(57)【要約】【課題】  ＲＩＥによる前処理を行った基材上に酸化アルミニウム蒸着層を形成し、その膜を保護する複合被膜層を設けることで、従来の蒸着方法では得られなかった基材／酸化アルミニウム蒸着層の密着性を飛躍的に向上させ強密着ガスバリア性積層フィルムおよびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】  引裂性を有する高分子樹脂組成物からなるプラスチック基材上の少なくとも一方の面に、膜厚５〜１００ｎｍの金属、又は金属酸化物の蒸着層を設けることを特徴とする強密着ガスバリア性積層フィルムを提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
引裂性を有する高分子樹脂組成物からなるプラスチック基材上の少なくとも一方の面に、膜厚５〜１００ｎｍの金属、又は金属酸化物の蒸着層を設けることを特徴とする強密着ガスバリア性積層フィルム。
【請求項２】
引裂性が直線引裂性であることを特徴とする請求項１記載の強密着ガスバリア性積層フィルム。
【請求項３】
プラスチック基材面がリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）モードのプラズマ処理面であることを特徴とする請求項１または２記載の強密着ガスバリア性積層フィルム。
【請求項４】
リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）モードのプラズマ処理面が、アルゴン、窒素、酸素、水素のうちの１種類のガス、またはこれらの混合ガスによるリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）モードのプラズマ処理面であることを特徴とする請求項１から３何れか記載の強密着ガスバリア性積層フィルム。
【請求項５】
プラスチック基材が、ポリテトラメチレングリコールを含有したポリブチレンテレフタレートとポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）からなる、一方向に直線引裂性を有する一軸若しくは二軸延伸ポリエステルフィルムであることを特徴とする請求項１から４何れか記載の強密着ガスバリア性積層フィルム。
【請求項６】
プラスチック基材が、分子量６００〜４，０００のポリテトラメチレングリコールを５〜２０ｗｔ％含有したポリブチレンテレフタレート（変性ＰＢＴ）と、ポリエチレンテレフタレートとを、ＰＥＴ／変性ＰＥＴ＝７０／３０〜９５／５（重量比）の割合になっている二軸延伸ポリエステルフィルムであることを特徴とする請求項５記載の強密着ガスバリア性積層フィルム。
【請求項７】
請求項１から６何れか記載の強密着ガスバリア性積層フィルムの蒸着層上に１種以上の金属アルコキシド或いはその加水分解物と、水酸基を有する水性高分子との複合物からなる被膜を設けることを特徴とする強密着ガスバリア性積層フィルム。
【請求項８】
請求項１から７何れか記載の強密着ガスバリア性積層フィルムの製造方法において、ＲＩＥによるプラスチック基材の処理の工程と、蒸着層を設ける工程が、蒸着機インラインにて行われることを特徴とする直線引裂性を有する強密着ガスバリア性積層フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は食品、医薬品等の包装分野に用いられる直線引裂性等の引裂性を有する強密着ガスバリア性積層フィルムおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
食品、非食品、医薬品等の包装に用いられる包装材料は、内容物の変質、特に食品においては蛋白質や油脂等の酸化、変質を抑制し、味・鮮度を保持することが必要であり、また無菌状態での取扱いが必要とされる医薬品においては有効成分の変質を抑制し、効能を維持することが求められる。そこで近年、包装材料を透過する酸素・水蒸気、その他内容物を変質させる気体による影響を防止する必要があり、これらの気体（ガス）を遮断するガスバリア性を備える包装材料が求められている。
【０００３】
従来から、通常のガスバリアレベルのものについては、高分子の中では比較的にガスバリア性に優れるポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、エチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）等の樹脂フィルムやあるいはこれらの樹脂をラミネートまたはコーティングしたプラスチックフィルム等の高分子ガスバリア性フィルムが主に用いられてきたが、これらのフィルムは、温湿度依存性が大きく、高温または高湿下においてガスバリア性の低下が見られ、包装の用途によってはボイル処理や高温高圧力下でのレトルト処理を行うとガスバリア性が著しく低下することがある。また、ＰＶＤＣ系の高分子樹脂組成物を用いてなるガスバリア性積層体は、湿度依存性は小さいが、温度依存性がある上に、酸素バリア性を１ｃｍ3／ｍ2．ｄａｙ．ａｔｍ以下とするハイガスバリア材を実現することは困難であり、特に高防湿性や高度なガスバリア性が要求されるものについては使用できなかった。
【０００４】
また、ＰＶＤＣやＰＡＮ等は廃棄・焼却の際に有害物質発生の危惧があり、焼却処理やリサイクリングなど廃棄物処理の面で問題がある。そのため、高防湿性を有し、かつ高度のガスバリア性を要求されるものについては、アルミニウム等の金属からなる金属箔等をガスバリア層として用いた包装材料を用いざるを得なかった。しかしながら、金属箔や金属蒸着フィルムは、ガスバリア性に優れるが包装材料を透視して内容物の識別や、検査の際金属探知器が使用できない等の問題、また使用後の廃棄の際は不燃物として処理しなければならない等の問題がある。
【０００５】
そのため、高分子樹脂組成物からなるプラスチックフィルム上にアルミニウム（Ａｌ）などの金属または金属化合物を真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマ気相成長法（ＣＶＤ法）などの真空プロセスにより被膜を設けたバリア材が開発された。蒸着させる金属としては、酸化アルミニウム（ＡｌＯｘ）、一酸化珪素（ＳｉＯ）などの珪素酸化物（ＳｉＯｘ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などが挙げられる。これらは高分子樹脂組成物からなるガスバリア材より優れたガスバリア特性を有しており、高湿度下での劣化も少なく、この包装材料を用いた包装フィルムが一般的に普及し始めている。
【０００６】
包装袋には、強度と開封するときの易引裂性の一見相反すると思われる二つの特性を兼備していることが要求される。二軸延伸ポリエステルフィルムを用いた包装袋は、引裂開封性が悪いため、開封し難いという問題がある。この引裂開封性を向上する技術として、ＶノッチやＵノッチを付けたり、ティアテープ、ミシン目、フィルム表面に微細な傷を付ける等の工夫がなされている。しかし、このよう従来の技術では、引き裂けたとしても必要以上に力を要したり、直線的に引裂けないというトラブルがしばしば発生し、開封の仕方によっては内容物が飛散したり、内容物が液体の場合には衣服を汚したり、柔らかい菓
子の場合には割れたりするなどの問題もある。
【０００７】
また従来の蒸着方法では、プラスチック基材とシーラントとの密着力が弱く（剥離面は基材とアルミナ蒸着層の間）、フィルムをラミネートした際に基材の直線カット力がシーラントへうまく伝播せず、直線カット性能を十分発揮することができなかった。
【０００８】
密着性問題を解決するために、従来からプラズマを用いることによって、インライン前処理によりプラスチック基材上の金属酸化物蒸着の密着性を改善するという試みはなされていたが、従来はインラインでプラズマ処理を行おうとすると、プラズマ発生のための電圧を印加する電極を基材のあるドラム側でなく、反対側に設置されている。この装置の場合、基材はアノード側に設置されることになるため、高い自己バイアスは得られず、結果として高い処理効果を発揮できなかった。
【０００９】
高い自己バイアスを得るために、直流放電方式を用いることも出来るが、この方法で高いバイアスの電圧を得ようとすると、プラズマのモードがグローからアークへと変化するため、大面積に均一な処理を行うことは出来ない。
【００１０】
特許文献は以下の通り。
【特許文献１】国際公開２００３／００９９９８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、従来の蒸着方法では不十分であった蒸着層の密着強度を改善するために、基材表面にＲＩＥモードのプラズマによる表面処理技術を利用した前処理を施すことでプラスチック基材の界面を改良し、プラスチック基材と蒸着膜との密着を強化した引裂性を有するガスバリア性積層フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１記載の発明における課題を解決するための手段は、引裂性を有する高分子樹脂組成物からなるプラスチック基材上の少なくとも一方の面に、膜厚５〜１００ｎｍの金属、又は金属酸化物の蒸着層を設けることを特徴とする強密着ガスバリア性積層フィルムである。
【００１３】
請求項２記載の発明における課題を解決するための手段は、引裂性が直線引裂性であることを特徴とする請求項１記載の強密着ガスバリア性積層フィルムである。
【００１４】
請求項３記載の発明における課題を解決するための手段は、プラスチック基材面がリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）モードのプラズマ処理面であることを特徴とする請求項１または２記載の強密着ガスバリア性積層フィルムである。
【００１５】
請求項４記載の発明における課題を解決するための手段は、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）モードのプラズマ処理面が、アルゴン、窒素、酸素、水素のうちの１種類のガス、またはこれらの混合ガスによるリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）モードのプラズマ処理面であることを特徴とする請求項１から３何れか記載の強密着ガスバリア性積層フィルムである。
【００１６】
請求項５記載の発明における課題を解決するための手段は、プラスチック基材が、ポリテトラメチレングリコールを含有したポリブチレンテレフタレートとポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）からなる、一方向に直線引裂性を有する一軸若しくは二軸延伸ポリエ
ステルフィルムであることを特徴とする請求項１から４何れか記載の強密着ガスバリア性積層フィルムである。
【００１７】
請求項６記載の発明における課題を解決するための手段は、プラスチック基材が、分子量６００〜４，０００のポリテトラメチレングリコールを５〜２０ｗｔ％含有したポリブチレンテレフタレート（変性ＰＢＴ）と、ポリエチレンテレフタレートとを、ＰＥＴ／変性ＰＥＴ＝７０／３０〜９５／５（重量比）の割合になっている二軸延伸ポリエステルフィルムであることを特徴とする請求項５記載の強密着ガスバリア性積層フィルムである。
【００１８】
請求項７記載の発明における課題を解決するための手段は、請求項１から６何れか記載の強密着ガスバリア性積層フィルムの蒸着層上に１種以上の金属アルコキシド或いはその加水分解物と、水酸基を有する水性高分子との複合物からなる被膜を設けることを特徴とする強密着ガスバリア性積層フィルムである。
【００１９】
請求項８記載の発明における課題を解決するための手段は、請求項１から７何れか記載の強密着ガスバリア性積層フィルムの製造方法において、ＲＩＥによるプラスチック基材の処理の工程と、蒸着層を設ける工程が、蒸着機インラインにて行われることを特徴とする直線引裂性を有する強密着ガスバリア性積層フィルムの製造方法である。
【００２０】
上記発明に依れば、プラスチック基材と蒸着膜の密着を強化することで、ラミネートフィルムの直線カット性能等の引裂性を維持したガスバリア性積層フィルムを提供することが出来る。
【００２１】
密着性の劣化を抑える作用としては、ＲＩＥプラズマによる基材表面弱結合層（Ｗｅａｋ  Ｂｏｕｎｄａｒｙ  Ｌａｙｅｒ（ＷＢＬ））やＰＥＴであれば加水分解層などの、密着強度が低下を招く層の除去による効果と考えられる。これによりフレッシュな基材表面が提供され、酸化アルミニウム蒸着との密着性が向上すると同時に、耐水劣化を起こさない界面を形成するものと考えられる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の強密着ガスバリア性積層フィルムは、ＲＩＥによる前処理を行った基材上に酸化アルミニウム蒸着層を形成し、その膜を保護する複合被膜層を設けることで、従来の蒸着方法では得られなかった基材／酸化アルミニウム蒸着層の密着性を飛躍的に向上させることが可能である。また、可撓性にも優れるので、乱雑な取扱いにもバリア性を損なうことなく、食品など内容物の長期保存を可能にするものである。またこの積層フィルムは、食品、非食品、医薬品等の包装に用いられる実用範囲の広い包装材料を提供する事が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明の実施の形態について説明する。
【００２４】
図１は本発明の強密着蒸着フィルムを説明する断面図である。プラズマを利用したリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）による前処理を施したプラスチック基材１表面上に、酸化アルミニウム層２、複合被膜層３が形成されている構造である。酸化アルミニウム層２、複合被膜層３は基材の両面に形成しても、多層にしてもよい。
【００２５】
本発明の直線引裂性を有するガスバリア性積層フィルムに用いる透明な高分子材料からなるプラスチック基材の例としては、分子量６００〜４，０００のポリテトラメチレングリコールを５〜２０重量％含有したポリブチレンテレフタレート（変性ＰＢＴ）と、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）とを、ＰＥＴ／変性ＰＥＴ＝７０／３０〜９５／５（
重量比）の割合で混合してなる高分子フィルムである。
【００２６】
本発明の基材１を構成するＰＥＴは、公知の製法、すなわち、テレフタル酸ジメチルとエチレングリコールとからのエステル交換反応法、あるいは、テレフタル酸とエチレングリコールとからの直接エステル化法によりオリゴマーを得た後、溶融重合、あるいはさらに固相重合して得られるものをいうが、本発明の効果を損ねない範囲であれば他の成分を共重合することができる。
【００２７】
他の共重合成分としては、イソフタル酸、フタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、５−ナトリウムスルホイソフタル酸、コハク酸、アジピン酸、セバシン酸、ドデカン二酸、ダイマー酸、無水マレイン酸、マレイン酸、フマール酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、シクロヘキサンジカルボン酸などのジカルボン酸、４−ヒドロキシ安息香酸、ε−カプロラクトン、乳酸などのオキシカルボン酸、１，３−プロパンジオール、１，６−ヘキサンジオール、シクロヘキサンジメタノールなどのグリコールや、トリメリット酸、トリメシン酸、ピロメリット酸、トリメチロールプロパン、グリセリン、ペンタエリスリトールなどの多官能化合物が挙げられる。
【００２８】
ポリテトラメチレングリコールの分子量は、６００〜４，０００であることが必要であり、好ましくは１，０００〜３，０００、さらに好ましくは１，０００〜２，０００である。分子量が６００未満の場合には、直線引裂性が得られず、また４，０００を超える場合には、機械的強度、寸法安定性、ヘーズなどの性能が低下し、また、安定したフィルムの直線引裂性が発現しない。
【００２９】
本発明におけるプラスチック基材は、変性ＰＢＴは、ポリテトラメチレングリコールを５〜２０質量％含有することが必要であり、その含有量は１０〜２０質量％が好ましく、１０〜１５質量％がさらに好ましい。ポリテトラメチレングリコールの含有量が５質量％未満の場合には、得られるフィルムの引裂直線性が発現せず、２０質量％を超える場合には、得られるフィルムの機械的強度、寸法安定性、ヘーズなどの性能が低下し、また、安定したフィルムの引裂直線性を得ることが困難となる。また、ポリテトラメチレングリコールの含有量が２０質量％を超える場合には、特に量産スケールで生産した場合に、押出時にフィルムが脈動する現象（いわゆるバラス現象）が発現することがありフィルムの厚み斑が大きくなるという問題が発生する。
【００３０】
変性ＰＢＴとＰＥＴとの質量比が、変性ＰＢＴ／ＰＥＴ＝３０／７０〜５／９５、好ましくは２０／８０〜１０／９０、さらに好ましくは１５／８５〜１０／９０であることが必要である。変性ＰＢＴの比率が５質量％未満の場合には引裂直線性が得られず、３０質量％を超える場合には、フィルムの厚み変動が大きくなったり、得られるフィルムの引裂直線性が低下するのみならず、機械的強度、寸法安定性、ヘーズなどの性能が低下して実用性能に問題が生じる。すなわち、フィルムの引裂直線性と実用性能を与えるためには、ＰＥＴと変性ＰＢＴの比率を上記範囲内とすることが必要である。
【００３１】
プラスチック基材１の厚さは特に制限を受けるものではなく、無機酸化物からなる蒸着薄膜層、ガスバリア性複合被膜層を形成する場合の加工性を考慮すると、実用的には、３〜２００μｍの範囲が好ましく、特に６〜３０μｍとすることが好ましい。
【００３２】
引裂きに関して、上記プラスチック基材は混合後の溶融押出しの過程で、ＰＥＴとポリテトラメチレングリコールの２成分の溶融粘度が異なる為、ポリテトラメチレングリコールは流れ方向（ＭＤ方向）に棒状に配列した構造を形成する。ＰＥＴとポリテトラメチレングリコールは弾性率が異なる為、ＭＤ方向に引裂く際にＰＥＴとポリテトラメチレングリコールの界面にて応力と歪みのバランスが崩れる。ポリテトラメチレングリコールは分
散して断続的にＭＤ方向に配列する為、ＭＤ方向に直線的に引き裂けていくというメカニズムを持つと考えられる。
【００３３】
このプラスチック基材１上に堆積させる蒸着薄膜層の厚さは、一般的には５〜３０ｎｍの範囲内が望ましく、その値は適宜選択される。ただし、膜厚が５ｎｍ未満であると均一な膜が得られないことや膜厚が十分ではないことがあり、ガスバリア材としての機能を十分に果たすことができない場合がある。また膜厚が３０ｎｍを越える場合は、薄膜にフレキシビリティを保持させることができず、成膜後に折り曲げ、引っ張りなどの外的要因により、薄膜に亀裂を生じる恐れがある。より好ましくは、１０〜１５ｎｍの範囲内にあることである。
【００３４】
酸化アルミニウム層をプラスチック基材上に形成する方法としては、種々在り、通常の真空蒸着法により形成することができる。また、その他の薄膜形成法であるスパッタリング法やイオンプレーティング法、プラズマ気相成長法（ＣＶＤ法）などを用いることも可能である。但し生産性を考慮すれば、、現時点では真空蒸着法が最も優れている。真空蒸着法の加熱手段としては、電子線加熱方式や抵抗加熱方式、誘導加熱方式のいずれかの方式を用いることが好ましいが、蒸発材料の選択性の幅広さを考慮すると、電子線加熱方式を用いることがより好ましい。また、蒸着薄膜層と基材の密着性及び蒸着薄膜層の緻密性を向上させるために、プラズマアシスト法やイオンビームアシスト法を用いて蒸着することも可能である。
【００３５】
このプラスチック基材１と金属または無機酸化物層との密着を強化するために、表面にプラズマを利用したリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）による前処理を施すことが有効である。このＲＩＥによる処理を行うことで、発生したラジカルやイオンを利用してプラスチック基材の表面に官能基を持たせるなどの化学的効果と、表面をイオンエッチングして不純物等を飛ばしたり平滑化するといった物理的効果の２つの効果を同時に得ることが可能である。このような表面処理を行うことで、後に行う蒸着の際に無機酸化物の緻密な薄膜を形成させることができる。その結果、基材と金属または無機酸化物層との密着性を強化させることができ、ガスバリア性向上やクラック発生防止につながるだけでなく、デラミネーションが起こることがない。
【００３６】
ＲＩＥによる前処理を行うためのガス種としては、アルゴン、酸素、窒素、水素を使用することが出来る。これらのガスは単独で用いても、２種類以上のガスを混合して用いてもよい。また、２基の処理器を用いて、連続して処理を行ってもよい。
【００３７】
加工速度、エネルギーレベルなどで示される処理条件は、基材種類、用途、放電装置特性などに応じ、適宜設定するべきである。ただし、プラズマの自己バイアス値は２００Ｖ以上２，０００Ｖ以下、Ｅｄ＝プラズマ密度×処理時間で定義されるＥｄ値が１００Ｗ．ｓ／ｍ2以上１０，０００Ｗ．ｓ／ｍ2以下にすることが必要であり、これより若干低い値でも、ある程度の密着性を発現するが、未処理品に比べて優位性が低い。また、高い値であると、強い処理がかかりすぎて基材表面が劣化し、密着性が下がる原因になる。プラズマ用の気体及びその混合比などに関してはポンプ性能や取り付け位置などによって、導入分と実効分とでは流量が異なるので、用途、基材、装置特性に応じて適宜設定するべきである。
【００３８】
ＲＩＥによる前処理と蒸着が、同一成膜機（インライン成膜機）にて行っても良い。インライン成膜により、工程を短縮し、安価なフィルムを提供することが出来る。
【００３９】
次いで複合被膜層３を説明する。複合被膜層はガスバリア性を持った被膜層であり、水性高分子と１種以上の金属アルコキシドまたはその加水分解物を含む水溶液或いは水／ア
ルコール混合溶液を主剤とするコーティング剤を用いて形成される。例えば、水性高分子を水系（水或いは水／アルコール混合）溶媒で溶解させたものに金属アルコキシドを直接、或いは予め加水分解させるなど処理を行ったものを混合したものを溶液とする。この溶液を金属または無機化酸化物からなる蒸着薄膜層にコーティング後、加熱乾燥し形成される。コーティング剤に含まれる各成分について更に詳細に説明する。
【００４０】
本発明でコーティング剤に用いられる水性高分子は、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、デンプン、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、アルギン酸ナトリウム等が挙げられる。特にポリビニルアルコール（以下、ＰＶＡと略す）を本発明のコーティング剤に用いた場合にガスバリア性が最も優れるので好ましい。
【００４１】
また本発明にて用いた金属アルコキシドは、一般的にＭ（ＯＲ）n（Ｍ：Ｓｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｚｒ等の金属、Ｒ：ＣＨ3、Ｃ2Ｈ5等のアルキル基）で表せる化合物である。具体的には、テトラエトキシシラン〔Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4〕、トリイソプロポキシアルミニウムなどが挙げられ、中でもテトラエトキシシラン、トリイソプロポキシアルミニウムが加水分解後、水系の溶媒中において比較的安定であるので好ましい。
【００４２】
なお、金属アルコキシドと水溶性高分子の混合からなる複合皮膜層は、水素結合からなるため、水に膨潤し溶解する恐れがある。これを防ぐために、金属アルコキシドにシランカップリング剤を添加することが好ましい。
【００４３】
上記溶液中にガスバリア性を損なわない範囲にて、分散剤、安定化剤、粘度調整剤、着色剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤などの公知の添加剤を必要に応じて加えることも可能である。
【００４４】
コーティング剤の塗布方法としては、通常用いられるディッピング法、ロールコーティング法、スクリーン印刷法、スプレー法、グラビア印刷法など従来公知の方法を用いることが可能である。
【００４５】
複合被膜層の厚さは、目的とするレベルによって異なるが、通常０．０１〜１０μｍである。０．０１μｍ以下になると目的とするガスバリア性が得られず、５０μｍ以上の場合、被膜へのクラックが入りやすいことや、十分な透明性が得られない場合がある。より好ましくは、０．１〜１０μｍの範囲にあることである。
【実施例】
【００４６】
以下に本発明の実施例を具体的に説明する。尚、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
＜実施例１＞
厚さ１２μｍの直線引裂性を有する２軸延伸ポリエステルテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面に、プラズマを利用したリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）による前処理を施した。この時、電極には周波数１３．５６ＭＨｚの高周波電源を用い、自己バイアス値は８００Ｖ、Ｅｄ値は３００Ｗ．ｓ／ｍ2とした。処理ガスにはアルゴン／酸素混合ガスを用いた。この上に、電子線加熱方式を利用した真空蒸着により、酸化アルミニウムを１２ｎｍの厚みで成膜して、蒸着フィルムを作製した。
【００４７】
この蒸着フィルム上に、下記に示す（１液）と（２液）を配合比（固形分比）で６５／３５に混合した溶液を作成し、グラビアコート法により塗布乾燥し、厚さ０．４μｍの複合被膜層を形成した。
【００４８】
（１液）：テトラエトキシシラン１４．０ｇに塩酸（０．０２Ｎ）とメタノールを４／
１の割合で混合した溶液を２８．０ｇを加え、３０分間撹拌し加水分解溶液を作製する。
【００４９】
（２液）：ポリビニルアルコールの固形分５ｗｔ％溶液を作製する。
＜比較例１＞
プラズマを利用したリアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）による前処理を施さず、それ以外は、実施例１と同様の方法でバリアフィルムを作製した。
＜比較例２＞
直線引裂性を持たない２軸延伸ポリエステルテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面に、実施例１と同様の方法で蒸着フィルムを作製した。
＜比較例３＞
直線引裂性を有する２軸延伸ポリエステルテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム単体。
【００５０】
更にノンソルベントラミネートにより、上記蒸着フィルム／未延伸ポリプロピレン（２５μｍ）の積層サンプルを作成した。
＜評価１  ラミネート強度＞
積層サンプルの蒸着フィルム／未延伸ポリプロピレン間のラミネート強度を、オリエンテック社テンシロン万能試験機ＲＴＣ−１２５０を用いて測定した（ＪＩＳ  Ｚ１７０７準拠）。結果を表１に示す。
＜評価２  ガスバリア性＞
本発明品のガスバリア性を酸素透過度測定装置（モダンコントロール社製  ＭＯＣＯＮ
ＯＸＴＲＡＮ  ２／２１）、水蒸気透過度測定装置（モダンコントロール社製  ＭＯＣＯＮ  ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ  ３／２１）を用い、４０℃９０％ＲＨ雰囲気の条件にて測定した。結果を表１に示す。
＜評価３  各種フィルムの直線引裂性＞
縦方向３００ｍ×横方向２００ｍｍ（Ａ４版大）のカットサンプルを採取する。端から４０ｍｍ幅間隔でその中央に４０ｍｍの入れ目（ノッチ）を入れる（図２）。右方向へフィルムのＭＤ方向を角度３０°傾ける。上記サンプルについて、速度２．５ｍｍ／分で手前方向に１００ｍｍ引き裂いた時のセンターからのズレ量（ｍｍ）を測定する。Ｎ＝５測定し、平均のズレ量（ｍｍ）を直線引裂性とする。
＜評価４  各種フィルムの引裂き強度＞
実施例１のフィルム及び、以下に示す各種フィルムの引裂き強度を測定した（ＪＩＳ  Ｋ７１２８準拠）。
【００５１】
表１は以下の通り。
【００５２】
【表１】
2007230123.tif 000003
表２は以下の通り。
【００５３】
【表２】
2007230123.tif 000004
表３は以下の通り。
【００５４】
【表３】
2007230123.tif 000005
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の直線引裂性を有する強密着透明ガスバリア性積層フィルムの断面図である。
【図２】直線引裂性の評価方法を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１：  プラスチック基材
２：  無機酸化物蒸着層
３：  複合被膜層
４：  ＲＩＥによる前処理面
【図１】
2007230123.tif 000006
【図２】
2007230123.tif 000007