(57)【要約】【課題】  製造方法が簡単でありながら、せん断歪が利用可能で、低電圧で駆動可能な積層圧電素子を得ることにある。  【解決手段】  そこで、上記課題を解決する為に本発明の圧電素子は第一の面に互いに間隔を置いて配列された第一の電極と第二の電極と第三の電極とを有する第一の圧電素子と、第一の面に互いに間隔を置いて配列された第四の電極と第五の電極と第六の電極とを有する第二の圧電素子と、を交互に積層し、第三の電極と第四の電極の間に分極処理が施され、少なくとも第二の電極と第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形する構造とする。【選択図】  図２
2007158056.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の面に互いに間隔を置いて配列された第一の電極と第二の電極と第三の電極とを有し、第二の面に順に隣り合って配列された第四の電極と第五の電極と第六の電極とを有する圧電素子であって、
前記第三の電極と前記第四の電極の間に分極処理が施され、少なくとも前記第二の電極と前記第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形することを特徴とする圧電素子。
【請求項２】
第一の面に互いに間隔を置いて配列された第一の電極と第二の電極と第三の電極とを有し、第二の面に順に隣り合って配列された第四の電極と第五の電極と第六の電極とを有する圧電素子であって、
前記第三の電極と前記第四の電極の間と前記第一の電極と前記第六の電極の間に分極処理が施され、少なくとも前記第二の電極と前記第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形することを特徴とする圧電素子。
【請求項３】
第一の面に互いに間隔を置いて配列された第一の電極と第二の電極と第三の電極とを有する第一の圧電素子と、
第一の面に互いに間隔を置いて配列された第四の電極と第五の電極と第六の電極とを有する第二の圧電素子と、を交互に積層し、
前記第三の電極と前記第四の電極の間に分極処理が施され、少なくとも前記第二の電極と前記第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形することを特徴とする圧電素子。
【請求項４】
第一の面に互いに間隔を置いて配列された第一の電極と第二の電極と第三の電極とを有する第一の圧電素子と、
第一の面に互いに間隔を置いて配列された第四の電極と第五の電極と第六の電極とを有する第二の圧電素子と、を交互に積層し、
前記第三の電極と前記第四の電極の間、並びに前記第六の電極と前記第一の電極の間に分極処理が施され、少なくとも前記第二の電極と前記第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形することを特徴とする圧電素子。
【請求項５】
複数の圧電シートを積層する工程と、
前記積層された圧電シートから個々の圧電素子に分割する工程と、
前記積層された圧電シートもしくは前記個々の圧電素子を焼結する工程と、
を経たことを特徴とする請求項３または４のいずれかに記載の圧電素子。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の圧電素子から前記第二の電極と前記第五の電極が設けられない部分の圧電素子を除去する工程を経た圧電素子であって、
前記第二の電極と前記第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形することを特徴とする圧電素子。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の圧電素子から構成されることを特徴とする圧電デバイス。
【請求項８】
請求項７記載の圧電デバイスを搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電素子を用いたアクチュエータ、センサ等の圧電トランスデューサ並びにそれを用いた電子機器に関し、特にはせん断変形する圧電素子の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型・薄型化、高機能化、低消費電力化が進むにつれ、電子機器に搭載されるセンサ、トランス、アクチュエータ等のトランスデューサには圧電素子を用いたものが増えている。
【０００３】
圧電素子はPZT（チタン酸ジルコン酸鉛）やチタン酸バリウム等を原料とした焼結体を分極処理したものであり、要求されるトランスデューサの仕様によって、分極方向に電界を印加した際の分極方向の歪を利用するか、あるいは分極方向に電界を印加した際の分極方向と直交する方向の歪を利用するか、あるいは分極方向と直交する方向に電界を印加した際の分極方向に滑る様な変形形態を取るせん断歪を利用するかが選択される。
【０００４】
これらの中でもせん断歪を利用すると大きな圧電効果が得られることからアクチュエータに用いられることが増えている。また更には、高い共振周波数を有することを合わせてセンサやトランスへの応用も研究されている。
【０００５】
但し、圧電素子のせん断歪を利用する場合、大きな変位、力を得るためには大きな厚み、幅を確保しなければならず極めて大きな駆動電圧が必要となってしまった。また同様の理由から圧電素子のインピーダンスは大きなものとなりセンサやトランス等への設計の自由度を狭めてしまっていた。そして、この圧電素子を搭載する電子機器に搭載される駆動回路の大型化、コスト高を招き応用分野を制限してしまった。
【０００６】
これに対して圧電素子の駆動電圧の低下、並びに低インピーダンス化を図る手段として圧電素子の積層化が行われている（特許文献１）。この場合、圧電素子と平面電極を交互に積層する方法が採られ、これら各部材は接着剤で接合されることが一般的となっている。
【特許文献１】特許出願公開番号  特開２００５−２３７１７３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら従来のせん断歪を利用した積層圧電素子の場合には製造工程上、圧電素子一枚あたりの厚みは薄くすることが難しく、大きな駆動電圧が必要となってしまった。また同様の理由から圧電素子のインピーダンスを下げるには限界があった。そして製造において接着剤を使用しているために高温や高湿度環境下での性能劣化による信頼性低下や製品個々の性能ばらつきが大きいといった課題があった。またコストも高く応用分野を制限してしまった。
【０００８】
本発明の目的は、製造方法が簡単で低電圧で駆動可能でき、せん断歪を利用した積層圧電素子を得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そこで、上記課題を解決する為に本発明の圧電素子は第一の面に互いに間隔を置いて配列された第一の電極と第二の電極と第三の電極とを有し、第二の面に互いに間隔を置いて配列された第四の電極と第五の電極と第六の電極とを有する圧電素子であって、第三の電極と第四の電極の間に分極処理を施し、少なくとも第二の電極と第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形することを特徴とする圧電素子とする。
【００１０】
これによれば、圧電素子の側面（駆動電圧を印加する面と直交する面）に分極用の電極を設け、さらに分極後にこの電極を取り外すという工程が削減できるため圧電素子のコストを低くできる。
【００１１】
更には、第一の面に互いに間隔を置いて配列された第一の電極と第二の電極と第三の電極とを有し、第二の面に互いに間隔を置いて配列された第四の電極と第五の電極と第六の電極とを有する圧電素子であって、第三の電極と第四の電極の間と、第一の電極と第六の電極の間に分極処理を施し、少なくとも第二の電極と第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形することを特徴とする圧電素子とする。
【００１２】
これによれば、圧電素子の全体に渡って均等に分極処理が施されるため圧電素子の変位並びに発生力は大きくなる。
【００１３】
そして、第一の面に互いに間隔を置いて配列された第一の電極と第二の電極と第三の電極とを有する第一の圧電素子と、第一の面に互いに間隔をおいて配列された第四の電極と第五の電極と第六の電極とを有する第二の圧電素子と、を交互に積層した構造とし、第三の電極と第四の電極の間に分極処理を施し、少なくとも第二の電極と第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形を得ることを特徴とする圧電素子とする。
【００１４】
もしくは第一の面に互いに間隔を置いて配列された第一の電極と第二の電極と第三の電極とを有する第一の圧電素子と、第一の面に互いに間隔をおいて配列された第四の電極と第五の電極と第六の電極とを有する第二の圧電素子と、を交互に積層した構造とし、第三の電極と第四の電極の間、並びに第六の電極と第一の電極の間に分極処理を施し、少なくとも第二の電極と第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形することを特徴とする圧電素子とする。
【００１５】
これらによれば、低電圧で大きな出力が得られる。
【００１６】
そして、これら積層された圧電素子は、複数の圧電シートを積層する工程と、積層された圧電シートから個々の圧電素子に分割する工程と、積層された圧電シートもしくは個々の圧電素子を焼結する工程と、を経たことを特徴とする圧電素子とする。
【００１７】
これによれば、各圧電素子の結合に接着剤を使用していないので信頼性が向上するとともに、積層圧電素子個々の特性のばらつきが小さく抑えることができる。
【００１８】
更には以上の構造の圧電素子から前記第二の電極と前記第五の電極が設けられない部分の圧電素子を除去する工程を経た圧電素子に対して、第二の電極と第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形を得ることを特徴とする圧電素子とする。
【００１９】
これによれば圧電素子全体に駆動電圧を印加されるため圧電素子の利用効率が上がり、圧電素子の変位、並びに発生力が増大する。
【００２０】
そして、これらの圧電素子で圧電デバイスを構成すれば圧電デバイスがアクチュエータの場合には低電圧で駆動でき、小型で高出力が得られる。そして、圧電デバイスがセンサーの場合には小型で高感度が得られる。そしてこの圧電デバイスを電子機器に搭載すれば、小型で低消費電力名電子機器が実現できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の圧電素子はせん断歪（ｄ１５）が利用可能な積層圧電素子であるため小型でありながら低電圧で高出力が得られる。また、インピーダンスを低くできるとともに、積層する圧電素子の厚みや枚数を自由に設定できるため、センサーやトランス等の圧電デバイスを設計する際の自由度が高くなる。そして、目的の積層圧電素子が複数得られる大きさの積層圧電素子を一体的に焼結して作製し、個々の積層圧電素子に分割する製造プロセスを経ることにより、積層圧電素子のコストを大幅に下げられる。この様な積層圧電素子とすることにより、個々の特性ばらつきが小さく信頼性に富んだ積層圧電素子が得られる。
【００２２】
また、本積層圧電素子をアクチュエータ、センサ等のトランスデューサに応用し、更にはこれを電子機器に搭載すれば小型、低消費電力で信頼性に富んだ電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を基にして本発明の実施の形態について説明する。
【００２４】
（実施の形態１）
図１は本発明の積層圧電素子１、２０の構造を示した図である。積層圧電素子１は圧電素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄが積層された構造となっている。実施の形態１で示す積層圧電素子１と後（実施の形態２）に示す積層圧電素子２０は圧電素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの積層構造は同じで、分極処理のみが異なるため図１に同じ構造図として示した。
図２（ａ）、図２（ｂ）はそれぞれ積層圧電素子１を矢印２ａの方向から見た際の積層圧電素子１の断面を示す図、並びに変形図である。圧電素子１ａ、１ｃの上面には長方形状の第一の電極２、８と第二の電極３、９と第三の電極４、１０が隙間を空けて配列されている。圧電素子１ｂ、１ｄの上面には第四の電極５、１１と第五の電極６，１２と第六の電極７，１３が隙間を空けて配列されている。第三の電極４，１０と前記第四の電極５，１１の間には図中矢印５で示す方向に分極処理が施されている。この状態で、第一の電極２，８と第二の電極３，９と第三の電極４，１０とを短絡した端子と、第四の電極５，１１と第五の電極６，１２と第六の電極７，１３と、を短絡した端子の間に電圧を印加すると図２（ｂ）の点線で示した様に、せん断変形する。ちなみに第二の電極３，９と第五の電極６，１２の間にのみ電圧を印加しても駆動できるが、電圧が印加されていない部分の拘束を受け変位も発生力も小さくなるから好ましくはない。また、ここでは圧電素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを積層した構造を示したが圧電素子１ａのみとし、圧電素子１ａの裏面に第四の電極５、第五の電極６、第六の電極７を設けた単板素子でも同様の原理で駆動できる。
【００２５】
次に図３、図４を用いて具体的な積層圧電素子１の構造並びに製法について説明する。図３（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は夫々圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄを上面から見た図である。図４（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）、（ｅ）は夫々積層圧電素子１を図１における矢印２ｂ，２ｄ，２ｃ，２ｆ，２ａの方向から見た側面図並びに上面図である。
【００２６】
圧電素子１ａの上面には長方形状の第一の電極２、第二の電極３、第三の電極４が隙間を空けて配列されている。第一の電極２の段部２ａ、第二の電極３の段部３ａ、第三の電極４の段部４ａは圧電素子１ａの一つの側面にまで延びている。圧電素子１ｂの上面には長方形状の第四の電極５、第五の電極６、第六の電極７が隙間を空けて配列されている。第四の電極５の段部５ａ、第五の電極６の段部６ａ、第六の電極７の段部７ａは圧電素子１ｂの一つの側面にまで延びている。圧電素子１ｃの上面には長方形状の第一の電極８、第二の電極９、第三の電極１０が隙間を空けて配列されている。第一の電極８の端部８ａ、第二の電極９の段部９ａ、第三の電極１０の端部１０ａは圧電素子１ｃの一つの側面にまで延びている。圧電素子１ｄの上面には長方形状の第四の電極１１、第五の電極１２、第六の電極１３が隙間を空けて配列されている。第四の電極１１の端部１１ａ、第五の電極１２の段部１２ａ、第六の電極１３の端部１３ａは圧電素子１ｄの一つの側面にまで延びている。
【００２７】
圧電素子１ａの第一の電極２の段部２ａは外部電極１８で短絡される。第二の電極３の端部３ａは外部電極２５で短絡される。圧電素子１ｂの第三の電極４の段部４ａは外部電極２０で短絡される。第四の電極５の段部５ａは外部電極１９で短絡される。第五の電極６の端部６ａは外部電極２３で短絡される。第六の電極７の段部７ａは外部電極２１で短絡される。圧電素子１ｃの第一の電極８の端部８ａは外部電極１７で短絡される。第二の電極９の端部９ａは外部電極１６で短絡される。第三の電極１０の端部１０ａは外部電極１５で短絡される。圧電素子１ｄの第四の電極１１の端部１１ａは外部電極２２で短絡される。第五の電極１２の端部１２ａは外部電極２６で短絡される。第六の電極１３の端部１３ａは外部電極２４で短絡される。
【００２８】
次に具体的な製造方法について説明する。圧電素子１ａが複数個とれる様に電極２，３，４が印刷された図示しない圧電シートと、圧電素子１ｂが複数個取れる様に電極５，６，７が印刷された図示しない圧電シートと、圧電素子１ｃが複数取れる様に電極８，９，１０が印刷された図示しない圧電シートと、圧電素子１ｄが複数個取れる様に電極１１，１２，１３が印刷された図示しない圧電シートを積層し、仮焼成によってバインダーを飛ばす。そして、個々の積層圧電素子１の形状に切断した跡で本焼成を行い、外部電極１５，１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２，２３，２４を付けた後で分極処理を施し完成となる。
【００２９】
分極処理は以下の工程によって行われる。(1)外部電極２０をＧＮＤとして外部電極１９に高電圧を掛ける。(2)外部電極１５をＧＮＤとして外部電極２２に高電圧を掛ける。(3)外部電極１９をＧＮＤとして外部電極１５に高電圧を掛ける。(4)外部電極２２をＧＮＤとして外部電極２０に高電圧を掛ける。これらにより、第三の電極４，１０と第四の電極５，１１の間（図２（ａ）の矢印５に示される方向）に分極処理が施される。
【００３０】
そして、外部電極１５，１６，１７，１８，２０，２５と外部電極１９，２１，２２，２３，２４，２６の間に電圧を印加することにより積層圧電素子１はせん断変形する。
少なくとも前記第二の電極と前記第五の電極の間に電圧を印加することでせん断変形することを特徴とする圧電素子。
【００３１】
本実施の形態においては積層圧電素子１の側面で内部の電極２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３を短絡する構造を示したが、スルーホールを用いても構わない。また圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの順に積層されていれば積層数に制限を与えるものではない。そして勿論、最下部にある圧電素子１ａの下面にも電極を設けても構わない。
【００３２】
（実施の形態２）
本発明の積層圧電素子２０について説明する。積層圧電素子２０の構造は積層圧電素子１と同じであり、分極処理が異なるだけであるからそれを中心に説明する。
【００３３】
図５は積層圧電素子２０を矢印２ａの方向から見た際の積層圧電素子２０の断面を示す図である。圧電素子１ａ、１ｃの上面には夫々長方形状の第一の電極２、８と第二の電極３、９と第三の電極４、１０が隙間を空けて配列されている。圧電素子１ｂ、１ｄの上面には夫々第四の電極５、１１と第五の電極６，１２と第六の電極７，１３が隙間を空けて配列されている。
【００３４】
第一の電極２，８と第六の電極７，１３の間と、第三の電極４，１０と第四の電極５，１１の間に図中矢印１４で示す方向に分極処理が施されている。この状態で、第一の電極２，８と第二の電極３，９と第三の電極４，１０を短絡した端子と、第四の電極５，１１と第五の電極６，１２と第六の電極７，１３を短絡した端子との間に電圧を印加すると図２（ｂ）の点線で示したようにせん断変形する。ちなみに第二の電極３，９と第五の電極６，１２との間にのみ電圧を印加しても駆動できるが、電圧が印加されていない部分の拘束を受け変位も発生力も小さくなるから好ましくはない。
【００３５】
そして、望ましくは積層圧電素子２０から第二の電極と前記第五の電極が設けられない部分の圧電素子を除去（点線２７，２８で切断）して使用する。これによれば駆動に寄与しない（駆動時の電圧が印加されない各電極間の隙間の）部分の影響や、分極処理がされていない部分（積層圧電素子２０の（分極方向に対する）側面部）の影響が出ないため積層圧電素子２０の変位並びに発生力は大きくなる。
【００３６】
実際の分極処理は外部電極を用いて行われ、以下の手順で行われる。(1)外部電極２０をＧＮＤとして外部電極１９に高電圧を掛ける。(2)外部電極２１をＧＮＤとして外部電極１８に高電圧を掛ける。(3)外部電極１９をＧＮＤとして外部電極１５に高電圧を掛ける。(4)外部電極１７をＧＮＤとして外部電極１５に高電圧を掛ける。(5)外部電極１５をＧＮＤとして外部電極２２に高電圧を掛ける。(6)外部電極２４として外部電極１７に高電圧を掛ける。(7)外部電極２２をＧＮＤとして外部電極２０に高電圧を掛ける。(8)外部電極１８をＧＮＤとして外部電極２４に高電圧を掛ける。
【００３７】
そして、外部電極１５，１６，１７，１８，２０，２５と外部電極１９，２１，２２，２３，２４，２６の間に電圧を印加することにより積層圧電素子１はせん断変形する。
【００３８】
（実施の形態３）
次に本発明の積層圧電素子１，２０の圧電デバイスへの応用として超音波モータへの適用について図６を用いて説明する。
【００３９】
本発明の超音波モータ１００は振動体２００と、振動体２００を支持する案内部材３１，３２と、振動体２００と接し振動体２００の振動により駆動される移動体３５と、移動体３５の移動を案内するローラー３６，３７と、振動体２００を移動体３５に加圧する加圧ばね３３とからなる。
【００４０】
振動体２００は矩形形状の縦振動用圧電素子２９と、縦振動用圧電素子２９の上面に接合、あるいは一体的に形成され、せん断変形を行う積層圧電素子１，２０と、積層圧電素子１，２０の上面に固定されたセラミックス等の硬質材料で形成された突起３４と、縦振動用圧電素子２９の下面に固定された矩形形状の固定板３０とで構成される。固定板３０の両端部３０ａ，３０ｂは夫々案内部材３１，３２の溝部３１ａ，３２ａに係合されて、加圧ばね３３の加圧力方向には振動体３０は移動自在に案内するとともに、他の方向には移動不能に支持する。ローラー３６，３７は移動体３５を移動体３５の移動方向（矢印３８で示した方向）に移動自在に案内する。
【００４１】
縦振動用圧電素子２９により突起３４は矢印４０で示す方向に変位する。積層圧電素子１，２０により突起２９は矢印３９で示す方向に変位する。この二つの変位成分に位相差を持たせることで、突起３９の運動の奇跡は楕円や四角となり、移動体３５を摩擦駆動することができる。二つの変位成分に位相差を持たせるには図示しない駆動回路から出力される二つの信号（縦振動用圧電素子２９に供給されるものと積層圧電素子１，２０に供給されるもの）の位相差を変えればよい。
【００４２】
本実施の形態では特許文献１に示した従来の超音波モータの圧電素子として本発明の積層圧電素子１，２０を適用した例を示したが他のアクチュエータやセンサ、トランスといった従来の圧電デバイスにおいてせん断変形が使用されている部分へは容易に適用可能である。
（実施の形態４）
本発明の圧電素子を用いた圧電アクチュエータ、圧電センサ、圧電トランス等の圧電デバイスを搭載した電子機器について説明する。
【００４３】
図７は本発明の圧電素子を応用した圧電アクチュエータ２００を搭載した電子機器のブロック図である。圧電素子４２と移動体４３とで圧電アクチュエータ２００を構成する。電子機器におけるＣＰＵ等の制御回路４０の指令がドライバ４１に伝達されるとドライバ４１は圧電素子４２に駆動信号を出力する。移動体４３は圧電素子４２の駆動力を受け移動する。その際、移動体４３の力を受け稼動部４４は移動する。例えば電子機器がカメラの場合にはズームを開始する指令が制御回路４０から伝達されるとドライバ４１は圧電素子４２に駆動信号を印加し、移動体４３を回転させる。ここで圧電アクチュエータ２００の形態は超音波モータである。移動体４３の力を受け、図示しないカムを介して稼動部４４であるレンズを動かす。
【００４４】
図８は本発明の圧電素子を応用した圧電センサ４５を搭載した電子機器のブロック図である。圧電センサ４５が曝された環境に応じて信号を信号処理回路４６へ出力する。信号処理回路４６で処理された信号は電子機器におけるＣＰＵ等の制御回路４７へ入力され、制御部４８を外部の環境に応じて制御する。例えば電子機器がＨＤＤの場合、加速度センサとなる圧電センサ４５が、ＨＤＤの落下を検知すると、信号処理回路４６は圧電センサ４５の出力信号を増幅するとともにデジタル信号に変換し制御回路４７に伝達する、制御回路４７はヘッドが媒体に接触しないようにヘッドを回避させるように制御部４８であるアクチュエータを動かす。
【００４５】
図９は本発明の圧電素子を応用した圧電トランス５０を搭載した電子機器のブロック図である。電子機器は表示部５６を有するパソコン等である。発振回路４９からの信号を受けた圧電トランス５０は共振し、入力電圧に対して極めて高い電圧の交流電圧を信号処理回路５１に出力する。信号処理回路５１は整流等の処理を行い液晶等の表示部５６を明るくするためのバックライト５２を点灯させる。メモリー５３とＣＰＵ等の制御回路５４からなる情報処理部の情報はドライバ５５で表示部５６で表示されるように信号処理される。バックライト５２は圧電トランス５０によって駆動される駆動部の一例であり、本発明の圧電トランス５０は電子機器におけるいかなる駆動部の駆動にも適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の積層圧電素子を用いたアクチュエータ、センサ等のトランスデューサは小型で低電圧駆動が可能で、高信頼性を有し、高出力もしくは高感度という特性を有しコストも低く抑えられることからカメラ、時計、パソコン、携帯電話、HDDや光ディスクに代表される情報記録機器等の小型電子機器へ適用できるとともに、精密ステージやロボット等の製造装置への適用や、産業用や航空宇宙分野における精密計測機器への適用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の積層圧電素子の構造を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態１の積層圧電素子の分極の様子と変位の状態を示す図である。
【図３】本発明の積層圧電素子の電極構造を示す図である。
【図４】本発明の積層圧電素子の側面図及び上面図を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態２の積層圧電素子の分極の様子を示す図である。
【図６】本発明の圧電素子を用いた超音波モータの構造を示す図である。
【図７】本発明の圧電素子を用いた圧電アクチュエータを搭載した電子機器を示すブロッ        ク図である。
【図８】本発明の圧電素子を用いた圧電センサーを搭載した電子機器を示すブロック図で        ある。
【図９】本発明の圧電素子を用いた圧電トランスを搭載した電子機器を示すブロック図で        ある。
【符号の説明】
【００４８】
１，２０  積層圧電素子
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ  圧電素子
２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３  電極
１５,１６,１７,１８,１９,２０,２１，２２，２３，２４，２５，２６  外部電極      
２００  振動体
３５，４３  移動体
３３  加圧ばね
３１，３２  案内部材
【図１】
2007158056.tif 000003
【図２】
2007158056.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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