(57)【要約】【課題】設備コストを低減するとともに簡略な着脱作業で複数種類のスキージ部材を使い分けることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷用のスキージホルダを提供することを目的とする。【解決手段】スキージ部材１７Ａをマスクプレート上で摺動させることにより基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置において、スキージ部材１７Ａを保持するスキージホルダを、第１の保持面２７ｂが設けられた第１部材２７と、第１部材２７に対して着脱自在に構成されこの第１部材２７と結合された状態において第１の保持面２７ｂと対向して所定の装着隙間ｔを形成する第２の保持面２８ｂが設けられた第２部材２８で構成し、スキージ部材１７Ａとバックアップ部材３０Ａとを、第１の保持面２７ａと第２の保持面２８ｂとの間に挟み込んで固定する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレートに対して昇降手段によって板状のスキージ部材を昇降させ、このスキージ部材をスキージ移動手段によって前記マスクプレート上で摺動させるスキージング動作により、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記スキージ部材を保持して前記昇降手段に結合するスキージホルダは、前記昇降手段に結合され前記スキージング動作における前記スキージ部材の進行方向にオーバーハング状態で傾斜した第１の保持面が設けられた第１部材と、前記第１部材に対して着脱自在に構成されこの第１部材と結合された状態において前記第１の保持面と対向して所定の装着隙間を形成する第２の保持面が設けられた第２部材と、前記スキージ部材の背面側および前面側を前記第１の保持面および第２の保持面にそれぞれ保持させた状態で前記第１部材と第２部材とを締結する締結手段と、前記スキージ部材を前記第１部材に固定するスキージ固定手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記スキージ部材の厚みは前記装着隙間に略等しく、前記締結手段が前記スキージ固定手段を兼ねることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記スキージ部材の厚みは前記装着隙間よりも小さく、前記スキージ部材の背面側は前記第１の保持面との間に介装されるバックアップ部材を介して前記第１の保持面によって保持され、前記締結手段が前記スキージ固定手段を兼ねることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記バックアップ部材を前記第１の保持面に固定するバックアップ部材固定手段を備えたことを特徴とする請求項３記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
ペーストが供給されたマスクプレートに対して昇降手段によって板状のスキージ部材を昇降させ、このスキージ部材を移動手段によって前記マスクプレート上で摺動させるスキージング動作により、前記マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置において、前記スキージ部材を保持して前記昇降手段に結合するスキージホルダであって、
前記昇降手段に結合され前記スキージング動作における前記スキージ部材の進行方向にオーバーハング状態で傾斜した第１の保持面が設けられた第１部材と、前記第１部材に対して着脱自在に構成されこの第１部材と結合された状態において前記第１の保持面と対向して所定の装着隙間を形成する第２の保持面が設けられた第２部材と、前記スキージ部材の背面側および前面側を前記第１の保持面および第２の保持面にそれぞれ保持させた状態で前記第１部材と第２部材とを締結する締結手段と、前記スキージ部材を前記第１部材に固定するスキージ固定手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷用のスキージホルダ。
【請求項６】
前記スキージ部材の厚みは前記装着隙間に略等しく、前記締結手段が前記スキージ固定手段を兼ねることを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷用のスキージホルダ。
【請求項７】
前記スキージ部材の厚みは前記装着隙間よりも小さく、前記スキージ部材の背面側は前記第１の保持面との間に介装されるバックアップ部材を介して前記第１の保持面によって保持され、前記締結手段が前記スキージ固定手段を兼ねることを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷用のスキージホルダ。
【請求項８】
前記バックアップ部材を前記第１の保持面に固定するバックアップ部材固定手段を備えたことを特徴とする請求項７記載のスクリーン印刷用のスキージホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にスキージによりクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷用のスキージホルダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じて設けられたパターン孔介して基板上にペーストを印刷するものであり、スキージ部材の下端部をマスクプレートに対して押圧した状態でこのスキージ部材を水平方向に移動させるスキージング動作によって、パターン孔内にペーストを充填させ、このペーストをマスクプレートの下面にセットされた基板に印刷する。スキージ部材としては従来よりウレタンゴムなどの可撓性を有する材質の板状部材が用いられ、スクリーン印刷装置のスキージヘッドに設けられたスキージホルダに挟み込むことによって着脱自在に装着される（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１２２６７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで近年電子部品が実装される基板の種類、すなわち材質や厚み、印刷ピッチのファイン化などによって、スキージングによってペーストを基板に印刷する際の印刷条件が多様化している。このため、スキージ部材を印刷条件に応じて使い分ける必要が生じており、ウレタンゴム製のスキージ部材のほか、プラスチックや金属製のスキージ部材が用いられるようになっている。
【０００４】
しかしながらこれらのスキージ部材はそれぞれ厚みが異なるため、スキージ部材の種類毎に専用のスキージホルダを準備する必要があった。そしてこれらの複数種類のスキージ部材を同一のスクリーン印刷装置に着脱する場合には、スキージホルダ毎交換する必要があることから、スキージホルダを複数種類準備することによる設備コストのアップとともに、スキージホルダ着脱に際し多大の手間と労力を要していた。
【０００５】
そこで本発明は、設備コストを低減するとともに簡略な着脱作業で複数種類のスキージ部材を使い分けることができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷用のスキージホルダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、ペーストが供給された前記マスクプレートに対して昇降手段によって板状のスキージ部材を昇降させ、このスキージ部材をスキージ移動手段によって前記マスクプレート上で摺動させるスキージング動作により、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記スキージ部材を保持して前記昇降手段に結合するスキージホルダは、前記昇降手段に結合され前記スキージング動作における前記スキージ部材の進行方向にオーバーハング状態で傾斜した第１の保持面が設けられた第１部材と、前記第１部材に対して着脱自在に構成されこの第１部材と結合された状態において前記第１の保持面と対向して所定の装着隙間を形成する第２の保持面が設けられた第２部材と、前記スキージ部材の背面側および前面側を前記第１の保持面および第２の保持面にそれぞれ保持させた状態で前記第１部材と第２部材とを締結する締結手段と、前記スキージ部材を前記第１部材に固定するスキージ固定手段とを備えた。
【０００７】
本発明のスクリーン印刷用のスキージホルダは、ペーストが供給されたマスクプレートに対して昇降手段によって板状のスキージ部材を昇降させ、このスキージ部材を移動手段によって前記マスクプレート上で摺動させるスキージング動作により、前記マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置において、前記スキージ部材を保持して前記昇降手段に結合するスキージホルダであって、前記昇降手段に結合され前記スキージング動作における前記スキージ部材の進行方向にオーバーハング状態で傾斜した第１の保持面が設けられた第１部材と、前記第１部材に対して着脱自在に構成されこの第１部材と結合された状態において前記第１の保持面と対向して所定の装着隙間を形成する第２の保持面が設けられた第２部材と、前記スキージ部材の背面側および前面側を前記第１の保持面および第２の保持面にそれぞれ保持させた状態で前記第１部材と第２部材とを締結する締結手段と、前記スキージ部材を前記第１部材に固定するスキージ固定手段とを備えた。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、スキージホルダを第１の保持面が設けられた第１部材と、第１の保持面と対向して所定の装着隙間を形成する第２の面が設けられた第２部材とで構成し、第１の保持面および第２の保持面にスキージ部材の背面側および前面側をそれぞれ保持させた状態で第１部材と第２部材とを締結してスキージ部材を第１部材に固定することにより、共通のスキージホルダによって厚みの異なる複数種類のスキージ部材を保持することができ、設備コストを低減するとともに簡略な作業で複数種類のスキージ部材を使い分けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図、図２は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図３は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図４は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の動作説明図、図５は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージユニットの構成説明図、図６は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージホルダの構成説明図，図７，図８、図９は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージホルダへのスキージ部材の装着状態の説明図である。
【００１０】
まず図１、図２、図３を参照して、スクリーン印刷装置の構造を説明する。図１において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部１の上方にスクリーン印刷機構を配設して構成されている。基板位置決め部１は、Ｙ軸テーブル２、Ｘ軸テーブル３およびθ軸テーブル４を段積みし、更にその上に第１のＺ軸テーブル５、第２のＺ軸テーブル６を組み合わせて構成されている。
【００１１】
第１のＺ軸テーブル５の構成を説明する。θ軸テーブル４の上面に設けられた水平なベースプレート４ａの上面側には、同様に水平なベースプレート５ａが昇降ガイド機構（図示省略）によって昇降自在に保持されている。ベースプレート５ａは、複数の送りねじ５ｃをモータ５ｂによってベルト５ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。
【００１２】
ベースプレート５ａには垂直フレーム５ｅが立設されており、垂直フレーム５ｅの上端部には基板搬送機構８が保持されている。基板搬送機構８は基板搬送方向（Ｘ方向−−図１において紙面垂直方向）に平行に配設された２条の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって印刷対象の基板１０の両端部を支持して搬送する。第１のＺ軸テーブル５を駆動することにより、基板搬送機構８によって保持された状態の基板１０を、基板搬送機構８とともに後述するスクリーン印刷機構に対して昇降させることができる。図２
、図３に示すように、基板搬送機構８は上流側（図２、図３において左側）および下流側に延出し、上流側から搬入された基板１０は基板搬送機構８によって搬送され、さらに基板位置決め部１によって位置決めされる。そして後述するスクリーン印刷機構によって印刷が行われた後の基板１０は、基板搬送機構８によって下流側に搬出される。
【００１３】
第２のＺ軸テーブル６の構成を説明する。基板搬送機構８とベースプレート５ａの中間には、水平なベースプレート６ａが昇降ガイド機構（図示省略）に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート６ａは、複数の送りねじ６ｃをモータ６ｂによってベルト６ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート６ａの上面には、上面に基板１０を保持する下受け面が設けられた基板下受部７が配設されている。
【００１４】
第２のＺ軸テーブル６を駆動することにより、基板下受部７は基板搬送機構８に保持された状態の基板１０に対して昇降する。そして基板下受部７の下受け面が基板１０の下面に当接することにより、基板下受部７は基板１０を下面側から支持する。基板搬送機構８の上面にはクランプ機構９が配設されている。クランプ機構９は、左右対向して配置された２つのクランプ部材９ａを備えており、一方側のクランプ部材９ａを駆動機構９ｂによって進退させることにより、基板１０を両側からクランプして固定する。
【００１５】
次に基板位置決め部１の上方に配設されたスクリーン印刷機構について説明する。図１，図２において、マスク枠１１にはマスクプレート１２が展張されており、マスクプレート１２には、基板１０において印刷対象となる電極１０ａの形状・位置（図３参照）に対応して、パターン孔１２ａが設けられている。マスクプレート１２上にはスキージヘッド１３が配設されている。スキージヘッド１３は、スキージユニット１６を昇降させるスキージ昇降機構１５を、水平なプレート１４に配設した構成となっている。スキージユニット１６には板状のスキージ部材１７が着脱自在に装着されている。スキージ昇降機構１５を駆動することによりスキージユニット１６は昇降し、これにより、スキージ部材１７がマスクプレート１２の上面に当接する。スキージ昇降機構１５は、スキージ部材１７を昇降させる昇降手段となっている。
【００１６】
図２に示すように、縦フレーム２１上にはガイドレール２２がＹ方向に配設されており、ガイドレール２２にスライド自在に嵌合したスライダ２３は、ブロック２４を介してプレート１４の両端に結合されている。これにより、スキージヘッド１３はＹ方向にスライド自在となっている。プレート１４は、ナット２６、送りねじ２５および送りねじ２５を回転駆動するスキージ移動用モータ（図示省略）より成るスキージ移動手段によりＹ方向に水平移動する。
【００１７】
図３に示すように、マスクプレート１２の下面側には、ヘッドＸ軸移動機構１９およびヘッドＹ軸移動機構２０が設けられており、ヘッドＸ軸移動機構１９には、カメラユニットおよびクリーニングユニット（図示省略）が装着されている。カメラユニットはマスクプレート１２の下面を撮像するマスク認識用カメラと基板１０を撮像する基板認識用カメラとを備えており、ヘッドＸ軸移動機構１９およびヘッドＹ軸移動機構２０によって水平移動する。クリーニングユニットは同様にヘッドＸ軸移動機構１９およびヘッドＹ軸移動機構２０によって水平移動し、マスクプレート１２の下面をクリーニングペーパによってクリーニングする。
【００１８】
次にスクリーン印刷機構による印刷動作について。図４を参照して説明する。まず基板搬送機構８によって基板１０が印刷位置に搬入されると、図４（ａ）に示すように、第２のＺ軸テーブル６を駆動して基板下受部７を上昇させ、基板１０の下面を下受けする。そしてこの状態で基板１０をクランプ部材９ａによって挟み込んで固定し、基板位置決め部
１を駆動して基板１０をマスクプレート１２に対して位置合わせする。
【００１９】
この後、図４（ｂ）に示すように、第１のＺ軸テーブル５を駆動して基板１０を基板下受部７とともに上昇させてマスクプレート１２の下面に当接させる。そしてこの状態で、ペーストであるクリーム半田１８が供給されたマスクプレート１２上でスキージ１６を摺動させるスキージング動作を行うことにより、クリーム半田１８はスキージ部材１７によって掻き寄せられる。これによりパターン孔１２ａを介して基板１０にクリーム半田１８が印刷される。
【００２０】
次に図５〜図９を参照して、スキージヘッド１３に装着されるスキージユニット１６の構造を説明する。図５（ａ）において、プレート１４の上面に配設されたスキージ昇降機構１５は下部から下方に延出する昇降軸１５ａを有しており、昇降軸１５ａの下端部には装着部１５ｂが結合されている。装着部１５ｂには、スキージ部材１７が保持されたスキージユニット１６が装着される。
【００２１】
スキージヘッド１３には、同一構成の１対のスキージユニット１６が相対向した姿勢で装着され、マスクプレート１２におけるスキージング動作方向に応じていずれかのスキージユニット１６を下降させてスクリーン印刷動作を行う。すなわち矢印ａ方向にスキージング動作を行う場合には左側のスキージユニット１６を下降させ、矢印ｂ方向にスキージングを行う場合には右側のスキージユニット１６を下降させてスキージング動作を行う。
【００２２】
ところで近年電子部品が実装される基板の種類、すなわち材質や厚み、印刷ピッチのファイン化などによって、スキージングによってペーストを基板に印刷する際の印刷条件が多様化している。このため同一のスクリーン印刷装置において多種類の基板を作業対象とすることができるよう、スキージヘッド１３に装着されるスキージ部材１７を印刷条件に適したものに交換する必要がある。本実施の形態のスクリーン印刷装置においては、図５（ｂ）に示すように、装着部１５ｂに結合されるスキージユニット１６のうち、スキージ部材１７のみを交換することができるようにしている。
【００２３】
図６は、スキージユニット１６からスキージ部材１７を取り外した状態のスキージユニット１６、すなわち、スキージ部材１７を保持して前述の昇降手段に結合するスキージホルダ１６ａの構成を示している。図６（ａ）に示すようにスキージホルダ１６ａは、装着部１５ｂに結合される第１部材２７に、第２部材２８をボルト２９によって締結固定した構造となっている。
【００２４】
図６（ｂ）に示すように、装着部１５ｂに結合される第１部材２７には、スキージング動作におけるスキージ部材１７の進行方向にオーバーハングした状態の第１の締結面２７ａ、第１の保持面２７ｂが設けられている。第１の締結面２７ａには、第２部材２８に設けられた第２の締結面２８ａが当接し、この状態でボルト２９によって第２部材２８を第１部材２７に締結することにより、スキージホルダ１６ａが形成される。第２部材２８には、第２の保持面２８ｂが設けられている。第２部材２８を第１部材２７と締結した状態において、第２の保持面２８ｂは第１の保持面２７ｂと平行に対向し、第１の保持面２７ｂとの間に、図６（ａ）に示すように、所定の装着隙間ｔを形成する。
【００２５】
ウレタンゴム製で厚みｔがスキージホルダ１６ａの装着隙間ｔと等しいスキージ部材１７をスキージホルダ１６ａに保持させる際には、図７（ａ）に示すように、この装着隙間ｔの間にスキージ部材１７を挟み込んで、ボルト２９の締結力により固定する。このとき、図７（ｂ）に示すように、スキージ部材１７の背面１７ｂ側および前面１７ａ側を、第１の保持面２７ｂおよび第２の保持面２８ｂにそれぞれ保持させた状態で、第１部材２７と第２部材２８とを締結手段としてのボルト２９によって締結する。
【００２６】
これにより、スキージ部材１７はスキージ昇降機構１５に結合された第１部材２７に固定される。なお、スキージ部材１７の背面１７ｂ、前面１７ａとは、マスクプレート１２上でスキージ部材１７を移動させてスキージング動作を行う際の進行方向側を前面とし、その反対方向側を背面と定義している。図７に示す例においては、スキージ部材１７の厚みは装着隙間ｔに等しく、第１部材２７と第２部材２８を締結する締結手段が、スキージ部材１７を第１部材２７に固定するスキージ固定手段を兼ねる形態となっている。
【００２７】
図８は、樹脂製で厚みｔ１がウレタンゴム製のスキージ部材１７よりも小さいスキージ部材１７Ａを、図６に示すスキージホルダ１６ａに保持させる際の装着方法を示している。この場合には、スキージ部材１７Ａ単独では装着隙間ｔによってスキージ部材１７Ａを保持することができないため、図８（ａ）に示すように、この装着隙間ｔの間にスキージ部材１７Ａとともに、ｔ１＋ｔ２＝ｔとなるような厚みｔ２のバックアップ部材３０Ａを挟み込んだ状態で、同様にボルト２９の締結力により固定する。このとき、図８（ｂ）に示すように、スキージ部材１７Ａの前面側に第２の保持面２８ｂを直接当接させ、背面側にバックアップ部材３０Ａを当接させる。
【００２８】
図９は、金属製で厚みｔ３が上述のｔ１よりもさらに小さいスキージ部材１７Ｂを、スキージホルダ１６ａに保持させる際の装着方法を示している。この場合にも、スキージ部材１７Ｂ単独では装着隙間ｔによってスキージ部材１７Ｂを保持することができないため、図９（ａ）に示すように、この装着隙間ｔの間にスキージ部材１７Ｂとともに、ｔ３＋ｔ４＝ｔとなるような厚みｔ４のバックアップ部材３０Ｂを挟み込んだ状態で、同様にボルト２９の締結力により固定する。このとき、図９（ｂ）に示すように、スキージ部材１７Ｂの前面側に第２の保持面２８ｂを直接当接させ、背面側にバックアップ部材３０Ｂを当接させる。
【００２９】
すなわち図８、図９に示す例においては、スキージ部材１７Ａ，１７Ｂの厚みはいずれも装着隙間ｔよりも小さく、スキージ部材１７Ａ，１７Ｂの背面側は第１の保持面２７ｂとの間に介装されるバックアップ部材３０Ａ、３０Ｂを介して第１の保持面２７ｂによって保持され、第１部材２７と第２部材２８を締結する締結手段が、スキージ部材１７Ａを第１部材２７に固定するスキージ固定手段を兼ねる形態となっている。
【００３０】
スキージユニット１６においてスキージを保持するスキージホルダ１６ａを上記のように構成することにより、従来装置のようにスキージ部材の種類毎に専用のスキージホルダを準備する必要がなく、単一のスキージホルダを共通に使用することができ、設備コストの低減を図ることができる。また、共通のスキージホルダ１６ａを使用できることにより、スキージ交換の都度スキージユニット１６全体を取り外すことなく、スキージ部材のみを抜き差しして交換するのみで良いことから、スキージ交換の手間と労力の低減が実現されている。
【００３１】
なお、図８，図９に示す例において、バックアップ部材３０Ａ，バックアップ部材３０Ｂからスキージ部材１７Ａ、スキージ部材１７Ｂがバックアップされずに延出する長さＬａ．Ｌｂを適切に設定することにより、スキージホルダ１６ａに保持された状態におけるスキージ部材１７Ａ、スキージ部材１７Ｂの剛性を印刷条件に適した最適な状態に設定することができるという利点がある。
【００３２】
さらに図８，図９に示す例においては、バックアップ部材３０Ａとスキージ部材１７Ａとを、またはバックアップ部材３０Ｂとスキージ部材１７Ｂとを、いずれも第１部材２７と第２部材２８によって挟み込んで固定する例を示したが、予めバックアップ部材３０Ａ，３０Ｂを第１部材２７にねじ締結などの固定手段によって固定しておいてもよい。この
方法によれば、摩耗などによってスキージ部材１７Ａ、１７Ｂを新たに交換する必要がある場合において、ボルト２９を緩めるだけでスキージ部材１７Ａ、１７Ｂを抜き差しして交換することができ、作業を簡略化することができる。すなわち、この例においては、バックアップ部材３０Ａ，３０Ｂを第１の保持面第１の保持面２７ｂに固定するバックアップ部材固定手段を備えた構成となっている。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷用のスキージホルダは、低設備コストおよび簡略な着脱作業で複数種類のスキージ部材を使い分けることができるという効果を有し、基板にスキージによりクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する用途に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図
【図４】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の動作説明図
【図５】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージユニットの構成説明図
【図６】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージホルダの構成説明図
【図７】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージホルダへのスキージ部材の装着状態の説明図
【図８】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージホルダへのスキージ部材の装着状態の説明図
【図９】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のスキージホルダへのスキージ部材の装着状態の説明図
【符号の説明】
【００３５】
１  基板位置決め部
１０  基板
１２  マスクプレート
１２ａ  パターン孔
１３  スキージヘッド
１５  スキージ昇降機構
１６  スキージユニット
１６ａ  スキージホルダ
１７、１７Ａ、１７Ｂ  スキージ部材
２７  第１部材
２７ｂ  第１の保持面
２８  第２部材
２８ｂ  第２の保持面
３０Ａ、３０Ｂ  バックアップ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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