック信号ＭＣＫとすることにより、アナログ−デジタル変換器３６とメモリコントローラ３９に対するクロック信号の位相を合わせることができる。
【００３５】
もちろん、アナログ−デジタル変換器３６におけるクロック入力から出力データが有効になるまでの遅れ時間を考慮して、その遅れ時間をさらに遅延させてメモリコントローラ３９に対するクロック信号として位相を合わせてもよい。
【００３６】
それゆえ、メモリコントローラ３９へのデータ入力信号とＭＣＫとは同期が取れており、それらの位相関係は、ケーブル３３ａの長さに影響されず、アナログ−デジタル変換器３６におけるクロック入力から出力データが有効になるまでの遅れ時間により決まる。この遅れ時間はアナログ−デジタル変換器３６の特性値として既知であるので、メモリコントローラ３９は、ケーブル３３ａの長さによるデータ入力の時間遅れに影響されることなく、適切なタイミングでデータをデータ格納メモリ４０へ書き込むための制御信号を生成することができ、正しくデータを保存することができる。
【００３７】
チャンネルｂ、ｃ、ｄについても同様な動作となる。
【００３８】
図４は、本発明の実施例におけるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法のクロックコントローラ３５の内部ブロック図を示す。
【００３９】
図４において、位相比較制御部５０は、基準クロック信号ＲＣＫをプログラマブル・ディレイ・ライン５１および５２にて等しい遅延量だけ遅延させた信号の位相と、ループバックされたクロック信号ＬＢＣＫの位相とを比較し、それらが同じ位相となるようプログラマブル・ディレイ・ライン５１および５２の遅延量を制御する。これにより、プログラマブル・ディレイ・ライン５１の出力は、基準クロック信号ＲＣＫとループバックされたクロック信号ＬＢＣＫとの位相差の１／２だけ基準クロック信号ＲＣＫに対して位相の遅れたものとなり、これをメモリコントローラへのクロック信号ＭＣＫ（データ格納メモリ制御用クロック）として出力する。
【００４０】
位相比較制御部６０は、ＭＣＫをプログラマブル・ディレイ・ライン５３にて遅延させた信号の位相と、基準クロック信号ＲＣＫの位相とを比較し、それらが同じ位相となるようにプログラマブル・ディレイ・ライン５３の遅延量を制御する。これにより、プログラマブル・ディレイ・ライン５３の遅延量は
（ＲＣＫの周期）−（ＲＣＫに対するＬＢＣＫの遅れ時間の１／２）
となる。
【００４１】
さらに、位相比較制御部６０は、プログラマブル・ディレイ・ライン５３の遅延量と等しい遅延量で、プログラマブル・ディレイ・ライン５４を遅延制御する。プログラマブル・ディレイ・ライン５４の入力は基準クロック信号ＲＣＫであるので、その出力は基準クロック信号ＲＣＫに対して
（ＲＣＫの周期）−（ＲＣＫに対するＬＢＣＫの遅れ時間の１／２）
だけ遅れることになるが、これはＲＣＫに対するＬＢＣＫの遅れ時間の１／２だけ、ＲＣＫに対して進むことに等しい。つまり、プログラマブル・ディレイ・ライン５４の出力は、基準クロック信号ＲＣＫとループバックされたクロック信号ＬＢＣＫとの位相差の１／２だけ、基準クロック信号ＲＣＫに対して位相の進んだものとなり、これを光検出ボード（データサンプリング部）上のアナログ−デジタル変換器へのクロック信号ＳＣＫとして出力する。
【００４２】
図５は、本発明の実施例におけるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法の各クロック信号のタイミング図を示す。
【００４３】
図５において、基準クロック信号ＲＣＫの周期をｔ０とする。また、光検出ボード（データサンプリング部）へ送出されたＲＣＫが時間遅れｔ１で、ＬＢＣＫとしてループバックされているとする。
【００４４】
ＰＤＬ（１）およびＰＤＬ（２）は、それぞれ等しい遅延量で、かつ後段側であるＰＤＬ（２）出力の位相がＬＢＣＫの位相と同じになるよう、すなわちそれらの遅延量の合計がｔ１になるよう制御されるので、ＰＤＬ（１）出力すなわちメモリコントローラへのクロック信号ＭＣＫは、基準クロック信号ＲＣＫに対して（（ｔ１）／２）だけ遅れている。この遅延時間は、光検出ボード（データサンプリング部）とサンプリング制御部間の片道の伝播時間であり、アナログ−デジタル変換器より出力されたデータが入力データとしてメモリコントローラへ伝達されるまでの遅延時間に等しいので、メモリコントローラへのクロック信号ＭＣＫ（データ格納メモリ制御用クロック）とアナログ−デジタル変換器からの入力データは同期がとれて、メモリコントローラは、ケーブル長によるデータ入力の時間遅れに影響されることなく、適切なタイミングでデータをデータ格納メモリへ書き込むための制御信号を生成することができ、データを正しく格納することができる。
【００４５】
ＰＤＬ（３）は、入力であるＭＣＫを遅延させてＲＣＫと同位相になるよう制御されるので、ＰＤＬ（３）の遅延量は（ｔ０−（（ｔ１）／２））となる。
【００４６】
ＰＤＬ（４）は、入力であるＲＣＫをＰＤＬ（３）と同じ遅延量、すなわち（ｔ０−（（ｔ１）／２））だけ遅延するよう制御される。したがって、ＰＤＬ（４）の出力すなわちＳＣＫは、ＲＣＫに対して（ｔ０−（（ｔ１）／２））だけ遅れたものとなるが、ｔ０はＲＣＫの周期であるので、ＲＣＫに対して（（ｔ１）／２）だけ進んだものともいえる。この進み時間は、サンプリング制御部より出力されたＳＣＫが光検出ボード（データサンプリング部）のアナログ−デジタル変換器へ伝達されるまでの遅延時間に等しいので、光検出ボード（データサンプリング部）上のアナログ−デジタル変換器に入力されるサンプリングクロックはサンプリング制御部でのＲＣＫと同位相となる。それゆえ、サンプリング制御部との接続ケーブルの長さが異なる光検出ボード（データサンプリング部）においても、ケーブル長によるサンプリングクロック入力の時間遅れに無関係に、同一のタイミング（ＲＣＫと同じタイミング）でサンプリングされることになる。
【００４７】
以上のように、本実施例においては、基準クロックを光検出ボード（データサンプリング部）に送出し、それをループバックさせ、そのループバックされたクロックの位相に応じて、光検出ボード（データサンプリング部）のアナログ−デジタル変換器へ送出するサンプリングクロックの位相およびデータ格納メモリを制御するメモリコントローラ用のクロックの位相を制御することにより、光検出ボード（データサンプリング部）上でのサンプリングタイミングおよびサンプリング制御部でのデータ格納メモリ制御タイミングが、光検出ボード（データサンプリング部）とサンプリング制御部間のケーブル長に影響されることがなくなり、サンプリング制御部との距離が異なる複数の光検出ボード（データサンプリング部）においても、それぞれのサンプリング制御部とのケーブルは必要最小限な長さとすることができる。
【００４８】
また、光検出ボード（データサンプリング部）のアナログ−デジタル変換器へ送出するサンプリングクロックの位相およびデータ格納メモリを制御するメモリコントローラ用のクロックの位相の制御は自動で行われるので、データサンプリング動作に先立ってチャンネル間スキューを補正するための校正工程が不要となる。
【００４９】
また、スキュー補正に必要である、ケーブル等による伝播遅延量を検出するために、被測定信号用の信号伝達経路を使用せず、専用の伝送路を使って基準クロックの送出とループバッククロックの帰還を行うことにより、被測定信号の信号品質劣化をほとんどなくすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明にかかるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法及びスキュー補正装置は、各チャンネルの伝送路長が必要最小限なものでよく、校正工程が不要で、被測定信号の信号品質劣化がほとんどないという特徴を有し、複数のセンサチャンネルを有するプリント回路基板検査装置等におけるスキュー補正方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施例におけるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法を備えたプリント回路基板検査装置の概略構成図
【図２】本発明の実施例におけるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法を備えたプリント回路基板検査装置をより詳細に説明するための、センサユニット内部の概略構成図
【図３】本発明の実施例におけるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置のブロック構成図
【図４】本発明の実施例におけるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正装置のクロックコントローラの内部ブロック図
【図５】本発明の実施例におけるデータサンプリングチャンネル間のスキュー補正方法の各クロック信号のタイミング図
【符号の説明】
【００５２】
１  センサユニット
２  レーザビーム
３  テーブル
４  被検査プリント回路基板
５  テーブル駆動部
１０  レーザビーム走査軌跡
２０  半導体レーザ光源
２１  ポリゴンミラー
２２  走査光学系
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ  光検出ボード（データサンプリング部）
２９  システムコントローラ
３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ  サンプリング制御部
３１  基準クロック発振器
３２  送信バッファ
３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ  ケーブル
３４  受信バッファ
３５  クロックコントローラ
３６  アナログ−デジタル変換器
３７  光センサ
３８  アナログフロントエンド部
３９  メモリコントローラ
４０  データ格納メモリ
５０、６０  位相比較制御部
５１、５２、５３、５４  プログラマブル・ディレイ・ライン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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