(57)【要約】【課題】複数の共通液室を分離するために用いられる封止剤が、ノズルへと漏出するのを抑制すると共に、ノズルの高密度化を安価かつ容易に実現することができるインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供する。【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、同一基板１上に複数の共通液室を有する。共通液室は、基板１上に固定される第１の部材５と、その上面に封止剤を介して当接する第２の部材８と、その上面に封止剤を介して当接する第３の部材２とにより形成される。第１の部材５には、インク吐出用のノズルに連通する複数の下層液室６ｆが形成され、第３の部材２には複数の下層液室６ｆに対応する複数の上層液室２ａが形成される。各下層液室６ｆとこれに対応する各上層液室２ａとは、第２の部材８に形成された複数の開口部８ａのみによって連通し、各共通液室間でのインクの流通は封止剤によって遮断される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク吐出用のノズルに連通する共通液室を同一基板上に複数形成した記録ヘッドにおいて、
前記基板上に固定される第１の部材と、
前記第１の部材の上面に当接する第２の部材と、
前記第２の部材の上面に封止剤を介して当接する第３の部材と、を有し、
前記第１の部材により前記ノズルに連通する下層液室を形成すると共に、前記第３の部材により前記複数の下層液室に対応する複数の上層液室を形成し、
前記各下層液室とこれに対応する各上層液室とを、前記第２の部材に形成した複数の開口部のみによって連通させることにより、互いにインクの流通が遮断される複数の共通液室を形成したことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記第１の部材の上面とこれに当接する前記第２の部材の下面の少なくとも一方に、封止剤が充填される第１の封止剤充填溝を形成したことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記第１の封止剤充填溝は、少なくとも前記各共通液室を分割する分離領域に形成されていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記第１の封止剤充填溝の一端部は、前記第１の部材に形成されるノズルの吐出口形成面と対向する面において開口し、この開口から前記封止剤充填溝内に前記封止剤が導入されることを特徴とする請求項２または３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記第２の部材の上面と、これに当接する前記第３の部材の下面の少なくとも一方に、前記封止剤が充填される第２の封止剤充填溝を形成したことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記第１の部材の上面の平面度と前記第２の部材の下面の平面度との差が、前記第２の部材の平面度と前記第３の部材の下面の平面度との差より小さいことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記封止剤充填溝内の空気を前記封止剤充填溝外に排出させる排気部を形成したことを特徴とする請求項２ないし６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記排気部は、前記第１の部材によって形成される吐出口形成面とその近傍に位置する前記第１の封止剤充填溝の端部とを連通させる排気孔により構成されることを特徴とする請求項７のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記排気部は、前記第１の封止剤充填溝の他端部と共通液室とを連通させる通気孔によって形成されることを特徴とする請求項７に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
前記排気部は、前記第１の封止剤充填溝を形成する壁体部の外面に沿って延出する長尺な排気流路によって形成され、前記通気流路の一端部は前記液路に連通することを特徴とする請求項９に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
前記分割領域は、前記吐出口形成面に連なる面を形成する第１の壁体部と、第１の壁体部と交差する方向に沿って延在する相対向する一対の第２の壁体部とを有し、
前記排気部は、第１の壁体部の内面と前記各第２の壁体部の端部との間に形成される間隙によって形成されることを特徴とする請求項７または９に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１２】
前記分割領域は、前記吐出口形成面に連なる面を形成する第１の壁体部と、第１の壁体部と交差する方向に沿って延在する相対向する一対の第２の壁体部と、前記各第２の壁体部と平行する第３の壁体部とを有し、
前記第１の壁体部および第３の壁体部と、前記第２の壁体部との間に形成される間隙によって前記排気部を形成したことを特徴とする請求項７または１０に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１３】
複数の共通液室に異なる種類のインクを供給することを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１４】
インク吐出用のノズルに連通する共通液室を同一基板上に複数形成した記録ヘッドの製造方法であって、
前記基板上に、第１の部材を固定し、
前記第１の部材に、前記ノズルと、このノズルに連通する複数の下層液室を形成し、
前記第１の部材の上面に第２の部材を当接させ、
前記複数の下層液室に対応する複数の上層液室を形成した第３の部材を、前記第２の部材の上面に封止剤を介して当接させ、
前記各下層液室とこれに対応する各上層液室とを、前記第２の部材に形成した複数の開口部のみによって連通させることにより、互いにインクの流通が遮断される複数の共通液室を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
請求項１ないし１３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを用いて記録動作を行うことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数種のインクを吐出して記録媒体への記録を行うインクジェット記録ヘッドおよびこれを備えたインクジェット記録装置、並びにインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、記録ヘッドに設けられた複数の吐出口からそれぞれ微細なインク滴を吐出し、そのインク滴を記録媒体上に付着させて記録を行う。このため、インクジェット記録装置は、ランニングコストが低く、記録時の静粛性に優れ、さらには複数色のインクを用いることによって比較的容易にカラーでの記録を行えるというメリットがある。また、インク滴を吐出するための圧力発生素子としてヒータなどの気泡発生素子を用いた、いわゆるバブルジェット（登録商標）方式は、気泡発生素子を高密度に配列することが比較的容易なため、高解像度の記録を行うのに有利な方式となっている。
【０００３】
インクジェット記録装置によるカラーの記録は、使用するインクの種類と同数の記録ヘッドを装置内に備えることで実現することができる。しかし、この場合には、個別の記録ヘッドを設けることにより、記録装置の大型化およびコストの増大を招くという問題がある。この問題を解決する方法として特許文献１には、単一の記録ヘッドから複数色のインクを吐出するように構成したものが開示されている。
【０００４】
図１４は、この特許文献１における記録ヘッドの共通液室の構造を示す縦断正面図である。ここに示される記録ヘッドは、シリコン基板上に電気熱変換体が配列されたヒータボード１００と、樹脂製の溝付天板１３０とを組み合わせた構成となっている。具体的には、ヒータボード１００の上面に、凹部の形成された溝付天板１３０が圧接しており、このヒータボード１００と溝付天板１３０とによって複数の区画された共通液室１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ，１１０ｄが形成されている。この複数の液室には、異なる種類のインクが供給されるため、各共通液室間でのインクの浸透・拡散を遮断する必要がある。そこで、溝付天板１３０とヒータボード１００との接触部に分離溝１１３ａ，１１３ｂ，１１３ｃを形成し、この分離溝内に封止剤１２０を導入することによって、各共通液室間でのインクの浸透・拡散を遮断している。また、溝付天板１３０には、各共通液室１１０ａ〜１１０ｄに連通するインク流路および吐出口が所定の密度で形成されており、各インク流路内には電気熱変換体が配置されている。なお、以下の説明においては、インク流路、吐出口および発泡素子を含めてノズルと称す。
【０００５】
この特許文献１によれば、単一の記録ヘッドから複数種のインクを吐出することが可能となり、記録ヘッドを小型かつ低コストで製造することができる。また、この記録ヘッドを用いることにより、記録装置の大型化を回避することも可能となる。
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１４８９２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の記録ヘッドは、シリコン基板からなるヒータボード１００の上面に、樹脂製の溝付天板１３０を当接させた構造となっていることから、次のような問題が生じる。  
すなわち、シリコン基板によって構成されたヒータボード１００は、溝付天板１３０との接触面を比較的高い平面度で形成することが可能である。これに対し、溝付天板１３０は樹脂製であるため、ヒータボード１００との当接面の平面度をヒータボードと同程度に製造することは困難である。従って、ヒータボード１００と溝付天板１３０との各接触面における平面度には差が生じる。このため、ヒータボード上に溝天部材を押圧させた場合、ヒータボード１００と溝付天板１３０との接触面の間には隙間ができ、分離溝に流し込まれた封止剤が、その隙間から液路側に漏れ出すことがある。このような事態が生じた場合、封止剤によって液路が塞がれてノズルからのインク吐出が適正に行われなくなる。さらに、液路内に漏れ出した封止剤は、液路の毛管力によって吐出口から記録ヘッドの吐出口形成面側へと漏れ出すこともある。この場合、漏れ出した封止剤が吐出口形成面に固着して、吐出口形成面の平滑性が低下したり、吐出口形成面の濡れ性が不均一になったりする。これは、ノズルから吐出されるインクの着弾精度を低下させる要因となる。さらに、前述のように樹脂による溝天部材の加工精度には限界があるため、分離溝の構成が微細になると加工が非常に困難になるという問題も生じる。
【０００８】
本発明は、上記のような従来の問題を解消することを目的としてなされたものである。すなわち、本発明は、複数の共通液室を分離するために用いられる封止剤が、ノズルへと漏出するのを抑制すると共に、ノズルの高密度化を安価かつ容易に実現することができるインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は以下の構成を有する。  
すなわち、本発明の第１の形態は、インク吐出用のノズルに連通する共通液室を同一基板上に複数形成した記録ヘッドにおいて、前記基板上に固定される第１の部材と、前記第１の部材の上面に封止剤を介して当接する第２の部材と、前記第２の部材の上面に封止剤を介して当接する第３の部材と、を有し、前記第１の部材により前記ノズルに連通する下層液室を形成すると共に、前記第３の部材により前記複数の下層液室に対応する複数の上層液室を形成し、前記各下層液室とこれに対応する各上層液室とを、前記第２の部材に形成した複数の開口部のみによって連通させることにより、互いにインクの流通が遮断される複数の共通液室を形成したことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の第２の形態は、インク吐出用のノズルに連通する共通液室を同一基板上に複数形成した記録ヘッドの製造方法であって、前記基板上に、第１の部材を固定し、前記第１の部材に、前記ノズルと、このノズルに連通する複数の下層液室を形成し、前記第１の部材の上面に封止剤を介して第２の部材を当接させ、前記複数の下層液室に対応する複数の上層液室を形成した第３の部材を、前記第２の部材の上面に封止剤を介して当接させ、前記各下層液室とこれに対応する各上層液室とを、前記第２の部材に形成した複数の開口部のみによって連通させることにより、互いにインクの流通が遮断される複数の共通液室を形成することを特徴とする。
【００１１】
本発明の第３の形態は、上記各形態のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを用いて記録動作を行うことを特徴とするインクジェット記録装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明においては、下層液室を形成する第１の部材と、上層液室を形成する第３の部材との間に平面度の差が生じていた場合にも、第１の部材の上面に接する第２の部材の平面度を第１の部材の平面度に合わせて形成することが可能となる。このため、ノズルが形成される下層液室内に各液室間の分離を行う封止剤が漏出することはなくなり、信頼性に優れたインクジェット記録ヘッドを提供することができる。また、ノズルが形成されない上層液室においては、ノズルの高密度化が進んでも特別に高い加工精度を要求されず、しかも封止剤の漏出について下層液室ほど厳密性を要求されることはない。従って、例えば、樹脂によるモールド成形などによって比較的低コストに形成することが可能となり、インクジェット記録ヘッドの製造コストを抑えることができ、製造工程も簡略化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。  
（第１の実施形態）
図１は本発明が適用されたインクジェット記録ヘッドＨ（以下、単に記録ヘッドと称す）を示す斜視図である。  
図１において、１は記録ヘッドＨの底部を構成するセラミックプレート１である。このセラミックプレート１上には、インク滴の吐出を行う吐出エレメント４と、この吐出エレメント４の左右両側面部および上面部を覆う流路形成部材（第３の部材）２が配置されている。この記録ヘッドＨには、インクを吐出するノズルが所定の密度で複数個配列されると共に、各ノズルに連通する複数個の共通液室（図１には図示せず）が形成されている。各共通液室には、図外のインクタンクから供給される複数種のインクが、流路形成部材２に設けられたインク供給口３ａを通じて供給され、各共通液室に供給されたインクは、各共通液室に連通するインク流路内（図１には図示せず）へと導かれる。各インク流路内には、インクを加熱して気泡を発生させる気泡発生素子（図１には図示せず）が配置されている。この気泡生成時の圧力により流路内のインクはインク吐出口（図１には図示せず）から外方へと吐出される。
【００１４】
次に、図２の分解斜視図に基づき、記録ヘッドＨの内部構造をより詳細に説明する。  
セラミックプレート１の上方に設けられた吐出エレメント４は、セラミックプレート１の上面に固定されるヒータボード（基板）５と、このヒータボード５の上面に固定されるノズル壁形成部（第２の部材）６と、このノズル壁形成部６の上面に固定された分離板（第３の部材）８とにより構成されている。
【００１５】
ヒータボード５は、シリコン基板上に発泡素子としての電気熱変換素子（ヒータ）を複数配列したものとなっている。また、ノズル壁形成部６にはインク滴を吐出するノズルを構成する吐出口６ａと、これに連通する液路６ｂとが、所定の密度で複数配列されると共に、液路６ｂに連通する複数の開口部６ｃ（図では、４個の開口部が）形成されている。これらの開口部６ｃは、下方に位置するヒータボード５の上面と共に上方が開口した空間６ｆをそれぞれ形成している。さらに、ノズル壁形成部６には、各開口部６ｃを分離する分割部６ｄの上面に、第１の封止剤充填溝６ｅが形成されている。
【００１６】
分離板８はシリコン基板によって構成され、ノズル壁形成部６の下面をノズル壁形成部６の上面に密着させた後、熱および圧力を掛けて固定される。また、第１の封止剤充填溝６ｅには、記録ヘッドを構成する各部材が組立られた後、封止剤が充填される。また、この分離板８には、ノズル壁形成部６に形成された各開口部６ｃに連通する複数個（４個）の開口部８ａが形成されている。各開口部８ａは、分離板８がノズル壁形成部６の上面に固定された状態で、ノズル壁形成部６の各開口部６ｃに連通する。また、分離板８の上面には、各開口部８ａの間に位置する分割領域８ｂに第２の封止剤充填溝８ｃが形成されると共に、各開口部８ａの一辺に沿って第２の封止剤充填溝８ｄが形成されている。なお、これらの第２の封止剤充填溝８ｃ，８ｄは、図２に示すように、各分割領域８ｂに対して１本ずつ設けても良いが、図３に示すように、第２の封止剤充填溝８ｃおよび８ｄを複数本設ければ、後述の共通液室分離効果はより一層高まる。
【００１７】
また、流路形成部材２は、分離板８の上面に塗布された封止剤を介して固定される。この流路形成部材２は、ヒータボード５、ノズル壁形成部６および分離板８の左右両側部を覆うようセラミックプレート１上に配置される。また、流路形成部材２の内面には、凹状の空間２ａが複数（ここでは４個）形成されている。この空間２ａは、分離板８の上面に流路形成部材２が固定された状態で、分離板８に形成された各開口部８ａに連通する。また、流路形成部材２の背面側には、各上側供給液室２ａに連通するインク供給口３ａが形成された連結管３が突設されている。この連結管３には異なる種類（色）のインクタンク（図示せず）が連結される。  
なお、セラミックプレート１上には、ヒータボード６にワイヤーボンディングによって接続された配線基板７が配置されている。この配線基板７は、記録装置に設けられたキャリッジに電気的に接続される。
【００１８】
上記のように、この実施形態における記録ヘッドにおいては、流路形成部材２に形成される４個の空間２ａと、ノズル壁形成部６に形成される４個の空間とが分離板８に形成される４個の開口部８ａを介してそれぞれ連通する。これにより、互いに独立した４個の空間が形成され、これらの空間が共通液室となる。なお、以下の説明では、各共通液室の中の分離板８の開口部より上方に位置する空間２ａを上層共通液室、下方に位置する空間６ｆを下層共通液室と称す。
【００１９】
ところで、記録ヘッドに形成される各共通液室には、それぞれ異なる種類（例えば色）のインクが供給される。従って、隣接する共通液室間でのインクの浸透・拡散を遮断し、各共通液室内に供給されるインクを確実に分離することが必要となる。そこで、本実施形態では、上層共通液室２ａを構成する流路形成部材２と、下層共通液室６ｆを構成するノズル壁形成部６との間に、分離板８を介在させ、これによって各共通液室間を適正に分離し得る構造となっている。
【００２０】
以下、本実施形態の記録ヘッドにおける各共通液室の分離構造について、図４ないし図８に基づき詳細に説明する。  
まず、図4および図５に基づき、各上層共通液室間の分離について説明を行う。図4は、図３に示す切断線Ａ−Ａ’に沿って、図５は図３に示す切断線Ｂ−Ｂ’に沿って、それぞれ記録ヘッドＨを切断した際の縦断側面を模式的に示す図である。
【００２１】
複数の上層共通液室２ａ間の分離は、ディスペンサーやシルクスクリーン等を使用して分離板８の上面に封止剤を塗布し、流路形成部材２の下面を封止剤１１を介して分離板８の上面に当接させることにより行う。この封止剤１１としては、例えば、GE東芝シリコーン株式会社製のＴＳＥ３９９（商品名）を用いる。これにより、分離板８と流路形成部材２それぞれの当接面の加工精度に差があっても、両部材間に封止剤１１が介在するので、上層共通液室間の分離を行うことが可能となる。
【００２２】
さらに、本実施形態では、図３および図５に示すように、分離板８側の当接面に溝９を形成してあるため、より確実に分離板８と流路形成部材２とを封止剤１１によって分離することができる。すなわち、分離板８と流路形成部材２とを当接させることにより、その間に介在する封止剤１１は側方へと押し広げられながら、溝９の中に浸入するため、封止剤９は、流路形成部材２と分離板８との間に保持される。このため、両部材を封止剤によって確実に分離することができると共に、封止剤１１が流路形成部材２と分離板８との間から外方へと漏出する量も低減することができる。なお、封止剤１１を保持する溝は、図６に示すように流路形成部材２側の当接面（下面）に形成しても良く、この場合にも同様の効果を得ることができる。また、封止剤１１を流路形成部材２側の当接面（下面）に塗布しても、上層共通液室間を同様に分離することができる。
【００２３】
次に、下層供給液室６ｆ間の分離構造について、主として図５ないし図８に基づき説明する。  
下層供給液室６ｆを形成するノズル壁形成部６はフォトリソグラフィを用いてヒータボード５上に形成する。すなわち、ヒータボード５上に紫外線感光樹脂フィルムをラミネートした後、フォトマスクを介してノズル壁形成部６を形成する部分のみに紫外線を照射し、その他の未露光部分を現像液を用いて融解・除去することにより形成する。本実施形態では、フォトリソグラフィによって３枚の同一素材からなる紫外線感光樹脂フィルムｆ１，ｆ２，ｆ３を順次積層することにより、図２、図４および図７に示すノズル壁形成部６が形成される。これにより、本実施形態の吐出口の周囲は、同一素材により形成されることとなり、吐出口の周囲には均一な濡れ性を得ることができ、インク滴の吐出方向を安定化させることができる。
【００２４】
また、上記のようにフォトリソグラフィを用いてノズル壁形成部６を形成することにより、微細なノズルを高密度かつ高精度に形成することができ、その下面および上面には高い平面度を得ることができる。このため、平面度の高いシリコン基板からなるヒータボード５の下面および分離板８の下面と、これに当接するノズル壁形成部６の上面および下面との間には高い密着度を得ることができる。従って、ノズル壁形成部６とヒータボード５との間からインクが漏出するのを確実に防止することができる。  
さらに本実施形態では、ノズル壁形成部６の分割領域６ｄの上面に封止剤導入用の溝６ｅを設け、ここに図６に示すように封止剤１２を充填する構造となっている。このため、分離板８とノズル壁形成部６との間からインクが漏出するのを確実に防止することができる。  
また、ノズル壁形成部６と分離板８とを高い密着度をもって当接させることができるため、封止剤１２を充填する際に、封止剤１２がノズル壁形成部６と分離板８との間から漏れ出し、流路内へと流れ込むこともなくなる。このため、流路内に流入した封止剤１２によってノズルに吐出不良が生じたり、吐出口形成面へと封止剤が流出して吐出口形成面に付着し、吐出口形成面の濡れ性が不均一になることもなく、吐出性能に優れたノズルを形成することができる。
【００２５】
ここで、ノズル壁形成部６に形成した封止剤導入用の溝６ｄに対する封止剤の充填方法の一例を、図７および図８に基づき説明する。なお、図７はノズル壁形成部６の横断面図であり、図８は図３に示す切断線Ｃ−Ｃ’に沿って記録ヘッドＨ全体を切断した状態を模式的に示す断面図である。  
図８に示すように、セラミックプレート１上に配置されたヒータボード５と電気配線基板７とは、ワイヤー（金線）１４を用いたワイヤーボンディングで電気的に接続されている。そして、ヒータボード５と電気配線基板７の端子部分、およびワイヤー１４等の電気接続部には、腐食や外力などから保護する目的で、封止剤１３が塗布される。そこで、本実施形態では、ノズル壁形成部材６の封止剤充填溝６ｄをワイヤー１４の近傍に開口させ、封止剤が電気接続部に塗布された際に、その封止剤の一部が毛細管力によって封止剤導入用溝６ｄへと自動的に導かれるようにしている。これによれば、電気接続部への封止剤の塗布工程と、封止剤充填溝６ｄへの充填工程とを個々に行う必要がなくなり、生産性を大幅に向上させることができる。
【００２６】
なお、本実施形態では封止剤としてGＥ東芝シリコーン株式会社製のシリコンシール剤ＴＳＥ３９９（商品名）を用いたが、比較的高い粘度を有し、かつインクとの接触によってインク滴の吐出に悪影響を及ぼす析出物が発生しないものであれば、その他の封止剤を使用することも可能である。
【００２７】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態を、図９に基づき説明する。なお、図中、上記第１の実施形態と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、その説明の詳細は省く。  
この第２の実施形態は、第１の実施形態に示したインクジェット記録ヘッドＨにおいて、吐出口形成面を形成するノズル壁６１に封止剤充填溝と連通する排気孔１５を形成したものである。  
上記第１の実施形態では、封止剤充填溝６ｄを囲む空間は、ノズル形成面と反対側の端部に形成された開口を除き、全て密閉されている。このため、封止剤充填溝６ｄに、封止剤１２がある程度導入されると、内部の空気によって封止剤１２を完全に満たすことができなくなることがある。そこで、この第２の実施形態では、図９に示すように、ノズル壁形成部６に内部の空気を排出するための排気孔１５を形成したものとなっている。
【００２８】
これによれば、ノズル壁形成部６および分離板８で区切られた空間内に封止剤１２が充填される従って排気孔１５から空気が排出されるため、封止剤１２が高粘度を有する場合にも、封止剤充填溝６ｄ内に封止剤１２を完全に充填することができる。また、排気孔１５の毛細管力よりも流路抵抗が上回るように、排気孔１５の断面積は十分小さく設定してあるため、封止剤１２が排気孔１５を通じて吐出口形成面に漏出するのを防ぐことができる。このため、ノズルの吐出性能を低下させることなく、各下層共通液室６ｆ間の分離をより確実に行うことが可能となる。
【００２９】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態を図１０に基づき説明する。なお、上記第１の実施形態と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、その説明の詳細は省く。  
この第３の実施形態では、第１の実施形態に示したインクジェット記録ヘッドにおいて、吐出口形成面を形成するノズル壁形成部６１と、これに直交する方向に形成したノズル壁形成部６２との間に空隙１６を形成したものとなっている。
【００３０】
これによれば、ノズル壁形成部６と分離板８とで区切られた空間内へ封止剤が充填されるに従って、内部の空気は空隙１６から排出されるため、封止剤１２が高粘度を有する場合にも、封止剤充填溝６ｄ内に封止剤１２を完全に充填することができる。また、空隙１６は、毛細管力よりも流路抵抗が上回るよう十分に小さな断面積に形成しておくことで、封止剤１２が空隙１６を通じて下層共通液室内に浸入することを防ぐことができる。さらに、この第２の実施形態では、吐出口形成面を形成するノズル壁６１に排気用の開口部が設けられていないため、吐出口形成面側への封止剤の漏れ出しを懸念する必要もない。
【００３１】
なお、第３の実施形態の変形例として、ノズル壁形成部６を、図１１に示すように構成することも可能である。  
すなわち、ノズル壁形成部６２と微小な空隙を介して対向するノズル壁形成部６３をノズル壁形成部６１の両端部に連続して形成し、封止剤が充填される空間に連通する断面積の小さな流路１７を形成するようにしても良い。このように、長尺な流路を形成すれば、流路抵抗をより大きくとることができるため、下層共通液室６ｆ内への封止剤６の漏れ出しを確実に防止することが可能となる。その結果、封止剤１２の塗布条件（例えば、環境温度、封止剤の粘度など）の許容範囲をより広く取ることが可能となり、ヘッド製造時の作業性を向上させることができる。
【００３２】
（第４の実施形態）
次に、上記実施形態に記載のインクジェット記録ヘッドを用いた記録装置の一実施形態を図１２および図１３に基づき説明する。  
図１２は本実施形態における記録装置２０の外観構成を概略的に示す斜視図である。ここに示す記録装置２０は、記録媒体Ｐを一定方向（Ｙ方向）に搬送すると共に、記録ヘッドＨを記録媒体Ｐの搬送方向と交差する方向（Ｘ方向）に沿って往復移動させつつ記録を行う、いわゆるシリアルスキャン方式の記録装置を構成している。図中、２１は上記実施形態に示す記録ヘッドＨおよびこれに供給するインクを貯留するインクタンク２２が搭載されるキャリッジであり、このキャリッジ２１は、記録媒体Ｐの搬送方向Ｙと直交する方向（Ｘ方向）に沿って往復移動する。また、記録媒体を搬送する搬送機構としては、種々のものが適用可能であるが、ここではモータなどの駆動力によって回転する搬送ローラとこれに対向して設けられたピンチローラ（いずれも図示を省略）などによって構成されている。
【００３３】
図１３は、上記記録装置の駆動を制御する制御装置２００の概略構成を示すブロック図である。この制御装置２００は、ホストコンピュータ３００から送られる印字データを処理するイメージコントローラ２０１と、記録媒体の搬送やキャリッジ２１の移動を制御するエンジンコントローラ２０２と、インク滴の吐出を制御する記録ヘッドコントローラ２０３などを有する。
【００３４】
エンジンコントローラ２０２は、データラスタライズ部２０５と、吐出パルスジェネレータ２０６と、搬送制御部２０７と、モータ制御部２０８などが設けられている。このうち、データラスタライズ部２０５は、イメージコントローラ１０１から送られるシリアルの印字データを、各ノズルに割り当てるためのラスタライズ処理を行う。また、吐出パルスジェネレータ２０６は、記録ヘッドの駆動タイミングを表す吐出パルスを記録ヘッドコントローラ２０３に送出する。記録ヘッドコントローラ２０３は、吐出パルスジェネレータ２０５からのパルスとデータラスタライズ部２０５から送出されたイメージデータとに基づき記録ヘッドの各ノズル（ヒータ）を駆動する。
【００３５】
また、搬送制御部２０７は、搬送モータの駆動を制御し、搬送モータの駆動力によって回転する搬送ローラの回転を制御する。キャリッジモータ制御部１０７は、キャリッジスケールエンコーダ２０４からの信号に基づき、キャリッジ２２の移動位置を検出してキャリッジモータ２１０を制御し、キャリッジの駆動、停止および加速、定速移動、減速などの制御を行う。
【００３６】
以上のように構成された記録装置において、記録媒体Ｐは、搬送モータ１０５によって回転する搬送ローラと、これに対向して設けられたピンチローラとに挟持されつつ間欠的にＹ方向へと搬送される。また、記録ヘッドＨを搭載したキャリッジ２１は、記録媒体Ｐの停止期間中に移動し、その移動中に記録ヘッドＨからインクを吐出することによってノズルの配列範囲内に記録を行う。この記録動作と記録媒体Ｐの間欠的な搬送動作とを繰り返すことにより、記録媒体Ｐには所定の画像が形成される。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における記録ヘッドの内部構造を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態における記録ヘッドに設けられる分離板の上面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態における記録ヘッドを、図３に示す切断線Ａ−Ａ’に沿って切断した縦断正面図である。
【図５】本発明の第１の実施形態における記録ヘッドを、図３に示す切断線Ｂ−Ｂ’に沿って切断した縦断正面図である。
【図６】図５に示した記録ヘッドの変形例を示す縦断側面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態における記録ヘッドに設けられる分離板の横断面図である。
【図８】本発明の第１の実施形態における記録ヘッドを、図３に示す切断線Ｃ−Ｃ’に沿って切断した縦断側面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態における分離板の横断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態における分離板の横断面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態の変形例における分離板の横断面図である。
【図１２】本発明の一実施形態における記録装置の外観構成を概略的に示す斜視図である。
【図１３】図１２に示した記録装置の駆動を制御する制御装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１４】従来の記録ヘッドにおける共通液室の構成を示す縦断正面図である。
【符号の説明】
【００３８】
Ｈ  記録ヘッド
Ｐ  記録媒体
１  セラミックプレート、
２  流路形成部材（第３の部材）
２ａ  上層共通液室
３ａ  インク供給口
４  吐出エレメント
５  ヒータボード（基板）
６  ノズル壁形成部（第１の部材）
６ａ  吐出口
６ｂ  液路
６ｃ  分割部
６ｅ  第１の封止剤充填溝
６ｆ  上層共通液室
６１，６２，６３  ノズル壁
７  電気配線基板
８  分離板（第２の部材）
８ａ  開口部
８ｂ  分割領域
８ｃ，８ｄ  第２の封止剤充填溝
１１  封止剤
１２  封止剤
１４  ワイヤー
１５  排気孔
１６  空隙
１７  流路
２０  記録装置
２１  キャリッジ
２２  インクタンク
２００  制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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