(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、高解像度実現のためにノズル密度を大きくしても、隔壁の変形によるクロストークを増加することなく、安定した吐出量、吐出速度を実現できるアクチュエータインクジェット記録記録ヘッド、インクジェット記録装置、パターニング装置および塗装装置を提供することである。【解決手段】  液体を吐出させる吐出口と、前記液体が満たされている個別液室と、該個別液室と前記吐出口とをつなぐノズル連通口と、各個別液室に液体を供給する共通液室と、前記共通液室に液体を供給するインクタンクと、前記個別液室内の前記液体に変位を伝える振動板と、前記振動板を圧電効果によって変形させる圧電素子と、前記圧電素子を駆動させる電極を備えた液体吐出ヘッドにおいて、個別液室の位置の高さが異なって構成されている。【選択図】  図６
2007168108.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出させる吐出口と、前記液体が満たされている個別液室と、該個別液室と前記吐出口とをつなぐノズル連通口と、前記個別液室に液体を供給する共通液室と、前記個別液室内の前記液体に変位を伝える振動板と、前記振動板を圧電効果によって変形させる圧電素子と、前記圧電素子に電界を与える電極と、を備えた複数のノズルで構成されている液体吐出ヘッドにおいて、
個別液室の位置の高さが異なるノズルで構成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載された液体吐出ヘッドにおいて、個別液室の位置の高さがノズル毎に交互に異なって構成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１乃至２のいずれかに記載された液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板、前記電極、前記圧電素子が、全て薄膜で構成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載された液体吐出ヘッドにおいて、前記共通液室が個別液室の位置の高さが等しいノズル群に対して、独立に備えられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれかに記載された液体吐出ヘッドにおいて、前記共通液室が個別液室の位置の高さが等しいノズル群に対して、独立に備えられており、各共通液室に液体を供給するインクタンクが、それぞれの共通液室に対して備えられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載された液体吐出ヘッドにおいて、全ての吐出口面が単一直線上にあることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載された液体吐出ヘッドを２つ組み合わせて、千鳥状に並列された構成であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１乃至５のいずれかに記載された液体吐出ヘッドにおいて、ノズル列が放射状に配置された構成であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記請求項１乃至８のいずれかに記載された液体吐出ヘッドを用い、前記電極に信号を与えるための駆動回路と、前記吐出させた液体を付着させる媒体を搬送する媒体搬送手段とを有することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する吐出口とこれに連通する個別液室を備え、この個別液室の一部を構成する振動板に、時間とともに推移する変位を与えることにより液滴を吐出させるアクチュエータインクジェット記録ヘッドに関する。
【０００２】
また本発明によるアクチュエータインクジェット記録ヘッドは、紙、布、革、不織布、ＯＨＰシート等に印刷するアクチュエータインクジェット記録装置や、基板、板材等の固体物に液体を付着させるパターニング装置や塗装装置等に適用可能である。
【０００３】
従来よりインクジェット記録ヘッドは、低騒音、低ランニングコスト、装置の小型化およびカラー化が容易である等の理由から、プリンタやファクシミリ等の記録装置に広く内蔵されている。また特にアクチュエータインクジェット記録ヘッドは、吐出させる液体の選択自由度の高さからデバイス製造向けのパターニング装置としての用途も拡大しつつある。
【背景技術】
【０００４】
アクチュエータインクジェット記録ヘッドにおいて液体が吐出口から吐出される過程を詳細に見ると、まず電気信号の投入により個別液室の一部を構成する振動板に、時間とともに推移する変位を与えることによって個別液室の容積を収縮または膨張させる容積制御を実施することにより、液柱状態で液体が外界へ伸び、突き出しはじめる。その後表面張力によって複数の液滴に分離しながら記録ギャップ（記録ヘッドと被記録材間）を飛翔している。
【０００５】
一方、インクジェット記録装置、パターニング装置いずれの用途としても、ノズル並びの高解像度化、オンデマンド駆動での吐出性能（吐出量および吐出速度）の安定化が進められている。
【０００６】
オンデマンド駆動での吐出性能（吐出量および吐出速度）を不安定にさせる要因の一つとしては、次のことが言われている。例えば、１ノズルのみを吐出させる場合には、同ノズル内の個別液室を隔てる壁である隔壁が変形するのに対し、全ノズルを同時に吐出させる場合には、全ノズル内の隔壁が変形しようとする力は、それぞれのノズル間で対称に力が働くために打ち消されてしまい、隔壁はほとんど変形しない。従って、同時に吐出させるノズルの数、位置によって隔壁の変形状態が異なり、当然吐出性能（吐出量および吐出速度）に差が出てきてしまう。
【０００７】
オンデマンド駆動での吐出性能（吐出量および吐出速度）を安定させる方法としては、並列したノズルの間にダミーノズルを形成する方法が、例えば特開平０７−０６８７５２で検討されている。
【０００８】
しかしながら、並列したノズルの間にダミーノズルを形成することでノズル間の距離は大きくなり、高解像度化は実現できなくなる。また、逆に高解像度化を実現するためにノズル間の距離を小さくすると、前述した要因等により、オンデマンド駆動での吐出性能（吐出量および吐出速度）が不安定になる。
【特許文献１】特開平７−６８７５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、高解像度化およびオンデマンド駆動での吐出性能（吐出量、吐出速度）の安定化を共に実現できるアクチュエータインクジェット記録記録ヘッド、インクジェット記録装置、パターニング装置および塗装装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
液体を吐出させる吐出口と、前記液体が満たされている個別液室と、該個別液室と前記吐出口とをつなぐノズル連通口と、前記個別液室に液体を供給する共通液室と、前記個別液室内の前記液体に変位を伝える振動板と、前記振動板を圧電効果によって変形させる圧電素子と、前記圧電素子に電界を与える電極を備えた複数のノズルで構成されている液体吐出ヘッドにおいて、
個別液室の位置の高さが異なるノズルで構成することで、個別液室の位置の高さが、最も吐出口面側に位置するノズル群に対しては隔壁の厚みが厚くなり、吐出するノズルの隔壁が変形しにくくなるため、同時に吐出させるノズルの数、位置によらずに、吐出するノズルの個別液室内の液体の挙動が全て同様になり、吐出性能（吐出量、吐出速度）を安定させることが出来る。
【００１１】
また、それ以外のノズル群に対しては隔壁が厚くなると同時に、ノズルの間に空間部が構成される。その効果として、隔壁の変形があっても同時に吐出させるノズルの数、位置によらずに、常に隔壁は同様に変形するため、吐出するノズルの個別液室内の液体の挙動が全て同様になり、吐出性能（吐出量、吐出速度）を安定させることが出来る。
【００１２】
また、個別液室の位置の高さをノズル毎に交互に異なって構成することで、個別液室の位置の高さが、吐出口面側に位置するノズル群に対しては、隔壁の厚みが厚くなり、吐出するノズルの隔壁が変形しにくくなるため、同時に吐出させるノズルの数、位置によらずに、吐出するノズルの個別液室内の液体の挙動が全て同様になり、吐出性能（吐出量、吐出速度）を安定させることが出来る。
【００１３】
また、それ以外のノズル群に対しては隔壁が厚くなると同時に、ノズルの間に空間部が構成され、その効果として、吐出するノズルの隔壁が変形しにくくなると同時に、隔壁の変形があっても同時に吐出させるノズルの数、位置によらずに、常に隔壁は同様に変形するため、吐出するノズルの個別液室内の液体の挙動が全て同様になり、吐出性能（吐出量、吐出速度）を安定させることが出来る。
【００１４】
また本発明による液体吐出ヘッドは、前記振動板、前記電極、前記圧電素子を、全て薄膜で構成することで、圧電体、電極を覆う空間部の容量を小さくすることができるので、ノズル間の隔壁剛性の向上、液体吐出ヘッドの小型化が出来る。
【００１５】
また本発明による液体吐出ヘッドは、前記各共通液室が個別液室の高さが等しいノズル群に対して独立に備えられた構成にすることにより、吐出するノズルの個別液室内の液体が共通液室へ流入出しようとする力によって発生するクロストークを抑制できるため、オンデマンド駆動における吐出性能（吐出量、吐出速度）をさらに安定化できる。
【００１６】
また本発明による液体吐出ヘッドは、前記各共通液室が個別液室の高さが等しいノズル群に対して独立に備えられており、各共通液室に液体を供給するインクタンクが、それぞれの共通液室に対して備えられた構成にすることにより、例えば、同色インクタンクを複数の記録ヘッドにそれぞれ設けることで、着弾位置が重なる位置にインクを吐出させる場合に、１発目と２発目の着弾時間をずらすことが可能となり、吐出周波数の低下や着弾ムラ、にじみ等が解消できる。
【００１７】
また本発明による液体吐出ヘッドは、請求項１乃至５のいずれかに記載された液体吐出ヘッドにおいて、全ての吐出口面を単一直線上に形成することで、単一直線上のノズル密度が高まるため、ヘッド位置をずらすことなく、直線上に高密度な吐出、着弾が可能となることを特徴とする前記液体吐出ヘッド。
【００１８】
また本発明による液体吐出ヘッドは、請求項１乃至６のいずれかに記載された液体吐出ヘッドを２つ組み合わせて、千鳥状に並列された構成とすることで、さらなるノズル密度の向上を実現できる。
【００１９】
また本発明による液体吐出ヘッドは、請求項１乃至５のいずれかに記載された液体吐出ヘッドにおいて、ノズル列が放射状に配置された構成とすることで、各ノズル間の距離は大きくなるためにノズル間に働く隔壁変形による影響は抑制され、同時に、隔壁の厚みも増す為、隔壁変形自体が抑制する。従って、同時に吐出させるノズルの数、位置によらずに、吐出するノズルの個別液室内の液体の挙動が全て同様になり、吐出性能（吐出量、吐出速度）を安定させることが出来る。
【００２０】
また本発明による装置は、前記請求項１乃至８のいずれかに記載された液体吐出ヘッドを用い、前記電極に信号を与えるための駆動回路と、前記吐出させた液体を付着させる媒体を搬送する媒体搬送手段とを有することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の効果】
【００２１】
上述のように本発明のアクチュエータインクジェット記録記録ヘッドおよび装置は、個別液室の高さの位置を変えることにより、高解像度におけるノズル間相互作用を抑制することが可能なアクチュエータインクジェット記録記録ヘッド、インクジェット記録装置、パターニング装置および塗装装置とその駆動方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は、本発明が適用可能なインクジェット記録装置の斜視図である。記録装置に挿入された被記録媒体Ｐは、送りローラ１０９，１１０によって記録ヘッドユニット１００の記録可能領域へ搬送される。記録ヘッドユニット１００は、２つのガイド軸１０７，１０２によって、それらの延在方向（主走査方向）に沿って移動可能にガイドされており、記録領域を往復走査する。記録ヘッドユニット１００の走査方向が主走査方向であり、被記録媒体Ｐの搬送方向が副走査方向となる。記録ヘッドユニット１００には、複数色のインク液滴を吐出するため記録ヘッドと、それぞれの記録ヘッドにインクを供給するためのインクタンク１０１が搭載されている。この例のインクジェット記録装置における複数色のインクは、ブラック（Ｂｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の４色である。各色の位置は順不同である。
【００２３】
記録ヘッドユニット１００が移動可能な領域の右端の下部には、回復系ユニット１１２が配備されており、非記録動作時に記録ヘッドの吐出口部を回復処理したりする。
【００２４】
本例の場合、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの各色インク（Ｂｋ，Ｃ，Ｍ，Ｙ）のインクタンクが全て独立に交換可能な構成となっている。記録ヘッドユニット１００には、Ｂｋのインク液滴，Ｃのインク液滴，Ｍのインク液滴，Ｙのインク液滴を吐出する記録ヘッド群と、Ｂｋ用インクタンク１０１Ｂ、Ｃ用インクタンク１０１Ｃ、Ｍ用インクタンク１０１Ｍ、Ｙ用インクタンク１０１Ｙが搭載される。各インクタンクは記録ヘッド群と接続され、記録ヘッド群の吐出口に連通するノズル流路内にインクを供給する。この例以外にも例えば、各色用のインクタンクを任意の組み合わせで一体構造としてもよい。
【００２５】
図２はピエゾ記録ヘッド１００の平面図、図３はピエゾ記録ヘッド１００内の断面図（図２中の一点鎖線B−B位置）、図３はピエゾ記録ヘッド１００内の断面図である（図２中の一点鎖線A−A位置）。この例のインクジェット記録装置はピエゾ記録ヘッド１００の各吐出口２に対応して圧電素子６を配置し、その圧電素子６に記録情報に対応する駆動信号を印加することによって吐出口２から液滴を吐出させる記録方式を採用している。これに電力を供給するために、全ての圧電素子６に接する上電極２０と、各圧電素子に対応して下電極１０が設けられている。
【００２６】
以下にピエゾ記録ヘッドの代表的な作製方法の概略を説明する。まず、基体８の作製方法について説明する。フォトリソグラフィーを用いてシリコン基板にエッチングマスクを形成する。エッチングマスクとしては1μm厚さの酸化膜を用いる。エッチング装置としてはICP（Inductively Coupled Plasma）エッチング装置を用い、エッチングガスとしてSF6、C4F8を用いる。
【００２７】
まず、厚さ300μmのシリコン基板のおもて面に個別液室部５パターン用エッチングマスクを形成する。ICPエッチング装置を用いて深さ100μmの個別液室５を形成する。この個別液室５は、個別液室部隔壁７によって区切られている。
【００２８】
次に、厚さ300μmのシリコン基板のうら面にノズル連通口９パターン用エッチングマスクを形成する。ICPエッチング装置を用いて深さ200μmのノズル連通口９、深さ200μmの共通液室200を形成する。このノズル連通口９は、ノズル連通口部隔壁３によって区切られている。
【００２９】
その後、シリコン基板のおもて面に振動板４を貼り付ける。振動板４として今回はHOYA製の陽極接合用ガラスＳＤ２を採用し、接合により貼り付け、その後研磨によって３μｍの板厚に加工した。
【００３０】
次に、振動板４に全てのノズルに対して共通となる電極（下電極１０）をスパッタリングにより厚み０．３μｍで形成し、さらに各個別液室５に対応するように圧電素子６、上電極２０をスパッタリング、フォトリソ、ドライエッチングを繰り返し、それぞれ厚み３μｍ、０．３μｍで形成する。その後、下電極１０及び上電極２０に電力供給配線４０を取り付ける。
【００３１】
次に、シリコン基板のうら面側に、ＳＵＳ板等にパンチ加工等の別加工したノズルプレート１を貼り合わせる等してピエゾ記録ヘッドを作製した。
【００３２】
（比較例１）
比較例１としてはノズル密度300dpiにて、図２および図３、図４に示すピエゾ記録ヘッドを作製した。個別液室５の幅はおよそ60μmで個別液室５の長さはおよそ6000μm、振動板４の板厚は３μm程度であり、全ノズル数は３０本である。図２および図３、図４はその内一部を図示してある。
【００３３】
まずこのピエゾ記録ヘッドを用いて、全ての上電極２０に対して２０Ｖの矩形波を印加させた時、吐出口２b（図２）から吐出される液滴の量（Ｖｄ全）、速度（ｖ全）を測定した。
【００３４】
次にこのピエゾ記録ヘッドを用いて、図２の上電極２０bのみに対して２０Ｖの矩形波を印加させた時、吐出口２bから吐出される液滴の量（Ｖｄ単）、速度（ｖ単）を測定し、それぞれの（Ｖｄ全、ｖ全）との差、（ΔＶｄ、Δｖ）を導出した。
【００３５】
ここで、本発明によって改良された液体吐出ヘッド構造を用いることによって、隣接したノズル間に生じる隔壁変形による相互作用を減少し、オンデマンド駆動での吐出性能（吐出量および吐出速度）が安定される事を示す。以下では本発明の具体的な実施例を説明する。
【実施例１】
【００３６】
以下に本発明によるピエゾ記録ヘッドの作製方法の概略を説明する。図５は本発明によるピエゾ記録ヘッドの断面斜視図、図６は本発明によるピエゾ記録ヘッドの断面図（図６中の１点鎖線Ａ−Ａ位置）、図７は本発明によるピエゾ記録ヘッド１００の断面図（図６中の１点鎖線Ｂ−Ｂ位置）である。まず、基体８１の作製方法について説明する。フォトリソグラフィーを用いてシリコン基板にエッチングマスクを形成する。エッチングマスクとしては1μm厚さの酸化膜を用いる。エッチング装置としてはICP（Inductively Coupled Plasma）エッチング装置を用い、エッチングガスとしてSF6、C4F8を用いる。
【００３７】
まず、厚さ300μmのシリコン基板に個別液室部５１パターン用エッチングマスクを形成し、ICPエッチング装置を用いて深さ100μmの個別液室５１を形成する。この個別液室５１は、個別液室部隔壁３１によって区切られている。
【００３８】
同様の方法により、深さ200μmの共通液室２００、深さ200μmのノズル連通口９１、深さ300μmのノズル連通口９２をそれぞれICPエッチング装置を用いて形成する。
【００３９】
その後、ノズル連通口９２に対応する貫通穴を作製した振動板４１をシリコン基板に貼り付ける。振動板４１として今回はHOYA製の陽極接合用ガラスＳＤ２を採用し、研磨により板厚３μmに加工したものを使用した。
【００４０】
次に、振動板４１に対して、各個別液室５１に対応するように電極（下電極１１）をスパッタリングにより厚み０．３μｍで形成し、さらに各電極（下電極１１）に対応するように圧電素子６１、上電極２１をスパッタリング、フォトリソ、ドライエッチングを繰り返し、それぞれ厚み３μｍ、０．３μｍで形成する。
【００４１】
次に、基体８２の作製方法について説明する。
【００４２】
まず、厚さ120μmのシリコン基板に個別液室部５２パターン用エッチングマスクを形成し、ICPエッチング装置を用いて深さ100μmの個別液室５２を形成する。この個別液室５２は、個別液室部隔壁３２によって区切られている。
【００４３】
次に、ICPエッチング装置を用いて基体８１のノズル連通口９２に対応するズル連通口９３と各圧電素子６１に対応する深さ20μmの空間部３００を形成する。このノズル連通口９２は、ノズル連通口部隔壁３２によって区切られている。
【００４４】
その後、基体８２側のノズル連通口９３とインク供給口７２に対応する箇所に貫通穴を作成した振動板４２をシリコン基板に貼り付ける。振動板４２として今回はHOYA製の陽極接合用ガラスＳＤ２を採用し、３μｍの板厚に加工したものを使用した。
【００４５】
次に、振動板４２に電極（下電極１２）をベタで厚み０．３μｍで形成し、さらに各個別液室５２に対応するように圧電素子６２、上電極２２をスパッタリング、フォトリソ、ドライエッチングを繰り返し、それぞれ厚み３μｍ、０．３μｍで形成する。
【００４６】
次に、それぞれ加工された８１と基体８２を貼り合わせる。
【００４７】
その後、下電極１１及び上電極２１と下電極１２及び上電極２２それぞれに対し、電力供給配線を取り付ける。
【００４８】
最後に、シリコン基板に、ＳＵＳ板等にパンチ加工等の別加工したノズルプレート１を貼り合わせる等してピエゾ記録ヘッドを作製した。
【００４９】
本実施例１においては、ノズル密度３００dpi、全ノズル数３０本、個別液室の幅はおよそ６０μｍ、個別液室の長さはおよそ６ｍｍ、吐出口径３０μmφで構成されたピエゾ記録ヘッドを作製した。図５および図６、図７はその内一部を図示してある。
【００５０】
まずこのピエゾ記録ヘッドを用いて、全ての上電極２１乃至上電極２２（図６）に対して２０Ｖの矩形波を印加させた時、吐出口２bから吐出される液滴の量（Ｖｄ全1）、速度（ｖ全1）を測定した。
【００５１】
次にこのピエゾ記録ヘッドを用いて、図６の上電極２１ｂに対して２０Ｖの矩形波を印加させた時、吐出口２ｂから吐出される液滴の量（Ｖｄ単1）、速度（ｖ単1）を測定し、それぞれの（Ｖｄ全1、ｖ全1）との差、（ΔＶｄ1、Δｖ1）を導出した。
【００５２】
その結果、ΔＶｄ＞ΔＶｄ1、Δｖ＞Δｖ1となり、吐出性能（吐出量、吐出速度）が安定したことが分かる。個別液室の位置の高さをノズル毎に交互に異なって構成することで、個別液室の位置の高さが、ノズルプレート１面側に位置するノズル群に対しては、隔壁の厚みが厚くなり、吐出するノズルの隔壁が変形しにくくなるため、同時に吐出させるノズルの数、位置によらずに、吐出するノズルの個別液室５１内にある液体の挙動が全て同様になり、吐出性能（吐出量、吐出速度）を安定させることが出来る。
【００５３】
また、それ以外のノズル群に対しては隔壁が厚くなると同時に、ノズルの間に空間部３００が構成される。その効果として、隔壁の変形があっても同時に吐出させるノズルの数、位置によらずに、常に隔壁は同様に変形するため、吐出するノズルの個別液室５２内の液体の挙動が全て同様になり、吐出性能（吐出量、吐出速度）をさらに安定させることが出来る。
【実施例２】
【００５４】
実施例２においては、実施例１に対し、個別液室の位置の高さが等しいノズル群に対して、共通液室が独立に備えられているピエゾ記録ヘッドを作製した（図８）。図９は図８中の１点鎖線B−B位置における断面図、図６は図８中の１点鎖線A−A位置における断面図である。共通液室２０２の位置を共通液室２０１よりも後方に位置するために、基体８２には第二の個別液室５３を設けている。その他の構造は実施例１と同じである。
【００５５】
まずこのピエゾ記録ヘッドを用いて、全ての上電極２１乃至上電極２２（図８）に対して２０Ｖの矩形波を印加させた時、吐出口２ｂから吐出される液滴の量（Ｖｄ全1）、速度（ｖ全1）を測定した。
【００５６】
次にこのピエゾ記録ヘッドを用いて、図６の上電極２１ｂに対して２０Ｖの矩形波を印加させた時、ノズル２１ｂから吐出される液滴の量（Ｖｄ単2）、速度（ｖ単2）を測定し、それぞれの（Ｖｄ全2、ｖ全2）との差、（ΔＶｄ2、Δｖ2）を導出した。
【００５７】
その結果、ΔＶｄ＞ΔＶｄ2、Δｖ＞Δｖ2となり、吐出性能（吐出量、吐出速度）が安定したことが分かる。個別液室の位置の高さをノズル毎に交互に異なって構成することで、個別液室の位置の高さが、ノズルプレート１面側に位置するノズル群に対しては、隔壁の厚みが厚くなり、吐出するノズルの隔壁が変形しにくくなるため、同時に吐出させるノズルの数、位置によらずに、吐出するノズルの個別液室５１内にある液体の挙動が全て同様になり、吐出性能（吐出量、吐出速度）を安定させることが出来る。
【００５８】
また、それ以外のノズル群に対しては隔壁が厚くなると同時に、ノズルの間に空間部３００が構成され、その効果として、隔壁の変形があっても同時に吐出させるノズルの数、位置によらずに、常に隔壁は同様に変形するため、吐出するノズルの個別液室５２内の液体の挙動が全て同様になり、吐出性能（吐出量、吐出速度）を安定させることが出来る。
【００５９】
さらに、実施例１の結果と比較すると、ΔＶｄ1＞ΔＶｄ2、Δｖ1＞Δｖ2であった。共通液室を個別液室の位置の高さが等しいノズル群に対して、それぞれ独立に備えることで、共通液室を介してのノズル間相互作用が減少するため、実施例１に対してさらに、吐出性能（吐出量、吐出速度）を安定させることが出来る。
【００６０】
このような構造は、圧電素子、電極が全て薄膜であることで空間部３００を小さくすることが可能となり、ヘッド小型化が実現できる。
【００６１】
また、共通液室にインクを供給するインクタンクは、各共通液室に対して設けることにより、個別液室の位置の高さが異なるノズル群ごとにインクの種類を変えることが可能となるため、例えば実施例２の記録ヘッドにおいては、２つのインクタンクを設けることが可能となる。
【００６２】
図１０は実施例２において、１色のインクに対し、２つのインクタンクを設けることを実施したインクジェット記録装置の概略斜視図である。
【００６３】
図１０のように構成されたインクジェット記録装置では、２色のインクを２つの記録ヘッドにそれぞれ設けることで、着弾位置がある領域で重なる位置へインクを吐出させる等の場合に、１発目と２発目の着弾時間をずらすことが可能となるため、吐出周波数の低下や着弾ムラ、にじみ等が解消できる。
【００６４】
本実施例においては、個別液室の位置の高さが異なるノズル群が２つの場合を示したが、個別液室の位置の高さが異なるノズル群が３つ以上の場合は、さらに吐出性能（吐出量、吐出速度）を安定させることが出来ることは言うまでも無い。
【００６５】
本実施例においては、個別液室の位置の高さが等しいノズル群に対して、それぞれ独立な共通液室を一つの基体に全て設けたが、異なる基体に設けても良い。
【００６６】
共通液室を異なる基体に設けた例を図１１に示す。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明に適用可能なインクジェット記録装置の概略斜視図。
【図２】従来技術による液体吐出ヘッドの平面図。
【図３】従来技術による液体吐出ヘッドの断面図。
【図４】従来技術による液体吐出ヘッドの断面図。
【図５】本発明による液体吐出ヘッドを説明する断面斜視図。
【図６】本発明による液体吐出ヘッドを説明する断面図。
【図７】本発明による液体吐出ヘッドを説明する断面図。
【図８】本発明による液体吐出ヘッドを説明する断面斜視図。
【図９】本発明による液体吐出ヘッドを説明する断面図。
【図１０】本発明に適用可能なインクジェット記録装置の他の概略斜視図。
【図１１】本発明による液体吐出ヘッドを説明する断面図。
【符号の説明】
【００６８】
１  ノズルプレート
２  吐出口
３  ノズル連通口部隔壁
４  振動板
５  個別液室
６  圧電素子
７  個別液室部隔壁
８１,８２  基体
９,９１，９２  ノズル連通口
１０,１１，１２  下電極
２０,２１，２２  上電極
２０a〜２０c  上電極
２１a〜２１c  上電極
２２a〜２２c  上電極
３１，３２  ノズル連通口部隔壁
４１，４２  振動板
５１，５２  個別液室
５３  第二の個別液室
６１，６２  圧電素子
７２  インク供給口
１００  記録ヘッドユニット
１０１  インクタンク
１０２  ガイド軸
１０６  被記録媒体
１０７  ガイド軸
１０９  送りローラ
１１０    送りローラ
１１２  回復系ユニット
１２０  クリーニング手段
２００,２０１，２０２  共通液室
３００  空間部
【図１】
2007168108.tif 000003
【図２】
2007168108.tif 000004
【図３】
2007168108.tif 000005
【図４】
2007168108.tif 000006
【図５】
2007168108.tif 000007
【図６】
2007168108.tif 000008
【図７】
2007168108.tif 000009
【図８】
2007168108.tif 000010
【図９】
2007168108.tif 000011
【図１０】
2007168108.tif 000012
【図１１】
2007168108.tif 000013