(57)【要約】【課題】表示の高精細化にともなってスルーホールの穴径が小さい場合でも、スルーホール内への導電ペーストのスキージングが確実で配線層と陽極層とを確実に接続することができ、信頼性の高い蛍光表示管用陽極基板および蛍光表示管を提供する。【解決手段】絶縁基板４２の表面に配線層４３と絶縁体層４４を積層形成し、次いで絶縁体層４４上に導電ペースト１９をスクリーン印刷法によって印刷し焼成することにより、スルーホール４７を介して前記配線層４３と電気的に接続される陽極層を形成する際、スルーホール４７の正面視形状を、導電ペースト１９のスクリーン印刷時におけるスキージ２０の動き方向に幅が漸次減少する形状、具体的には左右両側壁がスキージ２０の動き方向に対してテーパ状に傾斜した多角形（例えば、三角形、五角形、台形）または扇形にする。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に形成された配線層と、この配線層を覆うように積層形成され一部に前記配線層を外部に露呈させるスルーホールを有する絶縁体層と、この絶縁体層上に積層形成され前記スルーホールを介して前記配線層に電気的に接続される陽極層と、この陽極層上に積層形成された蛍光体層とを備えた蛍光表示管用陽極基板において、
前記スルーホールを陽極ペーストのスクリーン印刷時におけるスキージの動き方向に幅が漸次減少する形状に形成したことを特徴とする蛍光表示管用陽極基板。
【請求項２】
前記スルーホールは、左右両側壁がスキージの動き方向に対してテーパ状に傾斜した多角形または扇形に形成されていることを特徴とする請求項１記載の蛍光表示管用陽極基板。
【請求項３】
請求項１または２記載の陽極基板を備えたことを特徴とする蛍光表示管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光表示管用陽極基板および蛍光表示管に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
蛍光表示管は、フィラメントから放出された熱電子を陽極基板上に形成した蛍光体層に衝突させて発光させることにより、所望のパターン、数字、文字等を表示する電子管で、家電製品、計測器、医療機器、車載用表示器などの各種の表示装置の表示部に用いられている。
【０００３】
蛍光表示管の陽極基板は、絶縁基板上に形成された配線層と、この配線層を覆うように積層された絶縁体層と、この絶縁体層上に形成された陽極層と、この陽極層上に形成された蛍光体層とを備え、配線層と陽極層とを絶縁体層に貫通して形成したスルーホールを介して電気的に接続している。配線層、絶縁体層、陽極層および蛍光体層は、通常スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ法等によって形成される（特許文献１〜５参照）。
【０００４】
図６に特許文献１の図３（ａ）に開示されている従来の蛍光表示管用陽極基板を示す。この陽極基板１１は、ガラス基板（絶縁基板）１２上にスクリーン印刷法またはフォトリソグラフィ法により配線層１３と、２層からなる絶縁体層１４（１４ａ，１４ｂ）を積層形成している。絶縁体層１４を２層以上形成する理由は、電気的絶縁の信頼性を高めるためである。また、絶縁体層１４の表面に導電ペーストを印刷してスルーホール１７に刷り込み、焼成することにより、前記スルーホール１７を介して前記配線層１３に電気的に接続される陽極層１５を形成する。さらに、この陽極層１５上に蛍光体ペーストを印刷して焼成することにより所定パターンの蛍光体層１６を形成し、陽極基板１１としたものである。
【０００５】
このような蛍光表示管用陽極基板の陽極形成工程においては、図７および図８に示すように、配線層１３と絶縁体層１４が形成されたガラス基板１２の上方にスクリーンマスク１８を配置し、その上にカーボンペースト等の導電ペースト１９を載せ、へら状または棒状の部材（スキージ）２０によって導電ペースト１９をスクリーンマスク１８の開口部２１から下方に押し出して絶縁体層１４の表面およびスルーホール１７内に刷り込む（スキージング）。そして、ガラス基板１２を加熱炉に入れて絶縁体層１４上およびスルーホール１７内に刷り込まれた導電ペースト１９を加熱、焼成することにより、陽極層１５を形成する。スルーホール１７としては、通常正面視形状が四角形または丸形に形成される。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２１４１４８号公報
【特許文献２】特開２０００−０７６９９２号公報
【特許文献３】特開平０５−２４２８００号公報
【特許文献４】特開平０９−２３１９０３号公報
【特許文献５】特開平１０−１７５２８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来はスルーホール１７を正面視形状が四角形または円形に形成しているので、陽極層１５の形成工程において、図８に示すようにスルーホール１７内への導電ペースト１９の刷り込みが不十分であると、配線層１３に接触せず接触不良が発生するという問題があった。その主たる原因は、スルーホール１７の開口部が狭かったり、深さが深い場合、導電ペースト１９のスルーホール１７内への刷り込みが浅くなるためである。
【０００８】
特に、導電ペースト１９の粘度や流動性を改善したとしても画素の高精細化が進むにつれてスルーホール１７の穴径（例えば、１００〜１５０μｍ）および画素間の距離が短くなると、隣り合う陽極層１５どうしの接触を防止するために印圧を低くして導電ペースト１９をスキージングしなければならないため、スルーホール１７内への導電ペースト１９の刷り込みが一層不確実になり、接触不良が生じ易くなる。
【０００９】
また、下層側と上層側の絶縁体層１４ａ，１４ｂをスクリーン印刷法によって積層形成する場合は、印刷ずれが生じると絶縁ペースト１９がスルーホール１７内に侵入してスルーホール１７を潰してしまい、配線層１３と陽極層１５との電気的な接続が得られなくなる。
【００１０】
一方、フォトリソグラフィ法によって絶縁体層１４を形成する場合は、印刷ずれの問題についは解消できるが、図８に示すようにスルーホール１７の孔壁がガラス基板１２に対して垂直に切り立った形状となるため、スクリーン印刷法によって絶縁体層１４とスルーホール１７を形成した場合に比べて導電ペースト１９のスルーホール１７内への刷り込みが浅くなる。その結果、スクリーン印刷法と同様に、配線層１３と陽極層１５との接触不良が生じる。
【００１１】
そこで、スルーホール１７の形状を種々変えて絶縁体層１４を形成し、各スルーホール毎にスキージングの方向を変えて導電ペースト１９のスキージング実験を行ったところ、スルーホール１７を導電ペースト１９のスクリーン印刷時におけるスキージ２０の動きの方向に幅が漸次減少する形状に形成すると、絶縁体層１４をフォトリソグラフィ法によって形成した場合であっても、スルーホール１７内への導電ペースト１９の刷り込みが良好で、配線層１３と陽極層１５とを確実に接触させることができることを見出した。これは、導電ペースト１９をスキージングする際、スルーホール１７の幅がスキージ２０の動きの方向に向かって漸次減少していると、スルーホール１７内に刷り込まれる導電ペースト１９がスキージ２０の動きにともないスルーホール１７の左右両側壁の広幅部側から狭幅部側に向かって移動するにしたがい移動速度（密度）および圧力が増して狭幅部に寄せ集められるため、少なくともこの狭幅部付近においては導電ペーストが埋め尽くされて配線層１３と接触することによるものと考えられる。
【００１２】
一方、スキージ２０の動き方向に狭幅部がない多角形のスルーホール、例えば図７に示したようにスキージ２０の動き方向と直交して対向する２つの側壁を有する四角形のスルーホール１７の場合は、スキージ２０の動き方向側端部が狭幅部を形成していないため、スキージ２０の動きにともなって導電ペースト１９が移動しても移動速度および圧力の増加割合が小さい状態で寄せ集められる。このため、導電ペースト１９の寄せ集め効果が小さく、スキージ２０の動きの方向に幅が漸次減少する形状のスルーホールに比べて配線層１３と陽極層１５との接触不良の発生率が格段に高いことが判った。
【００１３】
スルーホール１７を円形に形成した場合も、導電ペースト１９の移動速度および圧力の増加率が小さいため、同じく導電ペースト１９の寄せ集め効果が小さくスルーホールへの刷り込みが不確実であった。
【００１４】
スキージ２０の動きの方向に幅が漸次減少する形状のスルーホールとしては、三角形、五角形、扇形、台形、１つの対角線がスキージの動きの方向と一致する四角形（または菱形）等が好ましい。スルーホールの大きさとしては２５０μｍ程度以下、深さは３５μｍ以下が好ましい。
【００１５】
本発明は、上記した従来の問題および知見に基づいてなされたものであり、その目的とするところは、表示の高精細化にともなってスルーホールの穴径が小さい場合でも、スルーホール内への導電ペーストのスキージングが確実で配線層と陽極層とを確実に接続することができ、信頼性を向上させるようにした蛍光表示管用陽極基板および蛍光表示管を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために本発明に係る陽極基板は、絶縁基板上に形成された配線層と、この配線層を覆うように積層形成され一部に前記配線層を外部に露呈させるスルーホールを有する絶縁体層と、この絶縁体層上に積層形成され前記スルーホールを介して前記配線層に電気的に接続される陽極層と、この陽極層上に積層形成された蛍光体層とを備えた蛍光表示管用陽極基板において、前記スルーホールを陽極ペーストのスクリーン印刷時におけるスキージの動き方向に幅が漸次減少する形状に形成したものである。
【００１７】
また、本発明に係る陽極基板は、スルーホールを左右両側壁がスキージの動き方向に対してテーパ状に傾斜した多角形または扇形としたものである。
【００１８】
さらに、本発明に係る蛍光表示管は、前記陽極基板を備えたものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明においては、絶縁体層のスルーホールを導電ペーストのスクリーン印刷時におけるスキージの動き方向に幅が漸次減少する形状に形成したので、導電ペーストをスルーホールにスキージングによって刷り込むと、この刷り込まれたペーストはスキージの移動にともなってスルーホールの両側壁に沿って狭幅部に向かって移動する。このため、狭幅部においては、ペーストが密集して密度および圧力が増し、狭幅部全体に隙間なく刷り込まれて配線層に密接する。したがって、導電ペーストを焼成すると、配線層に電気的に接続された陽極層ができ、これら両層の接続不良を未然に防止することができる。
【００２０】
スルーホールを左右両側壁がスキージの動き方向に対してテーパ状に傾斜した多角形または扇形に形成すると、スルーホールの狭幅部への導電ペーストの刷り込み効果が高く、配線層と陽極層とを確実で接触させることができる。
【００２１】
さらに、本発明においては配線層と陽極層の接続不良が少なく、信頼性の高い蛍光表示管を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳述する。
図１は本発明に係る陽極基板を備えた蛍光表示管の一実施の形態を示す断面図、図２はスキージングによってスルーホールに刷り込まれた導電ペーストの密度の違いを示す平面図、図３は図２のIII −III 線断面図で、導電ペーストをスキージングしている様子を示す図、図４（ａ）〜（ｆ）はそれぞれスルーホールの正面視形状を示す図、図５は同陽極基板の製造工程を説明するためのフローチャートである。
【００２３】
図１〜図３において、全体を符号３０で示す蛍光表示管は、陽極基板３１と、この陽極基板３１の表面（表示面）側に枠状のスペーサ３３を介して配設された透明なカバー３２と、このカバー３２の内部にあって前記陽極基板３１の上方に配設されたグリッド３４および複数本からなる細線状のフィラメント３５と、グリッド３４とフィラメント３５をそれぞれ支持する図示を省略した支持フレーム等を備えている。グリッド３４は、フィラメント３５と蛍光体層４６との間に設けられている。フィラメント３５は、各蛍光体層４６上をそれぞれ横断するように張設されている。
【００２４】
前記陽極基板３１は、ガラス、セラミックス等の絶縁材料によって矩形の平板状に形成された絶縁基板４２を備え、この絶縁基板４２の表面（表示面側）には複数の配線層４３と、絶縁体層４４と、陽極層４５および蛍光体層４６が積層形成されている。
【００２５】
前記配線層４３は、アルミニウム薄膜のエッチング処理によって形成される。配線層４３の厚さは、１μｍ程度である。
【００２６】
前記絶縁体層４４は、電気的絶縁の信頼性を高めるために下層側絶縁体層４４ａと上層側絶縁体層４４ｂの２層で構成されている。また、この絶縁体層４４には、配線層４３の一部を上方に露呈させるスルーホール４７が貫通して形成されており、このスルーホール４７を介して前記陽極層４５と配線層４３とを電気的に接続している。このような絶縁体層４４とスルーホール４７は、通常絶縁ペーストを絶縁基板４２上にスクリーン印刷法によって印刷、焼成することにより形成されるが、陽極基板３１の高精細化が要求される場合は、フォトリソグラフィ法によって形成される。絶縁体層４４の厚さは、２５μｍ程度である。絶縁ペーストとしては、例えば低融点ガラスおよび着色顔料を含む厚膜絶縁体ペーストが用いられる。
【００２７】
前記陽極層４５は、導電ペーストを絶縁体層４４の表面にスクリーン印刷法によって印刷し、焼成することにより形成され、スルーホール４７を介して前記配線層４３に電気的に接続されている。導電ペーストとしては、例えばエチルセルローズなどのバインダー樹脂を溶解したブチルカルビトールなどの溶媒に、導電剤として蛍光体と反応しない導電性カーボン、酸化アルミニウムなどの印刷性向上剤を配合した陽極ペーストが用いられる。陽極層４５の膜厚としては、３０μｍ程度である。
【００２８】
前記蛍光体層４６は、所望の蛍光体ペーストを各陽極層４５の表面上にスクリーン印刷法によって印刷し、焼成することにより形成されている。蛍光体ペーストとしては、導電性が要求されるため、Ｉｎ2Ｏ3などの導電性粒子が添加された蛍光体粉末とビークルとからなるペーストが用いられる。
【００２９】
前記スルーホール４７の好ましい正面視形状としては、導電ペースト１９のスルーホール４７への刷り込み効果を高めるために、導電ペースト１９のスクリーン印刷時におけるスキージ２０の動きの方向に幅が漸次減少する形状、具体的には図４（ａ）〜（ｆ）に示す形状のスルーホール４７Ａ〜４７Ｆが好ましい。すなわち、図４（ａ）は、頂部Ｔがスキージ２０の動きの方向を指向し、底辺Ｂがスキージ２０の動きの方向と反対方向となるように形成された二等辺三角形のスルーホール４７Ａである。図４（ｂ）は、頂部Ｔがスキージ２０の動きの方向を指向する正五角形のスルーホール４７Ｂである。図４（ｃ）は、スキージ２０の動きの方向側が二等辺三角形で、スキージ２０の動きの方向とは反対側が矩形に形成された五角形のスルーホール４７Ｃである。図４（ｄ）は、中心Ｏがスキージ２０の動きの方向を指向する扇形のスルーホール４７Ｄである。図４（ｅ）は、一つの対角線がスキージ２０の動きの方向を指向する四角形または菱形のスルーホール４７Ｅである。図４（ｆ）は、左右の両側壁の幅がスキージ２０の動きの方向に漸次減少する台形のスルーホール４７Ｆである。
【００３０】
また、スルーホール４７の平面視形状としては、図４に示すスルーホール４７Ａ〜４７Ｆに近似した形状のものであってもよい。要は、スキージ２０の動きの方向に対して左右両側壁がテーパ状に傾斜した多角形または扇形またはこれらに近似した形状であればよい。また、いずれの形状においても、スキージ２０の動きの方向の左右両側壁Ｃ１，Ｃ２の交差角度θ（扇形のスルーホール４７Ｄの場合は中心角）は１２０°程度以下、より好ましくは６０〜９０°程度であり、１８０°に近くなると導電ペースト１９の刷り込み効果が低下するため好ましくない。なお、図１〜図３においては、二等辺三角形のスルーホール４７Ａをその頂部Ｔがスキージ２０の動きの方向を指向するように、各配線層４３に対応して形成した例を示している。
【００３１】
このような構造からなる蛍光表示管３０は、フィラメント３５から放出される熱電子によって蛍光体層４６を発光させることにより数字、記号等を切替え表示する。すなわち、フィラメント３５は、蛍光表示管３０の使用時に例えば数十Ｖ程度の正電圧（加速電圧）が印加されることにより熱電子を放出する。このとき、グリッド３４と陽極層４５に同じく所定の正電圧をそれぞれ印加しておくと、フィラメント３５から放出された熱電子はグリッド電圧によって加速され、前記グリッド３４に対応する蛍光体層３６に衝突することにより当該蛍光体層３６を発光させる。例えば、表示部が日の字型に配列された７つのセグメントからなり、数字の「０」から「９」を選択的に表示する場合、グリッド３４と各陽極層４５に対して所定の正電圧を印加しておくと、７セグメント全ての蛍光体層４６が発光するため、数字「８」が表示される。
【００３２】
蛍光体層４６の発光を停止させる場合は、グリッド３４に対する印加電圧を正電圧から数Ｖ程度の負のバイアス電圧（カットオフ・バイアス）に切り替える。すなわち、グリッド３４に対する印加電圧を負のバイアス電圧に切り替えると、グリッド３４はフィラメント３５から放射された熱電子を遮断する。このため、熱電子は蛍光体層４６に到達せず、蛍光体層４６は発光しなくなる。したがって、駆動信号によってグリッド電圧を切り替えることにより、「０」〜「９」までの数字（または記号）を選択的に発光表示することができる。なお、発光体層４６は、グリッド電圧を切り替える代わりに陽極層４５に印加するアノード電圧を切り替えても熱電子が遮断されるため同様に発光しなくなる。
【００３３】
次に、前記陽極基板３１の製造方法を図５に基づいて説明する。
先ず、絶縁基板４２上に配線層４３を形成する。この配線層４３の形成工程は、厚肉の導電ペーストをスクリーン印刷法によって印刷する工程（ステップＳ１）と、絶縁基板４２を加熱炉に入れて所定温度に加熱し、導電ペーストを焼成する工程（ステップＳ２）とを備えている。
【００３４】
次に、スルーホール４７を有する絶縁体層４４を前記配線層４３上に積層形成する。この絶縁体層４４の形成工程は、下層側絶縁体層４４ａの形成工程と、上層側絶縁体層４４ｂの形成工程の２工程からなる。また、下層側絶縁体層４４ａの形成工程は、絶縁基板４２上に第１の絶縁ペーストをスクリーン印刷法によってパターン印刷する工程（ステップＳ３）と、印刷された第１の絶縁ペーストを焼成して下層側絶縁体層４４ａを形成する工程（ステップＳ４）の２工程とからなる。同じく、上層側絶縁体層４４ｂの形成工程は、下層側絶縁体層４４ａ上に第２の絶縁ペーストをスクリーン印刷法によって印刷する工程（ステップＳ５）と、印刷された第２の絶縁ペーストを焼成して上層側絶縁体層４４ｂを形成する工程（ステップＳ６）の２工程とからなる。下層側絶縁体層４４ａの形成に用いられる第１の絶縁ペーストと上層側絶縁体層４４ｂの形成に用いられる第２の絶縁ペーストとは、同一のペーストを用いてもよく、また異なるペーストを用いてもよい。
【００３５】
また、下層側と上層側の絶縁体層４４ａ，４４ｂの形成に際しては、スクリーン印刷法に限らず、フォトリソグラフィ法によって形成してもよい。フォトリソグラフィ法は、基板上に感光性の薄膜（レジスト）を塗布し、このレジストに光やＸ線あるいは電子線を照射して現像処理することにより所望のパターンの保護膜を形成する方法であるため、スクリーン印刷法と異なりスルーホール４７の孔壁を絶縁基板４２に対して略垂直に切り立せることができ、スルーホール４７の穴径が小さい場合に有利である。なお、スルーホール４７の断面形状としては、ストレートなスルーホールに限らず、下層側絶縁体層４４ａの孔部分が小さく、上層側絶縁体層４４ａの孔部分が大きい階段状のスルーホールや上方に開いたテーパ状のスルーホールであってもよい。
【００３６】
次いで、絶縁体層４４上に陽極層４５を形成する。この陽極層形成工程は、絶縁体層４４上に厚肉の導電ペーストをスクリーン印刷法によって印刷し、その一部をスルーホール４７に刷り込む工程（ステップＳ７）と、絶縁基板４２を加熱炉に入れて所定温度に加熱し、導電ペーストを焼成する工程（ステップＳ８）とを備えている。
【００３７】
導電ペーストをスクリーン印刷法によって印刷するステップ７において、絶縁体層４４に形成されているスルーホール４７の断面形状が図３に示す開口部側が開いた階段状（またはテーパ状）である場合は、導電ペーストのスルーホール４７内への刷り込みが容易になる利点がある。
【００３８】
また、スルーホール４７は、導電ペースト１９のスクリーン印刷時におけるスキージ２０の動きの方向に幅が漸次減少する形状に形成されているので、スクリーンマスク１８の開口部２１を通ってスルーホール４７に刷り込まれた導電ペースト１９は、スキージ２０の動きにともないスルーホール４７の左右両側壁の広幅部側から狭幅部側に向かって移動する。このため、導電ペースト１９は移動速度（密度）および圧力が徐々に増して図３に示すように狭幅部に寄せ集められるため、少なくともこの狭幅部付近においては導電ペースト１９が埋め尽くされてスルーホール４７の狭幅部側壁面および配線層４３に接触する。また、図２はスルーホール４７内に刷り込まれた導電ペースト１９の濃度がスキージ２０の動き方向に高くなることをドットの密度の違いによって示している。そして、ステップ８により導電ペースト１９を焼成すると、配線層４３に電気的および機械的に接続された陽極層４５となる。
【００３９】
次いで、陽極層４５の表面に蛍光体層４６を積層形成する。この蛍光体層形成工程は、所定の蛍光体ペーストを陽極層４５の上にスクリーン印刷法によって印刷する工程（ステップ９）と、印刷された蛍光体ペーストを焼成する工程（ステップＳ１０）とを備えている。
【００４０】
この後、グリッド３４とフィラメント３５を絶縁基板４２の上方に配置することにより陽極基板３１が製作され、この陽極基板３１を透明カバー３２およびスペーサ３３を用いて封着し、内部を真空引きすることにより、図１に示す蛍光表示管３０が製作される。
【００４１】
このように本発明においては、絶縁体層４４に形成されるスルーホール４７の正面視形状を、陽極ペースト１９のスクリーン印刷時におけるスキージ２０の動きの方向に幅が漸次減少する形状、具体的には左右両側壁がスキージ２０の動き方向に対してテーパ状に傾斜した多角形または扇形に形成したので、スキージング時のスルーホール４７内への導電ペースト１９の刷り込みが良好で、配線層４３と陽極層４５とを確実に接続することができ、特に高精細化が要求され絶縁体層４４をフォトリソグラフィ法によって形成する必要がある蛍光表示管に用いて好適である。
【００４２】
また、陽極層４５の形成に際しては、スクリーンマスク１８の開口部２１の形状を変えて、スルーホール４７の正面視形状を左右両側壁がスキージ２０の動き方向に対してテーパ状に傾斜した多角形または扇形に形成するだけでよいので、陽極基板３１の製作も容易である。
【００４３】
なお、上記した実施の形態においては、絶縁性を高めるために絶縁体層４４を２層構造とした例を示したが、これに限らず１層でもよく、また２層以上であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係る陽極基板を備えた蛍光表示管の一実施の形態を示す断面図である。
【図２】スキージングによってスルーホールに刷り込まれた導電ペーストの密度の違いを示す平面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図で、導電ペーストをスキージングしている様子を示す図である。
【図４】（ａ）〜（ｆ）はそれぞれスルーホールの正面視形状を示す図である。
【図５】同陽極基板の製造工程を説明するためのフローチャートである。
【図６】従来の陽極基板の要部の断面図である。
【図７】スキージングによってスルーホールに導電ペーストを刷り込んだ状態を示す平面図である。
【図８】図７のVIII−VIII線断面図で、導電ペーストをスキージングしている様子を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１８…スクリーンマスク、１９…導電ペースト、２０…スキージ、３０…蛍光表示管、３１…陽極基板、３４…グリッド、３５…フィラメント、４２…絶縁基板、４３…配線層、４４…絶縁体層、４５…陽極層、４６…蛍光体層、４７，４７Ａ〜４７Ｆ…スルーホール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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