(57)【要約】【課題】伝熱効率が良く、より早く有機金属を所定の温度にし、より早く所定濃度で有機金属を取り出すことができる有機金属容器を提供する。【解決手段】本発明の有機金属容器は、有機金属を充填して使用する円筒容器であって、ステンレス板を深絞り加工によって形成した下方に凸型のコーン形状またはボウル形状の底部を有し、該底部にフィン付き台座を設けたことを特徴とし、容器を薄くすることができ、また容器の下方に冷熱媒体を流動させることができるので、より早く有機金属を所定の温度にし、より早く所定濃度で有機金属を取り出すことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機金属を充填して使用する円筒容器であって、ステンレス板を深絞り加工によって形成した下方に凸型のコーン形状またはボウル形状の底部を有し、該底部にフィン付き台座を設けたことを特徴とする有機金属容器。
【請求項２】
台座が、３〜６個のフィンを有する台座である請求項１記載の有機金属容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機金属容器に関する。詳しくは伝熱効率が良く、早く所定の濃度で有機金属を取り出すことが可能な有機金属容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機金属は、電子工業において、例えば化合物半導体の原料として使用されている。有機金属を使用する場合、通常、有機金属を充填した容器を所定温度にした冷熱媒体中に配置し、水素ガスのようなキャリアガスを容器内の有機金属と接触するように吹き込み、所定濃度の有機金属を含有するガスとして取り出して行われる。
【０００３】
有機金属の容器としては、図２に示すようなものが知られている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３および特許文献４参照。）。（Ａ）は底部が平板状の容器であり、（Ｂ）は底部がボウル形状の容器である。充填した有機金属の使用率が高くなることから底部がコーン形状またはボウル形状の容器が好ましく用いられる。
底部がコーン形状の容器は、円柱状の鍛造材を切り出して、底部内面をコーン形状またはボウル形状にし、外面は円柱状そのままとしたものである。
しかしながら、このような底部がコーン形状またはボウル形状の容器は、鍛造材を切り出して作製するために、薄くし難いこと、また底部が厚くなり、伝熱が遅くなり、使用する際に所定の濃度の有機金属を取り出すまでに時間がかかり、例えば化合物半導体を製造する際に、生産性を低下させるという問題を有している。また、大型容器の場合、重くて取扱い難くなるという問題も有している。
【特許文献１】特開平６−２０９５１号
【特許文献２】特開平６−３２６９５号
【特許文献３】特開平８−２０８３８４号
【特許文献４】特開平９−２４６１９４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、伝熱効率が良く、早く所定の濃度で有機金属を取り出すことが可能な有機金属容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、伝熱効率が良く、早く所定の濃度で有機金属を取り出すことが可能な有機金属容器について鋭意検討した結果、容器の底部をステンレス板を深絞り加工によって底部を下方に凸型のコーン形状またはボウル形状とし、底部にフィン付き台座を設けることによって、容器全体を薄く形成でき、また冷熱媒体中に配置した時に、容器底部の下方にも冷熱媒体が入り、底部も冷熱媒体に接触するために、容器内の有機金属への伝熱が早くなり、より早く有機金属を所定の温度にし、より早く所定の濃度で有機金属を取り出すことができることを見出し、本発明に至った。
【０００６】
すなわち本発明は、有機金属を充填して使用する円筒容器であって、ステンレス板を深絞り加工によって形成した下方に凸型のコーン形状またはボウル形状の底部を有し、該底部にフィン付き台座を設けたことを特徴とする有機金属容器である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の有機金属容器は、伝熱効率が良く、容器内の有機金属をより早く所定の温度にすることができ、より早く所定の濃度で有機金属を取り出すことが可能である。また、大型容器の場合、従来容器に比べ格段に軽量化が図られ、取扱いが容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図を基に本発明を詳細に説明する。図１は本発明の有機金属容器の実施態様の例を示す模式図である。
有機金属容器１は、底部が下方に凸型のボウル形状をしており、上部にキャリアガス導入管２およびキャリアガス導出管３が取付けられている。底部には３個のフィンを有する台座４が取付けられている。
【０００９】
容器はＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等のステンレス鋼から作製され、底部はステンレス板を深絞り加工によってコーン形状またはボウル形状に形成する。コーン形状またはボウル形状の角度または曲率は特に制限されるものではなく、深絞り加工によって、通常使用されるどのような角度または曲率にも形成することができる。また、深絞り加工によって、容器の底部および側胴部を一体で製造することができる。
この方法によって底部および側胴部の厚さを従来の容器より薄く、従って容器を軽くすることができる。
なお、深絞り加工によって形成した部分は、特に応力が残っていて、冷熱媒体の種類にもよるが、使用中に応力腐食割れを起こす可能性があるので、焼鈍して応力を除去しておくのが好ましい。
【００１０】
容器の底部には、３〜６個のフィンを有する台座が取付けられる。フィンの個数は安定性の点から３個以上であり、６個程度までである。多くしてもそれに見合った効果はなく、むしろ冷熱媒体の流動を妨げるので好ましくない。フィンの取付け方は特に限定されるものではなく、フィンを容器底部に溶接して直接取付けても良いし、容器下部にリング状物を取付けそれにフィンを取付けても良い。また台座の接地部もリング状物、十字状物、放射状物、円板等とすることができる。
このような台座とすることによって、容器の下方に空間が確保され、冷熱媒体中に設置した時に冷熱媒体が挿入し、流動しやすくなる。
【００１１】
容器に充填する有機金属は限定されるものではなく、常温で液体のもの、固体のもの、これらを不活性担体に持したものが充填される。なお、図１には充填口は示していない。
常温で液体の有機金属としては、例えば、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリメチルガリウム、トリエチルガリウム、ジメチル亜鉛、ジエチル亜鉛、トリエチルインジウム等が挙げられる。また、アルキルホスフィンとしてターシャリーブチルホスフィン、アルキルアルシンとしてターシャリーブチルアルシンがそれぞれ挙げられる。
固体の有機金属としては、例えば、トリメチルインジウム、ジメチルクロルインジウム等のアルキル金属化合物、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム等のメタロセン化合物、バリウムアセチルアセトナート錯体、銅アセチルアセトナート錯体等のβ−ジケトン錯体、トリメチルインジウム・トリメチルアルシンアダクト、トリメチルインジウム・トリメチルホスフィンアダクト等のアダクト化合物等が挙げられる。
また、不活性担体としては、例えば、アルミナ、シリカ、ムライト、グラッシーカーボン、グラファイト、チタン酸カリ、石英、窒化珪素、窒化硼素、炭化珪素等のセラミックス類、ステンレス、アルミニウム、ニッケル、タングステン等の金属類、弗素樹脂、硝子等が使用される。担体の形状は特に限定されるものではなく、不定形状、球状、繊維状、網状、コイル状、円管状等各種形状のものが使用される。担体は比表面積が大きい方が好ましく、担体表面が平滑なものより１００〜２０００μｍ程度の微細な凹凸を有するもの、あるいは担体自身に多数の気孔（空隙）を有するものが好ましい。このような担体としてはアルミナボール、ラシヒリング、ヘリパック、ディクソンパッキン、ステンレス焼結エレメント、グラスウール等が挙げられる。
【００１２】
有機金属を充填した容器は、通常、水や不活性液等の温度が制御された冷熱媒体中に設置され、有機金属を所定の温度にし、キャリアガスを流して、所定濃度の有機金属を含有するガスとして取り出し、使用される。
本発明の有機金属容器を使用することによって、より早く所定濃度の有機金属を含有するガスを取り出すことができる。
【実施例】
【００１３】
以下、本発明を実施例で詳細に説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
図１に示すと同様の本発明の内容積が１１００ｃｍ3のＳＵＳ３１６製容器（外径１１４ｍｍφ、高さ１４０ｍｍ、厚さ１．５〜２．５ｍｍ）および図２（Ｂ）に示すと同様の従来の内容積が８００ｃｍ3のＳＵＳ３１６製容器（外径１１４ｍｍφ、高さ１１９ｍｍ、胴体部厚さ３ｍｍ、容器底部最小厚さが７ｍｍ）を準備し、内部を水で完全に満たし、容器の中心部に温度測定用の熱伝対を挿入した。
攪拌器および熱伝対を備えた水を入れた常温の恒温槽に両方の容器を入れ、恒温槽の水の温度を上昇させながら恒温槽および容器内の水が各温度に到達するまでの時間を測定した。結果を表１に示す。
また、８０℃の恒温槽に容器を入れ、容器内の水が各温度に到達するまでの時間を測定した。結果を表２に示す。
【００１４】
【表１】
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【００１５】
【表２】
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【００１６】
本発明の容器が従来の容器に比べて大きいにもかかわらず、早く内溶液が所定の温度に上昇している。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の有機金属容器の実施態様の例を示す模式図である。
【図２】従来の有機金属容器の模式図である。
【符号の説明】
【００１８】
１  有機金属容器
２  キャリアガス導入管
３  キャリアガス導出管
４  フィン付き台座
【図１】
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【図２】
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