(57)【要約】【課題】鉄系の金属材料に、カゼインを用いたフォトレジストを塗布しフォトレジスト層を形成しても、塗布工程から乾燥工程の間で金属材料の表面に錆が発生しないエッチング部品の製造方法を提供すること。【解決手段】フォトエッチング法により鉄系の金属薄板など、金属材料を加工するエッチング部品の製造方法にて、フォトエッチング法にて用いるフォトレジストとして、カゼイン、重クロム酸アンモン、アンモニア水からなり、アルカリ性のフォトレジストを用いること。フォトレジストのアルカリ性がｐＨ７．４５±０．１５であること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトエッチング法により鉄系の金属材料を加工するエッチング部品の製造方法において、前記フォトエッチング法にて用いるフォトレジストとして、カゼイン、重クロム酸アンモン、アンモニア水からなり、アルカリ性のフォトレジストを用いることを特徴とするエッチング部品の製造方法。
【請求項２】
前記金属材料が電子部品の製造に用いる金属薄板であることを特徴とする請求項１記載のエッチング部品の製造方法。
【請求項３】
前記アルカリ性がｐＨ７．４５±０．１５であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のエッチング部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチング部品の製造方法に関するものであり、特に、鉄系の金属材料の表面に錆が発生することのないエッチング部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
リードフレーム、シャドウマスクなどの電子部品は、フォトエッチング法を用いて製造されることが多い。これら電子部品の材料としては、鉄、鉄−ニッケル合金、鉄−コバルト−ニッケル合金など鉄系の金属薄板が広く用いられている。
フォトエッチング法では、先ず、フォトリソグラフィ法によって金属薄板上に所定形状のレジストパターンを形成し、次に、レジストパターンが形成された金属薄板の露出部分をウエットエッチングによって除去し、金属薄板に開口パターンを形成する。
【０００３】
金属薄板上にレジストパターンを形成する一方法を挙げると、金属薄板に付着している油分や有機系の汚れなどをアルカリによる脱脂処理で除去し、次いで、フォトレジストの密着性を向上させるための酸による整面処理を行う。
続いて、金属薄板上にフォトレジストを塗布、乾燥し、フォトレジスト層を形成する。このフォトレジスト層に、遮光パターンを有するフォトマスクを介した露光を与え、現像及び硬膜処理を施し、所定形状のレジストパターンを形成するといった方法である。
【０００４】
この際に用いられるフォトレジストとしては、例えば、カゼイン又はポリビニルアルコールと、重クロム酸アンモンからなる水溶性のフォトレジストが用いられる。カゼインを用いた際のフォトレジストは、カゼイン原液、重クロム酸アンモン、純水によって調製されるが、使用される状態のフォトレジストは、弱酸性であり、ｐＨは６．８７程度のものである。
【０００５】
鉄系の金属薄板上に、上記ｐＨ６．８７程度のカゼインを用いフォトレジストを塗布、乾燥してフォトレジスト層を形成すると、フォトレジスト層を形成した後の金属薄板の表面に錆が発生する。
フォトレジスト層を形成する際の乾燥時間は、例えば、１０分間程度であるが、金属薄板の表面の錆はフォトレジストを塗布工程から乾燥工程の間で発生したものである。
【０００６】
この金属薄板の表面に発生した錆は、後の工程であるウエットエッチングにおけるエッチングに悪影響を及ぼし、また、最終のエッチング部品においても残存していることが多く、製造したエッチング部品は外観不良となってしまう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、鉄系の金属材料、例えば、金属薄板に、カゼインをポリマーとし、重クロム酸アンモンを架橋剤とした水溶性フォトレジストを塗布しフォトレジスト層を形成しても、フォトレジストの塗布工程から乾燥工程の間で金属薄板の表面に錆が発生することのないエッチング部品の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、フォトエッチング法により鉄系の金属材料を加工するエッチング部品の製造方法において、前記フォトエッチング法にて用いるフォトレジストとして、カゼイン、重クロム酸アンモン、アンモニア水からなり、アルカリ性のフォトレジストを用いることを
特徴とするエッチング部品の製造方法である。
【０００９】
また、本発明は、上記発明によるエッチング部品の製造方法において、前記金属材料が電子部品の製造に用いる金属薄板であることを特徴とするエッチング部品の製造方法である。
【００１０】
また、本発明は、上記発明によるエッチング部品の製造方法において、前記アルカリ性がｐＨ７．４５±０．１５であることを特徴とするエッチング部品の製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、フォトエッチング法にて用いるフォトレジストとして、カゼイン、重クロム酸アンモン、アンモニア水からなり、アルカリ性のフォトレジストを用いるエッチング部品の製造方法であるので、鉄系の金属材料、例えば、金属薄板に、カゼインをポリマーとし、重クロム酸アンモンを架橋剤とした水溶性フォトレジストを塗布しフォトレジスト層を形成しても、フォトレジストの塗布工程から乾燥工程の間で金属薄板の表面に錆が発生することのないエッチング部品の製造方法となる。
【００１２】
また、本発明は、上記フォトレジストのアルカリ性がｐＨ７．４５±０．１５であるので、防錆の効果、及びフォトレジストの感度が良好なエッチング部品の製造方法となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
本発明者は、フォトレジストの塗布工程から乾燥工程の間での錆の発生を防止するために、フォトレジスト、処理液、処理条件、等々を精査した結果、錆の発生にはフォトレジストのｐＨが関与していることを見出し本発明をするに至った。
【００１４】
本発明におけるフォトレジストは、カゼインをポリマーとし、重クロム酸アンモンを架橋剤としたフォトレジストであり、アンモニア水を添加することによってアルカリ性とした水溶性フォトレジストである。
フォトレジストをアルカリ性にすることによって、フォトレジストの塗布工程から乾燥工程の間での錆の発生は解消されたものとなる。また、本発明においては、フォトレジストの塗布前の酸による整面処理は施さないことが好ましい。
【００１５】
本発明においては、フォトレジストをアルカリ性にする際に、アンモニア水を用いているため、乾燥の途中でアンモニアは蒸発し他の成分へ影響することはなくなる。
【００１６】
また、本発明においては、フォトレジストのアルカリ性がｐＨ７．４５±０．１５であることを特徴としている。ｐＨが７．３０以下であると防錆の効果は減少し、ｐＨが７．６０以上であるとフォトレジストの感度が低下するので、ｐＨは７．４５±０．１５であることが好ましい。
【００１７】
また、本発明においては、フォトレジストの調製は、例えば、カゼイン原液（  ｐＨ８．２）に重クロム酸アンモンを架橋剤を添加しｐＨ６．８７に調合した後に、アンモニア水を添加しｐＨを７．４５±０．１５に調整することによって行われる。
【００１８】
図１は、本発明によるエッチング部品の製造方法における、フォトレジストの塗布工程の一例の説明図である。
図１に示すように、塗布工程は、脱脂処理装置（１０）、洗浄装置（２０）、塗布装置（３０）、乾燥装置（４０）、巻出し装置（５０）、及び巻取り装置（６０）で構成されている。洗浄装置（２０）は井水ノズル（２１）と純水ノズル（２２）で構成されている。
【００１９】
コイル状の金属薄板（材料コイル）（Ｃ１）は、巻出し装置（５０）より供給され、アルカリの脱脂液（１１）を用いた脱脂処理装置（１０）、井水及び純水を用いた洗浄装置（２０）、本発明によるフォトレジスト（３１）を用いた塗布装置（３０）、及び乾燥（４０）を経てフォトレジスト層が形成され、巻取り装置（６０）で塗布コイル（Ｃ２）として巻取られる。
【００２０】
従来、金属薄板の表面の錆は、上記塗布装置（３０）〜乾燥装置（４０）間で発生していたのであるが、本発明によるフォトレジスト（３１）を用いることによって、錆の発生は解消される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明によるエッチング部品の製造方法における、フォトレジストの塗布工程の一例の説明図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０・・・脱脂処理装置
１１・・・脱脂液
２０・・・洗浄装置
２１・・・井水ノズル
２２・・・純水ノズル
３０・・・塗布装置
３１・・・本発明によるフォトレジスト
４０・・・乾燥装置
５０・・・巻出し装置
６０・・・巻取り装置
Ｃ１・・・材料コイル
Ｃ２・・・塗布コイル
【図１】
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