(57)【要約】  【課題】  不活性ガスによる移載室のパージが自動的になされるようにする  【解決手段】 基板の処理を行う際に前記基板の処理を行う処理室に連接される移載室（Ｎ2パージ室102）を不活性ガスでパージするように制御する制御手段（装置コントローラ321）を備えた基板処理装置において、前記制御手段は、前記移載室に供給する不活性ガスの流量や流す時間をパラメータに含む複数のレシピを有し、前記複数のレシピを実行して前記移載室をパージするためのレシピを選択する。  【選択図】      図３
2007048848.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を行う際に前記基板の処理を行う処理室に連接される移載室を不活性ガスでパージするように制御する制御手段を備えた基板処理装置において、前記制御手段は、前記移載室に供給する不活性ガスの流量や流す時間をパラメータに含む複数のレシピを有し、前記複数のレシピから前記移載室をパージするためのレシピを選択することを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板処理装置に関するものであり、詳細には、パージ性能チェック機能を備えた基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板処理装置には装置コントローラが備えられ、処理室内の流量、圧力、温度をレシピに基づいて制御し、処理室に連接されている移載室（以下、N2パージ室ともいう）の雰囲気をN2ガスによってパージすることによってウエハの自然酸化を防止している。
Ｎ2パージは、ボートへのウエハの移載中、ボートの処理室へのロード中、処理室からのボートのアンロード中、ボートからウエハキャリアへのウエハ回収中等、基板処理装置の筐体内でのウエハの移載の際等に実施される。
Ｎ2パージの際のＮ2ガスの流量、供給時間は、どの装置でも一定条件となっていたため、装置毎の機差により、設定時間よりも早く所定のO2濃度に達する装置もあれば、設定時間になっても所定のO2濃度に達しない装置もあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
装置毎の機差により、設定時間より早く所定のO2濃度に達する装置では、無駄にN2ガスを浪費してしまいN2消費量の低減が要求され、設定時間になっても所定のO2濃度に達しない装置では、自然酸化膜の付着が問題となる恐れがあった。
そこで、本発明では、装置毎の機差に対応し且つユーザの要求するN2ガス消費量、N2パージの終了時間に対応するため、複数のパターンのパージ性能テストを自動的に行い、その装置に適したパターンを選択できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１の手段は、基板の処理を行う際に前記基板の処理を行う処理室に連接される移載室を不活性ガスでパージするように制御する制御手段を備えた基板処理装置において、前記制御手段は、前記移載室に供給する不活性ガスの流量や流す時間をパラメータに含む複数のレシピを有し、前記複数のレシピから前記移載室をパージするためのレシピを選択する基板処理装置を提供するものである。
このようにすると、制御手段が、不活性ガスの流量や流す時間（供給時間）をパラメータに含む複数のレシピを自動的に実行することができるので、前記複数のレシピから移載室をパージする最適なレシピを選択することができる。このため、装置作業者（ユーザ等）は、基板処理装置のパージ性能をチェックしている間に別の作業が行える。
【０００５】
第２の手段は、基板の処理を行う際に前記基板の処理を行う処理室に連接される移載室を不活性ガスでパージするようにした基板処理装置のパージ方法において、前記移載室に供給する不活性ガスの流量や流す時間をパラメータに含む複数のレシピから前記移載室をパージするためのレシピを選択する基板処理装置のパージ方法を提供するものである。
【０００６】
不活性ガスの流量や流す時間（供給時間）をパラメータに含む複数のレシピを実行することができるので、前記複数のレシピから移載室をパージするための最適なレシピを選択することができる。この間、装置作業者は、基板処理装置のパージ性能をチェックするための煩わしい作業から開放される。
【発明の効果】
【０００７】
以上、説明したことから明らかなように、制御手段が移載室に供給する不活性ガスの流量や流す時間をパラメータに含む複数のレシピを実行して前記移載室をパージするためのレシピを選択するので、装置の機差に関係なくユーザの要求する仕様に対応した最適なパージ制御用のレシピを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照して本発明の一実施形態に係る基板処理装置の構成を説明する。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に拡散処理やＣＶＤ処理などを行う縦型の装置（以下、単に、処理装置という）を適用した場合について述べる。
【０００９】
図１は基板処理装置の正面図、図２は図１の側面図である。
処理装置の筐体101の前面には、シリコン等からなるウエハ（基板）200を収容したポッド（基板収容容器）100を、外部から筐体101内に挿入するため及びその逆に筐体101内から外部に払い出すためのI／Oステージ（保持具授受部材）105が付設され、筐体101には、これに挿入されたポッド100を保管するためのカセット棚（載置手段）109が敷設される。
また、ウエハ200の搬送エリアであり、後述のボート（基板保持手段）217のローディング、アンローディング空間となる移載室としてＮ2パージ室（気密室）102が設けられる。
ウエハ200に処理を行うときのＮ2パージ室102の内部は、ウエハ200の自然酸化を防止するため、Ｎ2パージ室102の内部にＮ2等の不活性ガスが充満されるように密閉容器となっている。
前記ポッド100としては、現在、FOURというタイプが主流で使用されており、ポッド100の一側面に設けられた開口部を蓋体（図示せず）で塞ぐことによってウエハ200を大気から隔離して搬送し、蓋体を取り去ることでポッド100内へのウエハ200を入出することができようになっている。
ポッド100の蓋体を取り外し、ポッド100内の雰囲気とＮ2パージ室102内の雰囲気とを連通させるためポッドオープナ108が設けられており、前記N2パージ室102の上部にはウエハ200を処理するための処理室202が設けられている。ボート217はボートエレベータ（昇降手段）115によって処理室202にローディング、アンローディングすることができるようになっている。
【００１０】
前記処理装置の動作について説明すると、まず、AGVやOHT等により筐体101の外部から搬送されてきたポッド100は、I／Oステージ105に載置される。
I／Oステージ105に載置されたこのポッド100は、カセット移載機114によって、直接、ポッドオープナ108上に搬送されるか、又は、一旦カセット棚109上にストックされた後にポッドオープナ108によって蓋体を取り外され、N2パージ室102内に連通される。
【００１１】
次に、ウエハ移載機112によって、N2パージ室102の雰囲気と連通した状態のポッド100内からウエハ200が取り出される。取り出されたウエハ200は、基板位置合わせ装置106によって任意の位置にノッチが定まるように位置合わせが行われ、位置合わせの後、ボート217に搬送される。
【００１２】
ボート217へのウエハ200の搬送が完了したならば、処理室202の炉口シャッタ116を開けて、ウエハ200を搭載したボート217をボートエレベータ115によって処理室202にローディングする。
ボートエレベータ115によるウエハ200のローディング後は、処理室202によりウエハ200に任意の処理が実施され、処理後は上述の逆の手順で、ウエハ200及びポッド100が筐体101の外部へと払い出される。
【００１３】
次に、前記基板処理装置に備えられたＮ2パージ系について説明する。
図３（Ａ）は前記ウエハ200の自然酸化を防止するためのＮ2パージ系及び排気系の構成を示す解説図である。
前記Ｎ2パージ系は、配管から成る２本のパージガス供給管300，301と、バルブ類とで構成されている。
パージガス供給管300，301の下流部はそれぞれ２本の分岐管に分岐されていて、分岐管がＮ2パージ室102に連通している。
一方のパージガス供給管300の分岐管は、前記処理室202のＮ2シャワーのため処理室202の炉口付近に開口し、他方のパージガス供給管301の分岐管は、ウエハクーリングのためＮ2パージ室102の中位に臨んで開口している。
そして、一方のパージガス供給管300，301の分岐管はそれぞれバルブNS1，WC1によって開閉し、他方のパージガス供給管301はそれぞれバルブLA1，LA2によって開閉する構造となっている。
また、一方のパージガス供給管300の上流部及び他方のパージガス供給管301の上流部にはそれぞれマスフローコントローラN2MFCが設けられ、図示しないマスフローメータの計測値に基づいて流量をフィードバック制御するようになっている。
【００１４】
ボートアンロード時に、前記処理室202の炉口部近傍に不活性ガスとして、例えば、Ｎ2ガスを流すＮ2シャワーを実施するとウエハ200表面での酸化が防止され、自然酸化膜の形成が抑制される。また、ウエハ200のクーリングを実施すると、ウエハ200の表面温度の低下が促進され、ウエハ200の回収時間が短縮される。
【００１５】
一方のポッド100aには、排気管302、吸気管304及び酸素濃度検出管315が連通し、他方のポッド100bには、排気管303、吸気管305及び酸素濃度検出管316が連通しており、N2パージ室102を形成する筐体101の区画壁101aの上部内及び底部内にそれぞれ吸気管311，314が連通している。
また、ポッド100a内，100b内に連通する排気管302，303は、前記Ｎ2パージ室102に連通する吸気管314に合流され、また、前記ポッド100a，100bに連通する吸気管304，305同士はその上流側で一本に合流している。
酸素濃度検出管315は、バルブOV2を介して酸素濃度検出管316に合流された後、さらに、バルブOV1を介して吸気管314に合流されている。
また、Ｎ2パージ室102を形成する筐体101の底部に連通する吸気管311はインテークダンパDV1によって開閉する構造となっており、Ｎ2パージ室102の上部内と前記吸気管314とを連通する酸素濃度検出管312はインテークダンパDV2によって開閉する構造となっている。
【００１６】
N2パージは、前記ポッド100から前記ボート217へのウエハの移載中、ボート217の処理室202へのロード中、処理室202からのアンロード中、ボート217からポッド100へのウエハ200の回収中、または、基板処理装置のアイドル時等に実施される。
【００１７】
ポッド100a，100bから前記ボート217に前記ウエハ200を移載する場合、又はその逆の場合は、バルブOV1，OV2，OV3を開、他の排気弁EV1，EV2、バルブPV1，PV2及びインテークダンパDV1，DV2を閉、パージガス供給管300，301のバルブNS1，WC1、バルブLA1，LA2は、ウエハ200の表面に自然酸化が生じない程度に適宜開閉し、ボート217を処理炉202にロードする場合は、バルブOV1，OV2，OV3を開、他の排気弁EV1，EV2、バルブPV1，PV2及びインテークダンパDV1，DV2を閉、一方のパージガス供給管300のバルブNS1，WC1を開とする。そして、いずれの場合でも、マスフローメータ及び酸素濃度検出管312，315，316中の酸素濃度計の検出値に基づいてマスフローコントローラN2MFCによりN2ガスの流量を制御することによってN2パージ室102のO2濃度を所定濃度、例えば、20ppm近傍に保持する。
【００１８】
このように、バルブOV1，OV2，OV3，PV1，PV2、排気弁EV1，EV2及びインテークダンパDV1，DV2の開閉の組み合わせを変えてN2ガスの流量、すなわち、供給量をマスフローメータ及び酸素濃度計の検出値に基づいて制御すると、N2パージ室102、ポッド100a，100b、処理炉202への大気導入やN2パージ室102、ポッド100a，100b、処理炉202からの雰囲気の排出が可能となる。なお、これらのパージ制御は、後述する装置コントローラが複数のレシピ及びコンフィグレーションファイルに基づいて実行する。なお、コンフィグレーションファイルについては、特開2003−158049号公報に「装置コンフィグレーション」として記載されており、本願では説明を省略する。
【００１９】
図３（Ｂ）は前記基板処理装置の装置コントローラの機能ブロック図である。なお、装置コントローラは、CPU、メモリ、ハードディス、I／O等で構成された周知のコンピュータからなり、パージ性能をテストするための複数のレシピの他、コンフィグレーションファイルを備えている。
図３（Ｂ）の機能ブロック図に示すように、装置コントローラ321には、操作部321ａと制御部321bとが備えられている。操作部321ａと制御部321bとは、LANによって相互に通信可能に接続されている。
操作部321aには、入力部に、キーボード323等のキー入力装置、マウス、タッチペンなど入力デバイス（図示せず）の他、表示手段としてのモニタ324やプリンタ（図示せず）が接続され、制御部321bには、前記パージガス供給管300，301のマスフローコントローラN2MFCが接続され、出力部に、前記したバルブ類、すなわち、バルブNS1、WC1、EV1，EV2、OV1，OV2，OV3、PV1，PV2及びインテークダンパDV1，DV2と、データの取り出し手段として、例えば、フレキシブルディスク装置325とが接続されている。
【００２０】
装置コントローラ321のメモリ、ハードディスク306等の固定記憶部には、データベース（図示せず）が構築され、起動時のコンフィグレーションファイルの他、パージ性能を自動的にテストするための複数のレシピが格納されている。なお、前記の各レシピ（プログラム）は、コンピュータのハードウエア資源を利用して各種メカニズムを制御するプログラムのことをいう。また、以下に、説明するボタンやセルは、制御部321bが実行するプログラムと関連付けられており、制御部321bは、指やタッチペン等の入力デバイスにより、ボタンやキーの押下を検知すると、対応するプログラムを動作するプログラム上のボタン、キーのことをいう。
【００２１】
図４はＮ2パージ室102等内のパージ性能をテストするための指標となるO2濃度と、N2パージ性能チェックの手順とを一図に表した解説図である。
本実施の形態に係るN2パージ性能チェックでは、ユーザの指定範囲（幅）内でＮ2ガスの流量、流す時間（供給時間）のパラメータを変更した複数のレシピを用い、ステップ時間(パージ性能チェック時間)内に、Ｎ2パージ室内等の酸素濃度が、終了O2濃度(ユーザの仕様値)に到達するかどうかによって合否を判定し、合格したレシピを実際のパージ制御に使用するレシピとして選択する。また、このパージ性能チェックでは、開始O2濃度から終了O2濃度までのＮ2パージ室102等内のO2濃度の変化をサンプリングしてデータベース化し、統計的に処理することで、装置毎の機差に対応する定量的なデータファイルを作成しているので、例えば、結果を制御部のコンフィグレーションファイル又はレシピにフィードバックすることも可能である。
以下の説明では、処理装置のメンテナンスや装置立上げの際のＮ2パージ性能チェックについて説明する。なお、図４において、縦軸はO2濃度（以下、Ｎ2パージ室等のO2濃度という）、横軸は時間を示している。
（1）1STEP
Ｎ2パージ室102内、処理炉202内及びポッド100内（以下、N2パージ室102内等という）の酸素濃度を所定の開始O2濃度に設定した後、N2パージ室102等内に不活性ガスとしてのN2ガスを供給し、Ｎ2パージ室102内等の酸素濃度が所定の終了O2濃度、例えば、20ppmに安定するまでのステップを１ステップとする
【００２２】
（2）実行待ち時間
実行待ち時間では、図3（Ａ）で説明した吸気管314を介してＮ2パージ室102に連通する酸素濃度検出管315、316の酸素濃度検出計（図示せず）により、Ｎ2パージ室102内、処理室202内及びポッドPOD1、POD2内（以下、N2パージ室内等という）の酸素濃度を検出する。
【００２３】
（3）ステップ時間
実行待ち時間が終了すると、Ｎ2ガスの供給を始める。
ステップ時間は、Ｎ2パージ性能チェックを実行するパージ性能チェック時間を定めるものである。また、このステップ時間では、Ｎ2パージ室102内等のO2濃度が、予め、決定された所定のサンプリング周期（サンプリング間隔）でサンプリングされ、O2濃度がトレースされる（トレース取得）。サンプリング周期（サンプリング間隔）の設定値は、例えば、１秒に設定されるが、目的とするトレース波形によって適宜調節されるものとする。
酸素濃度の変化に対するサンプリングは、Ｎ2パージ室102等内のO2濃度が目標とする終了O2濃度に到達した後、酸素濃度が安定するチェック終了安定待ち時間に到達するまで継続される。サンプリングしたデータは、Ｎ2パージ室102等内のパージ性能の分析データとしてファイル化され、前記データベースに格納される。また、この場合、Ｎ2ガスの供給は、ステップ時間が終了するまで行われる。
【００２４】
（4）エラーHOLD時間（エラーホールド時間）
エラーホールド時間は、前記基板処理装置の設備や容積等の相違、配管の圧損等による機差やその他の要因によって、（3）のステップ時間内にＮ2パージ室102内等の酸素濃度が終了O2濃度に到達しなかった場合に、Ｎ2パージ室102内等の酸素濃度が終了O2濃度に到達できる程度にＮ2パージの時間を延長する延長時間である。このエラーHOLD時間は経験的に求められる。このため、制御部321bは、エラーHOLD時間の間、エラー前と同じパージ条件でＮ2パージ室102内等へのN2ガスの供給を継続し、O2濃度のサンプリングを継続する。そして、得られたサンプリングデータを、機差分析用のデータとしてファイル化し、前記データベースに格納する。また、この場合、Ｎ2ガスの供給は、エラーHOLD時間が終了するまで行われる。
【００２５】
制御部321bは、このようなＮ2ガスの流量、供給時間のパラメータが異なる複数のレシピを用いて（1）〜（4）のパージ性能チェックを繰り返し、ステップ時間(パージ性能チェック時間)内に、Ｎ2パージ室内等の酸素濃度が終了O2濃度(ユーザ仕様)に到達するレシピを、実際のパージ制御に使用するレシピとして選択する。そして、それ以外のレシピをパージ制御に使用することができないレシピとし、その結果を表示部324に表示させる。
【００２６】
図９は図４の解説図で説明したパージ性能チェック手順に対応する装置コントローラ321のパージ性能チェック処理プログラムの一部を示している。
【００２７】
このパージ性能チェック処理プログラムがスタートすると、装置コントローラ321の制御部321bは、ステップS1に進んで、装置コントローラ321の記憶部からパージ性能テスト用のレシピを読み込んで実行する。
制御部321bは、まず、レシピ番号１のレシピに基づいてN2ガスの流量、N2ガスの供給時間等のパラメータを設定する。そして、図３（Ａ）で説明したように、インテークダンパDV2、DV2の少なくともいずれか一方を開、バルブPV１，PV2を閉、排気弁EV1，EV2開、バルブOV1，OV2を開として、Ｎ2パージ室102内等に大気を導入しながら酸素濃度検出管315，316内の酸素濃度計（図示せず）による酸素濃度の検出を開始し、続いて、ステップS２に進んで現在の酸素濃度O2が開始O2濃度O2set2以上かどうかを判定する。ステップS２の判定結果がYESでとなるまで大気の導入を継続する。
【００２８】
次に、制御部321bは、ステップS２の判定結果がYESとなり、ステップS３に進んで安定待ち時間X（例えば、３sec）の経過を待って安定時間Xを経過すると、Ｎ2ガスによるＮ2パージ性能チェックを開始する。この場合、制御部321bは、ステップS４に進んでＮ2パージ性能チェックにおけるサンプリングのタイマT1のカウントを開始し、続いて、ステップS５に進んで前記酸素濃度計による酸素濃度のサンプリングによる酸素濃度の変化を、予め決定されたサンプリング周期でトレースする。そして、ステップS６に進んで、現在のパージ性能チェックのチェック時間T１がパージ性能のチェック時間Tset1（図４のステップ時間）に合致するかどうかを判定する。このステップS６で、現在のパージ性能チェックのチェック時間Ｔ１がパージ性能のチェック時間Tset1（図４のステップ時間）と等しくない場合（NO）は、ステップS７に進んで、パージ性能チェック時間を積算し、合致した場合（YES）は、Ｎ2パージ性能チェックを終了する。
そして、ステップＳ８に進んでパージ性能チェック完了直後の酸素濃度O2を終了O2濃度O2set1（設定値）と比較する。
【００２９】
制御部321bは、ステップS８において、パージ性能チェック完了時の酸素濃度O2が、終了O2濃度O2set1（設定値）以下となると（YES）、ステップS13に進んで、酸素濃度が安定するチェック安定待ち時間Y（図４参照）の経過を待ち、チェック安定待ち時間Yを経過すると、パージ性能チェックが正常に終了したものとして、前記表示部324に表示するレシピ番号１のレシピに対するパージ性能チェックの結果として、パージ性能チェックが正常に終了したことを示すステータスの表示、例えば、「NOMAL  END」を表示させる（図12の例示では、レシピ番号00９、レシピ番号010のレシピに対してステータスとしての「NOMAL  END」を表示している。）とともに、パージ性能チェックにより得られた酸素濃度の変化に対するサンプリングデータ（トレースロギング処理の結果）を、このレシピ番号１によるパージ性能チェックのデータとして前記データベースに格納する。この場合、Ｎ2ガスはTset1の間、Ｎ2パージ室102内等に供給されることになる。
【００３０】
また、制御部321bは、前記ステップS８において、パージ性能チェック完了直後の酸素濃度の酸素濃度０2が、終了O2濃度O2set1（設定値）を越えている場合（NO）には、基板処理装置毎の機差によりパージ性能チェックが正常に終了しなかったものとしてステップS９に進んでタイマT2のカウントを開始し、酸素濃度計（図示せず）による酸素濃度の変化のトレースを所定時間（図４のエラーHOLD時間に対応する）延長する。続いて、制御部321bは、ステップS10に進んで酸素濃度の変化に対するサンプリングを継続する。
【００３１】
そして、ステップS11で、現在のパージ性能チェック時間が延長時間と一致するかどうか、すなわち、Tset2＝T2かを判定し、NOの場合は、ステップS12の現在のパージ性能チェック時間の積算、ステップS10の酸素濃度のサンプリングを繰り返す（図４のエラーHOLD時間に対応する）。
【００３２】
ステップS11の判定で、Tset2＝T2となり、現在のパージ性能チェック時間が、延長したパージ処理の設定時間Tsetに合致する（YES）と、ステップS13に進んでチェック安定待ち時間Y（図４のチェック終了安定待ち時間に対応）を待ち、チェック安定待ち時間が終了すると、得られた酸素濃度の変化に対するサンプリングデータを、機差分析用の分析データとしてデータベースに格納する。この場合、Ｎ2ガスは、Tset1＋Tset2の間、Ｎ2パージ室102内等に供給されることになる。分析データの格納を終了すると、続いて、ステップS14に進んで、レシピ番号1に1を加算して次のステップS15に進み、このステップS15で、加算したレシピ番号のレシピをレシピ数判定数Nsetと比較する。この場合、レシピ判定数は、装置コントローラの固定記憶部に予め格納したパージ性能のテスト用のレシピ数に１を加算したものである。例えば、レシピ判定数を11とすると、ステップS15の判定では、固定記憶部に格納されたパージ性能テスト用のレシピ番号1からレシピ番号10までのレシピについてのステップ1以降のパージチェック性能チェック処理が実行され（NO）、レシピ番号10までのパージ処理が終了すると（YES）、パージ性能チェックに関する図９の処理が終了する。
【００３３】
図９のフローチャートを終了すると、次に、制御部321bは、前記データベースを、レシピ選択条件で検索して、実際にパージ制御に使用するレシピを選択する。この場合、まず、パージ性能チェック時間Tset1（図４のステップ時間）以内に、終了O2濃度に到達したレシピを前記データベースから検索し、次に、検索によって得られたレシピを、ユーザから与えられた最終的な仕様条件を絞込条件として検索することによって実際のパージ制御に使用する1のレシピを選択する。ユーザの最終的な仕様条件として、例えば、パージガスの消費量が最少、パージ性能チェック時間（ステップ時間）の終了時の終了O2濃度が最少、又は、パージ性能チェック時間（ステップ時間）における終了O2濃度の到達時間が最少（この場合は、サンプリングの結果を検索して判定）等が考えられる。次に、制御部321bが絞込みによって得られた1のレシピを表示部に表示させる。
【００３４】
このように、制御部321bは、パージ性能チェック時間内に、終了O2濃度に到達した複数のレシピを、さらに、ユーザの要求する最終的な絞りこみ条件によって検索し、検索した1のレシピを、パージ制御に使用するレシピとして選択し、これを画面に表示する。なお、絞込みによる検索を行う前の複数のレシピを画面上に表示して装置作業者が、複数の中から一つを選択するようにしてもよい。
【００３５】
レシピの表示法としては、例えば、図12に示すように、レシピ番号（後述する）の横に、終了ステータスとして、「NOMLEND（ノーマルエンド）」、「ABNOMAL  END（アブノーマルエンド）」等を表示させる。表示部324に「NOMLEND（ノーマルエンド）」と表示したレシピ番号のレシピが、実際に使用できるレシピであり、それ以外の表示、「ABNOMAL  END（アブノーマルエンド）」と表示したレシピは、機差により、使用ことができないレシピとして表示される。なお、図12では、「NOMLEND（ノーマルエンド）」、「ABNOMALENDの他に、「CLANP  OFF」、「RESET」を表示させている。
【００３６】
「CLANP  OFF」の表示は、例えば、Ｎ2パージ室背面の扉を開閉するためのクランプを装置作業者が開けてしまい、パージ性能チェックを継続できなかった場合に表示し、「RESET」の表示は、装置作業者によって、パージ性能チェックが停止された場合を示している。
【００３７】
また、図12では、「NOMLEND」の表示を二つ表示した場合を示している。制御部が、前記したように、絞りこみ条件で検索した場合は、図12の画面では、二つのうち、選択された1のレシピが絞込み込み結果のウインドウ、又はセル内に表示される。
【００３８】
また、各レシピのパージ性能チェックによって得られた分析用のデータファイルは、爾後、定量的なデータとして統計的に処理され、通常のパージ制御のパラメータとしてコンフィグレーションファイルに用いられる。このようなパラメータは、機差を含んだ信頼性の高いデータであり、パージ制御において機差を修正するパラメータとなるので、パージ制御の信頼性を向上させることができる。
【００３９】
<実施形態の効果>
以上、説明したことから明らかなように本実施形態によれば、次の如き優れた効果を発揮する。
（１）基板処理装置において機差を含んだパージ性能チェックを自動的に実施でき、機差を含んだ定量的なデータを得ることができる。このため、パージ制御において機差を含んだ信頼性の高いパラメータとしてコンフィグレーションファイルやレシピに組み込むことができる。従って、機差に関係なく、ユーザの要求する仕様に柔軟に対応できる。
（２）パージ性能テストが自動的に実行されるので、作業者の負担が軽減され、余暇を他の作業や休息に割り当てることができる。
（３）異なるパラメータ、場合によっては同じテストパターンのパージ性能チェックを自動的に何度でも繰り返し実施できる。このため信頼性の高い定量的なデータベースを形成することができる。
【００４０】
このように、前記制御部321bを含めた基板処理装置によれば、ユーザの要求を満足する装置別のパージ用のレシピが得られる。以下、前記レシピの設定値を簡単に入力するための操作部321aの設定画面や入力操作等について説明する。なお、操作部321aは、このような操作をする場合は、基本的に、データベースから起動画面を読み込んで、これを前記モニタ324に送信し、起動画面（モニタ画面）に表示された選択ボタンから各画面に移動する。
【００４１】
図５はモニタに前記データベースから表示部に呼び出されたＮ2モニタ情報性能画面の一例を示している。
このＮ2モニタ情報性能画面には、表示項目として、「Ｎ2パージ性能自動チェック」、「Ｎ2パージ性能チェックテーブル」、「パージステップ」、「総ステップ時間」、「ステップ残時間」、「ホールド時間」、「実行待ち時間」の項目が表示される。
「Ｎ2パージ性能自動チェック」項目の横には、Ｎ2パージ性能自動チェックの状態をON／OFF表示によって表示する「Ｎ2パージ性能自動チェック」表示セル500が設けられ、「Ｎ2パージ性能チェックテーブル」の横には、システムの固定記憶部にストアされているN2パージ性能チェックテーブルの名称を表示する「Ｎ2パージ性能チェックテーブル」名称表示セル501が配置される。
また、「パージステップ」の項目の横には、現在、実行中のＮ2パージ性能チェックテーブルのステップ番号／総ステップ数とステップ名称とを表示する「パージステップ」表示セル503が設けられ、「総ステップ残時間」の項目の横には、現在実行中の残りのステップ数を表示する「総ステップ残時間」表示セル504が設けられる。
さらに、「ホールド時間」の項目の横には、Ｎ2パージ性能自動チェックのエラーの際に、エラーホールド時間を表示する「ホールド時間」表示セル（「エラーホールド時間」表示セル）505が設けられ、「実行待ち時間」の項目の横には、Ｎ2パージ性能自動チェックが開始されるまでの実行待ち時間を表示する「実行待ち時間」表示セル506が設けられる。そして、このＮ2パージモニタ性能情報画面には、Ｎ2パージ性能自動チェック実行状態バー507が設けられ、このＮ2パージ性能自動チェック実行状態バー507の左側に開始時刻表示セル508がその右側に終了時刻表示セル509が設けられる。前記Ｎ2パージ性能自動チェック実行状態バー507は、画面幅方向に沿って延びていて総ステップ数と同数のセルからなるインジケータとなっており、進捗の度合いに応じてセルの色が変化する。
【００４２】
従って、このようなＮ2パージモニタ性能情報画面では、Ｎ2パージ性能自動チェック実行状態バー507のセル色の変化を見るだけでパージ性能自動チェックの進捗状態を迅速に把握することができる。
作業者がこのＮ2パージモニタ性能情報画面で、画面上の「開始」ボタン510を押下すると、図４で説明したＮ2パージ性能チェック処理を前記制御部321bが自動的に実行する。そして、図４に示す実行待ち時間を経過すると、O2濃度のサンプリングが終了するまで、N2パージ性能自動チェック実行状態バー507の地色が、図中、左側から右側に変化していく。パージモニタ性能情報画面の「終了」ボタン511を押下げるとＮ2パージ性能自動チェック処理が停止する。また、パージモニタ性能情報画面で画面上の「ESC」ボタン512を押下すると画面が事前の画面に切り替わる。
【００４３】
図６に示すように、前記Ｎ2パージ性能チェック画面は、パージ性能チッェク用のレシピを作成するための画面である。図６に示すように、Ｎ2パージ性能チェック画面の画面左下欄には、バルブ配置図512が表示され、画面の右欄には設定項目が、画面の上欄にはＮ2パージ性能チェックのファイル情報が表示される。
なお、図６において、バルブ設定図は、図３（Ａ）の構成と対応している。
バルブ設定図512の上欄には、「NAME」ボタン513と、「No．」ボタン514の二つのプログラムボタンが表示される。
「NAME」ボタンは、押下するとバルブ配置図512に表示されている符号の表示を部品名称の表示に切り替え、「No．」ボタン514は押下すると、逆に、部品名称の表示を符号の表示に切り替える。このため、装置作業者は、「NAME」ボタン513、「No．」ボタン514を選択して押下するだけで、どの部品が配管のどこに配置されているのかを画面上で把握することができる。
前記ファイル情報としては、「ファイル」名称入力セル515と、「ステップNo．」を表示する「ステップNo．」表示セル516とが表示される。
「ファイル」名称入力セル515は、この画面のテーブル名称を入力するためのセルであり、「ステップNo．」表示セル516は、図４のステップ数に対応するステップ番号を入力するためのセルである。入力には、同じ画面に表示する文字入力システムを操作する文字／数字／記号テーブル（いずれも図示せず）を用いるが、前記操作部321aに接続するキーボードを用いるシステムとしてもよい。
また、設定項目としては、「バルブ設定」ボタン517、「ステップ時間」、「チェック対象」、「チェック方法」、「Ｎ2MFC流量」、「チェック終了安定待ち時間」、「チェック開始O2濃度」、「チェックポイント」、チェック終了O2濃度」、「チェック安定待ち時間」、「HOLD  SKIP時間」、「トレースロギング取得有無」、トレースロギングサンプリング周期」の項目が表示される。本願では、これらの各設定項目に対応する入力内容をパラメータとする。
「バルブ設定」ボタン517は、これを押下すると前記データベースから図７に示すバルブ設定ダイアログ画面をモニタに呼び出すようにプログラムされている。
図７に示すように、バルブ設定ダイアログ画面上のボタンの上側には、文字／記号が表示される。この文字／記号表示は、図３（Ａ）のバルブ設定図512において説明したバルブ類に付されている文字／記号表示に対応している。
文字／記号表示下のボタン上のOPEN、CLOSEの文字は、バルブの開閉を意味している。これらのボタンは、押下すると、OPEN、CLOSEの文字が実線表示から破線表示に切り替わり、もう一度押下すると破線表示から実線表示に切り替わる。
【００４４】
例えば、画面上に表示されている66：DV2の直ぐ下のボタンを押下すると、ボタン上のCLOSEの文字が破線表示から実線表示となり、66：DV2のバルブは、開から閉に切り替えられる。もう一度、同じ66：DV2の下のボタンを押下すると、今度は、ボタン上のCLOSEの文字が実践表示から破線表示に切り替わって、66：DV2のバルブが閉から開に切り替わる。この場合、同じ実線表示で文字がOPENからCLOSEに又はその逆に切り替わるように構成してもよい。
このようにして全てのボタンの開閉を設定した後は、このダイアログ画面の下部の「SET」ボタン518を押下し、設定を確定する。設定をキャンセルする場合は、同じ画面上に表示された「CANCEL（キャンセル）」ボタン519を押下する。
「SET」ボタン518を押下すると、画面はこのバルブ設定ダイアログ画面から図６のＮ2パージ性能チェック画面に切り替わる。このバルブ設定ダイアログ画面でバルブの開閉を設定すると、Ｎ2パージ性能チェック画面のバルブ設定図では、OPENに設定したバルブが●で、CLOSEに設定したバルブが○で表示される。このため、作業者はバルブ設定図512の●と○を見るだけでバルブ類に対する開閉設定を簡単に把握でき、バルブ設定図512の配管と合わせることで配管の設定を確認することができる。
【００４５】
「ステップ時間」の横の「ステップ時間」入力セル、「チェック終了安定待ち時間」の横の「チェック終了安定待ち時間」入力セル、「チェック開始O2濃度」の横の「チェック開始O2濃度」入力セルには図４で説明したステップ時間、チェック終了安定待ち時間、チェックの開始O2濃度を入力する。
【００４６】
また、「チェック対象」の横の「チェック対象」入力セルには、O2濃度のチェックを行う対象を設定する。この「チェック対象」入力セルに「LA」を入力した場合は、O2濃度のチェック対象は、ローディングエリア、すなわち、移載室である前記Ｎ2パージ室201となる。また、この「チェック対象」入力セルに、ポッド（POD1）100a又はポッド100b（POD2）のいずれか一方を入力した場合は一方のポッドが制御対象となる。両方のポッド100a（ＰOD1）、100b（POD2）を入力した場合には、一対のポッド100a，100bがO2濃度のチェック対象となる。従って、これらの全てをチェックの対象とする場合は、「チェック対象」入力セルにLA、POD1、POD2を入力すればよい。
【００４７】
前記「チェック方法」の横の入力セルには、不活性ガスxx CHECKの種別〔この実施の形態ではＮ2  CHECK（上限方向チェック）又はATM  CHECK（下限方向チェック）を入力し、「N2MFC流量」の横の入力セルには、ユーザの指定流量の範囲内、例えば、400〜800（slm）の範囲内で前記マスフローコントローラN2MFCの設定値を入力する。
【００４８】
「チェックポイント」の横の入力セルには、チェック開始O2濃度より小さい値でチェック終了O2濃度よりも大きい値を設定する。
「HOLD  SKIP時間」の横の入力セルには、チェック終了安定待ち時間よりも大きい値、例えば、30（min）を設定する。
【００４９】
「トレースロギング取得有無」の横の入力セルには、トレースロギングの有無を入力する。例えば、EXIST（有り）を入力した場合はトレースロギング有りとなり、何も入力しない場合は、トレースロギング無しとなる。「トレースロギングサンプリング周期」の横の入力セルに、図４で説明したサンプリング周期、例えば、１秒を入力すると、酸素濃度をトレースするためのトレースロギングのサンプリング周期は１秒となる。
【００５０】
図８はチェックポイントの設定を簡易に入力するためのチェックポイント入力ダイアログ画面である。このチェックポイント入力ダイアログ画面は、図８のＮ2パージ性能チェック画面に表示された「チェックポイント」情報ボタン530の押下によって前記データベースから呼び出される。
この画面上には、図４のトレース取得において、O2濃度のチェックポイント指定するためのポイント指定ボタン531が複数、設けられている。例えば、「15000」の文字が表示されたポイント指定ボタン531を押下すると15000ppmのO2濃度でサンプリングをさせ、「100000」の文字が対応した数字が表示されたポイント指定ボタンを押下すると、100000ppmのポイントでO2濃度をサンプリングさせる。任意のボタンを押下した後、画面右上の「SETボタン」を押下すると設定が反映され、「CANCEL」ボタンを押下すると、ポイントの設定が解除される。
このように、ボタンやキーの操作によって、設定条件の入力、変更、確認等を簡単に行うことができ、装置作業者の負担を減らすことができる。
【００５１】
以上、[００３２]〜[００４０]のように各項目に所定のパラメータ等を入力することにより、パージ性能チェック用のレシピが画面上で作成される。
【００５２】
図10はN2パージ性能チェック情報画面である。この画面構成にも図６のN2パージ性能チェック画面で説明したバルブ配置図512と「NAME」ボタン513、「No．」ボタン514が表示される。
Ｎ2パージ性能情報画面には、Ｎ2パージ性能チェックの開始後、終了までにデータベースに格納された個々のデータファイルのファイル情報をファイル毎に表示する画面である。画面は、上欄のファイル情報と、左下欄のバルブ設定図と、右下欄との項目欄とで構成されている。
画面上欄のファイル情報には、この画面の作成日時を表示する「開始日時」表示セルと、画面の終了日時を表示する「終了日時」表示セルと、「ファイル名称」を表示するファイル名称表示セルと、終了ステータスを表示する「終了ステータス」表示セルが設けられ、画面右下欄の項目欄には、「パージステップ名称」、「ステップ時間」、「チェック対象」、「チェック方法」、「N2MFC流量」、「チェック終了待安定待ち時間」、「HOLD時間」、「トレースロギング取得」、「ステップ開始日時」、「実行待ち時間」、「チェック開始日時」、「エラーHOLD時間」、「ステップ終了日時」、「ステップ終了ステータス」の項目が設けられる。
そして、各項目の横に、パージステップ名称」表示セル、「ステップ時間表示セル」、「チェック対象」表示セル、「チェック方法」表示セル、「N2MFC流量」表示セル、「チェック終了待安定待ち時間」表示セル、「HOLD時間」表示セル、「トレースロギング取得」、「ステップ開始日時」、「実行待ち時間」、「チェック開始日時」、「エラーHOLD時間」表示セル、「ステップ終了日時」表示セル、「ステップ終了ステータス」表示セルの項目が設けられる。
「終了ステータス」表示セルには、例えば、NOMAL  END（正常終了）、ABUNOMAL  END（異常終了）、RESET（RESET  MODEへの移行によるチック異常終了）、CLANP（CLANP  OFFよるチェック異常終了）、SKIP（SKIPによるチェック異常終了）等を表示させ、N2パージ性能チェックが正常に終了したかどうかを表示させるようになっており、「ステップ開始日時」表示セルには、前記「開始日時」表示セルと同じ日時が、「実行待ち時間」表示セル及び「エラーHOLD時間」表示セルには、図４で説明した実行待ち時間、エラーHOLD時間がそれぞれ表示されるようになっている。
「ステップ終了日時」表示セルには、図９で説明した最後のレシピのステップ終了時間を表示させるようになっている。さらに、画面右下略中欄には、「チェックポイント情報」ボタンが設けられており、押下すると、図11に示すチェックポイント情報ダイアログ画面をモニタに表示させるようになっている。このチェックポイント情報ダイアログ画面には、図８のチェックポイント入力ダイアログ画面で設定したチェックポイントのO2濃度を表示するとともに、チェックポイントに到達するまでの到達時間（所要時間）が表示されるようになっており、パージ性能チェック開始時と終了時のO2濃度を表示するMON  O2濃度表示セルが設けられる。
【００５３】
図10において、これ以外の項目欄の表示セルには、図８で説明したN2パージ性能チェック画面（ATMチェック画面）で設定した数値又はコマンドが表示される。
従って、図10においては、パージ性能チェックの結果が、正常に終了したかどうか、また、どのような状態で異常終了が発生したかが他の設定項目とともに自動的に表示されるので、作業者の負担が大幅に軽減される。また、図11のチェックポイント入力ダイアログ画面には、開始O2濃度から終了O2濃度に到達するまでのチェックポイント間において到達時間の変化を把握できる特長がある。
【００５４】
図12はN2パージ性能情報一覧画面の一例を示す。このＮ2パージ性能情報一覧画面は、Ｎ2パージ性能チェックを開始から終了までパージ性能を統括的に表示する画面の一例である。N2パージ性能情報一覧画面には、得られたデータファイルをそれぞれ「ファイルNo．」、「開始日時」、「終了日時」、「終了ステータス」等の関連項目のデータと関連付けた状態で画面の一覧表示欄に横並びで表示させるようになっている。
また、画面の上欄にはファイル名称表示セル520が設けられており、画面の一覧表示欄521内で選択したデータファイルの「ファイル名称」をこの「ファイル名称表示」セルに表示させるようになっている。
そして、このN2パージ性能情報一覧画面の上欄には、一覧表示欄521内で選択したデータファイルをテキスト形式のファイルに変換する「テキスト」変換ボタン523と、同じく選択されたデータファイルをプリンタに送信して印字する「プリント」ボタン524と、同じく選択されたデータファイルを開いて内容を表示する「オープン」ボタンと、このN2パージ性能情報一覧画面が管理しているデータファイルのファイル数を表示する「N2パージ性能情報数」表示セル525と、この画面を元の画面に戻す「ESC」ボタン526と、データファイルをハードディスクや磁気ディスク装置等の記録メディアに書き込んでバックアップする「BACKUP」ボタン527とが備えられる。
【００５５】
従って、この画面では、データファイルを指定した後に、「オープン」ボタンを押下することにより、データファイルをオープンすることができるし、また、ファイルを指定してこれを「テキスト」ボタンでテキスト変換した後に印刷することができ、さらに、テキスト変換前と、変換後の両方で、データファイルをハードディスクや記録メディアにバックアップすることができる。そして、この画面には、パージ性能が正常に終了したかどうかをファイル毎に表示するので、データファイルを開いて内容を確認すること無しに、内容を理解することができる。
なお、一覧表示欄521のデータファイルは、指やタッチペンによるファイル等をタッチすることにより指定できるようになっている。
また、この実施の形態では、データファイルの最大管理数を設定すると、データファイル数が設定数を超える場合には、自動的に古い情報から削除されるようになっている。この場合、画面上に、データファイル数が上限に達した場合にその旨の表示を点滅等の分かりやい形態で装置コントローラ321のモニタ324に表示させるようにしてもよい。
【００５６】
なお、本実施形態の説明において、本発明を縦型の処理装置に適用する説明をしたが、横型の処理装置にも適用が可能であり、枚葉装置に適用することも可能である。さらに、本発明に係る諸装置は、CVD、酸化、アニール等の基板の処理に適用できるし、処理対象とする基板も水晶、液晶、半導体等の種々の基板を対象とする。
このように本発明は種々の改変が可能であり、本発明がこの改変された発明に及ぶことは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の正面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】図３（Ａ）はウエハの自然酸化を防止するためのＮ2パージ系及び排気系の構成を示す解説図、図３（Ｂ）は基板処理装置に備えられた装置コントローラの機能ブロック図である。
【図４】Ｎ2パージ性能チェックの手順を示す解説図である。
【図５】Ｎ2モニタ情報性能画面の一例である。
【図６】Ｎ2パージ性能チェック画面の一例である。
【図７】バルブ設定ダイアログ画面の一例である。
【図８】チェックポイントの設定を簡易に入力するためのチェックポイント入力ダイアログ画面である。
【図９】N2パージ性能チェック処理を示すレシピ（プログラム）である。
【図１０】N2パージ性能チェック情報画面の一例である。
【図１１】チェックポイント情報ダイアログ画面の一例である。
【図１２】N2パージ性能情報一覧画面の一例の一例である。
【符号の説明】
【００５８】
102  N2パージ室（移載室）
・  処理室装置
321  装置コントローラ（制御手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図９】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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