(57)【要約】【課題】  様々な状況に応じて、フォーカスを素早く合わせられるようにしたり、或いは、フォーカスを高精度にあわせられるようにしたりすることの出来る蛍光検出装置を提供する。【解決手段】  試料が付着された検査チップ（３）に励起光を集束させ、そこから発光される蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置（１００）である。そして、励起光の焦点位置を検査チップ（３）に対して変位させるフォーカス移動手段と、検査チップ（３）からの反射光を所定の光学部品（４１，４３ａ，４３ｂ，４５）を通過させて受光器（４２，４４，４６）で受けることで励起光の焦点と検査チップ（３）の反射面とのズレを検出可能なフォーカス誤差検出手段（２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ）とを備え、フォーカス誤差検出手段がユニット化されて着脱可能にされている構成とした。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料が付着された検査チップに励起光を集束させ、そこから発光される蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置であって、
前記励起光の焦点位置を前記検査チップに対して相対的に変位させるフォーカス移動手段と、
前記検査チップからの反射光を所定の光学部品を通過させて受光器で受けることで前記励起光の焦点と前記検査チップの反射面とのズレを検出可能なフォーカス誤差検出手段と、
該フォーカス誤差検出手段の前記光学部品と前記受光器とが一体化され且つ着脱可能にされた複数の検出ユニットとを備え、
前記複数の検出ユニットには、
線状又は点状の隙間にのみ光を通過させるスリット、および、該スリットを通過した光の強度を検出する光センサ、を有する共焦点方式の検出ユニットと、
光路上で異なる角度を向いて互いに接触するように固定された２つのプリズム、および、複数の受光面を有し前記２つのプリズムを通過した光を各受光面で検出する光センサ、を備えたダブルナイフエッジ方式の検出ユニットと、
入射光に非点収差を与える光学素子、および、複数の受光面を有し前記光学素子を通過した光を各受光面で検出する光センサ、を備えた非点収差方式の検出ユニットと、
が含まれることを特徴とする蛍光検出装置。
【請求項２】
試料が付着された検査チップに励起光を集束させ、そこから発光される蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置であって、
前記励起光の焦点位置を前記検査チップに対して相対的に変位させるフォーカス移動手段と、
前記検査チップからの反射光を所定の光学部品を通過させて受光器で受けることで前記励起光の焦点と前記検査チップの反射面とのズレを検出可能なフォーカス誤差検出手段とを備え、
前記フォーカス誤差検出手段の前記光学部品と前記受光器とが一体化され着脱可能にされた検出ユニットとして構成されていることを特徴とする蛍光検出装置。
【請求項３】
前記検出ユニットとして、アフォーカル光学系のみを通過した反射光を前記受光器で受けてフォーカス誤差検出を行う第１検出ユニットを備えていることを特徴とする請求項２記載の蛍光検出装置。
【請求項４】
前記検出ユニットとして、焦点位置が前後にずれた場合にフォーカス誤差を示す信号が正負逆向きに変化する第２検出ユニットを備えていることを特徴とする請求項２記載の蛍光検出装置。
【請求項５】
前記第１検出ユニットは、
線状又は点状の隙間にのみ光を通過させるスリットと、
該スリットを通過した光の強度を検出する光センサと、
を有する共焦点方式の検出ユニットであることを特徴とする請求項３記載の蛍光検出装置。
【請求項６】
前記第２検出ユニットは、
光路上で異なる角度を向いて互いに接触するように固定された２つのプリズムと、
複数の受光面を有し前記２つのプリズムを通過した光を各受光面で検出する光センサと、
を備えたダブルナイフエッジ方式の検出ユニットであることを特徴とする請求項４記載の蛍光検出装置。
【請求項７】
前記第２検出ユニットは、
入射光に非点収差を与える光学素子と、
複数の受光面を有し前記光学素子を通過した光を各受光面で検出する光センサと、
を備えた非点収差方式の検出ユニットであることを特徴とする請求項４記載の蛍光検出装置。
【請求項８】
試料が付着された検査チップに励起光を集束させ、そこから発光される蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置であって、
前記励起光の焦点位置を前記検査チップに対して相対的に変位させるフォーカス移動手段と、
前記検査チップで反射した前記励起光の反射光を所定の光学部品を通過させて受光器で受けることで前記励起光の焦点と前記検査チップの反射面とのズレを検出可能な複数のフォーカス誤差検出手段とを備え、
前記複数のフォーカス誤差検出手段には、
アフォーカル光学系のみを透過した反射光を前記受光器で受けて前記焦点のズレの検出を行う第１検出手段と、
焦点位置が前後にずれた場合でフォーカス誤差を示す信号が正負逆向きに変化する第２検出手段と、
が含まれることを特徴とする蛍光検出装置。
【請求項９】
前記複数のフォーカス誤差検出手段は、
共焦点方式の検出手段と、ダブルナイフエッジ方式の検出手段と、非点収差方式の検出手段であることを特徴とする請求項８記載の蛍光検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、試料が付着された検査チップに励起光を照射して蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
以前より、チップ上に試薬と反応させたＤＮＡ（デオキシリボ核酸）をスポットし、このＤＮＡに励起光を照射して蛍光を検出することで、ＤＮＡの検査を行う蛍光検出装置がある。チップ上には、多数のＤＮＡを配列させてスポットし、各スポットを順次スキャンしながら全てのスポットについて検査するのが一般的である。このようなＤＮＡ検査によれば、癌など遺伝子に起因すると考えられる病気の検査に威力を発揮すると考えられている。
【０００３】
また、本願発明に関連する従来技術として、次のようなものがある。例えば、特許文献１には、ＤＮＡアレイ読み取り装置においてＤＮＡアレイと対物レンズとの間隔のブレを求めるのに非点収差法とナイフエッジ法を用いる技術が開示されている。また、特許文献２には、被検物の形状を光学的に読み取る装置において、被検物の凹凸の検出に非点収差法とナイフエッジ法とビームサイズ法とを組み合わせて行う発明が開示されている。また、特許文献３には、球面収差の検出補正装置において、光束の焦点位置を検出するのに非点収差法とナイフエッジ法とを組み合わせる発明が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−２３８６７４号公報
【特許文献２】特開２００２−０７４３５５号公報
【特許文献３】特開２００５−３０２２５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
蛍光検出装置においては、励起光の照射量に比例して蛍光量も変化するため、励起光を集束させて検体に照射する場合、その焦点位置がばらつくと確かな検量線が得られず、分析精度が低下する。
【０００５】
また、検体がスポットされるＤＮＡチップは、規格化され寸法や厚みが決まっているということはなく、ＤＮＡがスポットされる面も上面とする場合と下面とする場合があるなど、多種多様である。そのため、励起光の焦点を合わせるべき位置は、ＤＮＡチップの種類によってもまちまちであり、蛍光検出装置でＤＮＡチップをセットして測定を開始する際、ＤＮＡチップにフォーカスを合わせるのに非常に長い時間を要するという問題があった。
【０００６】
上記の従来技術のように、非点収差法やナイフエッジ法を組み合わせて行ったとしても、  非点収差法やナイフエッジ法ではフォーカスが合焦点位置から１０μｍや５０μｍなど僅かにずれている範囲でしか有効な誤差信号が得られないので、フォーカスが大きくずれているような場合には、これらを組み合わせたとしても焦点を合わせるのに長い時間を要することとなる。
【０００７】
この発明の目的は、様々な状況に応じて、フォーカスを素早く合わせられるようにしたり、或いは、フォーカスを高精度にあわせられるようにしたりすることの出来る蛍光検出装置を提供することである。また、これらを同時に実現することのできる蛍光検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するため、試料が付着された検査チップに励起光を集束させ、そこから発光される蛍光を検出することで試料の検査を行う蛍光検出装置であって、前記励起光の焦点位置を前記検査チップに対して相対的に変位させるフォーカス移動手段と、前記検査チップからの反射光を所定の光学部品を通過させて受光器で受けることで前記励起光の焦点と前記検査チップの反射面とのズレを検出可能なフォーカス誤差検出手段とを備え、前記フォーカス誤差検出手段の前記光学部品と前記受光器とが一体化され着脱可能にされた検出ユニットとして構成されているものである。
【０００９】
このような構成によれば、フォーカス誤差検出手段を種々の方式のものに簡単に交換することが可能となり、様々な状況に応じて最適な方式のフォーカス誤差検出手段を適用することができる。例えば、様々な種類の検査チップを順次測定していくような場合には、合焦点位置を広い範囲で探し出すことのできる方式を選択したり、或いは、同一種類の多数の検査チッブを順次測定していくような場合には、合焦点位置を中程度の範囲で探し出すことが出来てフォーカスの精度も中程度の方式を選択したり、或いは、チップ上に多数の検体がスポットされているような検査チップで各検体を高速に測定したい場合には、合焦点位置を探し出す範囲は狭くてもフォーカスの微小なズレを精度良く検出できる方式を選択するなど、それぞれに適した方式を適宜選択して使用することが出来る。
【００１０】
具体的には、前記検出ユニットとしては、アフォーカル光学系のみを通過した反射光を前記受光器で受けてフォーカス誤差検出を行う第１検出ユニットや、焦点位置が前後にずれた場合にフォーカス誤差の信号が正負逆向きに変化する第２検出ユニットが備わるようにすると良い。
【００１１】
さらに具体的には、第１検出ユニットとして共焦点方式の検出ユニットを適用したり、第２検出ユニットとしてはダブルナイフエッジ方式や非点収差方式の検出ユニットを適用することが出来る。
【００１２】
このような構成にれば、第１検出ユニットにより、合焦点位置を大きな範囲で容易に探し出すことができ、第２検出ユニットにより精度の高いフォーカス誤差の検出を行うことが出来る。
【００１３】
また、本発明のもう一つの構成は、上記の課題を解決するため、アフォーカル光学系によるフォーカス誤差検出手段や、焦点が前後にずれた場合に信号が正負逆向きに変化するフォーカス誤差検出手段など、複数種類のフォーカス誤差検出手段を備え、これら複数のフォーカス誤差検出手段を並行して使用可能としたものである。
【００１４】
このような構成によれば、焦点が大きくずれている場合でも素早く焦点を合わせることが可能となり、さらに、測定中の焦点のブレも非常に小さくすることができ、これらによって、速やかに測定を開始できるとともに確かな検量線で高速に且つ高精度の分析を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本発明に従うと、様々な状況に応じてフォーカス誤差の検出方式を選択し、例えば、フォーカスが大きくずれた状態から短時間でフォーカスを合わせられるようにしたり、また、同一チップ上に配列された多数の検体を順次検査していくときに、フォーカスのブレを非常に小さくして高速に且つ高精度の分析を行えるようにしたり出来る。また、これらを同時に実現することも出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１実施形態の蛍光検出装置１００の光学構成を示す斜視図、図２はこの光学構成の側面図である。また、図３はこの蛍光検出装置１００で測定対象となるＤＮＡがスポットされたＤＮＡチップの一部分を示す平面図、図４はＤＮＡチップに励起光を照射する例を示した側面図である。
【００１８】
この実施の形態の蛍光検出装置１００は、試薬と反応させたＤＮＡに励起光を照射して発生する蛍光を測定することで、検体であるＤＮＡが正常なものか或いは癌化等の異常なものかを判別する装置である。また、この蛍光検出装置１００は、第１波長（例えば５３２ｎｍ）と第２波長（例えば６５８ｎｍ）との２波長の励起光を別々に用いて、各励起光により発生される２波長（例えば５７０ｎｍと６７０ｎｍ）の蛍光検出が可能になっている。
【００１９】
検体であるＤＮＡは、図３に示すように、検査チップとしてのスライドガラス３に縦横複数に配列された各スポットＰ…に投入されており、対物レンズ１６をスライドさせたり或いはスライドガラス３を平行移動させたりして、励起光の照射位置を各スポットに順次移動させていくことで、全てのスポットの計測を行えるようになっている。スライドガラス３には、スライドガラス自体が蛍光発光してノイズを出さないようにダイヤモンド・ライク・カーボンなどがコーティングされている。
【００２０】
また、図４（ａ），（ｂ）に示すように、ＤＮＡチップの種類によっては、スライドガラス３の下面側にＤＮＡのスポットが形成されたり、スライドガラス３の上面側にＤＮＡのスポットが形成されることがある。
【００２１】
図１と図２に示すように、この蛍光検出装置１００の光学系は、第１波長の励起光を出力する第１発光器１１と、第１発光器１１の出射光を平行光にするコリメータレンズ１２と、第１発光器１１の出射光から第１波長以外の光を除去するエキサイタフィルタ１３と、第１波長帯域の光を反射させ第２波長帯域の光を透過させるフィルタミラー１４と、光の波長帯に応じて励起光を反射して立上げるとともに蛍光を透過させるダイクロイックミラー１５と、励起光をスライドガラス３の各スポットＰへ集束させるとともに蛍光の受光を行う対物レンズ１６と、ダイクロイックミラー１５を透過した光から蛍光波長以外を除去する２枚のエミッタフィルタ１７Ａ，１７Ｂと、これらの何れかを光軸上に配置させるアクチュエータ１８と、蛍光の光量検出を行う光センサとしてのフォトマルチプライア２０と、第２波長の励起光を出力する第２発光器２１と、進行波と反射波とを分離する偏光ビームスプリッタ２２および１／４波長板２４と、第２発光器２１の出射光を平行光にするコリメータレンズ２３と、偏光ビームスプリッタ２２で分離された反射光を受光して励起光の焦点位置の変位量を検出するフォーカス誤差検出ユニット２５等を備えている。
【００２２】
また、この蛍光検出装置１００には、スライドガラス３を一定箇所に載置するステージ（図示略）や、対物レンズ１６を上下左右前方後方の３軸方向に電気的に駆動するレンズ駆動装置３０（図２）が設けられている。このレンズ駆動装置３０によりフォーカス移動手段が構成されている。
【００２３】
上記の第１発光器１１とコリメータレンズ１２、並びに、第２発光器２１とコリメータレンズ２３については、製造時に位置調整の後に固定され、それにより、第２発光器２１の励起光の焦点が合えば、第１発光器１１の励起光の焦点も同一の高さに合うようになっている。
【００２４】
上記の第１発光器は例えばＬＥＤ（発光ダイオード）が適用され、第２発光器２１は例えばレーザーダイオードが適用されている。そして、この第２発光器２１のレーザ光の反射ビームにより励起光のフォーカス調整が可能なように構成されている。
【００２５】
フォーカス誤差検出ユニット２５は、筐体２５Ａの中に光学部品と受光センサとが組み込まれてユニット化されたものである。筐体２５Ａは、偏光ビームスプリッタ２２により反射された反射ビームの光軸と軸ズレなく、一定の角度で且つ一定の奥行き位置にセットできるように形成されている。そして、筐体２５Ａを装置筐体に装着し、受光センサにつながっているコネクタを装置側のコネクタと接続させることで、フォーカス誤差検出ユニット２５が使用可能な状態で蛍光検出装置１００に組み込まれることとなる。
【００２６】
この実施の形態において、フォーカス誤差検出ユニット２５は３種類用意されている。図２に示すように、１つ目の検出ユニット２５Ａは、点状又は線状の隙間が形成されたスリット４１と、このスリット４１を通過した光の強度を測定する光センサ４２とを備えたものである。この検出ユニット２５Ａは、共焦点法によりフォーカス誤差を検出するもので、アフォーカル光学系のみを通過した反射ビームを計測するものである（第１検出ユニット）。
【００２７】
２つ目の検出ユニット２５Ｂは、光路上で異なる角度を向いて互いに接触するように固定された２つのプリズム４３ａ，４３ｂと、４分割面など複数の受光面を有し２つのプリズム４３ａ，４３ｂを通過した光を各受光面で検出する光センサ４４とを備えたもので、ダブルナイフエッジ法により焦点誤差を検出するものである（第２検出ユニット）。
【００２８】
３つ目の検出ユニット２５Ｃは、反射ビームに非点収差を与える例えば光軸に斜め配置された透明平板４５と、４分割面など複数の受光面で非点収差の量を検出する光センサ４６とを備えたもので、非点収差法により焦点誤差を検出するものである（第２検出ユニット）。なお、非点収差を与える光学部品としては、上記の透明平板を斜め配置したものに限られず、例えば、円筒レンズなどを使用することも出来る。
【００２９】
なお、これらの共焦点法、ダブルナイフエッジ法、非点収差法の詳細については周知技術であるので説明は省略する。
【００３０】
図５には、３種類の検出ユニット２５Ａ〜２５Ｃにより得られるフォーカス誤差信号の特性を比較した波形図を示す。
【００３１】
この図に示すように、共焦点法では焦点が手前側にずれた場合と奥側にずれた場合とで対称的なフォーカス誤差信号が生成される。また、この共焦点法では、合焦点位置でフォーカス誤差信号がピークとなり、合焦点位置から離れていくと信号強度がなだらかに減少していく特性を有している。従って、共焦点法の検出ユニット２５Ａによれば、焦点のズレが大きいときでも合焦点位置の方向が割り出しやすく、合焦点位置を比較的に広い範囲から速やかに探し出すことが出来るという利点がある。一方、合焦点位置の近傍では、信号強度の変化が少ないため、高精度の焦点調整は難しいという欠点がある。
【００３２】
ダブルナイフエッジ法では、合焦点位置から５０μｍ程度の幅でフォーカス誤差信号が得られ、合焦点位置の近傍で信号強度が比較的大きく変化するという特性を有している。従って、このダブルナイフエッジ法の検出ユニット２５Ｂによれば、合焦点位置を狭い範囲からなら速やかに探し出すことができ、且つ、高精度な焦点調整も可能であるという利点がある。
【００３３】
非点収差法では、合焦点位置から１０μｍ程度の幅でフォーカス誤差信号が得られ、合焦点位置の近傍で信号強度か大きく変化するという特性を有している。従って、非点収差法の検出ユニット２５Ｃによれば、焦点位置がある程度ズレてしまうと焦点を合わせるのに時間がかかるという欠点がある一方、一度、合焦点位置が判明したら、超高精度な焦点調整が可能であるという利点がある。
【００３４】
このように構成された蛍光検出装置１００においては、スライドガラス３をステージに載置した後、先ず、第２発光器２１からレーザ光を照射させた状態で、レンズ駆動装置３０により対物レンズ１６をＺ方向に駆動してその焦点をスライドガラス３の検体スポット面に合わせる。この焦点の合わせは、装着された検出ユニット２５Ａ（〜２５Ｃ）からの信号に基づいて制御回路により自動的に行われる。
【００３５】
焦点が合ったら、検出ユニット２５Ａ（〜２５Ｃ）からの信号に基づき焦点がずれないように制御をかけながら、ステージのスライド移動やレンズ駆動装置３０による対物レンズ１６の横方向の駆動により所定の励起光をスライドガラス３のＤＮＡスポットに順次合わせて蛍光測定を行っていく。検体のＤＮＡが特定の蛍光標識と結合されていれば励起光により蛍光が発っせられ、この蛍光がダイクロイックミラー１５とエミッタフィルタ１７Ａ（又は１７Ｂ）を透過してフォトマルチプライア２０で検出される。そして、この検出により検体のＤＮＡが正常か異常かなどの種々の判定を行うことが出来る。
【００３６】
上述のスライドガラス３をステージに載置して最初に焦点を合わせる際や、焦点が合ったのちに励起光をＤＮＡスポットに合わせる際などには、使用する検出ユニット２５Ａ（〜２５Ｃ）を適宜使い分けることで、測定の状況に応じて焦点を合わせる時間の短縮を図ったり、焦点調整を高精度に行って１チップ上にスポットされた多数の検体について測定の高速化を図ったりすることが出来る。
【００３７】
具体的には、多数の種類のＤＮＡチップを用いて計測をするような場合には、合焦点位置の検出を広い範囲で速やかに行える共焦点法の検出ユニット２５Ａを適用することで、ＤＮＡチップをセットした後の焦点の合わせを短時間で行って測定処理の効率を上げることが出来る。また、同一種類のＤＮＡチップを多数用いて計測するような場合には、ダブルナイフエッジ法の検出ユニット２５Ｂを適用することで、ＤＮＡチップを順次移行するときにも焦点を合わせるのにさほど時間を要さず、また、測定時には高精度に焦点を合わせることが出来るのでより正確な測定も可能となる。また、１チップに多数のスポットが形成されているようなＤＮＡチップを用いて計測するような場合には、非点収差法の検出ユニット２５Ｃを適用することで、測定前に焦点を合わせるのには時間が掛かるが一度焦点を合わせてしまえば同一チップ上の多数のスポットをスキャンして計測する際に高精度の焦点調整が行えることから高速なスキャンを可能とし、その結果、測定処理の効率を上げることが出来る。
【００３８】
以上のように、この実施の形態の蛍光検出装置１００によれば、測定の状況に応じてフォーカス誤差の検出方式を適宜選択することが出来るので、上述のように様々な処理の効率向上を図ることが出来る。
【００３９】
［第２の実施の形態］
図６には、本発明の第２実施形態の蛍光検出装置におけるフォーカス誤差検出部の構成図を示す。
【００４０】
第２実施形態の蛍光検出装置は、図１の蛍光検出装置１００とそのフォーカス誤差検出部の構成のみが異なり、その他の構成は同様のものである。この実施の形態では、フォーカス誤差検出部をユニット化して複数方式のものに交換可能にするのではなく、複数の方式のフォーカス誤差検出部を組み合わせて設け、複数の方式で並行してフォーカス誤差の検出を行わせるようにしたものである。
【００４１】
すなわち、図６に示すように、この実施の形態では、偏光ビームスプリッタ２２により分離された反射ビームをさらにビームスプリッタ５８，５９により３つに分割し、これら３分割された反射ビームの各経路上に、共焦点方式でフォーカス誤差検出を行うスリット５１および光センサ５２、ダブルナイフエッジ方式でフォーカス誤差検出を行うプリズム５３ａ，５３ｂおよび光センサ５４、非点収差方式でフォーカス誤差検出を行う透明平板５５および光センサ５６とを、それぞれ配置した。これらの光学部品と受光部の構成は、第１実施形態の検出ユニット２５Ａ〜２５Ｃに搭載されたものと同様のものである。
【００４２】
さらに、これらの光センサ５２，５４，５６からの出力が並行して制御回路に入力され、制御回路が各光センサ５２，５４，５６の入力を切り換えながら、レンズ駆動装置３０を制御してフォーカスの自動調整を行うようになっている。
【００４３】
この実施の形態の蛍光検出装置によれば、複数の方式によるフォーカス誤差の検出処理を並行して行うことが出来るので、測定前にＤＮＡチップにフォーカスを合わせるとき、フォーカスを追従させながら励起光をＤＮＡチップ内の複数のスポットに移動させるとき、測定時に焦点位置の微調整を行うときなど、各タイミングでそれぞれに適した方式のフォーカス誤差信号に切り換えて使用することで、高精度な測定を高速に行うことが可能となる。
【００４４】
なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、上記の第１および第２の実施の形態では、２波長の励起光を用いて２種類の蛍光検出が可能な構成としたが、１波長で１種類の蛍光検出を行う構成としても良い。また、フォーカス誤差検出用の光として励起光の１つを適用しているが、励起光とは別に焦点誤差検出用の専用のレーザ光を検査チップまで照射させてフォーカス誤差の検出を行うようにしても良い。
【００４５】
また、アフォーカル光学系のみを通過した反射光を受けてフォーカス誤差検出を行う方式として共焦点方式を示したが、ＳＳＤ（Spot Size Detection）法など公知の種々の方式を適用することも出来る。また、焦点位置が前後にずれた場合にフォーカス誤差の信号が正負逆向きに変化する検出方式として、ダブルナイフエッジ法と非点収差法とを示したが、フーコ法など公知の種々の方式を適用することも出来る。
【００４６】
また、スライドガラス３に対してフォーカス位置を移動させる手段として、対物レンズを上下動させる構成に加えて、ステージを上下に駆動する構成も付加するようにしても良い。その他、この実施の形態で具体的に示した装置の構成、測定対象や測定手順などは、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態の蛍光検出装置の光学構成を示す斜視図である。
【図２】図１の光学構成の側面図である。
【図３】測定対象のＤＮＡチップの一例を示す平面図である。
【図４】ＤＮＡチップに励起光を照射する例を示した側面図である。
【図５】３種類の検出ユニットにより得られるフォーカス誤差信号の特性を比較した波形図である。
【図６】本発明の第２実施形態の蛍光検出装置のフォーカス誤差検出部を示す構成図である。
【符号の説明】
【００４８】
３    スライドガラス
１１    第１発光器
１２    コリメータレンズ
１３    エクサイタフィルタ
１４    フィルタミラー
１５    ダイクロイックミラー
１６    対物レンズ
１７Ａ，１７Ｂ  エミッタフィルタ
１８    アクチュエータ
２０    フォトマルチプライア
２１    第２発光器
２２    偏光ビームスプリッタ
２３    コリメータレンズ
２４    １／４波長板
２５（２５Ａ〜２５Ｃ）    フォーカス誤差検出ユニット
４１，５１    スリット
４３ａ，４３ｂ，５３ａ，５３ｂ  プリズム
４５，５５    透明平板
４２，４４，４６  光センサ
５２，５４，５６  光センサ
１００  蛍光検出装置
【図１】
2007212171.tif 000003
【図２】
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【図３】
2007212171.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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