(57)【要約】【課題】  電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、正確な２次元配光分布を取得して適正な検査を行うことが可能な電気光学パネルの検査装置および電気光学パネルの検査方法を提供すること。【解決手段】  検査装置１は、液晶パネル４０を保持するステージ４７と、検査基準面６５に垂直な方向からレーザ光を照射するレーザ光源６０と、液晶パネル４０の表示光、および液晶パネル４０の表面による反射レーザ光の２次元配光分布に基づく受光画像データを出力する２次元配光測定手段４４と、受光画像データを補正するデータ処理手段４０３とを備える。前記補正は、受光画像データの座標を、反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動するものである。ここで、検査基準座標は、レーザ光が検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の座標とする。【選択図】      図４
2007064726.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学パネルを検査基準面と略平行な状態に保持する保持手段と、
前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルに対し、前記検査基準面に垂直な方向からレーザ光を照射するレーザ光源と、
前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルの外部回路接続端子に対して電気的に接続する位置に可動であり、前記外部回路接続端子に対して検査用駆動信号を供給するプローブと、
前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルから射出された表示光と、前記レーザ光の前記電気光学パネルの表面による反射成分である反射レーザ光とを受光するとともに、受光された前記表示光および前記反射レーザ光の２次元配光分布に基づく受光画像データを出力する２次元配光測定手段と、
入力された前記受光画像データを補正し、補正画像データとして出力するデータ処理手段と
を備え、
前記補正は、前記受光画像データの座標を、前記受光画像データにおける前記反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、前記受光画像データにおける検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動するものであり、
前記検査基準座標は、前記レーザ光が前記検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の重心座標であることを特徴とする電気光学パネルの検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学パネルの検査装置であって、
前記データ処理手段は、前記検査基準面と、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルの表面とがなす角をαとしたときに、入力された前記受光画像データを、前記位置ベクトルの方向にｃｏｓ２α倍にさらに縮小補正することを特徴とする電気光学パネルの検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電気光学パネルの検査装置であって、
前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルに対して検査光を照射する光源をさらに備えており、
前記表示光は、前記電気光学パネルを透過または反射して射出される前記検査光からなることを特徴とする電気光学パネルの検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の電気光学パネルの検査装置であって、
前記データ処理手段によって出力された前記補正画像データに基づいて、前記電気光学パネルにおける視野角特性を判定する視野角特性判定手段をさらに備えることを特徴とする電気光学パネルの検査装置。
【請求項５】
２次元配光測定手段およびデータ処理手段を備えた検査装置を用いた電気光学パネルの検査方法であって、
表面が検査基準面と略平行な状態となるように配置された前記電気光学パネルに対し、前記検査基準面に垂直な方向からレーザ光を照射する第１のステップと、
前記電気光学パネルに対し、検査用駆動信号を供給する第２のステップと、
前記２次元配光測定手段が、前記電気光学パネルから射出された表示光と、前記レーザ光の前記電気光学パネルの表面による反射成分である反射レーザ光とを受光するとともに、受光された前記表示光および前記反射レーザ光の２次元配光分布に基づく受光画像データを出力する第３のステップと、
前記データ処理手段が、入力された前記受光画像データの座標を、前記受光画像データにおける前記反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、前記受光画像データにおける検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動させて前記受光画像データを補正し、補正画像データとして出力する第４のステップと
を有し、
前記検査基準座標は、前記レーザ光が前記検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の重心座標であることを特徴とする電気光学パネルの検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の電気光学パネルの検査方法であって、
前記第４のステップは、前記データ処理手段が、前記検査基準面と前記電気光学パネルの表面とがなす角をαとしたときに、入力された前記受光画像データを、前記位置ベクトルの方向にｃｏｓ２α倍に縮小補正するステップをさらに含むことを特徴とする電気光学パネルの検査方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載の電気光学パネルの検査方法であって、
前記データ処理手段によって出力された前記補正画像データに基づいて、前記電気光学パネルにおける視野角特性を判定する第５のステップを有することを特徴とする電気光学パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや有機ＥＬ（Electro Luminescence）パネル等の電気光学パネルを検査するための検査装置、および電気光学パネルの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置の一つとして、電気光学パネルから射出される表示光強度の２次元配光分布（表示光の成分の３次元的な進行方向に対する光強度の分布を２次元座標系に表したもの）を測定可能な検査装置が知られている（特許文献１参照）。この検査装置は、表示光の２次元配光分布を分析することにより、電気光学パネルの視野角特性や組ずれの程度について検査することができる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１４５１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、こうした検査装置は、電気光学パネルの表面が検査基準面に平行に設置されているという前提で検査を行うため、電気光学パネルの表面が検査基準面から傾斜していた場合に、２次元配光分布がこの傾斜の分だけ実際より偏っているかのような検査結果が得られてしまうという問題点があった。そして、こうした傾斜は、電気光学パネルが傾いた状態でケースに固定されたり、検査時に電気光学パネルの下に異物が挟まるなどの原因によって頻繁に起こり得る現象であり、このような傾斜に起因する検査精度の低下を改善する手段の開発が望まれていた。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、正確な２次元配光分布を取得して適正な検査を行うことが可能な電気光学パネルの検査装置および電気光学パネルの検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による電気光学パネルの検査装置は、電気光学パネルを検査基準面と略平行な状態に保持する保持手段と、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルに対し、前記検査基準面に垂直な方向からレーザ光を照射するレーザ光源と、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルの外部回路接続端子に対して電気的に接続する位置に可動であり、前記外部回路接続端子に対して検査用駆動信号を供給するプローブと、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルから射出された表示光と、前記レーザ光の前記電気光学パネルの表面による反射成分である反射レーザ光とを受光するとともに、受光された前記表示光および前記反射レーザ光の２次元配光分布に基づく受光画像データを出力する２次元配光測定手段と、入力された前記受光画像データを補正し、補正画像データとして出力するデータ処理手段とを備え、前記補正は、前記受光画像データの座標を、前記受光画像データにおける前記反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、前記受光画像データにおける検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動するものであり、前記検査基準座標は、前記レーザ光が前記検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の重心座標であることを特徴とする。
【０００７】
上記の検査装置は、電気光学パネルを保持手段によって保持した状態で、プローブから外部回路接続端子を介して検査用駆動信号を供給し、電気光学パネルを表示させる。また、レーザ光源からのレーザ光を、検査基準面と垂直な方向から電気光学パネルに照射し、電気光学パネルの表面によって反射させる。２次元配光測定手段は、電気光学パネルの表示光の２次元配光分布、および反射レーザ光の２次元配光分布に基づく受光画像データを出力する。ここで、電気光学パネルの表面が検査基準面から傾いている場合は、平行である場合に対して、受光画像データにおける２次元配光分布にずれが生じる。このずれの大きさおよび方向は、反射レーザ光の受光像の重心座標と上記検査基準座標とを結ぶ位置ベクトルで表されるので、データ処理手段はこれらの２点が重なるように受光画像データを補正する。当該補正は、受光画像データの座標を上記位置ベクトルに基づいて平行移動して行われる。この補正によって、２次元配光分布全体のずれも是正される。
【０００８】
ここで、２次元配光測定手段は、表示光の２次元配光分布を測定可能な光学系を備える。この光学系は、例えば文献２（特公平３−４８５８号公報）または文献３（特開平８−３２０２７３号公報）に開示されているようなものを用いて構成される。
【０００９】
上記のような検査装置によれば、電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、反射レーザ光の受光像の重心座標の検査基準座標からのずれ量に基づいて受光画像データを補正することによって、傾きがなかったときと同等の２次元配光分布の画像データ、およびこれに基づく検査結果を得ることができる。すなわち、正確な２次元配光分布を取得して適正な検査を行うことが可能である。また、保持手段およびプローブによって電気光学パネルの設置を自動的に行うとともに、電気光学パネルへの検査用駆動信号の供給も自動的に行うことで、電気光学パネルやプローブの設置に要する手間を大幅に省くことができるため、多数の電気光学パネルの検査を迅速に行うことができる。
【００１０】
上記検査装置において、前記データ処理手段は、前記検査基準面と、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルの表面とがなす角をαとしたときに、入力された前記受光画像データを、前記位置ベクトルの方向にｃｏｓ２α倍にさらに縮小補正することが好ましい。
【００１１】
受光画像データにおいて、反射レーザ光の受光像は、電気光学パネルの表面が検査基準面から角度αだけ傾いていることに起因して歪み、長軸が短軸に対して１／ｃｏｓ２α倍の長さを有する楕円領域となるが、上記の検査装置によれば、これを真円に補正することができる。このとき、受光画像データに内包されていた、電気光学パネルの傾きに起因する２次元配光分布全体の歪みも同時に是正される。このため、上記構成の検査装置によれば、電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、正確な２次元配光分布を取得して適正な検査を行うことができる。
【００１２】
上記検査装置は、前記保持手段によって保持された前記電気光学パネルに対して検査光を照射する光源をさらに備えており、前記表示光は、前記電気光学パネルを透過または反射して射出される前記検査光からなるものであることが好ましい。
【００１３】
このような検査装置によれば、外光を利用して表示を行う電気光学パネル、例えば液晶パネルの２次元配光分布を測定することが可能となる。電気光学パネルとして液晶パネルが用いられる場合、該液晶パネルに照射された検査光は、液晶パネルを透過して、あるいは液晶パネル中の反射膜で反射されて、該液晶パネルの表面から射出される。２次元配光測定手段には、こうして射出された表示光が入射される。
【００１４】
上記検査装置は、前記データ処理手段によって出力された前記補正画像データに基づいて、前記電気光学パネルにおける視野角特性を判定する視野角特性判定手段をさらに備えることが好ましい。
【００１５】
こうした構成において、視野角特性判定手段は、例えば光強度の分布として得られた２次元配光分布に基づいて、各仰角毎にコントラスト比を算出し、算出したコントラスト比の分布に基づいて視野角特性が良好であるか否かについて判定する。好ましくは、視野角特性判定手段は、コントラスト比のピークに対応する仰角が予め定められた基準角度にあれば視野角特性は良好であると判定し、コントラスト比のピークに対応する仰角が予め定められた基準角度でなければ視野角特性は不良であると判定する。このような検査装置によれば、電気光学パネルの視野角特性を自動的に判定することができ、視野角特性の検査を迅速に行うことが可能となる。
【００１６】
本発明による電気光学パネルの検査方法は、２次元配光測定手段およびデータ処理手段を備えた検査装置を用いた電気光学パネルの検査方法であって、表面が検査基準面と略平行な状態となるように配置された前記電気光学パネルに対し、前記検査基準面に垂直な方向からレーザ光を照射する第１のステップと、前記電気光学パネルに対し、検査用駆動信号を供給する第２のステップと、前記２次元配光測定手段が、前記電気光学パネルから射出された表示光と、前記レーザ光の前記電気光学パネルの表面による反射成分である反射レーザ光とを受光するとともに、受光された前記表示光および前記反射レーザ光の２次元配光分布に基づく受光画像データを出力する第３のステップと、前記データ処理手段が、入力された前記受光画像データの座標を、前記受光画像データにおける前記反射レーザ光の受光像の重心座標を始点とし、前記受光画像データにおける検査基準座標を終点とする位置ベクトルの分だけ平行移動させて前記受光画像データを補正し、補正画像データとして出力する第４のステップとを有し、前記検査基準座標は、前記レーザ光が前記検査基準面で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の重心座標であることを特徴とする。
【００１７】
上記の検査方法は、まずレーザ光源からのレーザ光を、検査基準面と垂直な方向から電気光学パネルに照射し、電気光学パネルの表面によって反射させる。次に、電気光学パネルに対して検査用駆動信号を供給して、電気光学パネルを表示させる。そして、２次元配光測定手段は、電気光学パネルの表示光の２次元配光分布、および反射レーザ光の２次元配光分布に基づく受光画像データを出力する。ここで、電気光学パネルの表面が検査基準面から傾いている場合は、平行である場合に対して、受光画像データにおける２次元配光分布にずれが生じる。このずれの大きさおよび方向は、反射レーザ光の受光像の重心座標と上記検査基準座標とを結ぶ位置ベクトルで表されるので、データ処理手段はこれらの２点が重なるように受光画像データを補正する。当該補正は、受光画像データの座標を上記位置ベクトルに基づいて平行移動して行われる。この補正によって、２次元配光分布全体のずれも是正される。
【００１８】
このような検査方法によれば、電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、反射レーザ光の受光像の重心座標の検査基準座標からのずれ量に基づいて受光画像データを補正することによって、傾きがなかったときと同等の２次元配光分布の画像データ、およびこれに基づく検査結果を得ることができる。すなわち、正確な２次元配光分布を取得して適正な検査を行うことが可能である。また、保持手段およびプローブによって電気光学パネルの設置を自動的に行うとともに、電気光学パネルへの検査用駆動信号の供給も自動的に行うことによって、電気光学パネルやプローブの設置に要する手間を大幅に省くことができるため、多数の電気光学パネルの検査を迅速に行うことができる。
【００１９】
上記検査方法において、前記第４のステップは、前記データ処理手段が、前記検査基準面と前記電気光学パネルの表面とがなす角をαとしたときに、入力された前記受光画像データを、前記位置ベクトルの方向にｃｏｓ２α倍に縮小補正するステップをさらに含むことが好ましい。
【００２０】
受光画像データにおいて、反射レーザ光の受光像は、電気光学パネルの表面が検査基準面から角度αだけ傾いていることに起因して歪み、長軸が短軸に対して１／ｃｏｓ２α倍の長さを有する楕円領域となるが、上記の検査方法によれば、これを真円に補正することができる。このとき、受光画像データに内包されていた、電気光学パネルの傾きに起因する２次元配光分布全体の歪みも同時に是正される。このため、上記検査方法によれば、電気光学パネルの表面が検査基準面に対して傾いている場合であっても、正確な２次元配光分布を取得して適正な検査を行うことができる。
【００２１】
上記検査方法は、前記データ処理手段によって出力された前記補正画像データに基づいて、前記電気光学パネルにおける視野角特性を判定する第５のステップを有することが好ましい。
【００２２】
こうした検査方法において、上記第５のステップでは、例えば光強度の分布として得られた２次元配光分布に基づいて、各仰角毎にコントラスト比を算出し、算出したコントラスト比の分布に基づいて視野角特性が良好であるか否かについて判定する。好ましくは、コントラスト比のピークに対応する仰角が予め定められた基準角度にあれば視野角特性は良好であると判定し、コントラスト比のピークに対応する仰角が予め定められた基準角度でなければ視野角特性は不良であると判定する。このような検査方法によれば、電気光学パネルの視野角特性を自動的に判定することができ、視野角特性の検査を迅速に行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態に係る検査装置１は、「電気光学パネル」としての液晶パネル４０を検査するための装置である。
【００２４】
＜Ａ．電気光学パネルの構成＞
始めに、「電気光学パネル」としての液晶パネル４０の構成について、図１および図２を参照して説明する。図１は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）アレイ基板１０を、その上に形成された各構成要素とともに対向基板２０の側から見たときの液晶パネル４０の平面図であり、図２は、図１中の線分Ｈ−Ｈ’における側断面図である。液晶パネル４０は、駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶パネルである。
【００２５】
図１および図２に示すように、液晶パネル４０は、互いに対向して配置されたＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とを有する。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間には液晶５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【００２６】
シール材５２は、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバあるいはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
【００２７】
シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。ただし、このような額縁遮光膜５３の一部または全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。
【００２８】
周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１および外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。また、走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺に沿い、かつ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。さらに、このように画像表示領域１０ａの両側に設けられた二つの走査線駆動回路１０４間をつなぐため、ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺に沿い、かつ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして複数の配線１０５が設けられている。なお、外部回路接続端子１０２と別に、後述する検査用駆動信号が印加される検査用の端子（不図示）が設けられていてもよい。
【００２９】
また、対向基板２０の４つのコーナー部には、ＴＦＴアレイ基板１０および対向基板２０の間の電気的導通を担う上下導通材１０６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。
【００３０】
ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴ３０、走査線１１ａ、データ線６ａ（図３参照）、および画素電極９ａが形成されており、また、これらを覆って配向膜が形成されている。他方、対向基板２０上には、対向電極２１の他、格子状またはストライプ状の遮光膜２３、さらには最上層部分に配向膜が形成されている。液晶５０は、例えば一種または数種類のネマティック液晶を混合したものであり、上述の一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。ＴＦＴアレイ基板１０および対向基板２０の各々の対向面の背面側には液晶５０の配向方向に応じた偏光板（不図示）が設けられる。
【００３１】
＜Ｂ．画素部における構成＞
以下では、液晶パネル４０の画素部の構成について、図３を参照して説明する。図３は、液晶パネル４０の画像表示領域１０ａを構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路を示した模式図である。
【００３２】
図３に示すように、液晶パネル４０の画像表示領域１０ａを構成するマトリクス状に形成された複数の画素には、それぞれ、画素電極９ａと当該画素電極９ａをスイッチング制御するためのＴＦＴ３０とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線６ａが当該ＴＦＴ３０のソースに電気的に接続されている。データ線６ａには、データ線駆動回路１０１から画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎがこの順に線順次に供給される。あるいは、相隣接する複数のデータ線６ａ同士に対して、グループ毎に供給される構成であってもよい。
【００３３】
また、ＴＦＴ３０のゲートにはゲート電極３ａが電気的に接続されている。ゲート電極３ａには、走査線１１ａを介して、走査線駆動回路１０４から所定のタイミングでパルス的に走査信号Ｇ１，Ｇ２，…，Ｇｍがこの順に線順次で印加される。画素電極９ａは、ＴＦＴ３０のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるＴＦＴ３０を一定期間だけ閉じることにより、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎが所定のタイミングで印加される。
【００３４】
上記画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎは、画素電極９ａおよび対向電極２１に挟持された液晶５０に印加され、一定期間保持される。
【００３５】
ここで保持された画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎがリークするのを防ぐために、画素電極９ａと対向電極２１との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量７０が設けられている。蓄積容量７０は、画素電極９ａと、定電位に固定された容量電極３００との間に設けられている。
【００３６】
液晶５０は、印加される電圧レベルに応じて配向状態が変化し、配向状態に応じて透過する光の偏光状態を変化させることができる。液晶パネル４０は、この偏光状態の変化を利用して入射光の透過率を変化させることにより、階調表示を含む様々な表示を行うことができる。すなわち、液晶パネル４０は、画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎに応じた輝度の光を射出して表示を行うことができる。
【００３７】
＜Ｃ．検査装置の構成＞
次に、上述したような液晶パネル４０の検査を行うための検査装置１の構成について、図４から図６を参照して説明する。図４は、検査装置１の構成を示す模式図であり、図５は検査装置１に含まれる２次元配光測定手段４４の光学系を示す模式図であり、図６（ａ）および図６（ｂ）は２次元配光分布について説明するための概念図である。
【００３８】
図４に示すように、検査装置１は、主要部として、本発明に係る「保持手段」としてのステージ４７、複数のプローブ４１４が設けられたプローブユニット４１５、光源４６、レーザ光源６０、２次元配光測定手段４４を備える。これらの各構成要素は、以下に説明する他の構成要素と共に筐体４３内に収容されている。
【００３９】
ステージ４７は、液晶パネル４０を保持するための凹部４０９を有し、該ステージ４７を移動させるための移動機構部４８によって、筐体４３内に水平に支持されている。また、ステージ４７には、該ステージ４７に保持された液晶パネル４０の画像表示領域１０ａに光源４６から射出される検査光を導くための開口部４０８が設けられている。
【００４０】
上記凹部４０９のうち、液晶パネル４０が載置される平面は、検査基準面６５と正確に平行になっている。液晶パネル４０は、凹部４０９に保持される際に、その表面、すなわち画像表示面４２が検査基準面６５と平行になっていることが望ましい。
【００４１】
ここで、本実施形態で検査される液晶パネル４０には、フレキシブルプリント基板４１が取り付けられており、防塵ガラス（不図示）等とともにケース内に収容されている。フレキシブルプリント基板４１には外部回路接続端子１０２に接続された複数の信号線が配線されている。
【００４２】
移動機構部４８は、ステージ装着部４１１、ピストンロッド４１２、エアシリンダ４１３から構成される。エアシリンダ４１３は、図示しない空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって筐体４３内を水平方向に伸縮移動するピストンロッド４１２を有し、ピストンロッド４１２の先端には、ステージ装着部４１１が取り付けられている。このステージ装着部４１１に、ステージ４７は装脱自在に装着される。
【００４３】
ここに、ステージ４７はピストンロッド４１２の伸縮によって、筐体４３内を図４中の矢印Ａで示すように、スライド可能とされている。筐体４３には開閉窓４１９が設けられており、ステージ４７をスライドさせて開閉窓４１９を押し開くことにより、ステージ４７およびこれに載置された液晶パネル４０を筐体４３の外に露出させることが可能となる。このように露出させた状態における液晶パネル４０ａおよび開閉窓４１９ａを、図４中の点線にて示してある。
【００４４】
本実施形態では、液晶パネル４０が筐体４３外に露出した状態で、ステージ４７に対して液晶パネル４０を装脱させたり、ステージ４７そのものをステージ装着部４１１に対して装脱させることによって、複数種類の液晶パネル４０を交換して用いることが可能である。
【００４５】
プローブユニット４１５は、プローブ移動機構部４９によって筐体４３内に支持される。プローブユニット４１５は、フレキシブルプリント基板４１に配線された複数の信号線に対応する複数のプローブ４１４を備えている。筐体４３内にはパネル駆動装置３９が設けられており、該パネル駆動装置３９から出力される検査用駆動信号がプローブユニット４１５に供給される。そして、プローブユニット４１５は供給された検査用駆動信号を複数のプローブ４１４を介してフレキシブルプリント基板４１における複数の信号線に供給する。
【００４６】
プローブ移動機構部４９は、上述の移動機構部４８と同様の構成となっており、プローブユニット装着部４１６、ピストンロッド４１７、エアシリンダ４１８から構成される。エアシリンダ４１８は、筐体４３内を水平面に対して垂直方向に伸縮移動するピストンロッド４１７を有し、ピストンロッド４１７の先端には、プローブユニット装着部４１６が取り付けられている。このプローブユニット装着部４１６に、プローブユニット４１５が装脱自在に装着される。プローブユニット４１５は、プローブ移動機構部４９におけるピストンロッド４１７の伸縮移動により、筐体４３内を図４中の矢印Ｂで示す方向に移動する。矢印Ｂの方向は、検査基準面６５に垂直な方向である。そして、この移動によって複数のプローブ４１４から検査用駆動信号の供給がフレキシブルプリント基板４１における複数の信号線に対して行われる。本実施形態では、プローブユニット装着部４１６に対してプローブユニット４１５を装脱させることによって、複数種類のプローブユニット４１５を交換して用いることが可能である。
【００４７】
また、筐体４３内には、液晶パネル４０に検査光を照射する光源４６が設けられている。光源４６は、ファイバ式としてもよいし、レーザ装置や蛍光管を用いて構成してもよい。光源４６は、液晶パネル４０の下方、すなわちステージ４７の下方に配置される。ただし、反射型の電気光学パネルに応用する場合には、光源４６はハーフミラー等と共にステージ４７の上方に配置される。
【００４８】
ステージ４７の上方には、２次元配光測定手段４４が配置されている。２次元配光測定手段４４は、液晶パネル４０の表示光の２次元配光分布を測定可能な、ハーフミラー６２を含む光学系を備えている。図４には、２次元配光測定手段４４における光学系の光軸４５を示してある。光軸４５は、検査基準面６５に垂直な軸と、この軸に沿って進む光がハーフミラー６２によって反射したときの光路に相当する軸とからなる。なお、２次元配光測定手段４４の詳細な構成については後述する。
【００４９】
２次元配光測定手段４４のさらに上方には、レーザ光源６０が配置されている。レーザ光源６０は、可視領域の赤色のレーザ光６３（図８参照）を出力可能であり、出力されたレーザ光６３は、光ファイバ６１内を伝わって２次元配光測定手段４４内に導かれる。２次元配光測定手段４４内に導かれたレーザ光６３は、検査基準面６５に対して垂直な光路を進み、ハーフミラー６２を透過して液晶パネル４０の画像表示面４２に到達し、一部が反射される。画像表示面４２で反射された反射レーザ光６４（図８参照）は、ほぼ上記の光軸４５に沿って進行し、液晶パネル４０の表示光とともに２次元配光測定手段４４による測定にかかる。
【００５０】
筐体４３の外部には、検査端末４０２が配置されている。検査端末４０２は、内部にデータ処理手段４０３および視野角特性判定手段４０４を備えている。検査端末４０２は、ケーブル４０５によって２次元配光測定手段４４と接続されており、２次元配光測定手段４４から出力されたデータを取り込み、データ処理手段４０３および視野角特性判定手段４０４によって処理する。検査端末４０２は、パーソナルコンピュータ、ワークステーション等により構成される。
【００５１】
続いて、図４の他、図５および図６を参照して２次元配光測定手段４４の構成および機能について説明する。２次元配光測定手段４４は、例えば上記文献２または上記文献３に開示されているような２次元配光分布を測定可能な光学系を用いて構成されている。
【００５２】
図５は、２次元配光測定手段４４の光学系を示す模式図である。この光学系には、対物レンズ５０１、リレーレンズ系５０２、およびフィルタ５０３が含まれている。また、２次元配光測定手段４４には、前述の光学系を透過した光を検出する受光素子としてのＣＣＤ（Charge Coupled Device）５０４が設けられている。なお、図５においては、ハーフミラー６２および該ハーフミラー６２による光軸４５の屈曲は表現されていない。
【００５３】
液晶パネル４０の画像表示面４２は、図５に示す光学系の対物レンズ５０１の前側焦点付近に配置される。また、画像表示面４２が２次元配光分布の測定面とされる。なお、画像表示面４２における測定スポットの径Ｒは、対物レンズ５０１の形状によって変化する。本実施形態では、測定スポットの径Ｒは好ましくは２００μｍ程度とする。
【００５４】
対物レンズ５０１は、画像表示面４２からの射出光、すなわち液晶パネル４０の表示光および上述の反射レーザ光６４を、その入射角度に応じた位置に集めて後側焦点に結像させる。リレーレンズ系５０２は、対物レンズ５０１によって結像された像をフィルタ５０３を介してＣＣＤ５０４上に縮小して再結像させる。ＣＣＤ５０４は、この再結像された光を受光し、その光強度に応じた電気信号に変換して受光画像データとして検査端末４０２に出力する。
【００５５】
ここで、図６（ａ）および図６（ｂ）を参照して２次元配光分布について説明する。２次元配光分布は、光の３次元的な進行方向（図６（ａ））に対する光強度の分布を、図６（ｂ）に示すような２次元座標系に表したものである。光の進行方向は、図６（ａ）に示すように、方位角φおよび仰角θで表される。方位角φは、測定面上の測定点６００を基準としたある方位を０°とし、測定点６００を中心とした右回りの回転角として規定される。以下では、φ＝９０°の位置を左側（Ｌ）９０°位置、φ＝２７０°の位置を右側（Ｒ）９０°位置とも呼ぶ。仰角θは、測定点６００を中心とする球面に沿って観測点を傾けた場合に、観測点と測定点６００とを結ぶ線が、測定面の法線に対してなす角度として規定される。
【００５６】
図６（ｂ）には、ＣＣＤ５０４において撮像される２次元配光分布を概略的に示してある。２次元配光分布上では、右回りに方位角φの０°位置、左側（Ｌ）９０°位置、１８０°位置、および右側（Ｒ）９０°位置が規定される。
【００５７】
ここに、図５において、対物レンズ５０１に入射する、画像表示面４２からの射出光が光軸４５に対してなす角が仰角θに相当する。該仰角θは、対物レンズ５０１によって後側焦点面上の距離ｙに変換され、リレーレンズ系５０２によって撮像面において距離ｙに比例する距離とされる。
【００５８】
よって、例えば図６（ａ）において仰角θ＝６０°における光強度の分布は、方位角φに応じて仰角０°を示す位置を中心とする円として表される。また、仰角θ＝１０°における光強度の分布は、仰角θ＝６０°における光強度の分布を表す円と同心円として、該円より小さい径の円として表される。
【００５９】
＜Ｄ．検査方法＞
次に、図７の工程図、および図８から図１２の各図を参照しながら、検査装置１を用いた液晶パネル４０の検査方法について説明する。
【００６０】
まず、ステップＰ１では、ステージ４７に液晶パネル４０を保持させる。このステップは、ステージ４７の凹部４０９に液晶パネル４０を載置するステップと、プローブユニット４１５を動かしてプローブ４１４をフレキシブルプリント基板４１に接触させるステップとを含む。このとき液晶パネル４０は、画像表示面４２が２次元配光測定手段４４における光学系の前側焦点位置に来るように配置されるが、移動機構部４８によってステージ４７を自動的に移動させることによって、位置決めは容易に行うことができる。
【００６１】
ステップＰ１の終了時には、液晶パネル４０の画像表示面４２は、ステージ４７の凹部４０９のうち、液晶パネル４０が載置される平面、すなわち検査基準面６５と略平行になっている。ただし、画像表示面４２は、必ずしも検査基準面６５と厳密に平行になっている必要はない。本実施形態では、図８の断面図に示すように、画像表示面４２が検査基準面６５に対して微小角αだけ平行から傾いている場合を想定する。このような傾きは、液晶パネル４０がケースに対して平行に設置されていない場合や、液晶パネル４０とステージ４７との間に異物が挟まっている場合等において起こり得る。なお、図８においては、説明の便宜上角度αを大きく描いているが、実際の角度αは微小であり、肉眼では認識不能である場合がほとんどである。
【００６２】
続くステップＰ２では、液晶パネル４０の画像表示面４２にレーザ光源６０から射出されるレーザ光６３を照射する。図８に示すように、レーザ光６３は、検査基準面６５に垂直な方向から画像表示面４２に入射し、画像表示面４２で反射され、入射方向から２αだけずれた方向に反射レーザ光６４として進行する。このステップＰ２が、本発明における「第１のステップ」に対応する。
【００６３】
次に、ステップＰ３では、パネル駆動装置３９から出力される検査用駆動信号が、プローブ４１４を介して液晶パネル４０に供給される。液晶パネル４０は、供給された検査用駆動信号に基づいて、画像表示領域１０ａにおいて表示が行われる。本実施形態では、検査用駆動信号に基づいて画像表示領域１０ａにおいて、明状態としての全白表示または暗状態としての全黒表示が行われる。こうして、ステップＰ３の終了時には、液晶パネル４０の画像表示面４２からは、検査用駆動信号に基づく表示光と、上述した反射レーザ光６４とが射出された状態となる。このステップＰ３が、本発明における「第２のステップ」に対応する。
【００６４】
続くステップＰ４では、２次元配光測定手段４４に含まれるＣＣＤ５０４が、２次元配光測定手段４４の光学系を透過した上記表示光および反射レーザ光６４を受光するとともに、これを光の強度に応じた電気信号に変換し、「受光画像データ」として検査端末４０２に出力する。ここで、受光画像データは、上述したように、図６（ｂ）に示されるような、半径方向を仰角θ、回転角を方位角φとする形式を有する２次元配光分布である。このステップＰ４が、本発明における「第３のステップ」に対応する。
【００６５】
次に、ステップＰ５では、検査端末４０２のデータ処理手段４０３が、上記受光画像データを補正する。以下、この補正について、図９を用いて説明する。
【００６６】
図９（ａ）は、検査端末４０２に入力された（すなわち２次元配光測定手段４４から出力された）受光画像データを示す。この図には、反射レーザ光６４の受光像８３が白抜きの楕円領域として描かれており、その中に、該受光像８３の重心座標８２が示されている。反射レーザ光６４の受光像８３が楕円になっている理由は以下の通りである。すなわち、反射レーザ光６４は、検査基準面６５の法線に対して微小角２αだけ傾いているので、進行方向に垂直な断面が真円であったとしても、検査基準面６５に平行な面での断面は楕円となるためである。また、以上から分かるように、当該楕円の長軸は、短軸に対して１／ｃｏｓ２α倍の長さを有する。
【００６７】
一方、受光画像データの座標原点は検査基準座標８１であり、これは、レーザ光源６０からのレーザ光６３が検査基準面６５で反射したと仮定したときの反射成分の受光像の重心座標に相当する。よって、液晶パネル４０の画像表示面４２が検査基準面６５と正確に平行であれば、上記重心座標８２と検査基準座標８１は一致する。本実施形態では、上述したように画像表示面４２が検査基準面６５に対して微小角αだけ傾いているため、上記重心座標８２はこれに起因して検査基準座標８１からずれている。以下では、反射レーザ光６４の受光像８３の重心座標８２を始点とし、検査基準座標８１を終点とするベクトルを位置ベクトル８４とする。ここで、上記反射レーザ光６４の受光像８３の楕円の長軸は、位置ベクトル８４と平行である。
【００６８】
ステップＰ５における受光画像データの補正は、データ処理手段４０３によって、図９（ａ）に示す受光画像データの座標を上記位置ベクトル８４の分だけ平行移動するとともに、該受光画像データを位置ベクトル８４の方向にｃｏｓ２α倍に縮小補正するものである。こうした補正をおこなった結果の画像データを示したのが図９（ｂ）である。当該補正によって、反射レーザ光６４の受光像８３の重心座標８２が座標原点に移動する。また、楕円領域であった反射レーザ光６４の受光像８３が真円に変換される。これに伴って、受光画像データに内包されていた、液晶パネル４０の傾きに起因する歪み全体が是正される。この後、補正によって受光画像データの領域から外れた領域８５のデータを削除する一方、新たに出現したデータの空白領域８６に任意のデータを追加することにより、図９（ｃ）に示す補正画像データが完成する。
【００６９】
こうした補正によれば、液晶パネル４０の画像表示面４２が検査基準面６５に対して傾いていても、画像表示面４２の法線方向に射出する光の像が座標原点となるような、かつ当該傾きによる歪みのない２次元配光分布の補正画像データを取得することができる。
【００７０】
ただし、角度αが非常に大きい場合、具体的には角度αが１０°を超えるような場合は、上記補正によっても受光画像データの歪みが是正されないことがあるため、検査を中止して液晶パネル４０を適切に設置し直すことが望ましい。
【００７１】
続くステップＰ６では、データ処理手段４０３が、上記補正画像データを視野角特性判定手段４０４に出力する。上記ステップＰ５およびステップＰ６が、本発明における「第４のステップ」に対応する。
【００７２】
次に、ステップＰ７では、同一の液晶パネル４０に対して全白表示および全黒表示に対応する補正画像データがともに取得されたかどうかの判定が行われる。全白表示または全黒表示のいずれかに対応する補正画像データが未取得の場合は、ステップＰ３に戻って該補正画像データの取得を行う。
【００７３】
全白表示および全黒表示に対応する補正画像データがともに取得されている場合には、ステップＰ８において、視野角特性判定手段４０４による判定が行われる。ステップＰ８は、図１２の工程図に示すステップＳ１からステップＳ５をさらに含む。
【００７４】
ここで、ステップＰ８で用いる２次元配光分布の補正画像データおよび視野角特性曲線について説明する。図１０（ａ）から（ｃ）は、視野角特性判定手段４０４に入力される補正画像データの一例を示す図であり、図１１は、これらのデータをもとに、横軸に仰角θ、縦軸に光強度およびコントラスト比をとったときのグラフである。
【００７５】
図１０（ａ）は、仰角θが０°から３０°の範囲における全黒表示の２次元配光分布の補正画像データを示し、図１０（ｃ）は、同範囲における全白表示の２次元配光分布の補正画像データを示す。これらの図において、左側（Ｌ）１３５°、右側（Ｒ）４５°の方位角φに着目したときの、仰角θに対する光強度の分布は、それぞれ図１１中の視野角特性曲線８０２および８０４として表される。図１１においては、左側の方位角φの領域における仰角θを負（−）の値とし、右側の方位角φの領域における仰角θを正（＋）の値として示してある。また、全白表示の補正画像データ（図１０（ｃ））の各点の光強度を全黒表示の補正画像データ（図１０（ａ））の各点の光強度で割ってコントラスト比を算出したものが図１０（ｂ）である。そして、図１１中の視野角特性曲線８０６は、図１０（ｂ）において左側（Ｌ）１３５°、右側（Ｒ）４５°の方位角φに着目したときの、仰角θに対するコントラスト比の分布を示す。なお、図１０（ａ）、（ｃ）中の光強度は、図１１における視野角特性曲線８０４の最大値を１００［％］としたときの相対値でプロットされている。また、図１０（ｂ）中のコントラスト比は、図１１における視野角特性曲線８０６の最大値を１００［％］としたときの相対値でプロットされている。
【００７６】
次に、ステップＰ８で行われる視野角特性判定手段４０４による視野角特性の判定について図１２を参照して詳述する。
【００７７】
先ず、ステップＳ１では、視野角特性判定手段４０４は、入力された２次元配光分布の補正画像データに基づいて、コントラスト比を算出する（図１０（ｂ）、図１１）。
【００７８】
続いて、ステップＳ２では、視野角特性判定手段４０４は、算出したコントラスト比から、コントラスト比のピーク値に略対応する仰角θの中央値を割り出す。ここでは、視野角特性判定手段４０４は、コントラスト比のピーク値を１００［％］とみなした場合に、該最大値の８０［％］に対応する２点の仰角θを算出し、この仰角θの中央値を計算する。例えば、図１１に示す視野角特性曲線８０６において、コントラスト比のピーク値の８０［％］に対応する仰角θは、約−９°および＋７°である。よって、求める仰角θの中央値は−１°となる。
【００７９】
そして、ステップＳ３では、視野角特性判定手段４０４は、割り出したコントラスト比のピーク値と対応する仰角θの中央値が基準範囲内か否かについて判定する。検査端末４０２は、キーボード等の入力装置によって基準範囲を入力および変更可能なように構成されている。入力装置によって入力または変更された所定の角度範囲が基準範囲として設定される。ここでは、上述した手順によって算出した中央値が基準範囲内に入っているか否かについて判定する。
【００８０】
コントラスト比のピーク値と対応する仰角θの中央値が基準範囲内である場合（ステップＳ３：ＹＥＳ）、視野角特性判定手段４０４は視野角特性が良好であると判定する（ステップＳ４）。他方、コントラスト比のピーク値と対応する仰角θの中央値が基準範囲外である場合（ステップＳ３：ＮＯ）、視野角特性判定手段４０４は視野角特性が不良であると判定する（ステップＳ５）。
【００８１】
以上が、ステップＰ８の詳細な内容である。ステップＰ８が、本発明における「第５のステップ」に対応する。
【００８２】
以上のステップを経て、検査装置１による液晶パネル４０の検査が終了する。上記検査方法によれば、液晶パネル４０の画像表示面４２が検査基準面６５に対して傾いていても、反射レーザ光６４の受光像８３の重心座標８２の検査基準座標８１からのずれ量に基づいて受光画像データを補正することによって、傾きがなかったときと同等の２次元配光分布の画像データ、およびこれに基づく視野角特性の適正な検査結果を得ることができる。また、上記検査方法によれば、ステージ４７およびプローブユニット４１５によって液晶パネル４０の設置を自動的に行うとともに、液晶パネル４０への検査用駆動信号の供給も自動的に行うことが可能である。したがって、液晶パネル４０やプローブ４１４の設置に要する手間を大幅に省くことができるため、多数の液晶パネル４０の検査を迅速に行うことが可能となる。
【００８３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。
【００８４】
（変形例１）
上記実施形態において、視野角特性の判定を、以下のようなランク付けによって行ってもよい。すなわち、図１２のステップＳ３において、コントラスト比のピーク値と対応する仰角θの中央値が基準範囲内である場合は、視野角特性が良好であると判定して、「優」としてランク付けを行う一方で、当該仰角θの中央値が基準範囲外である場合は、視野角特性が不良であると判定するとともに、基準範囲からのずれを算出して、該ずれの値に応じたランク付けを行う。例えば、視野角特性判定手段４０４には、「優」のほか、「良」に対応する判定範囲、「可」に対応する判定範囲、および「不可」に対応する判定範囲がそれぞれ設定される。
【００８５】
こうした検査方法によれば、視野角特性の判定をより適切に行うことが可能となる。また、液晶パネル４０をプロジェクタのライトバルブとして用いる場合、該液晶パネル４０の前述のずれの値を予め算出しておくことにより、プロジェクタの画像表示において視野角補償フィルム等を用いて前述したずれにより生じる色むらを抑えた高品質な画像表示を行うことができる。上記検査方法においても、液晶パネル４０の画像表示面４２が検査基準面６５に対して傾いていた場合に、反射レーザ光６４の受光像８３の重心座標８２の検査基準座標８１からのずれ量に基づいて受光画像データを補正することによって、傾きがなかったときと同等の２次元配光分布の画像データ、およびこれに基づく視野角特性の適正な検査結果を得ることができる。
【００８６】
（変形例２）
上記実施形態において、視野角特性判定手段４０４は、視野角特性の判定を、予め設定された基準角度に基づいて行ってもよい。該基準角度の設定は基準範囲の設定と同様に行われるのが好ましい。例えば、視野角特性判定手段４０４は、前述した中央値が、予め定められた基準角度０°であるか否かについて判定する。具体的には、−９°以上＋７°以内の角度範囲における中央値は−１°であるから基準角度とは異なる値となっている。よって、この場合、視野角特性判定手段４０４によって視野角特性は不良であると判定される。他方、前述した中央値が基準角度０°に等しければ、視野角特性は良好であると判定される。こうした検査方法によれば、視野角特性の判定をより適切に行うことが可能となる。
【００８７】
（変形例３）
上記実施形態は、本発明を視野角特性の判定のための検査に用いるものであるが、これに代えて、液晶パネル４０の組みずれの判定のための検査に用いることもできる。
【００８８】
液晶パネル４０のＴＦＴアレイ基板１０および対向基板２０は、それぞれ画素部において開口領域が設定されている。ＴＦＴアレイ基板１０においては、走査線１１ａおよびデータ線６ａ等によって設定され、対向基板２０においては、遮光膜２３等によって設定される。これらの基板を貼り合わせる際に組みずれが生じると、両基板の開口領域の位置がずれる。その結果、開口領域を透過する光は、各画素部の真正面からずれた方向に進行する、指向性を持った光となる。よって、液晶パネル４０の表示光強度についての２次元配光分布にも指向性が表れる。
【００８９】
こうした２次元配光分布を所定の基準に沿って判定することにより、液晶パネル４０に組みずれが生じているか否かを検査することができる。該検査は、上記実施形態と同様の方法で行うことができる。上記検査方法によれば、液晶パネル４０の画像表示面４２が検査基準面６５に対して傾いていても、反射レーザ光６４の受光像８３の重心座標８２の検査基準座標８１からのずれ量に基づいて受光画像データを補正することによって、傾きがなかったときと同等の２次元配光分布の画像データ、およびこれに基づく組みずれの検査結果を得ることができる。
【００９０】
（変形例４）
上記変形例３においては、液晶パネル４０に代えて次のようなパネル構造体を用いることも可能である。すなわち、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とを貼り合わされた後の、液晶５０の注入前のパネル構造体における組みずれについて検査が行われてもよい。このようにすれば、液晶パネル４０の製造工程における歩留まりを向上させることができる。
【００９１】
（変形例５）
上記変形例３においても、上記変形例１と同様に、基準範囲からのずれを算出して、該ずれの値に応じてランク付けを行うようにしてもよい。このようにすれば、組みずれの判定をより適切に行うことができる。
【００９２】
（変形例６）
上記実施形態および各変形例において、液晶パネル４０にレーザ光源６０からのレーザ光６３を照射するステップ（図７のステップＰ２に相当）は、液晶パネル４０に検査用駆動信号を供給するステップ（図７のステップＰ３に相当）の後か、またはこれと同時に行ってもよい。こうした方法によっても、上述の実施形態および各変形例と同様の効果を得ることができる。
【００９３】
（変形例７）
上記実施形態および各変形例は、ＴＦＴをスイッチング素子とするアクティブマトリクス駆動方式の透過型液晶パネル４０を検査するものであるが、これに代えて、種々の電気光学パネルの検査に適用することもできる。例えば、液晶パネルとしては、ＴＦＤ（Thin Film Diode）をスイッチング素子とするもの、パッシブマトリクス駆動方式のもの、液晶５０がＴＮ（Twisted Nematic）モードのもの、またはＳＴＮ（Super Twisted Nematic）モードのもの、あるいは、反射膜を有するシリコン基板を用いたＬＣＯＳ（Liquid Crystal on Silicon）等のいずれにも適用することができる。この他にも、有機ＥＬパネル、およびＤＭＤ（Digital Micromirror Device）等の検査に適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の実施形態に係る液晶パネルの全体構成を示す平面図。
【図２】本発明の実施形態に係る液晶パネルの側断面図。
【図３】本発明の実施形態に係る液晶パネルの画素における各種素子、配線等の等価回路を示した模式図。
【図４】本発明の実施形態に係る検査装置の構成を示す模式図。
【図５】本発明の実施形態に係る検査装置に含まれる２次元配光測定手段の光学系を示す模式図。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、２次元配光分布について説明するための概念図。
【図７】本発明の実施形態に係る検査方法の工程図。
【図８】レーザ光の光路を示すための検査装置の側断面図。
【図９】（ａ）は受光画像データを、（ｂ）は補正中の受光画像データを、（ｃ）は補正画像データをそれぞれ示す模式図。
【図１０】（ａ）から（ｃ）は、データ処理手段から出力された２次元配光分布の補正画像データの一例を示す図。
【図１１】補正画像データに基づいて、横軸に仰角、縦軸に光強度およびコントラスト比をとったときのグラフを示す図。
【図１２】本発明の実施形態に係る視野角特性の判定方法の工程図。
【符号の説明】
【００９５】
１…検査装置、１０…ＴＦＴアレイ基板、２０…対向基板、４０…「電気光学パネル」としての液晶パネル、４２…「電気光学パネルの表面」としての画像表示面、４３…筐体、４４…２次元配光測定手段、４６…光源、４７…「保持手段」としてのステージ、６０…レーザ光源、６２…ハーフミラー、６３…レーザ光、６４…反射レーザ光、６５…検査基準面、８１…検査基準座標、８２…反射レーザ光の受光像の重心座標、８３…反射レーザ光の受光像、８４…位置ベクトル、１０２…外部回路接続端子、４０２…検査端末、４０３…データ処理手段、４０４…視野角特性判定手段、４１４…プローブ、５０４…ＣＣＤ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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