(57)【要約】      （修正有）【課題】研磨テープを交換する手間をなくし、短時間且つ低コストで、要求される仕上げ面にパネルを研磨できる研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置１０は、天板１２と底板１３との間に形成される開口１４を有するハウジング１１、ハウジングの開口１４の前側でＺ方向に往復移動するヘッド部材Ｈを有する研磨ヘッド２０、及び二本の研磨テープを備え、これら研磨テープのいずれか一方の研磨テープを走行させるテープ供給ユニット３０を含む。研磨ヘッド２０はハウジングの天板１２の上面に取り付けられる。ユニット３０はＹ方向に往復移動可能にハウジングの底板１３の上面にリニアスライド機構６０を介して取り付けられ、このリニアスライド機構によりユニット３０がＹ方向に往復移動し、ユニット３０の研磨テープのいずれか一方の研磨テープがヘッド部材Ｈの真下に位置決めされる。【選択図】図１
2007290092.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルの表面を研磨するための研磨装置であって、
天板と底板との間に形成される開口を有するハウジング、
リニアスライド機構によりパネルの表面と垂直な方向に往復移動するヘッド部材を有する研磨ヘッド、及び
第一及び第二の研磨テープを備え、これら第一及び第二の研磨テープのうちのいずれか一方の研磨テープを走行させるテープ供給ユニット、
を含み、
前記ヘッド部材が前記ハウジングの開口の前側でパネルの表面と垂直な方向に往復移動可能に、前記研磨ヘッドが前記ハウジングの天板の上面に取り付けられ、
前記テープ供給ユニットが、パネルの表面と平行な方向に往復移動可能に、前記ハウジングの底板の上面にリニアスライド機構を介して取り付けられ、
このリニアスライド機構により、前記テープ供給ユニットがパネルの表面と平行な方向に往復移動して、前記テープ供給ユニットの前記第一及び第二の研磨テープのうちのいずれか一方の研磨テープが前記ヘッド部材の真下に位置決めされる、
ところの研磨装置。
【請求項２】
請求項１の研磨装置であって、
前記研磨ヘッドが、前記ハウジングの天板の上面に取り付けられる前側板を有し、
前記前側板が、パネルの表面と垂直な垂直面を有し、この前側板の垂直面にリニアスライド機構を介して前記ヘッド部材が取り付けられ、このリニアスライド機構により、前記ヘッド部材がパネルの表面と垂直な方向に往復移動する、
ところの請求項１の研磨装置。
【請求項３】
請求項１の研磨装置であって、
前記研磨ヘッドが、パネルの表面と垂直な垂直面を有する前側板と、第一のリニアスライド機構を介して前記ハウジングの上面に取り付けられる底板とからなる側面Ｌ字形の移動台を有し、
前記移動台の前側板の垂直面に第二のリニアスライド機構を介して前記ヘッド部材が取り付けられ、この第二のリニアスライド機構により、前記ヘッド部材がパネルの表面と垂直な方向に往復移動し、
前記第一のリニアスライド機構により、前記ヘッド部材がパネルの表面と平行な方向に往復移動する、
ところの研磨装置。
【請求項４】
請求項１の研磨装置であって、
前記テープ供給ユニットが、並列配置型テープ供給ユニットであって、
この並列配置型テープ供給ユニットが、
パネルの表面と垂直な垂直面を有する平面凹字形の前側板と、前記ハウジングの底板の上面に前記リニアスライド機構を介して取り付けられる底板とからなる側面略Ｌ字形の移動台を有し、
前記前側板の両側部分の垂直面に、第一の研磨テープからなる第一のテープロールを取り付ける第一の供給リールと、前記第一のテープロールの前記第一の研磨テープを巻き取る第一の巻取リールとが取り付けられ、前記前側板の中央部分の垂直面に、第二の研磨テープからなる第二のテープロールを取り付ける第二の供給リールと、前記第二のテープロールの前記第二の研磨テープを巻き取る第二の巻取リールとが取り付けられて、前記第一の供給リール、第二の供給リール、第二の巻取リール及び第一の巻取リールが前記前側板の垂直面に並列配置され、
前記並列配置型テープ供給ユニットが、
前記第一の研磨テープを前記第一の巻取リールで巻き取るために、前記第一の巻取リールを回転させるための手段と、前記第二の研磨テープを前記第二の巻取リールで巻き取るために、前記第二の巻取リールを回転させるための手段とをさらに有する、
ところの研磨装置。
【請求項５】
請求項１の研磨装置であって、
前記テープ供給ユニットが、直列配置型テープ供給ユニットであって、
この直列配置型テープ供給ユニットが、
パネルの表面と垂直な垂直面を有する前側板と、前記ハウジングの底板の上面に前記リニアスライド機構を介して取り付けられる底板とからなる側面略Ｌ字形の移動台を有し、
前記前側板の垂直面に、第一の研磨テープからなる第一のテープロールを取り付ける第一の供給リールと、前記第一のテープロールの前記第一の研磨テープを巻き取る第一の巻取リールとが、前記前側板の背面に取り付けた第一のモータの軸と同軸に直列に取り付けられ、前記前側板の垂直面に、第二の研磨テープからなる第二のテープロールを取り付ける第二の供給リールと、前記第二のテープロールの前記第二の研磨テープを巻き取る第二の巻取リールとが、前記前側板の背面に取り付けた第二のモータの軸と同軸に直列に取り付けられて、前記第一の供給リールと前記第二の供給リール、及び前記第一の巻取リールと前記第二の巻取リールがそれぞれ前記前側板の垂直面に直列配置され、
前記第一の供給リールが第一のクラッチ機構を介して前記第一のモータの軸に連結され、
前記第二の供給リールが第二のクラッチ機構を介して前記第一のモータの軸に連結され、
前記第一の巻取リールが第三のクラッチ機構を介して前記第一のモータの軸に連結され、
前記第二の巻取リールが第四のクラッチ機構を介して前記第二のモータの軸に連結される、
ところの研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルのように表面に高度の平坦性が要求されるパネルの表面にある不要の突起を研磨する研磨装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
表面に高度の平坦性が要求されている液晶パネルのようなパネルは、一般に、複数のＣＣＤカメラを備えた検査セクションで表面の突起の位置を検出し、次に、突起の高さを測定するセンサープローブを備えた研磨セクションへ送られ、ここで、検査セクションで検出した突起の位置にセンサープローブを移動して、この突起の高さを測定し、この突起が所定の高さを超えていると、研磨セクションに備えられている研磨装置をこの突起の位置に移動して、この突起を研磨する。
【０００３】
突起測定後の研磨時間を短縮するため、研磨装置にセンサープローブが取り付けられており、研磨装置とセンサープローブは一体的に移動する。
【０００４】
研磨装置は、研磨テープをパネルの表面に押し付けるためのヘッド部材を有する。そして、センサープローブによる測定後、突起の真上にヘッド部材を移動するとともに、ヘッド部材を下降し、このヘッド部材を介して突起に研磨テープを押し付け、走行させることにより、突起を研磨する。この突起の研磨後、ヘッド部材を上昇させるとともに、センサープローブをこの突起の位置に移動して、突起の高さを再度測定し、この突起の高さが所定の高さよりも低くなっていると、次の突起へとセンサープローブを移動して、上記のように突起が研磨され、再度その高さが測定される（例えば、特許文献１を参照）。
【特許文献１】特開２００３−２６６２９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、パネルの表面には大きさの異なる突起が幾つも形成されており、パネルの表面に要求される品質（しなわち、仕上げ面の精度）に従って、１台の研磨装置でこれら突起を一つ一つ研磨して、要求される品質のパネルの表面に仕上げていく。そして、近年、パネルが大型化され、パネルの表面に形成される突起の数が増大し、このため、パネルの表面を短時間で高精度に仕上げることのできる技術が要求されている。
【０００６】
しかし、上記のような従来技術では、研磨装置は、一種類の研磨テープを備えているだけなので、高品質の仕上げ面が要求されている場合、パネルの表面の突起が大きいとき、粗研磨を行った後に、仕上げ研磨を行う必要が生じるが、研磨テープを一つ一つの突起を研磨する都度に交換することは、一つの突起に対する研磨に手間と時間がかかることから実用的ではなく、このため、一種類の研磨テープのみでこの突起を研磨しているのが現状であり、上記のような従来の技術では、パネルの表面を精度よく仕上げることが難しくなっている。
【０００７】
上記の従来技術において、研磨装置に粗研磨用の研磨テープだけが装着されている場合、パネルの表面の突起が小さいとき、及び高品質の仕上げ面が要求されているときに、この粗研磨用の研磨テープだけではパネルの表面を精度よく研磨することが難しく、このため、仕上げ研磨の必要が生じるが、上記のように、研磨テープを一つ一つの突起を研磨する都度に交換することは、一つの突起に対する研磨に手間と時間がかかることから実用的ではない。また、研磨装置に仕上げ研磨用の研磨テープだけが装着されている場合、パネルの表面の突起が大きいときに、この一つの大きい突起の研磨に時間がかかり、研磨テープの消費量が多くなり、研磨テープを短時間で交換しなければならず、突起の研磨に時間がかかるだけでなく、コストもかかる。
【０００８】
このように、一種類の研磨テープしか装着できない従来技術の研磨装置では、パネルの表面の突起の大きさに従って、一つの突起に対する研磨時間を短縮し且つコストを低減して、要求される品質の仕上げ面を達成することが困難であるのが現状である。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、研磨テープを交換する手間をなくし、短時間且つ低コストで、要求される仕上げ面にパネルを研磨できる研磨装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成する本発明の研磨装置は、天板と底板との間に形成される開口を有するハウジング、リニアスライド機構によりパネルの表面と垂直な方向に往復移動するヘッド部材を有する研磨ヘッド、及び第一及び第二の研磨テープを備え、これら第一及び第二の研磨テープのうちのいずれか一方の研磨テープを走行させるテープ供給ユニットを含む。
【００１１】
研磨ヘッドは、ヘッド部材がハウジングの開口の前側でパネルの表面と垂直な方向に往復移動可能に、ハウジングの天板の上面に取り付けられる。
【００１２】
テープ供給ユニットは、パネルの表面と平行な方向に往復移動可能に、ハウジングの底板の上面にリニアスライド機構を介して取り付けられ、このリニアスライド機構により、テープ供給ユニットがパネルの表面と平行な方向に往復移動して、テープ供給ユニットの第一及び第二の研磨テープのうちのいずれか一方の研磨テープがヘッド部材の真下に位置決めされる。
【００１３】
研磨ヘッドは、ハウジングの天板の上面に取り付けられる前側板を有する。この前側板は、パネルの表面と垂直な垂直面を有し、この前側板の垂直面にリニアスライド機構を介してヘッド部材が取り付けられ、このリニアスライド機構により、ヘッド部材がパネルの表面と垂直な方向に往復移動する。変形的に、研磨ヘッドは、パネルの表面と垂直な垂直面を有する前側板と、第一のリニアスライド機構を介して前記ハウジングの上面に取り付けられる底板とからなる側面Ｌ字形の移動台を有し、この移動台の前側板の垂直面に第二のリニアスライド機構を介してヘッド部材が取り付けられ、この第二のリニアスライド機構により、ヘッド部材がパネルの表面と垂直な方向に往復移動し、第一のリニアスライド機構により、前記ヘッド部材がパネルの表面と平行な方向に往復移動する。
【００１４】
テープ供給ユニットは、並列配置型のものであってもよいし、直列配置型のものであってもよい。
【００１５】
並列配置型テープ供給ユニットは、パネルの表面と垂直な垂直面を有する平面凹字形の前側板と、ハウジングの底板の上面に上記のリニアスライド機構を介して取り付けられる底板とからなる側面略Ｌ字形の移動台を有する。
【００１６】
そして、この前側板の両側部分の垂直面に、第一の研磨テープからなる第一のテープロールを取り付ける第一の供給リールと、この第一のテープロールの第一の研磨テープを巻き取る第一の巻取リールとが取り付けられる。また、移動台の前側板の中央部分の垂直面に、第二の研磨テープからなる第二のテープロールを取り付ける第二の供給リールと、この第二のテープロールの第二の研磨テープを巻き取る第二の巻取リールとが取り付けられて、第一の供給リール、第二の供給リール、第二の巻取リール及び第一の巻取リールが移動台の前側板の垂直面に並列配置される。
【００１７】
この並列配置型テープ供給ユニットは、第一の研磨テープを第一の巻取リールで巻き取るために、第一の巻取リールを回転させるための手段と、第二の研磨テープを第二の巻取リールで巻き取るために、第二の巻取リールを回転させるための手段とをさらに有する。
【００１８】
直列配置型テープ供給ユニットは、パネルの表面と垂直な垂直面を有する前側板と、ハウジングの底板の上面に上記のリニアスライド機構を介して取り付けられる底板とからなる側面略Ｌ字形の移動台を有する。
【００１９】
この前側板の垂直面に、第一の研磨テープからなる第一のテープロールを取り付ける第一の供給リールと、第一のテープロールの第一の研磨テープを巻き取る第一の巻取リールとが、この前側板の背面に取り付けた第一のモータの軸と同軸に直列に取り付けられる。また、移動台の前側板の垂直面に、第二の研磨テープからなる第二のテープロールを取り付ける第二の供給リールと、第二のテープロールの第二の研磨テープを巻き取る第二の巻取リールとが、この前側板の背面に取り付けた第二のモータの軸と同軸に直列に取り付けられて、第一の供給リールと第二の供給リール、及び第一の巻取リールと第二の巻取リールがそれぞれ移動台の前側板の垂直面に直列配置される。
【００２０】
第一のモータの軸に、第一の供給リールと第二の供給リールが、それぞれ、クラッチ機構を介して個別に連結され、第二のモータの軸に、第一の巻取リールと第二の巻取リールが、それぞれ、クラッチ機構を介して個別に連結される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明が以上のように構成されるので、一台の研磨装置に二種類の研磨テープを備えることができ、これにより、研磨テープを交換する手間をなくし、短時間且つ低コストで、要求される仕上げ面にパネルを研磨できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
＜研磨方法＞  表面に高度の平坦性が要求されている液晶パネルのようなパネルは、複数のＣＣＤカメラを備えた検査セクションで表面の突起の位置を検出し、次に、突起の高さを測定するセンサープローブを備えた研磨セクションへ送られる。そして、検査セクションで検出した突起の位置にセンサープローブを移動して、この突起の高さを測定する。この突起が所定の高さを超えていると、研磨セクションに備えられている研磨装置をこの突起の位置に移動して、この突起を研磨する。突起測定後の研磨時間を短縮するため、好適に、研磨装置にセンサープローブが取り付けられ、研磨装置とセンサープローブは一体的に移動する。
【００２３】
図１に本発明の研磨装置を示し、図２及び図３に、本発明に従って、研磨セクションにおいて、本発明の研磨装置でパネルＰの表面の突起Ｑを研磨するところを示す。
【００２４】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、本発明の研磨装置１０は、天板１２と底板１３との間に形成される開口１４を有するハウジング１１、リニアスライド機構（図４及び図６）によりパネルＰの表面と垂直な方向（矢印Ｚの方向）に往復移動するヘッド部材Ｈを有する研磨ヘッド２０、及び第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂを備え、これら第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂのうちのいずれか一方の研磨テープを走行させるテープ供給ユニット３０を含む。
【００２５】
研磨ヘッド２０は、ヘッド部材Ｈが図１Ａ、Ｂ及び図３Ａ〜Ｃに示のようにハウジング１１の開口１４の前側でパネルＰの表面と垂直な方向（矢印Ｚの方向）に往復移動可能に、ハウジング１１の天板１２の上面に取り付けられる。
【００２６】
テープ供給ユニット３０は、パネルＰの表面と平行な方向（矢印Ｙの方向）に往復移動可能に、ハウジング１１の底板１３の上面にリニアスライド機構６０を介して取り付けられ、このリニアスライド機構６０により、テープ供給ユニット３０がパネルＰの表面と平行な矢印Ｙの方向に往復移動して、テープ供給ユニット３０の前側部分３０´（図１Ａにおいて、図面に向かって左側の部分）に配置されている第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂのうちのいずれか一方の研磨テープがヘッド部材Ｈの真下に位置決めされる。
【００２７】
変形的に、研磨ヘッド２０は、矢印Ｙの方向に往復移動可能に、天板の上面に設けたリニアスライド機構（図４Ｂに符号６０´で示す）のスライド（図４Ｂに符号６６´で示す）に固定され、これにより、第一又は第二の研磨テープ３３Ａ、３３ＢをパネルＰの表面の突起Ｑの真上に位置決めした後に、研磨ヘッド２０を矢印Ｙで示すいずれかの方向に移動して、ヘッド部材Ｈを、突起Ｑの真上に位置決めされている研磨テープの真上に位置決めすることもできる。
【００２８】
パネルＰの表面の突起Ｑの研磨は、まず、研磨装置１０のハウジング１１の底板１３の前側端部に固定されているセンサープローブＳでパネルＰの表面の突起Ｑの位置と高さを検出し、この突起Ｑの高さが所定の高さを超えているか否かを判定する。この突起Ｑの高さが所定の高さを超えていると判定されると、研磨装置１０を移動し、研磨ヘッド２０のヘッド部材Ｈをこの突起Ｑの真上に位置決め（図２Ａに符号Ｈ１で示す位置又は図２Ｂに符号Ｈ２で示す位置）する。次に、リニアスライド機構６０を作動させてテープ供給ユニット３０を矢印Ｙの方向に移動させて、第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂのうちのいずれか一方の研磨テープをヘッド部材Ｈの真下（すなわち、突起Ｑの真上）に位置決めする。
【００２９】
図２Ａ及び図２Ｂに示すように、第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂは、相互に平行となるようにテープ供給ユニット３０の前側部分３０´に配置されている。好適に、第一の研磨テープ３３Ａは粗研磨用のものであり、第二の研磨テープ３３Ｂは仕上げ研磨用のものである。これら研磨テープとして、織布テープ、不織布テープ、発泡体テープ、又は砥粒をバインダーで固定した研磨層をプラスチックテープ表面に形成したものなど、既知の研磨テープを使用することができる。例えば、粗研磨用の第一の研磨テープ３３Ａとして、プラスチック、織布、不織布又は発泡体などからなるテープの表面に研磨層を形成したものを使用することができ、また仕上げ研磨用の第二の研磨テープ３３Ｂとして、不織布テープ、発泡体テープなどのように、砥粒を固定した研磨層を有していないテープを使用することができる。
【００３０】
第一又は第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂがヘッド部材Ｈの真下（すなわち、パネルＰの突起Ｑの真上）に位置決めされるが、これら研磨テープ３３Ａ、３３Ｂのうち、いずれの研磨テープを突起Ｑ上に位置決めするかは、センサープローブＳにより検出された突起Ｑの高さに従って決定される。好適に、粗研磨用の第一の研磨テープ３３Ａがヘッド部材Ｈ（このヘッド部材は、図２Ａに、符号Ｈ１で示す位置に位置決めされている）の真下（突起Ｑの真上）に位置決めされ（図２Ａ）、第一の研磨テープ３３Ａでこの突起Ｑを研磨した後に、第二の研磨テープ３３Ｂがヘッド部材Ｈ（このヘッド部材は、図２Ｂに、符号Ｈ２で示す位置に位置決めされているが、この位置Ｈ２は位置Ｈ１に一致する）の真下（突起Ｑの真上）に位置決めされ（図２Ｂ）、第二の研磨テープ３３Ｂで仕上げ研磨される。
【００３１】
変形的に、第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂのいずれか一方の研磨テープを突起Ｑ上に位置決めした後に、ヘッド部材Ｈをこの研磨テープの真上に位置決めしてもよい。この場合、上記のようにセンサープローブＳにより検出された突起Ｑの高さに従って決定されたいずれか一方の研磨テープをパネルＰの表面と平行に研磨装置１０のハウジング１１に関して相対的に移動して、この研磨テープの幅の中央部分（符号Ｈ１及びＨ２で示す位置）の真下に突起Ｑが位置するように研磨テープを位置決めし、その後に、研磨装置１０のハウジング１１に関してヘッド部材ＨをパネルＰの表面と平行な方向に相対的に移動しなければならない。一方、上述のようにヘッド部材Ｈを突起Ｑの真上に位置決めした後に研磨テープを位置決めする場合、ヘッド部材Ｈは研磨装置１０と一緒に移動させればよく、上記のような研磨装置１０のハウジング１１に関する相対的な移動を一回だけ（研磨テープの移動だけ）行えばよいので、より高精度に所定の研磨テープをヘッド部材Ｈで突起Ｑに押し付けることができる。このため、研磨テープを位置決めする前にヘッド部材Ｈを位置決めしておくことが実用的には望ましい。
【００３２】
以下、代表的に、第一の研磨テープ３３Ａによる突起研磨について説明する。（第二の研磨テープ３３Ｂによる突起研磨も、この第一の研磨テープ３３Ａによる突起研磨と同様にして行われるので、その説明を省略する。）
【００３３】
図２Ａ及び図３Ａに、上記のようにしてパネルＰの表面の突起Ｑの真上に位置決め（符号Ｈ１で示す位置）されているヘッド部材Ｈの真下に、第一の研磨テープ３３Ａが位置決めされているところを示す。ここで、第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂは、図面に向かって左側にあるテープロール（図７、８、１１及び１２に示す第一及び第二の供給リール３１Ａ、３１Ｂにそれぞれ装着したテープロール）から送り出され、図面に向かって右側にあるリール（図７、８、１１及び１２に示す第一及び第二の巻取リール３２Ａ、３２Ｂ）に巻き取られる。
【００３４】
ヘッド部材Ｈは、研磨ヘッド２０のリニアスライド機構（図４Ａ、Ｂに符号６０．６０で示す）を作動させることにより矢印Ｚ１の方向に下降し、図３Ｂに示すように、第一の研磨テープ３３Ａを下方に押し下げる。この際、第一の研磨テープ３３Ａは、好適に、下降中のヘッド部材Ｈによって、図面に向かって右側にある第一の巻取リールから矢印Ｘ２の方向に引き戻される。
【００３５】
図３Ｃに示すように、第一の研磨テープ３３Ａがヘッド部材Ｈを介してパネルＰの表面の突起Ｑに押し付けられると、第一の研磨テープ３３Ａは、図面に向かって右側にある第一の巻取リールに巻き取られ、矢印Ｘ１の方向に走行し、このときに、パネルＰの表面の突起Ｑが研磨される。
【００３６】
研磨後、ヘッド部材Ｈは、上記のリニアスライド機構の作動により矢印Ｚ２の方向に上昇する。この際、第一の研磨テープ３３Ａは、ヘッド部材Ｈに接触しながら、矢印Ｘ１の方向に巻き取られる。この第一の研磨テープ３３Ａの巻取りは、ヘッド部材Ｈが矢印Ｘ１の方向に上昇して、ヘッド部材Ｈが第一の研磨テープ３３Ａから離れた時点で終了する。このように第一の研磨テープ３３Ａを巻き取ることにより、次回の研磨の際、ヘッド部材Ｈによって上記のように第一の研磨テープ３３Ａが押し下げられ、第一の研磨テープが矢印Ｘ２の方向に引き戻されたとき、第一の研磨テープの使用済み直後の未使用の部分がパネルＰの表面に押し付けられ、第一の研磨テープ３３Ａ（第二の研磨テープ３３Ｂにおいても同じ）を無駄なく使用できる。
【００３７】
次に、図２Ｂに示すように、テープ供給ユニット３０（並列配置型のものを図７、８及び１０に符号４０で示し、直列配置型のものを図１１、１２及び１３に符号５０で示す）を矢印Ｙの方向に移動して、仕上げ研磨用の第二の研磨テープ３３Ｂをヘッド部材Ｈの真下（すなわち、突起Ｑの真上）に位置決めし、上記の第一の研磨テープ３３Ａと同様に、ヘッド部材Ｈにより矢印Ｚ１の方向に押し下げ、パネルＰの表面の突起Ｑを仕上げ研磨する。その後、第二の研磨テープ３３Ｂは、矢印Ｚ２の方向に上昇するヘッド部材Ｈに接触しながら矢印Ｘ１の方向に巻き取られる。
【００３８】
＜研磨装置＞  本発明の研磨装置１０は、図１に関連して上説したように、天板１２と底板１３との間に形成される開口１４を有するハウジング１１、リニアスライド機構６０によりパネルＰの表面と垂直な方向（矢印Ｚの方向）に往復移動するヘッド部材Ｈを有する研磨ヘッド２０、及び第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂを備え、これら第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂのうちのいずれか一方の研磨テープを走行させるテープ供給ユニット３０を含み、研磨ヘッド２０は、ヘッド部材Ｈがハウジング１１の開口１４の前側でパネルＰの表面と垂直な方向（矢印Ｚの方向）に往復移動可能に、ハウジング１１の天板１２の上面に取り付けられ、テープ供給ユニット３０は、パネルＰの表面と平行な方向（矢印Ｙの方向）に往復移動可能に、ハウジング１１の底板１３の上面にリニアスライド機構６０を介して取り付けられ、このリニアスライド機構６０により、テープ供給ユニット３０がパネルＰの表面と平行な方向（矢印Ｙの方向）に往復移動し、テープ供給ユニット３０の第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂのうちのいずれか一方の研磨テープがヘッド部材Ｈの真下に位置決めされる。
【００３９】
＜リニアスライド機構＞  図６Ａ〜図６Ｃにリニアスライド機構６０を示す。図示のスライド機構６０は、平板６１の表面に平行に配列した一対の真直ぐなレール６４、６５、及びこれらレール６４、６５にスライド可能に係合するスライド（又は送り台）６６、このスライド６６のほぼ中央部分を真直ぐに貫通するネジ切り穴に螺合し、且つレール６４、６５と平行に配列される真直ぐなネジ６３、及びこのネジ６３を回転させるモータ６２から構成される。このようなリニアスライド機構６０として、既知のすべりネジ、ボールネジ（スライド６６のネジ切り内に小球が配列されている）などの方式を用いることができるが、好適に、モータとしてサーボモータを使用したボールネジ方式が用いられる。
【００４０】
図示のスライド機構６０では、モータ６２を駆動すると、ネジ６３に螺合しているスライド６６がレール６４、６５に沿って真直ぐに移動する。スライド６６の移動方向は、モータ６２の回転方向を逆にすることによって変えることができる。往復移動させるべき物は、スライド６６の取付面６７に固定される。また、取付面６７（すなわち、スライド６６）の寸法、レール６４、６５の間隔、及びレール６４、６５の本数（図示の例では二本）は、取付面６７に取り付けられる物のサイズに従って適宜変更することができる。
【００４１】
ここで、図６は、単に、リニアスライド機構６０（又は、図４Ｂに、符号２４で示す移動台を固定したスライド６６´を矢印Ｙの方向に往復移動させる符号６０´で示すリニアスライド機構も同様）の一例を示したにすぎず、図示のモータ６２とネジ６３に代えて、例えば、ピストンシリンダを使用してスライド６６（又は、図４Ｂのスライド６６´）を移動させてもよい。
【００４２】
＜研磨ヘッド＞  図４Ａ及び図４Ｂに、第一又は第二の研磨テープ３３Ａ、３３ＢをパネルＰの表面に押し付けるヘッド部材Ｈを有する研磨ヘッド２０を示す。
【００４３】
図示の研磨ヘッド２０は、ハウジング１１の天板１２の上面に取り付けられる前側板２２を有し、この前側板２２は、パネルＰの表面と垂直な垂直面を有する。この前側板２２の垂直面上に設けたリニアスライド機構６０（図６）のスライド６６に逆Ｌ字形の支持部材２１が固定され、この支持部材２１の下端にヘッド部材Ｈが固定される。このリニアスライド機構６０により、ヘッド部材ＨがパネルＰの表面と垂直な方向（矢印Ｚの方向）に往復移動する。
【００４４】
前側板２２は、図４Ａに示すように、ハウジング１１の天板１２の上面に固定される。変形的に、研磨ヘッド２０は、図４Ｂに示すように、パネルＰの表面と垂直な垂直面を有する前側板２２と、ハウジング１１の天板１２の上面に設けた第一のリニアスライド機構６０´のスライド６６´の取付面に固定される底板２３とからなる側面Ｌ字形の移動台２４を有し、この移動台２４の前側板２２の垂直面に設けた第二のリニアスライド機構６０のスライド６６の取付面に、下端にヘッド部材Ｈを固定している逆Ｌ字形の支持部材２１が固定され、この第二のリニアスライド機構６０により、ヘッド部材ＨがパネルＰの表面と垂直な方向（矢印Ｚの方向）に往復移動し、第一のリニアスライド機構６０´により、ヘッド部材ＨがパネルＰの表面と平行な方向（矢印Ｙの方向）に往復移動する。
【００４５】
図３Ａ及び図３Ｂに、ヘッド部材Ｈの先端部分Ｈ´の形状を示す。ヘッド部材Ｈの先端部分Ｈ´は、研磨テープ３３Ａ、３３ＢをパネルＰの表面に、点接触させるような半球状の外周面を有するもの（図３Ａ）であってもよいし、線接触させるような側面放物線形の外面を有するもの（図３Ｂ）であってもよい。
【００４６】
＜センサープローブ＞  図１に示すように、センサープローブＳは、好適に、ハウジング１１の底板１３の前側端部に固定され、ハウジング１１と一体となって移動する。
【００４７】
＜テープ供給ユニット＞  テープ供給ユニット３０は、矢印Ｙの方向に往復移動可能にリニアスライド機構６０を介してハウジング１１の底板１３の上面に取り付けられる。テープ供給ユニット３０の前側部分３０´には、図２に示すように二本の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂを矢印Ｘ１、Ｘ２の方向に走行できるように、研磨テープのテープロールを装着する二つのリールと、研磨テープを巻き取る二つのリールがそれぞれ並列（図７、８、１０）又は直列（図１１、１２、１３）に取り付けられている。
【００４８】
＜並列配置型テープ供給ユニット＞  図７、図８及び図１０に並列配置型テープ供給ユニット４０を示す。（このユニット４０は、上記の符号３０で示すテープ供給ユニットとして使用されるものである。）
【００４９】
並列配置型テープ供給ユニット４０は、リニアスライド機構６０のスライドの取付面に固定される底板４２と、この底板４２の前側端にパネルＰの表面と垂直に固定された平面凹字形の前側板４１とからなる側面略Ｌ字形の移動台４３を有する。この前側板４１はパネルＰと垂直な垂直面を有し、前側板４１の両側部分（図面に向かって右側と左側の凸部分）の垂直面に、第一の研磨テープ３３Ａからなる第一のテープロールを取り付ける第一の供給リール３１Ａと、この第一のテープロールの第一の研磨テープ３３Ａを巻き取る第一の巻取リール３２Ａとが取り付けられる。また、前側板４１の中央部分の垂直面に、第二の研磨テープ３３Ｂからなる第二のテープロールを取り付ける第二の供給リール３１Ｂと、第二のテープロールの第二の研磨テープ３３Ｂを巻き取る第二の巻取リール３２Ｂとが取り付けられて、図示のように、第一の供給リール３１Ａ、第二の供給リール３１Ｂ、第二の巻取リール３２Ｂ及び第一の巻取リール３２Ａが前側板４１の垂直面に並列配置される。第一と第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂは図８に示すように平行に配列され、これらリール３１Ａ、３１Ｂ、３２Ａ、３２Ｂは、前側板４１の背面に配置したモータＭ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４にそれぞれ連結され、これらリール３１Ａ、３１Ｂ、３２Ａ、３２Ｂを個別に回転させることができ、第一と第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂを矢印Ｘ１又はＸ２で示す方向に適宜に走行させることができる。
【００５０】
＜ガイドローラ＞  第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂは、それぞれ、図７、８、１０に示すように、ガイドローラＧ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４、Ｇ５、Ｇ６の外面上に接触しながら走行するが、ヘッド部材Ｈに対する第一又は第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂの位置ズレを防止するため、各ガイドローラＧ１〜Ｇ６には、図９に示すように、ガイド溝Ｇ´が形成されている。これらガイド溝Ｇ´の幅は、それぞれ、第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂと実質的に同じ幅にある。（なお、図９には、代表的にガイドローラＧ１の側面図が示されているが、他のガイドローラＧ２〜Ｇ６も、図示のガイドローラＧ１と同じ形状である。）
【００５１】
図示の例では、第一及び第二の供給リール３１Ａ，３１Ｂを同じ側（図面に向かって左側）に配置しているが、これら供給リール３１Ａ，３１Ｂを別々の側に配置してもよい。例えば、第一の供給リール３１Ａを図面に向かって左側に配置し、第二の供給リール３１Ｂを図面に向かって右側に配置し、第一と第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂを巻き取る方向を正反対にしてもよい。この場合、これら研磨テープ３３Ａ、３３Ｂとして、それぞれ同じタイプ（粗研磨用又は仕上げ研磨用）のものを用い、第一の研磨テープ３３Ａを第一の方向（図３に矢印Ｘ１で示す方向）に巻き取って（すなわち、走行させて）パネルＰの表面の突起Ｑを研磨した後に、第二の研磨テープ３３Ｂを第一の方向と逆の第二の方向（図３に矢印Ｘ２で示す方向）に巻き取って（すなわち、走行させて）、上記の突起Ｑを再研磨することができる。
【００５２】
また、図示の例では、第一及び第二の供給リール３１Ａ、３１Ｂは、それぞれ、テープ供給ユニット４０の前側板４１の背面側に配置したモータＭ１、Ｍ２に連結されているが、これら供給リール３１Ａ、３１Ｂは、モータＭ１、Ｍ２に連結させずに、回転フリーの状態となるように、テープ供給ユニット４０の前側板４１に取り付けてもよい。この場合、研磨装置１０の研磨動作中、ヘッド部材Ｈで第一又は第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂを押し下げているとき、第一又は第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂは第一又は第二の供給リール３１Ａ、３１Ｂから引き出される。そして、パネルＰの表面の突起Ｑを研磨した後、第一又は第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂは、上昇するヘッド部材Ｈに接触しながら第一又は第二の巻取リール３２Ａ、３２Ｂに巻き取られる。（すなわち、第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂは、矢印Ｘ１の方向にのみ送り出され、巻き取られる。）
【００５３】
＜直列配置型テープ供給ユニット＞  図１１、図１２及び図１３に、直列配置型テープ供給ユニット５０を示す。（このユニット５０は、上記の符号３０で示すテープ供給ユニットとして使用されるものである。）
【００５４】
直列配置型のユニット５０は、パネルＰの表面と垂直な垂直面を有する前側板５１と、ハウジング１１の底板１３の上面に設けたリニアスライド機構６０のスライド６６の取付面に固定される底板５２とからなる側面略Ｌ字形の移動台５３を有する。
【００５５】
前側板５１の垂直面に、第一の研磨テープ３３Ａからなる第一のテープロールを取り付ける第一の供給リール３１Ａと、第二の研磨テープ３３Ｂからなる第二のテープロールを取り付ける第二の供給リールと３１Ｂが、前側板５１と補助板５４´、５５´、５６´との間に、前側板５１の背面に取り付けた第一のモータＭ５の軸と同軸に直列に取り付けられる。
【００５６】
また、前側板５１の垂直面に、第一のテープロールの第一の研磨テープ３３Ａを巻き取る第一の巻取リール３２Ａと、第二のテープロールの第二の研磨テープ３３Ｂを巻き取る第二の巻取リール３２Ｂとが、前側板５１と補助板５４、５５、５６との間に、前側板５１の背面に取り付けた第二のモータＭ６の軸５８と同軸に直列に取り付けられて、第一の供給リール３１Ａと第二の供給リール３１Ｂ、及び第一の巻取リール３２Ａと第二の巻取リール３２Ｂがそれぞれ前側板５１の垂直面に直列配置される。
【００５７】
第一の供給リール３１Ａと第二の供給リール３１Ｂは、それぞれ、クラッチ機構を介して第一のモータＭ５の軸に連結され、第一の巻取リール３２Ａと第二の巻取リール３２Ｂは、それぞれ、クラッチ機構７０、７０´を介して第二のモータＭ６の軸５８に連結される。（第一の供給リール３１Ａと第二の供給リール３１Ｂを直列に連結するクラッチ機構は、符号７０、７０´で示すものと同じものである。）
【００５８】
各リール３１Ａ、３１Ｂ、３２Ａ、３２ＢへのモータＭ５、Ｍ６の動力の伝達は各クラッチ機構によって個別に制御できる。すなわち、これらクラッチ機構により、各リールを個別に回転させることができ、第一と第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂを矢印Ｘ１又はＸ２で示す方向に適宜に走行させることができる。
【００５９】
＜クラッチ機構＞  このようなクラッチ機構として、電磁クラッチ、流体クラッチなどの既知のクラッチ機構を用いることができ、電気的にクラッチの作動を制御できる電磁クラッチが好適である。
【００６０】
図１４に、上記のクラッチ機構として用いられる電磁クラッチを例示し、電磁クラッチによるモータの動力の伝達の制御について簡単に説明する。（ここで、代表的に、図１４に符号７０で示すクラッチ機構に電磁クラッチを用いた場合について説明するが、各リールの回転を制御するための電磁クラッチ（符号７０´で示すクラッチ機構など）も、ここで簡単に説明する電磁クラッチ７０と同様の構成である。）
【００６１】
電磁クラッチ７０は、図示のように、内部にコイル７２を形成した中空円筒形のフィールドコア７１を有する。このフィールドコア７１は、テープ供給ユニット５０の前側板５１に固定され、コイル７２は、外部電源に接続されており、外部電源のスイッチのオン・オフにより、コイル７２への電流が印加され、カットされる。
【００６２】
中空円筒形のフィールドコア７１の中空部分にはモータＭ６の軸５８が貫通している。このモータＭ６の軸５８には、図示のように、断面略コ字形のロータ７３が固定されており、このロータ７３は、モータの軸５８と一体的に回転する。
【００６３】
リール３２Ｂは、補助板５５に固定した中空円筒形の支持筒７９の外周面に回転可能に支持されている。モータの軸５８は、この支持筒７９の中空部分を貫通している。
【００６４】
リール３２ＢのモータＭ６の側には、図示のように、外歯７５´を有する中空円筒形の歯車７５が固定されており、この外歯歯車７５も、支持筒７９の外周面にリール３２Ｂと一体的に回転可能に支持されている。
【００６５】
この外歯歯車７５の外歯７５´に係合する内歯７４´を有する断面略コ字形の中空円筒形のアーマチュア７４が、図示のように、スプリング７６を介して外歯歯車７５に連結されている。このアーマチュア７４の内歯７４´は、リール３２Ｂに固定した外歯歯車７５の外歯７５´にモータの軸５８の方向にスライド可能に係合する。そして、アーマチュア７４は、スプリング７６のスプリング力によって常にリール３２Ｂに固定した外歯歯車７５の側に引き寄せられている。
【００６６】
アーマチュア７４とロータ７３と間には僅かな隙間が形成されており、コイル７２に通電すると、アーマチュア７４がスプリング力に抗してロータ７３の側に吸引されて、アーマチュア７４のモータＭ６の側の外周面に形成されている噛合い歯７８が、ロータ７３のリール３２Ｂの側の外周面に形成されている噛合い歯７７に噛合って、ロータ７３と一緒にアーマチュア７４が回転し、アーマチュア７４の内歯７４´に係合している外歯歯車７５を固定しているリール３２Ｂが回転する。コイル７２への通電をカットすると、スプリング力によりアーマチュア７４とロータ７３との噛合いが解除され、リール３２Ｂの回転が停止する。
【００６７】
＜ガイドローラ＞  直列配置型テープ供給ユニット５０において、第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂは、それぞれ、図１１、１２に示すように、ガイドローラＧ７、Ｇ８、Ｇ９、Ｇ１０の外面上に接触しながら走行するが、ヘッド部材Ｈに対する第一又は第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂの位置ズレを防止するため、上記の並列配置型のユニット４０と同様に、各ガイドローラＧ７〜Ｇ１０には、図９に示すガイドローラＧ１と同様に、ガイド溝Ｇ´が形成されている。これらガイド溝Ｇ´の幅は、それぞれ、第一及び第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂと実質的に同じ幅にある。
【００６８】
図示の例では、第一及び第二の供給リール３１Ａ、３１Ｂを同じ側（図面に向かって左側）に直列配置しているが、これら供給リール３１Ａ、３１Ｂを別々の側に配置してもよい。例えば、第一の供給リール３１Ａを図面に向かって左側に配置し、第二の供給リール３１Ｂを図面に向かって右側に配置し、第一と第二の研磨テープ３３Ａ、３３Ｂを巻き取る方向を正反対にしてもよい。この場合、これら研磨テープ３３Ａ、３３Ｂとして、それぞれ同じタイプ（粗研磨用又は仕上げ研磨用）のものを用い、第一の研磨テープ３３Ａを第一の方向（図３に矢印Ｘ１で示す方向）に巻き取って（すなわち、走行させて）パネルＰの表面の突起Ｑを研磨した後に、第二の研磨テープ３３Ｂを第一の方向と逆の第二の方向（図３に矢印Ｘ２で示す方向）に巻き取って（すなわち、走行させて）、上記の突起Ｑを再研磨できる。
【００６９】
また、図示の例では、第一及び第二の供給リール３１Ａ、３１Ｂと第一及び第二の巻取リール３２Ａ、３２Ｂが、それぞれ、クラッチ機構７０、７０´に連結されているが、供給リール３１Ａ、３１Ｂ又は巻取リール３２Ａ、３２Ｂのいずれか一方のリールにクラッチ機構を設けてもよい。例えば、第一及び第二の巻取リール３２Ａ、３２Ｂをクラッチ機構７０、７０´で直列に連結し、第一及び第二の供給リール３１Ａ、３１Ｂをテープ供給ユニット５０の前側板５１に回転フリーに直列又は上記の並列配置型テープ供給ユニット４０のように凹凸面を有する前側板を使用して並列的に取り付けてもよい。また、この場合、第一及び第二の供給リール３１Ａ、３１Ｂは、上記の並列配置型テープ供給ユニット４０のように、テープ供給ユニット５０の前側板５１に上記のように並列的に取り付け、凹凸面を有する前側板の背面側に配置したモータに連結してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】図１Ａは、本発明の研磨装置の部分破断側面図である。図１Ｂは、図１Ａの研磨装置の正面図である。
【図２】図２Ａ及び図２Ｂは、本発明の研磨装置の部分平面図であり、それぞれ、本発明に従って、パネルの表面の突起上に位置決めしたヘッド部材の真下に第一又は第二の研磨テープを位置決めするところを示す。
【図３】図３Ａ〜Ｃは、それぞれ、本発明の研磨装置の部分側面図であり、本発明に従って、パネルの表面の突起を研磨するところを示す。
【図４】図４Ａは、本発明の研磨装置の研磨ヘッドの側面図であり、図４Ｂは、本発明の研磨装置の研磨ヘッドの変形例の側面図である。
【図５】図５Ａ及び図５Ｂは、それぞれ、本発明の研磨装置に用いられるヘッド部材の先端部分の斜視図である。
【図６】図６Ａは、本発明の研磨装置に用いられるリニアスライド機構の側面図であり、図６Ｂは、図６Ａの平面図であり、図６Ｃは、図６Ｂの６−６線断面図である。
【図７】図７は、並列配置型のテープ供給ユニットを備えた本発明の研磨装置の正面図である。
【図８】図８は、図７の本発明の研磨装置の部分破断平面図である。
【図９】図９は、ガイドローラの側面図である。
【図１０】図１０は、図７の本発明の研磨層の部分破断側面図である。
【図１１】図１１は、直列配置型のテープ供給ユニットを備えた本発明の研磨装置の正面図である。
【図１２】図１２は、図１１の本発明の研磨装置の部分破断平面図である。
【図１３】図１３は、図１１の本発明の研磨装置の部分破断側面図である。
【図１４】図１４は、図１１の本発明の研磨装置に用いられる電磁クラッチの断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１０・・・研磨装置
１１・・・ハウジング
１２・・・天板
１３・・・底板
１４・・・開口
２０・・・研磨ヘッド
２１・・・支持部材
２２・・・前側板
２３・・・底板
２４・・・移動台
Ｈ・・・ヘッド部材
Ｈ´・・・先端部分
Ｈ１、Ｈ２・・・ヘッド位置
３０・・・テープ供給ユニット
３０´・・・前側部分
３１Ａ・・・第一の供給リール
３１Ｂ・・・第二の供給リール
３２Ａ・・・第一の巻取リール
３２Ｂ・・・第二の巻取リール
３３Ａ・・・第一の研磨テープ
３３Ｂ・・・第二の研磨テープ
４０・・・並列配置型テープ供給ユニット
４１・・・前側板
４２・・・底板
４３・・・移動台
Ｍ１〜Ｍ４・・・モータ
Ｇ１〜Ｇ６・・・ガイドローラ
Ｇ´・・・溝
５０・・・直列配置型テープ供給ユニット
５１・・・前側板
５２・・・底板
５３・・・移動台
５４、５５、５６、５４´、５５´、５６´・・・補助板
Ｍ５、Ｍ６・・・モータ
Ｇ７〜Ｇ１０・・・ガイドローラ
６０、６０´・・・リニアスライド機構
６１・・・平板
６２・・・モータ
６３・・・ネジ
６４、６５・・・レール
６６、６６´・・・スライド
６７・・・取付面
７０・・・クラッチ機構
７１・・・フィールドコア
７２・・・コイル
７３・・・ロータ
７４・・・アーマチュア
７４´・・・内歯
７５・・・外歯歯車
７５´・・・外歯
７６・・・スプリング
７７、７８・・・噛合い歯
７９・・・支持筒
Ｐ・・・パネル
Ｑ・・・突起
Ｓ・・・センサープローブ
Ｘ、Ｘ１、Ｘ２・・・テープの走行（送り、巻取り）方向
Ｙ・・・移動方向
Ｚ、Ｚ１、Ｚ２・・・垂直移動方向
【図１】
2007290092.tif 000003
【図２】
2007290092.tif 000004
【図３】
2007290092.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2007290092.tif 000008
【図７】
2007290092.tif 000009
【図８】
2007290092.tif 000010
【図９】
2007290092.tif 000011
【図１０】
2007290092.tif 000012
【図１１】
2007290092.tif 000013
【図１２】
2007290092.tif 000014
【図１３】
2007290092.tif 000015
【図１４】
2007290092.tif 000016