(57)【要約】【課題】  吐出口プレートを薄く形成した場合においても、それが破壊されることを防止して、信頼性をより高めることができるインクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】  吐出口プレート１０とインク流路壁８との結合部分に、複数の屈曲部を有する部位９′を形成する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクの吐出エネルギー発生素子を備える基板と、インクの吐出口が形成される吐出口プレートと、の間に、インク流路壁によってインク流路が形成され、吐出エネルギー発生素子が発生する吐出エネルギーを利用して、前記インク流路内のインクを前記吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記インク流路壁の端部と前記吐出口プレートとの結合部分に、複数の屈曲部が形成されることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記吐出エネルギー発生素子、前記吐出口、および前記インク流路は、複数組形成され、
前記複数のインク流路にインクを供給するためのインク供給口を備え、
前記インク流路壁の端部と前記吐出口プレートとの結合部分の内、前記インク供給口に近い結合部分は、他の結合部分よりも前記屈曲部が多く形成される
ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記複数の屈曲部は円弧形状であることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記吐出口プレートの表面は、剥離可能な保護テープの貼付が可能であり、
前記複数の屈曲部は、前記保護テープの剥離方向の下流側に位置する前記インク流路壁の端部と前記吐出口プレートとの結合部分に形成される
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
インクの吐出エネルギー発生素子を備える基板と、インクの吐出口が形成される吐出口プレートと、の間に、インク流路壁によってインク流路が形成され、吐出エネルギー発生素子が発生する吐出エネルギーを利用して、前記インク流路内のインクを前記吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記吐出口プレートの内面に、前記基板に対向する方向に突出する吐出口プレート補強部を設け、
前記吐出口プレートと前記吐出口プレート補強部との結合部分に、複数の屈曲部が形成されることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記吐出口プレートと前記インク流路壁は樹脂材料によって一体に形成されることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
インクの吐出エネルギー発生素子を備える基板と、インクの吐出口が形成される吐出口プレートと、の間に、インク流路壁によってインク流路が形成され、吐出エネルギー発生素子が発生する吐出エネルギーを利用して、前記インク流路内のインクを前記吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記基板の内面に、溶解可能な樹脂によって前記インク流路の形状のインク流路パターン部を形成する工程と、
前記インク流路パターン部の上に、前記吐出口プレートおよび前記インク流路壁を形成するための被覆樹脂を被覆する工程と、
前記インク流路パターン部を形成する前記溶解可能な樹脂を溶出除去する工程と、
を含み、
前記インク流路パターン部を形成する工程において、前記インク流路壁の端部と前記吐出口プレートとの結合部分に対応する前記インク流路パターン部の部分に、複数の屈曲部を形成し、
前記被覆樹脂を被覆する工程において、前記インク流路壁の端部と前記吐出口プレートとの結合部分に対応する前記被覆樹脂の部分に、前記インク流路パターン部に形成した前記複数の屈曲部を転写させる
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
インクの吐出エネルギー発生素子を備える基板と、インクの吐出口が形成される吐出口プレートと、の間に、インク流路壁によってインク流路が形成され、吐出エネルギー発生素子が発生する吐出エネルギーを利用して、前記インク流路内のインクを前記吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記基板の内面に、溶解可能な樹脂によって前記インク流路の形状のインク流路パターン部を形成する工程と、
前記インク流路パターン部の上に、前記吐出口プレートおよび前記インク流路壁を形成するための被覆樹脂を被覆する工程と、
前記インク流路パターン部を形成する前記溶解可能な樹脂を溶出除去する工程と、
を含み、
前記インク流路パターン部は、前記吐出口プレートの内面から前記基板の方向に突出する吐出口プレート補強部に対応する部分を含み、
前記インク流路パターン部を形成する工程において、前記吐出口プレートと前記吐出口プレート補強部との結合部分に対応する前記インク流路パターン部の部分に、複数の屈曲部を形成し、
前記被覆樹脂を被覆する工程において、前記吐出口プレートと前記吐出口プレート補強部との結合部分に対応する前記被覆樹脂の部分に、前記インク流路パターン部に形成した前記複数の屈曲部を転写させる
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記溶解可能な樹脂としてポジ型感光性樹脂を用い、
前記インク流路パターン部を形成する工程は、フォトマスクを通して露光することにより、前記インク流路パターン部および前記複数の屈曲部をパターンニングする
ことを特徴とする請求項７または８に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記フォトマスクは、前記複数の屈曲部に対応する部分に、露光量を段階的に変化させる部分を含むことを特徴とする請求項９に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク吐出口から記録用液体（以下、「インク」と称する）を吐出させて、それを被記録材に付着させることにより記録を行うインクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録方式（液体噴射記録方式）に適用されるインクジェット記録ヘッドは、一般に、微細な吐出口と、この吐出口に連通するインク流路（液流路）と、このインク流路の一部に設けられるインク吐出エネルギー発生部（液体吐出エネルギー発生部）と、を複数組み備えている。このようなインクジェット記録ヘッドを用いて高品位の画像を記録するためには、複数の吐出口のそれぞれから、常に同じ体積のインク液滴が同じ吐出速度で吐出されることが望ましい。
【０００３】
このようなインク液滴の吐出を実現するためのインクジェット記録ヘッドにおいては、電気熱変換素子と吐出口との間の距離（以下、「ＯＨ距離」と称す）は短い方が好ましい。そのＯＨ距離は、インク液滴の吐出体積をほぼ決定するため、それを正確かつ再現性良く設定することが必要である。
【０００４】
このようなインクジェット記録ヘッドの製造方法としては、特許文献１に、ＯＨ距離を極めて高い精度で短くかつ再現よく形成可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２８６１４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の方法によって吐出口プレートを薄く形成した場合であっても、次のような不具合を生じるおそれがある。すなわち、インクジェット記録ヘッド製造時に、インク吐出圧力発生素子が形成された基板を支持する部材の膨張収縮により、その基板に応力が掛かり、インク流路を形成するインク流路壁と吐出口プレートとの結合部である角部を起点として、吐出口プレートが破壊されるおそれがある。また、吐出口プレートと吐出口プレート補強部との結合部である角部を起点として、吐出口プレートが破壊されるおそれもある。
【０００７】
さらに、インクジェット記録ヘッドの物流時におけるインクの飛び散り、およびノズルへのゴミや空気の侵入等を防ぐために、吐出口プレートの表面に保護テープを貼って、ノズルを密閉、保護した場合には、その記録ヘッドの実使用時に、保護テープを剥離したときの引っ張り応力によって、吐出口プレートが破壊されるおそれがあった。
【０００８】
本発明の目的は、吐出口プレートを薄く形成した場合においても、それが破壊されることを防止して、信頼性をより高めることができるインクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクの吐出エネルギー発生素子を備える基板と、インクの吐出口が形成される吐出口プレートと、の間に、インク流路壁によってインク流路が形成され、吐出エネルギー発生素子が発生する吐出エネルギーを利用して、前記インク流路内のインクを前記吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク流路壁の端部と前記吐出口プレートとの結合部分に、複数の屈曲部が形成されることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクの吐出エネルギー発生素子を備える基板と、インクの吐出口が形成される吐出口プレートと、の間に、インク流路壁によってインク流路が形成され、吐出エネルギー発生素子が発生する吐出エネルギーを利用して、前記インク流路内のインクを前記吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッドにおいて、前記吐出口プレートの内面に、前記基板に対向する方向に突出する吐出口プレート補強部を設け、前記吐出口プレートと前記吐出口プレート補強部との結合部分に、複数の屈曲部が形成されることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクの吐出エネルギー発生素子を備える基板と、インクの吐出口が形成される吐出口プレートと、の間に、インク流路壁によってインク流路が形成され、吐出エネルギー発生素子が発生する吐出エネルギーを利用して、前記インク流路内のインクを前記吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記基板の内面に、溶解可能な樹脂によって前記インク流路の形状のインク流路パターン部を形成する工程と、前記インク流路パターン部の上に、前記吐出口プレートおよび前記インク流路壁を形成するための被覆樹脂を被覆する工程と、前記インク流路パターン部を形成する前記溶解可能な樹脂を溶出除去する工程と、を含み、前記インク流路パターン部を形成する工程において、前記インク流路壁の端部と前記吐出口プレートとの結合部分に対応する前記インク流路パターン部の部分に、複数の屈曲部を形成し、前記被覆樹脂を被覆する工程において、前記インク流路壁の端部と前記吐出口プレートとの結合部分に対応する前記被覆樹脂の部分に、前記インク流路パターン部に形成した前記複数の屈曲部を転写させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、吐出口プレートとインク流路壁との結合部分、もしくは、吐出口プレートと吐出口プレート補強部との結合部分に、複数の屈曲部を形成することによって、それらの結合部分に、インクジェット記録ヘッド製造時の膨張収縮による応力、または保護テープ剥離時の引っ張り応力が掛かったときに、それらの応力を分散することができる。この結果、それらの結合部分の強度を高め、吐出口プレートの破壊を防止して、インクジェット記録ヘッドの信頼性を向上させることができる。
【００１３】
また、従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法に比して、ほとんど工程数が増えることがないため、コストアップを招くことなく、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの基板１の概略斜視図、図２は、本発明の第１の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの完成時の概略平面図である。
【００１６】
図３に示すように、インクジェット記録ヘッドの完成時には、基板１に形成されたインク供給口３の両側に、ヒーター（電気熱変換素子）２が配置される。インク流路７を形成するためのインク流路壁８と、インクを吐出するための吐出口６を形成するための吐出口プレート１０と、は、同一の部材によって形成されている。各インク流路７は、個々のヒーター２が独立的に位置するように形成され、また各吐出口６は、個々のヒーター２と対向する位置に設けられている。また、シリコン、ガラス、セラミック等からなる基板１は、液流路構成部材の一部として機能し、またインク流路および吐出口を形成する材料層であるインク流路壁８および吐出口プレート１０の支持体として機能する。基板１は、このような機能をもつものであればよく、その形状や材質は特に限定されない。基板１には、ヒーター２が所望数配置される。ヒーター２によって、インク流路７内のインクを加熱することにより、そのインク中に気泡が発生し、その発泡エネルギーによって吐出口６からインクが吐出される。
【００１７】
図３（ａ）から（ｆ）は、図２の記録ヘッドの各製造段階における図１および図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図、つまりヒーター２および吐出口６の中心位置を通るＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。また図４（ａ）から（ｆ）は、図２の記録ヘッドの各製造段階における図１および図２のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図、つまりインク流路壁８の位置を通るＩＶ−ＩＶ断面図である。
【００１８】
記録ヘッドの製造に際しては、まず、図３（ａ）および図４（ａ）のように、ヒーター２を含む基板１上に、溶解可能な樹脂４を被覆する。その被覆方法としては、スピンコート、ロールコート等があり、またドライフィルムをラミネートしてもよい。溶解可能な樹脂４は、例えば、東京応化工業（株）のポジレジストＯＤＵＲなどを挙げることができる。
【００１９】
図３（ｂ）および図４（ｂ）は、溶解可能な樹脂４をインク流路の形状（インク流路パターン部）にパターニングするために、図５に示すフォトマスク１００を介して露光する工程を示す。結果的に樹脂４には、その後の現像工程により、図３（ｃ）および図４（ｃ）のように、各インク流路７に対応する部分４Ａと、それらの間に位置する共通液室１２（図２参照）に対応する部分４Ｂと、が形成される。図５のフォトマスク１００において、１０１はインク流路壁８に対応する部分、１０２はインク流路７に対応する部分、１０３は共通液室１２に対応する部分であり、また同図中のＩＩＩ−ＩＩＩに沿って断面した図が図３（ｂ）であり、同図中のＩＶ−ＩＶ線に沿って断面した図が図４（ｂ）である。
【００２０】
フォトマスク１００において、インク流路壁８に対応する部分１０１の先端部１０１Ａ、つまりインク流路壁８の先端部８Ａに対応する部分には、露光の程度を段階的に変化させる所定のパターンが形成されている。そのパターンは、先端部１０１Ａから共通液室１２に対応する部分１０３に向かうにしたがって、露光量を段階的に小さくするものである。例えば、先端部１０１Ａから部分１０３に向かうにしたがって、光の透過部分の面積が樹脂（ポジレジスト）４の限界解像度以下にまで段階的に細かくなるパターンである。このようにパターンを通しての露光により、現像後の樹脂４の部分４Ｂにおける上面４Ｂ−１と側面４Ｂ−２との間の角部には、複数（無限を含む）の屈曲部を有する部位９が形成される。
【００２１】
部位９の形状は、それが無限の屈曲部を有する場合には、図６（ａ）のような円弧形状となる。部位９は、屈曲部の数（複数）に応じて、図６（ｂ）、（ｃ）のような階段形状とすることができる。このような部位９の形状は、前述したフォトマスク１００の先端部１０１Ａのパターンに応じて設定することができる。
【００２２】
図３（ｄ）および図４（ｄ）は、インク流路壁８および吐出口プレート１０となる被覆樹脂層５を被覆する工程を示す。被覆樹脂層５としては、インク吐出口６をフォトリソグラフィーによって容易かつ精度よく形成できることから、感光性のものが好ましい。その材料としては、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物が優れた強度、密着性、および耐インク性を有している。その被覆樹脂層５を被覆する方法としては、溶解可能な樹脂４の場合と同様にスピンコート、ロールコート等がある。
【００２３】
図３（ｅ）および図４（ｅ）は、被覆樹脂層５に吐出口６を形成するために、フォトマスク２００を介して光を露光する工程を示す。被覆樹脂層５はネガ型感光性樹脂であるため、図３（ｅ）中のフォトマスク２００における黒部２０１と対向する部分は露光されない。その部分は、図３（ｆ）および図４（ｆ）に示す後の現像工程において除去され、これにより吐出口６が形成される。
【００２４】
図３（ｆ）および図４（ｆ）は、溶解可能な樹脂４をアルカリ液や溶剤などによって溶解除去し、さらに、基板１の後方から、インクを供給するためのインク供給口３を形成する工程を示す。供給口３の形成においては、基板１に穴が形成できればいずれの方法も使用することができる。例えば、ブラスト加工やエッチング加工などの方法があり、吐出口６の形成工程の前に供給口３を形成してもよい。勿論、インク供給口３を基板１のエッジ部分等に設けてもよい。
【００２５】
以上の製造方法により、インク流路壁８と吐出口プレート部１０とを同一の部材によって形成することができた。前述したように、インク流路壁８は、基板１におけるインク供給口３の両側に配置されるヒーター２に対して、独立的にインク流路７を形成するための壁であり、また吐出口プレート１０は、個々のヒーター２と対向する位置に吐出口６を形成するためのプレートである。
【００２６】
インク流路壁８のインク供給口３側の先端部８Ａと、吐出口プレート１０と、の結合部分には、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）のように、前述した樹脂４の部位９に対応する形状の部位９′が転写される。つまり、その部位９′には、樹脂５の部位９における複数の屈曲部を反転させた形状の複数（無限を含む）の屈曲部が形成されることになる。このような部位９′が位置する部分、つまりインク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分は、インクジェット記録ヘッドの製造時に破損しやすい部分である。すなわち、インクジェット記録ヘッドの製造時に、基板１を支持固定する不図示の部材が膨張収縮して基板１に応力が掛かった時に、吐出口プレート１０上において最も応力が集中しやすい部分である。
【００２７】
このような破損しやすい結合部分に、複数の屈曲部を有する部位９′を形成することにより、その結合部分に掛かる応力を分散して、その強度を高めることができる。この結果、吐出口プレート１０の破壊を防止し、インクジェット記録ヘッドの信頼性を高めて、インクの小液滴の吐出による高画質の写真調画像の記録を実現することができる。
【００２８】
複数の屈曲部を有する部位９’の形状は、図６（ａ）のように、無限の屈曲部を有する円弧形状であることが望ましい。しかし部位９’は、図６（ｂ），（ｃ）のように、２つ以上の屈曲部が段階的に形成される形状であってもよい。また、インク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分において、部位９′が位置する部分以外は、インク吐出への影響を考慮して、１つの屈曲部を有する角となるように形成される（図３（ｆ）参照）。
【００２９】
（第２の実施形態）
図７（ａ），（ｂ），（ｃ）は、本発明の第２の実施形態における記録ヘッドの製造段階の断面図である。
【００３０】
本実施形態においては、吐出口プレート１０のインク供給口３と対向する位置に、凸状の吐出口プレート補強部１１が形成される。この吐出口プレート補強部１１と吐出口プレート１０との結合部分には、インク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分と同様に、複数（無限を含む）の屈曲部を有する部位９’を形成する。
【００３１】
図７（ａ）は、溶解可能な樹脂４をインク流路７および共通液室１２の形状にパターニングするために、フォトマスク１１０を介して露光する工程を示す。フォトマスク１１０において、１１２は流路壁８に対応する部分、１１４は吐出口プレート補強部１１に対応する部分、１１３は共通液室１２に対応する部分である。また１１１は、部分１１２と部分１１３との境、および部分１１４と部分１１３との境に対応する部分であり、前述した実施形態のフォトマスク１００における先端部１０１Ａと同様に、露光量を段階的に変化させる所定のパターンが形成されている。そのパターンは、例えば、部分１１２から部分１１３、および部分１１４から部分１１３に向かうにしたがって、光の透過部分の面積が樹脂（ポジレジスト）４の限界解像度以下にまで段階的に細かくなるパターンである。
【００３２】
このようなフォトマスク１１０を用いて露光した後、現像することにより、図７（ｂ）のように、共通液室１２に対応する樹脂４（ポジレジスト）の部分４Ｂの角部に、複数の屈曲部を有する部位９が形成される。その後、図３および図４と同様の工程を経ることによって、図７（ｃ）のように、部位９と対応する樹脂５の部分、つまり吐出口プレート補強部１１と吐出口プレート１０との結合部分、およびインク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分に、複数（無限を含む）の屈曲部を有する部位９’が形成される。
【００３３】
吐出口プレート補強部１１が設けられるインクジェット記録ヘッドにおいて、その吐出口プレート補強部１１と吐出口プレート１０との結合部分は、インク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分と同様に、応力が集中しやすく破壊されやすい。しかし本実施形態のように、複数の屈曲部を有する部位９′を形成することにより、インク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分と同様に、吐出口プレート補強部１１と吐出口プレート１０との結合部分の強度も高めて、吐出口プレート１０の破壊を防止することができる。
【００３４】
（第３の実施形態）
図８および図９は、本発明の第３の実施形態におけるインクジェット記録ヘッド３００の説明図である。
【００３５】
インクジェット記録ヘッド３００は、その物流時におけるインクの飛び散り、およびノズル（吐出口を含む）内へのゴミや空気の侵入の防止等を目的として、吐出口プレート１０の表面に剥離可能な保護テープ４００が貼り付けられている。その保護テープ４００はノズルを密閉して、それを保護する。このような保護テープ４００を備えた記録ヘッド３００は、実使用時に保護テープ４００を剥離する際に、その引っ張り応力によって吐出口プレート１０が破壊されるおそれがある。その引っ張り応力は、保護テープ４００の剥離方向（Ｘ）の下流側に位置するインク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分、つまり図９中左側に位置するインク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分に最も集中する。
【００３６】
そこで本実施形態においては、図９に示すように、図９中においてインク供給口３の左側に位置するインク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分、つまり保護テープ４００の剥離時における引張り応力が最も集中する部分に、前述したような複数（無限を含む）の屈曲部を有する部位９’を形成する。これにより、その引張り応力が最も集中する部分において、その部分に掛かる引張り応力を分散させて、その強度を高めることができる。
【００３７】
このように複数の屈曲部を有する部位９′を形成することにより、吐出口プレート１０の表面が保護テープ４００によって保護される記録ヘッド３００において、保護テープ４００の剥離時の引張り応力による吐出口プレート１０の破壊を防止することができる。これにより、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【００３８】
なお複数の屈曲部を有する部位９′は、図９中においてインク供給口３の左側に位置するインク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分のみならず、図９中においてインク供給口３の右側に位置するインク流路壁８の先端部８Ａと吐出口プレート１０との結合部分にも形成することが望ましい。
【００３９】
（他の実施形態）
インクの吐出エネルギー発生素子としては、前述したような電気熱変換素子（ヒーター）の他、ピエゾ素子などの種々の素子を利用することができる。要は、インクを吐出させるためのエネルギーを発生するものであればよい。
【００４０】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドは、いわゆるシリアルスキャンタイプのインクジェット記録装置に用いたり、または記録媒体の記録領域の全域に渡って延在するように長尺に構成して、いわゆるフルラインタイプのインクジェット記録装置に用いたりすることができる。
【００４１】
また、複数の屈曲部を有する部位９′の形状は、前述した例のみに特定されず任意であり、応力を分散させる複数の屈曲部が形成されればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドに備わる基板の概略斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドを吐出口の方向から見た模式図である。
【図３】（ａ）から（ｆ）は、図２のインクジェット記録ヘッドの製造工程を説明するために、図１および図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿って断面した図である。
【図４】（ａ）から（ｆ）は、図２のインクジェット記録ヘッドの製造工程を説明するために、図１および図２のＩＶ−ＩＶ線に沿って断面した図である。
【図５】図３（ｂ）のパターニング工程において用いられるフォトマスクの平面図である。
【図６】（ａ）から（ｃ）のぞれぞれは、図２のインクジェット記録ヘッドにおけるインク流路壁と吐出口プレートとの結合部分の異なる構成例を説明するための断面図である。
【図７】（ａ）から（ｃ）は、本発明の第２の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの製造工程を説明するための図である。
【図８】本発明の第３の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図９】図８のインクジェット記録ヘッドから保護テープを剥離する状態の説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
１    基板
２    電気熱変換素子（ヒーター）
３    インク供給口
４    溶解可能な樹脂層
５    被覆樹脂層
６    吐出口
７    インク流路
８    インク流路壁
９    複数の屈曲部を有する部位
９′    複数の屈曲部を有する部位
１０    吐出口プレート
１１    吐出口プレート補強部
１００，２００    フォトマスク
３００    インクジェット記録ヘッド
４００    保護テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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