(57)【要約】【課題】  減衰特性において広い周波数帯域を得ることができる積層型フィルタを提供する。【解決手段】  積層型フィルタ１においては、各浮遊容量発生電極２１，２３が、コイル部１０との間で浮遊容量Ｃａ，Ｃｂを発生する。これにより、積層型フィルタ１の減衰特性は、コイル部１０とコンデンサ部１５，２０とによる第１の減衰ピークに加え、その低周波側に第２の減衰ピークを持つこととなる。しかも、浮遊容量発生電極２１と浮遊容量発生電極２３との間に発生する浮遊容量Ｃｃが、コイル部１０との間で発生する浮遊容量Ｃａ，Ｃｂに加算される。これにより、第２の減衰ピークは、より一層低周波側に位置し、且つ、第１の減衰ピーク及び第２の減衰ピークは、より一層深くなる。従って、積層型フィルタ１によれば、減衰特性において広い周波数帯域を得ることが可能となる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１の絶縁体層が積層されてなる第１の積層部、複数の第２の絶縁体層が積層されてなる第２の積層部、及び複数の第３の絶縁体層が積層されてなる第３の積層部を有する積層体と、
前記積層体に形成された入力端子電極、出力端子電極及びグランド端子電極と、
前記第１の積層部内に形成された複数の導体部が電気的に接続されることにより構成され、一端が前記入力端子電極と電気的に接続されると共に、他端が前記出力端子電極と電気的に接続されたコイル部と、
前記入力端子電極又は前記出力端子電極と電気的に接続された第１のコンデンサ電極、及び前記グランド端子電極と電気的に接続された第２のコンデンサ電極が前記第２の絶縁体層を挟んで前記第２の積層部内に形成されることにより構成されたコンデンサ部と、
前記入力端子電極と電気的に接続され、前記コイル部との間で浮遊容量を発生する第１の浮遊容量発生電極、及び、前記出力端子電極と電気的に接続され、前記コイル部との間で浮遊容量を発生する第２の浮遊容量発生電極が前記第３の絶縁体層を挟んで前記第３の積層部内に形成されることにより構成された浮遊容量発生部と、
を備えることを特徴とする積層型フィルタ。
【請求項２】
前記浮遊容量発生部は、前記第１の浮遊容量発生電極と前記第２の浮遊容量発生電極とが互い違いとなるように、３つ以上の前記第１の浮遊容量発生電極及び前記第２の浮遊容量発生電極が前記第３の絶縁体層を挟んで前記第３の積層部内に形成されることにより構成されていることを特徴とする請求項１記載の積層型フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の積層型フィルタとして、コイル部、コンデンサ部、及びコイル部との間で浮遊容量を発生する浮遊容量発生部を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）
【特許文献１】特開２００５−２２９４３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、近年の電気機器の更なる高周波化により、ノイズの周波数帯域は広帯域化している。そのため、積層型フィルタに要求される減衰特性の周波数帯域は、より一層広くなっている。
【０００４】
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、減衰特性において広い周波数帯域を得ることができる積層型フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明に係る積層型フィルタは、複数の第１の絶縁体層が積層されてなる第１の積層部、複数の第２の絶縁体層が積層されてなる第２の積層部、及び複数の第３の絶縁体層が積層されてなる第３の積層部を有する積層体と、積層体に形成された入力端子電極、出力端子電極及びグランド端子電極と、第１の積層部内に形成された複数の導体部が電気的に接続されることにより構成され、一端が入力端子電極と電気的に接続されると共に、他端が出力端子電極と電気的に接続されたコイル部と、入力端子電極又は出力端子電極と電気的に接続された第１のコンデンサ電極、及びグランド端子電極と電気的に接続された第２のコンデンサ電極が第２の絶縁体層を挟んで第２の積層部内に形成されることにより構成されたコンデンサ部と、入力端子電極と電気的に接続され、コイル部との間で浮遊容量を発生する第１の浮遊容量発生電極、及び、出力端子電極と電気的に接続され、コイル部との間で浮遊容量を発生する第２の浮遊容量発生電極が第３の絶縁体層を挟んで第３の積層部内に形成されることにより構成された浮遊容量発生部と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
この積層型フィルタでは、第１の浮遊容量発生電極及び第２の浮遊容量発生電極のそれぞれが、コイル部との間で浮遊容量を発生する。これにより、減衰特性は、コイル部とコンデンサ部とによる第１の減衰ピークに加え、その低周波側に第２の減衰ピークを持つこととなる。しかも、第１の浮遊容量発生電極と第２の浮遊容量発生電極との間に発生する浮遊容量が、コイル部との間で発生する浮遊容量に加算される。これにより、第２の減衰ピークは、より一層低周波側に位置し、且つ、第１の減衰ピーク及び第２の減衰ピークは、より一層深くなる。従って、この積層型フィルタによれば、減衰特性において広い周波数帯域を得ることが可能となる。
【０００７】
また、本発明に係る積層型フィルタにおいては、浮遊容量発生部は、第１の浮遊容量発生電極と第２の浮遊容量発生電極とが互い違いとなるように、３つ以上の第１の浮遊容量発生電極及び第２の浮遊容量発生電極が第３の絶縁体層を挟んで第３の積層部内に形成されることにより構成されていることが好ましい。
【０００８】
このような構成により、浮遊容量発生部で発生する浮遊容量を増加させることができ、減衰特性において更に広い周波数帯域を得ることが可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、減衰特性において広い周波数帯域を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る積層型フィルタの好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１１】
［第１の実施形態］
図１に示されるように、積層型フィルタ１は、直方体状の積層体２と、積層体２の長手方向の両端部に形成された入力端子電極３及び出力端子電極４と、積層体２の長手方向と直交する方向の両端部に形成されたグランド端子電極５１，５２とを備えている。
【００１２】
図２に示されるように、積層体２は、複数の絶縁体層６１〜６１５が積層されて構成されており、絶縁体層（第１の絶縁体層）６４〜６８が積層されてなる積層部（第１の積層部）２１、絶縁体層（第２の絶縁体層）６１０〜６１４が積層されてなる積層部（第２の積層部）２２、及び絶縁体層（第３の絶縁体層）６２，６３が積層されてなる積層部（第３の積層部）２３を有している。各絶縁体層６１〜６１５は長方形薄板状に形成されており、入力端子電極３が形成される縁部から時計回りに縁部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄを有している。
【００１３】
絶縁体層６４上には、入力端子電極３と電気的に接続された引出部７が形成され、絶縁体層６８上には、出力端子電極４と電気的に接続された引出部８が形成されている。また、絶縁体層６５上には、縁部６ｂ、縁部６ｃ及び縁部６ｄに沿って延在する導体部９１が形成され、絶縁体６６上には、縁部６ｃ、縁部６ｄ、縁部６ａ及び縁部６ｂに沿って延在する導体部９２が形成され、絶縁体６７上には、縁部６ｄ、縁部６ａ及び縁部６ｂに沿って延在する導体部９３が形成されている。
【００１４】
引出部７と、導体部９１のうち、縁部６ｄに沿って延在する部分の縁部６ａ側の端部とは、絶縁体層６４に形成されたスルーホール１１を介して電気的に接続されており、導体部９１のうち、縁部６ｂに沿って延在する部分の縁部６ａ側の端部と、導体部９２のうち、縁部６ｂに沿って延在する部分の縁部６ｃ側の端部とは、絶縁体層６５に形成されたスルーホール１１を介して電気的に接続されている。また、導体部９２のうち、縁部６ｃに沿って延在する部分の縁部６ｂ側の端部と、導体部９３のうち、縁部６ｂに沿って延在する部分の縁部６ｃ側の端部とは、絶縁体層６６に形成されたスルーホール１１を介して電気的に接続されており、導体部９３のうち、縁部６ｄに沿って延在する部分の縁部６ｃ側の端部と、引出部８とは、絶縁体層６７に形成されたスルーホール１１を介して電気的に接続されている。
【００１５】
以上により、積層型フィルタ１は、積層部２１内に形成された引出部７，８及び導体部９１〜９３が電気的に接続されることにより構成されたコイル部１０を備え、コイル部１０は、引出部７を介して入力端子電極３と電気的に接続されると共に、引出部８を介して出力端子電極４と電気的に接続されることになる。
【００１６】
絶縁体層６１０，６１２，６１４上には、積層体２の積層方向から見てコイル部１０を含む長方形状のコンデンサ電極（第２のコンデンサ電極）１３が形成されている。更に、絶縁体層６１０，６１２，６１４上には、コンデンサ電極１３とグランド端子電極５１とを電気的に接続する引出部１４１、及びコンデンサ電極１３とグランド端子電極５２とを電気的に接続する引出部１４２が形成されている。
【００１７】
絶縁体層６１１上には、積層体２の積層方向からみてコイル部１０を含む長方形状のコンデンサ電極（第１のコンデンサ電極）１６、及びコンデンサ電極１６と入力端子電極３とを電気的に接続するための引出部１７が形成されている。
【００１８】
また、絶縁体層６１３上には、積層体２の積層方向からみてコイル部１０を含む長方形状のコンデンサ電極（第１のコンデンサ電極）１８、及びコンデンサ電極１８と出力端子電極４とを電気的に接続するための引出部１９が形成されている。
【００１９】
以上により、積層型フィルタ１は、入力端子電極３と電気的に接続されたコンデンサ電極１６、出力端子電極４と電気的に接続されたコンデンサ電極１８、及びグランド端子電極５１，５２と電気的に接続されたコンデンサ電極１３が絶縁体層６１０〜６１３を挟んで積層部２２内に形成されることにより構成されたコンデンサ部１５，２０を備えることになる。
【００２０】
絶縁体層６２上には、縁部６ｄ、縁部６ａ及び縁部６ｂに沿って延在する浮遊容量発生電極（第１の浮遊容量発生電極）２１、及び浮遊容量発生電極２１と入力端子電極３とを電気的に接続する引出部２２が形成されている。
【００２１】
また、絶縁体層６３上には、縁部６ｂ、縁部６ｃ及び縁部６ｄに沿って延在する浮遊容量発生電極（第２の浮遊容量発生電極）２３、及び浮遊容量発生電極２３と入力端子電極４とを電気的に接続する引出部２４が形成されている。
【００２２】
以上により、積層型フィルタ１は、入力端子電極３と電気的に接続され、コイル部１０との間で浮遊容量を発生する浮遊容量発生電極２１、及び、出力端子電極４と電気的に接続され、コイル部１０との間で浮遊容量を発生する浮遊容量発生電極２３が絶縁体層６２を挟んで積層部２３内に形成されることにより構成された浮遊容量発生部３０を備えることになる。
【００２３】
以上のように構成された積層型フィルタ１においては、図３に示されるように、各浮遊容量発生電極２１，２３が、コイル部１０との間で浮遊容量Ｃａ，Ｃｂを発生する。これにより、積層型フィルタ１の減衰特性は、コイル部１０とコンデンサ部１５，２０とによる第１の減衰ピークに加え、その低周波側に第２の減衰ピークを持つこととなる。しかも、浮遊容量発生電極２１と浮遊容量発生電極２３との間に発生する浮遊容量Ｃｃが、コイル部１０との間で発生する浮遊容量Ｃａ，Ｃｂに加算される。これにより、第２の減衰ピークは、より一層低周波側に位置し、且つ、第１の減衰ピーク及び第２の減衰ピークは、より一層深くなる。従って、積層型フィルタ１によれば、減衰特性において広い周波数帯域を得ることが可能となる。
【００２４】
なお、積層型フィルタ１においては、例えば信号は入力端子電極３→コイル部１０→出力端子電極４の経路で通過する。また、例えばノイズは入力端子電極３→コイル部１０→コンデンサ部２０→グランド端子電極５１，５２の経路、入力端子電極３→浮遊容量発生電極２１→浮遊容量発生電極２３→コイル部１０→コンデンサ部２０→グランド端子電極５１，５２の経路、及び入力端子電極３→コイル部１０→浮遊容量発生部２３→コイル部１０→コンデンサ部２０→グランド端子電極５１，５２の経路で通過する。
【００２５】
次に、積層型フィルタ１の製造方法について説明する。
【００２６】
まず、絶縁体層６１〜６１５となるグリーンシートを用意する。グリーンシートは、例えば、Ｆｅ２Ｏ３、ＺｎＯ及びＣｕＯの混合粉を原料としたスラリーをフィルム上にドクターブレード法により塗布して形成され、その厚さは、例えば、２０μｍ程度に設定される。なお、Ｆｅ２Ｏ３、ＺｎＯ及びＣｕＯの混合粉の代わりに、誘電体材料（ＴｉＯ２、ＣｕＯ、ＮｉＯ及びＭｎＣＯの混合粉等）や、酸化物セラミック材料（Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、フォルステライト、ステアタイト、コージライト等）を用いてもよく、これらの混合粉を用いてもよい。
【００２７】
続いて、絶縁体層６４〜６７となる各グリーンシートの所定の位置（すなわち、引出部７、導体部９１〜９３においてスルーホール１１を形成する位置）に、レーザー加工等によってスルーホール１１を形成する。
【００２８】
続いて、絶縁体層６２〜６８，６１０〜６１４となる各グリーンシートに、引出部７，８、導体部９１〜９３、コンデンサ電極１３，１６，１８、引出部１４１，１４２，１７，１９、浮遊容量発生電極２１，２３、引出部２２，２４に対応する各導体パターンを形成する。各導体パターンは、例えば、銀若しくはニッケルを主成分とする導体ペーストをスクリーン印刷した後、乾燥することによって形成される。各スルーホール１１には、各導体パターンを形成する際に、導体ペーストが充填されることとなる。
【００２９】
続いて、絶縁体層６１〜６１５となる各グリーンシートを順次積層して圧着し、チップ単位に切断した後に所定温度（例えば、８００〜９８０度）にて焼成する。これにより、積層体２が形成されることとなる。積層体２は、例えば、完成後における長手方向の長さが１．０ｍｍ、幅が０．５ｍｍ、高さが０．５ｍｍとなるようにする。引出部７，８、導体部９１〜９３、浮遊容量発生電極２１，２３、引出部２２，２４の焼成後における厚さは、例えば１０μｍ程度に設定され、コンデンサ電極１３，１６，１８、引出部１４１，１４２，１７，１９の焼成後における厚さは、例えば３μｍ程度に設定される。引出部７，８、導体部９１〜９３、浮遊容量発生電極２１，２３、引出部２２，２４、引出部１４１，１４２，１７，１９の焼成後における幅は、例えば７０μｍ程度に設定される。
【００３０】
続いて、この積層体２に、入力端子電極３、出力端子電極４及びグランド端子電極５１，５２を形成する。これにより、積層型フィルタ１が得られることとなる。入力端子電極３、出力端子電極４及びグランド端子電極５１，５２は、積層体２の外表面に銀、ニッケル若しくは銅を主成分とする電極ペーストを転写した後に所定温度（例えば、６００〜７８０℃程度）にて焼き付け、更に電気めっきを施すことにより、形成される。電気めっきには、Ｃｕ／Ｎｉ／Ｓｎ、Ｎｉ／Ｓｎ、Ｎｉ／Ａｕ、Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｕ、Ｎｉ／Ｐｄ／Ａｇ、又は、Ｎｉ／Ａｇ等が用いられる。
【００３１】
［第２の実施形態］
第２の実施形態に係る積層型フィルタ１は、アレイ型として構成されている点で、第１の実施形態に係る積層型フィルタ１と主に相違している。
【００３２】
すなわち、第２の実施形態に係る積層型フィルタ１においては、図４に示されるように、積層体２の側面に入力端子電極３１〜３４及び出力端子電極４１〜４４が並設され、図５に示されるように、積層体２内にコイル部１０１〜１０４及び浮遊容量発生部３０１〜３０４が並設されている。
【００３３】
また、積層部２２は、絶縁体層６１０〜６１８が積層されてなる。絶縁体層６１０，６１２，６１４，６１６，６１８上には、積層体２の積層方向から見てコイル部１０１〜１０４を含む長方形状のコンデンサ電極１３が形成されている。更に、絶縁体層６１０，６１２，６１４，６１６，６１８上には、コンデンサ電極１３とグランド端子電極５１とを電気的に接続する引出部１４１、及びコンデンサ電極１３とグランド端子電極５２とを電気的に接続する引出部１４２が形成されている。
【００３４】
絶縁体層６１１上には、積層体２の積層方向から見てコイル部１０１を含む長方形状のコンデンサ電極１６１、及び積層体２の積層方向から見てコイル部１０３を含む長方形状のコンデンサ電極１６３が形成されている。更に、絶縁体層６１１上には、コンデンサ電極１６１と端子電極３１とを電気的に接続する引出部１７１、及びコンデンサ電極１６３と端子電極３３とを電気的に接続する引出部１７３が形成されている。
【００３５】
絶縁体層６１３上には、積層体２の積層方向から見てコイル部１０２を含む長方形状のコンデンサ電極１６２、及び積層体２の積層方向から見てコイル部１０４を含む長方形状のコンデンサ電極１６４が形成されている。更に、絶縁体層６１３上には、コンデンサ電極１６２と端子電極３２とを電気的に接続する引出部１７２、及びコンデンサ電極１６４と端子電極３４とを電気的に接続する引出部１７４が形成されている。
【００３６】
絶縁体層６１５上には、積層体２の積層方向から見てコイル部１０１を含む長方形状のコンデンサ電極１８１、及び積層体２の積層方向から見てコイル部１０３を含む長方形状のコンデンサ電極１８３が形成されている。更に、絶縁体層６１５上には、コンデンサ電極１８１と端子電極４１とを電気的に接続する引出部１９１、及びコンデンサ電極１８３と端子電極４３とを電気的に接続する引出部１９３が形成されている。
【００３７】
絶縁体層６１７上には、積層体２の積層方向から見てコイル部１０２を含む長方形状のコンデンサ電極１８２、及び積層体２の積層方向から見てコイル部１０４を含む長方形状のコンデンサ電極１８４が形成されている。更に、絶縁体層６１７上には、コンデンサ電極１８２と端子電極４２とを電気的に接続する引出部１９２、及びコンデンサ電極１８４と端子電極４４とを電気的に接続する引出部１９４が形成されている。
【００３８】
以上により、積層型フィルタ１は、入力端子電極３１と電気的に接続されたコンデンサ電極１７１、入力端子電極３３と電気的に接続されたコンデンサ電極１７３、出力端子電極４１と電気的に接続されたコンデンサ電極１８１、出力端子電極４３と電気的に接続されたコンデンサ電極１８３、及びグランド端子電極５１，５２と電気的に接続されたコンデンサ電極１３が絶縁体層６１０，６１１，６１４，６１５を挟んで積層部２２内に形成されることにより構成されたコンデンサ部１５１，１５３，２０１，２０３を備えることになる。
【００３９】
同様に、積層型フィルタ１は、入力端子電極３２と電気的に接続されたコンデンサ電極１７２、入力端子電極３４と電気的に接続されたコンデンサ電極１７４、出力端子電極４２と電気的に接続されたコンデンサ電極１８２、出力端子電極４４と電気的に接続されたコンデンサ電極１８４、及びグランド端子電極５１，５２と電気的に接続されたコンデンサ電極１３が絶縁体層６１２，６１３，６１６，６１７を挟んで積層部２２内に形成されることにより構成されたコンデンサ部１５２，１５４，２０２，２０４を備えることになる。
【００４０】
ここで、本発明によって、減衰帯域幅が広がり、広帯域にわたってフィルタ効果を得ることができることを、実施例及び比較例によって具体的に示す。実施例及び比較例では、周波数特性として挿入損失特性を求めた。
【００４１】
実施例としては、第１の実施形態に係る積層型フィルタ１と同様の構成を有する積層型フィルタを用いた。また、比較例としては、浮遊容量発生部３０を備えていない点を除いて第１の実施形態に係る積層型フィルタ１と同様の構成を有する積層型フィルタを用いた。なお、実施例及び比較例の積層型フィルタのいずれも、カットオフ周波数が１００ＭＨｚとなるように設計した。
【００４２】
実施例及び比較例の積層型フィルタの挿入損失特性を図６に示す。実線は、実施例の積層型フィルタの挿入損失特性を示しており、一点鎖線は、比較例の積層型フィルタの挿入損失特性を示している。減衰帯域、例えば−３０ｄＢ減衰を保持する周波数帯域は、実施例の積層型フィルタでは６００〜２９００ＭＨｚであるのに対し、比較例の積層型フィルタでは１３００〜２６００ＭＨｚであった。
【００４３】
実施例の積層型フィルタの減衰特性は、コンデンサ部１５，２０のキャパシタンスとコイル部１０のインダクタンスとで決まる共振周波数において第１の減衰ピークＰ１を有すると共に、コンデンサ部１５，２０及び浮遊容量発生電極２１，２３による浮遊容量Ｃａ，Ｃｂの合成キャパシタンスと、コイル部１０のインダクタンスとで決まる共振周波数において第２の減衰ピークＰ２を有している。しかも、浮遊容量発生電極２１と浮遊容量発生電極２３との間で発生する浮遊容量Ｃｃが浮遊容量Ｃａ，Ｃｂに加算されることにより、第２の減衰ピークＰ２は、より一層低周波側に位置し、且つ、各減衰ピークＰ１，Ｐ２は、より一層深くなっている。以上のことから、本発明の有効性が確認された。
【００４４】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、積層型フィルタ１においては、図７に示されるように、浮遊容量発生部３０は、浮遊容量発生電極２１と浮遊容量発生電極２３とが互い違いとなるように、３つ以上の浮遊容量発生電極２１，２３が絶縁体層６を挟んで積層部２３内に形成されることにより構成されていてもよい。
【００４５】
このような構成により、浮遊容量発生部３０で発生する浮遊容量Ｃｃを増加させることができ、減衰特性において更に広い周波数帯域を得ることが可能となる。
【００４６】
また、積層型フィルタ１は、図３に示されるように、π型として構成されたものに限定されず、図８（ａ）に示されるように、Ｌ型として構成されたものであってもよいし、図８（ｂ）に示されるように、Ｔ型として構成されたものであってもよい。なお、コイル部１０のＱ（quality factor）は、図９に示されるように、３以上が好ましく、更に好ましくは５以上である。これにより、フィルタ効果を確実に得ることができる。
【００４７】
また、積層型フィルタ１においては、積層部２３は、積層部２１と積層部２２との間に設けられていてもよい。
【００４８】
また、積層型フィルタ１においては、コイル部１０を形成する絶縁体層６４〜６８は磁性体であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】第１の実施形態に係る積層型フィルタの斜視図である。
【図２】図１に示された積層型フィルタの積層体の分解斜視図である。
【図３】図１に示された積層型フィルタの等価回路を示す図である。
【図４】第２の実施形態に係る積層型フィルタの斜視図である。
【図５】図４に示された積層型フィルタの積層体の分解斜視図である。
【図６】積層型フィルタの挿入損失特性を示す線図である。
【図７】変形例に係る積層型フィルタの等価回路を示す図である。
【図８】変形例に係る積層型フィルタの等価回路を示す図であり、（ａ）は、Ｌ型として構成されたもの、（ｂ）は、Ｔ型として構成されたものである。
【図９】積層型フィルタのコイル部のＱ（quality factor）の特性を示す線図である。
【符号の説明】
【００５０】
１…積層型フィルタ、２…積層体、２１…積層部（第１の積層部）、２２…積層部（第２の積層部）、２３…積層部（第３の積層部）、３…入力端子電極、４…出力端子電極、５１，５２…グランド端子電極、６２，６３…絶縁体層（第３の絶縁体層）、６４〜６８…絶縁体層（第１の絶縁体層）、６１０〜６１４…絶縁体層（第２の絶縁体層）、９１〜９３…導体部、１０…コイル部、１３…コンデンサ電極（第２のコンデンサ電極）、１６，１８…コンデンサ電極（第１のコンデンサ電極）、１５，２０…コンデンサ部、２１…浮遊容量発生電極（第１の浮遊容量発生電極）、２３…浮遊容量発生電極（第２の浮遊容量発生電極）、３０…浮遊容量発生部。
【図１】
2007158839.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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