(57)【要約】      （修正有）【課題】基板を保存する複数のラックを有し、コンベヤーを用いてラックの中の１つを任意に取り出せるカセット。【解決手段】各カセットラック３０で複数のローラーを用いて基板をカセット１０の中に搬入し、またはカセット１０から基板を搬出する作業を行う。２列の連動するギアは、ローラーを同じ方向の同じ速度で回転させるのに用いられる。また、これらのローラーは、各ラック３０の中の基板を支持する機械の支持物として用いられる。搬送台８０は複数のローラーと２列の連動するギアを含み、この搬送台８０は、コンベヤーとして用いられ、カセットラック３０、搬送台８０の上のギアが同じようにカセット台のギアに接合した後、搬送台８０によって基板の搬送または搬出を行う。【選択図】      図３Ａ
2007036227.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を保存し、移動装置に接合することができるカセットであって、
第１側と前記第１側に対向する第２側を有するフレームと、
前記フレームの上に異なる高さでそれぞれ設置される複数のラックを含み、
前記各ラックは、前記基板を支持し、第１方向または前記第１方向に相反する第２方向の回転用の軸の方向で回転することができ、それが連動方式で互いに接合されることでそれを同期回転させることができる複数のローラーと、
前記ラックの一方の側に設置され、連動方式で前記ローラーに接合され、且つ、機械的に前記移動装置に接合され、前記移動装置の作用によって、前記ローラーを連動し、前記ローラーを前記第１方向に沿って同期回転させることで、前記基板を前記ラックから前記移動装置に搬出することができ、または、前記ローラーを前記第２方向に沿って同期回転させることで、前記基板を前記移動装置から前記ラックに搬入することができる第１連動装置とを含むカセット。
【請求項２】
前記各ローラーは、回転用の軸を有し、前記軸は、その上に固定して設置された第１軸ギアを含み、前記ラックの上に設置されたローラーは、１つまたは１つ以上のペアのローラーを含み、且つ、前記ラックは、前記各隣接したペアのローラーに位置する前記第１軸ギアを、前記ローラーの前記軸に機械的に接合することで、前記隣接したペアのローラーに運動方式で接合する第２連動装置を更に含む請求項１に記載のカセット。
【請求項３】
前記軸は、第１軸端部と第２軸端部とを含み、且つ、前記第１軸ギアは、前記第１軸端部の上に固定して設置される請求項２に記載のカセット。
【請求項４】
前記軸は、第２軸ギアを含み、前記第２軸ギアは、前記第２軸端部に固定して設置され、且つ、前記ラックは前記各隣接したペアのローラーに位置する前記第１軸ギアと第２軸ギアとを前記ローラーの前記軸に機械的に接合し、前記隣接したペアのローラーに運動方式で接合する第２連動装置を更に含む請求項３に記載のカセット。
【請求項５】
前記第１連動装置、前記第２連動装置は、奇数個の接合用のギアをそれぞれ含む請求項４に記載のカセット。
【請求項６】
前記第１軸ギアと前記第２軸ギアは、第１ギアサイズを有し、前記奇数個の接合用のギアは、第２ギアサイズを有し、前記第２ギアサイズは、実質的に前記第１ギアサイズと同じである請求項５に記載のカセット。
【請求項７】
前記第１軸ギアは、第１ギアサイズを有し、且つ、前記奇数個の接合用のギアは、第２ギアサイズを有し、前記第２ギアサイズは、前記第１ギアサイズより小さい請求項５に記載のカセット。
【請求項８】
前記ローラーは、回転用の前記軸の上に設置され、前記ラックの上に設置された前記ローラーは、１つまたは１つ以上のペアのローラーを含み、且つ、前記ラックは、１つまたは１つ以上のベルトを更に含み、前記各ベルトは、前記各隣接したペアのローラーの前記ローラーの前記軸に機械的に接合され、前記隣接したペアのローラーに運動方式で接合する請求項１に記載のカセット。
【請求項９】
前記ローラーは、回転用の前記軸の上に設置され、前記ラックの上に設置された前記ローラーは、１つまたは１つ以上の隣接したペアのローラーを含み、且つ、前記ラックは、１つまたは１つ以上のチェーンを更に含み、前記各チェーンは、前記各隣接したペアのローラーの前記ローラーの前記軸に機械的に接合され、前記隣接したペアのローラーに運動方式で接合する請求項１に記載のカセット。
【請求項１０】
前記ローラーは、回転用の前記軸の上に設置され、前記軸は、その上に固定して設置された少なくとも１つの磁気回転子を含み、且つ、
前記ラックは、前記第１連動装置に機械的に接合された共通軸と、
前記共通軸の上に固定して設置され、磁気回転子に対向した方式で位置付けされ、それと前記磁気回転子間の磁気接合を提供し、前記移動装置が前記第１連動装置を通して前記共通軸を回転させた時、それも同じく前記共通軸に沿って回転し、前記磁気回転子は前記磁気接合によって同期回転され、前記ラックの前記ローラーに回転をさせる複数の磁気感応回転子とを含む請求項１に記載のカセット。
【請求項１１】
カセットを有し、前記カセットを用いて操作し、複数のフラットパネルを保存するために用いられる搬送コンベヤーであって、
前記カセットは、第１側と前記第１側に対向する第２側を有するフレームと、
前記フレームの上に異なる高さでそれぞれ設置され、フラットパネルを保存するために用いられる複数のラックを含み、
前記各ラックは、前記フラットパネルを支持し、第１方向または前記第１方向に相反する第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転する複数のローラーと、
前記ラックの前記第１側に設置され、動作可能に前記ローラーに接合される第１連動装置とを含み、
前記搬送コンベヤーは、第１フレーム側と前記第１フレーム側に対向する第２フレーム側とを有するプラットフォームフレームと、
第１方向または第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転することができ、それが機械的に互いに接合されることで前記ローラーに同期回転をさせることができる複数のプラットフォームローラーと、
前記第２フレーム側に設置され、動作可能に前記プラットフォームローラーに接合される第２連動装置と、
操作可能な方式で前記第２連動装置に接続され、前記プラットフォームローラーを前記第１方向または前記第２方向に沿って同期回転させ、前記第２連動装置は、前記ラックの中の１つのラックの前記第１連動装置に機械的に接合するために用いられる移動装置とを含む搬送コンベヤー。
【請求項１２】
前記各プラットフォームローラーは、回転用の軸の上に設置され、前記軸は、その上に固定して設置された第１軸ギアを含み、前記各ラックの上に設置されたプラットフォームローラーは、１つまたは１つ以上の隣接したペアのプラットフォームローラーを含み、且つ、前記ラックは、前記各隣接したペアのプラットフォームローラーに位置する前記第１軸ギアを、前記プラットフォームローラーの前記軸に機械的に接合することで前記隣接したペアのプラットフォームローラーに運動方式で接合する連動装置を更に含む請求項１１に記載の搬送コンベヤー。
【請求項１３】
前記軸は、第１軸端部と第２軸端部を含み、且つ、前記第１軸ギアは、前記第１軸端部の上に固定して設置される請求項１１に記載の搬送コンベヤー。
【請求項１４】
前記軸は、第２軸ギアを含み、前記第２軸ギアは、前記第２軸端部に固定して設置され、且つ、前記ラックは前記各隣接したペアのプラットフォームローラーに位置する前記第２軸ギアを前記プラットフォームローラーの前記軸に機械的に接合し、前記隣接したペアのプラットフォームローラーに運動方式で接合する第２連動装置を更に含む請求項１３に記載の搬送コンベヤー。
【請求項１５】
前記連動装置、前記第２連動装置は、奇数個の接合用のギアをそれぞれ含む請求項１４に記載の搬送コンベヤー。
【請求項１６】
前記各プラットフォームローラーは、回転用の軸の上に設置され、前記ラックの上に設置されたプラットフォームローラーは、１つまたは１つ以上の隣接したペアのプラットフォームローラーを含み、且つ、前記ラックは、１つまたは１つ以上のベルトを含み、前記各ベルトは、前記各隣接したペアのプラットフォームローラーの前記プラットフォームローラーの前記軸に機械的に接合することで前記隣接したペアのプラットフォームローラーに運動方式で接合する連動装置を更に含む請求項１１に記載の搬送コンベヤー。
【請求項１７】
前記各プラットフォームローラーは、回転用の軸の上に設置され、前記ラックの上に設置されたプラットフォームローラーは、１つまたは１つ以上の隣接したペアのプラットフォームローラーを含み、且つ、前記ラックは、１つまたは１つ以上のチェーンを含み、前記各チェーンは、前記各隣接したペアのプラットフォームローラーの前記プラットフォームローラーの前記軸に機械的に接合することで前記隣接したペアのプラットフォームローラーに運動方式で接合する連動装置を更に含む請求項１１に記載の搬送コンベヤー。
【請求項１８】
前記各ローラーは、回転用の軸の上に設置され、前記軸は少なくとも１つの磁気回転子を含み、前記磁気回転子は前記軸の上に固定して設置され、前記搬送コンベヤーは、
前記第１連動装置に機械的に接合された共通軸と、
前記共通軸の上に固定して設置され、磁気回転子に対向した方式で位置付けされ、それと前記磁気回転子間の磁気接合を提供し、前記移動装置が前記第２連動装置を通して前記共通軸を回転させた時、それも同じく前記共通軸に沿って回転し、前記磁気回転子は前記磁気接合によって同期回転され、前記プラットフォームローラーに回転をさせる複数の磁気感応回転子とを含む請求項１１に記載の搬送コンベヤー。
【請求項１９】
前記プラットフォームフレームを前記カセットに向けて移動し、または前記カセットから離し、前記プラットフォームフレームが前記カセットに向けて移動された時、前記第２連動装置を機械的に前記ラックの中の１つのラックの前記第１連動装置に接合し、前記ラックの前記ローラーが前記第２方向に沿って同期回転され、フラットパネルを前記ラックの前記第２側から前記ラックの前記第１側に動かし、且つ、前記プラットフォームフレームを前記第１フレーム側に向けて、または第１方向でフラットパネルを前記プラットフォームフレームの前記第１フレーム側から前記第２フレーム側に向けて更に移動することで前記ラックを前記第２側に向けさせることができる横方向移動装置を更に含む請求項１１に記載の搬送コンベヤー。
【請求項２０】
前記プラットフォームフレームの垂直位置を調整し、前記ラックの中の１つのラックの高さに合わせることで、前記ラックからのフラットパネルを搬出する、またはフラットパネルを前記ラックに搬入する第２移動装置を更に含む請求項１９に記載の搬送コンベヤー。
【請求項２１】
フラットパネルの搬送に用いる搬送システムであって、
複数のフラットパネルを保存するために用いられる１つまたは１つ以上のカセットを含み、
前記カセットは、第１側と前記第１側に対向する第２側を有するフレームと、
前記フレームの上に異なる高さでそれぞれ設置され、フラットパネルを保存するために用いられる複数のラックを含み、
前記各ラックは、前記フラットパネルを支持し、第１方向、または前記第１方向に相反する第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転することができる複数のローラーと、
前記ラックの前記第１側に設置され、動作可能に前記ローラーに接合される第１連動装置、および
前記１つまたは複数のカセットに相互関連した方式で位置付けを行う搬送コンベヤーを含み、前記搬送コンベヤーは、
第１フレーム側と第２フレーム側とを有するプラットフォームフレーム、
第１方向または第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転することができ、それが機械的に互いに接合されることで前記ローラーに同期回転をさせることができる複数のプラットフォームローラー、
前記第２フレーム側に設置され、動作可能に前記プラットフォームローラーに接合される第２連動装置、および
操作可能な方式で前記第２連動装置に接続され、前記プラットフォームローラーを前記第１方向、または前記第２方向に沿って同期回転させ、前記第２連動装置は、前記ラックの中の１つのラックの前記連動装置に機械的に接合するために用いられ、前記ラックの前記ローラーを前記プラットフォームローラーと同じ第１方向、または第２方向に沿って同期回転させ、前記ラックからのフラットパネルを搬出する、またはフラットパネルを前記ラックに搬入する移動装置を含む搬送システム。
【請求項２２】
前記プラットフォームフレームを前記カセットに向けて移動し、または前記カセットから離し、前記プラットフォームフレームが前記カセットに向けて移動された時、前記第２連動装置を機械的に前記ラックの中の１つのラックの前記連動装置に接合し、前記ラックの前記ローラーが前記第２方向に沿って同期回転され、フラットパネルを前記ラックの前記第２側から前記ラックの前記第１側に動かし、且つ、前記プラットフォームフレームを前記第１フレーム側に向けて、または第１方向でフラットパネルを前記プラットフォームフレームの前記第１フレーム側から前記第２フレーム側に向けて更に移動することで前記ラックを前記第２側に向けさせることができる横方向移動装置を更に含む請求項２１に記載の搬送システム。
【請求項２３】
前記プラットフォームフレームの垂直位置を調整し、前記ラックの中の１つのラックの高さに合わせることで、前記ラックからフラットパネルを搬出する、またはフラットパネルを前記ラックに搬入する第２移動装置を更に含む請求項２２に記載の搬送システム。
【請求項２４】
前記搬送コンベヤーを前記１つまたは１つ以上のカセットの中の選択されたカセットに移動することで、前記プラットフォームフレームを用いて前記選択されたカセットの前記ラックからのフラットパネルを移動する、または前記プラットフォームフレームを用いてフラットパネルを前記選択したカセットの前記ラックに移動するコンベヤー移動装置を更に含む請求項２２に記載の搬送システム。
【請求項２５】
フラットパネルをカセットに搬入する、または前記カセットからの前記フラットパネルの搬出を行う方法であって、
前記カセットは複数のフラットパネルを保存するために用いられ、前記カセットは、
第１側と前記第１側に対向する第２側を有するフレームと、
前記フレームの上に異なる高さでそれぞれ設置され、フラットパネルを保存するために用いられる複数のラックを含み、前記各ラックは、
前記フラットパネルを支持し、第１方向、または前記第１方向に相反する第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転することができる複数のローラーと、
前記ラックの前記第１側に設置され、動作可能に前記ローラーに接合される連動装置を含み、前記方法は、
１）前記カセットに相互関連し、
第１フレーム側と、前記第１フレーム側に相対する第２フレーム側、
第１方向、または第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転することができ、それが機械的に互いに接合されることで前記ローラーに同期回転をさせることができる複数のプラットフォームローラー、および
前記第２フレーム側に設置され、動作可能に前記プラットフォームローラーに接合される第２連動装置を有するプラットフォームフレームを設置するステップ、
２）前記第２連動装置を前記連動装置に接合するステップ、
３）操作可能な方式で移動装置を前記第２連動装置に接続し、前記移動装置を用いて前記プラットフォームローラーを前記第１方向、または前記第２方向に沿って同期回転させ、且つ、前記連動装置によって、前記ラックに位置する前記ローラーを前記第１方向、または前記第２方向に沿って前記プラットフォームローラーと同期回転させ、前記ラックから前記フラットパネルを搬出する、または前記フラットパネルを前記ラックに搬入するステップを含む方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を保存するカセットに関し、特に、例えば薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）液晶ディスプレイの大型パネルのディスプレイを製造するプロセス（アレイ、セルと、カラーフィルターを製造するステップを含む）の際にガラス基板を保存するカセットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の大型パネルのディスプレイを製造するプロセスでは、基板として複数のガラス板が用いられる。これらのガラス基板は、それが処理されるプロセスの前後にマルチコンテナまたはカセット（ｍｕｌｔｉ−ｌｅｖｅｌ  ｃｏｎｔａｉｎｅｒ  ｏｒ  ｃａｓｓｅｔｔｅ）に保存されなければならない。小型のガラス基板１ｂを処理する場合、一般的には、マルチフレーム（ｍｕｌｔｉ−ｌｅｖｅｌ  ｆｒａｍｅ）を有するカセットが用いられる。設計されたロボットアームの作用によってガラス基板１ｂは、一度に搬送される方式によりカセットのラック内に配置される。各ラックは、ガラス基板１ｂを支持する複数の支持ピン１ｅを有する。また、ロボットアーム１ａは、カセットからのガラス基板１ｂを一度に取り出すのに用いることもできる。
【０００３】
図１Ａは、ロボットアーム１ａと接続した従来のカセットの側面図を表しており、図１Ｂは、図１Ａの従来のカセットの正面図を表している。図１Ａに見られるように、ロボットアーム１ａは上下移動可能な方式であるため、特定のラックの高さに届かせることができる。そのため、ロボットアーム１ａによりガラス基板を特定のラック内に配置することもできるし、特定のラック内のガラス基板を取り出すこともできる。
【０００４】
これに対し、大型パネルのガラス基板１ｂの搬送処理を行う場合、ローラーコンベヤーＲＣはガラス基板をワイヤーカセット１ｄ内に入れるか、またはローラーコンベヤーＲＣはワイヤーカセット１ｄ内のガラス基板を取り出すように用いられる。
【０００５】
図２Ａは、従来のワイヤーカセット１ｄの側面図を表しており、図２Ｂは、図２Ａの従来のワイヤーカセット１ｄの前端を通して行われた正面断面図を表している。ワイヤーカセット１ｄが上下移動可能な方式であるため、ラックの高さを搬送コンベヤーの高さに調整することができる。ワイヤーカセット１ｄは複数のワイヤーラックを含み、各ワイヤーラックは複数の平行ワイヤーｗを有し、これらの平行ワイヤーｗは左側から右側に延伸する方式により、ガラス基板を支持している。ローラーコンベヤーＲＣは複数のローラー１ｆを含み、各ローラー１ｆは直立支持体の上にそれぞれ設置され、且つ、この直立支持体は、ワイヤーカセット１ｄ内のワイヤーｗの間に挿し込むことができる。ワイヤーカセット１ｄ内のガラス基板を移動させる場合、ラックの中の最下段にあるガラス基板のレベルにワイヤーカセット１ｄを合わせるように調整して、下げて、ラックの中の最下段にあるガラス基板を、ローラーコンベヤーＲＣによって外部へ搬出しなければならない。
【０００６】
一方、ガラス基板がローラーコンベヤーＲＣによってワイヤーカセット１ｄ内に搬入される場合、ワイヤーカセット１ｄの垂直位置は、最上段の使用可能な空のラックがローラーコンベヤーＲＣからのガラス基板を受け入れることができるように調整されなければならない。図１Ｂにおけるピンラックカセット（ｐｉｎ−ｒａｃｋ  ｃａｓｓｅｔｔｅ）１ｃでは、どのラックのガラス基板もロボットアームによって搬出されるのに比べ、ワイヤーカセット１ｄが異なるところは、順次的な方式でガラス基板の保存、搬入または搬出を行わなければならない点である。また、載置された底部のガラス基板を先に取り除かなければ、ローラーコンベヤーＲＣを用いてガラス基板を取り除くことができないという問題点があった。
【特許文献１】特開平５−２７２１８号公報
【特許文献２】特開２０００−１３７２３９号公報
【特許文献３】特開２００３−５７６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、基板の中でも、特に大型のフラットパネルのガラス基板を保存するための複数のラックを有し、ローラーコンベヤーを用いてラック内からそのガラス基板を任意に取り出せるガラス基板の保存用カセット、搬送コンベア及びそれらを用いた搬送システムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、各カセットラックで複数のローラーを用いてガラス基板をカセット内に搬入する作業、またはカセットからガラス基板を搬出する作業を行うためのものである。２列の連動ギアは、ローラーを同じ方向の同じ速度で回転させるのに用いられる。また、これらのローラーは、各ラックの中のガラス基板を支持する機械の支持物として用いられる。搬送台（ｔｒａｎｓｆｅｒ  ｐｌａｔｆｏｒｍ）は複数のローラーと２列の連動するギアを含み、この搬送台は、コンベヤーとして用いられ、カセットラックと搬送台の上のギアが同じようにカセット台（ｃａｓｓｅｔｔｅ  ｓｔａｇｅ）のギアに接合した後、搬送台によってガラス基板の搬入または搬出を行う。
【０００９】
また、カセットラックと搬送台の上に位置する複数のローラーは、連動するベルトまたはチェーンによって駆動される。
【００１０】
本発明の複数のローラーは、磁気接合装置によって駆動される。各ローラーは、ローラーの軸の一端の磁気回転子に固定して取り付けられる。各磁気回転子は、磁気感応回転子に隣接した位置に設置され、磁気感応回転子が直交軸に沿って回転した時、磁気感応回転子は、磁気回転子を回転に設定することができる。これらの磁気回転子に同じ方向の同じ速度で回転させるために、複数の磁気感応回転子が移動制御軸の上に固定して設置される。従って、これらの磁気感応回転子は、移動制御軸に沿って回転することができる。移動制御軸は、複数の磁気回転子に垂直に設置され、よって、各磁気感応回転子を磁気回転子に隣接した方式で位置付けすることができる。モーターは、移動制御軸を時計方向または逆時計方向に回転するのに用いられ、磁気回転子の上の基板を指定方向に沿って動かすことができる。
【００１１】
磁気感応回転子もまた、カセットと搬送台とに用いられる。カセットラックと搬送台との間の接合は磁気または機械を用いて完成することができる。
【００１２】
すなわち、本発明は、複数の基板を保存し、移動装置に接合することができるカセットであって、第１側と前記第１側に対向する第２側を有するフレームと、前記フレームの上に異なる高さでそれぞれ設置される複数のラックを含み、
前記各ラックは、前記基板を支持し、第１方向または前記第１方向に相反する第２方向の回転用の軸の方向で回転することができ、それが連動方式で互いに接合されることでそれを同期回転させることができる複数のローラーと、前記ラックの一方の側に設置され、連動方式で前記ローラーに接合され、且つ、機械的に前記移動装置に接合され、前記移動装置の作用によって、前記ローラーを連動し、前記ローラーを前記第１方向に沿って同期回転させることで、前記基板を前記ラックから前記移動装置に搬出することができ、または、前記ローラーを前記第２方向に沿って同期回転させることで、前記基板を前記移動装置から前記ラックに搬入することができる第１連動装置とを含むことが好ましい。
【００１３】
また、本発明のカセットは、前記各ローラーが回転用の軸を有し、前記軸がその上に固定して設置された第１軸ギアを含み、前記ラックの上に設置されたローラーが１つまたは１つ以上のペアのローラーを含み、且つ、前記ラックが前記各隣接したペアのローラーに位置する前記第１軸ギアを前記ローラーの前記軸に機械的に接合することで、前記隣接したペアのローラーに運動方式で接合する第２連動装置を更に含むことが好ましい。また、本発明のカセットは、前記軸は第１軸端部と第２軸端部とを含み、且つ、前記第１軸ギアは前記第１軸端部の上に固定して設置されることが好ましい。また、本発明のカセットは、
前記軸が第２軸ギアを含み、前記第２軸ギアは前記第２軸端部に固定して設置され、且つ、前記ラックは前記各隣接したペアのローラーに位置する前記第１軸ギアと第２軸ギアとを前記ローラーの前記軸に機械的に接合し、前記隣接したペアのローラーに運動方式で接合する第２連動装置を更に含むことが好ましい。
【００１４】
また、本発明のカセットは、前記第１連動装置、前記第２連動装置が、奇数個の接合用のギアをそれぞれ含むことが望ましい。また、本発明のカセットは、前記第１軸ギアと前記第２軸ギアが第１ギアサイズを有し、前記奇数個の接合用のギアが第２ギアサイズを有し、前記第２ギアサイズが実質的に前記第１ギアサイズと同じであることが好ましい。また、本発明のカセットは、前記第１軸ギアが第１ギアサイズを有し、且つ、前記奇数個の接合用のギアが第２ギアサイズを有し、前記第２ギアサイズが前記第１ギアサイズより小さいことが好ましい。また、本発明のカセットは、前記ローラーは、回転用の前記軸の上に設置され、前記ラックの上に設置された前記ローラーは、１つまたは１つ以上のペアのローラーを含み、且つ、前記ラックは、１つまたは１つ以上のベルトを更に含み、前記各ベルトは、前記各隣接したペアのローラーの前記ローラーの前記軸に機械的に接合され、前記隣接したペアのローラーに運動方式で接合することが好ましい。
【００１５】
また、本発明のカセットは、前記ローラーが回転用の前記軸の上に設置され、前記ラックの上に設置された前記ローラーが１つまたは１つ以上の隣接したペアのローラーを含み、且つ、前記ラックが１つまたは１つ以上のチェーンを更に含み、前記各チェーンが前記各隣接したペアのローラーの前記ローラーの前記軸に機械的に接合され、前記隣接したペアのローラーに運動方式で接合することが好ましく、更に、前記ローラーが回転用の前記軸の上に設置され、前記軸がその上に固定して設置された少なくとも１つの磁気回転子を含み、且つ、前記ラックが前記第１連動装置に機械的に接合された共通軸と、前記共通軸の上に固定して設置され、磁気回転子に対向した方式で位置付けされ、それと前記磁気回転子間の磁気接合を提供し、前記移動装置が前記第１連動装置を通して前記共通軸を回転させた時、それも同じく前記共通軸に沿って回転し、前記磁気回転子は前記磁気接合によって同期回転され、前記ラックの前記ローラーに回転をさせる複数の磁気感応回転子とを含むことが好ましい。
【００１６】
また、本発明は、カセットを有し、前記カセットを用いて操作し、複数のフラットパネルを保存するために用いられる搬送コンベヤーであって、前記カセットは、第１側と前記第１側に対向する第２側を有するフレームと、前記フレームの上に異なる高さでそれぞれ設置され、フラットパネルを保存するために用いられる複数のラックを含み、前記各ラックは、前記フラットパネルを支持し、第１方向または前記第１方向に相反する第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転する複数のローラーと、前記ラックの前記第１側に設置され、動作可能に前記ローラーに接合される第１連動装置とを含み、前記搬送コンベヤーは、第１フレーム側と前記第１フレーム側に対向する第２フレーム側とを有するプラットフォームフレームと、第１方向または第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転することができ、それが機械的に互いに接合されることで前記ローラーに同期回転をさせることができる複数のプラットフォームローラーと、前記第２フレーム側に設置され、動作可能に前記プラットフォームローラーに接合される第２連動装置と、操作可能な方式で前記第２連動装置に接続され、前記プラットフォームローラーを前記第１方向または前記第２方向に沿って同期回転させ、前記第２連動装置は、前記ラックの中の１つのラックの前記第１連動装置に機械的に接合するために用いられる移動装置とを含むことが好ましい。
【００１７】
また、本発明の搬送コンベヤーは、前記各プラットフォームローラーは、回転用の軸の上に設置され、前記軸は、その上に固定して設置された第１軸ギアを含み、前記各ラックの上に設置されたプラットフォームローラーは、１つまたは１つ以上の隣接したペアのプラットフォームローラーを含み、且つ、前記ラックは、前記各隣接したペアのプラットフォームローラーに位置する前記第１軸ギアを、前記プラットフォームローラーの前記軸に機械的に接合することで前記隣接したペアのプラットフォームローラーに運動方式で接合する連動装置を更に含むことが好ましい。また、本発明の搬送コンベヤーは、前記軸が第１軸端部と第２軸端部を含み、且つ、前記第１軸ギアが前記第１軸端部の上に固定して設置されることが好ましい。また、本発明の搬送コンベヤーは、前記軸が第２軸ギアを含み、前記第２軸ギアが前記第２軸端部に固定して設置され、且つ、前記ラックが前記各隣接したペアのプラットフォームローラーに位置する前記第２軸ギアを前記プラットフォームローラーの前記軸に機械的に接合し、前記隣接したペアのプラットフォームローラーに運動方式で接合する第２連動装置を更に含むことが望ましい。また、本発明の搬送コンベヤーは、前記連動装置、前記第２連動装置が奇数個の接合用のギアをそれぞれ含むことが好ましく、そして、本発明の搬送コンベヤーは、前記各プラットフォームローラーが回転用の軸の上に設置され、前記ラックの上に設置されたプラットフォームローラーが１つまたは１つ以上の隣接したペアのプラットフォームローラーを含み、且つ、前記ラックが１つまたは１つ以上のベルトを含み、前記各ベルトが前記各隣接したペアのプラットフォームローラーの前記プラットフォームローラーの前記軸に機械的に接合することで、前記隣接したペアのプラットフォームローラーに運動方式で接合する連動装置を更に含むことが好ましい。
【００１８】
また、本発明の搬送コンベヤーは、前記各プラットフォームローラーが回転用の軸の上に設置され、前記ラックの上に設置されたプラットフォームローラーが１つまたは１つ以上の隣接したペアのプラットフォームローラーを含み、且つ、前記ラックが１つまたは１つ以上のチェーンを含み、前記各チェーンが前記各隣接したペアのプラットフォームローラーの前記プラットフォームローラーの前記軸に機械的に接合することで、前記隣接したペアのプラットフォームローラーに運動方式で接合する連動装置を更に含むことが好ましい。また、本発明の搬送コンベヤーは、前記各ローラーが回転用の軸の上に設置され、前記軸が少なくとも１つの磁気回転子を含み、前記磁気回転子が前記軸の上に固定して設置され、前記搬送コンベヤーは、前記第１連動装置に機械的に接合された共通軸と、前記共通軸の上に固定して設置され、磁気回転子に対向した方式で位置付けされ、それと前記磁気回転子間の磁気接合を提供し、前記移動装置が前記第２連動装置を通して前記共通軸を回転させた時、それも同じく前記共通軸に沿って回転し、前記磁気回転子は前記磁気接合によって同期回転され、前記プラットフォームローラーに回転をさせる複数の磁気感応回転子とを含むことが好ましい。
【００１９】
また、本発明の搬送コンベヤーは、前記プラットフォームフレームを前記カセットに向けて移動し、または前記カセットから離し、前記プラットフォームフレームが前記カセットに向けて移動された時、前記第２連動装置を機械的に前記ラックの中の１つのラックの前記第１連動装置に接合し、前記ラックの前記ローラーが前記第２方向に沿って同期回転され、フラットパネルを前記ラックの前記第２側から前記ラックの前記第１側に動かし、且つ、前記プラットフォームフレームを前記第１フレーム側に向けて、または第１方向でフラットパネルを前記プラットフォームフレームの前記第１フレーム側から前記第２フレーム側に向けて更に移動することで前記ラックを前記第２側に向けさせることができる横方向移動装置を更に含むことが好ましく、また、本発明の搬送コンベヤーは、前記プラットフォームフレームの垂直位置を調整し、前記ラックの中の１つのラックの高さに合わせることで、前記ラックからのフラットパネルを搬出する、またはフラットパネルを前記ラックに搬入する第２移動装置を更に含むことが好ましい。
【００２０】
また、本発明は、フラットパネルの搬送に用いる搬送システムであって、複数のフラットパネルを保存するために用いられる１つまたは１つ以上のカセットを含み、前記カセットは、第１側と前記第１側に対向する第２側を有するフレームと、前記フレームの上に異なる高さでそれぞれ設置され、フラットパネルを保存するために用いられる複数のラックを含み、前記各ラックは、前記フラットパネルを支持し、第１方向、または前記第１方向に相反する第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転することができる複数のローラーと、前記ラックの前記第１側に設置され、動作可能に前記ローラーに接合される第１連動装置、および前記１つまたは複数のカセットに相互関連した方式で位置付けを行う搬送コンベヤーを含み、前記搬送コンベヤーは、第１フレーム側と第２フレーム側とを有するプラットフォームフレーム、第１方向または第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転することができ、それが機械的に互いに接合されることで前記ローラーに同期回転をさせることができる複数のプラットフォームローラー、前記第２フレーム側に設置され、動作可能に前記プラットフォームローラーに接合される第２連動装置、および操作可能な方式で前記第２連動装置に接続され、前記プラットフォームローラーを前記第１方向、または前記第２方向に沿って同期回転させ、前記第２連動装置は、前記ラックの中の１つのラックの前記連動装置に機械的に接合するために用いられ、前記ラックの前記ローラーを前記プラットフォームローラーと同じ第１方向、または第２方向に沿って同期回転させ、前記ラックからのフラットパネルを搬出する、またはフラットパネルを前記ラックに搬入する移動装置を含むことが望ましい。
【００２１】
また、本発明の搬送システムは、前記プラットフォームフレームを前記カセットに向けて移動し、または前記カセットから離し、前記プラットフォームフレームが前記カセットに向けて移動された時、前記第２連動装置を機械的に前記ラックの中の１つのラックの前記連動装置に接合し、前記ラックの前記ローラーが前記第２方向に沿って同期回転され、フラットパネルを前記ラックの前記第２側から前記ラックの前記第１側に動かし、且つ、前記プラットフォームフレームを前記第１フレーム側に向けて、または第１方向でフラットパネルを前記プラットフォームフレームの前記第１フレーム側から前記第２フレーム側に向けて更に移動することで前記ラックを前記第２側に向けさせることができる横方向移動装置を更に含むことが好ましい。また、本発明の搬送システムは前記プラットフォームフレームの垂直位置を調整し、前記ラックの中の１つのラックの高さに合わせることで、前記ラックからフラットパネルを搬出する、またはフラットパネルを前記ラックに搬入する第２移動装置を更に含むことが好ましく、そして、本発明の搬送コンベヤーは、前記搬送コンベヤーを前記１つまたは１つ以上のカセットの中の選択されたカセットに移動することで、前記プラットフォームフレームを用いて前記選択されたカセットの前記ラックからのフラットパネルを移動する、または前記プラットフォームフレームを用いてフラットパネルを前記選択したカセットの前記ラックに移動するコンベヤー移動装置を更に含むことが好ましい。
【００２２】
更に、本発明は、フラットパネルをカセットに搬入する、または前記カセットからの前記フラットパネルの搬出を行う方法であって、前記カセットは複数のフラットパネルを保存するために用いられ、前記カセットは、第１側と前記第１側に対向する第２側を有するフレームと、前記フレームの上に異なる高さでそれぞれ設置され、フラットパネルを保存するために用いられる複数のラックを含み、前記各ラックは、前記フラットパネルを支持し、第１方向、または前記第１方向に相反する第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転することができる複数のローラーと、前記ラックの前記第１側に設置され、動作可能に前記ローラーに接合される連動装置を含み、前記方法は、１）前記カセットに相互関連し、第１フレーム側と、前記第１フレーム側に相対する第２フレーム側、第１方向、または第２方向の回転用の軸の方向に沿って回転することができ、それが機械的に互いに接合されることで前記ローラーに同期回転をさせることができる複数のプラットフォームローラー、および前記第２フレーム側に設置され、動作可能に前記プラットフォームローラーに接合される第２連動装置を有するプラットフォームフレームを設置するステップ、２）前記第２連動装置を前記連動装置に接合するステップ、３）操作可能な方式で移動装置を前記第２連動装置に接続し、前記移動装置を用いて前記プラットフォームローラーを前記第１方向、または前記第２方向に沿って同期回転させ、且つ、前記連動装置によって、前記ラックに位置する前記ローラーを前記第１方向、または前記第２方向に沿って前記プラットフォームローラーと同期回転させ、前記ラックから前記フラットパネルを搬出する、または前記フラットパネルを前記ラックに搬入するステップを含むことが望ましい。
【発明の効果】
【００２３】
更に、本発明の搬送システムによれば、搬送台を有する搬送コンベヤーは、１つまたは１つ以上のローラーカセットからのガラス基板を搬送することができる。各カセットは複数のローラーラックを有し、これらのローラーラックは複数のガラス基板を保存することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明についての目的、特徴、長所が一層明確に理解されるよう、以下に実施形態を示し、図３Ａないし図１１を参照にしながら、詳細に説明する。
【実施例】
【００２５】
本実施例は複数のローラーを用いて、大型のガラス基板（以下、フラットパネルでもよい）を保存するためのカセットまたは搬送コンベヤー内に搬送している。これらのローラーは、複数のインターロックギア（ｉｎｔｅｒｌｏｃｋｉｎｇ  ｇｅａｒｓ）によって機械的に互いに接合される。他の異なる実施例では、ローラーは、複数の連動するベルトまたはチェーン（ｉｎｔｅｒｌｏｃｋｉｎｇ  ｂｅｌｔｓ  ｏｒ  ｃｈａｉｎｓ）によって機械的に互いに接合される。更に別の実施例では、磁気接合装置によって互いに接合される。
【００２６】
本実施例に基づく搬送台（ｔｒａｎｓｆｅｒ  ｐｌａｔｆｏｒｍ）８０に接続したローラーカセット１０の側面図を図３Ａに示す。本実施例は、搬送コンベヤー６０を用いて、一度に1つのガラス基板（以下、同様に、フラットパネルでもよい）を搬送する方式で、カセット１０へ搬入しまたはカセット１０から搬出する。また、図３Ｂはカセットと搬送台の平面図を示す。図３Ａ及び図３Ｂに示すように、搬送システム１では、1つまたは1つ以上のカセット１０は、搬送コンベヤー６０に隣接する方式で列状に配列され、これらのカセット１０は、基盤（ｆｏｕｎｄａｔｉｏｎ）の上で横向きに動かすことができる。各カセット１０は複数のラック３０を有し、各ラック３０はガラス基板１００を保存する。搬送コンベヤー６０は搬送台８０を有する。この搬送台８０は図３Ｂにおける横方向（左右方向）に移動可能な方式であり、別の横方向に移動可能な横方向移動装置７４の上に設置される。その横方向移動装置７４により、搬送台８０はローラーラック３０内の1つに機械的に接合される。横方向移動装置７４は、垂直方向に移動可能な方式の垂直移動装置７６（以下、第２移動装置でもよい）に設置され、この垂直移動装置７６は基部７２から垂直方向に上昇または降下する。
【００２７】
ガラス基板１００が特定のラック３０と搬送コンベヤー６０との間に搬送された場合、垂直移動装置７６によって搬送台８０の高さは特定ラック３０の高さに合うように調整される。続いて、横方向移動装置７４を用いて搬送台８０をカセット１０の方向に移動させることにより、搬送台８０を機械的に特定のラック３０に接合させる。
【００２８】
図３Ａに示すように、垂直方向に上昇または下降する方式によって搬送台８０をカセット１０内のいずれかのラック３０と同じ高さに合うように調整することにより、各ラック３０内に位置するガラス基板１００を任意に取り出すことができる。また、ガラス基板を搬入し搬出するための専用動力源を必要としない場合には、カセット１０は、受動方式で操作を行う。尚、搬送コンベヤー６０において、モーター９０によるガラス基板１００の搬送操作は図７Ｂないし図７Ｄにて説明される。
【００２９】
図４Ａ及び図４Ｂに示すように、本実施例のカセット１０はフレーム２０を含み、実質的に互いに平行な複数のラック３０が固定の方式でフレーム２０の上に設置され、且つ、各ラック３０を用いてガラス基板１００を支持することができる。ここで、フレーム２０は、一方の第１側とその第１側に対向する第２側とを有する。
【００３０】
図４Ａはカセット１０の側面図であり、図４Ｂはカセット１０の正面図である。また、図４Ｃはラック３０の平面図である。図４Ｃでは、ラック３０は複数のローラー４０を含み、これらのローラー４０の間は２列の連動するギア４８を用いて機械的に互いに接合され、ラック３０のローラー４０を同時に同じ方向に沿って回転させることができる。すなわち、同期回転させることができる。また、ラック３０は、ラックの一方の側に設置され、連動方式でローラーに接合され、且つ、機械的に移動装置に接合され、移動装置の作用によって、ローラーを連動し、ローラーを第１方向に沿って同期回転させることで、ガラス基板をラックから移動装置に搬出することができ、または、ローラーを第２方向に沿って同期回転させることで、ガラス基板を移動装置からラックに搬入することができる第１連動装置を有している。
【００３１】
図５は本実施例のローラー４０の全体図を示す。図５において、各ローラー４０は円柱状部品４４を有する。この円柱状部品４４は固定の方式で軸４２の上に設置される。また、ローラー４０は一対のギア４８と一対のローラーガイド４６とを更に含む。この一対のギア４８は軸４２に固定して設置され、円柱状部品４４を用いてガラス基板を搬送する場合、一対のローラーガイド４６によってガラス基板をガイドすることができる。ここで、軸は、一方の端部の第１軸端部と対向する他方の端部に第２軸端部とを有する。また、第１軸端部の上には第１軸ギアが固定して設置され、第２軸端部の上には第２軸ギアが固定して設置される。
【００３２】
搬送コンベヤー６０の上に位置する搬送台８０は、上述の構成に類似の方式を有する。図６は搬送台８０の平面図を示す。図６において、搬送台８０は複数のローラー４０を含む。これらのローラー４０の間は、連動するギア４８を用いて機械的に互いに接合されている。また、連動するギア４８の作用では、モーター９０または類似の移動装置は、これらのローラー４０を回転運動の方式で搬送台８０の上に設置することができる。
【００３３】
図７Ａないし図７Ｃは、ガラス基板１００が搬送台８０からラック３０へ搬送される過程を説明している。図７Ａに示すように、搬送台８０とラック３０との間は物理的に互いに離れている。続いて、搬送台８０のギアがラック３０のギアと互いに連動する（図７Ｂ）まで、横方向移動装置７４（図３Ａ）によって搬送台８０をラック３０の方向に向けて移動する。ここで、例えば、図７Ａにおける矢印の方向、すなわち、不図示の移動装置からラック３０へ向かう方向が第１方向であり、その第１方向と相反する方向が第２方向である。続いて、図７Ｃに示すように、動作中にモーター９０を用いてこれらのローラーを搬送台８０の上に設置し、これによってガラス基板１００をラック３０の方向に移動させることができる。搬送台８０のギアとラック３０のギアとの間が互いに連動していることから、ラック３０の上のローラーに同じ速度で同じ方向の回転を行わせることができる。
すなわち、同期回転させることができる。従って、ラック３０の上に配置されたローラーは、ガラス基板をカセット１０内へ（図７Ｄ、図３Ａ及び図３Ｂ）に移動させることができる。図７Ｄはラック３０の上に配置されたガラス基板１００の状態を示す図である。ガラス基板をカセット１０の外側に移動させる場合は、上述と逆のプロセスを用いれば、ガラス基板１００をカセット１０から搬出する目的を達成することができる。
【００３４】
図３Ｂ、図４Ｃ、図６及び図７Ａないし図７Ｄに示すように、ラック３０の上に配置されたローラー数は、搬送台８０の上に配置されたローラー数より少なく、このような設計により、カセット１０の重量を減少させることができる。
【００３５】
また、異なるサイズのギアを用いてカセット１０の重量を更に減少することもできる。例えば、２つのローラー４０、すなわち、ペアのローラー、の間に設置され、ラック３０’の上に位置されたギアは、接合用のギアであって、比較的小さいサイズのギアを用いている。ここで、ペアのローラーに位置するギアは、第１軸ギアと第２軸ギアは第１ギアサイズを有し、接合用のギアは第２ギアサイズを有し、その第２ギアサイズは第１ギアサイズ以下である。図８に示すように、５つの小さいサイズのギア４７は、２つの互いに隣接するローラー４０の間に設置される。この５つのギア４７は、３つの大きなサイズのギア４８（図４Ｃ）の代わりに用いられている。すなわち、接合用のギアは、奇数個を有する。
【００３６】
また、ローラー４０の間に配置され、用いられるギアの機械的リンク機構は、ベルトまたはチェーンを用いて達成することができる。例えば、図９に示すラック３０”は、ローラー４０の上の一対のギア４８だけがラック３０と搬送台８０（図７Ｂないし図７Ｄ）との間の機械的接合または連動を行うのに用いられる。その他の全てのローラー４１は、溝またはギザギザの（ｋｎｕｒｌｅｄ）シリンダー４９を有し、ベルトまたはチェーンの摩擦力を増加させる。図４Ｃのラック３０、図８のラック３０’の作用では、図９におけるローラー４１が回転した場合のローラー４１の回転速度と回転方向は、図４Ｃ及び図８におけるローラー４０の回転速度と回転方向と同じである。また、搬送台８０の一部のギアは、小さいギアを用い、或いはベルトまたはチェーンに代えて用いることができ、この方式は、図８、図９の機械的接合または連動に類似している。
【００３７】
異なる実施例では、搬送台とローラーラックは、磁気接合装置を用いてローラーの移動を行うことができる。この時、ローラー間は、機械的に接続が行われない。図１０、１１に示す実施例では、搬送台１８０は、複数のローラー１４０を用いて搬送台（ｔｒａｎｓｆｅｒｒｉｎｇ  ｍｅａｎ）としている。図１１では、各ローラー１４０は、軸１４２を含み、磁気回転子１５４をその１つの軸端部に設置させる。図５に示す単一の円柱状部品４４を用いることができる他に、これらのローラー１４０は、複数の分離できるローラー１４４を有することができる。これらのローラー１４４は、回転可能な方式でフレーム（未表示）の上に設置され、これらの分離できるローラー１４４を用いてガラス基板の移動を行うことができる。図１０に示すように、搬送台１８０は、移動制御軸（ｍｏｔｉｏｎ  ｃｏｎｔｒｏｌ  ｓｈａｆｔ）１５０を含み、複数の磁気感応回転子（ｍａｇｎｅｔｉｃａｌｌｙ  ｉｎｄｕｃｉｎｇ  ｒｏｔｏｒｓ）１５２を移動制御軸１５０の上に固定して設置させることができる。磁気回転子１５４は、磁気感応回転子１５２に隣接し、回転後の磁気感応回転子１５２が移動制御軸１５０に沿って回転を行うことができる。各磁気感応回転子１５２は、磁気回転子１５４に近接近して位置付けされる。移動制御軸１５０は、１つまたは１つ以上のギア１４８によって機械的にモーター１９０に接続される。移動制御軸１５０、磁気感応回転子１５２がモーター１９０の駆動を受けて回転を始めた時、各磁気感応回転子１５２の周りの変化磁場（ｃｈａｎｇｉｎｇ  ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｆｉｅｌｄ）は、同期方式を用いて動作中の磁気回転子１５４に設定を行うことができる。
【００３８】
同じように、ローラーラック１３０は、複数のローラー１４０と移動制御軸１５１を含み、複数の磁気感応回転子１５２を磁気回転子１５４に隣接して設置する。搬送台１８０とローラーラック１３０の間の動作運動（ｍｏｔｉｏｎ  ｃｏｕｐｌｉｎｇ）は、多くの異なる方式によって達成することができる。例えば、ギアシステム１６０、１６４は、機械的に移動制御軸１５０を移動制御軸１５１に接続することができる。
【００３９】
本実施例の搬送システムでわかるように、搬送台を有する搬送コンベヤーは、１つ、または１つ以上のローラーカセットからのガラス基板を搬送することができる。各カセットは複数のローラーラックを有し、これらのローラーラックは複数のガラス基板を保存する。搬送台とローラーラックは、複数のローラーを用いてガラス基板を横方向に動かす。これらのローラーの間は、ギア、ベルト、チェーン、または類似の機械部品の機械接合の方式を用いて互いに接合することでこれらのローラーに同期回転をさせることができる。また、これらのローラーの間は、磁気回転子、または類似の部品を用いて互いに磁気によって接合することができる。搬送台がローラーカセットのローラーラックに接合した時にだけ、ローラーカセットのローラーとローラーコンベヤーに位置するローラーが同期回転をする。
【００４０】
注意するのは、搬送台とローラーカセットは異なる材料（例えば、金属、プラスチック、またはその他の類似材料）より構成されたその他のフラットパネルの移動と保存をすることができる。また、複数のギアと磁気接合装置は、ローラーラックの１つ側に設置されることができ、且つ、複数のギアは搬送台の１つ側に設置されることができる。また、複数のギアと磁気接合装置は、ローラーラックの両側の間に位置され、ローラーラックの両側、または搬送台から離れた方式でローラーラックと搬送台の上に設置されることができる。また、ローラーカセットと搬送台の上に位置されたローラーラックは、同じ、またはその他の方式を用いて構造することができる。
【００４１】
以上、本発明の好適な実施例を例示したが、これは本発明を限定するものではなく、本発明の精神及び範囲を逸脱しない限りにおいては、当業者であれば行い得る少々の変更や修飾を付加することは可能である。従って、本発明が保護を請求する範囲は、特許請求の範囲を基準とする。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１Ａ】ロボットアームに接続した従来のカセットの側面図である。
【図１Ｂ】図１Ａの従来のカセットの正面図である。
【図２Ａ】ローラーコンベヤーに接続した従来のワイヤーカセットの側面図である。
【図２Ｂ】図２Ａの従来のワイヤーカセットの正面断面図である。
【図３Ａ】本発明の搬送台に接続したローラーカセットの側面図である。
【図３Ｂ】本発明のローラーカセットと搬送台の平面図である。
【図４Ａ】本発明のローラーカセットの側面図である。
【図４Ｂ】本発明のローラーカセットの正面図である。
【図４Ｃ】本発明のローラーカセット内のローラーラックの平面図である。
【図５】本発明のローラーの全体図である。
【図６】本発明の搬送台の平面図である。
【図７Ａ】本発明のローラーラックに接続した搬送台の平面図である。
【図７Ｂ】本発明のローラーラックに機械的に係合された搬送台の図である。
【図７Ｃ】本発明の搬送台からローラーラックへ移動されるガラス基板の状態を示す図である。
【図７Ｄ】本発明のローラーラックの上に設置されたガラス基板の状態を示す図である。
【図８】本発明の連動ギアを有する異なるローラーラックの図である。
【図９】本発明の連動ベルトまたはチェーンを有する更に異なるローラーラックの図である。
【図１０】本発明の磁気接合のローラーラックに接続した磁気接合の搬送台の概略図である。
【図１１】本発明の誘起回転子に接続した磁気回転子を有するローラーシャフトの一部分の図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  搬送システム
１０  カセット
１００  ガラス基板
１４０  ローラー
１４２  軸
１４８  ギア
１５０  移動制御軸
１５１  移動制御軸
１５２  磁気感応回転子
１５４  磁気回転子
１６０、１６４  ギアシステム
１８０  搬送台
１９０  モーター
１ａ  ロボットアーム
１ｂ  ガラス基板
１ｃ  ピンラックカセット
１ｄ  ワイヤーカセット
１ｅ  支持ピン
１ｆ  ローラー
２０  フレーム
３０、３０’、３０”  ラック
４０  ローラー
４２  軸
４４  円柱状部品
４６  ローラーガイド
４７、４８  ギア
６０  搬送コンベヤー
７２  基部
７４  横方向移動装置
７６  垂直移動装置
８０  搬送台
９０  モーター
ＲＣ  ローラーコンベヤー
ｗ  平行ワイヤー
【図１Ａ】
2007036227.tif 000003
【図１Ｂ】
2007036227.tif 000004
【図２Ａ】
2007036227.tif 000005
【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
2007036227.tif 000007
【図３Ｂ】
2007036227.tif 000008
【図４Ａ】
2007036227.tif 000009
【図４Ｂ】
2007036227.tif 000010
【図４Ｃ】
2007036227.tif 000011
【図５】
2007036227.tif 000012
【図６】
2007036227.tif 000013
【図７Ａ】
2007036227.tif 000014
【図７Ｂ】
2007036227.tif 000015
【図７Ｃ】
2007036227.tif 000016
【図７Ｄ】
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【図８】
2007036227.tif 000018
【図９】
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【図１０】
2007036227.tif 000020
【図１１】
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