(57)【要約】【課題】  微細化された配線パターンであっても好適に用いることのできる、基板検査用接触子自体の抵抗値を低減した基板検査用治具及び基板検査用治具の提供。【解決手段】  一端が被検査基板の検査点に圧接され、他端が検査装置の電極部に圧接される基板検査用接触子と、基板検査用接触子を保持するとともに、接触子の一端を検査点へ案内する第一案内孔と、接触子の他端を電極部へ案内する第二案内孔を有する保持体とを備える基板検査用治具であって、この接触子は、検査点に圧接される導電性の第一ピンと、第一ピンの他端に一端が向くように同軸状に配置される導電性の第二ピンと、第一ピンの他端と第二ピンの一端を接続し、第一又は第二ピンの長軸方向に伸縮する弾性部を有し、保持体は導電性材料からなり、第一ピンの一部と第二ピンの一部を、それらを接続可能に収容する収容部が形成され、第一ピンと第二ピンが収容部を介して電気的に導通している。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が被検査基板の配線パターン上に設定される検査点に圧接され、他端が被検査基板を検査する検査装置の電極部に圧接される基板検査用接触子と、前記基板検査用接触子を保持するとともに、該接触子の一端を前記検査点へ案内する第一案内孔と、該接触子の他端を前記電極部へ案内する第二案内孔を有する保持体とを備える基板検査用治具であって、
前記基板検査用接触子は、
前記検査点に圧接されるとともに前記第一案内孔に摺動可能に挿通される導電性の第一ピンと、
前記第一ピンの他端に一端が向くように同軸状に配置され、前記電極部に圧接されるとともに前記第二案内孔に摺動可能に挿通される導電性の第二ピンと、
前記第一ピンの他端と前記第二ピンの一端の間に配置されるとともに該第一ピンの他端と該第二ピンの一端を接続し、前記第一又は第二ピンの長軸方向に伸縮する弾性部を有し、
前記保持体は、
導電性材料からなり、少なくとも前記第一ピンの一部と少なくとも前記第二ピンの一部を、それらを接続可能に収容する収容部が形成され、
前記第一ピンと前記第二ピンが前記収容部を介して電気的に導通していることを特徴とする基板検査用治具。
【請求項２】
前記弾性部は、導電性部材で形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具。
【請求項３】
前記第一ピンと第二ピンが円柱形状を有し、前記弾性部が圧縮コイルバネからなり、
前記第一ピン、前記第二ピンと前記弾性部が、略同じ直径を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査用治具。
【請求項４】
前記弾性部が圧縮コイルバネからなり、
前記第一ピンは、前記圧縮コイルバネの一方を嵌入する第一嵌入部を有し、前記第二ピンは、前記圧縮コイルバネの他方を嵌入する第二嵌入部を有していることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査用治具。
【請求項５】
前記収容部は、筒状に形成され、前記保持体内の所定位置に固定されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具。
【請求項６】
被検査基板の電気的特性を測定することにより被検査基板の良否を検査する基板検査装置であって、
請求項１乃至５のいずれかに記載の基板検査用治具と、
前記基板検査用治具の基板検査用接触子によって、被検査基板より検出される電気信号を基に、該被検査基板の良否を判定する基板検査部を有することを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査用治具及び基板検査装置に関し、より詳しくは、微細化された配線パターンであっても好適に用いることのできる、基板検査用接触子自体の抵抗値を低減した基板検査用治具及び基板検査用治具に関する。
尚、本発明でいう検査「基板」は、プリント配線基板、フレキシブル配線基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用などの電極板、あるいは半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなどを含むものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、基板に搭載する半導体素子や抵抗器などの電気部品の集積度を高めるため、配線パターンのファインピッチ化が進められている。このような基板では、基板に電気部品を搭載するまえのベアボードの状態で配線パターンの抵抗を測定することにより基板の電気的特性の良否が検査される。
例えば、基板が有する配線パターンの検査点である２箇所のランド間に、基板検査用接触子を電気的に接触させ、この配線パターンに所定レベルの電流を印加し、そのランド間に生じる電圧を測定し閾値と対比することで基板の電気的特性の良否が検査されている。
【０００３】
このような基板の検査を行う基板検査装置に適用される基板検査用治具として、例えば図１２に示すように、一端が検査基板ＢのランドＬに当接される複数の基板検査用接触子２００と、この複数の基板検査用接触子２００を保持するとともに所望のランドＬ（検査点）に案内する案内板２０２とから構成されたものが提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
ここで、基板検査用接触子２００は、第１のピン体２０４と、第２のピン体２０６と、第１のピン体２０４と第２のピン体２０６との間に配設された圧縮コイルバネ２０８とから構成されたものである。案内板２０２は、第１のピン体２０４を保持する２つの保持体２１０、２１２と、２つの保持体２１０、２１２の間隔を保持するスペーサ２１４と、第２のピン体２０６を保持する２つの保持体２１６、２１８と、２つの保持体２１６、２１８の間隔を保持するスペーサ２２０と、圧縮コイルバネ２０８を保持する２つの保持体２２２、２２４とから構成されたものである。
【０００５】
このように構成された基板検査用治具は、基板検査用接触子２００の第１のピン体２０４の一端が検査基板ＢのランドＬに当接された状態で被検査基板Ｂが案内板２０２に対して相対的に押圧されることで圧縮コイルバネ２０８が圧縮され、これにより第１のピン体２０４の一端が検査基板ＢのランドＬに弾性的に当接されることになる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−４１９７７号公報
【０００７】
しかしながら、上記従来の基板検査用治具では、第１のピン体２０４と第２のピン体２０６が圧縮コイルバネ２０８を介して電気的に接続されるため、第１のピン体２０４と圧縮コイルバネ２０８と、第２のピン体２０６と圧縮コイルバネ２０８の嵌合部が確実に固着されるとともに確実に電気的に接続される必要があった。
このため、圧縮コイルバネ２０８の一端側は、第１のピン体２０４に設けられる段差部分に圧入されている。また、圧縮コイルバネ２０８の他端側は、第２のピン体２０６から押圧される形に配置されているが、圧縮コイルバネ２０８と各ピン体が嵌合により接続されているに過ぎず、電気的接続が安定したものではなかった。
特に、近年の微細化された配線パターンを測定するためには、僅かな抵抗値の差により、検査基板の配線パターンの良否の判定を行うことができなくなるという問題を有していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、微細化された配線パターンであっても、基板検査用接触子自体の抵抗値を低減させて好適に用いることのできる、基板検査用接触子自体の抵抗値を低減した基板検査用治具を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の発明は、一端が被検査基板の配線パターン上に設定される検査点に圧接され、他端が被検査基板を検査する検査装置の電極部に圧接される基板検査用接触子と、前記基板検査用接触子を保持するとともに、該接触子の一端を前記検査点へ案内する第一案内孔と、該接触子の他端を前記電極部へ案内する第二案内孔を有する保持体とを備える基板検査用治具であって、前記基板検査用接触子は、前記検査点に圧接されるとともに前記第一案内孔に摺動可能に挿通される導電性の第一ピンと、前記第一ピンの他端に一端が向くように同軸状に配置され、前記電極部に圧接されるとともに前記第二案内孔に摺動可能に挿通される導電性の第二ピンと、前記第一ピンの他端と前記第二ピンの一端の間に配置されるとともに該第一ピンの他端と該第二ピンの一端を接続し、前記第一又は第二ピンの長軸方向に伸縮する弾性部を有し、前記保持体は、導電性材料からなり、少なくとも前記第一ピンの一部と少なくとも前記第二ピンの一部を、それらを接続可能に収容する収容部が形成され、前記第一ピンと前記第二ピンが前記収容部を介して電気的に導通していることを特徴とする基板検査用治具を提供する。
【００１０】
請求項２記載の発明は、前記弾性部は、導電性部材で形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具を提供する。
【００１１】
請求項３記載の発明は、前記第一ピンと第二ピンが円柱形状を有し、前記弾性部が圧縮コイルバネからなり、前記第一ピン、前記第二ピンと前記弾性部が、略同じ直径を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査用治具を提供する。
【００１２】
請求項４記載の発明は、前記弾性部が圧縮コイルバネからなり、前記第一ピンは、前記圧縮コイルバネの一方を嵌入する第一嵌入部を有し、前記第二ピンは、前記圧縮コイルバネの他方を嵌入する第二嵌入部を有していることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査用治具を提供する。
【００１３】
請求項５記載の発明は、前記収容部は、筒状に形成され、前記保持体内の所定位置に固定されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具を提供する。
【００１４】
請求項６記載の発明は、被検査基板の電気的特性を測定することにより被検査基板の良否を検査する基板検査装置であって、請求項１乃至５のいずれかに記載の基板検査用治具と、前記基板検査用治具の基板検査用接触子によって、被検査基板より検出される電気信号を基に、該被検査基板の良否を判定する基板検査部を有することを特徴とする基板検査装置を提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を解決する。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１記載の発明によれば、第一ピンと第二ピンが収容部を介して導通状態となるので、基板検査用接触子が検出する電気信号を確実に基板検査装置に伝達することができる基板検査用治具を提供する。
【００１６】
請求項２記載の発明によれば、弾性部が導電性部材で形成されるので、基板検査用接触子が検出する電気信号がより確実に且つより正確に基板検査装置に伝達することができる基板検査用治具を提供する。
【００１７】
請求項３記載の発明によれば、第一ピンと第二ピンが円柱形状に形成され、弾性部が圧縮コイルスプリングにより形成されるので、摺動性の高い基板検査用接触子を備える基板検査用治具を提供することができる。
【００１８】
請求項４記載の発明によれば、第一ピン及び第二ピンに、弾性部である圧縮コイルスプリングを嵌入することのできる嵌入部が形成されるので、容易な構成を有する基板検査用接触子を備える基板検査用治具を提供することができる。
【００１９】
請求項５記載の発明によれば、収容部が筒状に形成され、保持体に固定されているので、基板検査用接触子を容易に保持体から着脱することができる。このため、例えば、本実施形態の第一保持部又は第五保持部を保持体から取り外すことにより、基板検査用接触子の交換を容易に行うことが可能となる。
【００２０】
請求項６記載の発明によれば、請求項１乃至４いずれかに記載の基板検査用治具を用いる基板検査装置であるので、基板検査用接触子を構成する第一ピンと第二ピンが収容部を介して導通状態となるので、基板検査用接触子が検出する電気信号を確実に且つ正確に伝達することができる基板検査装置を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板検査用接触子を用いた基板検査用治具が備える基板検査装置の内部構成図であり、図２は、被検査基板保持部付近の平面図である。なお、図には、方向を明確にするための座標軸を併記している。本発明に係る基板検査用治具が適用された基板検査装置１０は、略直方体形状を呈する筐体１２の内部における前面側（−Ｙ方向）と後面側（＋Ｙ方向）の略中間位置に配設された被検査基板Ｂの良否の検査を行う検査部１４と、筐体１２の前面側と後面側との間に配設され、前面側でセットされた検査開始前の被検査基板Ｂを検査部１４に搬送する一方、検査終了後の被検査基板Ｂを検査部１４から前面側に搬送する搬送機構部１６を備えている。
【００２２】
検査部１４は、被検査基板Ｂの上方側（＋Ｚ方向）と下方側（−Ｚ方向）のそれぞれに配設され、被検査基板Ｂの表裏に設けられている配線パターンの良否を検査する検査ユニット２０を備えている。この検査ユニット２０は、被検査基板Ｂの配線パターンのランドに当接される複数（例えば、２００本）の基板検査用接触子（プローブ）２２を備えた基板検査用治具２４と、基板検査用治具２４を基板検査装置１０の横方向（Ｘ方向）、基板検査装置１０の前後方向（Ｙ方向）及び基板検査装置１０の上下方向（Ｚ方向）に移動させると共に、基板検査用治具２４を上下方向に延びる軸回りに回転させる治具駆動機構２６とを備えている。
【００２３】
搬送機構部１６は、被検査基板Ｂが載置される搬送テーブル３０と、搬送テーブル３０をナット部３２が螺合されることで前後方向（Ｙ方向）に移動させるボールネジ３４と、ボールネジ３４に平行に配設され、搬送テーブル３０をボールネジ３４の回転に応じて移動するようにガイドする一対のガイドレール３６と、ボールネジ３４を回転駆動させるもので、後述する動作制御部４０により駆動制御されるモータ３８とを備えている。
尚、搬送テーブル３０の適所には、被検査基板Ｂの裏面の配線パターンのランドに基板検査用治具２４の基板検査用接触子２２を接触させるための図略の貫通開口が形成されている。
【００２４】
図３は、基板検査装置１０の電気的構成を示すブロック図である。
基板検査装置１０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどからなるマイクロコンピュータを備え、予めＲＯＭに記憶されているプログラムに従って装置全体の動作を制御する動作制御部４０と、被検査基板Ｂの配線パターンのランドＬに当接している複数の基板検査用接触子２２をスキャンして検査すべき配線パターンの両端に位置する２つのランドＬに当接した２つの基板検査用接触子２２を順次選択する一方、選択した２つの基板検査用接触子２２に検査信号を出力するスキャナ部４２と、動作制御部４０からの検査開始指令を受け付けることで、スキャナ部４２に対しスキャン指令を出力するテスターコントローラ４４と、オペレータからの指令を入力する入力部や配線パターンの検査結果を表示するディスプレイなどを有する操作パネル４６とを備えている。なお、スキャナ部４２とテスターコントローラ４４とは、被検査基板Ｂの電気的特性の検査を実行する基板検査部４８を構成する。
【００２５】
図４は、スキャナ部４２の電気的構成を示すブロック図である。
スキャナ部４２は、被検査基板Ｂに配設されている配線パターンＣの両端に接続された２つのランドＬ間に所定レベルの測定用電流を出力する定電流源からなる電流生成部５０と、所定レベルの測定用電流が出力されて配線パターンＣに電流が流れた場合のランドＬ間に生じる電圧を測定する電圧測定部５２と、基板検査用治具２４が備える複数の基板検査用接触子２２の中から選択された一対の基板検査用接触子２２間に電流生成部５０及び電圧測定部５２を接続するためのスイッチアレーなどからなる切替スイッチ５４と、この切替スイッチ５４に対し切り替え制御信号を出力する検査処理部５６を備えている。この検査処理部５６は、電圧測定部５２で測定された電圧を所定の基準電圧と比較することで検査対象となる被検査基板Ｂの良否（配線パターンＣの導通状態の良否）を判別し、その判別結果をテスターコントローラ４４へ送信する機能をも有している。
【００２６】
図５は、基板検査用治具２４の構成を概略的に示す要部断面図である。なお、上方側と下方側とに配設されている検査ユニット２０は基板検査用接触子２２の配置構成を除いて同様の構成になるものであるため、ここでは下方側に配設されている検査ユニット２０の基板検査用治具２４の構成について説明する。
基板検査用治具２４は、検査対象となる被検査基板Ｂの配線パターンに対応した所定の配列状態で互いに並列に配設されたもので被検査基板Ｂの電気的特性を検査するための導電性材料により形成されてなる複数の針状の基板検査用接触子２２が、合成樹脂などの絶縁性材料により形成された保持体６０に支持されて構成されたものである。
この保持体６０は、基板検査用接触子２２の一端を所定の被検査基板ＢのランドＬに案内する第一案内孔６１と、この基板検査用接触子２２の他端を所定の電極部７０へ案内する第二案内孔６２とが形成されている。第一案内孔６１と第二案内孔６２を設けることによって、基板検査用接触子２２の両端が所定の検査点Ｌと所定の電極部７０に接触させることができる。
【００２７】
各基板検査用接触子２２の一端は、保持体６０から外部に露出されて被検査基板ＢのランドＬにそれぞれ弾性的（あるいは圧接的）に当接される。また、各基板検査用接触子２２の他端は、保持体６０に対向配置されてなる電極プレート６８に配設された各電極部７０に圧接的（あるいは弾性的）に当接される。
尚、各電極部７０には、各基板検査用接触子２２に対応して配設されたケーブル７２が接続され、基板検査用接触子２２を介して所定の一対のランドＬ間に測定用電流を供給すると共に、その一対のランドＬ間の電圧を測定し得るようになっている。このケーブル７２は、基板検査装置へと接続されている。
【００２８】
このように構成された基板検査装置１０の動作について、図３乃至図５を参照しつつ説明する。まず、搬送機構部１６及び治具駆動機構２６の動作が制御されて搬送テーブル３０に載置された被検査基板Ｂの各配線パターンのランドＬに各基板検査用接触子２２の測定端がそれぞれ当接（接触）される。
そして、テスターコントローラ４４からのスキャン指令に基づき、スキャナ部４２がスキャンされて被検査基板Ｂの検査すべき配線パターンの両端に位置する一対のランドＬに当接した一対の基板検査用接触子２２が選択される。
【００２９】
一対のランドＬのうちの一方のランドＬに当接した基板検査用接触子２２がケーブル７２を介して接続されている切替スイッチ５４のポートＰ１と、他方のランドＬに当接した基板検査用接触子２２がケーブル７２を介して接続されている切替スイッチ５４のポートＰ２とが選択され、これらのポートＰ１とポートＰ２との間に電流生成部５０と電圧測定部５２とが接続される。
【００３０】
次いで、電流生成部５０からポートＰ１とポートＰ２を介して被検査基板Ｂの一対のランドＬ間の配線パターンに測定用電流Ｉが印加され、この一対のランドＬ間の電圧Ｖが電圧測定部５２により測定される。この電圧Ｖは、配線パターンの抵抗をＲとしたとき、Ｖ＝Ｒ×Ｉで表わされる。この電圧測定部５２で測定された電圧Ｖは、検査処理部５６で所定の基準電圧Ｖｆと比較され、電圧Ｖが基準電圧Ｖｆを超えている場合（Ｖ＞Ｖｆ）に配線パターンの導通状態が不良（途中で導体の一部が欠落している）と判別され、電圧Ｖが基準電圧Ｖｆ以下の場合（Ｖ≦Ｖｆ）に配線パターンの導通状態が良好であると判別される。この判別結果は、テスターコントローラ４４へ送信される。
【００３１】
そして、判別結果が良好である場合、次の配線パターンの検査を行うため、テスターコントローラ４４からのスキャン指令に基づき、スキャナ部４２がスキャンされて被検査基板Ｂの次に検査すべき配線パターンの両端に位置する一対のランドＬに当接した一対の基板検査用接触子２２が選択され、上記と同様にして次の配線パターンの検査が行われる。一方、判別結果が不良である場合、テスターコントローラ４４から動作制御部４０に検査対象の被検査基板Ｂが不良であることを示す信号が出力され、操作パネル４６のディスプレイに被検査基板Ｂが不良である旨の表示が行われる。この被検査基板Ｂは、この時点で検査が終了することになる。
【００３２】
図６は、図５で示されるＡ部を拡大して示す要部断面図であり、図７は、本発明にかかる基板検査用治具で用いられる基板検査用接触子を示しており、（ａ）は分解図であり、（ｂ）は組立図である。図８は、基板検査用接触子を取り除いた場合の保持体の要部断面図である。
尚、この実施形態では、保持体６０は、第一乃至第五保持部６０ａ乃至６０ｅからなる5枚の板状部材で形成されているが、更に多くの枚数で形成されても良いし、また、後述する収容部を内部に備え、基板検査用接触子を保持することができれば、少ない枚数で形成されても良い。
この保持体６０は、詳細は後述するが、基板検査用接触子２２を案内する第一案内孔６１と第二案内孔６２を有し、且つ、基板検査用接触子２２を内部に収容する収容部６３を有していることが必要である。
この第一案内孔６１の径は、例えば、0.1〜0.25ｍｍに形成されるが、この第一案内孔６１の径は、後述する第一ピンが摺動することのできる径を有していれば特に限定されない。
【００３３】
図６で示される基板検査用治具２４では、基板検査用接触子２２が、保持体６０に形成される第一案内孔６１と第二案内孔６２に挿通されている。
この基板検査用接触子２２について説明する。
図７で示される如く、本発明の基板検査治具２４では、第一ピン２２ａ、第二ピン２２ｂと弾性部２２ｃを有してなる。
第一ピン２２ａは、ランドＬに接触する（圧接される）一端と、弾性部２２ｃに接続される他端を有してなる細い棒状の形状を有している。第一ピン２２ａのランドＬに当接する一端は、図７で示す如き先細りする形状を有していることが好ましい。これはランドＬが酸化膜を有している際に、この酸化膜を破ってランドＬと確実に接触することが可能となるためである。
【００３４】
第一ピン２２ａは、ランドＬに当接する先端を有するとともに第一案内孔６１内で摺動可能に挿通される。第一ピン２２ａは、タングステン（W）やベリリウム銅（BeCu）等の導電性の素材より形成される。
図７で示される第一ピン２２ａは、第一案内孔６１内で摺動する摺動部２２ｅと、基部２２ｆと、弾性部２２ｃの一端に嵌入し、接続される嵌入部２２ｄを有する。
この摺動部２２ｅは、第一案内孔６１よりも僅かに小さい径を有する円柱形状に形成され、その先端はランドＬの酸化膜を破ることができるように先細り形状を有していることが好ましい。
基部２２ｆは、第一ピン２２ａが所望の長さになるよう長さの調整を行うとともに摺動部２２ｅよりも大きい径を有する円柱形状に形成されている。このように形成されることによって、摺動部２２ｅと基部２２ｆとの間で段差が形成されることになる。この結果、この段差を用いることによって、保持体６０から基板検査用接触子２２が外側へ抜け出ることを防止することができる。
【００３５】
嵌入部２２ｄは、基部２２ｆの径より小さい径を有している。この嵌入部２２ｄは、弾性部２２ｃの形状や材質により、その接続方法は適宜変更されることになる。
例えば、弾性部２２ｃが図７で示される圧縮コイルスプリングである場合には、この圧縮コイルスプリングの内径と同じ又は僅かに大きい径に形成され、圧縮コイルスプリングを嵌入部２２ｄに嵌合することにより両者を接続する。圧縮コイルスプリングをこの嵌入部２２ｄに嵌合する場合、圧縮コイルスプリングを嵌入部２２ｄに固着できるように嵌入部２２ｄの径を大きく形成してもよいし、圧縮コイルスプリングが遊嵌されるよう嵌入部２２ｄの径を形成してもよい。
この嵌入部２２ｄと基部２２ｆの接続箇所Ｂは、図８（ａ）で示す如く、基部２２ｆの接続端面ｆａが平坦で、嵌入部２２ｄと直角をなすよう形成される。この場合、例えば、弾性部２２ｃの端部がこの接続端面ｆａと接触させることができる。
また、図８（ｂ）で示す如く、基部２２ｆの接続端面ｆｂを湾曲して形成し、嵌入部２２ｄと滑らかに連続して形成されることもできる。この場合、例えば、弾性部２２ｃの端部が接触した際の弾性部２２ｃの磨耗を低減させることができる。
この第一ピン２２ａの寸法は、検査対象となる基板の大きさやランドＬの大きさに依存するため、特に限定されないが、例えば、摺動部２２ｅは、長さ3〜4ｍｍで径0.05〜0.2ｍｍに形成され、基部２２ｆは、長さ5〜8ｍｍで径0.15〜0.25ｍｍに形成され、嵌入部２２ｄは弾性部が接続された際に基部２２ｆの径よりも大きくならず、長さはできるだけ長くなるように形成する。
【００３６】
第二ピン２２ｂは、第一ピンの他端に一端が向くように同軸状に配置され、第二案内孔６２内を摺動する。第二ピン２２ｂも第一ピン２２ａと同様、タングステン（W）やベリリウム銅（BeCu）等の導電性の素材より形成される。
図７で示される第二ピン２２ｂは、基板検査装置の電極部７０に接触する（圧接される）先端を有するとともに第二案内孔６２内を摺動可能に挿通される摺動部２２ｇと、基部２２ｉと、弾性部２２ｃと接続される嵌入部２２ｈを有してなる。
この摺動部２２ｇは、第二案内孔６２よりも僅かに小さい径を有する円柱形状に形成され、その先端は電極部７０の酸化膜を破ることができるように先細り形状を有していることが好ましい。
基部２２iは、第二ピン２２ｂの長さを調整するとともに摺動部２２ｇよりも大きい径を有する円柱形状に形成されている。このように形成されることによって、摺動部２２ｇと基部２２ｉとの間で段差が形成されることになる。この結果、この段差を用いることによって、保持体６０から基板検査用接触子２２が外側へ抜け出ることを防止することができる。
この第二ピン２２ｂの寸法は、検査対象となる基板の大きさやランドＬの大きさに依存するため、特に限定されないが、例えば、摺動部２２ｇは、長さ0.5〜2ｍｍで径0.05〜0.2ｍｍに形成され、基部２２ｉは、長さ2〜4ｍｍで径0.15〜0.25ｍｍに形成され、嵌入部２２ｈは弾性部が接続された際に基部２２ｉの径よりも大きくならず、長さはできるだけ長くなるように形成する。
【００３７】
本実施形態で示される第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂは、図７で示される如く、第一ピン２２ａが第二ピン２２ｂよりも長く形成されている。また、上記の如く寸法を採用することができるが、第一ピン２２ａと第二ピンｂの長さは、保持体６０の長さに応じて適宜調整される長さであり、特に限定されるものではない。
【００３８】
弾性部２２ｃは、第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂの間に配されるとともに、第一ピン２２ａの嵌入部２２ｄと第二ピン２２ｂの嵌入部２２ｈに夫々接続する。さらに、この弾性部２２ｃは、基板検査用接触子２２の長軸方向に沿って伸縮する。このため、被検査基板ＢのランドＬと電極部７０により第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂが押圧された際に、外側に向く付勢が働くことになる。この結果、基板検査用接触子２２はランドＬと電極部７０を押圧することになり、確実に接触させることができる。
この弾性部２２ｃは、上記の如き長軸方向に伸縮することができれば特に限定されないが、図７で示される如き圧縮コイルスプリングを用いることが好ましい。圧縮コイルスプリングを用いることで、第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂの夫々の嵌入部に嵌入させることにより、容易に係止することができるからである。
尚、圧縮コイルスプリング以外にこの弾性部２２ｃとして、弾力性を有する合成樹脂やゴムを用いることができる。
【００３９】
この弾性部２２ｃは、導電性の部材で形成されることが好ましい。この弾性部２２ｃが導電性部材で形成されることによって、第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂとを電気的に接続することが可能となるからである。
【００４０】
図７（ｂ）で示される如く、本発明で使用される基板検査用接触子２２は、第一ピン２２ａ、第二ピン２２ｂと弾性部２２ｃを有してなり、弾性部２２ｃが第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂの間に配置されることによって、第一ピン２２ａのランドＬ及び第二ピン２２ｂの電極部７０から内側へ押圧された際に、弾性部２２ｃが付勢状態となる。このため、弾性部２２ｃがランドＬと電極部７０を押圧することになる。
尚、この弾性部２２ｃは、外径0.15〜0.25ｍｍで内径0.1〜0.2ｍｍに形成され、長さ4〜5ｍｍに形成することができるが、特に限定されるわけではない。
【００４１】
図９は、保持体を示す概略断面図である。この図９に示される如く、保持体６０には、収容部６３が備えられている。この収容部６３は、基板検査用接触子２２を内部に収容することができる（図６参照）。この収容部６３は、導電性を有する部材、若しくは、導電性を有する膜（金メッキ処理）を内側表面に施すことにより、導電性を有している。さらに、この収容部６３は、第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂの少なくとも一部を収容する。
このように、第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂの少なくとも一部を収容するとともに、収容部６３が導電性を有することによって、第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂを電気的に接続することができる。
この結果、第一ピン２２ａの摺動部２２ｅの先端が検出する電気信号を、収容部６３を介して、第二ピン２２ｂの摺動部２２ｇの先端へ伝達することが可能となる。
【００４２】
この収容部６３は、筒状に形成されるとともに基板検査用接触子２２の外径よりも僅かに大きい内径を有している。また、図６で示される如く、この収容部６３は、第三保持部６０ｃと第四保持部６０ｄにおいて配置され、且つ、第一ピン２２ａの下方部と弾性部２２ｃと第二ピン２２ｂの上方部を収容するように配置形成されている。
尚、この収容部６３と基板検査用接触子２２のクリアランス（間隙）は、1〜10μｍに形成されることが好ましい。この範囲の間隙に形成することにより、基板検査用接触子２２を収容部６３から容易に抜き差しすることができるとともに、基板検査用接触子２２を収容部６３に収容した際に、第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂが収容部６３の内側表面に接触することになるからである。
【００４３】
この図９で示される収容部６３は、第三保持部６０ｃと第四保持部６０ｄに配置されている。この場合、例えば、第三保持部６０ｃと第四保持部６０ｄに収容部６３を配置することのできる空間を形成し、第三保持部６０ｃ又は第四保持部６０ｄのどちらかに収容部６３を取り付け、その後、第四保持部６０ｄ又は第三保持部６０ｃを重なり合わせることによって、収容部６３を保持体６０内に配置することができる。
【００４４】
上記の如く、第一案内孔６１は、基板検査用接触子２２の一端を所定のランドＬに案内する。この図９で示される第一案内孔６１は、第一保持部６０ａに形成されている。この第一案内孔６１の長さは、第一保持部６０ａの厚みにより適宜設定されるが、特に限定されるものではなく、基板検査用接触子２２の一端を確実に所定のランドＬへ案内させることができれば構わない。
図９で示される第二案内孔６２は、第五保持部６０ｅに形成されている。この第二案内孔６２の長さは、第五保持部６０ｅの厚みにより適宜設定されるが、特に限定されるものではなく、基板検査用接触子２２の他端を確実に所定の電極部７０へ案内させることができれば構わない。
尚、これら第一案内孔６１と第二案内孔６２の孔径は、上記の説明の如き基板検査用接触子２２を所定位置に案内させるため、できるかぎり基板検査用接触子２２と同じになるように形成され且つ保持体６０の厚み方向の長さができるだけ短くなるように形成されることが好ましい。このように形成されることにより、第一案内孔６１と第二案内孔６２の厚み方向の長さが短く形成されるので、基板検査用接触子２２が保持体６０と接触する箇所を低減させることができ、接触による摩擦により基板検査用接触子２２及び／又は保持体６０が磨耗してしまうことを防止することができる。
【００４５】
第二保持部６０ｂは、図９で示す如く、第一案内孔６１の径よりも大きい径を有する空間が形成され、基板検査用接触子２２が、使用時に於いて、弾性部２２ｃにより摺動しても、接触して磨耗することを防止する。この空間の大きさや長さは、基板検査用接触子２２の大きさや形状に応じて変更される。また、基板検査用接触子２２の径と略同じ又は僅かに大きい径を有する突起を数箇所に設け、基板検査用接触子２２の摺動方向を案内する案内部（図示せず）とすることもできる。
この空間は、第二保持部６０ｂのみに形成されるものではなく、第一保持部６０ａに形成されても良いし、第三保持部６０ｃにも形成されても良い。また、第四保持部６０ｄや第五保持部６０ｅに設けても構わない。
【００４６】
図１０は、本発明の実施例の基板検査用接触子２２を保持体に保持した状態を示す断面図である。図１０で示す如く、基板検査用治具２４の一方には被検査基板Ｂが載置され、基板検査用治具２４の他方には基板検査装置へ電気的に接続される電極プレート６８の電極部７０が接続されている。
この場合、基板検査用接触子２２の一端はランドＬに当接され、基板検査用接触子２２の他端は電極部７０に当接され、さらに、両側から押圧されている。このため、弾性部２２ｃが縮小されて付勢状態となっている。この結果、第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂは、外側方向の反発力が働くことになり、第一ピン２２ａはランドＬを、第二ピン２２ｂは電極部７０を押圧することになる。
【００４７】
また、このような状態であっても、第一ピン２２ａの一部は、収容部６３と第一ピン２２ａとの間隙（クリアランス）が僅かであるので収容部６３に接触し、導通状態となる。また、収容部６３と第二ピン２２ｂとの間隙も僅かであるので第二ピン２２ｂの一部は、収容部６３と接触し導通状態となる。この結果、第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂは、収容部６３を介して導通状態となる。
尚、実際に基板検査用治具２４を用いる場合には、電極プレート６８に基板検査用治具２４を載置して、各電極部７０と第二ピン２２ｂを接触するよう位置合わせをした後、被検査基板Ｂの検査点であるランドＬを第一ピン２２ａに接触するよう位置合わせされる。
【００４８】
図１１は、基板検査治具の他の実施形態を示す図であり、図１１（ａ）は基板検査用接触子が収容された状態を示し、（ｂ）は基板検査用接触子を取り除いた状態を示す。
図１１で示される基板検査用治具２４’では、収容部６３’が、第二保持部６０ｂから第四保持部６０ｄまでに形成されている。このように収容部６３’を保持体６０の厚み方向に長く形成することにより、第一ピン２２ａと第二ピン２２ｂとの接触面積を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板検査用治具が適用された基板検査装置の内部構成図である。
【図２】図１に示す基板検査装置の平面図である。
【図３】図１に示す基板検査装置の電気的構成を示すブロック図である。
【図４】図３に示すスキャナ部の電気的構成を示すブロック図である。
【図５】図１に示す基板検査装置に適用された基板検査用治具の構成を概略的に示す図である。
【図６】図５に示す基板検査用治具の構成を詳細に示す要部断面図である。
【図７】図６に示す基板検査用治具を構成する基板検査用接触子の分解正面図である。
【図８】接続部と基部の接続を示す拡大図であり、（ａ）は接続端面が平坦に形成される場合を示し、（ｂ）は接続端面が湾曲状に形成される場合を示す。
【図９】図６に示す基板検査用治具の基板検査用接触子を取り除いた状態を示す要部断面図である。
【図１０】本発明の実施例の基板検査用接触子２２を保持体に保持した状態を示す断面図である。
【図１１】本発明に係る基板検査用治具の別の実施形態を示す図であり、（ａ）は基板検査用接触子を収容した状態を示す要部断面図であり、（ｂ）は基板検査用接触子を取り除いた状態を示す要部断面図である。
【図１２】従来の基板検査用治具の構成を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
２２・・・・基板検査用接触子
２４・・・・基板検査用治具
６０・・・・保持体
６１・・・・第一案内孔
６２・・・・第二案内孔
【図１】
2007327854.tif 000003
【図２】
2007327854.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007327854.tif 000009
【図８】
2007327854.tif 000010
【図９】
2007327854.tif 000011
【図１０】
2007327854.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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