(57)【要約】【課題】垂直記録ヘッドの出現により、記録密度は極めて高まり、その結果、所望のトラック上にデータを正確に記録する必要性が高まっている。即ち、隣接トラックへのデータの損傷を招くので、隣接トラック上に書き込むことはきわめて好ましくない。さらに、非常に好ましくない垂直ヘッドに伴う現在の問題として、磁場漏れによるオーバーライトの減少がある。【解決手段】垂直記録ヘッドは、主磁極２２０と、主磁極の上面に設けられたトレンチ２３８と、トレンチ内に蒸着されたギャップ層２４０と、ギャップ層の上面に形成され、前記主磁極と整合したノッチ付きトレーリングシールド２４４とを有する。これによりオーバーライトと隣接するトラック干渉を改善する。【選択図】図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれトラック幅を規定する幅を有するトラックにデータを書き込むための垂直記録ヘッドにおいて、
主磁極と、
前記主磁極の上面に設けられたトレンチ状の第１の層と、
前記トレンチ内に蒸着されるギャップ層と、
前記ギャップ層の上面に形成され、前記主磁極と整合したノッチ付きトレーリングシールドと、
を有することを特徴とする垂直記録ヘッド。
【請求項２】
前記主磁極の周辺かつ前記ギャップ層の下部に形成されたアルミニウム層を含む、請求項１記載の垂直記録ヘッド。
【請求項３】
前記ギャップ層は、ロジウムで作られる請求項１記載の垂直記録ヘッド。
【請求項４】
前記ギャップ層は、１０−１００ナノメータ(nm)の範囲内の厚さを有する請求項１記載の垂直記録ヘッド。
【請求項５】
前記ノッチ付きトレーリングシールドは、ＮｉＦｅで作られる請求項１記載の垂直記録ヘッド。
【請求項６】
垂直記録ヘッドの製造方法において、
主磁極層の上面に第１の層をフォトリソグラフィでパターンニングするステップと、
前記パターン形成された第１の層をイオン・ミリングするステップと、
前記パターンニングされミリングされた第１の層の周辺及び上面にアルミナ層を蒸着するステップと、
前記蒸着されたアルミナ層を平坦化するステップと、
前記平坦化されたアルミナ層を所望の厚さに反応性イオン・ミリングするステップと、
反応性イオン・エッチングを行って、前記フォトリソグラフィで形成されたパターンを取り除き、前記主磁極の上面にトレンチを形成するステップと、
前記トレンチ内および前記平坦化されたアルミナ層の上面にギャップ層を蒸着するステップと、
前記トレンチ内および前記ギャップ層の上面にトレーリングシールドを蒸着して、主磁極と自己整合するノッチ付きトレーリングシールドを形成するステップと、
を含む垂直記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記平坦化ステップは、化学的機械的平坦化（ＣＭＰ）プロセスである請求項６記載の垂直記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記切ノッチ付きトレーリングシールドは前記トレンチの厚さによって画定されるノッチ厚さを有し、さらに前記反応性イオン・ミリングは、前記アルミナ層を所望の厚さにミリングして、前記ノッチ深さを制御する請求項６記載の垂直記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記アルミナ層の蒸着は、パターン化された主磁極材料の頂部に、平坦化ステップ中に取り除かれる盛り上がったアルミナ構造体を生じさせる請求項６記載の垂直記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記トレンチの深さは、５０−２００ナノメータ(nm)の範囲内である、請求項６記載の垂直記録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記ギャップ層は、ロジウムによって作られる請求項６記載の垂直記録ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記ギャップ層の厚さは、１０−１００ナノメータ(nm)の範囲内である請求項１１記載の垂直記録ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記ノッチ付きトレーリングシールドは、ＮｉＦｅによって作られる請求項６記載の垂直記録ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
垂直記録ヘッドを有するディスク・ドライブの製造方法において、
主磁極材料の上面をフォトリソグラフィでパターン形成するステップと、
前記パターン形成された主磁極材料をイオン・ミリングするステップと、
前記パターンニングされミリングされた主磁極材料の周辺及び上面にアルミナ層を蒸着させるステップと、
前記蒸着化されたアルミナ層を平坦化するステップと、
前記平坦化されたアルミナ層を所望の厚さに反応性イオン・ミリングするステップと、
反応性イオン・エッチングを行って、前記フォトリソグラフィで形成されたパターンを取り除き、トレンチを形成するステップと、
前記トレンチ内および前記平坦化されたアルミナ層の上面にギャップ層を蒸着するステップと、
前記トレンチ内および前記ギャップ層の上面にトレーリングシールドを蒸着して、自己整合するノッチ付きトレーリングシールドを形成するステップと、
を含む垂直記録ヘッドを有するディスク・ドライブの製造方法。
【請求項１５】
前記平坦化ステップは、化学的機械的平坦化（ＣＭＰ）プロセスである請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
前記ノッチ付きトレーリングシールドは、前記トレンチの厚さによって規定されるノッチ厚さを有し、さらに前記反応性イオン・ミリングステップは、望まれる厚さに前記アルミナ層をミリングして前記ノッチの深さを制御する請求項１４記載の方法。
【請求項１７】
前記アルミナ層の蒸着は、パターン化された主磁極材の上面に、平坦化ステップで取り除かれる盛り上がったアルミナ層を生じさせる請求項１４記載の方法。
【請求項１８】
前記トレンチの深さは、５０−２００ナノメータ(nm)の範囲内である請求項１４記載の方法。
【請求項１９】
前記ギャップ層は、ロジウムによって作られる請求項１４記載の方法。
【請求項２０】
前記ギャップ層の厚さは、１０−１００ナノメータ(nm)の範囲内である請求項１９記載の方法。
【請求項２１】
前記ノッチ付きトレーリングシールドは、ＮｉＦｅによって作られる請求項１４記載の方法。
【請求項２２】
ディスク・ドライブにおいて、
それぞれトラックの幅を規定する幅を有するトラックにデータを書き込むための垂直記録ヘッドを有し、該垂直記録ヘッドが
トレンチを有する主磁極と、
前記トレンチ内に蒸着されたギャップ層と、
前記ギャップ層の上面に形成されたノッチ付きトレーリングシールドと、
を有しており、前記ノッチ付きトレーリングシールドと主磁極とが自己整合されることによってトラック幅制御が改善されるディスク・ドライブ。
【請求項２３】
前記主磁極の周囲および前記ギャップ層の下部に形成されたアルミナ層を含む請求項２２記載のディスク・ドライブ。
【請求項２４】
前記ギャップ層は、ロジウムによって作られる請求項２２記載のディスク・ドライブ。
【請求項２５】
前記ギャップ層は、１０−１００ナノメータ(nm)の厚さを有する請求項２２記載のディスク・ドライブ。
【請求項２６】
前記ノッチ付きトレーリングシールドは、ＮｉＦｅによって作られる請求項２２記載のディスク・ドライブ。
【請求項２７】
前記トレーリングシールドは、切欠いた形状である請求項２２記載のディスク・ドライブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に垂直磁気記録ヘッドの分野に関するもので、より詳細には、磁場漏れを回避し、それによりオーバーライト（overwrite）及び隣接するトラックの干渉問題を改善するためのノッチ付きトレーリングシールド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ハード・ドライブ（即ちディスク・ドライブ）の記録密度が高くなるにつれて、面内記録装置を使用するときは、一部超常磁性として知られる熱減衰によって、物理的限界があることが知られている。即ち、今日の記憶装置に見合った密度要求は、単に面内記録装置で達成できるものではない。この問題をさらに洞察すると、約１５０ギカバイト/インチ２を超える記憶容量が要求されると、面内記録装置は将来普及しなくなるであろうと予想される。結局、これら或いは他の要因により、垂直磁気記録ヘッドまたは垂直記録ヘッドの開発および市販化が期待されている。垂直記録が面内記録の限界を超えて記録密度を押し上げることが見込まれている。
【０００３】
従って、線密度が高くなると減少する記録ビットでの反磁場がより小さくなるために、垂直記録は面内記録よりもより高い線密度を維持することが可能である。
【０００４】
垂直書き込み磁気記録ヘッドは通常２つの部分、磁気媒体上即ちディスク上に磁気による符号化情報を書き込んだりプログラミングするための記録部と、記憶されている情報を媒体から読み込んだり検索するための再生部とから構成されている。
【０００５】
垂直記録用の磁気記録ヘッドの記録部は、通常主磁極とリターン磁極を含み、記録装置部の空気ベアリング面（ABS）で非磁性ギャップ層によりそれぞれ磁性的に分離され、バック・ギャップ閉鎖部（ヨーク）で、それぞれが磁気的に結合されている。ここでは主磁極とリターン磁極と呼ぶが、リターン磁極は物理的には磁極ではなく、むしろループを主磁極と磁束路の軟磁性下地層で閉路するものであるので、この構造は単磁極記録ヘッドと呼ばれる。
【０００６】
絶縁層に包まれている導電コイルの一つ以上の層が、主磁極とリターン磁極の少なくとも一部分に配置されている。前記ABSは記録媒体にま近の磁気ヘッドの面である。
【０００７】
磁気媒体にデータを書き込むために、導電コイルに電流を流すことにより記録ヘッドヨークを介して磁場を生じさせ、媒体の書込みヘッドギャップ周辺に電流が流れるようにする。コイルを通る電流の極性を反転させると、磁気媒体に書き込まれたデータの極性も反転する。
【０００８】
主磁極とリターン磁極は、一般に軟磁性材料から作成される。主磁極とリターン磁極は、書き込み電流が印加される記録時に媒体に磁場を発生させる。
【０００９】
垂直記録ヘッドにおいて、情報の書き込みと消去は単磁極記録ヘッドにより行われる。主磁極は高モーメント磁気材料、最も一般的には例えばコバルト‐鉄（ＣｏＦｅ）合金或いはその被覆層からなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
先に述べたように、垂直記録ヘッドの出現により、記録密度は極めて高まり、その結果、所望のトラック上にデータを正確に記録する必要性が高まっている。即ち、隣接トラックへのデータの損傷を招くので、隣接トラック上に書き込むことはきわめて好ましくない。さらに、非常に好ましくない垂直ヘッドに伴う現在の問題として、磁場漏れによるオーバーライトの減少がある。この問題に関連して、磁場漏れは特定の領域における磁場の集中が妨げられ、それによりオーバーライトがより減少し性能が低下する。従って、特定の領域における磁場の集中を高めることによりオーバーライトを改善することが望ましい。
【００１１】
垂直記録ヘッドは通常トレーリングシールド、サイドシールド、頂部磁極及び底部リターン磁極を有する。主磁極は通常頂部磁極を形成するために主磁極の他の部分よりも狭い先端部或いは延長部を形成するように形状される。サイドシールドは、頂部磁極をシールするように作用し、特定のトラック上の位置での磁気遷移（データ）の書き込み中に生じる隣接トラックへの悪影響を軽減する。トレーリングシールドを切欠くことにより、オーバーライトおよび隣接トラックの干渉に伴う問題を解決する一つの方法にはなるが、限界寸法が小さく位置決めに問題があるので、切欠（ノッチ）付きトレーリングシールドを形成することは困難である。即ち、垂直記録ヘッドにおいては、限界ギャップの厚さ、即ち頂部磁極とトレーリングシールドの間の厚さを制御することには問題があり、さらに、主磁極とトレーリングシールドとの位置決めにも問題がある。さらに、下記に詳述するように、化学的機械的平坦化（CMP）プロセスにより生じる頂部磁極および頂部磁極の角隅部に損傷を与えるという、別の問題がある。
【００１２】
記録ヘッドにおいて、主磁極およびトレーリングシールドはギャップ層により分離され、頂部磁極とトレーリングシールド間の限界ギャップの厚さを上手く制御するようにギャップ層の蒸着を制御する改良する必要がある。
【００１３】
主磁極の形状は通常、隣接するトラックの書き込みを減少させるために傾斜面（梯型）である。頂部磁極の斜面形状の傾斜面の角度を制御すると共に、磁極幅を制御して書き込むトラックを磁極幅により良く整列させるように改良することもまた必要である。
【００１４】
主磁極とトレーリングシールドを製造する過程でしばしば起きることではあるが、主磁極の斜面の角隅を丸くせずむしろ直線的にすることは極めて重要である。そのように角隅を丸くすることで、ディスク上の磁場が直線ではなく丸くなってしまい、その結果、ディスク上に正確にデータを記録する性能が低下して、システム性能に悪影響を与えてしまうと同時に不必要にエネルギー消費が多くなる。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の垂直記録ヘッドは、主磁極とトレーリングシールド間の限界ギャップの厚さをより良く制御しつつ、切欠（ノッチ）付きトレーリングシールドが主磁極に自己整合している、ノッチ付きトレーリングシールドをパタ−ン化して角隅が丸い頂部磁極を排除して製造された主磁極とノッチ付きトレーリングシールドを備えている。
簡潔に述べると、本発明の一つの実施の形態は、トラック上にデータを書き込むための垂直記録ヘッドとその製造方法に関するもので、垂直記録ヘッドは、主磁極上に自己整合するノッチ付きトレーリングシールドを有する主磁極を有し、これによりオーバーライトと隣接するトラック干渉を改善する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、オーバーライト特性に優れ、隣接トラック干渉が少ない垂直記録ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態によるディスク・ドライブ１００の斜視図である。ディスク・ドライブ１００には、ボイス・コイルモータ（VCM）１０２、アクチュエータ・アーム１０４、サスペンション１０６、フレキシャ１０８、スライダ１１０、記録（垂直）ヘッド１１２、ヘッド搭載用ブロック１１４及びディスク即ちメディア１１６が含まれる。サスペンション１０６は、ヘッド搭載用ブロック１１４のアクチュエータ・アーム１０４に連結されている。アクチュエータ・アーム１０４は、VCM１０２に結合している。ディスク１１６は、複数のトラック１１８を有し、軸１２０の周りを回転する。トラック１１８は円形であって、それぞれが前記ディスク１１６面の円周に沿って延びており、その上には磁気コード化されたデータ即ち情報が垂直ヘッド１１２を用いて記憶（又はプログラム）され、それらは更なる図面に基づいて、より詳細に説明されるであろう。以下に明らかな通り、本発明の実施の形態では望ましくない隣接トラックへの書き込みを低減している。
【００１８】
ディスク・ドライブ１００の動作中、ディスク１１６の回転は、スライダ１１０との遭遇により空気の動きを発生する。この空気の動きは、スライダ１１０をディスク１１６の表面上に僅かの間隙を持って浮上させ、スライダ１１０がディスク１１６面の上方を浮上するように作用する。VCM１０２は、アクチュエータ・アーム１０４が軸１２２の周りを動くように選択的に作動し、それによりサスペンション１０６が動いて、ディスク１１６のトラック上でスライダ１１０により、主磁気（図示せず）を含むトランスデューサ（図示せず）を位置決めする。同心円状のトラック１１８からトラック１１８にデータを読み取り及び書き込むには前記トランスデューサを正確に位置決めすることが肝要である。
【００１９】
図２は、本発明の実施形態におけるトレーリングシールド２００、サイドシールド２０６、主磁極２０２及び底部リターン磁極２０４を有する記録ヘッドの一部のABS図である。先に説明したように、主磁極は通常頂部磁極を形成するために主磁極の他の部分よりも狭い先端部或いは延長部を形成するように形状される。サイドシールド２０６は、頂部磁極をシールドするように作用し、特定のトラック上の位置での磁気遷移（データ）の書き込み中に生じる隣接トラックへの悪影響を軽減する。主磁極２０２の製造方法及び構造は、その詳細を記述すると、CMPから生じる頂部磁極の損傷及び角隅部を丸くすることを排除することであり、またノッチ付きトレーリングシールド２００の自己整合の助けとなり、さらに主磁極２０２とノッチ付きトレーリングシールド２００間の臨界ギャップ厚を制御する助けとなるものである。
【００２０】
図３〜図１１は、本発明の一実施形態及び方法による、図２に示す、主磁極２０２及びトレーリングシールド２００の製造の関連工程を示す。図３は、当業者で公知の主磁極材料２１０を示す。次に、図４に示すように、スパッタリング又はメッキ蒸着を施した主磁極は、フォトリソグラフィによりパターンニングされ、主磁極材料２１０の頂部にパターン化されたフォトリソグラフィ層２１４を持った構造体２１２を形成する。本発明の一実施形態においては、前記層２１４は、次の化学的機械的平坦化（CMP）プロセス中にストップ層として作用するダイヤモンド状カーボン（DLC）で作られる。
【００２１】
次に、イオン・ミリング・プロセスにより図４の磁極材料２１０から図５の構造体２１８を形成する。構造体２１８は、傾斜主磁極２２０が得られるように傾斜しており、その頂部は図４の層２１４の頂部において図５の層２２２が得られるように高さが減少している。磁極２２０の磁極幅及び傾斜はイオン・ミリングにより得られる。次いで、図６に見られるように、アルミナ層を構造体２１８の全面及び頂部に蒸着する。構造体２１８が存在するために、ドーム形状のアルミナ構造体２２６がアルミナ層状蒸着物の一部として得られ、そこではアルミナ層は構造体２１８の上に積み上げられる。アルミナはAl２O3と同である。図６の構造体２１８を再補充した層２２４は、その支持に利用される。
【００２２】
次に、図７に見られるように、CMPプロセス２３０を行ない、構造体２２６を除去し、アルミナ層を平坦化する。CMPプロセス２３０は、トレーリングシールド２００を蒸着する前に構造体の表面を平坦化するために行われる。
【００２３】
次に、図８に見られるように、アルミナ層２２４の一部を除去し、又は厚さを減少させるために反応性イオン・ミリング・プロセス２３２を行ない、平坦なアルミナ層２３４を得る。反応性イオン・ミリング・プロセスは、アルミナ層２２４を減少させることにより、アルミナ層２３４を主磁極の頂部（前記層２２２）の下方に少なくとも１００ナノメータ（nm）になるようにする。前記層２３４は、垂直磁気ヘッドの一部となるように残る。図７のCMPプロセスと組み合わせた反応性イオン・ミリング・プロセス２３２は、反応性イオン・ミリング補助CMP と呼ばれ、CMPプロセスに続く反応性イオン・ミリング・プロセス２３２は、頂部（即ち主）磁極の隅部が丸くなることを排除するが、これは先に述べた理由により強く求められている。
【００２４】
次に、図９においては、反応性イオン・ミリング・プロセス２３６を行ない、層２２２を除去してトレンチ２３８を形成するが、このトレンチは本質的に空白部又は窪みであり、図１０に見られるように、その中にギャップ層２４０が蒸着される。反応性イオン・ミリング・プロセス２３６の後、主磁極即ち頂部磁極（磁極物質２２０）は本質的に２３８で開いている。ここに記述されるように、本発明の方法によれば、トレンチの形成及びノッチ付きトレーリングシールドにおける切欠（ノッチ）が形成される。ここではノッチは、本発明の方法で教示されたプロセスを採ることにより主磁極の頂部に自己整合をする。自己整合は重要な特長となっている。というのは、それは主磁極及びトレンチの限界寸法はきわめて小さく、徐々にさらに小さくなるので、主磁極の頂部におけるノッチの位置合わせは、従来技術のフォトリソグラフィ工程では、容易に克服することの出来ない大きな技術的挑戦となっているからである。ギャップ層２４０はトレンチ２３８にも層２３４の頂部にも蒸着される。本発明の一実施形態においては、ギャップ層２４０は、ロジウムで作られ、これは自己整合型ノッチ付きトレーリングシールドのギャップ層とシード層の両者に利用される。本発明の一実施形態では、ギャップ層の厚さは５０ナノメータ(nm)であるが、その厚さは１０〜１００ナノメータ(nm)の範囲にとることができる。
【００２５】
トラック幅は、基本的には図９の２３７及び先の幾つかの図面における台形の主磁極の頂端の幅で規定される。トラックへ正しいデータの記載をするためにエロージョンがＣＭＰしないようにすることが大切である。トレンチ２３８は角隅部の丸みが取り除かれ、所望の鋭角な遷移に並べられるように、トラック上にデータをプログラムするのに使用される磁束の湾曲遷移を防止する。即ち、所望の遷移は同心円状のトラックに対して垂直であるべきであり、角隅に丸みが存在すると、これらの転移は、鋭角即ち垂直であるよりも寧ろ湾曲する。本発明の一実施形態においては、トレンチの深さは５０−２００ナノメータ（nm）の範囲内であり、それは短的にはトレンチに蒸着されるトレーリングシールドのノッチの大きさを規定する。
【００２６】
ノッチの存在により、主磁極とトレーリングシールドは整合する。図１０におけるギャップ/シード層２４０の蒸着後、ノッチ付きトレーリングシールド２４４は、ギャップ層２４０の頂部に蒸着され、図１１に示すように構造体２４２を形成する。他の実施形態では、主磁極の頂部とトレーリングシールドの間のギャップには少なくとも二つの層、ギャップ層の頂部に蒸着されるシード層からなり、ギャップ層は磁気的に非導電性であり、シード層は導電性である。本発明の一実施形態では、ノッチ付きトレーリングシールド２４４はＮｉＦｅで作られる。構造体２４２は、ギャップ層２４０によってノッチ付きトレーリングシールド２４４から隔てられた主（即ち頂部）磁極２２０を有する。構造体２４２のノッチ付きトレーリングシールド２４４は、オーバーライティングや従来の垂直記録ヘッドに関連した隣接トラック干渉問題を改善する。本明細書に記載および説明の図面は特定のスケールで示されていないことに注意すべきである。又示されるように、トレンチ２３８及びノッチ付きトレーリングシールド２４４のノッチは必ずしも正確に角度付けされたものではない。
【００２７】
本発明は特定の実施形態に基づいて記載されているが、これらが変更又は修正されることは当業者にとって明らかであろう。よって、特許請求の範囲は、本発明の精神及び範囲内でそのような変更及び修正を網羅するものと理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態に係るディスク・ドライブ１００の上面斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す、トレーリングシールド２００、サイドシールド２０６、頂部磁極２０２および底部リターン磁極２０４を有する記録ヘッド１１２のABS図である。
【図３】図２に示す主磁極２０２及びトレーリングシールド２００の製造工程を示す図である。
【図４】図２に示す主磁極２０２及びトレーリングシールド２００の製造工程を示す図である。
【図５】図２に示す主磁極２０２及び前縁シールド２００の製造工程を示す図である。
【図６】図２に示す主磁極２０２及び前縁シールド２００の製造工程を示す図である。
【図７】図２に示す主磁極２０２及び前縁シールド２００の製造工程を示す図である。
【図８】図２に示す主磁極２０２及び前縁シールド２００の製造工程を示す図である。
【図９】図２に示す主磁極２０２及び前縁シールド２００の製造工程を示す図である。
【図１０】図２に示す主磁極２０２及び前縁シールド２００の製造工程を示す図である。
【図１１】図２に示す主磁極２０２及び前縁シールド２００の製造工程を示す図である。
【符号の説明】
【００２９】
１００…ディスク・ドライブ、
１０２…ボイス・コイルモータ(VCM)、
１０４…アクチュエータ・アーム、
１０６…サスペンション、
１０８…フレキシャ、
１１０…スライダ、
１１２…垂直記録ヘッド、
１１４…ヘッド搭載用ブロック、
１１６…ディスク、
２００，２４４…ノッチ付きトレーリングシールド、
２０２，２２０…主磁極、
２０４…底部リターン磁極、
２０６…サイドシールド、
２１０…主磁極材料、
２１４，２２２…フォトリソグラフィ層、
２２４，２２６，２３４…アルミナ層、
２３２，２３６…反応性イオン・ミリング、
２３７…トラック幅、
２３８…トレンチ、
２４０…ギャップ層。
【図１】
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【図２】
2007048431.tif 000004
【図３】
2007048431.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007048431.tif 000007
【図６】
2007048431.tif 000008
【図７】
2007048431.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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