(57)【要約】      （修正有）【課題】圧縮空気の漏れを低減する構造を持つと共に、加工、組立のコストを低減できる、エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法を提供する。【解決手段】中空部２を有するアルミニュウム等の押し出し材１１を、押し出し方向Ｘと垂直な方向に所望の長さＬで切断して、中空板材１２を成型する。そして、中空板材１２の切断面をエア漏れ蓋３、４で塞いで箱状の構造とする。それから、中空板材の表面に噴出し部５とエア供給口を加工成形する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被浮上物体を圧縮されたエアの噴出しにより浮上させるエア浮上ユニットであって、
エア流路となる中空部を有する板状の押し出し材を、押出方向と垂直な方向に切断し所望の長さに切り出した中空板材と、
前記中空板材の両断面に取り付けられ前記中空部を塞ぐエア漏れ防止蓋と、
で箱状に構成されると共に、
前記中空板材にエアの噴出し部とエア供給口とが加工成形されたこと
を特徴とするエア浮上ユニット。
【請求項２】
前記押し出し材の材料がアルミニュウムであること
を特徴とする請求項１に記載のエア浮上ユニット。
【請求項３】
前記押し出し材の材料が樹脂であること
を特徴とする請求項１に記載のエア浮上ユニット。
【請求項４】
被浮上物体を圧縮されたエアの噴出しにより浮上させるエア浮上ユニットの製造方法であって、
エアの流路となる中空部を有する板状の押し出し材を、押出方向と垂直な方向に切断し所望の長さの中空板材を切り出す第１の工程と、
前記中空板材にエア噴出し部およびエア供給口を加工成形する第２の工程と、
前記中空板材の両断面にエア漏れ防止蓋を取り付ける第３の工程と
により製作されることを特徴とするエア浮上ユニットの製造方法。
【請求項５】
前記押し出し材の材料がアルミニュウムであること
を特徴とする請求項４に記載のエア浮上ユニットの製造方法。
【請求項６】
前記押し出し材の材料が樹脂であること
を特徴とする請求項４に記載のエア浮上ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触で基板等を搬送するためのエア浮上ユニットに関し、特に、圧縮空気の漏れを低減する構造を持つと共に、加工、組立のコストを低減できる、エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板搬送システム等においては、非接触でガラス基板等を搬送するためにエア浮上ユニットが使用されることがある。
【０００３】
図３は、エア浮上ユニットについて説明するための図である。図３に示すエア浮上ユニットは、エア浮上ユニットベース２１と、エア浮上ユニットへ圧縮されたエア（空気）を供給するエア供給口２２と、エアを分配する流路となる中空部２４と、エア流量を制限する絞り部２６と、絞り部２６で絞られたエアを被浮上物体４１とユニットとの間へ流す噴出し部２５とで構成されている。
【０００４】
また、図４は、従来のエア浮上ユニットの断面構造を示す図である。なお、図４（Ａ）に示す断面構造は、図４（Ｂ）において一点鎖線で示すＸ−Ｙ方向に切断した断面構造を示している。図４（Ａ）に示すように、従来のエア浮上ユニットでは、箱型の器３１の上に、エアを上方向に噴出す板状の上蓋３２で蓋をする構造が採用されていた。
【０００５】
しかしながら、この従来の構造において以下の問題がある。
第１に、箱型の器３１に圧縮エアを注入すると、上蓋３２と箱型の器３１の開口部で接する面Ｃでエアが漏れやすい。
第２に、エアを各噴出し部２５に行き渡すため、箱型の器３１は中空構造である必要があり、箱型の器３１をブロック材から削りだして構成するため、加工のコストが高い。
第３に、箱型の器３１と上蓋３２の接する面からエアが漏れ出さないように、箱型の器３１と上蓋３２とを多くのネジで密着するように止める必要があるため、組立工数のコストが高くなる。
【０００６】
従って、圧縮空気の漏れを容易に低減できる構造を持つと共に、箱型の器３１の中空構造を加工、組立のコストをかけずに得ることができる、エア浮上ユニットの提供が望まれていた。
【０００７】
なお、従来技術の空気浮上装置および空気浮上式搬送装置がある（特許文献１を参照）。この従来技術では、被浮上物が載置される壁面部材として支持用板材を用いるとともに、この板材の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材を配置している。すなわち被浮上物を支持する部材と空気を噴出させる部材とを別個に設け、被浮上物がガラス板などのように比較的広い面積で平面精度が要求されるものであっても、充分に支持することができるようにしている。また、多孔質材料よりなる空気分散部材により、空気を支持面全体に亘って均一に且つ少量ずつ噴出させることにより、例えばクリーンルーム内でガラス板を浮上させる際に、従来のように、塵埃を巻上げる心配がなくなるとともに、ガラス板から外れた空気噴出穴から、空気が逃げて浮上力が不足するような心配がないようにしている。
【０００８】
しかしながら、本発明は、エア浮上ユニットの中空部（エア流路部）からのエア漏れの問題を解決すると共に、加工コストの低減を図ることを目的としており、上記従来技術とは発明の目的と構成が異なるものである。
【特許文献１】特開２００４−３４５７４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述したように、従来のエア浮上ユニットの構造では、箱型の器の開口部と蓋とで接する面でエアが漏れやすく、また、箱型の器をブロック材から削りだして構成するため加工のコストが高かった。また、箱型の器と蓋の接触面からエアが漏れ出さないように、多くのネジで密着するように止める必要があるため、組立工数のコスト高くなるという問題があった。
【００１０】
本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、その目的は、圧縮空気の漏れを低減する構造を持つと共に、加工、組立のコストを低減できる、エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、本発明のエア浮上ユニットは、被浮上物体を圧縮されたエアの噴出しにより浮上させるエア浮上ユニットであって、エア流路となる中空部を有する板状の押し出し材を、押出方向と垂直な方向に切断し所望の長さに切り出した中空板材と、前記中空板材の両断面に取り付けられ前記中空部を塞ぐエア漏れ防止蓋と、で箱状に構成されると共に、前記中空板材にエアの噴出し部とエア供給口とが加工成形されたことを特徴とする。
このような構成のエア浮上ユニットでは、中空部を有するアルミニュウム等の板状の押し出し材を所望の長さに切断して、中空板材を成型する。そして、中空板材の切断面をエア漏れ蓋で塞いで箱状の構造とする。それから、中空板材の表面に噴出し部とエア供給口を加工成形する。
これにより、押し出し材の中空部をエア流路として利用できる。このため、中空部の形成を切削加工により行う必要がなくなり、材料費や工数の削減になる。また、中空板材の切断面を塞ぐエア漏れ防止蓋も小さくでき、エア漏れを低減し、蓋を止めるネジ数を削減できる。
【００１２】
また、本発明のエア浮上ユニットは、前記押し出し材の材料がアルミニュウムであることを特徴とする。
このような構成により、押し出し材の材料をアルミニュウムとしたので、これにより、容易な加工により、軽量、強固、かつ耐蝕性が高いエア浮上ユニットを製作することができる。
【００１３】
また、本発明のエア浮上ユニットは、前記押し出し材の材料が樹脂であることを特徴とする。
このような構成により、押し出し材の材料を樹脂としたので、これにより、容易な加工により、軽量なエア浮上ユニットを製作することができる。
【００１４】
また、本発明のエア浮上ユニットの製造方法は、被浮上物体を圧縮されたエアの噴出しにより浮上させるエア浮上ユニットの製造方法であって、エアの流路となる中空部を有する板状の押し出し材を、押出方向と垂直な方向に切断し所望の長さの中空板材を切り出す第１の工程と、前記中空板材にエア噴出し部およびエア供給口を加工成形する第２の工程と、前記中空板材の両断面にエア漏れ防止蓋を取り付ける第３の工程とにより製作されることを特徴とする。
このような方法により、中空部を有するアルミニュウム等の板状の押し出し材を所望の長さに切断して、中空板材を成型する。そして、中空板材の切断面をエア漏れ蓋で塞いで箱状の構造とする。それから、中空板材の表面に噴出し部とエア供給口を加工成形する。
これにより、押し出し材の中空部をエア流路として利用できる。このため、中空部の形成を切削加工により行う必要がなくなり、材料費や工数の削減になる。また、中空板材の切断面を塞ぐエア漏れ防止蓋も小さくでき、エア漏れを低減し、蓋を止めるネジ数を削減できる。
【００１５】
また、本発明のエア浮上ユニットの製造方法は、前記押し出し材がアルミニュウムであることを特徴とする。
このような方法により、押し出し材の材料をアルミニュウムとしたので、これにより、容易な加工により、軽量、強固、かつ耐蝕性が高いエア浮上ユニットを製作することができる。
【００１６】
また、本発明のエア浮上ユニットの製造方法は、前記押し出し材が樹脂であることを特徴とする。
このような方法により、押し出し材の材料を樹脂としたので、これにより、容易な加工により、軽量なエア浮上ユニットを製作することができる。
【発明の効果】
【００１７】
従来は切削加工で形成していた中空部（エア流路）を押し出し加工で形成することにより、加工数、加工時間を減らすことができる。また、中空部を塞ぐ蓋を小さくすることでき、エア漏れを減らすと共に、蓋を止めるネジ数を削減でき、組立工数を減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は、本発明によるエア浮上ユニットの製造方法を説明するための図である。以下、図１を参照して、本発明のエア浮上ユニットの製造方法について説明する。
【００２０】
最初に、図１（Ａ）に示すような、アルミ押し出し機で成型されたアルミ押し出し材１１を用意する。このアルミ押し出し材１１は、中空部２を有する形状で、矢印Ｘの方向に押し出し成型された板状のアルミ素材である。このアルミ押し出し材１１を、所望の寸法Ｌで切断し、図１（Ｂ）に示すような、エア浮上ユニットの母材となる中空板材１２を製作する。
【００２１】
そして、図１（Ｃ）に示すように、中空板材１２の面上に噴出し部５の穴加工を行うと共に、背面にエア供給口（図示せず）を設けるために加工を行う。また、所望の部分に研磨等の表面処理を施す。
【００２２】
そして、加工終了後に、中空部２からのエア漏れを防ぐためのエア漏れ防止蓋３、４をネジ止め等の方法により取り付けることにより、エア浮上ユニットが完成する。
【００２３】
また、図２は、本発明によるエア浮上ユニットの断面構造を示す図である。なお、図２（Ａ）に示す断面構造は、図２（Ｂ）において一点鎖線で示すＸ−Ｙ方向に切断した断面構造を示している。
【００２４】
図２（Ａ）に示すように、中空板材１２には、中空部２を塞ぐエア漏れ防止蓋３、４がネジ７により取り付けられている。また、中空板材１２の表面には複数の噴出し部５が穴加工により設けられ、また中空板材１２の裏面にはエア供給口６が設けられる。
【００２５】
上記構成において、エア供給口６から中空部２に圧縮されたエアが供給され、このエアは中空部２を流路として噴出し部５から外部に噴出する。
【００２６】
このように、本発明のエア浮上ユニット１においては、アルミの押し出し加工材から中空板材１２を成形し、この中空板材１２の中空部２をエア流路として利用している。このため、中空部２の形成を切削加工で行う必要がなくなり、材料費や工数を削減できる。また、中空部２を塞ぐエア漏れ防止蓋３、４も小さくでき、エア漏れを低減できると共に、蓋を止めるネジ数を削減できる。
【００２７】
なお、図１および図２に示した例では、アルミ押し出し加工により中空板材１２を形成する例について説明したが、アルミ以外の材料（例えば、樹脂等）により中空板材を形成することもできる。また、アルミ押し出し加工以外に、鋳造により中空板材を形成することもできる。
【００２８】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明のエア浮上ユニットは、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明においては、従来は切削加工で形成していた中空部（エア流路）を押し出し加工で形成することにより、エア漏れを低減すると共に、加工数、加工時間を減らす効果を奏するので、本発明は、エア浮上ユニット、およびエア浮上ユニットの製造方法等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明によるエア浮上ユニットの製造方法を説明するための図である。
【図２】本発明によるエア浮上ユニットの断面構造を示す図である。
【図３】エア浮上ユニットについて説明するための図である。
【図４】従来のエア浮上ユニットの断面構造を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１…エア浮上ユニット
２…中空部
３、４…エア漏れ防止蓋
５、２５…噴出し部
６、２２…エア供給口
１１…アルミ押し出し材
１２…中空板材
２１…エア浮上ユニットベース
２４…中空部
２６…絞り部
３１…箱型の器
３２…上蓋
４１…被浮上物体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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