(57)【要約】【課題】  初期粘着力に優れ、加熱により粘着力が消失し自己剥離的に被着体より容易に剥離し、かつ被着体表面における粘着剤からの汚染が少ない粘着テープを提供する。【解決手段】  基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層が形成された粘着テープにおいて、該粘着剤層は、モノマー成分の少なくとも１種が、（メタ）アクリル酸アルキルエステルであるとともに該アルキル基が脂環式炭化水素基である共重合体をベース樹脂とし、さらに加熱膨張剤を含有することを特徴とする粘着テープ。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層が形成された粘着テープにおいて、該粘着剤層は、モノマー成分の少なくとも１種が、（メタ）アクリル酸アルキルエステルであるとともに該アルキル基が脂環式炭化水素基である共重合体をベース樹脂とし、さらに加熱膨張剤を含有することを特徴とする粘着テープ。
【請求項２】
前記脂環式炭化水素基がイソボロニル基であることを特徴とする請求項１記載の粘着テープ。
【請求項３】
前記（メタ）アクリル酸イソボロニルエステル含有量が前記ベース樹脂の５〜５０質量％であることを特徴とする請求項１または２記載の粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウエハ等の半導体や半導体パッケージを加工する時の仮固定用テープとして用いられる粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコンウエハ等半導体の研削加工時の表面保護や切断加工時の仮固定及びセラミックコンデンサ、半導体パッケージ等の電子部品の加工時における仮固定の際には、各種の粘着テープが使用されている。中でも加熱により体積が膨張するいわゆる加熱膨張性の材料（以下、単に「加熱膨張剤」という。）を粘着剤層に含有し、加熱処理を行うことにより剥離する加熱剥離性粘着テープが提案されている。
しかし、近年、前記加熱剥離性粘着テープのニーズが拡大し、多岐にわたって使用されると同時に被着体も多種多様なものとなっている。そのため、被着体によっては加熱してもテープが剥離できなかったり、粘着剤に起因する被着体の汚染等の問題が顕在化している。
【特許文献１】特開昭６０−２５２６８１号公報
【特許文献２】特開２００１−１３１５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明では初期粘着力に優れ、加熱により粘着力が消失し自己剥離的に被着体より容易に剥離し、かつ被着体表面における粘着剤からの汚染が少ない粘着テープを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
そこで、本発明者は上記課題につき鋭意検討したところ、モノマー成分の少なくとも１種が、（メタ）アクリル酸アルキルエステルであるとともに該アルキル基が脂環式炭化水素基である共重合体をベース樹脂とし、さらに加熱膨張剤を含有する粘着剤層が基材フィルムの少なくとも片面に形成された粘着テープが、加熱剥離後の被着体表面に残存する汚染が極めて少ないことを見出し、その知見に基づきなされたものである。
【０００５】
すなわち本発明は、
（１）基材フィルムの少なくとも片面に粘着剤層が形成された粘着テープにおいて、該粘着剤層は、モノマー成分の少なくとも１種が、（メタ）アクリル酸アルキルエステルであるとともに該アルキル基が脂環式炭化水素基である共重合体をベース樹脂とし、さらに加熱膨張剤を含有することを特徴とする粘着テープ、
（２）前記脂環式炭化水素基がイソボロニル基であることを特徴とする（１）記載の粘着テープ、
（３）前記（メタ）アクリル酸イソボロニルエステル含有量が前記ベース樹脂の５〜５０質量％であることを特徴とする（１）または（２）記載の粘着テープ、
を提供するものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の粘着テープは初期粘着力に優れ、加熱により自己剥離的に被着体より剥離可能で、剥離後の被着体への汚染が極めて少ないという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の粘着テープには、少なくとも基材フィルムの片面に直接または間接に粘着剤層が設けられ、該粘着層を構成する粘着剤樹脂組成物には、加熱膨張剤が含有されており、加熱により粘着層が膨張し、粘着層と被着体の接着界面に凹凸を生じさせ、被着体より容易に剥離することができる。なお、本発明において加熱膨張剤は加熱により体積が膨張する、いわゆる加熱膨張剤のほか、加熱により分解ガス等を発生する加熱発泡剤を含むものとする。
【０００８】
本発明で用いられる粘着剤は、モノマー成分の少なくとも１種が、（メタ）アクリル酸アルキルエステルであるとともに該アルキル基が脂環式炭化水素基である共重合体をベース樹脂として含有することを特徴とする。例えば、モノマー成分の少なくとも１種が、（メタ）アクリル酸アルキルエステルであるとともに該アルキル基が脂環式炭化水素基とし、他のモノマー成分として（メタ）アクリル酸のアルキルエステルを主な構成単位とする重合体、もしくは、共重合が可能な他の不飽和モノマーとの共重合体、またはこれらの重合体の混合物から任意に選択することができる。
【０００９】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルであるとともに該アルキル基が脂環式炭化水素基であるモノマー成分としては、イソボロニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらのモノマー成分と共重合可能なモノマー成分としては、メチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、エチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレートなどが挙げられ、さらに共重合可能な他の不飽和モノマーとしては、酢酸ビニル、スチレン等が挙げられる。
【００１０】
なお、粘着剤中における脂環式環状炭化水素基を有する不飽和モノマーの含有量は、５〜５０質量％であることが好ましい。
また本発明の粘着テープを構成する粘着剤の分子量は、好ましくは重量分子量で１万〜１００万であり、より好ましくは、２０万〜８０万である。この範囲内であれば初期粘着力に優れ、かつ凝集力が適度であり、塗工等の加工が容易であり、好適に用いることができる。
また、必要に応じてポリイソシアネート化合物、メラミン系化合物、エポキシ化合物の如き架橋剤を配合することができる。架橋剤の配合量としては共重合体１００重量部に対し、０．０５〜１０重量部が好ましい。
【００１１】
加熱膨張剤としては、ブタン、プロパン、ペンタン等の低沸点炭化水素をアクリロニトリル、塩化ビニリデン等の共重合体の如き熱可塑性樹脂で封入しカプセル化した熱膨張性マイクロカプセルを用いることができ、市販品として、マイクロスフェアー（松本油脂社製商品名）などがある。その他アゾジカルボンアミド、４，４’−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）等の熱により分解してガスを発生させる発泡剤のようなものも使用することができるが、粘着剤のベースポリマーへの分散性や経時安定性の点において、熱膨張性マイクロカプセルが好ましい。
【００１２】
加熱膨張剤の平均粒径は、粘着層の厚さの半分以上であることが好ましい。また加熱膨張前の被着体への粘着性を考慮に入れると粘着剤層の厚さ以下であることが好ましい。加熱膨張剤の配合量は、特に制限はないが粘着剤のベース樹脂１００質量部に対し１質量部から１００質量部、好ましくは５質量部から５０質量部が好ましい。
本発明における粘着テープの粘着剤の厚さについては、特に制限はないが５〜５０μｍが好ましい。
また、用途に応じて基材フィルムの両面に粘着剤層を設けた両面テープとすることも可能である。
【００１３】
基材フィルムについては、加熱により膨張剤を含有した粘着層が膨張し粘着力が低下する温度において、溶融しないものであれば制限なく使用することができる。このような要求特性を満足する基材フィルムの材質としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリイミドフィルム、ポリメチルペンテン、ポリスチレンブタジエンゴム、ポリプロピレン、また、これらが任意の組み合わせで混合されたものもしくは多層化されたものを用いることができる。更に、基材フィルムは熱変形温度以下で加熱後、冷却することにより処理されたものを使用することができる。基材フィルムの厚さとしては、２５〜２００μｍの範囲が好ましい。
【００１４】
（実施例）
次に、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１５】
（実施例１）
イソボロニルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、及び２−ヒドロキシエチルアクリレートが質量％比で２：７７：１０からなる重量平均分子量５０万のアクリル系共重合体１００質量部と、イソシアネート系硬化剤２質量部、熱膨張性マイクロカプセル（松本油脂社製商品名マツモトマイクロスフェアーＦ−５０、平均粒径１３．５μｍ、膨張開始温度１００℃）２０質量部とを混合し、粘着剤を得た。得られた粘着剤を、離型処理したポリエステル製セパレータ（厚さ：３８μｍ）上に厚さ３０μｍになるように塗布した後、ポリエステル製基材フィルム（厚さ１００μｍ）を貼着することにより粘着テープを得た。
【００１６】
（実施例２）
イソボロニルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、及び２−ヒドロキシエチルアクリレートが質量％比で５：８５：１０からなる重量平均分子量５０万のアクリル系共重合体１００質量部と、イソシアネート系硬化剤２質量部、熱膨張性マイクロカプセル（松本油脂社製商品名マツモトマイクロスフェアーＦ−５０、平均粒径１３．５μｍ、膨張開始温度１００℃）２０質量部とを混合し、粘着剤を得た。得られた粘着剤を、離型処理したポリエステル製セパレータ（厚さ：３８μｍ）上に厚さ３０μｍになるように塗布した後、ポリエステル製基材フィルム（厚さ１００μｍ）を貼着することにより粘着テープを得た。
【００１７】
（実施例３）
イソボロニルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、及び２−ヒドロキシエチルアクリレートが質量％比で２０：７０：１０からなる重量平均分子量５０万のアクリル系共重合体１００重量部と、イソシアネート系硬化剤２重量部、熱膨張性マイクロカプセル（松本油脂社製商品名マツモトマイクロスフェアーＦ−５０、平均粒径１３．５μｍ、膨張開始温度１００℃）２０質量部とを混合し、粘着剤を得た。得られた粘着剤を、離型処理したポリエステル製セパレータ（厚さ：３８μｍ）上に厚さ３０μｍになるように塗布した後、ポリエステル製基材フィルム（厚さ１００μｍ）を貼着することにより粘着テープを得た。
【００１８】
（実施例４）
イソボロニルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、及び２−ヒドロキシエチルアクリレートが質量％比で５０：４０：１０からなる重量平均分子量５０万のアクリル系共重合体１００質量部と、イソシアネート系硬化剤２質量部、熱膨張性マイクロカプセル（松本油脂社製商品名マツモトマイクロスフェアーＦ−５０、平均粒径１３．５μｍ、膨張開始温度１００℃）２０質量部とを混合し、粘着剤を得た。得られた粘着剤を、離型処理したポリエステル製セパレータ（厚さ：３８μｍ）上に厚さ３０μｍになるように塗布した後、ポリエステル製基材フィルム（厚さ１００μｍ）を貼着することにより粘着テープを得た。
【００１９】
（実施例５）
イソボロニルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、及び２−ヒドロキシエチルアクリレートが質量％比で６０：３０：１０からなる重量平均分子量５０万のアクリル系共重合体１００質量部と、イソシアネート系硬化剤２質量部、熱膨張性マイクロカプセル（松本油脂社製商品名マツモトマイクロスフェアーＦ−５０、平均粒径１３．５μｍ、膨張開始温度１００℃）２０質量部とを混合し、粘着剤を得た。得られた粘着剤を、離型処理したポリエステル製セパレータ（厚さ：３８μｍ）上に厚さ３０μｍになるように塗布した後、ポリエステル製基材フィルム（厚さ１００μｍ）を貼着することにより粘着テープを得た。
【００２０】
（実施例６）
シクロヘキシルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、及び２−ヒドロキシエチルアクリレートが質量％比で２０：７０：１０からなる重量平均分子量５０万のアクリル系共重合体１００質量部と、イソシアネート系硬化剤２質量部、熱膨張性マイクロカプセル（松本油脂社製商品名マツモトマイクロスフェアーＦ−５０、平均粒径１３．５μｍ、膨張開始温度１００℃）２０質量部とを混合し、粘着剤を得た。得られた粘着剤を、離型処理したポリエステル製セパレータ（厚さ：３８μｍ）上に厚さ３０μｍになるように塗布した後、ポリエステル製基材フィルム（厚さ１００μｍ）を貼着することにより粘着テープを得た。
【００２１】
（比較例１）
２−エチルヘキシルアクリレート、及び２−ヒドロキシエチルアクリレートが質量％比で８０：２０からなる重量平均分子量５０万のアクリル系共重合体１００質量部と、イソシアネート系硬化剤２質量部、熱膨張性マイクロカプセル（松本油脂社製商品名マツモトマイクロスフェアーＦ−５０、平均粒径１３．５μｍ、膨張開始温度１００℃）２０質量部とを混合し、粘着剤を得た。得られた粘着剤を、離型処理したポリエステル製セパレータ（厚さ：３８μｍ）上に厚さ３０μｍになるように塗布した後、ポリエステル製基材フィルム（厚さ１００μｍ）を貼着することにより粘着テープを得た。
【００２２】
（評価項目）
上記の実施例１〜５及び比較例１の粘着テープにおいて、以下の試験を行い、評価を行った。総合評価は、粘着力と剥離性と異物の付着量のバランスから、剥離性が良く異物の付着量が少ないものを◎、異物の付着量が少ないが剥離性にやや劣るものや、異物の付着量が少ないが粘着力が低い（＞１Ｎ／２５ｍｍ）ものを○、異物の付着量の多いものを×とした。その結果を表１に示す。
【００２３】
（粘着力）
５インチシリコンウエハの鏡面側に幅２５ｍｍに切断した粘着テープを貼り付け、１時間放置後に剥離速度５０ｍｍ／分、剥離角度９０度にて剥離し、粘着力を測定した。
【００２４】
（剥離性）
各粘着テープについて、５インチシリコンウエハの鏡面に張り合わせて１時間放置した後、ホットプレートにて１３０℃で加熱処理した際の、ウェハからテープが完全に剥離するまでの時間で評価した。
剥離するまでの時間が１０秒以内のものを◎
剥離するまでの時間が３０秒以上のものを○
剥離しないものを×とした。
【００２５】
（異物の付着量）
各粘着テープについて、５インチシリコンウエハの鏡面に張り合わせて１時間放置した後、ホットプレートにて１３０℃で加熱処理し、粘着テープを剥がした後のシリコンウエハの鏡面について、サーフスキャン６４２０（ＫＬＡテンコール社製商品名）を用いて異物の付着量を観察した。直径０．３μｍ以上の異物の合計付着量について、
異物の付着量が２００個未満のものを○、
異物の付着量が２００個以上のものを×とした。
【００２６】
【表１】
2007091773.tif 000002
【００２７】
表１からわかるように、モノマー成分の少なくとも１種が、（メタ）アクリル酸アルキルエステルであるとともに該アルキル基が脂環式炭化水素基である共重合体をベース樹脂とし、さらに加熱膨張剤を含有する粘着剤が基材フィルム上に形成された粘着テープである実施例１〜６はいずれも適度な粘着力を有しつつ異物の付着量は満足できるレベルであった。
特にイソボロニルアクリレートが５％の実施例２と、同じく２０％の実施例３は、粘着力が１．０Ｎ／２５ｍｍ以上と高い値を示すにもかかわらず、剥離するまでの時間が１０秒以内と剥離性が優れており、異物付着量も２００個未満で良好な結果を示した。
それに対してモノマー成分の少なくとも１種が、（メタ）アクリル酸アルキルエステルであるとともに該アルキル基が脂環式炭化水素基である共重合体をベース樹脂としない比較例１は著しく異物付着量が多く、使用上問題を生じた。