(57)【要約】【課題】カラーフィルタの作製に感光性転写材料を用いるに際して、現像終了時の仕上がりを高め、回転ブラシの精度管理を厳しく行わなくても、高い品質のカラーフィルタを製造可能なカラーフィルタの製造方法、及びそれに用いる処理液を提供する。【解決手段】少なくとも、水とアルカノールアミンとを含有し、該アルカノールアミンの含有量が全体に対して２〜４０質量％である処理液であって、前記アルカノールアミンが、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含み、該ジエタノールアミンが、該ジエタノールアミンと前記トリエタノールアミンとの合計量に対して、３〜１２質量％であることを特徴とする処理液、及び感光性転写材料の熱可塑性樹脂層の除去に該処理液を用いるカラーフィルタの製造方法である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、水とアルカノールアミンとを含有し、該アルカノールアミンの含有量が全体に対して２〜４０質量％である処理液であって、
前記アルカノールアミンが、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含み、該ジエタノールアミンが、該ジエタノールアミンと前記トリエタノールアミンとの合計量に対して、３〜１２質量％であることを特徴とする処理液。
【請求項２】
基板上に、少なくとも１層の感光性樹脂層と、少なくとも１層の熱可塑性樹脂層とを形成し、前記感光性樹脂層を露光し、処理液を用いて前記少なくとも１層の熱可塑性樹脂層を除去し、その後、露光した感光性樹脂層を現像する工程を含むカラーフィルタの製造方法であって、
前記処理液が、少なくとも、水と、アルカノールアミンとを含有し、該アルカノールアミンの含有量が全体に対して１〜６質量％含有する処理液であり、該アルカノールアミンが、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含み、該ジエタノールアミンが、該ジエタノールアミンと前記トリエタノールアミンとの合計量に対して、３〜１２質量％であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
仮支持体上に少なくとも１層の熱可塑性樹脂層と少なくとも１層の感光性樹脂層とを有する感光性転写材料を用いて基板上に画像形成する工程と、該基板上に、塗布法により感光性樹脂層を形成する工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、
前記感光性転写材料を用いて基板上に画像形成する工程が、前記感光性樹脂層を露光し、処理液を用いて前記少なくとも１層の熱可塑性樹脂層を除去し、その後、露光した感光性樹脂層を現像する工程を含み、
前記処理液が、少なくとも、水と、アルカノールアミンとを含有し、該アルカノールアミンの含有量が全体に対して１〜６質量％含有する処理液であり、該アルカノールアミンが、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含み、該ジエタノールアミンが、該ジエタノールアミンと前記トリエタノールアミンとの合計量に対して、３〜１２質量％であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
請求項２または３に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されてなるカラーフィルタ。
【請求項５】
請求項４に記載のカラーフィルタを有する表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置などカラーフィルタを有する表示装置の、カラーフィルタを製造するときに用いられる処理液、及び、これを用いたカラーフィルタの製造方法、並びに、これにより製造された、カラーフィルタ、表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置などに用いられるカラーフィルタは、近年、顔料分散レジストを基板に塗布する方法を中心に発達して来た。但し、この方法ではスピン塗布法などを用いるため、顔料分散レジストのロスが多い、均一に塗布するための条件コントロールが難しい、という問題を持っていた。その解決手段として、熱可塑性樹脂層を有する感光性転写材料を用いる方法が提案された（例えば、特許文献１参照。）。この感光性転写材料を用いる方法では、予め仮支持体上に均一に塗布された感光性樹脂層（顔料や感光性樹脂を含む）を、基板に転写（ラミネート）するため、スピンコーターのように、感光性樹脂が多量にロスすることもなく、膜厚も均一に形成することができた。この感光性転写材料を用いる方法では、熱可塑性樹脂層を用いることで、転写時に感光性樹脂層を基板の凹凸に追従させ、感光性樹脂層の基板上での厚みを一定に保つことができるが、該熱可塑性樹脂層は感光性樹脂層の現像前に除去する必要があった。この目的で、熱可塑性樹脂層を除去するため、１％トリエタノールアミン水溶液で処理するなどの方法がとられていた（この工程を、以降ＰＤ工程と呼ぶことにする）。具体的には、前記特許文献１では、１％トリエタノールアミン水溶液に浸漬し、浸漬したままスポンジで軽く擦ることで熱可塑性樹脂層及び中間層を除去する手法がとられている。また、特許文献２では、同様に、トリエタノールアミン系現像液にて３０℃５８秒、フラットノズル圧力６．１５／０．０２ＭＰａでシャワー現像し、熱可塑性樹脂と中間層とを除去している。
また、ラミネート時の熱やその他の因子に起因していると考えられる現像残渣が残存することがあり、これを除去する目的で、現像工程の後に、洗浄剤（界面活性剤を主成分として含む現像残膜除去用液）中で回転ブラシにより摺擦する方法が導入された（この工程を以降ＳＤ工程と呼ぶことにする）。これにより、製造されるカラーフィルタの残渣が著しく減り、カラーフィルタ品質が向上した。
【０００３】
一方、液晶表示装置などの表示装置は、ＣＲＴテレビと比較して低い色純度であったため、市場からの色純度向上への要求が強く、顔料分散レジスト（カラーレジスト、及び樹脂黒用レジスト）中の顔料濃度が年々増して行った。これに伴い、前記感光性転写材料の感光性樹脂層中も顔料濃度が増し、この顔料濃度の増加は現像に大きく影響した。特に現像終了時の画像を観察すると、画像のエッジ付近に、未露光の感光性樹脂層の一部が残存して、エッジ付近が凹凸に見える故障が起きやすかった。この問題に対処するため、現像工程の後にあるＳＤ工程で、回転ブラシの基板への当たりを調整し、残渣除去と同時にエッジの残存物を除去できるようにした。しかし、基板の大型化に伴い回転ブラシの軸長も長くなる傾向にあり、より精度の高いブラシ管理が必要になりつつある。
【０００４】
また、最近では、コストダウンの観点で、顔料分散レジストをスリット状ノズルを用いて塗布し顔料分散レジストの省液化を行うカラーフィルタの製造法（以下、スリットコート法と呼ぶ）が導入されているが、黒用の材料等の一部の材料はスリットコート法ではスジが出やすいなどの問題を持っており、このような黒用の材料等を転写法で形成し、それ以外をスリットコート法で形成すると、生産性良くカラーフィルタが製造できる。しかしこの場合、転写法で形成した画像（ブラックマトリクス、画素等）に、エッジ残存物が多いと、その後スリット状ノズルで塗布する際に塗布欠陥が発生する傾向にあるので、更に問題となる。
【特許文献１】特開平５−１７３３２０号公報
【特許文献２】特開２００６−１１１８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、この点に着目して成しえたものである。すなわち、本発明の課題は、カラーフィルタの作製に感光性転写材料を用いるに際して、現像終了時の仕上がり（エッジ付近が凹凸に見える故障が少ないこと）を高め、回転ブラシの精度管理を厳しく行わなくても、高い品質のカラーフィルタを製造可能なカラーフィルタの製造方法、及びそれに用いる処理液を提供することにある。更にはこれにより製造された品質の良いカラーフィルタや表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、鋭意検討の結果、現像の前工程であるＰＤ工程に用いる処理液に以下に述べる工夫をすることで、現像の後工程であるＳＤ工程のブラシ管理を軽減できることを見出し、本発明に至った。すなわち、
＜１＞  少なくとも、水とアルカノールアミンとを含有し、該アルカノールアミンの含有量が全体に対して２〜４０質量％である処理液であって、
前記アルカノールアミンが、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含み、該ジエタノールアミンが、該ジエタノールアミンと前記トリエタノールアミンとの合計量に対して、３〜１２質量％であることを特徴とする処理液である。
【０００７】
＜２＞  基板上に、少なくとも１層の感光性樹脂層と、少なくとも１層の熱可塑性樹脂層とを形成し、前記感光性樹脂層を露光し、処理液を用いて前記少なくとも１層の熱可塑性樹脂層を除去し、その後、露光した感光性樹脂層を現像する工程を含むカラーフィルタの製造方法であって、
前記処理液が、少なくとも、水と、アルカノールアミンとを含有し、該アルカノールアミンの含有量が全体に対して１〜６質量％含有する処理液であり、該アルカノールアミンが、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含み、該ジエタノールアミンが、該ジエタノールアミンと前記トリエタノールアミンとの合計量に対して、３〜１２質量％であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【０００８】
＜３＞  仮支持体上に少なくとも１層の熱可塑性樹脂層と少なくとも１層の感光性樹脂層とを有する感光性転写材料を用いて基板上に画像形成する工程と、該基板上に、塗布法により感光性樹脂層を形成する工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、
前記感光性転写材料を用いて基板上に画像形成する工程が、前記感光性樹脂層を露光し、処理液を用いて前記少なくとも１層の熱可塑性樹脂層を除去し、その後、露光した感光性樹脂層を現像する工程を含み、
前記処理液が、少なくとも、水と、アルカノールアミンとを含有し、該アルカノールアミンの含有量が全体に対して１〜６質量％含有する処理液であり、該アルカノールアミンが、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含み、該ジエタノールアミンが、該ジエタノールアミンと前記トリエタノールアミンとの合計量に対して、３〜１２質量％であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【０００９】
＜４＞  前記＜２＞または＜３＞に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されてなるカラーフィルタである。
【００１０】
＜５＞  前記＜４＞に記載のカラーフィルタを有する表示装置である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、カラーフィルタの形成に感光性転写材料を用いるに際して、現像終了時の仕上がりが良く（エッジ付近の凹凸が少なく）、回転ブラシの精度管理を厳しく行わなくても、高い品質のカラーフィルタを製造できる製造方法及びそれに用いる処理液を提供することができる。更にはこれにより製造された品質の良いカラーフィルタや表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の処理液は、少なくとも、水とアルカノールアミンとを含有し、該アルカノールアミンの含有量が全体に対して２〜４０質量％である処理液であって、前記アルカノールアミンが、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含み、該ジエタノールアミンが、該ジエタノールアミンと前記トリエタノールアミンの合計量に対して、３〜１２質量％であることを特徴としている。
なお、本発明のカラーフィルタの製造方法に用いられる処理液は、原則として、本発明の処理液を希釈して用いることを想定しており、両者は成分は同一で濃度範囲が異なるものである。ただし、濃度によっては希釈せずに用いられる場合もあり、その場合の各処理液は同一である。
以下、まず本発明の処理液（本発明のカラーフィルタの製造方法に用いる処理液）について説明する。
【００１３】
＜処理液＞
本発明の処理液は、アルカノールアミンとして、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含む。他のアルカノールアミンを含有していてもよいが、モノエタノールアミンなどの分子量が小さくｐＫａが高いアルカノールアミンは、アルカノールアミン全体の１質量％未満が好ましい。該モノエタノールアミンなどが１質量％を超えると、現像以降の工程で、画素カケが発生しやすくなる。
【００１４】
本発明の処理液は、タンクや容器で保管する時のアルカノールアミンの濃度は、後述するカラーフィルタの製造時における熱可塑性樹脂を除去する工程に用いられる時の濃度と同じでもよいが、スペースや輸送コストを削減する観点では、濃い方が好ましい。しかし、４０質量％を超えると引火性を有するようになり危険物としての取り扱いが必須となる。従って、設備を防爆仕様にするなどの変更が必要であり、コストアップとなるので、本発明においては、２〜４０質量％としており、１０〜３５質量％が好ましく、２０〜３３質量％がより好ましい。
【００１５】
また、本発明の処理液では、ジエタノールアミンとトリエタノールアミンとの合計量に対するジエタノールアミンの割合が、好ましくは３〜１２質量％、より好ましくは４〜１１質量％、最も好ましくは５〜１０質量％である。３質量％未満では効果が小さく、１２質量％以上では、画素カケなどの副作用が起きる。
【００１６】
本発明の処理液は、本発明のカラーフィルタの製造方法において用いられる場合、すなわち熱可塑性樹脂層を除去する工程に用いられる時においては、アルカノールアミンの濃度は、１〜６質量％であり、好ましくは１．５〜５質量％であり、より好ましくは２〜４質量％である。１質量％より低い場合、熱可塑性樹脂層の除去に時間がかかりスループットが低下する。また６質量％を超えると、シャワー型の処理槽を用いる場合、液の粘性が変化して適切なシャワー形状とならず不都合が出る場合があり、更にコストもアップして好ましくない。また、現像以降の工程で、画素カケや、細りが発生することがある。
【００１７】
本発明の処理液には、前記成分の他に、界面活性剤や、液性調整剤を適宜添加することができる。液性調整剤としてはポリプロピレングリコール、グリセロールモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ステアリルエーテルの混合物が、処理液に対して０．００１〜０．１質量％添加され、シャワーから噴出された時の濡れ性や発泡性などを適切な範囲に調整することが出来る。
【００１８】
＜カラーフィルタの製造方法＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、第１の態様によると、基板上に、少なくとも１層の感光性樹脂層と、少なくとも１層の熱可塑性樹脂層とを形成し、前記感光性樹脂層を露光し、処理液を用いて前記少なくとも１層の熱可塑性樹脂層を除去し、その後、露光した感光性樹脂層を現像する工程を含むカラーフィルタの製造方法であって、前記処理液が、少なくとも、水と、アルカノールアミンとを含有し、該アルカノールアミンの含有量が全体に対して１〜６質量％含有する処理液であり、該アルカノールアミンが、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含み、該ジエタノールアミンが、該ジエタノールアミンと前記トリエタノールアミンとの合計量に対して、３〜１２質量％であることを特徴としている。
【００１９】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、第２の態様によると、仮支持体上に少なくとも１層の熱可塑性樹脂層と少なくとも１層の感光性樹脂層とを有する感光性転写材料を用いて基板上に画像形成する工程と、該基板上に、塗布法により感光性樹脂層を形成する工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、前記感光性転写材料を用いて基板上に画像形成する工程が、前記感光性樹脂層を露光し、処理液を用いて前記少なくとも１層の熱可塑性樹脂層を除去し、その後、露光した感光性樹脂層を現像する工程を含み、前記処理液が、少なくとも、水と、アルカノールアミンとを含有し、該アルカノールアミンの含有量が全体に対して１〜６質量％含有する処理液であり、該アルカノールアミンが、トリエタノールアミンと、ジエタノールアミンとを含み、該ジエタノールアミンが、該ジエタノールアミンと前記トリエタノールアミンとの合計量に対して、３〜１２質量％であることを特徴としている。
【００２０】
＜感光性転写材料＞
本発明において、基板上に、少なくとも１層の感光性樹脂層と、少なくとも１層の熱可塑性樹脂層を形成するとは、具体的には、仮支持体上に、少なくとも１層の熱可塑性樹脂層と、少なくとも１層の感光性樹脂層を形成して感光性転写材料とし、これを基板にラミネート後、前記仮支持体を除去することによって行われる。
以下に、本発明のカラーフィルタの製造方法に使用し得る感光性転写材料について説明する。
【００２１】
（仮支持体）
本発明において仮支持体としては、可撓性を有し、加圧、若しくは加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮若しくは伸びを生じないことが必要である。そのような仮支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等を挙げることができ、中でも２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
【００２２】
（熱可塑性樹脂層）
本発明の熱可塑性樹脂層に用いる成分としては、特開平５−７２７２４号公報に記載されている有機高分子物質が好ましく、ヴイカーＶｉｃａｔ法（具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーＡＳＴＭＤ１２３５によるポリマー軟化点測定法）による軟化点が約８０℃以下の有機高分子物質より選ばれることが特に好ましい。具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニル或いはそのケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステル或いはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニル及びそのケン化物の様な塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なビニルトルエン共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、Ｎ−アルコキシメチル化ナイロン、Ｎ−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹脂等の有機高分子が挙げられる。
【００２３】
（中間層）
本発明において、感光性転写材料は、複数の塗布層の塗布時、及び塗布後の保存時における成分の混合を防止する目的から、中間層を設けることが好ましい。該中間層としては、特開平５−７２７２４号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜を用いることが好ましく、この場合、露光時感度がアップし、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。
該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。
【００２４】
（感光性樹脂層）
本発明に係る感光性樹脂層は、ブラックマトリクスなどの遮光部を形成する場合は、特開2005-3861号公報の感光性黒色樹脂層や、特開2004-240039号公報の着色組成物からなる層と同様にでき、ＲＧＢなどの着色画素を形成する場合は、特開2006-23696号公報の着色感光性樹脂組成物からなる層と同様に形成することが可能である。
また、ＲＧＢなどの着色画素は、上記の転写材料を用いた転写法により形成してもよいが、例えば、スリットコーター、スピナー、ホワイラー、ローラーコーター、カーテンコーター、ナイフコーター、ワイヤーバーコーター、エクストルーダー等の塗布機を用いて、それらの塗液を塗布し、乾燥させることにより形成してもよい。中でも、スリットコーターを用いる塗布法が好ましく、その方法としては、特開2006-23696号公報の[００２３]に記載のスリット状ノズルを用いた方法を参照できる。
【００２５】
（保護フイルム）
感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フイルムを設けることが好ましい。保護フイルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離されねばならない。保護フイルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。
【００２６】
−感光性転写材料を用いた画像の形成−
以上の感光性転写材料を基板表面に転写し、露光、現像、必要に応じてポスト露光やベーク（加熱工程）をすることにより画像を形成する。該転写からベーク工程については、特開2005-3861号公報の段落番号[００６７]〜[００７４]に記載の工程が、本発明においても好適なものとして用いることができる。
【００２７】
（処理工程）
本発明において、記感光性樹脂層の露光後における、処理液を用いて少なくとも１層の熱可塑性樹脂層を除去する工程は、基板を搬送する搬送機構の上にシャワーノズルを多数有するシャワー型処理槽を用いるのが好ましい。本発明の処理液の槽にディップする方法に比べ、短時間で、均一に、少なくとも１層の熱可塑性樹脂層を除去することが可能である。シャワーノズルは、フラットノズルなどを用いると、シャワーの衝突力により、熱可塑性樹脂層が脱膜的に効率よく除去され、好ましい。
【００２８】
＜カラーフィルタ＞
本発明のカラーフィルタは、既述の本発明のカラーフィルタの製造方法により製造されるものであり、基板に、更に２色以上の色を呈する画素群、例えば赤、青及び緑色の画素群、を設けたものである。本発明のカラーフィルタは、本発明のカラーフィルタの製造方法により製造されたものであるから、画素欠けや、線幅バラツキがなく、高品質である。
【００２９】
本発明のカラーフィルタの画素群の配置方法（ＲＧＢ画素パターン）には特に制限はなく、ストライプ型、ブロック型、市松型などの配置方法を用いることができる。また、該画素の形成方法は、凹凸の形状であるＴＦＴ型にも使用できる。これらの配置方法については、例えば前述の「カラーフィルターの成膜技術とケミカルズ（渡辺  順次監修、株式会社シーエムシー、１９９８年発行）」の１４ページに記載されている。また、特開２００６−６４９９３号公報に記載の多原色表示用カラーフィルタ、或いは、輝度向上の為、白（Ｗ）等の薄い色の画素を加えたカラーフィルタにも用いることができる。
【００３０】
本発明のカラーフィルタの色度域についても、従来のカラーフィルタと同様である。色度域及びこれに関係するバックライトについても例えば前述の「カラーフィルタの成膜技術とケミカルズ（渡辺  順次監修、株式会社シーエムシー、１９９８年発行）」の１５ページに記載されている。
本発明のカラーフィルタの場合も、遮光画像のところで述べた耐熱性、耐光性、耐薬品性、表面の平滑性、硬度などの性能が必要である。
本発明のカラーフィルタの作製の具体例としては、特開２００４−３１７８９８号公報、特開２００４−３１７８９９号公報、特開２００４−２４００３９号公報、特開２００４−２１９８０９号公報、特開２００４−３４７８３１号公報に記載されているものの中から選ぶことができる。
【００３１】
＜表示装置＞
本発明の表示装置は、本発明のカラーフィルタを用いて構成されたものである。本発明の表示装置は、本発明のカラーフィルタを備えるので、高品質の表示が可能である。
【００３２】
本発明の表示装置は、液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置などを含む。表示装置の定義や各表示装置の説明については、例えば、「電子ディスプレイデバイス」佐々木昭夫著、（株）工業調査会（１９９０年発行）、「ディスプレイデバイス」伊吹順章著、産業図書（株）（平成元年発行）などに記載されている。
【００３３】
本発明の表示装置としては、中でも液晶表示装置が特に好ましい。液晶表示装置については、例えば、「次世代液晶ディスプレイ技術」内田龍男編集、（株）工業調査会（１９９４年発行）に記載されている。
液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、前記「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている様々な方式の液晶表示装置に適用することができる。中でも特に、カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については、例えば、「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ」共立出版（株）（１９９６年発行）に記載されている。更に、ＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については、例えば、「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−」ｐ.４３、東レ・リサーチセンター調査研究部門（２００１年発行）に記載されている。
【００３４】
前記液晶表示装置は、カラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなど、様々な部材から構成することができる。これら部材については、例えば、「’９４ 液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場」島  健太郎、（株）シーエムシー（１９９４年発行）、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）」表  良吉、（株）富士キメラ総研（２００３年発行）に記載されている。
【００３５】
本発明は、テレビ、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビゲーションなどの用途に特に制限なく好適に適用することができる。
【実施例】
【００３６】
以下に、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。本発明はこれらに限定されるものではない。なお、特に断りのない限り「％」および「部」は、「質量％」および「質量部」を表し、「分子量」とは「重量平均分子量」のことを示す。
【００３７】
＜処理液の調製＞
まず、下記の液を混合して保存液を得た。
・トリエタノールアミン                          ２４．２５部
・ジエタノールアミン                              ０．７５部
・イオン交換水                                        ７５部
【００３８】
次に、保存液を下記のように１０倍に希釈して処理液１を得た。
・上記保存液                                          １０部
・イオン交換水                                        ９０部
【００３９】
これと同様にして、本発明に係る処理液２〜１４と、比較例の処理液１〜７を調製した。その１０倍希釈後の組成を表１、表２に示す。表１、表２において、ＤＥＡはジエタノールアミンを示し、ＴＥＡはトリエタノールアミンを示す。
【００４０】
【表１】
2007304403.tif 000002
【００４１】
【表２】
2007304403.tif 000003
【００４２】
[実施例１]
＜感光性転写材料の作製＞
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方Ｈ１からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方Ｐ１から成る中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、下記着色感光性樹脂組成物Ｋ１を塗布、乾燥させ、該仮支持体の上に乾燥膜厚が１４．６μｍの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が１．６μｍの中間層と、乾燥膜厚が２．２μｍの感光性樹脂層を設け、保護フイルム（厚さ１２μｍポリプロピレンフィルム）を圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層（酸素遮断膜）とブラック（Ｋ）の感光性樹脂層とが一体となった感光性樹脂転写材料を作製し、サンプル名を感光性樹脂転写材料Ｋ１とした。
【００４３】
〜熱可塑性樹脂層用塗布液：処方Ｈ１〜
・メタノール                                                          １１．１部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                    ６．３６部
・メチルエチルケトン                                                  ５２．４部
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジル
メタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）
＝５５／１１．７／４．５／２８．８、分子量＝９万、Ｔｇ≒７０℃）  ５．８３部
・スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）
＝６３／３７、分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃）                      １３．６部
・ビスフェノールＡにペンタエチレングリコールモノメタクリートを
２当量脱水縮合した化合物（新中村化学工業(株)製、商品名：２，２−
ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン）    ９．１部
・界面活性剤１                                                        ０．５４部
【００４４】
〜中間層用塗布液：処方Ｐ１〜
・ＰＶＡ２０５（ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、
鹸化度＝８８％、重合度５５０）          ３２．２部
・ポリビニルピロリドン（アイエスピー・ジャパン(株)製、Ｋ−３０）      １４．９部
・蒸留水                                                                ５２４部
・メタノール                                                            ４２９部
【００４５】
＜カラーフィルタの作製＞
−ブラック（Ｋ）画像の形成−
無アルカリガラス基板に、２５℃に調整した洗浄液（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名：Ｔ−ＳＤ１  富士写真フイルム（株）製を純水で１０倍に希釈したもの）をシャワーにより２０秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン０．３質量％水溶液、商品名：ＫＢＭ６０３、信越化学工業（株）製）をシャワーにより２０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で１００℃２分加熱して次のラミネーターに送った（なお、ここで洗浄液としてＴ−ＳＤ１を用いたが、Ｔ−ＳＤ２、Ｔ−ＳＤ３を同様に用いてもよい）。
【００４６】
前記感光性樹脂転写材料Ｋ１の保護フイルムを剥離後、ラミネーター（（株）日立インダストリイズ製（ＬａｍｉｃＩＩ））を用い、前記１００℃に加熱した基板に、ゴムローラー温度１３０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度２．２ｍ／分でラミネートした。
仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング（株）製）で、基板とマスク（画像パターンを有する石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を２００μｍに設定し、露光量７０ｍＪ／ｃｍ2でパターン露光した。
【００４７】
次に、前記処理液１を３０℃５０秒、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と中間層とを除去した。引き続き、この基板上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより１０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。
【００４８】
引き続き炭酸Ｎａ系現像液（０．３８モル／リットルの炭酸水素ナトリウム、０．４７モル／リットルの炭酸ナトリウム、５質量％のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名：Ｔ−ＣＤ１、富士写真フイルム（株）製を純水で５倍に希釈した液）を用い、２９℃３０秒、コーン型ノズル圧力０．１５ＭＰａでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画像を得た。
引き続き洗浄剤（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名：Ｔ−ＳＤ１、富士写真フイルム（株）製）を純水で１０倍に希釈して用い、３３℃２０秒、コーン型ノズル圧力０．０２ＭＰａでシャワーにて吹きかけ、更にナイロン毛を有する回転ブラシにより形成された画像を擦って残渣除去を行い、ブラック（Ｋ）の画像を得た（なお、ここで洗浄液としてＴ−ＳＤ１を用いたが、Ｔ−ＳＤ２、Ｔ−ＳＤ３を同様に用いてもよい）。
その後、該基板に対して両面から超高圧水銀灯で５００ｍＪ／ｃｍ2の露光量でポスト露光後、２２０℃、３０分熱処理した。
【００４９】
−レッド（Ｒ）画素の形成−
このＫの画像を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄した。
該基板を冷却し２３℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター（平田機工株式会社製）にて、後記塗布液Ｒ１を塗布した。引き続きＶＣＤ（真空乾燥装置；東京応化工業(株)製）で３０秒間、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性を無くした後、１２０℃３分間プリベークして膜厚２．４μｍの感光性樹脂層Ｒ１を得た。
【００５０】
超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング(株)製）で、基板とマスク（画像パターンを有する石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を２００μｍに設定し、露光量３００ｍＪ／ｃｍ2でパターン露光した。
【００５１】
次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、該感光性樹脂層Ｋ１の表面を均一に湿らせた後、ＫＯＨ系現像液（ＫＯＨ、ノニオン界面活性剤含有、商品名：ＣＤＫ−１、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ）にて２３℃８０秒、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて９．８ＭＰａの圧力で噴射して残渣除去を行い、更に超純水をシャワーノズルで両面から吹き付けて、付着している現像液や前記感光性樹脂層溶解物を除去し、エアーナイフにて液切りを行い、赤（Ｒ）の画素を得た。引き続き、２２０℃で３０分間熱処理した。
【００５２】
−グリーン（Ｇ）画素の形成−
前記Ｋの画像とＲの画素を形成した基板に、塗布液Ｇ１を用い、前記赤（Ｒ）画素の形成と同様の工程で、熱処理済みＧ画素を形成した。
【００５３】
−ブルー（Ｂ）画素の形成−
前記Ｋの画像、Ｒ及びＧの画素を形成した基板に、塗布液Ｂ１を用いて、前記レッド（Ｒ）画素の形成と同様の工程で、熱処理済みＢ画素を形成し、目的のカラーフィルタを得た。
【００５４】
【表３】
2007304403.tif 000004
【００５５】
尚、表１に記載の組成物の内、
＊Ｋ顔料分散物１の組成は以下の通りである。
・カーボンブラック（商品名：Nipex３５、デグサ  ジャパン（株）製）    １３．１部
・分散剤１（下記化合物１）                                            ０．６５部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比
のランダム共重合物、分子量３．７万）  ６．７２部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  ７９．５３部
【００５６】
【化１】
2007304403.tif 000005
【００５７】
＊バインダー１の組成は以下の通りである。
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７８／２２モル比
のランダム共重合物、分子量３．８万）  ２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                      ７３部
＊ＤＰＨＡ液の組成は以下の通りである。
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（重合禁止剤ＭＥＨＱ  ５００ppm含有、日本化薬(株)製、商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ）                    ７６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                      ２４部
＊界面活性剤１の組成は以下の通りである。
・下記構造物１                                                          ３０部
・メチルエチルケトン                                                    ７０部
【００５８】
【化２】
2007304403.tif 000006
【００５９】
＊Ｒ顔料分散物１の組成は以下の通りである。
・Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４（商品名：Ｉｒｇａｐｈｏｒ  Ｒｅｄ  Ｂ−ＣＦ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）                        …８．０部
・上記化合物１（分散剤１）                                        …０．８部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８[モル比]）の
ランダム共重合物、分子量：３万）                                        …８部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  …８３部
＊Ｒ顔料分散物２の組成は以下の通りである。
・Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７（商品名：Ｃｒｏｍｏｐｈｔａｌ  Ｒｅｄ
Ａ２Ｂ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）                    …１８部
・ポリマー〔ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８[モル比]）の
ランダム共重合物（重量平均分子量３７，０００）〕                      …１２部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  …７０部
＊バインダー２の組成は以下の通りである。
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／メチルメタクリレート
（＝３８／２５／３７[モル比]）のランダム共重合物、分子量：４万）…２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート…７３部
＊Ｇ顔料分散物１は以下の通りである。
商品名：ＧＴ−２（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）
＊Ｙ顔料分散物１は以下の通りである。
商品名：ＣＦエローＥＸ３３９３（御国色素（株）製）
＊Ｂ顔料分散物１は以下の通りである。
商品名：ＣＦブルーＥＸ３３５７（御国色素（株）製）
＊Ｂ顔料分散物２は以下の通りである。
商品名：ＣＦブルーＥＸ３３８３（御国色素（株）製）
＊バインダー３の組成は以下の通りである。
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／メチルメタクリレート（＝３６
／２２／４２[モル比]）のランダム共重合物（重量平均分子量３８，０００）  ２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                    ７３部
【００６０】
[実施例２〜１４、及び比較例１〜７]
処理液２〜１４、及び、比較例の処理液１〜７を用い、実施例１と同様にカラーフィルタを作製した。
【００６１】
＜評価＞
ＳＤの不具合を一定に再現することは難しいため、現像直後の画素について、現像槽で除去されているべき未露光の感光性樹脂層が、どの程度除去できているかの観点で観察し、効果を判断した。この段階で効果が高いものは、実際のカラーフィルタの製造工程において、様々な原因でＳＤブラシの当たりなどが変動した時にも、品質良くカラーフィルタが製造できるのは言うまでもない。
評価は、光学顕微鏡にて、ストライプ状に形成したブラック（Ｋ）画像２００μｍ長さあたり個数をカウントした。測定結果を表４に示す。また、同様に、ＳＤ工程後において、光学顕微鏡にて、ストライプ状に形成したブラック（Ｋ）画像６０００μｍ長さあたり個数をカウントした。
また、全面を１００ｍＪ／ｃｍ２で露光後、ＰＤ槽を搬送速度を変えて通過させ、熱可塑性樹脂層が除去される最低時間を求めた。このとき、基板を反射光で観察し、表面が凹凸でムラに見える状態を、熱可塑性樹脂層が残存している状態、表面がフラットで黒い鏡状に見える状態を、熱可塑性樹脂層が完全除去された状態と判断した。測定結果を表５に示す。
さらに、ＳＤ工程後に、ブラック（Ｋ）画素の幅を顕微鏡型測長機にて測定した。測定結果を表５に示す。
一方、スリットコート時の塗布欠陥を強制的に発生させるため、塗布液Ｒ１に添加する界面活性剤の量を１／５とした塗布液を準備し、ＳＤ工程を行わないブラック（Ｋ）画像付基板にスリット状ノズルにより塗布して、塗布欠陥を評価した。評価結果を表６に示す。
【００６２】
【表４】
2007304403.tif 000007
【００６３】
【表５】
2007304403.tif 000008
【００６４】
【表６】
2007304403.tif 000009
【００６５】
なお、表６における評価基準を以下に示す。
◎：スジ状の塗布欠陥が僅かに見られる。
○：スジ状の塗布欠陥が少し見られる。
△：スジ状の塗布欠陥がやや見られる。
×：スジ状の塗布欠陥が多い。
【００６６】
表４より、ジエタノールアミンの割合が本発明の範囲内の実施例１〜７においては、現像直後において感光性樹脂層がほぼ除去されており、かつＳＤ工程後において画素のカケは見られなかった。これに対し、ジエタノールアミンの含有量が本発明で規定した範囲の下限未満である比較例１〜２では現像直後における感光性樹脂層の除去が十分でなかった。また、ジエタノールアミンの含有量が本発明で規定した範囲の上限を超えた比較例３〜４では、ＳＤ工程後において画素のカケが見られた。
また、表６より、処理液中のジエタノールアミンの含有量が多いほど塗布欠陥が少ないことが分かる。そのメカニズムは定かではない。
一方、アルカノールアミンの含有量が本発明の範囲内の実施例８〜１４においては、最短除去時間が短く、ブラック画素の幅を目標とする幅とすることができた。これに対して、アルカノールアミンの含有量が本発明で規定した範囲の下限未満の比較例５では長時間を要した。また、アルカノールアミンの含有量が本発明で規定した範囲の上限を超えた比較例６〜７ではブラック画素の幅を目標とする幅とすることができなかった。
【００６７】
＜液晶表示装置の作製＞
［液晶表示装置の作製及び評価］
実施例１〜１４のカラーフィルタ、及び比較例１〜７のカラーフィルタのＲ画素、Ｇ画素、及びＢ画素並びにブラックマトリクスの上に更に、ＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄｅ）の透明電極をスパッタリングにより形成した。別途、対向基板としてガラス基板を用意し、カラーフィルタ基板の透明電極上及び対向基板上にそれぞれＰＶＡモード用にパターニングを施した。
前記ＩＴＯの透明電極上の隔壁の上部に相当する部分にフォトスペーサを設け、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリックス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、ＰＶＡモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板をＵＶ照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの両面に、（株）サンリッツ製の偏光板ＨＬＣ２−２５１８を貼り付けた。次いで、冷陰極管のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置を作製し、比較例のカラーフィルタを用いた液晶表示装置を同様にして作成し、実施例と比較して、実施例のカラーフィルタを用いた液晶表示装置が、良好な表示特性を示すことを確認した。