(57)【要約】【課題】  本発明は、複数のプリズムの光路長を容易に一致させることができる光学デバイスの製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】  本発明による複数のプリズムを有する光学デバイスの製造装置は、所定のパターンの光を出射する光源と；出射された光を所定の波長帯域で抽出する波長選択用フィルターと；前記波長選択用フィルターから抽出された光を集光する集光レンズと；前記プリズムから反射した光のパターンを表示する表示部と；前記表示部に表示された前記パターンの鮮明度が所定の範囲にあるように前記プリズムの位置を調節するステージとを含む。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプリズムを有する光学デバイスの製造装置において、
所定のパターンの光を出射する光源と；
出射された光を所定の波長帯域に抽出する波長選択用フィルターと；
前記波長選択用フィルターから抽出された光を集光して前記プリズムと照射する集光レンズと；
前記プリズムから反射された光のパターンを表示する表示部と；
前記表示部に表示された前記パターンの鮮明度が所定の範囲にあるように前記プリズムの位置を調節するステージを含むことを特徴とする光学デバイスの製造装置。
【請求項２】
前記光源及び前記波長選択用フィルターの間に形成されたコリメーターをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の光学デバイスの製造装置。
【請求項３】
前記プリズムから反射された光を前記表示部に誘導する光誘導部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の光学デバイスの製造装置。
【請求項４】
前記光誘導部は光分割器であり、
前記光誘導部は、前記波長選択用フィルター及び前記集光レンズの間に形成されることを特徴とする請求項３に記載の光学デバイスの製造装置。
【請求項５】
前記波長選択用フィルターは、４２０〜４９０ｎｍ帯域の光を抽出することを特徴とする請求項１に記載の光学デバイスの製造装置。
【請求項６】
前記波長選択用フィルターは、５２０〜６００ｎｍ帯域の光を抽出することを特徴とする請求項１に記載の光学デバイスの製造装置。
【請求項７】
前記波長選択用フィルターは、６００〜６９０ｎｍ帯域の光を抽出することを特徴とする請求項１に記載の光学デバイスの製造装置。
【請求項８】
前記ステージは、
前記プリズムを支持するグリッパと；
前記グリッパを駆動させる駆動部を含むことを特徴とする請求項１に記載の光学デバイスの製造装置。
【請求項９】
前記集光レンズの焦点距離は、前記集光レンズから前記プリズムの出射面までの距離と実質的に等しいことを特徴とする請求項１に記載の光学デバイスの製造装置。
【請求項１０】
複数のプリズムを有する光学デバイスの製造方法において、
（ａ）前記プリズムに反射鏡を設ける段階と；
（ｂ）前記プリズムを仮固定させる段階と；
（ｃ）所定のパターンを有する原始光から所定の波長帯域の光を抽出して前記プリズムに照射する段階と；
（ｄ）前記反射鏡から反射された光のパターンを表示する段階と；
（ｅ）前記表示部に表示された前記パターンの鮮明度が所定の範囲にあるように前記プリズムの位置を調節する段階と；
（ｆ）表示された前記パターンの鮮明度が所定の範囲内にある場合、前記複数のプリズムを固定させる段階を含むことを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項１１】
前記（ｃ）段階から４２０〜４９０ｎｍ帯域の光を抽出する場合、前記（ｅ）段階で青色プリズムを移動させることを特徴とする請求項１０に記載の光学デバイスの製造方法。
【請求項１２】
前記（ｃ）段階から５２０〜６００ｎｍ帯域の光を抽出する場合、前記（ｅ）段階で緑色プリズムを移動させることを特徴とする請求項１０に記載の光学デバイスの製造方法。
【請求項１３】
前記（ｃ）段階で
６００〜６９０ｎｍ帯域の光を抽出する場合、前記（ｅ）段階で赤色プリズムを移動させることを特徴とする請求項１０に記載の光学デバイスの製造方法。
【請求項１４】
前記プリズムの仮固定は紫外線硬化樹脂を利用して行い、
前記プリズムの固定は前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して行うことを特徴とする請求項１０に記載の光学デバイスの製造方法。
【請求項１５】
前記プリズムにＣＣＤを形成させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の光学デバイスの製造方法。
【請求項１６】
前記複数のプリズムは、第１プリズム、第２プリズム及び第３プリズムを含み、
前記第１プリズム、第２プリズム及び第３プリズムを固定させるため、前記（ａ）乃至（ｆ）段階を順に繰り返すことを特徴とする請求項１０に記載の光学デバイスの製造方法。
【請求項１７】
前記第２プリズムは、前記原始光の進行方向と垂直方向に前記反射鏡が設けられることを特徴とする請求項１０に記載の光学デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学デバイスの製造装置及び製造方法に関し、より詳細に説明すると、複数のプリズムを用いる光学デバイスの製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
映像を撮像して再現する光学デバイスに使われるＣＣＤは、１-ＣＣＤから３-ＣＣＤまで発展して来た。入力映像に対して明暗及び形態のみを表示した既存の１-ＣＣＤの場合、カラーを再現するためにＣＣＤにカラーフィルターを使った。カラーフィルターを使うことによりカラーの再現が可能になったが、一つのピクセルは一つのＲＧＢの中でいずれか一つに対する色情報を有しているためイメージの明確な表示には限界があった。
【０００３】
最近にはこのような問題点を解決し本物に近い映像を再現するため、ＲＧＢ色分解を行う特殊コーティングされた３個のプリズムと３個のＣＣＤを含むプリズムモジュールを使っている。この場合、入力映像はＲＧＢの３個の映像に分解されて一つに合成されるため、一つのピクセルに３個の色情報を入力することができる。このように３-ＣＣＤを使うことにより鮮明で具体的な映像の再現が可能になった。
【０００４】
イメージが３個に分解されて一つに正確に合成されるためには、３個のプリズムを通過する光経路の長さ（以下、光路長）が等しくなければならない。光路長を一致させるために、３個のプリズムを整列し、これらに装着されるＣＣＤを設けるためには、各プリズム及びＣＣＤを６個の自由度で駆動させるための６個の支持構造物及びテスト映像を投射するためのマスタープロジエクターが必要である。このような装備は高価でプリズムモジュールを整列するには費用がかかり、またイメージの焦点を合わせるためのプリズムの整列と一つの映像に正確に合成するためのＣＣＤ配列に努力と時間が必要となる。そして外部装備による信号歪曲によって正確にプリズムを整列することができない問題が生じる。
【０００５】
また、従来のプリズム整列に使われる波形分析に関するアルゴリズムは複雑で光路長の一致に多くの努力を要する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、複数のプリズムの光路長を容易に一致させることができる光学デバイスの製造装置及び製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明による複数のプリズムを有する光学デバイスの製造装置において、所定のパターンの光を出射する光源と；
出射された光を所定波長帯域に抽出する波長選択用フィルターと；
前記波長選択用フィルターから抽出された光を集光して前記プリズムと照射する集光レンズと；
前記プリズムから反射された光のパターンを表示する表示部と；
前記表示部に表示された前記パターンの鮮明度が所定の範囲にあるように、前記プリズムの位置を調節するステージを含む光学デバイスの製造装置によって達成される。
【０００８】
前記光源及び前記波長選択用フィルターの間に形成されたコリメーターをさらに含んで、光源からの光が四方に広がらずに平行光になるようにするのが望ましい。
【０００９】
複数のプリズムの各出射面に表示部を形成しないように、前記プリズムから反射された光を前記表示部に誘導する光誘導部をさらに含むのが望ましい。
【００１０】
前記光誘導部は、光分割器であり、前記光誘導部は前記波長選択用フィルター及び前記集光レンズの間に形成されることができる。
【００１１】
前記波長選択用フィルターは、４２０〜４９０ｎｍ帯域、５２０〜６００ｎｍ帯域及び６００〜６９０ｎｍ帯域の光を抽出することができ、各波長帯域は青色、緑及び赤色の光の最高透過率に対応されることが望ましい。
【００１２】
前記ステージは、前記プリズムを支持するグリッパと、前記グリッパを駆動させる駆動部を含むことができる。
【００１３】
前記集光レンズの焦点距離は、前記集光レンズから前記プリズムの出射面までの距離と実質的に等しいのが望ましく、焦点距離ではない場合にも所定の基準距離を等しく合わせることによって光路長の長さを調整する。
【００１４】
一方、前記目的は、本発明によって複数のプリズムを有する光学デバイスの製造方法において、
（ａ）前記プリズムに反射鏡を設ける段階と；
（Ｂ）前記プリズムを仮固定させる段階と；
（ｃ）所定のパターンを有する原始光から所定の波長帯域の光を抽出して前記プリズムに照射する段階と；
（ｄ）前記反射鏡から反射された光のパターンを表示する段階と；
（ｅ）前記表示部に表示された前記パターンの鮮明度が所定の範囲にあるように前記プリズムの位置を調節する段階と；
（ｆ）表示された前記パターンの鮮明度が所定の範囲内にある場合、前記複数のプリズムを固定させる段階とを含む光学デバイスの製造方法によっても達成される。
【００１５】
前記波長を抽出する段階から４２０〜４９０ｎｍ帯域の光を抽出する場合、青色プリズムを移動させ、前記波長を抽出する段階から５２０〜６００ｎｍ帯域の光を抽出する場合、緑色プリズムを移動させ、前記波長を抽出する段階から６００〜６９０ｎｍ帯域の光を抽出する場合、赤色プリズムを移動させることが望ましい。
【００１６】
前記プリズムの仮固定は、紫外線硬化樹脂を利用して行われ、前記プリズムの固定は前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して行われることができる。紫外線硬化樹脂ではない熱硬化樹脂を利用することもでき、この場合プリズムの固定は熱を加えて行われることができる。
【００１７】
前記プリズムにＣＣＤを形成させる段階をさらに含んで光学デバイスを製造することができる。
【００１８】
前記複数のプリズムは、第１プリズム、第２プリズム及び第３プリズムを含み、前記第１プリズム、第２プリズム及び第３プリズムを固定させるために前記（ａ）乃至（ｆ）段階を順に繰り返すのが望ましい。
【００１９】
二番目に固定される前記第２プリズムは、前記原始光の進行方向と垂直方向に前記反射鏡が設けることができる。この場合、原始光の進行方向にだけ自由度を有する第２プリズムを第３プリズムより先に固定して第３プリズムを固定し易くすることが望ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明により、 複数のプリズムの光路長を容易に一致させることができる光学デバイスの製造装置及び製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下では添付図を参照して本発明についてより詳細に説明する。
【００２２】
本発明の一実施例による光学デバイスの製造装置を図１乃至図３を参照して説明する。
【００２３】
図１は、本実施例による光学デバイスの製造装置を説明する図で、図２はプリズムの光路長を説明するためのプリズムユニットを説明する図であり、図３はプリズムの移動に対する光の鮮明度を説明する図である。
【００２４】
光学デバイスの製造装置１は、光源１０、コリメーター２０、波長選択用フィルター３０、光誘導部４０、集光レンズ５０、プリズムの位置を調節するステージ６０、反射された光を表示する表示部７０及び光量調節部８０を含む。図２で示したように、プリズムユニット１００はＲＧＢ色分解特殊フィルムを有する３個のプリズム１１０、１２０、１３０、即ちＲプリズム１３０、Ｇプリズム１１０、Ｂプリズム１２０で構成されて、各プリズムの出射面には入射光を反射させるための反射鏡１１１、１２１、１３１が形成されている。
【００２５】
光源１０は原始光として白色光を出射する。光源１０ではタングステン-ハロゲンランプなどが使われる。原始光は所定のパターンを有することが望ましく、円または格子形状を有することが一般的である。
【００２６】
コリメーター２０は、原始光が四方に分散されずに平行光で進行されるようにする。
【００２７】
波長選択用フィルター３０は、光源１０から出射された光のうち、特定波長帯域の光のみを抽出する。波長選択用フィルター３０は、赤色光を抽出するためのフィルター、緑色光を抽出するためのフィルター、及び青色光を抽出するためのフィルターが使われて、前記三種類のフィルターが同一円周上に配列されている一つのフィルターユニットが使われることもできる。
【００２８】
本実施例において所定のパターンを有する原始光を異なる波長帯域別に分離して、各パターンの鮮明度（シャープネス）を観察して光経路を一致させる。一番目のフィルターを通過した光がプリズムに反射されて表示部７０に表示された時、光が鮮明に表示される位置に一番目のプリズムを整列し、これを基準として他のプリズムを整列させる。このため、本発明による光学デバイスの製造装置を利用すると、それぞれ異なる波長帯域の光を抽出するフィルターのみを備えて容易に光の経路を一致させることができる。
【００２９】
青色光は４２０〜４９０ｎｍ帯域の光を抽出する波長選択用フィルター３０を、緑色光は５２０〜６００ｎｍ帯域の光を抽出する波長選択用フィルター３０を、赤色光は６００〜６９０ｎｍ帯域の光を抽出する波長選択用フィルター３０を用いる。
【００３０】
光誘導部４０は、波長選択用フィルター３０と集光レンズ５０の間に形成されてプリズムユニット１００から反射された光を表示部７０に誘導する。本実施例による光誘導部４０は光分割器である。光分割器によって波長選択用フィルター３０を通過した光は集光レンズ５０に透過され、プリズムユニット１００から反射された光は光分割器に形成されたコーティング層によって経路が変更されて、最終的に表示部７０まで誘導される。プリズムユニット１００に入射される赤色光、緑色光及び青色光を表示するために、各プリズムの出射面に表示部７０を形成することは費用を増やすことになる。そのため、反射される光の進行方向の間に一つの表示部７０のみを形成し、光誘導部４０を利用して反射される光の経路を表示部７０によって変更させる。
【００３１】
光誘導部４０は、光の経路を変更する部分であるため、光分割器に限定されずにプリズムまたは反射鏡も使用可能であり、表示部７０の位置によって光誘導部４０の位置は流動的になる。
【００３２】
集光レンズ５０は、光誘導部４０を通過した光を集光してプリズムユニット１００に伝達する。集光レンズ５０は、四方に分散される光を集める凸レンズであることが望ましい。
【００３３】
集光レンズ５０は、固有の焦点距離を有し、プリズムユニット１００は集光レンズ５０の焦点に位置するのが望ましい。即ち、集光レンズ５０の焦点距離ｆは、集光レンズ５０からプリズム１１０、１２０、１３０の出射面までの距離と実質的に等しいのが望ましい。それにより、プリズムユニット１００を容易に配列することができ、集光レンズ５０の焦点距離ｆにプリズムユニット１００が配列することによって集光效率を高めることができる。
【００３４】
他の実施例によると、集光レンズ５０の焦点距離ではなく、コリメーター２０からプリズム１１０、１２０、１３０の出射面までの距離に基づいて光路長を一致させることもできる。光路長を一致させるための基準距離は使用者によって多様に設定されることができるが、光の経路変更がない短い距離であるほど、光路長の一致が有利になり、誤差を減少させることができる。
【００３５】
ステージ６０は、プリズム１１０、１２０、１３０の位置を調節する。図２に示されたように、ステージ６０はＢプリズム１２０を支持する第１グリッパ６１、Ｒプリズム１３０を支持する第２グリッパ６５、第１グリッパ６１を駆動させる第１駆動部６３及び第２グリッパ６５を駆動させる第２駆動部６７を含む。本実施例による光学デバイスの製造装置１は、Ｇプリズム１１０を基準として他のプリズム１２０、１３０の位置を調節する。基準となるＧプリズム１１０を固定させるためのグリッパ及び駆動部をさらに含むこともできる。
【００３６】
各グリッパ６１、６５は、プリズム１２０、１３０を支持し、プリズム１２０、１３０が駆動されるように駆動部６３、６７と連結する役割を果たす。グリッパ６１、６５は、一般的に器具の加工位置を正確に調整し易くするための補助用器具であるジグであるのが望ましい。
【００３７】
駆動部６３、６７は、プリズム１２０、１３０の接触面に塗布されている紫外線硬化樹脂の粘性による流動性を利用して、プリズム１２０、１３０を矢印方向に移動させる。駆動部６３、６７はモータを含み、図示しなかった制御部の制御によって精密に動く。
【００３８】
前記のように、各プリズム１１０、１２０、１３０の出射面には入射された光を反射させるための反射鏡１１１、１２１、１３１が形成されている。３個のプリズム１１０、１２０、１３０が接触されているプリズムユニット１００は、一辺が約１０〜１５ｍｍ程度の六面体の体積を有する。各プリズム１１０、１２０、１３０は仮固定されている状態で、各接触面には透明な紫外線硬化樹脂が塗布されている。紫外線硬化樹脂は、この後プリズム１２０、１３０を完全に固定させる段階で紫外線によって硬化される。
【００３９】
表示部７０は、プリズムユニット１００から反射光を撮像して表示する。表示部７０は、光信号を電気的信号に変換するＣＣＤを含むことができる。使用者は、表示部７０に表示される像の鮮明度を観察しながらプリズムを整列することができる。
【００４０】
図３Ａは、プリズム１１０、１２０、１３０の移動による表示部７０に表示される像の鮮明度との関係を示したグラフであり、図３Ｂは表示部７０に表示される像を示した図である。図３Ａのように使用者は５μｍ間隔でプリズム１１０、１２０、１３０を移動させながら鮮明度を観察する。鮮明度が最大になる第２領域ＩＩから表示部７０に表示される像は図３Ｂに示されたように非常に鮮明である。一方、第２領域ＩＩの前後、即、第１領域Ｉ及び第３領域ＩＩＩでは映像が薄暗いことが分かる。
【００４１】
図示しなかったが、表示部７０に表示される映像を分解して所定の分解能の範囲で最大鮮明度を判断することができる制御部をさらに含む。本実施例による制御部は、映像の鮮明度を約±１μｍ程度の誤差範囲で判断することができるため、プリズム１１０、１２０、１３０の高密度整列が可能である。
【００４２】
光量調節部８０は、光誘導部４０から表示部７０に入射される光の光量を調節する。前記のように、表示部７０はＣＣＤ（電荷結合素子）に形成されることができるがＣＣＤは各々収容できる光量の制限がある。そのため、表示部７０に入射される光の振幅、即ち、強さを所定範囲内に調節する。光量調節部８０では出射された光の量を減らす光減衰器、または光密度を望む値でフィルタリングする光密度フィルターが使われる。
【００４３】
図４を参照して、本実施例による光学デバイスの製造方法及び光経路に関して説明する。まず、プリズム１１０、１２０、１３０の各出射面に反射鏡１１１、１２１、１３１を設ける（Ｓ１０）。反射鏡１１１、１２１、１３１はプリズムユニット１００に入射された光が反射して、入射された経路に及び出射されるようにする。
【００４４】
Ｇプリズム１１０の入射面には、無反射コーティング物質が塗布されていて、プリズムユニット１００に入射される光の反射が行われないようにすることが望ましい。  その後、その外にプリズム１１０、１２０、１３０を配列するための図１の構成要素を所定の位置に配列する。
【００４５】
所定のパターン、即ち円またはスリット状を有する原始光は、波長選択用フィルター３０によって緑色波長帯域５２０〜６００ｎｍの光に抽出される（Ｓ２０）。抽出された光は、光誘導部３０を通過して集光レンズ５０によって集光された後、プリズムユニット１００の入射面に入射される。
【００４６】
使用者はＧプリズム１１０を移動させながら（Ｓ３０）、表示部７０に像の鮮明度を観察する。表示部７０に表示された像の鮮明度が所定の範囲内にあるかないかを判断して（Ｓ４０）、所定の範囲を超えると判断される場合、Ｇプリズム１１０を再び移動させる。この時、Ｇプリズム１１０は約５μｍずつ移動される。
【００４７】
一方、光の鮮明度が所定範囲内にあると判断される場合、Ｇプリズム１１０を固定させる（Ｓ５０）。制御部は約±μ１ｍの誤差範囲で鮮明度を判断する。Ｇプリズム１１０が固定されたため、集光レンズ５０からＧプリズム１１０の出射面までの距離は、他のプリズム１２０、１３０の光路長を一致させるための基準となる。
【００４８】
次に、Ｇプリズム１１０とＢプリズム１２０、Ｂプリズム１２０とＲプリズム１３０を紫外線硬化樹脂を使って、互いに接触させて仮固定させる（Ｓ６０）。この時Ｒプリズム１３０に設けられた反射鏡は、原始光の進行方向と垂直になす。即ち、Ｒプリズム１３０の光経路は、原始光の進行方向と平行になるように仮固定させる。紫外線硬化樹脂は、紫外線に露出されると硬化されながらプリズム１１０、１２０、１３０を完全に固定させる時に使われる。プリズムのような光学デバイスを接着するために使われる接着剤は、カラーがない透明なものが望ましく、透明ながらも粘性による流動性のある紫外線硬化樹脂が接着剤としてよい。紫外線硬化樹脂が塗布されている接触面は、硬化樹脂の粘性によって接着力を維持しながら駆動部６３、６７によってプリズム１２０、１３０が移動するようにする。
【００４９】
赤色波長帯域６００〜６９０ｎｍの光を抽出するために、波長選択用フィルター３０を交換して（Ｓ７０）、Ｒプリズム１３０を移動させて調節する（Ｓ８０）。反射光の鮮明度が所定の範囲内にあると、Ｒプリズム１３０を固定する（Ｓ９０、Ｓ１００）。Ｒプリズム１２０を固定する段階ではプリズムユニット１００に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる。
【００５０】
Ｒプリズム１３０に形成された反射鏡は、原始光の進行方向と垂直に設けられているため、Ｒプリズム１３０を通過して反射する光の自由度は進行方向と平行な方向だけである。そのため、Ｂプリズム１２０を先に固定させてＲプリズム１３０を固定させるより、Ｒプリズム１３を先に固定させる方がＲプリズム１３０の自由度を制限することができるため、プリズム１１０、１２０、１３０の整列が容易になる。
【００５１】
Ｒプリズム１３０が固定されると、青色波長帯域４２０〜４９０ｎｍの光を抽出するために波長選択用フィルター３０を交換して（Ｓ１１０）、Ｂプリズム１２０を移動させて調節する（Ｓ１２０）。反射光の鮮明度が所定の範囲内にあると、Ｂプリズム１２０を固定する（Ｓ１３０、Ｓ１４０）。
【００５２】
最後に、プリズムユニット１００の各プリズム１１０、１２０、１３０にＣＣＤを形成することによりプリズムモジュールの製造が完成される。ＣＣＤの形成は表示部７０に表示されるイメージの合成可否を判断して調節する。
【００５３】
本発明は、プリズムとＣＣＤが結合されているプリズムモジュールを組立てることにおいて、これを一つの段階で組立てないでプリズムのみを白色光を利用して先に組立てる。精密で小さな光学デバイスを同時に組立てる過程に努力と費用がたくさん必要となるので、これを改善するためにプリズムから反射された像の鮮明度を測定して所定の誤差範囲で光路長の長さを一致させる。
【００５４】
本発明に記載された誤差範囲及び仮干渉距離に対する数値は、光源の種類及び要求される光路長の長さによって可変的であるため、本発明の権利範囲を限定しない。
【００５５】
本発明のいくつかの実施例を図示して説明したが、本発明の属する技術分野の通常の知識を有する当業者ならば、本発明の原則や精神から脱しないで本実施例を変形する可能性があることが分かる。発明の範囲は特許請求範囲とその均等物によって決まる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一実施例による光学デバイス製造装置の制御ブロック図である。
【図２】本発明の一実施例によるプリズムの光路長を説明するためのプリズムユニットである。
【図３Ａ】本発明の一実施例によるプリズムの移動に対する光の鮮明度を説明する図である。
【図３Ｂ】本発明の一実施例によるプリズムの移動に対する光の鮮明度を説明する図である。
【図４】本発明の一実施例による光学デバイスの製造方法を説明する制御フローチャートである。
【符号の説明】
【００５７】
１      光学デバイスの製造装置
１０    光源
２０    コリメーター
３０    波長選択用フィルター
４０    光誘導部
５０    集光レンズ
６０    ステージ
６１、６５  グリッパ
６３、６７  駆動部
７０    表示部
８０    光量調節部
１００  プリズムユニット
１１０、１２０、１３０  プリズム
１１１、１２１、１３１  反射鏡
【図１】
2007133374.tif 000003
【図２】
2007133374.tif 000004
【図３Ａ】
2007133374.tif 000005
【図４】
2007133374.tif 000006
【図３Ｂ】
2007133374.tif 000007