(57)【要約】【課題】特定波長光をカットする機能などの光学機能を備えた光半導体素子を提供する。【解決手段】光半導体チップ３をパッケージ２，４，５に封入してなる光半導体素子１において、光作用側、例えば光半導体チップ３の表面、パッケージ５の外面またはパッケージ５の内面に、光学機能性膜９を設けたことを特徴とする。【選択図】図１
2007158006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光半導体チップをパッケージに封入してなる光半導体素子において、光作用側に光学機能性膜を設けたことを特徴とする光半導体素子。
【請求項２】
前記光学機能性膜は、前記光半導体チップの表面、前記パッケージの外面または前記パッケージの内面に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光半導体素子。
【請求項３】
前記光半導体チップは紫外線発光機能を有していると共に、前記光学機能性膜は紫外線透過機能を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の光半導体素子。
【請求項４】
前記光半導体チップは受光機能を有していると共に、前記光学機能性膜は紫外線カット機能を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の光半導体素子。
【請求項５】
前記光学機能性膜は、少なくとも、酸化ケイ素（ＳｉＯ）からなる膜および酸化ハフニウム（ＨｆＯ）からなる膜が、複数組み合わされて積層されていることを特徴とする請求項３または４に記載の光半導体素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学機能性膜を備えた光半導体素子に関する。  
【背景技術】
【０００２】
光半導体素子のうち、ＬＥＤまたはＬＤなどの半導体発光素子は、ディスプレイ用バックライト、光通信機器、または光ディスク機器などに用いられている。一方、ＰＤなどの半導体受光素子は、光電スイッチや光測定機器などに用いられている。
【０００３】
このような光半導体素子は、光半導体チップからの出射光または光半導体チップへの入射光をそのまま作用させる場合もあるが、用途によっては光学機能性部材を別途配置し、作用光を反射させたり特定波長成分をカットしたりして、光学的処理を行いつつ使用する場合も多い。
【０００４】
例えば、図７に示す一般的な偽札判別装置２０においては、紙幣２３に塗布された紫外線蛍光物質２２に紫外線Ｕを照射し、その蛍光発光（可視光線）Ｖを測定して真偽を判別するため、用いられる紫外線発光素子２１に対しては出射光Ｏに含まれる可視光線および赤外線をカットして紫外線のみを透過させる紫外線透過フィルタ部材２４が設けられ、受光素子２１’に対しては紙幣２３からの反射光に含まれる紫外線Ｕ’をカットする紫外線カットフィルタ部材２４’が設けられている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−１９７５０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような従来の偽札判別装置においては、紫外線透過フィルタ部材および紫外線カットフィルタ部材をそれぞれの光作用側に設ける必要があるため、部品コストがかかると共に装置の小型化に限界があった。
さらに、紫外線透過フィルタ部材および紫外線カットフィルタ部材は、非常に薄くてもその機能を十分に果たすものであるが、取扱い上一定の厚みをもたせるべく透光性の光学基材に付着せしめられて構成されているため、その基材を透過する分作用光が無駄に減衰してしまっていた。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、特定波長光をカットする機能などの光学機能を予め備えた光半導体素子を提供することにある。  
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明は、（１）光半導体チップをパッケージに封入してなる光半導体素子において、光作用側に光学機能性膜を設けたことを特徴とする光半導体素子を提供するものである。
【０００８】
また本発明は、上記（１）の構成において、（２）前記光学機能性膜は、前記光半導体チップの表面、前記パッケージの外面または前記パッケージの内面に形成されていることを特徴とする光半導体素子を提供するものである。
【０００９】
また本発明は、上記（１）（２）の構成において、（３）前記光半導体チップは紫外線発光機能を有していると共に、前記光学機能性膜は紫外線透過機能を有していることを特徴とする光半導体素子を提供するものである。
ここで、紫外線透過機能とは、可視光線および赤外線をカットし、紫外線のみを透過させる機能を指す。
本発明は同様に、上記（１）（２）の構成において、（４）前記光半導体チップは受光機能を有していると共に、前記光学機能性膜は紫外線カット機能を有していることを特徴とする光半導体素子を提供するものである。
【００１０】
また本発明は、上記上記（３）（４）の構成において、（５）前記光学機能性膜は、少なくとも、酸化ケイ素（ＳｉＯ）からなる膜および酸化ハフニウム（ＨｆＯ）からなる膜が、複数組み合わされて積層されていることを特徴とする光半導体素子を提供するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、光半導体素子自体に光学機能性膜が具備されているので、別途光学機能性部材を設ける必要がなく、コストの低減、装置の小型化および作用光の減衰防止が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明を紫外線発光素子に適用した場合の実施形態につき説明する。
本実施形態にかかる紫外線発光素子１は主に、図１に示す如く、金属ベース２上に載置された紫外線発光チップ３と、金属ベース２に接合されていると共に紫外線発光チップ３の側方を囲むように配置された略円筒状の金属キャップ４と、金属キャップ４の開口を封止するガラス窓５と、絶縁材６によって絶縁されつつ金属ベース２を貫通し、かつ導電性ワイヤ７を介して紫外線発光チップ３と接続されたリード８とにより、構成されている。
【００１３】
紫外線発光チップ３は、リード８を介して電圧が印加されると、主に紫外線領域の光を発光する。一例によれば、その発光スペクトルは、図２に示すとおりとなる。
【００１４】
ガラス窓５の外面には、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）などの低屈折率膜と、二酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）などの高屈折率膜とを組み合わせて積層し、可視光線および赤外線をカットして紫外線のみを透過させるように構成された紫外線透過フィルタ膜９が、真空蒸着法によって形成されている。紫外線発光チップから発光した光は、この紫外線透過フィルタ膜９を通過することによって、可視光線および赤外線がカットされて外部に出光する。図２に示すスペクトルを有する紫外線発光チップを用いた例によれば、その出射光は、この紫外線透過フィルタ膜９によって図３ＡおよびＢに示す如く、波長約５００ｎｍ〜６５０ｎｍの可視光線がカットされて、外部に出光する。
【００１５】
上記のように構成された紫外線発光素子によれば、ガラス窓の外面に、可視光線および赤外線をカットし、紫外線のみを透過させるフィルタ膜が設けられているため、その出射光をほぼ紫外線のみとすることができる。従って、紫外線のみが必要であって可視光線および赤外線が不要な場合、当該紫外線発光素子を用いれば、別途紫外線透過フィルタ部材を設ける必要がなく、装置の小型化およびコストの低減が可能となる。
【００１６】
さらに、上記のように構成された紫外線発光素子によれば、別途紫外線透過フィルタ部材を用いた場合に生じていた紫外線強度の減衰を抑えることができる。一例によれば、図４に示す如く、別途紫外線透過フィルタ部材を設けた場合と比較して、紫外線強度のピーク値を約５４％増加させることができた。
【００１７】
また、上記のように構成した紫外線発光素子１を用いて、図５に示すような偽札判別装置１０を構成することができる。
この偽札判別装置１０は、図５に示す如く、紫外線発光素子１から照射された光Ｕが紙幣１３に塗布された紫外線蛍光物質１２に当たり、紫外線蛍光物質１２から励起発光される可視光線Ｖを受光素子１’が受けるように構成されている。
紫外線発光素子１は、上述の紫外線透過フィルタ膜９が設けられている。
受光素子１’は受光チップ（不図示）を備えていると共に、ガラス窓部５’の外面に、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）などの低屈折率膜と、二酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）などの高屈折率膜とを組み合わせて積層し、紫外線をカットするように構成された紫外線カットフィルタ膜９が、真空蒸着法によって形成されている。
【００１８】
ここで、偽札判別は、紫外線蛍光物質１２が励起発光する可視光線Ｖを受光素子１’が検知することで行われるため、発光素子からの出射光に可視光線および赤外線が含まれていると紙幣１３の表面で反射して受光素子１’が検知してしまい、正常に行われない。また、出射された紫外線Ｕも紙幣１３の表面で一部反射するため（図５中のＵ’）、受光素子１’がこれを検知してしまうと、判別が正常に行われないことになる。
【００１９】
上記のように構成された偽札判別装置１０では、紫外線発光素子１および受光素子１’がそれぞれ、紫外線透過フィルタ膜９および紫外線カットフィルタ膜９’を備えているため、別途フィルタ部材を設けなくても受光素子１‘が紫外線蛍光物質１２からの可視光線Vのみ受光でき、正確に偽札判別を行うことができる。
従って、装置が小型化できると共に、コストの低減が可能である。さらに、フィルタ部材を用いた場合、その基材を透過する際に生じていた出射紫外線および入射可視光線の減衰を低減することができ、より正確に判別を行うことができる。
【００２０】
次に、上記のような偽札判別装置に本発明にかかる紫外線発光素子１を用いた場合の効果につき、実施例をあげて説明する。
【００２１】
本実施例にかかる装置は、本発明にかかる紫外線発光素子の効果に限定して調査するため、受光素子側には従来用いられている紫外線カットフィルタ部材を用いて装置を構成した。
また、発光素子を、紫外線透過フィルタ膜を備えた紫外線発光素子１（実施例１）、厚さ０．５ｍｍの紫外線透過フィルタ部材を光出射側に配置した紫外線発光素子（比較例１）、および紫外線発光素子のみ（比較例２）とすると共に、照射対象をミラー、紙幣（蛍光物質なし）、コピー紙、蛍光グリーン紙、蛍光オレンジ紙、蛍光イエロー紙とし、各紫外線発光素子に１ｍＡの電流を流した場合の受光素子の検出値を調べた。
その結果を、表１および図６に示す。
【００２２】
【表１】
2007158006.tif 000003
【００２３】
表１および図６に示すように、紫外線発光素子のみである比較例２において、それぞれ紫外線蛍光物質を有していないミラーおよび紙幣に対して照射した場合（図６中の二点鎖線）、発光素子からの出射光に可視光線が含まれるため、紫外線蛍光物質がないにも関わらず、受光素子が検出をしてしまった。
これに対し、紫外線透過フィルタ膜を備えた実施例１の場合（図６中の実線）、可視光線および赤外線がカットされて紫外線のみが照射対象に当たって反射するため、出射光は受光素子の光入射側に設けられた紫外線カットフィルタ部材にカットされ、受光素子の検出値はほぼゼロとなった。
【００２４】
また、実施例１において、紫外線蛍光物質を有するコピー紙、蛍光グリーン、蛍光オレンジおよび蛍光イエローに照射した場合（図６中の実線）、受光素子の検出値は、紫外線透過フィルタ部材を別途設けた比較例１の場合（図６中の二点鎖線）と比較して、それぞれ約２．３倍、１．９倍、１．５倍および１．６倍となり、大幅に増加した。
【００２５】
以上により、実施例１の本発明にかかる紫外線発光素子を偽札判別装置の発光素子として用いると、照射対象が有する紫外線蛍光物質からの可視光線を、受光素子において感度よく検出することができ、より正確に偽札判別ができることが証明された。
【００２６】
以上、具体例を例示しつつ、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。
光学機能性膜は、紫外線透過機能および紫外線カット機能に限られず、任意の特定波長成分を阻止するまたは透過させるものであってもよいし、作用光を反射させるミラー機能または作用光を反射光と透過光とに分けるビームスプリッタ機能などであってもよい。例えば、ビームスプリッタ機能を有する光学機能性膜を備えたＬＤを用い、出射光の一部を反射させて出射方向から脇へ逸らすと共に、その反射光を受光素子で受けてその出力を監視し得るレーザ装置を構成することができる。
【００２７】
また、光学機能性膜は、真空蒸着法以外の方法で設けてもよく、例えばスパッタリング、ＣＶＤ、イオンプレーティングまたは吹き付け法などによって設けてもよい。
さらに、光学機能性膜は、他の公知の方法で形成してもよく、例えば特開平４−２２１９０４号公報、特開平２００３−３３６０３４号公報、または特開平２００３−４３２４５号公報などに開示されている方法で形成することができる。
【００２８】
また、上記実施形態においては、光学機能性膜をガラス窓の外面に設けたが、ガラス窓の内面に設けてもよく、光半導体チップの表面に設けてもよい。
【００２９】
また、上記実施形態においては、紫外線発光素子を所謂ＣＡＮタイプのパッケージとしたが、透光性樹脂パッケージとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明にかかる紫外線発光素子を示す断面図である。
【図２】図１の紫外線発光素子における紫外線発光チップの発光スペクトルを示す図である。
【図３】（Ａ）図１の紫外線発光素子の発光スペクトルを示す図、（Ｂ）図３Ａの部分拡大図である。
【図４】図１の紫外線発光素子を用いた場合と、従来のフィルタ部材を用いた場合とを比較するための図である。
【図５】本発明にかかる紫外線発光素子を適用した偽札判別装置を示す概略説明図である。
【図６】図５の偽札判別装置における受光素子の受光強度を示す図である。
【図７】従来の偽札判別装置の一例を示す概略説明図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  紫外線発光素子（光半導体素子）
２  金属ベース（パッケージ）
３  紫外線発光チップ
４  金属キャップ（パッケージ）
５  ガラス窓（パッケージ）
９  紫外線カットフィルタ膜（光学機能性膜）
【図１】
2007158006.tif 000004
【図２】
2007158006.tif 000005
【図３】
2007158006.tif 000006
【図４】
2007158006.tif 000007
【図５】
2007158006.tif 000008
【図６】
2007158006.tif 000009
【図７】
2007158006.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月20日(2006.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に設けられた紫外線蛍光部に対して紫外線を照射し、当該紫外線蛍光部から発せられた蛍光を検出することで当該対象物の真偽を判別する装置に用いられる紫外線発光半導体素子であって、波長が略４００ｎｍ以下の紫外線のみを透過させる紫外線透過フィルタ膜が、その紫外線発光チップの表面またはパッケージの外面もしくは内面に形成されていることを特徴とする紫外線発光半導体素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学機能性膜を備えた光半導体素子に関し、詳しくは、紫外線発光チップ及びフィルタを備えた発光半導体素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
光半導体素子のうち、ＬＥＤまたはＬＤなどの半導体発光素子は、ディスプレイ用バックライト、光通信機器、または光ディスク機器などに用いられている。一方、ＰＤなどの半導体受光素子は、光電スイッチや光測定機器などに用いられている。
【０００３】
このような光半導体素子は、光半導体チップからの出射光または光半導体チップへの入射光をそのまま作用させる場合もあるが、用途によっては光学機能性部材を別途配置し、作用光を反射させたり特定波長成分をカットしたりして、光学的処理を行いつつ使用する場合も多い。
【０００４】
例えば、図７に示す一般的な偽札判別装置２０においては、紙幣２３に塗布された紫外線蛍光物質２２に紫外線Ｕを照射し、その蛍光発光（可視光線）Ｖを測定して真偽を判別するため、用いられる紫外線発光素子２１に対しては出射光Ｏに含まれる可視光線および赤外線をカットして紫外線のみを透過させる紫外線透過フィルタ部材２４が設けられ、受光素子２１’に対しては紙幣２３からの反射光に含まれる紫外線Ｕ’をカットする紫外線カットフィルタ部材２４’が設けられている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−１９７５０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような従来の偽札判別装置においては、紫外線透過フィルタ部材および紫外線カットフィルタ部材をそれぞれの光作用側に設ける必要があるため、部品コストがかかると共に装置の小型化に限界があった。
さらに、紫外線透過フィルタ部材および紫外線カットフィルタ部材は、非常に薄くてもその機能を十分に果たすものであるが、取扱い上一定の厚みをもたせるべく透光性の光学基材に付着せしめられて構成されているため、その基材を透過する分作用光が無駄に減衰してしまっていた。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、真偽判別装置の判別精度の向上、小型化及びコスト低減を図ることができる、紫外線発光半導体素子を提供することにある。  
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明は、対象物に設けられた紫外線蛍光部に対して紫外線を照射し、当該紫外線蛍光部から発せられた蛍光を検出することで当該対象物の真偽を判定する装置に用いられる紫外線発光半導体素子であって、波長が略４００ｎｍ以下の紫外線のみを透過させる紫外線透過フィルタ膜が、その紫外線発光チップの表面またはパッケージの外面もしくは内面に形成されていることを特徴とする紫外線発光半導体素子を提供するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光半導体素子自体に光学機能性膜が具備されているので、別途光学機能性部材を設ける必要がなく、コストの低減、装置の小型化および作用光の減衰防止が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明を紫外線発光素子に適用した場合の実施形態につき説明する。
本実施形態にかかる紫外線発光素子１は主に、図１に示す如く、金属ベース２上に載置された紫外線発光チップ３と、金属ベース２に接合されていると共に紫外線発光チップ３の側方を囲むように配置された略円筒状の金属キャップ４と、金属キャップ４の開口を封止するガラス窓５と、絶縁材６によって絶縁されつつ金属ベース２を貫通し、かつ導電性ワイヤ７を介して紫外線発光チップ３と接続されたリード８とにより、構成されている。
【００１０】
紫外線発光チップ３は、リード８を介して電圧が印加されると、主に紫外線領域の光を発光する。一例によれば、その発光スペクトルは、図２に示すとおりとなる。
【００１１】
ガラス窓５の外面には、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）などの低屈折率膜と、二酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）などの高屈折率膜とを組み合わせて積層し、可視光線および赤外線をカットして紫外線のみを透過させるように構成された紫外線透過フィルタ膜９が、真空蒸着法によって形成されている。紫外線発光チップから発光した光は、この紫外線透過フィルタ膜９を通過することによって、可視光線および赤外線がカットされて外部に出光する。図２に示すスペクトルを有する紫外線発光チップを用いた例によれば、その出射光は、この紫外線透過フィルタ膜９によって図３ＡおよびＢに示す如く、波長約５００ｎｍ〜６５０ｎｍの可視光線がカットされて、外部に出光する。
【００１２】
上記のように構成された紫外線発光素子によれば、ガラス窓の外面に、可視光線および赤外線をカットし、紫外線のみを透過させるフィルタ膜が設けられているため、その出射光をほぼ紫外線のみとすることができる。従って、紫外線のみが必要であって可視光線および赤外線が不要な場合、当該紫外線発光素子を用いれば、別途紫外線透過フィルタ部材を設ける必要がなく、装置の小型化およびコストの低減が可能となる。
【００１３】
さらに、上記のように構成された紫外線発光素子によれば、別途紫外線透過フィルタ部材を用いた場合に生じていた紫外線強度の減衰を抑えることができる。一例によれば、図４に示す如く、別途紫外線透過フィルタ部材を設けた場合と比較して、紫外線強度のピーク値を約５４％増加させることができた。
【００１４】
また、上記のように構成した紫外線発光素子１を用いて、図５に示すような偽札判別装置１０を構成することができる。
この偽札判別装置１０は、図５に示す如く、紫外線発光素子１から照射された光Ｕが紙幣１３に塗布された紫外線蛍光物質１２に当たり、紫外線蛍光物質１２から励起発光される可視光線Ｖを受光素子１’が受けるように構成されている。
紫外線発光素子１は、上述の紫外線透過フィルタ膜９が設けられている。
受光素子１’は受光チップ（不図示）を備えていると共に、ガラス窓部５’の外面に、二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）などの低屈折率膜と、二酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）などの高屈折率膜とを組み合わせて積層し、紫外線をカットするように構成された紫外線カットフィルタ膜９が、真空蒸着法によって形成されている。
【００１５】
ここで、偽札判別は、紫外線蛍光物質１２が励起発光する可視光線Ｖを受光素子１’が検知することで行われるため、発光素子からの出射光に可視光線および赤外線が含まれていると紙幣１３の表面で反射して受光素子１’が検知してしまい、正常に行われない。また、出射された紫外線Ｕも紙幣１３の表面で一部反射するため（図５中のＵ’）、受光素子１’がこれを検知してしまうと、判別が正常に行われないことになる。
【００１６】
上記のように構成された偽札判別装置１０では、紫外線発光素子１および受光素子１’がそれぞれ、紫外線透過フィルタ膜９および紫外線カットフィルタ膜９’を備えているため、別途フィルタ部材を設けなくても受光素子１‘が紫外線蛍光物質１２からの可視光線Vのみ受光でき、正確に偽札判別を行うことができる。
従って、装置が小型化できると共に、コストの低減が可能である。さらに、フィルタ部材を用いた場合、その基材を透過する際に生じていた出射紫外線および入射可視光線の減衰を低減することができ、より正確に判別を行うことができる。
【００１７】
次に、上記のような偽札判別装置に本発明にかかる紫外線発光素子１を用いた場合の効果につき、実施例をあげて説明する。
【００１８】
本実施例にかかる装置は、本発明にかかる紫外線発光素子の効果に限定して調査するため、受光素子側には従来用いられている紫外線カットフィルタ部材を用いて装置を構成した。
また、発光素子を、紫外線透過フィルタ膜を備えた紫外線発光素子１（実施例１）、厚さ０．５ｍｍの紫外線透過フィルタ部材を光出射側に配置した紫外線発光素子（比較例１）、および紫外線発光素子のみ（比較例２）とすると共に、照射対象をミラー、紙幣（蛍光物質なし）、コピー紙、蛍光グリーン紙、蛍光オレンジ紙、蛍光イエロー紙とし、各紫外線発光素子に１ｍＡの電流を流した場合の受光素子の検出値を調べた。
その結果を、表１および図６に示す。
【００１９】
【表１】
2007158006.tif 000011
【００２０】
表１および図６に示すように、紫外線発光素子のみである比較例２において、それぞれ紫外線蛍光物質を有していないミラーおよび紙幣に対して照射した場合（図６中の二点鎖線）、発光素子からの出射光に可視光線が含まれるため、紫外線蛍光物質がないにも関わらず、受光素子が検出をしてしまった。
これに対し、紫外線透過フィルタ膜を備えた実施例１の場合（図６中の実線）、可視光線および赤外線がカットされて紫外線のみが照射対象に当たって反射するため、出射光は受光素子の光入射側に設けられた紫外線カットフィルタ部材にカットされ、受光素子の検出値はほぼゼロとなった。
【００２１】
また、実施例１において、紫外線蛍光物質を有するコピー紙、蛍光グリーン、蛍光オレンジおよび蛍光イエローに照射した場合（図６中の実線）、受光素子の検出値は、紫外線透過フィルタ部材を別途設けた比較例１の場合（図６中の二点鎖線）と比較して、それぞれ約２．３倍、１．９倍、１．５倍および１．６倍となり、大幅に増加した。
【００２２】
以上により、実施例１の本発明にかかる紫外線発光素子を偽札判別装置の発光素子として用いると、照射対象が有する紫外線蛍光物質からの可視光線を、受光素子において感度よく検出することができ、より正確に偽札判別ができることが証明された。
【００２３】
以上、具体例を例示しつつ、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれらの具体例に限定されるものではない。
光学機能性膜は、紫外線透過機能および紫外線カット機能に限られず、任意の特定波長成分を阻止するまたは透過させるものであってもよいし、作用光を反射させるミラー機能または作用光を反射光と透過光とに分けるビームスプリッタ機能などであってもよい。例えば、ビームスプリッタ機能を有する光学機能性膜を備えたＬＤを用い、出射光の一部を反射させて出射方向から脇へ逸らすと共に、その反射光を受光素子で受けてその出力を監視し得るレーザ装置を構成することができる。
【００２４】
また、光学機能性膜は、真空蒸着法以外の方法で設けてもよく、例えばスパッタリング、ＣＶＤ、イオンプレーティングまたは吹き付け法などによって設けてもよい。
さらに、光学機能性膜は、他の公知の方法で形成してもよく、例えば特開平４−２２１９０４号公報、特開平２００３−３３６０３４号公報、または特開平２００３−４３２４５号公報などに開示されている方法で形成することができる。
【００２５】
また、上記実施形態においては、光学機能性膜をガラス窓の外面に設けたが、ガラス窓の内面に設けてもよく、光半導体チップの表面に設けてもよい。
【００２６】
また、上記実施形態においては、紫外線発光素子を所謂ＣＡＮタイプのパッケージとしたが、透光性樹脂パッケージとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明にかかる紫外線発光素子を示す断面図である。
【図２】図１の紫外線発光素子における紫外線発光チップの発光スペクトルを示す図である。
【図３】（Ａ）図１の紫外線発光素子の発光スペクトルを示す図、（Ｂ）図３Ａの部分拡大図である。
【図４】図１の紫外線発光素子を用いた場合と、従来のフィルタ部材を用いた場合とを比較するための図である。
【図５】本発明にかかる紫外線発光素子を適用した偽札判別装置を示す概略説明図である。
【図６】図５の偽札判別装置における受光素子の受光強度を示す図である。
【図７】従来の偽札判別装置の一例を示す概略説明図である。
【符号の説明】
【００２８】
１  紫外線発光素子（光半導体素子）
２  金属ベース（パッケージ）
３  紫外線発光チップ
４  金属キャップ（パッケージ）
５  ガラス窓（パッケージ）
９  紫外線カットフィルタ膜（光学機能性膜）