(57)【要約】      （修正有）【課題】金属層からなる、紗を用いない印刷用のメタルマスクで、印刷して得られる印刷材料からなるラインパターンにおいて、ラインパターンの端部から中央部にかけて線太になる傾向が見られず、所望のライン幅のラインパターンを形成できるメタルマスクを提供する。【解決手段】貫通孔からなる開口１１を設けた、金属層からなる印刷用のメタルマスク１０であって、ライン状の開口であるライン開口パターン１１Ａを有するもので、前記ライン開口パターン１１Ａは、その長手方向の各端部１１ａ、１１ｂにおける開口幅Ｗ１よりもその長手方向の中心１１ｃにおける開口幅Ｗ２が狭くなるようにして、前記長手方向の各端部１１ａ、１１ｂから前記長手方向の中心１１ｃに到るまで、漸次、開口幅を狭くしている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなる印刷用のメタルマスクであって、ライン状の開口であるライン開口パターンを有するもので、前記ライン開口パターンは、その長手方向の各端部における開口幅よりもその長手方向の中心における開口幅が狭くなるようにして、前記長手方向の各端部から前記長手方向の中心に到るまで、漸次、開口幅を狭くしていることを特徴とするメタルマスク。
【請求項２】
請求項１に記載のメタルマスクであって、前記ライン開口パターンは、前記長手方向の各端部から前記長手方向の中心に到るまで、その長手方向の各開口辺部が、漸次、開口内側に向かう直線をなすことを特徴とするメタルマスク。
【請求項３】
請求項１ないし２のいずれか１項に記載のメタルマスクにおいて、前記ライン開口パターンに対してその開口に境される両側を繋ぐブリッジを設けた構造の、ブリッジを配する開口パターンを、有するメタルマスクであって、前記ブリッジの一方側を、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの表面に揃え、且つ、前記ブリッジの他方側の全体あるいは一部を、メタルマスクの前記表面側でない裏面から凹ませて、前記ブリッジの両側の開口をつなぐ、裏面から凹んだ形状の窪みを、前記ブリッジの幅方向を跨ぐように、配しているものであることを特徴とするメタルマスク。
【請求項４】
請求項３に記載のメタルマスクであって、前記ブリッジ部の窪みは、ハーフエッチングによって加工されたものであることを特徴とするメタルマスク。
【請求項５】
前記請求項１ないし４のいずれか１項に記載のメタルマスクであって、その下面に被印刷物を離して設置し、その上面に印刷材料を載せて、スキージ下部で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）することによって、設けられた開口から印刷材料を通過させ、被印刷物上へ印刷材料からなるパターンを転写形成する印刷方式に用いられるものであることを特徴とするメタルマスク。
【請求項６】
メタルマスクによる印刷方法であって、請求項１ないし５のいずれかのメタルマスクを用いて印刷することを特徴とするメタルマスクによる印刷方法。
【請求項７】
請求項６に記載のメタルマスクによる印刷方法であって、メタルマスクの下面に被印刷物を設置し、該メタルマスクの上面に印刷材料を載せて、スキージ下部で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）することによって、メタルマスクに設けられた開口部に印刷材料を充填し、メタルマスクの被印刷物が接した箇所が、スキージの移動とともに被印刷物から離れることによって、印刷材料を被印刷物上へ転写させるものであることを特徴とするメタルマスクによる印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メタルマスクおよびメタルマスクを用いた印刷方法に関し、特に、イメージセンサ、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）、液晶表示材料等の電子部品等のエレクトロニクスの分野において用いられる、印刷材料からなるラインパターンを、幅精度良く、スキージ摺動により印刷できる印刷用のマタルマスクと、そのようなメタルマスクを用いた印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなる、紗を用いない印刷用のメタルマスク（以下これを、単に、メタルマスクと言う）で、ラインパターンを有する場合、メタルマスクの下面に被印刷物を設置し、該メタルマスクの上面に印刷材料を載せて、スキージ下部で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）して印刷を行うと、得られるラインは、ラインの端部から中央部にかけて線太になる傾向が見られる。
特に、比較的低粘度（せん断速度：１０［１／ｓ］のとき、粘度３０〜３００［Ｐａ・ｓ］）の印刷材料では、この傾向が多く見られる。
簡単には、図９（ａ）に示す直線状の開口１１１、１１５を有するメタルマスクを用いてスキージを摺動して（以下、スキージングしてとも言う）印刷した場合、図９（ｂ）に示すように、開口パターン１１５により形成される印刷材料１６０からなるラインパターン１６５はラインの端部から中央部にかけて線太になる傾向が見られる。
【０００３】
一方、印刷材料が粘度の高いクリーム半田の印刷では、ラインパターンを有するメタルマスクを用いて印刷を行った場合、得られるラインは、均一でなく、メタルマスクの開口部のライン中央に相当する領域にクリーム半田が集中して残留してしまうことが知られている。
例えば、特開平２００１−２１２９２８では、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｐａｃｋａｇｅ）等の表面実装型電子部品の回路基板への実装は、回路基板上のランドに予めクリーム半田を印刷塗布し、その上に電子部品を載せ、リフロー炉にて回路基板上の電子部品を一括的に半田付けすることにより行われるが、クリーム半田の印刷工程時に、スキージングにより開口内に充填されたクリーム半田の全てを回路基板上に供給することができずに、マスク開口の各端部にクリーム半田が残り、クリーム半田のかすれ等の印刷不良が発生する。
また、マスク開口内に残留したクリーム半田が原因で開口の目詰まりが生じ、以降、印刷される全ての回路基板にクリーム半田の印刷不良を発生させてしまう。
こういった不具合を解消するためにメタルマスクの開口の長手方向の各端部が、それぞれ開口の中心部よりも幅広に形成されてなることが知られている。
【特許文献１】特開２００１−２１２９２８で号公報（特許文献１）
【０００４】
一方、メタルマスクの開口について、その厚み方向にテーパを設ける方法が多く知られている。
その多くもクリーム半田印刷の抜け性を向上させる方法で、例えば、下記に記載のものが挙げられる。
【特許文献２】特開平５−５０７７６号公報（特許文献２）
【特許文献３】特許第３１２０１８９号（特許文献３）
【特許文献４】特許第３０１０３２９号（特許文献４）
【特許文献５】特開平１０−３０５６７０号公報（特許文献５）
【特許文献６】特開平１１−２２２６６４号公報（特許文献６）
【特許文献７】特開２００２−１８７３７４号公報（特許文献７）
【特許文献８】特開２００２−１９２８５０号公報（特許文献８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように、せん断速度１０［１／ｓ］のとき、粘度３０〜３００［Ｐａ・ｓ］の範囲である低粘度の印刷材料を用いて、貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなる、紗を用いない印刷用のメタルマスクでラインパターンを印刷する場合、得られるラインは、線の端部から中央部にかけて線太になる傾向が見られ、問題となっており、この対応が求められていた。
特に、イメージセンサ、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）、液晶表示材料等の  エレクトロ二クス分野においては、一層の微細化と高品質が求められる中、このような印刷を、ラインパターンの端部から中央部にかけて線太とならず、所望のライン幅のラインパターンを形成できる方法が求められていた。  本発明はこれに対応するもので、具体的には、金属層からなる、紗を用いない印刷用のメタルマスクで、印刷して得られる印刷材料からなるラインパターンにおいて、ラインパターンの端部から中央部にかけて線太になる傾向が見られず、所望のライン幅のラインパターンを形成できるメタルマスクを提供しようとするものである。
特に、せん断速度１０［１／ｓ］のとき、粘度３０〜３００［Ｐａ・ｓ］の範囲である低粘度の印刷材料を用いた場合に、ラインパターンの端部から中央部にかけて線太になる傾向が見られず、所望のライン幅のラインパターンを形成できるメタルマスクを提供しようとするものである。
同時に、そのようなメタルマスクを用いた印刷方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のメタルマスクは、貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなる印刷用のメタルマスクであって、ライン状の開口であるライン開口パターンを有するもので、前記ライン開口パターンは、その長手方向の各端部における開口幅よりもその長手方向の中心における開口幅が狭くなるようにして、前記長手方向の各端部から前記長手方向の中心に到るまで、漸次、開口幅を狭くしていることを特徴とすものである。
そして、上記のメタルマスクであって、前記ライン開口パターンは、前記長手方向の各端部から前記長手方向の中心に到るまで、その長手方向の各開口辺部が、漸次、開口内側に向かう直線をなすことを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかのメタルマスクにおいて、前記ライン開口パターンに対してその開口に境される両側を繋ぐブリッジを設けた構造の、ブリッジを配する開口パターンを、有するメタルマスクであって、前記ブリッジの一方側を、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの表面に揃え、且つ、前記ブリッジの他方側の全体あるいは一部を、メタルマスクの前記表面側でない裏面から凹ませて、前記ブリッジの両側の開口をつなぐ、裏面から凹んだ形状の窪みを、前記ブリッジの幅方向を跨ぐように、配しているものであることを特徴とするものであり、前記ブリッジ部の窪みは、ハーフエッチングによって加工されたものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのメタルマスクであって、その下面に被印刷物を離して設置し、その上面に印刷材料を載せて、スキージ下部で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）することによって、設けられた開口から印刷材料を通過させ、被印刷物上へ印刷材料からなるパターンを転写形成する印刷方式に用いられるものであることを特徴とするものである。
尚、ここで、「貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなる印刷用のメタルマスク」とは、紗を開口に用いない金属層のみからなるマスクを意味する
また、開口辺部とは、ライン状の開口の辺部である。
また、ブリッジ部の窪みとは、ブリッジ形成領域の窪みを意味する。
【０００７】
また、本発明のメタルマスクによる印刷方法は、メタルマスクによる印刷方法であって、請求項１ないし６のいずれかのメタルマスクを用いて印刷することを特徴とするものである。
そして、上記のメタルマスクによる印刷方法であって、メタルマスクの下面に被印刷物を設置し、該メタルマスクの上面に印刷材料を載せて、スキージ下部で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）することによって、メタルマスクに設けられた開口部に印刷材料を充填し、メタルマスクの被印刷物が接した箇所が、スキージの移動とともに被印刷物から離れることによって、印刷材料を被印刷物上へ転写させるものであることを特徴とするものである。
【０００８】
（作用）
本発明のメタルマスクは、このような構成にすることにより、金属層からなる、紗を用いない印刷用のメタルマスクで印刷して得られる印刷材料からなるラインパターンで、ラインパターンの端部から中央部にかけて線太になる傾向が見られず、所望のライン幅のラインパターンを形成できるメタルマスクの提供を可能としている。
詳しくは、ライン状の開口であるライン開口パターンを有するもので、前記ライン開口パターンは、その長手方向の各端部における開口幅よりもその長手方向の中心における開口幅が狭くなるようにして、前記長手方向の各端部から前記長手方向の中心に到るまで、漸次、開口幅を狭くしていることにより、これを達成している。
具体的には、前記ライン開口パターンは、前記長手方向の各端部から前記長手方向の中心に到るまで、その長手方向の各開口辺部が、漸次、開口内側に向かう直線をなす、請求項２の発明の形態とすることにより、比較的簡単に、これを達成できるものとしている。  そして、請求項１ないし２のいずれか１項に記載のメタルマスクにおいて、前記ライン開口パターンに対してその開口に境される両側を繋ぐブリッジを設けた構造の、ブリッジを配する開口パターンを、有する、請求項３の発明の形態とすることにより、ライン開口パターンの長手方向の各端部からその長手方向の中心に到るまで、漸次、開口の幅を狭くしているが、ブリッジを設けない場合に比べて、狭くする量を少なくして、安定的に、所望の線幅を得ることを可能としている。
また、ブリッジを設けることにより、設計の自由度を上げることができる。
尚、前記ブリッジの一方側を、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの表面に揃え、且つ、前記ブリッジの他方側の全体あるいは一部を、メタルマスクの前記表面側でない裏面から凹ませて、前記ブリッジの両側の開口をつなぐ、裏面から凹んだ形状の窪みを、前記ブリッジの幅方向を跨ぐように、配しているものであることにより、ブリッジ領域においても印刷材料の被印刷物への印刷を可能とし、ブリッジの両側の開口による印刷が、ブリッジ領域でも切れない。
また、前記ブリッジ部の窪みは、ハーフエッチングによって加工されたものである、請求項４の発明の形態である場合、窪みを精度良く形成でき、その作製の作業性を良いものとできる。
また、本発明のメタルマスクは、その下面に被印刷物を離して設置し、その上面に印刷材料を載せて、スキージ下部で被印刷物へ接しながらスキージを摺動（スキージング）することによって、設けられた開口から印刷材料を通過させ、被印刷物上へ印刷材料からなるパターンを転写形成する、周知の印刷方式に適用でき、汎用性の高いものである。
せん断速度１０［１／ｓ］のとき、粘度３０〜３００［Ｐａ・ｓ］の範囲である低粘度の印刷材料印刷用である場合には、特に、有効である。
【０００９】
本発明のメタルマスクによる印刷方法は、このような構成にすることにより、金属層からなる、紗を用いない印刷用のメタルマスクで印刷して得られる印刷材料からなるラインパターンで、ラインパターンの端部から中央部にかけて線太になる傾向が見られず、所望のライン幅のラインパターンを形成できる、メタルマスクによる印刷方法の提供を可能としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、上記のように、金属層からなる、紗を用いない印刷用のメタルマスクで印刷して得られるラインパターンで、ラインパターンの端部から中央部にかけて線太になる傾向が見られず、所望のライン幅のラインパターンを形成できるメタルマスクと、該メタルマスクを用いた印刷方法の提供を可能とした。
特に、これにより、せん断速度１０［１／ｓ］のとき、粘度３０〜３００［Ｐａ・ｓ］の範囲である低粘度の印刷材料を用いた場合に、印刷されたラインパターンにおいて、その中央部で線太りを発生することなく、ラインパターンの始点から終点まで均一なライン幅を得ることができるものとした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は本発明のメタルマスクの実施の形態の第１の例の使用状態を示した概略構成図で、図１（ｂ）は第１の例のメタルマスクの開口パターンを図１（ａ）におけるスキージ摺動側から見た図で、図１（ｃ）は図１（ｂ）のＡ１−Ａ２における断面図で、
図２（ａ）は本発明のメタルマスクの実施の形態の第２の例のメタルマスクの開口パターンをスキージ摺動側から見た図で、図２（ｂ）は図１（ａ）のＢ１−Ｂ２における断面図で、図３は図２（ａ）に示す第２の例のメタルマスクの開口パターンをスキージ摺動側とは反対側からみた図で、図４（ａ）は第１の例のメタルマスクの開口の形状を示した図で、図４（ｂ）は図４（ａ）に示す開口により形成される印刷材料からなるラインパターンを示した図で、図５（ａ）は第２の例のメタルマスクの開口の形状を示した図で、図５（ｂ）は図５（ａ）に示す開口により形成される印刷材料からなるラインパターンを示した図で、図６（ａ）〜図６（ｄ）は第１の例のメタルマスクの開口の形成方法の１例の工程断面図で、図７（ａ）〜図７（ｄ）は第１の例のメタルマスクの開口の形成方法の別の例の工程断面図で、図８（ａ１）〜図８（ｃ１）、図８（ａ２）〜図８（ｃ２）は、それぞれ、第２の例のメタルマスクにおけるブリッジ部、開口の形成工程を示した工程断面図である。
尚、図１（ｃ）、図２（ｂ）における断面は概略形状を示したもので、実際は図６あるいは図７におけるエッチング加工にて形成される、図６、図７に示す断面形状である。
また、図３における点線矢印は、印刷材料の流れ方向と向きを示している。
また、図８（ａ１）と図８（ａ２）、図８（ｂ１）と図８（ｂ２）、図８（ｃ１）と図８（ｃ２）とは、同じ処理工程における状態を示したものである。
また、ここでは、以下、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの一方の面を表面と言い、また、該表面と反対側のメタルマスクの他方の面を裏面と言う。
図１〜図８中、１０、１０ａはメタルマスク、１０Ａは加工用素材（金属層とも言う）、１１は開口（貫通孔とも言う）、１１Ａはライン開口パターン、１１ａ、１１ｂは端部、１１ｃは中心（中心部、センター部とも言う）、１２はブリッジ部、１２ａはブリッジ（薄肉部とも言う）、１２ｂは窪み（凹部とも言う）、１３はマスキング部（厚肉部とも言う）、１３Ｓ１はスキージ摺動側面（表面とも言う）、１３Ｓ２はスキージ摺動側と反対側の面（裏面とも言う）、２０は支持部（枠部とも言う）、２５は展張用の部材（ここでは紗である）、３１はスキージ、３２は支持部、４０は被印刷物、５０は印刷台、６０は印刷材料、６１、６２はラインパターン、８０はフォトレジスト、８５、８６、８６ａは（レジストの）開口、８７、８８、８８ａは（レジストの）開口である。
【００１２】
はじめに、本発明のメタルマスクの実施の形態の第１の例を、図１に基づいて説明する。
第１の例のメタルマスク１０は、紗を用いない、貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなるメタルマスクで、且つ、図１（ａ）に示すように、その下面に被印刷物４０を離して印刷台５０上に設置し、その上面に印刷材料６０を載せて、スキージ３１下部で被印刷物へ接しながら、スキージ３１下部以外では被印刷物と離しながら、スキージ３１を摺動（スキージング）することによって、設けられた開口から印刷材料を通過させ、被印刷物上へ印刷材料からなるパターンを転写形成する印刷に用いられる、印刷用のメタルマスクである。
尚、ここでは、メタルマスク１０は、図１（ａ）に示すように、その全外周を紗からなる展張用の部材２５を介して均一に張った状態で枠部２０に固定している。
そして、特に、ライン状の開口であるライン開口パターン１１Ａを有するもので、前記ライン開口パターン１１Ａは、その開口１１の長手方向の各端部１１ａ，１１ｂにおける開口幅Ｗ１よりもその開口の長手方向の中心１１ｃにおける開口幅Ｗ２が狭くなるようにして、前記開口１１の長手方向の各端部１１ａ、１１ｂから前記開口の長手方向の中心１１ｃに到るまで、漸次、開口幅を狭くしているものであり、且つ、ライン開口パターン１１Ａは、開口１１の長手方向の各端部１１ａ，１１ｂから開口１１の長手方向の中心１１ｃに到るまで、その開口の長手方向の各辺部が、漸次、開口内側に向かう直線をなしている。
第１の例の印刷用のマスクを用いた場合、スキージの摺動により、被印刷物４０へ印刷材料６０からなるラインパターンが印刷形成される。
図４（ａ）（図１（ｂ）と同じ）に示す各開口パターン１１Ａに対応して、図４（ｂ）に示すように、印刷材料からなる各ラインパターン６１が印刷形成される。
印刷形成される各ラインパターン６１は、ラインパターンの端部から中央部にかけて線太になる傾向が見られず、図１（ｂ）に示す端部１１ａ、１１ｂにおける開口１１の幅Ｗ１と中心１１ｃにおける開口１１の幅Ｗ２とを適当に選ぶことにより、所望のライン幅で形成される。
【００１３】
第１の例のメタルマスクは、１層からなる金属層をフォトリソ法を用いたエッチング加工にて、形成しており、図１（ｂ）の開口１１のＡ１−Ａ２断面は、図１（ｃ）、のようになっている。
金属層として、ここでは、厚さ０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度のステンレス材（ＳＵＳ３０４）が、一般に用いられるが、他にはアルミニウムやニッケル等も用いられる。
【００１４】
第１の例のメタルマスクの作製は、フォトリソ法を用いたエッチング加工、レーザ加工、エレクトロフォーミング法等により作製することができるが、これらに限定はされない。
フォトリソ法を用いたエッチング加工としては、金属層の片面からのみエッチング加工を行い貫通孔からなる開口を形成する片面エッチング法や、金属層の両面からエッチング加工を行う貫通孔からなる開口を形成する両面エッチング法がある。
片面エッチング法による第１の例のメタルマスクの作製の１例を、図６に基づいて、簡単に、説明しておく。
はじめに、ステンレス材（ＳＵＳ３０４）の１層の金属層からなる加工用素材１０Ａの両面に耐エッチング性のフォトレジストを塗布した後、所定マスクを用いて所定の選択露光を行い、現像して、メタルマスク１０の開口１１形成領域に、一方側のフォトレジストのみ開口して、他方側は開口せずにフォトレジスト８０を形成する。（図６（ａ））
フォトレジスト８０としては、所定の解像性があり処理性の良いものが好ましいが、特に限定はされない。
両面に塗布あるいはドライフィルムレジストにて形成する。
次いで、フォトレジスト８０を耐エッチング層として、塩化第ニ鉄溶液をエッチング液として、スプレーにて一方側または両側から、所定の条件（スプレー圧等）にて吹きつけ、フォトレジストの開口８５から露出した部分の加工用素材１０Ａをエッチングして、貫通させて、所望の貫通孔からなる開口１１を形成してエッチングを止める。（図６（ｂ）〜図６（ｃ））
次いで、フォトレジスト８０を所定の剥離液で除去し、洗浄処理等を行い、第１の例のメタルマスクを得る。（図６（ｄ））
次に、両面エッチング法による第１の例のメタルマスクの作製の１例を、図７に基づいて、簡単に、説明しておく。
はじめに、ステンレス材（ＳＵＳ３０４）の１層の金属層からなる加工用素材１０Ａの両面に耐エッチング性のフォトレジストを塗布した後、所定マスクを用いて所定の選択露光を行い、現像して、メタルマスク１０の開口１１形成領域の両側のフォトレジストを開口して、フォトレジスト８０を形成する。（図７（ａ））
次いで、フォトレジスト８０を耐エッチング層として、塩化第ニ鉄溶液をエッチング液として、スプレーにて両側から、所定の条件（スプレー圧等）にて吹きつけ、フォトレジストの開口８６、８６ａから露出した部分の加工用素材１０Ａをエッチングして、貫通させて、所望の貫通孔からなる開口１１を形成してエッチングを止める。（図７（ｂ）〜図７（ｃ））
次いで、フォトレジスト８０を所定の剥離液で除去し、洗浄処理等を行い、第１の例のメタルマスクを得る。（図７（ｄ））
図６に示す片面エッチング法、図７に示す両面エッチング法により形成される貫通孔からなる開口１１の断面形状は若干異なるが、加工用素材１０Ａが０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度の薄い厚さの場合には、開口の最小幅と最大幅との差は小さく形成することができ、どちらの方法も同様に適用できる。
ここでは、開口の最小幅と最大幅との差は小さいが、開口の幅と言った場合はその最小幅を意味する。
レーザ加工は、例えば、ＹＡＧレーザを用いた汎用のレーザ加工装置にて、所定の条件にて、加工用素材１０Ａの貫通孔からなる開口１１形成領域に照射して貫通させる。
エレクトロフォーミング法による作製は、一般的で、ここでは、省く。
【００１５】
次に、本発明のメタルマスクの実施の形態の第２の例を、図２に基づいて説明する。
第２の例のメタルマスク１０ａは、図２（ａ）に示すように、図１に示す第１の例メタルマスクにおいて、そのライン開口パターン１１Ａに対して、その開口１１の長手方向の中心１１ｃにおいて開口１１に境される両側を繋ぐブリッジ１２ａを設けた構造の、ブリッジを配する開口パターンを、有するメタルマスクである。
そして、ブリッジ１２ａのＢ１−Ｂ２断面を図２（ｂ）に示すように、ブリッジ１２ａの一方側を、印刷時にスキージを摺動する側のメタルマスクの表面１３Ｓ１に揃え、且つ、ブリッジ１２ａの他方側の全体を、メタルマスクの前記表面側でない裏面１３Ｓ２から凹ませて、前記ブリッジ１２ａの両側の開口１１をつなぐ、裏面１３Ｓ２から凹んだ形状の窪み１２ｂを、前記ブリッジ１２ａの幅方向を跨ぐように、配しているものである。
第２の例のメタルマスク１０ａも、第１の例のメタルマスクと同様、紗を用いない、貫通孔からなる開口を設けた、金属層からなるメタルマスクで、且つ、図１（ａ）に示す第１の例のメタルマスク１０の場合と同様に、その下面に被印刷物４０を離して印刷台５０上に設置し、その上面に印刷材料６０を載せて、スキージ３１下部で被印刷物へ接しながら、スキージ３１下部以外では被印刷物と離しながら、スキージ３１を摺動（スキージング）することによって、設けられた開口から印刷材料を通過させ、被印刷物上へ印刷材料からなるパターンを転写形成する印刷に用いられる、印刷用のメタルマスクである。  勿論、ここでも、メタルマスク１０ａは、図１（ａ）に示す第１の例のメタルマスク１０の場合と同様に、その全外周を紗からなる展張用の部材２５を介して均一に張った状態で枠部２０に固定している。
第２の例では、窪み１２ｃの開口１１の幅方向の幅Ｗ３（図２（ｂ）参照）は、開口１１の幅にして設けられているが、これに限定はされない。
窪み１２ｂの深さＨ１（図２（ｂ）参照）は、印刷条件（印刷形成する材料、印刷厚等）、ブリッジの強度、幅Ｗ３、ブリッジの長さ（図１（ｂ）に示す中心１１ｃにおける開口の幅Ｗ２）等と関連して適宜決める。
このような窪み１２ｂをブリッジ１２ａの表面１３Ｓ１とは反対側の裏面１３Ｓ２に配していることにより、印刷する際には、図３に示すように、該窪み１２ｂを通じて印刷材料が移動でき、結果として、図２（ａ）（図５（ａ）と同じ）に示す第２の例のメタルマスクを用いた場合、スキージの摺動により、図５（ｂ）に示すように、印刷材料からなるラインパターン６２を印刷形成することを可能としている。
尚、図３は、図２（ａ）に示す第２の例のメタルマスクの開口パターンをスキージ摺動側とは反対側からみた図である。
【００１６】
図２に示す第２の例のメタルマスク１０ａは、例えば、フォトリソ法を用いてエッチング加工して作製される。
以下、簡単に、その作製方法の１例を、図８（ａ１）〜図８（ｃ１）および図８（ａ２）〜図８（ｃ２）に基づいて、簡単に、説明する。
尚、先にも述べた通り、図８（ａ１）〜図８（ｃ１）、図８（ａ２）〜図８（ｃ２）は、それぞれ、ブリッジ部１２、開口１１の形成工程を示した工程断面図で、図８（ａ１）と図８（ａ２）、図８（ｂ１）と図８（ｂ２）、図８（ｃ１）と図８（ｃ２）とは、同じ処理工程における状態を示したものである。
まず、ステンレス材（ＳＵＳ３０４）の１層の金属層からなる加工用素材１０Ａの両面に、耐エッチング性のフォトレジスト８０を形成し、所定の露光パターンを用いて露光、現像を行い、所望の開口８５を形成する。（図８（ａ１）、図８（ａ２））
ここでも、フォトレジスト８０としては、所定の解像性があり処理性の良いものが好ましいが、特に限定はされない。
両面に塗布あるいはドライフィルムレジストにて形成する。
図８（ａ２）に示すように、開口（図２（ａ）の１１に相当）形成箇所は、加工用素材１０Ａの両側に開口形成のためにフォトレジストの開口８８、８８ａを設け、また、図８（ａ１）に示すように、ブリッジ部（図２（ａ）の１２）形成箇所は、加工用素材１０Ａの窪み（図２（ｂ）の１２ｂに相当）形成箇所は、窪み形成側に窪み形成用のフォトレジストの開口８７を設ける。
次いで、フォトレジスト８０を耐エッチング層として、その開口８７、８８、８８ａから露出した部分の子項用素材１０Ａをエッチング加工し、それぞれ、ブリッジ部１２（図８（ｂ１））、開口（貫通孔）１１（図８（ｂ２））を形成する。
ここでは、両面から同時に塩化第２鉄溶液をスプレーにて、それぞれ、所定の条件（スプレー圧等）にて吹きつけてエッチング加工を行うが、片面づつエッチング加工を行う方法で良い。
次いで、フォトレジスト８０を除去して洗浄処理等を行い、ブリッジ部１２（図８（ｃ１））、開口１１（図８（ｃ２））を形成した、図２に示すメタルマスク１０ａを得る。  尚、ブリッジ部１２は、片側のみがエッチングされた形状で、このように片側のみをエッチング加工して残部（ブリッジ１２ａに相当）を薄肉にして形成する加工方法を、ここでは、ハーフエッチングによる加工と言う。
このようにして、本例の図２に示す第２の例のメタルマスク１０ａは作製される。
【００１７】
＜印刷例＞
更に、図１に示す第１の例のメタルマスク１０を用いて、印刷材料からなるラインパターンを印刷形成した例を挙げる。
メタルマスク１０として、０．２ｍｍ厚のステンレス材（ＳＵＳ３０４）からなる加工用素材を、図６に示すエッチング加工方法（片面エッチング法）にて作製し、開口１１の両端部１１ａ、１１ｂの幅Ｗ１を２００μｍ、中心１１ｃの幅Ｗ２を１２０μｍとし（図１（ｂ）参照）、開口１１の長手方向長さを６ｍｍとして作製した。
そして、作製されたメタルマスク１０を用い、図１（ａ）に示すように、その下面に石英ガラスからなる被印刷物４０を離して設置し、その上面に印刷材料６０を載せて、スキージ３１下部で被印刷物へ接しながらスキージ３１を摺動（スキージング）することによって、設けられた開口から印刷材料を通過させ、被印刷物上へ印刷材料からなるパターンを転写形成した。
印刷材料６０として、せん断速度１０［１／ｓ］のとき、粘度５０［Ｐａ・ｓ］であるエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂からなる接着層を用いたが、ここでは印刷材料６０を作業環境の温度２５℃に合わせ、温度２５℃として印刷を行った。
結果、印刷材料６０からなるラインパターン（図４（ｂ）の６１に相当）が、長さ方向全体にわたり幅２００μｍ±２０μｍで形成された。
＜比較例＞
比較として、全長６ｍｍにわたり幅２００μｍの開口パターン（図９（ａ）の１１５に相当）を有するメタルマスク（図９（ａ）の１１０に相当）を、同様に作製し、作製されたメタルマスクを用いて、同じ印刷条件にて、印刷を行ったが、
結果、印刷形成された印刷材料６０からなるラインパターン（図８（ｂ）の１６５に相当）は、その長手方向の中心では、４００μｍの線太りが発生していた。
【００１８】
本発明は、上記第１の例のメタルマスク１０、第１の例のメタルマスク１０ａに限定されるものではない。
例えば、２層以上の金属層を積層した金属層を用いる形態も挙げられる。
開口パターンの形状も上記に限定されるものではない。
また、第２の例のメタルマスク１０ａは、金属層を両面からエッチングすることにより作製しているが、レーザにより、金属層に開口１１を形成した後に、片面からハーフエッチングして窪み（図１（ｄ）の１２ｂに相当）を形成して作製しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１（ａ）は本発明のメタルマスクの実施の形態の第１の例の使用状態を示した概略構成図で、図１（ｂ）は第１の例のメタルマスクの開口パターンを図１（ａ）におけるスキージ摺動側から見た図で、図１（ｃ）は図１（ｂ）のＡ１−Ａ２における断面図でである。
【図２】図２（ａ）は本発明のメタルマスクの実施の形態の第２の例のメタルマスクの開口パターンをスキージ摺動側から見た図で、図２（ｂ）は図１（ａ）のＢ１−Ｂ２における断面図である。
【図３】図２（ａ）に示す第２の例のメタルマスクの開口パターンをスキージ摺動側とは反対側からみた図である。
【図４】図４（ａ）は第１の例のメタルマスクの開口の形状を示した図で、図４（ｂ）は図４（ａ）に示す開口により形成される印刷材料からなるラインパターンを示した図である。
【図５】図５（ａ）は第２の例のメタルマスクの開口の形状を示した図で、図５（ｂ）は図５（ａ）に示す開口により形成される印刷材料からなるラインパターンを示した図である。
【図６】図６（ａ）〜図６（ｄ）は第１の例のメタルマスクの開口の形成方法の１例の工程断面図である。
【図７】図７（ａ）〜図７（ｄ）は第１の例のメタルマスクの開口の形成方法の別の例の工程断面図である。
【図８】図８（ａ１）〜図８（ｃ１）、図８（ａ２）〜図８（ｃ２）は、それぞれ、第２の例のメタルマスクにおけるブリッジ部、開口の形成工程を示した工程断面図である。
【図９】従来のメタルマスクによる印刷形成されるラインパターンの線太りを説明するための図である。
【符号の説明】
【００２０】
１０、１０ａ        メタルマスク
１０Ａ              加工用素材（金属層とも言う）
１１                開口（貫通孔とも言う）
１１Ａ              ライン開口パターン
１１ａ、１１ｂ      端部
１１ｃ              中心（中心部、センター部とも言う）
１２                ブリッジ部
１２ａ              ブリッジ（薄肉部とも言う）
１２ｂ              窪み（凹部とも言う）
１３                マスキング部（厚肉部とも言う）
１３Ｓ１            スキージ摺動側面（表面とも言う）
１３Ｓ２            スキージ摺動側と反対側の面（裏面とも言う）
２０                支持部（枠部とも言う）
２５                展張用の部材（ここでは紗である）
３１                スキージ
３２                支持部
４０                被印刷物
５０                印刷台
６０                印刷材料
６１、６２          ラインパターン
８０                フォトレジスト
８５、８６、８６ａ  （レジストの）開口
８７、８８、８８ａ  （レジストの）開口
１１０              メタルマスク
１１１              開口
１１５              ライン開口パターン（単に開口パターンとも言う）
１４０              被印刷物
１６０              印刷材料
１６５              ラインパターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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