(57)【要約】【課題】本発明では、挿入損失が小さく且つ小型化が可能なアレイ導光路回折格子を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係るアレイ導光路回折格子は、少なくとも１本以上の導光路を有する第一ポート導光路と、一端が前記第一ポート導光路に接続される第一光方向性結合回路と、一端が前記第一光方向性結合回路の他端に接続され、それぞれ光路長の異なる複数の導光路を有するアレイ導光路と、一端が前記アレイ導光路の他端に接続される第二光方向性結合回路と、一端が前記第二光方向性結合回路と接続され、少なくとも２本以上の導光路を有する第二ポート導光路と、を備え、前記導光路が隣接する導光路と接することなく配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１本以上の導光路を有する第一ポート導光路と、
一端が前記第一ポート導光路に接続される第一光方向性結合回路と、
一端が前記第一光方向性結合回路の他端に接続され、それぞれ光路長の異なる複数の導光路を有するアレイ導光路と、
一端が前記アレイ導光路の他端に接続される第二光方向性結合回路と、
一端が前記第二光方向性結合回路と接続され、少なくとも２本以上の導光路を有する第二ポート導光路と、
を備え、
前記導光路が隣接する導光路と接することなく配置されていることを特徴とするアレイ導光路回折格子。
【請求項２】
前記導光路は、コアとクラッドとの比屈折率差が０．０２以上であることを特徴とする請求項１に記載のアレイ導光路回折格子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光波長分割多重通信に適用可能なアレイ導光路回折格子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、中央演算処理装置等の集積回路での信号処理の高速化が図れている。しかし、現在では、集積回路におけるクロック速度は、３ＧＨｚ程度に停滞しており、更なる高速化への途が閉ざされつつある。この原因として、集積回路内部では電気信号により信号伝達を行うため、信号線同士の接触を避けるべく信号線の周囲を絶縁体によって覆う必要があり、各信号線の間で抵抗と容量が生じてしまうことがある。また、集積度を高くするため信号線を細くすれば信号線自体の抵抗が増加してしまうこともある。その結果、信号の伝達速度が低下し、クロック速度の低下につながるからである。また、信号線に電流を流す結果、消費電力は９０Ｗにも達し、集積回路の発熱温度が非常に高温になるという問題もある。
【０００３】
このように、集積度の限界を迎える大規模集積回路（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ  ｃｉｒｃｕｉｔ：ＬＳＩ）の問題を克服するため、光情報処理を行う微小デバイスをシリコン基板上に集積させる技術基盤（シリコンフォトニクス）が盛んに研究されている。信号伝達媒体としての導光路には抵抗も容量もなく、クロック速度を最も高速にすることができる。特に波長分割多重方式は、広帯域な光ファイバ情報通信網において実用化され、シリコンフォトニクスにおいても、伝送速度向上に不可欠な技術と期待されている。
【０００４】
多重化された光を分光するアレイ導光路回折格子（Ａｒｒａｙｅｄ  Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ  Ｇｒａｔｉｎｇ：ＡＷＧ）は、波長分割多重方式におけるキーデバイスである。これまでにシリコン系の高屈折率（Ｈｉｇｈ−ｉｎｄｅｘ  Ｃｏｎｔｒａｓｔ：ＨＩＣ）材料で構成された、微小なコア部（百ミクロン角）に光を強く閉じ込める微小ＡＷＧについて報告されている（例えば、非特許文献１参照。）。
【非特許文献１】Ｋ．Ｓａｓａｋｉ，  Ｆ．Ｏｈｎｏ，  Ａ．Ｍｏｔｅｇｉ  ａｎｄ  Ｔ．Ｂａｂａ，  “Ａｒｒａｙｅｄ  ｗａｖｅｇｕｉｄｅ  ｇｒａｔｉｎｇ  ｏｆ  ７０×６０μｍ↑２  ｓｉｚｅ  ｂａｓｅｄ  ｏｎ  Ｓｉ  ｐｈｏｔｏｎｉｃ  ｗｉｒｅ  ｗａｖｅｇｕｉｄｅｓ”，  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ  Ｌｅｔｔｅｒｓ，  ７ｔｈ，  Ｊｕｌｙ  ２００５，  Ｖｏｌ．４１，  Ｎｏ．１４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記非特許文献１等で報告されているＡＷＧは、２つのスラブ導光路をアレイ導光路により接合した構造を持つ。このような構造では、コアの屈折率が高い場合には光がコアに強く閉じ込められるため、スラブ導光路とアレイ導光路との境界における導光路の分岐部分において光が反射又は散乱し挿入損失が生じる。
【０００６】
これを避けるため、スラブ導光路を多モード干渉計構造（ＭＭＩ）として、スラブ導光路内を伝搬する光に正弦波的な濃淡を持たせるＡＷＧを用いることも考えられるが、ＭＭＩのスラブ導光路を持つＡＷＧは、構造が長くなるという問題が生じる。また、スラブ導光路を用いたＡＷＧでは導光路の分岐部分の曲率を小さくする必要があるが、シリコンフォトニクスで利用される光露光では、導光路の分岐部分の曲率を小さくすることは困難である。
【０００７】
このように、従来のスラブ導光路を持つＡＷＧでは、導光路の分岐部分における散乱又は反射は避けられず、挿入損失は本質的な問題である。
【０００８】
そこで、本発明では、挿入損失が小さく且つ小型化が可能なアレイ導光路回折格子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、発明者は、ポート導光路とアレイ導光路との結合に光方向性結合回路を設けることとした。
【００１０】
具体的には、本発明に係るアレイ導光路回折格子は、少なくとも１本以上の導光路を有する第一ポート導光路と、一端が前記第一ポート導光路に接続される第一光方向性結合回路と、一端が前記第一光方向性結合回路の他端に接続され、それぞれ光路長の異なる複数の導光路を有するアレイ導光路と、一端が前記アレイ導光路の他端に接続される第二光方向性結合回路と、一端が前記第二光方向性結合回路と接続され、少なくとも２本以上の導光路を有する第二ポート導光路と、を備え、前記導光路が隣接する導光路と接することなく配置されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明では、第一ポート導光路及び第二ポート導光路とアレイ導光路との結合に第一光方向性結合回路又は第二光方向性結合回路を設けた。これにより、光を分波／合波又は波長分離／波長多重する際に、従来のスラブ導光路とアレイ導光路との境界における導光路の分岐部分をなくすことができ、当該分岐部分での反射や散乱を避けることができる。従って、挿入損失を小さくすることができる。
【００１２】
上記アレイ導光路回折格子において、前記導光路は、コアとクラッドとの比屈折率差が０．０２以上であることが望ましい。ここで、比屈折率差ｒは、ｒ＝（ｎｃｏｒｅ−ｎｃｌａｄ）／ｎｃｌａｄと定義される。ｎｃｏｒｅとはコアの屈折率、ｎｃｌａｄとはクラッドの屈折率である。
【００１３】
導光路の曲げ半径Ｒについて１ｍｍ以下を実現するためには、コアとクラッドとの比屈折率差ｒを０．０２以上にする必要がある。このような比屈折率差では、スラブ導光路とアレイ導光路との境界における導光路の分岐部分での反射や散乱の量が多くなる。本発明では、第一ポート導光路及び第二ポート導光路とアレイ導光路との結合に第一光方向性結合回路又は第二光方向性結合回路を設けることにより、導光路の分岐部分をなくして当該部分での反射や散乱を避けることができるため、コアとクラッドとの比屈折率差を０．０２以上としても挿入損失を小さくしたまま導光路の曲げ半径Ｒについて１ｍｍ以下を実現できる。従って、本発明では、挿入損失が小さく且つ小型のアレイ導光路回折格子を実現することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るアレイ導光路回折格子は、挿入損失が小さく且つ小型化が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、以下に示す実施形態に限定されるものではない。また、本明細書及び図面において、符号が同一の構成要素は相互に同一のものを示すものとする。
【００１６】
図１に、本実施形態に係るアレイ導光路回折格子の概略構成図を示す。また、図２に、図１におけるＡ−Ａ’線における切断面の概略構成図を示し、図３に、図１におけるＢ−Ｂ’線における切断面の概略構成図を示す。
【００１７】
図１のアレイ導光路回折格子１０は、第一ポート導光路１１と、一端が第一ポート導光路１１に接続される第一光方向性結合回路１２と、一端が第一光方向性結合回路１２の他端に接続されるアレイ導光路１３と、一端がアレイ導光路１３の他端に接続される第二光方向性結合回路１４と、一端が第二光方向性結合回路１４と接続される第二ポート導光路１５と、を備える。
【００１８】
第一ポート導光路１１は、導光路３１ｄを有する。本実施形態では、１本の導光路３１ｄを有しているが、導光路を複数有することもできる。導光路を複数有する場合には、第一ポート導光路１１の１の導光路が他の隣接する導光路と接することなく配置される。また、導光路３１ｄは、光を伝搬させるコアの周囲をコアとの比屈折率が異なるクラッドで覆った構造をしており、コア幅は、シングルモードの光を導光できる幅であればよい。本実施形態では、導光路３１ｄのコア幅は、０．４μｍである。
【００１９】
第一光方向性結合回路１２は、複数の導光路３２ａ−３２ｇを有する。導光路３２ａ−３２ｇは、隣接する導光路同士、互いに接することなく配置されている。また、導光路３２ａ−３２ｇは、図２に示すように光を伝搬させるコア３７ａ―３７ｆの周囲をコア３７ａ―３７ｆとの比屈折率が異なるクラッド２１，２２で覆った構造をしている。コア３７ａ―３７ｆのコア幅は、シングルモードの光を導光できる幅であればよい。本実施形態では、コア３７ａ―３７ｆのコア幅は、それぞれ０．４μｍである。図１の第一光方向性結合回路１２は、複数の導光路３２ａ−３２ｇのうち導光路３２ｄの一端が第一ポート導光路１１の導光路３１ｄと接続され、導光路３１ｄ中を伝搬する光を７本の導光路３２ａ−３２ｇの波動間の分布結合によりモード結合させて分配し、アレイ導光路１３に向けて出力する。ここで、「接続」には、導光路同士が連続するように接続することも、別々の導光路のコア端面同士が向かい合うようにして接続することも含むものとする（以下、本明細書において同じとする。）。また、図１の導光路３２ａ−３２ｇの結合長及び間隔は、光の分配の度合いにより適宜設定する。この場合、導光路３２ａ−３２ｇ間で光を等分配するように設定してもよいし、特定の関数に従った分配とするように設定してもよい。本実施形態では、図２に示すように、導光路３２ａ−３２ｆのコア３７ａ―３７ｆは、それぞれ０．６μｍの等間隔に配置されている。図１の導光路３２ｇのコアについても同様で、コア幅０．４μｍでコア３７ｆとの間隔は０．６μｍである。また、本実施形態では、導光路３１ｄは、導光路３２ａ−３２ｇのうち、中央の導光路３２ｄに接続しているが、光の分配度合いに応じていずれの導光路に接続してもよい。また、導光路３２ａ−３２ｇのうち導光路３１ｄに接続される導光路３２ｄを除く他の導光路のコア先端部（例えば、導光路３２ｇのコア先端部３６）は、徐々に狭まった形状とすることがよい。不要な反射を防止することができるからである。他の導光路３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｅ，３２ｆについても同様である。
【００２０】
アレイ導光路１３は、複数の導光路３３ａ−３３ｇを有する。導光路３３ａ−３３ｇは、隣接する導光路同士、互いに接することなく配置されている。導光路３３ａ−３３ｇは、図３に示すように光を伝搬させるコア３９ａ―３９ｃの周囲をコア３９ａ―３９ｃとの比屈折率が異なるクラッド２１，２２で覆った構造をしている。コア３９ａ―３９ｃのコア幅は、シングルモードの光を導光できる幅であればよい。本実施形態では、コア３９ａ―３９ｃのコア幅は、それぞれ０．４μｍである。図１のアレイ導光路１３は、導光路３３ａ−３３ｇの一端が第一光方向性結合回路１２の導光路３２ａ−３２ｇの他端に接続される。また、複数の導光路３３ａ−３３ｇの光路長が異なっており、導光路３３ａ−３３ｇ中をそれぞれ伝搬する光のモードに位相差をつけて第二光方向性結合回路１４に向けて出力する。ここで、複数の導光路３３ａ−３３ｇの数は、第一光方向性結合回路１２での光の分配数に応じて決定される。また、導光路３３ａ−３３ｇの間隔は、導光路３３ａ−３３ｇ中を伝搬する光のモード結合を回避する間隔とする。本実施形態では、図３に示すように、導光路３３ａ−３３ｃのコア３９ａ―３９ｃは、それぞれ２．０μｍの等間隔に配置されている。図１の導光路３３ｄ−３３ｇについても同様で、導光路３３ｃを含め、導光路３３ｃ−３３ｇのコアは、コア幅０．４μｍで２．０μｍの等間隔に配置されている。
【００２１】
第二光方向性結合回路１４は、複数の導光路３４ａ−３４ｇを有する。導光路３４ａ−３４ｇは、隣接する導光路同士、互いに接することなく配置されている。導光路３４ａ−３４ｇは、図２に示すように光を伝搬させるコア３８ａ―３８ｆの周囲をコア３８ａ―３８ｆとの比屈折率が異なるクラッド２１，２２で覆った構造をしている。コア３８ａ―３８ｆのコア幅は、シングルモードの光を導光できる幅であればよい。本実施形態では、コア３８ａ―３８ｆのコア幅は、それぞれ０．４μｍである。図１の第二光方向性結合回路１４は、導光路３４ａ−３４ｇの一端がアレイ導光路１３の導光路３３ａ―３３ｇの他端と接続され、導光路３３ａ−３３ｇ中を伝搬する光を７本の導光路３４ａ−３４ｇ間での分布結合によりモード結合させて第二ポート導光路１５に向けて出力する。これにより、導光路３４ｂ，３４ｄ，３４ｆにおいてモード間の干渉が生じるため、第二光方向性結合回路１４は、導光路３４ｂ，３４ｄ，３４ｆの他端からそれぞれ異なる波長を分離して出力することができる。ここで、導光路３４ａ−３４ｇの結合長及び間隔は、光の結合の度合いにより適宜設定する。本実施形態では、図２に示すように、導光路３４ａ−３４ｆのコア３８ａ―３８ｆは、０．６μｍの等間隔に配置されている。図１の導光路３４ｇのコアについても同様で、コア幅０．４μｍでコア３８ｆとの間隔は０．６μｍである。また、導光路３４ａ−３４ｇのうち導光路３４ｂ，３４ｄ，３４ｆを除く他の導光路のコア先端部（例えば、導光路３４ｇのコア先端部４２）は、徐々に狭まった形状とすることがよい。不要な反射を防止することができるからである。他の導光路３４ａ，３４ｃ，３４ｅのコア先端部についても同様である。
【００２２】
第二ポート導光路１５は、複数の導光路３５ｂ，３５ｄ，３５ｆを有する。導光路３５ｂ，３５ｄ，３５ｆは、隣接する導光路同士、互いに接することなく配置されている。導光路３５ｂ，３５ｄ，３５ｆは、光を伝搬させるコアの周囲をコアとの比屈折率が異なるクラッドで覆った構造をしている。コアのコア幅は、シングルモードの光を導光できる幅であればよい。本実施形態では、コア幅は、それぞれ０．４μｍである。第二ポート導光路１５は、導光路３５ｂ，３５ｄ，３５ｆの一端が第二光方向性結合回路１４の導光路３４ｂ，３４ｄ，３４ｆの他端と接続され、導光路３４ｂ，３４ｄ，３４ｆにおいて波長分離された光を導光路３５ｂ，３５ｄ，３５ｆ中に伝搬させて出力する。ここで、本実施形態では、３本の導光路３５ｂ，３５ｄ，３５ｆを有しているが、第二ポート導光路１５は、導光路を少なくとも２本以上有する。また、導光路３５ｂ，３５ｄ，３５ｆは、第二光方向性結合回路１４の導光路３４ｂ，３４ｄ，３４ｆにそれぞれ接続されているが、導光路３４ａ―３４ｇのいずれかの３つに接続してもよい。導光路３４ａ，３４ｃ，３４ｅ，３４ｇからは、光のモード間の干渉の度合いに応じて導光路３４ｂ，３４ｄ，３４ｆとは異なった波長の光を取り出すことができる。
【００２３】
以上説明したように、図１のアレイ導光路回折格子１０は、第一ポート導光路１１とアレイ導光路１３とを結合させるため、導光路３１ｄからの光を分布結合によりモード結合させて分配する第一光方向性結合回路１２を設け、アレイ導光路１３と第二ポート導光路１５とを結合させるため、導光路３３ａ―３３ｇからの光を分布結合によりモード間で干渉させて波長分離する第二光方向性結合回路１４を設けた。これにより、光を分波／合波又は波長分離／波長多重する際に、従来のスラブ導光路とアレイ導光路との境界における導光路の分岐部分をなくすことができ、当該部分において生じていた光の反射や散乱を避けることができる。従ってアレイ導光路回折格子１０は、挿入損失を小さくすることができる。本実施形態では、アレイ導光路回折格子１０の導光路３１ｄ，３２ａ―３２ｇ，３３ａ―３３ｇ，３４ａ―３４ｇ，３５ｂ，３５ｄ，３５ｆが全てチャネル型導光路である場合について説明したが、導光路３１ｄ，３２ａ―３２ｇ，３３ａ―３３ｇ，３４ａ―３４ｇ，３５ｂ，３５ｄ，３５ｆは、その一部又は全部がリッジ型導光路又はリブ型導光路であってもよい。
【００２４】
ここで、第一ポート導光路１１、第一光方向性結合回路１２、アレイ導光路１３、第二光方向性結合回路１４及び第二ポート導光路１５において、導光路３１ｄ，３２ａ―３２ｇ，３３ａ―３３ｇ，３４ａ―３４ｇ，３５ｂ，３５ｄ，３５ｆは、コアとクラッドとの比屈折率差が０．０２以上であることが望ましい。
【００２５】
表１に、比屈折率差が０．０２以上を実現できるコアとクラッドとの材料の組み合せの一例を示す。
【００２６】
【表１】
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【００２７】
表１に例示する材料の組み合せにより、図１の導光路３１ｄ，３２ａ―３２ｇ，３３ａ―３３ｇ，３４ａ―３４ｇ，３５ｂ，３５ｄ，３５ｆのコアとクラッドとの比屈折率差ｒを０．０２以上にすることができる。比屈折率差ｒを０．０２以上にすると、導光路の曲げ半径Ｒについて１ｍｍ以下を実現でき、アレイ導光路回折格子１０を挿入損失が小さく且つ小型にすることができる。図１のアレイ導光路回折格子１０では、第一ポート導光路１１とアレイ導光路１３との結合に第一光方向性結合回路１２を設け、アレイ導光路１３と第二ポート導光路１５との結合に第二光方向性結合回路１４を設けたため、導光路の分岐部分をなくして当該部分での反射や散乱を回避することができる。そのため、コアとクラッドとの比屈折率差を０．０２以上としても挿入損失を小さくしたまま導光路の曲げ半径Ｒについて１ｍｍ以下を実現することができる。
【００２８】
図１のアレイ導光路回折格子１０の製造方法の一例について説明する。
【００２９】
図４は、アレイ導光路回折格子の製造方法の各工程におけるアレイ導光路回折格子の概略切断面（図１のＡ−Ａ’線での切断面の一部）を示している。図４（ａ）から（ｅ）は、各工程におけるアレイ導光路回折格子の概略切断面を製造工程に沿って記載している。
【００３０】
図１のアレイ導光路回折格子１０を製造する場合、図４（ａ）に示す基板２３上にクラッド２２及びコア層４１を順に配置したウェハ６０を使用する。ウェハ６０の基板２３は、シリコン基板を例示できる。また、クラッド２２は、表１中の例えばＳｉＯ２を適用できる。また、コア層４１は、図１のアレイ導光路回折格子１０の完成時には、導光路のコアとなるもので、表１中の例えばＳｉを適用することができる。
【００３１】
図４（ａ）のウェハ６０に図１の導光路３１ｄ，３２ａ―３２ｇ，３３ａ―３３ｇ，３４ａ―３４ｇ，３５ｂ，３５ｄ，３５ｆの経路となるレジストパターン５１ａ−５１ｃを形成する（図４（ｂ））。その後、レジストパターン５１ａ−５１ｃをマスクにしてドライエッチングによりコア層４１をエッチングしてコア３７ａ−３７ｃを形成する。その後、レジストパターン５１ａ−５１ｃを剥離し、図４（ｄ）に示すようにコア３７ａ−３７ｃを露出させる。そして、図４（ｄ）のコア３７ａ−３７ｃ上にクラッド２１を堆積させて図４（ｅ）の導光路３２ａ―３２ｃを形成する。クラッド２１は、表１中の例えばＳｉＯ２を適用できる。
【００３２】
図５に、他の形態に係るアレイ導光路回折格子の概略構成図を示す。
【００３３】
図５のアレイ導光路回折格子７０は、１６μｍ×３７μｍの大きさの基板２５上に、第一ポート導光路９１と、第一光方向性結合回路９２と、アレイ導光路９３と、第二光方向性結合回路９４と、第二ポート導光路９５とを備える。第一ポート導光路９１、第一光方向性結合回路９２、アレイ導光路９３、第二光方向性結合回路９４及び第二ポート導光路９５は、それぞれ導光路８１ａ−８１ｃにより構成されている。本実施形態では、アレイ導光路回折格子７０の導光路８１ａ−８１ｃを全てチャネル型導光路としているが、導光路８１ａ−８１ｃは、その一部又は全部がリッジ型導光路又はリブ型導光路であってもよい。
【００３４】
本実施形態では、導光路８１ａ−８１ｃは、コアとしてＳｉ（屈折率３．５）が、クラッドとしてＳｉＯ２（屈折率１．４５）がそれぞれ適用されている。また、コアのコア幅は０．４μｍである。また、導光路８１ａ−８１ｃは、第一光方向性結合回路９２及び第二光方向性結合回路９４においてコアが０．６μｍの等間隔に配置され、アレイ導光路９３及び第二ポート導光路９５においてコアが２．０μｍの等間隔に配置されている。
【００３５】
上記の諸元の下、第一ポート導光路９１の一端９６から波長１５００ｎｍを中心とした時間幅５０ｆｓのパルス光（ＴＥモード）を入力した場合の光の伝搬のシミュレーションを行った。シミュレーションは、二次元の有限差分時間領域（２Ｄ−ＦＤＴＤ）法を用いている。
【００３６】
図６に、図５の第二ポート導光路９５から出力される光の分光スペクトルの一例を示す。図６において、各グラフは、図５の第二ポート導光路９５の出力（ａ）〜（ｃ）に対応する。
【００３７】
図６に示すように波長λ＝１．４μｍ〜１．６μｍにおいて波長分離特性が見られる。そのため、図５のアレイ導光路回折格子７０は、波長分離した光を第二ポート導光路９５から出力できることが分かる。また、図５に示すように、従来のスラブ導光路に代えて光方向性結合回路を用いた３波長の波長分離のアレイ導光路回折格子７０では、１６μｍ×３７μｍ程度まで小型化できることが分かった。
【００３８】
本実施形態では、第一ポート導光路９１の側から光を入力して第二ポート導光路９５から波長分離した光を出力しているが、第二ポート導光路９５の一端９７，９８，９９からそれぞれ異なる波長の光を入力すれば、第一光方向性結合回路９２において合波して第一ポート導光路９１の一端９６から波長多重した光を出力することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明に係るアレイ導光路回折格子は、光波長多重通信に適用できる他、集積回路内において、電気信号に代えて光信号を伝達する信号伝達手段の一部としての適用の可能性がある。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】１実施形態に係るアレイ導光路回折格子の概略構成図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’線における切断面を示した概略構成図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ’線における切断面を示した概略構成図である。
【図４】アレイ導光路回折格子の製造方法の各工程におけるアレイ導光路回折格子の概略切断面（図１のＡ−Ａ’線での切断面の一部）を示した図である。
【図５】１実施形態に係るアレイ導光路回折格子の概略構成図を示す。
【図６】第二ポート導光路から出力される光の分光スペクトルの１例を示した図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０：アレイ導光路回折格子
１１：第一ポート導光路
１２：第一光方向性結合回路
１３：アレイ導光路
１４：第二光方向性結合回路
１５：第二ポート導光路
２１、２２：クラッド
２３、２５：基板
３１ｄ：導光路
３２ａ−３２ｇ：導光路
３３ａ−３３ｇ：導光路
３４ａ−３４ｇ：導光路
３５ｂ，３５ｄ，３５ｆ：導光路
３６、４２：コア先端部
３７ａ−３７ｆ：コア
３８ａ−３８ｆ：コア
３９ａ−３９ｃ：コア
４１：コア層
５１ａ−５１ｃ：レジストパターン
６０：ウェハ
７０：アレイ導光路回折格子
８１ａ−８１ｃ：導光路
９１：第一ポート導光路
９２：第一光方向性結合回路
９３：アレイ導光路
９４：第二光方向性結合回路
９５：第二ポート導光路
９６、９７、９８、９９：一端
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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