(57)【要約】【課題】ラミネータを用い、複数の転写フィルムを用いて樹脂層付き基板を製造する際に、ラミネータの合せ部（転写フィルム間の間隙）の大小に依存することなく、樹脂成分の染み出しを抑制して、現像性の良い、安定的に製造できる樹脂層付き基板の製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも感光性樹脂層を有する２以上の転写フィルムを基板上にそれぞれ隣り合わせて配置し、該２以上の転写フィルムを前記基板にローラーにより圧着してラミネートする工程を含む、樹脂層付き基板の製造方法であって、前記転写フィルムが、仮支持体の上に、少なくとも、クッション層と、感光性樹脂層とをこの順に有する転写フィルムであり、前記クッション層の厚みが３〜１０μｍであることを特徴とする、樹脂層付き基板の製造方法である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
仮支持体上に、少なくとも、クッション層と、感光性樹脂層とをこの順に有する多丁ラミ用転写フィルムであって、
前記クッション層の厚みが３〜１０μｍであることを特徴とする、多丁ラミ用転写フィルム。
【請求項２】
少なくとも感光性樹脂層を有する２以上の転写フィルムを基板上にそれぞれ隣り合わせて配置し、該２以上の転写フィルムを前記基板にローラーにより圧着してラミネートする工程を含む、樹脂層付き基板の製造方法であって、
前記転写フィルムが、仮支持体の上に、少なくとも、クッション層と、感光性樹脂層とをこの順に有する転写フィルムであり、前記クッション層の厚みが３〜１０μｍであることを特徴とする、樹脂層付き基板の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の樹脂層付き基板の製造方法により製造されてなることを特徴とする樹脂層付き基板。
【請求項４】
請求項３に記載の樹脂層付き基板を露光、現像して作製してなることを特徴とする表示装置用材料。
【請求項５】
請求項４に記載の表示装置用材料を用いて製造されてなることを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多丁ラミ用転写フィルム、樹脂層付き基板及びその製造方法、表示装置用材料、並びに表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板や硬質樹脂基板などの基板の上に感光性樹脂層などの感光材料層を積層した感光性積層材料は、プリント配線基板やカラーフィルタの製造に用いる樹脂積層体として利用されている。このような樹脂積層体の用途として液晶パネルがあるが、液晶パネルの重要課題は、製造コストを下げることにある。とりわけ、カラーフィルタは、液晶パネルに占めるコストの比率が高く、カラーフィルタの歩留まりを上げることが液晶パネルのコストダウンに大きく寄与する。
【０００３】
転写フィルムを用いて樹脂積層体を形成する製造方法において、転写エリア幅より狭い幅の転写フィルムを複数枚並列に供給できるラミネータ（以下、２丁ラミネータと略称するが、２丁に限定するものではない）を用いて転写フィルムの塗布幅に依存することなく、広い幅のラミネートが可能であることが開示されている（例えば、特許文献１参照。）。また、複数の狭幅の転写フィルムを組み合わせることで、材料の利用効率を高めることができる。
【０００４】
しかし、基板上の転写エリアの中に、合わせ部（非転写領域）が形成され、そのため、有効エリアに制約を受ける。基板を有効に利用する為には、この合わせ部を最小限に抑える必要があるが、転写フィルムウェブの端部は、樹脂組成物が露出しており、ラミネート時の加熱、加圧により、その成分が仮支持体に覆われた領域を超えて基板上に染み出す。
２丁ラミネートの場合は、有効エリアを増やす為に合わせ部間隔を小さくすると、二つのウェブの両方から染み出しが起こる為に、その相乗効果によって大きな染み出し領域が形成されることがある。この染み出しが、その後の露光、現像プロセスでカラーフィルタ（表示装置用材料）の欠陥の原因となり、安定製造の妨げとなっていた。
【０００５】
前記欠陥の例として、圧着ローラーがランニングに伴って汚れていくという問題があり、ローラーが汚れると、ラミネートの際に基板にかかる圧力が不均一となり転写にムラが生じるといった弊害が発生する。この弊害を除去するためにはローラーを定期的に清掃する、または交換することが考えられるが、ローラーを清掃する場合は一旦温度を下げ清掃し、また温度を上げることになるため長い作業時間が必要となり、生産性が低下する問題があった。またローラーの交換も交換作業に伴う長い作業時間が必要となり、生産性を落とす問題があった。
【０００６】
一方、安定製造のために、ラミ泡回避、ラミネート時の応力を吸収する目的で、クッション層を付与した材料、とりわけ、クッション層厚アップや軟膜化することが有効であり、特に、大型基板の場合は、その効果が顕著である。
しかし、このようなクッション層厚アップ、軟膜化は、溶融成分が転写フィルムの両端部から染み出し、それに起因する欠陥などの製造故障の原因となる。更に、クッション層厚アップ、軟膜化による現像性の低下が製造上問題であった。これによる影響を最小限に食い止め、広い有効エリアを確保することが重要であった。
【特許文献１】特開２００４−３３３６１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、ラミネータを用い、複数の転写フィルムを用いて樹脂層付き基板を製造する際に、ラミネータの合せ部（転写フィルム間の間隙）の大小に依存することなく、樹脂成分の染み出しを抑制して、現像性の良い、安定的に製造できる樹脂層付き基板の製造方法及び樹脂層付き基板、及び該製造方法に使用する多丁ラミ用転写フィルム、並びに該製造方法により製造される表示装置用材料、該表示装置用材料を用いて製造される表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記実情に鑑み本発明者らは、鋭意研究を行ったところ、転写フィルムのクッション層厚みを特定の範囲とすることにより、上記課題を解決しうることを見出し本発明を完成した。
即ち、本発明は下記の手段により達成されるものである。
【０００９】
＜１＞  仮支持体上に、少なくとも、クッション層と、感光性樹脂層をこの順に有する多丁ラミ用転写フィルムであって、前記クッション層の厚みが３〜１０μｍであることを特徴とする、多丁ラミ用転写フィルムである。
【００１０】
＜２＞  少なくとも感光性樹脂層を有する２以上の転写フィルムを基板上にそれぞれ隣り合わせて配置し、該２以上の転写フィルムを前記基板にローラーにより圧着してラミネートする工程を含む、樹脂層付き基板の製造方法であって、前記転写フィルムが、仮支持体の上に、少なくとも、クッション層と、感光性樹脂層とをこの順に有する転写フィルムであり、前記クッション層の厚みが３〜１０μｍであることを特徴とする、樹脂層付き基板の製造方法である。
【００１１】
＜３＞  前記＜２＞に記載の樹脂層付き基板の製造方法により製造されてなることを特徴とする樹脂層付き基板である。
【００１２】
＜４＞  前記＜３＞に記載の樹脂層付き基板を露光、現像して作製してなることを特徴とする表示装置用材料である。
【００１３】
＜５＞  前記＜４＞に記載の表示装置用材料を用いて製造されてなることを特徴とする表示装置である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ラミネータを用い、複数の転写フィルムを用いて樹脂層付き基板を製造する際に、ラミネータの合せ部（転写フィルム間の間隙）の大小に依存することなく、樹脂成分の染み出しを抑制して、現像性の良い、安定的に製造できる樹脂層付き基板の製造方法及び樹脂層付き基板、及び該製造方法に使用する多丁ラミ用転写フィルム、並びに該製造方法により製造される表示装置用材料、該表示装置用材料を用いて製造される表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の多丁ラミ用転写フィルムは、仮支持体上に、少なくとも、クッション層と、感光性樹脂層とをこの順に有する多丁ラミ用転写フィルムであって、前記クッション層の厚みが３〜１０μｍであることを特徴としている。
また、本発明の樹脂層付き基板の製造方法は、少なくとも感光性樹脂層を有する転写フィルムを２以上基板近傍に隣り合わせて配置し、該２以上の転写フィルムを前記基板にローラーにより圧着してラミネートする工程を含む、樹脂層付き基板の製造方法であって、前記転写フィルムが、仮支持体の上に、少なくとも、クッション層と、感光性樹脂層とをこの順に有する転写フィルムであり、前記クッション層の厚みが３〜１０μｍであることを特徴としている。
【００１６】
以下、本発明について詳細に説明する。
［多丁ラミ用転写フィルム（転写フィルム）］
本発明の多丁ラミ用転写フィルム（以下、単に「転写フィルム」と呼ぶ場合がある。）及び本発明の製造方法に使用する転写フィルムについて説明する。
本発明に係る転写フィルムは、仮支持体／クッション層／感光性樹脂層を基本構成として、仮支持体／クッション層／感光性樹脂層／保護フィルム、仮支持体／クッション層／中間層／感光性樹脂層／保護フィルムなどの構成をとることが好ましい。
【００１７】
＜仮支持体＞
上記転写フィルムの仮支持体としては、可撓性を有し、加圧又は、加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮若しくは伸びを生じないことが必要である。そのような支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等を挙げることができ、中でも２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
仮支持体の厚さに特に制限はないが、５〜２００μｍの範囲が一般的で、特に１０〜１５０μｍの範囲のものが取扱易さ、汎用性などの点から有利であり好ましい。また、仮支持体は、透明でもよいし、染料化ケイ素、アルミナゾル、クロム塩、ジルコニウム塩などを含有していても良い。
【００１８】
＜クッション層＞
本発明において、クッション層は樹脂を含有する弾性体層であり、熱可塑性樹脂層であることが好ましい。
（樹脂）
本発明おいて、クッション層に用いる好ましい樹脂として、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、フッ素樹脂、ポリアセタール樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリイミド、ポリエチレン、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂（ＥＶＡ）、エチレンエチルアクリレート共重合体樹脂（ＥＥＡ）、エチレンメタアクリレート共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート樹脂、メタクリル樹脂、ポリプロピレン、ポリスチレン、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ＰＲＯ  ＮＯＲＹＬ樹脂、アイオノマー樹脂などが挙げられ、具体的には、「高分子材料便覧」（コロナ社発行、社団法人高分子学会編集、昭和４８年２月２０日発行）、１０２頁表１・１に記載の樹脂や、１０３頁表１・２に記載の樹脂が挙げられる。
上記樹脂の中でも、本発明に係るクッション層には、膜性向上及び、未露光部の除去性向上の観点からアルカリ可溶性クッション層であることが好ましい。
【００１９】
クッション層に用いる成分としては、特開平５−７２７２４号公報［０００７］以降に記載されている有機高分子物質が好ましく、ヴイカーＶｉｃａｔ法（具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーＡＳＴＭＤ１２３５によるポリマー軟化点測定法）による軟化点（軟化温度）がラミ泡混入防止とベース熱膨張防止のバランスの観点から６０〜９０℃であることが好ましく、６０〜８０℃であることが特に好ましい。具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニル或いはそのケン化物のようなエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステル或いはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニル及びそのケン化物のような塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル或いはそのケン化物のようなスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル或いはそのケン化物のようなビニルトルエン共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、Ｎ−アルコキシメチル化ナイロン、Ｎ−ジメチルアミノ化ナイロンのようなポリアミド樹脂等の有機高分子が挙げられる。
【００２０】
また、クッション層を構成する成分には、仮支持体との接着力を調節する為に各種可塑剤、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤或いは界面活性剤、離型剤、熱重合禁止剤、溶剤等を加えることができる。これらによりＴｇの調整も可能である。
【００２１】
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エポキシ樹脂とポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアネートとポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、有機ジイソシアネートとポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの付加反応生成物、ビスフェノールＡとポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートとの縮合反応生成物を挙げることができる。感光性組成物中の、可塑剤の量は上記バインダーに対して２００質量％以下が一般的で、２０〜１００質量％の範囲が好ましい。
【００２２】
前記界面活性剤は、クッション層形成成分と混ざり合うものであれば使用可能である。本発明に用いる好ましい界面活性剤としては、特開２００３−３３７４２４号公報［００１５］〜［００２４］、特開２００３−１７７５２２号公報［００１２］〜［００１７］、特開２００３−１７７５２３号公報［００１２］〜［００１５］、特開２００３−１７７５２１号公報［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５１９号公報［００１０］〜［００１３］、特開２００３−１７７５２０号公報［００１２］〜［００１５］、特開平１１−１３３６００号公報の［００３４］〜［００３５］、特開平６−１６６８４号公報の発明として開示されている界面活性剤が好適なものとして挙げられる。より高い効果を得る為にはフッ素系界面活性剤、及び／又はシリコン系界面活性剤（フッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤、弗素原子と珪素原子の両方を含有する界面活性剤）のいずれか、或いは２種以上を含有することが好ましく、フッ素系界面活性剤が最も好ましい。
【００２３】
フッ素系界面活性剤を用いる場合、該界面活性剤分子中のフッ素含有置換基のフッ素原子数は１〜３８が好ましく、５〜２５がより好ましく、７〜２０が最も好ましい。フッ素原子数が多すぎるとフッ素を含まない通常の溶媒に対する溶解性が落ちる点で好ましくない。フッ素原子数が少なすぎると、ムラの改善効果が得られない点で好ましくない。
また、下記市販の界面活性剤をそのまま用いることもできる。使用できる市販の界面活性剤として、例えばエフトップＥＦ３０１、ＥＦ３０３、（新秋田化成（株）製）、フロラードＦＣ４３０、４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファックＦ１７１、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１８９、Ｒ０８（大日本インキ（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６（旭硝子（株）製）等のフッ素系界面活性剤、又は、シリコン系界面活性剤を挙げることができる。またポリシロキサンポリマーＫＰ−３４１（信越化学工業（株）製）、トロイゾルＳ−３６６（トロイケミカル（株）製）もシリコン系界面活性剤として用いることができる。
【００２４】
本発明においては、クッション層の厚みを３〜１０μｍとする。クッション層の厚みが１０μｍを超えると、感光性樹脂成分の染み出しによるローラー汚れが顕著に目立ち、合わせ部での欠陥、ごみ発生の原因となったり、更に、現像性が悪くなったりすることがある。３μｍ未満であると、ラミネート時に十分なクッション作用を発揮できず、凹凸基板への追従性を損なわれる。また、ラミネート時のシェアーを十分に吸収できず、正常な剥離界面での転写ができなくなるため好ましくない。
また、クッション層の厚みは、好ましくは４〜８μｍであり、より好ましくは５〜６μｍである。
【００２５】
＜中間層＞
本発明における転写フィルムにおいては、複数の塗布層の塗布時、及び塗布後の保存時における成分の混合を防止する目的から、中間層を設けることができる。該中間層としては、特開平５−７２７２４号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜を用いても良く、この場合、露光時感度がアップし、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。
該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。
【００２６】
＜感光性樹脂層＞
本発明において、感光性樹脂層は、着色画素（色材）、スペーサ、ブラックマトリクス（黒材）、配向制御材等の樹脂構造物を形成する場合に該樹脂構造物を構成する層である。
該感光性樹脂層は、少なくとも高分子物質と、重合性モノマーと、光重合開始剤とを含んだ感光性樹脂組成物から形成され、必要に応じて着色剤や他の成分を用いて構成することができる。着色剤を含有する場合には、カラーフィルタを構成する着色画素を形成することができる。
【００２７】
（高分子物質）
高分子物質は、スペーサや着色画素等の樹脂構造物を形成した場合にバインダー成分としての機能を有するものであり、前記＜クッション層＞の項で述べた樹脂や、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーや、それ自体重合性を有する、光により重合可能なアリル基を有する高分子樹脂が好ましい例として挙げられる。
高分子物質は、目的に応じて適宜選択した単量体の単独重合体、複数の単量体からなる共重合体のいずれであってもよく、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。
【００２８】
側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーの例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、またこの他にも、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸との共重合体や、ベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。
【００２９】
アリル基を有する高分子物質の単量体としては、特開２００３−１３１３７９［００３１］〜［００５４］に記載の樹脂が好適なものとして挙げられる。
前記高分子物質の重量平均分子量としては、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定値のポリスチレン換算値で５，０００〜１００，０００が好ましく、８，０００〜５０，０００がより好ましい。該重量平均分子量を５，０００〜１００，０００の範囲内とすることで、膜強度を良化することができる。
前記高分子物質の感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、１５〜９５質量％が好ましく、３０〜８５質量％がより好ましく、４０〜７５質量％が更に好ましい。
【００３０】
（重合性モノマー）
重合性モノマーとしては、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有するものであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、エステル化合物、アミド化合物、並びにその他の化合物が挙げられる。
【００３１】
前記エステル化合物としては、例えば、単官能（メタ）アクリル酸エステル、多官能（メタ）アクリル酸エステル、イタコン酸エステル、クロトン酸エステル、イソクロトン酸エステル、マレイン酸エステル、その他のエステル化合物、などが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよいが、これらの中でも、単官能（メタ）アクリル酸エステル、多官能（メタ）アクリル酸エステル等が好ましい。
【００３２】
前記単官能（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチルモノ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００３３】
前記多官能（メタ）アクリル酸エステルしては、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレート、ソルビトールトリ（メタ）アクリレート、ソルビトールテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。中でも特に、ジペンタエリスリトールポリ（メタ）アクリレートが好ましい。
【００３４】
前記多官能（メタ）アクリル酸エステルの他の例としては、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号公報、特公昭５０−６０３４号公報、特開昭５１−３７１９３号公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報、及び特公昭５２−３０４９０号公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載の（メタ）アクリル酸エステルやウレタン（メタ）アクリレートやビニルエステル、などが挙げられる。
【００３５】
前記「その他のエステル化合物」としては、例えば、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．７，第３００〜３０８頁に記載の光硬化性モノマー及びオリゴマー、などが挙げられる。
【００３６】
また、上記のアミド化合物としては、例えば、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド（モノマー）などが挙げられ、具体的には、メチレンビス−（メタ）アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−（メタ）アクリルアミド、ジエチレントリアミントリス（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、などが挙げられ、また、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載の（メタ）アクリル酸アミド、などが挙げられる。
また、上記の「その他の化合物」としては、例えば、特開昭６０−２５８５３９号公報に記載のアリル化合物、などが挙げられる。
【００３７】
上記した重合性モノマーは、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。
重合性モノマーの感光性樹脂層中における含有量としては、該層の全固形分に対して、１０〜６０質量％が好ましく、２０〜５０質量％がより好ましい。
本発明においては、感光性樹脂層中における、前記高分子物質の含有量Ａ（質量％）と前記重合性モノマーの含有量（質量％）Ｂとの比Ｂ／Ａとしては、０．３〜１．２が好ましい。この比Ｂ／Ａを上記範囲にすることで、より効果的にレチキュレーションの発生を抑止でき、アルカリ現像に長時間要することもない。
また、より好ましい比Ｂ／Ａの範囲は０．３〜０．９である。
【００３８】
（光重合開始剤）
光重合開始剤としては、およそ３００ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域に約５０以上の分子吸光係数を有する成分を少なくとも１種含有しているものが好ましく、例えば、特開平２−４８６６４号公報、特開平１−１５２４４９号公報、及び特開平２−１５３３５３号公報に記載の芳香族ケトン類、ロフィン２量体、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類、ポリハロゲン類、ハロゲン化炭化水素誘導体、ケトン化合物、ケトオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、などが挙げられる。
上記の中でも、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンと２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体との組合せ、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ’−ジ（エトキシカルボニルメチル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン〕、２，４−ビス−（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ’−ジエトキシカルボニルメチルアミノ）−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジンなどが好ましい。
上記の光重合開始剤は、１種単独で用いる以外に、２種以上を併用するようにしてもよい。
【００３９】
光重合開始剤の含有量としては、前記重合性モノマーの量に対して、０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％がより好ましい。
本発明に係る感光性樹脂層には、上記した高分子物質、重合性モノマー、及び光重合開始剤のほか、染料、顔料等の着色剤を含有してもよい。好ましい顔料の種類、サイズ等については、例えば特開平１１−１４９００８号公報の記載から適宜選択することができる。顔料等の着色剤を含有させた場合は、着色画素を形成することができる。
また、必要に応じて界面活性剤等の添加剤を添加することもできる。
【００４０】
感光性樹脂層の層厚としては、０．５〜１０μｍが好ましく、１〜６μｍがより好ましい。該層厚が、０．５μｍ未満であると製造時の塗布形成の際にピンホールが発生することがあり、１０μｍを超えると現像時に未露光部を除去するのに長時間を要することがある。
【００４１】
（着色剤）
着色剤は、通常顔料であり、顔料分散レジストに通常用いられる有機顔料又は無機顔料が使用できる。無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩のような金属化合物が挙げられ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属の酸化物又は複合金属酸化物が挙げられる。また有機顔料及び無機顔料として具体的には、カラーインデックス（Ｃｏｌｏｕｒ  Ｉｎｄｅｘ）（Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ  出版）で、ピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物が挙げられる。より具体的には、以下のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号の化合物が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【００４２】
上記公知の染料ないし顔料としては、ビクトリア・ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１、３、１２、１３、１４、５、１６、１７、２０、２４、３１、５５、６０、６１、６５、７１、７３、７４、８１、８３、９３、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６６、１６８、１７５、１８０、１８５。
Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ１、５、１３、１４、１６、１７、２４、３４、３６、３８、４０、４３、４６、４９、５１、６１、６３、６４、７１、７３。
Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２１、２２、２３、３０、３１、３２、３７、３８、４０、４１、４２、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５３：１、５７、５７：１、５７：２、５８：２、５８：４、６０：１、６３：１、６３：２、６４：１、８１：１、８３、８８、９０：１、９７、１０１、１０２、１０４、１０５、１０６、１０８、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１５０、１５１、１６６、１６８、１７０、１７１、１７２、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８５、１８７、１８８、１９０、１９３、１９４、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１５、２１６、２２０、２２４、２２６、２４２、２４３、２４５、２５４、２５５、２６４、２６５。
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０。
Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、３６。
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラウン２３、２５。
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック１、７等が挙げられる。
【００４３】
上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒（又はビヒクル）に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分（バインダー）と、これを溶解希釈する成分（有機溶媒）とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、２０００年、４３８項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献３１０項記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
【００４４】
（界面活性剤）
本発明に係る感光性樹脂層においては、塗布ムラ（膜厚変動によるムラ）を効果的に防止するという観点から、界面活性剤を含有させることが好ましい。該界面活性剤は、前記＜クッション層＞の項で述べた界面活性剤が好適なものとして挙げられる。
【００４５】
（熱重合防止剤）
また、本発明の感光性樹脂層は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
尚、感光性樹脂層の全固形分に対する熱重合防止剤の含有量は、０．０１〜１質量％が一般的であり、０．０２〜０．７質量％が好ましく、０．０５〜０．５質量％が特に好ましい。
【００４６】
＜保護フィルム＞
感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護する為に薄い保護フィルムを設けることが好ましい。保護フィルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離されねばならない。保護フィルム材料としては例えばシリコン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。
【００４７】
＜多丁ラミ用転写フィルムの作製方法＞
本発明の多丁ラミ用転写フィルムは、例えば、仮支持体上にクッション層の添加剤を溶解した塗布液（クッション層用塗布液）を塗布し、乾燥することによりクッション層を設け、その後クッション層上にクッション層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布、乾燥し、その後上記の組成物から樹脂層を、中間層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設けることにより作製することができる。
また、前記の仮支持体上にクッション層及び中間層を設けたシート、及び保護フィルム上に感光性樹脂層を設けたシートを用意し、中間層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わせることによっても、更には、前記の仮支持体上にクッション層を設けたシート、及び保護フィルム上に感光性樹脂層及び中間層を設けたシートを用意し、クッション層と中間層が接するように相互に貼り合わせることによっても、作製することができる。
また、特に限定されるわけではないが、その他の各層の好ましい膜厚としては、中間層は０．５〜３．０μｍ、保護フィルムは４〜４０μｍが、一般的に好ましい。
尚、上記作製方法における塗布は、公知の塗布装置等によって行うことができるが、本発明においては、スリット状ノズルを用いた塗布装置（スリットコータ）によって行うことが好ましい。
【００４８】
（スリット状ノズル）
上記転写フィルムは、公知の塗布方法により塗布し乾燥することによって形成することができるが、本発明においては、液が吐出する部分にスリット状の穴を有するスリット状ノズルによって塗布することが好ましい。具体的には、特開２００４−８９８５１号公報、特開２００４−１７０４３号公報、特開２００３−１７００９８号公報、特開２００３−１６４７８７号公報、特開２００３−１０７６７号公報、特開２００２−７９１６３号公報、特開２００１−３１０１４７号公報等に記載のスリット状ノズル、及びスリットコーターが好適に用いられる。
【００４９】
＜樹脂層付き基板の製造方法＞
本発明の樹脂層付き基板の製造方法は、前記転写フィルムを用いて、複数の転写フィルム送り出し部と加工機構、転写搬送機構、及び、前記転写フィルムを前記基板に一体的、並列的に接合する機構を有する転写装置（多丁ラミネータ）を用いる。
前記製造方法により製造された樹脂層付き基板は、露光して現像することをパターンの数だけ繰り返す方法など、公知の方法によって、カラーフィルタ（ブラックマトリクス、スペーサ、配向制御用突起等）を得ることができる。
【００５０】
（ラミネータによる貼り付け）
本発明におけるラミネータである感光性樹脂転写装置は、複数の転写フィルム送り出し機構と加工機構、転写搬送機構、及び、該転写フィルムを基板に一体的、並列的に接合する機構を有する装置である。
ここで、前記一体的、並列的に接合する機構とは、複数の転写フィルムを同一速度、かつ、同一方向に近接して搬送し、複数の転写プロセスを安定して行うための機構全般を指し、具体的には、フレーム本体、調整機構などを指す。
本発明は、前記転写フィルムを用い、フィルム状に形成した感光性樹脂層を、後述する基板上に加熱及び加圧したローラーで加熱圧着することによって、貼り付けることができる。
本発明に用いることができる転写装置は、前記構成を有すれば特に限定されないが、具体的には、下記の転写装置を用いるのが好ましい。
【００５１】
（転写装置）
本発明に用いることができる転写装置は、特開２００４−３３３６１６号公報に記載の、複数の転写材料（転写フィルム）を１枚の基板に転写可能なラミネータであることが好ましい。
転写装置は、該基板に複数の転写フィルムの感光性樹脂層を一体的、並列的に接合する機構（ラミネートロール対とバックアップロール）を有し、中でも、２枚の転写フィルムを用いる転写装置が好ましい。
前記複数の転写フィルムを用いて形成された複数の感光性樹脂層間の間隙が、染み出し防止と転写合わせ部縮小（有効転写エリアの拡大）の観点から、それぞれ独立に、１〜１０ｍｍであることが好ましく、１〜５ｍｍであることがより好ましく、１〜３ｍｍが特に好ましい。
前記複数の感光性樹脂層間の間隙と、クッション層の厚みの好ましい組合せとして、間隙が１〜１０ｍｍの時クッション層厚が３〜１０μｍであることが好ましく、間隙が１〜５ｍｍの時クッション層厚が３〜７μｍであることがより好ましく、間隙が１〜３ｍｍの時クッション層厚が３〜５μｍであることが特に好ましい。
【００５２】
また、本発明に用いる転写装置のラミネートロール硬度は、ラミ泡、段ムラ防止の観点から４０度〜８０度が好ましく、５０〜７０度がより好ましい。
ラミネートロール径は、ラミロール幅方向の圧力安定化とラミロール抱き角度最適化の観点から５０〜１５０ｍｍが好ましく、７０〜１３０ｍｍがより好ましい。
バックアップロール径は、５０〜３００ｍｍが好ましく、１００〜２００ｍｍがより好ましい。
【００５３】
また、転写プロセス条件については、基板予備加熱装置で、この基板の加熱温度を６０〜１４０℃にして用いる。該転写プロセスのその他の条件としては、ゴムローラー温度８０〜１４０℃、ラミネート圧力（線圧）５０〜２００Ｎ／ｃｍ、搬送速度１〜５ｍ／分の範囲が好ましい。ゴムローラーは１４０℃超えると、転写フィルムにシワがはいり、８０℃未満では感光性樹脂層の密着が弱くなる。
【００５４】
前記２枚の転写フィルムを用いる転写装置（２丁ラミネータ）について、以下具体的に説明する。
【００５５】
本発明における転写装置の前記転写フィルム送り出し機構は転写フィルム取り付け軸より構成される。
また、前記加工機構は、基板の長さに合わせて転写フィルムの感光性樹脂層及びカバーフィルムにハーフカットを入れるハーフカッター部、及びカバーフィルムを剥離する剥離機構より構成される。
また、前記転写搬送機構は、圧着部（ラミネート部）前の転写フィルムの搬送を安定化させる機構、即ち、バックテンションコントローラを有するテンション調節機構、フィルム位置制御装置と転写後のベースフィルムの剥離部より構成される。
これら転写フィルム送り出し機構、加工機構、及び転写搬送機構は、複数、一体的、並列的に配置される。
【００５６】
本発明における転写方法は、基板上の転写エリアの幅よりも狭い幅の転写フィルムを複数枚並列に供給して、前記転写エリアの略全面に感光性樹脂層を転写することを特徴とする。
【００５７】
本発明における転写装置の一例を図１〜７を用いて説明する。
図１は、本発明における感光性樹脂転写装置の一例の全体の概要を示す概略図である。
図１に示す感光性樹脂転写装置２は、基板供給部１０、予備加熱部１１、接合機構（熱圧着部）１２、冷却部１３、基板取り出し部１５、転写フィルム送り出し機構１６（転写フィルム取り付け軸３７、３８）、加工機構３９〜４２、転写搬送機構（剥離部１４、フィルム位置制御装置５７、テンション調節機構４３，４４）等から構成されている。
これらのうち、基板供給部１０、予備加熱部１１、接合機構（熱圧着部）１２、冷却部１３、基板取り出し部１５は一式を示すが、これらも複数、並列的に配置し、複数の基板を同時並列的にラミネートしても良い。
転写フィルム送り出し機構１６は、転写フィルム取り付け軸３７，３８を有し、該転写フィルム取り付け軸３７，３８には、それぞれ長尺の転写フィルム１７ａ，１７ｂをロール状に巻いた転写フィルムロール１８ａ，１８ｂがセットされる。
転写フィルム送り出し機構１６は、それぞれ転写フィルムロール１８ａ，１８ｂからそれぞれの転写フィルム１７ａ，１７ｂを引き出して、搬送路に並列に供給する。
【００５８】
図２に示すように、各転写フィルム１７ａ，１７ｂは、仮支持体１９上に、カラーフィルタを構成する感光性樹脂層２０を層設したものであり、感光性樹脂層２０の上層には感光性樹脂層２０を保護するカバーフィルム２１が設けられている。カラーディスプレイのパネルを製造する場合には、Ｒ（レッド），Ｇ（グリーン），Ｂ（ブルー）の３色のカラーフィルタに対応するＲ用，Ｇ用，Ｂ用の３色の転写フィルム１７ａ，１７ｂが、基板２２上に面順次に転写される。
例えば、まず、Ｒ用の転写フィルムロール１８ａ，１８ｂがセットされて、Ｒ用の感光性樹脂層がガラス基板２２に転写される。この転写の後、フォトリソグラフィ法により、転写された感光性樹脂層に対して露光，現像が行われてフイルタパターンが形成される。フイルタパターンが形成された感光性樹脂層は、ベークされて基板上に固定される。
【００５９】
このベーク後、Ｒ用のフイルタが形成されたガラス基板２２は、再び感光性樹脂転写装置２に戻される。そして、Ｇ用の転写フィルムロール１８ａ，１８ｂがセットされて、Ｇ用の感光性樹脂層がガラス基板２２に転写される。転写されたＧ用の感光性樹脂層は、Ｒ用の感光性樹脂層と同様に、フイルタパターンが形成され、ベークにより固定される。Ｇ用のフイルタが形成された後、同様に、Ｂ用の感光性樹脂層が転写されて、Ｂ用のフイルタが形成される。これら３色のカラーフィルタを形成した後、それらの隙間を埋めるために、Ｋ（ブラック）用の感光性樹脂層が転写される。
【００６０】
図１において、基板２２は、基板供給部１０のロボットハンド２３によって、一定間隔で転写面を下側に向けた状態で予備加熱部１１に供給される。この基板２２は、例えば、４枚分のパネルを含む大きさであり、カラーフィルタが形成された後、４分割される。
【００６１】
予備加熱部１１は、基板搬送装置２４と、ヒータ２５， ２６とから構成される。基板搬送装置２４は、エアー浮上プレート２７と送りローラー２８とからなる。エアー浮上プレート２７は、基板２２の転写面側に対面するように配置されており、転写面に向けてクリーンなエアーを吹き出して、基板２２を浮上させる。
【００６２】
送りローラー２８は、浮上した基板２２の転写面の両側縁部に接触し、回転することで基板２２を接合機構（熱圧着部）１２へ向けて搬送する。基板２２の転写面の両側縁部には感光性樹脂層２０は転写されず、送りローラー２８の周面が感光性樹脂層２０に接触することはない。この送りローラー２８はつば付きローラーから構成されており、図示しないつばが基板２２のガイドとして機能し、基板２２の幅方向を位置決めする。
【００６３】
ヒータ２５， ２６は、基板搬送装置２４の基板２２の搬送路を挟むように上下に複数個配置されており、基板２２を例えば５０〜１１０℃の温度に加熱する。予備加熱部１１で加熱された基板２２は、送りローラー２８により接合機構（熱圧着部）１２に送り出される。
【００６４】
接合機構（熱圧着部）１２は、ラミロール対２９とバックアップローラ３０とから構成されている。ラミロール対２９は、基板２２に接触するラミロール２９ａと、転写フィルム１７に接触する２９ｂとから構成される。これらラミロール２９ａ、２９ｂ、およびバックアップローラ３０にはヒータが内蔵されている。ラミロール対２９は、基板２２と転写フィルム１７とを挟持して搬送することにより、転写フィルム１７を基板２２に熱圧着して貼り付ける。バックアップローラ３０は、ラミロール２９ａ、２９ｂに接触して従動回転し、ラミロール２９ａ、２９ｂの撓みを抑えて、均一な力による熱圧着を可能にする。
【００６５】
接合機構（熱圧着部）１２は、後述するハーフカッタ４５のハーフカット線が所定の位置を通過すると、基板搬送装置２４に送り込み開始信号を送出する。これにより、ハーフカット線と基板２２との位置合わせが行われた状態で、転写フィルム１７の感光性樹脂層２０が基板２２に転写される。このとき、仮支持体１９も基板２２の移動に伴いラミロール対２９の送り方向下流側に送られる。
【００６６】
冷却部１３は、冷却風吹き出しボード３１と、搬送ローラー３２とから構成される。冷却風吹き出しボード３１は、ＨＥＰＡフイルタを通過したクリーンな冷却風を基板２２に向けて吹き出し、搬送ローラー３２で搬送される基板２２の温度をほぼ室温（３０℃以下）に冷却する。
【００６７】
本発明における転写搬送機構の一部である剥離部１４は、剥離ローラー３３およびベースフィルム巻取り機構３４から構成されており、基板２２から仮支持体１９を連続的に剥離し、この仮支持体１９を回収軸３４ａにロール状に巻き取る。回収軸３４ａは図示しない巻取りモータによって回転駆動される。この巻取りモータはトルク制御されており、ラミロール対２９以降の仮支持体１９の張力を一定に保持して、仮支持体１９に撓みが発生しないようにしている。
【００６８】
剥離部１４の下流側には、エアー浮上プレート３５からなる基板取り出し部１５が設けられている。このエアー浮上プレート３５は、予備加熱部１１のエアー浮上プレート２７と同様に構成されている。剥離部１４から基板取り出し部１５に送り出された基板２２は、ロボットハンド３６によってその上側面を吸着されて取り出される。
【００６９】
図３に示すように、感光性樹脂転写装置２は、加工機構としてカッタ部３９，４０、カバーフィルム剥離機構４１， ４２を備え、更に転写搬送機構としては、前記剥離部の他に、バックテンションローラを有するテンション調節機構４３，４４及びフィルム位置制御装置５７を独立に備えている。
各転写フィルムロール１８ａ，１８ｂは、転写フィルム取り付け軸３７，３８にそれぞれセットされる。
【００７０】
カッタ部３９，４０は、それぞれの転写フィルム１７ａ，１７ｂの仮支持体１９ａ， １９ｂを残して、基板２２の転写エリア２２ａの長さに合わせて感光性樹脂層２０ａ， ２０ｂおよびカバーフィルム２１ａ， ２１ｂに切れ目を入れるハーフカッタ４５を備えている。ハーフカッタ４５は、その長手方向が各転写フィルム１７ａ，１７ｂの幅方向に沿って延びた２枚の刃からなる。２枚の刃の間隔は、複数の基板２２が連続的に搬送される間隔に対応している。すなわち、２枚の刃の間隔は、１枚の基板２２の転写エリア２２ａの後端と、次の基板２２の転写エリア２２ａの前端との間隔に対応しており、２枚の刃を同時に１回動作させることにより、それらの位置に同時に切れ目が入れられる。
【００７１】
カバーフィルム剥離機構４１， ４２は、カットされた各感光性樹脂層２０ａ， ２０ｂの上層のカバーフィルム２１ａ， ２１ｂを各転写フィルム１７ａ，１７ｂから剥離する。このカバーフィルム剥離機構４１， ４２は、粘着テープロール４６から引き出された粘着テープ４７を、押さえローラー４８によりカバーフィルム２１へ貼り付け、このカバーフィルム２１が貼り付いた粘着テープ４７をテープ巻取り軸４９に巻き取って回収する。
【００７２】
本発明における転写搬送機構のテンション調節機構４３， ４４は、バックテンションローラ５０， ５１、モータ５２， ５３およびテンションセンサ５４， ５５から構成される。バックテンションローラ５０， ５１は、テンションセンサ５４， ５５から検出される張力値に基づいて、ラミロール対２９以前の転写フィルム１７ａ， １７ｂの張力を一定に保持して、転写フィルム１７ａ， １７ｂに撓みが発生しないようにしている。テンションセンサ５４， ５５で検出された張力値は、コントローラ５６（図５参照）に送られて、モータ５２， ５３の回転速度や回転量が制御され、これによりテンションが調節される。
【００７３】
符号５７は、前記転写搬送機構におけるフィルム位置制御装置である。フィルム位置制御装置５７は、並列に搬送される２枚の転写フィルム１７ａ， １７ｂの間の距離を所定間隔に保持して、転写フィルム１７ａ， １７ｂの搬送を安定させる。なお、フィルム位置制御装置５７を随所に設置して転写フィルム１７ａ， １７ｂを精度よく搬送するようにしてもよい。
【００７４】
図４に示すように、各転写フィルム１７ａ， １７ｂの幅Ｗ２は、基板２２上の転写エリア２２ａの全幅Ｗ１よりも狭く、例えば、Ｗ２≦１／２・Ｗ１である。こうした転写フィルム１７ａ， １７ｂが並列に供給されることで、転写エリア２２ａの略全面に感光性樹脂層２０が転写される。このように、基板上の転写エリアよりも幅が狭い転写フィルムを複数枚並列に供給することにより、転写フィルムを幅広化することなく、幅広の転写エリアの略全面に感光性樹脂層を転写することができる。
ここで、Ｗ１−２・Ｗ２は、前記複数の転写フィルムの間隙を表す。
【００７５】
図５に示すように、テンション調節機構４３，４４におけるバックテンションローラ５０， ５１は、同軸上に設けられている。各バックテンションローラ５０， ５１は、それぞれ別々のモータ５２，５３で駆動される。コントローラ５６は、これらのモータ５２，５３を独立に制御することで、各転写フィルムの張力をそれぞれ独立に調節する。複数の転写フィルムを１つのバックテンションローラに引っかけて搬送しようとすると、いずれかの転写フィルムに滑りが生じるため、各転写フィルムの張力を一定に保持することができない。そこで、本発明における転写装置では、各転写フィルムに対して、テンション調節機構を設けて、これらを独立に制御することで、各転写フィルムの張力が一定に保持されるようにしている。
【００７６】
次に、本実施形態の作用を説明する。
基板供給部１０のロボットハンド２３によって基板２２が予備加熱部１１に供給される。予備加熱部１１に供給された基板２２は、ヒータ２５，２６によって加熱されて接合機構（熱圧着部）１２に送り出される。そして、接合機構（熱圧着部）１２に送り出された基板２２に対して、転写フィルム送り出し機構１６から転写フィルム１７ａ， １７ｂが並列に供給される。
【００７７】
各転写フィルム１７ａ， １７ｂが接合機構（熱圧着部）１２に供給される以前には、コントローラ５６が転写フィルム送り出し機構１６を独立に制御して、転写フィルム１７ａ， １７ｂに対して各転写フィルムロール１８ａ，１８ｂ各部の処理を実行する。転写フィルム１７ａ， １７ｂは、各カット部３９，４０のハーフカッタ４５によって基板２２の転写エリア２２ａの長さに合わせて切れ目を入れられて、各カバーフィルム剥離機構４１， ４２に送られる。各カバーフィルム剥離機構４１，４２では、カットされた各感光性樹脂層２０ａ， ２０ｂの上層のカバーフィルム２１ａ， ２１ｂが転写フィルム１７ａ， １７ｂから剥離される。各カバーフィルム剥離機構４１， ４２を通過した転写フィルム１７ａ， １７ｂは、各テンション調整機構４３，４４によって転写フィルム１７ａ， １７ｂの張力が一定に保持された状態で、接合機構（熱圧着部）１２に供給される。
【００７８】
各転写フィルム送り出し機構１６から供給された転写フィルム１７ａ， １７ｂは、基板２２の転写エリア２２ａに位置合わせされた状態で、接合機構（熱圧着部）１２のラミネートロール対２９の間を搬送されて、基板２２の転写エリア２２ａに各転写フィルム１７ａ， １７ｂの感光性樹脂層２０ａ， ２０ｂが転写される。その後、各転写フィルム１７ａ， １７ｂの感光性樹脂層２０ａ， ２０ｂが転写された基板２２は、冷却部１３に送られて、冷却風吹き出しボード３１からの冷却風を受けて冷却された後、剥離部１４に送られる。剥離部１４では、各転写フィルム１７ａ， １７ｂの仮支持体が回収軸３４ａに巻き取られて剥離される。各転写フィルム１７ａ， １７ｂの仮支持体が剥離された基板２２は、基板取り出し部１５に送り出されて、ロボットハンド３６によってその上側面を吸着されて取り出される。
【００７９】
上述したように、基板２２の転写エリア２２ａの幅よりも狭い幅の転写フィルム１７ａ， １７ｂを並列に供給する転写フィルム送り出し機構１６を備えることにより、装置の搬送系を幅広化する必要がないから、装置の改造費用が抑えられるとともに、幅広の基板の全面に感光性樹脂層を転写することができる。また、狭い幅の転写フィルムが使用されるから、しわが発生しにくく、転写フィルムの取り扱い性を損なうことがない。
【００８０】
上記例では、各転写フィルム送り出し機構から、同じ色用の感光材料を供給する例で説明したが、図６に示すように、転写フィルム送り出し機構の第１供給部からは、Ｒ用の感光材料を供給し、他方からは、Ｇ用の感光材料を供給するというように、異なる色の感光材料を供給してもよい。また、上記例では、転写フィルム供給部を２つ設けた例で説明したが、２つ以上設けてもよい。
また、上記例では、各転写フィルム供給部が供給する各転写フィルムの幅を、転写エリアの１／２以下として、それぞれを同じ幅とした例で説明したが、一方が転写エリアの１／３の幅を持ち、他方が２／３の幅を持つというように、各転写フィルムの幅は同じでなくてもよいし、転写エリアの１／２以下でなくてもよい。このように、各転写フィルムの幅を変更すれば、転写フィルムの製造工程で発生する端尺幅の転写フィルムを有効に活用することもできる。
【００８１】
図７は、中央に位置する第２供給部からＲ用の転写フィルムを供給し、その両側に位置する第１及び第３供給部からアライメントマークを転写するためのＫ用の転写フィルムを供給する例である。アライメントマークは、各色の転写位置を合わせるための位置決めマークである。
【００８２】
（基板）
本発明において、樹脂層が形成される基板としては、例えば、透明基板が用いられ、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いは、プラスチックフィルム等を挙げることができる。
また、上記基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、転写フィルムとの密着を良好にすることができる。該カップリング処理としては、特開２０００−３９０３３号公報記載の方法が好適に用いられる。尚、特に限定されるわけではないが、基板の膜厚としては、７００〜１２００μｍが一般的に好ましい。
【００８３】
（酸素遮断膜）
本発明において、樹脂層を形成するに当たり、前記樹脂層上に更に酸素遮断膜を設けることができ、これにより、露光感度をアップすることができる。該酸素遮断膜としては、既に＜転写フィルム＞の（中間層）の項において説明したものと同様のものが挙げられる。尚、特に限定されるわけではないが、酸素遮断膜の膜厚としては、０．５〜３．０μｍが好ましい。
【００８４】
［表示装置用材料］
本発明の表示装置用材料は、前記樹脂層付き基板を露光し、現像することにより得ることができる。
ここで、本発明の表示装置用材料は前記樹脂層付き基板を用いて製造できる材料であり、液晶表示装置、ＰＤＰ、ＥＬなどに用いるカラーフィルタ（カラー画像、ＢＭ、スペーサ、及び液晶配向制御用突起等の全てを包含するもの。）等を意味する。
【００８５】
（露光及び現像）
上記樹脂層付き基板の基板上に形成された樹脂層の上方に所定のマスクを配置し、その後該マスク、熱可塑性樹脂層、及び中間層を介してマスク上方から露光し、次いで現像液による現像を行う、という工程をパターンの数だけ繰り返すことにより、本発明の表示装置用材料を得ることができる。
ここで、前記露光の光源としては、樹脂層を硬化しうる波長域の光（例えば、３６５ｎｍ、４０５ｎｍなど）を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常５〜２００ｍＪ／ｃｍ2程度であり、好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ2程度である。
【００８６】
また、前記現像液としては、特に制約はなく、特開平５−７２７２４号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。尚、現像液は樹脂層が溶解型の現像挙動をするものが好ましく、例えば、ｐＫａ＝７〜１３の化合物を０．０５〜５ｍｏｌ／Ｌの濃度で含むものが好ましいが、更に水と混和性を有する有機溶剤を少量添加してもよい。
【００８７】
水と混和性を有する有機溶剤としては、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等を挙げることができる。該有機溶剤の濃度は０．１質量％〜３０質量％が好ましい。
また、上記現像液には、更に公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は０．０１質量％〜１０質量％が好ましい。
現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー＆スピン現像、ディプ現像等、公知の方法を用いることができる。
【００８８】
ここで、上記シャワー現像について説明すると、露光後の樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。尚、現像の前に樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
【００８９】
洗浄液としては公知のものを使用できるが、（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「Ｔ−ＳＤ１（富士写真フイルム製）」、或いは、炭酸ナトリウム・フェノキシオキシエチレン系界面活性剤含有、商品名「Ｔ−ＳＤ２（富士写真フイルム製）」）が好ましい。
現像液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましく、また、現像液のｐＨは８〜１３が好ましい。
【００９０】
（ポスト露光）
前記現像工程と下記の熱処理工程の間に、ポスト露光工程を実施すると、画像の断面形状のコントロール、画像の硬度のコントロール、画像の表面凹凸のコントロール、画像の膜減りのコントロールなどの観点で好ましい。ポスト露光に用いる光源としては、特開２００５−３８６１号公報の段落番号００７４に記載の超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。ポスト露光は、超高圧水銀灯やメタルハライド等の光源からの光を露光マスクなどを介さず直接基板に照射する事が、設備の簡素化と省電力の観点で好ましい。必要に応じて、両面から実施する。また、露光量も、上面：１００から２０００ｍＪ／平方センチメートル、下面：１００から２０００ｍＪ／平方センチメートルの範囲で、上記コントロール目的に応じ、適宜調整する。
【００９１】
（熱処理）
熱処理により、本発明の多丁ラミ用転写フィルムの感光性樹脂層に含まれるモノマーや架橋剤を反応させて、画像の硬度を確保することができる。熱処理の温度は、１５０℃から２５０℃の範囲が好ましい。１５０℃以下では硬度が不十分となり、２５０℃以上では樹脂が着色し色純度が悪くなる。熱処理の時間は、１０分から１５０分が好ましい。１０分未満では、硬度が不足し、１５０分以上では、基板との密着性が悪くなることがある。
【００９２】
またカラーフィルタを製造する場合、熱処理工程は、色によって変えてもよい。また、全部の色を形成後、更に最終の熱処理を行って硬度を安定化させてもよい。その場合、高めの温度（例えば２４０℃）で実施すると硬度の点で好ましい。
【００９３】
カラーフィルタを製造する場合においては、後述の基板上に後述の着色剤を含有する転写フィルムを用いて感光性樹脂層を重ねることで土台を形成し、その上に透明電極を形成し、更に分割配向用の突起を重ねることでスペーサを形成することが、コストダウンの観点で好ましい。
本発明において、転写フィルムはクッション層を有するため、厚みが一定に保たれ、重ねる色は３又は２色とすることができる。
また上記土台のサイズは、転写フィルムを重ねてラミネートする際の樹脂層の変形を防止し一定の厚みを保持する観点から、２５μｍ×２５μｍ以上が好ましく、３０μｍ×３０μｍ以上が特に好ましい。
【００９４】
＜表示装置＞
本発明における前記感光性転写フィルムを用いて作製された前記表示装置用材料を備えたものであれば特に限定されるものではない。
本発明の表示装置としては液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置などを言う。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。
本発明の表示装置のうち、後述の液晶表示装置は特に好ましい。
【００９５】
＜液晶表示装置＞
本発明の液晶表示装置とは、本発明の表示装置用材料を備えるものであれば、特に限定されない。さらに偏光板を有することが好ましい。
液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。例えば、ＥＣＢ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ  ）、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）、ＦＬＣ（Ｆｅｒｒｏｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）、ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌｌｙ  Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｏｒｙ  Ｂｅｎｄ）、ＳＴＮ（Ｓｕｐｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌｌｙ  Ａｌｉｇｎｅｄ）、ＨＡＮ（Ｈｙｂｒｉｄ  Ａｌｉｇｎｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）、ＧＨ（Ｇｕｅｓｔ  Ｈｏｓｔ）のような様々な表示モードが採用できる。この表示モードの中でも、特に高い表示品位の表示装置を提供できるＶＡ（Ｖｅｒｔｉｃａｌｌｙ  Ａｌｉｇｎｅｄ）表示モードが好ましい。
本発明はこれらのなかで特にカラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ（共立出版（株）１９９６年発行）」に記載されている。
さらに本発明はもちろんＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。
これらの方式については例えば「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門  ２００１年発行）」の４３ページに記載されている。
また、ノートパソコン用ディスプレイやテレビモニター等の大画面の液晶表示装置等にも好適に用いることができる。
【実施例】
【００９６】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。尚、以下において「％」、「部」は、特に断りがない限り、それぞれ「質量％」、「質量部」を表す。
【００９７】
（実施例１）
（カラーフィルタの作製）
−転写フィルムの作製−
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方Ｈ１からなるクッション層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方Ｐ１から成る中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、下記表１に記載の組成よりなる着色感光性樹脂組成物Ｋ１を塗布、乾燥させ、該仮支持体の上に乾燥膜厚が３μｍのクッション層と、乾燥膜厚が１．６μｍの中間層と、乾燥膜厚が２．４μｍの感光性樹脂層を設け、保護フィルム（厚さ１２μｍポリプロピレンフィルム）を圧着した。
こうして仮支持体とクッション層と中間層（酸素遮断膜）とブラック（Ｋ）の感光性樹脂層とが一体となった転写フィルムを作製し、サンプル名を転写フィルムＫ１とした。
【００９８】
＜クッション層用塗布液：処方Ｈ１＞
・メタノール                                                      １１．１部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                  ６．４部
・メチルエチルケトン                                              ５２．４部
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）＝５５／１１．７／４．５／２８．８、重量平均分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃）                            ５．８３部
・スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）＝６３／３７、重量平均分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃）                                        １３．６部
・２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン（新中村化学（株）製）                                                          ９．１部
・界面活性剤１                                                    ０．５４部
【００９９】
＊界面活性剤１：メガファックＦ−７８０−Ｆ（大日本インキ化学工業（株）製）の組成は、
・Ｃ6Ｆ13ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2：４０部とＨ（ＯＣＨ（ＣＨ3）ＣＨ2）7ＯＣ
ＯＣＨ＝ＣＨ2：５５部とＨ（ＯＣＨ2ＣＨ2）7ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2：５部との共重合体、
重量平均分子量３万                                                    ３０部
・メチルエチルケトン                                                ７０部
【０１００】
＜中間層用塗布液処方：Ｐ１＞
・ポリビニルアルコール                                              ２．１部
（ＰＶＡ２０５（鹸化率＝８８％）；（株）クラレ製）
・ポリビニルピロリドン                                            ０．９５部
（ＰＶＰ、Ｋ−３０；アイエスピー・ジャパン(株)製）
・メタノール                                                          ４４部
・蒸留水                                                              ５３部
【０１０１】
次に、前記転写フィルムＫ１の作製において用いた前記着色感光性樹脂組成物Ｋ１を、下記表１に記載の組成よりなる下記着色感光性樹脂組成物Ｒ１、Ｇ１及びＢ１に変更した以外は、上記と同様の方法により、転写フィルムＲ１、Ｇ１及びＢ１を作製した。
【０１０２】
−ブラック（Ｋ）画像の形成−
無アルカリガラス基板を、２５℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより２０秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン０．３質量％水溶液、商品名：ＫＢＭ６０３、信越化学工業（株）製）をシャワーにより２０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で１００℃２分加熱した。
【０１０３】
前記転写フィルムＫ１の保護フィルムを剥離後、下記転写装置を用い、前記１００℃で２分間加熱した基板に、ゴムローラー温度１３０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度２．２ｍ／分、の条件でラミネートした。
転写装置は、ウェブ幅８８５ｍｍ×２丁、ウェブ間隔５ｍｍ、ラミネートロール径１１０ｍｍ、バックアップロール径２５０ｍｍとした２丁ラミネータを用いた。
【０１０４】
仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）で、基板とマスク（画像パターンを有す石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を２００μｍに設定し、露光量７０ｍＪ／ｃｍ2でパターン露光した。
【０１０５】
次に、トリエタノールアミン系現像液（２．５％のトリエタノールアミン含有、ノニオン界面活性剤含有、ポリプロピレン系消泡剤含有、商品名：Ｔ−ＰＤ１、富士写真フイルム株式会社製）にて３０℃５０秒、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像しクッション層と中間層（酸素遮断膜）を除去した。
引き続き炭酸Ｎａ系現像液（０．０６モル／リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、１％のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名：Ｔ−ＣＤ１、富士写真フイルム株式会社製）を用い、２９℃３０秒、コーン型ノズル圧力０．１５ＭＰａでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画素を得た。
【０１０６】
引き続き洗浄剤（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「Ｔ−ＳＤ１（富士写真フイルム（株）製）」を用い、３３℃２０秒、コーン型ノズル圧力０．０２ＭＰａでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行い、ブラック（Ｋ）の画像を得た。その後更に、該基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で５００ｍＪ／ｃｍ2の光でポスト露光後、２２０℃、１５分熱処理した。
【０１０７】
このＫの画像を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により１００℃２分加熱した。
【０１０８】
−レッド（Ｒ）画素の形成−
前記転写フィルムＲ１を用い、ブラック（Ｋ）画像を形成した基板上に、前記転写フィルムＫ１と同様の工程で、レッド（Ｒ）の画素と、２８×２８μｍの角形のレッド（Ｒ）パターンを形成した。但し露光量は４０ｍＪ／ｃｍ2、炭酸Ｎａ系現像液による現像は３５℃３５秒とした。
【０１０９】
該感光性樹脂層Ｒ１膜厚は２．０μｍであり、顔料Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４及びＣ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７の塗布量はそれぞれ、０．８８、０．２２ｇ／ｍ2であった。
このブラック（Ｋ）画像とＲの画素を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により１００℃２分加熱した。
【０１１０】
−グリーン（Ｇ）画素の形成−
前記転写フィルムＧ１を用い、前記レッド（Ｒ）画素を形成した基板上に、前記転写フィルムＫ１と同様の工程で、グリーン（Ｇ）の画素を、前記レッド（Ｒ）パターン上にレッド（Ｒ）パターン全体を覆うようにグリーン（Ｇ）パターンを形成した。但し、露光量は４０ｍＪ／ｃｍ2、炭酸Ｎａ系現像液による現像は３４℃４５秒とした。
該感光性樹脂層Ｇ１膜厚は２．０μｍであり、顔料Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６及びＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０の塗布量はそれぞれ、１．１２、０．４８ｇ／ｍ2であった。
【０１１１】
ブラック（Ｋ）画像とＲとＧの画素を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により１００℃２分加熱した。
【０１１２】
−ブルー（Ｂ）画素の形成−
前記転写フィルムＢ１を用い、前記レッド（Ｒ）画素とグリーン（Ｇ）画素を形成した基板上に、前記転写フィルムＫ１と同様の工程で、ブルー（Ｂ）の画素を得た。但し露光量は３０ｍＪ／ｃｍ2、炭酸Ｎａ系現像液による現像は３６℃４０秒とした。
該感光性樹脂層Ｂ１膜厚は２．０μｍであり、顔料Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６及びＣ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３の塗布量はそれぞれ、０．６３、０．０７ｇ／ｍ2であった。
【０１１３】
このＲ、Ｇ、Ｂ画素及びＫの画像を形成した基板を２４０℃で５０分ベークして、目的のカラーフィルタを作製した。
【０１１４】
ここで、上記表１に記載の着色感光性樹脂組成物Ｋ１、Ｒ１、Ｇ１、Ｂ１の調製について説明する。
着色感光性樹脂組成物Ｋ１は、まず表１に記載の量のＫ顔料分散物１、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒｐｍ１０分間攪拌し、次いで、表１に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー１、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、界面活性剤１をはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ｒｐｍ３０分間攪拌することによって得られた。
【０１１５】
尚、表１に記載の組成物の内、
＊Ｋ顔料分散物１の組成は、
・カーボンブラック（デグッサ社製、商品名Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ  ２５０）
１３．１部
・５−［３−オキソ−２−［４−［３，５−ビス（３−ジエチルアミノプロピルアミノカルボニル）フェニル］アミノカルボニル］フェニルアゾ］−ブチロイルアミノベンズイミダゾロン                                                          ０．６５部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、重量平均分子量３．７万）                                    ６．７２部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート              ７９．５３部
【０１１６】
＊バインダー１の組成は、
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７８／２２モル比のランダム共重合物、分子量４万）                                                    ２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                    ７３部
【０１１７】
＊ＤＰＨＡ液の組成は、
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（重合禁止剤ＭＥＨＱ  ５００ｐｐｍ含有、日本化薬（株）製、商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ）                ７６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                    ２４部
【０１１８】
＊界面活性剤１は前記と同様である。
【０１１９】
着色感光性樹脂組成物Ｒ１は、まず表１に記載の量のＲ顔料分散物１、Ｒ顔料分散物２、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒｐｍで１０分間攪拌し、次いで、表１に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー２、ＤＰＨＡ液、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、フェノチアジンをはかり取り、温度２４℃（±２℃）でこの順に添加して１５０ｒｐｍ１０分間攪拌し、次いで、表１に記載の量の添加剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒｐｍ２０分間攪拌し、更に、表３に記載の量の界面活性剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で添加して３０ｒｐｍ３０分間攪拌し、ナイロンメッシュ＃２００で濾過することによって得られた。
【０１２０】
尚、表１に記載の組成物の内、
＊Ｒ顔料分散物１の組成は、
・Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４（商品名：Ｉｒｇａｐｈｏｒ  Ｒｅｄ  Ｂ−ＣＦ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）                          ８．０部
・５−［３−オキソ−２−［４−［３，５−ビス（３−ジエチルアミノプロピルアミノカルボニル）フェニル］アミノカルボニル］フェニルアゾ］−ブチロイルアミノベンズイミダゾロン                                                            ０．８部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、重量平均分子量３．７万）                                      ８．０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                ８３．２部
【０１２１】
＊Ｒ顔料分散物２の組成は、
・Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７（商品名：Ｃｒｏｍｏｐｈｔａｌ  Ｒｅｄ  Ａ２Ｂ、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）                          １８部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、重量平均分子量３．７万）                                        １２部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                    ７０部
【０１２２】
＊バインダー２の組成は、
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／メチルメタクリレート＝３８／２５／３７モル比のランダム共重合物、重量平均分子量３万                            ２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                    ７３部
【０１２３】
＊添加剤１は、燐酸エステル系特殊活性剤（楠本化成（株）製、商品名：ＨＩＰＬＡＡＤ  ＥＤ１５２）を用いた。
着色感光性樹脂組成物Ｇ１は、まず表１に記載の量のＧ顔料分散物１、Ｙ顔料分散物１、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒｐｍ１０分間攪拌し、次いで、表１に記載の量のメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、バインダー１、ＤＰＨＡ液、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、フェノチアジンをはかり取り、温度２４℃（±２℃）でこの順に添加して１５０ｒｐｍ３０分間攪拌し、更に、表１に記載の量の界面活性剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で添加して３０ｒｐｍ５分間攪拌し、ナイロンメッシュ＃２００で濾過することによって得られた。
【０１２４】
尚、表１に記載の組成物の内、
＊Ｇ顔料分散物１の組成は、富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製の「商品名：ＧＴ−２」を用いた。
＊Ｙ顔料分散物１（御国色素社製、商品名：ＣＦエローＥＸ３３９３）を用いた。
【０１２５】
着色感光性樹脂組成物Ｂ１は、まず表１に記載の量のＢ顔料分散物１、Ｂ顔料分散物２、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒｐｍ１０分間攪拌し、次いで、表１に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー３、ＤＰＨＡ液、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、フェノチアジンをはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ｒｐｍ３０分間攪拌し、更に、表１に記載の量の界面活性剤１をはかり取り、温度２４℃（±２℃）で添加して３０ｒｐｍ５分間攪拌し、ナイロンメッシュ＃２００で濾過することによって得られた。
【０１２６】
尚、表１に記載の組成物の内、
＊Ｂ顔料分散物１は、（御国色素社製、商品名：ＣＦブルーＥＸ３３５７）を用いた。
＊Ｂ顔料分散物２は、（御国色素社製、商品名：ＣＦブルーＥＸ３３８３）を用いた。
【０１２７】
＊バインダー３の組成は、
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／メチルメタクリレート＝３６／２２／４２モル比のランダム共重合物、重量平均分子量３万                            ２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                    ７３部
である。
【０１２８】
【表１】
2007304212.tif 000002
【０１２９】
（ＭＶＡ用液晶表示装置の作製）
上記で作製したカラーフィルタ上に、透明電極膜をＩＴＯのスパッタリングにより形成した。
【０１３０】
−液晶配向制御用突起−
高さ１．５μｍ、縦断面形状が蒲鉾様の液晶配向制御用突起を以下の方法で形成した。
【０１３１】
（突起用転写フィルムの作製）
前記転写フィルムＫ１の作製において用いた前記着色感光性樹脂組成物Ｋ１を、下記の組成よりなる突起用塗布液処方Ａに変更した以外は、上記と同様の方法により、突起用転写フィルムを作製した。
【０１３２】
＜突起用塗布液：処方Ａ＞
・ポジ型レジスト液（富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製ＦＨ−２４１３Ｆ）                                                            ５３．３部
・メチルエチルケトン                                              ４６．７部
・界面活性剤１                                                    ０．０４部
（突起の形成）
上記より得た突起用転写フィルムからカバーフィルムを剥がし、前記転写フィルムＫ１における転写と同様に、２丁ラミネータによりラミネートを行った。ラミネート条件も同様である。この状態では、カラーフィルタ側基板上に、感光性樹脂層、中間層、クッション層がこの順に積層されている。
【０１３３】
次に、最外層であるクッション層の上方に、フォトマスクが感光性樹脂層の表面から１００μｍの距離となるようにプロキシミティー露光機を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー７０ｍＪ／ｃｍ2でプロキシミティー露光した。その後、１％トリエタノールアミン水溶液を、シャワー式現像装置にて３０℃で３０秒間基板に噴霧して、クッション層及び中間層を溶解除去した。この段階では、感光性樹脂層は実質的に現像されていなかった。
【０１３４】
続いて、２．３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて３３℃３０秒間基板に噴霧しながら現像し、感光性樹脂層の不要部（未硬化部）を現像除去した。すると、前記レッド（Ｒ）とグリーン（Ｇ）パターンを積層して形成したスペーサの土台上と、カラーフィルタ側基板上に、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる突起が形成された。
次いで、該突起が形成されたカラーフィルタ側基板を２４０℃下で５０分ベークすることにより、前記レッド（Ｒ）とグリーン（Ｇ）を積層して形成したスペーサの土台上に、グリーン（Ｇ）画素からの高さが３．４μｍのスペーサと、カラーフィルタ側基板上に、高さ１．５μｍ、縦断面形状が蒲鉾様の液晶配向制御用突起を形成することができた。
【０１３５】
更に上記で作製した液晶配向制御用突起の上にポリイミドの配向膜を設けた。カラーフィルタの画素群の周囲に設けられたブラックマトリックスの外枠に相当する位置に、スペーサ粒子を含有するエポキシ樹脂のシール剤を印刷し、カラーフィルタ基板を対向基板（ＴＦＴ基板）と貼り合わせた。
次いで、貼り合わされたガラス基板を熱処理し、シール剤を硬化させ、２枚のガラス基板の積層体を得た。このガラス基板積層体を真空下で脱気し、その後大気圧に戻して２枚のガラス基板の間隙に液晶を注入した。注入終了後、注入口部分を接着剤を用い紫外線照射して封止し、液晶セルを得た。この液晶セルの両面に、偏光板を貼り付け、バックライトを構成し、液晶表示装置とした。
【０１３６】
（実施例２〜６、比較例１〜３）
実施例１において、クッション層の厚みを表２記載の厚みに変更したこと以外は、実施例１と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
【０１３７】
［評価］
上記実施例及び比較例で得られた樹脂層付き基板を用いて下記の方法で試験して評価した。
（クッション層厚み測定）
クッション層の厚みは表面粗さ計Ｐ−１０（ＴＥＮＣＯＲ社製）を用いて測定した。
【０１３８】
（ローラー汚れ評価）
ローラー汚れの評価は、転写フィルムの保護フィルムを剥離後、上記実施例で用いた転写装置を用い、１００℃で２分間加熱した基板に、ゴムローラー温度１３０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度２．２ｍ／分の条件で１００ｍラミネートを実施したあと、目視にて圧着ローラーの汚れ具合を以下の評価基準に従い評価した。
−評価基準−
◎：全く汚れなし
○：うっすら汚れがあるが全く問題ないレベル
○△：うっすら汚れがあるが実用上問題ないレベル
×：汚れがあり実用上問題があるレベル
××：汚れが広範囲に広がっており問題があるレベル
また、汚れの高さを測定した。
【０１３９】
（ラミネート性＜ラミ泡＞評価）
上記で得られた樹脂層付き基板について、ベースフィルム剥離後、光学顕微鏡にてラミネート状態を観察し、ラミ泡の有無を観察し、以下の評価基準に従い評価した。
−評価基準−
◎：ラミ泡が無く、パターン形成箇所にも発生していない。
○：ラミ泡無し。もしくは、パターン形成箇所に発生していない。
○△：ラミ泡がパターン形成箇所以外に発生した。
×：ラミ泡がパターン形成部に発生した。
また、１ラインあたりのラミ泡発生率を評価した。
【０１４０】
（現像性＜面内均一性＞の評価）
現像性の評価は、形成されたパターンの面内均一性を以下の評価基準に従い評価した。
−評価基準−
◎：全面均一なパターンが形成されている
○：場所により残渣またはパターンの欠けがあるが全く問題ないレベル
○△：場所により残渣またはパターンの欠けがあるが実用上問題ないレベル
×：残渣またはパターンの欠けがあり実用上問題があるレベル
××：全面に残渣またはパターンの欠けがあり実用不可能なレベル
また、残渣または欠けが発生している面積率を求めた。
【０１４１】
（総合評価）
以上の各評価を総合して、以下の評価基準に従い評価した。
−評価基準−
○：ローラー汚れ、ラミネ−ト性、現像性共に良好なもの
×：ローラー汚れ、ラミネ−ト性、現像性いずれかに問題があるもの
【０１４２】
【表２】
2007304212.tif 000003
【０１４３】
表２から明らかな通り、実施例１〜６の製造方法により製造された樹脂積層体は、ローラー汚れや、気泡混入などの故障がなく、安定して製造をすることができた。
比較例１の製造方法により作製した樹脂層付き基板は、クッション層の厚みが薄いため、転写フィルムが基板の上の凹凸に追従せず、気泡が混入した。また、比較例２、３の製造方法により、転写フィルムを用いて作製した樹脂付き基板は、ローラー汚れによる欠陥が見られ、安定した製造ができなかった。
【０１４４】
（実施例７〜８）
実施例６において、ウェブ間隔を５ｍｍから表３に記載の間隔に変更したこと以外は、実施例６と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
【０１４５】
【表３】
2007304212.tif 000004
【０１４６】
表３から明らかなように、転写フィルムの設定間隔（ウェブ間隔）が狭まるとローラー汚れの問題がより厳しくなるが、本発明によりローラー汚れを十分減らすことができた。
【図面の簡単な説明】
【０１４７】
【図１】本発明における感光性樹脂転写装置の一例の全体の概要を示す概略図である。
【図２】転写フィルムの構成を示す断面図である。
【図３】転写フィルム送り出し機構、加工機構、転写搬送機構の概要を示す概略拡大図である。
【図４】基板上の転写エリアを示す説明図である。
【図５】２つの転写フィルムのテンション調節機構の設置位置を示す斜視図である。
【図６】転写フィルムの転写パターンである。
【図７】他の転写フィルムの転写パターンである。
【符号の説明】
【０１４８】
２ 感光性樹脂転写装置
１２ 接合機構（熱圧着部）
１４  剥離部（転写搬送機構）
１６ 転写フィルム送り出し機構
１７ａ， １７ｂ 転写フィルム
２０ａ， ２０ｂ 感光性樹脂層
２１  カバーフィルム
２２ 基板
２２ａ 転写エリア
２９ ラミロール対
３０  バックアップロール
３７，３８  転写フィルム取り付け軸（転写フィルム送り出し機構）
３９，４０  カッター部(加工機構）
４１，４２  カバーフィルム剥離機構（加工機構）
４３，４４  テンション調整機構（転写搬送機構）
５７  フィルム位置制御装置（転写搬送機構）
【図１】
2007304212.tif 000005
【図２】
2007304212.tif 000006
【図３】
2007304212.tif 000007
【図４】
2007304212.tif 000008
【図５】
2007304212.tif 000009
【図６】
2007304212.tif 000010
【図７】
2007304212.tif 000011