(57)【要約】【課題】高価な差圧センサを用いずに密閉ケースの大漏れ異常を検出することが可能な密閉検査装置及び密閉検査方法の提供を目的とする。【解決手段】本発明の気密検査装置１０によれば、従来の差圧検出方式の密閉検査装置のように高価な差圧センサを用いずに、密閉ケース１００における大漏れ異常から小漏れ異常まで幅広く検出することができる。また、大漏れ異常が検出された密閉ケース１００については小漏れ異常の判別を行なわないので、密閉検査を効率よく行うことができる。またマスタチャンバー１２の容積が、検査チャンバー１１の内部空間の容積よりも小さくなっているから、従来の差圧検出方式の密閉検査装置よりも小型化することができる。【選択図】図１
2007212338.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気部品を収容した密閉ケースの気密異常を検出する密閉検査装置であって、
前記密閉ケースを収容した状態で密閉可能な検査容器と、
一定容量の内部空間を有し、密閉可能なマスタ容器と、
前記検査容器と前記マスタ容器との間に設けられた容器間バルブと、
前記容器間バルブを閉じた状態で、前記検査容器又は前記マスタ容器に対して脱気又は給気して前記検査容器の内圧を第１圧力、前記マスタ容器の内圧を前記第１圧力と異なる第２圧力にすることが可能な圧力差生成手段と、
前記検査容器の内圧を検出可能な圧力計と、
内圧が前記第１圧力の前記検査容器と内圧が前記第２圧力の前記マスタ容器とを前記容器間バルブによって連通したときに前記圧力計が検出した検出圧力を取得し、その検出圧力が予め設定された第１基準圧と所定の範囲で一致したか否かに応じて前記密閉ケースの大漏れ異常の有無を判別する大漏れ異常判別部と、を備えたことを特徴とする密閉検査装置。
【請求項２】
前記検査容器の内部空間の容積から前記密閉ケースの容積を差し引いた分の容積をＶ１、
前記マスタ容器の内部空間の容積をＶ２、
前記第１圧力をＰ１、
前記第２圧力をＰ２、
前記第１基準圧をＰｓとした場合に、
Ｐｓ＝（Ｐ１・Ｖ１＋Ｐ２・Ｖ２）／（Ｖ１＋Ｖ２）
、であることを特徴とする請求項１に記載の密閉検査装置。
【請求項３】
前記検査容器を密閉し又は前記検査容器を前記マスタ容器以外の外部から断絶して、前記検査容器の内圧が第２基準圧にされたことを条件にして作動し、前記検査容器の内圧が前記第２基準圧にされてから所定の時間を経過するまで、前記圧力計による検出圧力が前記第２基準圧に所定の許容範囲内で保持したか否かに応じて前記密閉ケースの小漏れ異常の有無を判別する小漏れ異常判別部を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の密閉検査装置。
【請求項４】
前記第１圧力は、大気圧であり、
前記圧力差生成手段は、前記マスタ容器に接続されて脱気又は給気可能なマスタ容器連結ポンプと、前記マスタ容器連結ポンプと前記マスタ容器との間に設けられたマスタ容器ポンプ間バルブとで構成され、
前記マスタ容器連結ポンプと前記容器間バルブと前記マスタ容器ポンプ間バルブとを駆動制御すると共に、前記大漏れ異常判別部と前記小漏れ異常判別部の作動タイミングを制御する制御部を設け、
前記制御部は、
前記容器間バルブを閉じかつ前記マスタ容器ポンプ間バルブを開き、前記マスタ容器連結ポンプにて脱気又は給気を行った後、前記マスタ容器ポンプ間バルブを閉じて前記マスタ容器の内圧を前記第２圧力に保持し、前記検査容器が前記密閉ケースを収容しかつ密閉された状態で前記容器間バルブを開いて前記大漏れ異常判別部を作動させると共に、
前記大漏れ異常判別部による判別終了後に、前記容器間バルブ及び前記マスタ容器ポンプ間バルブを開いた状態にしてそれらの内圧が前記第２基準圧になるまで前記マスタ容器連結ポンプにて脱気又は給気を行った後、前記容器間バルブ及び前記マスタ容器ポンプ間バルブを閉じて前記小漏れ異常判別部を作動させるように構成されたことを特徴とする請求項３に記載の密閉検査装置。
【請求項５】
前記第２圧力は、大気圧であり、
前記圧力差生成手段は、前記検査容器に接続されて脱気又は給気可能な検査容器連結ポンプと、前記検査容器連結ポンプと前記検査容器との間に設けられた検査容器ポンプ間バルブと、前記マスタ容器の内部空間を外部に開放可能なマスタ容器大気間バルブとで構成され、
前記検査容器連結ポンプと前記容器間バルブと前記検査容器ポンプ間バルブと前記マスタ容器大気間バルブとを駆動制御すると共に、前記大漏れ異常判別部と前記小漏れ異常判別部の作動タイミングを制御する制御部を設け、
前記制御部は、
前記容器間バルブを閉じかつ前記検査容器ポンプ間バルブを開き、前記検査容器連結ポンプにて脱気又は給気を行った後、前記検査容器ポンプ間バルブを閉じて前記検査容器の内圧を前記第１圧力に保持し、前記マスタ容器が内圧を大気圧にして密閉された状態で前記容器間バルブを開いて前記大漏れ異常判別部を作動させると共に、
前記大漏れ異常判別部による判別終了後に、前記容器間バルブ又は前記マスタ容器大気間バルブの少なくとも一方を閉じかつ前記検査容器ポンプ間バルブを開いた状態にして前記検査容器の内圧が前記第２基準圧になるまで前記検査容器連結ポンプにて脱気又は給気を行った後、前記検査容器ポンプ間バルブを閉じて前記小漏れ異常判別部を作動させるように構成されたことを特徴とする請求項３に記載の密閉検査装置。
【請求項６】
電気部品を収容した密閉ケースの気密異常を検出する密閉検査方法であって、
密閉可能な検査容器とマスタ容器とを容器間バルブで連結しておき、
前記容器間バルブを閉じ、前記検査容器に前記密閉ケースを収容してその検査容器の内圧を第１圧力にして密閉すると共に、前記マスタ容器の内圧を前記第１圧力と異なる第２圧力にして密閉する第１圧力状態生成工程と、
前記第１圧力状態生成工程の後に前記容器間バルブを開いて前記検査容器の内圧を検出し、その検出圧力が予め設定された第１基準圧と所定の範囲で一致したか否かに応じて前記密閉ケースの大漏れ異常の有無を判別する第１判別工程とを行うことを特徴とする密閉検査方法。
【請求項７】
前記検査容器の内部空間の容積から前記密閉ケースの容積を差し引いた分の容積をＶ１、
前記マスタ容器の内部空間の容積をＶ２、
前記第１圧力をＰ１、
前記第２圧力をＰ２、
前記第１基準圧をＰｓとした場合に、
Ｐｓ＝（Ｐ１・Ｖ１＋Ｐ２・Ｖ２）／（Ｖ１＋Ｖ２）
、であることを特徴とする請求項６に記載の密閉検査方法。
【請求項８】
前記第１判別工程で、大漏れ異常無しと判別された前記密閉ケースを前記検査容器に収容した状態で、前記検査容器を密閉し又は前記検査容器を前記マスタ容器以外の外部から断絶して、前記検査容器の内圧を第２基準圧にする第２圧力状態生成工程と、
前記第２圧力状態生成工程で、前記検査容器の内圧が前記第２基準圧にされてから所定の時間を経過するまで、前記検査容器の内圧の検出圧力が前記第２基準圧に所定の許容範囲内で保持された否かに応じて前記密閉ケースの小漏れ異常の有無を判別する第２判別工程とを行うことを特徴とする請求項６又は７に記載の密閉検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気部品を収容した密閉ケースの気密処理異常を検出する密閉検査装置及び密閉検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の密閉検査装置としては、直圧検出方式のものと差圧検出方式のものが知られている。直圧検出方式とは、例えば、密閉ケースを検査カプセルに密閉状態に収容してその検査カプセルの内圧を所定圧にし、その後の検査カプセルの内圧を圧力計で検出して、密閉ケースの気密処理異常（漏れ）の有無を、検査カプセルの内圧の変化として検出するものである。
【０００３】
これに対し、差圧検出方式とは、同一容積の検査カプセルとマスタカプセルとの間に差圧センサを接続しておき、検査カプセルに検査対象の密閉ケースを収容すると共に、マスタカプセルに漏れの無い基準密閉ケースを収容して、それら検査カプセルとマスタカプセルとを同時に加圧又は減圧し、密閉ケースの気密処理異常を、検査カプセルとマスタカプセルとの内圧の差として検出するものである（例えば、非特許文献１参照）。
【非特許文献１】株式会社コスモ計器、［ｏｎｌｉｎｅ］、［平成１８年１月６日検索］、インターネット［URL:http://www.cosmo-k.co.jp/tec/ltinfo02.htm］
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述した直圧検出方式の密閉検査装置では、密閉ケースに大漏れがある場合、検査カプセルが所定圧に到達するのとほぼ同時に密閉ケースの内圧も所定圧に到達するため、検査カプセルを所定圧にした後で内圧が変化せず、その結果、密閉ケースの大漏れを検出することができない。
【０００５】
これに対し、差圧検出方式の密閉検査装置によれば、上記した直圧検出方式のような問題は生じないが、差圧センサは、直圧検出方式の密閉検査装置で使用される圧力計に比較して非常に高価であるといった問題がある。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、高価な差圧センサを用いずに密閉ケースの大漏れ異常を検出することが可能な密閉検査装置及び密閉検査方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するためになされた請求項１の発明に係る密閉検査装置（１０，５０，６０）は、電気部品（１０４）を収容した密閉ケース（１００）の気密異常を検出する密閉検査装置（１０，５０，６０）であって、密閉ケース（１００）を収容した状態で密閉可能な検査容器（１１）と、一定容量の内部空間を有し、密閉可能なマスタ容器（１２）と、検査容器（１１）とマスタ容器（１２）との間に設けられた容器間バルブ（１４）と、容器間バルブ（１４）を閉じた状態で、検査容器（１１）又はマスタ容器（１２）に対して脱気又は給気して検査容器（１１）の内圧を第１圧力、マスタ容器（１２）の内圧を第１圧力と異なる第２圧力にすることが可能な圧力差生成手段（１３，１５，１７，１８）と、検査容器（１１）の内圧を検出可能な圧力計（１６）と、内圧が第１圧力の検査容器（１１）と内圧が第２圧力のマスタ容器（１２）とを容器間バルブ（１４）によって連通したときに圧力計（１６）が検出した検出圧力を取得し、その検出圧力が予め設定された第１基準圧と所定の範囲で一致したか否かに応じて密閉ケース（１００）の大漏れ異常の有無を判別する大漏れ異常判別部（４２）と、を備えたところに特徴を有する。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１に記載の密閉検査装置（１０，５０，６０）において、検査容器（１１）の内部空間の容積から密閉ケース（１００）の容積を差し引いた分の容積をＶ１、マスタ容器（１２）の内部空間の容積をＶ２、第１圧力をＰ１、第２圧力をＰ２、第１基準圧をＰｓとした場合に、
Ｐｓ＝（Ｐ１・Ｖ１＋Ｐ２・Ｖ２）／（Ｖ１＋Ｖ２）
、であるところに特徴を有する。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１又は２に記載の密閉検査装置（１０，５０，６０）において、検査容器（１１）を密閉し又は検査容器（１１）をマスタ容器（１２）以外の外部から断絶して、検査容器（１１）の内圧が第２基準圧にされたことを条件にして作動し、検査容器（１１）の内圧が第２基準圧にされてから所定の時間を経過するまで、圧力計（１６）による検出圧力が第２基準圧に所定の許容範囲内で保持したか否かに応じて密閉ケース（１００）の小漏れ異常の有無を判別する小漏れ異常判別部（４２）を備えたところに特徴を有する。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項３に記載の密閉検査装置（１０）において、第１圧力は、大気圧であり、圧力差生成手段（１３，１５）は、マスタ容器（１２）に接続されて脱気又は給気可能なマスタ容器連結ポンプ（１３）と、マスタ容器連結ポンプ（１３）とマスタ容器（１２）との間に設けられたマスタ容器ポンプ間バルブ（１５）とで構成され、マスタ容器連結ポンプ（１３）と容器間バルブ（１４）とマスタ容器ポンプ間バルブ（１５）とを駆動制御すると共に、大漏れ異常判別部（４２）と小漏れ異常判別部（４２）の作動タイミングを制御する制御部（４０）を設け、制御部（４０）は、容器間バルブ（１４）を閉じかつマスタ容器ポンプ間バルブ（１５）を開き、マスタ容器連結ポンプ（１３）にて脱気又は給気を行った後、マスタ容器ポンプ間バルブ（１５）を閉じてマスタ容器（１２）の内圧を第２圧力に保持し、検査容器（１１）が密閉ケース（１００）を収容しかつ密閉された状態で容器間バルブ（１４）を開いて大漏れ異常判別部（４２）を作動させると共に、大漏れ異常判別部（４２）による判別終了後に、容器間バルブ（１４）及びマスタ容器ポンプ間バルブ（１５）を開いた状態にしてそれらの内圧が第２基準圧になるまでマスタ容器連結ポンプ（１３）にて脱気又は給気を行った後、容器間バルブ（１４）及びマスタ容器ポンプ間バルブ（１５）を閉じて小漏れ異常判別部（４２）を作動させるように構成されたところに特徴を有する。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項３に記載の密閉検査装置（５０）において、第２圧力は、大気圧であり、圧力差生成手段（１３，１７，１８）は、検査容器（１１）に接続されて脱気又は給気可能な検査容器連結ポンプ（１３）と、検査容器連結ポンプ（１３）と検査容器（１１）との間に設けられた検査容器ポンプ間バルブ（１７）と、マスタ容器（１２）の内部空間を外部に開放可能なマスタ容器大気間バルブ（１８）とで構成され、検査容器連結ポンプ（１３）と容器間バルブ（１４）と検査容器ポンプ間バルブ（１７）とマスタ容器大気間バルブ（１８）とを駆動制御すると共に、大漏れ異常判別部（４２）と小漏れ異常判別部（４２）の作動タイミングを制御する制御部（４０）を設け、制御部（４０）は、容器間バルブ（１４）を閉じかつ検査容器ポンプ間バルブ（１７）を開き、検査容器連結ポンプ（１３）にて脱気又は給気を行った後、検査容器ポンプ間バルブ（１７）を閉じて検査容器（１１）の内圧を第１圧力に保持し、マスタ容器（１２）が内圧を大気圧にして密閉された状態で容器間バルブ（１４）を開いて大漏れ異常判別部（４２）を作動させると共に、大漏れ異常判別部（４２）による判別終了後に、容器間バルブ（１４）又はマスタ容器大気間バルブ（１８）の少なくとも一方を閉じかつ検査容器ポンプ間バルブ（１７）を開いた状態にして検査容器（１１）の内圧が第２基準圧になるまで検査容器連結ポンプ（１３）にて脱気又は給気を行った後、検査容器ポンプ間バルブ（１７）を閉じて小漏れ異常判別部（４２）を作動させるように構成されたところに特徴を有する。
【００１２】
請求項６の発明に係る密閉検査方法は、電気部品（１０４）を収容した密閉ケース（１００）の気密異常を検出する密閉検査方法であって、密閉可能な検査容器（１１）とマスタ容器（１２）とを容器間バルブ（１４）で連結しておき、容器間バルブ（１４）を閉じ、検査容器（１１）に密閉ケース（１００）を収容してその検査容器（１１）の内圧を第１圧力にして密閉すると共に、マスタ容器（１２）の内圧を第１圧力と異なる第２圧力にして密閉する第１圧力状態生成工程と、第１圧力状態生成工程の後に容器間バルブ（１４）を開いて検査容器（１１）の内圧を検出し、その検出圧力が予め設定された第１基準圧と所定の範囲で一致したか否かに応じて密閉ケース（１００）の大漏れ異常の有無を判別する第１判別工程とを行うところに特徴を有する。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項６に記載の密閉検査方法において、検査容器（１１）の内部空間の容積から密閉ケース（１００）の容積を差し引いた分の容積をＶ１、マスタ容器（１２）の内部空間の容積をＶ２、第１圧力をＰ１、第２圧力をＰ２、第１基準圧をＰｓとした場合に、
Ｐｓ＝（Ｐ１・Ｖ１＋Ｐ２・Ｖ２）／（Ｖ１＋Ｖ２）
、であるところに特徴を有する。
【００１４】
請求項８の発明は、請求項６又は７に記載の密閉検査方法において、第１判別工程で、大漏れ異常無しと判別された密閉ケース（１００）を検査容器（１１）に収容した状態で、検査容器（１１）を密閉し又は検査容器（１１）をマスタ容器（１２）以外の外部から断絶して、検査容器（１１）の内圧を第２基準圧にする第２圧力状態生成工程と、第２圧力状態生成工程で、検査容器（１１）の内圧が第２基準圧にされてから所定の時間を経過するまで、検査容器（１１）の内圧の検出圧力が第２基準圧に所定の許容範囲内で保持された否かに応じて密閉ケース（１００）の小漏れ異常の有無を判別する第２判別工程とを行うところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００１５】
［請求項１，２，６，７の発明］
請求項１及び６の構成によれば、大漏れ異常判別部は、密閉ケースが収容されかつその内圧が第１圧力との状態にして密閉された検査容器と、内圧を第１圧力とは異なる第２圧力の状態で密閉されたマスタ容器とが連通したときの、検査容器の内圧を検出する。そして、検査容器の内圧の検出圧力が予め設定された第１基準圧と所定の範囲で一致した場合には、大漏れ異常無しと判別する。これに対し、検査容器とマスタ容器とを連通させたときに、密閉ケースと検査容器との間でガスの流出入が起こり検査容器の検出圧力が第１基準圧と所定の範囲で一致しなかった場合には、密閉ケースに大漏れ異常有りと判別する。
【００１６】
このように本発明によれば、高価な差圧センサを用いずに密閉ケースの大漏れ異常を検出することができる。
【００１７】
ここで、第１基準圧は、検査容器の内部空間の容積から密閉ケースの容積を差し引いた分の容積をＶ１、マスタ容器の内部空間の容積をＶ２、第１圧力をＰ１、第２圧力をＰ２、第１基準圧をＰｓ１とした場合に、
Ｐｓ１＝（Ｐ１・Ｖ１＋Ｐ２・Ｖ２）／（Ｖ１＋Ｖ２）
とすればよい（請求項２及び７の発明）。
【００１８】
［請求項３及び８の発明］
請求項３及び８の発明によれば、密閉ケースを収容した検査容器を密閉又はマスタ容器以外の外部から断絶して、その内圧を第２基準圧にし、第２基準圧になってから所定の時間が経過するまで検査容器の内圧の検出圧力が第２基準圧に所定の許容範囲内で保持されたか否かを小漏れ異常判別部で判別する。そして、内圧の検出圧力が許容範囲内に保持された場合には、密閉ケースは小漏れ異常無しと判別する一方、密閉ケースと検査容器との間でガスの流出入が起こり、検査容器の内圧が許容範囲に保持されなかった場合には小漏れ異常有りと判別する。本発明によれば、密閉ケースにおける大漏れ異常から小漏れ異常まで幅広く検出することができる。
【００１９】
［請求項４の発明］
請求項４の発明によれば、制御部は、容器間バルブを閉じかつマスタ容器ポンプ間バルブを開いた状態で、マスタ容器連結ポンプにてマスタ容器に対して脱気又は給気し、その後、マスタ容器ポンプ間バルブを閉じてマスタ容器の内圧を第２圧力に保持する。そして、検査容器が密閉ケースを収容しかつ大気圧で密閉された状態で、容器間バルブを開いて検査容器とマスタ容器とを連通させ、大漏れ異常判別部を作動させる。これにより、密閉ケースにおける大漏れ異常の有無が判別される。
【００２０】
また制御部は、大漏れ異常の有無が判別された後、容器間バルブ及びマスタ容器ポンプ間バルブを開いた状態にしてそれらの内圧が第２基準圧になるまでマスタ容器連結ポンプにて脱気又は給気を行い、その後、容器間バルブ及びマスタ容器ポンプ間バルブを閉じて検査容器を密閉し、小漏れ異常判別部を作動させる。これにより、密閉ケースにおける小漏れ異常の有無が判別される。
【００２１】
本発明によれば、密閉ケースにおける大漏れ異常の判別と小漏れ異常の判別とを連続して行うことができるので、密閉検査を効率的に行うことができる。ここで、大漏れ異常判別部にて大漏れ異常有りと判別された場合に、制御部が、その後の動作を省略するように構成すれば、密閉検査を効率よく行うことができる。
【００２２】
［請求項５の発明］
請求項５の発明によれば、制御部は、容器間バルブを閉じかつ検査容器間バルブを開いた状態で、検査容器連結ポンプにて検査容器に対して脱気又は給気を行い、その後、検査容器ポンプ間バルブを閉じて検査容器の内圧を第１圧力に保持する。そして、マスタ容器が内圧を大気圧にして密閉された状態で容器間バルブを開いて検査容器とマスタ容器とを連通させ、大漏れ異常判別部を作動させる。これにより、密閉ケースにおける大漏れ異常の有無が判別される。
【００２３】
また、制御部は、大漏れ異常の有無が判別された後、容器間バルブ又はマスタ容器大気間バルブの少なくとも一方を閉じかつ検査容器ポンプ間バルブを開いた状態にして、検査容器の内圧が第２基準圧になるまで検査容器連結ポンプにて脱気又は給気を行った後、検査容器ポンプ間バルブを閉じて検査容器を密閉又はマスタ容器以外の外部から遮断して小漏れ異常判別部を作動させる。これにより、密閉ケースにおける小漏れ異常の有無が判別される。
【００２４】
本発明によれば、密閉ケースにおける大漏れ異常の判別と小漏れ異常の判別とを連続して行うことができるので、密閉検査を効率的に行うことができる。ここで、大漏れ異常判別部にて大漏れ異常有りと判別された場合に、制御部が、その後の動作を省略するように構成すれば、密閉検査を効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
［第１実施形態］
以下、本発明に係る第１実施形態を図１〜図９に基づいて説明する。
図１には本発明の密閉検査装置１０が示されており、この密閉検査装置１０によって、例えば、図５に示した密閉ケース１００の気密処理異常が検出される。密閉ケース１００は、扁平な枠形ボディ１０１をその扁平方向の両側から１対の金属製カバー１０２，１０２で挟んで枠形ボディ１０１の開口部を塞いだ構造をなしている。金属製カバー１０２，１０２の周縁部と枠形ボディ１０１の開口縁は、例えば接着剤で接着されており、これにより密閉ケース１００の内部空間が密閉状態になって、密閉ケース１００内に大気、圧縮空気、不活性ガス、その他ガス（以下、単に「ガス」という）が封止されている。密閉ケース１００の内部空間には、例えば、図示しない自動車用の電気部品１０４（具体的には、４ＷＤコントローラ）が収容されており、枠形ボディ１０１の上辺部に設けられた１対のコネクタ部１０３，１０３によって外部と電気的に接続可能になっている。なお、接着剤の代わりに金属製カバー１０２，１０２の周縁部と枠形ボディ１０１の開口縁とを溶接又は溶着してもよいし、シール部材でシールしてもよい。また、本実施形態の密閉ケース１００は、例えば、大気中で気密処理されているから内圧が大気圧（約１００ｋＰａ）となっている。
【００２６】
密閉検査装置１０は、図２及び図３に示すワーク自動給排装置２０を備えている。ワーク自動給排装置２０は、後述する検査チャンバー１１（本発明の「検査容器」に相当する）に密閉ケース１００を供給すると共に、検査が終了したときには密閉ケース１００を検査チャンバー１１から排出させる。
【００２７】
具体的には、ワーク自動給排装置２０は、密閉ケース１００が載置される台盤２１と、その台盤２１の前方（図２における右側）に設けられた水平なワークセット盤２３と、ワークセット盤２３の下方で前方に向かって下るように傾斜したワーク排出盤２４とを備える。台盤２１の上面中央部には、矩形枠状に溝が陥没形成されており、ここに例えば、ゴム製のシール部材２２が嵌め込まれている。
【００２８】
また、台盤２１は、その後端縁を中心にして回動可能となっている。即ち、台盤２１は、常には図２（Ａ）に示すように水平姿勢に保持されてワークセット盤２３の上面とほぼ面一になっており、後端縁を中心に下方に回動すると、図２（Ｂ）に示すように前方に向かって下るように傾斜して、ワーク排出盤２４の上面とほぼ面一になる。そして、ワークセット盤２３上を前後に往復動するワーク供給アーム２５によってワークセット盤２３上に載った密閉ケース１００が台盤２１の中央部、詳細には、シール部材２２の内側位置に供給され（図３を参照）、台盤２１が下方に回動することで、台盤２１上の密閉ケース１００が滑り落ちて、ワーク排出盤２４に排出されるようになっている（図２（Ｂ）を参照）。
【００２９】
なお、ワークセット盤２３及びワーク排出盤２４の両側辺には、それぞれ側壁２６，２７が設けられており（図２にはそれぞれ一方の側壁２６，２７のみが示されている）、密閉ケース１００が、移動中にワークセット盤２３又はワーク排出盤２４の側方から落下することが防止されている。また、ワーク排出盤２４の下端部には、側壁２７，２７を繋ぐように受壁２８が設けられ、その受壁２８により、台盤２１から滑り落ちた密閉ケース１００が受け止められる。また、受壁２８には、ゴム製の緩衝材２９が設けられ、密閉ケース１００の落下時の衝撃を緩和するようになっている。
【００３０】
さて、密閉検査装置１０は、図１に示すように密閉ケース１００を収容する検査チャンバー１１と、検査チャンバー１１に連通可能に接続されたマスタチャンバー１２（本発明の「マスタ容器」に相当する）と、マスタチャンバー１２に接続された真空発生ポンプ１３（本発明の「マスタ容器連結ポンプ」に相当する）とを備える。本実施形態では、マスタチャンバー１２の容積は、検査チャンバー１１の内部空間の容積よりも小さくなっている。
【００３１】
図４に示すように、検査チャンバー１１は、前記台盤２１と、その台盤２１に対して上下動する収容ボックス３０とから構成される。収容ボックス３０は、下端開放の直方体箱形構造をなし、その上面に直動シャフト３１が固定されている。そして直動シャフト３１がその直動ストロークの上端位置のときに、収容ボックス３０の開口縁が台盤２１の上面から離れて検査チャンバー１１が開放される（図４（Ａ）の状態）一方、直動シャフト３１がその直動ストロークの下端位置のときに、収容ボックス３０の開口縁が、台盤２１上面に嵌め込まれたシール部材２２に押し付けられて密着し、検査チャンバー１１が密閉状態になる（図４（Ｂ）の状態）。
【００３２】
図１に示すように、密閉検査装置１０には、検査チャンバー１１の内圧を検出するための圧力計１６が備えられている。この圧力計１６は、例えば、従来の直圧検出方式の密閉検査装置に使用されるものと同じものでよいから、差圧センサを用いる差圧検出方式の密閉検査装置よりもコストを抑えることができる。本実施形態において圧力計１６は、検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とを接続した配管１９の途中部分に接続されているが、検査チャンバー１１の内圧を検出可能な位置であれば、接続位置はこれに限定されない。
【００３３】
図１に示すように、検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２との間には第１バルブ１４（本発明の「容器間バルブ」に相当する）が備えられ、マスタチャンバー１２と真空発生ポンプ１３との間には第２バルブ１５（本発明の「マスタ容器ポンプ間バルブ」に相当する）が備えられている。これら第１バルブ１４及び第２バルブ１５は、例えば、ソレノイドバルブである。
【００３４】
図１に示すように密閉検査装置１０は、コントロール部４０（本発明の「制御部」に相当する）を備えている。コントロール部４０は、上述したワーク自動給排装置２０や、検査チャンバー１１、真空発生ポンプ１３、第１バルブ１４、第２バルブ１５を駆動制御する駆動制御部４１と、圧力計１６による検査チャンバー１１の内圧の検出圧力を取得して、密閉ケース１００の気密処理異常の有無を判別する漏れ異常判別部４２とを備えている。これら駆動制御部４１及び漏れ異常判別部４２は、それぞれＣＰＵ、各種プログラムを記憶したＲＯＭ及び、データを一時記憶するＲＡＭ等を有している。
【００３５】
本発明の密閉検査装置１０の構成に関する説明は以上であって、次に動作について説明する。密閉検査装置１０に電源を投入すると、コントロール部４０の駆動制御部４１に備えたＣＰＵが図６に示した駆動プログラムＰＧ１をＲＯＭから読み込んで実行する。そして、密閉ケース１００の気密検査を行うには、ワーク自動給排装置２０のワークセット盤２３に、密閉ケース１００を載せて、図示しない開始ボタンをオンする（Ｓ１でＹＥＳ）。すると、密閉ケースセット処理（Ｓ２）が開始される。即ち、ワーク自動給排装置２０に備えたワーク供給アーム２５が、開放状態（図４（Ａ）の状態）の検査チャンバー１１に向かって前進して、密閉ケース１００を台盤２１の中央部（シール部材２２の内側）にセットする（図３を参照）。そして、ワーク供給アーム２５が後退して台盤２１上から退避すると、収容ボックス３０が降下してその開口縁がシール部材２２に密着し、検査チャンバー１１に密閉ケース１００が密閉状態で収容される（図４（Ｂ）の状態）。このときの検査チャンバー１１の内圧は、密閉ケース１００の内圧と同じ大気圧（約１００ｋＰａ）となっている。なお、この内圧が本発明の「第１圧力」に相当する。
【００３６】
次いで、第１バルブ１４を閉じかつ第２バルブ１５を開いた状態で、真空発生ポンプ１３によりマスタチャンバー１２内を脱気（減圧）する（Ｓ３）。そして、マスタチャンバー１２の内圧が第２圧力（例えば、−４０ｋＰａ）になったら（Ｓ４でＹＥＳ）、真空発生ポンプ１３を停止すると共に第２バルブ１５を閉じる（Ｓ５）。これにより、検査チャンバー１１が密閉ケース１００を収容しかつ内圧が大気圧の状態で密閉されると共に、マスタチャンバー１２が検査チャンバー１１の内圧とは異なる第２圧力（−４０ｋＰａ）の状態で密閉される。このステップＳ３〜Ｓ５の工程が、本発明の「第１圧力状態生成工程」に相当する。
【００３７】
検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とがそれぞれ所定圧で密閉されたら第１バルブ１４を開いて（Ｓ６）、検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とを連通させる。そしてこの状態で、コントロール部４０の漏れ異常判別部４２を作動させる（Ｓ７）。すると、漏れ異常判別部４２に備えたＣＰＵが図７に示した大漏れ検査プログラムＰＧ２をＲＯＭから読み込んで実行する。具体的には、検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とが連通してから所定時間Ｔ１が経過したか否かをチェックし（Ｓ２１）、所定時間Ｔ１が経過した時点で（Ｓ２１でＹＥＳ）、圧力計１６による検査チャンバー１１の検出圧力を漏れ異常判別部４２が取得する（Ｓ２２）。そして、取得した検出圧力が漏れ異常判別部４２のＲＯＭに予め記憶された第１基準圧Ｐｓ１（図９を参照）と所定の範囲で一致したか否かに応じて密閉ケース１００における大漏れ異常の有無を判別する（Ｓ２３）。なお、駆動プログラムＰＧ１におけるステップＳ６及び大漏れ検査プログラムＰＧ２におけるステップＳ２１，Ｓ２２の工程が、本発明の「第１判別工程」に相当する。
【００３８】
ここで、本実施形態では、検査チャンバー１１の内部空間の容積から密閉ケース１００の容積を差し引いた分の容積をＶ１、検査チャンバー１１の内圧をＰ１（本実施形態では大気圧）、マスタチャンバー１２の容積をＶ２、マスタチャンバー１２の内圧をＰ２（本実施形態では、−４０ｋＰａ）とした場合に、第１基準圧Ｐｓ１は、
Ｐｓ１＝（Ｖ１・Ｐ１＋Ｖ２・Ｐ２）／（Ｖ１＋Ｖ２）
上記関係式が成立する値となっている。
【００３９】
さて、密閉ケース１００の接着部分に孔が開いていると、検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とを連通させたとき（Ｓ６）に、例えば、大気圧状態で封止された密閉ケース１００内のガス（具体的には、大気）が漏れ出すので、検査チャンバー１１の内圧は、第１基準圧Ｐｓ１よりも高くなる。そして、圧力計１６による検査チャンバー１１の内圧の検出圧力が、図９の破線で示したグラフのように、第１基準圧Ｐｓ１に対して設定された第１許容圧Ｐｋ１より高くなった場合には、その密閉ケース１００は大漏れ異常有りと判別される。これに対し、図９の実線で示したグラフのように、第１許容圧Ｐｋ１以下であった場合には、密閉ケース１００は大漏れ異常無しと判別される。なお、大漏れ検査プログラムＰＧ２を実行しているときに漏れ異常判別部４２は本発明の「大漏れ異常判別部」として作動している。
【００４０】
駆動制御部４１は、大漏れ検査プログラムＰＧ２において、大漏れ異常有りと判別された場合（Ｓ８でＮＯ）には、以下に説明する小漏れ異常の判別を行わずに後述するステップＳ１４にジャンプして、密閉ケース１００を検査チャンバー１１から排出させる。
【００４１】
これに対し、大漏れ検査プログラムＰＧ２において大漏れ異常無しと判別された場合（Ｓ８でＹＥＳ）は、駆動制御部４１は以下のように動作する。即ち、第１バルブ１４と第２バルブ１５とが共に開いた状態で真空発生ポンプ１３により検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とを脱気（減圧）する（Ｓ９）。そして、検査チャンバー１１（マスタチャンバー１２）の内圧が第２基準圧Ｐｓ２（例えば、−４０ｋＰａ）になったら（Ｓ１０でＹＥＳ）、真空発生ポンプ１３を停止しかつ、第１バルブ１４及び第２バルブ１５を閉じて（Ｓ１１）から、漏れ異常判別部４２を作動させる（Ｓ１２）。なお、ステップＳ９〜Ｓ１１の工程が、本発明の「第２圧力状態生成工程」に相当する。
【００４２】
漏れ異常判別部４２が作動すると、漏れ異常判別部４２に備えたＣＰＵが、図８に示した小漏れ検査プログラムＰＧ３をＲＯＭから読み込んで実行する。具体的には、検査チャンバー１１の内圧が第２基準圧Ｐｓ２になってから所定時間Ｔ２が経過したか否かをチェック（Ｓ３１）し、所定時間Ｔ２が経過したとき（Ｓ３１でＹＥＳ）に、圧力計１６による検査チャンバー１１の内圧の検出圧力を、漏れ異常判別部４２が取得する（Ｓ３２）。そして、取得した検出圧力が第２基準圧Ｐｓ２に所定の許容範囲内で保持されたか否かに応じて密閉ケース１００における小漏れ異常の有無を判別する（Ｓ３３）。なお、ステップＳ３１〜Ｓ３３の工程が、本発明の「第２判別工程」に相当する）。
【００４３】
ここで、密閉ケース１００の接着部分に比較的小さな孔が開いていた場合には、例えば、大気圧状態で封止された密閉ケース１００内のガス（具体的には、大気）が少しずつ漏れ出すので、検査チャンバー１１の内圧は、第２基準圧Ｐｓ２（−４０ｋＰａ）から徐々に上昇する。そして、検査チャンバー１１の内圧が第２基準圧Ｐｓ２に達してから、所定時間Ｔ２が経過した後の検査チャンバー１１の検出圧力が、図９の破線で示したグラフのように、第２基準圧Ｐｓ２に対して設定された第２許容圧Ｐｋ２より高くなった場合には、密閉ケース１００は小漏れ異常有りと判別される。これに対し、図９の実線で示したグラフのように、第２許容圧Ｐｋ２以下であった場合には、密閉ケース１００は小漏れ無しと判別される。なお、小漏れ検査プログラムＰＧ３を実行しているときに、漏れ異常判別部４２は本発明の「小漏れ異常判別部」として作動している。
【００４４】
駆動制御部４１は、小漏れ検査プログラムＰＧ３によって小漏れ異常無しと判別された場合（ステップＳ１３でＹＥＳ）には、各バルブ１４，１５を開放し（Ｓ１５）、次いで、検査済みの密閉ケース１００を検査チャンバー１１から排出する（Ｓ１６）。即ち、収容ボックス３０が台盤２１に対して上方へ移動して検査チャンバー１１が開放され、次いで、台盤２１が下方に回動して、密閉ケース１００が台盤２１の傾斜によって滑り落ち、ワーク排出盤２４にて受け止められる。
【００４５】
これに対し、小漏れ検査プログラムＰＧ３によって大漏れ異常有りと判別された場合（Ｓ８でＮＯ）又は、小漏れ異常有りと判別された場合（Ｓ１３でＮＯ）には、密閉ケース１００を排出する前に、不良品を検出したことを作業者に報知する（Ｓ１４）。具体的には、例えば、警告ブザーを鳴らしたり、警告ランプを点灯させる。
【００４６】
以上で、密閉検査は終了であり、次の密閉ケース１００をワークセット盤２３に載せて図示しない開始ボタンをオンすると、再び上記した各プログラムＰＧ１，ＰＧ２，ＰＧ３が実行されて、密閉ケース１００に対する密閉検査が行われる。
【００４７】
なお、密閉検査装置１０による検査で「漏れ有り」と判別された不合格品の密閉ケース１００は、図示しない専用の投入口に投入することで、「漏れ無し」と判別された合格品の密閉ケース１００と仕分けされるが、本実施形態の密閉検査装置１０では、不合格品が発生した場合には、その不合格品が投入口に投入されるまで、不良品検出報知（Ｓ１４）が継続されかつ、次の密閉ケース１００に対する密閉検査が開始できない（例えば、開始ボタンを無効にする）ようになっている。これにより、合格品と不合格品とを確実に仕分けすることができる。
【００４８】
このように、本実施形態によれば、従来の差圧検出方式の密閉検査装置のように高価な差圧センサを用いずに、密閉ケース１００における大漏れ異常から小漏れ異常まで幅広く検出することができる。また、大漏れ異常を検出した密閉ケース１００については小漏れ異常の判別を行なわないので、密閉検査を効率よく行うことができる。
【００４９】
また、従来の差圧検出方式の密閉検査装置では、密閉ケースを収容する検査カプセルと、その検査カプセルと同一容積のマスタカプセルとが必要なため、装置が大型化するという問題があったが、本実施形態によれば、マスタチャンバー１２の容積が、検査チャンバー１１の内部空間の容積よりも小さくなっているから、従来の差圧検出方式の密閉検査装置よりも小型化することができる。
【００５０】
なお、本実施形態の密閉検査装置１０では、検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とを接続した配管１９と、各チャンバー１１，１２との接続部分は圧力漏れが無いように接続されている。また、検査チャンバー１１の内部空間の容積から密閉ケース１００の容積を差し引いた分の容積を最小とするために、前記配管１９の配管経路長及び配管径の最適化が図られている。ここで、配管径が最適値に対して小さ過ぎると、検査チャンバー１１内を第２基準圧Ｐｓ２にするのに時間がかかり検査時間が長くなる。また、配管径が最適値に対して大き過ぎると、検査チャンバー１１の内部空間の容積から密閉ケース１００の容積を差し引いた分の容積と、密閉ケース１００の容積との差が小さくなるため、高精度の圧力センサが必要となる。
【００５１】
［第２実施形態］
図１０〜図１２には、本発明の第２実施形態が示されている。以下、第１実施形態と同じ構成については同一符号を付して重複する説明は省略し、第１実施形態と相違する構成に関してのみ説明する。
【００５２】
本実施形態の密閉検査装置５０は、図１０に示されている。同図に示すように、検査チャンバー１１には、本発明の「検査容器連結ポンプ」に相当する真空発生ポンプ１３が第３バルブ１７（本発明の「検査容器ポンプ間バルブ」に相当する）を介して接続されている。また、検査チャンバー１１には、第１バルブ１４を介してマスタチャンバー１２が接続されており、マスタチャンバー１２には、マスタチャンバー１２の内部空間を外部（大気）に開放可能な第４バルブ１８（本発明の「マスタ容器大気間バルブ」に相当する）が接続されている。第３バルブ１７及び第４バルブ１８も、第１バルブ１４と同様にソレノイドバルブであり、これら各バルブ１４，１７，１８と真空発生ポンプ１３は、コントロール部４０に備えた駆動制御部４１によって駆動制御されている。
【００５３】
次に、本実施形態の密閉検査装置５０の動作について説明する。密閉検査装置５０に電源を投入すると、駆動制御部４１に備えたＣＰＵが図１１に示した駆動プログラムＰＧ１’をＲＯＭ４２から読み込んで実行する。そして、ワーク自動給排装置２０のワークセット盤２３に、検査を行う密閉ケース１００を載せて、図示しない開始ボタンをオン（Ｓ１でＹＥＳ）すると、密閉ケースセット処理（Ｓ２）が行われ、検査チャンバー１１に密閉ケース１００が密閉状態で収容される（図４（Ｂ）の状態）。このとき、検査チャンバー１１の内圧は、密閉ケース１００の内圧と同じ大気圧（約１００ｋＰａ）となっている。
【００５４】
次いで、第１バルブ１４が閉じかつ第３バルブ１７が開いた状態で真空発生ポンプ１３により検査チャンバー１１内を脱気（減圧）する（Ｓ３’）。そして、検査チャンバー１１の内圧が第１圧力（例えば、−４０ｋＰａ）になったら（Ｓ４’でＹＥＳ）、真空発生ポンプ１３を停止すると共に第３バルブ１７と第４バルブ１８とを閉じる（Ｓ５’）。これにより、検査チャンバー１１が密閉ケース１００を収容しかつ第１圧力（−４０ｋＰａ）の状態で密閉されると共に、マスタチャンバー１２が検査チャンバー１１の内圧とは異なる大気圧（約１００ｋＰａ）の状態で密閉される。このステップＳ３’〜Ｓ５’の工程は、本発明の「第１圧力状態生成工程」に相当する。
【００５５】
検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とがそれぞれ密閉された後で第１バルブ１４を開いて（Ｓ６）検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とを連通させたら、コントロール部４０の漏れ異常判別部４２を作動させる（Ｓ７）。すると、第１実施形態と同様に、漏れ異常判別部４２が大漏れ検査プログラムＰＧ２を実行して、密閉ケース１００における大漏れ異常の有無が判別される。
【００５６】
ここで、例えば、密閉ケース１００の接着部分に孔が無い場合には、真空発生ポンプ１３で脱気した際（Ｓ３’）に、検査チャンバー１１のうち、密閉ケース１００の外側空間のみが脱気（減圧）され、密閉ケース１００の内部が脱気（減圧）されることはない。従って、この検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とを連通させると、検査チャンバー１１の内圧が予め設定された第１基準圧Ｐｓ１とほぼ一致する。これに対し、密閉ケース１００の接着部分に孔がある場合には、真空発生ポンプ１３で脱気した際（Ｓ３’）に密閉ケース１００の内部空間も脱気される。従って、この検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とを連通させると、密閉ケース１００が脱気された分だけ、検査チャンバー１１の内圧が第１基準圧Ｐｓ１よりも低くなる。そして、圧力計１６による検査チャンバー１１の内圧の検出圧力が、図１２の破線で示したグラフのように、第１基準圧Ｐｓ１’に対して設定された第１許容圧Ｐｋ１’より低かった場合には、その密閉ケース１００は大漏れ異常有りと判別される。これに対し、図１２の実線で示したグラフのように、第１許容圧Ｐｋ１’以上であった場合には、密閉ケース１００は大漏れ異常無しと判別される。
【００５７】
大漏れ検査プログラムＰＧ２によって大漏れ異常無しと判別された場合（Ｓ８でＹＥＳ）には、駆動制御部４１は以下のように動作する。即ち、第１バルブ１４を閉じかつ第３バルブ１７を開いた状態で真空発生ポンプ１３により検査チャンバー１１を再度脱気する（Ｓ９’）。そして、検査チャンバー１１の内圧が第２基準圧Ｐｓ２（例えば、−４０ｋＰａ）になったら（Ｓ１０でＹＥＳ）、真空発生ポンプ１３を停止しかつ、第３バルブ１７を閉じて（Ｓ１１’）、検査チャンバー１１を密閉する。以下、ステップＳ１２〜Ｓ１６で行われる処理は、第１実施形態と同じである（図６及び図８を参照）。
【００５８】
本実施形態によっても、上記第１実施形態と同等の効果を奏することができる。また、本実施形態によれば、小漏れ異常判別時には、検査チャンバー１１内だけを脱気すればよいので、第１実施形態の構成に比較して検査チャンバー１１の内圧を速く第２基準圧Ｐｓ２にすることができ、小漏れ異常判別をスピードアップすることができる
【００５９】
［第３実施形態］
図１３には、本発明の第３実施形態が示されている。この密閉検査装置６０では、マスタチャンバー１２と検査チャンバー１１とに真空発生ポンプ１３が共通接続されている。そして、真空発生ポンプ１３とマスタチャンバー１２との間には第２バルブ１５が備えられ、真空発生ポンプ１３と検査チャンバー１１の間には第３バルブ１７が備えられている。それ以外の構造は、第１及び第２実施形態と同じである。
【００６０】
次に、本実施形態の動作について説明する。本実施形態では、先にマスタチャンバー１２を減圧してから検査チャンバー１１と連通させる点が第２実施形態と大きく異なる。即ち、検査チャンバー１１に密閉ケース１００を収容したら、第１バルブ１４と第３バルブ１７とを閉じかつ第２バルブ１５を開いた状態で真空発生ポンプ１３によりマスタチャンバー１２だけを脱気して、マスタチャンバー１２の内圧を第２圧力（例えば、−４０ｋＰａ）にする。次いで、真空発生ポンプ１３を停止して第２バルブ１５を閉じ、第１バルブ１４を開放して大気圧の検査チャンバー１１と第２圧力のマスタチャンバー１２とを連通させる。この状態で検査チャンバー１１の内圧を計測する。そして、第１実施形態と同様に、検査チャンバー１１の内圧が、第１基準圧Ｐｓ１と所定範囲で一致したか否かに応じて、密閉ケース１００の大漏れ異常の有無を判別する。
【００６１】
大漏れ無しと判別された場合には、第１実施形態と同様に、第１バルブ１４によって検査チャンバー１１をマスタチャンバー１２から切り離し、検査チャンバー１１の内圧が、第２基準圧Ｐｓ２に所定の許容範囲内で保持されたか否かに応じて密閉ケース１００における小漏れ異常の有無を判別する。
【００６２】
本実施形態によっても、第１実施形態及び第２実施形態と同等の効果を奏することができる。
【００６３】
［他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００６４】
（１）上記第１〜第３実施形態では密閉ケース１００を１つずつ検査チャンバー１１に供給して気密処理検査を行っていたが、不合格品の発生率が低いのであれば、複数個（例えば２つ）ずつ検査チャンバー１１に入れて気密処理検査を行ってもよい。
【００６５】
（２）上記第１〜第３実施形態では、大漏れ異常判別時に、マスタチャンバー１２又は検査チャンバー１１を脱気して内圧を負圧にしていたが、マスタチャンバー１２又は検査チャンバー１１に給気して内圧を大気圧よりも高い正圧にするようにしてもよい。また、同様に、小漏れ異常判別時には、検査チャンバー１１の内圧を負圧にしていたが、検査チャンバー１１に給気して内圧を正圧にしてもよい。
【００６６】
（３）上記第３実施形態では、１つの真空発生ポンプ１３が、検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２とに共通接続されていたが、検査チャンバー１１とマスタチャンバー１２に別々の真空発生ポンプを接続してもよい。
【００６７】
（４）上記第２実施形態において、小漏れ異常判別時には、第１バルブ１４が閉じかつ第３バルブ１７が開いた状態で真空発生ポンプ１３により検査チャンバー１１を脱気していたが（図９のステップＳ９’を参照）、第１バルブ１４の代わりに第４バルブ１８を閉じかつ第３バルブ１７が開いた状態で検査チャンバー１１を脱気してもよい。
【００６８】
（５）検査チャンバー１１内の温度を温度センサで常時計測して、圧力計１６の計測値を温度補正をするように構成すれば、精度をより向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る密閉検査装置のブロック図
【図２】ワーク自動給排装置の側面図
【図３】ワーク自動給排装置の平面図
【図４】検査チャンバーの斜視図
【図５】密閉ケースの斜視図
【図６】駆動プログラムを示すフローチャート
【図７】大漏れ検査プログラムを示すフローチャート
【図８】小漏れ検査プログラムを示すフローチャート
【図９】検査チャンバーの内圧変化を示すグラフ
【図１０】第２実施形態に係る密閉検査装置のブロック図
【図１１】駆動プログラムを示すフローチャート
【図１２】検査チャンバーの内圧変化を示すグラフ
【図１３】第３実施形態に係る密閉検査装置のブロック図
【符号の説明】
【００７０】
１０，５０，６０    密閉検査装置
１１    検査チャンバー（検査容器）
１２    マスタチャンバー（マスタ容器）
１３    真空発生ポンプ（検査容器連結ポンプ、マスタ容器連結ポンプ）
１４    第１バルブ（容器間バルブ）
１５    第２バルブ（マスタ容器ポンプ間バルブ）
１６    圧力計
１７    第３バルブ（検査容器ポンプ間バルブ）
１８    第４バルブ（マスタ容器大気間バルブ）
２１    台盤
３０    収容ボックス
４０    コントロール部（制御部）
４２    漏れ異常判別部（大漏れ異常判別部、小漏れ異常判別部）
１００    密閉ケース
ＰＧ２    大漏れ検査プログラム
ＰＧ３    小漏れ検査プログラム
Ｐｓ１，Ｐｓ１’    第１基準圧
Ｐｓ２    第２基準圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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