(57)【要約】【課題】  記録液供給口同士のピッチを小さくして吐出口列を高密度に配列した場合でも長期信頼性の高いインクジェット記録ヘッドとその製造方法を提供する。【解決手段】  （１）記録素子基板を支持部材上に位置決め固定する工程において、記録素子基板端部の接着剤が瞬時に紫外線により硬化し、高精度位置決めを可能とする。  （２）また、同工程で用いられる紫外線が、乱反射などで記録素子のかなり内部まで侵入しても、インク供給口周囲部の接着剤は紫外線により硬化することはなく、後工程の加熱工程において熱硬化させる。  （３）その結果、インク供給口周囲接着剤に内添されたシランカップリング剤が有効に作用し、記録素子基板との強固な化学結合により記録素子基板と支持部材は強力に接着固定されるようにする。【選択図】  図１
2007290243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するためのヒーターおよびノズルとノズルにインクを供給するインク供給口を具えた記録素子基板と、記録素子基板を支持するインク供給口を具えた支持部材と、記録素子基板への電気信号を伝える電気配線部材と、からなるインクジェット記録ヘッドにおいて、記録素子基板と支持部材の接合に用いる接着剤として、記録素子端部には紫外線および熱の両方で硬化性質の第1の接着剤を用い、インク供給口周囲部はシランカップリング剤が内添された紫外線では硬化せずに熱で硬化硬化する性質の第２の接着剤を用いることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記第１の接着剤と第２の接着剤は、光硬化開始剤の有無のみが違うエポキシ接着剤であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記第１の接着剤の接着領域は、記録素子基板の対向する２辺の全長またはその１部の近傍領域であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記第１の接着剤の接着領域と前記第２の接着剤の接着領域との境界に、ほぼ隙間がないこと特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド
【請求項５】
インクを吐出するためのヒーターおよびノズルとノズルにインクを供給するインク供給口を具えた記録素子基板と、前記記録素子基板を支持する支持部材と、前記記録素子基板への電気信号を伝える電気配線部材と、からなるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
記録素子基板端部に紫外線および熱の両方で硬化性質の第1の接着剤を塗布する工程と、インク供給口周囲部にシランカップリング剤が内添された紫外線では硬化せずに熱で硬化硬化する性質の第２の接着剤を塗布する工程と、前記記録素子基板と前記支持部材とを互いに押圧させた後に、前記記録素子基板端部の第1の接着剤塗布部に紫外線を照射する工程と、加熱することで第1の接着剤および第２の接着剤を硬化させる工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記第1の接着剤は前記記録素子基板の端部が位置する領域の前記支持部材に塗布され、前記第２の接着剤は前記支持部材のインク供給口周囲部に塗布されることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記第1の接着剤は前記記録素子基板の端部に塗布され、前記第２の接着剤は前記支持部材のインク供給口周囲部に塗布されることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録液を記録媒体へ吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と様々な記録メディアに対して記録することが可能であって、記録時における騒音がほとんど生じないといった特徴を有している。この種の液体噴射記録装置で用いられる液体噴射記録方式は、代表的な例としては、吐出エネルギー発生素子として電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式を用いた液体噴射記録ヘッドは、電気熱変換素子を加圧室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを印加する事により記録液に熱エネルギーを与え、その時の記録液の相変化により生じる記録液の発泡時（沸騰時）の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。
【０００３】
さらに、電気熱変換方式を用いた液体噴射記録ヘッドには、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を吐出させる方式（エッジシュータ）のものと、電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式（サイドシュータ）のものとがある。
【０００４】
図９は、本願の背景技術となる記録素子基板を支持部材上に接着した状態を示す透視図である。
【０００５】
図９に示すように、記録素子基板１０３の裏面は支持部材）１０１の表面に接着剤Ｈ１２０２を用いて接着される。
【０００６】
このような記録素子基板およびそれを含む液体吐出ヘッドの製造に用いられる組立方法は、特許文献１で開示されている。この組立方法は、真空吸着フィンガーで記録素子基板を精度良く位置決めし、紫外線・熱硬化併用型の接着剤で記録素子基板を固定している。
【０００７】
図１４は、図９の横断面を示す。図１４に示すように、記録素子基板１０３の表面側に設けられている吐出ロプレート１０４には、記録液を吐出するための複数の吐出口１０４ａが、記録素子である吐出エネルギー発生素子（例えば、電気熱変換素子）１０５に対向する位置に２列にわたって開口され、２列で１組を成す吐出口列が構成されている。
【特許文献１】特開平９−１８７９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述したような記録素子基板のうち、特に複数の吐出口列を備えた第２の記録素子基板１０３においては、１枚のシリコンウエハから切り出す記録素子基板の数を増やしてコストダウンを図る場合や、あるいは記録素子基板を大型化することなく吐出口列１０３ａの数を増やそうとする場合には、記録液供給口１０６を互いのピッチを小さくして高密度に配列する必要がある。
【０００９】
記録液供給口１０６同士のピッチを小さくすると、それに合わせて支持部材１０１の隔壁１０１ｂの厚さを薄くする必要があるが、隔壁１０１ｂを薄くした場合には、次の問題があった。
【００１０】
記録素子基板と支持部材を高精度で接着する必要があるために、紫外線・熱硬化併用型の接着剤が塗られた支持基板上に記録素子基板を位置決め固定する。この際に、紫外線を照射することで、仮止した後に、熱硬化工程に移行して、完全硬化する。しかし、前記仮止時の紫外線が乱反射などで、記録素子のかなり内部まで紫外線が侵入して接着剤を硬化させてしまうことがある。ここで使用される紫外線・熱硬化併用型の接着剤には、記録素子基板との接着力を向上させる目的でシランカップリング剤が少量内添されているが、シランカップリング剤の効果は熱硬化で発揮され、紫外線硬化では発揮されないことが鋭意検討の結果判明した。その結果、インクジェット記録ヘッドを長期使用したときに、供給口間の接着剤の微小剥れが発生し、インクが混じる不具合が発生することがあった。
【００１１】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであり、記録液供給口同士のピッチを小さくして吐出口列を高密度に配列した場合でも長期信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【００１２】
また、本発明は、インクジェット記録ヘッドの信頼性を高めることができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明のインクジェット記録ヘッドは、
インクを吐出するためのヒーターおよびノズルとノズルにインクを供給するインク供給口を具えた記録素子基板と、記録素子基板を支持する支持部材と、記録素子基板への電気信号を伝える電気配線部材と、からなるインクジェット記録ヘッドにおいて、記録素子基板と支持部材の接合に用いる接着剤として、記録素子端部には紫外線および熱の両方で硬化性質の第1の接着剤を用い、インク供給口周囲部はシランカップリング剤が内添された紫外線では硬化せずに熱で硬化硬化する性質の第２の接着剤を用いることを特徴とする。
【００１４】
前記第１の接着剤と第２の接着剤は、光硬化開始剤の有無のみが違うエポキシ接着剤であることを特徴とする。
【００１５】
前記第１の接着剤の接着領域は、記録素子基板の対向する２辺の全長またはその１部の近傍領域であることを特徴とする。
【００１６】
前記第１の接着剤の接着領域と前記第２の接着剤の接着領域との境界に、ほぼ隙間がないこと特徴とする。
【００１７】
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、
インクを吐出するためのヒーターおよびノズルとノズルにインクを供給するインク供給口を具えた記録素子基板と、記録素子基板を支持する支持部材と、記録素子基板への電気信号を伝える電気配線部材と、からなるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、記録素子基板端部には紫外線および熱の両方で硬化性質の第1の接着剤を転写により塗布する工程と、インク供給口周囲部はシランカップリング剤が内添された紫外線では硬化せずに熱で硬化硬化する性質の第２の接着剤を転写により塗布する工程と、記録素子基板と支持部材とを互いに押圧させた後に、記録素子基板端部の第1の接着剤塗布部に紫外線を照射する工程と、加熱することで第1の接着剤および第２の接着剤を硬化させる工程と、
を有することを特徴とする。
【００１８】
前記第1の接着剤は記録素子基板の端部が位置する領域の支持部材に転写により塗布され、前記第２の接着剤は支持部材のインク供給口周囲部に転写により塗布されることを特徴とする。
【００１９】
前記第1の接着剤は記録素子基板の端部に転写により塗布され、前記第２の接着剤は支持部材のインク供給口周囲部に転写により塗布されることを特徴とする。
【００２０】
（作用）
本発明のインクジェット記録ヘッドでは、記録素子基板を支持部材上に位置決め固定する工程では、記録素子基板端部の接着剤が瞬時に紫外線により硬化し、高精度位置決めを可能にしている。また、同工程で用いられる紫外線が、乱反射などで記録素子のかなり内部まで侵入しても、インク供給口周囲部の接着剤は紫外線により硬化することはなく、後工程の加熱工程において熱硬化する。その結果、インク供給口周囲接着剤に内添されたシランカップリング剤が有効に作用し、記録素子基板との強固な化学結合により記録素子基板と支持部材は強力に接着固定される。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように、本発明のインクジェット記録ヘッドは、記録素子基板を支持部材上に位置決め固定する工程では、記録素子基板端部の接着剤が瞬時に紫外線により硬化し、高精度位置決めを可能にしている。また、同工程で用いられる紫外線が、乱反射などで記録素子のかなり内部まで侵入しても、インク供給口周囲部の接着剤は紫外線により硬化することはなく、後工程の加熱工程において熱硬化する。その結果、インク供給口周囲接着剤に内添されたシランカップリング剤が有効に作用し、記録素子基板との強固な化学結合により記録素子基板と支持部材は強力に接着固定される。
【００２２】
以上から、記録液供給口同士のピッチを小さくして吐出口列を高密度に配列した場合でも長期信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することが可能となり、それを従来の製造工程の一部を変更することで達成できるために、ほとんどコストのアップなしにインクジェット記録ヘッドの信頼性を高めることができるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２４】
（第１の実施の形態）
図２から図６は、本発明が実施もしくは適用される好適なヘッドカートリッジ、記録ヘッド、インクタンクのそれぞれ及びそれぞれの関係を説明するための説明図である。以下、これらの図面を参照して各構成要素の説明を行う。
【００２５】
本発明の記録ヘッドＨ１００１は、図２からわかるように、記録ヘッドカートリッジＨ１０００を構成する一構成要素であり、記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、記録ヘッドＨ１００１と記録ヘッドＨ１００１に着脱自在に設けられたインクタンクＨ１９００（Ｈ１９０１，Ｈ１９０２，Ｈ１９０３，Ｈ１９０４）とで構成されている。この記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、インクジェット記録装置本体に載置されているキャリッジ（不図示）の位置決め手段及び電気的接点によって固定支持されるとともに、該キャリッジに対して着脱可能となっている。インクタンクＨ１９０１はブラックのインク用、インクタンクＨ１９０２はシアンのインク用、インクタンクＨ１９０３はマゼンタのインク用、インクタンクＨ１９０４はイエローのインク用のものである。このように、インクタンクＨ１９０１，Ｈ１９０２，Ｈ１９０３，Ｈ１９０４のそれぞれが記録ヘッドＨ１００１に対して着脱自在となり、それぞれのインクタンクが交換可能となっていることにより、インクジェット記録装置による画像記録のランニングコストが低減される。
【００２６】
次に記録ヘッドＨ１００１に関してさらに詳しく、記録ヘッドを構成しているそれぞれの構成要素毎に順を追って説明する。
【００２７】
＜１＞記録ヘッド
記録ヘッドＨ１００１は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット（登録商標）方式のサイドシュータ型とされる記録ヘッドである。
【００２８】
記録ヘッドＨ１００１は、図３の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００２と、インク供給ユニットＨ１００３と、タンクホルダーＨ２０００とから構成される。
【００２９】
さらに、図４の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００２は、第１の記録素子基板Ｈ１１００、第２の記録素子基板Ｈ１１０１、第１のプレートＨ１２００、電気配線テープＨ１３００、電気コンタクト基板Ｈ２２００、第２のプレートＨ１４００で構成されており、また、インク供給ユニットＨ１００３は、インク供給部材Ｈ１５００、流路形成部材Ｈ１６００、ジョイントゴムＨ２３００、フィルターＨ１７００、シールゴムＨ１８００から構成されている。
【００３０】
＜１−１＞記録素子ユニット
図５は、第１の記録素子基板Ｈ１１００の構成を一部分解した状態で示す斜視図である。
【００３１】
第１の記録素子基板Ｈ１１００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板Ｈ１１１０にインク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口Ｈ１１０２がＳｉの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの方法で形成され、インク供給口Ｈ１１０２を挟んだ両側に記録素子である電気熱変換素子Ｈ１１０３がそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列され、前記電気熱変換素子Ｈ１１０３と、電気熱変換素子Ｈ１１０３に電力を供給するＡｌ等の電気配線は成膜技術により形成されている。さらに、前記電気配線に電力を供給するための電極部Ｈ１１０４が電気熱変換素子Ｈ１１０３の両外側に配列されており、電極部Ｈ１１０４にはＡｕ等のバンプＨ１１０５が形成されている。そして、前記Ｓｉ基板上には、電気熱変換素子Ｈ１１０３に対応したインク流路を形成するためのインク流路壁Ｈ１１０６と吐出口Ｈ１１０７が樹脂材料でフォトリソ技術によりに形成され、吐出口列Ｈ１１０８を形成している。したがって、前記電気熱変換素子Ｈ１１０３に対向して前記吐出口が設けられているため、インク流路Ｈ１１０２から供給されたインクは電気熱変換素子Ｈ１１０３により発生した気泡により吐出される。
【００３２】
また、図６は、第２の記録素子基板Ｈ１１０１を一部分解した状態で示す斜視図である。
【００３３】
第２の記録素子基板Ｈ１１０１は３色のインクを吐出させるための記録素子基板であり、３個のインク供給口Ｈ１１０２が並列して形成されており、それぞれのインク供給口を挟んだ両側に電気熱変換素子とインク吐出口が形成されている。もちろん第１の記録素子基板Ｈ１１００と同じようにＳｉ基板にインク供給口や電気熱変換素子、電気配線、電極部などが形成されておりその上に樹脂材料でフォトリソ技術によりインク流路やインク吐出口が形成されている。
【００３４】
そして第一の記録素子基板と同様に電気配線に電力を供給するための電極部Ｈ１１０４にはＡｕ等のバンプＨ１１０５が形成されている。
【００３５】
ここで再び図４を参照する。第１のプレートＨ１２００は、例えば、厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）材料で形成されている。なお、第１のプレートの素材は、アルミナに限られることなく、記録素子基板Ｈ１１００の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。第１のプレートＨ１２００の素材は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）のうちいずれであってもよい。第１のプレートＨ１２００には、第１の記録素子基板Ｈ１１００にブラックのインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０１と第２の記録素子基板Ｈ１１０１にシアン、マゼンタ、イエローのインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０１が形成されており、記録素子基板のインク供給口１１０２が第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１にそれぞれ対応し、かつ、第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１はそれぞれ第１のプレートＨ１２００に対して位置精度良く接着固定される。接着に用いられる第１の接着剤Ｈ１２０２は、低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。
【００３６】
電気配線テープＨ１３００は、第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１に対してインクを吐出するための電気信号を印加するものであり、それぞれの記録素子基板を組み込むための複数の開口部位と、それぞれの記録素子基板の電極部Ｈ１１０４に対応する電極端子Ｈ１３０２と、この配線テープ端部に位置し本体装置からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１を有した電気コンタクト基板Ｈ２２００と電気的接続をおこなうための電極端子部Ｈ１３０３を有しており電極端子Ｈ１３０２と電極端子１３０３は連続した銅箔の配線パターンでつながっている。
【００３７】
電気配線テープＨ１３００と第１の記録素子基板１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１は、それぞれ電気的に接続されており、接続方法は、例えば、記録素子基板の電極部１１０４と電気配線テープＨ１３００の電極端子Ｈ１３０２が熱超音波圧着法により電気接合されている。
【００３８】
第２のプレートＨ１４００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍの一枚の板状部材であり、例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等のセラミックや、Ａｌ、ＳＵＳなどの金属材料で形成されている。そして、第１のプレートＨ１２００に接着固定された第１の記録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１の外形寸法よりも大きな開口部をそれぞれ有する形状となっている。また、第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２の記録素子基板Ｈ１１０１と電気配線テープＨ１３００を平面的に電気接続できるように第１のプレートＨ１２００に第２の接着剤Ｈ１２０３により接着されており、電気配線テープＨ１３００の裏面が第３の接着剤Ｈ１３０６により接着固定される。
【００３９】
第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２の記録素子基板Ｈ１１０１と電気配線テープＨ１３００の電気接続部分は、第１の封止剤Ｈ１３０７（不図示）及び第２の封止剤Ｈ１３０８により封止され、電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。第１の封止剤は、主に電気配線テープの電極端子Ｈ１３０２と記録素子基板の電極部Ｈ１１０５との接続部の裏面側と記録素子基板の外周部分を封止し、第２の封止剤は、前記接続部の表側を封止している。
【００４０】
さらに電気配線テープの端部に本体装置からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１を有した電気コンタクト基板Ｈ２２００を異方性導電フィルム等を用いて熱圧着して電気的に接続する。
【００４１】
そして電気配線テープＨ１３００は、第１のプレートＨ１２００の一側面で折り曲げられ、第１のプレートＨ１２００の側面に第３の接着剤Ｈ１３０６で接着される。第３の接着剤Ｈ１３０６は、例えば、エポキシ樹脂を主成分とした厚さ１０〜１００μｍの熱硬化接着剤が使用される。
【００４２】
＜１−２＞インク供給ユニット
インク供給部材Ｈ１５００は、例えば、樹脂成形により形成されている。該樹脂材料には、形状的剛性を向上させるためにガラスフィラーを５〜４０％混入した樹脂材料を使用することが望ましい。
【００４３】
図７に示すように、インク供給部材Ｈ１５００は、インクタンクＨ１９００から記録素子ユニットＨ１００２にインクを導くためのインク供給ユニットＨ１００３の一構成部品であり、流路形成部材Ｈ１６００を超音波溶着することによりインク流路Ｈ１５０１を形成している。また、インクタンクＨ１９００と係合するジョイントＨ１５１７には、外部からのゴミの進入を防ぐためのフィルターＨ１７００が溶着により接合されており、さらに、ジョイントＨ１５１７部からのインクの蒸発を防止するために、シールゴムＨ１８００が装着されている。
【００４４】
またインク供給部材Ｈ１５００は、着脱自在のインクタンクＨ１９００を保持する機能も一部有しており、インクタンクＨ１９００の第２の爪Ｈ１９１０を係合する第１の穴Ｈ１５０３を有している。
【００４５】
また、図４に示すように、記録ヘッドカートリッジＨ１０００をインクジェット記録装置本体のキャリッジに装着位置に案内するための装着ガイドＨ１６０１、記録ヘッドカートリッジをヘッドセットレバーによりキャリッジに装着固定するための係合部Ｈ１５０８、及びキャリッジの所定の装着位置に位置決めするためのＸ方向（キャリッジスキャン方向）の突き当て部Ｈ１５０９、Ｙ方向（記録メディア搬送方向）の突き当て部Ｈ１５１０、Ｚ方向（インク吐出方向）の突き当て部Ｈ１５１１を備えている。また、記録素子ユニットＨ１００２の電気コンタクト基板Ｈ２２００を位置決め固定する端子固定部Ｈ１５１２を有し、端子固定部Ｈ１５１２及びその周囲には複数のリブが設けられ、端子固定部Ｈ１５１２を有する面の剛性を高めている。
【００４６】
＜１−３＞記録ヘッドユニットとインク供給ユニットの結合
図３に示した通り、記録ヘッドＨ１００１は、記録素子ユニットＨ１００２をインク供給ユニットＨ１００３に結合しさらにタンクホルダーＨ２０００と結合することにより完成する。結合は以下のように行われる。
【００４７】
記録素子ユニットＨ１００２のインク供給口（第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１）とインク供給ユニットＨ１００３のインク供給口（流路形成部材Ｈ１６００のインク供給口Ｈ１６０１）をインクがリークしないように連通させるため、ジョイントゴムＨ２３００を介してそれぞれの部材を圧着するようビスＨ２４００で固定する。この際同時に、記録素子ユニットＨ１００２はインク供給ユニットのＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の基準位置に対して正確に位置決めがされ固定される。
【００４８】
そして記録素子ユニットＨ１００２の電気コンタクト基板Ｈ１３０１はインク供給部材Ｈ１５００の一側面に、端子位置決めピンＨ１５１５（２ヶ所）と端子位置決め穴Ｈ１３０９（２ヶ所）により位置決めされ、固定される。固定方法は、例えば、インク供給部材Ｈ１５００に設けられた端子結合ピンＨ１５１５をかしめることにより固定されるが、その他の固定手段を用いて固定しても良い。完成図を図８に示す。
【００４９】
さらにインク供給部材Ｈ１５００のタンクホルダーとの結合穴及び結合部をタンクホルダーＨ２０００に勘合させ結合することにより記録ヘッドＨ１００１が完成する。
【００５０】
このような形態の記録ヘッドにおいて、本発明は、記録素子基板と第１のプレートとの接着信頼性を向上させるための構成について図１で説明する。
【００５１】
図１-ａ），図１-ｂ）は、本発明を最もよく表すもので、第２の記録素子基板の接着状態を示す模式図である。図１-ａ）は第２の記録素子基板Ｈ１１０１と第１のプレートＨ１２００との接着状態を示す透視図であり、図１-ｂ）は図１-ａ）の中心線の断面図である。
【００５２】
第２の記録素子基板Ｈ１１０１と第１のプレートＨ１２００との接着は、端部がＨ１２０３の接着剤でインク供給口Ｈ１１０２の周囲がＨ１２０４の接着剤で接着する。Ｈ１２０３およびＨ１２０４の接着剤は、耐インク性が必要でエポキシ樹脂を主成分する接着剤が適し、シランカップリング剤を内添することで、記録素子基板の裏面の無機物（ＳｉまたはＳｉＯ２）との接着性が向上する。
【００５３】
端部接着剤Ｈ１２０３は、後記する製造工程（記録素子基板と第１のプレートとのマウント時の仮止め工程）で瞬間硬化が必要であるために、紫外線で硬化する光硬化開始剤が内添されている、また光が当たらない部分でも硬化するように熱硬化開始剤が内添されている。
【００５４】
エポキシ樹脂を主成分する接着剤の場合、光硬化開始剤としては、光カチオン重合開始剤がよく使われ、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルホニウム塩［Ｊ．ＰＯＬＹＭＥＲ  ＳＣＩ：Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ  Ｎｏ．５６  ３８３−３９５（１９７６）参照］や、旭電化工業株式会社より上市されている商品各ＳＰ−１５０、ＳＰ−１７０、ＳＰ−１７２等が挙げられる。
【００５５】
前記の光カチオン重合開始剤は、還元剤（熱硬化開始剤）を併用し加熱することによって、カチオン重合を促進（単独の光カチオン重合に比較して架橋密度が向上する）させることができる。ただし、光カチオン重合開始剤と還元剤を併用する場合、常温では反応せず一定温度以上（好ましくは６０℃以上）で反応するいわゆるレドックス型の開始剤系になるように、還元剤を選択する必要がある。
【００５６】
このような還元剤としては、銅化合物、特に反応性とエポキシ樹脂への溶解性を考慮して銅トリフラート（トリフルオロメタンスルフォン酸銅（ＩＩ））が最適である。また、アスコルビン酸等の還元剤も有用である。
【００５７】
インク供給口周囲接着剤Ｈ１２０４は、瞬間硬化させる必要がなく、加えて、仮止め工程の紫外線が乱反射などでインク供給口部に回り込むので、光が当っても硬化しない（熱のみで硬化する）接着剤を用いることで、シランカップリング剤の効果で接着力が向上することが鋭意検討の結果判明した。つまり、インク供給口周囲接着剤は、端部接着剤から光硬化開始剤を除いたものである。
【００５８】
次に、上記構成の記録ヘッドの製造工程のうち、第１のプレートＨ１２００へ第２の記録素子基板Ｈ１１０１を取り付ける工程について説明する。
【００５９】
図１０（ａ）〜図１０（ｆ）、図１１（ａ）〜図１１（ｃ）は、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施形態を説明するための断面図である。なお、図１０〜図１１は、第２の記録素子基板Ｈ１１０１をその吐出口列の長手方向に沿って切断した断面を示している。
【００６０】
図１０〜図１１において、符号Ｈ１０１は端部接着剤Ｈ１２０３を塗布する転写ピン、符号Ｈ１０６は記録素子基板を吸着し位置決めを行なう真空吸着フィンガー、符号Ｈ１１０，Ｈ１１１は記録素子基板の位置を認識するためのＣＣＤカメラ、符号Ｈ１１２，Ｈ１１３は紫外線照射ノズルをそれぞれ示している。
【００６１】
第１のプレートＨ１２００へ第２の記録素子基板Ｈ１１０１を取り付ける工程においては、まず、図１０（ａ）に示すように、転写ピンＨ１０１の転写面に端部接着剤Ｈ１２０３を塗布する。続いて、同図（ｂ）に示すように、転写ピンＨ１０１の転写面を第１のプレートＨ１２００に当接させる。そして、同図（ｃ）に示すように、転写ピンＨ１０１を第１のプレートＨ１２００から離すと、第１のプレートＨ１２００の記録素子基板が当接される端部接着個所に端部接着剤Ｈ１２０３が塗布される。
【００６２】
このときの第１のプレートＨ１２００上の端部接着剤Ｈ１２０３は、第２の記録素子基板Ｈ１１０１の当接する位置よりも外側にシフトした位置に転写されるようにしている。この接着剤は、紫外線を照射しても熱を加えても硬化する紫外線・熱硬化併用型のもので、インクに対して耐性があり転写性の優れたものを用いている。
【００６３】
次に、図１０（ｃ）に示すように、転写ピンＨ１０２の転写面にインク供給口周囲接着剤Ｈ１２０４を塗布する。続いて、同図（ｄ）に示すように、転写ピンＨ１０２の転写面を第１のプレートＨ１２００に当接させる。そして、同図（ｄ）に示すように、転写ピンＨ１０２を第１のプレートＨ１２００から離すと、第１のプレートＨ１２００のインク供給口周囲部接着個所に端部接着剤Ｈ１２０３が塗布される。
【００６４】
上記の工程において、端部接着剤とインク供給口周囲接着剤が第１のプレート上に塗布される。このとき第１のプレート上で両接着剤が境界部で混じることがあるが、前記したように両接着剤は光硬化開始剤の有無の差しかないために、硬化阻害などの弊害が発生することがない。また、この境界部に隙間があると、接着力低下や記録素子基板でインク滴吐出時に発生する熱を逃がすことに支障をきたすことがあるので、隙間なく境界が接する、または意図的に混じらせることで隙間を無くすことが必要である。
【００６５】
次に、図１１（ａ）に示すように、真空吸着フィンガーＨ１０６により第２の記録素子基板Ｈ１１０１を吸着把持して、ＣＣＤカメラＨ１１０，Ｈ１１１により第２の記録素子基板Ｈ１１０１の不図示のアライメントマークを光学的に認識して、第１のプレートＨ１２００との位置合わせを行う。
【００６６】
続いて、同図（ｂ）に示すように、位置決めされた真空吸着フィンガーＨ１０６を下降させ、第１の記録素子基板Ｈ１１００を第１のプレートＨ１２００に当接させかつ押圧することで接着剤の厚みを均一化する。
【００６７】
そして同図（ｃ）に示すように、第１のプレートＨ１２００に第２の記録素子基板Ｈ１１０１を押圧した状態を保持しながら、紫外線照射ノズルＨ１１２，Ｈ１１３により、端部からはみ出た端部接着剤Ｈ１２０３に紫外線を照射し硬化させることで、第１のプレートＨ１２００上に第２の記録素子基板Ｈ１１０１の位置を固定する。
【００６８】
この後に、第１のプレートＨ１２００上に第２の記録素子基板Ｈ１１０１が接合された状態で全体加熱して、インク供給口周囲部の接着剤H１２０４を硬化させることで、記録素子基板の接着工程を完了する。
【００６９】
（第２の実施の形態）
図１２〜図１３は、第２の実施形態を示すものである。図１１-ａ），図１１-ｂ）は、第２の実施形態の製造工程をしめすもので、第２の記録素子基板Ｈ１１０１の裏面の端部に端部接着剤Ｈ１２０３を不図示の転写ピンで塗布した後に、真空吸着フィンガーＨ１０６により第２の記録素子基板Ｈ１１０１を吸着把持して、ＣＣＤカメラＨ１１０，Ｈ１１１により第２の記録素子基板Ｈ１１０１の不図示のアライメントマークを光学的に認識して、第１のプレートＨ１２００との位置合わせを行う。
【００７０】
続いて、同図（ｂ）に示すように、位置決めされた真空吸着フィンガーＨ１０６を下降させ、第１の記録素子基板Ｈ１１００を第１のプレートＨ１２００に当接させかつ押圧することで接着剤の厚みを均一化する。
【００７１】
そして、第１のプレートＨ１２００に第２の記録素子基板Ｈ１１０１を押圧した状態を保持しながら、紫外線照射ノズルＨ１１２，Ｈ１１３により、端部からはみ出た端部接着剤Ｈ１２０３に紫外線を照射し硬化させることで、第１のプレートＨ１２００上に第２の記録素子基板Ｈ１１０１の位置を固定する。
【００７２】
この後に、第１のプレートＨ１２００上に第２の記録素子基板Ｈ１１０１が接合された状態で全体加熱して、インク供給口周囲部の接着剤H１２０４を硬化させることで、記録素子基板の接着工程を完了する。
【００７３】
図１３は、図１２の製造工程完了後に第２の記録素子基板Ｈ１１０１と第１のプレートＨ１２００との接着状態を示す透視図である。
【００７４】
本実施形態においては、第２の記録素子基板Ｈ１１０１と第１のプレートＨ１２００との接着は、記録素子基板の４角が紫外線硬化・熱硬化併用型の接着剤Ｈ１２０３を用い、インク供給口Ｈ１１０２の周囲は熱硬化型の接着剤Ｈ１２０４を用いる。本形態の製造工程を行うことで、転写ピンで２種類の接着剤が混じることはなくなり、転写ピンのメンテナンスも大変簡易なもので安定した生産が可能である。また、紫外線硬化・熱硬化併用型の接着剤Ｈ１２０３の塗布を記録素子基板の４角にすることで、熱硬化型の接着剤Ｈ１２０４の接着領域が広がり、接着力の安定性は図１のものより向上する。
【００７５】
ただし、紫外線硬化・熱硬化併用型の接着剤Ｈ１２０３の塗布領域を少なくすると、記録素子基板接合時に、H１２０４接着剤が押し出されることで、H１２０３接着剤も記録素子基板の外に押し出されてしまい、製造工程の紫外線照射による仮止めが十分できないことがある。そこで、紫外線硬化・熱硬化併用型の接着剤Ｈ１２０３に、アエロジルなどの微粒子を混ぜることでチキソ性を付与すると、H１２０３接着剤が塗布時の面積をたもつことが判明した。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の記録ヘッドの一実施形態を示す透視図と断面図である。
【図２】本発明の記録ヘッドカートリッジの一実施形態を、記録ヘッドとインクタンクとが組み合わされた状態で示す斜視図である。
【図３】図２等に示した記録ヘッドカートリッジの分解斜視図である。
【図４】図３に示したインク供給ユニットおよび記録素子ユニットの分解斜視図である。
【図５】図４に示した第１の記録素子基板を一部を破断して示した斜視図である。
【図６】図４に示した第２の記録素子基板を一部を破断して示した斜視図である。
【図７】図２等に示した記録ヘッドカートリッジの断面図である。
【図８】図２等に示した記録ヘッドカートリッジにおける記録素子ユニットとインク供給ユニットとの結合体を示す斜視図である。
【図９】本願の背景技術となる、記録素子基板を支持部材上に搭載した状態で示す透視図である。
【図１０】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施形態を説明するための断面図である。
【図１１】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一実施形態を説明するための断面図である。
【図１２】本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の第二の実施形態を説明するための断面図である。
【図１３】本発明の記録ヘッドの第二の実施形態を示す透視図
【図１４】図９の記録素子基板を支持部材上に搭載した状態で示す断面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１  記録素子基板
２  支持部材
２ａ  記録液供給流路
２ｂ  隔壁
３  吐出口プレート
３ａ  吐出口
４  吐出エネルギー発生素子
５  記録液供給口
１０  接着剤
Ｈ１，Ｈ１ａ，Ｈ１ｂ，Ｈ１ｃ  記録素子基板
Ｈ２  吐出口
Ｈ３  記録液供給口
Ｈ４，Ｈ４ａ，Ｈ４ｂ，Ｈ４ｃ  配線基板
Ｈ５  封止樹脂
Ｈ６，Ｈ６ａ，Ｈ６ｂ，Ｈ６ｃ  記録素子ユニット
Ｈ７  支持部材
Ｈ８  支持板
Ｈ１０  配線統合基板
Ｈ１０１，Ｈ１０２  転写ピン
Ｈ１０６  真空吸着フィンガー
Ｈ１１０，Ｈ１１１  ＣＣＤカメラ
Ｈ１１２，Ｈ１１３  紫外線照射ノズル
Ｈ１０００  記録ヘッドカートリッジ
Ｈ１００１  記録ヘッド
Ｈ１００２  記録素子ユニット
Ｈ１００３  インク供給ユニット
Ｈ１１００，Ｈ１１００'  第１の記録素子基板
Ｈ１１０１  第２の記録素子基板
Ｈ１１０２  インク供給口
Ｈ１１０３  電気熱変換素子
Ｈ１１０４  電極
Ｈ１１０５  バンプ
Ｈ１１０６  インク流路壁
Ｈ１１０７  吐出口
Ｈ１１０８  吐出口列
Ｈ１１１０  Ｓｉ基板
Ｈ１２００  第１のプレート
Ｈ１２０１  インク供給口
Ｈ１２０２  接着剤
Ｈ１２０３  記録素子基板端部接着剤
Ｈ１２０４  インク供給口周囲接着剤
Ｈ１３００  電気配線テープ
Ｈ１３０１  外部信号入力端子
Ｈ１３０２  電極端子
Ｈ１３０３  電極端子部
Ｈ１３０７  第１の封止剤
Ｈ１３０８  第２の封止剤
Ｈ１３０９  端子位置決め穴
Ｈ１３１０  端子結合穴
Ｈ１４００  第２のプレート
Ｈ１５００  インク供給部材
Ｈ１５０１  インク流路
Ｈ１５０２  タンク位置決め穴
Ｈ１５０３  第１の穴
Ｈ１５０４  第２の穴
Ｈ１５０９  Ｘ突き当て部
Ｈ１５１０  Ｙ突き当て部
Ｈ１５１１  Ｚ突き当て部
Ｈ１５１２  端子固定部
Ｈ１５１５  端子位置決めピン
Ｈ１５１６  端子結合ピン
Ｈ１５２０  ジョイント部
Ｈ１６００  流路形成部材
Ｈ１６０１  装着ガイド
Ｈ１６０２  インク供給口
Ｈ１７００  フィルター
Ｈ１８００  シールゴム
Ｈ１９００  インクタンク
Ｈ１９０１  ブラックインクタンク
Ｈ１９０２  シアンインクタンク
Ｈ１９０３  マゼンダインクタンク
Ｈ１９０４  イエローインクタンク
Ｈ１９０７  インク供給口
Ｈ１９０８  タンク位置決めピン
Ｈ１９０９  第１の爪
Ｈ１９１０  第２の爪
Ｈ１９１１  第３の爪
Ｈ１９１２  可動レバー
Ｈ２０００  タンクホルダー
Ｈ２３００  ジョイントゴム
Ｈ２４００  ビス
【図１】
2007290243.tif 000003
【図２】
2007290243.tif 000004
【図３】
2007290243.tif 000005
【図４】
2007290243.tif 000006
【図５】
2007290243.tif 000007
【図６】
2007290243.tif 000008
【図７】
2007290243.tif 000009
【図８】
2007290243.tif 000010
【図９】
2007290243.tif 000011
【図１０】
2007290243.tif 000012
【図１１】
2007290243.tif 000013
【図１２】
2007290243.tif 000014
【図１３】
2007290243.tif 000015
【図１４】
2007290243.tif 000016