(57)【要約】【課題】  放電により生成されたガスを水に溶解する装置において、最終的に溶解されずに残存した放電生成ガスの濃度を、容易に低減して外部に排気することが可能な程度に希釈させて排気する放電生成ガス溶解装置を提供する。【解決手段】  流入口と流出口を有し、少なくとも一対の電極の間に電圧を印加することにより放電を生じさせ放電生成ガスを生成可能な放電器と、前記流出口から排出された放電生成ガスを導入する導入口を有する貯水部と、前記導入口から導入された放電生成ガスのうち、前記貯水部に貯水された水に溶解しきれない放電生成ガスを再び前記流入口に導入する循環路と、前記放電器を制御可能な制御部と、を備え、前記制御部は、前記貯水部内の水が略満水でない時には、前記放電器に電圧を印加することを禁止させることを特徴とする放電生成ガスの溶解装置が提供される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス流入口とガス流出口を有し、少なくとも一対の電極の間に電圧を印加することにより放電を生じさせ放電生成ガスを生成可能な放電器と、前記ガス流出口から排出された放電生成ガスを導入する導入口を有する貯水部と、前記導入口から導入された放電生成ガスのうち、前記貯水部に貯水された水に溶解しきれない放電生成ガスを再び前記ガス流入口に導入する循環路と、前記放電器を制御可能な制御部と、を備え、前記制御部は、前記貯水部内の水が略満水の時には、前記放電器に電圧を印加することを可能な状態とし、前記貯水部内の水が略満水でない時には、前記放電器に電圧を印加することを禁止させることを特徴とする放電生成ガスの溶解装置。
【請求項２】
前記貯水部の水位を検出する水位センサをさらに備え、前記水位センサの検出結果に基づいて前記制御装置を制御することを特徴とする請求項１記載の放電生成ガスの溶解装置。
【請求項３】
前記貯水部に流入した水量を測定する水量計をさらに備え、前記水量計の測定結果に基づいて前記制御装置を制御することを特徴とする請求項１記載の放電生成ガスの溶解装置。
【請求項４】
前記貯水部に貯水された水に溶解しきれない放電生成ガスを再び前記流入口に導入する前記循環路の途上に、脱気膜を設置したことを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の放電生成ガスの溶解装置。
【請求項５】
前記貯水部に貯水された水に溶解しきれない放電生成ガスを再び前記流入口に導入する循環路の途上に、除湿装置を設置した
ことを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の放電生成ガスの溶解装置。
【請求項６】
前記貯水部の上流側に前記貯水部内が略満水状態となる容積と略同じ容積の予備タンクと、前記予備タンク内への水の給水・止水を切替える第一の開閉弁と前記予備タンク内の水を前記貯水部に供給する給水流路の途上に設けた第二の開閉弁と、前記予備タンク内のガスを外に排気するための脱気膜と、を備え、前記制御装置は第二の開閉弁を閉じて、前記第一の開閉弁を開くことで前記予備タンク内に水を供給し、前記予備タンク内が略満水になった状態で前記第一の開閉弁を閉じた後に前記第二の開閉弁を開いて、前記貯水部内に水を供給することを特徴とする請求項１記載の放電ガス溶解装置。
【請求項７】
前記貯水部から溶解された生成水を前記貯水部外に吐水する吐水手段には、溶解しきれずに残存した放電生成ガスが外部へ放出されないように封水部を備えたことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の放電生成ガスの溶解装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電により生成されたガス、たとえば、二酸化窒素ガスを水に溶解させ硝酸水溶液を生成したり、オゾンガスを水に溶解させてオゾン水を生成したり、水中の有機物の酸化、脱色、脱臭、殺菌などに利用される放電によって生成されるガスの溶解装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、放電によって発生するガスを溶解する装置の代表的なものとしてオゾン水生成装置がある。放電器で生成されたオゾンガスは貯水されたタンク内に排出され、水中でバブリングさせて溶解させている。オゾンガスは水への溶解性が悪いため、溶解しきれなかったオゾンガスは循環路を介して再度、放電器に送られ、再び水中でバブリングさせて溶解させることで、溶解しきれないオゾンガスを有効利用する循環方式のオゾン反応装置が開示されている。（特許文献１，２）
【０００３】
通常、オゾンガスの水への溶解度は低く、バブリング終了後には、溶解しきれなかった大量のオゾンガスがタンク内に残存することとなる。ここで溶解しきれなかったオゾンガスを装置外に排出する際、そのオゾンガス濃度を、人体に悪影響が出ない程度の低いオゾン濃度、たとえば０．１ｐｐｍ程度まで低減させて排気するために、大量の吸着剤、たとえば活性炭やオゾン分解触媒を設けていた。
【特許文献１】特開平９−２４８５８２号公報
【特許文献２】特開２００２−１１９８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１および特許文献２に記載されたオゾン水生成装置では、タンク内に残存した溶解しきれなかったオゾンガスを装置外に排出する際に大量の吸着材を設ける必要があり、装置が大型化してしまうと共に吸着材の寿命に応じて吸着材の交換が必要となり手間がかかりランニングコストもかかるという問題がある。
従って、本発明は、放電により生成されたガスを水に溶解する装置において、最終的に溶解されずに残存した放電生成ガスの濃度を、大量の吸着剤等を別途設けることなく容易に低減して外部に排気することが可能な程度に希釈させて排気する放電生成ガス溶解装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、ガス流入口とガス流出口を有し、少なくとも一対の電極の間に電圧を印加することにより放電を生じさせ放電生成ガスを生成可能な放電器と、前記流出口から排出された放電生成ガスを導入する導入口を有する貯水部と、前記導入口から導入された放電生成ガスのうち、前記貯水部に貯水された水に溶解しきれない放電生成ガスを再び前記流入口に導入する循環路と、前記放電器を制御可能な制御部と、を備え、前記制御部は、前記貯水部内の水が略満水の時には、前記放電器に電圧を印加することを可能な状態とし、前記貯水部内の水が略満水でない時には、前記放電器に電圧を印加することを禁止させることを特徴としている。
本発明によれば、最終的に溶解されずに残存した放電生成ガスの濃度を、大量の吸着剤等を別途設けることなく容易に低減して外部に排気することが可能な程度に希釈させて排気することが可能となる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、放電により生成されたガスを水に溶解する装置において、最終的に溶解されずに残存した放電生成ガスの濃度を、大量の吸着剤等を別途設けることなく容易に低減して外部に排気することが可能な程度に希釈させて排気することが可能な放電生成ガス溶解装置を提供することができ、装置の初期コストおよびランニングコストの低減が可能になり、産業上のメリットは多大である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図面を参照しつつ本発明の好ましい実施形態を説明する。
図１は、本発明の実施の形態にかかる放電生成ガス溶解装置の要部構成を例示する模式図である。
図１に示すように、本発明の放電生成ガス溶解装置は、上部にガスが流入するガス流入口と、下部にガスが流出するガス流出口とを有する筒状の放電容器１と、放電容器１の下方にはガス流出口から排出されたガスを導入する導入口を上部に形成した円筒状の貯水タンク３０と、貯水タンク３０の上部に接続され、水道水を貯水タンク３０内に供給する給水管路と、導入口から貯水タンク３０内に一旦導入されたガスを再び放電容器１のガス流入口に送る循環管路５と、循環管路５の途上で分岐され、循環管路５と装置外面に設けられた給排気口５０とを繋ぐ給排気管路と、貯水タンク３０の下部に設けられた排水部からＵ字トラップ４２を介して、貯水タンク３０内の液体を装置外に排出する排水管路と、放電ガス溶解装置の作動を制御する制御装置８０と、を有する。
【０００８】
また、放電容器１内には後述する一対の電極に電圧をかける高圧電源１１と高電圧投入スイッチ１２が直列に配列されている。つまり、高電圧投入スイッチをＯＮにすると放電器１０に高電圧が印加され、高電圧投入スイッチをＯＦＦにすると放電器１０に電圧は印加されない構造となっている。
【０００９】
また、放電容器１に水道水を供給する給水管路の途上には水の流入用二方弁２１が設けられており、この水の流入用二方弁２１の開閉を行うことで貯水タンク３０内への水の供給と止水とを切替えている。
【００１０】
この貯水タンク３０の上部に形成された導入口には、放電容器１のガス流出口に接続された導入管路が貫通されており、導入管路のガス流出口とは逆側の端部にはバブラ３１が取り付けられている。このバブラ３１の微小孔は貯水タンク３０の下方に配置され、貯水タンク３０内に水が満水になった状態で水没するようになっている。バブラ３１は筒状に形成されており、内面と外面を貫通した多数の微小孔が形成されている。このようにして、バブラ３１でガスを貯水タンク３０内の水にバブリングした際に溶解されなかったガスは貯水タンク３０の上部に形成された循環口から循環管路５に送られるようになっている。更に貯水タンク３０内の上部には貯水タンク３０内の水位が略満水であることを検知可能なフロートスイッチを備えており、このフロートスイッチの検知結果に基づいて制御装置が高電圧投入スイッチのＯＮ／ＯＦＦを制御するようにプログラムされている。
【００１１】
また、排水管路のＵ字トラップ部４２より下流側には生成水流出用二方弁４１が設けられており、貯水タンク３０内の水を排水管路下流側に排出／止水とを切替えている。更に、循環管路５の分岐部には給排気切り替え三方弁５１を配設しており、循環管路５と給排気管路とで形成されるＴ字路のいずれか一方の流路を閉鎖するようにしている。具体的には、循環管路５と給排気管路において給排気口と循環口を連通させるか、ガス流入口と循環口を連通させるかを切替えるものである。
更に導入管路の途上にはダイアフラムを有するエアポンプ６０を設け、放電器１０内のガスを導入管路のガス流出口とは逆側の端部に送り出すようにしている。
【００１２】
次に、図９に示すフローチャートと、図２〜図８に示す図を用いて、本発明の実施の形態にかかる放電生成ガス溶解装置の動作を説明する。
【００１３】
装置の起動が開始されると、制御装置８０によって溶解装置が次の作動する。まず、図２に示すように、貯水タンク３０に水道水を流入するために、二方弁４１を閉じ、三方弁５１を給排気口５０側へ切り替えて貯水タンク３０の循環口と給排気口とを直接、連通させ、二方弁２１を開放し、水の導入口２０から水道水を、貯水タンク３０に流入する。
【００１４】
つぎに、図３に示すように、貯水タンク３０内に流れ込んだ水道水の水位が、略満水状態になったことをフロートスイッチ７０で検知した後、水道水の流入を止めるために二方弁２１を閉じ、三方弁５１を放電容器１流入口側に切り替える。尚、この際に貯水タンク３０内にあった空気は循環管路５、給排気管路を経て筐体外に排出される。
【００１５】
つぎに、図４に示すように、高圧電源１１の高電圧投入スイッチ１２を投入し、放電器１０に高電圧を印加する。これにより放電器１０内で放電が発生し放電生成ガスが生成される。少し時間を遅らせてエアポンプ６０を駆動し、放電生成ガス混合空気を放電器１０のガス流出口１３からバブラ３１を通して、水中でバブリングさせ、放電生成ガスを水道水に溶解させる。その際に、溶解しきれなかった放電生成ガスは、再度放電器のガス流入口１４に戻り、放電器１０、放電器の流出口１３を通過し、再度バブラ３１を通して、水中でバブリングさせ、放電生成ガスを水Ｗに溶解させる。この際、フロートスイッチが貯水タンク３０内の水が満水であることを検知していない場合は、高電圧投入スイッチが投入されることが禁止されており、放電器１０に電圧が印加されることはない。
【００１６】
つぎに、図５に示すように、所定時間経過後、たとえば放電生成ガスが窒素酸化物ガスであれば、生成水が硝酸水溶液になり、ｐＨが諸望の値になった時間経過後、もしくは放電生成ガスがオゾンガスの場合、生成水がオゾン水になり、水中オゾン濃度が諸望の値になった時間経過後に、高圧電源１１の高電圧投入スイッチ１２を切断し、放電器１０内での放電を停止し、かつエアポンプ６０を停止し、水中への放電生成ガス混合空気のバブリングを終了させる。この際、少しでも放電生成ガスを有効に利用すること、放電生成ガスの濃度を最終的に極力、低下させるために放電器１０を停止した後も所定時間、エアポンプ６０のみを駆動させても良い。
【００１７】
つぎに、図６に示すように、生成水を取り出すために、給排気口切り替え三方弁５１を給排気口５０側へ切り替え、二方弁４１を開放し、給排気口５０から外気を自然導入させながら、生成水を取出し口４０から取り出す。その際、Ｕ字トラップ４２があるために、貯水タンク３０内のガスはＵ字トラップ４２の下流側に排出されることが無いため、溶解しきれなかった放電生成ガスは、取り出し口４１から外部へ漏れ出すことは無い。また、二方弁４１が開放されている間は貯水タンク３０内に負圧が発生しているため、貯水タンク３０内に残存したガスが給排気口から排出されることは抑制される。
【００１８】
以後、図７（＝図２）に示すように、貯水タンク３０に水Ｗを流入するために、二方弁４１を閉じ、三方弁５１を給排気口５０側へ切り替え、二方弁２１を開放し、水の導入口２０から水道水Ｗを、貯水タンク３０に流入し、つぎに、図３〜図６の一連の動作を繰り返すことにより、何度でも生成水を作り出すことが可能になる。
【００１９】
ここで、貯水部３０に流入する水Ｗを、略満水状態にすることの意味に関して、図１１〜図１４を用いて詳細に説明する。
【００２０】
図１１に示すように、一連の動作終了後、具体的には放電器１０で生成されたガスをバブラ３１でバブリングさせて貯水タンク３０内の水に溶解させて所望の生成水が生成された図５の状態において、水に溶解しきれなかった放電生成ガス混合空気は、図１１（Ｖ１の下流管路も黒塗りして下さい）の黒塗り部に残存する。
【００２１】
次に、図１２に示すように、三方弁５１を給排気口５０側へ切り替え、二方弁４１を開放し、生成水を取出し口４０から取り出すと、給排気口５０から、外部の空気が導入され、貯水部３０の上部、すなわちヘッドスペース（水面から貯水部上壁までの距離）に残存していた放電生成ガス混合空気は希釈される（図６の状態と同じ）。
【００２２】
最終的には、図１３に示すように、貯水部３０に残存していた放電生成ガス混合空気は、（ヘッドスペースの容積）÷（貯水タンク３０内に貯水された水の容積）の比率で希釈される。
【００２３】
その後、図１４に示すように、貯水部３０に残存、かつ希釈された放電生成ガス混合空気は、給排気口５０から外部へ放出される。この際、万が一、充分に希釈されていないガスが給排気口から排出されると危険である。
【００２４】
つまり、（ヘッドスペースの容積）÷（貯水タンク３０内に貯水された水の容積）の比率をできるだけ小さくすること、すなわち貯水部３０に流入する水量を略満水状態にすることにより、外部へ放出される未溶解だった放電生成ガス混合空気は、当初残存していた濃度を、桁違いに希釈されることになる。
【００２５】
よって、たとえば、（ヘッドスペースの容積）÷（貯水タンク３０内に貯水された水の容積）の比率が１／１００の場合、溶解しきれなかった放電生成ガスが１０ｐｐｍあったとしても、１／１００の０．１ｐｐｍまで希釈して外部へ放出することが出来る。また、（ヘッドスペースの容積）÷（貯水タンク３０内に貯水された水の容積）の比率を、１／１００、０００に設定できれば、溶解しきれなかった放電生成ガスが１０，０００ｐｐｍ合ったとしても、０．１ｐｐｍまで希釈して外部へ放出することが出来るのいで、最終的に溶解されずに残存した放電生成ガスの濃度を、大規模な排ガス処理装置等を設置することなく、容易に低減して外部に排気することが可能な程度に希釈させて排気することが可能になる。
【００２６】
生成水に接する部分の部材は、耐酸性、耐オゾン性に優れる材料で形成することが好ましい。たとえばフッ素樹脂やガラス材料、セラミックス材料を用いることが好ましい。
【００２７】
なお、本願明細書において「放電生成ガス」とは、空気中で放電させることにより生成されるガスをいい、空気を構成するガスが単に分解したガスのみならず、これら分解したガスが新たに結合して生成されるガスも含むものとする。例えば、単に窒素（Ｎ２）あるいは酸素（Ｏ２）などが分解したガスのみならず、窒素と酸素が新たに結合して生成される窒素酸化物ガス、酸素と活性酸素（Ｏ）が新たに結合して生成されるオゾンガスも「放電生成ガス」に含まれるものとする。
【００２８】
また、本願明細書において「略満水」とは、貯水タンク３０内の水Ｗに放電生成ガスを送り込み、水中でバブリングした際に、水中に含まれる放電生成ガスの気泡により水位が上昇した場合でも、放電器１０の流入口１４へ、水が流れ込まない程度に満水状態にすることを意味する。気泡による水位の上昇は、エアポンプ６０で送り込む流量、貯水３０の容積、高さ、形状、貯水タンク３０内の水量、バブラ３１の気泡を放出する穴経、穴数、形状、発生した気泡の直径や数などにより変化するため、一概に数値化は困難であり、実験により最適水位を求めることが望ましい。
【００２９】
以上説明したように、本実施形態によれば、最終的に溶解されずに残存した放電生成ガスの濃度を、容易に低減して外部に排気することが可能な程度に希釈させて排気することが可能になる。
【００３０】
尚、本実施例においては導入管路の途上にエアポンプ６０を設けていたが、エアポンプ６０の位置はこれに限定されるものではなく同様の効果を果たすことができれば良い。例えば循環管路５の途上に設けても良い。
また、本実施例では循環管路５の途上に給排気管路が分岐される構造となっていたが、循環管路５に接続せずに、貯水タンク３０に別途、給排気口を設ける構造としても良い。この場合においては循環管路５に開閉弁５１を設ける必要はなく、給排気口に接続される給排気管路の途上に開閉弁を設ける構造とすれば良い。
【００３１】
図１０（ａ）は本実施形態に係る放電器１０の一例の模式図であり、（ｂ）はそのＡ−Ａ線の断面図である。
【００３２】
図１０（ａ）及び（ｂ）に表したように、放電器１０としては、Ｐａｃｋｅｄ  Ｂｅｄ方式の放電リアクタを用いることができる。この放電リアクタは、例えば、円柱状の内側電極１５と、その周囲を取り囲むように設けられた円筒状の外側電極１６との間に、多数の誘電体ペレット１７を充填した構造を有する。例えば、内側電極１５と外側電極１６との間隔を１４ミリメータ程度とし、誘電体ペレット１７の粒径を直径１ミリメータ程度とした場合、電極１５、１６間に、数ヘルツ〜数百キロヘルツ、数キロボルト〜数十キロボルトの交流電圧を印加すると、誘電体ペレット１７の空隙において放電が発生する。そこに、空気を通気させると、空気が窒素原子や酸素原子などに一旦分解された後、再結合により例えば、ＮＯ（一酸化窒素）やＮＯ２（二酸化窒素）などの窒素酸化物ガスや、Ｏ３（オゾン）などの放電生成ガスが生成される。
【００３３】
ここで、誘電体ペレットの材料としては、例えばチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）等の強誘電体を用いることができる。
【００３４】
放電器１０としては、上記Ｐａｃｋｅｄ  Ｂｅｄ方式の放電リアクタに限らず、円面放電型放電器、無声放電型など、放電により放電生成ガスを生成できるものであれば、放電器の形態は限定しない。
【００３５】
ここで、放電器に５キロボルト（ｋＶ）程度の高電圧を印加し、空気を分解した場合、ＮＯｘガスリッチな混合ガスが生成される。一方、２キロボルト（ｋＶ）程度の低電圧を印加した場合は、逆にＯ３ガスリッチの混合ガスが生成される。これは、Ｎ２ガスの解離エネルギーとＯ２ガスとの解離エネルギーが異なるからであり、放電により与えるエネルギーが高いとＮＯｘガスリッチな混合ガスが得られ、放電により与えるエネルギーが低いとオゾンガスリッチな混合ガスが生成される。
【００３６】
図１５〜図１７は、略満水状態を検知する手段として、流量計を設置したものである。流量計を用いることにより、貯水タンク３０に流れ込んだ水量を管理可能になる。流量計としては、流れた水の量を積算できるタイプのものが好ましい。
図１６に示すように、あらかじめ貯水タンク３０を満水にする水量をインプットしておき、給水管路の水の流入用二方弁２１と貯水タンク３０の接続部の間に配設された水量計９１を通過した水の水量を計測し、貯水タンク３０が略満水状態になったことを検知し、図１７に示すように、水の流入を停止する。それ以外の動作は、上述した実施例と同様であるため説明を省略する。
【００３７】
図１８〜図１９は、放電器１０への水の逆流を防止するために、導入管路の途上に逆止弁９２を設置したものである。放電器１０への水の流入は、放電を阻害し、放電生成ガスの低下を引き起こす。逆止弁９２を設置することにより、放電生成ガスの生成量の低下を防止できる。
【００３８】
図２０〜２１は、放電器１０への水の流入を防止するために、貯水タンク３０の循環口に脱気膜９３を設置したものである。放電器１０への水の流入は、放電を阻害し、放電生成ガスの低下を引き起こす。脱気膜９３を設置することにより、放電生成ガスの低下を防止できる。
【００３９】
尚、万が一脱気膜を水分が通過してしまったり、結露によって放電器１０内に水分が供給された場合においても、貯水タンク３０の上方に放電器１０が配置されているため、放電容器１下部に形成されたガス流出口から水滴は重力落下して放電器容器１内に水分が留まりにくくなり放電効率の低下を抑制することができる。同様に、エアポンプ６０内に水分が供給された場合においても、入口または／および出口をエアポンプ６０の下部に形成することでエアポンプ６０内、特にダイアフラム内に水が留まりにくくなり、ガスの循環効率の低下を抑制することができる。
【００４０】
更に、エアポンプ６０を駆動する前に、所定時間放電器１０のみを運転するようにすれば、誘電体ペレット表面に付着した硝酸アンモニウムを除去することができるため、誘電体ペレットはリフレッシュされ、放電性能を低下させずに済む。
【００４１】
図２２〜２６は、貯水タンク３０内を略満水状態にする別実施例であり、給水管路の上流側に貯水タンク３０が略満水状態になるのと略同じ水量＝容積の予備タンク３２を設置したものである。
【００４２】
図２３に示すように予備タンク３２には水道水を予備タンク３２内に流入させる流入口を上部に設け、流入口に接続された上水配管の途上には予備タンク３２への水の流入用二方弁２３を設けている。また、予備タンク３２内の水道水は下部に設けられた流出口から給水管路を経て貯水タンク３０内に供給される。更に、予備タンク３２内の空気をタンク外に排出する脱気膜を予備３２タンクの上部に備えている。
【００４３】
次に、本実施例における溶解装置の作動原理について説明する。
まず、図２３に示すように、水の流入用二方弁２１を閉じて、予備タンク３２への水道水の流入用二方弁２３を開放し、予備タンク３２への水の流入口２２から、水道水を予備タンク３２へ流入する。その際、予備タンク３２内のガスＧ２は、脱気膜９３から外部へ放出される。
つぎに図２４に示すように、予備タンク３２が満水状態になると、脱気膜９３により、水道水の漏洩がないため、予備タンクへの水道水の流入口２２からの水道水の浸入は停止する。そこで、予備タンク３２への水の流入用二方弁２３を閉じる。
つぎに図２５に示すように、予備タンク３２への水の流入用二方弁２３を閉じた状態で、水の流入用二方弁２１を開放し、水道水を貯水タンク３０に流入する。
つぎに図２６に示すように、予備タンク３２内の水Ｗが無くなったら、すなわち、貯水タンク３０が略満水状態になったら、水の流入用二方弁２１を閉じる。
その後の動作は、図３〜図８と同様の動作を行う。
【００４４】
また、図１〜図８、図１１〜図２６に示すように、生成水取出し口には、Ｕ字形状などの封水部を設けることが好ましい。そうすることによって、生成部取出し時に、ヘッドスペースに残存した放電生成ガスの外部への流出を防止することが可能になる。
尚、トラップ４２はＵ字形状に限らずワントラップ構造であってもよい。
【００４５】
以上、本発明を放電器１０で生成されるガスが、主に窒素酸化物ガスであって、酸性水を生成する場合に用いた具体例について説明したが、本発明はこれら具体例に限定されるものではない。
例えば、放電器で生成されるガスが、主にオゾンガスの場合、オゾン水生成装置やオゾンによる水の殺菌装置としても利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施の形態にかかる。
【図２】本発明の実施の形態にかかる。
【図３】本発明の実施の形態にかかる
【図４】本発明の実施の形態にかかる
【図５】本発明の実施の形態にかかる
【図６】本発明の実施の形態にかかる
【図７】本発明の実施の形態にかかる
【図８】本発明の実施の形態にかかる
【図９】本発明の実施の形態にかかる
【図１０】本発明の実施の形態にかかる
【図１１】本発明の実施の形態にかかる
【図１２】本発明の実施の形態にかかる
【図１３】本発明の実施の形態にかかる
【図１４】本発明の実施の形態にかかる
【図１５】本発明の別の実施の形態にかかる
【図１６】本発明の別の実施の形態にかかる
【図１７】本発明の別の実施の形態にかかる
【図１８】本発明の別の実施の形態にかかる
【図１９】本発明の別の実施の形態にかかる
【図２０】本発明の別の実施の形態にかかる
【図２１】本発明の別の実施の形態にかかる
【図２２】本発明の別の実施の形態にかかる
【図２３】本発明の別の実施の形態にかかる
【図２４】本発明の別の実施の形態にかかる
【図２５】本発明の別の実施の形態にかかる
【図２６】本発明の別の実施の形態にかかる
【符号の説明】
【００４７】
１０…放電器
１１…高圧電源
１２…高圧投入スイッチ
１３…放電器のガス流出口
１４…放電器のガス流入口
１５…内部電極
１６…誘電体ペレット
１７…外部電極
２０…水の流入口
２１…水の流入用二方弁
２２…予備タンクへの水の流入口
２３…予備タンクへの水の流入用二方弁
３０…貯水タンク
３１…バブラ
３２…予備タンク
４０…生成水の流出口
４１…生成水流出用二方弁
４２…Ｕ字トラップ
５０…給排気口
５１…給排気口切り替え三方弁
６０…エアポンプ
７０…フロートスイッチ
８０…制御部
９１…水流量計
９２…逆止弁
９３…脱気膜
Ｌ…水の流れ
Ｇ…ガスの流れ
Ｗ…水
Ｇ２…予備タンク内のガス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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