(57)【要約】【課題】  開口部を有する収容空間の内側に部品が載置されているワークであっても、部品の位置ずれを起こすことなくワークを吸着するコレット、及びそのコレットを用いたワーク搬送装置を提供すること。【解決手段】  開口部を有する収容空間Ｓ内に部品１２が載置されているワーク１０を吸着するようにした吸着孔５０を備えたコレット４０であって、吸着孔５０はワーク１０と接触する領域のみに設けられていることを特徴とするコレット。【選択図】    図６
2007036932.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有する収容空間内に部品が載置されているワークを吸着するようにした吸着孔を備えたコレットであって、
前記吸着孔は前記ワークと接触する領域のみに設けられている
ことを特徴とするコレット。
【請求項２】
前記コレット内には、吸引された空気の通路となる通気路と、この通気路とつながった内部空間とが設けられており、
この内部空間に露出した内面に複数の孔が開けられて前記吸着孔が形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のコレット。
【請求項３】
前記内部空間は、前記コレット本体の側面に、前記通気路にとどくように長孔を開けてから、この長孔の開口部を封止するようにして形成されていることを特徴とする請求項２に記載のコレット。
【請求項４】
前記コレットは、第１の部品と第２の部品とを接続して形成されるようになっており、
前記第１の部品は、前記通気路を有し、この通気路とつながった凹状の空間を有しており、
前記第２の部品は、前記吸着孔を有し、この吸着孔と前記凹状の空間とがつながるようにして、前記凹状の空間を外部空間から仕切るようにした
ことを特徴とする請求項２に記載のコレット。
【請求項５】
前記吸着孔は、前記収容空間内に片持ち式に圧電素子が載置されているワークを吸着するようにしたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のコレット。
【請求項６】
開口部を有する収容空間内に部品が載置されているワークを吸着するようにした吸着孔を備えたコレットと、このコレットを移動させることで前記ワークを搬送するようにした搬送手段とを備えたワーク搬送装置であって、
前記コレットの吸着孔は、前記ワークと接触する領域のみに設けられている
ことを特徴とするワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを吸着するコレット、及びこれを用いたワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１３は、表面実装型の圧電振動子の製造工程を概説するための図であり、図１４は、図１３の製造工程に対応した概念図である。
これらの図に示されるように、圧電振動子を製造するに際しては、先ず、全体が矩形状とされ、圧電振動片を収容するために上部が開口した収容空間を有するパッケージを形成する（ＳＴ１）。
【０００３】
そして、図１４（ａ）に示すように、収容空間Ｓ１内に接着剤２を塗布してから、この接着剤２の上に予め用意しておいた圧電振動片４を載置して軽く加重をかけて、圧電振動片４をパッケージ６に仮止めしておく（ＳＴ２）。
その後、図１４（ｂ）に示すように、圧電振動片４を接着剤２上に載置した状態のパッケージ６をコレット３で吸着し、このコレット３に接続されたトランスポート（図示せず）を用いて、パッケージ６を加熱炉（図示せず）に搬送するようにしている（ＳＴ３）。
【０００４】
このコレット３は、真空ポンプ（図示せず）と接続され、中心線Ｃに沿って吸着孔８を有しており、この吸着孔８からパッケージ６の収容空間Ｓ１内の空気を吸引して、パッケージ６を吸着保持する（例えば、特許文献１参照）。
そして、加熱炉（図示せず）でパッケージ６全体を加熱して、収容空間Ｓ１内に塗布した接着剤２を加熱硬化させることで、圧電振動片４とパッケージ６とを確実に接合し（ＳＴ４）、次いで、図１４（ｃ）に示すように、蓋体９でパッケージ６の収容空間Ｓ１を封止して（ＳＴ５）、圧電振動子を完成させている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−９３６８９の公開特許公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上述のように、圧電振動片４が載置されたパッケージ６を加熱炉に搬送する際（ＳＴ３）、図１４（ｂ）に示すようにコレット３でパッケージ６を真空吸着すると、パッケージ６の収容空間Ｓ１内に気流が生じ、このため、収容空間Ｓ１内の部品（図１３の場合は圧電振動片）の位置がずれてしまう恐れが生じている。
この気流による部品の位置ずれは、例えば小型化によりパッケージとの接合強度が弱まっている部品にも生ずるが、特に、上述のようにパッケージと確実に接合されていない状態の圧電振動片の場合はなおさら生じやすい。
【０００７】
本発明は、上述の課題を解決するためのものであり、開口部を有する収容空間内に部品が載置されているワークであっても、部品の位置ずれを起こすことなくワークを吸着するコレット、及びそのコレットを用いたワーク搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の目的は、第１の発明によれば、開口部を有する収容空間内に部品が載置されているワークを吸着するようにした吸着孔を備えたコレットであって、前記吸着孔は前記ワークと接触する領域のみに設けられているコレットにより達成される。
【０００９】
第１の発明の構成によれば、コレットの吸着孔はワークと接触する領域のみに設けられている。このため、ワークがコレットに吸着される部分は、コレットと接触している部分だけであり、パッケージの収容空間に気流を生じさせるようなことはない。したがって、コレットがワークを吸着しても、収容空間内に載置された部品を動かすような事態を防止できる。
かくして、本発明の効果として、開口された収容空間内に部品が載置されたワークであっても、部品の位置ずれを起こすことなくワークを吸着するコレットを提供することができる。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記コレット内には、吸引された空気の通路となる通気路と、この通気路とつながった内部空間とが設けられており、この内部空間に露出した内面に複数の孔が開けられて前記吸着孔が形成されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、吸引された空気の通路となる通気路と、この通気路とつながった内部空間とが設けられている。このため、内部空間内の空気は通気路を通って吸引される。そして、この内部空間に露出した内面に複数の孔を開けられて吸着孔が形成されている。これにより、通気路一つを吸引するようにすれば、内部空間を介して、一度に複数の吸着孔から吸引することができる。
【００１１】
第３の発明は、第２の発明の構成において、前記内部空間は、前記コレット本体の側面に、前記通気路にとどくように長孔を開けてから、この長孔の開口部を封止するようにして形成されていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、コレット本体の側面に、通気路にとどくように長孔を開けているから、長孔と通気路とはつながることになる。そして、この長孔の開口部を封止すれば内部空間となる。
【００１２】
第４の発明は、第２の発明の構成において、前記コレットは、第１の部品と第２の部品とを接続して形成されるようになっており、前記第１の部品は、前記通気路を有し、この通気路とつながった凹状の空間を有しており、前記第２の部品は、前記吸着孔を有し、この吸着孔と前記凹状の空間とがつながるようにして、前記凹状の空間を外部空間から仕切るようにしたことを特徴とする。
【００１３】
第４の発明の構成によれば、コレットは第１の部品と第２の部品とを接続して形成されるようになっているが、第１の部品は凹状の空間を有し、第２の部品は凹状の空間を外部空間から仕切るようになっている。このため、第１の部品の凹状の空間は、第２の部品が接続されて内部空間となる。そして、第１の部品は通気路を有し、この通気路は凹状の空間とつながっており、第２の部品は吸着孔を有し、この吸着孔も凹状の空間とつながっている。したがって、第１の部品と第２の部品とを接続するだけで容易に、通気路および吸着孔とつながった内部空間を有する第２の発明と同様の構成を形成できる。
また、このように内部空間は、第１の部品に形成された凹状の空間を利用して形成されている。このため、第３の発明の長孔で形成された内部空間に比べて、容易に大きな内部空間を形成することができ、吸着孔を設ける数や位置の制限を受け難くする。
【００１４】
第５の発明は、第１ないし第４の発明の構成において、前記吸着孔は、前記収容空間内に片持ち式に圧電素子が載置されているワークを吸着するようにしたことを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、圧電素子は片持ち式に載置されているので、コレットに吸着された際、その位置がずれ易い状態である。そして、位置ずれが若干生じても振動特性が変動してしまうため特に問題が生じやすい。しかし、上述のように、コレットの吸着孔はワークと接触する領域のみに設けられているので、パッケージの収容空間を吸着するようなことはなく、収容空間内に載置された部品を動かすこともない。したがって、片持ち式に載置された圧電素子であっても、位置ずれを防止して良好な振動特性を発揮することができ、顕著な効果を発揮する。
【００１５】
また、上述の目的は、第６の発明によれば、開口部を有する収容空間内に部品が載置されているワークを吸着するようにした吸着孔を備えたコレットと、このコレットを移動させることで前記ワークを搬送するようにした搬送手段とを備えたワーク搬送装置であって、前記コレットの吸着孔は、前記ワークと接触する領域のみに設けられているワーク搬送装置により達成される。
第６の発明の構成によれば、コレットの吸着孔は、ワークと接触する領域のみに設けられているため、第１の発明と同様に、収容空間に気流を生じさせることもなく、収容空間内に載置された部品を動かすような事態を防止できる。したがって、開口された収容空間内に部品が載置されたワークであっても、部品の位置ずれを起こすことなくワークを吸着して、優れた搬送性能を有するワーク搬送装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１および図２は、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置を用いて搬送されるワーク１０の例示として、弾性表面波装置（以下、「ＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ）デバイス」という）を示しており、図１はＳＡＷデバイスの概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線切断端面図を示している。なお、図１は、理解の便宜のため、後述する蓋体を透視して図示している。
【００１７】
ワーク１０は、パッケージ２０内に部品を収容するようになっている。
パッケージ２０は、例えば複数のセラミックベースを積層して焼結されることで形成されており、全体が矩形状あるいは箱状となっている。このパッケージ２０は、図２に示すように、中央付近を凹状とすることで、上部に開口した開口部２８を有する収容空間Ｓが設けられ、この収容空間Ｓは周囲の壁部２０ｂに囲まれるようになっている。
また、パッケージ２０は、開口部２８側の端面（壁部２０ｂの端面）２０ａに、ロウ材２４を用いて蓋体２６を接合し、これにより収容空間Ｓが封止されている。ロウ材２４には低融点ガラスやシームリング等が利用できるが、本実施形態では、後述するようにロウ材２４を吸着するようにしてワーク１０が加熱炉に搬送されるため、ロウ材２４はパッケージ２０の開口部側の端面２０ａにタングステンメタライズおよびニッケルメッキをし、その上にコバール等を主材とするシームリングを接着させて形成されている。
【００１８】
そして、このパッケージ２０の収容空間Ｓ内に載置されている部品は、本実施形態の場合は電子部品であり、圧電素子１２などが収容されている。
圧電素子１２は、例えば水晶で矩形状に形成され、その表面に、すだれ状電極である櫛型電極（ＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ））１６及び反射器１８，１８が備えられたＳＡＷチップとなっている。
この圧電素子１２は、弾性表面波の伝搬面に応力が生じないようにするため、ＩＤＴ１６や反射器１８，１８が設けられていない一部の領域が、接着剤２２を用いて収容空間Ｓ内に接合されており、片持ち式にパッケージ２０に接合されている。
【００１９】
接着剤２２は、本実施形態では、例えば、エポキシ、ウレタン、シリコーン、ポリイミド、その他の熱硬化性樹脂接着剤や、これらに導電フィラーとして銀を添加した所謂銀ペースト等の導電性接着剤が用いられ、従来の製造工程を示す図１３と同様の工程で、塗布および硬化するようになっている。すなわち、パッケージ２０の収容空間Ｓに露出した内側底面に接着剤２２を塗布し、その上に圧電素子１２を載置する。次いで、蓋封止されていないパッケージ２０を加熱炉に搬送して、接着剤２２を加熱することで圧電素子１２をパッケージ２０に接合固定している。
【００２０】
また、圧電素子１２は、図１に示されるように、ボンディングパッド１７，１７・・・、及び金線等でなるボンディングワイヤ１５，１５・・・を介して、半導体集積回路１４と電気的に接続され、これにより、本実施形態のワーク１０はＳＡＷ発振器となっている。半導体集積回路１４は、収容空間Ｓの内側に接着剤（図示せず）を用いて接合されており、好ましくは、圧電素子１２の特性に応じた温度補償用のデータが書き込まれ、温度検出手段としてのサーモセンサ（図示せず）を備えている。
【００２１】
なお、理解の便宜のため、図１および図２ではワーク１０に蓋体２６が設けられたＳＡＷデバイスを図示したが、搬送される際のワーク１０は、図１および図２の蓋体２６がなく、収容空間Ｓが上側に開口された状態である。
また、図１および図２では、半導体集積回路が収容されたＳＡＷ発振器を図示したが、本発明はこれに限られるものではなく、例えば、半導体集積回路１４が収容されていないＳＡＷ振動子であっても勿論よい。また、圧電素子１２に、例えば片持ち式にパッケージに接合される音叉型圧電振動片やＡＴカット振動片等が用いられた圧電振動子であってもよい。
【００２２】
図３は、蓋封止されておらず、接着剤が硬化していない状態で、収容空間内に圧電素子が載置されているワーク１０を、加熱炉に搬送するためのワーク搬送装置３０の概略図である。なお、図３では理解の便宜のためにワーク１０を一点鎖線で図示している。
図３に示されるように、ワーク搬送装置３０は、コレット４０と、このコレット４０を移動させることでワークを搬送する搬送手段３２とを備えている。
【００２３】
搬送手段３２は、Ｘ−Ｙ軸方向に移動可能なＸ軸方向移動手段３４と、Ｙ軸方向移動手段３６とを備えている。
Ｙ軸方向移動手段３６には、例えば、駆動時の摩擦が小さく、スティックスリップが少ない等の利点を有するエアスライドが用いられている。エアスライドは、スライドテーブル３６ａが、アクチュエータでＹ軸方向に可動する際、空気軸受によりエアスライドガイド３６ｂと接触せずに可動するようになっている。
【００２４】
このエアスライドを用いたＹ軸方向移動手段３６は、Ｘ軸方向移動手段３４と接続されており、Ｘ軸方向移動手段３４は、例えばボールねじが用いられたアクチュエータによりＸ軸方向に移動可能な装置となっている。
なお、本実施形態の搬送手段３２は、以上のようにワーク１０を２軸方向に搬送可能な構成となっているが、本発明はこれに限られるものではなく、ワーク１０を３軸方向に搬送可能とした、例えばアームロボット等の装置であっても勿論よい。
【００２５】
コレット４０は、ワーク１０を吸着して保持するため手段であり、例えば、ＰＥＥＫ（ポリエーテル・エーテル・ケトン）（登録商標）材等の樹脂が利用されている。このコレット４０は、搬送手段３２の先端に取り付けられており、その先端部の水平方向の外形がワーク１０の水平方向の外形と略一致している。具体的には、搬送装置３２に接続するためのコレット取付け部３９に取り付けられている。すなわち、コレット取付け部３９にはコレット４０を嵌入するための嵌入孔（図示せず）が開けられており、鍔部４４が密着するようにして、その嵌入孔（図示せず）にシャンク部４２が嵌入されている。なお、このシャンク部４２は、好ましくは、嵌入孔内で回転しないように、平面状に面取りされた平取部４２ａ（図４参照）を有しており、嵌入孔の形状もこの平取部４２ａに対応した形状となっている。
【００２６】
そして、このコレット取付け部３９は、真空ポンプ３８と管３８ａを介して接続されており、その内部に、シャンク部４２の中心を通る通気路４６と管３８ａとを連通するための空間（図示せず）が設けられている。
また、コレット取付け部３９は、Ｙ軸方向移動手段３６に接続されたアーム３７と、バネ等の弾性体３５を利用して接続されており、これにより、コレット４０をワーク１０に接触させた際に生じる衝撃を緩和するようになっている。
【００２７】
次に、コレット４０について詳細に説明する。
図４はコレット４０の概略斜視図、図５はコレット４０の概略底面図、図６は図４のＢ−Ｂ線切断断面図である。なお、図４および図６では理解の便宜のためにワーク１０を一点鎖線で図示している。
コレット４０は、ワーク１０を吸着するための吸着孔５０がワーク１０と接触する領域のみに設けられている。
【００２８】
すなわち、本実施形態では、ワーク１０のパッケージ２０は、上述のように、矩形状の中央付近を凹状とすることで上部に開口した収容空間Ｓが設けられているため、コレット４０は、その先端がパッケージ２０の周縁部（開口部２８側の端面）２０ａに接している。そして、この周縁部（開口部２８側の端面）２０ａに接触する領域に沿うようにして、複数の吸着孔５０，５０，５０，５０，５０，５０，５０，５０のワーク１０側の各開口部５０ｂが配置されている。なお、本実施形態では、ワーク１０はパッケージ２０の周縁部２０ａにロウ材２４が設けられた状態で加熱炉に搬送されるため、コレット４０がワーク１０に接触するのはロウ材２４の部分である。
【００２９】
これら複数の吸着孔５０，５０・・・は、コレット４０内部の一つの空間につながっている。すなわち、コレット４０内には、吸引された空気の通路となる通気路４６と、この通気路４６とつながった内部空間４８とが設けられており、この内部空間４８に露出した内面に複数の孔が開けられて複数の吸着孔５０，５０・・・が形成されている。これにより、一つの通気路４６を吸引すれば、内部空間４８を介して、一度に複数の吸着孔５０，５０・・・から吸引することができるようになっている。
【００３０】
具体的には、内部空間４８は、コレット４０とワーク１０とが接触する領域の形状に対応して形成されている。本実施形態の場合、コレット４０とワーク１０とが接触するのはパッケージ２０の周縁部２０ａであるため、内部空間４８は、少なくとも、このパッケージ２０の周縁部２０ａの形状に沿うように形成されている。すなわち、少なくとも、図５の点線で示した平行斜線の部分に対応した領域に形成されている。
【００３１】
また、図６に示すように、内部空間４８は通気路４６とつながっており、この通気路４６は、コレット４０の中心線Ｃ１に沿って垂直方向（Ｙ軸方向）に延びるように形成され、水平方向の中心付近で内部空間４８に開口した開口部４６ａを有している。すなわち、内部空間４８は、上述のようにパッケージ２０の周縁部２０ａの形状に沿うように形成された領域と、通気路４６の開口部４６ａとをつなぐように水平方向に拡がって形成されている。
そして、この内部空間４８に露出した内側底面４９であって、パッケージ２０の周縁部２０ａの形状に対応した領域（図５の点線で示した平行斜線の部分に対応した領域）に、吸着孔５０が、垂直方向（Ｙ軸方向）に内部空間４８と外部とを連通するようにして形成されている。
【００３２】
このようなコレット４０内に設けられた通気路４６、内部空間４８、及び吸着孔５０は、本実施形態の場合、複数の部材を利用して形成されており、図６に示すように、第１および第２の部品６０，７０を利用して形成されている。
図７および図８はこの第１および第２の部品６０，７０を説明するための図であり、図７（ａ）は第１の部品６０の概略縦断面図、図７（ｂ）は第１の部品６０の概略底面図、図８（ａ）は第２の部品７０の概略縦断面図、図８（ｂ）は第２の部品７０の概略底面図、図８（ｃ）は第２の部品７０の概略側面図である。
以下、この図７及び図８、並びに図６を用いて第１および第２の部品６０，７０について説明する。
【００３３】
第１の部品６０は、図６及び図７に示されるように、通気路４６を有しており、この通気路４６とつながった凹状の空間６２を有している。
具体的には、第１の部品６０は、図７に示されるように、通気路４６の一部を構成する上部通気路４６−１を有しており、この上部通気路４６−１は、第２の部品７０の後述する突起部７２が嵌入される嵌入孔６４を介して、凹状の空間６２とつながっている。
すなわち、第１の部品６０は、上から上部通気路４６−１、嵌入孔６４、凹状の空間６２の順に直列につながっており、凹状の空間６２は、第１の部品６０に第２の部品７０を接続する場合に、第２の部品７０側に開口している。
なお、上部通気路４６−１は、図６に示すように、第１の部品６０と第２の部品７０とが接続されると、嵌入孔６４に嵌入された突起部７２に設けられた下部通気路４６−２を介して、内部空間４８（接続される前の凹状の空間６２）につながる。
【００３４】
第２の部品７０は、図６及び図８に示されるように、吸着孔５０を有し、この吸着孔５０と凹状の空間６２とがつながるようにして、凹状の空間６２を外部空間から仕切るようにしている。
具体的には、第２の部品７０は、第１の部品６０の凹状の空間６２の開口部を、吸着孔５０の部分を除いて封止するために、蓋部７４を有している。本実施形態の場合、蓋部７４は、水平方向の外形寸法Ｌ２が、第１の部品６０の水平方向の外形寸法Ｌ１（図７参照）と略同じであり、第１の部品６０と第２の部品７０とを接続した場合、第１および第２の部品６０，７０の外面が垂直方向に沿って同一面となるように形成されている。
【００３５】
そして、この蓋部７４に複数の吸着孔５０，５０・・・が設けられている。すなわち、各吸着孔５０の一端側の開口部５０ａは凹状の空間６２に開口し、他端側の開口部５０ｂは外部空間（ワーク側の空間）に開口している。これにより、第２の部品７０を第１の部品６０に接続すると、凹状の空間６２は外部空間から仕切られるが、各吸着孔５０が凹状の空間６２と外部空間（ワーク側の空間）とを連通するようになる。
【００３６】
また、第２の部品７０は、第１の部品６０と第２の部品７０とを接続するための突起部７２を有している。本実施形態の突起部７２は、蓋部７４の中心付近に第１の部品６０に向かって突出するようにして形成されており、第１の部品６０の嵌入孔６４の内径よりも僅かに小さな外形を有し、嵌入孔６４に嵌入されるようになっている。また、突起部７２は、通気路４６の一部を構成する下部通気路４６−２を有しており、この下部通気路４６−２は、図６に示されるように、嵌入孔６４に嵌入された場合に、上部通気路４６−１とつながるようになっている。
そして、突起部７２は、嵌入孔６４に嵌入された場合、凹状の空間６２に露出した部分を有しており、この露出した部分において、下部通気路４６−２は凹状の空間６２に開口した開口部４６ａ，４６ａが形成されている。本実施形態の場合、突起部７２の凹状の空間６２に露出した部分に、水平方向に貫通孔を設けて、下部通気路４６−２と凹状の空間６２とをつなげている。
【００３７】
なお、本発明は、例えば、第２の部品７０の蓋部７４の外形Ｌ２を、第１の部品６０の凹状の空間６２の内径よりも僅かに小さくして、凹状の空間６２の一部（通気路４６側の一部）を残すようにして、蓋部７４を凹状の空間６２に嵌入するようにしてもよい。その際、例えば、蓋部７４と凹状の空間６２との嵌入により、第１の部品６０と第２の部品７０との接続強度が維持できるようにするのであれば、上述した第１の部品６０の嵌入孔６４や、第２の部品７０の突起部７２を設けなくてもよい。
【００３８】
本発明の実施形態は以上のように構成されており、コレット４０の吸着孔５０は、ワーク１０と接触する領域（本実施形態の場合、パッケージの開口部側の端面２０ａに接触した領域）のみに設けられている。このため、ワーク１０がコレット４０に吸着される部分は、コレット４０と接触している部分だけであり、収容空間に気流を生じさせるようなことはない。したがって、コレット４０がワーク１０を吸着しても、収容空間内に載置された部品を動かすような事態を防止できる。
【００３９】
特に、本実施形態の場合、ワーク１０は、図２に示すように、片持ち式に収容空間Ｓ内に接続された圧電素子１２を有するデバイスであるため、圧電素子１２は、収容空間Ｓ内の気流により位置ずれを起こしやすい状態にある。しかし、上述のような構成とすることで、収容空間Ｓ内の気流を防止して、圧電素子１２の位置ずれを防止して、顕著な効果を発揮できる。
また、ワーク１０を確実かつ適正な位置で保持するためには、各吸着孔５０がそれぞれ同じ吸着力を有するようにして複数の吸着孔５０，５０・・・にて、ワーク１０を吸着することが必要となるが、そのためには、真空圧を供給する一つの内部空間４８に、複数の吸着孔５０，５０・・・をつなげることが好ましい。そして、本実施形態の場合、このような内部空間４８を、第１の部品６０と第２の部品７０とを接続するだけで、容易に形成している。
【００４０】
図９ないし図１２は、本発明の上述した実施形態の変形例を示すコレット８０であって、図９はコレット８０の概略斜視図、図１０はコレット８０の概略底面図、図１１は図９のＣ−Ｃ線切断断面図、図１２は、内部空間の位置で水平方向に切断して、図１１の下側を見た場合の切断断面図である。なお、理解の便宜のために、図９および図１１ではワーク１０を一点鎖線で示している。
図９ないし図１２において、図１ないし図８で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
【００４１】
コレット８０と、図３ないし図８で説明したコレット４０とが主に異なる点は、内部空間および吸着孔の形状等である。
すなわち、図３ないし図８で説明したコレット４０は、第１および第２の部品６０，７０により形成されていたが、コレット８０は、基本的には一つの部材のみで形成されている（但し、後述する封止材８４を除く）。
そして、複数の吸着孔５０とつながった内部空間８２は、コレット８０の側面に、通気路４６にとどくように長孔８２ａ，８２ｂを開けてから、この長孔８２ａ，８２ｂの開口部を封止するようにして形成されている。
【００４２】
具体的には、通気路４６は、コレット８０の中心線ＣＬ２に沿って、垂直方向（図１１の上下方向）に貫通孔を形成し、この貫通孔のワーク１０側（図１１の下側）に開口した開口部を、例えば樹脂などの封止材８４で塞ぐようにしている。
また、この通気路４６を通るようにして、すなわち、中心線ＣＬ２を横切るようにして、水平方向に沿って貫通した二つの長孔８２ａ，８２ｂを形成し、この長孔８２ａ，８２ｂの外部に開口する開口部を、例えば樹脂などの封止材８４，８４，８４，８４で塞いで、内部空間８２が形成されている。
【００４３】
そして、この内部空間８２を構成する２つの長孔８２ａ，８２ｂにつなげるようにして、複数の吸着孔５０，５０，５０，５０が形成されている。具体的には、ワーク１０とコレット８０とが接触する領域に吸着孔５０の開口部５０ａが配置されるようにすると共に、ワーク１０側（図１１の下側）から垂直方向に長孔８２ａ，８２ｂにとどくように孔を開けて、各吸着孔５０が形成されている。なお、本実施形態では、図１および図２に示すように、ワーク１０は、平面視において、対向するそれぞれの二辺が平行となるように形成されたパッケージ２０であり、その４辺からなる端面２０ａをバランスよく吸着できるように、吸着孔５０は、図１０および図１２に示すように、４辺の端面２０ａに対応した４箇所に形成されている。
【００４４】
本発明の実施形態の変形例は以上のように構成されている。このため、コレット８０の吸着孔５０は、ワーク１０と接触する領域のみに設けられ、図３ないし図８で説明したコレット４０と同様に、コレット８０がワーク１０を吸着しても、収容空間内に載置された部品を動かすような事態を防止できる。
【００４５】
なお、本変形例では、内部空間８２は長孔８２ａ，８２ｂにより形成されており、この長孔８２ａ，８２ｂは本実施形態では２本であり、コレット８０の強度等を考慮すると、同様の長孔をコレット内に何本も設けることは適当ではない。そして、吸着孔５０は、コレット８０とワーク１０とが接触する領域に対応し、かつ、長孔８２ａ，８２ｂにつながるようにして設けなければならない。そうすると、この変形例の構造であると、吸着孔５０の数や位置が制限され、図３ないし図８で示したコレット４０のように、吸着孔５０を数多く形成することが困難である。したがって、吸着力の強さという点においては、本変形例にかかるコレット８０に比べて、図３ないし図８で示したコレット４０の方が優れている。
【００４６】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態や各変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態に係るワーク搬送装置を用いて搬送されるワークの例示として、ＳＡＷデバイスの概略平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線切断端面図。
【図３】蓋封止されておらず、接着剤が硬化されていない状態で圧電素子が載置されているワークを、加熱炉に搬送するためのワーク搬送装置の概略図。
【図４】本発明のコレットの概略斜視図。
【図５】本発明のコレットの概略底面図。
【図６】図４のＢ−Ｂ線切断断面図。
【図７】本発明のコレットを構成する第１の部品を説明するための図であり、図７（ａ）は第１の部品の概略縦断面図、図７（ｂ）は第１の部品の概略底面図。
【図８】本発明のコレットを構成する第２の部品を説明するための図であり、図８（ａ）は第２の部品の概略縦断面図、図８（ｂ）は第２の部品の概略底面図、図８（ｃ）は第２の部品の概略側面図。
【図９】本発明の実施形態の変形例を示すコレットの概略斜視図。
【図１０】本発明の実施形態の変形例を示すコレットの概略底面図。
【図１１】図９のＣ−Ｃ線切断断面図。
【図１２】内部空間の位置で水平方向に切断して下側を見た場合の切断断面図。
【図１３】表面実装型の圧電振動子の製造工程を概説した図。
【図１４】図１３の製造工程に対応した概念図。
【符号の説明】
【００４８】
１０・・・ワーク、３０・・・ワーク搬送装置、４０，８０・・・コレット、４６・・・通気路、４８・・・内部空間、５０・・・吸着孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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