(57)【要約】【課題】耐久性の向上を図ることができるとともに、自由に剛性を選択して適切な振動を励起させることができる振動板を有する部品供給装置を提供することである。【解決手段】圧電素子４１１が平板状弾性部材４２０に貼着される。電気的信号が圧電素子４１１に与えられた場合、平板状弾性部材４２０において振動が励起され、振動板４００の鉛直板部分および水平板部分のいずれか一方の面に取り付けられた錘部３０２と、振動板４００の他方の面に取り付けられた圧電式振動部３０３とが、支持ばね３８０に保持されつつ逆位相で振動する。また、振動板４００の水平板部分よりも鉛直板部分の方の剛性が高くなるように厚みを選択でき、また水平板部分および鉛直板部分の結合部の剛性を高めるように、厚みを厚くすることができる。【選択図】図４
2007168936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品に振動を付与して搬送を行う部品供給装置であって、
前記部品を搬送するための搬送路を有する搬送部と、
前記搬送部を支持する可動部と、
前記可動部とは別部材として設けられる錘部と、
一端が前記可動部に取り付けられ、他端が前記錘部に取り付けられ、弾性変形することが可能な弾性部材と、
電気的信号に応じて応力を発生する振動子と、
水平に配される水平板部分および鉛直に配される鉛直板部分を有し、前記鉛直板部分の表裏面の少なくとも一面に貼着され、振動を励起する振動板と、
を含み、
前記振動板は、前記水平板部分および前記鉛直板部分のうちいずれか一方が前記錘部に取り付けられ、前記水平板部分および前記鉛直板部分の他方が前記可動部に取り付けられ、前記水平板部分および前記鉛直板部分のいずれか一方における前記水平板部分および前記鉛直板部材の接合部の厚みが、少なくとも他方の厚みよりも厚いことを特徴とする部品供給装置。
【請求項２】
前記振動板は、
前記水平板部分を形成する第１の平板状弾性部材と、
前記鉛直板部分を形成する前記第１の平板状弾性部材とは異なる第２の平板状弾性部材と、
前記第１の平板状弾性部材により形成される水平板部分および前記第２の平板状弾性部材により形成される前記鉛直板部分を結合する結合部材とを含むことを特徴とする請求項１記載の部品供給装置。
【請求項３】
前記振動板は、
長手方向を有し、前記長手方向に沿った一部の領域において厚みが厚い部分を有する平板状弾性部材からなり、
前記平板状弾性部材の前記厚みが厚い部分を屈曲させることにより前記鉛直板部分および前記水平板部分が形成されることを特徴とする請求項１記載の部品供給装置。
【請求項４】
前記搬送路は、直線状搬送路であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに１項に記載の部品供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を振動により移送することが可能な部品供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品に対して振動を与えることにより、部品を整列させるとともに、部品の供給を行う部品供給装置の一つとしてパーツフィーダがよく知られている。このパーツフィーダは、部品に振動を与えることにより部品の姿勢を整え、次工程に供給することができる。
【０００３】
特許文献１には、圧電素子に加わる荷重を減少でき、振動振幅の拡大を図り、十分実用として使用できる搬送速度が得られる圧電駆動形搬送装置について開示されている。
【０００４】
特許文献１に記載された圧電駆動形搬送装置では、弾性板に圧電素子を取り付けてなる加振体と搬送体とを、弾性板状の連結部材の下端部と上端部とで、それぞれ連結し、且つ、これらの連結部材の板幅または板厚を変化させることで、連結部材の曲げ剛性を前記弾性板のそれよりも低く設定している。
【０００５】
それにより、振動中にその曲げ剛性を低くした部分での弾性変形により加振体と搬送体との間の角度変化が許容され、加振体に加わる荷重が減少して加振体及び搬送体における振動振幅の増大を期待することができる。
【０００６】
また、特許文献２には、連結部材の部所による曲げ剛性の比を大ならしめることにより搬送部品の高速搬送を可能ならしめる圧電駆動型搬送装置について開示されている。
【０００７】
特許文献２に記載された圧電駆動型搬送装置では、圧電駆動型搬送装置の構成要素の一つである連結部材を二以上の連結部材を積層して積層連結部材としたものである。
【０００８】
それにより、連結部材の部所による曲げ剛性の比を従来より格段に大ならしめたことにより搬送部品の高速搬送を可能にすることができる。
【特許文献１】特公平６−１３３６９号公報
【特許文献２】特開平７−２５７７２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載の圧電駆動形搬送装置においては、振動を励起させる圧電ばねに直接連結ばねを取り付け、当該連結ばねを共振させて圧電駆動形搬送装置の駆動を行っているため、圧電ばねに搬送体であるトラフ、または螺旋状搬送路の荷重が直接的に加わる。そして、当該荷重を支持するとともに振動の励起を行っているため、圧電ばねにおいて適切な振動を励起することができないという課題が生じる。また、振動を励起させる場合においても、搬送体の荷重が、本来の圧電素子の駆動方向と異なるせん断方向の負荷として圧電素子に加わるため、長期寿命を考慮すると課題が残る。
【００１０】
また、特許文献２に記載の圧電駆動形搬送装置においても、圧電素子に直列に連結ばねを付け、さらに連結ばねを積層させて曲げ剛性の向上を図っているので、特許文献１に記載の圧電駆動形搬送装置と同様に、圧電ばねに搬送体の荷重が直接的に加わる。その結果、適切な振動を励起することができないという課題および長期寿命の観点において課題が残る。
【００１１】
本発明の目的は、耐久性の向上を図ることができるとともに、自由に剛性を選択して適切な振動を励起させることができる振動板を有する部品供給装置を提供することである。
【００１２】
本発明の他の目的は、耐久性の向上を図ることができるとともに、自由に剛性を選択し、かつ取り付け精度を向上させ、製造工数および整備工数を削減することができるとともに、適切な振動を励起させることができる振動板を有する部品供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１３】
（１）
本発明に係る部品供給装置は、部品に振動を付与して搬送を行う部品供給装置であって、部品を搬送するための搬送路を有する搬送部と、搬送部を支持する可動部と、可動部とは別部材として設けられる錘部と、一端が可動部に取り付けられ、他端が錘部に取り付けられ、弾性変形することが可能な弾性部材と、電気的信号に応じて応力を発生する振動子と、水平に配される水平板部分および鉛直に配される鉛直板部分を有し、鉛直板部分の表裏面の少なくとも一面に貼着され、振動を励起する振動板と、を含み、振動板は、水平板部分および鉛直板部分のうちいずれか一方が錘部に取り付けられ、水平板部分および鉛直板部分の他方が可動部に取り付けられ、水平板部分および鉛直板部分のいずれか一方における水平板部分および鉛直板部材の少なくとも接合部の厚みが、少なくとも他方の厚みよりも厚いものである。
【００１４】
本発明に係る部品供給装置においては、振動子が振動板に貼着される。そして、電気的信号が振動子に与えられた場合、振動子が貼着された振動板が駆動し、振動が励起され、振動板の鉛直板部分および水平板部分のいずれか一方の面に取り付けられた錘部と、振動板の他方の面に取り付けられた可動部とが、逆位相で振動する。そして、振動は、可動部に支持された搬送部に伝達され、搬送路の上流から下流方向へ部品が搬送される。
【００１５】
この場合、振動板の水平板部分と鉛直板部分との厚みが異なるので、振動板の水平板部分と鉛直板部分との剛性を異なる値にすることができる。また、振動板の水平板部分と鉛直板部分との少なくとも接合部において厚みを厚くすることができる。それにより、剛性の必要な部分に厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを削減することにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板を含む部品供給装置を実現することができる。
【００１６】
また、弾性部材により可動部および搬送部の荷重を支持することができるので、振動板および振動子の耐久性の向上を図ることができるとともに、振動子が貼着された振動板から適切な振動を励起させることができる。
【００１７】
（２）
振動板は、水平板部分を形成する第１の平板状弾性部材と、鉛直板部分を形成する第１の平板状弾性部材とは異なる第２の平板状弾性部材と、第１の平板状弾性部材により形成される水平板部分および第２の平板状弾性部材により形成される鉛直板部分を結合する結合部材とを含んでもよい。
【００１８】
この場合、第１の平板状弾性部材と第２の平板状弾性部材とを結合部材で結合することにより振動板が形成される。そして、水平板部分を形成する第１の平板状弾性部材が、鉛直板部分を形成する第２の平板状弾性部材と異なる部材により形成される。したがって、第１の平板状弾性部材の厚みと第２の平板状弾性部材の厚みとを自由に調節することができる。さらに結合部材を用いることにより従来の屈曲部分に対しても剛性を高めることができる。このように、振動板の水平面と鉛直面との剛性を異なる値にすることができる。それにより、剛性の必要な面の厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを削減することにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板を含む部品供給装置を実現することができる。
【００１９】
さらに、第１の平板状弾性部材と第２の平板状弾性部材とを結合部材により結合させるので、単一の平板状弾性部材を屈曲させて水平板部分および鉛直板部分を形成する場合と比較して直角精度を大幅に高めることができる。その結果、振動板を錘部および可動部に取り付ける際の取り付け位置のずれを防止することができ、製造工数を削減することができる。
【００２０】
また、振動板と併設された弾性部材により可動部および搬送部の荷重を支持することができるので、振動板および振動子の耐久性の向上を図ることができるとともに、振動板および振動子から適切な振動を励起させることができる。
【００２１】
（３）
振動板は、長手方向を有し、長手方向に沿った一部の領域において厚みが厚い部分を有する平板状弾性部材からなり、平板状弾性部材の厚みが厚い部分を屈曲させることにより鉛直板部分および水平板部分が形成されてもよい。
【００２２】
この場合、水平板部分と鉛直板部分とのうちいずれか一方の厚みを加工により薄くするので、水平板部分の厚みと鉛直板部分の厚みとを自由に調節することができる。その結果、振動板の水平板部分と鉛直板部分との剛性を異なる値にすることができる。それにより、剛性の必要な面の厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを削減することにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板を含む部品供給装置を実現することができる。
【００２３】
（４）
搬送路は、直線状搬送路であってもよい。
【００２４】
この場合、搬送路は、直線状搬送路であるので、直線状搬送路に対して振動を付与し、部品を搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明に係る一実施の形態について図面を用いて説明を行う。本発明に係る部品供給装置の一例として、微小な部品を搬送する微小部品供給装置に適合させた場合について説明を行う。
【００２６】
（一実施の形態）
図１および図２は、本発明の一実施の形態に係る微小部品供給装置１００の一例を示す模式的斜視図である。図１は微小部品供給装置１００の上面を示し、図２は微小部品供給装置１００の側面を示す。
【００２７】
図１および図２に示すように、微小部品供給装置１００は、パーツフィーダ２００、リニアフィーダ３００およびステージ９００を含む。
【００２８】
また、図２に示すように、パーツフィーダ２００は、ボウル状搬送部２１０と圧電式振動部２２０とを含む。
【００２９】
本実施の形態における微小部品供給装置１００においては、ステージ９００上にパーツフィーダ２００およびリニアフィーダ３００が設けられる。パーツフィーダ２００の微小部品排出部２１１には、リニアフィーダ３００の微小部品搬入部３１１が接続されている。さらに、リニアフィーダ３００の還流搬送路３１７には、パーツフィーダ２００の受け入れ路２１７が接続されている。
【００３０】
パーツフィーダ２００の圧電式振動部２２０に設けられた振動子４００（図４参照）により発振された振動が、圧電式振動部２２０の上部に載置されたボウル状搬送部２１０に与えられる。ボウル状搬送部２１０内には、ボウル状搬送部２１０の内周に沿って螺旋状の微小部品搬送路が設けられる。ボウル状搬送部２１０の中央底部に微小部品８００が供給され、圧電式振動部２２０からの振動により微小部品８００が螺旋状の搬送路上を搬送され、微小部品排出部２１１からリニアフィーダ３００の微小部品搬入部３１１に与えられる。
【００３１】
また、リニアフィーダ３００には、主に圧電式振動部３０３、振動板４００および錘部３０２からなる１台の加振器が設けられており、加振器により発振された振動が、リニアフィーダ３００の各搬送路に与えられる。それにより、微小部品供給装置１００は、微小部品供給装置１００の次工程に微小部品８００を供給することができる。
【００３２】
また、リニアフィーダ３００の搬送路において所定姿勢に整理されなかった微小部品８００が存在する場合、または次工程においてトラブルが生じて次工程側に微小部品８００を搬送させないようにする場合、微小部品８００が、微小部品還流路３１７からパーツフィーダ２００の受け入れ路２１７を介してボウル状搬送部２１０の中央底部に戻される。
【００３３】
次に、図３は本実施の形態において搬送される微小部品８００の形状の一例を示す模式的斜視図である。
【００３４】
図３に示すように、微小部品８００は、長さＬ、高さＨ、幅Ｂを有する直方体からなる。長さＬ、高さＨおよび幅Ｂの関係は、Ｈ＜Ｂ＜Ｌの関係を有する。このように、微小部品８００は平板状の微小部品からなる。
【００３５】
また、微小部品供給装置１００は、微小部品８００の一方の面に電極が形成されたものである場合が多く、一般に微小部品８００の大きさは、長さＬが３．２ｍｍ〜８ｍｍ程度であり、幅Ｂが２．５ｍｍ〜５．０ｍｍ程度であり、高さＨが０．８ｍｍ〜１．７ｍｍ程度である。
【００３６】
次に、図４は、第１の実施の形態に係るリニアフィーダ３００の一部を切り欠いた模式的側面図である。
【００３７】
リニアフィーダ３００は、主に防振台（ベース部）３０１、錘部（カウンターウェイト）３０２、圧電式振動部３０３、第１搬送部材（直線状搬送部材）３２０、第２搬送部材（直線状搬送部材）３３０、接続部材３４０および第３搬送部材（還流搬送部材）３５０、連結板３７０、支持ばね３８０、防振用板ばね３９０および振動子４００を含む。
【００３８】
図４に示すように、防振台３０１の上方には、錘部３０２が設けられ、錘部３０２の上方には、圧電式振動部３０３が設けられる。錘部３０２は、圧電式振動部３０３および第１搬送路３２０等の重量に応じて形成された重さからなる。
【００３９】
図４に示すように、圧電式振動部３０３は、防振台３０１の側面から複数の防振用板ばね３８０により保持される。また、圧電式振動部３０３は、錘部３０２の側面から複数の支持ばね３８０により保持される。また、本実施の形態におけるリニアフィーダ３００においては、支持ばね３８０および防振用板ばね３９０が鉛直方向に対して重複して配設される。さらに、支持ばね３８０および防振用板ばね３９０は、鉛直方向よりほぼ同角度傾斜した状態で設けられる。
【００４０】
また、図４の錘部３０２および圧電式振動部３０３の内部には、振動板４００が設けられる。この振動板４００は、鉛直板部分を形成する平板状弾性部材４２０、水平板部分を形成する平板状弾性部材４２１、平板状弾性部材４２０および平板状弾性部材４２１を結合する結合部材４２２および圧電素子４１１からなる。平板状弾性部材４２０が圧電式振動部３０３に取り付けられ、平板状弾性部材４２１が錘部３０２に取り付けられる。この振動板４００の詳細構造については後述する。
【００４１】
圧電式振動部３０３の上部には、第１搬送部材３２０が固定され、第１搬送部材３２０の一端側には、第２搬送部材３３０が接続され、第１搬送部材３２０の側面には、接続部材３４０が併設される。また、第１搬送部材３２０には複数の平板状弾性部材３６０を介して第３搬送部材３５０が設けられる。すなわち、平板状からなる複数の平板状弾性部材３６０の一端がボルトにより第１搬送部材３２０に固定され、他端がボルトにより第３搬送部材３５０の裏面に固定されている。この状態において複数の平板状弾性部材３６０は、鉛直面よりも水平面に近い角度で斜めに設けられる。
【００４２】
以上のように、本実施の形態におけるリニアフィーダ３００においては、後述する圧電素子４１１が貼着された振動板４００により振動の励起が行われ、支持ばね３８０により保持された圧電式振動部３０３および錘部３０２が逆位相で振動し、圧電式振動部３０３における振動が、第１搬送部材３２０に与えられ、第１搬送部材３２０上の搬送路を微小部品８００が搬送される。
【００４３】
次に、図５は、図４の振動板４００の一例を示す模式的組み立て図であり、図６は図５の振動板４００の模式的側面図である。
【００４４】
まず、図５に示すように、平板状弾性部材４２０の表裏面の中央部に圧電素子４１１が配設される。この平板状弾性部材４２０および圧電素子４１１からなるばね定数は、搬送する微小部品８００の重量、大きさおよび第１搬送部材３２０の重量等によって定められる任意の共振周波数の条件に応じて適宜選択される。
【００４５】
具体的に、振動子４００においては、圧電セラミックスを分極処理して平板状弾性部材４２０の一方の面（表面）にプラス極性の分極電位を持たせた圧電素子４１１を貼り付け、平板状弾性部材４２０の他方の面（裏面）にマイナス極性の分極電位を持たせた圧電素子４１１を貼り付ける。それにより、平板状弾性部材４２０の表裏面に複数の圧電素子４１１からなるバイモルフ型圧電素子構造が形成される。
【００４６】
そして、この複数の圧電素子４１１に電荷を付与（印加）することにより振動板４００において、振動が励起され、支持ばね３８０により保持された圧電式振動部３０３と錘部３０２とが互いに逆方向に振動する。
【００４７】
次いで、図５に示すように、振動板４００においては、圧電素子４１１が貼着された平板状弾性部材４２０が鉛直板部分として設けられ、平板状弾性部材４２１が水平板部分として設けられている。また、鉛直板部分に含まれる振動板４００の結合部材４２２は、長手方向を有する略四角柱形状からなる。結合部材４２２は、長手方向の辺を一辺とした隣接する２面４２３，４２４を有し、当該２面４２３，４２４により形成される角度が９０度となるように設けられている。また、面４２３および面４２４には、ネジ固定が可能な孔（図示せず）が設けられている。
【００４８】
平板状弾性部材４２０には、表裏面のほぼ中央部分に圧電素子４１１が貼着されており、圧電素子４１１の貼着されていない部分に貫通孔４３０，４４０が設けられる。一方、平板状弾性部材４２１には、貫通孔４３１，４５０が設けられる。
【００４９】
ボルトＡが平板状弾性部材４２０の下の部分に設けられた貫通孔４３０を介して結合部材４２２の面４２３に設けられた孔に締結され、ボルトＢが平板状弾性部材４２１の貫通孔４３１を介して結合部材４２２の面４２４に設けられた孔に締結される。
【００５０】
それにより、平板状弾性部材４２０および平板状弾性部材４２１が、約９０度の角度で結合部材４２２にボルトＡ、Ｂにより固定され、図６に示す略Ｌ字形状の振動板４００が形成される。
【００５１】
次いで、図４および図６に示すように、振動板４００の平板状弾性部材４２１は、ボルトＣにより錘部３０２に締結され、振動板４００の平板状弾性部材４２０は、圧電式振動部３０２に取り付けられる。それにより、振動板４００がリニアフィーダ３００に内蔵される。なお、本実施の形態においては、平板状弾性部材４２０は厚みＬ１で、剛性値Ｎｍ１であり、平板状弾性部材４２１は厚みＬ２で、剛性値Ｎｍ２である。このように、平板状弾性部材４２０、４２１がそれぞれ別部材から形成することができるので、互いの部材に依存することなく厚みおよび剛性値を自由に選択することができる。
【００５２】
以上のように、本実施の形態における部品供給装置においては、振動板４００の水平板部分の平板状弾性部材４２１と鉛直板部分の平板状弾性部材４２０との厚みが異なるので、振動板４００の水平板部分の平板状弾性部材４２１と鉛直板部分の平板状弾性部材４２０との剛性Ｎｍ１，Ｎｍ２を異なる値にすることができる。また、振動板４００の水平板部分と鉛直板部分との少なくとも接合部において厚みを厚くすることができる。それにより、剛性の必要な接合部分等の部分に厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを削減することにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板４００を含む部品供給装置１００を実現することができる。特に、第１の平板状弾性部材４２０と第２の平板状弾性部材４２１とを結合部材４２２により結合させるので、単一の平板状弾性部材を屈曲させて水平板部分および鉛直板部分を形成する場合と比較して、直角精度を大幅に高めることができる。その結果、振動板４００を錘部３０２および圧電式振動部３０３に取り付ける際の取り付け位置のずれを防止することができ、製造工数および整備工数を削減することができる。
【００５３】
また、支持ばね３８０により第１搬送部材３２０および圧電式振動部３０３の荷重を支持させることができるので、振動板４００および圧電素子４１１の耐久性の向上を図ることができるとともに、圧電素子４１１が貼着された振動板４００から適切な振動を励起させることができる。
【００５４】
さらに、第１の平板状弾性部材４２０の厚みと第２の平板状弾性部材４２１の厚みとを自由に調節することができる。その結果、振動板の水平面と鉛直面との剛性を異なる値にすることができる。また、これらの部材の間に入れた接合部４２２の剛性が追加されるので、剛性の必要な面の厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを削減することにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板を含む部品供給装置を実現することができる。
【００５５】
（他の例）
次に、図７は、図５の振動板４００の他の例を示す側面図である。
【００５６】
図７に示す振動板４００ａが図５および図６に示す振動板４００と異なるのは以下の点である。
【００５７】
図７に示す振動板４００ａは、図５および図６の振動板４００と異なり、平板状弾性部材４２０ａおよび圧電素子４１１からなる。図７に示す平板状弾性部材４２０ａは、一部領域の厚さを厚みＬ１から厚みＬ２まで切削加工したものであり、異なる厚さを有する平板状弾性部材からなる。この異なる厚さを有する平板状弾性部材４２０ａは、厚みＬ１の位置で約９０度屈曲させることにより形成される。図７に示す平板状弾性部材４２０ａにおいては、厚みＬ１の領域が鉛直板部分として設けられ、厚みＬ２の領域が水平板部分として設けられる。
【００５８】
また、平板状弾性部材４２０ａの鉛直面の表裏面には、圧電素子４１１が貼着される。そして、圧電素子４１１に電気的信号が印加されることにより平板状弾性部材４２０ａに応力が発生する。ここで、本実施の形態においては、剛性の高い厚さＬ１の領域において、平板状弾性部材４２０ａを９０度屈曲させているので、曲げ部分の剛性を高めることができ、振動板４００ａにおいて安定した振動を励起させることができる。
【００５９】
この場合、加工を行う、または部材を積層させることにより、振動板４００ａの水平板部分と鉛直板部分との剛性および厚みを異なる値にすることができる。それにより、剛性の必要な面の厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを薄くすることにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板４００ａを含む部品供給装置１００を実現することができる。
【００６０】
（さらに他の例）
次に、図８は図５の振動板４００および図７の振動板４００ａのさらに他の例を示す側面図である。
【００６１】
図８に示す振動板４００ｂが図５、図６および図７に示す振動板４００、４００ａと異なるのは以下の点である。
【００６２】
図８に示す振動板４００ｂは、平板状弾性部材４２０ｂ、平板状弾性部材４２１ｂ、圧電素子４１１およびボルトＤからなる。
【００６３】
平板状弾性部材４２０ｂは厚みＬ１からなり、平板状弾性部材４２１ｂは厚みＬ２からなる。なお、本実施の形態においては、平板状弾性部材４２０ｂ、４２１ｂの厚みを異なる厚みとしたが、これに限定されず、同一の厚みからなるもので形成してもよい。
【００６４】
平板状弾性部材４２０ｂは、部材の先端を約９０度屈曲させることにより形成される。また、平板状弾性部材４２１ｂが、当該平板状弾性部材４２０ｂの屈曲された方向と１８０度逆の方向に延在するように、屈曲された平板状弾性部材４２０ｂの先端面に沿って設けられる。そして、図８に示すように、当該屈曲された平板状弾性部材４２０ｂの先端面と平板状弾性部材４２１ｂの端面とがボルトＤにより締結される。
【００６５】
このように、図８の振動板４００ｂにおいては、厚みＬ１の鉛直板部分が形成され、厚みＬ２の水平板部分が形成され、厚みＬ１＋Ｌ２の鉛直板部分および水平板部分の結合部が形成される。その結果、結合部において高い剛性を有する振動子４００ｂを形成することができる。なお、この結合部は、水平板部分に含まれる。
【００６６】
また、平板状弾性部材４２０ｂの鉛直面の表裏面には、圧電素子４１１が貼着される。そして、圧電素子４１１に電気的信号が印加されることにより平板状弾性部材４２０ｂに応力が発生する。ここで、本実施の形態においては、剛性の高い厚さＬ１＋Ｌ２の平板状弾性部材４２０ｂ，４２１ｂにおいて９０度屈曲させているので、曲げ部分の剛性を高めることができ、振動板４００ｂにおいて安定した振動を励起させることができる。
【００６７】
この場合、部材を積層させることにより、振動板４００ｂの水平板部分と鉛直板部分との剛性および厚みを異なる値にすることができる。それにより、剛性の必要な面の厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを薄くすることにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板４００ｂを含む部品供給装置１００を実現することができる。
【００６８】
本発明に係る部品供給装置においては、微小部品供給装置１００が部品供給装置に相当し、錘部３０２が錘部に相当し、圧電式振動部３０３が可動部に相当し、支持ばね３８０が弾性部材に相当し、圧電素子４１１が振動子に相当し、振動板４００、４００ａおよび４００ｂが振動板に相当し、結合部材４２２が結合部材に相当し、平板状弾性部材４２０，４２０ａ，４２０ｂが第１の平板状弾性部材に相当し、平板状弾性部材４２１，４２１ｂが第２の平板状弾性部材に相当し、厚みＬ１、Ｌ２、（Ｌ１＋Ｌ２）が厚みに相当し、第１搬送部材３２０、第２搬送部材３３０、第３搬送部材３５０が搬送部に相当し、微小部品８００が部品に相当する。
【００６９】
本発明は、上記の好ましい第１の実施の形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の一実施の形態に係る微小部品供給装置の一例を示す模式的斜視図
【図２】本発明の一実施の形態に係る微小部品供給装置の一例を示す模式的斜視図
【図３】本実施の形態において搬送される微小部品の形状の一例を示す模式的斜視図
【図４】第１の実施の形態に係るリニアフィーダの一部を切り欠いた模式的側面図
【図５】図４の振動板の一例を示す模式的組み立て図
【図６】図５の振動板の模式的側面図
【図７】図５の振動板の他の例を示す側面図
【図８】図５の振動板および図７の振動板のさらに他の例を示す側面図
【符号の説明】
【００７１】
１００  微小部品供給装置
３０２  錘部
３０３  圧電式振動部
３２０  第１搬送部材
３３０  第２搬送部材
３５０  第３搬送部材
８００  微小部品
３８０  支持ばね
３９０  防振用板ばね
４００、４００ａ、４００ｂ  振動板
４１１  圧電素子
４２０，４２０ａ，４２０ｂ  平板状弾性部材
４２１，４２１ｂ  平板状弾性部材
４２２  結合部材
Ｌ１、Ｌ２、（Ｌ１＋Ｌ２）  厚み
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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