(57)【要約】【課題】流路内の気泡の滞留をより確実に防止することが可能な液体流路構造、及び、液滴噴射装置を提供すること。【解決手段】流路ユニット内のインク流路は、互いに異なる平面に沿ってインクが流れる圧力室１６及び絞り流路２０と、圧力室１６と絞り流路２０とを連通させる連通孔１８とを含んでいる。連通孔１８の中心線Ｃ３は、圧力室１６の中心線Ｃ１に対して、圧力室１６の幅方向にずれており、さらに、連通孔１８の中心線Ｃ３は、絞り流路２０の中心線Ｃ２に対しても、絞り流路２０の幅方向にずれている。そのため、圧力室１６及び絞り流路２０の連通孔１８との接続部分１６ａ，２０ａにおいて渦流が発生することになり、気泡の滞留が防止される。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体流路構造であって、
第１の平面に沿って延在し液体が流れる第１流路と、
第１の平面と異なる第２の平面に沿って延在し液体が流れる第２流路と、
第１流路と第２流路とを連通させる連通流路とを備え、
前記連通流路の中心線は、第１流路の中心線と第２流路の中心線のうちの少なくとも一方に対して、前記一方の流路が含まれる平面に直交する方向から見て、前記一方の流路の幅方向にずれており、
前記連通流路の流路面積は、第１流路の前記連通流路側の端部における流路面積、及び第２流路の前記連通流路側の端部における流路面積よりも大きい液体流路構造。
【請求項２】
前記連通流路の中心線は、第１流路と第２流路の両方の流路に対して、これらの流路の幅方向にそれぞれずれている請求項１に記載の液体流路構造。
【請求項３】
前記連通流路の流路面積は、第１流路と第２流路のうち、液体の流れ方向下流側に位置する流路の前記連通流路側の端部における流路面積よりも大きい請求項１又は２に記載の液体流路構造。
【請求項４】
前記一方の流路の前記連通流路との接続部分は、前記連通流路の中心側へ曲がっている請求項１〜３のいずれかに記載の液体流路構造。
【請求項５】
第１流路と第２流路の液体の流れる方向は互いに逆方向であり、第１流路の中心線と第２流路の中心線との間に、前記連通流路の中心線が位置する請求項１〜４のいずれかに記載の液体流路構造。
【請求項６】
前記連通流路は円筒形状であり、第１流路の一方の端部が前記連通流路の一方の端部と接続し、第２流路の一方の端部が前記連通流路の他方の端部と接続し、第１流路の前記一方の端部、及び第２流路の前記一方の端部において、第１流路の一方の側壁、及び第２流路の一方の側壁はそれぞれ、前記連通流路の側壁に沿って湾曲している請求項１〜５のいずれかに記載の液体流路構造。
【請求項７】
前記第１の平面と前記第２の平面とは平行である請求項１〜６のいずれかに記載の液体流路構造。
【請求項８】
ノズルから液体の液滴を噴射する液滴噴射装置であって、
前記ノズルに連通する液体流路を有する流路ユニットと、
前記液体流路内の液体に噴射圧力を付与する噴射圧付与機構とを備え、
前記液体流路は、
第１の平面に沿って延在し液体が流れる第１流路と、
第１の平面と異なる第２の平面に沿って延在し液体が流れる第２流路と、
第１流路と第２流路とを連通させる連通流路とを備え、
前記連通流路の中心線は、第１流路と第２流路のうちの少なくとも一方の流路の中心線に対して、前記一方の流路が含まれる平面に直交する方向から見て、前記一方の流路の幅方向にずれており、
前記連通流路の流路面積は、第１流路の前記連通流路側の端部における流路面積、及び第２流路の前記連通流路側の端部における流路面積よりも大きい液滴噴射装置。
【請求項９】
第１流路と第２流路の液体の流れる方向は互いに逆方向であり、第１流路の中心線と第２流路の中心線との間に、前記連通流路の中心線が位置する請求項８に記載の液滴噴射装置。
【請求項１０】
前記流路ユニットは、前記液体流路の一部がそれぞれ形成された複数枚のプレートが積層された構造を有し、第１流路と第２流路は、前記複数枚のプレートに含まれる第１プレートと、前記複数枚のプレートに含まれ、且つ、第１プレートとは異なる第２プレートにそれぞれ形成されており、前記複数枚のプレートに含まれ、且つ、第１プレート及び第２プレートと異なる第３プレートに、前記連通流路が形成され、第３プレートが、第１プレートと第２プレートの間に配置されている請求項８又は９に記載の液滴噴射装置。
【請求項１１】
前記一方の流路の前記連通流路との接続部分は前記連通流路の中心側へ曲がっており、第１プレート又は第２プレートには、前記一方の流路の前記接続部分以外の部分を画定する貫通孔が形成され、前記一方の流路の前記接続部分は、第１プレート又は第２プレートの第３プレート側の面に形成された凹部によって画定される請求項１０に記載の液滴噴射装置。
【請求項１２】
第３プレートは、さらに、互いに積層した複数枚の連通流路プレートを含み、各連通流路プレートには、前記連通流路の一部をなす連通孔が形成されており、連通孔は、略円形の中心孔と、前記中心孔よりも外側に位置する切欠とを有し、前記連通流路は、前記中心孔が他の連通流路プレートにおける中心孔と重なり合って形成される重複領域と、前記切欠が前記積層方向に隣接する連通流路プレートにおける切欠と前記中心孔の周方向に部分的に重なり合って形成される螺旋領域とを含む請求項１０又は１１に記載の液滴噴射装置。
【請求項１３】
前記重複領域を前記連通流路内における前記液体の主流が流れ、前記螺旋領域を前記液体の支流が流れる請求項８〜１２のいずれかに記載の液滴噴射装置。
【請求項１４】
前記液体流路は、共通液室と、前記ノズルに連通するとともに、その内部の液体に前記噴射圧付与機構により噴射圧力が付与される、第１流路としての圧力室と、前記共通液室に連通するとともに、前記圧力室よりも流路面積が小さい、第２流路としての絞り流路と、前記圧力室と前記絞り流路とを連通させる前記連通流路と、を備え、前記液体流路は、前記絞り流路と前記圧力室との間の前記連通流路で折り返され、前記絞り流路における液体の流れ方向は、前記圧力室における液体の流れ方向と略逆方向である請求項８〜１３のいずれかに記載の液滴噴射装置。
【請求項１５】
前記連通流路は円筒形状であり、前記圧力室の一方の端部が前記連通流路の一方の端部と接続し、前記絞り流路の一方の端部が前記連通流路の他方の端部と接続し、圧力室の前記一方の端部、及び絞り流路の前記一方の端部において、圧力室の一方の側壁、及び絞り流路の一方側壁はそれぞれ、前記連通流路の側壁に沿って湾曲している請求項１４に記載の液滴噴射装置。
【請求項１６】
前記第１の平面と前記第２の平面とは平行である請求項８〜１５のいずれかに記載の液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体流路構造、及び、液滴を噴射する液滴噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルからインクの液滴を噴射するインクジェットヘッドにおいて、インク流路に折れ曲がり部分が存在すると、そのような折れ曲がり部分には気泡が滞留しやすくなる。この気泡はインクをノズルから強制的に排出するパージによっても容易には排出されない。そして、インク流路内に存在する気泡は、インク流路内のインクに対する十分な噴射圧力の付与を妨げ、不吐出の原因となる。そこで、従来から、インク流路の折れ曲がり部分における気泡の滞留を防止するように構成されたインクジェットヘッドが提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１（特開２００３−３２６７０６号公報）には、以下のような構成のインクジェットヘッドが開示されている。このインクジェットヘッドは、共通インク室から圧力室を経由してノズルに至るインク流路を有する。共通インク室と圧力室との間には絞り部が介在しており、絞り部と圧力室におけるインクの流れ方向は互いに逆方向となっている。また、絞り部と圧力室はインク供給孔を介して連通している。つまり、インク流路は、絞り部と圧力室の間のインク供給孔において折り返されている。ここで、インク供給孔は、インクの流れ方向に対して傾斜した方向に延びている。そのため、インク供給孔内のインクが、圧力室の端部においてその壁面に向けて流れ込むことから、圧力室とインク供給孔とを接続する折れ曲がり部における気泡の滞留が抑制される。
【特許文献１】特開２００３−３２６７０６号公報（図８、図１０）
【発明の開示】
【０００４】
【発明が解決しようとする課題及び発明の効果】
【０００５】
前述した特許文献１に記載のインク流路構造によれば、その折れ曲がり部における気泡の滞留をある程度は抑制できるものの、その抑制機能は十分ではなく、気泡の滞留をさらに確実に防止することが可能な流路構造が望まれている。
【０００６】
本発明の目的は、流路内の気泡の滞留をより確実に防止することが可能な液体流路構造、及び、液滴噴射装置を提供することである。
【０００７】
なお、以下に示す各要素に付した括弧付き符号は、その要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。
【０００８】
本発明の第１の態様に従えば、液体流路構造であって、第１の平面（１０）に沿って延在し液体が流れる第１流路（１６）と、第１の平面と異なる第２の平面（１２）に沿って延在し液体が流れる第２流路（２０）と、第１流路と第２流路とを連通させる連通流路（１８）とを備え、前記連通流路の中心線（Ｃ３）は、第１流路の中心線（Ｃ１）と第２流路の中心線（Ｃ２）のうちの少なくとも一方に対して、前記一方の流路が含まれる平面に直交する方向から見て、前記一方の流路の幅方向にずれており、前記連通流路の流路面積（Ａ３）は、第１流路の前記連通流路側の端部（１６ｄ）における流路面積（Ａ１）、及び第２流路の前記連通流路側の端部（２０ｄ）における流路面積（Ａ２）よりも大きい液体流路構造が提供される。
【０００９】
本発明の液体流路構造によれば、連通流路の流路面積（Ａ３）、第１流路の前記連通流路側の端部（１６ｄ）における流路面積（Ａ１）、及び第２流路の前記連通流路側の端部（２０ｄ）における流路面積（Ａ２）が上記の関係を満たし、且つ、第１流路と第２流路とを連通させる連通流路の中心線（Ｃ３）が、第１流路と第２流路のうちの少なくとも一方の流路の中心線（Ｃ１又はＣ２）に対して、その流路幅方向にずれている。したがって、第１流路又は第２流路と連通流路の接続部分（１６ａ，１６ｂ）（折れ曲がり部分）において渦流が生じる。この渦流により、接続部分に気泡が滞留するのを防止できる。なお本発明において、「流路面積」とは、液体流路における、液体の流れ方向と直交する断面の面積を意味する。また「中心線」とは、液体流路の断面の中心を通り、液体流路が延びる方向に延在する線を意味する。
【００１０】
本発明の液体流路構造において、前記連通流路（１８）の中心線（Ｃ３）は、第１流路（１６）と第２流路（２０）の両方の流路に対して、これらの流路の幅方向にそれぞれずれていてもよい。この場合、第１流路と連通流路の接続部分（１６ａ）と第２流路と連通流路の接続部分（２０ａ）の、両方において気泡が滞留するのをそれぞれ防止できる。
【００１１】
本発明の液体流路構造において、前記連通流路（１８）の流路面積（Ａ３）は、第１流路（１６）と第２流路（２０）のうち、液体の流れ方向下流側に位置する流路（１６）の前記連通流路側の端部（１６ｄ）における流路面積（Ａ１）よりも大きくてもよい。上流側の流路の流路面積が下流側の流路よりも大きい場合には、大きな気泡が流れてきたときにこの気泡が下流へ抜けにくく、２つの流路の接続部分において気泡が滞留しやすい。しかし、本発明の場合、この接続部分（１６ａ）に渦流が発生することから、気泡の滞留を確実に防止できる。
【００１２】
本発明の液体流路構造において、前記一方の流路（１６又は２０）の前記連通流路（１８）との接続部分（１６ａ又は２０ａ）は、前記連通流路（１８）の中心（Ｃ３）側へ曲がっていてもよい。この場合、接続部分において確実に渦流が発生するため、気泡の滞留をさらに確実に防止できる。
【００１３】
本発明の液体流路構造において、第１流路（１６）と第２流路（２０）の液体の流れる方向は互いに逆方向であってもよく、第１流路の中心線（Ｃ１）と第２流路の中心線（Ｃ２）との間に、前記連通流路（１８）の中心線（Ｃ３）が位置してもよい。この場合、第１流路と第２流路の液体の流れる方向が逆方向であることから、装置（１）を小型化することが可能になる。さらに、第１流路の中心線と第２流路の中心線との間に、連通流路の中心線が位置していることから、液体の流れがスムーズになり、気泡の滞留が防止される。
【００１４】
本発明の液体流路構造において、前記連通流路（１８）は円筒形状であってもよく、第１流路（１６）の一方の端部（１６ｄ）が前記連通流路の一方の端部（１８ａ）と接続し得、第２流路（２０）の一方の端部（２０ｄ）が前記連通流路の他方の端部（１８ｂ）と接続し得、第１流路の前記一方の端部（１６ｄ）、及び第２流路の前記一方の端部（２０ｄ）において、第１流路の一方の側壁（１６ｃ）、及び第２流路の一方の側壁（２０ｃ）はそれぞれ、前記連通流路の側壁（１８ｃ）に沿って湾曲し得る。この場合、第１流路又は第２流路のうちのいずれか一方を流れた液体は、前記連通流路に対してスムーズに流れ込む。さらに前記連通流路を流れた液体は、第１流路又は第２流路のうちの他方に対してスムーズに流れ込む。したがって、渦流が発生しやすくなる。
【００１５】
本発明の液体流路構造において、前記第１の平面（１０）と前記第２の平面（１２）とは平行であってもよい。
【００１６】
本発明の第２の態様に従えば、ノズル（２５）から液体の液滴を噴射する液滴噴射装置（１）であって、前記ノズルに連通する液体流路（２６）を有する流路ユニット（５）と、前記液体流路内の液体に噴射圧力を付与する噴射圧付与機構（６）と、を備え、前記液体流路は、第１の平面（１０）に沿って延在し液体が流れる第１流路（１６）と、第１の平面と異なる第２の平面（１２）に沿って延在し液体が流れる第２流路（２０）と、第１流路と第２流路とを連通させる連通流路（１８）とを備え、前記連通流路の中心線（Ｃ３）は、第１流路の中心線（Ｃ１）と第２流路の中心線（Ｃ２）のうちの少なくとも一方に対して、前記一方の流路が含まれる平面に直交する方向から見て、前記一方の流路の幅方向にずれており、前記連通流路の流路面積（Ａ３）は、第１流路の前記連通流路側の端部（１６ｄ）における流路面積（Ａ１）、及び第２流路の前記連通流路側の端部（２０ｄ）における流路面積（Ａ２）よりも大きい液滴噴射装置が提供される。
【００１７】
本発明の液滴噴射装置によれば、連通流路の流路面積（Ａ３）、第１流路の前記連通流路側の端部（１６ｄ）における流路面積（Ａ１）、及び第２流路の前記連通流路側の端部（２０ｄ）における流路面積（Ａ２）が上記の関係を満たし、且つ、第１流路と第２流路とを連通させる連通流路の中心線（Ｃ３）が、第１流路と第２流路のうちの少なくとも一方の流路の中心線（Ｃ１又はＣ２）に対して、その流路幅方向にずれている。したがって、第１流路（１６）又は第２流路（２０）と連通流路（１８）の接続部分（１６ａ又は２０ａ）（折れ曲がり部）において渦流が生じるため、この接続部分に気泡が滞留するのを防止でき、確実に気泡をノズルから排出できる。
【００１８】
本発明の液滴噴射装置（１）において、第１流路（１６）と第２流路（２０）の液体の流れる方向は互いに逆方向であり得、第１流路の中心線（Ｃ１）と第２流路の中心線（Ｃ２）との間に、前記連通流路（１８）の中心線（Ｃ３）が位置し得る。この場合、第１流路と第２流路の液体の流れる方向が逆方向であることから、装置（１）を小型化することが可能になる。さらに、第１流路の中心線と第２流路の中心線との間に、連通流路の中心線が位置していることから、液体の流れがスムーズになり、気泡の滞留が防止される。
【００１９】
本発明の液滴噴射装置（１）において、前記流路ユニット（５）は、前記液体流路（２６）の一部がそれぞれ形成された複数枚のプレートが積層された構造を有してもよく、第１流路（１６）と第２流路（２０）は、前記複数枚のプレートに含まれる第１プレート（１０）と、前記複数枚のプレートに含まれ、且つ、第１プレートとは異なる第２プレート（１２）にそれぞれ形成されてもよく、前記複数枚のプレートに含まれ、且つ、第１プレート及び第２プレートと異なる第３プレート（１１）に、前記連通流路（１８）が形成されてもよく、第３プレートが、第１プレートと第２プレートの間に配置されてもよい。この場合、第１プレートと第２プレートにそれぞれ形成された第１流路と第２流路が、第１プレートと第２プレートの間に配置された第３プレートに形成された連通流路により連通していることから、液体流路は、第１流路又は第２流路と連通流路との接続部分において折れ曲がる。しかし、本発明の構造によれば、第１流路又は第２流路と連通流路の接続部分において渦流が生じるため、気泡が滞留するのを防止できる。
【００２０】
本発明の液滴噴射装置（１）において、前記一方の流路（１６又は２０）の前記連通流路（１８）との接続部分（１６ａ又は２０ａ）は前記連通流路の中心（Ｃ３）側へ曲がっていてもよく、第１プレート（１０）又は第２プレート（１２）には、前記一方の流路の前記接続部分以外の部分を画定する貫通孔（１６ｂ又は２０ｂ）が形成されてもよく、前記一方の流路の前記接続部分は、第１プレート又は第２プレートの第３プレート（１１）側の面に形成された凹部によって画定されてもよい。この場合、第１流路又は第２流路の主流路（１６ｂ又は２０ｂ）（連通流路との接続部分以外の部分）が貫通孔からなり、一方、連通流路の中心側へ曲がる接続部分が、連通流路が形成された第３プレート側の面に形成された凹部により画定されるため、接続部分に確実に渦流が発生する。
【００２１】
本発明の液滴噴射装置（１）において、第３プレート（１１）は、さらに、互いに積層した複数枚の連通流路プレート（４０，４１，４２）を含み得、各連通流路プレートには、前記連通流路の一部をなす連通孔（５０，５１，５２のいずれか）が形成されてもよく、連通孔（５０）は、略円形の中心孔（５０ａ）と、前記中心孔よりも外側に位置する切欠（５０ｂ）とを有し得、前記連通流路は、前記中心孔が他の連通流路プレートにおける中心孔と重なり合って形成される重複領域（５０ａ，５１ａ，５２ａ）と、前記切欠が前記積層方向に隣接する連通流路プレートにおける切欠と前記中心孔の周方向に部分的に重なり合って形成される螺旋領域（５０ｂ，５１ｂ，５２ｂ）とを含み得る。この場合、連通流路の一部をなす複数の連通孔にそれぞれ形成された複数の中心孔が略重なり合っているため、連通流路内において液体の主流はスムーズに流れる。一方、複数の連通孔にそれぞれ形成された複数の切欠は、部分的に重なり合いながら螺旋状に配置されているため、連通流路内において液体の支流が渦流となり、連通流路内における気泡の滞留を確実に防止することができる。
【００２２】
本発明の液滴噴射装置（１）において、前記重複領域（５０ａ，５１ａ，５２ａ）を前記連通流路（１８）内における前記液体の主流が流れ得、前記螺旋領域（５０ｂ，５１ｂ，５２ｂ）を前記液体の支流が流れ得る。この場合、前記液体の主流はスムーズに流れ、前記液体の支流は渦流となるので、連通流路内における気泡の滞留を確実に防止できる。
【００２３】
本発明の液滴噴射装置（１）において、前記液体流路（１８）は、共通液室（２３）と、前記ノズル（２５）に連通するとともに、その内部の液体に前記噴射圧付与機構（６）により噴射圧力が付与される、第１流路としての圧力室（１６）と、前記共通液室に連通するとともに、前記圧力室よりも流路面積が小さい、第２流路としての絞り流路（２０）と、前記圧力室と前記絞り流路とを連通させる前記連通流路（１８）とを備えてもよく、前記液体流路は、前記絞り流路と前記圧力室との間の前記連通流路で折り返されてもよく、前記絞り流路における液体の流れ方向は、前記圧力室における液体の流れ方向と略逆方向であってもよい。この場合、共通液室から絞り流路を介して圧力室に供給される液体に、圧力室において噴射圧付与機構により噴射圧力が付与されて、圧力室と連通するノズルから液滴が噴射される。ここで、絞り流路は、圧力室内で発生した圧力波が共通液室へ逃げるのを抑えるためのものであり、絞り流路の流路面積は圧力室よりも小さい。さらに、絞り流路の効果を高めるためには、この絞り流路はできるだけ長い方がよいが、そのために装置が大型化するのは好ましくない。従って、絞り流路と圧力室とを折り返して流路構造をコンパクトにすることが好ましい。そこで、本発明の液滴噴射装置においては、液体流路が、第１流路としての圧力室と第２流路としての絞り流路との間の連通流路で折り返されており、絞り流路における液体の流れ方向が圧力室における液体の流れ方向と略逆方向となっている。
【００２４】
ところで、このような折り返し構造を有する液体流路は、圧力室及び絞り流路と連通流路との接続部分（１６ａ，２０ａ）において折れ曲がることから、このような接続部分に気泡が滞留しやすくなる。しかし、本発明によれば、流路の接続部分に渦流が生じることから、気泡の滞留が防止される。
【００２５】
本発明の液滴噴射装置（１）において、前記連通流路（１８）は円筒形状であってもよく、前記圧力室（１６）の一方の端部（１６ｄ）が前記連通流路の一方の端部（１８ａ）と接続し、前記絞り流路（２０）の一方の端部（２０ｄ）が前記連通流路の他方の端部（１８ｂ）と接続し、圧力室の前記一方の端部（１６ｄ）、及び絞り流路の前記一方の端部（２０ｄ）において、圧力室の一方の側壁（１６ｃ）、及び絞り流路の一方の側壁（２０ｃ）はそれぞれ、前記連通流路の側壁（１８ｃ）に沿って湾曲し得る。この場合、絞り流路を流れた液体は、前記連通流路に対してスムーズに流れ込む。さらに前記連通流路を流れた液体は、圧力室に対してスムーズに流れ込む。したがって、渦流が発生しやすくなる。
【００２６】
本発明の液滴噴射装置において、前記第１の平面（１０）と前記第２の平面（１２）とは平行であってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、記録用紙にインクの液滴を噴射するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。
【００２８】
まず、インクジェットヘッド１を備えたインクジェットプリンタ１００について簡単に説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１００は、図１の左右方向に移動可能なキャリッジ２と、このキャリッジ２に設けられて記録用紙Ｐに対してインクを噴射するシリアル型のインクジェットヘッド１（液滴噴射装置）と、記録用紙Ｐを図１の前方へ搬送する搬送ローラ３等を備えている。インクジェットヘッド１は、キャリッジ２と一体的に左右方向（走査方向）へ移動する。インクジェットヘッド１は、その下面に配置されたノズル２５（図２〜図４参照）から記録用紙Ｐに対してインクを噴射して所望の文字や画像等を記録する。また、インクジェットヘッド１により画像等が記録された記録用紙Ｐは、搬送ローラ３により前方（紙送り方向）へ排出される。
【００２９】
次に、インクジェットヘッド１について説明する。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド１は、ノズル２５を含むインク流路２６（液体流路）が形成された流路ユニット５と、この流路ユニット５の上面に配置されて、インク流路２６内のインクに噴射圧力を付与する圧電アクチュエータ６（噴射圧付与機構）とを備えている。
【００３０】
まず、流路ユニット５について説明する。図２〜図４に示すように、流路ユニット５は、キャビティプレート１０、ベースプレート１１、絞りプレート１２、サプライプレート１３、マニホールドプレート１４、及び、ノズルプレート１５を備えている。これら６枚のプレート１０〜１５は積層状態で接合されている。これら６枚のプレート１０〜１５のうち、キャビティプレート１０、ベースプレート１１、絞りプレート１２、サプライプレート１３、及び、マニホールドプレート１４は、ステンレス鋼等の金属製の板である。これら５枚のプレート１０〜１４に、後述する圧力室１６（第１流路）やマニホールド等からなるインク流路がエッチングにより形成される。また、ノズルプレート１５は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート１４の下面に接着される。あるいは、このノズルプレート１５も、５枚のプレート１０〜１４と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。
【００３１】
図２〜図４に示すように、６枚のプレート１０〜１５のうち、最も上方に位置するキャビティプレート１０には、それぞれ貫通孔が形成され、それらが複数の圧力室１６として平面に沿って紙送り方向に２列に配列されている。これら複数の圧力室１６は上下両側から後述の圧電アクチュエータ６及びベースプレート１１により覆われている。各圧力室１６は、平面視で走査方向（図２の左右方向）に長い、略楕円形状に形成されている。また、キャビティプレート１０には、図示しないインクタンクと接続されて、インクタンク内のインクを流路ユニット５内へ導くインク導入口１７も形成されている。
【００３２】
図３、図４に示すように、ベースプレート１１の、平面視で圧力室１６の両端部と重なる位置には、ベースプレートの上面から見て略円形の連通孔１８，１９が形成されている。また、絞りプレート１２には、圧力室１６と重なる領域において、連通孔１８（連通流路）と重なる位置から圧力室１６の長手方向に平行に延びる絞り流路２０（第２流路）と、連通孔１９と重なる連通孔２１とが形成されている。さらに、サプライプレート１３には、絞り流路２０における連通孔１８とは反対側の端部と重なるインク供給孔２２と、連通孔１９，２１に重なる連通孔２３とが形成されている。
【００３３】
マニホールドプレート１４には、圧力室１６の配列方向（紙送り方向）に延びる２つのマニホールド２３（共通液室）が、２列に配列された圧力室１６と平面視でそれぞれ部分的に重なるように形成されている。マニホールド２３は、平面視で、複数の圧力室１６にそれぞれ対応する複数のインク供給孔２２とも重なっている。マニホールド２３は、インク供給孔２２とこのインク供給孔２２に連なる絞り流路２０を介して、圧力室１６に連通している。また、２つのマニホールド２３は、キャビティプレート１０に形成されたインク導入口１７に連なっている。そして、このインク導入口１７を介して、図示しないインクタンクから２つのマニホールド２３へインクが導入され、さらに、マニホールド２３から複数の圧力室１６へインクが分配される。また、マニホールドプレート１４には、連通孔１９，２１，２３と重なる連通孔２４も形成されている。
【００３４】
さらに、ノズルプレート１５には、平面視で連通孔１９，２１，２３，２４と重なる複数のノズル２５が形成されている。
【００３５】
そして、図４に示すように、マニホールド２３は、インク供給孔２２、絞り流路２０、及び、連通孔１８を介して圧力室１６に連通する。さらに、圧力室１６は、連通孔１９，２１，２３，２４を介してノズル２５に連通している。このように、流路ユニット５内には、マニホールド２３から圧力室１６を介してノズル２５に至る、インク流路２６が形成されている。
【００３６】
ここで、圧力室１６内のインクに対して、後述の圧電アクチュエータ６により噴射圧力が付与されることにより、圧力室１６に連通するノズル２５からインクの液滴が噴射される。また、絞り流路２０は、圧力室１６内で発生した圧力波がマニホールド２３へ逃げるのを抑えるために形成される。これにより、インクに効果的に噴射圧力（噴射エネルギー）を付与することができる。図４に示すように、絞り流路２０の連通孔１８側の端部２０ｄにおける流路面積Ａ２（絞り流路２０におけるインクの流れ方向と直交する断面の面積）は圧力室１６の連通孔１８側の端部１６ｄにおける流路面積Ａ１（圧力室１６におけるインクの流れ方向と直交する断面の面積）よりも小さくなっている。
【００３７】
ところで、絞り流路２０が長いほど、圧力波のマニホールド２３への伝播を抑制する効果は高くなるので、圧力室１６内のインクに所望の圧力を効率よく付与することができる。一方で、絞り流路２０を長くすることにより流路ユニット５（インクジェットヘッド１）のサイズが大型化することは好ましくない。そこで、流路ユニット５のサイズを大型化することなく、絞り流路２０の長さを十分に確保するために、本実施形態のインクジェットヘッド１のインク流路２６は、以下のような構造を有する。
【００３８】
圧力室１６（第１流路）と絞り流路２０（第２流路）とは別々のプレート（キャビティプレート１０（第１プレート）と絞りプレート１２（第２プレート））にそれぞれ形成される。インクは、圧力室１６と絞り流路２０とを、互いに異なる２つのプレート面（第１、第２の平面）に沿って流れる。また、圧力室１６と絞り流路２０とを連通させる連通孔１８（連通流路）は、キャビティプレート１０と絞りプレート１２の間のベースプレート１１（第３プレート）に形成されている。
【００３９】
図３、図４に示すように、絞り流路２０は、平面視で圧力室１６と重なるように配置されており、さらに、絞り流路２０におけるインクの流れ方向は、圧力室１６における流れ方向と略逆方向となっている。つまり、圧力室１６（第１流路）と絞り流路２０（第２流路）が、これらを連通させる連通孔１８（連通流路）において逆方向に折り返されている。そのため、流路ユニット５内にインク流路２６がコンパクトに配置されることになり、流路ユニット５を小型化することが可能となる。
【００４０】
尚、本実施形態においては、図４に示すように、圧力室１６と絞り流路２０とを連通させる連通孔１８の流路面積Ａ３（連通孔１８におけるインクの流れ方向と直交する断面の面積）は、圧力室１６の連通孔１８側の端部１６ｄにおける流路面積Ａ１と、絞り流路２０の連通孔１８側の端部２０ｄにおける流路面積Ａ２のいずれよりも大きくなっている。
【００４１】
しかし、このような構造のインク流路２６においては、特に、圧力室１６の連通孔１８との接続部分１６ａと、絞り流路２０の連通孔１８との接続部分２０ａにおいて折れ曲がる。そのため、これらの接続部分１６ａ，２０ａにおいてインクの流速が局所的に低くなる箇所が存在する。したがって、インク流路２６の上流から流れてきた気泡が、この折り返し部分に滞留しやすくなる。また、連通孔１８の流路面積Ａ３が、連通孔１８よりも流れ方向下流側に位置する圧力室１６の流路面積Ａ１よりも大きくなっている。そのため、大きな気泡が流れてきた場合にはこの気泡は連通孔１８から圧力室１６へ抜けにくく、圧力室１６の入口に滞留する虞がある。このような状態では、インクをノズル２５から強制的に排出するためのパージ処理を、繰り返し行う必要があり、パージ処理によるインクの排出量が多くなってしまう。
【００４２】
そこで、本実施形態のインク流路２６は、流路の折れ曲がり部分において気泡の滞留を防止することが可能な構成をさらに備えている。図７は図５の連通孔１８付近の拡大図であり、キャビティプレート１０の上面から見た場合の圧力室１６、連通穴１８、及び絞り流路２０の配置関係を示す図である。図８は、圧力室１６と連通穴１８との配置関係を説明するために、図７における絞り流路２０を省略した図である。図９は、連通穴１８と絞り流路２０との配置関係を説明するために、図７における圧力室１６を省略した図である。図１０は、圧力室１６、連通孔１８、及び絞り流路２０の配置関係を立体的に示す斜視図である。さらに、図１１は図７におけるXI−XI線断面から見た場合の圧力室１６、連通孔１８、及び絞り流路２０の配置関係を示す図である。図１２は図７におけるXII−XII線断面から見た場合の圧力室１６、連通孔１８、及び絞り流路２０の配置関係を示す図である。
【００４３】
図８、及び図１１に示すように、連通孔１８の中心線Ｃ３（連通孔１８の断面の中心を通り、連通孔１８が延びる方向に延在する線）は、圧力室１６の中心線Ｃ１（圧力室１６の断面の中心を通り、圧力室１６が延びる方向に延在する線）に対して、平面視で（プレート面に直交する方向から見て）、圧力室１６の幅方向（中心線Ｃ１と直交する方向）にずれている。図８に示すように、連通孔１８は、ベースプレート１１の上面から見た場合、略円形（楕円形）であり、連通孔１８の径Ｄ３は、圧力室１６の連通孔１８側の端部１６ｄにおける幅Ｄ１よりも大きい。流路面積については、図１０に示すように、連通孔１８の流路面積Ａ３は、圧力室１６の、連通孔１８側の端部１６ｄにおける流路面積Ａ１よりも大きい。つまり、インクは流路面積の大きい連通孔１８から、その中心線Ｃ１が連通孔１８の中心線Ｃ３に対して、圧力室１６の幅方向にずれており、且つ、流路面積の小さい圧力室１６に流れ込んでいる。このような圧力室１６と連通孔１８の寸法（流路面積又は径）及び配置関係により、圧力室１６の連通孔１８との接続部分１６ａに、図７、図１１、及び図１２の太線で示すような渦流、すなわち、連通孔１８において連通孔１８の側面に沿って周回し圧力室１６に流れ込む渦流が生じ、渦流がこの接続部分１６ａに気泡が滞留することを防止する。
【００４４】
さらに、図９、及び図１１に示すように、連通孔１８の中心線Ｃ３は、絞り流路２０の中心線Ｃ２（絞り流路２０の断面の中心を通り、絞り流路２０が延びる方向に延在する線）に対しても、平面視で、絞り流路２０の幅方向（中心線Ｃ２と直交する方向）にずれている。図９に示すように、連通孔１８の径Ｄ３は、絞り流路２０の連通孔１８側の端部２０ｄにおける幅Ｄ２よりも大きい。流路面積については、図１０に示すように、連通孔１８の流路面積Ａ３は、絞り流路２０の、連通孔１８側の端部２０ｄにおける流路面積Ａ２よりも大きい。つまり、インクは流路面積の小さい絞り流路２０から、その中心線Ｃ３が絞り流路２０の中心線Ｃ２に対して、絞り流路２０の幅方向にずれており、且つ、流路面積の大きい連通孔１８に流れ込んでいる。このような連通孔１８と絞り流路２０の寸法（流路面積又は径）及び配置関係により、絞り流路２０の連通孔１８との接続部分２０ａにおいて、図７、図１１、及び図１２の太線で示すような渦流、すなわち、絞り流路２０から連通孔１８に流れ込み、連通孔１８において連通孔１８の側面に沿って周回する渦流が生じ、渦流がこの接続部分２０ａに気泡が滞留することを防ぐ。
【００４５】
つまり、連通孔１８の中心線Ｃ３は、圧力室１６の中心線Ｃ１と絞り流路２０の中心線Ｃ２のうちの少なくとも一方に対して、プレートに直交する方向から見て、圧力室１６、及び絞り流路２０の幅方向にずれている。さらに、連通孔１８の流路面積Ａ３は、圧力室１６の連通孔１８側の端部１６ｄにおける流路面積Ａ１と、絞り流路２０の連通孔１８側の端部２０ｄにおける流路面積Ａ２のいずれよりも大きい。そのため、インク流路２６の折れ曲がり部分において渦流が生じ、気泡の滞留を防止することが可能となる。
【００４６】
尚、図７に示すように、圧力室１６の中心線Ｃ１と絞り流路２０の中心線Ｃ２との間に、連通孔１８の中心線Ｃ３が位置している。この場合には、圧力室１６の中心線Ｃ１と絞り流路２０の中心線Ｃ２の両方が、連通孔１８の中心線Ｃ３に対して同じ側にある場合と比べて、絞り流路２０から連通孔１８を介して圧力室１６に流れ込むインクの流れがスムーズになる。そのため、連通孔１８内に気泡が滞留しにくくなる。
【００４７】
また、図５〜図１２に示すように、連通孔１８は、ベースプレート１１の上面から見た断面が略円形の円筒形状であり、図８に示すように、圧力室１６は、平面視で、連通孔１８側の端部１６ｄにおいて一方の側壁１６ｃが連通孔１８の側壁１８ｃに沿って湾曲し、連通孔１８との接続部分１６ａが、連通孔１８の中心側に曲がっている。さらに図９に示すように、絞り流路２０は、平面視で、連通孔１８側の端部２０ｄにおいて側壁２０ｃが連通孔１８の側壁１８ｃに沿って湾曲し、連通孔１８との接続部分２０ａが、連通孔１８の中心側に曲がっている。そのため、圧力室１６及び絞り流路２０と連通孔１８との接続部分１６ａ，２０ａにおいて、それぞれ連通孔１８の側壁１８ｃに沿うようにインクが導かれ、渦流が確実に発生する。
【００４８】
以上説明してきたように、流路ユニット５は、気泡の滞留をより確実に防止するために、本発明の液体流路構造を有するインク流路２６を備えている。
【００４９】
次に、圧電アクチュエータ６について説明する。図２〜図４に示すように、圧電アクチュエータ６は、流路ユニット５の上面に積層された複数枚の圧電層３１と、これら複数枚の圧電層３１の間に配置された個別電極３２及び共通電極３４を備えている。
【００５０】
複数枚の圧電層３１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなる。これらの圧電層３１は、それぞれ厚み方向に分極処理が施されている。また、複数枚の圧電層３１は、キャビティプレート１０の上面において、複数の圧力室１６に跨って連続的に配置されている。圧電層３１は、例えば、ＰＺＴのグリーンシートを焼成することにより得られた圧電シートをキャビティプレート１０に貼り付けて形成することができる。
【００５１】
複数枚の圧電層３１のうち、上側の一部を除く圧電層３１の間には、複数の個別電極３２と複数の共通電極３４とが交互に配置されている。個別電極３２と共通電極３４は、共に、金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタンなどの導電性材料からなる。
【００５２】
個別電極３２は、圧力室１６より一回り小さい略楕円形の平面形状を有し、平面視で、圧力室１６の中央部に重なる位置に配置されている。図２、図３に示すように、各個別電極３２からはその長手方向に配線３５が引き出されている。そして、個別電極３２は配線３５を介して図示しない駆動回路と接続され、駆動回路から所定の駆動電圧が印加される。
【００５３】
一方、共通電極３４は複数の圧力室１６に跨って連続的に配置されている。従って、圧力室１６の中央部と重なる領域において、圧電層３１が個別電極３２と共通電極３４とに挟まれている。共通電極３４は図示しない位置において接地され、常にグランド電位に保持されている。
【００５４】
次に、圧電アクチュエータ６のインク噴射時における作用について説明する。ある圧力室１６に対応する個別電極３２に対して、駆動回路から駆動電圧が印加されると、個別電極３２とグランド電位に保持された共通電極３４との間に電位差が生じる。このとき、個別電極３２と共通電極３４との間に挟まれた圧電層３１にはその分極方向である厚み方向に電界が生じるため、圧電縦効果により圧電層３１が厚み方向に伸びる。これにより、圧力室１６内の容積が減少するため、圧力室１６内のインクに圧力が付与されて、圧力室１６に連通するノズル２５からインクの液滴が吐出される。尚、この圧電アクチュエータ６の駆動時には、複数枚の圧電層３１のそれぞれが厚み方向に伸びるため、１回の駆動で圧力室１６内のインクに大きな圧力を付与することが可能である。
【００５５】
以上説明したように、インクジェットヘッド１においては、互いに異なるプレート１０，１２にそれぞれ形成された圧力室１６（第１流路）と絞り流路２０（第２流路）を連通させる連通孔１８（連通流路）の中心線Ｃ３が、圧力室１６の中心線Ｃ１と絞り流路２０の中心線Ｃ２の少なくとも一方に対して、それらの流路幅方向にずれている。つまり、連通孔１８の断面の中心を通り、連通孔１８が延びる方向に延在する線Ｃ３が、圧力室１６の断面の中心を通り、圧力室１６が延びる方向に延在する線Ｃ１と、絞り流路２０の断面の中心を通り、絞り流路２０が延びる方向に延在する線Ｃ２の少なくとも一方に対して、圧力室１６、及び絞り流路２０の幅方向にずれている。さらに、連通孔１８の流路面積Ａ３が、圧力室１６の連通孔１８側の端部１６ｄにおける流路面積Ａ１、及び絞り流路２０の連通孔１８側の端部２０ｄにおける流路面積Ａ２よりも大きい。そのため、圧力室１６の連通孔１８との接続部分１６ａ、及び、絞り流路２０の連通孔１８との接続部分２０ａの両方において渦流が生じる。この渦流により、接続部分１６ａ、２０ａにおける気泡の滞留が防止される。
【００５６】
したがって、絞り流路２０の十分な長さを確保しつつ、インク流路２６をコンパクトにして流路ユニット５を小型化するために、圧力室１６と絞り流路２０におけるインクの流れ方向を略逆方向とし、インク流路２６が連通孔１８において折り返された構造を採用しても、インク流路２６内に気泡が滞留しにくくなる。また、たとえ、インク流路２６内に気泡が滞留したとしても、その気泡をパージ処理により容易に排出できるようになる。したがって、パージ回数を減らしてインクの排出量を少なくすることが可能となる。
【００５７】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００５８】
変更実施形態１
図１３、図１４に示す変更実施形態１において、圧力室１６及び絞り流路２０の主流路１６ｂ，２０ｂ（連通孔１８との接続部分１６ａ，２０ａ以外の部分）はそれぞれキャビティプレート１０及び絞りプレート１２を貫通する貫通孔により形成される。一方、両流路１６，２０の連通孔１８の中心側へ曲がる連通孔１８との接続部分１６ａ，２０ａは、キャビティプレート１０及び絞りプレート１２のベースプレート１１側の面（図１４（ａ）においては紙面向こう側の面、図１４（ｃ）においては紙面手前側の面）に、ハーフエッチング等によりそれぞれ形成された凹部により画定される。この構成によれば、貫通孔により形成される圧力室１６及び絞り流路２０の主流路１６ｂ，２０ｂと連通孔１８との間に存在し、凹部により画定される接続部分１６ａ，２０ａにより、連通孔１８の壁面に沿ってインクが導かれるため、接続部分１６ａ，２０ａにおいてさらに確実に渦流が発生する。
【００５９】
変更実施形態２
前記実施形態では、圧力室１６の連通孔１８との接続部分１６ａ、及び、絞り流路２０の連通孔１８との接続部分２０ａの両方が連通孔１８の中心側に曲がっている。しかしながら、図１５に示すように、これら接続部分１６ａ，２０ａが連通孔１８の中心側に曲がっていなくても、渦流を発生させる効果は得られる。
【００６０】
変更実施形態３
圧力室１６と絞り流路２０とを連通させる連通流路が複数枚のプレートに跨って形成されている場合には、この連通流路の内部においても渦流が発生するように構成されていることが好ましい。例えば、図１６〜図１９に示すように、流路ユニット５は、圧力室１６が形成されたキャビティプレート１０と、絞り流路２０が形成された絞りプレート１２と、キャビティプレート１０と絞りプレート１２との間に配置された３枚のベースプレート（第１ベースプレート４０、第２ベースプレート４１、第３ベースプレート４２（連通流路プレート）を備えている。
【００６１】
３枚のベースプレート４０，４１，４２には、圧力室１６と絞り流路２０とを連通させる連通流路を構成する３つの連通孔５０，５１，５２がそれぞれ形成されている。３つの連通孔５０，５１，５２は、それぞれ、略円形の平面形状を有する中心孔５０ａ，５１ａ，５２ａと、中心孔５０ａ，５１ａ，５２ａから径方向外側に切り欠かれた２つの切欠５０ｂ，５１ｂ，５２ｂにより形成される。中心孔５０ａ，５１ａ，５２ａは、それぞれの中心が、連通流路の中心線Ｃ３と一致するように配置されている。また、図１８（ｂ）に示すように、２つの切欠５０ｂは、略円形の中心孔５０ａの中心、つまり連通流路の中心線Ｃ３に対して互いに対称な位置に配置されている。また、図１８（ｃ）に示すように、２つの切欠５１ｂは中心孔５１ａの中心に対して互いに対称な位置に配置され、図１９（ａ）に示すように、２つの切欠５２ｂは中心孔５２ａの中心に対して互いに対称な位置に配置される。
【００６２】
切欠５０ｂ，５１ｂ，５２ｂはそれぞれ、３つの連通孔５０，５１，５２の周方向に所定角度（例えば、４５度）ずつずれて配置されている。即ち、３つの中心孔５０ａ，５１ａ，５２ａは互いに重なって配置されているが、切欠５０ｂ，５１ｂ，５２ｂはプレート積層方向に隣接する他の連通孔５０，５１，５２の切欠と部分的に重なりつつ、周方向に所定角度だけ順にずれて配置されている。したがって、連通流路は、完全に重なるように配置された中心孔５０ａ，５１ａ，５２ａによって形成される領域（重複領域）と、完全には重ならないように螺旋状に配置された切欠５０ｂ，５１ｂ，５２ｂによって形成される領域（螺旋領域）とを含む。そして、絞り流路２０から圧力室１６に向かうインクの主流は前記重複領域を流れる。一方、この主流の周りを流れるインクの支流は、前記螺旋領域を流れる。したがって、３つの連通孔５０，５１，５２からなる連通流路内において、インクの主流は重複領域をスムーズに流れる。一方、インクの支流は渦流となって連通孔５０，５１，５２の壁面付近を圧力室１６へ向かって流れるため、この連通流路内における気泡の滞留を確実に防止することができる。
【００６３】
変更実施形態４
前記実施形態においては、連通孔１８の中心線Ｃ３が、圧力室１６と絞り流路２０の中心線Ｃ１，Ｃ２の両方に対して、それらの流路幅方向にずれているが、圧力室１６と絞り流路２０の何れか一方の中心線に対してのみずれていてもよい。この場合でも、その一方の流路と連通孔１８との接続部分に渦流が発生することから、気泡の滞留が防止される。
【００６４】
変更実施形態５
前記実施形態及びその変更形態では、第１流路としての圧力室１６と、第２流路としての絞り流路２０との間において、渦流を発生させるように構成されているが、マニホールド２３と絞り流路２０の間など、流路ユニット内のインク流路の他の部分においても、同様の構成を採用することは可能である。
【００６５】
前述した実施形態及びその変更形態は、インクをノズルから噴射するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、本発明の適用対象はインクジェットヘッドに限られない。例えば、マイクロ総合分析システム（μＴＡＳ）内部において薬液や生化学溶液等が流れる液体流路、マイクロ化学システム内部において溶媒や化学溶液等の液体が流れる液体流路など、インク以外の液体が流れる液体流路構造を有する種々の装置に本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２の一部拡大図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】流路ユニットをキャビティプレートの上面から見た図である。
【図６】流路ユニットをベースプレートの上面から見た図である。
【図７】図５の連通孔付近の拡大図である。
【図８】図７における連通孔と圧力室との配置関係を示す図である。
【図９】図７における絞り流路と連通孔との配置関係を示す図である。
【図１０】圧力室、連通孔、及び絞り流路の配置関係を立体的に示す分解斜視図である。
【図１１】図７のＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【図１２】図７のＸII−ＸII線断面図である。
【図１３】変更形態１に係る図７相当の拡大図である。
【図１４】変更形態１に係るプレートの平面図であり、（ａ）はキャビティプレート、（ｂ）はベースプレート、（ｃ）は絞りプレートの平面図である。
【図１５】変更形態２に係る図７相当の拡大図である。
【図１６】変更形態３に係る図７相当の拡大図である。
【図１７】図１６のＸＶII−ＸＶII線断面図である。
【図１８】変更形態３に係るプレートの平面図であり、（ａ）はキャビティプレート、（ｂ）は第１ベースプレート、（ｃ）は第２ベースプレートの平面図である。
【図１９】変更形態３に係るプレートの平面図であり、（ａ）は第３ベースプレート、（ｂ）は絞りプレートの平面図である。
【符号の説明】
【００６７】
１  インクジェットヘッド
５  流路ユニット
６  圧電アクチュエータ
１０  キャビティプレート（第１プレート）
１１  ベースプレート（第３プレート）
１２  絞りプレート（第２プレート）
１６  圧力室（第１流路）
１６ａ  接続部分
１８  連通孔（連通流路）
２０  絞り流路（第２流路）
２０ａ  接続部分
２３  マニホールド（共通液室）
２５  ノズル
２６  インク流路
４０，４１，４２  ベースプレート（連通流路プレート）
５０，５１，５２  連通孔
５０ａ，５１ａ，５２ａ  中心孔部（主流領域）
５０ｂ，５１ｂ，５２ｂ  切欠部（支流領域）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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