(57)【要約】【課題】軸受などが形成されるホルダを高い位置精度でステータに固定することのできるアクチュエータを提案すること。【解決手段】  直動アクチュエータ１のステータの端面にホルダ５０、６０を固定するにあたって、外ステータコア１５、１６の位置決め用切り欠き１５３、１６３にホルダ５０、６０の位置決め用突部５３１、６３１を嵌めてホルダ５０、６０と外ステータコア１５、１６との位置決めを行う。外ステータコア１５、１６のピン挿入穴１５４、１６４とプレート９０、９１、９５のピン挿入穴９０１、９１１、９５１に位置決めピンを挿入し、プレート９０、９１、９５と外ステータコア１５、１６との位置決めを行った状態でスポット溶接を行う。【選択図】図３
2007159183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状のステータと、該ステータの内側に配置されたロータと、前記ステータの軸線方向外側で前記ステータに位置決め固定されたホルダとを有するアクチュエータにおいて、
前記ホルダは、前記ステータの端面で内周縁に沿って複数の極歯が軸線方向に屈曲している円環状のステータコアに重ねて配置され、
前記ステータコアの内周縁には、前記極歯の屈曲部分の間に半径方向外側に凹む複数の位置決め用切り欠きが形成され、
前記ホルダには前記複数の位置決め用切り欠きに各々嵌る複数の位置決め用突部が形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１において、前記ホルダの少なくとも一部に軸線方向外側で重なるように配置されたプレートを有し、
当該プレートは、前記ステータコアとスポット溶接されて当該ステータコアとの間に前記ホルダを挟持していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２において、前記複数の位置決め用突部は、前記ホルダにおいて外周側に張り出しており、
前記ホルダは、前記複数の位置決め用突部の少なくとも一部と重なっていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項３において、前記複数の位置決め用突部は、前記ステータコアと同等厚の薄板状であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項２ないし４のいずれかにおいて、前記プレートには貫通穴が形成され、前記ステータコアには、前記貫通穴と連通する位置に穴が形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかにおいて、前記ホルダとして、前記ステータの一方側端面に固定された第１のホルダと、前記ステータの他方側端面に固定された第２のホルダとを備えていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかにおいて、前記ホルダとして、前記ステータの一方側端面に固定された第１のホルダと、前記ステータの他方側端面に固定された第２のホルダとを備え、
前記プレートとして、前記ステータの一方側端面を規定するステータコアとの間に前記第１のホルダを挟持する第１のプレートと、前記ステータの他方側端面を規定するステータコアとの間に前記第２のホルダを挟持する第２のプレートとを備えていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかにおいて、前記ロータの内側で軸線方向に移動可能に支持された可動体と、前記ロータの回転を前記可動体の軸線方向への直進に変換する回転直進変換機構とを有していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
請求項６または７において、前記ロータの内側で軸線方向に移動可能に支持された可動体と、前記ロータの回転を前記可動体の軸線方向への直進に変換する回転直進変換機構とを有し、
前記第１のホルダおよび前記第２のホルダのうち、前記可動体の反出力側に位置する第２のホルダからは、前記ロータの内側で出力側に向けて支軸が起立し、
前記可動体には反出力側で開口して前記支軸が嵌った軸穴が形成され、
前記可動体は、前記支軸により軸線方向に移動可能に支持されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１０】
請求項９において、前記第１のホルダおよび前記第２のホルダの一方には、軸線方向に突出して前記ロータを回転可能に支持する筒部が形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステッピングモータ構造を備えたアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
出力軸を軸線方向に往復駆動する直動アクチュエータとしては、ステッピングモータを駆動源としたものが提案されており、かかる直動アクチュエータでは、ロータの内周面に雌ねじを形成する一方、ロータの内穴に、外周面に雄ねじを形成した出力軸を配置してある。また、かかる直動アクチュエータでは、出力軸を軸線方向に移動可能に支持するにあたって、出力軸の外周面のうち、雄ねじの形成領域を避けた位置で出力軸を支持する必要があるため、出力軸において、雄ねじの形成領域を挟む両側に軸受を各々、配置した構成が採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平３−２４３１５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような直動アクチュエータに限らず、ステッピングモータでは、ステータの両側あるいは一方側には、ステータに対して高い精度で相対位置が規定されたホルダが配置される。すなわち、ロータを支持する軸受を備えたホルダの場合、ロータに高い位置精度をもたせるために、ステータに対するホルダの位置精度を高くする必要がある。また、直動アクチュエータにおいて、出力軸を支持する軸受を備えたホルダの場合にも、ステータに対するホルダの位置精度を高くする必要がある。
【０００４】
それには、ステータの端面を規定するステータコアに対して直接、ホルダを固定するのが好ましいが、従来のステータコアには、ホルダを位置決め可能な箇所がないため、上記特許文献１に記載の直動アクチュエータでは、ステータの端面に取り付け板を固定し、この取り付け板にホルダを位置決め固定している。このため、ホルダは、取り付け板を介してステータに位置決めされるため、ホルダの位置精度をこれ以上、高めるのは困難である。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、軸受などが形成されるホルダを高い位置精度でステータに固定することのできるアクチュエータを提案することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明では、円筒状のステータと、該ステータの内側に配置されたロータと、前記ステータの軸線方向外側で前記ステータに位置決め固定されたホルダとを有するアクチュエータにおいて、前記ホルダは、前記ステータの端面で内周縁に沿って複数の極歯が軸線方向に屈曲している円環状のステータコアに重ねて配置され、前記ステータコアの内周縁には、前記極歯の屈曲部分の間に半径方向外側に凹む複数の位置決め用切り欠きが形成され、前記ホルダには前記複数の位置決め用切り欠きに各々嵌る複数の位置決め用突部が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明では、ステータコアの内周縁において極歯の屈曲部分の間で凹む複数の位置決め用切り欠きに対して、ホルダの位置決め用切り欠きが嵌った構成を採用しているので、ホルダをステータコアに直接、位置決めすることができる。従って、ステータに対してホルダの位置決め精度が高い。それ故、ホルダにロータなどに対する軸受などを形成した場合に、ロータとステータとを高い精度で配置することができる。
【０００８】
本発明において、前記ホルダの少なくとも一部に軸線方向外側で重なるように配置されたプレートを有し、当該プレートは、前記ステータコアとスポット溶接されて当該ステータコアとの間に前記ホルダを挟持していることが好ましい。このように構成すると、樹脂製あるいはセラミックス製などといったスポット溶接できない材質からなるホルダを用いた場合でも、スポット溶接を利用しての固定が可能である。
【０００９】
本発明において、前記複数の位置決め用突部は、前記ホルダにおいて外周側に張り出しており、前記ホルダは、前記複数の位置決め用突部の少なくとも一部と重なっていることが好ましい。
【００１０】
本発明において、前記複数の位置決め用突部は、前記ステータコアと同等厚の薄板状であることが好ましい。このように構成すると、プレートをホルダの一部と重ねた場合でも、プレートをステータコアに密着させることができる。
【００１１】
本発明において、前記プレートには貫通穴が形成され、前記ステータコアには、前記貫通穴と連通する位置に穴が形成されていることが好ましい。このように構成すると、プレートの貫通穴とステータコアの穴にピンを差し込めば、プレート、ホルダおよびステータコアを容易かつ高い精度で位置決めすることができる。
【００１２】
本発明において、前記ホルダとして、前記ステータの一方側端面に固定された第１のホルダと、前記ステータの他方側端面に固定された第２のホルダとを備えている構成を採用してもよい。また、前記プレートを用いる場合には、前記ホルダとして、前記ステータの一方側端面に固定された第１のホルダと、前記ステータの他方側端面に固定された第２のホルダとを備え、前記プレートとして、前記ステータの一方側端面を規定するステータコアとの間に前記第１のホルダを挟持する第１のプレートと、前記ステータの他方側端面を規定するステータコアとの間に前記第２のホルダを挟持する第１のプレートとを備えている構成を採用してもよい。
【００１３】
本発明は、アクチュエータとして、回転出力するステッピングモータに適用することができる。
【００１４】
さらに、本発明は、前記ロータの内側で軸線方向に移動可能に支持された可動体と、前記ロータの回転を前記可動体の軸線方向への直進に変換する回転直進変換機構とを有する直動アクチュエータに適用することができる。
【００１５】
本発明において、ホルダとして前記第１のホルダおよび前記第２のホルダを用いる場合に、本発明を直動アクチュエータに適用するには、前記ロータの内側で軸線方向に移動可能に支持された可動体と、前記ロータの回転を前記可動体の軸線方向への直進に変換する回転直進変換機構とを設け、前記第１のホルダおよび前記第２のホルダのうち、前記可動体の反出力側に位置する第２のホルダからは、前記ロータの内側で出力側に向けて支軸が起立し、前記可動体には反出力側で開口して前記支軸が嵌った軸穴が形成され、前記可動体は、前記支軸により軸線方向に移動可能に支持されている構成を採用することが好ましい。このように構成すると、軸線方向で離間する２箇所に軸受を配置する必要がないので、２つの軸受間の同軸度のズレを吸収するために可動体と軸受との間にクリアランスを設ける必要がなく、このクリアランスに起因する可動体のがたつきや振れを防止することができる。従って、可動体のがたつきや振れが問題となる用途にも適用することができる。また、可動体の外周面を支持する構成の軸受ではなく、固定側部材から起立する支軸と、可動体の軸穴とにより軸受を構成したため、可動体の外周面にねじ溝、カム溝、突起などを形成した場合でも、これらの形成位置を避けた位置で可動体を支持する必要がない。従って、可動体を軸線方向で長い距離にわたって支持する構成、あるいは可動体を軸線方向で長い距離を隔てた位置で支持する構成を採用した場合でも、直動アクチュエータの軸線方向の寸法を圧縮できる。
【００１６】
この場合、前記第１のホルダおよび前記第２のホルダの一方には、軸線方向に突出して前記ロータを回転可能に支持する筒部が形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、ステータコアの内周縁において極歯の屈曲部分の間で凹む複数の位置決め用切り欠きに対して、ホルダの位置決め用切り欠きが嵌った構成を採用しているので、ホルダをステータコアに直接、位置決めすることができる。従って、ステータに対してホルダの位置決め精度が高い。それ故、ホルダにロータなどに対する軸受などを形成した場合に、ロータとステータとを高い精度で配置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図面を参照して、本発明を適用した直動アクチュエータを説明する。
【００１９】
［実施の形態１］
（全体構成）
図１（ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態１に係る直動アクチュエータの概略縦断面図、およびこの直動アクチュエータから出力側からみたときの平面図である。図１（ａ）において、上半部は可動体が出力側に前進した状態を示し、下半部は可動体が反出力側に後退した状態を示してある。図２（ａ）、（ｂ）は、本形態の直動アクチュエータから可動体を取り外した状態の固定側部材を出力側からみた平面図、および底面図である。
【００２０】
図１（ａ）、（ｂ）において、本形態の直動アクチュエータ１は、円筒状のステータ１０を備えた固定側部材５と、ステータ１０の内側中央に同軸状に配置された円筒状のロータ２０と、このロータ２０の内側に少なくとも一部が同軸状に配置された可動体３０とを有している。固定側部材５は、ステータ１０と、ステータ１０の出力側に配置された樹脂製の第１のホルダ５０と、ステータ１０の反出力側に配置された樹脂製の第２のホルダ６０とを備えている。
【００２１】
本形態において、可動体３０は、丸棒状の出力シャフトとしての軸部３２と、この軸部３２の出力側端部において半径方向に拡径する円盤状のフランジ部３５とを備えており、軸部３２はロータ２０の内側に同軸状に配置されている。また、軸部３２は、フランジ部３５から出力側に突出している。
【００２２】
軸部３２には、反出力側端面で開口する軸穴３１が形成されている。ここで、軸穴３１は、可動体３０の出力側では閉塞しており、可動体３０には、軸穴３１の出力側部分に連通する空気穴３０１が形成されている。
【００２３】
フランジ部３５の外周縁には、中心を挟んだ両側位置に略矩形の第１の切り欠き３６および第２の切り欠き３７が形成されている。また、フランジ部３５において、切り欠き３６、３７を結ぶ直線と直交する延長線上には、半径方向の略中央位置にばね押さえ３８が形成されており、後述する線ばね７５の一方の端部を固定している。
【００２４】
このように構成した直動アクチュエータにおいて、本形態では、以下の構造を採用して可動体３０を軸線方向に往復駆動するようになっている。
【００２５】
まず、図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）に示すように、第１のホルダ５０は、ステータ１０の出力側端面に固定される平板部分５２と、この平板部分５２の出力側端面で突出する２本の円柱状のストッパ５６、５７とを備えており、ストッパ５６、５７は各々、フランジ部３５の切り欠き３６、３７内に位置している。
【００２６】
平板部分５２は、中央に可動体３０の軸部３２を貫通させる開口部５１が形成された円環状部分５３と、この円環状部分５３から互いに半径方向の反対側に向けて延びた第１および第２の突板部５８、５９とを備えており、ストッパ５６、５７は、突板部５８、５９の外周端付近に形成されている。ここで、開口部５１は円形の開口形状を備えている。
【００２７】
図１（ａ）、（ｂ）および図２（ｂ）に示すように第２のホルダ６０は、ステータ１０の出力側端面に固定される平板部分５２を備えており、この平板部分５２は、円環状部分６３と、この円環状部分６３から互いに半径方向の反対側に向けて延びた第１および第２の突板部６８、６９とを備えている。円環状部分６３には、その内周縁から反出力側に向かって突出する有底の円筒部６５が形成されており、円筒部６５には、その周壁を貫通する空気穴６５０が形成されている。
【００２８】
図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）において、円筒部６５の底部６６の中央には固定穴６７が形成されており、この固定穴６７には、ロータ２０の内側で出力側に向かって起立する支軸４０の基端部が固定されている。一方、可動体３０には、その反出力端面で開口する軸穴３１が形成されており、この軸穴３１に支軸４０が嵌っている。このようにして、本形態では、軸穴３１と支軸４０とにより形成された軸受６によって、可動体３０は、軸線方向に移動可能に固定側部材５に支持されている。
【００２９】
第２のホルダ６０において、円環状部分６３の内周縁には、断面円形の外周形状をもって出力側に向かって延びた円筒状の筒部６４が形成されており、この筒部６４を軸受としてロータ２０が回転可能に支持されている。
【００３０】
このような構成の可動体３０を軸線方向に往復駆動するための駆動源として、本形態では、ステータ１０およびロータ２０により構成されたステッピングモータ構造が用いられている。すなわち、ステータ１０は、Ａ相およびＢ相に対応する第１および第２のステータ組１１、１２を備えており、各ステータ組１１、１２は各々、軸線方向の外側に位置する円環状の外ステータコア１５、１６と、軸線方向の内側に位置する円環状の内ステータコア１７、１８と、外ステータコア１５、１６と内ステータコア１７、１８との間に配置された環状の駆動コイル１３、１４とを備えている。外ステータコア１５、１６、および内ステータコア１７、１８は、後述するように、各々の内周縁で軸線方向に屈曲する極歯を備えており、ステータ１０のロータ配置穴では、その周方向に沿って外ステータコア１５、１６の極歯と、内ステータコア１７、１８の極歯とが交互に並んでいる。なお、本形態では、外ステータコア１５、１６の外周壁部分によってハウジングの側面部が構成され、第１のホルダ５０および第２のホルダ６０によってハウジングの端面が構成されている。
【００３１】
ここで、駆動コイル１３、１４は、ボビンレスの空芯コイルであり、駆動コイル１３、１４と内ステータコア１７、１８の間にはスペーサとして可撓性基板８１、８２が挿入されている。この可撓性基板８１、８２において、駆動コイル１３、１４と内ステータコア１７、１８との間に位置する部分は円環状であり、駆動コイル１３、１４と内ステータコア１７、１８からの引き出し部分には、駆動コイル１３、１４からの引き出し部分が接続されるランド部が形成されている。これに対して、駆動コイル１３、１４と外ステータコア１５、１６との間には絶縁シートが挿入されている。可撓性基板８１、８２の円環状の部分は連結部を繋がっていてもよく、この場合、連結部分で折り返すことにより各円環状の部分を駆動コイル１３、１４と内ステータコア１７、１８との間に配置すればよい。
【００３２】
ロータ２０は、周方向にＳ極とＮ極が交互に着磁された円筒形の永久磁石からなるロータマグネット２１と、このロータマグネット２１の内側においてロータマグネット２１と一体のスリーブ状樹脂部２２とからなる。スリーブ状樹脂部２２は、その出力側端部に内側に突出する環状突起２２０を備えており、この環状突起２２０の内周面には雌ねじ２３が形成されている。本形態では、ロータマグネット２１とスリーブ状樹脂部２２とは接着により固定された構成を採用しているが、一体成形したものであってもよい。
【００３３】
また、本形態の直動アクチュエータ１には、ロータ２０の回転を可動体３０の軸線方向への直進に変換する回転直進変換機構が構成されており、この回転直進変換機構は、以下に説明するように、ロータ２０の軸線方向の移動を阻止するロータ支持機構と、ロータ２０に対する可動体３０の供回りを阻止する供回り阻止機構と、ロータ２０の回転力を可動体３０に伝達して可動体３０を直動させる伝達機構と備えている。
【００３４】
まず、伝達機構として、ロータ２０に対しては、前記したように、スリーブ状樹脂部２２の環状突起２２０の内周面に形成した雌ねじ２３と、可動体３０の外周面において軸線方向の所定の範囲にわたって形成された雄ねじ３３とからなるねじ機構７が採用されている。
【００３５】
また、ロータ支持機構では、ロータ２０の出力側端面が第１のホルダ５０の円環状部分５３に当接することにより、ロータ２０の出力側への移動が規制されている。また、支軸４０の周りには、円筒部６５の底部６６および可動体３０の反出力端部に当接するコイルばね７０が装着されており、このコイルばね７０は、雌ねじ２３と雄ねじ３３とのバックラッシュを解消するとともに、可動体３０を介してロータ２０を出力側に付勢し、ロータ２０の反出力側への移動を規制している。
【００３６】
本形態において、供回り阻止機構としては、可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転を可動体３０と固定側部材５との干渉により阻止する干渉部と、可動体３０と固定側部材５との間で可動体３０の時計周りＣＷへの回転に抗力を発生させる付勢部が利用されている。すなわち、本形態では、図１（ｂ）から分かるように、第１のホルダ５０に形成されたストッパ５６（干渉部）は、可動体３０のフランジ部３５に形成された切り欠き３６の内側でその時計周りＣＷの側に位置する側壁３６１（干渉部）に当接して、可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転を阻止している。また、フランジ部３５のばね押さえ３８に固定された線ばね７５（付勢部）の先端部は、第１のホルダ５０に形成されたストッパ５７に当接しており、可動体３０が時計周りＣＷに回転しようとしたときに抗力を発生させ、可動体３０の時計周りＣＷの回転を阻止している。
【００３７】
しかも、線ばね７５は、ストッパ５７を付勢することによる反力で可動体３０に対して軸線方向に直交する方向成分の付勢力を発生させており、可動体３０には、軸線方向に直交する方向成分をもつ側圧が印加されている。このため、可動体３０は、その軸線方向に直交するがたつきや振れが防止されている。
【００３８】
（動作）
このように構成した直動アクチュエータ１においても、ステータ１０の駆動コイル１３、１４に所定の信号を印加すると、ロータ２０が軸線周りに回転し、その回転力は、雄ねじ３３および雌ねじ２３からなるねじ機構７（伝達機構）を介して、可動体３０に伝達される。ここで、ロータ２０は軸線方向の移動が阻止され、かつ、可動体３０は軸線周りの回転が阻止されているため、ロータ２０の回転は、可動体３０を軸線方向に沿って直動させる力に変換され、可動体３０は、支軸４０および軸穴３１からなる軸受６に支持されたまま、矢印Ｌ２で示すように、反出力側に向けて直線的に移動する。また、反出力側に移動した状態でステータ１０の駆動コイル１３、１４に所定の信号を印加すると、上記動作とは逆に、可動体３０は、矢印Ｌ１に示すように、出力側に向けて直線的に移動する。このような動作を行う際、コイルばね７０は、可動体３０の変位に応じて伸縮する。また、フランジ部３５の移動に伴い、線ばね７５および切り欠き３６、３７の位置も変化するが、ストパ５６、５７は、可動体３０の可動距離に相当する高さ寸法をもって起立しているので、可動体３０はいずれの位置にあっても軸線周りの回転は阻止される。また、可動体３０の軸穴３１の出力側部分、および第２のホルダ６０の円筒部６５の内部は、略密閉空間になっているが、可動体３０および円筒部６５には空気穴３０１、６５０が形成されているので、可動体３０の移動に伴って軸穴３１および円筒部６５の内容積が変化しても可動体３０の移動を妨げることがない。
【００３９】
（製造方法）
図２〜図１１を参照して、本形態の直動アクチュエータ１の製造方法を説明しながら、直動アクチュエータに用いた各部材の構成を詳述する。図３は、本形態の直動アクチュエータの製造工程の一部を示す工程図である。図４（ａ）、（ｂ）は、本形態の直動アクチュエータに用いた２枚の第１のプレートを出力側からみた平面図、および断面図である。図５は、本形態の直動アクチュエータに用いた第１のホルダを出力側からみた平面図、底面図、および断面図である。図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本形態の直動アクチュエータに用いた外ステータコアを極歯の屈曲方向と反対側からみたときの平面図、底面図、および断面図である。図７（ａ）、（ｂ）は、本形態の直動アクチュエータに用いた内ステータコアを極歯の屈曲側からみたときの平面図および断面図である。図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本形態の直動アクチュエータに用いた第２のホルダを反出力側からみた平面図、底面図、および断面図である。図９（ａ）、（ｂ）は、本形態の直動アクチュエータに用いた第２のプレートを反出力側からみた平面図および断面図である。
【００４０】
本形態の直動アクチュエータ１を製造するには、図３に示すように、図５に示す第１のホルダ５０を間に挟んで、図４に示す半月状の２枚の金属製の第１のプレート９０、９１と図６に示す外ステータコア１５とをスポット溶接することにより、出力側アセンブリ２を構成する。また、図８に示す第２のホルダ６０に支軸４０を取り付けた後、この第２のホルダ６０を間に挟んで、図９に示すリング状の第２のプレート９５と図６に示す外ステータコア１６とをスポット溶接することにより、反出力側アセンブリ３を構成する。
【００４１】
一方、図７に示す２枚の内ステータコア１７、１８については、極歯１７８、１８８を互いに反対側に向けてスポット溶接により貼り合わせておく。このため、内ステータコア１７、１８において極歯１７８、１８８が屈曲している側とは反対側の端面には、スポット溶接用突起１７１、１８１が２個ずつ形成されている。
【００４２】
そして、反出力側から出力側に向かって、反出力側アセンブリ３、駆動コイル１４、内ステータコア１８、内ステータコア１７、駆動コイル１３、出力側アセンブリ２がこの順に重なった状態とした後、反出力側アセンブリ３の外ステータコア１６、内ステータコア１８、内ステータコア１７、出力側アセンブリ２の外ステータコア１５の外周部分を溶接し、固定側部材５を組み立てる。その際、内側にロータ２０を配置する。
【００４３】
しかる後に、出力側からロータ２０の内側に対して可動体３０を回転させながら軸部３２をロータ２０の内側に挿入する。その際、フランジ部３５のばね押さえ３８に固定された線ばね７５の先端部を第１のホルダ５０に形成されたストッパ５７に当接させる。
【００４４】
このような製造方法を採用するにあたって、本形態では、図４〜図６に示すように、２枚の第１のプレート９０、９１には各々、ピン挿入穴９０１、９１１が２つずつ形成されている一方、外ステータコア１５の円環部１５１には、ピン挿入穴９０１、９１１と重なる位置に計４つのピン挿入穴１５４が形成されている。また、外ステータコア１５には計４つのスポット溶接用突起１５５が形成されており、２枚の第１のプレート９０、９１において、スポット溶接用突起１５５と重なる位置がスポット溶接箇所９０２、９１２となる。
【００４５】
また、外ステータコア１５の内周縁には極歯１５８が形成されている箇所の間に半径方向に凹む位置決め用切り欠き１５３が例えば、１０個、等角度間隔に形成されている一方、第１のホルダ５０の円環状部分５３の外周縁には半径方向外側に向けて突出する位置決め突部５３１が、例えば１０個、等角度間隔に形成されている。ここで、位置決め突部５３１は、外ステータコア１５と同等厚の薄板状であって、円環状部分５３から外側に張り出している。このため、第１のホルダ５０の位置決め突部５３１が外ステータコア１５の位置決め用切り欠き１５３に嵌るように第１のホルダ５０と外ステータコア１５とを重ねた状態で、位置決め突部５３１に重なるように第１のプレート９０、９１を第１のホルダ５０に重ね、第１のプレート９０、９１のピン挿入穴９０１、９１１から外ステータコア１５のピン挿入穴１５４に位置決めピン（図示せず）を差し込めば、外ステータコア１５、第１のホルダ５０、および第１のプレート９０、９１の位置合わせを行うことができる。このような位置合わせをした後、第１のプレート９０、９１に外ステータコア１５のスポット溶接用突起１５５を押し付けた状態で通電し、第１のプレート９０、９１と外ステータコア１５とをスポット溶接すれば出力側アセンブリ２を組み立てることができる。
【００４６】
また、本形態では、図６〜図９に示すように、第２のプレート９５にはピン挿入穴９５１が計４つ形成されている一方、外ステータコア１６の円環部１６１には、ピン挿入穴９５１と重なる位置に計４つのピン挿入穴１６４が形成されている。また、外ステータコア１６には計４つのスポット溶接用突起１６５が形成されており、第２のプレート９５において、スポット溶接用突起１６５と重なる位置がスポット溶接箇所９５２となる。
【００４７】
また、出力側と同様、外ステータコア１６の内周縁には極歯１６８が形成されている箇所の間に、半径方向に凹む位置決め用切り欠き１６３が例えば、１０個、等角度間隔に形成されている一方、第２のホルダ６０の円環状部分６３には半径方向外側に向けて突出する位置決め突部６３１が、例えば１０個、等角度間隔に形成されている。ここで、位置決め突部６３１は、ステータコア１６と同等厚の薄板状であって、円環状部分６３から外側に張り出している。このため、第２のホルダ６０の位置決め突部６３１が外ステータコア１６の位置決め用切り欠き１６３に嵌るように第２のホルダ６０と外ステータコア１６とを重ねた状態で、位置決め突部６３１に重なるように第２のプレート９５を第２のホルダ６０に重ね、第２のプレート９５のピン挿入穴９５１から外ステータコア１６のピン挿入穴１６４に位置決めピン（図示せず）を差し込めば、外ステータコア１６、第２のホルダ６０、および第２のプレート９５の位置合わせを行うことができる。このような位置合わせをした後、第２のプレート９５に外ステータコア１６のスポット溶接用突起１６５を押し付けた状態で通電し、第２のプレート９５と外ステータコア１６とをスポット溶接すれば反出力側アセンブリ３を組み立てることができる。
【００４８】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の直動アクチュエータ１では、固定側部材５から支軸４０を起立させる一方、可動体３０の側に、支軸４０が嵌る軸穴３１を形成することにより、可動体３０を軸線方向に移動可能に支持する軸受６を構成している。このため、軸線方向で離間する２箇所に軸受を配置する必要がないので、２つの軸受間の同軸度のズレを吸収するために可動体３０と軸受との間にクリアランスを設ける必要がなく、このクリアランスに起因する可動体３０のがたつきや振れを防止することができる。従って、本形態の直動アクチュエータ１は、光学装置など、可動体３０のがたつきや振れが問題となる用途にも適用することができる。
【００４９】
また、本形態では、可動体３０の外周面を支持する構成の軸受ではなく、固定側部材５から起立する支軸４０と、可動体３０の軸穴３１とにより軸受６を構成したため、可動体３０の外周面に雄ねじ３３を形成した場合でも、これらの形成位置を避けた位置で可動体３０を支持する必要がない。従って、本形態のように、可動体３０を軸線方向で長い距離にわたって支持する構成を採用した場合でも、直動アクチュエータ１の軸線方向の寸法を圧縮できる。
【００５０】
また、本形態では、ロータ２０に対する可動体３０の供回りを阻止する供回り阻止機構に用いた線ばね７５により、可動体３０には、軸線方向に直交する方向成分をもつ側圧が印加されている。このため、側圧印加のために部材を追加することなく、可動体３０のがたつきや振れを確実に防止することができる。
【００５１】
さらにまた、本形態の製造方法によれば、外ステータコア１５、１６に形成した位置決め用切り欠き１５３、１６３に第１および第２のホルダ５０、６０に形成した位置決め用突部５３１、６３１を嵌めることにより、第１および第２のホルダ５０、６０と外ステータコア１５、１６との位置決めを行う。このため、軸受用の支軸４０およびロータ２０に対する軸受として機能する筒部６４を備えた第２のホルダ６０をステータ１０に対して高い精度で位置決めすることができる。また、可動体３０に対するストッパ５７、５８を備えた第１のホルダ５０をステータ１０に対して高い精度で位置決めすることができる。
【００５２】
また、外ステータコア１５、１６に形成したピン挿入穴１５４、１６４と第１および第２のプレート９０、９１、９５に形成したピン挿入穴９０１、９１１、９５１に位置決めピンを挿入するだけでプレート９０、９１、９５と外ステータコア１５、１６との位置決めも容易に行うことができる。
【００５３】
なお、第１のホルダ５０、第２のホルダ６０、支軸４０および可動体３０は各々、金属あるいは樹脂成形品で構成できるが、本形態では、支軸４０はＳＵＳ製であり、可動体３０は樹脂製である。支軸４０および可動体３０の双方を樹脂成形品で構成した場合、軸穴３１の内周面と支軸４０の外周面とのクリアランスを極めて小さくできるので、可動体３０のがたつきや振れを抑制できるという利点がある。
【００５４】
［実施の形態２］
図１０（ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態２に係る直動アクチュエータの概略縦断面図、およびこの直動アクチュエータから出力側からみたときの平面図である。図１０（ａ）において、上半部は可動体が出力側に前進した状態を示し、下半部は可動体が反出力側に後退した状態を示してある。なお、本形態の直動アクチュエータの基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示することにして、それらの詳細な説明を省略する。
【００５５】
図１０（ａ）、（ｂ）において、本形態の直動アクチュエータ１は、円筒状のステータ１０を備えた固定側部材５と、ステータ１０の内側中央に同軸状に配置された円筒状のロータ２０と、このロータ２０の内側に同軸状に配置された可動体３０とを有している。本形態において、固定側部材５は、ステータ１０と、ステータ１０の出力側に配置された樹脂製の第１のホルダ５０と、ステータ１０の反出力側に配置された樹脂製の第２のホルダ６０とを備えている。
【００５６】
本形態において、可動体３０は、出力シャフトとしての軸部３２と、この軸部３２の出力側端部において半径方向に拡径する円盤状のフランジ部３５とを備えており、軸部３２には、反出力側端面で開口する軸穴３１が形成されている。軸部３２は、実施の形態１と同様、丸棒状であり、フランジ部３５の外周縁には、その中心を挟んだ両側位置に略矩形の第１の切り欠き３６および第２の切り欠き３７が形成されている。また、フランジ部３５には、その一部を細い薄板状に加工した樹脂製の線ばね７５が形成されており、この線ばね７５は、切り欠き３７内で半径方向外側に延びている。
【００５７】
このように構成した直動アクチュエータ１において、第１のホルダ５０は、実施の形態１と同様、出力側に突出する２本の円柱状のストッパ５６、５７とを備えており、ストッパ５６、５７は各々、フランジ部３５の切り欠き３６、３７内に位置している。また、第１のホルダ５０の開口部５１は、実施の形態１と同様、円形の開口形状を備えている。
【００５８】
第２のホルダ６０において、有底の円筒部６５の底部６６からは支軸４０が起立しており、支軸４０は、軸穴３１に嵌って可動体３０を軸線方向に移動可能に支持する軸受６を構成している。また、第２のホルダ６０は、平板部分６２の内周縁から断面円形の外周形状をもって出力側に向かって延びた円筒状の筒部６４を備えており、この筒部６４にロータ２０が回転可能に支持されている。
【００５９】
本形態の直動アクチュエータ１においても、ロータ２０の回転を可動体３０の軸線方向への直進に変換する回転直進変換機構では、伝達機構として、実施の形態１と同様、スリーブ状樹脂部２２の環状突起２２０の内周面に形成した雌ねじ２３と、可動体３０の外周面において軸線方向の所定の範囲にわたって形成された雄ねじ３３とからなるねじ機構７が採用されている。また、ロータ支持機構では、ロータ２０の出力側端面が第１のホルダ５０の円環状部分５３に当接することにより、ロータ２０の出力側への移動が規制されている。また、第１のホルダ５０の平板部分５２とフランジ部３５との間には、軸部３２の周りにコイルばね７１が装着されており、コイルばね７１は、雌ねじ２３と雄ねじ３３とのバックラッシュを解消するとともに、可動体３０を介してロータ２０を出力側に付勢し、ロータ２０の反出力側への移動を規制している。
【００６０】
本形態において、供回り阻止機構としては、可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転を可動体３０と固定側部材５との干渉により阻止する干渉部と、可動体３０と固定側部材５との間で可動体３０の時計周りＣＷへの回転に抗力を発生させる付勢部が利用されている。すなわち、本形態では、第１のホルダ５０に形成されたストッパ５６（干渉部）は、可動体３０のフランジ部３５に形成された切り欠き３６の内側でその時計周りＣＷの側に位置する側壁３６１（干渉部）に当接して、可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転を阻止している。また、フランジ部３５と一体に形成された線ばね７５（付勢部）の先端部は、第１のホルダ５０に形成されたストッパ５７に当接しており、可動体３０が時計周りＣＷに回転しようとしたときに抗力を発生させ、可動体３０の時計周りＣＷの回転を阻止している。しかも、線ばね７５は、ストッパ５７を付勢することによる反力で可動体３０に対して軸線方向に直交する方向成分の付勢力を発生させており、可動体３０には、軸線方向に直交する方向成分をもつ側圧が印加されている。
【００６１】
このように構成した直動アクチュエータ１でも、第１のホルダ５０および第２のホルダ６０は、実施の形態１と同一な構成を備えているため、図２〜図９を参照して説明した構成、および方法と同一な構成および方法で本形態の直動アクチュエータ１を製造することができる。
【００６２】
［実施の形態３］
図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明の実施の形態３に係る直動アクチュエータの概略縦断面図、この直動アクチュエータから出力側からみたときの平面図、および側面図である。図１２（ａ）、（ｂ）は、本形態の直動アクチュエータから可動体を取り外した状態の固定側部材を出力側からみた平面図、および底面図である。図１１（ａ）において、上半部は可動体が出力側に前進した状態を示し、下半部は可動体が反出力側に後退した状態を示してある。なお、本形態の直動アクチュエータの基本的な構成は、実施の形態１、２と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示することにして、それらの詳細な説明を省略する。
【００６３】
図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）および図１２（ａ）、（ｂ）において、本形態の直動アクチュエータ１は、円筒状のステータ１０を備えた固定側部材５と、ステータ１０の内側中央に同軸状に配置された円筒状のロータ２０と、このロータ２０の内側に同軸状に配置されたとしての可動体３０とを有している。本形態において、固定側部材５は、ステータ１０と、ステータ１０の出力側に配置された第１のホルダ５０と、ステータ１０の反出力側に配置された第２のホルダ６０とを備えている。可動体３０は、出力シャフトとしての軸部３２と、この軸部３２の出力側端部において半径方向に拡径する円盤状のフランジ部３５とを備えており、軸部３２には、反出力側端面で開口する軸穴３１が形成されている。
【００６４】
本形態において、軸部３２は、実施の形態１、２と同様、丸棒状である。本形態では、フランジ部３５の外周縁に切り欠き３６が１つ形成されている。また、フランジ部３５には、ばね押さえ３８に線ばね７５の一方の端部が保持され、この線ばね７５は、半径方向外側に延びて先端が切り欠き３６内に位置している。
【００６５】
このように構成した直動アクチュエータ１において、第１のホルダ５０は、ステータ１０の出力側端面に固定される円環状部分５３と、この円環状部から３方に延びた突板部５９１、５９２、５９３とを備えている。突板部５９１には、出力側に突出する円柱状のストッパ５６を備えており、ストッパ５６は、フランジ部３５の切り欠き３６内に位置している。また、第１のホルダ５０の開口部５１は、実施の形態１と同様、円形の開口形状を備えている。
【００６６】
第２のホルダ６０は、円環状部分６３と、円環状部分６３から３方に延びた突板部６９１、６９２、６９３とを備えており、円環状部分６３からは反出力側に向かって有底の円筒部６５が突出している。円筒部６５の底部６６の中央からは支軸４０が起立しており、支軸４０は、軸穴３１に嵌って可動体３０を軸線方向に移動可能に支持する軸受６を構成している。また、第２のホルダ６０は、平板部分６２の内周縁から断面円形の外周形状をもって出力側に向かって延びた円筒状の筒部６４を備えており、この筒部６４にロータ２０が回転可能に支持されている。
【００６７】
本形態の直動アクチュエータ１においても、ロータ２０の回転を可動体３０の軸線方向への直進に変換する回転直進変換機構では、供回り阻止機構として、可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転を可動体３０と固定側部材５との干渉により阻止する干渉部と、可動体３０と固定側部材５との間で可動体３０の時計周りＣＷへの回転に抗力を発生させる付勢部が利用されている点でも、実施の形態１と同様である。また、線ばね７５の構成は相違するが、本形態でも、実施の形態１と同様、第１のホルダ５０に形成されたストッパ５６は、可動体３０のフランジ部３５に形成された切り欠き３６の内側でその時計周りＣＷの側に位置する側壁３６１に当接して、可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転を阻止している。また、フランジ部３５のばね押さえ３８に固定された線ばね７５の先端部は、第１のホルダ５０に形成されたストッパ５６に当接しており、可動体３０が時計周りＣＷに回転しようとしたときに抗力を発生させ、可動体３０の時計周りＣＷの回転を阻止している。しかも、線ばね７５は、ストッパ５７を付勢することによる反力で可動体３０に対して軸線方向に直交する方向成分の付勢力を発生させており、可動体３０には、軸線方向に直交する方向成分をもつ側圧が印加されている。
【００６８】
なお、図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、第１のホルダ５０および第２のホルダ６０は、実施の形態１と平面形状などが相違しており、第１のホルダ５０を固定するのに１枚の円環状のプレート９３が使用され、第２のホルダ６０を固定するのに３方に切り欠き部分が延びた円環状のプレート９５が使用されているが、それらの基本的な構成は、実施の形態１と同様である。このため、そのスポット溶接箇所９３２、９５２を示すように、図３〜図９を参照して説明した構成、および方法と同一な構成および方法で本形態の直動アクチュエータ１を製造することができる。
【００６９】
［実施の形態４］
図１３（ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態４に係る直動アクチュエータの概略縦断面図、およびこの直動アクチュエータから出力側からみたときの平面図である。図１３（ａ）において、上半部は可動体が出力側に前進した状態を示し、下半部は可動体が反出力側に後退した状態を示してある。なお、本形態の直動アクチュエータの基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示することにして、それらの詳細な説明を省略する。
【００７０】
図１３（ａ）、（ｂ）において、本形態の直動アクチュエータ１は、円筒状のステータ１０を備えた固定側部材５と、ステータ１０の内側中央に同軸状に配置された円筒状のロータ２０と、このロータ２０の内側に同軸状に配置された可動体３０とを有している。固定側部材５は、ステータ１０と、ステータ１０の出力側に配置された第１のホルダ５０と、ステータ１０の反出力側に配置された第２のホルダ６０とを備えている。可動体３０は、出力シャフトとしての軸部３２と、この軸部３２の出力側端部において半径方向に拡径する円盤状のフランジ部３５とを備えており、軸部３２には、反出力側端面で開口する軸穴３１が形成されている。
【００７１】
本形態において、軸部３２は、実施の形態１と同様、丸棒状であり、フランジ部３５の外周縁には、２つの切り欠き３６、３７が形成されている。また、フランジ部３５において、切り欠き３７にはばね押さえ３８が形成され、このばね押さえ３８により、線ばね７５の一方の端部が保持されている。ここで、線ばね７５は、可動体３０の軸部３２の根元部分を周回した後、半径方向外側に延びて先端が切り欠き３６内に位置している。
【００７２】
このように構成した直動アクチュエータ１において、第１のホルダ５０は、出力側に突出する円柱状のストッパ５６を備えており、ストッパ５６は、フランジ部３５の切り欠き３６内に位置している。また、第１のホルダ５０の開口部５１は、実施の形態１と同様、円形の開口形状を備えている。
【００７３】
第２のホルダ６０では、有底の円筒部６５の底部６６から支軸４０が起立しており、支軸４０は、軸穴３１に嵌って可動体３０を軸線方向に移動可能に支持する軸受６を構成している。
【００７４】
また、本形態の直動アクチュエータ１においても、実施の形態１と同様、ロータ２０の回転を可動体３０の軸線方向への直進に変換する回転直進変換機構では、供回り阻止機構として、可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転を可動体３０と固定側部材５との干渉により阻止する干渉部と、可動体３０と固定側部材５との間で可動体３０の時計周りＣＷへの回転に抗力を発生させる付勢部が利用されている。また、線ばね７５の構成は相違するが、本形態でも、実施の形態１と同様、第１のホルダ５０に形成されたストッパ５６は、可動体３０のフランジ部３５に形成された切り欠き３６の内側でその時計周りＣＷの側に位置する側壁３６１に当接して、可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転を阻止している。また、フランジ部３５のばね押さえ３８に固定された線ばね７５の先端部は、第１のホルダ５０に形成されたストッパ５６に当接しており、可動体３０が時計周りＣＷに回転しようとしたときに抗力を発生させ、可動体３０の時計周りＣＷの回転を阻止している。しかも、線ばね７５は、ストッパ５７を付勢することによる反力で可動体３０に対して軸線方向に直交する方向成分の付勢力を発生させており、可動体３０には、軸線方向に直交する方向成分をもつ側圧が印加されている。
【００７５】
このように構成した直動アクチュエータ１でも、第１のホルダ５０および第２のホルダ６０は、実施の形態１と同一な構成を備えているため、図２〜図９を参照して説明した構成、および方法と同一な構成および方法で本形態の直動アクチュエータ１を製造することができる。
【００７６】
［実施の形態５］
図１４（ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態６に係る直動アクチュエータの概略縦断面図、およびこの直動アクチュエータから出力側からみたときの平面図である。なお、本形態の直動アクチュエータの基本的な構成は、実施の形態１と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付して図示することにして、それらの詳細な説明を省略する。
【００７７】
図１４（ａ）、（ｂ）において、本形態の直動アクチュエータ１は、円筒状のステータ１０を備えた固定側部材５と、ステータ１０の内側中央に同軸状に配置された円筒状のロータ２０と、このロータ２０の内側に同軸状に配置された可動体３０とを有している。固定側部材５は、ステータ１０と、ステータ１０の出力側に配置された円盤状の第１のホルダ５０と、ステータ１０の反出力側に配置された第２のホルダ６０とを備えている。可動体３０は、出力シャフトとしての軸部３２と、この軸部３２の出力側端部において半径方向に拡径する円盤状のフランジ部３５とを備えており、軸部３２には、反出力側端面で開口する軸穴３１が形成されている。本形態において、軸部３２は、実施の形態２と同様、丸棒状である。また、第１のホルダ５０の開口部５１は、実施の形態２と同様、円形の開口形状を備えている。第２のホルダ６０では、有底の円筒部６５の底部６６から支軸４０が起立しており、支軸４０は、軸穴３１に嵌って可動体３０を軸線方向に移動可能に支持する軸受６を構成している。
【００７８】
本形態の直動アクチュエータ１において、ロータ２０の回転を可動体３０の軸線方向への直進に変換する回転直進変換機構では、供回り阻止機構として、可動体３０の時計周りＣＷの回転、および可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転に抗力を発生させる付勢部が利用されている。すなわち、第１のホルダ５０とフランジ部３５との間には、板ばね状の渦巻きばね７６が配置されており、この渦巻きばね７６の外周側端部７６１は、第１のホルダ５０の外周端部に固定されている一方、渦巻きばね７６の円環状の内周側端部７６２は、フランジ部３５の反出力側端面において軸部３２の連結部分に固定されている。このため、渦巻きばね７６は、可動体３０が時計周りＣＷに回転しようとしたときに抗力を発生させ、可動体３０の時計周りＣＷの回転を阻止し、可動体３０が反時計周りＣＣＷに回転しようとしたときに抗力を発生させ、可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転を阻止している。
【００７９】
このように構成した直動アクチュエータ１でも、第２のホルダ６は、実施の形態２と同一な構成を備えているため、図２〜図９を参照して説明した構成、および方法と同一な構成および方法で本形態の直動アクチュエータ１を製造することができる。
【００８０】
なお、本形態では、渦巻きばね７６によって可動体３０の回転を阻止したが、ここに用いるばねの形状については渦巻き状に限らず、各種形状のものを用いることができる。この場合、ばねにより、可動体３０を軸線方向に直交する方向の側圧を印加する形状のものが好ましい。また、ばねについては、１本に限らず、可動体３０が時計周りＣＷに回転しようとしたときに抗力を発生させる第１のばねと、可動体３０が反時計周りＣＣＷに回転しようとしたときに抗力を発生させる第２のばねとを用いてもよい。さらには、可動体３０あるいは固定側部材５の一部を加工して形成したばねを、可動体３０の回転を阻止する付勢部として利用してもよい。
【００８１】
［その他の実施の形態］
上記実施の形態１においては、軸受６を構成するにあたって、支軸４０を第２のホルダ６０の固定穴６７で固定した構成を採用したが、固定側部材５において反出力側の端面を構成する第２のホルダ６０と支軸４０とを樹脂成形により一体に形成してもよい。
【００８２】
また、上記形態の回転直進変換機構では、ロータ２０に対する可動体３０の供回りを阻止する供回り阻止機構を構成するにあたって、可動体３０の反時計周りＣＣＷの回転を可動体３０と固定側部材５との干渉により阻止する干渉部と、可動体３０と固定側部材５との間で可動体３０の時計周りＣＷへの回転に抗力を発生させる付勢部とを利用したが、第１のホルダ５０と可動体３０との干渉、あるいは支軸４０と軸穴３１との干渉を利用してもよい。また、可動体３０から反出力側に突起を形成し、この突起を第２のホルダ６０の底部６６に形成した穴を貫通させて可動体３０と第２のホルダ６０との干渉を利用してもよい。
【００８３】
また、上記形態の回転直進変換機構では、ロータ２０の回転力を可動体３０に伝達して可動体３０を直動させる伝達機構として、ロータ２０の雌ねじ２３と、可動体３０の雄ねじ３３とからなるねじ機構７を採用したが、このような伝達機構としては、ねじ機構７に代えて、カム溝と突起とが係合するカム機構や、ねじ溝と突起とが噛み合う送りねじ機構を採用することもできる。
【００８４】
上記形態において、ロータ２０は、円筒状のロータマグネット２１の内周側のみにスリーブ状樹脂部２２を有する構成であったが、円筒状のロータマグネット２１とスリーブ状樹脂部２２とを一体成形する場合には、スリーブ状樹脂部２２は、円筒状のロータマグネット２１の出力側端面および反出力側端面のうちの少なくとも一方の端面に被さるように形成することが好ましい。さらには、図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、ロータマグネット２１の出力側端面および反出力側端面の少なくとも一方側の端面には、軸線方向に突出する凸部２１１を形成しておき、スリーブ状樹脂部２２においてこの端面に被さる樹脂部分が凸部２１１あるいは凹部２１２に食い込ませることが好ましい。このように構成すると、凸部２１１あるいは凹部２１２は、スリーブ状樹脂部２２とロータマグネット２１との固着強度を高める補強部として機能する。すなわち、本形態において、ロータ２０では、外周面を構成するロータマグネット２１が回転力を発生させ、ロータ２０の内周面を構成するスリーブ状樹脂部２２が可動体３０を直動させる力を発生させるので、ロータマグネット２１とスリーブ状樹脂部２２との間には大きな力が加わるが、ロータマグネット２１に凸部２１１あるいは凹部２１２からなる補強部を形成しておくと、ロータマグネット２１とスリーブ状樹脂部２２との間に位置ずれや剥離などの不具合が発生しない。
【００８５】
また、上記実施の形態において、可動体３０では、フランジ部３５が軸部３２の先端部に形成されている構成であってもよい。
【００８６】
さらに上記形態では、直動アクチュエータに本発明を適用したが、通常のステッピングモータに本発明を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】（ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態１に係る直動アクチュエータの概略縦断面図、およびこの直動アクチュエータから出力側からみたときの平面図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す直動アクチュエータから可動体を取り外した状態の固定側部材を出力側からみた平面図、および底面図である。
【図３】図１に示す直動アクチュエータの製造工程の一部の工程を示す工程図である。
【図４】図１に示す直動アクチュエータに用いた２枚の第１のプレートを出力側からみた平面図、および断面図である。
【図５】図１に示す直動アクチュエータに用いた第１のホルダを出力側からみた平面図、底面図、および断面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、図１に示す直動アクチュエータに用いた外ステータコアを極歯の屈曲方向と反対側からみたときの平面図、底面図、および断面図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す直動アクチュエータに用いた内ステータコアを極歯の屈曲側からみたときの平面図および断面図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、図１に示す直動アクチュエータに用いた第２のホルダを反出力側からみた平面図、底面図、および断面図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）は、本形態の直動アクチュエータに用いた第２のプレートを反出力側からみた平面図および断面図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態２に係る直動アクチュエータの概略縦断面図、およびこの直動アクチュエータから出力側からみたときの平面図である。
【図１１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明の実施の形態３に係る直動アクチュエータの概略縦断面図、この直動アクチュエータから出力側からみたときの平面図、および側面図である。
【図１２】（ａ）、（ｂ）は、図１１に示す直動アクチュエータから可動体を取り外した状態の固定側部材を出力側からみた平面図、および底面図である。
【図１３】（ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態４に係る直動アクチュエータの概略縦断面図、およびこの直動アクチュエータから出力側からみたときの平面図である。
【図１４】（ａ）、（ｂ）は各々、本発明の実施の形態５に係る直動アクチュエータの概略縦断面図、およびこの直動アクチュエータから出力側からみたときの平面図である。
【図１５】（ａ）、（ｂ）は各々、本発明を適用した直動アクチュエータに用いられるロータの改良を示す説明図である。
【符号の説明】
【００８８】
１  直動アクチュエータ
５  固定側部材
６  軸受
７  ねじ機構
１０  ステータ
２０  ロータ
２１  ロータマグネット
２２  スリーブ状樹脂部
２３  雌ねじ
３０  可動体
３１  軸穴
３３  雄ねじ
３５  フランジ部
４０  支軸
５０  第１のホルダ
５５、６４  筒部
６０  第２のホルダ
７５  線ばね
７７  コイルばね
１５３、１６３  位置決め用切り欠き
５３１、６３１  位置決め用突部
１５４、１６４、９０１、９１１、９５１  ピン挿入穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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