(57)【要約】【課題】  幅寸法の異なる複数種類のＴＡＢテープを確実に吸着することが可能な、吸着装置５０を提供する。【解決手段】  複数種類のテープの吸着面を構成する多孔質板５１と、各テープの幅方向の外形に沿って多孔質板５１の内部に複数形成された、多孔質板５１の水平方向の仕切部材５４と、隣接する仕切部材５４の内側に負圧を発生させる複数の負圧発生ユニット７１を、選択的に駆動しうる負圧発生機構７０とを備えている。これにより、多孔質板５１の内部を通って負圧がリークするのを防止することが可能になり、多孔質板５１の表面であって仕切部材５４の内側に配置されたテープを負圧によって確実に吸着することができる。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの吸着面を構成する多孔質板と、
前記ワークの外形に沿って前記多孔質板の内部に形成された、前記多孔質板の水平方向の仕切部材と、
前記仕切部材の内側に負圧を発生させる負圧発生機構と、
を備えたことを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
前記仕切部材は、複数種類の前記ワークの外形に沿って複数形成され、
前記負圧発生機構は、前記各仕切部材の内側にそれぞれ負圧を発生させうるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の吸着装置。
【請求項３】
前記負圧発生機構は、隣接する前記仕切部材の内側に負圧を発生させる複数の負圧発生ユニットを備え、前記各負圧発生ユニットを選択的に駆動しうるようになっていることを特徴とする請求項２に記載の吸着装置。
【請求項４】
前記多孔質板は、樹脂材料で構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の吸着装置。
【請求項５】
前記仕切部材は、樹脂材料で構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の吸着装置。
【請求項６】
幅寸法の異なる複数種類のテープをワークとする吸着装置であって、
前記テープの吸着面を構成する多孔質板と、
前記各テープの幅方向の外形に沿って前記多孔質板の内部に複数形成された、前記多孔質板の水平方向の仕切部材と、
隣接する前記仕切部材の内側に負圧を発生させる複数の負圧発生ユニットを、選択的に駆動しうる負圧発生機構と、
を備えたことを特徴とする吸着装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６に記載の吸着装置を備え、
前記吸着装置に吸着された前記ワークに対してパターンを描画しうるようになっていることを特徴とする描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着装置および描画装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置を構成する配線パターンの形成には、例えばリソグラフィー法が用いられている。ところがリソグラフィー法は、真空装置などの大がかりな設備と複雑な工程を必要とするだけでなく、材料使用効率が数％程度で材料のほとんどを廃棄せざるを得ず、製造コストが高い。また、配線パターンの微細化に限界がある。そこで、リソグラフィー法に代わるプロセスとして、機能性材料を含む液体を基材に吐出して、配線パターンを直接的に描画形成する方法（液滴吐出方式）が検討されている。
【０００３】
一方、複数の半導体装置を連続形成するため、ＴＡＢテープが利用されている。フィルム状のＴＡＢテープに配線パターンを描画形成するには、ＴＡＢテープを定盤上に確実に吸着保持して平面度を確保する必要がある。特許文献１には、薄板状のワークを吸着保持する技術が開示されている。この技術は、金属焼結材からなる多孔質吸着盤を印刷定盤に取付け、その多孔質吸着盤の下部に通気路および吸引口を設け、その吸引口を真空ポンプにて吸引することにより、ワークを多孔質吸着盤に吸着させるものである。
【特許文献１】特開平６−７１８５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近時では、幅寸法の異なる複数種類のＴＡＢテープに配線パターンを描画形成する装置が要望されている。特許文献１の技術では、広幅のＴＡＢテープに合わせて多孔質吸着盤を形成し、その吸着盤に狭幅のＴＡＢテープを吸着させることになる。しかしながら、狭幅のＴＡＢテープの外側から負圧がリークするので、吸着力が弱くなり、狭幅のＴＡＢテープを確実に吸着することができないという問題がある。
【０００５】
そのため、各テープの幅に合わせて複数の多孔質吸着盤を形成し、各吸着盤を交換しつつ使用することが考えられる。しかしながら、複数の吸着盤を形成するには多くのコストが必要になる。また各吸着盤の交換作業は煩雑であり、各吸着盤を交換するたびに吸着面の平面度を確保するのは困難である。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、外形の異なる複数種類のワークを確実に吸着することが可能な、吸着装置の提供を目的とする。
また、描画品質に優れた描画装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係る吸着装置は、ワークの吸着面を構成する多孔質板と、前記ワークの外形に沿って前記多孔質板の内部に形成された、前記多孔質板の水平方向の仕切部材と、前記仕切部材の内側に負圧を発生させる負圧発生機構と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、多孔質板の外形より吸着すべきワークの外形が小さい場合でも、そのワークの外形に沿って多孔質板の内部に仕切部材が形成されているので、多孔質板の内部を通って負圧がリークするのを防止することができる。これにより、多孔質板の表面であって仕切部材の内側に配置されたワークを、負圧によって確実に吸着することができる。
【０００８】
また前記仕切部材は、複数種類の前記ワークの外形に沿って複数形成され、前記負圧発生機構は、前記各仕切部材の内側にそれぞれ負圧を発生させうるようになっていることが望ましい。
この構成によれば、外形の異なる複数種類のワークを確実に吸着することができる。
【０００９】
また前記負圧発生機構は、隣接する前記仕切部材の内側に負圧を発生させる複数の負圧発生ユニットを備え、前記各負圧発生ユニットを選択的に駆動しうるようになっていることが望ましい。
この構成によれば、複数種類のワークに対応する複数の仕切部材の内側に、それぞれ負圧を発生させることが可能になる。したがって、外形の異なる複数種類のワークを確実に吸着することができる。
【００１０】
また前記多孔質板は、樹脂材料で構成されていることが望ましい。
この構成によれば、多孔質板の表面に吸着されるワークの損傷を防止することができる。
【００１１】
また前記仕切部材は、樹脂材料で構成されていることが望ましい。
この構成によれば、吸着面の仕上げ加工が容易になり、吸着面の平面度を確保することができる。
【００１２】
また、本発明に係る他の吸着装置は、幅寸法の異なる複数種類のテープをワークとする吸着装置であって、前記テープの吸着面を構成する多孔質板と、前記各テープの幅方向の外形に沿って前記多孔質板の内部に複数形成された、前記多孔質板の水平方向の仕切部材と、隣接する前記仕切部材の内側に負圧を発生させる複数の負圧発生ユニットを、選択的に駆動しうる負圧発生機構と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、一つの吸着装置により、幅寸法の異なる複数種類のテープを確実に吸着することができる。これに伴って、設備コストを低減することが可能になり、また平面度の確保が容易になる。
【００１３】
一方、本発明に係る描画装置は、上述した吸着装置を備え、前記吸着装置に吸着された前記ワークに対してパターンを描画しうるようになっていることを特徴とする。
上述した吸着装置によれば、外形の異なる複数種類のワークを確実に吸着することができるので、描画品質に優れた描画装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１５】
（ＴＡＢテープ）
図１は、様々なＴＡＢテープの部分平面図である。ＴＡＢテープ（以下「テープ」という。）８１の幅方向両端部には、テープを巻き取るためのスプロケット孔８６が連続形成され、テープ８１の幅方向中央部には、半導体装置を形成するための作業領域８８が連続形成されている。後述する描画装置は、この作業領域８８に金属配線パターンを描画形成するものであり、本実施形態の吸着装置は、金属配線パターンを描画すべきテープを吸着保持するものである。
上述した作業領域８８の大きさに対応して、また幅方向における作業領域８８の配列数に応じて、幅寸法の異なる複数種類のテープ８１，８２，８３が存在する。本実施形態の吸着装置は、このように幅寸法の異なる複数種類のテープ８１，８２，８３を吸着しうるものである。
【００１６】
（吸着装置）
図２は、本実施形態に係る吸着装置の平面図である。本実施形態に係る吸着装置５０は、定盤６０の表面に多孔質板５１を配置して構成され、その多孔質板５１の表面に上述した各テープを吸着しうるようになっている。なお各テープの吸着位置は、多孔質板５１の幅方向中央部であり、各テープの中心線が多孔質板５１の中心線ＣＬと一致する位置に設定されている。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができるようになっている。
【００１７】
定盤６０は、アルミ等の金属材料により、厚板状に形成されている。その定盤６０の表面には、多孔質板５１が配置されている。この多孔質板５１は、樹脂材料を焼結成形した樹脂焼結材で構成されている。焼結成形は、原料粉末を金型内に充填して加熱し、原料粉末の表層同士を融着（焼結）させることにより、粉末間の空間を残したまま成形する手法である。その原料粉末として、ポリエチレン（ＰＥ）やポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド（ＰＡ）、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、フッ素樹脂（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ）等の熱可塑性樹脂材料を採用することが可能である。このように多孔質板５１を樹脂材料で構成することにより、多孔質板５１の表面に吸着されるテープの損傷を防止することができる。
【００１８】
図３は、図２のＡ−Ａ線における側面断面図である。図３に示すように、定盤６０の表面に多孔質板５１が配置されている。多孔質板５１は、多孔質材料からなる複数の短冊状体５２を平行に配列したものであり、フッ素樹脂等からなる接着剤（不図示）を介して定盤６０に接着されている。
【００１９】
隣接する短冊状体５２の間には、仕切部材５４が設けられている。仕切部材５４は、多孔質板５１を水平方向に仕切り、その内側の多孔質板５１を気密封止するものである。そのため、仕切部材５４は気密性を有する材料で構成する。特に、上述したフッ素樹脂等からなる接着剤を利用することが望ましい。この場合、隣接する短冊状体５２の間に隙間を形成しておき、その隙間に接着剤を充填して仕切部材５４を形成する。
【００２０】
仕切部材５４は、吸着位置に配置されたテープの外形に沿って形成されている。上述したように、各テープの吸着位置は多孔質板５１の幅方向中央部である。そこで、図１に示す狭幅のテープ８１の外形に沿って、図３に示す仕切部材５４ｘ，５４ｙが形成されている。すなわち、多孔質板５１の中心線ＣＬを挟んで対称に、狭幅のテープと同じ幅寸法で、一対の仕切部材５４ｘ，５４ｙが離間配置されている。同様に、図１に示す中間幅のテープ８２の外形に沿って、図３に示す仕切部材５４ｗ，５４ｚが形成されている。また、図１に示す広幅のテープ８３の外形に沿って、図３に示す多孔質板５１の外形が形成され、その多孔質板５１の外側は定盤６０の突出部６１によって覆われている。この突出部６１が、上述した仕切部材５４と同じ機能を発揮することになる。
【００２１】
最後に、多孔質板５１の表面の仕上げ加工として研磨加工が施され、吸着面の平面度が確保されている。なお短冊状体５２および仕切部材５４がともに樹脂材料で構成されているので、多孔質板５１の表面を均一に研磨することが容易であり、吸着面の平面度を確保しうるようになっている。
【００２２】
一方、各テープに対応する仕切部材５４の内側に負圧を発生させる負圧発生機構７０が設けられている。負圧発生機構７０は、隣接する仕切部材５４の内側に負圧を発生させる複数の負圧発生ユニット７１（７１ａ、７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ，７１ｅ）を備えている。各負圧発生ユニット７１は、バッファ６２、吸引口６４、バルブ７２、配管７４および真空ポンプ７８を備えている。なお真空ポンプ７８は、各負圧発生ユニット７１について共用されている。
【００２３】
隣接する仕切部材５４の内側に配置された短冊状体５２の下方には、それぞれバッファ６２が構成されている。図２に示すように、短冊状体５２の略全域に開口する溝部が定盤６０の表面に形成され、この溝部によってバッファ６２が構成されている。また各バッファ６２の中央部には、それぞれ吸引口６４が設けられている。図３に示すように、吸引口６４は、バッファ６２の底面から定盤６０の背面にかけて貫通形成されている。
【００２４】
定盤６０の背面における各吸引口６４には、それぞれバルブ７２が接続されている。バルブ７２として、電気信号により開閉可能な電磁弁を採用することが望ましい。また、各バルブ７２から延設された配管７４の端部は、真空ポンプ７８に接続されている。そしてこの真空ポンプ７８を運転しつつ、各負圧発生ユニット７１のバルブ７２を開閉することにより、各負圧発生ユニット７１を選択的に駆動しうるようになっている。
本実施形態の吸着装置５０は、以上のように構成されている。
【００２５】
（吸着方法）
次に、本実施形態の吸着装置５０を使用したテープの吸着方法につき、図１ないし図３を用いて説明する。
【００２６】
まず、図１に示す狭幅のテープ８１を吸着する場合には、図３に示す多孔質板５１の表面であって仕切部材５４ｘと仕切部材５４ｙとの間にテープを配置する。次に、仕切部材５４ｘと仕切部材５４ｙとの間に設けられた負圧発生ユニット７１ｃを駆動する。具体的には、真空ポンプ７８を運転するとともに、この負圧発生ユニット７１ｃのバルブ７２を開く。すると、この負圧発生ユニット７１ｃにおけるバッファ６２の内部が負圧になり、バッファ６２の上方に配置された多孔質板５１の内部空間が負圧になる。ここで、仕切部材５４ｘおよび仕切部材５４ｙとその間に配置されたテープとによって閉空間が形成されているので、負圧はその閉空間の内側に保持され、多孔質板５１の内部を通って外側にリークしない。したがって、テープの吸着力を確保することが可能になり、狭幅テープの幅方向全体を多孔質板５１に吸着させることができる。
【００２７】
また、図１に示す中間幅のテープ８２を吸着する場合には、図３に示す多孔質板５１の表面であって仕切部材５４ｗと仕切部材５４ｚとの間にテープを配置する。次に、仕切部材５４ｗと仕切部材５４ｚとの間に設けられた複数の負圧発生ユニット７１ｂ，７１ｃ，７１ｄを駆動する。具体的には、真空ポンプ７８を運転するとともに、これらの負圧発生ユニット７１ｂ，７１ｃ，７１ｄのバルブ７２を開く。すると、これらの負圧発生ユニット７１ｂ，７１ｃ，７１ｄにおけるバッファ６２の内部が負圧になり、各バッファ６２の上方に配置された多孔質板５１の内部空間が負圧になる。ここで、仕切部材５４ｗおよび仕切部材５４ｚとその間に配置されたテープとによって閉空間が形成されているので、負圧はその閉空間の内側に保持され、多孔質板５１の内部を通って外側にリークしない。したがって、テープの吸着力を確保することが可能になり、中間幅テープの幅方向全体を多孔質板５１に吸着させることができる。
【００２８】
また、図１に示す広幅のテープ８３を吸着する場合には、図３に示す多孔質板５１の表面であって定盤６０の突出部６１の間、すなわち多孔質板５１の幅方向全域にテープを配置する。次に、全ての負圧発生ユニット７１ａ、７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ，７１ｅを駆動する。具体的には、真空ポンプ７８を運転するとともに、全ての負圧発生ユニットのバルブ７２を開く。すると、全てのバッファ６２の内部が負圧になり、多孔質板５１の内部空間全体が負圧になる。この負圧は、定盤６０の突出部６１とテープとによって形成された閉空間の内部に保持される。したがって、広幅テープの幅方向全体を多孔質板５１に吸着させることができる。
【００２９】
なお、バルブ７２として電磁弁を採用した場合には、電気信号の送信により複数のバルブ７２を同時に開閉することができる。そこで、複数種類のテープに対応したスイッチを設定し、各スイッチに電気信号を送信すべきバルブ７２を登録しておくことが望ましい。このスイッチを切り替えることにより、各テープに対応する負圧発生ユニットを簡単に駆動することができる。
【００３０】
以上に詳述したように、本実施形態に係る吸着装置５０は、テープの吸着面を構成する多孔質板５１と、テープの外形に沿って多孔質板５１の内部に形成された、多孔質板５１の水平方向の仕切部材５４と、その仕切部材５４の内側に負圧を発生させる負圧発生機構７０と、を備えている。この構成によれば、多孔質板５１の幅より吸着すべきテープの幅が小さい場合でも、そのテープの幅に沿って多孔質板５１の内部に仕切部材５４が形成されているので、多孔質板５１の内部を通って負圧がリークするのを防止することができる。したがって、多孔質板５１の表面であって仕切部材５４の内側に配置されたテープを、負圧によって確実に吸着することができる。
【００３１】
また本実施形態に係る吸着装置５０は、複数種類のテープの幅に沿って仕切部材５４が複数形成され、各仕切部材５４の内側にそれぞれ負圧を発生させうる負圧発生機構７０を備えている。この構成によれば、幅寸法の異なる複数種類のテープを確実に吸着することができる。
特に負圧発生機構７０は、隣接する仕切部材５４の内側に負圧を発生させる複数の負圧発生ユニットを選択的に駆動しうるようになっている。この構成によれば、複数種類のテープの吸着位置が多孔質板５１の幅方向中央部において重複する場合でも、その重複部に複数の負圧発生ユニット７１を設ける必要がなく、一つの負圧発生ユニット７１を各テープの吸着に共用することができる。これにより、複数種類のテープに対応する仕切部材５４の内側全体にそれぞれ負圧を発生させることが可能になり、幅寸法の異なる複数種類のテープを確実に吸着することができる。
【００３２】
このように、本実施形態によれば、一つの吸着装置５０で複数種類のテープを吸着することができる。これにより、複数種類のテープの幅に合わせて複数の吸着装置を形成する必要がなくなり、設備コストを低減することができる。またテープサイズの変更時に吸着装置を交換する必要もなくなり、作業効率を向上させることができる。さらに、吸着装置を交換するたびに吸着面の平面度を確保する必要がなくなり、平面度の低下を防止することがする。
【００３３】
（描画装置）
次に、上述した吸着装置を備えた描画装置につき、図４ないし図６を用いて説明する。図４は描画装置の斜視図であり、図５は描画装置の平面図であり、図６は液滴吐出ヘッドの側面断面図である。
図４に示すように、上述した吸着装置５０の±Ｙ方向には、テープ８０の繰出しローラ８４および巻取りローラ８５が設けられている。テープ８０は、繰出しローラ８４と巻取りローラ８５との間に掛け渡され、両者間において吸着装置５０の上面に載置されるようになっている。
【００３４】
吸着装置５０は、その下方に配置された中間プレート１８に固定されている。この中間プレート１８は、モータ１６によりθｚ方向に回動しうるようになっている。そのモータ１６はスライダ１４に固定されている。このスライダ１４は、ベースプレート１２の表面をＹ方向に移動しうるようになっている。これにより吸着装置５０は、ベースプレート１２に対してθｚ方向およびＹ方向に移動しうるようになっている。
【００３５】
図５に示すように、吸着装置５０の±Ｙ方向の上方には、Ｘ方向に延びる一対のフレーム２０，２０が設けられている。一対のフレーム２０，２０には、描画ユニット２２、アライメントユニット２４およびＵＶ照射ユニット２６が架設されている。各ユニット２２，２４，２６は、一対のフレーム２０，２０に沿ってＸ方向に移動しうるようになっている。描画ユニット２２には、後述する液滴吐出ヘッド９０が搭載されている。アライメントユニット２４には、ＣＣＤカメラ等のカメラ２５が搭載されている。ＵＶ照射ユニット２６には、ＵＶランプ等のＵＶ照射装置２７が搭載されている。
本実施形態の描画装置１は、以上のように構成されている。
【００３６】
次に、上述した描画装置１の使用方法について説明する。
まず、図４に示す繰出しローラ８４と巻取りローラ８５との間にテープ８０を掛け渡し、両者間に配置された吸着装置５０の表面にテープ８０を載置する。次に、上述したテープの吸着方法に従って、テープ８０を吸着装置５０の表面に吸着する。
【００３７】
次に、図５に示すアライメントユニット２４をＸ方向に移動させて吸着装置５０の上方に配置する。そして、アライメントユニット２４に搭載されたカメラ２５により、テープ８０の作業領域等に設けられたアライメントマークを撮影する。なお必要に応じて、カメラ２５をＹ方向に移動させて第２のアライメントマークを撮影し、アライメントユニット２４の全体をＸ方向に移動させて第３のアライメントマークを撮影する。これらの撮影結果から、テープの作業領域の現在位置を算出し、さらに所定位置からのオフセット量を算出する。その算出結果に基づいて、スライダおよびモータを駆動して吸着装置５０をＹ方向およびθｚ方向に移動させ、吸着装置５０の表面に吸着されたテープ８０を位置合わせする。なおテープ８０のＸ方向の位置合わせは、次述する描画ユニット２２の移動量を調整することによって行う。
【００３８】
次に、描画ユニット２２をＸ方向に移動させて吸着装置５０の上方に配置する。そして、液滴吐出ヘッド９０からインクを吐出することにより、テープ８０の作業領域に所定パターンの金属配線等を描画する。
次に、ＵＶ照射ユニット２６をＸ方向に移動させて吸着装置５０の上方に配置する。そして、ＵＶ照射装置２７からＵＶを照射することにより、テープ８０に吐出されたインクを乾燥させる。
【００３９】
なお、上述した液滴吐出工程およびＵＶ照射工程を繰り返し行うことにより、同種または異種の被膜を積層形成することが可能である。異種の被膜を積層形成する場合には、１つの描画ユニットに異なるインクを吐出する複数の液滴吐出ヘッドを搭載してもよいし、異なるインクを吐出する液滴吐出ヘッドを備えた複数の描画ユニットを設けてもよい。
【００４０】
以上により、作業領域に対する描画処理が終了したら、テープ８０を送って未処理の作業領域を吸着装置５０の表面に載置し、上述した描画処理を繰り返す。
また、テープ８０の全ての作業領域に対する描画処理が終了したら、図４に示す繰出しローラ８４および巻取りローラ８５とともにテープ８０を交換する。なおテープサイズ（幅寸法）を変更する場合でも、テープの幅方向の中心線を吸着装置５０の中心線と一致させる。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができる。
【００４１】
上述した描画装置は、本実施形態に係る吸着装置５０を備えているので、幅寸法の異なる複数種類のテープ８０を確実に吸着することができる。その結果、テープの作業領域の平面度を確保することが可能になり、作業領域に対して精度良くパターンを描画することができる。したがって、描画品質に優れた描画装置を提供することができる。
【００４２】
（液滴吐出ヘッド）
次に、液滴吐出ヘッドにつき、図６を用いて説明する。
図６は、液滴吐出ヘッドの側面断面図である。ヘッド９０は、ヘッド本体９０Ａと、ヘッド本体９０Ａの一方面に装着されたノズルプレート９２と、ヘッド本体９０Ａの他方面に装着されたピエゾ素子９８とを主として構成されている。
【００４３】
インク吐出面を構成するノズルプレート９２には、液滴を吐出するための複数のノズル９１が整列配置されている。またヘッド本体９０Ａには、各ノズル９１と連通する複数の圧力室９３が形成されている。各圧力室９３はリザーバ９５に接続され、リザーバ９５はインク導入口９６に接続されている。そしてインク９は、インク導入口９６からリザーバ９５を通って各圧力室９３に供給されるようになっている。一方、ヘッド本体９０Ａの上端面には、可撓性を有する振動板９４が装着されている。その振動板９４を挟んで各圧力室９３の反対側には、それぞれピエゾ素子９８が設けられている。ピエゾ素子９８は、ＰＺＴ等の圧電材料を電極で挟持したものである。その電極は、制御部９９に接続されている。
【００４４】
そして制御部９９からピエゾ素子９８に駆動電圧を印加すると、ピエゾ素子９８が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子９８が収縮変形すると、圧力室９３内の圧力が低下して、リザーバ９５から圧力室９３にインク９が流入する。またピエゾ素子９８が膨張変形すると、圧力室９３内の圧力が増加して、ノズル９１からインク９の液滴が吐出される。なお、ピエゾ素子９８に印加する駆動電圧を制御することにより、液滴の吐出条件を制御しうるようになっている。
【００４５】
なお液滴吐出方式として、ピエゾ素子の変形により圧力室内の圧力を変化させる上記ピエゾ方式の他に、インクを加熱して気泡（バブル）を発生させることにより圧力室内の圧力を変化させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、インクを加熱しないので材料の組成に悪影響を与えないなどの点で優れている。
【００４６】
なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。本発明に係る吸着装置は、描画装置以外に適用することも可能であり、例えばレーザ加工装置の製品吸着テーブルなどの真空吸着による製品固定を要する装置に広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】様々なＴＡＢテープの部分平面図である。
【図２】実施形態に係る吸着装置の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線における側面断面図である。
【図４】描画装置の斜視図である。
【図５】描画装置の平面図である。
【図６】液滴吐出ヘッドの側面断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１‥描画装置  ５０‥吸着装置  ５１‥多孔質板  ５４‥仕切部材  ７０‥負圧発生機構  ７１‥負圧発生ユニット  ８０‥テープ
【図１】
2007048998.tif 000003
【図２】
2007048998.tif 000004
【図３】
2007048998.tif 000005
【図４】
2007048998.tif 000006
【図５】
2007048998.tif 000007
【図６】
2007048998.tif 000008