(57)【要約】      （修正有）【課題】印刷材料の転写量を多くでき、且つ、被印刷物へ印刷材料からなる閉路パターンを形成できるメタルマスクおよび該メタルマスクを用いた印刷方法を提供する。【解決手段】開口パターンに対してその開口に境される両側を繋ぐブリッジ１２ａを設けた構造の、ブリッジ１２ａを配する開口パターンを、有するもので、前記ブリッジ１２ａの一方側を、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの表面１３Ｓ１に揃え、且つ、前記ブリッジ１２ａの他方側の全体あるいは一部を、メタルマスクの前記表面側でない裏面１３Ｓ２から凹ませて、前記ブリッジの両側の開口をつなぐ、裏面から凹んだ形状の窪み１２ｂを、前記ブリッジの幅方向を跨ぐように、配しているものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなる印刷用のメタルマスクであって、開口パターンに対してその開口に境される両側を繋ぐブリッジを設けた構造の、ブリッジを配する開口パターンを、有するもので、前記ブリッジの一方側を、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの表面に揃え、且つ、前記ブリッジの他方側の全体あるいは一部を、メタルマスクの前記表面側でない裏面から凹ませて、前記ブリッジの両側の開口をつなぐ、裏面から凹んだ形状の窪みを、前記ブリッジの幅方向を跨ぐように、配しているものであることを特徴とするメタルマスク。
【請求項２】
請求項１に記載のメタルマスクであって、前記ブリッジを有する開口パターンが、開口が閉じる形状である閉じる系の開口パターンに対して、複数箇所において、その開口に境される両側を前記ブリッジで繋ぎ、前記閉じる系の内側がはずれないように固定した構造のものであることを特徴とするメタルマスク。
【請求項３】
前記請求項１ないし２のいずれか１項に記載のメタルマスクであって、その下面に被印刷物を離して設置し、その上面に印刷材料を載せて、スキージ下部で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）することによって、設けられた開口から印刷材料を通過させ、被印刷物上へ印刷材料からなるパターンを転写形成する印刷方式に用いられるものであることを特徴とするメタルマスク。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のメタルマスクであって、前記ブリッジ部の窪みは、ハーフエッチングによって加工されたものであることを特徴とするメタルマスク。
【請求項５】
請求項２ないし４のいずれか１項に記載のメタルマスクであって、前記閉じる系の開口パターンが、三角形、四角形、多角形、円形のいずれかであることを特徴とするメタルマスク。
【請求項６】
メタルマスクによる印刷方法であって、請求項１ないし５のいずれかのメタルマスクを用いて印刷することを特徴とするメタルマスクによる印刷方法。
【請求項７】
請求項６に記載のメタルマスクによる印刷方法であって、メタルマスクの下面に被印刷物を設置し、該メタルマスクの上面に印刷材料を載せて、スキージ下部で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）することによって、メタルマスクに設けられた開口部に印刷材料を充填し、メタルマスクの被印刷物が接した箇所が、スキージの移動とともに被印刷物から離れることによって、印刷材料を被印刷物上へ転写させるものであることを特徴とするメタルマスクによる印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メタルマスクおよびメタルマスクを用いた印刷方法に関し、特に、イメージセンサ、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）、液晶表示材料等の電子部品等のエレクトロニクスの分野において、閉路のパターン（例えば、三角形、四角形、多角形、円などのパターン）を印刷形成する印刷用メタルマスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロ二クス分野をはじめとして、三角形、四角形、多角形、円などの閉路パターンを印刷形成する場合が多々ある。
例えば、特開平６−５９２２６号公報（特許文献１）に記載のように、液晶表示を有する製品に於いて、支持体上に載せられた液晶表示材料は、上からアクリルやガラス製の透明な保護カバーでカバーされるが、そのような保護カバーの支持体への接着は、印刷技術を用いて接着剤を先ず液晶表示材料が既に載せられている支持体上に載せ、次に保護カバーを上からかぶせて行うのが有利である。
このような印刷には、メタルマスク版の貫通孔を通して接着剤を所望の位置に載せる方法が適している。
しかし、通常の開口メタルマスクで閉路パターンの印刷形成を行うことは困難なため、特開平６−５９２２６号公報の記載においては、金属製の紗を付けた金属板を所望のパターンにエッチングして形成したメタルマスクを用いている。
【特許文献１】特開平６−５９２２６号公報（特許文献１）
【０００３】
同様に、紗とメタルマスクを組み合わせる方法は、以下、特開平６−９３８号公報（特許文献２）、特開平６−１２７１６５号公報（特許文献３）、特開平８−１８３１５１号公報（特許文献４）、特開平１０−３２３９６２号公報（特許文献５）、特開平１１−１７３１３号公報（特許文献６）、特開２００４−２８４１８２号公報（特許文献７）等に記載のように、多く知られている。
【特許文献２】特開平６−９３８号公報
【特許文献３】特開平６−１２７１６５号公報
【特許文献４】特開平８−１８３１５１号公報
【特許文献５】特開平１０−３２３９６２号公報
【特許文献６】特開平１１−１７３１３号公報
【特許文献７】特開２００４−２８４１８２号公報  特開平６−９３８号公報には、インキが通過するメッシュ状のパターン部とインキの通過を阻止するマスク部とからなるメタルマスクで、マスク部を電鋳により形成する記載がある。  また、メッシュを有するパターン部とメッシュを有しないパターン部とが混在するものも記載されている。  特開平６−１２７１６５号公報には、プリント配線基板などの被印刷物にクリーム半田等を印刷するためのメタルマスクで、スキージと接する面の表面には凸状のランドを配設したスクリーン印刷用のメタルマスクが記載されている。  特開平８−１８３１５１号公報には、メッシュの片面にマスク基板を一体に電着形成するメッシュ一体型メタルマスクの製造方法にで、アスペクト比をも高くとることができ、印刷寸法安定性の向上を図ることができ、またピット発生の防止を図ることができる、メッシュ一体型メタルマスクの製造方法が記載されている。  特開平１０−３２３９６２号公報には、メッシュの片面にマスク基板を一体に電着形成するメッシュ一体型のメタルマスクの製造方法で、開口密度に粗密差がある場合もマスク厚を均等化できて印刷厚の均等化を図れる、また、かかるメタルマスクを容易に得ることのできる、メッシュ一体型のメタルマスクの製造方法が記載されている。  特開平１１−１７３１３号公報には、スクリーン印刷用のメタルマスクでのペーストの転写量の向上、機械的強度の向上を図ったソリッドメタルマスクが記載されている。  尚、具体的には、メッシュ径を細く、メッシュピッチを大きくしてメッシュ開口部を大きくし、さらに印刷パターンに対するメッシュの角度を変え、なおかつ隣のパターンのメッシュ角度を逆方向に同角で配置することにより、ペーストの転写量の向上とスクリーンの機械的強度を向上している。  特開２００４−２８４１８２号公報には、メタルマスクとメッシュとが貼り合わされてなる構造のメタルマスクスクリーン版であって、両者の接着・固定における浮きや、位置ずれの発生が抑えられ、寸法精度の良好なメタルマスクスクリーン版、およびかかる高精度のメタルマスクスクリーン版を容易に得ることができる製造方法が記載されている。  ここでは、メタルマスクスクリーン版は、メッシュと像様の孔が設けられたメタルマスクとが、樹脂製接着性材料を介して貼り合わされてなることを特徴とする。  しかし、紗を有するスクリーン版および紗とメタルマスクを組み合わせた版で、スクリーン印刷をした場合、印刷材料が被印刷物への転写されたときに、紗の目が生じて膜厚が均一になりにくい（紗の交点で膜厚が薄くなる）という問題があり、また、メタルマスクに比べ、紗を有するため開口率が低く、印刷材料の転写量が少ないという問題がある。
【０００４】
また、別に、ディスペンサで閉路パターンを形成する方法も一般的に知られている。
しかし、ディスペンサにて閉路パターンを形成した場合、スクリーン印刷がパターンを一括形成できるメリットがあるのに対し、各パターンを１個づつパターニングするため、パターンの数（面付け）が多いほど、多大な時間を要する、という問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、イメージセンサ、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）、液晶表示材料等の  エレクトロ二クス分野においては、閉路パターンを形成する場合が多々あるが、紗を有するスクリーン版および紗とメタルマスクを組み合わせた版で、スクリーン印刷をしてパターン形成した場合、印刷材料が被印刷物への転写したときに、紗の目が生じて膜厚が均一になりにくい（紗の交点で膜厚が薄くなる）という問題があり、また、メタルマスクに比べ、紗を有するため開口率が低く、印刷材料の転写量が少ないという問題がある。
また、ディスペンサにて、閉路パターンを形成する場合は、スクリーン印刷がパターンを一括形成できるメリットがあるのに対し、各パターンを１個づつパターニングするため、パターンの数（面付け）が多いほど、多大な時間を要する、という問題がある。
本発明はこれらに対応するもので、印刷材料の転写量を多くでき、且つ、被印刷物へ印刷材料からなる閉路パターンを形成できる、メタルマスクおよび該メタルマスクを用いた印刷方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のメタルマスクは、貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなる印刷用のメタルマスクであって、開口パターンに対してその開口に境される両側を繋ぐブリッジを設けた構造の、ブリッジを配する開口パターンを、有するもので、前記ブリッジの一方側を、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの表面に揃え、且つ、前記ブリッジの他方側の全体あるいは一部を、メタルマスクの前記表面側でない裏面から凹ませて、前記ブリッジの両側の開口をつなぐ、裏面から凹んだ形状の窪みを、前記ブリッジの幅方向を跨ぐように、配しているものであることを特徴とするものである。
そして、上記のメタルマスクであって、前記ブリッジを有する開口パターンが、開口が閉じる形状である閉じる系の開口パターンに対して、複数箇所において、その開口に境される両側を前記ブリッジで繋ぎ、前記閉じる系の内側がはずれないように固定した構造のものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかのメタルマスクであって、その下面に被印刷物を離して設置し、その上面に印刷材料を載せて、スキージ直下で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）することによって、設けられた開口から印刷材料を通過させ、被印刷物上へ印刷材料からなるパターンを転写形成する印刷方式に用いられるものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのメタルマスクであって、前記ブリッジ部の窪みは、ハーフエッチングによって加工されたものであることを特徴とするものである。
また、請求項２ないし４のいずれかのメタルマスクであって、前記閉じる系の開口パターンが、三角形、四角形、多角形、円形のいずれかであることを特徴とするものである。  尚、ここで、「貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなる印刷用のメタルマスク」とは、紗を開口に用いない金属層のみからなるマスクを意味する
また、ここで、閉路のパターンとは、印刷材料で閉路を形成するパターンを言い、例えば、印刷材料からなる直線状のパターンを連結して、三角形、四角系等の多角形の閉路を形成したパターン、あるいは、印刷材料からなる曲線状のパターンにて円等の閉路を形成したパターンを言う。
また、ここでは、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの面を表面とし、メタルマスクの表面側でない側の面を裏面としている。
【０００７】
また、本発明のメタルマスクによる印刷方法は、メタルマスクによる印刷方法であって、請求項１ないし５のいずれかのメタルマスクを用いて印刷することを特徴とするものである。
そして、上記のメタルマスクによる印刷方法であって、メタルマスクの下面に被印刷物を設置し、該メタルマスクの上面に印刷材料を載せて、スキージ下部で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）することによって、メタルマスクに設けられた開口部に印刷材料を充填し、メタルマスクの被印刷物が接した箇所が、スキージの移動とともに被印刷物から離れることによって、印刷材料を被印刷物上へ転写させるものであることを特徴とするものである。
【０００８】
（作用）
本発明のメタルマスクは、このような構成にすることにより、開口パターンの形状を安定的に保ち、且つ、印刷材料の転写量を多くできるものとしている。
具体的には、開口パターンに対してその開口に境される両側を繋ぐブリッジを設けた構造の、ブリッジを配する開口パターンを、有するもので、前記ブリッジの一方側を、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの表面に揃え、且つ、前記ブリッジの他方側の全体あるいは一部を、メタルマスクの前記表面側でない裏面から凹ませて、前記ブリッジの両側の開口をつなぐ、裏面から凹んだ形状の窪みを、前記ブリッジの幅方向を跨ぐように、配しているものであることにより、これを達成している。
詳しくは、紗を用いない、貫通孔の開口を設けた、金属層からなるメタルマスクにおいて、このようなブリッジを設けていることにより、メタルマスクの開口長手方向の両側を繋ぎ固定するとともに、印刷時の被印刷物のブリッジ領域にも印刷材料の印刷を可能としている。
特に、前記ブリッジを有する開口パターンが、開口が閉じる形状である閉じる系の開口パターンに対して、複数箇所において、その開口に境される両側を前記ブリッジで繋ぎ、前記閉じる系の内側がはずれないように固定した構造のものである、請求項２の発明の形態の場合には、被印刷物へ印刷材料からなる閉路パターンを形成することを可能としている。
本発明のメタルマスクは、その下面に被印刷物を離して設置し、その上面に印刷材料を載せて、スキージ下部で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）することによって、設けられた開口から印刷材料を通過させ、被印刷物上へ印刷材料からなるパターンを転写形成する、周知の印刷方式に適用でき、汎用性の高いものである。
また、前記ブリッジ部の窪みとしては、ハーフエッチングによって加工されたものである、請求項４の発明の形態とすることにより、窪みを形成でき、その作業性の良いものとしている。
また、前記閉じる系の開口パターンとしては、三角形、四角形、多角形、円形のいずれかが挙げられる。
【０００９】
本発明のメタルマスクによる印刷方法は、このような構成にすることにより、開口パターンの形状を安定的に保ち、且つ、印刷材料の転写量を多くできる印刷を可能としている。
特に、紗を用いない、貫通孔の開口を設けた、金属層からなるメタルマスクにおいて、被印刷物への印刷材料からなる閉路パターンの形成を可能としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、上記のように、開口パターンの形状を安定的に保ち、且つ、印刷材料の転写量を多くできる、メタルマスクの提供を可能とした。
同時にそのようなメタルマスクを用いた印刷方法の提供を可能とした。
特に、紗を用いない、貫通孔の開口を設けた、金属層からなるメタルマスクで、被印刷物への印刷材料からなる閉路パターンの形成を可能とした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は本発明のメタルマスクの実施の形態の１例の使用状態を示した概略構成図で、図１（ｂ）はメタルマスクの開口パターンを図１（ａ）におけるスキージ摺動側から見た図で、図１（ｃ）はメタルマスクの図１（ｂ）に対応する部分を図１（ａ）おける被印刷物側から見た図で、図１（ｄ）は図１（ｂ）のＡ１−Ａ２における断面図で、図１（ｅ）は図１（ｂ）のＡ３−Ａ４における断面図で、図２はスキージの移動方向と印刷材料の流れ方向を説明するための概略図で、図３（ａ）はメタルマスクの開口の形状の図で、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す開口により形成される印刷材料の四角形の閉路パターンの図で、図４（ａ）はメタルマスクの開口の形状の図で、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ１−Ｂ２における断面図で、図４（ｃ）は図４（ａ）のＢ３−Ｂ４における断面図で、図４（ｄ）は図４（ａ）に示す開口により形成される印刷材料の三角形の閉路パターンの図で、図５（ａ１）〜図５（ｃ１）、図５（ａ２）〜図５（ｃ２）は、それぞれ、ブリッジ部、開口の形成工程を示した工程断面図である。
尚、図２における点線矢印は、印刷材料の流れ方向と向きを示している。
また、図５（ａ１）と図５（ａ２）、図５（ｂ１）と図５（ｂ２）、図５（ｃ１）と図５（ｃ２）とは、同じ処理工程における状態を示したものである。
また、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの一方の面を表面と言い、また、該表面と反対側のメタルマスクの他方の面を裏面と言う。
図１〜図５中、１０、１０ａはメタルマスク、１０Ａは加工用素材（金属層とも言う）、１１は開口（貫通孔とも言う）、１２はブリッジ部、１２ａはブリッジ（薄肉部とも言う）、１２ｂは窪み（凹部とも言う）、１３はマスキング部（厚肉部とも言う）、１３Ｓ１はスキージ摺動側面（表面とも言う）、１３Ｓ２はスキージ摺動側と反対側の面（裏面とも言う）、２０は支持部（枠部とも言う）、２５は展張用の部材（ここでは紗である）、３１はスキージ、３２は支持部、４０は被印刷物、５０は印刷台、６０は印刷材料、８０はフォトレジスト、８５〜８７は（レジストの）開口である。
【００１２】
はじめに、本発明のメタルマスクの実施の形態の１例を、図１に基づいて説明する。
本例のメタルマスク１０は、紗を用いない、貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなるメタルマスクで、且つ、図１（ａ）に示すように、その下面に被印刷物４０を離して印刷台５０上に設置し、その上面に印刷材料６０を載せて、スキージ３１下部で被印刷物へ接しながら、スキージ３１下部以外では被印刷物と離しながら、スキージ３１を摺動（スキージング）することによって、設けられた開口から印刷材料を通過させ、被印刷物上へ印刷材料からなるパターンを転写形成する印刷に用いられる、印刷用のメタルマスクである。
尚、ここでは、メタルマスク１０は、図１（ａ）に示すように、その全外周を紗からなる展張用の部材２５を介して均一に張った状態で枠部２０に固定している。
そして、特に、被印刷物４０への印刷材料６０からなる閉路のパターン形成用として、開口が閉じる形状である閉じる系の開口パターンに対して、その開口１１に境される両側を繋ぎ、前記閉じる系の内側がはずれないように固定する、所定幅Ｗ１のブリッジ１２ａを設けた構造の、ブリッジ１２ａを有する開口パターンを、図１（ｂ）、図１（ｃ）に示すように、配設している。
ここでは、被印刷物４０へ印刷形成する印刷材料６０からなる閉路のパターンの形状を四角形とし、これを形成するためのメタルマスク１０の開口パターン１１とブリッジ部１２とを、図１（ｂ）、図１（ｃ）のようにしている。
本例においては、メタルマスクは、１層からなる金属層をフォトリソ法を用いたエッチング加工にて、形成しており、図１（ｂ）のブリッジ部１２のＡ１−Ａ２断面、図１（ｂ）の開口１１のＡ３−Ａ４断面は、それぞれ、図１（ｄ）、図１（ｅ）のようになっている。
金属層として、ここでは、厚さ０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度のステンレス材（ＳＵＳ３０４）が、一般に用いられるが、他にはアルミニウムやニッケル等も用いられる。
【００１３】
本例においては、図１（ｄ）に示すように、ブリッジ１２の印刷時にスキージ３１を摺動する側は、メタルマスク１０の一方の面（表面１３Ｓ１）に揃えており、また、ブリッジ１２ａの印刷時に被印刷物４０側となる側は、該ブリッジの幅方向を跨ぐように、メタルマスク１０の前記一方の面（表面１３Ｓ１）側でない他方の面（裏面１３Ｓ２）から凹んだ形状の窪み１２ｂを配するものである。
本例では、窪みの開口１１の幅方向の幅Ｗ１（図１（ｄ）、図１（ｅ）参照）は、開口１１の幅Ｗ２にして設けられているが、これに限定はされない。
窪み１２ｂの深さＨ１は、印刷条件（印刷形成する材料、印刷厚等）、ブリッジの強度、幅Ｗ１、幅Ｗ２等と関連して適宜決める。
このような窪み１２ｂをブリッジ１２ａの表面１３Ｓ１と反対側の裏面１３Ｓ２に配していることにより、印刷する際には、図２に示すように、該窪み１２ｂを通じて印刷材料が移動でき、結果として、印刷材料からなる閉路のパターンを形成することを可能としている。  スキージ３１の摺動（スキージング）によって、メタルマスク１０の開口に充填された印刷材料６０が、窪み１２ｂに流動して充填され、更には、四角パターン状に印刷材料６０が流動し、結果、被印刷物４０上へ四角状の閉路パターンを転写することができる。
【００１４】
図３（ａ）に示すブリッジ部１２を有する開口パターンを配する、本例のメタルマスク１０（図１（ｂ）、図１（ｃ）のメタルマスクに相当）を用いた場合、図１（ａ）に示すようにして印刷することにより、図３（ｂ）に示す四角形状の閉路パターンを形成されるが、図４（ａ）に示すブリッジ部１２を有する開口パターンを配する、メタルマスク１０ａを用いた場合、図１（ａ）に示すようにして印刷することにより、図４（ｄ）に示す三角形状の閉路パターンを形成される。
尚、図４（ａ）のメタルマスク１０ａのブリッジ部１２のＢ１−Ｂ２断面、開口１１のＢ３−Ｂ４断面は、それぞれ、図４（ｂ）、図４（ｃ）のようになる。
先にも述べたが、閉路のパターンとは、印刷材料で閉路を形成するパターンを言い、ここでは、印刷材料からなる直線状のパターンを連結して、三角形、四角形を形成した閉路パターンを形成する場合のメタルマスクの開口パターンを挙げているが、本例のメタルマスク１０におけるブリッジ部１２と同様のブリッジ部を設けることにより、これら以外の印刷材料からなる多角形の閉路パターンを形成するための開口パターンや、印刷材料からなる曲線状のパターンにて円等の閉路パターンを形成するための開口パターンを形成することができる。
【００１５】
図１〜図３に示す本例のメタルマスク１０、図４に示すメタルマスク１０ａは、いずれも、フォトリソ法を用いてエッチング加工して作製されたものである。
以下、簡単に、その作製方法の１例を、図５（ａ１）〜図５（ｃ１）および図５（ａ２）〜図５（ｃ２）に基づいて、簡単に、説明する。
尚、先にも述べた通り、図５（ａ１）〜図５（ｃ１）、図５（ａ２）〜図５（ｃ２）は、それぞれ、ブリッジ部、開口の形成工程を示した工程断面図で、図５（ａ１）と図５（ａ２）、図５（ｂ１）と図５（ｂ２）、図５（ｃ１）と図５（ｃ２）とは、同じ処理工程における状態を示したものである。
まず、ステンレス材（ＳＵＳ３０４）等の１層の金属層からなる加工用素材１０Ａの両面に、耐エッチング性のフォトレジスト８０を形成し、所定の露光パターンを用いて露光、現像を行い、所望の開口８５を形成する。（図５（ａ１）、図５（ａ２））
フォトレジスト８０としては、所定の解像性があり処理性の良いものが好ましいが、特に限定はされない。
両面に塗布あるいはドライフィルムレジストにて形成する。
図５（ａ２）に示すように、開口（図１（ｂ）、図１（ｃ）の１１に相当）形成箇所は、加工用素材１０Ａの両側に開口形成のためにフォトレジストの開口８６、８７を設け、また、図５（ａ１）に示すように、ブリッジ部（図１の１２）形成箇所は、加工用素材１０Ａの窪み（図１（ｄ）の１２ｂに相当）形成箇所は、窪み形成側に窪み形成用のフォトレジストの開口８５を設ける。
次いで、フォトレジストを耐エッチング層として、その開口８５〜８７からエッチング加工し、それぞれ、ブリッジ部１２（図５（ｂ１））、開口（貫通孔）１１（図５（ｂ２））を形成する。
ここでは、両面から同時に塩化第２鉄溶液をスプレーにて、それぞれ、所定の条件（スプレー圧等）にて吹きつけてエッチング加工を行うが、片面づつエッチング加工を行う方法で良い。
次いで、フォトレジストを除去して洗浄処理等を行い、ブリッジ部１２（図５（ｃ１））、開口１１（図５（ｃ２））を形成した、図１に示すメタルマスク１０を得る。
尚、ブリッジ部１２は、片側のみがエッチングされた形状で、このように片側のみをエッチング加工して残部（ブリッジ１２ａに相当）を薄肉にして形成する加工方法を、ここでは、ハーフエッチングによる加工と言う。
このようにして、本例の図１に示すメタルマスク１０は作製される。
【００１６】
更に、図１に示す本例のメタルマスクを用いて、印刷材料からなる閉路パターンを形成した例を挙げる。
メタルマスクとして、金属層を０．２ｍｍ厚のステンレス材（ＳＵＳ３０４）を図５に示すエッチング加工方法にて作製し、開口の幅Ｗ２（図１（ｅ）参照）を８０μｍ、ブリッジ１２ａのそれを跨ぐ方向の幅を１００μｍ、窪み１２ｂの幅Ｗ１を８０μｍ、深さＨ１を６０μｍ（図１（ｄ）参照）としたものを用い、厚さ１．１ｍｍの合成石英からなるガラス材（図１（ａ）の被印刷物４０に相当）の一面に、エポキシ系樹脂からなるＵＶ硬化性の接着層を印刷材料として、図１（ａ）のようにして印刷し、開口（図１（ｂ）の１１に相当）で膜厚３０μｍとして印刷材料からなるパターンを形成した。
ブリッジ部（図１（ｂ）の１２に相当）でも印刷材料からなるパターンが形成され、図３（ｂ）に示すように、印刷材料からなる四角状の閉路パターンが作製された。
ブリッジ部１２に相当する箇所は、若干薄めであった。
ブリッジ部１２に相当する箇所は、若干薄めであったが、例えば、このような被印刷物を該印刷形成された印刷材料からなる閉路パターンで他のものと接着する場合には、更に圧をかけて接着するため、該閉路パターン全体で均一に接着することができる。
【００１７】
本発明は、上記例のメタルマスク１０、１０ａに限定されるものではない。
開口パターンの形状も上記に限定されるものではない。
例えば、印刷材料からなる直線状のパターンを連結して、三角形、四角系以外の多角形の閉路を形成したパターン、あるいは、印刷材料からなる曲線状のパターンにて円等の閉路を形成したパターンを形成するために、これらの形状の開口パターンに対してその開口に境される両側を繋ぐ、図１に示すようなブリッジを設けた構造の、ブリッジを配する開口パターンとしても良い。
また、本例のメタルマスク１０は、１層の金属層を両面からエッチングすることにより作製しているが、これに限定はされない。
例えば、２層以上の金属層を積層した金属層を用いる形態も挙げられる。
また、レーザにより、金属層に開口１１を形成した後に、片面からハーフエッチングして窪み（図１（ｄ）の１２ｂに相当）を形成して、本発明のメタルマスクを作製しても良い。
尚、ウエハレベルでチップ毎にガラス封止する場合に、チップ全周にわたり、リブを形成し、該リブでチップとガラスとを離した状態で固定するが、このリブの作製をＵＶ硬化性の接着層を印刷形成して行う際に、本発明のメタルマスクが用いられるが、本メタルマスクの適用は、この例に限らない。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１（ａ）は本発明のメタルマスクの実施の形態の１例の使用状態を示した概略構成図で、図１（ｂ）はメタルマスクの開口パターンを図１（ａ）におけるスキージ摺動側から見た図で、図１（ｃ）はメタルマスクの図１（ｂ）に対応する部分を図１（ａ）おける被印刷物側から見た図で、図１（ｄ）は図１（ｂ）のＡ１−Ａ２における断面図で、図１（ｅ）は図１（ｂ）のＡ３−Ａ４における断面図である。
【図２】スキージの移動方向と印刷材料の流れ方向を説明するための概略図である。
【図３】図３（ａ）はメタルマスクの開口の形状の図で、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す開口により形成される印刷材料の四角形の閉路パターンの図である。
【図４】図４（ａ）はメタルマスクの開口の形状の図で、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ１−Ｂ２における断面図で、図４（ｃ）は図４（ａ）のＢ３−Ｂ４における断面図で、図４（ｄ）は図４（ａ）に示す開口により形成される印刷材料の三角形の閉路パターンの図である。
【図５】図５（ａ１）〜図５（ｃ１）、図５（ａ２）〜図５（ｃ２）は、それぞれ、ブリッジ部、開口の形成工程を示した工程断面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１０、１０ａ          メタルマスク
１０Ａ                加工用素材（金属層とも言う）
１１                  開口（貫通孔とも言う）
１２                  ブリッジ部
１２ａ                ブリッジ（薄肉部とも言う）
１２ｂ                窪み（凹部とも言う）
１３                  マスキング部（厚肉部とも言う）
１３Ｓ１              スキージ摺動側面（表面とも言う）
１３Ｓ２              スキージ摺動側と反対側の面（裏面とも言う）
２０                  支持部（枠部とも言う）
２５                  展張用の部材（ここでは紗である）
３１                  スキージ
３２                  支持部
４０                  被印刷物
５０                  印刷台
６０                  印刷材料
８０                  フォトレジスト
８５〜８７          （レジストの）開口
Ｗ１                  窪みの幅
Ｈ１                  窪みの深さ
Ｗ２                  開口の幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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