(57)【要約】【課題】  主として、コストの増大を押さえ、簡単な構成で、しかも、取付位置の無段階調整が高精度で可能で、しかも作業効率が向上する高精度取付機構を提供する。【解決手段】  被取付体２００の取付面２００ｂに対する取付体の取付位置を無段階調整可能とする可動体３０と、被取付体２００の取付面２００ｂに対する取付体の取付位置を調整した後、可動体３０を拘束する拘束体２０とで構成される調整部１５を具備し、調整部１５を、取付体の取付位置に１又は複数配置した構成とした。  この場合、可動体は、外周はネジ状に形成されると共に、取付体の取付ネジに螺合する取付用メネジ部が形成され、拘束体２０は、当該拘束体２０と可動体３０とを拘束する拘束ボルト２２を具備すると共に、可動体３０に螺合する螺合部と、螺合部と可動体３０の拘束力を調整するスリットと、拘束ボルト２２用のネジ孔が形成されている構成とすると良い。【選択図】  図１
2007239789.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被取付体の取付面に対する取付体の取付位置を無段階調整可能とする可動体と、
前記被取付体の取付面に対する前記取付体の取付位置を調整した後、前記可動体を拘束する拘束体とで構成される調整部を具備し、
前記調整部を、前記取付体の取付位置に１又は複数配置してなり、前記取付体の取付位置を高精度で調整可能としたことを特徴とする高精度取付機構。  
【請求項２】
前記可動体は、外周はネジ状に形成されると共に、前記取付体の取付ネジに螺合する取付用メネジ部が形成され、
前記拘束体は、当該拘束体と前記可動体とを拘束する拘束ボルトを具備すると共に、前記可動体に螺合する螺合部と、前記螺合部と前記可動体の拘束力を調整するスリットと、前記拘束ボルト用のネジ孔が形成されていることを特徴とする請求項１記載の高精度取付機構。  
【請求項３】
前記可動体は、外周はネジ状に形成されると共に、前記取付体の取付ネジに螺合する取付メネジ部が形成され、
前記拘束体は、当該拘束体と前記可動体とを拘束する拘束ナットを具備すると共に、前記可動体に螺合する螺合部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の高精度取付機構。  
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の高精度取付機構を用い、
先ず、前記１又は複数の調整部を、前記被取付体の取付面の取付位置に配置し、
次に、水準器を載置した調整用基準治具を前記調整部の可動体にあてがい、
前記被取付体内に設けられた収納部に載置された水準器と、前記調整用基準治具に載置された水準器が整合するように、前記可動体の位置を調整することで、前記被取付体の取付面と収納部の平行度又は垂直度を精密に調整するようにしたことを特徴とする高精度取付方法。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、クリーンルーム内において、半導体ウェハーを半導体製造装置等の被取付体にロードするためのロードポート等の取付体を、被取付体の取付面に、高精度で取り付け可能とした高精度取付機構及び高精度取付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内において、ポッド内の半導体ウェハーを半導体製造装置に移送する際に、ポッドの密閉状態を保ったまま、ポッド内の半導体ウェハーを半導体製造装置に移送する装置として、ロードポートが用いられている。
【０００３】
以下、一般に、このロードポート等の取付体を、半導体ウェハー等の搬送物の搬送手段が内蔵された半導体製造装置等の被取付体に取り付ける際の取り付け方法の概要について、図１１を用いて説明する。
図１１は、従来の取付体を被取付体に取り付ける方法の概要を説明するための全体構成を示す斜視図である。
【０００４】
図１１に示すように、従来の取付体１００を被取付体２００に取り付ける方法では、被取付体２００に、取付ネジ１１０に螺合する取付メネジ２１０を設け、取付体１００を被取付体２００の取付面２００ｂにあてがい、取付ネジ１１０で固定することにより、取り付けるようにしていた。
【０００５】
なお、図１１において、２００ａは、被取付体２００の開口であり、２点鎖線内全体又は取付メネジ２１０周囲の局部が、取付体１００を被取付体２００に取り付ける取付面２００ｂとなる。
また、取付体１００は、被取付体２００に１台又は複数台（図示のものは１台）取り付けられる。
【０００６】
ところで、図１２左に示すように、取付体１００を被取付体２００に取り付ける際に、被取付体２００の取付面２００ｂが平滑な平面であることが望ましいが、実際は、この取付面２００ｂが、同図右に示すように、取付面２００ｂが一平面でない場合がある。
なお、図１２は、図１１のＡ−Ａ縦断側面図である。
この状態で、取付体１００を取付面２００ｂに取り付けると、取付体１００自体が変形し、必要な精度が確保できなくなる。
また、取付体１００の機能を阻害する事態に繋がる恐れもある。
【０００７】
この対策として、従来から次のような取付方法が採られている。
以下、第１乃至第４の従来の取付体の取付方法について、図１３乃至図１６を用いて説明する。
図１３乃至図１５は、第１乃至第３の従来の取付体の取付方法を示す縦断側面図である。
図１６は、取付位置調整装置を用いて取付位置を調整する第４の従来の取付体の取付方法を示す側面図である。
【０００８】
先ず、第１の従来方法として、図１３に示すように、取付面２００ｂ全体を機械加工仕上げして、平面Ｐを出す方法である。
次に、第２の従来方法として、図１４に示すように、取付メネジ２１０周囲の局部２１２を、取付面２００ｂ全体で機械加工仕上げして、平面Ｐを出す方法である。
また、第３の従来方法として、図１５に示すように、取付メネジ２１０周囲の局部にシム２１４等を挿入又は取り付けて、平面Ｐを出す方法である。
【０００９】
更に、第４の従来方法として、取付位置調整装置を用いて取付位置を調整する方法が特許文献１に記載されている。
この従来の取付位置調整装置について、図１６を用いて説明する。
【００１０】
図１６に示すように、従来の取付位置調整装置１２０は、取付体１００の上下のブラケット１３０、１３２と、この上下のブラケット１３０、１３２に位置調整ボルト１４０、１４２を取り付けた構成である。
この位置調整ボルト１４０、１４２は、押しボルトを中空軸とし、この中空軸に引きボルトを挿入することにより構成される。
この従来の取付位置調整装置１２０では、被取付体２００の取付面２００ｂの上部下部に上下のプレート２０２、２０４を設け、これらに相対する取付体１００側の位置調整ボルト１４０、１４２を制御することにより、取付位置を調整するようにしている。
【００１１】
【特許文献１】特開２００３−３４７３８７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、上記した被取付体の取付面が平面でない場合の第１乃至第４の従来の取り付け方法は、次のような問題を有している。
先ず、第１及び第２の従来方法である、取付面全体を機械加工仕上げする方法、及び、取付メネジ周囲の局部を機械加工して平面を出す方法では、次のような問題がある。
第１に、加工仕上げコストが過大になる。
第２に、加工仕上げ後、被取付体内にロボット等の搬送手段を収納した際、その重量により取付面に変形が生じ、平面精度が低下する場合がある。
【００１３】
次に、第３の従来方法である、取付メネジ周囲の局部にシム等を挿入又は取り付けて、平面を出す方法では、コスト面では有利であるが、シムの厚さ、枚数により調整するため、複数種のシムを準備しておく必要があり、取付作業が煩雑になるという問題がある。
また、シム単位の調整になるため、高精度の平面が要求される場合には不適格であるという問題もある。
【００１４】
更に、第４の従来方法として、取付位置調整装置を用いる方法では、取付体と被取付体で一対一対応の調整となり、取付体の交換時には再調整が必要になり、交換作業が煩雑になるという問題を備えている。
また、被取付体で、上下のプレートを用いる等、構成部品が多く、コスト高になるという問題もある。
【００１５】
本発明は、上記課題（問題点）を解決し、コストの増大を押さえ、簡単な構成で、しかも、取付位置の無段階調整が高精度で可能で、しかも作業効率が向上する高精度取付機構及び高精度取付方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の高精度取付機構は、請求項１に記載のものでは、被取付体の取付面に対する取付体の取付位置を無段階調整可能とする可動体と、前記被取付体の取付面に対する前記取付体の取付位置を調整した後、前記可動体を拘束する拘束体とで構成される調整部を具備し、前記調整部を、前記取付体の取付位置に１又は複数配置してなり、前記取付体の取付位置を高精度で調整可能とした構成とした。
【００１７】
請求項２に記載の高精度取付機構は、前記可動体は、外周はネジ状に形成されると共に、前記取付体の取付ネジに螺合する取付用メネジ部が形成され、前記拘束体は、当該拘束体と前記可動体とを拘束する拘束ボルトを具備すると共に、前記可動体に螺合する螺合部と、前記螺合部と前記可動体の拘束力を調整するスリットと、前記拘束ボルト用のネジ孔が形成されている構成とした。
【００１８】
請求項３に記載の高精度取付機構は、前記可動体は、外周はネジ状に形成されると共に、前記取付体の取付ネジに螺合する取付メネジ部が形成され、前記拘束体は、当該拘束体と前記可動体とを拘束する拘束ナットを具備すると共に、前記可動体に螺合する螺合部が形成されている構成とした。
【００１９】
本発明の高精度取付方法は、請求項４に記載のものでは、請求項１乃至３のいずれかに記載の高精度取付機構を用い、先ず、前記１又は複数の調整部を、前記被取付体の取付面の取付位置に配置し、次に、水準器を載置した調整用基準治具を前記調整部の可動体にあてがい、前記被取付体内に設けられた収納部に載置された水準器と、前記調整用基準治具に載置された水準器が整合するように、前記可動体の位置を調整することで、前記被取付体の取付面と収納部の平行度又は垂直度を精密に調整するようにした。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の高精度取付機構は、上記のように構成したために、以下のような優れた効果を有する。
（１）請求項１に記載したように構成すると、低コストで、取付位置の無段階調整が高精度で可能で、しかも作業効率が向上する高精度取付機構とすることができる。
【００２１】
（２）請求項２及び３に記載したように構成すると、低コストで、好適な機能を持つ調整部を備えた高精度取付機構とすることができる。
【００２２】
本発明の高精度取付方法は、上記のように構成したために、以下のような優れた効果を有する。
（１）請求項４に記載したように構成すると、取付位置の無段階調整が高精度で可能で、取付面と収納部との平行度又は垂直度を精密に調整することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の高精度取付機構の第１、第２の実施の形態、及び本発明の高精度取付方法について、図１乃至図８を用いて順次説明する。
【００２４】
高精度取付機構の第１の実施の形態：
先ず、本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態について、図１乃至図５を用いて説明する。
図１は、本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態の全体構成を示す斜視図である。
図２は、本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態の構成を示す、図１におけるＢ−Ｂライン縦断側面図である。
図３は、本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態に用いる可動体の形状を示す正面図及び縦断側面図である。
図４は、本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態に用いる拘束体の構成を示す平面図である。
図５は、本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態に用いる拘束体の構成を示す正面図である。
【００２５】
先ず、本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態の全体構成を図１及び図２を用い、図１１を参照して説明する。
図１及び図２に示すように、本実施の形態の本発明の高精度取付機構１０は、例えば、半導体製造装置等の被取付体２００の取付面２００ｂに対する取付体１００（図１１参照）の取付位置を無段階調整可能とする可動体３０と、この可動体３０を拘束する拘束体２０とで構成される調整部１５を、取付体１００の取付位置に１又は複数配置することにより構成される。
なお、図１の場合、調整部１５は、破線で示すように、被取付体２００の取付面２００ｂの裏面に４つ配置されている。
【００２６】
次に、本実施の形態の高精度取付機構１０の各構成について、図３乃至図５を用い、図１１を参照して説明する。
図３に示すように、可動体３０は、外周はネジ状に形成されると共に、取付体１００の取付ネジ１１０（図１１参照）に螺合する取付用メネジ部３４が形成されている。
また、図３において、３２は、可動体３０の回転操作用スリットである。
この場合、回転操作用スリット３２の替わりに、六角穴等の、可動体３０の他の回転操作用形状としても良い。
【００２７】
図４及び図５に示すように、拘束体２０は、この拘束体２０と可動体３０とを拘束する拘束ボルト２２を備えていると共に、拘束体２０には、可動体３０の外周に螺合する螺合部２４と、この螺合部２４と可動体３０の拘束力を調整するスリット２６と、拘束ボルト用のネジ孔２０ａが形成されている。
【００２８】
次に、以上の構成で、本実施の形態の高精度取付機構１０の基本動作を図１乃至図５を用いて説明する。
図２に示すように、本実施の形態の本発明の高精度取付機構１０では、被取付体２００の取付面２００ｂの裏面に調整部１５を配置した後に、拘束体２０の螺合部２４に螺合させた可動体３０の位置を、矢印で示すように無段階で制御し、実際の取付面Ｐの平面を調整する。
【００２９】
被取付体２００の取付面２００ｂに対する取付体の取付位置を調整した後、可動体３０を拘束する拘束体２０に備えられた拘束ボルト２２でスリット２６を締め付けることにより可動体３０を拘束体２０に拘束する。
この状態で、取付体を被取付体２００に取り付けると、高精度で位置決めが可能になる。
【００３０】
即ち、本実施の形態の高精度取付機構１０では、従来のものとは相違し、取付面２００ｂの機械加工仕上げが不要で、被取付体の上下のプレート等も必要としないので、コストを大幅に低減できる。
また、シム等を用いないで、無段階で位置調整を行うので、平面精度が向上する。
更に、一旦、平面出しを行った後は、取付体を交換しても再度の調整が不要であるため、作業効率が飛躍的に向上する。
【００３１】
高精度取付機構の第２の実施の形態：
次に、本発明の高精度取付機構の第２の実施の形態について、図６を用い、図１１を参照して説明する。
図６は、本発明の高精度取付機構の第２の実施の形態に用いる調整部の構成を示す縦断側面図である。
【００３２】
本実施の形態の高精度取付機構は、第１の実施の形態同様に、取付体の取付位置を無段階調整可能とする可動体６０と、この可動体６０を拘束する拘束体５０とで構成される調整部４０を、取付体の取付位置に１又は複数配置することにより構成される。
また、可動体６０は、外周はネジ状に形成されると共に、取付体１００の取付ネジ１１０（図１１参照）に螺合する取付用メネジ部６２が形成されている。
【００３３】
一方、本実施の形態の高精度取付機構の調整部４０の特徴は、拘束体５０は、当該拘束体５０と可動体６０とを拘束する拘束ナット５２を備えると共に、可動体６０の外周に螺合する螺合部５４が形成されていることである。
このように構成することにより、第１の実施の形態同様の作用効果を有するのは容易に理解される。
【００３４】
高精度取付方法の一実施の形態：
次に、本発明の高精度取付方法の一実施の形態について、図７及び図８を用いて説明する。
図７は、本発明の高精度取付方法を説明する側面図である。
図８は、本発明の高精度取付方法を説明する斜視図である。
【００３５】
本実施の形態の高精度取付方法では、上記した第１、第２いずれかの高精度取付機構を用い、先ず、１又は複数の調整部を、被取付体２００の取付位置に配置する。
次に、水準器９２を載置した調整用基準治具９０を可動体３０（６０）にあてがい、被取付体２００内に設けられた収納部９６に載置された水準器９４と、調整用基準治具９０に載置された水準器９２が整合するように、可動体３０（６０）の位置を調整する。
【００３６】
この場合、被取付体２００の取付面と収納部９６の平行度又は垂直度を精密に調整するのは、例えば、調整用基準治具９０の所定位置に開けている孔からドライバー等の工具１５０を挿入し、可動体３０（６０）を平面に対して垂直方向に前進或いは後退させ、取付面の平面精度を出す。
同時に、上記したように、収納部９６に載置した水準器９４による水平度と、調整用基準治具９０に載置した水準器９２による水平度を合わせることで、取付面と収納部９６との平行度又は垂直度を精密に調整することが可能となる。
なお、収納部９６は搬送物半導体ウェハー等の収納品を収納する。
【００３７】
ところで、上記各実施の形態では、例えば、調整部を４つ取り付ける例で説明したが、調整部を１又は２取り付けるようにした高精度調整機構としても良い。
この理由について、図９及び図１０を用いて補足説明する。
図９及び図１０は、補足説明用の概念図で、図９は、調整部が１つの場合、図１０は、調整部が２つの場合である。
【００３８】
一般に、平面は、図９及び図１０に示すように、その特性は平面上の３点を指定することにより決定される。
従って、図９に示すように、調整部を１カ所だけ配置し、この箇所だけを調整点７０とし、他を固定点８０としたとしても、矢印で示すように調整点７０を調整するだけで好適な平面Ｐを作り出すことも可能である。
但し、被取付体内の収納部と取付体の相対的な設置平行度や被取付体が設置されている床面に対する垂直度を調整する場合は、図１０に示すように調整点７０が２箇所以上となるようにすることが望ましい。
【００３９】
本発明の高精度調整機構は、上述した各実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。
例えば、可動体は無段階で位置調整が可能であれば良く、可動体の形状は上記各実施の形態に限定されない。
また、拘束体は可動体の調整が終了した後は可動体を拘束する機能を有すれば良く、拘束体の形状は、上記各実施の形態のものに限定されないのは勿論のことである。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態の構成を示す、図１におけるＢ−Ｂ縦断側面図である。
【図３】本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態に用いる可動体の形状を示す正面図及び縦断側面図である。
【図４】本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態に用いる拘束体の構成を示す平面図である。
【図５】本発明の高精度取付機構の第１の実施の形態に用いる拘束体の構成を示す正面図である。
【図６】本発明の高精度取付機構の第２の実施の形態に用いる調整部の構成を示す縦断側面図である。
【図７】本発明の高精度取付方法を説明する側面図である。
【図８】本発明の高精度取付方法を説明する斜視図である。
【図９】補足説明用の概念図で、調整部が１つの場合である。
【図１０】補足説明用の概念図で、調整部が２つの場合である。
【図１１】従来の取付体を被取付体に取り付ける方法の概要を説明するための全体構成を示す斜視図である。
【図１２】図１１のＡ−Ａ縦断側面図である。
【図１３】第１の従来の取付体の取付方法を示す縦断側面図である。
【図１４】第２の従来の取付体の取付方法を示す縦断側面図である。
【図１５】第３の従来の取付体の取付方法を示す縦断側面図である。
【図１６】取付位置調整装置を用いて取付位置を調整する第４の従来の取付体の取付方法を示す側面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０：高精度取付機構
１５、４０：調整部
２０、５０：拘束体
２０ａ：拘束ボルト用のネジ孔
２２：拘束ボルト
２４、５４：螺合部
２６：スリット
３０、６０：可動体
３４、６２：取付用メネジ部
５２：拘束ナット
９０：調整用基準治具
９２、９４：水準器
９６：収納部
１００：取付体
１１０：取付ネジ
２００：被取付体
２００ｂ：被取付体の取付面
Ｐ：実際の取付面（平面）
【図１】
2007239789.tif 000003
【図２】
2007239789.tif 000004
【図３】
2007239789.tif 000005
【図４】
2007239789.tif 000006
【図５】
2007239789.tif 000007
【図６】
2007239789.tif 000008
【図７】
2007239789.tif 000009
【図８】
2007239789.tif 000010
【図９】
2007239789.tif 000011
【図１０】
2007239789.tif 000012
【図１１】
2007239789.tif 000013
【図１２】
2007239789.tif 000014
【図１３】
2007239789.tif 000015
【図１４】
2007239789.tif 000016
【図１５】
2007239789.tif 000017
【図１６】
2007239789.tif 000018