(57)【要約】【課題】液体吐出時に弁を支持する部材に熱膨張が発生しても、支持している弁への影響が少なく、高精度で安定した接着状態を得ることができるようになし、以て安定した吐出動作を高速に行うことができるようにした液体吐出ヘッドを提供すること。【解決手段】弁支持部材１１に第２の穴１８、第１の穴１９およびスリット２０を設ける。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を加熱発泡させて発生する気泡の成長に伴い、板材からなる弁支持部材と一体で形成された弁を変位させて、前記液体が吐出する吐出口の方向へ前記気泡の成長を導き、前記液体の吐出が可能な液体吐出ヘッドにおいて、
前記弁支持部材は、
前記液体の吐出方向にずれて位置する第１および第２の欠損部と、
前記第１および第２の欠損部の間に位置して、前記吐出方向と交差する方向に延在する第１の領域と、
前記第１の領域の少なくとも一部を含む範囲に形成されて、前記第１の領域の前記吐出方向における全領域に渡って延在する第３の欠損部と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記弁支持部材は、前記第３の欠損部を複数有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記弁支持部材は、前記第１、第２、第３の欠損部および前記第１の領域の組み合わせを複数組有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記弁部支持部材は、前記第１および第２の欠損部の少なくとも一方が位置して、前記交差方向に延在する第２の領域と、
前記第２の領域の少なくとも一部を含む範囲に形成される第４の欠損部と、
を有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記複数の欠損部の少なくとも１つは、前記弁支持部材上において、閉空間を形成することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記複数の欠損部の少なくとも1つは、前記弁支持部材の周縁で開口する開空間であることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記複数の欠損部は、千鳥状に配列されていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数の欠損部は、２以上の異なる大きさを有することを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記弁支持部材は、直線状の複数の周縁部を有し、前記複数の周縁部のすくなくとも１つに位置する前記欠損部は、前記弁支持部材の中央部に位置する前記欠損部よりも小さいことを特徴とする、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドに関する。特に本発明は、熱エネルギを液体に与えることで、液体に急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態変化を生じさせ、この状態変化に基づく作用力によって吐出口から液体を吐出させる方式の液体吐出ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の液体吐出ヘッドには、一般に、液体供給方向上流側から吐出口に向う液路が設けられ、その液路に、例えば通電に応じ液体に熱エネルギを発生する素子（電気熱変換体）が配されている。そして電気熱変換体の駆動に伴い、液路に面した熱作用部上にある液体に状態変化（膜沸騰による発泡）を生じさせることで、熱作用部より吐出口側に存在する液体を吐出させる圧力を作用させるものである。しかし発泡現象自体には指向性がなく、従って発泡による圧力は液路において液体を吐出させる方向だけではなく、液体供給方向上流側にも作用する。この結果、液体供給方向上流側へのエネルギ損失を生じて液体吐出に有効に寄与するエネルギ量が減殺され、液体の吐出速度が減少して記録品位の低下を招くことになる。またそれだけではなく、液体供給方向上流側に向かう圧力が、吐出によって失われた分の液体を液路に補充（リフィル）する動作を遅らせ、記録速度の高速化を阻害する要因ともなる。
【０００３】
近年では、記録品位の安定した画像を高速に記録する要求が高まっており、これは特に産業用途の記録装置において著しい。そこで、発泡に応じ弁として作動する可動部材を液路内に設け、液体供給方向上流側への泡の成長を規制することにより、エネルギ利用の効率化およびリフィル動作の円滑化を図る構成が採用されることがある。
【０００４】
このような可動部材を備えるために、特許文献１には、電気熱変換体が設けられる基板の一部を利用して、その基板の一部に弁を一体形成した構成が開示されている。この特許文献１では、電気熱変換体が形成された部材（基板）に対し、これとは別体の弁またはこれを形成した部材（弁形成部材）を後工程で接着した構造を液体吐出ヘッドが有している構成を従来例として挙げている。そしてそのような構成では、
・微細な弁の形成が困難であるため、液路の微細化が容易でないこと、および
・弁の取り付けを接着などの方法により行うため、組み立て工数が増加してコスト上昇を招くのみならず、取り付け精度良否による信頼性の低下や吐出の不安定などが生じること
が記載され、これらを解決するために、基板と弁とが予め一体となった構造およびその製造方法が開示されている。
【０００５】
これに対し、特許文献２には、基板および弁形成部材の二体構造を有する記録ヘッドの製造方法が開示されている。具体的には、発熱抵抗素子（電気熱変換体）を備えた基板上に少なくともその表面が金属である支持部材を配置し、この部材を介して可動部材を有する金属製の分離壁（弁形成部材）を固定する方法を開示している。その発明の実施の形態においては、基板の概略後方部の２カ所にＡｕ等でなるスタッドバンプ形態の支持部材を打ち込み、Ｎｉ等でなる分離壁を位置決めして載置し、分離壁の上から支持部材に対して加熱等を行って支持部材および分離壁の界面に合金層を形成することで、基板と分離壁との接合・固定すなわち取り付けを行う方法などが記載されている。そしてこの方法によれば、接着剤を用いた場合のような、接着剤の硬化収縮が取り付け精度に悪影響を及ぼす不都合が防止されることが効果の一つとして記載されている。
【０００６】
【特許文献１】特開昭６３−１９７６５２号公報
【特許文献２】特開平１０−１６２４３号公報（図１１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
これらの特許文献は、いずれも、液体吐出のためのエネルギ利用の効率化およびリフィル動作の円滑化を企図したものであるが、そのための液体吐出ヘッドの基本構成が異なっている。すなわち、特許文献１では基板と弁支持部材とが予め一体に形成される構造（以下、一体構造という）を用いるのに対し、特許文献２では別体に形成された基板と弁支持部材とを貼り付けた構造（以下、二体構造という）を用いている。
【０００８】
本願発明者がこれらの構造を鋭意検討した結果、次のような知見を得た。  
すなわち、まず特許文献１では、上記の一体構造物を作成する過程において、基板上に所定材料（同文献ではポリシリコン）でなる層を形成してからその上に弁となる部分を積層し、その弁下方の液路部分に存在している層のエッチングが実施される。従って、エッチングを弁周辺から弁下方に行う必要があるため、片持ち支持される弁の被支持部分を除く弁周辺部分には、エッチング工程を受容するために、ある程度の空隙を要する。つまり、エッチング工程を考慮して、弁の寸法が制約されてしまうことになる。このため、所望の弁寸法すなわち熱作用部への弁の投影面積が小さくなり、所期の目的である吐出エネルギの有効利用およびリフィル動作の円滑化を十分に達成できなくなる恐れがある。これは特に、産業用途など、安定した吐出動作を高速に行うことが厳しく要求される記録ヘッドないしは記録装置を用いる場合に問題となり得る。
【０００９】
従って、所期の目的に見合う寸法をもつ弁が形成されていることが強く望ましく、そのためには二体構造を採用する方が、設計および製造上有効である。しかしこの場合、特許文献１で認識されていた課題、すなわち弁支持体の取り付け精度の低下による信頼性の低下や吐出の不安定などが適切に解決されなければならないことは勿論である。
【００１０】
ここで、弁支持部材は基板に対して好ましくない反りや浮きがない状態で固定されることで、取り付け精度が確保されていなければならないが、弁支持部材と基板との間に液状の接着剤を塗布し、加熱硬化させることで接着を行う場合には、次のような種々の問題が生じる。
【００１１】
まず、接着剤塗布ポイントが少ないと、好ましくない反りや浮きを効果的に抑制できなくなることである。また、基板および弁支持部材間の接着強度が弱く、液体の流れによって弁支持部材が基板から剥離してしまうことも懸念される。
【００１２】
この問題を解決するために接着剤塗布ポイントや塗布量を増やした場合、接着剤は塗布時には液状であるため、塗布ポイントから周囲に流動し、隣接する塗布ポイントの接着剤同士がつながってしまい、結果として弁支持部材と基板とが接着剤を介し広い面積の連続領域（甚だしい場合には全面）で接着された状態となってしまう。すると、接着剤硬化工程における加熱や、記録動作に伴って生じる熱的影響によって接着界面に大きな応力が発生する。すなわち、接着剤自身の硬化収縮あるいは接着剤と基板の線膨張率の差によって接着部にストレスが発生し、基板に微小なクラックが発生する恐れがある。基板には一般に、電気熱変換体を選択的に駆動するためのアルミニウム等の配線が設けられるので、発生したクラックにインクが介在することで電気的ショートが発生し得る。また、接着剤塗布量が過剰であると、記録ヘッドないしは液路内の液体の流れを阻害する恐れもある。
【００１３】
さらに、接着剤を所望の位置に所定量塗布するために、一般に定量吐出装置（ディスペンサ）が使用されるが、これによっても接着剤の塗布形状を正確に管理することはできない。従って、硬化後の接着剤の形状に塗布位置間で差異が発生し、弁支持部材の固定状態がばらつき、安定した接着条件ひいては安定した取り付け精度を維持することが非常に困難となる。
【００１４】
これに対し、特許文献２においては、開示された方法では、基板上の複数箇所に設けた支持部材を介し、ボンディング技術を応用して弁支持部材を接合する構成を採用している。かかる構成では、接着剤の塗布に関連した問題は生じないが、接合ポイントの位置および個数については具体的に考慮されておらず、好ましくない反りや浮きを効果的に抑制するための構成についても示唆されていない。
【００１５】
本発明は、以上の問題に鑑みてなされたもので、液体吐出時に弁を支持する部材に熱膨張が発生しても支持している弁への影響が少なく、高精度で安定した接着状態を得ることができるようになし、以て安定した吐出動作を高速に行うことができるようにした液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
そのため本発明の液体吐出ヘッドは、液体を加熱発泡させて発生する気泡の成長に伴い、板材からなる弁支持部材と一体で形成された弁を変位させて、前記液体が吐出する吐出口の方向へ前記気泡の成長を導き、前記液体の吐出が可能な液体吐出ヘッドにおいて、前記弁支持部材は、前記液体の吐出方向にずれて位置する第１および第２の欠損部と、前記第１および第２の欠損部の間に位置して、前記吐出方向と交差する方向に延在する第１の領域と、前記第１の領域の少なくとも一部を含む範囲に形成されて、前記第１の領域の前記吐出方向における全領域に渡って延在する第３の欠損部と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の液体吐出ヘッドによれば、弁支持部材に欠損部（穴およびスリット）を設けたことで、弁支持部材が熱膨張しても膨張の影響が弁に及ばないようにして、吐出の乱れや、印字不良の発生が少ない液体吐出ヘッドを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態である、液体吐出ヘッド１１０を具えた液体吐出装置１１１の内部構造を示す正面図である。図中の液体吐出装置１１１は、複数の液体吐出ヘッド１１０を備えており、給紙部１１６から供給された記録媒体が記録媒体搬送部１１４によって搬送され、液体吐出ヘッドと対面する位置で液体吐出ヘッド１１０から記録媒体に向けて液体が吐出されて記録が行われる。そして、液体吐出装置１１１の上部正面にあるオペレーションパネル１１５によってこれらの操作をユーザが行うことができる。
【００２０】
図２は、液体吐出ヘッド１１０を分解した状態を示す分解斜視図である。  
ヒータボード１０１は、セラミック製のベースプレート１００によって支持されており、そのヒータボード１０１をベースプレート１００と挟む形で配線基板１０２が配置されている。そしてヒータボード１０１上のヒータ２（図４参照）と、配線基板１０２上の端子とは、ワイヤボンディングにより電気的に接続されている。
【００２１】
図３は、本発明の一実施形態である液体吐出装置１１１における、液体供給系の構成を示す図である。本実施形態の液体吐出装置１１１は、着脱可能なカートリッジ１１３、液体吐出ヘッド１１０の吐出口１３（図４参照）に形成される液面であるメニスカス１９（図７（ａ）参照）の位置を適正に保つための圧力を発生するサブタンク１１８を備えている。さらに本実施形態の液体吐出装置１１１は、カートリッジ１１３からサブタンク１１８へ液体を供給するための供給ポンプ１１９、サブタンク１１８から液体吐出ヘッド１１０へ液体を供給するための加圧ポンプ１２０、および液体吐出ヘッド１１０から液体のリターン流路を閉鎖するための回復弁１２１を備えている。供給ポンプ１１９は、後述するリサイクル動作にも使用され、その際の経路選択のため供給弁１２２が配置されている。液体吐出ヘッド１１０より排出された液体を再利用するリサイクル動作は、液体吐出ヘッド吐出面下方に設置された回復桶１２３、回復桶１２３からサブタンク１１８への液体の流路選択のためのリサイクル弁１２４により行なわれる。
【００２２】
図４は、本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の一部の断面斜視図である。ヒータボード１０１には液体を加熱発泡するためのヒータ２が複数設置されている。ヒータ２はチッ化タンタル等の抵抗体が用いられており、厚さは０．０１〜０．５μｍ、単位面積あたり１０〜３００Ωの抵抗を有するものが用いられる。ヒータ２には通電のためのアルミニウム等の不図示の電極が接続されており、その電極にはヒータ２への通電を制御するための不図示のスイッチングトランジスタが接続されている。スイッチトランジスタは制御用のゲート素子等の回路からなるＩＣによって制御され、不図示の制御部からの信号によって所定のパターンで駆動するようになっている。複数のヒータ各々に対応してノズル１４が形成されており、吐出口１３と共通液室１６とはノズル１４によって連通している。また、ノズル１４は、その表面に土手３と弁台座１２とが備えられたヒータボード１と、両側のノズル壁５と、厚さ２μｍ程度の天板ノズル７と、によって囲まれた管状をなしている。そして、可動弁６は弁支持部材１１から櫛歯状に延びて、かつ自由端９を吐出口１３方向に向けて設けられている。
【００２３】
以下に、図５および図６を用いて本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法を説明する。なお、図５および図６は図４のIＶ−IＶ断面図であり、本実施形態の製造方法に合わせて、２組の液体吐出ヘッドの吐出口面を付き合わせた状態の図である。２組の液体吐出ヘッドの吐出口面を付き合わせたものを一体で形成して、後工程において図中の一点鎖線部で切断することで吐出口を形成するという方法で液体吐出ヘッドを作った。このような作り方を用いることで、ノズルの位置精度が高くなり、より高画質の記録が可能な液体吐出ヘッドを作ることができる。また、図５および図６は説明を容易にするために図４の液体吐出ヘッドとは寸法関係を変えて、模式的に表している。
【００２４】
図５（ａ）は、ベースプレート１０１に土手３や弁台座１２が形成された状態を示す図である。まず、シリコンウエハからなるベースプレート１０１上に半導体製造工程で用いるものと同様の製造装置を用いて、ハフニュウムボライドやチッ化タンタル等からなるヒータ２を形成した後、ベースプレート１０１表面に洗浄を施し、さらに密着性の向上を目的としてベースプレート１０１表面に紫外線-オゾン等による表面改質を行った。次に、ベースプレート１０１上に紫外線感光樹脂フィルムをラミネートし、フォトマスクを介して、紫外線感光性樹脂フィルムのノズル土手３および可動弁６を接着するための弁台座１２として残す部分に、紫外線を照射した。図５（ｂ）は、ノズル壁５を作るための紫外線感光性樹脂フィルムを、ノズル土手３、弁台座１２の上にラミネートした図である。図５（ｃ）は、図５（ｂ）でラミネートした紫外線感光性樹脂フィルムに紫外線を照射して、ノズル壁５を形成した状態の図である。紫外線を照射後にキシレンとブチルセルソルブアセテートとの混合液からなる現像液で現像し、未露光部分を融解させ、露光して硬化した部分がノズル壁５として形成される。
【００２５】
図６は、図５以降の工程を示す図である。図６（ａ）は、弁台座１２に可動弁６を取り付けた状態を示す図である。可動弁６は、その先端部を吐出口側に向けた片持ち状態で弁台座１２に接着剤で固定されている。図６（ｂ）は、天板８を取り付けた図である。ノズル壁５には、予め感光性樹脂フィルムを材料とした天板ノズル７をラミネートしておいた天板８を溶着されている。その後、図中一点鎖線部で切断して図６（ｃ）のように吐出口が形成される。図６（ｄ）は、切断面を研磨した後の状態を示したものである。切断面を研磨すると、樹脂材である部分は弾性が高いために、図に示すように隆起する。このように樹脂部が隆起することによって、従来吐出口部分に用いられていたオリフィスプレートを取り付けなくても、樹脂部にその役割をさせることができる。
【００２６】
次に、可動弁６および弁支持部材１１の製造方法について説明する。基板ウェハ上を母材として、そこに紫外線感光樹脂フィルムをラミネートして、紫外線の露光によって所望のパターンを作成する。これを使用して電鋳によってウェハ上にＮｉを厚さ５μｍ程度までの厚さに成長させる。その後、パターンを溶解させることによりウェハ上に可動弁６および弁支持部材１１が一体形成された状態となる。これをウェハから剥がしてそれらが完成となる。
【００２７】
図７は、本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の横断面図である。前述のようにして作られた弁支持部材１１には、弁支持部材１１と弁台座１２の接着剤硬化工程における加熱や記録動作に伴って生じる熱的影響を考慮して、弁支持部材１１自体の熱膨張による寸法の変化を極力抑えるために、欠損部である複数の第１の穴１９および第２の穴１８が設けられている。第１の穴１９は、弁支持部材１１上で可動弁６の配列方向と平行な直線ＬＢ３からＬＢｎ−２上、かつ可動弁６の配列方向に直交する方向と平行な直線ＬＡ１からＬＡｎ上にその中心を有しており、千鳥状に配列されている。第２の穴１８は、弁支持部材１１上で可動弁６の配列方向と平行な直線ＬＢ１、ＬＢ２およびＬＢｎ−１、ＬＢｎ上、かつ可動弁６の配列方向に直交する方向と平行な直線ＬＡ１からＬＡｎ上にその中心を有しており、千鳥状に配列されている。つまり、第２の穴１８の配置は可動弁６の配列方向と平行な方向において、第１の穴１９の集合の左右両端部に千鳥状に配置されている。そして、第２の穴１８の径は第１の穴１９よりも小さな径の穴にして弁支持部材１１の肉部分を多く残している。このように肉部分を多く残すことで弁支持部材１１自体の強度を強くして、製造時のウェハから剥がす際の千切れを防止している。また、線ＬＢ１および線ＬＢ２上に配列されている第２の穴１８にはそれぞれ欠損部であるスリット２０が設けられており、線ＬＢ１上の第２の穴１８には、その第２の穴１８と最も近距離にある２つの可動弁６の間の空間と、その第２の穴１８とが連通するようにスリット２０は設けられている。また線ＬＢｎ上の第２の穴１８には、最も近い弁支持部材１１端部で開口するようにスリット２０が設けられている。
【００２８】
このそれぞれの第２の穴１８、第１の穴１９およびスリット２０等の欠損部の配列は、特に弁支持部材１１の可動弁６の配列方向（図６中矢印Ｂ方向）の膨張を防ぐことを考慮して設けられており、線ＬＢ１と平行な線を含む弁支持部材１１の切断面で断面を見た場合、これらの第２の穴１８、第１の穴１９およびスリット２０が設けられていることで、いかなる部分における断面も１つの連続した断面にはならない。このように第２の穴１８、第１の穴１９およびスリット２０を設けることで、弁支持部材１１が熱膨張しても可動弁６の吐出時の動作への影響を極力抑えることができる。また第２の穴１８、第１の穴１９を複数個に分散配置して、穴径を小さくすることで、弁支持部材１１の極端な強度劣化を防止している。さらに、弁支持部材１１が振動を吸収しやすくなったため、液体吐出時の１つの可動弁６の振動が弁支持部材１１に吸収されて、隣接する他の可動弁６の動作に影響を与えなくなっている。
【００２９】
さらに弁支持基板１１には、弁台座１２上での位置決めのためおよび弁台座１２との接着固定のために２種類の四角形の穴が設けられている。位置決め用の四角穴３０はＬＡ３およびＬＡｎ−２を中心線、かつその方向を長手方向とする長方形の穴であり、弁支持部材１１において可動弁６を有する方を前方とした場合の、四角穴３０の後端部で、流路壁５と同じ材質で作られた支柱３２によって位置決めするように設けられている。また、接着固定用の四角穴３１は線ＬＢ７を中心線として、３個の正方形が２個の四角穴３０の間に並んで配置されている。
【００３０】
なお、本明細書内で用いる用語「欠損部」は上記のような閉じた空間である穴および開いた空間であるスリットの両方を意味するものとして用いる。
【００３１】
図８は、本実施形態の液体吐出ヘッドの吐出口１３の周辺の構成を示す断面図である。液体は共通液室１６を矢印のように通り供給開口１７に供給される。
【００３２】
このようにノズル１４内に可動弁６を有する構成の液体吐出ヘッドにおいて、液体が吐出する過程を、図９を用いて説明する。図９（ａ）はヒータ２に電気エネルギが印加される前の状態である。気泡２１（図９（ｂ）参照）はまだ発生していないため、可動弁６は平衡状態にある。図９（ｂ）はヒータ２に電気エネルギが印加されて発熱し、液体に気泡２１が発生した状態を示している。気泡２１が発生するとその気泡発生に基づく圧力により気泡２１の成長方向を吐出口１３方向に導くように可動弁６は変位する。そして、気泡２１が成長するに従って、ノズル１４内の液体は吐出口１３方向に向かい、吐出液柱２５が形成される。図９（ｃ）は、吐出口１３から液体が吐出する瞬間の図である。この図のように液体が吐出する際は、気泡２１内の圧力は負圧となって気泡２１は収縮する。そして可動弁６は図９（ｃ）の状態から平衡状態である図９（ａ）の状態に戻るように変位する。
【００３３】
通常、記録時には図９(ａ)から図９(ｃ)の動作が繰り返し行われ、高速印刷の際もこの動作がスムーズに行われなければならない。記録時は気泡発生に伴う圧力によって弁が変位するが、所望量の液体を吐出したら即時に平衡状態に復帰する必要がある。本実施形態の弁支持部材１１は複数の穴を有していることから各可動弁６の振動成分が分散される。その結果、わずかな振動伝搬はあるものの穴を有していない物と比較した場合、その振動は大幅に抑えることが可能となり、可動弁６は即時に平衡状態に復帰することができる。
【００３４】
ここで、さらに本発明の液体吐出ヘッドにおける弁支持部材に設けた欠損部について図１０を用いて説明する。  
図１０は、本発明の一実施形態における弁支持部材１１と、そこに設けられている欠損部を模式的に表した平面図である。図のように弁支持部材１１は、所定の間隔で設けられた欠損部Ｐ１（第１の欠損部）および欠損部Ｐ２（第２の欠損部）を有しており、その欠損部Ｐ１とＰ２との間であり、吐出方向（矢印Ｃ方向）と交差する方向（矢印Ｂ方向）に延在する弁支持部材１１の領域である、領域Ｗ１（第１の領域）を有している。さらに弁支持部材１１は、その領域Ｗ１の矢印Ｃ方向の全域にわたって延在する欠損部Ｐ３（第３の欠損部）と、欠損部Ｐ１またはＰ２が位置しており矢印Ｂ方向に延在する領域Ｗ２と、を有している。またさらに弁支持部材１１は、領域Ｗ２（第２の領域）の一部を含む欠損部Ｐ４を有している。
【００３５】
このように、弁支持部材１１に欠損部を設けた構成にすることで、弁支持部材１１が膨張するのを極力抑えて、吐出の乱れや、印字不良の発生が少ない液体吐出ヘッドを実現することができた。
【００３６】
なお、本実施形態では線ＬＢｎ上の第２の穴１８に、この第２の穴１８に最も近い弁支持部材１１端部で開口するようにスリット２０が設けられているが、この線ＬＢｎ上の第２の穴１８に設けられたスリット２０は可動弁６からの距離が離れているために、設けなくても可動弁６の熱膨張が液体の吐出に影響しないことを確認した。
【００３７】
また、本実施形態では弁支持部材１１の熱膨張を抑えるために、円形状の穴を複数個千鳥状に配列し、かつスリット２０を設ける構成を採用したが、穴の形状は円形に限るものではなく他の形状、例えば四角形や三角形等の多角形でもよい。
【００３８】
また、本実施形態では、第１の穴１９および第２の穴１８を千鳥状に設けたが、これに限定するものではなく、弁支持部材１１が熱膨張しても可動弁６の吐出時の動作に影響が無いように設ければよく、例えば、円形の穴を曲線的に並べてもよい。
【００３９】
また、本実施形態では、弁支持部材１１に複数の第１の穴１９、第２の穴１８を設けているが、この限りではなく１つの連続した穴でもよい。
【００４０】
また、本実施形態では、スリット２０を第２の穴１８に伴って、間欠的に設けたがこれに限るものではなく、スリット２０の各支点１０の間に設けてもよい。
【００４１】
また、本実施形態では位置決め用の四角穴３０を２個設けたがこれに限定するものではなく１個以上あればよい。ただし１個の場合は弁支持部材１１の位置決めの際に回転方向のずれは発生しやすくなる。
【００４２】
また、本実施形態では接着固定用の四角穴３１を３個設けたがこれに限定するものではなく、１個以上であり弁支持部材１１を弁台座１２に接着固定できればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施形態である、液体吐出ヘッドを具えた液体吐出装置の正面図である。
【図２】本発明の一実施形態である、液体吐出ヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態である、液体吐出装置の液体供給系の構成を示す図である。
【図４】本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の断面斜視図である。
【図５】（ａ）は、ベースプレートに土手や弁台座が形成された図であり、（ｂ）はノズル壁を作るための紫外線感光性樹脂フィルムをラミネートした図であり、（ｃ）は、紫外線感光性樹脂フィルムに紫外線を照射して、ノズル壁を形成した状態の図である。
【図６】（ａ）は、弁台座に可動弁を取り付けた図であり、（ｄ）は、切断面を研磨した後の状態を示したものであり、（ｃ）は切断後の状態を表す図であり、（ｄ）は、切断面を研磨した後の状態を示したものである。
【図７】本実施形態の液体吐出ヘッドのノズル近傍の横断面図である。
【図８】本実施形態の液体吐出ヘッドの吐出口の周辺の構成を示す断面図である。
【図９】（ａ）はヒータに電気エネルギが印加される前の状態であり、（ｂ）は液体に気泡が発生した状態であり、（ｃ）は、吐出口から液体が吐出する瞬間の図である。
【図１０】本発明の一実施形態における弁支持部材１１と、そこに設けられている欠損部を模式的に表した平面図である。
【符号の説明】
【００４４】
２  ヒータ
３  ノズル土手
６  可動弁
８  天板
１０  支点
１１  弁支持部材
１３  吐出口
１４  ノズル
１８  第２の穴
１９  第１の穴
１２  弁台座
２０  スリット
２１  気泡
２５  吐出液柱
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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