(57)【要約】【課題】液晶用配向膜の配向性を調べるための手段として試料全面に発光ポリマーを塗布し、加熱処理して下地である配向膜の配向状態を反映した発光ポリマー膜を形成し、この発光ポリマー膜に励起光を照射することで発生する蛍光を測定することで配向状態を測定する方法があるが、この方法では励起光のスポット径未満の微細領域について測定することができないという問題があった。そこで、励起光のスポット径未満の微細領域を測定するための方法を提供する。【解決手段】発光ポリマー膜を島状に形成し、この島を励起光のスポット径より大きい間隔を取って配置する。すると励起光が照射された場合に島状のスポット部分のみが蛍光を発することになる。この島の寸法を励起光のスポット径よりも小さく設定することで、励起光のスポット径未満の領域に対しても分析が可能となる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起光の照射を受け、前記励起光に対応して配向膜の配向状態を評価するための配向信号を出力する配向状態評価用試料であって、
被評価物となる前記配向膜の表面に、前記配向膜の配向状態を反映して配向する蛍光材料からなり、前記励起光の内周部に収まる形状を為す島状の発光ポリマー島を有することを特徴とする配向状態評価用試料。
【請求項２】
請求項１に記載の配向状態評価用試料の製造方法であって、前記発光ポリマー島は液状の発光ポリマー前駆体を用いてインクジェット法、印刷法またはふき取り法の何れかの手段により島状に前記配向膜の表面に塗布した後、硬化することで製造されることを特徴とする配向状態評価用試料の製造方法。
【請求項３】
配向膜の表面に設けられた前記配向膜の配向状態を反映して配向する蛍光材料からなる単独或いは複数の島状の発光ポリマー島を囲うように励起光を照射する工程と、
前記発光ポリマー島の配向状態を評価するための配向信号を検出する工程と、
前記配向信号を基に配向関数式から配向に関するオーダーパラメーターを求め、得られた配向に関するオーダーパラメーターによって前記配向膜の配向状態を評価する工程と、を含むことを特徴とする配向状態評価方法。
【請求項４】
前記配向膜が液晶表示パネル用の配向膜であることを特徴とする請求項３に記載の配向状態評価方法。
【請求項５】
前記配向膜がポリイミド又は酸化珪素の斜方蒸着膜であることを特徴とする請求項３又は４に記載の配向状態評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配向膜の配向状態を評価するための、配向状態評価用試料、配向状態評価用試料の製造方法、及び配向状態評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶分子に初期配向を与える液晶表示パネル用の配向膜など、分子配向に異方性がある薄膜の分子配向状態を評価する方法としては、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光）を用い、試料薄膜に入射した赤外線の反射光の偏光状態の入射方位依存性を測定することにより、薄膜の分子配向状態の決定を行うようにした、赤外分光エリプソメトリを用いた方法が提供されている（例えば、特許文献１参照）。このような赤外分光エリプソメトリを用いた方法によれば、シリコンやフッ化カルシウムなどの赤外線を透過する基板上に作製された膜だけでなく、ガラス基板上に作製された液晶表示パネルの配向膜についても測定が可能となる。
【０００３】
また、特願２００５−０９３６２５号に記載されているように、試料全面に発光ポリマーを塗布し、加熱処理して下地である配向膜の配向状態を反映した発光ポリマー膜を形成し、この発光ポリマー膜の配向状態を測定する方法が知られている。
配向膜の配向状態を反映した発光ポリマー膜の配向状態について偏光蛍光スペクトルを測定し、得られた測定結果を基に配向関数式から配向に関するオーダーパラメーターを求めることにより、被評価物となる配向膜の配向状態を発光ポリマー膜の配向状態から間接的に求め、評価することが可能になる。よって、配向膜を形成した下地基板の種類や配向膜の膜厚に依存することなく、配向膜の配向状態を良好に評価することが可能になる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−４５３４号公報
【非特許文献１】L.M.Herz and R.T.Phillips Physical Review B Vol.61,No.20 p.691-697、「Effects of interchain interactions,polarization anisotropy,and photo-oxidation on the ultrafast photoluminescence decay from a polyfluorene」
【非特許文献２】Akiharu  Kobayasi et.al Jpn.J.Phys.Vol.41(2002)pp.L1467-L1470) Part2,No.12B,15 December 2002 、「Photoluminescence Anisotropy of Ultraviolet-Light-Irradiated Organic Polysilane-Silica Hybrid Thin Films」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前者の赤外分光エリプソメトリを用いた方法には、その測定値が試料の膜厚に依存するため、試料についての自由度が制限されるといった課題がある。さらにこの方法では、エネルギー的に低い状態である赤外線を用いているため、感度が低くなってしまい、配向膜についての細かな配向状態までを明確にするのは困難であった。
【０００６】
また、後者の発光ポリマー膜の配向状態から配向に関するオーダーパラメーターを求める方法では、発光ポリマー膜を励起して蛍光を発生させるための入射光の径を例えば１ｃｍ程度までにしか絞り込むことができないため、単位画素の径となる例えば２０μｍ程度の分解能を持って分析することは困難であった。
【０００７】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、配向膜を形成した下地基板の種類や配向膜の膜厚に依存することなく、配向膜の配向状態を単位画素の径となる例えば２０μｍ程度の空間分解能を持って測定を可能とする配向状態評価用試料、配向状態評価用試料の製造方法、及び配向状態評価方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本出願において、「島状」とは単一の領域を示す閉曲線の内部を表す形状のことを言う。
＜構成１＞上記課題を解決するために、本発明の半導体基板の製造方法は、励起光の照射を受け、前記励起光に対応して配向膜の配向状態を評価するための配向信号を出力する配向状態評価用試料であって、被評価物となる前記配向膜の表面に、前記配向膜の配向状態を反映して配向する蛍光材料からなり、前記励起光の内周部に収まる形状を為す島状の発光ポリマー島を少なくとも一部の領域に有し且つ前記発光ポリマー島は前記励起光の内周部に単独或いは複数収められるよう配置されていることを特徴とする。
この構成によれば、配向状態評価用試料は、被評価物となる配向膜の上に、下地の配向状態を反映して配向する発光ポリマー部が励起光の内周部に収まるよう島状に配置されており、且つ島状の前記発光ポリマー部は励起光の内周部に単独或いは複数で収まるよう配置される。
単独で配置された場合には、高い空間分解能を持って測定可能となる。また、同様の状態を有する複数の発光ポリマー島を一つのブロックとして取り扱うことで光信号を大きく取ることができ、信号対雑音比に優れた測定を行うことができるため、励起光の照射径よりも高い空間分解能を持って配向膜の配向状態の評価を高いＳＮ比を持って可能とする配向状態評価用試料を提供することができる。
【０００９】
＜構成２＞また、上記した本発明の配向状態評価用試料の製造方法は、構成１に記載の配向状態評価用試料の製造方法であって、前記発光ポリマー島は液状の発光ポリマー前駆体を用いてインクジェット法、印刷法またはふき取り法の何れかの手段により島状に前記配向膜の表面に塗布した後、硬化することで製造されることを特徴とする。
この製造方法によれば、配向状態評価用試料を提供するための方法が具体的に示される。インクジェット法を用いることで液状の発光ポリマー前駆体を容易に島状に形成することができる。また、印刷法を用いて液状の発光ポリマー前駆体を印刷することで、再現性高く液状の発光ポリマー前駆体を島状に形成することができる。また、ふき取り法を用いる場合には、特別な装置を用いることなく発光ポリマー前駆体を島状に形成することができる。
【００１０】
＜構成３＞また、上記した本発明の配向状態評価方法は、構成１に記載の配向状態評価用試料を用いる配向状態評価方法であって、単独或いは複数の前記発光ポリマー島を囲うように前記励起光を照射する工程と、前記配向状態評価用試料の配向状態を評価するための配向信号を検出する工程と、前記配向信号を基に配向関数式から配向に関するオーダーパラメーターを求め、得られた配向に関するオーダーパラメーターによって前記配向膜の配向状態を評価する工程と、を含むことを特徴とする。
この評価方法によれば島状の発光ポリマー膜の配向状態について偏光蛍光スペクトルを測定し、得られた測定結果を基に配向関数式から配向に関するオーダーパラメーターを求めることにより、被評価物となる配向膜の配向状態を発光ポリマー膜の配向状態から間接的に求め、評価することがより高い空間分解能をもって可能となる。よって、励起光の内周径に制限されず、また配向膜を形成した下地基板の種類や配向膜の膜厚に依存することなく、配向膜の配向状態を良好に評価出来る配向状態評価方法を提供することが可能になる。
【００１１】
＜構成４＞また、上記した本発明の配向状態評価方法は、前記配向膜が液晶表示パネル用の配向膜であることを特徴とする。
この評価方法によれば、下地基板の種類に依存することなく、配向膜の配向状態を良好に評価出来るため、液晶表示パネル用の配向膜の評価に適している。
【００１２】
＜構成５＞また、上記した本発明の配向状態評価方法は、前記配向膜がポリイミド又は酸化珪素の斜方蒸着膜であることを特徴とする。
この評価方法によれば、配向膜の膜厚に依存することなく配向膜の配向状態を良好に評価出来るため、前記配向膜がポリイミド又は酸化珪素の斜方蒸着膜である場合の評価に適している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
【００１４】
（第１の実施形態）
本発明は、特に、液晶表示パネル用の配向膜について、その配向状態を評価するのに好適に用いられる。液晶表示パネル用の配向膜としては、ポリイミドからなるのが一般的であり、通常はガラス基板上にＩＴＯ等の透明電極を介して形成された後、ラビング処理がなされることにより、所望の配向状態に形成される。従って、本実施形態では、被評価物となる配向膜を、ガラス基板上に透明電極（ＩＴＯ）を介して形成され、さらにラビング処理がなされたポリイミド膜とする。ここで、ガラス基板上へのポリイミド膜の形成、及びそのラビング処理については、液晶表示パネルを形成する際の一般的な手法が用いられるものとする。なお、配向膜としてラビング処理がなされたポリイミド膜に代えて、酸化珪素の斜方蒸着膜を用いた場合でも同様に配向状態を評価することができる。
【００１５】
ここでまず、配向状態評価用試料の構成について説明する。
図３は、発光ポリマー島を配置した配向状態評価用試料の平面図である。ガラス基板２ａ上に被評価物としての配向膜を用意し、この配向膜上に、下地の配向状態を反映して配向する蛍光材料からなる発光ポリマー島２ｂを形成し、且つ励起光の照射領域内には、発光ポリマー島２ｂが例えば一つ収まるよう配置されている。このように発光ポリマー島２ｂを配置することで、局所的に蛍光分析を行うことが可能となる。
【００１６】
局所的に蛍光分析を行うには、例えば、孤立したドット状の欠陥がある場合には、ドット状の欠陥部分に重ねるように発光ポリマー島２ｂを配置し、参照用に用いるための正常なドット部分にも発光ポリマー島２ｂを配置した配向状態評価用試料２を配置し、配向性を正常なドット部分と比較する。このように比較することで正常なドット部分と欠陥部分との配向性の差が比較できる配向状態評価用試料２を得ることができる。
【００１７】
また、例えばすじ状の欠陥がある場合には、すじ状の欠陥部分に配置された発光ポリマー島２ｂの配向性と、参照用に用いるためのすじ状の欠陥がない正常な部分に配置された発光ポリマー島２ｂとの配向性とを比較することができる。このような場合、欠陥部の面積が大きくなるため、欠陥部上に形成される発光ポリマー島２ｂの面積を大きくとることができるため欠陥部と正常部との配向性の差との比較を、高いＳＮ比で検出しうる配向状態評価用試料２を得ることができる。
【００１８】
次に、図３に示された配向状態評価用試料２の製造方法について説明する。
ここでは、液晶表示パネルの大部分が均一に表示されていて、部分的に不良表示をしている液晶表示パネルを配向状態評価用試料２に加工する手順について説明する。
まず、液晶表示パネルを駆動して、表示不良があるアドレスを調べる。島状の欠陥や、すじ状の欠陥や、その他の表示不良があるアドレスと、参照用の正常表示が為されているアドレスとをここで確認する。
【００１９】
次に液晶表示パネルを分解して配向膜を露出させ、洗浄を行うことで液晶成分を除去した後、乾燥させる。
【００２０】
次に、発光ポリマー島２ｂを、島状の欠陥や、すじ状の欠陥や、その他の表示不良があるアドレスと、参照用の正常表示が為されているアドレス上に配置する。ここで、発光ポリマー島２ｂを配置する手順について詳細に説明する。
発光ポリマー島２ｂには、例えばポリ（９，９−ジオクチルフルオレニル−２，７−ジイル）［Poly（9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl）］（末端をdimethylphenylでキャップ処理したもの）が好適に用いられる。また、Poly（9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl）と同様にフルオレン骨格を含有するポリマーも適用することが可能である。なお、発光ポリマー島２ｂの材料としては、前記化合物に限定されることなく、下地の配向状態を反映して配向する蛍光・燐光材料からなるものであれば、種々のものを用いることができる。
発光ポリマー島２ｂの各アドレスへの配置手段としては、例えば以下の手順で行うことができる。
【００２１】
まず、上記した発光ポリマー島２ｂに用いられるポリマーを、溶媒としてのp-Xyleneや1,3,5-Trimethylbenzeneなど、ポリマーが可溶な溶媒に対し、例えば濃度が１重量％となるように調製して溶解し、発光ポリマー前駆体２ｃとする。
そして、発光ポリマー前駆体２ｃをインクジェット法や印刷法を用いて測定対象領域と揃えて島状に塗布する。或いは、スピンコート法や、スリット状のノズルを用いて塗布を行うスリット法を用いて略全面に発光ポリマー前駆体２ｃを塗布した後、不要な部分をふき取るふき取り法により発光ポリマー前駆体２ｃを島状に残しても良い。発光ポリマー前駆体２ｃを島状に残した状態での平面図を図４に示す。
【００２２】
このようにして発光ポリマー前駆体２ｃを島状に配置したら加熱処理により、配向状態の発光ポリマー島２ｂを形成する。加熱処理条件としては、材料のガラス転移温度（Tg）を超えており、且つ、加熱により材料が分解しない温度範囲内であれば、特に限定されることはないものの、例えば１８０℃で２時間程度行い、２〜３時間程度かけてゆっくりと室温まで冷却を行うものとする。このようにして加熱処理すると、発光ポリマー前駆体２ｃは、例えば非特許文献１に記載されているように、下地である配向膜の配向状態を良好に反映して配向した発光ポリマー島２ｂとなる。従って、この発光ポリマー島２ｂの配向状態を調べることにより、被評価物となる配向膜の局所的な配向状態を間接的に求めることができる。ここで、発光ポリマー前駆体２ｃを加熱処理により発光ポリマー島２ｂに変換する場合には平面的な構造は変わらないため、平面図上で同様のパターンを有する、図３に示す配向状態評価用試料２が形成される。
【００２３】
次に、配向状態の評価を行う方法について説明する。
上記したように発光ポリマー島２ｂを形成したら、蛍光分光計によってこの発光ポリマー島２ｂの偏光蛍光スペクトルを測定する。図１はこの測定に用いられる蛍光分光計の一例を示す図であり、図１中符号１は蛍光分光計、２は配向状態評価用試料である。配向状態評価用試料２は、試料を配置するための所定位置に配置される。なお、配向状態評価用試料は、図２に示すように、図示しない挟持体によって配向膜や透明電極が形成されたガラス基板２ａが立てられ、発光ポリマー島２ｂが形成された面に励起側の光Ｂが入射するように配置される。その際、配向膜の配向方向が鉛直方向に向くよう、すなわち、図２中矢印Ａで示す配向膜の配向方向が、地面に対して垂直となるように配向状態評価用試料２を立てて配置する。発光ポリマー島２ｂは、配向状態評価用試料２に照射される励起光スポット２ｄ中で単一の領域を照射するよう配置されており、例えば単位画素毎に配向状態を測定することができる。なお、同様の挙動を示す画素が複数存在する場合には、各画素に合わせてポリマー島２ｂを形成して同一の励起光スポット２ｄ内に配置して配向状態を測定しても良い。この場合、ポリマー島２ｂからの蛍光強度が大きくなるため、ＳＮ比に優れた測定を行うことができる。
【００２４】
このようにして配向状態評価用試料２を配置したら、図１に示す蛍光分光計１のキセノンランプ（１５０Ｗ）からなる光源Ｌより光を出射する。すると、この光源Ｌからの光は、楕円鏡Ｍ１及び凹面鏡Ｍ０によって励起側分光器３の入射スリットＳ１に焦点を結ぶ。入射スリットＳ１からの入射光は、回折格子Ｇ１によって分散され、出射スリットＳ２によって任意の単色光が選択される。ここで、単色光の一部は、石英製ビームスプリッタＢＳ及び凹面鏡Ｍ２と減光器ＤＧとにより、モニタ用光電子増倍管ＰＭ１に導かれる。一方、ビームスプリッタＢＳを透過した単色光は、平面鏡Ｍ３とトロイダル鏡Ｍ４によって励起側偏光子４に導かれ、さらにこの励起側偏光子４で偏光された後、配向状態評価用試料２に導かれてここに焦点を結ぶ。
【００２５】
すると、配向状態評価用試料２では、その発光ポリマー島２ｂに前記単色光が入射することにより、蛍光を発する。この発光ポリマー島２ｂからの蛍光は、蛍光側偏光子５で偏光された後、トロイダル鏡Ｍ５と平面鏡Ｍ６、平面鏡Ｍ７とによって蛍光側分光器６の入射スリットＳ３上に焦点を結ぶ。なお、蛍光側分光器６は、励起側分光器３と全く同様な構成になっている。そして、入射スリットＳ３からの蛍光は、回折格子Ｇ２によって分散され、出射スリットＳ４からの光は、凹面鏡Ｍ８によって光電子増倍管ＰＭ２に導かれる。
【００２６】
このような構成の蛍光分光計１において、入射側である励起（Ｅｘ）側の励起側偏光子４と、蛍光（Ｅｍ）側の蛍光側偏光子５とについては、それぞれ垂直偏光（０°）、平行偏光（９０°）にしたものを組み合わせて用いる。すなわち、以下の（１）〜（３）に示す３通りの条件で、各偏光子を組み合わせて測定を行う。
【００２７】
（１）励起側偏光子４；平行偏光（９０°）、蛍光側偏光子５；平行偏光（９０°）
（２）励起側偏光子４；平行偏光（９０°）、蛍光側偏光子５；垂直偏光（０°）
（３）励起側偏光子４；垂直偏光（０°）  、蛍光側偏光子５；垂直偏光（０°）
なお、（１）〜（３）の各条件での測定において、配向状態評価用試料２における配向膜の配向方向については、前述したように鉛直方向（地面に対して垂直となる方向）となる状態で行う。
そして、このような各条件のもとで偏光蛍光スペクトルを測定し、得られた測定結果を基に、例えば非特許文献２などに記載されている公知の配向関数式から、配向に関する２次のオーダーパラメーターｆ２０（前記文献中ではＳ２として記載されている）を求める。
【００２８】
すなわち、（１）の条件で測定して得られた結果をＩＶＶＶ、（２）の条件で測定して得られた結果をＩＶＶＨ、（３）の条件で測定して得られた結果をＩＶＨＨとする。そして、これらの測定結果を以下の式（１）、式（２）に代入し、配向に関する２次のオーダーパラメーターｆ２０を求める。
【００２９】
ｃｏｓ2θ＝（ＩＶＶＶ＋２ＩＶＶＨ）／｛（８／３）ＩＶＨＨ＋４ＩＶＶＨ＋ＩＶＶＶ｝…式（１）
ｆ２０＝（３ｃｏｓ2θ−１）／２…式（２）
ここで、前記の各偏光蛍光スペクトルの測定結果から得られるＩＶＶＶ、ＩＶＶＨ、ＩＶＨＨについては、各偏光蛍光スペクトルにおいて蛍光強度が最大となる波長での値（スペクトル強度）を用いる。
【００３０】
式（１）、式（２）から求められた配向に関する２次のオーダーパラメーターｆ２０は、測定対象である発光ポリマー島２ｂの配向の度合い（配向状態）を、−０．５≦ｆ２０≦１の範囲で表すことができ、これにより、配向の不良箇所や配向不良状態を表すことができる。すなわち、ｆ２０がゼロのときは発光ポリマー島２ｂを構成する分子の配向状態は完全ランダムであり、従ってこれの下地である配向膜の配向状態も完全ランダムであることを示す。また、ｆ２０が１のときは発光ポリマー島２ｂを構成する分子は完全に１軸配向しており、したがってこれの下地である配向膜も完全配向であることを示す。さらに、ｆ２０が−０．５のときは発光ポリマー島２ｂを構成する分子の長軸は配向軸に垂直な面内に分布している。
このようにして得られる配向に関する２次のオーダーパラメーターｆ２０により、被評価物である前記配向膜の局所的な配向状態を評価することができる。すなわち液晶表示パネル内での各画素部分について配向性の均一性を調べることができる。
【００３１】
（第２の実施形態）
第２の実施形態として、液晶表示パネルに染み状の欠陥が発生した場合の原因調査に対応させた例について説明する。
欠陥の発生状況としては、液晶表示パネルに染み状の欠陥が発生した。欠陥の発生原因を探るよう染み状の欠陥部分と正常な表示を行っている部分との配向性の差を調査した。
【００３２】
まず、液晶表示パネルを表示させ、染み状の欠陥が表示される部分を含む範囲にあるアドレスを把握した。また、同時に参照用の表示部分のアドレスを調べ、染み状の欠陥と略同一形状となるようアドレスを把握した。また、この際、正常部分での配向性の分散を調べるため、正常部のパターンを５箇所に設けた。
【００３３】
次に、液晶表示パネルを分解し、洗浄及び乾燥を行った後、上記した手順に沿って染み状のパターンに重ねて発光ポリマー島を形成した。そして、正常部についても同様なポリマー島を形成した。この実験ではポリマー島の形成にインクジェット法を用いているが、他の手法となる印刷法、或いはスピンコート法、スリット法によりポリマー液を塗布した後不要部分をふき取るふき取り法を用いても良い。なお、このパターン同士の干渉を避け、染み状のパターン及び正常部のパターン同士を独立して測定できるよう各パターンは励起光源のスポット径よりも離して位置されている。
【００３４】
次に、各発光ポリマー島について、蛍光分光計１によって偏光蛍光スペクトルを測定した。なお、各測定においては、それぞれ励起側偏光子４、蛍光側偏光子５を前記の（１）〜（３）の条件にして偏光蛍光スペクトルの測定を行った。正常部について得られた結果を図５に、染み状の欠陥部について得られた結果を図６に示す。なお、図５に示す測定結果は、５つのポリマー島についての代表値である。
【００３５】
図５、図６のグラフにおいて、横軸は波長であり、縦軸はスペクトル強度である。また、これらのグラフにおいて、（１）は前記（１）の条件で得られた測定結果を示し、（２）は前記（２）の条件で得られた測定結果を示し、（３）は前記（３）の条件で得られた測定結果を示す。
【００３６】
図５、図６においてそれぞれ得られた測定結果から全体の波長領域での最大強度を選択する。ここでは、正常部の代表値のデータである図５を基準とし、この測定結果から最大強度となる波長を選択する。そして、この波長での強度を（１）〜（３）ごとに求め、（１）についての強度をＩＶＶＶとし、（２）についての強度をＩＶＶＨとし、（３）についての強度をＩＶＨＨとする。
【００３７】
ここで図５においては（１）の条件での波長が約４６０ｎｍのときに最大強度となっているので、この４６０ｎｍの波長でのスペクトル強度を（１）〜（３）ごとにそれぞれ求め、ＩＶＶＶ、ＩＶＶＨ、ＩＶＨＨとする。同様に、正常部の他の４つのポリマー島のデータと、図６に示す染み状の欠陥部に対応するポリマー島においても同様に、スペクトル強度を（１）〜（３）ごとにそれぞれ求め、ＩＶＶＶ、ＩＶＶＨ、ＩＶＨＨとする。
【００３８】
そして、このようにして得られた各ラビング処理条件ごとのＩＶＶＶ、ＩＶＶＨ、ＩＶＨＨから、前記式（１）、（２）よりｆ２０を求めた。得られた結果を以下に示す。
【００３９】
・正常表示部（５点）；ｆ２０＝０．７２、０．６８、０．７６、０．６９、０．７２
・異常表示部；ｆ２０＝０．５８
【００４０】
得られた正常表示部のｆ２０の平均値は０．７１４であり、標準偏差は０．０２８である。対して異常表示部でのｆ２０の値は０．５８であり、統計的に有意な配向性の差が認められる。従って、異常表示領域ができた原因の少なくとも一つは、配向膜の配向性のむらであり、且つ配向が部分的に小さくなったことに起因していると推定することができる。
【００４１】
以上、説明した配向膜の配向状態評価方法によれば、下地である配向膜の配向状態を反映して配向した発光ポリマー膜の局所的な配向状態について、偏光蛍光スペクトルを測定できる。そして得られた偏光蛍光スペクトルを基に配向関数式から配向に関する２次のオーダーパラメーターｆ２０を求めるようにしているので、被評価物となる配向膜の局所的な配向状態を発光ポリマー膜の配向状態から間接的に求め、数値化してこれを評価することができる。
【００４２】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない限り種々の変更が可能である。例えば、前記実施形態では被評価物となる配向膜としてポリイミドを用いたが、このような有機配向膜に代えて、無機配向膜を被評価物としてもよい。
また、配向膜についても、液晶表示パネル用のものでなく、例えば延伸フィルムからなる配向膜や、繊維による配向をなす配向膜などを被評価物とし、これに本発明を適用することもできる。
【００４３】
また、第２の実施形態で染み状の欠陥部と正常部との形状を略同一とするよう配向状態評価用試料を形成したが、正常部の形状は染み状の欠陥部と必ず合わせる必要はない。また、正常部の測定点数を５点としたが、これも５点に限定する必要はなく、例えばｆ２０の正常部での標準偏差が十分小さい場合には、正常部のデータも１点にしても良い。また、慎重を期す場合には、正常部の測定点数を５点より多く用いても良い。
また、本実施形態では、単一の島が一つの領域に収まる例について説明したが、これは例えば同様の不良が近接して生じている場合などでは、複数の島を欠陥部として扱っても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に用いられる蛍光分光計の一例を示す模式図。
【図２】測定時の試料の配置状態を説明するための斜視図。
【図３】発光ポリマー島を配置した配向状態評価用試料の平面図。
【図４】発光ポリマー前駆体を島状に残した状態での平面図。
【図５】正常表示部代表点の偏光蛍光スペクトルの測定結果を示すグラフ。
【図６】異常表示部の偏光蛍光スペクトルの測定結果を示すグラフ。
【符号の説明】
【００４５】
１…蛍光分光計、２…配向状態評価用試料、２ａ…ガラス基板、２ｂ…発光ポリマー島、２ｃ…発光ポリマー前駆体、２ｄ…励起光スポット、３…励起側分光器、４…励起側偏光子、５…蛍光側偏光子、６…蛍光側分光器、Ｇ１…回折格子、Ｇ２…回折格子、ＰＭ１…モニタ用光電子増倍管、ＰＭ２…光電子増倍管、Ｓ１…入射スリット、Ｓ２…出射スリット、Ｓ３…入射スリット、Ｓ４…出射スリット、Ｍ０…凹面鏡、Ｍ１…楕円鏡、Ｍ２…凹面鏡、Ｍ３…平面鏡、Ｍ４…トロイダル鏡、Ｍ５…トロイダル鏡、Ｍ６…平面鏡、Ｍ７…平面鏡、Ｍ８…凹面鏡、Ｌ…光源、ＢＳ…ビームスプリッタ、ＤＧ…減光器。
【図１】
2007212269.tif 000003
【図２】
2007212269.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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