(57)【要約】【課題】簡単な構成、かつ低コストで霧を加温することができる超音波霧発生装置を提供する。【解決手段】超音波振動を発生させる超音波振動子２および、超音波振動子２に接続されて、供給される液体３を超音波振動により霧化させて霧４を発生させるホーン５を有する超音波振動部６と、超音波振動子２の周波数７を制御する制御部８と、を備え、超音波振動部６には、超音波振動部６の電気−音響変換効率を低下させることができる変換効率低下手段９を設けるようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波振動を発生させる超音波振動子および、超音波振動子に接続されて、供給される液体を超音波振動により霧化させるホーンを有する超音波振動部と、超音波振動子の周波数を制御する制御部と、を備え、超音波振動部には、超音波振動部の電気−音響変換効率を低下させる変換効率低下手段を設けた超音波霧発生装置。
【請求項２】
変換効率低下手段は、所定の厚さをもつ超音波振動子と、所定の厚さをもつホーンとから構成された請求項１記載の超音波霧発生装置。
【請求項３】
変換効率低下手段は、少なくとも超音波振動子とホーンとの間に配置された充填剤または接着剤から構成された請求項１記載の超音波霧発生装置。
【請求項４】
変換効率低下手段は、中央側に貫通穴が形成された超音波振動子から構成された請求項１記載の超音波霧発生装置。
【請求項５】
変換効率低下手段は、少なくとも所定の材質からなる超音波振動子または、所定の材質からなるホーンから構成された請求項１記載の超音波霧発生装置。
【請求項６】
変換効率低下手段は、超音波振動子の駆動周波数を、λ／２の整数倍以外となした請求項１記載の超音波霧発生装置。
【請求項７】
霧化された液体を搬送する搬送路を備え、搬送路には、霧化された液体の温度を制御する温度制御手段を設けた請求項１から６のいずれか１項に記載の超音波霧発生装置。
【請求項８】
ホーンに供給される液体を、予め加温する加温手段を設けた請求項１から７のいずれか１項に記載の超音波霧発生装置。
【請求項９】
加温手段は、超音波振動部に配置された請求項８記載の超音波霧発生装置。
【請求項１０】
超音波振動部の上側に、液体の霧化を促進する多孔板を設け、加温手段は多孔板に配置された請求項８記載の超音波霧発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、超音波を利用して、液体を霧化させる超音波霧発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
超音波霧発生装置においては、超音波振動を発生させる超音波振動子と、超音波振動子に接続されて、供給される液体を超音波振動により霧化させる、すなわち霧を発生させるホーンと、この超音波振動子およびホーンから構成される超音波振動部とを有しており、前記超音波振動子の周波数を制御する制御部を備えている。
【０００３】
上記制御部においては、超音波振動子への入力電圧を制御する電圧制御手段と、超音波振動子の駆動周波数を制御する周波数制御手段とが設けられており、制御部は、上記入力電圧または駆動周波数を変化させることにより、超音波振動子の駆動周波数を超音波振動子の共振周波数からずらすことにより、超音波振動と同時に損失熱を発生させて、この損失熱により発生した霧を加温している。また、上記損失熱の発生割合を変化させることで、霧の温度を制御するようにしている。
【０００４】
上記の構成により、別途ヒータ等を設けることなく暖かい霧を得るとともに、この霧の温度を制御することができる超音波霧発生装置が提案されている（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００１−３００３７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記背景技術の特許文献１に記載の超音波霧発生装置においては、損失熱を、電圧制御手段または周波数制御手段が設けられた制御部において、超音波振動子への入力電圧、または超音波振動子の駆動周波数を制御することにより発生させているために、制御部が複雑かつ大規模になっていた。
【０００６】
このため、超音波霧発生装置が大型化するとともに、コストが増加するという問題点があった。
【０００７】
本願発明は、このような上記背景技術の課題を解決するものであり、超音波振動部に、電気−音響変換効率を低下させる変換効率低下手段を設けることにより、簡単な構成、かつ低コストで損失熱を発生させ、この損失熱により霧を加温することができる超音波霧発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本願請求項１記載の発明は、超音波振動を発生させる超音波振動子および、超音波振動子に接続されて、供給される液体を超音波振動により霧化させるホーンを有する超音波振動部と、超音波振動子の周波数を制御する制御部と、を備え、超音波振動部には、超音波振動部の電気−音響変換効率を低下させる変換効率低下手段を設けたことを特徴としている。
【０００９】
本願請求項２記載の発明は、上記請求項1記載の超音波霧発生装置において、変換効率低下手段は、所定の厚さをもつ超音波振動子と、所定の厚さをもつホーンとから構成されたことを特徴としている。
【００１０】
本願請求項３記載の発明は、上記請求項1記載の超音波霧発生装置において、変換効率低下手段は、少なくとも超音波振動子とホーンとの間に配置された充填剤または接着剤から構成されたことを特徴としている。
【００１１】
本願請求項４記載の発明は、上記請求項1記載の超音波霧発生装置において、変換効率低下手段は、中央側に貫通穴が形成された超音波振動子から構成されたことを特徴としている。
【００１２】
本願請求項５記載の発明は、上記請求項1記載の超音波霧発生装置において、変換効率低下手段は、少なくとも所定の材質からなる超音波振動子または、所定の材質からなるホーンから構成されたことを特徴としている。
【００１３】
本願請求項６記載の発明は、上記請求項1記載の超音波霧発生装置において、変換効率低下手段は、超音波振動子の駆動周波数を、λ／２の整数倍以外となしたことを特徴としている。
【００１４】
本願請求項７記載の発明は、上記請求項1から６のいずれか１項に記載の超音波霧発生装置において、霧化された液体を搬送する搬送路を備え、搬送路には、霧化された液体の温度を制御する温度制御手段を設けたことを特徴としている。
【００１５】
本願請求項８記載の発明は、上記請求項1から７のいずれか１項に記載の超音波霧発生装置において、ホーンに供給される液体を、予め加温する加温手段を設けたことを特徴としている。
【００１６】
本願請求項９記載の発明は、上記請求項８記載の超音波霧発生装置において、加温手段は、超音波振動部に配置されたことを特徴としている。
【００１７】
本願請求項１０記載の発明は、上記請求項８記載の超音波霧発生装置において、超音波振動部の上側に、液体の霧化を促進する多孔板を設け、加温手段は多孔板に配置されたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
本願請求項１記載の発明の超音波霧発生装置においては、超音波振動部に電気−音響変換効率を低下させる変換効率低下手段を設けることで、簡単な構成、かつ低コストで損失熱を発生させ、この損失熱により所定の温度の霧を発生できる超音波霧発生装置を提供することができる。
【００１９】
本願請求項２記載の発明の超音波霧発生装置においては、特に、変換効率低下手段を、所定の厚さをもつ超音波振動子と、所定の厚さをもつホーンとから構成することで、極めて簡単な構成で損失熱を発生することができる。
【００２０】
本願請求項３記載の発明の超音波霧発生装置においては、特に、変換効率低下手段を、少なくとも超音波振動子とホーンとの間に配置された充填剤または接着剤から構成することで、既存の超音波振動子とホーンを用いて、極めて低コストで損失熱を発生することができる。
【００２１】
本願請求項４記載の発明の超音波霧発生装置においては、特に、変換効率低下手段を、中央側に貫通穴が形成された超音波振動子から構成することで、極めて簡単な構成かつ低コストで損失熱を発生することができる。
【００２２】
本願請求項５記載の発明の超音波霧発生装置においては、特に、変換効率低下手段を、少なくとも所定の材質からなる超音波振動子または、所定の材質からなるホーンから構成することで、振動子またはホーンの形状を変えることなく、極めて簡単な構成で損失熱を発生することができる。
【００２３】
本願請求項６記載の発明の超音波霧発生装置においては、特に、変換効率低下手段を、超音波振動子の駆動周波数を、λ／２の整数倍以外とすることにより、既存の超音波振動子とホーンを用いて、極めて低コストで損失熱を発生することができる。
【００２４】
本願請求項７記載の発明の超音波霧発生装置においては、特に、霧を搬送する搬送路に、霧の温度を制御する温度制御手段を設けることで、所定の温度の霧を容易に得ることができる。
【００２５】
本願請求項８記載の発明の超音波霧発生装置においては、特に、ホーンに供給される液体を、予め加温手段により加温することで、発生した霧の加温を少ないエネルギーで行うことができる。
【００２６】
本願請求項９記載の発明の超音波霧発生装置においては、特に、加温手段を超音波振動部に配置することで、液体の加温を損失熱を用いて行うことができる。
【００２７】
本願請求項１０記載の発明の超音波霧発生装置においては、特に、多孔板において霧の発生を促進するとともに、霧の加温を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
図１、２は、本願発明の第１の実施形態である超音波霧発生装置１を示している。この超音波霧発生装置１は図１、２に示すように、超音波振動を発生させる超音波振動子２および、超音波振動子２に接続されて、供給される液体３を超音波振動により霧化させて霧４を発生させるホーン５を有する超音波振動部６と、超音波振動子２の周波数７を制御する制御部８と、を備え、超音波振動部６には、超音波振動部６の電気−音響変換効率を低下させる変換効率低下手段９としての所定の厚さをもつ超音波振動子２と、所定の厚さをもつホーン５とを設けている。
【００２９】
以下、この実施形態の超音波霧発生装置１を、より具体的詳細に説明する。図１、２に示すように、超音波霧発生装置１においては上側に開口部を設けた本体１１があり、この本体１１の下部には超音波振動部６が設けられている。
【００３０】
前記超音波振動部６には、上面が本体１１の底面に突出するように配置されるとともに、耐熱ゴム等からなる支持部１２により本体１１の底部に支持された、アルミニウムや銅またはチタン等からなるホーン５が設けられている。本体１１内には液体３が供給されており、この液体３とホーン５の上面とが接触している。上記液体３には、水または香料や栄養分を含んだ水等が用いられている。
【００３１】
上記ホーン５の上部は円柱形に形成されていて、下部は下方に開口部を有する円筒形に形成されている。この開口部の上面には、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる円板形の超音波振動子２が設けられている。この超音波振動子２の下側には、超音波振動子２に電源を供給するリード線１３が接続されている。
【００３２】
ここで、上記超音波振動部６においては、超音波振動子２の固有共振周波数７と、ホーン５の固有共振周波数１０とが互いに異なっており、例えば、超音波振動子２の厚さを、固有共振周波数７が１．５ＭＨｚにおいて１／２λ厚み方向振動するように設定するとともに、ホーン５の厚さを、固有共振周波数１０が５ＭＨｚにおいて１λ厚み方向振動するように設定する。
【００３３】
上記のように超音波振動子２およびホーン５の厚さを設定することによって、超音波振動部６においては共振周波数１．８ＭＨｚのときに、入力されるエネルギー（電気エネルギー）と液体３の霧化エネルギー（音響エネルギー）との比を、１０：６程度にすることができ、すなわち電気−音響変換効率を６０％程度以下まで低下することができる。
【００３４】
以上の構成において、本願発明の第１の実施形態における超音波霧発生装置１の動作を図１、２を用いて説明する。
【００３５】
使用者が、本体１１内に液体３を供給してスイッチ（図示せず）を入れると、リード線１３から超音波振動子２に電源が供給されることにより超音波振動子２が駆動されて、超音波振動が発生する。
【００３６】
発生した超音波振動は、超音波振動子２が接続されたホーン５に伝達された後、ホーン５により本体１１内の液体３に伝達される。このとき上述したように、超音波振動子２の固有共振周波数７と、ホーン５の固有共振周波数１０とが互いに異なっているために、超音波振動部６における電気−音響変換効率が６０％程度以下まで低下することにより、超音波振動部６において損失熱が発生する。
【００３７】
この損失熱により加温された液体３が、超音波振動により霧化されて温かい霧４が発生し、損失熱による液体３の加熱により発生した霧４と混合されることで所定の温度の温かい霧４を得ることができる。
【００３８】
以上のように本願発明の第１の実施形態によれば、超音波振動子２およびホーン５の厚さを、超音波振動子２の固有共振周波数７と、ホーン５の固有共振周波数１０とが互いに異なるように設定することで、簡単な構成かつ低コストで超音波振動部６において超音波振動時に損失熱を発生させ、この損失熱によって、所定の温度の霧４を発生することができる。
【００３９】
図３、４は、本願発明の第２の実施形態である超音波霧発生装置１を示している。ここでは、上記第１の実施形態と相違する事項についてのみ説明し、同様の構成や作用効果等を有するものについては上記第１の実施形態の説明を援用する。
【００４０】
本願発明の第２の実施形態が上記第１の実施形態と異なる部分は、図３、４に示すように、超音波振動子２とホーン５との間に、充填剤１４が配置されているところである。また、超音波振動子２の固有共振周波数７とホーン５の固有共振周波数１０とが同一になるように、超音波振動子２とホーン５の厚さが設定されており、いわゆる既存の超音波振動子２およびホーン５が用いられている。
【００４１】
さらに、例えば超音波振動子２とホーン５とを接着する接着剤を、上記充填材１４の代わりに使用してもよい。そして、充填材１４または接着剤は、粘度２０Ｐａ・ｓ以上かつ硬度９０（ＪＩＳ  Ｄ）以下のものを用いることが好ましい。
【００４２】
上記差異をふまえて、本願発明の第２の実施形態における超音波霧発生装置１の動作について図３、４を用いて説明する。
【００４３】
使用者が、本体１１内に液体３を供給してスイッチ（図示せず）を入れてから、超音波振動子２が駆動されて、超音波振動が発生するところまでは、上記第１の実施例の動作と同様である。
【００４４】
発生した超音波振動は、超音波振動子２が接続されたホーン５に伝達されるが、超音波振動子２とホーン５との間には、充填材１４が配置されているために、超音波振動部６における電気−音響変換効率が６０％程度以下まで低下することにより、超音波振動部６において損失熱が発生する。
【００４５】
この損失熱により加温された液体３が、超音波振動により霧化されて温かい霧４が発生し、損失熱による液体３の加熱により発生した霧４と混合されることで所定の温度の温かい霧４を得ることができる。
【００４６】
以上のように本願発明の第２の実施形態によれば、超音波振動子２とホーン５との間に充填材１４を配置することで、既存の超音波振動子２およびホーン５を使用でき、低コストで超音波振動部６において超音波振動時に損失熱を発生させ、この損失熱によって、所定の温度の霧４を発生することができる。
【００４７】
図５、６は、本願発明の第３の実施形態である超音波霧発生装置１を示している。ここでは、上記第１の実施形態と相違する事項についてのみ説明し、同様の構成や作用効果等を有するものについては上記第１の実施形態の説明を援用する。
【００４８】
本願発明の第２の実施形態が上記第１の実施形態と異なる部分は、図５、６に示すように、超音波振動子２の中央部に貫通穴１５が形成されているところと、超音波振動子２のＱ値が、１０００以下程度の材料で構成されているところである。
【００４９】
上記差異をふまえて、本願発明の第３の実施形態における超音波霧発生装置１の動作について図５、６を用いて説明する。
【００５０】
使用者が、本体１１内に液体３を供給してスイッチ（図示せず）を入れてから、超音波振動子２が駆動されて、超音波振動が発生するところまでは、上記第１の実施例の動作と同様である。
【００５１】
超音波振動が発生すると、超音波振動子２は厚み方向に振動するとともに、径方向にも振動するが、このとき、超音波振動子２の中央部に形成された貫通穴１５により、径方向への均等な振動が阻害されるため、超音波振動部６における電気−音響変換効率が６０％程度以下まで低下することにより、超音波振動部６において損失熱が発生する。
【００５２】
この損失熱により加温された液体３が、超音波振動により霧化されて温かい霧４が発生し、損失熱による液体３の加熱により発生した霧４と混合されることで所定の温度の温かい霧４を得ることができる。
【００５３】
以上のように本願発明の第３の実施形態によれば、超音波振動子２の中央部に形成された貫通穴１５により、超音波振動子２の径方向の均等な振動が阻害されるために、簡単な構成で超音波振動部６において損失熱を発生させ、この損失熱によって、所定の温度の霧４を発生することができる。
【００５４】
本願発明の第４の実施形態においては、上記第１の実施形態と相違する事項についてのみ説明し、同様の構成や作用効果等を有するものについては上記第１の実施形態の説明を援用する。
【００５５】
本願発明の第４の実施形態が上記第１の実施形態と異なる部分は、図１、２に示すホーン５が、音響インピーダンスが低く高効率な振動を発生できない材料、例えば、音響インピーダンスが１０×１０6Ｎ・ｓ／ｍ3以上の材料から構成されているところと、超音波振動子２も低振動効率の材料から構成されているところである。
【００５６】
上記差異をふまえて、本願発明の第４の実施形態における超音波霧発生装置１の動作について図１、２を用いて説明する。
【００５７】
使用者が、本体１１内に液体３を供給してスイッチ（図示せず）を入れてから、超音波振動子２が駆動されて、超音波振動が発生するところまでは、上記第１の実施例の動作と同様である。
【００５８】
発生した超音波振動は、超音波振動子２が接続されたホーン５に伝達されるが、超音波振動子２が低振動効率の材料から構成されており、かつホーン５についても、高効率な振動を発生できない材料から構成されているため、超音波振動部６における電気−音響変換効率が６０％程度以下まで低下することにより、超音波振動部６において損失熱が発生する。
【００５９】
この損失熱により加温された液体３が、超音波振動により霧化されて温かい霧４が発生し、損失熱による液体３の加熱により発生した霧４と混合されることで所定の温度の温かい霧４を得ることができる。
【００６０】
以上のように本願発明の第４の実施形態によれば、超音波振動子２を低振動効率の材料で構成し、かつホーン５も高効率な振動を発生できない材料で構成することにより、簡単な構成で超音波振動部６において超音波振動時に損失熱を発生させ、この損失熱によって、所定の温度の霧４を発生することができる。
【００６１】
本願発明の第５の実施形態においては、上記第１の実施形態と相違する事項についてのみ説明し、同様の構成や作用効果等を有するものについては上記第１の実施形態の説明を援用する。
【００６２】
本願発明の第５の実施形態が上記第１の実施形態と異なる部分は、図１、２に示す超音波振動子２の駆動周波数７を、λ／２の整数倍以外としているところである。
【００６３】
上記差異をふまえて、本願発明の第５の実施形態における超音波霧発生装置１の動作について図１、２を用いて説明する。
【００６４】
使用者が、本体１１内に液体３を供給してスイッチ（図示せず）を入れてから、超音波振動子２が駆動されて、超音波振動が発生するところまでは、上記第１の実施例の動作と同様である。
【００６５】
発生した超音波振動は、超音波振動子２が接続されたホーン５に伝達されるが、ここで、超音波振動子２の基本モードの整数倍以外の周波数７で共振するモードの周波数は、超音波振動子２およびホーン５のそれぞれにおいて、λ／２の整数倍とならないために超音波振動部６における電気−音響変換効率が６０％程度以下まで低下することにより、超音波振動部６において損失熱が発生する。
【００６６】
この損失熱により加温された液体３が、超音波振動により霧化されて温かい霧４が発生し、損失熱による液体３の加熱により発生した霧４と混合されることで所定の温度の温かい霧４を得ることができる。
【００６７】
以上のように本願発明の第５の実施形態によれば、超音波振動子２の駆動周波数７を、λ／２の整数倍以外とすることで、簡単な構成で超音波振動部６において超音波振動時に損失熱を発生させ、この損失熱によって、所定の温度の霧４を発生することができる。
【００６８】
図７は、本願発明の第６の実施形態である超音波霧発生装置１を示している。ここでは、上記第１の実施形態と相違する事項についてのみ説明し、同様の構成や作用効果等を有するものについては上記第１の実施形態の説明を援用する。
【００６９】
本願発明の第６の実施形態が上記第１の実施形態と異なる部分は、図７に示すように、発生した霧４を搬送する搬送路１６が本体１１の上部に設けられており、この搬送路１６にヒータ１７が配置されているところと、本体１１の側部に温風ファン１８が設けられていて、前記温風ファン１８から供給される温風を本体１１内に導入する送風路１９が取りつけられているところである。
【００７０】
上記差異をふまえて、本願発明の第６の実施形態における超音波霧発生装置１の動作について図７を用いて説明する。
【００７１】
使用者が、本体１１内に液体３を供給してスイッチ（図示せず）を入れてから、超音波振動子２が駆動されて、超音波振動が発生するところまでは、上記第１の実施例の動作と同様である。
【００７２】
発生した超音波振動は、超音波振動子２が接続されたホーン５に伝達され、液体３が霧化して霧４が発生するが、この霧４は、温風ファン１８により送風路１９から本体１１内に導入された温風により加温されるとともに上方に送られ、本体１１の上部に設けられた搬送路１６を通過する際に、搬送路１６に設けられたヒータ１７によってさらに加温することができるために、使用者の要望に応じて所定の温度に加温された霧４を常時確実に提供することができる。
【００７３】
図８は、本願発明の第７の実施形態である超音波霧発生装置１を示している。ここでは、上記第１の実施形態と相違する事項についてのみ説明し、同様の構成や作用効果等を有するものについては上記第１の実施形態の説明を援用する。
【００７４】
本願発明の第７の実施形態が上記第１の実施形態と異なる部分は、図８に示すように、ホーン５の側部にヒータ１７が設けられているところである。
【００７５】
上記差異をふまえて、本願発明の第７の実施形態における超音波霧発生装置１の動作について図８を用いて説明する。
【００７６】
使用者が、本体１１内に液体３を供給してスイッチ（図示せず）を入れてから、超音波振動子２が駆動されて、超音波振動が発生するところまでは、上記第１の実施例の動作と同様である。
【００７７】
発生した超音波振動は、超音波振動子２が接続されたホーン５に伝達され、液体３が霧化して霧４が発生するが、このとき、ホーン５の側部に設けられたヒータ１７により、液体３が加温されているために、効率よく霧４を発生させることができる。ここで、好ましくは液体３を７０℃まで加温することにより、霧４の発生量を増加させることができる。
【００７８】
以上のように本願発明の第７の実施形態によれば、液体３をホーン５の側部に設けられたヒータ１７により加温することで、効率よく霧４を発生させることができる。
【００７９】
図９は、本願発明の第８の実施形態である超音波霧発生装置１を示している。ここでは、上記第１の実施形態と相違する事項についてのみ説明し、同様の構成や作用効果等を有するものについては上記第１の実施形態の説明を援用する。
【００８０】
本願発明の第８の実施形態が上記第１の実施形態と異なる部分は、図９に示すように、液体３を本体１１内に供給する供給路２０が超音波振動子２およびホーン５を貫通して設けられているところである。
【００８１】
上記差異をふまえて、本願発明の第８の実施形態における超音波霧発生装置１の動作について図９を用いて説明する。
【００８２】
使用者が、本体１１内に液体３を供給してスイッチ（図示せず）を入れてから、超音波振動子２が駆動されて、超音波振動が発生するところまでは、上記第１の実施例の動作と同様である。
【００８３】
発生した超音波振動は、超音波振動子２が接続されたホーン５に伝達され、液体３が霧化して霧４が発生するが、このとき、本体１１内に供給される液体３が超音波振動子２およびホーン５内を通過する際に、超音波振動子２およびホーン５の損失熱により加温されるため、効率よく霧４を発生させることができる。好ましくは液体３を７０℃まで加温することにより、霧４の発生量を増加させることができる。
【００８４】
以上のように本願発明の第８の実施形態によれば、超音波振動子２およびホーン５の損失熱により加温することで、効率よく霧４を発生させることができる。
【００８５】
図１０から１２は、本願発明の第９の実施形態である超音波霧発生装置１を示している。ここでは、上記第１の実施形態と相違する事項についてのみ説明し、同様の構成や作用効果等を有するものについては上記第１の実施形態の説明を援用する。
【００８６】
本願発明の第９の実施形態が上記第１の実施形態と異なる部分は、図１０から１２に示すように、本体１１内においてホーン５の上方に、霧４の発生を促進する細孔が形成された多孔板２１が設けられているところである。
【００８７】
ここで、図１１に示すように多孔板２１の孔径は、下側の孔径Ｂが１００μｍ程度であり、かつ上側の孔径Ａが３〜１０μｍ程度となるように、下方から上方へ向けて絞った形状であることが好ましい。また、さらに好ましくは、図１２に示すように多孔板２１の上側にヒータ１７を設けてもよい。
【００８８】
上記差異をふまえて、本願発明の第９の実施形態における超音波霧発生装置１の動作について図１０から１２を用いて説明する。
【００８９】
使用者が、本体１１内に液体３を供給してスイッチ（図示せず）を入れてから、超音波振動子２が駆動されて、超音波振動が発生するところまでは、上記第１の実施例の動作と同様である。
【００９０】
発生した超音波振動は、超音波振動子２が接続されたホーン５に伝達され、液体３の表面が盛り上がるとともに振動するが、このとき、盛り上がった液体３が多孔板２１に形成された細孔を通過することで、効率よく微細な霧４を発生させることができる。
【００９１】
また、多孔板２１に設けられたヒータ１７により、発生した霧４を、使用者が望む所定の温度加温することができる。
【００９２】
以上のように本願発明の第９の実施形態によれば、多孔板２１により、効率よく微細な霧４を発生させるとともに、多孔板２１に設けられたヒータ１７を用いることで、霧４を加温することができる。
【００９３】
なお、上記本願発明の実施形態においては、ホーン５の内径については特に示していないが、好ましくは２５ｍｍから３５ｍｍ程度、さらに好ましくは２８ｍｍから３０ｍｍ程度とすることが望ましい。このとき、本体１１に供給される液体３の送液量としては、３ｍｌ／分から６ｍｌ／分程度であることが望ましい。
【００９４】
また、超音波振動子２の駆動周波数７を共振周波数付近から反共振周波数付近までの間で設定してもよく、これにより霧４の温度を任意に調節することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本願発明の第１の実施形態である超音波霧発生装置の側断面図。
【図２】（ａ）同超音波霧発生装置の超音波振動部の側断面図（超音波振動子接続前）。（ｂ）同超音波霧発生装置の超音波振動部の側断面図（超音波振動子接続後）。
【図３】本願発明の第２の実施形態である超音波霧発生装置の側断面図。
【図４】（ａ）同超音波霧発生装置の超音波振動部の側断面図（超音波振動子接続前）。（ｂ）同超音波霧発生装置の超音波振動部の側断面図（超音波振動子接続後）。
【図５】本願発明の第３の実施形態である超音波霧発生装置の側断面図。
【図６】（ａ）同超音波霧発生装置の超音波振動部の側断面図（超音波振動子接続前）。（ｂ）同超音波霧発生装置の超音波振動部の側断面図（超音波振動子接続後）。
【図７】本願発明の第６の実施形態である超音波霧発生装置の側断面図。
【図８】本願発明の第７の実施形態である超音波霧発生装置の側断面図。
【図９】本願発明の第８の実施形態である超音波霧発生装置の側断面図。
【図１０】本願発明の第９の実施形態である超音波霧発生装置の側断面図。
【図１１】同超音波霧発生装置の多孔板の側断面図。
【図１２】同超音波霧発生装置のヒータを備えた多孔板の斜視図。
【符号の説明】
【００９６】
１  超音波霧発生装置
２  超音波振動子
３  液体
４  霧（霧化された液体）
５  ホーン
６  超音波振動部
７  周波数（超音波振動子）
８  制御部
９  変換効率低下手段
１４  充填材
１５  貫通穴
１６  搬送路
１７  ヒータ
２０  供給路
２１  多孔板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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