(57)【要約】【課題】  半導体チップなどのワークに掛かる過負荷を簡単な手段で信頼性よく検出する機能を備えた回転テーブル搬送設備の提供。【解決手段】  回転テーブル１に設けた複数の各作業ヘッド２にスイッチ部材１１ａと発光ダイオード１１ｂを直列接続した変位表示手段１１を設置し、これらを回転テーブル上の直流電源１２に並列接続する。各作業ヘッド２に設けた変位部材である吸着部材３で半導体チップ１０を吸着して各種の作業を行う際に、吸着部材３から半導体チップ１０に掛かる負荷に応じて吸着部材３を変位させ、その変位量が既定値を超えると半導体チップ１０に過負荷が掛かったとしてこれを変位表示手段１１で検出し点灯表示させる。所定の作業ポジションＰに設置した変位検知手段１３で点灯表示を検出して、過負荷検出信号を得る。【選択図】図１
2007007813.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転テーブルの周辺部に等間隔で配置した複数の作業ヘッドを、前記回転テーブルを間欠回転させて回転テーブル周辺部に沿う複数の作業ポジションに順に間欠搬送する回転テーブル搬送設備において、
前記複数の作業ヘッドのそれぞれに配設され、前記作業ポジションで作業ヘッドが当該作業ヘッドに変位可能に設置した変位部材を変位させて作業する際の前記変位部材の変位量が規定値以上であるか否かを表示する変位表示手段と、
前記作業ポジションの内の選択された作業ポジションに配設され、前記変位表示手段の表示を検知して導通か不導通かのスイッチ動作をする変位検知手段と、
を具備したことを特徴とする回転テーブル搬送設備。
【請求項２】
前記複数の作業ヘッドは、それぞれに配設した前記変位部材で作業対象のワークを着脱自在に保持して作業をし、前記変位表示手段は、前記変位部材が前記作業ポジションで作業するときの変位部材の変位量から前記ワークに加わる負荷が規定値以上の過負荷であるか否かを表示する、ことを特徴とする請求項１に記載の回転テーブル搬送設備。
【請求項３】
前記変位表示手段は、前記変位部材の変位量が規定値以上であるか否かで導通、不導通のスイッチ動作をするスイッチ部材と、このスイッチ部材に直列接続されて前記スイッチ部材のスイッチ動作で点灯または消灯する光源を有することを特徴とする請求項１または２に記載の回転テーブル搬送設備。
【請求項４】
前記回転テーブルに、前記複数の作業ヘッドそれぞれの前記スイッチ部材と光源の直列回路に共通の直流電圧を印加する直流電源を配設したことを特徴とする請求項３に記載の回転テーブル搬送設備。
【請求項５】
前記直流電源は、充電可能な電池であることを特徴とする請求項４に記載の回転テーブル搬送設備。
【請求項６】
前記変位部材は、前記ワークを真空吸着する吸着部材であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の回転テーブル搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップなどのワークを保持して複数の作業ポジションに順に間欠搬送する回転テーブル搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造設備で使用される回転テーブル搬送設備は、水平な回転テーブルの上面周辺部に複数の作業ヘッドを等間隔で装備する。複数の作業ヘッドのそれぞれには、１個の半導体チップを真空吸着する吸着部材（吸着コレット、ピックアップなど）が設置される。この吸着部材は、作業ヘッドに対して軸方向に変位する変位部材である。回転テーブルは、作業ヘッドの配列間隔で一方向に間欠回転して、作業ヘッドを回転テーブル周辺に配備した複数の作業ポジションに順に間欠搬送する。各作業ポジションは、外部から作業ヘッドの吸着部材に１個の半導体チップを供給するポジションや、作業ヘッドの吸着部材に保持された半導体チップの電極に外部から測子を接触させて特性測定するポジションなどである。
【０００３】
図４及び図５に、２台の水平な回転テーブル１ａ、１ｂを使用した半導体製造設備を示す。一方の第一回転テーブル１ａは、上面周辺部の等間隔１２箇所に作業ヘッド２ａを有する。１２ヘッドの作業ヘッド２ａそれぞれに、１個のワークである半導体チップ（図示せず）を着脱自在に保持する変位部材３ａが設置される。他方の第二回転テーブル１ｂは、上面周辺部に等間隔１６箇所に作業ヘッド２ｂを有し、各作業ヘッド２ｂそれぞれに１個の半導体チップを真空吸着する吸着部材（変位部材）３ｂが設置される。第一回転テーブルａの変位部材３ａは、１個の半導体チップを例えば左右からチャックする左右開閉式チャック爪である。第一回転テーブル１ａの上面中央部に、複数全ての変位部材３ａを独自に開閉させる爪開閉機構４ａが設置される。第二回転テーブル１ｂの吸着部材３ｂは、下端に真空吸引口を有する軸状の吸着コレットで、第二回転テーブル１ｂに対して相対上下動して、後述する各種の作業を行う。第二回転テーブル１ｂの上面中央部に、複数全ての吸着部材３ｂを独自に真空吸引動作させる真空配管系４ｂが設置される。
【０００４】
両回転テーブル１ａ、１ｂは、周縁部の一部同士が１つのワーク受け渡しポジションＰで交差する。第一回転テーブル１ａの１つの作業ヘッド２ａがワーク受け渡しポジションＰに間欠搬送されると、この作業ヘッド２ａの真上に第二回転テーブル１ａの１つの作業ヘッド２ｂが間欠搬送されて、作業ヘッド間で半導体チップの受け渡しが行われる。第一回転テーブル１ａが作業ヘッド２ａの配列間隔で間欠回転して、１つの作業ヘッド２ａがワーク受け渡しポジションＰに間欠搬送されると、この作業ヘッド２ａの変位部材３ａが変位して半導体チップを離脱容易に状態にする。同時にワーク受け渡しポジションＰにある第二回転テーブル１ｂの作業ヘッド２ｂの吸着部材３ｂが１回上下に変位動作して、第一回転テーブル１ａの変位部材３ａから半導体チップを真空吸着して取り出す。ワーク受け渡しポジションジョンＰで１個の半導体チップの受け渡しが完了すると、両回転テーブル１ａ、１ｂはそれぞれに間欠回転して、次のワーク受け渡しの動作が行われ、ワーク受け渡しポジション以外の各作業ポジションでそれぞれ特定の作業が行われる。
【０００５】
例えば、第二回転テーブル１ｂは、第一回転テーブル１ａから１個の半導体チップを受け取ると間欠回転して、半導体チップを受け取った作業ヘッド２ｂを後続の特性測定ポジションに間欠搬送する。この特性測定ポジションには、半導体チップに対応させた複数の測子を備えた特性測定用ソケットが設置され、作業ヘッド２ｂが特性測定ポジションに間欠搬送されると、吸着部材３ｂが１回上下動して、吸着部材３ｂの下端に真空吸着した半導体チップをソケットに押し付けて、半導体チップの特性測定が行われる。特性測定が終了した半導体チップは、吸着部材３ｂでソケットから取り出されて、次の後続の作業ポジションに間欠搬送される。
【０００６】
上記のように半導体チップを回転テーブルの間欠回転で各種の作業ポジションに間欠搬送する場合、作業ポジションによっては半導体チップが過大な機械的ダメージ（過負荷）を受けることがある。半導体チップは、僅かな荷重が加わると外見的には無傷でも機能不良のダメージを受け易い。そこで、例えば上記第二回転テーブル１ｂにおいては、作業ヘッド２ｂに吸着部材３ｂをばね材を介し配設して、吸着部材３ｂが半導体チップを吸着するときや、吸着した半導体チップを特性測定用ソケットに押し付けるときに、半導体チップに加わる負荷をばね材で吸収して軽減させることが行われている。また、吸着部材３ｂが吸着した半導体チップをソケットやマウント基板などに押し付けるときに、吸着部材３ｂに軸方向に加わるコンタクト圧を圧力センサで検知して、吸着部材３ｂが半導体チップを過負荷なく押し付けるように制御することが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平０８−１２４９４７号（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記吸着部材３ｂが半導体チップを吸着する作業時や、吸着した半導体チップを特性測定用ソケットに押し付ける作業時などの作業内容によっては、半導体チップに過負荷が掛かり、大きなダメージを受けることがある。例えば、図４の回転テーブル搬送設備において、ワーク受け渡しポジションＰで１個の半導体チップを受け渡す動作の際に、受け渡しされる半導体チップが２個重なっている場合がある。重なった２個の半導体チップを第二回転テーブル１ｂの吸着部材３ｂが吸着するときの軸方向の変位量と、吸着部材３ｂが正常に１個の半導体チップを吸着するときの軸方向の変位量は、１個の半導体チップ厚に応じて相違する。この変位相違分に相応して、吸着部材３ｂが２個重なった半導体チップを吸着するときに、２個に規定値を越える過負荷が加わることがある。また、半導体製造の生産効率を上げるために回転テーブルを高速回転させているが、高速に回転するほど作業ヘッド、変位部材に慣性力が大きく掛かり、この慣性力でワーク受け渡し時に半導体チップに過負荷が掛かることがある。さらに、半導体チップを特性測定用ソケットに押し付けて特性測定する際に、半導体チップをソケットに強く押し付け過ぎて、半導体チップに過負荷が掛かることがある。
【０００８】
以上のように半導体チップに過負荷が掛かった場合、内部がダメージを受けて不良品になるか、将来的に不良品になる確率が高い。そこで、回転テーブル周辺の所望の作業ポジションで吸着部材を介して半導体チップに加わる負荷を検出し、既定値以上の過負荷が半導体チップに掛かったと判定されると、その半導体チップを不良品として排除することが行われている。図４の回転テーブル搬送設備の場合、第二回転テーブル１ｂの吸着部材３ｂに、吸着部材３ｂが作業ポジションで作業するときの軸方向の変位量を検出する圧力センサを連接する。吸着部材３ｂが半導体チップを吸着する際や、吸着した半導体チップを特性測定用ソケットなどに押し付ける際に、吸着部材３ｂの変位量を圧力センサで検出する。圧力センサは、ロードセルや歪みゲージなどが適用される。圧力センサが検出した変位量が予め設定された規定値以上であると、半導体チップに過負荷が掛かったと判定して過負荷検出信号を搬送設備制御装置などに送信する。
【０００９】
第二回転テーブル１ｂには、複数の各作業ヘッド２ｂの圧力センサに給電する電源配線系と、各作業ヘッド２ｂの圧力センサの検出信号を外部の搬送設備制御装置などに送信する信号配線系が設置される。このような回転テーブル搬送設備においては、第二回転テーブル１ｂが定方向に間欠回転することから、上記配線系に回転テーブル１ｂに同心状に配置されるスリップリングなどの回転式電気接点を使用する。スリップリングなどの回転式電気接点は構造複雑で高価であり、高速回転の運転設備においては耐久期間が大幅に短くなる問題がある。また、回転式電気接点と回転テーブル１ｂ上の真空配管系４ｂが互いに干渉して、双方の配置設計が難しくなる不具合がある。
【００１０】
また、図４の回転テーブル搬送設備の場合、第二回転テーブル１ｂの周辺部に沿う特定の作業ポジションに、吸着部材３ｂが作業する際の変位量を非接触で検出する特殊なセンサ、例えば光電センサを設置することが可能である。この場合、光電センサを外部の搬送設備制御装置などに配線するため、第二回転テーブル１ｂに過負荷検出のためのスリップリング等の電源配線系、信号配線系が不要となる。しかし、第二回転テーブル１ｂの１６ヘッドある各作業ヘッド２ｂのそれぞれで吸着部材３ｂの変位量に誤差があり、この変位誤差をクリアして変位量を正確に検出することが困難である。また、高精度で高価な光電センサを使用したとしても、１６ヘッドの変位誤差のばらつきに対応して検出誤差が大きくなり、信頼性に欠ける問題がある。
【００１１】
本発明は、かかる実情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、回転テーブルの作業ヘッド、作業ポジションにおける各種の作業内容の変動を簡単な手段で信頼性よく検出することのできる回転テーブル搬送設備を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、回転テーブルの周辺部に等間隔で配置した複数の作業ヘッドを、回転テーブルを間欠回転させて回転テーブル周辺部に沿う複数の作業ポジションに順に間欠搬送する回転テーブル搬送設備において、複数の作業ヘッドのそれぞれに配設され、作業ポジションで作業ヘッドが当該作業ヘッドに変位可能に配置した変位部材を変位させて作業する際の変位部材の変位量が規定値以上であるか否かを検出して表示する変位表示手段と、複数の作業ポジションの内の選択された作業ポジションに配設され、変位表示手段の表示を検知して導通か不導通かのスイッチ動作をする変位検知手段とを具備した構成にて、上記目的を達成するものである。
【００１３】
ここで、回転テーブルは水平な円形テーブルで、周辺部に１２ヘッド、１６ヘッドなどと複数の作業ヘッドを等間隔で有する。作業ヘッドは、半導体チップなどのワークを着脱自在に保持する吸着部材やチャック爪などの変位部材を定方向に変位可能に有する。各作業ヘッドの変位部材は、特定の作業ポジションで特定の内容の作業をするために変位動作する。変位部材の変位量は、作業ポジションで行われる作業内容の変動（正常と異常、適正と不適正など）で相違し、この変位量の変動の有無を変位表示手段が検出して表示する。変位表示手段は、変位部材の変位量を検出するスイッチや圧力センサなどであり、変位部材の変位量が規定値以上か否かで、二種類の作業内容を検出して二種表示をし、この二種表示を変位検知手段が検知する。作業ヘッドの変位部材が変位動作して適正に作業したか否か、変位部材がワークを保持して作業する際にワークに過負荷を掛けないか掛けるか、ワークを変形させないか既定値以上に変形させるかといった作業内容が適正か否か、正常か否かの二種の作業内容が変位表示手段で表示される。この二種表示が作業ポジションに配置された変位検知手段で非接触または接触で検知され、二種の作業内容の情報が外部の搬送設備制御装置などに出力される。
【００１４】
具体的に本発明は、回転テーブルの周辺部に等間隔で配置した複数の作業ヘッドのそれぞれに変位可能に配設した変位部材で作業対象のワークを着脱自在に保持し、回転テーブルを間欠回転させて変位部材で保持されたワークを回転テーブル周辺部に沿う複数の作業ポジションに順に間欠搬送する回転テーブル搬送設備において、複数の作業ヘッドのそれぞれに配設され、変位部材が作業ポジションで作業するときの変位部材の変位からワークに加わる負荷が規定値以上であるか否かを検出して表示する変位表示手段と、複数の作業ポジションの内の選択された作業ポジションに配備され、変位表示手段の表示を検知して導通か不導通かのスイッチ動作をする変位検知手段とを具備する。
【００１５】
ここで、ワークは、変位部材に保持される作業時や変位部材で保持されて特性測定などされる作業時に受ける荷重（負荷）に対してダメージを受け易い半導体チップ、小形の高精密機械部品や化学製品などである。複数の作業ヘッドのそれぞれにワークを着脱自在に保持する変位部材が、ワークを保持する際に変位するように変位可能に設置される。変位部材は、ワークの種類に対応するもので、ワークを真空吸着する吸着部材、ワークを上下または左右からチャックするチャック爪が適用できる。回転テーブル周辺部の複数の作業ポジションジョンは、ワーク受け渡しポジション、ワーク特性測定ポジション、ワーク外観検査ポジション、ワーク強度試験ポジションなどである。任意の作業ポジションで変位部材がワークを受け取るなどの作業をするとき、ワークに掛かる負荷に応じて変位部材が変位し、この変位量を変位表示手段が検出して表示する。変位表示手段は、ワークが規定値以上の過負荷を受けたか否かの二種表示をするもので、ばね接点を用いたスイッチ部材やロードセルのような圧力センサが適用でき、前者スイッチ部材が構造が簡単で低コストである点で望ましい。変位表示手段の二種表示は、点光源の点灯表示と消灯表示のような光学的表示、或いは、突出退入物の突出表示と退入表示のような機械的表示が有効である。変位検知手段は、ワークに過負荷が掛かり易いワーク受け渡しポジションやワーク特性測定ポジションなどの選択された特定の作業ポジションに設置される。この変位検知手段は、変位表示手段が光学的表示する場合はその表示を受光、不受光で読み取る光電センサが適用でき、変位表示手段が機械的表示する場合はその表示を機械的変動で検出する近接スイッチ、リミットスイッチが適用できる。
【００１６】
回転テーブルの各作業ヘッドに変位表示手段を配備することで、作業ポジションにおけるワークの過負荷検出精度が高く安定する。また、変位表示手段の表示を作業ポジションに配置した変位検知手段で検知することで、回転テーブルにワーク過負荷検出信号のための配線が不要となり、回転テーブルに設置される真空配管系などの装備の設計が容易になる。
【００１７】
また、本発明においては、各作業ヘッドの変位表示手段は、変位部材が特定の作業をするときの変位で導通、不導通のスイッチ動作をするスイッチ部材と、このスイッチ部材に直列接続されてスイッチ部材のスイッチ動作で点灯または消灯する光源を有する構造とすることができる。ここでのスイッチ部材は、ばね接点を用いた構造簡単で動作が安定するものが適用できる。スイッチ部材に直列接続される光源は、発光ダイオード、豆電球などの点光源が、作業ヘッド内の狭いスペースに設置する上で望ましい。
【００１８】
また、本発明においては、回転テーブルに、複数の作業ヘッドそれぞれのスイッチ部材と光源の直列回路に共通の直流電圧を印加する直流電源を配設することができる。この直流電源は、充電可能な電池で、その中でも太陽電池が配線なしで常時充電できることから実用上に望ましい。
【００１９】
ここでの直流電源は、回転テーブルの中央部の任意の定箇所に設置され、回転テーブル周辺部の複数の作業ヘッドのスイッチ部材と光源の直列回路に共通な電源として配線される。この配線は、スリップリングなどの回転式電気接点を使用しない固定式配線形態が可能で、回転テーブル上の真空配管系の空スペースを利用して配線することができる。この固定式配線は、回転テーブルと一体に回転するので、回転テーブルの一方向の連続回転、高速回転を容易にし、高速回転しても耐久期間が短縮されない。
【００２０】
以上の本発明においては、各作業ヘッドの変位部材を、ワークを真空吸着する吸着部材にする構造にして、回転テーブル上に各作業ヘッドの吸着部材と真空ポンプとを配管する真空配管系を設置することができる。この場合、上述したように回転テーブル上での真空配管系の設計が上記直流電源系の配線で邪魔されることなく容易に行える。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の回転テーブル搬送設備によれば、回転テーブルの複数全ての作業ヘッドに、ワークを保持するなどして作業する変位部材の変位量を検出して表示する変位表示手段を配備し、変位表示手段の表示を回転テーブル外の作業ポジションに設置した表示検知手段で検知することで、各作業ヘッドでのワーク過負荷検出などの作業内容の検出精度を高く、かつ、安定させることができる。また、作業ヘッドの変位表示手段は、作業ヘッドの作業内容が正常か否か、適正か否かなどの二種内容を検出するばね接点などの簡単で安価なスイッチ部材と、点灯と消灯といった明確な二種表示をする光源を使用した、従って、安価で簡単な省電力回路が適用でき、さらに、複数全ての作業ヘッドの変位表示手段に共通の直流電源として市販の電池が適用できるので、設備投資的に有利な回転テーブル搬送設備が提供できる。さらに、回転テーブルに過負荷検出信号などの信号取り出しのための高価なスリップリングなどの配線が不要となるため、特に作業ヘッドにワークを真空吸着する変位部材を設けた場合、回転テーブル上に設置される真空配管系がスリップリングを用いた配線系で邪魔されることなく設計できて、回転テーブルの設計自由度が増し、回転テーブル搬送設備のコスト低減が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図３を参照して説明する。
【００２３】
図４及び図５の半導体製造設備である回転テーブル搬送設備に適用した実施の形態の概要が、図１に示される。図１は、第一回転テーブル１ａの一部を鎖線で示し、第二回転テーブル１ｂを実線で示す。第二回転テーブル１ｂの１６ヘッドの各作業ヘッド２ｂは、図３に示すような軸状の変位部材である吸着部材３ｂを備える。１つの作業ヘッド２ｂに１本の吸着部材３ｂが軸方向の上下に変位可能に配置される。吸着部材３ｂは下端に真空吸引口を有し、適宜に上下動することで１個のワーク例えば半導体チップ１０を真空吸着して保持する。第一回転テーブル１ａと第二回転テーブル１ｂが交差するワーク受け渡しポジションＰで、両回転テーブル１ａ、１ｂ間で半導体チップ１０の受け渡しが行われると、両回転テーブル１ａ、１ｂがそれぞれ定方向に間欠回転する。第二回転テーブル１ｂは間欠回転して、ワーク受け渡しポジションＰで受け取った半導体チップ１０を保持した状態で、後続の作業ポジションＰ、…へと順に間欠搬送する。半導体チップ１０を保持した吸着部材３ｂは、後続の作業ポジションＰ、…で必要に応じて上下動して半導体チップ１０の特性測定などの作業を行う。なお、各作業ポジションＰ、…は、半導体チップ１０を保持するだけで特定の作業をしないポジション、半導体チップ１０が排出されて保持しない空ポジションを含む。
【００２４】
以下、必要に応じて第二回転テーブル１ｂを単に回転テーブル１と称し、この回転テーブル１の作業ヘッド２ｂを作業ヘッド２、吸着部材３ｂを吸着部材３と称する。回転テーブル１は水平な円形テーブルで、上面周辺部に等間隔で１６ヘッドの作業ヘッド２が設置される。各作業ヘッド２は、同一構造である。回転テーブル１は、中央部に図示しない回転駆動軸が連結されて、１６ヘッドの作業ヘッド間隔で間欠回転する。回転テーブル１の上面中央部に、各作業ヘッド２の吸着部材３に配管された真空配管系４が設置される。真空配管系４の概要を図３に示すと、共通の１つの真空ポンプ１５と各作業ヘッド２の吸着部材３を連接するたこ足形状の配管１６を備える。各吸着部材３の配管１６には、真空吸引動作を制御するバルブ系１７が連接される。図１の実施の形態は、回転テーブル１の各作業ヘッド２に吸着部材３の作業時の変位量を検出し、異なる二種類の表示をする変位表示手段１１と、各作業ヘッド２の変位表示手段１１に共通の直流電圧を印加する共通の直流電源１２を、回転テーブル１上に設置する。さらに、図１の実施の形態は、ワーク受け渡しポジションＰを含む作業ポジションＰ、…の内の選択された作業ポジションＰに、変位表示手段１１の表示を検知する変位検知手段１３を定位置に設置する。
【００２５】
変位表示手段１１は、吸着部材３の作業時の変位量で導通、不導通のスイッチ動作をするスイッチ部材１１ａと、このスイッチ部材１１ａに直列接続されてスイッチ部材１１ａのスイッチ動作で点灯または消灯する光源の発光ダイオード１１ｂを備える。スイッチ部材１１ａは、図３に示すような皿ばね接点を用いた構造簡単で安価なものが適用可能である。吸着部材３は、複数の軸状部品をばね材などを介して組み合わせた既存構造のもので、半導体チップ１０を吸着する作業や、吸着した半導体チップ１０を特性測定用ソケットに押し付ける作業などの特定の作業時に、半導体チップ１０に掛かる負荷に応じた量で軸方向に変位する変位部分を有し、ここではこの変位部分を吸着部材３として説明を続ける。
【００２６】
吸着部材３が半導体チップ１０を吸着する際、或いは、半導体チップ１０を吸着して特定の作業をする際、吸着部材３から半導体チップ１０に掛かる負荷に応じて吸着部材３が作業ヘッド２に対して相対上昇の変位をする。半導体チップ１０がダメージを受ける限界値として予め設定された規定値を越える過負荷が半導体チップ１０に掛かると、吸着部材３が予め設定された既定値の変位量を超える変位をする。スイッチ部材１１ａは、吸着部材３が規定値を超えない変位をするときは接点オフの状態を保持するばね接点を有する。このばね接点は、吸着部材３が規定値を超える変位をしたときに、接点オンになる動作をし、接点オン状態を自己保持する。
【００２７】
スイッチ部材１１ａに発光ダイオード１１ｂが直列接続される。各作業ヘッド２のスイッチ部材１１ａと発光ダイオード１１ｂの直列回路が、共通の直流電源１２に並列接続されて、各直列回路に直流電源１２から共通の直流電圧が印加される。直流電源１２は充電可能な電池であり、室内照明光で充電可能な太陽電池が望ましい。直流電源１２は、回転テーブル１上の真空配管系４が設置された中央部の狭い空きスペースに設置すればよい。直流電源１２が太陽電池の場合は、真空配管系４の頂点部分に設置することも有効である。直流電源１２と各作業ヘッド２のスイッチ部材１１ａと発光ダイオード１１ｂの直列回路を並列接続する配線は、回転テーブル１上に固定式配線形態で設置される。
【００２８】
作業ポジションＰに設置される変位検知手段１３は、変位表示手段１１の発光ダイオード１１ｂの発光の有無を検知する受光素子内蔵の光電センサである。この光電センサ１３は、回転テーブル１の回転でテーブル自体や作業ヘッド２に当接しない定位置に設置される。光電センサ１３が設置される作業ポジションＰは、半導体チップ１０が過負荷を受け易いワーク受け渡しポジションや特性測定ポジションなどであり、特に必要に応じて設けた過負荷点検ポジションである。
【００２９】
次に、回転テーブル１を間欠回転させて半導体チップ１０を各作業ポジションに間欠搬送して行う各種の半導体製造作業と、半導体チップ１０に対する過負荷検出の動作要領を説明する。
【００３０】
図１はワーク受け渡しポジションＰに変位検知手段１３を配備して、ワーク受け渡しの作業時に半導体チップ１０に過負荷が掛かるか否かの検出表示動作を行うようにしている。回転テーブル１が間欠回転して、１つの作業ヘッド２がワーク受け渡しポジションＰに間欠搬送されると、この作業ヘッド２の吸着部材３が１回上下動の変位をして、１個の半導体チップ１０を吸着する。
【００３１】
このとき、半導体チップ１０に掛かる負荷が既定値未満であれば、吸着部材３の変位量がその既定値未満であり、吸着部材３のある作業ヘッド２の変位表示手段１１のスイッチ部材１１ａが接点オフの状態を維持し、これに直列接続された発光ダイオード１１ｂは点灯しない。この点灯しない消灯表示でもって、ワーク受け渡しポジションＰの変位検知手段１３が受光せず、過負荷検出信号を出力しない。
【００３２】
上記ワーク受け渡し時に半導体チップ１０に過負荷が掛かると、吸着部材３の変位量がその既定値を越える大きさとなり、吸着部材３のある作業ヘッド２の変位表示手段１１のスイッチ部材１１ａがオン動作して、これに直列接続された発光ダイオード１１ｂに直流電源１２から直流電流が流れ、この導通で発光ダイオード１１ｂが点灯する。この点灯表示で、ワーク受け渡しポジションＰの変位検知手段１３が受光して、過負荷検出信号を外部の搬送設備制御装置に出力する。搬送設備制御装置は、過負荷検出信号の入力でワーク受け渡しポジションＰの半導体チップ１０が過負荷を受けたことを認知して、最終的に排除する制御信号を回転テーブル側に出力する。
【００３３】
ワーク受け渡しポジションＰで半導体チップ１０が過負荷を受けていないと判断されると、この半導体チップ１０は吸着部材３で吸着された状態で、回転テーブル１の間欠回転で後続の作業ポジションＰに間欠搬送される。変位検知手段１３が配置されていない作業ポジションＰに１つの作業ヘッド２が間欠搬送されると、この作業ヘッド２の変位表示手段１１が吸着部材３の変位を検出し表示する動作をするが、このような作業ポジションＰでの吸着部材３の変位量は既定値未満であることが事前に知られており、過負荷を検出する必要のないポジションであることから、変位表示手段１１の発光ダイオード１１ｂは点灯しない。
【００３４】
変位検知手段１３が設置された例えば特性測定ポジションＰに１つの作業ヘッド２が間欠搬送されると、作業ヘッド２の吸着部材３が吸着した半導体チップ１０を特性測定用ソケットに押し付ける作業をする。この作業時に半導体チップ１０に過負荷が掛かると、吸着部材３の変位量が既定値を超えて、変位表示手段１１のスイッチ部材１１ａが接点オンとなり、発光ダイオード１１ｂが点灯し、これを変位検知手段１３が検知する。
【００３５】
また、変位検知手段１３を、次の特定の過負荷点検ポジションに設置して、変位表示手段１１と変位検知手段１３の点検を行うこともできる。即ち、複数の作業ポジションの任意の１つ、或いは、複数のポジションを過負荷点検ポジションに設定する。この過負荷点検ポジションに、同ポジションに搬送された作業ヘッド２の吸着部材３を積極的にして確実に既定値以上変位させる変位点検機構を配備する。１つの作業ヘッド２が過負荷点検ポジションに間欠搬送されると、半導体チップ１０の有無に関係なく吸着部材３が既定値以上変位する。このとき、変位表示手段１１の発光ダイオード１１ｂが点灯し、これを変位検知手段１３が受光して過負荷検出信号が出力されるか否かの判定で、変位表示手段１１と変位検知手段１３が正常か否かの点検が行われる。
【００３６】
なお、本発明の回転テーブル搬送設備は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、変位表示手段が半導体チップに掛かる負荷が過負荷であると検出すると光源（発光ダイオード）を点灯させる表示をしたが、逆表示も可能である。即ち、変位表示手段が半導体チップに掛かる負荷が過負荷未満の場合に光源と点灯させ、過負荷であると検出すると点灯していた光源を消灯させるようにしてもよい。この後者の逆表示の場合、回転テーブルの多くの作業ヘッドで過負荷無しの点灯表示がされ、半導体チップ製造設備における過負荷対策に便宜を図ることができる。
【００３７】
また、変位表示手段に、直流電源で点灯表示させる光源を用いたが、これら電気的手段を省略して、機械的手段のみで変位表示手段を構成することも可能である。この場合、作業ポジションジョン側に設置される変位検知手段は、変位表示手段の機械的表示で導通と不導通のスイッチ動作する近接スイッチ、リミットスイッチが使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】実施の形態である回転テーブル搬送設備の概要を示す平面図である。
【図２】図１設備における等価配線図である。
【図３】図１設備における要部の概要を示す正面図と配線図および配管図である。
【図４】一般的な回転テーブル搬送設備の概要を示す側面図である。
【図５】図４設備における概略的な平面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１    回転テーブル
２    作業ヘッド
３    変位部材、吸着部材
１０    ワーク、半導体チップ
１１    変位表示手段
１１ａ    スイッチ部材
１１ｂ    光源、発光ダイオード
１２    直流電源、電池、太陽電池
１３    変位検知手段、光電センサ
Ｐ    作業ポジション、ワーク受け取りポジション、特性測定ポジション
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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