(57)【要約】【課題】  小型化されたワークであっても、ワークを確実に吸着することができるコレット、及びそのコレットを用いたワーク搬送装置を提供すること。【解決手段】  金属部２４を有するワーク１０を吸着するようにしたコレット４０であって、コレット４０内にワーク１０と接近及び離間する方向に延びる内部空間４８と、内部空間４８を移動可能な磁石５０と、ワーク１０に接近する側の内部空間４８と外部空間とを隔てる仕切り部５２とを備えている。【選択図】    図６
2007036085.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属部を有するワークを吸着するようにしたコレットであって、
前記コレット内に前記ワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、
前記内部空間を移動可能な磁石と、
前記ワークに接近する側の前記内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部と
を備えていることを特徴とするコレット。
【請求項２】
前記仕切り部は、前記内部空間を塞いで封止しないように、外部空間とつながった連通部を有していることを特徴とする請求項１に記載のコレット。
【請求項３】
前記磁石よりも前記ワークと離間する側の前記内部空間に、真空圧が供給されるようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載のコレット。
【請求項４】
前記磁石よりも前記ワークと離間する側の前記内部空間に、高圧空気が供給されるようにしたことを特徴とする請求項３に記載のコレット。
【請求項５】
前記磁石は、前記ワークと接近する側に向かって付勢力を有する伸縮性部材と接続されていることを特徴とする請求項３または４に記載のコレット。
【請求項６】
前記磁石は、前記ワークと接近及び離間する方向に移動するアクチュエータと接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載のコレット。
【請求項７】
金属部を有するワークを吸着するようにしたコレットと、このコレットを移動させることで前記ワークを搬送するようにした搬送手段とを備えたワーク搬送装置であって、
前記コレットは、
その内側に前記ワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、
前記内部空間を移動可能な磁石と、
前記ワークに接近する側の前記内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部と
を備えていることを特徴とするワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを保持するコレット、及びこれを用いたワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１１は、ワークを保持している状態の従来のコレットの先端部分の概略縦断面図である（例えば、特許文献１参照）。
このコレット１に保持されるワーク５は例えば電子デバイスであって、この図の場合は圧電振動子の製造過程における状態である。すなわち、全体が矩形状とされ、圧電振動片４を収容するための収容空間Ｓ１が開口した状態のパッケージ６である。
【０００３】
そして、コレット１は、角錐コレット部３の傾斜面３ａにワーク５の角を接しさせて、コレット１に対するワーク５の位置ずれを規制しつつ、角錐部３より内側であって、中央線Ｃに沿って形成された吸着孔８により真空吸着して、ワーク５を吸着保持するようになっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−９３６８９の公開特許公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、近年、ハード・ディスク・ドライブ、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話等の移動体通信機器などの電気製品については小型薄型化がめざましく、それらに用いられる圧電振動子等の電子デバイスもまた極めて小型化されている。
このため、コレット１は、従来のように中央に吸着孔８を正確に加工することが困難になってきており、また、たとえ吸着孔８を正確に形成できたとしても、その孔の直径が小さくなってしまって、上手くワーク５を吸着できない恐れも生じてきている。
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するためのものであり、小型化されたワークであっても、ワークを確実に吸着することができるコレット、及びそのコレットを用いたワーク搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的は、第１の発明によれば、金属部を有するワークを吸着するようにしたコレットであって、前記コレット内に前記ワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、前記内部空間を移動可能な磁石と、前記ワークに接近する側の前記内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部とを備えているコレットにより達成される。
【０００８】
第１の発明の構成によれば、コレット内には、ワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、この内部空間を移動可能な磁石とが備えられている。このため、磁石は、内部空間内をワークと接近・離間することができ、接近してワークの金属部に作用し、これによりコレットはワークを吸着することができる。
そして、このコレットは、ワークに接近する側の内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部が備えられている。このため、内部空間内の磁石がワークと離間する側に移動しようとすると、外部空間に存在するワークは、仕切り部により磁石の動きに追従することができなくなって、磁石から遠ざかる。したがって、ワークに対する磁石の磁場の影響が小さくなって、ワークはコレットから離れることになる。
かくして、本発明の効果として、小型化されたワークであっても、ワークを確実に吸着することができるコレットを提供することができる。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記仕切り部は、前記内部空間を塞いで封止しないように、外部空間とつながった連通部を有している。
第２の発明の構成によれば、仕切り部は、内部空間を塞いで封止しないように、外部空間とつながった連通部を有している。したがって、内部空間内の磁石は、連通部を介して外部に露出し、磁力を確実にワークにかけて、コレットのワークに対する保持力を向上させることができる。
【００１０】
第３の発明は、第１または第２の発明の構成において、前記磁石よりも前記ワークと離間する側の前記内部空間に、真空圧が供給されるようにしたことを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、磁石よりもワークと離間する側の内部空間に、真空圧が供給されるようにしたので、真空圧を供給すると、磁石はワークと離間する側に吸引され、これにより、上述のように、仕切り部の位置でワークをコレットから切り離せる。また、真空圧の供給を止めると、磁石は例えば自由落下してワークに接近し、磁石がワークを吸着できる。
【００１１】
第４の発明は、第３の発明の構成において、前記磁石よりも前記ワークと離間する側の前記内部空間に、高圧空気が供給されるようにしたことを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、磁石よりもワークと離間する側の内部空間に、高圧空気が供給されるようにしたので、高圧空気が供給されると、磁石はワークと接近する側に迅速に押されて、磁石がワークを迅速に吸着する。
【００１２】
第５の発明は、第３または第４の発明の構成において、前記磁石は、前記ワークと接近する側に向かって付勢力を有する伸縮性部材と接続されていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、磁石は、ワークと接近する側に向かって付勢力を有する伸縮性部材と接続されている。このため、例えば、磁石よりもワークと離間する側の内部空間に真空圧を供給した後、この真空圧の供給を中止すると、伸縮性部材により磁石はワークと接近する側に押されてワークに確実に接近し、磁石がワークを確実に吸着する。
【００１３】
第６の発明は、第１または第２の発明の構成において、前記磁石は、前記ワークと接近及び離間する方向に移動するアクチュエータと接続されていることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、磁石は、ワークと接近および離間する方向に移動するアクチュエータと接続されている。このため、アクチュエータを駆動させて、磁石をワークと接近および離間する方向に移動させて、第１または第２の発明のようにワークを吸着したり離したりすることができる。
【００１４】
また、上述の目的は、第７の発明によれば、金属部を有するワークを吸着するようにしたコレットと、このコレットを移動させることで前記ワークを搬送するようにした搬送手段とを備えたワーク搬送装置であって、前記コレットは、その内側に前記ワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、前記内部空間を移動可能な磁石と、前記ワークに接近する側の前記内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部とを備えているワーク搬送装置により達成される。
【００１５】
第７の発明の構成によれば、ワーク搬送装置は、コレットを移動させることでワークを搬送するようにした搬送手段を有するため、コレットで吸着されたワークを搬送することができる。
そして、コレットは、その内側にワークと接近及び離間する方向に延びる内部空間と、内部空間を移動可能な磁石と、ワークに接近する側の内部空間と外部空間とを隔てる仕切り部を備えている。したがって、コレットは、第１の発明と同様に磁石の内部空間の移動に応じて、ワークを吸着したり離したりして、ワークを搬送できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１および図２は、本発明の第１の実施形態に係るワーク搬送装置を用いて搬送されるワーク１０の例示として、弾性表面波装置（以下、「ＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ）デバイス」という）を示しており、図１はＳＡＷデバイスの概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線切断端面図である。
なお、図１は、理解の便宜のため、後述する蓋体を透視して図示している。
【００１７】
ワーク１０は、パッケージ２０内に部品を収容するようになっている。
パッケージ２０は、例えば複数のセラミックベースを積層して焼結されることで形成されており、全体が矩形状あるいは箱状となっている。このパッケージ２０は、図２に示すように、中央付近を凹状とすることで、上部に開口した開口部２８を有する収容空間Ｓが設けられ、この収容空間Ｓは周囲の壁部２０ｂに囲まれるようになっている。
【００１８】
また、パッケージ２０は、開口部２８側の端面（壁部２０ｂの端面）２０ａに、ロウ材２４を用いて蓋体２６を接合し、これにより収容空間Ｓが封止されている。
ロウ材２４には、低融点ガラスやシームリング等が利用できるが、本実施形態では、後述するように、コレット内の磁石がパッケージ２０を確実に吸着する金属部となるように、シームリングが採用されている。
【００１９】
具体的には、ロウ材２４は、例えば、開口部側の端面２０ａにタングステンメタライズを施してニッケルメッキをし、その上にコバールからなるシームリングを接着させている。また、このロウ材２４は、開口部側の端面２０ａの全周に施されているので、図１の平行斜線の部分で示すように、平面視において、対向する二辺が平行となるように形成されている。
そして、このシームリングとニッケルメッキ及び金メッキが周縁に施された金属製の蓋体２６とが電気溶接されて、蓋封止されている。
【００２０】
このようなパッケージ２０の収容空間Ｓには、圧電素子１２等が収容されている。
圧電素子１２は、例えば水晶で矩形状に形成され、その表面に、すだれ状電極である櫛型電極（ＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ））１６及び反射器１８，１８が備えられたＳＡＷチップとなっている。
この圧電素子１２は、弾性表面波の伝搬面に応力が生じないようにするため、ＩＤＴ１６や反射器１８，１８が設けられていない領域が、接着剤２２を用いて収容空間Ｓ内に接合されており、片持ち式にパッケージ２０に接合されている。
接着剤２２は、本実施形態では、例えば、エポキシ、ウレタン、シリコーン、ポリイミド、その他の熱硬化性樹脂接着剤や、これらに導電フィラーとして銀を添加した所謂銀ペースト等の導電性接着剤が用いられている。
【００２１】
また、圧電素子１２は、図１に示されるように、ボンディングパッド１７，１７・・・や、金線等でなるボンディングワイヤ１５，１５・・・を介して、半導体集積回路１４と電気的に接続され、これにより、本実施形態のワーク１０はＳＡＷ発振器となっている。なお、半導体集積回路１４は、収容空間Ｓの内側に接着剤（図示せず）を用いて接合されており、好ましくは、圧電素子１２の特性に応じた温度補償用のデータが書き込まれ、温度検出手段としてのサーモセンサ（図示せず）を備えている。
【００２２】
次に、以上のようなワーク（ＳＡＷデバイス）１０の製造工程を説明する。
図３はＳＡＷデバイスを形成する一般的な製造工程を示しており、この図３及び図１、図２を用いて概説する。
先ず、図１及び図２で示したパッケージ２０を形成する（図３のＳＴ１）。なお、このパッケージ形成の際には、開口部側の端面２０ａに、上述したシームリング等でなるロウ材２４を接着しておく。
次いで、このパッケージ２０の収容空間Ｓに露出した内側底面に接着剤２２を塗布し、その上に予め形成しておいた圧電素子１２を載置して軽く加重をかけて仮止めをする（図３のＳＴ２）。
次いで、蓋封止されていないパッケージ２０を、後述するワーク搬送装置を用いて、加熱炉に搬送し（図３のＳＴ３）、接着剤２２を加熱して（図３のＳＴ４）、圧電素子１２をパッケージ２０に確実に接合固定する。
そして、パッケージ２０の開口側端面２０ａに設けたシームリングでなるロウ材２４と金属製の蓋体２６とを電気溶接して、蓋封止する（図３のＳＴ５）。
【００２３】
次に、上述のワーク１０を搬送するためのワーク搬送装置について説明する。
図４は、ワークを加熱炉に搬送（図３のＳＴ３）する際におけるワーク搬送装置３０の概略図である。
図４に示されるように、ワーク搬送装置３０は、コレット４０と、このコレット４０を移動させることでワークを搬送する搬送手段３２とを備えている。
【００２４】
搬送手段３２は、Ｘ−Ｙ軸方向に移動可能なＸ軸方向移動手段３４と、Ｙ軸方向移動手段３６とを備えている。
Ｙ軸方向移動手段３６には、例えば、駆動時の摩擦が小さく、スティックスリップが少ない等の利点を有するエアスライドが用いられている。エアスライドは、スライドテーブル３６ａが、アクチュエータでＹ軸方向に可動する際、空気軸受によりエアスライドガイド３６ｂと接触せずに可動するようになっている。
【００２５】
このエアスライドを用いたＹ軸方向移動手段３６は、Ｘ軸方向移動手段３４と接続されており、Ｘ軸方向移動手段３４は、例えばボールねじが用いられたアクチュエータによりＸ軸方向に移動可能な装置となっている。
なお、本実施形態の搬送手段３２は以上のような構成になっているが、本発明はこれに限られるものではなく、ワークをＸ−Ｙ軸方向あるいはこれにθ軸方向の動きを加えて搬送可能としたアームロボット等の装置であっても勿論よい。
【００２６】
コレット４０は、ワーク搬送装置３０の先端に取り付けられており、その先端部は、水平方向についてワーク１０の外形と略同じ外形を有している。具体的には、コレット４０はワーク１０に接続するためのコレット取付け部３９に取り付けられている。すなわち、コレット取付け部３９にはコレット４０を嵌入するための嵌入孔（図示せず）が開けられており、鍔部４４が密着するようにして、その嵌入孔（図示せず）にシャンク部４２が嵌入されている。なお、このシャンク部４２は、好ましくは、嵌入孔内で回転しないように、平面状に面取りされた平取部４２ａ（図５参照）を有しており、嵌入孔の形状もこの平取部４２ａに対応した形状となっている。
【００２７】
そして、本実施形態の場合、このコレット取付け部３９は、真空供給手段３８および高圧供給手段３３と接続されている。真空供給手段３８は、後述するコレット４０内の磁石を吸着するために真空圧を供給する手段であり、例えば真空ポンプが用いられている。具体的には、真空供給手段３８に接続された管３８ａと、シャンク部４２内の通気路４６とが、コレット取付け部３９内の空間（図示せず）で連通されている。また、高圧供給手段３３は、後述するコレット４０内の磁石を押圧するために高圧空気を供給する手段であり、コンプレッサーや、コンピュータ（図示せず）で制御されたレギュレーター等が用いられている。具体的には、高圧供給手段３３に接続された管３３ａと、シャンク部４２内の通気路４６とが、コレット取付け部３９内の空間（図示せず）で連通されている。
【００２８】
なお、コレット取付け部３９は、Ｙ軸方向移動手段３６に接続されたアーム３７と、バネ等の伸縮部材３５を利用して接続されており、これにより、コレット４０をワークに接触させた際に生じる衝撃を和らげるようになっている。
【００２９】
次に、コレット４０について詳細に説明する。
図５はコレット４０の概略斜視図、図６は図５のＢ−Ｂ線切断断面図、図７はコレット４０の底面図である。なお、図６では理解の便宜のためにワークを点線で示している。
コレット４０は、後述する磁石５０を除いて、全体が非金属性の例えばプラスチックから形成されており、その内側に、ワークと接近及び離間する方向（図５および図６のＹ軸方向）に延びる内部空間４８を有している。
【００３０】
内部空間４８は、ワーク１０と離間する側（図６の上側）において、真空供給手段３８および高圧供給手段３３（図４参照）に接続されている通気路４６とつながっており、これにより、内部空間４８の後述する磁石５０よりも図６の上側に、真空圧および高圧空気が供給されるようになっている。
また、内部空間４８の内径Ｌ２は通気路４６の内径Ｌ１よりも大きく形成されており、これにより、内部空間４８の通気路４６側には下向きの段部４８ａが形成されている。
【００３１】
そして、この内部空間４８には移動可能な磁石５０が設けられている。この磁石５０は、ワーク１０をコレット４０に吸着させる手段であり、本実施形態では永久磁石が用いられている。具体的には、磁石５０は一つのみ設けられており、その幅方向（Ｘ方向）の寸法は、通気路４６の内径Ｌ１よりも大きく形成されており、好ましくは、内部空間４８の内径Ｌ２と略同じか或いは僅かに小さくなっている。これにより、内部空間４８内での揺動を抑制して、ワーク１０と接近及び離間する方向（Ｙ軸方向）にのみ移動可能となっている。また、磁石５０の高さ寸法（Ｙ軸方向の寸法）は、少なくとも磁石５０が内部空間４８の通気路４６側（図６の上側）にあるとき、後述する仕切り部５２に位置するワーク１０に対して与える磁力が弱くなって、磁石５０がワーク１０を吸着しなくなるような高さ寸法を有している。
【００３２】
そして、コレット４０は、磁石５０がワーク１０に接近する側の内部空間４８と外部空間とを隔てる仕切り部５２を有している。
図８は仕切り部５２を備える部品５４の概略斜視図であり、この図８及び図５ないし図７により、仕切り部５２を説明する。
仕切り部５２は、磁石５０が内部空間４８から落下しないように設けられると共に、ワーク１０が内部空間４８に挿入してこないようにするための手段である。
本実施形態の仕切り部５２は、内部空間４８が形成された部品に接合された部品５４に備えられている。この仕切り部５２が備えられている部品５４は、水平方向について、後述する連通部５６の部分を除いて、ワーク１０の外形と略同じ外形となっている。また、部品５４の内部空間４８側（図８の上面）の形状は、磁石５０が水平に収まるように、内部空間４８の内径と同様の寸法で形成され、磁石５０の水平方向の形状に略対応して形成されている。
【００３３】
そして、仕切り部５２は、図７及び図８に示すように、内部空間４８を完全に塞いで封止しないように、外部空間とつながった連通部５６を有している。このため、連通部５６からは内部空間４８内の磁石５０の一部（図７の平行斜線で示す部分）が外部に露出するようになっており、連通部５６は、磁石５０のワーク１０に及ぼす磁力を向上させている。なお、連通部５６は仕切り部５２が備えられている部品５４の一部を切り欠くようにして形成されている。
【００３４】
さらに、この連通部５６はワーク１０の金属部に対応して配置されている。すなわち、図５や図７に示すように、連通部５６は、パッケージの開口部側の端面２０ａに設けられたシームリング等でなるロウ材２４（図２参照）に対応した位置に設けられている。
本実施形態の場合、連通部５６は、複数設けられており、平面視において対向する二辺が平行となるように形成されたロウ材２４に対応して、図７に示すように、平面視において平行な二辺の各々に長方形状に形成されており、より具体的には、図５ないし図８に示すように、パッケージ２０の長手方向に沿って設けられた二箇所のロウ材２４に対向して配置されるようになっている。
【００３５】
これにより、磁石５０がワーク１０に及ぼす磁力について、仕切り部５６の連通部５６以外の領域に比べて連通部５６からの磁力の方が大きいので、連通部５６の位置を金属部（ロウ材２４）の位置に対応させることで、コレット４０に対してワーク１０の位置がずれないようにしている。
なお、連通部５６の位置、数、形状は上述に限られるものではなく、例えば、保持力は弱まるかも知れないが、パッケージ２０の短手方向に沿って設けられた二箇所のロウ材２４に対向して配置してもよく、また、例えば、ロウ材２４の４辺に対応させて４箇所に設けても勿論よい。
【００３６】
本発明の第１の実施形態は以上のように構成されており、コレット４０は、ワーク１０と接近及び離間する方向に延びる内部空間４８を有すると共に、内部空間４８内を移動可能な磁石５０を有する。このため、図６に示すように、磁石５０は、内部空間４８内をワーク１０と接近・離間することができ、接近してワーク１０の金属部（ロウ材２４）に作用し、これによりコレット４０はワーク１０を吸着することができる。
そして、このコレット４０は、ワーク１０に接近する側の内部空間４８と外部空間とを隔てる仕切り部５２が備えられている。このため、内部空間４８内の磁石５０がワーク１０と離間する側に移動（図６の点線の位置に移動）すると、外部空間に存在するワーク１０は、仕切り部５２により磁石５０の動きに追従することができなくなって、磁石５０から遠ざかる。したがって、ワーク１０に対する磁石の磁場の影響が小さくなって、ワーク１０はコレット４０から離れることになる。
【００３７】
また、このように磁石５０を用いてワーク１０を吸着するようにしたことで、真空ポンプ等でワーク１０を真空吸着するタイプのコレットが、気流によりワーク１０に載置された部品の位置をずらしてしまうという問題を解決することもできる。特に、ワーク１０がＳＡＷデバイスの場合、図３のように、圧電振動片をパッケージに完全に接合固定しない状態で加熱炉に搬送するため（図３のＳＴ３）、真空吸着により収容空間内に気流が発生して、圧電振動片の位置がずれてしまう恐れが高くなってしまうが、本実施形態の場合は、気流が発生しないので、そのような恐れを防止することができる。
【００３８】
図９は、本発明の第１の実施形態の第１の変形例を示すコレット６０の概略断面図であり、図６の概略断面図に対応している。この図において、第１の実施形態で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この図のコレット６０が図４ないし図８のコレット４０と相違する点は、磁石５０の移動手段についてのみである。
【００３９】
すなわち、コレット６０は、磁石５０がワーク１０と接近する側（図９の下側）に向かって付勢力を有する伸縮性部材６２と接続されている。
具体的には、伸縮性部材６２は、例えばバネから形成されており、その伸縮方向とワーク１０と接近離間する方向とが一致するようになっている。
この伸縮性部材６２は、伸縮方向の一端が、内部空間４８のワーク１０と離間する側（図９の上側）、或いは通気路４６の内部空間４８側に接続されており、伸縮方向の他端が、磁石５０の中央付近に接続されている。
【００４０】
そして、伸縮性部材６２は、外部から力を加えない状態では、磁石５０をワーク１０と接近する側（図９の内部空間４８の下側）に配置させるようになっており、内部空間４８の磁石５０よりも上側（通気路４６側）に真空圧を供給することにより、磁石５０をワーク１０と離間する側（図９の内部空間４８の上側）に移動させるようになっている。
なお、図９のコレット６０の場合は、内部空間４８の磁石５０よりも上側に、高圧空気を供給するようにはなっていない。
【００４１】
本発明の第１の実施形態の第１の変形例は以上のように構成されており、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。
すなわち、ワーク１０を吸着させたい場合は、伸縮性部材６２によって、迅速かつ確実に磁石５０を仕切り部５２の位置まで移動させることができる。そして、ワーク１０をコレット６０から離したい場合は、真空圧を内部空間４８に供給して、磁石５０を通気路４６側に移動させて、ワーク１０の追従を仕切り部５２の位置で制限することができる。
また、このように伸縮性部材６２を用いることで、高圧空気を内部空間４８に供給するためのコンプレッサーやレギュレーター等といった高価な装置を不要とできる。
【００４２】
図１０は、本発明の第１の実施形態の第２の変形例を示すコレット７０の概略断面図であり、図６の概略断面図に略対応している。この図において、第１の実施形態で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この図のコレット７０が図４ないし図８のコレット４０と相違する点は、磁石５０の移動手段についてのみである。
【００４３】
すなわち、コレット７０は、磁石５０が、ワーク１０と接近および離間する方向に移動するアクチュエータ７２と接続されている。
具体的には、アクチュエータ７２は、例えば、シリンダ内に図示しないモータと、このモータで回転する図示しないボールねじと、このボールねじの回転によって移動する図示しないナットを有している。そして、このナットと接続された棒状部７８が、コレット取付け部３９の中心に設けられた空間７６、及びコレット７０のシャンク部４６の中心に設けられた空間７４を通って、内部空間４８まで挿入されており、磁石５０と接続されている。
なお、図１０のコレット７０の場合は、内部空間４８の磁石５０よりも上側に、真空圧や高圧空気が供給されるようにはなっていない。
【００４４】
本発明の第１の実施形態の第２の変形例は以上のように構成されており、このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。
すなわち、ワーク１０を吸着させたい場合は、アクチュエータ７２を作動させて棒状部７８に接続された磁石５０を仕切り部５２の位置まで移動させることができる。そして、ワーク１０をコレット６０から離したい場合は、アクチュエータ７２を作動させて棒状部７８に接続された磁石５０を通気路４６側に移動させて、ワーク１０の追従を仕切り部５２の位置で制限することができる。
【００４５】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態や各変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
例えば、図１及び図２では圧電素子１２の例としてＳＡＷチップを図示したが、本発明はこれに限られるものではなく、例えば、片持ち式にパッケージに接合される音叉型圧電振動片やＡＴカット振動片等であってもよい。
また、図１および図２では、半導体集積回路が収容されたＳＡＷ発振器を図示したが、本発明はこれに限られるものではなく、例えば、半導体集積回路１４が収容されていない圧電振動子であっても勿論よい。
また、磁石をワークと接近離間する方向に移動させる手段を、上述した図４ないし図１０で示した移動手段の組み合わせとしてもよく、例えば、磁石５０をワーク１０に近づけるための手段として、図４の高圧供給手段３３と図９の伸縮性部材６２とを併用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るワーク搬送装置を用いて搬送されるワークの例示として、ＳＡＷデバイスの概略平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線切断端面図。
【図３】ＳＡＷデバイスを形成する一般的な製造工程。
【図４】ワークを加熱炉に搬送する際におけるワーク搬送装置の概略図。
【図５】コレットの概略斜視図。
【図６】図５のＢ−Ｂ線切断断面図。
【図７】コレットの底面図。
【図８】仕切り部を備える部品の概略斜視図。
【図９】本発明の第１の実施形態の第１の変形例を示すコレットの概略断面図。
【図１０】本発明の第１の実施形態の第２の変形例を示すコレットの概略断面図。
【図１１】ワークを保持している状態の従来のコレットの先端部分の概略縦断面図。
【符号の説明】
【００４７】
１０・・・ワーク、２４・・・金属部、３０・・・ワーク搬送装置、４０・・・コレット、４８・・・内部空間、５０・・・磁石、５２・・・仕切り部、５６・・・連通部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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