(57)【要約】【課題】弁支持部材を基板に接着する際に、基板に対して弁支持部材の正確な位置決めを容易に行うことができ、ヘッド毎による弁の取り付け位置のばらつきを少なくし、以て安定した吐出動作を高速に行うことができるようにした液体吐出ヘッドを提供すること。【解決手段】弁支持部材１３に位置決め穴２１を設けて、ヒータボード２に設けられた支柱１４に突き当てて弁支持部材１３の位置決めを行う。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を加熱発泡させて発生する気泡の成長に伴い、板材からなる弁支持部材と一体で形成された弁を変位させて、前記液体が吐出する方向へ前記気泡の成長を導き、前記液体の吐出が可能な液体吐出ヘッドにおいて、
前記弁支持部材は位置決め用の穴を有し、該穴の一部を、前記液体を加熱発泡させるのに利用される熱エネルギをインクに作用するための発熱部を有する基板の所定の位置に設けられた支柱に、前記液体が吐出される方向で突き当てて位置決めされてなることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
位置決め用の前記穴は複数あることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記位置決め用の複数の穴は、前記基板上での前記弁支持部材の回転を抑制する位置に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
位置決め用の前記穴を前記支柱に突き当てる際に前記弁支持部材を移動させる量は、前記弁の前記液体が吐出する方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記弁支持部材を前記支柱に突き当てて位置決めした状態で、前記弁支持部材は、前記液体が吐出される方向において、前記液体を吐出するためのノズルを形成するために前記基板上に配置されるノズル壁部材と接触しないことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記支柱は直方体であり、前記弁支持部材の位置決めは、前記支柱の１つの面に、前記弁支持部材の位置決め用の前記穴における直線をなした部分が突き当てられることでなされていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記支柱は直方体であり、前記弁支持部材の位置決めは、前記支柱の２つの面に、前記弁支持部材の位置決め用の前記穴における２つの直線をなした部分が同時に突き当てられることでなされていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記支柱は直方体であり、前記弁支持部材の位置決めは、前記支柱の２つの面に、前記弁支持部材の位置決め用の前記穴における２つの直線をなした部分が順次突き当てられることでなされていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記支柱は円柱であり、前記弁支持部材の位置決めは、前記弁支持部材の位置決め用の前記穴の一部が前記支柱と線接触してなされていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記支柱は、前記液体を吐出するためのノズルを形成するために前記基板上に配置されるノズル壁部材と同一の感光性樹脂材料で形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記弁支持部材には、前記位置決め用の穴とともに、さらに複数の穴が分布して設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
液体を加熱発泡させて発生する気泡の成長に伴い、板材からなる弁支持部材と一体で形成された弁を変位させて、前記液体が吐出する方向へ前記気泡の成長を導き、前記液体の吐出が可能な液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記弁支持部材に設けられた位置決め用の穴の一部を、前記液体を加熱発泡させるのに利用される熱エネルギをインクに作用するための発熱部を有する基板の所定の位置に設けられた支柱に、前記液体が吐出する方向で突き当てて位置決めする工程を具えたことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。特に本発明は、熱エネルギを液体に与えることで、液体に急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって吐出口から液体を吐出させる方式の液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の液体吐出ヘッドには、一般に、液体供給方向上流側から吐出口に向う液路が設けられ、その液路に、例えば通電に応じ液体に熱エネルギを発生する素子（電気熱変換体）が配されている。そして電気熱変換体の駆動に伴い、液路に面した熱作用部上にある液体に状態変化（膜沸騰による発泡）を生じさせることで、熱作用部より吐出口側に存在する液体を吐出させる圧力を作用させるものである。しかし発泡現象自体には指向性がなく、従って発泡による圧力は液路において液体を吐出させる方向だけではなく、液体供給方向上流側にも作用する。この結果、液体供給方向上流側へのエネルギ損失を生じて液体吐出に有効に寄与するエネルギ量が減殺され、液体の吐出速度が減少して記録品位の低下を招くことになる。またそれだけではなく、液体供給方向上流側に向かう圧力が、吐出によって失われた分の液体を液路に補充（リフィル）する動作を遅らせ、記録速度の高速化を阻害する要因ともなる。
【０００３】
近年では、記録品位の安定した画像を高速に記録する要求が高まっており、これは特に産業用途の記録装置において著しい。そこで、発泡に応じ弁として作動する可動部材を液路内に設け、液体供給方向上流側への泡の成長を規制することにより、エネルギ利用の効率化およびリフィル動作の円滑化を図る構成が採用されることがある。
【０００４】
このような可動部材を備えるために、特許文献１には、電気熱変換体が設けられる基板の一部を利用して、その基板の一部に弁を一体形成した構成が開示されている。この特許文献１では、電気熱変換体が形成された部材（基板）に対し、これとは別体の弁またはこれを形成した部材（弁支持部材）を後工程で接着した構造を液体吐出ヘッドが有している構成を従来例として挙げている。そしてそのような構成では、
・微細な弁の形成が困難であるため、液路の微細化が容易でないこと、および
・弁の取り付けを接着などの方法により行うため、組み立て工数が増加してコスト上昇を招くのみならず、取り付け精度の良否による信頼性の低下や吐出の不安定などが生じることが記載され、これらを解決するために、基板と弁とが予め一体となった構造およびその製造方法が開示されている。
【０００５】
これに対し、特許文献２には、基板および弁支持部材の二体構造を有する記録ヘッドの製造方法が開示されている。具体的には、発熱抵抗素子（電気熱変換体）を備えた基板上に少なくともその表面が金属である支持部材を配置し、この部材を介して可動部材を有する金属製の分離壁（弁支持部材）を固定する方法を開示している。その発明の実施の形態においては、基板の概略後方部の２カ所にＡｕ等でなるスタッドバンプ形態の支持部材を打ち込み、Ｎｉ等でなる分離壁を位置決めして載置し、分離壁の上から支持部材に対して加熱等を行って支持部材および分離壁の界面に合金層を形成することで、基板と分離壁との接合・固定すなわち取り付けを行う方法などが記載されている。そしてこの方法によれば、接着剤を用いた場合のような、接着剤の硬化収縮が取り付け精度に悪影響を及ぼす不都合が防止されることが効果の一つとして記載されている。
【０００６】
【特許文献１】特開昭６３−１９７６５２号公報
【特許文献２】特開平１０−１６２４３号公報（図１１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
これらの特許文献は、いずれも、液体吐出のためのエネルギ利用の効率化およびリフィル動作の円滑化を企図したものであるが、そのための液体吐出ヘッドの基本構成が異なっている。すなわち、特許文献１では基板と弁支持部材とが予め一体に形成される構造（以下、一体構造という）を用いるのに対し、特許文献２では別体に形成された基板と弁支持部材とを貼り付けた構造（以下、二体構造という）を用いている。
【０００８】
本願発明者がこれらの構造を鋭意検討した結果、次のような知見を得た。  
すなわち、まず特許文献１では、上記の一体構造物を作成する過程において、基板上に所定材料（同文献ではポリシリコン）でなる層を形成してからその上に弁となる部分を積層し、その弁下方の液路部分に存在している層のエッチングが実施される。従って、エッチングを弁周辺から弁下方に行う必要があるため、片持ち支持される弁の被支持部分を除く弁周辺部分には、エッチング工程を受容するために、ある程度の空隙を要する。つまり、エッチング工程を考慮して、弁の寸法が制約されてしまうことになる。このため、所望の弁寸法すなわち熱作用部への弁の投影面積が小さくなり、所期の目的である吐出エネルギの有効利用およびリフィル動作の円滑化を十分に達成できなくなる恐れがある。これは特に、産業用途など、安定した吐出動作を高速に行うことが厳しく要求される記録ヘッドないしは記録装置を用いる場合に問題となり得る。
【０００９】
従って、所期の目的に見合う寸法をもつ弁が形成されていることが強く望ましく、そのためには二体構造を採用する方が、設計および製造上有効である。しかしこの場合、特許文献１で認識されていた課題、すなわち弁支持部材の取り付け精度の低下による信頼性の低下や吐出の不安定などが適切に解決されなければならないことは勿論である。
【００１０】
ここで弁支持部材は、基板に対して好ましくない反りや浮きがない状態で固定されることで、取り付け精度が確保されていなければならないが、その前提として、まず弁支持部材は基板に対して正確に位置決めされていなければならない。
【００１１】
例えば特許文献２においては、基板上の複数箇所に設けた支持部材を介し、ボンディング技術を応用して弁支持部材を接合する構成を採用しているが、その接合に先立つ位置決めの具体的な態様については開示されていない。
【００１２】
本発明は、以上の問題に鑑みてなされたもので、弁支持部材を基板に接着する際に、基板に対して弁支持部材の正確な位置決めを容易に行うことができ、ヘッド毎による弁の取り付け位置のばらつきを少なくし、以て安定した吐出動作を高速に行うことができるようにした液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
そのため本発明の液体吐出ヘッドは、液体を加熱発泡させて発生する気泡の成長に伴い、板材からなる弁支持部材と一体で形成された弁を変位させて、前記液体が吐出する方向へ前記気泡の成長を導き、前記液体の吐出が可能な液体吐出ヘッドにおいて、前記弁支持部材は、位置決め用の穴を有しており、前記穴の一部を所定の位置に設けられた支柱に前記液体が吐出する方向で突き当てて位置決めすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の液体吐出ヘッドによれば、弁支持部材に位置決め穴を設けて、ヒータボードに設けられた支柱に位置決め穴の一部を突き当てて弁支持部材の位置決めを行うことで、弁支持部材に支持された弁を所望の位置に設置することができ、吐出の乱れや、印字不良の発生が少ない液体吐出ヘッドを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（第１の実施形態）
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。  
図１は、本発明の一実施形態である、液体吐出ヘッド１１０を具えた液体吐出装置１１１の内部構造を示す正面図である。図中の液体吐出装置１１１は、複数の液体吐出ヘッド１１０を備えており、給紙部１１６から供給された記録媒体Ｐが記録媒体搬送部１１４によって搬送され、液体吐出ヘッドと対面する位置で液体吐出ヘッド１１０から記録媒体Ｐに向けて液体が吐出されて記録が行われる。そして、液体吐出装置１１１の上部正面にあるオペレーションパネル１１５によってこれらの操作をユーザが行うことができる。
【００１６】
図２は、液体吐出ヘッド１１０を分解した状態を示す分解斜視図である。  
ヒータボード１０１は、セラミック製のベースプレート１００によって支持されており、そのヒータボード１０１をベースプレート１００と挟む形で配線基板１０２が配置されている。そしてヒータボード１０１上のヒータ２（図４参照）と、配線基板１０２上の端子とは、ワイヤボンディングにより電気的に接続されている。
【００１７】
図３は、本発明の一実施形態である液体吐出装置１１１における、液体供給系の構成を示す図である。本実施形態の液体吐出装置１１１は、着脱可能なカートリッジ１１３、液体吐出ヘッド１１０の吐出口１３（図４参照）に形成される液面であるメニスカス１９（図７（ａ）参照）の位置を適正に保つための圧力を発生するサブタンク１１８を備えている。さらに本実施形態の液体吐出装置１１１は、カートリッジ１１３からサブタンク１１８へ液体を供給するための供給ポンプ１１９、サブタンク１１８から液体吐出ヘッド１１０へ液体を供給するための加圧ポンプ１２０、および液体吐出ヘッド１１０から液体のリターン流路を閉鎖するための回復弁１２１を備えている。供給ポンプ１１９は、後述するリサイクル動作にも使用され、その際の経路選択のため供給弁１２２が配置されている。液体吐出ヘッド１１０より排出された液体を再利用するリサイクル動作は、液体吐出ヘッド吐出面下方に設置された回復桶１２３、回復桶１２３からサブタンク１１８への液体の流路選択のためのリサイクル弁１２４により行なわれる。
【００１８】
図４は、本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の一部の断面斜視図である。ヒータボード２には液体を加熱発泡するためのヒータ３が複数設置されている。ヒータ３はチッ化タンタル等の抵抗体が用いられており、厚さは０．０１〜０．５μｍ、単位面積あたり１０〜３００Ωの抵抗を有するものが用いられる。ヒータ３には通電のためのアルミニウム等の不図示の電極が接続されており、その電極にはヒータ３への通電を制御するための不図示のスイッチングトランジスタが接続されている。スイッチトランジスタは制御用のゲート素子等の回路からなるＩＣによって制御され、不図示の制御部からの信号によって所定のパターンで駆動するようになっている。複数のヒータ各々に対応して吐出ノズル６が形成されており、吐出口４と共通液室９とは吐出ノズル６によって連通している。また、ノズル６は、その表面にノズル補強壁１６と弁台座１５とが備えられたヒータボード２と、両側のノズル壁７と、厚さ２μｍ程度の天板接着層１７と、によって囲まれた管状をなしている。そして、可動弁１２は弁支持部材１３から櫛歯状に延びて、かつ自由端１８を吐出口４方向に向けて設けられている。
【００１９】
以下に、図５および図６を用いて本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法を説明する。なお、図５および図６は図４のIV−IV断面図であり、本実施形態の製造方法に合わせて、２組の液体吐出ヘッドの吐出口面を付き合わせた状態の図である。２組の液体吐出ヘッドの吐出口面を付き合わせたものを一体で形成して、後工程において図中の一点鎖線部で切断することで吐出口を形成するという方法で液体吐出ヘッドを作った。このような作り方を用いることで、ノズルの位置精度が高くなり、より高画質の記録が可能な液体吐出ヘッドを作ることができる。また、図５および図６は説明を容易にするために図４の液体吐出ヘッドとは寸法関係を変えて、模式的に表している。
【００２０】
図５（ａ）は、ヒータボード２にノズル補強壁１６や弁台座１５が形成された状態を示す図である。まず、シリコンウエハからなるヒータボード２上に半導体製造工程で用いるものと同様の製造装置を用いて、ハフニュウムボライドやチッ化タンタル等からなるヒータ３を形成した後、ヒータボード２表面に洗浄を施し、さらに密着性の向上を目的としてヒータボード２表面に紫外線-オゾン等による表面改質を行った。次に、ヒータボード２上に紫外線感光樹脂フィルムをラミネートし、フォトマスクを介して、紫外線感光性樹脂フィルムのノズル補強壁１６および可動弁１２を接着するための弁台座１５として残す部分に、紫外線を照射した。図５（ｂ）は、ノズル壁７を作るための紫外線感光性樹脂フィルムを、ノズル補強壁１６、弁台座１５の上にラミネートした図である。図５（ｃ）は、図５（ｂ）でラミネートした紫外線感光性樹脂フィルムに紫外線を照射して、ノズル壁７を形成した状態の図である。紫外線を照射後にキシレンとブチルセルソルブアセテートとの混合液からなる現像液で現像し、未露光部分を融解させ、図５（ａ）で露光して硬化した部分がノズル補強壁１６および弁台座として、図５（ｃ）で露光して硬化した部分がノズル壁７としてそれぞれ形成される。
【００２１】
図６は、図５以降の工程を示す図である。図６（ａ）は、弁台座１５に可動弁１２を取り付けた状態を示す図である。可動弁１２は、その先端部を吐出口側に向けた片持ち状態で弁台座１５に接着剤で固定されている。図６（ｂ）は、天板１１を取り付けた図である。ノズル壁７には、予め感光性樹脂フィルムを材料とした天板部分のノズルを形成する樹脂部材１７をラミネートしておいた天板１１を溶着されている。その後、図中一点鎖線部で切断して図６（ｃ）のように吐出口が形成される。図６（ｄ）は、切断面を研磨した後の状態を示したものである。切断面を研磨すると、樹脂材である部分は弾性が高いために、図に示すように隆起する。このように樹脂部が隆起することによって、従来吐出口部分に用いられていたオリフィスプレートを取り付けなくても、樹脂部にその役割をさせることができる。
【００２２】
次に、可動弁１２および弁支持部材１３の製造方法について説明する。基板ウェハ上を母材として、そこに紫外線感光樹脂フィルムをラミネートして、紫外線の露光によって所望のパターンを作成する。これを使用して電鋳によってウェハ上にＮｉを厚さ５μｍ程度までの厚さに成長させる。その後、パターンを溶解させることによりウェハ上に可動弁１２および弁支持部材１５が一体形成された状態となる。これをウェハから剥がしてそれらが完成する。
【００２３】
図７（ａ）および（ｂ）は、それぞれ、本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の横断面図および縦断面図である。前述のようにして作られた弁支持部材１３には、弁支持部材１３と弁台座１５とを接着剤硬化する際の位置決めに用いる四角形状の穴２１が設けられている。この穴２１は、図中矢印Ｃ方向を長手にした長方形であり、弁支持部材１３の端部Ｄ側および端部Ｅ側の２箇所に設けられている。実際に位置決めを行う際に用いられるのは穴２１の４つある辺のうち、弁支持部材１３の端部Ｆに最も近い位置に有る辺Ｈであり、その辺Ｈをヒータボード２に設けられた支柱１４に当接させることによって位置決めが行われる。つまり、弁支持部材１３を支柱１４に矢印Ｃ方向に突き当てた状態で位置決めされている。このように、弁支持部材１３を手前から矢印Ｃ方向にスライドさせることで突き当てて位置決めする理由は、可動弁１２を傷つけずにノズル壁７の間に進入させるためである。したがって、弁支持部材１３をスライドさせる前の状態では、可動弁１２はノズル壁７の間に入っていない状態にあり、矢印Ｃ方向にスライドさせることでノズル壁７の間に挿入される。そのため四角穴２１を形成する４つの辺のうち、長手の辺の長さは可動弁１２の長さよりも長く作られている。  
このように弁支持基板１３の端部Ｄ側および端部Ｅ側のように位置が離れた２箇所で、支柱１４による位置決めが行われることから、弁支持部材１３の位置が図中矢印Θ方向にずれることを防止している。  
また、弁支持部材１３を支柱１４に突き当てた状態で、ノズル壁７と可動弁１２の根元部Ｇとは距離Ｌだけ離れた状態になっている。この距離Ｌについては距離を限定せずに、ノズル壁７と根元部Ｇとが当接した状態ではないことを意味している。このような距離Ｌが設けられていない場合、加工誤差により可動弁１２の根元部Ｇから四角穴２１の辺Ｈまでの距離よりも、ノズル壁７の端部Ｉから支柱１４の突き当て部までの距離が短いと、弁支持部材１３を支柱１４に突き当てた際に、弁支持部材１３には反りが生じる。その結果、可動弁１２の所望の取り付け状態を得ることができず、液体吐出時の可動弁１２の動作に悪影響を与えてしまう。以上のような不具合を防止するために距離Ｌは設けられている。
【００２４】
また、２つの位置決め用の穴２１の間には、接着固定用の四角形状の穴２２が３個設けられている。支柱１４に突き当てて弁支持基板１３を位置決めした後、この四角穴２２を使って弁台座１５と弁支持部材１３とを接着固定する。  
さらに、加熱や記録動作に伴って生じる熱的影響を考慮して、弁支持部材１３自体の熱膨張による寸法の変化を極力抑えるために、複数の穴２３が千鳥状に配列されて設けられている。この穴２３の配列は、特に弁支持部材１３の可動弁６の配列方向（図７中矢印Ｂ方向）の膨張を防ぐことを目的として設けられており、このように穴２３を設けることで、弁支持部材１３が熱膨張しても可動弁１２の吐出時の動作への影響を極力抑えることができた。また穴２３を複数個に分散配置して、穴径を小さくすることで、弁支持部材１３の極端な強度劣化を防止している。さらに、弁支持部材１３が振動を吸収しやすくなったため、液体吐出時の１つの可動弁１２の振動が弁支持部材１３に吸収されて、隣接する他の可動弁１２への動作に影響を与えなくなっている。
【００２５】
図８は、本実施形態の液体吐出ヘッドの吐出口１３の周辺の構成を示す断面図である。液体は共通液室９を矢印のように通りインク供給口１９に供給される。
【００２６】
上記のような構成の弁支持部材１３を用いることで、弁支持部材１３を所望の位置に配置し、その結果、可動弁１２を所望の位置に設置することができるため、吐出の乱れや、印字不良の発生が少ない液体吐出ヘッドを実現することができた。
【００２７】
なお、位置決め用の穴２１、接着固定用の穴２２および寸法変化抑制用の穴２３は、可動弁６を有する弁支持部材１１の製造後に、打ち抜き等によって形成することも可能である。しかし、上述した可動弁１２を含む弁支持部材１３の製造工程において適切なパターニングを行うことによって、同時に形成することも可能である。
【００２８】
また、弁支持部材１３と基板上の弁台座１５との接着は、穴２２から接着剤を流し込むことで行うこともできるし、特許文献２に開示されたような技術など、適宜の技術を適用して行うことも可能である。
【００２９】
さらに、本発明にとって、穴２３も必須のものではないが、加熱や記録動作に伴って生じる熱的影響で弁支持部材１３自体が熱膨張することによる寸法の変化を抑制する上で複数の穴２３の存在は好ましいものである。そして弁支持部材１３の製造工程において適切なパターニングを行うことによって、位置決め用の穴２１とともに同時に形成されるようにすれば、製造工程数の増大等も生じないものである。
【００３０】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態は、第１の実施形態とほぼ同様であるが、弁支持部材１３の位置決めに用いる穴の形状および支柱１４が設けられている向きが異なる。  
図９は、本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の横断面図である。本実施形態では弁支持部材１３を位置決めするために用いる穴は、１組の対向する頂点がなす角度が共に９０度である六角形の形状をしており、９０度の角度を有する２つの頂点は矢印Ｃと平行な直線上に並んで配置するように構成されている。また、支柱１４はその断面が正方形であり、その対角線上の対向する１組の頂点が矢印Ｃと平行な直線上に配置するように構成されている。このように構成された弁支持部材１３の位置決め用の穴２１を支柱１４に突き当てることで弁支持部材１３の位置決めがなされている。
【００３１】
このような方法で弁支持部材１３を位置決めするとことによって、矢印Ｃ方向および矢印Ｂ方向の位置を同時に決めることができ、弁支持部材１３の正確な位置決めが可能になることから、可動弁１２を所望の位置に配置することができる。よって、吐出の乱れや、印字不良の発生が少ない液体吐出ヘッドを実現することができた。
【００３２】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態は、第１および第２の実施形態とほぼ同様であるが、弁支持部材１３の位置決めに用いる穴の形状および支柱１４の断面形状が異なる。  
図１０は、本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の横断面図である。本実施形態では弁支持部材１３を位置決めするために用いる穴は、支柱１４と線接触で接触するように構成されている。また、支柱１４は円柱状であり、弁支持部材１３の位置決め用の穴に設けられている２箇所の凸部が当接することで弁支持部材１３の位置決めがなされる。
【００３３】
このように支柱１４と弁支持部材１３の位置決め用の穴を当接させて弁支持部材１３を位置決めするとことによって、矢印Ｃ方向および矢印Ｂ方向の位置を同時に決めることができ、可動弁１２を所望の位置に配置することができる。さらに支柱１４を設ける際もその向きを気にすることなく容易に作ることができる。よって、吐出の乱れや、印字不良の発生が少ない液体吐出ヘッドを比較的容易に実現することができた。
【００３４】
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態は、第１から第３の実施形態とほぼ同様であるが、支柱１４が設けられた位置と支柱１４の断面の寸法が異なる。  
図１１は、本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の横断面図である。本実施形態では弁支持部材１３を位置決めするために用いる穴は、第１の実施形態と同様の長方形状をしているが、第１の実施形態の穴よりも矢印Ｂ方向の寸法が大きく作られている。また、支柱１４も第１の実施形態と同様の断面が正方形をなしているが、第１の実施形態とはその断面の正方形の寸法と、支柱１４の設けられている位置が異なる。第１の実施形態では支柱１４に対して長方形の位置決め穴の一辺を突き当てることで弁支持部材１３の位置決めを行ったが、本実施形態では長方形の位置決め穴の隣り合う２辺を順次支柱１４に突き当てることで弁支持部材１３の位置決めを行う。つまり支柱１４と位置決め用の穴の位置関係は、図にあるように、穴を形成している隣り合った２つの辺が、支柱１４の隣り合った２つの面に突き当たられた際に、可動弁１２が所望の位置に配置されるように構成されている。このようにすることで、第２および第３の実施形態と同様に矢印Ｃ方向だけでなく矢印Ｂ方向の位置も決めることができる。ただし、本実施形態において弁支持部材１３の位置決めを行う場合は、まず弁支持部材１３を矢印Ｂ方向にスライドさせて支柱１４に突き当てて、その後弁支持部材を矢印Ｃ方向にスライドさせて支柱１４に突き当てて位置決めを行うようにする。このような方法で弁支持部材１３の位置決めを行うことで、可動弁１２を傷つけることなくノズル壁７とノズル壁７の間に挿入することができる。
【００３５】
このように弁支持部材１３を支柱１４に突き当てて位置決めするとことによって、矢印Ｃ方向および矢印Ｂ方向の位置を決めることができ、可動弁１２を所望の位置に配置することができる。よって、吐出の乱れや、印字不良の発生が少ない液体吐出ヘッドを実現することができた。
【００３６】
なお、弁支持部材１３が備える位置決め用の穴形状と支柱１４の断面形状は上記各実施形態のものに限定されるものではなく、他の形状とすることができ、例えば円柱状の支柱１４に楕円形状の位置決め穴とすること等も可能である。要は、支柱１４に位置決め用の穴２１の一部を当接させることによって、弁支持部材１３の位置を決定することができる関係の形状をそれぞれが有していればよい。
【００３７】
また、本発明の各実施形態では位置決め用の四角穴２１を２個設けたがこれに限定するものではなく１個以上あればよい。ただし１個の場合は弁支持部材１３の位置決めの際にΘ方向のずれは発生しやすくなる。
【００３８】
また、本実施形態では接着固定用の四角穴２２を３個設けたがこれに限定するものではなく、１個以上であり弁支持部材１３を弁台座１５に接着固定できればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施形態である、液体吐出ヘッドを具えた液体吐出装置の正面図である。
【図２】本発明の一実施形態である、液体吐出ヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態である、液体吐出装置の液体供給系の構成を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態である、液体吐出ヘッドのノズル近傍の断面斜視図である。
【図５】（ａ）は、ベースプレートに土手や弁台座が形成された図であり、（ｂ）はノズル壁を作るための紫外線感光性樹脂フィルムをラミネートした図であり、（ｃ）は、紫外線感光性樹脂フィルムに紫外線を照射して、ノズル壁を形成した状態の図である。
【図６】（ａ）は、弁台座に可動弁を取り付けた図であり、（ｄ）は、切断面を研磨した後の状態を示したものであり、（ｃ）は切断後の状態を表す図であり、（ｄ）は、切断面を研磨した後の状態を示したものである。
【図７】（ａ）は、本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の横断面図であり、（ｂ）は本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の縦断面図である。
【図８】本発明の一実施形態である液体吐出ヘッドの吐出口周辺の構成を示す断面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態である液体吐出ヘッドのノズル近傍の横断面図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態である液体吐出ヘッドのノズル近傍の横断面図である。
【図１１】本発明の第４の実施形態である液体吐出ヘッドのノズル近傍の横断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
２  ヒータボード
３  ヒータ
６  吐出ノズル
７  ノズル壁
１１  天板
１２  可動弁
１３  弁支持部材
１４  支柱
１８  可動弁自由端
１９  インク供給口
２１  位置決め穴
２２  接着固定用穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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