(57)【要約】【課題】  作業者が片手で反射鏡の所定の取付位置に露光装置用光源ランプを取り付けることができる露光装置用光源ランプと、その露光装置用光源ランプの交換可能な露光装置を提供する。【解決手段】  露光装置用光源ランプの両端にそれぞれ電極先端部を設ける。一方の電極先端部に、片手で把持するための把持部材を着脱可能に設ける。把持部材は、金属製で剛性のあるリング形状の部材である。前述の露光装置用光源ランプを交換可能に取りつける露光装置には、反射鏡と、その反射鏡を配置する枠体と、枠体に配置された反射鏡の下方の取付部材に露光装置用光源ランプの下方の電極先端部を取り付ける際に作業者の片手を支えるためのテーブルを設けるのが好ましい。一方の片手をテーブルに置いて支えながら、他方の片手で把持部材を把持して、所定の取付位置に露光装置用光源ランプを取り付ける。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光装置用光源ランプの両端に電極先端部が形成されていて、一方の電極先端部が反射鏡の底部を貫通して取付部材に着脱可能に取りつけられる構成にし、かつ、片手で把持するための把持部材が、他方の電極先端部にその他方の電極先端部とは別体の形で設けられていることを特徴とする露光装置用光源ランプ。
【請求項２】
把持部材が金属製でかつ剛性のある部材であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置用光源ランプ。
【請求項３】
把持部材がリング形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置用光源ランプ。
【請求項４】
把持部材がネジ構造体によって他方の電極先端部に取りつけられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の露光装置用光源ランプ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の露光装置用光源ランプを交換可能に取りつける露光装置であって、反射鏡と、その反射鏡を配置する枠体と、枠体に配置された反射鏡の底部を貫通して露光装置用光源ランプを取り付ける取付部材と、取付け作業の際に作業者の一方の片手を支えるためのテーブルとを有し、一方の片手をテーブルに置いて支えながら、他方の片手で把持部材を把持して、露光装置用光源ランプを取り付ける構成にしたことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置用光源ランプおよび露光装置用光源ランプの交換可能な露光装置に関する。例えば、本発明は、液晶表示用パネルなどの大型基板用露光装置への適用が最適の光源ランプと、その光源ランプの交換のときに使用するテーブルを有する露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、大型基板用露光装置、例えば液晶表示用パネルなどの大型基板用露光装置においては、大型の反射鏡や大型の超高圧水銀灯が、光源ランプとして用いられている。（特許文献１〜７参照）
このような大型基板用露光装置においては、照明用光源ランプの交換をするとき、光源ランプが反射鏡に接触しないように注意しながら、ランプ本体の電極そのものを保持していた。
【０００３】
また、大型の反射鏡を分割する形に構成して、反射鏡への光源ランプの接触を回避しやすいようにして、露光装置用光源ランプを取り付けるようにしていた。
【特許文献１】実開昭６３−９９６０１号公報
【特許文献２】実開平２−４２３１１号公報
【特許文献３】実開平３−２２３１１号公報
【特許文献４】実開平６−７０２２９号公報
【特許文献５】特開平６−２５００６０号公報
【特許文献６】特開平７−１８２９１５号公報
【特許文献７】特開平９−１０２４５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の装置では、反射鏡が大型であると、依然として、反射鏡の所定の取付位置にうまく光源ランプを装着して取りつけことが困難であった。
【０００５】
また、大型の反射鏡を分割して光源ランプを装着する形にした従来の装置の場合、反射鏡を組み立てる工程を追加的に必要とするため、効率よく作業を行うことができなかった。
【０００６】
そこで、本発明は、作業者が片手で反射鏡の所定の取付位置に露光装置用光源ランプを容易に取り付けることができる露光装置用光源ランプおよび露光装置用光源ランプの交換可能な露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決手段を例示すると、次の通りである。
【０００８】
（１）露光装置用光源ランプの両端に電極先端部が形成されていて、一方の電極先端部が反射鏡の底部を貫通して取付部材に着脱可能に取りつけられる構成にし、かつ、片手で把持するための把持部材が、他方の電極先端部にその他方の電極先端部とは別体の形で設けられていることを特徴とする露光装置用光源ランプ。
【０００９】
（２）把持部材が金属製でかつ剛性のある部材であることを特徴とする前述の露光装置用光源ランプ。
【００１０】
（３）把持部材がリング形状であることを特徴とする前述の露光装置用光源ランプ。
【００１１】
（４）把持部材がネジ構造体によって他方の電極先端部に取りつけられていることを特徴とする前述の露光装置用光源ランプ。
【００１２】
（５）前述の露光装置用光源ランプを交換可能に取りつける露光装置であって、反射鏡と、その反射鏡を配置する枠体と、枠体に配置された反射鏡の底部を貫通して露光装置用光源ランプを取り付ける取付け部材と、取付作業の際に、作業者の一方の片手を支えるためのテーブルとを有し、一方の片手をテーブルに置いて支えながら、他方の片手で把持部材を把持して、露光装置用光源ランプを取り付ける構成にしたことを特徴とする露光装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、反射鏡や光源ランプの大きさに左右されることなく、つまり、大型の反射鏡であっても、所定の取付位置にうまく光源ランプを取りつけることができる。
【００１４】
反射鏡が大型のものであっても、反射鏡を分割する必要がなく、効率よく作業を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明によれば、露光装置用光源ランプは、その両端にそれぞれ電極先端部を有する。そして、一方の電極先端部は、従来のように反射鏡の底部の貫通穴を通って反射鏡の下方に位置する取付部材に着脱可能に取りつけられる。他方の電極先端部には、ネジ構造体その他の係止手段を介して、片手で把持するための把持部材が着脱可能に取りつけられている。この把持部材は、電極先端部とは別体の形で設けられるのが好ましい。
【００１６】
把持部材が金属製でかつ剛性のある部材、たとえばスチール部材であることが好ましい。
【００１７】
把持部材は、片手で把持しやすいリング形状であることが好ましいが、確実に把持できる形状であれば、リング形状に限定されない。
【００１８】
前述の露光装置用光源ランプを交換可能に取りつける露光装置には、反射鏡と、その反射鏡を配置する枠体と、枠体に配置された反射鏡の下方の取付部材と、その取付部材に露光装置用光源ランプの下方の電極先端部を取り付ける際に、作業者の片手を支えるためのテーブルを設けるのが好ましい。一方の片手をテーブルに置いて支えながら、他方の片手で把持部材を把持して、所定の取付位置に露光装置用光源ランプを取り付ける。
【実施例】
【００１９】
図１〜５は、本発明の最良の実施例の一つを示す。
【００２０】
図３に示すように、露光装置用の光源ランプ１は、その両端にそれぞれ電極先端部２，３を有する。一方の電極先端部２は、従来と同様に反射鏡７の貫通穴（図示せず）を通って取付部材（図示せず）に取りつける構成にする。他方の電極先端部３は別体の形で把持部材４を取りつけるようにする。
【００２１】
図４に示すように、電極先端部３にはネジ構造体６を介して把持部材４が装着できるようになっている。
【００２２】
作業者１１は、図１〜２に示すように、把持部材４のリング形状部分５を片手１１ａで把持することによって、光源ランプ１を片手１１ａで保持することができる。
【００２３】
図４に示すように、ネジ構造体６は、電極先端部３の端面に固定されたオネジ部６ａと、それにネジ係合するメネジ部６ｂとを有する。メネジ部６ｂは、好ましくはローレットネジにして、把持部材４のドーナツ状の固定部５ａを電極先端部３の端面とメネジ部６ｂとの間で挟んだ状態で、メネジ部６ｂをオネジ部６ａにネジ込むことにより、把持部材４の固定部５ａを電極先端部３に着脱可能に固定して取りつける。
【００２４】
メネジ部６ｂを反対方向に回わせば、メネジ部６ｂはオネジ部６ａから取り外される。そして、電極先端部３の端面から把持部４の固定部５ａを取り外すことができる。
【００２５】
図１〜２に示すように、露光装置は、楕円形状の反射鏡７を有する。反射鏡７の底部７ａは、光源ランプ１の電極先端部２を通すための貫通穴（図示せず）を有する。その底部７ａが下方になるように、反射鏡７が枠体８に固定されている。さらに詳しく言えば、枠体８の一部には、反射鏡７の傘部７ｂと係合するように開口８ａが形成された板状部材８ｂが設けられている。とくに、反射鏡７の傘部７ｂが板状部材８ｂの開口８ａにすっぽりと収納されるように配置されている。
【００２６】
図１〜２に示すように、小型のテーブル９が枠体８の板状部材８ｂに取り外し可能に配置されている。
【００２７】
図５に示すように、テーブル９は、板状部材８ｂの開口８ａの直径とほぼ同じ長さを有している。２本の同一形状の棒状部材９ａを平行に配置し、それらの棒状部材９ａの途中に長方形の板状部材９ｂを固定して、テーブル９の軽量化を図っている。各棒状部材９ａの両端には、下向きに延びるように支持部材９ｃが合計４個固定されている。これらの支持部材９ｃは高さ調整可能となっている。
【００２８】
光源ランプ１の交換の際に、必要に応じて、テーブル９を図１〜２に示すように露光装置の枠体８の板状部材８ａの上に置く。さらに、ステップ（台座）１０を作業場の床に置き、作業者１１がステップ１０に乗り、小型のテーブル９に一方の片手１１ｂをおいて自分の体重と光源ランプ１の重さを支えながら、他方の片手１１ａで把持部材４を把持し、反射鏡７の取付位置に光源ランプ１を取り付ける。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の最良の実施例による露光装置用光源ランプと、その露光装置用光源ランプを交換可能に取りつける露光装置と、交換作業の状況を示す概略斜視図。
【図２】図１に示した露光装置用光源ランプと、その露光装置用光源ランプの交換可能な露光装置と、交換作業の状況を示す概略側面図。
【図３】図１に示した光源ランプを示す斜視図。
【図４】図３に示した光源ランプを一部断面で示す拡大図。
【図５】図１〜２に示したテーブルを示す斜視図。
【符号の説明】
【００３０】
１  光源ランプ
２、３  電極先端部
４  把持部材
５  リング形状部分
６ａ、６ｂ  片手
７  反射鏡
７ａ  底部
７ｂ  傘部
８  枠体
８ａ  開口
８ｂ  板状部材
１０  ステップ（台座）
１１  作業者
１１ａ、１１ｂ  片手
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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