(57)【要約】【課題】従来の圧電振動子では、実装基板上に支持した際に、重心が基部またはその近傍に位置し、支持腕部の幅を広くしなければならないという問題があった。【解決手段】本発明の圧電振動子１は、振動腕部２、３と、基部４と、サイド基部５、６とから構成されている。振動腕部２、３は、先端部及びその近傍領域に幅広く形成された領域を有している。この構造により、サイド基部５、６に形成された端子電極を介して実装基板上に圧電振動子１を支持すると、圧電振動子１の重心が振動腕部２、３の中央部近傍へと位置する。そして、圧電振動子１が安定状態で支持されることで、サイド基部５、６での機械的強度の必要性が低減し、サイド基部５、６の幅を狭くすることができる。その結果、圧電振動子１が小型化し、パッケージサイズの小型化が実現できる。【選択図】  図１
2007013910.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈曲モードで振動し、上下面及び側面を有する一対の振動腕部と、
前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部と、
前記基部と一体に形成され、前記振動腕部の側面に沿って延在する一対のサイド基部とを有し、
前記振動腕部は前記一端側から一定幅で延在し、前記振動腕部の他端側近傍に前記一定幅よりも広い幅となる段差部を有していることを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
屈曲モードで振動し、上下面及び側面を有する一対の振動腕部と、
前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部と、
前記基部と一体に形成され、前記振動腕部の側面に沿って延在する一対のサイド基部とを有し、
前記サイド基部の幅は、前記振動腕部の幅よりも狭いことを特徴とする圧電振動子。
【請求項３】
屈曲モードで振動し、上下面及び側面を有する一対の振動腕部と、
前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部と、
前記基部と一体に形成され、前記振動腕部の側面に沿って延在する一対のサイド基部とを有し、
前記基部と前記サイド基部との間には、前記振動腕部と前記サイド基部との第１の隙間よりも狭い第２の隙間が、前記第１の隙間から連続して形成されていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項４】
前記振動腕部、前記基部及び前記サイド基部は水晶片をエッチング加工することで一体に形成されており、前記第２の隙間は、貫通エッチングできる最小幅であることを特徴とする請求項３に記載の圧電振動子。
【請求項５】
屈曲モードで振動し、上下面及び側面を有する一対の振動腕部と、
前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部と、
前記基部と一体に形成され、前記振動腕部の側面に沿って延在する一対のサイド基部とを有し、
前記振動腕部の上下面には一対の溝が形成されており、前記溝の内壁を覆うように電極が形成されていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項６】
屈曲モードで振動し、上下面及び側面を有する一対の振動腕部と、
前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部と、
前記基部と一体に形成され、前記振動腕部の側面に沿って延在する一対のサイド基部とを有し、
前記振動腕部の延在方向における前記基部の長さは、２５０〜３５０μｍであることを特徴とする圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器に組み込まれる小型化した圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の屈曲振動モードを備えた圧電振動子は、水晶片を加工して形成されている。そして、圧電振動子は、マウント電極が形成された実装基板上に平面実装されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
図５に示す如く、圧電振動子３１は、一対の振動腕部３２と、振動腕部３２を繋ぐ基部３３と、基部３３から所定方向に延びる支持腕部３４とで一体に形成されている。振動腕部３２は、厚みを５０〜２００（μｍ）有し、振動周波数に応じて長さ及び幅が設定されている。例えば、振動周波数を３２．７６８（ＫＨｚ）で設計した場合には、振動腕部３２の幅Ｗ７が１００（μｍ）となり、長さＬ４が１６５０（μｍ）となる。尚、振動腕部３２の幅Ｗ７及び長さＬ４は、振動周波数に応じて設計変更される。
【０００４】
支持腕部３４は、基部３３の左右方向に突出したＬ字状の屈曲部３５から振動腕部３２の外側面に沿って平行に形成されている。支持腕部３４のサイズは、長さが振動腕部３２の略半分となり、幅が振動腕部３２と同じかそれ以上となる。そして、支持腕部３４の先端部には端子電極３６が形成され、端子電極３６が実装基板（図示せず）上のマウント電極（図示せず）と導電性接着剤により固着されている。
【０００５】
従来の屈曲振動モードを備えた圧電振動子は、振動腕と基部とを備えて構成されている。振動腕の上下面には溝が形成され、溝の側面部を利用して電極が形成されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００６】
図６（Ａ）に示す如く、圧電振動子は水晶振動子４１であり、水晶振動子４１は、一対の振動腕部４２と基部４３とから成り、振動腕部４２の一端部は基部４３に接続されている。振動腕部４２は上面、下面及び側面を有し、上下面には中立線４４を挟むように溝４５が形成されている。そして、振動腕部４２の幅Ｗ９と溝４５の幅Ｗ１０との関係（Ｗ１０／Ｗ９）が、０．３５〜０．９５の範囲内になるように、溝４５の幅Ｗ１０が設計されている。また、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＣ−Ｃ‘線方向の断面図を示している。図示したように、振動腕部４２の厚みＴ１と溝４５の厚みＴ２との関係（Ｔ２／Ｔ１）が、０．０１〜０．７９の範囲内になるように、溝４５の厚みＴ２が設計されている。溝４５には、電極４６、４７が形成されている。この構造により、電気機械変換効率が向上し、等価直列抵抗Ｒが小さく、品質係数Ｑ値が高く、更に、容量比の小さい水晶振動子が構成されている。
【特許文献１】特開２００４−３５７１７８号公報（第４−５頁、第１−２図）
【特許文献２】特開２００５−３９７６７号公報（第５−８頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したように、圧電振動子は、圧電振動子の端子電極と実装基板上のマウント電極との固着により、実装基板上に支持されている。実装基板上に支持された圧電振動子は、パッケージ内へと収納される。そして、近年における携帯電話機等の電子機器の小型化に伴い、圧電振動子が収納されたパッケージ自体が小型化し、圧電振動子自体の小型化も求められている。
【０００８】
圧電振動子３１は、支持腕部３４の先端部に形成された端子電極３６を介して実装基板上に支持されている。そして、振動腕部３２の幅Ｗ７は一定であり、振動腕部３２の一端側が基部３３と一体に形成されている。この構造により、実装基板上に支持された圧電振動子の重心は、基部３３あるいは基部３３近傍に位置していた。そのため、実装基板上に圧電振動子３１を安定状態で支持し、圧電振動子３１が屈曲モードの振動等の機械的強度に耐えうるためには、支持腕部３４の幅Ｗ８を広げる必要がある。つまり、支持腕部３４の幅Ｗ８を広げることで、圧電振動子３１の幅方向における小型化が実現し難く、パッケージ自体の小型化も図り難いという問題がある。
【０００９】
また、圧電振動子３１では、支持腕部３４は、振動腕部３２よりもＬ５だけ基部３３側へと延在している。そして、振動腕部３２と支持腕部３４との離間幅は、基部３３と支持腕部３４との離間幅と同等となるように形成されている。ここで、振動腕部３２を支持する基部３３では、基部３３を介して支持腕部３４への振動漏れを防ぐためには一定の領域を確保する必要がある。そのため、振動腕部３２と支持腕部３４との離間幅を広げると、圧電振動子３１の幅方向における小型化が実現し難く、パッケージ自体の小型化も図り難いという問題がある。一方、基部３３の幅を狭くすると、振動漏れが発生する。また、基部３３における機械的強度が低下し、基部３３における支持強度が得られないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した各事情に鑑みて成されたものであり、本発明の圧電振動子では、屈曲モードで振動し、上下面及び側面を有する一対の振動腕部と、前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部と、前記基部と一体に形成され、前記振動腕部の側面に沿って延在する一対のサイド基部とを有し、前記振動腕部は前記一端側から一定幅で延在し、前記振動腕部の他端側近傍に前記一定幅よりも広い幅となる段差部を有していることを特徴とする。従って、本発明では、振動腕部の他端部側の幅が広くなるように、振動腕部が形成されている。この構造により、圧電振動子が実装基板上に支持された際、圧電振動子の重心が振動腕部の中央部近傍に位置し、圧電振動子は安定状態で支持される。
【００１１】
また、本発明の圧電振動子では、屈曲モードで振動し、上下面及び側面を有する一対の振動腕部と、前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部と、前記基部と一体に形成され、前記振動腕部の側面に沿って延在する一対のサイド基部とを有し、前記サイド基部の幅は、前記振動腕部の幅よりも狭いことを特徴とする。従って、本発明では、圧電振動子の重心が振動腕部の中央部近傍に位置することで、サイド基部への機械的強度の負担を低減し、サイド基部の幅を狭めることができる。
【００１２】
また、本発明の圧電振動子では、屈曲モードで振動し、上下面及び側面を有する一対の振動腕部と、前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部と、前記基部と一体に形成され、前記振動腕部の側面に沿って延在する一対のサイド基部とを有し、前記基部と前記サイド基部との間には、前記振動腕部と前記サイド基部との第１の隙間よりも狭い第２の隙間が、前記第１の隙間から連続して形成されていることを特徴とする。従って、本発明では、振動腕部とサイド基部との第１の隙間を広げることで、振動腕部の幅が所望の幅に加工され易く、品質係数Ｑ値の高い圧電振動子が実現できる。
【００１３】
また、本発明の圧電振動子では、前記振動腕部、前記基部及び前記サイド基部は水晶片をエッチング加工することで一体に形成されており、前記第２の隙間は、貫通エッチングできる最小幅であることを特徴とする。従って、本発明では、圧電振動子の幅方向における小型化を実現し、基部の領域を広げることで、振動漏れを防ぐことができる。
【００１４】
また、本発明の圧電振動子では、屈曲モードで振動し、上下面及び側面を有する一対の振動腕部と、前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部と、前記基部と一体に形成され、前記振動腕部の側面に沿って延在する一対のサイド基部とを有し、前記振動腕部の上下面には一対の溝が形成されており、前記溝の内壁を覆うように電極が形成されていることを特徴とする。従って、本発明では、圧電振動子の小型化により振動腕部の幅が狭まった場合でも、効率的に電界を発生させることができる。
【００１５】
また、本発明の圧電振動子では、屈曲モードで振動し、上下面及び側面を有する一対の振動腕部と、前記振動腕部の一端側と一体に形成されている基部と、前記基部と一体に形成され、前記振動腕部の側面に沿って延在する一対のサイド基部とを有し、前記振動腕部の延在方向における前記基部の長さは、２５０〜３５０μｍであることを特徴とする。従って、本発明では、所望の領域を有する基部を形成することで、基部からサイド基部への振動漏れを低減し、サイド基部の幅を狭くすることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、振動腕部は、少なくとも２つの幅を有するように形成されている。振動腕部の一端側は基部と一体に形成され、他端側には幅広く形成されている領域がある。この構造により、実装基板上に支持された圧電振動子の重心が中心部へと位置し、圧電振動子は安定状態で支持される。
【００１７】
また、本発明では、圧電振動子が、実装基板上に安定状態で支持されることで、サイド基部への機械的強度が低減され、サイド基部の幅を狭めることができる。この構造により、圧電振動子の幅方向における小型化が実現できる。
【００１８】
また、本発明では、振動腕部とサイド基部との隙間が、基部とサイド基部との隙間より広く形成されている。この構造により、振動腕部の幅が所望の幅に形成され易く、振動腕部の外形寸法のばらつきを防ぐことができる。そして、振動腕部での振動周波数の狂いが生じ難く、品質係数Ｑ値の高い圧電振動子が実現できる。
【００１９】
また、本発明では、サイド基部と基部との隙間が、貫通エッチング可能な最小幅となるように形成されている。この構造により、圧電振動子の幅方向を広げることなく、所望の領域を有する基部が形成され、サイド基部への振動漏れを防ぐことができる。
【００２０】
また、本発明では、振動腕部の一部の幅を広げることで、振動腕部の長さを短くすることができる。また、所望の領域を有する基部が形成された場合でも、圧電振動子の重心が中央部近傍に位置する。この構造により、基部は、振動腕部で発生した機械的振動エネルギーを確実に減衰できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、本発明の実施の形態である圧電振動子について、図１〜図４を参照し、詳細に説明する。図１（Ａ）は、本実施の形態である圧電振動子を説明するための平面図である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す圧電振動子のＡ−Ａ‘線方向の断面図である。図２は、本実施の形態の圧電振動子の製造方法を説明するための図である。図３は、図１に示した圧電振動子のＢ−Ｂ’線方向の断面図であり、圧電振動子の電極構造を説明するための図である。図４は、本実施の形態である圧電振動子において、周波数依存性の少ないサイド基部幅と基部長さとの関係を説明するための図である。
【００２２】
図１（Ａ）に示す如く、本実施の形態の圧電振動子１は、主に、一対の振動腕部２、３と、基部４と、一対のサイド基部５、６とから構成されている。圧電振動子１は、例えば、電気軸をＸ軸、機械軸をＹ軸、光軸をＺ軸とした水晶原石の直交座標系において、Ｚ軸平面から１°Ｘ軸方向に回転させたカット角で板状に薄くスライスした水晶ウエハを加工し、形成されている。そのため、圧電振動子１は、例えば、１００（μｍ）程度で一定の厚みにより形成されている。
【００２３】
振動腕部２、３は、その一端側が基部４と一体に形成され、音叉形状となっている。振動腕部２、３の構造は同一構造となるので、以下では振動腕部２を用いて説明する。
【００２４】
振動腕部２は、基部４と一体となる一端側から振動腕部３と平行に延在している。振動腕部２は、段差部７を有し、振動腕部２の一端側から段差部７までは幅Ｗ１で形成され、段差部７から他端側までは幅Ｗ２で形成されている。段差部７は、振動腕部２に点線で示した中立線を中心として対称となるように形成されている。つまり、振動腕部２は、２種類の幅Ｗ１、Ｗ２から形成され、Ｗ１＜Ｗ２の関係を満たすように設計されている。尚、振動腕部２に形成される段差部７の位置は、所望の振動周波数に応じて、振動腕部２の長さＬ１、幅Ｗ１、Ｗ２等の種々の設計条件に応じて、任意の設計変更が可能である。
【００２５】
具体的には、振動腕部２は、下記の関係式に基づいて、所望の振動周波数に応じた振動腕部２の長さＬ１、幅Ｗ１、Ｗ２が決定される。
【００２６】
【数１】
2007013910.tif 000003
ここで、Ｆは振動周波数（Ｈｚ）、Ｌは振動腕部の長さ（ｍ）、Ｗは振動腕部の幅（ｍ）、Ｃ‘２２は弾性スチフネス定数（Ｎ／ｍ２）、ρは水晶の密度（ｋｇ／ｍ３）を示している。
【００２７】
圧電振動子１は、上記の関係式が示すように、振動周波数Ｆは、振動腕部の幅Ｗに比例し、振動腕部の長さＬの二乗に反比例する関係にある。上述したように、圧電振動子１の振動腕部２は、その段差部７から他端部の幅をＷ２としており、上記の関係式での振動腕部の幅Ｗが広くなる。そのため、所望の振動周波数Ｆを得るためには、振動腕部の長さＬを短くする必要がある。その結果、振動腕部２の長さが短くなり、圧電振動子１の長さ方向での小型化が実現される。
【００２８】
図１（Ｂ）に示す如く、例えば、振動腕部２は、上面８、下面９及び側面１２、１３（図３参照）を有している。振動腕部２の上下面８、９には、相対となる箇所に溝１０、１１が形成されている。詳細は図３を用いて後述するが、溝１０、１１の内壁を利用して電極１６、１７（図３参照）が形成されている。尚、振動腕部２の構造と同様に、振動腕部３の上下面１８、１９（図３参照）にも電極形成用の溝２０、２１（図３参照）が形成されている。
【００２９】
基部４は、長さＬ２、幅Ｗ３の領域を有し、振動腕部２、３及びサイド基部５、６とその一部が一体に形成されている。基部４では、振動腕部２で発生した機械的振動エネルギーを減衰させ、サイド基部５、６を介しての振動漏れを防ぐ領域が必要である。例えば、基部４の長さＬ２が２５０〜３５０（μｍ）の範囲で設計されることで、サイド基部５、６は振動漏れ等の周波数依存性のない幅Ｗ４で形成されることが可能となる。
【００３０】
サイド基部５、６は、その一端側の側面の一部が基部４と一体に形成されている。サイド基部５、６は、その間に振動腕部２、３を挟むように、振動腕部２、３と平行となるように形成されている。サイド基部５、６の他端側には、丸印で示した領域に端子電極（図示せず）が形成されており、端子電極が導電性接着剤、例えば、銀ペーストを介して実装基板上の電極と接続している。圧電振動子１は、丸印で示したサイド基部５、６の下方でのみ実装基板と固着した状態で、実装基板上に支持されている。
【００３１】
上述したように、振動腕部２、３の一端側は基部４と一体に形成され、振動腕部２、３の他端側には幅Ｗ２の領域が形成されている。この構造により、振動腕部２、３の両端における重みのバランスが調整され、圧電振動子１が実装基板上に支持された際には、圧電振動子１の重心が振動腕部２、３の中央部近傍へと位置する。その結果、圧電振動子１が実装基板上に安定状態で支持される。そして、サイド基部５、６に対し、圧電振動子１自体の重み、振動等による機械的強度による影響が低減する。つまり、Ｗ４＜Ｗ１の関係を満たすようにサイド基部５、６の幅Ｗ４を設計することが可能となり、圧電振動子１の幅方向での小型化が実現される。尚、上述したように、サイド基部５、６の幅Ｗ４を狭めた場合でも、基部４の構造によりサイド基部５、６への振動漏れの発生を防ぐことができる。
【００３２】
図示したように、基部４とサイド基部５とは、幅Ｗ５だけ離間している。振動腕部２とサイド基部５とは、幅（Ｗ５＋Ｗ６）だけ離間している。つまり、幅Ｗ５は、水晶ウエハを貫通エッチングできる最小幅であり、基部４とサイド基部５との離間幅を小さくしている。そして、圧電振動子１の幅方向を広げることなく、所望の幅Ｗ３を有する基部４が形成されている。この構造により、基部４からの振動漏れを防ぐことができる。
【００３３】
一方、振動腕部２とサイド基部５との離間幅は、貫通エッチングできる最小幅Ｗ５に幅Ｗ６だけ更に広げ、振動腕部２とサイド基部５との間に適切な離間幅を確保している。貫通エッチングできる最小幅により振動腕部２を形成することは、マスクずれ、エッチング条件等により困難である。つまり、振動腕部２とサイド基部５との間に適切な離間幅（Ｗ５＋Ｗ６）を有することで、振動腕部２を容易に形成する際に、その外形寸法にばらつきが生じ難い構造となる。その結果、振動腕部２、３の振動周波数Ｆは振動腕部２、３の幅Ｗに影響されるが、振動周波数Ｆに狂いが生じ難い、品質係数Ｑ値の高い圧電振動子１が形成される。
【００３４】
具体的には、図２に示す如く、例えば、公知のフォトリソグラフィ技術により、振動腕部２、３、基部４及びサイド基部５、６等の圧電振動子１の外形に沿った開口部が設けられたフォトレジストを選択マスクとして形成する。そして、例えば、フッ酸を用いてウエットエッチングにより、圧電振動子１を形成する。その後、フォトレジストを除去する。このとき、基部４とサイド基部５、６との間は幅Ｗ５だけ離間し、振動腕部２、３とサイド基部５、６との間は幅（Ｗ５＋Ｗ６）だけ離間する。例えば、幅Ｗ５は２５（μｍ）程度であり、幅Ｗ６は５０（μｍ）程度である。つまり、振動腕部２、３とサイド基部５、６との間は７５（μｍ）程度離間しているので、多少のマスクずれ、オーバーエッチ等あった場合でも、振動腕部２、３の外形寸法にばらつきが生じ難い製造方法である。
【００３５】
一方、エッチング工程により、水晶ウエハには複数の圧電振動子１が形成される。そして、水晶ウエハには複数の圧電振動子１が離脱しないように支持する支持バー２８が形成されている。圧電振動子１では、基部４に２箇所形成された凹部２９内から延在する部分が支持バー２８と接続し、水晶ウエハに支持されている。この構造により、圧電振動子１が水晶ウエハから離脱する際に、切り欠き部分が凹部２９内に収まり、基部４から突出することを防止できる。その結果、パッケージサイズが小型化された場合でも、切り欠き部分がパッケージに引っ掛かることのない圧電振動子１を形成できる。
【００３６】
尚、本実施の形態では、貫通エッチング最小幅Ｗ５を含め、１回のウエットエッチング工程により圧電振動子１の外形を形成したが、この場合に限定するものではない。例えば、最初に基部４とサイド基部５、６との間の最小幅Ｗ５をエッチングにより形成した後、圧電振動子１の外形をエッチングにより形成する場合でも良い。
【００３７】
図３に示す如く、振動腕部２にはその上下面８、９に溝１０、１１が形成されている。振動腕部２の溝１０、１１には、溝１０、１１の内壁を覆うように同極の電極１６、１７が形成されている。一方、振動腕部２の対向する側面１２、１３には、電極１６、１７と極性の異なる電極１４、１５が形成されている。同様に、振動腕部３にはその上下面１８、１９に溝２０、２１が形成されている。振動腕部３の溝２０、２１には、電極１４、１５と同極の電極２２、２３が形成されている。一方、振動腕部３の対向する側面２４、２５には、電極２２、２３と極性の異なる電極２６、２７が形成されている。そして、各電極は振動腕部２、３、基部４及びサイド基部５、６に形成された配線を介して、それぞれ同極同士が接続されている。尚、電極及び配線は、例えば、水晶ウエハに対し、クロム（Ｃｒ）をスパッタリングした後に、金（Ａｕ）をスパッタリングし、所望の形状にエッチングすることで形成されている。
【００３８】
具体的には、電極１６、１７、２６、２７を正極とし、電極１４、１５、２２、２３を負極とし、各電極間に直流電圧を印加すると、図示した矢印方向に電界ＥＸが発生する。上述したように、溝を利用して電極を形成することで、異極の電極が対向する領域に大きな電界ＥＸが発生し易い。そして、振動腕部２、３には、電界ＥＸにより中立線を挟んで伸縮応力が働き、振動腕部２、３は屈曲モードで振動する。
【００３９】
つまり、圧電振動子１自体の小型化により、振動腕部２、３の幅Ｗが狭くなった場合でも、振動腕部２、３に形成された溝１０、１１、２０、２１を利用して各電極１６、１７、２２、２３を形成することで、等価直列抵抗Ｒの小さい圧電振動子１が実現できる。
【００４０】
図４では、横軸は、基部の長さＬ２（μｍ）を示している。縦軸は、圧電振動子１が空中に完全に浮いている状態での周波数と、圧電振動子１がパッケージに収納されるために実装基板上に固着された状態での周波数との周波数偏差（ｐｐｍ）を示している。そして、実線は基部４とサイド基部５、６とが一体となる長さＬ３が２４０（μｍ）の場合を示している。一方、点線は、長さＬ３が１９０（μｍ）の場合を示している。尚、圧電振動子１の構造は、図１（Ａ）を参照とする。
【００４１】
図示したように、実線の場合も、点線の場合も下に凸の曲線となり、下限値において周波数偏差が最も小さくなっている。具体的には、実線が示すように、長さＬ３が２４０（μｍ）の場合には、基部の長さＬ２が３２０〜３５０（μｍ）程度必要である。一方、長さＬ３が１９０（μｍ）の場合には、基部の長さＬ２が２５０〜３００（μｍ）程度必要である。つまり、長さＬ３が大きくなれば長さＬ２が大きくなり、長さＬ３が小さくなれば長さＬ２が小さくなる。
【００４２】
ここで、上述したように、圧電振動子１は、丸印で示したサイド基部５、６の他端側の端子電極（図示せず）により実装基板上に支持されている。長さＬ３の最低値は、圧電振動子１を中空部に支持し続けるために必要な長さ、つまり、機械的強度を確保する長さを考慮しつつ、周波数偏差との関係で決定される。一方、長さＬ３の最大値は、圧電振動子１が収納されるパッケージサイズとの関係で決定される。つまり、本実施の形態では、パッケージサイズの縮小化を考慮しつつ、例えば、基部４の長さＬ２が２５０〜３５０（μｍ）の範囲で設計されることで、サイド基部５、６は振動漏れ等の周波数依存性の少ない幅Ｗ４で形成されることが可能となる。
【００４３】
尚、本実施の形態では、振動腕部が２つの幅を有する構造について説明したが、この場合に限定するものではない。例えば、振動腕部が基部から離間するにつれて階段状に幅広く形成されている等、振動腕部が複数の幅を有するように形成されていてもよい。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態における圧電振動子を説明するための（Ａ）平面図であり、（Ｂ）（Ａ）に示すＡ−Ａ‘線に沿った断面図である。
【図２】本発明の実施の形態における圧電振動子の製造方法を説明するための平面図である。
【図３】本発明の実施の形態における圧電振動子の電極構造を説明するための断面図である。
【図４】本発明の実施の形態における圧電振動子において、周波数依存性の少ないサイド基部幅と基部長さとの関係を説明するための図である。
【図５】従来の圧電振動子を説明するための平面図である。
【図６】従来の圧電振動子を説明するための（Ａ）平面図であり、（Ｂ）（Ａ）に示すＣ−Ｃ‘線に沿った断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  圧電振動子
２、３  振動腕部
４  基部
５、６  サイド基部
７  段差部
１０、１１、２０、２１  溝
１４、１５、１６、１７、２２、２３、２６、２７  電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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