(57)【要約】【課題】  多角形状の被研磨部面を備えた被研磨部材を、外周部が損傷する恐れがなく研磨することができ、かつ、格子状の研磨溝を備えた研磨パットと同等の研磨効率を維持できる研磨パットの提供を目的とする。また、この研磨パットを使用した研磨機の提供を目的とする。【解決手段】  上記被研磨面との接触表面に格子溝（１１）を備え、かつ、当該格子溝を構成する各々のライン溝が曲線により構成した研磨パット（１０）とした。また、平板状の被研磨部材（ｗ）が載置される研磨定盤（１）と、この研磨定盤に対向して配置され、上記被研磨部材を上記研磨定盤側に押圧可能な加圧定盤（２）とを備え、かつ、少なくとも研磨定盤の表面に上記研磨パットが貼設された研磨機とした。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多角形状の被研磨面を具備する被研磨部材と相対的に面内移動させることにより、上記被研磨部材の被研磨面を研磨する研磨パットであって、
上記被研磨面との接触表面に格子溝を備え、かつ、当該格子溝を構成する各々のライン溝が曲線により構成されていることを特徴とする多角形状の被研磨用の研磨パット。
【請求項２】
平板状の被研磨部材が載置される研磨定盤と、この研磨定盤に対向して配置され、上記被研磨部材を上記研磨定盤側に押圧可能な加圧定盤とを備え、かつ、少なくとも研磨定盤の表面に請求項１に記載の研磨パットが貼設されてなり、
上記研磨定盤と加圧定盤とを相対的に面内移動させることにより、上記研磨パットによって被研磨部材を研磨することを特徴とする研磨機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ用のガラスパネル等、多角形状の被研磨面を備えた精密部材を研磨する際に用いる研磨パット及びこれを用いた研磨機に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記精密部材等の被研磨部材ｗを研磨する従来の研磨パットとしては、図３（ａ）に示すように、表面に格子状の溝部８１を備えたものや、図３（ｂ）に示すように、半径の異なる複数の同心円状の溝部９１を備えたものが知られている。
【０００３】
これらの研磨パットにおける上記溝部８１、９１は、供給された研磨スラリーを一時的に貯留するとともに、研磨スラリーを被研磨面に接触させて、研磨可能にするものである。さらには、当該上部縁に被研磨部材ｗの被研磨面を接触させることにより、被研磨面を研磨可能にしている。
また、研磨後の被研磨部材ｗの研磨滓を排出口へ供給するとともに、研磨による摩擦熱を放出可能としている。
よって、これらの溝部８１、９１を備えた研磨パット８０、９０は、被研磨部材ｗの被研磨面に対して、相対的に面内移動させることにより被研磨部材ｗを研磨することができる。
【０００４】
しかしながら、前者の研磨パット８０は、多角形の被研磨部材ｗを研磨する際に、当該溝部８１を構成する直線上の上部縁と被研磨部材ｗの縁部の一辺とが当接することにより、被研磨部材ｗが引っかかり被研磨部材ｗの縁部が欠ける恐れがあった。
【０００５】
これに対して、後者の研磨パット９０は、被研磨部材ｗの縁部が欠ける恐れがないものであった。ところが、前者の研磨パット８０と比較して、溝部９１の総底部面積が小さいために供給及び貯留される研磨スラリー量が少なく、研磨スラリーが被研磨面に行き渡らない可能性があった。
【０００６】
なお、本出願人は、先に本発明の研磨パットが使用可能である研磨機を出願している（例えば、特許文献１）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−７４３９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このため本発明は、多角形状の被研磨部面を備えた被研磨部材を、外周部が損傷する恐れがなく研磨することができ、かつ、格子状の研磨溝を備えた研磨パットと同等の研磨効率を維持できる研磨パットを提供することを目的とする。また、この研磨パットを使用した研磨機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、多角形状の被研磨面を具備する被研磨部材と相対的に面内移動させることにより、上記被研磨部材の被研磨面を研磨する研磨パットであって、上記被研磨面との接触表面に格子溝を備え、かつ、当該格子溝を構成する各々のライン溝が曲線により構成されていることを特徴とする多角形状の被研磨用の研磨パットである。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、平板状の被研磨部材が載置される研磨定盤と、この研磨定盤に対向して配置され、上記被研磨部材を上記研磨定盤側に押圧可能な加圧定盤とを備え、かつ、少なくとも研磨定盤の上記被研磨部材の載置表面に請求項１に記載の研磨パットが貼設されてなり、上記研磨定盤と加圧定盤とを相対的に面内移動させることにより、上記研磨パットによって被研磨部材を研磨することを特徴とする研磨機である。
【発明の効果】
【００１１】
上述の請求項１又は２に記載の発明によれば、被研磨部材の被研磨面との接触表面に格子溝が形成され、この格子溝を構成するライン溝が曲線により構成されているため、多角形状の被研磨面を備えた被研磨部材であっても、上記ライン溝を構成する凹部上に一部被研磨部材の縁部が載置された際に、凸部表面にその他の縁部が載置されているため、被研磨部材の縁部が格子溝を構成する上部縁に引っかかることにより欠けることを防止できる。さらには、直線のライン溝から構成される格子溝を備える研磨パットと比較して、溝部の総底部面積が同等であるため供給及び貯留される研磨スラリー量を同等とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の研磨パットについて、これを用いた本発明の研磨機の一実施形態とともに、図１及び図２を用いて説明する。
【００１３】
本実施形態における研磨機は、表面に設けられた研磨パット１０上に被研磨部材ｗが載置される研磨定盤１と、この研磨定盤１に対向して配置される加圧定盤２とから概略構成されている。ここで、被研磨部材ｗとして、例えば矩形状のガラス基板等、多角形平版状のものが用いられる。
【００１４】
この研磨定盤１は、表面が高い平面度に加工された肉厚の円盤状部材であり、その中心下部には当該研磨定盤１を反時計回り方向に回転可能に支持する回転軸１６が設けられている。他方、上部には、研磨スラリーが供給され、かつ、貯留される凹部１２が形成されるとともに、この凹部１２の中心下部には、回転軸１６の中心部に貫通して凹部１２内に開口するスラリー供給管１３が接続されており、このスラリー供給管１３が研磨スラリーを凹部１２内に供給するようになっている。
【００１５】
さらに、この凹部１２内の開口を覆うようにして、研磨パット１０が略全面に設けられている。
この研磨パット１０は、硬質ウレタン、合成樹脂繊維や不織布等が用いられており、その厚みに対して略半分の深さの格子溝１１が形成されて、上記凹部１２内に供給された研磨スラリーが浸透するようになっている。
【００１６】
この格子溝１１は、図２に示すように、ガラス基板ｗの載置表面に、研磨パット１０の外方奥側に同一中心を備えた半径の異なる複数の円弧状のライン溝１１ａと、同外方右側に同一中心を備えた半径の異なる複数の円弧状のライン溝１１ｂとから形成されている。
【００１７】
上記加圧定盤２は、中央部に空洞Ｓ１及び研磨パット１０対向面に凹部Ｓ２が各々形成された円盤体３と、この凹部Ｓ２の開口部を覆うようにして、円盤体３の略全面に設けられた弾性体５とが備えられている。
この円盤体３の中央上部には、当該円盤体３を上記研磨定盤１と同方向に異なる速度で回転可能に支持する回転軸４が設けられている。
他方、この弾性体５の下面には、矩形状のガラス基板ｗの略全面に対応する位置に設けられたバッキング材６と、ガラス基板ｗの周縁部に隙間（１ｍｍ〜５ｍｍ）を介して配設されたテンプレート７とが一体化して設けられている。
【００１８】
この円盤体３は、上記回転軸４に支持された軸円板３１ａと、その周端部から垂下して軸円板３１ａと一体的に設けられている軸壁部３１ｂとを有する軸受体３１とが備えられている。また、この軸円板３１ａよりも大きい外法を具備して、対向する研磨パット１０に平行に配設された対向円板３２ａと、その周端部に立設されて対向円板３２ａと一体的に設けられ、上記軸壁部３１ｂの外周側に対向して配設される対向壁部３２ｂとを有する加圧体３２が備えられている。そして、上記軸受体３１と上記加圧体３２とが、中央部に上記空洞Ｓ１を形成して、軸壁部３１ｂ下部と対向壁部３２ｂ上部とに両端部が埋設された弾性を有する連結部材３３によって一体化されている。
【００１９】
上記凹部Ｓ２は、この対向円板３２ａの中央下部に、上記研磨パット１０側に向けて開口が形成されており、当該側壁３７がガラス基板ｗに臨む位置の外方に配設されて、開口面積がガラス基板ｗの表面積と同一又は若干大きくなるように形成されている。
また、円盤体３は、シール部材３６が、この凹部Ｓ２の側部外方に、凹部Ｓ２を取り囲むようにして対向円板３２ａに埋設されており、当該シール部材３６の下部が上記弾性体５に密着するようになっている。
【００２０】
上記弾性体５は、例えばゴム等からなり、上記シール部材３６により円盤体３と一体化されている。
上記バッキング材６は、発泡ポリウレタンからなり、これらのガラス基板ｗの上方略全面に設けられた弾性体５及び上記バッキング材６は、可撓性及び圧縮空気の流通性を具備している。
他方、このガラス基板ｗの外方に設けられる上記テンプレートは、弾性体５の下面に、上記バッキング材６とガラス基板ｗとの厚さから研磨除去される分を考慮して、薄くして設けられている。
【００２１】
一方、上記凹部Ｓ２には、上流側が上記軸円板３１ａ、空洞Ｓ１、対向円板３２ａを貫通した圧縮空気供給管３５の供給口が形成されている。他方、空洞Ｓ１には、上記軸円板３１ａを貫通した圧縮空気供給管３４の供給口が形成されている。
【００２２】
この圧縮空気供給管３４は、上記空洞Ｓ１に圧縮空気を供給するようになっており、この空洞Ｓ１内に供給した圧縮空気は、弾性を有する連結部材３３によって一体化されている軸受体３１及び対向円板３２ａを外方へと押し出すことにより、弾性体５とバッキング材６とを介してガラス基板ｗを研磨パット１０上に押圧しつつ、ガラス基板ｗを円盤体３とともに回転させるようになっている。
他方、圧縮空気供給管３５は、圧縮空気を凹部Ｓ２に供給して、この凹部Ｓ２に供給した圧縮空気は、ガラス基板ｗの面内を均等に研磨パット１０に接触させるようになっている。
【００２３】
以下、上述の研磨機の作用について説明する。
本実施形態における研磨機においては、研磨定盤１上の研磨パット１０上に矩形状のガラス基板ｗを載置して、圧縮空気供給管３４から圧縮空気を空洞Ｓ１に供給し、ガラス基板ｗ方向に膨張した弾性体５及びバッキング材６によりガラス基板ｗを研磨パット１０上に支持しつつ、圧縮空気供給管３５から凹部Ｓ２に圧縮空気を供給して、均等にガラス基板ｗの全面を研磨パット１０側に押圧する。それとともに、研磨定盤１と加圧定盤２とを同方向に異なる速度で回転させつつ、スラリー供給管１３に供給された研磨スラリーが一時的に凹部１２内に貯留されて、格子溝１１に浸透する。
【００２４】
すると、ガラス基板ｗは、加圧定盤２とともに回転して、被研磨面が均一に研磨パット１０に接触して、格子溝１１に浸透した研磨スラリーにより研磨される。この際、研磨パット１０が当該外方奥側に同一中心を備えた半径の異なる複数の円弧状のライン溝１１ａと同外方右側に同一中心を備えた同様のライン溝１１ｂとから構成される格子溝１１を具備するため、ライン溝１１ａを構成する上部縁１１ｃにより縁部が欠ける恐れがなく、研磨効率を維持することができる。さらには、溝部内の流通性が保たれて、確実に被研磨面全面に対する研磨スラリーの回り込みが担保されるとともに、被研磨部材の研磨滓や研磨による摩擦熱を容易に放出することができる。
【００２５】
なお、本発明の研磨機は、上述の実施の形態に限られるものではなく、例えば、加圧手段は、圧縮空気供給管３５でなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の研磨機の一実施形態を示した従断面模式図である。
【図２】本発明の研磨パットの一実施形態を示した平面説明図である。
【図３】従来の研磨パットを示した平面説明図である。
【符号の説明】
【００２７】
ｗ・・・ガラス基板（被研磨部材）
１・・・研磨定盤
２・・・加圧定盤
７・・・テンプレート
１０・・・研磨パット
１１・・・格子溝
【図１】
2007007771.tif 000003
【図２】
2007007771.tif 000004
【図３】
2007007771.tif 000005