(57)【要約】【課題】マスクステージを上方移動させずにワークステージ及びマスクステージの清掃を簡単に行うことができる近接露光装置の手動式クリーナを提供する。【解決手段】粘着面３２ａを有する帯状のクリーニングシート３２と、このクリーニングシートを巻き付けた状態でマスクステージ１とワークステージ２の狭い空間に挿入可能なロール３４と、このロールが回転自在に連結しており、ロールを前記狭い空間に挿入させる柄部３６とを備えており、柄部を持って狭い空間に挿入したロールを清掃すべき面上近くで往復移動させ、往路においてロールを正回転させることでクリーニングシートが引き出されて粘着面を清掃すべき面に粘着させ、復路でロールを逆回転させることで清掃すべき面に粘着していたクリーニングシートをロールに巻き戻していく。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に対向配置されているワークステージ及びマスクステージの間の空間に挿入し、前記ワークステージ及び前記マスクステージの一方の清掃すべき面を清掃する近接露光装置の手動式クリーナであって、
粘着面を有する帯状のクリーニングシートと、このクリーニングシートを巻き付けた状態で前記空間に挿入可能なロールと、このロールが回転自在に連結しており、該ロールを前記空間に挿入させる柄部とを備えており、前記柄部を持って前記空間に挿入した前記ロールを前記清掃すべき面上近くで往復移動させ、往路において前記ロールを正回転させることで前記クリーニングシートが引き出されて前記粘着面を前記清掃すべき面に粘着させ、復路で前記ロールを逆回転させることで前記清掃すべき面に粘着していた前記クリーニングシートを前記ロールに巻き戻していくことを特徴とする近接露光装置の手動式クリーナ。
【請求項２】
前記柄部に、前記ロールから引き出されて前記清掃すべき面に粘着している前記クリーニングシートを前記清掃すべき面に向けて押圧する補助ローラを設けたことを特徴とする請求項１記載の近接露光装置の手動式クリーナ。
【請求項３】
前記往路において前記ロールが正回転していく際に、前記ロールを逆回転させる方向にバネ付勢力が徐々に増大していくバネ部材を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の近接露光装置の手動式クリーナ。
【請求項４】
上下方向に対向配置されているワークステージ及びマスクステージの間の空間を移動し、前記ワークステージ及び前記マスクステージの一方の清掃すべき面を清掃する近接露光装置のクリーナ装置であって、
前記マスクステージに、粘着面を有する帯状のクリーニングシートを巻き付けたロールを前記空間の前記清掃すべき面上近くで往復移動させるロール移動機構を設け、当該ロール移動機構が前記ロールを正回転させて往路移動させると、前記クリーニングシートが前記ロールから引き出されて前記粘着面が前記清掃すべき面に粘着していき、前記ロール移動機構が前記ロールを逆回転させて復路移動させると、前記清掃すべき面に粘着していた前記クリーニングシートが前記ロールに巻き戻されていくようにしたことを特徴とする近接露光装置のクリーナ装置。
【請求項５】
前記ロール移動機構は、前記ロールを回転自在に支持しながら前記空間で直動させる直動装置であることを特徴とする請求項４記載の近接露光装置のクリーナ装置。
【請求項６】
前記ロール移動機構に、前記ロールから引き出されて前記清掃すべき面に粘着している前記クリーニングシートを前記清掃すべき面に向けて押圧する補助ローラを、上下方向移動自在に設けたことを特徴とする請求項４又は５記載の近接露光装置のクリーナ装置。
【請求項７】
前記往路において前記ロールが正回転していく際に、前記ロールを逆回転させる方向にバネ付勢力が徐々に増大していくバネ部材を設けたことを特徴とする請求項４から６の何れか１項に記載の近接露光装置のクリーナ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上下方向に対向配置されているワークステージ及びマスクステージの一方の清掃すべき面を清掃する近接露光装置の手動式クリーナ及びクリーナ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近接露光装置は、ワークステージ及びマスクステージが上下方向に対向配置されており、表面に感光剤を塗布した透光性のワーク（被露光材）がワークステージ上に保持され、このワークを、マスクステージの下面で保持されているマスクに接近させて両者のすき間を例えば数１０μｍ〜数１００μｍにし、マスクの上方に配置した照射手段から露光用の光をマスクに向けて照射することによりワーク上にマスクに描かれたパターンを露光転写する装置である。
【０００３】
この近接露光装置は、ワークステージのワークチャック面に保持されているワークや、ワークを外したワークチャック面の清掃、或いは、マスクステージのマスクチャック面に吸着保持されているマスクや、マスクを外したマスクチャック面の清掃を定期的に行っている。ワークステージは、上面にゴミや埃が溜まりやすいので、例えば３日毎に頻繁に清掃作業を行っており、マスクステージは、ワークステージの清掃より長い周期（例えば１ヶ月毎）で清掃作業を行っている。
【０００４】
ところで、ワークステージ及びマスクステージの間は、上下方向に６０mm程度しか離れていない狭い空間であり、従来、マスクステージ又はワークステージを清掃する場合には、上下移動機構によりマスクステージを上方に移動させて作業を行っていた。
なお、従来のワークステージ及びマスクステージの清掃方法は、慣用されているものであるので、先行技術文献情報は特に記載しない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、清掃作業を行うためにマスクステージを上方に移動させる従来の方法では、マスクのパターンをワークに転写する精度誤差が生じるおそれがあり、清掃作業を行った後には近接露光装置の微調整に多くの時間と手間が必要であった。
そこで、本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、マスクステージを上方移動させずにワークステージ及びマスクステージの清掃を簡単に行うことができる近接露光装置の手動式クリーナ及びクリーナ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した課題を解決するため、本発明に係る近接露光装置の手動式クリーナは、上下方向に対向配置されているワークステージ及びマスクステージの間の空間に挿入し、前記ワークステージ及び前記マスクステージの一方の清掃すべき面を清掃する近接露光装置の手動式クリーナであって、粘着面を有する帯状のクリーニングシートと、このクリーニングシートを巻き付けた状態で前記空間に挿入可能なロールと、このロールが回転自在に連結しており、該ロールを前記空間に挿入させる柄部とを備えており、前記柄部を持って前記空間に挿入した前記ロールを前記清掃すべき面上近くで往復移動させ、往路において前記ロールを正回転させることで前記クリーニングシートが引き出されて前記粘着面を前記清掃すべき面に粘着させ、復路で前記ロールを逆回転させることで前記清掃すべき面に粘着していた前記クリーニングシートを前記ロールに巻き戻していくことを特徴とする近接露光装置の手動式クリーナである。
【０００７】
また、本発明に係る近接露光装置のクリーナ装置は、上下方向に対向配置されているワークステージ及びマスクステージの間の空間を移動し、前記ワークステージ及び前記マスクステージの一方の清掃すべき面を清掃する近接露光装置のクリーナ装置であって、前記マスクステージに、粘着面を有する帯状のクリーニングシートを巻き付けたロールを前記空間の前記清掃すべき面上近くで往復移動させるロール移動機構を設け、当該ロール移動機構が前記ロールを正回転させて往路移動させると、前記クリーニングシートが前記ロールから引き出されて前記粘着面が前記清掃すべき面に粘着していき、前記ロール移動機構が前記ロールを逆回転させて復路移動させると、前記清掃すべき面に粘着していた前記クリーニングシートが前記ロールに巻き戻されていくようにしたことを特徴とする近接露光装置のクリーナ装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の近接露光装置の手動式クリーナによると、柄部を持ってロールをマスクステージ及びワークステージのの狭い空間に挿入し、ロールを清掃すべき面上で往復移動させることで、ロールから引き出したクリーニングシートの粘着面が清掃すべき面に粘着した後、粘着面を清掃すべき面から剥がす動作を行うことで、清掃すべき面に付着していたゴミや塵等の異物が粘着面に付着するので、清掃すべき面に付着していた異物を簡単に除去することができる。
【０００９】
また、本発明の近接露光装置のクリーナ装置によると、ロール移動機構によりロールをマスクステージとワークステージの間の空間に移動し、ロールを清掃すべき面上で往復移動させることで、ロールから引き出したクリーニングシートの粘着面が清掃すべき面に粘着した後、粘着面を清掃すべき面から剥がす動作が自動的に行われ、清掃すべき面に付着していたゴミや塵等の異物が粘着面に付着するので、清掃すべき面に付着していた異物を簡単に除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る近接露光装置の手動式クリーナ及びクリーナ装置について、図面を参照しながら説明する。
本実施形態に係る近接露光装置は、図１に示すように、露光すべきパターンが描かれているマスクＭをマスクステージ１で保持すると共に、大型のワークＷをワークステージ２で保持し、この状態でワークステージ２をマスクＭに対してＸ軸方向とＹ軸方向の二軸方向にステップ移動させて各ステップ毎にマスクＭとワークＷとを近接配置した状態で、照射手段３からパターン露光用の光をマスクＭに向けて照射することにより、マスクＭの複数のパターンをワークＷ上に露光転写するようにした装置である。
【００１１】
装置ベース４上には、ワークステージ２をＹ軸方向にステップ移動させるためのＹ軸ステージ送り機構５が設置され、Ｙ軸ステージ送り機構５のＹ軸送り台５ａ上にはワークステージ２をＸ軸方向にステップ移動させるためのＸ軸ステージ送り機構６が設置され、該Ｘ軸ステージ送り機構６のＸ軸送り台６ａ上にワークステージ２が設置されている。また、装置ベース上４には、後述するワークステージ２を上下移動させるＸ軸マスクステージ粗動機構４ａも設置されている。
【００１２】
このワークステージ２の上面のワークチャック面２ａに、ワークＷが真空吸引された状態で保持されるようになっている。
Ｘ軸ステージ送り機構６とワークステージ２の間には、ワークステージ２の単純な上下動作を行うことにより該ワークステージ２を予め設定した位置までマスクＭとワークＷとのすき間の計測を行うことなく昇降させる上下粗動装置７と、ワークステージ２を上下に微動させてマスクＭとワークＷとの対向面間のすき間を所定量に微調整する上下微動装置８が設置されている。
【００１３】
上下微動装置８は、Ｚ軸送り台６ａのＸ軸方向の一端側（図１の左端側）に１台、他端側に２台合計３台設置されてそれぞれが独立に駆動制御されるようになっている。
また、符号３０で示すアライメントカメラは、マスクＭの位置調整を行なう際に使用するもので、後述する真空吸着板２６のＹ軸方向に沿う二辺の各内側上方でＹ軸方向の略中央部にそれぞれ一カ所ずつ合計２カ所配置されており、これらの２個のアライメントカメラ２９の画像データに基づいてマスク位置調整手段が、マスク保持枠２５をＸ，Ｙ，θ方向（Ｘ，Ｙ平面内）に移動させてマスク保持枠２５に保持されたマスクＭの位置を調整するようになっている。
【００１４】
マスクステージ１は、マスクフレーム２４と、このマスクフレーム２４の中央部開口に空間を介して挿入されてＸ，Ｙ，θ方向（Ｘ，Ｙ平面内）に移動可能に支持されたマスク保持枠２５と、マスク保持枠２５の中央部開口の下面周囲に設けた真空吸着板（マスクチャック面）２６とを備え、真空吸着板２６の下面に当接したマスクＭが真空吸引された状態で保持されるようになっている。
ここで、露光転写を行う前であって、互いに上下方向に離間して所定位置に設置されているマスクステージ１の真空吸着板２６とワークチャック面２ａとの間は、上下方向の距離Ｔが６０mm程度の狭い空間である。
【００１５】
次に、本発明に係る第１実施形態のマスクステージ１又はワークステージ２清掃を行う手動式のクリーナについて、図２から図７を参照して説明する。
本実施形態のクリーナ３０は、図２に示すように、帯状のクリーニングシート３２と、このクリーニングシート３２が巻き付いており、マスクステージ１の真空吸着板２６とワークステージ２のワークチャック面２ａとの間の空間に挿入可能な外径としたロール３４と、ロール３４が回転自在に連結している柄部３６と、柄部３６に回転自在に連結している補助ローラ３８とを備えている。
【００１６】
クリーニングシート３２は、ロール３４に巻き付く際に外側を向く面が粘着面３２ａとなっている。
柄部３６は、棒状のグリップ部３６ａと、ロール３４の両端部を回転自在に支持している支持軸３６ｂと、支持軸３６ｂ及びグリップ部３６ａを連結している連結部３６ｃとで構成されている。
補助ローラ３８は、ロール３４からクリーニングシート３２が引き出される側に位置するように、連結部３６ｃに一体に連結した回転支持軸３８ａに回転自在に支持されている。
【００１７】
また、図３に示すように、中空形状となっているロール３４の内部には、一端が支持軸３６ｂに固定され、他端がロール３４の内面に固定された渦巻きバネ（バネ部材）４０が配置されている。この渦巻きバネ４０は、クリーニングシート３２を引き出す方向にロール３４が正方向に回転すると（図３の矢印方向）、ロール３４を逆回転（図３の矢印方向に対して逆方向）させる方向のバネ付勢力が作用するように配置されている。
【００１８】
次に、上記構成のクリーナ３０を使用し、真空吸着板２６の下面に吸着保持されているマスクＭの清掃を行う手順について、図４及び図５を参照して説明する。
図４に示すように、先ず、柄部３６のグリップ部３６ａを持ってロール３４をマスクステージ１とワークステージ２の間の狭い空間に挿入する。そして、クリーニングシート３２の粘着面３２ａを真空吸着板２６の端部に粘着させる。次いで、柄部３６に一体化した補助ローラ３８で真空吸着板２６に粘着したクリーニングシート３２を押圧しながら、柄部３６をマスクＭ側に向けて移動（往路移動）していき、ロール３４を図４の矢印方向の正方向に回転させていくことで、クリーニングシート３２をロール３４から引き出し、粘着面３２ａをマスクＭの下面に粘着していく。なお、クリーニングシート３２のマスクＭ下面への押圧を補助ローラ３８のみにより行なっているが、往路移動時は、ロール３４もクリーニングシート３２のマスクＭ下面への押圧を行なうようにしてもよい。
【００１９】
そして、ロール３４から引き出したクリーニングシート３２の粘着面３２ａがマスクＭの全域に粘着すると、今度は、図５に示すように、柄部３６を引き寄せることでロール３４を元の位置まで移動（復路移動）させていく。このとき、ロール３４は渦巻きバネ４０からバネ付勢力が作用して逆方向に回転するので、マスクＭに粘着していたクリーニングシート３２は弛まずにロール３４に巻き戻されていく。そして、マスクＭに付着していたゴミや塵等の異物は、マスクＭから剥がれてロール３４に巻き戻されたクリーニングシート３２の粘着面３２ａに付着するので、マスクＭの清掃が完了する。
【００２０】
次に、上記構成のクリーナ３０を使用し、ワークチャック面２ａの清掃を行う手順について、図６及び図７を参照して説明する。
図６に示すように、先ず、柄部３６のグリップ部３６ａを持ってロール３４をマスクステージ１とワークステージ２の間の狭い空間に挿入する。そして、クリーニングシート３２の粘着面３２ａをワークチャック面２ａの端部に粘着させる。次いで、柄部３６に一体化した補助ローラ３８でワークチャック面２ａに粘着したクリーニングシート３２を押圧しながら、柄部３６を奥の方向に向けて移動（往路移動）していき、ロール３４を図６の矢印方向の正方向に回転させていくことで、クリーニングシート３２をロール３４から引き出し、粘着面３２ａをワークチャック面２ａに粘着していく。
【００２１】
なお、クリーニングシート３２のワークチャック面２ａへの押圧を補助ローラ３８のみにより行なっているが、往路移動時は、ロール３４もクリーニングシート３２のワークチャック面２ａへの押圧を行なうようにしてもよい。
そして、ロール３４から引き出したクリーニングシート３２の粘着面３２ａがワークチャック面２ａの全域に粘着すると、今度は、図７に示すように、柄部３６を引き寄せることでロール３４を元の位置まで移動（復路移動）させていく。このとき、ロール３４は渦巻きバネ４０からバネ付勢力が作用して逆方向に回転するので、ワークＷに粘着していたクリーニングシート３２は弛まずにロール３４に巻き戻されていく。そして、ワークチャック面２ａに付着していたゴミや塵等の異物は、ワークＷから剥がれてロール３４に巻き戻されたクリーニングシート３２の粘着面３２ａに付着するので、ワークＷの清掃が完了する。
【００２２】
したがって、本実施形態のクリーナ３０は、柄部３６のグリップ部３６ａを持ってロール３４をマスクステージ１とワークステージ２の間の狭い空間に挿入し、ロール３４を清掃すべき面上で往復移動させることで、ロール３４から引き出したクリーニングシート３２の粘着面３２ａを清掃すべき面（マスクＭ又はワークチャック面２ａ）に粘着した後、粘着面３２ａを清掃すべき面から剥がすことで、清掃すべき面に付着していたゴミや塵等の異物が粘着面３２ａに付着するので、清掃すべき面に付着していた異物を簡単に除去することができる。
【００２３】
また、補助ローラ３８がロール３４から引き出されたクリーニングシート３２を清掃すべき面側に押圧しているので、クリーニングシート３２の粘着を確実に行うことができる。
さらに、クリーニングシート３２をロール３４に巻き戻す際には、クリーニングシート３２の引き出しの際に渦巻きバネ４０によりロール３４を巻き戻し方向に回転させるバネ付勢力が作用するので、清掃すべき面に粘着していたクリーニングシート３２を弛ませずにロール３４に巻き戻すことができる。
さらにまた、巻き戻しの際、補助ローラ３８は押圧させたまま、ロール３４を少し浮かせていることにより、巻き戻し時のしわの発生が抑制されるとともに、クリーニングシート３２に付着したゴミ等によるマスクＭ又はワークチャック面２ａの傷付き等も防止できる。
【００２４】
なお、図４及び図５では、真空吸着板２６の下面に吸着保持されているマスクＭの清掃を行う際のクリーナ３０の使用手順について説明したが、マスクＭを取り外した真空吸着板２６の清掃を行う際にも、上述したクリーナ３０の使用手順を行うことで同様の効果を奏することができる。また、図６及び図７では、ワークチャック面２ａの清掃を行う際のクリーナ３０の使用手順について説明したが、ワークチャック面２ａに吸着保持されているワークＷの清掃を行う際にも、上述したクリーナ３０の使用手順を行うことで同様の効果を奏することができる。
【００２５】
次に、本発明に係る第２実施形態のマスクステージ１又はワークステージ２の清掃を行うクリーナ装置について、図８から図１１を参照して説明する。なお、図１から図７で示した構成と同一構成部分には、同一符号を付してその説明を省略する。
図８及び図９に示すように、本実施形態のクリーナ装置５０は、クリーニングシート３２を巻き付けたロール３４及び補助ローラ３８をマスクステージ１の真空吸着板２６とワークステージ２のワークチャック面２ａとの間の空間で往復移動させるロール移動機構５２を備えており、このロール移動機構５２はワークステージ２の側部に配置されている。
【００２６】
このロール移動機構５２は、ワークステージ２の側部に水平方向に延在して固定した案内レール５２ａと、この案内レール５２ａに支持されて水平方向に移動自在とされており、ロール３４及び補助ローラ３８が上部に設置されているスライダ本体５２ｂと、このスライダ本体５２ｂに一体化されているねじナット５２ｃと、案内レール５２ａと平行に配置されてねじナット５２ｃのねじ部に螺合しているねじ軸５２ｄと、ねじ軸５２ｄを正逆方向に回転させることでスライダ本体５２ｂを水平方向に移動させる駆動部５２ｅとを備えた直動装置である。案内レール５２ａ及びねじ軸５２ｄは、ワークステージ２の側部から外方に突出しており、図８で示す案内レール５２ａの右側端部にスライダ本体５２ｂが移動すると、ロール３４及び補助ローラ３８の退避位置としている。
【００２７】
ロール３４は、スライダ本体５２ｂ上に固定したロール支持部材５４に回転自在に装着される。ここで、ワークステージ２のワークチャック面２ａを清掃するときには、図８に示すようにロール３４の下側からクリーニングシート３２が引き出されるように、ロール３４をロール支持部材５４に装着し、マスクステージ１の真空吸着板２６を清掃する際には、ロール３４の上側からクリーニングシート３２が引き出されるように、ロール支持部材５４に対するロール３４の装着向きを変更する。
【００２８】
また、補助ローラ３８は、詳細には図示しない昇降機構（例えばエアシリンダを用いたもの等）５６により上下方向に移動自在とされ、下向きに付勢されるようになっている。
そして、本実施形態も、ロール３４の内部に渦巻きバネ（バネ部材）４０が配置されており、クリーニングシート３２を引き出す方向にロール３４が正方向に回転すると、ロール３４を逆回転させるようとする渦巻きバネ４０のバネ付勢力が作用するようになっている。
【００２９】
上記構成のクリーナ装置５０を使用してワークステージ２のワークチャック面２ａを清掃する場合には、先ず、図１０に示すように、ロール３４及び補助ローラ３８がワークチャック面２ａの端部に位置するように、スライダ本体５２ｂを退避位置から移動させる。そして、クリーニングシート３２の端部の粘着面３２ａをワークチャック面２ａに粘着させた後、前述した昇降機構５６の駆動により補助ローラ３８を最下部まで移動し、ワークチャック面２ａに粘着しているクリーニングシート３２の端部を押圧する。
【００３０】
そして、ロール移動機構５２の駆動部５２ｅを正回転駆動することで、ねじ軸５２ｄの正回転をねじナット５２ｃを介してスライダ本体５２ｂに直進運動として伝達し、図１０に示すようにスライダ本体５２ｂを往路移動させていく。これにより、ロール３４から引き出されたクリーニングシート３２がワークチャック面２ａに粘着していく。
【００３１】
そして、クリーニングシート３２の粘着面３２ａがワークチャック面２ａの全域に粘着すると、今度は、ロール移動機構５２の駆動部５２ｅを逆回転駆動することで、図１０の矢印方向と逆方向にスライダ本体５２ｂを復路移動させていく。このとき、ロール３４は渦巻きバネ４０からバネ付勢力が作用して逆方向に回転するので、ワークチャック面２ａに粘着していたクリーニングシート３２は弛まずにロール３４に巻き戻されていく。そして、ワークチャック面２ａに付着していたゴミや塵等の異物は、ワークチャック面２ａから剥がれてロール３４に巻き戻されたクリーニングシート３２の粘着面３２ａに付着するので、ワークチャック面２ａの清掃が完了する。
【００３２】
また、マスクステージ１の真空吸着板２６の下面を清掃する場合には、図１１に示すように、ロール３４の上側からクリーニングシート３２が引き出されるように、ロール支持部材５４に対するロール３４の装着向きを変更する。また、昇降機構５６は上向きに付勢するように変更される。そして、ロール３４及び補助ローラ３８がワークチャック面２ａの端部に位置するように、スライダ本体５２ｂを退避位置から移動し、クリーニングシート３２の端部の粘着面３２ａを真空吸着板２６の下面に粘着させた後、前述した昇降機構５６の駆動により補助ローラ３８を上方に移動し、真空吸着板２６の下面に粘着しているクリーニングシート３２の端部を押圧する。
【００３３】
そして、ロール移動機構５２の駆動部５２ｅを正回転駆動することで、ねじ軸５２ｄの正回転をねじナット５２ｃを介してスライダ本体５２ｂに直進運動として伝達し、図１１に示すようにスライダ本体５２ｂを往路移動させていく。これにより、ロール３４から引き出されたクリーニングシート３２が真空吸着板２６の下面に粘着していく。
【００３４】
そして、クリーニングシート３２の粘着面３２ａが真空吸着板２６の下面全域に粘着すると、今度は、ロール移動機構５２の駆動部５２ｅを逆回転駆動することで、図１１の矢印方向と逆方向にスライダ本体５２ｂを復路移動させていく。このとき、ロール３４は渦巻きバネ４０からバネ付勢力が作用して逆方向に回転するので、真空吸着板２６の下面に粘着していたクリーニングシート３２は弛まずにロール３４に巻き戻されていく。そして、真空吸着板２６の下面に付着していたゴミや塵等の異物は、その面から剥がれてロール３４に巻き戻されたクリーニングシート３２の粘着面３２ａに付着するので、真空吸着板２６の清掃が完了する。
【００３５】
したがって、本実施形態のクリーナ装置５０は、ロール移動機構５２によりロール３４をマスクステージ１とワークステージ２の間の空間に移動し、ロール移動機構５２に駆動によりロール３４を清掃すべき面上で往復移動させることで、ロール３４から引き出したクリーニングシート３２の粘着面３２ａを清掃すべき面（マスクチャック面又は真空吸着板２６の下面）に粘着した後、粘着面３２ａを清掃すべき面から剥がすことで、清掃すべき面に付着していたゴミや塵等の異物が粘着面３２ａに付着するので、清掃すべき面に付着していた異物を、自動的に除去することができる。
【００３６】
また、ロール３４から引き出されたクリーニングシート３２は、上下方向に移動自在な補助ローラ３８により清掃すべき面側に押圧されているので、粘着面３２ａは清掃すべき面側に確実に粘着する。
さらに、クリーニングシート３２をロール３４に巻き戻す際には、クリーニングシート３２の引き出しの際に渦巻きバネ４０によりロール３４を巻き戻し方向に回転させるバネ付勢力が作用するので、清掃すべき面に粘着していたクリーニングシート３２を弛ませずにロール３４に巻き戻すことができる。
さらにまた、巻き戻しの際、補助ローラ３８は押圧させたまま、ロール３４を少し浮かせていることにより、巻き戻し時のしわの発生が抑制されるとともに、クリーニングシート３２に付着したゴミ等によるマスクＭ又はワークチャック面２ａの傷付き等も防止できる。
【００３７】
なお、図１０では、ワークＷを取り外したワークチャック面２ａの清掃を行う際のクリーナ装置５０の動作について説明したが、ワークチャック面２ａに吸着保持されたワークＷの清掃を行う際にも、上述したクリーナ装置５０の動作を行うことで同様の効果を奏することができる。また、図１１では、マスクＭを取り外した真空吸着板２６の下面の清掃を行う際のクリーナ装置５０の動作について説明したが、真空吸着板２６の下面に吸着保持されているマスクＭの清掃を行う際にも、上述したクリーナ装置５０の動作を行うことで同様の効果を奏することができる。
また、ロール移動機構５２として、駆動部５２ｅと送りねじ（ねじナット５２ｃ及びねじ軸５２ｄ）との組合せを用いたが、これに代え、例えばニリアモータ等を用いるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係る近接露光装置の概略を示した図である。
【図２】本発明の手動式クリーナの全体構造を示す斜視図である。
【図３】本発明の手動式クリーナのロール内に設けたバネ部材を示す図である。
【図４】本発明の手動式クリーナがマスクステージを清掃する際の往路の動作を示す図である。
【図５】本発明の手動式クリーナがマスクステージを清掃する際の復路の動作を示す図である。
【図６】本発明の手動式クリーナがワークステージを清掃する際の往路の動作を示す図である。
【図７】本発明の手動式クリーナがワークステージを清掃する際の復路の動作を示す図である。
【図８】本発明のクリーナ装置を示す側面図である。
【図９】図８のIX−IX線矢視図である。
【図１０】本発明のクリーナ装置がワークステージを清掃している状態を示す図である。
【図１１】本発明のクリーナ装置がマスクステージを清掃している状態を示す図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  マスクステージ
２  ワークステージ
２ａ  ワークチャック面
２６  真空吸着板
３０  クリーナ（手動式クリーナ）
３２  クリーニングシート
３２ａ  粘着面
３４  ロール
３６  柄部
３６ａ  グリップ部
３６ｂ  支持軸
３８  補助ローラ
４０  渦巻きバネ（バネ部材）
５０  クリーナ装置
５２  ロール移動機構
５２ａ  案内レール
５２ｂ  スライダ本体
５２ｃ  ねじナット
５２ｄ  ねじ軸
５２ｅ  駆動部
Ｍ  マスク
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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