(57)【要約】【課題】差圧をより正確に測定可能にするとともに差圧測定の信頼性を向上する。【解決手段】第１領域の圧力を検出する第１圧力センサ２２及び該第１圧力センサ２２の検出結果を所定のタイミングで取得する第１検出結果取得部２６を備える第１センサユニット２と、上記第１領域と異なる第２領域の圧力を検出する第２圧力センサ３２及び該第２圧力センサ３２の検出結果を所定のタイミングで取得する第２検出結果取得部３５を備える第２センサユニット３と、上記第１検出結果取得部２６にて取得された検出結果及び上記第２検出結果取得部３５にて取得された検出結果から上記第１領域と上記第２領域との差圧を算出する算出部２６と、を備える。【選択図】図２
2007240498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１領域の圧力を検出する第１圧力センサ及び該第１圧力センサの検出結果を所定のタイミングで取得する第１検出結果取得部を備える第１センサユニットと、
前記第１領域と異なる第２領域の圧力を検出する第２圧力センサ及び該第２圧力センサの検出結果を所定のタイミングで取得する第２検出結果取得部を備える第２センサユニットと、
前記第１検出結果取得部にて取得された検出結果及び前記第２検出結果取得部にて取得された検出結果から前記第１領域と前記第２領域との差圧を算出する算出部と、
を備えることを特徴とする差圧測定装置。
【請求項２】
前記第１検出結果取得部における前記検出結果の取得タイミングと前記第２検出結果取得部における前記検出結果の取得タイミングとの同期を図る同期手段を備えることを特徴とする請求項１記載の差圧測定装置。
【請求項３】
前記同期手段が前記第１検出結果取得部あるいは前記第２検出結果取得部のいずれか一方の検出結果取得部であり、該一方の検出結果取得部から他方の検出結果取得部に同期信号が入力されることによって、前記同期を図ることを特徴とする請求項２記載の差圧測定装置。
【請求項４】
前記同期手段は、前記第１検出結果取得部及び前記第２検出結果取得部の各々に設置されるタイマーであることを特徴とする請求項２記載の差圧測定装置。
【請求項５】
前記第１領域あるいは／及び前記第２領域の温度を計測する温度センサ及び該温度センサの検出結果を所定のタイミングで取得する温度検出結果取得部を備える温度センサユニットを備え、前記同期手段は、さらに前記温度検出結果取得部における前記検出結果の取得タイミングの同期を図ることを特徴とする請求項２記載の差圧測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の領域の差圧を測定する差圧測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
差圧測定装置としては、例えば、内部にオリフィス板が設置された配管内のオリフィス板の一方側の圧力と他方側の圧力を測定してその差圧を測定するものがある。
このような差圧測定装置では、接続領域の液体を引き込むことによって接続領域の圧力状態を伝達する導圧管を用いるものや封入された封入液（例えば、シリコンオイル等）を介して接続領域の圧力状態を伝達するキャピラリチューブを用いたものが一般的である（非特許文献１参照）。
導圧管を用いる差圧測定装置では、オリフィス板の一方側と他方側との各々に導圧管を接続し、これらの導圧管をスリーバルブにて接続した構成を有している。そして、スリーバルブを介して伝達される圧力を検出することによって差圧を測定している。
一方、キャピラリチューブを用いる差圧測定装置では、オリフィス板の一方側と他方側との各々にキャピラリチューブを接続し、これらのキャピラリチューブを介して伝達される圧力を検出して差圧を測定している。
【非特許文献１】計測器メーカが書いたフィールド機器・虎の巻  出版：工業技術社
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、導圧管を用いる差圧測定装置は、配管内を流れる液体を導圧管に直接引き込むため、液体に固形物や含まれている場合や、粘度の高い液体である場合には、導圧管に詰まりが生じる恐れがある。また、導圧管の腐食等や導圧管の破損によって配管内の液体が外部に漏出する恐れがある。
一方、キャピラリチューブを用いる差圧測定装置は、冬場等の温度が低い環境において封入液の粘度が高くなって抵抗が高くなり、圧力に対する応答性が悪化する。また、キャピラリチューブの一部が局所的に他の部分と異なる温度に晒された場合には、その一部における封入液の体積が熱膨張によって変化してしまい正確に圧力を伝達することができなくなる。
【０００４】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、差圧をより正確に測定可能にするとともに差圧測定の信頼性を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、第１領域の圧力を検出する第１圧力センサ及び該第１圧力センサの検出結果を所定のタイミングで取得する第１検出結果取得部を備える第１センサユニットと、上記第１領域と異なる第２領域の圧力を検出する第２圧力センサ及び該第２圧力センサの検出結果を所定のタイミングで取得する第２検出結果取得部を備える第２センサユニットと、上記第１検出結果取得部にて取得された検出結果及び上記第２検出結果取得部にて取得された検出結果から上記第１領域と上記第２領域との差圧を算出する算出部と、を備えることを特徴とする。
このような特徴を有する本発明によれば、第１領域の圧力が第１センサユニットにて直接取得され、第２領域の圧力が第２センサユニットにて直接取得され、第１センサユニット及び第２センサユニットにて取得された検出結果から第１領域と第２領域との差圧が算出される。
【０００６】
また、本発明においては、上記第１検出結果取得部における上記検出結果の取得タイミングと上記第２検出結果取得部における上記検出結果の取得タイミングとの同期を図る同期手段を備えるという構成を採用することができる。
また、同期手段を備える場合に、上記同期手段が上記第１検出結果取得部あるいは上記第２検出結果取得部のいずれか一方の検出結果取得部であり、該一方の検出結果取得部から他方の検出結果取得部に同期信号が入力されることによって、上記同期を図るという構成を採用することができる。
また、同期手段を備える場合に、上記同期手段は、上記第１検出結果取得部及び上記第２検出結果取得部の各々に設置されるタイマーであるという構成を採用することもできる。
また、同期手段を備える場合に、上記第１領域あるいは／及び上記第２領域の温度を計測する温度センサ及び該温度センサの検出結果を所定のタイミングで取得する温度検出結果取得部を備える温度センサユニットを備え、上記同期手段は、さらに上記温度検出結果取得部における上記検出結果の取得タイミングの同期を図るという構成を採用することもできる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、第１領域の圧力が第１センサユニットにて直接取得され、第２領域の圧力が第２センサユニットにて直接取得され、第１センサユニット及び第２センサユニットにて取得された検出結果から第１領域と第２領域との差圧が算出される。このため、圧力センサまで導圧管を用いて圧力を伝達する必要がなくなり、導圧管の詰まりや、導圧管の腐食等や導圧管の破損によって配管内の液体が外部に漏出する恐れを排除することができる。また、圧力センサまでキャピラリチューブを用いて圧力を伝達する必要がなくなり、封入液の粘度変化に起因する応答性の悪化や封入液の局所的な体積変化に起因する測定精度の低下が生じることを排除することができる。
したがって、本発明によれば、差圧をより正確に測定可能にするとともに差圧測定の信頼性を向上することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照して、本発明に係る差圧測定装置の一実施形態について説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
【０００９】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態である差圧測定装置１の斜視図である。また、図２は、差圧測定装置１の機能構成を示したブロック図である。
図１に示すように、本実施形態の差圧測定装置１は、配管１００に対して設置される２つのセンサユニット２，３を有している。なお、配管１００は、内部に液体が矢印方向に流されるとともに途中部位にオリフィス板２００が設置されている。
一方のセンサユニット２がオリフィス板２００よりも上流側に設置され、他方のセンサユニット３がオリフィス板２００よりも下流側に設置されている。なお、以下の説明において、オリフィス板２００よりも上流側に設置されるセンサユニット２を上流側センサユニット２（第１センサユニット）と称し、オリフィス板２００よりも下流側に設置されるセンサユニット３を下流側センサユニット３（第２センサユニット）と称する。
【００１０】
上流側センサユニット２は、図２に示すように、筐体２１と、振動式圧力センサ２２と、周波数カウンタ２３と、メモリ２４，２５と、ＣＰＵ２６と、変換部２７とを備えている。
【００１１】
筐体２１は、図１に示すように略円筒形状をしている。そして、筐体２１の内部に振動式圧力センサ２２と、周波数カウンタ２３と、メモリ２４，２５と、ＣＰＵ２６と、変換部２７とが収納されている。
【００１２】
振動式圧力センサ２２は、配管１００と直接接続して配置されており、受ける圧力に応じた所定の周波数を有するパルス信号を出力するものである。この振動式圧力センサ２２としては、例えば、ダイヤフラム上に形成されたシリコン振動子の固有振動数がダイヤフラムに加わる圧力に応じて変化することを利用したシリコン振動式圧力センサを用いることができる。
【００１３】
周波数カウンタ２３は、振動式圧力センサ２２と電気的に接続されており、振動式圧力センサ２２の出力信号が入力される。この周波数カウンタ２３は、入力されるパルス信号、すなわち振動式圧力センサ２２の出力信号の周波数をカウントしてそのカウント値を出力する。
【００１４】
メモリ２４は、ＣＰＵ２６と電気的に接続されており、振動式圧力センサ２２の特性を記憶する不揮発性メモリ（例えば、ＥＥＰ−ＲＯＭまたはフラッシュＲＯＭまたはＥＰ−ＲＯＭまたはＰ−ＲＯＭ）である。なお、メモリ２４が記憶する振動式圧力センサ２２の特性とは、外部温度やダイヤフラムの特性に起因する振動式圧力センサ２２の出力周波数のぶれ等を含むものである。
【００１５】
メモリ２５は、ＣＰＵ２６と電気的に接続されており、ＣＰＵ２６が用いるソフトウェアを記憶する不揮発性メモリ（例えば、ＥＥＰ−ＲＯＭ）である。このメモリ２５には、差圧を算出するための演算プログラムや後述する同期信号を出力するタイミング等の設定値が記憶されている。また、メモリ２５は、ＣＰＵ２６内部にあるＲＯＭであっても良い。そして、メモリ２５には、レンジ情報の設定値、フィルタ時定数の設定値が格納されている。
【００１６】
ＣＰＵ２６は、周波数カウンタ２３から入力されるカウント値（上流側センサユニット２の振動式圧力センサ３２の検出結果）を所定のタイミングで取得する。また、ＣＰＵ２６には、後述する下流側センサユニット３のＣＰＵ３５から入力されるカウント値（下流側センサユニット３の振動式圧力センサ３２の検出結果）が入力される。そして、これらのカウント値に基づいて、オリフィス板２００の上流側領域（第１領域）の圧力と、オリフィス板２００の下流側領域（第２領域）の圧力との差圧を算出して出力する。
また、ＣＰＵ２６は、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５とローカルデータバス４を介して電気的に接続されている。そして、周波数カウンタ２３から入力されるカウント値とＣＰＵ３５から入力されるカウント値が同時刻に取得されたものとするための同期信号をＣＰＵ３５に入力する。
この他、ＣＰＵ２６は、本実施形態の差圧測定装置１の動作全体を制御する。
【００１７】
変換部２７は、ＣＰＵ２６と電気的に接続されているとともに、外部に延在して外部機器と接続される配線５の一端に接続されている。そして、ＣＰＵ２６から入力される差圧を示す信号を、配線５に接続されている外部機器に応じた信号に変換して出力する。
【００１８】
次に、下流側センサユニット３は、図２に示すように、筐体３１と、振動式圧力センサ３２と、周波数カウンタ３３と、メモリ３４と、ＣＰＵ３５とを備えている。
【００１９】
筐体３１は、図１に示すように略円筒形状をしている。そして、筐体３１の内部に振動式圧力センサ３２と、周波数カウンタ３３と、メモリ３４と、ＣＰＵ３５とが収納されている。
【００２０】
振動式圧力センサ３２は、配管１００と直接接続して配置されており、受ける圧力に応じた所定の周波数を有するパルス信号を出力するものである。この振動式圧力センサ３２としては、例えば、上述したシリコン振動式圧力センサを用いることができる。
【００２１】
周波数カウンタ３３は、振動式圧力センサ３２と電気的に接続されており、振動式圧力センサ３２の出力信号が入力される。この周波数カウンタ３３は、入力されるパルス信号、すなわち振動式圧力センサ３２の出力信号の周波数をカウントしてそのカウント値を出力する。
【００２２】
メモリ３４は、ＣＰＵ３５と電気的に接続されており、振動式圧力センサ３２の特性を記憶する不揮発性メモリ（例えば、ＥＥＰ−ＲＯＭ）である。なお、メモリ３４が記憶する振動式圧力センサ３２の特性とは、外部温度やダイヤフラムの特性に起因する振動式圧力センサ３２の出力周波数のぶれ等を含むものである。
【００２３】
ＣＰＵ３５は、上述のように、ローカルデータバス４を介して上流側センサユニット２のＣＰＵ２６と電気的に接続されている。このＣＰＵ３５は、ローカルデータバス４を介して入力される同期信号を受け取ると、周波数カウンタ３３から入力されるカウント値を取得する。そして取得したカウント値をローカルデータバス４を介して出力する。
【００２４】
次に、このように構成された本実施形態の差圧測定装置１の動作について説明する。
【００２５】
配管１００内のオリフィス板２００の上流側領域の液体から振動式圧力センサ２２に圧力が加わると、振動式圧力センサ２２が受けた圧力に応じた所定の周波数のパルス信号が、振動式圧力センサ２２から出力される。そして、周波数カウンタ２３は、入力されるパルス信号の周波数をカウントしてカウント値として出力する。
また、配管１００内のオリフィス板２００の下流側領域の液体から振動式圧力センサ３２に圧力が加わると、振動式圧力センサ３２が受けた圧力に応じた所定の周波数のパルス信号が、振動式圧力センサ３２から出力される。そして、周波数カウンタ３３は、入力されるパルス信号の周波数をカウントしてカウント値として出力する。
【００２６】
一方、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６は、メモリ２５に記憶された同期信号を出力するタイミングに応じて、ローカルデータバス４を介して同期信号を出力する。
そして、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５は、ローカルデータバス４を介して入力される同期信号を受けると同時に、周波数カウンタ３３から入力されるカウント値を取得する。そして取得したカウント値をローカルデータバス４を介して出力する。
また、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６は、ＣＰＵ２６が同期信号を出力したタイミングから下流側センサユニット３のＣＰＵ３５が同期信号を受け取ってカウント値の取得を開始するタイミングまでの時間を待機してから周波数カウンタ２３より入力されるカウント値を取得する。
このように、本実施形態の差圧測定装置１においては、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によってカウント値が取得されるタイミングとの同期が図られている。
なお、ＣＰＵ２６が同期信号を出力したタイミングから下流側センサユニットのＣＰＵ３５が同期信号を受け取ってカウント値の取得を開始するタイミングまでの時間は、メモリ２５に予め固定値として記憶されている。
【００２７】
この結果、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６には、同一時刻に取得されたカウント値が入力される。すなわち、所定の同一時刻における振動式圧力センサ２２の検出結果と振動式圧力センサ３２の検出結果とが上流側センサユニット２に入力される。
また、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６は、メモリ２４から振動式圧力センサ２２の特性を取得するとともに、ローカルデータバス４及び下流側センサユニット３のＣＰＵ３５を介してメモリ３４から振動式圧力センサ３２の特性を取得する。
そして、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６は、取得した２つのカウント値からオリフィス板２００の上流側の圧力とオリフィス板２００の下流側の圧力とを算出する演算を行う。また、ＣＰＵ２６は、取得した振動式圧力センサ２２，２３の特性に基づいて算出した圧力を補正する演算を行う。そして、ＣＰＵ２６は、このような演算によって得られた圧力の差を算出することによって、オリフィス板２００の上流側の圧力とオリフィス板２００の下流側の圧力との差圧を算出する。
【００２８】
続いて、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６は、算出した差圧を示す信号を変換部２７に入力する。変換部２７に入力した差圧を示す信号は、配線５を介して接続される外部機器に応じた信号に変換された後に、配線５を介して出力される。そして、この配線５を介して出力された信号が外部機器に入力される。
【００２９】
なお、外部機器は、予め配管１００内を流れる液体の密度等の情報を記憶しており、本実施形態の差圧測定装置１から入力される差圧を示す信号を用いて演算を行うことによって配管１００内を流れる液体の流量を算出することができる。
【００３０】
このような本実施形態の差圧測定装置１によれば、オリフィス板２００の上流側（第１領域）の圧力が上流側センサユニット２の振動式圧力センサ２２にて直接取得され、オリフィス板２００の下流側（第２領域）の圧力が下流側センサユニット３の振動式圧力センサ３２にて直接取得され、これらの振動式圧力センサ２２，３２にて取得された検出結果に基づいて差圧が算出される。このため、従来の差圧測定装置のように、圧力センサまで導圧管を用いて圧力を伝達する必要がなくなり、導圧管の詰まりや、導圧管の腐食等や導圧管の破損によって配管内の液体が外部に漏出する恐れを排除することができる。また、圧力センサまでキャピラリチューブを用いて圧力を伝達する必要がなくなり、封入液の粘度変化に起因する応答性の悪化や封入液の局所的な体積変化に起因する測定精度の低下が生じることを排除することができる。
したがって、本実施形態の差圧測定装置１によれば、差圧をより正確に測定可能にするとともに差圧測定の信頼性を向上することが可能となる。
【００３１】
また、本実施形態の差圧測定装置１によれば、上流側センサユニット２のＣＰＵ２２によって、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によってカウント値が取得されるタイミングとの同期が図られている。このため、より正確に差圧を測定することが可能となる。
その理由について、図３及び図４を用いて説明する。
【００３２】
図３は、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によってカウント値が取得されるタイミングとの同期が図られていない場合の説明図である。また、図４は、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によってカウント値が取得されるタイミングとの同期が図られている場合の説明図である。
なお、図３及び図４において、符合Ａにて示すグラフは配管１００内にて働く実際の静圧を示し、符号Ｂにて示すグラフはオリフィス板２００の上流側と下流側との実際の差圧を示し、符号Ｃにて示すグラフは上流側センサユニット２の振動式圧力センサ２２の検出結果から算出したオリフィス板２００の上流側の算出圧力を示し、符合Ｄにて示すグラフは下流側センサユニット３の振動式圧力センサ３２の検出結果から算出したオリフィス板２００の下流側の算出圧力を示し、符合Ｅにて示すグラフは算出した差圧を示している。
また、図中ａは上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によって周波数カウンタ２３からのカウント値が取得されるタイミングを示すグラフであり、ｂは下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によって周波数カウンタ３３からのカウント値が取得されるタイミングを示すグラフである。
【００３３】
図３に示すように、差圧Ｂが一定な状態で静圧Ａが変動する場合において、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によってカウント値が取得されるタイミングとがずれている場合には、オリフィス板２００の上流側の算出圧力Ｃの更新タイミングと、オリフィス板２００の下流側の算出圧力Ｄの更新タイミングとがずれる。この結果、実際の差圧Ｂが一定であるにも関わらず、算出差圧Ｅが変動する。
一方、図４に示すように、差圧Ｂが一定な状態で静圧Ａが変動する場合において、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によってカウント値が取得されるタイミングとが同期している場合には、オリフィス板２００の上流側の算出圧力Ｃの更新タイミングと、オリフィス板２００の下流側の算出圧力Ｄの更新タイミングとが重なる。この結果、算出差圧Ｅも常に一定となる。
【００３４】
したがって、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によってカウント値が取得されるタイミングとの同期が図られることによって、より正確に差圧を測定することが可能となる。
【００３５】
また、本実施形態の差圧測定装置１においては、差圧を算出し、かつ、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６が同期信号を出力し、かつ、振動式圧力センサ２２の検出結果を取得している。すなわち、本実施形態の差圧測定装置１においては、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６が、本発明の算出部、第１検出結果取得部及び同期手段の機能を有している。このような構成を採用することによって、算出部と第１検出結果取得部と同期手段とを別部材として設置する必要がなくなり、差圧測定装置１を小型化及び低コスト化することが可能となる。
【００３６】
なお、本実施形態の差圧測定装置１においては、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６が同期信号を出力することによって、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によってカウント値が取得されるタイミングとの同期が図られている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６及び下流側センサユニット３のＣＰＵ３５の各々に対してタイマーを設置し、このタイマーを用いて、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によってカウント値が取得されるタイミングとの同期を図っても良い。
【００３７】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、本第２実施形態の説明において、上記第１実施形態と同様の部分については、同一符合を付し、その説明を省略あるいは簡略化する場合がある。
【００３８】
図５は、本実施形態の差圧測定装置１０の斜視図である。また、図６は、差圧測定装置１０の機能構成を示したブロック図である。
これらの図に示すように、本実施形態の差圧測定装置１０は、上流側センサユニット２と下流側センサユニット３との他に、温度センサユニット２０を備えている。
【００３９】
温度センサユニット２０は、図５に示すようにオリフィス板２００の下流側に設置されており、図６に示すように筐体３０と、温度センサ４０と、ＣＰＵ５０とを備えている。
【００４０】
筐体３０は、図５に示すように、略円筒形状をしている。そして、筐体３０の内部には、温度センサ４０及びＣＰＵ５０が収納されている。
【００４１】
温度センサ４０は、配管１００内の液体の温度を検出して出力するものである。また、ＣＰＵ５０は、温度センサ４０に電気的に接続されている。また、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６にローカルデータバス６０を介して電気的に接続されている。そして、ＣＰＵ５０は、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６から同期信号を入力されると温度センサ４０の検出結果を取得してローカルデータバス６０を介して出力する。
【００４２】
このような本実施形態の差圧測定装置１においては、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６から下流側センサユニット３のＣＰＵ３５及び温度センサユニット２０のＣＰＵ５０に同期信号が送られ、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６によってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニット３のＣＰＵ３５によってカウント値が取得されるタイミングと、温度センサユニット２０のＣＰＵ５０によって温度センサ４０の検出結果を取得するタイミングとの同期が図られる。
【００４３】
このため、上流側センサユニット２のＣＰＵ２６が同時刻のカウント値及び温度を取得することが可能となる。このため、例えば、液体の密度等の情報をメモリ２５に記憶させておくことによって、配管１００を流れる液体の流量を正確に算出することもできる。
【００４４】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る差圧測定装置の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第１実施形態の差圧測定装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態の差圧測定装置の機能構成を示したブロック図である。
【図３】上流側センサユニットのＣＰＵによってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニットのＣＰＵによってカウント値が取得されるタイミングとの同期が図られていない場合の説明図である。
【図４】上流側センサユニットのＣＰＵによってカウント値が取得されるタイミングと、下流側センサユニットのＣＰＵによってカウント値が取得されるタイミングとの同期が図られている場合の説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態の差圧測定装置の概略構成図である。
【図６】本発明の第２実施形態の差圧測定装置の機能構成を示したブロック図である。
【符号の説明】
【００４６】
１，１０……差圧測定装置、２……上流側センサユニット（第１センサユニット）、２２……振動式圧力センサ（第１圧力センサ）、２６……ＣＰＵ（算出部、第１検出結果取得部、同期手段）、３……下流側センサユニット（第２センサユニット）、３２……振動式圧力センサ（第２圧力センサ）、３５……ＣＰＵ（第２検出結果取得部）、２０……温度センサユニット、４０……温度センサ、５０……ＣＰＵ（温度検出結果取得部）
【図１】
2007240498.tif 000003
【図２】
2007240498.tif 000004
【図３】
2007240498.tif 000005
【図４】
2007240498.tif 000006
【図５】
2007240498.tif 000007
【図６】
2007240498.tif 000008