(57)【要約】【課題】修正材料が欠陥箇所以外に付着して別の欠陥を作ることを防止すること。【解決手段】パネル基板の欠陥箇所に修正材料を塗布して修正する修正装置において、修正材料を欠陥箇所へ塗布するための塗布ヘッドと、塗布ヘッドとパネル基板との間に遮蔽部材を退避可能に挿入する遮蔽機構を備えることを特徴とする。【選択図】図３
2007212550.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネル基板の欠陥箇所に修正材料を塗布して修正する修正装置において、修正材料を欠陥箇所へ塗布するための塗布ヘッドと、塗布ヘッドとパネル基板との間に遮蔽部材を退避可能に挿入する遮蔽機構を備えることを特徴とする欠陥修正装置。
【請求項２】
請求項１に記載の欠陥修正装置において、塗布ヘッドは針状部材を備え、針状部材に付着させた修正材料を欠陥箇所に接触させて修正することを特徴とする欠陥修正装置。
【請求項３】
請求項１に記載の欠陥修正装置において、遮蔽機構は、修正材料の塗布前には塗布ヘッドとパネル基板との間に遮蔽部材を挿入し、修正材料の塗布時には遮蔽部材を退避させることを特徴とする欠陥修正装置。
【請求項４】
パネル基板を載置する載置部と、載置台と塗布ヘッドとを相対移動させる搬送部と、搬送部と遮蔽機構とを制御する制御部とをさらに備え、制御部は、欠陥箇所へ修正材料が塗布されるように搬送部を制御すると共に、修正材料の塗布前には塗布ヘッドとパネル基板との間に遮蔽部材を挿入し、修正材料の塗布時には遮蔽部材を退避させるように遮蔽機構を制御する請求項１記載の欠陥修正装置。
【請求項５】
請求項１の欠陥修正装置を使用し、修正材料の塗布前には塗布ヘッドとパネル基板との間に遮蔽部材を挿入し、修正材料の塗布時には遮蔽部材を退避させることを特徴とする欠陥修正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のような表示装置の欠陥修正装置および欠陥修正方法に関し、特に、修正材料を所望の欠陥箇所に付着させて修復するような欠陥修正装置および欠陥修正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近の表示装置は、大型化、高精細化によりその画素数が増大する傾向にある。これに伴って、欠陥の発生する確率が高くなる。そこで、表示装置の製造工程における歩留りを向上させる為に、その欠陥を修復することが必要になる。欠陥には、電極の断線、局所的な膜厚不足などがあり、それぞれ修正材料を塗布することにより修正される。
【０００３】
代表的な欠陥修正は、欠陥箇所に修正材料を塗布して修正するものであり、その手順は、次のようになっている。まず、ＸＹテーブルを移動して、テーブル上に載置した基板の欠陥部（欠陥箇所を含む領域）をモニタ上に表示する。次に、修正材料を塗布する欠陥箇所をカーソルで指示し、塗布動作を指令する。塗布動作は、容器に入ったペースト状の修正材料を針状部材の先端に付着させた後、針状部材を欠陥箇所の上方まで水平方向に移動させ、針状部材の先端の修正材料を欠陥箇所に塗布することで行われる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平０８−２９２４４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような従来の方法では、針状部材が先端に修正材料を付着させた後に欠陥箇所の上方まで水平移動する、従って、欠陥を修正する前に修正材料が欠陥箇所以外の部位に落下して新たな欠陥を作ってしまうという問題点があった。
【０００５】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、表示装置の欠陥を修正する場合に、修正材料が欠陥部位以外の部位に付着することを防ぐようにした欠陥修正装置および欠陥修正方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、パネル基板の欠陥箇所に修正材料を塗布して修正する修正装置において、修正材料を欠陥箇所へ塗布するための塗布ヘッドと、塗布ヘッドとパネル基板との間に遮蔽部材を退避可能に挿入する遮蔽機構を備えることを特徴とする欠陥修正装置を提供するものである。
【０００７】
塗布ヘッドは針状部材を備え、針状部材に付着させた修正材料を欠陥箇所に接触させて修正するようにしてもよい。
遮蔽機構は、修正材料の塗布前には塗布ヘッドとパネル基板との間に遮蔽部材を挿入し、修正材料の塗布時には遮蔽部材を退避させることが好ましい。
【０００８】
上記装置は、パネル基板を載置する載置部と、載置台と塗布ヘッドとを相対移動させる搬送部と、搬送部と遮蔽機構とを制御する制御部とをさらに備え、制御部は、欠陥箇所へ修正材料が塗布されるように搬送部を制御すると共に、修正材料の塗布前には塗布ヘッドとパネル基板との間に遮蔽部材を挿入し、修正材料の塗布時には遮蔽部材を退避させるように遮蔽機構を制御するようにしてもよい。
【０００９】
この発明は、別の観点から、上記欠陥修正装置を使用し、修正材料の塗布前には塗布ヘッドとパネル基板との間に遮蔽部材を挿入し、修正材料の塗布時には遮蔽部材を退避させることを特徴とする欠陥修正方法を提供するものである。
【００１０】
上記発明において、パネル基板とは、主にＰＤＰやＬＣＤを構成するパネル基板であり、欠陥箇所とは、パネル基板状に形成される各種電極や隔壁（リブ）などの欠損部位である。
修正材料とは、修正すべき対象に応じた材料を含むペースト状の材料であり、例えば、修正対象が導電性を有する電極であれば、導電材料の粉抹とバインダーと溶剤などから形成される。
【発明の効果】
【００１１】
この発明の装置と方法によれば、遮蔽部材を塗布ヘッドとパネル基板の間に配置し、修正材料を塗布する際に遮蔽部材を退避させることができるので、修正材料が欠陥箇所以外の位置に落下することを防ぎ、欠陥を適正に修正することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、この発明を実施するための最良の形態として、この発明をプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用パネル基板のアドレス電極の欠陥修正に適用した形態について説明する。
この発明を適用するプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、対向する２枚の基板間に局部的に放電を発生させ、基板上に区画形成された蛍光体層を励起・発光させるようにしたものである。これは、例えば、図１に示すような一対の基板アッセンブリ５０，５０ａから構成（１画素分）される。
【００１３】
基板アッセンブリ５０ａにおいては、前面側のガラス基板１１の内面に、基板面に沿った面放電を生じさせるためのサステイン電極Ｘ，Ｙが、ライン毎に一対の電極１２として配列される。サステイン電極Ｘ，Ｙは、それぞれがＩＴＯ薄膜からなる幅の広い帯状の透明電極４１と、金属薄膜からなる幅の狭い帯状のバス電極４２とから構成される。
【００１４】
バス電極４２は、適正な導電性を確保するための補助電極である。サステイン電極Ｘ，Ｙを被覆するように誘電体層１７が設けられる。誘電体層１７の表面には保護膜１８が蒸着される。誘電体層１７及び保護膜１８はともに透光性を有している。
【００１５】
次に、基板アッセンブリ５０においては、背面側のガラス基板２１の内面に、サステイン電極Ｘ，Ｙと直交する方向にアドレス電極Ａが配列される。各アドレス電極Ａの間に、直線状又は格子状のリブｒが１つずつ設けられる。なお、アドレス電極Ａを誘電体層で被覆し、リブｒをその誘電体層の上に設けることも可能である。
【００１６】
基板アッセンブリ（以下、基板という）５０では、これらのリブｒによって放電空間３０がサブピクセル（単位発光領域）ＥＵ毎に区画され、且つ放電空間３０の間隙寸法が規定される。
【００１７】
そして、アドレス電極Ａの上部及びリブｒの側面を含めて背面側の壁面を被覆するように、カラー表示のためのＲ，Ｇ，Ｂの３色の蛍光体層２８が設けられる。
【００１８】
リブｒは低融点ガラスからなり、紫外線に対して不透明である。なお、リブｒの形成方法としては、ベタ膜状の低融点ガラス層の上にフォトリソグラフィによってエッチングマスクを設け、サンドブラストでパターニングする工程が用いられる。
【００１９】
マトリクス表示における１ラインにはサステイン電極対１２が対応し、１列には１本のアドレス電極Ａが対応する。そして、３列が１ピクセル（画素）ＥＧに対応する。つまり、１ピクセルＥＧはライン方向に並ぶＲ，Ｇ，Ｂの３つのサブピクセルＥＵから構成される。
【００２０】
アドレス電極Ａとサステイン電極Ｙとの間の対向放電によって、誘電体層１７における壁電荷の蓄積状態が制御される。サステイン電極Ｘ，Ｙに交互にサステインパルスを印加すると、所定量の壁電荷が存在するサブピクセルＥＵで面放電（主放電）が生じる。
【００２１】
蛍光体層２８は、面放電で生じた紫外線によって局部的に励起されて所定色の可視光を放つ。この可視光の内、ガラス基板１１を透過する光が表示光となる。リブｒの配置パターンがいわゆるストライプパターンであることから、放電空間３０の内の各列に対応した部分は、全てのラインに跨がって列方向に連続している。各列内のサブピクセルＥＵの発光色は同一である。
【００２２】
このようなＰＤＰを製造する工程において、図1に示すアドレス電極Ａは、ガラス基板２１上に平行に形成される。しかし、形成されるアドレス電極Ａに欠陥（例えば断線）が生じた場合、欠陥箇所を補修してＰＤＰの製造における歩留りを向上させることが必要となる。そこで、その欠陥箇所に修正材料を塗布して修正する本発明の修正装置と修正方法について、以下に説明する。
【００２３】
図２および図３は、それぞれ欠陥修正装置を示す平面図および正面図であり、図４は図３のＡ−Ａ矢視断面図である。
これらの図において、ガラス基板２１を載置するための載置台５１には、基板の位置決め用ピン（図示しない）が立設すると共に、基板を吸着して固定するための吸着装置（図示しない）が設けられている。
【００２４】
載置台５１の両側には一対のＹ軸方向搬送装置（以下、Ｙ軸ロボットという）５２，５３が設けられる。Ｘ軸方向搬送装置（以下、Ｘ軸ロボットという）５４がＹ軸ロボット５２，５３に矢印Ｙ−Ｙ'方向に移動可能に搭載される。そして、Ｘ軸移動ベース６３がＸ軸ロボット５４に矢印Ｘ−Ｘ'方向に移動可能に搭載されている。Ｘ軸移動ベース６３には、遮蔽板用モータ５５ａ，エヤシリンダ６２，ＣＣＤカメラ５９およびレーザ出射部６０が搭載されている。
【００２５】
Ｙ軸ロボット５２，５３ではＹ軸用モータ５２ａ，５３ａによってＸ軸ロボット５４を搬送する。Ｘ軸ロボット５４では、Ｘ軸用モータ５４ａによってＸ軸移動ベース６３を搬送する。
【００２６】
図３に示すように、Ｘ軸移動ベース６３に搭載されたエヤシリンダ６２のピストンロッドには針装着部５８が設けられている。針装着部５８には針５７が垂直方向に装着され、エヤシリンダ６２の作動により針５７がガラス基板２１に対して垂直方向に上昇および下降するようになっている。
また、遮蔽板モータ５５ａのモータ出力軸５６の先端に遮蔽板固定部５６ａを介して遮蔽板５５の一端がガラス基板２１に平行に固定されている。
遮蔽板５５の他端には予め修正材料を収容した修正材料容器６１が設けられている。
【００２７】
図４に実線で示すように修正材料容器６１が針５７の真下にある場合、遮蔽板モータ５５ａが駆動すると、遮蔽板５５は仮想線で示す退避位置まで矢印Ａ方向に４５度だけ移動する。また、遮蔽板モータ５５ａが逆方向に駆動すると、遮蔽板５５は実線で示す遮蔽位置へ戻る。つまり、遮蔽モータ５５ａは、針５７とガラス基板２１との間に遮蔽板５５を退避可能に挿入させ、ガラス基板２１を針５７から遮蔽することができる。
【００２８】
また、エヤシリンダ６２は針５７の真下に修正材料容器６１があるときに、針５７を下降させて、その先端を修正材料に浸漬させ、所定量の修正材料を付着保持させた後、針５７を上昇させる。
【００２９】
そして、遮蔽板５５が図４の退避位置まで退避したときにエヤシリンダ６２は針５７を再び下降させ、ガラス基板２１上の断線が生じているアドレス電極Ａの欠陥箇所に修正材料を塗布（以下、打点という）するようになっている。
また、Ｘ軸移動ベース６３に搭載されたＣＣＤカメラ５９は、ガラス基板２１を撮像して欠陥箇所を確認し、打点位置を入力するために用いられる。
【００３０】
また、レーザ出射部６０は、打点完了箇所をレーザにより乾燥および焼成するために用いられる。なお、乾燥時と焼成時にはそれぞれに対応するようにレーザエネルギーの強度が調整されるようになっている。
【００３１】
図５は図２，図３に示す欠陥修正装置の制御系を示すブロック図である。
図５において、制御部８０は、ＣＰＵ，ＲＯＭおよびＲＡＭからなるマイクロコンピュータを内蔵する。制御部８０は、キーボード８１，マウス８３，Ｘ軸用エンコーダ８５，Ｙ軸用エンコーダ８６およびＣＣＤカメラ５９からの出力を受ける。それに基づいて制御部８０は、Ｘ軸用モータ５４ａ，Ｙ軸用モータ５２ａ，５３ａ，遮蔽板用モータ５５ａ，エヤシリンダ用電磁弁８４およびレーザ出射部６０を駆動制御する。制御部８０は、キーボード８１とマウス８３から入力される各種条件やＣＣＤカメラ５９で撮像される修正箇所の画像などをＬＣＤ８２に表示させる。
【００３２】
エヤシリンダ用電磁弁８４は、図示しないエヤ源とエヤシリンダ６２との間に介在し、エヤシリンダ６２を駆動する。また、Ｘ軸用およびＹ軸用エンコーダ８５，８６は、それぞれＸ軸用およびＹ軸用モータ５４ａ，５２ａに結合され、Ｘ軸移動ベース６３のガラス基板２１に対するＸ座標とＹ座標を検出するようになっている。
【００３３】
この欠陥修正装置によってアドレス電極Ａの欠陥を修正するための手順を図６のフローチャートを用いて説明する。
まず、図２，図３に示すように、ガラス基板２１を載置台５１の所定位置に載置して固定する（ステップＳ１）。
【００３４】
なお、ガラス基板２１には、面積１５００ｍｍ×１０００ｍｍ，厚さ３．０ｍｍのガラス板が用いられる。ガラス基板２１の有効表示領域には、図２の矢印Ｘ−Ｘ'方向に平行に長さ５００ｍｍ、厚さ１〜３μｍ、幅６０〜７５μｍのアドレス電極Ａがピッチ３００μｍで３０００本形成されている。また、アドレス電極Ａは、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒの三層構造を有し、フォトリソ法により形成されたものである。
【００３５】
次に、予め検査装置で検出された欠陥箇所の座標を、オペレータがキーボード８１から制御部８０へ入力する。それによりＹ軸ロボット５２，５３とＸ軸ロボット５４が駆動され、入力された座標へＣＣＤカメラ５９が移動し、基板２１の欠陥箇所を撮像する。撮像された画像がＬＣＤ８２の画面に図８の（ａ）のように表示され、オペレータは断線の生じているアドレス電極Ａにおいて修正すべき箇所８７を確認する（ステップＳ２）。
【００３６】
次に、オペレータはマウス８３を用い、図８（ｂ）に示すように、修正箇所の長さに応じて打点箇所Ｐ１〜Ｐ４を入力する（ステップＳ３）。修正箇所の長さが長い程、打点数は増加する。そして、オペレータがキーボード８１から制御部８０へ「実行」を入力すると（ステップＳ４）、箇所Ｐ１〜Ｐ４への打点が実行される（ステップＳ５）。次に、打点された箇所Ｐ１〜Ｐ４全体にレーザ照射部６０からレーザが照射されて乾燥および焼成が行われ（ステップＳ６）、欠陥の修正作業が完了する（ステップＳ７）。
【００３７】
次に、図６のステップＳ５に示される打点作業について、図７のフローチャートを用いてさらに詳細に説明する。
図７に示すように、まず、針５７の真下に修正材料容器６１が有るか否かが判定される（ステップＳ１１）。無い場合には、遮蔽板用モータ５５ａが駆動して針５７の真下に修正材料容器６１が存在するように遮蔽板５５を回動させる（ステップＳ１２，Ｓ１３）。
つまり、針５７と基板５０との間に遮蔽板５５が挿入される。
【００３８】
次に、打点すべき箇所の有無が判定され（ステップＳ１４）、その箇所が図８（ｂ）に示すＰ１であると認識されると、Ｙ軸ロボット５２，５３とＸ軸ロボット５４が駆動して（ステップＳ１５，Ｓ１６）、針５７を箇所Ｐ１の真上に移動させる（ステップＳ１７）。
【００３９】
次に、エヤシリンダ６２が駆動し、針５７を修正材料容器６１内へ下降させ、針５７の先端に修正材料を付着・保持させる（ステップＳ１８）。次に、エヤシリンダ６２は、針５８を上昇させ、その先端が修正材料容器６１から引き出された状態を保持する。
【００４０】
そして、その状態がｔ秒間（例えば５秒間）だけ維持される（ステップＳ１９，Ｓ２０）。その間に、余剰に付着した修正材料は、針５７の先端から修正材料容器６１へ自重によって滴下し、針５７の先端に残留する修正材料は、打点に適した形に整形される。
【００４１】
次に、遮蔽板用モータ５５ａが駆動して遮蔽板５５を図４の矢印Ａ方向に回動させて針５７から退避させる（ステップＳ２１）。次に、エヤシリンダ６２が駆動して針５７を下降させると、針５７の先端の修正材料が箇所Ｐ１に接触して打点される（ステップＳ２２）。
【００４２】
次に、エヤシリンダ６２が針５７を図３に示す位置まで上昇させる（ステップＳ２３）。次に、レーザ出射部６０が箇所Ｐ１に対向する位置まで、Ｘ軸移動ベース６３が移動し、レーザ出射部６０がレーザを出射して箇所Ｐ１に打点された修正材料を乾燥させる（ステップＳ２４）。
【００４３】
次に、ルーチンはステップＳ１１へ戻り、図８（ｂ）に示す箇所Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４がすべて打点されるまでステップＳ１１〜Ｓ２４の工程がくり返される。ステップＳ１４において、打点すべき箇所が残っていないと判定されると、図６に示すステップＳ５の打点作業は終了する（ステップＳ２５）。
【００４４】
なお、この実施形態において、針５７はタングステン製であり、基端の直径は０．５ｍｍで先細る形状を有し、先端は直径５０〜１００μｍの円形平担面になっている。
さらに、針５７は、図３に示すように針装着部５８に装着されるが、針装着部５８は針を弾性的に支持するばね機構を内蔵し、針５７と打点箇所との接触圧が適度になるように構成されている。
また、修正材料には、銀粉と樹脂バインダと溶剤を混合しペースト状にしたものを用いている。
【００４５】
上記実施の形態においては、プラズマディスプレイパネルのアドレス電極の欠陥修正について述べたが、この発明は、表示装置全般の欠陥の修正に応用可能であり、例えばプラズマディスプレイパネルの誘電体層および蛍光体のピンホール欠陥の修正、リブの欠損部分の修復、液晶カラーフィルタのピンホール欠陥の修正等にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】この発明に係るＰＤＰの要部拡大斜視図である。
【図２】この発明による欠陥修正装置の本体を示す平面図である。
【図３】この発明による欠陥修正装置の本体を示す正面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図５】この発明による欠陥修正装置の制御系を示すブロック図である。
【図６】この発明による欠陥修正装置の動作を示すフローチャートである。
【図７】図６のフローチャートの要部の詳細を示すフローチャートである。
【図８】この発明による欠陥修正装置の画像例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
２１    ガラス基板
５１    載置台
５２    Ｙ軸ロボット
５２ａ  Ｙ軸用モータ
５３    Ｙ軸ロボット
５３ａ  Ｙ軸用モータ
５４    Ｘ軸ロボット
５４ａ  Ｘ軸用モータ
５５    遮蔽板
５５ａ  遮蔽板用モータ
５６    モータ出力軸
５６ａ  遮蔽板固定部
５７    針
５８    針装着部
５９    ＣＣＤカメラ
６０    レーザ出射部
６１    修正材料容器
６２    エヤシリンダ
６３    Ｘ軸移動ベース
【図１】
2007212550.tif 000003
【図２】
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【図３】
2007212550.tif 000005
【図４】
2007212550.tif 000006
【図５】
2007212550.tif 000007
【図６】
2007212550.tif 000008
【図７】
2007212550.tif 000009
【図８】
2007212550.tif 000010