(57)【要約】【課題】効率的なヘッドベースの生産が可能なインクジェットヘッド製造方法を提供する。【解決手段】本発明のインクジェットヘッド製造方法は、第１のグリーンシート４１と第２のグリーンシート４２との一方にインクの供給口３１となる第１の溝部４４を形成し、第２のグリーンシート４２に対して第１のグリーンシート４１を積層する。第２のグリーンシート４２と第３のグリーンシート４３の少なくとも一方にインクの回収口３２となる第２の溝部４５を形成する。第２のグリーンシート４２に対して第３のグリーンシート４３を積層する。積層された第１から第３のグリーンシート４１〜４３を焼成することによって第１から第３のグリーンシート４１〜４３同士が接合したブロック４６を形成する。ブロック４６の長手方向Ｌと直交する平面Ｘで該ブロック４６を所定厚さ毎に切断してヘッドベース１２を作成する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のグリーンシートと第２のグリーンシートとのうち、少なくとも一方にインクの供給口となる第１の溝部を形成する工程と、
前記第１の溝部が形成された面を接触面にして前記第１のグリーンシートと前記第２のグリーンシートとを積層する工程と、
前記第２のグリーンシートと第３のグリーンシートとのうち、少なくとも一方にインクの回収口となる第２の溝部を形成する工程と、
前記第１のグリーンシートが積層される面とは反対側の前記第２のグリーンシートの面に、前記第２の溝部が形成された面を接触面にして前記第３のグリーンシートを積層する工程と、
積層された前記第１から第３の各グリーンシートを焼成することによって前記第１から第３の各グリーンシート同士が接合したブロックを形成する工程と、
前記ブロックの長手方向と直交する平面で該ブロックを所定厚さ毎に切断してヘッドベースを作成する工程と、
を具備することを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。
【請求項２】
第１のセラミックスシートと第２のセラミックスシートとのうち、少なくとも一方にインクの供給口となる第１の溝部を形成する工程と、
前記第１の溝部が形成された面を接触面にして前記第１のセラミックスシートと前記第２のセラミックスシートとを接着して積層する工程と、
前記第２のセラミックスシートと第３のセラミックスシートとのうち、少なくとも一方にインクの回収口となる第２の溝部を形成する工程と、
前記第１のグリーンシートが積層される面とは反対側の前記第２のグリーンシートの面に、前記第２の溝部が形成された面を接触面にして前記第３のグリーンシートを接着して積層する工程と、
積層された前記第１から第３の各セラミックスシート同士が接合したブロックを形成する工程と、
前記ブロックの長手方向と直交する平面で該ブロックを所定厚さ毎に切断してヘッドベースを作成する工程と、
を具備することを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばプリンタ装置に搭載されるインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばインクジェットヘッドの製造方法として、焼成前のセラミックを成形したグリーンシートを複数枚積層して、インクジェットヘッドを製造する方法が知られている。このインクジェットヘッドの製造方法では、あるグリーンシートには予めインク流路パターンを形成しておく。またあるグリーンシートには、予め溝パターンを形成しておく。別のグリーンシートには、電極パターンを形成しておく。このように準備された複数のグリーンシートを積層し、この積層体を加圧によって一体化する。一体化した積層体を焼成する工程を経て、１個のインクジェットヘッドを製造している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開昭６２−１３５３７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のインクジェットヘッドの製造方法では、予め各グリーンシートを加工しておくなど、複雑な工程を経て１個のインクジェットヘッドを製造している。このため、大量のインクジェットヘッドを同時に製造することができず、生産効率が悪い問題がある。
【０００４】
本発明の目的は、効率的なヘッドベースの生産が可能なインクジェットヘッド製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のインクジェットヘッド製造方法は、第１のグリーンシートと第２のグリーンシートとのうち、少なくとも一方にインクの供給口となる第１の溝部を形成する工程と、前記第１の溝部が形成された面を接触面にして前記第１のグリーンシートと前記第２のグリーンシートとを積層する工程と、前記第２のグリーンシートと第３のグリーンシートとのうち、少なくとも一方にインクの回収口となる第２の溝部を形成する工程と、前記第１のグリーンシートが積層される面とは反対側の前記第２のグリーンシートの面に、前記第２の溝部が形成された面を接触面にして前記第３のグリーンシートを積層する工程と、積層された前記第１から第３の各グリーンシートを焼成することによって前記第１から第３の各グリーンシート同士が接合したブロックを形成する工程と、前記ブロックの長手方向と直交する平面で該ブロックを所定厚さ毎に切断してヘッドベースを作成する工程と、を具備する。
【０００６】
本発明の他の形態に係るインクジェットヘッド製造方法は、第１のセラミックスシートと第２のセラミックスシートとのうち、少なくとも一方にインクの供給口となる第１の溝部を形成する工程と、前記第１の溝部が形成された面を接触面にして前記第１のセラミックスシートと前記第２のセラミックスシートとを接着して積層する工程と、前記第２のセラミックスシートと第３のセラミックスシートとのうち、少なくとも一方にインクの回収口となる第２の溝部を形成する工程と、前記第１のグリーンシートが積層される面とは反対側の前記第２のグリーンシートの面に、前記第２の溝部が形成された面を接触面にして前記第３のグリーンシートを接着して積層する工程と、積層された前記第１から第３の各セラミックスシート同士が接合したブロックを形成する工程と、前記ブロックの長手方向と直交する平面で該ブロックを所定厚さ毎に切断してヘッドベースを作成する工程と、を具備する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、大量のヘッドベースを効率的に生産することができる。このヘッドベースを用いれば、大量のインクジェットヘッドを効率よく製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながらこの発明の第１の実施形態について説明する。  
図１と図２は、本発明のインクジェットヘッド１１Ａを示す断面図である。図１および図２に示すように、インクジェットヘッド１１Ａは、絶縁性を有するヘッドベース１２と、ノズル１３を有するノズルプレート１４と、ヘッドベース１２とノズルプレート１４との間に設けられる枠部材１５と、ノズルプレート１４に搭載される駆動回路１６とを備えている。インクジェットヘッド１１Ａの内部で、ヘッドベース１２、ノズルプレート１４、枠部材１５によって囲まれる部分に、共通液室２１が設けられている。共通液室２１の内部は、例えば顔料インク等のインクで満たされている。ノズルプレート１４には、複数のノズル１３が設けられている（図２では、１個のみを示している。）。
【０００９】
インクジェットヘッド１１Ａは、共通液室２１を仕切る複数の駆動素子２２を備えている。共通液室２１の内部で、駆動素子２２によって両側が挟まれた部分は、各ノズル１３に対応する圧力室２３となっている。すなわち、各圧力室２３の両側に、各ノズル１３からインクを吐出させるための駆動素子２２が配置されている。各圧力室２３の内部には、インクが貯留されている。
【００１０】
駆動素子２２は、例えばＰＺＴ系圧電セラミックス材料からなる２個の圧電素子を有している。図２に示すように、駆動素子２２は、台形状をなしており、ノズル１３に近い位置の第１の圧電素子２４と、ノズル１３から遠い位置の第２の圧電素子２５とを有している。第１の圧電素子２４と第２の圧電素子２５とは、分極方向が逆向きになるように接着されている。
【００１１】
ヘッドベース１２は、剛性および絶縁性の観点、また、駆動素子２２である圧電セラミックス材料との熱膨張率をそろえる観点から、セラミックス材料で形成されている。ヘッドベース１２には、共通液室２１にインクを供給するための複数の供給口３１Ａと、共通液室２１からインクを排出するための複数の回収口３２Ａとが設けられている。複数の供給口３１Ａは、複数の圧力室２３に対してそれぞれ１対１で対応している。各供給口３１Ａは、ヘッドベース１２の長手方向と直交する幅方向に関して、各圧力室２３に対して半ピッチずれて設けられている。この場合、１ピッチは、圧力室２３相互間の間隔をいう。
【００１２】
また、複数の回収口３２Ａは、複数の圧力室２３に対してそれぞれ１対１で対応するようになっている。各回収口３２Ａは、ヘッドベース１２の幅方向に関して、各圧力室２３に対して半ピッチずれて設けられている。
【００１３】
インクジェットヘッド１１Ａは、駆動素子２２を制御するための複数の配線３３を備えている。配線３３は、ヘッドベース１２上において駆動素子２２と駆動回路１６とを接続している。配線３３は、駆動素子２２に接続するための電極３４を有している。この電極３４は、ヘッドベース１２上から駆動素子２２の側面にわたって設けられている。電極３４は、無電解メッキによって金属膜を設け、不要部分をレーザ加工で除去して形成されている。このように形成された複数の配線３３と、前記複数の供給口３１Ａとは、幅方向に関して交互に１個ずつ並んでおり、複数の供給口３１Ａの相互間を１本の配線３３が通過している。もっとも、複数の供給口３１Ａの相互間を、数本を１組にした配線３３が通過するようにしてもよい。
【００１４】
図２に示すように、供給口３１Ａから共通液室２１に供給されたインクは、圧力室２３の内部に送られる。圧力室２３において、駆動素子２２によって加圧されたインクは、ノズル１３からインク滴として吐出される。インク滴として使用されなかったインクは、回収口３２Ａから共通液室２１の外部に排出される。
【００１５】
インク滴をノズル１３から吐出させるには、駆動回路１６は配線３３を介して駆動素子２２に駆動電圧を印加する。駆動素子２２の第１の圧電素子２４と第２の圧電素子２５とに電流が流れると、第１の圧電素子２４と第２の圧電素子２５は互いに逆向きに屈曲する。両圧電素子２４、２５の屈曲により、平板状だった駆動素子２２が「Ｌ」字状に変形して、隣接する圧力室２３の容積が小さくなる。圧力室２３が小さくなって圧力室２３内のインクが高圧になると、ノズル１３からインク滴が勢い良く吐出される。
【００１６】
図３と図４を参照して、本発明のインクジェットヘッド１１Ａの製造方法について説明する。図３に示すように、第１の工程では、焼成前のセラミックスである第１のグリーンシート４１、第２のグリーンシート４２、第３のグリーンシート４３をそれぞれ平板状に成形する。第２の工程では、第１のグリーンシート４１には、第２のグリーンシート４２との接触面に、ダイヤモンドカッタ等によって第１の溝部である複数の溝４４を形成する。第３の工程では、第３のグリーンシート４３には、第２のグリーンシート４２との接触面に、ダイヤモンドカッタ等によって第２の溝部である複数の溝４５を形成する。
【００１７】
第４の工程では、第１のグリーンシート４１の複数の溝４４が形成された面４９を接触面にして第２のグリーンシート４２に突き当てる。第３のグリーンシート４３の複数の溝４５が形成された面５０を接触面にして第２のグリーンシート４２に突き当てて、第１から第３のグリーンシート４３を積層する。第５の工程では、積層状態のまま第１から第３の各グリーンシート４３を焼成する。第５の工程により、第１から第３の各グリーンシート４１、４２、４３同士を予め接着させることなく、これらが一体に接合したブロック４６を形成できる。
【００１８】
第６の工程では、このブロック４６を図４に示すようにブロック４６の長手方向Ｌと直交する平面Ｘで切断し、ヘッドベース１２を作成する。この場合、第１のグリーンシート４１の複数の溝４４は、第２のグリーンシート４２の第１の面４７とともに複数の供給口３１Ａを形成する。第３のグリーンシート４３の複数の溝４５は、第２のグリーンシート４２の第２の面４８とともに複数の回収口３２Ａを形成する。このような工程を経て、例えば２５枚から３０枚の大量のヘッドベース１２を作成できる。このヘッドベース１２に対して、枠部材１５とノズルプレート１４とを接着して、インクジェットヘッド１１Ａを形成する。
【００１９】
以上が、本発明のインクジェットヘッド１１Ａの第１の実施形態である。第１の実施形態によれば、複数の供給口３１Ａが複数の圧力室２３に対してそれぞれ対応するように、例えば１対１でヘッドベース１２に設けられる。このため、各供給口３１Ａから各圧力室２３までの距離が一定となって、各圧力室２３に均一にインクを供給することができる。これにより、印刷品質を向上できる。また、複数の供給口３１Ａと複数の配線３３とが交互に１個づつ並んでいる。これにより、複数の配線３３が一箇所に集中することがなく、供給口３１Ａ同士の間のスペースを最小にしてインクジェットヘッド１１Ａを幅方向に小さく構成できる。
【００２０】
通常、インクジェットヘッド１１Ａを例えばプリンタ装置等に搭載する場合、色違いのインクジェットヘッド１１Ａを複数個、ヘッドベース１２の長手方向と直交する幅方向に並べることが多い。このため、インクジェットヘッド１１Ａを幅方向に小さくできれば、インクジェットヘッド１１Ａ同士の間隔を小さくできる。これにより、インクジェットヘッド１１Ａ間において色ずれ等の印刷不良が生ずるのを防止できる。
【００２１】
複数の供給口３１Ａは、ヘッドベース１２の長手方向と直交する幅方向に関して、複数の圧力室２３に対して半ピッチずれている。このため、複数の配線３３と複数の供給口３１Ａとが干渉することなく、各配線３３を直線的に配置できる。したがって、各配線３３を短くすることができる。
【００２２】
本実施形態のインクジェットヘッド製造方法では、ブロック４６の焼成によって第１から第３のグリーンシート４１、４２、４３同士を接着している。このため、第１から第３のグリーンシート４１、４２、４３同士を予め加圧によって一体化する必要がなく、簡単にインクジェットヘッド１１Ａを製造できる。本実施形態では、焼成前のセラミックスである第１、第３のグリーンシート４１、４３に対して溝４４、４５を形成している。このため、柔らかい第１、第３のグリーンシート４１、４３に対して溝４４、４５を形成でき、加工が容易となってヘッドベース１２を安価に製造できる。本実施形態の駆動素子２２は、第１の圧電素子２４と第２の圧電素子２５とで形成されている。このため、インクに気泡等を生ずることなく、精度よくインク滴を吐出させることができる。
【００２３】
なお本実施形態において、駆動素子２２が圧電素子で構成されているが、駆動素子２２をインク内に吐出駆動用の気泡を発生させる発熱素子で構成しても良い。駆動素子２２を発熱素子で構成すれば、駆動素子２２を簡単に構成できる。また、本実施形態のインクジェットヘッド１１Ａは、第２の実施形態で説明する製造方法によっても製造することができる。
【００２４】
本実施形態では、第１のグリーンシート４１に第１の溝部である複数の溝４４を形成しているが、第２のグリーンシート４２に複数の溝４４を形成しても良い。また、第１のグリーンシート４１と第２のグリーンシート４２との両側に第１の溝部である複数の溝４４を形成し、これによって、供給口３１Ａを形成しても良い。
【００２５】
同様に、第３のグリーンシート４３に第２の溝部である複数の溝４５を形成しているが、第２のグリーンシート４２に複数の溝４５を形成しても良い。また、第３のグリーンシート４３と第２のグリーンシート４２との両側に第２の溝部である複数の溝４５を形成し、回収口３２Ａを形成しても良い。
【００２６】
続いて、図５と図６を参照して、本発明の第２の実施形態について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド１１Ｂは、第１の実施形態のインクジェットヘッド１１Ａと形態が同じであるが、製造方法が異なっている。このため、第２の実施形態では、インクジェットヘッド１１Ｂの製造方法において、第１の実施形態と異なる部分について説明する。
【００２７】
図５に示すように、第２の実施形態のインクジェットヘッド製造方法では、第１の工程で、それぞれ平板状に成形された第１のグリーンシート、第２のグリーンシート、および第３のグリーンシートを予め焼成し、第１のセラミックスシート５１、第２のセラミックスシート５２、および第３のセラミックスシート５３をそれぞれ作成しておく。第２の工程で、第１のセラミックスシート５１には、ダイヤモンドカッタ等によって第１の溝部である複数の溝５４を形成する。第３のセラミックスシート５３には、ダイヤモンドカッタ等によって第２の溝部である複数の溝５５を形成する。
【００２８】
第３の工程では、例えば、接着剤等を用いて、第１のセラミックスシート５１の複数の溝５４が形成された面５９を接触面として、第１のセラミックスシート５１を第２のセラミックスシート５２に接着する。第２のセラミックスシート５２の複数の溝５５が形成された面６０を接触面として、第３のセラミックスシート５３を第２のセラミックスシート５２に接着する。この接着によって、第１から第３のセラミックスシート５３を積層する。この第３の工程によって、これらが一体に接合したブロック５６を形成できる。
【００２９】
この場合、第１のセラミックスシート５１の複数の溝５４は、第２のセラミックスシート５２の第１の面５７とともに複数の供給口３１Ｂを形成する。第３のセラミックスシート５３の複数の溝５５は、第２のセラミックスシート５２の第２の面５８とともに複数の回収口３２Ｂを形成する。第４の工程で、このブロック５６を図６に示すようにブロック５６の長手方向Ｌと直交する平面Ｘで、ブロック５６を所定厚さ毎に切断しヘッドベース１２を作成する。
【００３０】
以上が、本発明のインクジェットヘッド１１Ｂの製造方法の第２の実施形態である。第２の実施形態によれば、予め焼成した第１から第３のセラミックス５１、５２、５３を積層してヘッドベース１２を作成するようにしていることから、焼成によってヘッドベース１２が収縮してしまうことがない。このため、インクジェットヘッド１１Ｂの精度管理を容易に行うことができる。
【００３１】
図７と図８を参照して、本発明の第３の実施形態について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド１１Ｃにおいて、第１の実施形態のインクジェットヘッド１１Ａと共通の箇所には第１の実施形態と共通の符号を付して説明を省略する。
【００３２】
図７と図８に示すように、第３の実施形態のインクジェットヘッド１１Ｃは、ノズル列を２列備えている。インクジェットヘッド１１Ｃは、共通液室２１を仕切る複数の駆動素子２２と、駆動素子２２を制御するための複数の配線３３とを備えている。配線３３は、駆動素子２２と駆動回路１６とを接続するように、ヘッドベース１２に沿って配置している。インクジェットヘッド１１Ｃのヘッドベース１２は、中央部に設けられた長穴形状の供給口３１Ｃと、ヘッドベース１２の長手方向両端部で共通液室２１に面するように設けられた複数の回収口３２Ｃとを備えている。複数の回収口３２Ｃは、複数の圧力室２３に対してそれぞれ１対１で対応するようにヘッドベース１２に設けられている。
【００３３】
複数の回収口３２Ｃは、複数の圧力室２３に対して半ピッチずれて配置している。複数の回収口３２Ｃと複数の配線３３とは、ヘッドベース１２の長手方向に直交する幅方向に関して、交互に１個ずつ並んで並んでおり、回収口３２Ｃ相互間を１本の配線３３が通過している。もっとも、複数の回収口３２Ｃの相互間を、数本を１組にした配線３３が通過するようにしてもよい。
【００３４】
本実施形態のインクジェットヘッド１１Ｃは、第１の実施形態で説明した製造方法でも、第２の実施形態で説明した製造方法でも製造することができる。
【００３５】
第３の実施形態によれば、複数の回収口３２Ｃが複数の圧力室２３に対して１対１で対応している。このため、各圧力室２３からのインクの排出が滑らかとなり、各圧力室２３に均一にインクを供給することができる。また、回収口３２Ｃ相互間を１本の配線３３が通過している。このため、回収口３２Ｃ同士の間のスペースを最小にすることができ、インクジェットヘッド１１Ｃを幅方向に小さくできる。
【００３６】
なお、第３の実施形態では、２列のノズル列が、幅方向において同ピッチで配置しているが、両ノズル列が幅方向において半ピッチずれて配置するようにしてもよい。このようにすれば、インクジェットヘッド１１Ｃの解像度を２倍にすることができる。
【００３７】
図９を参照して、本発明の第４の実施形態について説明する。本実施形態において、第１の実施形態のインクジェットヘッド１１Ａと共通の箇所には第１の実施形態と共通の符号を付して説明を省略する。第４の実施形態のインクジェットヘッド１１Ｄのヘッドベース１２は、第１の溝部から形成された１個の長穴状の供給口３１Ｄと、第２の溝部から形成された１個の長穴状の回収口３２Ｄとを備えている。
【００３８】
インクジェットヘッド１１Ｄは、駆動素子２２を制御するための複数の配線３３を備えている。複数の配線３３は、供給口３１Ｄを避けてヘッドベース１２に沿って配置されている。この場合、供給口３１Ｄから圧力室２３に至るまでの距離は、第１の実施形態のインクジェットヘッド１１Ａの供給口３１Ａから圧力室２３に至るまでの距離に比して、長くなっている。これにより、１個の供給口３１Ｄからインクを供給する場合であっても、各圧力室２３に均一にインクを供給することができる。第４の実施形態のインクジェットヘッド１１Ｄは、第１の実施形態で説明した製造方法でも、第２の実施形態で説明した製造方法でも製造することができる。
【００３９】
第４の実施形態のインクジェットヘッド１１Ｄによれば、供給口３１Ｄと回収口３２Ｄとを簡単な構造で構成できる。この場合であっても、供給口３１Ｄから圧力室２３に至る距離が長くなっているため、各圧力室２３に均一にインクを供給することができる。
【００４０】
図１０を参照して、本発明の第５の実施形態について説明する。本実施形態において、第１の実施形態のインクジェットヘッド１１Ａと共通の箇所には第１の実施形態と共通の符号を付して説明を省略する。
【００４１】
第５の実施形態のインクジェットヘッド１１Ｅのヘッドベース１２は、第１の溝部から形成された２個の長穴状の供給口３１Ｅと、第２の溝部から形成された１個の長穴状の回収口３２Ｅとを備えている。インクジェットヘッド１１Ｅは、駆動素子２２を制御するための複数の配線３３を備えている。複数の配線３３は、供給口３１Ｅを避けてヘッドベース１２に沿って配置されている。この場合、供給口３１Ｅから圧力室２３に至るまでの距離は、第１の実施形態のインクジェットヘッド１１Ｅの供給口３１Ｅから圧力室２３に至るまでの距離に比して、長くなっている。第５の実施形態のインクジェットヘッド１１Ｅは、第１の実施形態で説明した製造方法でも、第２の実施形態で説明した製造方法でも製造することができる。
【００４２】
第５の実施形態のインクジェットヘッド１１Ｅによれば、供給口３１Ｅと回収口３２Ｅとを簡単な構造で構成することができる。この場合であっても、供給口３１Ｅから圧力室２３に至る距離が長くなっているため、各圧力室２３に均一にインクを供給することができる。
【００４３】
また、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではない。このほか、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドを図２におけるＢ−Ｂ線の位置で切断して示す断面図。
【図２】図１に示されたインクジェットヘッドをＡ−Ａ線の位置で切断した断面図。
【図３】図１に示されたインクジェットヘッドの製造工程を示す斜視図。
【図４】図３に示されたインクジェットヘッドの製造工程の次の工程を示す斜視図。
【図５】第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程を示す斜視図。
【図６】図５に示されたインクジェットヘッドの製造工程の次の工程を示す斜視図。
【図７】本発明の第３の実施形態に係るインクジェットヘッドを図８におけるＤ−Ｄ線の位置で切断して示す断面図。
【図８】図７に示されたインクジェットヘッドをＣ−Ｃ線の位置で切断した断面図。
【図９】本発明の第４の実施形態に係るインクジェットヘッドを示す断面図。
【図１０】本発明の第５の実施形態に係るインクジェットヘッドを示す断面図。
【符号の説明】
【００４５】
１１Ａ〜１１Ｅ…インクジェットヘッド、１２…ヘッドベース、１３…ノズル、２２…駆動素子、２３…圧力室、２４…第１の圧電素子、２５…第２の圧電素子、３１Ａ〜３１Ｅ…供給口、３２Ａ〜３２Ｅ…回収口、３３…配線、４１…第１のグリーンシート、４２…第２のグリーンシート、４３…第３のグリーンシート、４４、４５…溝、４６…ブロック、５１…第１のセラミックスシート、５２…第２のセラミックスシート、５３…第３のセラミックスシート、５４、５５…溝、５６…ブロック、Ｌ…長手方向、Ｘ…平面
【図１】
2007168097.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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