(57)【要約】【課題】ＳＡＷ伝搬方向に沿って２つのＩＤＴの間に第３の反射器を有する２つのＤＭＳ共振子を同一圧電基板上に電気的に並列に接続した４ポートＳＡＷデバイスにおいて、その出力から伝送線路におけるノイズを有効に相殺する。【解決手段】第１入力経路を構成する各入力側ＩＤＴ５，１０の一方の入力側交差指電極５ａ，１０ａに接続する第１の反射器の反射器部分７ｂ，１２ｂの電気容量と、第２入力経路を構成する各入力側ＩＤＴの他方の入力側交差指電極５ｂ，１０ｂに接続する第３の反射器１４の電気容量とを等しくし、２つの入力経路の電気的な対称性を改善する。【選択図】図１
2007158715.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれに弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第１及び第２のＩＤＴと、その両側に配置された第１及び第２の反射器と、前記第１及び第２のＩＤＴの間に配置された第３の反射器とを有し、同一の圧電基板上に設けられた第１及び第２の弾性表面波共振子からなり、
前記第１及び第２の弾性表面波共振子が、前記第１の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴを構成する一方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴを構成する一方の交差指電極とを、前記第１及び／又は第２の弾性表面波共振子の前記第１の反射器の一部を介して電気的に接続した第１入力経路と、前記第１の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴを構成する他方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴを構成する他方の交差指電極とを、前記第１若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の全部を介して又は前記第１及び第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の一部を介して電気的に接続した第２入力経路と、前記第１の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴを構成する一方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴを構成する一方の交差指電極とを、前記第１及び／又は第２の弾性表面波共振子の前記第２の反射器の一部を介して電気的に接続した第１出力経路と、前記第１の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴを構成する他方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴを構成する他方の交差指電極とを、前記第１若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の全部を介して又は前記第１及び／若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の一部を介して電気的に接続した第２出力経路とを有するように、電気的に並列に接続され、
前記第１入力経路の電気容量と前記第２入力経路の電気容量とを等しくし、かつ前記第１出力経路の電気容量と前記第２出力経路の電気容量とを等しくしたことを特徴とする弾性表面波デバイス。
【請求項２】
前記第１入力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記一方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記一方の交差指電極とを接続する前記第１及び／又は第２の弾性表面波共振子の前記第１の反射器の一部の電気容量と、前記第２入力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記他方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記他方の交差指電極とを接続する前記第１若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の全部又は前記第１及び第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の一部の電気容量とを等しくし、かつ、前記第１出力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記一方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記一方の交差指電極とを接続する前記第１及び／又は第２の弾性表面波共振子の前記第２の反射器の一部の電気容量と、前記第２出力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記他方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記他方の交差指電極とを接続する前記第１若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の全部又は前記第１及び／若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の一部の電気容量とを等しくしたことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波デバイス。
【請求項３】
前記第１入力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記一方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記一方の交差指電極とを接続する前記第１及び／又は第２の弾性表面波共振子の前記第１の反射器の一部の電極面積と、前記第２入力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記他方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記他方の交差指電極とを接続する前記第１若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の全部又は前記第１及び第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の一部の電極面積とを等しくし、かつ、前記第１出力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記一方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記一方の交差指電極とを接続する前記第１及び／又は第２の弾性表面波共振子の前記第２の反射器の一部の電極面積と、前記第２出力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記他方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記他方の交差指電極とを接続する前記第１若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の全部又は前記第１及び／若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の一部の電極面積とを等しくしたことを特徴とする請求項２記載の弾性表面波デバイス。
【請求項４】
前記第１入力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記一方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記一方の交差指電極とを接続する前記第１及び／又は第２の弾性表面波共振子の前記第１の反射器の一部の電極幅及び本数と、前記第２入力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記他方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第１のＩＤＴの前記他方の交差指電極とを接続する前記第１若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の全部又は前記第１及び第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の一部の電極幅及び本数とを等しくし、かつ、前記第１出力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記一方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記一方の交差指電極とを接続する前記第１及び／又は第２の弾性表面波共振子の前記第２の反射器の一部の電極幅及び本数と、前記第２出力経路において前記第１の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記他方の交差指電極と前記第２の弾性表面波共振子の前記第２のＩＤＴの前記他方の交差指電極とを接続する前記第１若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の全部又は前記第１及び／若しくは第２の弾性表面波共振子の前記第３の反射器の一部の電極幅及び本数とを等しくしたことを特徴とする請求項２記載の弾性表面波デバイス。
【請求項５】
前記第１及び第２入力経路を外部に接続するための第１及び第２入力端子と、前記第１及び第２出力経路を外部に接続するための第１及び第２出力端子とを、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って前記第１の弾性表面波共振子と前記第２の弾性表面波共振子との間に配置したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の弾性表面波デバイス。
【請求項６】
前記第１及び第２入力経路を外部に接続するための第１及び第２入力端子と、前記第１及び第２出力経路を外部に接続するための第１及び第２出力端子とを、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って前記圧電基板の一方の側辺に沿って配置したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の弾性表面波デバイス。
【請求項７】
前記第１及び第２の弾性表面波共振子が、前記第１のＩＤＴを入力用ＩＤＴとしかつ前記第２のＩＤＴを出力用ＩＤＴとするダブルモード弾性表面波フィルタであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか記載の弾性表面波デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波（以下、ＳＡＷという）デバイスに関し、特に同一の圧電基板上に２つのダブルモードＳＡＷ（ＤＭＳ）フィルタを配置しかつ電気的に並列に接続したＳＡＷフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電基板の表面に形成した交差指電極からなるＩＤＴ（すだれ状トランスデューサ）により励振するＳＡＷを利用した共振子、フィルタ、発振器等のＳＡＷデバイスが、様々な電子機器に広く使用されている。特に通信機器の分野では、移動体通信機の帯域フィルタとして、ＳＡＷフィルタが多用されている。中でも、デジタル方式に移動体通信システムに使用するＳＡＷフィルタは、温度に対する安定性に加え、通過帯域外の急峻な減衰特性、広帯域性が要求されている。
【０００３】
ＳＡＷ共振子を用いたフィルタとして、圧電基板上に２つのＩＤＴをＳＡＷの伝搬方向に沿って近接配置し、両ＩＤＴ間の音響結合により励振される２つの共振モードを利用したＤＭＳフィルタがよく知られている（例えば、特許文献１を参照）。従来から、かかるＳＡＷフィルタの帯域幅を広げるために様々な工夫がなされている。
【０００４】
例えば、それぞれに入力及び出力ＩＤＴとその外側に反射器とを備え、３つの異なる縦モードが生じる２組の２ポートＳＡＷ共振器を同一圧電基板上に配置し、かつ電気的に並列に接続したＳＡＷフィルタが知られている（例えば、特許文献２，３を参照）。このＳＡＷフィルタは、一方の高域側２つの共振点と他方の低域側２つの共振点とが同時に一致するように構成して、通過域近傍のフィルタ特性を改善し、広帯域化を可能にしている。
【０００５】
同様に３つの共振モードを利用して帯域幅を広げるＳＡＷフィルタとして、同一圧電基板上にそれぞれＳＡＷ伝搬方向に沿って２個の入出力ＩＤＴの両側に反射器を配置し、更に両ＩＤＴの間にミドルグレーティングと称する第３の反射器を配置した２つの結合型多重モードＳＡＷフィルタを電気的に並列接続した共振合成型ＳＡＷフィルタが提案されている（例えば、特許文献４を参照）。このＳＡＷフィルタでは、各ＩＤＴを構成する一方のくし型電極がアース電位端子に接続され、かつ他方のくし形電極が入力または出力端子に電気的に接続され、ミドルグレーティングは接地されている。
【０００６】
また、導電路を介して並列に接続した２つのＤＭＳ（ツイン・ジュアルモードＳＡＷ）フィルタを同一圧電基板上に備える、入力２×出力２の４ポートＳＡＷフィルタが知られている（例えば、特許文献５を参照）。このＳＡＷフィルタは、ＤＭＳトラックＡ、Ｂ間で、入力ＩＤＴ及び出力ＩＤＴの外側に配置した入力及び出力側の反射器を導電路で互いに電気的に接続し、入出力ＩＤＴの間に配置した短い反射器をそれぞれ隣接する一方のＩＤＴに接続しかつＤＭＳトラックＡ、Ｂ間で導電路により互いに電気的に接続しており、入出力側で対称（平衡）または非対称（不平衡）に動作可能である。
【０００７】
【特許文献１】特開平９−３６６９５号公報
【特許文献２】特許第２５６０９９１号公報
【特許文献３】特許第３２０４１１２号公報
【特許文献４】特開平１０−２０９８０８号公報
【特許文献５】特許第３４１９４６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一般に上述したように同一圧電基板上に２つのＤＭＳフィルタを並列に接続した４ポートＳＡＷフィルタは、入力側で不平衡かつ出力側で平衡に動作する場合、その出力においてノイズが相殺されるので、急峻な減衰特性が得られ、それにより感度が向上し、良好なフィルタ特性が得られる。また、消費電流を小さくできる利点がある。
【０００９】
しかしながら、上記特許文献５に記載されるような従来構造のＳＡＷフィルタは、ＤＭＳトラックＡ、Ｂの各入力ＩＤＴの一方の交差指電極を入力側の反射器を介して接続して一方の入力経路が構成され、各入力ＩＤＴの他方の交差指電極を両ＩＤＴ間の短い反射器を介して接続して他方の入力経路が構成される。出力側も同様に、ＤＭＳトラックＡ、Ｂの各出力ＩＤＴの一方の交差指電極を互いに出力側の反射器を介して接続して一方の出力経路が構成され、各出力ＩＤＴの他方の交差指電極を両ＩＤＴ間の短い反射器を介して接続して他方の出力経路が構成される。入出力側の反射器は、ＩＤＴ間の短い反射器に比して、その電極の本数、面積が非常に大きく、両者の電気容量には大きな差がある。
【００１０】
そのため、２つの入力経路及び２つの出力経路は、それぞれ電気的に対称でなく、電気容量が大きく異なる結果、それぞれの伝送線路におけるノイズが出力において十分に相殺されない虞がある。そのため、減衰量が小さくなったり不要な減衰が生じ、通過帯域外の急峻な減衰特性、良好な感度が得られない。特にバランス回路として使用する場合に、良好なフィルタ特性が得られないという問題を生じる。
【００１１】
そこで本発明は、上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ＳＡＷ伝搬方向に沿って２つのＩＤＴの間に第３の反射器を配置した２つのＤＭＳ共振子を同一圧電基板上に電気的に並列に接続し、かつ第３の反射器を各ＩＤＴの入力側または出力側交差指電極に接続して入出力経路を構成した４ポートＳＡＷデバイスにおいて、特に２つの入力経路の電気的な対称性を改善し、電気容量を等しくすることにより、その出力から伝送線路におけるノイズをより有効に相殺することにある。
【００１２】
更に本発明の目的は、より急峻な減衰特性を得ることができ、特にバランス回路として使用する場合により良好なフィルタ特性が得られるＳＡＷフィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によれば、上記目的を達成するために、それぞれにＳＡＷの伝搬方向に沿って配置された第１及び第２のＩＤＴと、その両側に配置された第１及び第２の反射器と、前記第１及び第２のＩＤＴの間に配置された第３の反射器とを有し、同一の圧電基板上に設けられた第１及び第２のＳＡＷ共振子からなり、
第１及び第２のＳＡＷ共振子が電気的に並列に接続されて、第１のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴを構成する一方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴを構成する一方の交差指電極とを、第１及び／又は第２のＳＡＷ共振子の第１の反射器の一部を介して電気的に接続した第１入力経路と、第１のＳＡＷ共振子の前記第１のＩＤＴを構成する他方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴを構成する他方の交差指電極とを、第１若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の全部を介して又は第１及び第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の一部を介して電気的に接続した第２入力経路と、第１のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴを構成する一方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴを構成する一方の交差指電極とを、第１及び／又は第２のＳＡＷ共振子の第２の反射器の一部を介して電気的に接続した第１出力経路と、第１のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴを構成する他方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴを構成する他方の交差指電極とを、第１若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の全部を介して又は第１及び／若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の一部を介して電気的に接続した第２出力経路とを有し、
第１入力経路の電気容量と第２入力経路の電気容量とを等しくし、かつ第１出力経路の電気容量と第２出力経路の電気容量とを等しくしたＳＡＷデバイスが提供される。
【００１４】
このように２つのＳＡＷ共振子を並列接続しかつ入力及び出力各２個の４ポ−トＳＡＷデバイスは、入力経路及び出力経路のそれぞれにおいて電気的な対称性が改善され、その出力において伝送線路でのノイズを有効に相殺することができる。
【００１５】
従って、これを、例えば第１及び第２のＳＡＷ共振子がそれぞれ第１のＩＤＴを入力用ＩＤＴとしかつ第２のＩＤＴを出力用ＩＤＴとするダブルモードＳＡＷフィルタであり、それらを並列接続したＳＡＷフィルタとして使用した場合、従来よりも十分な減衰量及び感度をえることができる。特にバランス回路で使用した場合には、従来より良好なフィルタ特性を実現することができる。
【００１６】
或る実施例では、第１及び第２入力経路の電気容量を等しくしかつ第１及び第２出力経路の電気容量を等しくするために、前記第１入力経路において第１のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの一方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの一方の交差指電極とを接続する第１及び／又は第２のＳＡＷ共振子の第１の反射器の一部の電気容量と、第２入力経路において第１のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの他方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの他方の交差指電極とを接続する第１若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の全部又は第１及び第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の一部の電気容量とを等しくし、かつ、第１出力経路において第１のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの一方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの一方の交差指電極とを接続する第１及び／又は第２のＳＡＷ共振子の第２の反射器の一部の電気容量と、第２出力経路において第１のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの他方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの他方の交差指電極とを接続する第１若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の全部又は第１及び／若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の一部の電気容量とを等しくすることができる。
【００１７】
別の実施例では、第１入力経路において第１のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの一方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの一方の交差指電極とを接続する第１及び／又は第２のＳＡＷ共振子の第１の反射器の一部の電極面積と、第２入力経路において第１のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの他方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの他方の交差指電極とを接続する第１若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の全部又は第１及び第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の一部の電極面積とを等しくし、かつ、第１出力経路において第１のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの一方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの一方の交差指電極とを接続する第１及び／又は第２のＳＡＷ共振子の第２の反射器の一部の電極面積と、第２出力経路において第１のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの他方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの他方の交差指電極とを接続する第１若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の全部又は第１及び／若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の一部の電極面積とを等しくことにより、第１、第２入力経路の電気容量及び第１、第２出力経路の電気容量をそれぞれ等しくすることができる。
【００１８】
更に別の実施例では、第１入力経路において第１のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの一方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの一方の交差指電極とを接続する第１及び／又は第２のＳＡＷ共振子の第１の反射器の一部の電極幅及び本数と、第２入力経路において第１のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの他方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第１のＩＤＴの他方の交差指電極とを接続する第１若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の全部又は第１及び第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の一部の電極幅及び本数とを等しくし、かつ、第１出力経路において第１のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの一方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの一方の交差指電極とを接続する第１及び／又は第２のＳＡＷ共振子の第２の反射器の一部の電極幅及び本数と、第２出力経路において第１のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの他方の交差指電極と第２のＳＡＷ共振子の第２のＩＤＴの他方の交差指電極とを接続する第１若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の全部又は第１及び／若しくは第２のＳＡＷ共振子の第３の反射器の一部の電極幅及び本数とを等しくすることにより、第１、第２入力経路の電気容量及び第１、第２出力経路の電気容量をそれぞれ等しくすることができる。
【００１９】
また、或る実施例では、第１及び第２入力経路を外部に接続するための第１及び第２入力端子と、第１及び第２出力経路を外部に接続するための第１及び第２出力端子とを、ＳＡＷの伝搬方向に沿って第１のＳＡＷ共振子と第２のＳＡＷ共振子との間に配置することにより、又はＳＡＷの伝搬方向に沿って圧電基板の一方の側辺に沿って配置することにより、圧電基板の幅即ちＩＤＴの交差長方向の寸法を短くでき、デバイス全体の小型化を図ることができる。特に第１、第２入力端子及び第１、第２出力端子を第１及び第２のＳＡＷ共振子間に配置した場合、ワイヤボンディングが容易になり、かつそのために十分なスペースを確保でき、更に小型化を図ることができるので、有利である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、添付図面を参照しつつ、本発明をその好適な実施例を用いて詳細に説明する。
【００２１】
図１は、本発明を適用したＳＡＷフィルタの第１実施例の構成を概略的に示している。本実施例のＳＡＷフィルタ１は、水晶やリチウムタンタレート、リチウムニオベートなどからなる圧電基板２の主面に平行に配置した第１及び第２のＤＭＳフィルタ３，４を有する。ＳＡＷフィルタ１は、後述するように第１及び第２のＤＭＳフィルタ３，４を電気的に並列に接続した４ポート型である。
【００２２】
第１のＤＭＳフィルタ３は、対向する１対の入力側交差指電極５ａ，５ｂからなる入力側ＩＤＴ５と、対向する１対の出力側交差指電極６ａ，６ｂからなる出力側ＩＤＴ６とが、前記入力側ＩＤＴにより励振されるＳＡＷの伝搬方向に沿って配置されている。ＳＡＷ伝搬方向に沿って、両ＩＤＴ５，６の外側には格子状の第１及び第２の反射器７，８が配置され、かつ両ＩＤＴ５，６の間には格子状の第３の反射器９が配置されている。本実施例の第１及び第２の反射器７，８は、電気的に独立した反射器部分７ａ，８ａと、隣接する前記ＩＤＴの一方の入力側交差指電極５ａ，６ａに電気的に接続された反射器部分７ｂ，８ｂとからそれぞれ構成される。第３の反射器９は、出力側ＩＤＴ６の他方の入力側交差指電極６ｂと電気的に接続されている。
【００２３】
第２のＤＭＳフィルタ４は、同様に、対向する１対の入力側交差指電極１０ａ，１０ｂからなる入力側ＩＤＴ１０と、対向する１対の出力側交差指電極１１ａ，１１ｂからなる出力側ＩＤＴ１１とが、前記入力側ＩＤＴにより励振されるＳＡＷの伝搬方向に沿って配置されている。ＳＡＷ伝搬方向に沿って、両ＩＤＴ１０，１１の外側には格子状の第１及び第２の反射器１２，１３が配置され、かつ両ＩＤＴ１０，１１の間には格子状の第３の反射器１４が配置されている。第１及び第２の反射器１２，１３は、電気的に独立した反射器部分１２ａ，１３ａと、隣接する前記ＩＤＴの一方の入力側交差指電極１０ａ，１１ａに電気的に接続された反射器部分１２ｂ，１３ｂとからそれぞれ構成される。第３の反射器１４は逆に、入力側ＩＤＴ１０の他方の入力側交差指電極１０ｂと電気的に接続されている。
【００２４】
両ＤＭＳフィルタ３，４は、それぞれ第１の反射器７，１２の反射器部分７ｂ，１２ｂが配線１５ａにより電気的に接続され、それにより入力側ＩＤＴ５，１０は、それらの前記一方の入力側交差指電極５ａ，１０ａ同士が互いに電気的に接続されている。入力側ＩＤＴ５，１０の他方の入力側交差指電極５ｂ，１０ｂは、配線１５ｂにより互いに電気的に接続されている。更に両ＤＭＳフィルタ３，４は、それぞれ第２の反射器８，１３の反射器部分８ｂ，１３ｂが配線１６ａにより電気的に接続され、それにより出力側ＩＤＴ６，１１は、それらの前記一方の入力側交差指電極６ａ，１１ａ同士が互いに電気的に接続されている。出力側ＩＤＴ６，１１の他方の入力側交差指電極６ｂ，１１ｂは、配線１６ｂにより互いに電気的に接続されている。
【００２５】
第１及び第２入力端子１７，１８が、それぞれ第２のＤＭＳフィルタ４の前記一方の入力側交差指電極１０ａのバスバー及び第３の反射器１４のバスバーに直接接続して形成され、隣接する圧電基板２の長辺付近に配置されている。また、第１及び第２出力端子１９，２０が、それぞれ第１のＤＭＳフィルタ３の前記一方の出力側交差指電極６ａのバスバー及び第３の反射器９のバスバーに直接接続して形成され、隣接する圧電基板２の長辺付近に配置されている。このようにして、２つのＤＭＳフィルタ３，４を電気的に並列に接続したＳＡＷフィルタ１が構成される。
【００２６】
ＳＡＷフィルタ１の入力側は、第１のＤＭＳフィルタ３の入力側ＩＤＴ５の一方の入力側交差指電極５ａと、第２のＤＭＳフィルタ４の入力側ＩＤＴ１０の一方の入力側交差指電極１０ａと、配線１５ａを介して接続された第１の反射器７，１２の反射器部分７ｂ，１２ｂとから第１入力経路が構成され、第１入力端子１７を介して外部と接続される。更に、第１のＤＭＳフィルタ３の入力側ＩＤＴ５の他方の入力側交差指電極５ｂと、それに配線１５ｂを介して接続された第２のＤＭＳフィルタ４の入力側ＩＤＴ１０の他方の入力側交差指電極１０ｂと、第３の反射器１４とから第２入力経路が構成され、第２入力端子１８を介して外部と接続される。
【００２７】
本発明によれば、第１入力経路の反射器部分７ｂ，１２ｂを形成する格子状電極の線幅、ピッチ及び合計本数と、第２入力経路の第３の反射器１４を形成する格子状電極の線幅、ピッチ及び本数とが一致又はほぼ一致するように設定する。第１及び第２のＤＭＳフィルタ３，４は、入力側ＩＤＴ５の交差指電極５ａ，５ｂが同一の線幅、ピッチ及び本数を有し、入力側ＩＤＴ１０の交差指電極１０ａ，１０ｂが同一の線幅、ピッチ及び本数を有する。従って、第１入力経路と第２入力経路とは、それらを形成する電極及び配線全体の電気容量を実質的に等しくすることができる。また、反射器部分７ｂ，１２ｂの電極面積と第３の反射器９の電極面積とを等しくすることによっても、第１入力経路と第２入力経路の電気容量を実質的に等しくすることができる。
【００２８】
ＳＡＷフィルタ１の出力側は、第１のＤＭＳフィルタ３の出力側ＩＤＴ６の一方の出力側交差指電極６ａと、第２のＤＭＳフィルタ４の出力側ＩＤＴ１１の一方の出力側交差指電極１１ａと、配線１６ａを介して接続された第１の反射器８，１３の反射器部分８ｂ，１３ｂとから第１出力経路が構成され、第１出力端子１９を介して外部と接続される。更にＳＡＷフィルタ１の出力側は、第１のＤＭＳフィルタ３の出力側ＩＤＴ６の他方の出力側交差指電極６ｂと、それに配線１６ｂを介して接続された第２のＤＭＳフィルタ４の出力側ＩＤＴ１１の他方の出力側交差指電極１１ｂと、第３の反射器９とから第２出力経路が構成され、第２出力端子２０を介して外部と接続される。
【００２９】
同様に、第１出力経路の反射器部分８ｂ，１３ｂを形成する格子状電極の線幅、ピッチ及び合計本数と、第２出力経路の第３の反射器９を形成する格子状電極の線幅、ピッチ及び本数とが一致又はほぼ一致するように設定する。第１及び第２のＤＭＳフィルタ３，４は、出力側ＩＤＴ６の交差指電極６ａ，６ｂは同一の線幅、ピッチ及び本数を有し、入力側ＩＤＴ１１の交差指電極１１ａ，１１ｂが同一の線幅、ピッチ及び本数を有する。従って、第１出力経路と第２出力経路とは、それらを形成する電極及び配線全体の電気容量を実質的に等しくすることができる。また、反射器部分８ｂ，１３ｂの電極面積と第３の反射器１４の電極面積とを等しくすることによっても、第１出力経路と第２出力経路の電気容量を実質的に等しくすることができる。
【００３０】
実際のフィルタ設計では、所望のフィルタ特性が得られるように、第１乃至第３の反射器７〜９，１２〜１４の電極の線幅、ピッチ及び本数を決定する。次に、第１入力経路と第２入力経路とにおいてそれらの電気容量が等しくなるように、かつ第１出力経路と第２出力経路とにおいてそれらの電気容量が等しくなるように、前記第１及び第２の反射器を構成する反射器部分７ａ，８ａ，１２ａ，１３ａ及び反射器部分７ｂ，８ｂ，１２ｂ，１３ｂの電極本数をそれぞれ決定する。本実施例では、図１に示すように第３の反射器９，１４の電極を４本としたとき、反射器部分７ｂ，８ｂ，１２ｂ，１３ｂの電極を半分の２本にすることができる。
【００３１】
本発明のＳＡＷフィルタ１は、このようにして第１入力経路と第２入力経路、及び第１出力経路と第２出力経路において、それぞれ電気容量を等しくすることにより、その出力は伝送線路におけるノイズをより有効に相殺することができる。これにより、従来よりも十分な減衰量及び感度が得られる。従って、特にバランス回路で使用した場合にも、従来より良好なフィルタ特性を得ることができる。
【００３２】
図２は、本発明によるＳＡＷフィルタの第２実施例の構成を概略的に示している。第２実施例のＳＡＷフィルタ１は、第１、第２入力端子１７，１８及び第１、第２出力端子１９，２０が、圧電基板２の長辺付近ではなく、該圧電基板の中心線に沿った第１のＤＭＳフィルタ３と第２のＤＭＳフィルタ４との中間領域に配置されている点において、上記第１実施例と異なる。
【００３３】
第１入力端子１７は、両第１の反射器７，１２の反射器部分７ｂ，１２ｂを接続する配線１５ａに直接形成されている。第２入力端子１８は、両入力側ＩＤＴ５，１０の入力側交差指電極５ｂ，１０ｂを接続する配線１５ｂに直接形成されている。第１出力端子１９は、両第２の反射器８，１３の反射器部分８ｂ，１３ｂを接続する配線１６ａに直接形成されている。第２出力端子２０は、両出力側ＩＤＴ６，１１の出力側交差指電極６ｂ，１１ｂを接続する配線１６ｂに直接形成されている。このように全部の入力及び出力端子を圧電基板２の両ＤＭＳフィルタ３，４の中間領域に配置することにより、圧電基板２の幅即ち前記ＩＤＴの交差長方向の長さを上記第１実施例よりも短縮し、ＳＡＷフィルタ１を小型化することができる。
【００３４】
更に、かかるＳＡＷフィルタはワイヤボンディングで外部回路と接続するのが一般的である。本実施例では、ワイヤボンディングの配線及び接続のために必要な十分なスペースを各入力端子及び各出力端子の周囲に確保することができる。従って、実装時の作業性が向上し、かつデバイス全体をより小型化することができる。
【００３５】
本実施例も、入力側において、入力側ＩＤＴ５，１０の入力側交差指電極５ａ，１０ａと第１の反射器７，１２の反射器部分７ｂ，１２ｂと配線１５ａとからなる第１入力経路の電気容量と、入力側ＩＤＴ５，１０の他方の入力側交差指電極５ｂ，１０ｂと第３の反射器１４と配線１５ｂとからなる第２入力経路の電気容量とが等しくなるように、前記両第１の反射器及び第３の反射器１４を第１実施例と同様に構成する。出力側も同様に、出力側ＩＤＴ６，１１の出力側交差指電極５ａ，１１ａと第２の反射器８，１３の反射器部分８ｂ，１３ｂと配線１６ａとからなる第１出力経路の電気容量と、出力側ＩＤＴ６，１１の他方の出力側交差指電極６ｂ，１１ｂと第３の反射器９と配線１６ｂとからなる第２出力経路の電気容量とが等しくなるように、前記両第２の反射器及び第３の反射器１４を第１実施例と同様に構成する。
【００３６】
本実施例のＳＡＷフィルタ１も、このように第１入力経路と第２入力経路とにおいて及び第１出力経路と第２出力経路とにおいて、それぞれ電気容量を等しくすることにより、その出力は同様に、伝送線路におけるノイズをより有効に相殺することができる。従って、従来よりも十分な減衰量及び感度が得られ、特にバランス回路で使用した場合にも、従来より良好なフィルタ特性を得ることができる。
【００３７】
別の実施例では、第１の反射器の反射器部分７ｂ，１２ｂを前記他方の入力側交差指電極５ｂ，１０ｂに接続し、かつ第３の反射器１４を前記一方の入力側交差指電極５ａ，１０ａに接続し、また第２の反射器の反射器部分８ｂ，１３ｂを前記他方の出力側交差指電極６ｂ，１１ｂに接続し、かつ第３の反射器９を前記一方の出力側交差指電極６ａ，１１ａに接続することができる。この場合にも、同様に第１、第２入力経路及び第１、第２出力経路においてそれぞれ電気容量を等しくすることにより、伝送線路におけるノイズをより有効に相殺する効果が得られる。
【００３８】
図３は、本発明によるＳＡＷフィルタの第３実施例の構成を概略的に示している。第３実施例のＳＡＷフィルタ１は、次の点において上記第１実施例と異なる。即ち、第３の反射器９，１４が、２つの反射器部分９ａ，９ｂ，１４ａ，１４ｂに分割されている。各反射器部分９ａ，９ｂ，１４ａ，１４ｂは、それぞれ電気容量が等しくなるように、例えば電極の本数又は面積を同じにする。第３の反射器９の反射器部分９ａ，９ｂは、それぞれ隣接する前記他方の入力側及び出力側交差指電極５ｂ，６ｂに電気的に接続される。同様に、第３の反射器１４の反射器部分１４ａ，１４ｂは、それぞれ隣接する前記他方の入力側及び出力側交差指電極１０ｂ，１１ｂに電気的に接続される。
【００３９】
第１、第２入力端子１７，１８及び第１、第２出力端子１９，２０は、圧電基板２の一方の長辺に沿って配置されている。第１及び第２入力端子１７，１８は、第１のＤＭＳフィルタ３の前記一方の入力側交差指電極５ａのバスバー、及び第３の反射器９の反射器部分９ａのバスバーにそれぞれ直接接続して形成されている。第１及び第２出力端子１９，２０は、第３の反射器９の反射器部分９ｂのバスバー、及び第１のＤＭＳフィルタ３の前記一方の出力側交差指電極６ａのバスバーに直接接続して形成されている。このように全部の入力及び出力端子を圧電基板２の一方の長辺に沿って配置することにより、圧電基板２の幅即ち前記ＩＤＴの交差長方向の長さを上記第１実施例よりも短縮し、ＳＡＷフィルタ１を小型化することができる。
【００４０】
本実施例では、入力側において、入力側ＩＤＴ５，１０の入力側交差指電極５ａ，１０ａと第１の反射器７，１２の反射器部分７ｂ，１２ｂと配線１５ａとからなる第１入力経路の電気容量と、入力側ＩＤＴ５，１０の他方の入力側交差指電極５ｂ，１０ｂと第３の反射器９，１４の反射器部分９ａ，１４ａと配線１５ｂとからなる第２入力経路の電気容量とを等しくする。入力側交差指電極５ａ，１０ａと入力側交差指電極５ｂ，１０ｂとは電気容量が等しいから、第１の反射器の反射器部分７ｂ，１２ｂと第３の反射器の反射器部分９ａ，１４ａの電気容量が等しくなるように、例えばそれらの電極の合計本数又は合計面積を同じにする。
【００４１】
出力側では、出力側ＩＤＴ６，１１の出力側交差指電極６ａ，１１ａと第２の反射器８，１３の反射器部分８ｂ，１３ｂと配線１６ａとからなる第１出力経路の電気容量と、出力側ＩＤＴ６，１１の他方の出力側交差指電極６ｂ，１１ｂと第３の反射器９，１４の反射器部分９ｂ，１４ｂと配線１６ｂとからなる第２出力経路の電気容量とを等しくする。出力側交差指電極６ａ，１１ａと出力側交差指電極６ｂ，１１ｂとは電気容量が等しいから、第２の反射器の反射器部分８ｂ，１３ｂと第３の反射器の反射器部分９ｂ，１４ｂの電気容量が等しくなるように、例えばそれらの電極の合計本数又は合計面積を同じにする。
【００４２】
本実施例のＳＡＷフィルタ１も、このように第１入力経路と第２入力経路とにおいて及び第１出力経路と第２出力経路とにおいてそれぞれ電気容量を等しくすることにより、その出力は同様に、伝送線路におけるノイズをより有効に相殺することができる。従って、従来よりも十分な減衰量及び感度が得られ、特にバランス回路で使用した場合にも、従来より良好なフィルタ特性を得ることができる。
【００４３】
別の実施例では、第１の反射器の反射器部分７ｂ，１２ｂを前記他方の入力側交差指電極５ｂ，１０ｂに接続し、かつ第３の反射器１４の反射器部分１４ａ，１４ｂをそれぞれ隣接する前記一方の入力側交差指電極１０ａ及び前記一方の出力側交差指電極１１ａに接続し、また第２の反射器の反射器部分８ｂ，１３ｂを前記他方の出力側交差指電極６ｂ，１１ｂに接続し、かつ第３の反射器９の反射器部分９ａ，９ｂをそれぞれ隣接する前記一方の入力側交差指電極５ａ及び前記一方の出力側交差指電極６ａに接続することができる。この場合にも、同様に第１、第２入力経路及び第１、第２出力経路においてそれぞれ電気容量を等しくすることにより、伝送線路におけるノイズをより有効に相殺する効果が得られる。
【００４４】
図４は、本発明によるＳＡＷフィルタの第４実施例の構成を概略的に示している。第４実施例のＳＡＷフィルタ１は、次の点において上記第２実施例と異なる。即ち、第１のＤＭＳフィルタ３は、第１の反射器７が、電気的に独立した反射器部分７ａと、隣接する入力側ＩＤＴ５の一方の入力側交差指電極５ａに電気的に接続された反射器部分７ｂとに分割されるのに対し、第２の反射器８全体が電気的に独立している。反射器部分７ｂは、更に配線１５ａを介して第２のＤＭＳフィルタ４の入力側交差指電極１０ｂに接続されている。第２のＤＭＳフィルタ４は、第２の反射器１３が、電気的に独立した反射器部分１３ａと、隣接する出力側ＩＤＴ１１の出力側交差指電極１１ｂに電気的に接続された反射器部分１３ｂとに分割されるのに対し、第１の反射器１２全体は電気的に独立している。反射器部分１３ｂは、更に配線１６ｂを介して第１のＤＭＳフィルタ３の入力側交差指電極６ｂとに接続されている。
【００４５】
第１のＤＭＳフィルタ３の第３の反射器９は、隣接する出力側ＩＤＴ６の出力側交差指電極６ａと、配線１６ｂにより第２のＤＭＳフィルタ４の出力側ＩＤＴ１１の出力側交差指電極１１ｂとに接続されている。第２のＤＭＳフィルタ４の第３の反射器１４は、隣接する入力側ＩＤＴ１０の入力側交差指電極１０ａと、配線１５ｂにより第１のＤＭＳフィルタ３の入力側ＩＤＴ５の入力側交差指電極５ｂとに接続されている。
【００４６】
上記第２実施例と同様に、第１、第２入力端子１７，１８及び第１、第２出力端子１９，２０は、それぞれ配線１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂに直接形成されている。このように全部の入力及び出力端子を圧電基板２の両ＤＭＳフィルタ３，４の中間領域に配置することにより、圧電基板２の幅即ち前記ＩＤＴの交差長方向の長さを上記第１実施例よりも短縮し、ＳＡＷフィルタ１を小型化することができる。更に、ワイヤボンディングで外部回路と接続する際に、その配線及び接続のために必要な十分なスペースを各入力及び出力端子の周囲に確保できるので、実装時の作業性が向上し、かつデバイス全体をより小型化することができる。
【００４７】
本実施例では、入力側において、入力側ＩＤＴ５，１０の入力側交差指電極５ａ，１０ｂと第１の反射器７の反射器部分７ｂと配線１５ａとからなる第１入力経路の電気容量と、入力側ＩＤＴ５，１０の入力側交差指電極５ｂ，１０ａと第３の反射器１４と配線１５ｂとからなる第２入力経路の電気容量とを等しくする。入力側交差指電極５ａ，１０ｂと入力側交差指電極５ｂ，１０ａとは電気容量が等しいから、反射器部分７ｂ及び第３の反射器１４の電気容量が等しくなるように、例えばそれらの電極の本数又は面積を同じにする。
【００４８】
出力側では、出力側ＩＤＴ６，１１の出力側交差指電極６ａ，１１ｂと第３の反射器９と配線１６ａとからなる第１出力経路の電気容量と、出力側ＩＤＴ６，１１の出力側交差指電極６ｂ，１１ａと第２の反射器１３の反射器部分１３ｂと配線１６ｂとからなる第２出力経路の電気容量とを等しくする。出力側交差指電極６ａ，１１ｂと出力側交差指電極６ｂ，１１ａとは電気容量が等しいから、第３の反射器９及び反射器部分１３ｂの電気容量が等しくなるように、例えばそれらの電極の本数又は面積を同じにする。
【００４９】
特に本実施例は、入力側交差指電極５ａに接続される反射器部分７ｂのバスバー及び配線１５ａと、入力側交差指電極１０ａに接続される第３の反射器１４のバスバー及び配線１５ｂとを含めて、第１入力経路と第２入力経路との対称性が良い。同様に、出力側交差指電極６ａに接続される第３の反射器９のバスバー及び配線１６ａと、出力側交差指電極１１ａに接続される反射器部分１３ｂのバスバー及び配線１６ｂとを含めて、第１出力経路と第２出力経路との対称性が良い。
【００５０】
そのため、本実施例のＳＡＷフィルタ１は、第１、第２入力経路の電気容量及び第１、第２出力経路の電気容量をそれぞれより等しくすることができる。これにより、その出力は、伝送線路におけるノイズを更に有効に相殺することができる。従って、上記各実施例よりも十分な減衰量及び感度を得ることができ、バランス回路により適した良好なフィルタ特性が得られる。
【００５１】
また、別の実施例では、第１の反射器の反射器部分７ｂを前記他方の入力側交差指電極５ｂ，１０ｂに接続し、かつ第３の反射器１４を前記一方の入力側交差指電極５ａ，１０ａに接続し、また第２の反射器の反射器部分１３ｂを前記他方の出力側交差指電極６ｂ，１１ｂに接続し、かつ第３の反射器９を前記一方の入力側交差指電極６ａ，１１ａに接続することができる。更に別の実施例では、第１のＤＭＳフィルタ３と第２のＤＭＳフィルタ４とを圧電基板２の中心線に関して対称形に配置することもできる。
【００５２】
以上、本発明の好適な実施例について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものでなく、その技術的範囲において様々に変形・変更を加えて実施することができる。また、上記実施例ではＳＡＷフィルタについて説明したが、本発明は、それ以外のＳＡＷデバイスについても同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明を適用したＳＡＷフィルタの第１実施例を示す平面図。
【図２】本発明を適用したＳＡＷフィルタの第２実施例を示す平面図。
【図３】本発明を適用したＳＡＷフィルタの第３実施例を示す平面図。
【図４】本発明を適用したＳＡＷフィルタの第４実施例を示す平面図。
【符号の説明】
【００５４】
１…ＳＡＷフィルタ、２…圧電基板、３…第１のＤＭＳフィルタ、４…第２のＤＭＳフィルタ、５，１０…入力側ＩＤＴ、５ａ，５ｂ，１０ａ，１０ｂ…入力側交差指電極、６，１１…出力側ＩＤＴ、６ａ，６ｂ，１１ａ，１１ｂ…出力側交差指電極、７〜９，１２〜１４…第１〜第３の反射器、７ａ〜９ａ，７ｂ〜９ｂ，１２ａ〜１４ａ，１２ｂ〜１４ｂ…反射器部分、１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ…配線、１７…第１入力端子、１８…第２入力端子、１９…第１出力端子、２０…第２出力端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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