(57)【要約】 【課題】  効率よくエージング処理を実施できるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】  あらかじめ形成したＰＤＰに第１エージング放電を第１時間長で実施させる第１エージング工程の後、検査工程でＰＤＰの点灯状態を測定する。ＰＤＰの点灯状態の測定により輝度むらや色むらがあると判定した場合、第２エージング工程で第２エージング放電を第２時間長で実施する。ＰＤＰにおける製造上のばらつきなどにより、所定の活性化や放電安定化などの所定の特性状態とするために必要なエージング処理の時間長にもばらつきが生じることから、例えば必要最小限の時間長に設定し、ばらつきによりエージングが不十分なものに対して第２エージング工程を実施することで、不要に長いエージングを実施することによる効率低下を防止でき、ばらつきがない安定した特性を効率よく提供できる。【選択図】 図５
2007048587.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加してエージング放電させるエージング工程を実施するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記プラズマディスプレイパネルに第１エージング放電を第１所定期間で実施させる第１エージング工程と、
この第１エージング工程による前記第１エージング放電後の前記プラズマディスプレイパネルの特性を測定する検査工程と、
この検査工程により前記プラズマディスプレイパネルの特性が所定の特性であることが測定された場合に、前記検査工程で特性測定後のプラズマディスプレイパネルに第２エージング放電を第２所定期間で実施させる第２エージング工程と、を実施する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記第１エージング工程が実施される前記プラズマディスプレイパネルの特性をあらかじめ測定する前検査工程を実施する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記前検査工程は、前記プラズマディスプレイパネルを点灯させて点灯状態における点欠陥および線欠陥のうちの少なくともいずれか一方を測定し、
前記第１エージング工程は、前記前検査工程で点欠陥および線欠陥のうちの少なくともいずれか一方が所定の閾値以上であることが測定された場合に、前記プラズマディスプレイパネルが欠陥品であると判断して前記第１エージング放電を実施しない
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
第２エージング工程は、前記検査工程で前記プラズマディスプレイパネルの特性が特定の特性であることが測定された場合、エージングが完了したプラズマディスプレイであると判断して前記第２エージング放電を実施しない
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記検査工程は、前記プラズマディスプレイパネルを点灯させて点灯状態を測定する点灯状態検査工程を有する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記検査工程の点灯状態検査工程は、前記プラズマディスプレイパネルの点灯状態における輝度むらおよび色むらのうちの少なくともいずれか一方を測定し、
前記第２エージング工程は、前記点灯状態検査工程で輝度むらおよび色むらのうちの少なくともいずれか一方が所定の閾値以上であることが測定された場合に、前記第２エージング放電を実施させる
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記第２エージング工程において、前記点灯状態検査工程で測定された輝度むらおよび色むらのうちの少なくともいずれか一方のばらつき状態に応じて、前記第２エージング放電を実施する時間、および、前記第２エージング放電を生じせしめる駆動波形のうち、少なくともいずれか一方を変更する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
請求項５ないし請求項７のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記検査工程の点灯状態検査工程は、前記プラズマディスプレイパネルの点灯状態における点欠陥および線欠陥のうちの少なくともいずれか一方を測定し、
前記第２エージング工程は、前記点灯状態検査工程で点欠陥および線欠陥のうちの少なくともいずれか一方が所定の閾値以上であることが測定された場合に、前記プラズマディスプレイパネルが欠陥品であると判断して前記第２エージング放電を実施しない
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記第２エージング工程は、第２エージング放電を実施した前記プラズマディスプレイパネルを前記検査工程へ戻して前記第２エージング放電後の前記プラズマディスプレイの特性を測定させ、この測定されたプラズマディスプレイパネルの特性が所定の特性であることが測定された場合に前記第２エージング放電を繰り返す
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記第２エージング工程は、前記第２エージング放電を所定回数以上繰り返す場合、前記プラズマディスプレイパネルが欠陥品であると判断して前記第２エージング放電の繰り返しを中止する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加してプラズマディスプレイパネルをエージング放電させるエージング工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel：ＰＤＰ）は、一対の平面基板同士が放電空間を介して互いに対向配置され、一方の平面基板の内面上に井桁状もしくはストライプ状の隔壁を設けている。このことにより、ＰＤＰは、放電空間が複数個の放電セルに区画される。そして、ＰＤＰは、複数個の放電セル内で外部からの電気信号により選択的に放電発光させることにより画像表示を行う装置である。このＰＤＰは、製造工程において、所定の駆動パルスを印加して各放電セルでエージング放電を生じさせ、活性化および放電の安定化を実施している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載のものは、前面ガラス基板と背面ガラス基板の互いに対向する側にそれぞれ構造物を形成し、互いに対向させた前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を封止し、加熱状態で放電空間内から排気するベーキング工程を経た後、高スパッタレートの洗浄ガスを放電空間内に導入し、この洗浄ガスが導入された放電空間内でエージング放電させてエージングし、前面ガラス基板と背面ガラス基板に形成した構造物に対するプラズマイオンによる活性化を促進させる。この後、放電ガスを放電空間内に導入し、排気管を封止した後、放電ガスが導入された放電空間内でエージング放電させてエージングしている。このようにして、ベーキング工程後のエージングにより、ベーキング工程時間と、放電ガスが導入された状態での最終工程のエージングの工程時間を短縮している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２５９５２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した特許文献１に記載のような従来の方法でも、最終工程のエージング工程が終了して製造された各プラズマディスプレイパネルでは、エージング放電により保護膜層の活性化および放電の安定化の状態が、例えば構造物の形成状態や、エージング放電させる電圧状態などの各種要因によりばらつきが生じる。したがって、特許文献１に記載のようにエージング処理を２回に分けて実施する場合でも、活性化および放電の安定化状態が製造されたプラズマディスプレイ間で所定の誤差範囲となる状態に、エージング処理の総所要時間を設定する必要がある。
【０００６】
しかしながら、製造された各プラズマディスプレイのうち、設定されたエージング処理の時間長ではそれより短い時間のものでも十分に活性化や放電の安定化が得られるものもあることから、不要にエージング処理を実施することとなる。このため、製造効率のさらなる向上が望まれている。
【０００７】
本発明は、このような実情などに鑑みて、効率よくエージング処理が実施されるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを１つの目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、プラズマディスプレイパネルに所定の電圧を印加してエージング放電させるエージング工程を実施するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記プラズマディスプレイパネルに第１エージング放電を第１所定期間で実施させる第１エージング工程と、この第１エージング工程による前記第１エージング放電後の前記プラズマディスプレイパネルの特性を測定する検査工程と、この検査工程により前記プラズマディスプレイパネルの特性が所定の特性であることが測定された場合に、前記検査工程で特性測定後のプラズマディスプレイパネルに第２エージング放電を第２所定期間で実施させる第２エージング工程と、を実施することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法における実施の一形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
〔プラズマディスプレイパネルの構成〕
まず、製造されるプラズマディスプレイパネルの概略構成について、図面に基づいて説明する。図１は、本実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す平面図（背面基板側から見た平面図）である。なお、図１は、説明の都合上、引出電極を粗な状態で示す。図２は、一般的なストライプ状の隔壁を備えたＰＤＰの内部構造を示す一部を切り欠いた分解斜視図である。
【００１１】
図１において、１００はプラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel：ＰＤＰ）で、このＰＤＰ１００は、放電空間１０１を介して前面基板１１０と背面基板１２０とが対向配置されている。そして、ＰＤＰ１００は、図２に示すように、前面基板１１０における背面基板１２０と対向する内面側には、透明電極１１１とバス電極１１２とからなる行電極が対をなして配置され、対をなす行電極対間にブラックストライプ１１３が配置され、行電極およびブラックストライプ１１３を覆うように誘電体層１１４が設けられ、さらに誘電体層１１４を覆うように保護層１１５が形成されている。対をなす行電極の一方の行電極を構成するバス電極１１２は、図１に示すように前面基板１１０の右端部に引き出されて引出電極１２３を構成し、対をなす行電極の他方の行電極を構成するバス電極１１２は、前面基板１１０の左端部に引き出されて引出電極１２３を構成している。
【００１２】
また、背面基板１２０における前面基板１１０と対向する内面側には、この背面基板１２０の上に複数のアドレス電極１２１がそれぞれ略平行に設けられ、これらアドレス電極１２１を覆うように背面基板１２０の内面側にアドレス保護層１２２が設けられている。さらに、アドレス保護層１２２上にストライプ形状の隔壁１２４が設けられ、これら隔壁１２４により、複数個の図示しない放電セルが区画形成される。そして、これら複数個の放電セルの内部には、それぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色の蛍光体層（１２５Ｒ、１２５Ｇ、１２５Ｂ）が順に形成されている。放電空間１０１の内部、すなわちそれぞれの放電セルの内部は、ネオンガスなどの放電ガスが充填され、外気との間で密閉され、ＰＤＰ１００が構成される。
【００１３】
〔エージング装置の構成〕
次に、上記ＰＤＰ１００をエージング処理するエージング装置の構成について、図３に基づいて説明する。図３は、本実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルを製造する製造工程におけるエージング工程で用いられるエージング装置の概略構成の一部を示す概念図である。
【００１４】
図３において、２００は電力供給装置としてのエージング装置で、このエージング装置２００は、保護膜１１５の活性化や安定放電化などのために、ＰＤＰ１００の引出電極１２３に放電セルでエージング放電させる所定の電圧の駆動パルスを所定時間で印加し、ＰＤＰ１００をエージング処理する。このエージング処理として、エージング装置２００は、第１エージング工程と、第２エージング工程を実施する。このエージング装置２００は、図示しないＰＤＰ載置部と、駆動パルス供給装置２１０と、などを備えている。
【００１５】
ＰＤＰ載置部は、あらかじめ、前面基板１１０と背面基板１２０とが対向して周縁部が接合され放電ガスを放電空間１０１内に充填され封着されて形成されたＰＤＰ１００を載置固定する。なお、このＰＤＰ載置部には、ＰＤＰ１００が所定の位置に載置固定されているか否かを検出する位置決めセンサなどが設けられている。
【００１６】
駆動パルス供給装置２１０は、所定の周波数で所定のパルス電圧の駆動パルスを出力する装置である。
【００１７】
共通接続電極２１６は、ＰＤＰ載置に載置されたＰＤＰ１００における引出電極１２３が位置する両端部に近接して一対設けられ、引出電極１２３にそれぞれ接離可能に図示しない保持部にそれぞれ保持される。これら共通接続電極２１６は、例えばゴムなどの軟質部材にて、ＰＤＰ１００における前面基板１１０の長手方向の両端部に引出電極１２３が複数設けられた領域、すなわち前面基板１１０の幅寸法と略同寸法の長さ寸法に形成された略細長棒状に形成されている。また、共通接続電極２１６は、外周面に例えば銅やＳＵＳなどの高い導電性を有した導電部材が被覆形成されている。そして、両方の共通接続電極２１６は導電部材が電気的に接続される状態に駆動パルス供給装置２１０に接続される。
【００１８】
そして、駆動パルス供給装置２１０は、一対の共通接続電極２１６がＰＤＰ１００における両端部に位置して設けられた引出電極１２３にそれぞれ接触させ、所定の周波数で所定のパルス電圧の駆動パルスを共通接続電極２１６へ出力し、ＰＤＰ１００の各放電セルをそれぞれ所定時間でエージング放電させる。ここで、第１エージング工程と、第２エージング工程では、それぞれエージング処理が異なる。すなわち、第１エージング工程では、エージング処理する時間長として、詳細は後述するが、点欠陥や線欠陥が所定の割合で存在する欠陥品であるものを除く良品における第１の割合で、エージング処理後に輝度むらおよび色むらが所定の誤差範囲内となる第１所定期間である第１時間長に設定されている。また、第２エージング工程では、欠陥品を除く良品における第２の割合で、ＰＤＰ１００におけるエージング処理後の輝度むらおよび色むらが所定の誤差範囲内となる時間長から、第１エージング工程におけるエージング処理の第１時間長を除いた第２所定期間である第２時間長に設定されている。なお、第２エージング工程では、詳細は後述するが、第２時間長は、例えば点灯状態に基づいて適宜演算により算出される適正時間で設定されたり、あらかじめ設定された時間長で順次繰り返すなどしてもよい。なお、第１エージング工程における良品率と、第１エージング工程に第２エージング工程を追加した場合における良品率は、パネルの特性、平均エージング時間などを考慮して設定される。
【００１９】
〔検査装置の構成〕
次に、上記ＰＤＰ１００をエージング処理した検査装置の構成について、図４に基づいて説明する。図４は、本実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルを製造する製造工程におけるエージング処理後にプラズマディスプレイパネルの特性、すなわち点灯状態を検査する検査装置の概略構成を示す概念図である。
【００２０】
図４において、３００は検査装置で、この検査装置３００は、ＰＤＰ１００の点灯状態を、例えば画像処理により検査する装置である。この検査装置３００は、撮像装置３１０と、駆動パルス供給装置２１０（図４中図示せず）と、画像処理装置３３０と、などを備えている。
【００２１】
撮像装置３１０は、ＰＤＰ１００の点灯された表示面を撮像し、撮像した画像データを接続された画像処理装置３３０へ出力する。この撮像装置３１０は、ＰＤＰ１００の表示面を一括で撮像する例えばエリアセンサカメラで、ＲＧＢ感度を持つカラーＣＣＤ（Charge-Coupled Device）を備えている。駆動パルス供給装置２１０は、エージング装置２００と同様に、図示しない、ＰＤＰ載置部と、駆動パルス供給装置２１０からの駆動パルスをＰＤＰ１００に供給する共通接続電極と、などを備えている。画像処理装置３３０は、メモリ３３１と、比較演算手段３３２と、制御手段３３３と、などを備えている。
【００２２】
メモリ３３１は、ＣＣＤカメラ３１０で取り込んだ点灯状態にあるＰＤＰ１００の表示面全体の画像データを一旦保存する。
【００２３】
比較演算手段３３２は、メモリ３３１に保存された画像データを適宜演算して処理する。具体的には、ＰＤＰ１００の輝度むら、色むら、点欠陥、線欠陥などの点灯状態を評価し、点灯状態の検査後におけるＰＤＰ１００の次工程への移行状態を設定する。
【００２４】
ここで、比較演算手段３３２による画像処理としては、例えばＰＤＰ１００の表示面を複数のエリアに分割し、各エリアについてＲＧＢデータを平均化する演算をする。そして、各エリアにおける平均化したＲＧＢデータに基づいて、画素単位で１色以上の点灯が認められない点欠陥の箇所、および線状に１色以上の点灯が認められない線欠陥の箇所を計数する。これら点欠陥および線欠陥の箇所の数が所定の閾値以上か否かを判断し、点欠陥では数個以上、線欠陥では１つ以上認められる場合、ＰＤＰ１００は欠陥品であると評価する。
【００２５】
また、比較演算処理として、各エリアにおける平均化したＲＧＢデータに基づいて、輝度Ｌｖ［ｃｄ／ｍ2］および色度ｘ，ｙに変換する。そして、あるエリアにおける輝度Ｌｖ１の輝度むらを判定する。この輝度むらの判定は、以下の数１に示すあるエリアの輝度Ｌｖ１とその周囲のエリアの輝度Ｌｖ２との輝度むらと、以下の数２に示すあるエリアの輝度Ｌｖ１と表示面全体の輝度平均値Ｌｖ３との輝度むらとについて、全てのエリアで実施し、あらかじめ設定された閾値α１，β１に基づいて判定する。この判定において、輝度むらとして数１および数２を満たすエリアが例えば１箇所でも認められた場合、輝度むらがある判定する。
【００２６】
（数１）
｜Ｌｖ１−Ｌｖ２｜×１００／Ｌｖ１＞α１
α１：閾値［％］
【００２７】
（数２）
｜Ｌｖ１−Ｌｖ３｜×１００／Ｌｖ３＞β１
β１：閾値［％］
また、画像処理として、各エリアにおける色度ｘ，ｙの色むらを判定する。この色むらの判定は、以下の数３に示すあるエリアの色度ｘ１，ｙ１とのその周囲のエリアの色度ｘ２，ｙ２との色むらと、以下の数４に示すあるエリアの色度ｘ１，ｙ１と表示面全体の色度平均値ｘ３，ｙ３との色むらとについて、全てのエリアで実施し、あらかじめ設定された閾値α２，β２に基づいて判定する。この判定において、色むらとして数３および数４を満たすエリアが例えば１箇所でも認められた場合、色むらがあると判定する。
【００２８】
（数３）
（（ｘ１−ｘ２）2＋（ｙ１−ｙ２）2）1/2＞α２
α２：閾値
【００２９】
（数４）
（（ｘ１−ｘ３）2＋（ｙ１−ｙ３）2）1/2＞β２
β２：閾値
【００３０】
〔プラズマディスプレイパネルの処理動作〕
次に、上記したＰＤＰ１００の製造方法における処理動作について図面を参照して説明する。図５は、プラズマディスプレイパネルの製造方法におけるエージング・検査処理の動作を示すフローチャートである。
【００３１】
あらかじめ前工程で、前面基板１１０と背面基板１２０とが対向して周縁部が内部に放電空間１０１を形成して封着され、放電ガスが放電空間１０１に充填され封止されて形成されたＰＤＰ１００は、図５に示すエージング・検査処理が実施される。具体的には、図５に示すように、形成されたＰＤＰ１００は、検査装置３００で点灯状態検査工程となる前検査工程が実施される。すなわち、前工程で形成されたＰＤＰ１００を検査装置３００へ搬送し、検査装置３００のＰＤＰ載置部に載置固定する（ステップＳ１１）。そして、検査装置３００は、所定の位置に搬入され位置決め固定されたＰＤＰ１００の表示面を画像処理装置３３０による制御にて撮像装置３１０で撮像させる処理をする。この撮像により生成した画像データを取得した比較演算手段３３２は、ＰＤＰ１００の表示面を複数のエリアに分割し、各エリアについてＲＧＢデータを平均化する演算をする。そして、画像処理装置３３０の比較演算手段３３２は、ＲＧＢデータに基づいて、点欠陥および線欠陥の箇所を画像処理により判断する（ステップＳ１２）。
【００３２】
例えば、画素単位で１色以上の点灯が認められない点欠陥の箇所、および線状に１色以上の点灯が認められない線欠陥の箇所を計数し、これら点欠陥および線欠陥の箇所の数が所定数、例えばあらかじめ設定された閾値以上か否かを判断する。そして、このステップＳ１２において、例えば点欠陥では数個以上、線欠陥では１つ以上認められる場合、ＰＤＰ１００は欠陥品であると評価する。そして、欠陥品であると判定されたＰＤＰ１００は、画像処理装置３３０による制御にて、検査装置３００から欠陥品を処理する次工程へ搬出させる処理をする（ステップＳ１３）。この欠陥品を処理する次工程としては、各材料を回収するリサイクル処理などが例示できる。
【００３３】
一方、ステップＳ１２で点欠陥および線欠陥が所定の閾値を超えていない良品と評価されると、画像処理装置３３０はエージング回数Ｎを初期化、具体的にはエージング処理を実施していない旨の「Ｎ＝０」を設定し、ＰＤＰ１００をエージング装置２００へ搬出し、エージング装置２００で第１エージング放電させる第１エージング工程を実施させる（ステップＳ１４）。すなわち、前検査工程で良品と評価されたＰＤＰ１００をエージング装置２００へ搬送し、エージング装置２００のＰＤＰ載置部に載置固定する。そして、エージング装置２００は、所定の位置に搬入され位置決め固定されたＰＤＰ１００の引出電極１２３に一対の共通接続電極２１６を接続させ、あらかじめ設定された第１時間長で、所定のパルス電圧の駆動パルスを共通接続電極２１６を介して引出電極１２３へ供給し、各放電セルで第１エージング放電させる。
【００３４】
この第１エージング工程が実施されたＰＤＰ１００は、点灯状態検査工程である次の検査工程が実施される（ステップＳ１５）。すなわち、エージング装置２００は、第１エージング放電を実施した後に、エージング回数Ｎに「１」を加算するための信号を検査装置３００の画像処理装置３３０へ出力し、画像処理装置３３０でエージング処理が１回実施された旨である「Ｎ＝Ｎ＋１」を設定させる。そして、エージング装置２００は、第１エージング工程が実施されたＰＤＰ１００を検査装置３００へ搬送し、検査装置３００のＰＤＰ載置部に載置固定する。そして、検査装置３００は、所定の位置に搬入され位置決め固定されたＰＤＰ１００の表示面を画像処理装置３３０による制御にて撮像装置３１０で撮像させる処理をする。この撮像により生成した画像データをメモリ３３１を介して取得した比較演算手段３３２は、ステップＳ１２と同様にして演算したＲＧＢデータに基づいて、点灯状態すなわち点欠陥、線欠陥、輝度むら、色むらを評価する。
【００３５】
そして、ステップＳ１５の検査工程で、点欠陥、線欠陥、輝度むら、色むらが生じていない良品と評価されると、画像処理装置３３０は、良品と判定されたＰＤＰ１００を、次工程、例えば点灯検査工程へ搬出させる処理をし（ステップＳ１６）、エージング・検査処理が終了する。一方、ステップＳ１５で、点灯状態の評価で点欠陥、線欠陥、輝度むら、色むらが生じていると評価されると、画像処理装置３３０は、追加エージングを実施するか否か、すなわち第２エージング工程に移行してさらにエージング処理を実施するか否かを判断する（ステップＳ１７）。
【００３６】
このステップＳ１７において、画像処理装置３３０は、ステップＳ１５における点灯状態の評価で、点欠陥および線欠陥のうちの少なくともいずれか一方が、閾値の数以上の箇所で認められたことを認識すると、ＰＤＰ１００は欠陥品であると評価し、ステップＳ１３へ進む。一方、ステップＳ１７において、画像処理装置３３０は、ステップＳ１５における点灯状態の評価で、点欠陥や線欠陥の評価は閾値以内であるが、輝度むらおよび色むらのうちの少なくともいずれか一方が生じていると認められたことを認識すると、追加エージングを実施させる処理に移行する。すなわち、画像処理装置３３０は、エージング回数Ｎがあらかじめ設定された回数である閾値Ｘ以下か否かを判断する（ステップＳ１８）。
【００３７】
そして、ステップＳ１８において、エージング回数が閾値Ｘ以下ではない、すなわちエージング回数が閾値Ｘの回数を超えていると画像処理装置３３０が判断すると、エージング処理を繰り返しても輝度むらや色むらが改善されない欠陥品とし、ステップＳ１３へ進む。この点灯状態が改善されない欠陥品としては、例えば蛍光体層（１２５Ｒ、１２５Ｇ、１２５Ｂ）が適切に設けられていないなどが例示できる。
【００３８】
一方、ステップＳ１８において、エージング回数が閾値Ｘ以下であると判断すると、画像処理装置３３０は、例えば輝度むらや色むらの状態やエージング回数に基づいて、エージング装置２００で第２エージング放電を実施させる際のエージング条件を設定する（ステップＳ１９）。すなわち、第２エージング放電させる第２時間長を演算し、設定した第２時間長で第２エージング放電させる旨の制御信号をエージング装置２００へ出力する。そして、検査装置３００は、画像処理装置３３０による制御にて、ＰＤＰ１００をエージング装置２００へ搬出し、エージング装置２００であらかじめ画像処理装置３３０から取得したエージング条件に基づいて第２エージング放電させる第２エージング工程を実施させる（ステップＳ２０）。
【００３９】
このステップＳ２０における第２エージング工程の後、ステップＳ１５に戻って、処理が繰り返される。すなわち、第２エージング工程が実施されたＰＤＰ１００は、エージング装置２００から検査装置３００へ再度搬出されて検査工程が繰り返される。具体的には、エージング装置２００は、第２エージング放電を実施した後に、エージング回数Ｎに「１」を加算するための信号を検査装置３００の画像処理装置３３０へ出力し、画像処理装置３３０でエージング処理が１回実施された旨である「Ｎ＝Ｎ＋１」を設定させる。そして、エージング装置２００は、第１エージング工程が実施されたＰＤＰ１００を検査装置３００へ再び搬送し、処理が繰り返される。
【００４０】
〔実施の形態の作用効果〕
上述したように、上記実施の形態では、あらかじめ形成されたＰＤＰ１００をエージング装置２００で第１エージング放電を第１時間長で実施させる第１エージング工程の後、検査工程で検査装置３００によりＰＤＰ１００の特性である点灯状態を測定する。そして、この検査工程で、ＰＤＰ１００の点灯状態が所定の特性、すなわち点灯状態の測定により輝度むらや色むらがあると判定された場合、第２エージング工程でエージング装置２００により第２エージング放電を第２時間長で実施している。このため、ＰＤＰ１００における製造上のばらつきなどにより、所定の活性化や放電安定化などの所定の特性状態とするために必要なエージング処理の時間長にもばらつきが生じることから、例えば必要最小限の時間長に設定し、ばらつきによりエージングが不十分なものに対して第２エージング工程を実施することで、不要に長いエージングを実施することによる効率低下を防止でき、ばらつきがない安定した特性を効率よく提供できる。
【００４１】
そして、第１エージング工程後の検査工程で、ＰＤＰ１００の点灯状態が、例えば点欠陥、線欠陥、輝度むらおよび色むらがない特定の特性である点灯状態であることが測定された場合には、第１エージング工程でのエージング処理でＰＤＰ１００の活性化や放電安定化が十分に得られた良品と評価し、第２エージング工程を実施することなく、次工程に移行させている。このため、確実に不要なエージング処理を省略化でき、確実に効率的な製造が得られる。
【００４２】
また、後工程となる点灯検査工程での輝度むら、色むらの検査を省略または簡素化できる。この場合、後工程となる点灯検査工程では電圧マージン、輝度、色度が主な検査項目となる。
【００４３】
さらに、検査工程において、輝度むらおよび色むらのうちの少なくともいずれか一方が所定の閾値以上、すなわち上述した数１〜数４を満たすエリアが１箇所でも測定された場合、活性化や放電安定化が不十分であると評価して第２エージング工程に移行させている。このため、比較的に特性測定が容易な画像処理によりエージング処理の不足を容易に評価でき、効率的な製造が容易に得られるとともに、評価したエージング処理の不足するＰＤＰ１００を第２エージング処理させることで、欠陥品までエージング処理する非効率の防止が容易に得られ、より効率的な製造が得られる。
【００４４】
また、検査工程において、点欠陥および線欠陥のうちの少なくともいずれか一方が所定の閾値以上で測定された場合、ＰＤＰ１００を欠陥品として評価して第２エージング工程の第２エージング処理から除外している。このため、欠陥品までエージング処理する非効率の防止が確実にでき、確実に効率的な製造が得られる。
【００４５】
そして、第２エージング工程後、再び検査工程に戻って点灯状態を測定し、点灯状態が所定の状態、すなわち上述した数１〜数４を満たすエリアが１箇所でも測定された場合、活性化や放電安定化が不十分であると評価して第２エージング工程へ再び移行して第２エージング放電を繰り返し処理している。このため、製造状のばらつきなどによる活性化や放電安定性のばらつきが生じていても各ＰＤＰ１００で必要最小限のエージングが実施され、より効率よく製造できる。
【００４６】
さらに、所定回数以上繰り返し第２エージング放電を実施しても点灯状態が改善されない場合には、欠陥品として第２エージング放電の繰り返しを中止している。このため、必要以上にエージング処理を繰り返すことによる非効率化を防止でき、効率的な製造が容易に得られる。
【００４７】
また、第１エージング工程を実施する前に、ＰＤＰ１００の点灯状態を検査装置３００により測定する前検査工程を実施している。このため、エージング処理を実施する前に欠陥品を判定してシージング処理から除外することで、より効率的にＰＤＰ１００を製造できる。
【００４８】
この前検査工程でＰＤＰ１００の点灯状態として点欠陥および線欠陥のうちの少なくともいずれか一方を測定し、点欠陥および線欠陥が所定の閾値の数以上となるものを欠陥品として第１エージング工程へ移行せずに除外している。このため、簡単な特性測定で容易に効率的な製造が得られる。特に、第１エージング工程後に第２エージング工程への移行を判定するために実施する検査工程と同様の画像処理により判定しているので、簡単な構成でより効率的な製造が得られる。
【００４９】
〔実施の形態の変形〕
なお、本発明は、上述した実施の一形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
【００５０】
すなわち、第１エージング工程で第１エージング放電を実施する前に、前検査工程を実施して説明したが、この前検査工程を実施せず、あらかじめ形成されたＰＤＰ１００をエージング装置２００で第１エージング放電の処理を実施してもよい。すなわちステップＳ１２を省略してもよい。
【００５１】
また、第１エージング工程と第２エージング工程とを同一のエージング装置２００で実施したが、異なる装置で実施してもよい。このことにより、エージング処理がそれぞれの装置で設定されるので、処理制御が容易となる。さらには、検査工程あるいは前検査工程で点灯させる駆動パルス供給装置２１０を、エージング装置２００と異なる構成として説明したが、エージング装置２００を利用してもよい。このことにより、構成がより簡略化できる。
【００５２】
そして、検査工程では、ＰＤＰ１００を点灯して点灯状態を画像処理することによりＰＤＰ１００の特性を測定したが、例えば引出電極１２３に所定の電圧や電流を流して通電状態を測定するなど、いずれの特性の測定が利用できる。特に、点欠陥や線欠陥については、通電状態により判断してもよい。なお、上述したように、前検査工程と検査工程とをそれぞれ点灯状態の画像処理により特性を判定しているので、同一の検査装置３００を利用でき、より構成の簡略化が得られる。
【００５３】
さらに、第１エージング工程や第２エージング工程などで引出電極１２３に駆動パルスなどを供給する構成としては、上述した共通接続電極２１６を備えた構成に限らず、いずれの構成が適用できる。
【００５４】
そして、第２エージング工程を繰り返す動作について説明したが、例えば第２エージング放電の時間をある程度の時間長に設定して、エージングを繰り返さないようにしてもよい。なお、繰り返す回数としては、適宜設定される。また、輝度むら、色むらの状態に応じて適用する第２エージングの駆動波形（電圧、電流など）、実行時間を変更するようにしてもよい。
【００５５】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などに適宜変更できる。
【００５６】
〔実施の形態の効果〕
上述したように、ＰＤＰ１００をエージング装置２００で第１エージング放電を第１時間長で実施させる第１エージング工程の後、検査工程で検査装置３００によりＰＤＰ１００の特性である点灯状態を測定する。そして、この検査工程でＰＤＰ１００の点灯状態が所定の特性、すなわち点灯状態の測定により輝度むらや色むらがあると判定された場合、第２エージング工程でエージング装置２００により第２エージング放電を第２時間長で実施している。このため、ＰＤＰ１００における製造上のばらつきなどにより、所定の活性化や放電安定化などの所定の特性状態とするために必要なエージング処理の時間長にもばらつきが生じることから、例えば必要最小限の時間長に設定し、ばらつきによりエージングが不十分なものに対して第２エージング工程を実施することで、不要に長いエージングを実施することによる効率低下を防止でき、ばらつきがない安定した特性を効率よく提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明における実施の一形態に係るプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す平面図である。
【図２】前記実施の一形態における一般的なストライプ状の隔壁を備えたＰＤＰの内部構造を示す一部を切り欠いた分解斜視図である。
【図３】前記実施の一形態におけるプラズマディスプレイパネルを製造する製造工程におけるエージング処理で用いられるエージング装置の概略構成の一部を示す概念図である。
【図４】前記実施の一形態におけるプラズマディスプレイパネルを製造する製造工程におけるプラズマディスプレイパネルの点灯状態を検査する検査装置の概略構成を示す概念図である。
【図５】前記実施の一形態におけるプラズマディスプレイパネルを製造する製造工程におけるエージング・検査処理の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５８】
１００……プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
２００……エージング装置
３００……検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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