(57)【要約】【課題】  駆動用コイルで発生した駆動力を「てこ」の原理を利用してステージ部材に伝達する場合に、消費電力を抑え、かつ、駆動装置を大型化させることなく、ステージ部材を円滑に移動させる。【解決手段】  固定支持基板に、Ｘ用磁気回路の磁力を受けるとＸ用ヨークＹＸＡをＸ方向に移動させる駆動力を発生するＸ方向駆動用コイルＣＸを固定し、中間部が固定支持基板にＸ用枢着軸１２１回りに回転可能として支持され、一端がＸ用ヨークに回転軸１２６回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材１０１に回転自在として接続されたリンク部材１１９を備える。【選択図】  図２
2007013661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定支持基板と、
該固定支持基板上に、特定のＸ方向及びＸ方向に直交するＹ方向に直線移動自在として支持されたステージ部材と、
磁性体からなり上記固定支持基板に対してＸ方向にのみ移動可能なＸ用ヨークと、
該Ｘ用ヨークと一体をなし、該Ｘ用ヨークとの間にＸ用磁気回路を形成するＸ用磁石と、
上記固定支持基板に固定され、上記Ｘ用磁気回路の磁力を受けたとき上記Ｘ用ヨークをＸ方向に移動させる駆動力を発生するＸ方向駆動用コイルと、
上記固定支持基板上に、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向のＸ用枢着軸回りに回転可能に支持されたリンク部材と、
を備え、
上記リンク部材の一端部が上記Ｘ用ヨークにＺ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端部が上記ステージ部材にＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続されていることを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
請求項１記載のステージ装置において、上記リンク部材の他端部が、上記ステージ部材にＹ方向に相対移動自在として接続されているステージ装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のステージ装置において、上記Ｘ用枢着軸より上記Ｘ用ヨーク側に位置しかつＸ用枢着軸を中心に回転するＸ用ヨーク側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントと、Ｘ用枢着軸よりステージ部材側に位置しかつＸ用枢着軸を中心に回転するステージ部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントの一方が他方の６０％〜１００％となるように、上記Ｘ用ヨークとＸ用磁石の質量を設定したステージ装置。
【請求項４】
請求項３記載のステージ装置において、
上記Ｘ用ヨーク側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントと、上記ステージ部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントとが一致するように、上記Ｘ用ヨークとＸ用磁石の質量を設定したステージ装置。
【請求項５】
請求項２から４のいずれか１項記載のステージ装置において、
磁性体からなり上記固定支持基板に対してＹ方向にのみ移動可能なＹ用ヨークと、
該Ｙ用ヨークと一体をなし、該Ｙ用ヨークとの間にＹ用磁気回路を形成するＹ用磁石と、
上記固定支持基板に固定され、上記Ｙ用磁気回路の磁力を受けると、上記Ｙ用ヨークをＹ方向に移動させる駆動力を発生するＹ方向駆動用コイルと、
上記固定支持基板上に、上記Ｚ方向のＹ用枢着軸回りに回転可能として支持されたＸ方向リンク部材と、
を備え、
このＸ方向リンク部材の一端が上記Ｙ用ヨークにＺ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材にＸ方向に相対移動自在かつＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続されたステージ装置。
【請求項６】
請求項５記載のステージ装置において、
上記Ｙ用枢着軸より上記Ｙ用ヨーク側に位置しかつＹ用枢着軸を中心に回転するＹ用ヨーク側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントと、Ｙ用枢着軸よりステージ部材側に位置しかつＹ用枢着軸を中心に回転するステージ部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントの一方が他方の６０％〜１００％となるように、上記Ｙ用ヨークとＹ用磁石の質量を設定したステージ装置。
【請求項７】
請求項６記載のステージ装置において、
上記Ｙ用ヨーク側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントと、上記ステージ部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントとが一致するように、上記Ｙ用ヨークとＹ用磁石の質量を設定したステージ装置。
【請求項８】
固定支持基板と、
該固定支持基板上に、特定のＸ方向及びＸ方向に直交するＹ方向に直線移動自在として支持されたステージ部材と、
上記固定支持基板に対してＸ方向にのみ移動可能なＸ方向移動部材と、
上記固定支持基板上に、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向のＸ側枢着軸回りに回転可能として支持されたリンク部材と、
上記固定支持基板と上記Ｘ方向移動部材の一方に固定された、磁性体からなるＸ用ヨークと、
該Ｘ用ヨークと一体をなし、該Ｘ用ヨークとの間にＸ用磁気回路を形成するＸ用磁石と、
上記固定支持基板と上記Ｘ方向移動部材の他方に固定された、上記Ｘ用磁気回路の磁力を受けると、上記Ｘ方向移動部材をＸ方向に移動させる駆動力を発生するＸ方向駆動用コイルと、を備え、
上記リンク部材の一端が上記Ｘ方向移動部材にＺ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材にＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続され、
上記Ｘ用枢着軸より上記Ｘ方向移動部材側に位置し、かつ、Ｘ用枢着軸を中心に回転するＸ方向移動部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントと、Ｘ用枢着軸よりステージ部材側に位置し、かつ、Ｘ用枢着軸を中心に回転するステージ部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントとの差が小さくなるように、Ｘ方向移動部材側回転体と上記ステージ部材側回転体の一方にＸ用錘を固定したことを特徴とするステージ装置。
【請求項９】
請求項８記載のステージ装置において、上記リンク部材の他端部が、上記ステージ部材にＹ方向に相対移動自在として接続されているステージ装置。
【請求項１０】
請求項８または９記載のステージ装置において、
上記Ｘ方向移動部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントと、上記ステージ部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントの一方が他方の６０％〜１００％となるように、上記Ｘ用錘の質量を設定したステージ装置。
【請求項１１】
請求項１０記載のステージ装置において、
上記Ｘ方向移動部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントと、上記ステージ部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントとが一致するように、上記Ｘ用錘の質量を設定したステージ装置。
【請求項１２】
請求項８から１１のいずれか１項記載のステージ装置において、
上記固定支持基板に対してＹ方向にのみ移動可能なＹ方向移動部材と、
上記固定支持基板と上記Ｙ方向移動部材の一方に固定された、磁性体からなるＹ用ヨークと、
該Ｙ用ヨークと一体をなし、該Ｙ用ヨークとの間にＹ用磁気回路を形成するＹ用磁石と、
上記固定支持基板と上記Ｙ方向移動部材の他方に固定された、上記Ｙ用磁気回路の磁力を受けると、上記Ｙ方向移動部材をＹ方向に移動させる駆動力を発生するＹ方向駆動用コイルと、
上記固定支持基板上に、上記Ｚ方向のＹ側枢着軸回りに回転可能として支持されたＸ方向リンク部材と、
を備え、
このＸ方向リンク部材の一端が上記Ｙ方向移動部材にＺ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材に、Ｘ方向に相対移動自在かつＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続され、
上記Ｙ用枢着軸より上記Ｙ方向移動部材側に位置しかつＹ用枢着軸を中心に回転するＹ方向移動部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントと、Ｙ用枢着軸よりステージ部材側に位置しかつＹ用枢着軸を中心に回転するステージ部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントとの差が小さくなるように、上記Ｙ方向移動部材側回転体とステージ部材側回転体の一方にＹ用錘を固定したステージ装置。
【請求項１３】
請求項１２記載のステージ装置において、
上記Ｙ用錘の質量を、上記Ｙ方向移動部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントが、上記ステージ部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントの６０％〜１００％となるように設定したステージ装置。
【請求項１４】
請求項１３記載のステージ装置において、
上記Ｙ方向移動部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントと、上記ステージ部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントとが一致するように、上記Ｙ用錘の質量を設定したステージ装置。
【請求項１５】
請求項５から７、及び１２から１４のいずれか１項記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
上記ステージ装置を内蔵するカメラと、
上記ステージ部材と一体となって移動する、前面に結像面を有する撮像素子と、
上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、
該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘ方向駆動用コイル及び上記Ｙ方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、
を備えるカメラの手振れ補正装置。
【請求項１６】
請求項５から７、及び１２から１４のいずれか１項記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
上記ステージ装置を内蔵するカメラと、
上記ステージ部材と一体となって移動する、手振れを補正するための補正レンズと、
上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、
該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘ方向駆動用コイル及び上記Ｙ方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、
を備えるカメラの手振れ補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の部材を互いに直交する２方向に直線移動させるステージ装置、及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
固定支持基板に対してステージ部材を一平面内において互いに直交するＸ方向とＹ方向に直線移動させるステージ装置は従来より知られている（例えば特許文献１）。
この種のステージ装置は一般的に、固定支持基板にＸ方向駆動用ヨーク（磁石を有する）とＹ方向駆動用ヨーク（磁石を有する）を固定し、ステージ部材にＸ方向駆動用コイルとＹ方向駆動用コイルを固定し、Ｘ方向駆動用コイルとＹ方向駆動用コイルを、Ｘ方向駆動用ヨークとＹ方向駆動用ヨークの内部にそれぞれ位置させている。そして、Ｘ方向駆動用コイルとＹ方向駆動用コイルに電流を流すと、Ｘ方向駆動用ヨーク（及び磁石）とＹ方向駆動用ヨーク（及び磁石）で発生した磁力により、Ｘ方向駆動用コイルとＹ方向駆動用コイルが、それぞれＸ方向とＹ方向の駆動力を生じる。そして、このＸ方向とＹ方向の駆動力によって、ステージ部材が固定支持基板に対してＸ方向とＹ方向に相対移動する。
【０００３】
ところで本出願人は、新規なステージ装置として、Ｘ方向駆動用コイルとＹ方向駆動用コイルをそれぞれＸ用コイル形成板とＹ用コイル形成板に形成し、Ｘ用コイル形成板とステージ部材との間に、Ｘ用コイル形成板の移動量を拡大または縮小してステージ部材に伝達するＸ方向移動量調整伝達手段を設け、さらに、Ｙ用コイル形成板とステージ部材との間に、Ｙ用コイル形成板の移動量を拡大または縮小してステージ部材に伝達するＹ方向移動量調整伝達手段を設けた発明を完成した（特願２００５−１７９６２６号）。
【０００４】
Ｘ方向移動量調整伝達手段は、中間部が固定支持基板に、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向のＸ用枢着軸回りに回転可能として支持され、かつ、一端が上記Ｘ方向移動部材に、Ｚ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、さらに、他端がステージ部材にＹ方向に相対移動自在、かつＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続されたＹ方向リンク部材を備えている。
一方、Ｙ方向移動量調整伝達手段は、中間部が固定支持基板に、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向のＹ用枢着軸回りに回転可能として支持され、かつ、一端がＹ方向移動部材にＺ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、さらに、他端がステージ部材にＸ方向に相対移動自在、かつＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続されたＸ方向リンク部材を備えている。
【０００５】
このステージ装置では、Ｘ方向駆動用コイルに電流が流れると、Ｙ方向リンク部材がＸ用枢着軸回りに回転し、ステージ部材がＸ方向に移動する。さらに、Ｙ方向駆動用コイルに電流が流れると、Ｘ方向リンク部材がＹ用枢着軸回りに回転し、ステージ部材がＹ方向に移動する。
【特許文献１】特開平１０−２６８３７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように上記ステージ装置では、Ｙ方向リンク部材及びＸ方向リンク部材が「てこ」として機能することにより、ステージ部材をＸ方向及びＹ方向に移動させている。
ところが、一般的に駆動用コイル及びコイル形成板の合計質量は、ステージ部材の質量より小さいため、Ｙ方向リンク部材及びＸ方向リンク部材を「てこ」として利用する上記ステージ装置では、駆動用コイルに大きな駆動力を発生させないと、ステージ部材がスムーズに移動しなくなる。
【０００７】
駆動用コイルに大きな駆動力を発生させるためには、駆動用コイルに大きな電流を流すか、駆動コイル及びヨーク（及び磁石）を大型化させる必要がある。
しかし、駆動用コイルに大きな電流を流せば消費電力が増大してしまう。
一方、駆動コイル及びヨーク（及び磁石）を大型化すると、ステージ装置全体が大型化してしまう。さらに、ステージ装置をカメラの手振れ補正装置として利用する場合には、カメラボディが大型化してしまう。
【０００８】
本発明の目的は、駆動用コイルで発生した駆動力を「てこ」の原理を利用してステージ部材に伝達する場合に、消費電力を抑え、かつ、駆動装置を大型化させることなく、ステージ部材を円滑に移動させることが可能なステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のステージ装置は、固定支持基板と、該固定支持基板上に、特定のＸ方向及びＸ方向に直交するＹ方向に直線移動自在として支持されたステージ部材と、磁性体からなり上記固定支持基板に対してＸ方向にのみ移動可能なＸ用ヨークと、該Ｘ用ヨークと一体をなし、該Ｘ用ヨークとの間にＸ用磁気回路を形成するＸ用磁石と、上記固定支持基板に固定され、上記Ｘ用磁気回路の磁力を受けたとき上記Ｘ用ヨークをＸ方向に移動させる駆動力を発生するＸ方向駆動用コイルと、上記固定支持基板上に、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向のＸ用枢着軸回りに回転可能に支持されたリンク部材と、を備え、上記リンク部材の一端部が上記Ｘ用ヨークにＺ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端部が上記ステージ部材にＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続されていることを特徴としている。
【００１０】
上記リンク部材の他端部が、上記ステージ部材にＹ方向に相対移動自在として接続するのが好ましい。
【００１１】
上記Ｘ用枢着軸より上記Ｘ用ヨーク側に位置しかつＸ用枢着軸を中心に回転するＸ用ヨーク側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントと、Ｘ用枢着軸よりステージ部材側に位置しかつＸ用枢着軸を中心に回転するステージ部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントの一方が他方の６０％〜１００％となるように、上記Ｘ用ヨークとＸ用磁石の質量を設定すれば、両者に大きな差がある場合に比べて実質的な効果が得られる。
【００１２】
さらに、上記Ｘ用ヨーク側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントと、上記ステージ部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントとが一致するように、上記Ｘ用ヨークとＸ用磁石の質量を設定するのが好ましい。
本明細書でいう一致、即ち「１００％」とは正確に１００％の場合のみを意味するのではなく、１００％を僅かに超えた値または１００％を僅かに下回る値までも含む概念である。即ち、「１００％」の技術的意義は、駆動装置の可動部分側の回転モーメントとステージ部材側の回転モーメントをほぼ一致させることにより、駆動装置に要求される駆動力を最小限に止める点にあるので、このような作用効果を奏することが可能な場合は１００％から僅かにずれていても、特許請求の範囲に記載した「１００％」の概念に含まれる。
【００１３】
さらに、磁性体からなり上記固定支持基板に対してＹ方向にのみ移動可能なＹ用ヨークと、該Ｙ用ヨークと一体をなし、該Ｙ用ヨークとの間にＹ用磁気回路を形成するＹ用磁石と、上記固定支持基板に固定され、上記Ｙ用磁気回路の磁力を受けると、上記Ｙ用ヨークをＹ方向に移動させる駆動力を発生するＹ方向駆動用コイルと、上記固定支持基板上に、上記Ｚ方向のＹ用枢着軸回りに回転可能として支持されたＸ方向リンク部材と、を備え、このＸ方向リンク部材の一端が上記Ｙ用ヨークにＺ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材にＸ方向に相対移動自在かつＺ方向の回転軸回りに回転自在とするのが好ましい。
【００１４】
この場合に、上記Ｙ用枢着軸より上記Ｙ用ヨーク側に位置しかつＹ用枢着軸を中心に回転するＹ用ヨーク側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントと、Ｙ用枢着軸よりステージ部材側に位置しかつＹ用枢着軸を中心に回転するステージ部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントの一方が他方の６０％〜１００％となるように、上記Ｙ用ヨークとＹ用磁石の質量を設定すれば、実質的な効果が得られる。
【００１５】
上記Ｙ用ヨーク側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントと、上記ステージ部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントとが一致するように、上記Ｙ用ヨークとＹ用磁石の質量を設定すれば、より大きな効果が得られる。
【００１６】
別の態様によれば本発明は、固定支持基板と、該固定支持基板上に、特定のＸ方向及びＸ方向に直交するＹ方向に直線移動自在として支持されたステージ部材と、上記固定支持基板に対してＸ方向にのみ移動可能なＸ方向移動部材と、上記固定支持基板上に、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向のＸ側枢着軸回りに回転可能として支持されたリンク部材と、上記固定支持基板と上記Ｘ方向移動部材の一方に固定された、磁性体からなるＸ用ヨークと、該該Ｘ用ヨークと一体をなし、該Ｘ用ヨークとの間にＸ用磁気回路を形成するＸ用磁石と、上記固定支持基板と上記Ｘ方向移動部材の他方に固定された、上記Ｘ用磁気回路の磁力を受けると、上記Ｘ方向移動部材をＸ方向に移動させる駆動力を発生するＸ方向駆動用コイルと、を備え、上記リンク部材の一端が上記Ｘ方向移動部材にＺ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材にＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続され、上記Ｘ用枢着軸より上記Ｘ方向移動部材側に位置し、かつ、Ｘ用枢着軸を中心に回転するＸ方向移動部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントと、Ｘ用枢着軸よりステージ部材側に位置し、かつ、Ｘ用枢着軸を中心に回転するステージ部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントとの差が小さくなるように、Ｘ方向移動部材側回転体と上記ステージ部材側回転体の一方にＸ用錘を固定したことを特徴としている。
【００１７】
上記リンク部材の他端部を、上記ステージ部材にＹ方向に相対移動自在として接続するのが好ましい。
【００１８】
この態様でも、上記Ｘ方向移動部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントと、上記ステージ部材側回転体の自重によるＸ用枢着軸回りの回転モーメントの一方が他方の６０％〜１００％となるように、上記Ｘ用錘の質量を設定するのが好ましく、さらに両者を一致させるのがなお好ましい。
【００１９】
さらに、上記固定支持基板に対してＹ方向にのみ移動可能なＹ方向移動部材と、上記固定支持基板と上記Ｙ方向移動部材の一方に固定された、磁性体からなるＹ用ヨークと、該Ｙ用ヨークと一体をなし、該Ｙ用ヨークとの間にＹ用磁気回路を形成するＹ用磁石と、上記固定支持基板と上記Ｙ方向移動部材の他方に固定された、上記Ｙ用磁気回路の磁力を受けると、上記Ｙ方向移動部材をＹ方向に移動させる駆動力を発生するＹ方向駆動用コイルと、上記固定支持基板上に、上記Ｚ方向のＹ側枢着軸回りに回転可能として支持されたＸ方向リンク部材と、を備え、このＸ方向リンク部材の一端が上記Ｙ方向移動部材にＺ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材に、Ｘ方向に相対移動自在かつＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続され、上記Ｙ用枢着軸より上記Ｙ方向移動部材側に位置しかつＹ用枢着軸を中心に回転するＹ方向移動部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントと、Ｙ用枢着軸よりステージ部材側に位置しかつＹ用枢着軸を中心に回転するステージ部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントとの差が小さくなるように、上記Ｙ方向移動部材側回転体とステージ部材側回転体の一方にＹ用錘を固定するが好ましい。
【００２０】
さらに上記Ｙ用錘の質量を、上記Ｙ方向移動部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントが、上記ステージ部材側回転体の自重によるＹ用枢着軸回りの回転モーメントの６０％〜１００％となるように設定するのが好ましい。さらに両者を一致させれば、なお好ましい。
【００２１】
上記ステージ装置を利用した手振れ補正装置を実現可能である。
具体的には、上記ステージ装置を内蔵するカメラと、上記ステージ部材と一体となって移動する、前面に結像面を有する撮像素子と、上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘ方向駆動用コイル及び上記Ｙ方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、を備えることにより実現できる。
【００２２】
また、上記ステージ装置を内蔵するカメラと、上記ステージ部材と一体となって移動する、手振れを補正するための補正レンズと、上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘ方向駆動用コイル及び上記Ｙ方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、を備えることによっても実現できる。
【発明の効果】
【００２３】
駆動用コイルで発生した駆動力をてこの原理を利用してステージ部材に伝達する場合に、一般的に駆動用コイルより質量が大きいヨーク及び磁石を、特定の枢着軸を挟んでステージ部材と相対する回転体の一部とすることにより、この枢着軸回りの該回転体の回転モーメントを、ステージ部材側の回転モーメントに近づけることが可能である。その結果、消費電力を抑え、かつ、駆動装置を大型化させることなく、ステージ部材を円滑に移動させることが可能になる。
同様に、駆動用コイルを特定の枢着軸を挟んでステージ部材と相対する回転体の一部とする場合に、駆動用コイル側に錘を固着して、この枢着軸回りの該回転体の回転モーメントを、ステージ部材側の回転モーメントに近づけることによっても、消費電力を抑え、かつ、駆動装置を大型化させることなく、ステージ部材を円滑に移動させることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図１〜図１２に基づいて、本発明の第１の実施形態について説明する。以下の各実施形態中における「Ｘ方向」とは、デジタルカメラ１０の左右方向であり、「Ｙ方向」とはデジタルカメラ１０の上下方向であり、「Ｚ方向」とは光軸Ｏと平行な方向（Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向）である。
図１に示すように、デジタルカメラ（カメラ）１０内には、複数のレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３からなる光学系が配設されており、レンズＬ３の後方にはＣＣＤ（撮像素子）１１が配設されている。上記カメラ光学系の光軸Ｏに対して直交するＣＣＤ１１の撮像面１２の位置は、該カメラ光学系の結像位置と一致しており、ＣＣＤ１１はデジタルカメラ１０に内蔵された手振れ補正装置１００に固定されている。
【００２５】
手振れ補正装置１００は、図２〜図１１に示すように、以下のような構造となっている。
図２に示すように、後方から視たときに方形をなし、方形の収容孔２１が穿設された平板状の固定支持基板２０は、図示を省略した固定手段によりデジタルカメラ１０のボディ内に固定されている。固定支持基板２０は、光軸Ｏに対して直交し、かつ、光軸Ｏが収容孔２１の中心に位置している。
【００２６】
固定支持基板２０の後面の収容孔２１の下側には、正面視方形の凹部２２が凹設されている。固定支持基板２０の後面には、この凹部２２をＹ方向に跨ぐ態様で長方形のＸ用コイル形成板２４が固定されている。図２に示すように、Ｘ用コイル形成板２４のＸ方向長は凹部２２のＸ方向長より短く、Ｘ用コイル形成板２４のＹ方向長は凹部２２のＹ方向長より長い。さらに、Ｘ用コイル形成板２４の前面中央部には磁束を利用してＸ方向の位置変化を検出するＸ方向ホール素子３８が固着されている。
このＸ用コイル形成板２４には後述する制御手段に電気的に接続されたＸ方向駆動用コイルＣＸが、プリントによりＸ方向及びＹ方向と平行な平面コイルとして形成されている。図８に示すように、Ｘ方向駆動用コイルＣＸは、各辺が直線状をなす渦巻き状をなしており、右辺ＣＸ１と、左辺ＣＸ２と、上辺ＣＸ３と、下辺ＣＸ４とからなっている。図８では便宜上、Ｘ方向駆動用コイルＣＸを電気線を数回巻いたものとして図示しているが、実際は数十回巻かれている。
【００２７】
また、固定支持基板２０の後面の収容孔２１の右側には、正面視方形の凹部２５が凹設されている。固定支持基板２０の後面には、この凹部２５をＸ方向に跨ぐ態様で長方形のＹ用コイル形成板２６が固定されている。図２に示すように、Ｙ用コイル形成板２６のＸ方向長は凹部２５のＸ方向長より長く、Ｙ用コイル形成板２６のＹ方向長は凹部２５のＹ方向長より短い。さらに、Ｙ用コイル形成板２６の前面中央部には磁束を利用してＹ方向の位置変化を検出するＹ方向ホール素子３９が固着されている。
このＹ用コイル形成板２６には後述する制御手段に電気的に接続されたＹ方向駆動用コイルＣＹが、プリントによりＸ方向及びＹ方向と平行な平面コイルとして形成されている。図９に示すように、Ｙ方向駆動用コイルＣＹは、各辺が直線状をなす渦巻き状をなしており、右辺ＣＹ１と、左辺ＣＹ２と、上辺ＣＹ３と、下辺ＣＹ４とからなっている。図９では便宜上、Ｙ方向駆動用コイルＣＹを電気線を数回巻いたものとして図示しているが、実際は数十回巻かれている。
【００２８】
収容孔２１の内部には、収容孔２１より小寸で、かつその後面が開口している中空箱状のＣＣＤ保持部材（ステージ部材）１０１が位置している。図４に示すように、ＣＣＤ保持部材１０１の前面には正面視方形の採光孔４１が穿設されている。ＣＣＤ保持部材１０１の内部にはローパスフィルタ４２とＣＣＤ１１が正面視方形環状の押さえ部材４３は挟んだ状態で収納されており、正面から視るとＣＣＤ１１の撮像面１２は採光孔４１と前後方向に対向する。図２及び図４に示すように、ＣＣＤ保持部材１０１の後面にはカバー板３３が固着されており、ＣＣＤ保持部材１０１からＣＣＤ１１、ローパスフィルタ４２、及び押さえ部材４３が後方に抜け落ちるのを防止している。
【００２９】
ＣＣＤ保持部材１０１の後面にはＸ方向を向くＸ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３が、上下一対として凹設されている。図２、図５、及び図７に示すように、Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３は同形状の直線溝であり、断面形状は共に方形である。Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３には、そのＹ方向寸法がＸ方向スライド溝１０２及びＸ方向スライド溝１０３と等しく、Ｘ方向寸法及びＺ方向寸法がＸ方向スライド溝１０２及びＸ方向スライド溝１０３より短い、互いに同形状のＸ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５が、それぞれＸ方向にのみ摺動可能として嵌合している。Ｘ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５は図示を省略した付勢手段によって常に前方に付勢されており、Ｘ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５の上下両面と前面は常にＸ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３の内面にそれぞれ接触している。さらに、Ｘ方向スライダ１０４の後面にはＸ方向を向くＸ方向リンク部材１０６の左端部が、Ｚ方向を向く連結ピン１０７によって枢着されており、Ｘ方向リンク部材１０６はＸ方向スライダ１０４に対して連結ピン１０７回りに回転可能である。固定支持基板２０の後面に突設された軸受け１６にはＺ方向を向く連結ピン（Ｙ用枢着軸）１０８が固定されており、Ｘ方向リンク部材１０６の中間部が連結ピン１０８に枢着されている。よって、Ｘ方向リンク部材１０６は固定支持基板２０に対して連結ピン１０８を中心に回転可能である。
【００３０】
一方、Ｘ方向スライダ１０５の後面にはＸ方向リンク部材１０６と同形状のＸ方向を向くＸ方向リンク部材１０９の左端部が、Ｚ方向を向く連結ピン１１０によって枢着されている。Ｘ方向リンク部材１０９はＸ方向スライダ１０５に対して連結ピン１１０回りに回転可能である。固定支持基板２０の後面には、そのＸ方向位置が軸受け１６と一致する軸受け１７が突設されている。この軸受け１７には、Ｚ方向を向く連結ピン（Ｙ用枢着軸）１１１が固定されており、Ｘ方向リンク部材１０９の中間部は連結ピン１１１に枢着されている。即ち、Ｘ方向リンク部材１０９は固定支持基板２０に対して連結ピン１１１を中心に回転可能である。
【００３１】
Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９の右端部の間には、金属（軟鉄）等の磁性体からなるＹ用ヨークＹＹＡが位置している。Ｙ用ヨークＹＹＡの固定支持基板２０と平行な後板部ＹＹＡ１から上方に延出する突片ＹＹＡ２は、Ｚ方向を向く連結ピン１１２によってＸ方向リンク部材１０６の前面の右端部に枢着されており、Ｙ用ヨークＹＹＡとＸ方向リンク部材１０６は連結ピン１１２を中心に相対回転可能である。さらに、Ｙ用ヨークＹＹＡの後板部ＹＹＡ１から下方に延出する突片ＹＹＡ３は、Ｘ方向リンク部材１０９の前面の右端部に、Ｚ方向を向く連結ピン１１４によって枢着されており、Ｙ用ヨークＹＹＡとＸ方向リンク部材１０９は連結ピン１１４回りに相対回転可能である。
【００３２】
Ｙ用ヨークＹＹＡの後板部ＹＹＡ１の前面の上下両端からは連結部ＹＹＡ４が前方に向かって延出しており、上下の連結部ＹＹＡ４の前面どうしは後板部ＹＹＡ１と平行な前板部ＹＹＡ５によって連結されている。図４に示すように、上下の連結部ＹＹＡ４と前板部ＹＹＡ５は凹部２５内に位置しており、さらに後板部ＹＹＡ１と連結部ＹＹＡ４と前板部ＹＹＡ５の間にＹ用コイル形成板２６が位置している。上側の連結部ＹＹＡ４の上面と下側の連結部ＹＹＡ４の下面の間隔より凹部２５のＹ方向長が長いので、Ｙ用ヨークＹＹＡは凹部２５内でＹ方向に相対移動可能である。さらに、上側の連結部ＹＹＡ４の下面と下側の連結部ＹＹＡ４の上面の間隔がＹ用コイル形成板２６のＹ方向長より長いので、Ｙ用ヨークＹＹＡはＹ用コイル形成板２６に対してＹ方向に相対移動可能である。
さらに、後板部ＹＹＡ１の前面には、そのＮ極とＳ極がＹ方向に並ぶＹ用磁石ＭＹが固着されている。Ｙ用磁石ＭＹの磁束を後板部ＹＹＡ１、連結部ＹＹＡ４、及び前板部ＹＹＡ５が通すことにより互いに対向するＹ用ヨークＹＹＡの前板部ＹＹＡ５とＹ用磁石ＭＹとの間にはＹ用磁気回路が形成されている。Ｙ用磁石ＭＹのＮ極とＹ方向駆動用コイルＣＹの上辺ＣＹ３は常にＺ方向の重合関係を維持し、Ｙ用磁石ＭＹのＳ極とＹ方向駆動用コイルＣＹの下辺ＣＹ４は常にＺ方向の重合関係を維持する。上記Ｙ方向ホール素子３９は、Ｙ用磁石ＭＹと前板部ＹＹＡ５の間の磁束を利用してＹ用ヨークＹＹＡのＹ方向の位置変化を検出する。
また、Ｙ用ヨークＹＹＡとＹ用磁石ＭＹの結合体の質量は、Ｙ用コイル形成板２６とＹ方向駆動用コイルＣＹの合計質量より大きい。
【００３３】
図２及び図７に示すように、連結ピン１０８から連結ピン１１２までの直線距離（Ｘ方向距離）より連結ピン１０８から連結ピン１０７までの直線距離（Ｘ方向距離）が長くなるように、連結ピン１０８の位置は設定されている。同様に、連結ピン１１１から連結ピン１１４までの直線距離（Ｘ方向距離）より連結ピン１１１から連結ピン１１０までの直線距離（Ｘ方向距離）が長くなるように、連結ピン１１１の位置が設定されている。
そして、これらＸ方向スライド溝１０２、Ｘ方向スライド溝１０３、Ｘ方向スライダ１０４、Ｘ方向スライダ１０５、Ｘ方向リンク部材１０６、連結ピン１０７、連結ピン１０８、Ｘ方向リンク部材１０９、連結ピン１１０、連結ピン１１１、連結ピン１１２、Ｙ用ヨークＹＹＡ、連結ピン１１４はＹ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００３４】
ＣＣＤ保持部材１０１の後面の左端部にはＹ方向を向くＹ方向スライド溝１１７が凹設されている。図２及び図７に示すようにＹ方向スライド溝１１７は断面が方形の直線溝である。Ｙ方向スライド溝１１７には、そのＸ方向寸法がＹ方向スライド溝１１７と等しく、Ｙ方向寸法及びＺ方向寸法がＹ方向スライド溝１１７より短いＹ方向スライダ１１８が、Ｙ方向にのみ摺動可能として嵌合している。Ｙ方向スライダ１１８は図示を省略した付勢手段によって常に前方に付勢されており、Ｙ方向スライダ１１８の左右両面と前面は常にＹ方向スライド溝１１７の内面にそれぞれ接触している。さらに、Ｙ方向スライダ１１８の後面にはＹ方向を向くＹ方向リンク部材（リンク部材）１１９の上端部が、Ｚ方向を向く連結ピン（回転軸）１２０によって枢着されており、Ｙ方向リンク部材１１９はＹ方向スライダ１１８に対して連結ピン１２０回りに回転可能となっている。固定支持基板２０の後面には軸受け１８が突設されており、Ｙ方向リンク部材１１９の中間部は、この軸受け１８に支持されたＺ方向を向く連結ピン（Ｘ用枢着軸）１２１に枢着されている。Ｙ方向リンク部材１１９は固定支持基板２０に対して連結ピン１２１を中心に回転可能である。固定支持基板２０の後面のＹ方向リンク部材１１９の右側には軸受け１９が突設されている。この軸受け１９のＹ方向位置は軸受け１８と同一である。軸受け１９には、Ｚ方向を向く連結ピン１２３が支持されており、この連結ピン１２３に、Ｙ方向リンク部材１１９と平行なＹ方向リンク部材１２２の上端部が（連結ピン１２３回りに）回転可能に枢着されている。
【００３５】
Ｙ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２の下端部の間には、金属（軟鉄）等の磁性体からなるＸ用ヨークＹＸＡの固定支持基板２０と平行な後板部ＹＸＡ１が位置している。後板部ＹＸＡ１から右側に延出する突片ＹＸＡ２は、Ｙ方向リンク部材１２２の前面の下端部に、Ｚ方向を向く連結ピン１２４によって枢着されており、Ｘ用ヨークＹＸＡとＹ方向リンク部材１２２は連結ピン１２４を中心に相対回転可能である。さらに、Ｘ用ヨークＹＸＡの後板部ＹＸＡ１から左側に延出する突片ＹＸＡ３は、Ｙ方向リンク部材１１９の前面の下端部にＺ方向を向く連結ピン（回転軸）１２６によって枢着されており、Ｘ用ヨークＹＸＡとＹ方向リンク部材１１９は連結ピン１２６回りに相対回転可能である。
【００３６】
Ｘ用ヨークＹＸＡの後板部ＹＸＡ１の前面の左右両端からは連結部ＹＸＡ４が前方に向かって延出しており、左右の連結部ＹＸＡ４の前面どうしは後板部ＹＸＡ１と平行な前板部ＹＸＡ５によって連結されている。図３に示すように、左右の連結部ＹＸＡ４と前板部ＹＸＡ５は凹部２２内に位置しており、さらに後板部ＹＸＡ１と連結部ＹＸＡ４と前板部ＹＸＡ５の間にＸ用コイル形成板２４が位置している。右側の連結部ＹＸＡ４の右側面と左側の連結部ＹＸＡ４の左側面の間隔より凹部２２のＸ方向長が長いので、Ｘ用ヨークＹＸＡは凹部２２内でＸ方向に相対移動可能である。さらに、右側の連結部ＹＸＡ４の左側面と左側の連結部ＹＸＡ４の右側面の間隔よりＸ用コイル形成板２４のＸ方向長が短いので、Ｘ用ヨークＹＸＡはＸ用コイル形成板２４に対してＸ方向に相対移動可能である。
さらに、後板部ＹＸＡ１の前面には、そのＮ極とＳ極がＸ方向に並ぶＸ用磁石ＭＸが固着されている。Ｘ用磁石ＭＸの磁束を後板部ＹＸＡ１、連結部ＹＸＡ４、及び前板部ＹＸＡ５が通すことにより互いに対向するＸ用ヨークＹＸＡの前板部ＹＸＡ５とＸ用磁石ＭＸの間にはＸ用磁気回路が形成されている。図８に示すようにＸ用磁石ＭＸのＮ極とＸ方向駆動用コイルＣＸの右辺ＣＸ１は常にＺ方向の重合関係を維持し、Ｘ用磁石ＭＸのＳ極とＸ方向駆動用コイルＣＸの左辺ＣＸ２は常にＺ方向の重合関係を維持する。また、上記Ｘ方向ホール素子３８は、Ｘ用磁石ＭＸと前板部ＹＸＡ５との間の磁束を利用してＸ用ヨークＹＸＡのＸ方向の位置変化を検出する。
また、Ｘ用ヨークＹＸＡとＸ用磁石ＭＸの結合体の質量は、Ｘ用コイル形成板２４とＸ方向駆動用コイルＣＸの合計質量より大きい。
【００３７】
図２及び図７に示すように、連結ピン１２１から連結ピン１２６までの直線距離（Ｙ方向距離。連結ピン１２３から連結ピン１２４までの距離と同じ）より連結ピン１２１から連結ピン１２０までの直線距離（Ｙ方向距離）が長くなるように、連結ピン１２１（軸受け１８と軸受け１９）のＹ方向位置を設定している。
そして、これらＹ方向スライド溝１１７、Ｙ方向スライダ１１８、Ｙ方向リンク部材１１９、連結ピン１２０、連結ピン１２１、Ｙ方向リンク部材１２２、連結ピン１２３、連結ピン１２４、連結ピン１２６、及びＸ用ヨークＹＸＡはＸ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００３８】
次に、デジタルカメラ１０の手振れ補正動作について説明する。
まずは、Ｙ方向の手振れ補正動作について、図１２の制御回路ブロック図を用いながら説明する。
デジタルカメラ１０による撮影時に手振れ補正スイッチＳＷ（図１参照）をＯＮにすると、デジタルカメラ１０にＹ方向の手振れが生じなければ手振れ補正装置１００は動作しないが、Ｙ方向の手振れが生じるとデジタルカメラ１０に内蔵されたＹ方向角速度センサ（振動検出センサ）９１の出力を積分回路９３が積分し、光軸ＯのＹ方向の角度振れ量に変換する。そして、積分回路９３の出力（デジタルカメラ１０のＹ方向の振動量）とＹ方向ホール素子３９の出力（Ｙ用ヨークＹＹＡのデジタルカメラ１０に対するＹ方向の移動量）にＹ用ヨークＹＹＡのＹ方向の移動量とＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）のＹ方向の移動量の比を掛けた値とが誤差増幅器９５で比較され、出力差に応じた電圧が誤差増幅器９５によってＹ方向駆動用コイルＣＹに印加される。
【００３９】
例えば、デジタルカメラ１０にＹ方向下向きの手振れが生じると、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに図９に矢線で示す方向の電流が流れる。すると、上辺ＣＹ３と下辺ＣＹ４にはＹ方向上向きの直線的な力ＦＹ１が生じ、ＦＹ１の反力（駆動力）がＹ用ヨークＹＹＡに下向きに掛かる（この際、右辺ＣＹ１と左辺ＣＹ２にも力が生じるが、これらの力は互いに打ち消し合うので、Ｙ用ヨークＹＹＡには力を及ぼさない）。Ｙ用ヨークＹＹＡがＦＹ１の反力を受けると、ＦＹ１の反力（駆動力）がＹ用ヨークＹＹＡからＸ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９に伝わり、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９が平行関係を維持しながら連結ピン１０８と連結ピン１１１を中心に図２の時計方向に回転する。すると、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９がＸ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５に対して相対回転し、Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３はＸ方向を向いた状態を維持する。さらに、Ｘ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５からＸ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３に上向きの力が掛かるので、ＣＣＤ保持部材１０１及びＣＣＤ１１）が固定支持基板２０に対して上向きに相対移動し、上記Ｙ方向下向きの手振れが補正される。さらに、ＣＣＤ保持部材１０１の上方移動に伴い、Ｙ方向スライド溝１１７がＹ方向スライダ１１８に対して上向きに相対移動する。
【００４０】
一方、デジタルカメラ１０にＹ方向上向きの手振れが生じると、Ｙ方向駆動用コイルＣＹには図９の矢線とは逆向きに電流を流れる。すると、上辺ＣＹ３と下辺ＣＹ４にはＹ方向下向きの直線的な力ＦＹ２が生じ、この反力がＹ用ヨークＹＹＡに上向きに掛かる（この際、右辺ＣＹ１と左辺ＣＹ２にも力が生じるが、これらの力は互いに打ち消し合うので、Ｙ用ヨークＹＹＡには力を及ぼさない）。Ｙ用ヨークＹＹＡがＦＹ２の反力（駆動力）を受けると、この反力がＹ用ヨークＹＹＡからＸ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９に伝わり、図１０に示すように、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９が連結ピン１０８と連結ピン１１１を中心に図２の反時計方向に回転する。すると、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９がＸ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５に対して相対回転し、Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３はＸ方向を向いた状態を維持する。さらに、Ｘ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５からＸ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３に下向きの力が掛かるので、ＣＣＤ保持部材１０１及びＣＣＤ１１が固定支持基板２０に対して下向きに相対移動し、上記Ｙ方向上向きの手振れが補正される。さらに、ＣＣＤ保持部材１０１の下方移動に伴い、Ｙ方向スライド溝１１７（ＣＣＤ保持部材１０１）がＹ方向スライダ１１８（及び固定支持基板２０）に対して下向きに相対移動する。
【００４１】
このようにＹ用ヨークＹＹＡのＹ方向への直線移動に起因してＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）がＹ方向に直線移動するとき、Ｙ用ヨークＹＹＡの移動量とＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）の移動量の比は、連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１１２（連結ピン１１４）までの直線距離と、連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１０７（連結ピン１１０）までの直線距離の比と同じであり、Ｙ用ヨークＹＹＡよりＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）が大きく動く。
なお、Ｙ方向駆動用コイルＣＹへの給電を停止すると、その瞬間にＹ方向の動力が失われＹ用ヨークＹＹＡは移動を停止する。また、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに流れる電流の大きさと生じる力は比例するので、Ｙ方向駆動用コイルＣＹへ給電する電流を大きくすれば、Ｙ用ヨークＹＹＡに掛かる力は大きくなり、電流を小さくすればＹ用ヨークＹＹＡに掛かる力は小さくなる。
【００４２】
このように、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９がそれぞれ連結ピン１０８と枢着ピン１１１を支点とする「てこ」のように機能することにより、Ｙ用ヨークＹＹＡの移動力がＣＣＤ保持部材１０１に伝達される。
そして本実施形態では、連結ピン１０８よりＹ用ヨークＹＹＡ側の部分、及び枢着ピン１１１よりＹ用ヨークＹＹＡ側の部分からなるＹ用ヨーク側回転体の、連結ピン１０８と枢着ピン１１１を中心とするＹ用ヨーク側回転体の自重による回転モーメントが、ＣＣＤ保持部材１０１、ＣＣＤ保持部材１０１と一体化された部品（ＣＣＤ１１、ローパスフィルタ４２等）、Ｘ方向スライダ１０４、Ｘ方向スライダ１０５、枢着ピン１０７、連結ピン１１０、Ｘ方向リンク部材１０６の連結ピン１０８より枢着ピン１０７側の部分、及びＸ方向リンク部材１０９の枢着ピン１１１より連結ピン１１０側の部分（これらがステージ部材側回転体）の、連結ピン１０８と枢着ピン１１１を中心とするステージ部材側回転体の自重による回転モーメントに近づくようにするために、Ｙ用コイル形成板２６とＹ方向駆動用コイルＣＹの合計質量より質量が大きいＹ用ヨークＹＹＡとＹ用磁石ＭＹの結合体を、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９に枢着している。その結果、Ｙ用ヨーク側回転体の自重による回転モーメントとステージ部材側回転体の自重による回転モーメントが一致しているので、Ｙ用ヨークＹＹＡに掛かる力を大きくするために、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに大きな電流を流したり、Ｙ方向駆動用コイルＣＹやＹ用ヨークＹＹＡ（Ｙ用磁石ＭＹ）を大型化しなくても、ＣＣＤ保持部材１０１をＹ方向に円滑に移動させることが可能である。
【００４３】
次に、Ｘ方向の手振れ補正動作について、図１２の制御回路ブロック図を用いながら説明する。
デジタルカメラ１０の手振れ補正スイッチＳＷをＯＮにした状態でＸ方向の手振れが生じると、デジタルカメラ１０に内蔵されたＸ方向角速度センサ（振動検出センサ）９０の出力を積分回路（制御手段）９２が積分し、光軸ＯのＸ方向の角度振れ量に変換する。そして、積分回路９２の出力（デジタルカメラ１０のＸ方向の振動量）とＸ方向ホール素子３８の出力（Ｘ用ヨークＹＸＡのデジタルカメラ１０に対するＸ方向の移動量）にＸ用ヨークＹＸＡのＸ方向の移動量とＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）のＸ方向の移動量の比を掛けた値とが誤差増幅器（制御手段）９４で比較され、出力差に応じた電圧が誤差増幅器９４によってＸ方向駆動用コイルＣＸに印加される。
【００４４】
例えば、デジタルカメラ１０にＸ方向左向きの手振れが生じると、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに図８に矢線で示す方向の電流が流れる。すると、右辺ＣＸ１と左辺ＣＸ２にはＸ方向右向きの直線的な力ＦＸ１が生じ、ＦＸ１の反力（駆動力）がＸ用ヨークＹＸＡに左向きに掛かる（この際、上辺ＣＸ３と下辺ＣＸ４にも力が生じるが、これらの力は互いに打ち消し合うので、Ｘ用ヨークＹＸＡには力を及ぼさない）。Ｘ用ヨークＹＸＡがＦＸ２の反力を受けると、Ｘ用ヨークＹＸＡからＹ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２に伝わり、Ｙ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２が平行関係を維持しながら連結ピン１２１と連結ピン１２３を中心に図２の時計方向に回転する。すると、Ｙ方向リンク部材１１９がＹ方向スライダ１１８に対して相対回転し、Ｙ方向スライド溝１１７はＹ方向を向いた状態を維持する。さらに、Ｙ方向スライダ１１８からＹ方向スライド溝１１７に右方向の移動力が加わるので、ＣＣＤ保持部材１０１及びＸ方向スライド溝１０２が固定支持基板２０に対して右向きに相対移動し、上記手振れが補正される。さらに、ＣＣＤ保持部材１０１の右方向への移動に伴って、Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３がＸ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５に対して右方向に相対移動する。
【００４５】
一方、デジタルカメラ１０にＸ方向右向きの手振れが生じると、Ｘ方向駆動用コイルＣＸには図８の矢線とは逆向きの電流が流れる。すると、右辺ＣＸ１と左辺ＣＸ２にはＸ方向左向きの直線的な力ＦＸ２が生じ、この反力がＸ用ヨークＹＸＡに右向きに掛かる（この際、上辺ＣＸ３と下辺ＣＸ４にも力が生じるが、これらの力は互いに打ち消し合うのでＸ用ヨークＹＸＡには力を及ぼさない）。Ｘ用ヨークＹＸＡがＦＸ２の反力（駆動力）を受けると、この反力がＸ用ヨークＹＸＡからＹ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２に伝わり、図１１に示すように、Ｙ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２が連結ピン１２１と連結ピン１２３を中心に図２の反時計方向に回転する。すると、Ｙ方向リンク部材１１９がＹ方向スライダ１１８に対して相対回転し、Ｙ方向スライド溝１１７とＹ方向スライダ１１８はＹ方向を向いた状態を維持する。さらに、Ｙ方向スライダ１１８からＹ方向スライド溝１１７に左方向の移動力が加わるので、ＣＣＤ保持部材１０１及びＸ方向スライド溝１０２が固定支持基板２０に対して左向きに相対移動し、上記手振れが補正される。さらに、ＣＣＤ保持部材１０１の左方向への移動に伴って、Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３がＸ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５に対して左方向に相対移動する。
【００４６】
Ｘ用ヨークＹＸＡのＸ方向への直線移動に起因してＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）がＸ方向に直線移動するとき、Ｘ用ヨークＹＸＡの移動量とＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）の移動量の比は、連結ピン１２１から連結ピン１２６までの直線距離と、連結ピン１２１から連結ピン１２０までの直線距離の比と同じであり、Ｘ用ヨークＹＸＡよりＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）が大きく動く。
なお、Ｘ方向駆動用コイルＣＸへの給電を停止すると、その瞬間にＸ方向の動力が失われＸ用ヨークＹＸＡは移動を停止する。また、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに流れる電流の大きさと生じる力は比例するので、Ｘ方向駆動用コイルＣＸへ給電する電流を大きくすれば、Ｘ用ヨークＹＸＡに掛かる力は大きくなり、電流を小さくすればＸ用ヨークＹＸＡに掛かる力は小さくなる。
【００４７】
このように、Ｙ方向リンク部材１１９が連結ピン１２１を支点とする「てこ」のように機能することにより、Ｘ用ヨークＹＸＡの移動力がＣＣＤ保持部材１０１に伝達される。
そして本実施形態では、連結ピン１２１よりＸ用ヨークＹＸＡ側の部分であるＸ用ヨーク側回転体の自重による連結ピン１２１を中心とする回転モーメントが、ＣＣＤ保持部材１０１、ＣＣＤ保持部材１０１と一体化された部品（ＣＣＤ１１、ローパスフィルタ４２等）、Ｙ方向スライダ１１８、連結ピン１２０、及びＹ方向リンク部材１１９の連結ピン１２１より連結ピン１２０側の部分（これらがステージ部材側回転体）の連結ピン１２１を中心とするステージ部材側回転体の自重による回転モーメントに近づくようにするために、Ｘ用コイル形成板２４とＸ方向駆動用コイルＣＸの合計質量より質量が大きいＸ用ヨークＹＸＡとＸ用磁石ＭＸの結合体をＹ方向リンク部材１１９に枢着している。その結果、Ｘ用ヨーク側回転体の自重による回転モーメントとステージ部材側回転体の自重による回転モーメントが一致しているので、Ｘ用ヨークＹＸＡに掛かる力を大きくするために、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに大きな電流を流したり、Ｘ方向駆動用コイルＣＸやＸ用ヨークＹＸＡ（Ｘ用磁石ＭＸ）を大型化しなくても、ＣＣＤ保持部材１０１をＸ方向に円滑に移動させることが可能である。
なお、ＣＣＤ１１のＸ方向とＹ方向への直線移動中、ＣＣＤ１１の撮像面１２は常に光軸Ｏと直交する。
【００４８】
以上説明した本実施形態は上述した作用効果を奏するだけでなく、Ｘ用コイル形成板２４及びＸ方向駆動用コイルＣＸの合計質量より質量が大きいＸ用ヨークＹＸＡ及びＸ用磁石ＭＸをＹ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２に接続し、かつ、Ｙ用コイル形成板２６及びＹ方向駆動用コイルＣＹの合計質量より質量が大きいＹ用ヨークＹＹＡ及びＹ用磁石ＭＹをＸ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９に接続しているので、Ｘ用ヨークＹＸＡ及びＹ用ヨークＹＹＡに錘を付ける必要がないというメリットがある。
【００４９】
上記実施形態ではＹ用ヨーク側回転体（及びＸ用ヨーク側回転体）の自重による回転モーメントと、ステージ部材側回転体の自重による回転モーメントとを一致させたが、１００％を僅かに超える場合や、１００％を僅かに下回る場合においても、１００％の場合と実質的に同質の効果が得られる。
また、一方の回転モーメントに対して他方の回転モーメントが９０％以上かつ１００％未満であっても高い効果が得られる。
なお、上記実施形態に比べると効果は低減するが、一方の回転モーメントに対して他方の回転モーメントが６０％以上かつ９０％未満となるように、Ｙ用ヨークＹＹＡ、Ｙ用磁石ＭＹ、Ｘ用ヨークＹＸＡ及びＸ用磁石ＭＸの質量を設定しても、Ｙ方向駆動用コイルＣＹやＸ方向駆動用コイルＣＸに大きな電流を流したり、Ｙ方向駆動用コイルＣＹ、Ｙ用ヨークＹＹＡ（Ｙ用磁石ＭＹ）、Ｘ方向駆動用コイルＣＸ、及びＸ用ヨークＹＸＡ（Ｘ用磁石ＭＸ）を大型化しなくても、ＣＣＤ保持部材１０１をＸ方向とＹ方向に円滑に移動させることが可能である。
【００５０】
さらに、Ｙ用ヨークＹＹＡとＸ用ヨークＹＸＡの移動量よりＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）の移動量を大きくしながら、Ｙ用ヨークＹＹＡとＸ用ヨークＹＸＡの駆動力をＣＣＤ保持部材１０１に伝達しているので、駆動手段であるＸ用ヨークＹＸＡ、Ｘ用磁石ＭＸ、Ｙ用ヨークＹＹＡ、Ｙ用磁石ＭＹ、Ｘ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹを従来に比して小型化できる。
【００５１】
また、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹが、Ｘ方向及びＹ方向と平行な平面状なので、Ｘ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹの巻き数を多くして大きな動力を得ようとすると、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹはＸ方向とＹ方向に延びる。しかし、Ｘ方向駆動用コイルＣとＹ方向駆動用コイルＣＹの巻き数を多くしても、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹが光軸Ｏ方向には大きくならず、Ｘ用ヨークＹＸＡ、Ｙ用ヨークＹＹＡも光軸Ｏ方向に大型化しないので、デジタルカメラ１０が光軸Ｏ方向に大型化することはない。
【００５２】
次に、本発明の第２の実施形態について、図１３〜図１５を参照しながら説明する。本実施形態の手振れ補正装置３００の基本構造は第１の実施形態の手振れ補正装置１００と同じなので、以下の説明では、第１の実施形態と同じ部材には同じ符合を付すに止めて、その詳細な説明は省略する。
【００５３】
本実施形態の手振れ補正装置３００では、固定支持基板２０の収容孔３０１が第１の実施形態の収容孔２１より小寸であり、この収容孔３０１に移動可能に嵌合するＣＣＤ保持部材（ステージ部材）３０２も第１の実施形態のＣＣＤ保持部材１０１に比べて小寸である。ＣＣＤ保持部材３０２の後部には背面視（正面視）においてＣＣＤ保持部材３０２より大寸である方形の溝形成部材（ステージ部材）３０３が一体的に設けられている。そして、溝形成部材３０３の前面には、第１の実施形態のＸ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３とＹ方向スライド溝１１７にそれぞれ対応するＸ方向スライド溝３０５とＸ方向スライド溝３０６とＹ方向スライド溝３０７がそれぞれ凹設されている。図１３に示すように、Ｘ方向スライド溝３０５とＸ方向スライド溝３０６はＸ方向を向く直線状の溝であり、Ｙ方向スライド溝３０７はＹ方向を向く直線状の溝である。Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９は溝形成部材３０３の前方に位置しており、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９の後面には、連結ピン１０７と連結ピン１１０によってＸ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５が回転可能に枢着されている。Ｘ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５は、前方からＸ方向スライド溝３０５とＸ方向スライド溝３０６にそれぞれ嵌合しており、Ｘ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５はＸ方向スライド溝３０５とＸ方向スライド溝３０６に対してＸ方向にのみ摺動可能である。さらに、Ｘ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５は図示を省略した付勢手段によって常に後方に付勢されており、Ｘ方向スライダ１０４とＸ方向スライダ１０５の上下両面と後面は常にＸ方向スライド溝３０５とＸ方向スライド溝３０６の内面にそれぞれ接触している。さらに、固定支持基板２０の後面に突設された軸受け１６と軸受け１７（いずれも図示略）の位置が、第１の実施形態とは異なっている。即ち、軸受け１６に支持された連結ピン１０８（軸受け１７に支持された連結ピン１１１）から連結ピン１０７（連結ピン１１０）までのＸ方向直線距離より、連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１１２（連結ピン１１４）までのＸ方向直線距離の方が長くなるように、連結ピン１０８と連結ピン１１１のＸ方向位置（軸受け１６と軸受け１７の突設位置）が決定されている。連結ピン１０８と連結ピン１１１のＸ方向位置は一致しており、かつ、連結ピン１０７と連結ピン１１０のＸ方向位置、及び連結ピン１１２と連結ピン１１４のＸ方向位置は常に一致する。
そして、これらＸ方向スライド溝３０５、Ｘ方向スライド溝３０６、Ｘ方向スライダ１０４、Ｘ方向スライダ１０５、Ｘ方向リンク部材１０６、連結ピン１０７、連結ピン１０８、Ｘ方向リンク部材１０９、連結ピン１１０、連結ピン１１１、連結ピン１１２、連結ピン１１４、Ｙ用ヨークＹＹＡがＹ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００５４】
Ｙ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２は溝形成部材３０３の前方に位置しており、Ｙ方向リンク部材１１９の後面に連結ピン１２０によってＹ方向スライダ１１８が、連結ピン１２０回りに回転可能として枢着されている。Ｙ方向スライダ１１８は、前方からＹ方向スライド溝３０７に嵌合しており、Ｙ方向スライダ１１８はＹ方向スライド溝３０７に対してＹ方向にのみ摺動可能である。さらに、Ｙ方向スライダ１１８は図示を省略した付勢手段によって常に後方に付勢されており、Ｙ方向スライダ１１８の左右両面と後面は常にＹ方向スライド溝３０７の内面にそれぞれ接触している。さらに、Ｙ方向リンク部材１１９の回転中心である連結ピン１２１（連結ピン１２１を支持する軸受け１８）と、Ｙ方向リンク部材１２２の回転中心である連結ピン１２３（連結ピン１２３を支持する軸受け１９）のＹ方向位置が第１の実施形態とは異なっている。即ち、連結ピン１２０から連結ピン１２１までのＹ方向直線距離より、連結ピン１２６から連結ピン１２１までのＹ方向直線距離の方が長くなるように連結ピン１２１の位置（軸受け１８の突設位置）が設定されている。連結ピン１２１と連結ピン１２３のＹ方向位置（軸受け１８と軸受け１９のＹ方向位置）は一致しており、連結ピン１２４と連結ピン１２６のＹ方向位置は常に一致する。
そして、これらＹ方向スライド溝３０７、Ｙ方向スライダ１１８、Ｙ方向リンク部材１１９、連結ピン１２０、連結ピン１２１、Ｙ方向リンク部材１２２、連結ピン１２３、連結ピン１２４、連結ピン１２６、Ｘ用ヨークＹＸＡがＸ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００５５】
溝形成部材３０３とＣＣＤ保持部材３０２には、これらに跨る収納用凹部３０９が設けられている。収納用凹部３０９の後面は開口しており、収納用凹部３０９の内部には、第１の実施形態と同様に、ローパスフィルタ４２と押さえ部材４３とＣＣＤ１１が収納されている。収納用凹部３０９の前端は、ＣＣＤ保持部材３０２の前面において開口する採光孔（図示略）と連通している。この採光孔はローパスフィルタ４２より小寸であり、ローパスフィルタ４２がＣＣＤ保持部材３０２の前方に抜け出さないようにしてある。この採光孔とローパスフィルタ４２を通った光は、ＣＣＤ１１の撮像面１２に到達する。さらに、収納用凹部３０９の後面開口部は、溝形成部材３０３の後面に取り付けられたカバー部材３１４（図１３では破断して示している）によって覆われている。
本実施形態においてもＹ用ヨーク側回転体（及びＸ用ヨーク側回転体）の自重による回転モーメントと、ステージ部材側回転体の自重による回転モーメントとが一致するように、Ｙ用ヨークＹＹＡ、Ｙ用磁石ＭＹ、Ｘ用ヨークＹＸＡ及びＸ用磁石ＭＸの質量を設定してある。
【００５６】
このような構成の手振れ補正装置３００は第１の実施形態の手振れ補正装置１００とほぼ同様の動作をするが、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに電流を流してＸ用ヨークＹＸＡをＸ方向に直線移動させた際、Ｘ用ヨークＹＸＡの移動量よりＣＣＤ保持部材３０２と溝形成部材３０３（ＣＣＤ１１）のＸ方向への移動量が小さくなる点が第１の実施形態とは異なる。同様に、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに電流を流してＹ用ヨークＹＹＡをＹ方向に直線移動させた際、Ｘ用ヨークＹＸＡの移動量よりＣＣＤ保持部材３０２と溝形成部材３０３（ＣＣＤ１１）のＹ方向への移動量が小さくなる点が第１の実施形態とは異なる。
このようにＸ用ヨークＹＸＡとＹ用ヨークＹＹＡの移動量よりＣＣＤ保持部材３０２と溝形成部材３０３（ＣＣＤ１１）の移動量を小さくしてあるので、ＣＣＤ保持部材３０２と溝形成部材３０３（ＣＣＤ１１）をより細かに精度よく移動させることが可能であり、より正確な手振れ補正動作を実現できる。
【００５７】
このように本実施形態では、連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１０７（連結ピン１１０）までの距離より連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１１２（連結ピン１１４）までの距離を長く設定しているので、第１の実施形態に比べてＹ用ヨークＹＹＡ及びＹ用磁石ＭＹの合計質量を小さくすることが可能である。即ち、連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１０７（連結ピン１１０）までの距離と連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１１２（連結ピン１１４）までの距離の比が変わると、Ｙ用ヨークＹＹＡ及びＹ用磁石ＭＹの合計質量が変化する。同様に、第１の実施形態に比べてＸ用ヨークＹＸＡ及びＸ用磁石ＭＸの合計質量を小さくすることが可能である。
なお、一方の回転モーメントに対して他方の回転モーメントが９０％以上かつ１００％未満とする場合の効果や、６０％以上かつ９０％未満とする場合の効果は第１の実施形態と同様である。
【００５８】
次に、本発明の第３の実施形態について、図１６〜図２２を参照しながら説明する。なお、第１の実施形態と同じ部材には、同じ符合を付すに止めて、その詳細な説明は省略する。
本実施形態の手振れ補正装置４００の特徴は、Ｙ方向駆動用コイルＣＹをＸ方向リンク部材１０６及びＸ方向リンク部材１０９によって移動させられる部材に設けて、Ｙ用ヨークＹＹＢを固定支持基板２０側に設けた点、並びにＸ方向駆動用コイルＣＸをＹ方向リンク部材１１９及びＹ方向リンク部材１２２によって移動させられる部材に設けて、Ｘ用ヨークＹＸＢを固定支持基板２０側に設けた点にある。以下、これらの点を中心に説明する。
【００５９】
Ｘ方向リンク部材１０６及びＸ方向リンク部材１０９の前面の右端部の間には、非作動状態においてＹ方向を向くＹ方向リンク部材１１３の上下両端部が、連結ピン１１２と連結ピン１１４によって枢着されている。Ｘ方向リンク部材１０６とＹ方向リンク部材１１３は連結ピン１１２回りに相対回転可能であり、Ｘ方向リンク部材１０９とＹ方向リンク部材１１３は連結ピン１１４回りに相対回転可能である。
Ｙ方向リンク部材１１３の後面中央部には、横長方形のＹ用コイル形成板４０１が固着されている。Ｙ用コイル形成板４０１の前面には第１の実施形態と同様のＹ方向駆動用コイルＣＹがプリントにより平面コイルとして形成されている。さらに、Ｙ用コイル形成板４０１の後面には、正面形状がＹ用コイル形成板４０１と同一のＹ用錘板（Ｙ用錘）４０３が固着されている。このＹ用錘板４０３は非磁性体からなるものである。
【００６０】
Ｙ方向リンク部材１１９及びＹ方向リンク部材１２２の前面の下端部の間には、非作動状態においてＸ方向を向くＸ方向リンク部材１２５の左右両端部が、連結ピン１２６と連結ピン１２４によって枢着されている。Ｙ方向リンク部材１１９とＸ方向リンク部材１２５は連結ピン１２６回りに相対回転可能であり、Ｙ方向リンク部材１２２とＸ方向リンク部材１２５は連結ピン１２４回りに相対回転可能である。
Ｘ方向リンク部材１２５の後面中央部には、上下方向に長い長方形状のＸ用コイル形成板（Ｘ方向移動部材）４０５が固着されている。Ｘ用コイル形成板４０５の前面には第１の実施形態と同様のＸ方向駆動用コイルＣＸがプリントにより平面コイルとして形成されている。さらに、Ｘ用コイル形成板４０５の後面には、正面形状がＸ用コイル形成板４０５と同一のＸ用錘板４０７が固着されている。このＸ用錘板４０７は非磁性体からなるものである。
【００６１】
本実施形態の固定支持基板２０には凹部２２と凹部２５は凹設されておらず、これらと対応する位置に、共に金属（軟鉄）等の磁性体からなり、かつ共に断面形状がコ字形をなすＹ用ヨークＹＹＢとＸ用ヨークＹＸＢが固着されている。
Ｙ用ヨークＹＹＢは、固定支持基板２０に固着された前板部ＹＹＢ１と、前板部ＹＹＢ１と平行な後板部ＹＹＢ２を具備する。前板部ＹＹＢ１の後面には、Ｎ極とＳ極がＹ方向に並ぶＹ用磁石ＭＹが固着されている。Ｙ用コイル形成板（Ｙ方向移動部材）４０１及びＹ用錘板４０３（Ｙ用錘）は、前板部ＹＹＢ１と後板部ＹＹＢ２の間に位置している。さらに、Ｙ用磁石ＭＹのＮ極とＹ方向駆動用コイルＣＹの上辺ＣＹ３は常にＺ方向の重合関係を維持し、Ｙ用磁石ＭＹのＳ極とＹ方向駆動用コイルＣＹの下辺ＣＹ４は常にＺ方向の重合関係を維持する。
Ｘ用ヨークＹＸＢは、固定支持基板２０に固着された前板部ＹＸＢ１と、前板部ＹＸＢ１と平行な後板部ＹＸＢ２を具備する。前板部ＹＸＢ１の後面には、Ｎ極とＳ極がＸ方向に並ぶＸ用磁石ＭＸが固着されている。Ｘ用コイル形成板（Ｘ方向移動部材）４０５及びＸ用錘板（Ｘ用錘）４０７は、前板部ＹＸＢ１と後板部ＹＸＢ２の間に位置している。さらに、Ｘ用磁石ＭＸのＮ極とＸ方向駆動用コイルＣＸの右辺ＣＸ１は常にＺ方向の重合関係を維持し、Ｘ用磁石ＭＸのＳ極とＸ方向駆動用コイルＣＸの左辺ＣＸ２は常にＺ方向の重合関係を維持する。
【００６２】
ＣＣＤ保持部材１０１の後面には、図１９に示すカバー板４４の方形部３５が固定されている。図１６〜図１８に示すように、カバー板４４の舌片３６の先端部はＹ用ヨークＹＹＢ内に位置しており、図１６に示すように、カバー板４４の舌片３７の先端部はＸ用ヨークＹＸＢ内に位置している。さらに、舌片３６の先端部の前面には、Ｙ用磁石ＭＹとＹ用ヨークＹＹＢの後板部ＹＹＢ２の間の磁束を利用してカバー板４４（ＣＣＤ１１）のＹ方向の位置変化を検出するＹ方向ホール素子３９が固着されている。一方、舌片３７の先端部の前面には、Ｘ用磁石ＭＸとＸ用ヨークＹＸＢの後板部ＹＸＢ２の間の磁束を利用してカバー板４４（ＣＣＤ１１）のＸ方向の位置変化を検出するＸ方向ホール素子３８が固着されている。
【００６３】
次に、手振れ補正装置４００の手振れ補正動作について説明する。
本実施形態の動作も図１２の制御回路ブロック図に従って行われる。ただし本実施形態では、Ｘ方向ホール素子３８がＣＣＤ保持部材１０１及びＣＣＤ１１のＸ方向の位置変化量を検出しているので、積分回路９２の出力（デジタルカメラ１０のＸ方向の振動量）とＸ方向ホール素子３８の出力（ＣＣＤ１１のデジタルカメラ１０に対するＸ方向の移動量）が誤差増幅器９４で直接比較される（ＣＣＤ１１とＸ用ヨークＹＸＢの移動量比の乗算は行わない）。同様に、Ｙ方向ホール素子３９がＣＣＤ保持部材１０１及びＣＣＤ１１のＹ方向の位置変化量を検出しているので、積分回路（制御手段）９３の出力（デジタルカメラ１０のＹ方向の振動量）とＹ方向ホール素子３９の出力（ＣＣＤ１１のデジタルカメラ１０に対するＹ方向の移動量）が誤差増幅器（制御手段）９５で直接比較される（ＣＣＤ１１とＹ用ヨークＹＹＢの移動量比の乗算は行わない）。
【００６４】
仮にＹ方向の手振れがデジタルカメラ１０に生じると、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに電流が流れ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに生じたＹ方向の駆動力によりＹ用コイル形成板４０１及びＹ用錘板４０３がＹ方向に移動する（図２１参照）。そして、この移動力が第１の実施形態と同様にＸ方向リンク部材１０６、Ｘ方向リンク部材１０９、Ｘ方向スライダ１０４、及びＸ方向スライダ１０５を介してＣＣＤ保持部材１０１に伝わり、ＣＣＤ保持部材１０１及びＣＣＤ１１がＹ方向に移動し、Ｙ方向の手振れが補正される。
一方、Ｘ方向の手振れがデジタルカメラ１０に生じると、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに電流が流れ、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに生じたＸ方向の駆動力によりＸ用コイル形成板４０５及びＸ用錘板４０７がＸ方向に移動する（図２２参照）。そして、この移動力が第１の実施形態と同様にＹ方向スライダ１１８とＹ方向リンク部材１１９を介してＣＣＤ保持部材１０１に伝わり、ＣＣＤ保持部材１０１及びＣＣＤ１１がＸ方向に移動し、Ｘ方向の手振れが補正される。
【００６５】
本実施形態では、Ｙ用コイル形成板４０１、Ｙ用錘板４０３、Ｙ方向駆動用コイルＣＹ、連結ピン１１２、Ｙ方向リンク部材１１３、連結ピン１１４、Ｘ方向リンク部材１０６の連結ピン１０８よりＹ方向リンク部材１１３側の部分、及びＸ方向リンク部材１０９の枢着ピン１１１よりＹ方向リンク部材１１３側の部分（これらがＹ方向移動部材側回転体）の連結ピン１０８と枢着ピン１１１を中心とするＹ方向移動部材側回転体の自重による回転モーメントと、ＣＣＤ保持部材１０１、ＣＣＤ保持部材１０１と一体化された部品（ＣＣＤ１１、ローパスフィルタ４２等）、Ｘ方向スライダ１０４、Ｘ方向スライダ１０５、枢着ピン１０７、連結ピン１１０、Ｘ方向リンク部材１０６の連結ピン１０８より枢着ピン１０７側の部分、及びＸ方向リンク部材１０９の枢着ピン１１１より連結ピン１１０側の部分（ステージ部材側回転体）の連結ピン１０８と枢着ピン１１１を中心とするステージ部材側回転体の自重による回転モーメントとが一致するように、Ｙ用錘板４０３の質量が設定されている。即ち、Ｙ用錘板４０３が無ければＹ方向移動部材側回転体の自重による回転モーメントはステージ部材側回転体の自重による回転モーメントより小さいが、Ｙ用錘板４０３を設けることにより、Ｙ方向移動部材側回転体の自重による回転モーメントとステージ部材側回転体の自重による回転モーメントを一致させている。従って、Ｙ用コイル形成板４０１及びＹ用錘板４０３に掛かる力を大きくするために、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに大きな電流を流したり、Ｙ方向駆動用コイルＣＹやＹ用ヨークＹＹＢ（Ｙ用磁石ＭＹ）を大型化しなくても、ＣＣＤ保持部材１０１をＹ方向に円滑に移動させることが可能である。
【００６６】
同様に、Ｘ用コイル形成板４０５、Ｘ用錘板４０７、Ｙ方向リンク部材１２２、連結ピン１２４、Ｘ方向リンク部材１２５、連結ピン１２６、及びＹ方向リンク部材１１９の連結ピン１２１よりＸ方向リンク部材１２５側の部分（これらがＸ方向移動部材側回転体）の連結ピン１２１を中心とするＸ方向移動部材側回転体の自重による回転モーメントと、ＣＣＤ保持部材１０１、ＣＣＤ保持部材１０１と一体化された部品（ＣＣＤ１１、ローパスフィルタ４２等）、Ｙ方向スライダ１１８、連結ピン１２０、及びＹ方向リンク部材１１９の連結ピン１２１より連結ピン１２０側の部分（これらがステージ部材側回転体）の連結ピン１２１を中心とするステージ部材側回転体の自重による回転モーメントとが一致するように、Ｘ用錘板４０７の質量が設定されている。即ち、Ｘ用錘板４０７が無ければＸ方向移動部材側回転体の自重による回転モーメントはステージ部材側回転体の自重による回転モーメントより小さいが、Ｘ用錘板４０７を設けることにより、Ｙ方向移動部材側回転体の自重による回転モーメントとステージ部材側回転体の自重による回転モーメントを一致させている。従って、Ｘ用コイル形成板４０５に掛かる力を大きくするために、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに大きな電流を流したり、Ｘ方向駆動用コイルＣＸやＸ用ヨークＹＸＢ（Ｘ用磁石ＭＸ）を大型化しなくても、ＣＣＤ保持部材１０１をＸ方向に円滑に移動させることが可能である。
【００６７】
なお、Ｙ用錘板４０３及びＸ用錘板４０７を用いることによっても、一方の回転モーメントと他方の回転モーメントが完全に釣り合わず、僅かにずれていても、完全に釣り合ってる場合と実質的に同質の効果が得られる。
さらに、Ｙ用錘板４０３及びＸ用錘板４０７を用いた結果、一方の回転モーメントが他方の回転モーメントの９０％以上かつ１００％未満とする場合の効果や、６０％以上かつ９０％未満とする場合の効果は第１の実施形態と同様である。
【００６８】
最後に、本発明の第４の実施形態について、図２３を参照しながら説明する。なお、第２の実施形態と同じ部材には、同じ符合を付すに止めて、その詳細な説明は省略する。
本実施形態の手振れ補正装置５００の基本構成は第２の実施形態と同様であるが以下の点が異なる。即ち、第３の実施形態と同様に、Ｙ方向駆動用コイルＣＹをＸ方向リンク部材１０６及びＸ方向リンク部材１０９によって移動させられるＹ用コイル形成板４０１に設けて、Ｙ用ヨークＹＹＢを固定支持基板２０側に設けた点、並びにＸ方向駆動用コイルＣＸをＹ方向リンク部材１１９及びＹ方向リンク部材１２２によって移動させられるＸ用コイル形成板４０５に設けて、Ｘ用ヨークＹＸＢを固定支持基板２０側に設けた点、溝形成部材３０３に舌片３６と舌片３７に対応する舌片３１２と舌片３１３を突設し、その先端部前面にＹ方向ホール素子３９とＸ方向ホール素子３８を固着した点が異なる。
手振れ補正装置５００の動作は第３の実施形態と同様である。
そして、本実施形態でも各回転中心（連結ピン１０８、枢着ピン１１１、連結ピン１２１）の両側の回転モーメント同士の関係が第３の実施形態と同じとなるように、Ｙ用錘板４０３及びＸ用錘板４０７の質量を設定してある。
この実施形態では、Ｙ用ヨークＹＹＢ及びＹ用磁石ＭＹの合計質量と、Ｘ用ヨークＹＸＢ及びＸ用磁石ＭＸの合計質量を第３の実施形態に比べて小さくすることが可能である。
【００６９】
第３及び第４の実施形態においてＹ用コイル形成板４０１以外のＹ方向移動部材側回転体の構成要素にＹ用錘板４０３を固定したり、Ｘ用コイル形成板４０５以外のＸ方向移動部材側回転体の構成要素にＸ用錘板４０７を固定して、回転モーメントを調整できるのは言うまでもない。
第３及び第４の実施形態では、Ｙ用錘板４０３及びＸ用錘板４０７が無い場合は、Ｘ方向移動部材側回転体の自重による回転モーメント及びＹ方向移動部材側回転体の自重による回転モーメントがステージ部材側回転体の自重による回転モーメントより小さいので、Ｘ方向移動部材側回転体にＸ用錘板４０７を設け、Ｙ方向移動部材側回転体にＹ用錘板４０３を設けた。しかし、ステージ部材側回転体の自重による回転モーメントの方がＸ方向移動部材側回転体の自重による回転モーメント及びＹ方向移動部材側回転体の自重による回転モーメントより小さい場合は、ステージ部材側回転体に錘板（錘）を設けて回転モーメントを調整できるのは言うまでもない。
さらに、第１及び第２の実施形態において、Ｙ用ヨーク側回転体の自重による回転モーメント及びＸ用ヨーク側回転体の自重による回転モーメントがステージ部材側回転体の自重による回転モーメントより小さい場合は、Ｘ用ヨーク側回転体にＸ用錘板４０７を設け、Ｙ用ヨーク側回転体にＹ用錘板４０３を設けて回転モーメントを調整してもよい。また、Ｙ用ヨーク側回転体の自重による回転モーメント及びＸ用ヨーク側回転体の自重による回転モーメントよりステージ部材側回転体の自重による回転モーメントが小さい場合は、ステージ部材側回転体に錘板（錘）を設けて回転モーメントを調整してもよい。
【００７０】
以上、上記各実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれら各実施形態に限定されるものではなく、様々な変形を施して実施可能である。
例えば、上記両実施形態では、ＣＣＤ保持部材１０１やＣＣＤ保持部材３０２にＣＣＤ１１を固定しているが、例えば図２４に示すように、ＣＣＤ１１を固定支持基板２０の後方に配設し、ＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ保持部材３０２と溝形成部材３０３）に円形の取付孔１０１ａを穿設して、この取付孔１０１ａに補正レンズＣＬを嵌合固定し、この補正レンズＣＬをレンズＬ１とレンズＬ２の間（またはレンズＬ２とレンズＬ３の間）に配置させて実施してもよい。このような構造として補正レンズＣＬをＸ方向とＹ方向に直進移動させても、手振れ補正を行うことが可能である。さらに、このような補正レンズＣＬを用いた手振れ補正装置は、ＣＣＤ１１を省略することにより、銀塩カメラにも適用可能となる。
また、ＣＣＤ以外の撮像素子、例えばＣＭＯＳイメージセンサを利用することは勿論可能である。
さらに、各実施形態ではＸ方向及びＹ方向の位置変化検出センサとしてホール素子を利用したが、ホール素子以外のセンサ、例えばＭＲセンサやＭＩセンサを利用することも可能である。
【００７１】
以上は、本発明のステージ装置を手振れ補正装置１００、手振れ補正装置３００、手振れ補正装置４００、手振れ補正装置５００に利用した実施形態であるが、本発明のステージ装置の用途は手振れ補正装置１００、手振れ補正装置３００、手振れ補正装置４００、手振れ補正装置５００に限定されず、ＣＣＤ保持部材１０１等のＸ方向とＹ方向に移動可能な部材をＸ方向とＹ方向に直線的に移動させる様々な装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の第１の実施形態である手振れ補正装置を内蔵したデジタルカメラの縦断側面図である。
【図２】手振れ補正装置の非作動状態を、カバー板の一部を破断して示す背面図である。
【図３】図２のIII−III矢線に沿う断面図である。
【図４】図２のIV−IV矢線に沿う断面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ矢線に沿う断面図である。
【図６】図２のVI−VI矢線に沿う断面図である。
【図７】手振れ補正装置の分解斜視図である。
【図８】Ｘ方向駆動装置の主要部を模式的に示す拡大図である。
【図９】Ｙ方向駆動装置の主要部を模式的に示す拡大図である。
【図１０】Ｙ方向上方への手振れが生じたときの手振れ補正装置を、カバー板の一部を破断して示す背面図である。
【図１１】Ｘ方向右側への手振れが生じたときの手振れ補正装置を、カバー板の一部を破断して示す背面図である。
【図１２】制御回路ブロック図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態である手振れ補正装置の非作動状態を、カバー板の一部を破断して示す背面図である。
【図１４】図１３のXIV−XIV矢線に沿う断面図である。
【図１５】図１３のXV−XV矢線に沿う断面図である。
【図１６】本発明の第３の実施形態である手振れ補正装置の非作動状態を、カバー板の一部を破断して示す背面図である。
【図１７】図１６のXVII−XVII矢線に沿う断面図である。
【図１８】図１６のXVIII−XVIII矢線に沿う断面図である。
【図１９】カバー部材の正面図である。
【図２０】手振れ補正装置の分解斜視図である。
【図２１】Ｙ方向上方への手振れが生じたときの手振れ補正装置を、カバー板の一部を破断して示す背面図である。
【図２２】Ｘ方向右側への手振れが生じたときの手振れ補正装置を、カバー板の一部を破断して示す背面図である。
【図２３】本発明の第４の実施形態である手振れ補正装置の非作動状態を、カバー板の一部を破断して示す背面図である。
【図２４】補正レンズを用いた変形例を模式的に示す側面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１０    デジタルカメラ（カメラ）
１１    ＣＣＤ（撮像素子）
１２    撮像面
１６  １７  １８  １９  軸受け
２０    固定支持基板
２１    収容孔
２２    凹部
２４    Ｘ用コイル形成板
２５    凹部
２６    Ｙ用コイル形成板
３３    カバー板
３８    Ｘ方向ホール素子
３９    Ｙ方向ホール素子
４１    採光孔
４２    ローパルフィルタ
４３    押さえ部材
４４    カバー板
９０    Ｘ方向角速度センサ（振動検出センサ）
９１    Ｙ方向角速度センサ（振動検出センサ）
９２  ９３  積分回路（制御手段）
９４  ９５  誤差増幅器（制御手段）
１００    手振れ補正装置
１０１  ＣＣＤ保持部材（ステージ部材）
１０２  １０３  Ｘ方向スライド溝
１０４  １０５  Ｘ方向スライダ
１０６  Ｘ方向リンク部材
１０７  枢着ピン
１０８  連結ピン（Ｙ用枢着軸）
１０９  Ｘ方向リンク部材
１１０  １１２  連結ピン
１１１  枢着ピン（Ｙ用枢着軸）
１１３  Ｙ方向リンク部材
１１４  連結ピン
１１７  Ｙ方向スライド溝
１１８  Ｙ方向スライダ
１１９  Ｙ方向リンク部材（リンク部材）
１２０  連結ピン（回転軸）
１２１  連結ピン（Ｘ用枢着軸）
１２２  Ｙ方向リンク部材
１２３  １２４  連結ピン
１２５  Ｘ方向リンク部材
１２６  連結ピン（回転軸）
３００  手振れ補正装置
３０１  収容孔
３０２  ＣＣＤ保持部材（ステージ部材）
３０３  溝形成部材（ステージ部材）
３０５  ３０６  Ｘ方向スライド溝
３０７  Ｙ方向スライド溝
３０９  収納用凹部
３１２  ３１３  舌片
３１４  カバー部材
４００  手振れ補正装置
４０１  Ｙ用コイル形成板（Ｙ方向移動部材）
４０３  Ｙ用錘板（Ｙ用錘）
４０５  Ｘ用コイル形成板（Ｘ方向移動部材）
４０７  Ｘ用錘板（Ｘ用錘）
５００  手振れ補正装置
ＣＬ    補正レンズ
ＣＸ    Ｘ方向駆動用コイル
ＣＹ    Ｙ方向駆動用コイル
ＭＸ    Ｘ用磁石
ＭＹ    Ｙ用磁石
Ｏ      光軸
Ｘ      Ｘ方向（左右方向）
Ｙ      Ｙ方向（上下方向）
Ｚ      Ｚ方向（前後方向）
ＹＸＡ    Ｘ用ヨーク
ＹＸＡ１  後板部
ＹＸＡ２  突片
ＹＸＡ３  突片
ＹＸＡ４  連結部
ＹＸＡ５  前板部
ＹＸＢ    Ｘ用ヨーク
ＹＸＢ１  前板部
ＹＸＢ２  後板部
ＹＹＡ    Ｙ用ヨーク
ＹＹＡ１  後板部
ＹＹＡ２  突片
ＹＹＡ３  突片
ＹＹＡ４  連結部
ＹＹＡ５  前板部
ＹＹＢ  Ｙ用ヨーク
ＹＹＢ１  前板部
ＹＹＢ２  後板部
【図１】
2007013661.tif 000003
【図２】
2007013661.tif 000004
【図３】
2007013661.tif 000005
【図４】
2007013661.tif 000006
【図５】
2007013661.tif 000007
【図６】
2007013661.tif 000008
【図７】
2007013661.tif 000009
【図８】
2007013661.tif 000010
【図９】
2007013661.tif 000011
【図１０】
2007013661.tif 000012
【図１１】
2007013661.tif 000013
【図１２】
2007013661.tif 000014
【図１３】
2007013661.tif 000015
【図１４】
2007013661.tif 000016
【図１５】
2007013661.tif 000017
【図１６】
2007013661.tif 000018
【図１７】
2007013661.tif 000019
【図１８】
2007013661.tif 000020
【図１９】
2007013661.tif 000021
【図２０】
2007013661.tif 000022
【図２１】
2007013661.tif 000023
【図２２】
2007013661.tif 000024
【図２３】
2007013661.tif 000025
【図２４】
2007013661.tif 000026