(57)【要約】【課題】プレートに安価で且つ精度良く段付き孔を加工できることを課題とする。【解決手段】マスク６２のパターン６６には、透過部６７と、この透過部６７と同心円上に形成されたリング状の明部６８Ａと、透過部６７と明部６８Ａの間及び明部６８Ａの外側に形成された暗部６８Ｂとが設けられている。これにより、透過部６７を透過するレーザー光によって、ノズルプレート１２に貫通孔２８Ａが形成され、明部６８Ａを透過するレーザー光によって段部２８Ｂが形成される。つまり、マスク６２を交換することなく、周囲に段部２８Ｂが形成された貫通孔２８Ａがノズルプレート１２に形成される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光源からマスクを通して光学結像素子へレーザー光を照射し、プレート上にレーザー光を結像させ、該プレートに液体が流通する孔を形成する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記マスクのパターンは、レーザー光が透過する円形の透過部と、
前記透過部と同心円上に形成されレーザー光が透過する少なくとも１つのリング状の明部と、
前記透過部と前記明部の間、及び前記明部の外側に形成され、レーザー光が透過しない暗部と、
を備えていることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記マスクのパターンは、前記透過部の周りに形成された前記明部と前記暗部の第１明暗群と、前記第１明暗群の周りに形成され、前記第１明暗群の明部と暗部より広い間隔で明部と暗部が形成された第２明暗群と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記パターンは、前記マスクに複数形成され、前記複数のパターンを透過したレーザー光を１つの光学結像素子で、前記プレートに結像させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記パターンは、前記マスクに複数形成され、前記複数のパターンを透過したレーザー光を前記パターンに対応したそれぞれの光学結像素子で、前記プレートに結像させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記レーザー光源は、エキシマレーザー光を出射することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記レーザー光源は、フェムト秒レーザー光を出射することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において製造されたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液滴を吐出して画像を記録する液滴吐出ヘッドの製造方法及び、この製造方法によって製造される液滴吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のノズルからインク滴を吐出し、記録媒体に文字や画像等を印刷するインクジェット記録装置において、近年では、吐出するインクの種類が多様化し、例えば高粘度インクを吐出させるため流路抵抗を減らす目的でノズルの断面形状制御（例えばテーパ角度の広角化、所謂テーパ加工など）等の加工技術が求められている。
【０００３】
このテーパ加工の一例として、ポンチによって金属プレートを塑性変形させ、ノズルの断面形状を形成した後、打ち抜きによって金属プレートを貫通させる方法が知られている（特許文献１参照）。しかし、ポンチ加工の場合、製造コストが高くなる事や、多孔加工に不向きである、などの問題点がある。
【０００４】
また、レーザーでノズルプレートに貫通孔を形成し、この貫通孔の周囲に径の異なる複数のマスクを用いて段状に止め穴を加工することで、擬似的なテーパ状のノズルを形成する方法がある（特許文献２参照）。しかし、複数のマスクを用いることで加工プロセスが複雑となり、製造コストがアップしたり、各穴の軸心がずれる恐れがある。また、マスクを交換しなければならず、加工効率が悪くなる等の問題がある。
【０００５】
さらに、グレースケールマスクを用いてノズルをテーパ状に形成する方法がある（特許文献３参照）。しかし、グレースケールマスクの製造コストが高いため、インクジェット記録ヘッドの製造コストがアップしてしまう。
【特許文献１】特開２００２−１１３５２９号公報
【特許文献２】特開平５−３１８７４４号公報
【特許文献３】特許第３５３０７４４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記問題を考慮し、プレートに安価で且つ精度良く段付き孔を加工できることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の本発明は、レーザー光源からマスクを通して光学結像素子へレーザー光を照射し、プレート上にレーザー光を結像させ、該プレートに液体が流通する孔を形成する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記マスクのパターンは、レーザー光が透過する円形の透過部と、前記透過部と同心円上に形成されレーザー光が透過する少なくとも１つのリング状の明部と、前記透過部と前記明部の間、及び前記明部の外側に形成されレーザー光が透過しない暗部と、を備えていることを特徴としている。
【０００８】
請求項１に記載の発明では、マスクのパターンには、円形の透過部と、この透過部と同心円上に形成されたリング状の明部と、透過部と明部の間及び明部の外側に形成された暗部とが設けられている。透過部及び明部ではレーザー光が透過されるようになっており、暗部ではレーザー光が透過されないようになっている。そして、マスクを透過されたレーザー光は光学結像素子へ照射され、光学結像素子によってプレート上に結像されて液体が流通する孔が形成される。
【０００９】
ここで、透過部を透過したレーザー光は、十分なエネルギー密度を有して光学結像素子に照射され、プレート上で結像されて貫通孔を形成する。
【００１０】
一方、明部を透過するレーザー光は、明部の周りの暗部によって一部が遮られるため、透過部を透過するレーザー光に比べて、エネルギー密度が落ちた状態でプレート上に結像する。
【００１１】
つまり、透過部を透過する一定のショット数のレーザー光でプレートに貫通孔を形成すると同時に、明部を透過するレーザー光によって、貫通孔の周囲に、段部（貫通されない孔）が形成される。
【００１２】
したがって、マスクを交換することなく、周囲に段部が形成された貫通孔（段付き孔）がプレートに形成される。このとき、段付き孔の貫通孔と段部の軸心がずれる恐れがない。また、マスクを交換するための装置が必要とならないため、装置が大掛かりにならず、製造コストが抑制される。さらに、マスクを交換する手間や時間が必要ないので、加工効率が落ちない。
【００１３】
請求項２に記載の本発明は、前記マスクのパターンは、前記透過部の周りに形成された前記明部と前記暗部の第１明暗群と、前記第１明暗群の周りに形成され、前記第１明暗群の明部と暗部より広い間隔で明部と暗部が形成された第２明暗群と、を備えていることを特徴としている。
【００１４】
請求項２に記載の発明では、透過部の周りには、明部と暗部とからなる第１明暗群が形成されており、この第１明暗群の周りには、第１明暗群の明部と暗部よりも広い間隔で明部と暗部が形成された第２明暗群が設けられている。
【００１５】
つまり、第２明暗群ではレーザー光を遮る領域が大きいため、第２明暗群を透過するレーザー光のエネルギー密度は、第１明暗群を透過するレーザー光のエネルギー密度よりも落ちる。このため、第１明暗群を透過したレーザー光によって形成された段部の周囲には、第２明暗部を透過したレーザー光によって、第１明暗群を透過したレーザー光によって形成された段部よりも浅い段部が形成される。つまり、第１明暗群と第２明暗群を透過するレーザー光によって、２段構成とされた段部が、プレートの透過部を透過したレーザー光によって形成された貫通孔の周りに形成される。したがって、マスクを交換しなくても１枚のマスクで異なる深さの段部を形成できる。
【００１６】
請求項３に記載の本発明は、前記パターンは、前記マスクに複数形成され、前記複数のパターンを透過したレーザー光を１つの光学結像素子で、前記プレートに結像させることを特徴としている。
【００１７】
請求項３に記載の発明では、マスクには、複数のパターンが形成され、この複数のパターンを透過したレーザー光は、１つの光学結像素子によってプレートに結像される。
【００１８】
つまり、１つの光学結像素子と１枚のマスクを用いて、プレートに複数の段付き孔を形成することができるので量産化が可能となる。
【００１９】
請求項４に記載の本発明は、前記パターンは、前記マスクに複数形成され、前記複数のパターンを透過したレーザー光を前記パターンに対応したそれぞれの光学結像素子で、前記プレートに結像させることを特徴としている。
【００２０】
請求項４に記載の発明では、マスクには、複数のパターンが形成され、この複数のパターンを透過したレーザー光は、それぞれのパターンに対応した光学結像素子によってプレートに結像される。
【００２１】
つまり、パターンを透過したレーザー光は、それぞれのパターンに対応した光学結像素子に照射されるので、短い光路長で光学結像素子からプレートに結像される。したがって、レーザー光のエネルギー損失が最小限に抑えられる。
【００２２】
請求項５に記載の本発明は、前記レーザー光源は、エキシマレーザー光を出射することを特徴としている。
【００２３】
請求項５に記載の発明では、スポット径の大きいエキシマレーザー光を用いてノズルを加工することで、大面積で且つ多数のノズルを同時に加工できる。
【００２４】
請求項６に記載の本発明は、前記レーザー光源は、フェムト秒レーザー光を出射することを特徴としている。
【００２５】
請求項６に記載の発明では、スポット径の小さいフェムト秒レーザー光を用いてノズルを加工することで、加工精度の高いノズルを加工できる。
【００２６】
請求項７に記載の本発明は、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において製造されたことを特徴としている。
【００２７】
請求項７に記載の発明では、マスクを交換することなく、プレートに段付き貫通孔を形成できるので、貫通孔と段部の軸心がずれない段付き貫通孔（液体の流通路）が形成された液滴吐出ヘッドが得られる。このため、例えば、インクジェット記録ヘッドのノズルの加工に利用した場合、インクの流路抵抗が減るので、高精度の液滴を吐出することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明は上記構成としたので、プレートに安価で且つ精度良く段付き孔を加工できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。まず、図１に基づいて、インクジェット記録ヘッド１０の概略構成について説明する。
【００３０】
図１に示すように、インクジェット記録ヘッド１０は、ノズルプレート１２を有しており、ノズルプレート１２の上方には、連通孔プレート１４が積層されている。連通孔プレート１４の上方には、プールプレート１６、１８と、連通孔プレート２０と、流路プレート２２と、圧力室プレート２４と、振動板２６とが位置合わせして積層され、接着剤などの接合手段によって接合されている。
【００３１】
ノズルプレート１２には、インク滴を吐出するノズル２８が形成されている。そして、連通孔プレート１４には、このノズル２８と通じる連通孔３０が形成され、プールプレート１６、１８には、連通孔３２、３４がそれぞれ形成されている。また、連通孔プレート２０には連通孔３６が形成されており、流路プレート２２には連通孔３８が形成されている。これらのノズル２８、連通孔３０、３２、３４、３６、３８はそれぞれ連通し、圧力室プレート２４に形成された圧力室４０に繋がっている。
【００３２】
一方、連通孔プレート１４及びプールプレート１６、１８には、それぞれインクプール４２、４４、４６が形成され、これらが互いに繋がって１つの空間となっている。これらのインクプール４２、４４、４６には、図示しないインク供給孔から供給されたインクが貯留されている。また、連通孔プレート２０には、インクプール４６と連結するように供給孔４８が形成され、流路プレート２２には供給孔４８と連通するインク流路５０が形成されている。これらのインクプール４２、４４、４６と、供給孔４８と、インク流路５０及び圧力室４０は互いに連通しており、インクプール４２、４４、４６から圧力室４０内へインクが供給されるようになっている。
【００３３】
また、振動板２６の上部には、圧力室４０の上方に圧力発生手段としての圧電素子５２が取り付けられている。圧電素子５２には電極５４が設けられており、図示しないフレキシブル配線基板から駆動電圧が印加されるように構成されている。
【００３４】
次に、上記インクジェット記録ヘッド１０の製造方法について説明する。
【００３５】
まず、必要な厚さに加工した板状の圧電体(厚さ約３０μｍ)の両面に電極層を成膜する。なお、圧電体は図１の圧電素子５２に相当し、電極層は図１の電極５４に相当する。
【００３６】
つぎに、成膜した電極層及び圧電体の断面が露出し、各ノズル２８（圧力室４０）に対応するように、ブラスト法やダイシング法等の手段により圧電体を個別化し、圧電素子５２を形成するともに、圧電素子５２を振動板２６に接着等の手段により接合する。
【００３７】
そして、圧電素子５２の電極５４上にフレキシブル配線基板（図示略）を半田接合し、ノズルプレート１２、連通孔プレート１４、プールプレート１６、１８、連通孔プレート２０、流路プレート２２、圧力室プレート２４を接合する。
【００３８】
さらに、図示しないインクタンクから供給されるインクをインクプール４２、４４、４６に供給する為の流路（図示略）が形成されたインク供給中継部材を取り付ける。
【００３９】
以上により、インクジェット記録ヘッド１０が完成する。
【００４０】
ここで、図２に基づいて、ノズルプレート１２の作成方法について説明する。
【００４１】
まず、加工テーブル５６上にレーザー加工可能な素材（例えば、ポリイミド）である被加工物（ここでは、ノズルプレート）１２を載置し、エキシマレーザー５８から出射されるレーザー光によって、ノズルプレート１２にノズル２８を加工する。
【００４２】
なお、レーザー光源として、スポット径の大きいエキシマレーザー５８を用いる。これにより、ノズル２８の面積が大きい場合でも短時間で加工できる。
【００４３】
エキシマレーザー５８から出射されたレーザー光は、後述するパターン６６が形成されたマスク６２を通過して、マスク６２とノズルプレート１２の間に配置された集光レンズ６４に、マスク６２上に形成されたパターン状に照射される。そして、集光レンズ６４によって所望の倍率に変倍されて、ノズルプレート１２に結像される。
【００４４】
マスク６２に形成されたパターン６６は、レーザー光が透過可能とされた円形状の透過部としての開口部６７と、開口部６７の周囲に同心円上に形成されたＬ＆Ｓパターン６８とで構成されている。
【００４５】
開口部６７を透過したレーザー光は、ノズルプレート１２を貫通加工するのに十分なエネルギー密度を持って集光レンズ６４に照射され、ノズルプレート１２で結像される。これにより、ノズルプレート１２には、ノズル２８のインク吐出口に相当する貫通孔２８Ａ（図１参照）が形成される。
【００４６】
また、Ｌ＆Ｓパターン６８は、開口部６７と同心円上に所定の間隔で複数（ここでは３本）形成されたリング状の明部６８Ａと、開口部６７と明部６８Ａとの間、２本の明部６８Ａの間に設けられた暗部６８Ｂ及び、明部６８Ａの外側に設けられた遮光部６８Ｃとで構成されている。
【００４７】
そして、エキシマレーザー５８から出射されたレーザー光が、このＬ＆Ｓパターン６８を透過するとき、レーザー光の一部は明部６８Ａを透過するものの、一部が暗部６８Ｂによって遮られるため、レーザー光のエネルギー密度が落ちる。このため、Ｌ＆Ｓパターン６８を透過したレーザー光によって、ノズルプレート１２に貫通孔は形成されず、段状の凹部、つまり段部２８Ｂが貫通孔２８Ａの周囲に形成される。
【００４８】
したがって、ノズルプレート１２には、開口部６７を透過したレーザー光によって、ノズル２８のインク吐出口に相当する貫通孔２８Ａが形成され、Ｌ＆Ｓパターン６８を透過したレーザー光によって、貫通孔２８Ａの周囲の段部２８Ｂが、同時に形成される。
【００４９】
以上の構成により、ノズルプレート１２に貫通孔２８Ａと、この貫通孔２８Ａの周囲に段部２８Ｂを形成する際に、マスク６２を交換する必要がない。このため、貫通孔２８Ａと段部２８Ｂの軸心がずれる恐れがない。また、マスク６２を交換するための装置が必要とならないので、装置が大掛かりにならず、インクジェット記録ヘッド１０の製造コストが抑制される。さらに、マスク６２を交換する手間や時間が発生しないので、加工効率が落ちない。
【００５０】
＜実施例１＞
図３には本発明の実施例１に係るノズルプレート１２の加工方法が示されている。図３（Ａ）は、ノズルプレート１２と、このノズルプレート１２にノズル２８を加工するＫｒ−Ｆエキシマレーザー５８、マスク６２及び集光レンズ６４を側面から見た図であり、図３（Ｂ）は、マスク６２の上面図である。
【００５１】
図３（Ａ）に示すように、被加工物であるノズルプレート１２は、厚さ５０μｍのポリイミドフィルム(宇部興産ユーピレックス５０Ｓ)である。そして、Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー５８と集光レンズ６４の間にマスク６２を配設した。
【００５２】
図３（Ｂ）に示すように、マスク６２は、開口部６７と、開口部６７の周囲に設けられたＬ＆Ｓパターン６８と、で構成されたパターン６６が形成されたものを用いた。ここでは、暗部６８Ｂの幅を２、３、４、５、６μｍとし、開口部６７の径を、Φ１０、２０、３０μｍとしたものを用意した。そして、それぞれのマスク６２を用いてノズルプレート１２に貫通孔２８Ａ及び段部２８Ｂを加工して、顕微鏡で流路形状を観察した。
【００５３】
このときの結果を表１に示す。なお、○が流路形状が良好の場合である。
【００５４】
【表１】
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なお、集光レンズ６４はＭ値４、発振周波数１９７Ｈｚのものを用い、実加工エネルギー１．２８Ｊ／Ｃｍ２にて、ノズルプレート１２に貫通孔２８Ａ及び段部２８Ｂを加工した。
【００５５】
また、Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー５８から出射されるレーザー光のショット数は、基本を２２０ショットとし、前後２０ショットのショット数についても確認実験を行なった。
【００５６】
この確認実験の結果、暗部６８Ｂの幅を固定して、開口部６７の径を大きくした場合、ノズル２８は全体的に大きくなるものの、段部２８Ｂの深さ方向の寸法は固定されることがわかった。また、表１の結果から、暗部６８Ｂの幅を３〜５μｍの範囲で形成したときに、貫通孔２８Ａの周囲に段部２８Ｂが良好な状態（貫通孔２８Ａから吐出されるインクの流路抵抗の低減に効果的な段部）で形成されることがわかった。
【００５７】
＜実施例２＞
図４には本発明の実施例２に係るノズルの加工方法が示されている。
【００５８】
ノズルプレート１２は、厚さ５０μｍのポリイミドフィルム(宇部興産ユーピレックス５０Ｓ)である。そして、Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー５８と集光レンズ６４の間にマスク７０を配設した。
【００５９】
図４（Ｂ）に示すように、マスク７０は、開口部７１と、開口部７１の周囲に形成されたＬ＆Ｓパターン７２と、Ｌ＆Ｓパターン７２の周囲に形成されたＬ＆Ｓパターン７３で構成されたパターン７４が形成されたものを用いた。Ｌ＆Ｓパターン７２は、暗部７２Ｂの幅を３μｍとし、Ｌ＆Ｓパターン７３は、暗部７２Ｂの幅を６μｍとした。なお、明部７２Ａと明部７３Ａの幅は一定とした。
【００６０】
上記パターン７４が形成されたマスク７０を用いて、Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー５８からレーザー光を出射して、ノズルプレート１２に加工される貫通孔７８Ａ及び段部７８Ｂ、７８Ｃの状態の比較実験を行った。
【００６１】
なお、集光レンズ６４はＭ値４、発振周波数１９７Ｈｚのものを用い、実加工エネルギー１．２８Ｊ／Ｃｍ２にて、ノズルプレート１２に貫通孔７８Ａ及び段部７８Ｂを加工した。
【００６２】
また、Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー５８から出射されるレーザー光のショット数は、基本を２２０ショットとし、前後２０ショットのショット数についても確認実験を行なった。
【００６３】
この確認実験の結果、開口部７１を透過したレーザー光によって形成された貫通孔７８Ａの周囲に、Ｌ＆Ｓパターン７２を透過したレーザー光によって形成された段部７８Ｂと、この段部７８Ｂの周囲に、Ｌ＆Ｓパターン７３を透過したレーザー光によって形成された段部７８Ｃが形成された。
【００６４】
すなわち、明部間の間隔が異なる２つのＬ＆Ｓパターンが形成されたマスク７０を用いることで、深さの異なる２つの段部を形成できることがわかった。
【００６５】
＜実施例３＞
図５には本発明の実施例３に係るノズルの加工方法が示されている。
【００６６】
ノズルプレート１２は、厚さ５０μｍのポリイミドフィルム(宇部興産ユーピレックス５０Ｓ)であり、Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー５８と集光レンズ６４の間にマスク８０を配設した。
【００６７】
マスク８０は、４ｍｍピッチで５つのパターン８１が十字状に形成されたものを用いた。パターン８１は、開口部８２と、開口部８２の周囲に形成されて明部８３Ａと暗部８３Ｂを有するＬ＆Ｓパターン８３とで構成されている。
【００６８】
また、集光レンズ６４はＭ値４、発振周波数１９７Ｈｚのものを用い、実加工エネルギー１．２８Ｊ／Ｃｍ２にて、ノズルプレート１２に貫通孔７８Ａ及び段部７８Ｂを加工した。
【００６９】
Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー５８から出射されるエキシマレーザーのショット数は、基本を２２０ショットとし、前後２０ショットのショット数についても確認実験を行なった。また、エキシマレーザーの出射を２×１８ｍｍのエリアで行い、このエリア内で同時に５つのノズル加工を行った。
【００７０】
この確認実験の結果、ノズルプレート１２には、貫通孔８４Ａと段部８４Ｂとで構成されたノズル８４が、同時に５つ形成された。
【００７１】
すなわち、複数のパターン８１が形成されたマスク８０を用いることで、ノズルプレート１２に同時に複数の段付き形状のノズル８４を形成できることがわかった。
【００７２】
＜実施例４＞
図６には本発明の実施例４に係るノズルの加工方法が示されている。
【００７３】
ノズルプレート１２は、厚さ５０μｍのポリイミドフィルム(宇部興産ユーピレックス５０Ｓ)であり、Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー５８と集光レンズ６４の間にマスク８６を配設した。
【００７４】
なお、マスク８６には、所定のピッチで４つのパターン８８が２列で形成されたものを用いた。パターン８８は、開口部８７と、開口部８７の周囲に形成され明部と暗部を有するＬ＆Ｓパターン８９とで構成されている。
【００７５】
また、ノズルプレート１２とマスク８６との間には、レンズアレイ９２が配設されている。レンズアレイ９２には、各パターン８８に対応して複数（所定のピッチで４行、２列で）集光レンズ９４が設けられている。これにより、パターン８８を透過したエキシマレーザーは、それぞれの集光レンズ９４で集光されて、ノズルプレート１２に結像されるようになっている。
【００７６】
なお、集光レンズ９４は、Ｍ値４、発振周波数１９７Ｈｚのものを用い、実加工エネルギー１．２８Ｊ／Ｃｍ２にて、ノズルプレート１２に貫通孔９０Ａ及び段部９０Ｂを加工した。
【００７７】
また、Ｋｒ−Ｆエキシマレーザー５８から出射されるエキシマレーザーのショット数は、基本を２２０ショットとし、前後２０ショットのショット数についても確認実験を行なった。
【００７８】
この確認実験の結果、ノズルプレート１２には、貫通孔９０Ａと段部９０Ｂとで構成されたノズル９０が、所定のピッチで４行、２列、つまり、合計８個形成された。
【００７９】
このように、複数のパターン８８を透過するレーザー光を、それぞれのパターンに対応して設けられた集光レンズ９４に照射することで、レーザー光の光路長が短くなり、レーザー光のエネルギー損失が最小限に抑えられる。
【００８０】
なお、本実施形態では、ノズルプレート１２にノズルを形成する方法を例にとって説明したが、ノズルプレート１２にノズルを形成する方法に限定されず、例えば、連通孔プレート１４（図１参照）に段付きの流路を形成する場合にも、本発明が適用できる。
【００８１】
また、本実施形態では、エキシマレーザーでノズルプレート１２にノズルを形成したが、エキシマレーザーに替えてフェムト秒レーザーでノズルプレート１２にノズルを形成する場合にも本発明を適用でき、スポット径の小さいフェムト秒レーザーを用いることで、一工程の加工範囲は小さくなるが、加工精度の高いノズルプレート１２が形成される。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す斜視図である。
【図３】実施例１のインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す図であり、（Ａ）は側面図であり、（Ｂ）はマスクの上面図である。
【図４】実施例２のインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す図であり、（Ａ）は側面図であり、（Ｂ）はマスクの上面図である。
【図５】実施例３のインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す図であり、（Ａ）は側面図であり、（Ｂ）はマスクの上面図である。
【図６】実施例４のインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す側面図である。
【符号の説明】
【００８３】
１０  インクジェット記録ヘッド
１２  ノズルプレート（プレート）
１４  連通孔プレート（プレート）
５８  レーザー光源
６２  マスク
６４  集光レンズ（光学結像素子）
６６  パターン
６７  透過部
６８Ａ  明部
６８Ｂ  暗部
７０  マスク
７１  透過部
７２  Ｌ＆Ｓパターン（第１明暗群）
７２Ａ  明部
７２Ｂ  暗部
７３  Ｌ＆Ｓパターン（第２明暗群）
７３Ａ  明部
７３Ｂ  暗部
８０  マスク
８１  パターン
８２  透過部
８３Ａ  明部
８３Ｂ  暗部
８６  マスク
８８  パターン
９４  集光レンズ（光学結像素子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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