(57)【要約】【課題】光学系の公差を解析するに当たり、妥当性のある簡易的な公差を決定することが可能な公差決定装置、公差決定方法、プログラム、および記録媒体を提供する。【解決手段】光学系の公差解析において解析を行うための公差初期値を簡易的に計算する際に、寄与率を誤差感度と公差の積で定義して、単一設計変数が光学性能に与える寄与率の積によって光学系の性能劣化率が決まると近似仮定し、全ての設計変数の寄与率が等しいという条件下で寄与率を計算し、誤差感度と寄与率から簡易公差を決定する中央処理装置１６を有する。【選択図】図１
2007304958.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系の公差解析において解析を行うための公差初期値を計算する処理装置を有し、
性能に与える寄与率を誤差感度と公差との積で近似することとして、前記処理装置で誤差感度と寄与率から公差を決定する
公差決定装置。
【請求項２】
前記処理装置は、１つ以上の変数Xiに対して１つ以上の評価値Φを計算し、
単一変数Xi変動による評価値変動許容量ΔΦiを与えると、各変数の変動許容量ΔXiを算出し、
全変数変動による変動評価値限界値Φ(LIM)を与えると、下記式(1)により変数公差Tiを算出する
請求項１記載の公差決定装置。
Ti = K / βi                (1)
Ti ：公差  
βi：誤差感度  ( i = 1 , 2 , ... , n )
Ｋ＝（ｒ）１／ｎ             (2)
ｎ ： 設計変数の個数
ｒ= Φ(LIM) / Φ          (3)
Φ(LIM)：設計評価値許容限界値  、Φ：変動前設計評価値
【請求項３】
前記処理装置は、決定した公差が製造限界を超える場合は、決定した公差と製造限界を一致させて再計算する
請求項１または２記載の公差決定装置。
【請求項４】
前記処理装置は、所定の公差が設定限界値より小さくなった場合に、下記式(4)により自動的に公差と設定限界値を一致させ、下記式(5)、(6)、(7)によりその他の公差を再計算する
請求項３記載の公差決定装置。
Tj = Tj(LIM)                    (4)
j：公差が設定限界値以下の変数番号
Tj(LIM)：公差限界値
r' = r / ( βj × Tj )            (5)
Ｋ'＝（ｒ'）１／ｎ−１              (6)
Ti = K' / βi   ( i=1,2, ... ,n ; i ≠ j )        (7)
【請求項５】
光学系の公差解析において解析を行うための公差初期値を計算する処理ステップを有し、
前記処理ステップは、
性能に与える寄与率を誤差感度と公差との積で近似することとして、
誤差感度と寄与率から公差を決定するステップを含む
公差決定方法。
【請求項６】
前記処理ステップにおいて、１つ以上の変数Xiに対して１つ以上の評価値Φを計算し、
単一変数Xi変動による評価値変動許容量ΔΦiを与えると、各変数の変動許容量ΔXiを算出し、
全変数変動による変動評価値限界値Φ(LIM)を与えると、下記式(1)により変数公差Tiを算出する、ステップを含む
請求項５記載の公差決定方法。
Ti = K / βi            (1)
Ti ：公差  
Βi：誤差感度  ( i = 1 , 2 , ... , n )
Ｋ＝（ｒ）１／ｎ           (2)
ｎ： 設計変数の個数
ｒ= Φ(LIM) / Φ            (3)
Φ(LIM)：設計評価値許容限界値  、Φ：変動前設計評価値
【請求項７】
前記処理ステップにおいて、決定した公差が製造限界を超える場合は、決定した公差と製造限界を一致させて再計算するステップを含む
請求項５または６記載の公差決定方法。
【請求項８】
前記処理ステップにおいて、所定の公差が設定限界値より小さくなった場合に、下記式(4)により自動的に公差と設定限界値を一致させ、下記式(5)、(6)、(7)によりその他の公差を再計算するステップを含む
請求項７記載の公差決定方法。
Tj = Tj(LIM)                      (4)
j：公差が設定限界値以下の変数番号
Tj(LIM)：公差限界値
ｒ' = r / ( βj × Tj )              (5)
Ｋ'＝（ｒ'）１／ｎ−１                (6)
Ti = K' / βi   ( i=1,2, ... ,n ; i ≠ j )        (7)
【請求項９】
光学系の公差解析において解析を行うための公差初期値を計算する処理ステップを有し、
前記処理ステップは、
性能に与える寄与率を誤差感度と公差との積で近似することとして、
誤差感度と寄与率から公差を決定するステップを含む
公差決定方法をコンピュータに実行させるプログラム。
【請求項１０】
前記処理ステップにおいて、１つ以上の変数Xiに対して１つ以上の評価値Φを計算し、
単一変数Xi変動による評価値変動許容量ΔΦiを与えると、各変数の変動許容量ΔXiを算出し、
全変数変動による変動評価値限界値Φ(LIM)を与えると、下記式(1)により変数公差Tiを算出する
請求項９記載のプログラム。
Ti = K / βi                (1)
Ti ：公差
βi：誤差感度  ( i = 1 , 2 , ... , n )
Ｋ＝（ｒ）１／ｎ               (2)
ｎ ： 設計変数の個数
ｒ= Φ(LIM) / Φ            (3)
Φ(LIM)：設計評価値許容限界値  、Φ：変動前設計評価値
【請求項１１】
前記処理ステップにおいて、決定した公差が製造限界を超える場合は、決定した公差と製造限界を一致させて再計算する
請求項９または１０記載のプログラム。
【請求項１２】
前記処理ステップにおいて、所定の公差が設定限界値より小さくなった場合に、下記式(4)により自動的に公差と設定限界値を一致させ、下記式(5)、(6)、(7)によりその他の公差を再計算する
請求項１１記載のプログラム。
Tj = Tj(LIM)                    (4)
j：公差が設定限界値以下の変数番号
Tj(LIM)：公差限界値
ｒ' = r / ( βj × Tj )            (5)
Ｋ'＝（ｒ'）１／ｎ−１              (6)
Ti = K' / βi   ( i=1,2, ... ,n ; i ≠ j )        (7)
【請求項１３】
光学系の公差解析において解析を行うための公差初期値を計算する処理ステップを有し、
前記処理ステップは、
性能に与える寄与率を誤差感度と公差との積で近似することとして、
誤差感度と寄与率から公差を決定するステップを含む
プログラムを記録した記録媒体。
【請求項１４】
前記処理ステップにおいて、１つ以上の変数Xiに対して１つ以上の評価値Φを計算し、
単一変数Xi変動による評価値変動許容量ΔΦiを与えると、各変数の変動許容量ΔXiを算出し、
全変数変動による変動評価値限界値Φ(LIM)を与えると、下記式(1)により変数公差Tiを算出する
プログラムを記録した請求項１３記載の記録媒体。
Ti = K / βi              (1)
Ti ：公差
βi：誤差感度  ( i = 1 , 2 , ... , n )
Ｋ＝（ｒ）１／ｎ               (2)
ｎ： 設計変数の個数
ｒ= Φ(LIM) / Φ              (3)
Φ(LIM)：設計評価値許容限界値  、Φ：変動前設計評価値
【請求項１５】
前記処理ステップにおいて、決定した公差が製造限界を超える場合は、決定した公差と製造限界を一致させて再計算する
プログラムを記録した請求項１３または１４記載の記録媒体。
【請求項１６】
前記処理ステップにおいて、所定の公差が設定限界値より小さくなった場合に、下記式(4)により自動的に公差と設定限界値を一致させ、下記式(5)、(6)、(7)によりその他の公差を再計算する
プログラムを記録した請求項１５記載の記録媒体。
Tj = Tj(LIM)                      (4)
j：公差が設定限界値以下の変数番号
Tj(LIM)：公差限界値
ｒ' = r / ( βj × Tj )            (5)
Ｋ'＝（ｒ'）１／ｎ−１              (6)
Ti = K' / βi   ( i=1,2, ... ,n ; i ≠ j )        (7)
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、設計変数と評価値の関係が線形でない光学系の公差を決定する公差決定装置、公差決定方法、プログラム、および記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学系の公差決定は、設計変数が光学性能に与える影響が複雑であることと評価する値が多いことから解析的に公差決定することが困難なため、設計者の経験に頼る部分が大きかった。
【０００３】
公差決定の補助手段として誤差感度解析がある。これは単一設計変数に微小な変化を与えて、それに対する性能評価値の変動量を解析する手段であり。誤差に対する性能評価値の敏感度を知る手段となりえる。これにより、公差の相対的な大小関係を知ることができるが、公差の値を決定することができないという問題点がある。
【０００４】
また、これに対して誤差逆感度解析と呼ばれる解析手段がある。これは設定された性能変化許容量に対応する単一設計変数変化量を解析する手段であり、単一設計変数に対する性能変化許容量を適切に設定できれば、公差を決定することができる。ただし設定値が適切かどうかを評価することが困難であるという問題点がある。
【０００５】
このような問題に対して、無作為に設計変数を変動させて性能評価を行い、性能分布を統計的に知ることができるモンテカルロ法があり、性能の規格値に対する公差の妥当性を検証することが可能が可能になった（たとえば、特許文献１〜４参照）。
【０００６】
特許文献１には、欠陥数を乱数によって決定するモンテカルロ法による歩留まりシミュレータが開示されている。
このシミュレータは、欠陥から生じる不良の種類とその発生確率を保持する不良種テーブルと、各欠陥から生じる不良の種類を乱数によって決定する決定手段と、決定された不良を基に対象システムの歩留まりを求める演算手段と、を有している。
【０００７】
特許文献２には、複雑な関数演算を含む散乱の計算において、散乱確立テーブルと逐次計算を併用し各粒子各散乱機構についてテーブル参照が可能かどうかを判断し、可能なものは散乱確立テーブルを使用してテーブル参照計算を行い、不可能なものは関数演算を行うモンテカルロシミュレーション方法が開示されている。
【０００８】
特許文献３には、コンピュータで実行するのに適し、諸収差等の光学性能に加えて製造公差をも考慮したレンズ設計を効率良く行うことができるレンズ設計方法が開示されている。
【０００９】
特許文献４には、コンピュータで実行するのに適し、諸収差等の光学性能に加えて製造公差をも考慮したズームレンズ設計を効率良く行うことができるレンズ設計方法が開示されている。
【特許文献１】特開平５−４０７６５号公報
【特許文献２】特開平５−８９１６０号公報
【特許文献３】特開平１１−２２３７６４号公報
【特許文献４】特開平１１−２２３７６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、公差決定は妥当性検証結果に基づいて設計者が試行錯誤的に行うため、検討時間短縮のためには初期段階での公差設定が重要になる。
【００１１】
本発明の目的は、光学系の公差を解析するに当たり、妥当性のある簡易的な公差を決定することが可能な公差決定装置、公差決定方法、プログラム、および記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の観点の公差決定装置は、光学系の公差解析において解析を行うための公差初期値を計算する処理装置を有し、性能に与える寄与率を誤差感度と公差との積で近似することとし、前記処理装置で誤差感度と寄与率から公差を決定する。
【００１３】
好適には、前記処理装置は、１つ以上の変数Xiに対して１つ以上の評価値Φを計算し、単一変数Xi変動による評価値変動許容量ΔΦiを与えると、各変数の変動許容量ΔXiを算出し、全変数変動による変動評価値限界値Φ(LIM)を与えると、下記式(1)により変数公差Tiを算出する。
Ti = K / βi                (1)
Ti ：公差
βi：誤差感度  ( i = 1 , 2 , ... , n )
Ｋ＝（ｒ）１／ｎ               (2)
ｎ ： 設計変数の個数
r = Φ(LIM) / Φ            (3)
Φ(LIM)：設計評価値許容限界値  、Φ：変動前設計評価値
【００１４】
好適には、前記処理装置は、決定した公差が製造限界を超える場合は、決定した公差と製造限界を一致させて再計算する。
【００１５】
好適には、前記処理装置は、所定の公差が設定限界値より小さくなった場合に、下記式(4)により自動的に公差と設定限界値を一致させ、下記式(5)、(6)、(7)によりその他の公差を再計算する。
Tj = Tj(LIM)                    (4)
j：公差が設定限界値以下の変数番号
Tj(LIM)：公差限界値
ｒ' = r / ( βj × Tj )            (5)
Ｋ'＝（ｒ'）１／ｎ−１              (6)
Ti = K' / βi   ( i=1,2, ... ,n ; i ≠ j )        (7)
【００１６】
本発明の第２の観点の公差決定方法は、光学系の公差解析において解析を行うための公差初期値を計算する処理ステップを有し、前記処理ステップは、性能に与える寄与率を誤差感度と公差との積で近似することとして、誤差感度と寄与率から公差を決定するステップを含む。
【００１７】
本発明の第３の観点は、光学系の公差解析において解析を行うための公差初期値を計算する処理ステップを有し、前記処理ステップは、性能に与える寄与率を誤差感度と公差との積で近似することとして、誤差感度と寄与率から公差を決定するステップを含む公差決定方法をコンピュータに実行させるプログラムである。
【００１８】
本発明の第４の観点は、光学系の公差解析において解析を行うための公差初期値を計算する処理ステップを有し、前記処理ステップは、性能に与える寄与率を誤差感度と公差との積で近似することとして、誤差感度と寄与率から公差を決定するステップを含むプログラムを記録した記録媒体である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、光学系の公差を解析するに当たり、妥当性のある簡易的な公差を決定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に関連付けて説明する。
【００２１】
図１は、本発明の実施形態に係る公差決定装置の一構成例を示すブロック図である。
【００２２】
本モジュール評価装置１０は、入力装置１１、ディスク制御装置１２、ディスク装置１３、ＬＣＤ等の表示装置１４、主記憶装置１５、および中央処理装置１６を有する。
【００２３】
入力装置１１は、キーボードやマウスでありプログラムを実行するためのコマンドや設定値を入力する装置である。
ディスク１３には、計算プログラム、光学系データファイル、公差限界値ファイルが記憶されており、ディスク制御装置１２を介して中央処理装置１６からアクセスされ、データが読み出されたり、書き込まれたりする。
ディスク１３から読み出されたデータは中央処理装置１６により主記憶装置１５に記録され、計算プログラムで用いられる。
中央処理装置１６は、入力装置１１から入力されたコマンドに対応した計算プログラムを、ディスク制御装置１２を介して、ディスク１３から呼び出し実行する。
プログラムにより計算された結果は、中央処理装置１６によりディスク１３に保存されるとともに、表示装置１４に表示される。
【００２４】
公差決定は妥当性検証結果に基づいて設計者が試行錯誤的に行うため、検討時間短縮のためには初期段階での公差設定が重要になる。
設計値での理想性能に対する劣化性能の比率は、各設計変数の性能劣化寄与率の積算であると近似して、寄与率を等配分することで簡易公差を決定する。
さらに精度限界を超えた設計変数については、公差を精度限界と一致させて、その後に残りの設計変数に関して寄与率を等配分することにより簡易公差を決定する。
これにより、性能劣化の下限値を直接設定でき、ある一定の妥当性を確保しつつ、精度限界を加味した簡易公差を決定することができる。
【００２５】
図１の公差決定装置１０における中央処理装置１６は、光学系の公差解析において解析を行うための公差初期値を簡易的に計算する。
中央処理装置１６は、単一設計変数が光学性能に与える寄与率の積によって光学系の性能劣化率が決まると近似仮定する。
寄与率は誤差感度と公差の積で定義する。
中央処理装置１６は、全ての設計変数の寄与率が等しいという条件下で寄与率を計算し、誤差感度と寄与率から簡易公差を決定する。
さらに、中央処理装置１６は、特定の簡易公差が製造限界を超えた場合は、特定公差と製造限界を一致させてその他の設計変数の公差を再計算する。
【００２６】
以下に、中央処理装置１６における簡易公差の決定処理について説明する。
【００２７】
設計理想性能に対する許容劣化性能の比率rを定義する。
【００２８】
［数１］
r = Φ(LIM) / Φ
ｒ      ：性能劣化許容比率
Φ      ：設計理想性能
Φ(LIM)：劣化許容性能
【００２９】
次に、各設計変数の性能劣化寄与率αの積算であると仮定する。
【００３０】
［数２］
ｒ = α1×α2×…×αn
αi= βi × Ti
αi      ：設計変数Xiによる性能劣化寄与率
βi      ：性能の誤差感度
Ti      ：設計変数Xiの公差
【００３１】
次に、寄与率αi(i=1,2, ... ,n)を全て等しくする。
【００３２】
［数３］
α1 = α2 = … = αn = K
β1×T1 = β2×T2 = … = βn×Tn = K
【００３３】
これにより、誤差感度βが大きい変数は公差Tが小さくなり、現実に即している。
【００３４】
次に、Kの値を算出する。
【００３５】
［数４］
r  = α1×α2×…×αn  =  Kn
【００３６】
β,T,Kの関係から公差Tが算出される。
【００３７】
［数５］
Ti = K / βi
【００３８】
これにより、劣化量が当分配で、誤差感度が高い変数ほど公差が小さくなるような妥当性のある公差を決定することができる。
【００３９】
さらには、加工、組立て、測定精度限界を超えた設計変数の公差については、公差を精度限界以内に変更する。
この場合、公差を精度限界と一致させて、その後に残りの設計変数に関して寄与率を等配分することにより簡易公差を決定する。
たとえば、j番目の設計変数Xjの公差Tjが精度限界Tj(LIM)より小さくなったとする。この場合は簡易計算で決まった公差Tjを限界公差Tj(LIM)に置き換える。
【００４０】
［数６］
Tj = Tj(LIM)
【００４１】
これにより、設計変数Xjの性能に対する寄与率αjが変化する。
【００４２】
［数７］
αj = βj × Tj(LIM)
【００４３】
このままでは、性能劣化量が通常より大きくなってしまうので、Xj以外の公差を変更する必要がある。
そこで、性能変化比率ｒをαｊによりr'に変更して、r'についてXj以外の設計変数の公差を分配する。
【００４４】
［数８］
r = α1×α2×…×αj×…×αn
r' =  r/αj=α1×α2×αj-1×αj+1×…×αn
αi = K' （ i=1,…,n ; i ≠ j ）
r' = K'n-1
K'＝（r'）１／ｎ−１
Ti = K' / βi  （ただし i ≠ j ）
【００４５】
精度限界値を超える全ての設計変数について行うことで、精度限界を加味した簡易公差を決定することができる。
【００４６】
光学系の場合、設計変数Xiは曲率半径や非球面係数などの面形状変数や、面間隔、屈折率、アッベ数、偏心、チルトなどがそれにあたる。
各設計変数には、加工精度限界や組立て精度限界、測定精度限界があり、公差の値は精度限界よりも大きい値を与えないと、加工、組立て、測定管理が不可能になってしまう。
性能評価値としては、MTF、焦点距離、バックフォーカスがあり、MTFについては下限許容値、焦点距離、バックフォーカスについては上下限許容値がある。全ての性能評価値について前記計算を施すことにより妥当性のある簡易公差を決定することができる。
この簡易公差を元にモンテカルロ法などにより性能分布を統計的に詳細解析すれば、効率的に公差を決定することができる。
【００４７】
＜実施例＞
以下、図２に関連付けて光学系を使用して本発明の実施例について説明する。
【００４８】
図２の光学系はレンズ３枚で構成される光学系であり、設計変数としてはレンズ面形状データが６個、面有効径データが６個、面間隔データが７個、レンズ材料の屈折率データが３個、分散の度合いを示すアッベ数データが３個で、合計２５個のデータが存在する。
【００４９】
また回転対称光学系では設計変数としては扱わないが、公差を解析する場合は面の平行偏心変数が６個、面の傾き変数が６個存在する。よって公差解析に使用する変数Xiは合計３７個存在する。
【００５０】
光学系の評価値としては、焦点距離、バックフォーカス、画角別MTF、歪曲などがあるが評価値は光学系に要求される性能によって異なるので、この限りではない。
ここでは、画面中心MTF、軸外像高MTF、焦点距離、バックフォーカス、の4つを評価値Φiとする。
評価値のうちMTFに関する公差解析について説明する。画面中心、軸外像高いずれについても解析方法は同じである。
【００５１】
まず、ディスク１３から設計データを読み込み（ＳＴ１）、設計MTFΦに対して公差による劣化が許容できるMTFΦ(LIM)を指定し劣化比率ｒを決定する（ＳＴ２，ＳＴ３）。たとえば、設計性能ではMTF９０％であるところを公差により３０％まで劣化することを許容する。その場合、r = 0.3 / 0.9= 0.33とする。
【００５２】
次に、各設計変数のMTF劣化に対する寄与率αi（Ｋ）を決定する（ＳＴ４）。全設計変数の寄与率が等しくαi=K、性能劣化比率rがαiの積で表わされると仮定すると次のようになる。
【００５３】
［数９］
ｒ= α1×α2× ... ×α37=K37
K＝（ｒ）１／ｎ＝（０．３３）１／３７ ≒０．９７
【００５４】
よって、各設計変数の公差によるMTF許容劣化比率は９７％になる。
【００５５】
次に、設計変数の誤差感度βiを算出する（ＳＴ５）。３７個の設計変数が微小に変化することでMTFの値も微小に変化する。全設計変数について、設計変数微小変化に対するMTF変化量を算出し設計変数微小変化とMTF変化量の比率を計算し誤差感度とする。
【００５６】
［数１０］
βi = ΔΦ / ΔXi   i = 1,2, ... ,37
βi：誤差感度、ΔXi：設計変数微小変化量、ΔΦ：MTF変化率
【００５７】
たとえば、第1面間隔0.01mm変化によりMTFが９０％から８７．３％になった場合、ΔΦ=87.3/90=0.97、β = 0.97 / 0.01 = 97.00となる。
設計変数微小変化量は設計者が決めるが、たとえば想定される公差と同程度の量とする。また、正の変化と負の変化で誤差感度が高いほうの値をβiとして採用する。これはより厳しい条件で公差を決定するためである。
【００５８】
次に、誤差感度βiとMTF許容劣化寄与率Kから公差Tiを次式で算出する（ＳＴ６）。
【００５９】
［数１１］
Ti = K / βi            ( i = 1,2, ... ,37 )
【００６０】
たとえば、第1面間隔の誤差感度より第1面間隔公差はT = 0.97 / 97.00 = 0.01mmになる。
同様の計算を全ての設計変数について実施することで簡易公差を決定することができる。
【００６１】
次に、たとえば第1面間隔の加工精度が0.05mmであった場合、簡易公差が加工精度よりも小さい値になっているため公差設定を修正する。
【００６２】
まず、第1に第1面間隔公差を加工精度と同じ0.05ｍｍに設定する。
これはディスク１３に各設計変数に対する限界値設定データファイルが存在するため、簡易公差決定後に限界値を読み込み（ＳＴ７）、各設計変数についてファイル内の限界値と簡易公差の値を大小比較して、簡易公差値の方が小さい場合には、プログラム上で自動的に簡易公差の値を更新する（ＳＴ８〜ＳＴ１３）。
具体的には、ステップＳＴ８においてファイル内の限界値と簡易公差の値を大小比較して、簡易公差値の方が限界値以上の（簡易公差値の方が小さくない）場合には、ステップＳＴ９において変数番号ｉがデータ数ｎに達したか否かを判別し（ｉがｎより小さいか否かを判別し）、達していない（ｉがｎより小さい）場合には、ｉを＋１だけインクリメントして（ＳＴ１０）、ステップＳＴ８の処理に戻る。
ステップＳＴ８においてファイル内の限界値と簡易公差の値を大小比較して、簡易公差値の方が小さい場合には、限界公差個数をカウントし（ＳＴ１１）、公差を公差限界値として（ＳＴ１２）、寄与率αｉを更新してステップＳＴ９の処理に移行する。
【００６３】
次に、更新された限界値に更新された簡易公差の値に合わせて、その他の設計変数の公差を再設定する（ＳＴ１４〜ＳＴ１６）。
具体的には、ステップＳＴ９において、ｉがデータ数ｎに達した（ｉはｎより小さくない）と判別すると、ステップＳＴ１４において、性能劣化率ｒをr'に更新し、ステップＳＴ１５において、性能劣化寄与率を再計算してK'を求める。そして、ステップＳＴ１６において、簡易公差Ｔｉを計算する。
【００６４】
第1面間隔公差が0.01mmから0.05mmに更新されたことにより単一設計変数の性能変化寄与率αが変化するためα1 = α2 = … = α37の関係が成立しない。第1面間隔の寄与率αをα1とすると、次のようになる。
【００６５】
［数１２］
α1 = β1 × T1  =  97×0.05=4.85
【００６６】
［数１３］
r = α1×α2×…×α37  より
r / α1 = r' =α2×α3×…×α37 = K'36
r' = r / α1 = 0.33/4.85=0.068 =  K'36
K' = 0.928
【００６７】
このK'の値について、Ti = K' / βi  ( i=2,3,…,37)の式で公差を再設定する。
第1面間隔以外に精度限界を超える公差がある場合は同様の計算を行う。
【００６８】
なお、以上詳細に説明した光学系簡易公差決定方法は、上記手順に応じたプログラムとして形成し、ＣＰＵ等のコンピュータで実行するように構成することも可能である。
また、このようなプログラムは、半導体メモリ、磁気ディスク、光ディスク、フロッピー（登録商標）ディスク等の記録媒体、図１ではディスク１３に記録し、この記録媒体をセットしたコンピュータによりアクセスし上記プログラムを実行するように構成可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施形態に係る公差決定装置の一構成例を示すブロック図である。
【図２】実施例を説明するための計算フローチャートである。
【符号の説明】
【００７０】
１０・・・公差決定装置、１１・・・入力装置、１２・・・ディスク制御装置、１３・・・ディスク装置、１４・・・表示装置、１５・・・主記憶装置、１６・・・中央処理装置。
【図１】
2007304958.tif 000003
【図２】
2007304958.tif 000004