(57)【要約】    【課題】  小型の振動波モータの進行波ムラの低減を図ることができる積層圧電素子を提供する。    【解決手段】  積層圧電素子１０においては、第１層に表面電極層１１が配置され、第２層に圧電層１２が配置されている。第３層から第Ｎ層までの層においては、圧電層１３と圧電層１４とが交互に配置されている。圧電層１２の表面には、４分割された内部電極Ｓ＋，Ｂ＋，Ａ−，Ｂ−が形成されている。圧電層１３の表面には、４分割された内部電極ＡＧ＋，ＢＧ＋，ＡＧ−，ＢＧ−が形成されている。圧電層１４の表面には、４分割された内部電極Ａ＋，Ｂ＋，Ａ−，Ｂ−が形成されている。ここで、各圧電層１２〜１４において、センサ相である内部電極Ｓ＋およびそれと同位相に配置されている内部電極Ａ＋、ＡＧ＋とのみが圧電層の外部に露出するように形成されている。【選択図】      図１
2007013039.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電層が積層されるとともに、該圧電層間のそれぞれに駆動用電極が設けられている積層構造からなる積層圧電素子において、
前記駆動用電極のそれぞれは、複数の内部電極に分割され、
前記圧電層間のそれぞれに設けられている駆動用電極のうち、所定数の駆動用電極は、一部が外部へ露出する少なくとも１つの内部電極を含む複数の内部電極に分割されていることを特徴とする積層圧電素子。
【請求項２】
前記所定数の駆動用電極のうち、１つの駆動用電極における少なくとも１つの内部電極は、出力信号を発生するセンサ用電極として用いられ、該センサ用電極として使用される内部電極と他の駆動用電極のそれぞれにおける、前記一部が外部へ露出する少なくとも１つの内部電極との空間位置位相差が、０ｒａｄであることを特徴とする請求項１記載の積層圧電素子。
【請求項３】
前記所定数の駆動用電極のうち、１つの駆動用電極における少なくとも１つの内部電極は、出力信号を発生するセンサ用電極として用いられ、該センサ用電極として使用される内部電極と他の駆動用電極のそれぞれにおける、前記一部が外部へ露出する少なくとも１つの内部電極との空間位置位相差が、πｒａｄであることを特徴とする請求項１記載の積層圧電素子。
【請求項４】
前記圧電層間のそれぞれに設けられている駆動用電極の全ては、前記露出内部電極を含む複数の内部電極からなることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の積層圧電素子。
【請求項５】
前記積層構造の一端面を成す層として表面電極層が形成され、該表面電極層には、前記圧電層間のそれぞれに設けられている駆動用電極と外部とをそれぞれ接続するための電極が形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の積層圧電素子。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１つに記載の積層圧電素子を用いることを特徴とする振動波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層圧電素子および振動波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
電気−機械エネルギ変換素子の１つとして、特に、低い電圧で大きな変形歪や大きな力を発生することができる積層圧電素子がある。このような積層圧電素子は、例えば振動波モ−タに用いられる（例えば特許文献１を参照）。
【０００３】
この種の積層圧電素子は、例えば圧電セラミックスなどからなる複数の圧電層が積層された積層構造を有し、各圧電層の表面には、電極材料からなる内部電極が形成されている。
【０００４】
このような積層圧電素子の構造について図７を参照しながら説明する。図７（ａ）は従来の積層圧電素子の側面図、図７（ｂ）は図７（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【０００５】
積層圧電素子７０は、図７（ａ）に示すように、複数の圧電層が積層された円筒状の積層構造を有する。この積層圧電素子７０においては、図７（ｂ）に示すように、例えば圧電層の数が２５であるとすると、その第１層には表面電極層７５が、第２層にはセンサ層としての圧電層７１がそれぞれ配置されている。第３層から第２５層までの層においては、圧電層７２と圧電層７３とが交互に配置されている。圧電層７１の表面には、４分割された内部電極Ｓ＋，Ｂ＋，Ａ−，Ｂ−が設けられている。圧電層７２の表面には、４分割された内部電極ＡＧ＋，ＢＧ＋，ＡＧ−，ＢＧ−が設けられている。圧電層７３の表面には、４分割された内部電極Ａ＋，Ｂ＋，Ａ−，Ｂ−が設けられている。
【０００６】
積層圧電素子７０を構成する表面電極層７５および各圧電層７１〜７３は、中央部が開口し、同一外径寸法を有する円板形状に形成されている。圧電層７１には、５つのスルーホール７４が設けられている。スルーホールとは、圧電層を貫通する孔部に導電材料を充填したものである。また、各圧電層７２，７３には、それぞれ、４つのスルーホール７４が設けられている。各圧電層７２の内部電極ＡＧ＋，ＢＧ＋，ＡＧ−，ＢＧ−は、上層または下層の圧電層の対応するスルーホール７４を介して、相互に電気的に接続される。但し、第２５層の圧電層７２は最下層であるので、当該圧電層７２には、スルーホールが設けられていない。また、各圧電層７１，７３の内部電極Ａ＋，Ｂ＋，Ａ−，Ｂ−は、上層または下層の圧電層の対応するスルーホール７４を介して、相互に電気的に接続される。また、表面電極層７５には、外部と電気的に接触可能にするための９つの電極が形成されている。表面電極層７５の各電極は、対応するスルーホール７４を介して接続される内部電極ＡＧ＋，ＢＧ＋，ＡＧ−，ＢＧ−，Ａ＋，Ｂ＋，Ａ−，Ｂ−およびセンサ相である内部電極Ｓ＋の９つの電極に対してそれぞれ導通する。
【０００７】
このような構成を有する積層圧電素子７０に対しては、振動波モ−タに適した振動を励起するように分極処理が施されている。
【０００８】
次に、上記積層圧電素子７０を用いた棒状型振動波モータについて図８および図９を参照しながら説明する。図８は図７の積層圧電素子を用いた棒状型振動波モータの縦断面図、図９は積層圧電素子の周波数に対する内部電極Ａ＋の印加電圧と内部電極Ｓ＋の出力信号（Ｓ１）の位相差の関係（θＡ-Ｓ１)および出力信号（Ｓ１）の大きさ（ＶＳ１）の関係を示す図である。
【０００９】
棒状型振動波モ−タ８０は、図８に示すように、振動子８１を備える。振動子８１は、弾性体８２、弾性体８３、積層圧電素子７０および配線基板８５を有し、それらは軸８４に挿通される。積層圧電素子７０は、弾性体８２，８３間に配置されている。配線基板８５は、積層圧電素子７０と弾性体８３間に配置され、積層圧電素子７０の表面電極層７５に形成された９つの電極は、配線基板８５上の対応する電極パタ−ンと電気的に接続される。弾性体８２、弾性体８３、積層圧電素子７０および配線基板８５は、軸８４およびその一端部に螺合されるナット９０により、挟持固定されている。
【００１０】
弾性体８２には、バネ８６とバネ支持体８７を介して、ロータ８８が加圧接触される。ここで、弾性体８２の一方の面には、摩擦部材８２ａが設けられ、ロータ８８には、摩擦部材８２ａに加圧接触する接触部材８８ａが設けられている。ロータ８８には、ギア８９が係合されている。ギア８９は、ナット９２により軸８４に固着されている固定部材９１に回転可能に支持されている。
【００１１】
ここで、積層圧電素子７０においては、Ａ相である内部電極Ａ＋，Ａ−とＢ相である内部電極Ｂ＋，Ｂ−とそれぞれ対向する、ＡＧ相である内部電極ＡＧ＋，ＡＧ−と、ＢＧ相である内部電極ＢＧ＋，ＢＧ−がそれぞれグランド接続される。そして、Ａ相の内部電極Ａ＋，Ａ−には、振動子の固有振動数とほぼ一致した周波数の高周波電圧が印加され、さらに、Ａ相と空間位相位置がπ／２（ｒａｄ）異なるＢ相の内部電極Ｂ＋，Ｂ−には、Ａ相とは電気的にπ／２（ｒａｄ）位相が異なる同じ周波数の高周波電圧が印加される。これにより、積層圧電素子７０が組み込まれた振動子８１は、直交する２つの曲げ振動が発生し、振動子８１と加圧接触するロ−タ８８は、摩擦駆動されて、軸８４の周りに回転される。このロ−タ８８の回転に伴いギア８９が回転駆動される。
【００１２】
上記内部電極に印加される高周波電圧の周波数（交流周波数）としては、通常は、振動子８１の固有モードの共振周波数近傍が選ばれる。しかし、振動子８１の共振周波数は、固体毎のばらつき、環境温度、振動子８１にかけられる負荷などにより数百〜数千Ｈｚの変化を生じるので、振動子８１を効率的かつ安定に駆動させるためには、入力電圧の交流周波数を制御する必要があり、振動子８１の振動状態をモニタするためのセンシング手段が必要となる。そのため、積層圧電素子７０には、センサ層として圧電層７１が設けられている。
【００１３】
圧電層７１は、振動子８１の屈曲変形により歪みを生じ、圧電効果により電荷を発生する。圧電層７１に設けられている内部電極Ｓ＋は、内部電極Ａ＋に対して位相が０（ｒａｄ）ずれた位置に配置される。このときの周波数に対する内部電極Ａ＋の印加電圧と内部電極Ｓ＋の出力信号（以下、Ｓ１という)の位相差の関係（以下、θＡ-Ｓ１という)、およびＳ１の出力信号の大きさ（ＶＳ１）の関係は、図９に示すようになる。屈曲振動モードで振動子８１を駆動すると、共振周波数Ｆｒにおいて位相差θＡ−Ｓ１は、ＣＷ（時計周り方向）、ＣＣＷ（反時計周り方向）共に、π／２（ｒａｄ）になり、周波数が共振周波数より高くなるに従い、π／２（ｒａｄ）から漸次ずれることになる。出力信号の大きさ（ＶＳ１）は、共振周波数付近で最大値をとり、周波数が共振周波数より高くなるに従い漸次小さくなる。
【００１４】
また、上記振動波モータよりさらに小型の振動波モータが提案されている（例えば特許文献２を参照）。
【００１５】
さらに、安定した性能の振動波モータを提供するために、性能に大きく関与する進行波ムラ（振動波の大きさのバラツキ）を減らす手法として、２つの共振周波数差Δｆ（＝ｆａ（Ａ相共振周波数）−ｆｂ（Ｂ相共振周波数））を、１０Ｈｚ≦ｆａ−ｆｂ≦１００Ｈｚに設定する方法、Ａ相とＢ相の減衰成分を意図的に調整する方法などが提案されている（例えば特許文献３を参照）。
【特許文献１】特許第３４３２３２１号
【特許文献２】特開２００３−１３４８５８号公報
【特許文献３】特開２００３−１６４１７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
近年、特に、上述したような振動波モータに対しては、各種用途に対応可能なように、小型、高効率、高出力化が強く望まれている。
【００１７】
しかしながら、さらなる小型の振動波モ−タに対して、従来の構造を有する積層圧電素子を用いる場合、予想以上に大きい進行波ムラが生じる。詳細には、小型の振動波モータに対して振動子が小型化し、積層圧電素子も小さくなる。積層圧電素子の小型化により、積層圧電素子の静電容量は小さくなり、各相の振幅に大きな影響を与える電気共振周波数の値（＝１／２／π／≦√ＬＣ）が、静電容量の僅かな違いにより、大きく変化する。
【００１８】
例えば、機械共振周波数が６０ｋＨｚで各相の容量が７０ｎＦのモータにおいて、センサ層を図７に示すように設けた場合、電気共振周波数の値が１．２ｋＨｚ程度変化する。これに対して、各相の容量を３０ｎＦにすると、電気共振周波数の値は、前者の２．５倍の３ｋＨｚ程度変化する。ここでの前提条件は、電気共振周波数と機械共振周波数の差が同程度に保たれている場合である。
【００１９】
これまでに、この電気共振周波数と機械共振周波数の差により各相の入力電力が変わることが知られている。すなわち、小型の振動子に使う積層圧電素子の振動子の振動状態をモニタするためのセンシング手段としてＡ相と同位相に設けられているセンサ相分の容量により、Ａ相とＢ相との間で容量のアンバランスが生じ、このアンバランスが進行波ムラを発生させる大きな要因であることが予想されている。
【００２０】
本発明の目的は、小型の振動波モータの進行波ムラの低減を図ることができる積層圧電素子および振動波モータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、上記目的を達成するため、複数の圧電層が積層されるとともに、該圧電層間のそれぞれに駆動用電極が設けられている積層構造からなる積層圧電素子において、前記駆動用電極のそれぞれは、複数の内部電極に分割され、前記圧電層間のそれぞれに設けられている駆動用電極のうち、所定数の駆動用電極は、一部が外部へ露出する少なくとも１つの内部電極を含む複数の内部電極に分割されていることを特徴とする積層圧電素子を提供する。
【００２２】
本発明は、上記目的を達成するため、上記積層圧電素子を用いることを特徴とする振動波モータを提供する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、小型の振動波モータの進行波ムラの低減を図ることができる。例えば、積層圧電素子から構成される振動子の振動状態をモニタするためのセンシング手段としてＡ相と同位相にセンサ相が設けられている場合、複数の内部電極の少なくとも１つの内部電極を、一部が外部へ露出する内部電極とすることにより、Ａ相およびＢ相の静電容量を同じにすることができ、センサ相に起因するＡ相とＢ相との静電容量のアンバランスに起因する進行波ムラを、小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２５】
（第１の実施の形態）
図１（ａ）は本発明の第１の実施の形態に係る積層圧電素子の立面図、図１（ｂ）は図１（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【００２６】
積層圧電素子１０は、図１（ａ）に示すように、複数の圧電層が積層されている円筒状の積層構造を有する。この積層圧電素子１０においては、図１（ｂ）に示すように、第１層に表面電極層１１が配置され、第２層に圧電層（センサ層）１２が配置されている。第３層から第Ｎ層までの層においては、圧電層１３と圧電層１４とが交互に配置されている。各圧電層１２，１３，１４は、同一の円板形状からなり、その中央部は開口されている。
【００２７】
表面電極層１１には、９つの表面電極（図中に示す黒丸）が形成されている。圧電層１２の表面には、４分割された内部電極Ｓ＋，Ｂ＋，Ａ−，Ｂ−が形成されている。圧電層１３の表面には、４分割された内部電極ＡＧ＋，ＢＧ＋，ＡＧ−，ＢＧ−が形成されている。圧電層１４の表面には、４分割された内部電極Ａ＋，Ｂ＋，Ａ−，Ｂ−が形成されている。
【００２８】
また、圧電層１２には、１つのスルーホール１５と、４つのスルーホール１６とが設けられている。各圧電層１３には、それぞれ、４つのスルーホール１５が設けられている。また、各圧電層１４には、それぞれ、４つのスルーホール１６が設けられている。各層の内部電極Ａ＋，Ｂ＋，Ａ−，Ｂ−，ＡＧ＋，ＢＧ＋，ＡＧ−，ＢＧ−に関して、各内部電極ＡＧ＋は、その上層および下層にある圧電層１４の対応するスルーホール１６を介して、相互に電気的に接続され、最終的に圧電層１２のスルーホール１６を介して表面電極層１１の対応する電極に接続される。同様に、他の内部電極Ａ＋，Ｂ＋，Ａ−，Ｂ−，ＢＧ＋，ＡＧ−，ＢＧ−は、対応するスルーホール１５，１６を介して相互に電気的に接続され、最終的に表面電極層１１の対応する電極と電気的に接続される。また、センサ相である内部電極Ｓ＋は、表面電極層１１の対応する電極と電気的に接続される。
【００２９】
ここで、各圧電層１２〜１４において、センサ相である内部電極Ｓ＋およびそれと同位相に配置されている内部電極Ａ＋、ＡＧ＋とのみが圧電層の外部に露出するように形成されている。このような構成にすることにより、Ａ相とＢ相の静電容量を同じにすることができる。
【００３０】
これにより、積層圧電素子１０から構成される振動子の振動状態をモニタするためのセンシング手段としてＡ相と同位相に設けられているセンサ相に起因するＡ相の静電容量とＢ相の静電容量とのアンバランスをなくすことができ、Ａ相の静電容量とＢ相の静電容量とのアンバランスにより生じる進行波ムラを、小さくすることができる。また、表面電極層１１により、積層圧電素子１０の表裏などを電気的な検出手段を用いて判断することができる。
【００３１】
なお、本実施の形態においては、積層圧電素子が円筒状に構成されている場合を説明したが、この外形形状が円筒状に限定されることはなく、他の形状例えば直方体状にするようにしてもよい。
【００３２】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態について図２を参照しながら説明する。図２（ａ）は本発明の第２の実施の形態に係る積層圧電素子の立面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【００３３】
本実施の形態の積層圧電素子２０は、図２（ａ）に示すように、複数の圧電層が積層されている円筒状の積層構造を有する。積層圧電素子２０を構成する表面電極層２１および各圧電層２２〜２４は、図２（ｂ）に示すように、上記第１の実施の形態と同様の構成を有する。但し、この積層圧電素子２０においては、センサ相である内部電極Ｓ＋と同位相に配置されている内部電極Ａ＋，ＡＧ＋と、内部電極Ｓ＋に対して位相がπ（ｒａｄ）ずれた位置に配置されている内部電極Ａ−，ＡＧ−とが、圧電層の外部に露出するように構成されている。
【００３４】
このような構成を有する本実施の形態によれば、上記第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００３５】
また、積層圧電素子２０の外形形状は、円筒形状に限定されるものではなく、他の形状例えば直方体形状でもよい。
【００３６】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態について図３を参照しながら説明する。図３（ａ）は本発明の第３の実施の形態に係る積層圧電素子の立面図、図３（ｂ）は図３（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【００３７】
本実施の形態の積層圧電素子３０は、図３（ａ）に示すように、複数の圧電層が積層され、正方形の横断面形状を有する直方体状の積層構造を有する。この積層圧電素子３０を構成する表面電極層３１および各圧電層３２〜３４は、図３（ｂ）に示すように、上記第１の実施の形態と同様の構成を有する。但し、この積層圧電素子３０においては、センサ相である内部電極Ｓ＋および内部電極Ｓ＋と同位相に配置されている内部電極Ａ＋，ＡＧ＋が、一辺の縁部に沿う部分のみが圧電層外部に露出するように形成されている。
【００３８】
このような構成を有する本実施の形態によれば、上記第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００３９】
また、積層圧電素子３０の横断面形状は、正方形に限定されるものではなく、他の横断面形状例えば長方形でもよい。
【００４０】
（第４の実施の形態）
次に、本発明の第４の実施の形態について図４を参照しながら説明する。図４（ａ）は本発明の第４の実施の形態に係る積層圧電素子の立面図、図４（ｂ）は図４（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【００４１】
本実施の形態の積層圧電素子４０は、図４（ａ）に示すように、複数の圧電層が積層され、正方形の横断面形状を有する直方体状の積層構造を有する。この積層圧電素子４０を構成する表面電極層４１および各圧電層４２〜４４は、図４（ｂ）に示すように、上記第１の実施の形態と同様の構成を有する。但し、この積層圧電素子４０においては、センサ相である内部電極Ｓ＋および内部電極Ｓ＋と同位相に配置されている内部電極Ａ＋，ＡＧ＋のうち、圧電層４２の下層にある所定数分の圧電層４３，４４の内部電極Ａ＋，ＡＧ＋が、一辺の縁部に沿う部分のみが圧電層外部に露出するように形成されている。
【００４２】
このような構成を有する本実施の形態によれば、上記第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００４３】
また、積層圧電素子４０の横断面形状は、正方形に限定されるものではなく、他の横断面形状例えば長方形でもよい。
【００４４】
（第５の実施の形態）
次に、本発明の第５の実施の形態について図５を参照しながら説明する。図５（ａ）は本発明の第５の実施の形態に係る積層圧電素子の立面図、図５（ｂ）は図５（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【００４５】
本実施の形態の積層圧電素子５０は、図５（ａ）に示すように、複数の圧電層が積層されている円筒状の積層構造を有する。この積層圧電素子５０を構成する表面電極層５１および各圧電層５２〜５４は、図５（ｂ）に示すように、上記第１の実施の形態と同様の構成を有する。但し、この積層圧電素子５０においては、内部電極Ａ−が、その一部が圧電層５２，５４の外部へ露出するように形成されている。
【００４６】
このような構成を有する本実施の形態によれば、上記第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００４７】
また、積層圧電素子５０の外形形状は、円筒状に限定されるものではなく、他の形状でもよい。
【００４８】
（第６の実施の形態）
次に、図１の積層圧電素子１０を用いた振動波モータについて図６を参照しながら説明する。図６は図１の積層圧電素子を用いた振動波モータの構成を示す縦断面図である。
【００４９】
振動波モ−タは、図６に示すように、振動子１００を備える。振動子１００は、弾性体１０２、弾性体１０３、積層圧電素子１０、狭持部材１０４およびフレキシブル配線基板１２０を有する。ここで、積層圧電素子１０は、図１を参照して述べた構成を有する。上記振動子１００を構成する弾性体１０２、弾性体１０３、積層圧電素子１０、狭持部材１０４およびフレキシブル配線基板１２０は、軸１０１に挿通されている。軸１０１の各端部には、それぞれ、ねじ部１０１ａおよびねじ部１０１ｂが形成されている。軸１０１のねじ部１０１ａには、弾性体１０２が螺合される。狭持部材１０４は、軸１０１に沿う方向への移動が規制されるように軸１０１と係合される。積層圧電素子１０は、弾性体１０２と弾性体１０３との間に配置され、弾性体１０３は、積層圧電素子１０と狭持部材１０４との間に配置される。フレキシブル配線基板１２０は、積層圧電素子１０と弾性体１０２との間に配置され、積層圧電素子１０の表面電極層１１に形成された９つの電極は、フレキシブル配線基板１２０上の対応する電極パタ−ンと電気的に接続される。これにより、積層圧電素子１０、弾性体１０３、およびフレキシブル配線基板１２０は、弾性体１０２と狭持部材１０４との間で、軸１０１に対して、狭持固定される。
【００５０】
軸１０１には、モータを外部に対して固定するための固定部材１０９が嵌合され、固定部材１０９は、軸１０１のねじ部１０１ｂと螺合されるナット１１０により、軸１０１に対して固定される。固定部材１０９と弾性体１０３との間には、ロータ１０５および出力ギア１０８が配置され、ロータ１０５および出力ギア１０８は、軸１０１に対して同軸に挿通されている。ロータ１０５は、出力ギア１０８と係合されている。
【００５１】
出力ギア１０８は、すべり軸受１０７を介して固定部材１０９に対して回転可能に支持されている。出力ギア１０８とロータ１０５との間には、ばね１０６が配置されている。ばね１０６は、ロータ１０６の内径側に配置されているばねケース１０５ｂに収容されている。ロータ１０５には、弾性体１０３表面に加圧接触する接触部材１０５ａが設けられている。ロータ１０５は、上記ばね１０６により、その接触部材１０５ａが弾性体１０３へ加圧接触するように押圧される。
【００５２】
上記構成を有する振動波モータの駆動時、積層圧電素子１０には、フレキシブル配線基板１２０を介して、時間的にπ／２の位相差を有する交流電界が印加される。これにより、積層圧電素子１０には、互いに直交した２方向の２つの曲げ振動が励振され、弾性体１０３には、直交する２つの曲げ振動が発生する。弾性体１０３と加圧接触するロ−タ１０５は、上記曲げ振動により、摩擦駆動されて回転される。このロ−タ１０５の回転に伴い、出力ギア１０８が回転駆動される。
【００５３】
このように積層圧電素子１を用いることによって、進行波ムラが低減された駆動波モータを提供することができる。
【００５４】
本実施の形態においては、積層圧電素子として、上記第１の実施の形態の積層圧電素子１０を用いた振動波モータを説明したが、この積層圧電素子１０に代えて、上記第２〜第５の実施の形態の積層圧電素子を用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】（ａ）は本発明の第１の実施の形態に係る積層圧電素子の立面図、（ｂ）は図１（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【図２】（ａ）は本発明の第２の実施の形態に係る積層圧電素子の立面図、（ｂ）は図２（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【図３】（ａ）は本発明の第３の実施の形態に係る積層圧電素子の立面図、（ｂ）は図３（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【図４】（ａ）は本発明の第４の実施の形態に係る積層圧電素子の立面図、（ｂ）は図４（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【図５】（ａ）は本発明の第５の実施の形態に係る積層圧電素子の立面図、（ｂ）は図５（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【図６】図１の積層圧電素子を用いた振動波モータの構成を示す縦断面図である。
【図７】（ａ）は従来の積層圧電素子の側面図、（ｂ）は図７（ａ）の積層圧電素子を各圧電層に分解して示す図である。
【図８】図７の積層圧電素子を用いた棒状型振動波モータの縦断面図である。
【図９】積層圧電素子の周波数に対する内部電極Ａ＋の印加電圧と内部電極Ｓ＋の出力信号（Ｓ１）の位相差の関係（θＡ-Ｓ１)および出力信号（Ｓ１）の大きさ（ＶＳ１）の関係を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０，２０，３０，４０，５０  積層圧電素子
１１，２１，３１，４１，５１  表面電極層
１２〜１４，２２〜２４，３２〜３４，４２〜４４，５２〜５４  圧電層
１００  振動子
１０１  軸
１０２，１０３  弾性体
１０４  ロータ
１０８  出力ギア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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