(57)【要約】【課題】被測定物体たる粒子が被観察視野の範囲にまたがるように存在する場合でも、当該被観察視野の範囲にまたがる被測定物体たる粒子を正しく測定することを可能にする。【解決手段】試料を載置するとともにＸＹ座標軸方向に移動自在なＸＹ座標移動手段と、上記ＸＹ座標移動手段に載置された試料を観察する顕微鏡と、上記顕微鏡で認識される被観察視野を撮像する撮像手段と、上記撮像手段で撮像された画像を画像処理して試料に含まれる粒子を測定する処理手段とを有する粒子測定装置において、上記撮像手段の撮像領域の少なくとも一部の領域を、上記試料に含まれる粒子の測定対象粒子径最大値よりも内側に移動した領域を設定し、該設定した領域内を上記試料に含まれる粒子の測定領域とし、上記試料に含まれる粒子の固有な座標が上記測定領域内にあるときのみ、上記処理手段が上記試料に含まれる粒子を測定するようにした。【選択図】        図１
2007327782.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を載置するとともにＸＹ座標軸方向に移動自在なＸＹ座標移動手段と、
前記ＸＹ座標移動手段に載置された試料を観察する顕微鏡と、
前記顕微鏡で認識される被観察視野を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像された画像を画像処理して試料に含まれる粒子を測定する処理手段と
を有する粒子測定装置において、
前記撮像手段の撮像領域の少なくとも一部の領域を、前記試料に含まれる粒子の測定対象粒子径最大値よりも内側に移動した領域を設定し、該設定した領域内を前記試料に含まれる粒子の測定領域とし、前記試料に含まれる粒子の固有な座標が前記測定領域内にあるときのみ、前記処理手段が前記試料に含まれる粒子を測定する
ことを特徴とする粒子測定装置。
【請求項２】
試料を載置するとともにＸＹ座標軸方向に移動自在なＸＹ座標移動手段と、
前記ＸＹ座標移動手段に載置された試料を観察する顕微鏡と、
前記顕微鏡で認識される被観察視野を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像された画像を画像処理して試料に含まれる粒子を測定する処理手段と
を有する粒子測定装置において、
前記処理手段は、前記撮像手段により撮像された画像に基づいて、前記試料に含まれる全粒子の２値化画像と前記試料に含まれる全粒子のなかの白粒子の２値化画像を生成し、前記試料に含まれる全粒子の２値化画像と前記試料に含まれる全粒子のなかの白粒子の２値化画像とを、前記試料に含まれる全粒子の２値化画像をマスク図形として前記試料に含まれる全粒子のなかの白粒子の２値化画像を限定的膨張してＸＯＲ処理にて統合し、前記試料に含まれる金属粒子の２値化画像を生成する
ことを特徴とする粒子測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の粒子測定装置において、
前記処理手段は、前記試料に含まれる全粒子の２値化画像と前記金属粒子の２値化画像とをＸＯＲ処理にて統合し、前記試料に含まれる白粒子以外の２値化画像を生成し、前記試料に含まれる全粒子の２値化画像と前記金属粒子の２値化画像と前記試料に含まれる白粒子以外の２値化画像とに基づいて、前記試料に含まれる全粒子を検出し、該検出した粒子に対して優先順に種別の判定をする
ことを特徴とする粒子測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粒子測定装置に関し、さらに詳細には、顕微鏡を用いて被観察視野の範囲よりも大きな試料上に存在する被測定物体たる粒子を撮像し、それらの形状や大きさや個数を測定する粒子測定装置に関する。
【０００２】
なお、上記被測定物体たる粒子としては、例えば、金属粒子や非金属粒子などの各種の材料が対象となる。
【背景技術】
【０００３】
従来より、被測定物体としての粒子を測定する粒子測定装置として、顕微鏡を用いて被観察視野の範囲よりも大きな試料上に存在する被測定物体たる粒子を撮像し、撮像した粒子の形状や大きさあるいは個数などを測定することのできる粒子測定装置が知られている。
【０００４】
しかしながら、こうした従来の粒子測定装置においては、被測定物体たる粒子が被観察視野の範囲にまたがるように存在する場合には、当該被観察視野の範囲にまたがる被測定物体たる粒子を正しく測定することができないという問題点があった。
【０００５】
また、従来の粒子測定装置によれば、例えば、金属粒子などを測定する場合には、本来は１個の粒子であるにもかかわらずその形状や照明の状態で斑に観察されてしまい、その結果、１個の被測定物体を１個の粒子として正しく測定することができない恐れがあるという問題点があった。
【０００６】
さらに、従来の粒子測定装置においては、例えば、背景よりも明るい金属粒子と背景よりも暗い非金属粒子との測定を実行すると、その測定結果は粒子総数真値には程遠いものとなってしまうという問題点があった。
【０００７】
なお、本願出願人が特許出願時に知っている先行技術は、上記において説明したようなものであって文献公知発明に係る発明ではないため、記載すべき先行技術情報はない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記したような従来の技術の有する種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被測定物体たる粒子が被観察視野の範囲にまたがるように存在する場合でも、当該被観察視野の範囲にまたがる被測定物体たる粒子を正しく測定することを可能にした粒子測定装置を提供しようとするものである。
【０００９】
また、本発明の目的とするところは、金属粒子などを測定する場合でも、１個の被測定物体を１個の粒子として正しく測定することを可能にした粒子測定装置を提供しようとするものである。
【００１０】
さらに、本発明の目的とするところは、背景よりも明るい金属粒子と背景よりも暗い非金属粒子との測定を行った際にも、その測定結果として粒子総数真値を得ることができるようにした粒子測定装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明のうち請求項１に記載の発明は、試料を載置するとともにＸＹ座標軸方向に移動自在なＸＹ座標移動手段と、上記ＸＹ座標移動手段に載置された試料を観察する顕微鏡と、上記顕微鏡で認識される被観察視野を撮像する撮像手段と、上記撮像手段で撮像された画像を画像処理して試料に含まれる粒子を測定する処理手段とを有する粒子測定装置において、上記撮像手段の撮像領域の少なくとも一部の領域を、上記試料に含まれる粒子の測定対象粒子径最大値よりも内側に移動した領域を設定し、該設定した領域内を上記試料に含まれる粒子の測定領域とし、上記試料に含まれる粒子の固有な座標が上記測定領域内にあるときのみ、上記処理手段が上記試料に含まれる粒子を測定するようにしたものである。
【００１２】
また、本発明のうち請求項２に記載の発明は、試料を載置するとともにＸＹ座標軸方向に移動自在なＸＹ座標移動手段と、上記ＸＹ座標移動手段に載置された試料を観察する顕微鏡と、上記顕微鏡で認識される被観察視野を撮像する撮像手段と、上記撮像手段で撮像された画像を画像処理して試料に含まれる粒子を測定する処理手段とを有する粒子測定装置において、上記処理手段は、上記撮像手段により撮像された画像に基づいて、上記試料に含まれる全粒子の２値化画像と上記試料に含まれる全粒子のなかの白粒子の２値化画像を生成し、上記試料に含まれる全粒子の２値化画像と上記試料に含まれる全粒子のなかの白粒子の２値化画像とを、上記試料に含まれる全粒子の２値化画像をマスク図形として上記試料に含まれる全粒子のなかの白粒子の２値化画像を限定的膨張してＸＯＲ処理にて統合し、上記試料に含まれる金属粒子の２値化画像を生成するようにしたものである。
【００１３】
また、本発明のうち請求項３に記載の発明は、本発明のうち請求項２に記載の発明において、上記処理手段は、上記試料に含まれる全粒子の２値化画像と上記金属粒子の２値化画像とをＸＯＲ処理にて統合し、上記試料に含まれる白粒子以外の２値化画像を生成し、上記試料に含まれる全粒子の２値化画像と上記金属粒子の２値化画像と上記試料に含まれる白粒子以外の２値化画像とに基づいて、上記試料に含まれる全粒子を検出し、該検出した粒子に対して優先順に種別の判定をするようにしたものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、以上説明したように構成されているので、被測定物体たる粒子が被観察視野の範囲にまたがるように存在する場合でも、当該被観察視野の範囲にまたがる被測定物体たる粒子を正しく測定することができるようになるという優れた効果を奏する。
【００１５】
また、本発明は、以上説明したように構成されているので、金属粒子などを測定する場合でも、１個の被測定物体を１個の粒子として正しく測定することができるようになるという優れた効果を奏する。
【００１６】
さらに、本発明は、以上説明したように構成されているので、背景よりも明るい金属粒子と背景よりも暗い非金属粒子との測定を行った際にも、その測定結果として粒子総数真値を得ることができるようになるという優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付の図面に基づいて、本発明による粒子測定装置の実施の形態の一例について説明する。
【００１８】
図１には、本発明による粒子測定装置の実施の形態の一例を表す概念構成説明図が示されている。
【００１９】
この粒子測定装置１０は、被測定物体たる粒子が存在する試料１２を載置するとともに試料１２を載置した状態でＸＹ座標方向（図１のＸＹＺ直交座標系を示す参考図を参照する。）に移動自在なＸＹ座標移動手段たるＸＹステージ１４と、ＸＹステージ１４のＸＹ方向への移動を制御する制御装置１６と、ＸＹステージ１４上に載置された試料１２を観察する観察手段たる光学顕微鏡などの顕微鏡１８と、顕微鏡１８の被観察視野を撮像する被観察視野に対する撮像手段たるＣＣＤカメラ２０と、ＣＣＤカメラ２０により撮像された画像を画像処理して粒子の測定処理を行う処理装置２２と、処理装置２２による処理結果を表示する表示手段たるディスプレイ２４と、処理装置２２による処理結果を印刷して出力するプリンター２６とを有して構成されている。
【００２０】
ここで、試料１２は、例えば、機械部品を液体で洗浄し、その洗浄液を濾過した直後の直径４７ｍｍの濾紙であり、その濾紙上に付着した粒子が被測定物体となる。
【００２１】
また、制御装置１６ならびに処理装置２２は、例えば、パーソナルコンピューターなどのコンピューターにより構成することができる。
【００２２】
そして、制御装置１６は、顕微鏡１８で認識される被観察視野の範囲内で、ＸＹステージ１４のＸＹ方向への移動を制御する。
【００２３】
以上の構成において、上記した粒子測定装置１０によれば、顕微鏡１８により試料１２全体を観察することができるように、制御装置１６の制御によりＸＹステージ１４をＸＹ方向へ走査する。
【００２４】
そして、顕微鏡１８による観察結果をＣＣＤカメラにて撮像し、処理装置２２はＣＣＤカメラ２０により撮像された画像を画像処理して粒度分布の測定処理を行う。この際に、最初に全ての被測定物体を認知し、これにより全被測定物体の個数を測定する。
【００２５】
ここで、この粒子測定装置１０においては、粒度分布測定に際して、試料１２に対して所定の区間を設定して測定することができる。
【００２６】
即ち、粒子測定装置１０は任意に定義できる区間および区間数について粒度分布測定を実行するものであり、区間の最小値は、例えば、５μｍであり、区間の最大値は、例えば、１０００μｍであり、区間数は、例えば、１〜２０個である。
【００２７】
そして、この粒子測定装置１０においては、想定する被測定物体の大きさの最大値の幅を持つマージンを、被観察視野範囲のすぐ内側に設定する大きさの走査ステップ量とするようになされている。
【００２８】
即ち、撮像手段たるＣＣＤカメラ２０の有効視野内において想定される被測定物体の最大値のマージンを、有効視野内の左右、上下などの少なくともいずれか一部の領域に配して被測定範囲を走査し、被測定物体を検知する際にその始点もしくは終点など被測定物体に固有な座標がそのマージン内にあるときのみ、測定対象として測定を実行するようにしたものである。
【００２９】
これにより、被観察視野間にまたがる被測定物体の形状や大きさを損ねることなく、被観察視野よりも大きな範囲の被測定物体の個数およびそれら個々の形状、大きさを測定することができる。
【００３０】
次に、この原理、即ち、粒子個数を計数する際に過不足なく粒子測定を実行できる原理について、図面を参照しながら説明する。なお、この原理の説明において用いる「測定対象粒子径」、「ＦＣＰ（Ｆｅａｔｕｒｅ  Ｃｏｕｎｔｉｎｇ  Ｐｏｉｎｔ）座標」、「測定フレーム（Ｍｅａｓｕｒｅ  Ｆｒａｍｅ）」ならびに「イメージフレーム（Ｉｍａｇｅ  Ｆｒａｍｅ）」は、以下のように定義されているものとする。
【００３１】
（１）測定対象粒子径
粒子測定装置１０により測定すべき被測定物体たる粒子の大きさを示すものである。この実施の形態においては、測定対象粒子径最大値は１０００［μｍ］であり、測定対象粒子径最小値は５［μｍ］である。
【００３２】
（２）ＦＣＰ（Ｆｅａｔｕｒｅ  Ｃｏｕｎｔｉｎｇ  Ｐｏｉｎｔ）座標
ＦＣＰ座標とは、各粒子のそれぞれに１つしかない粒子固有の座標である。この実施の形態においては、粒子占有領域のＹ最大値におけるＸ最大値をＦＣＰ座標とする。なお、この実施の形態におけるディスプレイ２４においては、画面の左上を原点（０，０）とし、画面右側に行くほどＸ値が大きくなり、下に行くほどＹ値が大きくなるように設定されている。
【００３３】
（３）測定フレーム（Ｍｅａｓｕｒｅ  Ｆｒａｍｅ）：
ＦＣＰ座標が測定フレームの内側に存在するとき、このＦＣＰ座標の粒子全体を測定する。
【００３４】
（４）イメージフレーム（Ｉｍａｇｅ  Ｆｒａｍｅ）：
ＣＣＤカメラ２０により画像を取得するときの撮像領域である。
【００３５】
ここで、図２には、粒子測定装置１０のＸＹステージ１４をＸＹ方向へ走査して、顕微鏡１８により試料１２を走査してＣＣＤカメラ２０により画像を取得する際における、イメージフレーム、測定フレームならびに測定対象粒子径最大値の関係を示す説明図である。
【００３６】
即ち、粒子測定装置１０においては、四角形上のイメージフレームの上辺方向、下辺方向、左辺方向あるいは右辺方向の少なくともいずれか一方の方向（図２に示す例においては上辺方向である。）において、イメージフレームの内側に測定対象粒子径最大値の大きさ分だけ寄せた領域を測定フレームとして、この測定フレームが連続するとともにイメージフレーム、測定フレームならびに測定対象粒子径最大値の関係が維持されるようにして試料１２の走査を行うようにするものである。
【００３７】
そして、こうした測定フレームを用いると、図３に示すように、イメージフレームの内側に存在する粒子であっても、ＦＣＰ座標が測定フレームの内側に存在しないならば、当該測定フレームでは測定されないことになる。
【００３８】
つまり、上記した測定フレームを用いることにより、図３に示すように、イメージフレームの内側に存在する粒子であり、かつ、ＦＣＰ座標が測定フレームの内側に存在する粒子のみが、当該測定フレームにより測定されることになる。
【００３９】
従って、図４に示すように、測定フレームとして測定フレーム１〜６の６個の測定フレームが連続するようにして試料１２を走査した場合には、測定すべき被測定物体たるそれぞれの粒子１〜４は、それぞれのＦＣＰ座標が含まれる測定フレームでのみ測定されることになる。
【００４０】
具体的には、粒子１および粒子２は、それぞれのＦＣＰ座標が測定フレーム１内に存在するため、測定フレーム１でのみ測定される。一方、粒子３および粒子４は、それぞれのＦＣＰ座標が測定フレーム５内に存在するため、測定フレーム１でのみ測定されることになる。
【００４１】
次に、この粒子測定装置１０においては、個々の被測定物体のうちで、その一部分でも背景より白く光る箇所がある本来１個の粒子を正しく１個の粒子として測定できるようになされている。
【００４２】
また、粒子測定装置１０においては、まず被観察視野に存在するすべての被測定物体を抽出し、抽出された被測定物体のうち、背景よりも白く光る部分を持つ被測定物体と、それ以外の被測定物体とに分けて、それらの形状や大きさなどを測定することができる。
【００４３】
即ち、粒子測定装置１０は、処理装置２２で実行される図５および図６のフローチャートに示す処理ルーチンにより、個々の被測定物体のうち、単独の白粒子および白粒子に接する黒粒子を１個の粒子として統合することにより、一部分でも背景より白く光る箇所がある、本来１個の粒子を１個の粒子として測定できるようになされている。
【００４４】
ここで、図５および図６に示すフローチャートを参照しながら、上記処理ルーチンについて説明すると、ＣＣＤカメラ２０で試料１２の画像を撮像し、当該ＣＣＤカメラ２０で撮像した画像を原画像（Ｉｍａｇｅ０）とする（ステップＳ５０２）。
【００４５】
次に、原画像Ｉｍａｇｅ０に対してＢｌａｃｋ  Ｔｏｐ  Ｈａｔもどき（ＢＴＨもどき）処理を行って画像Ｉｍａｇｅ１を生成する（ステップＳ５０４）。
【００４６】
ここで、ＢＴＨもどき処理とは、原画像にＷｈｉｔｅｆｌｏｏｄ（「Ｗｈｉｔｅｆｌｏｏｄ」とは、周りを明るい領域で囲まれた暗い領域を、周囲と同程度の輝度レベルに変換する画像処理である。）したものから原画像を引く画像処理を意味し、白い点として黒い領域が残ることになる。
【００４７】
また、原画像Ｉｍａｇｅ０に対してＷｈｉｔｅ  Ｔｏｐ  Ｈａｔ（ＷＴＨ）処理を行って画像Ｉｍａｇｅ２を生成する（ステップＳ５０６）。
【００４８】
ここで、ＷＴＨ処理とは、原画像から、原画像をＯｐｅｎ処理（収縮、膨張）したものを引く画像処理を意味し、白くて小さい点のみが残ることになる。
【００４９】
それから、画像Ｉｍａｇｅ１を２値化処理して画像Ｂｉｎａｒｙ０を生成する（ステップＳ５０８）。この処理により、黒粒子だけが抽出されることになる。
【００５０】
同様に、画像Ｉｍａｇｅ２を２値化処理して画像Ｂｉｎａｒｙ１を生成する（ステップＳ５１０）。この処理により、白微小領域が抽出されることになる。
【００５１】
また、原画像Ｉｍａｇｅ０に対して白領域単純２値化処理を行い、画像Ｂｉｎａｒｙ２を生成する（ステップＳ５１２）。これにより、明らかに背景よりも明るい領域が抽出される。
【００５２】
それから、ステップＳ５１０で生成した画像Ｂｉｎａｒｙ１とステップＳ５１２で生成した画像Ｂｉｎａｒｙ２とをＯＲ処理により統合し、画像Ｂｉｎａｒｙ３を生成する（ステップＳ５１４）。この処理により、白領域が得られる。
【００５３】
さらに、画像Ｂｉｎａｒｙ３に対して２値化画像Ｃｌｏｓｅ処理を行い、画像Ｂｉｎａｒｙ４を生成する（ステップＳ５１６）。この処理により、白粒子だけが抽出されることになる。
【００５４】
そして、こうしてステップＳ５１６で生成された画像Ｂｉｎａｒｙ４とステップＳ５０８で生成された画像Ｂｉｎａｒｙ０とをＯＲ処理により統合し、画像Ｂｉｎａｒｙ５を生成する（ステップＳ５１８）。
【００５５】
さらに、ステップＳ５１８で生成された画像Ｂｉｎａｒｙ５に対して２値化画像Ｃｌｏｓｅ処理を行い、画像Ｂｉｎａｒｙ６を生成する（ステップＳ５１６）。この処理により、全粒子の２値化画像が得られることになる。
【００５６】
即ち、上記したステップＳ５０２からステップＳ５２０の処理により、全粒子の検出が完了する。
【００５７】
そして、金属粒子の検出は、処理装置２２で実行される図６のフローチャートに示す処理ルーチンにより実行することができる。
【００５８】
即ち、ステップＳ５２０で生成した全粒子の２値化画像である画像Ｂｉｎａｒｙ６（ステップＳ６０２）とステップＳ５１６で生成した白粒子の２値化画像である画像Ｂｉｎａｒｙ４（ステップＳ６０４）とを、画像Ｂｉｎａｒｙ６をマスク図形として画像Ｂｉｎａｒｙ４を限定的膨張してＸＯＲ処理にて統合し、画像Ｂｉｎａｒｙ７を生成する（ステップＳ６０６）。こうして生成された画像Ｂｉｎａｒｙ７は、金属粒子２値化画像となる。
【００５９】
即ち、上記したステップＳ６０２からステップＳ６０６の処理により、金属粒子の検出が完了する。
【００６０】
次に、白粒子以外の粒子の検出は、処理装置２２で実行される図７のフローチャートに示す処理ルーチンにより実行することができる。
【００６１】
即ち、ステップＳ５２０で生成した全粒子の２値化画像である画像Ｂｉｎａｒｙ６（ステップＳ７０２）とステップＳ６０６で生成した金属粒子の２値化画像である画像Ｂｉｎａｒｙ７（ステップＳ７０４）とを、ＸＯＲ処理にて統合し、画像Ｂｉｎａｒｙ８を生成する（ステップＳ７０６）。こうして生成された画像Ｂｉｎａｒｙ８は、白粒子以外の粒子の２値化画像となる。
【００６２】
即ち、上記したステップＳ７０２からステップＳ７０６の処理により、白粒子以外の粒子の検出が完了する。
【００６３】
従って、画像Ｂｉｎａｒｙ７に基づいて、個々の被測定物体のうちで、その一部分でも背景より白く光る箇所がある本来１個の粒子を、正しく１個の粒子として測定できるようになり、また、まず被観察視野に存在するすべての被測定物体を抽出し、抽出された被測定物体のうち、背景よりも白く光る部分を持つ被測定物体と、それ以外の被測定物体とに分けて、それらの形状や大きさなどを測定することができるようになる。
【００６４】
要するに、粒子測定装置１０によれば、撮像手段たるＣＣＤカメラ２０の有効視野よりも大きな面積を有する被観察範囲上に存在する、被測定物体たる粒子の大きさと形状を正確に測定することができるようになる。
【００６５】
また、粒子測定装置１０においては、本来１個の粒子であるにもかかわらずその光の反射具合によって明暗複数の部分に分割されて観察される粒子でも、正しく１個の粒子として測定することができるようになる。
【００６６】
さらに、粒子測定装置１０によれば、画像Ｂｉｎａｒｙ６、画像Ｂｉｎａｒｙ７、画像Ｂｉｎａｒｙ８に基づいて、全粒子の大きさと形状を正確に測定することができるので、全粒子を検出してからその中で優先順位をつけて粒子の種別判定をすることができる。
【００６７】
なお、上記した実施の形態においては、粒子占有領域のＹ最大値におけるＸ最大値をＦＣＰ座標としたが、これに限られるものではないことは勿論であり、ＦＣＰ座標は適宜に設定してよい。例えば、粒子占有領域のＹ最小値におけるＸ最小値をＦＣＰ座標としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、インジェクタの洗浄度検査、コモンレール等燃料系部品の洗浄度検査、トランスミッション部品の洗浄度検査あるいはブレーキシステム部品の洗浄度検査などに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】図１は、本発明による粒子測定装置の実施の形態の一例を表す概念構成説明図である。
【図２】図２は、イメージフレーム、測定フレームならびに測定対象粒子径最大値の関係を示す説明図である。
【図３】図３は、イメージフレームならびに測定フレームと測定可能な粒子との関係を示す説明図である。
【図４】図４は、イメージフレームならびに測定フレームと測定可能な粒子との関係を示す説明図である。
【図５】図５は、本発明による粒子測定装置の実施の形態の一例の処理ルーチンを示すフローチャートである。
【図６】図６は、本発明による粒子測定装置の実施の形態の一例の処理ルーチンを示すフローチャートである。
【図７】図７は、本発明による粒子測定装置の実施の形態の一例の処理ルーチンを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７０】
１０      粒子測定装置
１２      試料
１４      ＸＹステージ
１６      制御装置
１８      顕微鏡
２０      ＣＣＤカメラ
２２      処理装置
２４      ディスプレイ
２６      プリンター
【図１】
2007327782.tif 000003
【図２】
2007327782.tif 000004
【図３】
2007327782.tif 000005
【図４】
2007327782.tif 000006
【図５】
2007327782.tif 000007
【図６】
2007327782.tif 000008
【図７】
2007327782.tif 000009