(57)【要約】【課題】  半径が異なる３つのベースフィルムの各上面外周部にリング状の抵抗体層が設けられた静電モータ用回転子の製造方法において、製造工程数を低減する。【解決手段】  ３つのベースフィルム５ａ、６ａ、７ａをその半径が大きいものから順にその中心を位置合わせして積層し、最上層のベースフィルム５ａの上面中央部に円形状のマスク４１を配置すると、上側のベースフィルムがその下側のベースフィルムに対してマスクとして機能し、したがって１回の抵抗体層形成工程により、各ベースフィルム５ａ、６ａ、７ａの上面外周部およびマスク４１の上面に抵抗体層５ｂ、６ｂ、７ｂを形成することができ、製造工程数を低減することができる。【選択図】  図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルムの上面に抵抗体層が設けられた静電モータ用回転子の製造方法であって、１のベースフィルムの上面にそれよりも半径の小さい他のベースフィルムを、その中心を位置合わせして積層する積層工程と、この状態で前記１のベースフィルムの上面外周部および前記他のベースフィルムの上面に抵抗体層を形成する成膜工程と、成膜後、前記１のベースフィルムと前記他のベースフィルムとを剥離する剥離工程と、を含むことを特徴とする静電モータ用回転子の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の発明において、前記積層工程は、前記１のベースフィルムと前記他のベースフィルムとを接着剤により接着する接着工程を含むことを特徴とする静電モータ用回転子の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の発明において、前記剥離工程は、前記１のベースフィルムと前記他のベースフィルムとを接着している接着剤を洗浄により取り除く洗浄工程を含むことを特徴とする静電モータ用回転子の製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載の発明において、半径が異なる前記各ベースフィルムは、同一の静電モータ用の回転子となるものであることを特徴とする静電モータ用回転子の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の発明において、前記同一の静電モータ用の各ベースフィルムは、指針式時計の運針を行う回転子となるものであり、前記回転子は、時針用回転子、分針用回転子および秒針用回転子のいずれかひとつとなるものであることを特徴とする静電モータ用回転子の製造方法。
【請求項６】
請求項１に記載の発明において、前記他のベースフィルムの上面中央部に前記他のベースフィルムの半径よりも小さい円形状のマスクを配置し、この状態で前記各ベースフィルムの上面外周部および前記マスクの上面に抵抗体層を形成することを特徴とする静電モータ用回転子の製造方法。
【請求項７】
請求項１に記載の発明において、前記各ベースフィルムの中心部に軸取付孔が予め設けられていることを特徴とする静電モータ用回転子の製造方法。
【請求項８】
請求項１に記載の発明において、前記ベースフィルムは、ポリエチレンナフタレートからなることを特徴とする静電モータ用回転子の製造方法。
【請求項９】
請求項１に記載の発明において、前記抵抗体層は、カーボン粉末を含むウレタン樹脂からなることを特徴とする静電モータ用回転子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は静電モータ用回転子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の静電モータには、指針式時計に適用したものがある（例えば、特許文献１参照）。この静電モータでは、長さが異なる時針、分針および秒針の各先端部に設けられた電極と、文字板の上面において各針の先端部に対応する３つの同心円上に設けられた複数ずつの電極との間に発生するクーロン引力およびクーロン反発力により、各針を時計方向に回転させるようにしている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１２７９６４号公報
【０００４】
ところで、最近では、１つの固定子上に半径が異なる秒針用、分針用、時針用の３つの回転子をその半径が小さいものから順に相互に回転可能に積層配置し、各回転子の中央部に取り付けられた軸の各先端部に各針を取り付けた指針式時計が考えられている。この場合、固定子上には、上記文字板と同様に、半径が異なる３つの同心円上に複数ずつの電極が設けられている。一方、各回転子の上面外周部にはリング状の抵抗体層が設けられている。そして、固定子上の各電極と各回転子の抵抗体層との間に発生するクーロン引力およびクーロン反発力により、各針を時計方向に回転させることになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような指針式時計の静電モータでは、秒針用、分針用、時針用の３つの回転子の半径が互いに異なり、この半径の異なる３つの回転子の各上面外周部に抵抗体層を設けなければならず、回転子ごとに製造すると、専用のマスクを用いる必要があるなど製造工程数が多くなってしまうという問題がある。
【０００６】
そこで、この発明は、上面に抵抗体層を有する半径が異なる複数の回転子を得るための製造工程数を低減することができる静電モータ用回転子の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、上記目的を達成するため、ベースフィルムの上面に抵抗体層が設けられた静電モータ用回転子の製造方法であって、１のベースフィルムの上面にそれよりも半径の小さい他のベースフィルムを、その中心を位置合わせして積層する積層工程と、この状態で前記１のベースフィルムの上面外周部および前記他のベースフィルムの上面に抵抗体層を形成する成膜工程と、成膜後、前記１のベースフィルムと前記他のベースフィルムとを剥離する剥離工程と、を含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、１のベースフィルムの上面にそれよりも半径の小さい他のベースフィルムを、その中心を位置合わせして積層し、この状態で１のベースフィルムの上面外周部および他のベースフィルムの上面に抵抗体層を形成しているので、上側のベースフィルムがその下側のベースフィルムに対してマスクとして機能し、したがって１回の抵抗体層形成工程により、下側のベースフィルムの上面外周部およびマスクとして機能する上側のベースフィルムの上面に抵抗体層を形成することができ、製造工程数を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
（第１実施形態）
図１はこの発明の製造方法により製造された回転子を有する静電モータを備えた指針式時計の一例の要部の断面図を示す。この指針式時計は静電モータ１を備えている。静電モータ１は、ケース２およびケースカバー３を備えている。ケース２内には、下から順に、固定子４、秒針用回転子５、分針用回転子６および時針用回転子７が設けられている。固定子４および各回転子５〜７の詳細については後で説明する。
【００１０】
各回転子５〜７の中心部には棒状の秒針軸８、円筒状の分針軸９および円筒状の時針軸１０の各下端部が取り付けられている。時針軸１０は、ケースカバー３およびその上に設けられた文字板１１の中央部に設けられたケースカバー穴３ａおよび文字板穴１１ａを回転可能に貫通して文字板１１の上側に突出されていて、時針軸１０の突出部には時針１２の基端部が取り付けられている。
【００１１】
分針軸９は、時針軸１０内を回転可能に貫通して時針軸１０の上側に突出されていて、分針軸９の突出部には分針１３の基端部が取り付けられている。秒針軸８は、分針軸９内を回転可能に貫通して分針軸９の上側に突出されていて、秒針軸８の突出部には秒針１４の基端部が取り付けられている。
【００１２】
次に、固定子４について説明する。図２は固定子４の平面図を示す。固定子４は、例えば、ポリイミド等の有機材料からなる上基板２１、中基板２２および下基板２３を備えている。上基板２１は円形状であり、中基板２２は上基板２１と同一の円形状である。下基板２３は、上基板２１と同一の円形状部の所定の箇所に突出部２３ａが設けられた形状である。そして、これらの基板２１〜２３は、図示しない接着剤を介して互いに接着されて積層されている。
【００１３】
上基板２１の上面において半径が異なる３つの同心円上には、内から順に、アルミニウム系金属等からなる複数ずつの秒針用電極２４、分針用電極２５および時針用電極２６がそれぞれ等間隔に設けられている。ここでは、各電極２４〜２６の数は同じである場合について説明する。各電極２４〜２６の形状は、内側から外側に向かうに従って漸次幅広となるくさび形状で、各電極２４〜２６の径方向の長さは同じとしていて、各電極２４〜２６の幅は外側の方が大きくなっている。ここで、図２では、各電極２４〜２６およびその間の隙間の角度を見やすいように５°として図示しているが、時計用の電極なので、３°刻みが望ましい。その場合、１電極分のピッチが秒針なら１秒、分針なら１分、および時針なら１２分にそれぞれ対応することになる。もちろん、それ以下の角度にして、より滑らかな動きを実現するようにしてもよい。
【００１４】
次に、図３は上基板２１の一部の拡大平面図を示す。上基板２１の上面において、各電極２４〜２６の配置領域の外側にはリング状の給電用配線２７〜２９が設けられ、各電極２４〜２６の配置領域の内側にはリング状の給電用配線３０〜３２が設けられている。上基板２１において、給電用配線２７〜２９の各所定の１箇所には上下導通部２７ａ〜２９ａが設けられ、給電用配線３０〜３２の各所定の１箇所には上下導通部３０ａ〜３２ａが設けられている。
【００１５】
各電極２４〜２６は３相配線されている。すなわち、秒針用電極２４は、３つおきに、給電用配線２７、３０および所定の秒針用電極２４の外側近傍の上基板２１に設けられた上下導通部３３に接続されている。分針用電極２５は、３つおきに、給電用配線２８、３１および所定の分針用電極２５の外側近傍の上基板２１に設けられた上下導通部３４に接続されている。時針用電極２６は、３つおきに、給電用配線２９、３２および所定の時針用電極２６の外側近傍の上基板２１に設けられた上下導通部３５に接続されている。
【００１６】
次に、図４は中基板２２の一部の拡大平面図を示す。中基板２２の上面において半径が異なる３つの同心円上にはリング状の給電用配線３３ａ〜３５ａが設けられている。中基板２２において、給電用配線３３ａ〜３５ａの各所定の１箇所には、上下導通部３３ｂ〜３５ｂが設けられている。各給電用配線３３ａ〜３５ａの所定の複数箇所には接続パッド３３ｃ〜３５ｃがそれぞれ等間隔に設けられている。接続パッド３３ｃ〜３５ｃは、図３に示す上下導通部３３〜３５に接続されている。中基板２２において、図３に示す上下導通部２７ａ〜３２ａに対応する部分には、上下導通部２７ｂ〜３２ｂが設けられている。上下導通部２７ｂ〜３２ｂは、図３に示す上下導通部２７ａ〜３２ａに接続されている。
【００１７】
次に、図５は下基板２３の一部の拡大平面図を示す。下基板２３の上面において、図４に示す上下導通部２７ｂ〜３５ｂに対応する部分には、接続パッド２７ｃ〜３２ｃ、３３ｄ〜３５ｄが設けられていて、接続パッド２７ｃ〜３２ｃ、３３ｄ〜３５ｄは、図４に示す上下導通部２７ｂ〜３５ｂに接続されている。下基板２３の突出部２３ａの上面には９つの外部接続端子３６が等間隔に設けられていて、各外部接続端子３６は、下基板２３の上面に設けられた９本の引き回し線３７を介して接続パッド２７ｃ〜３２ｃ、３３ｄ〜３５ｄに接続されている。
【００１８】
以上の電気的接続関係を簡単に説明すると、図５に示す左側の３つの外部接続端子３６には、図３に示す秒針用電極２４が３つおきに、図５に示す中央の３つの外部接続端子３６には、図３に示す分針用電極２５の３つおきに、図５に示す右側の３つの外部接続端子３６には、図３に示す時針用電極２６の３つおきにそれぞれ接続されている。これにより、各電極２４〜２６は３相配線されている。なお、図５に示す給電用配線（突出部２３ａを含む）を中基板２２の下面に設け、固定子４をガラスエポキシ等の２層の基板によって構成するようにしてもよい。
【００１９】
次に、図６〜図８は秒針用回転子５、分針用回転子６および時針用回転子７の各平面図を示す。各回転子５〜７は、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド等からなる円形状のベースフィルム５ａ、６ａ、７ａを備えている。各ベースフィルム５ａ、６ａ、７ａの半径は互いに異なり、この順で大きくなっていて、各ベースフィルム５ａ、６ａ、７ａの上面外周部にはカーボン等からなるリング状の抵抗体層５ｂ、６ｂ、７ｂが設けられている。抵抗体層５ｂ、６ｂ、７ｂは、例えば、カーボン粉末（導電性フィラー）を含むウレタン樹脂（バインダー）を必要な部分のみに塗布する方法で成膜することができる。各ベースフィルム５ａ、６ａ、７ａの中心部には秒針軸取付孔５ｃ、分針軸取付孔６ｃおよび時針軸取付孔７ｃが設けられている。駆動時の負荷から考えると回転子は軽い方が望ましく、薄く（例えば１６μｍ〜２５μｍ厚程度に）形成する。しかしながら、薄くすると強度が低下して変形し易くなり、平坦性が損なわれて回転時に抵抗となってしまう場合がある。この場合、ポリエチレンナフタレートは薄く作成した場合でも強度的に腰があり、平坦性にも優れている。また、試作実験でも良好な結果が得られており、ベースフィルムとして特に適した材料である。
【００２０】
図１を参照して説明すると、秒針用回転子５の抵抗体層５ｂの内径は、固定子４の秒針用電極２４配置領域の内径と同じとなっており、外径は、固定子４の秒針用電極２４配置領域の外径よりもやや大きくなっている。分針用回転子６の抵抗体層６ｂの内径は、秒針用回転子５の抵抗体層５ｂの外径と同じとなっており、外径は、固定子４の分針用電極２５配置領域の外径よりもやや大きくなっている。時針用回転子７の抵抗体層７ｂの内径は、分針用回転子６の抵抗体層６ｂの外径と同じとなっており、外径は、固定子４の時針用電極２６配置領域の外径と同じとなっている。
【００２１】
そして、回転子５、６、７は、その半径の小さいものから順に、固定子４上に相互に回転可能に積層配置されている。したがって、秒針用回転子５の抵抗体層５ｂは、固定子４の秒針用電極２４配置領域上に配置され、分針用回転子６の抵抗体層６ｂは、固定子４の分針用電極２５配置領域上に配置されて、時針用回転子７の抵抗体層７ｂは、固定子４の時針用電極２６配置領域上に配置されている。
【００２２】
次に、回転子５、６、７の製造方法の一例について、図９を参照して説明する。まず、時針軸取付孔７ｃを有するベースフィルム７ａの上面に分針軸取付孔６ｃを有するベースフィルム６ａをその中心を位置合わせした状態で接着剤（図示せず）を介して接着して積層する。次に、ベースフィルム６ａの上面に秒針軸取付孔５ｃを有するベースフィルム５ａをその中心を位置合わせした状態で接着剤（図示せず）を介して接着して積層する。次に、接着剤（図示せず）を介して、ベースフィルム５ａの上面中央部に円形状のマスク４１を接着して積層する。この場合、マスク４１の外径は、図１に示す固定子４の秒針用電極２４配置領域の内径と同じとなっている。
【００２３】
次に、上面全体にカーボン粉末（導電性フィラー）を含むウレタン樹脂（バインダー）を塗布することにより、マスク４１の上面に抵抗体層４２を形成し、マスク４１によって覆われずに露出されたベースフィルム５ａの上面外周部に抵抗体層５ｂを形成し、ベースフィルム５ａによって覆われずに露出されたベースフィルム６ａの上面外周部に抵抗体層６ｂを形成し、ベースフィルム６ａによって覆われずに露出されたベースフィルム７ａの上面外周部に抵抗体層７ｂを形成する。次に、図示しない接着剤を洗浄して剥がすと、図６〜図８に示す回転子５、６、７が得られる。
【００２４】
このように、上記製造方法では、３つのベースフィルム５ａ、６ａ、７ａをその半径が大きいものから順にその中心を位置合わせして積層し、最上層のベースフィルム５ａの上面中央部に円形状のマスク４１を配置しているので、上側のベースフィルムがその下側のベースフィルムに対してマスクとして機能し、したがって１回の抵抗体層形成工程により、各ベースフィルム５ａ、６ａ、７ａの上面外周部およびマスク４１の上面に抵抗体層５ｂ、６ｂ、７ｂを形成することができ、製造工程数を低減することができる。なお、ベースフィルム５ａ、６ａ、７ａの軸取付孔５ｃ、６ｃ、７ｃはマスク４１によって覆われているので、軸取付孔５ｃ、６ｃ、７ｃ内に抵抗体層が形成されることはない。
【００２５】
次に、この指針式時計の代表として秒針用回転子５（秒針１４）の駆動方法の一例について説明する。ここで、固定子４上の３相配線された秒針用電極２４への印加電圧が例えば正電圧、負電圧、０Ｖである場合には、以下の説明において、固定子４の秒針用電極２４に電圧（＋、−、０）を印加するという。また、その電圧印加状態は、図１０（Ａ）の下図ように示すこととする。ここで、図１０（Ａ）の下図に示す固定子４においては、実線で区切られた各枡目は各秒針用電極２４に対応するものである（以下同じ）。なお、図１０では固定子側６極分、回転子側３極分のみを示す。
【００２６】
さて、充電工程において、図１０（Ａ）の下図に示すように、固定子４の秒針用電極２４（左側から３つずつの電極、以下同じ）に電圧（＋、−、０）を印加すると、秒針用回転子５の抵抗体層５ｂの秒針用電極２４と対向する領域に当該秒針用電極２４の電荷と逆極性の電荷が充電（誘導）される（初期充電）。ここで、図１０（Ａ）の上図に示す秒針用回転子５の抵抗体層５ｂにおいては、点線で区切られた各枡目は各秒針用電極２４に対応する領域である（以下同じ）。
【００２７】
次に、移動工程において、図１０（Ｂ）の下図に示すように、固定子４の秒針用電極２４に印加する電圧を（−、＋、−）に切り替えると、電極の電荷は瞬時に入れ替わるが、回転子側の電荷配置が新たな平衡状態に変化するには、ある程度の時間を要するので、切り替え直後は回転子側の電荷は保持されており、図１０（Ｂ）の上図のような電荷配置となっている。このとき、秒針用回転子５の抵抗体層５ｂの電荷領域の電荷とその真下の固定子４の秒針用電極２４の電荷とが同符号となる領域が現れ、その間にクーロン反発力が発生し、このクーロン反発力により、矢印で示すように、秒針用回転子５を浮き上がらせようとする力が働き、秒針用回転子５と固定子４との間の摩擦抵抗が軽減される。
【００２８】
そして、図１０（Ｂ）においては、固定子４と秒針用回転子５との横方向のクーロン引力およびクーロン反発力の釣り合いが崩れることにより、右方向の回転駆動力が発生し、図１０（Ｃ）に示すように、秒針用回転子５が固定子４上を右方向に１ピッチ（秒針用電極２４の１電極分）移動し、停止する。
【００２９】
次に、移動中に回転子の電荷は一部失われるので、クーロン力（回転駆動力）が減少する。そこで、この力を維持して連続して駆動するために、図１０（Ｃ）の状態で次の充電工程において、図１０（Ｄ）の下図に示すように、固定子４の秒針用電極２４に図１０（Ａ）の下図から右方向に１ピッチ（１電極分）ずらした電圧（０、＋、−）を印加する。すると、図１０（Ｄ）の上図に示すように、秒針用回転子５の抵抗体層５ｂの秒針用電極２４と対向する領域に当該秒針用電極２４の電荷と逆極性の電荷が再充電される。（上記失われる電荷は全体の一部なので、再充電の時間は初期充電の時間よりも短くてよい。）以下、上記と同様の工程が繰り返され、秒針用回転子５が秒針１４と共に時計方向に１ピッチずつ回転される。
【００３０】
（第２実施形態）
次に、図１１は指針式時計の他の例の要部の断面図を示す。この指針式時計において、図１に示す指針式時計と大きく異なる点は、固定子４の上基板２１の上面において、秒針用電極２４配置領域と分針用電極２５配置領域との間にリング状の分針用回転子支え壁５１を設け、分針用電極２５配置領域と時針用電極２６配置領域との間にリング状の時針用回転子支え壁５２を設けた点である。（すなわち、上記第１実施形態においては、回転子を回転し易くするために薄くして軽くするようにした場合、各回転子が自重により変形して互いに接触し、回転時の摩擦抵抗が大きくなってしまうとともに、各回転子の回転動作が相互に影響してしまう場合があるという問題点があった。本実施形態は回転子支え壁を設けることによって、この問題点を改善したものである。）
【００３１】
ここで、分針用回転子支え壁５１の高さは、それに支えられた分針用回転子６のベースフィルム６ａの下面が秒針用回転子５の抵抗体層５ｂの上面よりもやや上側に位置する高さとなっていて、時針用回転子支え壁５２の高さは、それに支えられた時針用回転子７のベースフィルム７ａの下面が分針用回転子６の抵抗体層６ｂの上面よりもやや上側に位置する高さとなっている。
【００３２】
このようにすると、分針用回転子６がその下側の秒針用回転子５と確実に接触しないようにすることができ、また時針用回転子７がその下側の分針用回転子６と確実に接触しないようにすることができる。すなわち、各回転子５、６、７が確実に互いに接触しないようにすることができ、各回転子５、６、７の駆動時の摩擦抵抗を軽減することができるので、各回転子５、６、７を独立に回転させ易くすることができる。
【００３３】
ところで、この第２実施形態の指針式時計では、秒針用回転子５の抵抗体層５ｂの内径は、固定子４の秒針用電極２４配置領域の内径と同じとなっており、外径は、固定子４の秒針用電極２４配置領域の外径と同じとなっている。分針用回転子６の抵抗体層６ｂの内径は、秒針用回転子５の抵抗体層５ｂの外径と同じとなっており、外径は、固定子４の分針用電極２５配置領域の外径と同じとなっている。時針用回転子７の抵抗体層７ｂの内径は、分針用回転子６の抵抗体層６ｂの外径と同じとなっており、外径は、固定子４の時針用電極２６配置領域の外径と同じとなっている。
【００３４】
なお、この発明の製造方法の対象となる回転子は、１つの指針式時計の秒針用、分針用、時針用の３つの回転子（あるいは分針用、時針用の２つの回転子）の組み合わせに限定されるものではない。例えば、男女ペアの指針式時計のように別々のものがあって、小さい方の時計のある回転子の外径が、他の大きい方の時計のある回転子の抵抗体層の内径と同じような場合にも適用可能である。要は、半径が異なる複数の回転子を製造するとき、抵抗体層の内径と別のベースフィルムの外径が同じという関係があれば適用可能である。
【００３５】
また、上記各実施形態では、最上層のベースフィルムの上面中央部に円形状のマスク４１を配置して、抵抗体層を形成するようにしたが、必ずしもマスク４１を用いる必要はない。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】この発明の製造方法により製造された回転子を有する静電モータを備えた指針式時計の一例の要部の断面図。
【図２】図１に示す固定子の平面図。
【図３】図２に示す上基板の一部の拡大平面図。
【図４】図２に示す中基板の一部の拡大平面図。
【図５】図２に示す下基板の一部の拡大平面図。
【図６】図１に示す秒針用回転子の平面図。
【図７】図１に示す分針用回転子の平面図。
【図８】図１に示す時針用回転子の平面図。
【図９】回転子の製造方法の一例を説明するために示す断面図。
【図１０】秒針用回転子（秒針）の駆動方法の一例を説明するために示す図。
【図１１】指針式時計の他の例の要部の断面図。
【符号の説明】
【００３７】
１  回転モータ
２  ケース
３  ケースカバー
３ａ  ケースカバー穴
４  固定子
５  秒針用回転子
５ａ  ベースフィルム
５ｂ  抵抗体層
５ｃ  軸取付孔
６  分針用回転子
６ａ  ベースフィルム
６ｂ  抵抗体層
６ｃ  軸取付孔
７  時針用回転子
７ａ  ベースフィルム
７ｂ  抵抗体層
７ｃ  軸取付孔
８  秒針軸
９  分針軸
１０  時針軸
１１  文字板
１１ａ  文字板穴
１２  時針
１３  分針
１４  秒針
２１  上基板
２２  中基板
２３  下基板
２４  秒針用電極
２５  分針用電極
２６  時針用電極
２７〜３２  給電用配線
２７ａ〜３２ａ  上下導通部
２７ｂ〜３２ｂ  上下導通部
２７ｃ〜３２ｃ  接続パッド
３３〜３５  上下導通部
３３ａ〜３５ａ  給電用配線
３３ｂ〜３５ｂ  上下導通部
３３ｃ〜３５ｃ  接続パッド
３３ｄ〜３５ｄ  接続パッド
４１  マスク
４２  抵抗体層
５１  分針用回転子支え壁
５２  時針用回転子支え壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007089367.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007089367.tif 000009
【図８】
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【図９】
2007089367.tif 000011
【図１０】
2007089367.tif 000012
【図１１】
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【手続補正書】
【提出日】平成17年10月3日(2005.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2007089367.tif 000014