(57)【要約】      （修正有）【課題】  オイル漏洩による汚染防止を可能にする。【解決手段】  エアーノズル５を回転させてエア噴射方向を変化させる機能を有した機器であって、機器本体１に設けられており且つ回転対象部材４をエアノズル５とともに回転自在に支持するとともにエアーノズル５にエアーを供給するためのロータリージョイント３を備えている。ロータリージョイントは、固定側筒状部材３１と可動側軸状部材３２とを有している。固定側筒状部材３１の外面にはエア導入用ポート３１２ａ〜３１２ｆが設けられており、固定側筒状部材３１と可動側軸状部材３２との間にはオイルレスエアベアリング３３ａ、３３ｂが設けられている。【選択図】  図１
2007330908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアーノズルを回転させてエア噴射方向を変化させる機能を有したエアブロー機器において、機器本体に設けられており且つエアノズルを回転自在に支持するとともにエアーノズルにエアーを供給するためのロータリージョイントを備え、ロータリージョイントは、固定側筒状部材と、固定側筒状部材に挿入された可動側軸状部材と、固定側筒状部材と可動側軸状部材との間に設けられ且つ可動側軸状部材を固定側筒状部材に対して軸支するオイルレスエアベアリング又はボールベアリングとを具備し、固定側筒状部材は、その外側面に設けられたエア導入用ポートと、その内周面に形成されエア導入用ポートに連通する輪状溝とを有している一方、可動側軸状部材は、その外側面に形成され且つ輪状溝に連通する連通孔と、その内部に形成され且つ連通孔に連通する第１のエア流通路と、その外面に設けられ且つ第１のエア流通路とエアノズルとを接続するための接続手段とを有していることを特徴とするエアブロー機器。
【請求項２】
請求項１記載のエアブロー機器において、接続手段はエア出力用ポートであることを特徴とするエアブロー機器。
【請求項３】
ロータリージョイントの可動側軸状部材の端部にエアノズルを保持する回転対象部材が連結され且つ回転対象部材の内部にエアノズルに連通する第２のエア流通路が形成されている場合の請求項１記載のエアブロー機器において、接続手段は可動側軸状部材の端部に形成され且つ第２のエア流通路の端部に連通する開口であることを特徴とするエアブロー機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアーノズルを回転させてエア噴射方向を変化させる機能を有したエアブロー機器に関し、より詳しくは、オイル漏洩による汚染防止が可能なエアブロー機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のエアブロー機器においては、エアーノズルにエアーを供給するためのロータリージョイントが備えられている（例えば、特許文献１等）。
【特許文献１】登録実用新案公報第３０２２５１７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来例による場合、ロータリージョイントの軸受部に潤滑油が使用されていることから、これが漏洩して機器内が汚染されるおそれがあり、特に精密部品や食品等を扱う機器において非常に大きな問題となっている。また、ロータリージョイントのエア排気用ポートとエアーノズルとの間を配管で別途接続することが必要不可欠であることから、この点で構成が複雑であり、これに伴ってコスト高を招来していた。
【０００４】
本発明は上記した背景の下で創作されたものであって、その主たる目的とするところは、オイル漏洩による汚染防止が可能なエアブロー機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るエアブロー機器は、エアーノズルを回転させてエア噴射方向を変化させる機能を有した機器であって、機器本体に設けられており且つエアノズルを回転自在に支持するとともにエアーノズルにエアーを供給するためのロータリージョイントを備え、ロータリージョイントは、固定側筒状部材と、固定側筒状部材に挿入された可動側軸状部材と、固定側筒状部材と可動側軸状部材との間に設けられ且つ可動側軸状部材を固定側筒状部材に対して軸支するオイルレスエアベアリング又はボールベアリングとを具備し、固定側筒状部材は、その外側面に設けられたエア導入用ポートと、その内周面に形成されエア導入用ポートに連通する輪状溝とを有している一方、可動側軸状部材は、その外側面に形成され且つ輪状溝に連通する連通孔と、その内部に形成され且つ連通孔に連通する第１のエア流通路と、その外面に設けられ且つ第１のエア流通路とエアノズルとを接続するための接続手段とを有している。
【０００６】
接続手段の一例としてはエア排気用ポートがある。また、ロータリージョイントの可動側軸状部材の端部にエアノズルを保持する回転対象部材が連結され且つ回転対象部材の内部にエアノズルに連通する第２のエア流通路が形成されている場合、可動側軸状部材の端部に形成され且つ第２のエア流通路の端部に連通する開口を接続手段としても良い。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の請求項１、２に係るエアブロー機器による場合、ロータリージョイントにオイルレスエアベアリング又はボールベアリングを使用していることからオイル漏洩による汚染防止を確実に行うことが可能になり、この点で高性能化を図ることが可能になる。特に精密部品や食品等を扱う機器において非常に有意義である。
【０００８】
本発明の請求項３に係るエアブロー機器による場合、エアーノズルに特別な配管を接続することなくエアが供給される構成となっているので、従来に比べて構成が簡単になり、低コスト化を図ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明のエアブロー機器の一部破断側面図、図２は図１中Ａ−Ａ線の矢視図、図３はロータリージョイントの変形例を示す側面図である。
【００１０】
ここに掲げるエアーブロー機は、例えば、ＬＥＤチップの特性を検査した後にその検査結果であるランクに応じてＬＥＤチップを選別するＬＥＤチップ選別機の一部を構成する装置であって、円板状の回転対象部材４を回転させるとともに、回転対象部材４の縁部に９０°ピッチ間隔を開けて合計４個配置されたエアーノズル５にエアーを供給するようになっている。即ち、エアーノズル５を回転させてエア噴射方向を変化させる機能を有している。
【００１１】
同機は、具体的には、機器本体１と、機器本体１の上方位置に下向きに設けられたモータ２と、機器本体１に設けられており且つモータ２にカップリング２１を通じて連結されたロータリージョイント３と、ロータリージョイント３の可動側（可動側軸状部材３２）の先端部に連結された回転対象部材４と、回転対象部材４に設けられた合計４つのエアーノズル５とを具備している。
【００１２】
モータ２は回転対象部材４をエアーノズル５とともに回転移動させるための直流モータ等である。
【００１３】
回転対象部材４はＬＥＤチップを搬送させるのに使用される円形のロータリーテーブルであって、図示されていないが、複数のＬＥＤチップが作成されたウエハがその面上に乗せられる。エアーノズル５は、ＬＥＤチップを別のウエハに移送させる過程でエアーを吹き付けて洗浄するために回転対象部材４の縁部に９０°ピッチ間隔で配設されている。
【００１４】
回転対象部材４の内部には中心位置から十字状に径方向に向けて第２のエア流通路４２が各々形成されており、第２のエア流通路４２の端部にエアーノズル５が各々連通している。
【００１５】
ロータリージョイント３は回転対象部材４及びエアノズル５を回転自在に支持するとともにエアーノズル５にエアーを供給するために設けられている。ここでは４回路のものを使用している。具体的には以下のような構成となっている。
【００１６】
ロータリージョイント３は、固定側筒状部材３１、３６と、固定側筒状部材３１、３６に挿入された可動側軸状部材３２と、固定側筒状部材３１と可動側軸状部材３２との間に設けられ且つ可動側軸状部材３２を固定側筒状部材３１に対して軸支するオイルレスエアベアリング３３ａ、３３ｂと、固定側筒状部材３６と可動側軸状部材３２との間に設けられ且つ可動側軸状部材３２を固定側筒状部材３６に対して軸支するボールベアリング３８を具備しており、機器本体１の基台１１上に形成された穴１１１に垂直に取り付けられている。
【００１７】
なお、図中３４はリング状のスリーブ保持器、３５は締結ボルト、３７はベアリングナット、３９はベアリングカラーである。
【００１８】
固定側筒状部材３１は、その外側面の下方位置に形成されたフランジ３１１と、その外側面に形成されたエア導入用ポート３１２ａ〜３１２ｆと、その内周面に形成されたエア導入用ポート３１２ｂ〜３１２ｅに連通する合計４つの輪状溝３１３とを有したスリーブである。
【００１９】
エア導入用ポート３１２ａ〜３１２ｆは、図外のエア供給源に接続された配管が接続される継手であって、固定側筒状部材３１の外面に等間隔に軸方向に合計４つ並べて配置されており、固定側筒状部材３１の軸方向に対して直角の方向に向けて各々取り付けられている。
【００２０】
エア導入用ポート３１２ａ、３１２ｆは、オイルレスエアベアリング３３ａ、３３ｂにエアーを各々導入するための継手であって、オイルレスエアベアリング３３ａ、３３ｂに対応する位置に各々設けられている。エア導入用ポート３１２ｂ〜３１２ｅは、合計４つのエアーノズル５にエアーを各々導入するための継手であって、エア導入用ポート３１２ａと３１２ｆとの間に配置されている。
【００２１】
輪状溝３１３は、固定側筒状部材３１の内周面のエア導入用ポート３１２ｂ〜３１２ｅに対応する位置に周方向に各々形成されており、エア導入用ポート３１２ｂ〜３１２ｅに各々連通している。
【００２２】
固定側筒状部材３６は、固定側筒状部材３１とは異なりフランジ３６１のみを有しており、固定側筒状部材３１と同一内径のスリーブである。
【００２３】
固定側筒状部材３１は機器本体１の基台１１の上側に位置した状態でスリーブ保持器３４を介して基台１１に固定される一方、固定側筒状部材３６は機器本体１の基台１１の下側に位置した状態で基台１１に固定される。ロータリージョイント３の基台１１への固定には合計４本の締結ボルト３５が使用される。
【００２４】
可動側軸状部材３２は固定側筒状部材３１，３６内においてオイルレスエアベアリング３３ａ、３３ｂ及びボールベアリング３８により軸支された円柱体であって、その上端部にはカップリング２１が連結されている一方、その下端部には回転対象部材４が連結されている。
【００２５】
可動側軸状部材３２には、その外側面に形成され且つ輪状溝３１３に各々連通する連通孔３２１と、その内部に形成され且つ連通孔３２１に各々連通する第１のエア流通路３２２と、その下端部に形成され且つ第１のエア流通路３２２の端部に各々連通する開口３２３とを有している。
【００２６】
連通孔３２１はエア導入用ポート３１２ｂ〜３１２ｅに対応する位置に各々形成された穴であって、可動側軸状部材３２の外面に等間隔に軸方向に合計４つ並べて配置されており、第１のエア流通路３２２の他端部に各々連通している。
【００２７】
第１のエア流通路３２２は、可動側軸状部材３２の上部から下端部にかけて軸方向に各々形成されており、可動側軸状部材３２の軸芯を中心として９０度ピッチ間隔で合計４つ配置されている。第１のエア流通路３２２の上側端部が可動側軸状部材３２の外側面に形成された連通孔３２１に各々連通する一方、第１のエア流通路３２２の下側端部が可動側軸状部材３２の下側端面に形成された開口３２３に各々連通している。
【００２８】
開口３２３は、可動側軸状部材３２の外面に設けられ且つ第１のエア流通路３２２とエアノズル５とを接続するための接続手段を構成するものであって、可動側軸状部材３２の軸芯を中心として９０度ピッチ間隔で合計４つ配置されており、可動側軸状部材３２の第１のエア流通路３２２と回転対象部材４の第２のエア流通路４２との間の接続点に位置している。
【００２９】
オイルレスエアベアリング３３ａ、３３ｂは多孔質焼焼結層とバックメタルを一体構造とした無給油ラジアル軸受けであって、可動側軸状部材３２の外周面との間の隙間にエア導入用ポート３１２ａ、３１２ｆを通して供給されたエアーが流通して可動側軸状部材３２を低摩擦で軸支するようになっている。潤滑油を使用しない以上、これがエア導入用ポート３１２ｂ〜３１２ｅからエアノズル５に至るエアー流通経路に混入するおそれは全くない。
【００３０】
ボールベアリング３８は潤滑油が使用される一般的なラジアル軸受けであり、可動側軸状部材３２の全長が長いことから、オイルレスエアベアリング３３ａ、３３ｂとともに併用されている。ただ、オイルレスエアベアリング３３ａ、３３ｂとは異なり、エア導入用ポート３１２ａ〜３１２ｆを有しない固定側筒状部材３６に設けられており、しかも固定側筒状部材３１の下に配置されていることから、固定側筒状部材３６から潤滑油が漏れたとしてもエア導入用ポート３１２ｂ〜３１２ｅからエアノズル５に至るエアー流通経路に混入するおそれはない。
【００３１】
以上のように構成されたエアーブロー機による場合、ロータリージョイント３のボールベアリング３８に使用される潤滑油がエアー流通経路に混入せず、ノズル５から噴射されるエアーに潤滑油が混じるようなことがないことから、例えば、ＬＥＤチップに潤滑油が付着する等のオイル漏洩による汚染防止を確実に行うことが可能になる。
【００３２】
また、エアーノズル５に特別な配管を接続することなく、可動対象部材４内に形成された第２のエア流通路４２を通じてエアーが供給される構成となっているので、従来とは異なり特別な配管が不要になり、この点で構成が簡単になり、この点で低コスト化を図ることが可能になる。しかもロータリージョイント３においてオイルレスエアベアリングとボールベアリングと併用していることから、オイルレスエアベアリングだけを使用するときに比べて割安になり、この点でも低コスト化を図ることが可能になる。
【００３３】
なお、ロータリージョイント３の代わりに図３に示すロータリージョイント３’を使用しても良い。これがロータリージョイント３と大きく異なる点は、(1)可動側軸状部材３２’の下端部の外周面に排気手段としてのエア排気ポート３２３’が設けられている点、(2)回転対象部材４’に第２のエア流通路がなく、図示されていないが、エアノズルとエア排気ポート３２３’との間を配管で接続するようにする点である。これ以外についてはロータリージョイント３と同様であるので説明は省略する。
【００３４】
なお、本発明に係るエアーブロー機はＬＥＤチップ選別機だけの適用に止まらず、エアーノズルを回転させてエア噴射方向を変化させる機能を有した機器である限り、どのような機器においても適用可能であるのは当然である。
【００３５】
ロータリージョイントについても種類、形状及び回路数は機器の対象に応じて適宜設計変更すれば良く、オイルレスエアベアリングの代わりにボールベアリングを用いてもかまわない。また、オイルレスエアベアリング又はボールベアリングの数や位置等についても特に限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施形態を説明するための図であって、エアブロー機器の一部破断側面図である。
【図２】図１中Ａ−Ａ線の矢視図である。
【図３】ロータリージョイントの変形例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  機器本体
３  ロータリージョイント
３１  固定側筒状部材
３１２ａ〜３１２ｆ  エア導入用ポート
３１３  軸状溝
３２  可動側軸状部材
３２１  連通穴
３２２  第１のエア流通路
３２３  開口（接続手段）
３３ａ  ３３ｂ  オイルレスエアベアリング
４  回転対象部材
４２  第２のエア流通路
５  エアーノズル
【図１】
2007330908.tif 000003
【図２】
2007330908.tif 000004
【図３】
2007330908.tif 000005