(57)【要約】【課題】動作電圧を充分に低くすることが可能な半導体発光素子の製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る半導体発光素子の製造方法では、複数の窒化物半導体層を積層して半導体積層構造を形成する半導体積層工程と、ｎ型半導体層３及びｐ型半導体層５上にｎ側電極７及びｐ側電極６を形成する電極形成工程とを備え、電極形成工程では、ｎ型半導体層３のｎ側電極形成領域の表面に、ｎ側電極７の一部を構成するＮｉ層を含む第１金属層１３を形成した後、窒素及び酸素を含む雰囲気中で第１金属層１３をアニールする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の窒化物系の半導体層を積層して半導体積層構造を形成する半導体積層工程と、
いずれかの前記半導体層上に電極を形成する電極形成工程とを備えた半導体発光素子の製造方法において、
前記電極形成工程では、
ｎ側電極の形成領域の表面に、前記ｎ側電極の一部を構成するＮｉ層を含む金属層を形成した後、酸素を含む雰囲気中で前記金属層をアニールすることを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
【請求項２】
前記電極形成工程では、
ｐ側電極の形成領域にも、同時に、前記金属層を積層した後、酸素を含む雰囲気中でアニールすることを特徴とする請求項１記載の半導体発光素子の製造方法。
【請求項３】
前記酸素を含む雰囲気中でのアニールは、５００℃〜８００℃の雰囲気中で行われることを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の半導体発光素子の製造方法。
【請求項４】
前記金属層は、前記Ｎｉ層とＡｕ層からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体発光素子の製造方法。
【請求項５】
前記アニールは窒素と酸素を含む雰囲気中で行われることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の半導体発光素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の半導体層上にｎ側電極を形成する電極形成工程を含む半導体発光素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体層上に形成されたＮｉからなる金属層を含むｎ側電極を形成する電極形成工程を含む半導体発光素子の製造方法が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、基板上に、ｎ型半導体層と、ｐ型半導体層と、ｐ側電極と、ｎ側電極とが順に積層された半導体発光素子の製造方法が開示されている。
【０００４】
ｎ型半導体層は、基板上に形成され、ｎ型半導体層上にｐ型半導体層が形成されている。ｎ型半導体層の一部が露出するように、ｐ型半導体層の一部がエッチングによって除去されている。ｐ側電極が、ｐ型半導体層の除去されずに残った部分に設けられるとともに、ｎ側電極が、ｎ型半導体層の露出している領域の一部に設けられている。ｐ側電極及びｎ側電極は、ともにＮｉ、Ｔｉ及びＡｕの積層構造に構成されている。
【０００５】
この半導体発光素子の製造方法では、基板上にｎ型半導体層及びｐ型半導体層を積層した後、ｐ型半導体層の一部をエッチングによって除去して、ｎ型半導体層の一部を露出させる。次に、ｐ型半導体層及びｎ型半導体層の所定の領域にパターニングされたレジスト膜を形成する。その後、真空蒸着法によってＮｉ、Ｔｉ及びＡｕを順次積層して、金属層を形成した後、リフトオフ法によりレジスト膜上の金属層を除去してｐ側電極及びｎ側電極を形成する。
【０００６】
ここで、特許文献１の半導体発光素子では、ｐ側電極及びｎ側電極とｐ型半導体層及びｎ型半導体層との間のコンタクト抵抗を小さくするために、両電極と両半導体層との密着性が悪化しない程度に、Ｎｉ及びＴｉの金属層が薄く形成されている。これにより、半導体発光素子１の動作電圧をある程度低くすることができる。
【特許文献１】特開平９−２３２６３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ｎ側電極を構成するＮｉ及びＴｉの金属層を薄くすることにより、半導体発光素子の動作電圧を低くすることには限界があり、まだ、動作電圧を充分に低くできているとは言い難い。
【０００８】
また、Ｈ２やＮ２の雰囲気中でＮｉをアニールすることによって、ｎ側電極内にＮｉを拡散させて、ｎ型半導体層とＮｉとの間のコンタクト抵抗を小さくすることもできるが、これによっても充分に動作電圧が低くなっているとは言い難い。
【０００９】
本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、動作電圧を充分に低くすることが可能な半導体発光素子の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、複数の窒化物系の半導体層を積層して半導体積層構造を形成する半導体積層工程と、いずれかの前記半導体層上に電極を形成する電極形成工程とを備えた半導体発光素子の製造方法において、前記電極形成工程では、ｎ側電極の形成領域の表面に、前記ｎ側電極の一部を構成するＮｉ層を含む金属層を形成した後、酸素を含む雰囲気中で前記金属層をアニールすることを特徴とする半導体発光素子の製造方法である。
【００１１】
また、請求項２記載の発明は、前記電極形成工程では、ｐ側電極の形成領域にも、同時に、前記金属層を積層した後、酸素を含む雰囲気中でアニールすることを特徴とする請求項１記載の半導体発光素子の製造方法である。
【００１２】
また、請求項３記載の発明は、前記酸素を含む雰囲気中でのアニールは、５００℃〜８００℃の雰囲気中で行われることを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の半導体発光素子の製造方法である。
【００１３】
また、請求項４記載の発明は、前記金属層は、前記Ｎｉ層とＡｕ層からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体発光素子の製造方法である。
【００１４】
また、請求項５記載の発明は、前記アニールは窒素と酸素を含む雰囲気中で行われることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の半導体発光素子の製造方法である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、酸素を含む雰囲気中で、ｎ側電極の金属層をアニールすることにより、金属層のＮｉ層に含まれるＮｉを半導体層に大量に拡散させることができる。これにより、半導体層とｎ側電極の金属層との間のコンタクト抵抗を小さくすることができる。また、Ｎｉの一部が酸化されて酸化ニッケルになることにより、金属層の光の透過率が向上する。これにより、より多くの光を外部へ放出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態を説明する。図１は、本発明に係る製造方法により製造された半導体発光素子の断面構造を示す図である。図２は、本発明に係る製造方法により製造された半導体発光素子の平面構造を示す図である。
【００１７】
図１及び図２に示すように、半導体発光素子１は、基板２と、ｎ型半導体層３、活性層４、ｐ型半導体層５、ｐ側電極６、ｎ側電極７を備えている。尚、ｎ型半導体層３、活性層４及びｐ型半導体層５によって半導体積層構造が構成されている。
【００１８】
基板２は、サファイア基板からなる。ｎ型半導体層３は、基板２上に形成され、Ｓｉ等のｎ型のドーパントを含むｎ−ＧａＮ層からなる。活性層４は、ｎ型半導体層３上の一部に形成され、ＩｎＧａＮ層からなる複数の量子井戸層を含む多重量子井戸構造を有する。ｐ型半導体層５は、活性層４上に形成され、Ｍｇ等のｐ型のドーパントを含むｐ−ＧａＮ層からなる。ｎ型半導体層３の上面の一部が露出するように、活性層４及びｐ型半導体層５の一部がエッチングによって除去されている。
【００１９】
ｐ側電極６は、第１金属層１１と第２金属層１２とを有する。第１金属層１１は、ｐ型半導体層５の上面の略全面を覆うように形成され、活性層４で発光された光を透過可能に構成されている。第１金属層１１は、ｐ型半導体層５上に形成された厚さ約４０ÅのＮｉ層及びＮｉ層上に形成された厚さ約８０ÅのＡｕ層からなる。
【００２０】
ｐ側電極６の第２金属層１２は、第１金属層１１の上面の一部（角部）を覆うように、直径約１００μｍの円形状に形成されている。第２金属層１２は、第１金属層１１上に形成された厚さ約５００ÅのＴｉ層及びＴｉ層上に形成された厚さ約２０００ÅのＡｕ層からなる。
【００２１】
ｎ側電極７は、第１金属層１３と第２金属層１４とを有する。尚、第１金属層１３が、本発明の請求項に記載の金属層に相当する。第１金属層１３は、露出されているｎ型半導体層３の上面の略全面を覆うように形成されている。また、第１金属層１３は、活性層４から発光されて、図１の下方へ進行した後、反射されて上方へ進行する光を透過可能に構成されている。第１金属層１３は、ｎ型半導体層３上に形成された厚さ約４０ÅのＮｉ層及びＮｉ層上に形成された厚さ約８０ÅのＡｕ層からなる。
【００２２】
ｎ側電極７の第２金属層１４は、第１金属層１３の上面の一部（角部）を覆うように、直径約１００μｍの円形状に形成されている。第２金属層１４は、第１金属層１３上に形成された厚さ約５００ÅのＴｉ層及びＴｉ層上に形成された厚さ約２０００ÅのＡｕ層からなる。即ち、ｐ側電極６とｎ側電極７は、同じ厚みに構成された同じ材料からなる。尚、ｐ側電極６の第２金属層１２とｎ側電極７の第２金属層１４の間の距離は、約４００μｍである。
【００２３】
この半導体発光素子１では、ｐ側電極６及びｎ側電極７の間に電圧が印加されると、ｐ側電極６からは正孔が注入され、ｎ側電極７からは電子が注入される。そして、注入された正孔と電子は、ｐ型半導体層５及びｎ型半導体層３を介して活性層４に注入されて、再結合する。この正孔と電子の再結合によって発光した光は、ｐ型半導体層５及びｐ側電極６の第１金属層１１を透過して、外部へ放出される。
【００２４】
次に、上記半導体発光素子１の製造方法について、図面を参照して説明する。図３〜図６は、本発明に係る製造方法の各製造工程における半導体発光素子の断面構成を示す図である。
【００２５】
まず、半導体積層工程において、ＭＯＣＶＤ法などの既知の半導体成長方法によって、基板２上にｎ型半導体層３、活性層４、ｐ型半導体層５を順次積層する。次に、図３に示すように、ｐ型半導体層５、活性層４及びｎ型半導体層３の一部をエッチングすることによって、ｎ型半導体層３の一部を露出させる。
【００２６】
次に、電極形成工程において、図４に示すように、フォトリソグラフィー技術を用いて、ｐ側電極６の第１金属層１１及びｎ側電極７の第１金属層１３が形成される領域以外を覆うようにパターニングされたレジスト膜２０を形成する。次に、ＥＢ（電子線：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｂｅａｍ）蒸着法により、ｐ側電極６の第１金属層１１及びｎ側電極７の第１金属層１３を構成する厚さ約４０ÅのＮｉ層及び厚さ約８０ÅのＡｕ層を順次形成する。
【００２７】
次に、図５に示すように、レジスト膜２０とともにレジスト膜２０上のＮｉ層及びＡｕ層を除去することによって、パターニングされたｐ側電極６の第１金属層１１及びｎ側電極７の第１金属層１３を形成する。その後、窒素と酸素の比率が４：１で、且つ、大気圧と同じ圧力の約６００℃の雰囲気中で約１０分間、第１金属層１３をアニールする（第１アニール工程）。
【００２８】
このように、酸素を含む雰囲気中でアニールすることにより、ｎ側電極７の第１金属層１３のＮｉ層に含まれるＮｉをｎ型半導体層３に大量に拡散させることができる。また、この第１アニール工程によって、Ｎｉの一部が酸化されて酸化ニッケルになる。
【００２９】
次に、図６に示すように、フォトリソグラフィー技術を用いてｐ側電極６の第２金属層１２及びｎ側電極７の第２金属層１４が形成される領域以外を覆うようにパターニングされたレジスト膜２１を形成する。次に、ＥＢ蒸着法によりｐ側電極６の第２金属層１２及びｎ側電極７の第２金属層１４を構成する厚さ約５００ÅのＴｉ層及び厚さ約２０００ÅのＡｕ層を順次形成する。
【００３０】
次に、レジスト膜２１とともにレジスト膜２１上のＴｉ層及びＡｕ層を除去することによってパターニングされたｐ側電極６の第２金属層１２及びｎ側電極７の第２金属層１４を、約６００℃の窒素雰囲気中でアニールする（第２アニール工程）。この第２アニール工程により、ｐ側電極６及びｎ側電極７が合金化されて、電極形成工程が終了する。これによって、半導体発光素子１が完成する。
【００３１】
上述したように、本発明による半導体発光素子の製造方法では、電極形成工程の第１アニール工程において、酸素を含む雰囲気中で、第１金属層１３をアニールすることにより、ｎ側電極７の第１金属層１３のＮｉ層に含まれるＮｉをｎ型半導体層３に大量に拡散させることができる。
【００３２】
これにより、ｎ型半導体層３とｎ側電極７の第１金属層１３との間のコンタクト抵抗を小さくすることができる。尚、Ｎｉをｎ型半導体層３に大量に拡散することができるのは、一部には、アニールにより酸化された酸化ニッケルによるものと考えられる。
【００３３】
また、Ｎｉの一部が酸化されて酸化ニッケルになることにより、ｎ側電極７の第１金属層１３の光の透過率が向上する。これにより、活性層４により発光された光をより多く外部へ放出することができる。また、ｐ側電極６及びｎ側電極７を同じ金属により構成することによって、電極形成工程において同時に形成することができるので、製造工程を簡略化することができるとともに、パターニングを同時にすることによってｐ側電極６及びｎ側電極７の位置ずれを抑制することができる。また、空気と略同じ比率の窒素：酸素が４：１で、且つ、大気圧と同じ圧力の雰囲気中で第１アニール工程を行うので、上記雰囲気を容易に準備することができる。
【００３４】
次に、本発明による半導体発光素子の製造方法により作製された半導体発光素子の電圧特性の向上を証明するための実験について説明する。
【００３５】
尚、比較用の半導体発光素子を、上記本発明の製造方法と異なり、酸素を含む雰囲気中で、第１金属層をアニールする第１アニール工程を省略した製造方法により作製した。
【００３６】
図７は、本発明に係る製造方法により作製された半導体発光素子と、比較用の半導体発光素子の、ｐ側電極及びｎ側電極の間の電圧及び電流の関係を示すグラフである。図７において、三角形によるプロットが本発明の製造方法により作製された半導体発光素子の実験結果を示し、四角形によるプロットが比較用の半導体発光素子の実験結果を示している。
【００３７】
図７に示すように、本発明に係る製造方法によって作製された半導体発光素子１は、約２０ｍＡの電流を流すのに約３５０ｍＶの電圧を印加すればよい。一方、比較用の半導体発光素子では、約２ｍＡの電流を流すのに約４２５ｍＶの電圧を印加する必要がある。この実験結果より、本発明の製造方法により作製された半導体発光素子１は、比較用の半導体発光素子に比べて、極めて小さい動作電圧により動作させることができることがわかる。
【００３８】
以上、上記実施形態を用いて本発明を詳細に説明したが、当業者にとっては、本発明が本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではないということは明らかである。本発明は、特許請求の範囲の記載により定まる本発明の趣旨及び範囲を逸脱することなく修正及び変更形態として実施することができる。従って、本明細書の記載は、例示説明を目的とするものであり、本発明に対して何ら制限的な意味を有するものではない。以下、上記実施形態を一部変更した変更形態について説明する。
【００３９】
例えば、図８に示す半導体発光素子１Ａのように、ｎ側電極７Ａの第１電極層１３Ａをｎ型半導体層３の露出している部分の一部のみを覆うように形成してもよい。このように、構成することによって、活性層４で発光された光がより多く外部に放出される。
【００４０】
また、図９に示すような、同一基板２Ｂ上に複数の半導体発光素子１Ｂが形成され、交流電源に使用可能な発光装置３０に適用してもよい。この発光装置３０では、基板２Ｂ上に複数の半導体発光素子１Ｂが配列され、隣接する半導体発光素子１Ｂのｐ側電極６Ｂとｎ側電極７Ｂとが、第２金属層１２Ｂ及び１４Ｂによって接続されている。また、各半導体発光素子１Ｂの間には、ＳｉＯ２からなる絶縁膜３１が形成されている。
【００４１】
また、上記実施形態における、第１アニール工程の条件は、適宜変更可能である。尚、第１アニール工程におけるアニールの温度は約５００℃〜約８００℃の範囲内で変更することが好ましい。また、第１アニール工程におけるアニールの時間は、約５分〜約３０分の範囲内で変更することが好ましい。
【００４２】
また、上記実施形態を構成する材料、厚み、形状などは一例であり、適宜変更可能である。例えば、第１金属層を構成するＮｉ層の厚みを約５００Åに形成したり、Ａｕ層の厚みを約２０００Åに形成したりすることも可能である。また、第２金属層は、Ｐｄ層とＡｕ層、及び、Ｐｔ層とＡｕ層等によって構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明に係る製造方法により製造された半導体発光素子の断面構造を示す図である。
【図２】本発明に係る製造方法により製造された半導体発光素子の平面構造を示す図である。
【図３】本発明に係る製造方法の製造工程における半導体発光素子の断面構成を示す図である。
【図４】本発明に係る製造方法の製造工程における半導体発光素子の断面構成を示す図である。
【図５】本発明に係る製造方法の製造工程における半導体発光素子の断面構成を示す図である。
【図６】本発明に係る製造方法の製造工程における半導体発光素子の断面構成を示す図である。
【図７】本発明に係る製造方法により作製された半導体発光素子と、比較用の半導体発光素子の電圧及び電流の関係を示すグラフである。
【図８】本発明に係る製造方法により製造された半導体発光素子の変更形態の断面構造を示す図である。
【図９】本発明に係る製造方法により製造された半導体発光素子の別の変更形態の断面構造を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１    半導体発光素子
１Ａ  半導体発光素子
１Ｂ  半導体発光素子
２    基板
２Ｂ  基板
３    ｎ型半導体層
４    活性層
５    ｐ型半導体層
６    ｐ側電極
６Ｂ  ｐ側電極
７    ｎ側電極
７Ａ  ｎ側電極
７Ｂ  ｎ側電極
１１  第１金属層
１２  第２金属層
１２Ｂ       第２金属層
１３  第１金属層
１３Ａ       第１電極層
１４  第２金属層
１４Ｂ       第２金属層
３０  発光装置
３１  絶縁膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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