(57)【要約】【課題】ノズル開口の撥液領域の測定を容易に且つ高精度に行うことができると共に短時間で測定することができ、コストを低減した撥液領域測定方法及び撥液領域測定装置を提供する。【解決手段】液体を噴射する複数のノズル開口２１を有すると共に、前記ノズルプレート２０の一方面側に開口する前記ノズル開口２１の開口側内面に撥液膜３０が設けられた撥液領域が存在し、且つ前記ノズル開口２１に連通する流路が形成された流路形成基板に接合されるノズルプレート２０の前記撥液領域の深さを測定する撥液領域測定方法であって、前記ノズル開口２１の前記ノズルプレート２０の他方面に開口する開口側から検査液１００を所定の圧力で供給し、該検査液１００を前記ノズル開口２１の前記撥液膜が設けられていない非撥液領域に充填すると共に、前記ノズルプレート２０の一方面から前記検査液１００の液面１０２までの深さを測定する。【選択図】図２
2007212363.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射する複数のノズル開口を有すると共に、前記ノズルプレートの一方面側に開口する前記ノズル開口の開口側内面に撥液膜が設けられた撥液領域が存在し、且つ前記ノズル開口に連通する流路が形成された流路形成基板に接合されるノズルプレートの前記撥液領域の深さを測定する撥液領域測定方法であって、
前記ノズル開口の前記ノズルプレートの他方面に開口する開口側から検査液を所定の圧力で供給し、該検査液を前記ノズル開口の前記撥液膜が設けられていない非撥液領域に充填すると共に、前記ノズルプレートの一方面から前記検査液の液面までの深さを測定することを特徴とする撥液領域測定方法。
【請求項２】
前記検査液として、純水を用いたことを特徴とする請求項１記載の撥液領域測定方法。
【請求項３】
前記液面の深さの測定を、レーザ光を照射して前記液面に反射した反射光を受光して距離を測定するレーザ測定により行うことを特徴とする請求項１又は２記載の撥液領域測定方法。
【請求項４】
前記ノズル開口が、一方面に開口して深さ方向に内径が略同一の同径部と、該同径部に連通して他方面の開口に向かって内径が漸大するテーパ部とで構成され、且つ前記撥液領域が前記同径部の前記一方面側の開口に設けられており、前記検査液を前記テーパ部側から充填することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の撥液領域測定方法。
【請求項５】
液体を噴射する複数のノズル開口を有すると共に、前記ノズル開口の前記ノズルプレートの一方面側に開口する前記ノズル開口の開口側内面に撥液膜が設けられた撥液領域が存在し、且つ前記ノズル開口に連通する流路が形成された流路形成基板に接合されるノズルプレートの前記撥液領域の深さを測定する撥液領域測定装置であって、
前記ノズル開口の前記ノズルプレートの他方面に開口する開口側に連通して前記ノズル開口の前記撥液膜が設けられていない非撥液領域に検査液を所定の圧力で供給して、該非撥液領域に前記検査液を充填する供給手段と、前記ノズル開口の一方面に相対向する領域に設けられて、前記ノズルプレートの一方面から前記検査液の液面までの深さを測定する測定手段とを具備することを特徴とする撥液領域測定装置。
【請求項６】
前記測定手段が、前記ノズル開口の並設方向に移動自在に設けられていると共に、当該測定手段が、複数のノズル開口の各液面の深さを連続して測定することを特徴とする請求項５記載の撥液領域測定装置。
【請求項７】
前記供給手段が、前記ノズルプレートを前記同径部が鉛直方向上側となるように保持すると共に前記テーパ部に連通する連通室が設けられた保持治具と、前記検査液が貯留されると共に前記ノズルプレートに対して鉛直方向に移動自在に設けられた貯留手段と、一端が前記保持治具の前記連通室に連通すると共に他端が前記貯留手段に連通する連通路とを具備することを特徴とする請求項５又は６記載の撥液領域測定装置。
【請求項８】
前記測定手段が、レーザ光を照射して前記ノズルプレートの一方面又は前記液面に反射した反射光を受光して距離を測定するレーザ測定装置からなることを特徴とする請求項５〜７の何れかに記載の撥液領域測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレートに設けられて液体を噴射するノズル開口の撥液領域を測定する撥液領域測定方法及び撥液領域測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドは、液体を噴射する多数の微細な噴射孔（ノズル開口）が微小間隔を隔てて形成されているノズルプレートを有する。この噴射孔からインクが噴射される際、噴射面にインクが付着することがある。このような場合、次に噴射されたインクが残存している付着インクと接触すると、付着インクの表面張力や粘性等の影響を受けて次に噴射されたインクの噴射軌道が曲げられてしまう。このように、付着インクが噴射面に残存していると、所定の箇所に印刷をすることができないという問題が生じる。このような問題を解消するものとして、噴射面に付着インクを残存させないためにノズルプレートの噴射面に共析メッキによって撥液膜を設けると共に、ノズル開口の開口部側の内面に撥液膜を入り込ませたものが提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
また、ノズルプレートに設ける撥液膜として、下地層と下地層上に設けられた金属アルコキシドとを用いた２０ｎｍ以下の薄い膜厚のものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
しかしながら、厚膜の撥液膜が形成されたノズル開口の撥液領域は、例えば、顕微鏡等で直接観察して測定することができるものの、膜厚の薄い撥液膜が形成された撥液領域は、直接観察しても測定することができないという問題がある。
【０００５】
また、膜厚の薄い撥液膜の形成された撥液領域は、例えば、ノズルプレートのサンプルを切断して、ノズル開口にインクを塗布し、塗布されない撥液領域を測定するインク染色法や、切断したノズル開口の表面分析を行う飛行時間型二次イオン質量分析装置（ＴｏＦ−ＳＩＭＳ）を用いた方法などの破壊検査によって測定することができるが、測定に時間がかかると共に、ノズルプレートのサンプルが必要になるため、高コストになってしまう。また、製品には破壊検査を用いることができず、製品の撥液領域の測定が行えないという問題がある。
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１２５２２０号公報（第２〜３頁、第１図）
【特許文献２】特開２００４−３５１９２３号公報（特許請求の範囲等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、ノズル開口の撥液領域の測定を容易に且つ高精度に行うことができると共に短時間で測定することができ、コストを低減した撥液領域測定方法及び撥液領域測定装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液体を噴射する複数のノズル開口を有すると共に、前記ノズルプレートの一方面側に開口する前記ノズル開口の開口側内面に撥液膜が設けられた撥液領域が存在し、且つ前記ノズル開口に連通する流路が形成された流路形成基板に接合されるノズルプレートの前記撥液領域の深さを測定する撥液領域測定方法であって、前記ノズル開口の前記ノズルプレートの他方面に開口する開口側から検査液を所定の圧力で供給し、該検査液を前記ノズル開口の前記撥液膜が設けられていない非撥液領域に充填すると共に、前記ノズルプレートの一方面から前記検査液の液面までの深さを測定することを特徴とする撥液領域測定方法にある。
かかる第１の態様では、ノズルプレートを切断することなく、撥液領域の深さを容易に且つ高精度に測定することができる。これにより、製品の撥液領域の測定を行うことができると共にサンプルが不要となって検査時間を短縮してコストを低減することができる。
【０００９】
本発明の第２の態様は、前記検査液として、純水を用いたことを特徴とする第１の態様の撥液領域測定方法にある。
かかる第２の態様では、純水からなる検査液を非撥液領域のみに選択的に充填することができる。
【００１０】
本発明の第３の態様は、前記液面の深さの測定を、レーザ光を照射して前記液面に反射した反射光を受光して距離を測定するレーザ測定により行うことを特徴とする第１又は２の態様の撥液領域測定方法にある。
かかる第３の態様では、レーザ測定によって、撥液領域の深さを高精度に且つ短時間で測定することができる。
【００１１】
本発明の第４の態様は、前記ノズル開口が、一方面に開口して深さ方向に内径が略同一の同径部と、該同径部に連通して他方面の開口に向かって内径が漸大するテーパ部とで構成され、且つ前記撥液領域が前記同径部の前記一方面側の開口に設けられており、前記検査液を前記テーパ部側から充填することを特徴とする第１〜３の何れかの態様の撥液領域測定方法にある。
かかる第４の態様では、テーパ部が設けられたノズル開口であっても、撥液領域を容易に且つ高精度に測定することができる。
【００１２】
本発明の第５の態様は、液体を噴射する複数のノズル開口を有すると共に、前記ノズル開口の前記ノズルプレートの一方面側に開口する前記ノズル開口の開口側内面に撥液膜が設けられた撥液領域が存在し、且つ前記ノズル開口に連通する流路が形成された流路形成基板に接合されるノズルプレートの前記撥液領域の深さを測定する撥液領域測定装置であって、前記ノズル開口の前記ノズルプレートの他方面に開口する開口側に連通して前記ノズル開口の前記撥液膜が設けられていない非撥液領域に検査液を所定の圧力で供給して、該非撥液領域に前記検査液を充填する供給手段と、前記ノズル開口の一方面に相対向する領域に設けられて、前記ノズルプレートの一方面から前記検査液の液面までの深さを測定する測定手段とを具備することを特徴とする撥液領域測定装置にある。
かかる第５の態様では、ノズルプレートを切断することなく、撥液領域の深さを容易に且つ高精度に測定することができる。これにより、製品の撥液領域の測定を行うことができると共にサンプルが不要となって検査時間を短縮してコストを低減することができる。
【００１３】
本発明の第６の態様は、前記測定手段が、前記ノズル開口の並設方向に移動自在に設けられていると共に、当該測定手段が、複数のノズル開口の各液面の深さを連続して測定することを特徴とする第５の態様の撥液領域測定装置にある。
かかる第６の態様では、連続して複数のノズル開口の撥液領域を測定することができ、測定時間を短縮してコストを低減することができる。
【００１４】
本発明の第７の態様は、前記供給手段が、前記ノズルプレートを前記同径部が鉛直方向上側となるように保持すると共に前記テーパ部に連通する連通室が設けられた保持治具と、前記検査液が貯留されると共に前記ノズルプレートに対して鉛直方向に移動自在に設けられた貯留手段と、一端が前記保持治具の前記連通室に連通すると共に他端が前記貯留手段に連通する連通路とを具備することを特徴とする第５又は６の態様の撥液領域測定装置にある。
かかる第７の態様では、貯留手段とノズルプレートとの水頭値によってノズル開口に供給する検査液の圧力を容易に調整することができると共に、検査液を確実に非撥液領域に充填することができる。
【００１５】
本発明の第８の態様は、前記測定手段が、レーザ光を照射して前記ノズルプレートの一方面又は前記液面に反射した反射光を受光して距離を測定するレーザ測定装置からなることを特徴とする第５〜７の何れかの態様の撥液領域測定装置にある。
かかる第８の態様では、レーザ測定装置によって、撥液領域の深さを高精度に且つ短時間で測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の撥液性部材の実施形態１に係るノズルプレートの概略斜視図及び断面図である。本発明のノズルプレート２０は、液体噴射ヘッドに用いられるものである。ノズルプレート２０は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、ガラス、シリコン、セラミックス等の材料からなる。ノズルプレート２０には、厚さ方向に貫通したノズル開口２１が設けられている。本実施形態のノズル開口２１は、一方面に開口して深さ方向に同一の内径の同径部２２と、同径部に連通して他方面の開口側に向かって内径が漸大するテーパ部２３とで構成されている。そして、ノズルプレート２０の同径部２２が開口する一方面には、撥液膜３０が設けられている。この撥液膜３０は、同径部２２の開口側の内面に所定量入り込んで設けられている。
【００１７】
このような撥液膜３０としては、特に限定されず、例えば、フッ素系高分子を含む金属膜やシロキサン等をプラズマ重合したプラズマ重合膜などを挙げることができる。金属膜からなる撥液膜３０は、例えば、共析メッキにより所定の厚さで高精度に形成することができる。また、プラズマ重合膜からなる撥液膜３０は、例えば、シロキサンを気化させた原料ガスにアルゴンやヘリウム等の希ガス、酸素や二酸化炭素等の酸化力を有するガスを混合して原料を重合させ、プラズマ重合装置を用いて形成することができる。なお、共析メッキにより撥液膜３０を形成する場合には、例えば、ノズルプレート２０の一方面に感光性樹脂材料等からなるフィルムを圧接して接合し、フィルムをノズル開口２１の内部まで入り込ませた状態で、共析メッキを施すことにより所望の領域のみに撥液膜３０を形成することができる。また、プラズマ重合装置を用いて撥液膜３０を形成する場合には、ノズルプレート２０の全面に亘ってプラズマ重合装置によって撥液膜３０を形成後、ノズルプレート２０の一方面にフィルムを圧接して接合し、フィルムによって覆われていない露出された領域の撥液膜３０を選択的に除去することで、所望の領域のみに撥液膜３０を形成することができる。
【００１８】
そして、ノズル開口２１の内面の撥液膜３０が設けられた撥液領域を測定する。ここで、撥液領域測定装置について説明する。なお、図２は、本発明の実施形態１に係る撥液領域測定装置の断面図である。
【００１９】
図２に示すように、撥液領域測定装置４０は、ノズルプレート２０のノズル開口２１に検査液を供給する供給手段５０と、測定手段９０とを具備する。
【００２０】
供給手段５０は、ノズルプレート２０を保持する保持治具６０と、検査液１００が貯留された貯留手段７０と、一端が保持治具６０に接続されると共に他端が貯留手段７０に接続された連通路８０とを具備する。
【００２１】
保持治具６０は、ノズルプレート２０の撥液膜３０が設けられた一方面、すなわち、同径部２２側が鉛直方向上側となるように保持する。
【００２２】
また、保持治具６０には、複数のノズル開口２１に連通する連通室６１が設けられている。
【００２３】
貯留手段７０は、検査液１００が貯留された貯留室７１の設けられたシリンジ等からなる。この貯留手段７０は、ノズルプレート２０に対して鉛直方向に移動自在に設けられている。
【００２４】
連通路８０は、一端が保持治具６０の連通室６１に連通すると共に、他端が貯留手段７０の貯留室７１に連通して設けられた、例えば、フッ素樹脂チューブなどからなる。
【００２５】
このような供給手段５０は、貯留手段７０からの検査液１００が連通路８０を介して保持治具６０の連通室６１に供給される。そして、連通室６１に供給された検査液１００は、ノズル開口２１のテーパ部２３側からノズル開口２１内に供給され、撥液膜３０が設けられていない領域（非撥液領域）に充填される。このとき、貯留手段７０を鉛直方向に移動することで、貯留室７１に貯留された検査液１００の液面１０１と、ノズル開口２１内に充填された検査液１００の液面１０２との水頭値を調整して、ノズル開口２１に供給する検査液１００の圧力が調整される。これにより、非撥液領域のみに検査液１００を充填して非撥液領域と撥液領域との間に検査液１００の液面１０２を形成することができる。なお、このような検査液１００としては、例えば、純水などが挙げられる。また、詳しくは後述するが、貯留手段７０とノズルプレート２０の撥液膜３０が設けられた面との水頭値は、ノズル開口２１内の検査液１００の液面１０２が平らになる範囲が好ましい。例えば、ノズルプレート２０に内径が約２０μｍ（２０μｍ±１μｍ）のノズル開口２１が１８０個形成され、貯留手段７０の貯留室７１の内径が２ｍｍ（容量が１２ｍｌ）の場合には、貯留手段７０内の液面１０１と、ノズルプレート２０の撥液膜３０が設けられた一方面との水頭値ｈは、貯留手段７０内の検査液１００の液面１０２がノズルプレート２０の一方面よりも鉛直方向で高くなるように、５〜７０ｍｍとするのが好適である。
【００２６】
一方、測定手段９０は、ノズルプレート２０の一方面からノズル開口２１内の検査液１００の液面１０２までの距離を測定するものである。このような測定手段９０としては、特に限定されず、例えば、レーザ光を照射してノズルプレート２０の撥液膜３０又は検査液１００の液面１０２に反射した反射光を受光して距離を測定するレーザ測定装置が挙げられる。また、測定手段９０は、複数のノズル開口２１の並設方向に移動自在に設けられている。この測定手段９０によって、複数のノズル開口２１の液面１０１を連続して測定することができる。
【００２７】
このような測定手段９０によって、ノズルプレート２０の一方面の撥液膜３０までの距離を測定すると共に、ノズル開口２１に充填された検査液１００の液面１０２までの距離を測定することによって、ノズルプレート２０の一方面から検査液１００の液面１０２までの深さを測定することができる。これにより、ノズル開口２１の内面の撥液膜３０が設けられた深さを測定することができる。
【００２８】
このような撥液領域測定装置４０によれば、インク染色法や飛行時間型二次イオン質量分析装置（ＴｏＦ−ＳＩＭＳ）を用いた方法などノズルプレート２０を切断して測定する破壊検査を行うことなく、非破壊検査でノズル開口２１の内面の撥液膜３０が設けられた深さを測定することができるため、サンプルが不要となると共に測定にかかる時間を短縮してコストを低減することができる。また、製品となるノズルプレート２０の撥液領域を測定することができ、精度及び歩留まりを向上することができる。
【００２９】
（試験例１）
ノズルプレートにシリコーン材料のプラズマ重合膜からなる下地層上と金属アルコキシドの撥液層とからなる厚さが２０ｎｍ以下の撥液膜を形成したサンプルを３つ用意し、上述した撥液領域測定装置４０によって、ノズルプレートの撥液膜が設けられた一方面と貯留手段に貯留された検査液の液面との水頭値を変化させて各サンプルのノズル開口の検査液の液面の位置及び液面の凸量を、液面の中心と中心から±５μｍとの３点で測定した。なお、試験例１では、ノズルプレートに内径が約２０μｍ（２０μｍ±１μｍ）のノズル開口を１８０個形成し、貯留手段として貯留室の内径が２ｍｍ（容量１２ｍｌ）のシリンダを用いた。また、水頭値は、−２４ｍｍ〜２９０ｍｍの間で変化させた。これらの結果を図３に示す。なお、水頭値は、貯留手段に貯留された検査液の液面がノズルプレートの一方面よりも鉛直方向上側を正の値で示し、鉛直方向下側を負の値として示す。
【００３０】
図３（ａ）に示すように、ノズル開口内の検査液の液面の位置は、水頭値による水圧により、上昇することが分かる。そして、液面の上昇度は、下記式（１）によって算出することができる。
【００３１】
【数１】
2007212363.tif 000003
そして、図３（ａ）に示す結果からこの式（１）により液面上昇度を算出したところ、水頭値に対する液面上昇度は０．００６２μｍ／ｍｍとなることが分かった。つまり、１００ｍｍの水頭値上昇に対して液面が０．６μｍ程度しか上昇しないことが分かる。この量は測定バラツキの誤差範囲内であるため、液面の位置は停止していると判断できる。また、図３（ｂ）に示す結果から、水頭値が−２４〜７０ｍｍの範囲であれば、液面の中心と中心から±５μｍとの３点測定のばらつきが０±０．０５μｍ以下となることが分かった。したがって、水頭値を−２４〜７０ｍｍの範囲とすることで、高精度に撥液領域を測定することができる。但し、水頭値をマイナスとすると、検査液をノズル開口の非撥液領域に充填させるという点で不安定要因の発生が懸念されると共に、図３（ｂ）に示すように、液面の凸量がマイナスとなってしまうため、水頭値は、５〜７０ｍｍの範囲が好適である。
【００３２】
（試験例２）
ノズルプレートにフッ素系高分子を含む金属膜からなる撥液膜を共析メッキにより厚さ１μｍで形成したサンプルを用意し、上述した撥液領域測定装置４０によって、ノズルプレートの撥液膜が設けられた一方面と貯留手段に貯留された検査液の液面との水頭値を５ｍｍと１５ｍｍとに変化させてサンプルのノズル開口の検査液の液面の位置の平均値、最大値、最小値を測定し、最小値と最大値との範囲とばらつきとを算出して比較した。この結果を下記表１に示す。なお、試験例１では、ノズルプレートに内径が約２０μｍ（２０μｍ±１μｍ）のノズル開口を１８０個形成し、貯留手段として貯留室の内径が２ｍｍ（容量１２ｍｌ）のシリンダを用いた。
【００３３】
【表１】
2007212363.tif 000004
【００３４】
表１に示す結果から、平均値の差、最大値の差、最小値の差が何れも１μｍ以下となっており、測定値のばらつきは無視できることが分かる。
【００３５】
また、水頭値を１５ｍｍに固定して上述した測定を繰り返し３回行った。この結果を下記表２に示す。
【００３６】
【表２】
2007212363.tif 000005
【００３７】
表２に示すように、３回目の測定で平均値の差が約１．３μｍとなった。回を追う毎に液面の位置が高くなっていることから、ノズル開口内の検査液の排出が不十分であった可能性がある。但し、平均値の差である１．３μｍという値は、測定誤差の範囲内であり、特に問題ないと考えられる。したがって、測定の再現性があると判断できる。
【００３８】
（試験例３）
ノズル開口が１８０個形成されたノズルプレートにシリコーン材料のプラズマ重合膜からなる下地層上と金属アルコキシドの撥液層とからなる厚さが２０ｎｍ以下の撥液膜を形成したサンプルを２つ用意し、１つ目のサンプルに対して、上述した撥液領域測定装置４０の液面測定による撥液領域の測定を行った後、サンプルを切断してインク染色法を用いて撥液領域の測定を行った。
【００３９】
また、２つ目のサンプルを切断し、飛行時間型二次イオン質量分析装置（ＴｏＦ−ＳＩＭＳ）を用いた方法により撥液領域の測定を行った後、インク染色法を用いて撥液領域の測定を行った。
【００４０】
これらの結果を図４に示す。なお、図４（ａ）は、インク染色法による測定値に対するＴｏＦ−ＳＩＭＳを用いた測定値及び実施形態１の撥液領域測定装置を用いた測定値を示すグラフであり、図４（ｂ）は、図４（ａ）の要部を拡大したグラフである。
【００４１】
ここで、インク染色法とは、切断面にインクを塗布し、インクの塗布された非撥液領域と塗布されていない撥液領域とを識別することで、撥液領域を測定するものである。
【００４２】
また、ＴｏＦ−ＳＩＭＳとは、基材の最表面に存在する膜の分子等を測定する装置である。１５ｋｅＶ程度の弱いＧａパルスイオンを試料表面に照射して表面の構成成分をスパッタし、発生した電荷を持つイオン（２次イオン）を電場によって加速して、一定の距離（飛行距離）だけ離れた位置で検出する。軽いイオンほど早く、重いイオンほど遅い速度で飛んでいくため、２次イオンが発生してから検出されるまでの時間（飛行時間）を測定することにより、発生した２次イオンの質量を求めることができる。
【００４３】
ＴｏＦ−ＳＩＭＳでは１次イオン照射量が１５ｋｅＶ程度と著しく少ないため、一次イオンが照射された有機化合物は構造を反映したフラグメント（断片）イオンを放出するので、質量スペクトルから表面に存在する有機化合物の構造を知ることができる。また、固体試料表面の最も外側で発生した２次イオンのみが真空中へ飛び出すため、試料の最表面（深さ数Å程度）の情報を得ることができる。
【００４４】
図４（ａ）に示すように、実施形態１の撥液領域測定装置４０を用いた液面測定、インク染色法及びＴｏＦ−ＳＩＭＳを用いた測定の測定値間に、線形性（傾き約１）が確認できた。そして、図４（ｂ）に示すように、測定値が２５μｍ以下で傾き１の線形性が確認できた。すなわち、上述した実施形態１の撥液領域測定装置４０を用いても、実際の撥液領域を高精度に測定することができる。また、撥液領域測定装置４０は、撥液領域が２５μｍ以下の範囲で特に高精度な測定が行える。
【００４５】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、ノズルプレート２０に形成されたノズル開口２１として、同径部２２とテーパ部２３とで構成されるノズル開口２１を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、深さ方向に内径が略同一の同径部２２のみで構成されるノズル開口や、深さ方向に内径が同一の同径部と、同径部に連通して同径部よりも内径が大きな大径部とで構成されて間に段差が設けられたノズル開口などにも本発明の撥液領域測定装置４０を用いて、撥液領域の測定を高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】実施形態１に係るノズルプレートの概略斜視図及び断面図である。
【図２】実施形態１に係る撥液領域測定装置の断面図である。
【図３】試験例１に係る測定結果を示すグラフである。
【図４】試験例３に係る測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４７】
２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ２２  同径部、  ２３  テーパ部、  ３０  撥液膜、  ４０  撥液領域測定装置、  ５０  供給手段、  ６０  保持治具、  ７０  貯留手段、  ８０  連通路、  ９０  測定手段、  １００  検査液、  １０１、１０２  液面
【図１】
2007212363.tif 000006
【図２】
2007212363.tif 000007
【図３】
2007212363.tif 000008
【図４】
2007212363.tif 000009