(57)【要約】【課題】開閉蓋の開閉動作をより安全にし、かつ開閉動作の安全確保後、開閉蓋の開閉操作を短時間で再開できる開閉蓋の安全機構およびそれを有する分析装置を提供する。【解決手段】一端を蓋回転軸３２に固定した開閉蓋３の安全機構１であって、回転駆動手段４に係合し、蓋回転軸３２の軸心を中心として回転する回転駆動板５と、蓋回転軸３２を回転軸とし、回転中心を中心とする円周に沿った長穴６２を有する回転板６１と回転駆動板５に固定した蓋支持軸７１とを、長穴６２と蓋支持軸７１とで嵌合した回転板支持手段６と、回転駆動板５に固定した第１位置センサ部８１と、回転板６１に固定した第２位置センサ部８３とを備え、第１位置センサ部８１と第２位置センサ部８３との離間距離が所定の距離以上になると回転駆動手段４を停止させる制御手段９とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端を蓋回転軸に固定した開閉蓋の安全機構であって、
回転駆動手段に係合し、前記蓋回転軸の軸心を中心として回転する回転駆動板と、
前記蓋回転軸を回転軸とし、回転中心を中心とする円周に沿った長穴を有する回転板と前記回転駆動板に固定した蓋支持軸とを、前記長穴と前記蓋支持軸とで嵌合した回転板支持手段と、
前記回転駆動板に固定した第１位置センサ部と、
前記回転板に固定した第２位置センサ部とを備え、
前記第１位置センサ部と前記第２位置センサ部との離間距離が所定の距離以上になると前記回転駆動手段を停止させる制御手段とを備えた開閉蓋の安全機構。
【請求項２】
試料を分析するための試料室を有し、前記試料室を開閉する開閉蓋を有する分析装置であって、
請求項１の開閉蓋の安全機構を有する分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、開閉蓋の安全機構およびそれを有する分析装置に関し、さらに詳しくは自動上下開閉蓋の安全機構およびそれを有する分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車のトランク、サンルーフ、分析装置の試料室の蓋(リッド)などの自動開閉時に操作者の手などの身体の一部が開閉蓋に衝突したり、挟まれたりすることがある。そのために、衝突や挟み込みを防止するための安全対策が種々考えられており、いろいろな安全機構がある。セダンタイプの車両のトランクのリッドを第１閉鎖位置から第２閉鎖位置へ移動させる駆動装置によって行う機構において、リッドの移動時に車両の後部とリッドに手などが挟まった場合には、安全スイッチを操作することでリッドの移動を停止、あるいは開放する安全機構がある（特許文献１参照）。蓋の開閉時に操作者の手などの身体の一部が開閉蓋に衝突したり、挟み込まれると開閉蓋の駆動機構に抵抗力が生じる。この抵抗力を感知して蓋の開閉動作を停止したり、動作方向と反対方向に動作させるなどの安全機構がある。自動車用スライドルーフにおいてリッド閉作動時人体がリッドの前縁に挟まれるとその抵抗によって駆動シューとリッドが分離し、リッドを置き去り駆動シューのみが移動する安全機構がある（特許文献２参照）。
【０００３】
また、Ｘ線や電子線を試料に照射して分析するＸ線分析装置や電子線分析装置などの分析装置では、Ｘ線や電子線が漏洩しないように、また真空雰囲気にした試料分析室の圧力に十分耐えるように試料室の開閉蓋を十分な厚みの金属製蓋を使用しており、分析者が開閉蓋を容易に開閉できるように電動駆動機構などを用いて開閉している。自動開閉のため、試料分析室の開閉時に、分析者の手などの身体の一部が開閉蓋に衝突したり、挟み込まれると、その時に生じる抵抗を感知して蓋の開閉動作を停止したり、動作方向と反対方向に動作させるなどの安全機構を備えている。
【０００４】
【特許文献１】実開平５−２４８０号公報
【特許文献２】実開平６−１８０３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、開閉蓋の閉動作時に操作者の手などの身体の一部が挟まったことに気付いて安全スィッチを操作したり、身体の一部が挟まれることによる抵抗によって駆動部と蓋（リッド）を分離させる安全機構であると、駆動機構が停止または開放するまで駆動機構の閉動作の駆動力が手などの身体の一部に負荷されており、望ましいことではない。また、身体の一部が挟まれることによる抵抗によって駆動部と蓋（リッド）を分離させる安全機構であると、開閉蓋の開閉動作を再開するために安全機構の再組立や調整が必要であり、短時間で開閉動作を再開することができず、分析装置などの運転が長時間中断することになり測定上望ましいことではない。
【０００６】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、操作者の手などの身体の一部が開閉蓋（リッド）に当たっり、挟まれた場合に、回転駆動手段の駆動力が開閉蓋に負荷されないようにすると共に、瞬時に位置センサが作動し回転駆動手段を停止することによって開閉蓋の閉動作をより安全にし、かつ開閉動作の安全確保後、開閉蓋の開閉操作を短時間で再開できる開閉蓋の安全機構およびそれを有する分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明の第１構成にかかる開閉蓋の安全機構は、一端を蓋回転軸に固定した開閉蓋の安全機構であって、回転駆動手段に係合し、前記蓋回転軸の軸心を中心として回転する回転駆動板と、前記蓋回転軸を回転軸とし、回転中心を中心とする円周に沿った長穴を有する回転板と前記回転駆動板に固定した蓋支持軸とを、前記長穴と前記蓋支持軸とで嵌合した回転板支持手段と、前記回転駆動板に固定した第１位置センサ部と、前記回転板に固定した第２位置センサ部とを備え、前記第１位置センサ部と前記第２位置センサ部との離間距離が所定の距離以上になると前記回転駆動手段を停止させる制御手段とを備えている。
【０００８】
本発明の第１構成によれば、開閉蓋は回転駆動手段と固定的に係合していない回転板支持手段によって支持されている、すなわち駆動回転板に固定された蓋支持軸が回転板の長穴の上端と当接することにより回転板を支持し、開閉蓋の閉動作時に回転駆動手段の回転駆動力が回転板と開閉蓋に負荷されない構成になっている。操作者の手などの身体の一部が開閉蓋に挟まると回転板支持手段の蓋支持軸と回転板の長穴の上端が当接しなくなり、回転駆動手段の回転駆動力が回転板に伝わらず回転板は手などの身体の一部が挟まった位置に止まり、回転板と回転軸が同軸である開閉蓋もその位置で止まる。その後、第１位置センサ部と第２位置センサ部の離間距離が所定の距離以上になると第１位置センサ部より信号が発生し回転駆動手段を停止させる。したがって、開閉蓋に挟まれた手などの身体の一部には開閉蓋の重力しかかからず、第１位置センサ部と第２位置センサ部で構成される位置センサが感知し回転駆動手段の回転駆動力を停止するまでの間も操作者のより一層の安全が図れる。
【０００９】
本発明の第１構成によれば、手などが挟まれた場合に蓋支持軸と長穴とを当接させないようにするだけであるので、開閉蓋に挟まれた手などの身体の一部を開閉蓋より退避させ開閉動作の安全を確保した後は、安全機構の再組立や再調整が不要であり蓋支持軸と長穴の上端とを当接させるだけで開閉蓋の開閉動作を再開することができ、開閉操作を短時間で再開できる。
【００１０】
本発明の第１構成においては、第１第位置センサ部と第２位置センサ部とが組み合わされて位置センサとして機能するものであり、一方がマイクロスィッチであり、他方がマイクロスィッチ押え具で構成されたり、一方が透過型光センサであり、他方が光遮蔽具で構成されることが好ましい。
【００１１】
本発明の第２構成にかかる分析装置は、前記第１構成の開閉蓋の安全機構を有する分析装置である。
【００１２】
本発明の第２構成によれば、前記第１構成の開閉蓋の安全機構を有しているので、第１構成と同様の作用効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の第１実施形態である開閉蓋の安全機構について説明する。この開閉蓋の安全機構は、蛍光Ｘ線分析装置の試料室の開閉蓋の安全機構であり、蛍光Ｘ線分析装置は試料室にセットされた試料に１次Ｘ線を照射して試料から発生する蛍光Ｘ線をＸ線検出器で検出し、検出したＸ線の強度やエネルギにより試料を定量・定性分析したり、試料の膜厚測定をする装置である。１次Ｘ線が試料に照射される試料室からＸ線が漏洩しないように、また軽元素の分析では試料室を真空雰囲気にして測定するためその真空圧力に耐ええるように、試料室の開閉蓋の材料は充分な厚みを有する鉄などの金属で製作されている。４００φ程度の大きな開閉蓋では重量が２０キログラム（Ｋｇ）以上にもなり、測定者が開閉蓋を手動で操作することは困難であり、電動モータなどを用いた駆動手段を使用して開閉蓋を開閉しており、本発明の第１実施形態の開閉蓋の安全機構は自動上下開閉蓋に
測定者の手などが挟まれた場合に手などに駆動手段の駆動力が負荷されないようにするものである。
【００１４】
図１に示すように、例えば外径が４００ｍｍで、厚みが１０ｍｍの鉄製の開閉蓋３は開閉蓋の一端である下端３１に蓋回転軸３２を有し、回転駆動手段４に係合し蓋回転軸３２の軸心を中心として回転する回転駆動板であるウォームホイール５と、回転板支持手段６とが一部で嵌合し、回転駆動手段４が駆動することにより蓋回転軸３２を回転軸として回転することにより上下に開閉する。ウォームホイール５は、例えば歯数８０、外径８０ｍｍ、厚み１０ｍｍであり、蓋回転軸３２の軸心を中心として回転するが蓋回転軸３２とは独立して回転しており、回転板支持手段６によって回転板６１に回転駆動力を伝達している。
【００１５】
図２に示すように、回転板支持手段６は蓋回転軸３２を回転軸とし、回転中心を中心とする円周に沿った長穴６２を有する回転板６１とウォームホイール５に固定した蓋支持軸７１とを、長穴６２と蓋支持軸７１とで嵌合し、回転板６１とウォームホイール５との板面をお互いに平行に配置している。回転板６１は、例えば外径が７０ｍｍで、厚みが１０ｍｍであり、長穴６２は、例えば長軸の長さが３０ｍｍで、短軸の長さが１８ｍｍである。蓋支持軸７１は、例えば外径１５ｍｍ、長さ１０ｍｍであり、回転板の長穴の上端６３で当接し回転板６１を支持している。回転駆動手段４によりウォームホイール５が駆動されると蓋支持軸７１が回転移動し、回転板６１が移動する。開閉蓋３の開動作では、回転駆動手段４から伝達された駆動力により蓋支持軸７１が回転板の長穴の上端６３で回転板６１を下から支持し上方に回転させ、開閉蓋３を上方に開ける。開閉蓋３の閉動作では、回転駆動手段４から伝達された駆動力により蓋支持軸７１が下方に回転移動すると長穴の上端６３で蓋支持軸７１と当接している回転板６１は開閉蓋の重力により下方に回転し、開閉蓋３を下方に閉める。
【００１６】
図３に示すように、第１位置センサ部であるマイクロスィッチ８１は、ウォームホイール５と回転板６１を跨いでウォームホイール５に固定されているコの字型の第１位置センサ部保持具８２で保持され、第２位置センサ部であるマイクロスィッチ押え具８３は回転板６１に固定されている。蓋支持軸７１（図２参照）が長穴の上端６３（図２参照）で当接し、マイクロスィッチ押え具８３がマイクロスィッチ８１のスィッチを押え、マイクロスィッチ８１をクローズ状態になる位置に取り付けられている。また、マイクロスィッチ８１とマイクロスィッチ押え具８３との離間距離が、例えば１〜２ｍｍ以上、好ましくは１ｍｍ以上になるとマイクロスィッチ８１がオープン状態になり、マイクロスィッチ８１よりオープン状態信号が発生する位置に取り付けられている。
【００１７】
マイクロスィッチ８１からのオープン状態信号が図１に示す制御手段である電子制御部９に伝送されると、電子制御部９は回転駆動手段４の動作を停止させ、測定者に知らせるための信号を発生し、分析装置の表示部に警告を表示する。警告は表示部に表示すると共に音や音声などで知らせてもよい。
【００１８】
第１第位置センサと第２位置センサ部とが組み合わされて位置センサとして機能するものであり、どちらが第１位置センサ部でも第２位置センサ部でもよく、第１位置センサ部がマイクロスィッチ押え具であり、第２位置センサ部がマイクロスィッチであってもよい。また、一方が透過型光センサであり、他方が光遮蔽板で構成されてもよい。透過型光センサの場合には、光源部と受光部の光路の間に光遮蔽板が挿入され、回転駆動手段が駆動している時は、光遮蔽板が光路を遮断し受光部に光源の光が入射していない状態になっており、測定者の手などが開閉蓋に挟み込まれると開閉蓋の安全機構の作用により、透過型光センサと光遮蔽板とが互いに離間し、所定の距離以上、例えば１〜２ｍｍ以上、好ましくは１ｍｍ以上になると光源の光が受光部に入射し透過型光センサより信号が発生するよ
うにしてもよい。
【００１９】
図４に示すように、回転駆動手段４は、電動モータ４１と電動モータ回転軸に連結具によって連結されているウォーム４２とで構成されており、電動モータ４１が回転するとウォーム４２が回転し、ウォーム４２と噛み合っているウォームホイール５を回転させる。
【００２０】
開閉蓋が約数キログラム以上の重量の場合には、図１に示す開閉蓋バランス手段１０を有することが望ましい。本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置の試料室の開閉蓋の重量は約２０キログラムあり、開閉時に回転駆動手段４に大きな負荷がかかるため、開閉蓋の重量の一部を保持する開閉蓋バランス手段１０を設け開閉の円滑を図っている。図１に示すように、開閉蓋バランス手段１０は、バネ軸１０３に保持された圧縮バネ１０１がバネ筒１０２に収容され、バネ軸保持端１０４が第１バネ保持具１０５と嵌合して保持され、バネ筒１０２の一端が第２バネ保持具１０６で保持されている。第１バネ保持具１０５はバネ軸保持端１０４を保持すると共にバネ軸保持端１０４の上方位置にある蓋回転軸３２の部位を把持し、蓋回転軸３２を回転軸としている。圧縮バネ１０１は開閉蓋３の開動作時縮み、閉動作時伸張する。圧縮バネ１０１のこの伸縮作用によって開閉蓋の重力を軽減し開閉動作を円滑にすると共に測定者の手などが挟まった場合、手などにかかる負荷を２Ｋｇ以下に軽減している。
【００２１】
図５に示すように、万一、開閉蓋３の閉位置を検出するセンサ（図示なし）が故障し、かつ第１位置センサ部と第２位置センサ部で構成される位置センサが故障により正常な動作をしない場合には、メカストップ手段１１を設け強制的に停止させてもよい。メカストップ手段１１は、ウォームホイール５に固定されたストップ軸１１１と分析装置の適所に固定された回転ストップ軸１１２で構成されている。位置センサが故障すると、第１位置センサ部と第２位置センサ部の離間距離が所定の距離以上になっても回転駆動手段４が停止せず、そのまま回転動作を続けウォームホイール５に固定されている蓋支持軸７１が回転板の長穴６２の下端に当接し、回転駆動手段４の駆動力が開閉蓋３に負荷される。したがって、蓋支持軸７１が回転板６１の長穴６２の下端に達しない間に回転駆動手段４の駆動力を強制的に停止させる必要がある。そこで、蓋支持軸７１が回転板６１の長穴６２の下端に達しない中間位置で、ストップ軸１１１が回転ストップ軸１１２に当たり強制的に回転駆動手段４の駆動力を停止する位置にメカストップ手段１１は設けられている。
【００２２】
開閉蓋、回転駆動板であるウォームホイール、回転板、蓋回転軸、蓋支持軸の外径、厚み、材質などの物理形状や材質は前記した数値に限られたものではなく、開閉蓋の安全機構が適用される装置によって適宜決定されるものである。例えば、ウォームホイール、回転板、蓋回転軸、蓋支持軸などの材料は、鉄やニッケルなどの機械機構材料としての周知のものであればよい。
【００２３】
次に、第１実施形態の開閉蓋の安全機構の動作について説明する。図６〜８は開閉蓋の安全機構の動作説明図であり、開閉蓋、回転板支持手段、第１位置センサ部、第２位置センサ部などを簡略化して表している。図６は開閉蓋３の開動作の説明図である。図６（ａ）に示すように、開閉蓋３の閉状態では蓋支持軸７１に回転板６１の長穴の上端６３が当接し開閉蓋３の重力がかかっている。図６（ｂ）に示すように、開閉蓋３の開動作中、回転駆動手段の駆動力により蓋支持軸７１が回転板６１の長穴の上端６３を開閉蓋３の重力に抗して押し上げ、回転板６１を開方向に回転させ開閉蓋３を開ける。
【００２４】
図７は開閉蓋３の閉動作の説明図である。図７（ａ）に示すように、開閉蓋３の閉動作中、回転板の長穴の上端６３が蓋支持軸７１に当接しているが、蓋支持軸７１には開閉蓋３の重力だけがかかっており、単に回転板６１は長穴の上端６３で蓋支持軸７１に乗っているだけであり、回転駆動手段４の駆動力は負荷されておらず、蓋支持軸７１が下がれば
長穴の上端６３に当接して下方に回転し、開閉蓋３を下方に回転させ、図７（ｂ）に示すように開閉蓋を閉じる。
【００２５】
図８は開閉蓋の安全機構１の動作説明図である。図８（ａ）に示すように、正常な閉動作時はマイクロスィッチ押え具８３がマイクロスィッチ８１のスィッチを押え、マイクロスィッチ８１をクローズ状態で閉動作をしている。この時、回転板６１には回転駆動手段４の駆動力は負荷されていないが、開閉蓋３の重力が負荷されており、回転板の長穴の上端６３と蓋支持軸７１とは当接している。図８（ｂ）に示すように、開閉蓋３の閉動作時に測定者の手などが開閉蓋３に挟み込まれると、挟まれた手８５に開閉蓋３の重力が負荷され、挟まれた手８５の上端で開閉蓋３が停止し、開閉蓋３と回転同軸である回転板６１も停止する。
【００２６】
一方、ウォームホイール５に固定されている蓋支持軸７１は回転駆動手段４の駆動力によって回転するウォームホイール５の回転によって回転を続け、停止している回転板の長穴の上端６３と当接しなくなり、単独でウォームホイール５は回転を続ける。ウォームホイール５に固定されている第１位置センサであるマイクロスィッチ８１は回転を続けるが、回転板６１に固定されている第２位置センサであるマイクロスィッチ押え具８３は停止しているので、マイクロスィッチ８１とマイクロスィッチ押え具８３とは離間する。マイクロスィッチ８１とマイクロスィッチ押え具８３との離間距離が所定の距離以上、例えば１〜２ｍｍ以上、好ましくは１ｍｍ以上になるとマイクロスィッチ８１がクローズ状態よりオープン状態になり、マイクロスィッチ８１よりオープン状態信号が発生し、回転駆動手段４を停止する。
【００２７】
ウォームホイール５に固定されている蓋支持軸７１が回転板の長穴６２の下端に当接すると、停止していた回転板６１を回転駆動させ開閉蓋３を再び閉動作させることになるので、回転駆動手段の停止動作は、蓋支持軸７１が回転板の長穴６２の下端と当接する迄の間に行う必要がある。
【００２８】
本実施形態によれば、上下に開閉する開閉蓋３の閉動作時に、回転駆動手段４によって駆動される蓋支持軸７１に開閉蓋３が下から支えられ、蓋支持軸７１には重力だけが負荷され、回転駆動手段４の駆動力が開閉蓋３に負荷されない構造であるので、測定者の手など身体の一部が開閉蓋３に当たったり、挟まれたりした場合、挟まれた手などには開閉蓋３の重力しかかからないので、安全性が高い。また、本実施形態の開閉蓋の安全機構１は位置センサ８１、８３を有しているので、測定者の手など身体の一部が開閉蓋３に挟まれた場合、瞬時に位置センサ８１、８３が作動し回転駆動手段４を停止し、駆動力の負荷を回避することによって開閉蓋の閉動作をより安全にしている。さらに、測定者の手など身体の一部が開閉蓋３に挟まれた場合、回転駆動手段４を停止するが、安全機構の一部が脱離することがないので、安全機構の再組立や再調整が必要なく、開閉動作の安全確保後、開閉蓋の開閉操作を短時間で再開できる。
【００２９】
開閉蓋の重量が大きい場合、開閉蓋バランス手段１０を有しているので、測定者の手など身体の一部が開閉蓋に挟まれても開閉蓋の全部の自重が挟まれた手に負荷されず、より安全性が高い。
【００３０】
本実施形態では、蛍光Ｘ線分析装置の試料室の開閉蓋について説明したが、本発明の開閉蓋の安全機構は本実施形態に限られるものではなく、その他の装置にも適用される。例えば、蛍光Ｘ線分析装置と同じようにＸ線を使用するＸ線分析装置の試料室、ＥＰＭＡなどの電子線を使用する電子線分析装置の試料室、真空蒸着装置の真空室、成膜装置の真空室などのようにＸ線や電子線を使用する装置や高圧力のガスや蒸気を使用する装置および自動上下開閉蓋を有する装置などに適用される。
【００３１】
次に、本発明の第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置について説明する。第１実施形態で説明したように、蛍光Ｘ線分析装置は試料室にセットされた試料に１次Ｘ線を照射して試料から発生する蛍光Ｘ線をＸ線検出器で検出し、検出したＸ線の強度やエネルギにより試料を定量・定性分析したり、試料の膜厚測定をする装置である。Ｘ線が試料に照射される試料室からＸ線が漏洩しないように、また軽元素の分析では試料室を真空雰囲気にして測定するためその真空圧力に耐えられるように、試料室の開閉蓋の材料は充分な厚みを有する鉄などの金属で製作されている。
【００３２】
図９に示すように、第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置２は第１実施形態の自動的に上下に開閉する開閉蓋３、開閉蓋の安全機構１、分析試料をセットする試料室１５、Ｘ線管やＸ線検出器などを備えた分析部１８、分析結果や操作警告などを表示する表示部１９、開閉蓋の開閉動作時に試料室１５周辺領域に測定者の手や物体が入った場合に開閉蓋３の開閉動作を停止する信号を発生する第１エリアセンサ部１６と第２エリアセンサ部１７で構成されたエリアセンサを有している。開閉蓋の開閉動作時に試料室１５の周辺領域に誤って測定者の手や物品が入ると、エリアセンサが感知し停止信号を出し、瞬時に開閉動作を停止する。エリアセンサは光源部である第１エリアセンサ部１６から光検出部である第２エリアセンサ部１７に光が投射されている光透過型のセンサであり、２つのエリアセンサ１６、１７の間に手などが進入し、透過光が遮蔽されると停止信号を発生する。したがって、本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置２は開閉蓋の安全機構１とエリアセンサの二重の安全機構を有している。
【００３３】
エリアセンサが正常に作動している時は、測定者の手などが開閉蓋３に接近するまでに開閉蓋の開閉動作は停止し、開閉蓋の安全機構１が作用することはない。しかし、万一、エリアセンサが正常に作動していない時に、測定者が誤って手などを差し入れた場合、本発明の第１実施形態で前記したように開閉蓋の安全機構１が作動し、より高い安全性を確保する。
【００３４】
本発明の第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置２によれば、第１実施形態の開閉蓋の安全機構１を有しているので、第１実施形態と同様の作用効果が得られる。測定者の手など身体の一部が開閉蓋に挟まれた場合、回転駆動手段を停止するが、安全機構の一部が脱離することがないので、安全機構の再組立や再調整が必要なく、開閉動作の安全確保後、直ちに蛍光Ｘ線分析を続行することができ分析を長時間中断することがなく、特に生産現場と直結した日常管理分析の場合にはその効果は大きい。
【００３５】
本発明の開閉蓋の安全機構を有する分析装置は第１実施形態の蛍光Ｘ線分析装置に限らず、その他のＸ線分析装置や電子線分析装置などを含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１実施形態である蛍光Ｘ線分析装置の開閉蓋の安全機構の斜視図である。
【図２】同開閉蓋の安全機構の回転板支持手段部分を示す斜視図である。
【図３】同開閉蓋の安全機構の位置センサ部分を示す斜視図である。
【図４】同開閉蓋の安全機構の回転駆動手段の概略図である。
【図５】同開閉蓋の安全機構のメカストップ手段部分を示す斜視図である。
【図６】開閉蓋の開動作の説明図である。
【図７】開閉蓋の閉動作の説明図である。
【図８】開閉蓋の安全機構の動作説明図である。
【図９】第２実施形態の蛍光Ｘ線分析装置の斜視図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  開閉蓋の安全機構
２  蛍光Ｘ線分析装置
３  開閉蓋
４  回転駆動手段
５  ウォームホイール
６  回転板支持手段
９  電子制御部
１５  試料室
３１  開閉蓋の下端
３２  蓋回転軸
６１  回転板
６２  長穴
７１  蓋支持軸
８１  第１位置センサ部
８３  第２位置センサ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007240335.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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