(57)【要約】【課題】インクジェットやディスペンサー等によって基板などの被塗布媒体に吐出（塗布）されたスペーサ等の粒子の状態を検査する粒子状態検査方法等を提供することを目的とする。【解決手段】被塗布媒体に対して、溶媒中に粒子を含む塗布液を塗布する塗布工程と、前記溶媒を透過し、かつ、前記溶媒の反射率に比して前記粒子の反射率が高い波長の光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射する照明工程と、前記被塗布媒体からの反射光を受光して前記被塗布媒体を撮像する撮像工程と、前記撮像された画像に基づいて、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の状態の良否を判定する判定工程と、を有することを特徴とする。【選択図】図４
2007303888.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布媒体に対して、溶媒中に粒子を含む塗布液を塗布する塗布工程と、
前記溶媒を透過し、かつ、前記溶媒の反射率に比して前記粒子の反射率が高い波長の光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射する照明工程と、
前記被塗布媒体からの反射光を受光して前記被塗布媒体を撮像する撮像工程と、
前記撮像された画像に基づいて、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の状態の良否を判定する判定工程と、
を有することを特徴とする粒子状態検査方法。
【請求項２】
被塗布媒体に対して、溶媒中に粒子を含む塗布液を塗布する塗布工程と、
前記溶媒を透過し、かつ、前記被塗布媒体の吸収率に比して前記粒子の吸収率が高い波長の光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射する照明工程と、
前記被塗布媒体からの反射光を受光して前記被塗布媒体を撮像する撮像工程と、
前記撮像された画像に基づいて、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の状態の良否を判定する判定工程と、
を有することを特徴とする粒子状態検査方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の粒子状態検査方法において、
前記判定工程は、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の量が、所定範囲内であるか否かに基づいて、前記粒子の状態の良否を判定することを特徴とする粒子状態検査方法。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の粒子状態検査方法において、
前記判定工程は、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の中に、異常形状粒子があるか否かに基づいて、前記粒子の状態の良否を判定することを特徴とする粒子状態検査方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の粒子状態検査方法において、
前記照明工程は、赤外光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射することを特徴とする粒子状態検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の粒子状態検査方法において、
前記撮像工程は、対物レンズと、当該対物レンズを介して前記被塗布媒体を撮像するエリアセンサカメラを含み、前記対物レンズは、赤外波長域において色収差が補正されていることを特徴とする粒子状態検査方法。
【請求項７】
被塗布媒体に対して、溶媒中に粒子を含む塗布液を塗布する塗布手段と、
前記溶媒を透過し、かつ、前記溶媒の反射率に比して前記粒子の反射率が高い波長の光を照明光として照射する照射手段と、
前記被塗布媒体からの反射光を受光して当該被塗布媒体を撮像する撮像手段と、
前記撮像された画像に基づいて、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の状態の良否を判定する判定手段と、
を有することを特徴とする粒子状態検査装置。
【請求項８】
被塗布媒体に対して、溶媒中に粒子を含む塗布液を塗布する塗布手段と、
前記溶媒を透過し、かつ、前記被塗布媒体の吸収率に比して前記粒子の吸収率が高い波長の光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射する照射手段と、
前記被塗布媒体からの反射光を受光して当該被塗布媒体を撮像する撮像手段と、
前記撮像された画像に基づいて、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の状態の良否を判定する判定手段と、
を有することを特徴とする粒子状態検査装置。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の粒子状態検査装置において、
前記判定手段は、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の量が、所定範囲内であるか否かに基づいて、前記粒子の状態の良否を判定することを特徴とする粒子状態検査装置。
【請求項１０】
請求項７又は８に記載の粒子状態検査装置において、
前記判定手段は、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の中に、異常形状粒子があるか否かに基づいて、前記粒子の状態の良否を判定することを特徴とする粒子状態検査装置。
【請求項１１】
請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の粒子状態検査装置において、
前記照明手段は、赤外光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射することを特徴とする粒子状態検査装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の粒子状態検査装置において、
前記撮像手段は、対物レンズと、当該対物レンズを介して前記被塗布媒体を撮像するエリアセンサカメラを含み、前記対物レンズは、赤外波長域において色収差が補正されていることを特徴とする粒子状態検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶媒中に粒子を含む塗布液の粒子の状態を検査する粒子状態検査装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示ディスプレイ（ＬＣＤ）等の製造に際し、基板の間隔を一定に保つために、基板間にスペーサを配置する技術がある。スペーサの設置（配置）手法の一例として、フォトリソ方式によるものと、インクジェット方式によるものがある。フォトリソ方式によれば、塗布液の膜厚制御とパターニングを精度よく行なうことで、径及び高さの安定した円柱状のスペーサを形成できる。しかし、スペーサとして残す箇所以外に塗布液の殆どを除去してしまうため、コスト性が低い。
【０００３】
一方、インクジェット方式によれば、スペーサを混入させた塗布液を吐出する構成のため、必要な量の塗布液を、スペーサを配置したい指定位置に塗布していくことが可能であり、また、多数のノズルを有するインクジェットヘッドを用いれば同時に多数の箇所に塗布液を塗布できるので生産性が良いという利点を有する。
【０００４】
ところで、塗布液中に含まれるスペーサが、基板の間隔を一定に保つという目的、機能を果たすためには、基板上に良好な状態でスペーサが配置されることが必要である。例えば、特許文献１には、多孔質のダミー基板上にスペーサを吐出し、溶媒を多孔質ダミー基板に吸収させて、基板上のスペーサ数をカウントすることで、インクジェットにより吐出される吐出スペーサ数を予め測定することにより、スペーサの散布数を一定に保つ技術が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−３１６３８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述したようなダミー基板による確認では、実際の（実装される）基板上におけるスペーサの数を正確に測定することはできない。
【０００６】
また、基板上を顕微鏡により高倍率で拡大して撮像し、撮像画像に基づいて目視によりスペーサの状態を確認する手法であっても、溶媒の表面張力によって生じた塗布液の厚みにより、図９に示す如く溶媒により照明光が反射してしまい、塗布直後には塗布液内部のスペーサ（溶質）を撮像（観察）することが困難であるという問題が生じていた。
【０００７】
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、インクジェットやディスペンサー等によって基板などの被塗布媒体に吐出（塗布）されたスペーサ等の粒子の状態を検査する粒子状態検査方法等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための請求項１に記載の発明は、被塗布媒体に対して、溶媒中に粒子を含む塗布液を塗布する塗布工程と、前記溶媒を透過し、かつ、前記溶媒の反射率に比して前記粒子の反射率が高い波長の光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射する照明工程と、前記被塗布媒体からの反射光を受光して前記被塗布媒体を撮像する撮像工程と、前記撮像された画像に基づいて、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の状態の良否を判定する判定工程と、を有することを特徴とする粒子状態検査方法である。
【０００９】
上記課題を解決するための請求項２に記載の発明は、被塗布媒体に対して、溶媒中に粒子を含む塗布液を塗布する塗布工程と、前記溶媒を透過し、かつ、前記被塗布媒体の吸収率に比して前記粒子の吸収率が高い波長の光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射する照明工程と、前記被塗布媒体からの反射光を受光して前記被塗布媒体を撮像する撮像工程と、前記撮像された画像に基づいて、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の状態の良否を判定する判定工程と、を有することを特徴とする粒子状態検査方法である。
【００１０】
上記課題を解決するための請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の粒子状態検査方法において、前記判定工程は、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の量が、所定範囲内であるか否かに基づいて、前記粒子の状態の良否を判定することを特徴とする粒子状態検査方法である。
【００１１】
上記課題を解決するための請求項４に記載の発明は、請求項１又は２に記載の粒子状態検査方法において、前記判定工程は、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の中に、異常形状粒子があるか否かに基づいて、前記粒子の状態の良否を判定することを特徴とする粒子状態検査方法である。
【００１２】
上記課題を解決するための請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の粒子状態検査方法において、前記照明工程は、赤外光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射することを特徴とする粒子状態検査方法である。
【００１３】
上記課題を解決するための請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の粒子状態検査方法において、前記撮像工程は、対物レンズと、当該対物レンズを介して前記被塗布媒体を撮像するエリアセンサカメラを含み、前記対物レンズは、赤外波長域において色収差が補正されていることを特徴とする粒子状態検査方法である。
【００１４】
上記課題を解決するための請求項７に記載の発明は、被塗布媒体に対して、溶媒中に粒子を含む塗布液を塗布する塗布手段と、前記溶媒を透過し、かつ、前記溶媒の反射率に比して前記粒子の反射率が高い波長の光を照明光として照射する照射手段と、前記被塗布媒体からの反射光を受光して当該被塗布媒体を撮像する撮像手段と、前記撮像された画像に基づいて、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の状態の良否を判定する判定手段と、を有することを特徴とする粒子状態検査装置である。
【００１５】
上記課題を解決するための請求項８に記載の発明は、被塗布媒体に対して、溶媒中に粒子を含む塗布液を塗布する塗布手段と、前記溶媒を透過し、かつ、前記被塗布媒体の吸収率に比して前記粒子の吸収率が高い波長の光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射する照射手段と、前記被塗布媒体からの反射光を受光して当該被塗布媒体を撮像する撮像手段と、前記撮像された画像に基づいて、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の状態の良否を判定する判定手段と、を有することを特徴とする粒子状態検査装置である。
【００１６】
上記課題を解決するための請求項９に記載の発明は、請求項７又は８に記載の粒子状態検査装置において、前記判定手段は、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の量が、所定範囲内であるか否かに基づいて、前記粒子の状態の良否を判定することを特徴とする粒子状態検査装置である。
【００１７】
上記課題を解決するための請求項１０に記載の発明は、請求項７又は８に記載の粒子状態検査装置において、前記判定手段は、前記被塗布媒体に塗布された前記塗布液に含まれる前記粒子の中に、異常形状粒子があるか否かに基づいて、前記粒子の状態の良否を判定することを特徴とする粒子状態検査装置である。
【００１８】
上記課題を解決するための請求項１１に記載の発明は、請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の粒子状態検査装置において、前記照明手段は、赤外光を照明光として、前記被塗布媒体に対して照射することを特徴とする粒子状態検査装置である。
【００１９】
上記課題を解決するための請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載の粒子状態検査装置において、前記撮像手段は、対物レンズと、当該対物レンズを介して前記被塗布媒体を撮像するエリアセンサカメラを含み、前記対物レンズは、赤外波長域において色収差が補正されていることを特徴とする粒子状態検査装置である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、塗布液の塗布直後であっても、溶媒越しに粒子を確実に撮像することができ、当該粒子の状態を確実に検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の実施形態について、図面に基づいて説明する。なお、以下に説明する実施形態は、液晶表示ディスプレイ（ＬＣＤ）のフィルタ等に用いられるガラス基材上にフォトリソグラフィー法などによって樹脂製のブラックマトリクス（ＢＭ）が形成されたＢＭ基板（被塗布媒体の一例である。）に、溶媒中に粒子を含む塗布液を塗布し、当該基板に塗布された塗布液に含まれる粒子の状態の良否を判定し、粒子状態を検査する検査システムに対して本発明を適用した場合の実施形態である。
【００２２】
＜塗布液塗布工程＞
先ず、検査システムの説明の前に、本発明における被塗布媒体の一例であるＢＭ基板に対して塗布液を塗布する塗布液塗布工程について説明する。
【００２３】
図１は、本実施形態に係るＢＭ基板に対して塗布液を塗布する様子を示す図である。
【００２４】
塗布部１０は、ＢＭ基板１３上の複数の位置に一定の塗布量の塗布液１２を塗布するためのものである。塗布部１０は、ディスペンサーやインクジェット等によって構成され、図示しない操作部による制御に基づいて塗布液１２が吐出されるようになっている。
【００２５】
ここで、図２及び図３を用いてＢＭ基板１３、及び当該ＢＭ基板１３に塗布される塗布液１２について説明する。
【００２６】
図２（ａ）は、塗布液１２が塗布されたＢＭ基板１３の平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）の点線箇所にあたる要部拡大図である。図３は、塗布液１２が塗布された直後のＢＭ基板１３及び塗布液１２の断面側面図である。
【００２７】
ＢＭ基板１３上には、カラーフィルター用顔料や熱硬化型樹脂等からなるＲＧＢ各色の顔料インクによって着色された着色部１５やブラックマトリクス１６等が形成されている。
【００２８】
そして、ＢＭ基板１３を、当該ＢＭ基板１３と対を成して減圧下で貼り合わされる他の基板との間隙を一定に保つために、ＢＭ基板１３上にスペーサとしての機能を果たすビーズ等の粒子を含む塗布液１２が塗布される。
【００２９】
塗布液１２は、溶媒１８と、当該溶媒中に溶質としての粒子１７を含んで構成されている。また、ＢＭ基板１３上の塗布液１２の塗布位置は、スペーサが形成されるべき位置であり、設計事項に合わせて任意に設定可能である。更に、塗布液１２の塗布方法は、上記設定した各塗布位置に塗布液１２を１ショット（１滴）塗布する方法と、複数滴塗布する方法があり、設計事項に合わせて任意に設定可能である。
【００３０】
塗布液１２に含まれる粒子１７は、赤外光をよく反射する金属コーティングが施されており、また、溶媒１８は、後に詳述する赤外光を透過する材料からなる。溶媒１８の赤外光の反射率よりも、粒子１７の赤外光の反射率の方が大きくなるような材料で粒子１７及び溶媒１８が形成される。
【００３１】
粒子１７の形状は、スペーサとしての機能を果たす程度一定形状であれば特に限定されないが、例えば、球状、繊維状等であることが好ましい。ここでは球状の粒子１７を用いるものとして以下説明する。
【００３２】
また、粒子１７の粒径は、スペーサとしての機能を果たす程度一定の大きさであれば特に限定されないが、例えば、５μｍ〜１０μｍであることが好ましい。また、塗布液１２の１ショット（１滴）分に含まれる粒子１７の数や、各塗布位置に塗布される塗布液１２に含まれる粒子１７の数は、スペーサとしての機能を果たす程度のばらつき範囲であれば特に限定されない。
【００３３】
本発明は、上述したような粒子１７の状態の良否、すなわち、各塗布位置に塗布された塗布液１２に含まれる粒子１７の数、及び粒子１７の形状、大きさなどを検査するための手法にかかるものである。
【００３４】
＜検査システムの機能及び構成＞
次に、本実施形態に係る検査システムＳについて、図４の検査システムＳの概要構成例を示す説明図を用いて説明する。
【００３５】
本実施形態に係る検査システムＳは、ＸＹステージ２１上に載置されたＢＭ基板１３に対してハロゲンランプ２２により照明光を照射しつつ、顕微鏡２３を介してエリアセンサカメラ２４により当該ＢＭ基板１３を撮像して、その撮像画像を検査端末２０により取得するようになっている。
【００３６】
ハロゲンランプ２２の照射部には、図示しない短波長カットフィルターが装着されており、ＢＭ基板１３に対して、図４において上方から、粒子１７の撮像に適した光を照射するように構成されている。図５にＢＭ基板１３に対して照射される照明光のスペクトルの一例を示す。
【００３７】
粒子１７の撮像に適した光とは、溶媒１８を透過し、かつ、溶媒１８からの反射率に比して粒子１７の反射率が高い波長の光をいい、特に、図５に示したような赤外光であることが好ましい。
【００３８】
このような赤外光を照明光として用いることにより、エリアセンサカメラ２４で、溶媒１８中の粒子１７の状態を明確に撮像することができる。より具体的には、図６に示す如く粒子１８部分が撮像された画像を取得することができる。
【００３９】
また、顕微鏡２３には、赤外波長域において色収差が補正された対物レンズが具備されている。収差による歪みを除去した画像を取得するためである。エリアセンサカメラ２４は、赤外域に感度を有しているものであれば適用可能である。
【００４０】
なお、本実施形態では、短波長カットフィルターを装着したハロゲンランプ２２を照明手段として用いたが、本発明はこれに限定されず、赤外光を発行する赤外ＬＥＤを照明手段として用いてもよい。図７に赤外ＬＥＤのスペクトルの一例を示す。
【００４１】
検査端末２０は、例えば汎用のパーソナルコンピュータを適用可能であり、エリアセンサカメラ２４から出力された撮像画像のデータを入力し、ＸＹステージ２１を制御する図示しないステージ制御装置及びハロゲンランプ２２を制御する図示しない光源制御装置と接続される外部機器接続部２０１と、上記撮像画像のデータ、各種設定データ、ＯＳ（オペレーティングシステム）及びアプリケーションプログラムを記憶する記憶部（例えば、ハードディスク、ＲＯＭ、作業用ＲＡＭ、ビデオＲＡＭ等を備える）２０２と、ＣＰＵを主体として構成され、上記撮像した画像データを取得する制御部２０３と、上記撮像画像及び検査結果を示す情報等を表示する表示部（例えば、液晶ディスプレイ）２０４と、検査者（オペレータ）からの操作指示を入力し、その指示信号を制御部２０３に出力する操作部２０５（例えば、キーボード、マウス等）と、ネットワークを介して他のコンピュータ等と通信するための通信部２０６を含んで構成され、これらの構成要素はバス２０７を介して相互に接続されている。なお、上記ステージ制御装置及び光源制御装置は検査端末２０内に具備するよう構成してもよい。
【００４２】
また、制御部２０３は、演算機能を有するＣＰＵ（Central Processing Unit）、各種プログラム及びデータを記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）、及び作業用メモリとしてのＲＡＭ（Random Access memory）等を含んで構成されており、検査装置２０における構成要素全体を制御するものである。
【００４３】
＜検査手順＞
次に、図８を参照して、本実施形態に係る検査システムＳの粒子状態検査手順について説明する。
【００４４】
図８は、検査システムＳの粒子状態検査手順を示すフローチャートである。
【００４５】
先ず、ＸＹステージ２１上にＢＭ基板１３が搬入（載置）される（ステップＳ１）。そして、ＸＹステージ２１が上記ステージ制御装置によって制御され、顕微鏡２３及びエリアセンサカメラ２４が検査ポイント上に来るようにＸＹステージ２１が移動する（ステップＳ２）。なお、検査ポイントとは、ＢＭ基板１３上の塗布液１２が塗布された箇所である。
【００４６】
そして、顕微鏡２３により塗布液１２中の粒子１７にフォーカシングされ、エリアセンサカメラ２４によってＢＭ基板１３の撮像が行なわれる（ステップＳ３）。
【００４７】
続いて、検査端末２０は、通信ケーブルを介してエリアセンサカメラ２４から撮像された画像（図６参照）を撮像画像データとして取得する（ステップＳ４）。
【００４８】
そして、制御部２０３が、撮像された画像データに基づいて粒子１７の数をカウントし、又は形状及び大きさを確認し、粒子１７の量（数を含む）が所定範囲内であるか、又は異常形状粒子があるか否か等に基づいて粒子状態の良否判定を行なう（ステップＳ５）。そして、例えば、粒子１７の量が所定範囲内で無い場合や、異常形状粒子がある場合には、粒子状態が不適である旨を表示部２０４に表示して検査者に提示（告知）すると共に、図示しない判定結果を保管管理するデータベース等に検出された判定結果を記録（保管）する。
【００４９】
そして、ＢＭ基板１３上の全検査ポイントにおける粒子状態の検査が終了した後（ステップＳ６：Ｙｅｓ）に、ＸＹステージ２１上から基板を排出して検査を終了する（ステップＳ７）。
【００５０】
以上説明したように、上記実施形態によれば、塗布液１２の溶媒１８の反射率に比して粒子１７の反射率が高い波長の光を照明光として照射して、ＢＭ基板１３からの反射光を受光して当該ＢＭ基板１３を撮像するので、塗布液１２をＢＭ基板１３に塗布した直後であっても、溶媒１８越しに粒子１７を撮像することができ、粒子状態を確実に検査することができる。
【００５１】
なお、上述した実施形態では、塗布液１２の溶媒１８の反射率に比して粒子１７の反射率が高い波長の光を照明光として照射したが、粒子１７が黒色である場合にも、塗布液１２が塗布されるＢＭ基板１３の吸収率に比して粒子１７の吸収率が高い波長の光を照明光として該ＢＭ基板１３に照射して撮像を行なっても良い。この場合も、本実施形態におけるハロゲンランプ２２等、赤外波長域の光を照明光として用いることができる。このように撮像された画像では、粒子１７が他の部分より暗く撮像されるので、粒子状態を確実に検査することができる。
【００５２】
また、本実施形態は、反射光学系によりＢＭ基板１３からの反射光をエリアセンサカメラ２４にて受光して、当該ＢＭ基板１３を撮像するよう構成したが、ＢＭ基板１３から透過してくる光（透過光）を撮像するよう構成してもよい。この場合、ＸＹステージ２１を、中央を刳り抜いた枠形状に形成し、その上に載置されたＢＭ基板１３に対して照明光が照射される方向とは反対の方向から透過光を撮像するよう構成すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本実施形態に係るＢＭ基板に対して塗布液を塗布する様子を示す図である。
【図２】（ａ）は塗布液１２が塗布されたＢＭ基板１３の平面図であり、（ｂ）は図２（ａ）の点線箇所にあたる要部拡大図である。
【図３】塗布液１２が塗布された直後のＢＭ基板１３及び塗布液１２の断面側面図である。
【図４】本実施形態に係る検査システムＳの概要構成例を示す説明図である。
【図５】ＢＭ基板１３に対して照射される照明光のスペクトルの一例である。
【図６】塗布液１２が塗布されたＢＭ基板１３の撮像画像の一例である。
【図７】ＢＭ基板１３に対して照射される他の照明光のスペクトルの一例である。
【図８】検査システムＳの粒子状態検査手順を示すフローチャートである。
【図９】従来手法によって撮像された塗布液１２が塗布されたＢＭ基板１３の撮像画像の一例である。
【符号の説明】
【００５４】
１０・・・塗布部
１２・・・塗布液
１３・・・ＢＭ基板
１５・・・着色部
１６・・・ブラックマトリックス（ＢＭ）
１７・・・粒子
１８・・・溶媒
２０・・・検査端末
２０１・・・外部機器接続部
２０２・・・記憶部
２０３・・・制御部
２０４・・・表示部
２０５・・・操作部
２０６・・・通信部
２０７・・・バス
２１・・・ＸＹステージ
２２・・・ハロゲンランプ
２３・・・顕微鏡
２４・・・エリアセンサカメラ
【図１】
2007303888.tif 000003
【図２】
2007303888.tif 000004
【図３】
2007303888.tif 000005
【図４】
2007303888.tif 000006
【図５】
2007303888.tif 000007
【図６】
2007303888.tif 000008
【図７】
2007303888.tif 000009
【図８】
2007303888.tif 000010
【図９】
2007303888.tif 000011