(57)【要約】【課題】  インクジェット塗工装置において上記問題を解決することである。すなわち大型の基材に対しインキ吐出を高精度で行い、同時に生産性の高いインクジェット塗工装置を提供することを課題とする。【解決手段】回転軸と、回転軸を中心にインクジェットヘッドを回転させる回転調整機構と、インクジェットヘッドの両端部に対応する位置に設置され、前記インクジェットヘッドの両端部の位置を検出する検出手段とを備え、インクジェットヘッドの多数のノズルのうちＸ方向に沿って最も端に存在するノズルaを通過する直線をＬとした際に、回転軸を、インクジェットヘッドユニット内であって、直線Ｌと平行な直線で、この直線上に存在するいずれかの点とノズルaの距離がインクジェットヘッドの長さの１／３以下となる任意の直線上に配置することを特徴とするインクジェット塗工装置により課題を解決する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、
（ａ）多数のノズルを特定方向に配列してなるインクジェットヘッドを、少なくとも１つ備えたインクジェットヘッドユニットと、
（ｂ）前記インクジェットヘッドの位置を、前記インクジェットヘッドユニットの走査方向と直交するＸ方向に沿って調整する機構と、
（ｃ）前記Ｘ方向と前記インクジェットヘッドの走査方向から形成される面に対し直交するＺ軸を中心に回転する回転軸と、
（ｄ）前記回転軸を中心に前記インクジェットヘッドを回転させる回転調整機構と、
（ｅ）前記インクジェットヘッドの両端部に対応する位置に設置され、前記インクジェットヘッドの両端部の位置を検出する検出手段と、を備え、
前記回転軸を、前記インクジェットヘッドの多数のノズルのうち前記Ｘ方向に沿って最も端に存在するノズルの近傍に配置することを特徴とするインクジェット塗工装置。
【請求項２】
少なくとも、
（ａ）多数のノズルを特定方向に配列してなるインクジェットヘッドを、少なくとも１つ備えたインクジェットヘッドユニットと、
（ｂ）前記インクジェットヘッドの位置を、前記インクジェットヘッドユニットの走査方向と直交するＸ方向に沿って調整する機構と、
（ｃ）前記Ｘ方向と前記インクジェットヘッドの走査方向から形成される面に対し直交するＺ軸を中心に回転する回転軸と、
（ｄ）前記回転軸を中心に前記インクジェットヘッドを回転させる回転調整機構と、
（ｅ）前記インクジェットヘッドの両端部に対応する位置に設置され、前記インクジェットヘッドの両端部の位置を検出する検出手段と、を備え、
前記インクジェットヘッドの多数のノズルのうち前記Ｘ方向に沿って最も端に存在するノズルaに対し、走査方向と平行な直線でこのノズルaを通過する直線をＬとした際に、
前記回転軸を、
前記インクジェットヘッドユニット内であって、前記直線Ｌと平行な直線で、この直線上に存在するいずれかの点と前記ノズルaの距離が前記インクジェットヘッドの長さの１／３以下となる任意の直線上に配置することを特徴とするインクジェット塗工装置。
【請求項３】
前記回転軸を、インクジェットヘッドユニット内であって、前記直線Ｌにより区切られる２つの領域のうち、前記最も端に存在するノズルが属するインクジェットヘッドの他のノズルが存在しない領域に配置することを特徴とする請求項２に記載のインクジェット塗工装置。
【請求項４】
前記回転調整機構が、偏芯カムを用いてインクジェットヘッドユニットを所定の区間往復させる機構であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェット塗工装置。
【請求項５】
前記インクジェットヘッドユニットの前記Z軸方向の傾きを修正するギャップ調整機構を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェット塗工装置
【請求項６】
前記ギャップ調整機構が、少なくとも１の調整ネジにより、前記インクジェットヘッドユニットをZ軸方向に上下される機構であることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット塗工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク皮膜を塗工により形成してなる印刷物を製造するインクジェット塗工装置に関する。印刷物及びインク皮膜として、カラーフィルタの着色層、色変換フィルターの色変換層、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光層又は電荷輸送層、回路基板の回路パターン、薄膜トランジスタの配線パターン、マイクロレンズのレンズパターン、バイオチップの流路パターン等を挙げることができる。
本発明は、高精細なパターンを吐出するための吐出パターン生成方法で、フィルムベースのカラーフィルタ製造、ガラスベースのカラーフィルタ製造に用いることができるインクジェット塗工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、カラーフィルタの製造方法としてはフォトリソグラフィー法、エッチング法等が知られている。フォトリソグラフィー法によるカラーフィルタの製造方法は、基板全体に各色の感光性樹脂層の塗布膜を形成し、パターン状に露光した後に塗布膜の不要な部分を取り除き、残ったパターンを各画素とする。この方法では塗布膜の多くが現像除去されるため、大量の材料が無駄になる。さらに、画素ごとに露光、現像工程を行うため、工程数が多くなる。このフォトリソグラフィー方式は、カラーフィルタに限らず、有機エレクトロルミネッセンス素子等、種々の光学素子や電気素子の製造に利用されている。
しかし、カラーフィルタの基板サイズは年々大型化が進んでいる。カラーフィルタのコストダウン化を図るためには、従来のフォトリソグラフィー工程を繰り返す顔料分散法等は無駄が多く、近年、インクジェットを用いた方法が検討されている。
【０００３】
インクジェット塗工装置は、１又は複数のインクジェットヘッドを備えたインクジェットヘッドユニットを備えている。インクジェットヘッドは多数のノズルが整列して配置されている。インクジェット塗工装置は、この多数のノズルからインクを吐出することにより印刷を行うことができる。
また、インクジェット塗工装置では、このインクジェットヘッドユニットと基板置台とを、基板置台面上に沿って相対的に移動させ描画を行っている。基板の大型化に伴い歩留まりを考慮し、インクジェットヘッドユニットには、インクジェットヘッドを複数個整列で配置して備え、吐出液量が均一になるような吐出パターン情報を作成している（特許文献１）。
【０００４】
インクジェット塗工装置においては、印刷中にノズルに対し高い位置精度が要求される。インクジェットヘッド相互のノズル位置が正確でなくなると、インクジェットヘッド間で隙間が生じたりドットが重なったりするためである。このような現象が生じるとスジ状の抜けやムラができ混色等の不良の原因となる。このため、インキ吐出部を配置する際に、複数のインクジェットヘッドのノズル面の高さが水平になるように、インクジェットヘッド間で隙間が生じたりドットが重なったりしないように調整していた。基材が大型になるほど誤差も大きくなるため、特に大型基板を基材として用いる場合にはこのような調整が重要であった。
不良の発生を防止するため、ノズルから吐出され基材に着弾したインクドットの着弾位置を測定して、そのズレ量をノズルの位置で調整する方法が知られている（特許文献２〜４）。
【０００５】
また、インクジェットヘッドユニットを長尺化すると多数のインキ吐出部を使用することとなり、ノズルの位置等をインクジェット塗工装置の稼動時間外に逐一調整すると、その調整時間に長尺化のメッリト（スループット向上）が吸収されてしまいかねない。このため、インクジェットヘッドの相互位置調整は短時間であることが好ましかった。
ところが、上記特許文献４に記載の方法によると、着弾誤差測定およびヘッドアライメントを吐出工程とは別に必要であるため、その調整時間分、生産性が低下するという問題があった。そして、基材に大型硝子基板を用いた場合、特許文献４に記載の方法によっては、不良の発生を抑えることができなかった。さらに、インクジェットヘッドの移動条件の変化、インキの粘度等によっても、着弾誤差が変わるため条件を変えるたびに着弾誤差測定する必要が生じていた。
【０００６】
また、インクジェット塗工装置において、インクジェットヘッドは、走査方向と直交する方向に、前記画素のピッチ間隔とは必ずしも一致しないピッチ間隔で並ぶ複数のノズルを有しており、インクジェットヘッドを所定角度回転させる必要が生じる。インクジェットヘッドを回転させる機構を含むインクジェット塗工装置として特許文献５が知られている。しかし、この方法によると、回転軸がインクジェットヘッドユニットの中心付近にあるため、インクジェットヘッドの両端部に撮像素子等の検出手段を２つ設置し、インクジェットヘッドを回転ズレを修正しようとすると、インクジェットヘッドの両端のうち１の端部と別の端部が検出手段に対し別の方向に移動する（図７（a）（ｂ））。このため、検出手段を別々に操作してアライメントを行う必要があった。また、回転により両端部が検出手段の検出範囲から外れてしまうため、インクジェット方向の回転方向の調整に時間がかかり生産性が低下する問題生じた（図７（ｃ）の状態では再度調整が必要となる）。
【０００７】
また、アライメント機構においては、Ｘ、θ、Ｚ方向に多くの軸数を要するため、従来微動ステージやマイクロメータヘッドの組み合わせでの微調整機構を用いるとコンパクト化できない。そしてインクジェットヘッドユニットの寸法が増大してしまい、結果的に装置が大型化することになる。
しかし、カラーフィルタ等の光学素子の製造にインクジェット塗工装置を用いた場合、非常に高い調整精度が要求される。このため、インクジェットヘッドユニットを出来るだけ軽量化・コンパクト化し、移動精度を高めることが要求されていた。
【特許文献１】特開平９−１０１４１２号公報
【特許文献２】特開平９−２７７５７１号公報
【特許文献３】特開平１０−３３２９２４号公報
【特許文献４】特開平１１−２７１１号公報
【特許文献５】特開平１１−６４６２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題とするところは、インクジェット塗工装置において上記問題を解決することである。すなわち大型の基材に対しインキ吐出を高精度で行い、同時に生産性の高いインクジェット塗工装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の構成は以下に示すとおりである。
【００１０】
（請求項１）
少なくとも、
（ａ）多数のノズルを特定方向に配列してなるインクジェットヘッドを、少なくとも１つ備えたインクジェットヘッドユニットと、
（ｂ）前記インクジェットヘッドの位置を、前記インクジェットヘッドユニットの走査方向と直交するＸ方向に沿って調整する機構と、
（ｃ）前記Ｘ方向と前記インクジェットヘッドの走査方向から形成される面に対し直交するＺ軸を中心に回転する回転軸と、
（ｄ）前記回転軸を中心に前記インクジェットヘッドを回転させる回転調整機構と、
（ｅ）前記インクジェットヘッドの両端部に対応する位置に設置され、前記インクジェットヘッドの両端部の位置を検出する検出手段と、を備え、
前記回転軸を、前記インクジェットヘッドの多数のノズルのうち前記Ｘ方向に沿って最も端に存在するノズルの近傍に配置することを特徴とするインクジェット塗工装置。
【００１１】
（請求項２）
少なくとも、
（ａ）多数のノズルを特定方向に配列してなるインクジェットヘッドを、少なくとも１つ備えたインクジェットヘッドユニットと、
（ｂ）前記インクジェットヘッドの位置を、前記インクジェットヘッドユニットの走査方向と直交するＸ方向に沿って調整する機構と、
（ｃ）前記Ｘ方向と前記インクジェットヘッドの走査方向から形成される面に対し直交するＺ軸を中心に回転する回転軸と、
（ｄ）前記回転軸を中心に前記インクジェットヘッドを回転させる回転調整機構と、
（ｅ）前記インクジェットヘッドの両端部に対応する位置に設置され、前記インクジェットヘッドの両端部の位置を検出する検出手段と、を備え、
前記インクジェットヘッドの多数のノズルのうち前記Ｘ方向に沿って最も端に存在するノズルaに対し、走査方向と平行な直線でこのノズルaを通過する直線をＬとした際に、
前記回転軸を、
前記インクジェットヘッドユニット内であって、前記直線Ｌと平行な直線で、この直線上に存在するいずれかの点と前記ノズルaの距離が前記インクジェットヘッドの長さの１／３以下となる任意の直線上に配置することを特徴とするインクジェット塗工装置。
【００１２】
（請求項３）
前記回転軸を、インクジェットヘッドユニット内であって、前記直線Ｌにより区切られる２つの領域のうち、前記最も端に存在するノズルが属するインクジェットヘッドの他のノズルが存在しない領域に配置することを特徴とする請求項２に記載のインクジェット塗工装置。
【００１３】
（請求項４）
前記回転調整機構が、偏芯カムを用いてインクジェットヘッドユニットを所定の区間往復させる機構であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェット塗工装置。
【００１４】
（請求項５）
前記インクジェットヘッドユニットの前記Z軸方向の傾きを修正するギャップ調整機構を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェット塗工装置
【００１５】
（請求項６）
前記ギャップ調整機構が、少なくとも１の調整ネジにより、前記インクジェットヘッドユニットをZ軸方向に上下される機構であることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット塗工装置。
【発明の効果】
【００１６】
第１の発明によれば、インクジェットヘッドの回転軸を、インクジェットヘッドの多数のノズルのうち前記Ｘ方向に沿って最も端に存在するノズルの近傍に配置することにより、インクジェットヘッドの回転ずれを修正する際に両端部の位置の調整を従来よりも簡便なプロセスで行なうことができた（図８）。
このため、インクジェットヘッドの相互関係およびノズルギャップを、従来よりも効率よく正確に調整することができた。さらに、塗工基材への試し塗工や塗工精度測定する必要がなく、生産性向上および低コスト化をはかることができた。
【００１７】
また、第２の発明によれば、インクジェットヘッドの多数のノズルのうち、走査方向と直交するＸ方向に沿って最も端に存在するノズルaに対し、走査方向と平行な直線でこのノズルaを通過する直線をＬとした際に、前記回転軸を、前記インクジェットヘッドユニットの領域うち、前記直線Ｌと平行な直線で、この直線上に存在するいずれかの点と前記ノズルaの距離が前記インクジェットヘッドの長さの１／３以下となる任意の直線上に配置することを特徴としている。即ち、回転軸８４を、インクジェットヘッドユニット領域のうち図９（ａ）に示す斜線領域内に配置する。ここでａは多数配置されたノズル８３のうち、最も端部に存在するノズルである。ｘはインクジェットヘッドの長さである。当該斜線部は、直線Ｌから１／３ｘの領域を占めている。
回転軸をこのような位置に配置することにより、インクジェットヘッドの回転ずれを修正する際に両端部の位置の調整を従来よりも簡便なプロセスで行なうことができた（図８）。
【００１８】
また第３の発明によれば、この回転軸を、さらに前記直線Ｌにより区切られる２領域のうち最も端に存在するノズルが属するインクジェットヘッド（８２）の他のノズルが存在しない領域（図９（ｂ）斜線領域）に配置する。これにより、インクジェットヘッドの回転ずれをこの回転軸にそって回転し、修正する際に、インクジェットヘッドの両端のうち１の端部と別の端部が同一方向に動き、かつ回転軸に近い方の端部はほとんど動かないため、インクジェットヘッドの端部に対応する検出手段の操作を別々に行う必要がない。従って、インクジェットヘッドの回転ずれを修正する際に両端部の位置の調整を従来よりも簡便なプロセスで行なうことができた。
【００１９】
また、第４の発明によれば、本発明はインクジェットヘッドの回転ずれを修正する回転調整機構が、偏芯カムを用いてインクジェットヘッドユニットを所定の区間往復させる機構であることを特徴とする。偏芯カムを用いることにより、インクジェットヘッドの位置調整機構のコンパクト化でき、インクジェットヘッドユニットをＸ軸上に移動可能な重量とすることができた。
また、微調機構に偏芯カムを使用すると、稼動範囲最端でも干渉することがないため、移動範囲最終端付近で駆動を逆回転させて干渉を防ぐ必要がない。移動範囲が予め決まっており、その範囲を逸することがないためである。従って、干渉を防ぐためのストロークエンド検知手段を必要とせずさらに、低重量化できた。また、移動範囲が予め定まっているため、モーター等により電動駆動化した場合であっても、誤動作等によるインクジェット塗工装置の損傷が発生しなかった。
【００２０】
また、第５の発明によれば、インクジェット塗工装置に、インクジェットヘッドのZ軸方向の傾きを修正するギャップ調整機構をさらに備える。これにより、のインクジェットヘッドの傾きに由来するインク吐出の不良を防止することができた。
【００２１】
また、第６の発明によれば、このＺ軸方向の傾きの修正に少なくとも１の修正ネジを用いる。これにより、インクジェットヘッドの微妙な傾きを高精度で修正することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照し、本発明のインクジェット塗工装置を詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係るインクジェット塗工装置および周辺設備の全体図である。インクジェット塗工装置は、塗工基材搬送ステージ２、インクジェットヘッドユニット１４、インクジェットヘッドユニット移動軸４、メインコントローラ１０、吐出制御部９で構成されている。
塗工基材搬送ステージ２には塗工対象となる基材を搭載する。基材としてカラーフィルタ、有機エレクトロルミネセンス素子、配線回路基板、バイオチップなど精細なパターンを有する素子等を挙げることができる。以下ではカラーフィルタを形成する場合を例として説明する。基材搬送ステージ２は、所定の基材搬送ステージ搬送方向１１（以下、Ｙ方向又は走査方向ともいう。）に沿って移動する。
インクジェットヘッドユニット１４はインクジェットヘッドユニット移動軸４上を移動する。インクジェットヘッドユニット移動軸４は、インクジェットヘッドユニットの走査方向１１と直交している。この軸と平行方向をＸ方向とする。
塗工基材搬送ステージ２は、塗工基材１を固定するための真空吸着穴を備え、基材表面より突出するものなく基材を固定することができる。これによって、塗工基材１とインクジェットヘッド１３のギャップを極小に近づけられる。
吐出制御部９には、インクジェットヘッドユニット移動の軌跡の直線性の測定値を記憶する記憶部（図示しない）が内蔵されている。
これによって、インクジェットヘッドユニットのＸ軸上の任意の位置での直線性を把握することができ、仮にインクジェットヘッドユニット１４が所望の位置において、Ｘ軸に対し直線でないとしても、その位置での直線性（ズレ）に応じてノズルの吐出タイミングを変えることで、塗工精度を補正することができる。
【００２３】
図２には、上記インクジェットヘッドユニット１４およびその周辺機構図の詳細を示す。
インクジェットヘッドユニット１４は複数のインクジェットヘッドを備えている。インクジェットヘッドは、インクを吐出する複数のノズルを備えている。このノズルの間隔を所定の間隔になるようインクジェットヘッドは好ましい方向に配向していなければならない。インクジェットヘッドの配向が所定の向きからずれることをインクジェットヘッドの回転ズレという。このため、インクジェット塗工装置は回転方向（以下、θ方向ともいう）のズレを補正するためのθ調整機構１５を備えている。θ調整機構１５により、インクジェットヘッドユニットが複数のインクジェットヘッドを搭載する際、当該複数のインクジェットヘッドの全体の大まかな方向を調整することができる。
しかし、複数のインクジェットヘッドを用いる場合、個々のインクジェットヘッドの向きをさらに調整しなければならない。
図１にはこのインクジェットヘッドの回転ズレを検出するための検出手段（倒立顕微鏡７）が２つ示されている。具体的には、この検出手段のうち一方が、インクジェットヘッドの端部のノズルを検出するように設置する（図７（ａ））。そして、回転調整機構（図示せず）により、インクジェットヘッドを回転軸を中心に回転させる。すると、インクジェットヘッドの端部が検出手段の検出範囲外に逸脱する（図７（ｂ））。そこで、インクジェットヘッドを走査方向に移動し、再びインクジェットヘッドの端部を検出手段で検出するように調整する。この作業を繰り返し最終的に２つの検出手段の両方で、インクジェットヘッドの端部を検出するように調整を行う（図７（ｃ））。以上の作業を個々のインクジェットヘッドにおいて行うことにより回転ズレの修正が完了する。
本発明では、この回転軸を、インクジェットヘッドの端部に対応する位置に配置しているため（図８（ａ））、上記調整工程を一度で完了することができる（図８（ｂ））。
また、インクジェットヘッドが傾き、Ｚ軸方向１７（上下方向）のズレが生じる場合がある。このZ軸方向の傾きを修正するため、ギャップ調整機構（図示せず）を設けることができる。
【００２４】
図３には、複数のインクジェットヘッドを備えたインクジェットヘッドユニットにおいて、各インクジェットヘッドの配列の例を示す平面図である。
インクジェットヘッド１３は、基材搬送方向と直交する方向に平行に配置されている。ノズルの間隔を偏向する場合には、インクジェットヘッドを所定の角度傾けることも可能である。また、ノズル範囲よりインクジェットヘッド本体の幅が広いため、隣り合うインクジェットヘッドは、基材搬送方向にずらした千鳥状の配置となっている。このため、インクジェットヘッドに属するノズルの吐出タイミングを、当該インクジェットヘッドと隣接するインクジェットヘッドとの間に生じるＹ方向の距離に応じて、変えることによりインク吐出を直線状することができる。
【００２５】
図４は、本発明のインクジェットヘッドのアライメント（位置調整）機構部の図面である。図４ではインクジェットヘッドが２つ示されている。これはインクジェットヘッド２つを配置することで、１のインクジェットヘッドを備えた場合に比べ、２倍の解像度での塗工を行うための配置の例である。このため、相互のインクジェットヘッドはＸ方向にノズルピッチの１／２だけずらして配置され、ノズル配列方向が平行になるように配置され、かつノズル面高さを同じにして配置されている。以下説明するインクジェットヘッドのアライメント機構とは、この２つのインクジェットヘッドの位置を同時に調整する方法を示すものであり、２つのインクジェットヘッド相互の位置に関しては既に調整され、固定されているものとする。ただし、本発明はこのような構成に限定されるものではなく、１のインクジェットヘッドに対し１のアライメント機構を対応させることや、更に３以上の多数のインクジェットヘッドに１のアライメント機構を対応させることも可能である。このアライメント機構は、インクジェットヘッド取付け部２１と調整ステージ２２から構成されている。
【００２６】
図５にインクジェットヘッド取り付け部２１の六面図及び各断面における断面の構造を詳細に示す。
インクジェットヘッド取付け部２１には、ウィング３２の下面からインクジェットヘッドのノズル面３３までの高さを調整するＺ調整ネジＺ１〜Ｚ８（２４〜３１）が備わっており、これにより高さ調整および固定をすることができる。
インクジェットヘッドが１個の場合は、Ｚ調整ネジＺ１〜Ｚ４（２４〜２７）を使用し、インクジェットヘッドが２個の場合は、Ｚ調整ネジＺ５〜Ｚ８（２８〜３１）を使用して調整および固定することができる。
また、インクジェットヘッド取付け部には、インクジェットヘッドのＸ方向の位置を調整するためのＸ調整ネジＸ１〜Ｘ４（３４〜３７）が備わっており、これによりＸ方向の位置調整および固定をすることができる。
インクジェットヘッドが１個の場合は、Ｘ調整ネジＸ１（３４）、Ｘ２（３５）を使用し、インクジェットヘッドが２個の場合は、Ｘ調整ネジＸ３（３６）、Ｘ４（３７）を使用して調整および固定することができる。
さらに、インクジェットヘッド取付け部には、回転調整機構として、弾性変形可能なインクジェットヘッド保持板３８をＹ方向に変形させるための偏芯カム１（４０）が備わっており、インクジェットヘッドが２個の場合、回転軸（２１１）を中心にインクジェットヘッドの傾きを変えることができ、２個が平行になるようθ方向調整ができる。
【００２７】
図６に調整ステージ２２の六面図及び各断面における断面の構造を詳細に示す。
調整ステージ２２には、Ｘ方向に移動させるためのリニアガイド（５５）を備えている。またリニアガイドに沿ってインクジェットヘッド取付け部を移動させる機構（Ｘ方向に沿って調整する機構）として、偏芯カム２（５９）が備えられている。また調整後の位置を固定するためＸ固定ネジ（６０）が備えられている。これにより、インクジェットヘッド取付け部に取付けられたインクジェットヘッドのＸ方向の調整および固定ができる。
また、調整ステージには、θ方向に回転させるための回転軸５１、上下動押えピン１〜３（５２〜５４）、回転調整機構として偏芯カム３（５７）およびθ固定ネジ（５８）が備えられている。
これにより、インクジェットヘッド取付け部に取付けられたインクジェットヘッドのθ方向調整および固定ができる。ここで、回転軸５１を、インクジェットヘッドノズル列４１の最端ノズル５０のＸ位置の近傍に配置することにより、インクジェットヘッドの回転ずれを修正する調整（θ方向の調整）の際に両端部の位置の調整を従来よりも簡便なプロセスで行なうことができた。即ち、インクジェットヘッドのθ方向調整の際の当該インクジェット最端ノズルのＹ方向位置のズレを最小にすることにより、インクジェットヘッドのもう一方の端部のノズルのみを倒立顕微鏡で検出すればθ方向調整をすることができるのである。
さらに、調整ステージにはＺ方向に高さ調整するためのＺ調整ネジ１〜４（４２〜４５）と固定ネジ１〜４（４６〜４９）が備わっている。ここで、高さ検知手段は、レーザー変位計（図示しない）でも倒立顕微鏡の焦点位置合せでもかまわない。これにより、インクジェットヘッドの高さおよびノズル列の左右の高さの差を最小となるように調整し、固定することができる。
【００２８】
上記偏芯カムを用いた位置調整機構を説明したが、偏芯カムの駆動手段として、手動又はアクチュエータを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェット塗工装置の全体図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドユニットおよびその周辺機構図である。
【図３】本発明のインクジェットヘッドユニット内のインクジェットヘッドの配列を示す平面図である。
【図４】本発明のインクジェットヘッドのアライメント（位置調整）機構部の図面である。
【図５】アライメント（位置調整）機構部の一部であるインクジェットヘッド取付け部の図面である。
【図６】アライメント（位置調整）機構部の一部であるインクジェットヘッド調整ステージの図面である。
【図７】従来のインクジェットヘッドユニットである。
【図８】本発明のインクジェットヘッドユニットである。
【図９】本発明のインクジェットヘッドユニットである。
【符号の説明】
【００３０】
１…塗工基材
２…基材搬送ステージ
３…メンテナンスステーション
４…インクジェットヘッドユニット移動軸（Ｘ軸）
５…リニアスケール
６…インクジェットヘッドユニット移動ベース
７…倒立顕微鏡
８…搬送ステージ制御部
９…吐出制御部
１０…メインコントローラ
１１…基材搬送ステージ搬送方向（Ｙ方向）
１２…インクジェットヘッドユニット移動方向（Ｘ方向）
１３…インクジェットヘッド
１４…インクジェットヘッドユニット
１５…θ調整機構（θ軸）
１６…昇降機構（Ｚ軸）
１７…Ｚ方向
１８…θ方向
１９…インクジェットヘッドベース板
２０…アライメントマーク
２１…インクジェットヘッド取付け部
２１１…回転軸
２２…調整ステージ
２３…インクジェットヘッドユニットベース
２４…Ｚ調整ネジＺ１
２５…Ｚ調整ネジＺ２
２６…Ｚ調整ネジＺ３
２７…Ｚ調整ネジＺ４
２８…Ｚ調整ネジＺ５
２９…Ｚ調整ネジＺ６
３０…Ｚ調整ネジＺ７
３１…Ｚ調整ネジＺ８
３２…ウィング
３３…ノズル面
３４…Ｘ調整ネジＸ１
３５…Ｘ調整ネジＸ２
３６…Ｘ調整ネジＸ３
３７…Ｘ調整ネジＸ４
３８…弾性変形可能なインクジェットヘッド保持板
３９…インクジェットヘッド保持板締結部
４０…偏芯カム１
４１…インクジェットヘッドノズル列
４２…Ｚ調整ネジ１
４３…Ｚ調整ネジ２
４４…Ｚ調整ネジ３
４５…Ｚ調整ネジ４
４６…固定ネジ１
４７…固定ネジ２
４８…固定ネジ３
４９…固定ネジ４
５０…最端ノズル
５１…回転軸
５２…上下動押えピン１
５３…上下動押えピン２
５４…上下動押えピン３
５５…リニアガイド
５６…位置決めピン
５７…偏芯カム３
５８…θ固定ネジ
５９…偏芯カム２
６０…Ｘ固定ネジ
８１…インクジェットヘッドユニットの一部
８２…インクジェットヘッド
８３…ノズル
８４…回転軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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