(57)【要約】【課題】防塵壁として配置された複数枚の耐熱ガラスのそれぞれの接合部分に間隙が形成されないようにし、外壁部材やヒータから発生した塵埃が搬送経路内に侵入することを確実に防止して、搬送経路内の清浄度を向上する。【解決手段】上面の複数の耐熱ガラス３１を排気ボックスの上面よりも上方に配置した。各耐熱ガラス３１は、搬送経路の下流側の端部３１Ａを下流側に隣接する別の耐熱ガラス３１の上流側の端部３１Ｂの上方に重ね合わせて配置した。この重ね合わせ部分には、耐熱クロスシート体を配置することができる。【選択図】図１
2007212030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物が搬送される搬送経路の上面、下面、左側面及び右側面の４面を被覆する外壁部材と、前記搬送経路内に配置されて空気を外部に排出する排気ボックスと、前記４面の外壁部材のそれぞれの内側で前記搬送経路に沿って配置された板状の複数の防塵部材と、を備えた熱処理装置において、
前記上面の外壁部材の内側に配置される上面の複数の防塵部材は、前記排気ボックスの上面よりも上方で、互いの端部を重ね合わせて配置されていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
前記上面の複数の防塵部材を重ね合わせた部分に配置される可撓性の耐熱シートをさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の熱処理装置。
【請求項３】
前記防塵部材の１枚の長さよりも短い間隔で前記搬送経路に沿って配置された複数の支持部材であって、前記上面の複数の防塵部材のそれぞれの下面に当接する支持部材をさらに備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の熱処理装置。
【請求項４】
被処理物が搬送される搬送経路の上面、下面、左側面及び右側面の４面を被覆する外壁部材と、前記４面の外壁部材のそれぞれの内側で前記搬送経路に沿って端面を突き合わせて又は端部を重ね合せて配置された板状の複数の防塵部材と、を備えた熱処理装置において、
前記複数の防塵部材のそれぞれの突き合わせ部分及び重ね合わせ部分に、可撓性の耐熱シートを配置したことを特徴とする熱処理装置。
【請求項５】
前記突き合わせ部分に配置される前記耐熱シートは、中空の柱状体であることを特徴とする請求項４に記載の熱処理装置。
【請求項６】
前記重ね合せ部分に配置される前記耐熱シートは、折曲部を前記搬送経路内に向けて折り畳まれた平板状シートであることを特徴とする請求項４に記載の熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プラズマディスプレイ用ガラス基板等の被処理物に対する焼成工程中に、中空の搬送経路内で加熱処理、徐冷処理及び冷却処理等の熱処理を行う熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイ用ガラス基板等の被処理物に対する焼成工程では、中空の搬送経路内で加熱、徐冷及び冷却等の熱処理が行われる。この熱処理に使用される熱処理装置は、上面、下面、左側面及び右側面の４面を断熱材料の外壁部材で被覆して中空の搬送経路を構成している。搬送経路の少なくとも上面の一部には、搬送経路内を設定温度に加熱するヒータが配置されている。
【０００３】
外壁部材及びヒータからは、経時劣化や振動の作用等によって塵埃が発生する。この塵埃が搬送経路を搬送中の被処理物に付着すると、被処理物に欠陥を生じる。
【０００４】
従来の熱処理装置では、４面の外壁部材のそれぞれの内側に、防塵部材として板状の耐熱ガラスが配置されている。耐熱ガラスは、搬送経路の４面を包囲し、外壁部材及びヒータから発生した塵埃が被処理物に付着することを防止する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
被処理物に対する焼成工程に使用される熱処理装置の搬送経路は、数十ｍに達する。搬送経路の全長にわたって単一の耐熱ガラスを配置することはできず、４面のそれぞれで複数の耐熱ガラスが配置されている。複数の耐熱ガラスは、互いに端面を突き合わせて搬送経路に沿って配置されている。
【０００６】
搬送経路の上面では、２枚の耐熱ガラスの隣接部分に、搬送方向（Ｘ方向）の長さの短い別の耐熱ガラスを重ねて載置し、２枚の耐熱ガラスの間隙からの塵埃の落下を防止している。
【０００７】
また、従来の熱処理装置には、排気ボックスが所定の位置に配置されている。排気ボックスは、加熱によって被処理物から発生した昇華ガスを搬送経路内から外部に排出する。この位置では、上面の耐熱ガラスは排気ボックスによって支持されている。
【０００８】
例えば、図５に示すように、排気ボックス１０１は、矩形断面の金属製の溶接加工品によって構成されており、搬送経路内で搬送方向に直交する方向に配置されている。排気ボックス１０１の前後の側面には、Ｌ字型断面の支持部材１０２が溶接されている。上面の耐熱ガラス１１０は、端部を支持部材１０２の水平部分に載置することで、排気ボックス１０１に支持されている。
【特許文献１】特開平０５−３３９０２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
近年、ディスプレイ等の高精細化に伴い、熱処理装置には搬送経路内の清浄度に対する要求がより厳しくなり、従来の構成では要求される清浄度を実現することが難しい。
【００１０】
２枚の耐熱ガラスの接合部分には、寸法誤差や経時変形によって間隙を生じ易い。搬送経路の上面においても２枚の耐熱ガラスと短い耐熱ガラスとを完全に密着させて重ね合わせることは困難で、この部分にも寸法誤差や経時変形によって間隙を生じる。また、上面の耐熱ガラスを金属製の排気ボックスによって支持した個所でも、両者の熱膨張率の相違によって耐熱ガラスの下面と支持部材の上面との間に摩擦を生じ、これによってもパーティクルが発生する。
【００１１】
これらの間隙を通って外壁部材、ガラス、排気ボックス等から発生した塵埃や摩擦によって生じたパーティクルが搬送経路内に侵入し、搬送経路内を搬送される被処理物を汚損する。
【００１２】
この発明の目的は、防塵壁として配置された複数枚の耐熱ガラスのそれぞれの接合部分に間隙が形成されないようにし、外壁部材やヒータから発生した塵埃が搬送経路内に侵入することを確実に防止して、搬送経路内の清浄度を向上することができる熱処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明の熱処理装置は、外壁部材、排気ボックス、複数の防塵部材を備えている。外壁部材は、被処理物が搬送される搬送経路の上面、下面及び左右両側面の４面を被覆する。排気ボックスは、搬送経路内の空気を外部に排出する。複数の防塵部材は、板状を呈し、４面の外壁部材のそれぞれの内側で搬送経路に沿って配置されている。特に、上面の外壁部材の内側では、複数の防塵部材は、排気ボックスの上面よりも上方で、互いの端部を重ね合わせて配置されている。
【００１４】
この構成では、搬送経路の上面に位置する複数の防塵部材が、排気ボックスの上面よりも上方で互いの端部を重ね合わせて配置される。したがって、防塵部材の支持に排気ボックスが用いられることがなく、防塵部材と排気ボックスとの熱膨張による摩擦の発生とこれに伴って発生した塵埃やパーティクルが両者の隙間から落下して搬送経路内に侵入することがない。
【００１５】
上面の複数の防塵部材を重ね合わせた部分には、可撓性の耐熱シートを配置することができる。
【００１６】
この構成では、複数の防塵部材が、可撓性の耐熱シートを挟んで重ね合わされる。したがって、経時変形や振動の作用によって複数の防塵部材の間に間隙が形成されることがなく、搬送経路内への塵埃の侵入が確実に防止される。
【００１７】
また、防塵部材の１枚の長さよりも短い間隔で搬送経路に沿って配置された複数の支持部材を、搬送経路の上面に配置される複数の防塵部材のそれぞれの下面に当接させることができる。
【００１８】
この構成では、搬送経路の上面に配置される複数の防塵部材が、搬送経路に沿って配置された複数の支持部材によって支持される。したがって、複数の防塵部材が、搬送経路の上面の所定の位置に確実に配置される。
【００１９】
また、この発明の熱処理装置は、外壁部材、複数の防塵部材、可撓性の耐熱シートを備えている。外壁部材は、被処理物が搬送される搬送経路の上面、下面及び左右両側面の４面を被覆する。複数の防塵部材は、板状を呈し、４面の外壁部材のそれぞれの内側で搬送経路に沿って端面を突き合わせて又は端部を重ね合せて配置されている。可撓性の耐熱シートは、複数の防塵部材のそれぞれの突き合わせ部分及び重ね合わせ部分に配置される。
【００２０】
この構成では、搬送経路の上面、下面及び左右両側面の４面で搬送経路に沿って外壁部材の内側に配置された複数の防塵部材が、それぞれの間に可撓性の耐熱シートを挟んで端面を突き合わされ又は端部を重ね合わされる。したがって、経時変形や振動の作用によって複数の防塵部材の間に間隙が形成されることがなく、搬送経路内への塵埃の侵入が確実に防止される。
【００２１】
また、複数の防塵部材の突き合わせ部分には、中空柱状体の可撓性を有する耐熱シートを配置することができる。
【００２２】
この構成では、複数の防塵部材の端面がそれぞれの間に中空柱状体の耐熱シートを挟んで突き合わされる。したがって、経時変形や振動の作用によって複数の防塵部材の突き合わせ部分に間隙が形成されることがなく、搬送経路内への塵埃の侵入が確実に防止される。
【００２３】
さらに、複数の防塵部材の重ね合せ部分には、折曲部を搬送経路内に向けて折り畳まれた平板状の可撓性を有する耐熱シートを配置することができる。
【００２４】
この構成では、複数の防塵部材がそれぞれの間に折曲部を搬送経路内に向けて折り畳まれた平板状の可撓性を有する耐熱シートを挟んで重ね合わされる。したがって、経時変形や振動の作用によって複数の防塵部材の重ね合わせ部分に間隙が形成されることがなく、搬送経路内への塵埃の侵入が確実に防止される。
【発明の効果】
【００２５】
この発明の熱処理装置によれば、防塵部材の支持に排気ボックスを用いないようにし、経時変形を生じたり振動が作用した場合にも、搬送経路の上面には塵埃やパーティクルの通過する間隙が形成されないようにすることができる。外壁部材やヒータ等から発生した塵埃等が搬送経路内に侵入することを確実に防止して、搬送経路内の清浄度を向上することができる。
【００２６】
また、複数の防塵部材をそれぞれの間に可撓性の耐熱シートを挟んで突き合わせ又は重ね合わせ、経時変形を生じたり振動が作用した場合にも、複数の防塵部材の間には塵埃等の通過する間隙が形成されないようにすることができる。外壁部材やヒータ等から発生した塵埃等が搬送経路内に侵入することを確実に防止して、搬送経路内の清浄度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１（Ａ）及び（Ｂ）は、この発明の第１の実施形態に係る熱処理装置１０の構成を示す要部の側面断面図及び正面断面図である。熱処理装置１０は、一例として、被処理物２０であるプラズマディスプレイ用のガラス基板に対して熱処理を行う。熱処理装置１０は、外壁部材１１〜１４、搬送ローラ２、耐熱ガラス３１〜３４、排気ボックス４を備えている。
【００２８】
外壁部材１１〜１４は、断熱材料によって構成されており、それぞれ被処理物２０が搬送される搬送経路の上面、下面及び左右両側面を被覆する。少なくとも外壁部材１１は、内側面に図示しないヒータを備えている。外壁部材１１〜１４のそれぞれは、矢印Ｘで示す搬送経路に沿って複数に分割されている。
【００２９】
排気ボックス４は、加熱によって被処理物から発生した昇華ガスを外部に排出する。排気ボックス４は、左右両側面の耐熱ガラス３３，３４及び外壁部材１３，１４を貫通しており、熱処理装置１０の右側面側で図示しないエジェクタに接続されている。
【００３０】
搬送ローラ２は、搬送経路に沿う複数の位置のそれぞれに備えられている。搬送ローラ２は、両端部が外壁部材１３及び外壁部材１４並びに耐熱ガラス３３及び耐熱ガラス３４を貫通しており、左側面側及び右側面側の炉外で軸受２１，２２によって回転自在に支持されている。搬送ローラ２には、図示しない搬送モータの回転が伝達される。
【００３１】
耐熱ガラス３１〜３４は、この発明の防塵部材であり、それぞれ外壁部材１１〜１４の炉内面側に配置されている。耐熱ガラス３１〜３４は、外壁部材１から離脱した塵埃が、被処理物２０に付着することを防止する。耐熱ガラス３１〜３４のそれぞれは、搬送経路に沿って複数に分割されている。
【００３２】
上面の耐熱ガラス３１は、排気ボックス４の上面よりも上方に配置されている。各耐熱ガラス３１は、交互に重ね合わせている。左側面側の外壁部材１３及び右側面側の外壁部材１４には、内側面にそれぞれ段部１３Ａ，１４Ａが形成されている。各耐熱ガラス３１は、左側面側の端部３１Ｃを段部１３Ａに載せ、右側面側の端部３１Ｄを段部１４Ａに載せている。
【００３３】
下面の耐熱ガラス３２は、搬送経路の下流側の端面を隣接する別の耐熱ガラス３２の上流側の端面に突き合わせて配置される。左側面の耐熱ガラス３３及び右側面の耐熱ガラス３４も同様である。また、耐熱ガラス３３及び耐熱ガラス３４の上側の端面は、耐熱ガラス３１の端部と突き合わされている。耐熱ガラス３３及び耐熱ガラス３４の下側の端面は、耐熱ガラス３２の端部と突き合わされている。
【００３４】
複数の耐熱ガラス３１は、互いに端部を重ね合わせて配置される。複数の耐熱ガラス３１を排気ボックス４によって支持する必要がなく、耐熱ガラス３１と排気ボックス４との摩擦によるパーティクルの発生がなく、また両者の隙間から搬送経路内に塵埃が侵入することがない。
【００３５】
なお、図２に示すように、複数の耐熱ガラス３１を搬送経路に沿う複数の位置に配置された支持棒５によって支持することもできる。支持棒５は、例えばセラミック材料で構成することができ、耐熱ガラス３１の下面に当接させる。この支持棒５は、段部１３Ａ及び１４Ａに代えて配置することができ、段部１３Ａ及び１４Ａとともに配置することもできる。
【００３６】
図３は、この発明の第２の実施形態に係る熱処理装置１０における耐熱ガラス３１の重ね合わせ部分の状態を示す図である。各耐熱ガラス３１は、搬送経路の下流側の端部３１Ａを隣接する他の耐熱ガラス３１の上流側の端部３１Ｂの上方にして、両者の間に耐熱クロスシール材６を挟んで重ね合わせている。
【００３７】
耐熱クロスシール材６は、この発明の耐熱シートの一例であり、可撓性を有する。耐熱クロスシール材６は、一例として、平板状のシート体を折曲部を搬送経路内に向けて折り畳まれている。
【００３８】
経時変形や寸法誤差によって２枚の耐熱ガラス３１の重ね合わせ部分に間隙を生じた場合に、この間隙が耐熱クロスシール材６によって塞がれる。２枚の耐熱ガラス３１の重ね合わせ部分に生じた間隙から塵埃が搬送経路内に侵入することがない。
【００３９】
図４は、この発明の第３の実施形態に係る熱処理装置１０における耐熱ガラス３１〜３４の突き合わせ部分の状態を示す図である。図４（Ａ）に示すように、各耐熱ガラス３３は、搬送経路の下流側の端面３３Ａを隣接する他の耐熱ガラス３３の上流側の端面３３Ｂとの間に耐熱クロスシール材７を挟んで突き合わせている。
【００４０】
耐熱クロスシール材７は、この発明の耐熱シートの一例であり、可撓性を有する。耐熱クロスシール材７は、一例として、中空の柱状体である。
【００４１】
経時変形や寸法誤差によって２枚の耐熱ガラス３３の重ね合わせ部分に間隙を生じた場合に、この間隙が耐熱クロスシール材７によって塞がれる。２枚の耐熱ガラス３３の重ね合わせ部分に生じた間隙から塵埃が搬送経路内に侵入することがない。
【００４２】
下面の耐熱ガラス３２同士の間の突き合わせ部分、及び、右側面の耐熱ガラス３４同士の間の突き合わせ部分も、耐熱ガラス３３同士の突き合わせ部分と同様に構成することができる。また、耐熱ガラス３３及び耐熱ガラス３４と耐熱ガラス３１との間の突き合わせ部分、及び、耐熱ガラス３３及び耐熱ガラス３４と耐熱ガラス３２との間の突き合わせ部分も、例えば、図４（Ｂ）に示すように、耐熱ガラス３３同士の突き合わせ部分と同様に構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】この発明の第１の実施形態に係る熱処理装置の構成を示す要部の側面断面図及び正面断面図である。
【図２】熱処理装置における熱処理の内容を示す図である。
【図３】この発明の第２の実施形態に係る熱処理装置における耐熱ガラスの重ね合わせ部分の状態を示す図である。
【図４】この発明の第３の実施形態に係る熱処理装置における耐熱ガラス３１〜３４の突き合わせ部分の状態を示す図である。
【図５】従来の熱処理装置の要部の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
２  搬送ローラ
４  排気ボックス
５  支持棒
６，７  耐熱クロスシート体
１０  熱処理装置
１１〜１４  外壁部材
２０  被処理物
３１〜３４  耐熱ガラス（防塵部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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