(57)【要約】【課題】  簡単な構造で小型化でき、安価な部品で構成でき装置全体のコストを低減できる湿式処理装置を提供する。【解決手段】  被処理物１を洗浄槽１９の上部に搬送して槽内に浸漬させて洗浄する湿式処理装置であって、洗浄槽１９と、この洗浄槽１９の上部で昇降可能に設けて中央部が開口して洗浄槽１９が開口した中央部を通過するように周囲に枠状に延在した上下動板１２と、上下動板１２に着脱可能に設けて推力を伝達する昇降手段１４と、上下動板１２の上部両側に設けた搬送手段１６と、この搬送手段１６を駆動させる駆動源１８と、上下動板１２の搬送手段１６に載置して搬送する側部と上部とを一体成形した枠体２２を設けてこの枠体２２の上部から中央に被処理物１を吊した状態に設置する設置部２４を有し上下動板１２の降下時に中央部を通過する洗浄槽１９内に設置部２４のみを浸漬させる搬送冶具２０とを備える。【選択図】      図１
2007091464.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を洗浄槽の上部に自動的に搬送して槽内に浸漬させて洗浄する湿式処理装置において、
前記洗浄槽と、
前記洗浄槽の上部で昇降可能に設けられて中央部が開口して前記洗浄槽が前記開口した中央部を通過するように前記洗浄槽の周囲に枠状に延在した上下動板と、
前記上下動板に着脱可能に設けて上下動する推力を伝達する昇降手段と、
前記上下動板の上部両側に設けられて前記被処理物を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段を駆動させる駆動源と、
前記上下動板の上部両側の前記搬送手段に載置して搬送する両側の側部と上部とを一体成形した枠体を設け、この枠体の上部から中央に吊設されて前記被処理物を吊した状態に設置する設置部を有し、前記上下動板の降下時に中央部を通過する前記洗浄槽内に前記設置部のみを浸漬させる搬送冶具とを備えたことを特徴とする湿式処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の湿式処理装置において、
前記搬送手段は、前記駆動源に磁力継手を介して接続されて駆動し、該駆動源が前記上下動板の昇降動作時に同時に昇降せず前記磁力継手を切り離せるように設けたことを特徴とする湿式処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の湿式処理装置において、
前記搬送治具の枠体の前方下端側に前記両側の側部を連結して延在する係止部を設けるとともに、前記搬送治具を搬送する前方の前記上下動板端部に出没可能な一対のピンを設けることで、当該ピンが前記搬送治具の係止部に当接して搬送時の位置決めストッパになるように形成したことを特徴とする湿式処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の湿式処理装置において、
前記洗浄槽の上端は、前記上下動板を上昇させた際に前記搬送手段の搬送面に対して高く、かつ、当該搬送手段により搬送される前記搬送冶具前方の前記係止部に当接しないように低く設けたことを特徴とする湿式処理装置。
【請求項５】
請求項１または２に記載の湿式処理装置において、
前記洗浄槽の上端は、前記上下動板を上昇させた際に前記搬送手段の搬送面に対して高く、かつ、当該搬送手段により搬送される前記搬送冶具の設置部または被処理物に当接しないように低く設けたことを特徴とする湿式処理装置。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれかに記載の湿式処理装置において、
前記搬送冶具の設置部は、前記被処理物を複数収納する籠体、または前記被処理物を少なくとも１つ以上保持する保持体であることを特徴とする湿式処理装置。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれかに記載の湿式処理装置において、
前記搬送手段は、前記搬送治具を次の処理工程に水平搬送する回転式のローラ、チェーン、ベルトなどの無限軌道の搬送機構により形成されていることを特徴とする湿式処理装置。
【請求項８】
請求項１乃至７いずれかに記載の湿式処理装置において、
前記昇降手段は、前記上下動板に上下動する推力を伝達可能なモータまたはシリンダなどからなる上下動機構により形成されていることを特徴とする湿式処理装置。
【請求項９】
請求項８に記載の湿式処理装置において、
前記昇降手段は、前記上下動板に着脱することで前記モータまたはシリンダ両方の付け替えを可能に設けたことを特徴とする湿式処理装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９いずれかに記載の湿式処理装置において、
前記昇降手段は、前記上下動板の昇降時に、上下方向の可変範囲での揺動動作、または昇降に対して直交する左右方向への揺動動作を行える揺動手段を併せ持つことを特徴とする湿式処理装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０いずれかに記載の湿式処理装置において、
前記洗浄槽、上下動板、昇降手段、搬送手段、及び駆動源は、中空で周囲を囲む箱状のモジュール本体内に内蔵されていることを特徴とする湿式処理装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の湿式処理装置において、
前記モジュール本体は、目的に応じて複数直列に接続することで構成し、個数変更等にも柔軟に対応できるように設けたことを特徴とする湿式処理装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の湿式処理装置において、
前記モジュール本体が複数配列して処理する出口と入口との間に介在し、前記搬送冶具を前記出口で回収して前記入口まで移送して循環させる冶具循環手段を更に設けたことを特徴とする湿式処理装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の湿式処理装置において、
前記冶具循環手段は、前記モジュール本体を直線状に複数配列させた両端の出口から入口までの間に形成され、前記搬送治具を、前記出口から上部に上昇させる上昇部と、当該上昇部の上部で前記入口の上部まで水平に移動させる移動部と、最後に前記移送部の上部から前記入口まで降下させる降下部とを備え、前記モジュール本体の上部を横断するように延在して戻すように移送して循環させることを特徴とする湿式処理装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の湿式処理装置において、
前記冶具循環手段は、前記モジュール本体を直線状に複数配列させた第１群と第２群とを平行に配置させ、この第１群と第２群との処理方向を逆にして平行する両端で、前記第１群の出口の横に前記第２群の入口を、前記第１群の入口の横に前記第２群の出口を各々配置し、当該第１群と第２群との両端で隣り合う前記出口及び入口を連結してＯ字状に繋ぐように形成され、前記搬送治具を前記両端の出口から入口に水平移送して循環させることを特徴とする湿式処理装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の湿式処理装置において、
前記冶具循環手段は、前記出口から入口に水平移送する際、前記搬送治具を前記出口で回収してその場で１８０度回転させて前面を後方に向けた後、隣り合う前記入口に水平移送させることを特徴とする湿式処理装置。
【請求項１７】
請求項１５に記載の湿式処理装置において、
前記冶具循環手段は、前記出口から入口に水平移送する際、前記出口から半円状に延在して前記入口に連結させ、前記搬送治具を前記半円状の円弧に沿って誘導することで前面を徐々に１８０度後方に向かせながら隣り合う前記入口に水平移送させることを特徴とする湿式処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、湿式処理装置に係り、より詳細には、被処理物を洗浄槽の上部に自動的に搬送して槽内に浸漬させて洗浄する湿式処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、湿式処理装置は、例えば、レンズの薬液洗浄、成膜（コーティング）、リンスなどの処理工程、または金属部品の脱脂（洗浄）などの処理工程に広く用いられており、このレンズや金属部品などの被処理物を保持して搬送し、洗浄槽の上部に搬送して洗浄液内に浸漬させて洗浄する装置がよく知られている。ここで、本出願人は、このような装置において、被処理物を昇降して浸漬させる昇降手段を、洗浄槽の上部周囲から配置する構造を用いず、昇降手段の下部にデッドスペースが形成されることを防止するため、この昇降手段を洗浄槽の下部近傍に配置して被処理物に対し洗浄槽自体を昇降させて浸漬させる構造の湿式処理装置を既に出願している（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００４−２１６２３７号公報  前述した構造による実施の形態を、図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は、このように洗浄槽を昇降させる従来の湿式処理装置の一実施形態を示す構成図である。また、図１４は、図１３に示した洗浄槽を昇降させる動作を示す動作説明図であり、図１４（ａ）は降下させた状態を、図１４（ｂ）は上昇させた状態を各々示している。
【０００３】
図１３に示すように、従来の湿式処理装置の一実施形態は、前述したレンズや金属部品などの被処理物１を吊り下げた状態に保持する搬送冶具５０と、この搬送冶具５０を搬送するレール状の搬送手段４６と、この搬送手段４６の下部に配置されて被処理物１を浸漬させて洗浄する洗浄槽４９と、この洗浄槽４９を昇降可能に保持して搬送手段４６のレール状の間から上昇させて搬送された被処理物１を処理液内に浸漬させる昇降手段４４とを備えている。ここで、洗浄槽４９、搬送手段４６、昇降手段４４は、周囲を囲んでユニット化したモジュール本体４０内に収納されており、常に清浄な状態を維持している。また、搬送冶具５０は、被処理物１を複数収納する籠体５４と、この籠体５４を吊り下げて搬送手段４６に載置して搬送する両側の側部と上部とを一体形成してなる枠体５２と、この枠体５２の下部に延在して搬送手段４６に載置される下端部５６とにより構成されている。また、洗浄槽４９は、図１４（ａ）に示すように、オーバーフロー槽に形成し、オーバーフローした処理液を配管４８を介してポンプ４８ｂ及びフィルタ４８ｃに供給して濾過することで循環させている。この際、配管４８には、洗浄槽４９が昇降する際、負荷が生じないようにフレキシブル配管４８ａを介在させている。
【０００４】
このような構成からなる従来の湿式処理装置の一実施形態を用いて被処理物１の湿式処理を行う場合、まず、図１４（ａ）に示した昇降手段４４を降下させて、洗浄槽４９を搬送手段４６の下部に配置させた状態で、搬送冶具５０の籠体５４内に被処理物１を複数収納し、搬送手段４６に載置させて洗浄槽４９の上部まで搬送する。そして、洗浄槽４９の上部に搬送冶具５０を搬送すると、図１４（ｂ）に示すように、昇降手段４４が上昇して洗浄槽４９を搬送手段４６の上方まで押し上げることで、被処理物１を複数収納した搬送冶具５０の籠体５４のみを処理液内に浸漬でき湿式処理することができる。
【０００５】
このように従来の湿式処理装置は、モジュール本体４０内の下部の洗浄槽４９近傍に昇降手段４４を配置して洗浄槽４９を昇降させる構造のため、モジュール本体４０内で洗浄槽４９の上部周囲に昇降手段４４を配置して被処理物１（搬送冶具５０）を昇降させる構造に比べて、モジュール本体４０内の下方にデットスペースが形成されることを防止でき、搬送手段４６の上部周囲に新たな配置スペースが確保できるように形成していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら従来の湿式処理装置では、図１４（ａ）に示したように、モジュール本体４０内で昇降手段４４により洗浄槽４９を昇降させる構造のため、洗浄槽４９に接続する配管４８に上下動に耐えうるフレキシブル配管４８ａを必ず介在させる必要があり、このフレキシブル配管４８ａ自体の部品コストが高く、結果的に装置全体のコストも高くなるという不具合があった。また、昇降手段４４は、処理液を貯留した洗浄槽４９を昇降させるため、一定の重量を昇降できる強固な構造体及び強力な推力を備えた昇降手段を用いる必要があり、このような昇降手段もまたコストが高く、結局、装置全体のコストが高くなるという不具合があった。
【０００７】
本発明は前述した点に鑑みなされたもので、その目的は、簡単な構造で小型化でき、安価な部品で構成でき装置全体のコストを低減できる湿式処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は前述した課題を解決するために、被処理物を洗浄槽の上部に自動的に搬送して槽内に浸漬させて洗浄する湿式処理装置であって、洗浄槽と、この洗浄槽の上部で昇降可能に設けられて中央部が開口して洗浄槽が開口した中央部を通過するように洗浄槽の周囲に枠状に延在した上下動板と、上下動板に着脱可能に設けて上下動する推力を伝達する昇降手段と、上下動板の上部両側に設けられて被処理物を搬送する搬送手段と、この搬送手段を駆動させる駆動源と、上下動板の上部両側の搬送手段に載置して搬送する両側の側部と上部とを一体成形した枠体を設けてこの枠体の上部から中央に吊設されて被処理物を吊した状態に設置する設置部を有し上下動板の降下時に中央部を通過する洗浄槽内に設置部のみを浸漬させる搬送冶具とを備える。
【０００９】
ここで、搬送手段は、駆動源に磁力継手を介して接続されて駆動し、該駆動源が上下動板の昇降動作時に同時に昇降せず磁力継手を切り離せるように設けることが好ましい。また、搬送治具の枠体の前方下端側に両側の側部を連結して延在する係止部を設けるとともに、搬送治具を搬送する前方の上下動板端部に出没可能な一対のピンを設けることで、当該ピンが搬送治具の係止部に当接して搬送時の位置決めストッパになるように形成することが好ましい。また、洗浄槽の上端は、上下動板を上昇させた際に搬送手段の搬送面に対して高く、かつ、当該搬送手段により搬送される搬送冶具前方の係止部に当接しないように低く設けることが好ましい。また、洗浄槽の上端の他の実施例として、上下動板を上昇させた際に搬送手段の搬送面に対して高く、かつ、当該搬送手段により搬送される搬送冶具の設置部または被処理物に当接しないように低く設けることが好ましい。また、搬送冶具の設置部は、被処理物を複数収納する籠体、または被処理物を少なくとも１つ以上保持する保持体であることが好ましい。また、搬送手段は、搬送治具を次の処理工程に水平搬送する回転式のローラ、チェーン、ベルトなどの無限軌道の搬送機構により形成されていることが好ましい。また、昇降手段は、上下動板に上下動する推力を伝達可能なモータまたはシリンダなどからなる上下動機構により形成されていることが好ましい。また、昇降手段は、上下動板に着脱することでモータまたはシリンダ両方の付け替えを可能に設けることが好ましい。また、昇降手段は、上下動板の昇降時に、上下方向の可変範囲での揺動動作、または昇降に対して直交する左右方向への揺動動作を行える揺動手段を併せ持つことが好ましい。また、洗浄槽、上下動板、昇降手段、搬送手段、及び駆動源は、中空で周囲を囲む箱状のモジュール本体内に内蔵されていることが好ましい。また、モジュール本体は、目的に応じて複数直列に接続することで構成し、個数変更等にも柔軟に対応できるように設けることが好ましい。
【００１０】
また、モジュール本体が複数配列して処理する出口と入口との間に介在し、搬送冶具を出口で回収して入口まで移送して循環させる冶具循環手段を更に設けることが好ましい。この冶具循環手段は、モジュール本体を直線状に複数配列させた両端の出口から入口までの間に形成され、搬送治具を、出口から上部に上昇させる上昇部と、当該上昇部の上部で入口の上部まで水平に移動させる移動部と、最後に移送部の上部から入口まで降下させる降下部とを備え、モジュール本体の上部を横断するように延在して戻すように移送して循環させることが好ましい。また、冶具循環手段の他の実施例は、モジュール本体を直線状に複数配列させた第１群と第２群とを平行に配置させ、この第１群と第２群との処理方向を逆にして平行する両端で、第１群の出口の横に第２群の入口を、第１群の入口の横に第２群の出口を各々配置し、当該第１群と第２群との両端で隣り合う出口及び入口を連結してＯ字状に繋ぐように形成され、搬送治具を両端の出口から入口に水平移送して循環させることが好ましい。この冶具循環手段の他の実施例において、出口から入口に水平移送する際、搬送治具を出口で回収してその場で１８０度回転させて前面を後方に向けた後に隣り合う入口に水平移送、または出口から半円状に延在して入口に連結させて搬送治具を半円状の円弧に沿って誘導することで前面を徐々に１８０度後方に向かせながら隣り合う入口に水平移送させるいずれかに設けることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
以上、本発明による湿式処理装置によれば、昇降手段により洗浄槽を昇降するのではなく、被処理物を収納させた搬送冶具を載置する上下動板を昇降するため、この洗浄槽の配管に従来技術のようにフレキシブル配管を用いる必要がなく、通常の配管を用いた簡単な構造で安価な部品を使用でき、結果的に装置全体のコストを低減できる。また、昇降手段は、被処理物を収納させた搬送冶具を載置する上下動板を昇降するため、処理液を貯留した洗浄槽の昇降に比べて軽くなり、安価な昇降手段を用いて昇降でき、結局、装置全体のコストを低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
次に、添付図面を参照して本発明による湿式処理装置の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明による湿式処理装置の一実施形態を示す構成図である。また、図２は、図１に示したモジュール本体１０を複数配列させた状態を示す外観図である。また、図３は、図１に示した搬送治具２０の詳細を示す図である。また、図４は、図１に示した搬送治具の他の実施例を示す図である。また、図５は、図１に示した搬送治具の更なる他の実施例を示す図である。また、図６は、図１に示したピン１３による位置決め動作を示す動作説明図であり、図６（ａ）は搬送治具２０を搬入した状態を、図６（ｂ）は搬送治具２０を位置決めした状態を、図６（ｃ）は搬送治具２０の位置決めを解除した状態を、図６（ｄ）は搬送治具２０を搬出する状態を各々示している。また、図７は、図１に示した洗浄槽１９に浸漬させる動作を示す動作説明図であり、図７（ａ）は浸漬前の状態を、図７（ｂ）は浸漬後の状態を各々示している。また、図８は、図２に示した複数のモジュール本体１０に冶具循環手段２１０を備えた実施例を示す図である。また、図９は、図８に示した冶具循環手段を取付けた外観全体を示す斜視図である。また、図１０は、図８に示した冶具循環手段の他の実施例を示す図である。また、図１１は、図１０に示した冶具循環手段２２０を上部から見た上面図である。また、図１２は、図１１に示した基台の他の実施例を示す図である。
【００１３】
図１に示すように、本発明による湿式処理装置の一実施形態は、レンズの薬液洗浄、成膜（コーティング）、リンスなどの処理工程、または金属部品の脱脂（洗浄）などの処理工程に採用され、このレンズや金属部品などの被処理物１（図示せず：図８参照）を搬送して浸漬させて洗浄する洗浄槽１９と、この洗浄槽１９の上部で昇降可能に設けられて中央部が開口して洗浄槽１９が開口した中央部を通過するように洗浄槽１９の周囲に枠状に延在した上下動板１２と、この上下動板１２に着脱可能に設けて上下動する推力を伝達する昇降手段１４と、上下動板１２の上部両側に設けられて被処理物１を搬送する搬送手段１６と、この搬送手段１６を駆動させる駆動源１８と、上下動板１２の上部両側の搬送手段１６に載置して搬送する両側の側部と上部とを一体成形した枠体２２を設けてこの枠体２２の上部から中央に吊設されて被処理物１を吊した状態に設置する設置部２４を有し上下動板１２の降下時に中央部を通過する洗浄槽１９内に設置部１４のみを浸漬させる搬送冶具２０とを備えている。即ち、本願発明は、図８に示した従来技術のように昇降手段１４を洗浄槽１９の近傍に配置し、この洗浄槽１９を昇降させるのではなく、被処理物１（搬送治具２０）を昇降するように設けることで、簡単な構造で安価な部品で構成できるように設けたものである。
【００１４】
ここで、洗浄槽１９、上下動板１２、昇降手段１４、搬送手段１６、及び駆動源１８は、中空で周囲を囲む箱状のモジュール本体１０内に内蔵され、常に清浄な状態を維持している。このモジュール本体１０は、図２に示すように、目的に応じて複数（図２では３台）直列に接続することで構成し、個数変更等にも柔軟に対応できるように設けている。即ち、モジュール本体１０は、図２に示した３台直列に接続した場合、例えば、洗浄時に中央の１台の昇降手段１４を停止（搬送手段１６は動作）させて洗浄しないようにし、個数変更時に応じて停止させていた中央の昇降手段１４を動作させて対応することも可能である。従って、モジュール本体１０は、使用状況に応じて自由に複数直列に接続でき、且つ、その動作も適宜選択して使用することができる。
【００１５】
また、モジュール本体１０内には、図１に示した上下動板１２が昇降可能に支持されており、この上下動板１２に昇降手段１４を取り付けることで、被処理物１（搬送治具２０）を昇降できるように形成されている。この昇降手段１４は、上下動板１２に上下動する推力を伝達可能なモータまたはシリンダなどからなる上下動機構（図１ではモータ）により構成されている。ここで、昇降手段１４は、モータによる上下動機構を用いる場合、モータの回転軸に螺旋状のネジ部を形成し、このネジ部に螺合して昇降する昇降板を有し、この昇降板を上下動板１２に着脱可能に設けている（図１参照）。一方、シリンダによる上下動機構を用いる場合、油圧または空気圧などの流体により筒状内の軸を上下動させる流体シリンダを用い、この上下動する軸の先端を上下動板  に着脱可能に設けている（図示せず）。また、昇降手段１４は、上下動板１２に着脱することで、前述したモータまたはシリンダ両方の付け替えを可能に設けている。従って、昇降手段１４は、被処理物１の洗浄方法または重量などに応じて、モータまたはシリンダを適宜選択して使用できる。また、昇降手段１４は、上下動板１２の昇降時に、上下方向の可変範囲での揺動動作、または昇降に対して直交する左右方向への揺動動作を行える揺動手段（図示せず）を併せ持つように形成することも可能である。このような揺動手段を採用すると、被処理物１の洗浄中に上下動板１２を揺動させることで、より効果的な被処理物１の洗浄効果を得ることができる。
【００１６】
また、上下動板１２には、上部に搬送治具２０を載置して搬送する搬送手段１６が上面両側にレール状に取り付けて設けられている。この搬送手段１６は、搬送治具２０を次の処理工程に水平搬送する回転式のローラ、チェーン、ベルトなどの無限軌道の搬送機構により形成されている。そして、搬送手段１６は、上下動板１２上の両側に設けたレール状の搬送機構をお互いに連結して回転駆動させる回転軸１６ａを備え、この回転軸１６ａの一端に駆動源１８を接続することで駆動するように形成している。この際、搬送手段１６は、回転軸１６ａを駆動源１８に磁力継手１８ａを介して接続されて駆動し、駆動源１８が上下動板１２の昇降動作と同時に昇降せず磁力継手１８ａを切り離せるように設けている。これにより搬送手段１６は、上下動板１２の昇降時に駆動源１８がモジュール本体１０内で同時に昇降するスペース（デッドスペース）を少なくできるとともに、搬送時の駆動伝達における突然の過負荷による防止時にも切り離せる過負荷防止機構をも併せ持つように形成できる。
【００１７】
ここで、上下動板１２を上昇させて搬送治具２０を搬入または搬出する際、洗浄槽１９の上端は、搬送手段１６の搬送面に対して高く、かつ、この搬送手段１６により搬送される搬送冶具２０の設置部２４または被処理物１に当接しないように低く設けている。このように洗浄槽１９の上端が搬送手段１６より高く設置部２４または被処理物１より低く設けた構造によると、搬送手段１６をはじめとする各機構部分から発生する塵埃が洗浄槽１９内に混入しない高さに設置でき、清浄な状態を維持できる。
【００１８】
また、搬送治具２０は、図３に示すように、両側の側部２２ａとこの上端を連結する上部２２ｂとを一体に形成した枠体２２を備え、この枠体２２の上部２２ｂから吊設する設置部２４を設けることで形成されている。具体的に説明すると、枠体２２は、棒状体を矩形の枠状に形成してレール状の搬送手段１６両側に各々立設するように載置させる側部２２ａを有し、この両側の側部２２ａの上端をお互いに連結する上部２２ｂを設けている。また、枠体２２には、上部２２ｂの中央に棒状体が搬送方向に向かって平行に延在して設置部２４を吊設可能な吊部２２ｃを備えるとともに、搬送手段１６により搬送される前方下端側に上部２２ｂと平行して両側の側部２２ａを連結する棒状の係止部２２ｄとを設けている。この係止部２２ｄは、後で（図７参照）詳しく説明するが、搬送手段１６により搬送された搬送治具２０を、図１に示した洗浄槽１９の上部位置でピン１３に当接させて位置決めするために設けている。また、係止部２２ｄは、枠体２２の側部２２ａ下端から一定の高さに設けられており、枠体２２に吊設した設置部２４または被処理物１の下端位置とほぼ同じ又は若干下方に設けられている。ここで、係止部２２ｄは、設置部２４または被処理物１の下端より下方に設けた場合（図７（ａ）参照）、前述した上下動板１２を上昇させて枠体２２を搬送する際に洗浄槽１９の上端が当接しないようにすることが重要である。即ち、この場合の洗浄槽１９の上端は、上下動板１２を上昇させた際に搬送手段１６の搬送面に対して高く、かつ、この搬送手段１６により搬送される搬送冶具２０前方の係止部２２ｄに当接しないように低く設けている。また、枠体２２の設置部２４は、レンズや金属部品などの被処理物１を複数収納できるように金網からなる凹状の籠体に形成されている。
【００１９】
ここで、搬送治具２０は、図３に示した上部２２ｂ以外の両下端側で側部２２ａを連結（補強）する部材が係止部２２ｄのみであるため、枠体２２の外形全体が外力により変形し易い形状に形成されている。そこで、搬送治具の他の実施例として、枠体の下端を板材からなる係止部により補強して同時にストッパの機能を合わせ持つように形成することもできる。このような搬送治具の他の実施例は、図４に示すように、側部３２ａと上部３２ｂとを備え，この上部３２ａに吊部３２ｃを形成して籠体である設置部３４を吊設して形成されている。この際、枠体３２は、上部３２ｂから吊設した設置部３４または被処理物１の下端位置とほぼ同じ又は若干下方の位置に矩形で厚みを備えた板状の係止部３２ｄを配置し、この係止部３２ｄが側部３２ａの外周を囲むように装着して補強するように形成されている。そして、枠体３２は、搬送手段１６により搬送する方向の後方下端に設けた係止部３２ｄの両側に切り欠き３１を設けている。この切り欠き３１は、後述するが、図１に示したピン１３が、搬送治具２０の配送方向前方で係止部３２ｄに当接して位置決めして湿式処理した後、次工程に搬送治具３０を搬送する際に当接しないで通過するように切り欠いたものである。このような搬送治具の他の実施例によると、枠体３２全体の強度が上がり変形を抑え、搬送手段１６に載置した際にガタ付くことを防止できる。
【００２０】
さらに、図３及び図４に示した搬送治具２０、３０は、設置部２４、３４を凹状の籠体に形成した実施例を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、枠体に支持されてレンズや金属部品などの被処理物１を保持して吊るす保持体にすることも可能である。このように保持体を設けた搬送治具の更なる他の実施例は、図５に示すように、被処理物１を少なくとも１つ保持する保持体からなる設置部４４と、この設置部４４を複数吊り下げる枠体４２とを備えている。この際、枠体４２は、図３または図４に示した搬送治具２０、３０の枠体２２、３２と同様のものを採用しており、ここでは重複する説明は省略する。このような搬送治具の更なる他の実施例によると、図５に示した保持体からなる設置部４４により被処理物１を保持して枠体４２の中央に個々に吊るす構造のため、複数の被処理物１がお互いに当接せず、被処理物１の表面にキズがつくことを確実に防止できる。
【００２１】
再び、図１を参照して、搬送手段１６は、搬送治具２０を洗浄槽１９の上部に搬送した際に、この搬送方向前方の上下動板１２端部で出没可能なピン１３を設け、このピン１３が搬送治具２０の枠体２２に当接して位置決めストッパになるように形成している。この際、ピン１３は、図３及び４に示した搬送治具２０、３０の搬送方向前方下端に設けた枠体２２、３２の係止部２２ｄ、３２ｄに当接して搬送治具２０、３０の位置決めを行っている。また、ピン１３は、油圧または空気圧などの流体により筒状内で上下動するように形成された流体シリンダの軸である。
【００２２】
次に、このようなピン１３の動作を、図６を参照して詳細に説明する。尚、図６では、図１に示したモジュール本体１０を２台並列させた実施例を例にして説明をする。まず、ピン１３は、図６（ａ）に示すように、モジュール本体１０内に固定され、上下動板１２で搬送方向前方の端部に配置されており、通常、処理を行わない場合には搬送手段１６の搬送面より上方に突出させた状態に設定して位置決めストッパとして作用させている。その後、搬送治具２０は、図６（ｂ）に示すように、モジュール本体１０内に完全に収納され、この内部のピン１３に枠体２２（図３及び４に示した係止部２２ｄ、３２ｄ）が当接して位置決めされる。この位置決めした位置は、洗浄槽１９の中央上部に設置部２４（籠体）が位置した状態（図１参照）であり、設置部２４を降下させた際に良好に浸漬できる位置である。ここで、搬送手段１６は、図６（ｂ）に示したピン１３に搬送治具２０の枠体２２を当接させた後、一定の時間停止させることなく駆動させ、搬送面上で搬送治具２０を滑らすように動作する。これにより搬送治具２０は、ピン１３側に寄せられて、例えば、搬送手段１６に載置した時の設置位置に対する曲がりやズレを修正して所定の位置に正確に位置決めできる。この位置決め後は、搬送手段１６が停止して上下動板１２を降下させることで設置部２４を洗浄槽１９内に浸漬させて湿式処理を実行する。そして、湿式処理が終了すると、上下動板１２を上昇させて、再び搬送手段１６を駆動して搬送治具２０を次の工程に搬送する。この際、ピン１３は、図６（ｃ）に示すように、搬送の邪魔にならないように一旦搬送面より下方に下げて位置決めを解除して搬送治具２０を通過させる。その後、ピン１３は、図６（ｄ）に示すように、モジュール本体１０内に新たに搬入される搬送治具を位置決めするため、下げた状態から一定時間後（例えば、処理後の搬送治具  が半分程度進んだ時）に再び突出するように動作させている。ここで、図３に示した搬送治具２０には枠体２２の係止部２２ｄを搬送方向前方にのみ形成しており、図４に示した搬送治具３０は搬送方向後方の係止部３２ｄに切り欠き３１を設けている。従って、搬送治具は、図６（ｄ）に示したモジュール本体１０の内部から搬出される際、枠体２２の後方下端側がピン１３により引っ掛かることなく、通過して搬出することが可能になる。その後、モジュール本体１０内には、図６（ａ）に示したように、新たな搬送治具２０が搬入され、上記動作を繰り返すことで複数の搬送治具２０の搬入および搬出が可能になる。尚、ピン１３は、搬送治具２０の搬入および搬出に合わせて出没させる場合、例えば、図６（ａ）に示した搬送治具２０が搬入されたことを検出するセンサと、図６（ｃ）に示した搬送治具２０の搬出開始時から図６（ｄ）に示した少し搬出した状態を検出するセンサとを各々備えた検出制御部（図示せず）を設けることで実行できる。また、搬送手段１６は、搬送治具２０がピン１３に当接して一定時間駆動した後に停止させる場合、このピン１３に当接した搬送治具２０の位置を検出するセンサを設け、このセンサの検出結果を前述した検出制御部に送信して制御することで、搬送治具２０がピン１３に当接して一定時間後に���止させることができる。
【００２３】
また、このようにモジュール本体１０内でピン１３により位置決めされた搬送治具２０の設置部２４を洗浄槽１９内に浸漬させる場合の動作を、図７を参照して詳細に説明する。まず、搬送治具２０は、図６に示したピン１３により位置決めされると、図７（ａ）に示すように、設置部２４が洗浄槽１９の中央上部に位置決めされ、この設置部２４が洗浄槽１９の上端外周縁に当接することなく浸漬できるように配置される。この際、洗浄槽１９の上端は、昇降手段１４により上下動板１２を上昇させた状態における搬送手段１６の搬送面に対し、高い位置に配置されて清浄な状態を維持している。また、搬送治具２０には、ピン１３（図６参照）を当接させて位置決めする係止部２２ｄを設けている。従って、洗浄槽１９の上端は、図７（ａ）に示したように、搬送手段１６の搬送面より高く、前述した係止部２２ｄより低い位置に配置されることが好ましい。そして、このように位置決めされた搬送治具２０は、図７（ｂ）に示すように、昇降手段１６を駆動（図７ではモータを駆動）させることで、上下動板１２及び搬送手段１を降下させて洗浄槽１９内に被処理物１を収納した設置部２４のみを浸漬させて湿式処理を実行することができる。
【００２４】
ところで、搬送治具２０は、湿式処理を繰り返し実行すると、湿式処理を終えてモジュール本体１０の出口から搬出されて外部に集まり溜まってしまう。この場合、搬送治具２０は、モジュール本体１０の出口から入口に再び戻して、常に循環させることが重要であり、その戻す動作には作業者が手動で行うより冶具循環手段によって自動的に実行することが最も好ましい。このような冶具循環手段の実施例を、図８〜１２を参照して詳細に説明する。尚、図８〜１２に示したモジュール本体１０及び搬送治具２０は、図１に示した構成要素と同じであり、同じ構成要素には同一の符号を記載するとともに、重複する説明は省略する。ここで、冶具循環手段は、複数のモジュール本体１０を如何に設置するかに応じて種々の構造に形成でき、例えば、上下に昇降させる昇降型（図８〜９）と、左右に水平移動させる水平動型（図１０〜１２）とを選択できる。
【００２５】
まず、昇降型の冶具循環手段２１０の実施例は、図８に示すように、モジュール本体１０が複数配列して処理する出口１０ａと入口１０ｂとの間に介在し、搬送冶具２０を出口１０ａで回収して入口１０ｂまで移送して循環させるように設けられている。この冶具循環手段２１０は、モジュール本体１０を直線状に複数配列させた両端の出口１０ａから入口１０ｂまでの間に形成され、搬送治具２０を、出口１０ａから上部に上昇させる上昇部２１２と、当該上昇部２１２の上部で入口１０ｂの上部まで水平に移動させる移動部２１４と、最後に移送部２１４の上部から入口１０ｂまで降下させる降下部２１６とを各々備えている。即ち、昇降型の冶具循環手段２１０は、モジュール本体１０の上部を横断するように延在して搬送冶具２０を戻すように移送して循環させる構造に形成されている。従って、昇降型の冶具循環手段２１０は、図９に示すように、上昇部２１２や降下部２１６により搬送治具２０（図８参照）を上下に昇降させる図９に示した高さＨ１を必要とするが、図９に示した厚みＤ１を狭く設定できるため、例えば、設置面積が狭くても高さを十分に確保できる場所であれば良好な設置が可能になる。ここで、冶具循環手段２１０は、図９に示した上昇部２１２、移動部２１４、降下部２１６の各厚みＤ１が、搬送治具２０（図８参照）を循環させる幅であって、上下動板１２や昇降手段１４（図１参照）を内蔵するモジュール本体１０に比べてほぼ同等、或いはそれ以下の厚みＤ１に形成することができる。従って、図９に示したように装置全体（特に厚みＤ１）をコンパクトに小型化して形成することができる。
【００２６】
ここで、上昇部２１２及び降下部２１６には、モジュール本体１０の出口１０ａ及び入口１０ｂから上部の移動部２１４までの間を、モータ２１１ａの駆動により上下に昇降するベルト部２１１ｂを備え、このベルト部２１１ｂの送りにより搬送治具２０をモジュール本体１０に搬入または搬出するリフト２１１を備えている。また、移動部２１４は、モジュール本体１０が複数配列する上部に配置されて、長く延在するベルト部２１４ｂを備え、このベルト部２１４ｂの一端にモータ２１４ａを有して駆動し、搬送治具２０を出口１０ａ側から入口１０ｂ側に移動させて戻すように形成されている。また、上昇部２１２及び降下部２１６には、モジュール本体１０を複数配列した両端の出口１０ａ及び入口１０ｂに、開閉するシャッタ２１２ａ、２１６ａを各々設けている。
【００２７】
このように形成された昇降型の冶具循環手段２１０の実施例は、まず、図８に示した上昇部２１２の出口１０ａ側のシャッタ２１２ａを閉めて降下部２１６の入口１０ｂ側のシャッタ２１６ａを開け、この入口１０ｂを介してリフト２１１のベルト部２１１ｂに被処理物（図示せず）を収納した搬送治具２０を載置し、モジュール本体１０内に送り込んで入口１０ｂのシャッタ２１６ａを閉める。そして、搬送治具２０は、複数配列するモジュール本体１０内を通過しながら湿式処理されて出口１０ａまで到達すると、この出口１０ａ側のシャッタ２１２ａが開きその近傍の更なるリフト２１１のベルト部２１１ｂを駆動して上部に搬出させて回収する。そして、湿式処理された処理物は、全て取り出して他の工程に移送される。その後、リフト２１１のモータ２１１ａが駆動して被処理物が入ってない空の搬送治具２０を、上部の移動部２１４まで上昇させる。そして、移動部２１４は、上昇した搬送治具２０をベルト部２１４ｂの上部に受け取って、モータ２１４ａを駆動させて湿式処理した方向と逆方向の降下部２１６まで搬送治具２０を移動させる。これにより搬送治具２０は、降下部２１６の上部に戻り、最初に載置したリフト２１１のモータ２１１ａを駆動してモジュール本体１０の入口１０ｂの位置まで降下させることで、元の位置に戻り循環させることができる。
【００２８】
このように、昇降型の冶具循環手段２１０の実施例によると、図９に示したように、モジュール本体１０を複数配列した方向と直交する方向の厚みＤ１を極力狭く維持できるため、高さＨ１方向のスペースを確保するだけで、複数のモジュール本体１０を狭い配置スペースでも対応してコンパクトに効率よく配置することができる。
【００２９】
一方、水平動型の冶具循環手段２２０の実施例は、図１０に示すように、モジュール本体１０を直線状に複数配列させた第１群１１０と第２群１２０とを平行に配置させ、この第１群１１０と第２群１２０との処理方向を逆にして平行する両端で、第１群１１０の出口１１０ａの横に第２群１２０の入口１２０ｂを、第１群１１０の入口１１０ｂの横に第２群１２０の出口１２０ａを各々配置し、当該第１群１１０と第２群１２０との両端で隣り合う出口１１０ａ、１２０ａ及び入口１１０ｂ、１２０ｂを連結してＯ字状に繋がるように形成され、搬送治具２０を両端の出口１１０ａ、１２０ａから入口１１０ｂ、１２０ｂに水平移送して循環するように形成されている。即ち、水平動型の冶具循環手段２２０は、図９に示した昇降型のようにモジュール本体１０を複数直線状に長く配列するのではなく、第１群１１０と第２群１２０とに分けて平行に配置し、その両端に一対に配置されて一端側で第１群１１０の出口１１０ａから第２群１２０の入口１２０ｂに、他端側で第２群１２０の出口１２０ａから第１群１１０の入口１１０ｂに各々水平移動させて搬送治具２０を循環させる構造に形成されている。従って、この冶具循環手段２２０は、図９に示した昇降型に比べて、図１０に示した厚さＤ２が２倍になってしまう反面、高さＨ２と幅Ｗ２とを小さく抑えることができるため、全体的にコンパクトに小型化することができる。
【００３０】
ここで、水平動型の冶具循環手段２２０は、図１０に示したように、第１群１１０と第２群１２０との両端を連結するように矩形で箱状に長く延在する基台２２２と、この基台２２２の上面で垂直に延在する軸の先端に搬送治具２０を載置して移送できる複数のローラを軸支するとともに基台２２２の上面で左右の移動及び軸を中心に回転する移送部２２４とを備えている。また、この冶具循環手段２２０は、図１１に示すように、出口１１０ａ、１２０ａから入口１１０ｂ、１２０ｂに水平移送する際、基台２２２上の出口１１０ａ、１２０ａで搬送治具２０を回収してその場で１８０度回転させて前面を後方に向けた後に、隣り合う入口１１０ｂ、１２０ｂに水平移送している。これは搬送治具２０が、例えば、図１１に示した第１群１１０の出口１１０ａから出た時、係止部２２ｄ（図３参照）が出口１１０ａから出た前面にあり、これを水平移動して第２群１２０の入口１２０ｂに搬入しようとすると後方側になるためである。従って、水平動型の冶具循環手段２２０では、図１１に示したように、第１群１１０と第２群１２０とが平行する両端の対角線上の出口１１０ａ、１２０ａにおいて、搬送治具２０を回収したその場で１８０度回転させている。
【００３１】
この際、冶具循環手段２２０は、移送部２２４を１８０度回転させることに限定されるものではなく、例えば、図１２に示すように、基台２３２を直線状に延在させるのではなく半円状に屈曲して延在させることで回転させる必要がなくなる。即ち、この半円状の冶具循環手段２３０は、図１２に示したように、第１群１１０と第２群１２０との出口１１０ａ、１２０ａから入口１１０ｂ、１２０ｂに水平移送する際、搬送治具２０を、出口１１０ａ、１２０ａから半円状に延在して入口１１０ｂ、１２０ｂに連結させた基台２３２により移送部２３４が移送される簡単な構造であって、この搬送治具２０を基台２３２の半円状の円弧に沿って誘導することで前面の係止部２２ｄ（図３参照）を徐々に１８０度後方に向かせながら隣り合う入口１１０ｂ、１２０ｂに水平移送させることができる。従って、このような半円状の基台２３２の他の実施例によると、図１１に示した直線状の基台２２２に比べて、移送部２３４を１８０度回転させる必要がないため、基台２３２の製造コストが低減して安価な構造に形成することができる。
【００３２】
そして、この水平動型の冶具循環手段を使用する場合は、まず図１０及び１１に示したように、第１群１１０の入口１１０ｂと出口１１０ａとに移送部２２４を移動させて、この入口１１０ｂ側の移送部２２４に被処理物を収納した搬送治具２０（図１０参照）を設置する。この移送部２２４は、搬送治具２０が載置されると、複数のローラを駆動させて搬送治具２０をモジュール本体１０内に搬入する。これにより搬送治具２０は、第１群１１０の内部で所定の処理を終えて出口１１０ａから搬出され、この出口１１０ａ側で待機する更なる移送部２２４に移されて回収される。また、搬送治具２０は、出口１１０ａから移送部２２４に移されてると同時に、その場で１８０度回転させて前面の係止部２２ｄ（図３参照）を後方に向けた後に、隣り合う第２群１２０の入口１２０ｂに水平移送される。そして、搬送治具は、第２群１２０の内部に搬入されて所定の処理を終えて出口１２０ａから搬出される。この際、第１群１１０の入口１１０ａに停止している移送部２２４を、第２群１２０の出口１２０ａに移動させて、全ての湿式処理を終えた搬送治具２０を再び載置して回収する。これにより搬送治具２０は、元の第１群１１０の入口１１０ｂに戻り、湿式処理された処理物を他の工程に移すことで湿式処理が完了し、再び新たな被処理物を収納して第１群１１０の入口１１０ｂから循環させることができる。尚、図１２に示した基台２３２の場合、移送部２３４を出口１１０ａ、１２０ａで１８０度回転させる必要がなく処理することができる。
【００３３】
このように水平動型の冶具循環手段２２０、２３０の実施例によると、図１０に示した装置全体の高さＨ２と幅Ｗ２とを縮小することができ、図９に示した高さＨ１の配置スペースを確保できなくても十分に配置でき、種々の狭い配置スペースに対応してコンパクトに効率よく配置することができる。
【００３４】
このように形成された本発明による湿式処理装置の一実施形態によると、図８に示した従来技術のように昇降手段により洗浄槽を昇降するのではなく、被処理物１を収納する搬送冶具２０を載置した上下動板１２を昇降するため、この洗浄槽１９の配管に従来技術のようなフレキシブル配管を用いる必要がなく、通常の配管を用いて簡単な構造で安価な部品を使用でき、結果的に装置全体のコストを低減できる。また、昇降手段１４は、被処理物１を収納させた搬送冶具２０を上下動板１２に載置した状態で昇降させるため、処理液を貯留した洗浄槽１９に比べて軽いくなり、安価な昇降手段１４を用いて昇降でき、結局、装置全体のコストを低減できる。
また、搬送治具２０の係止部２２ｄと、ピン１３とを設けた簡単な構造により、確実に搬送治具２０を位置決めできるため、良好に被処理物１の湿式処理を実行できる。また、昇降手段１４は、モータまたはシリンダを適宜選択して上下動板１２に付け替えできるため、洗浄状態または被処理物１の重量などに応じて容易に設定を変えることが可能になる。また、搬送手段１６と駆動源１８とを磁力継手１６ａにより接続して上下動板１２の昇降時に駆動源１８が昇降せず接続を切断可能に設けているため、モジュール本体１０内で駆動源１８が昇降するデットスペースを低減することができる。
さらに、搬送治具２０は、湿式処理を終えて出口に集めて溜まることなく再び元の入口まで循環させることができ、且つ、図８〜１２に示した冶具循環手段により、種々の方法を選択して装置全体を大型化することなく循環させることができる。
【００３５】
以上、本発明による湿式処理装置の実施の形態を詳細に説明したが、本発明は前述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、搬送治具の側部及び上部を棒状の部材を組み合わせて形成した実施の形態を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、透明な樹脂からなる板材により側部及び上部を設けても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明による湿式処理装置の一実施形態を示す構成図。
【図２】図１に示したモジュール本体を複数配列させた状態を示す外観図。
【図３】図１に示した搬送治具の詳細を示す図。
【図４】図１に示した搬送治具の他の実施例を示す図。
【図５】図１に示した搬送治具の更なる他の実施例を示す図。
【図６】図１に示したピンによる位置決め動作を示す動作説明図。
【図７】図１に示した洗浄槽に浸漬させる動作を示す動作説明図。
【図８】図２に示した複数のモジュール本体に冶具循環手段を備えた実施例を示す図。
【図９】図８に示した冶具循環手段を取付けた外観全体を示す斜視図。
【図１０】図８に示した冶具循環手段の他の実施例を示す図。
【図１１】図１０に示した冶具循環手段を上部から見た上面図。
【図１２】図１１に示した基台の他の実施例を示す図。
【図１３】従来の湿式処理装置の一実施形態を示す構成図。
【図１４】図１３に示した洗浄槽を昇降させる動作を示す動作説明図。
【符号の説明】
【００３７】
１    被処理物
１０    モジュール本体
１２    上下動板
１３    ピン
１４    昇降手段
１６    搬送手段
１６ａ  回転軸
１８    駆動源
１８ａ  磁力継手
２０    搬送治具
２２    枠体
２２ａ  側部
２２ｂ  上部
２２ｃ  吊部
２２ｄ  係止部
２４    設置部
【図１】
2007091464.tif 000003
【図２】
2007091464.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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