(57)【要約】【課題】本発明の課題は、被収納物を傷つける心配がなく、かつ、効率のよい収納作業ができる収納袋を提供することである。【解決手段】本発明の収納袋１００は、多数枚の袋状部１１が重ね合わされ、重なり合う袋状部１１同士の側面が側面の略中央部で、開口辺に垂直な側面全体に亘る長さの帯状の部分接着部１０１で接着され、最上下の袋状部１１のそれぞれの外側面には、開口補助用のつまみ部１０２が設けられており、それらを上下反対方向に引っ張ることで、多数枚の密着した上下のグラシン紙１２，１３を一斉に、容易に剥離させることができ、さらに開口部１５を一定の大きさに広げた状態にできる。【選択図】図１
2007331803.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板材の収納袋であって、複数枚の袋状部を重ね合わせ、重なり合う袋状部同士の側面を互いに部分接着してなる収納袋。
【請求項２】
前記薄板材は半導体ウェーハである請求項１に記載の収納袋。
【請求項３】
グラシン紙からなる請求項１または２に記載の収納袋。
【請求項４】
前記袋状部の側面の略中央部を部分接着した請求項１から３のいずれかに記載の収納袋。
【請求項５】
前記部分接着部は、開口辺に垂直な帯状である請求項４に記載の収納袋。
【請求項６】
前記部分接着部は、開口辺近傍に配置したドット状である請求項４に記載の収納袋。
【請求項７】
前記部分接着部は、開口辺に沿った帯状である請求項４に記載の収納袋。
【請求項８】
最上部および最下部の前記袋状部のそれぞれの外側面に開口補助用のつまみ部を設けた請求項１から７のいずれかに記載の収納袋。
【請求項９】
２列連設された請求項１から８のいずれかに記載の収納袋。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハなどの薄板材を収納する収納袋に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の収納袋の一例として、半導体ウェーハの収納袋を図５に示す。図５（ａ）は斜視図、図５（ｂ）は収納作業の説明図である。
【０００３】
図５において、１０は従来の収納袋、１１は袋状部、１２は上側グラシン紙、１３は下側グラシン紙、１４はシール部、１５は開口部、１６は案内部、Ｗは半導体ウェーハである。
【０００４】
図５（ａ）に示すように、従来の収納袋１０は、袋状部１１と、案内部１６とを有している。
【０００５】
袋状部１１は、上側グラシン紙１２と下側グラシン紙１３とを重ね合わせて、コ字状に接着封止され、一辺が開口部１５、他辺がシール部１４となっている。
【０００６】
そして、この袋状部１１に半導体ウェーハＷを１枚ずつ収納可能になっている。
【０００７】
案内部１６は、下側グラシン紙１３を袋状部１１よりも開口辺方向に突出させてなり、半導体ウェーハＷを袋状部１１に挿入する際、案内の役目をする。
【０００８】
尚、上記の例に限らず、図６に示すように、袋状部１１を平面方向に２列連設した収納袋２０もある。
【０００９】
次に、このような従来の収納袋１０への半導体ウェーハＷの収納作業を図５（ｂ），図５（ｃ）を参照して説明する。
【００１０】
作業者は、先ず、図５（ｂ）に示すように、指で、密着した上下のグラシン紙１２，１３を剥離させた後、半導体ウェーハＷを挿入するために開口部１５を一定の大きさに広げる。
【００１１】
通常、収納袋１０は多数枚を積み重ねて保管されるため、上下のグラシン紙１２，１３が一定強さで密着した状態になる。
【００１２】
次に、図５（ｃ）に示すように、指で、開口部１５を広げた状態にしたまま、真空吸着ペン（図示せず）に保持した半導体ウェーハＷを開口部１５に近づける。
【００１３】
そして、半導体ウェーハＷの裏面先端を案内部１６に接触させ、開口部１５を軽く押し広げながら、真空吸着ペン（図示せず）を袋状部１１に挿入していく。
【００１４】
真空吸着ペン（図示せず）を所定位置まで挿入したら、真空を解除して半導体ウェーハＷを離間し、吸着ペン（図示せず）を引き戻して収納作業が完了する。
【００１５】
また、半導体ウェーハＷの収納容器に関連し、以下のような収納容器が提案されている。
【００１６】
この収納容器について、図７を参照して説明する。図７は側断面図である。また、図５と同一部分には同一符号を付す。
【００１７】
図７において、１は収納容器、２は収納部、３は蛇腹部、４は空気栓、５は真空吸着用穴である。
【００１８】
収納容器１は、２枚の無塵紙からなる収納部２が縦方向に複数個、配置され、蛇腹部３にて連結されている。また、２枚の無塵紙の上部の無塵紙に真空吸着用穴５が設けられている。
【００１９】
そして、蛇腹部３は、空気栓４からの空気注入で伸張／収縮可能になっており、図７（ａ）に示すように、伸張状態にして、半導体ウェーハ搬送装置（図示せず）により半導体ウェーハＷを収納部２に収納し、この後、図７（ｂ）に示すように、蛇腹部３を折り畳んだ状態にして、梱包するというものである。（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−３５５３９２号公報  図１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
しかしながら、上記の従来の収納袋１０，２０では、上述したように、収納作業の際に、作業者は指で、密着した上下のグラシン紙１２，１３を剥離させた後、開口部１５を一定の大きさに広げた状態に維持してやらねばならず神経を使う作業が要求され作業効率が悪かった。
【００２１】
また、開口が不十分であったり、開口補助のための指がかえって邪魔になったりした場合、半導体ウェーハＷが開口部１５のエッジや指に接触してその表面に傷をつけるおそれがあった。
【００２２】
本発明の課題は、被収納物を傷つける心配がなく、かつ、効率のよい収納作業ができる収納袋を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明の収納袋は、薄板材の収納袋であって、複数枚の袋状部を重ね合わせ、重なり合う袋状部同士の側面を互いに部分接着してなる収納袋である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の収納袋によれば、被収納物を傷つける心配がなく、かつ、効率のよい収納作業ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の収納袋の一例として、半導体ウェーハの収納袋を図１に示す。図１は斜視図である。また、図５と同一部分には同一符号を付す。
【００２６】
図１において、１００は本発明の収納袋、１０１は部分接着部、１０２はつまみ部、１１は袋状部、１２は上側グラシン紙、１３は下側グラシン紙、１４はシール部、１５は開口部、Ｗは半導体ウェーハである。
【００２７】
図１に示すように、本発明の収納袋１００は、多数枚（図では５枚）の袋状部１１が重ね合わされ、重なり合う袋状部１１同士の側面は互いに部分接着されている。
【００２８】
つまり、多数枚（図では５枚）の袋状部１１が縦方向に繋がった集合体となっている。
【００２９】
尚、袋状部１１は、上側グラシン紙１２と下側グラシン紙１３とを重ね合わせて、コ字状に接着封止され、一辺が開口部１５、他辺がシール部１４となっている。
【００３０】
そして、この袋状部１１に半導体ウェーハＷを１枚ずつ収納可能になっている。
【００３１】
ここで、上下のグラシン紙１２，１３は、袋状部１１の側面の略中央部で、開口辺に垂直な、側面全体に亘る長さの帯状の部分接着部１０１で接着されている。
【００３２】
また、最上下の袋状部１１のそれぞれの外側面には、開口補助用のつまみ部１０２が設けられている。
【００３３】
つまみ部１０２は、最上下の袋状部１１のそれぞれの外側面の開口辺側を短冊状に突出させてなり、それらを指で上下反対方向に引っ張ることで、多数枚（図では５枚）の密着した上下のグラシン紙１２，１３を一斉に、容易に剥離させることができ、さらに開口部１５を一定の大きさに広げた状態にできる。
【００３４】
尚、部分接着部１０１の長さを側面全体に亘る長さとしておくと、つまみ部１０２を引っ張ることで袋の奥まで開口できる。
【００３５】
次に、本発明の収納袋１００への半導体ウェーハの収納作業を図２を参照して説明する。図２は斜視図である。
【００３６】
作業者は、先ず、指で、上下の開口補助用のつまみ部１０２を上下反対方向に引っ張って、多数枚（図では５枚）の密着した上下のグラシン紙１２，１３を剥離させるとともに、数珠繋ぎになったすべての開口部１５を一定の大きさになるように広げる。
【００３７】
そして、この状態にしておいて、真空吸着ペン（図示せず）に保持した半導体ウェーハＷを所定の開口部１５に近づけ、真空吸着ペン（図示せず）を袋状部１１に挿入していく。
【００３８】
真空吸着ペン（図示せず）を所定位置まで挿入したら、真空を解除して半導体ウェーハＷを離間し、吸着ペン（図示せず）を引き戻す。
【００３９】
このようにして、順次、すべての袋状部１１に半導体ウェーハＷを収納したら、図２（ｂ）に示すように、上側のつまみ部１０２を下ろして、多数枚（図では５枚）の袋状部１１を積み重ねた状態にして収納作業が完了する。
【００４０】
このようにすると、すべての開口部１５を容易に一定の大きさに広げることができるため作業効率がよく、かつ、半導体ウェーハＷが開口部１５のエッジや指に接触して、その表面が傷つけられる心配がない。
【００４１】
尚、上記の例に限らず、図３に示すように、平面方向に２列連設した収納袋２００であってもよい。
【００４２】
また、上記の例では、被収納物を半導体ウェーハＷ、収納袋１００の材質をグラシン紙の例で説明したが、これに限らないことは言うまでもない。
【００４３】
また、上記の例では、部分接着部１０１を開口辺に垂直な、側面全体に亘る長さの帯状とすることで説明したが、特にこれに限るものではない。
【００４４】
例えば、図４（ａ）に示すように、部分接着部１０１を開口辺近傍に配置したドット状としてもよい。
【００４５】
このようにすると、接着剤の節約ができるとともに、袋の後端側が連結されていないため、収納袋１００を広げた状態において、それぞれの袋状部１１が水平に保てて好適である。
【００４６】
また、図４（ｂ）に示すように、部分接着部１０１を開口辺に沿って一定長さを有する帯状としてもよい。
【００４７】
このようにすると、開口部１５の形状がひし形（四角）とならず、水平方向に一定長さを有した六角形となり、被収納物を挿入しやすく好適である。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は、被収納物を傷つける心配がなく、かつ、効率のよい収納作業ができる収納袋に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の収納袋の斜視図
【図２】本発明の収納袋への収納作業を説明する斜視図
【図３】本発明の収納袋の他の例の斜視図
【図４】部分接着部の他の例の斜視図
【図５】従来の収納袋、および収納作業を説明する斜視図
【図６】従来の収納袋の他の例の斜視図
【図７】従来の収納袋の他の例の側断面図
【符号の説明】
【００５０】
１    収納容器
２    収納部
３    蛇腹部
４    空気栓
５    真空吸着用穴
１０，２０    従来の収納袋
１１    袋状部
１２    上側グラシン紙
１３    下側グラシン紙
１４    シール部
１５    開口部
１６    案内部
１００，２００    本発明の収納袋
１０１    部分接着部
１０２    つまみ部
Ｗ    半導体ウェーハ
【図１】
2007331803.tif 000003
【図２】
2007331803.tif 000004
【図３】
2007331803.tif 000005
【図４】
2007331803.tif 000006
【図５】
2007331803.tif 000007
【図６】
2007331803.tif 000008
【図７】
2007331803.tif 000009