(57)【要約】      （修正有）【課題】ウエハの処理を好適に実施することが可能なストッカを提供する。【解決手段】被収納物を収納した収納手段を保管する保管手段と、収納手段内の被搬送物に製造上の処理を施す被収納物処理手段と、保管手段と被収納物処理手段との間で収納手段を移載する移載手段とを備え、保管手段及び移載手段は第１の床板に載置されるとともに、被収納物処理手段は、第１の床板から独立した第２の床板に載置されている。第２床板は防振手段により支持されている。 【選択図】図３
2007230739.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被収納物を収納した収納手段を保管する保管手段と、
前記収納手段内の前記被収納物に製造上の処理を施す被収納物処理手段と、
前記保管手段と前記被収納物処理手段との間で前記収納手段を移載する移載手段と、
を備え、
前記保管手段及び前記移載手段は第１の床板に載置されているとともに、
前記被収納物処理手段は、前記第１の床板から独立した第２の床板に載置されていることを特徴とするストッカ。
【請求項２】
前記第１の床板は第１の床により支持されているとともに、
前記第２の床板は、前記第１の床から独立した第２の床により支持されていることを特徴とする請求項１に記載のストッカ。
【請求項３】
前記第２の床板は防振手段により支持されていることを特徴とする請求項１に記載のストッカ。
【請求項４】
被収納物を収納した収納手段を保管する保管手段と、
前記収納手段内の前記被収納物に製造上の処理を施す被収納物処理手段と、
前記保管手段と前記被収納物処理手段との間で前記収納手段を移載する移載手段と、
を備え、
前記保管手段及び前記移載手段は床板に載置されているとともに、
前記被収納物処理手段は、前記床板から独立した防振手段に載置されていることを特徴とするストッカ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被収納物を収納したカセット等を一時保管するとともに、被収納物に検査等の製造上の処理を施す被収納物処理装置を備えたストッカに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工場、液晶表示パネル製造工場等の製造工場において、被収納物（例えば、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物）を収納したカセットは、一の製造工程から他の製造工程へと搬送される過程で、時間調整等のためにストッカに一時保管される。即ち、カセットは、ストッカが備えるスタッカクレーンによりストッカの棚に移載されて、棚に一時保管される。
【０００３】
特許文献１には、保管時における被収納物への水分等の有害物質の付着を防止し、帯電に起因するデバイス破壊を確実に防止するために、分子状汚染物質が１０ｐｐｂ以下に除去された大気圧露点−１００℃以下のクリーンドライエアを内部に充満させる構成のストッカが開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２１９１３号公報
【０００５】
また、近年、ストッカにおけるカセットの保管時間を利用して、カセットに収納された被収納物に対する検査や加工等の製造上の処理を、ストッカにおいて実施することが提案されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、カセットに収納された被収納物に対する製造上の処理をストッカにおいて実施する場合、スタッカクレーンがカセットを移載する際に生じた振動が、被収納物を処理する被収納物処理装置に伝達するため、被収納物の処理に悪影響が生じるという問題がある。
【０００７】
本発明の目的は、被収納物の処理を好適に実施することが可能なストッカを提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００８】
本発明のストッカは、被収納物を収納した収納手段を保管する保管手段と、前記収納手段内の前記被収納物に製造上の処理を施す被収納物処理手段と、前記保管手段と前記被収納物処理手段との間で前記収納手段を移載する移載手段と、を備え、前記保管手段及び前記移載手段は第１の床板に載置されているとともに、前記被収納物処理手段は、前記第１の床板から独立した第２の床板に載置されていることを特徴とする。
【０００９】
上記の構成によれば、被収納物処理手段は、保管手段及び移載手段が載置された第１の床板から独立した第２の床板に載置されているから、移載手段が収納手段を移載する際に生じた振動が被収納物処理手段に伝達するのを抑制することができる。よって、被収納物処理手段による被収納物の処理を好適に実施することができる。
【００１０】
本発明のストッカにおいて、前記第１の床板は第１の床により支持されているとともに、前記第２の床板は、前記第１の床から独立した第２の床により支持されていてよい。上記の構成によれば、被収納物処理手段が載置された第２の床板は、保管手段及び移載手段が載置された第１の床板を支持する第１の床から独立した第２の床により支持されているから、移載手段が収納手段を移載する際に生じた振動が被収納物処理手段に伝達するのを更に好適に抑制することができる。
【００１１】
本発明のストッカにおいて、前記第２の床板は防振手段により支持されていてよい。上記の構成によれば、被収納物処理手段が載置された第２の床板は防振手段により支持されているから、移載手段が収納手段を移載する際に生じた振動が被収納物処理手段に伝達するのを防振手段によって好適に抑制することができる。
【００１２】
本発明のストッカは、被収納物を収納した収納手段を保管する保管手段と、前記収納手段内の前記被収納物に製造上の処理を施す被収納物処理手段と、前記保管手段と前記被収納物処理手段との間で前記収納手段を移載する移載手段と、を備え、前記保管手段及び前記移載手段は床板に載置されているとともに、前記被収納物処理手段は、前記床板から独立した防振手段に載置されていることを特徴とする。
【００１３】
上記の構成によれば、被収納物処理手段は、保管手段及び移載手段が載置された床板から独立した防振手段に載置されているから、移載手段が収納手段を移載する際に生じた振動が被収納物処理手段に伝達するのを防振手段によって抑制することができる。よって、被収納物処理手段による被収納物の処理を好適に実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係るストッカの実施の形態について説明する。
【００１５】
［第１の実施の形態］
まず、図１ないし図３を参照して、本発明の第１の実施の形態について説明する。
【００１６】
（ストッカ１の構成）
図１に示すように、ストッカ１は、収納手段としてのカセット１０を複数個載置可能な保管手段としての多段の棚１１と、カセット１０を移載する移載手段としてのスタッカクレーン１２等を内部に備えた筐体２を備えている。スタッカクレーン１２は、ストッカ１の底面に設けられたレール１３上を長手方向に往復移動し、スタッカロボット１４を用いて図示しない搬入ポートに載置されたカセット１０を棚１１に移載したり、棚１１に載置されたカセット１０を図示しない搬出ポートに移載したりする。
【００１７】
また、筐体２の側面２ａには挿入口２ｂが形成されており、被収納物処理手段としての検査装置３の検査台３ａが挿入口２ｂから筐体２の内部に挿入されている。棚１１に載置されたカセット１０が、スタッカクレーン１２によって検査台３ａ上に移載されると、検査装置３は、カセット１０内の被収納物であるウエハ（図示せず）に対して検査を実施する。そして、検査が終了すると、検査台３ａ上のカセット１０は、スタッカクレーン１２によって棚１１に移載される。なお、本実施の形態においては、ウエハに検査処理を施す検査装置３を被収納物処理手段として説明するが、被収納物処理手段はフォトリソグラフィー、その他の処理を行うものであってよい。
【００１８】
（床の構成）
図２に示すように、筐体２及び検査装置３が載置される床板４は、床５から立設された複数の支持脚６により支持された複数のパネル７から構成されている。床５は、１階に設けられたクリーンルームにおいては、地面に施されたコンクリート等からなり、２階以上に設けられたクリーンルームにおいては、階層間を仕切る床である。また、パネル７としては、グレーチングパネル、パンチングパネル、シールドパネル等を挙げることができる。複数の支持脚６は前後左右に等間隔で設けられており、各支持脚６の上面に形成された４つの突起の１つ１つは、通常、別々のパネル７と嵌合される。即ち、１つのパネル７は４本の支持脚６により支持される。言い換えれば、通常、１本の支持脚６は、４枚のパネル７の各１角をそれぞれ支持している。
【００１９】
（本実施の形態の床の構成）
図３に示すように、棚１１やスタッカクレーン１２等を備えた筐体２は第１の床板８に載置されているとともに、検査装置３は、第１の床板８から独立した第２の床板９に載置されている。第１の床板８及び第２の床板９は、複数のパネル７から構成されている。第１の床板８と第２の床板９とは、ともに床５から立設された複数の支持脚６により支持されているが、第１の床板８を構成するパネル７と、第２の床板９を構成するパネル７とは、離間されている。よって、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載するためにレール１３上を移動することにより発生した振動が、第１の床板８に伝達し、支持脚６を伝って床５に伝達し、支持脚６を伝って第２の床板９に伝達して、検査装置３まで伝達することがあるが、この振動が第１の床板８から第２の床板９に直接伝達することで、検査装置３が振動されることはない。これにより、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載する際に生じる振動が検査装置３に伝達するのを抑制することができる。
【００２０】
（ストッカ１の動作）
図１及び図３を用いてストッカ１の動作について説明する。スタッカクレーン１２は棚１１に載置されたカセット１０を検査装置３の検査台３ａに移載させる。検査装置３は、検査台３ａ上のカセット１０内のウエハに対して検査を行う。検査装置３が検査を実施している間であっても、スタッカクレーン１２はレール１３上を移動し、図示しない搬入ポートに載置されたカセット１０を棚１１に移載したり、棚１１に載置されたカセット１０を図示しない搬出ポートに移載したりする。スタッカクレーン１２がカセット１０を移載するためにレール１３上を移動することにより振動が発生するが、スタッカクレーン１２を含む筐体２が載置された第１の床板８と、検査装置３が載置された第２の床板９とは独立しているから、この振動が第１の床板８から第２の床板９に直接伝達することはない。よって、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載する際に生じた振動の検査装置３への伝達が抑制される。よって、検査装置３によるウエハの検査を好適に実施することができる。
【００２１】
（本実施の形態の概要）
以上のように、本実施の形態のストッカ１は、ウエハを収納したカセット１０を保管する棚１１と、カセット１０内のウエハに製造上の処理（検査）を施す検査装置３と、棚１１と検査装置３との間でカセット１０を移載するスタッカクレーン１２と、を備え、棚１１及びスタッカクレーン１２は第１の床板８に載置されているとともに、検査装置３は、第１の床板８から独立した第２の床板９に載置された構成にされている。
【００２２】
上記の構成によれば、検査装置３は、棚１１及びスタッカクレーン１２が載置された第１の床板８から独立した第２の床板９に載置されているから、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載する際に生じた振動が検査装置３に伝達するのを抑制することができる。よって、検査装置３によるウエハの処理（検査）を好適に実施することができる。
【００２３】
［第２の実施の形態］
次に、図１及び図４を参照して、本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００２４】
（本実施の形態の床の構成）
第２の実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は、図４に示すように、検査装置３が載置された第２の床板９が、第１の床板８を支持する床（第１の床）５から独立した第２の床１５に立設された支持脚１６により支持されている点である。第２の床１５は、根太鋼やＨ鋼、角パイプ等からなり、図示しない柱等に接続されている。
【００２５】
スタッカクレーン１２がカセット１０を移載するためにレール１３上を移動することにより発生した振動は、第１の床板８に伝達し、支持脚６を伝って床５に伝達するが、床５と第２の床１５とは独立しているため、振動が床５から第２の床１５に伝達して検査装置３が振動されることはない。また、この振動が第１の床板８から第２の床板９に直接伝達することで、検査装置３が振動されることもない。
【００２６】
（ストッカ１の動作）
図１及び図４を用いてストッカ１の動作について説明する。検査装置３が検査を実施している間であっても、スタッカクレーン１２はカセット１０を移載するためにレール１３上を移動する。スタッカクレーン１２がカセット１０を移載するためにレール１３上を移動することにより振動が発生するが、スタッカクレーン１２を含む筐体２が載置された第１の床板８と、検査装置３が載置された第２の床板９とは独立しているから、この振動が第１の床板８から第２の床板９に直接伝達することはない。また、第１の床板８を支持する床５と、第２の床板９を支持する第２の床１５とは独立しているから、この振動が床５から第２の床１５に伝達して検査装置３が振動されることもない。これにより、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載する際に生じる振動が検査装置３に伝達するのを更に好適に抑制することができる。よって、検査装置３によるウエハの検査を更に好適に実施することができる。
【００２７】
（本実施の形態の概要）
以上のように、本実施の形態のストッカ１において、第１の床板８は床（第１の床）５により支持されているとともに、第２の床板９は、床５から独立した第２の床１５により支持された構成にされている。上記の構成によれば、検査装置３が載置された第２の床板９は、棚１１及びスタッカクレーン１２が載置された第１の床板８を支持する床５から独立した第２の床１５により支持されているから、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載する際に生じた振動が検査装置３に伝達するのを更に好適に抑制することができる。
【００２８】
［第３の実施の形態］
次に、図１及び図５を参照して、本発明の第３の実施の形態について説明する。
【００２９】
（本実施の形態の床の構成）
第３の実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は、図５に示すように、検査装置３が載置された第２の床板９が、ブロック２６に立設された支持脚１６により支持されている点である。ブロック２６は、コンクリートや鉄骨等で構成され、固い地盤や階下の床等の第３の床２５に立設されている。
【００３０】
スタッカクレーン１２がカセット１０を移載するためにレール１３上を移動することにより発生した振動は、第１の床板８に伝達し、支持脚６を伝って床５に伝達するが、床５と第３の床２５とは独立しているため、振動が床５から第３の床２５に伝達して検査装置３が振動されることはない。また、この振動が第１の床板８から第２の床板９に直接伝達することで、検査装置３が振動されることもない。
【００３１】
（ストッカ１の動作）
図１及び図５を用いてストッカ１の動作について説明する。検査装置３が検査を実施している間であっても、スタッカクレーン１２はカセット１０を移載するためにレール１３上を移動する。スタッカクレーン１２がカセット１０を移載するためにレール１３上を移動することにより振動が発生するが、スタッカクレーン１２を含む筐体２が載置された第１の床板８と、検査装置３が載置された第２の床板９とは独立しているから、この振動が第１の床板８から第２の床板９に直接伝達することはない。また、第１の床板８を支持する床５と、第２の床板９を支持する第３の床２５とは独立しているから、この振動が床５から第３の床２５に伝達して検査装置３が振動されることもない。これにより、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載する際に生じる振動が検査装置３に伝達するのを更に好適に抑制することができる。よって、検査装置３によるウエハの検査を更に好適に実施することができる。
【００３２】
その他の点は、第２の実施の形態と同様であるため、その説明を省略する。
【００３３】
［第４の実施の形態］
次に、図１及び図６を参照して、本発明の第４の実施の形態について説明する。
【００３４】
（本実施の形態の床の構成）
第４の実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は、図６に示すように、検査装置３が載置された第２の床板９が、床５に載置された防振手段としての防振装置３６に立設された支持脚１６により支持されている点である。
【００３５】
スタッカクレーン１２がカセット１０を移載するためにレール１３上を移動することにより発生した振動は、第１の床板８に伝達し、支持脚６を伝って床５に伝達して、防振装置３６に伝達するが、防振装置３６がこの振動を減衰させるため、防振装置３６上の第２の床板９及び検査装置３に伝達する振動は抑制される。また、この振動が第１の床板８から第２の床板９に直接伝達することで、検査装置３が振動されることもない。
【００３６】
（ストッカ１の動作）
図１及び図６を用いてストッカ１の動作について説明する。検査装置３が検査を実施している間であっても、スタッカクレーン１２はカセット１０を移載するためにレール１３上を移動する。スタッカクレーン１２がカセット１０を移載するためにレール１３上を移動することにより振動が発生するが、スタッカクレーン１２を含む筐体２が載置された第１の床板８と、検査装置３が載置された第２の床板９とは独立しているから、この振動が第１の床板８から第２の床板９に直接伝達することはない。また、第１の床板８を支持する床５に伝達した振動は、防振装置３６により減衰されるため、防振装置３６上の第２の床板９及び検査装置３に伝達する振動は抑制される。これにより、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載する際に生じる振動が検査装置３に伝達するのを更に好適に抑制することができる。よって、検査装置３によるウエハの検査を更に好適に実施することができる。
【００３７】
（本実施の形態の概要）
以上のように、本実施の形態のストッカ１において、第２の床板９は防振装置３６により支持された構成にされている。上記の構成によれば、検査装置３が載置された第２の床板９は防振装置３６により支持されているから、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載する際に生じた振動が検査装置３に伝達するのを防振装置３６によって好適に抑制することができる。
【００３８】
［第５の実施の形態］
次に、図１及び図７を参照して、本発明の第５の実施の形態について説明する。
【００３９】
（本実施の形態の床の構成）
第５の実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は、図７に示すように、床５に載置された防振手段としての防振装置４６上に検査装置３が載置されている点である。防振装置４６と第１の床板８とは独立している。
【００４０】
スタッカクレーン１２がカセット１０を移載するためにレール１３上を移動することにより発生した振動は、第１の床板８に伝達し、支持脚６を伝って床５に伝達して、防振装置４６に伝達するが、防振装置４６がこの振動を減衰させるため、防振装置４６上の検査装置３に伝達する振動は抑制される。また、この振動が第１の床板８から防振装置４６に直接伝達することで、検査装置３が振動されることもない。
【００４１】
（ストッカ１の動作）
図１及び図７を用いてストッカ１の動作について説明する。検査装置３が検査を実施している間であっても、スタッカクレーン１２はカセット１０を移載するためにレール１３上を移動する。スタッカクレーン１２がカセット１０を移載するためにレール１３上を移動することにより振動が発生するが、スタッカクレーン１２を含む筐体２が載置された第１の床板８と、検査装置３が載置された防振装置４６とは独立しているから、この振動が第１の床板８から防振装置４６に直接伝達することはない。また、第１の床板８を支持する床５に伝達した振動は、防振装置４６により減衰されるため、防振装置４６上の検査装置３に伝達する振動は抑制される。これにより、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載する際に生じる振動が検査装置３に伝達するのを好適に抑制することができる。よって、検査装置３によるウエハの検査を好適に実施することができる。
【００４２】
（本実施の形態の概要）
以上のように、本実施の形態のストッカ１は、ウエハを収納したカセット１０を保管する棚１１と、カセット１０内のウエハに製造上の処理（検査）を施す検査装置３と、棚１１と検査装置３との間でカセット１０を移載するスタッカクレーン１２と、を備え、棚１１及びスタッカクレーン１２は第１の床板８に載置されているとともに、検査装置３は、第１の床板８から独立した防振装置４６に載置された構成にされている。
【００４３】
上記の構成によれば、検査装置３は、棚１１及びスタッカクレーン１２が載置された第１の床板８から独立した防振装置４６に載置されているから、スタッカクレーン１２がカセット１０を移載する際に生じた振動が検査装置３に伝達するのを防振装置４６によって抑制することができる。よって、検査装置３によるウエハの処理（検査）を好適に実施することができる。
【００４４】
（本発明の実施の形態の変形例）
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。即ち、筐体２が載置された第１の床板８を防振装置により支持する構成であってもよい。図３、図６、図７の場合において、筐体２のスタッカクレーン１２により発生した振動は防振装置により減衰されて床５に伝達されるから、検査装置３に伝達する振動を更に好適に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】ストッカの斜視図である。
【図２】床板の説明図である。
【図３】ストッカ、床板及び床の側面図である。
【図４】ストッカ、床板及び床の側面図である。
【図５】ストッカ、床板及び床の側面図である。
【図６】ストッカ、床板及び床の側面図である。
【図７】ストッカ、床板及び床の側面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１    ストッカ
３    検査装置
８    第１の床板
９    第２の床板
１０    カセット
１１    棚
１２    スタッカクレーン
【図１】
2007230739.tif 000003
【図２】
2007230739.tif 000004
【図３】
2007230739.tif 000005
【図４】
2007230739.tif 000006
【図５】
2007230739.tif 000007
【図６】
2007230739.tif 000008
【図７】
2007230739.tif 000009