(57)【要約】【課題】  塗布針を交換するための作業スペースを十分に確保して塗布針交換時の作業性を向上させることが可能な修正液塗布ユニットおよびパターン修正装置を提供する。【解決手段】  ２つの蝶番３２＿１，３２＿２は、駆動装置２２とインデックス用回転モータ３１とを開閉自在に結合する。固定部材３３は、蝶番３２＿１，３２＿２が閉じた状態で駆動装置２２とインデックス用回転モータ３１と固定するためのものである。蝶番３２＿１，３２＿２を開いた場合、塗布針２１と回転テーブル２５とが互いに遠ざけられ、塗布針交換時の作業スペースを十分に確保することができる。したがって、塗布針２１を交換する作業を容易に行なうことができ、作業性が向上する。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された微細パターンの欠陥部に修正液を塗布する修正液塗布ユニットであって、
前記欠陥部を修正するための修正液が注入された容器、
前記欠陥部に修正液を塗布するための塗布針、
その中央に回転軸が立設され、その上面に前記容器が搭載されたテーブル、
前記回転軸の先端部に接続され、前記回転軸を駆動して前記テーブルを回転させる回転モータ、
その先端部に前記塗布針が固定された駆動軸を上下動させて、前記容器に前記塗布針を挿入して前記塗布針に修正液を付着させ、前記塗布針に付着した修正液を前記欠陥部に塗布する駆動装置、および
前記回転モータと前記駆動装置とを開閉自在に結合する蝶番を備え、
前記蝶番を開いた場合、前記テーブルと前記塗布針とが互いに遠ざけられることを特徴とする、修正液塗布ユニット。
【請求項２】
さらに、前記蝶番が閉じた状態で前記回転モータと前記駆動装置とを固定する固定部材、および
前記蝶番が閉じているかどうかを検知するセンサを備えることを特徴とする、修正液塗布ユニット。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の修正液塗布ユニットと、前記基板と前記駆動装置を相対的に移動させる移動装置とを備えることを特徴とする、パターン修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、パターン修正装置に関し、特に、基板上に形成された微細パターンの欠陥部に修正液を塗布する修正液塗布ユニットおよびパターン修正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などのフラットパネルディスプレイの製造工程において、基板上の電極やリブなどに欠陥が発生したり、液晶カラーフィルタの着色層に欠陥が発生したりすることがある。従来より、歩留まりの向上を図るために各種欠陥を修正する方法が提案されている。
【０００３】
たとえば、下記の特許文献１には、ペーストを使用した導電性膜を生成することによって、低コストで液晶基板の欠陥修正が可能な欠陥修正方法および欠陥修正装置が開示されている。
【０００４】
また、下記の特許文献２には、修正液塗布用の針の付着物を十分に除去でき、低価格で、保守が簡単な欠陥修正装置が開示されている。
【０００５】
また、下記の特許文献３には、比較的簡単な機構でカラーフィルタの白欠陥および黒欠陥を自動的に修正することのできる欠陥修正方法および欠陥修正装置が開示されている。
【特許文献１】特開平８−２９２４４２号公報
【特許文献２】特開平９−２３６９３３号公報
【特許文献３】特開平９−０６１２９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
欠陥部に修正液を塗布するための塗布針が洗浄液で洗浄できないほどに汚れた場合や、塗布針が損傷した場合は、ネジなどにより駆動装置に固定された塗布針を作業者が手動で交換する必要がある。しかしながら、従来の欠陥修正装置では、その構成上、塗布針を交換するための十分な作業スペースがないため、塗布針交換時の作業性が悪いという問題があった。このため、塗布針の交換作業に手間がかかる上、交換作業中に塗布針が損傷する恐れがあった。また、塗布針を駆動装置に位置決めする際に、塗布針の先端が適切な位置に配置されように正確に取り付けるのが困難であった。
【０００７】
それゆえに、この発明の主たる目的は、塗布針を交換するための作業スペースを十分に確保して塗布針交換時の作業性を向上させることが可能な修正液塗布ユニットおよびパターン修正装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係わる修正液塗布ユニットは、基板上に形成された微細パターンの欠陥部に修正液を塗布する修正液塗布ユニットであって、欠陥部を修正するための修正液が注入された容器と、欠陥部に修正液を塗布するための塗布針と、その中央に回転軸が立設され、その上面に容器が搭載されたテーブルと、回転軸の先端部に接続され、回転軸を駆動してテーブルを回転させる回転モータと、その先端部に塗布針が固定された駆動軸を上下動させて、容器に塗布針を挿入して塗布針に修正液を付着させ、塗布針に付着した修正液を欠陥部に塗布する駆動装置と、回転モータと駆動装置とを開閉自在に結合する蝶番とを備え、蝶番を開いた場合、テーブルと塗布針とが互いに遠ざけられることを特徴とする。
【０００９】
また好ましくは、さらに、蝶番が閉じた状態で回転モータと駆動装置とを固定する固定部材と、蝶番が閉じているかどうかを検知するセンサとを備えることを特徴とする。
【００１０】
この発明に係わるパターン修正装置は、上記修正液塗布ユニットと、基板と駆動装置を相対的に移動させる移動装置とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
この発明に係わる修正液塗布ユニットでは、欠陥部を修正するための修正液が注入された容器と、欠陥部に修正液を塗布するための塗布針と、その中央に回転軸が立設され、その上面に容器が搭載されたテーブルと、回転軸の先端部に接続され、回転軸を駆動してテーブルを回転させる回転モータと、その先端部に塗布針が固定された駆動軸を上下動させて、容器に塗布針を挿入して塗布針に修正液を付着させ、塗布針に付着した修正液を欠陥部に塗布する駆動装置と、回転モータと駆動装置とを開閉自在に結合する蝶番とが設けられ、蝶番を開いた場合、テーブルと塗布針とが互いに遠ざけられることを特徴とする。したがって、塗布針交換時に蝶番を開けることによって、作業スペースを十分に確保することができる。これにより、塗布針を交換する作業を容易に行なうことができ、作業性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、この発明の一実施の形態によるパターン修正装置の全体構成を示す外観図である。図１において、このパターン修正装置は、液晶カラーフィルタなどの修正対象とする基板１０がその表面に載置され、基板１０と平行な図中Ｙ軸方向に移動するＹ軸テーブル１と、基板１０と垂直な図中Ｚ軸方向に移動するＺ軸テーブル２と、該Ｚ軸テーブル２を搭載して基板１０と平行でＹ軸と直交する図中Ｘ軸方向に移動するＸ軸テーブル３とを備える。
【００１３】
Ｚ軸テーブル２には、基板１０上に形成された微細パターンの欠陥部を観察するための観察光学系４と、観察光学系４を介して基板１０にレーザ光を照射し不要部をカットするカット用レーザ部５と、修正液（インクまたはペースト）を塗布針先端に付着させて欠陥部に塗布する修正液塗布ユニット６と、欠陥部に塗布された修正液を硬化させる硬化機構７とが設けられている。
【００１４】
また、このパターン修正装置は、パターン修正装置全体を制御する制御用コンピュータ８と、ユーザインタフェースとなる操作パネル９とを備える。制御用コンピュータ８は、操作パネル９からの指令信号に基づき、パターン修正装置全体に制御信号を送る。
【００１５】
観察光学系４は、複数の対物レンズ１１と、それらのうちのいずれか１つを選択するレボルバとを含む顕微鏡と、ＣＣＤカメラからなる。硬化機構７は、たとえば修正液を光硬化させるための紫外線照明部、または修正液を熱硬化させるためのハロゲンランプ照明部からなる。
【００１６】
図２は、図１に示した修正液塗布ユニット６の構成を示す斜視図である。図２において、この修正液塗布ユニット６は、塗布針２１と、塗布針２１を垂直方向に駆動するための駆動装置２２とを備える。塗布針２１は、保持部材２３を介して駆動装置２２の駆動軸２４の先端部に固定される。
【００１７】
また、修正液塗布ユニット６は、回転テーブル２５と、回転テーブル２５上に円周方向に順次配置された複数の修正液タンク２６＿１〜２６＿４、洗浄タンク２７、および乾燥タンク２８とを備える。回転テーブル２５の中央には回転軸２９が立設されている。また、回転テーブル２５には、塗布動作時に塗布針２１を通過させるための切欠部３０が形成されている。複数の修正液タンク２６＿１〜２６＿４には、それぞれ対応する修正液（インクまたはペースト）が注入されている。洗浄タンク２７には、塗布針２１を洗浄するための洗浄液が注入されている。乾燥タンク２８は、塗布針２１に付着した洗浄液などを除去するためのエアー噴射機構を有する。複数の修正液タンク２６＿１〜２６＿４、洗浄タンク２７および乾燥タンク２８には、それぞれ塗布針２１が挿入可能な小孔が設けられている。さらに、修正液塗布ユニット６は、回転軸２９の先端部に接続され、回転軸２９を駆動して回転テーブル２５を回転させるインデックス用回転モータ３１を備える。
【００１８】
駆動装置２２は、塗布針２１を垂直方向に駆動して、修正液タンク２６＿１〜２６＿４に塗布針２１を挿入して塗布針２１に修正液を付着させ、塗布針２１に付着した修正液を基板１０の欠陥部に塗布する。
【００１９】
ここで、図１および図２を参照して、修正液塗布ユニット６の横隣には観察光学系４が設けられており、修正液塗布ユニット６の塗布針２１のすぐ横隣には観察光学系４の対物レンズ１１が位置している。このような構成上、従来は、塗布針２１を交換するための十分な作業スペースがないため、塗布針交換時の作業性が悪いという問題があった。そこで、この一実施の形態では、修正液塗布ユニット６に開閉機構を設けることによって、塗布針交換時の作業性を向上させる。
【００２０】
図３は、図２に示した修正液塗布ユニット６に設けられた開閉機構について説明するための図である。図２および図３を参照して、２つの蝶番３２＿１，３２＿２および固定部材３３は開閉機構を構成する。
【００２１】
２つの蝶番３２＿１，３２＿２は、駆動装置２２の側面２２ａおよびインデックス用回転モータ３１の側面３１ａに取り付けられ、駆動装置２２とインデックス用回転モータ３１とを開閉自在に結合する。固定部材３３は、駆動装置２２の側面２２ｂおよびインデックス用回転モータ３１の側面３１ｂに取り付けられている。この固定部材３３によって、蝶番３２＿１，３２＿２が閉じた状態で駆動装置２２とインデックス用回転モータ３１と固定することができる。固定部材３３は、たとえばつまみ付きのネジ等で構成され、工具を使用することなく手で留めることができる。
【００２２】
このような開閉機構を設けたことにより、蝶番３２＿１，３２＿２を開いた場合、塗布針２１と回転テーブル２５とが互いに遠ざけられ、塗布針交換時の作業スペースを十分に確保することができる。したがって、塗布針２１を交換する作業を容易に行なうことができ、作業性が向上する。
【００２３】
また、塗布針交換時以外においては、固定部材３３によって、蝶番３２＿１，３２＿２が閉じた状態で駆動装置２２とインデックス用回転モータ３１が固定される。センサ３４は、インデックス用回転モータ３１が所定の位置にあるかどうかを検知する。このセンサ３４により、開閉機構の状態を監視することができ、閉め忘れ等を防止することが可能となる。
【００２４】
なお、蝶番３２＿１，３２＿２が閉じた状態におけるインデックス用回転モータ３１の固定位置については、それほど厳密な精度は要求されない。これは、修正液タンク２６＿１〜２６＿４、洗浄タンク２７、および乾燥タンク２８の各々に設けられた小孔の径が塗布針２１の径に比べて十分に大きいためである。
【００２５】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】この発明の一実施の形態によるパターン修正装置の全体構成を示す外観図である。
【図２】図１に示した修正液塗布ユニットの構成を示す斜視図である。
【図３】図２に示した修正液塗布ユニットに設けられた開閉機構について説明するための図である。
【符号の説明】
【００２７】
１  Ｙ軸テーブル、２  Ｚ軸テーブル、３  Ｘ軸テーブル、４  観察光学系、５  カット用レーザ部、６  修正液塗布ユニット、７  硬化機構、８  制御用コンピュータ、９  操作パネル、１０  基板、１１  対物レンズ、２１  塗布針、２２  駆動装置、２３  保持部材、２４  駆動軸、２５  回転テーブル、２６＿１〜２６＿４  修正液タンク、２７  洗浄タンク、２８  乾燥タンク、２９  回転軸、３０  切欠部、３１  インデックス用回転モータ、３２＿１，３２＿２  蝶番、３３  固定部材、３４  センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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