(57)【要約】【課題】  フィルム剥離中に基板の端部の折れ曲がりが発生しないフィルム剥離装置を提供する。  【解決手段】  補助剥離装置４での補助剥離後に、クランプ部１０の先端に露出部９１が到来した時に、プリント配線基板９０の送りを停止し、露出部９１をクランプ部１０によりクランプし、クランプ部１０を保持しているスライド部１１を搬送方向にスライドさせ、粘着ローラ２を回転させてフィルム９３を貼り付かせて、フィルム９３の先端部分を剥離する。そして露出部９１の把持を解放し、搬送ローラ５５を駆動し、粘着ローラ２も回転駆動して、フィルム９３の剥離を継続する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一面にフィルムが貼着され、該フィルム貼着面の少なくとも一端部にはフィルムが貼着されていない露出部を有する対象物の該フィルムを剥離するためのフィルム剥離装置であって、
前記露出部を掴むクランプ機構と、
前記フィルムを粘着する粘着体と、
前記クランプ機構を移動させ、前記粘着体に粘着するフィルムを対象物から剥がす、移動装置と、
を備えたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
少なくとも一面にフィルムが貼着され、該フィルム貼着面の少なくとも一端部にはフィルムが貼着されていない露出部を有する板状体の該フィルムを剥離するためのフィルム剥離装置であって、
前記板状体を搬送する搬送装置と、
該搬送装置により搬送される板状体の前記フィルムに粘着する回転可能な粘着ローラと、
該搬送装置により搬送される板状体の前記露出部を掴むクランプ機構と、
前記クランプ機構を前記搬送方向に移動させる移動装置と、を備え、
前記移動装置によるクランプ機構の移動により、前記粘着ローラの回転と共に該粘着ローラに粘着するフィルムを対象物から剥がす、
ことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
前記対象物が、プリント配線基板である、
請求項１のフィルム剥離装置。
【請求項４】
前記板状体が、プリント配線基板である、
請求項２のフィルム剥離装置。
【請求項５】
前記クランプ機構の移動により、前記フィルムがその端部から所定長さのみ剥がされる、
請求項１又は２又は３又は４のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プリント配線基板等のドライフィルムフォトレジスト等の表面に装着されているポリエステルカバーフィルム等のフィルムを剥離するためのフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板などに回路を形成する際に、ＩＣ製造技術に用いられているリソグラフィ法が近年用いられるようになってきている。その際に基板上に塗布されるフォトレジストとしてドライフィルムフォトレジストが使用されるようになってきている。そして、該フォトレジストの上にポリエステル製の保護用のカバーフィルムが貼着されるのが普通である。
このフィルムは、フォトレジスト上に回路パターンを焼き付ける露光工程の後に剥す必要があり、従来からこの種のフィルムを自動的に効率よく剥離する装置の開発が試みられている。
その中の１つに本願出願人により提案された特開２００２−２１１８３６号に開示されたものが知られている。この発明では、表面に凹凸が設けられたローレットローラによりフィルム端部を引っかけて部分的に剥離部を形成し、ここから基板を搬送ローラにより搬送しつつ粘着ローラにより剥離を行う構成になっている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２１１８３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、近年プリント配線基板の厚さが減少する傾向があり、また粘着ローラの粘着力にバラツキがあることから、フィルム剥離中に基板の端部が折れ曲がったり、装置内に巻き込まれたりする事故が発生する問題があった。
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも一面にフィルムが貼着され、該フィルム貼着面の少なくとも一端部にはフィルムが貼着されていない露出部を有する対象物の該フィルムを剥離するためのフィルム剥離装置であって、前記露出部を掴むクランプ機構と、前記フィルムを粘着する粘着体と、前記クランプ機構を移動させ、前記粘着体に粘着するフィルムを対象物から剥がす、移動装置と、  を備えたことを特徴とする。
クランプ機構により対象物を引っ張るため、対象物の折れ曲がり等を防止でき、安定したフィルム剥離が可能である。
また請求項２の発明は、少なくとも一面にフィルムが貼着され、該フィルム貼着面の少なくとも一端部にはフィルムが貼着されていない露出部を有する板状体の該フィルムを剥離するためのフィルム剥離装置であって、前記板状体を搬送する搬送装置と、該搬送装置により搬送される板状体の前記フィルムに粘着する回転可能な粘着ローラと、該搬送装置により搬送される板状体の前記露出部を掴むクランプ機構と、前記クランプ機構を前記搬送方向に移動させる移動装置と、を備え、前記移動装置によるクランプ機構の移動により、前記粘着ローラの回転と共に該粘着ローラに粘着するフィルムを対象物から剥がす、ことを特徴とする。
上記構成の場合も同様に、クランプ機構により板状体を引っ張るため、板状体の折れ曲がり等を防止でき、安定したフィルム剥離が可能である。
前記対象物及び板状体として、プリント配線基板を最も典型的なものとして挙げることができる。
また前記クランプ機構の移動による前記フィルムの剥離は、その端部から所定長さのみ剥がせば良く、全てをクランプ機構による剥離とする必要はない。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のフィルム剥離装置によれば、対象物の折れ曲がり等を防止できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２において、プリント配線基板９０は搬入コンベア５０により装置本体Aに搬入され、ここでフィルム９３の剥離が行われ、搬出コンベア５１により搬出されて、次工程に送られるように構成されている。
搬入コンベア５０と搬出コンベア５１は複数の搬送ローラ５５を備えており、搬送ローラ５５を回転駆動して、その上に載置されたプリント配線基板９０を搬送するように構成されている。
【０００８】
装置本体Aの搬入コンベア５０側には補助剥離装置４が設けられており、フィルム端部９４の表面にローレットローラなどにより凹凸を形成し、剥離し易い剥離開始部を形成するようになっている。この補助剥離装置４としては、例えば特開２００２−２１１８３６号公報に開示されたローレットローラなどの構成を採用することが可能である。
【０００９】
装置本体Aは粘着ローラ２を備えており、この粘着ローラ２によりフィルム９３を剥がすように構成されている。粘着ローラ２はプリント配線基板９０の表裏に対向するように１対設けられており、プリント配線基板９０の表裏に貼着されたフィルム９３を剥がすことが可能になっている。剥がされたフィルム９３は平ベルト装置３により排出される。
粘着ローラ２は図２に示すように、プリント配線基板９０の幅方向に４個設けられており、表裏で合計８個設けられている。
【００１０】
平ベルト装置３は、粘着ローラ２に同軸に設けられた平ベルトプーリ３１を有し、この平ベルトプーリ３１と上方に設けられた他の平ベルトプーリ３１との間に平ベルト３３が巻き掛けられている。また粘着ローラ２の搬出コンベア５１側に平ベルトプーリ３２が設けられ、同様に上方に設けられた平ベルトプーリ３２との間に平ベルト３４が巻き掛けられている。この平ベルト３３と平ベルト３４により粘着ローラ２で剥がされたフィルム９３を挟んで、排出するようになっている。平ベルト３３と平ベルト３４は幅方向に複数本設けられている。
上記構成の平ベルト装置３は同様にプリント配線基板９０の表裏に設けられている。
【００１１】
粘着ローラ２の搬出コンベア５１側にクランプ装置１が設けられている。クランプ装置１は装置本体Aに装着され、装置本体Aに対して上下方向に昇降可能な基台１２を有している。そして基台１２にはプリント配線基板９０搬送方向にスライド可能にスライド部１１が設けられ、このスライド部１１の先端にクランプ部１０が設けられている。
基台１２は図３に示すように幅方向の両端に一対設けられ、この基台１２、１２間にスライド部１１がプリント配線基板９０の搬送方向及び逆方向にスライド可能に設けられている。スライド部１１の幅方向に複数のクランプ部１０（この実施形態では５個）が設けられ、スライド部１１と共にスライド可能になっている。
粘着ローラ２とクランプ部１０の幅方向位置は互いに干渉しない位置に配置されており、５個のクランプ部１０の間に４個の粘着ローラ２が位置するようになっている。
【００１２】
クランプ部１０は図４乃至図７に示すように、粘着ローラ２の搬出コンベア５１側に位置するように設けられており、プリント配線基板９０の先端の露出部９１を把持するようになっている。クランプ部１０の掴み動作を行うための機構は、種々のものが可能であり、この実施形態ではペンチ形状の一対の回動片１９により露出部９１を表裏から挟んで把持するようになっている。
【００１３】
図４に示すように、プリント配線基板９０にはフォトレジスト９２が被覆され、更にその上にフィルム９３が貼着されているが、プリント配線基板９０の先端部にはフォトレジスト９２とフィルム９３がない露出部９１が形成される。クランプ部１０はこの露出部９１を掴むため、プリント配線基板９０に損傷などを与える危険がない。
【００１４】
クランプ部１０により露出部９１を掴んだら、スライド部１１を搬送方向にスライドさせてプリント配線基板９０を引っ張って、移動させる。これにより、図７に示すようにフィルム９３は粘着ローラ２に張り付いてプリント配線基板９０から剥がされる。
また、プリント配線基板９０はクランプ部１０により引っ張られるから、プリント配線基板９０が薄くても、また粘着ローラ２の粘着力にバラツキがあっても、フィルム剥離中にプリント配線基板９０の端部が折れ曲がることがなく、プリント配線基板９０が装置内に巻き込まれたりする事故の発生を防止することが可能である。
クランプ装置１のスライド長さは１５０ｍｍ程度又はそれ以上で良い。０．０５ｍｍ未満の薄いプリント配線基板９０であっても、１５０〜１８０ｍｍ程度引っ張れば、その後は搬送ローラ５５の送りのみで安定した剥離が行える。
クランプ部１０とスライド部１１は所定距離スライド後、基台１２の上昇により上方に待避するように構成されている。
【００１５】
剥がされたフィルム９３は、平ベルト装置３により排出される。プリント配線基板９０の表面側（上側）のフィルム９３は、図２に示すように平ベルト３３、３４により上方のフィルム収納ダクト６１に運搬され、送風装置（図示せず）による送風によりフィルム収納ダクト６１内を移動してフィルム収納カゴ６０に回収される。
一方、プリント配線基板９０の裏側（下側）のフィルム９３は、平ベルト装置３によりフィルム収納カゴ６０に落とされて回収される。
【００１６】
なお、搬入コンベア５０と搬出コンベア５１の搬送ローラ５５と粘着ローラ２、は駆動装置（図示せず）により駆動されるようになっており、その周速は同じになっている。またクランプ装置１のスライド速度もこの周速と同一に調整されている。
また、上記実施形態ではクランプ装置１は幅方向に５つ設けてあり、プリント配線基板９０の幅に合わせて使用するクランプ装置１の数を増減するように構成しているが、その設置数の増減は適宜可能である。また、クランプ装置１の幅を広くすることも可能であり、プリント配線基板９０の折れ曲がり防止の点ではプリント配線基板９０と同幅とすることが好ましい。上記実施例では、粘着ローラ２との干渉を避けるために、分割して５個設けている。
【００１７】
次に動作を説明する。
搬入コンベア５０によりプリント配線基板９０を搬送し、図１に示す補助剥離装置４で一度停止し、補助的な剥離を実行する。この動作の詳細は例えば特開２００２−２１１８３６号公報に開示されている。
補助剥離後に、図５に示すように搬入コンベア５０で更にプリント配線基板９０を送り、クランプ部１０の先端に露出部９１が到来した時に、プリント配線基板９０の送りを停止し、露出部９１をクランプ部１０によりクランプする（図６）。そして、クランプ部１０を保持しているスライド部１１を搬送方向に１５０〜１８０ｍｍ程度スライドさせ、同時に粘着ローラ２を回転させ、粘着ローラ２にフィルム９３を貼り付かせて、フィルム９３の先端部分を剥離する。
【００１８】
所定距離スライドさせたら、クランプ部１０をアンクランプして、露出部９１の把持を解放し、基台１２を上昇させてクランプ部１０を待避させる。そして、搬入コンベア５０と搬出コンベア５１の搬送ローラ５５を駆動し、粘着ローラ２も回転駆動して、フィルム９３の剥離を継続する。
プリント配線基板９０が粘着ローラ２を通過した時点で、フィルム９３の剥離は完了し、プリント配線基板９０はそのまま搬送ローラ５５により搬送されて次工程に送られる。
剥離したフィルム９３は平ベルト装置３により排出される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態を示す正面図。
【図２】本発明の一実施形態を示す右側面図。
【図３】本発明の一実施形態を示す平面図。
【図４】本発明の一実施形態におけるクランプ装置１の拡大図。
【図５】本発明の一実施形態の動作説明図。
【図６】本発明の一実施形態の動作説明図。
【図７】本発明の一実施形態の動作説明図。
【符号の説明】
【００２０】
１：クランプ装置、２：粘着ローラ、３：平ベルト装置、４：補助剥離装置、９：制御装置、１０：クランプ部、１１：スライド部、１２：基台、１９：回動片、３１：平ベルトプーリ、３２：平ベルトプーリ、３３：平ベルト、３４：平ベルト、５０：搬入コンベア、５１：搬出コンベア、５５：搬送ローラ、６０：フィルム収納カゴ、６１：フィルム収納ダクト、９０：プリント配線基板、９１：露出部、９２：フォトレジスト、９３：フィルム、９４：フィルム端部。
【図１】
2007254030.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2007254030.tif 000006
【図５】
2007254030.tif 000007
【図６】
2007254030.tif 000008
【図７】
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