(57)【要約】【課題】  冷却用流路の配設構造を簡素化することができる、真空処理用チャンバを提供する。【解決手段】  複数の壁部材１，２，３，４，１１，１２，１３を有し、壁部材１，２，３，４，１１，１２，１３の表面の一部が接合面となって該接合面同士が気密的に接合された接合部１０によって、複数の壁部材１，２，３，４，１１，１２，１３が接合されてチャンバ本体１００が構成されている、真空処理用チャンバであって、少なくとも一部の接合部１０は、接合面内において該接合面に沿って延びる間隙３０，３１が形成され、かつ該接合面の周囲が溶接によって気密的に接合されている間隙内蔵型接合部１０である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の壁部材を有し、該壁部材の表面の一部が接合面となって該接合面同士が気密的に接合された接合部によって、前記複数の壁部材が接合されてチャンバ本体が構成されている、真空処理用チャンバであって、
少なくとも一部の前記接合部は、前記接合面内において該接合面に沿って延びる間隙が形成され、かつ該接合面の周囲が溶接によって気密的に接合されている間隙内蔵型接合部である、真空処理用チャンバ。
【請求項２】
前記間隙内蔵型接合部は、前記チャンバ本体の屈曲部又は狭隘部を構成する接合部である、請求項１に記載の真空処理用チャンバ。
【請求項３】
前記間隙内蔵型接合部は、溝が形成された平面状の接合面が接合して構成される、請求項１または２に記載の真空処理用チャンバ。
【請求項４】
前記間隙内蔵型接合部は、屈曲した接合面同士が係合して、該接合面の屈曲部に間隙が形成される、請求項１または２に記載の真空処理用チャンバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理用チャンバに関する。特に、複数の壁部材を有し、該壁部材の一部が接合面となって該接合面同士が接合されてチャンバ本体が構成される真空処理用チャンバに関する。
【背景技術】
【０００２】
成膜装置は、成膜作業時における成膜面への異物の混入を防いだり、スパッタリング方式のように成膜材料を発生させたりするために隔離室、いわゆる真空処理用チャンバを有している。また、真空処理用チャンバは、複数の壁部材が接合されて構成されるチャンバ本体に真空ポンプ、隔離弁、ヒータ、ターゲット、マグネット、スパッタ電極等器具が装着されて構成されている。そして、成膜作業時には、真空処理用チャンバ内に基材が配設されて、真空処理用チャンバに装着された器具の稼働によって、基材表面に膜が形成される。
【０００３】
このような成膜作業においては、真空処理用チャンバに装着されたスパッタ電極等一部の器具の発熱や、真空処理用チャンバ内で生成されるプラズマ等によって、チャンバ本体が加熱されるので、チャンバ本体には、一般的に冷却構造が形成されている（特許文献１乃至３参照）。
【特許文献１】特開２００２−１６４５９３号公報
【特許文献２】特開２００２−１５１７６３号公報
【特許文献３】特開２００４−１７２２６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のようなチャンバ本体の壁部材への冷却配管の配設、特許文献２および３のような壁部材内における冷却流路の内蔵には、配設等に十分な壁部材表面あるいは内部空間の確保が必要であった。ところが、チャンバ本体に装着される器具は、少なくないことから、壁部材の表面には器具類の装着部が隣接して構成されるように狭隘な表面が形成されている狭隘部が生じている。このような狭隘部においては、上記流路の配設等に十分な広さの表面の確保は困難であった。また、チャンバ本体の角部やチャンバ本体の開口周囲に形成されているフランジ部のように屈曲した表面が形成されている屈曲部においては、流路配管の配設や壁部材内の流路設計が複雑になるという問題もあった。つまり、チャンバ本体の冷却用流路の配設構造には改善の余地があった。
【０００５】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、チャンバ本体の冷却用流路の配設構造を簡素化することができる、真空処理用チャンバを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、第１の本発明の真空処理用チャンバは、複数の壁部材を有し、該壁部材の表面の一部が接合面となって該接合面同士が気密的に接合された接合部によって、前記複数の壁部材が接合されてチャンバ本体が構成されている、真空処理用チャンバであって、
少なくとも一部の前記接合部は、前記接合面内において該接合面に沿って延びる間隙が形成され、かつ該接合面の周囲が溶接によって気密的に接合されている間隙内蔵型接合部である。このような構成とすると、間隙内蔵型接合部を利用して冷却用流路を形成することができるので、狭隘な表面が形成された狭隘部又は屈曲した表面が形成された屈曲部における冷却用流路の配設構造を簡素化することができる。ここで、真空処理用チャンバとは、成膜作業時における成膜面への異物の混入を防いだり、スパッタリング方式のように成膜材料を発生させたりするための隔離室をいい、例えば、マルチチャンバ式成膜装置の成膜チャンバ、加熱用チャンバ、プラズマ洗浄用チャンバ、あるいはロードロック室などをいう。壁部材とは、天板、側板、底板等のようなチャンバ本体の基本的構成材のみならず、それら基本的構成材に配設されたフランジ等の部材も含む。
【０００７】
本発明の効果をより確実に得る観点から、第２の本発明の真空処理用チャンバは、前記間隙内蔵型接合部は、前記チャンバ本体の屈曲部又は狭隘部を構成する接合部であるとよい。ここで、屈曲部とは、チャンバ本体の角部やチャンバ本体の開口周囲に形成されているフランジ部のように屈曲した表面が形成されている部分である。狭隘部とは、器具類の装着部が隣接して構成されるように狭隘な表面が形成されている部分である。
【０００８】
本発明の効果をより確実に得る観点から、第３の本発明の真空処理用チャンバは、前記間隙内蔵型接合部は、溝が形成された平面状の接合面が接合して構成されるとよい。
【０００９】
第４の本発明の真空処理用チャンバは、前記間隙内蔵型接合部は、屈曲した接合面同士が係合して、該接合面の屈曲部に間隙が形成されるとよい。このような構成とすると、接合面内の屈曲部において接合面同士が係合するので、壁部材の接合作業を容易にすることができる。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように、本発明の真空処理用チャンバは、冷却用流路の配設構造を簡素化することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１２】
（実施形態）
図１は、本発明の実施形態の真空処理用チャンバのチャンバ本体を概略的に示す斜視図である。ここでは、真空処理用チャンバは成膜チャンバである。
【００１３】
図１に示すように、本実施形態の成膜チャンバのチャンバ本体（以下、チャンバと略す）１００は、壁部材である天板１、側板２、側板３、４、１２，１３、及び底板１１が接合されて直方体状に構成されている。これらの接合には溶接が用いられている。つまり、接合面の周囲に溶接部１０が形成されて接合部が構成されている。
【００１４】
また、天板１にはアクセス用の孔部５Ｈが形成されていて、孔部５Ｈの周囲にはフランジ５が溶接部１０によって気密的に接合されている。フランジ５には複数のボルト孔１５が形成されている。そして、図示しないが、成膜作業時には、フランジ５に閉鎖板が気密的に装着されて、成膜装置点検時あるいは清掃時には、閉鎖板が外され、孔部５Ｈから作業員がチャンバ内にアクセスすることができるように構成されている。
【００１５】
同様にして、側板２には成膜対象である基材の搬入出用の孔部６Ｈ、及び成膜加工の原材料源であるターゲットの搬出入用の孔部７Ｈが形成されていて、これら孔部６Ｈ、７Ｈの周囲にはそれぞれフランジ６、７が溶接部１０によって気密的に接合されている。これらフランジ６、７には複数のボルト孔１５が形成されている。そして、図示しないが、孔部６Ｈから基材がチャンバ内に搬入出されて、成膜作業時には、フランジ６に密閉型ゲート弁、気密的に接合板あるいは基材支持部材が気密的に装着されて、チャンバ１００内で基材に対しスパッタリング等による成膜加工ができるように構成されている。また、図示しないが、孔部７Ｈからターゲットがチャンバ１００内に搬入出されて、成膜作業時には、フランジ７に接合板あるいはターゲット支持部材が気密的に装着されて、チャンバ１００内で基材に対しスパッタリング等による成膜加工ができるように構成されている。
【００１６】
同様にして、側板３、４にはそれぞれスパッタ電極の装着用の孔部８Ｈ、９Ｈが形成されていて、これら孔部８Ｈ、９Ｈの周囲にはそれぞれフランジ８、９が溶接部１０によって気密的に接合されている。これらフランジ８、９には複数のボルト孔１５が形成されている。そして、図示しないが、孔部８Ｈ，９Ｈにはそれぞれスパッタ電極が気密的に装着されて、チャンバ内で基材に対しスパッタリング等による成膜加工ができるように構成されている。なお、スパッタ電極が複数装着されることにより、異なる方向から成膜材料を基材表面に到達させることができるので、基材表面の膜厚の均等化、ならびに複雑な形状の基材に対する成膜加工が容易となる。したがって、基材の形状、複層成膜等成膜加工の条件に応じて、図示されない側面１２，１３にも同様にしてスパッタ電極が装着されてもよい。
【００１７】
また、図示しないが、側板１２には、排気口が形成されている。排気口には弁が装着される。そして、弁には真空ポンプ等の排気装置が装着される。これによって、成膜作業時には、チャンバ内を減圧することができる。
【００１８】
以上のように、チャンバ１００は、複数の壁部材、すなわち天板１、側板２、３、４、１２，１３、底板１１及びフランジ５，６，７，８，９を有し、これら壁部材の一部が接合面となって該接合面同士が溶接部１０によって気密的に接合されている。
【００１９】
ここで、本発明の特徴である間隙内蔵型接合部の構造を説明する。
【００２０】
図２は、図１のII−II線における側板３及び側板４の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。図に示すように、側板３及び側板４は、側板３の端面３Ｆと側板４の端面４Ｆとが突き合わせ溶接によって接合されて、チャンバ１００の一側面を形成している。溶接部１０は、開先加工された端面３Ｆ，４Ｆの両縁部に溶接のビートが連続して盛られて形成されている。これによって、間隙内蔵型接合部の両縁部が気密的に接合される。
【００２１】
また、接合面である端面３Ｆ，４Ｆの両縁部から離れた面内にはそれぞれ端面３Ｆ、４Ｆの延在方向に延びる溝部３Ｄ，４Ｄが形成されている。これによって、間隙内蔵型接合部には接合面延びる間隙が溝部３Ｄ，４Ｄによって形成され、間隙は、通路３１を構成する。
【００２２】
さらに、図１に示すように、側板３及び側板４の間隙内蔵型接合部の上方の天板１には、通路３１の端部に接続する貫通孔２１が形成されている。なお、図示しないが、底板１１にも、通路３１の端部に接続する貫通孔２１が形成されている。つまり、通路３１は、一対の貫通孔２１、２１によって、外部と連通されている。
【００２３】
したがって、一対の貫通孔２１，２１に冷却水配管が接続されると、冷却水を通路３１に流通させることが可能となるので、フランジ８、９の間を冷却することができる。すなわち、本発明のチャンバ１００は、間隙内蔵型接合部を利用して冷却用流路を形成することができるので、冷却用流路の配設構造を簡素化することができる。特に、器具類の装着部が隣接して構成されるように狭隘な表面が形成されている狭隘部において、冷却用流路の配設構造を簡素化することができる。
【００２４】
次に、図３は、図１のIII面における側板２及び側板４の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。
【００２５】
図に示すように、側板２及び側板４は、チャンバ１００の隣接する側面を構成しており、これらの接合部がチャンバ１００の角部の１つを形成している。そして、側板２の端面２Ｆと側板４のチャンバ内面側の壁面の側縁部４Ｇとが溶接部１０によって気密的に接合されている。溶接部１０は、それぞれ開先加工された端面２Ｆの両側において側縁部４Ｇとの間に溶接のビートが連続して盛られて形成されている。これによって、チャンバ１００の角部における間隙内蔵型接合部の両縁部が気密的に接合される。
【００２６】
また、接合面である端面２Ｆ内には端面２Ｆの延在方向に延びる溝部２Ｄが形成されている。これによって、間隙内蔵型接合部には、接合面に沿って延びる間隙が、溝部２Ｄ及び側縁部４Ｇによって形成され、間隙は通路３０を構成する。
【００２７】
さらに、図１に示すように、側板２及び側板４の間隙内蔵型接合部の上方の天板１には、通路３０の端部に接続する貫通孔２０が形成されている。なお、図示しないが、底板１１にも、通路３０の端部に接続する貫通孔２０が形成されている。これによって、通路３０は、一対の貫通孔２０、２０によって、外部と連通されている。
【００２８】
したがって、一対の貫通孔２０，２０に冷却水配管が接続されると、冷却水を通路３０に流通させることが可能となるので、フランジ９とフランジ６及びフランジ７との間の屈曲部を冷却することができる。すなわち、本発明のチャンバ１００は、間隙内蔵型接合部を利用して冷却用流路を形成することができるので、冷却用流路の配設構造を簡素化することができる。特に、チャンバ１００の角部のような屈曲した表面が形成されている屈曲部における冷却用流路の配設構造を簡素化することができる。
【００２９】
また、側板４には溝部の加工が不要であるので、チャンバ１００の製造コストを抑制することができる。
【００３０】
次に、図４は、図１のIV面における天板１及びフランジ５の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。図５は、図１のＶ面における天板１及びフランジ５の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。
【００３１】
これら図に示すように、天板１及びフランジ５は、天板１の上面１Ｇとフランジ５の底面５Ｊとが溶接部１０によって気密的に接合されている。
【００３２】
具体的には、上面１Ｇの孔部５Ｈの縁部において高位面１Ｐが形成され、高位面１Ｐと上面１Ｇとの間には段差面１Ｑが形成されている。底面５Ｊの孔部５Ｈ側、即ちフランジ５の内周側は切り欠かれて高位底面５Ｐが形成され、高位底面５Ｐと底面５Ｊとの間には段差面５Ｑが形成されている。
【００３３】
ここで、天板１の高位面１Ｐと上面１Ｇとの段差間距離と、フランジ５の高位底面５Ｐと底面５Ｊとの段差間距離とは同じ段差間距離となるように形成されている。また、天板１の高位面１Ｐの孔部５Ｈの径方向の幅は、フランジ５の高位底面５Ｐの孔部５Ｈの径方向の幅よりも小さく形成されている。これによって、フランジ５と天板１との接合時には、天板１の高位面１Ｐとフランジ５の高位底面５Ｐとが接合するとともに、天板１の上面１Ｇとフランジ５の底面５Ｊとが接合する。そして、段差面１Ｑと、段差面５Ｑと、上面１Ｇと、高位底面５Ｐとに画された環状の間隙が形成される。そして、溶接部１０は、それぞれ開先加工された高位面１Ｐの孔部５Ｈの縁部と高位底面５Ｐの孔部５Ｈの縁部との間に溶接のビートが連続して盛られて形成されている。また、図１及び図４，図５に示すように、フランジ５の外周側においても、溶接部１０は、底面５Ｊの外縁部と壁面１Ｇとに溶接のビートが連続して盛られて形成されている。これによって、フランジ５と天板１との環状の接合面の内周側及び外周側それぞれにおいて溶接部１０が環状に形成され、フランジ５と天板１との環状の接合面の周囲が気密的に接合される。そして、接合面に沿って環状に延びる間隙が形成され、間隙は通路３２を構成する。
【００３４】
また、図５及び図１に示すように、フランジ５の外周面には、通路３２に接続する一対の貫通孔２２，２２が孔部５Ｈを間にして対向する位置に形成されている。これによって、通路３２は、一対の貫通孔２２、２２によって、外部と連通されている。
【００３５】
したがって、一対の貫通孔２２，２２に冷却水配管が接続されると、冷却水を通路３２に流通させることが可能となる。また、一方の貫通孔２２と他方の貫通孔２２との間の流路は２本となるが、それぞれの流路抵抗はほぼ等しいので、一方の貫通孔２２に流入した冷却水を二手に分けて通路３２を流通させることができる。つまり、本発明のチャンバ１００は、間隙内蔵型接合部を利用して、冷却用流路を確保することができるので、冷却用流路の配設構造を簡素化することができる。特に、フランジ５が構成されて屈曲した表面が形成されている屈曲部における冷却用流路の配設構造を簡素化することができる。
【００３６】
次に、図６は、図１のVI面における側板３及びフランジ８の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。図７は、図１のVII面における側板３及びフランジ８の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。図８は、図１のVIII面における側板３及びフランジ８の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。なお、ここでは説明を省略するが、フランジ６及び側板２、フランジ７及び側板２，ならびにフランジ９と側板４も同様な構造を有している。
【００３７】
これら図に示すように、側板３及びフランジ８は、側板３の孔部８Ｈを形成する開口面３Ｋとフランジ８の底面８Ｊとが溶接部１０によって気密的に接合されている。
【００３８】
具体的には、図６及び図７に示すように、底面８Ｊは、孔部８Ｈを形成する開口面３Ｋに嵌合するように全周に亘って外周側が切り欠かかれている。すなわち、底面８Ｊの外周側の縁部において高位底面８Ｐが形成され、高位底面８Ｐと底面８Ｊとの間には段差面８Ｑが形成されている。これによって、段差面８Ｑは、開口面３Ｋに嵌合する。また、開口面３Ｋの外面側には面取りされた形状となっていて斜面３Ｕが形成されている。斜面３Ｕは、フランジ８の側板３の孔部８Ｈへの嵌め込み時には、高位底面８Ｐと段差面８Ｑに接するように形成されている。これによって、高位底面８Ｐと、段差面８Ｑと、斜面３Ｕとに画された環状の間隙が形成される。
【００３９】
そして、溶接部１０は、図１及び図６乃至図８に示すように、チャンバ１００内側及び外側の側板３とフランジ８との接合面の縁部、すなわち開口面３Ｋと段差面８Ｑとの接合面の縁部及び側板３のチャンバ内面側の壁面の開口縁部３Ｇと高位底面８Ｐとの接合面の縁部においてそれぞれ溶接のビートが連続して盛られて形成されている。これによって、フランジ８と側板３との環状の接合面の内周側及び外周側それぞれにおいて溶接部１０が環状に形成され、フランジ８と側板３との環状の接合面の周囲が気密的に接合される。そして、接合面に沿って環状に延びる間隙が形成され、間隙は通路３３を構成する。
【００４０】
また、図１及び図７に示すように、フランジ８の外周面には、通路３３に接続する一対の貫通孔２３，２３が隣接して形成されている。これによって、通路３３は、一対の貫通孔２３、２３によって、外部と連通されている。
【００４１】
ここで、図８に示すように、フランジ８と側板３との接合部のうち隣接する一対の貫通孔２３、２３の隣接部においては、開口面３Ｋには面取り加工がなされていない。つまり、隣接する一対の貫通孔２３、２３の隣接部においては、通路３３が形成されない。これによって、一方の貫通孔２３から冷却水供給されると、冷却水は、側板３の孔部８Ｈを周回するようにして通路３３を流通して、他方の貫通孔２３から排出される。つまり、本発明のチャンバ１００は、間隙内蔵型接合部を利用して、冷却用流路を確保することができるので、冷却用流路の配設構造を簡素化することができる。特に、フランジ８が構成されて、かつ、フランジ９が隣接している孔部８Ｈの周囲のような、屈曲部かつ狭隘部における冷却用流路の配設構造を簡素化することができる。
【００４２】
［変形例］
ここで、側板３及び側板４の間隙内蔵型接合部の変形例を説明する。
【００４３】
図９は、図１のII−II線における側板３及び側板４の間隙内蔵型接合部の変形例を示す断面図である。
【００４４】
図に示すように、側板３、４の接合面は、屈曲した形状に加工されていて、屈曲した接合面同士が係合して、接合面の屈曲部には、第１の端面３Ｐ、４Ｐの延在方向、すなわち図９おいて図面に対して略垂直方向に延びる通路状の間隙が形成される。すなわち、側板３の接合面には、第１の端面３Ｐと第２の端面３Ｒと第３の端面３Ｔとが段差を有して形成され、第１の端面３Ｐと第２の端面３Ｒとの段差間には第１の段差面３Ｑが形成され、第２の端面３Ｒと第３の端面３Ｔとの段差間には第２の段差面３Ｓが形成されている。側板４の接合面も同様にして、第１の端面４Ｐと第２の端面４Ｒと第３の端面４Ｔとが段差を有して形成され、第１の端面４Ｐと第２の端面４Ｒとの段差間には第１の段差面４Ｑが形成され、第２の端面４Ｒと第３の端面４Ｔとの段差間には第２の段差面４Ｓが形成されている。ここで、側板３の第１の端面３Ｐと第３の端面３Ｔとの段差間距離と、側板４の第１の端面４Ｐと第３の端面４Ｔとの段差間距離とは同じ段差間距離となるように形成されている。また、側板３の第２の端面３Ｒの板厚方向の幅と、側板４の第２の端面４Ｒの板厚方向の幅とは、同じ幅となるように形成されている。これによって、側板３、４の接合時には、側板３の第１の端面３Ｐと側板４の第３の端面４Ｔとが接合するとともに、側板３の第３の端面３Ｔと側板４の第１の端面４Ｐとが接合する。そして、側板３の第１の段差面３Ｑと側板４の第２の段差面４Ｓとが係合するとともに、側板３の第２の段差面３Ｓと側板４の第１の段差面４Ｑとが係合する。そして、第２の端面３Ｓ，４Ｓ及び第１の段差面３Ｑ，４Ｑによって画された通路状の間隙が形成される。そして、間隙内蔵型接合部の両縁部、つまり側板３の第１の端面３Ｐと側板４の第３の端面４Ｔとの両縁部及び側板３の第３の端面３Ｔと側板４の第１の端面４Ｐとの両縁部が溶接部１０によって気密的に接合されて、接合面に沿って延びる間隙が形成され、間隙は通路３１を構成する。このように接合面を屈曲した形状にすると、接合面内の屈曲部において接合面同士が係合するので、側板３及び側板４の接合作業を容易にすることができる。
【００４５】
以上、本発明の実施形態を詳細に説明したが、本実施形態は、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものであるので、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきである。したがって、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の精神を逸脱することなく、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。
【００４６】
例えば、側板３及び側板４の間に構成される間隙内蔵型接合部においては、天板１及び底板１１の貫通孔２１を省略して構成することができる。すなわち、天板１及び底板１１が側板３、４の壁面の側縁部に接合され、側板３及び側板４の間に構成される間隙内蔵型接合部の間隙が上方及び下方に貫通するように構成することによって、天板１及び底板１１の貫通孔２１を不要とすることができる。
【００４７】
また、上記実施形態では、成膜チャンバを対象としているが、本発明は、成膜作業時における成膜面への異物の混入を防いだり、スパッタリング方式のように成膜材料を発生させたりするための隔離室である真空処理用チャンバに広く適用することができる。例えば、マルチチャンバ式成膜装置の成膜チャンバ、加熱用チャンバ、プラズマ洗浄用チャンバ、あるいはロードロック室などそれぞれにおいて本発明を実施することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の真空処理用チャンバは、冷却用流路の配設構造を簡素化することができるという点で有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態の真空処理用チャンバを概略的に示す斜視図である。
【図２】図１のII−II線における側板３及び側板４の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。
【図３】図１のIII面における側板２及び側板４の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。
【図４】図１のIV面における天板１及びフランジ５の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。
【図５】図１のV面における天板１及びフランジ５の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。
【図６】図１のVI面における側板３及びフランジ８の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。
【図７】図１のVII面における側板３及びフランジ８の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。
【図８】図１のVIII面における側板３及びフランジ８の間隙内蔵型接合部を示す断面図である。
【図９】図１のII−II線における側板３及び側板４の間隙内蔵型接合部の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  天板
１Ｇ  上面
１Ｐ  高位面
１Ｑ  段差面
２  側板
２Ｄ  溝部
２Ｆ  端面
３  側板
３Ｄ  溝部
３Ｆ  端面
３Ｇ  開口縁部
３Ｋ  開口面
３Ｐ  第１の端面
３Ｑ  第１の段差面
３Ｒ  第２の端面
３Ｓ  第２の段差面
３Ｔ  第３の端面
３Ｕ  斜面
４  側板
４Ｄ  溝部
４Ｆ  端面
４Ｇ  側縁部
４Ｐ  第１の端面
４Ｑ  第１の段差面
４Ｒ  第２の端面
４Ｓ  第２の段差面
４Ｔ  第３の端面
５、６，７，８，９  フランジ
５Ｈ，６Ｈ，７Ｈ，８Ｈ，９Ｈ  孔部
５Ｊ，８Ｊ  底面
５Ｐ，８Ｐ  高位底面
５Ｑ，８Ｑ  段差面
１０  溶接部
１１  底板
１２，１３  側板
１５  ボルト孔
２０，２１，２２、２３  貫通孔
３０，３１，３２，３３  通路
１００  チャンバ
【図１】
2007063593.tif 000003
【図２】
2007063593.tif 000004
【図３】
2007063593.tif 000005
【図４】
2007063593.tif 000006
【図５】
2007063593.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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